(57)【要約】      （修正有）【課題】収容手段で収容した接着シートが障害となり、規定の動作を行えなくなるという不都合を解消することができるシート剥離装置を提供する。【解決手段】シート剥離装置１０は、被着体（半導体ウエハＷＦ）に貼付された接着シートＡＳを剥離するシート剥離装置において、接着シートＡＳに剥離用テープＰＴを貼付する貼付手段２０と、剥離用テープＰＴを切断する切断手段３０と、剥離用テープＰＴを介してウエハＷＦから接着シートＡＳを剥離する引張手段４０と、ウエハＷＦから剥離した接着シートＡＳを収容する収容手段５０とを備え、収容手段５０に収容された接着シートＡＳの量が所定量に達したことを検知する収容量検知手段６０と、収容量検知手段６０によって接着シートＡＳの量が所定量に達したことを検知したことを受けて所定の満杯処理を行なう満杯処理手段としての警告手段７０と、同処理手段としての制御手段８０とを有することを特徴とする。【選択図】図１
0003201070.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
被着体に貼付された接着シートを剥離するシート剥離装置において、
前記接着シートに剥離用テープを貼付する貼付手段と、
前記剥離用テープを切断する切断手段と、
前記剥離用テープを介して前記被着体から前記接着シートを剥離する引張手段と、
前記被着体から剥離した前記接着シートを収容する収容手段とを備え、
前記収容手段に収容された前記接着シートの量が所定量に達したことを検知する収容量検知手段と、前記収容量検知手段によって前記接着シートの量が所定量に達したことを検知したことを受けて所定の満杯処理を行なう満杯処理手段を有することを特徴とするシート剥離装置。
【請求項２】
前記満杯処理手段は、所定の警告を発する警告手段であることを特徴とする請求項１に記載のシート剥離装置。
【請求項３】
前記満杯処理手段は、当該シート剥離装置の動作を停止する制御手段であることを特徴とする請求項１または２に記載のシート剥離装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、シート剥離装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、剥離後の保護フィルムが投入される回収容器を備えるフィルム剥離装置が知られている（例えば、特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−３７００９号公報
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載の装置では、回収容器（収容手段）で収容した保護フィルム（接着シート）が障害となり、フィルム剥離装置が規定の動作を行えなくなるという不都合が発生する場合がある。
【０００５】
本考案の目的は、収容手段で収容した接着シートが障害となり、規定の動作を行えなくなるという不都合を解消することができるシート剥離装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述した課題を解決するために、本考案は、被着体に貼付された接着シートを剥離するシート剥離装置において、前記接着シートに剥離用テープを貼付する貼付手段と、前記剥離用テープを切断する切断手段と、前記剥離用テープを介して前記被着体から前記接着シートを剥離する引張手段と、前記被着体から剥離した前記接着シートを収容する収容手段とを備え、前記収容手段に収容された前記接着シートの量が所定量に達したことを検知する収容量検知手段と、前記収容量検知手段によって前記接着シートの量が所定量に達したことを検知したことを受けて所定の満杯処理を行なう満杯処理手段を有することを特徴とするシート剥離装置である。
【０００７】
前記満杯処理手段は、所定の警告を発する警告手段であることを特徴としてもよい。
【０００８】
前記満杯処理手段は、当該シート剥離装置の動作を停止する制御手段であることを特徴としてもよい。
【考案の効果】
【０００９】
本考案によれば、収容手段に収容された接着シートの量が所定量に達したことを検知して所定の満杯処理を行なうので、収容手段で収容した接着シートが障害となり、規定の動作を行えなくなるという不都合を解消することができる。
また、満杯処理手段を警告手段とした場合、収容手段に収容された接着シートの量が所定量に達したことを作業者に知らせることができる。
さらに、満杯処理手段を当該シート剥離装置の動作を停止する制御手段とした場合、シート剥離装置の動作が停止するので、当該シート剥離装置が規定の動作を行えなくなることを確実に防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】実施形態に係るシート剥離装置の動作説明図を兼ねた側面図。
【図２】実施形態に係るシート剥離装置の動作説明図。
【考案を実施するための形態】
