(57)【要約】本発明は、反射防止層の欠陥が検出しやすい光学部材を提供する。本発明の光学部材は、反射防止部材と、上記反射防止部材の背面側の表面上に配置される光散乱部材とを備え、上記反射防止部材は、基材と、上記基材の観察面側の表面上に配置される反射防止層とを有し、上記光散乱部材のヘイズ値は、６％以上である光学部材、及び、反射防止部材と、上記反射防止部材の背面側の表面上に配置される、取り外し可能な低反射部材とを備え、上記反射防止部材は、基材と、上記基材の観察面側の表面上に配置される反射防止層とを有し、上記低反射部材の反射率は、３．８％未満である光学部材である。
2017115695.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
反射防止部材と、
前記反射防止部材の背面側の表面上に配置される光散乱部材とを備え、
前記反射防止部材は、基材と、前記基材の観察面側の表面上に配置される反射防止層とを有し、
前記光散乱部材のヘイズ値は、６％以上であることを特徴とする光学部材。
【請求項２】
前記光散乱部材のヘイズ値は、３０％以上であることを特徴とする請求項１に記載の光学部材。
【請求項３】
反射防止部材と、
前記反射防止部材の背面側の表面上に配置される、取り外し可能な低反射部材とを備え、
前記反射防止部材は、基材と、前記基材の観察面側の表面上に配置される反射防止層とを有し、
前記低反射部材の反射率は、３．８％未満であることを特徴とする光学部材。
【請求項４】
前記低反射部材の反射率、透過率、及び、吸収率を、各々、Ｘ、Ｙ、及び、Ｚ（単位：％）とし、かつ、Ｘ＋Ｙ＋Ｚ＝１００とすると、Ｘ、Ｙ、及び、Ｚの比率を示す三角グラフ上の点（Ｘ，Ｙ，Ｚ）は、第一の点（０，１００，０）、第二の点（０，０，１００）、第三の点（３．８，０，９６．２）、及び、第四の点（２，９８，０）を頂点とする四角形における、前記第三の点を除く辺上及び内部に存在することを特徴とする請求項３に記載の光学部材。
【請求項５】
前記三角グラフ上の点（Ｘ，Ｙ，Ｚ）は、前記第一の点（０，１００，０）、前記第二の点（０，０，１００）、前記第三の点（３．８，０，９６．２）、及び、第五の点（１，９９，０）を頂点とする四角形における、前記第三の点を除く辺上及び内部に存在することを特徴とする請求項４に記載の光学部材。
【請求項６】
前記低反射部材は、前記反射防止部材とは反対側の表面に、複数の凸部が可視光の波長以下のピッチで設けられる凹凸構造を有することを特徴とする請求項３〜５のいずれかに記載の光学部材。
【請求項７】
前記低反射部材は、黒色の光吸収部材であることを特徴とする請求項３〜５のいずれかに記載の光学部材。
【請求項８】
前記反射防止層は、前記基材とは反対側の表面に、複数の凸部が可視光の波長以下のピッチで設けられる凹凸構造を有することを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載の光学部材。
【請求項９】
基材と、前記基材の観察面側の表面上に配置される反射防止層とを備える反射防止部材の欠陥検査方法であって、
前記基材の背面側の表面上に、６％以上のヘイズ値を有する光散乱部材を取り付ける工程と、
前記反射防止層側から前記反射防止部材に光を照射し、反射光の状態を検査することによって前記反射防止層の欠陥を検出する工程とを含むことを特徴とする反射防止部材の欠陥検査方法。
【請求項１０】
基材と、前記基材の観察面側の表面上に配置される反射防止層とを備える反射防止部材の欠陥検査方法であって、
前記基材の背面側の表面上に、３．８％未満の反射率を有する取り外し可能な低反射部材を取り付ける工程と、
前記反射防止層側から前記反射防止部材に光を照射し、反射光の状態を検査することによって前記反射防止層の欠陥を検出する工程とを含むことを特徴とする反射防止部材の欠陥検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学部材、及び、反射防止部材の欠陥検査方法に関する。より詳しくは、反射防止部材を有する光学部材、及び、上記反射防止部材の欠陥検査方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
反射防止層を有する反射防止部材は、種々検討されている。特に、ナノメートルサイズの凹凸構造（ナノ構造）の一種である、モスアイ構造（蛾の目状の構造）を表面に有する反射防止部材は、優れた反射防止性を有することが知られている（例えば、特許文献１参照）。このような凹凸構造によれば、空気層から基材にかけて屈折率が連続的に変化するため、反射光を劇的に減少させることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第５２４４９７６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、反射防止部材の完成後の検査工程において、反射防止層の欠陥を検出し損ない、反射防止部材が欠陥を有する状態で後工程に流出してしまうことがあった。一般的に、反射防止部材は、上記検査工程後において、保護フィルムが積層された状態で取り扱われる。そのため、上記検査工程で欠陥の検出漏れが発生した場合は、最終製品（例えば、液晶表示装置等）に組み込まれた後（保護フィルムが取り除かれた後）でしか、その欠陥を検出することができず、リワークに多大なコスト及び時間を要することがあった。【０００５】
反射防止部材に有色異物が付着している場合、その有色異物は検出されやすい。しかしながら、一般的に、反射防止層は無色透明であるため、その欠陥（無色透明の欠陥）は検出されにくい。反射防止層の欠陥が検出されにくい別の理由について、図１０を参照して以下に説明する。図１０は、反射防止層の欠陥例を示す断面模式図であり、（ａ）は凸部が一部存在していない状態を示し、（ｂ）は反射防止層が一部凹んでいる状態を示し、（ｃ）は反射防止層が一部盛り上がっている状態を示す。なお、図１０は、モスアイ構造（凹凸構造）を表面に有する反射防止部材を例示している。【０００６】
（ａ）欠陥例１
図１０（ａ）に示すように、反射防止部材１０２は、基材１０３と、基材１０３の観察面側の表面上に配置される反射防止層１０４とを有している。反射防止部材１０２においては、モスアイ構造の凸部が一部存在していない。このような状態は、例えば、モスアイ構造を形成するための金型の凹部に異物が詰まっている場合に発生する。【０００７】
反射防止層１０４側から反射防止部材１０２に入射する光のうち、正常部（モスアイ構造が存在する部分）への入射光ａ１は、反射防止層１０４の基材１０３とは反対側の表面で反射光ａ１１として反射される（反射率：約０．０７％）。そして、反射防止層１０４を透過した光のうち、一部は基材１０３の反射防止層１０４とは反対側の表面で反射光ａ１２として反射され（反射率：約４％）、残りは基材１０３の背面側へ透過する。一方、反射防止層１０４側から反射防止部材１０２に入射する光のうち、欠陥部（凸部が存在しない部分）への入射光ａ２は、反射防止層１０４の基材１０３とは反対側の表面で反射光ａ２１として反射される（反射率：約４％）。そして、反射防止層１０４を透過した光のうち、一部は基材１０３の反射防止層１０４とは反対側の表面で反射光ａ２２として反射され（反射率：約４％）、残りは基材１０３の背面側へ透過する。よって、反射光を用いて検査する場合、正常部と欠陥部とのコントラスト（上記の例では、約１．９３）が小さい等の理由により、正常部と欠陥部とを識別することが困難であった。【０００８】
（ｂ）欠陥例２
