(57)【要約】  レーザ光の性能悪化を抑制する。  レーザチャンバは、第１放電電極と、第２放電電極と、第１放電電極と第２放電電極との間の放電空間にレーザガスを流すファンと、第１放電電極におけるレーザガス流の上流側及び下流側に配置された第１絶縁部材と、第２放電電極におけるレーザガス流の上流側に配置された第１金属ダンパ部材と、第２放電電極におけるレーザガス流の下流側に配置された第２絶縁部材と、第２絶縁部材におけるレーザガス流の下流側に配置された第２金属ダンパ部材と、を備え、第２金属ダンパ部材と第２絶縁部材との境界部分において、第２金属ダンパ部材における放電空間側の第１表面は、第２絶縁部材における放電空間側の第２表面よりも、放電空間とは反対側に位置し、第２金属ダンパ部材における第２絶縁部材側の第１側面と第１表面とが成す第１角部は、第２絶縁部材における第２金属ダンパ部材側の第２側面と接触してもよい。
2017022105.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
放電励起式ガスレーザ装置のレーザチャンバであって、
前記レーザチャンバ内に配置された第１放電電極と、
前記レーザチャンバ内で前記第１放電電極に対向して配置された第２放電電極と、
前記第１放電電極と前記第２放電電極との間の放電空間にレーザガスを流すファンと、
前記第１放電電極におけるレーザガス流の上流側及び下流側に配置された第１絶縁部材と、
前記第２放電電極における前記レーザガス流の上流側に配置された第１金属ダンパ部材と、
前記第２放電電極における前記レーザガス流の下流側に配置された第２絶縁部材と、
前記第２絶縁部材における前記レーザガス流の下流側に配置された第２金属ダンパ部材と、を備え、
前記第２金属ダンパ部材と前記第２絶縁部材との境界部分において、前記第２金属ダンパ部材における前記放電空間側の第１表面は、前記第２絶縁部材における前記放電空間側の第２表面よりも、前記放電空間とは反対側に位置し、
前記第２金属ダンパ部材における前記第２絶縁部材側の第１側面と前記第１表面とが成す第１角部は、前記第２絶縁部材における前記第２金属ダンパ部材側の第２側面と接触する
レーザチャンバ。
【請求項２】
前記第１表面及び前記第２表面は、前記レーザガスの上流側から下流側に向かうに従って、前記放電空間とは反対側に向かって傾斜している
請求項１に記載のレーザチャンバ。
【請求項３】
前記第２表面と前記第２側面とが成す第２角部の角度と、前記第１角部の角度との合計は、１８０°よりも小さい。
請求項２に記載のレーザチャンバ。
【請求項４】
放電励起式ガスレーザ装置のレーザチャンバであって、
前記レーザチャンバ内に配置された第１放電電極と、
前記レーザチャンバ内で前記第１放電電極に対向して配置された第２放電電極と、
前記第１放電電極と前記第２放電電極との間の放電空間にレーザガスを流すファンと、
前記第１放電電極におけるレーザガス流の上流側及び下流側に配置された第１絶縁部材と、
前記第２放電電極における前記レーザガス流の上流側に配置された第１金属ダンパ部材と、
前記第２放電電極における前記レーザガス流の下流側に配置された第２絶縁部材と、
前記第２絶縁部材における前記レーザガス流の下流側に配置された第２金属ダンパ部材と、を備え、
前記第２金属ダンパ部材における前記放電空間側の第１表面と前記第２絶縁部材側の第１側面とが成す第１角部は、前記第２絶縁部材における前記放電空間側の第２表面と前記第２金属ダンパ部材側の第２側面とが成す第２角部と接触し、
前記第１表面と前記第２表面とは、略同一の平面内に位置し、
前記第１角部の角度と前記第２角部の角度との合計は、１８０°よりも小さい
レーザチャンバ。
【請求項５】
前記第１表面と前記第２表面とは、前記レーザガスの上流側から下流側に向かうに従って、前記放電空間とは反対側に向かって傾斜している
請求項４に記載のレーザチャンバ。
【請求項６】
放電励起式ガスレーザ装置のレーザチャンバであって、
前記レーザチャンバ内に配置された第１放電電極と、
前記レーザチャンバ内で前記第１放電電極に対向して配置された第２放電電極と、
前記第１放電電極と前記第２放電電極との間の放電空間にレーザガスを流すファンと、
前記第１放電電極におけるレーザガス流の上流側及び下流側に配置された第１絶縁部材と、
前記第２放電電極における前記レーザガス流の上流側に配置された第１金属ダンパ部材と、
前記第２放電電極における前記レーザガス流の下流側に配置された第２絶縁部材と、
前記第２絶縁部材における前記レーザガス流の下流側に配置された第２金属ダンパ部材と、を備え、
前記第２金属ダンパ部材と前記第２絶縁部材との境界部分の前記第２放電電極からの距離は、前記第２放電電極の長手方向に亘って変化する
レーザチャンバ。
【請求項７】
前記第２金属ダンパ部材における前記放電空間側の第１表面と前記第２絶縁部材における前記放電空間側の第２表面とは、前記レーザガスの上流側から下流側に向かうに従って、前記放電空間とは反対側に向かって傾斜している
請求項６に記載のレーザチャンバ。
【請求項８】
前記境界部分の前記第２放電電極からの前記距離は、前記第２放電電極の長手方向に亘って単調に変化する
請求項７に記載のレーザチャンバ。
【請求項９】
前記第２金属ダンパ部材及び前記第２絶縁部材は、前記第２放電電極の長手方向に亘って、複数の領域に分割されており、
前記境界部分の前記第２放電電極からの前記距離は、前記複数の領域のうちの少なくとも２つの領域において互いに異なる
請求項７に記載のレーザチャンバ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、レーザチャンバに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体集積回路の微細化、高集積化につれて、半導体露光装置においては解像力の向上が要請されている。半導体露光装置を以下、単に「露光装置」という。このため露光用光源から出力される光の短波長化が進められている。露光用光源には、従来の水銀ランプに代わってガスレーザ装置が用いられている。現在、露光用のガスレーザ装置としては、波長２４８ｎｍの紫外線を出力するＫｒＦエキシマレーザ装置ならびに、波長１９３ｎｍの紫外線を出力するＡｒＦエキシマレーザ装置が用いられている。【０００３】
現在の露光技術としては、露光装置側の投影レンズとウエハ間の間隙を液体で満たして、当該間隙の屈折率を変えることによって、露光用光源の見かけの波長を短波長化する液浸露光が実用化されている。ＡｒＦエキシマレーザ装置を露光用光源として用いて液浸露光が行われた場合は、ウエハには水中における波長１３４ｎｍの紫外光が照射される。この技術をＡｒＦ液浸露光という。ＡｒＦ液浸露光はＡｒＦ液浸リソグラフィーとも呼ばれる。【０００４】
ＫｒＦ、ＡｒＦエキシマレーザ装置の自然発振におけるスペクトル線幅は約３５０〜４００ｐｍと広いため、露光装置側の投影レンズによってウエハ上に縮小投影されるレーザ光（紫外線光）の色収差が発生して解像力が低下する。そこで色収差が無視できる程度となるまでガスレーザ装置から出力されるレーザ光のスペクトル線幅を狭帯域化する必要がある。スペクトル線幅はスペクトル幅とも呼ばれる。このためガスレーザ装置のレーザ共振器内には狭帯域化素子を有する狭帯域化モジュール（Line Narrowing Module：ＬＮＭ）が設けられ、この狭帯域化モジュールによりスペクトル幅の狭帯域化が実現されている。なお、狭帯域化素子はエタロンやグレーティング等であってもよい。このようにスペクトル幅が狭帯域化されたレーザ装置を狭帯域化レーザ装置という。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００６−２２９１３７号
【特許文献２】特開２００６−１４８０１６号
【特許文献３】米国特許６９１４９１９号
【特許文献４】特表２００５−５０２２１０号
【特許文献５】米国特許６６３９９２９号
【特許文献６】特開２００３−６０２７０号
【特許文献７】特開２００７−２０８１８３号
【概要】
【０００６】
本開示の１つの観点に係るレーザチャンバは、放電励起式ガスレーザ装置のレーザチャンバであって、レーザチャンバ内に配置された第１放電電極と、レーザチャンバ内で第１放電電極に対向して配置された第２放電電極と、第１放電電極と第２放電電極との間の放電空間にレーザガスを流すファンと、第１放電電極におけるレーザガス流の上流側及び下流側に配置された第１絶縁部材と、第２放電電極におけるレーザガス流の上流側に配置された第１金属ダンパ部材と、第２放電電極におけるレーザガス流の下流側に配置された第２絶縁部材と、第２絶縁部材におけるレーザガス流の下流側に配置された第２金属ダンパ部材と、を備え、第２金属ダンパ部材と第２絶縁部材との境界部分において、第２金属ダンパ部材における放電空間側の第１表面は、第２絶縁部材における放電空間側の第２表面よりも、放電空間とは反対側に位置し、第２金属ダンパ部材における第２絶縁部材側の第１側面と前記第１表面とが成す第１角部は、第２絶縁部材における第２金属ダンパ部材側の第２側面と接触してもよい。
【０００７】
本開示の他の観点に係るレーザチャンバは、放電励起式ガスレーザ装置のレーザチャンバであって、レーザチャンバ内に配置された第１放電電極と、レーザチャンバ内で第１放電電極に対向して配置された第２放電電極と、第１放電電極と第２放電電極との間の放電空間にレーザガスを流すファンと、第１放電電極におけるレーザガス流の上流側及び下流側に配置された第１絶縁部材と、第２放電電極におけるレーザガス流の上流側に配置された第１金属ダンパ部材と、第２放電電極におけるレーザガス流の下流側に配置された第２絶縁部材と、第２絶縁部材におけるレーザガス流の下流側に配置された第２金属ダンパ部材と、を備え、第２金属ダンパ部材における放電空間側の第１表面と第２絶縁部材側の第１側面とが成す第１角部は、第２絶縁部材における放電空間側の第２表面と第２金属ダンパ部材側の第２側面とが成す第２角部と接触し、第１表面と前記第２表面とは、略同一の平面内に位置し、第１角部の角度と第２角部の角度との合計は、１８０°よりも小さくてもよい。
