(57)【要約】      （修正有）【課題】配管及び／又はその付属物の表面に極めて良好に密着し、連続する配管に配管とは外径の異なる附属物が存在していても、また、連続する配管の外径が変化しても、これら外径の変化に対して極めて良好に対応し得る電熱ヒーター及び保温材を提供する。【解決手段】内皮材２、発熱体５、絶縁体６、断熱材４、外皮材１から構成され、配管Ｂ及び／又はその付属物を加熱（保温）するテープ状の半導体製造装置用電熱ヒーター（保温材）であって、配管及び／又はその付属物に接する面に対して反対側の面に備えられた外皮材が、電熱ヒーター（保温材）の幅方向に伸びる素材から構成されている。【選択図】図２
0003201280.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
配管及び／又はその付属物を加熱するテープ状の半導体製造装置用電熱ヒーターであって、配管及び／又はその付属物に接する面に対して反対側の面に備えられた、上記電熱ヒーターの外皮材が、該電熱ヒーターの幅方向に伸びる素材から構成されていることを特徴とする電熱ヒーター。
【請求項２】
配管及び／又はその付属物に接する面に備えられた、上記電熱ヒーターの内皮材が、配管及び／又はその付属物に接する面に対して反対側の面に備えられた、上記電熱ヒーターの外皮材の幅方向に伸びる割合より小さな割合で幅方向に伸びる素材から構成されている、請求項１記載の電熱ヒーター。
【請求項３】
配管及び／又はその付属物に接する面に備えられた、上記電熱ヒーターの内皮材が、該電熱ヒーターの幅方向に殆ど伸びない素材から構成されている、請求項１記載の電熱ヒーター。
【請求項４】
配管及び／又はその付属物に接する面に備えられた、上記電熱ヒーターの内皮材と、その反対側の面に備えられた、上記電熱ヒーターの外皮材とが、いずれも、該電熱ヒーターの長さ方向に殆ど伸びない素材から構成されている、請求項１〜３のいずれか一つに記載の電熱ヒーター。
【請求項５】
配管及び／又はその付属物に接する面に備えられた、上記電熱ヒーターの内皮材と、その反対側の面に備えられた、上記電熱ヒーターの外皮材とが、いずれもフッ素樹脂のフィルム又はシートから構成されている、請求項１〜４のいずれか一つに記載の電熱ヒーター。
【請求項６】
配管及び／又はその付属物に接する面に対して反対側の面に備えられた、上記電熱ヒーターの外皮材が、一軸延伸ポリテトラフルオロエチレンのフィルム又はシートから構成されている、請求項１〜５のいずれか一つに記載の電熱ヒーター。
【請求項７】
配管及び／又はその付属物に接する面に備えられた、上記保温材の内皮材が、伸縮性の少ないフッ素樹脂のフィルム又はシート、フッ素樹脂コーティングガラスクロス、及び、アラミド繊維又はPBO繊維から構成された布帛より成る群から選ばれる、請求項１〜６のいずれか一つに記載の電熱ヒーター。
【請求項８】
配管及び／又はその付属物を保温するテープ状の半導体製造装置用保温材であって、配管及び／又はその付属物に接する面に対して反対側の面に備えられた、上記保温材の外皮材が、該保温材の幅方向に伸びる素材から構成されていることを特徴とする保温材。
【請求項９】
配管及び／又はその付属物に接する面に備えられた、上記保温材の内皮材が、配管及び／又はその付属物に接する面に対して反対側の面に備えられた、上記保温材の外皮材の幅方向に伸びる割合より小さな割合で幅方向に伸びる素材から構成されている、請求項８記載の保温材。
【請求項１０】
配管及び／又はその付属物に接する面に備えられた、上記保温材の内皮材が、該保温材の幅方向に殆ど伸びない素材から構成されている、請求項８記載の保温材。
【請求項１１】
配管及び／又はその付属物に接する面に備えられた、上記保温材の内皮材と、その反対側の面に備えられた、上記保温材の外皮材とが、いずれも、該保温材の長さ方向に殆ど伸びない素材から構成されている、請求項８〜１０のいずれか一つに記載の保温材。
【請求項１２】
配管及び／又はその付属物に接する面に備えられた、上記保温材の内皮材と、その反対側の面に備えられた、上記保温材の外皮材とが、いずれもフッ素樹脂のフィルム又はシートから構成されている、請求項８〜１１のいずれか一つに記載の保温材。
【請求項１３】
