(57)【要約】  対物レンズと、フライアイレンズを有する照明光学系とを備えた顕微鏡であって、フライアイレンズは複数のレンズエレメントを有し、照明光学系において、複数のレンズエレメントの像は、対物レンズの瞳に投影され、対物レンズの瞳の外周上に投影されるレンズエレメントの像の数ｎ２よりも、対物レンズの瞳の内部に投影されるレンズエレメントの像の数ｎ１が多い。上記観察光学系において、第１の瞳径を有する第１の対物レンズと、第１の瞳径よりも瞳径が大きい第２の対物レンズとが切り替え可能であり、第１の対物レンズにおいて、数ｎ１が数ｎ２よりも大きくてよい。
2017068627.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対物レンズと、
フライアイレンズを有する照明光学系と
を備えた顕微鏡であって、
前記フライアイレンズは、複数のレンズエレメントを有し、
前記照明光学系において、前記複数のレンズエレメントの像は、前記対物レンズの瞳に投影され、
前記対物レンズの瞳の外周上に投影されるレンズエレメントの像の数ｎ２よりも、前記対物レンズの瞳の内部に投影されるレンズエレメントの像の数ｎ１が多いことを特徴とする
顕微鏡。
【請求項２】
第１の瞳径を有する第１の対物レンズと、前記第１の瞳径よりも瞳径が小さい第２の瞳径を有する第２の対物レンズとが切り替え可能であり、前記第２の対物レンズにおいて、前記数ｎ１が前記数ｎ２よりも多いことを特徴とする
請求項１に記載の顕微鏡。
【請求項３】
互いに瞳径が異なる複数の対物レンズが切り替え可能であり、
前記複数の対物レンズのうち最も瞳径が小さい対物レンズにおいて、前記数ｎ１が前記数ｎ２よりも多いことを特徴とする
請求項１に記載の顕微鏡。
【請求項４】
光源と前記フライアイレンズとの組が着脱可能であることを特徴とする
請求項１から３のいずれか１項に記載の顕微鏡。
【請求項５】
前記照明光学系は、光源から放射される光の取り込み角ＮＡ'が、下記の式１を満たすことを特徴とする
請求項１から４のいずれか一項に記載の顕微鏡。
【数１】
2017068627.tif 000013
【請求項６】
光源から放射された照明光を前記フライアイレンズに入射させるコレクタレンズを更に備え、
前記光源の発光面が正方形である場合に、前記照明光学系が下記の式２を満たすことを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載の顕微鏡。
【数２】
2017068627.tif 000014
ただし、
ｐは前記複数のレンズエレメントのピッチ、
ａは前記発光面の一辺の長さ、
ｆＦＥは前記レンズエレメントの焦点距離、
ｆｃｌは前記コレクタレンズの焦点距離である。
【請求項７】
光源から放射された照明光を前記フライアイレンズに入射させるコレクタレンズを更に備え、
前記光源の発光面が円形である場合に、前記照明光学系が下記の式３を満たすことを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載の顕微鏡。
【数３】
2017068627.tif 000015
ただし、
ｐは前記複数のレンズエレメントのピッチ、
ｂは前記発光面の直径、
ｆＦＥは前記レンズエレメントの焦点距離、
ｆｃｌは前記コレクタレンズの焦点距離である。
【請求項８】
前記照明光学系は、
前記対物レンズの瞳に投影される前記複数のレンズエレメントの像の倍率を変化させる変倍光学系を含むことを特徴とする
請求項１から７のいずれか一項に記載の顕微鏡。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、顕微鏡に関する。
【背景技術】
【０００２】
視野を均一に照明するために、フライアイレンズを用いた顕微鏡がある（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１  US 2011/0235170 A1 
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
フライアイレンズを用いた顕微鏡において、より均一な照明を行うことが要望されている。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明の一態様においては、対物レンズと、フライアイレンズを有する照明光学系とを備えた顕微鏡であって、前記フライアイレンズは複数のレンズエレメントを有し、照明光学系において、複数のレンズエレメントの像は、対物レンズの瞳に投影され、対物レンズの瞳の外周上に投影されるレンズエレメントの像の数ｎ２よりも、対物レンズの瞳の内部に投影されるレンズエレメントの像の数ｎ１が多い。【０００５】
