(57)【要約】      （修正有）【課題】従来技術の不足を克服することができる高速フィードバック測定装置を提供する。【解決手段】本考案に係る高速フィードバック測定装置Ｚは基板ユニット１及び複数のプローブユニット３を含む。複数のプローブユニットは、基板ユニットを貫通すると共に基板ユニットに設置されている。基板ユニットは、少なくとも１つの導通空間１０、複数の充填物１１及び複数のスペーサ１２を有する。各充填物は、少なくとも１つの導通空間に位置すると共に近隣の２つのプローブユニットの間に位置する。各スペーサは、少なくとも１つの導通空間に位置すると共に近隣の２つのプローブユニットの間に位置する。近隣の２つのプローブユニットは、対応する充填物及び対応するスペーサにより容量効果を生成する。【選択図】図１
0003234201.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
基板ユニットと、
前記基板ユニットを貫通すると共に前記基板ユニットに設置されている複数のプローブユニットと、
を含み、
前記基板ユニットは、少なくとも１つの導通空間、複数の充填物及び複数のスペーサを有し、
各前記充填物は、前記少なくとも１つの導通空間に位置すると共に近隣の２つの前記プローブユニットの間に位置し、
各前記スペーサは、前記少なくとも１つの導通空間に位置すると共に近隣の２つの前記プローブユニットの間に位置し、
近隣の２つの前記プローブユニットは、対応する前記充填物及び対応する前記スペーサにより容量効果を生成することを特徴とする高速フィードバック測定装置。
【請求項２】
各前記スペーサはそれぞれ対応する前記充填物を２つに分けることを特徴とする請求項１に記載の高速フィードバック測定装置。
【請求項３】
前記基板ユニットは第１板部及び第２板部を含み、
前記第１の板部と前記第２の板部との間に前記少なくとも１つの導通空間が形成されていることを特徴とする請求項１に記載の高速フィードバック測定装置。
【請求項４】
前記基板ユニットは回路基板であり、
各前記プローブユニットの何れも片持ち型プローブであることを特徴とする請求項１に記載の高速フィードバック測定装置。
【請求項５】
各前記プローブユニットの何れも垂直型プローブであることを特徴とする請求項１に記載の高速フィードバック測定装置。
【請求項６】
基板ユニットと、
前記基板ユニットに接続されている少なくとも１つの固定ユニットと、
前記少なくとも１つの固定ユニット及び前記基板ユニットを貫通すると共に前記少なくとも１つの固定ユニット及び前記基板ユニットに設置されている複数のプローブユニットと、
を含み、
前記少なくとも１つの固定ユニットは、少なくとも１つの導通空間、複数の充填物及び複数のスペーサを有し、
各前記充填物は、前記少なくとも１つの導通空間に位置すると共に近隣の２つの前記プローブユニットの間に位置し、
各前記スペーサは、前記少なくとも１つの導通空間に位置すると共に近隣の２つの前記プローブユニットの間に位置し、
近隣の２つの前記プローブユニットは、対応する前記充填物及び対応する前記スペーサにより容量効果を生成することを特徴とする高速フィードバック測定装置。
【請求項７】
各前記スペーサはそれぞれ対応する前記充填物を２つに分けることを特徴とする請求項６に記載の高速フィードバック測定装置。
【請求項８】
前記固定ユニットは第１の固定部及び第２の固定部を含み、
前記第１の固定部と前記第２の固定部との間に前記少なくとも１つの導通空間が形成されていることを特徴とする請求項６に記載の高速フィードバック測定装置。
【請求項９】
前記基板ユニットは回路基板であり、
各前記プローブユニットの何れも片持ち型プローブであることを特徴とする請求項６に記載の高速フィードバック測定装置。
【請求項１０】
各前記プローブユニットの何れも垂直型プローブであることを特徴とする請求項６に記載の高速フィードバック測定装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、プローブカードの技術分野に属し、特に高周波信号の検査に用いられる高速フィードバック測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体チップに対する電気的試験において、半導体チップの電極と別途で設置されている試験用配線基板の回路などとの間を電気的に接続するために、プローブカードを検査装置として使用する場合がある。また、半導体チップを測定する際の精度を確保するために、プローブカードを出荷する前に若しくはプローブカードを使用する前に、プローブカード検査設備によりプローブカードの品質を検査することはよくある。
