(57)【要約】      （修正有）【課題】被検査体表面の欠陥の方向性によらず、欠陥の検出精度を高めることができる表面検査装置を提供する。【解決手段】照明手段１３が、照射方向に対して垂直な面内で、全ての方向に対して周期的に明部と暗部とが交互に現れる照射パターン２２を、被検査体１の表面に照射するようになっている。移動手段が、被検査体１の表面に映る照射パターン２２を、被検査体１の表面に沿って所定の方向に、明部と暗部の変化の１周期分移動させ、撮影手段１４が、その１周期分の移動に合わせて、連続的または等位相間隔で、被検査体１の表面の同じ範囲に映る照射パターン２２を撮影するようになっている。検出手段が、撮影された被検査体１の表面の各位置における、１周期分の画像の輝度の変化に基づいて、被検査体１の表面の欠陥を検出するようになっている。【選択図】図３
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
照射方向に対して垂直な面内で、全ての方向に対して周期的に明部と暗部とが交互に現れる照射パターンを、被検査体の表面に照射する照明手段と、
前記被検査体の表面に映る前記照射パターンを、前記被検査体の表面に沿って所定の方向に移動させる移動手段と、
前記移動手段による前記照射パターンの移動に合わせて、前記被検査体の表面の同じ範囲に映る前記照射パターンを撮影する撮影手段と、
前記撮影手段で撮影された画像に基づいて、前記被検査体の表面の欠陥を検出する検出手段とを、
有することを特徴とする表面検査装置。
【請求項２】
前記移動手段は、前記照射パターンの移動方向に沿って、少なくとも明部と暗部の変化の１周期分を移動させるよう構成されており、
前記撮影手段は、前記１周期分を移動する間に、連続的または等位相間隔で前記被検査体の表面に映る前記照射パターンを撮影し、
前記検出手段は、前記撮影手段で撮影された前記被検査体の表面の各位置における、前記１周期分の画像の輝度の変化に基づいて、前記被検査体の表面の欠陥を検出することを
特徴とする請求項１記載の表面検査装置。
【請求項３】
前記検出手段は、前記撮影手段で撮影された画像に対してエッジ抽出処理を行った後、そのエッジ抽出処理後の画像に基づいて、前記被検査体の表面の欠陥を検出することを特徴とする請求項１または２記載の表面検査装置。
【請求項４】
前記移動手段による前記照射パターンの移動と、前記撮影手段による撮影タイミングとを互いに同期して成ることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の表面検査装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、表面検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、メッキ品や塗装品などの被検査体表面の凹凸や傷などの欠陥を検査する方法として、図９に示すように、所定の方向に明部と暗部とが交互に繰り返されるスリットパターンを利用した光源を用いて、そのスリットパターンを被検査体の表面に照射し、被検査体の表面に映るスリットパターンを撮影し、撮影された画像における光の反射量の差に基づいて、被検査体の表面の欠陥を検出する方法が広く利用されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
しかし、この方法では、撮影された画像中に明部と暗部とが混在するため、欠陥の判定が難しいという問題があった。また、被検査体の表面が曲線のときには、被検査体の表面に投影されたスリットパターンが歪んでしまうため、欠陥を検出するのが難しいという問題もあった。また、被検査体の表面が平滑でなく、いわゆるゆず肌などの粗い面のときには、微小欠陥がその粗さの中に埋もれてしまうため、微小欠陥を検出するのが難しいという問題もあった。
【０００４】
そこで、これらの問題を解決するために、スリットパターンを明暗が変化する方向に１周期分移動させ、その移動中に等位相間隔で、被検査体の表面に映るスリットパターンを８枚撮影し、同一位置での各画素について、撮影された８枚の画像の輝度の最大値と最小値とを求め、各画素の最大値を集めた最大値画像と、最小値を集めた最小値画像との差分画像を用いることにより、被検査体の表面の欠陥を強調して検出する方法が開発されている（例えば、非特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開昭６３−９５３０９号公報
【非特許文献】
【０００６】
