(57)【要約】【課題】バスケットに基板を収容する前にバスケットを検査することにより、基板の後工程の収率及び効率を向上させる、基板バスケット検査装置を提供する。【解決手段】基板バスケット検査装置は、バスケット搬送プラットフォーム１、バスケット蓋体検査部２、バスケット蓋体開閉部３、バスケット枠体検査部４及び外フレーム５を備える。バスケット搬送プラットフォーム１は、バスケット搬送チャネル１１を有する。バスケット蓋体検査部２は、バスケット搬送チャネル１１の上流に位置するとともに、２つの第１のバスケット位置検査ユニット２１及び２つのバスケット蓋体クローズ検査ユニット２２を有する。第１のバスケット位置検査ユニット２１は、バスケット搬送チャネル１１の上流の左側及び右側にそれぞれ位置する。バスケット蓋体クローズ検査ユニット２２は、バスケット搬送チャネル１１の上流の前側及び後側にそれぞれ位置する。【選択図】図１
0003234065.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
バスケット搬送プラットフォーム、バスケット蓋体検査部、バスケット蓋体開閉部、バスケット枠体検査部及び外フレームを備えた、基板バスケット検査装置であって、
前記バスケット搬送プラットフォームは、バスケット搬送チャネルを有し、
前記バスケット蓋体検査部は、前記バスケット搬送チャネルの上流に位置するとともに、２つの第１のバスケット位置検査ユニット及び２つのバスケット蓋体クローズ検査ユニットを有し、前記第１のバスケット位置検査ユニットは、前記バスケット搬送チャネルの上流の左側及び右側にそれぞれ位置し、前記バスケット蓋体クローズ検査ユニットは、前記バスケット搬送チャネルの上流の前側及び後側にそれぞれ位置し、
前記バスケット蓋体開閉部は、前記バスケット搬送チャネルの中流に位置するとともに、２つのバスケット蓋体開閉ユニットを有し、前記バスケット蓋体開閉ユニットは、前記バスケット搬送チャネルの中流の左側及び右側にそれぞれ位置し、
前記バスケット枠体検査部は、前記バスケット搬送チャネルの下流に位置するとともに、基板収容槽検査ユニット及び３つの第２のバスケット位置検査ユニットを有し、前記基板収容槽検査ユニットは、前記バスケット搬送チャネルの下流の左側と右側との間に位置し、前記第２のバスケット位置検査ユニットは、前記バスケット搬送チャネルの下流の左側、右側及び終端側にそれぞれ位置し、
前記外フレームには、前記バスケット搬送プラットフォーム、前記第１のバスケット位置検査ユニット、前記バスケット蓋体クローズ検査ユニット、前記バスケット蓋体開閉ユニット、前記基板収容槽検査ユニット及び前記第２のバスケット位置検査ユニットが配設されることを特徴とする、基板バスケット検査装置。
【請求項２】
複数のバスケット蓋体クローズ検査ユニット間には、第１の前後方向平行移動ユニットが接続され、
前記第１の前後方向平行移動ユニットは、前記外フレームに配設され、
前記バスケット蓋体クローズ検査ユニットは、吊下げアーム及び昇降式検査ユニットをそれぞれ有し、
前記第１の前後方向平行移動ユニットは、複数の前記吊下げアーム間に接続され、前記昇降式検査ユニットは、前記吊下げアームにそれぞれ配設され、前記昇降式検査ユニットは、互いに対向して同期して昇降することを特徴とする請求項１に記載の基板バスケット検査装置。
【請求項３】
前記バスケット蓋体開閉ユニットは、左右方向平行移動ユニット、第１の載置ユニット、回転アーム及び伸縮ユニットをそれぞれ有し、
前記左右方向平行移動ユニットは、前記外フレームに配設され、
前記第１の載置ユニットは、前記左右方向平行移動ユニットに配設され、
前記回転アームの両端間には、前記第１の載置ユニットが枢着され、
前記伸縮ユニットの両端は、前記第１の載置ユニット及び前記回転アームの末端にそれぞれ枢着され、
前記回転アームの始端には、蓋体接続ユニットが設けられることを特徴とする請求項１に記載の基板バスケット検査装置。
【請求項４】
前記基板収容槽検査ユニットは、第２の前後方向平行移動ユニット、第２の載置ユニット、昇降ユニット、基板収容槽検査枠及び抵抗力検査ユニットを有し、
前記第２の前後方向平行移動ユニットは、前記外フレームに配設され、
前記第２の載置ユニットは、前記第２の前後方向平行移動ユニットに配設され、
