【事件の表示】
　特許第５７６７６３６号発明「真空ポンプ」の特許異議申立事件について、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第５７６７６３６号の明細書，特許請求の範囲を訂正請求書に添付された訂正明細書，特許請求の範囲のとおり，訂正後の請求項〔１〜６〕について訂正することを認める。
　特許第５７６７６３６号の請求項１ないし６に係る特許を維持する。
【理　由】
第１．手続の経緯
　特許第５７６７６３６号の請求項１〜６に係る特許についての出願は，平成２３年５月２０日の特許出願であって，平成２７年６月２６日にその特許権の設定登録がされた。これらの請求項１〜６に係る特許について，特許異議申立人　プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハーにより特許異議の申立てがあり，平成２８年４月１３日付けで取消理由が通知され，その指定期間内である同年６月１６日付けで特許権者により意見書の提出及び訂正の請求があったものである。その後，同年６月２４日付けで訂正拒絶理由が通知され，同年７月２９日付けで特許権者により意見書が提出され，同年９月２６日付けで特許異議申立人により意見書が提出され，同年１２月１３日付けで再度訂正拒絶理由が通知され，平成２９年１月１３日付けで特許権者により意見書が提出され，同年２月１７日付けで取消理由（決定の予告）が通知され，その指定期間内である同年４月２１日付けで特許権者により意見書の提出及び訂正の請求があったものである。その後，同年６月２６日付けで特許異議申立人により意見書が提出されたところである。
第２．訂正の適否についての判断
１．訂正の内容
 　平成２９年４月２１日付けの訂正請求（以下，「本件訂正請求」という。）による訂正の内容は以下の訂正事項１〜８のとおりである（下線は，訂正箇所を示し，当審で付与した。）。
（１）訂正事項１
　特許請求の範囲の請求項１に「少なくともネジ溝ポンプ部あるいはゲーデポンプ部などを構成する円筒ロータと，前記円筒ロータと回転軸とを接続する第２のロータとを備え，前記第２のロータに形成された鍔状円環部に付設された接合部に対し，前記円筒ロ−タの側面の一部を接合して構成された真空ポンプにおいて，前記円筒ロータの上端面は，前記円筒ロータと前記第２のロータとの接触部より上側に突出されていることを特徴とする真空ポンプ。」とあるのを，
「
円筒形に成形してなる
前記円筒ロータと回転軸とを接続する第２のロータとを備え，
前記第２のロータに形成された鍔状円環部に付設された接合部に対し，
前記円筒ロータの側面の一部を接合して構成された真空ポンプにおいて，
前記接合部の外径は，前記円筒ロータの内径より大きく，前記円筒ロータの内径に圧入嵌合可能な大きさであり，
前記円筒ロータの上端面は，前記円筒ロータと前記第２のロータとの接触部より上
流
に訂正する。
（２）訂正事項２
　特許請求の範囲の請求項２に「少なくともネジ溝ポンプ部あるいはゲーデポンプ部などを構成する円筒ロータと，前記円筒ロータと回転軸とを接続する第２のロータとを備え，前記第２のロータに形成された鍔状円環部に付設された接合部に対し，前記円筒ロータの側面の一部を接合して構成された真空ポンプにおいて，前記接合部は，前記鍔状円環部より下方へ突出したＬ字状に形成されているとともに，前記円筒ロータの上端面は，前記鍔状円環部の下面より下側へ退避されていることを特徴とする真空ポンプ。」とあるのを，
「
円筒形に成形してなる
前記円筒ロータと回転軸とを接続する第２のロータとを備え，
前記第２のロータに形成された鍔状円環部に付設された接合部に対し，
前記円筒ロータの側面の一部を接合して構成された真空ポンプにおいて，
前記接合部の外径は，前記円筒ロータの内径より大きく，前記円筒ロータの内径に圧入嵌合可能な大きさであり，
前記接合部は，前記鍔状円環部より下
流側
流
（３）訂正事項３
　特許請求の範囲の請求項３に「少なくともネジ溝ポンプ部あるいはゲーデポンプ部などを構成する円筒ロータと，前記円筒ロータと回転軸とを接続する第２のロータとを備え，前記第２のロータに形成された鍔状円環部に付設された接合部に対し，前記円筒ロータの側面の一部を接合して構成された真空ポンプにおいて，前記接合部は，前記鍔状円環部より上方へ突出したＬ字状に形成されているとともに，前記円筒ロータの上端面は，前記鍔状円環部の上側へ設置されていることを特徴とする真空ポンプ。」とあるのを，
「
円筒形に成形してなる
前記円筒ロータと回転軸とを接続する第２のロータとを備え，
前記第２のロータに形成された鍔状円環部に付設された接合部に対し，
前記円筒ロータの側面の一部を接合して構成された真空ポンプにおいて，
前記接合部は，前記鍔状円環部より上
流側
流
に訂正する。
（４）訂正事項４
　特許請求の範囲の請求項４に「少なくともネジ溝ポンプ部あるいはゲーデポンプ部などを構成する円筒ロータと，前記円筒ロータと回転軸とを接続する第２のロータとを備え，前記第２のロータに形成された鍔状円環部に付設された接合部に対し，前記円筒ロータの側面の一部を接合して構成された真空ポンプにおいて，前記接合部は，前記鍔状円環部より下方へ突出したＬ字状に形成されているとともに，前記接合部の上部に小径部を設け，前記円筒ロータと前記第２のロータとの接触部は，前記鍔状円環部の下側へ退避されているとともに，前記円筒ロータの上端面は，前記接触部より上側に突出されていることを特徴とする真空ポンプ。」とあるのを，
「
円筒形に成形してなる
前記円筒ロータと回転軸とを接続する第２のロータとを備え，
前記第２のロータに形成された鍔状円環部に付設された接合部に対し，
前記円筒ロータの側面の一部を接合して構成された真空ポンプにおいて，
前記接合部の外径は，前記円筒ロータの内径より大きく，前記円筒ロータの内径に圧入嵌合可能な大きさであり，
前記接合部は，前記鍔状円環部より下
流
前記円筒ロータと前記第２のロータとの接触部は，前記鍔状円環部の下
流
（５）訂正事項５
　願書に添付した明細書の段落【０００５】に記載された「請求項１記載の発明では，少なくともネジ溝ポンプ部あるいはゲーデポンプ部などを構成する円筒ロータと，前記円筒ロータと回転軸とを接続する第２のロータとを備え，前記第２のロータに形成された鍔状円環部に付設された接合部に対し，前記円筒ロータの側面の一部を接合して構成された真空ポンプにおいて，前記円筒ロータの上端面は，前記円筒ロータと前記第２のロータとの接触部より上側に突出されていることを特徴とする真空ポンプを提供する。」とあるのを，
「請求項１記載の発明では，
円筒形に成形してなる
前記接合部の外径は，前記円筒ロータの内径より大きく，前記円筒ロータの内径に圧入嵌合可能な大きさであり，
流
（６）訂正事項６
　願書に添付した明細書の段落【０００５】に記載された「請求項２記載の発明では，少なくともネジ溝ポンプ部あるいはゲーデポンプ部などを構成する円筒ロータと，前記円筒ロータと回転軸とを接続する第２のロータとを備え，前記第２のロータに形成された鍔状円環部に付設された接合部に対し，前記円筒ロータの側面の一部を接合して構成された真空ポンプにおいて，前記接合部は，前記鍔状円環部より下方へ突出したＬ字状に形成されているとともに，前記円筒ロータの上端面は，前記鍔状円環部の下面より下側へ退避されていることを特徴とする真空ポンプを提供する。」とあるのを，
「請求項２記載の発明では，
円筒形に成形してなる
前記接合部の外径は，前記円筒ロータの内径より大きく，前記円筒ロータの内径に圧入嵌合可能な大きさであり，
流側
流
（７）訂正事項７
　願書に添付した明細書の段落【０００５】に記載された「請求項３記載の発明では，少なくともネジ溝ポンプ部あるいはゲーデポンプ部などを構成する円筒ロータと，前記円筒ロータと回転軸とを接続する第２のロータとを備え，前記第２のロータに形成された鍔状円環部に付設された接合部に対し，前記円筒ロータの側面の一部を接合して構成された真空ポンプにおいて，前記接合部は，前記鍔状円環部より上方へ突出したＬ字状に形成されているとともに，前記円筒ロータの上端面は，前記鍔状円環部の上側へ設置されていることを特徴とする真空ポンプを提供する。」とあるのを，
「請求項３記載の発明では，
円筒形に成形してなる
流側
流
（８）訂正事項８
　願書に添付した明細書の段落【０００５】に記載された「請求項４記載の発明では，少なくともネジ溝ポンプ部あるいはゲーデポンプ部などを構成する円筒ロータと，前記円筒ロータと回転軸とを接続する第２のロータとを備え，前記第２のロータに形成された鍔状円環部に付設された接合部に対し，前記円筒ロータの側面の一部を接合して構成された真空ポンプにおいて，前記接合部は，前記鍔状円環部より下方へ突出したＬ字状に形成されているとともに，前記接合部の上部に小径部を設け，前記円筒ロータと前記第２のロータとの接触部は，前記鍔状円環部の下側へ退避されているとともに，前記円筒ロータの上端面は，前記接触部より上側に突出されていることを特徴とする真空ポンプを提供する。」とあるのを，
「請求項４記載の発明では，
円筒形に成形してなる
前記接合部の外径は，前記円筒ロータの内径より大きく，前記円筒ロータの内径に圧入嵌合可能な大きさであり，
流側
流
流
２．訂正要件についての判断
（１）訂正事項１
ア．訂正の目的について
　訂正事項１による訂正は，訂正前の請求項１の「少なくともネジ溝ポンプ部あるいはゲーデポンプ部などを構成する」，「上側」の明瞭でない記載を釈明するとともに，接合部及び円筒ロータの径寸法の大小関係を特定するものであるから，特許法第１２０条の５第２項第１号に規定する「特許請求の範囲の減縮」及び同３号に規定する「明瞭でない記載の釈明」を目的とする訂正である。
イ．願書に添付した明細書，特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であること
