(57)【要約】      （修正有）【課題】複数のチップに対する光学検査を順に行うことができる、チップ検査装置を提供する。【解決手段】チップ転送モジュールは、複数のチップＣの転送に用いる。第１回転モジュール２は、第１回転構造２１を含む。第２回転モジュール３は、第２回転構造３１を含む。チップ検査モジュールは、チップを検査するための複数のチップ検査素子を含む。第１回転構造の周囲表面にチップを吸着するための少なくとも１つの第１吸込ノズル開口部を有すると共に、第２回転構造の周囲表面にチップを吸着するための少なくとも１つの第２吸込ノズル開口部３２２を有する。それによって、複数のチップが、第１回転構造の周囲表面から、第２回転構造の周囲表面に順に転送されることで、光学検査を順に行うことができる。【選択図】図８
0003234406.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
複数のチップの転送に用いるチップ転送モジュールと、
前記チップ転送モジュールの近くにあると共に、第１回転構造と、前記第１回転構造内に設置された複数の第１ガス案内構造とを含む第１回転モジュールと、
前記第１回転モジュールの近くにあると共に、第２回転構造と、前記第２回転構造内に設置された第２ガス案内構造と、を含む第２回転モジュールと、
前記第１回転モジュール及び前記第２回転モジュールの近くにあると共に、前記チップを検査するための複数のチップ検査素子を含むチップ検査モジュールと、を備え、
前記第１ガス案内構造のそれぞれは、前記第１回転構造内に設置された局部ガス案内通路と、ガスに連通する前記局部ガス案内通路の局部吸込ノズル開口部と、を含み、前記局部吸込ノズル開口部は、前記チップを吸着またはリリースするように、前記第１回転構造の周囲表面に設置され、
前記第２ガス案内構造は、前記第２回転構造内に設置された周設ガス案内通路と、ガスに連通する前記周設ガス案内通路の周設吸込ノズル開口部と、を含み、前記周設吸込ノズル開口部は、前記チップを吸着するように、前記第２回転構造の周囲表面に設置される、ことを特徴とするチップ検査装置。
【請求項２】
前記チップは、前記チップ転送モジュールの転送で前記局部吸込ノズル開口部に近くなる時に、前記局部ガス案内通路の抽気により前記局部吸込ノズル開口部に吸着され、
前記局部吸込ノズル開口部に吸着された前記チップは、前記第１回転構造の回転により前記周設吸込ノズル開口部に近くなる時に、前記局部ガス案内通路の給気、若しくは抽気の停止により、前記局部吸込ノズル開口部からリリースされると共に、前記局部吸込ノズル開口部からリリースされた前記チップは、前記周設ガス案内通路の抽気により前記周設吸込ノズル開口部で吸着され、
前記局部吸込ノズル開口部に吸着された前記チップには、複数の前記チップ検査素子の中の一つで光学検査が行われ、前記周設吸込ノズル開口部に吸着された前記チップには、複数の前記チップ検査素子の中のもう一つで光学検査が行われる、請求項１に記載のチップ検査装置。
【請求項３】
前記チップ転送モジュールは、前記チップを載置するためのチップ案内ブロックを含み、前記チップ案内ブロックは、凹部空間を有すると共に、前記第１回転モジュールの一部は、前記チップ案内ブロックの前記凹部空間に収容されており、
前記局部吸込ノズル開口部は、前記第１回転構造の回転により前記チップ案内ブロックの前記凹部空間に収容された時に、前記チップ案内ブロックに載置された前記チップは、前記局部吸込ノズル開口部の吸着により、前記チップ案内ブロックから前記第１回転構造の前記周囲表面に転送され、
前記第１回転構造の前記周囲表面に転送された前記チップは、前記第１回転構造の回転により第１開始位置から第１停止位置に移動された時に、前記第１停止位置にある前記チップは、前記局部吸込ノズル開口部のリリース及び前記周設吸込ノズル開口部の吸着により、前記局部吸込ノズル開口部から前記第２回転構造の前記周囲表面に転送され、
前記第２回転構造の前記周囲表面に転送された前記チップは、前記第２回転構造の回転により第２開始位置から第２停止位置に移動された時に、前記チップは、チップ除去モジュールのブローにより前記第２回転構造から離れる、請求項１に記載のチップ検査装置。
【請求項４】
前記チップ検査モジュールは、複数の前記チップ検査素子にそれぞれ対応する複数の補助光生成素子を含み、前記チップ検査素子と前記補助光生成素子とが、前記チップの画像データを取るように共同作用し、
前記複数のチップ検査素子は、チップ正面検査素子と、チップ裏面検査素子と、チップ前面検査素子と、チップ後面検査素子と、チップ左側検査素子と、チップ右側検査素子と、に分けられ、
前記第１回転構造の前記周囲表面に転送された前記チップは、前記第１回転構造の回転により第１開始位置から第１停止位置に移動される過程において、前記チップの正面には、前記チップ正面検査素子により光学検査が行われ、