【非特許文献１】楜澤信、「ガラス検査技術の開発」、一般社団法人電気学会  産業応用部門  ニュースレター、2005年10月、p.4
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００７】
図１０に示すように、非特許文献１に記載のスリットパターンを移動させる方法では、スリットパターンの明暗が変化する移動方向（図１０に示すＸ方向）に対して、垂直に近い角度で交差する欠陥の部分については、光の反射量が大きく変わるため、撮影された画像の輝度の変化が、欠陥が無い部分と比べて明らかに異なっている。このため、その部分を強調して検出することができる。しかし、スリットパターンの移動方向に沿った方向の欠陥の部分については、光の反射量がほとんど変化しないため、撮影された画像の輝度の変化が、欠陥が無い部分とほとんど変わらない。このため、その部分を検出するのが難しいという課題があった。このため、例えば、スリットパターンの移動方向（図１０に示すＸ方向）に伸びる細い線傷は、線傷の両端部分のみが検出され、線傷として検出するのは困難であった。
【０００８】
本考案は、このような課題に着目してなされたもので、被検査体表面の欠陥の方向性によらず、欠陥の検出精度を高めることができる表面検査装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために、本考案に係る表面検査装置は、照射方向に対して垂直な面内で、全ての方向に対して周期的に明部と暗部とが交互に現れる照射パターンを、被検査体の表面に照射する照明手段と、前記被検査体の表面に映る前記照射パターンを、前記被検査体の表面に沿って所定の方向に移動させる移動手段と、前記移動手段による前記照射パターンの移動に合わせて、前記被検査体の表面の同じ範囲に映る前記照射パターンを撮影する撮影手段と、前記撮影手段で撮影された画像に基づいて、前記被検査体の表面の欠陥を検出する検出手段とを、有することを特徴とする。
【００１０】
本考案に係る表面検査装置は、照射方向に対して垂直な面内で、全ての方向に対して周期的に明部と暗部とが交互に現れる照射パターンを用いるため、被検査体の表面に照射パターンを映すことにより、被検査体の表面の全ての方向に対して同時に明部と暗部とを作ることができる。このため、その照射パターンを移動させることにより、被検査体の表面の欠陥の全ての方向成分に対して、被検査体の表面に映る照射パターンの輝度の変化を、欠陥が無い部分と比べて異なるようにすることができる。
【００１１】
このため、例えば、図１に示すように、照射パターンとして、明部および暗部がＹ軸に沿ってジグザグに伸びる照射パターンを使用したとき、Ｘ方向に照射パターンを移動させることにより、被検査体の表面の欠陥の全ての方向成分に対して、照射パターンの輝度の変化を、欠陥が無い部分と比べて異なるようにすることができる。このため、照射パターンの移動方向（図１に示すＸ方向）に伸びる細い線傷であっても、その両端だけでなく中央部も強調することができ、線傷として検出することができる。また、線傷だけでなく、メッキ品や塗装品などの表面の凹凸や傷などの欠陥の検出精度も高めることができる。このように、本考案に係る表面検査装置によれば、被検査体表面の欠陥の方向性によらず、欠陥の検出精度を高めることができる。
【００１２】
本考案に係る表面検査装置で、照射パターンは、図１に示すジグザグ状のものに限らず、鋸歯状、波状、矩形状のものなど、照射方向に対して垂直な面内で、全ての方向に対して周期的に明部と暗部とが交互に現れるものであれば、いかなるものであってもよい。また、照射パターンは、欠陥の方向への依存度をさらに低下させるために、照射パターンの明部と暗部との境界が、移動方向に対して斜交するよう形成されていてもよく、さらに明部と暗部との境界が曲線状を成していてもよい。本考案に係る表面検査装置は、例えば、光源の前方に配置されたシート状の照射パターンを、機械的にスライド移動させるよう構成されていてもよく、また、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）や有機ＥＬ素子などの面状に光を発する光源の発光面に照射パターンを写すとともに、発光面に写された照射パターンを電気的に移動させるよう構成されていてもよい。
【００１３】
本考案に係る表面検査装置で、前記移動手段は、前記照射パターンの移動方向に沿って、少なくとも明部と暗部の変化の１周期分を移動させるよう構成されており、前記撮影手段は、前記１周期分を移動する間に、連続的または等位相間隔で前記被検査体の表面に映る前記照射パターンを撮影し、前記検出手段は、前記撮影手段で撮影された前記被検査体の表面の各位置における、前記１周期分の画像の輝度の変化に基づいて、前記被検査体の表面の欠陥を検出することが好ましい。
