(57)【要約】      （修正有）【課題】ゴム層が剥がれて捲れるのを防止でき、製品がより耐用できるウェハーディッププレートの構造を提供する。【解決手段】ウェハーディッププレートの構造により、ウェハーディッププレートがより耐用できるものにする。一つの金属プレート２０に数個のエリアの穴を形成し、各エリアに複数個の整然と整列する穴を具有し、各エリアの複数個の穴の上面、底面に一体成型のゴム層３０を設け、複数個の穴の部分に対応してゴム穴２１０を形成し、ウェハーを挿入定位してディップ可能とする。相隣する各エリアの複数個の穴の間に第１の数個の連結穴２２を設け、各エリアの複数個の穴の周辺に第２の数個の連結穴を設け、ゴム層３０の成型と同時に定位シート３１、３２を一体成型し、定位シート３１、３２の定位により、各エリアのゴム層３０が連結、定位することができる。ゴム層３０が捲れて離脱するのを防止し、耐用できる効果を持つ。【選択図】図５
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
金属プレート及びゴム層を含み、
一つの金属プレートに数個のエリアを形成し、各エリアごとに複数個の整然と整列する穴を設け、該金属プレートの各エリアの複数個の穴の上面、底面に一体成型のゴム層を設け、該複数個の穴の部分に対応してゴム穴を形成し、
さらに、前記金属プレートの互いに相隣して連接する各エリアの複数個の穴の間に第１の数個の連結穴を設け、各エリアの複数個の穴の周辺にも第２の数個の連結穴を設け、ゴム層を成型する際に、同時に定位シートを一体成型し、上面と底面の定位シートは前記第１及び第２の連結穴を介して一体に連結し、各エリアのゴム層の周辺が捲れるのを防止する効果を持つことを特徴とするウェハーディッププレートの構造。
【請求項２】
前記金属プレートの設定位置に、面の定位穴を設けることを特徴とする請求項１に記載のウェハーディッププレートの構造。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案はウェハーディッププレートの構造に関し、それによりウェハーをディップ(浸漬)するためのプレートにウェハーを定位させるゴム層が剥がれたり捲れたりせずにより耐用できる効果を持つウェハーディッププレートの構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来技術のウェハーディッププレートの構造は、図１、図２及び図３に示すように、一つの金属プレート１０に複数のエリアの穴１１を設け、各エリアに複数の整然と配列する穴１１を具有し、更に各エリア穴１１の上面、底面に一体成型のゴム層１２を設ける。穴１１の部分にゴム穴１１０を形成し、ゴム穴１１０のゴムの弾力性を介して、ウェハー１３を挿入し、該ウェハー１３を浸漬液(以下、ディップ液)１４に定位する。ディップ液としては例えば銀イオンを含む溶液などが用いられる。上記の構造に存在する欠点は下記の通りである：図３に示すように、各エリアの上面、底面のゴム層１２の周辺は金属プレート１０で分けられる。よって、暫く使用すると、図３の点線に示すように、ゴム層１２の周辺は剥がれて捲れ上がる状況になり、平らにならずにディップ(浸漬)の効果に影響を与える。図２及び図３における符号Ａ及びＢで示す点線で囲んだ部分は剥がれ易く捲れ易い。つまり、従来技術は比較的耐用しないことを鑑みて、更なる改善が必要であった。
先行技術文献としては、ウェハーを多数平行に収容した状態で洗浄液の中に漬けて洗浄し乾燥するウェハーキャリヤ(ウェハー容器)が開示されている(例えば特許文献１参照)。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−３２９７０２号公報
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００４】
前記公知構造の欠点を解決するため、本考案はウェハーディッププレートの構造を改善し、ゴム層が剥がれて捲れるのを防止でき、製品がより耐用できるウェハーディッププレートの構造を提供することを主な課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
