(57)【要約】      （修正有）【課題】フラット基板を並行して走査する複数の光学検査モジュールを利用する検査システムを提供する。【解決手段】検査システム２０は、フラット基板２２を、走査領域を通して走査方向に受けて、搬送するよう構成されるテーブル２４を含む。走査ブリッジ３２は、走査領域の上に取り付けられ、走査方向を横切るレール方向に走査領域を渡って延びる２または３以上の平行レールを含む。第１の複数のマウントは、レールのそれぞれに沿って選択間隔だけ離間するそれぞれの位置でレールに固定され、位置および間隔は、レールに沿ってマウントをスライドすることにより調整することができる。第２の複数の光学検査モジュール３４は、それぞれの位置でマウントにそれぞれ固定されて、走査領域内でフラット基板のそれぞれの区域の画像を取り込む。【選択図】図１
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
フラット基板を、走査領域を通して走査方向に受けて、搬送するテーブルと、
前記走査領域の上に取り付けられる走査ブリッジと、を備え、前記走査ブリッジは、
前記走査方向を横切るレール方向（横方向）に前記走査領域を渡って延びる２または３以上の平行レールと、
前記２または３以上の平行レールのそれぞれに沿って選択間隔だけ離間する複数の位置のそれぞれで前記２または３以上の平行レールに固定される第１の複数のマウントであり、前記複数の位置および前記選択間隔は、前記２または３以上の平行レールに沿って前記第１の複数のマウントをスライドすることにより調整できる、前記第１の複数のマウントと、
前記複数の位置のそれぞれで前記第１の複数のマウントにそれぞれ固定されて、前記走査領域内で前記フラット基板の複数の区域のそれぞれの複数の画像を取り込む第２の複数の光学検査モジュールと、
を含む、検査システム。
【請求項２】
前記２または３以上の平行レールは、少なくとも第１レールおよび第２レールを含み、前記第１レール上の前記第１の複数のマウントの前記複数の位置のそれぞれは、前記第２レール上の前記第１の複数のマウントの前記複数の位置のそれぞれに関して、前記横方向に互い違いに配置される、請求項１に記載の検査システム。
【請求項３】
前記２または３以上の平行レールは、第３レールを含み、前記第３レール上の前記第１の複数のマウントの前記複数の位置のそれぞれは、前記第１レール及び前記第２レール上の前記第１の複数のマウントの前記複数の位置のそれぞれに関して、前記横方向に互い違いに配置される、請求項２に記載の検査システム。
【請求項４】
前記走査ブリッジは、前記第１レール及び前記第２レール上の前記第１の複数のマウントが第１間隔離間される第１の千鳥配置と、前記第１レール及び前記第２レール上の前記第１の複数のマウントが、少なくとも前記第１間隔の２倍である第２間隔離間される第２の千鳥配置と、を有する、請求項２に記載の検査システム。
【請求項５】
前記走査ブリッジは、複数の取付ピンを含み、前記複数の取付ピンのそれぞれは、前記第１の複数のマウントのうちの１つおよび前記第２の複数の光学検査モジュールのうちの対応する１つと係合して、前記第２の複数の光学検査モジュールのうちの前記対応する１つを前記第１の複数のマウントのうちの前記１つに所定の位置で固定する、請求項１に記載の検査システム。
【請求項６】
調整ジグをそなえ、前記調整ジグは、前記２または３以上の平行レールのうちの１つのレール上の前記第１の複数のマウントの対応する一対の前記複数の取付ピンを係合し、前記第１の複数のマウントが前記２または３以上の平行レールのうちの前記１つのレールに固定される間、係合された前記複数の取付ピンを前記選択間隔で保持する一対のソケットを有する、請求項５に記載の検査システム。
【請求項７】
前記走査ブリッジは、前記フラット基板に対する前記走査ブリッジの高さおよび横位置のうちの少なくとも１つを調整するモーションアセンブリを含む、請求項１に記載の検査システム。
