(57)【要約】【課題】環状の支持部と支持対象物とで形成される空間に気体を供給しても、支持部での支持対象物の支持が解除されることを防止することができる支持装置を提供する。【解決手段】支持装置ＥＡは、環状の支持部１３で支持対象物ＷＫを支持する支持機構１０と、環状の支持部１３で支持された支持対象物ＷＫを加熱する加熱機構２０と、環状の支持部１３と支持対象物ＷＫとで形成される空間ＳＰに気体を供給する気体供給機構３０と、環状の支持部１３とで支持対象物を挟み込む挟込機構４０とを備えている。【選択図】図１
0003235024.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
環状の支持部で支持対象物を支持する支持機構と、
前記環状の支持部で支持された前記支持対象物を加熱する加熱機構と、
前記環状の支持部と前記支持対象物とで形成される空間に気体を供給する気体供給機構とを備え、
前記環状の支持部とで前記支持対象物を挟み込む挟込機構を備えていることを特徴とする支持装置。
【請求項２】
前記挟込機構は、前記支持対象物を移送可能に構成されていることを特徴とする請求項１に記載の支持装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、支持装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
環状の支持部で支持対象物を支持する支持装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００１−３０８０３３号公報
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載されたウエハテーブル６（支持装置）では、環状の吸着パッド２５（支持部）で支持されたウエハ２０（支持対象物）をヒータ１６（加熱機構）で加熱する際に、環状の支持部と支持対象物とで形成される空間に気体を供給すると、当該空間の圧力が支持部で支持対象物を支持する力よりも大きくなり、支持部での支持対象物の支持が解除されるという不都合を発生する。
【０００５】
本考案の目的は、環状の支持部と支持対象物とで形成される空間に気体を供給しても、支持部での支持対象物の支持が解除されることを防止することができる支持装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本考案は、請求項に記載した構成を採用した。
【考案の効果】
【０００７】
本考案によれば、環状の支持部と挟込機構とで支持対象物を挟み込むので、環状の支持部と支持対象物とで形成される空間に気体を供給しても、支持部での支持対象物の支持が解除されることを防止することができる。
また、挟込機構で支持対象物を移送可能にすれば、挟込機構とは別に支持対象物を移送するための機構を設ける必要がなく、装置が大型化することを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本考案の一実施形態に係る支持装置の説明図。
【考案を実施するための形態】
【０００９】
以下、本考案の一実施形態を図１に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。
【００１０】
支持装置ＥＡは、環状の支持部１３で支持対象物ＷＫを支持する支持機構１０と、環状の支持部１３で支持された支持対象物ＷＫを加熱する加熱機構２０と、環状の支持部１３と支持対象物ＷＫとで形成される空間ＳＰに気体を供給する気体供給機構３０と、環状の支持部１３とで支持対象物ＷＫを挟み込む挟込機構４０とを備えている。
【００１１】
支持機構１０は、駆動機器としてのリニアモータ１１のスライダ１１Ａに支持された基台１２と、基台１２に支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧機器（保持機構）によって吸着保持が可能な支持面１３Ａを有する環状の支持部１３とを備えている。
【００１２】
加熱機構２０は、基台１２の内部に配置されたコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱機器２１を備えている。
【００１３】
気体供給機構３０は、配管３１Ａを介して空間ＳＰに接続され、当該空間ＳＰに大気やガス等の気体を供給する加圧ポンプやタービン等の気体供給機器３１を備えている。
【００１４】
挟込機構４０は、駆動機器としてのリニアモータ４１のスライダ４１Ａに支持された駆動機器としての直動モータ４２と、直動モータ４２の出力軸４２Ａに支持され、支持部１３とで支持対象物ＷＫを挟み込む挟込部材４３とを備えている。
本実施形態の場合、挟込機構４０は、支持対象物ＷＫを移送可能に構成され、挟込部材４３は、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧機器（保持機構）によって吸着保持が可能な保持面４３Ａを備えている。
【００１５】
以上の支持装置ＥＡの動作を説明する。
先ず、図１中実線で示す初期位置に各部材が配置された支持装置ＥＡに対し、当該支持装置ＥＡの使用者（以下、単に「使用者」という）が、図示しない操作パネルやパーソナルコンピュータ等の操作機構を介して自動運転開始の信号を入力する。次いで、使用者または、多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送機構が、図１に示すように、支持対象物ＷＫを支持面１３Ａ上の所定の位置に載置すると、支持機構１０が図示しない減圧機器を駆動し、支持面１３Ａでの支持対象物ＷＫの吸着保持を開始する。その後、加熱機構２０が加熱機器２１を駆動し、支持対象物ＷＫを加熱する。次に、挟込機構４０が直動モータ４２を駆動し、図１中二点鎖線で示すように、挟込部材４３を下降させ、当該挟込部材４３と支持部１３とで支持対象物ＷＫを挟み込む。そして、気体供給機構３０が気体供給機器３１を駆動し、空間ＳＰ内に気体を供給する。この際、支持部１３と挟込機構４０とで支持対象物ＷＫを挟み込んでいるため、支持部１３と支持対象物ＷＫとの間から気体が抜け出すことがなく、空間ＳＰを所定の圧力まで増加させることができる。また、空間ＳＰの圧力が増加するため、空間ＳＰの圧力を増加させないときと比べて、支持対象物ＷＫが所定の温度に到達するまでの時間を短くすることができる。次いで、支持対象物ＷＫが所定の温度になったことを温度センサや赤外線カメラ等の図示しない温度検知機構が検知すると、挟込機構４０が直動モータ４２を駆動し、挟込部材４３を初期位置に復帰させる。その後、支持機構１０がリニアモータ１１を駆動し、基台１２を後方に移動させ、支持対象物ＷＫに所定の処理を施す処理機構としての図示しないシート貼付装置で支持対象物ＷＫに接着シートを貼付する。
【００１６】
支持対象物ＷＫへの接着シートの貼付が完了すると、支持機構１０がリニアモータ１１を駆動し、基台１２を前方に移動させて初期位置に復帰させる。次に、挟込機構４０が直動モータ４２を駆動し、挟込部材４３を下降させて保持面４３Ａを支持対象物ＷＫに当接させた後、図示しない減圧機器を駆動し、保持面４３Ａでの支持対象物ＷＫの吸着保持を開始する。そして、支持機構１０が図示しない減圧機器の駆動を停止し、支持面１３Ａでの支持対象物ＷＫの吸着保持を解除する。次いで、挟込機構４０がリニアモータ４１および直動モータ４２を駆動し、接着シートが貼付された支持対象物ＷＫを次工程に向けて他の装置に移送すると、図示しない減圧機器の駆動を停止し、保持面４３Ａでの支持対象物ＷＫの吸着保持を解除して当該支持対象物ＷＫを他の装置に引き渡す。その後、挟込機構４０がリニアモータ４１および直動モータ４２を駆動し、挟込部材４３を初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。
