(57)【要約】  基板収納容器は、基板Ｗの縁部を挿入可能に基板Ｗの縁部の厚さよりも広い開口２２３１を有する複数の保護溝２２５であって、少なくとも蓋体によって容器本体開口部が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部が１つずつ挿入される複数の保護溝２２５が形成された基板縁部保護部２２２を備える。基板Ｗの縁部は、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されているときに、基板Ｗの縁部と保護溝２２５を形成している基板縁部保護部２２２の溝形成面２２２１との間に空間が形成されて基板Ｗの縁部が溝形成面２２２１に接触していない非接触の状態で、保護溝２２５に挿入される。
2017006406.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一端部に容器本体開口部が形成され他端部が閉塞された筒状の壁部を備え、前記壁部の内面によって、複数の基板を収納可能であり前記容器本体開口部に連通する基板収納空間が形成された容器本体と、
前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、
前記蓋体の部分であって前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに前記基板収納空間に対向する部分に配置され、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに、前記複数の基板の縁部を支持可能な蓋体側基板支持部と、
前記基板収納空間内において前記蓋体側基板支持部と対をなすように配置され、前記複数の基板の縁部を支持可能であり、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに前記蓋体側基板支持部と協働して、前記複数の基板の縁部を並列させた状態で、前記複数の基板を支持する奥側基板支持部と、
前記基板の縁部を挿入可能に前記基板の縁部の厚さよりも広い開口を有する複数の保護溝であって、少なくとも前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに、前記複数の基板の縁部が１つずつ挿入される複数の保護溝が形成された基板縁部保護部と、を備え、
前記基板の縁部は、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに、前記基板の縁部と前記保護溝を形成している前記基板縁部保護部の溝形成面との間に空間が形成されて前記基板の縁部が前記溝形成面に接触していない非接触の状態で、前記保護溝に挿入される基板収納容器。
【請求項２】
前記基板収納空間内において対をなすように配置され、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されていないときに、前記複数の基板のうちの隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、前記複数の基板の縁部を支持可能な側方基板支持部を備え、
前記保護溝は、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されておらず前記側方基板支持部によって前記複数の基板の縁部が支持されているときには、前記保護溝に前記基板の縁部が挿入されず、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときには、前記保護溝に前記基板の縁部が挿入される深さを有する請求項１に記載の基板収納容器。
【請求項３】
前記基板は、デバイスが形成される表面と、前記表面に対する裏面とを有し、
前記溝形成面は、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに、前記表面と裏面とを結ぶ方向において前記表面に対向する表面対向面部と、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに、前記表面と裏面とを結ぶ方向において前記裏面に対向する裏面対向面部と、を有し、
前記表面から、前記表面対向面部までの最短距離は、前記裏面から、前記裏面対向面部までの最短距離よりも長い、請求項１又は請求項２に記載の基板収納容器。
【請求項４】
前記表面対向面部と前記裏面対向面部とは、前記保護溝の底部から前記保護溝の開口に近づくにつれて前記開口が広がるように傾斜する少なくとも一対の傾斜面を構成し、
前記基板の表面又は裏面のうちのいずれか一方の面と前記表面対向面部とのなす角をａとし、前記基板の前記一方の面と前記裏面対向面部とのなす角をｂとすると、
ａ＞ｂ
の関係を有し、
前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに、前記基板の縁部は、前記基板の半径方向外方において前記保護溝の底部に対向する請求項３に記載の基板収納容器。
【請求項５】
前記蓋体側基板支持部は、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに、前記容器本体の他端部から一端部へと向う方向へ所定の変位量で弾性的に変位可能であり、
前記保護溝は、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに、前記容器本体の一端部から他端部へと向う方向へ、前記基板の縁部が前記所定の変位量以上の量で前記保護溝に挿入される深さを有する請求項１〜請求項４のいずれかに記載の基板収納容器。
【請求項６】
前記基板縁部保護部は弾性を有する請求項１〜請求項５のいずれかに記載の基板収納容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェーハ等からなる基板を収納、保管、搬送、輸送等する際に使用される基板収納容器に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウェーハからなる基板を収納して搬送するための基板収納容器としては、容器本体と蓋体とを備える構成のものが、従来より知られている。【０００３】
容器本体は、一端部に容器本体開口部が形成され、他端部が閉塞された筒状の壁部を有する。容器本体内には基板収納空間が形成されている。基板収納空間は、壁部により取り囲まれて形成されており、複数の基板を収納可能である。蓋体は、容器本体開口部に対して着脱可能であり、容器本体開口部を閉塞可能である。【０００４】
蓋体の部分であって容器本体開口部を閉塞しているときに基板収納空間に対向する部分には、フロントリテーナが設けられている。フロントリテーナは、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されているときに、複数の基板の縁部を支持可能である。また、フロントリテーナと対をなすようにして、リヤリテーナが壁部に設けられている。リヤリテーナは、複数の基板の縁部を支持可能である。リヤリテーナは、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されているときに、フロントリテーナと協働して複数の基板を支持することにより、隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板を保持する。リヤリテーナは、基板収納空間から離間する方向へ窪んだ複数の溝を有している（例えば、特許文献１参照）。また、溝を形成しているリヤリテーナの部分は、弾性変形可能であるが、基板の後端部を支持するリヤリテーナの部分は、弾性変形不能である構成が知られている（特許文献２参照）。【０００５】
