(57)【要約】  本開示の導電部材は、基体と、該基体の表面を被覆し、Ｚｎ、Ｍｎ及びＣｏを含有する被覆層を備え、該被覆層におけるＺｒの含有濃度が酸化物換算で５０００ｐｐｍ以下であることを特徴とする。本開示のセルスタックは、複数のセルを、上記導電部材により電気的に接続してなることを特徴とする。本開示のモジュールは、上記セルスタックを、収納容器内に収納してなることを特徴とする。本開示のモジュール収容装置は、上記モジュールと、該モジュールを作動させるための補機とを、外装ケース内に収納してなることを特徴とする。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基体と、
該基体の表面を被覆し、Ｚｎ、Ｍｎ及びＣｏを含有する被覆層を備え、
該被覆層におけるＺｒの含有濃度が酸化物換算で５０００ｐｐｍ以下である導電部材。
【請求項２】
前記Ｚｒの含有濃度が酸化物換算で５００ｐｐｍ以下である請求項１に記載の導電部材。
【請求項３】
前記ＺｒのＥＰＭＡ解析の半定量マッピングにおいて、任意の１２０μｍ２の測定領域内において、測定感度のカウント数が１．２５以上の部分が面積比で０．２５％以上存在する請求項１又は２に記載の導電部材。
【請求項４】
複数のセルを、請求項１乃至３のうち何れかに記載の導電部材により電気的に接続してなるセルスタック。
【請求項５】
請求項４に記載のセルスタックを、収納容器内に収納してなるモジュール。
【請求項６】
請求項５に記載のモジュールと、該モジュールを作動させるための補機とを、外装ケース内に収納してなるモジュール収容装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、導電部材、セルスタック、モジュール及びモジュール収容装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、次世代エネルギーとして、燃料ガス（水素含有ガス）と酸素含有ガス（空気等）とを用いて、例えば、６００〜１０００℃の高温下で発電する固体酸化物形燃料電池セル（以下、セルという。）が知られている。そして、このセルを、導電部材を介して複数個電気的に直列に接続してなるセルスタックが知られている。【０００３】
ところで、上述した導電部材、セルに燃料ガス等の反応ガスを供給するためのマニホールド等は、一般に加工性が容易で、耐熱性を有する合金が採用されており、例えば、Ｃｒを１０〜３０質量％含有する合金が用いられている。【０００４】
ここで、Ｃｒを含有する合金からなる導電部材をセル間に配置して、セルを電気的に直列に接続して、長期間発電させると、導電部材中に含まれるＣｒがセルの空気側電極、または空気側電極と固体電解質層との界面に拡散する。それにより、電気的な抵抗が増大し、セルスタックの発電性能が低下する場合がある。この現象はＣｒ被毒と呼ばれている。【０００５】
そこで、このようなＣｒ被毒を抑制するため、従来、Ｃｒを含有する合金の表面をＺｎ、Ｍｎ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ等の金属酸化物膜で被覆した被覆層を有する耐熱性合金が提案されている（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】国際公開第２０１０／０８７２９８号公報
【発明の概要】
【０００７】
本開示の導電部材は、基体と、該基体の表面を被覆し、Ｚｎ、Ｍｎ及びＣｏを含有する被覆層を備えている。該被覆層におけるＺｒの含有濃度は、酸化物換算で５０００ｐｐｍ以下である。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】燃料電池用導電部材の斜視図である。
【図２】（ａ）は図１に示す燃料電池用導電部材のＡ方向から見た側面図、（ｂ）は図１に示す燃料電池用導電部材のＢ−Ｂ線断面図を一部省略した図である。
