(57)【要約】容器のガス導入口あるいはパージノズルの周囲に付着したパーティクルを除去することが可能なパージ装置を提供するため、パージ装置（４）は、ガス（Ｇ１）を吹き出すことが可能なノズル（３１）と、パージ対象の容器（Ｆ）の底面（Ｆｂ）とノズルとが対向した状態で、ノズルからガスを吹き出させるパージ制御部（３４）と、を備える。
2017026168.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガスを吹き出すことが可能なノズルと、  パージ対象の容器の底面と前記ノズルとが対向した状態で、前記ノズルから前記ガスを吹き出させるパージ制御部と、を備えるパージ装置。
【請求項２】
前記ノズルは、前記容器の底面に設けられるガス導入口に接続され、前記ガス導入口を介して前記容器の内部にパージガスを供給するパージノズルであり、前記ガスとして前記パージガスを吹き出す、請求項１に記載のパージ装置。
【請求項３】
前記パージ制御部は、前記容器のパージ位置への搬送情報に基づいて、前記パージノズルからの前記パージガスの吹き出しを開始させる、請求項２に記載のパージ装置。
【請求項４】
前記パージ制御部は、前記容器の搬送が開始された後、前記ガス導入口と前記パージノズルとが接続されるよりも前に、前記パージノズルからの前記パージガスの吹き出しを開始させる、請求項２または請求項３に記載のパージ装置。
【請求項５】
前記パージ制御部は、前記容器の底面と前記パージノズルとが対向した状態で、前記パージノズルからの前記パージガスの吹き出しを開始させる、請求項２から請求項４のいずれか一項に記載のパージ装置。
【請求項６】
前記パージ制御部は、前記容器を前記パージノズルの上方から下降させる移載装置の動作に応じて、前記パージノズルからの前記パージガスの吹き出しを開始させる、請求項５に記載のパージ装置。
【請求項７】
前記パージ制御部は、前記容器のガス導入口と前記パージノズルとが接続された後も前記パージノズルからの前記パージガスの吹き出しを継続させ、前記容器の内部に前記パージガスを供給させる、請求項２から請求項６のいずれか一項に記載のパージ装置。
【請求項８】
前記パージ制御部は、前記容器のガス導入口と前記パージノズルとが接続される前後で、前記パージガスの流量を変化させる、請求項７に記載のパージ装置。
【請求項９】
請求項１〜請求項８のいずれか一項に記載のパージ装置と、  前記パージ装置によりパージされた前記容器を保持する棚と、を備えるパージストッカ。
【請求項１０】
ガスを吹き出すことが可能なノズルとパージ対象の容器の底面とが対向した状態で、前記ノズルから前記ガスを吹き出させることを含むクリーニング方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、パージ装置、パージストッカ、及びクリーニング方法に関する。
【背景技術】
【０００２】  パージストッカは、ウェハ、レチクルなどの各種物品を収容する容器を保管する。この容器には、ＦＯＵＰ、ＳＭＩＦ  Ｐｏｄ、レチクルＰｏｄなどがある。パージストッカは、保管に際してパージ装置により容器内に清浄乾燥空気や窒素ガスなどのパージガスを充填し、収容物の汚染や酸化などを抑制している。パージ装置は、容器が載置されるパージポートと、容器のガス導入口に接続されるパージノズルとを備え、パージガスをパージノズルから容器の内部へ供給する。容器とパージ装置とが接続される際に、ガス導入口とパージノズルとの接触等によりパーティクルが発生し、パーティクルが容器のガス導入口、パージノズルの内部、パージノズルの周囲等に付着することがある。このようなパーティクルを除去する方法として、容器がパージポートへ運ぶ前にパージノズルにパージガスを流す方法がある（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第５５５７０６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】  特許文献１のようにパージガスを流す場合、パージノズルの内部のパーティクルを除去することはできるが、容器のガス導入口あるいはパージノズルの周囲に付着したパーティクルを除去することができない。本発明は、上述の事情に鑑みなされたものであり、容器のガス導入口あるいはパージノズルの周囲に付着したパーティクルを除去することが可能なパージ装置、パージストッカ、及びクリーニング方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】  本発明のパージ装置は、ガスを吹き出すことが可能なノズルと、パージ対象の容器の底面とノズルとが対向した状態で、ノズルからガスを吹き出させるパージ制御部と、を備える。【０００６】  また、ノズルは、容器の底面に設けられるガス導入口に接続され、ガス導入口を介して容器の内部にパージガスを供給するパージノズルであり、ガスとしてパージガスを吹き出すものでもよい。