前記昇降ユニットは、前記第２の載置ユニットに配設され、
前記基板収容槽検査枠は、前記昇降ユニットに配設され、
前記抵抗力検査ユニットは、前記昇降ユニットと前記基板収容槽検査枠との間に接続されることを特徴とする請求項１に記載の基板バスケット検査装置。
【請求項５】
前記基板収容槽検査ユニットは、少なくとも１つの伸縮接続杆を有し、
前記伸縮接続杆は、前記昇降ユニットと前記基板収容槽検査枠との間に接続されることを特徴とする請求項４に記載の基板バスケット検査装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、基板バスケット検査装置に関し、特に、バスケットに基板を収容する前にバスケットを検査し、基板の後工程の収率及び効率を向上させる基板バスケット検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
基板（例えば回路基板）に表面処理工程を行うとき、作業員は、まず複数の基板をバスケット内に並べて収容してから、作業員はバスケットを装置上に吊下げ、操作装置によりメッキ水溶液が収容されたメッキ槽内にバスケットを移動させ、バスケット内の基板をメッキ水溶液中に浸し、化学置換反応によりメッキを行う。しかし、従来のバスケットは、複数の基板を並べて収容する前に検査装置により検査されなかったため、基板が損傷し、基板の後工程の収率及び効率が低下してしまうことがあった。
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００３】
そこで、本考案者は、上記課題を解決するための鋭意検討を重ねた結果、かかる知見に基づいて、本考案に想到するに至った。
本考案の課題は、バスケットに基板を収容する前にバスケットを検査することにより、基板の後工程の収率及び効率を向上させる、基板バスケット検査装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
かくして、本考案の要旨は、次の（１）〜（５）に記載の通りのものである。
（１）バスケット搬送プラットフォーム、バスケット蓋体検査部、バスケット蓋体開閉部、バスケット枠体検査部及び外フレームを備えた、基板バスケット検査装置であって、
前記バスケット搬送プラットフォームは、バスケット搬送チャネルを有し、
前記バスケット蓋体検査部は、前記バスケット搬送チャネルの上流に位置するとともに、２つの第１のバスケット位置検査ユニット及び２つのバスケット蓋体クローズ検査ユニットを有し、前記第１のバスケット位置検査ユニットは、前記バスケット搬送チャネルの上流の左側及び右側にそれぞれ位置し、前記バスケット蓋体クローズ検査ユニットは、前記バスケット搬送チャネルの上流の前側及び後側にそれぞれ位置し、
前記バスケット蓋体開閉部は、前記バスケット搬送チャネルの中流に位置するとともに、２つのバスケット蓋体開閉ユニットを有し、前記バスケット蓋体開閉ユニットは、前記バスケット搬送チャネルの中流の左側及び右側にそれぞれ位置し、
前記バスケット枠体検査部は、前記バスケット搬送チャネルの下流に位置するとともに、基板収容槽検査ユニット及び３つの第２のバスケット位置検査ユニットを有し、前記基板収容槽検査ユニットは、前記バスケット搬送チャネルの下流の左側と右側との間に位置し、前記第２のバスケット位置検査ユニットは、前記バスケット搬送チャネルの下流の左側、右側及び終端側にそれぞれ位置し、
前記外フレームには、前記バスケット搬送プラットフォーム、前記第１のバスケット位置検査ユニット、前記バスケット蓋体クローズ検査ユニット、前記バスケット蓋体開閉ユニット、前記基板収容槽検査ユニット及び前記第２のバスケット位置検査ユニットが配設されることを特徴とする、基板バスケット検査装置。
（２）複数のバスケット蓋体クローズ検査ユニット間には、第１の前後方向平行移動ユニットが接続され、
前記第１の前後方向平行移動ユニットは、前記外フレームに配設され、
前記バスケット蓋体クローズ検査ユニットは、吊下げアーム及び昇降式検査ユニットをそれぞれ有し、
前記第１の前後方向平行移動ユニットは、複数の前記吊下げアーム間に接続され、前記昇降式検査ユニットは、前記吊下げアームにそれぞれ配設され、前記昇降式検査ユニットは、互いに対向して同期して昇降することを特徴とする（１）に記載の基板バスケット検査装置。
