(57)【要約】  太陽電池（１００）は、半導体基板（１０）の裏面に設けられた第一導電型層（２１）および第二導電型層（２２）と、第一導電型層上に設けられた第一電極（４１）と、第二導電型層上に設けられた第二電極（４２）とを備える。第一電極と第二電極とは離間しており、第一電極は、間に配置された第二電極によって隔てられている複数の領域を有する。第一電極の複数の領域のそれぞれは、非接続電極部（４１０）と、非接続電極部よりも電極高さの大きい配線接続用電極部（４１１）とを有する。第一電極の隣接する２つの領域において、一方の領域の配線接続用電極部の頂点と、他方の領域の配線接続用電極部の頂点とを結んだ仮想線が、２つの領域の間に配置された第二電極と交わらない。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
受光面および裏面を有する半導体基板と、前記半導体基板の裏面に設けられた第一導電型層および第二導電型層と、前記第一導電型層上に設けられた第一電極と、前記第二導電型層上に設けられた第二電極とを備え、前記半導体基板の受光面には電極が設けられていない太陽電池であって、
前記第一電極と前記第二電極とは離間しており、
前記第一電極は、間に配置された第二電極によって隔てられている複数の領域を有し、
第一電極の複数の領域のそれぞれは、非接続電極部と、前記非接続電極部よりも電極高さの大きい配線接続用電極部とを有し、
第一電極の複数の領域のうち、隣接する２つの領域において、一方の領域の配線接続用電極部の頂点と、他方の領域の配線接続用電極部の頂点とを結んだ仮想線が、２つの領域の間に配置された第二電極と交わらない、太陽電池。
【請求項２】
前記第一電極の複数の領域のそれぞれは、複数の配線接続用電極部を有し、
第一電極の複数の領域のうち、隣接する２つの領域において、一方の領域の１つの配線接続用電極部の頂点と、他方の領域の複数の配線接続用電極部のうち前記一方の領域の接続用電極部と最近接の配線接続用電極部の頂点とを結んだ仮想線が、２つの領域の間に配置された第二電極と交わらない、請求項１に記載の太陽電池。
【請求項３】
前記第一電極の複数の領域のうち、隣接する２つの領域の配線接続用電極部の頂点を結んだ仮想線と、２つの領域の間に配置された第二電極の頂点との、高さ方向における距離が１μｍ以上である、請求項１または２に記載の太陽電池。
【請求項４】
前記第一電極および前記第二電極が平行に延在し、前記第一電極と前記第二電極とが延在方向と直交する方向に沿って交互に配置されており、
前記第一電極の複数の領域のそれぞれに設けられた配線接続用電極部が、電極の延在方向と直交する方向に並んで存在する、請求項１〜３のいずれか１項に記載の太陽電池。
【請求項５】
前記第二電極は、間に配置された第一電極によって隔てられている複数の領域を有し、
第二電極の複数の領域のそれぞれは、非接続電極部と、前記非接続電極部よりも電極高さの大きい配線接続用電極部とを有し、
第二電極の複数の領域のうち、隣接する２つの領域において、一方の領域の配線接続用電極部の頂点と、他方の領域の配線接続用電極部の頂点とを結んだ仮想線が、２つの領域の間に配置された第一電極と交わらない、請求項１〜４のいずれか１項に記載の太陽電池。
【請求項６】
前記第二電極の複数の領域のそれぞれは、複数の配線接続用電極部を有し、
第二電極の複数の領域のうち、隣接する２つの領域において、一方の領域の１つの配線接続用電極部の頂点と、他方の領域の複数の配線接続用電極部のうち前記一方の領域の接続用電極部と最近接の配線接続用電極部の頂点とを結んだ仮想線が、２つの領域の間に配置された第一電極と交わらない、請求項５に記載の太陽電池。
【請求項７】
前記第二電極の複数の領域のうち、隣接する２つの領域の配線接続用電極部の頂点を結んだ仮想線と、２つの領域の間に配置された第一電極の頂点との、高さ方向における距離が１μｍ以上である、請求項５または６に記載の太陽電池。
【請求項８】
前記第一電極および前記第二電極が平行に延在し、前記第一電極と前記第二電極とが延在方向と直交する方向に沿って交互に配置されており、
前記第二電極の複数の領域のそれぞれに設けられた配線接続用電極部が、電極の延在方向と直交する方向に並んで存在する、請求項５〜７のいずれか１項に記載の太陽電池。
【請求項９】
前記第一電極と前記第二電極とが一方向に沿って交互に配置されており、
前記一方向の両端に前記第一電極が存在する領域と、前記一方向の両端に前記第二電極が存在する領域とを有し、
前記第一電極の配線接続用電極部は、両端に第一電極が存在する領域の第一電極上に設けられており、
前記第二電極の配線接続用電極部は、両端に第二電極が存在する領域の第二電極上に設けられている、請求項５〜８のいずれか１項に記載の太陽電池。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれか１項に記載の太陽電池と配線部材とが電気的に接続された太陽電池モジュールであって、
第一電極の複数の領域のそれぞれに設けられた配線接続用電極部に、第一配線部材が電気的に接続され、複数の第一電極が電気的に接続されている、太陽電池モジュール。
【請求項１１】
請求項５〜９のいずれか１項に記載の太陽電池と配線部材とが電気的に接続された太陽電池モジュールであって、
第一電極の複数の領域のそれぞれに設けられた配線接続用電極部に、第一配線部材が電気的に接続され、複数の第一電極が電気的に接続されており、
第二電極の複数の領域のそれぞれに設けられた配線接続用電極部に、第二配線部材が電気的に接続され、複数の第二電極が電気的に接続されている、太陽電池モジュール。
【請求項１２】
請求項１〜９のいずれか１項に記載の太陽電池の試験方法であって、
第一電極の複数の領域のそれぞれに設けられた配線接続用電極部に、測定プローブを着脱可能に接触させた状態で、前記太陽電池に電流を流してＩ−Ｖ測定を行う、太陽電池の試験方法。
【請求項１３】
請求項５〜９のいずれか１項に記載の太陽電池の試験方法であって、
第一電極の複数の領域のそれぞれに設けられた配線接続用電極部、および第二電極の複数の領域のそれぞれに設けられた配線接続用電極部に、測定プローブを着脱可能に接触させた状態で、前記太陽電池に電流を流してＩ−Ｖ測定を行う、太陽電池の試験方法。
【請求項１４】
請求項１〜９のいずれか１項に記載の太陽電池と配線部材とが電気的に接続されている太陽電池モジュールを製造する方法であって、
太陽電池を作製するステップ；
請求項１３または１４に記載の方法により、前記太陽電池のＩ−Ｖ測定を実施するステップ；および
太陽電池に配線部材を接続するステップ、を有する、太陽電池モジュールの製造方法。