【０００３】
以下、検査方法の一例について説明する。先ず、プローブカード検査設備から複数のケーブルを引き出す。各ケーブルは、プローブカード検査設備及びプローブカードの複数のプローブのうちの対応するプローブにそれぞれ接続されている。続いて、プローブカードの複数のプローブとプローブカード検査設備とによって電気ループが形成されている。これにより、プローブカードとプローブカード検査設備との間に繋がりができるため、プローブカードに異常があるかどうかを検査することができる。しかしながら、上述の検査方法はケーブルを信号転送の経路とするため、ケーブルを収納するためにより広いスペースが必要であるだけではなく、ケーブルの長さが長ければ長いほど、寄生抵抗値や寄生インダクタンス値なども増加しつつある。そうなると、高周波数の検査や高速信号の検査に正確に適用されることができなくなる恐れがある。
【０００４】
そのため、如何にして構成設計の改良により上記の問題点を克服するかが当業者にとって解決しようとする重要な課題となっている。
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００５】
本考案が解決しようとする課題は、従来技術の不足を克服することができる高速フィードバック測定装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述の課題を解決するために、本考案の一態様に係る高速フィードバック測定装置は基板ユニット及び複数のプローブユニットを含む。前記複数のプローブユニットは、前記基板ユニットを貫通すると共に前記基板ユニットに設置されている。前記基板ユニットは、少なくとも１つの導通空間、複数の充填物及び複数のスペーサを有する。各前記充填物は、前記少なくとも１つの導通空間に位置すると共に近隣の２つの前記プローブユニットの間に位置する。各前記スペーサは、前記少なくとも１つの導通空間に位置すると共に近隣の２つの前記プローブユニットの間に位置する。近隣の２つの前記プローブユニットは、対応する前記充填物及び対応する前記スペーサにより容量効果を生成する。
【０００７】
好ましくは、各前記スペーサはそれぞれ対応する前記充填物を２つに分ける。
【０００８】
好ましくは、前記基板ユニットは第１板部及び第２板部を含む。前記第１の板部と前記第２の板部との間に前記少なくとも１つの導通空間が形成されている。
【０００９】
好ましくは、前記基板ユニットは回路基板であり、各前記プローブユニットの何れも片持ち型プローブである。
【００１０】
好ましくは、各前記プローブユニットの何れも垂直型プローブである。
【００１１】
上述の課題を解決するために、本考案の他の態様に係る高速フィードバック測定装置は基板ユニット、少なくとも１つの固定ユニット及び複数のプローブユニットを含む。前記少なくとも１つの固定ユニットは前記基板ユニットに接続されている。前記複数のプローブユニットは、前記少なくとも１つの固定ユニット及び前記基板ユニットを貫通すると共に前記少なくとも１つの固定ユニット及び前記基板ユニットに設置されている。前記少なくとも１つの固定ユニットは、少なくとも１つの導通空間、複数の充填物及び複数のスペーサを有する。各前記充填物は、前記少なくとも１つの導通空間に位置すると共に近隣の２つの前記プローブユニットの間に位置する。各前記スペーサは、前記少なくとも１つの導通空間に位置すると共に近隣の２つの前記プローブユニットの間に位置する。近隣の２つの前記プローブユニットは、対応する前記充填物及び対応する前記スペーサにより容量効果を生成する。
【００１２】
好ましくは、各前記スペーサはそれぞれ対応する前記充填物を２つに分ける。
【００１３】
好ましくは、前記固定ユニットは第１の固定部及び第２の固定部を含む。前記第１の固定部と前記第２の固定部との間に前記少なくとも１つの導通空間が形成されている。
【００１４】
好ましくは、前記基板ユニットは回路基板であり、各前記プローブユニットの何れも片持ち型プローブである。
【００１５】
好ましくは、各前記プローブユニットの何れも垂直型プローブである。
【考案の効果】
【００１６】
