(57)【要約】      （修正有）【課題】試料載置部材及び試料載置キットを提供する。【解決手段】試料載置部材１は試料Ｓを載置するために用いられ、試料を観察するために電子顕微鏡装置に配置される。試料載置部材は、本体部１１、メッシュ構造１２及び識別構造１３を含む。本体部は貫通孔１１１を有し、貫通孔が本体部を貫通する。メッシュ構造は本体部と接続され、メッシュ構造は貫通孔に配置され、メッシュ構造は貫通孔領域を複数のメッシュ１１２に区画し、メッシュ構造試料を載置するために用いられる。識別構造は、本体部及びメッシュ構造の少なくとも一方に接続される。識別構造は、試料載置部材が収納箱に格納される位置を識別するために用いられる。収納箱は、複数の試料載置部材を格納するために用いられる。【選択図】図３
0003234426.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
ユーザが電子顕微鏡装置を介して前記試料を観察するために、少なくとも１つの試料を載置し、前記電子顕微鏡装置に載置されることができる、前記試料載置部材であって、
少なくとも１つの貫通孔が貫通されている本体部と、
前記本体部と接続されると共に、前記貫通孔を複数のメッシュに区画するように前記貫通孔内に位置して、前記試料を載置するために用いられる、少なくとも１つのメッシュ構造と、
前記本体部及び前記メッシュ構造の少なくとも一方と接続され、複数の前記試料載置部材が収納された収納箱に、前記試料載置部材の位置を識別するために用いられる少なくとも１つの識別構造と、
を含む、
ことを特徴とする試料載置部材。
【請求項２】
前記識別構造は前記本体部の一側に凹部として凹設されているか、或いは、前記本体部を貫通する貫通孔として構成され、前記識別構造は、テキストの態様、数値の態様、記号の態様、およびパターンの態様の少なくとも１つで表示されている、請求項１に記載の試料載置部材。
【請求項３】
前記試料載置部材は２つの前記識別構造を含み、前記識別構造のそれぞれは、テキストの態様、数値の態様、記号の態様、およびパターンの態様の少なくとも１つで表示されており、前記識別構造の一方は、前記試料載置部材が前記収納箱に収納する位置に関わる縦型位置を、他方の前記識別構造は、前記試料載置部材が前記収納箱に収納する位置に関わる横型位置を認識するために用いられる、請求項１に記載の試料載置部材。
【請求項４】
前記試料載置部材は、少なくとも１つの位置識別構造をさらに含み、前記試料載置部材は、前記本体部及び前記メッシュ構造の少なくとも一方に接続され、前記位置識別構造のそれぞれは、前記試料載置部材の中心に対する、前記試料載置部材に載置された前記試料の位置を認識するために用いられ、前記位置識別構造は、テキストの態様、数値の態様、記号の態様、およびパターンの態様の少なくとも１つで表示されている、請求項１に記載の試料載置部材。
【請求項５】
前記試料載置部材は方向識別構造をさらに含み、前記方向識別構造は、前記本体部及び前記メッシュ構造少なくとも一方に接続され、前記方向識別構造は、前記本体部の一側、或いは、前記メッシュ構造の中心位置に配置され、前記方向識別構造は、テキストの態様、数値の態様、記号の態様、およびパターンの態様の少なくとも１つで表示されている、請求項１に記載の試料載置部材。
【請求項６】
前記試料載置部材は、少なくとも１つの試料識別構造を含み、前記試料識別構造は、前記本体部及び前記メッシュ構造の少なくとも一方に接続され、前記試料識別構造、テキストの態様、数値の態様、記号の態様、およびパターンの態様の少なくとも１つで表示されている、請求項１に記載の試料載置部材。
【請求項７】
前記本体部はＮ個（Ｎは１以上の正の整数とする）の前記貫通孔を含み、前記貫通孔のそれぞれは連通されないように構成され、前記試料載置部材は、Ｎ個（Ｎは１以上の正の整数とする）の前記メッシュ構造を含み、前記メッシュ構造は前記本体部と接続され、前記メッシュ構造のそれぞれは前記貫通孔の１つに位置し、各前記メッシュ構造は互いに接続されないように構成され、前記メッシュ構造のそれぞれは、載置少なくとも１つの前記試料を載置し、前記試料載置部材はＮ個（Ｎは１以上の正の整数とする）の試料識別構造を含み、各前記試料識別構造は、前記本体部に配置され、前記試料識別構造のそれぞれは、前記メッシュ構造の１つと隣り合って配置され、前記試料識別構造は、テキストの態様、数値の態様、記号の態様、およびパターンの態様の少なくとも１つで表示されている、請求項１に記載の試料載置部材。
【請求項８】
複数の試料載置部材、及び収納箱を含む、試料載置キットであって、
前記試料載置部材は、ユーザが電子顕微鏡装置を介して前記試料を観察するために、少なくとも１つの試料を載置し、前記電子顕微鏡装置に載置されることができ、
前記試料載置部材は、
少なくとも１つの貫通孔が貫通されている本体部と、
前記本体部と接続されると共に、前記貫通孔を複数のメッシュに区画するように前記貫通孔内に位置して、前記試料を載置するために用いられる、少なくとも１つのメッシュ構造と、
