(57)【要約】【課題】流体のクリーンレベルを維持できるとともに、製造が容易なベローズ弁を提供する。【解決手段】ベローズ弁１は、流入口２３と流出口２４とそれらと連通する内部流入流路２１Ｅおよび内部流出流路２１Ｆとが設けられたボディ２を有するベローズ弁１であって、ボディ２内に設けられ、内部流入流路２１Ｅと内部流出流路２１Ｆとを遮断する弁体３と、一端に弁体３が取り付けられて弁体３を軸方向に移動させる弁棒４と、弁棒４が挿通され、弁体３の移動に伴って伸縮するベローズ６とを備え、ボディ２は、非鋳鋼材で形成されている。【選択図】図１
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
流入口と流出口とそれらと連通する流路とが設けられたボディを有するベローズ弁であって、
前記ボディ内に設けられ、前記流路を塞ぐ弁体と、
一端に前記弁体が取り付けられて前記弁体を軸方向に移動させる弁棒と、
前記弁棒が挿通され、前記弁体の移動に伴って伸縮するベローズとを備え、
前記ボディは、非鋳鋼材で形成されている
ことを特徴とするベローズ弁。
【請求項２】
請求項１に記載のベローズ弁において、
前記ボディは、前記流入口と前記流出口とが設けられた下部ボディと、前記流入口および前記流出口と連通する内部空間が形成された上部ボディとを有し、
前記下部ボディおよび前記上部ボディのそれぞれは、鍛造材、板材、およびパイプ材の何れか、またはこれらのうちの任意の組合せによって形成されている
ことを特徴とするベローズ弁。
【請求項３】
請求項１に記載のベローズ弁において、
前記ボディは、
前記流入口が設けられた内部ボディと、
前記流出口が設けられているとともに、前記流入口および前記流出口と連通する内部空間が形成されて前記内部ボディを覆う外部ボディとを有し、
前記内部ボディおよび前記外部ボディのそれぞれは、鍛造材、板材、パイプ材のいずれか、またはこれらのうちの任意の組合せによって形成されている
ことを特徴とするベローズ弁。
【請求項４】
請求項２または請求項３に記載のベローズ弁において、
前記ボディを形成するパイプ材は、絞り加工によって形成されている
ことを特徴とするベローズ弁。
【請求項５】
請求項１ないし請求項４の何れか一項に記載のベローズ弁において、
前記流入口と前記流出口とは一直線上に設けられ、
前記弁体は、前記流入口および前記流出口に対して直交方向に移動する
ことを特徴とするベローズ弁。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、流路の連通および遮断を切り換えるベローズ弁に関する。
【背景技術】
【０００２】
流路の連通および遮断を切り換えるベローズ弁として、例えば特許文献１に記載のものが知られている。特許文献１のベローズ弁は、いわゆる「縦型」のベローズ弁であり、流体の流れ方向に対して弁体が直交方向に移動することで流路が開閉する。
【０００３】
従来、所定のクリーンレベルが要求される半導体高純度ガス用の中口径以上（５０Ａ〜）のベローズ弁は、一般的にボディがステンレス鋳鋼材（例えば、ＳＣＳ１３、ＳＣＳ１６）によって形成されている。ボディの内表面は、切削加工およびバフ研磨された後、電解研磨処理の鏡面研磨が施されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１１−２２６５０２号公報
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、ボディを鋳鋼材とした場合には、表面や内部に多数の空隙や気孔が形成される。表面を研磨処理しても、下の層から新たな空隙や気孔が現れるので、表面を完全に滑らかにすることはできない。このため、ボディを洗浄する際に、洗浄液がこれらの空隙や気孔内に残り、残留した洗浄液が染み出して流体を汚染するという問題があった。
