(57)【要約】  同期リニアモータ１０１は、磁性体からなる複数の突極１１を有する固定子３と、空隙ｇを介して突極１１に対向して配置された可動子２とを備え、可動子２は、磁性体からなるコア１４、複数のコイル６および移動方向Ａに沿って並べられた複数の永久磁石５を有し、コア１４は、コアバック８から突極１１に向かって突出する複数のティース７を具備し、コイル６は、移動方向Ａ両端側のティース７に少なくとも巻回され、永久磁石５は、ティース７の中央部にティース７の突出方向に沿って配置され、永久磁石５の磁極が有する極性は、隣り合う永久磁石５において対向する磁極が有する極性と同じであり、永久磁石５において異なる形状の数、または永久磁石５において異なる磁気特性の数は、２つ以上であるものである。
2017169046.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基部およびこの基部から突出し磁性体からなる複数の突極を有する固定子と、
空隙を介して前記複数の突極に対向して配置された可動子とを備え、
前記複数の突極は、前記可動子の移動方向に沿って互いに離間して配置され、
前記可動子は、磁性体からなるコア、複数のコイルおよび前記移動方向に沿って並べられた複数の永久磁石を有し、
前記コアは、コアバックおよび前記コアバックから前記突極に向かって突出し前記移動方向に沿って並べられた複数のティースを具備し、
前記複数のコイルは、前記移動方向両端側の前記ティースに少なくとも巻回され、
前記複数の永久磁石は、それぞれ前記ティースの中央部に前記ティースの突出方向に沿って配置され、
前記永久磁石の磁極が有する極性は、隣り合う前記永久磁石において対向する磁極が有する極性と同じであり、
前記複数の永久磁石において異なる形状の数、または前記複数の永久磁石において異なる磁気特性の数は、２つ以上である同期リニアモータ。
【請求項２】
前記複数の永久磁石において異なる形状の数が２つ以上である場合には、
前記複数の永久磁石の前記移動方向における厚さ、または前記複数の永久磁石の前記移動方向と前記ティースの突出方向とに垂直な方向における幅が異なる請求項１に記載の同期リニアモータ。
【請求項３】
同じ形状または同じ磁気特性の前記複数の永久磁石が、前記可動子における前記移動方向幅の中央に対して対称となる位置の前記ティースに配置されている請求項１に記載の同期リニアモータ。
【請求項４】
前記複数の永久磁石において異なる形状の数が２つ以上である場合には、
前記可動子における前記移動方向両端側に配置された前記永久磁石の前記移動方向における厚さと、前記可動子における前記移動方向両端側から２番目に配置された前記永久磁石の前記移動方向における厚さとが異なる請求項３に記載の同期リニアモータ。
【請求項５】
前記複数の永久磁石において異なる形状の数が２つ以上である場合には、
前記可動子における前記移動方向両端側に配置された前記永久磁石の前記移動方向と前記ティースの突出方向とに垂直な方向における幅と、前記可動子における前記移動方向両端側から２番目に配置された前記永久磁石の前記移動方向と前記ティースの突出方向とに垂直な方向における幅とが異なる請求項３に記載の同期リニアモータ。
【請求項６】
前記複数の永久磁石において異なる磁気特性の数が２つ以上である場合には、
前記可動子における前記移動方向両端側に配置された前記永久磁石の残留磁束密度と、前記可動子における前記移動方向両端側から２番目に配置された前記永久磁石の残留磁束密度とが異なる請求項３に記載の同期リニアモータ。
【請求項７】
前記複数の永久磁石において異なる磁気特性の数が２つ以上である場合には、
前記可動子における前記移動方向両端側に配置された前記永久磁石の着磁率と、前記可動子における前記移動方向両端側から２番目に配置された前記永久磁石の着磁率とが異なる請求項３に記載の同期リニアモータ。
【請求項８】
前記可動子における前記移動方向両端側に配置された前記永久磁石の形状と、前記可動子における前記移動方向両端側から２番目に配置された前記永久磁石の形状とが同じ、または前記可動子における前記移動方向両端側に配置された前記永久磁石の磁気特性と、前記可動子における前記移動方向両端側から２番目に配置された前記永久磁石の磁気特性とが同じ請求項３に記載の同期リニアモータ
【請求項９】
前記複数の永久磁石において異なる形状の数が３つ以上である場合には、
前記可動子における前記移動方向両端側に配置された前記永久磁石の前記移動方向における厚さと、前記可動子における前記移動方向両端側から２番目に配置された前記永久磁石の前記移動方向における厚さと、前記可動子における前記移動方向両端側から３番目に配置された前記永久磁石の前記移動方向における厚さとがそれぞれ異なる請求項３に記載の同期リニアモータ。
【請求項１０】
前記複数の永久磁石において異なる形状の数が３つ以上である場合には、
前記可動子における前記移動方向両端側に配置された前記永久磁石の前記移動方向に垂直な方向における幅と、前記可動子における前記移動方向両端側から２番目に配置された前記永久磁石の前記移動方向に垂直な方向における幅と、前記可動子における前記移動方向両端側から３番目に配置された前記永久磁石の前記移動方向に垂直な方向における幅とがそれぞれ異なる請求項３に記載の同期リニアモータ。
【請求項１１】
前記複数の永久磁石において異なる磁気特性の数が３つ以上である場合には、
前記可動子における前記移動方向両端側に配置された前記永久磁石の残留磁束密度と、前記可動子における前記移動方向両端側から２番目に配置された前記永久磁石の残留磁束密度と、前記可動子における前記移動方向両端側から３番目に配置された前記永久磁石の残留磁束密度とがそれぞれ異なる請求項３に記載の同期リニアモータ。
【請求項１２】
前記複数の永久磁石において異なる磁気特性の数が３つ以上である場合には、
前記可動子における前記移動方向両端側に配置された前記永久磁石の着磁率と、前記可動子における前記移動方向両端側から２番目に配置された前記永久磁石の着磁率と、前記可動子における前記移動方向両端側から３番目に配置された前記永久磁石の着磁率とがそれぞれ異なる請求項３に記載の同期リニアモータ。
【請求項１３】
前記可動子に対向する前記複数の突極の数は、整数である請求項１から請求項１２のいずれか１項に記載の同期リニアモータ。
【請求項１４】
前記コアは、前記移動方向に沿って並べられた複数の分割コアからなり、
前記複数の分割コアは、それぞれ前記コアバックおよび前記ティースを具備する請求項１から請求項１３のいずれか１項に記載の同期リニアモータ。
【請求項１５】
前記コアは、隣り合う前記ティース同士の間の前記コアバックにおいて分割されている請求項１４に記載の同期リニアモータ。
【請求項１６】
前記コアは、前記ティースにおいて分割されている請求項１４に記載の同期リニアモータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、固定子とこの固定子に対向する可動子とを備えた同期リニアモータに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、工作機械のテーブル送り装置や半導体製造装置における搬送機器に用いられるアクチュエータに対して、高速化および高精度位置決め等の要求が高まっている。このため、工作機械や半導体製造装置などには、リニアモータが用いられる例が多い。また、リニアモータは、変速機を介さずに装置を駆動するダイレクト駆動で用いられる。よって、回転型サーボモータとボールネジとを組み合わせた回転機構を直線運動に変換する駆動方式に比べて、ボールネジのバックラッシュによる剛性の低下がなく高応答性を実現できる。このため、リニアモータによる高速度、高加速度、および高精度位置決めが可能である。【０００３】
従来のリニアモータは、固定子と、この固定子に一定の空隙を保って対向し固定子に対して相対的に移動する可動子とを備えている。可動子は、磁性体からなる複数の分割コアの各ティースにコイルを巻回して構成されている。固定子は、磁性体からなる鉄心と、空隙方向に着磁された永久磁石とを有している。永久磁石は、可動子の移動方向に沿って一定の距離を保って配置されている。また、隣り合う永久磁石の着磁方向は、互いに異なっている。【０００４】
前述したリニアモータを有する搬送機器は、可動子の移動距離が長くなるにつれて永久磁石の数が増加するため、コストが増加しやすい。このコストの増加を抑制するため、従来、固定子に配置されていた永久磁石は、可動子の分割コアのティースに配置されている。また、分割コアにコイルを巻回して構成された可動子と、突極を有する鉄心を有する固定子とによって構成されたリニアモータがある（例えば、特許文献１、２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００９―１９５１０４号公報
【特許文献２】特開２００９―１９５１０３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１、２に開示されるリニアモータでは、永久磁石が配置されコイルが巻回されていない補助分割コアが、可動子の移動方向の両端側に配置されている。さらに、補助分割コアに配置された永久磁石の形状と、コイルが巻かれている分割コアに配置された永久磁石の形状とが異なっている。また、補助分割コアと固定子との空隙の長さと、コイルが巻かれている分割コアと固定子との空隙の長さとが異なっている。これらの構成によって、永久磁石と可動子のコアとの間に発生するコギング推力が低減されている。【０００７】
