(57)【要約】      （修正有）【課題】基板との接触で損傷を与えない基板搬送加工の磁力挟持装置およびその搬送加工設備を提供する。【解決手段】基板搬送加工の磁力挟持装置およびその搬送加工設備は、ハンガー１０、クリップ２は挟持部２０、および挟持部２０から離して設けられ、シーソー構造を呈する解放部２１を有する。挟持部２０は相互に開閉する二つの挟持壁２００を有し、二つの挟持壁２００はそれぞれ少なくとも一つの突起２０２を延伸し、突起２０２上には弾性材料からなるパッド２３が設けられることによりクリップ２が構成される。以上の構造により、基板を挟持するのに必要な接触面積を減少させ、エッチング、洗浄などの作業に悪影響を与えることを防ぐことができる。また、パッド２３による基板との接触で基板が受けうる損傷などの問題を軽減することができる。【選択図】図３
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
ハンガーと、
前記ハンガーの下部からまっすぐ延伸している縦棒と、
前記縦棒に接続しているクリップ保持軸と、
前記クリップ保持軸上に間隔をおいて配置されている複数のクリップと、を有し、
前記クリップは挟持部、および前記挟持部から離して設けられ、シーソー構造を呈する解放部を有し、
前記挟持部は相互に開閉する二つの挟持壁を有し、前記二つの挟持壁はそれぞれ少なくとも一つの突起を延伸し、前記突起上には弾性材料からなるパッドが設けられることにより前記クリップ２が構成されることを特徴とする基板搬送加工の磁力挟持装置。
【請求項２】
前記弾性材料は、ゴムであることを特徴とする請求項１に記載の基板搬送加工の磁力挟持装置。
【請求項３】
前記パッドは、取り外し可能な方式で前記突起上に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の基板搬送加工の磁力挟持装置。
【請求項４】
前記パッドは、前記突起の内側に配置されている接触部、前記突起内に挿入されている挿入部、前記突起の外側に配置されている位置決め部有し、前記突起には前記挿入部を挿入する穿孔が設けられていることを特徴とする請求項３に記載の基板搬送加工の磁力挟持装置。
【請求項５】
前記複数のクリップの前記突起は、数量が二つで、相互に間隔をおいて設けられていることを特徴とする請求項１に記載の基板搬送加工の磁力挟持装置。
【請求項６】
前記解放部も、相互に開閉する二つの駆動壁を有し、前記クリップはそれぞれ前記挟持部の前記二つの挟持壁に異なる極同士が引き合う第１の磁性デバイスを設け、前記解放部の前記駆動壁にもそれぞれ異なる極同士が引き合う第２の磁性デバイスを設けていることを特徴とする請求項１〜５に記載の基板搬送加工の磁力挟持装置。
【請求項７】
前記複数のクリップは、前記挟持部と前記解放部との間を接続している枢接部をさらに有することを特徴とする請求項６に記載の基板搬送加工の磁力挟持装置。
【請求項８】
前記枢接部は、クリップ保持軸上に枢設されていることを特徴とする請求項７に記載の基板搬送加工の磁力挟持装置。
【請求項９】
搬送経路を有する磁力挟持装置を有する基板搬送加工設備であって、
前記搬送経路を通過するのに用いられ、ハンガー、前記ハンガーの下部からまっすぐ延伸している縦棒、前記縦棒に接続しているクリップ保持軸、および前記クリップ保持軸に間隔をおいて配置されている複数のクリップ、を有する挟持装置１と、
前記搬送経路の両側に沿ってそれぞれ設けられ、前記複数のクリップに対応するように間隔をおいて配列されている複数の磁性棒と、を含み、
前記クリップは挟持部、および前記挟持部から離して設けられ、シーソー構造を呈する解放部を有し、前記挟持部は相互に開閉する二つの挟持壁を有し、前記二つの挟持壁はそれぞれ少なくとも一つの突起を延伸し、前記突起上には弾性材料からなるパッドが設けられることにより前記クリップが構成される磁力挟持装置を具備したことを特徴とする磁力挟持装置を有する基板搬送加工設備。
【請求項１０】
前記基板の片側に吸着し、前記挟持装置の前記各クリップ上の対応する位置に移動し、前記各クリップの前記突起は、数量が二であり、相互に間隔をおいて設けられているため、任意の前記クリップの前記二つの突起間の隙間から前記クリップに前記基板を挟持させる複数の吸盤装置を、さらに有することを特徴とする請求項９に記載の磁力挟持装置を有する基板搬送加工設備。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、基板にエッチング、洗浄などを施す加工器具に関し、特に、基板搬送加工の磁力挟持装置およびその搬送加工設備に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の基板の搬送加工設備で、直立型でエッチング、洗浄などを施す加工器具は、加工する基板を挟持し、縦に宙吊りにして、所定の搬送経路を前方に向けて搬送する。
基板が搬送経路を通過する際に、基板にエッチング、洗浄などの加工を施す。
【０００３】
上記の直立型加工搬送装置は、基板を動かす際に、宙吊りのクリップにより基板上縁を挟持し、露出した基板の両表面にエッチング、洗浄などの加工を施す。
