(57)【要約】  金属ベローズ（２）が径方向へ振動して外殻（１）の内周面と接触することによる耐久性の低下をきたさない金属ベローズ型アキュムレータを提供する。この目的を達成するため、一端に導圧路（Ｃ）が開設された外殻（１）と、径方向外側を向いた山部（２１１）と内側を向いた谷部（２１２）が反復形成され軸方向へ伸縮可能であって外殻（１）の内室を導圧路（Ｃ）に連通された導圧室（Ａ）とクッションガスが封入されたガス室（Ｂ）とに区画する金属ベローズ（２）を備え、金属ベローズ（２）における径方向振動の振幅が最大となる個所に、各山部（２１１）の最大径部よりも大径で外殻（１）の内周面に軸方向への所定の幅をもって接触可能な筒状部（２１３）を設ける。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一端に導圧路が開設された外殻と、径方向外側を向いた山部と内側を向いた谷部が反復形成され軸方向へ伸縮可能であって前記外殻の内室を前記導圧路に連通された導圧室とクッションガスが封入されたガス室とに分離する金属ベローズを備え、前記金属ベローズにおける径方向振動の振幅が最大となる個所に、前記各山部の最大径部よりも大径で前記外殻の内周面に軸方向への所定の幅をもって接触可能な筒状部を設けたことを特徴とする金属ベローズ型アキュムレータ。
【請求項２】
金属ベローズの各山部の最大径部の外周面が、緩衝材からなる保護層で被覆されたことを特徴とする請求項１に記載の金属ベローズ型アキュムレータ。
【請求項３】
金属ベローズに形成された筒状部の外周面が、緩衝材からなる保護層で被覆されたことを特徴とする請求項１又は２に記載の金属ベローズ型アキュムレータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、油圧系や空圧系等の流体圧力ラインに用いられるアキュムレータであって、特に、クッションガスと流体圧力との分離手段として金属ベローズを用いた金属ベローズ型アキュムレータに関する。
【背景技術】
【０００２】
アキュムレータは、油圧系や空圧系などの流体圧力ラインに用いられる装置であり、一般には窒素ガスなどの圧縮性を利用して流体圧力を一時的に貯蔵し、あるいは圧力ラインに生じる圧力の脈動を吸収して平滑化するといった圧力制御に用いられ、窒素ガスなどからなるクッションガスと流体圧力との分離手段としてブラダを用いたもの、ピストンを用いたもの、金属ベローズを用いたもの等がある。なかでも、金属ベローズ型アキュムレータは、ガスの透過漏れをほぼ０に抑えることが可能であり、高い耐久性を有する。【０００３】
金属ベローズ型アキュムレータとしては、従来から、例えば図５に示すようなものが知られている。この金属ベローズ型アキュムレータは、円筒状のシェル１０１ａ及びこのシェル１０１ａの両端を塞ぐように設けられた第一及び第二のエンドカバー１０１ｂ，１０１ｃからなる外殻１０１と、この外殻１０１内に配置され、一端が第二のエンドカバー１０１ｃに溶接等により固定され軸方向に伸縮可能な金属製のベローズ本体１０２ａ及びこのベローズ本体１０２ａの自由端側の開口を塞ぐように溶接等により取り付けられたベローズキャップ１０２ｂからなる金属ベローズ１０２と、金属ベローズ１０２（ベローズ本体１０２ａ）の自由端の外周に取り付けられた制振リング１０３を備え、第一のエンドカバー１０１ｂには導圧路１０４が開設されている。また、制振リング１０３の外周面はシェル１０１ａの内周面に対して密接しておらず、両者間には流体の流通を許容する不図示の隙間が存在する。【０００４】
外殻１０１の内室は、金属ベローズ１０２によって導圧室１０５とガス室１０６に分離され、このうち導圧室１０５は導圧路１０４を介して不図示の流体圧力ラインの流体圧力が導入され、金属ベローズ１０２の内側のガス室１０６には、Ｎ２ガスなどのクッションガスが封入されている。【０００５】