　上記訂正事項１のうち，明瞭でない記載の釈明に関する訂正のうち「少なくともネジ溝ポンプ部あるいはゲーデポンプ部などを構成する円筒モータ」を「円筒形に成形してなる円筒モータ」とした訂正は，特許明細書の段落【００１０】（特許掲載公報の第７頁第３５〜３６行目）の「・・円筒形に成形してなる円筒ロータ・・」との記載に依拠するものであり，また，「接触部より上側」を「接触部より上流側」とする訂正については，「同図において，複合型真空ポンプ１０は，吸気口１１と排気口１２を有する筐体１３を備えている。該筐体１３内には，上部にターボ分子ポンプ部１４と，その下方に円筒形のネジ溝ポンプ部１５が設けられているとともに，該ターボ分子ポンプ部１４内と該ネジ溝ポンプ部１５内を通って前記吸気口１１と前記排気口１２を連通してなる排気経路２４が形成されている。
　前記排気通路２４は，より具体的には，前記ターボ分子ポンプ部１４の後述する相対しているロータ１７の外周面と前記筐体１３の内周面の間の隙間及び前記ネジ溝ポンプ部１５の後述する円筒ロータ２１の外周面とステータ２３の内周面の間の隙間を相互に連通させるとともに，前記ターボ分子ポンプ部１４側の隙間上端側を前記吸気口１１に連通させ，かつ，前記ネジ溝ポンプ部１５側の隙間下端側を前記排気口１２に連通して形成されている。」（特許明細書の段落【０００９】（特許掲載公報の第５頁３２〜４２行）），「そして，前記ネジ溝２２の下端は前記排気経路２４の最下流側において前記排気口１２に連通され，前記ターボ分子ポンプ部１４の前記ロータ１７と前記ネジ溝ポンプ部１５の前記円筒ロータ２１の接合部分は，前記排気経路２４の上流側に設置されている。」（特許明細書の段落【０００９】（特許掲載公報の第６頁２〜５行））等に記載されるように，上下関係における「上」，「下」がそれぞれ排気流路２４の「上流」，「下流」であることは明らかであることに依拠するものである。
　そして，上記訂正事項１のうち，接合部及び円筒ロータの径寸法の大小関係を特定するための訂正は，特許明細書の段落【０００９】（特許掲載公報の第６貞１１〜１２行）の「前記接合部２０ａは，前記円筒ロータ２１の内径より若干大きく，該円筒ロータ２１内に圧入嵌合可能な外径を有する・・」との記載に依拠するものであり，当該訂正事項１は，願書に添付した明細書，特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり，特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第５項の規定に適合するものである。
ウ．実質上特許請求の範囲を拡張し，又は変更する訂正ではないこと
　上記訂正事項１のうち，明瞭でない記載の釈明に関する訂正は，何ら実質的な内容の変更を伴うものではなく，また，上記訂正事項１のうち，接合部及び円筒ロータの径寸法の大小関係を特定する訂正は，発明特定事項を直列的に付加するものであり，カテゴリーや対象，目的を変更するものには該当しないから，上記訂正事項１は，特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第６項の規定に適合するものである。
（２）訂正事項２
ア．訂正の目的について
　訂正事項２による訂正は，訂正前の請求項２の「少なくともネジ溝ポンプ部あるいはゲーデポンプ部などを構成する」，「下方」，「下側」の明瞭でない記載を釈明するとともに，接合部及び円筒ロータの径寸法の大小関係を特定するものであるから，特許法第１２０条の５第２項第１号に規定する「特許請求の範囲の減縮」及び同３号に規定する「明瞭でない記載の釈明」を目的とする訂正である。
イ．願書に添付した明細書，特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であること
　上記訂正事項２による訂正は，上記訂正事項１について検討した理由と同様な理由により，願書に添付した明細書，特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり，特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第５項の規定に適合するものである。
ウ．実質上特許請求の範囲を拡張し，又は変更する訂正ではないこと
　上記訂正事項２のうち，明瞭でない記載の釈明に関する訂正は，何ら実質的な内容の変更を伴うものではなく，また，上記訂正事項２のうち，接合部及び円筒ロータの径寸法の大小関係を特定する訂正は，上記訂正事項１のうち，接合部及び円筒ロータの径寸法の大小関係を特定する訂正と同様であるから，上記訂正事項２は，特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第６項の規定に適合するものである。
（３）訂正事項３
ア．訂正の目的について
　訂正事項３による訂正は，訂正前の請求項３の「少なくともネジ溝ポンプ部あるいはゲーデポンプ部などを構成する」，「上方」，「上側」の明瞭でない記載を釈明する訂正であり，特許法第１２０条の５第２項第３号に規定する「明瞭でない記載の釈明」を目的とする訂正である。
イ．願書に添付した明細書，特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であること
　上記訂正事項３による訂正は，上記訂正事項１のうちの明瞭でない記載の釈明に関する訂正について検討した理由と同様な理由により，願書に添付した明細書，特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり，特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第５項の規定に適合するものである。
ウ．実質上特許請求の範囲を拡張し，又は変更する訂正ではないこと
　上記訂正事項３は，上記訂正事項１で述べたように，明瞭でない記載の釈明に関する訂正であって，何ら実質的な内容の変更を伴うものではなく，特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第６項に規定に適合するものである。
（４）訂正事項４
ア．訂正の目的について
　訂正事項４による訂正は，訂正事項１及び２と同様に，訂正前の請求項４の「少なくともネジ溝ポンプ部あるいはゲーデポンプ部などを構成する」，「下方」，「下側」，「上側」の明瞭でない記載を釈明するとともに，接合部及び円筒ロ−タの径寸法の大小関係を特定するものであるから，特許法第１２０条の５第２項第１号に規定する「特許請求の範囲の減縮」及び同３号に規定する「明瞭でない記載の釈明」を目的とする訂正である。
イ．願書に添付した明細書，特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であること
　上記訂正事項４による訂正は，上記訂正事項１について検討した理由と同様な理由により，願書に添付した明細書，特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり，特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第５項の規定に適合するものである。
ウ．実質上特許請求の範囲を拡張し，又は変更する訂正ではないこと
　上記訂正事項４による訂正は，上記訂正事項１及び２と同様に，特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第６項の規定に適合するものである。
（５）訂正事項５
ア．訂正の目的について
　訂正事項５による訂正は，上記訂正事項１に係る訂正に伴い，特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明の記載との整合を図るために，願書に添付した明細書の段落【０００５】に記載された「請求項１記載の発明では，少なくともネジ溝ポンプ部あるいはゲーデポンプ部などを構成する円筒ロータと，前記円筒ロータと回転軸とを接続する第２のロータとを備え，前記第２のロータに形成された鍔状円環部に付設された接合部に対し，前記円筒ロータの側而の一部を接合して構成された真空ポンプにおいて，前記円筒ロータの上端面は，前記円筒ロータと前記第２のロータとの接触部より上側に突出されていることを特徴とする真空ポンプを提供する。」を，「請求項１記載の発明では，円筒形に成形してなる円筒ロータと，前記円筒ロータと回転軸とを接続する第２のロータとを備え，前記第２のロータに形成された鍔状円環部に付設された接合部に対し，前記円筒ロータの側面の一部を接合して構成された真空ポンプにおいて，前記接合部の外径は，前記円筒円筒ロータの上端面は，前記円筒口−タと前記第２のロータとの接触部より上流側に突出されていることを特徴とする真空ポンプを提供する。」に訂正するものである。
　当該訂正は，特許法第１２０条の５第２項第３号に規定する「明瞭でない記載の釈明」を目的とする訂正である。
イ．願書に添付した明細書，特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であること
　上記訂正事項５による訂正は，上記訂正事項１と同様に，願書に添付した明細書，特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり，特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第５項の規定に適合するものである。
ウ．実質上特許請求の範囲を拡張し，又は変更する訂正ではないこと
　上記訂正事項５による訂正は，上記訂正事項１と同様に，特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第６項に適合するものである。
（６）訂正事項６
ア．訂正の目的について
　訂正事項６による訂正は，上記訂正事項２に係る訂正に伴い，特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明の記載との整合を図るために，願書に添付した明細書の段落【０００５】に記載された「請求項２記載の発明では，少なくともネジ溝ポンプ部あるいはゲーデポンプ部などを構成する円筒ロータと，前記円筒ロータと回転軸とを接続する第２のロータとを備え，前記第２のロータに形成された鍔状円環部に付設された接合部に対し，前記円筒ロータの側面の一部を接合して構成された真空ポンプにおいて，前記接合部は，前記鍔状円環部より下方へ突出したＬ字状に形成されているとともに，前記円筒ロータの上端面は，前記鍔状円環部の下面より下側へ退避されていることを特徴とする真空ポンプを提供する。」を，「請求項２記載の発明では，円筒形に成形してなる円筒ロ−タと，前記円筒ロータと回転軸とを接続する第２のロータとを備え，前記第２のロータに形成された鍔状円環部に付設された接合部に対し，前記円筒ロータの側面の一部を接合して構成された真空ポンプにおいて，前記接合部の外径は，前記円筒ロータの内径より大きく，前記円筒ロータの内径に圧入嵌合可能な大きさであり，前記接合部は，前記鍔状円環部より下流側へ突出したＬ字状に形成されているとともに，前記円筒ロータの上端面は，前記鍔状円環部の下面より下流側へ退避されていることを特徴とする真空ポンプを提供する。」に訂正するものである。