上記の発明の概要は、本発明の特徴の全てを列挙したものではない。これらの特徴群のサブコンビネーションもまた発明となり得る。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
【図１】顕微鏡の模式図である。
【図２】顕微鏡の光学的な構造を示す模式図である。
【図３】フライアイレンズを例示する図である。
【図４】レンズエレメントの像を例示する図である。
【図５】照明光学系における照度分布を示すグラフである。
【図６】フライアイレンズの像と瞳径の関係を示す模式図である。
【図７】他の照明光学系の構造を示す模式図である。
【図８】変倍光学系によるフライアイレンズの像を説明する図である。
【図９】レンズエレメントにおいて形成される光源像を示す模式図である。
【図１０】レンズエレメントにおいて形成される光源像を示す模式図である。
【図１１】光源の配向特性を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明する。下記の実施形態は請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
【０００８】
図１は、顕微鏡１０の模式図である。顕微鏡１０は、観察光学系１００、照明光学系２００および光源２１０を備える。
【０００９】
観察光学系１００は、試料１８０の像を形成する。観察光学系１００は、接眼レンズ１１０、対物レンズ１６０を有する。
【００１０】
対物レンズ１６０は、ステージ１７０に配置された試料１８０の直下に、試料１８０に対して対向して配される。図の例では、互いに異なる倍率および対物瞳径を有する複数の対物レンズ１６０が、レボルバ１６２に取り付けられている。
【００１１】
ステージ１７０は、試料１８０を図中下方から照明および観察できる観察孔を有し、ステージ１７０には、観察対象となる試料１８０が配置されている。また、ステージ１７０は、顕微鏡１０が置かれた環境に対して、水平方向および垂直方向に個別に移動させることができる。
【００１２】
照明光学系２００は、光源２１０から発せられた照明光を試料１８０に照射する。フィルタキューブ２７０は、対物レンズ１６０の直下に配される。フィルタキューブ２７０の詳細は後述する。
【００１３】
図２は、顕微鏡１０の光学的な構造を示す模式図である。
【００１４】
観察光学系１００は、対物レンズ１６０、フィルタキューブ２７０、結像レンズ１５０、複数のリレーレンズ１３２、１３４、１３６、および、複数の反射鏡１２０、１４２、１４４を含む。
【００１５】
対物レンズ１６０は、試料１８０の観察面１９１に対面して配される。対物レンズ１６０および結像レンズ１５０により、ステージ１７０上の試料１８０の一次像１９２が形成される。
【００１６】
リレーレンズ１３２、１３４、１３６は、結像レンズ１５０が形成した一次像１９２をリレーし、二次像１９３を形成する。顕微鏡１０の使用者は、接眼レンズ１１０によって、二次像１９３を観察する。
【００１７】
対物レンズ１６０および結像レンズ１５０の間には、フィルタキューブ２７０が配される。フィルタキューブ２７０は、励起フィルタ２７２、ダイクロイックミラー２７４、および吸収フィルタ２７６を有する。励起フィルタ２７２は、例えば、試料１８０に蛍光を発生させる帯域の光（励起光）を選択的に透過させ、他の帯域の光を遮断する特性を有する。
【００１８】
ダイクロイックミラー２７４は、照明光学系２００から照射された照明光を反射すると共に、試料１８０から発生した観察光、例えば蛍光を透過させる。これにより、照明光学系２００は、対物レンズ１６０と同じ側から試料１８０を照明または励起できる。吸収フィルタ２７６は、試料１８０が発生した蛍光以外の帯域の光を遮断する特性を有する。
【００１９】
反射鏡１２０、１４２、１４４は、観察光学系１００の光路を折り曲げる。
【００２０】
