【事件の表示】
　特許第５９１０７１７号発明「ナノインプリント方法」の特許異議申立事件について、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第５９１０７１７号の明細書及び特許請求の範囲を訂正請求書に添付された訂正明細書及び特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項１について訂正することを認める。
　特許第５９１０７１７号の請求項１に係る特許を維持する。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本件特許第５９１０７１７号の請求項１に係る特許についての出願は、平成２２年６月２１日に出願した特願２０１０−１４１１０４号（以下、「原出願」という。）の一部を平成２６年１２月１２日に新たな特許出願としたものであって、平成２８年４月８日付けでその特許権の設定登録がなされ、その後、特許異議申立人川上佳弘（以下、単に「申立人」という。）により特許異議の申立てがなされ、平成２８年１２月１６日付けで取消理由が通知され、その指定期間内である平成２９年２月１６日に意見書の提出及び訂正請求がなされ、同年３月２９日付けで申立人から意見書が提出されたものである。
第２　訂正の適否
１　訂正の内容
（１）訂正事項１
　訂正前の願書に添付した特許請求の範囲（以下、単に「訂正前特許請求の範囲」という。）の請求項１に「前記硬化性樹脂の硬化前の表面自由エネルギーが、１３ｍＪ／ｍ２以上である」とあるのを「前記硬化性樹脂の硬化前の表面自由エネルギーが、
２５
り、
（下線は、訂正箇所を示す。以下、同じ。）
（２）訂正事項２
　訂正前特許請求の範囲の請求項１に「であることを特徴とするナノインプリント方法。」とあるのを「
前記モールドの表面自由エネルギーの分散成分γ
ｄ
ｍｏｌｄ
および極性成分γ
ｐ
ｍｏｌｄ
の和により表される前記モールドの表面自由エネルギーをγ
ｍｏｌｄ
とし、硬化性樹脂の硬化後の表面自由エネルギーの分散成分γ
ｄ
ｍｏｌｄ
および極性成分γ
ｐ
ｍｏｌｄ
の和により表される前記硬化性樹脂の硬化後の表面自由エネルギーをγ
ｒｅｓｉｓｔ
とした場合に、硬化性樹脂の硬化後の表面自由エネルギーγ
ｒｅｓｉｓｔ
を一定値として、硬化性樹脂の硬化後の表面自由エネルギーの極性成分γ
ｐ
ｒｅｓｉｓｔ
を０以上前記表面自由エネルギーγ
ｒｅｓｉｓｔ
の値以下の範囲内で変動させて、下記式により算出される前記モールドおよび硬化後の硬化性樹脂の付着エネルギーＷ
ｍｏｌｄ／ｒｅｓｉｓｔ
と前記極性成分γ
ｐ
ｒｅｓｉｓｔ
との関係を示すグラフを得て、当該グラフの軌跡から求められる、付着エネルギーＷ
ｍｏｌｄ／ｒｅｓｉｓｔ
が最大値を示さないような前記極性成分γ
ｐ
ｒｅｓｉｓｔ
の値を示す硬化性樹脂を、前記凹パターンが転写される前記硬化樹脂として用い
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　」に
訂正する。
（３）訂正事項３
　訂正前の願書に添付した明細書（以下、単に「訂正前明細書」という。）の段落【００１４】に記載された「前記硬化性樹脂の硬化前の表面自由エネルギーが、１３ｍＪ／ｍ２以上である」とあるのを「前記硬化性樹脂の硬化前の表面自由エネルギーが、
２５
り、
（４）訂正事項４
　訂正前明細書の段落【００１４】に記載された「であることを特徴とするナノインプリント方法である。」とあるのを「
前記モールドの表面自由エネルギーの分散成分γ
ｄ
ｍｏｌｄ
および極性成分γ
ｐ
ｍｏｌｄ
の和により表される前記モールドの表面自由エネルギーをγ
ｍｏｌｄ
とし、硬化性樹脂の硬化後の表面自由エネルギーの分散成分γ
ｄ
ｍｏｌｄ
および極性成分γ
ｐ
ｍｏｌｄ
の和により表される前記硬化性樹脂の硬化後の表面自由エネルギーをγ
ｒｅｓｉｓｔ
とした場合に、硬化性樹脂の硬化後の表面自由エネルギーγ
ｒｅｓｉｓｔ
を一定値として、硬化性樹脂の硬化後の表面自由エネルギーの極性成分γ
ｐ
ｒｅｓｉｓｔ
を０以上前記表面自由エネルギーγ
ｒｅｓｉｓｔ
の値以下の範囲内で変動させて、下記式により算出される前記モールドおよび硬化後の硬化性樹脂の付着エネルギーＷ
ｍｏｌｄ／ｒｅｓｉｓｔ
と前記極性成分γ
ｐ
ｒｅｓｉｓｔ
との関係を示すグラフを得て、当該グラフの軌跡から求められる、付着エネルギーＷ
ｍｏｌｄ／ｒｅｓｉｓ
ｔが最大値を示さないような前記極性成分γ
ｐ
ｒｅｓｉｓｔ
の値を示す硬化性樹脂を、前記凹パターンが転写される前記硬化樹脂として用い
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　」に
訂正する。
（５）訂正事項５
　訂正前明細書の段落【００１４】に記載された
「
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　」を
「
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　」に
訂正する。
（６）訂正事項６
　訂正前明細書の段落【００２５】に記載された
「
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　」を
「
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　」に
訂正する。
２　訂正の目的の適否、新規事項の有無及び特許請求の範囲の拡張・変更の存否
（１）訂正事項１について
ア　訂正の目的
　訂正事項１は、「前記硬化性樹脂の硬化前の表面自由エネルギー」を、「１３ｍＪ／ｍ２以上」から「２５ｍＪ／ｍ２以上」に減縮するものである。
　よって、訂正事項１は、特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
イ　新規事項
　願書に最初に添付した明細書及び図面(以下、単に「当初明細書等」という。）の段落【００３７】〜【００３８】及び図４には、
「【００３７】
　図４は、Ｘ軸が樹脂の硬化前の表面自由エネルギー（γ）、Ｙ軸が浸透到達高さ（ｈｃ）として、凹パターンの開口サイズ（直径＝２×ｒ）を変化させた場合の上記数式（５）をプロットした図である。なお、接触角（θ）は５度、凹パターンの深さ（ｈｍ）は１００ｎｍ、圧力（ｐ）は３５００Ｐａである。
　【００３８】
　図４に示すように、樹脂の表面自由エネルギー（γ）が小さくなると、浸透到達高さ（ｈｃ）も小さくなり、この変化は、樹脂の表面自由エネルギー（γ）が１０ｍＪ／ｍ２より小さくなると顕著になる。それゆえ、樹脂の表面自由エネルギー（γ）は１０ｍＪ／ｍ２以上であることが好ましい。」、
「【図４】
　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 」
との記載があり、硬化前の硬化性樹脂は、浸透到達高さが大きくなるように、その表面自由エネルギーが１０ｍＪ／ｍ２以上であることが好ましいとされ、図４には、表面自由エネルギーが１０ｍＪ／ｍ２以上の範囲で浸透到達高さが大きくなっていることが読み取れる。
　また、当初明細書等の段落【００５１】〜【００５２】及び図７には、
「【００５１】
・・略・・
図７は、Ｘ軸を樹脂の表面自由エネルギーの極性成分（γｐｒｅｓｉｓｔ）、Ｙ軸を接触角（θ）として、上記数式（１１）、（１３）に基づき、上記数式（９）をプロットした図である。接触角は、液体と固体の表面自由エネルギーの分散成分、極性成分によって変わるため、極性成分の関数として示してある。なお、図７においては、樹脂の表面自由エネルギー（γｒｅｓｉｓｔ）を２５ｍＪ／ｍ２、モールドの表面自由エネルギーの極性成分（γｐｍｏｌｄ）をモールドの表面自由エネルギー（γｍｏｌｄ）の１／２としている。
　【００５２】
　図７に示すように、樹脂の表面自由エネルギー（γｒｅｓｉｓｔ）が、モールドの表面自由エネルギー（γｍｏｌｄ）よりも小さい場合に、接触角（θ）が５度以下になる領域が現れる。」、
「【図７】
　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 」
との記載があり、図７を参照すると、硬化前の硬化性樹脂の表面自由エネルギー（γｒｅｓｉｓｔ）が２５ｍＪ／ｍ２、モールドの表面自由エネルギー（γｍｏｌｄ）が２５ｍＪ／ｍ２及び３０ｍＪ／ｍ２のときに、小さい接触角が得られる領域があることが読み取れる。
　すると、これらの当初明細書等の記載から、硬化性樹脂の硬化前の表面自由エネルギーが、２５ｍＪ／ｍ２以上であるときに、確かに、５度以下の小さい接触角が得られ、大きい浸透到達高さが得られるいう技術事項が記載されていると認められるから、「前記硬化性樹脂の硬化前の表面自由エネルギーが、２５ｍＪ／ｍ２以上であり、」に訂正することによって、新たな技術的事項を導入するものではないことは明らかである。
　よって、訂正事項１は、新規事項の追加に該当しない。
　なお、申立人は、「訂正事項１は、願書に添付した特許請求の範囲、明細書及び図面に記載した事項の範囲内のものでなく、訂正請求は認められない。」と主張するが、上述のとおりであって、申立人の主張は採用できない。
ウ　特許請求の範囲の拡張・変更
　上記「ア」で検討したとおり、訂正事項１は、訂正前特許請求の範囲の請求項１の減縮を目的とするものであって、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
（２）訂正事項２について
ア　訂正の目的
　訂正事項２は、訂正前特許請求の範囲の請求項１の「硬化性樹脂」をどのような方法で選択して用いるかを限定する記載を追加するものである。
　すると、訂正事項２は、訂正前特許請求の範囲の請求項１の「ナノインプリント方法」を減縮するものである。
　よって、訂正事項１は、特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
イ　新規事項
　当初明細書等の段落【００５８】及び図１０には、
「【００５８】
　さらに、表面自由エネルギーの極性成分、分散成分に着目して、付着エネルギーの増減を示す。図１０は、Ｘ軸が樹脂の表面自由エネルギーの極性成分（γｐｒｅｓｉｓｔ）、Ｙ軸が付着エネルギー（Ｗｍｏｌｄ／ｒｅｓｉｓｔ）として、上記数式（１３）をプロットした図である。なお、図１０においては、図７と同様に、樹脂の表面自由エネルギー（γｒｅｓｉｓｔ）を２５ｍＪ／ｍ２、モールドの表面自由エネルギーの極性成分（γｐｍｏｌｄ）をモールドの表面自由エネルギー（γｍｏｌｄ）の１／２としている。」、
「【図１０】
　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 」
との記載があり、これらの記載から、硬化後の硬化性樹脂の表面自由エネルギー（γｒｅｓｉｓｔ）を一定値（２５ｍＪ／ｍ２）として、該樹脂の表面自由エネルギーの極性成分（γｐｒｅｓｉｓｔ）を０以上γｒｅｓｉｓｔの範囲で変動した時の式
「
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　」
により算出される付着エネルギー（Ｗｍｏｌｄ／ｒｅｓｉｓｔ）をプロットしたグラフを得ていることが読み取れる。
　また、当初明細書等の段落【００６５】に、
「ここで、モールドと樹脂の離型性を考えると、付着エネルギーが最大となる領域は避けるべきである。したがって、硬化前の状態である樹脂の表面自由エネルギーの極性成分の値は、硬化後の樹脂とモールドとの付着エネルギーが最大となる樹脂の表面自由エネルギーの極性成分の値から、離れた値である樹脂であることが望ましいと思われる。」（なお、「硬化前の状態である」は、「硬化後の状態である」の誤記であると解される。）