【図３】セルスタックを示す図で、（ａ）は側面図、（ｂ）は（ａ）の一部を拡大して示す断面図である。
【図４】図３に示すセルスタックを収納容器に収納してなるモジュールを分解して示す外観斜視図である。
【図５】図４に示すモジュールを外装ケースに収納してなるモジュール収容装置を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
（導電部材）
以下、本開示の導電部材について、燃料電池用導電部材（以下、導電部材という。）を図１及び図２を用いて説明する。
【００１０】
図１に示す導電部材４は、第１集電片４ａと、第２集電片４ｂと、第１連結部４ｃと、第２連結部４ｄとを一組のユニットとしている。第１集電片４ａは、隣接する一方のセル（図１及び図２においては図示せず）と接合される。第２集電片４ｂは、隣接する他方のセルと接合される。第１連結部４ｃは、第１集電片４ａ及び第２集電片４ｂの一端同士を連結する。第２連結部４ｄは、第１集電片４ａ及び第２集電片４ｂの他端同士を連結する。そして、これらのユニットの複数組が、セルの長手方向に導電性連結片４ｅにより連結されて基体が構成されている。第１集電片４ａ及び第２集電片４ｂは、セルに接合される部位を示し、これらの部位がセルから電流を取り出す集電部４ｆとなっている。
【００１１】
図２に示すように、第１集電片４ａ及び第２集電片４ｂは、セルの配列方向（図２（ａ）、（ｂ）における上下方向）に対して異なる角度で交差する第１表面４ｇ、セルの配列方向と平行に形成された第２表面４ｈ及び第３表面４ｉを有している。言い換えると、セルと対向する第１表面４ｇと、第１表面４ｇの両側に隣り合う第２表面４ｈ及び第３表面４ｉとを有している。
【００１２】
ここで、例えば、固体酸化物形燃料電池は、セルを複数個組み合わせてなるセルスタック装置を収容容器に収納して構成されるモジュールを備えている。モジュールでは、各セルの燃料極層に燃料ガス（水素含有ガス）を供給するとともに、空気極層に空気（酸素含有ガス）を供給し、６００〜１０００℃の高温で発電する。そのため、導電部材４やセルに燃料ガス等の反応ガスを供給するためのマニホールドの各部材には耐熱性が要求されるとともに、コスト面を考慮してＣｒを含有する合金が用いられる。
【００１３】
そこで、基体４１は、例えばＣｒを含有する合金により作製することができる。特には、導電部材４は、高温の酸化雰囲気に曝されることから、基体４１は４〜３０質量％の割合でＣｒを含有する合金で作製することができる。基体４１は、例えば、Ｆｅ−Ｃｒ系の合金、Ｎｉ−Ｃｒ系の合金等により作製できる。基体４１は高温用（６００〜１０００℃）の導電体である。
【００１４】
また、導電部材４は、基体４１の表面全体を被覆する被覆層４３が設けられている。これにより、導電部材４中に含まれるＣｒがセルの空気極層、または空気極層と固体電解質層との界面に拡散して、電気的な抵抗が増大することを抑制することができる。なお、図１、図２（ａ）では被覆層４３を省略し、図２（ｂ）では、基体４１の表面全体に被覆層４３が設けられた状態を示し、基体４１の断面を示す斜線は省略している。
【００１５】
なお、被覆層４３は、浸漬塗布方法、電着塗装、メッキ、スパッタ蒸着、又はスプレー塗布等により形成することができる。
【００１６】
具体的には、被覆層４３を構成する材料は、Ｚｎ、Ｍｎ、Ｃｏを含有する。さらに具体的には、Ｚｎ（ＣｏｘＭｎ１‐ｘ）２Ｏ４（０＜ｘ＜１）を含む被覆層４３とすることができる。これにより、Ｃｒ拡散を抑制するとともに、導電部材４の導電率を向上することができるだけでなく、基体４１と、空気極層等との熱膨張率の不一致も小さくできる。
【００１７】
ところで、本開示者らが、被覆層４３を有する導電部材４における電気抵抗が大きくなる原因について検討を重ねた結果、被覆層４３にＺｒが多く存在している場合に、導電部材４の電気抵抗の増大に影響を与えることが分かった。この理由は、Ｚｒが被覆層４３に含まれるＺｎ（ＣｏｘＭｎ１‐ｘ）２Ｏ４（０＜ｘ＜１）に固溶することにより、被覆層４３の導電率を低下させるためだと推測される。