【請求項１５】
前記Ｉ−Ｖ測定の結果に基づいて、太陽電池が良品であるか否かを判定するステップをさらに有し、良品と判定された太陽電池のみを、配線部材を接続するステップに供する、請求項１４に記載の太陽電池モジュールの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、太陽電池および太陽電池モジュールに関する。さらに、本発明は太陽電池の試験方法、および太陽電池モジュールの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的な太陽電池は両面電極型であり、受光面および裏面の両方に電極を備える。一方、電極による遮光損のない太陽電池として、裏面接合型太陽電池が開発されている（例えば特許文献１）。裏面接合型太陽電池は、裏面にのみ電極を有するため、受光面の金属電極による遮光損がなく、高い変換効率が期待される。【０００３】
裏面接合型太陽電池は、半導体基板の裏面側にｐ型半導体層およびｎ型半導体層を有する。図７は、裏面側にｐ型半導体層とｎ型半導体層とが櫛型に設けられた裏面接合型太陽電池を示している。この太陽電池８００では、ｙ方向に延在するｐ型半導体層８２１およびｎ型半導体層８２２が、ｘ方向に沿って交互に設けられている。ｙ方向の一端ではｎ型半導体層がｘ方向に延在するように設けられ、ｙ方向の他端ではｐ型半導体層がｘ方向に延在するように設けられている。これにより、ｐ型半導体層形成領域とｎ型半導体層形成領域とは互いに噛み合う櫛歯状に設けられている。このような構造とすることにより、受光面側からの入射光により半導体基板内で誘起された光キャリアを、効率的にそれぞれの導電型半導体層で回収できる。【０００４】
ｎ型半導体層上およびｐ型半導体層上には、回収されたキャリアを外部に取り出すための電極が設けられている。ｙ方向に延在する電極８４１，８４２はフィンガー電極と称される。ｘ方向に延在する電極８４６，８４７はバスバー電極と称され、複数のフィンガー電極の端部を接続している。半導体層およびその上の電極が櫛型に設けられた裏面接合型太陽電池は、図７に破線で示すように、バスバー電極８４６，８４７に配線部材８５１，８５２を接続し、配線部材を介して、１つの太陽電池のｐ型半導体層上の電極と、隣接する太陽電池のｎ型半導体層上の電極とを接続することにより、直列接続され、モジュール化が行われる。【０００５】
このような櫛型構造の電極は、フィンガー電極の端部からバスバー電極までの距離Ｋ（キャリア回収距離）が、半導体基板の１辺の長さＬｙに略等しいため、直列抵抗に起因するキャリア回収ロスが大きい。基板のサイズの増大に伴ってキャリア回収距離が大きくなるため、ロスが増大する傾向がある。【０００６】
直列抵抗は、フィンガー電極の断面積を大きくすることにより低減可能である。しかし、隣接する電極を離間させるためには、ｘ方向における電極の幅を半導体層の幅より小さくする必要がある。半導体層の幅を大きくすると、半導体基板で生成した光キャリアの移動距離が大きくなるため、キャリア再結合によるロスが増大する。また、電極の高さを大きくすると、電極と半導体層との界面での応力が大きくなり、セルの反りや電極剥がれ等が生じる。そのため、フィンガー電極の断面積増大による直列抵抗の低減には限界がある。【０００７】
特許文献２等では、配線シートを使用して、フィンガー電極間の接続、および隣接するセル間の接続を行う方法が検討されている。例えば、図８に示す太陽電池９００は、ｙ方向に延在するフィンガー電極９４１，９４２のみを有し、フィンガー電極同士を連結するバスバー電極を備えていない。配線シート９５０は、基材９６０のセルとの対向面に、セルのフィンガー電極９４１，９４２と略同形状のフィンガー電極部分９５１，９５２およびフィンガー電極同士を接続するバスバー電極部分９５６，９５７を有する。モジュール化の際には、図９に示すように、セル９００上に配線シート９５０を配置して、セルのフィンガー電極と配線シートのフィンガー電極とを接続する。これにより、配線シートのバスバー部分を介して、全てのフィンガー電極のキャリアを回収できる。また、配線シート９５０のフィンガー電極９５１，９５２の高さを大きくすることにより、セル９００のフィンガー電極９４１，９４２の高さを増加させることなく、直列抵抗を低減できる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００９−２００２６７号公報
【特許文献２】特開２０１０−０９２９８１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
配線シートを用いてフィンガー電極の接続を行う場合、配線シートとセルとの正確な位置合わせが必要である。フィンガー電極はｘ方向の幅が小さいため、配線シートがｘ方向に位置ズレした場合や、配線シートの配置角度が正確でない場合は、配線シートのフィンガー電極を介して、ｎ型半導体層上に設けられたｎ側フィンガー電極とｐ型半導体層上に設けられたｐ側フィンガー電極との短絡が生じ、セル性能が大きく低下する。【００１０】
特許文献２では、セルまたは配線シートのフィンガー電極に、位置決めのための凹部または凸部を設けることにより、セルと配線シートとの位置ズレを防止できることが記載されているが、高い位置合わせ精度を要することに変わりはない。また、位置決め用の凹部または凸部を設けるためのマージンを要するため、セルの電極幅が小さくなり、キャリア回収効率が低下する等の問題がある。【００１１】
上記に鑑み、本発明は、太陽電池の電極と配線部材との接続時の位置合わせが容易であり、かつ、電極の直列抵抗に起因するキャリア回収ロスが低減された裏面接合型太陽電池の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の太陽電池は、半導体基板と、半導体基板の裏面に設けられた第一導電型層および第二導電型層と、第一導電型層上に設けられた第一電極と、第二導電型層上に設けられた第二電極とを備える。本発明の太陽電池は裏面接合型であり、半導体基板の受光面には電極が設けられていない。【００１３】
第一電極と前記第二電極とは離間しており、第一電極は、間に配置された第二電極によって隔てられている複数の領域を有する。第一電極の複数の領域のそれぞれは、非接続電極部と、配線接続用電極部とを有する。配線接続用電極部は、非接続電極部よりも電極高さが大きい。第一電極の複数の領域のうち、隣接する２つの領域において、一方の領域の配線接続用電極部の頂点と、他方の領域の配線接続用電極部の頂点とを結んだ仮想線は、２つの領域の間に配置された第二電極と交わらない。【００１４】
