【事件の表示】
　特許第５８２１８６０号発明「偏光光照射装置」の特許異議申立事件について、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第５８２１８６０号の明細書、特許請求の範囲を訂正請求書に添付された訂正明細書、特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項〔１、２〕について訂正することを認める。
　特許第５８２１８６０号の請求項１、２に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続の経緯
　特許第５８２１８６０号の請求項１及び２に係る発明についての出願は、平成２５年１月２１日に特許出願され、平成２７年１０月１６日に特許の設定登録がされ、その後、その特許について、特許異議申立人関　豊美子により特許異議の申立てがなされ、平成２８年８月２４日付けで取消理由が通知され、その指定期間内である同年１０月２８日に意見書の提出及び訂正請求がなされ、同年１２月５日に特許異議申立人関　豊美子から意見書が提出され、同年１２月２７日付けで取消理由が通知され、その指定期間内である平成２９年１月１６日に意見書の提出及び訂正請求があったものである。
２．訂正の適否についての判断
（１）訂正の内容
　平成２９年１月１６日になされた訂正請求（以下、「本件訂正請求」という。）は、本件特許の特許請求の範囲について、請求項１〜２からなる一群の請求項に関して以下のとおりに訂正することを求めるものである。
　なお、平成２８年１０月２８日になされた訂正請求は、特許法第１２０条の５第７項に規定により、取り下げられたものとみなす。
ア　訂正事項１
　特許請求の範囲の請求項１に「上記偏光素子は透明基板上にワイヤーグリッドを形成したワイヤーグリッド偏光素子であって、」とあるのを、「上記偏光素子は
、上記外壁の上記光出射口に設けられ、
の上記光源に対して反対側の表面
イ　訂正事項２
　特許請求の範囲の請求項１に「上記ワイヤーグリッド偏光素子の上記光源に対して反対側に偏光光を透過するフィルタを、上記外壁の外側に設け、」とあるのを、「上記ワイヤーグリッド偏光素子の上記光源に対して反対側に偏光光を透過
し上記ワイヤーグリッド偏光素子の上記ワイヤーグリッドを上記外壁の外側から保護する石英板
、上記外壁の上記光出射口から離隔して
ウ　訂正事項３
　特許請求の範囲の請求項１に「上記ワイヤーグリッド偏光素子と上記フィルタとの間にエアーを流すエアー供給機構」とあるのを、「上記ワイヤーグリッド偏光素子と上記
石英板
エ　訂正事項４　
　特許請求の範囲の請求項２に「上記フィルタ」とあるのを、「上記
石英板
オ　訂正事項５
　明細書、発明の詳細な説明の【課題を解決するための手段】【００１２】を、次のとおり訂正する。
　「上記課題を解決するため、ワイヤーグリッド偏光素子を備えた偏光光照射装置において、ワイヤーグリッド偏光素子に対して光源とは反対側（被照射物側）に、
石英板
　さらに、ワイヤーグリッド偏光素子と
石英板
　
すなわち、本発明のある態様によれば、線状の光源と、該光源からの光を偏光する偏光素子と、上記光源を覆い光源からの光が通過する光出射口を形成した外壁とを備えた偏光光照射装置において、上記偏光素子は、上記外壁の上記光出射口に設けられ、透明基板上の上記光源に対して反対側の表面にワイヤーグリッドを形成したワイヤーグリッド偏光素子であって、上記ワイヤーグリッド偏光素子の上記光源に対して反対側に偏光光を透過し上記ワイヤーグリッド偏光素子の上記ワイヤーグリッドを上記外壁の外側から保護する石英板を、上記外壁の外側に、上記外壁の上記光出射口から離隔して設け、上記ワイヤーグリッド偏光素子と上記石英板との間にエアーを流すエアー供給機構を備えることを特徴とする偏光光照射装置が提供される。
カ　訂正事項６
　明細書、発明の詳細な説明の【発明の効果】【００１３】を、次のとおり訂正する。
　「ワイヤーグリッド偏光素子の光源とは反対側（被照射物側）に
石英板
　また、ワイヤーグリッド偏光素子に対して被照射物（ワーク）が配置される側に
石英板
石英板
（２）訂正の目的の適否、一群の請求項、新規事項の有無、及び特許請求の範囲の拡張・変更の存否
ア　訂正事項１について
（ア）上記訂正事項１は、訂正前の請求項１の「ワイヤーグリッド偏光素子」について、「上記外壁の上記光出射口に設けられ」ることを限定し、「ワイヤーグリッド」について、透明基板上の「上記光源に対して反対側の表面」に形成したことを限定するものであるから、上記訂正事項１は、特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
（イ）上記（ア）から明らかなように、上記訂正事項１は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
（ウ）上記訂正事項１に関し、本件特許明細書の発明の詳細な説明の【００２８】には、「図４は、本発明の偏光光照射装置のランプハウス（灯具）の概略構成を示す図である。・・・図１の例の構成との違いは、偏光素子ユニット８０をランプハウス１の光出射口７０の位置に配置し、フィルタユニット９０をランプハウス１の外壁６０の外側に配置したことである。」と記載されており、【００１７】には、「偏光素子ユニット８０のワイヤーグリッド偏光素子８１は、光配向処理を行うための波長の光を透過する透明基板（ガラス基板）の一方の表面に、ワイヤーグリッド（以下グリッドともいう）Ｇを形成したものである。ここでグリッドＧの形成面をランプ１１とは反対側（ワーク側）に向けて配置する。」と記載され、さらに図４には、上記訂正事項１に係る構成が図示されていることから、「ワイヤーグリッド偏光素子」が、「上記外壁の上記光出射口に設けられ」ること、「ワイヤーグリッド」を、透明基板上の「上記光源に対して反対側の表面」に形成することは、本件特許明細書に記載されているものと認められる。
　よって、上記訂正事項１は、本件特許明細書に記載された事項の範囲内においてするものであって、新規事項の追加に該当しない。
イ　訂正事項２について
（ア）上記訂正事項２は、訂正前の請求項１の「フィルタ」について、「上記ワイヤーグリッド偏光素子の上記ワイヤーグリッドを上記外壁の外側から保護する石英板」であることに限定し、上記外壁の外側に、「上記外壁の上記光出射口から離隔して」設けることを限定するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
（イ）上記（ア）から明らかなように、上記訂正事項２は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
（ウ）上記訂正事項２に関し、本件特許明細書の発明の詳細な説明の【００２０】には、「・・・フィルタ板９１としては、偏光する紫外線の波長を透過する石英板を使用することができる。」と記載され、【００２１】には、「・・・偏光板８１とフィルタ板９１を接触させて重ねると、偏光板８１のグリッドＧが傷む可能性があるので、通風路形成部材９３により、両者を５ｍｍから１００ｍｍ程度の間隔をあけて配置する。」と記載されている。
　また、本件特許明細書の発明の詳細な説明の【００１０】には、「また、このような偏光光照射装置が配置される、半導体や液晶表示素子の工場のクリーンルームの雰囲気には、シロキサン化合物と呼ばれる物質が含まれており、製造上のトラブルや収率の悪化の原因になることが知られている・・・ワイヤーグリッド偏光素子は、ガラス基板等の表面に微細なグリッドを形成したものであり、この面にシロキサン化合物が付着すると簡単にクリーニングすることができない。」と記載され、【００２３】には、「偏光板８１とフィルタ板９１との間隔は、狭いとその間を冷却風が流れにくくなり、偏光板８１やフィルタ板９１がランプ１１からの熱で加熱される可能性があり、十分な冷却風が流れる間隔を設ける。しかし、グリッドＧの保護のためには、偏光板８１のグリッドＧ形成面に指が届かないような間隔にすることが望ましい。」と記載され、【００２５】には、「また、ワイヤーグリッド偏光素子８１に対してワークＷ（被照射物）が配置される側にフィルタ板９１を設けているので、ワイヤーグリッド偏光素子８１の表面にシロキサン化合物が直接触れて付着することが少なくなる。これによりワイヤーグリッド偏光素子８１に白濁が生じにくくなる。」と記載され、【００２９】には、「・・・また、偏光素子ユニット８０のワーク側（光出射側）にフィルタユニット９０が設けられているので、指などが直接偏光板８１に触れることはなくグリッドＧの破損を防ぐことができる。」と記載されていることから、「フィルタ」を、「上記ワイヤーグリッド偏光素子の上記ワイヤーグリッドを上記外壁の外側から保護する石英板」とすること、「フィルタ」である「石英板」を、上記外壁の外側に、「上記外壁の上記光出射口から離隔して」設けることは、本件特許明細書に記載されているものと認められる。
　よって、上記訂正事項２は、本件特許明細書に記載された事項の範囲内においてするものであって、新規事項の追加に該当しない。
ウ　訂正事項３について
（ア）上記訂正事項３は、「フィルタ」を「石英板」とした上記訂正事項２に係る訂正に伴って、「エアー供給機構」が備えられる位置が、「上記ワイヤーグリッド偏光素子と上記フィルタとの間」であるものから「上記ワイヤーグリッド偏光素子と上記石英板との間」であるものへと用語を整合させるものであるから、上記訂正事項３は、明瞭でない記載の釈明を目的とするものである。