【００１８】
そこで、本実施形態においては、導電部材に設けられた被覆層４３のＺｒの含有濃度を酸化物換算で５０００ｐｐｍ以下とすることで、被覆層４３を有する導電部材４の電気抵抗を小さくすることができることを見出した。それにより、セルスタックの発電性能が低下することを抑制でき、セルスタックの発電性能を向上することができることを見出した。
【００１９】
さらに、導電部材に設けられた被覆層４３のＺｒの含有濃度を酸化物換算で５００ｐｐｍ以下とすることで、被覆層４３を有する導電部材４の電気抵抗をさらに小さくすることができ、セルスタックの発電性能をさらに向上することができる。
【００２０】
さらに、ＺｒのＥＰＭＡ解析の半定量マッピングにおいて、任意の１２０μｍ２の測定領域内において、測定感度のカウント数が１．２５以上の部分が面積比で０．２５％以上存在することができる。なお、これは言い換えれば、Ｚｒの一部が凝集して存在していることを意味する。
【００２１】
例えば、同程度の量のＺｒを含有する被覆層が設けられた導電部材と比較した場合に、Ｚｒの一部が凝集して存在していることで、結果的にＺｎ（ＣｏｘＭｎ１‐ｘ）２Ｏ４に固溶して存在するＺｒの量を低減することができる。それにより被覆層４３を有する導電部材４の電気抵抗をさらに小さくすることができたと推測できる。
【００２２】
なお、被覆層４３中のＺｒは、被覆層４３の原料自体に存在している場合及び製造工程で被覆層４３の材料に混入する場合などが考えられる。製造工程でＺｒが混入する具体的な原因は、例えば、原料粉末をビーズミル分散させる工程において、ボールとしてジルコニアボールを用いる場合に、このジルコニアボールからＺｒが混入すると考えられる。
【００２３】
そして、被覆層４３におけるＺｒの含有濃度を低減する方法として、Ｚｒの含有濃度が少ない被覆層４３の原料を選択すること及び原料粉末のビーズミル分散の工程においてＺｒの混入を抑制することのうち少なくとも一方を行うことができる。ビーズミル分散工程でＺｒの混入を抑制する具体的な方法は、ビーズミル分散を行う時間及びビーズミル循環速度を制御することにより達成できる。また、ジルコニアボール以外を使用してビーズミル分散を行うこともできる。
【００２４】
また、Ｚｒの含有濃度は、導電部材４に設けられた被覆層４３を削り取ることによって得られる試料をＩＣＰ発光分光分析装置（ＩＣＰＳ−８１００  島津製作所製）にて定量分析することにより測定することができる。
【００２５】
なお、導電部材４は、図１及び図２に示すような形状のものに限定されるものではない。他の例として、例えば、円筒形状、メッシュ状とするほか、板状の部材を櫛歯状に加工し、隣り合う歯を交互に反対側に折り曲げて設けた形状とすることもできる。
【００２６】
次に、導電部材表面に被覆層を設ける方法について説明する。
【００２７】
例えば、湿式成膜法により、被覆層を、基体の表面に設けることができる。先ず、ＺｎＯ、Ｍｎ２Ｏ３及びＣｏ３Ｏ４の混合粉末、バインダ、並びにイソプロパノールに、ジルコニアボールを加え、所定の循環速度及び時間で、ビーズミル分散する。次に、得られた混合液に基体をディップし、引き上げ後、乾燥させる。そして、乾燥後、電気炉を使用して１０００℃で焼成し、その後除冷することにより基体の表面に被覆層を設けることができる。
【００２８】
（セルスタック）
次に、導電部材４を備えてなるセルスタックについて図３を用いて説明する。セルスタック装置１は、セル３を有している。このセル３は、内部にガス流路１２を有し、一対の対向する主面をもつ全体的に見て柱状の導電性支持体７を備えている。さらに、この導電性支持体７の一方の主面上に内側電極層である燃料極層８と、固体電解質層９と、外側電極層である空気極層１０とをこの順に配置してなる発電部を備えている。また、導電性支持体７の他方の主面には、インターコネクタ層１１を備えている。柱状（中空平板状）のセル３は、上述の導電性支持体７および各層を備えている。
