(57)【要約】  本発明のフッ素元素を含有する排ガスの処理方法は、フッ素元素を含有する排ガスと、水とを接触させる第一工程と、第一工程から排出されたガス成分を、還元剤を含む塩基性水溶液と接触させる第二工程とを有することを特徴とする。本発明のフッ素元素を含有する排ガスの処理方法によれば、フッ素元素を含有する排ガスを湿式法により効率的に処理し、例えばフッ素ガスの濃度が高い排ガスを処理する場合においても、処理ガス中のフッ素や二フッ化酸素等の酸化性ガス、フッ化水素等の酸性ガスなどの有毒なフッ素系ガスを十分に低減させることができる。本発明では、処理を特定の２段階で行うことにより、排出される処理ガス中のフッ素系ガスを高度に低減することができ、かつ、薬液として用いる還元剤を含む塩基性水溶液の使用量を大幅に減少させることができ、経済的かつ効率的である。
2017094417.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フッ素元素を含有する排ガスと、水とを接触させる第一工程と、
第一工程から排出されたガス成分を、還元剤を含む塩基性水溶液と接触させる第二工程とを有することを特徴とするフッ素元素を含有する排ガスの処理方法。
【請求項２】
前記フッ素元素を含有する排ガスが、フッ素ガスおよび／またはフッ化水素を含有することを特徴とする請求項１に記載のフッ素元素を含有する排ガスの処理方法。
【請求項３】
前記還元剤が、硫黄系還元剤であることを特徴とする請求項１または２に記載のフッ素元素を含有する排ガスの処理方法。
【請求項４】
前記硫黄系還元剤が、亜硫酸塩および／またはチオ硫酸塩であることを特徴とする請求項３に記載のフッ素元素を含有する排ガスの処理方法。
【請求項５】
前記第一工程において、水と接触させる際の排ガス中のフッ素ガス濃度が、４０体積％以下であることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のフッ素元素を含有する排ガスの処理方法。
【請求項６】
前記第一工程から排出されたガス成分中の二フッ化酸素濃度が、５体積％以下であることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のフッ素元素を含有する排ガスの処理方法。
【請求項７】
前記第二工程から排出されたガス成分中の二フッ化酸素濃度が、１体積ｐｐｍ以下であることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載のフッ素元素を含有する排ガスの処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フッ素元素を含有する排ガスを処理し、フッ素ガス（Ｆ2）、二フッ化酸素（ＯＦ2）およびフッ化水素（ＨＦ）等のフッ素系ガスを低減させた処理ガスを排出する、フッ素元素を含有する排ガスの処理方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体や液晶等の製造において、または、化学品や高分子材料の原料として、または、表面改質等の目的で、フッ素化合物は種々の分野で多量に使用されている。【０００３】
特に、半導体や液晶等の製造プロセスにおいては、従来からエッチングやクリーニングガスとして、Ｆ2、ＮＦ3、ＳｉＦ4、ＣＯＦ2、ＳＦ6、フルオロカーボン（ＣＦ4、Ｃ2Ｆ6、Ｃ4Ｆ6等）などの、フッ素系ガスが利用されている。フッ素系ガスを利用したプロセスでは、使用したフッ素系ガスに由来するガスあるいは反応により生成したフッ素元素を含むガスが、排ガスとして排出される。また、フッ素ガスあるいはフッ素化合物の製造においては、非常に高濃度のフッ素元素を含むガスが排ガスとして排出される場合がある。【０００４】