（イ）上記（ア）から明らかなように、上記訂正事項３は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
（ウ）上記（ア）から明らかなように、上記訂正事項３は、本件特許明細書に記載された事項の範囲内においてするものであって、新規事項の追加に該当しない。
エ　訂正事項４について
（ア）上記訂正事項４は、請求項１において「フィルタ」を「石英板」と訂正した上記訂正事項２、３に係る訂正に伴って、請求項１を引用する請求項２においても「フィルタ」を「石英板」へと用語を整合させるものであるから、上記訂正事項４は、明瞭でない記載の釈明を目的とするものである。
（イ）上記（ア）から明らかなように、上記訂正事項４は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
（ウ）上記（ア）から明らかなように、上記訂正事項４は、本件特許明細書に記載された事項の範囲内においてするものであって、新規事項の追加に該当しない。
オ　訂正事項５、６について
（ア）上記訂正事項５、６は、請求項１及び２に係る訂正に伴って、特許請求の範囲の記載と、発明の詳細な説明の【課題を解決するための手段】【００１２】、【発明の効果】【００１３】の記載との整合を図るためのものであって、上記訂正事項５、６は、明瞭でない記載の釈明を目的とするものである。
（イ）上記（ア）から明らかなように、上記訂正事項５、６は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
（ウ）上記（ア）から明らかなように、上記訂正事項５、６は、本件特許明細書に記載された事項の範囲内においてするものであって、新規事項の追加に該当しない。
カ　訂正における一群の請求項の存否
　訂正前の請求項１及び２は、請求項２が請求項１の記載を引用する関係にあるから、訂正前において一群の請求項に該当するものである。したがって、本件特許の請求項１及び２に係る訂正の請求は一群の請求項として請求された訂正である。
（３）むすび
　以上のとおりであるから、本件訂正請求による訂正は特許法第１２０条の５第２項第１号、第３号に掲げる事項を目的とするものであり、かつ同条第９項において準用する同法第１２６条第４項から第６項までの規定に適合するので、当該訂正を認める。
３．特許異議の申立てについて
（１）本件発明
　本件訂正請求により訂正された請求項１及び２に係る発明（以下「本件発明１及び２」という。）は、その特許請求の範囲の請求項１及び２に記載された次の事項により特定されるとおりのものである。
請求項１
「線状の光源と、該光源からの光を偏光する偏光素子と、上記光源を覆い光源からの光が通過する光出射口を形成した外壁とを備えた偏光光照射装置において、
　上記偏光素子は
、上記外壁の上記光出射口に設けられ、
の上記光源に対して反対側の表面
　上記ワイヤーグリッド偏光素子の上記光源に対して反対側に偏光光を透過
し上記ワイヤーグリッド偏光素子の上記ワイヤーグリッドを上記外壁の外側から保護する石英板
、上記外壁の上記光出射口から離隔して
　上記ワイヤーグリッド偏光素子と上記
石英板
請求項２
「上記線状の光源の長さ方向に対して垂直で光照射面に対して平行な方向である幅方向で見た際、上記ワイヤーグリッド偏光素子は上記
石英板
（２）取消理由の概要
　請求項１及び２に係る特許に対して、平成２８年８月２４日付けで特許権者に通知した取消理由の要旨、同年１２月２７日付けで特許権者に通知した取消理由の要旨は、それぞれ次の通りである。
ア　平成２８年８月２４日付けで特許権者に通知した取消理由の要旨
（ア）請求項１、２に係る特許は、下記の点で、特許請求の範囲の記載が特許法第３６条第６項第１号及び第２号に規定する要件を満たしていない特許出願に対してなされたものであり、取り消されるべきものである。
　　　　　　　　　　　　　　　　記
ａ．請求項１に係る発明は、（１）「ワイヤーグリッド偏光素子」を外壁の光出射口に設けると共に、「フィルタ」を外壁の外側に設けたもの、（２）「ワイヤーグリッド偏光素子」を外壁の外側に設けると共に、「フィルタ」を外壁の外側に設けたもの、あるいは（３）「ワイヤーグリッド偏光素子」を外壁の内側に設けると共に、「フィルタ」を外壁の外側に設けたものを包含している。 
  しかしながら、技術常識を参酌したとしても、発明の詳細な説明において、課題を解決するものとして開示されているものは、「フィルタを外壁の外側に設けると共に、ワイヤーグリッド偏光素子を外壁の光出射口に設けた」ものに限られるべきというべきであって、上記（２）のものや、上記（３）のものまでもが開示されているとは認められず、請求項１に係る発明の範囲まで、発明の詳細な説明に開示された内容を拡張ないし一般化できるとは言えない。
　よって、請求項１，２に係る発明は、発明の詳細な説明に記載したものでない。 
ｂ．請求項１の記載において、「フィルタを、上記外壁の外側に設け」るということには、フィルタを、光出射口を覆うように、外壁の外面に取り付けたものを包含するのか否か不明であるので、請求項１，２に係る発明は明確でない。 
（イ）請求項１、２に係る特許は、下記引用例１〜４に記載された発明に基づき、その出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであり、取り消されるべきものである。
 （引用例一覧） 
 引用例１：特許第５０５６９９１号公報
（特許異議申立人が提出した甲第２号証） 
 引用例２：特開２００７−２２６０９７号公報
（特許異議申立人が提出した甲第１号証） 
 引用例３：特開２００４−１４４８８４号公報
（特許異議申立人が提出した甲第４号証） 
 引用例４：特表２００１−５１２８５０号公報
（特許異議申立人が提出した甲第３号証） 
イ　平成２８年１２月２７日付けで特許権者に通知した取消理由の要旨
（ア）請求項２に係る特許は、下記の点で、特許請求の範囲の記載が特許法第３６条第６項第２号に規定する要件を満たしていない特許出願に対してなされたものであり、取り消されるべきものである。　 
　　　　　　　　　　　　　　　　　記
ａ．請求項２の「上記フィルタ」に関し、請求項２において引用する請求項１には、「フィルタ」が記載されておらず、「（上記）フィルタ」が何を指すのか不明である。
（３）引用例の記載
ア　引用例１に記載された事項
　引用例１には、以下の事項が記載されている。 
（ア）「【技術分野】 
【０００１】 
　本発明は、
液晶素子の配向膜や、視野角補償フィルムの配向層などに所定の波長の偏光光を照射して配向を行う偏光光照射装置に関する
（イ）「【背景技術】 
【０００２】 
　近年、液晶パネルを始めとする液晶表示素子の配向膜や、視野角補償フィルムの配向層などの配向処理に関し、紫外線領域の波長の偏光光を照射し配向を行なう、光配向と呼ばれる技術が採用されるようになってきた。以下、光により配向を行う配向膜や、配向層を設けたフィルムなど、光により配向特性が生じる膜や層を総称して光配向膜と呼ぶ。 
　光配向膜は、液晶パネルの大型化と共に、例えば一辺が２０００ｍｍ以上の四角形というように大面積化している。 
　上記のような大面積の光配向膜に対して光配向を行うために、棒状のランプとワイヤーグリッド状のグリッドを有する偏光素子（以下ワイヤーグリッド偏光素子という）を組み合わせた偏光光照射装置が提案されている（例えば特許文献１参照）。 
　光配向膜用の偏光光照射装置において棒状ランプは、発光長が比較的長いものを作ることができる。そのため、配向膜の幅に応じた発光長を備えた棒状ランプを使用し、該ランプからの光を照射しながら、配向膜をランプの長手方向に直交する方向に移動させれば、広い面積の配向膜を比較的短時間で光配向処理を行なうことができる。 
【０００３】 
　
図５に、線状の光源である棒状ランプとワイヤーグリッド偏光素子を組み合わせた偏光光照射装置の構成例を示す
　同図において、光配向膜であるワーク４は、例えば視野角補償フィルムのような帯状の長尺ワークであり、送り出しロールＲ１から送り出され、図中矢印方向に搬送され、後述するように偏光光照射により光配向処理され、巻き取りロールＲ２により巻き取られる。 
　
偏光光照射装置の光出射部２は、光配向処理に必要な波長の光（紫外線）を放射する棒状ランプ２１
【０００４】 
　光出射部２の光出射側には、偏光素子であるワイヤーグリッド偏光素子１が設けられる。光出射部２からの光はワイヤーグリッド偏光素子１により偏光され、偏光光照射領域が形成される。ワーク４は光出射部２の下の偏光光照射領域を通過することにより、光配向処理が行われる。 
　光路中にワイヤーグリッド偏光素子を挿入すると、グリッドの長手方向に平行な偏光成分は大部分反射または吸収され、直交する偏光成分は通過する。したがって、ワイヤーグリッド偏光素子を通過した光は、偏光素子のグリッドの長手方向に直交する方向の偏光軸を有する偏光光となる。 
【０００５】 
　光配向に使用される紫外線を偏光するワイヤーグリッド偏光素子は、微細な加工技術が必要であり、半導体製造に使われるリソグラフィ技術やエッチング技術を利用して作られる。そのため、大型のものができず、現状製作できる大きさはφ３００ｍｍ程度までである。 