配管及び／又はその付属物に接する面に対して反対側の面に備えられた、上記保温材の外皮材が、一軸延伸ポリテトラフルオロエチレンのフィルム又はシートから構成されている、請求項８〜１２のいずれか一つに記載の保温材。
【請求項１４】
配管及び／又はその付属物に接する面に備えられた、上記保温材の内皮材が、伸縮性の少ないフッ素樹脂のフィルム又はシート、フッ素樹脂コーティングガラスクロス、及び、アラミド繊維又はPBO繊維から構成された布帛より成る群から選ばれる、請求項８〜１３のいずれか一つに記載の保温材。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、半導体製造装置用電熱ヒーター及び保温材に関し、更に詳しくは、半導体製造装置の配管及びその付属物を加熱及び保温するテープ状の電熱ヒーター及び保温材に関する。
【背景技術】
【０００２】
電熱ヒーター及び保温材は、高温を必要とする機器や配管を加熱、あるいは保温するために使用されるものであり、例えば、テープ状、マントル状又はジャケット状等の電熱ヒーター及び保温材が知られている。そして、これらの電熱ヒーター及び保温材を半導体製造装置、例えば、フラッシュメモリー、ＤＲＡＭ 、ＬＳＩ等のような、シリコンウエハーにデザインされた電気回路を積層した半導体を製造する装置の配管及びその付属物において使用する際には、電熱ヒーター及び保温材に、例えば、耐熱性、絶縁性、気密性、防塵性、難燃性等の種々の特性が要求されるようになってきている。
【０００３】
テープ状の電熱ヒーター及び保温材は、種々の名称で称呼されており、電熱ヒーターとしては、例えば、テープヒーター、ベルトヒーター、リボンヒーター等が挙げられ、配管及びその付属物等の加熱又は保温等の種々の用途に使用されている。また、半導体製造装置の配管及びその付属物を加熱又は保温するためのテープ状のヒーターとしては、例えば、配管を加熱するために使用するテープ状の電熱ヒーターであって、幅方向にヒーター線を含む加熱帯とヒーター線を含まない非加熱帯とに区分され、前記非加熱帯が、切り込み可能であることを特徴とする電熱ヒーターが知られている（特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−２７０６６１号公報
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００５】
本考案は、配管及び／又はその付属物の表面に極めて良好に密着し得るばかりではなく、連続する配管に該配管とは外径の異なる附属物が存在していても、また、連続する配管の外径が変化しても、これら外径の変化に対して極めて良好に対応し得る電熱ヒーター及び保温材を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
従来、テープ状の電熱ヒーター及び保温材の表面を構成するカバー部材は、いずれの面も同一の素材により作られているものが殆どであった。従って、配管及び／又はその付属物に沿って、テープ状の電熱ヒーター及び保温材を取り付けると、どうしても、配管及び／又はその付属物に接する面の内皮材にしわがより、配管及び／又はその付属物と内皮材との間に隙間ができ、電熱ヒーター及び保温材を、配管及び／又はその付属物に十分に密着することができなかった。そのため、適切な加熱及び保温ができないという問題があった。加えて、連続する配管に該配管とは外径の異なる附属物が存在したり、また、連続する配管の外径が変化したりする場合には、良好な加熱及び保温を達成するためには、種々の異なる寸法（幅）の、テープ状の電熱ヒーター及び保温材を用意して、加熱及び保温にあたる必要が生じ、作業が著しく煩雑になるばかりではなく、寸法（幅）の異なる数種類のテープ状の電熱ヒーター及び保温材を用意しなければならず、コスト高になるという問題もあった。
【０００７】