これらの排ガスは、フッ素ガス等の酸化性ガスやフッ化水素等の酸性ガスなどの、毒性の高いフッ素系ガスを高濃度で含むため、排ガスからはこのような有害なガスを十分に除去する必要がある。【０００５】
排ガスからフッ素ガスやフッ化水素等の有害ガスを除去する方法としては、従来より、炭酸カルシウム、水酸化カルシウム、活性アルミナ等の固体処理剤を固定相に充填して除去する乾式のプロセスがあるが、ランニングコストが高いという問題点がある。【０００６】
湿式のプロセスとしては、水や水酸化ナトリウム等のアルカリ水溶液を用いた湿式スクラバーが、大量のガスを安価に処理する方法として優れているが、より毒性の高い二フッ化酸素（ＯＦ2）が副生することが知られている。二フッ化酸素はＡＣＧＩＨ許容濃度（ＴＬＶ）が０．０５ｐｐｍと非常に毒性が高く、一旦生成すると水やアルカリ水溶液では除去することが困難であり、排ガスから排出されてしまうという問題があった。【０００７】
このような湿式プロセスでの問題点を解決する方法として、特許文献１には吸収液として亜硫酸アルカリおよび苛性アルカリの混合液を用いる方法が開示されており、特許文献２には、水酸化ナトリウム等の塩基性化合物とチオ硫酸ナトリウム等の硫黄系還元剤との混合物を含む吸収液を用いる方法が開示されており、特許文献３には、アルカリ金属水酸化物などの塩基と、チオ硫酸塩または亜硝酸アルカリ金属塩とを含む液体を用いる方法が開示されている。【０００８】
また特許文献４には、水に難溶性の亜硫酸塩を充填した充填塔において、湿式処理することにより、ナトリウムイオン等を含む化合物を用いることなく、塩素ガス、フッ素ガスなどの酸化性ガスを排ガスから除去することが開示されている。【０００９】
これらの方法によれば、二フッ化酸素の排出を抑制する効果はあるものの、フッ素元素を含むガスを高濃度で含む排ガスを連続的に処理して十分な効果を得るためには、アルカリや還元剤の濃度を高く維持する必要がある。そのため、詰まり等のトラブルが起こりやすく、薬液のコストが高くなってしまい、また排液中のアルカリや還元剤及び各種反応生成物の廃液処理が必要となるという問題点があった。【００１０】
また、特許文献５には、排ガスを水蒸気と共に加熱下で反応させてフッ化水素と酸素に分解する方法が開示されている。しかしながら、この方法では３００〜４００℃の高温で反応を行うため、高温のフッ化水素ガス等による腐食の影響が大きく、反応器の材質に制約があり、工業的に採用するのは困難であった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】特開平２−２３３１２２号公報
【特許文献２】特開２００６−２３１１０５号公報
【特許文献３】特表２０１３−５３９７１７号公報
【特許文献４】特開２０００−１７６２４３号公報
【特許文献５】特開２００６−２８９２３８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
本発明は、フッ素元素を含有する排ガスを湿式法により効率的に処理し、フッ素ガス、二フッ化酸素等の酸化性ガス、フッ化水素等の酸性ガスなどの有毒なフッ素系ガスを十分に低減した処理ガスとする、フッ素元素を含有する排ガスの処理方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明は、以下の〔１〕〜〔７〕の事項に関する。
〔１〕フッ素元素を含有する排ガスと、水とを接触させる第一工程と、第一工程から排出されたガス成分を、還元剤を含む塩基性水溶液と接触させる第二工程とを有することを特徴とするフッ素元素を含有する排ガスの処理方法。