顕微鏡１０は、第二観察光学系２０２と、当該第二観察系２０２が形成する観察像を撮像するカメラ２８２を備える。第二観察光学系２０２は、対物レンズ１６０、フィルタキューブ２７０および結像レンズ１５０を観察光学系１００と共有している。また、第二観察光学系２０２は、リレーレンズ２８４およびプリズム２８６を有する。プリズム２８６は、第二観察光学系２０２の光路上に交換可能に配置され、観察光を反射して、リレーレンズ２８４に導く。リレーレンズ２８４は、反射された観察光を、カメラ２８２に導き、像を形成する。カメラ２８２は、ＣＣＤ、ＣＭＯＳセンサ等のイメージセンサにより、観察像を電気信号に変換して出力する。
【００２１】
照明光学系２００は、コレクタレンズ２２０、フライアイレンズ２３０リレーレンズ２４２、２４４、および視野絞り２５０を有する。また、観察光学系１００の対物レンズ１６０は、照明光学系２００におけるコンデンサレンズとしての機能も兼ねる。さらに照明光学系２００は、フィルタキューブ２７０を観察光学系１００と共有している。
【００２２】
光源２１０として、例えば、ＬＥＤ、ＬＤ等の発光素子が用いられる。コレクタレンズ２２０は、前側焦点が光源２１０の発光面と一致する位置に配されて、光源２１０から発せられた照明光を略平行光にする。
【００２３】
フライアイレンズ２３０は、図３に示すように、複数のレンズエレメント２３９を有する。
【００２４】
フライアイレンズ２３０の入射端面には、光源２１０から放射されてコレクタレンズ２２０で略平行光にされた照明光が入射する。また、フライアイレンズ２３０の射出端面において、レンズエレメント２３９それぞれに光源２１０の光源像が形成される。
【００２５】
フライアイレンズ２３０と対物レンズ１６０との間に一対のリレーレンズ２４２、２４４が配される。フライアイレンズ２３０の射出端面は、対物レンズ１６０の瞳位置（後側焦点位置）と共役な位置（瞳共役位置）または、その近傍に配置される。なお、瞳共役位置の近傍とは、例えば、瞳共役位置から±１５ｍｍ内である。
【００２６】
フライアイレンズ２３０の入射端面は、視野絞り２５０と共役な位置に配置される。図２の例において視野絞り２５０は当該一対のリレーレンズ２４２、２４４の間に配されている。
【００２７】
上述たように、フライアイレンズ２３０の射出端面は、対物レンズ１６０の瞳位置（後側焦点位置）と共役な位置（瞳共役位置）または、その近傍に配置されているので、一対のリレーレンズ２４２、２４４により、レンズエレメント２３９の像が対物レンズ１６０の瞳に投影され、二次光源が形成される。
【００２８】
視野絞り２５０の位置には複数のレンズエレメント２３９の入射端面の像が重ね合わされて形成される。この像と共役な像が、試料１８０を含む観察面１９１に形成され、試料１８０を照明する。
【００２９】
照明光源２１０、コレクタレンズ２２０、およびフライアイレンズ２３０をまとめて交換ユニット２０９を形成し、顕微鏡１０の用途に合わせてまとめて交換できるようにしてもよい。例えば、発光波長が長い４７０ｎｍのＬＥＤを用いる場合、樹脂製のフライアイレンズ２３０を用いてもよい。この場合、例えば、発光波長が長い４７０ｎｍのＬＥＤとコレクタレンズ２２０および樹脂製のフライアイレンズ２３０とを組み合わせて交換可能としてもよい。また、発光波長が短い３８５ｎｍ、４５５ｎｍ等のＬＥＤを用いる場合、石英製またはシリコン樹脂製のフライアイレンズ２３０を用いてもよい。この場合、発光波長が短い３８５ｎｍ、４５５ｎｍ等のＬＥＤとコレクタレンズ２２０および石英製またはシリコン樹脂製のフライアイレンズ２３０とを組み合わせて交換可能としてもよい。
【００３０】
図３は、フライアイレンズ２３０の構成を示す図である。フライアイレンズ２３０は、各々が六角形のレンズエレメント２３９が、蜂の巣（ハニカム）状に配置された構成を有する。各レンズエレメント２３９は、一例として、入射側の曲率半径と射出側の曲率半径とが等しく、入射側から平行光束が入射すると射出端面に集光する。
【００３１】
図４（ａ）から（ｅ）は、対物レンズ１６０の瞳面に投影されたフライアイレンズの像２３１、２３２、２３３、２３４、２３５をそれぞれ示す図である。図４（ａ）から（ｅ）では、瞳２５１の大きさが同一であるが、瞳２５１に投影されているレンズエレメント２３９の像２３７の大きさがそれぞれ異なっている。
【００３２】
ここで、図４（ａ）から（ｅ）では、瞳２５１の外周上にレンズエレメントの像２３７が投影されているが、本発明者は、瞳２５１の外周上に投影されたレンズエレメントの像２３７が、照明光の不均一性に影響を与えていることを見出した。例えば、図４（ａ）では、図中の方向Ｘ１と方向Ｘ２とでは、瞳２５１の外周上に投影されるレンズエレメントの像２３７のうち、瞳２５１を通過する割合、すなわち、照明光として寄与する割合が異なるため、照明光の二次元的な不均一性、に影響を与えている。図４（ｂ）の図中の方向Ｙ１と方向Ｙ２とにおいても、同様である。