この種の金属ベローズ型アキュムレータは、不図示の流体圧力ラインから導圧路１０４を介して導圧室１０５に導入された流体圧力と、ガス室１０６に封入されたクッションガスの圧力が、互いに平衡状態になるように金属ベローズ１０２が伸縮変位するものであって、すなわち導圧室１０５に導入された流体圧力ラインの流体圧力が上昇した時には、金属ベローズ１０２は、ベローズ本体１０２ａの圧縮を伴いながらベローズキャップ１０２ｂが第二のエンドカバー１０１ｃ側へ変位してガス室１０６の容積を縮小させると共に、導圧室１０５の容積を拡張することによって上昇圧力を貯蔵し、流体圧力ラインの流体圧力が降下した時には、相対的に高圧になるガス室１０６の圧力によって、金属ベローズ１０２は、ベローズ本体１０２ａの伸長を伴いながらベローズキャップ１０２ｂが第一のエンドカバー１０１ｂ側へ変位してガス室１０６の容積を拡張すると共に、導圧室１０５の容積を縮小させることによって、貯蔵圧力を流体圧力ラインへ放出するものである。また、このような動作において、制振リング１０３は金属ベローズ１０２の自由端の径方向の振れを抑制するものである（例えば下記の先行技術文献参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００５−２８２７３０号公報
【特許文献２】特開２００５−９８３９１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、金属ベローズ１０２の伸縮動作に伴う径方向の振れは、金属ベローズ１０２の自由端だけでなく、振動モードによっては金属ベローズ１０２の自由端以外の部分、例えばベローズ本体１０２ａの軸方向中間部でも大きくなる。このため、金属ベローズ１０２が振動による偏心動作でシェル１０１ａの内周面と接触しても、耐久性が低下しないようにすることが望まれる。【０００８】
本発明は、以上のような点に鑑みてなされたものであって、その目的は、金属ベローズが径方向へ振動して外殻の内周面と接触することによる耐久性の低下をきたさない金属ベローズ型アキュムレータを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、上述した目的を達成するため、以下の手段を採用した。
すなわち本発明の金属ベローズ型アキュムレータは、一端に導圧路が開設された外殻と、径方向外側を向いた山部と内側を向いた谷部が反復形成され軸方向へ伸縮可能であって前記外殻の内室を前記導圧路に連通された導圧室とクッションガスが封入されたガス室とに分離する金属ベローズを備え、前記金属ベローズにおける径方向振動の振幅が最大となる個所に、前記各山部の最大径部よりも大径で前記外殻の内周面に軸方向への所定の幅をもって接触可能な筒状部を設けたことを特徴とする（請求項１）。【００１０】
上記構成の金属ベローズ型アキュムレータは、導圧路を介して導圧室に導入された流体圧力とガス室に封入されたクッションガスの圧力が互いに平衡状態になるように、山部と谷部からなる金属ベローズが軸方向へ伸縮するものであって、このような動作の過程で金属ベローズに径方向の振れを生じた場合、その各山部の最大径部より大径の筒状部が外殻の内周面と接触することによって、各山部の最大径部が外殻の内周面に接触するのを防止することができ、又は各山部の最大径部が外殻の内周面に接触する際の負荷を有効に緩和することができる。そして筒状部は軸方向への所定の幅を有するため、接触面積が大きくなって筒状部自体の負荷も有効に緩和することができる。【００１１】
また本発明は、上記目的を達成するため更に以下の手段を採用してもよい。
すなわち上記構成の金属ベローズ型アキュムレータ（請求項１）において、金属ベローズの各山部の最大径部の外周面が、緩衝材からなる保護層で被覆されたことを特徴とする（請求項２）。【００１２】
このように構成すれば、金属ベローズに形成された筒状部が外殻の内周面と接触した後も金属ベローズの偏心が継続されることによって、金属ベローズの各山部の最大径部が外殻の内周面に接触しても、このときに山部の最大径部に加わる衝撃が、緩衝材からなる保護層によって有効に緩和される。【００１３】
また、上記構成の金属ベローズ型アキュムレータ（請求項１又は２）において、金属ベローズに形成された筒状部の外周面が、緩衝材からなる保護層で被覆されたことを特徴とする（請求項３）。【００１４】
このように構成すれば、金属ベローズに形成された筒状部が外殻の内周面と接触する際にこの筒状部に加わる衝撃が、緩衝材からなる保護層によって有効に緩和される。