【００２９】
そして、セルスタック２はセル３の複数個を１列に配列し、隣接するセル３間に導電部材４を配置することで、セル３同士を電気的に直列に接続してなる。
【００３０】
セル３と導電部材４とは、導電性接合材１３を介して接合されており、それにより、複数個のセル３を、導電部材４を介して電気的及び機械的に接合している。
【００３１】
また、インターコネクタ層１１の外面にはＰ型半導体層（図示せず）を設けることもできる。導電部材４を、Ｐ型半導体層を介してインターコネクタ層１１に接続させることより、両者の接触がオーム接触となって電位降下を少なくすることができる。このＰ型半導体層は、空気極層１０の外面にも設けてもよい。
【００３２】
各セル３の下端部は、マニホールド６に、ガラス等のシール材（図示せず）により固定されている。これにより、マニホールド６の燃料ガスを、セル３の内部に設けられたガス流路１２を介してセル３の燃料極層８に供給することができる。
【００３３】
図３に示すセルスタック装置１においては、セル３のガス流路１２の内部を燃料ガスとして水素含有ガスが流れるとともに、セル３の外側、特にセル３の間に配置された導電部材４の内部空間を酸素含有ガス（空気）が流れる。それにより、燃料極層８にマニホールド６から燃料ガスが供給され、空気極層１０に酸素含有ガスが供給されることで、セル３の発電が行なわれる。
【００３４】
セルスタック装置１は、セル３の配列方向ｘの両端から、導電部材４を介してセルスタック２を挟持するように、弾性変形可能な導電性の挟持部材５が配置され、この挟持部材５の下端部は、マニホールド６に固定されている。挟持部材５は、セルスタック２の両端に位置するように設けられた平板部５ａと、セル３の配列方向ｘに沿って外側に向けて延びた形状で、セルスタック２（セル３）の発電により生じる電流を引き出すための電流引出部５ｂとを有している。なお、挟持部材５およびマニホールド６の表面に上記被覆層を設けてもよい。
【００３５】
以下に、図３のセル３における各部材について説明する。
【００３６】
燃料極層８としては、一般的に公知のものを使用することができ、多孔質の導電性セラミックス、例えば希土類元素酸化物が固溶しているＺｒＯ２（安定化ジルコニアと称する）とＮｉ及び／又はＮｉＯとを用いることができる。
【００３７】
固体電解質層９としては、電極間の電子の橋渡しをする電解質としての機能を有していると同時に、燃料ガスと酸素含有ガスとのリークを防止するためにガス遮断性を有することが必要とされる。それゆえ、固体電解質層９としては、例えば、３〜１５モル％の希土類元素（希土類元素酸化物）が固溶したＺｒＯ２を用いることできる。なお、上記特性を有する限りにおいては、他の材料等を用いてもよい。
【００３８】
空気極層１０としては、一般的に用いられるものであれば特に制限はなく、例えば、いわゆるＡＢＯ３型のペロブスカイト型複合酸化物からなる導電性セラミックスを用いることができる。空気極層１０はガス透過性を有していることが必要であり、開気孔率が２０％以上、特に３０〜５０％の範囲とすることができる。空気極層１０としては、例えば、ＢサイトにＭｎ、Ｆｅ、Ｃｏなどが存在するランタンマンガナイト（ＬａＳｒＭｎＯ３）、ランタンフェライト（ＬａＳｒＦｅＯ３）、ランタンコバルタイト（ＬａＳｒＣｏＯ３）などの少なくとも一種を用いることができる。
【００３９】
インターコネクタ層１１としては、導電性セラミックスを用いることができるが、燃料ガス（水素含有ガス）及び酸素含有ガス（空気等）と接触するため、耐還元性及び耐酸化性を有することが必要であり、ランタンクロマイト（ＬａＣｒＯ３）を用いることができる。インターコネクタ層１１は、導電性支持体７に存在する複数のガス流路１２を流通する燃料ガス、及び導電性支持体７の外側を流通する酸素含有ガスのリークを防止するために緻密質でなければならず、９３％以上、特に９５％以上の相対密度とすることができる。
