(57)【要約】  ぶれ検出装置（１００）はセンサ部（１０）を備える。センサ部（１０）は、対応する画素が主走査方向で一致するように１次元イメージセンサ（１６０）および１次元イメージセンサ（１７０）を副走査方向に並べて配置し、副走査方向に移動する対象物の像を１次元データとして取得する。１次元イメージセンサ（１６０）が取得する１次元データ（Ｓ１）と１次元イメージセンサ（１７０）が取得する１次元データ（Ｓ２）とを用いて同じ像領域に対応するデータを比較することで、比較に用いた１次元データ（Ｓ１）を取得した時刻と比較に用いた１次元データ（Ｓ２）を取得した時刻との間での像の主走査方向の移動量を検出する。
2017111003.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対応する画素が主走査方向で一致するように、第１の１次元のイメージセンサおよび第２の１次元のイメージセンサを副走査方向に並べて配置し、前記副走査方向に移動する対象物の像を１次元データとして取得するセンサ部を備え、
前記第１の１次元のイメージセンサが取得する第１の１次元データと前記第２の１次元のイメージセンサが取得する第２の１次元データとを用いて前記像の同じ像領域に対応するデータを比較することで、前記比較に用いた前記第１の１次元データを取得した時刻と前記比較に用いた前記第２の１次元データを取得した時刻との間での前記像の主走査方向の移動量を検出するぶれ検出装置。
【請求項２】
前記第１の１次元のイメージセンサの画素の副走査方向の長さは、前記第２の１次元のイメージセンサの画素の副走査方向の長さと同一である請求項１に記載のぶれ検出装置。
【請求項３】
前記像の読み取りは、副走査方向に前記像が前記長さを移動する時間の間隔で行われる請求項２に記載のぶれ検出装置。
【請求項４】
同じ前記像領域に対応する前記第１の１次元データと前記第２の１次元データとの相関を求める請求項１から３のいずれか１項に記載のぶれ検出装置。
【請求項５】
前記第１の１次元データを記憶する第１のメモリと、
前記第１のメモリに記憶された第１の１次元データと前記副走査方向において異なる像領域の第１の１次元データを記憶する第２のメモリと、
前記第２の１次元データを記憶する第３のメモリと
を備える請求項１から３のいずれか１項に記載のぶれ検出装置。
【請求項６】
同じ前記像領域に対応する前記第１のメモリのデータと前記第３のメモリのデータとの相関、または、同じ前記像領域に対応する前記第２のメモリのデータと前記第３のメモリのデータとの相関を求める請求項５に記載のぶれ検出装置。
【請求項７】
前記センサ部は、第３の１次元のイメージセンサを備え、
前記第１の１次元のイメージセンサおよび前記第２の１次元のイメージセンサに対して対応する画素が主走査方向で一致するように、前記第１の１次元のイメージセンサと前記第２の１次元のイメージセンサとの間に前記第３の１次元のイメージセンサを副走査方向に並べて配置し、副走査方向に移動する像を第３の１次元データとして取得し、
前記第１の１次元のイメージセンサの第１の１次元データと前記第３の１次元のイメージセンサの第３の１次元データとから第４の１次元データを生成し、
前記第２の１次元のイメージセンサの第２の１次元データと前記第３の１次元のイメージセンサの第３の１次元データとから第５の１次元データを生成し、
同じ前記像領域に対応する前記第４の１次元データと前記第５の１次元データとを用いて比較する請求項１から３のいずれか１項に記載のぶれ検出装置。
【請求項８】
前記第３の１次元のイメージセンサの受光感度は、前記第１の１次元のイメージセンサの受光感度よりも大きく、前記第２の１次元のイメージセンサの受光感度よりも大きい請求項７に記載のぶれ検出装置。
【請求項９】
前記第３の１次元のイメージセンサの受光量は、前記第１の１次元のイメージセンサの受光量よりも大きく、前記第２の１次元のイメージセンサの受光量よりも大きい請求項７または８に記載のぶれ検出装置。
【請求項１０】
前記第１の１次元のイメージセンサの第１の１次元データと前記第３の１次元のイメージセンサの第３の１次元データとの対応する画素データから第４の１次元データを求め、
前記第２の１次元のイメージセンサの第２の１次元データと前記第３の１次元のイメージセンサの第３の１次元データとの対応する画素データから第５の１次元データを求める請求項７から９のいずれか１項に記載のぶれ検出装置。
【請求項１１】
同じ前記像領域に対応する前記第４の１次元データと前記第５の１次元データとの相関を求める請求項１０に記載のぶれ検出装置。
【請求項１２】
前記第１の１次元のイメージセンサの第１の１次元データと前記第３の１次元のイメージセンサの第３の１次元データとの対応する画素データを加算する第１の加算器と、
前記第２の１次元のイメージセンサの第２の１次元データと前記第３の１次元のイメージセンサの第３の１次元データとの対応する画素データを加算する第２の加算器と
を備える請求項７から９のいずれか１項に記載のぶれ検出装置。
【請求項１３】
前記第１の加算器の第４の１次元データを記憶する第１のメモリと、
前記第１のメモリに記憶された第４の１次元データと前記副走査方向において異なる像領域の第４の１次元データを記憶する第２のメモリと、
前記第２の加算器の第５の１次元データを記憶する第３のメモリと
を備える請求項１２に記載のぶれ検出装置。
【請求項１４】
同じ前記像領域に対応する前記第１のメモリのデータと前記第３のメモリのデータとの相関、または、同じ前記像領域に対応する前記第２のメモリのデータと前記第３のメモリのデータとの相関を求める請求項１３に記載のぶれ検出装置。
【請求項１５】
前記センサ部は、光量センサを含み、
複数の当該センサ部を備え、
前記光量センサの光量値を基に、前記移動量を検出する前記センサ部を選択する請求項１から１４のいずれか１項に記載のぶれ検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送中の対象物などのぶれ量を検出するぶれ検出装置、及びぶれ検出装置に対して相対的に移動する対象物のぶれ量を検出するぶれ検出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１は、受光レンズと、一対のラインセンサと、一対のラインセンサから出力される像信号を記憶する記憶手段とを有し、一対のラインセンサから出力される像信号に基づいて測距動作を行い、像信号の変化に基づいて手ぶれ検出動作を行う、ぶれ検出機能付き測距装置を記載している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−１３１２７９号公報（例えば、段落００１２）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載されている装置は、主に静止している対象物（被写体）を撮像して得られた像信号に基づいて手ぶれ検出動作を行う装置である。このため、この装置を用いて、搬送手段で搬送方向に搬送されている（すなわち、搬送中の）対象物またはぶれ検出装置に対して相対的に移動する（すなわち、移動中の）対象物のぶれ量を検出しようとすると、ぶれ検出の精度が低下する問題があった。【０００５】
２つのラインセンサは、三角測距の原理を用いて、被写体までの距離を求めるように配置されている。このため、対象物が受光素子の配列方向と垂直方向に移動した場合には、ぶれ検出ができなくなる。【０００６】
本発明は、上記従来技術の課題を解決するためになされたものであり、搬送中または移動中の対象物のぶれ量の検出精度を向上できるぶれ検出装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一態様に係るぶれ検出装置は、対応する画素が主走査方向で一致するように、第１の１次元のイメージセンサおよび第２の１次元のイメージセンサを副走査方向に並べて配置し、前記副走査方向に移動する対象物の像を１次元データとして取得するセンサ部を備え、前記第１の１次元のイメージセンサが取得する第１の１次元データと前記第２の１次元のイメージセンサが取得する第２の１次元データとを用いて前記像の同じ像領域に対応するデータを比較することで、前記比較に用いた前記第１の１次元データを取得した時刻と前記比較に用いた前記第２の１次元データを取得した時刻との間での前記像の主走査方向の移動量を検出する。
【発明の効果】
【０００８】
本発明に係るぶれ検出装置によれば、移動する対象物のぶれ量の検出精度を向上できる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の実施の形態１に係るぶれ検出装置の構成を概略的に示す図である。
【図２】実施の形態１に係るぶれ検出装置における第１及び第２のリニアイメージセンサの構成を概略的に示す平面図である。
【図３】実施の形態１に係るぶれ検出装置における、検査対象物の被読取領域と第１及び第２のリニアイメージセンサの受光面（結像面）上に結像する像（像領域）との関係を示す図である。
【図４】実施の形態１に係るぶれ検出装置の制御系の構成の一例を概略的に示すブロック図である。
【図５】（ａ）から（ｃ）は、実施の形態１に係るぶれ検出装置における第１及び第２のリニアイメージセンサの受光面の受光領域と、像移動方向に移動する像領域との位置関係を示す図である。
【図６】（ａ）から（ｃ）は、実施の形態１に係るぶれ検出装置における制御部が、第１及び第２のリニアイメージセンサから出力された画像データを用いて相関演算を行う処理の流れを示す図である。
【図７】（ａ）は、時刻Ｔ０に第１のリニアイメージセンサによって読み取られ、メモリ＃１（又はメモリ＃２）に記憶された画像データの画素ごとの強度を示す図であり、（ｂ）は、時刻Ｔ０＋ΔＴに第２のリニアイメージセンサによって読み取られ、バッファメモリに記憶された画像データの画素ごとの強度を示す図である。
【図８】（ａ）から（ｄ）は、実施の形態１に係るぶれ検出装置による相関演算を示す図である。
【図９】実施の形態１に係るぶれ検出装置の制御部が行う相関演算において、画像データをシフトさせた距離（画像データのシフト距離）と、算出された相関を示す値との関係の一例を示すグラフである。
【図１０】本発明の実施の形態２に係るぶれ検出装置の構成を概略的に示す図である。
【図１１】実施の形態２に係るぶれ検出装置における第１から第３のリニアイメージセンサの構成を概略的に示す平面図である。
【図１２】実施の形態２に係るぶれ検出装置における、検査対象物の被読取領域と第１から第３のリニアイメージセンサの受光面（結像面）上に結像する像（像領域）との関係を示す図である。
【図１３】実施の形態２に係るぶれ検出装置の制御系の構成の一例を概略的に示すブロック図である。
【図１４】（ａ）から（ｃ）は、実施の形態２に係るぶれ検出装置における第１から第３のリニアイメージセンサの受光面の受光領域と、像移動方向に移動する像領域との位置関係を示す図である。
【図１５】（ａ）から（ｃ）は、実施の形態２に係るぶれ検出装置における制御部が、第１から第３のリニアイメージセンサから出力された画像データを用いて相関演算を行う処理の流れを示す図である。
【図１６】本発明の実施の形態３に係るぶれ検出装置の構成を概略的に示す図である。
【図１７】実施の形態３に係るぶれ検出装置における光量センサと、第１及び第２のリニアイメージセンサの構成を概略的に示す平面図である。
【図１８】実施の形態３に係るぶれ検出装置の制御系の構成の一例を概略的に示すブロック図である。
【図１９】本発明の実施の形態４の使用例１に係るぶれ検出装置の構成を概略的に示す図である。
【図２０】実施の形態４の使用例２に係るぶれ検出装置の構成を概略的に示す図である。
【図２１】実施の形態４の使用例３に係るぶれ検出装置の構成を概略的に示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下に、本発明の好適な実施の形態を、図面を参照しながら説明する。各図には、ｘｙｚ直交座標軸が示される。以下の説明において、例えば、搬送装置（例えば、工場における搬送ライン）上における対象物（例えば、検査対象物）の搬送方向ＤＯをｙ軸方向とし、ｙ軸方向に直交するぶれ検出装置の幅方向をｘ軸方向とし、ｘ軸方向とｙ軸方向の両方に直交するぶれ検出装置の高さ方向をｚ軸方向とする。
【００１１】
また、例えば、ぶれ検出装置に対して被検出物（検査対象物）の移動する方向を＋ｙ軸方向とする。ぶれ検出装置に対する被検出物の移動する方向と反対の方向を−ｙ軸方向とする。そのため、被検出物が止まっていて、ぶれ検出装置が動いている場合には、ぶれ検出装置は−ｙ軸方向に移動している。ｙ軸方向は、後述のリニアイメージセンサの被読取領域の主走査方向に対応している。ｙ軸に垂直でリニアイメージセンサの被読取領域の副走査方向に対応する方向をｘ軸方向とする。ｘ−ｙ平面に垂直な方向をｚ軸方向とする。被検出物からぶれ検出装置の方向を＋ｚ軸方向とし、ぶれ検出装置から被検出物の方向を−ｚ軸方向とする。
【００１２】
主走査方向は、ラインセンサで画像を読み取る際に、画像またはラインセンサの移動する方向に対して垂直な方向である。画像またはラインセンサの移動する方向は副走査方向である。
【００１３】
通常、ラインセンサの受光素子の配列方向は、主走査方向と一致している。しかし、ラインセンサの受光素子の配列方向は、主走査方向に対して角度を有することができる。つまり、ラインセンサの受光素子の配列を、主走査方向に対して傾いて設定することができる。これによって、主走査方向の画素数を増すことができる。
【００１４】
《１》実施の形態１
《１−１》構成
図１は、本発明の実施の形態１に係るぶれ検出装置１００の構成を概略的に示す図である。
【００１５】
図１に示されるように、ぶれ検出装置１００は、ラインスキャンカメラ１４０を備える。「ラインスキャンカメラ」とは、撮像素子にラインセンサを使用したカメラである。そのため、ラインスキャンカメラ１４０は、線で像を捉える。被写体またはカメラを動かすことで、位置をずらしながら１ラインずつ画像を読み込み、メモリ上にそれらの画像を並べて二次元の画像を組み立てる。
【００１６】
ラインセンサの撮像素子の並んでいる方向を主走査方向という。また、位置をずらす方向を副走査方向という。以下の実施の形態では、ｘ軸方向が主走査方向で、ｙ軸方向が副走査方向である。
【００１７】
また、ぶれ検出装置１００は、照明装置１２０または結像レンズ１３０を備えることができる。照明装置１２０は、対象物としての検査対象物１１０に光を照射する。結像レンズ１３０は、検査対象物１１０の像を結像させる結像光学系である。
【００１８】
検査対象物１１０は、例えば、シート状のフィルムである。なお、検査対象物１１０は、シート状のフィルムに限定されず、厚みを持つ部材であってもよい。
【００１９】
検査対象物１１０は、搬送装置（搬送手段）１５０（例えば、ベルトコンベア）によってｙ軸方向と同じ搬送方向（第１の方向）ＤＯに搬送される。実施の形態１において、搬送方向ＤＯは、＋ｙ軸方向である。
【００２０】
なお、搬送装置１５０は、駆動力を用いて検査対象物１１０を搬送する装置に限定されない。搬送装置１５０は、例えば、検査対象物１１０を滑らせて移動させる傾斜面であってもよい。または、搬送装置１５０は、例えば、検査対象物１１０を重力方向に移動させるガイド部材などであってもよい。ただし、搬送方向ＤＯへの搬送速度は、予め決められた速度であり、この速度は一定速度であることが望ましい。つまり、画像を読み込んだ後に、画像を並べて二次元の画像を組み立てる。このため、副走査方向の速度は予め分かっていることが望ましい。
【００２１】
ぶれ検出装置１００は、例えば、検査対象物１１０が工場の製造ラインの搬送装置１５０によって搬送されているときに、撮像装置（撮像手段）としてのラインスキャンカメラ１４０を用いて検査対象物１１０のｘ軸方向の移動量（ぶれ量）を検出する装置である。つまり、ぶれ検出装置１００は、検査対象物１１０の主走査方向の移動量を検出する。
【００２２】
実施の形態１においては、ｘ軸方向（第２の方向）のぶれ量を検出するぶれ検出装置について説明する。ｘ軸方向（第２の方向）は、検査対象物１１０の搬送方向ＤＯ（ｙ軸方向）に直交している。
【００２３】
しかし、ぶれ検出装置１００は、搬送方向ＤＯと異なる方向であって、搬送方向ＤＯに直交する方向以外の方向のぶれ量を検出（算出）してもよい。つまり、ぶれ検出装置１００のラインセンサの方向は、ｘ−ｙ平面上でｘ軸に対して傾いた方向であってもよい。
【００２４】
図１に示されるように、ラインスキャンカメラ１４０は、リニアイメージセンサ１６０と、リニアイメージセンサ１７０とを備える。第１のリニアイメージセンサ１６０は、第１の撮像部１６として機能する。つまり、第１の撮像部１６は、第１のリニアイメージセンサ１６０を備えている。第２のリニアイメージセンサ１７０は、第２の撮像部１７として機能する。つまり、第２の撮像部１７は、第２のリニアイメージセンサ１７０を備えている。
【００２５】
センサ部１０は、第１のリニアイメージセンサ１６０および第２のリニアイメージセンサ１７０を備えている。
【００２６】
なお、エリアセンサを擬似的にリニアセンサとして使用することもできる。
【００２７】
第１のリニアイメージセンサ１６０と第２のリニアイメージセンサ１７０とは、ｙ軸方向に隣り合って配置されている。
【００２８】
つまり、第１のリニアイメージセンサ１６０と第２のリニアイメージセンサ１７０とは、ｙ軸方向に並べて配置されている。第１のリニアイメージセンサ１６０と第２のリニアイメージセンサ１７０とは、副走査方向に並べて配置されている。第１のリニアイメージセンサ１６０と第２のリニアイメージセンサ１７０とは、対応する画素が主走査方向（Ｘ軸）で一致するように配置されている。「対応する画素」とは、例えば、同じメモリアドレスｉに対応する画素である。
【００２９】
なお、第１及び第２のリニアイメージセンサ１６０，１７０と検査対象物１１０とは、結像レンズ１３０の中心を基準点として対称関係にある。
【００３０】
このため、結像レンズ１３０の上側（ラインスキャンカメラ１４０側）のｘ軸方向及びｙ軸方向は、結像レンズ１３０の下側（搬送装置１５０側）のｘ軸方向及びｙ軸方向と逆方向である。図１では、検査対象物１１０上のｘ軸およびｙ軸に対応する第１及び第２のリニアイメージセンサ１６０，１７０上の軸を、ｘ´軸およびｙ´軸として示している。＋ｘ軸方向は、−ｘ´軸方向と一致している。＋ｙ軸方向は、−ｙ´軸方向と一致している。なお、他の実施の形態を含めた以下の説明では、ｘｙｚ直交座標軸を用いて説明する。
