(57)【要約】      （修正有）【課題】ガスの充填時間を短縮し、ガスを集中させて循環效率を向上させることで、騒音を低減させ、適切にほこりを吹き飛ばすとともに、メンテナンスを容易にすることのできるウェーハ搬送装置におけるガス循環構造を提供する。【解決手段】ガス循環構造は、筺体１と、フィルターユニット２と、少なくとも１つの連通管路３と、少なくとも１つの集風装置４と、少なくとも１つの第１ファン５と、少なくとも１つの第２ファン４１と、少なくとも１つの空気取入口３１１と、少なくとも１つの空気排出口３２１と、少なくとも１つの空気排出バルブ３２２と、からなる。上述の構造により、ガスは、空気取入口３１１から連通管路３に入り、第１ファン５を通過した後、さらに、フィルターユニット２から筺体１の中に入るとともに、第２ファン４１を通過して連通管路３の中に戻ってくることにより循環が達成される。【選択図】図１
0003232173.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
筺体と、フィルターユニットと、少なくとも１つの連通管路と、少なくとも１つの集風装置と、少なくとも１つの第１ファンと、少なくとも１つの第２ファン１と、少なくとも１つの空気取入口と、少なくとも１つの空気排出口と、少なくとも１つの空気排出バルブと、からなるウェーハ搬送装置におけるガス循環構造であって、
前記フィルターユニットは、前記筺体の一側に設けられるとともに、前記筺体と相互に連通しており、
前記少なくとも１つの連通管路の一端は、前記筺体と相互に連通しており、他端は、前記フィルターユニットに連結され、それにより、ガスが前記筺体から前記フィルターユニットの中に輸送されるとともに、前記連通管路の管路の幅は、前記筺体から前記フィルターユニットの方向に向けて徐々に太くなっており、
前記少なくとも１つの集風装置は、前記連通管路と前記筺体の連通部分に設けられ、
前記少なくとも１つの第１ファンは、前記連通管路に設けられ、
前記少なくとも１つの第２ファンは、前記集風装置の中に設けられ、
前記少なくとも１つの空気取入口は、前記連通管路の一側に設けられ、
前記少なくとも１つの空気排出口は、前記連通管路の一側に設けられ、
前記少なくとも１つの空気排出バルブは、前記連通管路における前記空気排出口に近い部分に設けられることを特徴とする、ウェーハ搬送装置におけるガス循環構造。
【請求項２】
前記筺体の中には、集風補助部品が設けられるとともに、前記集風補助部品の一端は、前記空気排出バルブに連結されることを特徴とする、請求項１に記載のウェーハ搬送装置におけるガス循環構造。
【請求項３】
前記連通管路には、空気弁が設けられることを特徴とする、請求項１に記載のウェーハ搬送装置におけるガス循環構造。
【請求項４】
前記ウェーハ搬送装置の中には、保留空間が形成されるとともに、前記保留空間は、前記フィルターユニットにおける前記筺体から離れた側に位置することを特徴とする、請求項１に記載のウェーハ搬送装置におけるガス循環構造。
【請求項５】
前記ウェーハ搬送装置の中には、非シール領域が形成され、前記非シール領域は、前記集風装置における前記筺体から離れた一側に位置することを特徴とする、請求項１に記載のウェーハ搬送装置におけるガス循環構造。
【請求項６】
前記ウェーハ搬送装置には、開閉装置が設けられるとともに、前記連通管路は、前記開閉装置に設けられることを特徴とする、請求項１に記載のウェーハ搬送装置におけるガス循環構造。
【請求項７】
前記ウェーハ搬送装置には、前記開閉装置の位置に対応したシール材が設けられることを特徴とする、請求項６に記載のウェーハ搬送装置におけるガス循環構造。
【請求項８】
前記筺体の中には、搬送装置が設けられることを特徴とする、請求項１に記載のウェーハ搬送装置におけるガス循環構造。
【請求項９】