前記本体部及び前記メッシュ構造の少なくとも一方と接続され、複数の前記試料載置部材が収納された収納箱に、前記試料載置部材の位置を識別するために用いられる少なくとも１つの識別構造と、
を含み、
前記収納箱は、複数の収容溝を含み、前記収容溝のそれぞれは、１つの前記試料載置部材を収容するために用いられる、ことを特徴とする試料載置キット。
【請求項９】
前記試料載置キットはさらに少なくとも１つのマーク用紙を含み、前記マーク用紙のそれぞれに、試料位置マーク領域及び試料情報記入領域が含まれ、前記試料位置マーク領域は、前記試料載置部材の前記メッシュ構造に対応したメッシュ図パターンを含む、請求項８に記載の試料載置キット。
【請求項１０】
前記試料載置キットはさらに蓋を含み、前記蓋は取り外し可能に前記収納箱と接続され、前記蓋は、前記収容溝を全てカバーできるように配置される、請求項８に記載の試料載置キット。
【請求項１１】
前記識別構造は前記本体部の一側に凹部として凹設されているか、或いは、前記本体部を貫通する貫通孔として構成され、前記識別構造は、テキストの態様、数値の態様、記号の態様、およびパターンの態様の少なくとも１つで表示されている、請求項８に記載の試料載置キット。
【請求項１２】
前記識別構造は、テキストの態様、数値の態様、記号の態様、およびパターンの態様の少なくとも１つで表示されており、前記収納箱は互いに様式が異なる複数のマーク構造を含み、前記収納箱は複数の収容溝を含み、前記マーク構造のそれぞれは前記収容溝の１つと隣り合って配置され、前記識別構造は、前記マーク構造の中の１つと同じ様式を有する、請求項８に記載の試料載置キット。
【請求項１３】
前記試料載置部材は２つの前記識別構造を含み、前記識別構造のそれぞれは、テキストの態様、数値の態様、記号の態様、およびパターンの態様の少なくとも１つで表示されており、前記識別構造の一方は、前記試料載置部材が前記収納箱に収納する位置に関わる縦型位置を、他方の前記識別構造は、前記試料載置部材が前記収納箱に収納する位置に関わる横型位置を認識するために用いられ、前記収納箱は、互いに様式が異なる複数の横型マーク構造、及び互いに様式が異なる複数の縦型マーク構造を含み、前記識別構造の一方と、前記横型マーク構造の一方とは同じ様式を有し、前記識別構造の他方と、前記縦型マーク構造の他方とは同じ様式を有する、請求項８に記載の試料載置キット。
【請求項１４】
前記試料載置部材は、少なくとも１つの位置識別構造をさらに含み、前記試料載置部材は、前記本体部及び前記メッシュ構造の少なくとも一方に接続され、前記位置識別構造のそれぞれは、前記試料載置部材の中心に対する、前記試料載置部材に載置された前記試料の位置を認識するために用いられ、前記位置識別構造は、テキストの態様、数値の態様、記号の態様、およびパターンの態様の少なくとも１つで表示されている、請求項８に記載の試料載置キット。
【請求項１５】
前記試料載置部材は方向識別構造をさらに含み、前記方向識別構造は、前記本体部及び前記メッシュ構造少なくとも一方に接続され、前記方向識別構造は、前記本体部の一側、或いは、前記メッシュ構造の中心位置に配置され、前記方向識別構造は、テキストの態様、数値の態様、記号の態様、およびパターンの態様の少なくとも１つで表示されている、請求項８に記載の試料載置キット。
【請求項１６】
前記試料載置部材は、少なくとも１つの試料識別構造を含み、前記試料識別構造は、前記本体部及び前記メッシュ構造の少なくとも一方に接続され、前記試料識別構造、テキストの態様、数値の態様、記号の態様、およびパターンの態様の少なくとも１つで表示されている、請求項８に記載の試料載置キット。
【請求項１７】
前記本体部はＮ個（Ｎは１以上の正の整数とする）の前記貫通孔を含み、前記貫通孔のそれぞれは連通されないように構成され、前記試料載置部材は、Ｎ個（Ｎは１以上の正の整数とする）の前記メッシュ構造を含み、前記メッシュ構造は前記本体部と接続され、前記メッシュ構造のそれぞれは前記貫通孔の１つに位置し、各前記メッシュ構造は互いに接続されないように構成され、前記メッシュ構造のそれぞれは、載置少なくとも１つの前記試料を載置し、前記試料載置部材はＮ個（Ｎは１以上の正の整数とする）の試料識別構造を含み、各前記試料識別構造は、前記本体部に配置され、前記試料識別構造のそれぞれは、前記メッシュ構造の１つと隣り合って配置され、前記試料識別構造は、テキストの態様、数値の態様、記号の態様、およびパターンの態様の少なくとも１つで表示されている、請求項８に記載の試料載置キット。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は試料載置部材及び試料載置キットに関し、特に試料を載置して電子顕微鏡装置に配置するための試料載置部材、及び当該試料載置部材を含む試料載置キットに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の電子顕微鏡による載置体に配置された半導体チップや生体試料などの観察は、観察したい試料を載置体に置き、その載置体を格納箱に収納し、格納箱に複数の載置体が配置されている場合、担当者がその格納箱を電子顕微鏡のある実験室に持っていき、そして載置体を１つずつ取り出して電子顕微鏡にかける、およびいう流れが一般的であった。載置体に搭載された試料を観察した後、担当者が載置体を収納箱に戻す。