〔２〕前記フッ素元素を含有する排ガスが、フッ素ガス（Ｆ2）および／またはフッ化水素（ＨＦ）を含有することを特徴とする前記〔１〕に記載のフッ素元素を含有する排ガスの処理方法。
〔３〕前記還元剤が、硫黄系還元剤であることを特徴とする前記〔１〕または〔２〕に記載のフッ素元素を含有する排ガスの処理方法。
〔４〕前記硫黄系還元剤が、亜硫酸塩および／またはチオ硫酸塩であることを特徴とする前記〔３〕に記載のフッ素元素を含有する排ガスの処理方法。
〔５〕前記第一工程において、水と接触させる際の排ガス中のフッ素ガス濃度が、４０体積％以下であることを特徴とする前記〔１〕〜〔４〕のいずれかに記載のフッ素元素を含有する排ガスの処理方法。
〔６〕前記第一工程から排出されたガス成分中の二フッ化酸素（ＯＦ2）濃度が、５体積％以下であることを特徴とする前記〔１〕〜〔５〕のいずれかに記載のフッ素元素を含有する排ガスの処理方法。
〔７〕前記第二工程から排出されたガス成分中の二フッ化酸素（ＯＦ2）濃度が、１体積ｐｐｍ以下であることを特徴とする前記〔１〕〜〔６〕のいずれかに記載のフッ素元素を含有する排ガスの処理方法。
【発明の効果】
【００１４】
本発明のフッ素元素を含有する排ガスの処理方法によれば、フッ素元素を含有する排ガスを湿式法により効率的に処理し、フッ素ガスなどのフッ素系ガスを高濃度で含む排ガスを処理する場合においても、得られる処理ガス中のフッ素ガスや二フッ化酸素等の酸化性ガス、フッ化水素等の酸性ガスなどの有毒なフッ素系ガスを十分に低減させることができる。本発明では、フッ素元素を含有する排ガスの処理を特定の２段階で行うことにより、排出される処理ガス中のフッ素系ガスを高度に低減することができ、かつ、薬液として用いる還元剤を含む塩基性水溶液の使用量を大幅に減少させることができ、経済的かつ効率的である。また本発明では、フッ素元素を含有する排ガス中に、フッ化水素が高濃度に含まれている場合にも、薬液使用量を少量に抑制することができる。【００１５】
さらに本発明では、第一工程において水と接触させる際の排ガス中のフッ素ガス（Ｆ2）濃度を４０体積％以下とした場合には、第一工程から排出されたガス成分中の二フッ化酸素（ＯＦ2）濃度を抑制することができ、第二工程における処理の負荷をさらに軽減し、効率的に排ガスの処理を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】図１は、本発明のフッ素元素を含有する排ガスの処理方法を実施する装置の一例の概略図を示す。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明について具体的に説明する。
【００１８】
本発明のフッ素元素を含有する排ガスの処理方法は、フッ素元素を含有する排ガスと、水とを接触させる第一工程と、第一工程から排出されたガス成分を、還元剤を含む塩基性水溶液と接触させる第二工程とを有する。
【００１９】
＜第一工程＞
第一工程では、フッ素元素を含有する排ガスと、水とを接触させる。
【００２０】
フッ素元素を含有する排ガスとしては、Ｆ2、ＮＦ3、ＳｉＦ4、ＣＯＦ2、ＳＦ6、フルオロカーボン（ＣＦ4、Ｃ2Ｆ6、Ｃ4Ｆ6等）などのフッ素系ガスを含有するガスを挙げることができる。本発明では、フッ素系ガスを利用するプロセス、またはフッ素系ガスの発生を伴うプロセスで生じる工業的排ガスなどの、フッ素元素を含有する排ガスを特に制限なく処理することができる。本発明で処理する排ガスは、二フッ化酸素（ＯＦ2）などの酸化性ガスおよび／またはフッ化水素（ＨＦ）などの酸性ガスを含んでいてもよい。
【００２１】
例えば排ガスがフッ素ガスを含む場合、排ガス中のフッ素ガスと水とは、迅速に反応し、反応式（１）の通りフッ化水素および酸素を生成する。