本考案に係る高速フィードバック測定装置によれば、「複数のプローブユニットは、基板ユニットを貫通すると共に基板ユニットに設置されている。基板ユニットは、少なくとも１つの導通空間、複数の充填物及び複数のスペーサを有する。各充填物は、少なくとも１つの導通空間に位置すると共に近隣の２つのプローブユニットの間に位置する。各スペーサは、少なくとも１つの導通空間に位置すると共に近隣の２つのプローブユニットの間に位置する。近隣の２つのプローブユニットは、対応する充填物及び対応するスペーサにより容量効果を生成する。」という技術的特徴で高周波信号の検査に対する正確性及び便利性を向上することができる。
【００１７】
また、本考案に係る高速フィードバック測定装置によれば、「少なくとも１つの固定ユニットは基板ユニットに接続されている。複数のプローブユニットは、少なくとも１つの固定ユニット及び基板ユニットを貫通すると共に少なくとも１つの固定ユニット及び基板ユニットに設置されている。少なくとも１つの固定ユニットは、少なくとも１つの導通空間、複数の充填物及び複数のスペーサを有する。各充填物は、少なくとも１つの導通空間に位置すると共に近隣の２つのプローブユニットの間に位置する。各スペーサは、少なくとも１つの導通空間に位置すると共に近隣の２つのプローブユニットの間に位置する。近隣の２つのプローブユニットは、対応する充填物及び対応するスペーサにより容量効果を生成する。」という技術的特徴で高周波信号の検査に対する正確性及び便利性を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本考案の第１の実施例に係る高速フィードバック測定装置の一部断面模式図である。
【図２】本考案の第２の実施例に係る高速フィードバック測定装置の一部断面模式図である。
【図３】図２におけるIII−III部分の断面模式図である。
【図４】本考案の第３の実施例に係る高速フィードバック測定装置の一部断面模式図である。
【図５】本考案の第４の実施例に係る高速フィードバック測定装置の一部断面模式図である。
【考案を実施するための形態】
【００１９】
上述した内容は本考案に係る高速フィードバック測定装置の具体的な実施形態を理解しやすいように既に本考案の複数の特徴及び好ましい態様を上位的な概念で説明した。当業者は、本考案が開示する概念及び特定の具体的な実施例に基づいて、本考案が開示する各部品を本考案が開示する内容を実現することができる他の部品に変更したり置換したりすることができる。本考案に係る高速フィードバック測定装置の特徴及び技術内容がより一層分かるように、以下本考案に係る高速フィードバック測定装置に関する詳細な説明と添付図面を参照する。しかしながら、提供される添付図面は参考と説明のために提供するものに過ぎず、本考案の実用新案登録請求を制限するためのものではない。
【００２０】
下記より、具体的な実施例で本考案に係る高速フィードバック測定装置が開示する実施形態を説明する。当業者は本明細書の開示内容により本考案に係る高速フィードバック測定装置のメリット及び効果を理解し得る。本考案に係る高速フィードバック測定装置は他の異なる実施形態により実行又は応用できる。本明細書における各細節も様々な観点又は応用に基づいて、本考案に係る高速フィードバック測定装置の精神を逸脱しない限りに、均等の変形と変更を行うことができる。また、本考案に係る高速フィードバック測定装置の図面は簡単で模式的に説明するためのものであり、実際的な寸法を示すものではない。以下の実施形態において、さらに本考案に係る高速フィードバック測定装置の技術事項を説明するが、開示された内容は本考案に係る高速フィードバック測定装置を限定するものではない。なお、本明細書に用いられる「又は」という用語は、実際の状況に応じて、関連する項目中の何れか一つ又は複数の組合せを含み得る。
【００２１】
［第１の実施例］
【００２２】
図１を参照する。図１は本考案の第１の実施例に係る高速フィードバック測定装置Ｚの一部断面模式図である。図１に示すように、本考案の第１の実施例に係る高速フィードバック測定装置Ｚは基板ユニット１及び複数のプローブユニット３を含む。
【００２３】