前記空気取入口は、圧縮乾燥空気（ＣＤＡ）または窒素（Ｎ２）を前記連通管路の中まで輸送して取り入れるのに用いられることを特徴とする、請求項１に記載のウェーハ搬送装置におけるガス循環構造。
【請求項１０】
前記連通管路は、少なくとも１つの第１管路と、前記第１管路側に位置する少なくとも１つの第２管路を備え、前記空気取入口は、前記第１管路に設けられ、前記空気排出口及び前記空気排出バルブは、前記第２管路に設けられることを特徴とする、請求項１に記載のウェーハ搬送装置におけるガス循環構造。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、ウェーハ搬送装置におけるガス循環構造に関し、特に、ガスの充填時間を短縮し、気流を集中させて循環效率を向上させることで、騒音を低減させ、適切にほこりを吹き飛ばすとともに、メンテナンスを容易に行うことができるウェーハ搬送装置におけるガス循環構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体の分野において、ウェーハの汚染を防止するため、ウェーハを搬送する環境は厳格に管理されなければならない。まず、ウェーハ・キャリア（ＦＯＵＰ）を使用してウェーハを収容しなければならないとともに、搬送装置によって、ウェーハ・キャリアの中のウェーハが管理された環境のもとでウェーハ搬送装置（ＥＦＥＭ）またはウェーハソーター（ＳＯＲＴＥＲ）の中まで搬送しなければならない。さらに、通常クリーンなガスが常に導入されることで、ウェーハ搬送装置内部のガスが循環し、それにより、ウェーハは良好な環境で保存される。
【０００３】
しかしながら、上述の従来ウェーハ搬送装置は、ガスの入れ替えの際に、以下に挙げる問題及び欠点が存在し、改善が期待されている。
【０００４】
一、機械本体及びその筺体の体積が非常に大きいため、ガスの初期充填時に、非常に時間がかかる。
【０００５】
二、構造が繁雑且つ複雑であるため、メンテナンスが困難である。
【０００６】
三、市販のレジューサの形態は、ガスを送り込む際に騒音を生じさせやすい。
【０００７】
四、市販のレジューサの形態は、ガスを送り込む速度が速すぎるとほこりが飛散しやすく、ガスを送り込む速度が遅すぎるとほこりを吹き飛ばすことができない。
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００８】
本考案は、主に、集風装置の構造により、気流を集中させることでガスの循環效率を向上させることのできるウェーハ搬送装置におけるガス循環構造を提供することを目的とする。
【０００９】
本考案は、さらに、徐々に太くなる管路の形態により、騒音を低減させると同時に、ガスによりほこりを適切に吹き飛ばすことのできるウェーハ搬送装置におけるガス循環構造を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上述の目的を達成するため、本考案の主な構造は、筺体からなり、筺体の一側にはフィルターユニットが設けられるとともに、フィルターユニットと筺体は、相互に連通しており、筺体は、少なくとも１つの連通管路の一端と相互に連通し、連通管路の他端はフィルターユニットに連結されるとともに、、連通管路における管路の幅は、筺体からフィルターユニットの方向に向かって徐々に太くなり、連通管路と筺体の連通部分には、少なくとも１つの集風装置が設けられ、集風装置には少なくとも１つの第１ファンが設けられ、連通管路には少なくとも１つの第２ファンが設けられ、連通管路の一側には、少なくとも１つの空気取入口及び少なくとも１つの空気排出口が設けられるとともに、連通管路における空気排出口に近い位置には、少なくとも１つの空気排出バルブが設けられる。
【００１１】
