(57)【要約】  流体制御機器（１０）を効率良く製造する方法とその際に使用される継手用保護具（２０，３０）と流体制御機器（１０）を提供する。継手用保護具（２０，３０）は、ナットの貫通穴に継手スリーブ（１３）を挿通した状態で、ボディ（１２）に溶接された継手スリーブ（１３）に対して脱離可能に装着される。継手用保護具（２０，３０）の本体部（２２）は、継手スリーブ（１３）の軸周り外周面（１３Ｂ）と隙間を有するように継手スリーブ（１３）の外直径より大径の内周面（２１）を有し、本体部（２２）が継手スリーブ（１３）に着脱するためのスリット（２４）を備える。継手用保護具（２０）を継手スリーブ（１３）に装着することで、ナットの軸方向への移動を抑制し、継手スリーブ１３のシール部がナットから突出しないようにしてシール部を保護する。ボディ（１２）に継手用保護具（２０，３０）を装着したまま洗浄可能にする。
2016194826.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ナットの貫通穴に継手スリーブを挿通して流体制御機器本体用のボディに前記継手スリーブを溶接することで、前記継手スリーブの軸に沿って前記ボディから遠ざかる方向への前記ナットの移動により前記ナットが前記継手スリーブのシール部を収容しかつ前記継手スリーブの軸に沿って前記ボディに近づく方向への前記ナットの移動により前記シール部が前記ナットから突出する状態にし、
前記継手スリーブの軸周りの外周面と隙間を有するように前記継手スリーブの外直径より大径の内周面を有する本体部を備えかつ前記本体部が前記継手スリーブに装着するためのスリットを備えた継手用保護具を、前記継手スリーブに装着することで、前記ナットの移動を抑制して前記シール部が前記ナットから突出しないようにして前記シール部を保護した状態で、前記継手スリーブを溶接したボディを洗浄する、流体制御機器の製造方法。
【請求項２】
ナットの貫通穴に挿通した状態でボディに溶接された継手スリーブであって、前記ナットが前記継手スリーブの軸に沿って前記ボディから遠ざかる方向に移動することで前記ナットが前記継手スリーブのシール部を収容しかつ前記ナットが前記継手スリーブの軸に沿って前記ボディに近づく方向に移動することにより前記シール部が前記ナットから突出する状態の前記継手スリーブに対して装脱可能な継手用保護具であり、
前記継手用保護具が、前記継手スリーブの軸周り外周面と隙間を有するように前記継手スリーブの外直径より大径の内周面を有する本体部を備え、前記本体部が前記継手スリーブに着脱するためのスリットを備え、
前記継手用保護具が、前記継手スリーブに装着されることで、前記ナットの移動を抑制し、前記継手スリーブのシール部が前記ナットから突出しないようにして前記シール部を保護する、継手用保護具。
【請求項３】
前記本体部の中心を挟んで前記スリットと逆側に摘み部を備えている、請求項２に記載の継手用保護具。
【請求項４】
前記摘み部は、前記本体部に突出して設けられ、その突出した長さは、前記継手スリーブに前記継手用保護具を装着した際に前記ボディから突出しない長さに設定される、請求項３に記載の継手用保護具。
【請求項５】
前記本体部の内周面の直径が、前記継手スリーブの外直径の１．１乃至１．３倍である、請求項２に記載の継手用保護具。
【請求項６】
前記本体部が前記内周面を有する筒状部で構成され、
前記筒状部のうち前記スリットを形成する端部に、前記継手スリーブへの装着のためのガイド部の対が設けられている、請求項２に記載の継手用保護具。
【請求項７】
前記ガイド部は、前記筒状部の肉厚より厚く設定される、請求項６に記載の継手用保護具。
【請求項８】
前記ガイド部は、前記スリットと向き合う平面を有しており、前記ガイド部の対において前記平面同士が７０度乃至１００度の角度で拡開している、請求項７に記載の継手用保護具。
【請求項９】
前記スリットの幅は、前記継手スリーブの外直径に対して０．５乃至０．６倍に設定される、請求項２に記載の継手用保護具。
【請求項１０】