そこで、本考案者らは、これらの問題を一遍に解決するには如何なる方法を採用するべきかを種々検討した。その結果、下記のように、配管及び／又はその付属物に接する面に対して反対側の面に備えられた電熱ヒーター及び保温材の外皮材を、電熱ヒーター及び保温材の幅方向に伸びる素材にすれば、上記課題を解決し得ることを見出した。好ましくは、配管及び／又はその付属物に接する面に備えられた電熱ヒーター及び保温材の内皮材を、電熱ヒーターの幅方向に殆ど伸びない素材とし、より好ましくは、配管及び／又はその付属物に接する面に備えられた電熱ヒーター及び保温材の内皮材と、その反対側の面に備えられた、電熱ヒーター及び保温材の外皮材とを、いずれも、電熱ヒーターの長さ方向に殆ど伸びない素材としてやれば、上記課題を極めて良好に解決し得ることを見出したのである。
【０００８】
即ち、本考案は、
（１）配管及び／又はその付属物を加熱するテープ状の半導体製造装置用電熱ヒーターであって、配管及び／又はその付属物に接する面に対して反対側の面に備えられた、上記電熱ヒーターの外皮材が、該電熱ヒーターの幅方向に伸びる素材から構成されていることを特徴とする電熱ヒーターである。
【０００９】
好ましい態様として、
（２）配管及び／又はその付属物に接する面に備えられた、上記電熱ヒーターの内皮材が、配管及び／又はその付属物に接する面に対して反対側の面に備えられた、上記電熱ヒーターの外皮材の幅方向に伸びる割合より小さな割合で幅方向に伸びる素材から構成されている、上記（１）記載の電熱ヒーター、
（３）配管及び／又はその付属物に接する面に備えられた、上記電熱ヒーターの内皮材が、該電熱ヒーターの幅方向に殆ど伸びない素材から構成されている、上記（１）記載の電熱ヒーター、
（４）配管及び／又はその付属物に接する面に備えられた、上記電熱ヒーターの内皮材と、その反対側の面に備えられた、上記電熱ヒーターの外皮材とが、いずれも、該電熱ヒーターの長さ方向に殆ど伸びない素材から構成されている、上記（１）〜（３）のいずれか一つに記載の電熱ヒーター、
（５）配管及び／又はその付属物に接する面に備えられた、上記電熱ヒーターの内皮材と、その反対側の面に備えられた、上記電熱ヒーターの外皮材とが、いずれもフッ素樹脂のフィルム又はシートから構成されている、上記（１）〜（４）のいずれか一つに記載の電熱ヒーター、
（６）配管及び／又はその付属物に接する面に対して反対側の面に備えられた、上記電熱ヒーターの外皮材が、一軸延伸ポリテトラフルオロエチレンのフィルム又はシートから構成されている、上記（１）〜（５）のいずれか一つに記載の電熱ヒーター、
（７）配管及び／又はその付属物に接する面に備えられた、上記保温材の内皮材が、伸縮性の少ないフッ素樹脂のフィルム又はシート、フッ素樹脂コーティングガラスクロス、及び、アラミド繊維又はPBO繊維から構成された布帛より成る群から選ばれる、上記（１）〜（６）のいずれか一つに記載の電熱ヒーター
を挙げることができる。
【００１０】
また、本考案は、
（８）配管及び／又はその付属物を保温するテープ状の半導体製造装置用保温材であって、配管及び／又はその付属物に接する面に対して反対側の面に備えられた、上記保温材の外皮材が、該保温材の幅方向に伸びる素材から構成されていることを特徴とする保温材である。
【００１１】
好ましい態様として、
（９）配管及び／又はその付属物に接する面に備えられた、上記保温材の内皮材が、配管及び／又はその付属物に接する面に対して反対側の面に備えられた、上記保温材の外皮材の幅方向に伸びる割合より小さな割合で、幅方向に伸びる素材から構成されている、上記（８）記載の保温材、
（１０）配管及び／又はその付属物に接する面に備えられた、上記保温材の内皮材が、該保温材の幅方向に殆ど伸びない素材から構成されている、上記（８）記載の保温材、
（１１）配管及び／又はその付属物に接する面に備えられた、上記保温材の内皮材と、その反対側の面に備えられた、上記保温材の外皮材とが、いずれも、該保温材の長さ方向に殆ど伸びない素材から構成されている、上記（８）〜（１０）のいずれか一つに記載の保温材、
（１２）配管及び／又はその付属物に接する面に備えられた、上記保温材の内皮材と、その反対側の面に備えられた、上記保温材の外皮材とが、いずれもフッ素樹脂のフィルム又はシートから構成されている、上記（８）〜（１１）のいずれか一つに記載の保温材、
（１３）配管及び／又はその付属物に接する面に対して反対側の面に備えられた、上記保温材の外皮材が、一軸延伸ポリテトラフルオロエチレンのフィルム又はシートから構成されている、上記（８）〜（１２）のいずれか一つに記載の保温材、