【０００６】
本考案の目的は、流体のクリーンレベルを維持できるとともに、製造が容易なベローズ弁を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本考案のベローズ弁は、流入口と流出口とそれらと連通する流路とが設けられたボディを有するベローズ弁であって、前記ボディ内に設けられ、前記流路を塞ぐ弁体と、一端に前記弁体が取り付けられて前記弁体を軸方向に移動させる弁棒と、前記弁棒が挿通され、前記弁体の移動に伴って伸縮するベローズとを備え、前記ボディは、非鋳鋼材で形成されていることを特徴とする。
【０００８】
本考案のベローズ弁によれば、非鋳鋼材（例えば、鍛造材、パイプ材、板材）で形成されているので、ボディが鋳鋼材で形成されている従来のベローズ弁と比較して、表面に空隙や気孔が形成されにくく、流路の表面を滑らかにすることができる。このため、ボディの製造段階において洗浄液や切削油が流路の表面に残留することを防止でき、内部を通過する流体のクリーンレベルを維持することができる。また、ボディがパイプ材や板材で形成されている場合には、ボディの全てを鍛造材によって形成するよりも、ベローズ弁の製造を安価で容易に行うことができる。
【０００９】
本考案のベローズ弁において、前記ボディは、前記流入口と前記流出口とが設けられた下部ボディと、前記流入口および前記流出口と連通する内部空間が形成された上部ボディとを有し、前記下部ボディおよび前記上部ボディのそれぞれは、鍛造材、板材、およびパイプ材の何れか、またはこれらのうちの任意の組合せによって形成されていてもよい。
【００１０】
本考案のベローズ弁において、前記ボディは、前記流入口が設けられた内部ボディと、前記流出口が設けられているとともに、前記流入口および前記流出口と連通する内部空間が形成されて前記内部ボディを覆う外部ボディとを有し、前記内部ボディおよび前記外部ボディのそれぞれは、鍛造材、板材、パイプ材のいずれか、またはこれらのうちの任意の組合せによって形成されていてもよい。
【００１１】
本考案によれば、下部ボディおよび上部ボディのそれぞれが鍛造材、板材、およびパイプ材の何れか、またはそれらのうちの任意の組合せによって形成されているので、下部ボディおよび上部ボディ、あるいは内部ボディおよび外部ボディの何れにおいても流体のクリーンレベルを維持することができる。
また、パイプ材は流通品である鋼管等を切断して用いることが可能であるし、板材も入手および加工が容易なので、ボディの材料費を抑制できる。
さらに、鍛造材、板材、パイプ材は、互いに溶接等によって容易に接合することができるので、下部ボディおよび上部ボディの製作、ならびに下部ボディと上部ボディとの製作を容易に行うことができる。
【００１２】
本考案のベローズ弁において、前記ボディを形成するパイプ材は、絞り加工によって形成されていることが好ましい。
本考案によれば、ボディを形成するパイプ材がプレス等による絞り加工によって形成されているものを含むので、板材を用いることなく有底のパイプ材を容易に形成することができる。
【００１３】
本考案のベローズ弁では、前記流入口と前記流出口とは一直線上に設けられ、前記弁体は、前記流入口および前記流出口に対して直交方向に移動することが好ましい。
本考案のベローズ弁は、弁体が流体の流れに対して直交方向に移動する、いわゆる縦型のベローズ弁なので、弁体が斜め方向に移動するベローズ弁と比較して、操作性が高い。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本考案の第１実施形態に係るベローズ弁の断面図。