図１０（ｂ）に示すように、反射防止部材１０２においては、反射防止層１０４が一部凹んでいる。このような状態は、例えば、モスアイ構造を形成するための金型の表面上に異物が存在している場合に発生する。【０００９】
反射防止層１０４側から反射防止部材１０２に入射する光のうち、正常部（モスアイ構造が存在する部分）への入射光ｂ１は、反射防止層１０４の基材１０３とは反対側の表面で反射光ｂ１１として反射される（反射率：約０．０７％）。そして、反射防止層１０４を透過した光のうち、一部は基材１０３の反射防止層１０４とは反対側の表面で反射光ｂ１２として反射され（反射率：約４％）、残りは基材１０３の背面側へ透過する。一方、反射防止層１０４側から反射防止部材１０２に入射する光のうち、欠陥部（反射防止層１０４が凹んだ部分）への入射光ｂ２は、反射防止層１０４の基材１０３とは反対側の表面で反射光ｂ２１として反射される（反射率：約４％）。そして、反射防止層１０４を透過した光のうち、一部は基材１０３の反射防止層１０４とは反対側の表面で反射光ｂ２２として反射され（反射率：約４％）、残りは基材１０３の背面側へ透過する。よって、反射光を用いて検査する場合、正常部と欠陥部とのコントラスト（上記の例では、約１．９３）が小さい等の理由により、正常部と欠陥部とを識別することが困難であった。【００１０】
（ｃ）欠陥例３
図１０（ｃ）に示すように、反射防止部材１０２においては、反射防止層１０４が一部盛り上がっている。このような状態は、例えば、モスアイ構造を形成するための金型の表面が一部凹んでいる場合に発生する。【００１１】
反射防止層１０４側から反射防止部材１０２に入射する光のうち、正常部（モスアイ構造が存在する部分）への入射光ｃ１は、反射防止層１０４の基材１０３とは反対側の表面で反射光ｃ１１として反射される（反射率：約０．０７％）。そして、反射防止層１０４を透過した光のうち、一部は基材１０３の反射防止層１０４とは反対側の表面で反射光ｃ１２として反射され（反射率：約４％）、残りは基材１０３の背面側へ透過する。一方、反射防止層１０４側から反射防止部材１０２に入射する光のうち、欠陥部（反射防止層１０４が盛り上がった部分）への入射光ｃ２は、反射防止層１０４の基材１０３とは反対側の表面で反射光ｃ２１として反射される（反射率：約４％）。そして、反射防止層１０４を透過した光のうち、一部は基材１０３の反射防止層１０４とは反対側の表面で反射光ｃ２２として反射され（反射率：約４％）、残りは基材１０３の背面側へ透過する。よって、反射光を用いて検査する場合、正常部と欠陥部とのコントラスト（上記の例では、約１．９３）が小さい等の理由により、正常部と欠陥部とを識別することが困難であった。【００１２】
以上のように、反射光を用いて反射防止部材の欠陥検査を行う場合、反射防止層の欠陥を検出しやすくするという課題があった。しかしながら、上記課題を解決する手段は見出されていなかった。【００１３】
例えば、本発明者が検討したところ、反射防止層の欠陥の検出精度を高める目的で、照度の高い環境下で目視検査を行うと、正常部と欠陥部とがより識別しにくくなった。また、検査装置の閾値を上げて自動検査を行うと、実用上問題ないサイズの欠陥も検出されてしまい、結果的に、実用上問題となるサイズの欠陥を効率的に検出することができなかった。更に、上記特許文献１には、反射防止層の欠陥の検出に関する記載はなく、上記課題を解決するものではなかった。【００１４】
本発明は、上記現状に鑑みてなされたものであり、反射防止層の欠陥が検出しやすい光学部材を提供することを目的とするものである。また、反射防止層の欠陥が検出しやすい反射防止部材の欠陥検査方法を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明者は、反射防止層の欠陥が検出しやすい光学部材について種々検討したところ、反射防止層の正常部及び欠陥部における反射光の見栄えが異なる構成に着目した。そして、反射防止部材の背面側の表面上に、所定のヘイズ値を有する光散乱部材を配置することで、反射防止層の欠陥が検出しやすくなることを見出した。また、反射防止層の正常部と欠陥部とのコントラストを大きくする構成に着目した。そして、反射防止部材の背面側の表面上に、所定の反射率を有する取り外し可能な低反射部材を配置することで、反射防止層の欠陥が検出しやすくなることを見出した。以上により、上記課題をみごとに解決することができることに想到し、本発明に到達したものである。【００１６】
すなわち、本発明の一態様は、反射防止部材と、上記反射防止部材の背面側の表面上に配置される光散乱部材とを備え、上記反射防止部材は、基材と、上記基材の観察面側の表面上に配置される反射防止層とを有し、上記光散乱部材のヘイズ値は、６％以上である光学部材（以下、本発明の第一の光学部材とも言う。）であってもよい。【００１７】
本発明の別の一態様は、反射防止部材と、上記反射防止部材の背面側の表面上に配置される、取り外し可能な低反射部材とを備え、上記反射防止部材は、基材と、上記基材の観察面側の表面上に配置される反射防止層とを有し、上記低反射部材の反射率は、３．８％未満である光学部材（以下、本発明の第二の光学部材とも言う。）であってもよい。【００１８】
更に、本発明者は、反射防止層の欠陥が検出しやすい反射防止部材の欠陥検査方法について種々検討したところ、反射防止層の正常部及び欠陥部における反射光の見栄えを異なるものとする検査方法に着目した。そして、反射防止部材の背面側の表面上に、所定のヘイズ値を有する光散乱部材を取り付け、反射防止層側から反射防止部材に光を照射し、反射光の状態を検査することで、反射防止層の欠陥が検出しやすくなることを見出した。また、反射防止層の正常部と欠陥部とのコントラストを大きくする検査方法に着目した。そして、反射防止部材の背面側の表面上に、所定の反射率を有する取り外し可能な低反射部材を取り付け、反射防止層側から反射防止部材に光を照射し、反射光の状態を検査することで、反射防止層の欠陥が検出しやすくなることを見出した。以上により、上記課題をみごとに解決することができることに想到し、本発明に到達したものである。【００１９】
すなわち、本発明の別の一態様は、基材と、上記基材の観察面側の表面上に配置される反射防止層とを備える反射防止部材の欠陥検査方法であって、上記基材の背面側の表面上に、６％以上のヘイズ値を有する光散乱部材を取り付ける工程と、上記反射防止層側から上記反射防止部材に光を照射し、反射光の状態を検査することによって上記反射防止層の欠陥を検出する工程とを含む反射防止部材の欠陥検査方法（以下、本発明の第一の反射防止部材の欠陥検査方法とも言う。）であってもよい。【００２０】
本発明の別の一態様は、基材と、上記基材の観察面側の表面上に配置される反射防止層とを備える反射防止部材の欠陥検査方法であって、上記基材の背面側の表面上に、３．８％未満の反射率を有する取り外し可能な低反射部材を取り付ける工程と、上記反射防止層側から上記反射防止部材に光を照射し、反射光の状態を検査することによって上記反射防止層の欠陥を検出する工程とを含む反射防止部材の欠陥検査方法（以下、本発明の第二の反射防止部材の欠陥検査方法とも言う。）であってもよい。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、反射防止層の欠陥が検出しやすい光学部材を提供することができる。また、反射防止層の欠陥が検出しやすい反射防止部材の欠陥検査方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】実施形態１の光学部材を示す断面模式図である。