（１４）配管及び／又はその付属物に接する面に備えられた、上記保温材の内皮材が、伸縮性の少ないフッ素樹脂のフィルム又はシート、フッ素樹脂コーティングガラスクロス、及び、アラミド繊維又はPBO繊維から構成された布帛より成る群から選ばれる、上記（８）〜（１３）のいずれか一つに記載の保温材
を挙げることができる。
【考案の効果】
【００１２】
本考案は、外皮材が、電熱ヒーター及び保温材の幅方向に伸びる素材から構成されていることから、配管及び／又はその付属物に電熱ヒーター及び保温材を巻き付ける際に、外皮材が幅方向、即ち、配管等の円周方向に伸びて、電熱ヒーター及び保温材を配管等の表面に極めて良好に密着させることができる。従って、極めて適切な加熱及び保温を達成し得るとともに、取り付け作業も簡便となる。また、外皮材が配管等の円周方向に伸びることから、連続する配管に該配管とは外径の異なる附属物が存在しても、また、連続する配管の外径が変化しても、容易に対応可能であり、従って、寸法、とりわけ、幅の異なる複数の電熱ヒーター及び保温材を用意して、加熱及び保温をする必要がなく、作業が軽減されるばかりではなく、コスト低減を達成することができる。好ましくは、内皮材を、電熱ヒーターの幅方向に殆ど伸びない素材とし、かつ、より好ましくは、内皮材と外皮材とを、いずれも、電熱ヒーターの長さ方向に殆ど伸びない素材とすることにより、上記効果をより一層効果的に達成することができるのである。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】図１は、本考案のテープ状の半導体製造装置用電熱ヒーターを外皮側（上図）及び内皮側（下図）から見た図面である。
【図２】図２は、本考案のテープ状の半導体製造装置用電熱ヒーターを配管に取り付けた際の長手方向に垂直な断面を示した図面である。
【考案を実施するための形態】
【００１４】
本考案は、配管及び／又はその付属物を加熱するテープ状の半導体製造装置用電熱ヒーター及び保温材に関する。ここで、テープ状とは、配管及び／又はその付属物に接触する側及びその反対側の面が、略長方形の形状を有するものを意味し、好ましくは、長方形の一辺（長さ方向）の寸法が、他の一辺（幅方向）の寸法に対して３〜４倍以上であるものを言う。テープ状の電熱ヒーターとしては、例えば、テープヒーター、ベルトヒーター、リボンヒーター等と称されるものが挙げられる。また、配管の付属物とは、例えば、継手、レデューサー、ティー、バルブ、その他、温度計、圧力計、流量計等の計装機器等を含むものである。
【００１５】
本考案のテープ状の半導体製造装置用電熱ヒーター及び保温材においては、配管及び／又はその付属物に接する面に対して反対側の面に備えられた、上記電熱ヒーター及び保温材の外皮材が、該電熱ヒーター及び保温材の幅方向、即ち、配管等に取り付けた際に、配管等の円周方向に伸びる素材から構成されていることを特徴とする。ここで、「伸びる」とは、通常の人の力で伸びることを意味し、機械等を使用して初めて伸びることを意味するものではない。伸びる割合については、特に制限はないが、伸びる前の状態から、好ましくは１０％以上、より好ましくは２０〜７０％、更に好ましくは３０〜６０％程度伸びることを意味する。
【００１６】
一方、配管及び／又はその付属物に接する面に備えられた、上記電熱ヒーター及び保温材の内皮材は、配管及び／又はその付属物に接する面に対して反対側の面に備えられた、上記電熱ヒーター及び保温材の外皮材の幅方向に伸びる割合より小さな割合で伸びる素材から構成されていることが好ましい。この場合、内皮材の伸びる割合は、外皮材の伸びる割合より小さければ特に制限はないが、伸びる前の状態から、好ましくは２０％以下、より好ましくは１０％以下である。また、内皮材は、該電熱ヒーター及び保温材の幅方向、即ち、配管等に取り付けた際に、配管等の円周方向に殆ど伸びない素材から構成されていることが特に好ましい。ここで、「殆ど伸びない」とは、上記と同様に、通常の人の力によっては殆ど伸びないことを意味する。また、殆ど伸びないとは、人の力では全く伸びないものを意味するほか、好ましくは５％以下程度伸びるものも含むことを意味するものである。
【００１７】
