(57)【要約】【課題】第１接着シートを介して別の接着シートが被着体に貼付されている場合でも、第１接着シートに印を付与することができるシート張替装置を提供すること。【解決手段】シート張替装置１０は、第１接着シートＡＳ１における被着体貼付面ＡＳ１１に被着体ＷＦが貼付されるとともに、当該第１接着シートＡＳ１におけるシート貼付面ＡＳ１２に第２接着シートＡＳ２が貼付された一体物ＷＫ１から第２接着シートＡＳ２を剥離する剥離手段２０と、第２接着シートＡＳ２が剥離されたシート貼付面ＡＳ１２に所定の印刷を施す印付与手段３０と、所定の印が付与されたシート貼付面ＡＳ１２に第３接着シートＡＳ３を貼付する貼付手段４０とを備えている。【選択図】図１
0003200698.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
第１接着シートにおける被着体貼付面に被着体が貼付されるとともに、当該第１接着シートにおけるシート貼付面に第２接着シートが貼付された一体物から当該第２接着シートを剥離する剥離手段と、
前記第２接着シートが剥離された前記シート貼付面に所定の印を付与する印付与手段と、
前記所定の印が付与された前記シート貼付面に第３接着シートを貼付する貼付手段とを備えていることを特徴とするシート張替装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、シート張替装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、第１接着シートを介して被着体に貼付された第２接着シートを第３接着シートに貼り替えるシート張替装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１４−６３９４５号公報
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載されたような従来のシート張替装置は、印付与手段を有していないため、印を付与する対象が第１接着シートであるか否かにかかわらず、印を付与することができないという不都合がある。また、シート張替装置以外の装置で第１接着シートに印を付与しようとしても、シート張替前は第２接着シートが第１接着シートに貼付され、シート張替後は第３接着シートが第１接着シートに貼付されているため、第１接着シートに印を付与することができないという不都合がある。
【０００５】
本考案の目的は、第１接着シートを介して別の接着シートが被着体に貼付されている場合でも、第１接着シートに印を付与することができるシート張替装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本考案のシート張替装置は、第１接着シートにおける被着体貼付面に被着体が貼付されるとともに、当該第１接着シートにおけるシート貼付面に第２接着シートが貼付された一体物から当該第２接着シートを剥離する剥離手段と、前記第２接着シートが剥離された前記シート貼付面に所定の印を付与する印付与手段と、前記所定の印が付与された前記シート貼付面に第３接着シートを貼付する貼付手段とを備えていることを特徴とする。
【考案の効果】
【０００７】
以上のような本考案によれば、シート張替装置に印付与手段を設けたため、第２接着シートを第３接着シートに貼り替える際に第１接着シートが露出する機会を利用することができ、第１接着シートを介して別の接着シートが被着体に貼付されている場合でも、第１接着シートに印を付与することができる
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本考案の一実施形態に係るシート張替装置の側面図。
【図２】シート張替装置の動作説明図。
【考案を実施するための形態】
【０００９】
以下、本考案の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１中手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。
【００１０】
図１において、シート張替装置１０は、第１接着シートＡＳ１における被着体貼付面ＡＳ１１に被着体としての半導体ウエハ（以下、単にウエハという場合がある）ＷＦが貼付されるとともに、当該第１接着シートＡＳ１におけるシート貼付面ＡＳ１２に第２接着シートＡＳ２が貼付された一体物ＷＫ１から当該第２接着シートＡＳ２を剥離する剥離手段２０と、第２接着シートＡＳ２が剥離されたシート貼付面ＡＳ１２に所定の印としての印字を付与する印付与手段３０と、所定の印が付与されたシート貼付面ＡＳ１２に第３接着シートＡＳ３を貼付する貼付手段４０とを備え、一体物ＷＫ１を保持する保持手段５０の上方に配置されている。なお、一体物ＷＫ１は、第２接着シートＡＳ２を介して支持部材としてのリングフレームＲＦに支持されている。