【請求項８】
前記走査ブリッジに平行な配置で前記テーブルの上に取り付けられる少なくとも１つのビデオブリッジと、前記フラット基板の複数の選択区域の前記走査領域外の複数の画像を取り込む、前記横方向に可動な１または複数のカメラと、を備える、請求項１に記載の検査システム。
【請求項９】
前記少なくとも１つのビデオブリッジは、前記走査ブリッジの両側のそれぞれに、前記テーブルの上に取り付けられた２つのビデオブリッジを含む、請求項８に記載の検査システム。
【請求項１０】
前記第２の複数の光学検査モジュールにそれぞれ整列して前記テーブルの表面の下に取り付けられて、前記テーブル内の複数のギャップを介して前記フラット基板を背面から照明する複数のバックライト照明源を備える、請求項１に記載の検査システム。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、該して自動光学検査に関し、特に大型のフラット基板の検査に関する。
【背景技術】
【０００２】
様々なシステムが、フラットパネルディスプレイのようなパターン化されたフラット基板の自動光学検査（ＡＯＩ）の分野において知られている。そのようなシステムの一例は、オルボテック株式会社（ヤブネ、イスラエル）により販売されるスーパービジョンＡＯＩシステムである。
【０００３】
この種のシステムは、特許文献にも記載されている。例えば、米国特許第７３８６１６１号には、パネルディスプレイに採用される大型のフラットプレートのような板状物体に対する検査システムの走査プロセスにおいて利用される同時低解像度／高解像度の並列走査システム及び方法が記載されている。低解像度の欠陥検出は、欠陥が自動的に示され、解像される高解像度の欠陥検査および分類ステージと効率的に重複して、平行に行う。システムは、ＬＣＤフラットパネルディスプレイを形成するために集積回路が設けられる大型のガラスプレート上のパターン欠陥を検出するのに特に有用であると言われている。
【０００４】
別の例として、米国特許出願公開第２０１０／０３０９３０８号には、イメージングアセンブリを含む検査装置が記載されている。ここで、イメージングアセンブリは、イメージングアセンブリ内の異なるそれぞれの位置に取り付けられて、それぞれサンプルの画像を取り込むよう構成された複数のカメラを含む。モーションアセンブリは、イメージングアセンブリおよびサンプルの少なくとも一方を移動して、イメージングアセンブリにサンプルを走査させるよう構成される。画像処理プロセッサが連結されて、カメラにより取り込まれる画像を受け、処理することで、サンプル内の欠陥を、イメージングアセンブリの位置許容誤差より良い位置精度で発見する。
【考案の概要】
【０００５】
本考案の実施形態は、フラット基板を並行して走査する複数の光学検査モジュールを利用する検査システムを提供する。
【０００６】
従って、本考案の実施形態によると、フラット基板を、走査領域を通して走査方向に受けて、搬送するように構成されたテーブルを含む検査システムが提供される。走査ブリッジは、走査領域の上に取り付けられ、走査方向を横切るレール方向（横方向）に走査領域を渡って延びる２または３以上の平行レールを含む。第１の複数のマウントは、レールのそれぞれに沿って選択間隔だけ離間するそれぞれの位置でレールに固定され、位置および間隔は、レールに沿ってマウントをスライドすることにより調整することができる。第２の複数の光学検査モジュールは、それぞれの位置でマウントにそれぞれ固定されて、走査領域内でフラット基板のそれぞれの区域の画像を取り込む。
【０００７】