【００２２】
Ｆ2＋Ｈ2Ｏ → ＨＦ＋1/2Ｏ2  …（１）
フッ素ガスと水との接触では、フッ素ガスの反応性が高いことから、前記反応式（１）の主反応の他に、条件によってはオゾン（Ｏ3）や二フッ化酸素（ＯＦ2）を生成する副反応が生じることが知られている。しかしながら本発明者は、水と接触させる際の排ガス中のフッ素ガス濃度を４０体積％以下とした場合には、副反応が抑制され、オゾン（Ｏ3）はほとんど生成せず、二フッ化酸素（ＯＦ2）の生成も低く抑えられることを見出した。
【００２３】
このため本発明の第一工程において、水と接触させる際の排ガスは、フッ素ガス（Ｆ2）濃度が４０体積％以下であることが好ましく、３０体積％以下であることがより好ましい。前記排ガス中のフッ素ガス（Ｆ2）濃度を前記範囲とした場合には、第一工程において排ガス中のフッ素ガス（Ｆ2）を十分に除去できるとともに、オゾン（Ｏ3）や二フッ化酸素（ＯＦ2）の生成を好適に抑制でき、後述する第二工程の負荷を軽減して十分な排ガス処理を達成することができる。
【００２４】
前記排ガスが、高濃度のフッ素ガス（Ｆ2）を含有する場合には、水と接触させる前に、排ガス中のフッ素ガス（Ｆ2）濃度を、空気等の不活性ガスにより希釈するなどの方法により４０体積％以下に調整することが好ましい。本発明において不活性ガスとは、排ガス中の成分、水、ならびに後述する第二工程で用いる還元剤を含む塩基性水溶液と、処理条件において実質的に反応せず、反応を阻害しない気体を意味し、例えば、空気、窒素、希ガスなどが挙げられる。
【００２５】
第一工程において、排ガスと水とを接触させる方法としては、気液を接触させる従来公知の方法を特に制限なく採用することができ、通気撹拌槽等の液中分散型の装置や、気液を接触させて気体成分の少なくとも一部を液体成分に吸収させる吸収塔などの装置を用いた方法を好ましく採用することができる。具体的には、スプレー塔、棚段塔、充填塔、ジェットスクラバー等の装置を備えた公知の吸収塔を用いた方法を好ましく採用することができ、構造が単純で吸収効率が良いことから、充填塔を用いた方法が特に好ましい。このような装置を用いた方法は、後述する第二工程においても同様に採用することができる。
【００２６】
本発明の第一工程では、フッ素元素を含む排ガスと、水とを接触させることにより、例えば排ガス中に含まれるフッ素ガス（Ｆ2）は水と反応して、フッ化水素（ＨＦ）あるいは二フッ化酸素（ＯＦ2）に変換される。また、排ガス中に含まれていたフッ化水素（ＨＦ）や、フッ素ガス（Ｆ2）と水との反応で生成したフッ化水素（ＨＦ）は、水に容易に吸収される。本発明では、処理する排ガスが高濃度のフッ化水素（ＨＦ）を含有する場合にも、第一工程においてその大部分を除去できることにより、第二工程で用いる還元剤を含む塩基性水溶液の使用量を抑制することができる。このため本発明では、フッ素元素を含有する排ガスとして、フッ素ガスおよび／またはフッ化水素を含有するガスを好適に用いることができる。
【００２７】
このようにして第一工程では、前記排ガス中のフッ素ガス（Ｆ2）およびフッ化水素（ＨＦ）等が低減され、生成した二フッ化酸素（ＯＦ2）等を含むガス成分が排出される。第一工程で排出されたガス成分は、第二工程に送られる。
【００２８】
ここで、前記排ガス中のフッ素ガス濃度が４０体積％以下であると、第一工程の反応において二フッ化酸素（ＯＦ2）を発生する副反応が生じにくく、第二工程に送る気体成分中の二フッ化酸素（ＯＦ2）量を抑制することができ、第二工程の負荷を減少させることができるため好ましい。
【００２９】