【発明の効果】
【００１５】
本発明に係る金属ベローズ型アキュムレータによれば、金属ベローズに径方向の振れを生じても、この金属ベローズに設けられた筒状部が外殻の内周面と先行して接触することによって、各山部の最大径部が外殻の内周面に接触するのを防止又は接触時の負荷を緩和し、筒状部自体の負荷も小さく抑えられるため、金属ベローズの優れた耐久性を確保することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明に係る金属ベローズ型アキュムレータの第一の実施の形態を示す断面図である。
【図２】本発明に係る金属ベローズ型アキュムレータの第一の実施の形態における要部を拡大して示す断面図である。
【図３】本発明に係る金属ベローズ型アキュムレータの第二の実施の形態を示す断面図である。
【図４】本発明に係る金属ベローズ型アキュムレータの第三の実施の形態における要部を拡大して示す断面図である。
【図５】従来の金属ベローズ型アキュムレータの一例を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明に係る金属ベローズ型アキュムレータの好ましい実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
【００１８】
まず図１に示す第一の実施の形態は、金属ベローズの外側の空間を導圧室とし、金属ベローズの内側の空間をガス室とする「内ガス構造」と呼ばれる金属ベローズ型アキュムレータに本発明を適用したもので、参照符号１は外殻、参照符号２は金属ベローズである。
【００１９】
外殻１は、円筒状を呈するシェル１１と、このシェル１１の軸方向一端に設けられた第一のエンドカバー１２と、シェル１１の軸方向他端に設けられた第二のエンドカバー１３とを備える。これらシェル１１、第一のエンドカバー１２及び第二のエンドカバー１３は、いずれも金属で製作されている。
【００２０】
外殻１における第一のエンドカバー１２は、外周がシェル１１の軸方向一端に溶接によって一体に接合されたフランジ部１２１と、その内周から外側へ突出した継手部１２２とを有し、継手部１２２の内周には導圧路Ｃが開設されている。
【００２１】
外殻１における第二のエンドカバー１３は、外周がシェル１１の軸方向他端に溶接によって接合されている。また、第二のエンドカバー１３の中央部にはガス封入口１３１が開設されており、このガス封入口１３１は、金属ベローズ２の内側のガス室ＢにＮ２ガス等のクッションガスを封入するためのもので、ガスプラグ１３２によって密閉されている。
【００２２】
金属ベローズ２は、外殻１の内室を、導圧路Ｃに連通された導圧室Ａとクッションガスが封入されたガス室Ｂとに分離するものであって、軸方向一端（固定端）２１ａが第二のエンドカバー１３に溶接によって接合されると共に、径方向外側を向いて円周方向へ連続した山部２１１と径方向内側を向いて円周方向へ連続した谷部２１２が反復形成された金属製のベローズ本体２１と、このベローズ本体２１の軸方向他端（自由端）２１ｂに、外周部が溶接によって接合一体化された円盤状のベローズキャップ２２とからなり、軸方向に対して伸縮可能となっている。
【００２３】
金属ベローズ２が径方向へ加振されたときに、その軸方向両端が振動の節となるような定常波における振動の腹に相当する（径方向振動の振幅が最大となる）ベローズ本体２１の軸方向中間部には、筒状部２１３が形成されている。
【００２４】
この筒状部２１３は、図２に拡大して示すように、ベローズ本体２１の各山部２１１の最大径部２１１ａよりもΔｒだけ大径であって、外周面が円筒面をなしており、金属ベローズ２が径方向へ加振されたときに外殻１におけるシェル１１の内周面１１ａに軸方向への所定の幅ｗをもって接触可能となっている。
【００２５】
金属ベローズ２（ベローズ本体２１）の自由端２１ｂの外周には制振リング２３が取り付けられている。この制振リング２３は、ベローズ本体２１の自由端２１ｂの径方向への変位を制限するものであり、導圧室Ａの一部であるベローズ本体２１の外周空間Ａ１が密閉されることがないように、シェル１１の内周面１１ａとの間に隙間を有する形状となっている。
【００２６】