　当該訂正は，特許法第１２０条の５第２項第３号に規定する「明瞭でない記載の釈明」を目的とする訂正である。
イ．願書に添付した明細書，特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であること
　上記訂正事項６による訂正は，上記訂正事項２と同様に，願書に添付した明細書，特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり，特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第５項の規定に適合するものである。
ウ．実質上特許請求の範囲を拡張し，又は変更する訂正ではないこと
　上記訂正事項６による訂正は，上記訂正事項２と同様に，特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第６項に適合するものである。
（７）訂正事項７
ア．訂正の目的について
　訂正事項７による訂正は，上記訂正事項３に係る訂正に伴い，特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明の記載との整合を図るために，願書に添付した明細書の段落【０００５】に記載された「少なくともネジ溝ポンプ部あるいはゲーデポンプ部などを構成する円筒ロータと，前記円筒ロータと回転軸とを接続する第２のロータとを備え，前記第２のロータに形成された鍔状円環部に付設された接合部に対し，前記円筒ロータの側面の一部を接合して構成された真空ポンプにおいて，前記接合部は，前記鍔状円環部より上方へ突出したＬ字状に形成されているとともに，前記円筒ロータの上端面は，前記鍔状円環部の上側へ設置されていることを特徴とする真空ポンプ。」を，「円筒形に成形してなる円筒ロータと，前記円筒ロータと回転軸とを接続する第２のロータとを備え，前記第２のロータに形成された鍔状円環部に付設された接合部に対し，前記円筒ロータの側面の一部を接合して構成された真空ポンプにおいて，前記接合部は，前記鍔状円環部より上流側へ突出したＬ字状に形成されているとともに，前記円筒ロータの上端面は，前記鍔状円環部の上流側へ設置されていることを特徴とする真空ポンプ。」に訂正するものである。
　当該訂正は，特許法第１２０条の５第２項第３号に規定する「明瞭でない記載の釈明」を目的とする訂正である。
イ．願書に添付した明細書，特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であること
　上記訂正事項７による訂正は，上記訂正事項３と同様に，願書に添付した明細書，特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり，特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第５項の規定に適合するものである。
ウ．実質上特許請求の範囲を拡張し，又は変更する訂正ではないこと
　上記訂正事項７による訂正は，上記訂正事項３と同様に，特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第６項の規定に適合するものである。
（８）訂正事項８
ア．訂正の目的について
　訂正事項８による訂正は，上記訂正事項４に係る訂正に伴い，特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明の記載との整合を図るために，願書に添付した明細書の段落【０００５】に記載された「少なくともネジ溝ポンプ部あるいはゲーデポンプ部などを構成する円筒ロータと，前記円筒口−タと回転軸とを接続する第２のロータとを備え，前記第２のロータに形成された鍔状円環部に付設された接合部に対し，前記円筒ロータの側面の一部を接合して構成された真空ポンプにおいて，前記接合部は，前記鍔状円環部より下方へ突出したＬ字状に形成されているとともに，前記接合部の上部に小径部を設け，前記円筒ロータと前記第２のロータとの接触部は，前記鍔状円環部の下側へ退避されているとともに，前記円筒ロータの上端面は，前記接触部より上側に突出されていることを特徴とする真空ポンプ。」を，「円筒形に成形してなる円筒ロータと，前記円筒ロータと回転軸とを接続する第２のロータとを備え，前記第２のロータに形成された鍔状円環部に付設された接合部に対し，前記円筒ロータの側面の一部を接合して構成された真空ポンプにおいて，前記接合部の外径は，前記円筒ロータの内径より大きく，前記円筒ロータの内径に圧入嵌合可能な大きさであり，前記接合部は，前記鍔状円環部より下流側へ突出したＬ字状に形成されているとともに，前記接合部の上部に小径部を設け，前記円筒ロータと前記第２のロータとの接触部は，前記鍔状円環部の下流側へ退避されているとともに，前記円筒ロータの上端面は，前記接触部より上流側に突出されていることを特徴とする真空ポンプ。」に訂正するものである。
　当該訂正は，特許法第１２０条の５第２項第３号に規定する「明瞭でない記載の釈明」を目的とする訂正である。
イ．願書に添付した明細書，特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であること
　上記訂正事項８による訂正は，上記訂正事項４と同様に，願書に添付した明細書，特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり，特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第５項の規定に適合するものである。
ウ．実質上特許請求の範囲を拡張し，又は変更する訂正ではないこと
　上記訂正事項８による訂正は，上記訂正事項４と同様に，特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第６項の規定に適合するものである。
（９）一群の請求項について
　これらの訂正は一群の請求項に対して請求されたものである。
　よって，これらの訂正は，特許法第１２０条の５第４項，及び，特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第４項の規定に適合するものである。
３．むすび
　以上のとおりであるから，本件訂正請求による訂正は，特許法第１２０条の５第２項第１号及び第３号に掲げる事項を目的とするものであり，かつ，同条第４項，及び，同条第９項において準用する同法第１２６条第４項から第６項の規定に適合するので，訂正後の請求項〔１〜６〕について訂正を認める。
第３．特許異議の申立てについて
１．本件特許発明
　本件訂正請求により訂正された訂正請求項１ないし６に係る発明（以下，「本件特許発明１」ないし「本件特許発明６」という。）は，その特許請求の範囲の請求項１ないし６に記載された次の事項により特定されるとおりのものである。
「【請求項１】
　
円筒形に成形してなる
前記円筒ロータと回転軸とを接続する第２のロータとを備え，
前記第２のロータに形成された鍔状円環部に付設された接合部に対し，
前記円筒ロータの側面の一部を接合して構成された真空ポンプにおいて，
前記接合部の外径は，前記円筒ロータの内径より大きく，前記円筒ロータの内径に圧入嵌合可能な大きさであり，
前記円筒ロータの上端面は，前記円筒ロータと前記第２のロータとの接触部より上
流
「【請求項２】
　
円筒形に成形してなる
前記円筒ロータと回転軸とを接続する第２のロータとを備え，
前記第２のロータに形成された鍔状円環部に付設された接合部に対し，
前記円筒ロータの側面の一部を接合して構成された真空ポンプにおいて，
前記接合部の外径は，前記円筒ロータの内径より大きく，前記円筒ロータの内径に圧入嵌合可能な大きさであり，
前記接合部は，前記鍔状円環部より下
流側
流
「【請求項３】
　
円筒形に成形してなる
前記円筒ロータと回転軸とを接続する第２のロータとを備え，
前記第２のロータに形成された鍔状円環部に付設された接合部に対し，
前記円筒ロータの側面の一部を接合して構成された真空ポンプにおいて，
前記接合部は，前記鍔状円環部より上
流側
流
「【請求項４】
　
円筒形に成形してなる
前記円筒ロータと回転軸とを接続する第２のロータとを備え，
前記第２のロータに形成された鍔状円環部に付設された接合部に対し，
前記円筒ロータの側面の一部を接合して構成された真空ポンプにおいて，
前記接合部の外径は，前記円筒ロータの内径より大きく，前記円筒ロータの内径に圧入嵌合可能な大きさであり，
前記接合部は，前記鍔状円環部より下
流
前記円筒ロータと前記第２のロータとの接触部は，前記鍔状円環部の下
流
「【請求項５】
　上記円筒ロータの突出部分の長さは，該円筒ロータの肉厚の２倍以上であることを特徴とする請求項１又は４記載の真空ポンプ。」
「【請求項６】
　上記第２のロータは，少なくともターボ分子ポンプ部あるいは渦流ポンプ部などのポンプ機構を構成することを特徴とする請求項１，２，３，４又は５記載の真空ポンプ。」
２．取消理由の概要
　訂正前の請求項１ないし６に係る特許に対して平成２９年２月１７日付けで特許権者に通知した取消理由（決定の予告）の要旨は，次のとおりである。
ア．請求項１，２，４は，その出願前日本国内または外国において公然知られた発明である，又は，その出願前日本国内または外国において公然実施をされた発明であるから，請求項１，２，４に係る特許は，特許法第２９条第１項第１号又は第２号の規定に違反してされたものであり，取り消されるべきものである。
