【事件の表示】
　特許第５７９７３１３号発明「回生サーキュレータ、高周波電源装置、及び高周波電力の回生方法」の特許異議申立事件について、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第５７９７３１３号の特許請求の範囲を訂正請求書に添付された訂正特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項〔１−８〕、〔９−１６〕、〔１７−２１〕について訂正することを認める。
　特許第５７９７３１３号の請求項２ないし８、１０ないし１６、１８ないし２１に係る特許を維持する。
　特許第５７９７３１３号の請求項１、９、１７に係る特許についての特許異議の申立を却下する。
【理　由】
１．手続の経緯  
　本件特許第５７９７３１３号に係る出願は、平成２６年８月２５日の出願であって、平成２７年８月２８日に特許の設定登録がなされた。 
　これに対して、特許異議申立人より平成２８年４月１９日に、本件請求項１ないし２１に係る発明の特許について特許異議の申立がなされ、平成２８年７月１２日付で取消理由が通知され（発送日：平成２８年７月１５日）、これに対し特許権者より平成２８年８月２６日付で意見書及び訂正請求書が提出され、平成２８年１０月２６日付で取消理由が通知され（発送日：平成２８年１１月１日）、これに対し特許権者より平成２８年１２月８日付で意見書及び訂正請求書が提出されたものである。なお、特許異議申立人は意見書提出を希望していない。
２．訂正の適否についての判断
（１）訂正の内容 
　平成２８年８月２６日付の訂正請求は特許法第１２０条の５第７項の規定により取り下げたものとみなすので、平成２８年１２月８日付の訂正請求による訂正（以下、「本件訂正」という。）の内容は以下のとおりである。
ア　請求項１〜８からなる一群の請求項に係る訂正
（ア）訂正事項１
　特許請求の範囲の請求項１を削除する。
（イ）訂正事項２
　特許請求の範囲の請求項２に「前記回生サーキュレータの入力端の前記伝送経路上の接続位置は、前記伝送経路上においてインピーダンス不整合により発生する定在波の腹部分に相当する位置であり、前記回生サーキュレータは、回生サーキュレータの入力端の電圧と設定電圧との比較に基づいて、前記伝送経路に対して並列インピーダンスを構成し、前記並列インピーダンスは前記接続位置から高周波電力を片方向で取り込み回生することを特徴とする、請求項１に記載の回生サーキュレータ。」とあるのを、独立形式に改め、「高周波電源の高周波増幅回路と高周波負荷との間の伝送経路上から高周波電力を回生する回生サーキュレータであり、前記回生サーキュレータの入力端は前記伝送経路上に接続され、前記回生サーキュレータは、回生サーキュレータの入力端の電圧と設定電圧との比較に基づいて、前記伝送経路に対して並列インピーダンスを構成し、前記回生サーキュレータの入力端の前記伝送経路上の接続位置は、前記伝送経路上においてインピーダンス不整合により発生する定在波の腹部分に相当する位置であり、前記回生サーキュレータは、回生サーキュレータの入力端の電圧と設定電圧との比較に基づいて、前記伝送経路に対して並列インピーダンスを構成し、前記並列インピーダンスは前記接続位置から高周波電力を片方向で取り込み回生することを特徴とする、回生サーキュレータ。」に訂正する。
（ウ）訂正事項３
　特許請求の範囲の請求項３に「前記回生サーキュレータの入力端の前記伝送経路上の接続位置は、高周波増幅回路の出力端から、前記伝送経路上において前記高周波電源が出力する高周波の波長（λ）の４分の１波長（λ／４）の奇数倍の電気長の位置であり、前記回生サーキュレータは、回生サーキュレータの入力端の電圧と設定電圧との比較に基づいて、前記伝送経路に対して並列インピーダンスを構成し、前記並列インピーダンスは前記接続位置から高周波電力を片方向で取り込み回生することを特徴とする、請求項１又は２に記載の回生サーキュレータ。」とあるうち、請求項１に従属するものについて、独立形式に改め、「高周波電源の高周波増幅回路と高周波負荷との間の伝送経路上から高周波電力を回生する回生サーキュレータであり、前記回生サーキュレータの入力端は前記伝送経路上に接続され、前記回生サーキュレータは、回生サーキュレータの入力端の電圧と設定電圧との比較に基づいて、前記伝送経路に対して並列インピーダンスを構成し、前記回生サーキュレータの入力端の前記伝送経路上の接続位置は、前記伝送経路上においてインピーダンス不整合により発生する定在波の腹部分に相当する位置であり、前記回生サーキュレータは、回生サーキュレータの入力端の電圧と設定電圧との比較に基づいて、前記伝送経路に対して並列インピーダンスを構成し、前記並列インピーダンスは前記接続位置から高周波電力を片方向で取り込み回生することを特徴とする、回生サーキュレータ。」に訂正する。
（エ）訂正事項４
　特許請求の範囲の請求項４に「前記伝送経路から高周波電力を片方向に取り込む方向性結合器を備え、前記方向性結合器は、回生サーキュレータの入力端の電圧と設定電圧との比較に基づいて前記伝送経路から高周波電力を取り込み、回生動作中において、回生サーキュレータの入力端の電圧の上限を設定電圧に制限することを特徴とする、請求項１から３の何れか一つに記載の回生サーキュレータ。」とあるのを、「前記伝送経路から高周波電力を片方向に取り込む方向性結合器を備え、前記方向性結合器は、回生サーキュレータの入力端の電圧と設定電圧との比較に基づいて前記伝送経路から高周波電力を取り込み、回生動作中において、回生サーキュレータの入力端の電圧の上限を設定電圧に制限することを特徴とする、請求項２又は３に記載の回生サーキュレータ。」に訂正する。
イ　請求項９〜１６からなる一群の請求項に係る訂正
（ア）訂正事項１
　特許請求の範囲の請求項９を削除する。
（イ）訂正事項２
　特許請求の範囲の請求項１０に「前記回生サーキュレータの入力端の前記伝送経路上の接続位置は、前記伝送経路上においてインピーダンス不整合により発生する定在波の腹部分に相当する位置であり、前記回生サーキュレータは、回生サーキュレータの入力端の電圧と設定電圧との比較に基づいて、前記伝送経路に対して並列インピーダンスを構成し、前記並列インピーダンスは前記接続位置から高周波電力を取り込み回生することを特徴とする、請求項９に記載の高周波電源装置。」とあるのを、独立形式に改め、「高周波負荷に高周波電力を供給する高周波電源と、前記高周波電源が備える高周波増幅回路と高周波負荷との間の伝送経路から高周波電力を片方向に取り込んで回生する回生サーキュレータを備え、前記回生サーキュレータの入力端は前記伝送経路上に接続され、前記回生サーキュレータは、回生サーキュレータの入力端の電圧と設定電圧との比較に基づいて、前記伝送経路に対して並列インピーダンスを構成し、前記回生サーキュレータの入力端の前記伝送経路上の接続位置は、前記伝送経路上においてインピーダンス不整合により発生する定在波の腹部分に相当する位置であり、前記回生サーキュレータは、回生サーキュレータの入力端の電圧と設定電圧との比較に基づいて、前記伝送経路に対して並列インピーダンスを構成し、前記並列インピーダンスは前記接続位置から高周波電力を取り込み回生することを特徴とする高周波電源装置。」に訂正する。