しかしながら、可動子における移動方向の両端側に配置された補助分割コアによって、可動子の体積を表す可動子の体格が大きくなり、移動方向における可動子の移動可能範囲であるストロークが減少するという課題があった。
また、可動子の質量が補助分割コアの分だけ増加し、リニアモータの推力を可動子の質量で割った値である推力密度が低下するため、加速度も低下してしまうという課題があった。【０００８】
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、可動子の体格が大きくなることによるストロークの減少と、可動子の質量が増加することによる推力密度の低下とを抑制しながら、コギング推力を低減する同期リニアモータを得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
この発明に係る同期リニアモータは、
基部およびこの基部から突出し磁性体からなる複数の突極を有する固定子と、
空隙を介して複数の突極に対向して配置された可動子とを備え、
複数の突極は、可動子の移動方向に沿って互いに離間して配置され、
可動子は、磁性体からなるコア、複数のコイルおよび移動方向に沿って並べられた複数の永久磁石を有し、
コアは、コアバックおよびコアバックから突極に向かって突出し移動方向に沿って並べられた複数のティースを具備し、
複数のコイルは、移動方向両端側のティースに少なくとも巻回され、
複数の永久磁石は、それぞれティースの中央部にティースの突出方向に沿って配置され、
永久磁石の磁極が有する極性は、隣り合う永久磁石において対向する磁極が有する極性と同じであり、
複数の永久磁石において異なる形状の数、または複数の永久磁石において異なる磁気特性の数は、２つ以上を有する。
【発明の効果】
【００１０】
上記のように構成された同期リニアモータは、可動子の移動方向両端側に補助分割コアが配置されないため、可動子の体格の増加によるストロークの減少と、可動子の質量の増加による推力密度の低下を抑制できる。また、複数の永久磁石において異なる形状の数、または複数の永久磁石において異なる磁気特性の数が、２つ以上であるため、コアで発生するコギング推力の位相を変化させることができ、可動子が発生するコギング推力を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】この発明の実施の形態１における同期リニアモータを示す斜視図である。
【図２】この発明の実施の形態１における同期リニアモータにおける電磁鋼板の積層方向に垂直な断面図である。
【図３】この発明の実施の形態１における同期リニアモータの隣接する分割コアの半分割コア同士が一体となっている構成の電磁鋼板の積層方向に垂直な断面図である。
【図４】この発明の実施の形態１における同期リニアモータの１つの分割コアの半分割コア同士がコアバックで一体となっている構成の電磁鋼板の積層方向に垂直な断面図である。
【図５】この発明の実施の形態１における同期リニアモータの隣接する分割コアの半分割コア同士がティース先端部で一体となっている構成の電磁鋼板の積層方向に垂直な断面図である。
【図６】この発明の実施の形態１における同期リニアモータに対する第１比較例の同期リニアモータの可動子の電磁鋼板の積層方向に垂直な断面図である。
【図７】この発明の実施の形態１における同期リニアモータに対する第２比較例の同期リニアモータで発生するコギング推力波形の図である。
【図８】この発明の実施の形態１における同期リニアモータに対する第１比較例で発生するコギング推力波形の図である。
【図９】この発明の実施の形態１における同期リニアモータに対する第１比較例と第２比較例とにおけるコギング推力の比較図である。
【図１０】この発明の実施の形態１における同期リニアモータに対する第２比較例の各分割コアに発生する１次のコギング推力ベクトルのフェーザー図である。
【図１１】この発明の実施の形態１における同期リニアモータに対する第１比較例の各分割コアに発生する１次のコギング推力ベクトルのフェーザー図である。
【図１２】この発明の実施の形態１における同期リニアモータに対する第１比較例と第２比較例とにおける各分割コアのギャップ面に発生する磁束密度の比較図である。
【図１３】この発明の実施の形態１における同期リニアモータの各分割コアに発生する１次のコギング推力ベクトルのフェーザー図である。
【図１４】この発明の実施の形態１における同期リニアモータおよび第１比較例における１次のコギング推力の比較図である。
【図１５】この発明の実施の形態１における同期リニアモータの第１変形例における可動子の電磁鋼板の積層方向に垂直な断面図である。
【図１６】この発明の実施の形態１における同期リニアモータの第２変形例における可動子の電磁鋼板の積層方向に垂直な断面図である。
【図１７】この発明の実施の形態１における同期リニアモータに対する第１比較例とこの発明の第１変形例と第２変形例とにおける１次のコギング推力の比較図である。
【図１８】この発明の実施の形態１における同期リニアモータの第３変形例における可動子の電磁鋼板の積層方向に垂直な断面図である。
【図１９】この発明の実施の形態１における同期リニアモータの第１変形例における永久磁石が進行方向に分割された可動子の積層方向に垂直な断面図である。
【図２０】この発明の実施の形態２における同期リニアモータにおける可動子の電磁鋼板の積層方向および移動方向に平行な断面図であって、固定子側から見た図である。
【図２１】この発明の実施の形態２における同期リニアモータの比較例における可動子の電磁鋼板の積層方向および移動方向に平行な断面図であって、固定子側から見た図である。
【図２２】この発明の実施の形態２における同期リニアモータの第４変形例における可動子の電磁鋼板の積層方向および移動方向に平行な断面図であって、固定子側から見た図である。
【図２３】この発明の実施の形態２における同期リニアモータにおける図２０に示した永久磁石が電磁鋼板よりも長い場合の一例の断面図である。
【図２４】この発明の実施の形態２における同期リニアモータにおける図２０に示した永久磁石が積層方向に分割された場合の一例の断面図である。
【図２５】この発明の実施の形態２における同期リニアモータにおける図２０に示した永久磁石が積層方向に分割された場合の別の例の断面図である。
【図２６】この発明の実施の形態１，２に対する永久磁石が突出方向に長さが異なる同期リニアモータの一例の積層方向に垂直な断面図である。
【図２７】この発明の実施の形態１，２に対する永久磁石が突出方向に長さが異なる同期リニアモータの別の例の積層方向に垂直な断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の同期リニアモータの好適な実施の形態につき図面を用いて説明する。
実施の形態１．
図１は、この発明を実施するための実施の形態１における同期リニアモータを示す斜視図である。図１において、同期リニアモータ１０１は、可動子２と、固定子３とを備えている。同期リニアモータ１０１の可動子２は、図示しないスライダ等で支持されている。
このため、可動子２は、固定子３に対して移動方向Ａに沿って相対的に移動可能となっている。図１において、積層方向Ｂは、可動子２の移動方向Ａとティース７の突出方向とに垂直な方向である。
【００１３】
可動子２は、電磁鋼板が積層方向Ｂに沿って積層されて積層鉄心として構成された磁性体からなる６個の分割コア４と、６個の分割コア４にそれぞれ配置された６個の永久磁石５と、６個の分割コア４にそれぞれ巻回された６個のコイル６とを有している。６個の永久磁石５は、移動方向Ａに沿って並べられている。また、６個の分割コア４は、移動方向Ａに沿って並べられて磁性体からなるコア１４を構成している。
すなわち、可動子２は、磁性体からなるコア１４、複数のコイル６および移動方向Ａに沿って並べられた複数の永久磁石５を有している。また、コア１４は、移動方向Ａに沿って並べられた複数の分割コア４からなる。
【００１４】
図２は、本実施の形態における同期リニアモータにおける電磁鋼板の積層方向に垂直な断面図である。すなわち図２は図１の積層方向Ｂに垂直な、移動方向Ａに沿った縦方向の断面図であり、以下同様である。図２において、同期リニアモータ１０１は、基部１０およびこの基部１０から突出し磁性体からなる複数の突極１１を有する固定子３と、空隙であるギャップｇを介して複数の突極１１に対向して配置された可動子２とを備えている。ここで、ギャップｇは、可動子２と固定子３との最短距離を表し、移動方向Ａに沿って一定となっている。
同期リニアモータ１０１は、巻線であるコイル６と永久磁石５とが可動子２に配置された巻線磁石可動子型同期リニアモータとなっている。
【００１５】
固定子３において、複数の突極１１は、可動子２の移動方向Ａに沿って互いに予め定められた間隔をおいて離間して配置されている。
【００１６】
可動子２において、６個の分割コア４は、それぞれコアバック８と、コアバック８から固定子３の突極１１に向かって突出するティース７とを具備している。すなわち、コア１４は、コアバック８およびコアバック８から突極１１に向かって突出し移動方向Ａに沿って並べられた複数のティース７を具備している。また、コア１４は、隣り合うティース７同士の間のコアバック８において分割されている。