【０００８】
本開示の他の観点に係るレーザチャンバは、放電励起式ガスレーザ装置のレーザチャンバであって、レーザチャンバ内に配置された第１放電電極と、レーザチャンバ内で第１放電電極に対向して配置された第２放電電極と、第１放電電極と第２放電電極との間の放電空間にレーザガスを流すファンと、第１放電電極におけるレーザガス流の上流側及び下流側に配置された第１絶縁部材と、第２放電電極におけるレーザガス流の上流側に配置された第１金属ダンパ部材と、第２放電電極におけるレーザガス流の下流側に配置された第２絶縁部材と、第２絶縁部材におけるレーザガス流の下流側に配置された第２金属ダンパ部材と、を備え、第２金属ダンパ部材と第２絶縁部材との境界部分の第２放電電極からの距離は、第２放電電極の長手方向に亘って変化してもよい。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
本開示のいくつかの実施形態を、単なる例として、添付の図面を参照して以下に説明する。
【図１】図１は、比較例に係るガスレーザ装置を説明するための図を示す。
【図２】図２は、図１に示されたレーザチャンバをＺ軸方向から視た図を示す。
【図３】図３は、比較例のレーザチャンバの課題を説明するための図を示す。
【図４】図４は、第１実施形態のレーザチャンバに含まれる第２金属ダンパ部材及び第２絶縁部材を説明するための図を示す。
【図５】図５は、第１実施形態の変形例１に係るレーザチャンバに含まれる第２金属ダンパ部材及び第２絶縁部材を説明するための図を示す。
【図６】図６は、第１実施形態の変形例２に係るレーザチャンバに含まれる第２金属ダンパ部材及び第２絶縁部材を説明するための図を示す。
【図７】図７は、第２実施形態のレーザチャンバに含まれる第２金属ダンパ部材及び第２絶縁部材を説明するための図を示す。
【図８】図８は、第２実施形態の変形例１に係るレーザチャンバに含まれる第２金属ダンパ部材及び第２絶縁部材を説明するための図を示す。
【図９】図９は、第２実施形態の変形例２に係るレーザチャンバに含まれる第２金属ダンパ部材及び第２絶縁部材を説明するための図を示す。
【図１０】図１０は、第３実施形態のレーザチャンバに含まれる第２金属ダンパ部材及び第２絶縁部材を説明するための図を示す。
【図１１】図１１は、第３実施形態の変形例１に係るレーザチャンバに含まれる第２金属ダンパ部材及び第２絶縁部材を説明するための図を示す。
【図１２】図１２は、第３実施形態の変形例２に係るレーザチャンバに含まれる第２金属ダンパ部材及び第２絶縁部材を説明するための図を示す。
【図１３】図１３は、第４実施形態のレーザチャンバに含まれる第２金属ダンパ部材及び第２絶縁部材を説明するための図を示す。
【図１４】図１４は、図１３に示された第２金属ダンパ部材、第２絶縁部材及び第２放電電極をＹ軸方向から視たときの概略図を示す。
【図１５】図１５は、第４実施形態の変形例１に係るレーザチャンバに含まれる第２金属ダンパ部材及び第２絶縁部材を説明するための図を示す。
【図１６】図１６は、図１５に示された第２金属ダンパ部材、第２絶縁部材及び第２放電電極をＹ軸方向から視たときの概略図を示す。
【図１７】図１７は、第４実施形態の変形例２に係るレーザチャンバに含まれる第２金属ダンパ部材及び第２絶縁部材を説明するための図を示す。
【実施形態】
【００１０】
〜内容〜
１．用語の説明
２．課題
２．１  比較例の構成
２．２  比較例の動作
２．３  課題
３．第１実施形態
３．１  構成
３．２  動作及び作用効果
３．３  第１実施形態の変形例
４．第２実施形態
４．１  構成、動作及び作用効果
４．２  第２実施形態の変形例
５．第３実施形態
５．１  構成、動作及び作用効果
５．２  第３実施形態の変形例
６．第４実施形態
６．１  構成
６．２  動作及び作用効果
６．３  第４実施形態の変形例
７．その他
【００１１】
以下、本開示の実施形態について、図面を参照しながら詳しく説明する。以下に説明される実施形態は、本開示のいくつかの例を示すものであって、本開示の内容を限定するものではない。また、各実施形態で説明される構成及び動作の全てが本開示の構成及び動作として必須であるとは限らない。なお、同一の構成要素には同一の参照符号を付して、重複する説明を省略する。
【００１２】
［１．用語の説明］
「光路軸」は、レーザ光の進行方向に沿ってレーザ光のビーム断面の中心を通る軸である。
「光路」は、レーザ光が通る経路である。光路には、光路軸が含まれてもよい。
「放電空間」は、一対の放電電極の間に位置し、一対の放電電極の間のレーザガスを励起するための放電が発生する空間である。
「放電面」は、一対の放電電極を構成する各放電電極の表面のうち放電空間を画定する面である。一方の放電電極の放電面と他方の放電電極の放電面とは互いに対向する。
「放電生成物」は、放電空間で発生する放電によりレーザガスが電離することによって生成されるイオンや活性種である。
「Ｚ軸」は、ガスレーザ装置のチャンバ内にある放電空間の中心軸である。
「Ｚ軸方向」は、パルスレーザ光が進行する方向と略一致する方向である。
「Ｙ軸」は、ガスレーザ装置のチャンバ内にある放電空間の中心軸であるＺ軸に直交する軸であって、一対の放電電極が互いに対向する方向に沿った軸である。
「Ｙ軸方向」は、放電空間で発生する放電における電流が流れる方向である。
「Ｘ軸」は、ガスレーザ装置のチャンバ内にある放電空間の中心軸であるＺ軸に直交する軸であって、一対の放電電極が互いに対向する方向に沿った軸であるＹ軸に直交する軸である。
「Ｘ軸方向」は、放電空間においてレーザガスが流れる方向である。
「上流」は、放電空間を流れるレーザガスのレーザガス流における上流である。
「下流」は、放電空間を流れるレーザガスのレーザガス流における下流である。
【００１３】
［２．課題］
図１〜図３を用いて、比較例のレーザチャンバ１０を備えるガスレーザ装置１及び課題について説明する。
比較例に係るガスレーザ装置１は、放電励起式のガスレーザ装置であってもよい。ガスレーザ装置１は、エキシマレーザ装置であってもよい。レーザ媒質であるレーザガスは、レアガスとしてアルゴン若しくはクリプトン若しくはキセノン、ハロゲンガスとしてフッ素若しくは塩素、バッファガスとしてネオン若しくはヘリウム、又はこれらの混合ガスを用いて構成されてもよい。
【００１４】
［２．１  比較例の構成］
図１は、比較例に係るガスレーザ装置１を説明するための図を示す。図２は、図１に示されたレーザチャンバ１０をＺ軸方向から視た図を示す。なお、図１及び図２では、ガスレーザ装置１の各構成要素を分かり易く図示するために、Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸が、紙面の隅に図示されている。
ガスレーザ装置１は、レーザチャンバ１０と、レーザ共振器と、モータ３１と、圧力センサ３２と、レーザガス供給部３３と、レーザガス排出部３４とを備えてもよい。更に、ガスレーザ装置１は、充電器３５と、パルスパワーモジュール（Pulse Power Module：ＰＰＭ）３６と、パルスエネルギ計測器３９と、制御部４０とを備えてもよい。
【００１５】
レーザチャンバ１０は、その内部にレーザガスが封入されていてもよい。
レーザチャンバ１０の内部空間を形成する壁１０ａは、例えばアルミ等の金属材料で形成されてもよい。当該金属材料の表面には、例えばニッケルめっきが施されてもよい。
レーザチャンバ１０の壁１０ａは、グランドに接続されてもよい。
レーザチャンバ１０は、一対の放電電極１１と、フィードスルー１２と、プレート１３と、配線１４と、予備電離放電部１５と、金属部材１６ａ〜１６ｃと、第１絶縁部材１７と、第２絶縁部材１８と、第１金属ダンパ部材１９ａ及び１９ｂと、第２金属ダンパ部材２０とを含んでもよい。更に、レーザチャンバ１０は、ファン２１と、熱交換器２２とを含んでもよい。
【００１６】
一対の放電電極１１は、第１放電電極１１ａと、第２放電電極１１ｂと、を含んでもよい。
第１及び第２放電電極１１ａ及び１１ｂは、レーザガスを主放電により励起するための電極であってもよい。主放電は、グロー放電であってもよい。
第１及び第２放電電極１１ａ及び１１ｂのそれぞれは、ハロゲンガスがフッ素を含む場合は銅を含む金属材料、ハロゲンガスが塩素を含む場合はニッケルを含む金属材料で形成されてもよい。
第１及び第２放電電極１１ａ及び１１ｂは、互いに所定距離だけ離隔して対向するように配置されてもよい。第１及び第２放電電極１１ａ及び１１ｂは、互いの長手方向が略平行となるように配置されてもよい。
第１及び第２放電電極１１ａ及び１１ｂは、それぞれカソード電極及びアノード電極であってもよい。
【００１７】
フィードスルー１２の一方の端部は、第１放電電極１１ａの放電面とは反対側の底面に接続されてもよい。
フィードスルー１２の他方の端部は、パルスパワーモジュール３６の負側の出力端子に接続されてもよい。
【００１８】
プレート１３は、第２放電電極１１ｂの放電面とは反対側の面に接続され、当該第２放電電極１１ｂを支持してもよい。
プレート１３は、レーザガスと反応し難い金属材料で形成されてもよい。プレート１３は、アルミや銅等を含む金属材料で形成され、その表面にはニッケルめっきが施されてもよい。
プレート１３は、レーザチャンバ１０の壁１０ａに固定されてもよい。
プレート１３は、レーザチャンバ１０の壁１０ａに配線１４を介して電気的に接続されてもよい。
【００１９】
配線１４の一方の端部は、プレート１３に接続されてもよい。