上記公報記載の従来の基板収納容器においては、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されて、基板収納空間に収納されている基板が搬送されているときには、基板の端部は、常時、リヤリテーナに当接している。このため、基板とリヤリテーナとの間で、パーティクルが発生しやすい。基板収納容器による基板の搬送時に、基板収納容器が衝撃を受けたときに、リヤリテーナに対して基板の端部が摺動し、更に、パーティクルが発生しやすい。【０００６】
そこで、基板収納容器による基板の搬送時に、基板収納容器が衝撃を受けていないときには、基板の端部と当接しておらず、パーティクルの発生が抑えられ、基板収納容器が衝撃を受けたときに基板を保護するためのウェーハ保護溝を有する基板収納容器が知られている（特許文献３参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特許第４３３８６１７号公報
【特許文献２】特開２００５−５５２５号公報
【特許文献３】国際公開第２０１３／０２５６２９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
近年では、パーティクルの発生を抑えることについての要求のみならず、及び、基板収納容器に作用する衝撃に対する、更なる基板の保護が要求されている。また、基板収納容器に作用する衝撃により、リヤリテーナの所定の位置に支持されている基板が、当該所定の位置から外れて、当該所定の位置に隣接する位置へ移動して挿入されて配置されてしまう、いわゆるクロススロットの発生の抑制についても、高い要求がある。【０００９】
本発明は、パーティクルの発生が抑えられ、基板収納容器に作用する衝撃に対して基板の保護が可能であり、クロススロットの発生を抑えることができる基板収納容器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、一端部に容器本体開口部が形成され他端部が閉塞された筒状の壁部を備え、前記壁部の内面によって、複数の基板を収納可能であり前記容器本体開口部に連通する基板収納空間が形成された容器本体と、前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、前記蓋体の部分であって前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに前記基板収納空間に対向する部分に配置され、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに、前記複数の基板の縁部を支持可能な蓋体側基板支持部と、前記基板収納空間内において前記蓋体側基板支持部と対をなすように配置され、前記複数の基板の縁部を支持可能であり、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに前記蓋体側基板支持部と協働して、前記複数の基板の縁部を並列させた状態で、前記複数の基板を支持する奥側基板支持部と、前記基板の縁部を挿入可能に前記基板の縁部の厚さよりも広い開口を有する複数の保護溝であって、少なくとも前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに、前記複数の基板の縁部が１つずつ挿入される複数の保護溝が形成された基板縁部保護部と、を備え、前記基板の縁部は、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに、前記基板の縁部と前記保護溝を形成している前記基板縁部保護部の溝形成面との間に空間が形成されて前記基板の縁部が前記溝形成面に接触していない非接触の状態で、前記保護溝に挿入される基板収納容器に関する。【００１１】
また、前記基板収納空間内において対をなすように配置され、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されていないときに、前記複数の基板のうちの隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、前記複数の基板の縁部を支持可能な側方基板支持部を備え、前記保護溝は、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されておらず前記側方基板支持部によって前記複数の基板の縁部が支持されているときには、前記保護溝に前記基板の縁部が挿入されず、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときには、前記保護溝に前記基板の縁部が挿入される深さを有することが好ましい。【００１２】
また、前記基板は、デバイスが形成される表面と、前記表面に対する裏面とを有し、前記溝形成面は、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに、前記表面と裏面とを結ぶ方向において前記表面に対向する表面対向面部と、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに、前記表面と裏面とを結ぶ方向において前記裏面に対向する裏面対向面部と、を有し、前記表面から、前記表面対向面部までの最短距離は、前記裏面から、前記裏面対向面部までの最短距離よりも長いことが好ましい。【００１３】
また、前記表面対向面部と前記裏面対向面部とは、前記保護溝の底部から前記保護溝の開口に近づくにつれて前記開口が広がるように傾斜する少なくとも一対の傾斜面を構成し、前記基板の表面又は裏面のうちのいずれか一方の面と前記表面対向面部とのなす角をａとし、前記基板の前記一方の面と前記裏面対向面部とのなす角をｂとすると、ａ＞ｂの関係を有し、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに、前記基板の縁部は、前記基板の半径方向外方において前記保護溝の底部に対向することが好ましい。【００１４】
また、前記蓋体側基板支持部は、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに、前記容器本体の他端部から一端部へと向う方向へ所定の変位量で弾性的に変位可能であり、前記保護溝は、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに、前記容器本体の一端部から他端部へと向う方向へ、前記基板の縁部が前記所定の変位量以上の量で前記保護溝に挿入される深さを有することが好ましい。また、前記基板縁部保護部は弾性を有することが好ましい。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、パーティクルの発生が抑えられ、基板収納容器に作用する衝撃に対して基板の保護が可能であり、クロススロットの発生を抑えることができる基板収納容器を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１に基板Ｗが収納された様子を示す分解斜視図である。