第二電極が、間に配置された第一電極によって隔てられている複数の領域を有する場合、第二電極の複数の領域のそれぞれが、非接続電極部よりも電極高さの大きい配線接続用電極部を有していてもよい。第二電極の隣接する２つの領域における配線接続用電極部の頂点同士を結んだ仮想線は、２つの領域の間に配置された第一電極と交わらないことが好ましい。【００１５】
第一電極および／または第二電極の複数の領域のそれぞれが、複数の配線接続用電極部を有する場合は、隣接する２つの領域間の最近接の配線接続用電極部の頂点同士を結んだ仮想線が、２つの領域の間に配置された電極と交わらなければよい。隣接する２つの領域の配線接続用電極部の頂点を結んだ仮想線と、２つの領域の間に配置された電極の頂点との、高さ方向における距離は、１μｍ以上が好ましい。【００１６】
一実施形態において、第一電極および第二電極は平行に延在し、延在方向と直交する方向に沿って交互に配置されている。この形態では、第一電極の複数の領域のそれぞれに設けられた配線接続用電極部が、電極の延在方向と直交する方向に並んで存在することが好ましい。第二電極の複数の領域のそれぞれに配線接続用電極部が設けられている場合、第二電極の配線接続用電極部も電極の延在方向と直交する方向に並んで存在することが好ましい。【００１７】
また、本発明は上記太陽電池の試験方法に関する。本発明の試験方法では、太陽電池の配線接続用電極部に測定プローブを着脱可能に接触させた状態で、太陽電池に電流を流すことにより、Ｉ−Ｖ測定が実施される。【００１８】
さらに、本発明は上記太陽電池の電極と配線部材とが電気的に接続された太陽電池モジュールに関する。配線部材は、電極高さの大きい領域、すなわち配線接続用電極部に接続されていることが好ましい。上記のＩ−Ｖ測定の結果に基づいて、太陽電池（セル）が良品であるか不良品であるかの判定を行い、良品と判定されたセルのみを配線部材と接続することにより、太陽電池モジュールの歩留まりを向上できる。
【発明の効果】
【００１９】
太陽電池の配線接続用電極部に配線部材を接続することにより、第一電極と第二電極との短絡を生じさせることなく、複数の第一電極および複数の第二電極のそれぞれを電気的に接続できる。配線接続用電極部に配線部材を接続する場合、位置ズレや角度ズレの許容量が大きいため、太陽電池のモジュール化が容易となり、歩留まり向上にも寄与する。また、光生成キャリアが電極中を移動する距離が小さくなるため、電極の直列抵抗に起因するキャリア回収ロスを低減し、太陽電池の変換特性（特に曲線因子）を向上できる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の一実施形態にかかる裏面接合型太陽電池の概略斜視図である。
【図２】図１の太陽電池を裏面（電極形成面）側から見た平面図である。
【図３Ａ】図１のＡ１−Ａ２線における断面図である。
【図３Ｂ】図１のＢ１−Ｂ２線における断面図である。
【図４】電極高さについて説明するための断面図である。
【図５】一実施形態の太陽電池の平面図である。
【図６】第一電極と第二電極の配線接続電極部が、一方向で重複して存在する様子を表す平面図である。
【図７】従来技術の太陽電池および太陽電池モジュールの平面図である。
【図８】配線シートにより電極を接続する太陽電池および配線シートの平面図である。
【図９】図８の太陽電池と配線シートとを接続した様子を表す平面図である。
【図１０】太陽電池モジュールの製造工程の一例のフローチャートである。
【図１１】Ｉ−Ｖ測定に用いられるプローブの概略斜視図である。
【図１２】一実施形態の太陽電池の平面図である。
【図１３】一実施形態の太陽電池の平面図である。
【図１４】一実施形態の太陽電池の平面図である。
【図１５Ａ】図１４のＡ３−Ａ４線における断面図である。
【図１５Ｂ】図１４のＢ３−Ｂ４線における断面図である。
【図１６】一実施形態の太陽電池の平面図である。
【図１７】電極および配線接続電極部の形状について説明するための平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
図１は、本発明の一実施形態にかかる裏面接合型太陽電池の概略斜視図である。図２は、図１の上側（太陽電池の裏面側）の平面図である。図３Ａは、図１のＡ１−Ａ２線における断面図であり、図３Ｂは、図１のＢ１−Ｂ２線における断面図である。図２，図３Ａおよび図３Ｂでは、太陽電池の電極上に配線部材５１，５２を接続した状態を破線で示している。
【００２２】
太陽電池１００は、半導体基板１０の裏面（図１の上側の面）に、第一導電型層２１および第二導電型層２２を備える。第一導電型層２１上には第一電極４１が設けられ、第二導電型層２２上には第二電極４２が設けられている。第一電極４１と第二電極４２とは離間しており、絶縁されている。
【００２３】
半導体基板１０としては、結晶シリコン等の結晶半導体基板が用いられる。結晶シリコン基板は、単結晶シリコンおよび多結晶シリコンのいずれでもよい。半導体基板の導電型は、ｎ型およびｐ型のいずれでもよい。半導体基板１０は、光閉じ込めの観点から、受光面側にテクスチャ（凹凸構造）が設けられていることが好ましい。半導体基板の裏面にもテクスチャが設けられていてもよい。
【００２４】
第一導電型層２１と第二導電型層２２は異なる導電型を有する半導体層であり、一方がｐ型半導体層、他方がｎ型半導体層である。裏面接合型太陽電池は、受光面側から光を入射させ、半導体基板内で生成した光キャリアを裏面で回収する。そのため、ｐ型半導体層およびｎ型半導体層の両方が半導体基板の裏面に設けられ、その上に電極が設けられている。半導体基板１０の受光面には電極が設けられていない。
【００２５】
第一導電型層２１および第二導電型層２２は、第一方向（ｙ方向）に延在する帯状に設けられている。第一導電型層と第二導電型層は、第一方向と直交する第二方向（ｘ方向）に沿って交互に配置されている。第一導電型層の幅Ｌ１および第二導電型層の幅Ｌ２は特に限定されないが、それぞれ、５０〜３０００μｍの範囲が好ましい。なお、導電型層および電極の幅とは、特に断りがない限り、延在方向と直交する方向、すなわち、図２のｘ方向における幅を指す。
【００２６】
第一導電型層２１と第二導電型層２２とは接合していないことが好ましい。第一導電型層と第二導電型層との接合を防止するために、両者の間には絶縁層（不図示）が設けられていてもよい。
【００２７】