例を挙げて説明すると、図１に示すように、第１の実施例に係る高速フィードバック測定装置Ｚは片持ち型プローブカードであってもよい（即ち、プローブユニット３は片持ち型プローブであってもよい）。基板ユニット１はプローブカードの回路基板であってもよいが、これに限定されていない。複数のプローブユニット３は基板ユニット１を貫通すると共に基板ユニット１に設置されている。近隣の２つのプローブユニット３の間の距離は製造メーカー又は使用者のニーズに応じて変更することができる。更に詳しく説明すると、図１に示すように、基板ユニット１は、少なくとも１つの第１の導通空間１０、複数の第１の充填物１１及び複数の第１のスペーサ１２を有する。複数のプローブユニット３が基板ユニット１を貫通すると共に基板ユニット１に設置されていると、複数のプローブユニット３は、近隣の２つのプローブユニット３の間に第１の導通空間１０が形成されているように基板ユニット１の内部の１つの第１の導通空間１０を複数の第１の導通空間１０に分ける。各第１の充填物１１は導電材料であってもよい。各第１のスペーサ１２は絶縁材料であってもよい。各第１の充填物１１は、第１の導通空間１０に位置すると共に近隣の２つのプローブユニット３の間に位置する。言い換えれば、各プローブユニット３はプローブユニット３の両側にそれぞれ位置する各第１の充填物１１に囲まれている。各第１のスペーサ１２は第１の導通空間１０に位置すると共に近隣の２つのプローブユニット３の間に位置する。また、各第１のスペーサ１２はそれぞれ対応する第１の充填物１１を２つに分ける。
【００２４】
そのため、図１に示すように、近隣の２つのプローブユニット３は、対応する第１の充填物１１及び対応する第１のスペーサ１２により容量効果を生成する。複数のプローブユニット３が被測定物Ｄに接続されている時、複数のプローブユニット３により被測定物Ｄに対して高周波ループバック（ｈｉｇｈ ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ ｌｏｏｐｂａｃｋ）測定を行う。更に詳しく説明すると、近隣の２つのプローブユニット３の間に容量効果を生成することで、被測定物Ｄからの検査信号を複数のプローブユニット３のうちの１つのプローブユニット３に送信した後、容量効果により、検査信号が基板ユニット１に伝送される前に他の１つのプローブユニット３は当該検査信号を受信してから当該検査信号を被測定物Ｄにフィードバックする。これにより、高周波ループバック測定が完了した。
【００２５】
上述した技術的特徴によれば、本考案に係る高速フィードバック測定装置Ｚにおいて、基板ユニット１の内部に第１の導通空間１０、複数の第１の充填物１１及び複数の第１のスペーサ１２が設けられていることで近隣の２つのプローブユニット３の間に容量効果を生成するため、高速フィードバック測定装置Ｚと被測定物Ｄとの間に測定ループを形成させる。これにより、プローブユニット３は直接に高周波信号で被測定物Ｄに対して高周波ループバック測定を行うことができる。
【００２６】
また、本考案において、基板ユニット１は第１の板部１３及び第２の板部１４を含むようにしてもよい。この場合、第１の板部１３と第２の板部１４との間に第１の導通空間１０が形成されている。
【００２７】
しかしながら、上述の第１の実施例はあくまでも本考案の１つの具体的な実施例に過ぎず、本考案に限定するためのものではない。
【００２８】
［第２の実施例］
【００２９】
図２は本考案の第２の実施例に係る高速フィードバック測定装置Ｚの一部断面模式図である。図３は図２におけるIII−III部分の断面模式図である。図１を合わせて参照する。図面に示すように、本考案の第２の実施例に係る高速フィードバック測定装置Ｚは基板ユニット１、少なくとも１つの固定ユニット２及び複数のプローブユニット３を含む。少なくとも１つの固定ユニット２は基板ユニット１に接続されている。複数のプローブユニット３は、少なくとも１つの固定ユニット２を貫通すると共に少なくとも１つの固定ユニット２に設置され、基板ユニット１に電気的に接続されている。少なくとも１つの固定ユニット２は第２の導通空間２０、複数の第２の充填物２１及び複数の第２のスペーサ２２を有する。各第２の充填物２１は第２の導通空間２０に位置すると共に近隣の２つのプローブユニット３の間に位置する。各第２のスペーサ２２は第２の導通空間２０に位置すると共に近隣の２つのプローブユニット３の間に位置する。近隣の２つのプローブユニット３は、対応する第２の充填物２１と第２のスペーサ２２により容量効果を生成する。
【００３０】
具体的に言えば、図１と図２を対比することで分かるように、第２の実施例に係る高速フィードバック測定装置Ｚと第１の実施例に係る高速フィードバック測定装置Ｚとの相違点は、第２の実施例に係る高速フィードバック測定装置Ｚが少なくとも１つの固定ユニット２を更に含むことにある。固定ユニット２は環形のブロック構造であってもよいが、これに限定されていない。固定ユニット２は複数の幾何学のブロック構造で形成された幾何学的構造であってもよい。例えば、固定ユニット２は第１の固定部２３及び第２の固定部２４を含むようにしてもよい。第１の固定部２３と第２の固定部２４との間に第２の導通空間２０が形成されている。複数のプローブユニット３は、固定ユニット２を貫通すると共に等距離で固定ユニット２に設置されている。複数のプローブユニット３の一端は基板ユニット１に接続され、複数のプローブユニット３の他端は被測定物Ｄ（例えば、ウェハーであってもよいが、これに限定されていない）を測定するためのプローブ構造であってもよい。