（３）前記バスケット蓋体開閉ユニットは、左右方向平行移動ユニット、第１の載置ユニット、回転アーム及び伸縮ユニットをそれぞれ有し、
前記左右方向平行移動ユニットは、前記外フレームに配設され、
前記第１の載置ユニットは、前記左右方向平行移動ユニットに配設され、
前記回転アームの両端間には、前記第１の載置ユニットが枢着され、
前記伸縮ユニットの両端は、前記第１の載置ユニット及び前記回転アームの末端にそれぞれ枢着され、
前記回転アームの始端には、蓋体接続ユニットが設けられることを特徴とする（１）に記載の基板バスケット検査装置。
（４）前記基板収容槽検査ユニットは、第２の前後方向平行移動ユニット、第２の載置ユニット、昇降ユニット、基板収容槽検査枠及び抵抗力検査ユニットを有し、
前記第２の前後方向平行移動ユニットは、前記外フレームに配設され、
前記第２の載置ユニットは、前記第２の前後方向平行移動ユニットに配設され、
前記昇降ユニットは、前記第２の載置ユニットに配設され、
前記基板収容槽検査枠は、前記昇降ユニットに配設され、
前記抵抗力検査ユニットは、前記昇降ユニットと前記基板収容槽検査枠との間に接続されることを特徴とする（１）に記載の基板バスケット検査装置。
（５）前記基板収容槽検査ユニットは、少なくとも１つの伸縮接続杆を有し、
前記伸縮接続杆は、前記昇降ユニットと前記基板収容槽検査枠との間に接続されることを特徴とする（４）に記載の基板バスケット検査装置。
【考案の効果】
【０００５】
本考案の基板バスケット検査装置は、バスケットに基板を収容する前にバスケットを検査することにより、基板の後工程の収率及び効率を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
【図１】本考案の一実施形態に係る基板バスケット検査装置を示す斜視図である。
【図２】本考案の一実施形態に係る基板バスケット検査装置のバスケット搬送プラットフォーム、バスケット蓋体検査部、バスケット蓋体開閉部及びバスケット枠体検査部を示す斜視図である。
【図３】本考案の一実施形態に係る基板バスケット検査装置のバスケット蓋体検査部及びバスケット蓋体開閉部を示す斜視図（１）である。
【図４】本考案の一実施形態に係る基板バスケット検査装置のバスケット蓋体検査部及びバスケット蓋体開閉部を示す斜視図（２）である。
【図５】本考案の一実施形態に係る基板バスケット検査装置のバスケット枠体検査部を示す斜視図（１）である。
【図６】本考案の一実施形態に係る基板バスケット検査装置のバスケット枠体検査部を示す斜視図（２）である。
【図７】本考案の一実施形態に係る基板バスケット検査装置のバスケット枠体検査部を示す斜視図（３）である。
【図８】本考案の一実施形態に係る基板バスケット検査装置の第２のバスケット位置検査ユニットを示す斜視図である。
【図９】本考案の一実施形態に係る基板バスケット検査装置のバスケット蓋体を閉じた状態を示す斜視図である。
【図１０】本考案の一実施形態に係る基板バスケット検査装置のバスケット蓋体を開いた状態を示す斜視図である。
【図１１】本考案の一実施形態に係る基板バスケット検査装置のバスケットを検査するときの状態を示す斜視図（１）である。
【図１２】本考案の一実施形態に係る基板バスケット検査装置のバスケットを検査するときの状態を示す斜視図（２）である。
【図１３】本考案の一実施形態に係る基板バスケット検査装置のバスケットを検査するときの状態を示す斜視図（３）である。
【考案を実施するための形態】
【０００７】
以下、本考案の目的、特徴及び効果をより分かりやすくするために、具体的な実施形態について図に基づいて詳しく説明する。
【０００８】
以下、本考案の前述及び他の技術的内容、特徴及び機能の具体的な実施形態について図に基づいて詳しく説明する。なお以下の実施形態では、「上」、「下」、「左」、「右」、「前」、「後」など方向を表す用語については、添付図面の方向を示す単なる参考用のものであり、方向を表す用語は、説明の便宜上用いているだけであり、本考案を何ら制限するものではない。
【０００９】