第一導電型層２１および第二導電型層２２は、例えば、ＣＶＤにより製膜される非晶質シリコンや結晶質シリコン等のシリコン系薄膜である。導電型層は、熱拡散やレーザードーピング等により、シリコン基板の表面に設けられたドーピング層でもよい。第一導電型層と第二導電型層とを所定形状にパターニングする方法は特に限定されず、マスクを用いてシリコン系薄膜を形成する方法や、レジスト等により表面を被覆した状態でエッチング液やエッチングペーストを用いてレジスト開口下の半導体層等を除去する方法等が挙げられる。
【００２８】
第一導電型層２１上にはｙ方向に延在する第一電極４１が設けられ、第二導電型層２２上にはｙ方向に延在する第二電極４２が設けられている。第一電極４１と第二電極４２は離間しており、ｘ方向に沿って交互に配置されている。
【００２９】
第一電極４１の幅Ｅ１は第一導電型層２１の幅Ｌ１より小さく、第二電極４２の幅Ｅ２は第二導電型層２２の幅Ｌ２よりも小さいことが好ましい。なお、第一導電型層２１と第二導電型層２２との境界部分に絶縁層やその他の層が設けられている場合は、第一電極と第二電極とが離間している限りにおいて、電極の幅は半導体層の幅より大きくてもよい。半導体層で回収されたキャリアを効率よく取り出すためには、電極の幅はできる限り大きいことが好ましい。そのため、第一電極４１の幅Ｅ１は、第一導電型層２１の幅Ｌ１の０．５倍よりも大きいことが好ましく、０．７倍よりも大きいことが好ましい。同様に、第二電極４２の幅Ｅ２は、第二導電型層２２の幅Ｌ２の０．５倍よりも大きいことが好ましく、０．７倍よりも大きいことが好ましい。
【００３０】
第一電極４１および第二電極４２は金属層を有する。金属層は多層構造でもよい。電極を構成する金属層は、印刷やめっき等の公知の方法により形成でき、Ａｇペーストのスクリーン印刷により形成されたＡｇ電極や、電解めっきにより形成された銅めっき電極等が好ましく用いられる。第一電極および第二電極は、金属層に加えて透明電極層を有していてもよい。透明電極層としては、例えば、酸化インジウム、酸化錫、酸化亜鉛、酸化チタンやその複合酸化物等の透明導電性金属酸化物からなる薄膜が用いられる。中でも、酸化インジウムを主成分とするインジウム系複合酸化物が好ましい。
【００３１】
第一電極４１と第二電極４２とは、ｘ方向に沿って交互に配置されているため、第一電極４１および第二電極４２は、それぞれ複数の領域を有する。すなわち、第一電極４１は、間に配置された第二電極４２によって隔てられた複数の領域（複数のフィンガー電極）４１ａ〜４１ｅを有する。第二電極４２は、間に配置された第一電極４１によって隔てられた複数の領域（複数のフィンガー電極）４２ａ〜４２ｄを有する（図２参照）。例えば、第一フィンガー電極４１ａと４１ｂとの間には、第二フィンガー電極４２ａが配置されているため、第一フィンガー電極４１ａおよび４１ｂは、間に配置された第二フィンガー電極４２ａによって隔てられた２つの領域とみなせる。同様に、第二フィンガー電極４２ａと４２ｂとの間には、第一フィンガー電極４１ｂが配置されているため、第二フィンガー電極４２ａおよび４２ｂは、間に配置された第一フィンガー電極４１ｂによって隔てられた２つの領域とみなせる。
【００３２】
図２に示す形態では、５本の第一フィンガー電極４１ａ〜４１ｅが離間して設けられているが、複数の第一フィンガー電極は、バスバー電極により接続されていてもよい。また、複数の第二フィンガー電極も、バスバー電極により接続されていてもよい（図１２参照）。
【００３３】
第一フィンガー電極４１ａ〜４１ｅのそれぞれは、非接続電極部４１０と配線接続用電極部４１１とを有する。配線接続用電極部４１１は、非接続電極部４１０よりも電極高さが大きい。第二フィンガー電極４２ａ〜４２ｄのそれぞれは、非接続電極部４２０と、非接続電極部よりも電極高さの大きい配線接続用電極部４２１とを有する。配線接続用電極部４１１，４２１の電極高さＨ１は、非接続電極部４１０、４２０の電極高さＨ０よりも１μｍ以上大きいことが好ましい。Ｈ１−Ｈ０は、１〜１５０μｍが好ましく、５〜８０μｍがより好ましい。
【００３４】
周囲に比べて電極高さが大きい配線接続用電極部を設ける方法は特に限定されない。例えば、高さが一様な電極を形成した後、所定領域に印刷やめっきを行うことにより、電極高さの大きい配線接続用電極部を形成できる。配線接続用電極部の嵩高部分（図１のハッチング部分）の材料は、電極の他の領域の材料と同一でもよく、異なっていてもよい。
【００３５】
フィンガー電極に高低差を設けることにより、配線部材によるフィンガー電極の電気接続が容易となる。なお、電極高さは、基板面と電極の頂点との距離である。半導体層形成のためのエッチング等により、部分的に基板の厚みが小さくなっている領域が存在する場合は、基板面に平行な基準面を定め、当該基準面から電極の頂点までの距離を電極高さと定義すればよい。
【００３６】
フィンガー電極全体の高さを大きくすれば、電極の断面積が増大するため直列抵抗を低減できる。しかし、電極高さを大きくすると、半導体層と電極との界面の応力が大きくなり、電極剥がれが生じる場合がある。裏面接合型太陽電池は電極が片面にしか設けられていないため、電極高さが大きくなると、基板表裏の応力が不均衡となり、セルの反り等の変形が生じ易く、セルの破損につながる。また、電極界面の応力に起因してセルが変形すると、モジュール化の際に、位置ズレや短絡等の不具合を生じる場合がある。そのため、非接続電極部の電極高さＨ０は、１００μｍ以下が好ましく、６０μｍ以下がより好ましく、３０μｍ以下がさらに好ましい。
【００３７】
後に詳述するように、本発明の太陽電池では、配線接続用電極部に配線部材を接続することにより、フィンガー電極のキャリア回収距離を小さくできる。これによりフィンガー電極の直列抵抗を低減できるため、電極高さを過度に大きくする必要がない。なお、フィンガー電極全体の高さを大きくする場合と異なり、局所的に電極高さの大きい領域（配線接続用電極部４１１，４２１）が存在しても、電極高さの小さい領域（非接続電極部４１０，４２０）により電極界面での応力が緩和される。そのため、電極剥がれやセルの変形・破損等が生じ難い。
【００３８】
第一フィンガー電極４１ａ〜４１ｅのそれぞれにおいて、配線接続用電極部４１１は同一のｙ座標領域に設けられている。第二フィンガー電極４２ａ〜４２ｄのそれぞれにおいて、配線接続用電極部４２１は同一のｙ座標領域に設けられている。このように、配線接続用電極部が直線状に並んでいれば、フィンガー電極の配線接続用電極部４１１に第一配線部材５１を接続し、第二フィンガー電極の配線接続用電極部４２１に第二配線部材５２を接続することにより、太陽電池をモジュール化できる。複数のフィンガー電極の配線接続用電極部は、フィンガー電極の延在方向と直交する方向に直線状に並んでいることが好ましい。配線部材の幅は特に限定されないが、０．３ｍｍ以上程度が好ましい。
