(57)【要約】      （修正有）【課題】運搬の際の振動によって、ガラス基板の外径端部が化学強化用カゴの溝部と当たり損傷や欠けが生じてしまうのを防止するガラス基板化学強化用カゴ運搬具を提供する。【解決手段】運搬具１００は、円盤状の磁気ディスク用のガラス基板１０２を収容して化学強化処理液に浸漬されることでガラス基板１０２を化学強化する化学強化用カゴ（ＣＳカゴ１１０）が載置される棚板１０６と、棚板１０６を水平面に対して傾けた状態で保持するフレーム１０４と、フレーム１０４の下部に取り付けられるキャスター１０８と、を備える。【選択図】図１
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
円盤状の磁気ディスク用のガラス基板を収容して化学強化処理液に浸漬されることで該ガラス基板を化学強化する化学強化用カゴが載置される棚板と、
前記棚板を水平面に対して傾けた状態で保持するフレームと、
前記フレームの下部に取り付けられるキャスターと、
を備えることを特徴とするガラス基板化学強化用カゴ運搬具。
【請求項２】
前記キャスターが路面からの衝撃を吸収するサスペンションを有することを特徴とする請求項１に記載のガラス基板化学強化用カゴ運搬具。
【請求項３】
前記ガラス基板が挿入される溝部を有する前記化学強化用カゴを備え、
前記溝部と前記ガラス基板との間に隙間があることを特徴とする請求項１または２に記載のガラス基板化学強化用カゴ運搬具。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、ガラス基板化学強化用カゴ運搬具に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、情報化技術の高度化に伴い、情報記録技術、特に磁気記録技術は著しく進歩している。磁気記録媒体のひとつであるＨＤＤ（ハードディスクドライブ）等の磁気記録媒体用基板として、磁気ディスクの小型化、薄板化、および高密度記録化に伴い、従来多く用いられてきたアルミニウム基板に代えて基板表面の平坦性及び基板強度に優れたガラス基板が用いられるようになってきている。
【０００３】
しかし、ガラスは脆性材料であることから、損傷（scratch）や欠け（chip）が生じ易い。そのため製造工程においては、ガラス基板と装置等の接触やガラス基板同士の接触を低減するために、種々の技術が採用されている。例えば特許文献１には、研磨パッドに貼り付いたガラス基板をケースに収める際に、基板表面を傷つけることなく容易に取り出すことができる吸着支持具が開示されている。
【０００４】
ガラス基板の製造工程では、通常研磨工程の後、化学強化工程となる。化学強化工程においては、例えば特許文献２に記載されているような専用の化学強化用カゴが用いられる。かかる化学強化用カゴは、ガラス基板との接触部とガラス基板の他の部分とで冷却速度に違いが出ないように、ガラス基板を線接触または点接触で保持する。
【０００５】
化学強化工程では、ガラス基板を化学強化用カゴに収容して運搬具に積み込み、化学強化処理槽が設けられたＣＳルームへと運搬し、化学強化用カゴを化学強化処理液に浸漬することでガラス基板を化学強化する。しかし従来、かかる運搬に際して、化学強化用カゴに線接触または点接触で保持される外径（OD:outside diameter）端部に極まれに損傷や欠けが生じることがあった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００７−２１６３１１号公報
【特許文献２】特開２００３−１３７６０５号公報
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００７】
上述したガラス基板の外径端部に極まれに生じる損傷や欠けは、ＣＳルームへの運搬の際の振動によって外径端部が化学強化用カゴの溝部（保持部）と当たり生じるものと考えられる。したがってかかる損傷や欠けを防止する（さらに低減する）対策が求められるが、化学強化用カゴは高温の化学強化処理液に浸漬されるため、ステンレスやチタン等の金属製であり、ゴムや布などの緩衝材を設けることは難しい。すなわち化学強化用カゴ自体に対策を講じることは難しい。