また、パージ制御部は、容器のパージ位置への搬送情報（搬送指令等の情報）に基づいて、パージノズルからのパージガスの吹き出しを開始させるものでもよい。また、パージ制御部は、容器の搬送が開始された後、ガス導入口とパージノズルとが接続されるよりも前に、パージノズルからのパージガスの吹き出しを開始させるものでもよい。また、パージ制御部は、容器をパージノズルの上方から下降させる移載装置の動作に応じて、パージノズルからのパージガスの吹き出しを開始させるものでもよい。また、パージ制御部は、ガス導入口とパージノズルとが対向した状態で、パージノズルからのパージガスの吹き出しを開始させるものでもよい。また、パージ制御部は、容器のガス導入口とパージノズルとが接続された後もパージノズルからのパージガスの吹き出しを継続させ、容器の内部にパージガスを供給させるものでもよい。パージ制御部は、容器のガス導入口とノズルとが接続される前後で、パージガスの流量を変化させるものでもよい。【０００７】  本発明のパージストッカは、上記のパージ装置と、パージ装置によりパージされた容器を保持する棚と、を備える。本発明のクリーニング方法は、ガスを吹き出すことが可能なノズルとパージ対象の容器の底面とが対向した状態で、ノズルからガスを吹き出させることを含む。
【発明の効果】
【０００８】  本発明によれば、パージ対象の容器の底面とノズルとが対向した状態で、ノズルからガスを吹き出させるので、容器の底面に吹き付けられたガスにより容器の底面のパーティクルを除去することができ、また容器の底面側からノズル側へ戻るガスによりノズルの周囲のパーティクルを除去することができる。【０００９】  また、ノズルは、容器の底面に設けられるガス導入口に接続され、ガス導入口を介して容器の内部にパージガスを供給するパージノズルであり、ガスとしてパージガスを吹き出すパージ装置では、パージノズルがクリーニング用のノズルを兼ねるので装置構成をシンプルにすることができる。また、パージノズルの先端部に雰囲気ガスが混入している場合でも、このガスをパージの前に吹きだすので、純度が高いパージガスによりパージを行うことができる。また、パージ制御部が、容器のパージ位置への搬送情報に基づいて、パージノズルからのパージガスの吹き出しを開始させるパージ装置では、容器とパージノズルとの位置関係を搬送情報により正確に把握することができ、効率よく、かつ確実にパーティクルを除去することができる。また、パージ制御部が、容器の搬送が開始された後、ガス導入口とパージノズルとが接続されるよりも前に、パージノズルからのパージガスの吹き出しを開始させるパージ装置では、容器の搬送が開始される前にパージガスの吹き出しを開始させるパージ装置と比較して、パージガスの無駄を減らすことができる。また、パージ制御部が、容器の底面とパージノズルとが対向した状態で、パージノズルからのパージガスの吹き出しを開始させるパージ装置では、容器の底面とパージノズルとが対向するよりも前からパージガスを吹き出すパージ装置と比較して、パージガスの無駄を減らすことができる。また、パージ制御部が、容器をパージノズルの上方から下降させる移載装置の動作に応じて、パージノズルからのパージガスの吹き出しを開始させるパージ装置では、容器とパージノズルとの間隔が短くなり、効率よく、かつ確実にパーティクルを除去することができる。また、パージ制御部が、容器のガス導入口とノズルとが接続された後もパージノズルからのパージガスの吹き出しを継続させ、容器の内部にパージガスを供給させるパージ装置では、クリーニングの状態からパージの状態へ素早く移ることができる。また、パージ制御部が、容器のガス導入口とパージノズルとが接続される前後で、パージガスの流量を変化させるパージ装置では、例えば、クリーニングに適した流量とパージに適した流量とを使い分けることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】実施形態に係るパージストッカを示す図である。
【図２】実施形態に係るパージ装置の動作を示す説明図である。
【図３】実施形態に係るパージストッカの動作の一例を示すシーケンス図である。
【図４】実施形態に係るパージストッカの動作の他の例を示すシーケンス図である。
【図５】パージガスの吹き出しを開始するタイミングの例を示す図である。
【図６】パージガスの流量の例を示す図である。
【図７】変形例に係るパージ装置を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】  以下、実施形態について図面を参照しながら説明する。以下の各図において、ＸＹＺ座標系を用いて図中の方向を説明する。このＸＹＺ座標系においては、鉛直方向をＺ方向とし、水平方向をＸ方向、Ｙ方向とする。
【００１２】  図１（Ａ）は、本実施形態に係るパージストッカ１の一例を示す図、図１（Ｂ）は容器Ｆおよびパージ装置４の一例を示す図である。パージストッカ１は、例えば、半導体素子の製造に用いられるウェハあるいはレチクルなどの物品を収容する容器Ｆを保管する自動倉庫である。容器Ｆは、例えば、ＦＯＵＰ、ＳＭＩＦ  Ｐｏｄ、レチクルＰｏｄなどである。レチクルは、液浸露光装置に用いられるものでもよいし、ＥＵＶに用いられるものでもよい。
