(57)【要約】  取出装置１は、荷１２０の前方側から荷１２０の前方部を支持する支持部１３と、支持部１３を上下方向に移動させることが可能な移動装置１４０に連結部材１４２を介して連結される連結部９，１１と、連結部９，１１を間に挟んで支持部１３と反対側に設けられた把持部１５，１７と、を備える。
2017033621.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
前方に開口する開口部を介して荷が出し入れされる棚を備える保管装置において、前記荷を前記棚から前記開口部を介して取り出すための取出装置であって、
前記荷の前方側から前記荷の前方部を支持する支持部と、
前記支持部を上下方向に移動させることが可能な移動装置に連結部材を介して連結される連結部と、
前記連結部を間に挟んで前記支持部と反対側に設けられた把持部と、を備える、取出装置。
【請求項２】
前記支持部は、前記荷の底面を支持する第１支持部と、当該第１支持部に支持された前記荷の移動を規制する第２支持部と、を有する、請求項１に記載の取出装置。
【請求項３】
前記第２支持部は、前記第１支持部よりも上方に設けられており、前記荷の上下方向の移動を規制する、請求項２に記載の取出装置。
【請求項４】
前記把持部側に設けられ、重り部材を着脱可能に支持する取付部を備える、請求項１〜３のいずれか一項に記載の取出装置。
【請求項５】
前記把持部は、前記支持部よりも上方に配置された第１把持部と、前記支持部よりも下方に配置された第２把持部と、を有する、請求項１〜４のいずれか一項に記載の取出装置。
【請求項６】
筐体と、
前記筐体内において複数備えられ、前方に開口する開口部を介して荷が出し入れされる棚と、
前記荷の入出庫を行うポートと、
前記棚と前記ポートとの間において前記荷を移載する移載装置と、
前記荷を前記棚から前記開口部を介して前方に取り出すための取出装置と、を備える保管装置であって、
前記取出装置は、
前記荷の前方側から前記荷の前方部を支持する支持部と、
前記支持部を上下方向に移動させることが可能な移動装置に連結部材を介して連結される連結部と、
前記連結部を間に挟んで前記支持部と反対側に設けられた把持部と、を備える、保管装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、取出装置及び保管装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウェハを収容する半導体搬送用カセットとしては、例えば、ＦＯＵＰ（Front-Opening Unified Pod）がある。ＦＯＵＰを保管する保管装置では、入出庫を行うためのポートと棚との間におけるＦＯＵＰの移載が移載装置により行われている。移載装置を備える保管装置において、移載装置の動作が故障などにより不能となった場合には、ＦＯＵＰの移載を人手によって行うことになる。しかし、近年、半導体ウェハは大径化し、これに伴ってＦＯＵＰも大型化（大重量化）しているため、人手でＦＯＵＰを扱うことは困難である。【０００３】
そこで、例えば特許文献１に記載の保管装置では、移載装置とは別に手動で操作できるマニュアル搬送装置を備えている。このマニュアル搬送装置は、ＦＯＵＰのフランジを把持可能な把持部と、把持部に連結されたベルトと、ベルトを巻き上げるホイスト部と、保管装置内の天井をスライド可能に設けられたスライド部とを備えており、移載装置が使用できない場合に、手動でＦＯＵＰの搬送を行える。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１１−１１４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記保管装置のマニュアル搬送装置では、ＦＯＵＰのフランジに把持部を装着する必要がある。しかしながら、ＦＯＵＰと棚との狭い間隙に把持部を挿入して作業を行うことは容易ではない。したがって、ＦＯＵＰ等の半導体搬送用カセットの手動による搬送に関して、作業性の更なる改善が求められている。【０００６】
本発明の一側面は、作業性の向上を図れる取出装置及び保管装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一側面に係る取出装置は、前方に開口する開口部を介して荷が出し入れされる棚を備える保管装置において、荷を棚から開口部を介して取り出すための取出装置であって、荷の前方側から荷の前方部を支持する支持部と、支持部を上下方向に移動させることが可能な移動装置に連結部材を介して連結される連結部と、連結部を間に挟んで支持部と反対側に設けられた把持部と、を備える。【０００８】