前記本体部は、前記ナットの移動方向の中間部を前記スリット側から切り欠いて、前記ナットの移動方向の両側に前記スリットを分離して有している、請求項２に記載の継手用保護具。
【請求項１１】
前記ナットの移動方向に分かれた複数のピースの対向する側面に接続用の係合部が設けられ、前記係合部を係合して前記複数のピースを連結して構成した、請求項２に記載の継手用保護具。
【請求項１２】
ナットの貫通穴に継手スリーブを挿通してボディに前記継手スリーブが接続され、前記ボディに駆動部を搭載して構成され、前記ナットが前記継手スリーブの軸に沿って前記ボディから遠ざかる方向に移動することにより前記ナットが前記継手スリーブのシール部を収容し、前記ナットが前記継手スリーブの軸に沿って前記ボディに近づく方向に移動することにより前記シール部が突出する流体制御機器本体と、
前記継手スリーブに対して装着された請求項２乃至１１の何れかに記載の継手用保護具と、
を備えた、流体制御機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体制御機器の製造方法及び流体制御機器並びにそれに使用される継手用保護具に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体膜、絶縁膜、導電性膜などの薄膜を製造するシステムにおいては、プロセスチャンバーにガスを供給している。ガス供給系は、開閉弁などの各種流体制御機器を配管により接続して構成されている。流体制御機器同士の接続又は流体制御機器と配管との接続には継手が使用されている。【０００３】
図１０は、従来の流体制御機器の一部を示す図である。流体制御機器１は、ナット４の貫通穴４Ａに継手スリーブ３を挿通した状態で、駆動部（図示せず）を搭載するボディ２の両側面に継手スリーブ３の基端部を溶接して構成されている。継手スリーブ３先端のシール部３Ａの背面とナット４との間にはベアリング５が構成されており、ナット４が回転し易くなっている。流体制御機器１を出荷する際には、ナット４の移動を規制するため、特にナット４がボディ２側へ移動してシール部３Ａが突出するのを防ぐため、樹脂製の円筒部材６Ａに切り込み６Ｂを入れてストッパー６とし、ストッパー６を継手スリーブ３に装着している。このようにして、移動中にシール部３Ａが不用意に突出して傷つくことがないよう保護している。【０００４】
ところで、プッシュタイプディスペンサにおいて、ノズルヘッドに連動した上下動するピストンの移動を制限したり、移動する範囲を調整したりする手段として、例えば、ストッパーを弾性的に装着することが考えられている（特許文献１乃至３）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００２−２７３２７７号公報
【特許文献２】特開２００４−２０３４５６号公報
【特許文献３】特開２０１２−１５３４０９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
前述の流体制御機器において、ナットの移動を規制するためのストッパーは、樹脂製の円筒部材に切り込みを入れて作製されるため、円筒部材の復元力によりその円筒形状を保持しようとする。このため、ストッパーが継手スリーブに弾性的に密着して装着され、また円筒部材が薄肉であり把持し難いため、ストッパーの取り外しには手間が掛かる。また、クリーン度の高いクリーンルーム内において流体制御機器が組み立てられる際、作業者は手袋を装着して作業しているため、作業者にとってこのようなストッパーの着脱は難しい。特に、円筒部材への切り込みにより、円筒端部の切断部分は鋭利になり易く、ストッパーの着脱の困難性が増加する。【０００７】
そこで、本発明は、上記課題に鑑み、流体制御機器を製造する際に、継手用スリーブからストッパーのような部材を着脱する回数を減らした流体制御機器の製造方法を提供することを目的とする。その製造方法において使用される継手用保護具を提供し、併せてその継手用保護具を取り付けた流体制御機器を提供することを目的とする。また、継手スリーブへの着脱がし易い継手用保護具を提供することも目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の目的及びその他関連の目的を実現するため、本発明は、
