(57)【要約】能動素子の温度上昇を抑制することができる車載用半導体装置を提供する。車載用半導体装置は、半導体基板と、半導体基板上に形成される複数の能動素子と、複数の能動素子を囲んで絶縁分離する複数のトレンチと、複数のトレンチ中の異なるトレンチで絶縁分離された複数の能動素子を並列に接続して外部と接続するための端子と、を備える。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体基板と、
前記半導体基板上に形成される複数の能動素子と、
前記複数の能動素子を囲んで絶縁分離する複数のトレンチと、
前記複数のトレンチ中の異なるトレンチで絶縁分離された複数の能動素子を並列に接続して外部と接続するための端子と、を備える車載用半導体装置。
【請求項２】
請求項１記載の車載用半導体装置において、
前記複数のトレンチは、第一のトレンチおよび第二のトレンチを備え、
前記第一のトレンチが囲う面積または前記第一のトレンチに囲まれる能動素子の面積と、前記第二のトレンチが囲う面積または前記第二のトレンチに囲まれる能動素子の面積と、が異なる車載用半導体装置。
【請求項３】
請求項１記載の車載用半導体装置において、
前記複数のトレンチは、第一のトレンチ、第二のトレンチ、および第三のトレンチを備え、
前記第一のトレンチと前記第二のトレンチとの間隔と、前記第二のトレンチと前記第三のトレンチとの間隔と、が異なる車載用半導体装置。
【請求項４】
請求項１記載の車載用半導体装置において、
前記複数のトレンチは、第一のトレンチおよび第二のトレンチを備え、
前記第一のトレンチと前記第二のトレンチとの間に、前記端子と接続された能動素子を囲んでいないトレンチを備える車載用半導体装置。
【請求項５】
請求項１記載の車載用半導体装置において、
前記複数のトレンチは、第一のトレンチと、第二のトレンチと、前記第一のトレンチと前記第二のトレンチとの間に設けられた第四のトレンチとを備え、
前記第四のトレンチが囲う面積は、前記第一のトレンチ及び前記第二のトレンチが囲ういずれの面積よりも小さい車載用半導体装置。
【請求項６】
請求項１記載の車載用半導体装置において、
前記複数のトレンチは、第一のトレンチと、第二のトレンチと、前記第一のトレンチと前記第二のトレンチとの間に設けられた第四のトレンチとを備え、
前記第四のトレンチに囲まれる能動素子の面積は、前記第一のトレンチ及び前記第二のトレンチのいずれに囲まれる能動素子の面積よりも小さい車載用半導体装置。
【請求項７】
請求項２または６いずれか一項に記載の車載用半導体装置において、
前記能動素子の面積は、同一のトレンチに囲まれた複数の能動素子の入力と出力を結ぶ方向に直交する方向の長さに基づいて増減する車載用半導体装置。
【請求項８】
請求項２から７いずれか一項に記載の車載用半導体装置において、
前記端子を外部回路に接続して前記車載用半導体装置を駆動したときの前記第一のトレンチ内で発生する発熱量と、前記第二のトレンチ内で発生する発熱量とが異なるように、各トレンチ内に設ける素子要素数を設定した車載用半導体装置。
【請求項９】
請求項８に記載の車載用半導体装置において、
前記半導体基板上の発熱分布が均一化されるように、少なくとも、前記複数のトレンチの数、トレンチ間の間隔、およびトレンチ内に設ける素子要素数を設定した車載用半導体装置。
【請求項１０】
請求項１から９いずれか一項記載の車載用半導体装置において、
前記複数のトレンチ各々が囲う面積は、前記半導体基板の中心部に近い程小さい車載用半導体装置。
【請求項１１】
請求項１から１０いずれか一項記載の車載用半導体装置において、
前記端子は、入力用端子、制御用端子、および出力用端子を備え、
前記入力用端子は前記複数の能動素子各々の入力部、前記制御用端子は前記複数の能動素子各々の制御部、前記出力用端子は前記複数の能動素子各々の出力部、に接続されている車載用半導体装置。
【請求項１２】
請求項１から１１いずれか一項記載の車載用半導体装置において、
前記車載用半導体装置はＭＯＳＦＥＴであり、前記入力用端子はドレイン端子、前記制御用端子はゲート端子、前記出力用端子はソース端子、である車載用半導体装置。
【請求項１３】
請求項１から１２いずれか一項記載の車載用半導体装置において、
前記半導体基板はＳＯＩ基板であり、
前記トレンチの深さはＳｉ活性層の厚さに等しい車載用半導体装置。
【請求項１４】