開示された実施形態では、２または３以上の平行レールは、少なくとも第１および第２レールを含み、第１レール上のマウントのそれぞれの位置は、第２レール上のマウントのそれぞれの位置に関して、横方向に互い違いに配置される。２または３以上の平行レールは、第３レールを含み、第３レール上のマウントのそれぞれの位置は、第１及び第２レール上のマウントのそれぞれの位置に関して、前記横方向に互い違いに配置される。更に又は代わりに、走査ブリッジは、第１及び第２レール上のマウントが第１間隔離間される第１の千鳥配置と、第１及び第２レール上のマウントが、少なくとも第１間隔の２倍である第２間隔離間される第２の千鳥配置と、を有する。
【０００８】
幾つかの実施形態では、走査ブリッジは、取付ピンを含み、各取付ピンは、マウントのうちの１つおよび光学検査モジュールのうちの対応する１つと係合して、光学検査モジュールのうちの１つをマウントのうちの１つに所定の位置で固定する。システムは調整ジグを含み、調整ジグは、レールの１つ上の対応する一対のマウントの取付ピンを係合し、マウントがレールの１つに固定される間、係合された取付ピンを選択間隔で保持するよう構成された一対のソケットを有する。
【０００９】
通常は、走査ブリッジは、フラット基板に対する走査ブリッジの高さおよび横位置のうちの少なくとも１つを調整するよう構成されるモーションアセンブリを含む。
【００１０】
開示された実施形態では、システムは、走査ブリッジに平行な配置で前記テーブルの上に取り付けられる少なくとも１つのビデオブリッジと、フラット基板の選択区域の走査領域外の画像を取り込む、横方向に可動な１または複数のカメラと、を含む。  少なくとも１つのビデオブリッジは、走査ブリッジの両側のそれぞれに、テーブルの上に、取り付けられた２つのビデオブリッジを含んでよい。
【００１１】
更にまたは代わりに、システムは、光学検査モジュールにそれぞれ整列してテーブルの表面の下に取り付けられて、テーブル内のギャップを介して基板を背面から照明するよう構成される複数のバックライト照明源を含む。
【００１２】
本考案は、以下の図面と共に、次の実施形態の詳細な説明からより完全に理解されるであろう。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本考案の実施形態による検査システムの概略図である。
【図２】本考案の実施形態による検査システムの走査ブリッジの概略図である。
【図３】本考案の実施形態による光学検査モジュールの概略側面図である。
【図４】本考案の実施形態による、走査ブリッジ上に取り付けられる光学検査モジュールの概略・詳細図である。
【図５】本考案の実施形態による、走査ブリッジ内の光学検査モジュールの位置を調節するための治具の概略図である。
【図６Ａ】本考案の実施形態による、走査ブリッジ内の光学検査モジュールの配置構成を示す走査ブリッジの概略上面図である。
【図６Ｂ】本考案の実施形態による、走査ブリッジ内の光学検査モジュールの異なる配置構成を示す走査ブリッジの概略上面図である。
【図６Ｃ】本考案の実施形態による、走査ブリッジ内の光学検査モジュールの異なる配置構成を示す走査ブリッジの概略上面図である。
【図７】本考案の別の実施形態による検査システムの概略上面図である。
【図８】本考案の実施形態による検査システムの詳細を示す概略断面図である。
【考案を実施するための形態】
【００１４】
上記の米国特許出願公開第２０１０／０３０９３０８号には、複数のカメラが、少なくとも、走査方向を横切る第１及び第２行に沿うそれぞれの位置に配置され、第１行内のカメラのそれぞれの位置は、第２行内のカメラの位置に関して横方向に互い違いに配置されたイメージングアセンブリが記載されている。この配置は、基板の検査において、高いサンプリング密度を達成するのに有用である。
【００１５】