しかし、クリップが基板を挟持すると、基板表面の多くの面積を覆うことになり、基板に対して行うエッチング、洗浄などの加工に多かれ少なかれ悪影響を与えてしまうことがあった。
また、クリップは、硬い金属材料からなることが多く、基板の表面に傷を付けやすく、場合によっては基板に損傷を与えることさえあった。
本考案は、以上の短所を改善するものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１４−１８４４３４号公報
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００５】
本考案の目的は、基板との接触で損傷を与えない基板搬送加工の磁力挟持装置およびその搬送加工設備を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述の目的を達成するため、本考案は、基板搬送加工の磁力挟持装置およびその搬送加工設備を提供する。
本考案の基板搬送加工の磁力挟持装置およびその搬送加工設備は、ハンガー、クリップは挟持部、および挟持部から離して設けられ、シーソー構造を呈する解放部を有する。
挟持部は相互に開閉する二つの挟持壁を有し、二つの挟持壁はそれぞれ少なくとも一つの突起を延伸し、突起上には弾性材料からなるパッドが設けられることによりクリップが構成される。
以上の構造により、基板を挟持するのに必要な接触面積を減少させ、エッチング、洗浄などの作業に悪影響を与えることを防ぐことができる。
【考案の効果】
【０００７】
本考案の基板搬送加工の磁力挟持装置は、その搬送加工設備等で基板を挟持するのに必要な接触面積および基板に対する遮断を減少させ、エッチング、洗浄などの作業に悪影響を与えることを防ぐことができる。
また、パッドによる基板との接触で基板が受けうる損傷などの問題を軽減することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本考案の一実施形態による挟持装置を示す斜視図である。
【図２】本考案のクリップを示す分解斜視図である。
【図３】本考案の挟持装置を示す断面図である。
【図４】本考案の挟持装置が基板を挟持する状態を示す断面図である。
【図５】本考案の挟持装置が基板を挟持する状態を示す側面図である。
【図６】本考案の挟持装置が搬送加工設備を通過する状態を示す俯瞰図である。
【図７】本考案の挟持装置が搬送加工設備を通過する動作を示す断面図である。
【考案を実施するための形態】
【０００９】
以下、本考案の実施形態を図面に基づいて説明する。
【００１０】
図１〜３を参照して説明する。
図１は、本考案の一実施形態による基板の搬送加工設備での挟持装置を示す斜視図である。
図２は、本考案のクリップを示す分解斜視図である。
図３は、本考案の挟持装置を示す断面図である。
図１〜３に示すように、本考案は、基板の磁力挟持装置およびその搬送加工設備を提供する。
本実施形態の挟持装置１は、基板３を挟持し、垂直に配置するのに用いられる（図４または図５参照）。
搬送加工設備は、挟持装置１を搬送するのに用いられるが、挟持した基板３が所定の搬送経路Ｐ（図６参照）を通過する際にエッチング、洗浄などの作業を行う。
挟持装置１は、ハンガー１０、縦棒１１、および複数のクリップ２を有する。
【００１１】
ハンガー１０は、搬送加工設備に接続し、挟持装置１が搬送経路Ｐに沿って前進できるようにする。
例えば、搬送経路Ｐに沿って間隔をおいて配列された二つのコンベア（図示せず）にハンガー１０が搭載されると、挟持装置１が搬送経路Ｐに沿って前進できる。
【００１２】
図１および図３を参照して説明する。
図１および図３に示すように、縦棒１１は、ハンガー１０の下部からまっすぐ延伸しているため、ハンガー１０が下部にクリップ保持軸１２を配置することができる。
本実施形態において、縦棒１１の数量は二つで、それぞれハンガー１０の両端から下方に向かってまっすぐ延伸し、クリップ保持軸１２が二つの縦棒１１の間に接続するようになっている。
二つの縦棒１１の下部にハンガー１０をさらに設け、挟持装置１の搬送に安定性を供してもよい。
クリップ保持軸１２上に複数のクリップ２が間隔をおいて配置され、搬送経路Ｐの進行方向に合わせて直線状に配列されている。
これにより、基板３上縁部を挟持しやすくなっている（図５参照）。
【００１３】
図２および図３を参照して説明する。
図２および図３に示すように、クリップ２は、挟持部２０、解放部２１および枢接部２２を有する。
解放部２１は、挟持部２０から離して設けられている。
枢接部２２は、挟持部２０と解放部２１との間を接続して挟持部２０および解放部２１をシーソー構造にする。
枢接部２２は、クリップ２をクリップ保持軸１２上に枢設するに用いられる。
挟持部２０は、相互に開閉する二つの挟持壁２００を有する。
解放部２１も、相互に開閉する二つの駆動壁２１０を有する。
クリップ２は、それぞれ挟持部２０の挟持壁２００に異なる極同士が引き合う第１の磁性デバイス２０１を設け、解放部２１の駆動壁２１０にもそれぞれ異なる極同士が引き合う第２の磁性デバイス２１１を設けている。