前記第２回転構造の前記周囲表面に転送された前記チップは、前記第２回転構造の回転により第２開始位置から第２停止位置に移動される過程において、前記チップの前面には、前記チップ前面検査素子により光学検査が行われ、前記チップの左側には、前記チップ左側検査素子により光学検査が行われ、前記チップの裏面には、前記チップ裏面検査素子により光学検査が行われ、前記チップの右側には、前記チップ右側検査素子により光学検査が行われると共に、前記チップの後面には、前記チップ後面検査素子により光学検査が行われる、請求項１に記載のチップ検査装置。
【請求項５】
複数のチップの転送に用いるチップ転送モジュールと、
前記チップ転送モジュールの近くにあると共に、第１回転構造と、前記第１回転構造内に設置された第１ガス案内構造と、前記第１回転構造内に設置されたブロー構造と、を含む第１回転モジュールと、
前記第１回転モジュールの近くにあると共に、第２回転構造と、前記第２回転構造内に設置された第２ガス案内構造と、を含む第２回転モジュールと、
前記第１回転モジュール及び前記第２回転モジュールの近くにあると共に、前記チップを検査するための複数のチップ検査素子を含むチップ検査モジュールと、を備え、
前記第１ガス案内構造は、前記第１回転構造内に設置された第１周設ガス案内通路と、ガスに連通する前記第１周設ガス案内通路の第１周設吸込ノズル開口部と、を含み、前記第１周設吸込ノズル開口部は、前記チップを吸着するように、前記第１回転構造の周囲表面に設置され、
前記第２ガス案内構造は、前記第２回転構造内に設置された第２周設ガス案内通路と、ガスに連通する前記第２周設ガス案内通路の第２周設吸込ノズル開口部と、を含み、前記第２周設吸込ノズル開口部は、前記チップを吸着するように、前記第２回転構造の周囲表面に設置される、ことを特徴とするチップ検査装置。
【請求項６】
前記チップは、前記チップ転送モジュールの転送で前記第１周設吸込ノズル開口部に近くなる時に、前記第１周設ガス案内通路の抽気により前記第１周設吸込ノズル開口部に吸着され、
前記第１周設吸込ノズル開口部に吸着された前記チップは、前記第１回転構造の回転により前記第２周設吸込ノズル開口部に近くなる時に、前記ブロー構造のブローにより、前記第１周設吸込ノズル開口部から離れ、前記第１周設吸込ノズル開口部から離れた前記チップは、前記第２周設ガス案内通路の抽気により前記第２周設吸込ノズル開口部で吸着され、
前記第１周設吸込ノズル開口部に吸着された前記チップには、複数の前記チップ検査素子の中の一つで光学検査が行われ、前記第２周設吸込ノズル開口部に吸着された前記チップには、複数の前記チップ検査素子の中のもう一つで光学検査が行われる、請求項５に記載のチップ検査装置。
【請求項７】
前記チップ転送モジュールは、前記チップを載置するためのチップ案内ブロックを含み、前記チップ案内ブロックは、凹部空間を有すると共に、前記第１回転モジュールの一部は、前記チップ案内ブロックの前記凹部空間に収容されており、
前記第１周設吸込ノズル開口部の一部は、前記チップ案内ブロックの前記凹部空間に収容された時に、前記チップ案内ブロックに載置された前記チップは、前記第１周設吸込ノズル開口部の吸着により、前記チップ案内ブロックから前記第１回転構造の前記周囲表面に転送され、
前記第１回転構造の前記周囲表面に転送された前記チップは、前記第１回転構造の回転により第１開始位置から第１停止位置に移動された時に、前記第１停止位置にある前記チップは、前記ブロー構造のブロー及び前記第２周設吸込ノズル開口部の吸着により、前記第１周設吸込ノズル開口部から前記第２回転構造の前記周囲表面に転送され、
前記第２回転構造の前記周囲表面に転送された前記チップは、前記第２回転構造の回転により第２開始位置から第２停止位置に移動された時に、前記チップは、チップ除去モジュールのブローにより前記第２回転構造から離れる、請求項５に記載のチップ検査装置。
【請求項８】
前記チップ検査モジュールは、複数の前記チップ検査素子にそれぞれ対応する複数の補助光生成素子を含み、前記チップ検査素子と前記補助光生成素子とが、前記チップの画像データを取るように共同作用し、
前記複数のチップ検査素子は、チップ正面検査素子と、チップ裏面検査素子と、チップ前面検査素子と、チップ後面検査素子と、チップ左側検査素子と、チップ右側検査素子と、に分け、
前記第１回転構造の前記周囲表面に転送された前記チップは、前記第１回転構造の回転により第１開始位置から第１停止位置に移動される過程において、前記チップの正面には、前記チップ正面検査素子により光学検査が行われ、
前記第２回転構造の前記周囲表面に転送された前記チップは、前記第２回転構造の回転により第２開始位置から第２停止位置に移動される過程において、前記チップの前面には、前記チップ前面検査素子により光学検査が行われ、前記チップの左側には、前記チップ左側検査素子により光学検査が行われ、前記チップの裏面には、前記チップ裏面検査素子により光学検査が行われ、前記チップの右側には、前記チップ右側検査素子により光学検査が行われると共に、前記チップの後面には、前記チップ後面検査素子により光学検査が行われる、請求項５に記載のチップ検査装置。