本発明の一側面に係る取出装置は、荷の前方側から荷の前方部を支持する支持部を備えている。そのため、荷と棚との間隙が狭い場合であっても、荷の前方部を支持するため、狭い間隙で作業することなく荷を支持できる。また、支持部は、連結部に連結部材を介して連結された移動装置によって、上下方向に移動可能とされている。そのため、支持部によって荷を支持した状態で移動装置により支持部を上方に移動させることにより、荷を棚から持ち上げることができる。これにより、取出装置では、荷を棚から容易に取り出すことができ、作業性の向上を図れる。また、荷を棚から取り出すときには、支持部は、連結部を介して移動装置によって吊られた状態となる。このとき、荷の重量により、荷側に取出装置が傾く。そこで、取出装置では、把持部は、連結部を挟んで支持部と反対側に設けられている。この構成により、荷の重量による支持部の傾きに抗する力を把持部によって容易に加えることができるため、取出装置のバランスを保ち易い。したがって、取出装置を安定的に操作することができるため、作業性の向上が図れる。【０００９】
一実施形態においては、支持部は、荷の底面を支持する第１支持部と、当該第１支持部に支持された荷の移動を規制する第２支持部と、を有していてもよい。この構成によれば、第１支持部により荷を安定して支持することができる。また、第２支持部により荷の位置がずれることを防止できる。そのため、荷を安定して取り出すことができる。【００１０】
一実施形態においては、第２支持部は、第１支持部よりも上方に設けられており、荷の上下方向の移動を規制してもよい。この構成によれば、第１支持部により前方部の底面が支持された荷が、後方側に傾くことを防止できる。したがって、荷を安定して取り出すことができる。【００１１】
一実施形態においては、把持部側に設けられ、重り部材を着脱可能に支持する取付部を備えていてもよい。この構成によれば、荷の重量に合わせて重り部材を取付部に取り付けることにより、荷の重量に応じて、バランスを調整することができる。これにより、荷を更に安定して取り出すことができる。【００１２】
一実施形態においては、把持部は、支持部よりも上方に配置された第１把持部と、支持部よりも下方に配置された第２把持部と、を有していてもよい。この構成によれば、第１把持部及び第２把持部の２箇所を把持して操作できるため、より安定して荷を取り出すことができる。【００１３】
本発明の一側面に係る保管装置は、筐体と、筐体内において複数備えられ、前方に開口する開口部を介して荷が出し入れされる棚と、荷の入出庫を行うポートと、棚とポートとの間において荷を移載する移載装置と、荷を棚から開口部を介して前方に取り出すための取出装置と、を備える保管装置であって、取出装置は、荷の前方側から荷の前方部を支持する支持部と、支持部を上下方向に移動させることが可能な移動装置に連結部材を介して連結される連結部と、連結部を間に挟んで支持部と反対側に設けられた把持部と、を備える。【００１４】
本発明の一側面に係る保管装置は、取出装置を備えている。取出装置は、荷の前方側から荷の前方部を支持する支持部を備えている。そのため、荷と棚との間隙が狭い場合であっても、荷の前方部を支持するため、狭い間隙で作業することなく荷を支持できる。また、支持部は、連結部に連結部材を介して連結された移動装置によって、上下方向に移動可能とされている。そのため、支持部によって荷を支持した状態で移動装置により支持部を上方に移動させることにより、荷を棚から持ち上げることができる。これにより、保管装置では、移載装置が動作しない場合であっても、取出装置によって荷を棚から容易に取り出すことができる。また、荷を棚から取り出すときには、支持部は、連結部を介して移動装置によって吊られた状態となる。このとき、荷の重量により、荷側に取出装置が傾く。そこで、取出装置では、把持部は、連結部を挟んで支持部と反対側に設けられている。この構成により、荷の重量による支持部の傾きに抗する力を把持部によって容易に加えることができるため、取出装置のバランスを保ち易い。したがって、取出装置を安定的に操作することができるため、作業性の向上が図れる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の一側面によれば、作業性の向上を図れる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】図１は、一実施形態に係る保管装置を備える搬送システムの外観を示す斜視図である。
【図２】図２は、図１に示す保管装置の内部構造を模式的に示す断面図である。
【図３】図３は、棚の載置部及び固定部を示す図である。
【図４】図４は、一実施形態に係る取出装置を示す斜視図である。
【図５】図５は、一実施形態に係る取出装置を示す斜視図である。
【図６】図６は、取出装置の側面図である。
【図７】図７は、取出装置の上面図である。
【図８】図８（ａ）は、フック部と前部フランジとが係合する前の状態を示す図であり、図８（ｂ）は、フック部と前部フランジとが係合した状態を示す図である。