ナットの貫通穴に継手スリーブを挿通して流体制御機器本体用のボディに前記継手スリーブを溶接することで、前記継手スリーブの軸に沿って前記ボディから遠ざかる方向への前記ナットの移動により前記ナットが前記継手スリーブのシール部を収容しかつ前記継手スリーブの軸に沿って前記ボディに近づく方向への前記ナットの移動により前記シール部が前記ナットから突出する状態にし、
前記継手スリーブの軸周りの外周面と隙間を有するように前記継手スリーブの外直径より大径の内周面を有する本体部を備えかつ前記本体部が前記継手スリーブに装着するためのスリットを備えた継手用保護具を、前記継手スリーブに装着することで、前記ナットの移動を抑制して前記シール部が前記ナットから突出しないようにして前記シール部を保護した状態で、前記継手スリーブを溶接したボディを洗浄する、流体制御機器の製造方法により実現される。【０００９】
本発明は、ナットの貫通穴に挿通した状態でボディに溶接された継手スリーブであって、前記ナットが前記継手スリーブの軸に沿って前記ボディから遠ざかる方向に移動することで前記ナットが前記継手スリーブのシール部を収容しかつ前記ナットが前記継手スリーブの軸に沿って前記ボディに近づく方向に移動することにより前記シール部が前記ナットから突出する状態の前記継手スリーブに対して装脱可能な継手用保護具を提供する。前記継手用保護具は、前記継手スリーブの軸周り外周面と隙間を有するように前記継手スリーブの外直径より大径の内周面を有する本体部を備え、前記本体部が前記継手スリーブに着脱するためのスリットを備える。継手用保護具が前記継手スリーブに装着されることで、前記ナットの移動を抑制し、前記継手スリーブのシール部が前記ナットから突出しないようにして前記シール部が保護される。【００１０】
前記本体部の中心を挟んで前記スリットと逆側に摘み部を備えている。
前記摘み部は、好ましくは、突出して設けられ、その突出した長さは、前記継手スリーブに前記継手用保護具を装着した際に前記ボディから突出しない長さに設定される。本体部の内周面の直径は、好ましくは継手スリーブの外直径の１．１乃至１．３倍とする。
好ましくは、前記本体部が前記内周面を有する筒状部で構成され、筒状部のうち前記スリットを形成する端部に、前記継手スリーブへの装着のためのガイド部の対が設けられる。前記ガイド部は、前記筒状部の肉厚より厚く設定される。前記ガイド部は、前記スリットと向かい合う面を有しており前記ガイド部の対において前記平面同士が７０度乃至１００度の角度で拡開している。前記スリットの幅は、前記継手スリーブの外直径に対して０．５乃至０．６倍に設定される。【００１１】
上記継手用保護具においては、好ましくは、前記本体部は、前記ナットの移動方向の中間部で前記スリット側から切り欠かれて、前記ナットの移動方向の両側に前記スリットを分離して有している。前記ナットの移動方向に分かれた複数のピースの対向する側面には、接続用の係合部が設けられ、前記係合部を係合して前記複数のピースを連結して構成してもよい。【００１２】
また、本発明の流体制御機器は、ナットの貫通穴に継手スリーブを挿通してボディに前記継手スリーブが接続され、前記ボディに駆動部を搭載して構成され、前記ナットが前記継手スリーブの軸に沿って前記ボディから遠ざかる方向に移動することにより前記ナットが前記継手スリーブのシール部を収容し、前記ナットが前記継手スリーブの軸に沿って前記ボディに近づく方向に移動することにより前記シール部が突出する流体制御機器本体と、前記継手スリーブに対して装着された前記何れかで成る継手用保護具と、を備えて構成されている。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、継手用保護具が、継手スリーブの軸周りに隙間をあけて装着されるため、継手用保護具を継手スリーブに装着したまま洗浄することができ、継手スリーブの外周面と本体部の内周面との間の汚れを取り易くなる。