第一工程において、排ガスと接触する水は、循環して用いることができるが、排ガスを処理するにつれて吸収したフッ化水素（ＨＦ）の濃度が上昇していくため、多量にまたは連続的に排ガスを処理する場合には吸収液である水の交換を行うことが好ましい。吸収液である水の交換方法は、バッチでも連続でも良いが、第二工程での条件を安定化させるためには、吸収液中のフッ化水素（ＨＦ）の濃度を一定に保つことが好ましく、水の交換を連続で行う方が好ましい。
【００３０】
このように、第一工程から排出されるガスは、フッ素ガス（Ｆ2）濃度が充分に低減されているとともに、二フッ化酸素（ＯＦ2）濃度の上昇が好適に抑制されている。第一工程から排出されるガス成分中の二フッ化酸素（ＯＦ2）濃度は、好ましくは５体積％以下、より好ましくは１体積％以下である。
【００３１】
＜第二工程＞
第二工程では、第一工程から排出されたガス成分を、還元剤を含む塩基性水溶液と接触させる。
【００３２】
第二工程に供する第一工程から排出されたガス成分には、通常、排ガス中に含まれていたかまたは第一工程で生成した二フッ化酸素（ＯＦ2）、および同伴されたフッ化水素（ＨＦ）等が含まれる。第一工程から排出されたガス成分には、第一工程で未反応であるかまたは同伴されたフッ素ガス（Ｆ2）が含まれてもよい。第二工程に導入されるガス成分中のフッ素ガス濃度は、５体積％以下であることが好ましく、１体積％以下であることがより好ましい。
【００３３】
第二工程に導入されるガス成分中の二フッ化酸素（ＯＦ2）の濃度は、特に限定されるものではないが、５体積％以下であることが好ましく、１体積％以下であることがより好ましい。第一工程において、水と接触させる際の排ガス中のフッ素ガス（Ｆ2）濃度が、４０体積％以下である場合には、第一工程から排出されたガス成分中のＯＦ2濃度を十分に低いものとすることができ、当初の排ガス中に二フッ化酸素（ＯＦ2）が含まれていない場合には通常５体積％以下とすることができる。第一工程から排出されたガス成分中の二フッ化酸素（ＯＦ2）濃度が高い場合には、不活性ガスにより適宜希釈した後に第二工程に導入してもよい。
【００３４】
第二工程では、導入されたガス成分中の二フッ化酸素（ＯＦ2）は、還元剤と反応してフッ化水素（ＨＦ）となり、導入されたガス成分中のＨＦおよび二フッ化酸素（ＯＦ2）から生成したフッ化水素（ＨＦ）は、塩基と反応して除去される。
【００３５】
第二工程で用いる還元剤を含む塩基性水溶液は、還元剤と塩基とが水に溶解した水溶液であって、吸収液として用いられる。
【００３６】
還元剤としては、二フッ化酸素（ＯＦ2）を還元し得る還元剤を特に制限なく用いることができ、例えば、チオ硫酸ナトリウム、チオ硫酸アンモニウム、チオ硫酸カリウム等のチオ硫酸塩；亜硫酸ナトリウム、亜硫酸カリウム、亜硫酸アンモニウム等の亜硫酸塩；塩化カリウム、塩化ナトリウム等の塩化物；臭化カリウム等の臭化物；ヨウ化カリウム等のヨウ化物；亜硝酸ナトリウム、亜硝酸カリウム等の亜硝酸塩；ギ酸、ギ酸ナトリウム、ギ酸カリウム等のギ酸塩；シュウ酸、ヒドラジンなどから選択することができる。本発明では、還元剤としては、二フッ化酸素（ＯＦ2）を効率よく除去するという観点から、硫黄系還元剤が好ましく用いられ、チオ硫酸塩、亜硫酸塩がより好ましく用いられる。
【００３７】
還元剤の濃度は、接触させるガス成分中の二フッ化酸素（ＯＦ2）濃度などの条件にもよるが、還元剤を含む塩基性水溶液中、１〜２０質量％であることが好ましく、１〜１０質量％であることがより好ましい。
【００３８】
塩基としては、フッ化水素（ＨＦ）を除去し得る塩基を特に制限なく用いることができるが、金属水酸化物が好ましく用いられ、水酸化ナトリウムまたは水酸化カリウムがより好ましく用いられる。
【００３９】