【図９】図９（ａ）は、フック部分と前部フランジとが係合する前の状態を示す図であり、図９（ｂ）は、フック部分と前部フランジとが係合した状態を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、添付図面を参照して、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明において同一又は相当要素には同一符号を付し、重複する説明は省略する。
【００１８】
［搬送システム］
図１及び図２に示されるように、搬送システム１００は、ビークル１０２、ストッカ１０４、及びビークル１０２が走行するためのレールＲを備えている。また、搬送システム１００は、制御系として、搬送指示部１０６、ビークルコントローラ１０８及びストッカコントローラ１１０を備えている。搬送システム１００は、半導体素子製造における搬送スケジュールに従って、各種製造装置及びストッカ１０４などに対してＦＯＵＰ（Front-Opening Unified Pod）１２０の搬送を行うと共に、ストッカ１０４においてＦＯＵＰ１２０の収容或いは保管を行う。
【００１９】
ＦＯＵＰ１２０は、ストッカ１０４において収容及び保管される荷であり、複数枚の半導体ウェハを収容したカセットである。ＦＯＵＰ１２０は、ビークル１０２によりレールＲに沿って搬送されると共に、ストッカ１０４内において入出庫、又は保管位置の調整のために搬送される。ＦＯＵＰ１２０は、前方側に開口が形成されていると共に、ビークル１０２に把持（保持）される上部フランジ１２２を上面に有するＦＯＰＵ本体と、ＦＯＵＰ本体の開口を閉じる蓋部（図示しない）と、を備えている。ＦＯＵＰ１２０のＦＯＵＰ本体の前方側には、前部フランジ１２３が設けられている。前部フランジ１２３は、蓋部が取り付けられる位置に対応するＦＯＵＰ本体の周縁が、外方に突出している部分である。ＦＯＵＰ１２０は、例えば口径が３００ｍｍ、又は、４５０ｍｍの半導体ウェハを収容する。ＦＯＵＰ１２０では、半導体ウェハを出し入れする際には蓋部を開け、それ以外のときには蓋部を閉じて内部を気密に保持することができる。
【００２０】
ビークル１０２は、リニアモータを動力源とするＯＨＴ（Overhead Hoist Transport：天井走行車）である。ビークル１０２は、レールＲに沿って走行する。ビークル１０２は、ＦＯＵＰ１２０を搬送すると共に、レールＲの所定の位置において停止し、各種製造装置及びストッカ１０４などにそれぞれ備えられたポート１３２，１３３との間においてＦＯＵＰ１２０を移載可能に構成されている。ビークル１０２は、図示しないホイスト、ベルト及びグリッパを備えている。ビークル１０２の各部は、ビークルコントローラ１０８によって制御される。
【００２１】
ストッカ１０４は、ビークル１０２によって搬送されたＦＯＵＰ１２０を複数収容可能な保管装置である。ストッカ１０４は、本体部（筐体）１３０と、複数（ここでは２つ）のポート１３２，１３３と、複数の棚１３４と、自動搬送装置（移載装置）１３６と、取出装置１（図４参照）と、を備えている。
【００２２】
本体部１３０には、複数（ここでは２つ）の開口部Ｋ１，Ｋ２が設けられている。開口部Ｋ１，Ｋ２は、本体部１３０の一側面に設けられている。開口部Ｋ１，Ｋ２には、ポート１３２，１３３が配置されている。また、本体部１３０の一側面には、作業者が出入りするためのドアＤが設けられている。
【００２３】
ポート１３２，１３３は、開口部Ｋ１，Ｋ２を介して本体部１３０の内部及び外部にわたって設けられている。ポート１３２，１３３は、ビークル１０２とストッカ１０４との間においてＦＯＵＰ１２０を移載可能に構成されている。ポート１３２，１３３は、ＦＯＵＰ１２０を移動可能なスライド機構を備えている。
【００２４】
図２に示されるように、棚１３４は、本体部１３０の内部において、上下方向に複数段（ここでは８段）設けられている。棚１３４は、対向して配置されている。対向する棚１３４の間には、空間Ｓが形成されている。図３に示されるように、棚１３４は、ＦＯＵＰ１２０が載置される載置部１３４ａと、載置部１３４ａを支持固定する固定部１３４ｂと、を有している。
【００２５】
載置部１３４ａは、板状の部材であり、上面視において略Ｕ字状を呈している。載置部１３４ａには、前方に開口する開口部１３５が形成されている。つまり、載置部１３４ａは、ＦＯＵＰ１２０の幅方向の両端部及び後端部に当接する。また、載置部１３４ａには、複数（ここでは３つ）の位置決めピン１３４ｃが設けられている。位置決めピン１３４ｃは、円柱状を呈しており、載置部１３４ａの上面（載置面）から突出している。位置決めピン１３４ｃは、ＦＯＵＰ１２０が載置部１３４ａに載置されたときに、ＦＯＵＰ１２０の底部に形成された位置決め穴１２４に挿入される。位置決めピン１３４ｃは、ＦＯＵＰ１２０の位置決めを行うと共に、ＦＯＵＰ１２０の前後左右方向への移動を規制する。
【００２６】