との記載があり、図１０から得られる付着エネルギー（Ｗｍｏｌｄ／ｒｅｓｉｓｔ）が最大となる表面自由エネルギーの極性成分の値から離れた、表面自由エネルギーの極性成分の値となる樹脂であることが望ましいという技術事項が記載されていることは明らかである。
　すると、これらの当初明細書等の記載から、訂正事項２により追加される事項は当初明細書等に記載した事項であって、訂正事項２が新たな技術的事項を導入するものではないことは明らかである。
　よって、訂正事項２は、新規事項の追加に該当しない。
ウ　特許請求の範囲の拡張・変更
　上記「ア」で検討したとおり、訂正事項２は、訂正前特許請求の範囲の請求項１の減縮を目的とするものであって、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
（３）訂正事項３、４について
　訂正事項３、４は、訂正事項１、２による訂正前特許請求の範囲の請求項１の訂正に併せて、訂正前明細書の段落【００１４】の記載を訂正するものである。
　すると、訂正事項３、４は、明瞭でない記載の釈明と目的とするものである。
　また、上記「（１）」及び「（２）」での検討と同様、訂正事項３、４は、新規事項の追加に該当せず、かつ、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
（４）訂正事項５、６について
　訂正事項５、６は、数式（３）、（５）に明らかに誤記があったものを訂正するものであるから、誤記の訂正を目的とするものである。
　また、この誤記の訂正により、新たな技術事項が導入されないこと、及び、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではないことは、明らかである。
３　むすび
　したがって、上記訂正請求に係る訂正事項１〜６は、特許法第１２０条の５第２項ただし書き第１号、第２号又は第３号に掲げる事項を目的とするものであり、かつ、同条第９項で準用する同法第１２６条第５項及び第６項の規定に適合するので、訂正後の請求項１についての訂正を認める。
第３　特許異議の申立てについて
１　訂正発明
　訂正後の請求項１に係る発明（以下、「訂正発明」という。）は、訂正後の特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定される、次のとおりのものである。
「【請求項１】
　モールドに形成された凹凸の転写パターンを、被転写基板上に形成された硬化性樹脂に転写するナノインプリント方法であって、
　前記転写パターンには、開口サイズが１００ｎｍ以下の凹パターンが含まれており、
　前記硬化性樹脂の硬化前の表面自由エネルギーが、前記モールドの転写前後の表面自由エネルギーよりも小さい値であり、
　前記硬化性樹脂の硬化前の表面自由エネルギーが、２５ｍＪ／ｍ２以上であり、
　前記モールドの表面自由エネルギーの分散成分γｄｍｏｌｄおよび極性成分γｐｍｏｌｄの和により表される前記モールドの表面自由エネルギーをγｍｏｌｄとし、硬化性樹脂の硬化後の表面自由エネルギーの分散成分γｄｍｏｌｄおよび極性成分γｐｍｏｌｄの和により表される前記硬化性樹脂の硬化後の表面自由エネルギーをγｒｅｓｉｓｔとした場合に、硬化性樹脂の硬化後の表面自由エネルギーγｒｅｓｉｓｔを一定値として、硬化性樹脂の硬化後の表面自由エネルギーの極性成分γｐｒｅｓｉｓｔを０以上前記表面自由エネルギーγｒｅｓｉｓｔの値以下の範囲内で変動させて、下記式により算出される前記モールドおよび硬化後の硬化性樹脂の付着エネルギーＷｍｏｌｄ／ｒｅｓｉｓｔと前記極性成分γｐｒｅｓｉｓｔとの関係を示すグラフを得て、当該グラフの軌跡から求められる、付着エネルギーＷｍｏｌｄ／ｒｅｓｉｓｔが最大値を示さないような前記極性成分γｐｒｅｓｉｓｔの値を示す硬化性樹脂を、前記凹パターンが転写される前記硬化樹脂として用いることを特徴とするナノインプリント方法。
　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 」
２　取消理由の概要
　（訂正前の）請求項１に係る特許に対して、平成２８年１月１８日付けで特許権者に通知した取消理由は、要旨次のとおりである。
（１）平成２７年１０月５日付け手続補正書でした補正は、下記の点で願書に最初に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内においてしたものでない。
　よって、（訂正前の）請求項１に係る特許は、特許法第１７条の２第３項に規定する要件を満たしていない補正をした特許出願に対してなされたものであるから、取り消すべきものである。
（２）上記理由（１）と同様、訂正前の請求項１に係る発明（以下、「本件特許発明」という。）は、本願の原出願である特願２０１０−１４１１０４号の願書に最初に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載されたものではない。 
  すると、本願は分割要件を満たさないから、その出願日は平成２６年１２月１２日であると認める。
（３）本件特許発明は、甲第１号証（特表２００６−５２８０８８号公報）に記載された発明であるから、特許法第２９条第１項第３号に規定する発明に該当する。
　よって、本件特許発明は特許を受けることができないから、その発明に係る特許は取り消すべきものである。
（４）本件特許発明は、甲第１号証に記載された発明に基づいて、あるいは、甲第１号証及び甲第２号証（米国特許第５７７２９０５号明細書）に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである。
　よって、本件特許発明は特許を受けることができないから、その発明に係る特許は取り消すべきものである。
（５）本件特許発明は、甲第３号証（Ｊ．Ｖａｃ．Ｓｃｉ．Ｔｅｃｈｎｏｌ．Ｂ　２５（３），２００７，ｐ．７８５−７９０）に記載された発明であるから、特許法第２９条第１項第３号に規定する発明に該当する。
　よって、本件特許発明は特許を受けることができないから、その発明に係る特許は取り消すべきものである。
（６）本件特許発明は、甲第３号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである。
　よって、本件特許発明は特許を受けることができないから、その発明に係る特許は取り消すべきものである。
（７）本件特許発明は、甲第１２号証（特開２０１２−４５１６号公報）に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである。
　よって、本件特許発明は特許を受けることができないから、その発明に係る特許は取り消すべきものである。
３　取消理由（１）について
　上記「第２」で検討したとおり、訂正後の請求項１についての訂正は認められ、訂正前の「前記硬化性樹脂の硬化前の表面自由エネルギーが、１３ｍＪ／ｍ２以上である」を、「前記硬化性樹脂の硬化前の表面自由エネルギーが、２５ｍＪ／ｍ２以上であり、」に訂正する訂正事項１は、上記「第２」「２」「（１）」「イ」で検討したとおり、新規事項の追加に該当しない。
　すると、訂正発明の特許は、特許法第１７条の２第３項に規定する要件を満たしていない補正をした特許出願に対してされたものとはいえない。
　よって、訂正発明に係る特許は取り消すべきものであるとすることはできない。
４　分割要件(上記「２」「（２）」）について
　上記「３」での検討と同様、本件特許発明１は、本願の原出願である特願２０１０−１４１１０４号の願書に最初に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載されたものとなったので、本願は分割要件を満たすものとなった。
　よって、本願の出願日は、原出願の出願日である平成２２年６月２１日に遡及すると認める。
５　取消理由（３）について
（１）甲号証の記載
　取消理由に引用され、原出願の出願前に頒布された刊行物である、甲第１号証（特表２００６−５２８０８８号公報）には、以下の事項が記載されている。（下線は、当審が付した。）
ア　「【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
　図１は本発明の一実施形態によるリソグラフィ・システム１０を描いており、
・・略・・
【００１０】
　図１と２の両方を参照すると、インプリント・ヘッド１８に接続されているのが上に成形型２８を有する型板２６である
。成形型２８は間隔を置かれた複数の凹部２８ａと凸部２８ｂによって規定される複数の特徴形状を有する。
成形型２８上の特徴形状は、以下でさらに充分に検討されるが、基板３１の成形される領域にインプリントされる。
【００１１】
  図２と３の両方を参照すると、インプリンティング層３４のような成形される領域は実質的に平面の輪郭である基板３２の一部の上に置かれる。・・略・・しかしながら本発明の実施形態では、
成形される領域は、下記でさらに充分に検討されるが、基板３１上に材料３６ａの間隔を置かれた複数の個別の液滴３６として堆積させられるインプリンティング層３４で構成される。
・・略・・
【００１４】
　図２、３、４を参照すると、望ましい距離「ｄ」が達成された後に
放射源２２が化学線を放射し、材料３６ａを重合させ、架橋させてポリマー材料３６ｃを形成し、その大部分が架橋させられる。結果として、材料３６ａは固体である材料３６ｃへと変化し、図５に示されるインプリンティング層１３４を形成する。
・・略・・
【００１７】
　図１と２の両方を参照すると、一例の放射源２２は紫外放射を放射させるが、どのような知られている放射源を使用することも可能である。インプリンティング層３４の材料の重合を開始するために使用される放射の選択は当業者に知られており、通常では所望の特定の用途に応じて決まる。さらに、成形型２８の複数の特徴形状は凸部２８ｂに平行の方向に沿って延びる凹部２８ａとして示され、狭間胸壁の形状を備えた成形型２８の断面を与えている。しかしながら、凹部２８ａと凸部２８ｂは集積回路を作るために必要とされる事実上どのような外観に対応することも可能であり、１０分の数ナノメートルの小ささであることが可能である。
【００１８】
　図１、２、５を参照すると、本パターニング技術によって作られるパターンは３０：１の大きさのアスペクト比を有する特徴形状を与えるように基板３１へ転写せることが可能である。そのために、成形型２８の一実施形態は１：１から１０：１の範囲でアスペクト比を決める凹部２８ａを有する。特に、
凸部２８ｂが約１０ｎｍから約５０００μｍの範囲の幅Ｗ
１
を有し、凹部２８ａが約１０ｎｍから約５０００μｍの範囲の幅Ｗ
２
を有する。
・・略・・
【００２１】
  図１、２、３を参照すると、
材料３６ａに関して一例の組成は以下の通りである。
・・略・・
【００２２】
　成形型２８とインプリンティング層３４のリリース特性を向上させるため、およびインプリンティング層３４が成形型２８に接着しないことを確実化するために、材料３６ａが形成される組成は、組成１の表面張力を下げる添加剤を含むことが可能である。そのために、材料３６ａは添加剤として界面活性剤を含むことが可能である。本発明の目的に関すると、界面活性剤はその１つの尾部が疎水性であるいずれかの分子として定義される。界面活性剤はフッ素含有物である、すなわちフッ素鎖を含むか、または界面活性剤の分子構造内にどのようなフッ素も含まないかのどちらでもよい。一例の界面活性剤はＺＯＮＹＬ（登録商標）ＦＳＯ−１００という商標名の下でＤＵＰＯＮＴ（商標）から入手可能であり、それはＲ１Ｒ２の一般構造を有し、ここでＲ１＝Ｆ（ＣＦ２ＣＦ２）ｙであり、ｙは１から７を含めた範囲にあり、Ｒ２＝ＣＨ２ＣＨ２Ｏ（ＣＨ２ＣＨ２Ｏ）ｘＨでありｘは０から１５を含めた範囲にある。