　そこで、発光長の長い棒状の光源、例えば長さ１ｍから３ｍといった棒状の高圧水銀ランプやメタルハライドランプに応じた、大きな（長い）偏光素子が必要な場合は、ガラス基板から切り出した矩形のワイヤーグリッド偏光素子を複数、グリッドの方向をそろえ、フレームの中にランプの長手方向に沿って並べ、一つの偏光素子として使用することが提案されている（例えば特許文献２参照）。 
【先行技術文献】 
【特許文献】 
【０００６】 
【特許文献１】特開２０１１−１４５３８１号公報 
【特許文献２】特許第４５０６４１２号公報 
【特許文献３】特許第４４２４２９６号公報 
【非特許文献】 
【０００７】 
【非特許文献１】竹田、野中、藤本「クリーンルーム環境問題 シロキサン化合物」クリーンテクノロジー １９９８年４月号３４ページ 」
（ウ）「【発明の概要】 
【発明が解決しようとする課題】 
【０００８】 
　
図６は、図５に示した偏光光照射装置の灯具（ランプハウス）の構成例を示す図であり
　
ランプハウス１０には、棒状のランプ２１と、断面が放物線状である樋状の反射ミラー２２から構成される光出射部２を有する光源部１１が設けられ
　
光源部１１は隔壁４０により囲まれており、その外側をランプハウス１０の外壁（筐体）６０が覆っている。ランプハウス１０の外壁６０と上記の隔壁４０との間には隙間が設けられている。この隙間は、冷却風が通過する通風路５０となる。また、ランプハウス１０の外壁６０には、光源部１１からワーク４に向かって照射される光が通過する光出射窓７０が形成されている。この光出射窓７０には、通過する光を偏光するワイヤーグリッド偏光素子１を有する偏光素子ユニット８０が取り付けられる。
【０００９】 
　図７に偏光素子ユニットの構造を示す。 
　偏光素子ユニット８０は、複数のワイヤーグリッド偏光素子（以下偏光板ともいう）１を、棒状ランプ２１の長手方向に沿ってフレーム（保持枠）８１内に並べて保持したものである。偏光板と偏光板の間には、１ｍｍから２ｍｍ程度の隙間を持たせる必要がある。それは、偏光板どうしのグリッドの方向が平行になるように、各偏光板をその平面内で回転させて位置調整を行わなければならないからである。偏光板と偏光板の間の隙間は、偏光板が回転移動するための調整しろとなる。そして、この隙間は、ここから非偏光光が漏れないように、隙間の幅と偏光板の辺の長さに合わせた遮光板８２により覆われている。 
【００１０】 
　図６に戻り、ランプ点灯時のランプ冷却風の流れについて説明する。 
　ブロア３０から送り出された冷却風は、隔壁４０と外壁６０との間の通風路５０を通り、偏光素子ユニット８０と反射ミラー２２との間から取り込まれてランプ２１と反射ミラー２２を冷却する。 
　ランプ２１および反射ミラー２２を冷却し温度が高くなった冷却風は、反射ミラー２２の上部に形成された冷却風通風孔４１を介してラジエータ２０に流れ込んで冷却され、ブロア３０により再びランプ２１と反射ミラー２２を冷却するように送り出される。即ち冷却風はランプハウス内を循環している。 
【００１１】 
　図８は、冷却風を循環させる偏光光照射装置の他の構成例を示す図である。なお、同図（ａ）は、棒状ランプの長手方向に対して直交する方向の断面図であり、同図（ｂ）は、同図（ａ）の装置を上から見た図である。 
 偏光光照射装置は、棒状ランプ２１や樋状の反射ミラー２２から構成される光源部１１と、送風機３０や冷却機２０を内蔵する補機９０から構成され、光源部１１と補機９０は、ダクト９１，９２で接続されている。また、補機９０の送風機（ブロア）３０と冷却機（ラジエータ）２０はダクト９３により接続されている。 
　光源部１１の光出射部には、光出射窓７０が形成され、この光出射窓７０には、ワイヤーグリッド偏光素子１を有する偏光素子ユニット８０が取り付けられる。 
【００１２】 
　ブロア３０から送り出された冷却風は、補機９０からダクト９１を通って光源部１１に送り込まれ、ランプ２１と反射ミラー２２および光源部１１全体を冷却し、光源部１１から排気される。光源部１１から排気された冷却風は、ダクト９２を通って、補機９０に送られ、冷却機２０に入って冷却される。冷却された冷却風は送風機３０に入り、再びダクト９１を通って光源部１１に送られる。このように、冷却風は光源部１１と補機９０との間を循環する。 
　上記ランプハウス内で冷却風を循環させる光照射器については、例えば特許文献３に記載されている。 
【００１３】 
　このような、閉じた空間であるランプハウス内で冷却風を循環させる光照射器においては、基本的にはランプハウスの内と外とでは、エアー（空気）のやり取りは生じないはずである。しかし、このような冷却風をブロアによりランプとミラー側から引き込むような構造のランプハウスにおいては、ランプハウス内の圧力は均一ではない。図６、図８に示す装置においては、ブロアの吹き出し口付近の圧力は高く、ランプハウス外の周辺雰囲気に対して陽圧になる。 
　一方、冷却風が引き込まれる付近、例えばランプ２１と偏光素子ユニット８０との間は圧力が低く、ランプハウス外の周辺雰囲気に対して負圧になる。そのため、図６、図８に示したランプハウスにおいては、上記した偏光素子ユニット８０に並べた偏光素子１どうしの隙間から、外気がランプハウス内に引き込まれることとなる。 
【００１４】 
　このような偏光光照射装置が配置される、半導体や液晶表示素子の工場のクリーンルームの雰囲気には、シロキサン化合物と呼ばれる物質が含まれており、製造上のトラブルや収率の悪化の原因になることが知られている（例えば非特許文献１参照）。 
　シロキサン化合物は例えばレジストの現像液などに多く含まれている。シロキサン化合物は、紫外線が照射されると光化学反応により白い粉を生じ、紫外線照射装置内部の光学素子の表面を白濁させる。 
　そのため、図６、図８に示す偏光光照射装置のランプハウスにおいて、シロキサン化合物が外気とともに偏光板どうしの隙間から引き込まれ、ランプから放射された紫外線と反応して、ワイヤーグリッド偏光素子のランプ側の表面を白濁させるという問題が生じた。偏光板の表面が白濁すると、紫外線の透過率が低下し、ワークに照射する偏光光の照度が低下する。 
　
ワイヤーグリッド偏光素子は、ガラス基板等の表面に微細なグリッドを形成したものであり
【００１５】 
　この問題を防ぐ方法の一つとして、偏光素子ユニットに並べた偏光板の境界部分の隙間を樹脂などで埋めて密閉構造にすることが考えられる。しかし、上記したように、この隙間は、偏光板の互いのグリッドの方向をそろえる調整をするために必要であり、密閉構造にすることができない。 
　本発明は、上記問題を解決するものであって、本発明の目的は、複数の偏光板を並べて配置した偏光素子ユニットを用いた偏光光照射装置において、複数の偏光板の境界に隙間を持たせた状態であっても、この隙間から外気がランプハウス内に引き込まれないようにすることである。」 
（エ）「【発明の効果】 
【００１７】 
　本発明においては、以下の効果を得ることができる。 
　樋状ミラーと上記偏光素子の間の空間にガス（エアー）を供給するガス供給手段を設けたので、ランプハウスの内部、特に偏光素子ユニットのランプ側の空間が陽圧となるため、偏光素子ユニットに並べた複数の偏光素子の間に隙間を設けていても、そこから外気がランプハウス内に引き込まれない。したがって、シロキサン化合物が原因となる偏光素子表面の白濁がなくなり、偏光光の照度の低下を防ぐことができる。特に、樋状ミラーと偏光素子との間に光透過部材を配置し、ガス供給手段からこの光透過部材と偏光素子の間の空間にガスを供給することにより、ガスの流量を少なくしても、光透過部材と偏光素子の間の圧力を均一に高くすることができ、これにより用力の負担を軽減することができる。 
【図面の簡単な説明】 
【００１８】 
【図１】本発明が対象とする偏光光照射装置の構成を示す図である。 
【図２】エアー吹き出し口を複数形成したノズルの構成例を示す図である。
【図３】図１に示した偏光光照射装置の変形例を示す図である。 
【図４】本発明の実施例を示す図である。 
【図５】線状の光源である棒状ランプとワイヤーグリッド偏光素子を組み合わせた偏光光照射装置の構成例を示す図である。 
【図６】図５に示した偏光光照射装置のランプハウスの構成例を示す図である。 
【図７】偏光素子ユニットの構造を示す図である。 
【図８】冷却風を循環させる偏光光照射装置のランプハウスの他の構成例を示す図である。」 
（オ）「【発明を実施するための形態】 
【００１９】 
　
図１は、本発明が対象とする偏光光照射装置の構成例を示す図である。
以下の実施例では、前記図６に示した構成の偏光光照射装置について説明する
　
図１において、図６の従来の装置と異なる部分は、反射ミラー２２と上記偏光素子ユニット８０との間の空間にガス（クリーンドライエアー）を供給するノズル３（ガス供給手段）を設けた点である。それ以外の構成は図６に記載の装置と基本的に同じである
　すなわち、
ランプハウス１０には、ランプ２１と、樋状の反射ミラー２２から構成される光出射部２を有する光源部１１が設けられ、その上部に、ランプ点灯時にランプ２１や反射ミラー２２を冷却する冷却風の温度を下げる水冷式の冷却機（ラジエータ）２０と、冷却風を発生させる送風機（ブロア）３０とが配置される
【００２０】 
　
光源部１１は隔壁４０により囲まれており、その外側をランプハウス１０の外壁（筐体）６０が覆っている。外壁６０と上記隔壁４０との間の隙間は、冷却風が通過する通風路５０となる