固定部１３４ｂは、上面視において略Ｕ字状を呈しており、載置部１３４ａの下部に設けられている。固定部１３４ｂは、本体部１３０内に配設されたフレーム（図示しない）に例えばボルトによって固定される。
【００２７】
棚１３４の上下方向における間隔は、ＦＯＵＰ１２０の位置決め穴１２４から位置決めピン１３４ｃが外れた（ＦＯＵＰ１２０が位置決めピン１３４ｃの上端面よりも上方に持ち上げられた）ときに、上方の棚１３４と干渉しない程度であればよい。つまり、棚１３４の間隔は、ＦＯＵＰ１２０の高さに位置決めピン１３４ｃの高さを合わせた寸法程度であればよい。このような構成により、ストッカ１０４におけるＦＯＵＰ１２０の収納効率を向上できる。
【００２８】
図１及び図２に戻って、自動搬送装置１３６は、ストッカコントローラ１１０の制御により、複数の棚１３４間、及びポート１３２，１３３と棚１３４との間でＦＯＵＰ１２０を自動的に搬送可能なスタッカクレーンである。自動搬送装置１３６は、本体部１３０内の空間Ｓにおいて、移動自在に設けられている。
【００２９】
搬送指示部１０６は、ＭＣＳ（Material Control System）である。搬送指示部１０６は、メインコントローラである製造指示部（図示しない）の半導体素子製造スケジュールに基づいて搬送スケジュールを作成し、この搬送スケジュールに基づいて、ビークルコントローラ１０８及びストッカコントローラ１１０を制御可能に構成されている。搬送指示部１０６は、ビークルコントローラ１０８に対してビークル１０２によるＦＯＵＰ１２０の搬送を指示すると共に、ストッカコントローラ１１０に対してストッカ１０４内部におけるＦＯＵＰ１２０の搬送を指示する。
【００３０】
ビークルコントローラ１０８は、搬送指示部１０６の指示により、ビークル１０２を制御し、レールＲに沿ったＦＯＵＰ１２０の搬送を実行すると共に、各種製造装置及びストッカ１０４などとの間においてＦＯＵＰ１２０の移載を実行可能に構成されている。
【００３１】
ストッカコントローラ１１０は、搬送指示部１０６の指示により、ポート１３２，１３３及び自動搬送装置１３６の各部を制御し、ビークル１０２との間でポート１３２，１３３を介してＦＯＵＰ１２０の移載（入庫若しくは出庫）を実行すると共に、自動搬送装置１３６を制御し、ストッカ１０４内部におけるＦＯＵＰ１２０の搬送（保管装置内搬送）を実行可能に構成されている。
【００３２】
［取出装置］
次に、上述の構成を有するストッカ１０４内部で使用される取出装置１について説明する。取出装置１は、ストッカ１０４内部において、手動によりＦＯＵＰ１２０を棚１３４から取り出すための装置である。取出装置１は、例えば自動搬送装置１３６が使用できない場合に、ＦＯＵＰ１２０を棚１３４の手前の空間Ｓ（図２参照）まで取り出し可能に構成されている。図４において、前後方向、左右方向、及び上下方向をそれぞれ設定した。なお、左右方向を幅方向、上下方向を高さ方向と称する場合もある。
【００３３】
図４〜図７のいずれかに示されるように、取出装置１は、メインフレーム３と、第１サブフレーム５及び第２サブフレーム７と、連結部９，１１と、支持部（第１支持部）１３と、第１ハンドル（第１把持部）１５及び第２ハンドル（第２把持部）１７と、係止部（第２支持部、支持部）１９と、第１取付部２７及び第２取付部２８と、を備えている。メインフレーム３、第１サブフレーム５及び第２サブフレーム７、連結部９，１１、支持部１３、第１ハンドル１５及び第２ハンドル１７、係止部１９、及び、第１取付部２７及び第２取付部２８は、例えば、ステンレス等の金属で形成されている。
【００３４】
メインフレーム３は、例えば、板状の部材を曲げ加工することにより成形されている。メインフレーム３の前面３ａは、略矩形状を呈している。メインフレーム３は、その上部３ｂが後側に折り曲げられている。上部３ｂは、断面が略Ｌ字状を呈している。上部３ｂの上面は、平面である。
【００３５】
第１サブフレーム５及び第２サブフレーム７は、メインフレーム３の幅方向（左右方向）の両端部に設けられている。第１サブフレーム５及び第２サブフレーム７は、同じ構成を有している。以下では、第１サブフレーム５を一例に具体的に説明する。
【００３６】
第１サブフレーム５は、第１フレーム５ａと、第２フレーム５ｂと、を有している。第１フレーム５ａは、メインフレーム３の前面３ａに対して、後方側に向かって斜め上方に延在している。第１フレーム５ａの後方側の端部は、支持部１３よりも上方に位置している。
【００３７】
第２フレーム５ｂは、第１部分５ｃと、第２部分５ｄと、を有している。第１部分５ｃは、メインフレーム３の前面３ａに対して、後方側に向かって斜め下方に延在している。第１部分５ｃの延在方向が前面３ａに対して成す角度は、例えば、第１フレーム５ａが前面３ａに対して成す角度と同等である。第２フレーム５ｂの第１部分５ｃは、第１フレーム５ａと一体に設けられている。すなわち、第１フレーム５ａと第１部分５ｃとは、略Ｖ字状を呈している。