これは材料３６ａに以下の組成を与える。
  
組成２
・・略・・
【００２６】
　特に、界面１３６ａはそれに付随する第１の界面エネルギー・ステップを決め、第２の界面１３７ａは第２の界面エネルギー・ステップを決める。第１の界面エネルギー・ステップは第２の界面エネルギー・ステップよりも大きい。第１の界面エネルギー・ステップは成形型２８の表面エネルギーと領域１３６の材料３６ｃの表面張力の差異によって決まる。第２の界面の表面エネルギーは領域１３７に付随する材料３６ｃに関して領域１３６に付随する材料３６ｃの接着によって決められる。この一例では、
組成２は２０〜３５ミリニュートン／メートルの範囲の表面張力を領域１３６に与え、１ミリジュール／ｃｍ
２
＝１ミリニュートン／メートルである。
【００２７】
　図２を参照すると、
成形型２８を濡らし、それにより、液滴３６を広げるために必要とされる時間が削減されるという付加的な利点が組成２によって提供される。特に、成形型２８上にプライオリ・リリース層を有する必要性を無効化することによって成形型２８の表面に、高い表面エネルギー、例えば６０から２５０ミリニュートン／メートルを与えてもよい。
イ　「【図２】
　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 」
　上記記載事項アの段落【００２６】の「１ミリジュール／
ｃｍ
２
ｍ
２
　すると、上記甲第１号証の記載事項から、甲第１号証には、以下の発明（以下「甲１発明」という。）が記載されている。
「成形型２８は間隔を置かれた複数の凹部２８ａと凸部２８ｂによって規定される複数の特徴形状を有し、該特徴形状を基板３１の成形される領域にインプリントする方法であって、
　凸部２８ｂが約１０ｎｍから約５０００μｍの範囲の幅を有し、凹部２８ａが約１０ｎｍから約５０００μｍの範囲の幅を有し、
　成形される領域は、基板３１上に材料３６ａの間隔を置かれた複数の個別の液滴３６として堆積させられるインプリンティング層３４で構成され、
　放射源２２が化学線を放射し、材料３６ａを重合させ、架橋させてポリマー材料３６ｃを形成し、その大部分が架橋させられ、結果として、材料３６ａは固体である材料３６ｃへと変化し、インプリンティング層１３４を形成し、
　材料３６ａを形成する組成２は、２０〜３５ミリニュートン／メートルの範囲の表面張力を領域１３６に与え、１ミリジュール／ｍ２＝１ミリニュートン／メートルであり、成形型２８を濡らし、それにより、液滴３６を広げるために必要とされる時間が削減されるという付加的な利点を提供する組成２は、成形型２８上にプライオリ・リリース層を有する必要性を無効化することによって成形型２８の表面に、高い表面張力、例えば６０から２５０ミリニュートン／メートルを与える、方法。」
（２）対比
ア　訂正発明と甲１発明との対比
（ア）甲１発明の「成形型２８」、「複数の凹部２８ａと凸部２８ｂによって規定される複数の特徴形状」、「基板３１」、及び「複数の凹部２８ａ」が、それぞれ、訂正発明の「モールド」、「凹凸の転写パターン」、「被転写基板」及び「凹パターン」に相当する。
　また、甲１発明の「材料３６ａ」は、「放射源２２が化学線を放射し、材料３６ａを重合させ、架橋させてポリマー材料３６ｃを形成」することから、訂正発明の「硬化性樹脂」に相当する。
（イ）甲１発明は、「凸部２８ｂが約１０ｎｍから約５０００μｍの範囲の幅を有し、凹部２８ａが約１０ｎｍから約５０００μｍの範囲の幅を有」する「特徴形状」を「インプリントする方法」であるから、その「成形型２８は間隔を置かれた複数の凹部２８ａと凸部２８ｂによって規定される複数の特徴形状を有し、該特徴形状を基板３１の成形される領域にインプリントする方法であって、」「成形される領域は、基板３１上に材料３６ａの間隔を置かれた複数の個別の液滴３６として堆積させられるインプリンティング層３４で構成され、放射源２２が化学線を放射し、材料３６ａを重合させ、架橋させてポリマー材料３６ｃを形成し、その大部分が架橋させられ、結果として、材料３６ａは固体である材料３６ｃへと変化し、インプリンティング層１３４を形成」することは、訂正発明の「モールドに形成された凹凸の転写パターンを、被転写基板上に形成された硬化性樹脂に転写するナノインプリント方法」に相当する。
（ウ）甲１発明の「凹部２８ａが約１０ｎｍから約５０００μｍの範囲の幅を有」することは、訂正発明の「前記転写パターンには、開口サイズが１００ｎｍ以下の凹パターンが含まれて」いる構成に相当する。
（エ）甲１発明の「材料３６ａを形成する組成２は、２０〜３５ミリニュートン／メートルの範囲の表面張力を領域１３６に与え」の「表面張力」は、「放射源２２が化学線を放射し、材料３６ａを重合させ、架橋させてポリマー材料３６ｃを形成し、その大部分が架橋させられ、結果として、材料３６ａは固体である材料３６ｃへと変化し、」という特定事項からみれば、「組成２」が化学線により架橋される前、すなわち、硬化する前の「表面張力」であると認められること、及び、表面張力と表面自由エネルギーは、１ミリニュートン／メートル＝１ミリジュール／ｍ２という対応関係（以下、単に「表面張力と表面自由エネルギーの対応関係」という。）を有することから、該「材料３６ａを形成する組成２は、２０〜３５ミリニュートン／メートルの範囲の表面張力を領域１３６に与え」の「表面張力」は、訂正発明の「前記硬化性樹脂の硬化前の表面自由エネルギー」に相当する。
　また、甲１発明の「成形型２８の表面に、高い表面張力、例えば６０から２５０ミリニュートン／メートルを与える」の「表面張力」は「成形型２８」の表面張力を意味し、さらに、「成形型２８」のようなモールドの表面張力が樹脂の硬化前後で変化がないことは自明であること、及び、表面張力と表面自由エネルギーの対応関係から、該「成形型２８の表面に、高い表面張力、例えば６０から２５０ミリニュートン／メートルを与える」の「表面張力」は、訂正発明の「モールドの転写前後の表面自由エネルギー」に相当する。
　そして、「２０〜３５ミリニュートン／メートル」＜「６０から２５０ミリニュートン／メートル」であることから、甲１発明の
「材料３６ａを形成する組成２は、２０〜３５ミリニュートン／メートルの範囲の表面張力を領域１３６に与え、１ミリジュール／ｍ２＝１ミリニュートン／メートルであり、成形型２８を濡らし、それにより、液滴３６を広げるために必要とされる時間が削減されるという付加的な利点を提供する組成２は、成形型２８上にプライオリ・リリース層を有する必要性を無効化することによって成形型２８の表面に、高い表面張力、例えば６０から２５０ミリニュートン／メートルを与える」ことは、訂正発明の
「前記硬化性樹脂の硬化前の表面自由エネルギーが、前記モールドの転写前後の表面自由エネルギーよりも小さい値であり、
　前記硬化性樹脂の硬化前の表面自由エネルギーが、２５ｍＪ／ｍ２以上であること」に相当する。
イ　一致点
　してみると、両者は、
「モールドに形成された凹凸の転写パターンを、被転写基板上に形成された硬化性樹脂に転写するナノインプリント方法であって、
　前記転写パターンには、開口サイズが１００ｎｍ以下の凹パターンが含まれており、
　前記硬化性樹脂の硬化前の表面自由エネルギーが、前記モールドの転写前後の表面自由エネルギーよりも小さい値であり、
　前記硬化性樹脂の硬化前の表面自由エネルギーが、２５ｍＪ／ｍ２以上であるナノインプリント方法。」
で一致し、次の点で相違する。
　
ウ　相違点
　訂正発明では、
「前記モールドの表面自由エネルギーの分散成分γｄｍｏｌｄおよび極性成分γｐｍｏｌｄの和により表される前記モールドの表面自由エネルギーをγｍｏｌｄとし、硬化性樹脂の硬化後の表面自由エネルギーの分散成分γｄｍｏｌｄおよび極性成分γｐｍｏｌｄの和により表される前記硬化性樹脂の硬化後の表面自由エネルギーをγｒｅｓｉｓｔとした場合に、硬化性樹脂の硬化後の表面自由エネルギーγｒｅｓｉｓｔを一定値として、硬化性樹脂の硬化後の表面自由エネルギーの極性成分γｐｒｅｓｉｓｔを０以上前記表面自由エネルギーγｒｅｓｉｓｔの値以下の範囲内で変動させて、下記式により算出される前記モールドおよび硬化後の硬化性樹脂の付着エネルギーＷｍｏｌｄ／ｒｅｓｉｓｔと前記極性成分γｐｒｅｓｉｓｔとの関係を示すグラフを得て、当該グラフの軌跡から求められる、付着エネルギーＷｍｏｌｄ／ｒｅｓｉｓｔが最大値を示さないような前記極性成分γｐｒｅｓｉｓｔの値を示す硬化性樹脂を、前記凹パターンが転写される前記硬化樹脂として用いる
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　」
のに対して、甲１発明では、このような方法を備えない点。（以下、「相違点１」という。）
（３）判断
　してみると、訂正発明は、相違点１において、甲１発明であるとはいえない。
（４）申立人の意見について
　申立人は、その意見書において、「尚、本件要件Ｅ１に技術的意義がなく、本件要件Ｅは実質的に本件要件Ｅ２のみに等しいと言える場合には、前述の通り、甲第１号証には本件要件Ｅ２が記載されているのであるから、訂正後の本件特許発明は甲第１号証に記載された発明である。」と主張する。
　まず、申立人は、相違点１に係る訂正発明の発明特定事項を「本件要件Ｅ」とし、これを、前半の「前記モールドの・・グラフを得」ること（「本件要件Ｅ１」）、後半の「当該グラフの軌跡から求められる、・・硬化樹脂として用いること」（「本件要件Ｅ２」）の二つに分けている。
　しかし、「本件要件Ｅ２」の「当該グラフの軌跡から求められる」という発明特定事項は、「本件要件Ｅ１」の「グラフを得」ることと密接に関連するものであるから、「本件要件Ｅ」をこのように二つに分けて検討することは適切であるとはいえない。さらに、申立人は、「本件要件Ｅ２」についての主張において、「当該グラフの軌跡から求められる」という発明特定事項についての検討を行わず、単に、「付着エネルギーＷｍｏｌｄ／ｒｅｓｉｓｔが最大値を示さないような前記極性成分γｐｒｅｓｉｓｔの値を示す硬化性樹脂を、前記凹パターンが転写される前記硬化樹脂として用いる」ことについてのみ検討しているが、このような検討も、また、適切であるとはいえない。
　すると、申立人の上記「本件要件Ｅ１に技術的意義がなく、本件要件Ｅは実質的に本件要件Ｅ２のみに等しいと言える場合」との前提がそもそも不適切であり、さらに、技術的意義がないから実質的に訂正発明の要件ではないという主張自体も採用することができないものである。
（５）結論
　したがって、訂正発明は甲１発明であるとはいえないから、特許法第２９条第１項第３号に規定する発明に該当して特許を受けることができないとはいえない。
　よって、訂正発明に係る特許は取り消すべきものであるとすることはできない。
６　取消理由（４）について
（１）対比・判断
　上記「５」で検討したとおり、訂正発明は、相違点１において、甲１発明であるとはいえないところ、甲第２号証（米国特許第５７７２９０５号明細書）にも、相違点１に係る構成が記載も示唆もないことは明らかである。
　すると、訂正発明は、甲１発明に基づいて、あるいは、甲１発明及び甲第２号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるとはいえない。
（２）申立人の意見について
　申立人は、その意見書において、「その結果をグラフ化することを規定しているに過ぎず、この手順に何ら困難性は見いだせない。」、「それをグラフを得て特定する要件Ｅ１には、進歩性の根拠とできるような技術的意義はない。」等と主張するのみであり、上記相違点に係る構成は当業者が容易に想到し得るものであるという具体的根拠を欠くものであり、該主張は採用できない。