【００１１】
剥離手段２０は、剥離用テープＰＴを支持する支持ローラ２１Ａと、駆動機器としての回動モータ２１Ｂによって駆動される駆動ローラ２１Ｃと、駆動ローラ２１Ｃとの間に剥離用テープＰＴを挟み込むピンチローラ２１Ｄと、剥離用テープＰＴを案内するガイドローラ２１Ｅと、上面から凹んだ凹部２２Ａを有し、剥離用テープＰＴを案内するガイドプレート２２と、ガイドプレート２２を軸２３Ａで支持し、当該軸２３Ａをその軸方向に移動可能に支持するブッシュ２３と、ガイドプレート２２をブッシュ２３から離間する方向に付勢する付勢手段としてのコイルばね２４と、駆動機器としての直動モータ２５の出力軸２５Ａに支持された切断刃２６と、駆動機器としての直動モータ２７の出力軸２７Ａに支持された押圧ヘッド２８と、駆動機器としての図示しないリニアモータのスライダに支持され、一対の把持爪２９Ａを有する駆動機器としてのチャックシリンダ２９とを備えている。
【００１２】
印付与手段３０は、駆動機器としてのリニアモータ３１と、リニアモータ３１のスライダ３１Ａに支持されたレーザ印字器３２とを備えている。
【００１３】
貼付手段４０は、帯状の剥離シートＲＬの一方の面に第３接着シートＡＳ３が仮着された原反ＲＳを支持する支持ローラ４１と、原反ＲＳを案内する複数のガイドローラ４２と、剥離シートＲＬを折り曲げて当該剥離シートＲＬから第３接着シートＡＳ３を剥離する剥離部材としての剥離板４３と、剥離された第３接着シートＡＳ３をリングフレームＲＦおよび第１接着シートＡＳ１に押圧して貼付する押圧部材としての押圧ローラ４４と、駆動機器としての回動モータ４５Ａによって駆動される駆動ローラ４５と、駆動ローラ４５との間に剥離シートＲＬを挟み込むピンチローラ４６と、剥離シートＲＬを回収する回収ローラ４７とを備えている。
【００１４】
保持手段５０は、駆動機器としてのリニアモータ５１のスライダ５１Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって一体物ＷＫ１を吸着保持可能な支持面５２Ａを有するテーブル５２を備えている。
【００１５】
以上のシート張替装置１０において、第２接着シートＡＳ２を第３接着シートＡＳ３に貼り替える手順を説明する。
先ず、各部材が初期位置に配置された図１中実線で示す状態のシート張替装置１０に対し、作業者が剥離用テープＰＴおよび原反ＲＳを同図に示すようにセットする。その後、図示しない操作パネルやパーソナルコンピュータ等の入力手段を介して自動運転開始の信号をシート張替装置１０に入力すると、貼付手段４０が回動モータ４５Ａを駆動し、原反ＲＳを繰り出し、第３接着シートＡＳ３が所定位置に達したことがカメラ等の撮像手段や光学センサ等の図示しない検出手段に検出されると、貼付手段４０が回動モータ４５Ａの駆動を停止し、スタンバイ状態となる。
【００１６】
そして、人手または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段により、第２接着シートＡＳ２が剥離手段２０側になるように一体物ＷＫ１をテーブル５２の支持面５２Ａ上に載置する。すると、保持手段５０が図示しない減圧手段を駆動し、一体物ＷＫ１をリングフレームＲＦとともに吸着保持した後、リニアモータ５１を駆動し、テーブル５２を左方へ移動させ、図１中右側の二点鎖線で示すように、第２接着シートＡＳ２が押圧ヘッド２８の下方所定位置に到達したことが光学センサや撮像手段等の図示しない検知手段に検知されると、リニアモータ５１の駆動を停止する。その後、剥離手段２０が図示しないリニアモータを駆動し、チャックシリンダ２９を右方向に移動させ、当該チャックシリンダ２９でガイドプレート２２を右方向に押して移動させる。次に、剥離手段２０がチャックシリンダ２９を駆動し、一対の把持爪２９Ａで剥離用テープＰＴの繰出方向先端部を把持する。その後、剥離手段２０が回動モータ２１Ｂおよび図示しないリニアモータを駆動し、剥離用テープＰＴを繰り出しつつ、チャックシリンダ２９を左方向に移動させて剥離用テープＰＴを引き出す。
【００１７】
次に、剥離手段２０が直動モータ２７を駆動し、押圧ヘッド２８を下降させ、当該押圧ヘッド２８で剥離用テープＰＴを第２接着シートＡＳ２の外縁領域に押圧して貼付する。次いで、剥離手段２０が直動モータ２５を駆動し、切断刃２６を下降させて剥離用テープＰＴを切断する。その後、剥離手段２０が直動モータ２５、２７を駆動し、切断刃２６および押圧ヘッド２８を初期位置に復帰させる。次に、保持手段５０がリニアモータ５１を駆動し、図２（Ａ）に示すように、テーブル５２を左方向に移動させ、第２接着シートＡＳ２をリングフレームＲＦおよび第１接着シートＡＳ１から剥離する。第２接着シートＡＳ２の剥離が完了すると、剥離手段２０がチャックシリンダ２９を駆動し、剥離用テープＰＴの把持を解除して第２接着シートＡＳ２を図示しない回収手段に受け渡す。