【図２】実施形態１の光学部材における反射防止層の構成例を示す断面模式図である。
【図３】実施形態１の光学部材を用いた反射防止部材の欠陥検査方法を説明するための断面模式図である（工程ａ〜ｆ）。
【図４】実施形態２の光学部材を示す断面模式図である。
【図５】実施形態２の光学部材における低反射部材の構成例を示す断面模式図である。
【図６】実施形態２の光学部材における低反射部材の別の構成例を示す断面模式図である。
【図７】実施形態２の光学部材における低反射部材の反射率、透過率、及び、吸収率の比率を示す三角グラフである。
【図８】実施形態２の光学部材を用いた反射防止部材の欠陥検査方法を説明するための断面模式図である（工程ａ〜ｆ）。
【図９】各例のサンプルの最も背面側に配置される部材単独の正反射率スペクトルを示すグラフである。
【図１０】反射防止層の欠陥例を示す断面模式図であり、（ａ）は凸部が一部存在していない状態を示し、（ｂ）は反射防止層が一部凹んでいる状態を示し、（ｃ）は反射防止層が一部盛り上がっている状態を示す。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下に実施形態を掲げ、本発明について図面を参照して更に詳細に説明するが、本発明はこれらの実施形態のみに限定されるものではない。なお、以下の説明において、同一部分又は同様な機能を有する部分には、同様な符号を異なる図面間で共通して用い、その繰り返しの説明を適宜省略する。また、各実施形態の構成は、本発明の要旨を逸脱しない範囲において適宜組み合わされてもよいし、変更されてもよい。
【００２４】
［実施形態１］
実施形態１の光学部材について、図１を参照して以下に説明する。図１は、実施形態１の光学部材を示す断面模式図である。実施形態１の光学部材は、上記本発明の第一の光学部材に相当する。
【００２５】
光学部材１ａは、反射防止部材２と、反射防止部材２の背面側の表面上に配置される光散乱部材５とを備えている。光散乱部材５は、取り外し可能（セパレータ）であることが好ましい。光散乱部材５が取り外し可能である場合、下記のような、光学的な利点及び取り扱い上の利点が得られる。
（光学的な利点）
光散乱部材５の屈折率と反射防止部材２の基材３の屈折率とが異なる場合、光散乱部材５を取り外した状態の方が、反射防止効果が効果的に得られる。
（取り扱い上の利点）
光学部材１ａを取り扱う際に、裏面（光散乱部材５の反射防止部材２とは反対側の表面）にキズ、汚れ等が発生しても、光散乱部材５を取り外すことによって、裏面（基材３の反射防止層４とは反対側の表面）が清浄な状態である反射防止部材２が得られる。すなわち、光散乱部材５を、反射防止部材２（基材３）を保護する保護部材として用いることができる。
【００２６】
光散乱部材５は、反射防止部材２と粘着剤等を介して貼り合わされていてもよく、空気層（気泡）を介さないように直に接していてもよい。この場合、光散乱部材５の反射防止部材２側の表面上には、ハードコート層等の他の層が配置されていることがない。
【００２７】
反射防止部材２は、基材３と、基材３の観察面側の表面上に配置される反射防止層４とを有している。本明細書中、背面側は、例えば、図１中では、光学部材１ａの下側（光散乱部材５側）を指す。観察面側は、例えば、図１中では、光学部材１ａの上側（反射防止部材２側）を指す。
【００２８】
基材３の材料としては特に限定されず、例えば、トリアセチルセルロース（ＴＡＣ）、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、アクリル樹脂、ガラス等が挙げられる。基材３は、上記材料以外に、可塑剤等の添加剤を適宜含んでいてもよい。
【００２９】
基材３の形状としては特に限定されず、例えば、フィルム状、シート状等が挙げられる。光学部材１ａをフィルム状にする場合は、フィルム状の基材３を用いればよく、例えば、トリアセチルセルロースフィルム（ＴＡＣフィルム）等が好ましく用いられる。
【００３０】
基材３の厚みは特に限定されないが、透明性及び加工性を確保する観点から、５０μｍ以上、１００μｍ以下であることが好ましい。
【００３１】
反射防止層４としては、例えば、図２に示すような構成が挙げられる。図２は、実施形態１の光学部材における反射防止層の構成例を示す断面模式図である。図２に示すように、反射防止層４は、基材３とは反対側の表面に、複数の凸部（突起）６ａが可視光の波長以下のピッチ（隣接する凸部６ａの頂点間の距離）Ｐ１で設けられる凹凸構造、すなわち、モスアイ構造を有していることが好ましい。これにより、反射防止部材２は、モスアイ構造による優れた反射防止性（低反射性）を示すことができる。なお、図２は、モスアイ構造に図１０（ａ）で示した欠陥（上述した欠陥例１）が存在する状態を例示している。
【００３２】
凸部６ａの形状としては特に限定されず、例えば、柱状の下部と半球状の上部とによって構成される形状（釣鐘状）、錐体状（コーン状、円錐状）等の、先端に向かって細くなる形状（テーパー形状）が挙げられる。
【００３３】
隣接する凸部６ａ間のピッチＰ１は、可視光の波長（７８０ｎｍ）以下であれば特に限定されないが、モアレ、虹ムラ等の光学現象を充分に防止する観点から、１００ｎｍ以上、４００ｎｍ以下であることが好ましく、１００ｎｍ以上、２００ｎｍ以下であることがより好ましい。
【００３４】
凸部６ａの高さは特に限定されないが、後述する凸部６ａの好ましいアスペクト比と両立させる観点から、５０ｎｍ以上、６００ｎｍ以下であることが好ましく、１００ｎｍ以上、３００ｎｍ以下であることがより好ましい。
【００３５】
凸部６ａのアスペクト比は特に限定されないが、０．８以上、１．５以下であることが好ましい。凸部６ａのアスペクト比が１．５以下である場合、モスアイ構造の加工性が充分に高まり、スティッキングが発生したり、モスアイ構造を形成する際の転写具合が悪化したりする（金型が詰まったり、巻き付いてしまう、等）懸念が低くなる。凸部６ａのアスペクト比が０．８以上である場合、モアレ、虹ムラ等の光学現象を充分に防止し、良好な反射防止性を実現することができる。
【００３６】
凸部６ａの配置は特に限定されず、ランダムに配置されていても、規則的に配置されていてもよい。モアレの発生を充分に防止する観点からは、ランダムに配置されていることが好ましい。
【００３７】
反射防止層４としては、モスアイ構造を表面に有する反射防止層の他に、例えば、有機膜（樹脂膜）又は無機膜から構成される反射防止層が挙げられる。
【００３８】
反射防止層４が有機膜から構成される場合、反射防止部材２としては、例えば、パナソニック社製の反射防止フィルム（製品名：ファインティアラ（登録商標））等が挙げられる。有機膜から構成される反射防止層４としては、その他に、背面側から観察面側に向かって順に、低屈折率樹脂と高屈折率樹脂とが積層される構成が挙げられ、交互に多数積層される構成であってもよい。低屈折率樹脂及び高屈折率樹脂の積層数が多いほど反射率が下がるため、反射防止性は高まるが、その分コストが上がる。低屈折率樹脂としては、例えば、ＪＳＲ社製の低屈折率材料（製品名：ＯＰＳＴＡＲ（登録商標））等の、フッ素系の樹脂等を薄く塗布したものが挙げられる。高屈折率樹脂としては、例えば、住友大阪セメント社製の高屈折率コーティング液等を薄く塗布したものが挙げられる。
【００３９】
反射防止層４が無機膜から構成される場合、反射防止部材２としては、例えば、デクセリアルズ社製の反射防止フィルム等が挙げられる。この場合、反射防止層４としては、低屈折率膜の二酸化ケイ素（ＳｉＯ２）と高屈折率膜の五酸化ニオブ（Ｎｂ２Ｏ５）とが交互に積層される構成が挙げられる。