　また、申立人が提出した参考資料１〜３によれば、樹脂硬化後のモールドの離形性をよくするために、モールドと硬化後の樹脂の付着性を低減することが好ましいという技術事項が周知であると認められるが、モールドと硬化後の樹脂の付着性が低い樹脂を用いる際に、上記相違点１に係るグラフを得て、グラフから求められる付着エネルギーが最大値とならないような樹脂を選択して用いる方法が周知であるとは認められない。
　したがって、申立人が提出した参考資料１〜３を参酌しても、上記相違点１は当業者が容易に想到し得るものであるとはいえない。
（３）結論
　したがって、訂正発明は、甲１発明に基づいて、あるいは、甲１発明及び甲第２号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるとはいえないから、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものであって特許を受けることができないとはいえない。
　よって、訂正発明に係る特許は取り消すべきものであるとすることはできない。
７　取消理由（５）について
（１）甲号証の記載
　取消理由に引用され、原出願の出願前に頒布された刊行物である、甲第３号証（Ｊ．Ｖａｃ．Ｓｃｉ．Ｔｅｃｈｎｏｌ．Ｂ　２５（３），２００７，ｐ．７８５−７９０）には、以下の事項が記載されている。（日本語訳は、申立人が作成したものである。）
ア　「UV nanoimprint lithography (UV NIL) is attracting more and more interest as a technique to transfer nanosized patterns without using expensive optical exposure tools. The resolution of this technique is only limited by the availability of patterns that can be resolved on a mold and the availability of an appropriate UV curing materials.」（第７８５頁左欄第２〜７行）
（日本語訳）
「ＵＶナノインプリントリソグラフィ（ＵＶ　ＮＩＬ）は、高価な光学露光ツールを用いずにナノサイズのパターンを転写する技術として注目されている。この技術の解決は、モールド上で変化させ得るパターンの可能性と、適切なＵＶ硬化材料の可能性に限られる。」
イ　「For all imprints, a fused silica mold with a size of 12.5 ×12.5 mm2 and a surface roughness of less than 0.6 nm rms was used.」（第７８６頁左欄第３６〜３８行）
（日本語訳）
「全てのインプリントについて、サイズが１２．５×１２．５ｍｍ２、表面粗さＲｍｓが０．６ｎｍ未満の石英モールドを用いた。」
ウ　「UV NIL resists Inoflex R+ and PAK 01 were obtained by Inomat GmbH and Toyo Gosei, respectively.」（第７８６頁右欄２０〜２２行）
（日本語訳）
「ＵＶ　ＮＩＬレジストのＩｎｏｆｌｅｘ　ＲＰ＋及びＰＡＫ　０１はそれぞれ、Ｉｎｏｍａｔ　ＧｍｂＨおよび東洋合成から入手した。」
エ　「TABLE II. Surface tensions of Teflon and fused silica. Thetwo solid materials were used to measure the surface tensions of the UV curing materials.」（第７８７頁左欄上）
（日本語訳）
「表II．　テフロンおよび石英ガラスの表面張力。ＵＶ硬化材料の表面張力を測定するために、２つの固体材料を用いた。」
オ　「TABLE V. Surface tension of the evaluated UV curing materials」（第７８８頁右欄上）
（日本語訳）
「表Ｖ．　評価したＵＶ硬化材料の表面張力」
カ　「FIG.3. SEM images of first UV nanoimprints with the imprint tool NPS 300. On the upper image, pattern sizes from 100 to 200 nm, and on the lower image, pattern sizes from 50 to 70 nm are transferred into PAK 01.」（第７８９頁右欄上）
（日本語訳）
「図３．　インプリントツールＮＰＳ３００を用いた最初のＵＶ尚インプリントのＳＥＭイメージ。上側のイメージではサイズが１００〜２００ｎｍのパターン、下側のイメージではサイズが５０〜７０ｎｍのパターンが、ＰＡＫ０１に転写される。」
　TABLE I（略）の記載から、石英ガラスの表面張力が９４．７ｍＮ／ｍであること、TABLE V（略）の記載から、ＵＶ硬化材料の表面張力が、２２．２〜４０．８ｍＮ／ｍであることが読み取れる。
　FIG.3.（略）の記載から、パターンがライン＆スペースパターンであることが読み取れるところ、上記記載事項カの記載事項において、「サイズが５０〜７０ｎｍのパターン」が、ライン＆スペースパターンのライン及びスペースの幅が５０〜７０ｎｍであると解される。
　すると、上記甲第３号証の記載事項から、甲第３号証には、以下の発明（以下「甲３発明」という。）が記載されている。
「ナノサイズのパターンを転写する技術として注目されているＵＶナノインプリントリソグラフィ（ＵＶ　ＮＩＬ）であって、
　幅が５０〜７０ｎｍのライン＆スペースパターンが転写され、
　表面張力が９４．７ｍＮ／ｍである石英モールド及び表面張力が２２．２〜４０．８ｍＮ／ｍであるＵＶ硬化材料を用いた、ＵＶナノインプリントリソグラフィ（ＵＶ　ＮＩＬ）。」
（２）対比・判断
ア　訂正発明と甲３発明との対比
（ア）甲３発明の
「ナノサイズのパターンを転写する技術として注目されているＵＶナノインプリントリソグラフィ（ＵＶ　ＮＩＬ）であって、
　幅が５０〜７０ｎｍのライン＆スペースパターンが転写され」ることは、訂正発明の
「モールドに形成された凹凸の転写パターンを、被転写基板上に形成された硬化性樹脂に転写するナノインプリント方法であって、
　前記転写パターンには、開口サイズが１００ｎｍ以下の凹パターンが含まれて」いる構成に相当する。
（イ）甲第３号証の記載を総合すると、甲３発明の「表面張力が２２．２〜４０．８ｍＮ／ｍであるＵＶ硬化材料」の「表面張力」は「ＵＶ硬化材料」の硬化前の表面張力を示すものであると解される。
　そして、「石英モールド」の「表面張力」が「ＵＶ硬化材料」の硬化前後で変化がないことは自明であること、及び、表面張力と表面自由エネルギーの対応関係から、甲３発明の「石英モールド」の「表面張力」、「ＵＶ硬化材料」の「表面張力」は、それぞれ、訂正発明の「モールドの転写前後の表面自由エネルギー」、「硬化性樹脂の硬化前の表面自由エネルギー」に相当する。
　すると、甲３発明の「表面張力が９４．７ｍＮ／ｍである石英モールド及び表面張力が２２．２〜４０．８ｍＮ／ｍであるＵＶ硬化材料を用いた」ことは、訂正発明の
「前記硬化性樹脂の硬化前の表面自由エネルギーが、前記モールドの転写前後の表面自由エネルギーよりも小さい値であり、
　前記硬化性樹脂の硬化前の表面自由エネルギーが、２５ｍＪ／ｍ２以上であること」に相当する。
イ　一致点
　してみると、両者は、
「モールドに形成された凹凸の転写パターンを、被転写基板上に形成された硬化性樹脂に転写するナノインプリント方法であって、
　前記転写パターンには、開口サイズが１００ｎｍ以下の凹パターンが含まれており、
　前記硬化性樹脂の硬化前の表面自由エネルギーが、前記モールドの転写前後の表面自由エネルギーよりも小さい値であり、
　前記硬化性樹脂の硬化前の表面自由エネルギーが、２５ｍＪ／ｍ２以上であるナノインプリント方法。」
で一致し、相違点１で相違する。
ウ　判断
　してみると、訂正発明は、相違点１において、甲３発明であるとはいえない。
（３）申立人の意見について
　上記「５」「（４）」と同様である。
（４）結論
　したがって、訂正発明は甲３発明であるとはいえないから、特許法第２９条第１項第３号に規定する発明に該当して特許を受けることができないとはいえない。
　よって、訂正発明に係る特許は取り消すべきものであるとすることはできない。
８　取消理由（６）について
（１）対比・判断
　上記「７」で検討したとおり、訂正発明は、相違点１において、甲３発明であるとはいえないし、他に、相違点１に係る構成が当業者が容易に発明をすることができたものであるとする理由もない。
　すると、訂正発明は、甲３発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるとはいえない。
（２）申立人の意見について
　上記「６」「（２）」と同様である。
（３）結論
　したがって、訂正発明は、甲３発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるとはいえないから、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものであって訂正発明は特許を受けることができないとはいえない。
　よって、訂正発明に係る特許は取り消すべきものであるとすることはできない。
９　取消理由（７）について
　上記「４」で検討したとおり、本願の出願日は、原出願の出願日である平成２２年６月２１日に遡及する。
　よって、原出願の出願後に頒布された刊行物である甲第１２号証（特開２０１２−４５１６号公報）は、いわゆる公知文献ではない。
　すると、訂正発明が甲１２号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるかを検討するまでもなく、訂正発明は特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものであって特許を受けることができないとはいえない。
　よって、訂正発明に係る特許は取り消すべきものであるとすることはできない。
１０　取消理由通知において採用しなかった特許異議申立理由について
（１）特許異議申立理由の概要
ア　申立人は、本件特許発明は、甲第４号証（特開２００７−５５２３５号公報）に記載された発明であって、特許法第２９条第１項第３号に該当し、特許を受けることができない、あるいは、本件特許発明と甲第４号証に記載された発明との間に何らかの形式的な差異が認められるとしても、甲第４号証に記載された発明から当業者が容易に発明をすることができたものであって、特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができないから、その発明に係る特許は取り消すべきものであると主張する。（以下、単に「申立理由ア」という。）
イ　申立人は、本件特許発明の「前記転写パターンには、開口サイズが１００ｎｍ以下の凹パターンが含まれており、」の「開口サイズ」がどのサイズを示すのかが不明確であるから、本件特許は、特許請求の範囲の請求の記載が、特許法第３６条第６項第２号に規定する要件を満たしておらず、その発明に係る特許は取り消すべきものであると主張する。（以下、単に「申立理由イ」という。）
（２）申立理由アについて
ア　甲号証の記載
　原出願の出願前に頒布された刊行物である、甲第４号証には、以下の事項が記載されている。（下線は、当審が付した。）
（ア）「【発明の好ましい態様の詳細な説明】
【００１４】
　以下に、添付の図面を参照しながら本発明の実施態様をより詳細に説明する。
【００１５】