【００１１】
以下、本考案の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、当該所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」が紙面に直交する手前方向であってＹ軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。
【００１２】
図１において、シート剥離装置１０は、被着体としての半導体ウエハ（以下単に「ウエハ」という場合がある）ＷＦに貼付された接着シートＡＳを剥離するシート剥離装置であって、接着シートＡＳに剥離用テープＰＴを貼付する貼付手段２０と、剥離用テープＰＴを切断する切断手段３０と、剥離用テープＰＴを介してウエハＷＦから接着シートＡＳを剥離する引張手段４０と、ウエハＷＦから剥離した接着シートＡＳを収容する収容手段５０と、収容手段５０に収容された接着シートＡＳの量が所定量に達したことを検知する収容量検知手段６０と、収容量検知手段６０によって接着シートＡＳの量が所定量に達したことを検知したことを受けて所定の満杯処理を行なう満杯処理手段としての警告手段７０と、同処理手段としての制御手段８０とを備え、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によってウエハＷＦを支持する支持手段９０の上方に設けられている。
【００１３】
貼付手段２０は、剥離用テープＰＴを支持する支持ローラ２１Ａと、駆動機器としての回動モータ２１Ｂによって駆動される駆動ローラ２１Ｃとの間に剥離用テープＰＴを挟み込むピンチローラ２１Ｄと、剥離用テープＰＴを案内するガイドローラ２１Ｅと、駆動機器としてのリニアモータ２２Ａのスライダ２２Ｂに支持されたスライドプレート２２Ｃと、駆動機器としての直動モータ２３Ａの出力軸２３Ｂに支持されたブラケット２３Ｃに回転可能に支持された押圧ローラ２３Ｄと、駆動機器としての直動モータ２４Ａの出力軸２４Ｂに支持されたヒータ２４Ｃを有する押圧ヘッド２４Ｄと、当該貼付手段２０を構成する各部材を支持するフレーム２５を昇降させる図示しない駆動機器とを備えている。
【００１４】
切断手段３０は、駆動機器としての直動モータ３１の出力軸３１Ａに支持された切断刃３２と、切断刃３２を受ける受け板３３とを備えている。
【００１５】
引張手段４０は、駆動機器としてのリニアモータ４１のスライダ４１Ａに支持され、一対の把持爪４２を有する駆動機器としてのチャックシリンダ４３を備えている。
【００１６】
収容量検知手段６０は、カメラ等の撮像手段や光学センサ等からなり、収容手段５０に収容された接着シートＡＳの高さを検知することにより、接着シートＡＳの量が所定量に達したことを検知するようになっている。
【００１７】
警告手段７０は、スピーカやブザー等の音発生手段や、電灯や回転灯等の光発生手段等によって構成され、所定の満杯処理として音および光の少なくとも一方を発することが可能になっている。
制御手段８０は、コンピュータやシーケンサ等によって構成され、所定の満杯処理としてシート剥離装置１０の動作を停止することが可能になっている。
【００１８】
次に、本実施形態におけるシート剥離装置１０の動作について説明する。
先ず、作業者が剥離用テープＰＴを図１（Ａ）に示すようにセットした後、各部材が初期位置で待機する図１中実線で示すシート剥離装置１０に対し、図示しない操作パネルやパーソナルコンピュータ等の入力手段を介して自動運転開始の信号を入力する。そして、人手または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段によって、接着シートＡＳが上方となる状態でウエハＷＦが支持手段９０上に載置されると、支持手段９０が図示しない減圧手段を駆動し、ウエハＷＦを吸着保持する。その後、貼付手段２０が回動モータ２１Ｂおよびリニアモータ２２Ａを駆動し、駆動ローラ２１Ｃを回転させるとともに、スライドプレート２２Ｃを右方向に移動させ、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、一対の把持爪４２間に剥離用テープＰＴを繰り出す。次いで、貼付手段２０が直動モータ２３Ａおよびリニアモータ２２Ａを駆動し、押圧ローラ２３Ｄを上方に退避させた後、スライドプレート２２Ｃを初期位置に復帰させる。そして、引張手段４０がチャックシリンダ４３およびリニアモータ４１を駆動し、図１（Ｂ）中実線で示すように、把持爪４２で剥離用テープＰＴを把持した後、チャックシリンダ４３を右方向に移動させて剥離用テープＰＴを引き出す。
【００１９】