【請求項９】
複数のチップの転送に用いるチップ転送モジュールと、
前記チップ転送モジュールの近くにあると共に、第１回転構造を含む第１回転モジュールと、
前記第１回転モジュールの近くにあると共に、第２回転構造を含む第２回転モジュールと、
前記第１回転モジュール及び前記第２回転モジュールの近くにあると共に、前記チップを検査するための複数のチップ検査素子を含むチップ検査モジュールと、を備え、
前記第１回転構造の周囲表面に前記チップを吸着するための少なくとも１つの第１吸込ノズル開口部を有すると共に、前記第２回転構造の周囲表面に前記チップを吸着するための少なくとも１つの第２吸込ノズル開口部を有する、ことを特徴とするチップ検査装置。
【請求項１０】
前記チップ検査モジュールは、複数の前記チップ検査素子にそれぞれ対応する複数の補助光生成素子を含み、前記チップ検査素子と前記補助光生成素子とが、前記チップの画像データを取るように共同作用し、
前記複数のチップ検査素子は、チップ正面検査素子と、チップ裏面検査素子と、チップ前面検査素子と、チップ後面検査素子と、チップ左側検査素子と、チップ右側検査素子と、に分け、
前記第１回転構造の前記周囲表面に転送された前記チップは、前記第１回転構造の回転により第１開始位置から第１停止位置に移動される過程において、前記チップの正面には、前記チップ正面検査素子により光学検査が行われ、
前記第２回転構造の前記周囲表面に転送された前記チップは、前記第２回転構造の回転により第２開始位置から第２停止位置に移動される過程において、前記チップの前面には、前記チップ前面検査素子により光学検査が行われ、前記チップの左側には、前記チップ左側検査素子により光学検査が行われ、前記チップの裏面には、前記チップ裏面検査素子により光学検査が行われ、前記チップの右側には、前記チップ右側検査素子により光学検査が行われると共に、前記チップの後面には、前記チップ後面検査素子により光学検査が行われる、請求項９に記載のチップ検査装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、検査装置に関し、特に、チップ検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子素子の安定性及び製品の歩留まりは、各種の電子製品を使用する際の品質及び性能表現に影響を与える。従来の技術において、電子素子は大型回転台に乗せられて、複数のカメラで電子素子表面の画像を取ることで、光学検査を行う。
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００３】
本考案が解決しようとする技術の課題は、従来技術の不足に対し、複数のチップが、第１回転構造の周囲表面から、第２回転構造の周囲表面に順に転送されることで、複数のチップに対する光学検査を順に行うことができる、チップ検査装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
上記の技術的課題を解決するために、本考案が採用する一つの技術的手段は、チップ転送モジュールと、第１回転モジュールと、第２回転モジュールと、チップ検査モジュールと、を備える、チップ検査装置を提供する。チップ転送モジュールは、複数のチップの転送に用いる。第１回転モジュールは、チップ転送モジュールの近くにあると共に、第１回転構造と、第１回転構造内に設置された複数の第１ガス案内構造と、を含む。第２回転モジュールは、第１回転モジュールの近くにあると共に、第２回転構造と、第２回転構造内に設置された第２ガス案内構造と、を含む。チップ検査モジュールは、第１回転モジュール及び第２回転モジュールの近くにあると共に、チップを検査するための複数のチップ検査素子を含む。なかでも、第１ガス案内構造のそれぞれは、第１回転構造内に設置された局部ガス案内通路と、ガスに連通する局部ガス案内通路の局部吸込ノズル開口部と、を含み、局部吸込ノズル開口部は、チップを吸着またはリリースするように、第１回転構造の周囲表面に設置される。なかでも、第２ガス案内構造は、第２回転構造内に設置された周設ガス案内通路と、ガスに連通する周設ガス案内通路の周設吸込ノズル開口部と、を含み、周設吸込ノズル開口部は、チップを吸着するように、第２回転構造の周囲表面に設置される。
【０００５】
