(57)【要約】      （修正有）【課題】ウェーハーの清潔効果が向上され、その接触面積がスポンジの硬さによって影響されなくて、清潔効果が低下されない、組み立て式スポンジブラシを提供する。【解決手段】組み立て式スポンジブラシ１００は、不浸塑性物質であるキャリア１と、発泡材で、当該キャリアの各溝に嵌込む複数のスポンジ条２と、当該キャリアの両端にある台座１１に結合される二つのリング状固定部品３と、複数の接触面スポンジと複数のノズル４２を、それぞれ、混合的に当該スポンジ条穴に設置する清潔ユニット４とから構成される。これにより、当該接触面清潔スポンジ４１（指状式か角柱式）がウェーハーに接触する時、初めに、面で接触するため、大きい接触面積と均一な作用応力が得られ、ＰＶＡ接触面清潔スポンジだけが、洗浄する時、同時に出水するが、その他のスポンジでない部分が、出水しないため、出水位置が、当該接触面清潔スポンジに集中できる。【選択図】図５
0003233914.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
円管状である不浸塑性物質で、その両端面に、それぞれ、台座が突設され、外壁に、軸方向に沿って、複数条の等間隔のT形フランジが設けられ、また、当該T形フランジの周辺に、それぞれ、溝が形成されるキャリアと、
発泡材からなり、それぞれ、当該キャリアの各溝に嵌込み、各スポンジ条上に、複数の穴が形成され、当該らの穴において、中心に、出水ランナーが形成され、また、当該らの穴が、互いに、穴のアパーチャの距離で、間隔する複数のスポンジ条と、
それぞれ、固定抜き穴があり、両端の台座に対応して、当該キャリアに結合され、各溝に位置するスポンジ条を封じ込める二つのリング状固定部品と、
それぞれ、当該スポンジ条の穴に設けられる複数の接触面清潔スポンジと、複数のノズルとがあり、当該接触面清潔スポンジと、当該ノズルとが、ユーザーのニーズに応じて、混合的に配置され、また、当該スポンジ条において、順に排列される或いは任意に排列される当該接触面清潔スポンジと当該ノズルとが、取り換えることができ、混合式の清潔方式を提供でき、当該接触面清潔スポンジがウェーハーに接触する時、初めに、面で接触するため、大きい接触面積と均一な作用応力が得られ、そして、当該接触面清潔スポンジだけで、洗浄しながら、出水するから、出水位置が、当該接触面清潔スポンジに集中して、ウェーハーの清潔効果が向上される、清潔ユニットと、が有する、
ことを特徴とする、組み立て式スポンジブラシ。
【請求項２】
当該スポンジ条の穴の様態は、断面が、I型の円形や楕円形、多辺形のいずれかの一つ或いはその組み合わせであるリング状体である、ことを特徴とする、請求項１に記載される組み立て式スポンジブラシ。
【請求項３】
当該台座の外周側には、外ネジがあり、当該リング状固定部品には、当該固定抜き穴に向かう内ネジがあり、当該内ネジと当該外ネジとが噛み合う、ことを特徴とする、請求項１に記載される組み立て式スポンジブラシ。
【請求項４】
当該接触面清潔スポンジは、指状式清潔スポンジである、ことを特徴とする、請求項１に記載される組み立て式スポンジブラシ。
【請求項５】
当該接触面清潔スポンジは、角柱式清潔スポンジである、ことを特徴とする、請求項１に記載される組み立て式スポンジブラシ。
【請求項６】
当該接触面清潔スポンジは、指状式や角柱式清潔スポンジである、ことを特徴とする、請求項１に記載される組み立て式スポンジブラシ。
【請求項７】
当該らの穴の間隔距離は、等間隔や不等間隔のいずれかの一つ或いはその組み合わせである、ことを特徴とする、請求項１に記載される組み立て式スポンジブラシ。
【請求項８】
当該接触面清潔スポンジは、ハチの巣式や等距離式、螺旋式或いは双方向螺旋式の排列方式で設置される、ことを特徴とする、請求項１に記載される組み立て式スポンジブラシ。