【００３８】
第２部分５ｄは、第１部分５ｃの一端部に連結されており、第１部分５ｃよりも後方に延在している。第２部分５ｄは、第１部分５ｃの延在方向に対して交差する方向に延在している。具体的には、第２部分５ｄは、メインフレーム３の前面３ａに略直交する方向（前後方向）に延在している。第２部分５ｄの後方側の端部は、支持部１３よりも下方に位置している。第１フレーム５ａの後方側の端部と第２フレーム５ｂの第２部分５ｄの後方側の端部とは、高さ方向（上下方向）において同じ位置に設けられている。なお、第１部分５ｃと第２部分５ｄとは、一体に成形されていてもよい。
【００３９】
第２サブフレーム７は、第１フレーム７ａと、第２フレーム７ｂと、を有している。第２フレーム７ｂは、第１部分７ｃと、第２部分７ｄと、を有している。
【００４０】
第１サブフレーム５と第２サブフレーム７との間には、補強部材６が設けられている。補強部材６は、第１サブフレーム５及び第２サブフレーム７の剛性を確保するために設けられる部材である。補強部材６は、例えば、円柱状の部材である。補強部材６は、第１サブフレーム５と第２サブフレーム７とにわたって架け渡されている。本実施形態では、補強部材６は、２つ設けられている。補強部材６は、後述する第１ハンドル１５及び第２ハンドル１７の取付位置以外の部分に適宜配置されればよい。補強部材６は、設計に応じて適宜設置数が設定されればよく、設けられなくてもよい。
【００４１】
連結部９，１１は、後述するチェーンブロック（移動装置）１４０のチェーン（連結部材）１４２に設けられたフック（図示しない）に連結される。連結部９，１１は、メインフレーム３の上部３ｂに固定されている。連結部９，１１は、メインフレーム３の上部３ｂに、例えば、溶接、又はボルト締結等によって固定されている。連結部９，１１は、メインフレーム３の上部３ｂにおいて、メインフレーム３の幅方向に沿って所定の間隔をあけて２つ配置されている。連結部９，１１は、環状の連結部分９ａ，１１ａを有している。連結部分９ａ，１１ａには、上記チェーン１４２のフックが引っ掛けられる。
【００４２】
支持部１３は、板状の部材であり、ＦＯＵＰ１２０の底面を支持する。支持部１３は、メインフレーム３の前側に設けられている。支持部１３は、メインフレーム３の下部に位置し、メインフレーム３の前面３ａよりも前方に突出している。支持部１３の支持面１３ａ（上面）は、平面である。支持面１３ａは、メインフレーム３の前面３ａに略直交する方向に延在している。支持部１３の長さ寸法（メインフレーム３の前面３ａから前方に突出する寸法）は、ＦＯＵＰ１２０の前方部を支持可能に設定されている。ＦＯＵＰ１２０の前方部とは、ＦＯＵＰ１２０の中央部よりも前側の部分である。支持部１３の幅寸法は、載置部１３４ａの開口部１３５に挿入可能な寸法に設定されている。すなわち、支持部１３の幅寸法は、互いに対向する一対の載置部１３４ａ（図３参照）の間隔以下に設定されている。
【００４３】
第１ハンドル１５及び第２ハンドル１７は、第１サブフレーム５及び第２サブフレーム７に取り付けられている。第１ハンドル１５及び第２ハンドル１７は、作業者によって把持される。第１ハンドル１５及び第２ハンドル１７のそれぞれは、円柱状の部材である。第１ハンドル１５は、第１サブフレーム５及び第２サブフレーム７の第１フレーム５ａ，７ａの後方側の端部に配置されている。具体的には、第１ハンドル１５は、第１サブフレーム５の第１フレーム５ａと第２サブフレーム７の第１フレーム７ａとの間に架け渡されている。これにより、第１ハンドル１５は、幅方向に沿って延在する。第１ハンドル１５は、メインフレーム３に固定された連結部９，１１を挟んで、支持部１３とは反対側で且つ支持部１３よりも上方に設けられている。
【００４４】
第２ハンドル１７は、第１サブフレーム５及び第２サブフレーム７の第２フレーム５ｂ，７ｂにおける第２部分５ｄ，７ｄの後方側の端部に配置されている。具体的には、第２ハンドル１７は、第１サブフレーム５の第２フレーム５ｂにおける第２部分５ｄと第２サブフレーム７の第２フレーム７ｂにおける第２部分５ｄとの間に架け渡されている。これにより、第２ハンドル１７は、幅方向に沿って延在する。第２ハンドル１７は、メインフレーム３に固定された連結部９，１１を挟んで、支持部１３とは反対側で且つ支持部１３よりも下方に設けられている。第１ハンドル１５と第２ハンドル１７とは、高さ方向において対向する位置に配置されている。
【００４５】
係止部１９は、第１係止部２１と、第２係止部２３と、を有している。第１係止部２１は、支持部１３に支持されたＦＯＵＰ１２０の上下方向の移動を規制する。第１係止部２１は、メインフレーム３の前面３ａ側に配置されている。第１係止部２１は、例えば、板状の部材を曲げ加工することにより成形されている。第１係止部２１は、高さ方向に延在する本体部２１ａと、本体部２１ａの上部に設けられたフック部２１ｂと、を有している。本体部２１ａとフック部２１ｂとは、一体に設けられている。