上記の技術的課題を解決するために、本考案が採用するもう一つの技術的手段は、チップ転送モジュールと、第１回転モジュールと、第２回転モジュールと、チップ検査モジュールと、を備える、チップ検査装置を提供する。チップ転送モジュールは、複数のチップの転送に用いる。第１回転モジュールは、チップ転送モジュールの近くにあると共に、第１回転構造と、第１回転構造内に設置された第１ガス案内構造と、第１回転構造内に設置されたブロー構造と、を含む。第２回転モジュールは、第１回転モジュールの近くにあると共に、第２回転構造と、第２回転構造内に設置された第２ガス案内構造と、を含む。チップ検査モジュールは、第１回転モジュール及び第２回転モジュールの近くにあると共に、チップを検査するための複数のチップ検査素子を含む。なかでも、第１ガス案内構造は、第１回転構造内に設置された第１周設ガス案内通路と、ガスに連通する第１周設ガス案内通路の第１周設吸込ノズル開口部と、を含み、第１周設吸込ノズル開口部は、チップを吸着するように、第１回転構造の周囲表面に設置される。なかでも、第２ガス案内構造は、第２回転構造内に設置された第２周設ガス案内通路と、ガスに連通する第２周設ガス案内通路の第２周設吸込ノズル開口部と、を含み、第２周設吸込ノズル開口部は、チップを吸着するように、第２回転構造の周囲表面に設置される。
【０００６】
上記の技術的課題を解決するために、本考案が採用するもう一つの技術的手段は、チップ転送モジュールと、第１回転モジュールと、第２回転モジュールと、チップ検査モジュールと、を備える、チップ検査装置を提供する。チップ転送モジュールは、複数のチップの転送に用いる。第１回転モジュールは、チップ転送モジュールの近くにあると共に、第１回転構造を含む。第２回転モジュールは、第１回転モジュールの近くにあると共に、第２回転構造を含む。チップ検査モジュールは、第１回転モジュール及び第２回転モジュールの近くにあると共に、チップを検査するための複数のチップ検査素子を含む。なかでも、第１回転構造の周囲表面にチップを吸着するための少なくとも１つの第１吸込ノズル開口部を有すると共に、第２回転構造の周囲表面にチップを吸着するための少なくとも１つの第２吸込ノズル開口部を有する。
【考案の効果】
【０００７】
本考案の有利な効果として、本考案に係るチップ検査装置は、「第１ガス案内構造のそれぞれは、第１回転構造内に設置された局部ガス案内通路と、ガスに連通する局部ガス案内通路の局部吸込ノズル開口部と、を含み、局部吸込ノズル開口部は、チップを吸着またはリリースするように、第１回転構造の周囲表面に設置される」及び「第２ガス案内構造は、第２回転構造内に設置された周設ガス案内通路と、ガスに連通する周設ガス案内通路の周設吸込ノズル開口部と、を含み、周設吸込ノズル開口部は、チップを吸着するように、第２回転構造の周囲表面に設置される」といった技術特徴により、複数のチップが、第１回転構造の周囲表面から、第２回転構造の周囲表面に順に転送されることで、複数のチップに対する光学検査を順に行うことができる。
【０００８】
本考案のもう一つの有利な効果として、本考案に係るチップ検査装置は、「第１ガス案内構造は、第１回転構造内に設置された第１周設ガス案内通路と、ガスに連通する第１周設ガス案内通路の第１周設吸込ノズル開口部と、を含み、第１周設吸込ノズル開口部は、チップを吸着するように、第１回転構造の周囲表面に設置される」及び「第２ガス案内構造は、第２回転構造内に設置された第２周設ガス案内通路と、ガスに連通する第２周設ガス案内通路の第２周設吸込ノズル開口部と、を含み、第２周設吸込ノズル開口部は、チップを吸着するように、第２回転構造の周囲表面に設置される」といった技術特徴により、複数のチップが、第１回転構造の周囲表面から、第２回転構造の周囲表面に順に転送されることで、複数のチップに対する光学検査を順に行うことができる。
【０００９】
本考案のもう一つの有利な効果として、本考案に係るチップ検査装置は、「第１回転構造の周囲表面にチップを吸着するための少なくとも１つの第１吸込ノズル開口部を有する」及び「第２回転構造の周囲表面にチップを吸着するための少なくとも１つの第２吸込ノズル開口部を有する」といった技術特徴により、複数のチップが、第１回転構造の周囲表面から、第２回転構造の周囲表面に順に転送されることで、複数のチップに対する光学検査を順に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本考案の第一実施形態に係るチップ検査装置の模式図である。
【図２】本考案の第一実施形態に係るチップ検査装置の第１回転モジュールの立体模式図である。
【図３】図２におけるＩＩＩ部分の拡大模式図である。
【図４】本考案の第一実施形態に係るチップ検査装置の第２回転モジュールの立体模式図である。
【図５】図４におけるＶ部分の拡大模式図である。
【図６】図１におけるＶＩ部分の拡大模式図である。
【図７】図１におけるＶＩＩ部分の拡大模式図である。
【図８】図７のチップが第１回転構造から第２回転構造に転送されることを示す模式図である。
【図９】図１のチップ正面検査ステーションにおいて使用されたチップ検査モジュールの拡大模式図である。
【図１０】図１のチップ前面検査ステーションにおいて使用されたチップ検査モジュールの拡大模式図である。
【図１１】図１のチップ左側検査ステーションにおいて使用されたチップ検査モジュールの拡大模式図である。