【００１３】  図１（Ａ）に示すように、パージストッカ１は、筐体２、複数の保管棚３、複数のパージ装置４、スタッカクレーン（搬送装置）５、及びストッカ制御装置６を備える。筐体２は、外部に対して隔離可能な内部空間２ａを有する。筐体２は、筐体２の外部と内部空間２ａとで容器Ｆが受け渡される入出庫ポート（図示せず）を備える。複数の保管棚３、複数のパージ装置４、及びスタッカクレーン５は、筐体２の内部空間２ａに配置される。ストッカ制御装置６は、筐体２の内部または外部のいずれに配置されてもよい。ストッカ制御装置６は、パージ装置４およびスタッカクレーン５を制御する。なお、パージ装置４を制御する制御装置と、スタッカクレーン５を制御する制御装置とが別に設けられていてもよい。
【００１４】  スタッカクレーン５は、Ｘ方向、Ｙ方向、及びＺ方向の各方向に容器Ｆを搬送可能であり、例えば、入出庫ポートと保管棚３との間や、保管棚３から他の保管棚３に容器Ｆを搬送可能である。スタッカクレーン５は、例えば、走行台車１０、支持柱１１、支持台１２、及び移載装置１３を備える。走行台車１０は、複数の車輪１４を有し、筐体２の底面に設けられたレール１５に沿って水平方向（Ｘ方向）に移動する。
【００１５】  支持柱１１は、走行台車１０の上面から鉛直方向（Ｚ方向）に延びて設けられる。支持台１２は、支持柱１１に支持され、支持柱１１に沿ってＺ方向にスライド可能に設けられる。移載装置１３は、例えば、伸縮可能なアーム部と、上面に容器Ｆを載置可能な載置部と、備える。なお、スタッカクレーン５は、容器Ｆを載置するものに代えて、例えば容器Ｆの上部のフランジ部２３（図１（Ｂ）参照）を把持して、容器Ｆを吊り下げて搬送するもの、あるいは容器Ｆの側面を把持して搬送するものでもよい。また、図１には１台のスタッカクレーン５を図示したが、筐体２内に配置されるスタッカクレーン５は２台以上であってもよい。
【００１６】  保管棚３は、高さ方向（Ｚ方向）に複数段並んで配置され、水平方向（Ｘ方向）に複数列並んで配置されている。複数の保管棚３には、それぞれ、容器Ｆを載置可能である。複数の保管棚３は、それぞれ、パージ装置４によりパージされた容器Ｆを保持可能な棚である。なお、容器Ｆの保管状況によっては、一部の保管棚３に容器Ｆが載置されていない場合がある。
【００１７】  図１（Ｂ）では容器Ｆの一例としてＦＯＵＰを示しており、容器Ｆは、前面に開口２０を有する箱状の本体部２１と、開口２０を塞ぐ蓋部２２とを備える。ウェハなどの物品は、開口２０を介して容器Ｆの内部Ｆａ（内部空間、収容スペース）に収容される。本体部２１の上部にはフランジ部２３が設けられる。本体部２１は、その底面Ｆｂ側に位置決め用の凹部（図示せず）を備える。この凹部は、例えば、本体部２１の底面Ｆｂの中心から放射状に延びる溝状である。容器Ｆを搬送する際に、この凹部には移載装置１３の載置台に設けられる位置決め用のピン（図示せず）が入り込み、容器Ｆが移載装置１３の載置台に対して位置決めされる。
【００１８】  保管棚３は、移載装置１３の載置台が鉛直方向に通行可能な切り欠き（図示せず）を有する。移載装置１３は、載置台を保管棚３の上方から下方に、切り欠き部を通って移動することにより、保管棚３の上面に容器Ｆを移載する。保管棚３の上面には位置決め用のピン（図示せず）が設けられる。容器Ｆを保管棚３に載置する際に、容器Ｆの底面Ｆｂ側の凹部には保管棚３の上面のピンが入り込み、容器Ｆが保管棚３に対して位置決めされる。容器Ｆの本体部２１は、底面Ｆｂ側に、ガス導入ポート２４およびガス排気ポート２５を備える。
【００１９】  ガス導入ポート２４には、例えば、ガス導入口（後の図２に符号４１で示す）、フィルタ、及び逆止弁が設けられる。ガス導入口は、本体部２１の内部Ｆａと外部とに連通する。ガス導入口の内側は、容器Ｆの内部Ｆａに供給されるパージガスＧ１の流路であり、フィルタはこの流路に設けられる。フィルタは、例えばパーティクルフィルタであり、ガス導入口を通るガスに含まれる埃を除去する。ガス導入ポート２４の逆止弁は、容器Ｆの内部Ｆａからガス導入口を介して外部へガスが流出することを抑制する。ガス排気ポート２５には、例えば、排気口、逆止弁、及びフィルタが設けられる。排気口は、本体部２１の内部Ｆａと外部とに連通する。ガス排気ポート２５の逆止弁は、容器Ｆの外部から排気口を介して内部Ｆａへガスが流入することを抑制する。フィルタは、例えばパーティクルフィルタであり、排気口を通るガスに含まれる埃を除去する。排気口を通るガスは、パージの開始直後において、パージ前の容器Ｆにおける内部Ｆａの雰囲気ガスの比率が高く、パージの開始から時間が経過するにつれてパージガスＧ１の比率が高くなる。