【００４０】
光散乱部材５としては、例えば、アンチグレア（ＡＧ）処理が表面に施されたフィルム等が挙げられる。この場合、光散乱部材５の反射防止部材２とは反対側の表面に、アンチグレア処理が施されていればよい。光散乱部材５としては、アンチグレア処理が表面に施されたフィルムの他に、例えば、散乱体を内部に含む部材、複数の凸部が１μｍ以上のピッチ（隣接する凸部の頂点間の距離）で設けられる散乱凹凸構造を表面に有する部材等が挙げられる。
【００４１】
光散乱部材５のヘイズ値は、６％以上である。光散乱部材５のヘイズ値が６％未満である場合、反射防止層４の正常部及び欠陥部における反射光の状態が識別しにくい。光散乱部材５のヘイズ値が高ければ高いほど、反射防止層４の欠陥が検出しやすくなる。反射防止層４の欠陥をより検出しやすくする観点から、光散乱部材５のヘイズ値は、３０％以上であることが好ましい。実用的な観点から、光散乱部材５のヘイズ値の好ましい上限値は９０％である。
【００４２】
本明細書中、ヘイズ値は、光学部材から独立した部材単独の状態で拡散透過率及び全光線透過率を測定することによって、ヘイズ値（単位：％）＝１００×（拡散透過率）／（全光線透過率）から決定された値を指す。拡散透過率及び全光線透過率の測定は、日本電色工業社製のヘイズメーター（製品名：ＮＤＨ−２０００）を用いて行った。
【００４３】
光学部材１ａによれば、以下のメカニズムによって、反射防止層４の欠陥が検出しやすくなる。なお、以下では、反射防止層４がモスアイ構造を表面に有し、かつ、そのモスアイ構造に図１０（ａ）で示した欠陥（上述した欠陥例１）が存在する場合について、図２を参照して例示する。反射防止層４が図２で示した構成以外のものであっても、メカニズムは同様である。
【００４４】
反射防止層４側から反射防止部材２に入射する光のうち、正常部（モスアイ構造が存在する部分）への入射光Ａ１は、反射防止層４の基材３とは反対側の表面で反射光Ａ１１として反射される（反射率：約０．０７％）。そして、反射防止層４を透過した光は、光散乱部材５の反射防止部材２とは反対側の表面で散乱光Ａ１２として散乱される。
【００４５】
一方、反射防止層４側から反射防止部材２に入射する光のうち、欠陥部（凸部が存在しない部分）への入射光Ａ２は、反射防止層４の基材３とは反対側の表面で反射光Ａ２１として反射される（反射率：約４％）。そして、反射防止層４を透過した光は、光散乱部材５の反射防止部材２とは反対側の表面で散乱光Ａ２２として散乱される。
【００４６】
以上より、光学部材１ａによれば、光散乱部材５の光散乱効果によって、反射防止層４の正常部及び欠陥部における反射光の見栄えが異なるため、正常部と欠陥部とが識別しやすくなる。その結果、反射防止層４の欠陥が検出しやすくなる。
【００４７】
また、光散乱部材５の背面側の表面上に、後述する実施形態２で用いられる低反射部材１３（光吸収部材１４）が配置される構成であっても、同様の効果を奏することができる。
【００４８】
次に、実施形態１の光学部材を用いた反射防止部材の欠陥検査方法について、図３を参照して以下に説明する。図３は、実施形態１の光学部材を用いた反射防止部材の欠陥検査方法を説明するための断面模式図である（工程ａ〜ｆ）。実施形態１の光学部材を用いた反射防止部材の欠陥検査方法は、本発明の第一の反射防止部材の欠陥検査方法に相当する。なお、以下では、反射防止層４がモスアイ構造を表面に有する場合について例示する。
【００４９】
（ａ）事前準備及び巻き出し
まず、基材３の背面側の表面上に光散乱部材５を取り付け、ロール状の積層体を作製する。この際、基材３と光散乱部材５との間に気泡が入らないようにすることが好ましい。その後、図３（ａ）に示すように、ロール状の積層体を、ロール７ａを用いて巻き出す。図３（ａ）中、光散乱部材５は積層体に含まれているが、後述する工程（ｅ）において欠陥検査を行う前であれば、どのタイミングで取り付けられてもよい。
【００５０】
（ｂ）樹脂組成物の塗布
図３（ｂ）に示すように、塗布装置８を用いて、樹脂組成物９を基材３の光散乱部材５とは反対側の表面に塗布する。図３（ｂ）中、塗布装置８はディップコート方式の塗布装置であるが、他の方式の塗布装置であってもよい。また、反射防止層４の材料であれば、樹脂組成物９の代わりに他の材料を用いてもよい。
【００５１】
（ｃ）金型の転写、及び、一次露光
図３（ｃ）に示すように、塗布された樹脂組成物９に金型１０を押し付け、樹脂組成物９の基材３とは反対側の表面に凹凸構造を形成する。その後、凹凸構造が形成された樹脂組成物９に対して一次露光を行い、樹脂組成物９を半硬化させる。一次露光は、活性エネルギー線の照射によって行われることが好ましい。本明細書中、活性エネルギー線は、紫外線、可視光線、赤外線、プラズマ等を指す。活性エネルギー線の照射は、図３（ｃ）に示すように基材３側（光散乱部材５側）から行ってもよく、樹脂組成物９側から行ってもよい。
【００５２】
（ｄ）二次露光
図３（ｄ）に示すように、半硬化状態の樹脂組成物９に対して二次露光を行う。その結果、基材３の観察面側の表面上に反射防止層４が形成され、反射防止部材２、及び、光学部材１ａが得られる。二次露光は、一次露光と同様に行われることが好ましい。
【００５３】
（ｅ）欠陥検査
図３（ｅ）に示すように、反射防止層４側から反射防止部材２に光を照射し、反射光の状態を検査する。検査は、検査装置１１を用いた自動検査であってもよいし、検査員１２による目視検査であってもよい。自動検査を行う場合は、例えば、検査装置１１によってコントラストの分布を測定し、その分布状態から判断して反射防止層４の欠陥（周囲とのコントラスト差が大きい箇所）を検出する。目視検査を行う場合は、例えば、暗室内で、検査員１２が反射防止部材２（光学部材１ａ）に光を当てながら、反射光の状態（見栄え）を検査し、反射防止層４の欠陥（周囲と反射光の見栄えが異なる箇所）を検出する。反射防止層４の欠陥の検出精度を高める観点から、光の照度は、１００ｌｘ以上であることが好ましい。光学部材１ａ（光散乱部材５）を用いて欠陥検査を行う場合、反射防止層４の正常部及び欠陥部における反射光の見栄えが異なり、欠陥部がより光って見えるため、目視検査の方が好ましい。
【００５４】
（ｆ）完成品の巻き取り
図３（ｆ）に示すように、欠陥検査後の光学部材１ａを、ロール７ｂを用いて巻き取る。図３（ｆ）中、反射防止部材２は、光散乱部材５が取り付けられたままの状態で巻き取られているが、光散乱部材５が取り外された状態で巻き取られてもよい。光散乱部材５を取り外すタイミングは特に限定されない。
【００５５】
以上より、光学部材１ａを用いた反射防止部材２の欠陥検査方法によれば、光散乱部材５の光散乱効果によって、反射防止層４の正常部及び欠陥部における反射光の見栄えが異なるため、正常部と欠陥部とが識別しやすくなる。その結果、反射防止層４の欠陥が検出しやすくなる。
【００５６】
［実施形態２］
実施形態２の光学部材について、図４を参照して以下に説明する。図４は、実施形態２の光学部材を示す断面模式図である。実施形態２の光学部材は、光散乱部材の代わりに低反射部材（光吸収部材）を有すること以外、実施形態１の光学部材と同様であるため、重複する点については説明を適宜省略する。実施形態２の光学部材は、上記本発明の第二の光学部材に相当する。
【００５７】
