(57)【要約】      （修正有）【課題】梱包作業や開梱作業が簡便で、梱包用トレイの製造コストや管理コストを低く抑えることができる他、上下方向に積層されて梱包される物品を、前後左右に規制した状態で効率よく梱包できる梱包用トレイを提供する。【解決手段】底面３と、側壁５と、嵌合突起７及び嵌合溝８が左右方向中心線を軸として略対称となるように配置されたフランジ６とを備え、側壁５のそれぞれは、側壁５及び収納される物品の側面の間に一定の間隙が形成されるように形成された側壁凹部と、収納される物品を前後左右方向に規制する物品規制部５ａと、を有し、梱包用トレイを左右方向中心線を軸として１８０°回転させた他の梱包用トレイのフランジ６を、梱包用トレイのフランジ６と対向させて接触させる際に、梱包用トレイの嵌合突起７及び嵌合溝８が、それぞれ、他の梱包用トレイの嵌合溝７及び嵌合突起８に係合して、物品を収納可能な梱包体を形成する。【選択図】図１
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
底面と、底面を囲繞する側壁と、側壁の上端部から水平に張り出すフランジとを備えた梱包用トレイであって、
前記フランジには、フランジの左右方向中心線を軸として略対称となるよう、嵌合突起と嵌合溝とが配置され、
前記側壁のそれぞれは、
側壁間の間隔が収納される物品の寸法よりも大きく、前記側壁及び収納される前記物品の側面の間に一定の間隙が形成されるように形成された側壁凹部と、
収納される物品を前後左右方向に規制する物品規制部と、を有し、
前記梱包用トレイを左右方向中心線を軸として１８０°回転させた他の梱包用トレイのフランジを、前記梱包用トレイのフランジと対向させて接触させる際に、前記梱包用トレイの嵌合突起が前記他の梱包用トレイの嵌合溝に係合し、且つ前記梱包用トレイの嵌合溝が前記他の梱包用トレイの嵌合突起に係合して、前記物品を収納可能な梱包体を形成する、梱包用トレイ。
【請求項２】
前記フランジの略半分の領域に前記嵌合突起が、略半分の残る領域に前記嵌合溝が形成された、請求項１に記載の梱包用トレイ。
【請求項３】
前記フランジが、更に、外周端部から底面方向に折れ曲がって形成された折り返しフランジを有する、請求項１又は２に記載の梱包用トレイ。
【請求項４】
前記物品が、コーナークリップで四隅を固定されたペリクルフレーム収納容器であり、
前記側壁は、前記コーナークリップと前記側壁との間に一定の間隙を有するように形成された角部間隙形成部と、前後方向中心線及び左右方向中心線と交差する領域が外周方向に向かって拡開されて形成された把持部間隙形成部と、これらの残余部分であり、前記ペリクルフレーム収納容器を前後左右方向に規制する物品規制部と、を有する請求項１から３のいずれかに記載の梱包用トレイ。
【請求項５】
前記ペリクルフレーム収納容器が複数段積層された状態で梱包される、請求項４に記載の梱包用トレイ。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、同一の構造を有する他の梱包用トレイと脱着可能に嵌合させることにより、物品を収容可能な梱包体を形成する梱包用トレイに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体回路パターンの製造工程のリソグラフィー工程で使用されるフォトマスクの防塵のため、ペリクルフレームが用いられている。ペリクルフレームは、一般には、ニトロセルロース等の透明高分子膜から形成された厚さ１０μｍ程度のペリクル膜と、それを一方の周端部にて支持する厚さ数ミリ程度の支持フレームから構成される。ここで、フォトマスク上に塵等の微細な異物が付着した場合、その異物のパターンが半導体回路上に転写されて欠陥を形成し、この欠陥を有する半導体チップを使用不可能としてしまう危険性がある。フォトマスク上にペリクル膜が位置するようにペリクルフレームを配置することにより、フォトマスクに異物が付着することを防止できると共に、ペリクル膜上に異物が付着した場合においても、ペリクル膜とフォトマスクとの間の距離の分だけフォトマスク露光時の焦点がずれているため、半導体回路上に欠陥を形成しない傾向にある。