（ウ）訂正事項３
　特許請求の範囲の請求項１１に「前記回生サーキュレータの入力端の前記伝送経路上の接続位置は、高周波増幅回路の出力端から、前記伝送経路上において前記高周波電源が出力する高周波の波長（λ）の４分の１波長（λ／４）の奇数倍の電気長の位置であり、前記回生サーキュレータは、回生サーキュレータの入力端の電圧と設定電圧との比較に基づいて、前記伝送経路に対して並列インピーダンスを構成し、前記並列インピーダンスは前記接続位置から高周波電力を片方向で取り込み回生することを特徴とする、請求項９又は１０に記載の高周波電源装置。」とあるうち、請求項９に従属するものについて、独立形式に改め、「高周波負荷に高周波電力を供給する高周波電源と、前記高周波電源が備える高周波増幅回路と高週波負荷との間の伝送経路から高周波電力を片方向に取り込んで回生する回生サーキュレータを備え、前記回生サーキュレータの入力端は前記伝送経路上に接続され、前記回生サーキュレータは、回生サーキュレータの入力端の電圧と設定電圧との比較に基づいて、前記伝送経路に対して並列インピーダンスを構成し、前記回生サーキュレータの入力端の前記伝送経路上の接続位置は、高周波増幅回路の出力端から、前記伝送経路上において前記高周波電源が出力する高周波の波長（λ）の４分の１波長（λ／４）の奇数倍の電気長の位置であり、前記回生サーキュレータは、回生サーキュレータの入力端の電圧と設定電圧との比較に基づいて、前記伝送経路に対して並列インピーダンスを構成し、前記並列インピーダンスは前記接続位置から高周波電力を片方向で取り込み回生することを特徴とする高周波電源装置。」に訂正する。
（エ）訂正事項４
　特許請求の範囲の請求項１２に「前記伝送経路から高周波電力を片方向に取り込む方向性結合器を備え、前記方向性結合器は、回生サーキュレータの入力端の電圧と設定電圧と比較に基づいて前記伝送経路から高周波電力を取り込み、回生動作中において、回生サーキュレータの入力端の電圧の上限を設定電圧に制限することを特徴とする、請求項９〜１１の何れか一つに記載の高周波電源装置。」とあるのを、「前記伝送経路から高周波電力を片方向に取り込む方向性結合器を備え、前記方向性結合器は、回生サーキュレータの入力端の電圧と設定電圧との比較に基づいて前記伝送経路から高周波電力を取り込み、回生動作中において、回生サーキュレータの入力端の電圧の上限を設定電圧に制限することを特徴とする、請求項１０又は１１に記載の高周波電源装置。」に訂正する。
ウ　請求項１７〜２１からなる一群の請求項に係る訂正
（ア）訂正事項１
　特許請求の範囲の請求項１７を削除する。
（イ）訂正事項２
　特許請求の範囲の請求項１８に「前記回生サーキュレータにおいて、入力端を前記伝送経路上において、前記伝送経路上においてインピーダンス不整合により発生する定在波の腹部分に相当する位置に接続し、前記回生サーキュレータの入力端の電圧と設定電圧との比較に基づいて、前記伝送経路に対して並列インピーダンスを構成し、前記並列インピーダンスによって前記接続位置から高周波電力を取り込み回生することを特徴とする、請求項１７に記載の高周波電力の回生方法。」とあるのを、独立形式に改め、「高周波電源の高周波増幅回路と高周波負荷との間の伝送経路上から高周波電力を回生サーキュレータによって回生する方法であり、前記回生サーキュレータの入力端を前記伝送経路上に接続し、前記回生サーキュレータの入力端の電圧と設定電圧との比較に基づいて、前記電送経路に対して並列インピーダンスを構成し、前記回生サーキュレータにおいて、入力端を前記伝送経路上において、前記伝送経路上においてインピーダンス不整合により発生する定在波の腹部分に相当する位置に接続し、前記回生サーキュレータの入力端の電圧と設定電圧との比較に基づいて、前記伝送経路に対して並列インピーダンスを構成し、前記並列インピーダンスによって前記接続位置から高周波電力を取り込み回生することを特徴とする高周波電力の回生方法。」に訂正する。
（ウ）訂正事項３
　特許請求の範囲の請求項１９に「前記回生サーキュレータにおいて、入力端を前記伝送経路上において、高周波増幅回路の出力端から、前記伝送経路上において前記高周波電源が出力する高周波の波長（λ）の４分の１波長（λ／４）の奇数倍の電気長の位置に接続し、前記回生サーキュレータの入力端の電圧と設定電圧との比較に基づいて、前記伝送経路に対して並列インピーダンスを構成し、前記並列インピーダンスによって前記接続位置から高周波電力を片方向で取り込み回生することを特徴とする、請求項１７又は１８に記載の高周波電力の回生方法。」とあるうち、請求項１７に従属するものについて、独立形式に改め、「高周波電源の高周波増幅回路と高周波負荷との間の伝送経路上から高周波電力を回生サーキュレータによって回生する方法であり、前記回生サーキュレータの入力端を前記伝送経路上に接続し、前記回生サーキュレータの入力端の電圧と設定電圧との比較に基づいて、前記伝送経路に対して並列インピーダンスを構成し、前記回生サーキュレータにおいて、入力端を前記伝送経路上において、高周波増幅回路の出力端から、前記伝送経路上において前記高周波電源が出力する高周波の波長（λ）の４分の１波長（λ／４）の奇数倍の電気長の位置に接続し、前記回生サーキュレータの入力端の電圧と設定電圧との比較に基づいて、前記伝送経路に対して並列インピーダンスを構成し、前記並列インピーダンスによって前記接続位置から高周波電力を片方向で取り込み回生することを特徴とする高周波電力の回生方法。」に訂正する。
（エ）訂正事項４
　特許請求の範囲の請求項２０に「前記並列インピーダンスによって、回生サーキュレータの入力端の電圧と設定電圧との比較に基づいて前記伝送経路から高周波電力を取り込み、回生動作中において、回生サーキュレータの入力端の電圧の上限を設定電圧に制限することを特徴とする、請求項１７〜１９の何れか一つに記載の高周波電力の回生方法。」とあるのを、「前記並列インピーダンスによって、回生サーキュレータの入力端の電圧と設定電圧との比較に基づいて前記伝送経路から高周波電力を取り込み、回生動作中において、回生サーキュレータの入力端の電圧の上限を設定電圧に制限することを特徴とする、請求項１８又は１９に記載の高周波電力の回生方法。」に訂正する。
（オ）訂正事項５
　特許請求の範囲の請求項２１に「高周波電力の交流出力を直流に変換した後に回生することを特徴とする、請求項１７〜１９の何れか一つに記載の高周波電力の回生方法。」とあるのを、「高周波電力の交流出力を直流に変換した後に回生することを特徴とする、請求項１８又は１９に記載の高周波電力の回生方法。」に訂正する。
（２）訂正の目的の適否、一群の請求項、新規事項の有無、及び特許請求の範囲の拡張・変更の存否 
ア．一群の請求項について 