【請求項９】
当該接触面清潔スポンジは、ポリビニルアルコール（Polyvinyl alcohol, PVA）スポンジ発泡材である、ことを特徴とする、請求項１に記載される組み立て式スポンジブラシ。
【請求項１０】
当該スポンジ条は、I形端面であり、幅広いT形係止端と、当該T形係止端より狭いT形係止端とがあり、当該幅広いT形係止端により、安定的に当該キャリアに固定され、当該T形フランジにおいて、その周辺に、当該スポンジ条のT形係止端に対応した深さと厚さを有する溝が、設けられ、当該T形係止端が、当該溝に嵌合し、また、当該溝の上方に形成されたT形フランジ突部が、同時に、当該スポンジ条の凹部に抵当する、ことを特徴とする、請求項１に記載される組み立て式スポンジブラシ。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、組み立て式スポンジブラシに関し、特に、指状式或いは角柱式の接触面清潔スポンジに関し、更に、特に、ウェーハーに接触する時、初めに、大きい接触面積且つ均一的な作用応力の面で接触し、PVA接触面清潔スポンジだけが、洗浄する時、同時に出水するが、その他のスポンジでない部分が、出水しないため、出水位置が、当該接触面清潔スポンジに集中でき、ウェーハーの清潔効果が向上される。
【背景技術】
【０００２】
従来のスポンジブラシは、ウェーハーに接触する部分が円柱式であり、図９のようである。ウェーハーに接触する時、初めに、「線」で接触するが、変形量の増加に伴って、接触面積が大きくなり、これにより、清潔効果が実現される。しかし、この従来構造のスポンジブラシは、スポンジの硬度が異なる場合、その変形量に影響を与えて、その清潔効果が悪くなる欠点がある。その他め、一般の従来のものは、実用的ではない。
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００３】
本考案の主な目的は、従来技術の上記らの問題を解消するため、組み立て式スポンジブラシを提供し、有効的にウェーハーに接触する部分が、PVAスポンジ発泡材で、その他の部分が、ともに、不浸材料からなるため、この組み立て式構造は、より柔軟にな顧客サービスを提供できる。
【０００４】
本考案の他の目的は、60%以上のスポンジ体積を低減でき、且つ、清浄度を向上できる組み立て式スポンジブラシを提供する。
【０００５】
本考案の他の目的は、例えば、ハチの巣式排列や、等距離排列、螺旋式排列或いは、双方向螺旋式排列等の、お客様のニーズを満足でき、任意に、ウェーハーに接触するスポンジを排列できる組み立て式スポンジブラシを、提供する。
【０００６】
本考案の他の目的は、PVAスポンジ部分だけが、洗浄する時、同時に出水するが、その他のスポンジでない部分が、出水しないため、出水位置が、スポンジ部分に集中でき、ウェーハーの清潔に有利である組み立て式スポンジブラシを提供する。
【０００７】
本考案の他の目的は、ノズルとスポンジとを混合排列して、混合式な清潔方式で、スポンジの表面に汚れが付着することを防止でき、清潔効果が向上される組み立て式スポンジブラシを提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記らの目的を実現するために、本考案は、組み立て式スポンジブラシであり、キャリアと、円管状で、その両端面に、それぞれ、台座が突設され、外壁において、軸方向に沿って、複数条の等間隔のT形フランジが設けられ、また、当該T形フランジの周辺に、それぞれ、溝が形成される不浸塑性物質と、発泡材からなり、それぞれ、当該キャリアの各溝に嵌込み、各スポンジ条上に、複数の穴が形成され、当該らの穴において、中心に、出水ランナーが形成され、また、当該らの穴が、互いに、穴のアパーチャの距離で、間隔する複数のスポンジ条と、それぞれ、固定抜き穴があり、両端の台座