(57)【要約】      （修正有）【課題】クラッド加工、肉盛加工及び表面強化加工のうちのいずれかにおいて被覆層をエッジ処理するためのシステムを提供する。【解決手段】システムは、ワークピースを加熱し、溶融溜まり１４５を形成する高強度熱源を含む。当該システムは、ワイヤ１４０を溶融溜まり１４５に供給するワイヤフィーダー１５０も含む。ワイヤは溶融溜まり内で溶融し、溶融溜まりと結合を形成してワークピース１１５上に被覆層を形成する。当該システムは、被覆層１１７の表面領域及び端部領域のうちの少なくとも一方に衝突して被覆層を変更するレーザービーム１１０を放射する少なくとも１つのレーザー１２０を有するエッジ処理システムをさらに含む。レーザーは、表面領域及び／又は端部領域の少なくとも一部を溶融すること及び気化させることのうちの少なくとも一方により被覆層を変更する。【選択図】図１
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
クラッド加工、肉盛加工及び表面強化加工のうちのいずれかにおいて被覆層をエッジ処理するためのシステムであって：
ワークピースを加熱し、溶融溜まりを形成する高強度熱源；
前記溶融溜まり内で溶融し、前記溶融溜まりと結合を形成して前記ワークピース上に前記被覆層を形成するワイヤを前記溶融溜まりに供給するワイヤフィーダー；及び
前記被覆層の表面領域及び端部領域のうちの少なくとも一方に衝突して、前記表面領域及び端部領域のうちの少なくとも一方を溶融すること及び気化させることのうちの少なくとも一方により前記被覆層を変更するレーザービームを放射する少なくとも１つのレーザーを含むエッジ処理システム；
を含むシステム。
【請求項２】
前記ワイヤの一部に加熱電流を供給して、前記ワイヤの前記一部を前記ワイヤの溶融温度に又は該溶融温度付近に加熱するための電源をさらに含む、請求項１に記載のシステム。
【請求項３】
前記エッジ処理システムは、前記少なくとも１つのレーザーの各前記レーザービームの衝突点を前記被覆層の幅方向に配置する位置決めシステムを含む、請求項１又は２に記載のシステム。
【請求項４】
前記位置決めシステムは、前記衝突点の配置を行うために光学システム及び電気機械システムのうちの少なくとも１つを含む、請求項３に記載のシステム。
【請求項５】
各前記レーザービームの前記衝突点が、前記被覆層の前記幅方向の５０％〜１００％を覆うように配置できる、請求項３又は４に記載のシステム。
【請求項６】
前記少なくとも１つのレーザー毎に、焦点、強度、レーザーパルスの周波数及び前記配置の速度のうちの少なくとも１つを調整して、溶融又は気化される前記被覆層の量を制御することができる、請求項３〜５のいずれか１項に記載のシステム。
【請求項７】
前記高強度熱源はレーザー又はアーク型熱源である、請求項１に記載のシステム。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願は、米国仮特許出願第６１／６７９４６５号の優先権を主張し、係る出願の全体が参照により本願に組み込まれる。
【０００２】
特定の実施形態は、クラッド加工（cladding  application）、肉盛加工（building  up  application）及び表面硬化肉盛加工（hard-facing  overlaying  application）のうちのいずれかのためのシステムにおけるエッジ処理に関する。より具体的には、特定の実施形態はクラッド加工、肉盛加工及び表面硬化肉盛加工のうちのいずれかにおいて肉盛材の端部形状（edge  profile）を変える／変更するためのシステムに関する。
【背景技術】
【０００３】
従来のクラッド法では、粉末又はワイヤを使用して基材上にクラッド材の層を提供する。クラッド層は基材、即ちワークピースに、例えば耐腐食性や耐摩耗性等の保護を与え得る。ワークピースをクラッドする従来の方法の１つでは、ガスタングステンアーク溶接（ＧＴＡＷ）法を用いてクラッド層を加える。タングステン電極を使用してアークを生成し、ワークピースの一部を溶融して溶融溜まりを形成する。その時に、例えば、ワイヤの形のクラッド材を係る溶融溜まりに導入する。ワイヤは別の電源を用いて抵抗加熱され得る。ワイヤはコンタクトチップを通じてワークピースの方に供給され、コンタクトチップを越えて延びる。クラッド材が溶融して、溶融したクラッド材とワークピースとが界面において金属結合（metallurgical  bond）を形成する。ワークピースの材料の一部がクラッド材の中に希釈されるため、クラッド材の付加的な層を適用する必要があり得る。その後、「純粋な」クラッド層が形成され、最適な保護、例えば耐腐食性及び／又は耐摩耗性が得られる。