【００１８】
そして、第２接着シートＡＳ２が剥離されたシート貼付面ＡＳ１２における所定の印字開始位置がレーザ印字器３２の下方所定位置に到達したことが光学センサや撮像手段等の図示しない検知手段に検知されると、保持手段５０がリニアモータ５１の駆動を停止する。次に、印付与手段３０がリニアモータ３１およびレーザ印字器３２を駆動し、レーザ印字器３２を前後方向に移動させて第１接着シートＡＳ１に印字を施す。その後、保持手段５０がリニアモータ５１を駆動し、テーブル５２を左方へ所定距離移動させた後、その駆動を停止する。そして、印付与手段３０および保持手段５０がレーザ印字器３２とテーブル５２との移動を繰り返し実施することで、図２（Ｂ）に示すように、第１接着シートＡＳ１のシート貼付面ＡＳ１２に所定の印字を施す。所定の印字が完了すると、保持手段５０がリニアモータ５１の駆動を停止する。また、印付与手段３０がレーザ印字器３２の駆動を停止するとともに、リニアモータ３１を駆動し、レーザ印字器３２を初期位置に復帰させる。
【００１９】
次に、保持手段５０がリニアモータ５１を駆動し、テーブル５２を左方へ移動させ、図１中左側の二点鎖線で示すように、印字が施された第１接着シートＡＳ１が貼付手段４０の下方所定位置に到達したことが光学センサや撮像手段等の図示しない検知手段に検知されると、貼付手段４０が回動モータ４５Ａを駆動し、テーブル５２の移動速度に合わせて原反ＲＳを繰り出す。これにより、図２（Ｃ）に示すように、第３接着シートＡＳ３が押圧ローラ４４でリングフレームＲＦと第１接着シートＡＳ１における所定の印字が施されたシート貼付面ＡＳ１２とに押圧されて貼付され、一体物ＷＫ２が形成される。
【００２０】
第３接着シートＡＳ３の貼付が完了すると、保持手段５０がリニアモータ５１および図示しない減圧手段の駆動を停止した後、図示しない搬送手段が一体物ＷＫ２を次工程に搬送する。そして、保持手段５０がリニアモータ５１を駆動し、テーブル５２を初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。
【００２１】
以上のような実施形態によれば、シート張替装置１０に印付与手段３０を設けたため、第２接着シートＡＳ２を第３接着シートＡＳ３に貼り替える際に、第１接着シートＡＳ１が露出する機会を利用することができ、第１接着シートＡＳ１を介して別の接着シートがウエハＷＦに貼付されている場合でも、第１接着シートＡＳ１に印を付与することができる。
【００２２】
以上のように、本考案を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本考案は、これに限定されるものではない。すなわち、本考案は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本考案の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本考案の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本考案を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本考案に含まれる。
【００２３】
例えば、剥離手段２０は、感圧接着性や感熱接着性の剥離用テープＰＴを採用することができ、少なくとも感熱接着性の剥離用テープＰＴが採用された場合は、押圧ヘッド２８内に、剥離用テープＰＴを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けるとよい。
剥離手段２０は、剥離用テープＰＴを用いないで、吸着パッドやブレード材等で第２接着シートＡＳ２を剥離する構成としてもよい。
付勢手段は、板バネ、ゴム、樹脂等の弾性部材で構成してもよい。
【００２４】
印付与手段３０は、レーザ印字器３２に代えてインクジェットプリンタ、ドットプリンタ、サーマルプリンタ、凸版印刷、凹版印刷、スクリーン印刷、レーザプリンタ等、印を付与可能な任意の構成を採用することができ、それらを適宜組み合わせたものでもよい。
印付与手段３０は、レーザ印字器３２を左右方向に移動させる駆動機器を備えてもよく、テーブル５２を左方に移動させることなくシート貼付面ＡＳ１２に所定の印を付与してもよい。
印付与手段３０は、一括でシート貼付面ＡＳ１２に印を付与すものであってもよい。
印付与手段３０は、第１接着シートＡＳ１に刻印を施したり、化学変化によって発色させたりして印を付与してもよい。