【図２】本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１と基板Ｗとの位置関係を示す平面断面図である。
【図３】図２のＡ−Ａ線に沿った拡大断面図である。
【図４】本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の基板縁部保護部２２２の谷２２４に基板Ｗの縁部が当接する様子を示す拡大断面図である。
【図５】本発明の第２実施形態に係る基板収納容器の保護溝２２５Ａと基板Ｗとの位置関係を示す拡大断面図である。
【図６】本発明の第３実施形態に係る基板収納容器の保護溝２２５Ｂと基板Ｗとの位置関係を示す拡大断面図である。
【図７】本発明の第４実施形態に係る基板収納容器の保護溝２２５Ｃと基板Ｗとの位置関係を示す拡大断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、第１実施形態による基板収納容器１について、図面を参照しながら説明する。
図１は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１に基板Ｗが収納された様子を示す分解斜視図である。図２は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１と基板Ｗとの位置関係を示す平面断面図である。図３は、図２のＡ−Ａ線に沿った拡大断面図である。図４は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の基板縁部保護部２２２の谷２２４に基板Ｗの縁部が当接する様子を示す拡大断面図である。
【００１８】
ここで、説明の便宜上、後述の容器本体２から蓋体３へ向かう方向（図１における右上から左下へ向かう方向）を前方向Ｄ１１と定義し、その反対の方向を後方向Ｄ１２と定義し、これらをあわせて前後方向Ｄ１と定義する。また、後述の下壁２４から上壁２３へと向かう方向（図１における上方向）を上方向Ｄ２１と定義し、その反対の方向を下方向Ｄ２２と定義し、これらをあわせて上下方向Ｄ２と定義する。また、後述する第２側壁２６から第１側壁２５へと向かう方向（図１における右下から左上へ向かう方向）を左方向Ｄ３１と定義し、その反対の方向を右方向Ｄ３２と定義し、これらをあわせて左右方向Ｄ３と定義する。図面には、これらの方向を示す矢印を図示している。
【００１９】
また、基板収納容器１に収納される基板Ｗ（図１参照）は、円盤状のシリコンウェーハ、ガラスウェーハ、サファイアウェーハ等であり、産業に用いられる薄いものである。本実施形態における基板Ｗは、直径３００ｍｍのシリコンウェーハである。基板Ｗの表面Ｗ１（図３に示す基板Ｗの左側の面）にはデバイスが形成される。基板Ｗの裏面Ｗ２（図３に示す基板Ｗの右側の面）には、デバイスは形成されない。
【００２０】
図１に示すように、基板収納容器１は、上述のようなシリコンウェーハからなる基板Ｗを収納して、陸運手段・空運手段・海運手段等の輸送手段により基板Ｗを輸送するための出荷容器として用いられたりするものであり、容器本体２と、蓋体３とから構成される。容器本体２は、側方基板支持部としての基板支持板状部５と、奥側基板支持部５６（図２等参照）と、を備えており、蓋体３は、蓋体側基板支持部としてのフロントリテーナ７（図２等参照）を備えている。
【００２１】
容器本体２は、一端部に容器本体開口部２１が形成され、他端部が閉塞された筒状の壁部２０を有する。容器本体２内には基板収納空間２７が形成されている。基板収納空間２７は、壁部２０により取り囲まれて形成されている。壁部２０の部分であって基板収納空間２７を形成している部分には、基板支持板状部５が配置されている。基板収納空間２７には、図１に示すように、複数の基板Ｗを収納可能である。
【００２２】
基板支持板状部５は、基板収納空間２７内において対をなすように壁部２０に設けられている。基板支持板状部５は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されていないときに、複数の基板Ｗの縁部に当接することにより、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗの縁部を支持可能である。基板支持板状部５の奥側には、奥側基板支持部５６（図２等参照）が設けられている。
【００２３】
奥側基板支持部５６は、基板収納空間２７内において後述するフロントリテーナ７と対をなすように壁部２０に設けられている。奥側基板支持部５６は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部に当接することにより、複数の基板Ｗの縁部の後部を支持可能である。
【００２４】
蓋体３は、容器本体開口部２１を形成する開口周縁部２８（図１等）に対して着脱可能であり、容器本体開口部２１を閉塞可能である。フロントリテーナ７は、蓋体３の部分であって蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに基板収納空間２７に対向する部分に設けられている。フロントリテーナ７は、基板収納空間２７の内部において奥側基板支持部５６と対をなすように配置されている。
【００２５】
フロントリテーナ７は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部に当接することにより複数の基板Ｗの縁部の前部を支持可能である。フロントリテーナ７は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、奥側基板支持部５６と協働して複数の基板Ｗを支持することにより、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗを保持する。
【００２６】
基板収納容器１は、プラスチック材等の樹脂で構成されており、特に説明が無い場合には、その材料の樹脂としては、たとえば、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルケトン、ポリブチルテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、液晶ポリマーといった熱可塑性樹脂やこれらのアロイ等が上げられる。これらの成形材料の樹脂には、導電性を付与する場合には、カーボン繊維、カーボンパウダー、カーボンナノチューブ、導電性ポリマー等の導電性物質が選択的に添加される。また、剛性を上げるためにガラス繊維や炭素繊維等を添加することも可能である。
【００２７】
以下、各部について、詳細に説明する。