【図１２】図１のチップ裏面検査ステーションにおいて使用されたチップ検査モジュールの拡大模式図である。
【図１３】図１のチップ右側検査ステーションにおいて使用されたチップ検査モジュールの拡大模式図である。
【図１４】図１のチップ後面検査ステーションにおいて使用されたチップ検査モジュールの拡大模式図である。
【図１５】図１のチップ除去ステーションにおいて使用されたチップ除去モジュールの拡大模式図である。
【図１６】本考案の第二実施形態に係るチップ検査装置の第１回転モジュールの部分拡大模式図である。
【図１７】本考案の第二実施形態のチップがチップ転送モジュールから第１回転モジュールに転送されることを示す部分拡大模式図である。
【図１８】本考案の第二実施形態のチップが第１回転モジュールから第２回転モジュールに転送される前の部分拡大模式図である。
【図１９】本考案の第二実施形態のチップが第１回転モジュールから第２回転モジュールに転送された後の部分拡大模式図である。
【考案を実施するための形態】
【００１１】
本考案の特徴及び技術内容がより一層分かるように、以下の本考案に関する詳細な説明と添付図面とを参照されたい。しかし、提供される添付図面は参考と説明とのために提供するものに過ぎず、本考案の請求の範囲を制限するためのものではない。
【００１２】
以下、所定の具体的な実施態様によって「チップ検査装置」を説明し、当業者は、本明細書に開示された内容に基づいて本考案の利点と効果とを理解することができる。本考案は、他の異なる具体的な実施態様によって実行または適用でき、本明細書における各細部についても、異なる観点と用途とに基づいて、本考案の構想から逸脱しない限り、各種の修正と変更とを行うことができる。また、事前に説明するように、本考案の添付図面は、簡単な模式的説明であり、実際のサイズに基づいて描かれたものではない。以下の実施形態に基づいて本考案に係る技術内容を更に詳細に説明するが、開示される内容によって本考案の保護範囲を制限することはない。また、本明細書において使用される「または」という用語は、実際の状況に応じて、関連して挙げられる項目におけるいずれか１つまたは複数の組み合わせを含むことがある。
【００１３】
図１〜図１５に示すように、本考案は、チップ転送モジュール１と、第１回転モジュール２と、第２回転モジュール３と、チップ検査モジュール４と、を備える、チップ検査装置を提供する。チップ転送モジュール１は、複数のチップＣの転送に用いる。第１回転モジュール２は、チップ転送モジュール１の近くにあると共に、第１回転構造２１を含む。第２回転モジュール３は、第１回転モジュール２の近くにあると共に、第２回転構造３１を含む。チップ検査モジュール４は、第１回転モジュール２及び第２回転モジュール３の近くにあると共に、チップＣを検査するための複数のチップ検査素子４１を含む。なかでも、第１回転構造２１の周囲表面２１００にチップを吸着するための少なくとも１つの第１吸込ノズル開口部を有すると共に、第２回転構造３１の周囲表面３１００にチップＣを吸着するための少なくとも１つの第２吸込ノズル開口部を有する。それによって、本考案において、複数のチップＣが、第１回転構造２１の周囲表面２１００から、第２回転構造３１の周囲表面３１００に順に転送される際に、チップ検査モジュール４で複数のチップＣに対する光学検査を順に行うことができる。
【００１４】
［第一実施形態］
図１〜図１５に示すように、本考案の第一実施形態は、チップ転送モジュール１と、第１回転モジュール２と、第２回転モジュール３と、チップ検査モジュール４と、を備える、チップ検査装置を提供する。
【００１５】
まず、図１〜図６に示すように、チップ転送モジュール１は、複数のチップＣの転送に用いられる。例えば、チップ転送モジュール１は、チップＣを載置するためのチップ案内ブロック１１を含み、チップ案内ブロック１１は、凹部空間１１００を有する。また、第１回転モジュール２の一部は、チップ案内ブロック１１の凹部空間１１００に収容されており、チップＣは任意のタイプの電子チップまたは発光チップであってもよいが、本考案はこれに制限されるものではない。
【００１６】
なお、図１〜図３及び図６に示すように、第１回転モジュール２は、チップ転送モジュール１の近くにあると共に、第１回転構造２１と、第１回転構造２１内に設置された複数の第１ガス案内構造２２と、を含む。更に言うと、第１ガス案内構造２２のそれぞれは、第１回転構造２１内に設置された局部ガス案内通路２２１（若しくは、独立式ガス案内通路とも称す）と、ガスに連通する局部ガス案内通路２２１の局部吸込ノズル開口部２２２（若しくは、独立式吸込ノズル開口部とも称す）と、を含み、局部吸込ノズル開口部２２２は、チップＣを吸着またはリリースするように、第１回転構造２１の周囲表面２１００に設置される。
【００１７】