塩基の濃度は、接触させるガス成分中のフッ化水素（ＨＦ）濃度などの条件にもよるが、還元剤を含む塩基性水溶液の液性がアルカリ性に維持されているのが好ましく、好ましくはｐＨ８以上、より好ましくはｐＨ９以上であるのが好ましい。
【００４０】
第二工程において、第一工程から排出されたガス成分と、還元剤を含む塩基性水溶液とを接触させる方法としては、第一工程と同様、気液を接触させる従来公知の方法を特に制限なく採用することができ、気液を接触させて気体成分の少なくとも一部を液体成分に吸収させる吸収塔などの装置を用いた方法を好ましく採用することができる。具体的には、スプレー塔、棚段塔、充填塔、ジェットスクラバー等の装置を備えた公知の吸収塔を用いた方法を好ましく採用することができ、構造が単純で吸収効率が良いことから、充填塔を用いた方法が特に好ましい。第一工程と第二工程とは、同様の装置を用いた方法を採用してもよく、異なる装置を用いた方法を採用してもよい。
【００４１】
第二工程において、吸収液として使用される還元剤を含む塩基性水溶液は、通常、吸収塔内で循環して用いることができる。還元剤を含む塩基性水溶液は、導入したガス成分の処理が進むにつれて、水溶液中の還元剤および塩基の濃度が減少し、吸収した反応生成物濃度が上昇するため、処理量が多い場合には交換を行ってもよい。還元剤を含む塩基性水溶液の交換は、バッチで行ってもよく、連続的に行ってもよいが、第二工程に導入するガスに含まれるフッ素系の有害ガスの濃度はもともと低濃度であり、還元剤を含む塩基性水溶液中の還元剤濃度あるいは塩基濃度の変化は小さいため、通常、バッチでの交換が経済的である。
【００４２】
本発明の第二工程から排出されるガス成分（処理ガス）は、フッ素ガス（Ｆ2）、二フッ化酸素（ＯＦ2）、フッ化水素（ＨＦ）などのフッ素系の有害ガスが充分に除去されており、実質的にフッ素系ガスを含まないものとすることができる。具体的には、本発明の第二工程から排出されるガス成分中の二フッ化酸素（ＯＦ2）濃度は、好ましくは１体積ｐｐｍ以下、より好ましくは０．５体積ｐｐｍ以下である。本発明の第二工程から排出されるガス成分中のフッ素ガス（Ｆ2）濃度は、好ましくは１体積ｐｐｍ以下、より好ましくは０．５体積ｐｐｍ以下である。また、本発明の第二工程から排出されるガス成分中のフッ化水素（ＨＦ）濃度は、好ましくは３体積ｐｐｍ以下、より好ましくは１．５体積ｐｐｍ以下である。
【実施例】
【００４３】
以下、実施例に基づいて本発明をさらに具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。【００４４】
＜フッ素系ガス濃度の測定＞
以下の実施例および比較例において、各フッ素系ガス成分の濃度は次のようにして測定し、定量した。【００４５】
ガス中のフッ素ガス（Ｆ2）及び二フッ化酸素（ＯＦ2）の合算濃度は、ヨウ化カリウム水溶液にガスを規定量吸収させてチオ硫酸ナトリウムで滴定する方法（ヨウ素滴定法）により分析して求めた。定量下限値は吸収させるガス量を増やす事で調整でき、フッ素及び二フッ化酸素の合算濃度として０．０５体積ｐｐｍ以上を測定した。【００４６】
ガス中のフッ素ガスと二フッ化酸素とを分離して定量分析する場合は、二フッ化酸素をＦＴ−ＩＲ（フーリエ変換赤外吸光光度）法を用いて定量し、フッ素ガス及び二フッ化酸素の合算濃度から二フッ化酸素濃度を差し引いてフッ素ガス濃度を求めた。ＦＴ−ＩＲのガスセルとして１０ｍ光路長を持つ長光路ガスセルを用いた場合、二フッ化酸素濃度の定量下限値は０．５体積ｐｐｍである。【００４７】
フッ化水素濃度はＦＴ−ＩＲ法を用いて定量した。フッ化水素濃度の定量下限値は１５ｃｍのガスセルを用いて０．５体積ｐｐｍである。【００４８】
［実施例１］