【０００３】
しかしながら、仮にペリクルフレームの製造、保管、輸送時に、ペリクル膜又は支持フレームの内部に異物が付着した場合、これがフォトマスクに移行して半導体回路上に欠陥を形成する危険性がある。このため、ペリクルフレームの保管及び輸送にあたっては、ペリクルフレームの清浄度を維持するように設計されたペリクルフレーム収納容器を用いる必要がある。
【０００４】
ここで、特許文献１には、従来公知のペリクルフレーム収納容器について説明がなされている。図９及び特許文献１の図１に示されるように、ペリクルフレームをトレイの上に置き、その上からペリクルフレームを被せるようにカバーを置いて、カバーでペリクルフレームの上肩部を固定する。そして、四隅の各部にコーナークリップを嵌合させることにより、トレイとカバーとを固定させている。
【０００５】
このようなペリクルフレーム収納容器にペリクルフレームを収納してペリクルフレームを保管及び輸送する場合であっても、例えば、振動や衝撃等により、ペリクルフレームとペリクルフレーム収納容器とが接触し、或いはペリクルフレーム収納容器のトレイとカバーとが接触することにより、ペリクルフレームやペリクルフレーム収納容器を構成する部材の擦れにより発塵したり、或いは、外力によりペリクルフレーム収納容器が変形することにより、ペリクルフレーム収納容器の外部から異物が混入したりすることが知られていた。
【０００６】
このため、専用の梱包袋にペリクルフレーム収納容器を個別に梱包したり、上下一対の専用の緩衝体を用いて梱包箱を形成したりしていたので、梱包されたペリクルフレーム収納容器が嵩張ることとなり、梱包作業や開梱作業も煩雑なものとなっていた（例えば、特許文献２も参照）。また、上下一対の専用の緩衝体を用いて梱包箱を形成する場合、各緩衝体を成形するための金型を合計２型起型しなければならず、費用の負担が大きい他、２種類の緩衝体を製造及び保管しなければならず、管理コストが嵩む問題もあった。
【０００７】
上下一対の専用の緩衝体を用いて梱包箱を形成することに伴い生じる問題に対処する梱包容器に関する発明としては、特許文献３に、中央部を略半円凹状に開口した凹部を有する同一形状の弾性材で形成した一対の容器本体を上部容器本体及び下部容器本体として使用した発明が開示されており、ここで、容器本体のフランジ上には嵌合突起と嵌合溝とが設けられ、上部容器本体と下部容器本体とが係合し、嵌合突起と嵌合溝とが嵌合することにより半導体結晶を収納する収納空間を形成している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２０１２−０４６２３９号公報
【特許文献２】特開２００８−１００７３３号公報
【特許文献３】特許第３２６９６３１号
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、特許文献３の発明は、半導体結晶を収納するための容器に関する発明であるため、物品を横方向に並列して梱包することを想定しており、ペリクルフレーム収納容器のような物品を上下方向に積層し、前後左右に規制した状態で梱包することを想定した考案ではなく、特許文献３の技術思想をそのまま利用しても、ペリクルフレーム収納容器のような物品を効率よく梱包することはできない。よって、本考案は、梱包作業や開梱作業が簡便で、梱包用トレイの製造コストや管理コストを低く抑えることができる他、上下方向に積層されて梱包される物品を、前後左右に規制した状態で効率よく梱包できる梱包用トレイを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本考案の考案者は、上記課題を解決するために鋭意研究を行った。その結果、側壁の上端部から水平に張り出すフランジの左右方向中心線を軸として略対称となるよう、嵌合突起と嵌合溝が配置され、側壁のそれぞれは、側壁凹部と物品規制部とを有する梱包用トレイを使用し、嵌合突起と嵌合溝とが嵌合するように、２つの梱包用トレイを係合させて梱包体を形成することにより、上記課題を解決できることを見出し、本考案を完成するに至った。具体的には、本考案は以下のものを提供する。
