(57)【要約】  透明基材と、  前記透明基材の少なくとも一方の面上に形成された金属層と、  前記金属層上に形成された黒化層とを有し、  前記黒化層は、ニッケルの単体と、ニッケル酸化物と、ニッケル水酸化物と、銅とを含有する導電性基板を提供する。
2017130867.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
透明基材と、
前記透明基材の少なくとも一方の面上に形成された金属層と、
前記金属層上に形成された黒化層とを有し、
前記黒化層は、ニッケルの単体と、ニッケル酸化物と、ニッケル水酸化物と、銅とを含有する導電性基板。
【請求項２】
前記黒化層中に含まれるニッケルと、銅とは、原子数の比率で、
ニッケルを１００とした場合に、銅が５以上９０以下である請求項１に記載の導電性基板。
【請求項３】
前記透明基材と、前記金属層との間に密着層を有する請求項１または２に記載の導電性基板。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、導電性基板に関する。
【背景技術】
【０００２】
静電容量式タッチパネルは、パネル表面に近接する物体により引き起こされる静電容量の変化を検出することにより、パネル表面上での近接する物体の位置の情報を電気信号に変換する。静電容量式タッチパネルに用いられる導電性基板は、ディスプレイの表面に設置されるため、導電性基板の導電層の材料には反射率が低く、視認されにくいことが要求されている。【０００３】
このため、タッチパネル用導電性基板に用いられる導電層の材料としては反射率が低く、視認されにくい材料が用いられ、透明基板または透明フィルム上に形成されている。【０００４】
例えば特許文献１に開示されているように、高分子フィルム上に透明導電膜としてＩＴＯ（酸化インジウム−スズ）膜を形成したタッチパネル用の透明導電性フィルムが従来から用いられている。【０００５】
ところで、近年タッチパネルを備えたディスプレイの大画面化が進んでおり、これに対応してタッチパネル用の透明導電性フィルム等の導電性基板についても大面積化が求められている。しかし、ＩＴＯは電気抵抗値が高いため、導電性基板の大面積化に対応できないという問題があった。【０００６】
そこで、導電性基板の電気抵抗を抑制するため、導電層として銅メッシュ配線を用い、銅メッシュ配線の表面を黒化処理する方法が提案されている。【０００７】
例えば、特許文献２には、フィルムに支持された銅薄膜の上にレジスト層を形成する工程と、フォトリソ法により、少なくともレジスト層をストライプ状配線パターンと引き出し用配線パターンに加工する工程と、露出した銅薄膜をエッチングにより除去しストライプ状銅配線と引き出し用銅配線を形成する工程と、銅配線を黒化処理する工程と、を有するフィルム状タッチパネルセンサーの製造方法が開示されている。【０００８】
しかしながら、特許文献２ではエッチングによりストライプ状銅配線を形成した後に、銅配線を黒化処理する方法が採用されており、製造工程が増えるため生産性に問題があった。【０００９】
そこで、本発明の発明者らは、透明基材上に金属層及び黒化層を成膜した導電性基板について、金属層及び黒化層をエッチングし、所望の配線パターンを有する導電性基板とすることで製造工程を削減し、高い生産性を得られる導電性基板の製造方法について検討を行った。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】日本国特開２００３−１５１３５８号公報
【特許文献２】日本国特開２０１３−２０６３１５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかしながら、金属層と、黒化層とで、エッチング液に対する反応性が大きく異なっている場合があった。このため、金属層と黒化層とを同時にエッチングしようとすると、いずれかの層が目的の形状にエッチングできない場合や、平面内で均一にエッチングされず寸法ばらつきが生じる場合があり、金属層と黒化層とを同時にエッチングできないという問題があった。【００１２】