【００３１】
更に詳しく説明すると、図２及び図３に示すように、固定ユニット２の内部に第２の導通空間２０を有する。複数のプローブユニット３が固定ユニット２を貫通すると共に固定ユニット２に設置されていると、複数のプローブユニット３は１つの第２の導通空間２０を複数の第２の導通空間２０に分ける。即ち、近隣の２つのプローブユニット３の間に第２の導通空間２０を有する。各第２の導通空間２０には第２の充填物２１がそれぞれ充填されている。各第２の充填物２１は導電材料であってもよい。そして、各第２の導通空間２０には第２のスペーサ２２もそれぞれ設置されている。また、各第２のスペーサ２２は絶縁材料であってもよい。そして、各第２のスペーサ２２はそれぞれ対応する第２の導通空間２０における第２の充填物２１を２つに分ける。
【００３２】
これにより、近隣の２つのプローブユニット３は近隣の２つのプローブユニット３の間の第２の充填物２１及び第２のスペーサ２２により容量効果を生成する。続いて、複数のプローブユニット３により被測定物Ｄに対して高周波ループバック測定を行う。
【００３３】
しかしながら、上述の第２の実施例はあくまでも本考案の１つの具体的な実施例に過ぎず、本考案に限定するためのものではない。
【００３４】
［第３の実施例］
【００３５】
図４は本考案の第３の実施例に係る高速フィードバック測定装置Ｚの一部断面模式図である。図１乃至図３を合わせて参照する。図面に示すように、本考案の第３の実施例に係る高速フィードバック測定装置Ｚにおける部品は第１の実施例に係る高速フィードバック測定装置Ｚにおける同じ部品と同じ動作方式を有するため、それらの説明について省略する。また、図１と図４を対比することで分かるように、第３の実施例に係る高速フィードバック測定装置Ｚと第１の実施例に係る高速フィードバック測定装置Ｚとの相違点は、第３の実施例に係る高速フィードバック測定装置Ｚが垂直型プローブカードである（即ち、プローブユニット３は垂直型プローブである）ことにある。そして、基板ユニット１は少なくとも１つの第１の導通空間１０、複数の第１の充填物１１及び複数の第１のスペーサ１２を有する。複数のプローブユニット３は基板ユニット１を貫通すると共に基板ユニット１に設置されている。
【００３６】
そのため、図４に示すように、近隣の２つのプローブユニット３は、対応する第１の充填物１１及び対応する第１のスペーサ１２により容量効果を生成する。複数のプローブユニット３が被測定物Ｄに接続されている時、複数のプローブユニット３により被測定物Ｄに対して高周波ループバック測定を行う。更に詳しく説明すると、近隣の２つのプローブユニット３の間に容量効果を生成することで、被測定物Ｄからの検査信号を複数のプローブユニット３のうちの１つのプローブユニット３に送信した後、容量効果により、検査信号が基板ユニット１に伝送される前に他の１つのプローブユニット３は当該検査信号を受信してから当該検査信号を被測定物Ｄにフィードバックする。これにより、高周波ループバック測定が完了した。
【００３７】
しかしながら、上述の第３の実施例はあくまでも本考案の１つの具体的な実施例に過ぎず、本考案に限定するためのものではない。
【００３８】
［第４の実施例］
【００３９】
図５は本考案の第４の実施例に係る高速フィードバック測定装置Ｚの一部断面模式図である。図１乃至図４を合わせて参照する。図面に示すように、本考案の第４の実施例に係る高速フィードバック測定装置Ｚにおける部品は各実施例に係る高速フィードバック測定装置Ｚにおける同じ部品と同じ動作方式を有するため、それらの説明について省略する。また、図４と図５を対比することで分かるように、第４の実施例に係る高速フィードバック測定装置Ｚと第３の実施例に係る高速フィードバック測定装置Ｚとの相違点は、第４の実施例に係る高速フィードバック測定装置Ｚが少なくとも１つの固定ユニット２を更に含むことにある。固定ユニット２はキャリアボード構造であってもよいが、これに限定されていない。固定ユニット２は複数の幾何学のキャリアボード構造で形成された幾何学的構造であってもよい。例えば、固定ユニット２は第１の固定部２３及び第２の固定部２４を含むようにしてもよい。第１の固定部２３と第２の固定部２４との間に第２の導通空間２０が形成されている。複数のプローブユニット３は、固定ユニット２を貫通すると共に等距離で固定ユニット２に設置されている。複数のプローブユニット３の一端は基板ユニット１に接続され、複数のプローブユニット３の他端は被測定物Ｄ（例えば、ウェハーであってもよいが、これに限定されていない）を測定するためのプローブ構造であってもよい。