【０００３】
上記の流れでは、試料の観察が済んだ場合、当該試料を載置する載置体が元々収納箱に収納された位置を、担当者が忘れてしまった場合、載置体を収納箱の間違った位置に収納してしまい、試料の処理または記録に支障が起こる場合もある。
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００４】
本考案は、電子顕微鏡装置で試料を観察する流れにおいて、担当者が収納箱における載置体が帰属する位置を忘れてしまうことにより、誤った位置に収納するという問題を改善する、試料載置部材及び試料載置キットを提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本考案に係る特定の実施形態には、次のような試料載置部材が開示される。試料載置部材は少なくとも１つの試料を載置するために用いられる。試料が載置された試料載置部材は観察するために電子顕微鏡装置に配置される。試料載置部材は、少なくとも１つの貫通孔を有する本体部と、少なくとも１つのメッシュ構造と、少なくとも１つの識別構造とを含む。貫通孔は本体部を貫通する。少なくとも１つのメッシュ構造は本体部と接続され、メッシュ構造は貫通孔内に配置される。メッシュ構造は貫通孔領域を複数のメッシュに区画される。メッシュ構造試料を載置するために用いられる。少なくとも１つの識別構造は本体部及びメッシュ構造の少なくとも一方に接続される。識別構造は、試料載置部材が収納箱での収納位置を識別するために用いられる。収納箱は、複数の試料載置部材を収納するために用いられる。
【０００６】
本考案に係る特定の実施形態は試料載置キットを開示する。試料載置キットは、複数の試料載置部材を含む。各試料載置部材は、少なくとも１つの試料を載置するために用いられる。試料が載置された試料載置部材は、電子顕微鏡装置を介して試料を観察するために電子顕微鏡装置に配置するために用いられる。各試料載置部材は少なくとも１つの試料を載置するために用いられる。試料が載置された試料載置部材は観察するために電子顕微鏡装置に配置される。試料載置部材は、少なくとも１つの貫通孔を有する本体部と、少なくとも１つのメッシュ構造と、少なくとも１つの識別構造とを含む。貫通孔は本体部を貫通する。少なくとも１つのメッシュ構造は本体部と接続され、メッシュ構造は貫通孔内に配置される。メッシュ構造は貫通孔領域を複数のメッシュに区画される。メッシュ構造試料を載置するために用いられる。少なくとも１つの識別構造は本体部及びメッシュ構造の少なくとも一方に接続される。識別構造は、試料載置部材が収納箱での収納位置を識別するために用いられる。収納箱は、複数の試料載置部材を収納するために用いられる。
【考案の効果】
【０００７】
上記を纏めて、本考案に係る試料載置部材及び試料載置キットは、識別構造等のデザインによって、担当者が電子顕微鏡装置によって試料載置部材に配置された試料を観察する時、電子顕微鏡装置を通して識別構造を観察することによって、当該試料載置部材は収納箱におけるどの位置に配置されるかを確認することができるため、試料載置部材が収納箱の誤った位置に格納される確率を確実に減らすことができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本考案に係る試料載置キットを示す模式図である。
【図２】本考案に係る試料載置キットの収納箱に１つの試料載置部材が配置されたことを示す上面模式図である。
【図３】本考案に係る試料載置部材載置に試料が載置されていることを示す上面模式図である。
【図４】本考案に係る試料載置キットの識別用紙を示す上面模式図である。
【図５】本考案に係る試料載置キットの他の実施形態の収納箱に１つの試料載置部材が配置されたことを示す上面模式図である。
【図６】本考案に係る試料載置部材に試料が載置される実施形態を示す上面模式図である。
【図７】本考案に係る試料載置部材に試料が載置される変形例を示す上面模式図である。
【図８】本考案に係る試料載置部材に試料が載置される変形例を示す上面模式図である。
【図９】本考案に係る試料載置部材に試料が載置される変形例を示す上面模式図である。
【図１０】図９の部分拡大図である。
【図１１】本考案に係る試料載置部材に試料が載置される変形例を示す上面模式図である。
【図１２】本考案に係る試料載置部材に試料が載置される変形例を示す上面模式図である。
【図１３】本考案に係る試料載置部材に試料が載置される変形例を示す上面模式図である。
【図１４】本考案に係る試料載置部材に試料が載置される変形例を示す上面模式図である。