　本発明は、本明細書で「２工程インプリント製法」と呼ぶ方法に関する。この用語は、第一工程においてナノメートルおよび／またはマイクロメートルサイズのパターン形成された表面を有するテンプレートの一個以上のレプリカを、インプリント工程または射出成形工程により、一個以上の可撓性重合体フィルムに形成する製法として理解される。このパターン形成された重合体フィルムは、第二工程で重合体スタンプとして使用することができる。あるいは、このパターン形成された重合体フィルムを、別の重合体フィルム上に別のインプリントを行うためのスタンプとして使用し、続いてこの別の重合体フィルムを第二工程で使用する。このように、本製法の第一工程は、パターンがオリジナルテンプレートのパターンに対して逆である可撓性のネガ型重合体レプリカ、およびパターンがオリジナルテンプレートのパターンと類似している、可撓性のポジ型重合体レプリカ、の両方を形成することができる。第二工程では、そのように製造されたレプリカを可撓性重合体スタンプとして使用し、続いて行う熱的インプリント、ＵＶインプリント、またはそれらの両方を使用するインプリント工程により、物体表面にそのパターンを再現することができる。
【００１６】
　本明細書で使用する用語「
ナノ−インプリント製法
スタンプのナノ−および／またはマイクロ−構造化された表面の逆転したコピーを形成するための製法を意味し
（イ）「【００２３】
　マスターテンプレートの表面および可撓性重合体レプリカが製造される元となる重合体材料の表面は、インプリントを行った後、インプリントされたパターンに損傷を与えないように重合体スタンプをテンプレートから引き離すには、相互に十分な接着防止および粘着防止特性を示している必要がある。さらに、第二工程で、可撓性重合体レプリカの材料は、基材上のレジスト材料層の表面に対して十分な接着防止特性を示す必要がある。
【００２４】
　低い表面エネルギー値を有する液体は、エネルギーが最小に抑えられるために、一般的により高い値を有する固体上に広がる。反対の場合には、逆のことが起こる。従って、
本発明の異なった材料間の良好な接着防止および粘着防止特性には、異なった材料の表面エネルギー間の下記の関係が与えられる。
　　σ固体（テンプレート材料）＜σ液体（重合体材料）、かつ
　　
σ固体（重合体材料）＜σ液体（レジスト材料）
【００２５】
  ここで、テンプレート材料とは、重合体材料と接触する表面の材料を意味し、従って、粘着防止層が備わっている場合には、テンプレートの粘着防止層を意味する。また、用語「表面エネルギー／張力」とは、真空中での材料に該当することにも注意すべきである。実際的な理由から、この用語は、固体−空気および液体−空気界面の場合に使用されることが多い。固体−液体界面の濡れ特性を絶対的に正確に評価するには、「界面エネルギー」をさらに考える必要があり、ヤングの式が平衡状態
　　σ固体−真空−σ固体−液体＝σ液体−真空ｃｏｓ（ψ）　　 (2)
を表す。
【００２６】
　ここで、固体表面と液体表面との間の接触角度ψは、完全に濡れないかもしく反接着性の挙動には、９０°〜１８０°になければならず、これはσ固体−真空＜σ固体−液体の関係が導かれる。さらに、場合により、界面の連結強度を慎重に研究するには、表面エネルギーの分散部分σｉｄ（非極性、長範囲London力を表す）や、その極性部分σｉＰ（極性、短範囲非London力を表す）を考慮しなければならない。界面エネルギー（σ固体−液体）ならびにσｉｄおよびσｉＰは、通常は未知であるものの、等式(1)の関係で十分であり、より有効な近似であると考えられる。その際、σ固体（テンプレート材料）が、粘着防止被膜で被覆されたオリジナルテンプレートまたはスタンプの表面エネルギーを意味し、σ液体（重合体材料）が、ガラス転移温度より高い温度に加熱された可撓性重合体フィルムの表面エネルギーを意味し、σ固体（重合体材料）が、インプリントを行った後の固相中の可撓性重合体フィルムの表面エネルギーを意味し、σ液体（レジスト材料）が、基材表面上に堆積したレジスト材料の表面エネルギーを意味する。
【００２７】
　本発明の、表面張力が２８〜４０ｍＮ／ｍであるＣＯＣ重合体材料により、他の材料と比較して顕著な接着防止特性が得られ、本発明のインプリント製法で使用するのに理想的であることを見出した。しかし、すべてのＣＯＣがこの範囲内の表面張力を有する訳ではないことに注意すべきである。IUPAC Technical Report「Chemical Structure and Physical Properties of Cyclic Olefin Copolymers」、Pure Appl. Chem., Vol. 77, No. 5, pp.801-814, 2005, DOI: 10.1351/pac200577050801に開示されているように、市販されている多くのＣＯＣに対してJ.Y. Shinらが試験を行っている。試験した６種類のＣＯＣ重合体の中で、５種類が２８〜４０ｍＮ／ｍの範囲内にあり、２種類が２８〜３７ｍＮ／ｍの範囲内にあり、１種だけが３０〜３５の範囲内にある。接着防止特性の問題だけを考えると、より広い範囲内にあるＣＯＣが等式(1)におけるσ固体（重合体材料）の条件を満たし、従って、マスターテンプレート表面張力が２０ｍＮ／ｍ未満、典型的には１８ｍＮ／ｍ以下であり、基材に塗布されるレジスト層が４５ｍＮ／ｍの領域にある場合、ここに記載する２工程インプリント製法に有利である。好ましい実施態様では、テンプレートがＳＡＭ粘着防止被覆を有し、テンプレートに約１８ｍＮ／ｍの表面張力を与え、基材上に、
表面張力約４５ｍＮ／ｍのＵＶ架橋性レジスト材料、例えばSU8を使用する中間重合体スタンプに最も望ましい表面張力は、約３１．５ｍＮ／ｍ、または３０〜３３ｍＮ／ｍであろう。
【００２８】
　ここで、用語「可撓性重合体フィルム」は、可撓性で、延性があり、透明な重合体フィルムを意味する。本発明により、可撓性重合体フィルム、またはパターン形成された場合の重合体スタンプは、シクロ−オレフィン共重合体（ＣＯＣ）を含んでなる。好ましくは、重合体フィルムは一種以上のＣＯＣから均質に製造されるが、別の実施態様では、重合体フィルムの材料は、他の化合物も含んでもよい。好ましい実施態様では、重合体フィルムは、一種以上の慎重に選択されたＣＯＣ誘導体から製造され、重合体フィルムの表面張力は２８〜４０ｍＮ／ｍである。好ましい狭い範囲は、２８〜３７ｍＮ／ｍ、３０〜３５ｍＮ／ｍ、さらには３０〜３３ｍＮ／ｍである。」
（ウ）「【００４２】
　そのようにして製造された、オリジナルテンプレート１のパターンと逆の、または同等の表面パターンをそれぞれ有するレプリカ５または８は、本発明の二次インプリント工程で、可撓性重合体テンプレートとして、図１ｇ）〜１ｉ）でそれぞれ左側および右側に図式的に示すように使用される。ここで、可撓性重合体スタンプ５または８の表面４または７は、標的表面１７を有する基材１３を含む物体１２の表面１６と接触させて配置され、その標的表面１７は、放射線感応性材料、例えば放射線で露光することにより架橋し得るプレポリマーまたは重合体、の薄い成形表面層１４で被覆されている。可撓性重合体スタンプ５または８の表面４または７は、それらの表面の材料組成により、成形層１４の表面１６に対して接着防止特性を示す。可撓性重合体テンプレート５または８の一方および物体１２を一緒に押し付けるように作用させる圧力、および重合体フィルム１４の選択された部分の放射線露光により、図１ｈに示すように、成形可能な層１４の中に重合体スタンプ表面の反転したパターンが形成される。可撓性重合体スタンプ５または８は、作用させる放射線に対して透明であるか、または僅かな吸収を示し、放射線で露光した時に表面層１４の材料を硬化または架橋させるのに必要な、十分な量の放射線を透過させる。図１ｈ）に示すように、インプリントおよび接着防止特性焼き付けを行った後、可撓性重合体スタンプ５または８は、基材１３から機械的に引き離すか、あるいは一種以上の好適な溶剤を好適な方法で使用し、重合体スタンプ５または８全体もしくはその一部を化学的に溶解
させることができる。」
（エ）「【００４７】
　図５に、図１における重合体スタンプ５または８に対応し得る重合体スタンプ１０を示す。
重合体スタンプ１０は、表面４または７に対応する構造化された表面１１を有し、高さおよび幅が１ｎｍ〜数μｍで、より小さくても、大きくてもよい、三次元的な突起および窪みが形成された、転写すべき所定のパターンを有する。
（オ）「【図１】
　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 」
　すると、上記甲第４号証の記載事項から、甲第４号証には、以下の発明（以下「甲４発明」という。）が記載されている。
「スタンプのナノ−および／またはマイクロ−構造化された表面の逆転したコピーを形成するための製法であるナノ−インプリント製法であって、
　重合体スタンプは、高さおよび幅が１ｎｍ〜数μｍで、三次元的な突起および窪みが形成された、転写すべき所定のパターンを有し、
　インプリント工程の際または後に、ＵＶ露光により、重合体を硬化または架橋させ、
　基材上に表面張力約４５ｍＮ／ｍのＵＶ架橋性レジスト材料を使用する中間重合体スタンプに最も望ましい表面張力は、約３１．５ｍＮ／ｍであり、
　異なった材料間の良好な接着防止および粘着防止特性には、異なった材料の表面エネルギー間の下記の関係が与えられるナノ−インプリント製法。
　　σ固体（重合体材料）＜σ液体（レジスト材料）」
イ　対比
（ア）訂正発明と甲４発明との対比
ａ　甲４発明の「重合体スタンプ」、「三次元的な突起および窪みが形成された、転写すべき所定のパターン」、「基材」、「ＵＶ架橋性レジスト材料」及び「ナノ−インプリント製法」が、それぞれ、訂正発明の「モールド」、「凹凸の転写パターン」、「被転写基板」「硬化性樹脂」及び「ナノインプリント法」に相当する。
ｂ　甲４発明の
「スタンプのナノ−および／またはマイクロ−構造化された表面の逆転したコピーを形成するための製法であるナノ−インプリント製法であって、
　重合体スタンプは、高さおよび幅が１ｎｍ〜数μｍで、三次元的な突起および窪みが形成された、転写すべき所定のパターンを有し、
　インプリント工程の際または後に、ＵＶ露光により、重合体を硬化または架橋させ」ることは、訂正発明の
「モールドに形成された凹凸の転写パターンを、被転写基板上に形成された硬化性樹脂に転写するナノインプリント方法であって、
　前記転写パターンには、開口サイズが１００ｎｍ以下の凹パターンが含まれて」いる構成に相当する。
ｃ　甲４発明の「表面張力約４５ｍＮ／ｍのＵＶ架橋性レジスト材料を使用する」ことは、表面張力と表面自由エネルギーの対応関係から、訂正発明の「前記硬化性樹脂の硬化前の表面自由エネルギーが、２５ｍＪ／ｍ２以上であること」に相当する。
（イ）一致点
　してみると、両者は、
「モールドに形成された凹凸の転写パターンを、被転写基板上に形成された硬化性樹脂に転写するナノインプリント方法であって、
　前記転写パターンには、開口サイズが１００ｎｍ以下の凹パターンが含まれており、
　前記硬化性樹脂の硬化前の表面自由エネルギーが、２５ｍＪ／ｍ２以上であるナノインプリント方法。」
で一致し、相違点１に加え、次の点でも相違する。
（ウ）相違点
　訂正発明では、「前記硬化性樹脂の硬化前の表面自由エネルギーが、前記モールドの転写前後の表面自由エネルギーよりの小さい値であ」るのに対して、甲４発明では、「異なった材料間の良好な接着防止および粘着防止特性には、異なった材料の表面エネルギー間の下記の関係が与えられる」「σ固体（重合体材料）＜σ液体（レジスト材料）」である点。（以下、単に「相違点２」という。）
ウ　判断
　してみると、訂正発明は、相違点１及び２において、甲４発明であるとはいえない。