【００１４】
この１周期分移動させる場合、撮影された画像により、被検査体の表面に映る照射パターンの１周期分の変化を把握することができる。欠陥が存在する位置では、光の反射量が変わるため、１周期の間の画像の輝度の変化が、欠陥が無い部分とは異なっている。このため、被検査体の表面の各位置で画像の輝度の変化を求めることにより、欠陥を容易に検出することができる。なお、照射パターンを連続的に移動させ、その間に連続的または１周期分の内の等位相間隔で撮影を行ってもよい。また、照射パターンを等位相間隔で位相シフトさせ、その位相シフトに同期させて撮影を行ってもよい。
【００１５】
また、この１周期分移動させる場合、撮影された被検査体の表面の各位置について、１周期分の画像の輝度の振幅を求め、撮影された被検査体の表面の全ての位置についての輝度の振幅の分布に基づいて、被検査体の表面の欠陥を検出してもよい。また、撮影された被検査体の表面の各位置について、１周期分の画像の輝度の最大値と最小値とを求め、被検査体の表面の各位置での最大値を集めた最大値画像と、最小値を集めた最小値画像との差分画像に基づいて、被検査体の表面の欠陥を検出してもよい。
【００１６】
本考案に係る表面検査装置で、前記検出手段は、前記撮影手段で撮影された画像に対してエッジ抽出処理を行った後、そのエッジ抽出処理後の画像に基づいて、前記被検査体の表面の欠陥を検出してもよい。この場合、塗装やメッキを行う前の工程で生じるヒケやウエルド等に起因する、緩やかな境界形状を有する欠陥を高精度で検出することができる。このエッジ抽出処理を行う検出と、エッジ抽出処理を行わない検出とを並行して行うことにより、緩やかな境界形状を有する欠陥と、塗装やメッキを行った後に生じた、明瞭な境界形状を有する欠陥とを含むほとんど全ての欠陥を、高精度で検出することができる。エッジ抽出処理には、微分フィルタやソーベル（Sobel）フィルタ、２次微分フィルタなどのデジタル画像処理を利用することができる。
【００１７】
本考案に係る表面検査装置は、前記移動手段による前記照射パターンの移動と、前記撮影手段による撮影タイミングとを互いに同期して成ることが好ましい。コンピュータ等により制御を行っていた従来の方法では、移動や撮影の完了を知らせるための完了情報が無かったため、移動や撮影が確実に完了するよう、移動や撮影のために時間の余裕（時間マージン）を取ってから、次の動作に移っていた。これに対し、本考案に係る表面検査装置では、移動と撮影とを同期させることにより、時間マージンが必要なくなるため、検査時間を短縮することができる。同期する方法としては、移動や撮影の完了情報をコンピュータ等にフィードバックさせる方法や、あらかじめハンドシェイク通信を行って、照射パターンの移動のタイミングと撮影タイミングとの同期を確立しておく方法、移動手段と撮影手段とを、コンピュータ等を介すことなく直接、接続して同期させる方法など、いかなる方法であってもよい。
【考案の効果】
【００１８】
本考案によれば、被検査体表面の欠陥の方向性によらず、欠陥の検出精度を高めることができる表面検査装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本考案に係る表面検査装置の、欠陥検出の効果を示す説明図である。
【図２】本考案の実施の形態の表面検査装置を示す側面図である。
【図３】本考案の実施の形態の表面検査装置の、欠陥を検出する原理を示す説明図である。
【図４】図１に示す表面検査装置の（ａ）明部と暗部とがジグザグ状を成す照射パターン、（ｂ）明部と暗部とが波状を成す照射パターンを示す正面図である。
【図５】本考案の実施の形態の表面検査装置において、照射パターンを１周期分移動させたときの、被検査体の表面の欠陥（異常）位置および正常位置での輝度の変化を示すグラフである。
【図６】本考案の実施の形態の表面検査装置において、照射パターンを１周期分移動させたときの、表面状態が異なる被検査体の所定の表面位置での輝度の変化を示すグラフである。
【図７】（ａ）被検査体の表面の、明瞭な境界形状を有する欠陥の断面図、（ｂ）被検査体の表面の、緩やかな境界形状を有する欠陥の断面図、（ｃ）本考案の実施の形態の表面検査装置の、エッジ抽出処理で使用するソーベルフィルタの成分、（ｄ）照射パターンを１周期分移動させたときの、被検査体の表面の欠陥（異常）位置および正常位置でのエッジ抽出処理後の輝度の変化を示すグラフである。