【００２０】  パージ装置４は、パージノズル３１、排気ノズル３２、流量制御装置３３、及びパージ制御部３４を備える。パージノズル３１及び排気ノズル３２は、保管棚３の上面に設けられる。パージノズル３１及び排気ノズル３２は、保管棚３に容器Ｆを載置した際に、それぞれガス導入口、排気口と接続するように配置される。容器Ｆのガス導入口は、保管棚３に容器Ｆを載置した際に、パージノズル３１を介して配管３６に接続され、さらに流量制御装置３３を介してガス源３７と接続される。排気ノズル３２は、配管３８を介してパージガスＧ１の排気経路（ガス排気３９）に接続される。
【００２１】  ガス源３７は、パージガスＧ１を供給する。パージガスＧ１の種類は、容器Ｆに収容される収容物に応じて選択される。例えば、収容物に対する酸化抑制、分子汚染等を抑制するガス、容器Ｆの内部の水分を減少させるガスなどが用いられる。例えば、収容物がシリコンウエハである場合、パージガスＧ１として窒素ガスなどの不活性化ガスが用いられる。窒素ガスが容器Ｆの内部Ｆａに供給されることによって、酸素を含む雰囲気ガスが容器Ｆの内部から外部へ排気（除去）され、シリコンウエハが酸化されることが抑制（防止）される。また、収容物がレチクルである場合、パージガスＧ１として清浄乾燥空気（ＣＤＡ）などの乾燥ガスが用いられる。清浄乾燥空気が容器Ｆの内部Ｆａに供給されることによって、水分を含む雰囲気ガスが容器Ｆの内部から外部へ排気（除去）され、レチクルに水分が付着することが抑制（防止）される。ガス源３７は、パージストッカ１の一部でもよいし、パージストッカ１の外部の装置でもよく、例えば、パージストッカ１が設けられる工場の設備でもよい。
【００２２】  容器Ｆをパージする際、ガス源３７からのパージガスＧ１は、流量制御装置３３および配管３６を介して、容器Ｆのガス導入口から内部Ｆａに供給され、容器Ｆの内部Ｆａに充填される。また、内部Ｆａのガスは、排気口から容器Ｆの外部に排出され、配管３８を介してガス排気３９により外部に排気される。なお、ガス排気３９は、ポンプなどによりガスを吸引する装置が設けられてよい。また、容器Ｆはガス排気ポート２５を備えなくてもよく、この場合、パージ装置４は排気ノズル３２を備えなくてもよい。例えば、容器Ｆの内部Ｆａの圧力が閾値以上になると、容器Ｆの内部Ｆａのガスが開口２０と蓋部２２との隙間などから外部へ漏れるので、ガス排気ポート２５が無い場合でも容器Ｆの内部Ｆａのガスを外部へ排気することができる。
【００２３】  流量制御装置３３は、容器Ｆに接続される配管３６（容器Ｆのガス導入口とガス源３７との間の流路）におけるパージガスＧ１の流量を制御する。流量制御装置３３は、例えばマスフローコントローラであり、その内部にパージガスＧ１が流れる流路を有する。流量制御装置３３の内部の流路には、例えば、自己発熱型抵抗体を利用した流量計、電磁弁などの流量制御バルブが設けられる。流量制御装置３３は、流量計の測定結果をもとに電磁弁をフィードバック制御し、その内部におけるパージガスＧ１の流量を目標値に近づける。流量制御装置３３が配管３６におけるパージガスＧ１の流量を制御することにより、ガス源３７からパージノズル３１へ供給されるパージガスＧ１の流量が制御される。流量制御装置３３は、パージ制御部３４と通信可能に接続され、パージ制御部３４から供給される制御信号に基づいて、パージガスＧ１の流量を制御する。
【００２４】  ストッカ制御装置６は、パージ制御部３４に制御指令を供給することにより、パージ装置４を制御する。ストッカ制御装置６は、スタッカクレーン５を制御してパージ対象の容器Ｆをパージ装置４に搬送させ、このパージ装置４を制御して容器Ｆに対するパージを実行させる。保管棚３には、容器Ｆが載置されたことを検出する在席センサ４０（在荷センサ）が設けられる。在席センサ４０は、ボタンセンサなどの接触型センサであり、容器Ｆの底面によって押し下げられることで、容器Ｆが保管棚３に載置されたことを検出する。在席センサ４０は、パージ制御部３４と通信可能に接続され、その検出結果をパージ制御部３４に供給する。
【００２５】  ストッカ制御装置６には、入力部および表示部接続される。この入力部は、例えば、操作パネル、タッチパネル、キーボード、マウス、トラックボールなどである。入力部は、オペレータからの入力を検出し、入力された情報をストッカ制御装置に供給する。また、上記の表示部は、例えば液晶ディスプレイなどであり、ストッカ制御装置６から供給される画像を表示する。例えば、ストッカ制御装置６は、パージストッカ１の動作状況、各種設定、パージの状態を示す画像などを表示部に表示させる。
【００２６】  図２は、実施形態に係るパージ装置の動作を示す説明図である。図２（Ａ）は、容器Ｆがパージ装置４（パージ位置）へ搬送される過程の状態を示し、図２（Ｂ）は容器Ｆがパージ装置４と接続される過程の状態を示す。図２（Ａ）に示すように、容器Ｆの底面Ｆｂにおいて、ガス導入口４１あるいはその周囲にパーティクルＰが付着している場合がある。なお、ガス導入口４１の下端面は、底面Ｆｂの一部とする。また、パージノズル３１あるいはその周囲にパーティクルＰが付着している場合がある。パーティクルＰは、例えば、パージノズル３１と容器Ｆのガス導入口が接続される際に、パージノズル３１と容器Ｆのガス導入口との接触により発生したもの、あるいは容器Ｆがパージノズル３１以外の部材（例、搬送経路の棚、処理装置の棚）に接触した際に付着したものなどである。このようなパーティクルＰは、容器Ｆの内部Ｆａに侵入して収容物を汚染することがある。そこで、本実施形態に係るパージ装置４は、容器Ｆのガス導入口あるいはパージノズル３１の周囲に付着したパーティクルＰを除去するクリーニング（クリーニング処理）を行う。