　また、相違点１及び２について、これらの相違点に係る構成が公知であることを示す証拠はないから、訂正発明１は、甲４発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるともいえない。
エ　申立人の意見について
　申立人は、その特許異議申立書において、
「甲第４号証には、以下の記載がある。「低い表面エネルギー値を有する液体は、エネルギーが最小に抑えられるために、一般的により高い値を有する固体上に広がる。」（【００２４】）したがって、甲第４号証には、低い表面エネルギー値を有する液体は、エネルギーが最小に抑えられるために、一般的により高い値を有する固体上に広がる。」
と主張する。
　確かに、甲第４号証には、低い表面エネルギー値を有する液体は、エネルギーが最小に抑えられるために、一般的により高い値を有する固体上に広がることが記載されているところ、甲第４号証の該記載は、濡れ性に関する一般的な技術常識を記載する箇所であり、甲第４号証に記載された発明としては、「本発明の異なった材料間の良好な接着防止および粘着防止特性」を考慮して、「σ固体（重合体材料）＜σ液体（レジスト材料）」という訂正発明とは逆の構成とすることが記載されるのみであると認められる。
　すると、甲４発明の「σ固体（重合体材料）＜σ液体（レジスト材料）」は技術的意味を持つ構成であるから、これを訂正発明のように逆の構成とすることには阻害要因がある。
オ　結論
　したがって、訂正発明は、甲４発明であるとはいえないから、特許法第２９条第３甲第１号に規定する発明に該当して特許を受けることができないとはいえない。
　また、訂正発明は、甲４発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるとはいえないから、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものであって訂正発明は特許を受けることができないとはいえない。
　よって、訂正発明に係る特許は取り消すべきものであるとすることはできない。
（３）申立理由イについて
　ナノインプリント法において、開口サイズという語は、例えば、円形状であれば直径を、ライン＆スペースパターンであれば線幅を示すことは当業者には技術常識にすぎない。また、申立人は、「凹パターンが不規則な形状である場合には、どの部分をもって開口サイズとするかは全くもって不明である。」とするが、申立人の「不規則な形状」がどのような形状を指すのかが必ずしも明確でないところ、１００ｎｍ以下という極めて小さいサイズのパターンにおいて、不規則な形状であることはまれであること、また、そのようなパターンがあったとしても、不規則な形状のどの部分のサイズを開口サイズとして考慮する必要があるかは、当業者であれば明確に理解できることは明らかである。
　すると、訂正発明の「前記転写パターンには、開口サイズが１００ｎｍ以下の凹パターンが含まれており、」の「開口サイズ」がどのサイズを示すのかが不明確であるとはいえない。
　したがって、訂正発明に係る特許は、特許請求の範囲の請求の記載が特許法第３６条第６項第２号に規定する要件を満たしていない特許出願に対してされたものとはいえない。
　よって、訂正発明に係る特許は取り消すべきものであるとすることはできない。
１１　申立人の新たな主張について
　申立人は、その意見書で、訂正発明について、次の（１）ア及びイ並びに（２）に記載するように、３つの意見を主張しているので、これらについて、以下、検討する。
（１）サポート要件違反
ア　申立人は、概略、次のように主張する。
　訂正発明の「前記硬化性樹脂の硬化前の表面自由エネルギーが、２５ｍＪ／ｍ２以上であり、」について、「本件明細書には、「離形性を向上させるために、樹脂の表面自由エネルギーが所定の上限値以下であることが望ましい」という技術思想が開示されている。そして、本件発明は、・・モールドと硬化性樹脂との離形性向上を第２の目的とするものである（・・）しかし、本件要件Ｄ’は下限値のみを規定するもので、上限値が規定されていない。したがって、本件要件Ｄ’は、離形性向上を達成し得ない範囲をも含むものであり、発明の詳細な説明に記載したものではない。」
　したがって、訂正発明は発明の詳細な説明に記載したものではない。
　しかし、申立人のいう「離形性を向上させるために、樹脂の表面自由エネルギーが所定の上限値以下であることが望ましい」の「樹脂の表面自由エネルギー」は、（硬化性）樹脂の硬化後の表面自由エネルギーのことであることは、訂正後の明細書の記載からみて明らかである。
　また、訂正後の明細書には、硬化前の樹脂の表面自由エネルギーの上限値を規定することの記載はないから、訂正発明において、その点の記載がないとしても、訂正発明が発明の詳細な説明に記載したものではないとすることはできない。
　なお、訂正発明は、離形性を向上させるための構成として、「・・当該グラフの軌跡から求められる、付着エネルギーＷｍｏｌｄ／ｒｅｓｉｓｔが最大値を示さないような前記極性成分γｐｒｅｓｉｓｔの値を示す硬化性樹脂を、前記凹パターンが転写される前記硬化樹脂として用いる」という発明特定事項を有している。
　よって、訂正発明が発明の詳細な説明に記載したものではないとすることはできない。
イ　申立人は、概略、次のように主張する。
　訂正発明の「・・グラフを得て、当該グラフの軌跡から求められる、付着エネルギーＷｍｏｌｄ／ｒｅｓｉｓｔが最大値を示さないような前記極性成分γｐｒｅｓｉｓｔの値を示す硬化性樹脂を、前記凹パターンが転写される前記硬化樹脂として用いる」ことは、発明の詳細な説明に記載したものではない。
　また、数式（１３）
「
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　」
は記載されているものの、式
「
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　」
は記載されていない。
　したがって、訂正発明は発明の詳細な説明に記載したものではない。
　しかし、訂正発明の「・・グラフを得て、・・前記凹パターンが転写される前記硬化樹脂として用いる」ことは、上記「第２」「２」「（２）」「イ」での検討と同様、訂正後の明細書に記載したものである。
　また、訂正後の段落【００５８】の「図１０は、Ｘ軸が樹脂の表面自由エネルギーの極性成分（γｐｒｅｓｉｓｔ）、Ｙ軸が付着エネルギー（Ｗｍｏｌｄ／ｒｅｓｉｓｔ）として、上記数式（１３）をプロットした図である。」という記載は、図１０が、「≒」である数式（１３）
「
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　」
をプロットしたものではなく、「＝」である式
「
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　」
をプロットしたものであることは、当業者には自明のことであるから、
「・・下記式により算出される・・グラフを得」ること
「
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　」
は訂正後の明細書に記載したものである。
　よって、訂正発明が発明の詳細な説明に記載したものではないとすることはできない。
（２）実施可能要件違反
　申立人は、概略、次のように主張する。
　本件特許明細書の発明の詳細な説明には、訂正発明の「前記モールドの表面自由エネルギーの分散成分γｄｍｏｌｄおよび極性成分γｐｍｏｌｄの和により表される前記モールドの表面自由エネルギーをγｍｏｌｄとし、硬化性樹脂の硬化後の表面自由エネルギーの分散成分γｄｍｏｌｄおよび極性成分γｐｍｏｌｄの和により表される前記硬化性樹脂の硬化後の表面自由エネルギーをγｒｅｓｉｓｔとした場合に、硬化性樹脂の硬化後の表面自由エネルギーγｒｅｓｉｓｔを一定値として、硬化性樹脂の硬化後の表面自由エネルギーの極性成分γｐｒｅｓｉｓｔを０以上前記表面自由エネルギーγｒｅｓｉｓｔの値以下の範囲内で変動させて、下記式により算出される前記モールドおよび硬化後の硬化性樹脂の付着エネルギーＷｍｏｌｄ／ｒｅｓｉｓｔと前記極性成分γｐｒｅｓｉｓｔとの関係を示すグラフを得」ることを、当業者が実施することができる程度に明確かつ十分に記載したものとはいえないから、本件特許は、特許法第３６条第４項第１号に規定する要件を満たしていない。
　しかし、訂正発明の上記発明特定事項は、訂正後の明細書の記載を参照すれば、式
「
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　」
において、まず、「γｄｍｏｌｄ」及び「γｐｍｏｌｄ」は一定である（モールド材料が特定されている）ことを前提として、「γｒｅｓｉｓｔ」を一定値とし、「γｐｒｅｓｉｓｔ」を０〜「γｒｅｓｉｓｔ」の値以下で変動させて（「γｒｅｓｉｓｔ＝γｄｒｅｓｉｓｔ＋γｐｒｅｓｉｓｔ」である。訂正後の明細書段落【００４８】参照。）、「Ｗｍｏｌｄ／ｒｅｓｉｓｔ」を上記式から計算して、プロットして、グラフを得ることを示すことは明らかである。
　すると、申立人のいうような、特定の樹脂を想定したり、樹脂の材料設計をしながら、グラフを得るものではないから、申立人の主張は、その前提が誤っており、採用できるものではない。
　したがって、訂正後の発明の詳細な説明は、当業者が訂正発明を実施することができる程度に明確かつ十分に記載したものではないとすることはできない。
第４　むすび
　以上のとおりであるから、取消理由通知に記載した取消理由及び特許異議申立書の記載した特許異議申立理由によっては、本件請求項１に係る特許を取り消すことはできない。
　また、他に、本件請求項１に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成２９年４月１４日（２０１７．４．１４）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５４）【発明の名称】
ナノインプリント方法
　【技術分野】
　【０００１】
　本発明は、ナノインプリント用モールドに形成された微細な凹凸パターンを、被転写基板上に形成された硬化性樹脂に転写するナノインプリント方法に関し、より詳しくは、モールドの微細な凹凸パターンに樹脂を充填させる技術に関するものである。
　【背景技術】
　【０００２】
　近年、特に半導体デバイスについては、微細化の一層の進展により高速動作、低消費電力動作が求められ、また、システムＬＳＩという名で呼ばれる機能の統合化などの高い技術が求められている。このような中、半導体デバイスのパターンを作製する要となるリソグラフィ技術は、パターンの微細化が進むにつれ、露光装置などが極めて高価になってきており、また、それに用いるマスク価格も高価になっている。
　【０００３】
　これに対して、１９９５年Ｐｒｉｎｃｅｔｏｎ大学のＣｈｏｕらによって提案されたナノインプリント法（インプリント法とも呼ばれる）は、装置価格や使用材料などが安価でありながら、１０ｎｍ程度の高解像度を有する微細パターン形成技術として注目されている（特許文献１）。
　【０００４】
　ナノインプリント法は、予め表面にナノメートルサイズの凹凸パターンを形成したモールド（テンプレート、スタンパ、金型とも呼ばれる）を、半導体ウエハなどの被転写基板表面に塗布形成された樹脂に押し付けて、前記樹脂を力学的に変形させて前記凹凸パターンを転写し、このパターン転写された樹脂をレジストマスクとして被転写基板を加工する技術である。一度モールドを作製すれば、ナノ構造が簡単に繰り返して成型できるため高いスループットが得られて経済的であるとともに、有害な廃棄物が少ないナノ加工技術であるため、近年、半導体デバイスに限らず、さまざまな分野への応用が期待されている。
　【０００５】