前記課題を解決するために、本考案はウェハーディッププレートの構造を提供するものであり、主な技術及び目的は、金属プレート及びゴム層を含み、一つの金属プレートに数個のエリアを形成し、各エリアごとに複数個の整然と整列する穴を設け、該金属プレートの各エリアの複数個の穴の上面、底面に一体成型のゴム層を設け、該複数個の穴の部分に対応してゴム穴を形成し、さらに、前記金属プレートの互いに相隣して連接する各エリアの複数個の穴の間に第１の数個の連結穴を設け、各エリアの複数個の穴の周辺にも第２の数個の連結穴を設け、ゴム層を成型する際に、同時に定位シートを一体成型し、上面と底面の定位シートは前記第１及び第２の連結穴を介して一体に連結し、各エリアのゴム層の周辺が捲れるのを防止する効果を持つ。
【考案の効果】
【０００６】
本考案の構造により、ウェハーを挿入定位してディップ(浸漬)をすることができ、金属プレート各エリアの上面、底面のゴム層の相隣する連接部分及びゴム層の周辺に連結穴を設け、それにより定位シートを成型し、定位シートの定位により、各エリアの上面、底面のゴム層を連結、定位することができ、各エリアのゴム層の周辺が捲れて離脱するのを防止して、耐用できる効果を持つ。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】従来技術の半製品金属プレート立体図である。
【図２】従来技術のウェハーディッププレートの構造における構造立体図である。
【図３】従来技術のウェハーのディップ断面図及びゴム層の離脱略図である。
【図４】本考案の半製品金属プレート立体図である。
【図５】本考案の一実施例のウェハーディッププレートの構造における構造立体図である。
【図６】本考案のウェハーのディップ断面略図である。
【考案を実施するための形態】
【０００８】
以下、本考案の構造と特徴および効果を、最良実施例と図面を参照しながら詳細に説明する。
【実施例】
【０００９】
図４、図５及び図６に示すように、一つの金属プレート２０に数個のエリアを形成し、各エリアごとに複数個の整然と整列する穴２１を設け、各エリアの複数個の穴２１の上面、底面に一体成型のゴム層３０を設ける。金属プレート２０の複数個の穴２１の部分に対応してゴム穴２１０を形成する。ゴム穴２１０は、該ゴム穴２１０のゴムの弾力性を介して、ウェハー１３(図６参照)を挿入定位するものである。さらに、金属プレート２０の互いに相隣して連接する各エリアの複数個の穴２１の間に第１の数個の連結穴２２を設け、各エリアの複数個の穴２１の周辺にも穴２２′、及び第２の数個の連結穴２３(図４では穴２２、２２′よりも小さい数個の穴)を設ける。穴２２′は、上面と底面とを連結するための穴とはなっていない。ゴム層３０を成型する際に、同時に定位シート３１、３２を一体成型し、上面と底面の定位シート３１、３２は第１及び第２の連結穴２２、２３を介して一体に連結する。また、該金属プレート２０を設定する箇所に面の定位穴２４を設ける。面の定位穴２４によって、金属プレート２０はウェハー浸漬用の容器に定位される。
【００１０】
上記の構造により、下記の効果及びメリットを得ることができる。
図６に示すように、互い相隣して連接する２つのエリアの上面、底面のゴム層３０に定位シート３１を具有し、且つ該上面、底面の定位シート３１を第１の連結穴２２を介して互いに一体に連結することで、ゴム層３０の周辺が剥がれるのを抑制する効果が得られ、捲れるのを防止できる効果を持つ。同じように、各エリアの上面、底面のゴム層３０の周辺に定位シート３２を具有し、上面、底面の定位シート３２もまた第２の連結穴２３を介して一体に連結することで、剥がれるのを抑制して捲れるのを防止する効果を持つ。よって、上面、底面の定位シートを一体に連結することを介し、各エリアのゴム層３０の周辺が捲れるのを防止できるため、使用に耐えられ、捲れてディップ(浸漬)の品質を悪化させないことを確保できる。図５及び図６における符号Ｃ及びＤで示す点線で囲んだ部分は剥がれて捲れるのを防止する効果を持つ。「面の定位穴２４」により、機械の定位に合わせて金属プレート２０の上面を上向きに保つことができるため、上面、底面が相互に逆さまになる問題が生じない。
【符号の説明】
【００１１】
１０  金属プレート
１１０、２１０  ゴム穴
１１、２１  穴
２２、２３  連結穴
１２  ゴム層
２４  面の定位穴
１３  ウェハー
３０  ゴム層
１４  ディップ液
３１、３２  定位シート
２０  金属プレート
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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