光学部材１ｂは、反射防止部材２と、反射防止部材２の背面側の表面上に配置される、取り外し可能な低反射部材１３とを備えている。低反射部材１３は、取り外し可能（セパレータ）であれば、反射防止部材２と粘着剤等を介して貼り合わされていてもよく、空気層（気泡）を介さないように直に接していてもよい。低反射部材１３が取り外し可能であることによって、下記のような、光学的な利点及び取り扱い上の利点が得られる。
（光学的な利点）
低反射部材１３として、異なる屈折率の材料が積層された構成を用いる場合、低反射部材１３を取り外した状態の方が、反射防止効果が効果的に得られる。
（取り扱い上の利点）
光学部材１ｂを取り扱う際に、裏面（低反射部材１３の反射防止部材２とは反対側の表面）にキズ、汚れ等が発生しても、低反射部材１３を取り外すことによって、裏面（基材３の反射防止層４とは反対側の表面）が清浄な状態である反射防止部材２が得られる。すなわち、低反射部材１３を、反射防止部材２（基材３）を保護する保護部材として用いることができる。
【００５８】
低反射部材１３としては、例えば、反射防止部材２（反射防止層４）と同様な構成が挙げられる。図５は、実施形態２の光学部材における低反射部材の構成例を示す断面模式図である。図５に示すように、低反射部材１３は、反射防止部材２とは反対側の表面に、複数の凸部（突起）６ｂが可視光の波長以下のピッチ（隣接する凸部６ｂの頂点間の距離）Ｐ２で設けられる凹凸構造、すなわち、モスアイ構造を有していることが好ましい。なお、図５は、反射防止層４がモスアイ構造を表面に有し、かつ、そのモスアイ構造に図１０（ａ）で示した欠陥（上述した欠陥例１）が存在する状態を例示している。凸部６ｂの仕様（形状、ピッチＰ２、高さ、アスペクト比、及び、配置）は、上述した凸部６ａと同様であってもよく、異なっていてもよい。
【００５９】
低反射部材１３としては、反射防止部材２（反射防止層４）と同様な構成の他に、例えば、図６に示すような光吸収部材１４が挙げられる。図６は、実施形態２の光学部材における低反射部材の別の構成例を示す断面模式図である。なお、図６は、反射防止層４がモスアイ構造を表面に有し、かつ、そのモスアイ構造に図１０（ａ）で示した欠陥（上述した欠陥例１）が存在する状態を例示している。
【００６０】
光吸収部材１４は、可視光の全波長領域の光を吸収するものであることが好ましく、具体的には、黒色の光吸収部材であることが好ましい。光吸収部材１４が黒色の光吸収部材である場合、吸収率は４０％以上であることが好ましい。また、光吸収部材１４は、特定の波長領域の光を吸収するものであってもよい。この場合、反射防止部材２の欠陥検査時に照射する光の色と、光吸収部材１４の色とは異なることが好ましい。
【００６１】
低反射部材１３の反射率は、３．８％未満である。低反射部材１３の反射率が３．８％以上である場合、反射防止層４の正常部と欠陥部とのコントラストが小さく、正常部と欠陥部とが識別しにくい。図７は、実施形態２の光学部材における低反射部材の反射率、透過率、及び、吸収率の比率を示す三角グラフである。図７に示すように、低反射部材１３の反射率、透過率、及び、吸収率を、各々、Ｘ、Ｙ、及び、Ｚ（単位：％）とし、かつ、Ｘ＋Ｙ＋Ｚ＝１００とすると、Ｘ、Ｙ、及び、Ｚの比率を示す三角グラフ上の点（Ｘ，Ｙ，Ｚ）は、０≦Ｘ＜３．８の範囲（領域Ｒ１）に存在する。反射防止層４の欠陥をより検出しやすくする観点から、三角グラフ上の点（Ｘ，Ｙ，Ｚ）は、第一の点Ｑ１（０，１００，０）、第二の点Ｑ２（０，０，１００）、第三の点Ｑ３（３．８，０，９６．２）、及び、第四の点Ｑ４（２，９８，０）を頂点とする四角形における、第三の点Ｑ３を除く辺上及び内部（領域Ｒ２）に存在することが好ましい。また、三角グラフ上の点（Ｘ，Ｙ，Ｚ）は、第一の点Ｑ１（０，１００，０）、第二の点Ｑ２（０，０，１００）、第三の点Ｑ３（３．８，０，９６．２）、及び、第五の点Ｑ５（１，９９，０）を頂点とする四角形における、第三の点Ｑ３を除く辺上及び内部（領域Ｒ３）に存在することがより好ましい。これは、低反射部材１３の反射率が低ければ低いほど、吸収率が高ければ高いほど、反射防止層４の正常部及び欠陥部における反射光の状態が識別しやすくなるためである。三角グラフ上の点（Ｘ，Ｙ，Ｚ）は、第二の点Ｑ２（０，０，１００）と一致することが特に好ましい。このような特に好ましい例としては、低反射部材１３が黒色の光吸収部材である場合が挙げられる。なお、第一の点Ｑ１（０，１００，０）の近傍の例としては、低反射部材１３がモスアイ構造を表面に有する場合が挙げられる。
【００６２】
本明細書中、反射率は、下記の方法で得られた視感反射率（Ｙ値）を指す。まず、光学部材から独立した部材の裏面に黒色のアクリル板を貼り付けた状態で、部材の法線方向に対して５°傾いた方向から光を照射し、正反射率スペクトルを測定する。正反射率スペクトルの測定は、日本分光社製の分光光度計（製品名：Ｖ−５６０）を用いて行い、光源をハロゲンランプ（長波長側）及び重水素ランプ（短波長側）、測定波長範囲を２５０〜８５０ｎｍとした。そして、測定された正反射率スペクトルを用いて、上記の日本分光社製の分光光度計（製品名：Ｖ−５６０）で計算されることによって、視感反射率（Ｙ値）を得る。なお、黒色のアクリル板を貼り付けた状態で測定することで、部材の裏面（黒色のアクリル板の表面）からの反射の影響が抑えられるため、部材の表面における反射率が得られる。
【００６３】
本明細書中、透過率は、日本分光社製の分光光度計（製品名：Ｖ−７１００）を用いて測定される。
【００６４】
本明細書中、吸収率は、上述した方法で得られる反射率及び透過率から、（吸収率）＝１００−（反射率）−（透過率）（単位：％）によって算出される。
【００６５】
光学部材１ｂによれば、以下のメカニズムによって、反射防止層４の欠陥が検出しやすくなる。なお、以下では、反射防止層４がモスアイ構造を表面に有し、かつ、そのモスアイ構造に図１０（ａ）で示した欠陥（上述した欠陥例１）が存在する場合について、図５及び図６を参照して例示する。反射防止層４が図５及び図６で示した構成以外のものであっても、メカニズムは同様である。
【００６６】
まず、図５を参照して説明する。反射防止層４側から反射防止部材２に入射する光のうち、正常部（モスアイ構造が存在する部分）への入射光Ｂ１は、反射防止層４の基材３とは反対側の表面で反射光Ｂ１１として反射される（反射率：約０．０７％）。そして、反射防止層４を透過した光のうち、一部は低反射部材１３の反射防止部材２とは反対側の表面で反射光Ｂ１２として反射され（反射率：約０．０７％）、残りは低反射部材１３の背面側へ透過する。
【００６７】
一方、反射防止層４側から反射防止部材２に入射する光のうち、欠陥部（凸部が存在しない部分）への入射光Ｂ２は、反射防止層４の基材３とは反対側の表面で反射光Ｂ２１として反射される（反射率：約４％）。そして、反射防止層４を透過した光のうち、一部は低反射部材１３の反射防止部材２とは反対側の表面で反射光Ｂ２２として反射され（反射率：約０．０７％）、残りは低反射部材１３の背面側へ透過する。
【００６８】
以上より、光学部材１ｂによれば、低反射部材１３の低反射効果によって、図１０で示した反射光ａ１２、及び、反射光ａ２２の影響が抑制される。そのため、反射防止層４の正常部と欠陥部とのコントラストが大きくなり、正常部と欠陥部とが識別しやすくなる。その結果、反射防止層４の欠陥が検出しやすくなる。
【００６９】
次に、図６を参照して説明する。反射防止層４側から反射防止部材２に入射する光のうち、正常部（モスアイ構造が存在する部分）への入射光Ｃ１は、反射防止層４の基材３とは反対側の表面で反射光Ｃ１１として反射される（反射率：約０．０７％）。そして、反射防止層４を透過した光は、光吸収部材１４（低反射部材１３）によって吸収される。