上記従来技術の問題に鑑み、本発明の一側面では、同時にエッチングできる金属層と黒化層とを備えた導電性基板を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記課題を解決するため本発明の一側面では、
透明基材と、
前記透明基材の少なくとも一方の面上に形成された金属層と、
前記金属層上に形成された黒化層とを有し、
前記黒化層は、ニッケルの単体と、ニッケル酸化物と、ニッケル水酸化物と、銅とを含有する導電性基板を提供する。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の一側面によれば、同時にエッチングできる金属層と黒化層とを備えた導電性基板を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１Ａ】本発明の実施形態に係る導電性基板の断面図。
【図１Ｂ】本発明の実施形態に係る導電性基板の断面図。
【図２Ａ】本発明の実施形態に係る導電性基板の断面図。
【図２Ｂ】本発明の実施形態に係る導電性基板の断面図。
【図３】本発明の実施形態に係るメッシュ状の配線を備えた導電性基板の上面図。
【図４Ａ】図３のＡ−Ａ´線における断面図。
【図４Ｂ】図３のＡ−Ａ´線における断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の導電性基板、および導電性基板の製造方法の一実施形態について説明する。
（導電性基板）
本実施形態の導電性基板は、透明基材と、透明基材の少なくとも一方の面上に形成された金属層と、金属層上に形成された黒化層とを有することができる。そして、黒化層は、ニッケルの単体と、ニッケル酸化物と、ニッケル水酸化物と、銅とを含有することができる。
【００１７】
なお、本実施形態における導電性基板とは、金属層等をパターン化する前の、透明基材の表面に金属層、及び黒化層を有する基板と、金属層等をパターニングした基板、すなわち配線基板と、を含む。金属層及び黒化層をパターニングした後の導電性基板は透明基材が金属層等により覆われていない領域を含むため光を透過することができ、透明導電性基板となっている。
【００１８】
ここでまず、本実施形態の導電性基板に含まれる各部材について以下に説明する。
【００１９】
透明基材としては特に限定されるものではなく、可視光を透過する絶縁体フィルムや、ガラス基板等を好ましく用いることができる。
【００２０】
可視光を透過する絶縁体フィルムとしては例えば、ポリアミド系フィルム、ポリエチレンテレフタレート系フィルム、ポリエチレンナフタレート系フィルム、シクロオレフィン系フィルム、ポリイミド系フィルム、ポリカーボネート系フィルム等の樹脂フィルム等を好ましく用いることができる。特に、可視光を透過する絶縁体フィルムの材料として、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）、ＣＯＰ（シクロオレフィンポリマー）、ＰＥＮ（ポリエチレンナフタレート）、ポリアミド、ポリイミド、ポリカーボネート等をより好ましく用いることができる。
【００２１】
透明基材の厚さについては特に限定されず、導電性基板とした場合に要求される強度や、静電容量、光の透過率等に応じて任意に選択することができる。透明基材の厚さとしては例えば１０μｍ以上２００μｍ以下とすることができる。特にタッチパネルの用途に用いる場合、透明基材の厚さは２０μｍ以上１２０μｍ以下とすることが好ましく、２０μｍ以上１００μｍ以下とすることがより好ましい。タッチパネルの用途に用いる場合で、例えば特にディスプレイ全体の厚さを薄くすることが求められる用途においては、透明基材の厚さは２０μｍ以上５０μｍ以下であることが好ましい。
【００２２】
透明基材の全光線透過率は高い方が好ましく、例えば全光線透過率は３０％以上であることが好ましく、６０％以上であることがより好ましい。透明基材の全光線透過率が上記範囲であることにより、例えばタッチパネルの用途に用いた場合にディスプレイの視認性を十分に確保することができる。
【００２３】
なお透明基材の全光線透過率はＪＩＳ  Ｋ  ７３６１−１に規定される方法により評価することができる。
【００２４】
