(57)【要約】      （修正有）【課題】攪拌効果を高めた、化学タンクに用いられる噴流攪拌ユニットを提供する。【解決手段】チューブ１及びノズルを備えている。チューブは円柱状を呈し、内管１１及び外管１２を含み、内管は揚水流路Ｒ１を有し、外管は内管の外に覆設され、外管の内壁及び内管の外壁が挟むことにより回流流路Ｒ２が形成されている。ノズルはチューブの一端に設置され、内管はノズルに貫設されていると共に下端に露出し、ノズルには回流流路の一端に連通されている複数の噴水孔２３、２４が設けられている。【選択図】図２
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
円柱状を呈し、内管及び外管を含み、前記内管は揚水流路を有し、前記外管は前記内管の外に覆設され、前記外管の内壁及び前記内管の外壁が挟むことにより回流流路が形成されているチューブと、
前記チューブの一端に設置されているノズルであって、前記内管は前記ノズルに貫設され、前記ノズルには複数の噴水孔が設けられ、これら前記噴水孔は前記回流流路の一端に連通されているノズルと、を備えていることを特徴とする噴流攪拌ユニット。
【請求項２】
前記ノズルはベース及び前記ベースを包囲している環状側壁を有し、前記ベースには貫通孔が設けられ、前記内管は軸方向に沿って前記貫通孔を貫通し、前記内管、前記環状側壁、及び前記ベースが挟むことにより形成されている空間は前記回流流路に連通されていることを特徴とする請求項１に記載の噴流攪拌ユニット。
【請求項３】
これら前記噴水孔は複数の下部噴水孔及び複数の側部噴水孔を備え、これら前記下部噴水孔は前記ベースに設けられ、これら前記側部噴水孔は前記環状側壁に設けられていることを特徴とする請求項２に記載の噴流攪拌ユニット。
【請求項４】
これら前記下部噴水孔の前記軸方向における位置は前記内管の底部揚水口より高いことを特徴とする請求項３に記載の噴流攪拌ユニット。
【請求項５】
前記環状側壁は同心環状を呈する内壁及び外壁を備え、前記外壁は前記内壁に対して回転し、前記内管、前記内壁、及び前記ベースが挟むことにより形成されている空間は前記回流流路の一端に連通され、前記外壁及び前記内壁が挟むことにより環状流路が形成され、前記内壁は径方向に沿って前記内壁をそれぞれ貫通している複数の内部噴水孔を有し、前記外壁は径方向に沿って前記外壁をそれぞれ貫通している複数の外部噴水孔を有していることを特徴とする請求項２に記載の噴流攪拌ユニット。
【請求項６】
前記外壁には前記内壁の接線方向に前記外壁を貫通して前記環状流路及び外部空間に連通されている複数の回転噴流孔が設けられていることを特徴とする請求項５に記載の噴流攪拌ユニット。
【請求項７】
前記チューブの前記ノズルとは反対にある一端に設けられている接合部をさらに備え、前記接合部は前記揚水流路及び外部空間に連通され、且つ前記回流流路及び外部空間に連通されていることを特徴とする請求項１に記載の噴流攪拌ユニット。
【請求項８】
前記接合部は軸方向に沿った上段の外周面に外部ポンプに螺合するためのネジ山が設けられていることを特徴とする請求項７に記載の噴流攪拌ユニット。
【請求項９】
前記接合部は軸方向に沿った下段の外周面に容器のカバーに螺合するためのネジ山が設けられていることを特徴とする請求項７に記載の噴流攪拌ユニット。
【請求項１０】
前記接合部は前記接合部の上段及び下段に連通されている排気孔をさらに有していることを特徴とする請求項７に記載の噴流攪拌ユニット。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、攪拌装置に関し、更に詳しくは、化学タンクに用いられる噴流攪拌ユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体や光電子工学等の工業分野においてプロセスで使用する液体薬品及び研磨液等は薬品タンクに保存されている。液体内に粒子が含まれていたり、容積が大きかったり、沈降特性を有している液体は液体が不均一に沈積してしまうため、プロセスに影響が及ばないようにするために不断で循環攪拌する必要があった。
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、前述した従来の技術では、攪拌装置を薬品タンクに装設し、外部の動力源を利用して薬品タンクを攪拌しているが、その効果に限界があった。
【０００４】
そこで、本考案者は上記の欠点が改善可能と考え、鋭意検討を重ねた結果、合理的設計で上記の課題を効果的に改善する本考案の提案に至った。
【０００５】
本考案者は、鋭意研究した結果、噴流攪拌ユニットにより、上記目的を達成できることを見出した。
【０００６】
本考案は前記技術的課題に鑑みて開発されたものであり、噴流攪拌ユニットを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
