(57)【要約】      （修正有）【課題】吸着パッドの吸着解除を確実に行える板状部品製造装置用塵埃除去マットを提供する。【解決手段】板状部品製造装置用塵埃除去マット１０Ａは、金属材料よりなる硬質状板１と、硬質状板１を包囲したゴム部材よりなる平坦な粘着性軟質材料層２Ａとを備えている。粘着性軟質材料層２Ａにおいては、表面の一部及び裏面の全部が凹凸面Ｓ１、Ｓ２となっている。凹凸面Ｓ１、Ｓ２の凹凸最大高さは０．５ｍｍである。凹凸面Ｓ１は吸着パットが吸着される領域である。【選択図】図１
0003232540.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
吸着パッドによって吸着搬送される板状部品製造装置用塵埃除去マットであって、
硬質状板と、
前記硬質状板の少なくとも片面に設けられた粘着性軟質材料層と
を具備し、
前記粘着性軟質材料層の前記吸着パッドが吸着される表面部分は凹凸面となっており、
前記凹凸面の凹凸最大高さは０．５ｍｍである板状部品製造装置用塵埃除去マット。
【請求項２】
前記粘着性軟質材料層は前記硬質状板の側面にも設けられる請求項１に記載の板状部品製造装置用塵埃除去マット。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は板状部品製造装置用塵埃除去マットに関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、液晶基板、半導体基板、プリント配線基板等の板状部品等を製造する板状部品製造装置はクリーンルーム内に設置されるが、それでも板状部品製造装置の内外で塵埃が発生して板状部品製造装置内に堆積する。従って、板状部品製造装置を定期的に清掃する必要がある。近年、板状部品製造装置の清掃は塵埃除去マットを用いて行われている。
【０００３】
図５は従来の板状部品製造装置内塵埃除去マットを示し、（Ａ）は上面図、（Ｂ）は（Ａ）のＢ−Ｂ線断面図である。図５において、板状部品製造装置用塵埃除去マット１０は、金属材料よりなる硬質状板１と、硬質状板１を包囲したゴム部材よりなる平坦な粘着性軟質材料層２とを備えている（参照：特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−５７１６６号公報（特許第３９６５３７５号公報）
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上述の図５の従来の板状部品製造装置用塵埃除去マット１０の吸着搬送作業において、ゴム部材よりなる吸着パッドによって吸着搬送すると、搬送終了後に吸着解除してもゴム部材同志の吸着パッドと塵埃除去マット１０とが吸着したまま離れないことがある。この結果、塵埃除去マット１０の吸着搬送作業が困難となるという課題がある。この吸着搬送作業方法を説明するための図６を用いて説明する。
【０００６】
始めに、図６の（Ａ）に示すように、吸着パット２０を搬送元の塵埃除去マット１０に対して下降させる。次に、図６の（Ｂ）に示すように、吸着パッド２０の吸着動作を行う。つまり、吸着パッド２０の吸引を行う。このとき、拡大図に示すように、吸着パッド２０内に負圧が生じて塵埃除去マット１０は吸着パッド２０に吸着される。次に、図６の（Ｃ）に示すように、塵埃除去マット１０を吸着したまま吸着パッド２０を上昇させて搬送作業に移行する。次に、図６の（Ｄ）に示すように、搬送先で塵埃除去マット１０を吸着したまま吸着パッド２０を下降させて搬送作業を終了し、吸着パッド２０の吸着動作を解除する。このとき、拡大図に示すように、吸着パッド２０と塵埃除去マット１０の粘着性軟質材料層２とがゴム部材同志で吸着して吸着パッド２０内に負圧が残存する。最後に、図６の（Ｅ）に示すように、吸着パッド２０を上昇させるが、吸着パッド２０内に残存する負圧のために、塵埃除去マット１０が矢印に示すごとく吸着パッド２０に吸着されたまま再び上昇してしまう。このように、塵埃除去マット１０の吸着搬送作業が困難となる課題がある。
【０００７】