【００３９】
第一フィンガー電極の配線接続用電極部４１１が設けられたｙ座標領域には、第二フィンガー電極４２ａ〜４２ｄの非接続電極部４２０が存在する。第二フィンガー電極の非接続電極部４２０は、第一フィンガー電極の配線接続用電極部４１１よりも電極高さが小さい。そのため、図３Ａに示すように、第一電極の配線接続用電極部４１１が設けられたｙ座標領域内で、ｘ方向に延在するように第一配線部材５１を配置すれば、第一フィンガー電極４１ａ〜４１ｅの配線接続用電極部４１１の頂点を結ぶように配線部材が設けられる。したがって、第一配線部材５１は、第二フィンガー電極４２ａ〜４２ｄの非接続電極部４２０には接触せず、複数の第一フィンガー電極４１ａ〜４１ｅを、第一配線部材５１により選択的に電気接続できる。
【００４０】
第二フィンガー電極の配線接続用電極部４２１が設けられたｙ座標領域には、第一フィンガー電極４１ａ〜４１ｅの非接続電極部４１０が存在する。非接続電極部は配線接続用電極部よりも電極高さが小さい。そのため、図３Ｂに示すように、第二フィンガー電極４２ａ〜４２ｄの配線接続用電極部４２１の頂点を結ぶように第二配線部材５２を配置すれば、複数の第二フィンガー電極４２ａ〜４２ｄを選択的に電気接続できる。
【００４１】
第一配線部材５１と第二フィンガー電極とを接触させないためには、第一フィンガー電極の配線接続用電極部４１１における電極高さが、第二フィンガー電極の非接続電極部における電極高さよりも大きければよい。配線接続用電極部における電極高さは均一であることが好ましいが、プロセス上のばらつきが生じる場合がある。電極高さが均一でない場合でも、図４に示すように、隣接する２つの第一フィンガー電極（１つの第二フィンガー電極に隣接する２つの第一フィンガー電極）４１ｆおよび４１ｇの配線接続用電極部の頂点を結んだ仮想線が、第一フィンガー電極の間に配置された第二フィンガー電極４２ｆと交わらなければよい。すなわち、隣接する第一フィンガー電極の頂点同士を直線で結んだとき、結んだ直線の高さが、その間に存在する第二フィンガー電極の高さよりも高ければよい。２つの第一フィンガー電極４１ｆ，４１ｇの頂点を結んだ仮想線と、間に配置された第二フィンガー電極４２ｆの頂点との、高さ方向の距離Ｄは、１μｍ以上が好ましく、５μｍ以上がより好ましい。
【００４２】
同様に、第二配線部材５２と第一フィンガー電極とを接触させないためには、隣接する２つの第二フィンガー電極の配線接続用電極部の頂点を結んだ仮想線が、第二フィンガー電極の間に配置された第一フィンガー電極４１と交わらなければよい。２つの第二フィンガー電極の頂点を結んだ仮想線と、間に配置された第一フィンガー電極の頂点との、高さ方向の距離は、１μｍ以上が好ましく、５μｍ以上がより好ましい。
【００４３】
このように、フィンガー電極に、相対的に電極高さの小さい非接続電極部と、非接続電極部よりも電極高さの大きい配線接続用電極部とを設け、複数のフィンガー電極の配線接続用電極部を配線部材で接続すれば、半導体層で回収されたキャリアが配線部材に到達するまでにフィンガー電極を移動する距離（キャリア回収距離）が短くなる。例えば、図２では、第一フィンガー電極４１のキャリア回収距離の最大値（最も遠いところから配線部材で回収されるキャリアの移動距離）はＫ１であり、第二フィンガー電極４２のキャリア回収距離の最大値はＫ２である。フィンガー電極４１，４２の延在方向（ｙ方向）における配線接続用電極部４１１，４２１の位置により、キャリア回収距離を調整できる。例えば、フィンガー電極の延在方向の中心付近に配線接続用電極部が存在する場合、キャリア回収距離はフィンガー電極長さの約半分となる。
【００４４】
電極の抵抗Ｒは、電極材料の体積抵抗率ρ、キャリア回収距離Ｋ、電極の断面積Ｓを用いて、Ｒ＝ρＫ／Ｓで表される。キャリア回収距離が半分になると、抵抗も半分となる。そのため、フィンガー電極の延在方向の中心付近に配線接続用電極部を設け、キャリア回収距離の最大値を小さくすることにより、電極の抵抗に起因する電気的ロスを低減し、太陽電池の変換特性（特に曲線因子）を向上できる。
【００４５】
図２では、１つのフィンガー電極に１つの配線接続用電極部が設けられた形態を示したが、１つのフィンガー電極に複数の配線接続用電極部が設けられていてもよい。例えば、図５に示す太陽電池２００は、第一フィンガー電極２４１ａ〜２４１ｅのそれぞれが、ｙ方向の２箇所に配線接続用電極部４１１ａおよび４１１ｂを有し、第二フィンガー電極２４２ａ〜２４２ｄのそれぞれが、ｙ方向の２箇所に配線接続用電極部４２１ａおよび４２１ｂを有する。このように、フィンガー電極の延在方向に複数の配線絶族用電極部を設けることにより、フィンガー電極のキャリア回収距離をさらに小さくして、電極の抵抗に起因する電気的ロスを低減できる
【００４６】
１つの第一フィンガー電極２４１に複数の配線接続用電極部４１１ａ，４１１ｂが設けられている場合、隣接する２つのフィンガー電極の最近接の配線接続用電極部の頂点を結んだ仮想線が、第一フィンガー電極の間に配置された第二フィンガー電極と交わらなければよい。例えば、２本の第一フィンガー電極２４１ａと２４１ｂとを第一配線部材２５１ａにより接続する場合、同一のｙ座標領域に設けられた配線接続用電極部４１１ａ同士が最近接の配線接続用電極部となる。これらの頂点を結んだ仮想線が、第二フィンガー電極２４２ａと交わらなければよい。１つの第二フィンガー電極２４２に複数の配線接続用電極部４２１ａ，４２１ｂが設けられている場合、隣接する２つのフィンガー電極の最近接の配線接続用電極部の頂点を結んだ仮想線が、第二フィンガー電極の間に配置された第一フィンガー電極と交わらなければよい。
【００４７】
１つのフィンガー電極に複数の配線接続用電極部が設けられている場合、フィンガー電極のキャリア回収距離の短縮による電気的ロスの低減に加えて、配線材と配線接続用電極部とのミスコンタクトに起因するロスを低減できる利点がある。前述のように、配線接続用電極部における電極高さは均一であることが好ましいが、プロセス上のバラツキ等により、特定のフィンガー電極の配線接続用電極部と配線材とが適切に接続できない場合も生じると考えられる。このような場合、１つのフィンガー電極の配線部材との接続箇所が１箇所のみの場合は、配線部材とのミスコンタクトが生じたフィンガー電極のキャリアはセルの外部に取り出すことができないため、完全なロスとなる。
【００４８】