【００１１】
本考案は、以下の構成によって把握される。
（１）本考案は、底面と、底面を囲繞する側壁と、側壁の上端部から水平に張り出すフランジとを備えた梱包用トレイであって、前記フランジには、フランジの左右方向中心線を軸として略対称となるよう、嵌合突起と嵌合溝とが配置され、前記側壁のそれぞれは、側壁間の間隔が収納される物品の寸法よりも大きく、前記側壁及び収納される前記物品の側面の間に一定の間隙が形成されるように形成された側壁凹部と、収納される物品を前後左右方向に規制する物品規制部と、を有し、前記梱包用トレイを左右方向中心線を軸として１８０°回転させた他の梱包用トレイのフランジを、前記梱包用トレイのフランジと対向させて接触させる際に、前記梱包用トレイの嵌合突起が前記他の梱包用トレイの嵌合溝に係合し、且つ前記梱包用トレイの嵌合溝が前記他の梱包用トレイの嵌合突起に係合して、前記物品を収納可能な梱包体を形成することを特徴とする。
【００１２】
（２）本考案は、上記（１）に記載の構成において、前記フランジの略半分の領域に前記嵌合突起が、略半分の残る領域に前記嵌合溝が形成されることを特徴とする。
【００１３】
（３）本考案は、上記（１）又は（２）に記載の構成において、前記フランジが、更に、外周端部から底面方向に折れ曲がって形成された折り返しフランジを有することを特徴とする。
【００１４】
（４）本考案は、上記（１）から（３）のいずれかに記載の構成において、前記物品が、コーナークリップで四隅を固定されたペリクルフレーム収納容器であり、前記側壁は、前記コーナークリップと前記側壁との間に一定の間隙を有するように形成された角部間隙形成部と、前後方向中心線及び左右方向中心線と交差する領域が外周方向に向かって拡開されて形成された把持部間隙形成部と、これらの残余部分であり、前記ペリクルフレーム収納容器を前後左右方向に規制する物品規制部と、を有することを特徴とする。
【００１５】
（５）本考案は、上記（４）に記載の構成において、前記ペリクルフレーム収納容器が複数段積層された状態で梱包されることを特徴とする。
【考案の効果】
【００１６】
本考案の梱包用トレイは、左右方向中心線を軸として１８０°回転させた他の梱包用トレイのフランジを、梱包用トレイのフランジと対向させて接触させる際に、梱包用トレイの嵌合突起が他の梱包用トレイの嵌合溝に係合し、且つ梱包用トレイの嵌合溝が他の梱包用トレイの嵌合突起に係合して、物品を収納可能な梱包体を形成するので、梱包作業や開梱作業が簡便な他、上下一対の別々の梱包容器を製造する必要がないため、２型の金型を起型する必要もなく、製造コストや管理コストも低く抑えることができる。加えて、本考案の梱包用トレイは、側壁のそれぞれに、側壁凹部と物品規制部とが設けられているので、上下方向に積層されて梱包される物品を、前後左右に規制した状態で効率よく安全に梱包することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本考案の実施形態に係る梱包用トレイの使用の態様を示す図面である。
【図２】本考案の実施形態に係る梱包用トレイの平面図である。
【図３】本考案の実施形態に係る梱包用トレイの正面図である。
【図４】本考案の実施形態に係る梱包用トレイの右側面図である。
【図５】本考案の実施形態に係る梱包用トレイの、図２のＡ−Ａ線における断面図である。
【図６】本考案の実施形態に係る梱包用トレイの、図２のＢ−Ｂ線における断面図である。
【図７】本考案の実施形態に係る梱包用トレイの使用の態様を示す側面図である。
【図８】本考案の実施形態に係る梱包用トレイの使用の態様を示す断面図である。
【図９】従来公知のペリクルフレーム収納容器を示す図面である。
【考案を実施するための形態】
【００１８】
以下、添付図面を参照して、本考案を実施するための形態（以下、「実施形態」と称する）について詳細に説明する。実施形態の説明の全体をとおして、同じ要素には同じ番号を付している。