図１等に示すように、容器本体２の壁部２０は、奥壁２２と上壁２３と下壁２４と第１側壁２５と第２側壁２６とを有する。奥壁２２、上壁２３、下壁２４、第１側壁２５、及び第２側壁２６は、上述した材料により構成されており、一体成形されて構成されている。
【００２８】
第１側壁２５と第２側壁２６とは対向しており、上壁２３と下壁２４とは対向している。上壁２３の後端、下壁２４の後端、第１側壁２５の後端、及び第２側壁２６の後端は、全て奥壁２２に接続されている。上壁２３の前端、下壁２４の前端、第１側壁２５の前端、及び第２側壁２６の前端は、奥壁２２に対向する位置関係を有し、略長方形状をした容器本体開口部２１を形成する開口周縁部２８を構成する。
【００２９】
開口周縁部２８は、容器本体２の一端部に設けられており、奥壁２２は、容器本体２の他端部に位置している。壁部２０の外面により形成される容器本体２の外形は箱状である。壁部２０の内面、即ち、奥壁２２の内面、上壁２３の内面、下壁２４の内面、第１側壁２５の内面、及び第２側壁２６の内面は、これらによって取り囲まれた基板収納空間２７を形成している。開口周縁部２８に形成された容器本体開口部２１は、壁部２０により取り囲まれて容器本体２の内部に形成された基板収納空間２７に連通している。基板収納空間２７には、最大で２５枚の基板Ｗを収納可能である。
【００３０】
図１に示すように、上壁２３及び下壁２４の部分であって、開口周縁部２８の近傍の部分には、基板収納空間２７の外方へ向かって窪んだラッチ係合凹部４０Ａ、４０Ｂ、４１Ａ、４１Ｂが形成されている。ラッチ係合凹部４０Ａ、４０Ｂ、４１Ａ、４１Ｂは、上壁２３及び下壁２４の左右両端部近傍に１つずつ、計４つ形成されている。
【００３１】
図１に示すように、上壁２３の外面においては、リブ２３５が、上壁２３と一体成形されて設けられている。リブ２３５は、容器本体２の剛性を高める。
【００３２】
また、上壁２３の中央部には、トップフランジ２３６が固定される。トップフランジ２３６は、ＡＭＨＳ（自動ウェーハ搬送システム）、ＰＧＶ（ウェーハ基板搬送台車）等において基板収納容器１を吊り下げる際に、基板収納容器１において掛けられて吊り下げられる部分となる部材である。
【００３３】
奥壁２２には、リブ状部２２１が設けられている。リブ状部２２１は、奥壁２２の内面において、基板収納空間２７の内方へ突出している。リブ状部２２１の突出端部には、リブ状部２２１と同一の材質により構成された基板縁部保護部２２２が、リブ状部２２１と一体成形されて設けられている。基板縁部保護部２２２は、リブ状部２２１と一体成形される構成に限定されず、リブ状部２２１とは別の材質により構成されて、リブ状部２２１に対して嵌め込み等により固定されてもよい。
【００３４】
基板縁部保護部２２２は、図３に示すように、基板収納空間２７に対向する表面が波状を有しており、基板縁部保護部２２２においては、上下方向Ｄ２に沿って、山２２３と谷２２４とが交互に存在する。従って、この山２２３と谷２２４とによって、略左右方向Ｄ３に延びる保護溝２２５が、上下方向Ｄ２に２５本形成されている。隣接する山２２３の頂部は、保護溝２２５の開口２２３１を形成し、谷２２４の底の部分は、保護溝２２５の底部２２４１を形成する。基板Ｗがフロントリテーナ７と奥側基板支持部５６とによって支持された状態、即ち、基板Ｗの表面Ｗ１及び裏面Ｗ２が前後方向Ｄ１及び左右方向Ｄ３に平行な位置関係とされた状態で、保護溝２２５に基板Ｗの縁部を挿入可能であるように、保護溝２２５は、上下方向Ｄ２における基板Ｗの縁部の厚さよりも広い開口２２３１を有する。蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、保護溝２２５には、複数の基板Ｗの縁部が１つずつ挿入される。換言すれば、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、図３に示すように、保護溝２２５の開口２２３１を結ぶ仮想線Ｌ１よりも底部２２４１寄りの保護溝２２５の中に、基板Ｗの縁部が１つずつ入り込んでいる。
【００３５】
蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、基板Ｗの縁部が基板Ｗの半径方向外方において保護溝２２５の底部２２４１に対向する位置関係を、保護溝２２５の底部２２４１は有している。図３に示すように、保護溝２２５は、上下方向Ｄ２において（図３の左右方向において）、保護溝２２５の底部２２４１を中心として対称の形状を有している。このため、保護溝２２５に挿入されている基板Ｗの縁部は、上下方向Ｄ２において各保護溝２２５の中央に位置し、これにより、各保護溝２２５における最も深い部分（保護溝２２５の底部２２４１）に対向している。
【００３６】
保護溝２２５は、所定の深さを有している。具体的には、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されておらず、このため、側方基板支持部としての基板支持板状部５によって複数の基板Ｗの縁部が支持されているときには、保護溝２２５に基板の縁部が挿入されない。蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞され、基板Ｗがフロントリテーナ７と奥側基板支持部５６とによって支持されているときには、図３に示すように、保護溝２２５に基板Ｗの縁部が挿入された状態となる。また、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、容器本体２の一端部から他端部へと向う方向である前方向Ｄ１１へ、後述のフロントリテーナ７のリテーナ基板受け部７３及び基板Ｗが所定の変位量で変位したときに（前方向Ｄ１１へのリテーナ基板受け部７３及び基板Ｗの変位が最大になったときに）、基板Ｗの縁部が保護溝２２５に挿入された状態が維持されている。即ち、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、基板Ｗの縁部が所定の変位量以上の量で保護溝２２５に挿入されている。このような状態となるような所定の深さを、保護溝２２５は有している。
【００３７】
また、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞され、保護溝２２５に基板Ｗの縁部が挿入された状態のときには、基板Ｗの縁部は、保護溝２２５を形成している基板縁部保護部２２２には当接していない。即ち、図３に示すように、基板Ｗの縁部と保護溝２２５を形成している基板縁部保護部２２２の溝形成面２２２１との間に空間が形成されており、これにより、基板Ｗの縁部が溝形成面２２２１に接触していない非接触の状態で、基板Ｗは保護溝２２５に挿入される。このような状態となるような所定の深さを、保護溝２２５は有している。
【００３８】
図２に示すように、基板支持板状部５は、第１側壁２５及び第２側壁２６にそれぞれ設けられて、左右方向Ｄ３において対をなすようにして基板収納空間２７内に配置されている。具体的には、基板支持板状部５は、板部５１と板部支持部５２とを有している。板部５１と板部支持部５２とは、樹脂により一体成形されて構成されている。板部５１は、板状の弧形状を有している。板部５１は、第１側壁２５、第２側壁２６に、それぞれ２５枚ずつ計５０枚設けられている。隣接する板部５１は、上下方向Ｄ２において１０ｍｍ〜１２ｍｍ間隔で互いに離間して平行な位置関係で配置されている。なお、最も上に位置する板部５１の上方にも、板部５１と略同一形状のものが配置されるが、これは、最も上に位置して基板収納空間２７内へ挿入される基板Ｗに対して、挿入する際のガイドの役割をする部材である。