【００３１】
また、「隣り合う」とは、互いに対向する第１のリニアイメージセンサ１６０の長辺１６０ａと第２のリニアイメージセンサ１７０の長辺１７０ａとが、接触している場合、及び、接触しておらず間隔が空いている場合の両方を含む。つまり、第１のリニアイメージセンサ１６０と第２のリニアイメージセンサ１７０とは、長辺で接して配置されてもよい。また、第１のリニアイメージセンサ１６０と第２のリニアイメージセンサ１７０とは、長辺の間に隙間を設けて配置されてもよい。
【００３２】
第１のリニアイメージセンサ１６０の長辺１６０ａと第２のリニアイメージセンサ１７０の長辺１７０ａとの間に間隔がある場合には、間隔が無い場合に比べて、受光面積を大きくし難くなる。または、ラインスキャンカメラ１４０のサイズが増加する。このため、第１及び第２のリニアイメージセンサ１６０，１７０間の間隔は狭いことが好ましい。
【００３３】
第１及び第２のリニアイメージセンサ１６０，１７０の受光面（結像面）１４１の受光領域には、結像レンズ１３０によって検査対象物１１０の被読取領域の像（像領域）が結像される。結像レンズ１３０は、検査対象物１１０の被読取領域の像を、第１及び第２のリニアイメージセンサ１６０，１７０の受光面１４１の受光領域に結像する。そのため、検査対象物１１０上の被読取領域は、受光面１４１上の像領域に対応している。また、受光面１４１は結像面である。つまり、検査対象物１１０上の被読取領域の像が、受光面１４１上の像領域に映し出される。
【００３４】
像領域は、例えば、後述する図５（ａ）から図５（ｃ）において、符号Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄで示される。第１及び第２のリニアイメージセンサ１６０，１７０は、受光面１４１上に結像する検査対象物１１０の像（像領域）を読み取る。そして、リニアイメージセンサ１６０，１７０は、検査対象物１１０の被読取領域１１１，１１２に対応する像の画像データを出力する。出力される画像データは、例えば、アナログ信号である。
【００３５】
図１の検査対象物１１０上に破線で示される被読取領域１１１は、第１のリニアイメージセンサ１６０によって読み取られる領域を示す。図１の検査対象物１１０上に実線で示される被読取領域１１２は、第２のリニアイメージセンサ１７０によって読み取られる領域を示す。
【００３６】
被読取領域１１１は、第１のリニアイメージセンサ１６０によって読み取られる領域である。被読取領域１１２は、第２のリニアイメージセンサ１７０によって読み取られる領域である。被読取領域１１２は、被読取領域１１１の＋ｙ軸側に位置している。第２のリニアイメージセンサ１７０は、第１のリニアイメージセンサ１６０の−ｙ軸側（＋ｙ´軸側）に位置している。
【００３７】
像領域１４２ａ，１４２ｂは、受光面１４１上に結像された像領域である。像領域１４２ａは、被読取領域１１１に対応した像である。像領域１４２ｂは、被読取領域１１２に対応した像である。
【００３８】
検査対象物１１０が搬送方向ＤＯ（＋ｙ軸方向）に搬送されるにしたがって、第１及び第２のリニアイメージセンサ１６０，１７０の受光面１４１上に結像する検査対象物１１０の像（像領域）は、像の移動方向ＤＩ（＋ｙ´軸方向）に移動する。つまり、検査対象物１１０が＋ｙ軸方向に移動すると、第１及び第２のリニアイメージセンサ１６０，１７０の受光面１４１上の検査対象物１１０の像は−ｙ軸方向（＋ｙ´軸方向）に移動する。検査対象物１１０が＋ｙ軸方向に移動すると、第１及び第２のリニアイメージセンサ１６０，１７０の受光面１４１上の像領域１４２は−ｙ軸方向（＋ｙ´軸方向）に移動する。
【００３９】
第１及び第２のリニアイメージセンサ１６０，１７０の各々は、順次、像の読み取りを行う。第１及び第２のリニアイメージセンサ１６０，１７０は、例えば、一定の周期で読み取りを繰り返す。そして、第１及び第２のリニアイメージセンサ１６０，１７０は、順次、読み取られた像に対応する画像データを出力する。第１及び第２のリニアイメージセンサ１６０，１７０は、例えば、一定の周期で画像データの出力を繰り返す。
【００４０】
「順次」とは、順序に従って物事をする行うことである。ここでは、時刻の順番で像の読み取り等を行うことである。時刻の順番は、時系列と同様の意味である。
【００４１】
画像データは、例えば、上位装置１９０に送られる。上位装置１９０は、受け取ったライン状のデータを基にして、２次元の画像を作成する。
【００４２】
図２は、第１及び第２のリニアイメージセンサ１６０，１７０の構成を概略的に示す平面図である。
【００４３】
図２に示されるように、第１及び第２のリニアイメージセンサ１６０，１７０の各々は、ｘ軸方向に一次元的に配列された複数の受光素子１６０ａ，１７０ａを備えている。図２では、受光素子１６０ａ，１７０ａは、例えば、直線状に配置されている。受光素子１６０ａ，１７０ａは、検査対象物１１０の被読取領域に対応する１次元の画像情報を電気信号に変換する。受光素子１６０ａ，１７０ａは、例えば、フォトダイオードである。第１及び第２のリニアイメージセンサ１６０，１７０は、この電気信号を時系列で出力する。つまり、第１及び第２のリニアイメージセンサ１６０，１７０は、撮像素子デバイスである。
【００４４】
「時系列」とは、時間の経過に従って定期的に観測して得た値を整理または配列した系列のことである。ここでは、第１及び第２のリニアイメージセンサ１６０，１７０の読み取った像の信号を、読み取った順番で出力することである。
【００４５】
図２に示されるように、第１及び第２のリニアイメージセンサ１６０，１７０の各々の受光面１４１の受光領域では、受光素子１６０ａ，１７０ａの配列方向（ｘ軸方向）の寸法は長さＷｘであり、受光素子１６０ａ，１７０ａの配列方向に直交する搬送方向ＤＯ（ｙ軸方向）の寸法は長さＷｙである。
【００４６】
配列された受光素子１６０ａ，１７０ａの主走査方向の長さは、長さＷｘである。つまり、長さＷｘは、複数の受光素子１６０ａ，１７０ａが配列された受光部分の主走査方向の長さである。配列された受光素子１６０ａ，１７０ａの幅は、長さＷｙである。受光素子１６０ａ，１７０ａの副走査方向の長さは、長さＷｙである。
【００４７】
第１及び第２のリニアイメージセンサ１６０，１７０の各々の画素数は、ｎ個（ｎは、第１及び第２のリニアイメージセンサ１６０，１７０に固有の正の整数）である。１つの受光素子１６０ａ，１７０ａが１つの画素に相当する。例えば、図２では、第１及び第２のリニアイメージセンサ１６０，１７０の画素数は、２１個である。
【００４８】
図３は、ぶれ検出装置１００における、検査対象物１１０の被読取領域１１０ａと第１及び第２のリニアイメージセンサ１６０，１７０の受光面（結像面）１４１上に結像する像（像領域１４２）との関係を示す図である。
【００４９】
ぶれ検出装置１００の結像レンズ１３０は、例えば、等倍の像を形成する凸レンズである。このため、実施の形態１においては、検査対象物１１０の被読取領域１１０ａ（図１における被読取領域１１１，１１２）のｙ軸方向の高さをＯｈとする。ラインスキャンカメラ１４０の第１及び第２のリニアイメージセンサ１６０，１７０の受光面１４１に結像する像（像領域１４２）のｙ軸方向の高さをＩｈとする。結像レンズ１３０は等倍のレンズであるので、高さＯｈは高さＩｈと等しくなる。つまり、高さＯｈ＝高さＩｈとなる。また、像領域１４２と被読取領域１１０ａとは、結像レンズ１３０の光軸Ｏに対して反転している。ただし、結像レンズ１３０は、等倍のレンズに限定されない。
【００５０】
図４は、実施の形態１に係るぶれ検出装置１００の制御系の構成の一例を概略的に示すブロック図である。
【００５１】
図４に示されるように、ぶれ検出装置１００は、制御部１８０と、記憶部１８１と、第１及び第２のリニアイメージセンサ１６０，１７０とを備える。ぶれ検出装置１００は、Ａ／Ｄ（ａｎａｌｏｇ  ｔｏ  ｄｉｇｉｔａｌ）変換器１８２，１８３を備えることができる。
【００５２】
記憶部１８１は、例えば、第１の記憶部としてのメモリ＃１（第１のメモリ１８１１）及びメモリ＃２（第２のメモリ１８１２）と、第２の記憶部としてのバッファメモリ１８１３とを備える。記憶部１８１は、例えば、第１の記憶部と第２の記憶部とを備える。第１の記憶部は、例えば、メモリ１８１１及びメモリ１８１２を備える。第２の記憶部は、例えば、バッファメモリ１８１３を備える。なお、第２のリニアイメージセンサ１７０からの信号をそのまま制御部１８０に送って処理をする場合には、バッファメモリ１８１３を省くことができる。
【００５３】
バッファメモリは、情報を一時的に保存する記憶領域または装置のことである。
【００５４】
以下において、メモリ１８１１をメモリ＃１として示す。同様に、メモリ１８１２をメモリ＃２として示す。
【００５５】
メモリ＃１及びメモリ＃２には、第１の画像データとしての基準画像データが記憶される。バッファメモリ１８１３には、第２の画像データとしての比較画像データが記憶される。
【００５６】
第１及び第２のリニアイメージセンサ１６０，１７０で読み取られた検査対象物１１０の被読取領域１１０ａの像に関する情報は、アナログ情報である画像データとしてＡ／Ｄ変換器１８２，１８３にそれぞれ出力される。
【００５７】
第１のリニアイメージセンサ１６０は、データＳ１をＡ／Ｄ変換器１８２に送る。データＳ１は、第１のリニアイメージセンサ１６０が読み取った画像データである。データＳ１は、アナログ信号である。
【００５８】
第２のリニアイメージセンサ１７０は、データＳ２をＡ／Ｄ変換器１８３に送る。データＳ２は、第２のリニアイメージセンサ１７０が読み取った画像データである。データＳ２は、アナログ信号である。
【００５９】
出力された画像データは、Ａ／Ｄ変換器１８２，１８３でデジタル信号に変換され、記憶部１８１のメモリ＃１、メモリ＃２、及びバッファメモリ１８１３のいずれかに記憶される。
【００６０】
Ａ／Ｄ変換器１８２は、データＳ３を出力する。Ａ／Ｄ変換器１８３は、データＳ４を出力する。データＳ３，Ｓ４はデジタル信号である。データＳ３は、メモリ＃１またはメモリ＃２に送られる。データＳ４は、バッファメモリ１８１３に送られる。メモリ＃１またはメモリ＃２は、受け取ったデータＳ３を記憶する。バッファメモリ１８１３は、受け取ったデータＳ４を記憶する。
【００６１】
第１及び第２のリニアイメージセンサ１６０，１７０による像の読み取り及び画像データの出力は、例えば、一定の周期で繰り返し行われる。そのため、記憶部１８１には、検査対象物１１０の画像データが時系列ごとに記憶される。
【００６２】
第１及び第２のリニアイメージセンサ１６０，１７０は、像の読み取りを周期的に行う。また、第１及び第２のリニアイメージセンサ１６０，１７０は、データＳ１，Ｓ２を周期的に出力する。同様に、Ａ／Ｄ変換器１８２，１８３もデータＳ３，Ｓ４を周期的に出力する。記憶部１８１は、データＳ３，Ｓ４を受け取った時刻に対応して記憶する。
【００６３】
制御部１８０は、記憶部１８１に記憶された、検査対象物１１０の同じ被読取領域１１０ａについての２種類の画像データについて相関演算を行う。制御部１８０は、この相関演算の結果に基づいてぶれ量を検出する。２種類の画像データは、例えば、メモリ＃１に記憶された基準画像データとバッファメモリ１８１３に記憶された比較画像データである。または、２種類の画像データは、例えば、メモリ＃２に記憶された基準画像データとバッファメモリ１８１３に記憶された比較画像データである。相関演算の結果は、例えば、後述する相関値を示す値ｆ（ｊ）の極値である。ぶれ量は、例えば、検査対象物１１０のｘ軸方向の移動量である。
【００６４】
制御部１８０は、メモリ＃１またはメモリ＃２からデータＳ５を受け取る。ここでは、説明を簡単にするために、データＳ５はデータＳ３と同一とする。また、制御部１８０は、バッファメモリ１８１３からデータＳ６を受け取る。ここでは、説明を簡単にするために、データＳ６はデータＳ４と同一とする。
【００６５】
制御部１８０は、データＳ５とデータＳ６とを用いて、相関演算を行う。制御部１８０は、相関演算の結果に基づいてぶれ量を求める。
【００６６】
また、制御部１８０は、検出されたぶれ量を、上位装置１９０に対して送信する。制御部１８０は、例えば、求められたぶれ量を含むデータＳ７を上位装置１９０に送る。制御部１８０は、ソフトウェアを記憶する記憶部（例えば、半導体メモリ）と、このソフトウェアを実行するＣＰＵ（中央処理装置）などの情報処理部とを構成要素として持つことができる。また、制御部１８０は、上位装置１９０の一部であってもよい。
【００６７】
図５（ａ）から図５（ｃ）は、ぶれ検出装置１００における第１及び第２のリニアイメージセンサ１６０，１７０の受光面１４１の受光領域と、像の移動方向ＤＩに移動する像領域Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄとの位置関係を示す図である。
【００６８】
結像レンズ１３０は、検査対象物１１０の像を第１及び第２のリニアイメージセンサ１６０，１７０の受光面１４１上に結像する。受光面１４１上に結像された検査対象物１１０の像を、領域Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄに分けて説明する。領域Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄを像領域とよぶ。
【００６９】
図５（ａ）は、時刻Ｔ０における像領域Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄを示す。図５（ｂ）は、時刻Ｔ０＋ΔＴ／２における像領域Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄを示す。図５（ｃ）は、時刻Ｔ０＋ΔＴにおける像領域Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄを示す。
【００７０】
また、図５（ａ）から図５（ｃ）において、薄いグレーで塗りつぶされた領域は、第１のリニアイメージセンサ１６０の受光面１４１の受光領域を示している。また、濃いグレーで塗りつぶされたセンサ領域は、第２のリニアイメージセンサ１７０の受光面１４１の受光領域を示している。
【００７１】
受光面１４１上の像領域Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄの像の移動方向ＤＩの長さは、第１及び第２のリニアイメージセンサ１６０，１７０の受光面１４１の受光領域のｙ軸方向の長さＷｙに等しい。また、結像レンズ１３０が等倍のレンズである場合には、検査対象物１１０上の被読取領域（像領域Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄに対応する領域）のｙ軸方向の寸法は、それぞれ長さＷｙである。
【００７２】
搬送装置１５０によって検査対象物１１０が搬送方向ＤＯに搬送されるときに、像領域Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄが距離Ｗｙ進むのに要する時間をΔＴとする。この場合に、検査対象物１１０が搬送方向ＤＯに搬送される速度は、Ｗｙ／ΔＴである。検査対象物１１０が搬送方向ＤＯに搬送されることで、受光面１４１上の像領域Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄは、像の移動方向ＤＩに移動する。
【００７３】
つまり、第１のリニアイメージセンサ１６０の像の読み取りと、第２のリニアイメージセンサ１７０の像の読み取りとは、同期しておこなわれる。そして、第１のリニアイメージセンサ１６０と第２のリニアイメージセンサ１７０とによる像の読み取りは、副走査方向に像が長さＷｙを移動する時間の間隔で行われる。
【００７４】
図５（ａ）に示されるように、時刻Ｔ０のときには、受光面１４１上の像領域Ｂは、第１のリニアイメージセンサ１６０の受光面１４１の受光領域に一致するように重なっている。つまり、時刻Ｔ０のときには、検査対象物１１０の像の像領域Ｂは、第１のリニアイメージセンサ１６０の受光面１４１の受光領域上に位置している。
【００７５】
また、時刻Ｔ０のときには、像領域Ａは、第２のリニアイメージセンサ１７０の受光面１４１の受光領域に一致するように重なっている。つまり、時刻Ｔ０のときには、検査対象物１１０の像の像領域Ａは、第２のリニアイメージセンサ１７０の受光面１４１の受光領域上に位置している。
【００７６】
時刻Ｔ０から時間ΔＴ／２が経過して時刻Ｔ０＋ΔＴ／２になると、像領域Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄは、図５（ａ）に示される状態から像の移動方向ＤＩに、受光素子１６０ａ，１７０ａの長さＷｙの半分（Ｗｙ／２）の距離を移動する。
【００７７】
図５（ｂ）に示されるように、時刻Ｔ０＋ΔＴ／２のときには、像領域Ｂは、第１のリニアイメージセンサ１６０の受光面１４１の受光領域の−ｙ軸方向の半分（Ｗｙ／２）の領域と第２のリニアイメージセンサ１７０の受光面１４１の受光領域の＋ｙ軸方向の半分（Ｗｙ／２）の領域との双方に重なっている。
【００７８】
つまり、時刻Ｔ０＋ΔＴ／２のときには、像領域Ｂの−ｙ軸側の半分は、第２のリニアイメージセンサ１７０の受光面１４１の受光領域の＋ｙ軸側の半分の位置に位置している。また、像領域Ｂの＋ｙ軸側の半分は、第１のリニアイメージセンサ１６０の受光面１４１の受光領域の−ｙ軸側の半分の位置に位置している。
【００７９】
また、像領域Ｃの−ｙ軸方向の半分の領域は、第１のリニアイメージセンサ１６０の受光面の受光領域の＋ｙ軸方向の半分（Ｗｙ／２）の領域と重なっている。
【００８０】
また、像領域Ａの＋ｙ軸方向の半分の領域は、第２のリニアイメージセンサ１７０の受光面の受光領域の−ｙ軸方向の半分（Ｗｙ／２）の領域と重なっている。
【００８１】
時刻Ｔ０＋ΔＴ／２から更に時間ΔＴ／２が経過して時刻Ｔ０＋ΔＴになると、像領域Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄは、図５（ｂ）に示される状態から像の移動方向ＤＩに、受光素子１６０ａ，１７０ａの長さＷｙの半分（Ｗｙ／２）の距離を移動する。
【００８２】