図２において、分割コア４には、移動方向Ａの左側から順にそれぞれ符号（１）から（６）を便宜的に割り振っている。また、分割コア４は、ティース７およびコアバック８の中央部でさらに２つに分割されて２個の半分割コア４−１を有している。この結果、６個の分割コア４は、１２個の半分割コア４−１で構成されている。そして、半分割コア４−１は、移動方向Ａの幅の中央部で左右に分かれた半分のコアバック８と半分のティース７とで構成されている。コアバック８は、隣り合う分割コア４のコアバック８と移動方向Ａに垂直な面で接しており、溶接等で互いに固定されている。６個のティース７には、それぞれ図示しないインシュレータ等の絶縁部材を介してコイル６が１個ずつ集中的に巻回されて６個のコイルを形成している。すなわち、複数のコイル６は、移動方向Ａの両端側のティース７に少なくとも巻回されている。
【００１７】
なお、図３に示すように、分割コア４の一方の半分割コア４−１におけるコアバック８と、隣り合う分割コア４の他方の半分割コア４−１におけるコアバック８とが、連結されて一体となっていてもよい。すなわち、コア１４は、ティース７において分割されている。この場合、分割コア４の一方の半分割コア４−１と、隣り合う分割コア４の他方の半分割コア４−１とが、新しい分割コアの単位となる。
この構成によって、隣り合う分割コア４の半分割コア４−１同士を連結できるため、隣り合う半分割コア４−１のティース７における移動方向Ａおよび積層方向Ｂに垂直な方向の位置決め精度が向上し、ギャップｇの寸法精度が向上して同期リニアモータ１０１の推力がばらつくのを抑制できる。
【００１８】
また、図４に示すように、分割コア４の一方の半分割コア４−１におけるコアバック８と、同じ分割コア４の他方の半分割コア４−１におけるコアバック８とが、永久磁石５の漏れ磁束が大きくならない程度に連結されて一体となっていてもよい。また、図５に示すように、分割コア４の一方の半分割コア４−１におけるティース７と、同じ分割コア４の他方の半分割コア４−１におけるティース７とが、永久磁石５の漏れ磁束が大きくならない程度にコアバック８側と反対側の先端部などが連結されて一体となっていてもよい。
この構成によって、同じ分割コア４の半分割コア４−１同士を連結できるため、半分割コア４−１のティース７における移動方向Ａおよび積層方向Ｂに垂直な方向の位置決め精度が向上し、ギャップｇの寸法精度が向上して同期リニアモータ１０１の推力がばらつくのを抑制できる。また、半分割コア４−１から永久磁石５にかかる移動方向Ａの力が、半分割コア４−１同士が連結された部分に分散されて低減される。
【００１９】
６個の永久磁石５は、それぞれティース７の中央部にティース７の突出方向に沿って配置されている。分割コア４に配置された永久磁石５の着磁方向９は、移動方向Ａに沿っている。そして、隣り合う分割コア４に配置された永久磁石５の対向する磁極同士の極性が同じ極性となるように着磁されている。すなわち、永久磁石５の磁極が有する極性は、隣り合う永久磁石５において対向する磁極が有する極性と同じである。ここで、永久磁石５の磁極は、永久磁石５における着磁方向９の両端面であり、着磁方向９の矢印が指す方向の一端面の磁極はＮ極の極性を有し、反対側の他端面の磁極はＳ極の極性を有している。
【００２０】
移動方向Ａの両端側に位置する分割コア４に配置された永久磁石５の厚さをｈｍ１、移動方向Ａの両端側から２番目の分割コア４に配置された永久磁石５の厚さをｈｍ２、および移動方向Ａの両端側から３番目の分割コア４に配置された永久磁石５の厚さをｈｍ３とすると、ｈｍ１≠ｈｍ２である。また、ｈｍ１＝ｈｍ３となっている。すなわち、複数の永久磁石５において異なる形状の数は、２つとなっている。なお、図２では、ｈｍ１とｈｍ２との差異を視覚的に明示するため、図１よりもｈｍ１とｈｍ２との差異が強調されて示されている。
【００２１】
そして、厚さがｈｍ１である２個の永久磁石５が、可動子２における移動方向Ａの幅の中央に対して対称となる位置の分割コア４である（１）および（６）のティース７にそれぞれ配置されている。また、厚さがｈｍ２である２個の永久磁石５が、可動子２における移動方向Ａの幅の中央に対して対称となる位置の分割コア４である（２）および（５）のティース７にそれぞれ配置されている。そして、厚さがｈｍ３である２個の永久磁石５が、可動子２における移動方向Ａの幅の中央に対して対称となる位置の分割コア４である（３）および（４）のティース７にそれぞれ配置されている。すなわち、同じ形状の複数の永久磁石５が、可動子２における移動方向Ａの幅の中央に対して対称となる位置の分割コア４のティース７に配置されている。
【００２２】
このため、可動子２の両端側にコギング推力を低減するためのコイルが巻かれていない補助鉄心を設けることなく、可動子２の体積を表す同期リニアモータ１０１の可動子２の体格を小さくでき、可動子２のストロークの減少を抑制できる。また、同期リニアモータ１０１は、補助鉄心分の質量増加がないため、リニアモータの推力を可動子の質量で割った値である推力密度を低減させることがなく、加減速度を低下させることがない。
【００２３】
ここからは、本発明の効果であるコギング推力の低減について、電磁界解析の解析結果を用いて説明する。
図６は、本実施の形態における同期リニアモータに対する第１比較例の同期リニアモータの可動子の電磁鋼板の積層方向に垂直な断面図である。図６において、本実施の形態に係る同期リニアモータ１０１の構成と同じ構成には、同じ符号が割り振られている。また、図６において、同期リニアモータの第１比較例２０１は、本実施の形態に係る同期リニアモータ１０１と、以下に述べる点で異なる。同期リニアモータの第１比較例２０１において、６個の永久磁石５の移動方向Ａにおける厚さが全て等しくなっており、６個の永久磁石５の形状および磁気特性が同一となっている。すなわち、ｈｍ１＝ｈｍ２＝ｈｍ３である。
【００２４】
図７は、本実施の形態における同期リニアモータに対する第２比較例の同期リニアモータで発生するコギング推力波形の図である。図７の横軸は、移動方向Ａに沿う可動子２の移動距離を電気角で表したものである。図７の縦軸は、コギング推力[Ｎ]を表す。
同期リニアモータの第２比較例２０２は、同期リニアモータの第１比較例２０１において、可動子２および固定子３の移動方向Ａの両端側に切れ目である端がなく、可動子２および固定子３が無限に続く同期リニアモータを想定したものである。図７は、同期リニアモータの第２比較例２０２のコギング推力を電磁界解析した結果である。
【００２５】
図８は、本実施の形態における同期リニアモータに対する第１比較例で発生するコギング推力波形の図である。図８の横軸は、移動方向Ａに沿う可動子２の移動距離を電気角で表したものである。図８の縦軸は、コギング推力[Ｎ]を表す。
同期リニアモータの第１比較例２０１では、分割コア４に配置された全ての永久磁石５の形状および磁気特性が同一で、可動子２の移動方向Ａの幅が有限となっており、すなわち可動子２の移動方向Ａに両端がある。図８は、同期リニアモータの第１比較例２０１のコギング推力を電磁界解析した結果である。
【００２６】
図９は、本実施の形態における同期リニアモータに対する第１比較例と第２比較例とにおけるコギング推力の比較図である。図９の左側が可動子２に端がない第２比較例２０２の場合、右側が可動子２に両端がある第１比較例２０１の場合を表す。図９の縦軸は、コギング推力の振幅の最大値から最小値までの差（ｐｐ：Ｐｅａｋ−ｔｏ−Ｐｅａｋ）が、可動子２に端のない第２比較例２０２のコギング推力のｐｐの値を１として規格化された値[ｐ.ｕ.]を表す。図９において、可動子２に端がない第２比較例２０２のコギング推力波形のｐｐの値は、図７のコギング推力波形のｐｐの値に対応し、可動子２に両端がある第１比較例２０１のコギング推力波形のｐｐの値は、図８のコギング推力波形のｐｐの値に対応している。
【００２７】
図９から、第１比較例２０１では移動方向Ａの両端側に端があることによって、コギング推力が増加していることが分かる。これは、図８に示したように、電気角度１周期の３６０°に対して駆動周波数と同じ周波数の１次のコギング推力が発生しているためである。
【００２８】
図１０は、本実施の形態における同期リニアモータに対する第２比較例の各分割コアに発生する１次のコギング推力ベクトルのフェーザー図である。図１０の横軸は、１次のコギング推力ベクトルのｃｏｓ成分を表し、図１０の縦軸は、１次のコギング推力ベクトルのｓｉｎ成分を表す。
図１０において、可動子２が無限に続いている端のない第２比較例２０２において、可動子２の各分割コアに発生する１次のコギング推力ベクトルのフェーザー図である。ここで、図１０の（１）から（６）は、それぞれ図２に示す移動方向Ａの左側から順に（１）から（６）と対応する分割コア４に発生する１次のコギング推力ベクトルを表している。
【００２９】
図１０に示すように、第２比較例２０２における各分割コア４に発生する１次のコギング推力ベクトルは、６０°等間隔で各象限に分散している。このため、第２比較例２０２のような端のない同期リニアモータでは、各分割コア４で発生する１次のコギング推力ベクトルが相殺し、１次のコギング推力が発生しない。
【００３０】
図１１は、本実施の形態における同期リニアモータに対する第１比較例の各分割コアに発生する１次のコギング推力ベクトルのフェーザー図である。図１１の横軸は、１次のコギング推力ベクトルのｃｏｓ成分を表し、図１１の縦軸は、１次のコギング推力ベクトルのｓｉｎ成分を表す。
図１１では、図１０と異なり、１次のコギング推力ベクトルが等間隔にならず、１次のコギング推力ベクトルが相殺されないことが分かる。
