(57)【要約】  質量分析システムにおいて、イオン化部に対して試料溶液が噴射される噴射部分であるキャピラリ（８９）の筒部（８９１）の先端部は、コーティング材（８９２）によってコーティングされている。そのため、コーティング材（８９２）によって、試料溶液が噴射される際にキャピラリ（８９）が変形することを抑制できる。また、コーティング材（８９２）によって、キャピラリ（８９）が腐食したり変形したりすることを抑制できる。その結果、質量分析システム（１）における分析動作の安定性を向上できる。
2017208417.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
質量分析計のイオン化部に試料溶液を噴射してイオン化させるためのイオン化装置であって、  内部を通過する試料溶液が先端部から噴射される管状のキャピラリを備え、  前記キャピラリの少なくとも先端部の一部がコーティング材によりコーティングされていることを特徴とするイオン化装置。
【請求項２】
前記コーティング材が窒化クロムであることを特徴とする請求項１に記載のイオン化装置。
【請求項３】
前記コーティング材が白金であることを特徴とする請求項１に記載のイオン化装置。
【請求項４】
前記コーティング材がチタンであることを特徴とする請求項１に記載のイオン化装置。
【請求項５】
前記コーティング材がダイヤモンドライクカーボンであることを特徴とする請求項１に記載のイオン化装置。
【請求項６】
前記コーティング材がフッ素樹脂であることを特徴とする請求項１に記載のイオン化装置。
【請求項７】
前記キャピラリからは、試料溶液として、試料成分を含む超臨界流体が噴射されることを特徴とする請求項１に記載のイオン化装置。
【請求項８】
前記キャピラリから噴射される試料溶液をエレクトロスプレー法によりイオン化することを特徴とする請求項１に記載のイオン化装置。
【請求項９】
前記キャピラリから噴射される試料溶液を大気圧化学イオン化法によりイオン化することを特徴とする請求項１に記載のイオン化装置。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれか１項に記載のイオン化装置を備えた質量分析システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、質量分析計のイオン化部に試料溶液を噴射してイオン化させるためのイオン化装置、及び、これを備えた質量分析システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】  従来より、試料をイオン化させるためのイオン化部を備え、分析時において、このイオン化部において試料溶液を噴射し、生成したイオンを質量電荷比（ｍ／ｚ）に応じて分離させる質量分析計が利用されている。また、質量分析計の前段に、クロマトグラフを用いる装置も利用されている。【０００３】  例えば、質量分析計の前段に液体クロマトグラフを用いる装置では、一定流量で送られる移動相に試料が注入され、分離カラムにおいて、移動相に含まれる試料成分が時間的に分離される。そして、その分離された試料成分（試料溶液）が質量分析計のイオン化部に噴射される（例えば、下記特許文献１参照）。移動相としては、例えば、水やメタノールなどの液体が用いられる。【０００４】  また、移動相として、例えば、二酸化炭素などの超臨界状態の流体が用いられる超臨界流体クロマトグラフも知られている（例えば、下記特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】国際公開第２００７／０３２０８８号
【特許文献２】特開２０１５−１９４３６３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】  上記のような従来の装置では、イオン化部内にキャピラリ（細管）が配置されており、このキャピラリから試料溶液が噴射される。このとき同時に、キャピラリには、イオン化の際に高電圧が印加されたり、高温のガスや有機溶媒にさらされたりするため、特に、キャピラリの先端部に負荷がかかり、変形（損傷）することがある。この場合には、試料溶液のスプレー状態が変化してイオン化が安定せず、安定した分析動作が阻害される可能性がある。さらに、頻繁にキャピラリを交換する必要性が生じ、メンテナンスの手間やコストがかかる。特に、移動相として超臨界流体を用いる場合には、噴霧時に断熱膨張が起こり、キャピラリに一層大きな負荷がかかり、キャピラリが変形しやすくなってしまう。二酸化炭素は金属を腐食する作用を持つため、超臨界流体として二酸化炭素を用いる場合には、金属製のキャピラリが腐食することがある。また、材料成分自体が試料溶液に溶け出すこともあり、この場合には、分析の信頼性が低くなってしまう。  