【図１５】本考案に係る試料載置部材に試料が載置される変形例を示す上面模式図である。
【考案を実施するための形態】
【０００９】
本考案の特徴及び技術内容がより一層分かるように、以下の本考案に関する詳細な説明と添付図面を参照する。しかし、提供される添付図面は参考と説明のために提供するものに過ぎず、本考案の請求の範囲を制限するためのものではない。
【００１０】
以下の説明において、特定の図面を参照するか、または特定の図面に示されているように参照することが示されている場合、これは、その後の説明において、前記関連する内容のほとんどがその特定の図面に現れることを強調するためだけのものであり、その後の説明を前記特定の図面のみを参照することに限定するものではない。
【００１１】
図１〜図４を参照されたい。本考案に係る試料載置キット１００は、複数の試料載置部材１、収納箱２及び複数枚のマーク用紙３を含む。別の実施形態において、試料載置キット１００はマーク用紙３を含まずに販売することも可能である。試料載置キット１００に含まれる試料載置部材１及びマーク用紙３の数量は、実際のニーズに応じて調整し得、本考案ではそれについて制限されない。なお、試料載置キット１００に含まれる試料載置部材１及びマーク用紙３の数量は、収納箱２に含まれる収容溝２１１の数量の以下であることが好ましい。
【００１２】
収納箱２は、箱体２１、蓋２２、および１２個の識別構造２３を含むことができる。箱体２１は、１２個の収容溝２１１を含む。収容溝２１１の各々は、試料運搬部材１の１つを収容するように用いられる。なお、箱体２１が含む収容溝２１１の数量は、実用上の要求に応じて増減させることができ、収容溝２１１の数量は、図２〜図４に示すものに限定されない。また、蓋２２は、箱体２１に着脱可能に接続されており、ユーザは、蓋２２が収容溝２１１の全てを覆うように操作することができ、収容溝２１１に配置された試料搬送部材１が収容溝２１１から離脱することを防止することができる。なお、箱体２１および蓋２２の寸法や構造、および蓋２２と箱体２１との連結態様は、図２〜図４に示すものに限定されない。他の実施形態では、収納箱２は、蓋２２を含まないように設けることができる。
【００１３】
異なる様式を有する１２個のマーク構造２３は、収納箱２の一側に配置され、各マーク構造２３は、収容溝２１１の１つの近傍に配置され、各マーク構造２３は、ユーザが収容溝２１１のそれぞれを識別できるように設けられている。マーク構造２３のそれぞれは、例えば、文字態様（例えば、英文、漢文、または任意の国のテキスト）、数値態様（例えば、アラビア数字、ローマ数字）、記号態様（例えば、各種の幾何学図形）、およびパターン態様（例えば、ユーザが決定する任意のパターン）の少なくとも１つで示すことができる。例えば、１２個の識別構造２３は、それぞれＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅ、Ｆ、Ｇ、Ｈ、Ｉ、Ｊ、Ｋ、Ｌの英語のテキストで箱体２１に表示することができる。別の実施形態では、マーク構造２３のそれぞれは、テキストと数字を同時に含むことができる。例えば、１２個のマーク構造２３は、それぞれＡ１、Ａ２、Ａ３、Ｂ１、Ｂ２、Ｂ３、Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３、Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３とすることができる。マーク構造２３の数量は、収容溝２１１の数量に対応しており、それぞれのマーク構造２３は、ユーザが収容溝２１１の対応する１つを識別できるように設けられている。
【００１４】
図３を参照すると、試料搬送部材１のそれぞれは、試料Ｓの１つを搬送するように構成されており、試料Ｓを搬送した試料搬送部材１のそれぞれは、例えば、各種の透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）、原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）等の電子顕微鏡装置に配置され、電子顕微鏡装置を介して、試料搬送部材１上の試料Ｓを観察することができる。試料搬送部材１のそれぞれは、本体部１１と、メッシュ構造１２と、識別構造１３とを含む。
【００１５】
本体部１１は、本体部１１を貫通する貫通孔１１１を含む。なお、本体部１１および貫通孔１１１の構造および寸法は、本発明の図に示すものに限定されない。また、本体部１１の材質やメッシュ構造体１２の材質は、銅やニッケルを含むことができ、試料の種類に応じて選択することができ、本発明はこれに限定されない。また、メッシュ構造体１２は、本体部１１に接続され、メッシュ構造体１２は、貫通孔１１１に配置され、メッシュ構造体１２は、貫通孔１１１を複数のメッシュ１１２に分割し、メッシュ構造体１２は、試料Ｓを搬送するように構成されているが、メッシュ１１２の構造や寸法は、試料Ｓの寸法や構造に応じて決めることができ、本発明はこれに限定されない。また、実用的には、メッシュ構造体１２の材料は、本体部１１の材料と同じであってもよい。