配線１４の他方の端部は、レーザチャンバ１０の壁１０ａを介して、パルスパワーモジュール３６のグランド側の端子に接続されてもよい。
配線１４は、第１及び第２放電電極１１ａ及び１１ｂの長手方向に沿って、所定間隔をあけて複数設けられてもよい。
【００２０】
予備電離放電部１５は、一対の放電電極１１による主放電の前段階として、コロナ放電によりレーザガスを予備電離するための電極であってもよい。
予備電離放電部１５は、プレート１３に固定されてもよい。
予備電離放電部１５は、第２放電電極１１ｂにおけるレーザガス流の上流側に配置されてもよい。
予備電離放電部１５は、誘電体パイプ１５ａと、予備電離内電極１５ｂと、予備電離外電極１５ｃと、ボルト１５ｄとを含んでもよい。
【００２１】
誘電体パイプ１５ａは、誘電体パイプ１５ａの長手方向と第２放電電極１１ｂの長手方向とが略平行となるように配置されてもよい。
予備電離内電極１５ｂは、誘電体パイプ１５ａの内側に挿入され、誘電体パイプ１５ａの内周面に固定されてもよい。予備電離内電極１５ｂの端部は、フィードスルー１２を介してパルスパワーモジュール３６と接続されてもよい。
予備電離外電極１５ｃは、屈曲部を有する板状に形成され、ボルト１５ｄを介して金属部材１６ｃに固定されてもよい。
【００２２】
金属部材１６ａは、第２放電電極１１ｂの下流側側面を覆うようにして第２放電電極１１ｂを保持してもよい。
金属部材１６ａは、第２放電電極１１ｂの長手方向に沿って延びる三角柱形状に形成されてもよい。
金属部材１６ａは、レーザガスと反応し難い金属材料で形成されてもよい。金属部材１６ａは、アルミや銅等を含む金属材料で形成され、その表面にはニッケルめっきが施されてもよい。
金属部材１６ａは、プレート１３に固定されてもよい。金属部材１６ａは、プレート１３と一体的に形成されてもよい。
金属部材１６ａは、第２放電電極１１ｂにおけるレーザガス流の下流側に配置されてもよい。
金属部材１６ａは、上流側から下流側に向かうに従って薄くなるように形成されてもよい。金属部材１６ａは、上流側から下流側に向かうに従って放電空間とは反対側に向かって傾斜する傾斜面を有してもよい。すなわち、金属部材１６ａにおける放電空間側の表面は、Ｘ軸の増加方向に向かうに従ってＸＺ平面から離れるように傾斜する傾斜面に形成されてもよい。言い換えると、金属部材１６ａにおける放電空間側の表面は、レーザガスの流れ方向に向かうに従って放電空間から離れるように傾斜する傾斜面に形成されてもよい。
金属部材１６ａの傾斜面は、第２絶縁部材１８及び第２金属ダンパ部材２０を支持してもよい。
【００２３】
金属部材１６ｂ及び１６ｃは、第２放電電極１１ｂの上流側側面を覆うようにして第２放電電極１１ｂを保持してもよい。
金属部材１６ｂ及び１６ｃは、第２放電電極１１ｂの長手方向に沿って延びる柱形状に形成されてもよい。
金属部材１６ｂ及び１６ｃは、金属部材１６ａと同様に、レーザガスと反応し難い金属材料で形成されてもよい。金属部材１６ｂ及び１６ｃは、アルミや銅等を含む金属材料で形成され、その表面にはニッケルめっきが施されてもよい。
金属部材１６ｂ及び１６ｃは、プレート１３に固定されてもよい。金属部材１６ｂ及び１６ｃは、プレート１３と一体的に形成されてもよい。
金属部材１６ｂ及び１６ｃは、第２放電電極１１ｂにおけるレーザガス流の上流側に配置されてもよい。
金属部材１６ｂ及び１６ｃは、上流側から下流側に向かうに従って厚くなるように形成されてもよい。金属部材１６ｂ及び１６ｃは、上流側から下流側に向かうに従って放電空間側に向かって傾斜する傾斜面を有してもよい。すなわち、金属部材１６ｂ及び１６ｃにおける放電空間側の表面は、Ｘ軸の増加方向に向かうに従ってＸＺ平面に近付くように傾斜する傾斜面に形成されてもよい。言い換えると、金属部材１６ｂ及び１６ｃにおける放電空間側の表面は、レーザガスの流れ方向に向かうに従って放電空間に近付くように傾斜する傾斜面に形成されてもよい。
金属部材１６ｂ及び１６ｃの傾斜面は、第１金属ダンパ部材１９ａ及び１９ｂをそれぞれ支持してもよい。
【００２４】
第１絶縁部材１７は、第１放電電極１１ａ及びフィードスルー１２と、レーザチャンバ１０の壁１０ａとを電気的に絶縁する部材であってもよい。
第１絶縁部材１７は、第１放電電極１１ａ及びフィードスルー１２の側面を囲むようにして第１放電電極１１ａ及びフィードスルー１２を保持してもよい。
第１絶縁部材１７は、レーザガスと反応し難い絶縁材料で形成されてもよい。レーザガスがフッ素又は塩素を含む場合、第１絶縁部材１７は、例えば高純度のアルミナセラミックスで形成されてもよい。
第１絶縁部材１７は、レーザチャンバ１０の壁１０ａに固定されてもよい。
第１絶縁部材１７は、第１放電電極１１ａにおけるレーザガス流の上流側及び下流側に配置されてもよい。
第１絶縁部材１７は、ガイド部１７ａを含んでもよい。
【００２５】
ガイド部１７ａは、第１絶縁部材１７の放電空間側に位置する部分であって、ファン２１によって循環するレーザガスを放電空間に効率的に導入するための部分であってもよい。
第１放電電極１１ａの上流側に位置するガイド部１７ａは、上流側から下流側に向かうに従って厚くなるように形成されてもよい。第１放電電極１１ａの上流側に位置するガイド部１７ａは、上流側から下流側に向かうに従って放電空間側に向かって傾斜する傾斜面を有してもよい。すなわち、第１放電電極１１ａの上流側に位置するガイド部１７ａにおける放電空間側の表面は、Ｘ軸の増加方向に向かうに従ってＸＺ平面に近付くように傾斜する傾斜面に形成されてもよい。言い換えると、第１放電電極１１ａの上流側に位置するガイド部１７ａにおける放電空間側の表面は、レーザガスの流れ方向に向かうに従って放電空間に近付くように傾斜する傾斜面に形成されてもよい。
第１放電電極１１ａの下流側に位置するガイド部１７ａは、上流側から下流側に向かうに従って薄くなるように形成されてもよい。第１放電電極１１ａの下流側に位置するガイド部１７ａは、上流側から下流側に向かうに従って放電空間とは反対側に向かって傾斜する傾斜面を有してもよい。すなわち、第１放電電極１１ａの下流側に位置するガイド部１７ａにおける放電空間側の表面は、Ｘ軸の増加方向に向かうに従ってＸＺ平面から離れるように傾斜する傾斜面に形成されてもよい。言い換えると、第１放電電極１１ａの下流側に位置するガイド部１７ａにおける放電空間側の表面は、レーザガスの流れ方向に向かうに従って放電空間から離れるように傾斜する傾斜面に形成されてもよい。
【００２６】
第２絶縁部材１８は、第１放電電極１１ａから放電生成物を介して第２放電電極１１ｂ及び金属部材１６ａに向かう異常な放電を抑制する部材であってもよい。
第２絶縁部材１８は、第２放電電極１１ｂの下流側側面を覆うようにして第２放電電極１１ｂを保持してもよい。
第２絶縁部材１８は、第２放電電極１１ｂの長手方向に沿って延びる板状に形成されてもよい。
第２絶縁部材１８は、レーザガスと反応し難い絶縁材料で形成されてもよい。レーザガスがフッ素又は塩素を含む場合、第２絶縁部材１８は、例えば高純度のアルミナセラミックスで形成されてもよい。
第２絶縁部材１８は、第２放電電極１１ｂにおけるレーザガス流の下流側に配置されてもよい。第２絶縁部材１８は、第２放電電極１１ｂにおけるレーザガス流の下流側であって第２放電電極１１ｂに隣接して配置されてもよい。
第２絶縁部材１８は、金属部材１６ａの傾斜面上に固定されてもよい。第２絶縁部材１８は、金属部材１６ａの傾斜面に沿って傾斜するように配置されてもよい。第２絶縁部材１８における放電空間側の表面は、上流側から下流側に向かうに従って放電空間とは反対側に向かって傾斜してもよい。すなわち、第２絶縁部材１８における放電空間側の表面は、Ｘ軸の増加方向に向かうに従ってＸＺ平面から離れるように傾斜する傾斜面に形成されてもよい。言い換えると、第２絶縁部材１８における放電空間側の表面は、レーザガスの流れ方向に向かうに従って放電空間から離れるように傾斜する傾斜面に形成されてもよい。
第２絶縁部材１８における放電空間側の表面は、ファン２１によって循環するレーザガスを放電空間から効率的に導出し得る。
第２絶縁部材１８は、放電空間の近傍に滞留する放電生成物に対向するように配置されてもよい。第１放電電極１１ａから放電生成物を介して金属部材１６ａ及び第２金属ダンパ部材２０に向かう異常な放電が発生することを抑制し得る。
【００２７】
第１金属ダンパ部材１９ａ及び１９ｂは、放電空間での主放電に伴って発生する音響波を吸収する吸音部材であってもよい。
第１金属ダンパ部材１９ａ及び１９ｂは、第２放電電極１１ｂの上流側側面を覆うようにして第２放電電極１１ｂを保持してもよい。第１金属ダンパ部材１９ａ及び１９ｂは、予備電離放電部１５の側面を囲むように配置されてもよい。第１金属ダンパ部材１９ａ及び１９ｂは、金属部材１６ｂ及び１６ｃにそれぞれ固定されてもよい。
第１金属ダンパ部材１９ａ及び１９ｂは、多孔質金属、発泡金属及び網目状金属のうちの少なくとも１つを用いて形成されてもよい。これらの金属の材料は、レーザガスと反応し難い金属材料であってもよい。レーザガスがフッ素を含む場合、これらの金属の材料は、例えばニッケル、アルミ及び銅のうちの少なくとも１つであってもよい。レーザガスが塩素を含む場合、これらの金属の材料は、例えばニッケル及びアルミの何れかであってもよい。
第１金属ダンパ部材１９ａ及び１９ｂは、第２放電電極１１ｂにおけるレーザガス流の上流側に配置されてもよい。第１金属ダンパ部材１９ａ及び１９ｂは、第２放電電極１１ｂにおけるレーザガス流の上流側であって第２放電電極１１ｂに隣接して配置されてもよい。第１金属ダンパ部材１９ａは、予備電離放電部１５の上流側に配置されてもよい。第１金属ダンパ部材１９ｂは、第２放電電極１１ｂ及び予備電離放電部１５の間に配置されてもよい。
