(57)【要約】  本開示の一態様に係るミラーデバイス（１０）は、固定部（１）と、ミラー部（２）と、第１接続部（３）と、第１梁部（４）と、第２接続部（５）と、第２梁部（６）とを具備する。ミラー部（２）は、主面を有するとともにこの主面上に光反射面を有する。第１接続部（３）は、前記ミラー部（２）に接続された第１端を有するとともにこの第１端から第１方向（Ｘ軸方向）に延びている。第１梁部は、前記固定部（１）および前記第１接続部（３）を接続するとともに前記第１方向に対して交差するように延びている。また、第１梁部（４）は、電圧を印加することで変形可能である。第２接続部（５）は、前記第１端から前記第１方向に延びる仮想直線上において、前記第１梁部（４）または前記第１接続部（３）に接続された第２端を有するとともにこの第２端から前記第１方向に延びている。第２梁部（６）は、前記固定部（１）および前記第２接続部（５）を接続するとともに前記第１方向に対して交差するように延びており、電圧を印加することで変形可能である。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定部と、主面を有するとともに該主面上に光反射面を有するミラー部と、前記ミラー部に接続された第１端を有するとともに該第１端から第１方向に延びる第１接続部と、前記固定部および前記第１接続部を接続するとともに前記第１方向に対して交差するように延びており、電圧を印加することで変形可能な第１梁部と、前記第１端から前記第１方向に延びる仮想直線上において、前記第１梁部または前記第１接続部に接続された第２端を有するとともに該第２端から前記第１方向に延びる第２接続部と、前記固定部および前記第２接続部を接続するとともに前記第１方向に対して交差するように延びており、電圧を印加することで変形可能な第２梁部とを具備するミラーデバイス。
【請求項２】
前記第２接続部は前記第１接続部よりも剛性が高い、請求項１に記載のミラーデバイス。
【請求項３】
前記第２接続部は前記第１接続部よりも前記第１方向に垂直な断面における断面積が大きい、請求項２に記載のミラーデバイス。
【請求項４】
固定部と、主面を有するとともに該主面上に光反射面を有するミラー部と、前記ミラー部に接続された第１端を有するとともに該第１端から第１方向に延びる第１接続部と、前記固定部および前記第１接続部を接続するとともに前記第１方向に対して交差するように延びており、電圧を印加することで変形可能な第１梁部と、前記第１端から前記第１方向に延びる仮想直線上において、前記第１梁部または前記第１接続部に接続された第２端を有するとともに該第２端から前記第１方向に延びており、電圧を印加することで変形可能な第２接続部と、前記固定部および前記第２接続部を接続するとともに前記第１方向に対して交差するように延びる第２梁部とを具備するミラーデバイス。
【請求項５】
前記第２接続部は前記第１接続部よりも剛性が高い、請求項４に記載のミラーデバイス。
【請求項６】
前記第２接続部は前記第１接続部よりも前記第１方向に垂直な断面における断面積が大きい、請求項５に記載のミラーデバイス。
【請求項７】
固定部と、主面を有するとともに該主面上に光反射面を有するミラー部と、前記ミラー部に接続された第１端を有するとともに該第１端から第１方向に延びる第１接続部と、前記固定部および前記第１接続部を接続するとともに前記第１方向に対して交差するように延びており、電圧を印加することで変形可能な第１梁部と、前記第１端から前記第１方向に延びる仮想直線上において前記第１方向に延びており、前記固定部および前記第１梁部を接続する、電圧を印加することで変形可能な第２接続部とを具備するミラーデバイス。
【請求項８】
前記第２接続部は前記第１接続部よりも剛性が高い、請求項７に記載のミラーデバイス。
【請求項９】
前記第２接続部は前記第１接続部よりも前記第１方向に垂直な断面における断面積が大きい、請求項８に記載のミラーデバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、光の進行方向の制御が可能なミラーデバイスに関する。
【背景技術】