上述の構造により、使用者が本考案を使用する際、まず、ガスを空気取入口から連通管路の中に吹き込み、第１ファンの構造により、ガスをフィルターユニットの中に吹き入れることができることで、ガスは濾過された後、筺体内に入り、その後、集風装置上の第２ファンによって、筺体内のガスは、同時に、連通管路の中に吹き戻され、さらに、再度第１ファンを通過することで循環の效果が達成される。これにより、ガスは、ウェーハ搬送装置内で常に流動し、ガスを排出しようとする場合、空気排出バルブを制御することで、連通管路のガスを空気排出口の中から流出させ、さらに新たなガスを空気取入口に吹き込むことで、内部のガスの入れ替えの目的を達成することができる。
【考案の効果】
【００１２】
本考案のウェーハ搬送装置は、ウェーハを保管するのに用いられ、上述の構造及び動作により、ウェーハを保管する環境をガスが常に循環且つ流通する状態に保つことができると同時に、ガスの充填時間を短縮し、さらに、集風装置により気流を集中させて循環效率を向上させることで、騒音を低減させ、適切にほこりを吹き飛ばすとともに、メンテナンスを容易にする効果を達成することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】好ましい実施例１の斜視透視図である。
【図２】好ましい実施例１の正面図である。
【図３】好ましい実施例１における循環を示した図（一）である。
【図４】好ましい実施例１における循環を示した図（二）である。
【図５】好ましい実施例１における循環を示した図（三）である。
【図６】好ましい実施例１における循環を示した図（四）である。
【図７】好ましい実施例２における斜視透視図である。
【図８】好ましい実施例３における部分斜視透視図である。
【図９】好ましい実施例４における斜視透視図である。
【図１０】好ましい実施例５における斜視透視図である。
【図１１】好ましい実施例５における別の角度から見た斜視透視図である。
【考案を実施するための形態】
【００１４】
参照する図１及び図２は、本考案における好ましい実施例１の斜視透視図及び正面図である。図から明らかな通り、本考案は、筺体１と、フィルターユニット２と、少なくとも１つの連通管路３と、少なくとも１つの集風装置４と、少なくとも１つの第１ファン５と、少なくとも１つの第２ファン４１と、少なくとも１つの空気取入口３１１と、少なくとも１つの空気排出口３２１と、少なくとも１つの空気排出バルブ３２２と、からなる。
【００１５】
前記フィルターユニット２は、前記筺体１の一側に設けられるとともに、前記筺体１と相互に連通している。
【００１６】
前記少なくとも１つの連通管路３の一端は、前記筺体１と相互に連通しており、他端は前記フィルターユニット２に連結されることで、ガスは、前記筺体１から前記フィルターユニット２の中に輸送されるとともに、、前記連通管路３の管路の幅は、前記筺体１から前記フィルターユニット２の方向に向けて徐々に太くなっている。
【００１７】
前記少なくとも１つの集風装置４は、前記連通管路３と前記筺体１の連通部分に設けられる。
【００１８】
前記少なくとも１つの第１ファン５は、前記連通管路３に設けられる。
【００１９】
前記少なくとも１つの第２ファン４１は、前記集風装置４の中に設けられる。
【００２０】
前記少なくとも１つの空気取入口３１１は、前記連通管路３の一側に設けられる。
【００２１】
前記少なくとも１つの空気排出口３２１は、前記連通管路３の一側に設けられる。
【００２２】
前記少なくとも１つの空気排出バルブ３２２は、前記連通管路３の中に設けられるとともに、前記空気排出口３２１に隣接する。
【００２３】
そのうち、前記連通管路３は、少なくとも１つの第１管路３１と、前記第１管路３１側に位置する少なくとも１つの第２管路３２を備え、前記空気取入口３１１は前記第１管路３１に設けられ、前記空気排出口３２１及び前記空気排出バルブ３２２は、前記第２管路３２に設けられる。
【００２４】
そのうち、前記ウェーハ搬送装置１００の中には、保留空間６が形成されるとともに、前記保留空間６は、前記フィルターユニット２における前記筺体１から離れた一側に位置する。