　樋状の反射ミラー２２には、該ミラー２２の光出射側から導入されて上記ランプと樋状のミラーを冷却する冷却風が通過する開口（冷却風通風孔４１）が設けられ、冷却風通風孔４１を通過した冷却風は、冷却機２０により冷却され、送風機３０により、上記通風路５０を経て、上記反射ミラー２２の光出射側に送られる。 
　また、
ランプハウスの外壁６０には、光源部１１からワーク４に向かって照射される光が通過する光出射窓（光出射部）７０が形成されている。この光出射窓７０には、光出射窓７０から出射する光を偏光するワイヤーグリッド偏光素子１を有する偏光素子ユニット８０が取り付けられる
　
偏光素子ユニット８０は、前記図７に示したように、複数のワイヤーグリッド偏光素子１を、ランプ２１の長手方向に沿ってフレーム（保持枠８１）内に並べて保持したものであり
【００２１】 
　
上記反射ミラー２２と偏光素子ユニット８０の間の空間にガスを供給するノズル３には、ガスとしてクリーンドライエアーが供給される
【００２２】 
　ノズル３に供給するエアーは、装置を設置する工場の用力（ユーティリティ）から供給するようにしても良いし、別途準備したボンベから供給するようにしても良い。 
　ノズル３は、ランプ２１の長手方向に沿ったランプハウス１０の側面の外壁６０からランプハウス１０の内部に差し込まれており、エアーの吹き出し口３１は１ヶ所である。ノズル３に供給されたエアーは、ランプ２１（反射ミラー２２の光出射側）と偏光素子ユニット８０の偏光板１との間を、ランプの長手方向に対して直交するように流れる。この供給されたエアーにより、ランプと偏光素子との間の圧力が高くなる。 
　供給されたエアーは、ランプ冷却風とともに冷却風通風孔４１とラジエータ２０を介して、ブロア３０に引き込まれる。 
【００２３】 
　表１は、ノズル３に供給するエアーの供給量（リットル／ｍｉｎ）と、ランプ２１と偏光素子１との間の静圧（Ｐａ）、偏光素子の隙間からの吸い込みの有無の関係を調べた実験結果である。なお、ノズル３はランプハウス１０の側面に１ヶ所のみに設けた。また、ランプ２１と偏光素子１との間の静圧を測定した場所は、図１のＡ部として示しているように、ランプ２１に対してノズル３を設けた側とは反対側の、反射ミラー２１の光出射側と偏光素子ユニット８０の間である。 
【００２４】 
【表１】
 【００２５】 
　同表に示すように、エアーを供給しない場合、Ａ部の静圧は−３０Ｐａの負圧で、偏光素子ユニット８０の並べた偏光素子１の隙間から、外気がランプハウス１０内に引き込まれていた。しかし、ノズル３に３５０リットル／ｍｉｎのエアーを供給したところ、Ａ部の静圧は２５Ｐａの陽圧になり、偏光素子１の隙間からのランプハウス１０内への外気の引き込みはなくなった。さらにノズル３に供給するエアーを４００リットル／ｍｉｎに増やしたところ、Ａ部の静圧は３２Ｐａに上昇し、やはり偏光素子１の隙間からのランプハウス１０内への外気の引き込みはない。 
【００２６】 
　上記の結果より、ランプ２１と偏光素子１との間の静圧が約２５Ｐａ以上になるように、ランプ１と偏光素子２との間にエアーを供給すれば、偏光素子１の隙間からのランプハウス１０内への外気の引き込みを防ぐことができると考えられる。即ち、ランプ２１と偏光素子１との間の静圧が約２５Ｐａ以上になるようにランプハウス１０内にエアーを供給すれば、ランプハウス１０内全体が陽圧になり、ランプハウス１０内への外気の引き込みがなくなるものと考えられる。 
【００２７】 
　上記図１に示したものにおいては、ノズル３のエアー吹き出し口は１ヶ所である。しかし、図２に示すように、ノズル３をランプ２１の長手方向に沿って伸ばし、エアー吹き出し口３１を複数形成しても良い。ノズル３をこのような形状にすることで、エアーをランプ長手方向に対して均一に供給することができる。そのため、ランプ２１と偏光素子１との間を陽圧にするのに、エアーの流量を少なくでき、これにより用力の負担を軽減できる。」 
（カ）「【００２９】 
　
図４は、本発明の実施例を示す図である
　
本実施例においては、ランプ２１と偏光素子ユニット８０との間に、光透過部材保持ユニット５を設け、この光透過部材保持ユニット５と偏光素子ユニット８０との間に、エアーを供給するようにしている
　
光透過部材保持ユニット５は、例えば、前記偏光素子ユニット８０と同様に、複数の光透過部材５１をランプの長手方向に並べて配置したものである
この光透過部材５１としては、
石英板
を用いる
　ノズル３に供給されたエアーは、光透過部材保持ユニット５と偏光素子ユニット８０との間を、ランプ２１の長手方向に対して直交するように流れ、光透過部材保持ユニット５と偏光素子ユニット８０との間の圧力を陽圧にする。その後、ノズル３がある側とは反対側からランプ冷却風とともに冷却風通風孔４１とラジエータ２０を介して、ブロア３０に引き込まれる。 
【００３０】 
　図１に示した構成では、ノズル３から供給されたエアーが、ノズル３がある側とは反対側のランプハウス側面に達するまでに、ランプ冷却風とともにブロア３０に吸引されてしまう。 
　しかし、本実施例のように構成することで、
光透過部材保持ユニット５と偏光素子ユニット８０により通風路が形成される
　このことにより、エアーの流量を少なくしても、エアーはノズル３が設けられている側とは反対側にまで届き、光透過部材５１と偏光素子１の間の圧力を、エアーが流れる方向に対して、均一に高くすることができる。これにより用力の負担を軽減できる。 
 ・・・（中略）・・・ 
【符号の説明】 
【００３２】 
１　　ワイヤーグリッド偏光素子 
２　　光出射部 
３　　ノズル 
４　　ワーク 
５　　光透過部材保持ユニット 
１０　ランプハウス 
１１　光源部 
２０　冷却機（ラジエータ) 
２１　棒状ランプ 
２２　反射ミラー 
３０　送風機（ブロア） 
３１　エアー吹き出し口 
４０　隔壁 
４１　冷却風通風孔 
５０　通風路 
５１　光透過部材 
６０　外壁（筐体） 
７０　光出射窓 
８０　偏光素子ユニット 
８１　フレーム（保持枠） 
８２　遮光板」 
（キ）　「【図１】 
」 
（ク）　「【図４】 
」 
（ケ）「【図５】
」
（コ）「【図６】
」
（サ）「【図７】
」
イ　引用例１に記載された発明
（ア）上記ア（イ）の【０００３】の「図５に、線状の光源である棒状ランプとワイヤーグリッド偏光素子を組み合わせた偏光光照射装置の構成例を示す。 ・・・偏光光照射装置の光出射部２は、光配向処理に必要な波長の光（紫外線）を放射する棒状ランプ２１、例えば高圧水銀ランプや水銀に他の金属を加えたメタルハライドランプと、棒状ランプ２１からの紫外線をワーク４に向けて反射する樋状の反射ミラー２２備える。」から、図４に示された実施例における「ランプ２１」は、「線状の光源である棒状ランプ」であることが把握できる。
（イ）上記ア（ウ）の【００１４】の「シロキサン化合物が外気とともに偏光板どうしの隙間から引き込まれ、ランプから放射された紫外線と反応して、ワイヤーグリッド偏光素子のランプ側の表面を白濁させるという問題が生じた。偏光板の表面が白濁すると、紫外線の透過率が低下し、ワークに照射する偏光光の照度が低下する。ワイヤーグリッド偏光素子は、ガラス基板等の表面に微細なグリッドを形成したものであり、この面にシロキサン化合物が付着すると簡単にクリーニングすることができない。」という記載や図５より、図４に示された実施例における「ワイヤーグリッド偏光素子１」は、ガラス基板等の表面に微細なグリッドを形成したものであること、
ワイヤーグリッド偏光素子１のワイヤーグリッド状のグリッドを、ワイヤーグリッド偏光素子１の棒状ランプ２１側の表面に有している
（ウ）上記ア（ア）〜（サ）及び上記（ア），（イ）より、図１の偏光光照射装置の構成例を前提とする、図４に記載された実施例から把握される発明として、引用例１には、以下の発明（以下、「引用発明」という。）が記載されていると認められる。
「ランプハウスには、線状の光源である棒状ランプと、樋状の反射ミラーから構成される光出射部を有する光源部が設けられ、その上部に、ランプ点灯時にランプや反射ミラーを冷却する冷却風の温度を下げる水冷式の冷却機（ラジエータ）と、冷却風を発生させる送風機（ブロア）とが配置され、
　光源部は隔壁により囲まれており、その外側をランプハウスの外壁（筐体）が覆っており、
　外壁と上記隔壁との間の隙間を、冷却風が通過する通風路とし、
　ランプハウスの外壁には、光源部からワークに向かって照射される光が通過する光出射窓（光出射部）が形成されており、
　光出射窓には、光出射窓から出射する光を偏光するワイヤーグリッド偏光素子を有する偏光素子ユニットが取り付けられ、
　偏光素子ユニットは、複数のワイヤーグリッド偏光素子を、ランプの長手方向に沿ってフレーム（保持枠）内に並べて保持したものであり、
　ワイヤーグリッド偏光素子は、ガラス基板の表面に微細なグリッドを形成したものであり、
　ワイヤーグリッド偏光素子は、ワイヤーグリッド状のグリッドを、ワイヤーグリッド偏光素子の線状の光源である棒状ランプ側の表面に有しており、
　反射ミラーと上記偏光素子ユニットとの間の空間にガス（クリーンドライエアー）を供給するノズル（ガス供給手段）を設け、
　上記反射ミラーと偏光素子ユニットの間の空間にガスを供給するノズルは、ガスとしてクリーンドライエアーが供給され、
　ランプと偏光素子ユニットとの間に、光透過部材保持ユニットを設け、この光透過部材保持ユニットと偏光素子ユニットとの間に、エアーを供給するようにし、
　光透過部材保持ユニットは、上記偏光素子ユニットと同様に、複数の光透過部材をランプの長手方向に並べて配置したものであり、