に対応して、当該キャリアに結合されて、各溝に位置するスポンジ条を封じ込める二つのリング状固定部品と、それぞれ、当該スポンジ条の穴に設けられる複数の接触面清潔スポンジと、複数のノズルがあり、当該接触面清潔スポンジと、当該ノズルとが、ユーザーのニーズに応じて、混合的に配置され、また、当該スポンジ条において、順に排列される或いは任意に排列される当該接触面清潔スポンジと当該ノズルとが、取り換えることができ、混合式の清潔方式を提供でき、当該接触面清潔スポンジがウェーハーに接触する時、初めに、面で接触するため、大きい接触面積と均一な作用応力が得られ、そして、当該接触面清潔スポンジだけで、洗浄しながら、出水するから、出水位置が、当該接触面清潔スポンジに集中して、ウェーハーの清潔効果が向上される、清潔ユニットと、が有する。
【０００９】
本考案の実施例によれば、当該スポンジ条の穴的孔洞様態概呈一断面為I型の円形、楕円形、多辺形任一者或其組み合わせのリング状体。
【００１０】
本考案の実施例によれば、当該台座の外周側には、外ネジがあり、当該リング状固定部品には、当該固定抜き穴に向かう内ネジがあり、当該内ネジと当該外ネジとが噛み合う。
【００１１】
本考案の実施例によれば、当該接触面スポンジは、指状式スポンジである。
【００１２】
本考案の実施例によれば、当該接触面スポンジは、角柱式スポンジである。
【００１３】
本考案の実施例によれば、当該接触面スポンジは、指状式や角柱式スポンジである。
【００１４】
本考案の実施例によれば、当該らの穴の間隔距離は、等間隔や不等間隔のいずれかの一つ或いはその組み合わせである。
【００１５】
本考案の実施例によれば、当該接触面清潔スポンジは、ハチの巣式や等距離式、螺旋式或いは双方向螺旋式の排列方式で設置される。
【００１６】
本考案の実施例によれば、当該接触面清潔スポンジは、ポリビニルアルコール（Polyvinyl alcohol, PVA）スポンジ発泡材である。
【００１７】
本考案の実施例によれば、当該スポンジ条は、I形端面であり、幅広いT形係止端と、当該T形係止端より狭いT形係止端とがあり、当該幅広いT形係止端により、安定的に当該キャリアに固定され、当該T形フランジにおいて、その周辺に、当該スポンジ条のT形係止端に対応した深さと厚さを有する溝が、設けられ、当該T形係止端が、当該溝に嵌合し、また、当該溝の上方に形成されたT形フランジ突部が、同時に、当該スポンジ条の凹部に抵当する。
【００１８】
本考案に使用される具体的な実施形態は、以下の実施形態および図面によってさらに説明される。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本考案のキャリア構造概念図である。
【図２】本考案のスポンジ条構造概念図である。
【図３】本考案のスポンジ条が収納されたキャリアとリング状固定部品の分解概念図である。
【図４】本考案のスポンジ条が収納されたキャリアとリング状固定部品の組立概念図である。
【図５】本考案に係る組み立て式スポンジブラシの一部立体概念図である。
【図６】本考案のスポンジブラシのノズルとスポンジの配置展開概念図である。
【図７】本考案の指状式や角柱式の接触面清潔スポンジ構造概念図である。
【図８】本考案の出水が接触面清潔スポンジ位置に集中する概念図である。
【図９】従来の円柱式スポンジでウェーハーに接触する時のスポンジブラシ概念図である。
【考案を実施するための形態】
【００２０】
図１〜図８を参照しながら、それぞれは、本考案のキャリア構造概念図や本考案のスポンジ条構造概念図、本考案のスポンジ条が収納されたキャリアとリング状固定部品の分解概念図、本考案のスポンジ条が収納されたキャリアとリング状固定部品の組立概念図、本考案に係る組み立て式スポンジブラシの一部立体概念図、本考案のスポンジブラのシノズルとスポンジの配置展開概念図、本考案の指状式や角柱式の接触面清潔スポンジ構造概念図及び、本考案の出水が接触面清潔スポンジ位置に集中する概念図である。図のように本考案に係る組み立て式スポンジブラシ１００は、キャリア１と複数のスポンジ条２、二つのリング状固定部品３及び、清潔ユニット４から構成される。