【図８】（ａ）従来の表面検査方法、（ｂ）本考案の実施の形態の表面検査装置での、動作指示、照射パターンのシフトおよび撮影の動作タイミングを示すタイミング図である。
【図９】従来の表面検査装置の検査原理を示す側面図である。
【図１０】従来の表面検査方法の、欠陥検出の効果を示す説明図である。
【考案を実施するための形態】
【００２０】
以下、図面に基づき、本考案の実施の形態について説明する。
図２乃至図８は、本考案の実施の形態の表面検査装置を示している。
図２に示すように、表面検査装置１０は、支持台１１と搬送手段１２と照明手段１３と撮影手段１４と移動取付手段１５と検出手段１６と表示手段１７と制御手段１８とを有している。
【００２１】
支持台１１は、矩形枠状を成し、上下２段の棚状に形成されている。支持台１１は、下部に移動用の車輪１１ａを有し、移動可能になっている。搬送手段１２は、ベルトコンベアから成り、支持台１１の上段に設けられている。搬送手段１２は、被検査体１を載せて、支持台１１の長さ方向に沿って搬送可能に構成されている。
【００２２】
図２および図３に示すように、照明手段１３は、光源２１と照射パターン２２と移動手段（図示せず）とを有している。照射パターン２２は、薄いシート状を成し、光源２１の照射方向の前方に、光源２１からの光を表面に垂直に受けるよう配置されている。照射パターン２２は、表面の全ての方向に対して、光を通す明部と光を遮る暗部とが周期的に交互に現れるよう形成されている。照射パターン２２は、例えば、図４（ａ）に示す明部と暗部とがジグザグ状を成すものや、図４（ｂ）に示す波状を成すもの、鋸歯状を成すもの、矩形状を成すものなどから成っている。特に、照射パターン２２は、明部と暗部との境界が、移動方向に対して斜交するよう形成されていることが好ましく、さらにその境界が曲線状を成していることが好ましい。
【００２３】
移動手段は、照射パターン２２を、その表面に沿った所定の方向に移動させるよう構成されている。移動手段は、照射パターン２２の移動方向に沿って、明部と暗部の変化の１周期分を移動させるよう構成されている。移動手段は、その１周期の内で、照射パターン２２を等位相間隔で断続的に移動（位相シフト）させるよう構成されている。なお、照射手段１３は、光源２１が、例えば液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）や有機ＥＬ素子などの面状に光を発するものから成り、その発光面に照射パターン２２を写すとともに、発光面に写された照射パターン２２を電気的に移動させるよう構成されていてもよい。
【００２４】
図２および図３に示すように、撮影手段１４は、デジタルカメラから成っている。撮影手段１４は、移動手段による照射パターン２２の位相シフトに同期させて、照射パターン２２が停止するたびに撮影を行うようになっている。
【００２５】
移動取付手段１５は、照明手段１３および撮影手段１４を、支持台１１の上段の上部の梁から吊り下げて取り付けるとともに、搬送手段１２の幅方向、すなわち搬送方向に対して直交する水平方向に移動可能になっている。また、移動取付手段１５は、照明手段１３からの光の照射角度と、撮影手段１４の撮影角度とを調整可能になっている。
【００２６】
これにより、表面検査装置１０は、搬送手段１２で搬送される被検査体１の表面に、照明手段１３により照射パターン２２を照射して写すとともに、その照射パターン２２を被検査体１の表面に沿って所定の方向に移動可能になっている。また、表面検査装置１０は、照射パターン２２の移動に合わせて、被検査体１の表面の同じ範囲に映る照射パターン２２を、撮影手段１４により撮影可能になっている。
【００２７】
検出手段１６は、コンピュータから成り、支持台１１の下段に設置されている。検出手段１６は、撮影手段１４が接続され、撮影手段１４により撮影された画像を取得し、その画像に基づいて、被検査体１の表面の欠陥を検出するよう構成されている。また、検出手段１６は、撮影手段１４で撮影された各画像に対してエッジ抽出処理を実施可能になっている。検出手段１６は、エッジ抽出処理後の各画像、または撮影手段１４で撮影された各画像を用いて、撮影手段１４で撮影された被検査体１の表面の各位置における、照射パターン２２が１周期分移動した時の画像の輝度の変化に基づいて、被検査体１の表面の欠陥を検出するようになっている。
【００２８】
表示手段１７は、モニタから成り、支持台１１の上段に設置されている。表示手段１７は、検出手段１６に接続されており、撮影手段１４により撮影された画像や、撮影前の画像、検出された欠陥の位置を示す画像などを表示可能になっている。