【００２５】
そのうち、前記ウェーハ搬送装置１００の中には、非シール領域７が形成され、前記非シール領域７は、前記集風装置４における前記筺体１から離れた一側に位置する。
【００２６】
そのうち、前記筺体１の中には搬送装置８が設けられる。
【００２７】
そのうち、前記空気取入口３１１は、ガスを輸送し且つ前記第１管路３１の中にガスを入れるのに用いられる。
【００２８】
フィルターユニット２は、ファンフィルターユニット（Ｆａｎ  Ｆｉｌｔｅｒ  Ｕｎｉｔ、ＦＦＵ）であることが好ましい。
【００２９】
第１管路３１、第２管路３２、及び、集風装置４の数は、それぞれ、いずれも２つであるとともに、集風装置４は、蓋の形態であることが好ましい。
【００３０】
第１ファン５の数は、例として、６つであることが好ましい。
【００３１】
第２ファン４１の数は、例として、８つであることが好ましい。
【００３２】
空気排出バルブ３２２は、バタフライバルブ、空気圧バタフライバルブ、電動バタフライバルブ、または、手動バタフライバルブのうちのいずれかであることが好ましいが、いずれかは限定されない。本実施例では、空気圧バタフライバルブの形態を例とする。
【００３３】
第２管路３２は、初期部分３２３と、初期部分に連結される拡張部分３２４を備えるとともに、拡張部分３２４の管路の幅は、初期部分３２３の管路の幅より大きく、初期部分は、第２管路３２が集風装置４に連結された部分の管路であり、拡張部分３２４は、初期部分３２３における集風装置４から離れた部分の管路であることが好ましい。
【００３４】
上述の説明により、本技術の構造について理解することができ、この構造を対応させて係合させることにより、ガスの充填時間を短縮することができ、気流を集中させて循環效率を向上させることで、騒音を低減させ、適切にほこりを吹き飛ばすとともに、メンテナンスを容易に行えるようにすることができる。以下に詳細を説明する。
【００３５】
さらに同時に併せて参照する図１から図６は、本考案における好ましい実施例１の斜視透視図から循環を示した図（四）である。上述の構造部材を組み立てると、図から明らかな通り、ウェーハ搬送装置１００は、主に、ウェーハを保管且つ搬送するのに用いられ、ウェーハといった精密部品を適正に保存するため、ウェーハ搬送装置１００の内部は良好な環境に保たれる必要がある。従って、本考案を使用する場合、まず、ガスを空気取入口３１１から輸送して、連通管路３の第１管路３１の中に取り入れ、第１管路３１の中の第１ファン５によって、ガスは保留空間６に送り込まれる。
【００３６】
保留空間６の中に位置するガスは、フィルターユニット２に吸收されて濾過されるとともに、ウェーハの保管及び搬送に用いられる搬送装置８の筺体１の中に取り入れられ、上述の搬送装置８の機能は、ウェーハの搬送であるが、構造の細部の特徴はこれらに限定されない。さらに、各集風装置４上の第２ファン４１は、第１管路３１と第２管路３２の中にガスを同時に吹き入れ、さらに、上述の動作を続けることで、第１ファン５によって保留空間６にガスが吹き込まれた後、フィルターユニット２の中にガスが吹き入れられることにより、ガスを循環させる目的が達成される。
【００３７】
内部のガスが飽和する、または、内部空間のガスを入れ替えようとする場合、空気排出バルブ３２２を管理且つ制御することで、筺体１から第２管路３２の中に流入されるガスは、同時に、空気排出口３２１及び保留空間６に向かって流動し、さらに、ウェーハ搬送装置１００内のガスを徐々に減少させ、同時に、空気取入口３１１から新たなガスをさらに取り入れることで、ウェーハ搬送装置１００内部のガスを入れ替えることができ、それにより、ウェーハ搬送装置１００の内部のガスを新鮮に保つことができる。従って、ウェーハを良好な空気環境の中で確実に保管することができる。
【００３８】
