(57)【要約】      （修正有）【課題】組み立て品質及び組み立て速度を向上したウエハ研磨用リテーナリングの接着剤塗布機を提供する。【解決手段】ウエハ研磨用リテーナリングは、その外周部がリング状溝を備えるリング状ベース部９１と、リング状溝に嵌設されるゴムリングとを含む。接着剤塗布機１は、真っ直ぐ立ち且つ回転できる回転盤１４を通じてウエハ研磨用リテーナリングのリング状ベース部をその上に固定し、そして接着剤注入器１６をリング状溝に合わせた後で、上方或いは側面から接着剤を注入できる。リング状ベース部が回転盤により連動して回転され、並びに接着剤注入器の絶え間ない接着剤の吐出に伴い、リング状ベース部のリング状溝全体を接着剤で完全に塗布させることができ、次に手動又は機器の方式を通じてゴムリングをリング状ベース部のリング状溝に嵌設することができる。【選択図】図２
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
その外周部がリング状溝を備えるリング状ベース部と、前記リング状溝に嵌設されるゴムリングとを含むウエハ研磨用リテーナリングに適する接着剤塗布機であって、
頂面に第１のレールを設ける基台と、
板体と連接部とを含み、前記板体が前記第１のレールに真っ直ぐ立ち、前記連接部が前記板体と前記第１のレールに各々連接して前記板体が前記第１のレールにおいて第１方向に沿って摺動させることができる支え台と、
前記板体の上に設けられ、その回転軸が前記板体を貫通するモータと、
前記板体の上に設けられ且つ前記モータの回転軸に枢着し、前記ウエハ研磨用リテーナリングの前記リング状ベース部をその表面に固定するための固定部を含む回転盤と、
第１の支柱と第２の支柱と横桁とを含み、前記第１の支柱と前記第２の支柱が前記基台の両側に真っ直ぐ立ち、前記横桁の両端が前記第１の支柱と前記第２の支柱に各々連接し、前記横桁に第２のレールを設け、前記第２のレールが前記第１のレール上方に位置する門型ブラケットと、
前記第２のレールに連接することで前記第２のレールにおいて第１方向と直交する第２方向に沿って摺動できる接着剤注入器と、を含むことを特徴とする、
接着剤塗布機。
【請求項２】
前記基台は、前記モータと前記第１のレールと前記第２のレールの作動を制御するための制御盤を更に含むことを特徴とする請求項１に記載の接着剤塗布機。
【請求項３】
接着剤注入器は、吐出部と胴体部とを含み、前記吐出部が前記胴体部に連通し、前記胴体部が接着剤を収容するために用いられることを特徴とする請求項２に記載の接着剤塗布機。
【請求項４】
前記回転盤の外径は、前記ウエハ研磨用リテーナリングのリング状ベース部の外径より小さいことを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の接着剤塗布機。
【請求項５】
その外周部がリング状溝を備えるリング状ベース部と、前記リング状溝に嵌設されるゴムリングとを含むウエハ研磨用リテーナリングに適する接着剤塗布機であって、
頂面に第１のレールを設ける第１の基台と、
板体と連接部とを含み、前記板体が前記第１のレールに並行し、前記連接部が前記板体と前記第１のレールに各々連接して前記板体が前記第１のレールに沿って摺動させることができる支え台と、
前記板体の上に設けられ、その回転軸が前記板体を貫通するモータと、
前記板体の上に設けられ且つ前記モータの回転軸に枢着し、前記ウエハ研磨用リテーナリングの前記リング状ベース部をその表面に固定するための固定部を含む回転盤と、
表面に前記第１のレールと直交する第２のレールを設ける第２の基台と、
前記第２のレールに連接することで前記第２のレールに沿って摺動できる接着剤注入器と、を含むことを特徴とする、
接着剤塗布機。
【請求項６】
前記第１の基台は、前記モータと前記第１のレールと前記第２のレールの作動を制御するための制御盤を更に含むことを特徴とする請求項５に記載の接着剤塗布機。
【請求項７】
接着剤注入器は、吐出部と胴体部とを含み、前記吐出部が前記胴体部に連通し、前記胴体部が接着剤を収容するために用いられることを特徴とする請求項６に記載の接着剤塗布機。
【請求項８】
前記連接部は、前記板体に平行となる部分と前記板体と直交する部分とを含み、前記板体と直交する部分が前記板体に連接し、前記板体に平行となる部分が前記第１のレールに連接することを特徴とする請求項７に記載の接着剤塗布機。
【請求項９】