【００４０】
導電性支持体７としては、燃料ガスを燃料極層８まで透過するためにガス透過性であること、さらには、インターコネクタ層１１を介して集電するために導電性であることが必要とされる。したがって、導電性支持体７としては、かかる要求を満足する材質を用いる必要があり、例えば導電性セラミックスまたはサーメット等を用いることができる。
【００４１】
なお、セル３を作製するにあたり、燃料極層８又は固体電解質層９との同時焼成により導電性支持体７を作製する場合においては、導電性支持体７としては、鉄属金属成分と特定希土類元素酸化物とを用いることができる。また、導電性支持体７は、ガス透過性を備えるために開気孔率が３０％以上、特に３５〜５０％とすることができ、そしてまたその導電率は５０Ｓ／ｃｍ以上、さらには３００Ｓ／ｃｍ以上、４４０Ｓ／ｃｍ以上にしてもよい。
【００４２】
さらに、Ｐ型半導体層（図示せず）としては、遷移金属ペロブスカイト型酸化物からなる層を例示することができる。具体的には、インターコネクタ層１１を構成するランタンクロマイトよりも電子伝導性が大きいもの、例えば、ＢサイトにＭｎ、Ｆｅ、Ｃｏなどが存在するランタンマンガナイト（ＬａＳｒＭｎＯ３）、ランタンフェライト（ＬａＳｒＦｅＯ３）、ランタンコバルタイト（ＬａＳｒＣｏＯ３）などの少なくとも一種からなるＰ型半導体セラミックスを用いることができる。このようなＰ型半導体層の厚みは、一般に、３０〜１００μｍの範囲とすることが好ましい。
【００４３】
導電性接合材１３としては、セル３と導電部材４とを接合するもので、導電性セラミックス等を用いることができる。導電性セラミックスとしては、空気極層１０の材料を用いることができ、空気極層１０と同じ成分とすることで、空気極層１０と導電性接合材１３との接合強度が高くなる。
【００４４】
具体的には、ＬａＳｒＣｏＦｅＯ３、ＬａＳｒＭｎＯ３、ＬａＳｒＣｏＯ３等を用いることができる。これらの材料を単一の材料を用いて作製してもよく、２種以上組み合わせて導電性接合材１３を作製してもよい。
【００４５】
また、導電性接合材１３は、粒径の異なる異種材料により構成してもよく、粒径の同じ異種材料により構成してもよい。さらに、粒径の異なる同材料により構成してもよく、粒径の同じ同材料により構成してもよい。異なる粒径を用いた場合には微粒の粒径を０．１〜０．５μｍ、粗粒の粒径を１．０〜３．０μｍとすることができる。また同じ粒径で導電性接合材１３を構成する場合は、粒径が０．５〜３μｍとすることができる。
【００４６】
このように、異なる粒径の材料を用いて導電性接合材１３を作製することにより、粒径の大きな粗粒が導電性接合材１３の強度を向上させるとともに、粒径の小さな微粒が導電性接合材１３の焼結性を向上させることができる。
【００４７】
（モジュール）
次に、セルスタック装置１を収納容器２１内に収納してなるモジュール２０について図４を用いて説明する。
【００４８】
図４に示すモジュール２０は、セル３にて使用する燃料ガスを得るために、天然ガス、灯油等の原燃料を改質して燃料ガスを生成するための改質器２２をセルスタック２の上方に配置して構成されている。そして、改質器２２で生成された燃料ガスは、ガス流通管２３を介してマニホールド６に供給され、マニホールド６を介してセル３の内部に設けられたガス流路１２に供給される。
【００４９】
なお、図４においては、収納容器２１の一部（前後面）を取り外し、内部に収納されているセルスタック装置１及び改質器２２を後方に取り出した状態を示している。ここで、図４に示したモジュール２０においては、セルスタック装置１を、収納容器２１内にスライドして収納することが可能である。
【００５０】
