【事件の表示】
　特許第５８８９５３７号発明「ダイボンダ」の特許異議申立事件について、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第５８８９５３７号の請求項１に係る特許を維持する。
【理　由】
第１　手続の経緯
　特許第５８８９５３７号（以下、「本件特許」という。）の請求項１に係る特許についての出願は、平成２３年３月２３日に特許出願され、平成２８年２月２６日に特許の設定登録がされ、その後、その特許について、特許異議申立人石田祥子により特許異議の申立てがされたものである。
第２　本件特許
　本件特許の請求項１に係る発明（以下、「本件特許発明」という。）は、その特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定される次のとおりのものである。
「ダイをピックアップするピックアップ装置と、
　前記ダイを吸着して基板上に実装するためのコレットと、
　前記基板上に前記ダイを実装する前に前記基板上の異物を除去するクリーニングノズルと、
を有し、
　前記基板はその移動方向に長い矩形状であり、
　前記クリーニングノズルの長手方向は前記基板の移動方向と同じ方向に配置され、
　前記クリーニングノズルは前記基板の上方に配置され、前記基板の移動方向と直交する方向に前記基板の幅に応じて設定された移動量を移動することを特徴とするダイボンダ。」
第３　申立ての概要
１　特許異議申立人の主張
　特許異議申立人は、下記２の証拠方法を提出し、（１）本件特許発明は、甲第１号証ないし甲第３号証、又は甲第１号証及び甲第４号証に記載された発明から、当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定に該当し、（２）本件特許の特許請求の範囲の記載は、本件特許発明が発明の詳細な説明に記載したものでないから、本件特許の請求項１に係る発明は、特許法第３６条第６項第１号に規定する要件を満たしていない特許出願に対してされたものである旨主張している。
２　証拠方法
甲第１号証：特開２００３−２１８１３６号公報
甲第２号証：特開２００２−１６６２３９号公報
甲第３号証：特開２００２−５０６５５号公報
甲第４号証：特開２０００−１０７７１５号公報
第４　甲号証の記載
１　甲第１号証の記載と甲１発明
（１）甲第１号証
　甲第１号証は、本件特許についての出願日前に日本国内において頒布された刊行物であって、次のとおりの記載がある。（下線は当審において付加した。以下同じ。）
ア「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、
基板に塗布されたボンド上にチップを搭載する電子部品実装装置
イ「【００１５】搬送路１００のボンド塗布手段２０よりも下流にはチップ搭載手段３０が設けられている。チップ搭載手段３０は、ヘッド移動機構３１やヘッド移動機構３１の前面に設けられた移載ヘッド３２等から成っている。移載ヘッド３２はチップＰを真空吸着するノズル３３を有している。移載ヘッド３２は、ノズル３３を上下動させる機能を有している。また移載ヘッド３２は、ヘッド移動機構３１によりＹ方向へ移動する。
また基板１１は、基板搬送手段３４により搬送路１００上をＸ方向へピッチ送りされる。
【００１６】チップ搭載ステージＢの側方にはチップ供給部４０が設けられている。本実施の形態では、
チップ供給部４０はテーブル４１上に複数のチップを貼着した粘着シート４２を保持している。
移載ヘッド３２は
粘着シート４２上のチップＰをノズル３３で真空吸着してピックアップし、基板１１の上方へ移動する。そこでノズル３３は上下動作を行い、チップＰを基板１１のチップ搭載位置１２に塗布されたボンド２４上に搭載する。
ウ　図１には、基板の長手方向がＸ方向であることが記載されている。
（２）甲１発明
　前記（１）より、甲第１号証には次の発明（以下、「甲１発明」という。」）が記載されていると認められる。
「テーブル４１上に複数のチップを貼着した粘着シート４２を保持しているチップ供給部４０と、
　粘着シート４２上のチップＰをノズル３３で真空吸着してピックアップし、基板１１の上方へ移動し、チップＰを基板１１のチップ搭載位置１２に塗布されたボンド２４上に搭載する移載ヘッドとを有し、
　基板１１は長手方向に、基板搬送手段３４により搬送路１００上をピッチ送りされる、