本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、分析動作の安定性を向上できるイオン化装置及び質量分析システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】（１）本発明に係るイオン化装置は、質量分析計のイオン化部に試料溶液を噴射してイオン化させるためのイオン化装置である。前記イオン化装置は、キャピラリを備える。前記キャピラリは、内部を通過する試料溶液が先端部から噴射される管状である。前記キャピラリの少なくとも先端部の一部がコーティング材によりコーティングされている。なお、キャピラリの材質としては、ＳＵＳやヒューズドシリカが好ましい。コーティング材としては、キャピラリの材質とは異なる別の材質で、キャピラリの材質よりも、強度が高い材質や、高い腐食性をもつ材質が好ましい。【０００８】  このような構成によれば、質量分析計において、イオン化装置のキャピラリから試料溶液が噴射される噴射部分は、コーティング材によりコーティングされている。なお、コーティングを施す領域としては、少なくともキャピラリ全体の側面および端面を含むことが好ましい。また、コーティングの費用を抑えたり、コーティングが困難な場合には、キャピラリ先端面のみや、側面のみにコーティングしても良い。  このような構成により、コーティング材によって、試料溶液が噴射される際にキャピラリが変形（破損）することを抑制できる。  その結果、質量分析計における分析動作の安定性を向上できる。【０００９】（２）また、前記コーティング材が窒化クロムであってもよい。【００１０】  このような構成によれば、安価な材料でイオン化装置のキャピラリをコーティングできる。【００１１】（３）また、前記コーティング材が白金であってもよい。【００１２】  このような構成によれば、耐食性の高い材料でイオン化装置のキャピラリをコーティングできる。よって、腐食によるイオン化装置のキャピラリの変形を抑制できる。【００１３】（４）また、前記コーティング材がチタンであってもよい。【００１４】  このような構成によれば、耐食性の高い材料でイオン化装置のキャピラリをコーティングできる。よって、腐食によるイオン化装置のキャピラリの変形を抑制できる。【００１５】（５）また、前記コーティング材がダイヤモンドライクカーボンであってもよい。【００１６】  このような構成によれば、ダイヤモンドライクカーボンのコーティング材によって、イオン化装置のキャピラリの耐摩耗性やガスバリア性を向上できる。【００１７】（６）また、前記コーティング材がフッ素樹脂であってもよい。【００１８】  このような構成によれば、フッ素樹脂のコーティング材によって、イオン化装置のキャピラリの強度や耐久性を向上できる。【００１９】（７）また、前記キャピラリからは、試料溶液として、試料成分を含む超臨界流体が噴射されてもよい。【００２０】  このような構成によれば、超臨界流体が噴射される際の断熱膨張や、超臨界流体として二酸化炭素を利用する場合の腐食の作用によりキャピラリが変形（破損）することを、コーティング材によって抑制できる。  すなわち、キャピラリから超臨界流体を噴射する場合であっても、キャピラリの変形（破損）を抑制でき、質量分析計における分析動作の安定性を向上できる。【００２１】（８）また、前記キャピラリから噴射される試料溶液をエレクトロスプレー法によりイオン化してもよい。【００２２】（９）ま���、前記キャピラリから噴射される試料溶液を大気圧化学イオン化法によりイオン化してもよい。【００２３】（１０）本発明に係る質量分析システムは、前記イオン化装置を備える。
【発明の効果】
【００２４】  本発明によれば、コーティング材の作用によって、試料溶液が噴射される際のキャピラリへの物理的、化学的な負荷により、イオン化装置のキャピラリが変形（破損）することを抑制できる。そのため、質量分析システムにおける分析動作の安定性を向上できる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の第１実施形態に係る質量分析システムの構成を示した概略図である。
【図２】質量分析計を拡大して概略的に示した図である。
【図３】イオン化装置のキャピラリを示した断面図である。
【図４Ａ】移動相として液体を使用したクロマトグラフ質量分析計において、標準キャピラリを用いた場合の使用後のキャピラリの周面を示した図である。
【図４Ｂ】図４Ａのキャピラリの先端を示した図である。
【図５Ａ】質量分析システムにおいて、移動相として超臨界流体を使用し、標準キャピラリを用いた場合の使用後のキャピラリの周面を示した図である。
【図５Ｂ】図５Ａのキャピラリの先端を示した図である。