次に金属層について説明する。
【００２５】
金属層を構成する材料は特に限定されず用途にあった電気伝導率を有する材料を選択できるが、電気特性に優れ、且つエッチング処理のし易さから、金属層を構成する材料として銅を用いることが好ましい。すなわち、金属層は銅を含有することが好ましい。
【００２６】
金属層が銅を含有する場合、金属層を構成する材料は、例えばＣｕと、Ｎｉ，Ｍｏ，Ｔａ，Ｔｉ，Ｖ，Ｃｒ，Ｆｅ，Ｍｎ，Ｃｏ，Ｗから選ばれる少なくとも１種類以上の金属との銅合金、または銅と上記金属から選ばれる１種類以上の金属とを含む材料であることが好ましい。また、金属層は銅から構成される銅層とすることもできる。
【００２７】
金属層を形成する方法は特に限定されないが、パターン化した導電性基板の透明基材が露出した部分において、光の透過率を低減させないため、他の部材と金属層との間に接着剤を配置しないようにして形成することが好ましい。すなわち、金属層は、他の部材の上面に直接配置されていることが好ましい。なお、金属層は例えば後述する密着層や、透明基材の上面に形成、配置することができる。このため、金属層は、密着層、または透明基材の上面に直接形成、配置されていることが好ましい。
【００２８】
他の部材の上面に金属層を直接形成するため、金属層は乾式めっき法を用いて成膜された金属薄膜層を有することが好ましい。乾式めっき法としては特に限定されるものではないが、例えば蒸着法や、スパッタリング法、イオンプレーティング法等を用いることができる。特に膜厚の制御が容易であることからスパッタリング法を用いることが好ましい。
【００２９】
また金属層をより厚くする場合には、乾式めっきにより金属薄膜層を形成した後に湿式めっき法を用いて金属めっき層を積層をすることができる。具体的には例えば、透明基材または密着層上に、金属薄膜層を乾式めっき法により形成し、該金属薄膜層を給電層として用い、湿式めっき法の一種である電解めっきにより金属めっき層を形成することができる。
【００３０】
なお、上述の様に乾式めっき法のみで金属層を成膜した場合、金属層は金属薄膜層により構成できる。また、乾式めっき法と湿式めっき法とを組み合わせて金属層を形成した場合、金属層は金属薄膜層と金属めっき層とにより構成できる。
【００３１】
上述のように乾式めっき法のみ、又は乾式めっき法と湿式めっき法とを組み合わせて金属層を形成することにより透明基材または密着層上に接着剤を介さずに直接金属層を形成、配置することができる。
【００３２】
金属層の厚さは特に限定されるものではなく、金属層を配線として用いた場合に、該配線に供給する電流の大きさや配線幅等に応じて任意に選択することができる。
【００３３】
ただし、金属層が厚くなると、配線パターンを形成するためにエッチングを行う際にエッチングに時間を要するためサイドエッチが生じ易くなり、細線が形成しにくくなる等の問題を生じる場合がある。このため、金属層の厚さは５μｍ以下であることが好ましく、３μｍ以下であることがより好ましい。
【００３４】
また、特に導電性基板の抵抗値を低くし、十分に電流を供給できるようにする観点から、例えば金属層は厚さが５０ｎｍ以上であることが好ましく、６０ｎｍ以上であることがより好ましく、１５０ｎｍ以上であることがさらに好ましい。
【００３５】
なお、金属層が上述のように金属薄膜層と、金属めっき層とを有する場合には、金属薄膜層の厚さと、金属めっき層の厚さとの合計が上記範囲であることが好ましい。
【００３６】
金属層が金属薄膜層により構成される場合、または金属薄膜層と金属めっき層とにより構成される場合のいずれの場合でも、金属薄膜層の厚さは特に限定されるものではないが、例えば５０ｎｍ以上７００ｎｍ以下とすることが好ましい。
【００３７】
次に、黒化層について説明する。
【００３８】
金属層は金属光沢を有するため、透明基材上に金属層をエッチングして配線を形成するのみでは配線が光を反射し、例えばタッチパネル用の配線基板として用いた場合、ディスプレイの視認性が低下するという問題があった。そこで、黒化層を設ける方法が検討されてきた。しかしながら、金属層と黒化層とでエッチング液に対する反応性が大きく異なる場合があり、金属層と黒化層とを同時にエッチングしようとすると、金属層や、黒化層について所望の形状にエッチングできず、または寸法ばらつきが生じる等の問題があった。このため、従来検討されている導電性基板では、金属層と黒化層とを別工程でエッチングする必要があり、金属層と黒化層とを同時に、すなわち１つの工程でエッチングすることは困難であった。