また、配管及び／又はその付属物に接する面に備えられた、上記電熱ヒーター及び保温材の内皮材と、その反対側の面に備えられた、上記電熱ヒーター及び保温材の外皮材とが、いずれも、該電熱ヒーター及び保温材の長さ方向に殆ど伸びない素材から構成されていることが好ましい。ここで、「殆ど伸びない」とは、上記と同様の意味である。
【００１８】
上記のように、電熱ヒーター及び保温材の外皮材が、電熱ヒーター及び保温材の幅方向に伸びる素材から構成されていることにより、電熱ヒーター及び保温材を配管及び／又はその付属物に取り付ける際に、外皮材が伸びて配管及び／又はその付属物に簡便に取付けることができるとともに、電熱ヒーター及び保温材を配管及び／又はその付属物に密着して取り付けることができる。好ましくは、電熱ヒーター及び保温材の内皮材が、外皮材の幅方向に伸びる割合より小さな割合で幅方向に伸びる素材から構成されていることにより、より好ましくは、電熱ヒーター及び保温材の内皮材が、電熱ヒーター及び保温材の幅方向に殆ど伸びない素材から構成されていることにより、連続する配管に該配管とは外径の異なる附属物が存在しても、また、連続する配管の外径が変化しても、作業上、より容易に対応可能となり、かつ、配管及び／又はその付属物により密着して取り付けることが可能となる。更には、内皮材と外皮材とが、いずれも、電熱ヒーター及び保温材の長さ方向に殆ど伸びない素材から構成されていることにより、より一層、密着度を高めることができるとともに、作業性の向上を図ることができる。
【００１９】
本考案においては、外皮材及び内皮材は、上記の条件が具備されている素材であれば、如何なる素材であってもかまわない。外皮材及び内皮材の形態は、例えば、フィルム、シート、不織布、織物、編物等であり、好ましくは、フィルム又はシートが使用される。外皮材及び内皮材としては、半導体製造装置用として通常使用されている素材であればよいが、いずれも、フッ素樹脂のフィルム又はシートから構成されていることが好ましく、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＥＦ）のフィルム又はシートから構成されていることがより好ましい。これらを使用することにより、良好な防塵性を達成することができる。外皮材としては、好ましくは、一軸延伸ポリテトラフルオロエチレンのフィルム又はシートが使用される。該一軸延伸ポリテトラフルオロエチレンのフィルム又はシートは、一方向（例えば、電熱ヒーター及び保温材の幅方向）に良好に伸び、他方向（例えば、電熱ヒーター及び保温材の長さ方向）には殆ど伸びないという特性を有しているので、本考案の外皮材として好ましく使用し得る。また、内皮材としては、好ましくは、伸縮性の少ないフッ素樹脂のフィルム又はシート、フッ素樹脂コーティングガラスクロス、あるいは、アラミド繊維又はPBO（ポリパラフェニレンベンズオキサゾール）繊維から構成された布帛等が使用される。また、二軸延伸ポリテトラフルオロエチレンのフィルム又はシートは、両方向（例えば、電熱ヒーター及び保温材の幅及び長さ方向）に殆ど伸びないので、本考案の内皮材として好ましく使用し得る。
【００２０】
以下、本考案のテープ状の半導体製造装置用電熱ヒーターについて、図面に基づいて説明する。図１は、本考案のテープ状の半導体製造装置用電熱ヒーター（Ａ）を外皮側及び内皮側から見た図面である。図１の上図が外皮側から見た図面であり、下図が内皮側から見た図面である。上図において、１は外皮材であり、一軸延伸ポリテトラフルオロエチレンのシート又はフィルムから構成されている。一軸延伸ポリテトラフルオロエチレンのシート又はフィルムは、外皮材がテープ状の半導体製造装置用電熱ヒーターの幅方向に伸びるように配置されている。３は結束バンドであり、電熱ヒーターを配管等に取り付けた際に脱落しないように留めるものである。下図において、２は内皮材であり、伸縮性の少ないフッ素樹脂のフィルム又はシートから構成されている。図１に示したテープ状の半導体製造装置用電熱ヒーターにおいては、外皮材の全幅は４０ｍｍであり、長さは５００ｍｍである。また、内皮材の全幅は、４０ｍｍである。該寸法は、加熱する配管の外径及び長さ等により適宜変更することができる。
【００２１】