【００１６】
識別構造１３は、本体部１１およびメッシュ構造１２の少なくとも一方に接続される。識別構造１３のそれぞれは、文字的な態様、数値的な態様、記号的な態様、およびパターン的な態様の少なくとも１つで示すことができる。また、実用的には、各識別構造１３は、本体部１１の一側に凹設されたり、本体部１１を貫通する貫通孔構造であったりすることができる。マーキングデバイスは、例えば、レーザー技術、レーザーエッチング、物理的処理、またはインク印刷によって、識別構造１３の各々を本体部１１に形成することができる。
【００１７】
具体的に、識別構造１３のそれぞれは、収納箱２のマーク構造２３の１つを示す態様と同じ態様で示すことができる。本実施形態の図を参照すると、図３に示す試料搬送部材１は図２に示した収納箱２における最も左上隅の収容溝２１１に配置されており、その収容溝２１１のマーク構造２３は「Ａ」で示されている。図３に示した試料識別構造１６は、本体部１１に「Ａ」で示される。
【００１８】
識別構造１３のデザインによって、ユーザは電子顕微鏡装置を介して試料Ｓを観察する場合、ユーザは識別構造１３を見て、現在観察している試料Ｓが収納箱２の収容溝２１１のいずれにもともと配置されているかを知ることができる。このようにして、ユーザが試料Ｓの観察を終えて、試料搬送部材１を収納箱２に戻せるようにする時、ミスが発生しにくくすることができる。
【００１９】
図３及び図４に示すように、マーク用紙３のそれぞれは、試料位置マーク領域３１及び試料情報記入領域３２を含む。試料位置マーク領域３１は試料載置部材１のそれぞれのメッシュ構造１２に対応したメッシュ図パターンを含む（即ち、試料載置部材１におけるメッシュ１１２の数量は、試料位置マーク領域３１におけるメッシュの数量と対応している）。実際の適用において、ユーザが試料Ｓを試料載置部材１に載置させる後、試料Ｓをメッシュ構造１２に対応的な位置に配置させる。なかでも、試料に対応した位置マーク領域３１に試料パターンＱ１が標示される。そして、試料情報記入領域３２に、識別構造１３対応する、かつ前記試料Ｓに関わるデータＱ２（例えば、会社番号、試料番号等）を記入する。
【００２０】
上記のように、本実施形態に係る図１〜図４に示した内容を例として、ユーザが本考案に係る試料載置キット１００が観察対象試料を作製する流れは、以下の通りである。
【００２１】
試料Ｓをメッシュ構造１２の右上部分に配置させる。
本体部１１に「Ａ」の様式で標示された識別構造１３を形成させるために、試料Ｓが載置された試料載置部材１を関連デバイス（レーザー彫刻機、インク印刷機、化学エッチング機など）に搬送する。
【００２２】
識別構造１３が形成された試料載置部材１を、「Ａ」で標示されたマーク構造２３の傍の収容溝２１１に配置される。
【００２３】
マーク用紙３の試料位置マーク領域３１におけるメッシュ図パターンの右上部分に、試料パターンＱ１を付けると共に、試料情報記入領域３２に、識別構造１３に対応したデータ：Ａ−ＭＡ−００１を記入する。なかでも、Ａは、試料載置部材１が収納箱２におけるどの収容溝２１１に配置されたかを表示し、ＭＡは、当該試料の会社番号を表示し、００１は試料番号を表示する。
【００２４】
また、収納箱２における収容溝２１１のそれぞれのいずれにも試料載置部材１が配置された場合、収納箱２における最も左上角の位置にある収容溝２１１（当該収容溝２１１の傍のマーク構造２３はＡで標示される）に収納された試料載置部材１を観察する流れは次の通りである。
【００２５】
収納箱２における最も左上部分の位置にある収容溝２１１から試料載置部材１の１つを取り出す。当該収容溝２１１に対応的なマーク用紙３を取り、マーク用紙３における試料情報記入領域３２に記入された内容が試料載置部材１における識別構造１３の内容に一致していることを確認した後、前記試料載置部材１を電子顕微鏡装置に載置させる。
【００２６】
マーク用紙３の試料パターンＱ１がメッシュに対応的に位置する部分に基づいて、電子顕微鏡装置の作動を制御することによって、試料Ｓを電子顕微鏡装置の視野範囲に表せる。
【００２７】
視野範囲に位置する試料に対して観察及び記録を行う。
試料載置部材１を取り外すと共に、マーク用紙３の試料情報記入領域３２に示されたデータに基づいて、試料載置部材１を収納箱２における対応的な収容溝２１１に収容させる。
【００２８】
上記の流れにおいて、試料載置部材１に識別構造１３が配置されているため、マーク用紙３の紛失や試料情報記入領域３２に記入されたデータがはっきり認識し得ない場合であっても、担当者は依然として試料載置部材１における識別構造１３を確認することによって、観察済みの試料載置部材１及びそれに載置された試料Ｓを確実に正確な収容溝２１１に収容させることが可能である。
【００２９】
結果として、本考案に係る試料載置部材１は、識別構造１３等のデザインによって、試料載置部材１を誤った収容溝２１１に収納させる確率を大幅に下げることが可能である。