【００３９】
そこで、本発明の発明者らは金属層と同時にエッチングできる黒化層、すなわちエッチング液に対する反応性に優れ、金属層と同時にエッチングを行った場合でも、所望の形状にパターン化でき、寸法ばらつきの発生を抑制できる黒化層について検討を行った。そして、黒化層がニッケルの単体と、ニッケル酸化物と、ニッケル水酸化物と、銅とを含有することで、黒化層のエッチング液に対する反応性を、金属層の場合とほぼ同等にできることを見出し、本発明を完成させた。
【００４０】
本実施形態の導電性基板の黒化層は、上述の様にニッケルの単体と、ニッケル酸化物と、ニッケル水酸化物と、銅とを含むことができる。
【００４１】
ここで、黒化層に含まれる銅の状態は特に限定されるものではないが、銅は、例えば銅の単体、および／または銅の化合物として含むことができる。銅の化合物としては、例えば銅酸化物や、銅水酸化物等を挙げることができる。
【００４２】
このため、黒化層は例えば、ニッケルの単体、ニッケル酸化物、およびニッケル水酸化物を含有し、さらに、銅の単体すなわち金属銅と、銅酸化物と、銅水酸化物とから選択された１種類以上を含有することができる。
【００４３】
上述の様に黒化層がニッケル酸化物、及びニッケル水酸化物を含有することで、黒化層が金属層表面での光の反射を抑制できる色となり、黒化層としての機能を発揮することができる。
【００４４】
また、黒化層が、銅、例えば銅の単体、および／または銅の化合物も含有することで、黒化層のエッチング液に対する反応性を金属層と同等にすることができる。このため、金属層と、黒化層とを同時にエッチングした場合でも、両層を目的の形状にエッチングすることができ、平面内で均一にエッチングし、寸法ばらつきの発生を抑制することが可能になる。すなわち、金属層と、黒化層とを同時にエッチングすることが可能になる。
【００４５】
黒化層中に含まれる各成分の割合については特に限定されるものではなく、導電性基板に要求される光の反射の抑制の程度や、エッチング液に対する反応性の程度等に応じて任意に選択することができる。ただし、エッチング液に対する反応性を十分に高める観点から、例えば黒化層について、Ｘ線光電子分光法（ＸＰＳ）により測定した、Ｎｉ  ２Ｐスペクトル及びＣｕ  ＬＭＭスペクトルから求めた、ニッケルの原子数を１００とした場合の銅の原子数の比が５以上９０以下であることが好ましい。すなわち、黒化層中に含まれるニッケルと、銅とは、原子数の比率で、ニッケルを１００とした場合に、銅が５以上９０以下であることが好ましい。ニッケルの原子数を１００とした場合の銅の原子数の比は、７以上９０以下であることがより好ましく、７以上６５以下であることがさらに好ましい。
【００４６】
なお、ここでのニッケルの原子数とは、黒化層中に含まれている全てのニッケルの原子数を意味しており、単体として存在するニッケルだけではなく、ニッケル酸化物等の化合物を形成しているニッケルも含む。
【００４７】
また、黒化層についてＸＰＳにより測定した、Ｎｉ  ２Ｐスペクトルのピーク分離解析を行い、算出した、黒化層に含まれるニッケルの単体、すなわち金属ニッケルの原子数を１００としたときのニッケル酸化物となっているニッケルの原子数は、２５以上２８０以下であることが好ましく、ニッケル水酸化物となっているニッケルの原子数は１０以上２２０以下であることが好ましい。これは、黒化層が、金属ニッケルに対して、所定の割合でニッケル酸化物、およびニッケル水酸化物を含有することで、黒化層を、金属層表面での光の反射を抑制するのに特に適した色とすることができるからである。
【００４８】
なお、上述のように黒化層についてＸＰＳにより測定する際には、内部の状態を分析できるように、例えば黒化層の最表面から１０ｎｍをＡｒイオンエッチング等により除去してから測定することが好ましい。