【０００８】
本考案はこのような課題に鑑み、運搬の際の振動によってガラス基板の外径端部が化学強化用カゴの溝部と当たり、損傷や欠けが生じるのを防止するガラス基板化学強化用カゴ運搬具を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために本考案にかかるガラス基板化学強化用カゴ運搬具の構成は、円盤状の磁気ディスク用のガラス基板を収容して化学強化処理液に浸漬されることでガラス基板を化学強化する化学強化用カゴが載置される棚板と、棚板を水平面に対して傾けた状態で保持するフレームと、フレームの下部に取り付けられるキャスターと、を備えることを特徴とする。
【００１０】
上記構成によれば、ガラス基板を収容した化学強化用カゴは運搬具内で斜めに傾けられた状態で保持される。すなわちガラス基板が斜めに傾けられた状態で保持される。これにより、ガラス基板がその自重によって常に片側に寄せられて安定した状態となるため、運搬の際の振動の影響を低減することができる。したがって、ガラス基板の外径端部に損傷や欠けが生じるのを防止することができる。
【００１１】
キャスターが路面からの衝撃を吸収するサスペンションを有するとよい。
【００１２】
上記構成によれば、路面からの衝撃が吸収されるため、運搬の際の化学強化用カゴの振動自体を低減することができる。したがって、さらに効果的に、ガラス基板の外径端部に損傷や欠けが生じるのを防止することができる。
【００１３】
ガラス基板が挿入される溝部を有する化学強化用カゴを備え、溝部とガラス基板との間に隙間があってもよい。
【００１４】
上記構成のように、溝部の幅がガラス基板の厚みよりも大きめに設定されているような化学強化用カゴを運搬する際に、本考案によればガラス基板の外径端部の損傷や欠けを効果的に防止することができる。
【考案の効果】
【００１５】
本考案によれば、運搬の際の振動によってガラス基板の外径端部が化学強化用カゴの溝部と当たり、損傷や欠けが生じるのを防止するガラス基板化学強化用カゴ運搬具を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本考案のガラス基板化学強化用カゴ運搬具の実施形態を示す模式図である。
【図２】図１の磁気ディスク用のガラス基板の製造工程を例示するフローチャートである。
【図３】ＣＳカゴを例示する図である。
【図４】運搬具の比較例を示す模式図である。
【図５】図１のキャスターを例示する図である。
【図６】運搬具の効果をその要因毎に整理した図である。
【考案を実施するための形態】
【００１７】
以下に添付図面を参照しながら、本考案の好適な実施形態について詳細に説明する。かかる実施形態に示す寸法、材料、その他具体的な数値などは、考案の理解を容易とするための例示に過ぎず、特に断る場合を除き、本考案を限定するものではない。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の機能、構成を有する要素については、同一の符号を付することにより重複説明を省略し、また本考案に直接関係のない要素は図示を省略する。
【００１８】
[ガラス基板化学強化用カゴ運搬具]
図１は、本考案のガラス基板化学強化用カゴ運搬具の実施形態を示す模式図である。図１（ａ）がその全体図であり、図１（ｂ）が図１（ａ）の範囲Ｘの拡大図である。本実施形態にかかるガラス基板化学強化用カゴ運搬具（以下「運搬具１００」と称する）は、化学強化工程において化学強化処理液に浸漬される円盤状の磁気ディスク用のガラス基板（以下「ガラス基板１０２」と称する）を収容した化学強化用カゴ（以下「ＣＳカゴ１１０」と称する）を、化学強化処理槽が設けられたＣＳ（chemical strengthening）ルームへと運搬するのに利用される。
【００１９】
図２は、ガラス基板１０２の製造工程を例示するフローチャートである。図２に例示するように、ガラス基板１０２は、素材加工工程Ｓ２００、第一ラッピング工程Ｓ２０２、形状加工工程Ｓ２０４、第二ラッピング工程Ｓ２０６、端面研磨工程Ｓ２０８、第一主表面研磨工程Ｓ２１０、化学強化工程Ｓ２１２、最終主表面研磨工程Ｓ２１４を経て製造される。