　基板に塗布されたボンド上にチップを搭載する電子部品実装装置。」
２　甲第２号証の記載
（１）甲第２号証
　甲第２号証は、本件特許についての出願日前に日本国内において頒布された刊行物であって、次のとおりの記載がある。
ア「【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ガラスなどの基板表面に付着している異物を超音波振動空気により除去する気体洗浄による基板洗浄方法に関するものである。
イ「【００１１】そのため、
本発明は、ガラスなどの被洗浄基板が載置されるテーブルと、同テーブル上の上記被洗浄基板を超音波振動空気により洗浄する洗浄ヘッドとを含み、上記テーブルの位置を固定とし、これに対して上記洗浄ヘッドを往復動させることを特徴としている。
【００１２】これによれば、洗浄ヘッドをテーブルの幅範囲内で移動させればよく、洗浄装置の占有スペースを従来装置の約半分とすることができる。」
ウ「【００２０】次に、図４を参照して、本発明の洗浄方法について説明する。
まず、図４（ａ）に示すように、洗浄ヘッド２０がテーブル１０の例えば左端位置の初期位置にあるとき、ワーク運搬手段（図示省略）により１枚目のガラス基板１ａがテーブル１０上に載置される。ガラス基板１ａはテーブル１０に負圧吸着される。
【００２１】
次に、図４（ｂ）に示すように、洗浄ヘッド２０が往路としてテーブル１０の右端位置に向けて走行し、超音波振動空気にてガラス基板１ａを洗浄する。そして、図４（ｃ）に示すように、洗浄ヘッド２０がテーブル１０の右端位置に到来すると、ワーク運搬手段により洗浄済みのガラス基板１ａがテーブル１０から外される
【００２２】しかる後、図４（ｄ）に示すように、ワーク運搬手段により２枚目のガラス基板１ｂがテーブル１０上に載置されると、洗浄ヘッド２０が復路としてテーブル１０の左端位置（初期位置）に向けて走行し、超音波振動空気にてガラス基板１ｂを洗浄する。そして、図４（ａ）の状態に戻り以下これを繰り返す。」
（２）甲２技術事項
　前記（１）より、甲第２号証には次の事項（以下、「甲２技術事項」という。）が記載されていると認められる。
「基板表面に付着している異物を除去する基板洗浄方法において、
　被洗浄基板が載置されるテーブルと、同テーブル上の上記被洗浄基板を超音波振動空気により洗浄する洗浄ヘッドとを有し、テーブルの位置は固定とし、
　洗浄ヘッドがテーブルの左端位置の初期位置にあるとき、ワーク運搬手段により１枚目の基板がテーブル上に載置され、基板はテーブルに負圧吸着され、
　洗浄ヘッドが往路としてテーブルの右端位置に向けて走行し、超音波振動空気にて基板を洗浄し、
　洗浄ヘッドがテーブルの右端位置に到来すると、ワーク運搬手段により洗浄済みの基板がテーブルから外されること。」　　　
３　甲第３号証の記載
（１）甲第３号証
　甲第３号証は、本件特許についての出願日前に日本国内において頒布された刊行物であって、次のとおりの記載がある。
ア「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、チップを基板に実装するチップ実装方法に係り、特に
基板に付着したゴミや汚れ等を洗浄してからチップを基板に実装するチップ実装方法及びこれに用いられる基板洗浄装置
イ「【００６６】図３にエアーブロー洗浄手段１３の構成を示す。
エアーブロー洗浄手段１３は、支持部材１２によって超音波エアーブロー部１０を固着した形態に配設されている。
超音波エアーブロー部１０の内部は超音波エアー吹出し口３３とゴミ吸引口３４に分かれており、
【００６７】
基板搬送手段７に保持された基板８が平行移動して超音波エアーブロー部１０に差し掛かると
エアー吹出し及びエアー振動手段２９（例えば超音波発生部等）によってエアーを振動させ、振動したエアー吹出し口３３から振動波エアー（例えば超音波エアー等）が吹出されると同時に耐圧ホース１１ｂによるエアー吸引を行う。
【００６８】基板８は一定の速度で平行移動を続けながら、超音波エアーブロー部１０下面を通過するので、吹出し口３３から超音波エアー３１を吹出すことによって
基板８のチップ実装位置に付着したゴミ粉３０を剥がし取り、剥がし取られたゴミ粉３０をエアー３２ごと吸引口３４によって吸引する。
（２）甲３技術事項
　前記（１）より、甲第３号証には次の事項（以下、「甲３技術事項」という。）が記載されていると認められる。