第１金属ダンパ部材１９ａ及び１９ｂは、上流側から下流側に向かうに従って放電空間側に向かって傾斜する傾斜面を有してもよい。すなわち、第１金属ダンパ部材１９ａ及び１９ｂにおける放電空間側の表面は、Ｘ軸の増加方向に向かうに従ってＸＺ平面に近付くように傾斜する傾斜面に形成されてもよい。言い換えると、第１金属ダンパ部材１９ａ及び１９ｂにおける放電空間側の表面は、レーザガスの流れ方向に向かうに従って放電空間に近付くように傾斜する傾斜面に形成されてもよい。
第１金属ダンパ部材１９ａ及び１９ｂにおける放電空間側の表面は、ファン２１によって循環するレーザガスを放電空間に効率的に導入し得る。
【００２８】
第２金属ダンパ部材２０は、第１金属ダンパ部材１９ａ及び１９ｂと同様に、放電空間での主放電に伴って発生する音響波を吸収する吸音部材であってもよい。
第２金属ダンパ部材２０は、第２放電電極１１ｂの長手方向に沿って延びる板状に形成されてもよい。
第２金属ダンパ部材２０は、第１金属ダンパ部材１９ａ及び１９ｂと同様に、多孔質金属、発泡金属及び網目状金属のうちの少なくとも１つを用いて形成されてもよい。これらの金属の材料は、レーザガスと反応し難い金属材料であってもよい。レーザガスがフッ素を含む場合、これらの金属の材料は、例えばニッケル、アルミ及び銅のうちの少なくとも１つであってもよい。レーザガスが塩素を含む場合、これらの金属の材料は、例えばニッケル及びアルミの何れかであってもよい。第２金属ダンパ部材２０は、第１金属ダンパ部材１９ａ及び１９ｂと略同一の材料で形成されてもよい。
第２金属ダンパ部材２０は、第２絶縁部材１８におけるレーザガス流の下流側に配置されてもよい。第２金属ダンパ部材２０は、第２絶縁部材１８におけるレーザガス流の下流側であって第２絶縁部材１８に隣接して接触するように配置されてもよい。
第２金属ダンパ部材２０は、金属部材１６ａの傾斜面上に固定されてもよい。第２金属ダンパ部材２０は、金属部材１６ａの傾斜面に沿って傾斜するように配置されてもよい。第２金属ダンパ部材２０における放電空間側の表面は、上流側から下流側に向かうに従って放電空間とは反対側に向かって傾斜してもよい。すなわち、第２金属ダンパ部材２０における放電空間側の表面は、Ｘ軸の増加方向に向かうに従ってＸＺ平面から離れるように傾斜する傾斜面に形成されてもよい。言い換えると、第２金属ダンパ部材２０における放電空間側の表面は、レーザガスの流れ方向に向かうに従って放電空間から離れるように傾斜する傾斜面に形成されてもよい。
第２金属ダンパ部材２０における放電空間側の表面は、ファン２１によって循環するレーザガスを放電空間から効率的に導出し得る。
第２金属ダンパ部材２０における放電空間側の表面は、第２絶縁部材１８における放電空間側の表面と略同一の平面内に位置してもよい。第２金属ダンパ部材２０の厚さは、第２絶縁部材１８の厚さと略同一であってもよい。
【００２９】
なお、第１金属ダンパ部材１９ａ及び１９ｂ並びに第２金属ダンパ部材２０が、セラミックス材料又は樹脂材料のダンパ部材に置換された場合、音響波の衝撃によってデブリやダスト等が発生し、主放電が不安定となることがあり得る。レーザチャンバ１０が第１金属ダンパ部材１９ａ及び１９ｂ並びに第２金属ダンパ部材２０を備えることは、好ましい。
【００３０】
ファン２１は、レーザガスをレーザチャンバ１０内で循環させてもよい。
ファン２１は、クロスフローファンであってもよい。
ファン２１は、第１及び第２放電電極１１ａ及び１１ｂの長手方向とファン２１の長手方向とが略平行となるように配置されてもよい。レーザガスの流れ方向は、第１及び第２放電電極１１ａ及び１１ｂの長手方向と略垂直な方向となり得る。
ファン２１は、不図示の磁気軸受によって磁気浮上し、モータ３１の駆動によって回転してもよい。
【００３１】
熱交換器２２は、熱交換器２２の内部に供給された冷媒とレーザガスとの間で熱交換を行ってもよい。
熱交換器２２の動作は、制御部４０によって制御されてもよい。
【００３２】
モータ３１は、ファン２１を回転させてもよい。
モータ３１は、直流モータや交流モータであってもよい。
モータ３１の動作は、制御部４０によって制御されてもよい。
【００３３】
圧力センサ３２は、レーザチャンバ１０内のガス圧を検出してもよい。
圧力センサ３２は、検出されたガス圧に応じた検出信号を制御部４０に出力してもよい。
【００３４】
レーザガス供給部３３は、レーザチャンバ１０内にレーザガスを供給してもよい。
レーザガス供給部３３は、不図示のガスボンベ及び流量調節器を含んで構成されてもよい。
レーザガス供給部３３の動作は、制御部４０によって制御されてもよい。
【００３５】
レーザガス排出部３４は、レーザチャンバ１０内のレーザガスをレーザチャンバ１０外に排出してもよい。
レーザガス排出部３４は、不図示の排気ポンプ及びバルブを含んで構成されてもよい。
レーザガス排出部３４の動作は、制御部４０によって制御されてもよい。
【００３６】
充電器３５は、パルスパワーモジュール３６内に含まれる不図示の充電コンデンサＣ０を所定電圧で充電する直流電源装置であってもよい。
充電器３５の動作は、制御部４０によって制御されてもよい。
【００３７】
パルスパワーモジュール３６は、一対の放電電極１１の間に高電圧のパルス電圧を印加してもよい。
パルスパワーモジュール３６は、予備電離放電部１５に含まれる予備電離内電極１５ｂ及び予備電離外電極１５ｃの間にパルス電圧を印加してもよい。
パルスパワーモジュール３６は、磁気スイッチの磁気飽和現象を利用してパルス圧縮を行う磁気圧縮回路を用いて構成されてもよい。
パルスパワーモジュール３６は、スイッチ３６ａを含んでもよい。スイッチ３６ａは、半導体スイッチであってもよい。
パルスパワーモジュール３６の動作は、スイッチ３６ａのＯＮ又はＯＦＦを切り替える制御部４０によって制御されてもよい。
【００３８】
レーザ共振器は、狭帯域化モジュール（Line Narrowing Module：ＬＮＭ）３７及び出力結合ミラー（Output Coupler：ＯＣ）３８によって構成されてもよい。
狭帯域化モジュール３７は、プリズム３７ａと、グレーティング３７ｂとを含んでもよい。
【００３９】
プリズム３７ａは、レーザチャンバ１０からウインドウ１０ｂを介して出力された光のビーム幅を拡大してもよい。プリズム３７ａは、拡大された光をグレーティング３７ｂ側に透過させてもよい。
【００４０】
グレーティング３７ｂは、表面に多数の溝が所定間隔で形成された波長分散素子であってもよい。
グレーティング３７ｂは、入射角度と回折角度とが同じ角度となるリトロー配置で配置されてもよい。
グレーティング３７ｂは、プリズム３７ａを透過した光のうち特定の波長付近の光を回折角度に応じて選択的に反射及び回折させ、レーザチャンバ１０内に戻してもよい。グレーティング３７ｂからレーザチャンバ１０に戻った光のスペクトル幅は、狭帯域化され得る。
【００４１】
出力結合ミラー３８は、ウインドウ１０ｃを介してレーザチャンバ１０から出力された光の一部をパルスレーザ光として透過させ、他の一部を反射させてレーザチャンバ１０に戻してもよい。
出力結合ミラー３８の表面には、部分反射膜がコーティングされていてもよい。
【００４２】
パルスエネルギ計測器３９は、出力結合ミラー３８を透過したパルスレーザ光のパルスエネルギを計測してもよい。
パルスエネルギ計測器３９は、ビームスプリッタ３９ａと、集光レンズ３９ｂと、光センサ３９ｃとを含んでもよい。
【００４３】
ビームスプリッタ３９ａは、パルスレーザ光の光路上に配置されてもよい。ビームスプリッタ３９ａは、出力結合ミラー３８を透過したパルスレーザ光を高透過率で露光装置１１０に向けて透過させてもよい。ビームスプリッタ３９ａは、出力結合ミラー３８を透過したパルスレーザ光の一部を、集光レンズ３９ｂに向けて反射させてもよい。
集光レンズ３９ｂは、ビームスプリッタ３９ａによって反射したパルスレーザ光を、光センサ３９ｃの受光面に集光してもよい。
光センサ３９ｃは、受光面に集光されたパルスレーザ光を検出してもよい。光センサ３９ｃは、検出されたパルスレーザ光のパルスエネルギを計測してもよい。光センサ３９ｃは、計測されたパルスエネルギを示す信号を制御部４０に出力してもよい。
【００４４】
制御部４０は、露光装置１１０に設けられた露光装置制御部１１１との間で各種信号を送受信してもよい。
例えば、制御部４０には、露光装置１１０に出力されるパルスレーザ光の目標パルスエネルギＥｔを指定する信号が、露光装置制御部１１１から送信されてもよい。制御部４０には、レーザ出力動作を開始する契機を与えるための発光トリガ信号が、露光装置制御部１１１から送信されてもよい。
制御部４０は、露光装置制御部１１１から送信された各種信号に基づいて、ガスレーザ装置１の各構成要素の動作を統括的に制御してもよい。
【００４５】
［２．２  比較例の動作］
ガスレーザ装置１の制御部４０は、露光装置制御部１１１から送信されたレーザ出力準備を指令する信号を受信してもよい。
制御部４０は、モータ３１を制御してファン２１を回転させてもよい。
レーザチャンバ１０内のレーザガスが循環し得る。レーザガスは、一対の放電電極１１の間の放電空間を流れ得る。放電空間を流れるレーザガスは、熱交換器２２に向かって流れ、熱交換器２２を通過する際に冷却され得る。熱交換器２２を通過したレーザガスは、ファン２１を通過して、レーザチャンバ１０内を再び放電空間に向かって流れ得る。
【００４６】
制御部４０は、露光装置制御部１１１から送信された目標パルスエネルギＥｔを指定する信号を受信してもよい。
制御部４０は、目標パルスエネルギＥｔに応じた電圧Ｖｈｖを充電器３５に設定してもよい。
充電器３５は、設定された電圧Ｖｈｖに基づいて、充電コンデンサＣ０を充電し得る。
【００４７】
制御部４０は、露光装置制御部１１１から送信された発光トリガ信号を受信してもよい。
制御部４０は、発光トリガ信号をパルスパワーモジュール３６のスイッチ３６ａに出力してもよい。