【００１９】
＜梱包用トレイの構成＞
図２から図６は、本考案の実施形態に係る梱包用トレイ２を示す図面であり、図１は本考案の実施形態に係る梱包用トレイ２の使用の態様を示す図面である。本考案の梱包用トレイ２は、底面３を備えた平面視四角形の形状を有している。梱包用トレイ２の底面３は、ペリクルフレーム収納容器１０を収納可能な大きさに形成されており、底面３から下方に突出する脚部４が、等間隔で４箇所に形成されている。梱包用トレイ２の４面の側壁５は、底面３を囲繞しつつ、上方に向かって拡開するように僅かに傾斜して形成され、側壁５の上端部からは、フランジ６が水平に張り出している。そして、図３から図６に示すように、フランジ６の外周端部からは、折り返しフランジ９が底面方向に折れ曲がって形成されているが、本考案はフランジ６の外周端部に折り返しフランジ９が形成された態様に限定されるものではなく、フランジ６の外周端部には、折り返しフランジ９が形成されていなくてもよい。
【００２０】
図２、図３等に示すように、梱包用トレイ２のフランジ６には、その左右方向中心線Ｙ１−Ｙ１を軸として略対称となるように、嵌合突起７と嵌合溝８とが形成されている。図７に示すように、梱包用トレイ２を下部梱包用トレイ２ａとして、そのフランジ６を、左右方向中心線を軸として１８０°回転させた上部梱包用トレイ２ｂのフランジ６と対向させて接触させる際に、下部梱包用トレイ２ａの嵌合突起７が上部梱包用トレイ２ｂの嵌合溝８に嵌合し、下部梱包用トレイ２ａの嵌合溝８が上部梱包用トレイ２ｂの嵌合突起７に嵌合して、物品を収納可能な梱包体１を形成する。下部梱包用トレイ２ａの嵌合突起７と上部梱包用トレイ２ｂの嵌合溝８、及び下部梱包用トレイ２ａの嵌合溝８と上部梱包用トレイ２ｂの嵌合突起７の対向する端部は、僅かに間隔を空けて対峙するように形成されており、これにより、下部梱包用トレイ２ａのフランジ６と、上部梱包用トレイ２ｂのフランジ６とが、密着するように梱包体１を形成することができる。
【００２１】
図２に示すように、フランジ６に形成される嵌合突起７は、フランジ６の略半分の領域に形成されていることが好ましく、その場合、フランジ６の残る領域に嵌合溝８が形成されている。より具体的には、図２に示すように、嵌合突起７と嵌合溝８とが、フランジ６上、コの字型に形成されて、それぞれ嵌合可能となっていることが好ましい。
【００２２】
図１には、更に、本考案の実施形態に係る梱包用トレイ２の好ましい使用の態様として、図９に示すコーナークリップ１１で四隅を固定したペリクルフレーム収納容器１０を梱包用トレイ２に収納する態様を示した。本考案の実施形態に係る梱包用トレイ２の側壁５のうち、ペリクルフレーム収納容器１０のコーナー部に相対する角部には、コーナークリップ１１と側壁５との間に一定の間隙を有するように、物品規制部５ａよりも側壁５間の間隔が広く形成された、角部間隙形成部５ｂが形成されており、この角部間隙形成部５ｂが存在することにより、ペリクルフレーム収納容器１０を梱包用トレイ２に収納し、或いは、梱包用トレイ２から取り出す際に、梱包用トレイ２の角部側壁とコーナークリップ１１とが接触して、コーナークリップ１１がペリクルフレーム収納容器１０から脱離することを防止することができる。また、梱包用トレイ２の前後方向中心線及び左右方向中心線と交差する側壁５上の領域は、外周方向に向かって拡開されて形成された把持部間隙形成部５ｃが形成されており、この把持部間隙形成部５ｃが存在することにより、ペリクルフレーム収納容器１０を梱包用トレイ２に収納し、或いは、梱包用トレイ２から取り出す際に、安定してペリクルフレーム収納容器１０を把持することができる。
【００２３】
なお、角部間隙形成部５ｂ及び把持部間隙形成部５ｃは、上述のとおり、側壁５間の間隔が収納される物品であるペリクルフレーム収納容器１０の寸法よりも大きく、側壁５及び収納される物品の側面の間に一定の間隙が形成されるように形成されたものであり、側壁凹部の一態様である。
【００２４】