【００４６】
本体部２１ａは、メインフレーム３に対して高さ方向に移動可能に設けられている。本体部２１ａは、メインフレーム３の前面３ａに配置された収容部３ｃに下端部が収容されている。本体部２１ａは、収容部３ｃに収容されることにより、メインフレーム３に保持されている。本体部２１ａは、収容部３ｃ内において、高さ方向に移動自在に収容されている。本体部２１ａは、第１ハンドル１５に配置されたレバー２２の操作により、高さ方向に移動する。具体的には、本体部２１ａは、図示しない弾性部材により、下向きに付勢されている。本体部２１ａとレバー２２とは、ワイヤー２２ａにより接続されている。本体部２１ａは、レバー２２が操作されると、ワイヤー２２ａによって上方に引き上げられる。これにより、本体部２１ａは、上方に移動する。本体部２１ａは、レバー２２の操作が解除されると、弾性部材の付勢力により、下方に移動する。本体部２１ａは、レバー２２が操作されていないときの位置、すなわち最も下方に位置している状態が初期位置である。
【００４７】
フック部２１ｂは、本体部２１ａの上部が前側に折り曲げられて形成されている。すなわち、フック部２１ｂは、支持部１３よりも上方に設けられている。フック部２１ｂは、断面が略Ｌ字状を呈している。図６及び図８（ｂ）に示されるように、フック部２１ｂは、ＦＯＵＰ１２０の前側の前部フランジ１２３に係合する。フック部２１ｂは、図８（ａ）に示されるように、レバー２２の操作によって本体部２１ａが上方に移動すると、その移動に伴って上方に移動する。フック部２１ｂは、レバー２２の操作が解除されて本体部２１ａが下方に移動すると、ＦＯＵＰ１２０の前部フランジ１２３に係合する。フック部２１ｂの前端部と本体部２１ａとの間の寸法は、前部フランジ１２３の厚み程度に設定されている。
【００４８】
第２係止部２３は、支持部１３に支持されたＦＯＵＰ１２０の幅方向の移動を規制する。第２係止部２３は、フレーム体２４と、係止具２５と、を有している。フレーム体２４は、板状の部材であり、枠状を呈している。フレーム体２４は、外形が略長方形状を呈している。フレーム体２４は、メインフレーム３と第１係止部２１との間に配置されている。具体的には、フレーム体２４は、長手方向が幅方向に沿うように、その下端部がメインフレーム３の前面３ａの上側に固定されている。フレーム体２４の幅寸法は、メインフレーム３の幅寸法よりも大きい。具体的には、フレーム体２４の幅寸法は、ＦＯＵＰ１２０の幅寸法よりも大きい。
【００４９】
係止具２５は、フレーム体２４の各角部に配置されている。係止具２５は、フック部分２５ａと、操作レバー２５ｂと、フック部分２５ａと操作レバー２５ｂとを連結する棒状の連結部分２５ｃと、連結部分２５ｃを支持する支持部分２５ｄと、を有している。支持部分２５ｄは、筒状の部材であり、フレーム体２４の後面に配置されている。連結部分２５ｃは、断面が円形状を呈している。連結部分２５ｃは、支持部分２５ｄに挿通されていると共に、フレーム体２４を厚み方向に貫通する貫通穴（図示しない）に挿通されている。連結部分２５ｃは、支持部分２５ｄに回転可能に支持されている。
【００５０】
フック部分２５ａは、連結部分２５ｃの前端部に設けられている。フック部分２５ａは、連結部分２５ｃの前端部を略Ｌ字状に屈曲させて形成されている。フック部分２５ａは、ＦＯＵＰ１２０の前部フランジ１２３に係合する。操作レバー２５ｂは、連結部分２５ｃの後端部に設けられている。
【００５１】
係止具２５は、操作レバー２５ｂの操作に応じて、フック部分２５ａによる前部フランジ１２３の係止及びその解除を行う。具体的には、係止具２５では、図９（ａ）に示されるように、フック部分２５ａの延在方向が高さ方向に延在する位置から、図９（ｂ）に示されるように、フック部分２５ａの延在方向が幅方向に延在するように操作レバー２５ｂが操作されることにより、フック部分２５ａが前部フランジ１２３と係合して、ＦＯＵＰ１２０の左右方向の移動を規制する。係止具２５は、操作レバー２５ｂの操作によりフック部分２５ａを回転させた位置において、フック部分２５ａの状態（位置）を保持するように構成されている。
【００５２】
第１取付部２７は、第１サブフレーム５に設けられている。第２取付部２８は、第２サブフレーム７に設けられている。第１取付部２７及び第２取付部２８のそれぞれは、板状の部材であり、略Ｌ字状を呈している。第１取付部２７及び第２取付部２８は、複数（本実施形態では４個）の重り部材３０を着脱可能に支持する。重り部材３０は、例えばステンレス等の金属で形成されており、円柱状を呈している。重り部材３０は、第１取付部２７及び第２取付部２８に掛け渡されて第１取付部２７及び第２取付部２８に支持されている。具体的には、第１取付部２７及び第２取付部２８は、重り部材３０の両端部からピンを挿入して重り部材３０を支持する。重り部材３０により、取出装置１では、第１ハンドル１５及び第２ハンドル１７側の重量を調整できる。