発光トリガ信号がスイッチ３６ａに入力されると、スイッチ３６ａはＯＮ状態となり得る。すると、パルスパワーモジュール３６は、内部の充電コンデンサＣ０が磁気圧縮回路にパルス電流を流してパルス幅を圧縮し得る。そして、パルスパワーモジュール３６は、予備電離内電極１５ｂ及び予備電離外電極１５ｃの間、並びに、一対の放電電極１１の間に、パルス電圧を印加し得る。
それにより、一対の放電電極１１の間の放電空間にあるレーザガスが予備電離され得る。そして、一対の放電電極１１の間に印加されるパルス電圧がレーザガスの絶縁耐圧より大きくなると、レーザガスは絶縁破壊され得る。すると、一対の放電電極１１の間の放電空間には主放電が発生し得る。このとき、主放電により電子が移動する方向は、カソード電極である第１放電電極１１ａからアノード電極である第２放電電極１１ｂに向かう方向であり得る。
【００４８】
主放電が発生すると、一対の放電電極１１の間の放電空間にあるレーザガスは励起されて光を放出し得る。
レーザガスから放出された光は、レーザ共振器を構成する狭帯域化モジュール３７及び出力結合ミラー３８で反射され、レーザ共振器内を往復し得る。レーザ共振器内を往復する光は、狭帯域化モジュール３７により狭帯域化され得る。レーザ共振器内を往復する光は、一対の放電電極１１の間を通過する度に増幅される。
その後、増幅された光の一部は、出力結合ミラー３８を透過し得る。出力結合ミラー３８を透過した光は、パルスレーザ光として露光装置１１０に出力され得る。
【００４９】
出力結合ミラー３８を透過したパルスレーザ光の一部は、パルスエネルギ計測器３９に入射し得る。パルスエネルギ計測器３９は、入射したパルスレーザ光のパルスエネルギを計測し、パルスエネルギの計測値Ｅを制御部４０に出力してもよい。
制御部４０は、パルスエネルギの計測値Ｅと目標パルスエネルギＥｔとの差分に応じて、充電器３５に設定する電圧Ｖｈｖをフィードバック制御してもよい。
【００５０】
制御部４０は、充電器３５に設定する電圧Ｖｈｖが許容範囲の上限を超える場合、レーザガス供給部３３を制御して、所定のガス圧になるまでレーザチャンバ１０内にレーザガスを供給してもよい。
一方、制御部４０は、充電器３５に設定する電圧Ｖｈｖが許容範囲の下限を超える場合、レーザガス排出部３４を制御して、所定のガス圧になるまでレーザチャンバ１０内からレーザガスを排出してもよい。
【００５１】
［２．３  課題］
図３は、比較例のレーザチャンバ１０の課題を説明するための図を示す。
主放電が発生すると、一対の放電電極１１の間の放電空間には音響波が発生し得る。
音響波は、一対の放電電極１１の近傍に配置された構成要素によって反射され、再び放電空間に戻ることがあり得る。それにより、放電空間を流れるレーザガスの密度が変動し、主放電が不安定となることがあり得る。その結果、出力されるパルスレーザ光の性能が悪化することがあり得る。
ここで、第１放電電極１１ａの近傍に配置されたガイド部１７ａは電気絶縁材料で構成され得る。また、音響波は、ガイド部１７ａに到達し得る。このため、電気絶縁材料で構成され得るガイド部１７ａにダンパ部材を適用することによって、ガイド部１７ａに到達し得る音響波を吸収することが考えられる。しかし、音響波を効果的に吸収し得るような所望の性能を有すると共に電気絶縁材料で構成されたダンパ部材は、市販されていない。したがって、ガイド部１７ａは、第１絶縁部材１７の一部として構成され、ガイド部１７ａに到達した音響波は、ガイド部１７ａで反射され得る。
そこで、比較例に係るガスレーザ装置１では、第２放電電極１１ｂの近傍に第１金属ダンパ部材１９ａ及び１９ｂ並びに第２金属ダンパ部材２０を配置することで、音響波を吸収し得る。それにより、比較例に係るガスレーザ装置１では、音響波の影響によりパルスレーザ光の性能が悪化することを抑制し得る。
【００５２】
しかしながら、比較例のレーザチャンバ１０では、第２金属ダンパ部材２０の加工精度の問題から、音響波が再び放電空間に戻ることに関して改善の余地がある。
例えば、図３に示されるように、第２金属ダンパ部材２０における放電空間側の表面２０ａと、第２金属ダンパ部材２０における第２絶縁部材１８側の側面２０ｂとが成す角部２０ｃの角度を、θ１とする。第２絶縁部材１８における放電空間側の表面１８ａと、第２絶縁部材１８における第２金属ダンパ部材２０側の側面１８ｂとが成す角部１８ｃの角度を、θ２とする。なお、第２金属ダンパ部材２０の厚さｔ１は、第２絶縁部材１８の厚さｔ２と略同一であるとする。
このとき、第２金属ダンパ部材２０の角度θ１及び第２絶縁部材１８の角θ２は、それぞれの加工公差の範囲でばらつき得る。特に、第２金属ダンパ部材２０は、多孔質金属、発泡金属及び網目状金属のうちの少なくとも１つを用いて形成され得るため、角度θ１は角度θ２よりも大きくばらつき得る。
このため、角度θ１と角度θ２との合計が１８０°より小さくなり、第２金属ダンパ部材２０と第２絶縁部材１８との境界部分には、放電空間側に開口する隙間Ｗが形成されることがあり得る。隙間Ｗの大きさは、例えば０ｍｍ〜０．３７ｍｍの範囲でばらつき得る。
それにより、比較例のレーザチャンバ１０では、主放電により発生した音響波が、隙間Ｗに進入して反射され、再び放電空間に戻ってしまうことがあり得る。
その結果、比較例のレーザチャンバ１０では、音響波の影響によりパルスレーザ光の性能が悪化することがあり得る。
よって、第２金属ダンパ部材２０の寸法がばらついても、音響波の影響によりパルスレーザ光の性能が悪化することを抑制し得る技術が望まれている。
【００５３】
ここで、図３を用いて、Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸について詳しく説明する。
Ｚ軸は、上述のように、放電空間の中心軸である。
第１放電電極１１ａの放電面と第２放電電極１１ｂの放電面との中間に位置する面を、中心面Ａとする。レーザガスの流れ方向における第１及び第２放電電極１１ａ及び１１ｂの幅の中心を通り、第１及び第２放電電極１１ａ及び１１ｂの対向方向に略平行な面を、中心面Ｂとする。
このとき、中心面Ａ及び中心面Ｂは略直交し得る。Ｚ軸は、中心面Ａ及び中心面Ｂが交差することで形成される軸であってもよい。
【００５４】
また、Ｙ軸は、上述のように、放電空間の中心軸であるＺ軸に直交する軸であって、第１及び第２放電電極１１ａ及び１１ｂの対向方向に沿った軸である。
Ｙ軸は、中心面Ａに略直交すると共に中心面Ｂ内に含まれる軸であってもよい。Ｙ軸方向は、第１放電電極１１ａがカソード電極であり第２放電電極１１ｂがアノード電極である場合、放電空間で発生する主放電において電流が流れる方向であってもよい。
【００５５】
また、Ｘ軸は、上述ように、放電空間の中心軸であるＺ軸に直交する軸であって、第１及び第２放電電極１１ａ及び１１ｂの対向方向に沿った軸であるＹ軸に直交する軸である。
Ｘ軸は、中心面Ｂに略直交すると共に中心面Ａ内に含まれる軸であってもよい。Ｘ軸方向は、放電空間においてレーザガスが流れる方向であってもよい。
【００５６】
［３．第１実施形態］
図４〜図６を用いて、第１実施形態のレーザチャンバ１０について説明する。
第１実施形態のレーザチャンバ１０は、図１〜図３に示された比較例のレーザチャンバ１０に対して、第２金属ダンパ部材２０及び第２絶縁部材１８の構成が主に異なってもよい。
第１実施形態のレーザチャンバ１０及びガスレーザ装置１の構成において、比較例のレーザチャンバ１０及びガスレーザ装置１と同様の構成については説明を省略する。
【００５７】
［３．１  構成］
図４は、第１実施形態のレーザチャンバ１０に含まれる第２金属ダンパ部材２０及び第２絶縁部材１８を説明するための図を示す。
第１実施形態に係る第２金属ダンパ部材２０は、放電空間側の表面２０ａが、第２絶縁部材１８における放電空間側の表面１８ａと略同一の平面内に位置しなくてもよい。
具体的には、第２金属ダンパ部材２０と第２絶縁部材１８との境界部分において、第２金属ダンパ部材２０における放電空間側の表面２０ａは、第２絶縁部材１８における放電空間側の表面１８ａよりも、放電空間とは反対側に位置してもよい。すなわち、第２金属ダンパ部材２０における放電空間側の表面２０ａは、第２絶縁部材１８における放電空間側の表面１８ａよりも、−Ｙ方向側にずれた位置にあってもよい。
金属部材１６ａの傾斜面が略一様な平面である場合、第２金属ダンパ部材２０の厚さｔ１は、第２絶縁部材１８の厚さｔ２より薄くてもよい。
【００５８】
これに加えて、第２金属ダンパ部材２０における放電空間側の表面２０ａと第２絶縁部材１８側の側面２０ｂとが成す角部２０ｃは、第２絶縁部材１８における第２金属ダンパ部材２０側の側面１８ｂと接触してもよい。
【００５９】
また、第２金属ダンパ部材２０の角部２０ｃの角度θ１と、第２絶縁部材１８の角部１８ｃの角度θ２との合計は、１８０°より小さくてもよい。すなわち、角度θ１と角度θ２とは、次式のような関係であってもよい。
θ１＋θ２＜１８０°
ここで、角度θ１は、第２金属ダンパ部材２０の加工公差によるばらつきを考慮した値であってもよい。すなわち、角部２０ｃにおける角度の加工公差をΔθ１とし、角部２０ｃにおける角度の設計寸法をθ１’とすると、角度θ１は、次式によって表現されてもよい。
θ１＝θ１’＋Δθ１
角度θ２も、角度θ１と同様に、第２絶縁部材１８の加工公差によるばらつきを考慮した値であってもよい。
【００６０】
第１実施形態に係る第２金属ダンパ部材２０及び第２絶縁部材１８の他の構成については、比較例に係る第２金属ダンパ部材２０及び第２絶縁部材１８と同様であってもよい。
第１実施形態のレーザチャンバ１０及びガスレーザ装置１の他の構成については、比較例のレーザチャンバ１０及びガスレーザ装置１と同様であってもよい。
【００６１】
［３．２  動作及び作用効果］
上述のように、第２金属ダンパ部材２０と第２絶縁部材１８との境界部分において、第２金属ダンパ部材２０の表面２０ａは、第２絶縁部材１８の表面１８ａよりも放電空間とは反対側に位置してもよい。