【００３０】
図５及び図６を一緒に参照されたい。本実施形態に係る収納箱２と前述した実施形態との相違点は、収納箱２に含まれるマーク構造の数量は収容溝２１１の数量を下回り、かつ、マーク構造はそれが配置した位置によって様式が異なる３個の縦型マーク構造２３Ａ、及び様式が異なる４個の横型マーク構造２３Ｂに区別される。
【００３１】
例えば、収納箱２が含むマーク構造の数量は、収容溝２１１の数量よりも少なくすることができる。そして、マーク構造は、その位置に応じて、異なる様式を有する３つの縦型マーク構造２３Ａと、異なる様式を有する４つの横型マーク構造２３Ｂとに定義することができる。例えば、収納箱２が含む収容溝２１１が３×４のマトリクス状に配置されている場合、収納箱２は、異なる様式を有する４つの縦型マーク構造２３Ａと、異なる様式を有する３つの横型マーク構造２３Ｂとを含むことができる。縦型マーク構造２３Ａの各々は、文字態様、数値態様、記号態様、及びパターン態様のうちの少なくとも１つで示すことができ、横型マーク構造２３Ｂの各々は、文字態様、数値態様、記号態様、及びパターン態様のうちの少なくとも１つで示すことができる。例えば、４つの縦型マーク構造２３Ａは、１、２、３、４のアラビア数字で示すことができ、３つの横型マーク構造２３Ｂは、Ａ、Ｂ、Ｃの英文で示すことができるが、本発明はこれに限定されない。
【００３２】
なお、本実施形態では、縦型マーク構造２３Ａのいずれか１つのパターンは、すべての横型マーク構造２３Ｂのパターンと同じではないが、これに限らず、異なる実施形態では、縦型マーク構造２３Ａのいずれか１つのパターンは、横型マーク構造２３Ｂのいずれか１つのパターンと同じであってもよい。
【００３３】
本実施形態と前記実施形態との他の違い点は、試料運搬部材１に、識別構造１３Ａおよび識別構造１３Ｂを形成する。識別構造１３Ａは、収納箱２に収納された試料運搬部材１の横方向の位置を示すように構成され、識別構造１３Ｂは、収納箱２に収納された試料運搬部材１の縦方向の位置を示すように構成され、識別構造１３Ａの種類は、縦型マーク構造２３Ａのうちの１つの種類と同じであり、識別構造１３Ｂの種類は、横型マーク構造２３Ｂのうちの１つの種類と同じである。具体的には、識別構造１３Ａは、英文字「Ｃ」として示すことができ、識別構造１３Ｂは、アラビア数字「３」として示すことができる。
【００３４】
以上によれば、ユーザでは、電子顕微鏡装置を介して、試料搬送部材１に設けられた識別構造１３Ａおよび識別構造１３Ｂが示す「Ｃ３」を視認することで、図６に示す試料搬送部材１が、図５に示す収納箱２の第３行（英字「Ｃ」が付された行）および第３列（アラビア数字「３」が付された列）の位置に配置されていることを知ることができる。
【００３５】
なお、識別構造１３Ａおよび識別構造１３Ｂが本体部１１上に配置される位置は、実用上の要求に応じて変更可能であり、本発明の図に示されるものに限定されない。また、識別構造１３Ａと識別構造１３Ｂとの間の距離も、実用上の要求に応じて設計することができる。特殊な用途では、識別構造１３Ａと識別構造１３Ｂとが互いに離れて配置されてもよい（例えば、識別構造１３Ａが本体部１１の左側に配置され、識別構造１３Ｂが本体部１１の右側に配置される）。
【００３６】
図７を参照されたい。図７は、本考案に係る試料載置部材の特定の実施形態を示す。本実施形態と上述実施形態との相違点は、試料載置部材１に位置識別構造１４がさらに含まれてもよい。位置識別構造１４は、本体部１１及びメッシュ構造１２の少なくとも一方と接続される。各位置識別構造１４は、試料載置部材１の中心Ｃに対する試料載置部材１に載置された試料Ｓ位置を認識するために用いられる。位置識別構造１４は、テキスト的な態様、数値的な態様、記号的な態様、およびパターン的な態様のうちの少なくとも１つで示すことができる。
【００３７】
実用的には、マーキングデバイスを利用して本体部１１に位置識別構造１４を形成する場合、メッシュ構造１２の中心Ｃに対する試料搬送部材１によって搬送される試料Ｓの位置に応じて、位置識別構造１４の様式を決定することができる。図６に示すように、例えば、試料Ｓが中心Ｃに対して右上位置、右下位置、左上位置、または左下位置にあることをそれぞれ示すように、位置識別構造１４をＲＵ、ＲＤ、ＬＵ、またはＬＤと示すようにすることができる。言い換えれば、試料Ｓをメッシュ構造１２の中心Ｃに対して右下位置に配置した後、マーキングデバイス（例えば、レーザー彫刻機）を利用して、「ＲＤ」と示された位置識別構造１４を形成することができる。
【００３８】
実用的には、識別構造１３及び位置識別構造１４は、本体部１１の固定位置に配置することができる。図７に示す試料運搬部材１を電子顕微鏡にセットすると、例えば、試料運搬部材１の運搬プラットフォーム及び電子顕微鏡装置のカメラショットを相対的に移動させて、位置識別構造１４が電子顕微鏡装置のビジョンスコープ内に配置されるようにし、その後、ユーザ又は関連する画像キャプチャ機器は、位置識別構造１４を見て、運搬プラットフォーム及びカメラショットの相対的な移動方向を決定することができる。このようにして、試料搬送部材１によって搬送された試料Ｓを比較的迅速に見つけて、試料Ｓを観察することができる。