【００４０】
そのため、近隣の２つのプローブユニット３は、近隣の２つのプローブユニット３の間の第２の充填物２１及び第２のスペーサ２２により容量効果を生成する。続いて、複数のプローブユニット３により被測定物Ｄに対して高周波ループバック測定を行う。
【００４１】
しかしながら、上述の第４の実施例はあくまでも本考案の１つの具体的な実施例に過ぎず、本考案に限定するためのものではない。
【００４２】
本考案の効果として、本考案に係る高速フィードバック測定装置Ｚによれば、「複数のプローブユニット３は、基板ユニット１を貫通すると共に基板ユニット１に設置されている。基板ユニット１は、少なくとも１つの第１の導通空間１０、複数の第１の充填物１１及び複数の第１のスペーサ１２を有する。各第１の充填物１１は、少なくとも１つの第１の導通空間１０に位置すると共に近隣の２つのプローブユニット３の間に位置する。各第１のスペーサ１２は、少なくとも１つの第１の導通空間１０に位置すると共に近隣の２つのプローブユニット３の間に位置する。近隣の２つのプローブユニット３は、対応する第１の充填物１１及び対応する第１のスペーサ１２により容量効果を生成することで測定ループを形成する。」という技術的特徴で高速信号で測定を行うことができる。
【００４３】
また、本考案の他の効果として、本考案に係る高速フィードバック測定装置Ｚによれば、「少なくとも１つの固定ユニット２は基板ユニット１に接続されている。複数のプローブユニット３は、少なくとも１つの固定ユニット２を貫通すると共に少なくとも１つの固定ユニット２に設置され、基板ユニット１に電気的に接続されている。少なくとも１つの固定ユニット２は、少なくとも１つの第２の導通空間２０、複数の第２の充填物２１及び複数の第２のスペーサ２２を有する。各第２の充填物２１は、第２の導通空間２０に位置すると共に近隣の２つのプローブユニット３の間に位置する。各第２のスペーサ２２は、第２の導通空間２０に位置すると共に近隣の２つのプローブユニット３の間に位置する。近隣の２つのプローブユニット３は、対応する第２の充填物２１及び対応する第２のスペーサ２２により容量効果を生成する。」という技術的特徴で高周波信号の検査に対する正確性及び便利性を向上することができる。
【００４４】
更に詳しく説明すると、本考案に係る高速フィードバック測定装置Ｚによれば、「基板ユニット１の内部に第１の導通空間１０が設置されている」という技術的特徴及び「第１の導通空間１０に第１の充填物１１及び第１のスペーサ１２が設置されている」という技術的特徴、或いは、「固定ユニット２の内部に第２の導通空間２０が設置されている」という技術的特徴及び「第２の導通空間２０に第２の充填物２１及び第２のスペーサ２２が設置されている」という技術的特徴により、近隣の２つのプローブユニット３の間に容量効果を生成させることで近隣の２つのプローブユニット３と被測定物Ｄとの間に測定ループを形成させる。これにより、プローブユニット３は直接に高周波信号で被測定物Ｄに対して高周波ループバック測定を行うことができる。
【００４５】
以上に開示された内容は本考案に係る高速フィードバック測定装置の好ましい実施形態に過ぎず、本考案の実用新案登録請求を制限するものではない。そのため、本考案の明細書及び添付図面の内容に基づき為された等価の技術変形は、全て本考案の実用新案登録請求の範囲に含まれるものとする。
【符号の説明】
【００４６】
１  基板ユニット
１０  第１の導通空間
１１  第１の充填物
１２  第１のスペーサ
１３  第１の板部
１４  第２の板部
２  固定ユニット
２０  第２の導通空間
２１  第２の充填物
２２  第２のスペーサ
２３  第１の固定部
２４  第２の固定部
３  プローブユニット
Ｄ  被測定物
Ｚ  高速フィードバック測定装置
【図１】
0003234201.tif 000003
【図２】
0003234201.tif 000004
【図３】
0003234201.tif 000005
【図４】
0003234201.tif 000006
【図５】
0003234201.tif 000007