枢接部２２が、挟持部２０および解放部２１をシーソー構造にし、挟持部２０の二つの挟持壁２００がオープンの時、解放部２１の二つの駆動壁２１０がクローズで、反対に、挟持部２０の二つの挟持壁２００がクローズの時、解放部２１の二つの駆動壁２１０がオープンとなる。
【００１４】
本考案で重要なのは、挟持部２０の二つの挟持壁２００がそれぞれ延伸した少なくとも一つの突起２０２が取り外し可能な方式でパッド２３を設け、パッド２３がゴムなど弾性材料からなることでクリップ２を構成していることである。
クリップ２が、基板３を挟持する際、パッド２３が基板３に接触しても過度の挟持となるよいな悪影響を与えることがなく、基板３の完全な状態を確保できる。
本実施形態において、パッド２３は、接触部２３０、挿入部２３１および位置決め部２３２を有する。
接触部２３０は、突起２０２の内側に配置されている。
挿入部２３１は、突起２０２内に挿入されている。
【００１５】
位置決め部２３２は、突起２０２の外側に配置されている。
突起２０２は、挿入部２３１を挿入する穿孔２０３を設けている。
接触部２３０および位置決め部２３２の面積は、挿入部２３１のより大きくなっているため、パッド２３が穿孔２０３上にしっかりと結合し、位置決めが行われ、接触部２３０が基板３と接触する。
接触部２３０が、長期間の使用により弾性を失った場合、随時取り外して交換することにより使用し続けることができる。
上記の構造により本考案の基板の磁力挟持装置およびその搬送加工設備が実現できる。
【００１６】
図４および図５を参照して説明する。
図４は、本考案の挟持装置が基板を挟持する状態を示す断面図である。
図５は、本考案の挟持装置が基板を挟持する状態を示す側面図である。
図４および図５に示すように、挟持装置１が基板３を挟持する場合、複数の吸盤装置４が共同で基板３の片側の上縁に吸着し、挟持装置１の各クリップ２上の対応する位置に移動する。
クリップ２の挟持壁２００がオープンの場合、基板３の上縁が各クリップ２の二つの挟持壁２００の間に対応させられる。
本実施形態において、各クリップ２の突起２０２は、数量が二であり、相互に間隔をおいて設けられているため、吸盤装置４が二つの突起２０２間の隙間（図５参照）から基板３を二つの挟持壁２００のパッド２３の間まで移動させ、クリップ２に基板３を挟持させることができる。
【００１７】
図６および図７を参照して説明する。
図６は、本考案の挟持装置が搬送加工設備を通過する状態を示す俯瞰図である。
図７は、本考案の挟持装置が搬送加工設備を通過する動作を示す断面図である。
図６および図７に示すように、挟持装置１が基板３を搬送経路Ｐに沿って前進させるが、搬送加工設備は、搬送経路Ｐの両側に沿ってそれぞれ複数の第１の磁性棒３０および複数の第２の磁性棒３１を設けている。
第１の磁性棒３０は、各クリップ２上の挟持部２０の二つの挟持壁２００に対応するように間隔をおいて配列され、第２の磁性棒３１は、各クリップ２上の解放部２１の二つの駆動壁２１０に対応するように間隔をおいて配列されている（図７参照）。
【００１８】
第１の磁性棒３０は、それぞれ挟持壁２００上の第１の磁性デバイス２０１と同極で相互に反発し合い、第２の磁性棒３１は、それぞれ駆動壁２１０上の第２の磁性デバイス２１１と同極で相互に反発し合う。
挟持装置１が基板３を搬送経路Ｐに沿って前進させると、第１の磁性棒３０および第２の磁性棒３１がそれぞれ上下交錯の作動方式によりクリップ２上の二つの挟持壁２００または二つの駆動壁２１０を押し付ける。
【００１９】
これにより、クリップ２上の第１の磁性デバイス２０１および第２の磁性デバイス２１１により基板３を挟持したり、解放したりでき、第１の磁性棒３０および第２の磁性棒３１により制御することができるため、基板３を挟持するのに必要な接触面積および基板３に対する遮断を減少させ、エッチング、洗浄などの作業に悪影響を与えることを防ぐことができる。
また、パッド２３による基板３との接触で基板３が受けうる損傷などの問題を軽減することができる。
【００２０】
本考案では好適な実施形態を前述の通りに開示したが、これらは決して本考案を限定するものではなく、当該技術を熟知する者は誰でも、本考案の精神と領域を脱しない範囲内で各種の変更や修正を加えることができる。
従って、本考案の保護の範囲は、実用新案請求の範囲で指定した内容を基準とする。
【符号の説明】
【００２１】
１  挟持装置
２  クリップ
３  基板
４  吸盤装置
１０  ハンガー
１１  縦棒
１２  クリップ保持軸
２０  挟持部
２１  解放部
２２  枢接部
２３  パッド
３０  第１の磁性棒
３１  第２の磁性棒
２００  挟持壁
２０１  第１の磁性デバイス
２０２  突起
２０３  穿孔
２１０  駆動壁
２１１  第２の磁性デバイス
２３０  接触部
２３１  挿入部
２３２  位置決め部
Ｐ  搬送経路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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