請求項１から１３のいずれか一項に記載の車載用半導体装置を備えた車載制御装置。
【請求項１５】
請求項１４に記載の車載制御装置において、
前記車載制御装置は、車両のエンジンルーム内、または制御対象機器に直付けで設置される車載制御装置。
【請求項１６】
半導体基板と、
前記半導体基板上に形成される複数の能動素子と、
前記複数の能動素子を囲んで絶縁分離する複数のトレンチと、
前記複数のトレンチ中の異なるトレンチで絶縁分離された複数の能動素子を並列に接続して外部と接続するための端子と、を備え、
前記複数のトレンチは、第一のトレンチ、第二のトレンチ、および前記第一のトレンチと前記第二のトレンチとの間に設けられた第三のトレンチを備え、
前記第三のトレンチが囲う面積または前記第三のトレンチに囲まれる能動素子の面積は、前記第一、第二いずれのトレンチが囲う面積、または前記第一、第二いずれのトレンチに囲まれる能動素子の面積よりも小さい半導体装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体装置、車載用半導体装置および車載制御装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、複数個の能動素子を非一様な間隔で配置して、一定の温度を実現する半導体装置が知られている（特許文献１）。また、複数の能動素子を一つのトレンチで取り囲み、複数の能動素子を並列接続した半導体装置も知られている（特許文献２）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平６−３４２８０３号公報
【特許文献２】特開２００２−４３５２１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載の発明では、能動素子間は熱伝導率の比較的高いシリコンで熱的に接続されるため、能動素子で発生した熱は容易に周囲の能動素子に伝わる。そのため、能動素子間の距離を大きくして放熱を促進している。
一方、特許文献２に記載の発明では、半導体装置の中央部の温度が周辺領域の温度よりも高くなり、半導体装置としての温度抑制が望まれている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
請求項１に記載の車載用半導体装置は、半導体基板と、半導体基板上に形成される複数の能動素子と、複数の能動素子を囲んで絶縁分離する複数のトレンチと、複数のトレンチ中の異なるトレンチで絶縁分離された複数の能動素子を並列に接続して外部と接続するための端子と、を備える。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によれば、能動素子の温度上昇を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】（ａ）は本発明による第１の実施の形態の半導体装置の平面図、（ｂ）はシミュレーションによる温度分布図である。
【図２】本発明による実施の形態における能動素子の接続方法の例である。
【図３】（ａ）は従来の半導体装置の平面図、（ｂ）はシミュレーションによる温度分布図である。
【図４】本発明による第２の実施の形態の半導体装置の平面図である。
【図５】本発明による第３の実施の形態の半導体装置の平面図である。
【図６】本発明による第４の実施の形態の半導体装置の平面図である。
【図７】本発明による第５の実施の形態の半導体装置の平面図である。
【図８】本発明による第６の実施の形態の半導体装置の平面図である。
【図９】本発明による第７の実施の形態の半導体装置の平面図である。
【図１０】本発明による第１〜７の実施の形態の半導体装置の断面構造の例である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
高電力出力が要求されるパワー半導体装置においては、その出力段に大電流を流すことが可能な能動素子、例えばＭＯＳＦＥＴのようなスイッチング素子が用いられる。この能動素子はサイズ(例えばゲート幅)が大きくなるほど高電力の出力が可能となるが、大電流を流すと能動素子が発熱して温度が上昇し、耐圧などの破壊耐量が低下するという問題が生じる。
【０００９】