一方、１つのフィンガー電極に複数の配線接続用電極部が設けられ、それぞれの配線接続用電極部が配線部材と接続される場合、１箇所の配線接続用電極部で配線部材とのミスコンタクトが生じたとしても、他の配線接続用電極部が配線部材と接続されていれば、当該接続部分からキャリアを外部に取り出すことができる。この場合、配線材とのミスコンタクトに起因してキャリア回収距離が長くなるが、完全なキャリア回収ロスが生じることを回避できる。そのため、ミスコンタクトに起因する大幅な電気的ロスを回避できる。
【００４９】
フィンガー電極の延在方向に設けられる配線接続用電極部の数が多い場合や、配線接続用電極部の長さＹ１，Ｙ２が大きい場合は、図６のＱ２−Ｑ２線に示すように、隣接する２つの第一フィンガー電極の配線接続用電極部４１１の間に、第二フィンガー電極の配線接続用電極部４２１が存在する場合がある。このような場合でも、Ｑ１−Ｑ１線に示すように、隣接する２つの第一フィンガー電極の配線接続用電極部４１１の間に、第二フィンガー電極の非接続電極部４２０が存在すればよい。このような場合、非接続電極部４２０の長さＡが、配線部材の幅よりも大きければよい。なお、配線部材による第一フィンガー電極と第二フィンガー電極との短絡を確実に防止するためには、配線部材の延在方向（ｘ方向）において、第一フィンガー電極の配線接続用電極部４１１と第二フィンガー電極の配線接続用電極部４２１とが重複していないことが好ましい。
【００５０】
配線部材と電極との接続方法は、フィンガー電極の配線接続用電極部同士を接続できれば特に制限はない。図２に示すように、ｙ方向に延在した第一電極と第二電極とがｘ方向に沿って交互に配置されている場合、それぞれの第一フィンガー電極の配線接続用電極部を同一のｙ座標領域に設け、ｘ方向に延在するように第一配線部材５１を配置して、配線部材と配線接続用電極部と接続すれば、隣接する太陽電池の接続も容易であるため好ましい。
【００５１】
第一方向（ｙ方向）に延在する第一フィンガー電極と第二フィンガー電極とが、第一方向と直交する第二方向（ｘ方向）に交互に配置されている場合、配線部材の延在方向は、第二方向と平行であることが好ましい。具体的には、配線部材の延在方向と第二方向とのなす角は、５°以下が好ましく、３°以下がより好ましく、１°以下がさらに好ましい。
【００５２】
配線部材の延在方向と第二方向とのなす角は、理想的には０°である。一方、配線部材の配置角度を、高精度で常に一定とすることは容易ではなく、工程の複雑化や歩留まり低下の原因となる場合がある。フィンガー電極の配線接続用電極部と配線部材とを接続する場合は、配線シートを用いてフィンガー電極を接続する場合に比べて、位置合わせが容易であり、配線部材の配置角度の許容範囲も大きいとの利点がある。
【００５３】
セルのフィンガー電極を配線シートにより電気的に接続する場合、電極長さをＹ，電極幅方向（ｘ方向）の位置ズレの許容量をＸとすると、許容される角度ズレ範囲はｔａｎ−１（Ｘ／Ｙ）である。例えば、６インチ基板（１辺の長さ約１５６ｍｍ）に設けられた長さ１５０ｍｍのフィンガー電極に、位置ズレ許容量Ｘ＝±０．５ｍｍの範囲で配線シートを貼り合わせる場合の角度ズレの許容範囲は０．３８°（±０．１９°）であり、極めて高い精度が要求される。前述のように、フィンガー電極の幅は半導体層の幅により制限される。フィンガー電極の幅を大きくするために半導体層の幅を大きくすると、半導体基板内での光キャリアの移動距離増大に伴い、キャリア再結合によるロスが増大する。そのため、変換特性を維持しつつ配線シートの位置ズレの許容量を大きくすることは困難である。
【００５４】
一方、複数のフィンガー電極の配線接続用電極部４１１に配線部材５１を接続する場合、第一フィンガー電極の延在方向（ｙ方向）における配線接続用電極部４１１の長さをＹ１、配線部材５１の接続方向（ｘ方向）における半導体基板の長さをＬとすると、許容される角度ズレ範囲は±ｔａｎ−１（Ｙ１／Ｌ）である。配線接続用電極部の長さＹ１は、電極幅のような制限がないため、Ｙ１を大きくすることにより、変換特性を維持しつつ、配線部材の配置角度のズレの許容範囲を大きくできる。例えば、Ｌ＝１５６ｍｍの６インチ基板を用いる場合、配線接続用電極部の長さＹ１が８ｍｍであれば、許容される位置ズレ範囲は±２．９°となる。
【００５５】
このように、本発明の太陽電池は、キャリア回収距離を小さくすることにより、電極の抵抗に起因する電気的ロスを低減できる。また、電極に配線部材を接続する際の位置合わせ（配置角度）の許容範囲が広いため、モジュールの生産工程を簡素化でき、歩留まりを向上できる。
【００５６】
図８に示す太陽電池９００のように、バスバー電極を有さず複数のフィンガー電極が離間して設けられている太陽電池は、配線シート９５０との位置合わせが困難であることに加えて、配線シートと貼り合わせる前のセル単体での性能の測定も困難である。バスバー電極を有していない裏面接合型太陽電池の特性を測定するためには、それぞれのフィンガー電極を電気的に接続する必要があるが、前述のように、フィンガー電極の電気的な接続には、配線シートとの位置合わせを精度高く行う必要がある。配線シートを用いずに、それぞれのフィンガー電極にプローブを接触させることにより性能を測定することも可能であるが、この場合も高い位置合わせ精度が求められる。
【００５７】
裏面接合型太陽電池は高性能である一方で、高コストの太陽電池でもある。そのため、セルの作製からモジュール化までの製造工程において、セルの性能を随時把握し、性能の変動があった場合、直ちに製造ラインにフィードバックをかけて不良品の発生を最小限にとどめる必要がある。複数のセルを接続してモジュールを作製するまでの間、良・不良の判定ができないことは、歩留まりおよび製造コストの面で大きな問題となり得る。
【００５８】
これに対して、本発明の太陽電池は、フィンガー電極とプローブとの接続が容易であるため、複数のフィンガー電極を連結するバスバー電極を有していない場合でも、製造工程におけるセルのＩ−Ｖ特性の測定を容易に行い得る。図１０は、本発明の太陽電池モジュールの製造工程の一例を示すフローチャートである。
【００５９】
まず、セル（太陽電池）の作製が行われる。以下では、ヘテロ接合型結晶シリコン太陽電池を例にとって、セルの作製について説明する。なお、本発明の太陽電池は、ヘテロ接合太陽電池に限定されるものではない。
【００６０】
半導体基板としては、導電型単結晶シリコン基板が用いられる。導電型単結晶シリコン基板はｎ型でもｐ型でもよいが、結晶基板内のキャリア寿命の長さから、ｎ型単結晶シリコン基板を用いることが好ましい。シリコン基板の厚みは、５０〜２００μｍが好ましく、６０〜１８０μｍがより好ましく、７０〜１８０μｍがさらに好ましい。この範囲の厚みの基板を用いることにより、材料コストを低減できる。厚みの小さい基板を用いて、金属電極の厚みを大きくすると、セルに反りが生じやすくなる傾向がある。前述のように、本発明では電極の厚みを過度に大きくしなくとも、電極の抵抗を低減できるため、基板の厚みが小さい場合でもセルの反りを抑制できる。