【０００２】  光反射面を有するミラーの向きを変えることによって光の進行方向の制御を行なうミラーデバイスがある。このミラーデバイスは、複写機やレーザープリンタ、ディスプレイ、バーコードリーダー、通信用の光スイッチ等の光学機器に利用されている。【０００３】  このようなミラーデバイスは、枠状の固定部と、固定部の内側に位置するミラー部と、ミラー部を支持する主軸部（接続部）と、接続部に対して垂直な方向に延び、中央部で接続部を支持するとともに両端部で固定部に接続された梁状の可動枠（梁部）と、梁部上に設けられた圧電素子とを具備している。そして、この圧電素子に電圧を印加することによって、梁部を湾曲させてミラー部の向きを変動させることができる（特開２００９−２９７８号公報参照）。
【発明の概要】
【０００４】  本開示の第１の態様に係るミラーデバイスは、固定部と、ミラー部と、第１接続部と、第１梁部と、第２接続部と、第２梁部とを具備する。ミラー部は、主面を有するとともにこの主面上に光反射面を有する。第１接続部は、前記ミラー部に接続された第１端を有するとともにこの第１端から第１方向に延びている。第１梁部は、前記固定部および前記第１接続部を接続するとともに前記第１方向に対して交差するように延びている。また、第１梁部は、電圧を印加することで変形可能である。第２接続部は、前記第１端から前記第１方向に延びる仮想直線上において、前記第１梁部または前記第１接続部に接続された第２端を有するとともにこの第２端から前記第１方向に延びている。第２梁部は、前記固定部および前記第２接続部を接続するとともに前記第１方向に対して交差するように延びている。また、第２梁部は、電圧を印加することで変形可能である。
【０００５】  本開示の第２の態様に係るミラーデバイスは、固定部と、ミラー部と、第１接続部と、第１梁部と、第２接続部とを具備する。ミラー部は、主面を有するとともにこの主面上に光反射面を有する。第１接続部は、前記ミラー部に接続された第１端を有するとともにこの第１端から第１方向に延びている。第１梁部は、前記固定部および前記第１接続部を接続するとともに前記第１方向に対して交差するように延びている。また、第１梁部は、電圧を印加することで変形可能である。第２接続部は、前記第１端から前記第１方向に延びる仮想直線上において前記第１梁部または前記第１接続部に接続された第２端を有するとともにこの第２端から前記第１方向に延びている。また、第２接続部は、電圧を印加することで変形可能である。第２梁部は、前記固定部および前記第２接続部を接続するとともに前記第１方向に対して交差するように延びている。
【０００６】  本開示の第３の態様に係るミラーデバイスは、固定部と、ミラー部と、第１接続部と、第１梁部と、第２接続部とを具備する。ミラー部は、主面を有するとともにこの主面上に光反射面を有する。第１接続部は、前記ミラー部に接続された第１端を有するとともにこの第１端から第１方向に延びている。第１梁部は、前記固定部および前記第１接続部を接続するとともに前記第１方向に対して交差するように延びている。また、第１梁部は、電圧を印加することで変形可能である。第２接続部は、前記第１端から前記第１方向に延びる仮想直線上において前記第１方向に延びており、前記固定部および前記第１梁部を接続している。また、第２接続部は、電圧を印加することで変形可能である。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】第１実施形態のミラーデバイスの平面図である。
【図２】図１のII−II線におけるミラーデバイスの断面図である。
【図３】図１のIII−III線におけるミラーデバイスの断面図である。
【図４】ミラーデバイスを用いた制御回路の一例を示す図である。
【図５】第２実施形態のミラーデバイスの平面図である。
【図６】図５のVI−VI線におけるミラーデバイスの断面図である。
【図７】第３実施形態のミラーデバイスの平面図である。
【図８】図７のVIII−VIII線におけるミラーデバイスの断面図である。
【図９】ミラーデバイスの変形例を示す平面図である。
【図１０】ミラーデバイスの変形例を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】  本開示のミラーデバイスの各種実施形態について、図面を参照しながら説明する。なお、図１〜図１０には、右手系のＸＹＺ座標系が付されており、以下では、便宜上、Ｚ軸方向を上下方向として説明をする。
【０００９】  ＜第１実施形態のミラーデバイス＞  図１は、第１実施形態のミラーデバイス１０の平面図である。また、図２は図１のII−II線におけるミラーデバイス１０断面図であり、図３は図１のIII−III線におけるミラーデバイス１０の断面図である。以下、各部位について詳述する。