【００４９】
黒化層の形成方法は特に限定されるものではなく、上述の各成分を含有するように形成できる方法であれば任意の方法を選択することができる。ただし、上述の各成分を含有するように黒化層の組成を比較的容易にコントロールできることから、湿式法を用いることが好ましい。
【００５０】
湿式法としては、特に電解めっき法を用いることが好ましい。
【００５１】
電解めっき法により黒化層を成膜する際に用いる、黒化めっき液については、上述の組成を有する黒化層を成膜できるように調製すればよく、その組成は特に限定されるものではない。例えば、ニッケルイオンと、銅イオンと、ｐＨ調整剤とを含む黒化めっき液を好ましく用いることができる。
【００５２】
黒化めっき液中の各成分の濃度は特に限定されるものではなく、成膜した黒化層に要求される金属層表面での光の反射を抑制する程度等に応じて任意に選択することができる。
【００５３】
例えば、黒化めっき液中のニッケルイオン濃度は、２．０ｇ／ｌ以上であることが好ましく、３．０ｇ／ｌ以上であることがより好ましい。これは、黒化めっき液中のニッケルイオン濃度を２．０ｇ／ｌ以上とすることで、黒化層を金属層表面での光の反射を抑制するのに特に適した色とし、導電性基板の反射率を抑制できるからである。
【００５４】
黒化めっき液中のニッケルイオン濃度の上限値についても特に限定されるものではないが、例えば２０．０ｇ／ｌ以下であることが好ましく、１５．０ｇ／ｌ以下であることがより好ましい。これは、黒化めっき液中のニッケルイオン濃度を２０．０ｇ／ｌ以下とすることで、成膜した黒化層中のニッケル成分が過剰になることを抑制し、黒化層表面が光沢ニッケルメッキのような面になることを防止し、導電性基板の反射率を抑制できるからである。
【００５５】
また、黒化めっき液中の銅イオン濃度は、０．００５ｇ／ｌ以上であることが好ましく、０．００８ｇ／ｌ以上であることがより好ましい。これは、黒化めっき液中の銅イオン濃度が０．００５ｇ／ｌ以上の場合、黒化層を金属層表面での光の反射を抑制するのに特に適した色とし、黒化層のエッチング液に対する反応性を高め、金属層と共に黒化層をエッチングした場合でも所望の形状にパターン化することができるためである。
【００５６】
黒化めっき液中の銅イオン濃度の上限値は特に限定されるものではないが、例えば４．０ｇ／ｌ以下であることが好ましく、１．０２ｇ／ｌ以下であることがより好ましい。これは、黒化めっき液中の銅イオン濃度を４．０ｇ／ｌ以下とすることで、成膜した黒化層のエッチング液に対する反応性が高くなりすぎることを抑制し、黒化層を金属層表面での光の反射を抑制するのに特に適した色とし、導電性基板の反射率を抑制できるからである。
【００５７】
黒化めっき液を調製する際、ニッケルイオンと、銅イオンとの供給方法は特に限定されるものではなく、例えば塩の状態で供給することができる。例えばスルファミン酸塩や、硫酸塩を好適に用いることができる。なお、塩の種類は各金属元素について全て同じ種類の塩でもよく、異なる種類の塩を同時に用いることもできる。具体的には例えば硫酸ニッケルと、硫酸銅とのように同じ種類の塩を用いて黒化めっき液を調製することもできる。また、例えば硫酸ニッケルと、スルファミン酸銅と、のように異なる種類の塩を同時に用いて黒化めっき液を調製することもできる。
【００５８】
そして、ｐＨ調整剤としてはアルカリ金属水酸化物を好ましく用いることができる。これは、ｐＨ調整剤としてアルカリ金属水酸化物を用いることで、該黒化めっき液を用いて成膜した黒化層を有する導電性基板の反射率を特に低くすることができるからである。ｐＨ調整剤として、アルカリ金属水酸化物を用いた場合に、該黒化めっき液を用いて成膜した黒化層を有する導電性基板の反射率を低く抑制できる理由は明らかではないが、黒化めっき液中に供給した水酸化物イオンが酸化ニッケルの析出を促進できるためと考えられる。酸化ニッケルの析出が促進されることで、該黒化層を金属層表面での光の反射を抑制するのに特に適した色とすることができる。このため、該黒化層を有する導電性基板の反射率を特に抑制できるものと推認される。
【００５９】