次に、貼付手段２０が直動モータ２４Ａを駆動し、図１（Ｂ）中二点鎖線で示すように、ヒータ２４Ｃで加熱された押圧ヘッド２４Ｄを降下させ、当該押圧ヘッド２４Ｄで剥離用テープＰＴを接着シートＡＳの外縁領域に押圧して貼付する。次いで、貼付手段２０が直動モータ２３Ａを駆動し、押圧ローラ２３Ｄで剥離用テープＰＴをスライドプレート２２Ｃに押圧した後、切断手段３０が直動モータ３１を駆動し、切断刃３２を下降させて剥離用テープＰＴを切断する。そして、貼付手段２０および切断手段３０が直動モータ２４Ａ、３１を駆動し、押圧ヘッド２４Ｄおよび切断刃３２を初期位置に復帰させた後、貼付手段２０が図示しない駆動機器を駆動し、フレーム２５を上昇させる。
【００２０】
次に、引張手段４０がリニアモータ４１を駆動し、図２（Ａ）中二点鎖線で示すように、チャックシリンダ４３を左方向に移動させて接着シートＡＳをウエハＷＦから剥離する。そして、図２（Ｂ）に示すように、ウエハＷＦから剥離した接着シートＡＳを把持したチャックシリンダ４３が収容手段５０の上方所定位置に到達すると、引張手段４０がリニアモータ４１の駆動を停止し、チャックシリンダ４３を駆動し、把持爪４２による剥離用テープＰＴの把持を解除する。すると、ウエハＷＦから剥離された接着シートＡＳは、落下して収容手段５０内に収容される。なお、接着シートＡＳがウエハＷＦから全て剥離されると、支持手段９０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、図示しない搬送手段がウエハＷＦを次の工程に搬送する。そして、引張手段４０および貼付手段２０がリニアモータ４１および図示しない駆動機器を駆動し、チャックシリンダ４３およびフレーム２５を初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。
【００２１】
ここで、上記同様の動作が繰り返され、収容手段５０内に収容された接着シートＡＳの量が所定量に達したことが収容量検知手段６０に検知されると、警告手段７０が音発生手段や光発生手段等を駆動し、音および光の少なくとも一方を発して収容手段５０に収容された接着シートＡＳの量が所定量に達したことを作業者に知らせる。また、収容手段５０内に収容された接着シートＡＳの量が所定量に達したことが収容量検知手段６０に検知されると、制御手段８０がシート剥離装置１０の動作を停止する。
【００２２】
以上のような本実施形態によれば、収容手段５０に収容された接着シートＡＳの量が所定量に達したことを検知して所定の満杯処理を行なうので、収容手段５０で収容した接着シートＡＳが障害となり、規定の動作を行えなくなるという不都合を解消することができる。
【００２３】
本考案における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、貼付手段は、接着シートに剥離用テープを貼付することが可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせてその範囲内であればなんら限定されることはない（他の手段および工程についての説明は省略する）。
【００２４】
シート剥離装置１０は、図２（Ｂ）中二点鎖線に示すように、ウエハＷＦから剥離した接着シートＡＳを折り畳む折畳手段１００を採用してもよい。折畳手段１００は、受け部材１０１と、図示しない駆動機器によって駆動される移動部材１０２とを備えている。この場合、ウエハＷＦから剥離された接着シートＡＳが収容手段５０の上方で停止すると、折畳手段１００が図示しない駆動機器を駆動し、移動部材１０２を矢印方向に移動させ、接着シートＡＳの接着面同士を当接させて受け部材１０１と移動部材１０２とで接着シートＡＳを挟み込み、当該接着シートＡＳを２つ折りに折り畳む。その後、把持爪４２による剥離用テープＰＴの把持を解除して折り畳まれた接着シートＡＳを収容手段５０内に落下させる。なお、受け部材１０１および移動部材１０２の少なくとも一方は、メカチャックやチャックシリンダ等のチャック手段、吸引、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着、駆動機器等で剥離用テープＰＴを保持する構成でもよい。折畳手段１００は、接着シートＡＳを３つ折り以上に折り畳む構成でもよい。
【００２５】
貼付手段２０は、支持ローラ２１Ａを回転駆動させる駆動機器を備えてもよい。
貼付手段２０は、押圧ローラ２３Ｄや押圧ヘッド２４Ｄの代わりに、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等による押圧部材を採用してもよいし、大気やガス等のエアの噴き付けにより押圧する構成を採用してもよい。
貼付手段２０は、押圧ローラ２３Ｄの表面をゴムや樹脂等の弾性変形が可能な部材で構成してもよいし、弾性変形しない部材で構成してもよい。
貼付手段２０は、押圧ヘッド２４Ｄを振動させる振動手段を設けたり、ヒータ２４Ｃに換えて温風、放電加熱機、赤外線加熱機、マイクロ波照射装置等を設けたりしてもよい。
【００２６】