【００２７】  この例では、容器Ｆに対するパージ（パージ処理）において容器Ｆの内部にパージガスＧ１（図１（Ｂ）参照）を供給するパージノズル３１を、クリーニング用のノズルにも用いる。図２（Ｂ）に示すように、パージ制御部３４は、パージ対象の容器Ｆの底面Ｆｂとパージノズル３１とが対向した状態で、パージノズル３１からパージガスＧ１を吹き出させる。図２（Ｂ）において、容器Ｆは、移載装置１３（図１（Ａ）参照）によってパージ位置の直上まで運ばれている。この状態で、容器Ｆは、移載装置１３によって下降することでガス導入口４１がパージノズル３１と接続される位置に配置されており、ガス導入口４１とパージノズル３１とが対向した位置関係にある。
【００２８】  パージ制御部３４は、例えば移載装置１３が容器Ｆをパージノズル３１の上方から下降させる間に、流量制御装置３３を制御することにより、パージノズル３１からパージガスＧ１を吹き出させる。パージガスＧ１は、配管３６から吹き出される際に、配管３６の内壁あるいはパージノズル３１の内壁に付着したパーティクルＰを吹き飛ばし、雰囲気中（パージノズル３１と容器Ｆの底面Ｆｂとの間の空間）に漂わせる。また、吹き出されたパージガスＧ１は、容器Ｆの底面Ｆｂ（ガス導入口４１およびその周囲）まで到達し、その表面に付着したパーティクルＰを吹き飛ばし、雰囲気中に漂わせる。また、吹き出されたパージガスＧ１は、容器Ｆの底面Ｆｂに遮られて渦を形成すること等により、容器Ｆの側からパージノズル３１の側へ戻る流れとなる。このパージガスＧ１の流れは、パージノズル３１の周囲に付着したパーティクルＰを吹き飛ばし、雰囲気中に漂わせる。パージガスＧ１は、容器Ｆの底面Ｆｂと、パージノズル３１の上面およびパージノズル３１の設置面３ａ（保管棚３の上面）との間の空間を側方に向かって流れ、雰囲気中を漂うパーティクルＰを側方へと運ぶ。
【００２９】  ところで、符号ＧＡは、容器Ｆの底面Ｆｂとパージノズル３１の上面とのギャップである。パージ制御部３４は、ギャップＧＡが、パージノズル３１からのパージガスＧ１が容器Ｆの底面Ｆｂに到達するレベルにある状態で、パージノズル３１からパージガスＧ１が吹き出しているように、流量制御装置３３を制御する。また、パージ制御部３４は、ギャップＧＡが、パージノズル３１から底面Ｆｂに到達して折り返したパージガスＧ１がパージノズル３１の周囲に到達するレベルにある状態で、パージノズル３１からパージガスＧ１が吹き出しているように、流量制御装置３３を制御する。このようなギャップＧＡは、パージガスＧ１の流速などに応じて定められるが、例えば、５０ｍｍ以下でもよいし、２０ｍｍ以下でもよく、１０ｍｍ以下でもよい。
【００３０】  上述のように、パーティクルＰは、水平方向において保管棚３の外側に運ばれ、容器Ｆの底面Ｆｂとパージノズル３１との間の空間から除去される。図１（Ａ）に示したパージストッカ１は、筐体２の内部空間２ａの雰囲気ガスを循環させる循環系（図示せず）を備え、この循環系により、内部空間２ａを天井側から床側へ流れる気流が形成される。保管棚３の外側に運ばれたパーティクルＰは、この気流により床側へ運ばれ、上記の循環系のフィルタに捕捉されることで、筐体２の内部空間２ａから除去される。
【００３１】  次に、上記のパージストッカ１の動作に基づき、実施形態に係るクリーニング方法およびパージ方法について説明する。図３は、実施形態に係るパージストッカ１の動作の一例を示すシーケンス図である。パージストッカ１において入出庫ポートには、パージ対象（保管対象）の容器Ｆが天井搬送装置などにより運ばれる。ストッカ制御装置６は、ステップＳ１において、容器Ｆの搬送先のパージ装置４（保管棚３）を指定して、この容器Ｆを搬送させる指令（搬送指令）をスタッカクレーン５（図３などで「搬送装置」と表す）に送信する。搬送装置は、ステップＳ２において搬送指令を受信し、ステップＳ３において搬送指令に従って容器Ｆの搬送を開始する。
【００３２】  また、ストッカ制御装置６は、容器Ｆの搬送先のパージ装置４のパージ制御部３４に対して、パージ対象の容器Ｆが搬入される旨の搬送情報を送信する。パージ制御部３４は、ステップＳ５において搬送情報を受信する。搬送装置は、ステップＳ６において容器Ｆをパージノズル３１の上方まで搬送し、パージ制御部３４は、ストッカ制御装置６から搬送情報に基づいて、ステップＳ７においてパージノズル３１からパージガスＧ１の吹き出しを開始させ、クリーニングを開始する。例えば、パージ制御部３４は、搬送情報を受信したことの応答として、あるいは搬送情報の受信をトリガーとして、パージノズル３１からパージガスＧ１の吹き出しを開始させる。このように、実施形態に係るクリーニング方法は、ガス（例、パージガスＧ１）を吹き出すことが可能なノズル（例、パージノズル３１）とパージ対象の容器Ｆの底面Ｆｂとが対向した状態で、ノズルからガスを吹き出させるステップを含む。