また、継手用保護具を継手スリーブに装着することで、ナットの移動が抑制され、継手スリーブのシール部がナットから突出しないようにして継手スリーブのシール部が保護される。特に、継手用保護具の本体部の内周面が、継手スリーブの軸周り外周面と隙間を有しており、かつ、本体部の外周面に摘み部を備えている場合においては、摘み部により継手スリーブへの着脱が容易になる。よって、継手スリーブへの着脱がし易く、かつ継手スリーブのシール部を保護することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の実施形態に係る流体制御機器を示す斜視図である。
【図２】本発明の第１実施形態に係る継手用保護具を示す斜視図である。
【図３】図２に示す継手用保護具の断面図である。
【図４】本発明の第２実施形態に係る継手用保護具を示す斜視図である。
【図５】図４に示す継手用保護具の側面図である。
【図６】本発明の第３実施形態に係る継手用保護具を示し、（ａ）及び（ｂ）は継手用保護具を構成する各ピースを示す斜視図、（ｃ）は継手用保護具の斜視図である。
【図７】図６に示す継手用保護具の側面図である。
【図８】本発明の実施形態に係る流体制御機器を製造する方法についてのフロー図である。
【図９】本発明の実施形態に係る継手用保護具が継手スリーブに装着されている状態を示す図である。
【図１０】従来の流体制御機器の一部を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、図面を参照しながら本発明の実施形態について詳細に説明する。
【００１６】
［継手用保護具が装着される流体制御機器本体］
図１は本発明の実施形態に係る流体制御機器１０を示す斜視図である。流体制御機器１０は流体制御機器本体１１に継手用保護具２０を装着して構成される。流体制御機器本体１１は、内部に流路を有するボディ１２と、ボディ１２の側面に溶接して基端部が接続される継手スリーブ１３と、継手スリーブ１３に装着されるナット１４と、を備える。ボディ１２は、例えば内部の流体を制御するための弁体を開閉駆動するための流体操作用アクチュエータその他の駆動部の台座となる。
【００１７】
継手スリーブ１３は、内部に軸方向に流体が流れる流路が形成されており、先端にシール部１３Ａを有しており、シール部１３Ａから基端部側（ボディ１２に溶接される端部側）になるに従い、段階的に径が小さくなって例えば大径、中径、小径になっている。ナット１４は、継手スリーブ１３のシール部１３Ａを収容することで、シール部１３Ａを傷などから保護する。ナット１４は、相手方のカップリング（図示せず）と締結することで、そのカップリング先端部と継手スリーブ１３のシール部１３Ａとがガスケット（図示せず）を挟圧して、流体供給系の一部を構成する。流体供給系を構築し易くするために、継手スリーブ１３のシール部１３Ａの背部において、外径が段階的に小さくなる部分（フランジ部とも称し得る。）にベアリング１５を装着することで、ナット１４を回転し易くしてもよい。ナット１４は両端解放の貫通穴を有する筒状に構成され、ナット１４のボディ１２側の端部は、継手スリーブ１３の軸周りに突出したフランジ部に係合するよう小径の貫通穴で成り、これを以下、袋状のナットと称する。
【００１８】
継手スリーブ１３がナット１４の貫通穴１４Ａに挿通した状態で、継手スリーブ１３の基端部がボディ１２に溶接されており、ナット１４の小径の貫通穴１４Ａが継手スリーブ１３の中間部及びボディ１２基端部側の小径部よりも大きいので、ナット１４は継手スリーブ１３の軸方向に移動自在である。即ち、継手スリーブ１３の軸に沿ってボディ１２から遠ざかる方向へのナット１４の移動により、ナット１４が継手スリーブ１３のシール部１３Ａを収容する。かつ、継手スリーブ１３の軸に沿ってボディ１２に近づく方向へのナット１４の移動によりシール部１３Ａがナット１４から露出して突出する。ここで、流体制御機器本体におけるボディ１２を、流体制御機器本体用のボディとも呼ぶことにする。