特に、車載用半導体装置では、ソレノイドの電流駆動といった大きな電流の制御が必要となるため、破壊耐量の低下に多くの注意が必要となる。また、車載用半導体装置は、高温になるエンジンやモーター等の制御対象機器の近くに設置される場合が多く、環境温度が高温化する。このため、半導体装置が高温になりやすく、破壊耐量が低下する懸念が一層強まっている。また、車載用半導体装置では、能動素子として４０Ｖ〜２００Ｖを超える素子耐圧が求められる場合があり、絶縁分離が重要な課題となっている。
【００１０】
（第１の実施の形態）
図１（ａ）は、本発明による第１の実施の形態の半導体装置を模式的に示す平面図であり、素子要素１０１がトレンチ１０２で絶縁分離されて形成された能動素子２０１〜２０５を並列に接続した半導体装置３００を示している。なお、図１（ａ）において、能動素子２０１、２０５はそれぞれ４つの素子要素１０１で構成され、能動素子２０２、２０４はそれぞれ３つの素子要素１０１で構成され、能動素子２０３は１つの素子要素１０１で構成されている。
【００１１】
図１（ａ）の半導体装置３００内のトレンチ１０２で囲まれた素子要素１０１において、能動素子がＭＯＳＦＥＴの場合にゲート幅が大きいと、つまり素子要素１０１の面積が大きいと、電流を流す能力が大きくなる。また、その大きさに規定はないが、例えば数Ａ程度の電流を制御するＭＯＳＦＥＴなどでは、数１０μｍ〜数ｃｍのゲート幅が用いられる場合がある。
【００１２】
車載用半導体装置の耐圧は４０Ｖ〜２００Ｖが要求され、その耐圧を維持するために、トレンチの幅は０．５μｍ〜２μｍ程度が用いられる。また、幅の細いトレンチを２重に、あるいはそれ以上に並べて、実効的に幅の太いトレンチとして用いられる場合がある。
【００１３】
図２は、本発明による実施の形態における能動素子の接続方法の例を示す図であり、それぞれが一つもしくは複数の素子要素１０１で構成される複数の能動素子の接続方法の例を示している。図２に示すように、トレンチ１０２ａで囲まれた能動素子２２１は、ドレイン部４２１、ソース部４２２、ゲート部４２３を有するＭＯＳＦＥＴである。能動素子２２１は、異なるトレンチ１０２ｂで囲まれた能動素子２２２と並列に接続され、外部と接続するための端子４１１、４１２、４１３を備えている。端子４１１、４１２、４１３は、たとえば、外部回路と接続される。
【００１４】
図１（ａ）に示す半導体装置３００において、能動素子２０１および２０５と、能動素子２０２および２０４と、能動素子２０３のそれぞれは、トレンチ１０２が囲う面積またはトレンチ１０２に囲まれた領域内の素子要素１０１の合計面積が異なっている。本明細書では、トレンチ１０２に囲まれた領域内の素子要素１０１の合計面積のことをトレンチに囲まれた能動素子の面積とも呼ぶこととする。能動素子の面積が異なると、それぞれの能動素子の動作時の発熱量は異なる。そのため、能動素子のそれぞれの大きさを制御することにより、すなわち各トレンチ内に設ける素子要素数を設定することで、各トレンチ内で発生する発熱量を異ならせることができる。その結果、半導体装置３００内の温度分布を制御することが可能となる。図１（ａ）においては、能動素子２０２と２０４との間に設けられた能動素子２０３は、能動素子２０２および２０４よりも面積が小さい。こうすることにより、能動素子２０３の発熱量は能動素子２０２および２０４の発熱量よりも小さくすることができる。
【００１５】
図１（ｂ）は、シミュレーションによる温度分布図であり、図１（ａ）における素子要素１０１すべてに一様の電流を流した場合の、半導体装置３００内の温度分布をシミュレーションにより求め、Ａ-Ａ’に沿った温度分布を示したものである。半導体装置３００の能動素子２０２、２０４の間にそれらよりも面積の小さい能動素子２０３を設けることにより、能動素子２０３周辺で温度上昇が抑制されていることがわかる。
【００１６】
図３（ａ）は従来の半導体装置を模式的に示す平面図、図３（ｂ）はシミュレーションによる温度分布図を示している。図３（ａ）における半導体装置３００において、トレンチ１０２により絶縁分離された能動素子は１つだけである。なお、図３の半導体装置３００は１５個の素子要素１０１により構成されており、素子要素数は図１に示した実施の形態の半導体装置３００と同数である。また、図３（ｂ）は、図３（ａ）における素子要素１０１に一様に電流を流した場合の、半導体装置３００内の温度分布をシミュレーションにより求め、Ａ-Ａ’に沿った温度分布を示したものである。
【００１７】