図１０および図１１から、本発明者らは、１次のコギング推力ベクトルが等間隔とならない要因について分析した結果、各分割コア４と対向する固定子３とのギャップ面で発生する磁束密度が異なることが要因であることを発見した。
【００３１】
図１２は、本実施の形態における同期リニアモータに対する第１比較例と第２比較例とにおける各分割コアのギャップ面に発生する磁束密度の比較図である。図１２の横軸は、図２に示す移動方向Ａの左側から順に（１）から（６）と対応する分割コア４を表す。図１２の縦軸は、各分割コア４のギャップ面に発生する磁束密度が、可動子２に端がない第２比較例２０２の各分割コア４のギャップ面に発生する磁束密度の値を１として規格化された値[ｐ.ｕ.]を表す。図１２において、可動子２に端がない第２比較例２０２と、可動子２に両端がある第１比較例２０１とが併記されている。
【００３２】
図１２において、可動子２に端がない第２比較例２０２では、各分割コア４と対向する固定子３とのギャップ面に発生する磁束密度は等しくなっている。一方、可動子２に両端がある第１比較例２０１では、各分割コア４と対向する固定子３とのギャップ面に発生する磁束密度の値は異なっている。
以上から、可動子２に両端があることによって、各分割コア４と対向する固定子３とのギャップ面に発生する磁束密度に差異が発生していることが判明した。これによって、図１１に示すように、１次のコギング推力ベクトルの位相が変化することを発見した。
【００３３】
そこで、本発明者らは、各分割コア４と対向する固定子３とのギャップ面に発生する磁束密度を変化させることによって、１次のコギング推力ベクトルの位相を操作して、１次のコギング推力を低減できることを見出した。
【００３４】
図１３は、本実施の形態における同期リニアモータの各分割コアに発生する１次のコギング推力ベクトルのフェーザー図である。図１３の横軸は、１次のコギング推力ベクトルのｃｏｓ成分を表し、図１３の縦軸は、１次のコギング推力ベクトルのｓｉｎ成分を表す。
【００３５】
各分割コア４と対向する固定子３とのギャップ面に発生する磁束密度の値を変化させて、各分割コア４に発生する１次のコギング推力ベクトルの位相を変化させるために、本発明者らは、図２に示すように、移動方向Ａの両端側の分割コア４に配置された永久磁石５の厚さｈｍ１と、移動方向Ａの両端側から２番目の分割コア４に配置された永久磁石５の厚さｈｍ２との形状を、ｈｍ１＜ｈｍ２となるように変更して、コギング推力を電磁界解析で求めた。この結果、１次のコギング推力のフェーザー図は、第１比較例２０１の１次のコギング推力のフェーザー図である図１１に対して、図１３に変化した。このため、各分割コア４である（１）から（６）に発生する１次のコギング推力ベクトルが、互いに抑制しあう配置となった。
【００３６】
図１４は、本実施の形態における同期リニアモータおよび第１比較例における１次のコギング推力の比較図である。図１４の横軸は、可動子２に両端がある第１比較例２０１と本実施の形態に係る同期リニアモータ１０１を表す。図１４の縦軸は、１次のコギング推力の振幅が、第１比較例２０１の１次のコギング推力の振幅の値を１として規格化された値[ｐ.ｕ.]を表す。図１４において、第１比較例２０１はｈｍ１＝ｈｍ２の場合に対応し、本実施の形態に係る同期リニアモータ１０１はｈｍ１＜ｈｍ２の場合に対応している。
図１４に示すように、本実施の形態に係る同期リニアモータ１０１では、１次のコギング推力が、第１比較例２０１の１次のコギング推力に対して４０％以下に低減された。
【００３７】
図１５は、本実施の形態における同期リニアモータの第１変形例における可動子の電磁鋼板の積層方向に垂直な断面図である。図１５において、同期リニアモータの第１変形例１０２は、本実施の形態に係る同期リニアモータ１０１と、以下に述べる点で異なる。同期リニアモータの第１変形例１０２において、移動方向Ａの両端側に位置する分割コア４に配置された永久磁石５の厚さｈｍ１が、移動方向Ａの両端側から２番目の分割コア４に配置された永久磁石５の厚さｈｍ２よりも大きく、すなわち、ｈｍ１＞ｈｍ２となっている。
【００３８】
図１５に示すように、ｈｍ１＞ｈｍ２とすることによって、１次のコギング推力のベクトルの位相を、ｈｍ１＝ｈｍ２からｈｍ１＜ｈｍ２に変化する場合の位相変化の方向と反対の方向に変化させることができる。よって、分割コア４のギャップ面に発生する磁束密度の値を変更することができる。
この構成によっても、例えば、図１３に示すように、各分割コア４の（１）から（６）に発生する１次のコギング推力ベクトルが抑制しあう配置に１次のコギング推力ベクトルの位相を変化させることができる。したがって、図１４に示すように、１次のコギング推力を低減することが可能である。
【００３９】
また、上述と同様の理由によって、ｈｍ１＜ｈｍ３、ｈｍ１＞ｈｍ３、ｈｍ２＜ｈｍ３、ｈｍ２＞ｈｍ３、またはｈｍ１＜ｈｍ３およびｈｍ２＞ｈｍ３等の組合せとしても、分割コア４のギャップ面に発生する磁束密度の値を変更することできる。すなわち、複数の永久磁石５において異なる形状の数が２つ以上となっていれば、例えば、図１３に示すように、各分割コア４の（１）から（６）に発生する１次のコギング推力ベクトルが抑制しあう配置に１次のコギング推力ベクトルの位相を変化させることができる。したがって、図１４に示すように、１次のコギング推力を低減することが可能である。
【００４０】
図１６は、本実施の形態における同期リニアモータの第２変形例における可動子の電磁鋼板の積層方向に垂直な断面図である。図１６において、同期リニアモータの第２変形例１０２−２は、本実施の形態に係る同期リニアモータ１０１と、以下に述べる点で異なる。同期リニアモータの第２変形例１０２−２において、移動方向Ａの両端側に位置する分割コア４に配置された永久磁石５の厚さｈｍ１と、移動方向Ａの両端側から２番目の分割コア４に配置された永久磁石５の厚さｈｍ２と、移動方向Ａの両端側から３番目の分割コア４に配置された永久磁石５の厚さｈｍ３とが、互いに異なっている。すなわち、ｈｍ１≠ｈｍ２≠ｈｍ３となっている。
【００４１】
図１７は、本実施の形態における同期リニアモータに対する第１比較例とこの発明の第１変形例と第２変形例とにおける１次のコギング推力の比較図である。図１７の横軸は、可動子２に両端がある第１比較例２０１と、本実施の形態に係る同期リニアモータの第１変形例１０２と、本実施の形態に係る同期リニアモータの第２変形例１０２−２を表す。図１７の縦軸は、１次のコギング推力の振幅が、本実施の形態に係る同期リニアモータの第１変形例１０２の１次のコギング推力の振幅の値を１として規格化された値[ｐ.ｕ.]を表す。
【００４２】
図１６に示すように、同期リニアモータの第２変形例１０２−２において、永久磁石５の厚さｈｍ１、ｈｍ２、ｈｍ３をｈｍ１≠ｈｍ２≠ｈｍ３とすることにより、図１７に示すように、図２、１５に示した本実施の形態に係るｈｍ２＞ｈｍ１＝ｈｍ３の同期リニアモータ１０１およびｈｍ１＞ｈｍ２＝ｈｍ３の第１変形例１０２と比較して、１次のコギング推力を約７０％低減することが可能である。
なお、図１６では、永久磁石５の厚さｈｍ１、ｈｍ２、ｈｍ３の関係は、ｈｍ１＜ｈｍ２＜ｈｍ３となっているが、この組合せ以外の関係で、永久磁石５の厚さが３つ以上異なっていれば問題ない。
【００４３】
図１８は、本実施の形態における同期リニアモータの第３変形例における可動子の電磁鋼板の積層方向に垂直な断面図である。図１８において、同期リニアモータの第３変形例１０２−３は、本実施の形態に係る同期リニアモータ１０１と、以下に述べる点で異なる。同期リニアモータの第３変形例１０２−３において、移動方向Ａの両端側に位置する分割コア４に配置された永久磁石５の厚さｈｍ１と、移動方向Ａの両端側から２番目の分割コア４に配置された永久磁石５の厚さｈｍ２とが同じである。また、移動方向Ａの両端側から３番目の分割コア４に配置された永久磁石５の厚さｈｍ３と、ｈｍ１およびｈｍ２とは、異なっている。すなわち、ｈｍ１＝ｈｍ２≠ｈｍ３となっている。
【００４４】
このような同期リニアモータの第３変形例１０２−３の構成によっても、各分割コア４の（１）から（６）に発生する１次のコギング推力ベクトルが抑制しあう配置に１次のコギング推力ベクトルの位相を変化させることができる。したがって、１次のコギング推力を低減することが可能である。
【００４５】
また、永久磁石５の移動方向Ａにおける厚さｈｍを変更するため、可動子２のストロークの微調整が可能となる。
【００４６】
なお、本実施の形態における図２、図１５、図１６、図１８では、永久磁石５の厚さｈｍ１、ｈｍ２、ｈｍ３は、分割されていない永久磁石５全体の厚さで示されているが、厚さｈｍは、図１９に示すように永久磁石５を複数枚重ねた厚さとしても問題はない。
【００４７】
なお、本実施の形態に係る同期リニアモータ１０１、１０２、１０２−２、１０２−３において、図１３に示すように、１次のコギング推力ベクトルをバランスさせて１次のコギング推力を低減するためには、同じ形状の複数の永久磁石５が、可動子２における移動方向Ａの幅の中央に対して対称の位置の分割コア４に配置されているのが望ましい。
しかしながら、同じ形状の複数の永久磁石５が、可動子２における移動方向Ａの幅の中央に対して対称の位置の分割コア４に配置されていなくても、上述のように、１次のコギング推力ベクトルが抑制しあう配置に１次のコギング推力ベクトルの位相を変化させることができる。このため、１次のコギング推力を低減することが可能である。
【００４８】