【００１９】
［継手用保護具］
本発明の第１実施形態に係る継手用保護具２０は、図１に示すように、袋状のナット１４の貫通穴１４Ａに継手スリーブ１３を挿通した状態で、ボディ１２に溶接された継手スリーブ１３に対して装着される。図２は本発明の第１実施形態に係る継手用保護具２０を示す斜視図であり、図３はその断面図である。
【００２０】
継手用保護具２０は、継手スリーブ１３の軸周りの外周面１３Ｂと隙間を有するように継手スリーブ１３の外直径より大径の内周面２１を有する本体部２２を備え、本体部２２は継手スリーブ１３に着脱するためのスリット２４を備える。図１に示す形態では、摘み部２３が、本体部２２の外周面から突出して形成されており、本体部２２の中心に対してスリット２４と逆側（反対側）で突出するように設けられている。
【００２１】
継手用保護具２０が、継手スリーブ１３に装着されることで、ナット１４が継手スリーブ１３の軸方向への移動が抑制される。つまり、ナット１４の背面１４Ｂと継手スリーブ１３のシール部１３Ａとの距離が一定範囲に規制され、また、ナット１４の背面１４Ｂとボディ１２の側面１２Ｂとの距離が一定範囲に規制される。よって、継手スリーブ１３のシール部１３Ａがナット１４から突出しないようにしてシール部１３Ａが保護される。
【００２２】
次に、継手用保護具２０の具体的な形態について、図２及び図３を参照しながらさらに説明する。継手用保護具２０の本体部２２は、内周面２１を有する筒状部２５で構成されており、筒状部２５のうちスリット２４を形成する端部２５Ａには、継手スリーブ１３への装着のためのガイド部２５Ｂが備えられている。ガイド部２５Ｂは、筒状部２５の端部２５Ａ以外の部位の厚さよりも厚みを有する。ガイド部２５Ｂの対は、スリット２４から外側に拡開しており、ガイド部２５Ｂはその方向で平面状に形成されている。よって、ガイド部２５Ｂの平面は、継手スリーブ１３への装着の際の案内として機能し、入れ易くなる。その平面を形成する部位の厚みは、筒状部２５の端部２５Ａ以外の部位の厚さよりも厚い。また、ガイド部２５Ｂは、互いに向き合う向きと逆側には丸みを持たせることにより、作業性が向上する。
【００２３】
継手用保護具２０の摘み部２３は、本体部２２の中心を挟んでスリット２４と逆側に突出するように設けられている。摘み部２３は略球形、略楕円球状などの丸みを有している。摘み部２３の断面は三角、四角などの多角形であってもよいが、パーティクルが溜まらないよう鋭角がない方がよい。本体部２２の外周面から摘み部２３の突出する長さ（図９に示すＨ）、即ち、継手用保護具２０を継手スリーブ１３に装着した際の継手用保護具２０と継手スリーブ１３との接触部位から摘み部２３の先端までの長さＨは、継手用保護具２０を継手スリーブ１３に装着した際に、図９に示すボディ１２から突出しないように設定されている。例えばボディ１２の底面１２Ｃから下側に突出しないように設定される。これは、継手スリーブ１３に継手用保護具２０を装着したボディ１２を作業台等に載置した際、摘み部２３と作業台等が干渉し、作業性を悪化させることを防ぐためである。
【００２４】
継手用保護具２０の本体部２２は、図３の断面図に示すように、継手スリーブ１３の外直径ｄよりも長い直径（大径）Ｄの内周面２１を有する。内周面２１の断面が円形状ではなく楕円形状などである場合には、内周面２１で囲まれる面積と等価な面積を有する円形状で近似し、その近似した円の直径が、継手スリーブ１３の外直径ｄよりも大径であればよい。本体部２２の内周面２１が継手スリーブ１３に密着すると、後述する作業工程のうち、ボディ１２に継手スリーブ１３を溶接した後などに洗浄を行なっても、継手スリーブ１３の外表面と内周面２１との間に残渣が残るおそれがある。逆に内周面２１が大き過ぎると、継手スリーブ１３から離脱するおそれがある。そのため、概ね本体部２２の断面中空の等価断面直径Ｄが、継手スリーブ１３の外直径ｄの１．１乃至１.３倍程度の大きさ、特に好ましくは１．２±０．０５倍の大きさを有するとよい。なお、内周面２１の断面は円形状、楕円形状に限定されず、例えば四角でもよく、継手スリーブ１３に脱着可能であればよい。