外殻１における第一のエンドカバー１２のフランジ部１２１には、導圧路Ｃの内端の外周に位置して、円形の凹部１２１ｂ，１２１ｃが同心的に形成されており、このうち大径の凹部１２１ｂには、シール部材１２３が装着され、小径の凹部１２１ｃには、シール部材１２３を内周側から支持する金属製の環状のシールホルダ１２４が嵌着されている。
【００２７】
シール部材１２３はゴム弾性体で成形されたものであって、金属ベローズ２のベローズキャップ２２側を向くと共に外周側へ開いた形状のシールリップ１２３ａを有し、金属ベローズ２の伸長によってその自由端のベローズキャップ２２が第一のエンドカバー１２のフランジ部１２１の内端１２１ａと当接したときに、ベローズキャップ２２がシールリップ１２３ａと密接することによって、導圧室Ａと導圧路Ｃの間を遮断するようになっている。
【００２８】
上記構成を備える金属ベローズ型アキュムレータは、第一のエンドカバー１２の継手部１２２（導圧路Ｃ）が、不図示の流体圧力ラインに接続されるものである。そして、流体圧力ラインの配管内を流れる作動流体の圧力がガス室Ｂ内のクッションガスの封入圧より高圧になった場合は、第一のエンドカバー１２の導圧路Ｃを通じて導圧室Ａに作動流体が流入し、金属ベローズ２が圧縮される。またこの状態から、流体圧力ラインの配管内の流体圧力が低下した場合は、金属ベローズ２はガス室Ｂの圧力によって伸長し、導圧室Ａ内の作動流体が流体圧力ラインへ排出される。
【００２９】
ここで、導圧室Ａ内の流体圧力の低下に伴って金属ベローズ２が伸長した場合、その伸長長さは、金属ベローズ２の自由端のベローズキャップ２２が、第一のエンドカバー１２のフランジ部１２１の内端１２１ａと接触することによって制限される。またこのとき、金属ベローズ２のベローズキャップ２２がシール部材１２３におけるシールリップ１２３ａの先端と密接することによって、導圧室Ａと導圧路Ｃとの間が遮断されるので、その後さらに流体圧力ラインの流体圧力が低下しても、導圧室Ａの圧力は低下せず、ガス室Ｂとほぼ均圧した状態に保たれる。したがって、金属ベローズ２のベローズ本体２１に、導圧室Ａとガス室Ｂとの差圧による過大な負荷が作用することはない。
【００３０】
そして、上述のような伸縮動作に伴って金属ベローズ２に径方向への振れを生じ、その振動がベローズ本体２１の固定端２１ａを節とし、自由端２１ｂを腹とするような定常波である場合は、自由端２１ｂの径方向振動変位（偏心運動）は、制振リング２３によって規制されるので、ベローズ本体２１の自由端２１ｂ及びその近傍が外殻１のシェル１１の内周面１１ａと接触して損傷を受けるのを有効に防止することができる。
【００３１】
また、金属ベローズ２の伸縮に伴う径方向への振動がベローズ本体２１の固定端２１ａ及び自由端２１ｂを節とし、軸方向中間部を腹とするような定常波である場合は、その振動変位の過程で、ベローズ本体２１の軸方向中間部に形成された筒状部２１３の外周面が先行して外殻１のシェル１１の内周面１１ａと接触し、それ以上の偏心運動を抑制するため、ベローズ本体２１の各山部２１１の最大径部２１１ａがシェル１１の内周面１１ａに接触して損傷を受けるのを有効に防止することができる。しかも、筒状部２１３は軸方向への所定の幅ｗを有するため、シェル１１の内周面１１ａに対する接触面積が大きく、このため筒状部２１３自体が接触によって受ける負荷も有効に緩和される。
【００３２】
次に図３は、金属ベローズ２の内側の空間を導圧室Ａとし、金属ベローズ２の外側の空間をガス室Ｂとする「外ガス構造」と呼ばれる金属ベローズ型アキュムレータについて、本発明を適用した第二の実施の形態を示すものである。
【００３３】
すなわち図３に示す金属ベローズ型アキュムレータにおいて、外殻１は、有底円筒状を呈するシェル１１と、このシェル１１の軸方向一端に設けられたエンドカバー１４からなる。エンドカバー１４は、外周がシェル１１の軸方向一端に溶接によって接合されたフランジ部１４１と、その内周から外側へ突出した継手部１４２とを有し、継手部１４２の内周には金属ベローズ２の内側の導圧室Ａに連通した導圧路Ｃが開設されている。また、シェル１１におけるエンドカバー１４と反対側の底部１１１の中央部にはガス封入口１１２が開設されており、このガス封入口１１２は、金属ベローズ２の外側のガス室ＢにＮ２ガス等のクッションガスを封入するためのもので、ガスプラグ１１３によって密閉されている。