【００２０】
化学強化工程Ｓ２１２は、所定の前工程（素材加工工程Ｓ２００から第一主表面研磨工程Ｓ２１０）を経て作成されたガラス基板１０２を化学強化する工程である。化学強化工程Ｓ２１２を終えるまではガラス基板１０２は表面が強化されず（圧縮応力層が形成されず）、損傷や欠けが生じやすい。したがって、本実施形態にかかる運搬具１００が利用される。以下、運搬具１００の具体的な構成について述べる。
【００２１】
図１（ａ）に示すように、運搬具１００は、直方体状の骨格をなし、下部にキャスター１０８が取り付けられるフレーム１０４を備える。そして、フレーム１０４によって、複数の棚板１０６が水平面に対して傾けられた状態で保持される。ＣＳカゴ１１０は傾けられた棚板１０６に載置される。なお、棚板１０６、キャスター１０８、ＣＳカゴ１１０については代表して１つに符号を付す。
【００２２】
ＣＳカゴ１１０の出し入れは傾けられた棚板１０６の下端側以外から行われるようにするとよい。出し入れを容易に実施するためである。直方体状の骨格をなすフレーム１０４に網等で側面を形成し、傾けられた棚板１０６の下端側以外の側面にＣＳカゴ１１０を出し入れする開口部を形成してもよい。なおＣＳカゴ１１０が棚板１０６の傾きに案内されて動くことのないように、棚板１０６上にはＣＳカゴ１１０を固定するゴム製のストッパー等を設けておくとよい。
【００２３】
図３はＣＳカゴ１１０を例示する図である。図３に例示するように、ＣＳカゴ１１０はステンレスやチタン等の金属製であって、一対の側板１１４、１１６と５つの補強板１１８、１２０、１２２、１２４、１２６とを組み合わせて形成される。ＣＳカゴ１１０の側板１１４、１１６には、金属製の長四角板をプレス加工によって湾曲して、ガラス基板１０２の外径端部１０２ａと線接触または点接触する溝部１３０を形成した６つの支持部材１３２が取り付けられる。なお、ガラス基板１０２、外径端部１０２ａ、支持部材１３２については代表して１つに符号を付す。
【００２４】
ＣＳカゴ１１０では、対向して配置される２つの支持部材１３２の溝部１３０と、その間の下方に配置される支持部材１３２の溝部１３０とで、ガラス基板１０２の外径端部１０２ａを保持する。各支持部材１３２は、側板１１４、１１６に形成されたスリット１２８（代表して１つに符号を付す）に挿入されて溶接されることで、側板１１４、１１６に固定される。
【００２５】
ＣＳカゴ１１０は支持部材１３２の溝部１３０が線接触または点接触してガラス基板１０２を保持する構成であって、ガラス基板１０２との接触部とガラス基板１０２の他の部分とで冷却速度に違いが出ないようになっている。冷却速度の違いから、ガラス基板１０２に歪みや反りが生じないようにするためである。
【００２６】
一般にＣＳカゴ１１０では、溝部１３０の幅Ｌ１がガラス基板１０２の厚みＬ２よりも大きく設定され、溝部１３０とガラス基板１０２の間に隙間ができるようになっている（図１（ｂ）参照）。ガラス基板１０２挿入時の接触を避け外径端部１０２ａの損傷や欠けを防止すると共に、化学強化処理液浸漬時の熱膨張による破損を防止するためである。またガラス基板１０２との接触部とガラス基板１０２の他の部分とで冷却速度に違いが出ないように、ガラス基板１０２を線接触または点接触で保持する形状上の理由のためでもある。
【００２７】
なお、化学強化処理液浸漬時の熱膨張による破損を防止するために、ガラス基板１０２の左右（側方）の外径端部１０２ａに接触し得る、対向して配置される２つの支持部材１３２の間の長さを、ガラス基板１０２の外径よりも大きく設定する場合もある。
【００２８】
上記のような構成のため、ＣＳカゴ１１０では、運搬の際に路面から振動が伝達されると、ガラス基板１０２が溝部１３０内で振動して（動いて）しまう余地がある。したがって、ガラス基板１０２の外径端部１０２ａが溝部１３０と当たり損傷や欠けを生じるおそれがある。
【００２９】