【００２５】
継手用保護具２０の素材としては、従来のストッパーのようにテフロン（登録商標）を用いてもよいが、耐薬品性、耐熱性を有するポリプロピレン等の安価な樹脂を使用することができる。
【００２６】
継手用保護具２０の本体部２２は、図３の断面図に示すように、継手スリーブ１３に着脱するためのスリット２４を備える。スリット２４が広いと継手スリーブ１３から離脱し易くなる一方、スリット２４が狭いと継手スリーブ１３に装着し難くなる。継手用保護具２０の素材が上述の材料である場合には、スリット２４の寸法Ｗは、継手スリーブ１３の外直径ｄに対して０．５乃至０．６倍が好ましい。
【００２７】
継手用保護具２０の本体部２２は、図３の断面図に示すように、スリット２４を形成するようにガイド部２５Ｂを備える。ガイド部２５Ｂは、本体部２２のガイド部２５Ｂを除く略Ｃ字状のリング部２２Ａ、つまり筒状部２５の厚みより厚い。ガイド部２５Ｂにより継手スリーブ１３への装着を容易にするためである。ガイド部２５Ｂの対（一対のガイド部）はスリット側で平面を呈しており、対となる平面同士は、７０度乃至１００度を成す。ガイド部２５Ｂの平面同士のなす角が大き過ぎたり小さ過ぎたりすると、継手スリーブ１３の装着が容易にならないためである。
【００２８】
図４は本発明の第２実施形態に係る継手用保護具２０を示す斜視図であり、図５は図４に示す継手用保護具２０の側面図である。図２及び３に示す継手用保護具２０と同一の又は対応する部位には同一の符号を付している。第２実施形態に係る継手用保護具２０においては、本体部２２の軸方向中間部にスリット２４側から切り欠いて溝２６を設け、スリット２４及びガイド部２５Ｂが軸方向の両側に分離されている。ここで、本体部２２の軸方向とは、継手スリーブ１３の軸方向と同じ方向である。第２実施形態に係る継手用保護具２０では、第１実施形態とは異なり、本体部２２の内周面２１が継手スリーブ１３の外周面１３Ｂを覆う割合、即ち面積割合が小さくなり、継手スリーブ１３の外周面１３Ｂを露出し易く、洗浄の効率化が図れる。
【００２９】
次に、本発明の第３実施形態に係る継手用保護具について説明する。継手用保護具２０が装着される継手スリーブ１３は、流体供給ラインの仕様等により軸方向の長さが設定される。そのため、軸方向に比較的に長い継手スリーブに対して装着される継手用保護具２０においては、本体部２２、摘み部２３、ガイド部２５Ｂのうち一又は複数の部位が軸方向にピースとして分割されて、ピース同士の対向側面に係合部を設けておくことにより、複数のピースの対向側面を互いに係合して一体化することができる。係合部は、例えば、ピースの一方及び他方の対向する側面に凹部及び凸部を形成し、これらを互いに接合するように凹凸部で嵌め合わせて一体化して構成してもよい。凹凸部は、形状の凹凸だけでなく、ピンとピン挿入穴のようなものでもよい。適宜設定される軸方向の長さに対応することができ、部品の共通化が図れる。
【００３０】
図６は本発明の第３実施形態に係る継手用保護具を示し、（ａ）及び（ｂ）は継手用保護具を構成する各ピースを示す斜視図、（ｃ）は継手用保護具の斜視図であり、図７は図６に示す継手用保護具の側面図である。図６（ａ）と図６（ｂ）は、ピース同士の対向する面が紙面に対して手前になるように示している。例えば、図６及び図７に示すように、本発明の第３実施形態に係る継手用保護具３０は、複数のピース２７Ａ，２７Ｂを組み付けて構成されている。本体部２２、摘み部２３及びガイド部２５Ｂが、装着先の継手スリーブ１３の軸方向に対応して複数のピース２７Ａ，２７Ｂ毎に分けられており、継手用保護具３０は、複数のピース２７Ａ，２７Ｂが組み付けられることで構成されている。各ピース２７Ａ，２７Ｂの対向面２８に、組み付け用の凸部２９Ａ、凹部２９Ｂの何れかをそれぞれ設けて、凸部２９Ａを凹部２９Ｂに嵌め合うことで複数のピース２７Ａとピース２７Ｂが一体化される。第３実施形態においても、第２実施形態のように溝を設けて継手スリーブ１３の外周面１３Ｂを洗浄し易くすることが好ましい。