【００１０】  ミラーデバイス１０は、固定部１と、ミラー部２と、第１接続部３と、第１梁部４と、第２接続部５と、第２梁部６とを具備している。
【００１１】  固定部１は、例えば、平面視形状が四角形状、円形状または楕円形状等の枠状体である。図１は、固定部１が、平面視形状が四角形状の枠状体である例を示す。固定部１が枠状体である場合、固定部の一辺の長さは例えば２〜３０ｍｍである。また、固定部１を構成するアームの幅（アームの長手方向と直交する方向の幅）は例えば０．２〜６ｍｍである。また、固定部１の厚みは例えば０．１〜１ｍｍである。
【００１２】  ミラー部２は、主面（図１〜図３の＋Ｚ側の主面）を有するとともに、この主面上に光反射面を有している。ミラー部２は、例えば図２に示すように、主面を有する支持部材２ａと、その主面上に位置する、金属薄膜等の光反射率の高い光反射部材２ｂとを具備するものであってもよい。
【００１３】  ミラー部２の平面視形状は、例えば、四角形状、円形状または楕円形状等である。図１は、ミラー部２の平面視形状が四角形状である例を示す。ミラー部２の平面視形状が四角形状である場合、ミラー部２の第１接続部３が接続されている一辺（Ｙ軸方向に延びる辺）の長さが例えば１〜１０ｍｍである。また、上記一辺に直交する辺（Ｘ軸方向に延びる辺）の長さが例えば０．３〜１ｍｍである。
【００１４】  第１接続部３は、一端（以下では第１端という）がミラー部２に接続されている。そして、第１接続部３は、この第１端から第１方向（Ｘ軸方向）に延びており、上記第１端とは反対側の他端が第１梁部４と接続している。第１接続部３は、電圧印加による第１梁部４の変形に追従して、上記第１方向を軸とした回転運動をすることによって、ミラー部２の向きを変える機能を有する。
【００１５】  第１接続部３は、第１梁部４の変形に追従してミラー部２を良好に動かすという観点からは、平面視したときのＹ軸方向の幅が、例えば０．０１〜０．１ｍｍであり、Ｘ軸方向の長さが例えば０．１０〜２ｍｍであり、厚みが例えば０．０１〜０．３ｍｍである。また、第１接続部３のＸ軸方向に垂直な断面（ＹＺ断面）の形状は、特に限定されず、多角形状や円形状、楕円形状等であってもよい。
【００１６】  第１梁部４は、固定部１および第１接続部３を接続するとともに第１方向（Ｘ軸方向）に対して交差するように延びている。図１では、第１梁部４は第１接続部３との接続部から＋Ｙ方向と−Ｙ方向の２方向に延びており、固定部１の対向する一対のアームにそれぞれ接続されている。なお、第１梁部４はこのような構成に限定されず、第１接続部３との接続部から固定部１の１つのアームのみと接続された構成であってもよい。また、第１梁部４とＸ軸との成す角度は、図１のような９０°でなくともよく、鋭角あるいは鈍角であってもよい。
【００１７】  第１梁部４は、電圧を印加することで変形可能な構造である。このような構造としては、図１および図３に示すように、第１梁部４の本体の表面（図１では上面）に圧電素子７ａ〜７ｄを有する構造であってもよい。圧電素子７ａ〜７ｄは、例えば圧電膜上に電極を有するものが挙げられる。この電極を介して圧電膜に電圧を印加することによって圧電膜に歪みを生じさせ、その結果、第１梁部４の全体を変形させることが可能となる。なお、第１梁部４の上面に形成された圧電素子において、圧電膜は第１梁部４の上面全面に形成されていてもよく、この圧電膜のうち電極によって電圧が印加され得る部位が圧電素子として機能する。
【００１８】  第１梁部４は、ミラー部２の動きを良好に行なうという観点からは、平面視したときの幅（Ｘ軸方向の長さ）が例えば０．０５〜０．５ｍｍであり、厚みが例えば０．０１〜０．３ｍｍである。第１梁部４の平面視形状は直線状に限らず、曲線状や矩形状であってもよい。第１梁部４の延伸方向（Ｙ軸方向）に垂直な断面（ＸＺ断面）の形状は、特に限定されず、多角形状や円形状、楕円形状等であってもよい。
【００１９】  第１接続部３の上記第１端から第１方向（Ｘ軸方向）に延びる仮想の直線を仮想直線としたときに、第２接続部５は、この仮想直線上において一端（以下では第２端という）が第１梁部４または第１接続部３に接続されている。そして、第２接続部５は、仮想直線上において、この第２端から第１方向に延びている。
【００２０】  また、第２梁部６は、固定部１および第２接続部５を接続するとともに上記第１方向に対して交差するように延びている。そして、この第２梁部６は電圧を印加することで変形可能となっている。