例えば、図６に示すように、チップＣは、チップ転送モジュール１の転送で局部吸込ノズル開口部２２２に近くなる時に、局部ガス案内通路２２１の抽気（点線矢印で示す）により局部吸込ノズル開口部２２２に吸着されることができる。更に言うと、局部吸込ノズル開口部２２２は、第１回転構造２１の回転によりチップ案内ブロック１１の凹部空間１１００に収容された時に、チップ案内ブロック１１に載置されたチップＣは、局部吸込ノズル開口部２２２の吸着により、チップ案内ブロック１１から第１回転構造２１の周囲表面２１００に転送されることができる。注目すべきことは、チップＣはそれぞれ、少なくとも１つの局部吸込ノズル開口部２２２で吸着されてもよく、複数の局部吸込ノズル開口部２２２で同時に吸着されてもよい。また、複数のチップＣが複数の第１ガス案内構造２２で吸着されている過程において、一部の局部吸込ノズル開口部２２２（例えば、隣接するチップＣの間にある局部吸込ノズル開口部２２２）は、チップＣに吸着されることもあるが、本考案はこれに制限されるものではない。
【００１８】
また、図１、図４及び図５に示すように、第２回転モジュール３は、第１回転モジュール２の近くにあると共に、第２回転構造３１と、第２回転構造３１内に設置された第２ガス案内構造３２と、を含む。更に言うと、第２ガス案内構造３２は、第２回転構造３１内に設置された周設ガス案内通路（若しくは、第２周設ガス案内通路３２１、つまり単一のガス案内通路）と、ガスに連通する第２周設ガス案内通路３２１の周設吸込ノズル開口部（若しくは、第２周設吸込ノズル開口部３２２、つまり単一の吸込ノズル開口部）と、を含み、第２周設吸込ノズル開口部３２２は、チップＣを連続的に吸着するように、第２回転構造３１の周囲表面３１００に設置される。
【００１９】
例えば、図３、図５、図７及び図８に示すように、局部吸込ノズル開口部２２２に吸着されたチップＣは、第１回転構造２１の回転により第２周設吸込ノズル開口部３２２に近くなる時に（図７に示す）、局部ガス案内通路２２１の給気（点線矢印で示す）、若しくは抽気の停止により、局部吸込ノズル開口部２２２からリリースされる（図３及び図８に示す）と共に、局部吸込ノズル開口部２２２からリリースされたチップＣは、第２周設ガス案内通路３２１の抽気により第２周設吸込ノズル開口部３２２で吸着される（図５、８に示す）ことができる。即ち、第１回転構造２１の周囲表面２１００に転送されたチップＣは、第１回転構造２１の回転により第１開始位置（図６に示すチップＣの位置）から第１停止位置（図７に示すチップＣの位置）に移動された時に、第１停止位置にあるチップＣは、「局部吸込ノズル開口部２２２の（給気または抽気の停止で）リリース」及び「第２周設吸込ノズル開口部３２２の（抽気で）吸着」により、局部吸込ノズル開口部２２２から第２回転構造３１の周囲表面３１００に転送されることができるが、本考案はこれに制限されるものではない。
【００２０】
また、図１及び図９〜図１５に示すように、チップ検査モジュール４は、第１回転モジュール２及び第２回転モジュール３の近くにあると共に、チップＣを検査するための複数のチップ検査素子４１を含む。更に言うと、局部吸込ノズル開口部２２２に吸着されたチップＣには、複数のチップ検査素子４１の中の一つで光学検査が行われ、また、第２周設吸込ノズル開口部３２２に吸着されたチップＣには、複数のチップ検査素子４１の中のもう一つで光学検査が行われることができる。
【００２１】
例えば、図１及び図９〜図１４に示すように、チップ検査モジュール４は、複数のチップ検査素子４１にそれぞれ対応する複数の補助光生成素子４２を含み、チップ検査素子４１と補助光生成素子４２とが、チップＣの画像データを取るように共同作用する。また、複数のチップ検査素子４１は、チップ正面検査素子４１Ｔと、チップ裏面検査素子４１Ｗと、チップ前面検査素子４１Ｆと、チップ後面検査素子４１Ｂと、チップ左側検査素子４１Ｌと、チップ右側検査素子４１Ｒと、に分けることができるが、本考案はこれに制限されるものではない。
【００２２】
更に言うと、図１〜図９に示すように、第１回転構造２１の周囲表面２１００に転送されたチップＣは、第１回転構造２１の回転により第１開始位置（図６に示すチップＣの位置）から第１停止位置（図７に示すチップＣの位置）に移動される過程において、チップＣの正面Ｃ１０１には、チップ正面検査素子４１Ｔと補助光生成素子４２との共同作用により光学検査が行われることができる（図１及び図９における「チップ正面検査ステーションＳ１（第１ステーション）」に示す）。