【００３１】
［流体制御機器］
本実施形態に係る流体制御機器１０は、図１に示すように、袋状のナット１４の貫通穴１４Ａに継手スリーブ１３を挿通してボディ１２に継手スリーブ１３が溶接され、ボディ１２に駆動部として例えば流体操作用アクチュエータ１６を搭載して構成された流体制御機器本体１１と、流体制御機器本体１１の継手スリーブ１３に対して装着された継手用保護具２０と、を備えて構成され、継手用保護具２０が継手スリーブ１３から作業者により脱着自在となっている。
【００３２】
継手用保護具２０が継手スリーブ１３に装着されていることにより、ナット１４が継手スリーブ１３の軸方向へ移動するのを抑制し、ナット１４がボディ１２側へ必要以上に移動しなくなるので、継手スリーブ１３のシール部１３Ａがナット１４から突出しない。よって、継手スリーブ１３のシール部１３Ａが衝撃や傷などから保護される。流体制御機器１０としてはエアや手動による開閉弁などを列挙することができる。
【００３３】
［流体制御機器の製造方法］
本発明の実施形態に係る流体制御機器の製造方法について説明する。図８は本発明の実施形態に係る流体制御機器の製造方法を示すフロー図である。
【００３４】
先ず、溶接場所にて、ボディ１２内の流路に対応させて継手スリーブ１３を溶接して接続する（ＳＴＥＰ１）。その際、継手スリーブ１３は袋状のナット１４の貫通穴１４Ａに挿通されている。この状態では、継手スリーブ１３の軸に沿ってボディ１２から遠ざかる方向へナット１４が移動することで、ナット１４が継手スリーブ１３のシール部１３Ａを収容し、継手スリーブ１３の軸に沿ってボディ１２に近づく方向へのナット１４が移動することで、シール部１３Ａがナット１４から露出して突出する。
【００３５】
次に、ボディ１２に継手スリーブ１３を溶接した仕掛品の継手スリーブ１３に本発明の各実施形態に係る継手用保護具２０，３０を装着する。装着の際には、摘み部２３を作業者が摘み、ガイド部２５Ｂを利用しながらスリット２４から挿入して継手用保護具２０，３０を継手スリーブ１３に装着する。この状態では、ナット１４の移動が抑制され、シール部１３Ａがナット１４から突出しないため、シール部１３Ａが保護されている。その後、継手スリーブ１３が溶接されているボディ１２を、複数、洗浄場所に運搬する。
【００３６】
その後、洗浄場所において、必要に応じてこのような一又は複数の仕掛品を洗浄用網に収容した上で、超音波等による洗浄を行う（ＳＴＥＰ２）。図９に示すように、摘み部２３の質量で継手用保護具２０，３０の摘み部２３が鉛直下側に向く。そのような状態で仕掛品が洗浄液に浸漬するので、本体部２２のガイド部２５Ｂ及びその近傍が継手スリーブ１３と接触したままになり易い。しかしながら、継手用保護具２０，３０の内周面２１と継手スリーブ１３との接触部分を可及的に減らし、洗浄時の揺動により継手スリーブ１３の外周面１３Ｂ全体を洗浄することができる。これにより、継手スリーブ１３に付着した残留物を取り除くことができる。また、洗浄液を流しながら洗浄する場合においては、摘み部２３が継手スリーブ１３に引っ掛かった状態のまま、洗浄液の流れにより摘み部２３に力が加わり、継手スリーブ１３の周りを摘み部２３が回転する。よって、より効率良く、継手スリーブ１３とボディ１２との溶接部分及びその周囲、継手スリーブ１３の外周面などを、より効率良く、洗浄することができる。
【００３７】
図９は、継手用保護具２０，３０が継手スリーブ１３に装着されている状態を示す図である。継手スリーブ１３の外周面１３Ｂと継手用保護具２０，３０の内周面２１とは、符号４０で示すように僅かな部位でしか接触しない。つまり、継手スリーブ１３の外周面１３Ｂと継手用保護具２０，３０の内周面２１との間に三日月状の隙間が生じる。そのため、この隙間により洗浄や乾燥等の作業が容易になる。
【００３８】