【００３３】  搬送装置は、ステップＳ８において、容器Ｆが載置された移載装置１３の載置台を下降させることで、容器Ｆをパージノズル３１の上方から下降させる。容器Ｆは、ガス導入口４１とパージノズル３１とが対向するように概ね位置決めされた状態で下降し、底面Ｆｂの凹部に位置決め用のピンが挿入されることで、パージ装置４（パージノズル３１）と正確に位置決めされる。搬送装置は、ステップＳ９において、容器Ｆを保管棚３に載置し、容器Ｆとパージ装置４との接続、すなわち容器Ｆのガス導入口４１（図２（Ｂ）参照）とパージノズル３１との接続を完了する。搬送装置がステップＳ６、Ｓ８、Ｓ９の処理を行う間、パージ制御部３４は、パージガスＧ１の吹き出しを継続しており、図２（Ｂ）で説明したようにパーティクルＰが除去される。ステップＳ９において容器Ｆとパージノズルの接続が完了すると、パージノズル３１からのパージガスＧ１が容器Ｆの内部Ｆａに供給されるようになり、クリーニングが終了する。
【００３４】  パージ制御部３４は、容器Ｆのガス導入口４１とノズルとが接続された後（ステップＳ９の後）もパージノズル３１からのパージガスＧ１の吹き出しを継続させ（ステップＳ１０）、容器Ｆの内部にパージガスＧ１を供給させる。すなわち、パージ制御部３４は、ステップＳ７以降のクリーニングに続いて、ステップＳ１０以降において容器Ｆに対するパージを行う。このように、実施形態に係るパージ方法は、上記のクリーニングが行われた容器Ｆに対して、パージを行うことを含む。クリーニングは、パージの前処理（プリパージ）として行われる。なお、搬送装置は、ステップＳ１１において容器Ｆから退避し、次の搬送を行う。
【００３５】  図４は、パージストッカ１の動作の他の例を示すシーケンス図である。図４（Ａ）の例において、パージ制御部３４は、容器Ｆをパージノズル３１の上方から下降させる移載装置１３の動作に応じて、パージノズルからのパージガスＧ１の吹き出しを開始させる。搬送装置は、ステップＳ６において容器Ｆをパージノズルの上方まで搬送した後、ステップＳ１１において動作情報をストッカ制御装置６に送信する。動作情報は、搬送の過程のどの段階にあるかを示す情報であり、搬送装置は、動作情報として、次に移載装置１３の下降により容器を下降させる旨を送信する。ストッカ制御装置６は、ステップＳ１２において動作情報を受信し、ステップＳ１３において動作情報をパージ制御部３４に送信する。パージ制御部３４は、ステップＳ１４において動作情報を受信し、動作情報に基づいて、ステップＳ７においてパージガスＧ１の吹き出しを開始させる。例えば、パージ制御部３４は、動作情報を受信したことの応答として（動作情報の受信をトリガーとして）、パージガスＧ１の吹き出しを開始させる。搬送装置は、動作情報を送信した後に、ステップＳ８において容器Ｆをパージノズル３１の上方から下降させ、パージ制御部３４は、容器Ｆの下降と並行して、パージガスＧ１を吹き出させる。
【００３６】  なお、ストッカ制御装置６は、ステップＳ１３において、動作情報の代わりにパージガスＧ１の吹き出しの開始させる指令を、パージ制御部３４に送信してもよい。また、搬送装置が動作情報を送信するタイミングは、ステップＳ６の後に限らず、搬送装置は、定期的にあるいは動作が切り替わるたびに、動作情報を送信してもよい。ストッカ制御装置６は、動作情報に基づいて搬送の過程のいずれの段階にあるかを判定（把握）し、その判定結果に基づいて、パージ制御部３４にパージガスＧ１の吹き出しを開始させる指令を送信してもよい。また、搬送装置は、搬送情報をパージ制御部３４に直接送信してもよいし、搬送の過程の段階に応じて、パージガスＧ１の吹き出しを開始させる指令をパージ制御部３４に送信してもよい。
【００３７】  図４（Ａ）の例において、パージ制御部３４は、パージガスＧ１を吹き出させるタイミングを調整する。パージ制御部３４は、ステップＳ５において搬送情報を受信した後、ステップＳ１５において、予め設定された所定時間が経過したか否かを判定する。所定時間は、搬送装置が搬送を開始してから、搬送の過程が所定の段階に達するまでの時間に基づいて設定される。例えば、上記の所定時間は、搬送開始から、容器Ｆがパージノズル３１の上方に搬送されるまでの時間に設定される。パージ制御部３４は、所定時間が経過していないと判定した場合（ステップＳ１５；Ｎｏ）、ステップＳ１５の処理を繰り返し行う。パージ制御部３４は、所定時間が経過したと判定した場合（ステップＳ１５；Ｙｅｓ）、ステップＳ７において、パージガスＧ１の吹き出しを開始させる。このように、パージ制御部３４は、ステップＳ１５の処理により遅延を発生させることで、搬送装置と同期して、パージガスＧ１の吹き出しを開始する。例えば、パージ制御部３４は、搬送装置が容器Ｆをパージノズル３１の上方から下降させる動作と同期して、パージガスＧ１の吹き出しを開始させる。