前記回転盤の外径は、前記ウエハ研磨用リテーナリングのリング状ベース部の外径より小さいことを特徴とする請求項５〜８のいずれか一項に記載の接着剤塗布機。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、接着剤塗布機に関し、特に、ウエハ研磨用リテーナリングの接着剤塗布機に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体の製造過程における化学機械研磨は、必要不可欠な工程である。化学機械研磨プロセスとは、ウエハ研磨用リテーナリングで被研磨ウエハを取り囲むようにセットしてから加工したいウエハ表面を化学機械研磨液含有研磨パッドに向け、ウエハ研磨用リテーナリングの他側が研磨ヘッドを連接し、研磨ヘッドを通じてウエハ研磨用リテーナリングに一定の負荷を加えることで、ウエハ表面に適切な圧力で研磨パッドが押し当てられ、そして研磨パッドの回転を利用してウエハ表面に対して化学機械研磨を行うことである。
【０００３】
化学機械研磨プロセスにおいて、ウエハ研磨用リテーナリングは極めて重要な役割を担い、ウエハ研磨用リテーナリングの品質が悪い場合、ウエハを研磨パッドに平坦に押し付けて化学機械研磨を行うことができず、更に破損の状況が発生してしまう。
図１に示すように、従来のウエハ研磨用リテーナリング構造９は、通常リング状ベース部９１とゴムリング９２とを含み、リング状ベース部９１の外周部にリング状溝９１ａが設けられる。ゴムリング９２（例えば、シリコンゴムリング）の内周は、リング状溝９１ａの中に周設されることで、ウエハ研磨用リテーナリング９が水分、塵埃或いは不純物粒子をリング状ベース部９１上に付着することを防止させることができる。
【０００４】
従来は、ゴムリング９２をリング状ベース部９１上に取り付ける時、全て手作業による接着剤塗布手法を用いていた。つまり手作業により接着剤をリング状ベース部９１のリング状溝９１ａ内に塗布してから手作業でゴムリング９２をリング状溝９１ａに嵌設し、ゴムリング９２とリング状ベース部９１を接合させる。しかしながら、手作業による接着剤塗布手法では、接着剤をリング状ベース部９１のリング状溝９１ａ内に均一に塗布しにくいため、組み立て品質と組み立て速度は現場組立人員の経験の違いにより統一性を保持することが困難である。
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００５】
そこで、本考案は上記な従来技術の問題点に鑑みて、ウエハ研磨用リテーナリングに適する接着剤塗布機を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するための本考案のウエハ研磨用リテーナリングは、その外周部がリング状溝を備えるリング状ベース部と、リング状溝に嵌設されるゴムリングとを含む。前記接着剤塗布機は、基台と支え台とモータと回転盤と門型ブラケットと接着剤注入器とを含む。
【０００７】
基台頂面に第１のレールを設けており、支え台は板体と連接部とを含み、板体が第１のレールに真っ直ぐ立ち、連接部が板体と第１のレールに各々連接して板体が第１のレールにおいて第１方向に沿って摺動させることができる。モータは、板体の上に設けられ、モータの回転軸が板体を貫通する。回転盤は、板体の上に設けられ且つモータの回転軸に枢着し、ウエハ研磨用リテーナリングのリング状ベース部を回転盤の表面に固定するための固定部を含む。門型ブラケットは、第１の支柱と第２の支柱と横桁とを含み、第１の支柱と第２の支柱が基台の両側に真っ直ぐ立ち、横桁の両端が第１の支柱と第２の支柱に各々連接し、横桁に第２のレールを設け、第２のレールが第１のレール上方に位置する。接着剤注入器は、第２のレールに連接することで第２のレールにおいて第２方向に沿って摺動でき、前記第２方向が第１方向と直交する。
【０００８】
本考案の一実施例において、接着剤塗布機の基台は、モータと第１のレールと第２のレールの作動を制御するための制御盤を更に含む。
【０００９】
本考案の一実施例において、接着剤塗布機の接着剤注入器は、吐出部と胴体部とを含み、吐出部が胴体部に連通し、胴体部が接着剤を収容するために用いられる。
【００１０】
本考案の一実施例において、接着剤塗布機の回転盤の外径は、ウエハ研磨用リテーナリングのリング状ベース部の外径より小さい。
【００１１】