　光透過部材として、石英板を用いる、
偏光光照射装置。」
 
（４）判断
ア　特許法第３６条第６項第１号及び第２号（上記（２）ア（ア））について
　本件訂正請求により、請求項１において、「上記偏光素子は、上記外壁の上記光出射口に設けられ」、「石英板を、上記外壁の外側に、上記外壁の上記光出射口から離隔して設け」ることに訂正されたため、請求項１，２に係る発明は、発明の詳細な説明に記載したものとなった。
　また、本件訂正請求により、請求項１において、「石英板を、上記外壁の外側に、上記外壁の上記光出射口から離隔して設け」ることが明瞭となった。
　よって、特許法第３６条第６項第１号及び第２号（上記（２）ア（ア））についての取消理由は解消した。
イ　特許法第３６条第６項第２号（上記（２）イ（ア））について
　本件訂正請求により、請求項２の「上記石英板」が、請求項１の「石英板」と対応・整合するように請求項１，２が訂正されたため、特許法第３６条第６項第２号（上記（２）イ（ア））についての取消理由は解消した。
ウ　特許法第２９条第２項（上記（２）ア（イ））について
（対比・判断）
（ア）本件発明１と、引用発明とを対比すると、両者は、以下の点で相違し、その余の点で一致している。
（相違点）
　本件発明１においては、
　上記外壁の上記光出射口に設けた、透明基板上の上記光源に対して反対側の表面にワイヤーグリッドを形成したワイヤーグリッド偏光素子と、
　上記外壁の外側に、上記外壁の上記光出射口から離隔して設けた、上記ワイヤーグリッド偏光素子の上記ワイヤーグリッドを上記外壁の外側から保護する石英板との間にエアーを流すエアー供給機構を備えているのに対して、
　引用発明においては、
　上記外壁の上記光出射口に設けた、透明基板上の上記光源側の表面にワイヤーグリッドを形成したワイヤーグリッド偏光素子と、
　上記外壁の内側に、上記外壁の上記光出射口から離隔して設けた、石英板との間にエアーを流すエアー供給機構を備えている点。
（イ）上記相違点について検討する。
　引用発明は、冷却風をブロアによりランプとミラー側から引き込むような構造のランプハウスにおいては、ランプハウス内の圧力は均一ではなく、ブロアの吹き出し口付近の圧力は高く、ランプハウス外の周辺雰囲気に対して陽圧になる一方、冷却風が引き込まれる付近、例えばランプ２１と偏光素子ユニット８０との間は圧力が低く、ランプハウス外の周辺雰囲気に対して負圧になるため、偏光素子ユニット８０に並べた偏光素子１どうしの隙間から、外気がランプハウス内に引き込まれることとなり、ランプから放射された紫外線と反応して、ワイヤーグリッド偏光素子のランプ側の表面を白濁させること、偏光板の表面が白濁すると、紫外線の透過率が低下し、ワークに照射する偏光光の照度が低下すること、ワイヤーグリッド偏光素子は、ガラス基板等の表面に微細なグリッドを形成したものであり、この面にシロキサン化合物が付着すると簡単にクリーニングすることができないという問題・課題（上記（３）ア（ウ）【００１１】〜【００１５】等）を解決するために、樋状ミラーと上記偏光素子の間の空間にガス（エアー）を供給するガス供給手段を設けたので、ランプハウスの内部、特に偏光素子ユニットのランプ側の空間が陽圧となるため、偏光素子ユニットに並べた複数の偏光素子の間に隙間を設けていても、そこから外気がランプハウス内に引き込まれないようにする（上記（３）ア（エ）及び（オ）【００１７】，【００２５】等）とともに、さらに、ノズル３から供給されたエアーが、ノズル３がある側とは反対側のランプハウス側面に達するまでに、ランプ冷却風とともにブロア３０に吸引されてしまうことを防ぐために、「ランプ２１」と「ワイヤーグリッド偏光素子１」との間に「石英板」（「光透過部材５１」）を設け、この「石英板」と「ワイヤーグリッド偏光素子１」との間にエアーを供給するようにして、ランプハウス１０に供給したエアーを、途中でブロア３０に吸引されることなく、ノズル３がある側とは反対側のランプハウス１０の側面に達するようにして、エアーの流量を少なくしても、エアーはノズル３が設けられている側とは反対側にまで届き、石英板と偏光素子１の間の圧力を、エアーが流れる方向に対して、均一に高くすることができ、これにより用力の負担を軽減できるようにする（上記（３）ア（カ）【００３０】等）という技術思想に基づいたものである。
　してみると、引用発明は、ランプハウス（外壁）「内」において、「ランプ（線状の光源）」と「ワイヤーグリッド偏光素子」との空間がランプハウス（外壁）「外」の周辺雰囲気に対して「負圧」になることを考慮して、「ランプ（線状の光源）」と「ワイヤーグリッド偏光素子」との空間を「陽圧」にするために、ランプハウス（外壁）「内」に「エアーを供給するガス供給手段（エアー供給機構）」と「石英板」を設けることをその技術的な特徴・前提とするものであるから、たとえ「偏光光照明装置において、偏光素子の光源に対して反対側に偏光光を透過するフィルタを配置すること」が本件特許の出願日前に周知の技術であったとしても、引用発明において、「偏光光を透過するフィルタ」である「石英板」を、外壁の「外側」に設け、上記外壁の「外側」に設けた「石英板」と、外壁の光出射口に設けた「ワイヤーグリッド偏光素子」との間にエアー供給機構によりエアーを流す構成とすることには、阻害要因がある。
　加えて、引用発明は、ワイヤーグリッド偏光素子の微細なグリッドを形成した表面にシロキサン化合物が付着すると簡単にクリーニングすることができないということを問題としているものであるから、引用発明において、外壁の光出射口に設けられたワイヤーグリッド偏光素子において、透明基板上の光源に対して反対側の表面にワイヤーグリッドを形成する構成とすると、ランプハウス（外壁）の外側に形成されることによってシロキサン化合物が付着しやすくなることは明らかであるから、この点からも、当該構成の変更には、阻害要因がある。
　してみると、引用発明において、引用例２〜４に例示された上記周知の技術に基づき、上記相違点に係る本件発明１の構成とすることは、当業者が容易になし得ることとはいえない。
エ　異議申立人の主張について
（ア）異議申立人は、特許異議申立書において、 上記の甲第１号証ないし甲第４号証として、上記の引用例１ないし４の提出する他に、甲第５号証ないし甲第１２号証として、特開平１０−９０６８４号公報、特開２０００−１４７５０６号公報、特開２０００−２０６５２５号公報、特開２００１−３５０１４４号、特開２００２−１８９３０１号公報、特開２００４−１５２８４２号公報、特開２００６−１８５６５６号公報、特開２０１１−２４７６４８号公報をそれぞれ提出し、（ａ）請求項１に係る発明は、甲第１号証に記載された発明、甲第２号証に記載された発明、甲第３号証ないし甲第１２号証に例示された周知技術から、請求項１に係る発明は容易に想到されたものである旨、（ｂ）請求項２に係る発明は、設計的事項にすぎないものある旨主張している。
　しかしながら、たとえ異議申立書において異議申立人が主張するような、「光源を覆い光源からの光が通過する光出射口を形成した外壁」、「外壁の光出射口に偏光素子を設けること」、「偏光素子の光源に対して反対側に偏光光を透過する板状体（マスクＭ）を、外壁の外側に設けること」、「生成物が紫外線の出射部に付着するのを抑制するためにエアーを供給すること」、「照射窓と板状体との間にエアーを流すエアー供給機構」が周知技術であったとしても、「上記ウ（イ）」において検討したように、引用発明において、「偏光光を透過するフィルタ」である「石英板」を、上記外壁の「外側」に設け、上記外壁の「外側」に設けた「石英板」と、上記外壁の上記光出射口に設けた「ワイヤーグリッド偏光素子」との間にエアー供給機構によりエアーを流す構成とすることや、外壁の光出射口に設けたワイヤーグリッド偏光素子において、透明基板上の光源に対して反対側の表面にワイヤーグリッドを形成する構成とすることには、阻害要因があるのであるから、上記相違点に係る本件発明１の構成とすることは、当業者が容易になし得ることとはいえない。
　してみると、請求項１に係る発明が、甲第１号証に記載された発明、甲第２号証に記載された発明、甲第３号証ないし甲第１２号証に例示された周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものということはできない。
　同様に、請求項２に係る発明は、請求項１に係る発明をさらに限定したものであるから、請求項２に係る発明が、甲第１号証に記載された発明、甲第２号証に記載された発明、甲第３号証ないし甲第１２号証に例示された周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものということはできない。
（イ）異議申立人は特許異議申立書において、（ｃ）発明の詳細な説明において、外壁の外部、外壁面、内部に偏光素子を設けた場合に偏光素子の白濁をどのように防止するのか何ら記載されておらず、周知のことでもないから、請求項１に係る発明は、発明の詳細な説明において、当業者が実施できる程度に明確かつ十分に記載されていない、また、（ｄ）発明の詳細な説明において、偏光素子の幅を広くした場合に、どのようにして光出射口の周縁により光が蹴られなくするのかが何ら記載されておらず、請求項２に係る発明は、発明の詳細な説明において、当業者が実施できる程度に明確かつ十分に記載されていない旨主張している。