【００７０】
一方、反射防止層４側から反射防止部材２に入射する光のうち、欠陥部（凸部が存在しない部分）への入射光Ｃ２は、反射防止層４の基材３とは反対側の表面で反射光Ｃ２１として反射される（反射率：約４％）。そして、反射防止層４を透過した光は、光吸収部材１４（低反射部材１３）によって吸収される。
【００７１】
以上より、光学部材１ｂによれば、光吸収部材１４の光吸収効果によって、図１０で示した反射光ａ１２、及び、反射光ａ２２の影響が充分に抑制される。そのため、図５で示した構成と比較して、反射防止層４の正常部と欠陥部とのコントラストがより大きくなり、正常部と欠陥部とがより識別しやすくなる。その結果、反射防止層４の欠陥がより検出しやすくなる。
【００７２】
また、低反射部材１３（光吸収部材１４）の背面側の表面上に、上述した実施形態１で用いられる光散乱部材５が配置される構成であっても、同様の効果を奏することができる。
【００７３】
次に、実施形態２の光学部材を用いた反射防止部材の欠陥検査方法について、図８を参照して以下に説明する。図８は、実施形態２の光学部材を用いた反射防止部材の欠陥検査方法を説明するための断面模式図である（工程ａ〜ｆ）。実施形態２の光学部材を用いた反射防止部材の欠陥検査方法は、光散乱部材の代わりに低反射部材（光吸収部材）を取り付けること以外、実施形態１の光学部材を用いた反射防止部材の欠陥検査方法と同様であるため、重複する点については説明を適宜省略する。実施形態２の光学部材を用いた反射防止部材の欠陥検査方法は、本発明の第二の反射防止部材の欠陥検査方法に相当する。なお、以下では、反射防止層４がモスアイ構造を表面に有する場合について例示する。
【００７４】
（ａ）事前準備及び巻き出し
まず、基材３の背面側の表面上に低反射部材１３（光吸収部材１４）を取り付け、ロール状の積層体を作製する。この際、基材３と低反射部材１３（光吸収部材１４）との間に気泡が入らないようにすることが好ましい。その後、図８（ａ）に示すように、ロール状の積層体を、ロール７ａを用いて巻き出す。図８（ａ）中、低反射部材１３（光吸収部材１４）は積層体に含まれているが、後述する工程（ｅ）において欠陥検査を行う前であれば、どのタイミングで取り付けられてもよい。
【００７５】
（ｂ）樹脂組成物の塗布
図８（ｂ）に示すように、塗布装置８を用いて、樹脂組成物９を基材３の低反射部材１３（光吸収部材１４）とは反対側の表面に塗布する。
【００７６】
（ｃ）金型の転写、及び、一次露光
図８（ｃ）に示すように、塗布された樹脂組成物９に金型１０を押し付け、樹脂組成物９の基材３とは反対側の表面に凹凸構造を形成する。その後、凹凸構造が形成された樹脂組成物９に対して一次露光を行い、樹脂組成物９を半硬化させる。
【００７７】
（ｄ）二次露光
図８（ｄ）に示すように、半硬化状態の樹脂組成物９に対して二次露光を行う。その結果、基材３の観察面側の表面上に反射防止層４が形成され、反射防止部材２、及び、光学部材１ｂが得られる。
【００７８】
（ｅ）欠陥検査
図８（ｅ）に示すように、反射防止層４側から反射防止部材２に光を照射し、反射光の状態を検査する。検査は、検査装置１１を用いた自動検査であってもよいし、検査員１２による目視検査であってもよい。
【００７９】
（ｆ）完成品の巻き取り
図８（ｆ）に示すように、欠陥検査後の光学部材１ｂを、ロール７ｂを用いて巻き取る。
【００８０】
以上より、光学部材１ｂを用いた反射防止部材２の欠陥検査方法によれば、低反射部材１３の低反射効果によって、反射防止層４の正常部と欠陥部とのコントラストが大きくなるため、正常部と欠陥部とが識別しやすくなる。その結果、反射防止層４の欠陥が検出しやすくなる。特に、低反射部材１３として光吸収部材１４を用いる場合、光吸収部材１４の光吸収効果によって、反射防止層４の正常部と欠陥部とのコントラストがより大きくなるため、正常部と欠陥部とがより識別しやすくなる。その結果、反射防止層４の欠陥がより検出しやすくなる。
【００８１】
以下に、実施例及び比較例を挙げて本発明をより詳細に説明するが、本発明はこれらの例によって限定されるものではない。
【００８２】
（実施例１）
実施形態１の光学部材を、以下の製造プロセスによって作製した（図１、図２、及び、図３参照）。
【００８３】
（ａ）事前準備及び巻き出し
まず、基材３の背面側の表面上にシート状の糊（保護フィルム付き）を貼り付けた。そして、糊の保護フィルムを剥がしながら、光散乱部材５を糊にローラーで貼り付け、ロール状の積層体を作製した。この際、光散乱部材５の糊と貼り合わされる表面を予め清掃しておいた。その後、ロール状の積層体を、ロール７ａを用いて巻き出した。
【００８４】
基材３としては、富士フイルム社製のトリアセチルセルロースフィルム（製品名：フジタック（登録商標）ＴＤ−６０）を用いた。基材３の厚みは、６０μｍであった。基材３のヘイズ値は、０．１％であった。
【００８５】
光散乱部材５としては、４６％のヘイズ値を有するアンチグレア処理済フィルム（以下、フィルムＡとも言う。）を用いた。
【００８６】
（ｂ）樹脂組成物の塗布
塗布装置８（ディップコート方式の塗布装置）を用いて、樹脂組成物９（光硬化性樹脂組成物）を基材３の光散乱部材５とは反対側の表面に塗布した。
【００８７】
（ｃ）金型の転写、及び、一次露光
塗布された樹脂組成物９に、連続転写可能な円筒状の金型１０を押し付け、樹脂組成物９の基材３とは反対側の表面に凹凸構造を形成した。その後、凹凸構造が形成された樹脂組成物９に対して、基材３側（光散乱部材５側）から光（可視光線及び紫外線の積算光量：５０ｍＪ／ｃｍ２〜１０００ｍＪ／ｃｍ２）を照射して一次露光を行い、樹脂組成物９を半硬化させた。
【００８８】
（ｄ）二次露光
半硬化状態の樹脂組成物９に対して、基材３側（光散乱部材５側）から光（可視光線及び紫外線の積算光量：５０ｍＪ／ｃｍ２〜１０００ｍＪ／ｃｍ２）を照射して二次露光を行った。その結果、基材３の観察面側の表面上に反射防止層４が形成され、反射防止部材２、及び、光学部材１ａが得られた。
【００８９】
反射防止層４の仕様は、下記の通りであった。
凸部６ａの形状：釣鐘状
隣接する凸部６ａ間のピッチＰ１：２００ｎｍ
凸部６ａの高さ：２００ｎｍ
ヘイズ値：０．４％
【００９０】
（実施例２）
光散乱部材５として、３１．５％のヘイズ値を有するアンチグレア処理済フィルム（以下、フィルムＢとも言う。）を用いたこと以外、実施例１と同様にして、光学部材を作製した。
【００９１】
（実施例３）
光散乱部材５として、１５％のヘイズ値を有するアンチグレア処理済フィルム（以下、フィルムＣとも言う。）を用いたこと以外、実施例１と同様にして、光学部材を作製した。
【００９２】
（実施例４）
光散乱部材５として、６．１４％のヘイズ値を有するアンチグレア処理済フィルム（以下、フィルムＤとも言う。）を用いたこと以外、実施例１と同様にして、光学部材を作製した。
【００９３】
（実施例５）
実施形態２の光学部材を作製した（図４、図５、図６、及び、図８参照）。具体的には、光散乱部材５の代わりに、低反射部材１３として反射防止層４を取り付けたこと以外、実施例１と同様にして、光学部材を作製した。低反射部材１３のヘイズ値は、０．４％であった。
【００９４】
（実施例６）
低反射部材１３として、０．６％のヘイズ値を有する低反射フィルム（以下、フィルムＥとも言う。基材：トリアセチルセルロースフィルム）を用いたこと以外、実施例５と同様にして、光学部材を作製した。
【００９５】
（実施例７）
低反射部材１３として、黒色のアクリル板（光吸収部材１４に相当）を用いたこと以外、実施例５と同様にして、光学部材を作製した。