【００３３】
そこで、瞳２５１の外周に投影されるレンズエレメント２３９が照明光の二次元的な不均一性に与える影響を検討した。具体的には、図４（ａ）から（ｅ）それぞれにおいて、観察面１９１における照度分布をシミュレーションした。当該シミュレーションでは一次元方向の照度分布を計算した。
【００３４】
まず、図４（ａ）に示すように、瞳２５１に投影されたフライアイレンズの像２３１におけるレンズエレメントの像２３７の数をみると、下記の通りとなる。フライアイレンズの像２３１において、瞳２５１の外周に投影されるレンズエレメントの像２３７の数ｎ２は６個である。言い換えると、ｎ２は、瞳２５１の外周を横切るようなレンズエレメントの像２３７の数である。一方、瞳２５１の内部に投影されるレンズエレメントの像２３７の数ｎ１は１個である。言い換えると、ｎ１は、瞳２５１の外周と交差する６個のレンズエレメントの像２３７で囲まれたレンズエレメントの像２３７の数である。
【００３５】
図４（ｂ）に示すフライアイレンズの像２３２では、ｎ２が１２個でありｎ１は７個になる。これらｎ１とｎ２との関係を、図４に示していない例も含めて表１に示す。
【表１】
2017068627.tif 000003
【００３６】
図５は、図４（ａ）から（ｅ）それぞれにおける、観察面１９１での照度分布のシミュレーション結果を示すグラフである。
【００３７】
図５に示すように、図４（ａ）から（ｅ）それぞれにおいて、瞳２５１の外周上に投影されるレンズエレメント２３９の数ｎ２よりも、瞳２５１の内部に投影されるレンズエレメント２３９の数ｎ１の方が多い場合（すなわち、ｎ１＞ｎ２の場合）は、観察面１９１の一次元方向における照度の変化が１％未満となることが判った。つまり、観察面１９１の一次元方向における照度の変化が１％未満となり、ほぼ均一であると見なすことができるので、二次元方向における照度分布の不均一性に対する影響も小さくなる。つまり、ｎ１＞ｎ２とすることにより、観察面１９１の一次元方向における照度分布はほぼ均一となるので、瞳２５１の外周上に投影されるレンズエレメントの像２３７による二次元方向における照度分布の不均一性に対する影響を低減することができる、したがって、観察面１９１の二次元方向の不均一性も小さくなる。
【００３８】
図６は、顕微鏡１０における瞳径の変化に対するレンズエレメント２３９の像２３６の対応を説明する図である。顕微鏡１０は、レボルバ１６２に取り付けられた複数の対物レンズ１６０を備え、観察に用いる対物レンズ１６０を簡単に切り替えることができる。
【００３９】
使用する対物レンズ１６０を変更した場合、瞳径が変化する場合がある。例えば、対物レンズ１６０を、１０倍から４０倍に変更すると、瞳径が小さくなる場合がある。つまり、使用する対物レンズ１６０を変更すると、図６に示すように瞳２５４から瞳２５６に変化する場合がある。そこで、顕微鏡１０においては、対物レンズ１６０が切り替えられて瞳径が小さくなった場合にも、上記の条件、即ち、ｎ１＞ｎ２となるように、照明光学系２００を構成することにより、対物レンズ１６０を切り替えても、観察面１９１における照明光照度の均一性が低下しない顕微鏡１０を形成できる。
【００４０】
図６の例では、瞳径が小さい瞳２５６においても、ｎ１＞ｎ２となるように、照明光学系２００を構成すればよい。
【００４１】
すなわち、第１の瞳径を有する第１の対物レンズと、前記第１の瞳径よりも瞳径が小さい第２の瞳径を有する第２の対物レンズとが切り替え可能であり、第２の対物レンズにおいて、数ｎ１が数ｎ２よりも多くなるように照明光学系２００を構成することが好ましい。特に、互いに瞳径が異なり、切り替え可能な対物レンズが３つ以上ある場合に、複数の対物レンズのうち最も瞳径が小さい対物レンズにおいて、数ｎ１が数ｎ２よりも多くなるように照明光学系２００を構成することが好ましい。これにより、顕微鏡１０においては、瞳径が小さい対物レンズ１６０を選択した場合であっても、視野全体が均一に照明される。
【００４２】
図７は、他の照明光学系２０１の構造を示す模式図である。照明光学系２０１は、次に説明する部分を除くと、図２に示した照明光学系２００と同じ構造を有し、共通の要素には同じ参照番号を付して重複する説明を省く。
【００４３】