【００６１】
シリコン基板の受光面側には、パッシベーション層と反射防止膜とが順に形成されることが好ましい。パッシベーション層は、基板の表面欠陥を終端し、キャリア再結合を抑制する作用を有し、真性シリコン層が好ましく用いられる。反射防止膜としては、屈折率１．５〜２．３程度の透光性薄膜が好ましく、その材料としてＳｉＯ、ＳｉＮ、ＳｉＯＮ等が用いられる。反射防止膜の形成方法は特に限定されないが、精密な膜厚制御が可能であることから、ＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition）法が好ましい。
【００６２】
シリコン基板の裏面に形成される導電型層としては、シリコン系薄膜が好ましく、中でも、非晶質のｐ型シリコン薄膜およびｎ型シリコン薄膜が好ましい。ドーパント不純物としては、ｎ型シリコンにはＰ（リン）、ｐ型シリコンにはＢ（ホウ素）が好ましく用いられる。シリコン基板と導電型シリコン系薄膜との間には、真性シリコン薄膜が設けられることが好ましい。シリコン基板の表面に真性シリコン薄膜を設けることにより、シリコン基板の表面欠陥が終端され、ライフタイムが向上するために、太陽電池の出力を向上できる。
【００６３】
導電型シリコン系薄膜の製膜方法は特に限定されないが、ＣＶＤ法が好ましい。ＣＶＤの材料ガスとしては、ＳｉＨ４ガスが好ましく、ドーパント添加ガスとしては、水素希釈されたＢ２Ｈ６やＰＨ３が好ましく用いられる。光透過率を向上させるために酸素や炭素等の不純物を微量添加してもよい。例えば、ＣＯ２やＣＨ４等のガスをＣＶＤ製膜の際に導入することにより、シリコン系薄膜に酸素や炭素を導入できる。ｐ型シリコン系薄膜とｎ型シリコン系薄膜との境界部分に絶縁層を設ける場合、酸化シリコン等の絶縁層をＣＶＤ法により製膜すれば、工程を簡素化させ、プロセスコスト低減および歩留まり向上に寄与し得る。
【００６４】
ヘテロ接合太陽電池では、導電型半導体層と金属電極との間に透明電極層が設けられる。前述のように、透明電極層の材料としては、インジウム系複合酸化物等の導電性酸化物が好ましい。透明電極層は、スパッタ法やＣＶＤ法等により製膜できる。透明電極層も、ｐ型半導体層およびｎ型半導体層と同様にパターニングされる。
【００６５】
透明電極層上に、金属電極が設けられる。前述のように、金属電極は、非接続電極部と、非接続電極部よりも電極高さの大きい配線接続用電極部とを有する。金属電極の詳細については、前述の通りであるため、ここでの記載は省略する。
【００６６】
このようにしてセルを作成後、Ｉ−Ｖ測定が実施される。Ｉ−Ｖ測定は、離間した複数の第一電極の配線接続用電極部に、図１１に示すような着脱可能な測定プローブ８０を接触させ、太陽電池に電流を流すことにより実施できる。電極の延在方向と直交する方向にプローブを配置して、複数の電極の配線接続用電極部にプローブをコンタクトさせることにより、離間した電極間を電気的に接続できる。配線接続用電極部の長さは、電極の幅に比べて十分に大きいため、プローブの位置合わせが容易である。また、プローブの形状を適宜変更することにより、種々の電極パターンに対応させることも可能である。製造工程においても、図１１に示すようなプローブバーを用いることにより、速やかにセルのＩ−Ｖ測定が可能である。
【００６７】
セルのＩ−Ｖ測定の結果に基づいて、良品であるか不良品であるかの判定を行う。不良品と判定されたセルは、廃棄すればよい。あるいは不良が軽微で修復可能である場合は、リペアを実施して、再びＩ−Ｖ測定を実施して良品であるか否かの判定を行ってもよい。また、不良品のセルが発生した場合は、その原因を特定し、製造工程にフィードバックを行い、さらなる不良品の発生を防止することが好ましい。良品と判定されたセルのみがモジュール化工程に供されることが好ましい。モジュール化においては、良品と判定されたセルに配線部材が接続される。その後、必要に応じてＩ−Ｖ測定等の検査を実施した後、封止が行われる。
【００６８】
本発明の太陽電池はＩ−Ｖ測定が容易であるため、セルを作成後、モジュール化の前にＩ−Ｖ測定を実施し、良品のみを用いてモジュール化を行い得る。そのため、不良品の発生を低減し、生産コストを低減できる。
【００６９】
以上、第一フィンガー電極と第二フィンガー電極とが交互に配置された形態について説明したが、本発明の太陽電池は、上記の形態に限定されるものではなく、他の形態にも適用できる。
【００７０】
例えば、第一電極と第二電極とが離間していれば、図１２に示す太陽電池５００のように、複数のフィンガー電極が、バスバー電極５４６，５４７により接続されていてもよい。太陽電池５００では、第一フィンガー電極の配線接続用電極部４１１が配線部材５５１に接続され、第二フィンガー電極の配線接続用電極部４２１が配線部材５５２に接続されている。ｘ方向に延在し、第一フィンガー電極を連結するバスバー電極５４６が配線部材５５６に接続され、第二フィンガー電極を連結するバスバー電極５４７が配線部材５５７に接続されていてもよい。バスバー電極部分の電極高さは、非接続電極部４１０，４２０の電極高さと同等でもよく、非接続電極部より大きくてもよい。
【００７１】
非接続電極部よりも電極高さの大きい配線接続用電極部は、第一電極および第二電極の両方に設けられている必要はなく、第一電極のみが配線接続用電極部を有していてもよい。また、第一電極と第二電極とは交互に配置されている必要はなく、例えば図１３に示す太陽電池６００のように、第二電極６４２が設けられた領域の中に、第一電極６４１が島状に配置されていてもよい。
【００７２】
太陽電池６００においては、第一導電型層６２１が第二導電型層６２２の中に離間した島状に配置されており、第一導電型層６２１上および第二導電型層６２２上のそれぞれに、第一電極６４１および第二電極６４２が形成されている。太陽電池６００では、第二電極が面内の多くの箇所で接続されている。そのため、第二電極に配線接続用電極部が設けられていない場合でも、図１３に示すように、第一電極と接触せず第二電極のみを接続するように、第二配線部材６５２，６５３，６５４を配置できる。
【００７３】
島状に離間して配置された複数の第一電極６４１のそれぞれは、配線接続用電極部４１１を有する。一方向（ｘ方向）に並んで配置された複数の第一電極の配線接続用電極部が、第一配線部材６５８，６５９と接続される。配線部材を介した他の太陽電池との接続を容易とする観点から、複数の島状の第一電極は、その延在方向（ｙ方向）と直交する方向（ｘ方向）に並んで設けられていることが好ましい。