イ．請求項１，２，４，５，６は，その出願前日本国内または外国において公然知られた発明又は公然実施された発明に基いて，その出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから，請求項１，２，４，５，６に係る特許は特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものであり，取り消されるべきものである。
ウ．請求項１ないし６は，特許法第３６条第６項２号の規定する要件を満たしていないから，請求項１ないし６に係る特許は，取り消されるべきものである。
３．甲号証の記載
ア．甲第１号証〜甲第７号証
甲第１号証：ターボ分子ドラッグポンプＴＭＨ２６２（品番ＰＭ　Ｐ０２　９９０Ａ）図面 
甲第２号証：ターボ分子ドラッグポンプＴＭＨ２６２（品番ＰＭ　Ｐ０２　９９０Ａ）部品表 
甲第３号証：ラビリンスハブ（品番ＰＭ　１０３　１４５）図面
甲第４号証：ローターアッセンブリー（品番ＰＭ　１０３　１５３−Ｘ）部品表
甲第５号証：ローターアッセンブリー（品番ＰＭ　１０３　１５３−Ｘ）図面
甲第６号証：納品書２３１５７１−Ｎ及び請求書３２６７６３−Ｎ
甲第７号証：宣誓供述書 
（ア）甲第１号証及び甲第２号証が開示する事項（下線部は当審により付与した。以下同様。）
　甲第１号証及び甲第２号証は，品番ＰＭ　Ｐ０２　９９０Ａが付されたターボ分子ドラッグポンプＴＭＨ２６２の図面及び部品表である。部品表（甲第２号証）より当該
ターボ分子ドラッグポンプ
　部品表（甲第２号証）より，当該ターボ分子ドラッグポンプは，ホルベックスリーブ（品番ＰＭ　０６３　８２６　Ａ）を有しており，参照符号１９を付与されているから，当該ホルベックスリーブは，図面（甲第１号証）において参照符号１９を付されて表されたものといえ，技術常識を考慮して甲第１号証を参照すると，後述の
炭素繊維スリーブ１３
（イ）甲第３号証ないし甲第５号証が開示する事項
　甲第４号証及び甲第５号証は，ローターアッセンブリー（品番ＰＭ　１０３　１５３　−Ｘ）の部品表及び図面である。図面（甲第５号証）により，符号１３を付された炭素繊維スリーブが看て取れる。この炭素繊維スリーブ１３の品番は，部品表（甲第４号証）よれば，ＰＭ　１０３　１５４であることが理解できる。
　甲第５号証からみて，
ラビリンスハブ７
は炭素繊維スリーブ１３とローター軸１とを接続している
　甲第３号証は，ラビリンスハブ（品番ＰＭ　１０３　１４５）の図面である。
　甲第３号証により，ラビリンスハブは全体は円板状であって，
ラビリンスハブに鍔のように形成された円環部が形成され
　甲第３号証及び甲第５号証により，ラビリンスハブの外周部は，前記円環部及び該
円環部の外周端に付設されて
Ｆ側）に
「突出部」
断面Ｌ字状に形成されている
　そして，前記円環部の外周面は，直径φ９４．３であるＡ（参考図２参照）と，該Ａより半径方向外方に突出し，直径φ９７±０．０５（甲第３号証のラビリンスハブの全体図参照）であるＢを有することが理解できる。
　また，前記突出部は，前記Ｂに隣接し，外周面の直径がφ９４．３１−０．０５であるＣと，前記Ｃに隣接し，前記Ｃよりも突出しているＤと，前記Ｄに隣接し，外周面の直径がφ９４．５２±０．０２であるＥと，前記Ｅに隣接し前記Ｅよりも半径方向に突出しているＦ（この部分は断面Ｌ字状部分の端部となる。）とからなることが理解できる。
　以下において，ＡからＦに向かう方向を「Ｆ側」といい，ＦからＡに向かう方向を「Ａ側」ということにする。
　また，前記ＡないしＦ，下記ＧないしＩを甲第５号証と甲第３号証のＺ部分拡大図を利用して参考図１，２として図示する（別紙参照）。
　甲第５号証の図示内容を考慮すると，炭素繊維スリーブが，ラビリンスハブに接続する箇所の詳細が看取できる（甲第３号証のＺ部拡大図を参照）。
　甲第５号証には，前記
突出部に対して，炭素繊維スリーブ１３の内側の一部が接合されている
　炭素繊維スリーブ１３は，円環状のラビリンスハブの突出部に接合されており，それぞれ左右の炭素繊維スリーブ１３を結ぼうとする線が図示されているから，
炭素繊維スリーブ１３は円筒形のローターを形成している
　炭素繊維スリーブ１３が炭素繊維から構成されていることを考慮すると，甲第５号証と甲第３号証のＺ部拡大図からみて，ＣとＥにおいては，炭素繊維スリーブ１３とラビリンスハブ７が直接接触しないこと（つまり，
鍔のように形成された円環部からＦ側に向かって突出した断面Ｌ字状の突出部には，非接触領域Ｃ，Ｅが設けられ
　さらに，ラビリンスハブに形成された断面Ｌ字状の部分の端部であるＦと，Ｄは，炭素繊維スリーブ１３とラビリンスハブ７との接触領域であることが理解できる。
　甲第５号証には，ラビリンスハブに設けられる半径方向突出部ＢにおけるＦ側の面Ｈに炭素繊維スリーブ１３のＡ側の端面Ｇが位置することが図示されており，甲第３号証のＺ部分の拡大図からみて，面Ｈに位置する
炭素繊維スリーブのＡ側の端面Ｇは，炭素繊維スリーブとラビリンスハブとの接触領域Ｄ，ＦよりＡ側に位置している
　甲第３号証からみて，ラビリンスハブに設けられる半径方向突出部ＢのＦ側の面Ｈは，ラビリンスハブの鍔のように形成された円環部のＦ側の面ＩよりＦ側に位置していることが理解できる。よって
炭素繊維スリーブのＡ側の端面Ｇは，ラビリンスハブの鍔のように形成された円環部のＦ側の面ＩよりＦ側に位置している
　また，ラビリンスハブの
前記非接触領域Ｃ
の直径は，炭素繊維スリーブとラビリンスハブの間の接触領域Ｄ，Ｆにおける
径よりも小さいものとなっているとともに，前記非接触領域Ｃは接触領域Ｄ，ＦよりもＡ側に位置している
　甲第５号証と甲第３号証のＺ部拡大図からみて，
炭素繊維スリーブとラビリンスハブとの接触領域Ｄ，Ｆは，
鍔のように形成された円環部のＦ側の面ＩよりＦ側に位置している
（ウ）甲第６号証は，品番ＰＭ　Ｐ０２　９９０Ａが付されたターボ分子ドラッグポンプＴＭＨ２６２の納品書及び請求書である。当該ターボ分子ドラッグポンプＴＭＨ ２６２が製造され，会社ＢＡＳＦ　ＡＧに対して１個，販売されたことを示す。引き渡しの日は，納品書に記載される納品日２００３年４月１７日である。
　甲第７号証は，宣誓供述書である。ターボ分子ドラッグポンプＴＭＨ２６２が上述の通り，本件特許出願前に実施されていたことを供述するものである。
　そうすると，甲第６号証によれば，かかるターボ分子ドラッグポンプＴＭＨ２６２は，本件特許の出願前において公然知られたもの又は公然実施されたものである。
　また，甲第７号証には，「位置１，３，５においては，ホルベックローターがラビリンスハブに直接当接している。ローター２には，間隙が残されている。位置４におけるくぼみは，接着剤で満たされており，この接着剤は，ホルベックローターとラビリンスハブの間の固定接続を確実に行う。」（甲第７号証の抄訳１ページ下から７行〜下から４行）という記載がある。
（エ）公然知られた発明又は公然実施発明
　してみれば，本件特許の出願前に甲第１号証乃至甲第５号証から把握される以下の発明が，公然知られた又は公然実施されたものと認められる（以下，「公然知られた発明１」又は「公然実施発明１」という。）。
「円筒形のローターを形成している炭素繊維スリーブと，
　前記炭素繊維スリーブとローター軸とを接続するラビリンスハブとを備え，
　前記ラビリンスハブに形成された鍔のように形成された円環部の外周端に付設された突出部に対し，
　前記炭素繊維スリーブの内側の一部を接合して構成されたターボ分子ドラッグポンプにおいて，
　前記炭素繊維スリーブのＡ側の端面Ｇは，前記炭素繊維スリーブと前記ラビリンスハブとの接触領域Ｄ，ＦよりＡ側に位置している，ターボ分子ドラッグポンプ。」
　また，本件特許の出願前に甲第１号証乃至甲第５号証から把握される以下の発明も，公然知られた又は公然実施されたものと認められる（以下，「公然知られた発明２」又は「公然実施発明２」という。）。
「円筒形のローターを形成している炭素繊維スリーブと，
　前記炭素繊維スリーブとローター軸とを接続するラビリンスハブとを備え，
　前記ラビリンスハブに形成された鍔のように形成された円環部の外周端に付設された突出部に対し，
　前記炭素繊維スリーブの内側の一部を接合して構成されたターボ分子ドラッグポンプにおいて，
　前記突出部は，前記鍔のように形成された円環部よりＦ側へ突出した断面Ｌ字状に形成されているとともに，
　前記炭素繊維スリーブのＡ側の端面Ｇは，前記鍔のように形成された円環部のＦ側の面ＩよりＦ側へ位置している，
　ターボ分子ドラッグポンプ。」
　そして，本件特許の出願前に甲第１号証乃至甲第５号証から把握される以下の発明も，公然知られた又は公然実施されたものと認められる（以下，「公然知られた発明３」又は「公然実施発明３」という。）。
「円筒形のローターを形成している炭素繊維スリーブと，
　前記炭素繊維スリーブとローター軸とを接続するラビリンスハブとを備え，
　前記ラビリンスハブに形成された鍔のように形成された円環部の外周端に付設された突出部に対し，
　前記炭素繊維スリーブの内側の一部を接合して構成されたターボ分子ドラッグポンプにおいて，
　前記突出部は，前記鍔のように形成された円環部よりＦ側へ突出した断面Ｌ字状に形成されているとともに，
　前記突出部に，非接触領域Ｃを設け，非接触領域Ｃの直径は接触領域Ｄ，Ｆの直径よりも小さくなっており，非接触領域Ｃは接触領域Ｄ，ＦよりもＡ側にあり，
　前記炭素繊維スリーブと前記ラビリンスハブとの接触領域Ｄ，Ｆは，前記鍔のように形成された円環部のＦ側の面ＩよりＦ側に位置しているとともに，前記炭素繊維スリーブのＡ側の端面Ｇは，前記接触領域Ｄ，ＦよりＡ側に位置している，
　ターボ分子ドラッグポンプ。」
４．当審の判断
（１）取消理由通知（決定の予告）に記載した取消理由について
ア．特許法第２９条第１項第１号，特許法第２９条第１項第２号，及び，特許法第２９条第２項について
（ア）本件特許発明１について
　本件特許発明１と公然知られた発明１（又は，公然実施発明１）とを対比する。
　後者の「円筒形のローターを形成している炭素繊維スリーブ」は前者の「円筒形に成形してなる円筒ロータ」に相当し，以下同様に，「ローター軸」は「回転軸」に，「鍔のように形成された円環部」は「鍔状円環部」に，「炭素繊維スリーブの内側」は「円筒ロータの側面」に，「接触領域」は「接触部」に，「ターボ分子ドラッグポンプ」は真空ポンプの一種であるから「真空ポンプ」に，それぞれ相当する。