【００３９】
また、第１側壁２５に設けられた２５枚の板部５１と、第２側壁２６に設けられた２５枚の板部５１とは、互いに左右方向Ｄ３において対向する位置関係を有している。また、５０枚の板部５１、及び、板部５１と略同形状の２枚のガイドの役割をする部材は、下壁２４の内面に平行な位置関係を有している。図２等に示すように、板部５１の上面には、凸部５１１、５１２が設けられている。板部５１に支持された基板Ｗは、凸部５１１、５１２の突出端にのみ接触し、面で板部５１に接触しない。
【００４０】
板部支持部５２は、上下方向Ｄ２に延びている。第１側壁２５に設けられた２５枚の板部５１は、第１側壁２５側に設けられた板部支持部５２に接続されている。同様に、第２側壁２６に設けられた２５枚の板部５１は、第２側壁２６側に設けられた板部支持部５２に接続されている。板部支持部５２が第１側壁２５、第２側壁２６にそれぞれ固定されることにより、基板支持板状部５は、第１側壁２５、第２側壁２６にそれぞれ固定される。
【００４１】
このような構成の基板支持板状部５により、複数の基板Ｗのうちの隣接する基板Ｗ同士を、所定の間隔で離間した状態で且つ互いに平行な位置関係とした状態で、複数の基板Ｗの縁部を支持可能である。
【００４２】
蓋体３は、図１等に示すように、容器本体２の開口周縁部２８の形状と略一致する略長方形状を有している。蓋体３は容器本体２の開口周縁部２８に対して着脱可能であり、開口周縁部２８に蓋体３が装着されることにより、蓋体３は、容器本体開口部２１を閉塞可能である。蓋体３の内面（図１に示す蓋体３の裏側の面）であって、蓋体３が容器本体開口部２１を閉塞しているときの開口周縁部２８のすぐ後方向Ｄ１２の位置に形成された段差の部分の面（シール面２８１）に対向する面には、環状のシール部材４が取り付けられている。シール部材４は、弾性変形可能なポリエステル系、ポリオレフィン系など各種熱可塑性エラストマー、フッ素ゴム製、シリコンゴム製等により構成されている。シール部材４は、蓋体３の外周縁部を一周するように配置されている。
【００４３】
蓋体３が開口周縁部２８に装着されたときに、シール部材４は、シール面２８１と蓋体３の内面とにより挟まれて弾性変形し、蓋体３は、容器本体開口部２１を密閉した状態で閉塞する。開口周縁部２８から蓋体３が取り外されることにより、容器本体２内の基板収納空間２７に対して、基板Ｗを出し入れ可能となる。
【００４４】
蓋体３においては、ラッチ機構が設けられている。ラッチ機構は、蓋体３の左右両端部近傍に設けられており、図１に示すように、蓋体３の上辺から上方向Ｄ２１へ突出可能な２つの上側ラッチ部３２Ａ、３２Ｂと、蓋体３の下辺から下方向Ｄ２２へ突出可能な２つの下側ラッチ部３２Ｃ、３２Ｄと、を備えている。２つの上側ラッチ部３２Ａ、３２Ｂは、蓋体３の上辺の左右両端近傍に配置されており、２つの下側ラッチ部３２Ｃ、３２Ｄは、蓋体３の下辺の左右両端近傍に配置されている。
【００４５】
蓋体３の外面においては操作部３３が設けられている。操作部３３を蓋体３の前側から操作することにより、上側ラッチ部３２Ａ、３２Ｂ、下側ラッチ部３２Ｃ、３２Ｄを蓋体３の上辺、下辺から突出させることができ、また、上辺、下辺から突出させない状態とすることができる。上側ラッチ部３２Ａ、３２Ｂが蓋体３の上辺から上方向Ｄ２１へ突出して、容器本体２のラッチ係合凹部４０Ａ、４０Ｂに係合し、且つ、下側ラッチ部３２Ｃ、３２Ｄが蓋体３の下辺から下方向Ｄ２２へ突出して、容器本体２のラッチ係合凹部４１Ａ、４１Ｂに係合することにより、蓋体３は、容器本体２の開口周縁部２８に固定される。
【００４６】
蓋体３の内側（図１に表れている蓋体３の外面に対する反対側）においては、基板収納空間２７の外方へ窪んだ凹部（図示せず）が形成されている。凹部（図示せず）及び凹部の外側の蓋体３の部分には、図２に示すように、リテーナ係止部３４１が設けられている。リテーナ係止部３４１には、フロントリテーナ７が固定されて設けられている。
【００４７】
図２に示すように、フロントリテーナ７は、縦枠体７１と、リテーナ脚部７２と、リテーナ基板受け部７３と、を有している。縦枠体７１は、一対設けられており、上下方向Ｄ２に延びる板状を有し、リテーナ係止部３４１にそれぞれ固定されている。左方向Ｄ３１側のリテーナ脚部７２は、左方向Ｄ３１側の縦枠体７１から右方向Ｄ３２に沿ってやや後方向Ｄ１２に延びる。続いて、左方向Ｄ３１側のリテーナ脚部７２は、途中で湾曲してほぼ後方向Ｄ１２に沿って延びる。続いて、左方向Ｄ３１側のリテーナ脚部７２は、後方向Ｄ１２側の端部で右方向Ｄ３２に屈曲する。そして、左方向Ｄ３１側のリテーナ脚部７２は、その先端部において、リテーナ基板受け部７３の左方向Ｄ３１側の端部に接続されている。
【００４８】
左方向Ｄ３１側のリテーナ脚部７２は、特に途中の湾曲部において、弾性変形部７２１を構成する。この弾性変形部７２１は、リテーナ基板受け部７３が蓋体３の内側の面に対して接近する方向（前方向Ｄ１１）に外力を受けるときに、その外力に応じて弾性変形することによりリテーナ基板受け部７３を変位させることが可能である。
【００４９】
一方、右方向Ｄ３２側のリテーナ脚部７２は、右方向Ｄ３２側の縦枠体７１から左方向Ｄ３１に沿ってやや後方向Ｄ１２に延びる。続いて、右方向Ｄ３２側のリテーナ脚部７２は、途中で湾曲してほぼ後方向Ｄ１２に沿って延びる。続いて、右方向Ｄ３２側のリテーナ脚部７２は、後方向Ｄ１２側の端部で左方向Ｄ３１に屈曲する。そして、右方向Ｄ３２側のリテーナ脚部７２は、その先端部において、リテーナ基板受け部７３の右方向Ｄ３２側の端部に接続されている。
【００５０】
右方向Ｄ３２側のリテーナ脚部７２は、途中の湾曲部において、左方向Ｄ３１側のリテーナ脚部７２における途中の湾曲部と同様に、弾性変形部７２１を構成する。この弾性変形部７２１は、リテーナ基板受け部７３が蓋体３の内側の面に対して接近する方向（前方向Ｄ１１）に外力を受けるときに、その外力に応じて弾性変形することによりリテーナ基板受け部７３を変位させることが可能である。
【００５１】
左方向Ｄ３１側のリテーナ基板受け部７３の右方向Ｄ３２側の端部と、右方向Ｄ３２側のリテーナ基板受け部７３の左方向Ｄ３１側の端部とは、接続部７４によって互いに接続されている。接続部７４は、左方向Ｄ３１側のリテーナ基板受け部７３の右方向Ｄ３２側の端部に接続された左方向Ｄ３１側の端部から、すぐに前方向Ｄ１１に屈曲してほぼ前方向Ｄ１１に沿って延びる。続いて、接続部７４は、屈曲してほぼ右方向Ｄ３２に沿って延びる。続いて、接続部７４は、再び屈曲して今度はほぼ後方向Ｄ１２に沿って延びる。そして、接続部７４は、その先端部において、ほぼ右方向Ｄ３２に屈曲して右方向Ｄ３２側のリテーナ基板受け部７３の左方向Ｄ３１側の端部に接続されている。接続部７４は、弾性変形部７４１を構成する。すなわち、接続部７４は、リテーナ基板受け部７３が蓋体３の内側の面に対して接近する方向（前方向Ｄ１１）に外力を受けるときに、その外力に応じて弾性変形することによりリテーナ基板受け部７３を変位させることが可能である。