【００３８】  図５は、パージガスＧ１の吹き出しを開始するタイミングの例を示す図である。図５において、符号ｔ０は、容器Ｆの搬送が開始される時刻であり、符号ｔ１は、容器Ｆがパージノズル３１の上方に到着する時刻であり、符号ｔ２は、搬送装置が容器Ｆをパージノズル３１の上方から下降を開始する時刻であり、符号ｔ３は、パージノズル３１と容器Ｆのガス導入口４１との接続が完了する時刻である。図５では、パージガスＧ１を吹き出さないことが設定された状態をＯＦＦで表し、パージガスＧ１を吹き出すことが設定された状態をＯＮで表した。また、図５では、通信の遅延、流量制御装置３３の応答性などを無視して、パージガスＧ１の吹き出しの設定を概念的に示した。
【００３９】  図５（Ａ）では、容器Ｆの搬送開始の時刻ｔ０とほぼ同時刻に、パージガスＧ１の吹き出しがＯＦＦからＯＮに切り替えられ、パージノズル３１とガス導入口４１との接続完了の時刻ｔ３以降までパージガスＧ１の吹き出しがＯＮに維持される。図５（Ｂ）では、容器Ｆの搬送開始の時刻ｔ０と、容器Ｆがパージノズル３１の上方に到着する時刻ｔ１との間の時刻において、パージガスＧ１の吹き出しがＯＦＦからＯＮに切り替えられる。パージガスＧ１の吹き出しがＯＦＦからＯＮに切り替えられる時刻は、例えば、時刻ｔ１においてパージガスＧ１が吹き出されている状態になるように、時刻ｔ１に対してマージンをとって、時刻ｔ１よりもわずかに前の時刻に設定される。図５（Ｃ）では、時刻ｔ１とほぼ同時刻に、パージガスＧ１の吹き出しがＯＦＦからＯＮに切り替えられる。図５（Ｄ）では、時刻ｔ１と、搬送装置が容器Ｆをパージノズル３１の上方から下降を開始する時刻ｔ２との間の時刻において、パージガスＧ１の吹き出しがＯＦＦからＯＮに切り替えられる。図５（Ｅ）では、時刻ｔ２とほぼ同時刻において、パージガスＧ１の吹き出しがＯＦＦからＯＮに切り替えられる。図５（Ｆ）では、時刻ｔ２と、パージノズル３１とガス導入口４１との接続完了の時刻ｔ３との間の時刻において、パージガスＧ１の吹き出しがＯＦＦからＯＮに切り替えられる。
【００４０】  図５に示したように、パージガスＧ１の吹き出しを開始するタイミングは、パージノズル３１と容器Ｆのガス導入口４１との接続が完了するよりも前の期間のいずれの時刻に設定されてもよい。ただし、パージガスＧ１の吹き出しを開始するタイミングを遅らせるほど、クリーニングに要するパージガスの消費量を抑えることができる。また、容器Ｆの底面Ｆｂとパージノズル３１とのギャップＧＡが狭くなるほど、底面Ｆｂあるいはパージノズル３１の周囲における気流が強くなるので、パーティクルＰを効率よく除去することができる。つまり、パージガスＧ１の吹き出しを開始するタイミングを遅らせると、ギャップＧＡが狭い状態で選択的にクリーニングを行うことになり、パージガスＧ１の消費量との兼ね合いで効率よく除去することができる。
【００４１】  図６は、パージガスＧ１の流量の例を示す図である。図６において、「Ｌ」は、パージガスＧ１の流量を最少に絞った際の流量（例、０）を表し、「Ｍ」は、パージ用の流量を表し、「Ｈ」は、「Ｍ」よりも大きい流量（例、流量制御装置３３に許容される最大の流量）である。図６では、流量がステップ的に変化するものとして概念的に示す。パージ制御部３４は、流量制御装置３３を制御することにより、パージガスＧ１の流量を変化させる。図６において、ｔ１０は、パージガスＧ１の吹き出しがＯＮに設定される時刻であり、時刻ｔ３は、図５と同様に、パージノズル３１とガス導入口４１との接続が完了する時刻である。
【００４２】  図６（Ａ）では、時刻ｔ１０において流量がＬからＭに変化し、時刻ｔ３以降まで流量がＭに維持される。このようなパージガスＧ１の供給パターン（流量の時間履歴）を用いると、流量の制御をシンプルにすることができる。図６（Ｂ）では、時刻ｔ１０において流量がＬからＨに変化し、時刻ｔ３において流量がＨからＭに変化し、時刻ｔ３以降において流量がＭに維持される。時刻ｔ１０から時刻ｔ３までの期間は、パージガスＧ１によりクリーニングを行う期間に相当し、この期間の流量をパージ用の流量（「Ｍ」）よりも増加させることで、パーティクルＰを効果的に除去することができる。図６（Ｃ）では、時刻ｔ３までのパターンは図６（Ｂ）と同様であるが、時刻ｔ３において流量がＨからＬへ変化し、時刻ｔ１１において流量がＬからＭに変化する。すなわち、図６（Ｃ）では、パージノズル３１とガス導入口４１との接続が完了する時点、あるいはその直前にパージガスＧ１の吹き出しを一旦停止し、時刻ｔ１１からパージを行う。このように、クリーニングを行う期間とパージを行う期間との間に休止期間（例、時刻ｔ３から時刻ｔ１１の期間）があってもよい。また、図６（Ｂ）において、時刻ｔ３の直前で流量がＭになっているように、流量がｔ３よりも前の時点で連続的にあるいはステップ的に変化してもよい。また、クリーニングを行う期間において流量が変化してもよく、例えば、間欠的にパージガスＧ１を吹き出してもよい。