ｐＨ調整剤であるアルカリ金属水酸化物としては、例えば水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化リチウムから選択された１種類以上を用いることができる。特に、ｐＨ調整剤であるアルカリ金属水酸化物としては、水酸化ナトリウム、水酸化カリウムから選択された１種類以上であることがより好ましい。これは、水酸化ナトリウム、水酸化カリウムは特に入手しやすく、コスト的にも優れるからである。
【００６０】
本実施形態の黒化めっき液のｐＨは特に限定されるものではないが、例えば４．０以上５．２以下であることが好ましく、４．５以上５．０以下であることがより好ましい。
【００６１】
これは、黒化めっき液のｐＨを４．０以上とすることで、係る黒化めっき液を用いて黒化層を形成した際に、黒化層に色ムラが生じることをより確実に抑制でき、光の反射を特に抑制できる色を有する黒化層を形成することができるからである。また黒化めっき液のｐＨを５．２以下とすることで、黒化めっき液の成分の一部が析出することを抑制することができるからである。
【００６２】
また、黒化めっき液は、錯化剤をさらに含有することもできる。錯化剤としては例えばアミド硫酸を好ましく用いることができる。黒化めっき液がアミド硫酸を含有することで、金属層表面での光の反射を抑制するのに特に適した色の黒化層を形成することができる。
【００６３】
黒化めっき液中の錯化剤の含有量については特に限定されるものではなく、形成する黒化層に要求される反射率の抑制の程度等に応じて任意に選択することができる。
【００６４】
例えば、錯化剤としてアミド硫酸を用いる場合、黒化めっき液中のアミド硫酸の濃度は特に限定されないが、例えば１ｇ／ｌ以上５０ｇ／ｌ以下であることが好ましく、５ｇ／ｌ以上２０ｇ／ｌ以下であることが好ましい。これは、アミド硫酸の濃度が１ｇ／ｌ以上とすることで、黒化層を金属層表面での光の反射を抑制するのに特に適した色とし、導電性基板の反射率を抑制できるからである。また、アミド硫酸を過剰に添加しても、導電性基板の反射率を抑制する効果は高くならないことから、上述のように５０ｇ／ｌ以下であることが好ましい。
【００６５】
黒化層の厚さは特に限定されるものではなく、導電性基板に要求される光の反射の抑制する程度等に応じて任意に選択することができる。
【００６６】
黒化層の厚さは例えば３０ｎｍ以上であることが好ましく、５０ｎｍ以上であることがより好ましい。黒化層は、金属層による光の反射を抑制する機能を有するが、黒化層の厚さが薄い場合には、金属層による光の反射を十分に抑制できない場合がある。これに対して、黒化層の厚さを３０ｎｍ以上とすることにより、金属層の表面での反射をより確実に抑制できるため好ましい。
【００６７】
また、黒化層の厚さの上限値は特に限定されるものではないが、必要以上に厚くすると、配線を形成する際のエッチングに要する時間が長くなり、コストの上昇を招くことになる。このため、黒化層の厚さは１２０ｎｍ以下とすることが好ましく、９０ｎｍ以下とすることがより好ましい。
【００６８】
また、導電性基板は上述の透明基材、金属層、黒化層以外に任意の層を設けることもできる。例えば密着層を設けることができる。
【００６９】
密着層の構成例について説明する。
【００７０】
上述のように金属層は透明基材上に形成することができるが、透明基材上に金属層を直接形成した場合に、透明基材と金属層との密着性は十分ではない場合がある。このため、透明基材の上面に直接金属層を形成した場合、製造過程、または、使用時に透明基材から金属層が剥離する場合がある。
【００７１】
そこで、本実施形態の導電性基板においては、透明基材と金属層との密着性を高めるため、透明基材上に密着層を配置することができる。すなわち、透明基材と金属層との間に密着層を有する導電性基板とすることもできる。
【００７２】
透明基材と金属層との間に密着層を配置することにより、透明基材と金属層との密着性を高め、透明基材から金属層が剥離することを抑制できる。
【００７３】
また、密着層は黒化層としても機能させることができる。このため、金属層の下面側、すなわち透明基材側からの光による金属層の光の反射も抑制することが可能になる。