「基板に付着したゴミや汚れ等を洗浄してからチップを基板に実装するチップ実装方法に用いられる基板洗浄装置であって、
　エアーブロー洗浄手段１３は、支持部材１２によって超音波エアーブロー部１０を固着した形態に配設され、
　超音波エアーブロー部１０の内部は超音波エアー吹出し口３３とゴミ吸引口３４に分かれ、
　基板搬送手段７に保持された基板８が平行移動して超音波エアーブロー部１０に差し掛かると、
　振動したエアー吹出し口３３から振動波エアーが吹出されると同時に耐圧ホース１１ｂによるエアー吸引を行うことによって、　
　基板８のチップ実装位置に付着したゴミ粉３０を剥がし取り、剥がし取られたゴミ粉３０をエアー３２ごと吸引口３４によって吸引すること。」
４　甲第４号証の記載
（１）甲第４号証
　甲第４号証は、本件特許についての出願日前に日本国内において頒布された刊行物であって、次のとおりの記載がある。
ア「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、
基板表面に付着したゴミや塵等の除去対象物を取り除くための基板クリーニング装置に関するものである。
イ「【０００８】一方、スペーサ散布後の基板からスペーサ凝集体だけを除去する方法も従来から採用されている。この方法は、図１１に示したウェーブクリーニング装置を用いるものであり、図１１に示すように基板１は吸着ステージ２に吸着保持されており、吸着ステージ２は図面上右上と左下の１軸方向に移動する直線ステージ４の上に搭載されており、クリーニングノズルのスリット２１から単体スペーサは残して凝集スペーサだけを除去する方法である。すなわち、基板１とクリーニングノズルの間隔と排気装置２０の吸引力とを調整し、スペーサ単粒子を除去しない吸引条件を見い出し、スペーサ凝集だけをクリーニングノズルのスリット２１から除去するようにした除去方法である。
【０００９】
図１２は図１１のウェーブクリーニング装置のクリーニングノズルの断面図であり、中空の箱体１８に開口部の幅１〜３ｍｍのスリット２１がクリーニング対象物の幅に合せて形成され、中空の箱体１８内の空気を排気装置２０で排気して、スリット２１の開口部に吸引力を発生させて除去対象物を除去するというものである。
ウ「【００１１】また、図１１のウェーブクリーニング装置は、もともと織布から糸屑を除去するために考え出されたクリーニング装置であり、
クリーニングノズルの先端開口部は長方形状をしているため、クリーニングノズル全幅に対する吸引力は必ずしも同一でなく、排気管１９に近い部分は吸引力は強いが、遠い部分は弱くなるという欠陥を有している。
【００１２】さらに、最近の基板サイズは大型化へと進んできており、すでに６５０ｍｍ×８３０ｍｍの基板サイズで液晶パネルを製造しているメーカや、さらに１ｍ×１ｍ超基板サイズで液晶パネルの採用を検討しているメーカもある。このような大型基板サイズにおいては、図１１に示すようなウェーブクリーニング装置を採用すると、基板サイズの拡大に伴って吸引力のばらつきもますます大きくなるので、スペーサ単粒子を除去することなくスペーサ凝集体のみを除去するというクリーニング方法は一層困難なものとなる。
【００１３】また、スペーサ凝集体等の除去対象物の形状は多種多様であり、ある方向に長さをもった除去対象物の場合、クリーニングノズルの吸引流が長方向にあたる場合は除去されやすいが、短方向にあたる場合は除去されにくいという不具合が発生する。
【００１４】本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、均一な吸引力を有し、大型基板サイズにも対応した、凝集体の形状に左右されない基板クリーニング装置を提供するものである。
【００１５】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項１記載のクリーニング装置は、
基板を保持する基板保持ステージと、該基板上の除去対象物を除去するクリーニングノズルとを有する基板クリーニング装置であって、前記クリーニングノズルには、開口部の形状が円形状または環形状の噴射部と吸引部とがそれぞれの同心円上に形成されてなり、該クリーニングノズルと前記基板保持ステージとは、相対的に移動するよう構成されていることを特徴としている。