【図２】第１実施形態に係るベローズ弁の要部を拡大して示す断面図。
【図３】本考案の第２実施形態に係るベローズ弁の断面図。
【図４】本考案の第３実施形態に係るベローズ弁の断面図。
【考案を実施するための形態】
【００１５】
〈第１実施形態〉
本考案の第１実施形態に係るベローズ弁１を、図１および図２を参照して説明する。図１および図２は、ベローズ弁１が閉じられて、流体が通過不能な「遮断状態」を示す。
【００１６】
［ベローズ弁の構成の説明］
ベローズ弁１は、所定のクリーンレベルが要求される半導体高純度ガス用の中口径（例えば、呼び径５０Ａ）のものである。ベローズ弁１は、ボディ２と、ボディ２内に設けられた弁体３と、図中の上下方向に延び弁体３が一端に連結された弁棒４と、弁棒４が挿通されたスリーブ５およびベローズ６と、ボディ２の上部開口を塞ぐ蓋体７と、ボディ２と蓋体７との間に挟持された円盤状のベローズフランジ８と、弁棒４の他端に連結されたハンドル９とを備える。図中の２つの白抜き矢印は、流体の流入方向および流出方向をそれぞれ示すものである。
【００１７】
ボディ２は、流体の流入出部分が設けられた下部ボディ２１と、下部ボディ２１に接合された上部ボディ２２とを有する。下部ボディ２１は、非鋳鋼材としての鍛造材によって形成された下部ボディ本体２１Ａと、同じく非鋳鋼材としてのパイプ材によって形成されて一直線上に位置する流入管２１Ｂおよび流出管２１Ｃとを備えている。流入管２１Ｂは図中の左側から下部ボディ本体２１Ａに溶接接合され、流出管２１Ｃは図中の左側から下部ボディ本体２１Ａに溶接接合されている。流入管２１Ｂの入口側端（図中の左端）がベローズ弁１の流入口２３になっており、流出管２１Ｃの出口側端（図中の右端）がベローズ弁１の流出口２４になっている。
【００１８】
下部ボディ本体２１Ａの内部および流入管２１Ｂの内部により、互いに連通した内部流入流路２１Ｅが形成されている。下部ボディ本体２１Ａにおける内部流入流路２１Ｅの外側および流出管２１Ｃの内部により、互いに連通した内部流出流路２１Ｆが形成されている。内部流入流路２１ＥはＬ字状とされ、図中左側から流入管２１Ｂを通して流入した流体は、上方に向かって直角に流れる。下部ボディ本体２１Ａの内部流入流路２１Ｅの下流側端部に対応した部分は弁座２５になっている。
【００１９】
図に示す「遮断状態」では、弁体３が弁座２５に図中の上方から着座し、内部流入流路２１Ｅと内部流出流路２１Ｆとの間を遮断している。なお、図１に示す破線２１Ｇは、内部流出流路２１Ｆの内面の一部を表している。
【００２０】
上部ボディ２２は、非鋳鋼材としてのパイプ材によって形成された胴部２２Ａと、胴部２２Ａの上側に溶接接合されたフランジ２２Ｂとによって形成されている。フランジ２２Ｂは非鋳鋼材としての鍛造材によって形成されており、フランジ２２Ｂの上面には蓋体７を固定するための複数のスタッドボルト２２Ｃ（１本だけ図示）が螺入されている。上部ボディ２２の内部は内部空間２２Ｄになっており、この内部空間２２Ｄを介して下部ボディ２１の内部流入流路２１Ｅおよび内部流出流路２１Ｆが連通している。すなわち、本実施形態では、内部流入流路２１Ｅ、内部流出流路２１Ｆ、および内部空間２２Ｄにより、流入口２３と流出口２４とを連通する本考案の流路４０が形成されている。
【００２１】
弁体３は、略円盤状に形成され、下面に円環状の凹部が形成されている。この凹部には、密閉性を高めるとともに弁体３を保護するパッキン３１が設けられている。このパッキン３１が弁座２５に当接し、内部流入流路２１Ｅと内部流出流路２１Ｆとの間を連通不能に塞ぐ。弁体３の上面には筒状部３Ａが形成されており、筒状部３Ａの内壁の上端には爪３Ｂ（図２参照）が突設されている。この爪３Ｂがスリーブ５の外周面に環状に形成された溝５Ａ（図２参照）に係合している。爪３Ｂと溝５Ａとは強固に係合しており、係合状態において弁体３は、スリーブ５に対して回転不能になっている。また、スリーブ５には径太の外フランジ５Ｂが形成されており、外フランジ５Ｂの下面は弁体３の筒状部３Ａの先端に当接している。