図５（ｃ）に示されるように、時刻Ｔ０＋ΔＴのときには、像領域Ｂは、第２のリニアイメージセンサ１７０の受光面の受光領域に一致するように重なっている。つまり、時刻Ｔ０＋ΔＴのときには、検査対象物１１０の像の像領域Ｂは、第２のリニアイメージセンサ１７０の受光面１４１の受光領域上に位置している。
【００８３】
また、像領域Ｃは、第１のリニアイメージセンサ１６０の受光面の受光領域に一致するように重なっている。つまり、時刻Ｔ０＋ΔＴのときには、検査対象物１１０の像の像領域Ｃは、第１のリニアイメージセンサ１６０の受光面１４１の受光領域上に位置している。
【００８４】
このように、ΔＴの時間の経過によって、像領域Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄは、図５（ａ）に示される状態から図５（ｃ）に示される状態まで、受光素子１６０ａ，１７０ａの長さＷｙの距離を移動する。
【００８５】
図６（ａ）から図６（ｃ）は、ぶれ検出装置１００における制御部１８０が、第１及び第２のリニアイメージセンサ１６０，１７０から出力された画像データを用いて相関演算を行う処理の流れを示す図である。
【００８６】
処理されるデータに関しては、図６で示す符号以外に括弧内に図４で示した符号を付している。
【００８７】
図６（ａ）に示されるように、時刻Ｔ０のときには、像領域Ｂは、第１のリニアイメージセンサ１６０の受光面１４１の受光領域に一致するように重なっている。つまり、像領域Ｂは、第１のリニアイメージセンサ１６０の受光面１４１の受光領域上に位置している。第１のリニアイメージセンサ１６０は、像領域Ｂの像を読み取る。そして、第１のリニアイメージセンサ１６０は、像領域Ｂに対応する画像データ１０１（データＳ１）を出力する。出力された画像データ１０１（データＳ１）は、Ａ／Ｄ変換器１８２によってデジタル信号に変換される。デジタル信号に変換された画像データ（データＳ３）は、メモリ＃１に送られる。画像データ（データＳ３）は、メモリ＃１に記憶される。
【００８８】
また、時刻Ｔ０のときには、像領域Ａは、第２のリニアイメージセンサ１７０の受光面１４１の受光領域に一致するように重なっている。つまり、像領域Ａは、第２のリニアイメージセンサ１７０の受光面１４１の受光領域上に位置している。第２のリニアイメージセンサ１７０は、像領域Ａの像を読み取る。そして、第１のリニアイメージセンサ１７０は、像領域Ａに対応する画像データ１０２（データＳ２）を出力する。出力された画像データ１０２（データＳ２）は、Ａ／Ｄ変換器１８３によってデジタル信号に変換される。デジタル信号に変換された画像データ（データＳ４）はバッファメモリ１８１３に送られる。画像データ（データＳ４）は、バッファメモリ１８１３に記憶される。
【００８９】
図６（ｂ）に示されるように、時刻Ｔ０＋ΔＴのときには、像領域Ｃは、第１のリニアイメージセンサ１６０の受光面１４１の受光領域に一致するように重なっている。つまり、像領域Ｃは、第１のリニアイメージセンサ１６０の受光面１４１の受光領域上に位置している。第１のリニアイメージセンサ１６０は、像領域Ｃの像を読み取る。そして、第１のリニアイメージセンサ１６０は、像領域Ｃに対応する画像データ１０３（データＳ１）を出力する。出力された画像データ１０３（データＳ１）は、Ａ／Ｄ変換器１８２によってデジタル信号に変換される。デジタル信号に変換された画像データ（データＳ３）は、メモリ＃２に送られる。画像データ（データＳ３）は、メモリ＃２に記憶される。
【００９０】
また、時刻Ｔ０＋ΔＴのときには、像領域Ｂは、第２のリニアイメージセンサ１７０の受光面の受光領域に一致するように重なっている。つまり、像領域Ｂは、第２のリニアイメージセンサ１７０の受光面１４１の受光領域上に位置している。第２のリニアイメージセンサ１７０は、像領域Ｂの像を読み取る。そして、第２のリニアイメージセンサ１７０は、像領域Ｂに対応する画像データ１０４（データＳ２）を出力する。出力された画像データ１０４（データＳ２）は、Ａ／Ｄ変換器１８３によってデジタル信号に変換される。デジタル信号に変換された画像データ（データＳ４）は、バッファメモリ１８１３に送られる。画像データ（データＳ４）は、バッファメモリ１８１３に記憶される。
【００９１】
図６（ａ）及び図６（ｂ）に示されるように、メモリ＃１には、時刻Ｔ０における像領域Ｂの画像データ１０１（データＳ３）が記憶される。そして、バッファメモリ１８１３には、時刻Ｔ０＋ΔＴにおける像領域Ｂの画像データ１０４（データＳ４）が記憶される。
【００９２】
制御部１８０は、メモリ＃１に記憶された像領域Ｂの画像データ１０１（データＳ３）とバッファメモリ１８１３に記憶された像領域Ｂの画像データ１０４（データＳ４）について相関演算を行う。そして、制御部１８０は、この演算の結果に基づいて、時間ΔＴにおける画像データ１０４（データＳ６）の移動量（ぶれ量）を算出する。制御部１８０は、画像データ１０１（データＳ５）に対する画像データ１０４（データＳ６）のｘ軸方向の移動量を算出する。相関演算の方法については、後述する。
【００９３】
図６（ｃ）に示されるように、時刻Ｔ０＋２ΔＴのとき、像領域Ｄは、第１のリニアイメージセンサ１６０の受光面の受光領域に一致するように重なっている。つまり、像領域Ｄは、第１のリニアイメージセンサ１６０の受光面１４１の受光領域上に位置している。第１のリニアイメージセンサ１６０は、像領域Ｄの像を読み取る。そして、第１のリニアイメージセンサ１６０は、像領域Ｄに対応する画像データ１０５（データＳ１）を出力する。出力された画像データ１０５（データＳ１）は、Ａ／Ｄ変換器１８２によってデジタル信号に変換される。デジタル信号に変換された画像データ（データＳ３）は、メモリ＃１に送られる。画像データ（データＳ３）メモリ＃１に記憶される。
【００９４】
また、時刻Ｔ０＋２ΔＴのときには、像領域Ｃは、第２のリニアイメージセンサ１７０の受光面の受光領域に一致するように重なっている。つまり、像領域Ｃは、第２のリニアイメージセンサ１７０の受光面１４１の受光領域上に位置している。第２のリニアイメージセンサ１７０は、像領域Ｃの像を読み取る。そして、第１のリニアイメージセンサ１７０は、像領域Ｃに対応する画像データ１０６（データＳ２）を出力する。出力された画像データ１０６（データＳ２）は、Ａ／Ｄ変換器１８３によってデジタル信号に変換される。デジタル信号に変換された画像データ（データＳ４）は、バッファメモリ１８１３に送られる。画像データ（データＳ４）は、バッファメモリ１８１３に記憶される。
【００９５】
図６（ｂ）及び図６（ｃ）に示されるように、メモリ＃２には、時刻Ｔ０＋ΔＴにおける像領域Ｃの画像データ１０３（データＳ３）が記憶される。そして、バッファメモリ１８１３には、時刻Ｔ０＋２ΔＴにおける像領域Ｃの画像データ１０６（データＳ４）が記憶される。
【００９６】
制御部１８０は、メモリ＃２に記憶された像領域Ｃの画像データ１０３（データＳ３）とバッファメモリ１８１３に記憶された像領域Ｃの画像データ１０６（データＳ４）について相関演算を行う。そして、制御部１８０は、この演算の結果に基づいて、時間ΔＴにおける画像データ１０４（データＳ６）の移動量（ぶれ量）を算出する。制御部１８０は、画像データ１０３（データＳ５）に対する画像データ１０６（データＳ６）のｘ軸方向の移動量を算出する。
【００９７】
以降も同様の方法によって、バッファメモリ１８１３に記憶された比較画像データ（データＳ６）と、１周期前にメモリ＃１又はメモリ＃２に記憶された基準画像データ（データＳ５）との相関演算によって、長さＷｘの方向の画像データ（データＳ６）の移動量（ぶれ量）を順次算出する。
【００９８】
長さＷｘは、受光素子１６０ａ，１７０ａの配列方向（ｘ軸方向）の長さである。そのため、長さＷｘの方向は、実施の形態１では、ｘ軸方向である。つまり、長さＷｘの方向は、実施の形態１では、主走査方向である。
【００９９】
次に、図７（ａ）、図７（ｂ）、図８（ａ）、図８（ｂ）、図８（ｃ）および図８（ｄ）を用いて相関演算の方法について説明する。各図において、横軸はメモリアドレスｉを表わし、縦軸は各画素の信号強度を表わしている。
【０１００】
図７（ａ）は、時刻Ｔ０に第１のリニアイメージセンサ１６０によって読み取られ、メモリ＃１（又はメモリ＃２）に記憶された基準画像データ（例えば、画像データ１０１）の画素ごとの信号の強度Ｍ１（ｉ）を示す図である。
【０１０１】
図７（ｂ）は、時刻Ｔ０＋ΔＴに第２のリニアイメージセンサ１７０によって読み取られ、バッファメモリ１８１３に記憶された比較画像データ（例えば、画像データ１０４）の画素ごとの信号の強度Ｍｂｕｆ（ｉ＋ｊ）を示す図である。
【０１０２】
また、図８（ａ）から図８（ｄ）は、ぶれ検出装置１００による相関演算を説明するための図である。
【０１０３】
図７（ａ）及び図７（ｂ）において、縦軸は、画像データの信号強度を示しており、横軸は、画像データのメモリアドレスｉを示している。また、同様に、図８（ａ）から図８（ｄ）において、縦軸は、画像データの信号強度を示しており、横軸は、画像データのメモリアドレスｉを示している。信号強度が大きいと、その画素は明るいことを示している。また、メモリアドレスｉは、＋ｘ軸方向に値ｉが増加する。
【０１０４】
画像データのメモリアドレスｉは、ｘ軸方向に並べて配置された受光素子１６０ａ，１７０ａのｘ軸方向の位置に対応している。符号ｉは、自然数である。また符号ｉはゼロを含んでもよい（ｉ＝０，１，２，…，ｎ）。そして、符号ｉは、受光素子１６０ａ，１７０ａの並べられている順番に対応している。また、数値ｊは、相関演算における比較画像データのシフト値（整数値）を示す。
【０１０５】
シフト値ｊは、メモリアドレスｉを増減させる値である。これによって、例えば、図８に示すように、画像データを左右方向にずらす場合に、メモリアドレスｉを増減させる。
【０１０６】
仮に、時間ΔＴの間に、ぶれが生じない場合には、図７（ａ）に示されるメモリ＃１又はメモリ＃２に記憶された基準画像データと、図７（ｂ）に示されるバッファメモリ１８１３に記憶された比較画像データとでは、同じメモリアドレスｉの値が同じ値になる。しかし、時間ΔＴの間に、ぶれが生じた場合には、図７（ａ）に示されるメモリ＃１又はメモリ＃２に記憶された基準画像データと、図７（ｂ）に示されるバッファメモリ１８１３に記憶された比較画像データとでは、同じメモリアドレスｉの値が異なる値になる。
【０１０７】
ぶれが生じた場合として、例えば、図７では、時間ΔＴの間に、図７（ｂ）に示すデータの像は、図７（ａ）に示すデータの像に対して、−ｘ軸方向に距離Ｓの移動（ぶれ）が生じている。図７（ａ）では、距離Ｓは２画素分の長さである。基準画像データは、例えば、画像データ１０１である。比較画像データは、例えば、画像データ１０４である。
【０１０８】
具体的には、バッファメモリ１８１３に記憶された比較画像データ（例えば、画像データ１０４）は、メモリ＃１（又はメモリ＃２）に記憶された基準画像データ（例えば、画像データ１０１）と比べて距離Ｓだけ−ｘ軸方向に移動している。メモリ＃１（又はメモリ＃２）に記憶された基準画像データは、図７（ａ）に示されている。バッファメモリ１８１３に記憶された比較画像データは、図７（ｂ）に示されている。図７（ａ）及び図７（ｂ）の左方向は、例えば、図５に示す−ｘ軸方向である。
【０１０９】
すなわち、時間ΔＴの間に、距離Ｓに対応する移動量（ぶれ量）の移動（ぶれ）が生じている。つまり、時間ΔＴの間に、検査対象物１１０は、ぶれ検出装置１００に対して、主走査方向に距離Ｓに対応する移動量で移動している。なお、検査対象物１１０の実際の移動量は、結像レンズ１３０の倍率と距離Ｓとから求められる。
【０１１０】
ここで、像の移動距離を算出するためには、基準画像データと比較画像データとの間の相関が最も強くなる位置を相関演算によって検出する。像の移動距離は、例えば、図７（ａ）及び（ｂ）における距離Ｓである。
【０１１１】
図８（ａ）から図８（ｄ）に示されるように、相関演算では、メモリ＃１（又はメモリ＃２）に記憶された画像データとバッファメモリ１８１３に記憶された画像データとの画素位置（メモリアドレスｉ）を、画素単位で横方向（＋ｘ軸方向又は−ｘ軸方向）にシフトさせながら、例えば、バッファメモリ１８１３に記憶された画像データとの差分の総和を算出する。
【０１１２】
相関演算は、例えば、メモリ＃１（又はメモリ＃２）に記憶された画像データに対して、バッファメモリ１８１３に記憶された画像データのメモリアドレスｉをずらして行われる。メモリアドレスｉをずらす量が、シフト値ｊである。そして、例えば、対応する画素値の差の総和を基に、２つの画像データの相関の程度を判定する。なお、対応する画素値の差の代わりに、対応する画素値の比を用いることができる。
【０１１３】
図８（ａ）に示すように、例えば、制御部１８０は、バッファメモリ１８１３に記憶された画像データを０画素単位で＋ｘ軸方向にシフトした場合の差分の総和ｆ（０）を第１の演算結果として算出する。「０画素単位」とは、シフト値ｊがゼロ（ｊ＝０）の場合を示している。
【数１】
2017111003.tif 000003
【０１１４】
図８（ｂ）に示すように、例えば、制御部１８０は、バッファメモリ１８１３に記憶された画像データを１画素単位で＋ｘ軸方向にシフトした場合の差分の総和ｆ（１）を第２の演算結果として算出する。「１画素単位」とは、シフト値ｊが１（ｊ＝１）の場合を示している。
【数２】
2017111003.tif 000004
【０１１５】
図８（ｃ）に示すように、例えば、制御部１８０は、バッファメモリ１８１３に記憶された画像データを２画素単位で＋ｘ軸方向にシフトした場合の差分の総和ｆ（２）を第３の演算結果として算出する。「２画素単位」とは、シフト値ｊが２（ｊ＝２）の場合を示している。
【数３】
2017111003.tif 000005
【０１１６】
図８（ｄ）に示すように、例えば、制御部１８０は、バッファメモリ１８１３に記憶された画像データを３画素単位で＋ｘ軸方向にシフトした場合の差分の総和ｆ（３）を第４の演算結果として算出する。「３画素単位」とは、シフト値ｊが３（ｊ＝３）の場合を示している。
【数４】
2017111003.tif 000006
【０１１７】
制御部１８０は、これら作業を繰り返して、第１の演算結果から第ｊの演算結果を算出する。そして、制御部１８０は、算出された第１の演算結果から第ｊの演算結果を比較してｆ（ｊ）が最小となるシフト値ｊを検出する。制御部１８０は、例えば、この差分の総和ｆ（ｊ）が最小となるシフト値ｊが、相関が最も強いシフト量Ｓであると判断する。制御部１８０は、相関が最も強いと判断されたシフト量Ｓを、画像データの移動量（ぶれ量）と判断する。「相関が最も強い」とは、相関を示す値ｆ（ｊ）が最小となることである。
【０１１８】
このとき、ｎを第１及び第２のリニアイメージセンサ１６０，１７０の差分計算に用いる画素数とし、ｊを相対画素位置とすると、相関を示す値ｆ（ｊ）は、次式（５）及び式（６）で表わすことができる。相対画素位置ｊは、基準画像データからの比較画像データの位置ずれ量である。相対画素位置ｊは、上述のシフト値ｊである。なお、実施の形態１の図７では、一例として、値ｆ（ｊ）は２つの画像データの差分の総和ｆ（２）で表わされている。
【０１１９】
【数５】
2017111003.tif 000007
【数６】
2017111003.tif 000008
【０１２０】
例えば、図８（ｄ）の場合には、シフト値ｊ＝３であるので、バッファメモリ１８１３のメモリアドレス１の値と、メモリ＃１またはメモリ＃２のメモリアドレス４の値との差分を求める。
【０１２１】
図９は、上記の相関演算において、画像データをシフトした距離（シフト距離）と算出された相関を示す値ｆ（ｊ）との関係を示すグラフである。横軸は、シフト値ｊを表わし、縦軸は相関を示す値ｆ（ｊ）を表わしている。
【０１２２】
図９に示されるように、シフト距離が距離Ｓのところで相関を示す値ｆ（ｊ）が最小となっていることが分かる。これは、時間ΔＴの間に、距離Ｓだけ＋ｘ軸方向の像の移動（ぶれ）が生じたことを示している。
【０１２３】
図９では、シフト値ｊ＝２で、相関を示す値ｆ（２）が最小の値となっている。そのため、受光面１４１上において、受光素子１６０ａ，１７０ａで２個分の距離の像の移動が生じている。
【０１２４】
１つの受光素子１６０ａ，１７０ａのｘ軸方向（主走査方向）の寸法を長さＷＰｘとする。シフト値ｊ＝ｎで、相関を示す値ｆ（２）が最小の値となる場合の受光面１４１上の像の移動した距離Ｓは、次式（７）で表わされる。
Ｓ＝ｎ×ＷＰｘ            ・・・（７）
【０１２５】
以上の相関演算により、時間ΔＴにおけるイメージセンサ１６０，１７０上の像の移動量（ぶれ量）を検出することができる。そして、時間ΔＴにおける搬送ライン上の検査対象物１１０の移動量（ぶれ量）を検出することができる。また、以上の相関演算を周期的に繰り返すことによって、例えば、搬送ライン上の検査対象物１１０の移動量（ぶれ量）を周期的に検出することができる。
【０１２６】
なお、相関演算は、式（５）の演算に限定されない。相関演算は、バッファメモリ１８１３に記憶された比較画像データと、メモリ＃１（又はメモリ＃２）に記憶された基準画像データとの相関を示す値を算出できる演算であれば、他の演算式を用いてもよい。例えば、信号の強度Ｍ１（ｉ）と信号の強度Ｍｂｕｆ（ｉ＋ｊ）との比を求めることで相関を示す値ｆ（ｊ）を求めることができる。
【０１２７】
《１−２》効果
以上に説明したように、実施の形態１に係るぶれ検出装置１００によれば、第１のリニアイメージセンサ１６０から出力された基準画像データと第２のリニアイメージセンサ１７０から出力された比較画像データとについて相関演算を行うことによって、搬送方向ＤＯに搬送中の検査対象物１１０のｘ軸方向の移動量（ぶれ量）の検出精度を向上できる。
【０１２８】
また、ぶれ量の算出は、一定の周期ごとに繰り返し実行することができる。そのため、複数の検査対象物１１０が順に搬送される場合であっても、搬送中の検査対象物１１０の撮像装置に対するぶれの検出精度を向上できる。
【０１２９】
《２》実施の形態２
《２−１》構成
実施の形態１においては、ラインスキャンカメラ１４０が第１のリニアイメージセンサ１６０及び第２のリニアイメージセンサ１７０を備える場合を説明した。
【０１３０】
これに対して、本発明の実施の形態２に係るぶれ検出装置２００のラインスキャンカメラ２４０は、ｘ軸方向に配列された複数の第１の受光素子２６０ａを含む第１のリニアイメージセンサ２６０と、ｘ軸方向に配列された複数の第２の受光素子２７０ａを含む第２のリニアイメージセンサ２７０と、第１のリニアイメージセンサ２６０と第２のリニアイメージセンサ２７０との間に配置され、ｘ軸方向に配列された複数の第３の受光素子２６５ａを含む第３のリニアイメージセンサ２６５とを備えている。