【００５３】
［取出装置によるＦＯＵＰの取り出し方法］
続いて、取出装置１を用いたＦＯＵＰ１２０の取り出し方法について説明する。最初に、図２に示されるチェーンブロック１４０のチェーン１４２に設けられたフックを、取出装置１の連結部９，１１に取り付ける。図２に示されるように、チェーンブロック１４０は、本体部１３０の天井に設けられたフック（図示しない）に取り付けられている。フックは、本体部１３０の天井に、所定の間隔をあけて複数配置されている。チェーンブロック１４０は、取り出し対象のＦＯＵＰ１２０に対して最も近い位置に配置されたフックに取り付けられる。チェーンブロック１４０は、取出装置１を構成する一要素である。なお、チェーン１４２は、取出装置１の連結部９，１１に予め取り付けられていてもよい。また、連結部９，１１とチェーン１４２との連結する手段は、フック以外の手段であってもよい。チェーンブロック１４０は、本体部１３０の天井に設けられたレールに吊り下げられてもよい。
【００５４】
次に、取り出し対象のＦＯＵＰ１２０が収容された棚１３４の前に取出装置１を位置させる。続いて、取出装置１の支持部１３をＦＯＵＰ１２０の下方に挿入し、支持部１３の支持面１３ａをＦＯＵＰ１２０の底部に当接させる。また、レバー２２を操作して、第１係止部２１のフック部２１ｂをＦＯＵＰ１２０の前部フランジ１２３に引っ掛け、フック部２１ｂにより前部フランジ１２３を係止する。また、係止具２５の操作レバー２５ｂを操作し、フック部分２５ａにより前部フランジ１２３を係止する。
【００５５】
続いて、チェーンブロック１４０を操作して、取出装置１を上方に引き上げる。このとき、載置部１３４ａに設けられた位置決めピン１３４ｃの上端面よりも高い位置までＦＯＵＰ１２０が持ち上がるように、取出装置１をチェーンブロック１４０によって持ち上げる。そして、この状態で第１ハンドル１５及び／又は第２ハンドル１７を操作して取出装置１を手前に移動させて、ＦＯＵＰ１２０を棚１３４から取り出す。以上のように、取出装置１によって、ＦＯＵＰ１２０が取り出される。
【００５６】
以上説明したように、本実施形態に係る取出装置１は、ＦＯＵＰ１２０の前方側から荷の前方部を支持する支持部１３を備えている。そのため、ＦＯＵＰと棚１３４との間隙が狭い場合であっても、ＦＯＵＰ１２０の前方部を支持するため、狭い間隙で作業することなくＦＯＵＰ１２０を支持できる。また、支持部１３は、連結部９，１１にチェーン１４２を介して連結されたチェーンブロック１４０によって、上下方向に移動可能とされている。そのため、支持部１３によってＦＯＵＰ１２０を支持した状態でチェーンブロック１４０により支持部１３を上方に移動させることにより、ＦＯＵＰ１２０を棚１３４から持ち上げることができる。これにより、取出装置１では、ＦＯＵＰ１２０を棚１３４から容易に取り出すことができ、作業性の向上を図れる。また、ＦＯＵＰ１２０を棚１３４から取り出すときには、支持部１３は、連結部９，１１を介してチェーンブロック１４０によって吊られた状態となる。このとき、ＦＯＵＰ１２０の重量により、ＦＯＵＰ１２０側に取出装置１が傾く。そこで、取出装置１では、第１ハンドル１５及び第２ハンドル１７は、連結部９，１１を挟んで支持部１３と反対側に設けられている。この構成により、ＦＯＵＰ１２０の重量による支持部１３の傾きに抗する力を第１ハンドル１５及び第２ハンドル１７によって容易に加えることができるため、取出装置１のバランスを保ち易い。したがって、取出装置１を安定的に操作することができるため、作業性の向上が図れる。
【００５７】
本実施形態では、支持部１３は、ＦＯＵＰ１２０の底面を支持する。これにより、ＦＯＵＰ１２０を安定して支持できる。また、取出装置１は、第１係止部２１及び第２係止部２３を備えている。これにより、支持部１３に支持されたＦＯＵＰ１２０の位置がずれることを防止できる。そのため、ＦＯＵＰ１２０を安定して取り出すことができる。
【００５８】
本実施形態では、第１係止部２１は、支持部１３よりも上方に位置するフック部２１ｂを有し、ＦＯＵＰ１２０の上下方向の移動を規制する。この構成によれば、支持部１３により底面が支持されたＦＯＵＰ１２０が、後方側に傾くことを防止できる。したがって、ＦＯＵＰ１２０を安定して取り出すことができる。
【００５９】
本実施形態では、取出装置１は、第１ハンドル１５及び第２ハンドル側に設けられ、重り部材３０を着脱可能に支持する第１取付部２７及び第２取付部２８を備えている。この構成によれば、ＦＯＵＰ１２０の重量に合わせて重り部材３０を第１取付部２７及び第２取付部２８に取り付けることにより、ＦＯＵＰ１２０の重量に応じて、バランスを調整することができる。これにより、ＦＯＵＰ１２０を更に安定して取り出すことができる。
【００６０】