【図６Ａ】質量分析システムにおいて、移動相として超臨界流体を使用し、コーティング材が形成されたキャピラリを用いた場合の使用後のキャピラリの周面を示した図である。
【図６Ｂ】図６Ａのキャピラリの先端を示した図である。
【図７】質量分析システムにおいて、移動相として超臨界流体を使用し、標準キャピラリを用いた場合に得られるマススペクトルを示した図である。
【図８】質量分析システムにおいて、移動相として超臨界流体を使用し、コーティング材が形成されたキャピラリを用いた場合に得られるマススペクトルを示した図である。
【図９】質量分析システムにおいて、移動相として超臨界流体を使用し、標準キャピラリを用いた場合に得られるマスクロマトグラムを示した図である。
【図１０】質量分析システムにおいて、移動相として超臨界流体を使用し、コーティング材が形成されたキャピラリを用いた場合に得られるマスクロマトグラムを示した図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】１．質量分析システムの全体構成  図１は、本発明の第１実施形態に係る質量分析システム１を示した概略図である。
【００２７】  質量分析システム１は、流路として、移動相流路２１と、ミキサ４を介して移動相流路２１の途中部に接続されるモディファイア流路２２と、移動相流路２１の途中部であって、流入方向において、ミキサ４よりも下流側の途中部に接続されるメイクアップ流路２３とを備えている。
【００２８】  移動相流路２１には、第１貯留部２、第１ポンプ３、ミキサ４、試料導入部５、分離カラム６、背圧弁７及び質量分析計８が、流入方向において、この順で配置されている。  第１貯留部２には、移動相となる液体の二酸化炭素が貯留されている。  試料導入部５は、例えば、オートサンプラである。  分離カラム６は、カラムオーブン１３内に収容されて加熱される。  背圧弁７は、移動相流路２１内の移動相を超臨界流体状態に維持するために、移動相流路２１内を一定圧力に保つように構成されている。
【００２９】  モディファイア流路２２には、第２貯留部９及び第２ポンプ１０が、流入方向において、この順で配置されている。第２貯留部９には、複数のモディファイア溶液が貯留されている。モディファイア溶液は、例えば、エタノール、メタノールなどの極性溶媒である。
【００３０】  メイクアップ流路２３には、第３貯留部１１及び第３ポンプ１２が、流入方向において、この順で配置されている。第３貯留部１１には、メイクアップ溶液が貯留されている。メイクアップ溶液は、例えば、メタノールなどの有機溶媒又は水に、ギ酸やアンモニアなどのイオン化促進剤が含まれる溶液である。
【００３１】  質量分析システム１では、第１ポンプ３の動作により、第１貯留部２から二酸化炭素が移動相流路２１に送出される。また、第２ポンプ１０の動作により、第２貯留部９からモディファイア溶液がモディファイア流路２２に送出される。そして、これらがミキサ４で混合され、この移動相が超臨界状態に維持された状態で、試料導入部５から試料が移動相流路２１に注入される。試料は、超臨界状態の移動相によって、分離カラム６に搬送されて成分ごとに分離され、分離カラム６から背圧弁７を介して質量分析計８に導入される。そして、質量分析計８において、試料成分が分析される。また、このとき、質量分析計８における試料成分のイオン化を促進するために、第３ポンプ１２の動作により、第３貯留部１１からメイクアップ溶液がメイクアップ流路２３及び移動相流路２１を介して、質量分析計８に供給される。
【００３２】２．質量分析計の詳細構成  図２は、質量分析計８を拡大して概略的に示した図である。  質量分析計８は、筐体８１と、イオン導入管８２と、イオンガイド８３，８４と、四重極マスフィルタ８５と、検出器８６と、イオン化装置８７とを備えている。
【００３３】  筐体８１は、長尺な中空状に形成されている。筐体８１内には、イオン化部８１Ａと、真空部８１Ｂとが区画されている。イオン化部８１Ａは、イオンの移動方向における最上流部に配置されている。真空部８１Ｂは、イオンの移動方向において、イオン化部８１Ａの下流側に配置されている。真空部８１Ｂ内は、イオンの移動方向の下流側に向かうにつれて、真空度が増している。
【００３４】  イオン導入管８２は、筐体８１内において、イオン化部８１Ａ及び真空部８１Ｂにまたがるように配置されている。イオン導入管８２は、イオン化部８１Ａ内に生じた試料中の化合物由来のイオンを、真空部８１Ｂ内に案内する。  イオンガイド８３，８４は、筐体８１内の真空部８１Ｂに配置されている。イオンガイド８３，８４は、イオンを収束させつつ輸送するように構成されている。