【００２１】
上記のキャリア１は、不浸塑性物質であり、円管状で、その両端面に、それぞれ、台座１１、１２が突設され、当該台座１１、１２の外周側に、外ネジ１１１、１２１があり、当該キャリア１の外壁において、軸方向に沿って、複数条の等間隔のT形フランジ１３が設けられ、また、当該T形フランジ１３の周辺に、それぞれ、溝１４が形成され、図１のようである。
【００２２】
当該複数のスポンジ条２は、発泡材であり、それぞれ、当該キャリア１の各溝１４に嵌込む。各スポンジ条２に、複数の穴２１が形成され、当該らの穴２１の様態は、断面がI型の円形や楕円形、多辺形のいずれかの一つ或いはその組み合わせであるリング状体である。当該らの穴２１の中心に、出水ランナー２２が形成され、当該らの穴２１が、穴アパーチャの距離で、間隔し、当該らの穴の間隔距離は、等間隔や不等間隔の一つ或いはその組み合わせであり、図２のようである。
【００２３】
当該二つのリング状固定部品３は、それぞれ、固定抜き穴３１と、当該固定抜き穴３１に向かう内ネジ３２とがあり、両端の台座１１、１２に対応して、当該キャリア１に結合され、各溝１４に位置するスポンジ条２を封じ込め、図３、４のようである。
【００２４】
当該清潔ユニット４は、それぞれ、当該スポンジ条２の穴２１に設けられた、複数の接触面清潔スポンジ４１と複数のノズル４２とがあり、当該接触面清潔スポンジ４１は、ポリビニルアルコール（Polyvinyl alcohol, PVA）スポンジ発泡材であり、また、ユーザーのニーズに応じて、当該スポンジ条２において、順に排列される或いは任意に排列される当該ノズル４２と混合的に配置でき、混合式の清潔方式を提供でき、図５のようである。これにより、上記のように、新規の組み立て式スポンジブラシ１００が実現される。
【００２５】
本考案のより良い実施例によれば、スポンジ条２は、幅広いT形係止端２３と、当該T形係止端２３より狭いT形係止端２４を有する発泡材であり、比較的に良い形状は、I形端面であり、当該幅広いT形係止端２３で、安定的に当該キャリアに固定でき、また、当該T形フランジ１３の周辺に、当該スポンジ条２のT形係止端２４に対応した深さと厚さを有する溝１４が設けられ、当該T形係止端２４が、当該溝１４に嵌合し、また、当該溝１４の上方に形成されたT形フランジ１３突部が、同時に、当該スポンジ条２の凹部２５に抵当する。
【００２６】
將複数の発泡したスポンジ条２を、図３のように、それぞれ、当該キャリア１の複数条の溝１４に嵌め込む。それから、二つのリング状固定部品３を、当該キャリア１の両端にある台座１１、１２に設置して、当該内ネジ３２と当該外ネジ１１１、１２１とが噛み合うことで、図４のように、スポンジ条２を固定する。
【００２７】
そして、複数の接触面清潔スポンジ４１と複数のノズル４２を、当該スポンジ条２の穴２１に位置づけ、図５、６図のように、当該接触面清潔スポンジ４１と当該ノズル４２は、ユーザーのニーズに応じて、ノズル４２の配置と接触面清潔スポンジ４１の形状を、混合的に排列配置できる。ノズル４２と、接触面清潔スポンジ４１とは、当該スポンジ条２において、順に排列される或いは任意に排列され、そして、取り換えができ、混合式の清潔方式を提供でき、スポンジの表面に汚れが付着することを防止でき、清潔効果が向上される。例えば、当該接触面清潔スポンジ４１は、ハチの巣式や等距離式、螺旋式或いは双方向螺旋式の排列方式で設置される。また、上記の当該接触面清潔スポンジ４１は、図７のように、指状式清潔スポンジ４１ａや角柱式清潔スポンジ４１ｂのいずれかの一つ或いは指状式と角柱式清潔スポンジの組み合わせである。これにより、当該接触面清潔スポンジ４１（指状式か角柱式）がウェーハーに接触する時、初めに、面で接触あるため、大きい接触面積と均一な作用応力が得られ、PVA接触面清潔スポンジ４１だけで、洗浄しながら、出水するから、その他のスポンジでない部分に対して、出水を提供しなく、出水位置が、当該接触面清潔スポンジ４１に集中でき、ウェーハーの清潔効果が向上され、図８のように、その接触面積がスポンジの硬さによって影響されなくて、清潔効果が低下されない。