　訂正前の請求項１〜８において、訂正前の請求項２〜８は、訂正前の請求項１を引用しているものであって、訂正によって訂正前の請求項１が削除されることに伴い訂正されるものであり、訂正前の請求項９〜１６において、訂正前の請求項１０〜１６は、訂正前の請求項９を引用しているものであって、訂正によって訂正前の請求項９が削除されることに伴い訂正されるものであり、訂正前の請求項１７〜２１において、訂正前の請求項１８〜２１は、訂正前の請求項１７を引用しているものであって、訂正によって訂正前の請求項１７が削除されることに伴い訂正されるものであるから、これらの訂正は一群の請求項ごとに請求されたものであり、特許法第１２０条の５第９項で準用する第１２６条第４項に適合するものである。
イ．訂正の適否 
（ア）請求項１〜８からなる一群の請求項に係る訂正の適否
ａ　訂正事項１
（ａ）　訂正事項１は特許請求の範囲の請求項１を削除するものであり、特許請求の範囲を減縮しようとするものであるから、当該訂正事項１は、特許法第１２０条の５第２項ただし書き第１号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
（ｂ）　上記（ａ）の理由から明らかなように、訂正事項１は特許請求の範囲の請求項１を削除するものであって、カテゴリーや対象、目的を変更するものではないから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものに該当せず、特許法第１２０条の５第９項で準用する第１２６条第６項に適合するものである。
（ｃ）　訂正事項１は特許請求の範囲の請求項１を削除するものであるから、当該訂正事項１は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第１２０条の５第９項で準用する第１２６条第５項に適合するものである。
（ｄ）　本件は、訂正前の全ての請求項１〜２１について特許異議申立がされているので、訂正前の請求項１に係る訂正事項１に関して、特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第７項の独立特許要件は課されない。
ｂ　訂正事項２
（ａ）　訂正事項２は、訂正前の請求項２が訂正前の請求項１の記載を引用する記載であったものを、独立形式請求項へ改めるための訂正であって、特許法第１２０条の５第２項ただし書き第４号に規定する「他の請求項の記載を引用する請求項の記載を当該他の請求項の記載を引用しないものとすること」を目的とするものである。
（ｂ）　上記（ａ）の理由から明らかなように、訂正事項２は引用関係を解消する訂正であり、カテゴリーや対象、目的を変更するものではないから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものに該当せず、特許法第１２０条の５第９項で準用する第１２６条第６項に適合するものである。
（ｃ）　訂正事項２は引用関係を解消する訂正であるから、当該訂正事項２は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第１２０条の５第９項で準用する第１２６条第５項に適合するものである。
（ｄ）　本件は、訂正前の全ての請求項１〜２１について特許異議申立がされているので、訂正前の請求項２に係る訂正事項２に関して、特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第７項の独立特許要件は課されない。
ｃ　訂正事項３
（ａ）　訂正事項３は、訂正前の請求項３が訂正前の請求項１または２の記載を引用する記載であったものを、請求項間の引用関係を解消し、請求項１を引用するものについて、独立形式請求項へ改めるための訂正であって、特許法第１２０条の５第２項ただし書き第４号に規定する「他の請求項の記載を引用する請求項の記載を当該他の請求項の記載を引用しないものとすること」を目的とするものである。
（ｂ）　上記（ａ）の理由から明らかなように、訂正事項３は引用関係を解消する訂正であり、カテゴリーや対象、目的を変更するものではないから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものに該当せず、特許法第１２０条の５第９項で準用する第１２６条第６項に適合するものである。
（ｃ）　訂正事項３は引用関係を解消する訂正であるから、当該訂正事項３は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第１２０条の５第９項で準用する第１２６条第５項に適合するものである。
（ｄ）　本件は、訂正前の全ての請求項１〜２１について特許異議申立がされているので、訂正前の請求項３に係る訂正事項３に関して、特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第７項の独立特許要件は課されない。
ｄ　訂正事項４
（ａ）　訂正事項４は、訂正前の請求項４が訂正前の請求項１から３の何れか一つの記載を引用する記載であったものを、訂正前の請求項１を引用しないものとし、訂正前の請求項２又は３の従属形式請求項へ改めるための訂正であって、特許法第１２０条の５第２項ただし書き第４号に規定する「他の請求項の記載を引用する請求項の記載を当該他の請求項の記載を引用しないものとすること」を目的とするものである。
（ｂ）　上記（ａ）の理由から明らかなように、訂正事項４は訂正前の請求項１についての引用関係を解消する訂正であり、カテゴリーや対象、目的を変更するものではないから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものに該当せず、特許法第１２０条の５第９項で準用する第１２６条第６項に適合するものである。
（ｃ）　訂正事項４は訂正前の請求項１についての引用関係を解消する訂正であるから、当該訂正事項４は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第１２０条の５第９項で準用する第１２６条第５項に適合するものである。
（ｄ）　本件は、訂正前の全ての請求項１〜２１について特許異議申立がされているので、訂正前の請求項４に係る訂正事項４に関して、特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第７項の独立特許要件は課されない。
（イ）請求項９〜１６からなる一群の請求項に係る訂正の適否
ａ　訂正事項１
（ａ）　訂正事項１は特許請求の範囲の請求項９を削除するものであり、特許請求の範囲を減縮しようとするものであるから、当該訂正事項１は、特許法第１２０条の５第２項ただし書き第１号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
（ｂ）　上記（ａ）の理由から明らかなように、訂正事項１は特許請求の範囲の請求項９を削除するものであって、カテゴリーや対象、目的を変更するものではないから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものに該当せず、特許法第１２０条の５第９項で準用する第１２６条第６項に適合するものである。
（ｃ）　訂正事項１は特許請求の範囲の請求項９を削除するものであるから、当該訂正事項１は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第１２０条の５第９項で準用する第１２６条第５項に適合するものである。