【００１６】これによれば、クリーニングノズルの開口部は、基板に対して所定のギャップを保ちながら平行に対峙させ、噴出部から気体を噴出しながら、吸引部より気体を吸引する。基板表面上に気流を発生させ、クリーニングノズルと基板とを相対的に移動させることにより、基板表面に付着した凝集スペーサ等の除去対象物を吸引する。さらに、
クリーニングノズルの開口部の形状が円形状または環形状であるので、吸引力のばらつきもなく、均一な吸引力を発揮することが可能である。
エ「【００２３】（実施の形態１）図１において、
基板１が基板吸着ステージ２に吸着保持されており、クリーニングノズル３が開口部を基板１と平行にし、所定のギャップを保って支持されている。
基板吸着ステージ２は図面上右上と左下方向に移動するＸ軸直線移動ステージ４と図面上左上と右下方向に移動するＹ軸直線移動ステージ５の上に搭載されている。
【００２４】また、
図１ではクリーニングノズル３と基板１との相対的な移動手段として、２軸のＸ軸直線移動ステージ４、Ｙ軸直線移動ステージ５の上に基板吸着ステージ２を構成しているが、このうち１軸あるいは２軸ともクリーニングノズル３の保持部側に構成しても良く、同様な効果が得られる。
（２）甲４技術事項
　前記（１）より、甲第４号証には次の事項（以下、「甲４技術事項」という。）が記載されていると認められる。
「基板表面に付着したゴミや塵等の除去対象物を取り除くための基板クリーニング装置であって、
　従来の、クリーニングノズルは、中空の箱体１８に開口部の幅１〜３ｍｍのスリット２１がクリーニング対象物の幅に合せて形成され、中空の箱体１８内の空気を排気装置２０で排気して、スリット２１の開口部に吸引力を発生させて除去対象物を除去するものであり、
　クリーニングノズルの先端開口部は長方形状をしているため、クリーニングノズル全幅に対する吸引力は必ずしも同一でなく、排気管１９に近い部分は吸引力は強いが、遠い部分は弱くなるという欠陥を有していたのを、
　クリーニングノズルは、吸引力のばらつきもなく、均一な吸引力を発揮するために、開口部の形状が円形状または環形状の噴射部と吸引部とがそれぞれの同心円上に形成されてなり、
　基板１が基板吸着ステージ２に吸着保持されており、クリーニングノズル３が開口部を基板１と平行にし、所定のギャップを保って支持され、
　基板吸着ステージ２およびクリーニングノズル３は、それぞれ、Ｘ軸直線移動ステージ４とＹ軸直線移動ステージ５の一方に搭載され、
　該クリーニングノズル３と前記基板吸着ステージ２とは、相対的に移動するよう構成することにより、
　基板表面に付着した凝集スペーサ等の除去対象物を吸引すること。」
第５　申立理由についての判断
１　特許法第２９条第２項について
（１）本件特許発明と甲１発明との対比
ア　甲１発明の「テーブル４１上に複数のチップを貼着した粘着シート４２を保持しているチップ供給部４０」は、本件特許発明の「ダイをピックアップするピックアップ装置」に相当する。
イ　甲１発明の「粘着シート４２上のチップＰをノズル３３で真空吸着してピックアップし、基板１１の上方へ移動し、チップＰを基板１１のチップ搭載位置１２に塗布されたボンド２４上に搭載する移載ヘッド」は、本件特許発明の「前記ダイを吸着して基板上に実装するためのコレット」に相当する。
ウ　甲１発明の「基板１１は長手方向に、基板搬送手段３４により搬送路１００上をピッチ送りされる」ことは、本件特許発明の「前記基板はその移動方向に長い矩形状であ」ることに相当する。
エ　甲１発明の「基板に塗布されたボンド上にチップを搭載する電子部品実装装置」は、本件特許発明の「ダイボンダ」に相当する。
オ　そして、本件特許発明と甲１発明とは、下記カの点で一致するが、下記キの点で相違すると認められる。
カ　一致点
「ダイをピックアップするピックアップ装置と、
　前記ダイを吸着して基板上に実装するためのコレットと、
を有し、
　前記基板はその移動方向に長い矩形状であることを特徴とするダイボンダ。」
キ　相違点
（ア）相違点１
　本件特許発明では、「前記基板上に前記ダイを実装する前に前記基板上の異物を除去するクリーニングノズル」を有し、「前記クリーニングノズルの長手方向は前記基板の移動方向と同じ方向に配置され」ており、また、「前記クリーニングノズルは前記基板の上方に配置され、前記基板の移動方向と直交する方向に前記基板の幅に応じて設定された移動量を移動」しているのに対して、甲１発明は対応する構成を有していない点。