【０１３１】
例えば、特許文献１の２つのラインセンサを副走査方向に並べて配置しても、受光感度を向上させるために、リニアイメージセンサの受光素子の大きさを大きくすると、ぶれ検出を行う周期が長くなる。例えば、図２に示す長さＷｙを長くすると、第１のリニアイメージセンサ１６０と第２のリニアイメージセンサ１７０とのｙ軸方向の間隔が長くなる。これに伴って、第１のリニアイメージセンサ１６０での検出時刻と第２のリニアイメージセンサ１７０での検出時刻との間隔が長くなる。
【０１３２】
また、例えば、受光素子のｘ軸方向の大きさを大きくすると、像を読み取る際の解像度が低下する。そのため、ぶれ量の検出精度が低下する。
【０１３３】
実施の形態２に係るぶれ検出装置２００は、対象物からの光量が少ない場合でも、ぶれ量の検出精度の低下を抑制できる。つまり、実施の形態２に係るぶれ検出装置２００は、対象物からの光量が少ない場合でも、ぶれ量の検出周期の低下を抑制できる。また、実施の形態２に係るぶれ検出装置２００は、対象物からの光量が少ない場合でも、ぶれ量を検出する際の解像度の低下を抑制できる。
【０１３４】
第１のリニアイメージセンサ２６０は、第１の受光素子２６０ａを備えている。第１の受光素子２６０ａは、第１のリニアイメージセンサ２６０に複数備えられている。第１の受光素子２６０ａは、例えば、ｘ軸方向（主走査方向）に配列されている。
【０１３５】
第２のリニアイメージセンサ２７０は、第２の受光素子２７０ａを備えている。第２の受光素子２７０ａは、第２のリニアイメージセンサ２７０に複数備えられている。第２の受光素子２７０ａは、例えば、ｘ軸方向（主走査方向）に配列されている。
【０１３６】
第３のリニアイメージセンサ２６５は、第３の受光素子２６５ａを備えている。第３の受光素子２６５ａは、第３のリニアイメージセンサ２６５に複数備えられている。第３の受光素子２６５ａは、例えば、ｘ軸方向（主走査方向）に配列されている。
【０１３７】
第３のリニアイメージセンサ２６５は、ｙ軸方向（副走査方向）において、第１のリニアイメージセンサ２６０と第２のリニアイメージセンサ２７０との間に配置されている。第１のリニアイメージセンサ２６０、第２のリニアイメージセンサ２７０および第３のリニアイメージセンサ２６５は、対応する画素が主走査方向（Ｘ軸）で一致するように配置されている。「対応する画素」とは、例えば、同じメモリアドレスｉに対応する画素である。
【０１３８】
実施の形態２においては、第１の撮像部２６は、第１のリニアイメージセンサ２６０と第３のリニアイメージセンサ２６５とを備えている。第２の撮像部２７は、第２のリニアイメージセンサ２７０と第３のリニアイメージセンサ２６５とを備えている。
【０１３９】
実施の形態２に係るぶれ検出装置２００は、第３のリニアイメージセンサ２６５を備える点で、実施の形態１に係るぶれ検出装置１００と相違する。また、第３のリニアイメージセンサ２６５は、第１の撮像部２６と第２の撮像部２７との両方の撮像部に含まれている。つまり、第３のリニアイメージセンサ２６５は、第１の撮像部２６と第２の撮像部２７との共通の構成要素である。
【０１４０】
センサ部２０は、第１のリニアイメージセンサ１６０、第２のリニアイメージセンサ１７０および第３のリニアイメージセンサ２６５を備えている。
【０１４１】
また、実施の形態２においては、第１のリニアイメージセンサ２６０（複数の第１の受光素子２６０ａ）の受光面２４１の受光領域である第１の受光領域の像の移動方向ＤＩ（第１の方向）の長さは、第２のリニアイメージセンサ２７０（複数の第２の受光素子２７０ａ）の受光面の受光領域である第２の受光領域の像移動方向ＤＩの長さに等しく、長さＷｙである。
【０１４２】
第１の受光領域は、第１のリニアイメージセンサ２６０の受光面２４１の受光領域である。第１のリニアイメージセンサ２６０の受光面２４１には、複数の第１の受光素子２６０ａが配置されている。
【０１４３】
第２の受光領域は、第２のリニアイメージセンサ２７０の受光面２４１の受光領域である。第２のリニアイメージセンサ２７０の受光面２４１には、複数の第２の受光素子２７０ａが配置されている。
【０１４４】
像の移動方向ＤＩは、副走査方向である。実施の形態２では、像の移動方向ＤＩは、−ｙ軸方向である。像の移動方向ＤＩは、第１の方向である。
【０１４５】
第１の受光領域の副走査方向の長さは、第２の受光領域の副走査方向の長さに等しい。第１の受光領域の副走査方向の長と第２の受光領域の副走査方向の長さとは長さＷｙである。
【０１４６】
また、第３のリニアイメージセンサ２６５（複数の第３の受光素子２６５ａ）の受光面の受光領域である第３の受光領域の像の移動方向ＤＩの長さＷｙ＿Ｌは、第１の受光領域の像移動方向ＤＩの長さＷｙの２倍である。ただし、長さＷｙと長さＷｙ＿Ｌとの間には、Ｗｙ＜Ｗｙ＿Ｌという関係が存在すればよい。
【０１４７】
第３の受光領域は、第３のリニアイメージセンサ２６５の受光面２４１の受光領域である。第３のリニアイメージセンサ２６５の受光面２４１には、複数の第３の受光素子２６５ａが配置されている。第３の受光領域の副走査方向の長さＷｙ＿Ｌは、例えば、長さＷｙの２倍である。
【０１４８】
なお、長さＷｙ＿Ｌは、長さＷｙと同じ長さであってもよい。受光素子２６０ａ，２６５ａ，２７０ａは、同じ受光感度であってもよい。受光素子２６０ａ，２６５ａ，２７０ａは、同じ受光面積であってもよい。受光素子の受光量は、受光面積によって変更することができる。また、受光素子の受光量は、受光素子にレンズ等を備えることによって変更することができる。
【０１４９】
これらの点を除いて、実施の形態２は、実施の形態１と同様である。したがって、実施の形態２の説明に際しては、実施の形態１との相違点を中心に説明する。
【０１５０】
実施の形態２の検査対象物２１０、照明装置２２０、結像レンズ２３０、搬送装置２５０、第１のリニアイメージセンサ２６０、第２のリニアイメージセンサ２７０、受光素子２６０ａ，２７０ａおよび上位装置１９０は、実施の形態１の検査対象物１１０、照明装置１２０、結像レンズ１３０、搬送装置１５０、第１のリニアイメージセンサ１６０、第２のリニアイメージセンサ１７０、受光素子１６０ａ，１７０ａおよび上位装置１９０と同じである。
【０１５１】
図１０は、実施の形態２に係るぶれ検出装置２００の構成を概略的に示す図である。
【０１５２】
図１０に示されるように、ぶれ検出装置２００は、ラインスキャンカメラ２４０を備える。また、ぶれ検出装置２００は、照明装置２２０または結像レンズ２３０を備えることができる。照明装置２２０は、対象物としての検査対象物２１０に光を照射する。結像レンズ２３０は、検査対象物２１０の像を結像させる結像光学系である。
【０１５３】
ラインスキャンカメラ２４０は、第１のリニアイメージセンサ２６０と、第３のリニアイメージセンサ２６５と、第２のリニアイメージセンサ２７０とを備える。第１、第３、及び第２のリニアイメージセンサ２６０，２６５，２７０はこの順に、像移動方向ＤＩに隣り合って配置されている。
【０１５４】
図１０では、第３のリニアイメージセンサ２６５は、第１のリニアイメージセンサ２６０の−ｙ軸側に配置されている。第２のリニアイメージセンサ２７０は、第３のリニアイメージセンサ２６５の−ｙ軸側に配置されている。第３のリニアイメージセンサ２６５は、第１のリニアイメージセンサ２６０の隣に位置している。第２のリニアイメージセンサ２７０は、第３のリニアイメージセンサ２６５の隣に位置している。
【０１５５】
第１、第３、及び第２のリニアイメージセンサ２６０，２６５，２７０の受光面（結像面）の受光領域には、結像レンズ２３０によって検査対象物２１０の像（像領域）が結像される。
【０１５６】
結像レンズ２３０は、各リニアイメージセンサ２６０，２６５，２７０の受光面２４１に、検査対象物２１０の像を結像する。検査対象物２１０上の被読取領域は、受光面２４１上の像領域に対応している。つまり、検査対象物２１０上の被読取領域の像が、受光面２４１上の像領域に映し出される。
【０１５７】
第１、第３、及び第２のリニアイメージセンサ２６０，２６５，２７０は、受光面２４１の受光領域上に結像された像（像領域）を読み取る。リニアイメージセンサ２６０，２６５，２７０は、読み取られた像に対応する画像データを出力する。
【０１５８】
図１０において、検査対象物２１０上に破線で示される被読取領域２１１は、第１のリニアイメージセンサ２６０によって読み取られる領域を示している。また、検査対象物２１０上に実線で示される被読取領域２１２は、第３のリニアイメージセンサ２６５によって読み取られる領域を示している。また、検査対象物２１０上に一点鎖線で示される被読取領域２１３は、第２のリニアイメージセンサ２７０によって読み取られる領域を示している。
【０１５９】
第１、第３、及び第２のリニアイメージセンサ２６０，２６５，２７０は、順次像の読み取り及び画像データの出力を繰り返す。リニアイメージセンサ２６０，２６５，２７０は、例えば、一定の周期で像の読み取り及び画像データの出力を繰り返す。
【０１６０】
図１１は、第１、第３、及び第２のリニアイメージセンサ２６０，２６５，２７０を示す平面図である。
【０１６１】
第１、第３、及び第２のリニアイメージセンサ２６０，２６５，２７０の各々は、ｘ軸方向に配列された複数の受光素子２６０ａ，２６５ａ，２７０ａを備えている。リニアイメージセンサ２６０，２６５，２７０は、１次元的な画像情報をアナログ信号に変換する。リニアイメージセンサ２６０，２６５，２７０は、このアナログ信号を時系列で出力することができる。
【０１６２】
図１１に示されるように、第１及び第２のリニアイメージセンサ２６０，２７０のｘ軸方向の寸法は長さＷｘであり、搬送方向ＤＯの寸法は長さＷｙである。また、第３のリニアイメージセンサ２６５のｘ軸方向の寸法は長さＷｘであり、搬送方向ＤＯの寸法は長さＷｙ＿Ｌである。長さＷｙと長さＷｙ＿Ｌとの間には、Ｗｙ＜Ｗｙ＿Ｌという関係が成立する。実施の形態２では、長さＷｙと長さＷｙ＿Ｌとの関係は、２Ｗｙ＝Ｗｙ＿Ｌである。
【０１６３】
図１２は、検査対象物２１０と第１、第３、及び第２のリニアイメージセンサ２６０，２６５，２７０の受光面２４１に結像する像との関係を示す図である。
【０１６４】
実施の形態２に係るぶれ検出装置２００の結像レンズ２３０は、例えば、等倍のレンズを用いている。このため、検査対象物２１０の読取り高さを高さＯｈとし、ラインスキャンカメラ２４０の受光面２４１に結像される像の高さを高さＩｈとすると、高さＯｈと高さＩｈとの関係は、Ｏｈ＝Ｉｈとなる。つまり、高さＯｈは高さＩｈと等しくなる。ただし、結像レンズ２３０は、等倍のレンズに限定されない。
【０１６５】
図１３は、実施の形態２に係るぶれ検出装置２００の制御系の構成の一例を概略的に示すブロック図である。
【０１６６】
図１３に示されるように、ぶれ検出装置２００は、制御部２８０と、記憶部２８１と、第１、第２及び第３のリニアイメージセンサ２６０，２７０，２６５と、加算器２８５，２８６とを備える。ぶれ検出装置２００は、Ａ／Ｄ変換器２８２，２８３，２８４を備えることができる。
【０１６７】
実施の形態２に係るぶれ検出装置２００は、加算器２８５，２８６を備える点で実施の形態１に係るぶれ検出装置１００と相違する。
【０１６８】
実施の形態２のＡ／Ｄ変換器２８２，２８３，２８４は、実施の形態１のＡ／Ｄ変換器１８２，１８３と同様である。
【０１６９】
第１のリニアイメージセンサ２６０は、データＳ１０をＡ／Ｄ変換器２８２に送る。データＳ１０は、第１のリニアイメージセンサ２６０が読み取った画像データである。データＳ１０は、アナログ信号である。
【０１７０】
第２のリニアイメージセンサ２７０は、データＳ１１をＡ／Ｄ変換器２８４に送る。データＳ１１は、第２のリニアイメージセンサ２７０が読み取った画像データである。データＳ１１は、アナログ信号である。
【０１７１】
第３のリニアイメージセンサ２６５は、データＳ１２をＡ／Ｄ変換器２８３に送る。データＳ１２は、第３のリニアイメージセンサ２６５が読み取った画像データである。データＳ１２は、アナログ信号である。
【０１７２】
Ａ／Ｄ変換器２８２は、第１のリニアイメージセンサ２６０の出力信号Ｓ１０を受け取る。そして、Ａ／Ｄ変換器２８２は、加算器２８５に出力信号Ｓ１３を送る。Ａ／Ｄ変換器２８３は、第３のリニアイメージセンサ２６５の出力信号Ｓ１２を受け取る。そして、Ａ／Ｄ変換器２８３は、加算器２８５と加算器２８６とに出力信号Ｓ１５を送る。Ａ／Ｄ変換器２８４は、第２のリニアイメージセンサ２７０の出力信号Ｓ１１を受け取る。そして、Ａ／Ｄ変換器２８４は、加算器２８６に出力信号Ｓ１４を送る。
【０１７３】
実施の形態２の記憶部２８１は、実施の形態１の記憶部１８１と同様である。つまり、メモリ＃１（第１のメモリ２８１１）は、メモリ＃１（第１のメモリ１８１１）と同様である。メモリ＃２（第２のメモリ２８１２）は、メモリ＃２（第２のメモリ１８１２）と同様である。バッファメモリ２８１３は、バッファメモリ１８１３と同様である。なお、加算器２８６からの信号Ｓ１７をそのまま制御部２８０に送って処理をする場合には、バッファメモリ２８１３を省くことができる。
【０１７４】
また、実施の形態２の制御部２８０は、実施の形態１の制御部１８０と同様である。
【０１７５】
加算器２８５は、第１のリニアイメージセンサ２６０の出力信号Ｓ１０と、第３のリニアイメージセンサ２６５の出力信号Ｓ１２とを加算する。図１３では、加算器２８５は、Ａ／Ｄ変換器２８２の出力信号Ｓ１３と、Ａ／Ｄ変換器２８３の出力信号Ｓ１５とを加算する。
【０１７６】
加算器２８６は、第２のリニアイメージセンサ２７０の出力信号Ｓ１１と、第３のリニアイメージセンサ２６５の出力信号Ｓ１２とを加算する。図１３では、加算器２８６は、Ａ／Ｄ変換器２８４の出力信号Ｓ１４と、Ａ／Ｄ変換器２８３の出力信号Ｓ１５とを加算する。
【０１７７】
加算器２８５の出力信号Ｓ１６は、メモリ＃１（第１のメモリ２８１１）とメモリ＃２（第２のメモリ２８１２）とに送られる。加算器２８６の出力信号Ｓ１７は、バッファメモリ２８１３に送られる。
【０１７８】
制御部２８０は、メモリ＃１またはメモリ＃２からデータＳ１８を受け取る。ここでは、説明を簡単にするために、データＳ１８はデータＳ１６と同一とする。また、制御部１８０は、バッファメモリ２８１３からデータＳ１９を受け取る。ここでは、説明を簡単にするために、データＳ１９はデータＳ１７と同一とする。
【０１７９】
制御部２８０は、データＳ１８とデータＳ１９とを用いて、相関演算を行う。制御部２８０は、相関演算の結果に基づいてぶれ量を求める。また、制御部２８０は、検出されたぶれ量を、上位装置１９０に対して送信する。制御部２８０は、例えば、求められたぶれ量を含むデータＳ２０を上位装置１９０に送る。
【０１８０】
図１４（ａ）から図１４（ｃ）は、時刻Ｔ０から時刻Ｔ０＋ΔＴまでにおける第１、第３、及び第２のリニアイメージセンサ２６０，２６５，２７０上の像（像領域）の移動を示す図である。
【０１８１】
図１４（ａ）は、時刻Ｔ０のときのリニアイメージセンサ２６０，２６５，２７０に対する像領域Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅの位置を示している。図１４（ｂ）は、時刻Ｔ０＋ΔＴ／２のときのリニアイメージセンサ２６０，２６５，２７０に対する像領域Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅの位置を示している。図１４（ｃ）は、時刻Ｔ０＋ΔＴのときのリニアイメージセンサ２６０，２６５，２７０に対する像領域Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅの位置を示している。
【０１８２】
図１４（ａ）から図１４（ｃ）において、破線により囲まれた５つの像領域Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅは、受光面２４１上に結像される検査対象物２１０の像を示している。つまり、受光面２４１上に結像される検査対象物２１０の像を、５つの像領域Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅに分割して説明する。
【０１８３】
また、薄いグレーで塗りつぶされたセンサ領域は、第１のリニアイメージセンサ２６０の受光面２４１の受光領域を示している。中間の濃さのグレーで塗りつぶされたセンサ領域は、第３のリニアイメージセンサ２６５の受光面２４１の受光領域を示している。濃いグレーで塗りつぶされたセンサ領域は、第２のリニアイメージセンサ２７０の受光面２４１の受光領域を示している。
【０１８４】
製造ラインにおける搬送装置２５０によって、検査対象物２１０は、図１０における搬送方向ＤＯ（＋ｙ軸方向）に搬送される。搬送装置２５０は、例えば、ベルトコンベアなどである。
【０１８５】
このとき、検査対象物２１０は、搬送方向ＤＯにＷｙ／ΔＴの速度で搬送される。検査対象物２１０が搬送方向ＤＯ（＋ｙ軸方向）に搬送されることで、受光面２４１上の像領域Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅは、図１４（ａ）、図１４（ｂ）、及び図１４（ｃ）の順に、像の移動方向ＤＩ（−ｙ軸方向）に移動する。
【０１８６】
図１４（ａ）に示されるように、時刻Ｔ０のときには、受光面２４１上の像領域Ｄは、第１のリニアイメージセンサ２６０の受光面の受光領域に一致するように重なっている。つまり、時刻Ｔ０のときには、検査対象物２１０の像の像領域Ｄは、第１のリニアイメージセンサ２６０の受光面２４１の受光領域上に位置している。
【０１８７】
また、時刻Ｔ０のときには、像領域Ｂ及び像領域Ｃは、第３のリニアイメージセンサ２６５の受光面２４１の受光領域に一致するように重なっている。つまり、時刻Ｔ０のときには、検査対象物２１０の像の像領域Ｂおよび像領域Ｃは、第３のリニアイメージセンサ２６５の受光面１４１の受光領域上に位置している。
【０１８８】
また、時刻Ｔ０のときには、像領域Ａは、第２のリニアイメージセンサ２７０の受光面２４１の受光領域に一致するように重なっている。つまり、時刻Ｔ０のときには、検査対象物２１０の像の像領域Ａは、第２のリニアイメージセンサ２７０の受光面２４１の受光領域上に位置している。
【０１８９】