（ｄ）　本件は、訂正前の全ての請求項１〜２１について特許異議申立がされているので、訂正前の請求項９に係る訂正事項１に関して、特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第７項の独立特許要件は課されない。
ｂ　訂正事項２
（ａ）　訂正事項２は、訂正前の請求項１０が訂正前の請求項９の記載を引用する記載であったものを、独立形式請求項へ改めるための訂正であって、特許法第１２０条の５第２項ただし書き第４号に規定する「他の請求項の記載を引用する請求項の記載を当該他の請求項の記載を引用しないものとすること」を目的とするものである。
（ｂ）　上記（ａ）の理由から明らかなように、訂正事項２は引用関係を解消する訂正であり、カテゴリーや対象、目的を変更するものではないから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものに該当せず、特許法第１２０条の５第９項で準用する第１２６条第６項に適合するものである。
（ｃ）　訂正事項２は引用関係を解消する訂正であるから、当該訂正事項２は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第１２０条の５第９項で準用する第１２６条第５項に適合するものである。
（ｄ）　本件は、訂正前の全ての請求項１〜２１について特許異議申立がされているので、訂正前の請求項１０に係る訂正事項２に関して、特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第７項の独立特許要件は課されない。
ｃ　訂正事項３
（ａ）　訂正事項３は、訂正前の請求項１１が訂正前の請求項９または１０の記載を引用する記載であったものを、請求項間の引用関係を解消し、請求項９を引用するものについて、独立形式請求項へ改めるための訂正であって、特許法第１２０条の５第２項ただし書き第４号に規定する「他の請求項の記載を引用する請求項の記載を当該他の請求項の記載を引用しないものとすること」を目的とするものである。
（ｂ）　上記（ａ）の理由から明らかなように、訂正事項３は引用関係を解消する訂正であり、カテゴリーや対象、目的を変更するものではないから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものに該当せず、特許法第１２０条の５第９項で準用する第１２６条第６項に適合するものである。
（ｃ）　訂正事項３は引用関係を解消する訂正であるから、当該訂正事項３は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第１２０条の５第９項で準用する第１２６条第５項に適合するものである。
（ｄ）　本件は、訂正前の全ての請求項１〜２１について特許異議申立がされているので、訂正前の請求項１１に係る訂正事項３に関して、特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第７項の独立特許要件は課されない。
ｄ　訂正事項４
（ａ）　訂正事項４は、訂正前の請求項１２が訂正前の請求項９〜１１の何れか一つの記載を引用する記載であったものを、訂正前の請求項９を引用しないものとし、訂正前の請求項１０又は１１の従属形式請求項へ改めるための訂正であって、特許法第１２０条の５第２項ただし書き第４号に規定する「他の請求項の記載を引用する請求項の記載を当該他の請求項の記載を引用しないものとすること」を目的とするものである。
（ｂ）　上記（ａ）の理由から明らかなように、訂正事項４は訂正前の請求項９についての引用関係を解消する訂正であり、カテゴリーや対象、目的を変更するものではないから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものに該当せず、特許法第１２０条の５第９項で準用する第１２６条第６項に適合するものである。
（ｃ）　訂正事項４は訂正前の請求項９についての引用関係を解消する訂正であるから、当該訂正事項４は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第１２０条の５第９項で準用する第１２６条第５項に適合するものである。
（ｄ）　本件は、訂正前の全ての請求項１〜２１について特許異議申立がされているので、訂正前の請求項１２に係る訂正事項４に関して、特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第７項の独立特許要件は課されない。
（ウ）請求項１７〜２１からなる一群の請求項に係る訂正の適否
ａ　訂正事項１
（ａ）　訂正事項１は特許請求の範囲の請求項１７を削除するものであり、特許請求の範囲を減縮しようとするものであるから、当該訂正事項１は、特許法第１２０条の５第２項ただし書き第１号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
（ｂ）　上記（ａ）の理由から明らかなように、訂正事項１は特許請求の範囲の請求項１７を削除するものであって、カテゴリーや対象、目的を変更するものではないから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものに該当せず、特許法第１２０条の５第９項で準用する第１２６条第６項に適合するものである。
（ｃ）　訂正事項１は特許請求の範囲の請求項１７を削除するものであるから、当該訂正事項１は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第１２０条の５第９項で準用する第１２６条第５項に適合するものである。
（ｄ）　本件は、訂正前の全ての請求項１〜２１について特許異議申立がされているので、訂正前の請求項１７に係る訂正事項１に関して、特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第７項の独立特許要件は課されない。
ｂ　訂正事項２
（ａ）　訂正事項２は、訂正前の請求項１８が訂正前の請求項１７の記載を引用する記載であったものを、独立形式請求項へ改めるための訂正であって、特許法第１２０条の５第２項ただし書き第４号に規定する「他の請求項の記載を引用する請求項の記載を当該他の請求項の記載を引用しないものとすること」を目的とするものである。
（ｂ）　上記（ａ）の理由から明らかなように、訂正事項２は引用関係を解消する訂正であり、カテゴリーや対象、目的を変更するものではないから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものに該当せず、特許法第１２０条の５第９項で準用する第１２６条第６項に適合するものである。
（ｃ）　訂正事項２は引用関係を解消する訂正であるから、当該訂正事項２は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第１２０条の５第９項で準用する第１２６条第５項に適合するものである。