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００４】
上述のように、ワイヤ及びワークピースの一部が溶融して金属結合を形成する。多くの用途では、溶融溜まりを一定の領域又は境界に留める機構がないため、クラッド層の端部がワークピース上を自由に動く傾向にあり、冷却された場合に端部が粗くなる及び／又は不規則になり得る。レーザークラッド法では溶融溜まりがより良好に制御されるが、従来のクラッド法を用いてクラッド層において所望の端部形状を得るのは依然として困難であり得る。
【０００５】
本願の残りの部分に記載の本考案の実施形態と、従来のアプローチ、既存のアプローチ及び提案されているアプローチとを図面を参照しながら比較することにより、それらのアプローチのさらなる限界やデメリットが当業者に明らかになる。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の課題を解決して、特に従来のクラッド法を用いる場合にクラッド層において所望の端部形状を得るために、本考案は、請求項１に係る、クラッド加工、肉盛加工及び表面硬化肉盛加工のうちのいずれかにおいて肉盛材の端部形状を変える／変更するためのシステムを含む。好ましい実施形態は下位クレームに開示されている。さらに好ましい実施形態が開示され、そこでは被覆層（deposit  layer）の形成及び被覆層の変更が本考案に係るシステムによってワンパスで行われ、また被覆層の形成及び被覆層の変更が本考案に係るシステムによって別々のパスで行われる。本考案によれば、上記システムはワークピースを加熱し、溶融溜まりを形成する高強度熱源（high  intensity  heat  source）を含む。上記システムは、ワイヤを溶融溜まりに供給するワイヤフィーダーも含む。ワイヤは溶融溜まり内で溶融し、溶融溜まりと結合を形成してワークピース上に被覆層を形成する。上記システムは、被覆層の表面領域及び端部領域のうちの少なくとも一方に衝突して被覆層を変更するレーザービームを放射する少なくとも１つのレーザーを有するエッジ処理システムをさらに含む。レーザーは、表面領域及び／又は端部領域の少なくとも一部を溶融すること及び気化させることのうちの少なくとも一方により被覆層を変更する。
【０００７】
本考案に係る方法は、ワークピースを加熱して溶融溜まりを形成する工程及び溶融溜まりにワイヤを供給する工程を含む。ワイヤは溶融溜まり内で溶融し、溶融溜まりと結合を形成してワークピース上に被覆層を形成する。本考案に係る方法は、被覆層の表面領域及び端部領域のうちの少なくとも一方に少なくとも１つのレーザービームを衝突させて被覆層を変更する工程も含む。レーザービームは、表面領域及び／又は端部領域の少なくとも一部を溶融すること及び気化させることのうちの少なくとも一方により被覆層を変更する。
【０００８】
本考案に係る方法は、少なくとも加熱電流の流れを印加する間に高強度エネルギー源からワークピースにエネルギーを印加してワークピースを加熱する工程も含む。高強度エネルギー源は、レーザー装置、プラズマアーク溶接（ＰＡＷ）装置、ガスタングステンアーク溶接（ＧＴＡＷ）装置、ガス金属アーク溶接（ＧＭＡＷ）装置、フラックスコアードアーク溶接（ＦＣＡＷ）装置及びサブマージアーク溶接（ＳＡＷ）装置のうちの少なくとも１つを含み得る。
【０００９】
請求項に記載の考案のこれらの特徴及び他の特徴に加えて、説明する実施形態の詳細は、下記の説明及び図面からより完全に理解できる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
本考案の上記の態様及び／又は他の態様は、添付の図面を参照しながら本考案の例示の実施形態を詳細に説明することでより明らかになる。