この温度シミュレーションにおいて、図３で例示した構造と図１で例示した構造における能動素子の電流を流す能力は同じと仮定したが、図１（ｂ）と図３（ｂ）とでは温度分布が異なることがわかる。半導体装置３００内にトレンチで絶縁分離された能動素子が１つだけの場合の図３（ｂ）では、装置内温度は装置中央付近で最も高い。一方、本発明を適用した場合の図１（ｂ）では、面積の小さな能動素子２０３を設置した装置中央部分で温度が低下している。また、素子全体の温度を比較しても、トレンチで能動素子を分離していない図３よりも、トレンチで能動素子を分離した図１の構造で温度が低下していることが明らかである。
【００１８】
上述した本実施の形態によれば、次の作用効果が得られる。
（１）半導体装置３００は、半導体基板と、半導体基板上に形成される複数の能動素子２２１、２２２と、複数の能動素子を囲んで絶縁分離する複数のトレンチ１０２ａ、１０２ｂと、複数のトレンチ中の異なるトレンチで絶縁分離された複数の能動素子を並列に接続して外部と接続するための端子４１１、４１２、４１３と、を備える。本実施の形態では、並列に接続される能動素子２２１、２２２を、それぞれトレンチ１０２ａ、１０２ｂで分離するようにした。このようにしたので、素子要素１０１の総数をＮ個で同一とした場合、一つのトレンチでＮ個の素子要素を取り囲んだ従来例と、二つのトレンチ１０２ａ、１０２ｂでＮ個の素子要素をそれぞれ取り囲んだ囲んだ実施の形態とを比較すると、後者の半導体装置は前者の半導体装置に比べて中央部での温度上昇を抑制できる。すなわち、実施の形態のように半導体装置の二つの能動素子間に２列のトレンチが設けられるため、能動素子間の熱伝導が抑制され、能動素子２２１と能動素子２２２との間の領域、すなわち半導体装置の内側（中央部）の領域の温度上昇が抑制される。通常、半導体装置の最高温度は半導体装置の内側、とくに中央部の温度となることが多い。
複数の能動素子は、たとえば、シリコンよりも高い絶縁性と低い熱伝導率を有する材料（例えば、二酸化シリコン、石英ガラス）で分離することができる。このような材料の選択によっても、能動素子の温度上昇を抑制することができる。なお当然に、温度上昇を抑制することにより、能動素子の破壊耐量を向上することができる。
能動素子間の距離を大きくすることにより同等の温度上昇抑制効果を実現する特許文献１の思想を適用した半導体装置に比べると、半導体装置のサイズを小さくできる。さらに、トレンチの材料としてシリコンよりも熱伝導率の低い材料を選択すれば半導体装置のサイズをより一層小さくすることができる。
【００１９】
（２）本実施の形態の半導体装置３００では、並列に接続される能動素子２２１、２２２をそれぞれトレンチ１０２ａ、１０２ｂで分離するため、半導体のＰＮ接合を用いる場合と比較して、能動素子の耐圧を少ない面積で向上させることができる。
（３）半導体装置３００は、第一のトレンチ１０２ａおよび第二のトレンチ１０２ｂを備え、第一のトレンチ１０２ａが囲う面積または第一のトレンチ１０２ａに囲まれる能動素子２２１の面積と、第二のトレンチ１０２ｂが囲う面積または前記第二のトレンチ１０２ｂに囲まれる能動素子２２２の面積と、が異なる。本実施の形態では、トレンチが囲う面積または能動素子の面積を制御して、それぞれの能動素子の動作時の発熱量を制御する。このようにしたので、発熱量が大きい能動素子の高温部での発熱を抑制、または、放熱を促進し、能動素子の局部的な温度上昇を抑制できる。
【００２０】
（第２の実施の形態）
図４（ａ）は、本発明による第２の実施の形態の半導体装置を模式的に示す平面図であり、素子要素１０１がトレンチ１０２ａ〜１０２ｅで絶縁分離されて形成された複数の能動素子２０１〜２０５を並列に接続した半導体装置３００を示している。第２の実施の形態にかかる半導体装置３００は、素子を絶縁分離するトレンチ間の間隔４０１〜４０４が異なることを特徴とする半導体装置である。トレンチ間の間隔が広いと放熱量が多くなるため、半導体装置３００内の温度を低減することが可能となる。
【００２１】
図４（ｂ）は、シミュレーションによる温度分布図であり、図４（ａ）における素子要素１０１すべてに一様の電流を流した場合の、半導体装置３００内の温度分布をシミュレーションにより求め、Ａ-Ａ’に沿った温度分布を示したものである。トレンチ間の間隔４０１、４０４よりも大きい、間隔４０２、４０３を有する能動素子２０３に相当する部分の温度が、周辺部よりも低下していることが明らかである。
【００２２】