　後者の「ラビリンスハブ」は，ターボ分子ドラッグホンプにおいて炭素繊維スリーブ（円筒ロータ）とローター軸（回転軸）を接続しており，炭素繊維スリーブと別の回転体であるから，前者の「第２のロータ」に相当する。
　後者の「鍔のように形成された円環部の外周端に付設された突出部」には，炭素繊維スリーブの内側の一部を接合するから，後者の「鍔のように形成された円環部の外周端に付設された突出部」は前者の「鍔状円環部に付設された接合部」に相当する。
　後者の「前記炭素繊維スリーブのＡ側の端面Ｇは，前記炭素繊維スリーブと前記ラビリンスハブとの接触領域Ｄ，ＦよりＡ側に位置している」ことと，前者の「前記円筒ロータの上端面は，前記円筒ロータと前記第２のロータとの接触部より上流側に突出されていること」とは，「前記円筒ロータの上流側の端面は，前記円筒ロータと前記第２のロータとの接触部より上流側に突出されていること」で共通する。
　そうすると，本件特許発明１と公然知られた発明１（又は，公然実施発明１）とは，
「円筒形に成形してなる円筒ロータと，
　前記円筒ロータと回転軸とを接続する第２のロータとを備え，
　前記第２のロータに形成された鍔状円環部に付設された接合部に対し，
　前記円筒ロータの側面の一部を接合して構成された真空ポンプにおいて，
　前記円筒ロータの上流側の端面は，前記円筒ロータと前記第２のロータとの接触部より上流側に突出されている，真空ポンプ」
の点で一致し，以下の点で相違していると認められる。
＜相違点１＞
　円筒ロータの上流側の端面が，本件特許発明１では，「上端面」であるのに対して，公然知られた発明１（又は，公然実施発明１）では，「Ａ側の端面Ｇ」である点。
＜相違点２＞
　本件特許発明１では，「前記接合部の外径は，前記円筒ロータの内径より大きく，前記円筒ロータの内径に圧入嵌合可能な大きさであ」るのに対して，公然知られた発明１（又は，公然実施発明１）では，そのような特定はなされていない点。
＜相違点１について＞
　本件特許発明１では，真空ポンプの上流側の端面を「上端面」としている。
　それに対して，公然知られた発明１（又は，公然実施発明１）では，ターボ分子ドラッグポンプをどのように置くかは，明示されていないが，ターボ分子ドラッグポンプを縦置きで使用すること，さらに縦置きにした場合には，「Ａ側」を上側とするのが技術常識といえる。
　そうすると，相違点１は，実質的な相違点とはいえない。
　また，仮に，上記相違点１が実質的な相違点だとしても，公然知られた発明１（又は，公然実施発明１）において，ターボ分子ドラッグポンプを縦置きとし，「Ａ側」を「上側」として設置して，「Ａ側の端面Ｇ」を「上端面」とすることは，当業者が通常行う事項である。
＜相違点２について＞
　公然知られた発明１（又は，公然実施発明１）の炭素繊維スリーブとラビリンスハブの接続に関しては，甲第１号証ないし甲第５号証には接続の態様について記載されておらず，甲第７号証（宣誓供述書）に，「位置１，３，５においては，ホルベックローター（炭素繊維スリーブ）がラビリンスハブに直接当接している。ローター２（取消理由通知［決定の予告］の参考図２における「Ｃ」部）には，間隙が残されている。位置４（取消理由通知［決定の予告］の参考図２における「Ｅ」部）におけるくぼみは，接着剤で満たされており，この接着剤は，ホルベックローター（炭素繊維スリーブ）とラビリンスハブの間の固定接続を確実に行う。」と記載されているのみなので，参考図２のＥ部のくぼみにおいて接着剤による固定接続がなされていると解すべきである。
　そうすると，圧入が固着手段として周知であっても公然知られた発明１（又は，公然実施発明１）において，炭素繊維スリーブ１３とラビリンスハブ７の接続に適用した場合には，ラビリンスハブ７と炭素繊維スリーブ１３との間のくぼみにて接着剤で接着することで簡便に組み立てられるという公然知られた発明１（又は，公然実施発明１）の効果を喪失することになるから，公然知られた発明１（又は，公然実施発明１）には，圧入という固着手段を適用することに関して阻害理由があるというべきであるから，相違点２は実質的な相違点であって，公然知られた発明１（又は，公然実施発明１）において，相違点２に係る本件特許発明１の構成とすることは，当業者にとって容易ではない。
＜本件特許発明１についてまとめ＞
　したがって，本件特許発明１は，公然知られた発明１（又は，公然実施発明１）ではなく，公然知られた発明１（又は，公然実施発明１）に基いて当業者が容易に発明をすることができたものではないから，特許法第２９条第１項第１号，特許法第２９条第１項第２号，及び，特許法第２９条第２項についての取消理由は，いずれも成り立たない。
（イ）本件特許発明２について
　本件特許発明２と公然知られた発明２（又は，公然実施発明２）とを対比する。
　上記（ア）の対比に加えて，後者の「断面Ｌ字状」は前者の「Ｌ字状」に相当する。
　後者の「前記突出部は，前記鍔のように形成された円環部よりＦ側へ突出した断面Ｌ字状に形成されているとともに，前記炭素繊維スリーブのＡ側の端面Ｇは，前記鍔のように形成された円環部のＦ側の面ＩよりＦ側へ位置している」ことと，前者の「前記接合部は，前記鍔状円環部より下流側へ突出したＬ字状に形成されているとともに，前記円筒ロータの上端面は，前記鍔状円環部の下面より下流側へ退避されていること」とは，「前記接合部は，前記鍔状円環部より下流側へ突出したＬ字状に形成されているとともに，前記円筒ロータの上流側の端面は，前記鍔状円環部の下流側の面より下流側へ退避されていること」において共通する。
　そうすると，本件特許発明２と公然知られた発明２（又は，公然実施発明２）とは，
「円筒形に成形してなる円筒ロータと，
　前記円筒ロータと回転軸とを接続する第２のロータとを備え，
　前記第２のロータに形成された鍔状円環部に付設された接合部に対し，
　前記円筒ロータの側面の一部を接合して構成された真空ポンプにおいて，
　前記接合部は，前記鍔状円環部より下流側へ突出したＬ字状に形成されているとともに，
　前記円筒ロータの上流側の端面は，前記鍔状円環部の下流側の面より下流側へ退避されている，
　真空ポンプ。」
の点で一致し，以下の点で相違していると認められる。
＜相違点１’＞
　前記接合部は，前記鍔状円環部より下流側へ突出したＬ字状に形成されているとともに，前記円筒ロータの「上流側の端面」は，前記鍔状円環部の「下流側の面」より下流側へ退避されている点に関して，「上流側の端面」，「下流側の面」がそれぞれ，本件特許発明２では，「上端面」，「下面」であるのに対して，公然知られた発明２（又は，公然実施発明２）では，「Ａ側の端面Ｇ」，「Ｆ側の面Ｉ」である点。
＜相違点２’＞
　本件特許発明２では，「前記接合部の外径は，前記円筒ロータの内径より大きく，前記円筒ロータの内径に圧入嵌合可能な大きさであ」るのに対して，公然知られた発明２（又は，公然実施発明２）では，そのような特定はなされていない点。
＜相違点１’について＞
　本件特許発明２では，真空ポンプの上流側の端面を「上端面」，下流側の面を「下面」としている。
　それに対して，公然知られた発明２（又は，公然実施発明２）では，ターボ分子ドラッグポンプをどのように置くかは，明示されていないが，ターボ分子ドラッグポンプを縦置きに使用すること，さらに縦置きにした場合には，「Ａ側の端面Ｇ」を「上端面」とし，「Ｆ側の面Ｉ」を「下面」とするのが技術常識といえる。
　そうすると，相違点１’は，実質的な相違点とはいえない。
　また，仮に，上記相違点１’が実質的な相違点だとしても，公然知られた発明２（又は，公然実施発明２）において，ターボ分子ドラッグポンプを縦置きとし，「Ａ側の端面Ｇ」を「上端面」とし，「Ｆ側の面Ｉ」を「下面」として設置することは，当業者が通常行う事項である。
＜相違点２’について＞
　相違点２’は相違点２と同様であるから，本件特許発明１の＜相違点２について＞について検討した理由と同様な理由により，相違点２’は実質的な相違点であって，公然知られた発明２（又は，公然実施発明２）において，相違点２’に係る本件特許発明１の構成とすることは，当業者にとって容易ではない。
＜本件特許発明２についてまとめ＞
　したがって，本件特許発明２は，公然知られた発明２（又は，公然実施発明２）ではなく，公然知られた発明２（又は，公然実施発明２）に基いて当業者が容易に発明をすることができたものではないから，特許法第２９条第１項第１号，特許法第２９条第１項第２号，及び，特許法第２９条第２項についての取消理由は，いずれも成り立たない。
（ウ）本件特許発明４について
　本件特許発明４と公然知られた発明３（又は，公然実施発明３）とを対比する。
　上記（ア），（イ）の対比に加えて，後者の「前記突出部に，非接触領域Ｃを設け，非接触領域Ｃの直径は接触領域Ｄ，Ｆの直径よりも小さくなっており，非接触領域Ｃは接触領域Ｄ，ＦよりもＡ側にあ」ることと，前者の「前記接合部の上部に小径部を設け」ることとは，「前記接合部の上流側の部分に小径部を設け」ることで共通する。
　後者の「前記炭素繊維スリーブと前記ラビリンスハブとの接触領域Ｄ，Ｆは，前記鍔のように形成された円環部のＦ側の面ＩよりＦ側に位置しているとともに，前記炭素繊維スリーブのＡ側の端面Ｇは，前記接触領域Ｄ，ＦよりＡ側に位置している」ことと，前者の「前記円筒ロータと前記第２のロータとの接触部は，前記鍔状円環部の下流側へ退避されているとともに，前記円筒ロータの上端面は，前記接触部より上流側に突出されていること」とは，「前記円筒ロータと前記第２ロータとの接触部は，前記鍔状円環部の下流側に退避されているとともに，前記円筒ロータの上流側の端面は，前記接触部より上流側に突出されている」ことにおいて共通する。
　そうすると，本件特許発明４と公然知られた発明３（又は，公然実施発明３）とは，
「円筒形に成形してなる円筒ロータと，
　前記円筒ロータと回転軸とを接続する第２のロータとを備え，
　前記第２のロータに形成された鍔状円環部に付設された接合部に対し，
　前記円筒ロータの側面の一部を接合して構成された真空ポンプにおいて，
　前記接合部は，前記鍔状円環部より下流側へ突出したＬ字状に形成されているとともに，
　前記接合部の上流側の部分に小径部を設け，
　前記円筒ロータと前記第２のロータとの接触部は，前記鍔状円環部の下流側へ退避されているとともに，前記円筒ロータの上流側の端面は，前記接触部より上流側に突出されている，