（ｄ）　本件は、訂正前の全ての請求項１〜２１について特許異議申立がされているので、訂正前の請求項１８に係る訂正事項２に関して、特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第７項の独立特許要件は課されない。
ｃ　訂正事項３
（ａ）　訂正事項３は、訂正前の請求項１９が訂正前の請求項１７または１８の記載を引用する記載であったものを、請求項間の引用関係を解消し、請求項１７を引用するものについて、独立形式請求項へ改めるための訂正であって、特許法第１２０条の５第２項ただし書き第４号に規定する「他の請求項の記載を引用する請求項の記載を当該他の請求項の記載を引用しないものとすること」を目的とするものである。
（ｂ）　上記（ａ）の理由から明らかなように、訂正事項３は引用関係を解消する訂正であり、カテゴリーや対象、目的を変更するものではないから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものに該当せず、特許法第１２０条の５第９項で準用する第１２６条第６項に適合するものである。
（ｃ）　訂正事項３は引用関係を解消する訂正であるから、当該訂正事項３は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第１２０条の５第９項で準用する第１２６条第５項に適合するものである。
（ｄ）　本件は、訂正前の全ての請求項１〜２１について特許異議申立がされているので、訂正前の請求項１９に係る訂正事項３に関して、特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第７項の独立特許要件は課されない。
ｄ　訂正事項４
（ａ）　訂正事項４は、訂正前の請求項２０が訂正前の請求項１７〜１９の何れか一つの記載を引用する記載であったものを、訂正前の請求項１７を引用しないものとし、訂正前の請求項１８又は１９の従属形式請求項へ改めるための訂正であって、特許法第１２０条の５第２項ただし書き第４号に規定する「他の請求項の記載を引用する請求項の記載を当該他の請求項の記載を引用しないものとすること」を目的とするものである。
（ｂ）　上記（ａ）の理由から明らかなように、訂正事項４は訂正前の請求項１７についての引用関係を解消する訂正であり、カテゴリーや対象、目的を変更するものではないから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものに該当せず、特許法第１２０条の５第９項で準用する第１２６条第６項に適合するものである。
（ｃ）　訂正事項４は訂正前の請求項１７についての引用関係を解消する訂正であるから、当該訂正事項４は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第１２０条の５第９項で準用する第１２６条第５項に適合するものである。
（ｄ）　本件は、訂正前の全ての請求項１〜２１について特許異議申立がされているので、訂正前の請求項２０に係る訂正事項４に関して、特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第７項の独立特許要件は課されない。
ｅ　訂正事項５
（ａ）　訂正事項５は、訂正前の請求項２１が訂正前の請求項１７〜１９の何れか一つの記載を引用する記載であったものを、訂正前の請求項１７を引用しないものとし、訂正前の請求項１８又は１９の従属形式請求項へ改めるための訂正であって、特許法第１２０条の５第２項ただし書き第４号に規定する「他の請求項の記載を引用する請求項の記載を当該他の請求項の記載を引用しないものとすること」を目的とするものである。
（ｂ）　上記（ａ）の理由から明らかなように、訂正事項５は請求項１７についての引用関係を解消する訂正であり、カテゴリーや対象、目的を変更するものではないから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものに該当せず、特許法第１２０条の５第９項で準用する第１２６条第６項に適合するものである。
（ｃ）　訂正事項５は請求項１７についての引用関係を解消する訂正であるから、当該訂正事項５は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第１２０条の５第９項で準用する第１２６条第５項に適合するものである。
（ｄ）　本件は、訂正前の全ての請求項１〜２１について特許異議申立がされているので、訂正前の請求項２１に係る訂正事項５に関して、特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第７項の独立特許要件は課されない。
（３）むすび 
　したがって、本件訂正は特許法第１２０条の５第２項第１号及び第４号に掲げる事項を目的とするものであり、かつ、同条第９項において準用する同法第１２６条第４項〜第６項の規定に適合するので、本件訂正を認める。
 ３．特許異議の申立について 
 （１）本件発明 
　本件訂正により訂正された請求項１ないし２１に係る発明（以下、請求項順に「本件発明１」、「本件発明２」等という。）は、特許請求の範囲の請求項１ないし２１に記載された以下のとおりのものである。
「【請求項１】
（削除）
【請求項２】
　高周波電源の高周波増幅回路と高周波負荷との間の伝送経路上から高周波電力を回生する回生サーキュレータであり、
　前記回生サーキュレーターの入力端は前記伝送経路上に接続され、
　前記回生サーキュレータは、回生サーキュレータの入力端の電圧と設定電圧との比較に基づいて、前記伝送経路に対して並列インピーダンスを構成し、
　前記回生サーキュレータの入力端の前記伝送経路上の接続位置は、前記伝送経路上においてインピーダンス不整合により発生する定在波の腹部分に相当する位置であり、
　前記回生サーキュレータは、回生サーキュレータの入力端の電圧と設定電圧との比較に基づいて、前記伝送経路に対して並列インピーダンスを構成し、
　前記並列インピーダンスは前記接続位置から高周波電力を片方向で取り込み回生することを特徴とする、回生サーキュレータ。
【請求項３】
　高周波電源の高周波増幅回路と高周波負荷との間の伝送経路上から高周波電力を回生する回生サーキュレータであり、
　前記回生サーキュレータの入力端は前記伝送経路上に接続され、
　前記回生サーキュレータは、回生サーキュレータの入力端の電圧と設定電圧との比較に基づいて、前記伝送経路に対して並列インピーダンスを構成し、
　前記回生サーキュレータの入力端の前記伝送経路上の接続位置は、高周波増幅回路の出力端から、前記伝送経路上において前記高周波電源が出力する高周波の波長（λ）の４分の１波長（λ／４）の奇数倍の電気長の位置であり、
　前記回生サーキュレータは、回生サーキュレータの入力端の電圧と設定電圧との比較に基づいて、前記伝送経路に対して並列インピーダンスを構成し、
　前記並列インピーダンスは前記接続位置から高周波電力を片方向で取り込み回生することを特徴とする、回生サーキュレータ。
【請求項４】
　前記伝送経路から高周波電力を片方向に取り込む方向性結合器を備え、