照明光学系２０１は、一方のリレーレンズ２４２に換えて、複数のレンズにより形成された変倍光学系２４６を備える点において、照明光学系２００と異なる。変倍光学系２４６の倍率を変化させた場合、瞳面に投影されるフライアイレンズ２３０の像の大きさが変化する。
【００４４】
図８は、変倍光学系２４６によるフライアイレンズ２３０の像を説明する図である。変倍光学系２４６のある倍率において例えば図８（Ａ）に示すように、フライアイレンズの像２９０において瞳２５１の外周上に投影されるレンズエレメントの像２３７の数ｎ２が１２個であるのに対して、瞳２５１の内部に投影されるレンズエレメントの像２３７の数ｎ１が７個となっているとする。
【００４５】
照明光学系２０１においては、変倍光学系２４６により、瞳２５１に投影されるフライアイレンズ２３０の像の大きさを変化させることができる。そこで、図８（Ｂ）に示す通り、変倍光学系２４６の倍率を小さくしてフライアイレンズ２３０の像２９１の大きさを、フライアイレンズ２３０の像２９０の大きさよりも縮小することにより、ｎ１を１９個かつｎ２を１８個とすることができる。このように、変倍光学系２４６を用いることでフライアイレンズ２３０自体を変更することなく、ｎ１＞ｎ２の条件を満足させることができる。
【００４６】
図９は、照明光学系２００における、フライアイレンズ２３０の射出面に投影された光源２１０の像を示す図である。図示の例では、光源２１０として、正方形の発光面を有するＬＥＤを用いる場合が示されている。図９に示すように、光源２１０の一辺の長さをａとする。また、レンズエレメント２３９の向かい合う平行な辺の間隔は、エレメントピッチｐに等しい。
【００４７】
光源２１０が、フライアイレンズ２３０の射出面に投影される倍率は、コレクタレンズ２２０の焦点距離ｆｃｌと、レンズエレメント２３９の焦点距離ｆＦＥとを用いて、（ｆＦＥ／ｆｃｌ）と表せる。よって、フライアイレンズ２３０の射出面に投影される光源２１０の像の一辺の長さは、（ｆＦＥ／ｆｃｌ）ａとなり、ＬＥＤがレンズエレメント２３９の各々の射出面に投影される面積は、（ｆＦＥ／ｆｃｌ）２ａ２と表せる。
【００４８】
レンズエレメント２３９の射出面の面積は、（（３１／２・ｐ２）／２）である。ここで、光源２１０の像２１４に示すように、レンズエレメント２３９の射出面の内部に、光源２１０の像が投影されている場合、レンズエレメント２３９における光源２１０の像の充填率は、レンズエレメント２３９の面積に対する光源２１０の像の面積の割合と定義できる。
【００４９】
上記定義において、充填率が５０％以上となることが好ましい。充填率が５０％より小さいと、瞳２５２における光源２１０の像の面積が小さくなり、実質的ＮＡが低下するからである。そのための照明光学系２００の条件は、光源２１０の一辺の長さａを用いて下記の通りに表わされる。
【数１】
2017068627.tif 000004
【００５０】
光源２１０の像２１２のように、光源２１０の像が、レンズエレメント２３９の射出面より大きい場合には、光源２１０の像の一辺の長さは、レンズエレメント２３９の最大長さ（図９においては向かい合う頂点間の距離）よりも小さいことが好ましい。レンズエレメント２３９における光源２１０の像の一辺の長さが、レンズエレメント２３９の最大長さよりも大きいと、光量の損失およびフレアの原因となるからである。したがって、レンズエレメント２３９のピッチｐは、光源２１０の一辺長さａを用いて下記の通りに表わされる。
【数２】
2017068627.tif 000005
【００５１】
上記２式をまとめると、下記条件となる。
【数３】
2017068627.tif 000006
【００５２】
図１０は、照明光学系２００における、フライアイレンズ２３０の射出面に投影された光源２１９の像を示す図である。図示の例では、光源２１０に替えて直径ｂの光源２１９（光ファイバ２１９）を用いる場合が示されている。
【００５３】
上記図９の場合と同様の考察により、レンズエレメント２３９の射出面に投影された光ファイバ２１９の像の直径は（ｆＦＥ／ｆｃｌ）ｂと表され、面積はπ（ｆＦＥ／ｆｃｌ）２（ｂ／２）２と表される。光ファイバ２１９を用いた場合においても、上記図９と同様に光ファイバ２１９の像が、レンズエレメント２３９の射出面の内部に投影されている場合（図１０の像２１８）、充填率は５０％以上となることが好ましい。また、光ファイバ２１９の像が、レンズエレメント２３９の射出面より大きい場合には（図１０の像２１６）、光ファイバ２１９の像の直径は、レンズエレメント２３９の最大長さ（図９においては向かい合う頂点間の距離）よりも小さいことが好ましい。したがって、レンズエレメント２３９のピッチｐは、光ファイバ２１９の直径ｂを用いて下記の通りに表わされる。