【００７４】
第一電極および第二電極の延在方向は、基板の辺と平行または直交方向でなくてもよい。また、第一電極および第二電極は直線状に延在している必要はなく、図１４に示すように屈曲部を有していてもよい。
【００７５】
図１４に示す太陽電池７００は、基板のｙ方向の中央部の領域Ｙ３０において、フィンガー電極が斜め方向に延在している。領域Ｙ１０およびＹ２０では、フィンガー電極がｙ方向に延在している。そのため、第一フィンガー電極７４１ａ〜７４１ｄ、および第二フィンガー電極７４２ａ〜７４２ｄは、平面視した際に屈曲形状を有している。
【００７６】
領域Ｙ１０のｘ方向の一端には、第一フィンガー電極７４１ｋが設けられており、領域Ｙ２０のｘ方向の他端には、第二フィンガー電極７４２ｋが設けられている。第一フィンガー電極７４１ａ〜７４１ｄおよび７４１ｋは、領域Ｙ１０に、電極高さの大きい配線接続用電極部４１１を有する。第二フィンガー電極７４２ａ〜７４２ｄおよび７４２ｋは、領域Ｙ２０に、電極高さの大きい配線接続用電極部４２１を有する。領域Ｙ１０および領域Ｙ２０では、フィンガー電極の延在方向（ｙ方向）に直交する方向（ｘ方向）に沿って第一フィンガー電極と第二フィンガー電極とが交互に配置されている。
【００７７】
領域Ｙ１０では、ｘ方向の両端に第一フィンガー電極が配置されている。領域Ｙ１０に設けられた第一フィンガー電極の配線接続用電極部４１１に第一配線部材７５１を接続後、封止等のために押圧を行うと、Ａ３−Ａ４断面図（図１５Ａ）に示すように、セルの端部（隣接するセルとの隙間およびその近傍）において、配線部材７５１が半導体基板１０側に屈曲するように変形する場合がある。このように配線部材が屈曲した場合でも、領域Ｙ１０では、ｘ方向の両端に第一フィンガー電極７４１ａおよび７４１ｋが存在するため、配線部材７５１と半導体基板１０との接触を防止できる。また、仮に配線部材と基板との接触が生じた場合でも、端部に設けられている第一導電型層７２１は、第一フィンガー電極７４１ａおよび７４１ｋの下に設けられている半導体層と同一であるため、リークが生じ難い。
【００７８】
領域Ｙ２０では、ｘ方向の両端に第二フィンガー電極が配置されている。領域Ｙ２０に設けられた第二フィンガー電極の配線接続用電極部４２１に第二配線部材７５２を接続後、Ｂ３−Ｂ４断面図（図１５Ｂ）に示すように、配線部材７５２が半導体基板１０側に屈曲するように変形した場合でも、領域Ｙ２０では、ｘ方向の両端に第二フィンガー電極７４２ｋおよび７４２ｄが存在する。そのため、配線部材７５１と半導体基板１０との接触を防止できる。また、仮に配線部材と基板との接触が生じた場合でも、端部に設けられている第二導電型層７２２は、第二フィンガー電極７４２ｋおよび７４２ｄの下に設けられている半導体層と同一であるため、リークが生じ難い。
【００７９】
このように、第一フィンガー電極と第二フィンガー電極とが交互に並んでいる方向（ｘ方向）に沿って、両端に第一電極が存在する領域Ｙ１０と、両端に第二電極が存在する領域Ｙ２０とが存在すれば、配線部材に起因するリークを防止できるため、変換特性の高いモジュールが得られる。
【００８０】
一方向に沿って第一電極と第二電極とが交互に並び、両端に第一電極が存在する領域が複数存在してもよい。また、一方向に沿って第一電極と第二電極とが交互に並び、両端に第二電極が存在する領域が複数存在してもよい。例えば、図１６に示す太陽電池７０１のように、平面視において複数の屈曲部を有するフィンガー電極を設けることにより、ｘ方向の両端に第一電極が存在する領域、およびｘ方向の両端に第二電極が存在する領域を複数存在させることができる。
【００８１】
なお、図１４および図１６、ならびにその他の各図において、半導体基板の周縁には、第一導電型層および第二導電型層が設けられていないが、これらの半導体層は、基板の周縁に設けられていてもよい。基板の周縁にも半導体層を設けることにより、有効発電面積を拡大できるため、変換効率を向上できる。また、図１４および図１６に示すように、一方向に沿って両端に第一電極が存在する領域と両端に第二電極が存在する領域が存在し、両端に存在する電極に配線接続用電極部が設けられている場合、基板の周縁に設けられた半導体層と配線部材とが接触してもリークが生じないため、変換効率の高いモジュールが得られる。
【００８２】
上記の様に、第一電極および第二電極の形状や配置は、種々に設定できる。また、第一電極および第二電極の配線接続用電極部の形状も、任意に設定し得る。図１７に示すように、配線接続用電極部４０１の幅は、電極幅よりも小さくてもよい。また、配線接続用電極部の形状は特に限定されず、配線接続用電極部４０６のような楕円形状や、屈曲形状等でもよい。配線接続用電極部は単一の構造物である必要はなく、接続用電極部４０２のように、間隙を有する構造でもよい。接続用電極部の電極幅方向に間隙を設けることにより、材料使用量を低減できるため、太陽電池の製造コスト低減に寄与し得る。また、電極４４１のように、１つの半導体層上で、電極が複数に分割されていてもよい。電極が幅方向に分割されている場合、幅方向の中央付近で分割されることが好ましい。分割幅（電極が設けられていない溝部分の幅）は電極全体の幅等に応じて適宜に設定可能であり特に限定されないが、分割幅が広すぎると電極面積減少による直列抵抗増加無視できなくなる場合がある。そのため、分割幅は、０．５μｍ〜５μｍ程度がよい。
【符号の説明】
【００８３】
１０            半導体基板
２１，２２      導電型半導体層
４１，４２      電極
４１０，４２０  非接続電極部
４１１，４２１  配線接続用電極部
５１，５２      配線部材
１００          太陽電池
【図１】
2016158977.tif 000003
【図２】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５Ａ】
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【図１５Ｂ】
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【図１６】
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【図１７】
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【国際調査報告】
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