　前記方向性結合器は、回生サーキュレータの入力端の電圧と設定電圧との比較に基づいて前記伝送経路から高周波電力を取り込み、
　回生動作中において、回生サーキュレータの入力端の電圧の上限を設定電圧に制限することを特徴とする、請求項２又は３に記載の回生サーキュレータ。
【請求項５】
　前記方向性結合器は変成器を備え、
　前記変成器の巻き数比は、前記設定電圧と回生サーキュレータの出力端の電圧の電圧比に基づく値であることを特徴とする、請求項４に記載の回生サーキュレータ。
【請求項６】
　前記変成器の交流出力を直流に変換する整流器を備えることを特徴とする、請求項５に記載の回生サーキュレータ。
【請求項７】
　前記変成器の２次側にコンデンサを並列に備えることを特徴とする、請求項５又は６に記載の回生サーキュレータ。
【請求項８】
　前記整流器の後段に直流リアクトルを直列に備えることを特徴とする、請求項６に記載の回生サーキュレータ。
【請求項９】
　（削除）
【請求項１０】
　高周波負荷に高周波電力を供給する高周波電源と、
　前記高周波電源が備える高周波増幅回路と高周波負荷との間の伝送経路から高周波電力を片方向に取り込んで回生する回生サーキュレータを備え、
前記回生サーキュレータの入力端は前記伝送経路上に接続され、
　前記回生サーキュレータは、回生サーキュレータの入力端の電圧と設定電圧との比較に基づいて、前記伝送経路に対して並列インピーダンスを構成し、
　前記回生サーキュレータの入力端の前記伝送経路上の接続位置は、前記伝送経路上においてインピーダンス不整合により発生する定在波の腹部分に相当する位置であり、
　前記回生サーキュレータは、回生サーキュレータの入力端の電圧と設定電圧との比較に基づいて、前記伝送経路に対して並列インピーダンスを構成し、
　前記並列インピーダンスは前記接続位置から高周波電力を取り込み回生することを特徴とする、高周波電源装置。
【請求項１１】
　高周波負荷に高周波電力を供給する高周波電源と、
　前記高周波電源が備える高周波増幅回路と高周波負荷との間の伝送経路から高周波電力を片方向に取り込んで回生する回生サーキュレータを備え、　
　前記回生サーキュレータの入力端は前記伝送経路上に接続され、
　前記回生サーキュレータは、回生サーキュレータの入力端の電圧と設定電圧との比較に基づいて、前記伝送経路に対して並列インピーダンスを構成し、
　前記回生サーキュレータの入力端の前記伝送経路上の接続位置は、高周波増幅回路の出力端から、前記伝送経路上において前記高周波電源が出力する高周波の波長（λ）の４分の１波長（λ／４）の奇数倍の電気長の位置であり、
　前記回生サーキュレータは、回生サーキュレータの入力端の電圧と設定電圧との比較に基づいて、前記伝送経路に対して並列インピーダンスを構成し、
　前記並列インピーダンスは前記接続位置から高周波電力を片方向で取り込み回生することを特徴とする、高周波電源装置。
【請求項１２】
　前記伝送経路から高周波電力を片方向に取り込む方向性結合器を備え、
　前記方向性結合器は、回生サーキュレータの入力端の電圧と設定電圧との比較に基づいて前記伝送経路から高周波電力を取り込み、
　回生動作中において、回生サーキュレータの入力端の電圧の上限を設定電圧に制限することを特徴とする、請求項１０又は１１に記載の高周波電源装置。
【請求項１３】
　前記方向性結合器は変成器を備え、
　前記変成器の巻き数比は、前記設定電圧と回生サーキュレータの出力端の電圧の電圧比に基づく値であることを特徴とする、請求項１２に記載の高周波電源装置。
【請求項１４】
　前記変成器の交流出力を直流に変換する整流器を備えることを特徴とする、請求項１３に記載の高周波電源装置。
【請求項１５】
　前記変成器の２次側にコンデンサを並列に備えることを特徴とする、請求項１３又は１４に記載の高周波電源装置。
【請求項１６】
　前記整流器の後段に直流リアクトルを直列に備えることを特徴とする、請求項１４に記載の高周波電源装置。
【請求項１７】
（削除）
【請求項１８】
　高周波電源の高周波増幅回路と高周波負荷との間の伝送経路上から高周波電力を回生サーキュレータによって回生する方法であり、
　前記回生サーキュレータの入力端を前記伝送経路上に接続し、
　前記回生サーキュレータの入力端の電圧と設定電圧との比較に基づいて、前記伝送経路に対して並列インピーダンスを構成し、
　前記回生サーキュレータにおいて、入力端を前記伝送経路上において、前記伝送経路上においてインピーダンス不整合により発生する定在波の腹部分に相当する位置に接続し、
　前記回生サーキュレータの入力端の電圧と設定電圧との比較に基づいて、前記伝送経路に対して並列インピーダンスを構成し、
　前記並列インピーダンスによって前記接続位置から高周波電力を取り込み回生することを特徴とする、高周波電力の回生方法。
【請求項１９】
高周波電源の高周波増幅回路と高周波負荷との間の伝送経路上から高周波電力を回生サーキュレータによって回生する方法であり、前記回生サーキュレータの入力端を前記伝送経路上に接続し、
　前記回生サーキュレータの入力端の電圧と設定電圧との比較に基づいて、前記伝送経路に対して並列インピーダンスを構成し、
前記回生サーキュレータにおいて、入力端を前記伝送経路上において、高周波増幅回路の出力端から、前記伝送経路上において前記高周波電源が出力する高周波の波長（λ）の４分の１波長（λ／４）の奇数倍の電気長の位置に接続し、
　前記回生サーキュレータの入力端の電圧と設定電圧との比較に基づいて、前記伝送経路に対して並列インピーダンスを構成し、
　前記並列インピーダンスによって前記接続位置から高周波電力を片方向で取り込み回生することを特徴とする、高周波電力の回生方法。
【請求項２０】
　前記並列インピーダンスによって、回生サーキュレータの入力端の電圧と設定電圧との比較に基づいて前記伝送経路から高周波電力を取り込み、
　回生動作中において、回生サーキュレータの入力端の電圧の上限を設定電圧に制限することを特徴とする、請求項１８又は１９に記載の高周波電力の回生方法。
【請求項２１】
　高周波電力の交流出力を直流に変換した後に回生することを特徴とする、請求項１８又は１９に記載の高周波電力の回生方法。」
（２）取消理由 
　訂正前の請求項１、３、４、９、１１、１２、１７、１９、２０、２１に係る特許に対して平成２８年１０月２６日付で通知した取消理由の概要は以下のとおりである。 
「本件特許の願書に添付した明細書、特許請求の範囲及び図面の記載が下記の点で、特許法第３６条第４項及び第６項に規定する要件を満たしていない。 
 　  
 　　　　　　　　　　　　　　　　　記  
（１）請求項１（設定登録時）は、「高周波電源の高周波増幅回路と高周波負荷との間の伝送経路上から高周波電力を回生する回生サーキュレータであり、前記回生サーキュレータの入力端は前記伝送経路上に接続され、前記回生サーキュレータは、回生サーキュレータの入力端の電圧と設定電圧との比較に基づいて、前記伝送経路に対して並列インピーダンスを構成し、前記並列インピーダンスは前記接続位置から高周波電力を片方向で取り込み回生することを特徴とする、回生サーキュレータ。」と記載されているから、回生サーキュレータが定在波を用いずに電力を回生するものが含まれることとなる。