梱包用トレイ２の側壁５上の、側壁凹部の残余部分、或いは、角部間隙形成部５ｂ及び把持部間隙形成部５ｃの残余部分は、ペリクルフレーム収納容器１０の外寸と等しいか、外寸よりも僅かに大きくなるように形成されている。つまり、左右の側壁５に存在する残余部分については、側壁凹部と比較して左右方向中心線に向かって突出し、前後の側壁５に存在する残余部分については、側壁凹部と比較して前後方向中心線に向かって突出しており、ペリクルフレーム収納容器１０等の物品が梱包用トレイ２に収納された際に、物品を前後左右方向（Ｘ−Ｙ方向）に規制して、位置決めをする機能を果たすこととなる。
【００２５】
＜梱包用トレイの製造方法＞
以上に説明したような梱包用トレイ２は、厚さ０．５ｍｍ以上１．５ｍｍ以下のシート材料を用いて、真空成型や圧空成型等により形成することができる。シート材料には帯電防止処理を施すことが好ましく、物品を収納して梱包体１とした際に、梱包体１内部の視認性が必要とされる場合、シート材料としては、透明のシート材料を用いることが好ましい。
【００２６】
＜梱包用トレイの使用態様＞
図１、図７、及び図８に示すように、本考案の梱包用トレイ２は、好ましくは、図９に示すペリクルフレーム収納容器１０を梱包して、梱包体１とするために用いられるものであり、より具体的には、ペリクルフレーム収納容器１０を上下方向に複数段積層したものを梱包する。ここで、梱包用トレイ２のより詳細な説明に先立って、ペリクルフレーム収納容器１０及びコーナークリップ１１の構成を改めて説明する。
【００２７】
図１、図８、及び図９に示すように、ペリクルフレーム収納容器１０は、ペリクルフレームを収納する載置部を備えたトレイと、これに係合するカバーとを有し、コーナー部には、トレイとカバーとを係合した状態で固定するためのコーナークリップ１１が嵌合される構造となっている。ここで、コーナークリップ１１は、台形柱状の枠体として成型されたものであり、上底部分と下底部分とが開口した中空の構造体となって、下底部分の開口部からペリクルフレーム収納容器１０のコーナー部に嵌合できるようになっている。コーナークリップ１１をペリクルフレーム収納容器１０に嵌合させた際に台形状の上面と下面とを形成するそれぞれの面には、ハの字状の突起が略直角となるように形成されており、上面側の突起は下面側の突起よりも間隔が広くなるように形成されている。そして、２つのペリクルフレーム収納容器１０を上下方向に積層した場合には、下側のペリクルフレーム収納容器１０に取り付けられたコーナークリップ１１の上面側の突起の内側に、上側のペリクルフレーム収納容器１０に取り付けられたコーナークリップ１１の下面側の突起が位置するようになり、上側のペリクルフレーム収納容器１０のトレイと、下側のペリクルフレーム収納容器１０のカバーとが接触することを防止しつつも、コーナークリップ１１の上面及び下面の突起により、積層されたペリクルフレーム収納容器１０を前後左右方向に固定することができる。なお、コーナークリップ１１は、摺動性のよいポリエチレン、ポリブチレンテレフタレート、ポリアセタール等から形成することが好ましい。
【００２８】
以上のようにして複数個が積層されたペリクルフレーム収納容器１０は、図１及び図８に示すように、下側に梱包用トレイ２を配置してこの梱包用トレイ２に収納される。この際、梱包用トレイ２の前後方向中心線及び左右方向中心線と側壁５が交差する領域にある把持部間隙形成部５ｃを利用して、ペリクルフレーム収納容器１０が梱包用トレイ２に収納されるが、各側壁５上の物品規制部５ａが、前後左右方向、つまりＸ−Ｙ方向にペリクルフレーム収納容器１０を規制するため、梱包用トレイ２に載置した状態で、ペリクルフレーム収納容器１０を前後左右方向に変位させることなく保持することができる。また、上述のとおり、ペリクルフレーム収納容器１０のコーナー部に相対する角部には、コーナークリップ１１と側壁５との間に一定の間隙を有するように、物品規制部５ａよりも側壁５間の間隔が広く形成された、角部間隙形成部５ｂが形成されているため、この角部間隙形成部５ｂが存在することにより、ペリクルフレーム収納容器１０を梱包用トレイ２に収納する際に、梱包用トレイ２の角部側壁とコーナークリップ１１とが接触して、コーナークリップ１１がペリクルフレーム収納容器１０から脱離することを防止することができる。