　しかしながら、本件訂正請求により、請求項１に係る発明は、偏光素子が、上記外壁の上記光出射口に設けられ、石英板が、上記外壁の外側に上記外壁の上記光出射口から離隔して設けられるものに訂正されており、請求項１，２に係る発明は、発明の詳細な説明において、当業者が実施できる程度に明確かつ十分に記載されているものである。
　また、本件発明２は、「上記線状の光源の長さ方向に対して垂直で光照射面に対して平行な方向である幅方向で見た際、上記ワイヤーグリッド偏光素子は上記石英板よりも大きい」構成を備えることにより、本件特許明細書の【００２６】に記載された「光源側に近いワイヤーグリッド偏光素子８１の幅（ここで、幅とは、線状の光源の長さ方向に対して垂直で、光照射面に対して平行な方向のことをいう）を、光源側から遠いフィルタ板９１の幅より広くしておけば、光源からフィルタ板９１に入射する光が、偏光板８１の保持枠８２により蹴られることがないので、光源から放射される光を有効に利用することができる」という作用・効果を奏するものであり、請求項２に係る発明は、発明の詳細な説明において、当業者が実施できる程度に明確かつ十分に記載されているものである。
（ウ）異議申立人は特許異議申立書において、（ｅ）請求項１に記載された、外壁の外部、外壁の面、内部に偏光子が設けられ、かつ、偏光子の白濁を防ぐことができる偏光光照射装置は、発明の詳細な説明に記載されていない旨主張している。
　しかしながら、本件訂正請求により、請求項１に係る発明は、偏光素子が、上記外壁の上記光出射口に設けられ、石英板が、上記外壁の外側に上記外壁の上記光出射口から離隔して設けられるものに訂正されており、請求項１に係る発明は、発明の詳細な説明に記載したものである。
（エ）異議申立人は特許異議申立書において、請求項１に記載の偏光素子は、位置関係が不明確である旨主張している。
　しかしながら、本件訂正請求により、請求項１に係る発明は、偏光素子が、上記外壁の上記光出射口に設けられるものに訂正されており、偏光素子の位置関係は明確である。
（オ）異議申立人は、平成２８年１０月２８日に提出された訂正請求及び意見書に対する意見書（以下、「異議申立人意見書」という。）において、参考資料１ないし３として、特開２００６−１８４７４７号公報、特開２０１２−１８１４２０号公報、特開平９−６１６２７号公報をあげて、「上記偏光子は、上記外壁の上記光出射口に設けられ、透明基板上の上記光源に対して反対側の表面にワイヤーグリッドを形成したワイヤーグリッド偏光素子」、あるいは、「ワイヤーグリッド偏光素子のワイヤーグリッドが形成された面とは反対側の面から光を入射させる」ことは周知の技術であり、請求項１に係る発明は、引用例１ないし４に記載された発明により、当業者が容易に発明をすることができたものである旨主張している。
　しかしながら、「上記ウ（イ）」において検討したように、引用発明において、外壁の光出射口に設けたワイヤーグリッド偏光素子において、透明基板上の光源に対して反対側の表面にワイヤーグリッドを形成する構成とすることや、「石英板」を上記外壁の「外側」に設けた構成とすることには、阻害要因があるのであるから、たとえ異議申立人が主張するような技術が周知技術であったとしても、請求項１に係る発明は、引用例１ないし４に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるとはいえない。
（カ）異議申立人は、異議申立人意見書において、「上記ワイヤーグリッド偏光素子の上記光源に対して反対側に偏光光を透過し上記ワイヤーグリッド偏光素子の上記ワイヤーグリッドを上記外壁の外側から保護する石英板を、上記外壁の外側に、上記外壁の上記光出射口から離隔して設け、」は、発明の構成が不明確であり、また、発明の詳細な説明に記載したものでない旨主張している。
　しかしながら、「上記ワイヤーグリッド偏光素子の上記ワイヤーグリッドを上記外壁の外側から保護する石英板を、上記外壁の外側に、上記外壁の上記光出射口から離隔して設け」ることにより、本件特許明細書の【０００９】に記載されているように、「偏光光照射装置の保守点検の際などに、装置に取り付けられている偏光素子のグリッド形成面にあやまって触れてしまったり、偏光素子の上に何か物を落としてしまったりして、微細なグリッドを壊してしまう」ことがないものであり、「上記ワイヤーグリッド偏光素子の上記ワイヤーグリッドを上記外壁の外側から保護する石英板を、上記外壁の外側に、上記外壁の上記光出射口から離隔して設け」という記載は明確である。また、請求項１に係る発明は、発明の詳細な説明に記載したものである。
（キ）異議申立人は、異議申立人意見書において、保護対象であるワイヤーグリッド偏光素子が石英板よりも大きければ、幅方向において石英板の周囲からワイヤグリッド偏光素子ははみ出すことになり、このような場合には、石英板によるワイヤーグリッド素子の保護ができないことは明らかであり、どのように保護するのかかが発明の詳細な説明に記載されていない旨主張している。　
　しかしながら、ワイヤグリッド偏光素子においては、ワイヤーグリッドそのものは透明基板の表面に形成されたものであることや、本件特許明細書の【００２６】に記載された「光源側に近いワイヤーグリッド偏光素子８１の幅（ここで、幅とは、線状の光源の長さ方向に対して垂直で、光照射面に対して平行な方向のことをいう）を、光源側から遠いフィルタ板９１の幅より広くしておけば、光源からフィルタ板９１に入射する光が、偏光板８１の保持枠８２により蹴られることがないので、光源から放射される光を有効に利用することができる」という記載によれば、「上記線状の光源の長さ方向に対して垂直で光照射面に対して平行な方向である幅方向で見た際、上記ワイヤーグリッド偏光素子は上記石英板よりも大きい」ものでも、ワイヤーグリッドを外壁の外側から保護できるものであり、請求項２に係る発明は、発明の詳細な説明に記載したものである。
（ク）以上のとおりであるから、異議申立人の主張はいずれも採用することはできない。
（ケ）異議申立書において異議申立人は意見書の提出を希望しているところ、平成２８年１０月２８日に提出された訂正請求及び意見書に対して、意見書の提出が既になされており、平成２９年１月１６日に提出された訂正請求は、請求項２の「前記フィルタ」を「前記石英板」とする訂正事項４、発明の詳細な説明の【発明の効果】【００１３】の記載を訂正する訂正事項６以外は、平成２８年１０月２８日に提出された訂正請求の内容と同じであり、また、平成２８年１２月５日提出の意見書において、異議申立人が「フィルタ」を「石英板」と解して反論をしていることから、平成２９年１月１６日に提出された訂正請求及び意見書に対して、異議申立人に改めて意見を聞く必要はないと合議体は判断した。
オ　むすび
　以上のとおりであるから、取消理由によっては、本件請求項１及び２に係る特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件請求項１及び２に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成２９年２月２日（２０１７．２．２）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５４）【発明の名称】
偏光光照射装置
　【技術分野】
　【０００１】
　本発明は、液晶素子の配向膜や、視野角補償フィルムの配向層などに所定の波長の偏光光を照射して配向を行う偏光光照射装置に関し、特にワイヤーグリッド偏光素子を使用する偏光光照射装置に関する。
　【背景技術】
　【０００２】
　近年、液晶パネルを始めとする液晶表示素子の配向膜や、視野角補償フィルムの配向層などの配向処理に関し、紫外線領域の波長の偏光光を照射し配向を行なう、光配向と呼ばれる技術が採用されるようになってきた。以下、光により配向を行う配向膜や、配向層を設けたフィルムなど、光により配向特性が生じる膜や層を総称して光配向膜と呼ぶ。
　光配向膜は、液晶パネルの大型化と共に、例えば一辺が２０００ｍｍ以上の四角形というように大面積化している。
　【０００３】
　上記のような大面積の光配向膜に対して光配向を行うために、線状の光源である棒状のランプとワイヤーグリッド状のグリッドを有する偏光素子（以下ワイヤーグリッド偏光素子）を組み合わせた偏光光照射装置が、例えば特許文献１などで提案されている。
　棒状ランプは、発光長が比較的長いものを作ることができる。そのため、光配向膜の幅に応じた発光長を備えた棒状ランプを使用し、該ランプからの光を偏光して照射しながら、配向膜または光源をランプの長手方向に直交する方向に移動させれば、広い面積の配向膜を比較的短時間で光配向処理を行なうことができる。
　【０００４】
　図６に、線状の光源である棒状ランプとワイヤーグリッド偏光素子を組み合わせた従来の偏光光照射装置の構成例を示す。
　同図において、光配向膜であるワークＷは、例えば視野角補償フィルムのような帯状の長尺ワークであり、送り出しロールＲ１から送り出され、図中矢印方向に搬送されながら偏光光照射により光配向処理され、巻き取りロールＲ２により巻き取られる。
　偏光光照射装置の光照射部１０は、光配向処理に必要な波長の光（紫外線）を放射する棒状ランプ１１、例えば高圧水銀ランプや水銀に他の金属を加えたメタルハライドランプと、この棒状ランプ１１からの紫外線をワークＷに向けて反射する樋状の反射鏡１２を備える。上記のように、棒状ランプ１１の長さは、発光部が、ワークＷの搬送方向に直交する方向の幅に対応する長さを備えたものを使用する。
　【０００５】