上述のガスは、圧縮乾燥空気（ＣＤＡ）、窒素（Ｎ２）、またはアルゴンガス（Ａｒ）を例とし、ウェーハの保管と保持に用いられるが、これらに制限されない。
【００３９】
さらに、図２及び図３から分かる通り、ガスは、集風装置４の第２ファン４１を通過した後、第２管路３２の初期部分３２３及び拡張部分３２４を順に通過するとともに、図に示す通り、拡張部分３２４の管路の幅は、初期部分３２３の管路の幅より大きく、拡張部分３２における上に向かって徐々に太くなっている形態をより明確に示している。さらに、上述の連通管路３の管路の幅は、筺体１からフィルターユニット２の方向に向かって徐々に太くなる構造に呼応することで、管路が徐々に太くなる形態によりほこりを適切に吹き飛ばす效果が達成される。本実施例の初期部分３２３及び拡張部分３２４は、例として、第２管路３２に形成されるが、同じ連通管路３の第１管路３１にも適用することができるとともに、これらに制限されない。
【００４０】
集風装置４の構造により、ウェーハ搬送装置１００に上述の非シール領域７を生成させることができ、非シール領域７の重点として、流動するガスは非シール領域７の中に流入しないため、ガス全体が流動するスペースを縮小することがきる。これにより、ガスの初期充填時にかかる時間を大幅に短縮させることができると同時に、その他の位置はいずれも密封状態であり、非シール領域７には別に密封構成部品を増設する必要がないことで、コスト削減の效果が達成される。
【００４１】
従って、集風装置４の構造により、ガスの初期充填時間を短縮させることができるとともに、非シール領域７に密封構成部品を別に増設する必要がなく、第１管路３１及び第２管路３２における徐々に太くなる設計により、ガスが吹き込まれる際に騒音が生じるのを防ぐことができると同時に、使用者がガスの流速を容易に制御且つ管理することができるようにする。ガスの流速が適切である場合、連通管路３内のほこりをまき散らすことなく、ほこりを適切に吹き散らすことができる。上述の構造設計により、使用者がメンテナンスを容易に行えるようにすることができる。
【００４２】
さらに同時に併せて参照する図７は、本考案における好ましい実施例２の斜視透視図である。上述の構成部品を組み立てると、図から明らかな通り、本実施例と上述の実施例はほぼ同じであり、本実施例において、筺体１ａの中には、集風補助部品９ａが設けられるとともに、集風補助部品９ａの一端は、空気排出バルブ３２２ａに連結され、第２管路３２ａには空気弁３２５ａが設けられる。
【００４３】
集風補助部品９ａは、蓋体及びファンからなり、空気弁３２５ａは、気動バタフライバルブであることが好ましい。
【００４４】
集風補助部品９ａの構造により、フィルターユニット２ａから筺体１ａに吹き入れられたガスは、第２ファン４１ａ及び集風補助部品９ａ上のファンによって、同時に、第１管路３１ａ、第２管路３２ａ、及び、空気排出バルブ３２２ａの中に吹き入れられる。従って、集風補助部品９ａは、筺体１ａ内のガスを空気排出口３２１ａの中に直接導入させることによって、全体のガス置換率が向上する。
【００４５】
使用者がウェーハ搬送装置１００ａの内部のガスを完全に空にしようとする場合、または、ガス置換率を高めたい場合、空気弁３２５ａを操作且つ制御することで、第２管路３２ａとフィルターユニット２ａの連結部分を密閉することができ、それにより、ガスは、第２ファン４１ａから第２管路３２ａに吹き入れられた後、すべてのガスが空気排出口３２１ａの中に輸送され且つ排出されることで、内部のガスを空にすることができる、または、ガス置換率を高めることができる。
【００４６】
さらに同時に併せて参照する図８は、本考案における好ましい実施例３の部分斜視透視図である。上述の構成部品を組み立てると、図から明らかな通り、本実施例と上述の実施例はほぼ同じであり、本実施例において、ウェーハ搬送装置１００ｂには、開閉装置１０１ｂが設けられるとともに、連通管路３ｂは、開閉装置１０１ｂに設けられ、ウェーハ搬送装置１００ｂには開閉装置１０１ｂの位置に対応したシール材１０２ｂが設けられる。