なお、本実施の形態に係る同期リニアモータ１０１、１０２、１０２−２、１０２−３では、分割コア４および永久磁石５の数が６個、可動子２と対向配置されている固定子３の突極１１の数が５個となっている。すなわち、６個の分割コア４における移動方向Ａの幅である可動子２における移動方向Ａの幅が、突極１１の移動方向Ａにおける一端面と隣り合う突極１１の移動方向Ａにおける一端面との移動方向Ａにおける間隔の５倍と等しい。図１３に示すように、１次のコギング推力ベクトルをバランスさせて１次のコギング推力を低減するためには、可動子２の移動方向に対向する複数の突極１１の数が整数となっているのが望ましい。すなわち、可動子２の移動方向Ａの幅は、突極１１の移動方向Ａにおける一端面と隣り合う突極１１の移動方向Ａにおける一端面との移動方向Ａにおける間隔の整数倍であるのが望ましい。
しかしながら、分割コア４、永久磁石５、および可動子２と対向配置されている固定子３の突極１１の数が、上記以外の数の組合せでも、１次のコギング推力ベクトルが抑制しあう配置に１次のコギング推力ベクトルの位相を変化させることができる。このため、１次のコギング推力を低減することが可能である。上記以外の数の組合せとしては、例えば、移動方向Ａの両端側から２番目の分割コア４に永久磁石５が配置されていないなど、分割コア４の数よりも永久磁石５の数が少ない場合や、可動子２に対向する複数の突極１１の数が整数でない場合などがある。
【００４９】
なお、本実施の形態の同期リニアモータにおいて、永久磁石５の移動方向Ａにおける厚さｈｍの代わりに、ティース７の突出方向における永久磁石５の長さが異なっていてもよい。この構成によっても、各分割コア４に発生する１次のコギング推力ベクトルが抑制しあう配置に１次のコギング推力ベクトルの位相を変化させることができ、１次のコギング推力を低減することが可能である。
しかしながら、ティース７の突出方向における永久磁石５の長さが異なる場合、図２の磁束が流れる断面である移動方向Ａおよびティース７の突出方向を含む断面内において、ティース７に対向する永久磁石５の長さが分割コア４によって異なるため、ティース７に対向する永久磁石５の長さが大きい方が、永久磁石５の磁束による磁気飽和の影響が大きくなり、永久磁石５の磁束が相対的に磁気抵抗の小さい固定子３側のギャップ面に流れやすくなる。このため、磁気飽和の影響が大きいティース７に巻回されたコイル６に鎖交する磁束から求まるインダクタンスが、磁気飽和の影響が小さいティース７に巻回されたコイル６のインダクタンスよりも大きくなってしまう。よって、同期リニアモータの駆動制御に用いる各相のインダクタンスがアンバランスとなり、同期リニアモータの駆動時の推力脈動が大きくなり、制御性が低下する。
【００５０】
このため、永久磁石５の移動方向Ａにおける厚さｈｍが異なる方が望ましい。これは、移動方向Ａおよびティース７の突出方向を含む断面内において、ティース７に対向する永久磁石５の長さが分割コア４によって異ならず同じためである。これらの構成によって、本実施の形態の同期リニアモータにおいて、分割コア４のティース７に巻回されたコイル６のインダクタンスのアンバランスを抑制することができる。このため、同期リニアモータの駆動時の推力脈動を小さくすることができ、制御性が向上する。
特に、移動方向Ａの両端側の分割コア４である（１）および（６）のティース７に巻回されたコイル６のインダクタンスは、端の影響で、移動方向Ａの両端側の分割コア４以外の分割コア４である（２）から（５）のティース７に巻回されたコイル６のインダクタンスよりも小さくなりやすく、さらに各相のインダクタンスがアンバランスになりやすい。
本実施の形態の同期リニアモータでは、ティース７に対向する永久磁石５の長さが分割コア４によって異ならないため、コイル６が移動方向Ａの両端側のティース７に少なくとも巻き回されていても、このアンバランスを抑制することができる。
【００５１】
また、ティース７の突出方向における永久磁石５の長さが異なる場合、コイル６が分割コア４のティース７すべてに巻回されているため、ティース７に対向する永久磁石５の長さが分割コア４によって異なると、コイル６が巻回される際にティースにかかる巻締まり力によって、永久磁石５にかかる面圧が異なってしまう。このため、この面圧によっては永久磁石５が割れる可能性がある。
このため、永久磁石５の移動方向Ａにおける厚さｈｍが異なる方が望ましい。これらの構成によって、本実施の形態の同期リニアモータにおいて、永久磁石５が割れるのを防ぐことができる。
【００５２】
実施の形態２．
図２０は、この発明を実施するための実施の形態２における同期リニアモータにおける可動子の電磁鋼板の積層方向および移動方向に平行な断面図であって、固定子側から見た図である。より詳細には図２０および後述する図２１、図２２は、例えば図２の着磁方向９の矢印の位置での移動方向Ａに沿った横断面図であり、以下同様である。なお、図２０−２２では、コイル６は図示されていない。
図２０において、本実施の形態に係る同期リニアモータ１０３は、実施の形態１に係る同期リニアモータ１０１と、以下に述べる点で異なる。
【００５３】
移動方向Ａの両端側の分割コア４に配置された永久磁石５の積層方向Ｂにおける幅Ｗｍ１、移動方向Ａの両端側から２番目の分割コア４に配置された永久磁石５の積層方向Ｂにおける幅Ｗｍ２、および移動方向Ａの両端側から３番目の分割コア４に配置された永久磁石５の積層方向Ｂにおける幅Ｗｍ３とすると、Ｗｍ１≠Ｗｍ２となっている。また、Ｗｍ２＝Ｗｍ３となっている。すなわち、複数の永久磁石５において異なる形状の数、すなわちは異なる形状の種類の数は、２つとなっている。
【００５４】
また、幅がＷｍ１である２個の永久磁石５が、可動子２における移動方向Ａの幅の中央に対して対称となる位置の分割コア４である（１）および（６）のティース７にそれぞれ配置されている。また、幅がＷｍ２である２個の永久磁石５が、可動子２における移動方向Ａの幅の中央に対して対称となる位置の分割コア４である（２）および（５）のティース７にそれぞれ配置されている。そして、厚さがＷｍ３である２個の永久磁石５が、可動子２における移動方向Ａの幅の中央に対して対称となる位置の分割コア４である（３）および（４）のティース７にそれぞれ配置されている。すなわち、同じ形状の複数の永久磁石５が、可動子２における移動方向Ａの幅の中央に対して対称となる位置の分割コア４のティース７に配置されている。
【００５５】
図２１は、本実施の形態における同期リニアモータに対する比較例における可動子の電磁鋼板の積層方向および移動方向に平行な断面図であって、固定子側から見た図である。図２１において、同期リニアモータの比較例２０１は、本実施の形態に係る同期リニアモータ１０３と、以下に述べる点で異なる。図２１における同期リニアモータの比較例２０１は、実施の形態１の図６における同期リニアモータの第１比較例２０１と同じ構成を異なる断面から見たものである。図２１の比較例２０１では、Ｗｍ＝Ｗｍ１＝Ｗｍ２＝Ｗｍ３となっている。なお、図２１では、コイル６は図示されていない。
【００５６】
ここからは、実施の形態２の効果について説明する。
図２０および図２１の永久磁石５の移動方向Ａにおける厚さｈｍは、全て同じである。また、図２１に示す同期リニアモータの比較例２０１の場合、永久磁石５の形状および磁気特性が全て同じであるため、実施の形態１の図８および図１１で示したように１次のコギング推力が大きくなる。
【００５７】
また、実施の形態１で説明したように、分割コア４のギャップ面に発生する磁束密度の値を変更することにより、各分割コア４に発生する１次のコギング推力ベクトルの位相を変化させることができる。
【００５８】
分割コア４のギャップ面に発生する磁束密度の値を変更するには、実施の形態１の図２で説明した永久磁石４の厚さｈｍ以外に、図２０に示した永久磁石５の積層方向Ｂにおける幅Ｗｍを変更することによっても可能である。
【００５９】
したがって、図２０に示すように、Ｗｍ１≠Ｗｍ２とすることによって、分割コア４のギャップ面に発生する磁束密度の値を変化させ、各分割コア４に発生する１次のコギング推力ベクトルの位相を変化させることができる。これにより、実施の形態１の図１３に示すように、各分割コア４で発生する１次のコギング推力が抑制しあうことができる。このため、実施の形態１の図１４に示すように、１次のコギング推力を低減可能である。
【００６０】
また、１次のコギング推力ベクトルの位相を反対方向に変化させる必要がある場合は、Ｗｍ１＞Ｗｍ２とすることで、Ｗｍ１＜Ｗｍ２の場合と反対方向に１次のコギング推力ベクトルの位相を変化させることができる。このため、実施の形態１の図１４と同様に、１次のコギング推力ベクトルが抑制しあい、１次のコギング推力を低減することが可能である。
【００６１】
また、上述と同様の理由によって、Ｗｍ１＜Ｗｍ３、Ｗｍ１＞Ｗｍ３、Ｗｍ２＜Ｗｍ３、Ｗｍ２＞Ｗｍ３、またはＷｍ１＜Ｗｍ３およびＷｍ２＞Ｗｍ３等の組合せとしても分割コア４のギャップ面に発生する磁束密度の値を変更することできる。また、Ｗｍ１＝Ｗｍ２≠Ｗｍ３の組合せとしても同様である。すなわち、複数の永久磁石５において異なる形状の数が２つ以上となっていれば、例えば、実施の形態１の図１３に示すように、各分割コア４の（１）から（６）に発生する１次のコギング推力ベクトルが抑制しあう配置に１次のコギング推力ベクトルの位相を変化させることができる。
したがって、実施の形態１の図１４に示すように、１次のコギング推力を低減することが可能である。
【００６２】