時刻Ｔ０から時間ΔＴ／２が経過すると、像領域Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅは、図１４（ａ）に示される状態から像の移動方向ＤＩに長さＷｙ／２の距離を移動する。
【０１９０】
図１４（ｂ）に示されるように、時刻Ｔ０＋ΔＴ／２のときには、像領域Ｄは、第１のリニアイメージセンサ２６０の受光面２４１の受光領域と第３のリニアイメージセンサ２６５の受光面２４１の受光領域との双方と重なっている。つまり、時刻Ｔ０＋ΔＴ／２のときには、像領域Ｄの−ｙ軸側の半分は、第３のリニアイメージセンサ２６５の受光面２４１の受光領域の＋ｙ軸側の１／４の位置に位置している。また、像領域Ｄの＋ｙ軸側の半分は、第１のリニアイメージセンサ２６０の受光面２４１の受光領域の−ｙ軸側の半分の位置に位置している。
【０１９１】
また、像領域Ｃは、第３のリニアイメージセンサ２６５の受光面２４１の受光領域に重なっている。つまり、像領域Ｃは、第３のリニアイメージセンサ２６５の受光面２４１の受光領域上に位置している。図１４（ｂ）では、ｙ軸方向において、像領域Ｃは、第３のリニアイメージセンサ２６５の受光面２４１の受光領域の中央に位置している。
【０１９２】
また、像領域Ｂは、第２のリニアイメージセンサ２７０の受光面２４１の受光領域と第３のリニアイメージセンサ２６５の受光面２４１の受光領域との双方と重なっている。つまり、像領域Ｂの−ｙ軸側の半分は、第２のリニアイメージセンサ２７０の受光面２４１の受光領域の＋ｙ軸側の半分の位置に位置している。また、像領域Ｂの＋ｙ軸側の半分は、第３のリニアイメージセンサ２６５の受光面２４１の受光領域の−ｙ軸側の１／４の位置に位置している。
【０１９３】
また、像領域Ａの半分は、第２のリニアイメージセンサ２７０の受光面２４１の受光領域の半分と重なっている。つまり、像領域Ａの＋ｙ軸側の半分は、第２のリニアイメージセンサ２７０の受光面２４１の受光領域の−ｙ軸側の半分の位置に位置している。
【０１９４】
時刻Ｔ０＋ΔＴ／２から更に時間ΔＴ／２が経過すると、像領域Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅは、図１４（ｂ）に示される状態から像移動方向ＤＩに長さＷｙ／２の距離を移動する。
【０１９５】
図１４（ｃ）に示されるように、時刻Ｔ０＋ΔＴのときには、像領域Ｃ及び像領域Ｄは、第３のリニアイメージセンサ２６５の受光面の受光領域に一致するように重なっている。つまり、時刻Ｔ０＋ΔＴのときには、検査対象物２１０の像の像領域Ｃおよび像領域Ｄは、第３のリニアイメージセンサ２６５の受光面１４１の受光領域上に位置している。
【０１９６】
また、像領域Ｂは、第２のリニアイメージセンサ２７０の受光面の受光領域に一致するように重なっている。つまり、像領域Ｂは、第２のリニアイメージセンサ２７０の受光面２４１の受光領域上に位置している。
【０１９７】
また、像領域Ｅは、第１のリニアイメージセンサ２６０の受光面の受光領域に一致するように重なっている。つまり、像領域Ｅは、第１のリニアイメージセンサ２６０の受光面２４１の受光領域上に位置している。
【０１９８】
このように、ΔＴの時間の経過により像領域Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅは、図１４（ａ）に示される状態から、図１４（ｃ）に示される状態まで、長さＷｙの距離を移動する。
【０１９９】
図１５（ａ）から図１５（ｃ）は、時刻Ｔ０から時刻Ｔ０＋Δ２Ｔまでにおいて、第１、第３、及び第２のリニアイメージセンサ２６０，２６５，２７０から出力された画像データの処理の流れを示す図である。
【０２００】
処理されるデータに関しては、図１５で示す符号以外に括弧内に図１３で示した符号を付している。
【０２０１】
図１５（ａ）に示されるように、時刻Ｔ０のときには、像領域Ｄは、第１のリニアイメージセンサ２６０の受光面の受光領域に一致するように重なっている。つまり、像領域Ｄは、第１のリニアイメージセンサ２６０の受光面２４１の受光領域上に位置している。
【０２０２】
第１のリニアイメージセンサ２６０は、像領域Ｄの像を読み取る。そして、第１のリニアイメージセンサ２６０は、像領域Ｄに対応する画像データ２０１（データＳ１０）を出力する。
【０２０３】
Ａ／Ｄ変換器２８２は、第１のリニアイメージセンサ２６０から出力された画像データ２０１（データＳ１０）を受け取る。出力された画像データ２０１（データＳ１０）は、Ａ／Ｄ変換器２８２によってデジタル信号に変換される。デジタル信号に変換された画像データ２０１（データＳ１３）は、加算器２８５によって、後述する画像データ２０２と加算される。加算された画像データ２０１，２０２（データＳ１６）は、記憶部２８１のメモリ＃１に記憶される。
【０２０４】
また、時刻Ｔ０のとき、像領域Ｂ及び像領域Ｃは、第３のリニアイメージセンサ２６５の受光面２４１の受光領域に一致するように重なっている。つまり、像領域Ｂ及び像領域Ｃは、第３のリニアイメージセンサ２６５の受光面２４１の受光領域上に位置している。
【０２０５】
第３のリニアイメージセンサ２６５は、像領域Ｂ及び像領域Ｃの像を読み取る。そして、第３のリニアイメージセンサ２６５は、像領域Ｂ及び像領域Ｃに対応する画像データ２０２（データＳ１２）を出力する。
【０２０６】
Ａ／Ｄ変換器２８３は、第３のリニアイメージセンサ２６５から出力された画像データ２０２（データＳ１２）を受け取る。出力された画像データ２０２（データＳ１２）は、Ａ／Ｄ変換器２８３によってデジタル信号に変換される。デジタル信号に変換された画像データ２０２（データＳ１５）は、加算器２８５によって画像データ２０１（データＳ１３）と加算される。加算された画像データ２０１，２０２（データＳ１６）は、記憶部２８１のメモリ＃１に記憶される。また、画像データ２０２（データＳ１５）は、後述する画像データ２０３（データＳ１４）と加算される。加算された画像データ２０２，２０３（データＳ１７）は、記憶部２８１のバッファメモリ２８１３に記憶される。
【０２０７】
また、時刻Ｔ０のとき、像領域Ａは、第２のリニアイメージセンサ２７０の受光面の受光領域に一致するように重なっている。つまり、像領域Ａは、第２のリニアイメージセンサ２７０の受光面２４１の受光領域上に位置している。
【０２０８】
第２のリニアイメージセンサ２７０は、像領域Ａの像を読み取る。そして、第２のリニアイメージセンサ２７０は、像領域Ａに対応する画像データ２０３（データＳ１１）を出力する。
【０２０９】
Ａ／Ｄ変換器２８４は、第２のリニアイメージセンサ２７０から出力された画像データ２０３（データＳ１１）を受け取る。出力された画像データ２０３（データＳ１１）は、Ａ／Ｄ変換器２８４によってデジタル信号に変換される。デジタル信号に変換された画像データ２０３（データＳ１４）は、加算器２８６によって画像データ２０２（データＳ１５）と加算される。加算された画像データ２０２，２０３（データＳ１７）は、記憶部２８１のバッファメモリ２８１３に記憶される。
【０２１０】
図１５（ｂ）に示されるように、時刻Ｔ０＋ΔＴのとき、像領域Ｅは、第１のリニアイメージセンサ２６０の受光面の受光領域に一致するように重なっている。つまり、像領域Ｅは、第１のリニアイメージセンサ２６０の受光面２４１の受光領域上に位置している。
【０２１１】
第１のリニアイメージセンサ２６０は、像領域Ｅの像を読み取る。そして、第１のリニアイメージセンサ２６０は、像領域Ｅに対応する画像データ２０４（データＳ１０）を出力する。
【０２１２】
Ａ／Ｄ変換器２８２は、第１のリニアイメージセンサ２６０から出力された画像データ２０４（データＳ１０）を受け取る。出力された画像データ２０４（データＳ１０）は、Ａ／Ｄ変換器２８２によってデジタル信号に変換される。デジタル信号に変換された画像データ２０４（データＳ１３）は、加算器２８５によって、後述する画像データ２０５（データＳ１５）と加算される。加算された画像データ２０４，２０５（データＳ１６）は、記憶部２８１のメモリ＃２に記憶される。
【０２１３】
また、時刻Ｔ０＋ΔＴのときには、像領域Ｃ及び像領域Ｄは、第３のリニアイメージセンサ２６５の受光面の受光領域に一致するように重なっている。つまり、像領域Ｂ及び像領域Ｃは、第３のリニアイメージセンサ２６５の受光面２４１の受光領域上に位置している。
【０２１４】
第３のリニアイメージセンサ２６５は像領域Ｃ及び像領域Ｄの像を読み取る。そして、第３のリニアイメージセンサ２６５は、像領域Ｃ及び像領域Ｄに対応する画像データ２０５（データＳ１２）を出力する。
【０２１５】
Ａ／Ｄ変換器２８３は、第３のリニアイメージセンサ２６５から出力された画像データ２０５（データＳ１２）を受け取る。出力された画像データ２０５（データＳ１２）は、Ａ／Ｄ変換器２８３によってデジタル信号に変換される。デジタル信号に変換された画像データ２０５（データＳ１５）は、加算器２８５によって画像データ２０４（データＳ１３）と加算される。加算された画像データ２０４，２０５（データＳ１６）は、記憶部２８１のメモリ＃２に保存される。また、画像データ２０５（データＳ１５）は、後述する画像データ２０６（データＳ１４）と加算される。加算された画像データ２０５，２０６（データＳ１７）は、記憶部２８１のバッファメモリ２８１３に記憶される。
【０２１６】
また、時刻Ｔ０＋ΔＴのとき、像領域Ｂは、第２のリニアイメージセンサ２７０の受光面の受光領域に一致するように重なっている。つまり、像領域Ｂは、第２のリニアイメージセンサ２７０の受光面２４１の受光領域上に位置している。
【０２１７】
第２のリニアイメージセンサ２７０は、像領域Ｂの像を読み取る。そして、第２のリニアイメージセンサ２７０は、像領域Ｂに対応する画像データ２０６（データＳ１１）を出力する。
【０２１８】
Ａ／Ｄ変換器２８４は、第２のリニアイメージセンサ２７０から出力された画像データ２０６（データＳ１１）を受け取る。出力された画像データ２０６（データＳ１１）は、Ａ／Ｄ変換器２８４によってデジタル信号に変換される。デジタル信号に変換された画像データ２０６（データＳ１４）は、加算器２８６によって画像データ２０５（データＳ１５）と加算される。加算された画像データ２０５，２０６（データＳ１７）は、記憶部２８１のバッファメモリ２８１３に記憶される。
【０２１９】
このように、メモリ＃１には、時刻Ｔ０における像領域Ｂ、像領域Ｃ、及び像領域Ｄの画像データ２０１，２０２の加算データ（データＳ１６）が記憶される。そして、バッファメモリ２８１３には、時刻Ｔ０＋ΔＴにおける像領域Ｂ、像領域Ｃ、及び像領域Ｄの画像データ２０５，２０６の加算データ（データＳ１７）が記憶される。
【０２２０】
制御部２８０は、メモリ＃１に記憶された像領域Ｂ、像領域Ｃ、及び像領域Ｄの画像データ２０１，２０２の加算データ（データＳ１８）と、バッファメモリ２８１３に記憶された像領域Ｂ、像領域Ｃ、及び像領域Ｄの画像データ２０５，２０６の加算データ（データＳ１９）とについて相関演算を行う。
【０２２１】
制御部２８０は、画像データ２０１，２０２の加算データ（データＳ１８）と、画像データ２０５，２０６の加算データ（データＳ１９）とについて相関演算を行う。画像データ２０１，２０２の加算データ（データＳ１８）は、像領域Ｂ、像領域Ｃ、及び像領域Ｄの画像データである。画像データ２０１，２０２の加算データ（データＳ１８）は、メモリ＃１に記憶されている。画像データ２０５，２０６の加算データ（データＳ１９）は、像領域Ｂ、像領域Ｃ、及び像領域Ｄの画像データである。画像データ２０１，２０２の加算データ（データＳ１９）は、バッファメモリ２８１３に記憶されている。
【０２２２】
そして、制御部２８０は、時間ΔＴの間における画像データのｘ軸方向の移動量（ぶれ量）を算出する。実施の形態２における相関演算の方法は、実施の形態１で説明した方法と同じである。
【０２２３】
図１５（ｃ）に示されるように、時刻Ｔ０＋２ΔＴのとき、像領域Ｆは、第１のリニアイメージセンサ２６０の受光面の受光領域に一致するように重なっている。つまり、像領域Ｆは、第１のリニアイメージセンサ２６０の受光面２４１の受光領域上に位置している。
【０２２４】
第１のリニアイメージセンサ２６０は、像領域Ｆの像を読み取る。そして、第１のリニアイメージセンサ２６０は、像領域Ｆに対応する画像データ２０７（データＳ１０）を出力する。
【０２２５】
Ａ／Ｄ変換器２８２は、第１のリニアイメージセンサ２６０から出力された画像データ２０７（データＳ１０）を受け取る。出力された画像データ２０７（データＳ１０）は、Ａ／Ｄ変換器２８２によってデジタル信号に変換される。デジタル信号に変換された画像データ２０７（データＳ１３）は、加算器２８５によって、後述する画像データ２０８（データＳ１５）と加算される。加算された画像データ２０７，２０８（データＳ１６）は、記憶部２８１のメモリ＃１に記憶される。
【０２２６】
また、時刻Ｔ０＋２ΔＴのときには、像領域Ｄ及び像領域Ｅは、第３のリニアイメージセンサ２６５の受光面の受光領域に一致するように重なっている。つまり、像領域Ｄ及び像領域Ｅは、第３のリニアイメージセンサ２６５の受光面２４１の受光領域上に位置している。
【０２２７】
第３のリニアイメージセンサ２６５は、像領域Ｄ及び像領域Ｅの像を読み取る。そして、第３のリニアイメージセンサ２６５は、像領域Ｄ及び像領域Ｅに対応する画像データ２０８（データＳ１２）を出力する。
【０２２８】
Ａ／Ｄ変換器２８３は、第３のリニアイメージセンサ２６５から出力された画像データ２０８（データＳ１５）を受け取る。出力された画像データ２０８（データＳ１５）は、Ａ／Ｄ変換器２８３によってデジタル信号に変換される。デジタル信号に変換された画像データ２０８（データＳ１５）は、加算器２８５によって画像データ２０７（データＳ１３）と加算される。加算された画像データ２０７，２０８（データＳ１６）は、記憶部２８１のメモリ＃１に保存される。また、画像データ２０８（データＳ１５）は、後述する画像データ２０９（データＳ１４）と加算される。加算された画像データ２０７，２０８（データＳ１７）は、記憶部２８１のバッファメモリ２８１３に記憶される。
【０２２９】
また、時刻Ｔ０＋２ΔＴのとき、像領域Ｃは、第２のリニアイメージセンサ２７０の受光面の受光領域に一致するように重なっている。つまり、像領域Ｃは、第２のリニアイメージセンサ２７０の受光面２４１の受光領域上に位置している。
【０２３０】
第２のリニアイメージセンサ２７０は、像領域Ｃの像を読み取る。そして、第２のリニアイメージセンサ２７０は、像領域Ｃに対応する画像データ２０９（データＳ１１）を出力する。
【０２３１】
Ａ／Ｄ変換器２８４は、第２のリニアイメージセンサ２７０から出力された画像データ２０９（データＳ１１）を受け取る。出力された画像データ２０９（データＳ１１）は、Ａ／Ｄ変換器２８４によってデジタル信号に変換される。デジタル信号に変換された画像データ２０９（データＳ１４）は、加算器２８６によって画像データ２０８（データＳ１５）と加算される。加算された画像データ２０８，２０９（データＳ１７１）は、記憶部２８１のバッファメモリ２８１３に記憶される。
【０２３２】
次に、メモリ＃２に記憶された像領域Ｃ、像領域Ｄ、及び像領域Ｅの画像データ２０４，２０５の加算データ（データＳ１８）と、バッファメモリ２８１３に記憶された像領域Ｃ、像領域Ｄ、及び像領域Ｅの画像データ２０７，２０８の加算データ（データＳ１９）とについて相関演算を行う。
【０２３３】
制御部２８０は、画像データ２０４，２０５の加算データ（データＳ１８）と、画像データ２０７，２０８の加算データ（データＳ１９）とについて相関演算を行う。画像データ２０４，２０５の加算データ（データＳ１８）は、像領域Ｃ、像領域Ｄ、及び像領域Ｅの画像データである。画像データ２０４，２０５の加算データ（データＳ１８）は、メモリ＃２に記憶されている。画像データ２０７，２０８の加算データ（データＳ１９）は、像領域Ｃ、像領域Ｄ、及び像領域Ｅの画像データである。画像データ２０７，２０８の加算データ（データＳ１９）は、バッファメモリ２８１３に記憶されている。
【０２３４】
そして、制御部２８０は、時間ΔＴにおける画像データのｘ軸方向の移動量（ぶれ量）を算出する。以降も同様の方法によって、制御部２８０は、バッファメモリ２８１３の画像データ（比較画像データ）と、１周期（時間ΔＴ）前のメモリ＃１又はメモリ＃２の画像データ（基準画像データ）との相関演算を行う。制御部２８０は、この相関演算によって、ｘ軸方向の画像データの移動量（ぶれ量）を連続的に算出する。相関演算の方法は、実施の形態１で説明した方法と同様である。
【０２３５】
《２−２》効果
以上に説明したように、実施の形態２に係るぶれ検出装置２００によれば、第１のリニアイメージセンサ２６０及び第３のリニアイメージセンサ２６５から出力された基準画像データと、第２のリニアイメージセンサ２７０及び第３のリニアイメージセンサ２６５から出力された比較画像データとについて相関演算を行う。
【０２３６】
つまり、ぶれ検出装置２００は、基準画像データと、比較画像データとを用いて相関演算を行う。基準画像データは、第１のリニアイメージセンサ２６０及び第３のリニアイメージセンサ２６５から出力された画像データである。比較画像データは、第２のリニアイメージセンサ２７０及び第３のリニアイメージセンサ２６５から出力された画像データである。
【０２３７】
また、ぶれ量の算出は、一定の周期ごとに繰り返し実行することができる。このため、例えば、複数の検査対象物２１０が順に搬送される場合であっても、搬送中の検査対象物２１０の撮像装置に対するぶれの検出精度を向上することができる。
【０２３８】
実施の形態２に係るぶれ検出装置２００によれば、像の移動方向ＤＩにおける第３のリニアイメージセンサ２６５の受光面２４１の受光領域の長さＷｙ＿Ｌを、像の移動方向ＤＩにおける第１及び第２のリニアイメージセンサ２６０，２７０の受光面２４１の受光領域の長さＷｙよりも長く設定した。つまり、ｙ軸方向（副走査方向）において、第３のリニアイメージセンサ２６５の長さＷｙ＿Ｌは、リニアイメージセンサ２６０，２７０の長さＷｙよりも長い。
【０２３９】
このため、第３のリニアイメージセンサ２６５に入射する光量は多くなる。そして、ぶれ検出装置２００は、検出周波数を低下させることなく、精度を向上させた検出を行うことができる。検出周波数は、単位時間当たりのぶれ検出の回数である。ここで、「精度」とは、例えば、Ｓ／Ｎ比の良いことなどである。Ｓ／Ｎ比は、信号と雑音との比である。