また収納容器２１の内部に設けられた酸素含有ガス導入部材２４は、図４においてはマニホールド６に並置された一対のセルスタック２の間に配置されている。なお、酸素含有ガス導入部材２４は、酸素含有ガスが、燃料ガスの流れに合わせて、セル３の側方を下端部側から上端部側に向かって流れるように、セル３の下端部側に酸素含有ガスを供給する。そして、セル３のガス流路１２より排出され、発電に使用されなかった余剰の燃料ガス（燃料オフガス）をセル３の上端部の上方で燃焼させることにより、セルスタック２の温度を効果的に上昇させることができ、セルスタック装置１の起動を早めることができる。あわせてセルスタック２の上方に配置された改質器２２を温めることができる。それにより、改質器２２で効率よく改質反応を行うことができる。
【００５１】
（モジュール収容装置）
次に、モジュール２０と、モジュール２０を作動させるための補機（図示せず）とを外装ケースに収納してなるモジュール収容装置２５について図５を用いて説明する。
【００５２】
図５に示すモジュール収容装置２５は、支柱２６と外装板２７から構成される外装ケース内を仕切板２８により上下に区画している。仕切板２８の上方側が、上述したモジュール２０を収納するモジュール収納室２９とされ、下方側がモジュール２０を作動させるための補機を収納する補機収納室３０とされている。なお、補機収納室３０に収納する補機は省略している。
【００５３】
また、仕切板２８には、補機収納室３０の空気をモジュール収納室２９側に流すための空気流通口３１が設けられており、モジュール収納室２９を構成する外装板２７の一部に、モジュール収納室２９内の空気を排気するための排気口３２が設けられている。
【００５４】
以上、本開示について詳細に説明したが、本開示は上述の実施の形態に限定されるものではなく、本開示の要旨を逸脱しない範囲内において、種々の変更、改良等が可能である。
【００５５】
例えば、上記形態では、セルスタック装置１の導電部材４を本開示の導電部材として説明したが、本開示の導電部材は燃料電池用に限定されるものではなく、高温の酸化性雰囲気で使用される用途、例えば酸素センサ用の導電部材に用いることができる。さらに、上記実施形態では、いわゆる中空平板型縦縞セル３を用いたが、中空平板型横縞セル、円筒型のセル又は平板型の燃料電池を用いることもできる。
【００５６】
また、上記形態ではセル及びモジュールならびにモジュール収容装置について説明したが、本開示はこれに限定されるものではない。例えば、電解セルに水蒸気と電圧とを付与して水蒸気（水）を電気分解することにより、水素と酸素（Ｏ２）を生成する電解セル（ＳＯＥＣ）及びこの電解セルを備える電解モジュール及び電解装置にも適用することができる。
【実施例】
【００５７】
＜実施例１＞
（作製方法）
被覆層におけるＺｒ含有濃度がそれぞれ異なる複数の導電部材を表１に示すように、６個作製した。【００５８】
具体的な作製方法を説明する。Ｚｒ酸化物が３０ｐｐｍ含有（Ｚｒ酸化物の濃度とは、Ｚｒの酸化物換算での濃度をさす）されているＺｎ（Ｃｏ０．５Ｍｎ０．５）２Ｏ４微粒子材料（原料）１５ｇを、ジルコニアボールを用いて、表１で示す所定の周速かつ所定の時間でビーズミル循環を行うことにより、イソプロパノール５０ｍｌに分散させた。バインダとしてヒドロキシプロピルセルロースを添加したスラリーを調製した。【００５９】
塗膜形成工程は、ディップコーター（株式会社アイデン社製ＤＣ４２００）を用い室温にて行った。フェライト系ステンレス鋼の基体を吊り下げ保持した状態で、前記スラリー中に浸漬した後、引き上げ速度３６ｍｍ／ｓで引き上げることにより被覆層の前駆体を形成した。得られた被覆層の前駆体は、完全乾燥させるのに大気開放状態（２５℃、６２％ＲＨ）で約６００秒（完全乾燥時間）要した。【００６０】
完全乾燥してから、再度同様の条件でディップし、合計５回ディップを繰り返した。【００６１】
ディップ後、５０℃に調整した恒温槽中で乾燥させた。そして、乾燥後の導電部材を、電気炉を使用して１０００℃で２時間焼成し、その後除冷して試験に用いる被覆層を有する導電部材を得た。【００６２】
（試験方法）