【００２１】  このような第２接続部５および第２梁部６を有することによって、ミラー部２および第１接続部３の共振周波数を変更することが可能となり、ミラーデバイス１０の精度を高く維持することができる。つまり、第２梁部６を変形させることで、ミラー部２および第１接続部３に対して引張応力や圧縮応力を加えて第１接続部３の剛性を変えることができ、ミラー部２および第１接続部３の共振周波数を制御することが可能となる。その結果、ミラーデバイス１０の駆動時や駆動環境によって、ミラーデバイス１０に熱や歪みが発生した場合でも、圧電素子７ａ〜７ｄに印加する駆動周波数とミラー部２との共振周波数とを同程度に維持することができる。
【００２２】  特許文献１のようなミラーデバイスは、ミラー部材の共振周波数と、圧電素子に印加する電気信号の駆動周波数とが同じときにミラー部の変位が最大となる。しなしながら、ミラーデバイスの駆動時や駆動環境によって、ミラーデバイスに熱や歪みが発生した場合に、共振周波数が変動し、駆動周波数と差が生じることとなる。その結果、ミラーデバイスの精度が低下しやすくなる。これに対し、第１実施形態のミラーデバイス１０は、上述したように、精度を高く維持することができる。
【００２３】  第２接続部５は、電圧印加による第２梁部６の変形に追従して、上記第１方向（Ｘ軸方向）に沿って動くことによって、ミラー部２および第１接続部３に対して良好に圧縮応力または引張応力を加える機能を有する。第２接続部５は、平面視したときの第１方向に直交する方向の幅（Ｙ軸方向の幅）が、例えば０．０２〜０．４ｍｍであり、Ｘ軸方向の長さが例えば０．０２〜１ｍｍであり、厚みが例えば０．０１〜０．３ｍｍである。また、第２接続部５のＸ軸方向に垂直な断面（ＹＺ断面）の形状は、特に限定されず、多角形状や円形状、楕円形状等であってもよい。
【００２４】  第２接続部５の変形によるミラー部２の共振周波数の制御を良好にしながら、第１梁部４の電圧印加による変形を良好にするという観点から言えば、第２接続部５は、平面視したときの第１方向に直交する方向の幅（Ｙ軸方向の幅）が第１梁部４のＹ軸方向の長さに対して０．０１〜０．１倍であってもよい。このような幅であれば、第２接続部５による応力が第１梁部４全体に伝わるのを低減でき、第１梁部４の電圧印加による変形の精度を良好に維持することができる。
【００２５】  また、第１梁部４が図１のように圧電素子７ａ〜７ｄを有する構成である場合、第１梁部４における第２接続部５との接続部近傍には圧電素子７ａ〜７ｄが配置されていないような構成としてもよい。このような構成であれば、第２接続部５による応力が圧電素子７ａ〜７ｄに伝わるのを低減でき、第１梁部４の電圧印加による変形の精度をさらに良好に維持することができる。
【００２６】  第２梁部６は、固定部１および第２接続部５を接続するとともに第１方向（Ｘ軸方向）に対して交差するように延びている。図１では、第２梁部６は第２接続部５との接続部から＋Ｙ方向と−Ｙ方向の２方向に延びており、固定部１の対向する一対のアームにそれぞれ接続されている。なお、第２梁部６はこのような構成に限定されず、第２接続部５との接続部から固定部１の１つのアームのみと接続された構成であってもよい。また、第２梁部６とＸ軸との成す角度は、図１のような９０°でなくともよく、鋭角あるいは鈍角であってもよい。
【００２７】  第２梁部６は、電圧を印加することで変形可能な構造である。このような構造としては、図１に示すように、第２梁部６の本体の表面（図１では上面）に圧電素子８ａ〜８ｄを有する構造であってもよい。圧電素子８ａ〜８ｄは、例えば圧電膜上に電極を有するものが挙げられる。この電極を介して圧電膜に電圧を印加することによって圧電膜に歪みを生じさせ、その結果、第２梁部６の全体を変形させることが可能となる。このような圧電膜としては、チタン酸バリウムやチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等が用いられ得る。
【００２８】  第２梁部６は、ミラー部２の共振周波数の制御を良好に行なうという観点からは、平面視したときの幅（Ｘ軸方向の長さ）が例えば０．０５〜０．５ｍｍであり、厚みが例えば０．０１〜０．３ｍｍである。第２梁部６の平面視形状は直線状に限らず、曲線状や矩形状であってもよい。第２梁部６の延伸方向（Ｙ軸方向）に垂直な断面（ＸＺ断面）の形状は、特に限定されず、多角形状や円形状、楕円形状等であってもよい。