図２２は、本実施の形態における同期リニアモータの第４変形例における可動子の電磁鋼板の積層方向および移動方向に平行な断面図であって、固定子側から見た図である。図２２において、同期リニアモータの第４変形例１０４は、本実施の形態に係る同期リニアモータ１０３と、以下に述べる点で異なる。図２２における同期リニアモータの第４変形例１０４は、本実施の形態の同期リニアモータ１０３において、移動方向Ａの両端側に位置する分割コア４に配置された永久磁石５の積層方向Ｂにおける幅Ｗｍ１と、移動方向Ａの両端側から２番目の分割コア４に配置された永久磁石５の積層方向Ｂにおける幅Ｗｍ２と、移動方向Ａの両端側から３番目の分割コア４に配置された永久磁石５の積層方向Ｂにおける幅Ｗｍ３とが、互いに異なっている。すなわち、Ｗｍ１≠Ｗｍ２≠Ｗｍ３となっている。なお、図２２では、コイル６は図示されていない。
【００６３】
図２２に示すように、同期リニアモータの第４変形例１０４において、永久磁石５の積層方向Ｂにおける幅Ｗｍ１、Ｗｍ２、Ｗｍ３をＷｍ１≠Ｗｍ２≠Ｗｍ３として３つ以上の永久磁石５の積層方向Ｂにおける幅を異ならせることにより、各分割コア４の（１）から（６）に発生する１次のコギング推力ベクトルが抑制しあう配置に１次のコギング推力ベクトルの位相を変化させることができる。
なお、図２２では、Ｗｍ１＜Ｗｍ２＜Ｗｍ３としているが、この組合せ以外の関係で、永久磁石５の積層方向Ｂの幅が３つ以上異なっていれば問題ない。
【００６４】
また、永久磁石５の積層方向Ｂにおける幅Ｗｍを変更するため、可動子２のストロークを変更せずにコギング推力の低減が可能となる。
【００６５】
なお、図２０において、永久磁石５の積層方向Ｂにおける幅は、分割コア４の積層方向Ｂにおける幅よりも短く図示されているが、図２３に示すように分割コア４の積層方向Ｂにおける幅より長くなっても問題ない。また、図２４、２５に示すように積層方向Ｂに永久磁石５が複数個に分割されて配置されていてもよい。
【００６６】
なお、本実施の形態の同期リニアモータにおいて、永久磁石５の積層方向Ｂにおける幅Ｗｍの代わりに、図２６、２７に示すようにティース７の突出方向における永久磁石５の長さが異なっていてもよい。この構成によっても、各分割コア４に発生する１次のコギング推力ベクトルが抑制しあう配置に１次のコギング推力ベクトルの位相を変化させることができ、１次のコギング推力を低減することが可能である。
しかしながら、ティース７の突出方向における永久磁石５の長さが異なる場合、実施の形態１で述べたように、同期リニアモータの駆動制御に用いる各相のインダクタンスがアンバランスとなり、同期リニアモータの駆動時の推力脈動が大きくなり、制御性が低下する。
【００６７】
このため、永久磁石５の積層方向Ｂにおける幅Ｗｍが異なる方が望ましい。これは、移動方向Ａおよびティース７の突出方向を含む断面内において、ティース７に対向する永久磁石５の長さが分割コア４によって異ならず同じためである。これらの構成によって、本実施の形態の同期リニアモータにおいて、実施の形態１と同様に、コイル６が移動方向Ａの両端側のティース７に少なくとも巻き回されていても、分割コア４のティース７に巻回されたコイル６のインダクタンスのアンバランスを抑制することができる。このため、同期リニアモータの駆動時の推力脈動を小さくすることができ、制御性が向上する。
【００６８】
実施の形態３．
この発明を実施するための実施の形態３における同期リニアモータは、実施の形態１に係る図２の同期リニアモータ１０１と以下に述べる点で異なる。
本実施の形態に係る同期リニアモータは、実施の形態１における同期リニアモータに対する図６の第１比較例２０１と外見は同じ形状であるが、第１比較例２０１の構造において永久磁石５の磁気特性である残留磁束密度のみが異なる同期リニアモータとなっている。具体的には、移動方向Ａの両端側の分割コア４に配置された永久磁石５の残留磁束密度Ｂｒ１、移動方向Ａの両端側から２番目の分割コア４に配置された永久磁石５の残留磁束密度Ｂｒ２、および移動方向Ａの両端側から３番目の分割コア４に配置された永久磁石５の残留磁束密度Ｂｒ３とすると、Ｂｒ１≠Ｂｒ２となっている。また、Ｂｒ２＝Ｂｒ３となっている。すなわち、複数の永久磁石５において異なる磁気特性の数は、２つとなっている。
【００６９】
また、残留磁束密度がＢｒ１である２個の永久磁石５が、可動子２における移動方向Ａの幅の中央に対して対称となる位置の分割コア４である（１）および（６）のティース７にそれぞれ配置されている。また、残留磁束密度がＢｒ２である２個の永久磁石５が、可動子２における移動方向Ａの幅の中央に対して対称となる位置の分割コア４である（２）および（５）のティース７にそれぞれ配置されている。そして、残留磁束密度がＢｒ３である２個の永久磁石５が、可動子２における移動方向Ａの幅の中央に対して対称となる位置の分割コア４である（３）および（４）のティース７にそれぞれ配置されている。すなわち、同じ磁気特性の複数の永久磁石５が、可動子２における移動方向Ａの幅の中央に対して対称となる位置の分割コア４のティース７に配置されている。
また、本実施の形態に係る同期リニアモータの永久磁石５の形状は全て同じである。
【００７０】
ここからは、実施の形態３の効果について説明する。
実施の形態１で説明したように、分割コア４のギャップ面に発生する磁束密度の値を変更することにより、各分割コア４に発生する１次のコギング推力ベクトルの位相を変化させることができる。
【００７１】
実施の形態１の図２で説明した永久磁石５の厚さｈｍや、実施の形態２の図２０で説明した永久磁石５の幅Ｗｍだけでなく、実施の形態１の図２に示した永久磁石５の残留磁束密度Ｂｒを変更することによっても、分割コア４のギャップ面に発生する磁束密度の値を変更することができる。
【００７２】
したがって、Ｂｒ１≠Ｂｒ２とすることによって、分割コア４のギャップ面に発生する磁束密度の値を変化させ、各分割コア４に発生する１次のコギング推力ベクトルの位相を変化させることができる。これにより、実施の形態１の図１３に示したように、各分割コア４で発生する１次のコギング推力が抑制しあうようにすることができる。このため、実施の形態１の図１４に示すように、１次のコギング推力を低減可能である。
【００７３】
また、１次のコギング推力ベクトルの位相を反対方向に変化させる必要がある場合は、Ｂｒ１＜Ｂｒ２とすることで、Ｂｒ１＞Ｂｒ２の場合と反対方向に１次のコギング推力ベクトルの位相を変化させることができる。このため、実施の形態１の図１４と同様に、１次のコギング推力ベクトルが抑制しあい、１次のコギング推力を低減することが可能である。
【００７４】
また、Ｂｒ１＜Ｂｒ３、Ｂｒ１＞Ｂｒ３、Ｂｒ２＜Ｂｒ３、Ｂｒ２＞Ｂｒ３、またはＢｒ１＜Ｂｒ３およびＢｒ２＞Ｂｒ３等の組合せとしても分割コア４のギャップ面に発生する磁束密度の値を変更することできる。また、Ｂｒ１＝Ｂｒ２≠Ｂｒ３の組合せとしても同様である。すなわち、複数の永久磁石５において異なる磁気特性の数が２つ以上となっていれば、例えば、実施の形態１の図１３に示すように、各分割コア４の（１）から（６）に発生する１次のコギング推力ベクトルが抑制しあう配置に１次のコギング推力ベクトルの位相を変化させることができる。したがって、実施の形態１の図１４に示すように、１次のコギング推力を低減することが可能である。
【００７５】
更に、Ｂｒ１≠Ｂｒ２≠Ｂｒ３（例えば、Ｂｒ１＜Ｂｒ２＜Ｂｒ３）として、永久磁石５の磁気特性を３つ以上異ならせることによっても、各分割コア４の（１）から（６）に発生する１次のコギング推力ベクトルが抑制しあう配置に１次のコギング推力ベクトルの位相を変化させることができる。
【００７６】
また、永久磁石５の磁束密度を変更するため、可動子２のストロークを変更せずにコギング推力の低減が可能となる。
【００７７】
また、永久磁石５の残留磁束密度Ｂｒを変更するには、永久磁石５のグレードとも呼ばれる材料の変更、永久磁石５の製造ロットの変更、または永久磁石５の着磁率の変更など、永久磁石５の磁気特性が異なっていればよく、その手段は問わない。
ここで、永久磁石５の着磁率は、永久磁石５を着磁する着磁工程において外部磁場によって着磁されたとき、外部磁場が取り除かれた後に残る磁化を飽和した状態の磁化で割った値で表される。このため、着磁工程によって永久磁石５の磁化を調整でき、永久磁石を１種類にして部品点数の増加を抑制できる。
【００７８】
なお、実施の形態１から実施の形態３までで述べた、複数の永久磁石５において異なる形状の数が２つ以上である場合と、複数の永久磁石５において異なる磁気特性の数が２つ以上である場合とを組み合わせて同期リニアモータを構成してもよい。
すなわちこの発明は、上記各実施の形態に限定されるものではなく、これらの可能な組み合わせを全て含む。
【産業上の利用の可能性】
【００７９】
この発明による同期リニアモータは、種々の分野の同期リニアモータに適用可能である。
【符号の説明】
【００８０】
１０１、１０２、１０２−２、１０２−３、１０３、１０４  同期リニアモータ、  ２  可動子、  ３  固定子、  ４  分割コア、  ４−１  半分割コア、  ５  永久磁石、  ６  コイル、  ７  ティース、  ８  コアバック、  ９  着磁方向、  １０  基部、  １１  突極、  １４  コア、  ２０１  同期リニアモータの第１比較例、  ２０２  同期リニアモータの第２比較例。
【図１】
2017169046.tif 000003
【図２】
2017169046.tif 000004