このため、主放電により発生した音響波は、第２金属ダンパ部材２０の表面２０ａ及び第２絶縁部材１８の表面１８ａで反射された後、放電空間から遠ざかるように進行し得る。
【００６２】
これに加えて、上述のように、第２金属ダンパ部材２０の角部２０ｃは、第２絶縁部材１８の側面１８ｂと接触してもよい。
すなわち、第２金属ダンパ部材２０と第２絶縁部材１８との境界部分には、放電空間側に開口する隙間Ｗが形成され難くなり得る。
このため、主放電により発生した音響波の隙間Ｗへの進入自体が発生し難くなり得る。
【００６３】
それにより、第１実施形態のレーザチャンバ１０は、主放電により発生した音響波が再び放電空間に戻ることを抑制し得る。
その結果、第１実施形態のレーザチャンバ１０は、音響波の影響によりパルスレーザ光の性能が悪化することを抑制し得る。
【００６４】
また、第１実施形態のレーザチャンバ１０は、第２金属ダンパ部材２０が加工公差による寸法ばらつきを考慮して形成されているため、製品の仕上がりや個体差に関わりなく、音響波が再び放電空間に戻ることを抑制し得る。
その結果、第１実施形態のレーザチャンバ１０は、音響波の影響によりパルスレーザ光の性能が悪化することを安定して抑制し得る。
なお、パルスレーザ光の性能は、ビームプロファイル、ビームポインティング、波長安定性、スペクトル幅、スペクトル波形及びパルスエネルギの安定性等であり得る。
【００６５】
［３．３  第１実施形態の変形例］
図５は、第１実施形態の変形例１に係るレーザチャンバ１０に含まれる第２金属ダンパ部材２０及び第２絶縁部材１８を説明するための図を示す。
第１実施形態の変形例１に係る第２金属ダンパ部材２０及び第２絶縁部材１８は、第１実施形態と同様に、第２金属ダンパ部材２０の厚さｔ１が第２絶縁部材１８の厚さｔ２より薄くてもよい。
第１実施形態の変形例１に係る第２金属ダンパ部材２０及び第２絶縁部材１８は、第１実施形態とは異なり、放電空間とは反対側の各表面が略同一の平面内に位置していなくてもよい。
【００６６】
例えば、第１実施形態の変形例１に係る金属部材１６ａの傾斜面には、略一様な平面ではなく、図５に示されるように、第２金属ダンパ部材２０と第２絶縁部材１８との境界部分に対応する箇所に段差が形成されてもよい。
この段差は、金属部材１６ａの傾斜面に配置された第２金属ダンパ部材２０の表面２０ａが第２絶縁部材１８の表面１８ａよりも放電空間とは反対側に位置するように形成されていればよい。すなわち、この段差は、第２金属ダンパ部材２０における放電空間側の表面２０ａが、第２絶縁部材１８における放電空間側の表面１８ａよりも、−Ｙ方向側にずれた位置となるように形成されていればよい。加えて、この段差は、金属部材１６ａの傾斜面に配置された第２金属ダンパ部材２０の角部２０ｃが第２絶縁部材１８の側面１８ｂと接触するように形成されていればよい。
すなわち、金属部材１６ａの傾斜面には、第２金属ダンパ部材２０と第２絶縁部材１８との境界部分に対応する箇所において、放電空間側に隆起した段差が形成されてもよい。
そして、第２金属ダンパ部材２０及び第２絶縁部材１８は、この段差が形成された金属部材１６ａの傾斜面上に固定されてもよい。
【００６７】
第１実施形態の変形例１に係る第２金属ダンパ部材２０及び第２絶縁部材１８の他の構成については、第１実施形態に係る第２金属ダンパ部材２０及び第２絶縁部材１８と同様であってもよい。
第１実施形態の変形例１に係るレーザチャンバ１０及びガスレーザ装置１の他の構成については、第１実施形態のレーザチャンバ１０及びガスレーザ装置１と同様であってもよい。
【００６８】
それにより、第１実施形態の変形例１に係るレーザチャンバ１０は、第１実施形態と同様に、主放電により発生した音響波が再び放電空間に戻ることを抑制し得るため、音響波の影響によりパルスレーザ光の性能が悪化することを抑制し得る。
【００６９】
図６は、第１実施形態の変形例２に係るレーザチャンバ１０に含まれる第２金属ダンパ部材２０及び第２絶縁部材１８を説明するための図を示す。
第１実施形態の変形例２に係る第２金属ダンパ部材２０及び第２絶縁部材１８は、第１実施形態とは異なり、第２金属ダンパ部材２０の厚さｔ１が第２絶縁部材１８の厚さｔ２と略同一であってもよい。
この場合、第１実施形態の変形例２に係る金属部材１６ａの傾斜面には、略一様な平面ではなく、図６に示されるように、第２金属ダンパ部材２０と第２絶縁部材１８との境界部分に対応する箇所に段差が形成されてもよい。
この段差は、金属部材１６ａの傾斜面に配置された第２金属ダンパ部材２０の表面２０ａが第２絶縁部材１８の表面１８ａよりも放電空間とは反対側に位置するように形成されていればよい。すなわち、この段差は、第２金属ダンパ部材２０における放電空間側の表面２０ａが、第２絶縁部材１８における放電空間側の表面１８ａよりも、−Ｙ方向側にずれた位置となるように形成されていればよい。加えて、この段差は、金属部材１６ａの傾斜面に配置された第２金属ダンパ部材２０の角部２０ｃが第２絶縁部材１８の側面１８ｂと接触するように形成されていればよい。
すなわち、金属部材１６ａの傾斜面には、第２金属ダンパ部材２０と第２絶縁部材１８との境界部分に対応する箇所において、放電空間とは反対側に沈下した段差が形成されてもよい。
そして、第２金属ダンパ部材２０及び第２絶縁部材１８は、この段差が形成された金属部材１６ａの傾斜面上に固定されてもよい。
【００７０】
第１実施形態の変形例２に係る第２金属ダンパ部材２０及び第２絶縁部材１８の他の構成については、第１実施形態に係る第２金属ダンパ部材２０及び第２絶縁部材１８と同様であってもよい。
第１実施形態の変形例２に係るレーザチャンバ１０及びガスレーザ装置１の他の構成については、第１実施形態のレーザチャンバ１０及びガスレーザ装置１と同様であってもよい。
【００７１】
それにより、第１実施形態の変形例２に係るレーザチャンバ１０は、第１実施形態と同様に、主放電により発生した音響波が再び放電空間に戻ることを抑制し得るため、音響波の影響によりパルスレーザ光の性能が悪化することを抑制し得る。
【００７２】
［４．第２実施形態］
図７〜図９を用いて、第２実施形態のレーザチャンバ１０について説明する。
上述の第１実施形態では、第２金属ダンパ部材２０の角度θ１と第２絶縁部材１８の角度θ２との合計が１８０°より小さい場合について説明した。
しかしながら、本開示の第２金属ダンパ部材２０の角度θ１と第２絶縁部材１８の角度θ２との関係は、これに限定されない。
第２実施形態のレーザチャンバ１０及びガスレーザ装置１の構成において、第１実施形態のレーザチャンバ１０及びガスレーザ装置１と同様の構成については説明を省略する。
【００７３】
［４．１  構成、動作及び作用効果］
図７は、第２実施形態のレーザチャンバ１０に含まれる第２金属ダンパ部材２０及び第２絶縁部材１８を説明するための図を示す。
第２実施形態に係る第２金属ダンパ部材２０及び第２絶縁部材１８は、第１実施形態と同様に、第２金属ダンパ部材２０の厚さｔ１が第２絶縁部材１８の厚さｔ２より薄くてもよい。
第２実施形態に係る第２金属ダンパ部材２０及び第２絶縁部材１８は、第１実施形態とは異なり、第２金属ダンパ部材２０の角度θ１と第２絶縁部材１８の角度θ２との合計が略１８０°であってもよい。
例えば、第２実施形態に係る第２金属ダンパ部材２０の角度θ１と第２絶縁部材１８の角度θ２は、図７に示されるように、それぞれ略９０°であってもよい。
【００７４】
但し、第２実施形態に係る第２金属ダンパ部材２０及び第２絶縁部材１８は、第１実施形態と同様に、次のような関係にあってもよい。
すなわち、第２金属ダンパ部材２０と第２絶縁部材１８との境界部分において、第２金属ダンパ部材２０における放電空間側の表面２０ａは、第２絶縁部材１８における放電空間側の表面１８ａよりも、放電空間とは反対側に位置してもよい。すなわち、第２金属ダンパ部材２０における放電空間側の表面２０ａは、第２絶縁部材１８における放電空間側の表面１８ａよりも、−Ｙ方向側にずれた位置にあってもよい。加えて、第２金属ダンパ部材２０における放電空間側の表面２０ａと第２絶縁部材１８側の側面２０ｂとが成す角部２０ｃは、第２絶縁部材１８における第２金属ダンパ部材２０側の側面１８ｂと接触してもよい。
【００７５】
また、第２実施形態に係る第２金属ダンパ部材２０の側面２０ｂは、第２絶縁部材１８の側面１８ｂと接合してもよい。
【００７６】
第２実施形態に係る第２金属ダンパ部材２０及び第２絶縁部材１８の他の構成については、第１実施形態に係る第２金属ダンパ部材２０及び第２絶縁部材１８と同様であってもよい。
第２実施形態のレーザチャンバ１０及びガスレーザ装置１の他の構成については、第１実施形態のレーザチャンバ１０及びガスレーザ装置１と同様であってもよい。
【００７７】
それにより、第２実施形態のレーザチャンバ１０は、第１実施形態と同様に、主放電により発生した音響波が再び放電空間に戻ることを抑制し得るため、音響波の影響によりパルスレーザ光の性能が悪化することを抑制し得る。
【００７８】
［４．２  第２実施形態の変形例］
図８は、第２実施形態の変形例１に係るレーザチャンバ１０に含まれる第２金属ダンパ部材２０及び第２絶縁部材１８を説明するための図を示す。
第２実施形態の変形例１に係る第２金属ダンパ部材２０及び第２絶縁部材１８は、第１実施形態の変形例１と同様に、第２金属ダンパ部材２０の厚さｔ１が第２絶縁部材１８の厚さｔ２より薄くてもよい。
第２実施形態の変形例１に係る第２金属ダンパ部材２０及び第２絶縁部材１８は、第１実施形態の変形例１と同様に、放電空間とは反対側の各表面が略同一の平面内に位置していなくてもよい。