【０２４０】
これによって、実施の形態２に係るぶれ検出装置２００は、搬送方向ＤＯに搬送中の検査対象物２１０のｘ軸方向の移動量（ぶれ量）の検出精度を実施の形態１に係るぶれ検出装置１００と比べて更に向上することができる。
【０２４１】
《３》実施の形態３
《３−１》構成
図１６は、本発明の実施の形態３に係るぶれ検出装置３００の構成を概略的に示す図である。図１７は、実施の形態３における光量センサ１５５及び第１及び第２のリニアイメージセンサ１６０，１７０の構成を概略的に示す平面図である。図１８は、実施の形態３に係るぶれ検出装置３００の制御系の構成の一例を概略的に示すブロック図である。
【０２４２】
実施の形態３に係るぶれ検出装置３００は、第１のぶれ検出センサ３００ａ及び第２のぶれ検出センサ３００ｂを備える点において実施の形態１に係るぶれ検出装置１００と異なる。
【０２４３】
例えば、特許文献１に記載されている装置は、対象物の一部に極端な明るさの差が生じている場合には、明るい部分の画像が飽和しないように、センサゲインを低く設定する。この場合には、対象物の暗い部分の像は、低いゲインのために暗くなってしまう。そして、ぶれ検出に用いることのできる像の範囲が少なくなる。一方、暗い部分に合わせてセンサゲインを高く設定すると、明るい部分の像は飽和して白とびする。このため、ぶれ検出に用いることのできる像の範囲が少なくなる。このように、ぶれ検出に用いることのできる像の範囲が少なくなることで、ぶれ検出の精度が低下するというという問題があった。
【０２４４】
実施の形態３に係る検出装置３００は、対象物の一部に明るさの差が生じた場合でも、ぶれ検出の精度の低下を抑制できる。
【０２４５】
図１６に示されるように、実施の形態３に係るぶれ検出装置３００は、第１のぶれ検出センサ３００ａ及び第２のぶれ検出センサ３００ｂを備える。第１のぶれ検出センサ３００ａ及び第２のぶれ検出センサ３００ｂは、複数のリニアイメージセンサ１６０，１７０，１７５，１６５及び光量センサ１５５，１５６を備える。
【０２４６】
第１のぶれ検出センサ３００ａは、第１のセンサ部である。第２のぶれ検出センサ３００ｂは、第２のセンサ部である。第１のぶれ検出センサ３００ａ（第１のセンサ部）は、リニアイメージセンサ１６０，１７０及び光量センサ１５５を備える。第２のぶれ検出センサ３００ｂ（第２のセンサ部）は、リニアイメージセンサ１７５，１６５及び光量センサ１５６を備える。
【０２４７】
これによって、ぶれ検出装置３００は、検査対象物１１０の明るい部分を選択して、主走査方向の検査対象物１１０の動きを検出できる。そして、リニアイメージセンサ１６０，１７０，１７５，１６５のゲインを低く設定できる。このため、ノイズの少ない像を用いて検査対象物１１０を検出することができる。そして、検査対象物１１０の検出精度を向上することができる。
【０２４８】
図１６に示されるように、ラインスキャンカメラ１４０は、第１のぶれ検出センサ３００ａ及び第２のぶれ検出センサ３００ｂを備える。
【０２４９】
第１のぶれ検出センサ３００ａは、光量センサ１５５、第１のリニアイメージセンサ１６０及び第２のリニアイメージセンサ１７０を備える。光量センサ１５５は、第１の光量センサである。第１のリニアイメージセンサ１６０は、第１の撮像部である。第２のリニアイメージセンサ１７０は、第２の撮像部である。
【０２５０】
第２のぶれ検出センサ３００ｂは、光量センサ１５６、第１のリニアイメージセンサ１６５及び第２のリニアイメージセンサ１７５を備える。光量センサ１５６は、第２の光量センサである。第１のリニアイメージセンサ１６５は、第３の撮像部である。第２のリニアイメージセンサ１７５は、第４の撮像部である。
【０２５１】
図１６に示されるように、第１及び第２のぶれ検出センサ３００ａ，３００ｂは、ｘ軸方向に並んで配置されている。また、第１のぶれ検出センサ３００ａの構成と第２のぶれ検出センサ３００ｂの構成とは同じである。このため、以下において、第１のぶれ検出センサ３００ａを例として説明する。なお、下記の説明以外の構成において、第１のぶれ検出センサ３００ａと第２のぶれ検出センサ３００ｂとが異なっていても構わない。
【０２５２】
被読取領域１１３ａは、図１６の検査対象物１１０上に一点鎖線で示されている。被読取領域１１３ａは、光量センサ１５５によって読み取られる領域である。被読取領域１１１ａは、図１６の検査対象物１１０上に破線で示されている。被読取領域１１１ａは、第１のリニアイメージセンサ１６０によって読み取られる領域である。被読取領域１１２ａは、図１６の検査対象物１１０上に実線で示されている。被読取領域１１２ａは、第２のリニアイメージセンサ１７０によって読み取られる領域である。
【０２５３】
被読取領域１１３ｂは、図１６の検査対象物１１０上に一点鎖線で示されている。被読取領域１１３ｂは、光量センサ１５６によって読み取られる領域である。被読取領域１１１ｂは、図１６の検査対象物１１０上に破線で示されている。被読取領域１１１ｂは、第１のリニアイメージセンサ１６５によって読み取られる領域である。被読取領域１１２ｂは、図１６の検査対象物１１０上に実線で示されている。被読取領域１１２ｂは、第２のリニアイメージセンサ１７５によって読み取られる領域である。
【０２５４】
被読取領域１１３ａと被読取領域１１３ｂとは、ｘ軸方向に並んで位置している。被読取領域１１３ｂは、被読取領域１１３ａの＋ｘ軸方向に位置している。被読取領域１１１ａと被読取領域１１１ｂとは、ｘ軸方向に並んで位置している。被読取領域１１１ｂは、被読取領域１１１ａの＋ｘ軸方向に位置している。被読取領域１１２ａと被読取領域１１２ｂとは、ｘ軸方向に並んで位置している。被読取領域１１２ｂは、被読取領域１１２ａの＋ｘ軸方向に位置している。
【０２５５】
なお、被読取領域１１３ａと被読取領域１１３ｂとは、必ずしも同一線上に配置される必要はない。被読取領域１１３ａと被読取領域１１３ｂとが、検査対象物１１０の異なる領域を読み取ればよい。
【０２５６】
被読取領域１１３ａは、光量センサ１５５によって読み取られる領域である。被読取領域１１１ａは、第１のリニアイメージセンサ１６０によって読み取られる領域である。被読取領域１１２ａは、第２のリニアイメージセンサ１７０によって読み取られる領域である。
【０２５７】
被読取領域１１３ｂは、光量センサ１５６によって読み取られる領域である。被読取領域１１１ｂは、第１のリニアイメージセンサ１６５によって読み取られる領域である。被読取領域１１２ｂは、第２のリニアイメージセンサ１７５によって読み取られる領域である。
【０２５８】
図１６に示されるように、被読取領域１１２ａは、被読取領域１１１ａの＋ｙ軸側に位置している。被読取領域１１３ａは、被読取領域１１１ａの−ｙ軸側に位置している。第２のリニアイメージセンサ１７０は、第１のリニアイメージセンサ１６０の−ｙ軸側（＋ｙ´軸側）に位置している。
【０２５９】
図１６に示されるように、被読取領域１１２ｂは、被読取領域１１１ｂの＋ｙ軸側に位置している。被読取領域１１３ｂは、被読取領域１１１ｂの−ｙ軸側に位置している。第２のリニアイメージセンサ１７５は、第１のリニアイメージセンサ１６５の−ｙ軸側（＋ｙ´軸側）に位置している。
【０２６０】
像領域１４２ａ，１４２ｂ，１４２ｃは、受光面１４１上に結像された像領域である。像領域１４２ａは、被読取領域１１１ａに対応した像領域である。像領域１４２ｂは、被読取領域１１２ａに対応した像領域である。像領域１４２ｃは、被読取領域１１３ａに対応した像領域である。
【０２６１】
検査対象物１１０が搬送方向ＤＯ（＋ｙ軸方向）に搬送されるにしたがって、受光面１４１上に結像する検査対象物１１０の像（像領域）は、像移動方向ＤＩ（−ｙ軸方向）に移動する。受光面１４１上には、光量センサ１５５と第１及び第２のリニアイメージセンサ１６０，１７０とが配置されている。つまり、検査対象物１１０が＋ｙ軸方向に移動すると、受光面１４１上の検査対象物１１０の像は−ｙ軸方向（＋ｙ´軸方向）に移動する。検査対象物１１０が＋ｙ軸方向に移動すると、受光面１４１上の像領域１４２ａ，１４２ｂ，１４２ｃは−ｙ軸方向（＋ｙ´軸方向）に移動する。
【０２６２】
光量センサ１５５は、順次、−ｙ軸方向（＋ｙ´軸方向）に移動する像の光量を検出する。光量センサ１５５は、例えば、一定の周期で像の光量の検出を繰り返す。また、光量センサ１５５は、順次、像の光量のデータを出力する。光量センサ１５５は、例えば、一定の周期で検出された光量のデータ出力を繰り返す。
【０２６３】
第１及び第２のリニアイメージセンサ１６０，１７０の各々は、順次、−ｙ軸方向（＋ｙ´軸方向）に移動する像の読み取りを行う。第１及び第２のリニアイメージセンサ１６０，１７０は、例えば、一定の周期で像の読み取りを繰り返す。そして、第１及び第２のリニアイメージセンサ１６０，１７０は、順次、読み取られた像に対応する画像データを出力する。第１及び第２のリニアイメージセンサ１６０，１７０は、例えば、一定の周期で画像データの出力を繰り返す。
【０２６４】
図１７に示されるように、第１及び第２のリニアイメージセンサ１６０，１７０の各々は、複数の受光素子１６０ａ，１７０ａを備えている。受光素子１６０ａ，１７０ａは、ｘ軸方向に一次元的に配列されている。ｘ軸方向は、第１及び第２のリニアイメージセンサ１６０，１７０の主走査方向である。
【０２６５】
図１７では、受光素子１６０ａ，１７０ａは、例えば、直線状に配置されている。受光素子１６０ａ，１７０ａは、検査対象物１１０の被読取領域１１１，１１２に対応する１次元の画像情報を電気信号に変換する。受光素子１６０ａ，１７０ａは、例えば、フォトダイオードである。つまり、第１及び第２のリニアイメージセンサ１６０，１７０は、撮像素子デバイスである。第１及び第２のリニアイメージセンサ１６０，１７０は、この電気信号を時系列で出力する。つまり、第１及び第２のリニアイメージセンサ１６０，１７０は、時間の経過に従って定期的にこの電気信号を出力する。
【０２６６】
図１８に示されるように、実施の形態３に係るぶれ検出装置３００は、第１及び第２のぶれ検出センサ３００ａ，３００ｂ、切替部１８３２，１８３３、切替制御部１８３１、記憶部１８１および制御部１８０を備える。実施の形態３に係るぶれ検出装置３００は、Ａ／Ｄ（ａｎａｌｏｇ  ｔｏ  ｄｉｇｉｔａｌ）変換器１８２１，１８２２，１８２３，１８２４，１８２５，１８２６を備えることができる。
【０２６７】
図１８に示されるように、第１のぶれ検出センサ３００ａは、光量センサ１５５及び第１及び第２のリニアイメージセンサ１６０，１７０を備える。第２のぶれ検出センサ３００ｂは、光量センサ１５６及び第１及び第２のリニアイメージセンサ１６５，１７５を備える。
【０２６８】
記憶部１８１は、例えば、メモリ＃１（第１のメモリ１８１１）、メモリ＃２（第２のメモリ１８１２）およびバッファメモリ１８１３を備える。記憶部１８１は、例えば、第１の記憶部と第２の記憶部とを備える。第１の記憶部は、例えば、メモリ＃１（第１のメモリ１８１１）及びメモリ＃２（第２のメモリ１８１２）を備える。第２の記憶部は、例えば、バッファメモリ１８１３を備える。なお、切替部１８３３からの信号をそのまま制御部１８０に送って処理をする場合には、バッファメモリ１８１３を省くことができる。
【０２６９】
以下において、メモリ１８１１をメモリ＃１として示す。同様に、メモリ１８１２をメモリ＃２として示す。メモリ＃１及びメモリ＃２には、基準画像データが記憶される。基準画像データは、第１の画像データである。バッファメモリ１８１３には、比較画像データが記憶される。比較画像データは、第２の画像データである。
【０２７０】
光量センサ１５５，１５６によって検出された光量情報（データＳ３３，データＳ４３）は、それぞれＡ／Ｄ変換器１８２１，１８２４に出力される。出力された光量情報（データＳ３３，データＳ４３）は、Ａ／Ｄ変換器１８２１，１８２４でデジタル信号に変換される。そして、デジタル信号に変換された光量情報（データＳ３６，データＳ４６）は、切替制御部１８３１に送られる。
【０２７１】
切替制御部１８３１は、光量センサ１５５の出力（データＳ３３）と光量センサ１５６の出力（データＳ４３）とを比較する。図１８では、切替制御部１８３１は、デジタル信号に変換された光量情報（データＳ３６，データＳ４６）を比較している。
【０２７２】
光量センサ１５５の出力（データＳ３３）が大きい場合には、切替制御部１８３１は、切替部１８３２によって、第１のリニアイメージセンサ１６０の光量情報（データＳ３１）を選択する。また、切替制御部１８３１は、切替部１８３３によって、第２のリニアイメージセンサ１７０の光量情報（データＳ３２）を選択する。光量センサ１５５の出力は、第１の光量である。
【０２７３】
図１８では、第１のリニアイメージセンサ１６０の光量情報（データＳ３１）は、Ａ／Ｄ変換器１８２２の出力信号（データＳ３４）である。図１８では、第２のリニアイメージセンサ１７０の光量情報（データＳ３２）は、Ａ／Ｄ変換器１８２３の出力信号（データＳ３５）である。
【０２７４】
光量センサ１５６の出力（データＳ４３）が大きい場合には、切替制御部１８３１は、切替部１８３２によって、第１のリニアイメージセンサ１６５の光量情報（データＳ４１）を選択する。また、切替制御部１８３１は、切替部１８３３によって、第２のリニアイメージセンサ１７５の光量情報（データＳ４２）を選択する。光量センサ１５６の出力は、第２の光量である。
【０２７５】
図１８では、第１のリニアイメージセンサ１６５の光量情報（データＳ４１）は、Ａ／Ｄ変換器１８２５の出力信号（データＳ４４）である。図１８では、第２のリニアイメージセンサ１７５の光量情報（データＳ４２）は、Ａ／Ｄ変換器１８２６の出力信号（データＳ４５）である。
【０２７６】
例えば、搬送装置１５０によって検査対象物１１０は搬送方向ＤＯに搬送される。そのときに、受光面１４１上に結像される検査対象物１１０の像（像領域１４２ａ，１４２ｂ，１４２ｃ）は、像移動方向ＤＩ（＋ｙ´軸方向）に移動する。
【０２７７】
図１７に示されるように、リニアイメージセンサ１６０，１７０のｙ軸方向の寸法は、長さＷｙである。リニアイメージセンサ１６０，１７０のｘ軸方向の寸法は、長さＷｘである。光量センサ１５５のｙ軸方向の寸法は、長さＩｙである。光量センサ１５５のｘ軸方向の寸法は、長さＷｘである。リニアイメージセンサ１６０から光量センサ１５５までのｙ軸方向の距離は、長さＩｙである。
【０２７８】
像領域１４２ａ，１４２ｂ，１４２ｃが、距離Ｗｙ進むのに要する時間をΔＴとする。この場合に、検査対象物１１０が搬送方向ＤＯに搬送される速度は、Ｗｙ／ΔＴである。検査対象物１１０が搬送方向ＤＯに搬送されることで、受光面１４１上の像領域１４２ａ，１４２ｂ，１４２ｃは、像の移動方向ＤＩに移動する。
【０２７９】
光量センサ１５５，１５６のｙ軸方向の長さは、例えば、長さＩｙである。このため、移動する像領域１４２ｃが光量センサ１５５，１５６を通過するのに要する時間は（Ｉｙ／Ｗｙ）×ΔＴである。
【０２８０】
光量センサ１５５は、例えば、第１のリニアイメージセンサ１６０の端から＋ｙ軸方向に長さＩｙ離れた位置に配置されている。このため、光量センサ１５５上にある像領域１４２ｃが第１のリニアイメージセンサ１６０に到達するのに要する時間は（Ｉｙ／Ｗｙ）×ΔＴである。
【０２８１】
切替制御部１８３１は、時間（Ｉｙ／Ｗｙ）×ΔＴの周期で光量センサ１５５，１５６の出力信号を読み出す。そして、切替制御部１８３１は、光量センサ１５５，１５６の出力信号を保持する。切替制御部１８３１は、保持している光量センサ１５５の出力信号と保持している光量センサ１５６の出力信号とを比較する。比較する光量センサ１５５，１５６の出力信号は、時間（Ｉｙ／Ｗｙ）×ΔＴ前に保持した信号である。
【０２８２】
切替制御部１８３１は、時間（Ｉｙ／Ｗｙ）×ΔＴの周期で、光量センサ１５５，１５６の出力信号を比較する。切替制御部１８３１は、切替部１８３２、１８３３によって、第１及び第２のリニアイメージセンサ１６０，１７０の信号と第１及び第２のリニアイメージセンサ１６５，１７５の信号とを切り替える。
【０２８３】
以下では、一例として、光量センサ１５５の出力が光量センサ１５６の出力よりも大きい場合について説明する。
【０２８４】
第１及び第２のリニアイメージセンサ１６０，１７０で読み取られた検査対象物１１０の被読取領域１１１，１１３の像に関する情報は、アナログ信号の画像データ（データＳ３１，データＳ３２）である。このアナログ信号の画像データ（データＳ３１，データＳ３２）は、それぞれＡ／Ｄ変換器１８２２，１８２３に送られる。
【０２８５】
第１のリニアイメージセンサ１６０は、データＳ３１をＡ／Ｄ変換器１８２２に送る。データＳ３１は、第１のリニアイメージセンサ１６０が読み取った画像データである。データＳ３１は、アナログ信号である。
【０２８６】
第２のリニアイメージセンサ１７０は、データＳ３２をＡ／Ｄ変換器１８２３に送る。データＳ３２は、第２のリニアイメージセンサ１７０が読み取った画像データである。データＳ３２は、アナログ信号である。
【０２８７】
第１及び第２のリニアイメージセンサ１６０，１７０から出力された画像データ（データＳ３１，データＳ３２）は、Ａ／Ｄ変換器１８２２，１８２３でデジタル信号に変換される。デジタル信号に変換された画像データ（データＳ３４，データＳ３５）は、切替部１８３２，１８３３を通過して、記憶部１８１のメモリ＃１、メモリ＃２、及びバッファメモリ１８１３のいずれか１つに記憶される。
【０２８８】
Ａ／Ｄ変換器１８２２は、データＳ３４を出力する。Ａ／Ｄ変換器１８２３は、データＳ３５を出力する。データＳ３４，Ｓ３５はデジタル信号である。データＳ３４は、メモリ＃１またはメモリ＃２に送られる。データＳ３５は、バッファメモリ１８１３に送られる。メモリ＃１またはメモリ＃２は、受け取ったデータＳ３４を記憶する。バッファメモリ１８１３は、受け取ったデータＳ３５を記憶する。
【０２８９】
第１及び第２のリニアイメージセンサ１６０，１７０による像の読み取りは、例えば、一定の周期で繰り返し行われる。また、第１及び第２のリニアイメージセンサ１６０，１７０による画像データの出力は、例えば、一定の周期で繰り返し行われる。そのため、記憶部１８１には、検査対象物１１０の画像データが時系列で記憶される。つまり、記憶部１８１には、検査対象物１１０の画像データが受け取った時刻の順番で記憶される。
【０２９０】