【００２２】
弁棒４の下端には、鍔部４Ａが形成され、鍔部４Ａの上側には、スリーブ５に挿通される円柱部４Ｂが形成され、円柱部４Ｂ上方の離間した位置には、蓋体７の挿通孔７Ｃ内に設けられた雌ねじ部７Ｄに螺合する雄ねじ部４Ｃが形成されている。鍔部４Ａはスリーブ５の内径よりも大きい外径を有しており、スリーブ５の下端に係止されている。円柱部４Ｂはスリーブ５の内径と略同じ外形を有している。円柱部４Ｂとスリーブ５との嵌め合いとしては、相対回転可能な程度の隙間ばめになっている。また、弁棒４の上端部はハンドル９の中心に挿入されている。
【００２３】
ベローズ６は、筒状で金属製の蛇腹であり、一端が弁体３の上面に、他端がベローズフランジ８の下面にそれぞれ接続されている。このためベローズ６は、弁体３および弁棒４の上下方向の移動に伴い上下方向に伸縮する。ベローズ６が設けられていることによって、ベローズ６内にある弁棒４とスリーブ５とが流体から遮断されている。このため、ベローズ６を覆う上部ボディ２２の内部空間２２Ｄを流れる流体が雄ねじ部４Ｃと雌ねじ部７Ｄとの間を通ってベローズ弁１の外に漏れることがない。また、弁棒４の滑らかな回転のために塗布された潤滑油が流体と触れることがないので、流体が潤滑油で汚染されることがない。
【００２４】
蓋体７は、丸フランジ部７Ａと筒状部７Ｂとを有している。蓋体７には、丸フランジ部７Ａおよび筒状部７Ｂを上下方向に貫通し、弁棒４が挿通される挿通孔７Ｃが形成されている。挿通孔７Ｃの下部側には、前述したように、弁棒４の雄ねじ部４Ｃと螺合する雌ねじ部７Ｄが形成されており、挿通孔７Ｃの上部部には、複数のオイルシール１０が挿入されている。また、筒状部７Ｂの上部開口は、キャップ１１によって塞がれている。
【００２５】
［ベローズ弁の開閉動作および流体の流れの説明］
上述の構成のベローズ弁１において、ハンドル９を図の上方から見て反時計回りに廻すと、弁棒４の雄ねじ部４Ｃと蓋体７の雌ねじ部７Ｄとの螺合によって、弁棒４および弁体３が一体となって上方に移動する。弁体３が上方に移動することによって、弁座２５が開放されて「解放状態」になる。それに伴い、内部流入流路２１Ｅと内部空間２２Ｄと内部流出流路２１Ｆとが連通し、流体が流入管２１Ｂ側から流出管２１Ｃ側に流れる。
【００２６】
下部ボディ２１の流入管２１Ｂに上流側から流入した流体は、内部流入流路２１Ｅを流れて、弁座２５から上部ボディ２２の内部空間２２Ｄに流入する。上部ボディ２２の内部空間２２Ｄに流入した流体は、内部流出流路２１Ｆを経て、流出管２１Ｃから下流側に流出する。
【００２７】
［第１実施形態の効果］
本実施形態に係るベローズ弁１によれば、ボディ２が鍛造材とパイプ材とによって形成されているので、ボディが鋳鋼材で形成されている従来のベローズ弁と比較して、表面に空隙や気孔が形成されにくく、流路４０の表面を滑らかにすることができる。このため、ボディ２の製造段階において洗浄液や切削油が流路４０の表面に残留することを防止でき、内部を通過する流体のクリーンレベルを維持することができる。また、ボディ２がパイプ材を含んで形成されているので、ボディ２の全てを鍛造材によって形成する場合と比較して、ベローズ弁１の製造を安価で容易に行うことができる。
【００２８】
ベローズ弁１は、弁体３が流体の流れに対して直交方向に移動する、いわゆる縦型のベローズ弁１なので、ハンドル９を操作する手が流入管２１Ｂや流出管２１Ｃと干渉することがない。したがって、弁体が斜め方向に移動するベローズ弁と比較して、操作性が高い。