【００２９】
所定の段数積層したペリクルフレーム収納容器１０を、梱包用トレイ２（下部梱包用トレイ２ａ）に載置した後は、下部梱包用トレイ２ａを、左右方向中心線を軸として１８０°回転させた他の梱包用トレイ２である上部梱包用トレイ２ｂを、下部梱包用トレイ２ａのフランジ６と、上部梱包用トレイ２ｂのフランジ６とが対向するように接触させ、下部梱包用トレイ２ａの嵌合突起７及び嵌合溝８を、それぞれ、上部梱包用トレイ２ｂの嵌合溝８及び嵌合突起７に嵌合させることにより、梱包体１として輸送することが可能となる。
【００３０】
この際、下部梱包用トレイ２ａの底面３と上部梱包用トレイ２ｂの底面３とが、ペリクルフレーム収納容器１０を上下方向、つまりＺ方向に規制する為、梱包体１中において、ペリクルフレーム収納容器１０を上下方向に変位させることなく保持することができ、結果として、前後左右上下方向（Ｘ−Ｙ−Ｚ方向）のそれぞれの方向にペリクルフレーム収納容器１０を変位させることなく、安定して梱包体１を輸送することができる。
【００３１】
なお、梱包体１に物品を収納して輸送する際には、下部梱包用トレイ２ａのフランジ６と、上部梱包用トレイ２ｂのフランジ６とが接触乃至密着した状態で、下部梱包用トレイ２ａの折り返しフランジ９と、上部梱包用トレイ２ｂの折り返しフランジ９との両者を覆うようにテーピングを施し、梱包体１を密封することもできる。梱包体１は、プラスチックダンボール箱に収納して輸送することもできるが、この際、梱包用トレイ２の脚部４や、折り返しフランジ９が振動や衝撃を吸収するので、ペリクルフレーム収納容器１０を安全に輸送することが可能となる。
【００３２】
本考案の梱包用トレイ２は、左右方向中心線を軸として１８０°回転させた上部梱包用トレイ２ｂのフランジ６を、下部梱包用トレイ２ａのフランジ６と対向させて接触させる際に、下部梱包用トレイ２ａの嵌合突起７が上部梱包用トレイ２ｂの嵌合溝８に係合し、且つ下部梱包用トレイ２ａの嵌合溝８が上部梱包用トレイ２ｂの嵌合突起７に係合して、物品を収納可能な梱包体１を形成するので、梱包作業や開梱作業が簡便な他、上下一対の別々の梱包容器を製造する必要がないため、２型の金型を起型する必要もなく、製造コストや管理コストも低く抑えることができる。
【００３３】
加えて、本考案の梱包用トレイ２は、側壁５のそれぞれに、側壁凹部と物品規制部５ａとが設けられているので、上下方向に積層されて梱包される物品を、前後左右方向に規制した状態で効率よく安全に梱包することもできる他、ペリクルフレーム収納容器１０を上下方向に複数段積層して収納する際に、これらを下部梱包用トレイ２ａ及び上部梱包用トレイ２ｂの底面３で上下方向に規制した状態で弾性的に保持することもできる。よって、輸送時の振動や衝撃によるペリクルフレームの汚染を最小限に抑えることもできる。更に、本考案の梱包用トレイ２は、角部間隙形成部５ｂ及び把持部間隙形成部５ｃを有しているので、ペリクルフレーム収納容器１０の収納及び取り出しを容易に行うこともできる。
【符号の説明】
【００３４】
１      梱包体
２      梱包用トレイ
２ａ    下部梱包用トレイ
２ｂ    上部梱包用トレイ
３      底面
４      脚部
５      側壁
５ａ    物品規制部
５ｂ    角部間隙形成部
５ｃ    把持部間隙形成部
６      フランジ
７      嵌合突起
８      嵌合溝
９      折り返しフランジ
１０    ペリクルフレーム収納容器
１１    コーナークリップ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
0003200993.tif 000007
【図６】
0003200993.tif 000008
【図７】
0003200993.tif 000009
【図８】
0003200993.tif 000010
【図９】
0003200993.tif 000011