本願明細書に記載される本考案の実施形態は、用途の要求に応じて変更される走査密度を可能にする、光学検査モジュールの調整可能アレイを有する検査システムを提供する。開示される実施形態では、検査システムは、フラット基板を、ある方向（走査方向と呼ぶ）に受けて、搬送するテーブル及びテーブル上の基板のある領域（走査領域と呼ぶ）の上に取り付けられた走査ブリッジを備える。走査ブリッジは、走査方向を横切る方向に走査領域を渡って延びる２または３以上の平行レールを含む。複数のマウントは、レールのそれぞれに沿って選択間隔だけ離間するそれぞれの位置でレールに固定される。光学検査モジュールは、マウントに固定されて、走査領域内で基板のそれぞれの区域の画像を取り込む。マウントの位置及び間隔、すなわち光学検査モジュール及びそれらが撮像する区域はレールに沿ってマウントをスライドすることにより調整することができる。
【００１６】
通常（必ずではない）、異なるレール上のマウントのそれぞれの位置は、互いに対して横方向に互い違いに配置（千鳥状に配置）される。走査ブリッジは、マウント及び光学検査モジュールの間の間隔が２または複数の因子により変わり得る異なる千鳥配置の範囲をサポートする。フラット基板に対する走査ブリッジの高さ及び場合により横位置も変化する。このように、複数の異なるレベルの解像度及び走査速度／時間がサポートされ得る。
【００１７】
図１は、本考案の実施形態による検査システム２０の概略図である。システム２０は、特に、フラットパネルディスプレイのような大型のフラット基板の自動検査に好適であり、様々なレベルの解像度及び暗視野、明視野、有色照明、及び背面照明（バックライト）、並びにこれらの任意の組み合わせを含む様々な異なる照明モードで、基板上に形成されたパターン内の欠陥を観察及び検出するのに使用することができる。異なる照明システムが、任意の所望の組み合わせの照明モードを可能にするように、個別に制御されてよい。
【００１８】
検査中の基板２２は、走査ブリッジ３２の下の走査領域を通して基板を搬送するテーブル２４上に置かれる。テーブル２４は、基板２２が最小限の摩擦及び振動でその上に浮くエアークッションを作り出す一組の平行中空バー２８を支持するシャーシ２６を備える。この目的のために、バー２８は、通常、エアーを用いて加圧され、基板２２の下の開口（不図示）を介してエアーを放出する。同時に、１又は複数のグリッパ３０は、基板２２を保持して、テーブルに沿って走査方向、すなわち、図１内の左下から右上に前進させる。グリッパ３０はテーブル２４の両側に位置するように図面に示されるが、他種のグリッパ又はコンベアを基板２２を保持して移動するのに使用してもよい。代わりに又は更に、走査ブリッジ３２は、基板２２の上に搬送されてもよい。
【００１９】
走査ブリッジ３２は、走査方向を横切る方向に走査ブリッジを渡って配列される複数の光学検査モジュール３４を備える。光学検査モジュール及び走査ブリッジにおけるそれらの配置は、以下の図面を参照して詳細に説明される。走査ブリッジ３２は、基板２２に対する走査ブリッジの高さを調整するモーションアセンブリ３５を備えてもよい。このように、光学検査モジュール３４の視野のサイズが（通常、それらの光学倍率及びフォーカスの調節と組み合わせて）変更され得る。代わりに又は更に、光学検査モジュール３４の高さは、個別に調整できてよい。更に又は代わりに、モーションアセンブリ３５は、走査ブリッジ３２上の光学検査モジュール３４の横位置を調整するように構成されてよい。
【００２０】
システム２０は、更に、走査ブリッジ３２に平行な配置でテーブル２４の上に取り付けられるビデオブリッジ３６を備えてもよい。ビデオブリッジ３６は、基板２２の選択区域の画像を取り込むために横方向に可動な１又は複数のカメラ（この図面では図示されず）を備える。ビデオブリッジ３６内のビデオカメラは、例えば、疑いのある欠陥が走査ブリッジ３２内の光学検査モジュール３４により識別された基板２２の区域の高解像画像を取り込むように制御され得る高解像ビデオ顕微鏡を備えてよい。必要に応じて、システム２０は、場合によっては、図７に示すような走査ブリッジ３２の一側に１つのビデオブリッジで走査方向に沿って配列される２または３以上の並列ビデオブリッジを備えてよい。
【００２１】