【図１】図１は、クラッド加工、肉盛加工及び表面硬化肉盛加工のうちのいずれかのためのワイヤフィーダー及びエネルギー源を組み合わせたシステムの例示の実施形態の概略機能ブロック図を示す。
【図２】図２は、クラッド層の幅方向における断面図を示す。
【図３】図３は、図１のシステムと共に使用可能なエッジ処理システムの例示の実施形態の概略機能ブロック図を示す。
【図４】図４は、図１のシステムと共に使用可能なエッジ処理システムの例示の実施形態を示す。
【図５Ａ】図５Ａは、例示のクラッド端部形状を示す。
【図５Ｂ】図５Ｂは、例示のクラッド端部形状を示す。
【図５Ｃ】図５Ｃは、例示のクラッド端部形状を示す。
【図６】図６は、クラッド加工、肉盛加工及び表面硬化肉盛加工のうちのいずれかのためのエネルギー源及びエッジ処理システムの例示の実施形態の概略機能ブロック図を示す。
【考案を実施するための形態】
【００１１】
添付の図面を参照しながら、本考案の例示の実施形態を以下で説明する。以下で説明する例示の実施形態は本考案の理解を助けることを意図したものであり、本考案の範囲を限定することを何ら意図していない。全体を通して、同様の参照符号は同様の要素を示す。
【００１２】
図１は、クラッド加工、肉盛加工及び表面硬化肉盛加工のうちのいずれかを行うためのワイヤフィーダー及びエネルギー源を組み合わせたシステム１００の例示の実施形態の概略機能ブロック図を示す。システム１００は、ワークピース１１５に対してレーザービーム１１０をフォーカスさせてワークピース１１５を加熱し、溶融溜まり１４５を生成することが可能なレーザーサブシステム１３０／１２０を含む。レーザーサブシステムは高強度エネルギー源である。レーザーサブシステムは任意の種類の高エネルギーレーザー源であってよく、限定されないが炭酸ガスレーザーシステム、Ｎｄ：ＹＡＧレーザーシステム、Ｙｂディスクレーザーシステム、ＹＢファイバーレーザーシステム、ファイバー伝送レーザーシステム又はダイレクトダイオードレーザーシステムが挙げられる。また、白色光レーザー又は石英レーザー（quartz  laser）型のシステムであっても、それらに十分なエネルギーがあれば使用可能である。上記のシステムの他の実施形態としては、高強度エネルギー源としての役割を果たす電子ビーム、プラズマアーク溶接サブシステム、ガスタングステンアーク溶接サブシステム、ガス金属アーク溶接サブシステム、フラックスコアードアーク溶接サブシステム及びサブマージアーク溶接サブシステムのうちの少なくとも１つを含み得る。
【００１３】
なお、以下の説明ではレーザーシステム（ビーム及び電源）に繰り返し言及するが、任意の高強度エネルギー源を使用してもよいため係る言及は例示に過ぎない。例えば、高強度エネルギー源は少なくとも５００Ｗ／ｃｍ２を提供することができる。しかしながら、本明細書で説明するレーザー装置１２０等の高強度エネルギー源が、所望のクラッド加工、肉盛加工及び／又は上張り加工に必要なエネルギー密度を提供するための十分なパワーを有する種類のものであるべきことがより重要である。即ち、レーザー装置１２０は、クラッド工程／肉盛工程／上張り工程の全体を通して安定した溶融溜まりを生成し維持するのに十分なパワーを有するべきである。例示のレーザーは１〜２０ｋＷの範囲のパワー能力を有するべきであり、５〜２０ｋＷの範囲のパワー能力を有し得る。よりハイパワーなレーザーも利用可能であるがコストが非常に高くなる。
【００１４】
図１に示すように、レーザーサブシステム１３０／１２０はレーザー装置１２０及びレーザー電源１３０を含み、レーザー装置１２０及びレーザー電源１３０は互いに作動的に接続されている。レーザー電源１３０はレーザー装置１２０に電源を供給して動作させる。レーザービーム１１０を容易にフォーカス／デフォーカスできるか又はレーザービーム１１０のビーム強度をとても容易に変更できるため、レーザー装置１２０は溶融溜まり１４５の大きさ及び深さの正確な制御を可能にする。一般に、溶融溜まり１４５の深さは、クラッド材（即ちワイヤ１４０）と基材のワークピース１１５との間に適切な金属結合を提供するのに十分な深さがあればよい。材料にもよるが、適切な金属結合は数ミクロン（μｍ）程度である。レーザー１２０を正確に制御することで、レーザービーム１１０は、より迅速なクラッド作業及びワークピース１１５上の熱影響領域の大きさを最小限に抑えるために浅くて広い溶融溜まりを形成することができる。