すなわち、第２実施形態の変形例１に係る金属部材１６ａの傾斜面には、第２金属ダンパ部材２０と第２絶縁部材１８との境界部分に対応する箇所に段差が形成されてもよい。具体的には、金属部材１６ａの傾斜面には、第１実施形態の変形例１と同様に、第２金属ダンパ部材２０と第２絶縁部材１８との境界部分に対応する箇所において、放電空間側に隆起した段差が形成されてもよい。そして、第２金属ダンパ部材２０及び第２絶縁部材１８は、この段差が形成された金属部材１６ａの傾斜面上に固定されてもよい。
【００７９】
第２実施形態の変形例１に係る第２金属ダンパ部材２０及び第２絶縁部材１８の他の構成については、第２実施形態に係る第２金属ダンパ部材２０及び第２絶縁部材１８と同様であってもよい。
第２実施形態の変形例１に係るレーザチャンバ１０及びガスレーザ装置１の他の構成については、第２実施形態のレーザチャンバ１０及びガスレーザ装置１と同様であってもよい。
【００８０】
図９は、第２実施形態の変形例２に係るレーザチャンバ１０に含まれる第２金属ダンパ部材２０及び第２絶縁部材１８を説明するための図を示す。
第２実施形態の変形例２に係る第２金属ダンパ部材２０及び第２絶縁部材１８は、第１実施形態の変形例２と同様に、第２金属ダンパ部材２０の厚さｔ１が第２絶縁部材１８の厚さｔ２と略同一であってもよい。
第２実施形態の変形例２に係る金属部材１６ａの傾斜面には、第２金属ダンパ部材２０と第２絶縁部材１８との境界部分に対応する箇所に段差が形成されてもよい。具体的には、金属部材１６ａの傾斜面には、第１実施形態の変形例２と同様に、第２金属ダンパ部材２０と第２絶縁部材１８との境界部分に対応する箇所において、放電空間とは反対側に沈下した段差が形成されてもよい。そして、第２金属ダンパ部材２０及び第２絶縁部材１８は、この段差が形成された金属部材１６ａの傾斜面上に固定されてもよい。
【００８１】
第２実施形態の変形例２に係る第２金属ダンパ部材２０及び第２絶縁部材１８の他の構成については、第２実施形態に係る第２金属ダンパ部材２０及び第２絶縁部材１８と同様であってもよい。
第２実施形態の変形例２に係るレーザチャンバ１０及びガスレーザ装置１の他の構成については、第２実施形態のレーザチャンバ１０及びガスレーザ装置１と同様であってもよい。
【００８２】
［５．第３実施形態］
図１０〜図１２を用いて、第３実施形態のレーザチャンバ１０について説明する。
上述の第１及び第２実施形態では、第２金属ダンパ部材２０における放電空間側の表面２０ａが、第２絶縁部材１８における放電空間側の表面１８ａと異なる平面内に位置していた。
しかしながら、本開示の第２金属ダンパ部材２０の表面２０ａと第２絶縁部材１８の表面１８ａとの関係は、これに限定されない。
第３実施形態のレーザチャンバ１０及びガスレーザ装置１の構成において、第１実施形態のレーザチャンバ１０及びガスレーザ装置１と同様の構成については説明を省略する。
【００８３】
［５．１  構成、動作及び作用効果］
図１０は、第３実施形態のレーザチャンバ１０に含まれる第２金属ダンパ部材２０及び第２絶縁部材１８を説明するための図を示す。
第３実施形態に係る第２金属ダンパ部材２０は、放電空間側の表面２０ａが、第２絶縁部材１８における放電空間側の表面１８ａと略同一の平面内に位置してもよい。
金属部材１６ａの傾斜面が略一様な平面である場合、第２金属ダンパ部材２０の厚さｔ１は、第２絶縁部材１８の厚さｔ１と略同一であってもよい。
【００８４】
これに加えて、第２金属ダンパ部材２０の角部２０ｃは、第２絶縁部材１８の角部１８ｃと接触してもよい。
更に、第２金属ダンパ部材２０の角部２０ｃの角度θ１と、第２絶縁部材１８の角部１８ｃの角度θ２との合計は、１８０°より小さくてもよい。
【００８５】
第３実施形態に係る第２金属ダンパ部材２０及び第２絶縁部材１８の他の構成については、第１実施形態に係る第２金属ダンパ部材２０及び第２絶縁部材１８と同様であってもよい。
第３実施形態のレーザチャンバ１０及びガスレーザ装置１の他の構成については、第１実施形態のレーザチャンバ１０及びガスレーザ装置１と同様であってもよい。
【００８６】
それにより、第３実施形態のレーザチャンバ１０は、第１実施形態と同様に、主放電により発生した音響波が再び放電空間に戻ることを抑制し得るため、音響波の影響によりパルスレーザ光の性能が悪化することを抑制し得る。
【００８７】
［５．２  第３実施形態の変形例］
図１１は、第３実施形態の変形例１に係るレーザチャンバ１０に含まれる第２金属ダンパ部材２０及び第２絶縁部材１８を説明するための図を示す。
第３実施形態の変形例１に係る第２金属ダンパ部材２０の厚さｔ１は、第３実施形態とは異なり、第２絶縁部材１８の厚さｔ２より薄くてもよい。
第３実施形態の変形例１に係る第２金属ダンパ部材２０及び第２絶縁部材１８は、第１実施形態の変形例１と同様に、放電空間とは反対側の各表面が略同一の平面内に位置していなくてもよい。
すなわち、第３実施形態の変形例１に係る金属部材１６ａの傾斜面には、第２金属ダンパ部材２０と第２絶縁部材１８との境界部分に対応する箇所に段差が形成されてもよい。具体的には、金属部材１６ａの傾斜面には、第１実施形態の変形例１と同様に、第２金属ダンパ部材２０と第２絶縁部材１８との境界部分に対応する箇所において、放電空間側に隆起した段差が形成されてもよい。そして、第２金属ダンパ部材２０及び第２絶縁部材１８は、この段差が形成された金属部材１６ａの傾斜面上に固定されてもよい。
【００８８】
第３実施形態の変形例１に係る第２金属ダンパ部材２０及び第２絶縁部材１８の他の構成については、第３実施形態に係る第２金属ダンパ部材２０及び第２絶縁部材１８と同様であってもよい。
第３実施形態の変形例１に係るレーザチャンバ１０及びガスレーザ装置１の他の構成については、第３実施形態のレーザチャンバ１０及びガスレーザ装置１と同様であってもよい。
【００８９】
図１２は、第３実施形態の変形例２に係るレーザチャンバ１０に含まれる第２金属ダンパ部材２０及び第２絶縁部材１８を説明するための図を示す。
第３実施形態の変形例２に係る第２金属ダンパ部材２０及び第２絶縁部材１８は、第２金属ダンパ部材２０の厚さｔ１が第２絶縁部材１８の厚さｔ２より厚くてもよい。
第３実施形態の変形例２に係る金属部材１６ａの傾斜面には、第２金属ダンパ部材２０と第２絶縁部材１８との境界部分に対応する箇所に段差が形成されてもよい。具体的には、金属部材１６ａの傾斜面には、第１実施形態の変形例２と同様に、第２金属ダンパ部材２０と第２絶縁部材１８との境界部分に対応する箇所において、放電空間側とは反対側に沈下した段差が形成されてもよい。そして、第２金属ダンパ部材２０及び第２絶縁部材１８は、この段差が形成された金属部材１６ａの傾斜面上に固定されてもよい。
【００９０】
第３実施形態の変形例２に係る第２金属ダンパ部材２０及び第２絶縁部材１８の他の構成については、第３実施形態に係る第２金属ダンパ部材２０及び第２絶縁部材１８と同様であってもよい。
第３実施形態の変形例２に係るレーザチャンバ１０及びガスレーザ装置１の他の構成については、第３実施形態のレーザチャンバ１０及びガスレーザ装置１と同様であってもよい。
【００９１】
［６．第４実施形態］
図１３〜図１７を用いて、第４実施形態のレーザチャンバ１０について説明する。
上述の第１〜第３実施形態では、第２金属ダンパ部材２０と第２絶縁部材１８との境界部分には、放電空間側に開口する隙間Ｗが形成され難くなっていた。
しかしながら、本開示の第２金属ダンパ部材２０と第２絶縁部材１８との境界部分には、比較例に係る境界部分と同様に、放電空間側に開口する隙間Ｗが形成されてもよい。
第４実施形態のレーザチャンバ１０及びガスレーザ装置１の構成において、比較例のレーザチャンバ１０及びガスレーザ装置１と同様の構成については説明を省略する。
【００９２】
［６．１  構成］
図１３は、第４実施形態のレーザチャンバ１０に含まれる第２金属ダンパ部材２０及び第２絶縁部材１８を説明するための図を示す。図１４は、図１３に示された第２金属ダンパ部材２０、第２絶縁部材１８及び第２放電電極１１ｂをＹ軸方向から視たときの概略図を示す。なお、図１４では、ガスレーザ装置１の各構成要素を分かり易く図示するために、Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸が、紙面の隅に図示されている。
第４実施形態に係る第２金属ダンパ部材２０と第２絶縁部材１８との境界部分は、第２放電電極１１ｂからの距離Ｄが、第２放電電極１１ｂの長手方向に亘って変化してもよい。
例えば、第４実施形態に係る第２金属ダンパ部材２０と第２絶縁部材１８との境界部分は、図１４に示されるように、第２放電電極１１ｂからの距離Ｄが、第２放電電極１１ｂの長手方向に亘って単調に増加してもよい。或いは、第４実施形態に係る第２金属ダンパ部材２０と第２絶縁部材１８との境界部分は、第２放電電極１１ｂからの距離Ｄが、第２放電電極１１ｂの長手方向に亘って単調に減少してもよい。
すなわち、第４実施形態に係る第２金属ダンパ部材２０と第２絶縁部材１８との境界部分は、Ｙ軸方向から視たときに第２放電電極１１ｂの長手方向に対して、距離Ｄの変化量ΔＤだけ傾斜した直線状に形成されてもよい。
【００９３】
この場合、第４実施形態に係る第２金属ダンパ部材２０及び第２絶縁部材１８のそれぞれは、レーザガスの流れ方向における幅の長さが、第２放電電極１１ｂの長手方向に沿って単調に変化するように形成されてもよい。
【００９４】
第４実施形態に係る第２金属ダンパ部材２０及び第２絶縁部材１８の他の構成については、比較例に係る第２金属ダンパ部材２０及び第２絶縁部材１８と同様であってもよい。
第４実施形態のレーザチャンバ１０及びガスレーザ装置１の他の構成については、比較例のレーザチャンバ１０及びガスレーザ装置１と同様であってもよい。
【００９５】
［６．２  動作及び作用効果］
主放電により発生した音響波は、隙間Ｗに進入して反射され得る。
しかしながら、音響波が隙間Ｗで反射されるタイミングは、第２金属ダンパ部材２０と第２絶縁部材１８との境界部分の第２放電電極１１ｂからの距離Ｄに応じて変化し得る。