【００４３】  次に変形例について説明する。図７は、変形例に係るパージ装置４Ｂを示す図である。このパージ装置４Ｂは、容器Ｆが上方に配置されたことを検出するセンサ４５を備える。センサ４５は、例えば光学センサである。センサ４５は、図７（Ａ）のように検出光Ｌ１を上方に照射し、図７（Ｂ）のように容器Ｆが上方に配置された状態で、容器Ｆの底面Ｆｂで反射、散乱した戻り光Ｌ２を検出する。センサ４５は、パージ制御部３４と通信可能に接続され、その検出結果をパージ制御部３４に供給する。パージ制御部３４は、センサ４５の検出結果に基づいて流量制御装置３３を制御し、パージノズル３１からパージガスＧ１を吹き出させる。このように、センサ４５の検出結果を用いることで、図３、図４で説明した搬送情報あるいは動作情報を用いなくともパージガスＧ１の吹き出しを開始するタイミングを定めることもできる。また、センサ４５の検出結果と、搬送情報および動作情報の少なくとも一方とを併用してパージガスＧ１の吹き出しを開始するタイミングを定めてもよい。なお、センサ４５は、レーザ測距器のように、容器Ｆの底面Ｆｂまでの距離を測定可能なものでもよい。このようなセンサ４５の測定結果を用いるとギャップＧＡの値を求めることができ、ギャップＧＡの値に応じてパージガスＧ１の吹き出しを制御することもできる。
【００４４】  上述の実施形態において、パージ制御部３４は、例えばコンピュータシステムを含む。パージ制御部３４は、記憶装置（図示せず）に記憶されている制御プログラムを読み出し、この制御プログラムに従って各種の処理を実行する。この制御プログラムは、例えば、コンピュータに、ガスを吹き出すことが可能なノズルとパージ対象の容器Ｆの底面Ｆｂとが対向した状態で、ノズルからガスを吹き出させる制御を実行させる。この制御プログラムは、コンピュータ読み取り可能な記憶媒体に記録されて提供されてもよい。
【００４５】  なお、上述の実施形態において、パージ対象の容器Ｆの底面Ｆｂとノズルとが対向した状態で、容器Ｆに向けてガスを吹き出すノズルとしてパージノズル３１を用いるが、このノズルは、パージノズル３１と別に設けられてもよく、例えばクリーニング専用のノズルでもよい。この場合、ノズルから吹き出すガスは、パージガスＧ１と同じ組成のガスでもよいし、パージガスＧ１と異なる組成のガス（例、雰囲気ガス、空気）でもよい。なお、上述の実施形態では、容器Ｆのガス導入口４１をパージノズル３１と接続する際にパージガスＧ１を吹き出すが、容器Ｆ（ガス導入口４１）をパージ装置４（パージノズル３１）から取り外す際に、容器Ｆの底面Ｆｂとパージノズル３１とが対向する状態で、パージノズル３１からパージガスＧ１を吹き出してもよい。この場合にも、容器Ｆの底面Ｆｂ、パージノズル３１の周囲からパーティクルＰを除去することができる。
【００４６】  なお、パージノズル３１と容器Ｆの底面Ｆｂとが対向し、パージノズル３１からパージガスＧ１が吹き出されている状態で、スタッカクレーン５（搬送装置）は、容器Ｆを水平方向と鉛直方向の少なくとも一方において移動（振動）させてもよい。例えば、スタッカクレーン５は、パージノズル３１からのパージガスＧ１で容器Ｆの底面Ｆｂがスイープされるように、容器Ｆを移動させてもよい。
【００４７】  なお、図１において、パージ装置４は、パージストッカ１の保管棚３に設けられるが、パージストッカ１の別の部分（例、入出庫ポート）に設けられてもよい。また、図１において、パージ装置４は、パージストッカ１に備えられるが、パージストッカ１と異なる装置に備えられてもよい。例えば、パージ装置４は、天井搬送装置の仮置き場（例、オーバヘッドバッファ；ＯＨＢ、サイドトラックストレージ；ＳＴＳ、アンダートラックストレージ；ＵＴＳ）、容器Ｆの収容物を用いる処理装置の仮置き場（ツールバッファ）、容器Ｆの収容物の順番を変更するチェンジャ等のいすれに備えられてもよい。また、法令で許容される限りにおいて、日本特許出願である特願２０１５−１５８０４３、及び上述の実施形態などで引用した全ての文献、の内容を援用して本文の記載の一部とする。
【符号の説明】
【００４８】１  パージストッカ３  保管棚４、４Ｂ  パージ装置５  スタッカクレーン（搬送装置）Ｆ  容器Ｐ  パーティクル１３  移載装置３１  パージノズル３４  パージ制御部３６  配管４１  ガス導入口Ｇ１  パージガス
【図１】
2017026168.tif 000003
【図２】
2017026168.tif 000004
【図３】
2017026168.tif 000005
【図４】
2017026168.tif 000006
【図５】
2017026168.tif 000007
【図６】
2017026168.tif 000008
【図７】
2017026168.tif 000009
【国際調査報告】
2017026168.tif 000010
2017026168.tif 000011