【図３】
2017169046.tif 000005
【図４】
2017169046.tif 000006
【図５】
2017169046.tif 000007
【図６】
2017169046.tif 000008
【図７】
2017169046.tif 000009
【図８】
2017169046.tif 000010
【図９】
2017169046.tif 000011
【図１０】
2017169046.tif 000012
【図１１】
2017169046.tif 000013
【図１２】
2017169046.tif 000014
【図１３】
2017169046.tif 000015
【図１４】
2017169046.tif 000016
【図１５】
2017169046.tif 000017
【図１６】
2017169046.tif 000018
【図１７】
2017169046.tif 000019
【図１８】
2017169046.tif 000020
【図１９】
2017169046.tif 000021
【図２０】
2017169046.tif 000022
【図２１】
2017169046.tif 000023
【図２２】
2017169046.tif 000024
【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
2017169046.tif 000029
【手続補正書】
【提出日】平成29年6月19日(2017.6.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
この発明に係る同期リニアモータは、
基部およびこの基部から突出し磁性体からなる複数の突極を有する固定子と、
空隙を介して複数の突極に対向して配置された可動子とを備え、
複数の突極は、可動子の移動方向に沿って互いに離間して配置され、
可動子は、磁性体からなるコア、複数のコイルおよび移動方向に沿って並べられた複数の永久磁石を有し、
コアは、コアバックおよびコアバックから突極に向かって突出し移動方向に沿って並べられた複数のティースを具備し、
複数のコイルは、移動方向両端側のティースに少なくとも巻回され、
複数の永久磁石は、それぞれティースの中央部にティースの突出方向に沿って配置され、
永久磁石の磁極が有する極性は、隣り合う永久磁石において対向する磁極が有する極性と同じであり、
複数の永久磁石において異なる形状の数、または複数の永久磁石において異なる磁気特性の数は、２つ以上であり、
移動方向およびティースの突出方向を含む断面内において、形状または磁気特性が異なる永久磁石のそれぞれにおけるティースに対向する永久磁石の長さであってティースの突出方向の永久磁石の長さ同士は、互いに同じである。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基部およびこの基部から突出し磁性体からなる複数の突極を有する固定子と、
空隙を介して前記複数の突極に対向して配置された可動子とを備え、
前記複数の突極は、前記可動子の移動方向に沿って互いに離間して配置され、
前記可動子は、磁性体からなるコア、複数のコイルおよび前記移動方向に沿って並べられた複数の永久磁石を有し、
前記コアは、コアバックおよび前記コアバックから前記突極に向かって突出し前記移動方向に沿って並べられた複数のティースを具備し、
前記複数のコイルは、前記移動方向両端側の前記ティースに少なくとも巻回され、
前記複数の永久磁石は、それぞれ前記ティースの中央部に前記ティースの突出方向に沿って配置され、
前記永久磁石の磁極が有する極性は、隣り合う前記永久磁石において対向する磁極が有する極性と同じであり、
前記複数の永久磁石において異なる形状の数、または前記複数の永久磁石において異なる磁気特性の数は、２つ以上であり、
前記移動方向および前記ティースの突出方向を含む断面内において、前記形状または前記磁気特性が異なる前記永久磁石のそれぞれにおける前記ティースに対向する前記永久磁石の長さであって前記ティースの突出方向の前記永久磁石の長さ同士は、互いに同じである同期リニアモータ。
【請求項２】
基部およびこの基部から突出し磁性体からなる複数の突極を有する固定子と、
空隙を介して前記複数の突極に対向して配置された可動子とを備え、
前記複数の突極は、前記可動子の移動方向に沿って互いに離間して配置され、
前記可動子は、磁性体からなるコア、複数のコイルおよび前記移動方向に沿って並べられた複数の永久磁石を有し、
前記コアは、コアバックおよび前記コアバックから前記突極に向かって突出し前記移動方向に沿って並べられた複数のティースを具備し、
前記複数のコイルは、前記移動方向両端側の前記ティースに少なくとも巻回され、
前記複数の永久磁石は、それぞれ前記ティースの中央部に前記ティースの突出方向に沿って配置され、
前記永久磁石の磁極が有する極性は、隣り合う前記永久磁石において対向する磁極が有する極性と同じであり、
前記複数の永久磁石において異なる形状の数は、２つ以上であり、
前記複数の永久磁石の着磁方向に沿う前記移動方向における厚さ、または前記複数の永久磁石の着磁方向に沿う前記移動方向と前記ティースの突出方向とに垂直な方向における幅が異なる同期リニアモータ。
【請求項３】
前記移動方向および前記ティースの突出方向を含む断面内において、前記形状が異なる永久磁石のそれぞれにおける前記ティースに対向する前記永久磁石の長さであって前記ティースの突出方向の前記永久磁石の長さ同士は、互いに同じである請求項２に記載の同期リニアモータ。
【請求項４】
同じ形状または同じ磁気特性の前記複数の永久磁石が、前記可動子における前記移動方向幅の中央に対して対称となる位置の前記ティースに配置されている請求項１に記載の同期リニアモータ。
【請求項５】
同じ形状の前記複数の永久磁石が、前記可動子における前記移動方向幅の中央に対して対称となる位置の前記ティースに配置されている請求項２または３に記載の同期リニアモータ。
【請求項６】
前記複数の永久磁石において異なる形状の数が２つ以上である場合には、
前記可動子における前記移動方向両端側に配置された前記永久磁石の前記移動方向における厚さと、前記可動子における前記移動方向両端側から２番目に配置された前記永久磁石の前記移動方向における厚さとが異なる請求項４または５に記載の同期リニアモータ。
【請求項７】
前記複数の永久磁石において異なる形状の数が２つ以上である場合には、
前記可動子における前記移動方向両端側に配置された前記永久磁石の前記移動方向と前記ティースの突出方向とに垂直な方向における幅と、前記可動子における前記移動方向両端側から２番目に配置された前記永久磁石の前記移動方向と前記ティースの突出方向とに垂直な方向における幅とが異なる請求項４または５に記載の同期リニアモータ。
【請求項８】
前記複数の永久磁石において異なる磁気特性の数が２つ以上である場合には、
前記可動子における前記移動方向両端側に配置された前記永久磁石の残留磁束密度と、前記可動子における前記移動方向両端側から２番目に配置された前記永久磁石の残留磁束密度とが異なる請求項４に記載の同期リニアモータ。
【請求項９】
前記複数の永久磁石において異なる磁気特性の数が２つ以上である場合には、
前記可動子における前記移動方向両端側に配置された前記永久磁石の着磁率と、前記可動子における前記移動方向両端側から２番目に配置された前記永久磁石の着磁率とが異なる請求項４に記載の同期リニアモータ。
【請求項１０】
前記可動子における前記移動方向両端側に配置された前記永久磁石の形状と、前記可動子における前記移動方向両端側から２番目に配置された前記永久磁石の形状とが同じ、または前記可動子における前記移動方向両端側に配置された前記永久磁石の磁気特性と、前記可動子における前記移動方向両端側から２番目に配置された前記永久磁石の磁気特性とが同じ請求項４に記載の同期リニアモータ。
【請求項１１】
前記複数の永久磁石において異なる形状の数が３つ以上である場合には、
前記可動子における前記移動方向両端側に配置された前記永久磁石の前記移動方向における厚さと、前記可動子における前記移動方向両端側から２番目に配置された前記永久磁石の前記移動方向における厚さと、前記可動子における前記移動方向両端側から３番目に配置された前記永久磁石の前記移動方向における厚さとがそれぞれ異なる請求項４または５に記載の同期リニアモータ。
【請求項１２】
前記複数の永久磁石において異なる形状の数が３つ以上である場合には、
前記可動子における前記移動方向両端側に配置された前記永久磁石の前記移動方向に垂直な方向における幅と、前記可動子における前記移動方向両端側から２番目に配置された前記永久磁石の前記移動方向に垂直な方向における幅と、前記可動子における前記移動方向両端側から３番目に配置された前記永久磁石の前記移動方向に垂直な方向における幅とがそれぞれ異なる請求項４または５に記載の同期リニアモータ。
【請求項１３】
前記複数の永久磁石において異なる磁気特性の数が３つ以上である場合には、
前記可動子における前記移動方向両端側に配置された前記永久磁石の残留磁束密度と、前記可動子における前記移動方向両端側から２番目に配置された前記永久磁石の残留磁束密度と、前記可動子における前記移動方向両端側から３番目に配置された前記永久磁石の残留磁束密度とがそれぞれ異なる請求項４に記載の同期リニアモータ。
【請求項１４】
前記複数の永久磁石において異なる磁気特性の数が３つ以上である場合には、