上述した実施の形態によれば、第１の実施の形態と同様の作用効果に加えて、次の作用効果が得られる。
（４）半導体装置３００は、第一のトレンチ１０２ａと、第二のトレンチ１０２ｂ、１０２ｃと、第三のトレンチ１０２ｄ、１０２ｅとを備える。第一のトレンチ１０２ａと第二のトレンチ１０２ｂ、１０２ｃとの間隔４０２、４０３と、第二のトレンチ１０２ｂ、１０２ｃと第三のトレンチ１０２ｄ、１０２ｅとの間隔４０１、４０４と、が異なる。半導体装置３００で局部的に高温になる場所で、能動素子を絶縁分離するトレンチ間のスペースを広げることができ、その結果、放熱が促進されるので、半導体装置３００内の温度上昇を抑制することができる。
【００２３】
（第３の実施の形態）
図５は、本発明による第３の実施の形態の半導体装置を模式的に示す平面図であり、素子要素１０１がトレンチ１０２で絶縁分離されて形成された複数の能動素子２０１〜２０５を並列に接続した半導体装置３００を示している。
【００２４】
図５に示す第３の実施の形態は、第１の実施の形態の構造と、第２の実施の形態の特徴を合わせ持つ装置である。即ち、能動素子２０２、２０４との間に設けられた能動素子２０３は、能動素子２０２、２０４よりも面積が小さく、また、トレンチ間の間隔４０１〜４０４が異なる。この第３の実施の形態では、第１および第２の実施の形態で説明したように、半導体装置が動作中に高温となる装置中央部(能動素子２０３の存在する部分)の温度上昇をさらに抑制することが可能となる。トレンチの数、トレンチ間の間隔、トレンチ内に設ける素子要素数などを設定することにより、半導体装置３００内の温度分布を制御することができる。その結果、半導体基板上で局部的に高温になる場所の放熱を促進させたり、半導体基板上の発熱分布を均一化させたりすることができる。
【００２５】
（第４の実施の形態）
図６は、本発明による第４の実施の形態の半導体装置を模式的に示す平面図であり、素子要素１０１がトレンチ１０２で絶縁分離されて形成された複数の能動素子２０１〜２０５を並列に接続した半導体装置３００を示している。
図６に示す第４の実施の形態では、第１の実施の形態において、トレンチ１０２の外側をさらにトレンチ１０６で囲んだ構造である。能動素子を２重のトレンチで囲うことにより、トレンチの外側からの熱がトレンチの内側の能動素子により伝わりにくくなり、能動素子はそれを囲むトレンチの外側の熱の影響を受けにくくなるという効果がある。本実施の形態では、能動素子を分離するトレンチは２重としたが、３重以上としても同様の効果が得られる。
【００２６】
（第５の実施の形態）
図７は、本発明による第５の実施の形態の半導体装置を模式的に示す平面図である。図７に示す第５の実施の形態は、本発明の第１の実施の形態において、トレンチ間スペース１０５内に熱を遮断するためのトレンチ１０７を設置した構造を有している。この第５の実施の形態では、第４の実施の形態と同様に、隣接する能動素子の熱をトレンチ１０７が遮断し、熱の影響を受けにくくするという効果がある。
【００２７】
（第６の実施の形態）
図８は、本発明による第６の実施の形態の半導体装置を模式的に示す平面図である。図８に示す第６の実施の形態は、本発明の第１の実施の形態において、隣接する能動素子間でそれら能動素子間を絶縁分離するトレンチ１０８を共有する構造を持つ。この構造では、隣接するトレンチ間のスペースを削減できる分、半導体装置３００全体の面積を削減できるという効果がある。
【００２８】
（第７の実施の形態）
図９は、本発明による第７の実施の形態の半導体装置を模式的に示す平面図である。図９に示す第７の実施の形態において、半導体装置３００内の面積の異なる２つの能動素子２０１、２０２は、トレンチ１０２、１１２、１１３で分離されている。この実施の形態においても、半導体装置３００の中心部の能動素子２０２の温度上昇を低減することが可能となる。
【００２９】
次に上述した第１〜第７の実施の形態に適用される半導体装置の構成例を挙げ、簡単に説明する。以下の説明では、第１導電型をｎ型とし、第２導電型をｐ型とするが、その逆でも同様に構成例となりうる。本発明が有効な能動素子としては、ＭＯＳＦＥＴ、ＩＧＢＴ、バイポーラトランジスタ等が考えられるが、ＭＯＳＦＥＴを用いた実施の形態を図１０に簡単に説明する。
【００３０】
図１０は、本発明による第１〜７の実施の形態の半導体装置の断面構造の例を模式的に示した図であり、ＳＯＩ(silicon on insulator)基板上に形成されたトレンチを有するＭＯＳＦＥＴ、特に高耐圧半導体素子として使われるｎ型ＬＤＭＯＳ（lateral 