切断手段３０は、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等の切断部材で構成してもよく、多関節ロボットや適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断部材を移動させて切断するようにしてもよい。
切断手段３０は、ウエハＷＦから接着シートＡＳを剥離した後に剥離用テープＰＴを切断するようにしてもよい。この場合、剥離用テープＰＴを接着シートＡＳに貼付した後、支持手段９０を図１（Ｂ）中の右方向に移動させることにより接着シートＡＳをウエハＷＦから剥離する。そして、切断手段３０が直動モータ３１を駆動し、剥離用テープＰＴを切断する。この場合、引張手段４０はチャックシリンダ４３を左方向に動かさなくてもよいので、収容手段５０を引張手段４０の下方の位置に配置してもよい。
【００２７】
引張手段４０は、把持爪４２に代えてまたは併用し、メカチャックやチャックシリンダ等のチャック手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着、駆動機器等で剥離用テープＰＴを保持する構成でもよい。
引張手段４０は、図示しない噴き付け手段を備え、大気やガス等のエアを剥離用テープＰＴに噴き付けることにより把持爪４２から剥離用テープＰＴが確実に離れるようにしてもよい。エアの噴き付けを把持爪４２の把持面方向に行なう場合は、一対の把持爪４２の両方からエアの噴き付けを行うようにするとよい。これにより、把持爪４２の把持を解除した状態で剥離用テープＰＴが一対の把持爪４２のどちらに接着していても把持爪４２から剥離用テープＰＴを確実に離すことができる。また、エアの噴き付けを把持爪４２の把持面の側面方向に行う場合には一対の把持爪４２の内、下側の把持爪の側面のみから噴き付けを行うようにするとよい。
【００２８】
収容量検知手段６０に代えて、図２（Ｂ）中二点鎖線で示すように、収容手段５０の下に設けられ、収容手段５０の重量を検知するウエイトチェッカや圧力センサなどの検知器からなる収容量検知手段６０Ａを採用してもよい。
【００２９】
警告手段７０は、音発生手段や光発生手段等に代えてまたは併用し、振動を発生させることにより警告を行なう振動発生機でもよい。また、警告手段７０は、音発生手段、光発生手段、振動発生機のいずれか１つでもよいし、２つ、または３つを組み合わせて用いてもよい。  
【００３０】
前記実施形態において、満杯処理手段は、警告手段７０および制御手段８０の少なくとも一方でよい。
満杯処理手段は、自走して収容手段５０を搬送する自走搬送手段とし、自走して接着シートＡＳを廃棄する所定の廃棄位置で収容手段５０内の接着シートＡＳを廃棄する満杯処理を行う構成としてもよいし、自走して収容手段５０を搬送する自走搬送手段を複数設けておき、入れ替えを行う満杯処理を行う構成としてもよいし、自走しない収容手段５０や移動させることができない収容手段５０の場合、接着シートＡＳを掴み取りして当該接着シートＡＳを所定の廃棄位置に廃棄する満杯処理を行う構成としてもよい。
【００３１】
さらに、本考案における接着シートＡＳ、剥離用テープＰＴ、ウエハＷＦ等の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳは、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層とからなるもの、それらの間に中間層を有するものや、基材シートの上面にカバー層を有する３層以上のもの、更には、基材シートを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよいし、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体としては、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、電極基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳは、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。
また、剥離用テープＰＴは、感圧接着性の接着シートや感熱接着性の接着シートであってもよく、感圧接着性の接着シートが採用された場合、ヒータ２４Ｃは設けてもよいし、設けなくてもよい。
【００３２】
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
【符号の説明】
【００３３】
１０・・・シート剥離装置
２０・・・貼付手段
３０・・・切断手段
４０・・・引張手段
５０・・・収容手段
６０・・・収容量検知手段
７０・・・警告手段（満杯処理手段）
８０・・・制御手段（満杯処理手段）
ＡＳ・・・接着シート
ＰＴ・・・剥離用テープ
ＷＦ・・・ウエハ（被着体）
【図１】
0003201070.tif 000003
【図２】
0003201070.tif 000004