【００３５】  四重極マスフィルタ８５は、筐体８１内（真空部８１Ｂ）において、イオンガイド８４に対して、イオンの移動方向の下流に配置されている。四重極マスフィルタ８５は、特定の質量電荷比を持つイオンのみを通過させるように構成されている。  検出器８６は、筐体８１内（真空部８１Ｂ）において、イオンの移動方向の最下流に配置されている。
【００３６】  イオン化装置８７は、その一部がイオン化部８１Ａ内に配置されるようにして、筐体８１に取り付けられている。イオン化装置８７は、本体部８８と、キャピラリ８９とを備えている。
【００３７】  本体部８８は、上下方向の位置によって径が異なる円柱状に形成されている。本体部８８は、その上部が筐体８１の外部（上方）に突出しており、その中央部が筐体８１に取り付けられており、その下部が筐体８１内（イオン化部８１Ａ）に配置されている。
【００３８】  キャピラリ８９は、管状に形成されており、その外周面の一部が本体部８８に覆われている。キャピラリ８９は、その上端部（一端部）が移動相流路２１に接続されており、その下端部（他端部）が本体部８８の下端からイオン化部８１Ａ内に突出している。
【００３９】３．キャピラリの詳細構成  図３は、イオン化装置８７のキャピラリ８９を示した断面図である。  キャピラリ８９は、ＳＵＳやヒューズドシリカなどからなる管状（円筒状）の筒部８９１を備えている。筒部８９１の外径Ｌ１は、約０．２ｍｍであって、内径Ｌ２は、約０．１ｍｍである。筒部８９１の内部空間（先端縁を除く内部空間）は、通過口８９Ａとして形成されている。また、筒部８９１の先端縁の内部空間は、流出口８９Ｂとして形成されている。筒部８９１の先端部は、コーティング材８９２によってコーティングされている。
【００４０】  コーティング材８９２は、キャピラリ８９の材質とは異なる別の材質で、キャピラリ８９の材質よりも、強度が高い材質や、高い腐食性をもつ材質からなる。具体的には、コーティング材８９２は、例えば、窒化クロムからなる。コーティング材８９２は、筒部８９１の先端部の外周面及び先端面（流出口８９Ｂ以外）を覆っている。コーティング材８９２の厚みは、約１０μｍである。コーティング材８９２は、キャピラリ８９を炉に入れて、その中で窒化クロムをコーティングしながら熱と電気を与えることにより、一定の厚みで形成される。
【００４１】４．試料溶液のイオン化  本実施形態における質量分析計８では、エレクトロスプレー法（ＥＳＩ）により、試料溶液がイオン化される。具体的には、図１に示すように、移動相流路２１において、背圧弁２２の下流側では、移動相（超臨界流体の二酸化炭素）は大気圧化に放出される。そのため、分離カラム６で分離されて溶出した試料成分は、背圧弁２２の下流側で超臨界流体とともに霧状になって放出される。また、キャピラリ８９には、高電圧が印加される。図２に示すように、分離された試料成分と超臨界流体との混合液（試料溶液）は、移動相流路２１からキャピラリ８９に移動し、キャピラリ８９の先端からイオン化部８１Ａに噴霧されてイオン化される。このとき、具体的には、移動相流路２１からキャピラリ８９に移動した試料溶液は、図３に示すように、通過口８９Ａを通過した後、流出口８９Ｂから外部（イオン化部８１Ａ）に噴射される。このように、キャピラリ８９からは、試料溶液として、試料成分を含む超臨界流体（超臨界流体の二酸化炭素）が噴射される。
【００４２】  このイオンは、図２に示すように、イオン導入管８２及びイオンガイド８３，８４を経て四重極マスフィルタ８５に導入される。四重極マスフィルタ８５は、特定の質量電荷比を持つイオンのみを選択的に通過させ、通過したイオンは検出器２６に到達して検出される。そして、質量分析計８では、検出器２６から得られる検出信号に基づくデータにより、マススペクトルやマスクロマトグラムが作成される。
【００４３】５．使用後におけるキャピラリの形状  図４Ａは、移動相として液体を使用したクロマトグラフ質量分析計において、標準キャピラリを用いた場合の使用後のキャピラリの周面を示した図である。図４Ｂは、図４Ａに示すキャピラリの先端を示した図である。
【００４４】  図４Ａ及び図４Ｂから、液体クロマトグラフ質量分析計において、コーティング材を形成しないキャピラリ（標準キャピラリ）を用いて分析を行った結果、使用後のキャピラリの周面や先端が劣化していることが確認できる。
【００４５】  図５Ａは、質量分析システム１において、移動相として超臨界流体を使用し、標準キャピラリを用いた場合の使用後のキャピラリの周面を示した図である。図５Ｂは、図５Ａに示すキャピラリの先端を示した図である。
【００４６】  図５Ａ及び図５Ｂから、移動相として超臨界流体を使用し、キャピラリ８９に代えて、コーティング材を形成しないキャピラリ（標準キャピラリ）を用いて分析を行った結果、使用後のキャピラリでは、周面が大きく劣化して、先端が削れていることが確認できる。また、使用後のキャピラリでは、先端付近の内周面が大きく劣化していることも確認できる。