しかし図１（ｂ）に示すように、運搬具１００では、水平面に対して傾けられた棚板１０６にＣＳカゴ１１０が載置される。すなわち、ＣＳカゴ１１０が運搬具１００内で斜めに傾けられた状態となり、これに収容されたガラス基板１０２も斜めに傾けられた状態となる。これにより、ガラス基板１０２がその自重によって常に片側に寄せられて安定した状態となるため、運搬の際の振動の影響を低減することができる。したがって、ガラス基板１０２の外径端部１０２ａに損傷や欠けが生じるのを防止することができる。
【００３０】
本実施形態では溝部１３０の幅Ｌ１の方向と棚板１０６が傾けられた方向が一致するようにＣＳカゴ１１０を運搬具１００に積み込んで、左右の支持部材１３２の溝部１３０（図３中「溝部１３０ａ、１３０ｂ」として示す）にガラス基板１０２が立てかけられるようにし、高い効果を得ている。しかしこれらの方向が一致しなければガラス基板１０２の外径端部１０２ａの損傷や欠けを防止する効果が一切得られないわけではない。上記のようにＣＳカゴ１１０では、ガラス基板１０２の左右（側方）に接触し得る２つの支持部材１３２の間の長さが、ガラス基板１０２の外径よりも大きく設定される場合があり、このような場合には一方による（傾けられる）ほうが損傷や欠けを防止できるからである。
【００３１】
なお運搬具１００では、フレーム１０４が棚板１０６を水平面に対して３°から８°（好ましくは５°）傾けた状態で保持するとよい。棚板１０６を傾ける角度が水平面に対して３°未満では、あまり水平面と変わりなく、運搬具１００内でガラス基板１０２が予め片側に寄せられずに安定した状態とならない可能性があるためである。また棚板１０６を傾ける角度が水平面に対して８°より大きい場合には、角度が急になりすぎてかえって逆効果になる可能性があるためである。
【００３２】
図４は、運搬具１００の比較例（運搬具３００）を示す模式図である。図４（ａ）がその全体図であり、図４（ｂ）が図４（ａ）の範囲Ｙの拡大図である。図４（ａ）に示すように、運搬具３００は、フレーム１０４によって水平に保持される棚板３０６を備える。ＣＳカゴ１１０は、かかる棚板３０６に載置される。しかし図４（ｂ）に示すように、かかる比較例のような構成では、運搬の際の振動に起因してガラス基板１０２が振動し（図中「矢印Ｖｉｂ」で表す）、その外径端部１０２ａがＣＳカゴ１１０の溝部１３０としばしば衝突してしまう（図中「マークＣｒａ」で表す）ので、外径端部１０２ａに損傷や欠けが生じてしまうおそれがある。
【００３３】
再び本実施形態にかかる運搬具１００の説明に戻る。図５は、図１のキャスター１０８を例示する図である。図５に例示するように、キャスター１０８は、路面からの衝撃を吸収するサスペンション１１２を有する。かかるサスペンション１１２は、コイルスプリングやショックアブソーバ（ダンパ）等で実現することができる。
【００３４】
フレーム１０４の下部に複数取り付けられるキャスター１０８にサスペンション１１２を設けることで、運搬の際のＣＳカゴ１１０の振動自体を低減することができる。したがって、より効果的に、ガラス基板１０２の外径端部１０２ａに損傷や欠けが生じるのを防止することができる。なおキャスター１０８の車輪１０８ａにゴム製等のタイヤ（空圧タイヤ）を採用することで、路面からの衝撃吸収効果をさらに向上することができる。
【００３５】
以上、上述した運搬具１００によれば、化学強化工程Ｓ２１２において化学強化処理液に浸漬されるガラス基板１０２を収容したＣＳカゴ１１０を、ガラス基板１０２の外径端部１０２ａに損傷や欠けを生じさせることなく、化学強化処理槽が設けられたＣＳルームへと運搬することができる。
【００３６】
[磁気ディスク用のガラス基板の製造工程]
以下、図２にて例示したガラス基板１０２の製造工程について具体的に述べる。
【００３７】
１）素材加工工程Ｓ２００
素材加工工程Ｓ２００では、ガラス母材を切断してディスク状のガラス基板１０２を形成する。ガラス母材は板状ガラスの表面をラッピング（研削）加工して得られる。板状ガラスとしては、アルミノシリケートガラス、ソーダライムガラス、ボロシリケートガラスなど様々な板状のガラスを用いることができる。その中でも、主表面の平坦性及び基板強度において優れたガラス基板１０２を製造するためには、アルミノシリケートガラスを用いることが好ましい。板状ガラスは、プレス法やフロート法、ダウンドロー法、リドロー法、フュージョン法など、公知の製造方法を用いて製造することができる。