【００９６】
（実施例８）
実施形態１の光学部材を作製した。具体的には、反射防止部材２として低反射フィルム（フィルムＥ）を用い、その基材３の背面側の表面上に、光散乱部材５としてアンチグレア処理済フィルム（フィルムＡ）を取り付けた。
【００９７】
（実施例９）
光散乱部材５として、アンチグレア処理済フィルム（フィルムＢ）を用いたこと以外、実施例８と同様にして、光学部材を作製した。
【００９８】
（実施例１０）
光散乱部材５として、アンチグレア処理済フィルム（フィルムＣ）を用いたこと以外、実施例８と同様にして、光学部材を作製した。
【００９９】
（実施例１１）
実施形態２の光学部材を作製した。具体的には、光散乱部材５の代わりに、低反射部材１３として実施例１で形成した反射防止層４を取り付けたこと以外、実施例８と同様にして、光学部材を作製した。
【０１００】
（実施例１２）
低反射部材１３として、低反射フィルム（フィルムＥ）を用いたこと以外、実施例１１と同様にして、光学部材を作製した。
【０１０１】
（実施例１３）
低反射部材１３として、黒色のアクリル板（光吸収部材１４に相当）を用いたこと以外、実施例１１と同様にして、光学部材を作製した。
【０１０２】
（比較例１）
光散乱部材を取り付けなかったこと以外、実施例１と同様にして、反射防止部材（図１０で示した反射防止部材１０２に相当）を作製した。
【０１０３】
（比較例２）
光散乱部材として、１％のヘイズ値を有するアンチグレア処理済フィルム（以下、フィルムＦとも言う。）を用いたこと以外、実施例１と同様にして、光学部材を作製した。
【０１０４】
（比較例３）
低反射フィルム（フィルムＥ）を準備した。この構成は、光散乱部材が取り付けられていないこと以外、実施例８と同様である。
【０１０５】
（比較例４）
光散乱部材として、アンチグレア処理済フィルム（フィルムＦ）を用いたこと以外、実施例８と同様にして、光学部材を作製した。
【０１０６】
［評価］
実施例１〜１３、及び、比較例１〜４の光学部材（反射防止部材）に対して、コントラストのシミュレーション計算、及び、欠陥検査を行った。結果を、表１及び表２に示す。表１は、観察面側の表面にモスアイ構造が配置される構成（実施例１〜７、及び、比較例１、２）の結果を示す。表２は、観察面側の表面に低反射フィルム（フィルムＥ）の反射防止層が配置される構成（実施例８〜１３、及び、比較例３、４）の結果を示す。
【０１０７】
（コントラストのシミュレーション計算）
反射防止層の正常部と欠陥部とのコントラストのシミュレーション計算を、以下の通り行った。まず、各例のサンプルの最も背面側に配置される部材単独の反射率Ｇ（単位：％）を測定した。図９は、各例のサンプルの最も背面側に配置される部材単独の正反射率スペクトルを示すグラフである。なお、表１及び表２には、各例のサンプルの最も背面側に配置される部材のヘイズ値Ｈ（単位：％）も示した。各例のサンプルの最も背面側に配置される部材は、下記の通りである。末尾の括弧内の表記は、図９中の表記を示す。
実施例１、及び、実施例８：アンチグレア処理済フィルム（フィルムＡ）
実施例２、及び、実施例９：アンチグレア処理済フィルム（フィルムＢ）
実施例３、及び、実施例１０：アンチグレア処理済フィルム（フィルムＣ）
実施例４：アンチグレア処理済フィルム（フィルムＤ）
実施例５、及び、実施例１１：モスアイ構造を表面に有する反射防止層（モスアイ構造）
実施例６、及び、実施例１２：低反射フィルムの反射防止層（フィルムＥ）
実施例７、及び、実施例１３：黒色のアクリル板
比較例１、及び、比較例３：トリアセチルセルロースフィルム（ＴＡＣ）
比較例２、及び、比較例４：アンチグレア処理済フィルム（フィルムＦ）
ここで、「フィルムＦ」においては、表面にハードコート層が配置されているため、「ＴＡＣ」よりも反射率が高くなった。なお、実施例７、及び、実施例１３で用いられた黒色のアクリル板の反射率については、０％とした。
【０１０８】
次に、反射防止層の正常部及び欠陥部への入射光について、各例のサンプルの観察面側の表面（反射防止層の基材とは反対側の表面）における反射率Ｇ１（単位：％）を、測定された反射率Ｇに基づいて設定した。具体的には、実施例１〜７、及び、比較例１、２（表１）において、正常部の反射率Ｇ１を実施例５の反射率Ｇ（「モスアイ構造」の反射率Ｇ）と同様に設定し、欠陥部の反射率Ｇ１を比較例１の反射率Ｇ（「ＴＡＣ」の反射率Ｇ）と同様に設定した。また、実施例８〜１３、及び、比較例３、４（表２）において、正常部の反射率Ｇ１を実施例１２の反射率Ｇ（「フィルムＥ」の反射率Ｇ）と同様に設定し、欠陥部の反射率Ｇ１を比較例３の反射率Ｇ（「ＴＡＣ」の反射率Ｇ）と同様に設定した。
【０１０９】
そして、反射防止層の正常部及び欠陥部への入射光について、各例のサンプルの背面側の表面における反射率Ｇ２（単位：％）を、式：Ｇ２＝（１００−Ｇ１）×Ｇ／１００を用いて計算した。その後、反射防止層の正常部及び欠陥部への入射光について、反射率の合計（Ｇ１＋Ｇ２）を計算し、それらの比（（欠陥部のＧ１＋Ｇ２）／（正常部のＧ１＋Ｇ２））からコントラストを算出した。
【０１１０】
（欠陥検査）
反射防止層の欠陥の検出しやすさを評価した。具体的には、各例のサンプルについて、反射防止層側から反射防止部材に光（照度：７００ｌｘ）を照射し、２人の検査員が暗室内で反射光の状態を目視検査した。反射防止層の欠陥の検出しやすさについては、×、△、○、及び、◎の順に高い（◎：欠陥が最も検出しやすい）と評価し、最も多く選ばれた指標（同数の場合は、評価がより高い指標）を各例の欠陥検査結果とした。
【０１１１】
【表１】
2017115695.tif 000003
【０１１２】
【表２】
2017115695.tif 000004
【０１１３】
表１に示すように、実施例１〜７はいずれも、比較例１、２よりも反射防止層の欠陥が検出しやすかった。
【０１１４】
実施例１〜４は、反射防止層の正常部と欠陥部とのコントラストが比較例１よりも若干大きい程度であったが、光散乱部材の光散乱効果によって、正常部及び欠陥部における反射光の見栄えが異なったため、正常部と欠陥部とが識別しやすかった。中でも、実施例１、２は、反射防止層の欠陥がより検出しやすかった。比較例２は、光散乱部材が配置された構成であったが、光散乱部材のヘイズ値が６％未満であったため、正常部及び欠陥部における反射光の見栄えが変わらなかった。
【０１１５】
一方、実施例５〜７は、反射防止層の正常部と欠陥部とのコントラストが比較例１よりも大きいため、正常部と欠陥部とが識別しやすかった。また、コントラストは、実施例６、実施例５、及び、実施例７の順に大きくなっており、反射防止層の欠陥の検出しやすさもこの順に高かった。よって、低反射部材（光吸収部材）の反射率が低ければ低いほど、吸収率が高ければ高いほど、正常部と欠陥部とが識別しやすくなることが分かった。
【０１１６】
表２に示すように、実施例８〜１３はいずれも、比較例３、４よりも反射防止層の欠陥が検出しやすかった。
【０１１７】
実施例８〜１０は、反射防止層の正常部と欠陥部とのコントラストが比較例３よりも若干大きい程度であったが、光散乱部材の光散乱効果によって、正常部及び欠陥部における反射光の見栄えが異なったため、正常部と欠陥部とが識別しやすかった。中でも、実施例８、９は、反射防止層の欠陥がより検出しやすかった。比較例４は、光散乱部材が配置された構成であったが、光散乱部材のヘイズ値が６％未満であったため、正常部及び欠陥部における反射光の見栄えが変わらなかった。
【０１１８】