【００２９】  また、第１接続部３は、図１に示すように、第１接続部３の表面（図１では上面）に、さらに圧電素子９ａ〜９ｂを有する構造であってもよい。圧電素子９ａ〜９ｂは、例えば圧電膜上に電極を有するものが挙げられる。圧電素子９ａ〜９ｂは、第１接続部３の変形量を読み取るセンサとして機能する。つまり、第１接続部３の変形によって圧電素子９ａ〜９ｂが歪み、これによって生じる電圧から変形量を読み取ることができる。
【００３０】  このようなセンサとしての圧電素子９ａ〜９ｂと、第１接続部３の変形を行なう圧電素子７ａ〜７ｄと、第２梁部６の変形を行なう圧電素子８ａ〜８ｄとは、例えば図４に示すような制御回路で駆動される。図４において、外部クロックから圧電素子７ａ〜７ｄへクロック信号を入力し、圧電素子９ａ〜９ｂで第１接続部３の変形量を検出する。そして、ミラーデバイス１０の外部または内部に位置した位相検出器で、圧電素子９ａ〜９ｂからの出力の位相を読み取り、外部クロックとの位相差を検出する。この位相差に相当する電圧を圧電素子８ａ〜８ｄに印加することで、第２梁部６を変形させ、位相差が所望の位相差(この場合は共振位相)になるように自動制御する。これによって、外部クロックの周波数にミラー部２および第１接続部３の共振周波数を自動で合わせ込むことができる。その結果、制御回路は外部クロックでありながら、共振周波数で常に駆動することで駆動電圧も大きくならず、低電圧動作が可能となる。
【００３１】  ミラーデバイス１０は以下のようにして作製することができる。まず、シリコン等の基板を公知の半導体微細加工方法を用いて加工し、固定部１、ミラー部２、第１接続部３、第１梁部４の本体、第２接続部５および第２梁部６の本体を一体的に形成する。次に、第１梁部４の本体および第２梁部６の本体の上面に公知の薄膜形成方法を用いて電極および圧電膜を形成することによって圧電素子７ａ〜７ｄ、８ａ〜８ｄ、９ａ〜９ｂを作製する。これによって、ミラーデバイス１０が完成する。
【００３２】  ＜第２実施形態のミラーデバイス＞  図５は、第２実施形態のミラーデバイス２０の平面図である。また、図６は図５のVI−VI線におけるミラーデバイス２０断面図である。ミラーデバイス２０において図１〜図３に示したミラーデバイス１０と同じ構成のものには同じ符号を付しており、詳細な説明は省略する。
【００３３】  ミラーデバイス２０は、第２接続部２５が電圧を印加することで変形可能となっている点でミラーデバイス１０と異なっている。図５および図６の例では、圧電素子２８が、第２梁部２６ではなく第２接続部２５の本体の表面に位置している。
【００３４】  このような構成によって、ミラー部２および第１接続部３の共振周波数を変更することが可能となり、ミラーデバイス２０の精度を高く維持することができる。つまり、第２接続部２５を変形させることで、ミラー部２および第１接続部３に対して引張応力や圧縮応力を加えて第１接続部３の剛性を変えることができ、ミラー部２および第１接続部３の共振周波数を制御することが可能となる。その結果、ミラーデバイス２０の駆動時や駆動環境によって、ミラーデバイス２０に熱や歪みが発生した場合でも、圧電素子７ａ〜７ｄに印加する駆動周波数とミラー部２との共振周波数とを同程度に維持することができる。
【００３５】  第１接続部３の上記第１端（ミラー部２に接続されている第１接続部３の一端）から第１方向（Ｘ軸方向）に延びる仮想の直線を仮想直線としたときに、第２接続部２５は、この仮想直線上において一端（以下では第２端という）が第１梁部４または第１接続部３に接続されている。そして、第２接続部２５は、仮想直線上において、この第２端から第１方向に延びている。
【００３６】  また、第２接続部２５は、電圧を印加することで変形可能な構造である。このような構造としては、図５および図６に示すように、第２接続部２５の本体の表面（図５では上面）に圧電素子２８ａ、２８ｂを有する構造であってもよい。圧電素子２８ａ、２８ｂは、例えば圧電膜上に電極を有するものが挙げられる。この電極を介して圧電膜に電圧を印加することによって圧電膜に歪みを生じさせ、その結果、第２接続部２５の全体を変形させることが可能となる。なお、第２接続部２５の本体の形状は、ミラーデバイス１０で用いた第２接続部５と同様の形状とすることができる。