【００２９】
制御手段１８は、コンピュータから成り、支持台１１の下段に設置され、搬送手段１２と照明手段１３と撮影手段１４と移動取付手段１５とに接続されている。制御手段１８は、被検査体１の搬送速度、照明手段１３や撮影手段１４の位置、照明手段１３からの光の照射角度、移動手段による照射パターン２２の位相シフト量および移動速度、撮影手段１４の撮影角度および撮影タイミングなどを制御可能になっている。また、制御手段１８は、照射パターン２２の移動完了情報や撮影手段１４の撮影完了情報を受け取ることにより、移動手段による照射パターン２２の移動のタイミングと、撮影手段１４による撮影タイミングとを同期するようになっている。
【００３０】
表面検査装置１０は、表示手段１７に映された撮影前の画像を見ながら、被検査体１の所望の位置に照明手段１３で照射パターン２２を写し、それを撮影手段１４で撮影するよう、制御手段１８により、照明手段１３および撮影手段１４の位置や角度を調整可能になっている。
【００３１】
表面検査装置１０は、以下の原理に基づいて、欠陥を検出することができる。すなわち、まず、図３（ａ）に示すように、照明手段１３により照射パターン２２を被検査体１の表面に照射し、被検査体１の表面に映る照射パターン２２を、撮影手段１４により撮影する。このとき、欠陥部分で光の反射量が変わるため、欠陥部分が強調される。次に、照射パターン２２を被検査体１の表面に沿って１周期分、所定の方向に等位相間隔で位相シフトさせながら、図３（ｂ）に示すように、その位相シフトに同期させて撮影手段１４により照射パターン２２を撮影する。
【００３２】
１周期で複数枚（Ｎ枚）撮影された画像について、図３（ｃ）に示すように、被検査体１の表面の各位置で、１周期分の輝度の最大値と最小値とを求める。さらに、被検査体１の表面の各位置での最大値を集めた最大値画像（ＭＡＸ画像）と、最小値を集めた最小値画像（ＭＩＮ画像）とを求め、最大値画像と最小値画像との差分画像（ＳＳＭＭ画像）を求める。例えば、ｉ枚目の画像の座標（ｘ，ｙ）の輝度をPxy(i)とすると、最大値画像Qxyを、Qxy=max Pxy(i)、最小値画像Rxyを、Rxy=min Pxy(i)で求める（ここで、i=1,2,3…,N）。また、差分画像Sxyを、Sxy=Qxy-Rxyで求める。こうして、撮影した複数の画像を、１枚の差分画像に合成する。この差分画像では、欠陥のみが強調されるため、欠陥を検出することができる。
【００３３】
表面検査装置１０は、このような原理に基づいて、差分画像を求めることにより、欠陥を検出することができる。また、差分画像を求めなくとも、同様の原理に基づいて、被検査体１の表面の各位置で、１周期分の画像の輝度の振幅を求め、撮影された被検査体１の表面の全ての位置についての輝度の振幅の分布に基づいて、被検査体１の表面の欠陥を検出することもできる。すなわち、図５に示すように、欠陥（異常）が存在する位置では、光の反射量が変わるため、１周期の間の画像の輝度の変化の振幅が、欠陥が無い正常な部分の振幅と比べて、小さくなる傾向が認められる。このため、被検査体１の表面の各位置で画像の輝度の振幅を求め、例えば、所定の振幅値（閾値）より小さい振幅を有する位置を欠陥とすることにより、欠陥を容易に検出することができる。
【００３４】
本考案の実施の形態の表面検査装置１０は、表面の全ての方向に対して周期的に明部と暗部とが交互に現れる照射パターン２２を用いるため、被検査体１の表面に照射パターン２２を映すことにより、被検査体１の表面の全ての方向に対して同時に明部と暗部とを作ることができる。このため、その照射パターン２２を移動させることにより、被検査体１の表面の欠陥の全ての方向成分に対して、被検査体１の表面に映る照射パターン２２の輝度の変化を、欠陥が無い部分と比べて異なるようにすることができる。
【００３５】
このため、照射パターン２２の移動方向に伸びる細い線傷であっても、その両端だけでなく中央部も強調することができ、線傷として検出することができる。また、線傷だけでなく、メッキ品や塗装品などの表面の凹凸や傷などの欠陥の検出精度も高めることができる。このように、本考案の実施の形態の表面検査装置１０によれば、被検査体１の表面の欠陥の方向性によらず、欠陥の検出精度を高めることができる。具体的には、図３および図４（ａ）に示すジグザグ状の照射パターン２２を使用したとき、非特許文献１のものと比べて、欠陥の検出精度が約２倍になることが確認されている。
【００３６】