【００４７】  図４Ａ及び図４Ｂと、図５Ａ及び図５Ｂとの比較から、超臨界流体を噴霧する場合においては、キャピラリの周辺が、特に過酷な状態であることが分かる。質量分析システムにおけるキャピラリの劣化は、物理的な劣化だけでなく、二酸化炭素による腐食の可能性も考えられる。
【００４８】  図６Ａは、質量分析システム１において、移動相として超臨界流体を使用し、上記した本願発明のキャピラリ８９を用いた場合の、使用後の周面を示した図である。図６Ｂは、図６Ａに示すキャピラリ８９の先端を示した図である。  図６Ａ及び図６Ｂから、超臨界流体を噴霧して分析を行った結果、コーティング材８９２によりコーティングされたキャピラリ８９では、図５Ａ及び図５Ｂの場合と比較して、その形状の劣化が極めて少ないことが確認できる。この結果から、キャピラリ８９の物理的な劣化や二酸化炭素による腐食をコーティング材８９２により防止できることが分かる。
【００４９】６．質量分析システムにおける取得データ  図７は、質量分析システム１において、移動相として超臨界流体を使用し、標準キャピラリを用いた場合に得られるマススペクトルを示した図である。また、図８は、質量分析システム１において、移動相として超臨界流体を使用し、本願発明のキャピラリ８９を用いた場合に得られるマススペクトルを示した図である。  図７及び図８から、各マススペクトルにおいて、同一の質量電荷比において、同一のピークが表れていることが確認できる。
【００５０】  図９は、質量分析システム１において、移動相として超臨界流体を使用し、標準キャピラリを用いた場合に得られるマスクロマトグラムを示した図である。また、図１０は、質量分析システム１において、移動相として超臨界流体を使用し、本願発明のキャピラリ８９を用いた場合に得られるマスクロマトグラムを示した図である。
【００５１】  図９及び図１０から、各マスクロマトグラムに表れる信号強度に変化がないことが確認できる。  これらのことから、質量分析システム１において、キャピラリ８９を用いて分析を行った場合に、コーティング材８９２から不純物が溶出していないことが確認できる。
【００５２】７．作用効果（１）本実施形態では、質量分析システム１において、イオン化部８１Ａに対して試料溶液が噴射される噴射部分であるキャピラリ８９の筒部８９１の先端部は、コーティング材８９２によってコーティングされている。
【００５３】  そのため、コーティング材８９２によって、試料溶液が噴射される際にキャピラリ８９が変形（破損）することを抑制できる。  その結果、質量分析システム１（質量分析計８）における分析動作の安定性を向上できる。
【００５４】（２）また、キャピラリ８９のコーティング材８９２は、窒化クロムからなる。  そのため、安価な材料でキャピラリ８９をコーティングできる。
【００５５】（３）また、キャピラリ８９からは、試料溶液として、試料成分を含む超臨界流体の二酸化炭素が噴射される。  そのため、超臨界流体が噴射される際の断熱膨張や、超臨界流体の二酸化炭素の腐食の作用によりキャピラリ８９が変形（破損）することを、コーティング材８９２によって抑制できる。  すなわち、キャピラリ８９から超臨界流体の二酸化炭素を噴射させても、キャピラリ８９の変形（破損）を抑制でき、質量分析システム１（質量分析計８）における分析動作の安定性を向上できる。
【００５６】８．その他の実施形態（１）第１実施形態では、キャピラリ８９のコーティング材８９２は、窒化クロムからなる。これに対して、キャピラリ８９のコーティング材８９２を、白金によって構成することも可能である。  このような構成によれば、耐食性の高い材料でイオン化装置８７のキャピラリ８９をコーティングできる。よって、腐食によるイオン化装置８７のキャピラリ８９の変形を抑制できる。
【００５７】（２）また、キャピラリ８９のコーティング材８９２を、チタンによって構成することも可能である。  このような構成によれば、耐食性の高い材料でイオン化装置８７のキャピラリ８９をコーティングできる。よって、腐食によるイオン化装置８７のキャピラリ８９の変形を抑制できる。
【００５８】（３）また、キャピラリ８９のコーティング材８９２を、ダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）によって構成することも可能である。  このような構成によれば、イオン化装置８７のキャピラリ８９の耐摩耗性やガスバリア性を向上できる。ダイヤモンドライクカーボンによるコーティングは、真空中にＣ６Ｈ６ガスを導入し、アーク放電プラズマ中で膜を形成することにより行うことができる。