なお、図１及び図１０〜図１４に示すように、第２回転構造３１の周囲表面３１００に転送されたチップＣは、第２回転構造３１の回転により第２開始位置（図８に示すチップＣの位置）から第２停止位置（図１５に示すチップＣの位置）に移動される過程において、チップＣの前面Ｃ１０２には、チップ前面検査素子４１Ｆにより光学検査が行われ（図１及び図１０における「チップ前面検査ステーションＳ２（第２ステーション）」に示す）、チップＣの左側Ｃ１０３には、チップ左側検査素子４１Ｌにより光学検査が行われ（図１及び図１１における「チップ左側検査ステーションＳ３（第３ステーション）」に示す）、チップＣの裏面Ｃ１０４には、チップ裏面検査素子４１Ｗにより光学検査が行われ（図１及び図１２における「チップ裏面検査ステーションＳ４（第４ステーション）」に示す）、チップＣの右側Ｃ１０５には、チップ右側検査素子４１Ｒにより光学検査が行われる（図１及び図１３における「チップ右側検査ステーションＳ５（第５ステーション）」に示す）と共に、チップＣの後面Ｃ１０６には、チップ後面検査素子４１Ｂにより光学検査が行われることができる（図１及び図１４における「チップ後面検査ステーションＳ６（第６ステーション）」に示す）。注目すべきことは、図２に示した第２〜６ステーションの順は、ニーズに応じて調整することができるが、本考案はこれに制限されるものではない。
【００２３】
注目すべきことは、図１〜図１５に示すように、第２回転構造３１の周囲表面３１００に転送されたチップＣは、第２回転構造３１の回転により第２開始位置（図８に示すチップＣの位置）から第２停止位置（図１５に示すチップＣの位置）に移動された時に、チップＣは、チップ除去モジュール５のブローにより第２回転構造３１から離れることができる（図１及び図１５における「チップ除去ステーションＳ７」（第７ステーション）に示す）が、本考案はこれに制限されるものではない。
【００２４】
［第二実施形態］
図１６〜図１９に示すように、本考案の第二実施形態は、チップ転送モジュール１と、第１回転モジュール２と、第２回転モジュール３と、チップ検査モジュール４と、を備える、チップ検査装置を提供する。図１６〜図１９と図３、図６、図７及び図８とをそれぞれ比較することにより、本考案の第二実施形態と第一実施形態との最大の相違点については、図１６及び図１９に示すように、第二実施形態において、第１回転モジュール２は、第１回転構造２１と、第１回転構造２１内に設置された第１ガス案内構造２２と、第１回転構造２１内に設置されたブロー構造２３と、を含む。更に言うと、図１６に示すように、第１ガス案内構造２２は、第１回転構造２１内に設置された第１周設ガス案内通路２２３（即ち、単一のガス案内通路）と、ガスに連通する第１周設ガス案内通路２２３の第１周設吸込ノズル開口部２２４（即ち、単一の吸込ノズル開口部）と、を含み、第１周設吸込ノズル開口部２２４は、チップＣを連続に吸着するように、第１回転構造２１の周囲表面２１００に設置される。
【００２５】
例えば、図１６及び図１７に示すように、チップＣは、チップ転送モジュール１の転送で第１周設吸込ノズル開口部２２４に近くなる時に、第１周設ガス案内通路２２３の抽気により第１周設吸込ノズル開口部２２４に吸着されることができる。更に言うと、第１周設吸込ノズル開口部２２４の一部は、チップ案内ブロック１１の凹部空間１１００に収容された時に、チップ案内ブロック１１に載置されたチップＣは、第１周設吸込ノズル開口部２２４の吸着により、チップ案内ブロック１１から第１回転構造２１の周囲表面２１００に転送されることができるが、本考案はこれに制限されるものではない。
【００２６】
例えば、図１６、図１８及び図１９に示すように、第１周設吸込ノズル開口部２２４に吸着されたチップＣは、第１回転構造２１の回転により第２周設吸込ノズル開口部３２２に近くなる時に（図１８に示す）、ブロー構造２３のブローにより、第１周設吸込ノズル開口部２２４から離れ（図１９に示す）、第１周設吸込ノズル開口部２２４から離れたチップＣは、第２周設ガス案内通路３２１の抽気（図５に示す）により第２周設吸込ノズル開口部３２２で吸着される（図１９に示す）ことができる。更に言うと、第１回転構造２１の周囲表面２１００に転送されたチップＣは、第１回転構造２１の回転により第１開始位置（図１７に示すチップＣの位置）から第１停止位置（図１８に示すチップＣの位置）に移動された時に、第１停止位置にあるチップＣは、「ブロー構造２３のブロー」及び「第２周設吸込ノズル開口部３２２の吸着」により、第１周設吸込ノズル開口部２２４から第２回転構造３１の周囲表面３１００に転送されることができるが（図１９に示す）、本考案はこれに制限されるものではない。
【００２７】
注目すべきことは、第１周設吸込ノズル開口部２２４に吸着されたチップＣには、複数のチップ検査素子（未図式）の中の一つで光学検査が行われることができるが、本考案はこれに制限されるものではない。
【００２８】
［実施形態による有利な効果］