また、図５の板状部品製造装置用塵埃除去マット１０は粘着性軟質材料層２の表面が平坦なので表面積が小さく、従って、塵埃除去マット１０の塵埃除去率が低いという課題もある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上述の課題を解決するために、本考案に係る板状部品製造装置用塵埃除去マットは、吸着パッドによって吸着搬送される板状部品製造装置用塵埃除去マットであって、硬質状板と、硬質状板の少なくとも片面に設けられた粘着性軟質材料層とを具備し、粘着性軟質材料層の吸着パッドが吸着される表面部分は凹凸面となっており、凹凸面の凹凸最大高さは０．５ｍｍである。
【考案の効果】
【０００９】
本考案によれば、粘着性軟質材料層の吸着パッドが吸着される表面は凹凸最大高さが０．５ｍｍの凹凸面となっているので、吸着パッドの吸着解除の際には、凹凸面を介して空気が吸着パット内に侵入して吸着パッドの負圧は解消する。この結果、吸着パッドと塵埃除去マットとの吸着を解除を確実に行うことができる。また、凹凸面による粘着性軟質材料層の表面積が増加するので、塵埃除去効率を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本考案に係る板状部品製造装置用塵埃除去マットの第１の実施の形態を示し、（Ａ）は上面図、（Ｂ）は（Ａ）のＢ−Ｂ線断面図である。
【図２】図１の板状部品製造装置用塵埃除去マットの吸着搬送作業方法を説明する図である。
【図３】図１の板状部品製造装置用塵埃除去マットの製造方法を説明するための断面図である。
【図４】本考案に係る板状部品製造装置用塵埃除去マットの第２の実施の形態を示し、（Ａ）は上面図、（Ｂ）は（Ａ）のＢ−Ｂ線断面図である。
【図５】従来の板状部品製造装置用塵埃除去マットを示し、（Ａ）は上面図、（Ｂ）は（Ａ）のＢ−Ｂ線断面図である。
【図６】図５の板状部品製造装置用塵埃除去マットの吸着搬送作業方法を説明するための断面図である。
【考案を実施するための形態】
【００１１】
図１は本考案に係る板状部品製造装置用塵埃除去マットの第１の実施の形態を示し、（Ａ）は上面図、（Ｂ）は（Ａ）のＢ−Ｂ線断面図である。
【００１２】
図１の板状部品製造装置用塵埃除去マット１０Ａにおいては、図５の粘着性軟質材料層２の代わりに、粘着性軟質材料層２Ａを設けてある。粘着性軟質材料層２Ａにおいては、表面の一部及び裏面の全部が凹凸面Ｓ１及びＳ２となっている。この場合、凹凸面Ｓ１は吸着パット２０が吸着される領域である。また、硬質状板１はたとえば約０．３ｍｍ厚さのアルミニウムよりなり、粘着性軟質材料層２Ａはたとえば約０．３〜２ｍｍ厚さのシリコーンゴムよりなる。また、凹凸面Ｓ１、Ｓ２の凹凸最大高さ（表面粗さ）が約０．５ｍｍである。
【００１３】
図１の塵埃除去マット１０Ａの吸着搬送作業を図２を参照して説明する。
【００１４】
始めに、図２の（Ａ）に示すように、吸着パッド２０を搬送元の塵埃除去マット１０Ａに対して下降させる。次に、図２の（Ｂ）に示すように、吸着パッド２０の吸着動作を行う。つまり、吸着パッド２０の吸引を行う。このとき、拡大図に示すように、吸着パッド２０内に負圧が生じて塵埃除去マット１０Ａは吸着パッド２０に吸着される。この場合、凹凸面Ｓ１が存在するので、吸着パッド２０内の負圧は多少洩れるが、吸引動作が持続しているので吸着動作に影響しない。次に、図２の（Ｃ）に示すように、塵埃除去マット１０Ａを吸着したまま吸着パッド２０を上昇させて搬送作業に移行する。次に、図２の（Ｄ）に示すように、搬送先で塵埃除去マット１０Ａを吸着したまま吸着パッド２０を下降させて搬送作業を終了し、吸着パッド２０の吸着動作を解除する。このとき、拡大図に示すように、吸着パッド２０内に残存する負圧は凹凸面Ｓ１を介して漏れ、負圧は解消する。最後に、図２の（Ｅ）に示すように、吸着パッド２０を上昇させる。この場合、吸着パッド２０内に負圧は存在しないので、塵埃除去マット１０Ａが吸着されて上昇することはない。従って、塵埃除去マット１０Ａの吸着搬送作業は容易となる。
【００１５】