【００１５】
システム１００は、少なくとも１つの耐性ワイヤ１４０（クラッド材）を提供して、レーザービーム１１０の近傍でワークピース１１５と接触させることが可能なワイヤフィーダーサブシステムも含む。当然のことながら、本明細書におけるワークピース１１５を参照して、溶融溜まり１４５はワークピース１１５の一部であると考えられるため、ワークピース１１５との接触への言及は溶融溜まり１４５との接触を含むことが分かる。ワイヤフィーダーサブシステムはワイヤフィーダー１５０、コンタクトチップ１６０及びワイヤ電源１７０を含む。動作の間、ワイヤ１４０は、コンタクトチップ１６０とワークピース１１５との間に作動的に接続された電源１７０からの電流によって抵抗加熱される。本考案の一実施形態に従って、電源１７０は直流（ＤＣ）パルスを提供可能なＤＣ電源であるが、交流（ＡＣ）又は他の種類の電源も同様に可能である。
【００１６】
電源１７０、ワイヤフィーダー１５０及びレーザー電源１３０は検知制御ユニット（sensing  and  control  unit）１９５に作動的に接続され得る。制御ユニット１９５は溶接作業を制御することができる。例えば、制御ユニット１９５は、クラッド材の被覆速度を制御するためにワイヤフィーダー１５０を介してワイヤ供給速度を制御し得る。一部の実施形態では、制御ユニット１９５は、ワイヤ１４０が溶融してワークピース１１５の溶融部分と結合を形成するが、その後に接合界面における希釈量を制限するために素早く冷却するよう電源１７０を介してワイヤ温度を制御し得る。また、一部の実施形態では、制御ユニット１９５はレーザー電源１３０を介して溶接溜まりの温度も制御し得る。制御ユニット１９５は、電源１３０及び１７０によって使用される電力、コンタクトチップ１６０における電圧、クラッドワイヤを介した加熱電流、ワイヤの所望の温度及び実際の温度、溶融溜まりの温度等の入力を受信することができる。参照により本願に全体的に組み込まれる「溶接のためのフィラーワイヤフィーダー及び高強度エネルギー源の組み合わせを始動及び使用する方法及びシステム」と題する米国仮特許出願第１３／２１２０２５号（２０１１年８月１７日出願、２０１１年１２月８日公開）には、本考案に組み込まれ得る例示の監視制御アルゴリズムを含む例示の検知制御ユニットが開示されている。従って、検知制御ユニット１９５の動作についてのさらなる説明は省略する。  
動作の間、ワイヤ１４０は電源１７０によりその融点に又は融点付近に予め加熱される。ワイヤ１４０が溶融溜まり１４５と接触すると、ワイヤ１４０は溶融し、溶融したワークピース１１５の材料と混ざり合う。溶融溜まり１４５の深さは金属結合の形成に必要最低限の深さに維持されるため、ワイヤ１４０の一部しか溶融溜まり１４５と混ざり合わない。ワイヤ１４０が溶融され冷却されると、ワークピース１１５上にクラッド層１１７を形成する。接合界面を制限することにより、クラッド層１１７の表面は実質的に純粋なクラッド材となり、所望の保護、例えば耐腐食性、耐摩耗性等が提供される。図２はワークピース１１５上のクラッド層１１７の幅方向における断面図を示す。図２に示すように、クラッド層１１７の端部は、溶融したワイヤ１４０が重力により自由に動くか又はクラッド層の被覆に用いられる作業によって粗く、不規則になる場合がある。それに加えて、クラッド層１１７の上面は、クラッド層１１７を被覆したときの冷却が不均一であることにより不規則になり得る。これらの不規則さは、アーク型の高強度エネルギー源を使用してクラッド材の被覆を行う場合より顕著になり得る。
【００１７】