本実施形態では、取出装置１は、支持部１３よりも上方に位置する第１ハンドル１５と、支持部１３よりも下方に位置する第２ハンドル１７と、を備えている。この構成によれば、第１ハンドル１５及び第２ハンドル１７の２箇所を把持して操作できるため、より安定してＦＯＵＰ１２０を取り出すことができる。
【００６１】
本実施形態では、第１ハンドル１５及び第２ハンドル１７は、左右方向に沿って延在している。この構成によれば、ＦＯＵＰ１２０の重量による支持部１３の傾きに抗する力を、第１ハンドル１５及び第２ハンドル１７によってより容易に加えることができる。
【００６２】
本発明は、本実施形態に限定されない。例えば、上記実施形態では、支持部１３によってＦＯＵＰ１２０を下方から支持する形態を一例に説明したが、支持部の構成はこれに限定されない。例えば、支持部は、ＦＯＵＰ１２０の前部フランジ１２３を挟持することにより、ＦＯＵＰ１２０を支持する形態であってもよい。
【００６３】
上記実施形態では、取出装置１の各部がステンレス等の金属で形成されている形態を一例に説明したが、各部を構成する材料はこれに限定されない。各部を構成する材料は、剛性を確保できるものであればよい。
【００６４】
上記実施形態では、支持部１３がＦＯＵＰ１２０の底面を支持する形態を一例に説明しが、支持部は、ＦＯＵＰ１２０の前方側からＦＯＵＰ１２０の前方部を支持する構成であればよい。例えば、支持部は、ＦＯＵＰ１２０の前部フランジ１２３を挟持してＦＯＵＰ１２０を支持する構成であってもよい。
【００６５】
上記実施形態では、第１ハンドル１５及び第２ハンドル１７が左右方向に沿って延在する形態を一例に説明したが、第１ハンドル１５及び第２ハンドル１７の構成はこれに限定されない。第１ハンドル１５及び第２ハンドル１７は、いずれか一方のみが設けられていてもよい。また、第１ハンドル及び第２ハンドルが高さ方向に沿って延在する形態であってもよい。また、ハンドルの位置も設計に応じて適宜設定されればよい。
【００６６】
上記実施形態では、係止部１９が第１係止部２１及び第２係止部２３を有する形態を一例に説明したが、第１係止部２１及び第２係止部２３のいずれか一方のみが設けられる形態であってもよい。第１係止部２１が設けられない場合には、支持部１３は、ＦＯＵＰ１２０の前方部及び後方部を支持する構成であることが好ましい。これにより、ＦＯＵＰ１２０が後方側に傾く等といった事象を回避でき、安定してＦＯＵＰ１２０を支持できる。
【００６７】
上記実施形態では、連結部９及び連結部１１の２つの連結部を備える形態を一例に説明したが、連結部は１つ以上設けられていればよい。
【００６８】
上記実施形態では、レバー２２の操作によって第１係止部２１の本体部２１ａが上下方向に移動する形態を一例に説明したが、本体部２１ａを移動させる手段はレバー２２に限定されない。
【００６９】
上記実施形態では、第１係止部２１の本体部２１ａを上下方向に移動させてフック部２１ｂにおける前部フランジ１２３の係合及びその解除を行い、ＦＯＵＰ１２０の上下方向の移動を規制する形態を一例に説明したが、ＦＯＵＰ１２０の上下方向の移動の規制は、他の手段であってもよい。同様に、ＦＯＵＰ１２０の左右方向の移動の規制は、第２係止部２３の形態に限らず、他の手段であってもよい。
【００７０】
上記実施形態では、取出装置１がストッカ１０４に備えられている形態を一例に説明したが、取出装置１は、必要に応じてストッカ１０４に設置される形態であってもよい。
【００７１】
上記実施形態では、荷の一例として半導体搬送用カセットの一種であるＦＯＵＰを例示して説明したが、荷はＦＯＵＰに限定されない。例えば、荷は、ＦＯＳＢ（Front-Opening Shipping Box）、ＭＡＣ（Multi-Application Carrier）、ウェハ・フレーム・カセット等であってもよい。取出装置１は、これらの半導体搬送用カセットの取り出しに用いることができる。
【符号の説明】
【００７２】
１…取出装置、９，１１…連結部、１３…支持部、１５…第１ハンドル（第１把持部）、１７…第２ハンドル（第２把持部）、１９…係止部、２１…第１係止部、２３…第２係止部、２７…第１取付部、２８…第２取付部、３０…重り部材、１０４…ストッカ（保管装置）、１２０…ＦＯＵＰ（荷）、１３０…本体部（筐体）、１３４…棚、１３６…自動搬送装置（移載装置）。
【図１】
2017033621.tif 000003
【図２】
2017033621.tif 000004
【図３】
2017033621.tif 000005
【図４】
2017033621.tif 000006
【図５】
2017033621.tif 000007
【図６】
2017033621.tif 000008
【図７】
2017033621.tif 000009
【図８】
2017033621.tif 000010
【図９】
2017033621.tif 000011
【国際調査報告】
2017033621.tif 000012
2017033621.tif 000013