　光照射部１０は、ランプ１１の長手方向がワークＷの幅方向（搬送方向に対して直交方向）になるように配置する。
　光照射部１０の光出射側には、偏光素子であるワイヤーグリッド偏光素子８１が設けられる。光照射部１０からの光はワイヤーグリッド偏光素子８１により偏光され、光照射部１０の下を搬送されるワークＷに照射され、光配向処理が行われる。
　ワイヤーグリッド偏光素子は、偏光したい波長の光を透過する透明基板（例えばガラス基板）上にグリッド（ライン・アンド・スペース）を形成したものであり、例えば特許文献２や特許文献３にその詳細が示されている。
　【０００６】
　光路中にワイヤーグリッド偏光素子を挿入すると、入射する光のうち、グリッドの長手方向に平行な偏光成分は大部分が反射もしくは吸収され、グリッドの長手方向に直交する偏光成分は通過する。したがって、ワイヤーグリッド偏光素子を通過した光は、偏光素子のグリッドの長手方向に直交する方向の偏光軸を有する偏光光となる。
　光配向処理には紫外線領域の偏光光が使用される。ワイヤーグリッド偏光素子に入射する光を偏光光にするためには、透明基板に形成するグリッドの幅や間隔は、偏光する光の波長よりも短くする（例えば１００ｎｍ）必要がある。
　そのため、グリッドの形成には微細な加工技術が必要であり、半導体集積回路製造に使われるリソグラフィ技術やエッチング技術が利用されるが、そこで使用されるリソグラフィ装置やエッチング装置が加工できるワークの大きさには限界がある。そのため、ワイヤーグリッド偏光素子は大型のものができず、現状製作できる大きさは直径３００ｍｍ程度までである。
　【０００７】
　そこで、例えば特許文献４には、発光長の長い棒状の光源、例えば長さ１ｍから３ｍといった棒状の高圧水銀ランプやメタルハライドランプに応じた、大きな（長い）偏光素子が必要な場合は、矩形のワイヤーグリッド偏光素子を複数、グリッドの方向をそろえ、フレームの中にランプの長手方向に沿って並べ、一つの偏光素子ユニットとして使用することが提案されている。
　【先行技術文献】
　【特許文献】
　【０００８】
　【特許文献１】特開２０１１−１４５３８１号公報
　【特許文献２】特開２００２−３２８２３４号公報
　【特許文献３】特表２００３−５０８８１３号公報
　【特許文献４】特許第４５０６４１２号公報
　【非特許文献１】竹田、野中、藤本「クリーンルーム環境問題　シロキサン化合物」
クリーンテクノロジー　１９９８年４月号３４ページ
　【発明の概要】
　【発明が解決しようとする課題】
　【０００９】
　上記したように、ワイヤーグリッド偏光素子のグリッドは微細な加工により製造され、グリッドの幅や間隔は例えば１００ｎｍであるため、誤って指で触れたり、その上に物を落としたりすると、グリッド構造が壊れてしまい、偏光素子としての役目を果たさなくなる。しかし、微細であるため、透明基板（ガラス）の表面にグリッドが形成されていることが、肉眼ではわかりにくい。
　そのため、偏光光照射装置の保守点検の際などに、装置に取り付けられている偏光素子のグリッド形成面にあやまって触れてしまったり、偏光素子の上に何か物を落としてしまったりして、微細なグリッドを壊してしまうことが考えられる。
　【００１０】
　また、このような偏光光照射装置が配置される、半導体や液晶表示素子の工場のクリーンルームの雰囲気には、シロキサン化合物と呼ばれる物質が含まれており、製造上のトラブルや収率の悪化の原因になることが知られている（例えば非特許文献１参照）。
　シロキサン化合物は例えばレジストの現像液などに多く含まれている。シロキサン化合物は、紫外線が照射されると光化学反応により白い粉を生じ、紫外線照射装置内部の光学素子の表面を白濁させる。
　ワイヤーグリッド偏光素子は、ガラス基板等の表面に微細なグリッドを形成したものであり、この面にシロキサン化合物が付着すると簡単にクリーニングすることができない。
　【００１１】
　本発明は上記した問題点を考慮してなされたものであり、本発明の目的は、線状の光源と、この光源からの光を偏光するワイヤーグリッド偏光素子とを備えた偏光光照射装置において、装置のメンテナンスの際などに、装置に取り付けられているワイヤーグリッド偏光素子のグリッド形成面に指を触れたり、物を落としたりしてグリッドを壊すといったことがないようにするとともに、ワイヤーグリッド偏光素子の表面にシロキサン化合物による白濁が生じないようにすることである。
装置を構成することである。
　【課題を解決するための手段】
　【００１２】
　上記課題を解決するため、ワイヤーグリッド偏光素子を備えた偏光光照射装置において、ワイヤーグリッド偏光素子に対して光源とは反対側（被照射物側）に、
石英板
　さらに、ワイヤーグリッド偏光素子と
石英板
　
すなわち、本発明のある態様によれば、線状の光源と、該光源からの光を偏光する偏光素子と、上記光源を覆い光源からの光が透過する光出射口を形成した外壁とを備えた偏光光照射装置において、上記偏光素子は、上記外壁の上記光出射口に設けられ、透明基板上の上記光源に対して反対側の表面にワイヤーグリッドを形成したワイヤーグリッド偏光素子であって、上記ワイヤーグリッド偏光素子の上記光源に対して反対側に偏光光を透過し上記ワイヤーグリッド偏光素子の上記ワイヤーグリッドを上記外壁の外側から保護する石英板を、上記外壁の外側に、上記外壁の上記光出射口から離隔して設け、上記ワイヤーグリッド偏光素子と上記石英板との間にエアーを流すエアー供給機構を備えることを特徴とする偏光光照射装置が提供される。
　【発明の効果】
　【００１３】
　ワイヤーグリッド偏光素子の光源とは反対側（被照射物側）に
石英板
　また、ワイヤーグリッド偏光素子に対して被照射物（ワーク）が配置される側に
石英板
石英板
　【図面の簡単な説明】
　【００１４】
　【図１】本発明の前提となる偏光光照射装置のランプハウス（灯具）の概略構成を示す図である。
　【図２】偏光素子ユニットの構造を示す図である。
　【図３】本発明の前提となる偏光光照射装置のランプハウス（灯具）の変形例を示す図である。
　【図４】本発明の偏光光照射装置のランプハウス（灯具）の概略構成を示す図である。
　【図５】本発明の変形例を示す図である。
　【図６】従来の偏光光照射装置の構成例を示す図である。
　【発明を実施するための形態】
　【００１５】
　図１は、本発明の前提となる偏光光照射装置のランプハウス（灯具）の概略構成を示す図である。同図は、ランプハウスの長手方向に対して直交する方向の断面図である。なお、同図においては、ランプの点灯装置などの構成については省略して示している。
　ランプハウス１は、光照射部１０と、その上部に水冷式の冷却機（ラジエータ）２０と送風機（ブロア）３０とを備える。光照射部１０は、ランプ１１とランプ１１からの光を反射する反射ミラー１２とを有している。図中実線の矢印で示すように、ランプ１１からの光は、直接または反射ミラー１２により反射されて、ワイヤーグリッド偏光素子８１と、偏光素子８１に対して間隔を設けて配置したフィルタ板９１とを介してワークＷに照射される。
　ブロア３０は、ランプ１１点灯時にランプ１１や反射ミラー１２、またワイヤーグリッド偏光素子８１やフィルタ板９１などを冷却する冷却風を発生させ、ラジエータ２０は、ランプ１１や反射ミラー１２などを冷却した冷却風の温度を下げるはたらきをする。
　【００１６】
　光照射部１０は隔壁４０により囲まれており、その外側をランプハウス１の外壁６０が覆っている。隔壁４０と外壁６０との間には隙間が形成されている。この隙間は、冷却風が通過する通風路５０となる。
　冷却風は、ブロア３０から送り出されて通風路５０を通り、反射ミラー１２の光出射側から、ランプ１１や反射ミラー１２を冷却する。また、冷却風の一部はワイヤーグリッド偏光素子８１とフィルタ板９１との間の通風路１００を通過し、ワイヤーグリッド偏光素子８１とフィルタ板９１を冷却する。ランプ１１や反射ミラー１２、ワイヤーグリッド偏光素子８１やフィルタ板９１などを冷却し、高い温度になった冷却風は、光照射部１０の内側に引き込まれ、ラジエータ２０を通過して冷却され、再びブロア３０により送り出される。ここで、ブロア３０は偏光板８１とフィルタ板９１との間にエアーを流すエアー供給機構の役割を果たす。
　【００１７】
　また、ランプハウス１の外壁６０には、光照射部１０からワークＷに向かって照射される光が通過する光出射口７０が形成されている。
　この光出射口７０には、ここを通過する光を偏光するワイヤーグリッド偏光素子８１を有する偏光素子ユニット８０とフィルタ板９１を有するフィルタ枠９２が取り付けられる。
　偏光素子ユニット８０のワイヤーグリッド偏光素子８１は、光配向処理を行うための波長の光を透過する透明基板（ガラス基板）の一方の表面に、ワイヤーグリッド（以下グリッドともいう）Ｇを形成したものである。ここでグリッドＧの形成面をランプ１１とは反対側（ワーク側）に向けて配置する。
　図１においてワイヤーグリッド偏光素子８１のグリッドＧは、図面左右方向に延びている。
　【００１８】
　図２は、偏光素子ユニット８０の構造を示す図である。図２（ａ）は偏光素子ユニット８０の平面図、図２（ｂ）は偏光素子ユニット８０の側断面図、図２（ｃ）は偏光素子ユニット８０の斜視図である。
　偏光素子ユニット８０は、複数のワイヤーグリッド偏光素子（以下偏光板ともいう）８１を、棒状ランプ１２の長手方向（図２の左右方向）に沿ってフレーム（保持枠）８２内に並べて保持したものである。保持枠８２は上下から各偏光板８１を挟み込むようにして保持する。
　【００１９】