本考案の一部の例示の実施形態では、図３に示すように、図１のクラッドシステムがクラッド層１１７の端部を変える／変更するレーザー２２０及び／又は３２０等のエッジ処理システムを含む。レーザー２２０／３２０は、電源２３０／３３０によってそれぞれ駆動され、クラッド層１１７の各側にビーム２１０／３１０を放射する。レーザー２２０／３２０はクラッド層１１７の端部を溶融及び／又は気化させて所望の形状にすることができる。レーザー２２０／２３０は、モーターの下の矢印で示すようにモーター２２５／３２５によってそれぞれクラッド層１１７の幅方向に動かされる。モーター２２５／３２５は、ビーム２１０／３１０が各端部の溶融／気化させる必要がある部分に衝突させるようにレーザー２２０／３２０を配置する。一部の実施形態では、モーター２２５／３２５は、必要に応じてクラッド層１１７の全面に加えて端部がビーム２１０／３１０によって覆われるようにレーザー２２０／３２０を配置することができる。例えば、クラッド面を滑らかにするか又は整形する必要がある場合は、端部を含むクラッド層の表面の５０％〜１００％を各レーザービーム２１０／３１０が覆って、必要に応じて表面を溶融するか又は気化させることができる。一部の実施形態では、モーター２２５／３２５に代えて（又は加えて）、適切な光学（図示せず）を用いてレーザービーム２１０、３１０を配置してクラッド層１１７の端部及び／又は表面を覆うようにしてもよい。他の実施形態では、クラッド層の表面及び端部の１００％を覆う単一のレーザー（２２０又は３２０のいずれか）の使用が可能である。例えば、クラッド層１１７のエッジ処理を同時に行う必要がない場合には単一のレーザービームの方がより経済的であり得る。
【００１８】
一部の実施形態では、システム１００によってクラッド層１１７が被覆されるのと同時にレーザービーム２１０／３１０が端部の形状を変更するようレーザー２２０／３２０が操作される。即ち、クラッド層１１７の被覆とクラッド表面及び／又は端部の処理がワンパスで行われる。当然のことながら、レーザービーム２１０／３１０によってエッジ処理が行われる前に被覆したクラッド層１１７が少なくとも部分的に固化する時間が十分取れるようにレーザー２２０／３２０はクラッド作業を十分後追いする（レーザー２２０がレーザー１２０を後追いするのを示す図４参照）。一部の実施形態では、クラッド層１１７を被覆した後でクラッド層１１７を素早く冷却するのに冷却用空気が用いられ得る。他の実施形態では、クラッド層１１７が被覆されて初めてレーザービーム２１０／３１０がクラッド端部及び／又は表面上を走査される。即ち、クラッド層１１７のエッジ処理及び／又は表面処理がクラッド被覆パスとは別で行われる。
【００１９】
本考案の例示の実施形態では、クラッドの薄層のみが溶融／気化されるようにレーザービーム２１０／３１０のパワー及び／又は焦点を調整することができる。そのようなレーザービーム２１０／３１０の「細かい」制御は、ワークピース１１５又はクラッド層１１７の主だった部分に影響を与えずに端部形状を変えることを可能にする。当然のことながら、必要に応じてクラッド端部の大部分を溶融／気化させるためにレーザービーム２１０／３１０のパワー及び／又は焦点を調整することもできる。焦点の制御の代わりに又はそれに加えて、レーザービーム２１０／３１０をパルス化して、各パルスの間に所定量のエネルギーがクラッド端部／表面に伝達されるようにできる。そして各レーザーパルスは所定量のクラッド材を溶融／気化させる。当然のことながら、レーザービームの強度、レーザーパルスの周波数、モーター２２５／３２５（又は光学）の速度、ワイヤ供給速度の任意の組み合わせを用いて所望のクラッド形状を形成することができる。
【００２０】
例えば、図５Ａに示すように、クラッド層１１７はその端部が丸く（点線）且つ所望のクラッド層の形状（実線）を越えた状態で被覆されている。この場合、影付き部分を除去する必要がある。例示の実施形態では、モーター２２５／３２５（及び／又は光学）がレーザー２２０／３２０を陰付き部分の上に配置し、ビーム２１０／３１０を陰付き部分の上で走査させて不要な材料を除去する。当然のことながら、本考案を使用して他の端部形状とすることもできる。例えば、図５Ｂでは、クラッド端部が階段状になっている。この場合、階段形状の各段を形成するためにレーザービーム２１０／３１０の強度、レーザーパルスの周波数、モーター２２５／３２５の速度等を必要に応じて変化させることができる。上記の作業例は、クラッド材を除去してクラッド形状を変えることに関する。しかしながら、本考案は、薄層が溶融及び／又は気化される「仕上げ」を提供する場合にも用いることができる。例えば、図５Ｃに示すように、端部及びクラッド層の表面が粗く不規則になっている。本考案のレーザービーム２１０／３１０を上述のように調整／パルス化して、表面の薄層を溶融及び／又は気化させて粗さを取り除き、仕上げがなされた滑らかな表面を残すことができる。そのため、例示の実施形態では、上記のレーザーを用いて、クラッド層の被覆後に研磨工程又は仕上げ工程を行うことができ、これをクラッド処理のほぼ直後に行うことができる。