【００３４】
金属ベローズ２は、軸方向一端（固定端）２１ａがエンドカバー１４に溶接によって接合されると共に、径方向外側を向いて円周方向へ連続した山部２１１と径方向内側を向いて円周方向へ連続した谷部２１２が反復形成された金属製のベローズ本体２１と、このベローズ本体２１の軸方向他端（自由端）２１ｂに、外周部が溶接によって接合一体化された端盤としての円盤状のベローズキャップ２２とからなるものであって、軸方向に対して伸縮可能となっている。
【００３５】
そしてこの図３に示す形態も、先に説明した第一の実施の形態と同様、金属ベローズ２の軸方向両端が振動の節となるような定常波における振動の腹に相当する（径方向振動の振幅が最大となる）ベローズ本体２１の軸方向中間部には、各山部２１１の最大径部よりも大径で、外周面が円筒面をなし、径方向への加振によって外殻１におけるシェル１１の内周面１１ａに軸方向への所定の幅をもって接触可能な筒状部２１３が形成されている。
【００３６】
金属ベローズ２の内側の導圧室Ａには、金属ベローズ２の圧縮方向への変位を制限する有底円筒状のステー３が配置されており、その底部３１と反対側の端縁部３２が、エンドカバー１４に溶接によって接合されている。そして、このステー３におけるベローズキャップ２２側を向いた底部３１の中央部には、連通孔３１ａが開設されている。
【００３７】
金属ベローズ２のベローズキャップ２２の外周には制振リング２３が取り付けられている。この制振リング２３は、ベローズ本体２１の自由端２１ｂが外殻１のシェル１１の内周面１１ａと接触するのを防止するために径方向への変位を制限するものであり、ガス室Ｂの一部であるベローズ本体２１の外周空間Ｂ１が密閉されることがないように、シェル１１の内周面１１ａとの間に隙間を有する形状となっている。
【００３８】
金属ベローズ２のベローズキャップ２２における導圧室Ａ側には、環状のホルダ２４及びこのホルダ２４に取り付けられたばね２５を介して、シール部材２６が軸方向移動可能な状態で保持されている。このシール部材２６は、金属等からなる円盤２６ａをゴム弾性体で被覆するように成形されたものであって、金属ベローズ２が、その圧縮方向のストロークエンド位置まで変位したときに、ベローズキャップ２２によってステー３の底部３１に押し付けられることによって連通孔３１ａを閉塞するものである。
【００３９】
すなわち、金属ベローズ２の伸長によってシール部材２６がステー３の底部３１から離れて連通孔３１ａを開放した状態にあっては、エンドカバー１４の導圧路Ｃに連なるステー３の内側空間Ａ１と、ステー３と金属ベローズ２の間の空間Ａ２は、連通孔３１ａを通じて互いに連続した導圧室Ａを構成しており、金属ベローズ２の圧縮によってシール部材２６がステー３の底部３１に密接されて連通孔３１ａを閉塞した状態にあっては、ステー３の内側空間Ａ１と、ステー３と金属ベローズ２の間の空間Ａ２の間が遮断され、内側空間Ａ１の流体圧力が空間Ａ２に及ばないようになっている。
【００４０】
上記構成を備える金属ベローズ型アキュムレータは、エンドカバー１４の継手部１４２を、図示されていない流体圧力ラインに接続して用いられる。そして、流体圧力ラインの配管内を流れる作動流体の圧力がガス室Ｂ内のクッションガスの封入圧より高圧になった場合は、エンドカバー１４の内周の導圧路Ｃからステー３の内側空間Ａ１へ、さらにこの空間Ａ１からステー３の連通孔３１ａを通じてステー３と金属ベローズ２の間の空間Ａ２へ作動流体が流入し、このため金属ベローズ２は、ガス室Ｂの容積が縮小してその圧力が空間Ａ１，Ａ２からなる導圧室Ａの作動流体の圧力とほぼ平衡状態となるように伸長する。また、この状態から、流体圧力ラインの配管内の流体圧力が低下した場合は、金属ベローズ２は、ガス室Ｂの容積が拡大してその圧力が導圧室Ａの作動流体の圧力とほぼ平衡状態となるように圧縮される。
【００４１】