【数４】
2017068627.tif 000007
【００５４】
以下、光源２１０から放射される光の取り込み角ＮＡ'について説明する。  光源２１０の射出角がθであるときの光強度は、ｒｃｏｓθとなる。その場合に、図１１に示す極座標で示される空間における微小体積ΔＶは下記数式５のように表せる。
【数５】
2017068627.tif 000008
これを積分した数式６が光源２１０の発光面の１点から射出角θの範囲の取り込み光量となる。
【数６】
2017068627.tif 000009
【００５５】
ここで、発光面の１点からの取り込み光量は、光量の損失を考慮するとおおよそ７０％以上確保することが好ましい。７０％以上の取り込み光量を確保できる射出角をθ１とおくと、取り込み光量が１００％のときの射出角が９０°であることを考慮して、下記の通りとなる。
【数７】
2017068627.tif 000010
これをｃｏｓθ１について解いて、ｓｉｎθ１で表すと、数式８の関係を得る。
【数８】
2017068627.tif 000011
【００５６】
取り込み角ＮＡ'はｎ・ｓｉｎθ１であって、照明光学系２００においてｎ＝１であるから、小数点３桁を四捨五入すると、下記数式９を得る。
【数９】
2017068627.tif 000012
以上により、下記数式９を満たすように光学的な各パラメータを設定することにより、光源２１０からの光量をより多く取り込むことができる。
【００５７】
上記の例では、照明光学系２００における光源２１０としてＬＥＤを用いたが、フライアイレンズ２３０を用いた照明光学系２００が、ハロゲンランプ等の他の光源２１０にも対応できることはもちろんである。また、光源２１０としては、外部から供給された照明光を導入する光ファイバ等の導波路の射出端も使用できる。
【００５８】
なお、上記の例では、照明光学系２００を落射照明に使用した。しかしながら、上記のようなフライアイレンズ２３０を用いた照明光学系２００は、顕微鏡１０における透過照明観察における試料１８０の照明にも使用できる。また、上記の照明光学系２００は、明視野観察用の照明光を照射してもよいし、蛍光観察における励起光を照射してもよい。
【００５９】
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、請求の範囲の記載から明らかである。
【００６０】
請求の範囲、明細書、および図面中において示した装置、システム、プログラム、および方法における動作、手順、ステップ、および段階等の各処理の実行順序は、特段「より前に」、「先立って」等と明示しておらず、また、前の処理の出力を後の処理で用いるのでない限り、任意の順序で実現しうることに留意すべきである。請求の範囲、明細書、および図面中の動作フローに関して、便宜上「まず、」、「次に、」等を用いて説明したとしても、この順で実施することが必須であることを意味するものではない。
【符号の説明】
【００６１】
１０  顕微鏡、１００  観察光学系、１１０  接眼レンズ、１２０、１４２、１４４  反射鏡、１３２、１３４、１３６、２４２、２４４、２８４  リレーレンズ、１５０  結像レンズ、１６０  対物レンズ、１６２  レボルバ、１７０  ステージ、１８０  試料、１９１  観察面、１９２  一次像、１９３  二次像、２００、２０１  照明光学系、２０２  第二観察光学系、２０９  交換ユニット、２１０  光源、２１２  像、２１４  像、２１６  像、２１８  像、２３６  像、２１９  光ファイバ、２２０  コレクタレンズ、２３０  フライアイレンズ、２３１、２３２、２３３、２３４、２３５  像、２３７  像、２３９  レンズエレメント、２４６  変倍光学系、２５０  視野絞り、２５１  瞳、２５２  瞳、２５４  瞳、２５６  瞳、２７０  フィルタキューブ、２７２  励起フィルタ、２７４  ダイクロイックミラー、２７６  吸収フィルタ、２８２  カメラ、２８４  リレーレンズ、２８６  プリズム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【国際調査報告】
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