従来では、洗浄場所に運搬された仕掛品の継手スリーブからストッパーを取り外して洗浄し、洗浄が終了すると、検査場所に運搬するためストッパーを継手スリーブに取り付けていた。本発明の実施形態では、継手用保護具２０，３０を継手スリーブ１３に装着したまま洗浄するので、作業効率が向上する。洗浄の際には継手用保護具２０，３０それ自体も洗浄されるため、流体制御機器のクリーン度も向上する。
【００３９】
洗浄が終了すると、仕掛中の継手スリーブ付きボディは、検査場所に運搬される。そして検査場所において、作業者は継手用保護具２０，３０の摘み部２３を摘み、継手スリーブ１３から引き離して取り外し、傷や汚れの有無がないかなど仕様に沿って検査を行う（ＳＴＥＰ３）。検査に合格した仕掛品の継手スリーブ１３へ継手用保護具２０，３０を、前述と同様の手順で装着する。
【００４０】
次に、仕掛中の継手スリーブ付きボディは、クリーン度の高いスーパークリーンルーム内の洗浄場所に運搬される。そこで、作業者は、ＳＴＥＰ２と同様に、仕掛中の継手スリーブ付きボディの洗浄を行い（ＳＴＥＰ４）、その後、所定のプロセスを経て、組立場所に搬送される。組立場所において、仕様で定まっている流体操作用アクチュエータ１６をボディ１２に取り付けるなどの組立作業を行う（ＳＴＥＰ５）。
【００４１】
次に、仕掛中の継手スリーブ付きホディは、スーパークリーンルーム内の検査場所に運搬される。そこで、作業者は継手用保護具２０，３０を取り外し、継手スリーブ１３及びボディ１２の流路内にリーク検査用のガスを流してリーク検査を行い、最終検査を行う（ＳＴＥＰ６）。最終検査を行う際には、作業者は継手用保護具２０，３０の摘み部２３を摘み、継手スリーブ１３から取り外し、最終検査が検査項目に従ってなされる。最終検査に合格した仕掛品の継手スリーブ１３に対して継手用保護具２０，３０を、前述と同様の手順で装着する。
【００４２】
その後、最終検査に合格した仕掛品の継手スリーブ１３に継手用保護具２０，３０を前述と同様の手順で装着し、スーパークリーンルーム内の包装作業場所に運搬する。
【００４３】
最後に、包装場所において、仕掛品を真空用パックに収容して真空パッケージングをする（ＳＴＥＰ７）。
【００４４】
このように、本発明の実施形態に係る製造方法では、洗浄前で継手用保護具２０，３０を継手スリーブ１３から取り外し、洗浄終了後に継手スリーブ１３へ装着する必要がなく、作業効率が向上する。本発明の実施形態に係る継手用保護具２０，３０を用いることで、継手スリーブ１３に装着したまま、洗浄、搬入及び搬出の運搬の各種作業をすることができ、また継手スリーブ１３への脱着を容易にすることができるため、さらに作業効率性が向上する。
【００４５】
なお、流体制御機器の製造方法の手順は、適宜変更することができ、例えば、継手スリーブ１３をボディ１２へ溶接した後に、基準を満たすかどうかの検査を行い、その後、継手用保護具２０を継手スリーブ１３へ装着して洗浄してもよい。
【００４６】
本発明の実施形態は、図示した態様、前述した事項に限定されることなく、本発明の範囲において適宜変更してもよい。例えば、継手スリーブ１３の長さに応じて、ベアリングの有無に応じて、継手用保護具２０，３０を着色することにより、作業上部品の取り違いをなくすことができる。
【符号の説明】
【００４７】
１０：流体制御機器
１１：流体制御機器本体
１２：ボディ
１３：継手スリーブ
１３Ａ：シール部 
１３Ｂ：外周面
１４：ナット
１４Ａ：貫通穴
１４Ｂ：背面
１５：ベアリング
１６：流体操作用アクチュエータ
２０，３０：継手用保護具
２１：内周面
２２：本体部
２２Ａ：リング部
２３：摘み部
２４：スリット
２５：筒状部
２５Ａ：筒状部の端部
２５Ｂ：ガイド部
２６：溝
２７Ａ，２７Ｂ：ピース
２８：対向面
２９Ａ：凸部
２９Ｂ：凹部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【国際調査報告】
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