【００１７】
以上のような実施形態によれば、環状の支持部１３と挟込機構４０とで支持対象物ＷＫを挟み込むので、環状の支持部１３と支持対象物ＷＫとで形成される空間ＳＰに気体を供給しても、支持部１３での支持対象物ＷＫの支持が解除されることを防止することができる。
【００１８】
以上のように、本考案を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本考案は、これに限定されるものではない。すなわち、本考案は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本考案の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本考案の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本考案を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本考案に含まれる。
【００１９】
例えば、支持機構１０は、基台１２と支持部１３とが一体に形成されていてもよいし、基台１２に支持部１３が吸着保持されてもよいし、基台１２に支持部１３が吸着保持されなくてもよいし、支持部１３に代えて基台１２の上面に凹部を設け、基台１２における当該凹部の周縁部を環状の支持部としてもよいし、支持面１３Ａが吸着保持できない構成でもよい。
【００２０】
加熱機構２０は、加熱機器２１が支持部１３の内部や挟込部材４３の内部に配置されていてもよいし、基台１２、支持部１３および挟込部材４３の外部に配置されていてもよいし、放電加熱器、マイクロ波照射装置、温風吹付装置等を加熱機器２１として採用してもよい。
【００２１】
気体供給機構３０は、支持部１３を介して空間ＳＰに連通する配管に気体供給機器３１が接続された構成を採用してもよい。
【００２２】
挟込機構４０は、リニアモータ４１および直動モータ４２に代えて、駆動機器としての多関節ロボットで挟込部材４３を支持してもよいし、挟込部材４３に代えてまたは併用して、支持対象物ＷＫへの大気やガス等の気体の吹き付けによって、支持部１３とで支持対象物ＷＫを挟み込む構成を採用してもよいし、挟込部材４３をゴム、樹脂、スポンジ等の変形可能な部材で構成してもよいし、金属や樹脂等の変形しない部材で構成してもよいし、支持対象物ＷＫを搬入して支持面１３Ａ上の所定の位置に載置してもよいし、支持対象物ＷＫを移送不能に構成されてもよいし、保持面４３Ａが吸着保持できない構成でもよい。
【００２３】
処理機構は、例えば、カメラや投影機等の撮像機構や、光学センサや超音波センサ等の各種センサ等で支持対象物ＷＫを検査する検査装置、撮像機構や各種センサ等で支持対象物ＷＫの位置を検出し、当該支持対象物ＷＫを位置決めする位置決め装置、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧部材で支持対象物ＷＫに接着シートを貼付するシート貼付装置、支持対象物ＷＫに貼付された接着シートを剥離するシート剥離装置、支持対象物ＷＫを清掃する清掃装置、支持対象物ＷＫを研磨する研磨装置や研削する研削装置、切断刃等の切断部材で支持対象物ＷＫを切断する切断装置等、支持対象物ＷＫに所定の処理を施すものであればどのようなものでもよい。
【００２４】
接着シートおよび支持対象物ＷＫの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートおよび支持対象物ＷＫは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、接着シートは、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートが採用された場合は、当該接着シートを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプ等の加熱側等の加熱機構を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シートは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層との間に中間層を有するもの、基材の上面にカバー層を有する等３層以上のもの、さらには、基材を接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、支持対象物ＷＫとしては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら２つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートは、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。
【００２５】
本考案における機構および工程は、それら機構および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、支持機構は、環状の支持部で支持対象物を支持可能なものであればどのようなものでもよく、出願当初の技術常識に照らし合わせてその技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（その他の機構および工程も同じ）。
【００２６】
前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、２軸または３軸以上の関節を備えた多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
前記実施形態において、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧機構や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ブラシ状部材の他、大気やガス等の気体の吹き付けによるものを採用してもよいし、押圧するものをゴム、樹脂、スポンジ等の変形可能な部材で構成してもよいし、金属や樹脂等の変形しない部材で構成してもよいし、支持（保持）機構や支持（保持）部材等の被支持部材（被保持部材）を支持（保持）するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持機構、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよいし、切断機構や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断するようにしたりしてもよい。
【符号の説明】
【００２７】
ＥＡ…支持装置
１０…支持機構
１３…支持部
２０…加熱機構
３０…気体供給機構
４０…挟込機構
ＳＰ…空間
ＷＫ…支持対象物
【図１】
0003235024.tif 000003