また、前記技術的課題を解決する噴流攪拌ユニットは、
円柱状を呈し、内管及び外管を含み、前記内管は揚水流路を有し、前記外管は前記内管の外に覆設され、前記外管の内壁及び前記内管の外壁が挟むことにより回流流路が形成されているチューブと、
前記チューブの一端に設置されているノズルであって、前記内管は前記ノズルに貫設され、前記ノズルには複数の噴水孔が設けられ、これら前記噴水孔は前記回流流路の一端に連通されているノズルと、を備えている。
【考案の効果】
【０００８】
本考案の噴流攪拌ユニットは外部ポンプに接続して循環攪拌システムが形成されている。また、内管及び外管がチューブ中に統合され、空間が縮減されていると共に、噴流攪拌ユニットをタンクに装設する難度及び外部ポンプに接続する難度を大幅に低下させている。このほか、ノズル及び噴水孔の設計により沈殿した液体の攪拌効果をさらに強化している。
【０００９】
本明細書及び図面の記載により、少なくとも、以下の事項が明らかとなる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本考案の第１実施例に係る噴流攪拌ユニットを示す概略傾斜図である。
【図２】本考案の第１実施例に係る噴流攪拌ユニットの部分を示す概略断面図である。
【図３】本考案の第１実施例のノズルを示す概略傾斜図である。
【図４】本考案の第１実施例の接合部の部分を示す断面概略図（一）である。
【図５】本考案の第１実施例の接合部の部分を示す断面概略図（二）である。
【図６】本考案の第２実施例に係る噴流攪拌ユニットの部分を示す外観図である。
【図７】本考案の第２実施例に係る噴流攪拌ユニットの部分を示す概略断面図である。
【図８】本考案の第２実施例のノズルを示す傾斜図である。
【図９】本考案の第２実施例のノズルを示す横断面図である。
【考案を実施するための形態】
【００１１】
本考案における好適な実施の形態について、添付図面を参照して説明する。尚、以下に説明する実施の形態は、実用新案登録請求の範囲に記載された本考案の内容を限定するものではない。また、以下に説明される構成の全てが、本考案の必須要件であるとは限らない。
【００１２】
（第１実施例）
本考案の第１実施例の構成を図１から図５に示す。本考案の第１実施例に係る噴流攪拌ユニット１００は、タンクＴ内部に保存されている液体の攪拌に用いられている。噴流攪拌ユニット１００はチューブ１及びノズル２を備えている（図１参照）。
【００１３】
図１と図２に示すように、チューブ１は柱状を呈し、チューブ１は内管１１及び外管１２を備えている。内管１１は揚水流路Ｒ１を有し、外管１２は内管１１の外に覆設され、外管１２の内壁及び内管１１の外壁が挟むことにより回流流路Ｒ２が形成されている。
【００１４】
ノズル２はチューブ１の一端に設置され、内管１１はノズル２に貫設されていると共に下端に露出されている。ノズル２には複数の噴水孔２３、２４が設けられ、これら噴水孔２３、２４は回流流路Ｒ２の一端に連通されている。
【００１５】
チューブ１のノズル２とは反対にある一端は外部ポンプＭに接続され、それが発生させる負圧の吸引力により内管１１の底部（ノズル２の前記端に連接されている）にある底部揚水口１１１がタンクＴの底部に沈殿している液体を吸入し、揚水流路Ｒ１を経由して上方へと外部ポンプＭまで吸引する。これら吸入された液体は回流流路Ｒ２を経由して噴流攪拌ユニット１００中に回流され、液体の回流圧力（外部ポンプＭにより付勢される圧力に自然の慣性が発生させる圧力を加えたものを含む）により液体が噴水孔２３、２４から圧搾されて噴出し、タンクＴ内で液体を分散させる効果を達成させている。これにより、噴流攪拌ユニット１００を外部ポンプＭに接続することで循環攪拌システムが形成されている。また、内管１１及び外管１２はチューブ１中に統合され、空間が縮減されていると共に、噴流攪拌ユニット１００をタンクＴに装設する難度及び外部ポンプＭに接続する難度を大幅に低下させている。このほか、ノズル２及び噴水孔２３、２４の設計により沈殿している液体の攪拌効果をさらに高めている。
【００１６】
さらに、図２と図３に示すように、本実施例では、ノズル２がベース２１及びベース２１を包囲している環状側壁２２を有している。ベース２１には貫通孔２５が設けられ、内管１１は軸方向に沿って貫通孔２５を貫通し、内管１１、環状側壁２２、及びベース２１が挟むことにより形成されている空間は回流流路Ｒ２に連通されている。噴水孔２３、２４は複数の下部噴水孔２３及び複数の側部噴水孔２４を備え、下部噴水孔２３はベース２１に設けられ、側部噴水孔２４は径方向に貫通するように環状側壁２２に設けられている。これら下部噴水孔２３及び側部噴水孔２４は各角度で全方向に液体を圧搾して噴出可能であり、沈殿した液体の攪拌効果を高めている。
【００１７】
続いて、図２と図３に示すように、本実施例では、各下部噴水孔２３の軸方向における位置は内管１１の底部揚水口１１１より高く、底部揚水口１１１及び下部噴水孔２３にある流体が相互に干渉しないようにしている。