【００２９】
〈第２実施形態〉
次に、図３を参照しながら、本考案の第２実施形態に係るベローズ弁１０１を説明する。図３は、ベローズ弁１０１が閉じられて、流体が通過不能な「遮断状態」を示す。
上述した第１実施形態のベローズ弁１と比較して、第２実施形態に係るベローズ弁１０１は、ボディ１０２の構成が異なる。それ以外の構成は、第１実施形態のベローズ弁１と同じであるため、第１実施形態と同じ符号を付し、その説明を省略する。
【００３０】
ボディ１０２は、二重管構造に形成されており、内側に配置された筒状の内部ボディ１２１と、内部ボディ１２１を覆うように、その外側に配置された筒状の外部ボディ１２２とを有する。
【００３１】
内部ボディ１２１は、内部ボディ本体１２１Ａと、内部ボディ本体１２１Ａに溶接接合された流入管１２１Ｂと、内部ボディ本体１２１Ａの下端を塞ぐ円形の閉塞板１２１Ｃとによって形成されている。内部ボディ本体１２１Ａと流入管１２１Ｂとは非鋳鋼材としてのパイプ材によって形成され、閉塞板１２１Ｃは非鋳鋼材としての板材によって形成されている。内部ボディ本体１２１Ａには、バーリング加工によって入口円筒部１２１Ｄが図中の左方に向けて突設されている。この入口円筒部１２１Ｄに図中の左方から溶接接合された流入管１２１Ｂは、外部ボディ１２２を径方向に貫通しており、内部ボディ１２１の下端部は、外部ボディ１２２の下方に突出している。流入管１２１Ｂの入口側端（図中の左端）がベローズ弁１０１の流入口１２３であり、内部ボディ本体１２１Ａ内の空間が内部流入流路１２１Ｅであり、内部ボディ本体１２１Ａの上端が弁座１２５である。
【００３２】
外部ボディ１２２は、パイプ材によって形成された胴部１２２Ａと、鍛造材によって形成され胴部１２２Ａの上側に溶接接合されたフランジ１２２Ｂと、胴部１２２Ａに溶接接合された流出管１２２Ｃと、胴部１２２Ａの下端に設けられ胴部１２２Ａと内部ボディ１２１との間の隙間を塞ぐ環状の閉塞板１２２Ｄとによって形成されている。胴部１２２Ａには、バーリング加工によって出口円筒部１２２Ｇが図中の右方に向けて突設されている。フランジ１２２Ｂは鍛造材によって形成され、閉塞板１２２Ｄは板材によって形成されている。出口円筒部１２２Ｇに図中の右方から溶接接合された流出管１２２Ｃは、内部ボディ１２１の流入管１２１Ｂと一直線上に設けられており、流出管１２２Ｃの出口側端（図中の右端）がベローズ弁１の流出口１２４である。
【００３３】
本実施形態のボディ１０２を製作するときには、まず、内部ボディ本体１２１Ａの下部に閉塞板１２１Ｃを溶接接合する。次に、内部ボディ本体１２１Ａを胴部１２２Ａ内に入れ込み、入口円筒部１２１Ｄを胴部１２２Ａの側孔１２２Ｈから左方に貫通させる。
この後、胴部１２２Ａから突出した入口円筒部１２１Ｄに流入管１２１Ｂを溶接接合して、内部ボディ１２１を完成させる。
次いで、胴部１２２Ａの下側に閉塞板１２２Ｄを溶接接合する。内部ボディ１２１は胴部１２２Ａの下方に突出しているので、胴部１２２Ａに閉塞板１２２Ｄを取り付けると、内部ボディ１２１の下部が閉塞板１２２Ｄの底孔１２２Ｊを下方に貫通して露出する。また、閉塞板１２２Ｄにより内部ボディ１２１が位置決めされて、内部ボディ１２１と外部ボディ１２２とが同心に配置される。
最後に、胴部１２２Ａの上側にフランジ１２２Ｂを溶接接合するとともに、胴部１２２Ａの出口円筒部１２２Ｇに流出管１２２Ｃを溶接接合すると、ボディ１０２が完成する。
【００３４】