【００７４】
密着層を構成する材料は特に限定されるものではなく、透明基材及び金属層との密着力や、要求される金属層表面での光の反射の抑制の程度、また、導電性基板を使用する環境（例えば湿度や、温度）に対する安定性の程度等に応じて任意に選択することができる。
【００７５】
密着層は例えば、Ｎｉ，Ｚｎ，Ｍｏ，Ｔａ，Ｔｉ，Ｖ，Ｃｒ，Ｆｅ，Ｃｏ，Ｗ，Ｃｕ，Ｓｎ，Ｍｎから選ばれる少なくとも１種類以上の金属を含むことが好ましい。また、密着層は炭素、酸素、水素、窒素から選ばれる１種類以上の元素をさらに含むこともできる。
【００７６】
なお、密着層は、Ｎｉ，Ｚｎ，Ｍｏ，Ｔａ，Ｔｉ，Ｖ，Ｃｒ，Ｆｅ，Ｃｏ，Ｗ，Ｃｕ，Ｓｎ，Ｍｎから選ばれる少なくとも２種類以上の金属を含む金属合金を含むこともできる。この場合についても、密着層は炭素、酸素、水素、窒素から選ばれる１種類以上の元素をさらに含むこともできる。この際、Ｎｉ，Ｚｎ，Ｍｏ，Ｔａ，Ｔｉ，Ｖ，Ｃｒ，Ｆｅ，Ｃｏ，Ｗ，Ｃｕ，Ｓｎ，Ｍｎから選ばれる少なくとも２種類以上の金属を含む金属合金としては、Ｃｕ−Ｔｉ−Ｆｅ合金や、Ｃｕ−Ｎｉ−Ｆｅ合金、Ｎｉ−Ｃｕ合金、Ｎｉ−Ｚｎ合金、Ｎｉ−Ｔｉ合金、Ｎｉ−Ｗ合金、Ｎｉ−Ｃｒ合金、Ｎｉ−Ｃｕ−Ｃｒ合金を好ましく用いることができる。
【００７７】
密着層の成膜方法は特に限定されるものではないが、乾式めっき法により成膜することが好ましい。乾式めっき法としては例えばスパッタリング法、イオンプレーティング法や蒸着法等を好ましく用いることができる。密着層を乾式法により成膜する場合、膜厚の制御が容易であることから、スパッタリング法を用いることがより好ましい。なお、密着層には上述のように炭素、酸素、水素、窒素から選ばれる１種類以上の元素を添加することもでき、この場合は反応性スパッタリング法をさらに好ましく用いることができる。
【００７８】
密着層が炭素、酸素、水素、窒素から選ばれる１種類以上の元素を含む場合には、密着層を成膜する際の雰囲気中に炭素、酸素、水素、窒素から選ばれる１種類以上の元素を含有するガスを添加しておくことにより、密着層中に添加することができる。例えば、密着層に炭素を添加する場合には一酸化炭素ガスおよび／または二酸化炭素ガスを、酸素を添加する場合には酸素ガスを、水素を添加する場合には水素ガスおよび／または水を、窒素を添加する場合には窒素ガスを、乾式めっきを行う際の雰囲気中に添加しておくことができる。
【００７９】
炭素、酸素、水素、窒素から選ばれる１種類以上の元素を含有するガスは、不活性ガスに添加し、乾式めっきの際の雰囲気ガスとすることが好ましい。不活性ガスとしては特に限定されないが、例えばアルゴンを好ましく用いることができる。
【００８０】
密着層を上述のように乾式めっき法により成膜することにより、透明基材と密着層との密着性を高めることができる。そして、密着層は例えば金属を主成分として含むことができるため金属層との密着性も高い。このため、透明基材と金属層との間に密着層を配置することにより、金属層の剥離を抑制することができる。
【００８１】
密着層の厚さは特に限定されるものではないが、例えば３ｎｍ以上５０ｎｍ以下とすることが好ましく、３ｎｍ以上３５ｎｍ以下とすることがより好ましく、３ｎｍ以上３３ｎｍ以下とすることがさらに好ましい。
【００８２】
密着層についても黒化層として機能させる場合、すなわち金属層における光の反射を抑制する場合、密着層の厚さを上述のように３ｎｍ以上とすることが好ましい。
【００８３】
密着層の厚さの上限値は特に限定されるものではないが、必要以上に厚くしても成膜に要する時間や、配線を形成する際のエッチングに要する時間が長くなり、コストの上昇を招くことになる。このため、密着層の厚さは上述のように５０ｎｍ以下とすることが好ましく、３５ｎｍ以下とすることがより好ましく、３３ｎｍ以下とすることがさらに好ましい。
【００８４】
次に、導電性基板の構成例について説明する。
【００８５】
上述のように、本実施形態の導電性基板は透明基材と、金属層と、黒化層と、を有することができる。また、任意に密着層等の層を設けることもできる。
【００８６】