本考案は、第１の基台と支え台とモータと回転盤と第２の基台と接着剤注入器とを含む他の接着剤塗布機を更に提供する。第１の基台の頂面に第１のレールを設けており、支え台は板体と連接部とを含み、板体が第１のレールに平行し、連接部が板体と第１のレールに各々連接して板体が第１のレールにおいて第１方向に沿って摺動させることができる。モータは、板体の上に設けられ、モータの回転軸が板体を貫通する。回転盤は、板体の上に設けられ且つモータの回転軸に枢着し、ウエハ研磨用リテーナリングのリング状ベース部を回転盤の表面に固定するための固定部を含む。第２の基台のうちの一表面に第１のレールと直交する第２のレールを設ける。接着剤注入器は第２のレールに連接することで第２のレールに沿って摺動できる。
【００１２】
本考案の一実施例において、前記他の接着剤塗布機の基台は、モータと第１のレールと第２のレールの作動を制御するための制御盤を更に含む。
【００１３】
本考案の一実施例において、他の接着剤塗布機の接着剤注入器は、吐出部と胴体部とを含み、吐出部が胴体部に連通し、該胴体部が接着剤を収容するために用いられる。
【００１４】
本考案の一実施例において、前記他の接着剤塗布機の支え台の連接部は、板体に平行となる部分と板体と直交する部分を含み、板体と直交する部分が板体に連接し、板体に平行となる部分が第１のレールに連接する。
【００１５】
本考案の一実施例において、他の接着剤塗布機の回転盤の外径は、ウエハ研磨用リテーナリングのリング状ベース部の外径より小さい。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】従来のウエハ研磨用リテーナリングを示す模式図である。
【図２】本考案の実施例１の操作様子を示す模式図（一）である。
【図３】本考案の実施例１の操作様子を示す模式図（二）である。
【図４】本考案の実施例１の側面図である。
【図５】本考案の実施例２の操作様子を示す模式図である。
【考案を実施するための形態】
【００１７】
（実施例１）
図２乃至図４を参照する。本考案の実施例１の操作様子を示す模式図（一）、操作様子を示す模式図（二）と側面図で、接着剤塗布機１を描画している。接着剤塗布機１は、図１に示すウエハ研磨用リテーナリング９に適用される。ウエハ研磨用リテーナリング９は、リング状ベース部９１とゴムリング９２とを含み、リング状ベース部９１の外周部がリング状溝９１ａを備え、ゴムリング９２がリング状溝９１ａの中に嵌設される。
ゴムリング９２自体を更に安定的にリング状ベース部９１と互いに接合させるため、ゴムリング９２をリング状溝９１ａに嵌設する前、あらかじめリング状溝９１ａの中に接着剤を塗布する。こうすると、その後ゴムリング９２がリング状溝９１ａに嵌設される時、ゴムリング９２の内周が接着剤を通じてリング状溝９１ａの表面に接着でき、ゴムリング９２がリング状ベース部９１から分離しにくくなる。
本実施例の接着剤塗布機１のうちの１つの機能は、ゴムリング９２がリング状溝９１ａに嵌設される前、リング状ベース部９１のリング状溝９１ａに接着剤を均一に塗布することである。本考案の実施例１の接着剤塗布機１は、基台１１と支え台１２とモータ１３と回転盤１４と門型ブラケット１５と接着剤注入器１６とを含み、以下に詳細に説明する。
【００１８】
基台１１の頂面１１ａには第１のレール１１１を設けており、支え台１２は板体１２１と連接部１２２とを含む。板体１２１は第１のレール１１１上に真っ直ぐ立ち、つまり板体１２１の板面の法線方向が頂面１１ａの法線方向と直交する。連接部１２２は、板体１２１と第１のレール１１１に各々連接する。本実施例の連接部１２２と板体１２１は一体成形とし、連接部１２２の外観が同樣に平板状を呈し且つ板体１２１と直交する。連接部１２２の両側辺は曲がってフック状を呈し、これを介して第１のレール１１１の両長辺側縁部に掛止し、板体１２１が連接部１２２を通じて第１のレール１１１上に平行移動させると共に第１方向Ｄ１に沿って摺動させることができる。
【００１９】
図４を参照する。モータ１３は、板体１２１の上に設けられ、モータ１３の回転軸１３１が板体１２１を貫通し、回転盤１４が板体１２１の上に設けられ、且つモータ１３の回転軸１３１に枢着する。図２に示すように、回転盤１４は、固定部１４１を含み、固定部１４１がウエハ研磨用リテーナリング９のリング状ベース部９１を回転盤１４の表面に固定するために用いられる。本実施例の固定部１４１は、ピンで、ウエハ研磨用リテーナリング９のリング状ベース部９１上にある２個のピン穴９１１に対応して挿入することで、リング状ベース部９１を回転盤１４の上に固定できる。回転盤１４が回転した時、ウエハ研磨用リテーナリング９のリング状ベース部９１を連動して回転することができる。