　隣り合う偏光板と偏光板の間には、１ｍｍから２ｍｍ程度の隙間が設けられる。偏光板どうしのグリッドＧの方向が平行になるように合せるために、この隙間を使って偏光板８１を回転移動させて位置調整する。そして、この隙間は、ここから無偏光光が漏れないように、偏光素子ユニット８０において遮光板８３により覆われている。
　上記したように、各ワイヤーグリッド偏光素子（偏光板）８１は、図２（ｂ）に示すように、グリッドＧの形成面がランプ（光源）側（ランプハウスの内側）になるように配置される。
　【００２０】
　そして、偏光板８１の光源（ランプ１１と反射ミラー１２）とは反対側（偏光素子ユニット８０のワークＷ側）の、外壁６０に形成された光出射口７０の位置にフィルタユニット９０を配置する。フィルタユニット９０は、偏光板８１と同様に、複数のフィルタ板９１を保持枠９２内に、ランプ１２の長手方向に沿って並べて配置したものである。フィルタ板９１としては、偏光する紫外線の波長を透過する石英板を使用することができる。また、光配向処理には必要がない可視光や赤外線を遮断する干渉を形成した干渉フィルタを使用しても良い。
　【００２１】
　このように構成することで、偏光板８１はランプハウス１の外壁６０の内部に設けられることになり、また外壁６０に形成された開口である光出射口７０にはフィルタユニット９０が取り付けられている。そのため、指などが直接偏光板８１に触れることはなくグリッドＧの破損を防ぐことができる。
　偏光板８１とフィルタ板９１を接触させて重ねると、偏光板８１のグリッドＧが傷む可能性があるので、通風路形成部材９３により、両者を５ｍｍから１００ｍｍ程度の間隔をあけて配置する。この間隔は、偏光板８１とフィルタ板９１を冷却する冷却風が流れる通風路１００を形成する。
　【００２２】
　なお、本例においては、通風路形成部材９３は、フィルタ板９１の保持枠９２の上に立て、その上に偏光素子ユニット８０の保持枠８２を取り付けている。しかし、通風路形成部材９３は、外壁６０の上に立て、その上に偏光素子ユニット８０の保持枠８２を設けても良い。
　また、通風路形成部材９３を光照射部１０に取り付け、偏光素子ユニット８０の保持枠８２を吊下げるようにして設けても良い。要は光照射部１０と偏光素子ユニット８０との間、また偏光素子ユニット８０とフィルタ板９１の保持枠９２との間に冷却風の流れる通風路が形成されれば良い。
　【００２３】
　偏光板８１とフィルタ板９１との間隔は、狭いとその間を冷却風が流れにくくなり、偏光板８１やフィルタ板９１がランプ１１からの熱で加熱される可能性があり、十分な冷却風が流れる間隔を設ける。しかし、グリッドＧの保護のためには、偏光板８１のグリッドＧ形成面に指が届かないような間隔にすることが望ましい。
　指が入らない間隔の一例としてＩＰ（Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ　Ｐｒｏｔｅｃｔｉｏｎ）規格があげられる。これは、ＩＥＣ６０５２９（１９８９年）で制定され、ＪＩＳでもＣ０９２０（１９９３年）に定められているもので、人体に対する保護内容として、指の場合、機器に対する保護内容は直径１２．５ｍｍ以下にすることが示されている。したがって、偏光板８１とフィルタ板９１との間隔は５ｍｍから１２．５ｍｍにすることが望ましい。
　【００２４】
　通風路形成部材９３は、偏光素子ユニット８０とフィルタ９０の長手方向に沿って両側（図１の左右方向）に複数、冷却風が通過できる間隔をあけて設ける。なお、通風路形成部材９３は棒状のものでも良いし矩形のブロック状のものでも良い。また、冷却風が通過できる貫通孔（直径５ｍｍ以上が望ましい）を形成した板状もしくは壁状のものでも良いし、偏光素子ユニット８０とフィルタ９０の間隔を保持できるものであれば網状のものでも良い。
　なお、貫通孔を形成した板状の部材や網状の部材にした場合、通風口となる孔や網の径の大きさを、上記した指の入らない大きさである直径１２．５ｍｍ以下（即ち通風が確保できる直径５ｍｍ〜１２．５ｍｍの孔）にしておけば、偏光素子ユニット８０とフィルタ９０との間の間隔を、十分な冷却風が流れるように広げても、偏光板８１のグリッドＧ形成面に指が届かず、グリッドＧを保護することができる。
　【００２５】
　また、ワイヤーグリッド偏光素子８１に対してワークＷ（被照射物）が配置される側にフィルタ板９１を設けているので、ワイヤーグリッド偏光素子８１の表面にシロキサン化合物が直接触れて付着することが少なくなる。これによりワイヤーグリッド偏光素子８１に白濁が生じにくくなる。さらに、ワイヤーグリッド偏光素子８１とフィルタ板９１との間に冷却風（エアー）が流れるので、これによりワイヤーグリッド偏光素子８１の表面にシロキサン化合物がより付着しにくくなる。そのためワイヤーグリッド偏光素子９１により白濁が生じにくくなる。
　【００２６】
　なお、図１に示すように、光源側に近いワイヤーグリッド偏光素子８１の幅（ここで、幅とは、線状の光源の長さ方向に対して垂直で、光照射面に対して平行な方向のことをいう）を、光源側から遠いフィルタ板９１の幅より広くしておけば、光源からフィルタ板９１に入射する光が、偏光板８１の保持枠８２により蹴られることがないので、光源から放射される光を有効に利用することができる。
　【００２７】
　図３は、本発明の前提となる偏光光照射装置の変形例を示す図である。図１に示した偏光光照射装置との構成の違いは、偏光板８１のグリッドＧ形成面がフィルタ板９１側ではなく、光源側に向けられている点である。それ以外の構成は基本的に図１に示したものと同様である。
　本実施例においては、偏光板８１のグリッドＧ形成面は光源側を向いているが、偏光板８１自身は、ランプハウス１の外壁６０の内部に設けられており、また外壁６０に形成された光出射口７０にはフィルタユニット９０が取り付けられている。そのため、指などが直接偏光板８１に触れることはなくグリッドＧの破損を防ぐことができる。
　また、上記の例と同様に、フィルタ板９１の存在と、フィルタ板９１と偏光板８１との間に流れる冷却風（エアー）により、偏光板８１へのシロキサン化合物の付着を防ぎ、偏光板８１の白濁を防ぐことができる。
　【００２８】
　図４は、本発明の偏光光照射装置のランプハウス（灯具）の概略構成を示す図である。同図は図１と同様にランプハウスの長手方向に対して直交する方向の断面図である。
　図１の例の構成との違いは、偏光素子ユニット８０をランプハウス１の光出射口７０の位置に配置し、フィルタユニット９０をランプハウス１の外壁６０の外側に配置したことである。
　【００２９】
　フィルタユニット９０のフィルタ枠９２は、外壁６０に立てた通風路形成部材９３により支持され、偏光板８１とフィルタ板９１との間には通風路１００が形成される。
　そして、ランプハウス１の外には、上記通風路にエアーを供給する送風ノズル１１０が設けられる。送風ノズル１１０からのエアーは偏光板８１とフィルタ板９１の間の通風路１００を通過し、偏光板８１にシロキサン化合物が付着することを防ぎ、これにより偏光板８１の白濁を防ぐことができる。
　また、偏光素子ユニット８０のワーク側（光出射側）にフィルタユニット９０が設けられているので、指などが直接偏光板８１に触れることはなくグリッドＧの破損を防ぐことができる。
　【００３０】
　図５は、本発明の実施例の変形例を示す図である。図４に示した偏光光照射装置との構成の違いは、偏光板８１のグリッドＧ形成面がフィルタ板９１側ではなく、光源側に向けられている点である。それ以外の構成は基本的に図４に示したものと同様である。
　このように配置しても、偏光素子ユニット８０のワーク側（光出射側）にフィルタユニット９０が設けられているので、指などが直接偏光板８１に触れることはなくグリッドＧの破損を防ぐことができる。
　【００３１】
　なお、上記実施例においては、光源として棒状のランプを例にして説明したが、紫外線を出射するＬＥＤを複数線状に並べて構成したものでも、本発明は適用できる。
　【符号の説明】
　【００３２】
１　　　　　ランプハウス（灯具）
１０　　　　光照射部
１１　　　　棒状ランプ
１２　　　　反射ミラー
２０　　　　ラジエータ（冷却機）
３０　　　　ブロア（送風機）
４０　　　　隔壁
５０　　　　通風路
６０　　　　外壁
７０　　　　光出射口
８０　　　　偏光素子ユニット
８１　　　　ワイヤーグリッド偏光素子（偏光板）
８２　　　　偏光板の保持枠
８３　　　　遮光板
９０　　　　フィルタユニット
９１　　　　フィルタ板
９２　　　　フィルタ板の保持枠
９３　　　　通風路形成部材
１００　　　通風路
１１０　　　送風ノズル
Ｇ　　　　　ワイヤーグリッド
Ｗ　　　　　ワーク
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】
　線状の光源と、該光源からの光を偏光する偏光素子と、上記光源を覆い光源からの光が通過する光出射口を形成した外壁とを備えた偏光光照射装置において、
　上記偏光素子は
、上記外壁の上記光出射口に設けられ、
の上記光源に対して反対側の表面
　上記ワイヤーグリッド偏光素子の上記光源に対して反対側に偏光光を透過
し上記ワイヤーグリッド偏光素子の上記ワイヤーグリッドを上記外壁の外側から保護する石英板
、上記外壁の上記光出射口から離隔して
　上記ワイヤーグリッド偏光素子と上記
石英板
　【請求項２】
　上記線状の光源の長さ方向に対して垂直で光照射面に対して平行な方向である幅方向で見た際、上記ワイヤーグリッド偏光素子は上記
石英板