１又は複数のコンピュータ化されたコントローラ３８が、それらの動作を制御し、それらが出力するデータを処理するために、システム２０の他の要素に接続される。コントローラ３８は、通常、走査ブリッジ３２及びビデオブリッジ３６と同様に、グリッパ３０を含むテーブル２４の動作を制御する。また、コントローラ３８は、基板２２上の特徴及び欠陥を検出するために、光学検査モジュール３４から及びビデオブリッジ３６内のカメラから出力データを受信し、そのデータを処理して、さらに検査をするために適当なシステム要素に命令を提供し、検査レポート及びアラートを生成する。
【００２２】
図２は、本考案の実施形態による走査ブリッジ３２の詳細を示す概略図である。走査ブリッジ３２は、システム２０の走査方向を横切る方向にフレームを渡って延びる２または３以上の平行レール４２を有するフレーム４０を備える。光学検査モジュール３４のマウント４４は、レールのそれぞれに沿って離間されたそれぞれの位置でレール４２に固定される。マウント４４の位置及びそれらの間の間隔は、レールに沿ってマウントをスライドすることにより調整できる。光学検査モジュール３４は、それぞれのマウント４４に固定され、それにより、走査領域内で基板２２の異なるそれぞれの区域の画像を取り込む。
【００２３】
通常、まず、マウント４４が所望の位置に位置決めされてレール４２に固定され、そして、光学検査モジュール３４がそれぞれのマウントに固定される。図２は、マウント４４が所定の位置に固定された後のステージの走査ブリッジ３２と、１つずつマウントに固定される光学検査モジュール３４を示す。図示される構成では、光学検査モジュール３４は、２つのレール４２に沿って共にタイトに離間して配置され、一方、３つめのレールは未実装である。広範な異なる展開スキームを、１つ、２つ、又は３つすべてのレール上のモジュールを、様々な異なる間隔で、位置決めするために使用することができる。これらのスキームのいくつかが、図６Ａ−図６Ｃに示され、これを参照して以下に記載される。
【００２４】
図３は、本考案の実施形態による光学検査モジュール３４の概略側面図である。照明アセンブリ５０は、光を生成して、基板２２に向ける。通常は、照明アセンブリは、ハロゲンランプ、発光ダイオード（ＬＥＤ）、又はレーザのような１又は複数の線源を備える。先に述べたように、照明アセンブリ５０は、通常、パルス又は連続動作で、狭い又は広い波長帯域のいずれかにおいて、分光的に選択された光を使って、明視野又は暗視野照明に対して構成され得る。（用語「光（ｌｉｇｈｔ）」は、本明細書の文脈及び実用新案登録請求の範囲において使われるように、赤外、可視、及び紫外帯域のいずれ又はすべてにおける放射を含む任意の種の光放射を指す。）代わりに又は更に、光源（不図示）は基板２２のバックライトを提供するために、テーブル２４の表面の下に配置されてよい。対物光学系５２は、画像データをコントローラ３８に出力するイメージセンサ５４に、基板からの光を集めてフォーカスする。イメージセンサ５４は、センサ要素のＣＣＤ又はＣＭＯＳマトリックスアレイ、又は代わりに、時間遅延積分（ＴＤＩ）センサのリニアアレイを備えてよい。光学検査モジュール３４のコンポーネントは、むしろ、ここでは断面図に示される保護ケース５６に含まれる。
【００２５】
光学検査モジュール３４は、その構造と機能の幾つかの面において、上記の米国特許出願公開第２０１０／０３０９３０８号に記載の検査カメラと同様であってよいし、これらの検査カメラの特徴は、光学検査モジュール３４の設計と動作において、必要な変更を加えて、適用されてよい。
【００２６】
光学検査モジュール３４は、光学検査モジュールをそのマウント４４に固定するために取付ブラケット５８を備える。光学検査モジュールの精密な位置決めを容易にするために、光学検査モジュール３４をマウント４４に明確な位置において固定するように、取付ピン６０がマウント４４内のソケット及びブラケット５８内の対応するソケットに係合する。