また、被検査体１の表面が曲面のときや、ゆず肌などの粗い面のときには、図６に示すように、照射パターン２２を１周期分移動させる間、輝度の振幅は影響を受けず、輝度の変化の位相がシフトするだけである。このため、本考案の実施の形態の表面検査装置１０によれば、被検査体１の表面が曲面であったり、ゆず肌などの粗い面であったりしても、被検査体１の表面の欠陥の検出には影響せず、欠陥を高精度で検出することができる。
【００３７】
また、本考案の実施の形態の表面検査装置１０は、撮影手段１４で撮影された各画像をそのまま用いるのではなく、撮影された画像に対してエッジ抽出処理を行い、そのエッジ抽出処理後の画像を用いて、図３（ｃ）および図５に示す原理に基づいた、差分画像や輝度の振幅変化から欠陥を検出することもできる。撮影された各画像をそのまま用いた場合、図７（ａ）に示す塗装やメッキを行った後に生じるような、明瞭な境界形状を有する欠陥については、高精度で検出することができる。しかし、図７（ｂ）に示す塗装やメッキを行う前の工程で生じるヒケやウエルド等に起因するような、緩やかな境界形状を有する欠陥については、照射パターン２２を１周期分移動させたときの画像の輝度の変化が、欠陥がない正常な部分の輝度の変化とほとんど変わらないため、検出するのが難しい。
【００３８】
このため、緩やかな境界形状を有する欠陥を強調するために、撮影された画像に対してエッジ抽出処理を行った後の画像を用いて欠陥の検出を行う。例えば、図７（ｃ）に示すソーベルフィルタを用いてエッジ抽出処理を行うと、欠陥の境界が強調されるため、図７（ｄ）に示すように、照射パターン２２を１周期分移動させたときの画像の輝度の変化の振幅が、欠陥がない正常な部分の輝度の変化の振幅より大きくなる。この振幅の大きさの違いを利用することにより、緩やかな境界形状を有する欠陥であっても、高精度で検出することができる。なお、エッジ抽出処理による輝度の変化は、被検査体１の表面がゆず肌などの粗い面であることによる輝度の変化とは、変化の周波数が異なっている。このため、エッジ抽出処理を利用した場合、被検査体１の表面がゆず肌などの粗い面であっても、その影響を受けることなく、高精度で欠陥を検出することができる。
【００３９】
このように、本考案の実施の形態の表面検査装置１０は、エッジ抽出処理を行う検出と、エッジ抽出処理を行わない検出とを並行して行うことにより、緩やかな境界形状を有する欠陥と、明瞭な境界形状を有する欠陥とを含むほとんど全ての欠陥を、高精度で検出することができる。エッジ抽出処理には、ソーベルフィルタの他にも、微分フィルタや２次微分フィルタなどを利用することができる。
【００４０】
本考案の実施の形態の表面検査装置１０は、移動手段による照射パターン２２の移動と、撮影手段１４による撮影タイミングとを互いに同期しているため、検査時間を短縮することができる。図８（ａ）に示すように、コンピュータ等により制御を行う従来の方法では、移動や撮影の完了を知らせるための完了情報が無かったため、移動や撮影が確実に完了するよう、移動や撮影のために時間の余裕（時間マージン）を取ってから、次の動作に移っていた。これに対し、図８（ｂ）に示すように、本考案の実施の形態の表面検査装置１０では、移動や撮影の完了情報を制御手段１８にフィードバックさせることにより、移動と撮影とを同期させている。これにより、時間マージンが必要なくなるため、検査時間を短縮することができる。具体的には、図８（ａ）に示す従来の方法と比べて、５〜１０倍の速さで検査可能であることが確認されている。なお、移動手段と撮影手段１４とを、制御手段１８を介すことなく直接、接続して同期させることにより、制御手段１８からの指示が不要となり、検査時間をさらに短縮することができる。
【符号の説明】
【００４１】
１  被検査体
１０  表面検査装置
１１  支持台
１１ａ  車輪
１２  搬送手段
１３  照明手段
２１  光源
２２  照射パターン
１４  撮影手段
１５  移動取付手段
１６  検出手段
１７  表示手段
１８  制御手段
【図４】
0003197766.tif 000003
【図８】
0003197766.tif 000004
【図１】
0003197766.tif 000005
【図２】
0003197766.tif 000006
【図３】
0003197766.tif 000007
【図５】
0003197766.tif 000008
【図６】
0003197766.tif 000009
【図７】
0003197766.tif 000010
【図９】
0003197766.tif 000011
【図１０】
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