本考案の有利な効果として、本考案に係るチップ検査装置は、「第１ガス案内構造２２のそれぞれは、第１回転構造２１内に設置された局部ガス案内通路２２１と、ガスに連通する局部ガス案内通路２２１の局部吸込ノズル開口部２２２と、を含み、局部吸込ノズル開口部２２２は、チップＣを吸着またはリリースするように、第１回転構造２１の周囲表面２１００に設置される」及び「第２ガス案内構造３２は、第２回転構造３１内に設置された周設ガス案内通路（即ち、第２周設ガス案内通路３２１）と、ガスに連通する周設ガス案内通路の周設吸込ノズル開口部（即ち、第２周設吸込ノズル開口部３２２）と、を含み、周設吸込ノズル開口部は、チップＣを吸着するように、第２回転構造３１の周囲表面３１００に設置される」といった技術特徴により、複数のチップＣが、第１回転構造２１の周囲表面２１００から、第２回転構造３１の周囲表面３１００に順に転送されることで、複数のチップＣに対する光学検査を順に行うことができる。
【００２９】
本考案のもう一つの有利な効果として、本考案に係るチップ検査装置は、「第１ガス案内構造２２は、第１回転構造２１内に設置された第１周設ガス案内通路２２３と、ガスに連通する第１周設ガス案内通路２２３の第１周設吸込ノズル開口部２２４と、を含み、第１周設吸込ノズル開口部２２４は、チップＣを吸着するように、第１回転構造２１の周囲表面２１００に設置される」及び「第２ガス案内構造３２は、第２回転構造３１内に設置された第２周設ガス案内通路３２１と、ガスに連通する第２周設ガス案内通路３２１の第２周設吸込ノズル開口部３２２と、を含み、第２周設吸込ノズル開口部３２２は、チップＣを吸着するように、第２回転構造３１の周囲表面３１００に設置される」といった技術特徴により、複数のチップＣが、第１回転構造２１の周囲表面２１００から、第２回転構造３１の周囲表面３１００に順に転送されることで、複数のチップＣに対する光学検査を順に行うことができる。
【００３０】
本考案のもう一つの有利な効果として、本考案に係るチップ検査装置は、「第１回転構造２１の周囲表面２１００にチップＣを吸着するための少なくとも１つの第１吸込ノズル開口部を有する」及び「第２回転構造３１の周囲表面３１００にチップＣを吸着するための少なくとも１つの第２吸込ノズル開口部を有する」といった技術特徴により、複数のチップＣが、第１回転構造２１の周囲表面２１００から、第２回転構造３１の周囲表面３１００に順に転送されることで、複数のチップＣに対する光学検査を順に行うことができる。
【００３１】
以上に開示された内容は、ただ本考案の好ましい実行可能な実施態様であり、本考案の請求の範囲はこれに制限されない。そのため、本考案の明細書及び図面内容を利用して成される全ての等価な技術変更は、いずれも本考案の請求の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００３２】
１…チップ転送モジュール
１１…チップ案内ブロック
１１００…凹部空間
２…第１回転モジュール
２１…第１回転構造
２１００…周囲表面
２２…第１ガス案内構造
２２１…局部ガス案内通路
２２２…局部吸込ノズル開口部
２２３…第１周設ガス案内通路
２２４…第１周設吸込ノズル開口部
２３…ブロー構造
３…第２回転モジュール
３１…第２回転構造
３１００…周囲表面
３２…第２ガス案内構造
３２１…第２周設ガス案内通路
３２２…第２周設吸込ノズル開口部
４…チップ検査モジュール
４１…チップ検査素子
４１Ｔ…チップ正面検査素子
４１Ｗ…チップ裏面検査素子
４１Ｆ…チップ前面検査素子
４１Ｂ…チップ後面検査素子
４１Ｌ…チップ左側検査素子
４１Ｒ…チップ右側検査素子
４２…補助光生成素子
５…チップ除去モジュール
Ｃ…チップ
Ｃ１０１…正面
Ｃ１０２…前面
Ｃ１０３…左側
Ｃ１０４…裏面
Ｃ１０５…右側
Ｃ１０６…後面
Ｓ１…チップ正面検査ステーション
Ｓ２…チップ前面検査ステーション
Ｓ３…チップ左側検査ステーション
Ｓ４…チップ裏面検査ステーション
Ｓ５…チップ右側検査ステーション
Ｓ６…チップ後面検査ステーション
Ｓ７…チップ除去ステーション
【図１】
0003234406.tif 000003
【図２】
0003234406.tif 000004
【図３】
0003234406.tif 000005
【図４】
0003234406.tif 000006
【図５】
0003234406.tif 000007
【図６】
0003234406.tif 000008
【図７】
0003234406.tif 000009
【図８】
0003234406.tif 000010
【図９】
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【図１０】
0003234406.tif 000012
【図１１】
0003234406.tif 000013
【図１２】
0003234406.tif 000014
【図１３】
0003234406.tif 000015
【図１４】
0003234406.tif 000016
【図１５】
0003234406.tif 000017
【図１６】
0003234406.tif 000018
【図１７】
0003234406.tif 000019
【図１８】
0003234406.tif 000020
【図１９】
0003234406.tif 000021