【００２８】
本考案に係る組み立て式スポンジブラシは、有効にウェーハーに接触する部分が、PVAスポンジ発泡材で、その他の部分が、不浸材料である。この組み立て式構造は、より柔軟的にユーザーのニーズに対応でき、下記の利点が得られる。
【００２９】
１、本考案によれば、スポンジの体積が60%以上低減され、自身の清浄度が向上される。
【００３０】
2、本考案によれば、ユーザーのニーズに応じて、例えば、ハチの巣式排列や、等距離排列、螺旋式排列或いは、双方向螺旋式排列等、任意にウェーハーに接触するスポンジを排列できる。
【００３１】
3、PVAスポンジ部分だけが、洗浄する時、同時に出水するが、その他のスポンジでない部分が、出水しないため、出水位置が、スポンジ部分に集中でき、ウェーハーの清潔に有利である。
【００３２】
4、ノズルとスポンジとを混合排列して、混合式な清潔方式で、スポンジの表面に汚れが付着することを防止でき、清潔効果が向上される。
【００３３】
以上のように、本考案に係る組み立て式スポンジブラシは、有効的に、従来の諸欠点を解消でき、接触面清潔スポンジ（指状式か角柱式）がウェーハーに接触する時、初めに面で接触するため、大きい接触面積と均一な作用応力が得られ、そして、PVA接触面清潔スポンジだけで、洗浄しながら、出水し、その他のスポンジでない部分が、出水しないため、出水位置が当該接触面清潔スポンジに集中でき、ウェーハーの清潔効果が向上され、その接触面積がスポンジの硬さによって影響されて、清潔効果が低下されることないから、本校案が、より進歩的且つより実用的、そして、ユーザーのニーズを満足でき、法に従って実用新案登録の請求を行う。
【００３４】
以上は、ただ、本考案のより良い実施例であり、本考案の実施範囲がそれによって制限されず、本考案の実用新案登録請求の範囲や明細書の内容に基づいて、等価な変更や修正は、ともに、本考案の実用新案登録請求の範囲に所属する。  
【符号の説明】
【００３５】
１  キャリア
１１、１２  台座
１３  T形フランジ
１４  溝
１００  組み立て式スポンジブラシ
１１１、１２１  外ネジ
２  スポンジ条
２１  穴
２２  出水ランナー
２３  T形係止端
２４  T形係止端
２５  凹部
３  リング状固定部品
３１  固定抜き穴
３２  内ネジ
４  清潔ユニット
４１  接触面清潔スポンジ
４１ａ  指状式清潔スポンジ
４１ｂ  角柱式清潔スポンジ
４２  ノズル
【図１】
0003233914.tif 000003
【図２】
0003233914.tif 000004
【図３】
0003233914.tif 000005
【図４】
0003233914.tif 000006
【図５】
0003233914.tif 000007
【図６】
0003233914.tif 000008
【図７】
0003233914.tif 000009
【図８】
0003233914.tif 000010
【図９】
0003233914.tif 000011
【手続補正書】
【提出日】令和3年6月22日(2021.6.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】実用新案登録請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