【００２７】
図４は、本考案の実施形態による、走査ブリッジ３２上の光学検査モジュール３４の取付を示す概略・詳細図である。マウント４４は、レール４２に沿って所望の位置にスライドされ、ネジ６２を締めることにより所定の位置に固定される。マウント４４は、上記の通り、その上にブラケット５８を位置決めするためにピン６０を用いて合わせられる。従って、光学検査モジュール３４は、ピン６０の上にブラケット５８を合せることにより、そのマウント４４上に位置決めされる。そして、光学検査モジュールは、ネジ６６を、ブラケット５８を通してマウント４４内のねじ込みソケット６４に入れることにより、所定の位置に固定される。
【００２８】
代わりの実施形態（図面には示されない）では、まず、光学検査モジュールがそれぞれのマウントに固定され、そして、マウントがレール上の所定の位置に位置決めされて、固定される。
【００２９】
図５は、本考案の実施形態による、走査ブリッジ３２内の光学検査モジュール３４の位置を調節するための治具７０の概略図である。治具７０は、対応する一対のマウント４４の取付ピン６０をレール４２の１つに係合するために適当な幅のそれぞれのソケット７４を含む一対のホルダ７２を備える。ホルダ７２は、緩めてホルダ間の距離を調整し、そして締めてホルダを所望の離間距離で固定することができるそれぞれのクリップ７８により、間隔バー７６に接続される。この距離は、光学検査モジュール３４間の選択間隔に応じて、図５に示すそれより小さくても大きくてもよい。マウント４４を配置する間、ソケット７４は、レール４２上の一対の隣接マウント４４内の取付ピン６０の上に合わせられ、それにより選択間隔で取付ピンを保持し、マウントが、ネジ６２を締めることによりレールに固定される。この手順は、光学検査モジュールが取り付けられるレールのそれぞれの長さにわたって繰り返される。
【００３０】
図６Ａ−図６Ｃは、本考案の実施形態による、走査ブリッジ内の光学検査モジュール３４の異なるそれぞれの配置構成を示す走査ブリッジ３２の概略上面図である。基板２２を走査ブリッジ３２の下を搬送しながら光学検査モジュールのそれぞれにより取り込まれる画像は、走査方向に沿った基板のそれぞれの区画をカバーする。通常、走査ブリッジ３２の高さと光学検査モジュール３４の光学系はモジュール間隔に対して調節され、（通常、異なるレール４２に取り付けられる光学検査モジュールにより取り込まれる）隣接する区画はそれらの端でわずかに重なり合う。このようにまとめることで、区画は、走査領域を通るシングルパス内の基板２２の全区域をカバーすることができる。
【００３１】
図６Ａ及び図６Ｂにおいて、光学検査モジュール３４は、他方のレール上のマウントに対して横方向に互い違いに配置される位置において、各レール上のマウント４４を用いて、レール４２の２つに沿って配列される。（正式に言うと、本明細書の文脈及び実用新案登録請求の範囲において使われる用語「互い違いに配置（千鳥配置（ｓｔａｇｇｅｒｅｄ））」は、レールの１つに沿った横方向におけるモジュール３４のそれぞれの位置が、他のレール上のモジュールのそれぞれの位置の間にインターリーブされることを意味する。）しかし、図６Ａの構成におけるモジュール３４は、図６Ｂ内のモジュールのおよそ２倍遠く離れて離間されている。様々な中間間隔だけでなく狭い及び広い間隔も、用途の要求に応じて、モジュール位置の適当な調節により可能である。
【００３２】
いくつかの実施形態では、光学モジュール３４は、検査される基板２２の全幅が（光学モジュールの視野の間を重ね合せる又は重ね合せないで）カバーされるように配置され、それにより、１回のパスで基板全体の検査が可能になる。他の実施形態では、光学モジュール３４は、検査される基板２２の幅の一部（例えば右側）のみが（光学モジュールの視野の間を重ね合せる又は重ね合せないで）カバーされるように配置され、それにより、基板全体の走査のために１より多い回数のパスを必要とする。このあとの種の実施形態は、利用できる光学モジュール３４の数が検査される基板の全幅をカバーするのに十分でないときに必要である。