　しかし、発明の詳細な説明には、回生サーキュレータの入力端が定在波の腹の部分に相当する位置に接続されるものしか開示がなく、回生サーキュレータの入力端が伝送経路上に接続されていれば、接続位置が定在波の腹の部分に相当する位置に接続されていなくてもよいものを含んだ請求項１の記載は、発明の詳細な説明に記載したものではない（請求項１＋請求項２、又は、請求項１＋請求項３しか、開示が無いのではないか。）から、特許法第３６条第６項第１号に規定する要件を満たしていない。請求項９、１７も同様である。
　更に、請求項１を引用する請求項４、請求項９を引用する請求項１２、請求項１７を引用する２０、２１も同様である。
（２）請求項１（設定登録時）が、仮に回生サーキュレータが定在波を用いるものであるとしても、回生サーキュレータの入力端が定在波の節の部分に相当する位置に接続されれば回生は行われないから、定在波を用いる回生サーキュレータの入力端が単に伝送経路上に接続されている場合、どの様にして回生を行うのか発明の詳細な説明にも何ら開示が無く不明であるから、請求項１の記載は明確ではないので、特許法第３６条第６項第２号に規定する要件を満たしておらず、また、発明の詳細な説明の記載は当業者が実施できる程度に明確かつ十分に記載したものではないので、特許法第３６条第４項第１号に規定する要件を満たしていない。請求項９、１７も同様である。特許異議申立書「（４）〈請求項１〉（ｅ）」（２９−３１頁）参照のこと。
（３）請求項１（設定登録時）を引用する請求項２を引用する請求項３は、伝送経路の端部がオープン状態で定在波が腹の位置に回生サーキュレータを接続すれば、高周波増幅回路の出力端から伝送経路上において高周波電源が出力する高周波の波長（λ）の４分の１波長（λ／４）の奇数倍の位置は定在波の節の位置になり、所望の効果を奏することはできず、何故この様な回生サーキュレータの接続を行うのか不明であり、又、請求項２に記載の事項は第１の態様に相当するものであり、請求項３に記載の事項は第２の態様に相当するものであるが、第１の態様と第２の態様を両方同時に行うことは発明の詳細な説明に記載が無い。請求項１１、１９も同様である。特許異議申立書「（４）〈請求項３〉（ｂ）」（３３−３４頁）参照のこと。」
（３）取消理由に対する当審の判断
　本件訂正により、取消理由の対象であった、訂正前の請求項１、９、１７が削除されると共に、請求項間の引用関係を解消することによって、訂正前の請求項１を引用する訂正前の請求項４、訂正前の請求項９を引用する訂正前の請求項１２、訂正前の請求項１７を引用する訂正前の請求項２０、訂正前の請求項１７を引用する訂正前の請求項２１、訂正前の請求項１を引用する訂正前の請求項２を引用する訂正前の請求項３、訂正前の請求項９を引用する訂正前の請求項１０を引用する訂正前の請求項１１、訂正前の請求項１７を引用する訂正前の請求項１８を引用する訂正前の請求項１９が存在しなくなった。
　そうすると、取消理由の対象が存在しなくなったので、取消理由では当該請求項に係る特許を取り消すことはできない。
（４）採用しなかった特許異議申立理由 
　特許異議申立人が提出した甲第３号証（Tadashi Suetsugu Clamping of Switch Peak Voltage with Diode and Transformer at Output of Class E Amplifier for Renewable Energy Applications,INTERNATIONAL JOURNAL of RENEWABLE ENERGY RESEARCH,vol.3,No.2,2013,Page359-363）には集中定数回路のみが示されており、分布定数回路を前提とする本件特許とは全く技術的に異なるものであるから、本件発明４、５、１２、１３、２０が甲第３号証に記載された発明とすることはできず、本件発明２、３、６−８、１０、１１、１３−１６、１８、１９−２１が甲第３号証に記載されたものに基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとは認められない。
　特許異議申立人が提出した甲第１号証（国際公開２０１１／０５２６５３号）には、高周波電力回生装置であって、サーキュレータが伝送経路の一部を構成しているから、「高周波電源の高周波増幅回路と高周波負荷との間の伝送経路上から高周波電力を回生する回生サーキュレータであり、前記回生サーキュレータの入力端は前記伝送経路上に接続され」との構成を採用することはできず、本件発明２−８、１０−１６、１８−２１が甲第１号証に記載されたものに基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとは認められない。
　特許異議申立人は、特許異議申立書において、請求項３−８、１１−１６、１９−２１には、伝送経路の端部がショート状態にあることが記載されていないから、実施できない発明が含まれている旨主張するが、高周波の波長（λ）の４分の１波長（λ／４）の奇数倍の電気長を採用することは、伝送経路の端部がショート状態であることを意味しており、しかも伝送経路の端部がショート状態にあるか否かは回路構成ではなく回路の使用状況を示すものであるから、発明の構成は明確であり、特許法第３６条第４項第１号及び第６項第１号及び第２号に規定する要件を満たしており、請求人の主張に理由はない。
（５）むすび 
　以上のとおりであるから、取消理由通知に記載した取消理由及び特許異議申立書に記載された特許異議申立理由によっては、本件請求項２−８、１０−１６、１８−２１に係る特許を取り消すことはできない。 
　さらに、他に本件請求項２−８、１０−１６、１８−２１に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　また、本件請求項１、９、１７に係る特許は、訂正により削除されたため、本件請求項１、９、１７に対して、特許異議申立人がした特許異議の申立てについては、対象となる請求項が存在しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成２９年２月２２日（２０１７．２．２２）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】
（削除）
　【請求項２】
　
高周波電源の高周波増幅回路と高周波負荷との間の伝送経路上から高周波電力を回生する回生サーキュレータであり、
　前記回生サーキュレータの入力端は前記伝送経路上に接続され、
　前記回生サーキュレータは、回生サーキュレータの入力端の電圧と設定電圧との比較に基づいて、前記伝送経路に対して並列インピーダンスを構成し、
　前記回生サーキュレータの入力端の前記伝送経路上の接続位置は、前記伝送経路上においてインピーダンス不整合により発生する定在波の腹部分に相当する位置であり、
　前記回生サーキュレータは、回生サーキュレータの入力端の電圧と設定電圧との比較に基づいて、前記伝送経路に対して並列インピーダンスを構成し、
　前記並列インピーダンスは前記接続位置から高周波電力を片方向で取り込み回生することを特徴とする、回生サーキュレータ。