【００４７】
開閉装置１０１ｂは、戸板であることが好ましく、シール材１０２ｂは、シールストリップであることが好ましい。
【００４８】
本実施例では、ウェーハ搬送装置１００ｂ本体、開閉装置１０１ｂ、及び、シール材１０２ｂのみを開示しており、その他の構造については開示しておらず、開閉装置１０１ｂの構造により、使用における全体的な柔軟性が向上し、ウェーハ搬送装置１００ｂ内部のメンテナンスを行う場合、開閉装置１０１ｂを開けるだけでメンテナンスを行うことができる。連通管路３ｂにおいて、第１管路３１ｂ及び第２管路３２ｂが開閉装置１０１ｂ上に設けられる設計、及び、シール材１０２ｂの構造を組み合わせることによって、外部からガスが流入するのを防ぐことができると同時に、上述の好ましい実施例における長所が達成される。
【００４９】
さらに同時に併せて参照する図９は、本考案における好ましい実施例４の斜視透視図である。上述の構成部品を組み立てると、図から明らかな通り、本実施例と上述の実施例はほぼ同じであり、本実施例において、連通管路３ｃ、集風装置４ｃ、第１ファン５ｃ、及び、第２ファン４１ｃの数は、いずれもそれぞれ１つである。このように、スペースの範囲が比較的小さく、ウェーハ搬送装置１００ｃの体積を縮小したい場合、連通管路３ｃ、集風装置４ｃ、第１ファン５ｃ、及び、第２ファン４１ｃの数を減らすことによって体積を縮小することができ、図９から明らかな通り、構成部品の数を減らすことで、ウェーハ搬送装置１００ｃの体積もそれに伴って縮小され、それにより、本考案は異なる使用状況に適応することができる。
【００５０】
さらに同時に併せて参照する図１０及び図１１は、本考案における好ましい実施例５の斜視透視図及び別の角度から見た斜視透視図である。上述の構成部品を組み立てると、図から明らかな通り、本実施例と上述の実施例はほぼ同じであり、本実施例において、空気取入口３１１ｄ、空気排出口３２１ｄ、及び、空気排出バルブ３２２ｄの数は、いずれもそれぞれ２つであるとともに、ウェーハ搬送装置１００ｄの両側にそれぞれ設けられる。それにより、空気排出バルブ３２２ｄの数によって、ウェーハ搬送装置１００ｄは異なる実施形態を呈することで、本考案は異なる使用状況に適応することができる。
【符号の説明】
【００５１】
１００、１００ａ、１００ｂ、１００ｃ、１００ｄ  ウェーハ搬送装置    
１０１ｂ  開閉装置  
１０２ｂ  シール材  
１、１ａ  筺体  
２、２ａ  フィルターユニット  
３、３ｂ、３ｃ  連通管路  
３１、３１ａ、３１ｂ  第１管路  
３１１、３１１ｄ  空気取入口  
３２、３２ａ、３２ｂ  第２管路  
３２１、３２１ａ、３２１ｄ  空気排出口  
３２２、３２２ａ、３２２ｄ  空気排出バルブ  
３２３  初期部分  
３２４  拡張部分  
３２５ａ  空気弁  
４、４ｃ  集風装置  
４１、４１ａ、４１ｃ  第２ファン  
５、５ｃ  第１ファン  
６  保留空間  
７  非シール領域  
８  搬送装置  
９ａ  集風補助部品  
【図１】
0003232173.tif 000003
【図２】
0003232173.tif 000004
【図３】
0003232173.tif 000005
【図４】
0003232173.tif 000006
【図５】
0003232173.tif 000007
【図６】
0003232173.tif 000008
【図７】
0003232173.tif 000009
【図８】
0003232173.tif 000010
【図９】
0003232173.tif 000011
【図１０】
0003232173.tif 000012
【図１１】
0003232173.tif 000013