第１及び第２のリニアイメージセンサ１６０，１７０は、像の読み取りを周期的に行う。また、第１及び第２のリニアイメージセンサ１６０，１７０は、データＳ３１，Ｓ３２を周期的に出力する。同様に、Ａ／Ｄ変換器１８２，１８３もデータＳ３４，Ｓ３５を周期的に出力する。記憶部１８１は、データＳ３４，Ｓ３５を受け取った時刻に対応して記憶する。
【０２９１】
記憶部１８１以降の処理は、図４および図１３での説明で代用する。
【０２９２】
《３−２》効果
以上に説明したように、実施の形態３に係るぶれ検出装置３００は、光量センサ１５５，１５６の出力信号（データＳ３３，データＳ４３）に基づいて、第１のぶれ検出センサ３００ａの出力信号または第２のぶれ検出センサ３００ｂの出力信号を選択できる。
【０２９３】
例えば、検査対象物１１０が暗い環境にある場合には、ぶれ検出装置３００は、２つのぶれ検出センサの出力信号のうち、明るい像の信号が得られる方を選択できる。実施の形態３では、２つのぶれ検出センサは、第１のぶれ検出センサ３００ａと第２のぶれ検出センサ３００ｂとである。
【０２９４】
具体的には、例えば、第１のぶれ検出センサ３００ａの第１及び第２のリニアイメージセンサ１６０，１７０の受光感度が、第２のぶれ検出センサ３００ｂの第１及び第２のリニアイメージセンサ１６５，１７５の受光感度よりも高い場合には、第１のぶれ検出センサ３００ａの出力信号を選択する。
【０２９５】
例えば、検査対象物１１０が明るい環境にある場合には、ぶれ検出装置３００は、例えば、２つのぶれ検出センサの出力信号のうち、飽和していない像の信号が得られる方を選択できる。つまり、ぶれ検出装置３００は、受光感度の低い方のぶれ検出センサを選択できる。
【０２９６】
具体的には、例えば、第１のぶれ検出センサ３００ａの第１及び第２のリニアイメージセンサ１６０，１７０の受光感度が、第２のぶれ検出センサ３００ｂの第１及び第２のリニアイメージセンサ１６５，１７５の受光感度よりも低い場合には、第１のぶれ検出センサ３００ｂの出力信号を選択する
【０２９７】
第１のぶれ検出センサ３００ａの出力信号を選択した場合には、ぶれ検出装置３００は、第１のリニアイメージセンサ１６０から出力された基準画像データと第２のリニアイメージセンサ１７０から出力された比較画像データとについて相関演算を行う。
【０２９８】
第２のぶれ検出センサ３００ｂの出力信号を選択した場合には、ぶれ検出装置３００は、第１のリニアイメージセンサ１６５から出力された基準画像データと第２のリニアイメージセンサ１７５から出力された比較画像データとについて相関演算を行う。
【０２９９】
これによって、実施の形態３に係るぶれ検出装置３００は、例えば、撮影対象の明るい像を選択することができる。または、実施の形態３に係るぶれ検出装置３００は、例えば、飽和していない撮影対象の像を選択することができる。
【０３００】
実施の形態３に係るぶれ検出装置３００は、撮影対象の明るい像を選択することによって、第１及び第２のぶれ検出センサ３００ａ，３００ｂのセンサゲインを低く設定できる。このため、ぶれ検出装置３００は、ノイズの少ない像を用いて、検査対象物１１０のぶれ量を検出することができる。
【０３０１】
また、ぶれ量の算出は、一定の周期ごとに繰り返し実行することができる。光量の検出は、一定の周期ごとに繰り返し実行することができる。このため、例えば、複数の検査対象物１１０が順に搬送される場合でも、撮像装置に対する検査対象物１１０のぶれ量の検出の精度を向上することができる。
【０３０２】
なお、切替部１８３２，１８３３を用いずに、ぶれ検出センサ３００ａ，３００ｂの各々に対応した記憶部１８１を備えることができる。そして、各記憶部１８１に記憶されたデータを光量センサ１５５，１５６の光量に応じて選択することもできる。
【０３０３】
ぶれ検出装置３００は、対象物１１０の被読取領域を第１のリニアイメージセンサ１６０で読み取ったときに出力される画像データＳ３１である基準画像データを記憶するメモリ＃１とメモリ＃２とを備える。ぶれ検出装置３００は、対象物１１０の被読取領域を第２のリニアイメージセンサ１７０で読み取ったときに出力される画像データＳ３２である比較画像データを記憶する第１のバッファメモリを備える。第１の記憶部は、メモリ＃１とメモリ＃２と第１のバッファメモリとを備える。
【０３０４】
ぶれ検出装置３００は、対象物１１０の被読取領域を第１のリニアイメージセンサ１６５で読み取ったときに出力される画像データＳ４１である基準画像データを記憶するメモリ＃３とメモリ＃４とを備える。ぶれ検出装置３００は、対象物１１０の被読取領域を第２のリニアイメージセンサ１７５で読み取ったときに出力される画像データＳ４２である比較画像データを記憶する第２のバッファメモリを備える。第２の記憶部は、メモリ＃３とメモリ＃４と第２のバッファメモリとを備える。
【０３０５】
制御部１８０は、光量センサ１５５，１５６の光量に応じて、第１の記憶部または第２の記憶部を選択する。
【０３０６】
《４》実施の形態４
実施の形態４では、上述のぶれ検出装置１００，２００，３００の使用例について説明する。なお、以下の使用例では、一例として、実施の形態２に係るぶれ検出装置２００を用いた例で示す。そのため、以下の使用例において、実施の形態１に係るぶれ検出装置１００又は実施の形態３に係るぶれ検出装置３００を用いても構わない。
【０３０７】
ぶれ検出装置２００は、ラインスキャンカメラ２４０を備えている。また、ぶれ検出装置２００は、結像レンズ２３０を備えることができる。結像レンズ２３０は、検査対象物１１０の像を結像させる結像光学系である。以下の使用例では、検査対象物１１０は、列車３１０（使用例１）、線路４１０（使用例２）、または地上５１０（使用例３）である。
【０３０８】
ラインスキャンカメラ２４０は、例えば、実施の形態２のラインスキャンカメラ２４０と同じものである。第１の撮像部は、第１のリニアイメージセンサ２６０と第３のリニアイメージセンサ２６５とを備えている。第２の撮像部は、第２のリニアイメージセンサ２７０と第３のリニアイメージセンサ２６５とを備えている。
【０３０９】
≪使用例１≫
図１９は、本発明の実施の形態４の使用例１に係るぶれ検出装置２００の構成を概略的に示す図である。
【０３１０】
図１９に示されるように、ぶれ検出装置２００のラインスキャンカメラ２４０は、列車３１０を撮影している。図１９では、ラインスキャンカメラ２４０は、列車３１０の側面を撮影している。
【０３１１】
列車３１０の移動方向ＤＯを＋ｙ軸方向（副走査方向）とする。ぶれ検出装置２００の主走査方向をｘ軸方向とする。＋ｘ軸方向は、列車３１０の上方向である。−ｘ軸方向は、列車３１０の下方向である。ｘ軸方向とｙ軸方向との両方に直交する方向をｚ軸方向とする。＋ｚ軸方向は、列車３１０からぶれ検出装置２００へ向かう方向である。
【０３１２】
移動方向ＤＯへの相対移動速度は、予め決められた速度であることが望ましい。したがって、ぶれ検出装置２００から見た列車３１０のｙ軸方向の相対速度は、一定速度であることが望ましい。
【０３１３】
実施の形態４の使用例１に係るぶれ検出装置２００がラインスキャンカメラ２４０を備えることによって、走行している列車３１０の全体を撮影することができる。つまり、列車３１０が複数の車両を備えている場合でも、列車３１０の全体を撮影することができる。撮影の際には、ぶれ検出装置２００によって、ｘ軸方向のぶれを補正することができる。なお、止まっている列車３１０に対して、ぶれ検出装置２００を移動させることによって、列車３１０の全体を撮影することができる。
【０３１４】
以上のように、実施の形態４の使用例１に係るぶれ検出装置２００によれば、走行している列車３１０を撮影する際に、列車３１０の上下方向であるｘ軸方向のぶれを補正することができる。
【０３１５】
≪使用例２≫
図２０は、実施の形態４の使用例２に係るぶれ検出装置２００の構成を概略的に示す図である。
【０３１６】
図２０に示されるように、ぶれ検出装置２００は、列車４００に取り付けられている。ぶれ検出装置２００のラインスキャンカメラ２４０は、線路４１０を撮影している。
【０３１７】
列車４００に対する線路４１０の相対的な移動方向ＤＯを＋ｙ軸方向（副走査方向）とする。つまり、列車４００の移動方向は、−ｙ軸方向である。したがって、列車４００に取り付けられたぶれ検出装置２００のラインスキャンカメラ２４０は、列車４００の前方の線路４１０を撮影している。なお、ぶれ検出装置２００が列車４００の後方に取り付けられ、ぶれ検出装置２００のラインスキャンカメラ２４０が列車４００の後方の線路を撮影することも可能である。
【０３１８】
ぶれ検出装置２００の主走査方向をｘ軸方向とする。＋ｘ軸方向は、列車４００の進行方向に対して左側である。−ｘ軸方向は、列車４００の進行方向に対して右側である。ｘ軸方向とｙ軸方向との両方に直交する方向をｚ軸方向とする。＋ｚ軸方向は、列車４００の上方向である。
【０３１９】
移動方向ＤＯへの相対移動速度は、予め決められた速度であることが望ましい。ぶれ検出装置２００と列車４００とのｙ軸方向の相対速度は、一定速度であることが望ましい。しかし、列車４００の速度に応じて、副走査方向が画像を選択することで、画像の伸び縮みを修正することができる。
【０３２０】
実施の形態４の使用例２に係るぶれ検出装置２００がラインスキャンカメラ２４０を備えることによって、走行している列車４００から線路４１０を撮影することができる。つまり、列車４００が走行した範囲の線路４１０全体を撮影することができる。撮影の際には、ぶれ検出装置２００によって、ｘ軸方向のぶれを補正することができる。これによって、走行している列車４００から、線路４１０の状態を確認することができる。
【０３２１】
以上のように、実施の形態４の使用例２に係るぶれ検出装置２００によれば、走行している列車４００から、線路４１０を撮影する際に、線路４１０の短手方向であるｘ軸方向のぶれを補正することができる。
【０３２２】
≪使用例３≫
図２１は、実施の形態４の使用例３に係るぶれ検出装置２００の構成を概略的に示す図である。
【０３２３】
図２１に示されるように、実施の形態４の使用例３に係るぶれ検出装置２００は、航空機５００に取り付けられている。ぶれ検出装置２００のラインスキャンカメラ２４０は、地上５１０を撮影している。
【０３２４】
航空機５００に対する地上５１０の相対的な移動方向ＤＯを＋ｙ軸方向（副走査方向）とする。つまり、航空機５００の移動方向は、−ｙ軸方向である。ぶれ検出装置２００の主走査方向をｘ軸方向とする。＋ｘ軸方向は、航空機５００の進行方向に対して左側である。−ｘ軸方向は、航空機５００の進行方向に対して右側である。ｘ軸方向とｙ軸方向との両方に直交する方向をｚ軸方向とする。＋ｚ軸方向は、地上５１０から上の方向である。
【０３２５】
移動方向ＤＯへの相対移動速度は、予め決められた速度であることが望ましい。したがって、ぶれ検出装置２００から見た航空機５００のｙ軸方向の相対速度は、一定速度であることが望ましい。しかし、航空機５００の速度に応じて、副走査方向が画像を選択することで、画像の伸び縮みを修正することができる。
【０３２６】
実施の形態４に係るぶれ検出装置２００がラインスキャンカメラ２４０を備えることによって、飛行している航空機５００から地上５１０を連続的に撮影することができる。つまり、航空機５００が飛行した範囲の地上５１０全体を撮影することができる。撮影の際には、ぶれ検出装置２００によって、ｘ軸方向のぶれを補正することができる。これによって、軽量化した撮影装置で、飛行している航空機５００から地上５１０を撮影することができる。
【０３２７】
以上のように、実施の形態４の使用例３に係るぶれ検出装置２００によれば、航空機５００から、地上５１０を撮影する際に、ｘ軸方向のぶれを補正することができる。
【０３２８】
なお、上述の各実施の形態においては、「平行」または「垂直」などの部品間の位置関係もしくは部品の形状を示す用語を用いている場合がある。これらは、製造上の公差や組立て上のばらつきなどを考慮した範囲を含むことを表している。このため、請求の範囲に部品間の位置関係もしくは部品の形状を示す記載をした場合には、製造上の公差又は組立て上のばらつき等を考慮した範囲を含むことを示している。
【０３２９】
また、以上のように本発明の実施の形態について説明したが、本発明はこれらの実施の形態に限るものではない。
【０３３０】
以上の各実施の形態を基にして、以下に発明の内容を付記（１）から付記（３）として記載する。付記（１）と付記（２）とは、各々独立して符号を付している。そのため、例えば、付記（１）と付記（２）との両方に、「付記１」が存在する。
【０３３１】
なお、付記（１）の装置の特徴を付記（２）の装置と付記（３）の装置とに付与することができる。また、付記（２）の装置の特徴を付記（３）の装置に付与することができる。また、付記（１）の装置の特徴と、付記（２）の装置の特徴と、付記（３）の装置の特徴とを組み合わせることができる。
【０３３２】
＜付記（１）＞
＜付記１＞
第１の方向に搬送中の対象物の、前記第１の方向と異なる第２の方向の位置のぶれ量を検出するぶれ検出装置であって、
前記第２の方向に配列された複数の第１の受光素子を含み、第１の画像データを順次出力する第１の撮像部と、
前記第２の方向に配列された複数の第２の受光素子を含み、第２の画像データを順次出力する第２の撮像部と、
前記対象物の被読取領域を前記第１の撮像部で読み取ったときに出力される前記第１の画像データである基準画像データを一時記憶する第１の記憶部と、
前記被読取領域を前記第２の撮像部で読み取ったときに出力される前記第２の画像データである比較画像データを一時記憶する第２の記憶部と、
前記第１の記憶部に記憶されている前記基準画像データと前記第２の記憶部に記憶されている前記比較画像データとに基づいて、前記ぶれ量を検出する制御部と、
を備えたことを特徴とするぶれ検出装置。
【０３３３】
＜付記２＞
前記第１の撮像部と前記第２の撮像部とは、前記第１の方向における互いに異なる位置に配置されていることを特徴とする付記１に記載のぶれ検出装置。
【０３３４】
＜付記３＞
前記第２の方向は、前記第１の方向と直交することを特徴とする付記１又は２に記載のぶれ検出装置。
【０３３５】
＜付記４＞
前記制御部は、前記基準画像データと前記比較画像データとの相関演算を実行することにより得られた演算結果に基づいて、前記ぶれ量を検出することを特徴とする付記１から３のいずれか１つに記載のぶれ検出装置。
【０３３６】
＜付記５＞
前記相関演算は、前記基準画像データと前記比較画像データとの差分の総和を前記演算結果として求める演算を含むことを特徴とする付記４に記載のぶれ検出装置。
【０３３７】
＜付記６＞
前記制御部は、
前記基準画像データと前記比較画像データとの相関演算を実行することにより得られた第１の演算結果と、
前記基準画像データと、前記比較画像データを前記第２の方向にシフトさせることによって得られた少なくとも１つの新たな比較画像データとの相関演算を実行することによって得られた少なくとも１つの第２の演算結果と
に基づいて、前記ぶれ量を検出する
ことを特徴とする付記１から３のいずれか１つに記載のぶれ検出装置。
【０３３８】
＜付記７＞
前記相関演算は、前記基準画像データと前記比較画像データとの差分の総和を前記第１の演算結果として求める演算と、前記基準画像データと前記新たな比較画像データとの差分の総和を前記第２の演算結果として求める演算とを含むことを特徴とする付記６に記載のぶれ検出装置。
【０３３９】
＜付記８＞
前記第１の撮像部は、一定の周期ごとに前記第１の画像データを出力し、
前記第２の撮像部は、前記一定の周期ごとに前記第２の画像データを出力し、
前記制御部は、前記相関演算を順次実行する
ことを特徴とする付記４から７のいずれか１つに記載のぶれ検出装置。
【０３４０】
＜付記９＞
前記複数の第１の受光素子の受光面の受光領域である第１の受光領域の前記第１の方向の長さは、前記一定の周期の間に前記対象物が搬送される距離と等しく、
前記複数の第２の受光素子の受光面の受光領域である第２の受光領域の前記第１の方向の長さは、前記一定の周期の間に前記対象物が搬送される距離と等しい
ことを特徴とする付記８に記載のぶれ検出装置。
【０３４１】
＜付記１０＞
前記第１の記憶部は、第１のメモリと第２のメモリとを有し、
前記第２の記憶部は、バッファメモリを有する
ことを特徴とする付記１から９のいずれか１つに記載のぶれ検出装置。
【０３４２】
＜付記１１＞
前記第１の撮像部は、前記複数の第１の受光素子を含む第１のリニアイメージセンサを有し、
前記第２の撮像部は、前記複数の第２の受光素子を含む第２のリニアイメージセンサを有する
ことを特徴とする付記１から１０のいずれか１つに記載のぶれ検出装置。
【０３４３】
＜付記１２＞
前記複数の第１の受光素子を含む第１のリニアイメージセンサと、
前記複数の第２の受光素子を含む第２のリニアイメージセンサと、
前記第１のリニアイメージセンサと前記第２のリニアイメージセンサとの間に配置され、前記第２の方向に配列された複数の第３の受光素子を含む第３のリニアイメージセンサと、
を備え、
前記第１の撮像部は、前記第１のリニアイメージセンサと前記第３のリニアイメージセンサとを含み、
前記第２の撮像部は、前記第２のリニアイメージセンサと前記第３のリニアイメージセンサとを含む
ことを特徴とする付記１から１０のいずれか１つに記載のぶれ検出装置。
【０３４４】
＜付記１３＞
前記複数の第１の受光素子の受光面の受光領域である第１の受光領域の前記第１の方向の長さは、前記複数の第２の受光素子の受光面の受光領域である第２の受光領域の前記第１の方向の長さに等しく、
前記複数の第３の受光素子の受光面の受光領域である第３の受光領域の前記第１の方向の長さは、前記複数の第１の受光素子の受光面の受光領域である第１の受光領域の前記第１の方向の長さより長い
ことを特徴とする付記１２に記載のぶれ検出装置。
【０３４５】
＜付記（２）＞
＜付記１＞
対応する画素が主走査方向で一致するように、第１の１次元のイメージセンサおよび第２の１次元のイメージセンサを副走査方向に並べて配置し、前記副走査方向に移動する対象物の像を１次元データとして取得するセンサ部を備え、
前記第１の１次元のイメージセンサが取得する第１の１次元データと前記第２の１次元のイメージセンサが取得する第２の１次元データとを用いて前記像の同じ像領域に対応するデータを比較することで、前記比較に用いた前記第１の１次元データを取得した時刻と前記比較に用いた前記第２の１次元データを取得した時刻との間での前記像の主走査方向の移動量を検出するぶれ検出装置。
【０３４６】
＜付記２＞