すなわち、音響波の速度をＶとすると、音響波が隙間Ｗで反射されるタイミングは、第２放電電極１１ｂの長手方向に亘ってΔＤ／Ｖだけずれ得る。そして、音響波が再び放電空間に戻るタイミングは、ΔＤ／Ｖに基づいて、第２放電電極１１ｂの長手方向に亘って分散され得る。
よって、第４実施形態のレーザチャンバ１０では、主放電により発生した音響波が再び放電空間に戻っても、音響波によってパルスレーザ光の性能が悪化しない程度にΔＤを調整してもよい。
【００９６】
このように、第４実施形態のレーザチャンバ１０では、主放電により発生した音響波が再び放電空間に戻るタイミングを分散させ得る。
その結果、第４実施形態のレーザチャンバ１０は、音響波の影響によりパルスレーザ光の性能が悪化することを抑制し得る。
【００９７】
なお、第４実施形態に係る第２金属ダンパ部材２０及び第２絶縁部材１８には、第１〜第３実施形態及びそれらの変形例で説明した技術を組み合わせてもよい。すなわち、第１〜第３実施形態及びそれらの変形例で説明した上述の表面２０ａ及び１８ａの関係、角度θ１及びθ２の関係並びに厚さｔ１及びｔ２の関係は、第４実施形態に係る第２金属ダンパ部材２０及び第２絶縁部材１８に対して適用されてもよい。
その結果、第４実施形態のレーザチャンバ１０は、第１〜第３実施形態よりも、音響波の影響によりパルスレーザ光の性能が悪化することを更に抑制し得る。
【００９８】
［６．３  第４実施形態の変形例］
図１５は、第４実施形態の変形例１に係るレーザチャンバ１０に含まれる第２金属ダンパ部材２０及び第２絶縁部材１８を説明するための図を示す。図１６は、図１５に示された第２金属ダンパ部材２０、第２絶縁部材１８及び第２放電電極１１ｂをＹ軸方向から視たときの概略図を示す。なお、図１５及び図１６では、ガスレーザ装置１の各構成要素を分かり易く図示するために、Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸が、紙面の隅に図示されている。
第４実施形態の変形例１に係る第２金属ダンパ部材２０と第２絶縁部材１８との境界部分は、第２放電電極１１ｂからの距離Ｄが、第２放電電極１１ｂの長手方向に亘って非連続的に変化してもよい。
すなわち、第４実施形態の変形例１係る第２金属ダンパ部材２０と第２絶縁部材１８との境界部分は、Ｙ軸方向から視たときに１つの線上に形成されていなくてもよい。
【００９９】
具体的には、第４実施形態の変形例１に係る第２金属ダンパ部材２０及び第２絶縁部材１８は、第２放電電極１１ｂの長手方向に亘って、複数の領域Ｓ１〜Ｓｎに分割されていてもよい。このとき、境界部分の第２放電電極１１ｂからの距離Ｄは、複数の領域Ｓ１〜Ｓｎのそれぞれに対応して距離Ｄ１〜Ｄｎと示され得る。ｎは２以上の自然数であり得る。
そして、第２金属ダンパ部材２０と第２絶縁部材１８との境界部分は、第２放電電極１１ｂからの距離Ｄが、複数の領域Ｓ１〜Ｓｎのうちの少なくとも２つの領域Ｓにおいて互いに異なっていてもよい。すなわち、距離Ｄ１〜Ｄｎのうちの少なくとも２つの距離Ｄは、互いに異なっていてもよい。
【０１００】
但し、境界部分の第２放電電極１１ｂからの距離Ｄ１〜Ｄｎは、隣接する領域Ｓにおいて互いに異なっていると、音響波が再び放電空間に戻るタイミングが分散され易くなるため、好適であり得る。
また、複数の領域Ｓ１〜Ｓｎの分割数が多いほど、境界部分の第２放電電極１１ｂからの距離Ｄ１〜Ｄｎが変化し易くなり音響波が再び放電空間に戻るタイミングが分散され易くなるため、好適であり得る。
【０１０１】
第４実施形態の変形例１に係る第２金属ダンパ部材２０及び第２絶縁部材１８の他の構成については、第４実施形態に係る第２金属ダンパ部材２０及び第２絶縁部材１８と同様であってもよい。
第４実施形態の変形例１に係るレーザチャンバ１０及びガスレーザ装置１の他の構成については、第４実施形態のレーザチャンバ１０及びガスレーザ装置１と同様であってもよい。
【０１０２】
図１７は、第４実施形態の変形例２に係るレーザチャンバ１０に含まれる第２金属ダンパ部材２０及び第２絶縁部材１８を説明するための図を示す。なお、図１７では、ガスレーザ装置１の各構成要素を分かり易く図示するために、Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸が、紙面の隅に図示されている。
第４実施形態の変形例１に係る第２金属ダンパ部材２０と第２絶縁部材１８との境界部分は、第２放電電極１１ｂからの距離Ｄ１〜Ｄｎのそれぞれが、複数の領域Ｓ１〜Ｓｎのそれぞれの中で第２放電電極１１ｂの長手方向に亘って変化していてもよい。
【０１０３】
第４実施形態の変形例２に係る第２金属ダンパ部材２０及び第２絶縁部材１８の他の構成については、第４実施形態の変形例１に係る第２金属ダンパ部材２０及び第２絶縁部材１８と同様であってもよい。
第４実施形態の変形例２に係るレーザチャンバ１０及びガスレーザ装置１の他の構成については、第４実施形態の変形例１に係るレーザチャンバ１０及びガスレーザ装置１と同様であってもよい。
【０１０４】
それにより、第４実施形態の変形例２に係るレーザチャンバ１０は、第４実施形態の変形例１よりも、音響波の影響によりパルスレーザ光の性能が悪化することを更に抑制し得る。
【０１０５】
［７．その他］
ガスレーザ装置１は、エキシマレーザ装置ではなく、フッ素ガス及びバッファガスをレーザガスとするフッ素分子レーザ装置であってもよい。
【０１０６】
第１放電電極１１ａは、カソード電極ではなくアノード電極であってもよい。第２放電電極１１ｂは、アノード電極ではなくカソード電極であってもよい。
【０１０７】
上記で説明した実施形態は、変形例を含めて各実施形態同士で互いの技術を適用し得ることは、当業者には明らかであろう。
【０１０８】
上記の説明は、制限ではなく単なる例示を意図したものである。従って、添付の特許請求の範囲を逸脱することなく本開示の実施形態に変更を加えることができることは、当業者には明らかであろう。
【０１０９】
本明細書及び添付の特許請求の範囲全体で使用される用語は、「限定的でない」用語と解釈されるべきである。例えば、「含む」又は「含まれる」という用語は、「含まれるものとして記載されたものに限定されない」と解釈されるべきである。「有する」という用語は、「有するものとして記載されたものに限定されない」と解釈されるべきである。また、本明細書、及び添付の特許請求の範囲に記載される修飾語「１つの」は、「少なくとも１つ」又は「１又はそれ以上」を意味すると解釈されるべきである。
【符号の説明】
【０１１０】
１          …ガスレーザ装置
１０        …レーザチャンバ
１０ａ      …壁
１０ｂ      …ウインドウ
１０ｃ      …ウインドウ
１１        …一対の放電電極
１１ａ      …第１放電電極
１１ｂ      …第２放電電極
１２        …フィードスルー
１３        …プレート
１４        …配線
１５        …予備電離放電部
１５ａ      …誘電体パイプ
１５ｂ      …予備電離内電極
１５ｃ      …予備電離外電極
１５ｄ      …ボルト
１６ａ      …金属部材
１６ｂ      …金属部材
１６ｃ      …金属部材
１７        …第１絶縁部材
１７ａ      …ガイド部
１８        …第２絶縁部材
１８ａ      …表面
１８ｂ      …側面
１８ｃ      …角部
１９ａ      …第１金属ダンパ部材
１９ｂ      …第１金属ダンパ部材
２０        …第２金属ダンパ部材
２０ａ      …表面
２０ｂ      …側面
２０ｃ      …角部
２１        …ファン
２２        …熱交換器
３１        …モータ
３２        …圧力センサ
３３        …レーザガス供給部
３４        …レーザガス排出部
３５        …充電器
３６        …パルスパワーモジュール
３６ａ      …スイッチ
３７        …狭帯域化モジュール
３７ａ      …プリズム
３７ｂ      …グレーティング
３８        …出力結合ミラー
３９        …パルスエネルギ計測器
３９ａ      …ビームスプリッタ
３９ｂ      …集光レンズ
３９ｃ      …光センサ
４０        …制御部
１１０      …露光装置
１１１      …露光装置制御部
【図１】
2017022105.tif 000003
【図２】
2017022105.tif 000004
【図３】
2017022105.tif 000005
【図４】
2017022105.tif 000006
【図５】
2017022105.tif 000007
【図６】
2017022105.tif 000008
【図７】
2017022105.tif 000009
【図８】
2017022105.tif 000010
【図９】
2017022105.tif 000011
【図１０】
2017022105.tif 000012
【図１１】
2017022105.tif 000013
【図１２】
2017022105.tif 000014
【図１３】
2017022105.tif 000015
【図１４】
2017022105.tif 000016
【図１５】
2017022105.tif 000017
【図１６】
2017022105.tif 000018
【図１７】
2017022105.tif 000019
【国際調査報告】
2017022105.tif 000020
2017022105.tif 000021
2017022105.tif 000022
2017022105.tif 000023