　ターボ分子ドラッグポンプ。」
の点で一致し，以下の点で相違していると認められる。
＜相違点１”＞
　前記接合部は，前記鍔状円環部より下流側へ突出したＬ字状に形成されているとともに，前記接合部の「上流側の部分」に小径部を設け，前記円筒ロータと前記第２のロータとの接触部は，前記鍔状円環部の下流側へ退避されているとともに，前記円筒ロータの「上流側の端面」は，前記接触部より上流側に突出されていることに関して，「上流側の部分」，「上流側の端面」がそれぞれ，本件特許発明４では，「上部」，「上端面」であるのに対して，公然知られた発明３（又は，公然実施発明３）では，「Ａ側」の部分，「Ａ側の端面Ｇ」である点。
＜相違点２”＞
　本件特許発明４では，「前記接合部の外径は，前記円筒ロータの内径より大きく，前記円筒ロータの内径に圧入嵌合可能な大きさであ」るのに対して，公然知られた発明３（又は，公然実施発明３）では，そのような特定はなされていない点。
＜相違点１”について＞
　本件特許発明４では，真空ポンプの上流側の部分を「上部」とし，上流側の端面を「上端部」としている。
　それに対して，公然知られた発明３（又は，公然実施発明３）では，ターボ分子ドラッグポンプをどのように置くかは，明示されていないが，ターボ分子ドラッグポンプを縦置きで使用すること，さらに，縦置きにした場合には，「Ａ側」の部分を「上部」，「Ａ側の端面Ｇ」を「上端面」とするのが技術常識といえる。
　そうすると，相違点１”は，実質的な相違点とはいえない。
　また，仮に，上記相違点１”が実質的な相違点だとしても，公然知られた発明３（又は，公然実施発明３）において，ターボ分子ドラッグポンプを縦置きとし，「Ａ側」の部分を「上部」，「Ａ側の端面Ｇ」を「上端面」として設置することは，当業者が通常行う事項である。
＜相違点２”について＞
　相違点２”は相違点２と同様であるから，本件特許発明１の＜相違点２について＞について検討した理由と同様な理由により，相違点２”は実質的な相違点であって，公然知られた発明３（又は，公然実施発明３）において，相違点２”に係る本件特許発明４の構成とすることは，当業者にとって容易ではない。
＜本件特許発明４についてまとめ＞
　したがって，本件特許発明４は，公然知られた発明３（又は，公然実施発明３）ではなく，公然知られた発明３（又は，公然実施発明３）に基いて当業者が容易に発明をすることができたものではないから，特許法第２９条第１項第１号，特許法第２９条第１項第２号，及び，特許法第２９条第２項についての取消理由は，いずれも成り立たない。
（エ）本件特許発明５について
　本件特許発明５は，本件特許発明１又は本件特許発明４において，さらに「上記円筒ロータの突出部分の長さは，該円筒ロータの肉厚の２倍以上である」と限定したものである。
　本件特許発明５と引用発明１とを対比すると，上記（ア）の一致点で一致すると共に，上記相違点１，２に加えて，以下の相違点３で相違すると認められる。
＜相違点３＞
　本件特許発明５では，「上記円筒ロータの突出部分の長さは，該円筒ロータの肉厚の２倍以上である」のに対して，公然知られた発明１（又は，公然実施発明１）では，そのような特定はなされていない点。
　そうすると，上記（ア）本件特許発明１について検討したのと同様な理由により，本件特許発明５は，公然知られた発明１又は３（又は，公然実施発明１又は３）に基いて当業者が容易に発明をすることができたものではないから，特許法第２９条第２項についての取消理由は，成り立たない。
（オ）本件特許発明６について
　本件特許発明６は，本件特許発明１ないし本件特許発明５において，さらに「上記第２のロータは，少なくともターボ分子ポンプ部あるいは渦流ポンプ部などのポンプ機構を構成すること」と限定したものである。
　本件特許発明６と公然知られた発明１（公然実施発明１）とを対比すると，上記相違点１，２に加えて，下記相違点で相違するものと認められる。
＜相違点４＞
　本件特許発明６では，「上記第２のロータは，少なくともターボ分子ポンプ部あるいは渦流ポンプ部などのポンプ機構を構成する」のに対して，公然知られた発明１（又は．公然実施発明１）では，そのような特定はなされていない点。
　そうすると，上記（ア）本件特許発明１について検討したのと同様な理由により，本件特許発明６は，公然知られた発明１ないし３（又は，公然実施発明１ないし３）に基いて当業者が容易に発明をすることができたものではないから，特許法第２９条第２項についての取消理由は，成り立たない。
イ．明確性要件違反について
　本件訂正により，請求項１〜４の「少なくともネジ溝ポンプ部あるいはゲーデポンプ部などを構成する円筒ロータ」を「円筒形に成形してなる円筒ロータ」と訂正し，請求項１，３，４の「上側」，「上方」を「上流側」と訂正し，請求項２，４の「下側」，「下方」を「下流側」と訂正したので，本件特許発明１ないし６の構成は明確となった。
　なお，本件特許発明１ないし４における「上」端面，本件特許発明４における「上」部，本件特許発明２における「下」面なる記載はあるが，前述したように「同図において，複合型真空ポンプ１０は，吸気口１１と排気口１２を有する筐体１３を備えている。該筐体１３内には，上部にターボ分子ポンプ部１４と，その下方に円筒形のネジ溝ポンプ部１５が設けられているとともに，該ターボ分子ポンプ部１４内と該ネジ溝ポンプ部１５内を通って前記吸気口１１と前記排気口１２を連通してなる排気経路２４が形成されている。
　前記排気通路２４は，より具体的には，前記ターボ分子ポンプ部１４の後述する相対しているロータ１７の外周面と前記筐体１３の内周面の間の隙間及び前記ネジ溝ポンプ部１５の後述する円筒ロータ２１の外周面とステータ２３の内周面の間の隙間を相互に連通させるとともに，前記ターボ分子ポンプ部１４側の隙間上端側を前記吸気口１１に連通させ，かつ，前記ネジ溝ポンプ部１５側の隙間下端側を前記排気口１２に連通して形成されている。」（特許明細書の段落【０００９】（特許掲載公報の第５頁３２〜４２行）），「そして，前記ネジ溝２２の下端は前記排気経路２４の最下流側において前記排気口１２に連通され，前記ターボ分子ポンプ部１４の前記ロータ１７と前記ネジ溝ポンプ部１５の前記円筒ロータ２１の接合部分は，前記排気経路２４の上流側に設置されている。」（特許明細書の段落【０００９】（特許掲載公報の第６頁２〜５行））等に記載されるように，上下関係の「上」，「下」がそれぞれ排気流路２４の「上流」，「下流」であることが明らかであるから，「上」端部，「上」部が排気流路２４の「上流側」の端部，「上流側」の部分であり，上下関係の「下」面が排気流路２４の「下流側」の面であると理解することができ，これらの記載も明確でないとまではいえない。
（２）取消理由通知において採用しなかった特許異議申立理由について
ア．特許法第２９条第２項について
（ア）本件特許発明３について
　甲第１号証〜甲第５号証のいずれにも「前記接合部が，前記鍔状円環部より上流側へ突出したＬ字状に形成されているとともに，前記円筒ロータの上端面は，前記鍔状円環部の上流側へ設置されている」ことは開示されていない。
　この点に関し，特許異議申立人は特許異議申立書において，「Ｌ字状の接合部を，円環部より上方に突出させるか，下方に突出させるか，これに対応して円筒ロータの上端面をどのように設置するか等ということは，当業者が適宜選択すべき設計事項であるから，本件特許発明３は，公然知られた発明１（又は，公然実施発明１）に基づいて当業者が容易にすることができた発明である。」旨主張しているが，本件特許発明３は，上記構成により，「接合部の突出部が撓んで負荷を緩和することが出来るため，他の部分に比べて材料強度の低い円筒の上端面に高負荷がかかるのを防ぐことが出来る」という格別の作用効果を奏するものであって，当業者が適宜選択すべき設計事項であるとはいえない。
　したがって，本件特許発明３は，甲第１号証ないし甲第５号証から把握される公然知られた発明１ないし３（又は，公然実施発明１ないし３）に基づいて当業者が容易に発明することができたものとはいえない。
第４．結び
 　以上のとおりであるから，取消理由通知（決定の予告）に記載した取消理由及び特許異議申立書に記載した異議申立ての理由によっては，本件請求項１ないし６に係る特許を取り消すことはできない。
　また，他に本件請求項１ないし６に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって，結論のとおり決定する。　
【異議決定日】
平成２９年７月１４日（２０１７．７．１４）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５４）【発明の名称】
真空ポンプ
　【技術分野】
　【０００１】
　本発明は真空ポンプに関するものであり、特に半導体製造や高エネルギー物理学等の工業真空装置において、低真空から高真空及び超高真空にわたる圧力範囲で利用可能な真空ポンプに関するものである。
　【背景技術】
　【０００２】
　本明細書では、ターボ分子ポンプ部とネジ溝ポンプ部とを備える複合型真空ポンプを例に挙げて説明する。従来、この種の複合型真空ポンプは、図１２に示す従来の一実施例の複合型真空ポンプの縦断面図のように、吸気口１０１と排気口１０２とを有する筐体１０３内に、該吸気口１０１側からターボ分子ポンプ部１０４と円筒形ネジ溝ポンプ部１０５を順次配設した構造となっている。尚、図１３は図１２のＢ部拡大図である。
　なお、図１２において、符号１０６は前記ターボ分子ポンプ部１０４及び円筒形ネジ溝ポンプ部１０５のロータ１０７の回転軸、１０８は該回転軸１０６を回転させるモータである。
　また、従来の複合型真空ポンプ１００では、前記円筒形ネジ溝ポンプ部１０５のロータ１０７はアルミ合金製であり、複合型真空ポンプの回転数の高速化は、円筒形ネジ溝ポンプ部１０５のロータ１０７の強度で制限される。
　そこで、前記複合型真空ポンプのネジ溝ポンプ部のロータに、繊維強化プラスチック材（Ｆｉｂｅｒ　Ｒｅｉｎｆｏｒｃｅｄ　Ｐｌａｓｔｉｃｓ、通称「ＦＲＰ材」という。）を円筒形に成形してなる円筒ロータ１０９を使用し、強度アップを図るようにした構造も知られている。
繊維強化プラスチック材としては、アラミド繊維、ボロン繊維、炭素繊維、ガラス繊維、ポリエチレン繊維などを用いたものがある。