double-diffused MOSFET）６１の断面構造を示したものである。ＳＯＩ基板は、支持基板（シリコン基板）３０と埋め込み酸化膜１２と半導体素子を形成する第２導電型のシリコン層３１から成っている。埋め込み酸化膜１２の膜厚は０．５μｍ〜３μｍ、シリコン層３１の厚さは1μｍ〜８ｍ程度である。
【００３１】
ＬＤＭＯＳ６１はゲート酸化膜１４の上部に第１導電型のゲート用ポリシリコン４１が形成され、ゲート酸化膜１４の下部には第２導電型ウェル３２が形成されている。ウェル３２は高濃度にドーパントを含有する第２導電型シリコン層３３に接続されている。ＬＤＭＯＳ６１のソース領域は高濃度に第１導電型のドーパントを含有するシリコン層２２であり、一方、ＬＤＭＯＳ６１のドレイン領域は高濃度に第１導電型のドーパントを含有するシリコン層２３である。図１０で示したＬＤＭＯＳ６１は、ドレイン領域２３に対して左右対称にソース領域２２が配置されている。
【００３２】
ゲート用ポリシリコン４１に電圧が印加され、第２導電型ウェル３２とゲート酸化膜４１の界面付近に第１導電型の反転層が形成されると、ソース２２とドレイン２３は、第１導電型のドリフト領域２１を介して電気的に接続される。第１導電型のドリフト領域２１は、電界緩和層であり、ドレイン２３に高電圧を印加されてもシリコンがブレイクダウンしないように電界緩和を行うために設置されている。一般にドリフト層２１を広くし、ソース２２とドレイン２３間の距離を大きく取った場合、ブレイクダウンする電圧(耐圧)は大きくなるが、ソース・ドレイン間の抵抗が大きくなる。その逆も同様であり、ドリフト層２１を小さくすることでソースとドレイン間の距離を小さくした場合、ソース・ドレイン間の抵抗は下がるが、ブレイクダウンする電圧(耐圧)は低下する。
【００３３】
ＬＤＭＯＳ６１はトレンチ１１及び素子分離層１３を用いて、隣接素子６２やトレンチ間スペース領域３４から電気的に絶縁分離されている。素子分離層１３はＬＯＣＯＳ(local oxidation of silicon)方式やＳＴＩ(shallow trench isolation)方式などが一般的であるが、図１０では、ＳＴＩ方式を示している。ゲート用ポリシリコン４１と、ウェル３２と、ソース２２、ドレイン２３は、メタル配線５１に接続される。特に、ウェル３２とソース２２は同一ノードの配線層に接続される。メタル配線５１の材料は、必要に応じて、タングステン、アルミ、銅などが使われる。
【００３４】
上述した実施の形態では、本発明を車載用途の半導体装置に適用した例について説明したが、本発明は車載用途に限定されない。
【００３５】
上記では、種々の実施の形態および変形例を説明したが、本発明はこれらの内容に限定されるものではない。本発明の技術的思想の範囲内で考えられるその他の態様も本発明の範囲内に含まれる。
【符号の説明】
【００３６】
１１…トレンチ、１２…埋め込み酸化膜、１３…素子分離層（ＳＴＩ）、１４…ゲート酸化膜、２１…第１導電型のドリフト領域層、２２…ソース領域、２３…ドレイン領域、３０…支持基板、３１…第２導電型シリコン層、３２…第２導電型ウェル、３３…高濃度に不純物濃度がドープされた第２導電型シリコン層、３４…トレンチ間スペース領域、４１…第１導電型ポリシリコン、５１…メタル配線、６１…ＬＤＭＯＳ、６２…隣接素子、１０１…素子要素、１０２，１０２ａ，１０２ｂ，１０２ｃ，１０２ｄ，１０２ｅ…能動素子の絶縁分離用トレンチ、１０３…活性領域、１０４…トレンチの外側の非活性領域、１０５…トレンチ間のスペース、１０６…トレンチ１０２の外側のトレンチ、１０７…トレンチ間スペース１０５内に熱を遮断するためのトレンチ、１０８…隣接する能動素子で共有された絶縁分離用トレンチ、１１２…能動素子の絶縁分離用トレンチ、１１３…能動素子の絶縁分離用トレンチ、２０１〜２１１，２２１，２２２…トレンチで絶縁分離された能動素子、３００…半導体装置、４２１…ドレイン部、４２２…ソース部、４２３…ゲート部、４１１…ドレイン端子、４１２…ソース端子、４１３…ゲート端子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【国際調査報告】
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