ここで、導圧室Ａ内の流体圧力が所定値まで低下した時点で、金属ベローズ２のベローズキャップ２２が、シール部材２６を介してステー３の底部３１によって金属ベローズ２の圧縮方向への移動を規制され、これによって金属ベローズ２の圧縮が制限される。またこのとき、シール部材２６がステー３の底部３１と密接することによって連通孔３１ａが閉塞され、導圧室Ａにおける空間Ａ１，Ａ２間が遮断されるので、その後さらに流体圧力ラインの流体圧力が低下しても、ステー３と金属ベローズ２の間の空間Ａ２の圧力は低下せず、ガス室Ｂ（ベローズ本体２１の外周空間Ｂ１）と均圧した状態に保たれる。したがって、金属ベローズ２のベローズ本体２１に差圧による過大な負荷が作用することはない。
【００４２】
そして、上述のような伸縮動作に伴って金属ベローズ２に径方向への振れを生じ、その振動がベローズ本体２１の固定端２１ａを節とし、自由端２１ｂを腹とするような定常波である場合は、自由端２１ｂの径方向振動変位（偏心運動）は、制振リング２３によって規制されるので、ベローズ本体２１の自由端２１ｂ近傍が外殻１のシェル１１の内周面１１ａと接触して損傷を受けるのを有効に防止することができる。
【００４３】
また、金属ベローズ２の伸縮に伴う径方向への振動が、ベローズ本体２１の固定端２１ａ及び自由端２１ｂを節とし、軸方向中間部を腹とするような定常波である場合は、その振動変位の過程で、ベローズ本体２１の軸方向中間部に形成された筒状部２１３の外周面が先行して外殻１のシェル１１の内周面１１ａと接触し、それ以上の偏心運動を抑制するため、ベローズ本体２１の各山部２１１の最大径部がシェル１１の内周面１１ａに接触して損傷を受けるのを有効に防止することができる。しかも、筒状部２１３は先に説明した図２のように、軸方向への所定の幅ｗを有するため、シェル１１の内周面１１ａに対する接触面積が大きく、このため筒状部２１３自体が接触によって受ける負荷も有効に緩和される。
【００４４】
なお、先に説明した図１に示すような「内ガス構造」のものに比較して、図３に示すような「外ガス構造」の金属ベローズ型アキュムレータのほうが、金属ベローズ２に径方向の振れが生じやすい傾向があり、したがって本発明の効果は、「外ガス構造」の金属ベローズ型アキュムレータにおいて一層顕著である。
【００４５】
図４は、本発明に係る金属ベローズ型アキュムレータの第三の実施の形態を示すものである。この実施の形態は、上述した第一の実施の形態又は第二の実施の形態における金属ベローズ２の、筒状部２１３を含むベローズ本体２１の外側面に、ゴム弾性体又は合成樹脂からなる薄膜状の保護層２７を被着したものである。
【００４６】
このように構成すれば、金属ベローズ２におけるベローズ本体２１の軸方向中間部に形成された筒状部２１３が外殻の内周面と接触した後も金属ベローズ２の偏心運動が継続されることによって、ベローズ本体２１が外殻の内周面と接触しても、その各山部２１１の最大径部２１１ａは保護層２７で被覆されているため、山部２１１の最大径部２１１ａに加わる衝撃が有効に緩和される。
【００４７】
しかも、筒状部２１３の外周面も保護層２７で被覆されているため、外殻の内周面に先行して接触する筒状部２１３自体に加わる衝撃も有効に緩和される。
【００４８】
なお、図４に示す例ではベローズ本体２１の山部２１１及び谷部２１２の外側面全域を保護層２７で被覆しているが、山部２１１の最大径部２１１ａの外周面及び筒状部２１３の外周面のみを保護層２７で被覆したものであっても良い。
【符号の説明】
【００４９】
１  外殻
２  金属ベローズ
２１  ベローズ本体
２１１  山部
２１１ａ  最大径部
２１２  谷部
２１３  筒状部
２７  保護層
Ａ  導圧室
Ｂ  ガス室
Ｃ  導圧路
【図１】
2016194607.tif 000003
【図２】
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【図３】
2016194607.tif 000005
【図４】
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【図５】
2016194607.tif 000007
【国際調査報告】
2016194607.tif 000008
2016194607.tif 000009
2016194607.tif 000010