　しかしながら、複合型真空ポンプにおけるターボ分子ポンプ部１０４のロータ１０７の下端部に、繊維強化プラスチック材（以下、「ＦＲＰ材」という）の円筒ロータ１０９を設置する場合、異種材料を組み合わせることになるため、熱膨張量や遠心力による変形量に差が生じる。そのため、接合部が緩む不具合や、逆に高い負荷がかかりＦＲＰ材製の円筒ロータ１０９が破損する虞があった。特に円筒の端面で繊維が途切れてしまうために、端面付近の強度は、他の部分に比べて低く、この部分に負荷がかかると容易に破損する虞があった。
　また、一般に、接合部の形状は、円筒ロータ１０９の傾きを防止して同軸度を確保する観点、及び軽量化を図る観点から、ロータ１０７の接合部１１０は、円板部分１１０ａと接合部分１１０ｂからなる断面Ｌ字状となっている。この構造の場合、接合部分１１０ｂの下部側が撓み、負荷を緩和する作用があるが、ＦＲＰの構造上、最も強度が弱い端面付近はほとんど撓まないため、負荷を緩和する作用がほとんどない。
　そこで、従来から、その対策として、例えば特許文献１及び特許文献２で知られるような、様々な手段が提案されている。
　すなわち、特許文献１の複合型真空ポンプでは、ターボ分子ポンプ部とネジ溝ポンプ部との熱膨張の差や遠心力による変形量の差を緩和するため、ＦＲＰ材の支板を介して前記ターボ分子ポンプ部のロータと前記ネジ溝ポンプ部の円筒ロータを接合している。
　特許文献２の複合型真空ポンプでは、ターボ分子ポンプ部とネジ溝ポンプ部との熱膨張の差や遠心力による変形量の差を緩和するため、ＦＲＰ材における繊維の巻き付け角、及び、樹脂含有量等の成形条件や形状を工夫している。
　【先行技術文献】
　【特許文献】
　【０００３】
　【特許文献１】特許第３０９８１３９号公報。
　【特許文献２】特開２００４−２７８５１２号公報。
　【発明の概要】
　【発明が解決しようとする課題】
　【０００４】
　しかしながら、前記ターボ分子ポンプ部のロータと前記ネジ溝ポンプ部の前円筒ロータをＦＲＰ材の支板を介して接合するようにした特許文献１に記載される構造では、部品点数及び組立工数が増えるためにコストアップになるという問題点があった。また、精度良く組み立てるのが難しく、固定部との接触を避ける為にクリアランスを従来より広げることが必要となり、その結果、排気性能が低下するという問題点があった。
　また、上述した特許文献２に記載される構造、すなわちＦＲＰ材における繊維の巻き付け角、及び、樹脂含有量等の成形条件や形状を工夫している構造では、ＦＲＰ材の形状が複雑となるため、生産性が悪く、コストアップになるという問題点があった。
　そこで、高負荷に耐え得る強度を有するとともに低コスト化が可能な、繊維強化プラスチック材を成形してなる円筒ロータを使用した複合型真空ポンプを提供するために解決すべき技術的課題が生じてくるのであり、本発明はこの課題を解決することを目的とする。
　【課題を解決するための手段】
　【０００５】
　本発明は上記目的を達成するために提案されたものであり、請求項１記載の発明では、
円筒形に成形してなる
前記接合部の外径は、前記円筒ロータの内径より大きく、前記円筒ロータの内径に圧入嵌合可能な大きさであり、
流
　請求項２記載の発明では、
円筒形に成形してなる
前記接合部の外径は、前記円筒ロータの内径より大きく、前記円筒ロータの内径に圧入嵌合可能な大きさであり、
流側
流
　請求項３記載の発明では、
円筒形に成形してなる
流側
流
　請求項４記載の発明では、
円筒形に成形してなる
前記接合部の外径は、前記円筒ロータの内径より大きく、前記円筒ロータの内径に圧入嵌合可能な大きさであり、
流側
流
流
　請求項５記載の発明では、上記円筒ロータの突出部分の長さは、該円筒ロータの肉厚の２倍以上であることを特徴とする請求項１又は４記載の真空ポンプを提供する。
　請求項６記載の発明では、上記第２のロータは、少なくともターボ分子ポンプ部あるいは渦流ポンプ部などのポンプ機構を構成することを特徴とする請求項１，２，３，４又は５記載の真空ポンプを提供する。
　【発明の効果】
　【０００６】
　請求項１記載の発明では、円筒ロータの上端面を、円筒ロータと第２のロータとの接触部より上側に突出させることにより、他の部分に比べて材料強度の低い円筒の上端面に高負荷がかかるのを防ぐことが出来る。
　請求項２記載の発明では、接合部を鍔状円環部より下方へ突出したＬ字状に形成するとともに、円筒ロータの上端面を前記鍔状円環部の下側へ退避させることにより、接合部の突出部が撓んで負荷を緩和することが出来るため、他の部分に比べて材料強度の低い円筒の上端面に高負荷がかかるのを防ぐことが出来る。
　請求項３記載の発明では、接合部を鍔状円環部より上方へ突出したＬ字状に形成するとともに、円筒ロータの上端面を前記鍔状円環部の上側に設置することにより、接合部の突出部が撓んで負荷を緩和することが出来るため、他の部分に比べて材料強度の低い円筒の上端面に高負荷がかかるのを防ぐことが出来る。
　請求項４記載の発明では、前記接合部を鍔状円環部より下方へ突出したＬ字状に形成するとともに、接合部の上部に小径部を設けて、円筒ロータと第２のロータとの接触部を鍔状円環部の下側へ退避させることにより、接合部の突出部が撓んで負荷を緩和することが出来る。さらに、円筒ロータの上端面を、接触部より上側に突出させることにより、他の部分に比べて材料強度の低い円筒の上端面に高負荷がかかるのを防ぐことが出来る。
　請求項５記載の発明では、円筒ロータの突出部分の長さを、円筒ロータの肉厚の２倍以上とすることにより、他の部分に比べて材料強度の低い円筒の上端面に高負荷がかかるのを防ぐことが充分に出来る。
　請求項６記載の発明では、第２のロータにターボ分子ポンプ部あるいは渦流ポンプ部などのポンプ機構を構成することにより、広い圧力範囲で動作可能な真空ポンプを提供することが出来る。
　【図面の簡単な説明】
　【０００７】
　図１は本発明の一実施例として示す複合型真空ポンプの縦断面図である。
　図２は同上真空ポンプにおけるターボ分子ポンプ部のロータとネジ溝ポンプ部の円筒ロータとの接合構造を示す縦断面図である。
　図３は図２のＡ部拡大図である。
　図４は同上真空ポンプにおけるターボ分子ポンプ部のロータとネジ溝ポンプ部の円筒ロータの接合方法を説明する図である。
　図５は図３に示した接合構造の一変形例を示す図である。
　図６は同上真空ポンプにおけるターボ分子ポンプ部のロータとネジ溝ポンプ部の円筒ロータの別の接合構造を示す縦断面図である。
　図７は図６に示した接合構造の一変形例を示す図である。
　図８は同上真空ポンプにおけるターボ分子ポンプ部のロータとネジ溝ポンプ部の円筒ロータのさらに別の接合構造を示す縦断面図である。
　図９は同上真空ポンプにおけるターボ分子ポンプ部のロータとネジ溝ポンプ部の円筒ロータのさらに別の接合構造を示す縦断面図である。
　図１０は同上真空ポンプにおけるターボ分子ポンプ部のロータとネジ溝ポンプ部の円筒ロータのさらに別の接合構造を示す縦断面図である。
　図１１は本発明の他の実施例として示す真空ポンプの縦断面図である。
　図１２は従来の一実施例として示す複合型真空ポンプの縦断面図である。
　図１３は図１２のＢ部拡大図である。
　【発明を実施するための形態】
　【０００８】
　本発明は、高負荷に耐え得る強度を有するとともに低コスト化が可能な、繊維強化プラスチック材を成形してなる円筒ロータを使用した複合型真空ポンプを提供するという目的を達成するために、少なくともネジ溝ポンプ部あるいはゲーデポンプ部などを有する円筒ロータと、ターボ分子ポンプ部あるいは過流ポンプ部などを有するロータとを備え、前記ロータに形成された鍔状円環部に付設された接合部に対して前記円筒ロータの側面の一部が接合して構成された真空ポンプにおいて、前記接合部は、前記鍔状円環部と一体的に、且つＬ字状に形成されていることを特徴とする真空ポンプを提供することによって実現した。
　【実施例】
　【０００９】
　以下、本発明の複合型真空ポンプについて、好適な実施例を添付図面を参照して説明する。図１及び図２は本発明に係る複合型真空ポンプを示すもので、図１はその縦断面図、図２は、そのポンプのターボ分子ポンプ部のロータとネジ溝ポンプ部の円筒ロータとの接合構造を示す縦断面図、図３は図２のＡ部拡大断面図、図４は、図２に示したターボ分子ポンプ部のロータとネジ溝ポンプ部の円筒ロータとの接合部分を分解して示す縦断面図である。
　同図において、複合型真空ポンプ１０は、吸気口１１と排気口１２を有する筐体１３を備えている。該筐体１３内には、上部にターボ分子ポンプ部１４と、その下方に円筒形のネジ溝ポンプ部１５が設けられているとともに、該ターボ分子ポンプ部１４内と該ネジ溝ポンプ部１５内を通って前記吸気口１１と前記排気口１２を連通してなる排気経路２４が形成されている。
　前記排気通路２４は、より具体的には、前記ターボ分子ポンプ部１４の後述する相対しているロータ１７の外周面と前記筐体１３の内周面の間の隙間及び前記ネジ溝ポンプ部１５の後述する円筒ロータ２１の外周面とステータ２３の内周面の間の隙間を相互に連通させるとともに、前記ターボ分子ポンプ部１４側の隙間上端側を前記吸気口１１に連通させ、かつ、前記ネジ溝ポンプ部１５側の隙間下端側を前記排気口１２に連通して形成されている。
　前記ターボ分子ポンプ部１４は、回転軸１６に固設されたアルミ合金製のロータ１７の外周面に突設された多数の動翼１８，１８…と、前記筐体１３の内周面に突設された多数の静翼１９，１９…との組み合わせからなる。
　前記ネジ溝ポンプ部１５は、前記ターボ分子ポンプ部１４におけるロータ１７の下端部の外周面に断面Ｌ字状に突設された鍔状円環部２０の外周、すなわち接合部２０ａに圧入固着して取り付けられた円筒ロータ２１と、該円筒ロータ２１の外周と小隙間を有して対向し、該小隙間と共に前記排気経路２４の一部を形成してなるネジ溝２２が刻設されたステータ２３とからなる。
　前記ステータ２３の前記ネジ溝２２は、下方に行くに従って深さが浅くなるようにして形成されている。また、該ステータ２３は、前記筐体１３の内面に固定されている。そして、前記ネジ溝２２の下端は前記排気経路２４の最下流側において前記排気口１２に連通され、前記ターボ分子ポンプ部１４の前記ロータ１７と前記ネジ溝ポンプ部１５の前記円筒ロータ２１の接合部分は、前記排気経路２４の上流側に設置されている。