試験方法として、まず、被覆層が設けられた導電部材と空気極層材料とを接合した状態で、大気雰囲気中において１０００〜１１５０℃の焼成温度で２時間焼成処理を行うとともに、集電部として白金メッシュを付設して試験用セルとした。【００６３】
この試験用セルの両側から、ＳＯＦＣの作動時を想定して、大気雰囲気中で一定温度で保持した状態で０．２４Ａ／ｃｍ2の直流電流を流し続け、電気抵抗値をモニタリングした。【００６４】
なお、ここでの電気抵抗は、導電部材自体の抵抗と空気極層材料、集電に用いた白金メッシュの抵抗の合計値である。【００６５】
【表１】
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【００６６】
（結果）
Ｚｒの酸化物換算濃度が５０００ｐｐｍよりも高い濃度であった試料Ｎｏ．１における電気抵抗は３６．７ｍΩであったのに対し、Ｚｒの酸化物換算濃度が５０００ｐｐｍである試料Ｎｏ．２における電気抵抗は３５．４ｍΩであり、Ｚｒの酸化物換算濃度を５０００ｐｐｍ以下とすることで、電気抵抗を低減できることが確認できた。あわせて、Ｚｒの酸化物換算濃度が２５００ｐｐｍである試料Ｎｏ．４における電気抵抗は、３０．３ｍΩであり、さらにＺｒの酸化物換算濃度が５００ｐｐｍ以下である試料Ｎｏ．６における電気抵抗は２２．８ｍΩと、さらに電気抵抗を低減できることが確認できた。【００６７】
＜実施例２＞
（作製方法）
ＺｒについてのＥＰＭＡ解析の半定量マッピングにおいて、測定感度のカウント数が１．２５以上の面積比がそれぞれ異なる被覆層を有する導電部材を、表２に示すように４個作製した。【００６８】
具体的な作製方法を説明する。それぞれの試料ごとにＺｒ含有濃度が異なるＺｎ（Ｃｏ０．５Ｍｎ０．５）２Ｏ４微粒子材料（原料）１５ｇをジルコニアボールを用いて、所定の周速かつ所定の時間でビーズミル循環を行うことにより、イソプロパノール５０ｍｌに分散させた。表２に、各試料におけるＺｎ（Ｃｏ０．５Ｍｎ０．５）２Ｏ４微粒子材料に含有されるＺｒ濃度並びにビーズミル循環の周速及び時間を示した。この後は上述する実施例１と同様に作製した。【００６９】
なお、ＺｒについてのＥＰＭＡ解析の半定量マッピングにおいて、測定感度のカウント数が１．２５以上の面積比がそれぞれ異なる複数の導電部材を当該作製方法により作製することができた明確な理由は明らかではないが、Ｚｎ（Ｃｏ０．５Ｍｎ０．５）２Ｏ４微粒子材料に含まれていたＺｒの分散状態に依存しているものと推測される。【００７０】
（測定方法）
ＺｒにおけるＥＰＭＡ解析の半定量マッピングを、日本電子製Ｘ線マイクロアナライザＪＸＡ−８５３０Ｆを用いて測定した。なお、加速電圧は１５．０（ｋＶ）、照射電流は１×１０−７（Ａ）、回転は１．１、時間は１０（ｍｓ）、測定範囲は５μｍ（ｘ軸）×２４μｍ（ｙ軸）、インターバルは、０．０９３８μｍ（ｘ軸）×０．０９３８μｍ（ｙ軸）とした。【００７１】
【表２】
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【００７２】
（結果）
カウント数１．２５以上の面積％が０．１９である試料Ｎｏ．１の電気抵抗は３２．７ｍΩであったのに対し、カウント数１．２５以上の面積％が０．２５である試料Ｎｏ．２の電気抵抗は２９．１ｍΩであり、カウント数１．２５以上の面積％を０．２５以上とすることで、より電気抵抗を低減できることが確認できた。さらに、カウント数１．２５以上の面積％が０．４である試料Ｎｏ．４の電気抵抗は２６．６ｍΩであり、電気抵抗をより低減できることが確認できた。
【符号の説明】
【００７３】
１：セルスタック装置
２：セルスタック
３：セル
４：導電部材
４１：基体
４３：被覆層
６：マニホールド
１３：導電性接合材
２０：モジュール
２１：収納容器
２５：モジュール収容装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【国際調査報告】
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