印付与手段３０が付与する印は、文字、模様、図形、絵画等何ら限定されることはない。
【００２５】
貼付手段４０は、第３接着シートＡＳ３が所定間隔を隔てて剥離シートＲＬ上に仮着された原反ＲＳを繰り出してもよいし、帯状の接着シート基材に閉ループ状の切込が形成されることで、その内側が第３接着シートＡＳ３、外側が不要シートとされ、所定間隔を隔てて複数の第３接着シートＡＳ３が帯状の剥離シートＲＬに仮着された原反を繰り出してもよい。また、帯状の接着シート基材が帯状の剥離シートＲＬに仮着された原反が採用された場合、切断刃、レーザーカッター、熱カッター、エアカッター、圧縮水カッター等の切断手段により、接着シート基材を所定形状に切断し、所定間隔を隔てて複数の第３接着シートＡＳ３が帯状の剥離シートＲＬに仮着された原反を形成してもよい。
貼付手段４０は、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等で押圧部材を採用してもよく、エア噴き付けにより第３接着シートＡＳ３を被着体に押圧する構成としてもよい。
剥離部材は、丸棒やローラ等で構成してもよい。
【００２６】
保持手段５０は、メカチャックやチャックシリンダ等のチャック手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着等で被着体を支持する構成でもよい。
保持手段５０は、テーブル５２の位置を固定しておき剥離手段２０、印付与手段３０および貼付手段４０を移動させてもよいし、テーブル５２、剥離手段２０、印付与手段３０および貼付手段４０を移動させてもよい。
他の装置で一体物ＷＫ１等を搬送する場合、保持手段５０はなくてもよい。
【００２７】
第１〜第３接着シートＡＳ１〜ＡＳ３は、全て同じ材質、種別のものであってもよいし、３つのうちの２つのみが同じものであってもよいし、全て異なるものであってもよい。
被着体の形状は、例えば、円形、楕円形、三角形以上の多角形、その他の形状であってもよい。
支持部材は、環状でない（外周が繋がっていな）フレームや、円形、楕円形、三角形以上の多角形、その他の形状であってもよいし、なくてもよい。
【００２８】
また、本考案における第１〜第３接着シートＡＳ１〜ＡＳ３および被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、第１〜第３接着シートＡＳ１〜ＡＳ３は、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の第１〜第３接着シートＡＳ１〜ＡＳ３が採用された場合は、当該第１〜第３接着シートＡＳ１〜ＡＳ３を加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプ等の加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような第１〜第３接着シートＡＳ１〜ＡＳ３は、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するもの、基材シートの上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材シートを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、第１〜第３接着シートＡＳ１〜ＡＳ３を機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体に貼付することができる。
【００２９】
本考案における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、剥離手段は、第１接着シートにおける被着体貼付面に被着体が貼付されるとともに、当該第１接着シートにおけるシート貼付面に第２接着シートが貼付された一体物から当該第２接着シートを剥離可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（他の手段および工程についての説明は省略する）。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
【符号の説明】
【００３０】
１０      シート張替装置
２０      剥離手段
３０      印付与手段
４０      貼付手段
ＡＳ１    第１接着シート
ＡＳ１１  被着体貼付面
ＡＳ１２  シート貼付面
ＡＳ２    第２接着シート
ＡＳ３    第３接着シート
ＷＫ１    一体物
ＷＦ      ウエハ（被着体）
【図１】
0003200698.tif 000003
【図２】
0003200698.tif 000004