【００３８】
２）第一ラッピング（研削）工程Ｓ２０２
第一ラッピング工程Ｓ２０２では、ディスク状のガラス基板１０２の主表面をラッピング加工し、ガラス基板１０２の形状を整える。かかるラッピング加工は、遊星歯車機構を利用した両面研削装置により、アルミナ系遊離砥粒を用いて行うことができる。具体的には、ディスク状のガラス基板１０２の両面に上下からラップ定盤を押圧させ、遊離砥粒を含む研削液をガラス基板１０２の主表面上に供給し、これらを相対的に移動させてラッピング加工を行うことができる。このラッピング加工により、平坦な主表面を有するガラス基板１０２を得ることができる。
【００３９】
３）形状加工工程Ｓ２０４（コアリング工程、チャンファリング工程）
形状加工工程Ｓ２０４では、例えば、円筒状のダイヤモンドドリルを用いて、ディスク状のガラス基板１０２の中心部に内孔を形成し、円環状のガラス基板１０２に加工する（コアリング工程）。また内周端面及び外周端面をダイヤモンド砥石によって研削し、ガラス基板１０２に所定の面取り加工を施す（チャンファリング工程）。なお、形状加工工程Ｓ２０４は第一ラッピング工程Ｓ２０２の前に行ってもよい。
【００４０】
４）第二ラッピング工程Ｓ２０６
第二ラッピング工程Ｓ２０６では、得られたガラス基板１０２の両主表面について、第二ラッピング加工を行う。第二ラッピング工程Ｓ２０６を行うことにより、前工程である形状加工工程Ｓ２０４においてガラス基板１０２の主表面に形成された微細な凹凸形状を除去することができ、後続の主表面に対する研磨工程を短時間で完了させることが可能となる。なお、第二ラッピング工程Ｓ２０６は、上記第一ラッピング工程Ｓ２０２と同様に、遊星歯車機構を利用した両面研削装置を用いて行うことができる。
【００４１】
５）端面研磨工程Ｓ２０８
端面研磨工程では、ガラス基板１０２の外周端面及び内周端面について、ブラシ研磨方法により、鏡面研磨を行う。このとき、研磨砥粒としては、例えば、酸化セリウム砥粒を含むスラリー（遊離砥粒）を用いることができる。かかる端面研磨工程Ｓ２０８を行うことで、ガラス基板１０２の端面をナトリウムやカリウムの析出の発生を防止できる鏡面状態にすることができる。
【００４２】
６）第一主表面研磨工程Ｓ２１０
第一主表面研磨工程Ｓ２１０では、上記第一、第二ラッピング工程Ｓ２０２、Ｓ２０６で両主表面に残留したキズや歪みを除去するために、遊星歯車機構を有する両面研磨装置により、硬質発泡樹脂ポリッシャを用いて、両主表面の研磨を行う。研磨剤としては、酸化セリウム砥粒を用いることができる。第一主表面研磨工程Ｓ２１０を終えたガラス基板１０２は、中性洗剤、純水、ＩＰＡ等で洗浄される。
【００４３】
７）化学強化工程Ｓ２１２
（７−１）運搬工程
化学強化工程Ｓ２１２の運搬工程では、前工程を経て洗浄されたガラス基板１０２をＣＳカゴ１１０に収容する。そして、ガラス基板１０２を収容したＣＳカゴ１１０を上述した運搬具１００に積み込み、化学強化処理槽が設けられたＣＳルームへと運搬具１００を運搬する。この際、運搬具１００の棚板１０６が水平面に対して傾けられているため、ガラス基板１０２の外径端部１０２ａの損傷や欠けを防止することができる。
（７−２）処理工程
化学強化工程Ｓ２１２の処理工程では、所定の混合比の硝酸カリウムと硝酸ナトリウムとからなる化学強化処理槽の化学強化処理液に、運搬されたＣＳカゴ１１０を浸漬し、ガラス基板１０２を化学強化する（圧縮応力層を形成する）。化学強化は、化学強化処理液を３００℃〜４００℃に加熱し、ガラス基板１０２を２００℃〜３００℃に予熱し、化学強化処理液中に３時間〜４時間浸漬することによって行う。化学強化されたガラス基板１０２は、硫酸で洗浄した後に、純水、ＩＰＡ等で洗浄する。
【００４４】
８）最終主表面研磨工程Ｓ２１４