充填層１（３）に充填物としてカスケードミニリングを充填高さ４ｍで充填した直径５００ｍｍの第１吸収塔（２）と、充填層２（１１）に充填物としてカスケードミニリングを充填高さ４ｍで充填した直径５００ｍｍの第２吸収塔（１０）とを備えた装置を用いて排ガスの処理を行った。図１に概略図を示す。【００４９】
第１吸収塔（２）側で行う第一工程では、循環液タンク１（６）に水を導入し、４ｍ3／ｈｒで循環させた。循環液タンク１（６）内のＨＦ濃度が３質量％となるように水の導入量及び循環液の排液量を調整した。【００５０】
第２吸収塔（１０）側で行う第二工程では、循環液タンク２（１２）に塩基としてＫＯＨを濃度２質量％、還元剤として亜硫酸カリウム（Ｋ2ＳＯ3）を濃度１２質量％となるように調製した還元剤を含む塩基性水溶液（仕込み時ｐＨ：１３．５）を仕込み、４ｍ3／ｈｒで循環させた。【００５１】
処理する排ガスは、Ｆ2を２５体積％、ＨＦを１０体積％含み、ＯＦ2を含まないガスであり、残部は窒素ガスであった。これを３０ｍ3／ｈｒで排ガス導入管（１）より第一工程を行う第１吸収塔（２）へ導入した。第１吸収塔（２）へ導入された排ガスは、充填層１（３）を有する第１吸収塔（２）内でシャワーノズル１（８）より放出される水と十分に接触し、水と接触した後のガス成分が第１吸収塔（２）の塔頂より排出され、この排出されたガス成分は、排ガス導入管９を通じて第二工程を行う第２吸収塔（１０）に導入された。第１吸収塔（２）から排出されて第２吸収塔（１０）に導入されるガス成分は、Ｆ2を２，０００体積ｐｐｍ、ＨＦを１，３００体積ｐｐｍ、ＯＦ2を４，１００体積ｐｐｍ含むガスであった。【００５２】
第２吸収塔（１０）に導入されたガス成分は、充填層２（１１）を有する第２吸収塔（１０）内でシャワーノズル２（１４）より放出される還元剤を含む塩基性水溶液と十分に接触した。還元剤を含む塩基性水溶液と接触した後のガス成分は、第２吸収塔（１０）の塔頂より処理ガスとして処理ガス排出管（１５）を通じて排出された。【００５３】
処理ガス排出管（１５）より排出された処理ガス中の各フッ素系ガス成分の濃度及び第２吸収塔（１０）側で行った第二工程での薬液（還元剤を含む塩基性水溶液）の使用量を表１に示した。処理ガスからは、Ｆ2、ＯＦ2及びＨＦは検出されなかった。また、第２吸収塔（１０）で消費された薬液量は、塩基のＫＯＨが０．７ｋｇ／ｈｒ、還元剤のＫ2ＳＯ3が１．９ｋｇ／ｈｒであった。【００５４】
［実施例２］
実施例１において、処理する排ガス中のＦ2濃度を４０体積％としたこと以外は、実施例１と同様に行った。第１吸収塔（２）から排出されて第２吸収塔（１０）に導入されるガス成分は、Ｆ2を２０，０００体積ｐｐｍ、ＨＦを１，３００体積ｐｐｍ、ＯＦ2を４２，０００体積ｐｐｍ含むガスであった。【００５５】
処理ガス排出管（１５）より排出された処理ガス中の各フッ素系ガス成分の濃度及び第二工程での薬液（還元剤を含む塩基性水溶液）の使用量を表１に示した。処理ガスからは、Ｆ2及びＨＦは検出されず、ＯＦ2は１体積ｐｐｍ検出された。また、第２吸収塔（１０）で消費された薬液量は、塩基のＫＯＨが６．７ｋｇ／ｈｒ、還元剤のＫ2ＳＯ3が１８ｋｇ／ｈｒであった。【００５６】
［実施例３］
実施例１において、第二工程で用いた薬液（還元剤を含む塩基性水溶液）中の還元剤を、亜硫酸カリウム（Ｋ2ＳＯ3）に代えてチオ硫酸ナトリウム（Ｎａ2Ｓ2Ｏ3）とし、その濃度を３質量％としたことの他は、実施例１と同様にして排ガスの処理を行った。【００５７】
処理ガス排出管（１５）より排出された処理ガス中の各フッ素系ガス成分の濃度及び第二工程での薬液（還元剤を含む塩基性水溶液）の使用量を表１に示した。処理ガスからは、Ｆ2、ＨＦ及びＯＦ2は検出されなかった。また、第２吸収塔（１０）で消費された薬液量は、塩基のＫＯＨが０．７ｋｇ／ｈｒ、還元剤のＮａ2Ｓ2Ｏ3が１．９ｋｇ／ｈｒであった。【００５８】