本実施形態では、外部ボディ１２２の下部側の空間が内部流出流路１２２Ｅになっており、外部ボディ１２２内の上部側の空間が内部空間１２２Ｆになっている。内部流出流路１２２Ｅは、内部空間１２２Ｆを介して、内部ボディ１２１の内部流入流路１２１Ｅと連通する。すなわち、本実施形態では、内部流入流路１２１Ｅ、内部流出流路１２２Ｅ、および内部空間１２２Ｆにより、流入口１２３と流出口１２４とを連通する本考案の流路１４０が形成されている。
【００３５】
［第２実施形態の効果］
本実施形態のベローズ弁１０１によれば、内部ボディ１２１がパイプ材と板材とによって形成され、外部ボディ１２２が鍛造材とパイプ材と板材とによって形成されている。鍛造材とパイプ材と板材とは何れも表面が滑らかなので、内部を通過する流体のクリーンレベルを維持することができる。また、本実施形態のベローズ弁１０１は、鍛造材の使用部分が少ないので、ベローズ弁１０１の製造をより安価で行うことができる。
【００３６】
〈第３実施形態〉
次に、図４を参照しながら、本考案の第３実施形態に係るベローズ弁２０１を説明する。
図４は、ベローズ弁２０１が閉じられて、流体が通過不能な「遮断状態」を示す。
上述した第１実施形態のベローズ弁１と比較して、第３実施形態に係るベローズ弁２０１は、ボディ２０２の構成が異なる。それ以外の構成は、第１実施形態のベローズ弁１と同じであるため、第１実施形態と同じ符号を付し、その説明を省略する。
【００３７】
第２実施形態のボディ１０２と同様に、本実施形態のボディ２０２は、二重管構造に形成されており、内側に配置された内部ボディ２２１と、内部ボディ２２１を覆うように、その外側に配置された外部ボディ２２２とを有する。
【００３８】
内部ボディ２２１は、内部ボディ本体２２１Ａと、内部ボディ本体２２１Ａに図中の左方から溶接接合された流入管２２１Ｂとによって形成されている。内部ボディ本体２２１Ａは、鋼板をプレス絞り加工することによって形成された有底カップ状のパイプ材によって形成され、バーリング加工によって入口円筒部２２１Ｃが図中の左方に向けて突設されている。この入口円筒部２２１Ｃに溶接接合された流入管２２１Ｂは、パイプ材によって形成されている。流入管２２１Ｂは、外部ボディ２２２を径方向に貫通しており、内部ボディ２２１の下端部は、外部ボディ２２２の底に内側から当接している。流入管２２１Ｂの入口側端（図中の左端）がベローズ弁２０１の流入口２２３であり、内部ボディ本体２２１Ａ内の空間が内部流入流路２２１Ｅであり、内部ボディ本体２２１Ａの上端が弁座２２５である。
【００３９】
外部ボディ２２２は、胴部２２２Ａと、胴部２２２Ａの上側に溶接接合されたフランジ２２２Ｂと、胴部２２２Ａに図中の右方から溶接接合された流出管２２２Ｃとによって形成されている。フランジ２２２Ｂは鍛造材によって形成されている。胴部２２２Ａは、鋼板をプレス絞り加工することによって形成されており、バーリング加工によって出口円筒部２２２Ｄが図中の右方に向けて突設されている。この出口円筒部２２２Ｄに溶接接合された流出管２２２Ｃは、内部ボディ２２１の流入管２２１Ｂと一直線上に設けられており、流出管２２２Ｃの出口側端（図中の右端）がベローズ弁２０１の流出口２２４である。
【００４０】
本実施形態のボディ２０２を製作するときには、まず、内部ボディ本体２２１Ａを胴部２２２Ａ内に入れ込み、入口円筒部２２１Ｃを胴部２２２Ａの側孔２２２Ｇから左方に貫通させる。
次に、胴部２２２Ａから突出した入口円筒部２２１Ｃに流入管２２１Ｂを溶接接合して、内部ボディ２２１を完成させる。
そして、図示しない治具を用いて内部ボディ２２１と外部ボディ２２２とを同心に配置してから、両者の底部同士をスポット溶接により溶接接合する。なお、外部ボディ２２２の底に内部ボディ２２１の底よりも小径の開口を形成し、この開口を用いて内部ボディ２２１の底部下面と外部ボディ２２２の開口部内縁とを外部からの溶接により接合してもよい。