一方、実施例１１〜１３は、反射防止層の正常部と欠陥部とのコントラストが比較例３よりも大きいため、正常部と欠陥部とが識別しやすかった。また、コントラストは、実施例１２、実施例１１、及び、実施例１３の順に大きくなっており、反射防止層の欠陥の検出しやすさもこの順に高かった。よって、低反射部材（光吸収部材）の反射率が低ければ低いほど、吸収率が高ければ高いほど、正常部と欠陥部とが識別しやすくなることが分かった。
【０１１９】
比較例１と比較例３とを比較すると、観察面側の表面に低反射フィルム（フィルムＥ）の反射防止層が配置される構成（比較例３）の方が、観察面側の表面にモスアイ構造が配置される構成（比較例１）よりもコントラストが小さく、反射防止層の欠陥がより検出しにくかった。しかしながら、本発明の光学部材（実施例８〜１３）によれば、比較例３と同様に、観察面側の表面に低反射フィルム（フィルムＥ）の反射防止層が配置される構成であっても、反射防止層の欠陥が検出しやすかった。
【０１２０】
［付記］
以下に、本発明の光学部材の好ましい特徴の例を挙げる。各例は、本発明の要旨を逸脱しない範囲において適宜組み合わされてもよい。
【０１２１】
上記本発明の第一の光学部材において、上記光散乱部材のヘイズ値は、３０％以上であってもよい。これにより、上記反射防止層の欠陥がより検出しやすくなる。
【０１２２】
上記本発明の第二の光学部材において、上記低反射部材の反射率、透過率、及び、吸収率を、各々、Ｘ、Ｙ、及び、Ｚ（単位：％）とし、かつ、Ｘ＋Ｙ＋Ｚ＝１００とすると、Ｘ、Ｙ、及び、Ｚの比率を示す三角グラフ上の点（Ｘ，Ｙ，Ｚ）は、第一の点（０，１００，０）、第二の点（０，０，１００）、第三の点（３．８，０，９６．２）、及び、第四の点（２，９８，０）を頂点とする四角形における、上記第三の点を除く辺上及び内部に存在するものであってもよい。これにより、上記反射防止層の欠陥がより検出しやすくなる。
【０１２３】
上記本発明の第二の光学部材において、上記三角グラフ上の点（Ｘ，Ｙ，Ｚ）は、上記第一の点（０，１００，０）、上記第二の点（０，０，１００）、上記第三の点（３．８，０，９６．２）、及び、第五の点（１，９９，０）を頂点とする四角形における、上記第三の点を除く辺上及び内部に存在するものであってもよい。これにより、上記反射防止層の欠陥がより検出しやすくなる。
【０１２４】
上記本発明の第二の光学部材において、上記低反射部材は、上記反射防止部材とは反対側の表面に、複数の凸部が可視光の波長以下のピッチで設けられる凹凸構造を有するものであってもよい。これにより、上記反射防止層の欠陥がより検出しやすくなる。
【０１２５】
上記本発明の第二の光学部材において、上記低反射部材は、黒色の光吸収部材であってもよい。これにより、上記反射防止層の欠陥が特に検出しやすくなる。
【０１２６】
上記反射防止層は、上記基材とは反対側の表面に、複数の凸部が可視光の波長以下のピッチで設けられる凹凸構造を有するものであってもよい。これにより、上記反射防止部材は、優れた反射防止性を示すことができる。
【０１２７】
以上に、本発明の光学部材の好ましい特徴の例を挙げたが、それらの例の中で反射防止部材、光散乱部材、及び、低反射部材の特徴に関係するものは、本発明の反射防止部材の欠陥検査方法の好ましい特徴の例でもある。
【符号の説明】
【０１２８】
１ａ、１ｂ：光学部材
２、１０２：反射防止部材
３、１０３：基材
４、１０４：反射防止層
５：光散乱部材
６ａ、６ｂ：凸部
７ａ、７ｂ：ロール
８：塗布装置
９：樹脂組成物
１０：金型
１１：検査装置
１２：検査員
１３：低反射部材
１４：光吸収部材
Ｐ１、Ｐ２：ピッチ
Ｑ１、Ｑ２、Ｑ３、Ｑ４、Ｑ５：点
Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３：領域
Ａ１、Ａ２、Ｂ１、Ｂ２、Ｃ１、Ｃ２、ａ１、ａ２、ｂ１、ｂ２、ｃ１、ｃ２：入射光
Ａ１１、Ａ２１、Ｂ１１、Ｂ１２、Ｂ２１、Ｂ２２、Ｃ１１、Ｃ２１、ａ１１、ａ１２、ａ２１、ａ２２、ｂ１１、ｂ１２、ｂ２１、ｂ２２、ｃ１１、ｃ１２、ｃ２１、ｃ２２：反射光
Ａ１２、Ａ２２：散乱光
【図１】
2017115695.tif 000005
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
2017115695.tif 000014
【手続補正書】
【提出日】平成30年5月28日(2018.5.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
反射防止部材と、
前記反射防止部材の背面側の表面上に配置される第一の部材と、
前記第一の部材の背面側の表面上に配置される第二の部材とを備え、
前記反射防止部材は、基材と、前記基材の観察面側の表面上に配置される反射防止層とを有し、
前記第一の部材及び前記第二の部材のうち、一方は６％以上のヘイズ値を有する取り外し可能な光散乱部材であり、他方は３．８％未満の反射率を有する取り外し可能な低反射部材であることを特徴とする光学部材。
【請求項２】
前記光散乱部材のヘイズ値は、３０％以上であることを特徴とする請求項１に記載の光学部材。
【請求項３】
前記低反射部材の反射率、透過率、及び、吸収率を、各々、Ｘ、Ｙ、及び、Ｚ（単位：％）とし、かつ、Ｘ＋Ｙ＋Ｚ＝１００とすると、Ｘ、Ｙ、及び、Ｚの比率を示す三角グラフ上の点（Ｘ，Ｙ，Ｚ）は、第一の点（０，１００，０）、第二の点（０，０，１００）、第三の点（３．８，０，９６．２）、及び、第四の点（２，９８，０）を頂点とする四角形における、前記第三の点を除く辺上及び内部に存在することを特徴とする請求項１又は２に記載の光学部材。
【請求項４】
前記三角グラフ上の点（Ｘ，Ｙ，Ｚ）は、前記第一の点（０，１００，０）、前記第二の点（０，０，１００）、前記第三の点（３．８，０，９６．２）、及び、第五の点（１，９９，０）を頂点とする四角形における、前記第三の点を除く辺上及び内部に存在することを特徴とする請求項３に記載の光学部材。
【請求項５】
前記低反射部材は、前記反射防止部材とは反対側の表面に、複数の凸部が可視光の波長以下のピッチで設けられる凹凸構造を有することを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の光学部材。
【請求項６】
前記低反射部材は、黒色の光吸収部材であることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の光学部材。
【請求項７】
前記反射防止層は、前記基材とは反対側の表面に、複数の凸部が可視光の波長以下のピッチで設けられる凹凸構造を有することを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の光学部材。
【請求項８】
基材と、前記基材の観察面側の表面上に配置される反射防止層とを備える反射防止部材の欠陥検査方法であって、
前記基材の背面側の表面上に第一の部材を取り付ける工程と、
前記第一の部材の背面側の表面上に第二の部材を取り付ける工程と、
前記反射防止層側から前記反射防止部材に光を照射し、反射光の状態を検査することによって前記反射防止層の欠陥を検出する工程とを含み、
前記第一の部材及び前記第二の部材のうち、一方は６％以上のヘイズ値を有する取り外し可能な光散乱部材であり、他方は３．８％未満の反射率を有する取り外し可能な低反射部材であることを特徴とする反射防止部材の欠陥検査方法。
【国際調査報告】
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