また、塵埃除去マット１０Ａの粘着性軟質材料層１２の表面積は凹凸面Ｓ１、Ｓ２によって増加するので、塵埃除去マット１０Ａの塵埃除去効率を上げることができる。
【００１６】
次に、図１の板状部品製造装置用塵埃除去マット１０Ａの製造方法を図３を参照して説明する。
【００１７】
始めに、図３の（Ａ）を参照すると、下金型３１を準備する。この場合、下金型３１の底部には予めたとえば横４２０ｍｍ×縦６２０ｍｍかつ凹凸高さ０．５ｍｍ程度の凹凸面３１ａが形成されている。この凹凸面３１ａは図１の（Ｂ）の凹凸面Ｓ２に対応する。
【００１８】
次に、図３の（Ｂ）を参照すると、凹凸部３１ａの４２０ｍｍ×６２０ｍｍのサイズと一致した厚さ０．５ｍｍ以上の未加硫シリコーンゴム２Ａ−１を導入し、次いで、未加硫シリコーンゴム２Ａ−１上に未加硫シリコーンゴム２Ａ−１より小さいサイズの硬質状板１を載置し、次いで、硬質状板１上に、未加硫シリコーンゴム２Ａ−２を導入する。この結果、硬質状板１の周辺には空隙３２が生ずる。
【００１９】
次に、図３の（Ｃ）を参照すると、上金型３３を準備する。この場合、上金型３３の表面の一部には予め横４２０ｍｍ×縦６２０ｍｍ程度のかつ凹凸高さ０．５ｍｍ程度の凹凸面３３ａが形成されている。この凹凸面３３ａは吸着パッド２０の吸着される領域に対応し、図１の（Ｂ）の凹凸面Ｓ１に対応する。
【００２０】
次に、図３の（Ｄ）を参照すると、上金型３３の凹凸部３３ａを下金型３１の凹凸部３１ａに嵌合させ、上金型３３と下金型３１とに約７０〜１３０ｋｇ／ｃｍ２の内圧力を加えると共に、約１５０〜１９０℃の温度に加熱する。この結果、未加硫シリコーンゴムシート２Ａ−１、２Ｂ−１が加熱処理を受けて図３の（Ｂ）の空隙３２もシリコーンゴムで埋められ、硬質状板１は完全に覆われる。これにより、硬質状板１を腐食から保護できる。その後、上金型３３、下金型３１を取外して、図１の板状部品製造装置用塵埃除去マット１０Ａが完成する。
【００２１】
尚、第１の実施の形態においては、硬質状板１の裏面側の粘着性軟質材料層２Ａは平坦にしてもよい。この場合には、下金型３１の凹凸部３１ａは平坦とする。また、粘着性軟質材料層２Ａは硬質状板１の片面たとえば表面側のみに設けてもよい。
【００２２】
図４は本考案に係る板状部品製造装置用塵埃除去マットの第２の実施の形態を示し、（Ａ）は上面図、（Ｂ）は（Ａ）のＢ−Ｂ線断面図である。
【００２３】
図４においては、図１の粘着性軟質材料層２Ａの代りに、粘着性軟質材料層２Ｂを設けてある。粘着性軟質材料層２Ｂにおいては、表面及び裏面の全体が凹凸面Ｓ１’、Ｓ２となっている。これにより、吸着パッド２０が吸着される領域も凹凸面Ｓ１’となっていると共に、凹凸面Ｓ１’、Ｓ２の領域が増加するので、塵埃除去効率を上げることができる。
【００２４】
また、図４の板状部品製造装置用塵埃除去マット１０Ｂも図３に示す製造方法とほぼ同一の方法によって製造できる。この場合、上金型３３の底部全体を凹凸面とする。
【００２５】
尚、上述の実施の形態において、硬質状板１は、アルミニウムの外に、スチール、ステンレス鋼（ＳＵＳ）、銅、真鍮又はガラスエポキシ樹脂により形成できる。但し、７０℃以上の高温を要求しない板状部品製造装置であれば、高分子材料でもよい。また、粘着性軟質材料層２Ａ、２Ｂは、シリコーンゴムの外に、ウレタンゴム、フッ素ゴム、ブチルゴム、エチレンプロピレンゴム又は天然ゴムにより形成できる。
【００２６】
また、本考案は上述の実施の形態の自明の範囲のいかなる変更にも適用し得る。
【符号の説明】
【００２７】
１０、１０Ａ、１０Ｂ：塵埃除去マット
１：硬質状板
２Ａ、２Ｂ：粘着性軟質材料層
２Ａ−１、２Ａ−２：未加硫シリコーンゴム
３１：下金型
３１ａ：凹凸面
３２：空隙
３３：上金型
３３ａ：凹凸面
Ｓ１、Ｓ１’、Ｓ２：凹凸面 
【図１】
0003232540.tif 000003
【図２】
0003232540.tif 000004
【図３】
0003232540.tif 000005
【図４】
0003232540.tif 000006
【図５】
0003232540.tif 000007
【図６】
0003232540.tif 000008