最後に、胴部２２２Ａの上側にフランジ２２２Ｂを溶接接合するとともに、胴部２２２Ａの出口円筒部２２２Ｄに流出管２２２Ｃを溶接接合すると、ボディ２０２が完成する。
【００４１】
本実施形態では、外部ボディ２２２の下部側の空間が内部流出流路２２２Ｅになっており、外部ボディ２２２内の上部側の空間が内部空間２２２Ｆになっている。内部流出流路２２２Ｅは、内部空間２２２Ｆを介して、内部ボディ２２１の内部流入流路２２１Ｅと連通する。すなわち、本実施形態では、内部流入流路２２１Ｅ、内部流出流路２２２Ｅ、および内部空間２２２Ｆにより、流入口２２３と流出口２２４とを連通する本考案の流路２４０が形成されている。
【００４２】
［第３実施形態の効果］
本実施形態のベローズ弁２０１によれば、内部ボディ２２１がプレス絞り加工された有底カップ状のパイプ材で形成され、外部ボディ２２２が鍛造材とプレス絞り加工された有底カップ状のパイプ材から形成されている。鍛造材とパイプ材とは何れも表面が滑らかなので、内部を通過する流体のクリーンレベルを維持することができる。また、本実施形態のベローズ弁２０１は、上述した第１実施形態のベローズ弁１および第２実施形態のベローズ弁１０１と比較して、溶接接合部を少なくすることができる。
【００４３】
〈変形例〉
本考案は、前述の実施形態に限定されるものでなく、本考案の目的を達成できる範囲での変形、改良などは本考案に含まれる。
例えば、実施形態では、弁棒４が蓋体７と螺合し、弁棒４が弁体３とともに軸方向に移動する構成であるが、弁棒４が弁体３と螺合し、弁体３のみが軸方向に移動する構成としてもよい。
第１実施形態では、ボディ２が鍛造材とパイプ材とによって形成され、第２実施形態では、ボディ１０２が鍛造材とパイプ材と板材とによって形成されているが、例えば、ボディ２，１０２に板材が含まれていてもよい。また、第３実施形態では、ボディ２０２が鍛造材とプレス絞り加工された有底カップ状のパイプ材で形成されていたが、例えば、ボディ２０２に板材が含まれていてもよい。
特に前記各実施形態では、上部ボディ２２のフランジ２２Ｂおよび外部ボディ１２２，２２２のフランジ１２２Ｂ，２２２Ｂが鍛造材によって形成されているが、肉厚の板材によって形成されていてもよい。
要するに、本考案のベローズ弁を構成するボディが鍛造材、板材、パイプ材のいずれか、またはこれらのうちの任意の組合せによって形成されていればよい。
【産業上の利用可能性】
【００４４】
本考案は、所定のクリーンレベルが要求される配管部品として用いることができる。
【符号の説明】
【００４５】
１，１０１，２０１…ベローズ弁、２，１０２，２０２…ボディ、３…弁体、４…弁棒、６…ベローズ、２１…下部ボディ、２１Ａ…鍛造材によって形成された下部ボディ本体、２１Ｂ，１２１Ｂ，２２１Ｂ…パイプ材によって形成された流入管、２１Ｃ，１２２Ｃ，２２２Ｃ…パイプ材によって形成された流出管、２２…上部ボディ、２２Ａ，１２２Ａ…パイプ材によって形成された胴部、２２Ｂ，１２２Ｂ，２２２Ｂ…鍛造材によって形成されたフランジ、２３，１２３，２２３…流入口、２４，１２４、２２４…流出口、４０，１４０，２４０…流路、１２１，２２１…内部ボディ、１２１Ａ…パイプ材によって形成された内部ボディ本体、１２１Ｃ，１２２Ｄ…板材によって形成された閉塞板、１２２，２２２…外部ボディ、２２１Ａ…絞り加工によるパイプ材によって形成された内部ボディ本体、２２２Ａ…絞り加工によるパイプ材によって形成された胴部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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