図１、図２、図９及び図１０を参照する。図１、図２、図９及び図１０に示すように、本考案の一実施形態に係る基板バスケット検査装置は、バスケット６が複数の基板７（例えば回路基板）を収容するのに適しているか否か検査する。バスケット６は、２つのフックアーム（ｈｏｏｋ  ａｒｍ）６１と、枠体６２と、２つの蓋体６３とを有する。複数のフックアーム６１は、枠体６２の左側及び右側にそれぞれ配設され、バスケット６を移動装置（図示せず）上に吊下げるために用い、バスケット６内の複数の基板７をメッキ槽（図示せず）内へ移動させてメッキ工程を行うことができる。枠体６２は、複数の基板７をそれぞれ収容する複数の基板収容槽６２１を有する。複数の蓋体６３は、枠体６２の開口の左側及び右側にそれぞれ枢着される。各蓋体６３の底部は、複数の位置決め槽６３２を有し、各蓋体６３により枠体６２が閉じられると、複数の基板７がそれぞれ位置決めされる。各蓋体６３の前側には、第２の蓋体接続ユニット６３１（例えば、枢着用の円柱）がそれぞれ設けられる。基板バスケット検査装置は、各第２の蓋体接続ユニット６３１により各蓋体６３を開閉する。基板バスケット検査装置は、バスケット搬送プラットフォーム１、バスケット蓋体検査部２、バスケット蓋体開閉部３、バスケット枠体検査部４及び外フレーム５を含む。バスケット搬送プラットフォーム１は、バスケット６を搬送するバスケット搬送チャネル１１を有する。バスケット搬送プラットフォーム１は、モータにより駆動される複数の動力ローラを有し、バスケット６をバスケット搬送チャネル１１の上流１１１からバスケット搬送チャネル１１の中流１１２及び下流１１３に搬送する。複数の動力ローラは、バスケット６をバスケット搬送チャネル１１から運び出すこともできる。バスケット蓋体検査部２は、バスケット搬送チャネル１１の上流１１１に位置する。バスケット蓋体検査部２は、２つの第１のバスケット位置検査ユニット２１及び２つのバスケット蓋体クローズ検査ユニット２２を有する。図３、図４及び図１１を参照する。図３、図４及び図１１に示すように、複数の第１のバスケット位置検査ユニット２１は、バスケット搬送チャネル１１の上流１１１の左側及び右側にそれぞれ位置する。各第１のバスケット位置検査ユニット２１は、バスケット６が定点に達したか否かを検査する複数の位置検査装置を有してもよい。複数のバスケット蓋体クローズ検査ユニット２２は、バスケット搬送チャネル１１の上流１１１の前側及び後側にそれぞれ位置する。複数のバスケット蓋体クローズ検査ユニット２２は、複数の蓋体６３の前側及び後側により複数の蓋体６３が枠体６２の開口の掛止部６２２に正常に係合しているか否かを検査する。複数のバスケット蓋体クローズ検査ユニット２２は、赤外線送信機及び赤外線受信機をそれぞれ有してもよい。赤外線受信機が赤外線送信機の赤外線を正常に受信する場合、複数の蓋体６３が枠体６２の開口の掛止部６２２に正常に係合され、赤外線を干渉していないことを表す。図１２及び図１３を併せて参照する。図１２及び図１３に示すように、バスケット蓋体開閉部３は、バスケット搬送チャネル１１の中流１１２に位置する。バスケット蓋体開閉部３は、２つの���スケット蓋体開閉ユニット３１を有する。複数のバスケット蓋体開閉ユニット３１は、バスケット搬送チャネル１１の中流１１２の左側及び右側にそれぞれ位置する。バスケット６がバスケット搬送チャネル１１の上流１１１から下流１１３に搬送される前に、複数のバスケット蓋体開閉ユニット３１は、各蓋体６３の第２の蓋体接続ユニット６３１により各蓋体６３をそれぞれ開くことができる。図５〜図８を併せて参照する。図５〜図８に示すように、バスケット枠体検査部４は、バスケット搬送チャネル１１の下流１１３に位置する。バスケット枠体検査部４は、基板収容槽検査ユニット４１及び３つの第２のバスケット位置検査ユニット４２を有する。基板収容槽検査ユニット４１は、バスケット搬送チャネル１１の下流１１３の左側と右側との間に位置する。複数の第２のバスケット位置検査ユニット４２は、バスケット搬送チャネル１１の下流１１３の左側、右側及び終端側にそれぞれ位置する。基板収容槽検査ユニット４１は、枠体６２の基板収容槽６２１が基板の投入が妨げられているか否かを検査することができる。各第２のバスケット位置検査ユニット４２は、バスケット６が定点に達したか否かを検査する複数の位置検査装置を有する。バスケット搬送プラットフォーム１、複数の第１のバスケット位置検査ユニット２１、複数のバスケット蓋体クローズ検査ユニット２２、複数のバスケット蓋体開閉ユニット３１、基板収容槽検査ユニット４１及び複数の第２のバスケット位置検査ユニット４２は、外フレーム５に配設される。