【００２０】
門型ブラケット１５は、第１の支柱１５１と第２の支柱１５３と横桁１５２とを含む。第１の支柱１５１と第２の支柱１５３は、基台１１の両側に各々真っ直ぐ立ち、横桁１５２の両端が第１の支柱１５１と第２の支柱１５３の頂上部に各々連接する。横桁１５２の上に第２のレール１５４を設け、第２のレール１５４が第１のレール１１１の直上に位置し、且つ第１のレール１１１と投影方向に直交する。
【００２１】
接着剤注入器１６は、第２のレール１５４に連接することで、第２のレール１５４において第１方向Ｄ１と直交する第２方向Ｄ２に沿って摺動できる。本実施例の接着剤注入器１６は、吐出部１６１と胴体部１６２とを含み、吐出部１６１が胴体部１６２に連通する。
【００２２】
つまり、接着剤塗布工程（リング状ベース部９１のリング状溝９１ａの中に接着剤を塗布する）を実施する時、回転盤１４とリング状ベース部９１が第１のレール１１１に沿って移動し、リング状ベース部９１のリング状溝９１ａを接着剤注入器１６の吐出部１６１に合わせる。そして回転盤１４を回転させ、同時に接着剤注入器１６で接着剤の注入を開始させ、こうするとリング状ベース部９１のリング状溝９１ａの中に１回りの接着剤を均一に塗布できる。
【００２３】
本実施例において、接着剤塗布機１の基台１１は、制御盤１１９を更に含み、モータ１３と第１のレール１１１と第２のレール１５４の作動を制御し、リング状ベース部９１のリング状溝９１ａを接着剤注入器１６の吐出部１６１に正確に合わせるために用いられる。
【００２４】
本実施例において、接着剤塗布機１の回転盤１４の外径はウエハ研磨用リテーナリング９のリング状ベース部９１の外径に等しい或いはウエハ研磨用リテーナリング９のリング状ベース部９１の外径より小さい。回転盤１４の外径はウエハ研磨用リテーナリング９のリング状ベース部９１の外径より大きい場合、接着剤の注入動作完了後、吐出部１６１を比較高いところに上昇することで、回転盤１４が第１のレール１１１に沿って平行移動する過程中、接着剤注入器１６の吐出部１６１に衝突することを避ける。一実施態樣において，接着剤注入器１６は注射器とすることができる。
【００２５】
接着剤塗布機１により接着剤塗布工程を完了した後、ウエハ研磨用リテーナリング９のリング状ベース部９１を回転盤１４上からアンロードせず、この場合リング状ベース部９１は回転盤１４で固定されている状態にあるため、ちょうど利用者がゴムリング９２をリング状ベース部９１のリング状溝９１ａの中に嵌設できる。ゴムリング９２がリング状ベース部９１のリング状溝９１ａの中に嵌設されてからウエハ研磨用リテーナリング９全体を回転盤１４上からアンロードする。
【００２６】
図５を参照する。図５は本考案の実施例２の接着剤塗布機の操作様子を示す模式図で、第１の基台２１と支え台２２とモータ２３と回転盤２４と第２の基台２５と接着剤注入器２６とを含む他の接着剤塗布機２を開示する。以下に詳細に説明する。
【００２７】
（実施例２）
第１の基台２１の頂面２１ａに第１のレール２１１を設けており、支え台２２は板体２２１と連接部２２２とを含む。実施例１の支え台１２の板体１２１が第１のレール１１１上に真っ直ぐ立つことと相違し、本実施例の支え台２２の板体２２１は第１のレール２１１に平行となる。連接部２２２は、板体２２１と第１のレール２１１に各々連接する。
図５に示すように、本実施例の連接部２２２と板体２２１は一体成形で、連接部２２２の外観がＬ字形を呈し、板体２２１に平行となる部分と板体２２１と直交する部分からなる。本実施例の連接部２２２の板体２２１と直交する部分は、板体２２１に直接連接する。本実施例の連接部２２２の板体２２１に平行となる部分は、実施例１の連接部１２２と同じように、その両側辺が曲げてフック状を呈することで、第１のレール２１１の両長辺側縁部に掛止し、板体２２１が連接部２２２を通じて第１のレール２１１上を摺動させることができる。
【００２８】
本実施例のモータ２３は、実施例１と同じで、いずれも板体２２１上に設けられ、モータ２３の回転軸２３１が板体２２１を貫通する。本実施例の回転盤２４と実施例１の回転盤１４は類似し、同樣に板体２２１の表面に設けられる。その相違点は、本実施例の板体２２１が第１のレール２１１に平行となるため、回転盤２４も第１のレール２１１に平行となることである。回転盤２４は、モータ２３の回転軸２３１に枢着され、ウエハ研磨用リテーナリング９のリング状ベース部９１をその表面に固定するために用いられる。
【００２９】