　また、前記回転軸１６の中間部には、モータ筐体２５内に設けたインダクションモータ等の高周波モータ２６のロータ２６ａが固定されている。該回転軸１６は、磁気軸受で支承され、上部及び下部に保護軸受２７，２７が設けられている。
　前記円筒ロータ２１は、円周方向と軸方向の両方に力が分担するように繊維を配向させて、複合層として円筒形に形成してなる。
　前記接合部２０ａは、前記円筒ロータ２１の内径より若干大きく、該円筒ロータ２１内に圧入嵌合可能な外径を有する接触部２８と、接触部２８の上方に位置し、かつ、前記円筒ロータ２１の内径より小さな外径を有する小径部２９を設けてなる。
　そして、前記ロータ１７は、図４に示すように、前記円筒ロータ２１の上端側に前記接合部２０ａを対応させ、かつ、図１及び図２に示すように該接合部２０ａを該円筒ロータ２１内に挿入させて該接合部２０ａの該接触部２８を円筒ロータ２１の内面に圧接させて該円筒ロータ２１に取り付けられる。また、必要に応じて、該接触部２８と円筒ロータ２１との間を接着剤で固定する。
　すなわち、本実施例の構造では、図３に詳細に示すように、接合部２０ａは、該接合部２０ａの上面と円筒ロータ２１の上端面がほぼ一致する位置まで挿入すると、前記接触部２８の外周面が前記円筒ロータ２１の内周面と圧接し、また前記小径部２９の外周面と前記円筒ロータ２１の内周面の間に隙間Ｓ３が設けられる。さらに、本実施例の構造では、前記円筒ロータ２１の上端面から前記接触部２８までの距離、すなわち前記小径部２９の距離Ｓ１は前記円筒ロータ２１の肉厚ｔの２倍以上、また前記ターボ分子ポンプ部１４の前記ロータ１７の底面から前記接触部２８までの距離Ｓ２を十分得るようにして形成されている。
　次に、上記実施例の複合型真空ポンプの動作を説明する。前記高周波モータ２６の駆動により前記吸気口１１から流入する気体は、分子流あるいはそれに近い中間流状態にあり、その気体分子は前記ターボ分子ポンプ部１４の回転する前記動翼１８，１８…と前記筐体１３から突設した前記静翼１９，１９…との作用より、下方向に運動量が与えられ、該動翼１８，１８…の拘束回転と共に圧縮移動する。
　また、前記圧縮移動された気体は、前記ネジ溝ポンプ部１５において、回転する前記円筒ロータ２１と、小間隙を有して形成された前記ステータ２３に沿って流れるに従って深さが浅くなる前記ネジ溝２２に導かれるようにして、粘性流状態まで圧縮されながら前記排気通路２４内を流れて前記排気口１２から排出される。
　そして、前記円筒ロータ２１と前記ロータ１７とは、該円筒ロータ２１の端面から十分な距離Ｓ１だけ離れた位置で接触しているので、該接触部２８と該円筒ロータ２１の間に高負荷がかかったとき、該接触部２８が該小径部２９に対して撓み、負荷を吸収して該円筒ロータ２１を保護することができる。これにより簡単な構造であるにもかかわらず、高負荷に耐え得る強度を備え、回転の高速化を可能にする。また、前記接触部２８と前記円筒ロータ２１とが、該ターボ分子ポンプ部１４のロータ１７の底面より下側で接触しているので、該接触部２８と該円筒ロータ２１との間に高負荷がかかったとき、該接触部２８の撓みがより一層得られることになる。
　なお、上記複合型真空ポンプ１０の構造において、例えば図５に示すように、前記接触部２８の下端部に、前記円筒ロータ２１の内径より小さな外径で傾斜するガイド傾斜面３０を設けてなる構成にすると、前記ロータ１７の接合部２０ａを該円筒ロータ２１の上端部に挿入する際、該ガイド傾斜面３０をガイドとしてスムーズに挿入させることができ、組立作業を容易にして低コスト化できる。また、組立時、接合部２０ａを冷やし、予め外径寸法を縮小させた状態にして挿入、すなわち冷やしバメして挿入するとさらに組立作業を容易にすることができる。
　さらに、上記複合型真空ポンプ１０の構造において、例えば図６に示すように、前記ターボ分子ポンプ部１４の前記ロータ１７側、すなわち前記小径部２９の上端部に、前記円筒ロータ２１の挿入量を規制するストッパー３１を設けてなる構成にし、該円筒ロータ２１の上端部に、該ロータ１７の接合部２０ａを挿入する際、前記ストッパー３１に前記円筒ロータ２１の上部端面が当接するまで挿入させるようにすると、該ロータ１７と円筒ロータ２１を簡単に所定の位置に取り付けることができ、組立精度を安定化させることができる。
　さらに、図６に示した変形例において、例えば図７に示すように、図５で示した構造と同様にして前記接触部２８の下端部に、前記円筒ロータ２１の内径より小さな外径で傾斜するガイド傾斜面３０を設けてなる構成にすると、前記ロータ１７の接合部２０ａを該円筒ロータ２１の上端部に挿入する際、該ガイド傾斜面３０をガイドとしてスムーズに挿入させることができ、組立作業を容易にして低コスト化できる。
　また、上記複合型真空ポンプ１０の構造において、例えば図８に示すように、前記円筒ロータ２１の上端部を前記接合部２０ａの上端面より上方に大きく突き出した構造、あるいは図９に示すように、前記円筒ロータ２１の上端部を前記接合部２０ａの下面面より下方に大きく退避させた構造にしてもよい。さらに、図８及び図９の構造において、図５及び図７に示した接合部２０ａの構造と同様に、ガイド傾斜面を設けると、前記ロータ１７の接合部２０ａを該円筒ロータ２１の上端部に挿入する際、該ガイド傾斜面３０をガイドとしてスムーズに挿入させることができる。尚、図９の構造は、円筒ロータの上端を鍔上円環部の下方に退避させることで、円筒ロータ上端に掛かる応力を低減させることが出来る。このとき、円筒ロータの上端が鍔状円環部より上側に無くても、Ｌ字の部分が撓むことによって円筒ロータ上端に掛かる応力を低減させることが出来る。このように、円筒ロータ上端に掛かる応力を低減させる方法ということで発明の単一性は存在する。
　尚、図８に示すように、円筒ロータ２１の上端部を接合部２０ａの上端面より上方に大きく突き出した構造、あるいは、図９に示すように、円筒ロータ２１の上端部を接合部２０ａの下面より下方に大きく退避させた構造においては、小径部２９が無くても円筒ロータ２１の上端部に作用する応力を小さくすることができる。または、図１０に示すように、接合部を鍔状円環部より上方へ突出したＬ字状に形成し、円筒ロータの上端面を前記鍔状円環部の上側へ退避させても良い。
　以上、本発明の具体的な実施例を説明したが、本発明の真空ポンプは本発明の精神を逸脱しない限り種々の改変を為すことができ、そして、本発明が上述した変形例以外の改変されたものに及ぶことは当然である。
　【産業上の利用可能性】
　【００１０】
　以上説明したように、本発明は複合型真空ポンプ以外の、ＦＲＰ材で円筒形に成形してなる円筒ロータを使用する装置にも応用できる。例えば、図１１に示す本発明の他の実施例の真空ポンプの縦断面図のように、ネジ溝ポンプ部のみを備える真空ポンプにも応用することができる。この場合、回転軸１６に固設された鍔状円環部４０の外周、すなわち接合部４０ａに、円筒ロータ４１が圧入固着して取付けられる。尚、動作は、図１のネジ溝ポンプ部１５の動作と同じである。
　また、本発明は、ＦＲＰ材を使用した円筒ロータを例にして説明したが、金属製の円筒ロータであっても同様の効果が期待できる。すなわち、円筒ロータの上部端面に掛かる応力が低減され、端面付近についたキズなどから亀裂が進展するのを防止できるため、金属製の円筒ロータであっても、ロータの強度を高くすることが出来る。
　【符号の説明】
　【００１１】
１０　　　複合型真空ポンプ
１１　　　吸気口
１２　　　排気口
１３　　　筐体
１４　　　ターボ分子ポンプ部
１５　　　ネジ溝ポンプ部
１６　　　回転軸
１７　　　ロータ
１８　　　動翼
１９　　　静翼
２０、４０　鍔状円環部
２０ａ　　接合部
２１、４１　円筒ロータ
２２　　　ネジ溝
２３　　　ステータ
２４　　　排気通路
２５　　　モータ筐体
２６　　　高周波モータ
２６ａ　　ロータ
２７　　　保護軸受
２８　　　接触部
２９　　　小径部
３０　　　ガイド傾斜面
３１　　　ストッパー
３８　　　接触部
３９　　　小径部
４０ａ　　接合部
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】
　
円筒形に成形してなる
前記円筒ロータと回転軸とを接続する第２のロータとを備え、
前記第２のロータに形成された鍔状円環部に付設された接合部に対し、
前記円筒ロータの側面の一部を接合して構成された真空ポンプにおいて、
前記接合部の外径は、前記円筒ロータの内径より大きく、前記円筒ロータの内径に圧入嵌合可能な大きさであり、
前記円筒ロータの上端面は、前記円筒ロータと前記第２のロータとの接触部より上
流
　【請求項２】
　
円筒形に成形してなる
前記円筒ロータと回転軸とを接続する第２のロータとを備え、
前記第２のロータに形成された鍔状円環部に付設された接合部に対し、
前記円筒ロータの側面の一部を接合して構成された真空ポンプにおいて、
前記接合部の外径は、前記円筒ロータの内径より大きく、前記円筒ロータの内径に圧入嵌合可能な大きさであり、
前記接合部は、前記鍔状円環部より下
流側
流
　【請求項３】
　
円筒形に成形してなる
前記円筒ロータと回転軸とを接続する第２のロータとを備え、
前記第２のロータに形成された鍔状円環部に付設された接合部に対し、
前記円筒ロータの側面の一部を接合して構成された真空ポンプにおいて、
前記接合部は、前記鍔状円環部より上
流側
流
　【請求項４】
　
円筒形に成形してなる
前記円筒ロータと回転軸とを接続する第２のロータとを備え、
前記第２のロータに形成された鍔状円環部に付設された接合部に対し、
前記円筒ロータの側面の一部を接合して構成された真空ポンプにおいて、
前記接合部の外径は、前記円筒ロータの内径より大きく、前記円筒ロータの内径に圧入嵌合可能な大きさであり、
前記接合部は、前記鍔状円環部より下
流側
前記円筒ロータと前記第２のロータとの接触部は、前記鍔状円環部の下
流
流
　【請求項５】
　上記円筒ロータの突出部分の長さは、該円筒ロータの肉厚の２倍以上であることを特徴とする請求項１又は４記載の真空ポンプ。
　【請求項６】
　上記第２のロータは、少なくともターボ分子ポンプ部あるいは渦流ポンプ部などのポンプ機構を構成することを特徴とする請求項１，２，３，４又は５記載の真空ポンプ。