［実施例４］
実施例１において、第二工程で用いた薬液（還元剤を含む塩基性水溶液）中の還元剤を、亜硫酸カリウム（Ｋ2ＳＯ3）に代えてヨウ化カリウム（ＫＩ）とし、その濃度を３質量％としたことの他は、実施例１と同様にして排ガスの処理を行った。【００５９】
処理ガス排出管（１５）より排出された処理ガス中の各フッ素系ガス成分の濃度及び第二工程での薬液（還元剤を含む塩基性水溶液）の使用量を表１に示した。処理ガスからは、Ｆ2、ＨＦ及びＯＦ2は検出されなかった。また、第２吸収塔（１０）で消費された薬液量は、塩基のＫＯＨが０．７ｋｇ／ｈｒ、還元剤のＫＩが２．０ｋｇ／ｈｒであった。【００６０】
［実施例５］
実施例１において、第二工程で用いた薬液（還元剤を含む塩基性水溶液）中の還元剤を、亜硫酸カリウム（Ｋ2ＳＯ3）に代えて塩化カリウム（ＫＣｌ）とし、その濃度を１０質量％としたことの他は、実施例１と同様にして排ガスの処理を行った。【００６１】
処理ガス排出管（１５）より排出された処理ガス中の各フッ素系ガス成分の濃度及び第二工程での薬液（還元剤を含む塩基性水溶液）の使用量を表１に示した。処理ガスからは、Ｆ2及びＨＦは検出されず、ＯＦ2は０．３体積ｐｐｍ検出された。また、第２吸収塔（１０）で消費された薬液量は、塩基のＫＯＨが０．７ｋｇ／ｈｒ、還元剤のＫＣｌが１．８ｋｇ／ｈｒであった。【００６２】
［比較例１］
第１吸収塔（２）および循環液タンク１（６）を備えた、実施例１の第一工程で用いた装置と同様の装置を用い、実施例１と同様に水を循環させ、循環液タンク１（６）内のＨＦ濃度が１質量％となるように水の導入量および循環液の排液量を調整した。実施例１と同様の排ガスを排ガス導入管１（１）より導入して処理し、第１吸収塔（２）の塔頂から排出されるガス成分を処理ガスとした。処理ガス中の各フッ素系ガス成分の濃度は、表１に示すとおり、Ｆ2が９８０体積ｐｐｍ、ＨＦが６７０体積ｐｐｍ、ＯＦ2が４，０５０体積ｐｐｍであった。【００６３】
［比較例２］
実施例１において、第一工程をバイパスし、処理する排ガスを排ガス導入管２（９）から第２吸収塔（１０）に導入し、実施例１の第二工程と同様にして排ガスの処理を行った。【００６４】
処理ガス排出管（１５）より排出された処理ガス中の各フッ素系ガス成分の濃度及び薬液（還元剤を含む塩基性水溶液）の使用量を表１に示した。処理ガスからは、Ｆ2、ＨＦ及びＯＦ2は検出されなかったが、第２吸収塔（１０）で消費された薬液量は、塩基のＫＯＨが５３ｋｇ／ｈｒ、還元剤のＫ2ＳＯ3が１２７ｋｇ／ｈｒであり、実施例１と比較して薬液使用量が多量となった。【００６５】
【表１】
2017094417.tif 000003
【産業上の利用可能性】
【００６６】
本発明の排ガスの処理方法は、エッチングやクリーニングガスとして、フッ素系ガスを用いるプロセス、あるいはフッ素系ガスを製造するプロセスなどにおいて発生するフッ素元素を含有する排ガスを処理し、フッ素系ガスを実質的に含まない処理ガスを得る方法として好適である。
【符号の説明】
【００６７】
１：排ガス導入管１
２：第１吸収塔
３：充填層１
４：給水管
５：ＨＦ水溶液排出管
６：循環液タンク１
７：循環ポンプ１
８：シャワーノズル１
９：排ガス導入管２
１０：第２吸収塔
１１：充填層２
１２：循環液タンク２
１３：循環ポンプ２
１４：シャワーノズル２
１５：処理ガス排出管
【図１】
2017094417.tif 000004
【国際調査報告】
2017094417.tif 000005
2017094417.tif 000006
2017094417.tif 000007
2017094417.tif 000008