【００３３】
さらに他の実施形態では、光学モジュール３４間の間隔が、基板２２に沿った別個のストライプが、それらの間に未走査ストライプを介在して、走査されるような間隔となる「ゼブラ走査」構成が利用される。これらの実施形態では、多数のインターレース走査が、検査中の基板の全幅をカバーするために実行される。
【００３４】
図６Ｃでは、光学検査モジュール３４が３つめのレール４２にも沿って配列される。この場合、３つ目のレール上のマウントのそれぞれの位置は、他の２つのレール上のマウントのそれぞれの位置に対して横方向に互い違いに配置される。このような光学検査モジュール３４の千鳥配置は、光学検査モジュールが、狭く密集した画像区画を高解像度で取り込むように、走査ブリッジ３２とモジュール３４を調節することを可能にする。光学検査モジュールのそれら自体の物理的幅により、光学検査モジュール３４を千鳥配置しないで単一行内に配置する場合、そのような緊密な間隔は達成され得ない。
【００３５】
説明した実施形態では、マウント４４と光学検査モジュール３４は走査ブリッジ３２の全幅に渡って配列され、代わりの実施形態（図面には示されず）では、狭い基板又は広い基板の狭い区域の検査に使用するために、光学検査モジュールは走査ブリッジの一部の幅のみに渡って取り付けられてよい。レール４２上の光学検査モジュール３４の他の配置は、当業者に明らかであろうし、本考案の範囲内であると考えられる。
【００３６】
図７は、本考案の別の実施形態による検査システム８０の概略上面図である。この実施形態におけるシステム８０は、走査ブリッジに平行な配置で、走査ブリッジ３２の両側のそれぞれに、テーブル２４の上に取り付けられるビデオブリッジ８２及び８４を備える。各ビデオブリッジ８２及び８４は、基板２２の選択区域の画像を取り込むために横方向に可動な１又は複数のカメラ８６を備える。カメラ８６は、例えば、疑いのある欠陥が走査ブリッジ３２内の光学検査モジュール３４により識別された基板２２の区域の高解像画像を取り込むように制御され得る高解像ビデオ顕微鏡を備えてよい。その他の点において、システム８０は、上記のように、その設計と動作においてシステム２０と同様である。
【００３７】
図８は、本考案の実施形態による検査システム２０又は８０の詳細を示す概略断面図である。この実施形態では、バックライト照明源９０が、基板２２を支持するテーブル２４の表面の下に取り付けられる。各照明源９０は、対応する光学検査モジュール３４に合わせられて、テーブル２４のバー２８の間にギャップを介して基板２２の区域（この図面には示されず）を背面から照明する。照明源９０は、基板の明視野又は暗視野背面照明のいずれを提供するために傾けられてよい。バー２８の間のギャップ間の照明源９０の数と位置は、上記の通り、走査ブリッジ３２内のモジュール３４の構成におけるシフトに応じて、シフトしてもよい。
【００３８】
従って、上述の実施形態は例として引用され、本考案は、具体的に示し、上述したものに限定されないものと理解される。むしろ、本考案の範囲は、上述した様々な特徴のコンビネーション及びサブコンビネーションの両方、並びに前述の説明を読むことで当業者が想到し得る、先行技術文献に開示されていない、それらの変形及び修正も含む。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図６Ｃ】
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【図７】
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【図８】
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