【００１０】
上述したように、本考案の一実施形態に係る基板バスケット検査装置は、複数のバスケット蓋体クローズ検査ユニット２２により複数の蓋体６３が枠体６２を正常に閉じているか否かを検査するとともに、基板収容槽検査ユニット４１により枠体６２の基板収容槽６２１が実際の基板の投入を妨げているか否かを検査することができる。それによって、本実施形態の基板バスケット検査装置は、バスケット６に基板７を収容する前にバスケット６を検査し、バスケット６に基板７を正確に収容し、基板７の後工程の収率及び効率を高めることができる。
【００１１】
図３、図４及び図１１を参照する。図３、図４及び図１１に示すように、本実施形態において、複数のバスケット蓋体クローズ検査ユニット２２間には、第１の前後方向平行移動ユニット２２１（例えば、気圧シリンダ又は液圧シリンダ）が接続される。第１の前後方向平行移動ユニット２２１は、外フレーム５に配設される。各バスケット蓋体クローズ検査ユニット２２は、吊下げアーム２２２及び昇降式検査ユニット２２３を有する。第１の前後方向平行移動ユニット２２１は、複数の吊下げアーム２２２間に接続される。各昇降式検査ユニット２２３は、リニアモータを介して各吊下げアーム２２２に配設される。複数の昇降式検査ユニット２２３のそれぞれは、赤外線送信機及び赤外線受信機でもよい。複数の昇降式検査ユニット２２３は、互いに対向して同期して昇降する。それによって、複数のバスケット蓋体クローズ検査ユニット２２は、複数の蓋体６３が枠体６２の開口の掛止部６２２に正常に係合されて赤外線に干渉していないか検査することができる。
【００１２】
図３、図４及び図１１〜図１３を示す。図３、図４及び図１１〜図１３に示すように、各バスケット蓋体開閉ユニット３１は、左右方向平行移動ユニット３１１（例えば、気圧シリンダ又は液圧シリンダ）、第１の載置ユニット３１２（例えば、載置板）、回転アーム３１３及び伸縮ユニット３１４（例えば、気圧シリンダ又は液圧シリンダ）を有する。左右方向平行移動ユニット３１１は、外フレーム５に配設される。第１の載置ユニット３１２は、左右方向平行移動ユニット３１１に配設される。回転アーム３１３の両端間には、第１の載置ユニット３１２が枢着される。伸縮ユニット３１４の両端は、第１の載置ユニット３１２及び回転アーム３１３の末端にそれぞれ枢着される。回転アーム３１３の始端には、第１の蓋体接続ユニット３１３１（例えば、貫通槽体）が設けられる。それによって、複数の蓋体６３により枠体６２が閉じられる際、各回転アーム３１３は、各伸縮ユニット３１４が短縮されて水平に調整された後、各左右方向平行移動ユニット３１１が各第１の載置ユニット３１２、各伸縮ユニット３１４及び各回転アーム３１３を水平移動させ、各回転アーム３１３の第１の蓋体接続ユニット３１３１が各蓋体６３の第２の蓋体接続ユニット６３１に枢着されてから、各回転アーム３１３は、各伸縮ユニット３１４が伸長されて垂直に調整され、各蓋体６３を開いて各回転アーム３１３の第１の蓋体接続ユニット３１３１が各蓋体６３の第２の蓋体接続ユニット６３１が外れた後、各左右方向平行移動ユニット３１１が水平移動し、各第１の載置ユニット３１２、各伸縮ユニット３１４及び各回転アーム３１３を回収し、バスケット６がバスケット搬送チャネル１１の上流１１１から中流１１２を通って下流１１３に搬送されて検査することができる。バスケット６の検査が完了した後、バスケット６がバスケット搬送チャネル１１の下流１１３から中流１１２を通って上流１１１に搬送されると、各バスケット蓋体開閉ユニット３１は、各蓋体６３により枠体６２を閉じた後、バスケット６をバスケット搬送チャネル１１から運び出すことができる。
【００１３】