【００５９】（４）また、キャピラリ８９のコーティング材８９２を、フッ素樹脂によって構成することも可能である。  このような構成によれば、金属に限らず、樹脂の一例であるフッ素樹脂によってイオン化装置８７のキャピラリ８９の強度や耐久性を向上できる。
【００６０】（５）また、第１実施形態では、質量分析計８において、イオン化部８１Ａに噴射される試料溶液は、エレクトロスプレー法によりイオン化される。これに対して、質量分析計８において、イオン化部８１Ａに噴射される試料溶液を、大気圧化学イオン化法（ＡＰＣＩ）によりイオン化することも可能である。
【００６１】９．変形例  以上の実施形態では、本願発明のキャピラリ８９は、超臨界流体クロマトグラフと接続された質量分析計８に設けられるとして説明した。しかし、キャピラリ８９は、液体クロマトグラフなどの他のクロマトグラフとともに用いられる質量分析計に設けられてもよい。
【００６２】  また、コーティング材８９２は、キャピラリ８９の筒部８９１にスパッタリング処理などのあらゆる方法によって形成することができる。
【００６３】  また、コーティング材８９２は、キャピラリ８９の筒部８９１の外面全てに形成されてもよく、キャピラリ８９の筒部８９１の外周面のみに形成されてもよく、キャピラリ８９の筒部８９１の先端面のみに形成されてもよい。
【符号の説明】
【００６４】      １      質量分析システム    ８１Ａ    イオン化部    ８７      イオン化装置    ８９      キャピラリ
【図１】
2017208417.tif 000003
【図２】
2017208417.tif 000004
【図３】
2017208417.tif 000005
【図４Ａ】
2017208417.tif 000006
【図４Ｂ】
2017208417.tif 000007
【図５Ａ】
2017208417.tif 000008
【図５Ｂ】
2017208417.tif 000009
【図６Ａ】
2017208417.tif 000010
【図６Ｂ】
2017208417.tif 000011
【図７】
2017208417.tif 000012
【図８】
2017208417.tif 000013
【図９】
2017208417.tif 000014
【図１０】
2017208417.tif 000015
【手続補正書】
【提出日】平成30年8月6日(2018.8.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
質量分析計のイオン化部に試料溶液を噴射してイオン化させるためのイオン化装置であって、
内部を通過する試料溶液が先端部から噴射される管状のキャピラリを備え、
前記キャピラリの少なくとも先端部の一部がコーティング材によりコーティングされており、
前記キャピラリからは、試料溶液として、試料成分を含む超臨界流体が噴射されることを特徴とするイオン化装置。
【請求項２】
前記コーティング材が窒化クロムであることを特徴とする請求項１に記載のイオン化装置。
【請求項３】
前記コーティング材が白金であることを特徴とする請求項１に記載のイオン化装置。
【請求項４】
前記コーティング材がチタンであることを特徴とする請求項１に記載のイオン化装置。
【請求項５】
前記コーティング材がダイヤモンドライクカーボンであることを特徴とする請求項１に記載のイオン化装置。
【請求項６】
前記コーティング材がフッ素樹脂であることを特徴とする請求項１に記載のイオン化装置。
【請求項７】
前記キャピラリから噴射される試料溶液をエレクトロスプレー法によりイオン化することを特徴とする請求項１に記載のイオン化装置。
【請求項８】
前記キャピラリから噴射される試料溶液を大気圧化学イオン化法によりイオン化することを特徴とする請求項１に記載のイオン化装置。
【請求項９】
前記キャピラリから噴射される超臨界流体は、二酸化炭素であることを特徴とする請求項１に記載のイオン化装置。
【請求項１０】
前記キャピラリの外周面の一部を覆う本体部をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載のイオン化装置。
【請求項１１】
前記キャピラリの一端部は、移動相を流すための移動相流路に接続されており、
前記キャピラリの他端部は、前記本体部から前記イオン化部内に突出していることを特徴とする請求項１０に記載のイオン化装置。
【請求項１２】
前記キャピラリの他端部が、コーティング材によりコーティングされていることを特徴とする請求項１１に記載のイオン化装置。
【請求項１３】
請求項１〜１２のいずれか１項に記載のイオン化装置を備えた質量分析システム。
【国際調査報告】
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