　このようなナノインプリント法には、熱可塑性樹脂を用いて熱により凹凸パターンを転写する熱インプリント法や、光硬化性樹脂を用いて紫外線により凹凸パターンを転写する光インプリント法などが知られている（特許文献２）。
　【０００６】
　上記の光インプリント法は、室温でパターン転写でき、熱インプリント法のような加熱・冷却サイクルが不要でモールドや樹脂の熱による寸法変化が生じないために、解像性、アライメント精度、生産性などの点で優れていると言われている。
　【０００７】
　ここで、上述のようなナノインプリント法を用いて凹凸パターンを被転写基板に転写する際には、被転写基板上に形成された硬化前の樹脂を、モールドの凹凸パターンの形状に忠実に充填し、樹脂を硬化した後は、硬化した樹脂がモールドから離型されずに付着残留することに起因するパターン欠陥が発生しないように離型する必要がある。硬化前の樹脂充填に必要な時間を短縮するには、モールドと被転写基板の間の押圧力を増大させる方法があり、また、モールドと硬化後の樹脂の離型性を向上させるためには、モールド表面に離型層を形成する方法がある。
　【先行技術文献】
　【特許文献】
　【０００８】
　【特許文献１】特表２００４−５０４７１８号公報
　【特許文献２】特開２００２−９３７４８号公報
　【非特許文献】
　【０００９】
　【非特許文献１】金原寿郎著　「基礎物理学　上巻」裳華房　１９６３年
　【非特許文献２】Ｊ．Ｎ．イスラエルアチヴィリ著　近藤保／大島広行訳「分子間力と表面力」朝倉書店　１９６３第２版　１９９６年
　【非特許文献３】Ｄ．Ｋ．Ｏｗｅｎｓ　ｅｔ　ａｌ，Ｊ．Ａｐｐｌ．Ｐｏｌｙｍ．Ｓｃｉ，１３，１７４１−１７４７（１９６９）
　【発明の概要】
　【発明が解決しようとする課題】
　【００１０】
　しかしながら、高い押圧でモールドの微小な凹凸パターンに硬化前の流動性を有する樹脂を充填させる場合、樹脂が被転写基板の所望しない領域まで広がる恐れがある。また、モールドの変形を誘発してしまう恐れや、樹脂の広がりが不均一になるなどの恐れ、さらには、モールドもしくは被転写基板を破損してしまう恐れがあった。
　【００１１】
　一方、離型性を向上させるべく、表面自由エネルギーの小さい離型層をモールド表面に形成すると、離型する際の剥離力が小さくなるため、硬化後の樹脂がモールドに付着残留することに起因するパターン欠陥の低減には有効であるものの、硬化前における樹脂の充填を阻害してしまうという課題があった。
　【００１２】
　本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、高い押圧を要することなく、樹脂の充填を阻害することなく、モールドに形成された微小な凹凸パターンに、その形状に忠実に追従して樹脂を充填させることを可能とするナノインプリント方法を提供することを目的とする。
　【課題を解決するための手段】
　【００１３】
　本発明者は、種々研究した結果、モールドに形成された微小な凹凸パターンへの樹脂の充填に関して、モールドの表面自由エネルギーと樹脂の表面自由エネルギーの関係や、樹脂の表面自由エネルギーの大きさ、および、モールドと樹脂との付着エネルギーと樹脂の表面自由エネルギーおよびその極性成分との関係等が、特定の条件を満たすものであれば、毛管力を効果的に利用することができ、これにより上記課題を解決できることを見出して本発明を完成したものである。
　【００１４】
　すなわち、本発明の請求項１に係る発明は、モールドに形成された凹凸の転写パターンを、被転写基板上に形成された硬化性樹脂に転写するナノインプリント方法であって、前記転写パターンには、開口サイズが１００ｎｍ以下の凹パターンが含まれており、前記硬化性樹脂の硬化前の表面自由エネルギーが、前記モールドの転写前後の表面自由エネルギーよりも小さい値であり、前記硬化性樹脂の硬化前の表面自由エネルギーが、
２５
り、前記モールドの表面自由エネルギーの分散成分γｄｍｏｌｄおよび極性成分γｐｍｏｌｄの和により表わされる前記モールドの表面自由エネルギーをγｍｏｌｄとし、硬化性樹脂の硬化後の表面自由エネルギーの分散成分γｄｒｅｓｉｓｔおよび極性成分γｐｒｅｓｉｓｔの和により表わされる硬化性樹脂の硬化後の表面自由エネルギーをγｒｅｓｉｓｔとした場合に、硬化性樹脂の硬化後の表面自由エネルギーγｒｅｓｉｓｔを一定値として、硬化性樹脂の硬化後の表面自由エネルギーの極性成分γｐｒｅｓｉｓｔを０以上前記表面自由エネルギーγｒｅｓｉｓｔの値以下の範囲内で変動させて、下記式により算出される前記モールドおよび硬化後の硬化性樹脂の付着エネルギーＷｍｏｌｄ／ｒｅｓｉｓｔと前記極性成分γｐｒｅｓｉｓｔとの関係を示すグラフを得て、当該グラフの軌跡から求められる、付着エネルギーＷｍｏｌｄ／ｒｅｓｉｓｔが最大値を示さないような前記極性成分γｐｒｅｓｉｓｔの値を示す硬化性樹脂を、前記凹パターンが転写される前記硬化性樹脂として用い
　【発明の効果】
　【００１７】
　本発明によれば、毛管力を効果的に利用することにより、高い押圧を要することなく、モールドに形成された微小な凹凸パターンに、その形状に忠実に追従して硬化前の樹脂を充填させることができる。
　【図面の簡単な説明】
　【００１８】
　【図１】ホール状の凹パターンを有するモールドにおける毛管浸透のモデルを示す説明図である。
　【図２】ホール状の凹パターンを有するモールドにおける樹脂の浸透高さの時間依存性を示す図である。
　【図３】ホール状の凹パターンを有するモールドのパターンサイズと樹脂の浸透到達高さの関係を示す図である。
　【図４】樹脂の表面自由エネルギーと樹脂の浸透到達高さの関係を示す図である。
　【図５】モールドと樹脂との付着エネルギーを説明する図である。
　【図６】モールド表面の樹脂に働く力を説明する模式図である。
　【図７】樹脂の表面自由エネルギーの極性成分と接触角との関係を示す図の一例である。
　【図８】樹脂の表面自由エネルギーの極性成分と接触角との関係を示す図の他の例である。
　【図９】モールドの表面自由エネルギーと付着エネルギーの最大値との関係を示す図である。
　【図１０】樹脂の表面自由エネルギーの極性成分と付着エネルギーとの関係を示す図の一例である。
　【図１１】樹脂の表面自由エネルギーの極性成分と付着エネルギーとの関係を示す図の他の例である。
　【図１２】毛管浸透の理論式のモデルを示す説明図である。
　【発明を実施するための形態】
　【００１９】
　まず、本発明に係る樹脂の凹パターンにおける浸透到達高さについて説明する。
　【００２０】
　数式（１）は、円管内定常流の理論式（Ｈａｇｅｎ−Ｐｏｉｓｅｕｌｌｅの式）であり、半径ｒ、長さｈの円管の定常流の流量Ｑを、長さｈ端間の圧力差Ｐ、液体の粘性係数ηで記述するものである（非特許文献１）。図１２は、そのモデルを示す説明図である。
　【００２１】
　【数１】
　次に、図１に、ホール状の凹パターン（円柱状の孔パターン）を有するモールド１における毛管浸透のモデルを示す。図１に示す凹パターンは円管の上部が閉じられた系に相当し、流体である硬化前の樹脂２がこの凹パターンに毛管浸透し、凹パターンの底部（閉じられた円管の上部に相当）に気体３が閉じ込められている。図１に示すモデルにおいては、樹脂２と接するモールド１の表面とホール状の凹パターン内に浸透した樹脂表面との圧力差Ｐは、数式（２）のように表される。ここで、第１項は、ラプラス圧力に起因する成分であり、ｒはホール状の凹パターンの半径、γは樹脂の表面自由エネルギー、θは樹脂の凹パターン内壁での接触角、ηは樹脂の粘性係数を表す。第２項は、重力に起因する成分であり、ρは樹脂の密度、ｇは重力加速度、ｈは樹脂の浸透高さを示す。第３項は、モールドの押圧力の成分である。第４項は、閉じ込められた気体の圧力の成分であり、ｈは浸透高さ、ｈｍは凹パターンの深さ、ｐａｉｒは大気圧を示す。
　【００２２】
　【数２】
　上記の数式（１）に、数式（２）を代入したものを数式（３）に示す。
　【００２３】
　【数３】
　ここで、流量Ｑは、体積速度であるため、数式（４）のようにも表される。なお、Ｖは流体の体積を、ｔは時間を示す。
　【００２４】
　【数４】
　それゆえ、数式（３）と数式（４）から、次の数式（５）が導き出される。
　【００２５】
　【数５】
　図２は、Ｘ軸を時間（ｔ）、Ｙ軸を浸透高さ（ｈ）として上記数式（５）をプロットした図である。図２に示すように、浸透高さ（ｈ）は、時間（ｔ）の経過に伴って高くなるが、一定の時間を経過すると、変化の小さい安定した値となる。それゆえ、以降、この安定した値を浸透到達高さ（ｈＣ）とする。
　【００２６】
　次に、図１に示すホール状の凹パターンを有するモールドの毛管浸透のモデルにおける、凹パターンの開口サイズ（直径＝２×ｒ）と浸透到達高さ（ｈＣ）の関係について、以下説明する。なお、凹パターンの深さ（ｈｍ）は１００ｎｍとして説明する。
　【００２７】
　図３は、Ｘ軸が凹パターンの開口サイズ（直径＝２×ｒ）、Ｙ軸が浸透到達高さ（ｈＣ）として、接触角（θ）を変化させた場合の上記数式（５）をプロットした図である。
　【００２８】
　なお、表面自由エネルギー（γ）は２５ｍＪ／ｍ２、圧力（ｐ）は３５００Ｐａとした。この圧力（ｐ）の値は、モールド裏面側から押圧せずに、モールドを樹脂の上に静置しているだけの状態を想定したものである。
　【００２９】
　図３に示すように、凹パターンの開口サイズが２０ｎｍ近傍では毛管力が強く、接触角（θ）が４０度以下の樹脂であれば、浸透到達高さ（ｈＣ）は９５ｎｍ以上、すなわち凹パターンの深さ（ｈｍ）の９５％に達する。
　【００３０】
　ただし、モールドを押圧しない状態で、被転写基板上の樹脂をモールドの転写領域全体に広げるためには、接触角（θ）は可能な限り小さくする必要がある。モールドの転写領域全体の大きさは、例えば、４０ｍｍ角程度である。
　【００３１】
　表１に転写面に各種離型層を設けた石英モールドにおける、純水と硬化性樹脂（東洋合成工業社製、ＰＡＫ−０１）の接触角の測定結果を示す。前記ＰＡＫ−０１は、ナノインプリントに一般的に用いられる硬化性樹脂である。
　【００３２】
　接触角測定装置としては、協和界面科学社製Ｄｒｏｐ　Ｍａｓｔｅｒを用いた。
　【００３３】
　なお、表１において、Ｏｐｔｏｏｌ（登録商標）とは、フッ素系シラン化合物を主成分とする離型層（ダイキン工業社製、Ｏｐｔｏｏｌ−ＤＳＸ）を、ＯＤＳとは、オクタデシルトリメトキシシラン（ＣＨ３（ＣＨ２）１７Ｓｉ（ＯＣＨ３）３）をモールド上に気相成長法により形成した離型層を、ＨＭＤＳとは、ヘキサメチルジシラザン（ＨＭＤＳ）雰囲気に、モールドを曝して、モールド上に形成したＨＭＤＳからなる離型層を、それぞれ示す。
　【００３４】
　【表１】
　表１に示すように、離型層ＨＭＤＳと樹脂ＰＡＫ−０１の系において接触角（θ）が最も小さい結果となった。しかしながら、このＨＭＤＳとＰＡＫ−０１の系であっても、押圧しない状態では、樹脂はモールドの転写領域全体に広がりきらない場合がある。
　【００３５】
　それゆえ、樹脂の接触角（θ）は出来るだけ小さい値、例えば５度以下にすることが好ましい。
　【００３６】
　次に、図１に示すホール状の凹パターンを有するモールドの毛管浸透のモデルにおける、樹脂の表面自由エネルギー（γ）と浸透到達高さ（ｈＣ）の関係について、以下説明する。
　【００３７】
　図４は、Ｘ軸が樹脂の硬化前の表面自由エネルギー（γ）、Ｙ軸が浸透到達高さ（ｈＣ）として、凹パターンの開口サイズ（直径＝２×ｒ）を変化させた場合の上記数式（５）をプロットした図である。なお、接触角（θ）は５度、凹パターンの深さ（ｈｍ）は１００ｎｍ、圧力（ｐ）は３５００Ｐａである。
　【００３８】
　図４に示すように、樹脂の表面自由エネルギー（γ）が小さくなると、浸透到達高さ（ｈＣ）も小さくなり、この変化は、樹脂の表面自由エネルギー（γ）が１０ｍＪ／ｍ２より小さくなると顕著になる。それゆえ、樹脂の表面自由エネルギー（γ）は１０ｍＪ／ｍ２以上であることが好ましい。