【００５２】
上述のように、左右方向Ｄ３において対をなすようにして２つずつ配置されたリテーナ基板受け部７３は、上下方向Ｄ２に２５対並列した状態で設けられている。基板収納空間２７内に基板Ｗが収納され、蓋体３が閉じられることにより、リテーナ基板受け部７３は、容器本体２の他端部から一端部へと向う方向である前方向Ｄ１１へ、所定の変位量で弾性的に変位可能に、基板Ｗの縁部の端縁を挟持して支持する。即ち、基板収納空間２７内に基板Ｗが収納され、蓋体３が閉じられると、フロントリテーナ７の弾性変形部７２１、７４１の弾性変形により、リテーナ基板受け部７３が前方向Ｄ１１へ若干変位した状態となるが、この状態から更に、前方向Ｄ１１へ所定の変位量以下で、換言すれば、最大でも所定の変位量で、弾性的に変形可能である。従って、容器本体２に衝撃が作用したときには、基板Ｗは、リテーナ基板受け部７３と共に、前方向Ｄ１１へ最大で所定の変位量で、変位可能である。所定の変位量とは、１ｍｍ程度である。
【００５３】
上記構成による基板収納容器１に基板Ｗを収納して搬送している際には、以下のように、基板縁部保護部２２２は作用する。
蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときであって、基板収納容器１の容器本体２や蓋体３に衝撃が作用していないときには、基板縁部保護部２２２の表面を波状に形成している山２２３と谷２２４とのうちの山２２３の部分は、上下方向Ｄ２において隣接する基板Ｗの縁部と基板Ｗの縁部との間に入り込んでおり、且つ、基板Ｗの縁部は、基板縁部保護部２２２から離間し、基板Ｗの縁部と基板縁部保護部２２２との間には空間が形成されている。このため、基板Ｗの縁部と基板縁部保護部２２２とが当接していない非接触の状態であるため、基板Ｗの縁部と基板縁部保護部２２２との間でパーティクルは発生しない。
【００５４】
基板収納容器１の容器本体２や蓋体３に、主として上下方向Ｄ２における衝撃が作用した場合には、基板Ｗの縁部が当該山２２３の部分に当接し、基板Ｗが対向している谷２２４の部分から隣接する谷２２４の部分へ移動することが阻止され、いわゆるクロススロットの発生が抑えられる。
【００５５】
また、基板収納容器１の容器本体２や蓋体３に、主として前後方向Ｄ１における衝撃が作用した場合には、当該谷２２４の部分、即ち、保護溝２２５の底部２２４１を形成している基板縁部保護部２２２の部分に基板Ｗの縁部が当接し、図４に示すように、溝形成面２２２１に沿って基板Ｗの縁部が滑るようにして移動して衝撃を吸収する。これにより、基板Ｗの縁部が破損することが抑えられる。
【００５６】
上記構成の実施形態に係る基板収納容器１によれば、以下のような効果を得ることができる。
上述のように、基板収納容器１は、一端部に容器本体開口部２１が形成され他端部が閉塞された筒状の壁部２０を備え、壁部２０の内面によって、複数の基板Ｗを収納可能であり容器本体開口部２１に連通する基板収納空間２７が形成された容器本体２と、容器本体開口部２１に対して着脱可能であり、容器本体開口部２１を閉塞可能な蓋体３と、蓋体３の部分であって蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに基板収納空間２７に対向する部分に配置され、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部を支持可能な蓋体側基板支持部としてのフロントリテーナ７と、基板収納空間２７内においてフロントリテーナ７と対をなすように配置され、複数の基板Ｗの縁部を支持可能であり、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときにフロントリテーナ７と協働して、複数の基板Ｗの縁部を並列させた状態で、複数の基板Ｗを支持する奥側基板支持部５６と、基板Ｗの縁部を挿入可能に基板Ｗの縁部の厚さよりも広い開口を有する複数の保護溝２２５であって、少なくとも蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部が１つずつ挿入される複数の保護溝２２５が形成された基板縁部保護部２２２と、を備える。基板Ｗの縁部は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、基板Ｗの縁部と保護溝２２５を形成している基板縁部保護部２２２の溝形成面２２２１との間に空間が形成されて基板Ｗの縁部が溝形成面２２２１に接触していない非接触の状態で、保護溝２２５に挿入される。
【００５７】
この構成により、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、基板Ｗの縁部を、基板縁部保護部２２２の保護溝２２５を形成している山２２３の部分及び谷２２４の部分のうちの山２２３の部分を、基板収納空間２７に収納された複数の基板Ｗのうちの隣接する基板Ｗ同士の間に配置させることができる。このため、基板収納容器１の容器本体２や蓋体３に、衝撃が作用した場合には、基板Ｗの縁部が当該山２２３の部分に当接する。これにより、基板Ｗの縁部が奥壁２２に強く当接することを防止して基板Ｗの縁部の破損を抑えることができ、また、一の基板Ｗが対向している谷２２４の部分に隣接する谷２２４の部分へ当該一の基板Ｗが移動することが阻止され、いわゆるクロススロットの発生を抑えることができる。
【００５８】
また、基板収納容器１の容器本体２や蓋体３に、非常に強い衝撃が作用した場合には、基板Ｗの縁部が谷２２４の部分に当接し、溝形成面２２２１に沿って滑るようにして移動して衝撃を吸収して和らげる。これにより、基板Ｗの縁部の破損を抑えることができる。
【００５９】
また、基板Ｗの縁部は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、基板Ｗの縁部と保護溝２２５を形成している基板縁部保護部２２２の溝形成面２２２１との間に空間が形成されて基板Ｗの縁部が溝形成面２２２１に接触していない非接触の状態で、保護溝２２５に挿入されているため、基板縁部保護部２２２と基板Ｗの縁部とが当接することにより発生するパーティクルの発生を抑えることができる。
【００６０】
また、基板収納容器１は、基板収納空間２７内において対をなすように配置され、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されていないときに、複数の基板Ｗのうちの隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗの縁部を支持可能な側方基板支持部としての基板支持板状部５を備える。保護溝２２５は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されておらず基板支持板状部５によって複数の基板Ｗの縁部が支持されているときには、保護溝２２５に基板Ｗの縁部が挿入されず、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときには、保護溝２２５に基板Ｗの縁部が挿入される深さを有する。