図５〜図７、図１０、図１２及び図１３を参照する。図５〜図７、図１０、図１２及び図１３に示すように、本実施形態の基板収容槽検査ユニット４１は、第２の前後方向平行移動ユニット４１１、第２の載置ユニット４１２、昇降ユニット４１３、基板収容槽検査枠４１４及び抵抗力検査ユニット４１５を有する。第２の前後方向平行移動ユニット４１１は、外フレーム５に配設される。第２の前後方向平行移動ユニット４１１は、２つのガイドレール及びモータにより駆動されるねじ軸を有し、第２の載置ユニット４１２は、ねじ軸の駆動により、複数のガイドレール上で前後に平行移動可能である。第２の載置ユニット４１２は、搭載フレームでもよく、第２の前後方向平行移動ユニット４１１に配設される。昇降ユニット４１３は、気圧シリンダ、液圧シリンダ又はリニアモータを有するとともに、第２の載置ユニット４１２に配設される。基板収容槽検査枠４１４は、昇降ユニット４１３に配設される。抵抗力検査ユニット４１５は、フォースセンサー（ｆｏｒｃｅ  ｓｅｎｓｏｒ）であるとともに、昇降ユニット４１３と基板収容槽検査枠４１４との間に接続される。それによって、第２の前後方向平行移動ユニット４１１は、第２の載置ユニット４１２、昇降ユニット４１３、基板収容槽検査枠４１４及び抵抗力検査ユニット４１５を前後に平行移動し、基板収容槽検査枠４１４が枠体６２の基板収容槽６２１のうちの１つの上方に位置した後、昇降ユニット４１３により基板収容槽検査枠４１４及び抵抗力検査ユニット４１５を降下させ、枠体６２の基板収容槽６２１のうちの１つに基板収容槽検査枠４１４を投入する際、抵抗力検査ユニット４１５により基板収容槽検査枠４１４を基板収容槽６２１に投入するときの抵抗力を検査することができる。例えば、抵抗力が所定値より大きい場合、基板収容槽６２１が基板を収容するのに適していないことを表し、昇降ユニット４１３により基板収容槽検査枠４１４及び抵抗力検査ユニット４１５を上昇させ、枠体６２の他の基板収容槽６２１を検査することができる。
【００１４】
図５〜図７を参照する。図５〜図７に示すように、本実施形態の基板収容槽検査ユニット４１は、少なくとも１つの伸縮接続杆４１６を有する。伸縮接続杆４１６は、昇降ユニット４１３と基板収容槽検査枠４１４との間に接続される。それによって、伸縮接続杆４１６は、昇降ユニット４１３と基板収容槽検査枠４１４との間に接続される抵抗力検査ユニット４１５をアシストすることができる。
【００１５】
当該分野の当業者にとって理解できるように、本考案の好適な実施形態を前述の通り開示したが、これらは決して本考案を限定するものではない。本考案の主旨と領域を逸脱しない範囲内で各種の変更や修正を加えることができる。従って、本考案の実用新案登録請求の範囲は、このような変更や修正を含めて広く解釈されるべきである。
【符号の説明】
【００１６】
１  バスケット搬送プラットフォーム
２  バスケット蓋体検査部
３  バスケット蓋体開閉部
４  バスケット枠体検査部
５  外フレーム
６  バスケット
７  基板
１１  バスケット搬送チャネル
２１  第１のバスケット位置検査ユニット
２２  バスケット蓋体クローズ検査ユニット
３１  バスケット蓋体開閉ユニット
４１  基板収容槽検査ユニット
４２  第２のバスケット位置検査ユニット
６１  フックアーム
６２  枠体
６３  蓋体
１１１  上流
１１２  中流
１１３  下流
２１１  位置検査器
２２１  第１の前後方向平行移動ユニット
２２２  吊下げアーム
２２３  昇降式検査ユニット
３１１  左右方向平行移動ユニット
３１２  第１の載置ユニット
３１３  回転アーム
３１４  伸縮ユニット
４１１  第２の前後方向平行移動ユニット
４１２  第２の載置ユニット
４１３  昇降ユニット
４１４  基板収容槽検査枠
４１５  抵抗力検査ユニット
４１６  伸縮接続杆
４２１  位置検査器
６２１  基板収容槽
６２２  掛止部
６３１  第２の蓋体接続ユニット
６３２  位置決め槽
３１３１  第１の蓋体接続ユニット
【図１】
0003234065.tif 000003
【図２】
0003234065.tif 000004
【図３】
0003234065.tif 000005
【図４】
0003234065.tif 000006
【図５】
0003234065.tif 000007
【図６】
0003234065.tif 000008
【図７】
0003234065.tif 000009
【図８】
0003234065.tif 000010
【図９】
0003234065.tif 000011
【図１０】
0003234065.tif 000012
【図１１】
0003234065.tif 000013
【図１２】
0003234065.tif 000014
【図１３】
0003234065.tif 000015