（２）判断
ア　本件特許発明の進歩性について
　上記相違点１について検討する。
　甲第１号証には、「前記基板上に前記ダイを実装する前に前記基板上の異物を除去するクリーニングノズル」について記載されていないために、上記相違点１について想起することができたとは認められない。
　甲第２号証には、甲２技術事項にあるように、被洗浄基板が載置されるテーブルの位置は固定とされているために、洗浄中は基板は移動していない。そのため、本件特許発明の「前記クリーニングノズルの長手方向は
前記基板の移動方向と同じ方向
前記基板の移動方向と同じ方向
前記基板の移動方向
　また、甲第３号証には、甲３技術事項にあるように、エアーブロー洗浄手段１３は、支持部材１２によって超音波エアーブロー部１０を固着した形態に配設されているために、「前記クリーニングノズルは前記基板の上方に配置され、
前記基板の移動方向と直交する方向に前記基板の幅に応じて設定された移動量を移動
　さらに、甲第４号証には、甲４技術事項にあるように、従来の、クリーニングノズルは、中空の箱体１８に開口部の幅１〜３ｍｍのスリット２１がクリーニング対象物の幅に合せて形成され、中空の箱体１８内の空気を排気装置２０で排気して、スリット２１の開口部に吸引力を発生させて除去対象物を除去するものであり、
クリーニングノズルの先端開口部は長方形状をしているため、クリーニングノズル全幅に対する吸引力は必ずしも同一でなく、排気管１９に近い部分は吸引力は強いが、遠い部分は弱くなるという欠陥を有していた
　そして、本件特許発明は相違点１に係る構成を有することにより、「基板の大小にかかわらず短時間で効率よく基板の表面をクリーニングし、異物の再付着を防止することが可能な異物除去装置及びそれを備えたダイボンダを提供することにある。」（【００１２】）という、甲第１号証ないし甲第４号証に記載された発明にはない格別の効果を有するものである。
　そうすると、相違点１に係る構成は、甲第１号証ないし甲第４号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に相当し得たものであるとはいえない。
イ　特許異議申立人は、本件特許発明は、甲第１号証ないし甲第３号証、又は甲第１号証及び甲第４号証に基づいて当業者が容易に相当し得るものである旨主張しているが、上記アで述べたように、相違点１に係る構成は、甲第１号証ないし甲第４号証に記載されておらず、また、甲第１号証ないし甲第４号証の記載から想起することができたとは認められないから、特許異議申立人の主張は採用できない。
（３）小括
　したがって、本件特許発明は甲第１号証ないし甲第４号証に基づいて、当業者が容易に発明することができたものではないから、本件特許の請求項１に係る発明は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものではない。
２　特許法第３６条第６項第１号について
（１）特許異議申立人の主張
　特許異議申立人は、「本件特許発明は、「本発明の目的は、基板の大小にかかわらず短時間で効率よく基板の表面をクリーニングし、異物の再付着を防止することが可能な異物除去装置及びそれを備えたダイボンダを提供すること」（【００１２】）を課題としている。
　しかし、本件特許発明は、「異物の再付着を防止する」構成を有しておらず、「異物の再付着を防止する」という課題を解決するためには、基板に吹き付けた空気を吸い込む構成が必須である。
　そのため、本件特許発明は、発明の詳細な説明に記載された課題を解決できないものである。
　よって、本件特許発明は、発明の詳細な説明に記載されたものではない。」（異議申立書２０頁１７−２１頁１行）と主張している。
（２）判断
　本件特許発明は「前記基板上の異物を除去するクリーニングノズル」を有しているから、本件特許は、「異物の再付着を防止する」構成を有していないという、特許異議申立人の主張は採用できない。
（３）小括
　したがって、本件特許発明は、発明の詳細な説明に記載されたものであるから、本件特許の請求項１に係る発明は、特許法第３６条第６項第１号の規定に違反してされたものではない。
３　まとめ
　上記１および２のとおり、特許異議申立ての理由及び証拠によっては、請求項１に係る特許を取り消すことはできない。
【異議決定日】
平成２８年１１月２９日（２０１６．１１．２９）