　【００３９】
　次に、樹脂の表面自由エネルギー（γ）とモールドの付着エネルギー（Ｗｍｏｌｄ／ｒｅｓｉｓｔ）の関係について、以下説明する。
　【００４０】
　図５は、モールドと樹脂との付着エネルギーを説明する図である。図面上の凹凸パターンは省略してある。なお、図５において、２１はモールド、２２は樹脂を示す。
　【００４１】
　ここで、図５（ａ）に示すように、接触している２つの媒質であるモールド２１と樹脂２２の単位面積を、図５（ｂ）に示すように、引き離すのに必要な自由エネルギーの変化を示す付着エネルギーは、樹脂表面からモールドを引き離す付着エネルギーをＷｍｏｌｄ／ｒｅｓｉｓｔとし、モールドの表面自由エネルギーをγｍｏｌｄ、樹脂の表面自由エネルギーをγｒｅｓｉｓｔ、モールドとレジスト間の界面エネルギーをγｍｏｌｄ／ｒｅｓｉｓｔとすると、次の数式（６）で表される。
　【００４２】
　【数６】
　一方、樹脂とモールドの固体表面との間の現象は、簡単には樹脂の固体表面への濡れの程度で表される。本発明において、表面自由エネルギーを求めるのに用いる接触角は、固体表面上におかれた液滴の表面と固体表面との交点において、液滴に引いた接線と固体表面とのなす角度で、液滴を含む側の角度を示す。
　【００４３】
　図６は、モールド表面の樹脂に働く力を説明する模式図である。図６に示すように、モールド３１の表面に樹脂３２が形成されたとき、濡れ性すなわち親水性、疎水性の程度を表す接触角に関して、モールドの表面自由エネルギーをγｍｏｌｄ、モールドと樹脂間の界面エネルギーをγｍｏｌｄ／ｒｅｓｉｓｔ、樹脂の表面自由エネルギーをγｒｅｓｉｓｔ、接触角をθとすると、３つの矢印で示す力関係が釣り合い、数式（７）に示すヤング−デュプレ（Ｙｏｕｎｇ−Ｄｕｐｒｅ）の式（非特許文献２）が成り立つ。
　【００４４】
　【数７】
　上記の数式（６）、（７）より、付着エネルギー（Ｗｍｏｌｄ／ｒｅｓｉｓｔ）は、次の数式（８）で表される。したがって、樹脂の表面自由エネルギー（γｒｅｓｉｓｔ）と接触角（θ）がわかれば、樹脂表面からモールドを引き離す付着エネルギー（Ｗｍｏｌｄ／ｒｅｓｉｓｔ）を求めることができる。なお、樹脂の表面自由エネルギー（γｒｅｓｉｓｔ）と接触角（θ）は計測により求めることができる。
　【００４５】
　【数８】
　それゆえ、数式（８）から、次の数式（９）が導き出される。
　【００４６】
　【数９】
　そして、数式（９）から、次の数式（１０）に示す範囲において５度以下の接触角（θ）が得られることになる。
　【００４７】
　【数１０】
　一方、数式（１１）に示すように、表面自由エネルギーγを分散相互作用による表面自由エネルギーγｄと極性相互作用による表面自由エネルギーγｐとの和とすると、オーエンス（Ｏｗｅｎｓ）の式（非特許文献３）から、下記の数式（１２）、（１３）が成り立つ。なお、γｄｒｅｓｉｓｔおよびγｐｒｅｓｉｓｔは、それぞれレジストの表面自由エネルギーの分散成分と極性成分であり、γｄｍｏｌｄおよびγｐｍｏｌｄは、それぞれモールド（モールド表面に離型層が設けられている場合は、その離型層）の表面自由エネルギーの分散成分と極性成分である。
　【００４８】
　【数１１】
　【００４９】
　【数１２】
　【００５０】
　【数１３】
　数式（１３）が示す通り、付着エネルギー（Ｗｍｏｌｄ／ｒｅｓｉｓｔ）は、樹脂とモールドの表面自由エネルギーの分散成分（γｄｒｅｓｉｓｔおよびγｄｍｏｌｄ）と極性成分（γｐｒｅｓｉｓｔおよびγｐｍｏｌｄ）で決まるが、付着エネルギーの最大値（Ｗｍｏｌｄ／ｒｅｓｉｓｔｍａｘ）は、数式（１１）の関係から、分散成分と極性成分に依存せずに、数式（１４）のように表される。
　【００５１】
　【数１４】
　図７は、Ｘ軸を樹脂の表面自由エネルギーの極性成分（γｐｒｅｓｉｓｔ）、Ｙ軸を接触角（θ）として、上記数式（１１）、（１３）に基づき、上記数式（９）をプロットした図である。接触角は、液体と固体の表面自由エネルギーの分散成分、極性成分によって変わるため、極性成分の関数として示してある。なお、図７においては、樹脂の表面自由エネルギー（γｒｅｓｉｓｔ）を２５ｍＪ／ｍ２、モールドの表面自由エネルギーの極性成分（γｐｍｏｌｄ）をモールドの表面自由エネルギー（γｍｏｌｄ）の１／２としている。
　【００５２】
　図７に示すように、樹脂の表面自由エネルギー（γｒｅｓｉｓｔ）が、モールドの表面自由エネルギー（γｍｏｌｄ）よりも小さい場合に、接触角（θ）が５度以下になる領域が現れる。
　【００５３】
　具体的には、図７において、モールドの表面自由エネルギー（γｍｏｌｄ）が２０ｍＪ／ｍ２の場合には、樹脂の表面自由エネルギーの極性成分（γｐｒｅｓｉｓｔ）が如何なる値であっても、接触角（θ）は３０度以上であるが、モールドの表面自由エネルギー（γｍｏｌｄ）が２５ｍＪ／ｍ２の場合には、樹脂の表面自由エネルギーの極性成分（γｐｒｅｓｉｓｔ）が概ね１１〜１４ｍＪ／ｍ２の範囲で、接触角（θ）は５度以下になり、さらに、モールドの表面自由エネルギー（γｍｏｌｄ）が３０ｍＪ／ｍ２の場合には、樹脂の表面自由エネルギーの極性成分（γｐｒｅｓｉｓｔ）が概ね４〜２１ｍＪ／ｍ２の範囲で、接触角（θ）は５度以下になる。
　【００５４】
　図８は、図７におけるモールドの表面自由エネルギーの極性成分（γｐｍｏｌｄ）を、モールドの表面自由エネルギー（γｍｏｌｄ）の１／５にして、図７と同様にプロットした例である。
　【００５５】
　図８に示すように、モールドの表面自由エネルギーの極性成分（γｐｍｏｌｄ）が変化すると、接触角（θ）が５度以下になる樹脂の表面自由エネルギーの極性成分（γｐｒｅｓｉｓｔ）の範囲も変化する。
　【００５６】
　具体的には、図７において、モールドの表面自由エネルギー（γｍｏｌｄ）が２５ｍＪ／ｍ２の場合には、樹脂の表面自由エネルギーの極性成分（γｐｒｅｓｉｓｔ）が概ね１１〜１４ｍＪ／ｍ２の範囲で、接触角（θ）は５度以下になっていたが、図８においては、樹脂の表面自由エネルギーの極性成分（γｐｒｅｓｉｓｔ）が概ね４〜６ｍＪ／ｍ２の範囲で、接触角（θ）が５度以下になる。
　【００５７】
　一方、図９は、Ｘ軸をモールドの表面自由エネルギー（γｍｏｌｄ）、Ｙ軸を付着エネルギーの最大値（Ｗｍｏｌｄ／ｒｅｓｉｓｔｍａｘ）とし、樹脂の表面自由エネルギー（γｒｅｓｉｓｔ）をパラメータとして、上記数式（１４）をプロットしたものである。図９に示すように、モールドの表面自由エネルギー（γｍｏｌｄ）が小さいほど、及び／又は樹脂の表面自由エネルギー（γｒｅｓｉｓｔ）が小さいほど、付着エネルギーの最大値（Ｗｍｏｌｄ／ｒｅｓｉｓｔｍａｘ）は小さくなる。したがって、モールドと樹脂の離型性を考えると、各々の表面自由エネルギーを小さくすることが望ましい。
　【００５８】
　さらに、表面自由エネルギーの極性成分、分散成分に着目して、付着エネルギーの増減を示す。図１０は、Ｘ軸が樹脂の表面自由エネルギーの極性成分（γｐｒｅｓｉｓｔ）、Ｙ軸が付着エネルギー（Ｗｍｏｌｄ／ｒｅｓｉｓｔ）として、上記数式（１３）をプロットした図である。なお、図１０においては、図７と同様に、樹脂の表面自由エネルギー（γｒｅｓｉｓｔ）を２５ｍＪ／ｍ２、モールドの表面自由エネルギーの極性成分（γｐｍｏｌｄ）をモールドの表面自由エネルギー（γｍｏｌｄ）の１／２としている。
　【００５９】
　図７、および図１０に示すように、接触角（θ）が最小（若しくは、接触角が５度以下となる領域の中心）となる樹脂の表面自由エネルギーの極性成分（γｐｒｅｓｉｓｔ）において、付着エネルギー（Ｗｍｏｌｄ／ｒｅｓｉｓｔ）は最大になる。
　【００６０】
　具体的には、モールドの表面自由エネルギー（γｍｏｌｄ）が２５ｍＪ／ｍ２の場合には、樹脂の表面自由エネルギーの極性成分（γｐｒｅｓｉｓｔ）が概ね１２ｍＪ／ｍ２の近傍で、接触角（θ）は最小になっており（図７）、付着エネルギー（Ｗｍｏｌｄ／ｒｅｓｉｓｔ）は最大になっている（図１０）。
　【００６１】
　次に、図１１は、図１０におけるモールドの表面自由エネルギーの極性成分（γｐｍｏｌｄ）を、モールドの表面自由エネルギー（γｍｏｌｄ）の１／５にして、図１０と同様にプロットした例である。
　【００６２】
　図１１に示すように、モールドの表面自由エネルギーの極性成分（γｐｍｏｌｄ）が変化すると、付着エネルギー（Ｗｍｏｌｄ／ｒｅｓｉｓｔ）が最大になる樹脂の表面自由エネルギーの極性成分（γｐｒｅｓｉｓｔ）の値も変化する。
　【００６３】
　そして、上述の図７と図１０の関係と同様に、接触角（θ）が最小（若しくは、接触角が５度以下となる領域の中心）となる樹脂の表面自由エネルギーの極性成分（γｐｒｅｓｉｓｔ）において、付着エネルギー（Ｗｍｏｌｄ／ｒｅｓｉｓｔ）は最大になる。
　【００６４】
　具体的には、モールドの表面自由エネルギー（γｍｏｌｄ）が２５ｍＪ／ｍ２の場合には、樹脂の表面自由エネルギーの極性成分（γｐｒｅｓｉｓｔ）が概ね５ｍＪ／ｍ２の近傍で、接触角（θ）は最小になっており（図８）、付着エネルギー（Ｗｍｏｌｄ／ｒｅｓｉｓｔ）は最大になっている（図１１）。
　【００６５】
　ここで、モールドと樹脂の離型性を考えると、付着エネルギーが最大となる領域は避けるべきである。したがって、硬化前の状態である樹脂の表面自由エネルギーの極性成分の値は、硬化後の樹脂とモールドとの付着エネルギーが最大となる樹脂の表面自由エネルギーの極性成分の値から、離れた値である樹脂であることが望ましいと思われる。
　【００６６】
　以上、説明したように、モールドに形成された微小な凹凸パターンへの樹脂の充填に関して、モールドの表面自由エネルギーと樹脂の表面自由エネルギーの関係や、樹脂の表面自由エネルギーの大きさ、および、モールドと樹脂との付着エネルギーと樹脂の表面自由エネルギーおよびその極性成分との関係等が、本発明において特定した範囲を満たすものであれば、転写領域の全てに樹脂が広がり、かつ、毛管力を効果的に利用することができるため、高い押圧を要することなく、モールドに形成された微小な凹凸パターン形状に、忠実に追従して樹脂を充填させることができる。
　【符号の説明】
　【００６７】
　１、２１、３１・・・モールド
　２、２２、３２・・・樹脂
　３・・・気体
　４２・・・液体
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】
　モールドに形成された凹凸の転写パターンを、被転写基板上に形成された硬化性樹脂に転写するナノインプリント方法であって、
　前記転写パターンには、開口サイズが１００ｎｍ以下の凹パターンが含まれており、
　前記硬化性樹脂の硬化前の表面自由エネルギーが、前記モールドの転写前後の表面自由エネルギーよりも小さい値であり、
　前記硬化性樹脂の硬化前の表面自由エネルギーが、
２５
り、
　
前記モールドの表面自由エネルギーの分散成分γｄｍｏｌｄおよび極性成分γｐｍｏｌｄの和により表わされる前記モールドの表面自由エネルギーをγｍｏｌｄとし、硬化性樹脂の硬化後の表面自由エネルギーの分散成分γｄｒｅｓｉｓｔおよび極性成分γｐｒｅｓｉｓｔの和により表わされる硬化性樹脂の硬化後の表面自由エネルギーをγｒｅｓｉｓｔとした場合に、硬化性樹脂の硬化後の表面自由エネルギーγｒｅｓｉｓｔを一定値として、硬化性樹脂の硬化後の表面自由エネルギーの極性成分γｐｒｅｓｉｓｔを０以上前記表面自由エネルギーγｒｅｓｉｓｔの値以下の範囲内で変動させて、下記式により算出される前記モールドおよび硬化後の硬化性樹脂の付着エネルギーＷｍｏｌｄ／ｒｅｓｉｓｔと前記極性成分γｐｒｅｓｉｓｔとの関係を示すグラフを得て、当該グラフの軌跡から求められる、付着エネルギーＷｍｏｌｄ／ｒｅｓｉｓｔが最大値を示さないような前記極性成分γｐｒｅｓｉｓｔの値を示す硬化性樹脂を、前記凹パターンが転写される前記硬化性樹脂として用い