【００１８】
続いて、図２と図３に示すように、本実施例では、環状側壁２２の内側面には外管１２に螺合するためのネジ山部２６を有している。しかしながら、本考案はこれに限られず、ノズル２及びチューブ１の結合形式は他の方式で達成してもよい。
【００１９】
さらに、図１、図４と図５に示すように、本実施例では、噴流攪拌ユニット１００がチューブ１のノズル２とは反対にある一端に設置されている接合部３をさらに備えている。接合部３は揚水流路Ｒ１及び外部空間（または外部ポンプＭ）を連通するための第一連通孔３１、及び回流流路Ｒ２及び外部空間（または外部ポンプＭ）を連通するための第二連通孔３２を有している。
【００２０】
さらに、本実施例では、接合部３は軸方向に沿った上段（すなわち、接合部３の上部）の外周面に外部ポンプＭに螺合するためのネジ山３４が設けられている。接合部３は軸方向に沿った下段（すなわち、接合部３の下部）の外周面に容器（例えば、タンクＴ）のカバーＴ１に螺合するためのネジ山３５が設けられている。しかしながら、本考案の接合部３と外部ポンプＭ、タンクＴとの接合方式はこれに限られず、外部ポンプＭ、タンクＴの構造に応じて調整可能である。
【００２１】
さらに、本実施例では、接合部３が螺合またはロック等の方式でカバーＴ１に固定された後、接合部３がカバーＴ１の平面に密着するためのシール部３６を有し、液体が漏れないようにしていると共に外部からの汚染物質も進入しないようにしている。この場合、接合部３の下段はタンクＴ中に位置し、上段はタンクＴの外に位置している。
【００２２】
さらに、図５に示すように、本実施例では、接合部３が接合部３の上段及び下段を連通するための排気孔３３をさらに有している。排気孔３３により、タンクＴ内と外部空間との間でガス交換を行ってタンクＴ内の圧力を平衡に維持している。
【００２３】
（第２実施例）
以下、本考案の第２実施例について図６から図９に基づき説明する。第２実施例に係る噴流攪拌ユニットの第１実施例に係る噴流攪拌ユニット１００との差異は、ノズルの形態にある。第２実施例に係る噴流攪拌ユニットのノズル２ａも同様にベース２１及びベース２１を包囲している環状側壁２２を有し、ベース２１には貫通孔２５が設けられている。違いは、ノズル２ａの環状側壁２２が同心環状を呈している内壁２２１及び外壁２２２をさらに備え、内管１１、内壁２２１、及びベース２１が挟むことにより形成されている空間は回流流路Ｒ２の一端に連通されている。外壁２２２及び内壁２２１が挟むことにより環状流路Ｒ３が形成されている。内壁２２１はノズル２ａの径方向に沿って内壁２２１をそれぞれ貫通している複数の内部噴水孔２４１を有し、外壁２２２は径方向に沿って外壁２２２をそれぞれ貫通している複数の外部噴水孔２４２を有している。内壁２２１及び外壁２２２は相対して回転する構造となっており、内壁２２１がネジ山部２６により外管１２に螺合されると、外壁２２２が環状流路Ｒ３の水流の推力または他の動力（例えば、外壁２２２の壁体内に埋設されている磁石や、外部から印加される磁場により回転する）により内壁２２１に対して回転し、攪拌効果をさらに高めている。
【００２４】
さらに、本実施例では、外壁２２２には内壁２２１の接線方向に外壁２２２を貫通して環状流路Ｒ３及び外部空間（タンクＴ内）に連通されている複数の回転噴流孔２７が設けられている。液体が接線方向に噴出されると、自然の慣性が外壁２２２を連動させて接線方向に回転させる。これにより、外部の動力を別途印加せずに外壁２２２を回転させることができ、攪拌効果を高めている。
【００２５】
本考案は、その精神又は主要な特徴から逸脱することなく、他のいろいろな形態で実施することができる。そのため、上述の実施形態はあらゆる点で単なる例示に過ぎず、限定的に解釈してはならない。本考案の範囲は特許請求の範囲によって示すものであって、明細書本文には何ら拘束されない。更に、実用新案登録請求の範囲の均等範囲に属する変形や変更は、すべて本考案の範囲内のものである。
【符号の説明】
【００２６】
１００  噴流攪拌ユニット
１  チューブ
１１  内管
１１１  底部揚水口
１２  外管
２  ノズル
２１  ベース
２２  環状側壁
２２１  内壁
２２２  外壁
２３  下部噴水孔
２４  側部噴水孔
２４１  内部噴水孔
２４２  外部噴水孔
２５  貫通孔
２６  ネジ山部
２７  回転噴流孔
２ａ  ノズル
３  接合部
３１  第一連通孔
３２  第二連通孔
３３  排気孔
３４  ネジ山
３５  ネジ山
３６  シール部
Ｍ  外部ポンプ
Ｒ１  揚水流路
Ｒ２  回流流路
Ｒ３  環状流路
Ｔ  タンク
Ｔ１  カバー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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