円管状である不浸塑性物質で、その両端面に、それぞれ、台座が突設され、外壁に、軸方向に沿って、複数条の等間隔のＴ形フランジが設けられ、また、当該Ｔ形フランジの周辺に、それぞれ、溝が形成されるキャリアと、
発泡材からなり、それぞれ、当該キャリアの各溝に嵌込み、各スポンジ条上に、複数の穴が形成され、当該複数の穴において、中心に、出水ランナーが形成され、また、当該複数の穴が、互いに、穴のアパーチャの距離で、間隔する複数のスポンジ条と、
それぞれ、固定抜き穴があり、両端の台座に対応して、当該キャリアに結合され、各溝に位置するスポンジ条を封じ込める二つのリング状固定部品と、
当該スポンジ条の前記複数の穴にそれぞれ設けられる複数の接触面清潔スポンジと複数のノズルとがあり、当該スポンジ条において、順に排列される或いは任意に排列される当該接触面清潔スポンジと当該ノズルとが、取り換えることができ、混合式の清潔方式を提供でき、当該接触面清潔スポンジがウェーハーに接触する時、初めに、面で接触するため、大きい接触面積と均一な作用応力が得られ、そして、当該接触面清潔スポンジだけで、洗浄しながら、出水するから、出水位置が、当該接触面清潔スポンジに集中して、ウェーハーの清潔効果が向上される、清潔ユニットと、を有する、
ことを特徴とする、組み立て式スポンジブラシ。
【請求項２】
請求項１に記載される組み立て式スポンジブラシにおいて、
当該スポンジ条の穴の様態は、断面が、Ｉ型の円形や楕円形、多辺形のいずれかの一つ或いはその組み合わせであるリング状体である、
ことを特徴とする組み立て式スポンジブラシ。
【請求項３】
請求項１に記載される組み立て式スポンジブラシにおいて、
当該台座の外周側には、外ネジがあり、当該リング状固定部品には、当該固定抜き穴に向かう内ネジがあり、当該内ネジと当該外ネジとが噛み合う、
ことを特徴とする組み立て式スポンジブラシ。
【請求項４】
請求項１に記載される組み立て式スポンジブラシにおいて、
当該接触面清潔スポンジは、指状式清潔スポンジである、
ことを特徴とする組み立て式スポンジブラシ。
【請求項５】
請求項１に記載される組み立て式スポンジブラシにおいて、
当該接触面清潔スポンジは、角柱式清潔スポンジである、
ことを特徴とする組み立て式スポンジブラシ。
【請求項６】
請求項１に記載される組み立て式スポンジブラシにおいて、
当該接触面清潔スポンジは、指状式や角柱式清潔スポンジである、
ことを特徴とする組み立て式スポンジブラシ。
【請求項７】
請求項１に記載される組み立て式スポンジブラシにおいて、
当該複数の穴の間隔距離は、等間隔や不等間隔のいずれかの一つ或いはその組み合わせである、
ことを特徴とする組み立て式スポンジブラシ。
【請求項８】
請求項１に記載される組み立て式スポンジブラシにおいて、
当該接触面清潔スポンジは、ハチの巣式や等距離式、螺旋式或いは双方向螺旋式の排列方式で設置される、
ことを特徴とする組み立て式スポンジブラシ。
【請求項９】
請求項１に記載される組み立て式スポンジブラシにおいて、
当該接触面清潔スポンジは、ポリビニルアルコール（Ｐｏｌｙｖｉｎｙｌ  ａｌｃｏｈｏｌ，  ＰＶＡ）スポンジ発泡材である、
ことを特徴とする組み立て式スポンジブラシ。
【請求項１０】
請求項１に記載される組み立て式スポンジブラシにおいて、
当該スポンジ条は、Ｉ形端面であり、幅広いＴ形係止端と、当該Ｔ形係止端より狭いＴ形係止端とがあり、当該幅広いＴ形係止端により、安定的に当該キャリアに固定され、当該Ｔ形フランジにおいて、その周辺に、当該スポンジ条のＴ形係止端に対応した深さと厚さを有する溝が、設けられ、当該Ｔ形係止端が、当該溝に嵌合し、また、当該溝の上方に形成されたＴ形フランジ突部が、同時に、当該スポンジ条の凹部に抵当する、
ことを特徴とする組み立て式スポンジブラシ。