【００３９】
具体的な実施態様では、メッシュ構造１２が垂直および水平のインターレース構造として提示される場合、ユーザは試料Ｓを試料載置部材１上にセットし、関連機器（例えば、レーザー彫刻機など）を使用してボディ１１上に位置識別構造１４を形成するが、これは以下のようにしてもよい。まず、関連機器の画像キャプチャデバイスを使用して試料載置部材１の画像をキャプチャし、次に、関連処理デバイスによって画像を分析して、メッシュ構造１２の中心Ｃに対する試料Ｓの座標を決定する。その後、関連する処理装置によって画像が解析され、メッシュ構造１２の中心Ｃに対する試料Ｓの座標が決定され、最終的に、座標（例えば、１，８）が提示された状態で、位置識別構造１４が本体１１に形成される。位置識別構造１４が座標として提示される設計により、試料載置部材１を電子顕微鏡下に配置すると、位置識別構造１４をまず顕微鏡の視野内に位置させることができ、人または画像取得装置は、位置識別構造１４が提示する座標を見た後、電子顕微鏡を直接制御して、顕微鏡の視野の中心がその座標に直接移動するように動作させることができる。顕微鏡の視野の中心がそのまま座標に移動するので、試料が顕微鏡の視野のほぼ中心に位置することになる。
【００４０】
以上のように、本実施形態で例示した試料載置部材１は、位置識別構造１４の設計により、ユーザが試料Ｓを電子顕微鏡の視野内に配置するのに要する時間を大幅に短縮することができる。
【００４１】
図８を参照すると、本考案の試料搬送部材の実施形態の１つは、試料搬送部材１が、本体部１１およびメッシュ構造１２の少なくとも一方に接続された方向識別構造１５をも含んでいてもよい点で、先の実施形態と異なる。方向識別構造１５は、本体部１１の片面に設けられている。方向識別構造１５は、文字的な態様、数値的な態様、記号的な態様、およびパターン的な態様の少なくとも１つで示すことができる。ユーザまたは関連機器が位置識別構造１４を確認する前に、方向識別構造１５を確認するようにしてもよい。このようにして、技術者または関連機器が位置識別構造１４を確認した後、電子顕微鏡装置のビジョンスコープを正しい位置に移動することを確実にすることができる。
【００４２】
具体的には、ユーザが本体部１１に位置識別構造１４を形成する際に、方向識別構造１５がメッシュ構造１２の中心Ｃの上方に配置され、試料Ｓがメッシュ構造１２の中心Ｃに対して右下の位置に配置されている場合、ユーザは位置識別構造１４を「ＲＤ」と表示される。その後、ユーザは、試料載置部材１は電子顕微鏡に配置する場合、ビジョンスコープの追従移動方向を決定するために、方向識別構造１５がメッシュ構造１２の中心Ｃの上方に配置されているか否かを確認ことができる。言い換えれば、ユーザが、方向識別構造１５がメッシュ構造１２の中心Ｃの上に配置されていることをビジョンスコープで確認した場合、次に、ビジョンスコープを制御して、メッシュ構造１２の中心Ｃに対して右下に移動させることができる。逆の場合では、ビジョンスコープを左上に移動するように制御する。
【００４３】
図９と図１０を合わせて参照されたい。本実施形態は、方向識別構造１５がパターンで提示され、方向識別構造１５がメッシュ構造１２の中心に設定されている点で、先の実施形態と異なる。実際には、試料載置部材１を電子顕微鏡にセットすると、視野の中心が試料載置部材１の中心（すなわち、メッシュ構造１２の中心）とほぼ一致するので、電子顕微鏡で試料載置部材１を見るユーザは、方向識別構造１５をすぐに確認することができるようになる。
【００４４】
図１１を参照されたい。本実施形態は、試料運搬部材１に位置識別構造１４Ａ、位置識別構造１４Ｂ、試料識別構造１６Ａ、および試料識別構造１６Ｂが含まれる点で、先の実施形態と異なる。なお、位置識別構造の数量と試料マーク構造の数量は、メッシュ構造で搬送される試料の数量に応じて決定すればよい。位置識別構造１４Ａは、メッシュ構造体１２の中心Ｃに対する、メッシュ構造体１２上の試料Ｓ１の位置を示すように構成されている。位置識別構造１４Ｂは、メッシュ構造体１２の中心Ｃに対する、メッシュ構造体１２上の試料Ｓ２の位置を示すように構成されている。
【００４５】
試料識別構造１６Ａは、位置識別構造１４Ａの近傍に配置され、試料識別構造１６Ｂは、位置識別構造１４Ｂの近傍に配置され、試料識別構造１６Ａおよび試料識別構造１６Ｂは、ユーザがメッシュ構造１２上の試料Ｓ１および試料Ｓ２の関連データを識別できるように構成されている。例えば、図１１にＭＡ−００１とＭＡ−００２が示されているが、ＭＡは会社のラベルであり、００１と００２は試料番号であることができる。
【００４６】