【００６１】
この構成により、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されていないときに、基板Ｗの縁部から基板縁部保護部２２２を離間させることができ、基板Ｗの基板収納空間２７への出し入れを容易とし、基板Ｗの基板収納空間２７への出し入れの際の、パーティクルの発生を抑えることができる。
【００６２】
また、蓋体側基板支持部としてのフロントリテーナ７は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、容器本体２の他端部から一端部へと向う方向へ所定の変位量で弾性的に変位可能である。保護溝２２５は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、容器本体２の一端部から他端部へと向う方向へ、基板Ｗの縁部が所定の変位量以上の量で保護溝２２５に挿入される深さを有する。
【００６３】
この構成により、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、基板収納容器１の容器本体２や蓋体３に、衝撃が作用した場合に、蓋体側基板支持部としてのフロントリテーナ７の弾性変形部７２１、７４１の弾性変形により、リテーナ基板受け部７３が前方向Ｄ１１へ変位するが、最大の変位量である所定の変位量に変位した場合であっても、図３に示すように、基板Ｗの縁部が保護溝２２５に挿入された状態を維持することができる。この結果、いわゆるクロススロットの発生を、効果的に抑えることができる。
【００６４】
次に、本発明の第２実施形態による基板収納容器について図５を参照しながら説明する。図５は、本発明の第２実施形態に係る基板収納容器の保護溝２２５Ａと基板Ｗとの位置関係を示す拡大断面図である。
【００６５】
第２実施形態による基板収納容器においては、基板縁部保護部２２２Ａの構成が、第１実施形態による基板収納容器１の基板縁部保護部２２２とは異なる。基板縁部保護部２２２Ａは弾性を有する部材により構成されている点で、第１実施形態による基板収納容器１の基板縁部保護部２２２とは異なる。これ以外の構成については、第１実施形態による基板収納容器１の構成と同様であるため、第１実施形態における各構成と同様の構成については、同様の符号を付して説明を省略する。
【００６６】
基板縁部保護部２２２Ａは、ＰＰ（ポリプロピレン）、ＰＯＭ（ポリアセタール）、ＰＢＴ（ポリブチレンテレフタレート）、エラストマー等により構成されることが好ましく、本実施形態では、ＰＯＭが用いられる。従って、基板縁部保護部２２２Ａは、容器本体２よりも弾性を有している。基板縁部保護部２２２Ａは、リブ状部２２１（図２参照）とは別の材質により構成されており、リブ状部２２１に対して嵌め込み等により固定されている。
【００６７】
図５に示すように、基板縁部保護部２２２Ａの保護溝２２５Ａは、略矩形状を有している。即ち、保護溝２２５Ａを形成している溝形成面２２２１Ａは、表面対向面部２２２２Ａと、裏面対向面部２２２３Ａと、底面部２２２４Ａとを有している。表面対向面部２２２２Ａは、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、基板Ｗの表面Ｗ１に略平行な位置関係を有しており、表面対向面部２２２２Ａの一部は、表面Ｗ１と裏面Ｗ２とを結ぶ方向である上下方向Ｄ２において表面Ｗ１に対向する。
【００６８】
裏面対向面部２２２３Ａは、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、基板Ｗの裏面Ｗ２に略平行な位置関係を有しており、裏面対向面部２２２３Ａの一部は、表面Ｗ１と裏面Ｗ２とを結ぶ方向である上下方向Ｄ２において裏面Ｗ２に対向する。底面部２２２４Ａは、保護溝２２５Ａの底部２２４１Ａを形成し、表面対向面部２２２２Ａと裏面対向面部２２２３Ａとにそれぞれ接続されている。表面対向面部２２２２Ａと裏面対向面部２２２３Ａとは、図５に示すように、保護溝２２５Ａの底部２２４１Ａから保護溝２２５Ａの開口２２３１Ａに近づくにつれて、開口２２３１Ａが僅かに広がるように、僅かに傾斜する一対の傾斜面を構成する。
【００６９】
上記構成の実施形態に係る基板収納容器によれば、以下のような効果を得ることができる。
上述のように、溝形成面２２２１Ａは、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、表面Ｗ１と裏面Ｗ２とを結ぶ方向において表面Ｗ１に対向する表面対向面部２２２２Ａと、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、表面Ｗ１と裏面Ｗ２とを結ぶ方向において裏面Ｗ２に対向する裏面対向面部２２２３Ａと、を有する。そして、保護溝２２５Ａは、略矩形状を有しており、表面対向面部２２２２Ａと裏面対向面部２２２３Ａとは、保護溝２２５Ａの底部２２４１Ａから保護溝２２５Ａの開口２２３１Ａに近づくにつれて開口２２３１Ａが広がるように傾斜する一対の傾斜面を構成する。この構成により、略矩形状の保護溝２２５Ａに基板Ｗが挿入された状態を維持しやすくすることができ、いわゆるクロススロットの発生を、より効果的に抑えることができる。
【００７０】
また、基板縁部保護部２２２Ａは弾性を有する。この構成により、基板縁部保護部２２２Ａに基板Ｗの縁部が当接した場合に、基板縁部保護部２２２Ａは、基板Ｗの縁部を弾性変形して受け止めて衝撃を和らげることができ、基板Ｗの縁部が破損することを抑えることができる。また、基板縁部保護部２２２Ａに基板Ｗの縁部が当接した場合に、基板Ｗの縁部を基板縁部保護部２２２Ａに食い込んだ状態とすることができる。この結果、いわゆるクロススロットの発生を、より効果的に抑えることができる。
また、本実施形態の保護溝２２５Ａは、弾性体以外にも、第１実施形態のような容器本体と同じ材質による一体形成、同じ材質による別部材の取り付け、容器本体と異なる材質にする等、特許請求の範囲内で適宜変更可能である。
【００７１】
次に、本発明の第３実施形態による基板収納容器について図６を参照しながら説明する。図６は、本発明の第３実施形態に係る基板収納容器の保護溝２２５Ｂと基板Ｗとの位置関係を示す拡大断面図である。
【００７２】
第３実施形態による基板収納容器においては、基板縁部保護部２２２Ｂの構成が、第２実施形態による基板収納容器の基板縁部保護部２２２Ａとは異なる。これ以外の構成については、第２実施形態による基板収納容器の構成と同様であるため、第２実施形態における各構成と同様の構成については、同様の符号を付して説明を省略する。
【００７３】
図６に示すように、保護溝２２５Ｂを形成している溝形成面２２２１Ｂの表面対向面部２２２２Ｂは、裏面対向面部２２２３Ｂと比較して、保護溝２２５Ｂの底部２２４１Ｂ（底面部２２２４Ｂ）から保護溝２２５Ｂの開口２２３１Ｂに近づくにつれて、より開口２２３１Ｂが広がるように傾斜する傾斜面を構成している。基板Ｗの表面Ｗ１と表面対向面部２２２２Ｂとのなす角をａとし、基板Ｗの表面Ｗ１と裏面対向面部２２２３Ｂとのなす角をｂとすると、
ａ＞ｂ