本実施例の第２の基台２５の働きは、実施例１の横桁１５２と類似し、回転盤２４に向かう表面に第２のレール２５４を設け、その上に接着剤注入器２６を連接するために用いられる。接着剤注入器２６は、第２のレール２５４に沿って摺動し、第２のレール２５４が第１のレール２１１と直交する。本実施例の接着剤注入器２６は、吐出部２６１と胴体部２６２とを含み、吐出部２６１が胴体部２６２に連通する。
【００３０】
接着剤塗布工程（リング状ベース部９１のリング状溝９１ａの中に接着剤を塗布する）を実施する時、回転盤２４とリング状ベース部９１が第１のレール２１１を移動してリング状ベース部９１のリング状溝９１ａが接着剤注入器２６の吐出部２６１に近接し且つ合わせられる。次に回転盤２４を回転させ、同時に接着剤注入器２６で接着剤の注入を開始する。こうするとリング状ベース部９１のリング状溝９１ａの中に１回りの接着剤を均一に塗布できる。
【００３１】
本実施例において、接着剤塗布機２の第１の基台２１は、制御盤２１９を更に含み、モータ２３と第１のレール２１１と第２のレール２５４の作動を制御し、リング状ベース部９１のリング状溝９１ａを接着剤注入器２６の吐出部２６１に正確に合わせるために用いられる。
【００３２】
本実施例において、接着剤塗布機２の回転盤２４の外径はウエハ研磨用リテーナリング９のリング状ベース部９１の外径より小さい。回転盤２４の外径がウエハ研磨用リテーナリング９のリング状ベース部９１の外径より非常に大きく、且つ接着剤注入器２６の吐出部２６１自体の長さが足りない場合、リング状溝９１ａが接着剤注入器２６の吐出部２６１に十分に近接する時、回転盤２４がすでに第２の基台２５に当たり、スムーズに接着剤を塗布できなくなることがありうる。
【００３３】
接着剤塗布機２により接着剤塗布工程を完了した後、ウエハ研磨用リテーナリング９のリング状ベース部９１を回転盤２４上からアンロードせず、この場合リング状ベース部９１は回転盤２４で固定されている状態にあるため、ちょうど利用者がゴムリング９２をリング状ベース部９１のリング状溝９１ａの中に嵌設できる。ゴムリング９２がリング状ベース部９１のリング状溝９１ａの中に嵌設されてからウエハ研磨用リテーナリング９全体を回転盤２４上からアンロードする。
【００３４】
以上を取りまとめると、従来の手作業による接着剤塗布手法と異なり、前記実施例で提供する接着剤塗布機１或いは接着剤塗布機２は、リング状ベース部９１のリング状溝９１ａが短時間で１回りの接着剤を均一に塗布させることができるため、ウエハ研磨用リテーナリング９のゴムリング９２とリング状ベース部９１の接合強度を効果的に改善できる。
【００３５】
本考案の技術的内容は、好ましい実施例で上記通り開示され、そのような実施例により本考案の保護範囲が限定されるべきものではなく、当業者が本考案の精神から離れることなく種々の変更及び改変を為し得ることは、本考案の範囲に含めるものであるのが勿論である。よって本考案の保護範囲は、本明細書に添付する実用新案登録請求の範囲で定義しているものを基準とする。
【符号の説明】
【００３６】
１      接着剤塗布機
１１    基台
１１ａ  頂面
１１１  第１のレール
１１９  制御盤
１２    支え台
１２１  板体
１２２  連接部
１３    モータ
１３１  回転軸
１４    回転盤
１４１  固定部
１５    門型ブラケット
１５１  第１の支柱
１５２  横桁
１５３  第２の支柱
１５４  第２のレール
１６    接着剤注入器
１６１  吐出部
１６２  胴体部
２      接着剤塗布機
２１    第１の基台
２１ａ  頂面
２１１  第１のレール
２１９  制御盤
２２    支え台
２２１  板体
２２２  連接部
２３    モータ
２３１  回転軸
２４    回転盤
２５    第２の基台
２５４  第２のレール
２６    接着剤注入器
２６１  吐出部
２６２  胴体部
９      ウエハ研磨用リテーナリング
９１    リング状ベース部
９１ａ  リング状溝
９１１  ピン穴
９２    ゴムリング
Ｄ１    第１方向
Ｄ２    第２方向
【図１】
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【図２】
0003199220.tif 000004
【図３】
0003199220.tif 000005
【図４】
0003199220.tif 000006
【図５】
0003199220.tif 000007