上記によれば，具体的には、電子顕微鏡装置を介して、「ＲＤ−ＭＡ−００１」と示された位置識別構造１４Ａおよび試料識別構造１６Ａを確認することができる場合、ＭＡの会社ラベルおよび００１の試料番号を有する試料Ｓ２が、メッシュ構造１２の右下位置に配置されていることを知ることができる。そして、電子顕微鏡装置を介して「ＬＵ−ＭＡ−００」として示された位置識別構造１４Ｂおよび試料識別構造１６Ｂを確認することができる場合、ＭＡの会社ラベルを有し、００２の試料番号を有する試料Ｓ１が、メッシュ構造１２の左上の位置に配置されていることを知ることができる。
【００４７】
以上によれば、本実施形態の試料搬送部材１は、識別構造、位置識別構造、方向識別構造、および試料識別構造の設計により、試料をメッシュ構造１２上に配置する際に、観察ミスや記録ミスが起こされにくくなる。
【００４８】
図１２に示すように、本実施形態では、識別構造１３をパターン化して示すことができる点で、先の実施形態と異なる。特に、識別構造１３は、本体部１１上に二次元バーコードのパターン化された態様で示すことができる。当然のことながら、本体部１１上の一次元バーコードのパターン化された態様で識別構造１３を示すことができる。実用的には、一次元バーコードや二次元バーコードには、試料Ｓや試料搬送部材１に関する任意の関連データを格納することができる。例えば、バーコードには、試料の会社データ（例えば、会社コード）、試料番号、メッシュ構造体１２に対する試料の位置、試料の種類、試料運搬部材１が収納箱２に配置されている位置などを記憶することができる。
【００４９】
図１３を参照されたい。本実施形態は、メッシュ１１２のそれぞれが六角形に形成される点で前の実施形態と違っている。また、方向識別構造１５は、メッシュ構造１２及び本体部１１を接続してもよい。
【００５０】
図１４を参照されたい。各前記実施形態において、本体部１１の貫通孔１１１が大部円形に形成されるに対し、本実施形態では、本体部１１の貫通孔１１１が不規則状に形成される。本体部１１の貫通孔１１１の形状は、実際のニーズに応じて調整し得る。また、本実施形態の方向識別構造１５は図パターンの形式で構成される。
【００５１】
図１５を参照されたい。本実施形態は、本体部１１に４つの貫通孔１１１、４つのメッシュ構造１２及び４つの試料識別構造１６Ａ、１６Ｂ、１６Ｃ、１６Ｄが含まれる点で、先の実施形態と異なっている。各貫通孔１１１が互いに連通されておらず、各メッシュ構造１２は本体部１１と接続される。メッシュ構造１２のそれぞれは貫通孔１１１の１つに位置し、かつ、各メッシュ構造は互いに接続されていない。なお、４つのメッシュ構造１２に４つの試料Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３、Ｓ４がそれぞれ載置される。試料識別構造のそれぞれは本体部１１に配置されると共に、試料識別構造のそれぞれは、メッシュ構造１２の中の１つに近接するように配置される。なお、本体部１１に含まれる貫通孔１１１、メッシュ構造１２及び試料識別構造の数量はいずれも１以上の正の整数Ｎ個に設定し得ることは説明しておきたい。複数のメッシュ構造１２が互いに接続されないデザインによって、複数の試料が互いに影響をかける問題を大幅に下げることができる。また、本実施形態において、試料載置部材１に４つの方向マーク構造１５を例として挙げられるが、試料載置部材１に含まれる方向マーク構造１５の数量は上記の例に制限されない。
【００５２】
また、上述した試料載置部材１は独立に実施、販売または製造されることもできると共に、試料載置部材１は収納箱２と一緒に製造、販売されるのも制限されないことは強調されたい。
【００５３】
上記を纏めて、本考案に係る試料載置部材及び試料載置キットによれば、ユーザは試料載置部材に載置された試料を観察する過程において、試料載置部材を誤った収容溝に収納してしまう確率を大幅に下げることができる。
【００５４】
以上に開示される内容は、好ましい本考案の可能な実施形態に過ぎず、考案の範囲を限定することを意図していない。そのため、本考案の明細書及び図面でなされた均等的な技術的変形は、全て本考案の請求の範囲に含まれるものである。
【符号の説明】
【００５５】
１００：試料載置キット
１：試料載置部材
１１：本体部
１１１：貫通孔
１１２：メッシュ
１１３：広側面
１２：メッシュ構造
１３：識別構造
１３Ａ：識別構造
１３Ｂ：識別構造
１４：位置識別構造
１４Ａ：位置識別構造
１４Ｂ：位置識別構造
１５：方向識別構造
１６：試料識別構造
１６Ａ：試料識別構造
１６Ｂ：試料識別構造
１６Ｃ：試料識別構造
１６Ｄ：試料識別構造
２：収納箱
２１：箱体
２１１：収容溝
２２：蓋
２３：マーク構造
２３Ａ：縦型マーク構造
２３Ｂ：横型マーク構造
３：マーク用紙
３１：試料位置マーク領域
３２：試料情報記入領域
Ｓ：試料
Ｓ１：試料
Ｓ２：試料
Ｑ１：試料パターン
Ｑ２：データ
Ｃ：中心
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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