前記第１の１次元のイメージセンサの画素の配列方向と、前記第２の１次元のイメージセンサの画素の配列方向とは平行である付記１に記載のぶれ検出装置。
【０３４７】
＜付記３＞
前記第１の１次元のイメージセンサの画素の配列方向と、前記第２の１次元のイメージセンサの画素の配列方向とは、前記主走査方向に平行である付記１または２に記載のぶれ検出装置。
【０３４８】
＜付記４＞
前記第１の１次元のイメージセンサの画素は、第１の受光素子に対応し、
前記第２の１次元のイメージセンサの画素は、第２の受光素子に対応する付記１から３のいずれか１つに記載のぶれ検出装置。
【０３４９】
＜付記５＞
前記第１の１次元のイメージセンサの画素の副走査方向の長さは、前記第２の１次元のイメージセンサの画素の副走査方向の長さと同一である付記１から４のいずれか１つに記載のぶれ検出装置。
【０３５０】
＜付記６＞
前記像の読み取りは、副走査方向に前記像が前記長さを移動する時間の間隔で行われる付記５に記載のぶれ検出装置。
【０３５１】
＜付記７＞
第１の１次元のイメージセンサの前記像の読み取りと、第２の１次元のイメージセンサの前記像の読み取りとは、同期しておこなわれる付記１から６のいずれか１つに記載のぶれ検出装置。
【０３５２】
＜付記８＞
同じ前記像領域に対応する前記第１の１次元データと前記第２の１次元データとの相関を求める付記１から７のいずれか１つに記載のぶれ検出装置。
【０３５３】
＜付記９＞
前記第１の１次元データを記憶する第１のメモリと
前記第１のメモリに記憶された第１の１次元データと前記副走査方向において異なる像領域の第１の１次元データを記憶する第２のメモリと、
前記第２の１次元データを記憶する第３のメモリと
を備える付記１から７のいずれか１つに記載のぶれ検出装置。
【０３５４】
＜付記１０＞
前記第１のメモリと前記第２のメモリとは、順次取得された前記第１の１次元データを交互に記憶する付記９に記載のぶれ検出装置。
【０３５５】
＜付記１１＞
同じ前記像領域に対応する前記第１のメモリのデータと前記第３のメモリのデータとの相関、または、同じ前記像領域に対応する前記第２のメモリのデータと前記第３のメモリのデータとの相関を求める付記９または１０に記載のぶれ検出装置。
【０３５６】
＜付記１２＞
前記第１の１次元データと前記第２の１次元データとは、同期して取得される付記１から１１のいずれか１つに記載のぶれ検出装置。
【０３５７】
＜付記１３＞
前記第１の１次元データと前記第２の１次元データとは、同一の周期で取得される付記１から１２のいずれか１つに記載のぶれ検出装置。
【０３５８】
＜付記１４＞
前記センサ部は、第３の１次元のイメージセンサを備え、
前記第１の１次元のイメージセンサおよび前記第２の１次元のイメージセンサに対して対応する画素が主走査方向で一致するように、前記第１の１次元のイメージセンサと前記第２の１次元のイメージセンサとの間に前記第３の１次元のイメージセンサを副走査方向に並べて配置し、副走査方向に移動する像を第３の１次元データとして取得し、
前記第１の１次元のイメージセンサの第１の１次元データと前記第３の１次元のイメージセンサの第３の１次元データとから第４の１次元データを生成し、
前記第２の１次元のイメージセンサの第２の１次元データと前記第３の１次元のイメージセンサの第３の１次元データとから第５の１次元データを生成し、
同じ前記像領域に対応する前記第４の１次元データと前記第５の１次元データとを用いて比較する付記１から６のいずれか１つに記載のぶれ検出装置。
【０３５９】
＜付記１５＞
前記第１の１次元のイメージセンサの画素の配列方向と前記第２の１次元のイメージセンサの画素の配列方向と前記第３の１次元のイメージセンサの画素の配列方向とは互いに平行である付記１４に記載のぶれ検出装置。
【０３６０】
＜付記１６＞
前記第１の１次元のイメージセンサの画素の配列方向と前記第２の１次元のイメージセンサの画素の配列方向と前記第３の１次元のイメージセンサの画素の配列方向とは前記主走査方向に平行である付記１４または１５に記載のぶれ検出装置。
【０３６１】
＜付記１７＞
前記第３の１次元のイメージセンサの画素は、第３の受光素子に対応する付記１４から１６のいずれか１つに記載のぶれ検出装置。
【０３６２】
＜付記１８＞
前記第３の１次元のイメージセンサの受光量は、前記第１の１次元のイメージセンサの受光量よりも大きく、前記第２の１次元のイメージセンサの受光量よりも大きい付記１４から１７のいずれか１つに記載のぶれ検出装置。
【０３６３】
＜付記１９＞
前記第１の１次元のイメージセンサの受光量は、前記第２の１次元のイメージセンサの受光量と同じである付記１４から１８のいずれか１つに記載のぶれ検出装置。
【０３６４】
＜付記２０＞
前記第３の１次元のイメージセンサの受光感度は、前記第１の１次元のイメージセンサの受光感度よりも大きく、前記第２の１次元のイメージセンサの受光感度よりも大きい付記１４から１９のいずれか１つに記載のぶれ検出装置。
【０３６５】
＜付記２１＞
前記第１の１次元のイメージセンサの受光感度は、前記第２の１次元のイメージセンサの受光感度と同じである付記１４から２０のいずれか１つに記載のぶれ検出装置。
【０３６６】
＜付記２２＞
前記第３の１次元のイメージセンサの受光面積は、前記第１の１次元のイメージセンサの受光面積よりも大きく、前記第２の１次元のイメージセンサの受光面積よりも大きい付記１４から２１のいずれか１つに記載のぶれ検出装置。
【０３６７】
＜付記２３＞
前記第１の１次元のイメージセンサの受光面積は、前記第２の１次元のイメージセンサの受光面積と同じである付記１４から２２のいずれか１つに記載のぶれ検出装置。
【０３６８】
＜付記２４＞
前記第１の１次元のイメージセンサの第１の１次元データと前記第３の１次元のイメージセンサの第３の１次元データとの対応する画素データから第４の１次元データを求め、
前記第２の１次元のイメージセンサの第２の１次元データと前記第３の１次元のイメージセンサの第３の１次元データとの対応する画素データ第５の１次元データを求める付記１４から２３のいずれか１つに記載のぶれ検出装置。
【０３６９】
＜付記２５＞
同じ前記像領域に対応する前記第４の１次元データと前記第５の１次元データとの相関を求める付記２４に記載のぶれ検出装置。
【０３７０】
＜付記２６＞
前記第１の１次元のイメージセンサの第１の１次元データと前記第３の１次元のイメージセンサの第３の１次元データとの対応する画素データを加算する第１の加算器と、
前記第２の１次元のイメージセンサの第２の１次元データと前記第３の１次元のイメージセンサの第３の１次元データとの対応する画素データを加算する第２の加算器と
を備える付記１４から２３のいずれか１つに記載のぶれ検出装置。
【０３７１】
＜付記２７＞
前記第１の加算器の第４の１次元データを記憶する第１のメモリと
前記第１のメモリに記憶された第４の１次元データと前記副走査方向において異なる像領域の第４の１次元データを記憶する第２のメモリと、
前記第２の加算器の第５の１次元データを記憶する第３のメモリと
を備える付記２６に記載のぶれ検出装置。
【０３７２】
＜付記２８＞
同じ前記像領域に対応する前記第１のメモリのデータと前記第３のメモリのデータとの相関、または、同じ前記像領域に対応する前記第２のメモリのデータと前記第３のメモリのデータとの相関を求める付記２７に記載のぶれ検出装置。
【０３７３】
＜付記２９＞
前記第１のメモリと前記第２のメモリとは、順次取得された前記第４の１次元データを交互に記憶する付記２７または２８に記載のぶれ検出装置。
【０３７４】
＜付記３０＞
前記第１の１次元データと前記第２の１次元データと前記第３の１次元データとは、同期して取得される付記１４から２９のいずれか１つに記載のぶれ検出装置。
【０３７５】
＜付記３１＞
前記第１の１次元データと前記第２の１次元データと前記第３の１次元データとは、同一の周期で取得される付記１４から３０のいずれか１つに記載のぶれ検出装置。
【０３７６】
＜付記３２＞
前記センサ部は、光量センサを含み、
複数の当該センサ部を備え、
前記光量センサの光量値を基に、前記移動量を検出する前記センサ部を選択する付記１から３１のいずれか１つに記載のぶれ検出装置。
【０３７７】
＜付記３３＞
前記複数のセンサ部は、互いに異なる前記像領域を読み取る付記３２に記載のぶれ検出装置。
【０３７８】
＜付記３４＞
前記異なる像領域は、前記主走査方向に異なる付記３３に記載のぶれ検出装置。
【０３７９】
＜付記３５＞
前記複数のセンサ部は、前記主走査方向に並べて配置されている付記３２から３４のいずれか１つに記載のぶれ検出装置。
【０３８０】
＜付記（３）＞
＜付記１＞
相対的に移動している対象物のぶれ量を検出するぶれ検出装置であって、
受光面上において前記対象物の像の移動方向に対応する第１の方向と異なる第２の方向に配列された複数の第１の受光素子を含み、
前記対象物の第１の像のデータを取得する第１の撮像部と、
前記第２の方向に配列された複数の第２の受光素子を含み、前記対象物の第２の像のデータを取得する第２の撮像部と、
基準画像データである前記第１の像のデータを記憶する第１の記憶部と、
比較画像データである前記第２の像のデータを記憶する第２の記憶部と、
前記第１の記憶部に記憶されている前記基準画像データと前記第２の記憶部に記憶されている前記比較画像データとに基づいて、前記ぶれ量を検出する制御部と、
を備えたことを特徴とするぶれ検出装置。
【０３８１】
＜付記２＞
前記第１の撮像部と前記第２の撮像部とは、前記第１の方向における互いに異なる位置に配置されていることを特徴とする付記１に記載のぶれ検出装置。
【０３８２】
＜付記３＞
前記第２の方向は、前記第１の方向と直交することを特徴とする付記１または２に記載のぶれ検出装置。
【０３８３】
＜付記４＞
前記制御部は、前記基準画像データと前記比較画像データとの相関演算を実行することによって前記ぶれ量を検出することを特徴とする付記１から３のいずれか１つに記載のぶれ検出装置。
【０３８４】
＜付記５＞
前記相関演算は、前記基準画像データと前記比較画像データとの対応する画素の値の差分の総和を求める演算を含むことを特徴とする付記４に記載のぶれ検出装置。
【０３８５】
＜付記６＞
前記相関演算は、前記基準画像データと前記比較画像データとの対応する画素を当該画素の配列方向に移動させることで、前記対応する画素を変更して行われることを特徴とする付記５に記載のぶれ検出装置。
【０３８６】
＜付記７＞
前記制御部は、
前記基準画像データと前記比較画像データとの相関演算を実行することによって得られた第１の演算結果と、
前記基準画像データと、前記比較画像データを前記画素の配列方向にシフトさせることによって得られた少なくとも１つの新たな比較画像データとの相関演算を実行することで前記ぶれ量を検出することを特徴とする付記５に記載のぶれ検出装置。
【０３８７】
＜付記８＞
前記相関演算は、前記基準画像データと前記比較画像データとの対応する画素の値の差分の総和を求める演算と、前記基準画像データと前記新たな比較画像データとの対応する画素の値の差分の総和を求める演算とを含むことを特徴とする付記５から７のいずれか１つに記載のぶれ検出装置。
【０３８８】
＜付記９＞
前記第１の撮像部は、一定の周期ごとに前記第１の像のデータを出力し、
前記第２の撮像部は、前記一定の周期ごとに前記第２の像のデータを出力し、
前記制御部は、前記相関演算を順次実行する
ことを特徴とする付記４から８のいずれか１つに記載のぶれ検出装置。
【０３８９】
＜付記１０＞
前記複数の第１の受光素子で形成される受光面上の受光領域である第１の受光領域の前記第１の方向の長さは、前記一定の周期の間に前記対象物の像が前記受光面上を前記第１の方向に移動する距離と等しく、
前記複数の第２の受光素子で形成される受光面上の受光領域である第２の受光領域の前記第１の方向の長さは、前記一定の周期の間に前記対象物の像が前記受光面上を前記第１の方向に移動する距離と等しい
ことを特徴とする付記１から９のいずれか１つに記載のぶれ検出装置。
【０３９０】
＜付記１１＞
前記第１の記憶部は、第１のメモリと第２のメモリとを備え、
前記第２の記憶部は、バッファメモリを備える
ことを特徴とする付記１から１０のいずれか１つに記載のぶれ検出装置。
【０３９１】
＜付記１２＞
前記第１の撮像部は、前記複数の第１の受光素子を含む第１のリニアイメージセンサを含み、
前記第２の撮像部は、前記複数の第２の受光素子を含む第２のリニアイメージセンサを含む
ことを特徴とする付記１から１１のいずれか１つに記載のぶれ検出装置。
【０３９２】
＜付記１３＞
前記第１のリニアイメージセンサと前記第２のリニアイメージセンサとの間に配置され、前記第２の方向に配列された複数の第３の受光素子を含む第３のリニアイメージセンサを備え、
前記第１の撮像部は、前記第３のリニアイメージセンサを含み、
前記第２の撮像部は、前記第３のリニアイメージセンサを含む
ことを特徴とする付記１２に記載のぶれ検出装置。
【０３９３】
＜付記１４＞
前記第１の像のデータは、対応する前記第１の受光素子の出力値と前記第３の受光素子の出力値とを加算して求められ、
前記第２の像のデータは、対応する前記第２の受光素子の出力値と前記第３の受光素子の出力値とを加算して求められることを特徴とする付記１３に記載のぶれ検出装置。
【０３９４】
＜付記１５＞
前記複数の第１の受光素子で形成される受光面上の受光領域である第１の受光領域の前記第１の方向の長さは、前記複数の第２の受光素子で形成される受光面上の受光領域である第２の受光領域の前記第１の方向の長さに等しく、前記複数の第３の受光素子で形成される受光面上の受光領域である第３の受光領域の前記第１の方向の長さよりも短いことを特徴とする付記１３又は１４に記載のぶれ検出装置。
【０３９５】
＜付記１６＞
前記第１の撮像部と前記第２の撮像部を含むセンサ部を備え、
前記センサ部は、光量を検出する光量センサを含み、
当該センサ部は複数備えられて前記第２の方向の互いに異なる位置に配置されることを特徴とする付記１から１５のいずれか１つに記載のぶれ検出装置。
【０３９６】
＜付記１７＞
前記光量センサの値に応じて、複数お前記センサ部の中から前記ぶれ量を検出するためのセンサ部を選択することを特徴とする付記１６に記載のぶれ検出装置。
【０３９７】
＜付記１８＞
前記ぶれ量を検出するためのセンサ部を選択する切替部を備えることを特徴とする付記１７に記載のぶれ検出装置。
【０３９８】
＜付記１９＞
前記光量センサの値を基に、前記切替部を制御する切替制御部を備えることを特徴とする付記１８に記載のぶれ検出装置。
【符号の説明】
【０３９９】
１００，２００，３００  ぶれ検出装置、  １０１，１０３，１０５  画像データ（基準画像データ）、  １０２，１０４，１０６  画像データ（比較画像データ）、  １１０  検査対象物（対象物）、  １１０ａ，１１１，１１２，１１３  被読取領域、  １２０  照明装置、  １３０  結像レンズ、  １４０  ラインスキャンカメラ、  １４１  受光面（結像面）、  １４２，１４２ａ，１４２ｂ，１４２ｃ  像領域、  １５０  搬送装置、  １５５，１５６  光量センサ、  １６  第１の撮像部、  １７  第２の撮像部、  １６０  第１のリニアイメージセンサ、  １７０  第２のリニアイメージセンサ、  １６０ａ，１７０ａ  受光素子、  １８０  制御部、  １８１  記憶部、  １８２，１８３  Ａ／Ｄ変換器、  １９０  上位装置、  ２００  ぶれ検出装置、  ２０１，２０２，２０３，２０４，２０５，２０６，２０７，２０８  画像データ、  ２１０  検査対象物（対象物）、  ２１１，２１２，２１３  被読取領域、  ２２０  照明装置、  ２３０  結像レンズ、  ２４０  ラインスキャンカメラ、  ２４１  受光面（結像面）、  ２５０  搬送装置、  ２６  第１の撮像部、  ２７  第２の撮像部、  ２６０  第１のリニアイメージセンサ、  ２６５  第３のリニアイメージセンサ、  ２７０  第２のリニアイメージセンサ、  ２６０ａ，２６５ａ，２７０ａ  受光素子、  ２８２，２８３，２８４  Ａ／Ｄ変換器、  ２８５，２８６  加算器、  ２８０  制御部、  ２８１  記憶部、  １８１１  メモリ＃１、  １８１２  メモリ＃２、  １８１３，２８１３  バッファメモリ、  ３１０，４００  列車、  ４１０  線路、  ５００  航空機、  ５１０  地上（対象物）、  Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅ，Ｆ  像領域、  ＤＩ  像移動方向、  ＤＯ  搬送方向（第１の方向）、  ｉ  画像データのメモリアドレス、  Ｍ１（ｉ），Ｍｂｕｆ（ｉ＋ｊ）  信号の強度、  Ｏｈ，Ｉｈ  高さ、  Ｏ  光軸、  Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４，Ｓ５，Ｓ６，Ｓ７  データ、  Ｗｘ，Ｗｙ，ＷＰｘ，Ｉｙ  長さ。
【図１】
2017111003.tif 000009
【図２】
2017111003.tif 000010
【図３】
2017111003.tif 000011
【図４】
2017111003.tif 000012
【図５】
2017111003.tif 000013
【図６】
2017111003.tif 000014
【図７】
2017111003.tif 000015
【図８】
2017111003.tif 000016
【図９】
2017111003.tif 000017
【図１０】
2017111003.tif 000018
【図１１】
2017111003.tif 000019
【図１２】
2017111003.tif 000020
【図１３】
2017111003.tif 000021
【図１４】
2017111003.tif 000022
【図１５】
2017111003.tif 000023
【図１６】
2017111003.tif 000024
【図１７】
2017111003.tif 000025
【図１８】
2017111003.tif 000026
【図１９】
2017111003.tif 000027
【図２０】
2017111003.tif 000028
【図２１】
2017111003.tif 000029
【国際調査報告】
2017111003.tif 000030
2017111003.tif 000031
2017111003.tif 000032
2017111003.tif 000033