【００３７】  第２梁部２６は、固定部１および第２接続部２５を接続するとともに第１方向（Ｘ軸方向）に対して交差するように延びている。なお、第２梁部２６の形状は、ミラーデバイス１０で用いた第２梁部６の本体と同様の形状とすることができる。この第２梁部２６の表面にさらに圧電素子を有してもよい。この場合、圧電素子７ａ〜７ｄに印加する駆動周波数とミラー部２との共振周波数とを、さらに良好に同程度に維持することができる。
【００３８】  ＜第３実施形態のミラーデバイス＞  図７は、第３実施形態のミラーデバイス３０の平面図である。また、図８は図７のVIII−VIII線におけるミラーデバイス３０断面図である。ミラーデバイス３０において図１〜図３に示したミラーデバイス１０と同じ構成のものには同じ符号を付しており、詳細な説明は省略する。
【００３９】  ミラーデバイス３０は、第２梁部を有しておらず、第２接続部３５が第１梁部４と固定部１とを接続しているとともに、第２接続部３５が電圧を印加することで変形可能となっている点でミラーデバイス１０と異なっている。図７および図８の例では、圧電素子３８が第２接続部３５の本体の表面に位置している。
【００４０】  このような構成によって、ミラー部２および第１接続部３の共振周波数を変更することが可能となり、ミラーデバイス３０の精度を高く維持することができる。つまり、第２接続部３５を変形させることで、ミラー部２および第１接続部３に対して引張応力や圧縮応力を加えて第１接続部３の剛性を変えることができ、ミラー部２および第１接続部３の共振周波数を制御することが可能となる。その結果、ミラーデバイス３０の駆動時や駆動環境によって、ミラーデバイス３０に熱や歪みが発生した場合でも、圧電素子７ａ〜７ｄに印加する駆動周波数とミラー部２との共振周波数とを同程度に維持することができる。
【００４１】  第１接続部３の上記第１端（ミラー部２に接続されている第１接続部３の一端）から第１方向（Ｘ軸方向）に延びる仮想の直線を仮想直線としたときに、第２接続部３５は、この仮想直線上において一端（以下では第２端という）が第１梁部４または第１接続部３に接続されている。そして、第２接続部３５は、仮想直線上において、この第２端から第１方向に延びている。
【００４２】  また、第２接続部３５は、電圧を印加することで変形可能な構造である。このような構造としては、図７および図８に示すように、第２接続部３５の本体の表面（図７では上面）に圧電素子３８ａ、３８ｂを有する構造であってもよい。圧電素子３８ａ、３８ｂは、例えば圧電膜上に電極を有するものが挙げられる。この電極を介して圧電膜に電圧を印加することによって圧電膜に歪みを生じさせ、その結果、第２接続部３５の全体を変形させることが可能となる。なお、第２接続部３５の本体の形状は、ミラーデバイス１０で用いた第２接続部５と同様の形状とすることができる。
【００４３】  ＜第１〜第３実施形態のミラーデバイスの変形例＞  本発明は上述の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更、改良などが可能である。例えば、上記の第１〜第３実施形態のミラーデバイス１０、２０、３０のいずれにおいても、第２接続部の剛性は第１接続部の剛性よりも高くてもよい。その場合、第２梁部６または第２接続部２５、３５によるミラー部２および第１接続部３の共振周波数の制御をより効率よく行なうことができ、より低電圧動作が可能となる。
【００４４】  第２接続部の剛性を第１接続部の剛性よりも高くする方法としては、例えば第２接続部として第１接続部よりも高弾性率の材料を用いてもよい。あるいは、第２接続部の第１方向に垂直な断面（ＹＺ断面）における断面積が、第１接続部よりも大きくなるようにしてもよい。断面積を大きくする方法としては、図９の変形例に示すように、第１接続部３よりも第２接続部４５のＹ軸方向の太さを太くしてもよい。あるいは、図１０の変形例に示すように、第１接続部３よりも第２接続部５５のＺ軸方向の厚さを厚くしてもよい。このような第２接続部４５あるいは第２接続部５５であれば、１つの部材から、ミラー部２の本体、第１接続部３、第１梁部４および第２接続部４５、５５を一体的に作製することができ、製造工程が容易で、かつ低電力動作が可能となる。
【符号の説明】
【００４５】１：固定部２：ミラー部３：第１接続部４：第１梁部５、２５、３５：第２接続部６、２６：第２梁部１０、２０、３０：ミラーデバイス
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【国際調査報告】
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