最終主表面研磨工程Ｓ２１４では、ガラス基板１０２に形成された圧縮応力層に研磨加工を行い当該ガラス基板１０２の両主表面を鏡面状に仕上げるために、遊星歯車機構を有する両面研磨装置により、軟質発泡樹脂ポリッシャを用いて、両主表面の研磨を行う。研磨剤としては、第一主表面研磨工程Ｓ２１０で用いた酸化セリウム砥粒よりも微細な酸化セリウム砥粒（平均粒子径０．８μｍ）を用いるとよい。最終主表面研磨工程Ｓ２１４を終えたガラス基板１０２は、中性洗剤、純水、ＩＰＡ等で洗浄される。なお、最終主表面研磨工程Ｓ２１４と化学強化工程Ｓ２１２とを相互に入れ替えることも可能である。
【実施例】
【００４５】
本実施形態にかかる運搬具１００について理解を深めるために、以下の検証を行った。
【００４６】
第一期にて、水平な棚板を備えかつキャスター１０８にサスペンション１１２を有さない運搬具を使用した場合のガラス基板１０２の不良率（外径端部１０２ａに損傷や欠けを生じる率）を日ごとに調べた。第二期にて、水平な棚板を備えかつキャスター１０８にサスペンション１１２を有する運搬具を使用した場合のガラス基板１０２の不良率を日ごとに調べた。第三期にて、水平面に対して５°傾けた棚板１０６を備えかつキャスター１０８にサスペンション１１２を有する運搬具１００を使用した場合のガラス基板１０２の不良率を調べた。なお第三期では、ＣＳカゴ１１０の溝部１３０の幅Ｌ１の方向と棚板１０６が傾けられた方向が一致するようにした。
【００４７】
すると、外径端部１０２ａのチャンファー面（Ｃ面）の損傷（ＯＤＣ−ＤＡＭＡＧＥ）および外径端部１０２ａの欠け（ＯＤ  ｃｈｉｐ）のいずれも、第一期よりも第二期の方が改善された。また、外径端部１０２ａのチャンファー面の損傷および外径端部１０２ａの欠けのいずれも、第二期よりも第三期の方が改善された。
【００４８】
次に、運搬具１００の効果をその要因毎に整理した。図６は運搬具１００の効果をその要因毎に整理した図である。図６（ａ）がキャスター１０８へのサスペンション１１２の組込み実施前と実施後の不良率を示す図であり、図６（ｂ）が棚板１０６を水平面に対して５°傾ける取組みの実施前と実施後の不良率を示す図である。
【００４９】
図６（ａ）に示すように、キャスター１０８へのサスペンション１１２の組込みを実施したことで、不良率が０．４６％改善された。より詳細には、外径端部１０２ａのチャンファー面の損傷が０．０９％改善され、外径端部１０２ａの欠けが０．３７％改善された。
【００５０】
図６（ｂ）に示すように、棚板１０６を水平面に対して５°傾ける取組みを実施したことで、不良率が約０．１９％改善された。より詳細には、外径端部１０２ａのチャンファー面の損傷が０．０５％改善され、外径端部１０２ａの欠けが０．１８％改善され、外径端部１０２ａの主表面の損傷が０．００６％改善された。
【００５１】
したがって上記検証により、本実施形態にかかる運搬具１００によれば運搬の際のガラス基板１０２の外径端部１０２ａの損傷や欠けを低減できることが確認された。
【００５２】
以上、添付図面を参照しながら本考案の好適な実施の形態について説明したが、本考案は係る例に限定されないことは言うまでもない。当業者であれば、実用新案登録請求の範囲に記載された範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本考案の技術的範囲に属するものと了解される。
【産業上の利用可能性】
【００５３】
本考案は、ガラス基板化学強化用カゴ運搬具として利用することができる。
【符号の説明】
【００５４】
１００、３００…運搬具、１０２…ガラス基板、１０２ａ…外径端部、１０４…フレーム、１０６、３０６…棚板、１０８…キャスター、１０８ａ…車輪、１１０…ＣＳカゴ、１１２…サスペンション、１１４、１１６…側板、１１８、１２０、１２２、１２４、１２６…補強板、１２８…スリット、１３０（１３０ａ、１３０ｂ）…溝部、１３２…支持部材、Ｌ１…溝部の幅、Ｌ２…ガラス基板の厚み
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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