【００２１】
一部の例示の実施形態では、クラッド作業の後でクラッド層１１７の表面部分を溶融して、所望の粗さよりも粗い面を平坦にして、より滑らかにすることのみを必要とする。これは、重力に平坦化力又は平滑化力を提供させることにより実現できるが、平滑ブレード等の機械装置を用いて表面を平滑にすること及び／又は余分な材料を取り除いて所望の表面粗さ及び／又は形状を提供することでも実現可能である。さらに、クラッド層１１７が平滑な面ではなく、一連の山と谷とを有する溝付き面又は削り溝（gouged）面を有することが望ましい場合がある。そのような実施形態では、レーザーを用いてクラッド層１１７に溝を形成することができ、また機械装置が所望の形状及び／又は溝を形成できるようにレーザーを用いてクラッド層の一部を溶融させることができる。
【００２２】
本考案の例示の実施形態では、クラッド作業に基づきレーザー２２０／３２０を選択的に動作させることができる。例えば、列に並べられたクラッド材を互いに隣接して被覆してワークピース上にクラッド層を形成する場合、先に被覆した列に隣接する列のクラッドの端部はエッジ処理が必要ない場合があるため、エッジ処理用のレーザーを選択的に動作させてもよい。
【００２３】
上述の実施形態では、各端部につき１つ、計２つのレーザーが概して使用される。しかしながら、本考案は、図６に示すように１つのレーザーを用いて双方の端部を同時に変更することができる。説明を簡潔にするために、関連する違いについてのみ説明する。図６に示すように、レーザー４２０及び光学４４０を用いてレーザービーム４１０及び４１５が提供される。レーザービーム４１０及び４１５はクラッド層の端部にそれぞれ衝突する。光学４４０は、矢印で示すようにレーザービーム４１０／４１５がクラッド層の幅方向に移動できるよう調整可能である。図６の例示の実施形態では、レーザーの代わりに溶融溜まり１４５（図示せず）を形成し且つ必要に応じてワイヤ１４０（図示せず）を溶融する熱源としてアーク型装置４５０が使用されている。
【００２４】
上記の実施形態では、様々な電源及び制御ユニットを明確にするために別々に示した。しかしながら、本考案の実施形態では、これらの構成要素を単一の溶接システムに統合することができる。本考案の態様は、個別に上述した構成要素が別個の物理装置又は独立構造で維持される必要はない。
【００２５】
特定の実施形態を参照して本考案を説明してきたが、当業者であれば本考案の範囲から逸脱することなく様々な変更が加えられ、同等物で置き換えられ得ることが分かる。それに加えて、本考案の範囲から逸脱することなく、本考案の教示に特定の状況又は材料を適合するために多くの変更が加えられ得る。従って、本考案は開示した特定の実施形態に限定されるのではなく、本考案は添付の請求項の範囲に含まれる実施形態の全てを含むことを意図する。
【符号の説明】
【００２６】
１００  エネルギー源システム
１１０  レーザービーム
１１５  ワークピース
１１７  クラッド層又は被覆層
１２０  レーザー又はレーザー装置
１３０  レーザー電源
１４０  ワイヤ
１４５  溶融溜まり
１５０  ワイヤフィーダー
１６０  コンタクトチップ
１７０  電源
１９５  制御ユニット
２１０  レーザー又は放射ビーム
２２０  レーザー
２２５  モーター
２３０  レーザー
３１０  レーザー又は放射ビーム
３２０  レーザー
３２５  モーター
４１０  レーザービーム
４１５  レーザービーム
４２０  レーザー
４４０  光学
４５０  アーク型装置
【図１】
0003199027.tif 000003
【図２】
0003199027.tif 000004
【図３】
0003199027.tif 000005
【図４】
0003199027.tif 000006
【図５Ａ】
0003199027.tif 000007
【図５Ｂ】
0003199027.tif 000008
【図５Ｃ】
0003199027.tif 000009
【図６】
0003199027.tif 000010