の関係を有している。従って、デバイスが形成される基板Ｗの表面Ｗ１から、表面対向面部２２２２Ｂまでの最短距離Ｍ１は、裏面Ｗ２から、裏面対向面部２２２３Ｂまでの最短距離Ｎ１よりも長い。
【００７４】
上記構成の実施形態に係る基板収納容器によれば、以下のような効果を得ることができる。
上述のように、基板Ｗの表面Ｗ１と表面対向面部２２２２Ｂとのなす角をａとし、基板Ｗの表面Ｗ１と裏面対向面部２２２３Ｂとのなす角をｂとすると、
ａ＞ｂ
の関係を有している。そして、表面Ｗ１から、表面対向面部２２２２Ｂまでの最短距離Ｍ１は、裏面Ｗ２から、裏面対向面部２２２３Ｂまでの最短距離Ｎ１よりも長い。この構成により、デバイスが形成される表面Ｗ１から表面対向面部２２２２Ｂを極力離間させることができる。この結果、表面対向面部２２２２Ｂから放出されるパーティクルによって、デバイスが形成される基板Ｗの表面Ｗ１に悪影響が与えられることを抑えることができる。
また、本実施形態の保護溝２２５Ｂは、第２実施形態における弾性体以外にも、第１実施形態のような容器本体と同じ材質による一体形成、同じ材質による別部材の取り付け、容器本体と異なる材質にする等、特許請求の範囲内で適宜変更可能である。
【００７５】
次に、本発明の第４実施形態による基板収納容器について図７を参照しながら説明する。図７は、本発明の第４実施形態に係る基板収納容器の保護溝２２５Ｃと基板Ｗとの位置関係を示す拡大断面図である。
【００７６】
第４実施形態による基板収納容器においては、基板縁部保護部２２２Ｃの構成が、第３実施形態による基板収納容器の基板縁部保護部２２２Ｂとは異なる。これ以外の構成については、第３実施形態による基板収納容器の構成と同様であるため、第３実施形態における各構成と同様の構成については、同様の符号を付して説明を省略する。
【００７７】
図７に示すように、保護溝２２５Ｃを形成している溝形成面２２２１Ｃの表面対向面部２２２２Ｃは、曲面により構成されている。表面対向面部２２２２Ｃは、底面部２２２４Ｃ（保護溝２２５Ｃの底部２２４１Ｃ）から緩やかに立ち上がり、水平面（前後方向Ｄ１及び左右方向Ｄ３に平行な面）に近づくように、徐々に湾曲してゆき、保護溝２２５Ｃの開口２２３１Ｃへ至るまで延びている。表面対向面部２２２２Ｃがこのような形状を有しているため、デバイスが形成される基板Ｗの表面Ｗ１から、表面対向面部２２２２Ｃまでの最短距離Ｍ２は、裏面Ｗ２から、裏面対向面部２２２３Ｃまでの最短距離Ｎ２よりも長い。
【００７８】
上記構成の実施形態に係る基板収納容器によれば、以下のような効果を得ることができる。
保護溝２２５Ｃを形成している溝形成面２２２１Ｃの表面対向面部２２２２Ｃは、曲面により構成されており、底面部２２２４Ｃから緩やかに立ち上がり、水平に近づくように徐々に湾曲してゆき、保護溝２２５Ｃの開口２２３１Ｃへ至るまで延びている。この構成により、デバイスが形成される基板Ｗの表面Ｗ１から、表面対向面部２２２２Ｃまでの最短距離Ｍ２をより長く確保することができる。
また、本実施形態の保護溝２２５Ｃは、第２実施形態や第３実施形態における弾性体以外にも、第１実施形態のような容器本体と同じ材質による一体形成、同じ材質による別部材の取り付け、容器本体と異なる材質にする等、特許請求の範囲内で適宜変更可能である。
【００７９】
本発明は、上述した実施形態に限定されることはなく、特許請求の範囲に記載された技術的範囲において変形が可能である。
例えば、本実施形態においては、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されていないときには、保護溝２２５に基板Ｗの縁部が挿入されず、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときには、保護溝２２５に基板Ｗの縁部が挿入された状態となるように構成されていたが、これに限定されない。少なくとも蓋体によって容器本体開口部が閉塞されているときに、複数の基板の縁部が１つずつ挿入されればよい。
【００８０】
また、第２実施形態、第３実施形態では、表面対向面部２２２２Ａ、２２２２Ｂと裏面対向面部２２２３Ａ、２２２３Ｂとは、保護溝２２５Ａ、２２５Ｂの底部２２４１Ａ、２２４１Ｂから保護溝２２５Ａ、２２５Ｂの開口２２３１Ａ、２２３１Ｂに近づくにつれて開口２２３１Ａ、２２３１Ｂが広がるように傾斜する一対の傾斜面を構成したが、この構成に限定されない。表面対向面部と裏面対向面部とは、保護溝の底部から保護溝の開口に近づくにつれて開口が広がるように傾斜する少なくとも一対の傾斜面を構成すればよい。
【００８１】
また、第３実施形態では、基板Ｗの表面Ｗ１と表面対向面部２２２２Ｂとのなす角をａとし、基板の表面と裏面対向面部２２２３Ｂとのなす角をｂとすると、
ａ＞ｂ
の関係を有していたが、この構成に限定されない。例えば、基板の裏面と表面対向面部とのなす角をａとし、基板の裏面と裏面対向面部とのなす角をｂとしたときに、
ａ＞ｂ
の関係を有していてもよい。
【００８２】
また、本実施形態では、デバイスが形成された基板Ｗの表面Ｗ１が上面とされ、デバイスが形成されていない基板Ｗの裏面Ｗ２が下面とされたが、これに限定されない。例えば、基板Ｗの表面Ｗ１が下面とされ、デバイスが形成されていない基板Ｗの裏面Ｗ２が上面とされてもよい。但し、この場合には、保護溝において、表面対向面部が、裏面対向面部に対して下方に位置する位置関係を有する（例えば、図６、図７に示す保護溝２２５Ｂ、２２５Ｃについて、表面対向面部２２２２Ｂ、２２２２Ｃが、図６、図７において裏面対向面部２２２３Ｂ、２２２３Ｃよりも右側に位置するように、図６、図７において左右反対の位置関係を有する）ように構成される。
【００８３】
また、容器本体及び蓋体の形状、容器本体に収納可能な基板Ｗの枚数や寸法は、本実施形態における容器本体２及び蓋体３の形状、容器本体２に収納可能な基板Ｗの枚や寸法に限定されない。例えば、本実施形態では、本実施形態における基板Ｗは、直径３００ｍｍのシリコンウェーハであったが、これに限定されない。基板は、直径４５０ｍｍのシリコンウェーハであってもよい。
【符号の説明】
【００８４】
１  基板収納容器
２  容器本体
３  蓋体
５  基板支持板状部
７  フロントリテーナ（蓋体側基板支持部）
２０  壁部
２１  容器本体開口部
２７  基板収納空間
５６  奥側基板支持部
２２２、２２２Ａ、２２２Ｂ、２２２Ｃ  基板縁部保護部
２２５、２２５Ａ、２２５Ｂ、２２５Ｃ  保護溝
２２２１、２２２１Ａ、２２２１Ｂ、２２２１Ｃ  溝形成面
２２２２、２２２２Ａ、２２２２Ｂ、２２２２Ｃ  表面対向面部
２２２３、２２２３Ａ、２２２３Ｂ、２２２３Ｃ  裏面対向面部
２２３１、２２３１Ａ、２２３１Ｂ、２２３１Ｃ  開口
２２４１、２２４１Ａ、２２４１Ｂ、２２４１Ｃ  底部
Ｍ１、Ｍ２  表面から表面対向面部までの最短距離
Ｎ１、Ｎ２  裏面から裏面対向面部までの最短距離
Ｗ  基板
Ｗ１  表面
Ｗ２  裏面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【国際調査報告】
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