　【請求項３】
　
高周波電源の高周波増幅回路と高周波負荷との間の伝送経路上から高周波電力を回生する回生サーキュレータであり、
　前記回生サーキュレータの入力端は前記伝送経路上に接続され、
　前記回生サーキュレータは、回生サーキュレータの入力端の電圧と設定電圧との比較に基づいて、前記伝送経路に対して並列インピーダンスを構成し、
　前記回生サーキュレータの入力端の前記伝送経路上の接続位置は、高周波増幅回路の出力端から、前記伝送経路上において前記高周波電源が出力する高周波の波長（λ）の４分の１波長（λ／４）の奇数倍の電気長の位置であり、　前記回生サーキュレータは、回生サーキュレータの入力端の電圧と設定電圧との比較に基づいて、前記伝送経路に対して並列インピーダンスを構成し、
　前記並列インピーダンスは前記接続位置から高周波電力を片方向で取り込み回生することを特徴とする、回生サーキュレータ。
　【請求項４】
　前記伝送経路から高周波電力を片方向に取り込む方向性結合器を備え、
　前記方向性結合器は、回生サーキュレータの入力端の電圧と設定電圧との比較に基づいて前記伝送経路から高周波電力を取り込み、
　回生動作中において、回生サーキュレータの入力端の電圧の上限を設定電圧に制限することを特徴とする、
請求項２又は３に
　【請求項５】
　前記方向性結合器は変成器を備え、
　前記変成器の巻き数比は、前記設定電圧と回生サーキュレータの出力端の電圧の電圧比に基づく値であることを特徴とする、請求項４に記載の回生サーキュレータ。
　【請求項６】
　前記変成器の交流出力を直流に変換する整流器を備えることを特徴とする、請求項５に記載の回生サーキュレータ。
　【請求項７】
　前記変成器の２次側にコンデンサを並列に備えることを特徴とする、請求項５又は６に記載の回生サーキュレータ。
　【請求項８】
　前記整流器の後段に直流リアクトルを直列に備えることを特徴とする、請求項６に記載の回生サーキュレータ。
　【請求項９】
（削除）
　【請求項１０】
　高周波負荷に高周波電力を供給する高周波電源と、
　前記高周波電源が備える高周波増幅回路と高周波負荷との間の伝送経路から高周波電力を片方向に取り込んで回生する回生サーキュレータを備え、
　前記回生サーキュレータの入力端は前記伝送経路上に接続され、
　前記回生サーキュレータは、回生サーキュレータの入力端の電圧と設定電圧との比較に基づいて、前記伝送経路に対して並列インピーダンスを構成し、
　前記回生サーキュレータの入力端の前記伝送経路上の接続位置は、前記伝送経路上においてインピーダンス不整合により発生する定在波の腹部分に相当する位置であり、
　前記回生サーキュレータは、回生サーキュレータの入力端の電圧と設定電圧との比較に基づいて、前記伝送経路に対して並列インピーダンスを構成し、
　前記並列インピーダンスは前記接続位置から高周波電力を取り込み回生することを特徴とする、高周波電源装置。
　【請求項１１】
　高周波負荷に高周波電力を供給する高周波電源と、
　前記高周波電源が備える高周波増幅回路と高周波負荷との間の伝送経路から高周波電力を片方向に取り込んで回生する回生サーキュレータを備え、
　前記回生サーキュレータの入力端は前記伝送経路上に接続され、
　前記回生サーキュレータは、回生サーキュレータの入力端の電圧と設定電圧との比較に基づいて、前記伝送経路に対して並列インピーダンスを構成し、
　前記回生サーキュレータの入力端の前記伝送経路上の接続位置は、高周波増幅回路の出力端から、前記伝送経路上において前記高周波電源が出力する高周波の波長（λ）の４分の１波長（λ／４）の奇数倍の電気長の位置であり、
　前記回生サーキュレータは、回生サーキュレータの入力端の電圧と設定電圧との比較に基づいて、前記伝送経路に対して並列インピーダンスを構成し、
　前記並列インピーダンスは前記接続位置から高周波電力を片方向で取り込み回生することを特徴とする、高周波電源装置。
　【請求項１２】
　前記伝送経路から高周波電力を片方向に取り込む方向性結合器を備え、
　前記方向性結合器は、回生サーキュレータの入力端の電圧と設定電圧との比較に基づいて前記伝送経路から高周波電力を取り込み、
　回生動作中において、回生サーキュレータの入力端の電圧の上限を設定電圧に制限することを特徴とする、
請求項１０又は１１に
　【請求項１３】
　前記方向性結合器は変成器を備え、
　前記変成器の巻き数比は、前記設定電圧と回生サーキュレータの出力端の電圧の電圧比に基づく値であることを特徴とする、請求項１２に記載の高周波電源装置。
　【請求項１４】
　前記変成器の交流出力を直流に変換する整流器を備えることを特徴とする、請求項１３に記載の高周波電源装置。
　【請求項１５】
　前記変成器の２次側にコンデンサを並列に備えることを特徴とする、請求項１３又は１４に記載の高周波電源装置。
　【請求項１６】
　前記整流器の後段に直流リアクトルを直列に備えることを特徴とする、請求項１４に記載の高周波電源装置。
　【請求項１７】
（削除）
　【請求項１８】
　
高周波電源の高周波増幅回路と高周波負荷との間の伝送経路上から高周波電力を回生サーキュレータによって回生する方法であり、
　前記回生サーキュレータの入力端を前記伝送経路上に接続し、
　前記回生サーキュレータの入力端の電圧と設定電圧との比較に基づいて、前記伝送経路に対して並列インピーダンスを構成し、
　前記回生サーキュレータにおいて、入力端を前記伝送経路上において、前記伝送経路上においてインピーダンス不整合により発生する定在波の腹部分に相当する位置に接続し、
　前記回生サーキュレータの入力端の電圧と設定電圧との比較に基づいて、前記伝送経路に対して並列インピーダンスを構成し、
　前記並列インピーダンスによって前記接続位置から高周波電力を取り込み回生することを特徴とする、高周波電力の回生方法。
　【請求項１９】
高周波電源の高周波増幅回路と高周波負荷との間の伝送経路上から高周波電力を回生サーキュレータによって回生する方法であり、
　前記回生サーキュレータの入力端を前記伝送経路上に接続し、
　前記回生サーキュレータの入力端の電圧と設定電圧との比較に基づいて、前記伝送経路に対して並列インピーダンスを構成し、
前記回生サーキュレータにおいて、入力端を前記伝送経路上において、高周波増幅回路の出力端から、前記伝送経路上において前記高周波電源が出力する高周波の波長（λ）の４分の１波長（λ／４）の奇数倍の電気長の位置に接続し、
　前記回生サーキュレータの入力端の電圧と設定電圧との比較に基づいて、前記伝送経路に対して並列インピーダンスを構成し、
　前記並列インピーダンスによって前記接続位置から高周波電力を片方向で取り込み回生することを特徴とする、高周波電力の回生方法。
　【請求項２０】
　前記並列インピーダンスによって、回生サーキュレータの入力端の電圧と設定電圧との比較に基づいて前記伝送経路から高周波電力を取り込み、
　回生動作中において、回生サーキュレータの入力端の電圧の上限を設定電圧に制限することを特徴とする、
請求項１８又は１９に
　【請求項２１】
　高周波電力の交流出力を直流に変換した後に回生することを特徴とする、
請求項１８又は１９に