前記可動子における前記移動方向両端側に配置された前記永久磁石の着磁率と、前記可動子における前記移動方向両端側から２番目に配置された前記永久磁石の着磁率と、前記可動子における前記移動方向両端側から３番目に配置された前記永久磁石の着磁率とがそれぞれ異なる請求項４に記載の同期リニアモータ。
【請求項１５】
前記可動子に対向する前記複数の突極の数は、整数である請求項１から請求項１４のいずれか１項に記載の同期リニアモータ。
【請求項１６】
前記コアは、前記移動方向に沿って並べられた複数の分割コアからなり、
前記複数の分割コアは、それぞれ前記コアバックおよび前記ティースを具備する請求項１から請求項１５のいずれか１項に記載の同期リニアモータ。
【請求項１７】
前記コアは、隣り合う前記ティース同士の間の前記コアバックにおいて分割されている請求項１６に記載の同期リニアモータ。
【請求項１８】
前記コアは、前記ティースにおいて分割されている請求項１６に記載の同期リニアモータ。
【手続補正書】
【提出日】平成29年11月16日(2017.11.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基部およびこの基部から突出し磁性体からなる複数の突極を有する固定子と、
空隙を介して前記複数の突極に対向して配置された可動子とを備え、
前記複数の突極は、前記可動子の移動方向に沿って互いに離間して配置され、
前記可動子は、磁性体からなるコア、複数のコイルおよび前記移動方向に沿って並べられた複数の永久磁石を有し、
前記コアは、コアバックおよび前記コアバックから前記突極に向かって突出し前記移動方向に沿って並べられた複数のティースを具備し、
前記複数のコイルは、前記移動方向両端側の前記ティースに少なくとも巻回され、
前記複数の永久磁石は、それぞれ前記ティースの中央部に前記ティースの突出方向に沿って配置され、
前記永久磁石の磁極が有する極性は、隣り合う前記永久磁石において対向する磁極が有する極性と同じであり、
前記複数の永久磁石において異なる形状の数、または前記複数の永久磁石において異なる磁気特性の数は、２つ以上であり、
前記移動方向および前記ティースの突出方向を含む断面内において、前記形状または前記磁気特性が異なる前記永久磁石のそれぞれにおける前記ティースに対向する前記永久磁石の長さであって前記ティースの突出方向の前記永久磁石の長さ同士は、互いに同じである同期リニアモータ。
【請求項２】
基部およびこの基部から突出し磁性体からなる複数の突極を有する固定子と、
空隙を介して前記複数の突極に対向して配置された可動子とを備え、
前記複数の突極は、前記可動子の移動方向に沿って互いに離間して配置され、
前記可動子は、磁性体からなるコア、複数のコイルおよび前記移動方向に沿って並べられた複数の永久磁石を有し、
前記コアは、コアバックおよび前記コアバックから前記突極に向かって突出し前記移動方向に沿って並べられた複数のティースを具備し、
前記複数のコイルは、前記移動方向両端側の前記ティースに少なくとも巻回され、
前記複数の永久磁石は、それぞれ前記ティースの中央部に前記ティースの突出方向に沿って配置され、
前記永久磁石の磁極が有する極性は、隣り合う前記永久磁石において対向する磁極が有する極性と同じであり、
前記複数の永久磁石において異なる形状の数は、２つ以上であり、
前記複数の永久磁石の着磁方向に沿う前記移動方向における厚さ、または前記複数の永久磁石の着磁方向に沿う前記移動方向と前記ティースの突出方向とに垂直な方向における幅が異なる同期リニアモータ。
【請求項３】
前記移動方向および前記ティースの突出方向を含む断面内において、前記形状が異なる永久磁石のそれぞれにおける前記ティースに対向する前記永久磁石の長さであって前記ティースの突出方向の前記永久磁石の長さ同士は、互いに同じである請求項２に記載の同期リニアモータ。
【請求項４】
同じ形状または同じ磁気特性の前記複数の永久磁石が、前記可動子における前記移動方向幅の中央に対して対称となる位置の前記ティースに配置されている請求項１に記載の同期リニアモータ。
【請求項５】
同じ形状の前記複数の永久磁石が、前記可動子における前記移動方向幅の中央に対して対称となる位置の前記ティースに配置されている請求項２または３に記載の同期リニアモータ。
【請求項６】
前記複数の永久磁石において異なる形状の数が２つ以上である場合には、
前記可動子における前記移動方向両端側に配置された前記永久磁石の前記移動方向における厚さと、前記可動子における前記移動方向両端側から２番目に配置された前記永久磁石の前記移動方向における厚さとが異なる請求項４または５に記載の同期リニアモータ。
【請求項７】
前記複数の永久磁石において異なる形状の数が２つ以上である場合には、
前記可動子における前記移動方向両端側に配置された前記永久磁石の前記移動方向と前記ティースの突出方向とに垂直な方向における幅と、前記可動子における前記移動方向両端側から２番目に配置された前記永久磁石の前記移動方向と前記ティースの突出方向とに垂直な方向における幅とが異なる請求項４または５に記載の同期リニアモータ。
【請求項８】
前記複数の永久磁石において異なる磁気特性の数が２つ以上である場合には、
前記可動子における前記移動方向両端側に配置された前記永久磁石の残留磁束密度と、前記可動子における前記移動方向両端側から２番目に配置された前記永久磁石の残留磁束密度とが異なる請求項４に記載の同期リニアモータ。
【請求項９】
前記複数の永久磁石において異なる磁気特性の数が２つ以上である場合には、
前記可動子における前記移動方向両端側に配置された前記永久磁石の着磁率と、前記可動子における前記移動方向両端側から２番目に配置された前記永久磁石の着磁率とが異なる請求項４に記載の同期リニアモータ。
【請求項１０】
前記可動子における前記移動方向両端側に配置された前記永久磁石の形状と、前記可動子における前記移動方向両端側から２番目に配置された前記永久磁石の形状とが同じ、または前記可動子における前記移動方向両端側に配置された前記永久磁石の磁気特性と、前記可動子における前記移動方向両端側から２番目に配置された前記永久磁石の磁気特性とが同じ請求項４に記載の同期リニアモータ。
【請求項１１】
前記複数の永久磁石において異なる形状の数が３つ以上である場合には、
前記可動子における前記移動方向両端側に配置された前記永久磁石の前記移動方向における厚さと、前記可動子における前記移動方向両端側から２番目に配置された前記永久磁石の前記移動方向における厚さと、前記可動子における前記移動方向両端側から３番目に配置された前記永久磁石の前記移動方向における厚さとがそれぞれ異なる請求項４または５に記載の同期リニアモータ。
【請求項１２】
前記複数の永久磁石において異なる形状の数が３つ以上である場合には、
前記可動子における前記移動方向両端側に配置された前記永久磁石の前記移動方向に垂直な方向における幅と、前記可動子における前記移動方向両端側から２番目に配置された前記永久磁石の前記移動方向に垂直な方向における幅と、前記可動子における前記移動方向両端側から３番目に配置された前記永久磁石の前記移動方向に垂直な方向における幅とがそれぞれ異なる請求項４または５に記載の同期リニアモータ。
【請求項１３】
前記複数の永久磁石において異なる磁気特性の数が３つ以上である場合には、
前記可動子における前記移動方向両端側に配置された前記永久磁石の残留磁束密度と、前記可動子における前記移動方向両端側から２番目に配置された前記永久磁石の残留磁束密度と、前記可動子における前記移動方向両端側から３番目に配置された前記永久磁石の残留磁束密度とがそれぞれ異なる請求項４に記載の同期リニアモータ。
【請求項１４】
前記複数の永久磁石において異なる磁気特性の数が３つ以上である場合には、
前記可動子における前記移動方向両端側に配置された前記永久磁石の着磁率と、前記可動子における前記移動方向両端側から２番目に配置された前記永久磁石の着磁率と、前記可動子における前記移動方向両端側から３番目に配置された前記永久磁石の着磁率とがそれぞれ異なる請求項４に記載の同期リニアモータ。
【請求項１５】
前記可動子に対向する前記複数の突極の数は、整数である請求項１から請求項１４のいずれか１項に記載の同期リニアモータ。
【請求項１６】
前記コアは、前記移動方向に沿って並べられた複数の分割コアからなり、
前記複数の分割コアは、それぞれ前記コアバックおよび前記ティースを具備する請求項１から請求項１５のいずれか１項に記載の同期リニアモータ。
【請求項１７】
前記コアは、隣り合う前記ティース同士の間の前記コアバックにおいて分割されている請求項１６に記載の同期リニアモータ。
【請求項１８】
前記コアは、前記ティースにおいて分割されている請求項１６に記載の同期リニアモータ。
【請求項１９】
複数の突極を有する固定子に対し突出方向に空隙を介して対向して配置された可動子が移動方向に沿って移動する同期リニアモータにおいて、
前記可動子は、
磁性体を含み前記移動方向に並設された第１分割コア、第２分割コア、および第３分割コアを含む複数の分割コアと、
隣接する前記第１分割コアと前記第２分割コアとの間に挟持された第１永久磁石と、
隣接する前記第２分割コアと前記第３分割コアとの間に挟持された第２永久磁石とを備え、
前記第１永久磁石の前記移動方向における厚みは、前記第２永久磁石の前記移動方向における厚みよりも小さい
ことを特徴とする同期リニアモータ。
【国際調査報告】
2017169046.tif 000030
2017169046.tif 000031