図２は、図１に示した本考案のテープ状の半導体製造装置用電熱ヒーター（Ａ）を配管（Ｂ）に取り付けた際の、配管の長手方向に垂直な面で切断したときの断面を示した図面である。図２中、４はＥガラスマットの断熱材であり、５は発熱体（ヒーター線）であり、６は絶縁体（絶縁クロス）である。本考案のテープ状の半導体製造装置用電熱ヒーター（Ａ）は、図２に示すように、該電熱ヒーターの長さ方向が配管の長手方向に沿うように巻き付けて取り付けられる。ここでは、上記のテープ状の半導体製造装置用電熱ヒーター（Ａ）は、外径１２．７ｍｍ（外周：約４０ｍｍ）の配管（Ｂ）に取り付けられ、外皮材（１）は、電熱ヒーターの幅方向、即ち、配管の円周方向に伸びて、その全幅は４０ｍｍから約６０ｍｍとなって、約５０％伸びた。一方、内皮材（２）は、その全幅は４０ｍｍから殆ど伸びず、取り付け後においても約４０ｍｍであった。これにより、テープ状の半導体製造装置用電熱ヒーター（Ａ）を配管（Ｂ）に密着して取り付けることができ、かつ、取り付け作業も非常に容易となった。
【産業上の利用可能性】
【００２２】
本考案の電熱ヒーター及び保温材は、配管及び／又はその付属物の表面に極めて良好に密着し得るばかりではなく、連続する配管に該配管とは外径の異なる附属物が存在していても、また、連続する配管の外径が変化しても、これら外径の変化に対して極めて良好に対応し得ることから、今後、クリーン度を要求される半導体製造装置の分野において、大いに使用されることが期待される。
【符号の説明】
【００２３】
Ａ  テープ状の半導体製造装置用電熱ヒーター
Ｂ  配管
１  外皮材
２  内皮材
３  結束バンド
４  断熱材
５  発熱体
６  絶縁体
【図１】
0003201280.tif 000003
【図２】
0003201280.tif 000004
【手続補正書】
【提出日】平成27年9月25日(2015.9.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】実用新案登録請求の範囲
【補正対象項目名】請求項７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項７】
配管及び／又はその付属物に接する面に備えられた、上記電熱ヒーターの内皮材が、伸縮性の少ないフッ素樹脂のフィルム又はシート、フッ素樹脂コーティングガラスクロス、及び、アラミド繊維又はPBO繊維から構成された布帛より成る群から選ばれる、請求項１〜６のいずれか一つに記載の電熱ヒーター。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
好ましい態様として、
（２）配管及び／又はその付属物に接する面に備えられた、上記電熱ヒーターの内皮材が、配管及び／又はその付属物に接する面に対して反対側の面に備えられた、上記電熱ヒーターの外皮材の幅方向に伸びる割合より小さな割合で幅方向に伸びる素材から構成されている、上記（１）記載の電熱ヒーター、
（３）配管及び／又はその付属物に接する面に備えられた、上記電熱ヒーターの内皮材が、該電熱ヒーターの幅方向に殆ど伸びない素材から構成されている、上記（１）記載の電熱ヒーター、
（４）配管及び／又はその付属物に接する面に備えられた、上記電熱ヒーターの内皮材と、その反対側の面に備えられた、上記電熱ヒーターの外皮材とが、いずれも、該電熱ヒーターの長さ方向に殆ど伸びない素材から構成されている、上記（１）〜（３）のいずれか一つに記載の電熱ヒーター、
（５）配管及び／又はその付属物に接する面に備えられた、上記電熱ヒーターの内皮材と、その反対側の面に備えられた、上記電熱ヒーターの外皮材とが、いずれもフッ素樹脂のフィルム又はシートから構成されている、上記（１）〜（４）のいずれか一つに記載の電熱ヒーター、
（６）配管及び／又はその付属物に接する面に対して反対側の面に備えられた、上記電熱ヒーターの外皮材が、一軸延伸ポリテトラフルオロエチレンのフィルム又はシートから構成されている、上記（１）〜（５）のいずれか一つに記載の電熱ヒーター、
（７）配管及び／又はその付属物に接する面に備えられた、上記電熱ヒーターの内皮材が、伸縮性の少ないフッ素樹脂のフィルム又はシート、フッ素樹脂コーティングガラスクロス、及び、アラミド繊維又はPBO繊維から構成された布帛より成る群から選ばれる、上記（１）〜（６）のいずれか一つに記載の電熱ヒーター
を挙げることができる。