具体的な構成例について、図１Ａ、図１Ｂ、図２Ａ、図２Ｂを用いて以下に説明する。図１Ａ、図１Ｂ、図２Ａ、図２Ｂは、本実施形態の導電性基板の、透明基材、金属層、黒化層の積層方向と平行な面における断面図の例を示している。
【００８７】
本実施形態の導電性基板は、例えば透明基材の少なくとも一方の面上に、透明基材側から金属層と、黒化層とがその順に積層された構造を有することができる。
【００８８】
具体的には例えば、図１Ａに示した導電性基板１０Ａのように、透明基材１１の一方の面１１ａ側に金属層１２と、黒化層１３と、を一層ずつその順に積層することができる。また、図１Ｂに示した導電性基板１０Ｂのように、透明基材１１の一方の面１１ａ側と、もう一方の面（他方の面）１１ｂ側と、にそれぞれ金属層１２Ａ、１２Ｂと、黒化層１３Ａ、１３Ｂと、を一層ずつその順に積層することができる。
【００８９】
また、さらに任意の層として、例えば密着層を設けた構成とすることもできる。この場合例えば、透明基材の少なくとも一方の面上に、透明基材側から密着層と、金属層と、黒化層とがその順に形成された構造とすることができる。
【００９０】
具体的には例えば図２Ａに示した導電性基板２０Ａのように、透明基材１１の一方の面１１ａ側に、密着層１４と、金属層１２と、黒化層１３とをその順に積層することができる。
【００９１】
この場合も透明基材１１の両面に密着層、金属層、黒化層を積層した構成とすることもできる。具体的には図２Ｂに示した導電性基板２０Ｂのように、透明基材１１の一方の面１１ａ側と、他方の面１１ｂ側と、にそれぞれ密着層１４Ａ、１４Ｂと、金属層１２Ａ、１２Ｂと、黒化層１３Ａ、１３Ｂとをその順に積層できる。
【００９２】
なお、図１Ｂ、図２Ｂに示したように、透明基材の両面に金属層、黒化層等を積層した場合において、透明基材１１を対称面として透明基材１１の上下に積層した層が対称になるように配置した例を示したが、係る形態に限定されるものではない。例えば、図２Ｂにおいて、透明基材１１の一方の面１１ａ側の構成を図１Ｂの構成と同様に、密着層１４Ａを設けずに金属層１２Ａと、黒化層１３Ａとをその順に積層した形態とし、透明基材１１の上下に積層した層を非対称な構成としてもよい。
【００９３】
ところで、本実施形態の導電性基板においては、透明基材上に金属層と、黒化層とを設けることで、金属層による光の反射を抑制し、導電性基板の反射率を抑制することができる。
【００９４】
本実施形態の導電性基板の反射率の程度については特に限定されるものではないが、例えばタッチパネル用の導電性基板として用いた場合のディスプレイの視認性を高めるためには、反射率は低い方が良い。例えば、波長４００ｎｍ以上７００ｎｍ以下の光の平均反射率が１５％以下であることが好ましく、１０％以下であることがより好ましい。
【００９５】
反射率の測定は、導電性基板の黒化層に光を照射するようにして測定を行うことができる。具体的には例えば図１Ａのように透明基材１１の一方の面１１ａ側に金属層１２、黒化層１３の順に積層した場合、黒化層１３に光を照射するように黒化層１３の表面Ａに対して光を照射し、測定できる。測定に当たっては波長４００ｎｍ以上７００ｎｍ以下の光を例えば波長１ｎｍ間隔で上述のように導電性基板の黒化層１３に対して照射し、測定した値の平均値を該導電性基板の反射率とすることができる。
【００９６】
本実施形態の導電性基板はタッチパネル用の導電性基板として好ましく用いることができる。この場合導電性基板はメッシュ状の配線を備えた構成とすることができる。
【００９７】
メッシュ状の配線を備えた導電性基板は、ここまで説明した本実施形態の導電性基板の金属層、及び黒化層をエッチングすることにより得ることができる。
【００９８】
例えば、二層の配線によりメッシュ状の配線とすることができる。具体的な構成例を図３に示す。図３はメッシュ状の配線を備えた導電性基板３０を金属層等の積層方向の上面側から見た図を示しており、配線パターンが分かり易いように、透明基材、及び金属層をパターン化して形成した配線３１Ａ、３１Ｂ以外の層は記載を省略している。また、透明基材１１を介してみえる配線３１Ｂも示している。
【００９９】
図３に示した導電性基板３０は、透明基材１１と、図中Ｙ軸方向に平行な複数の配線３１Ａと、Ｘ軸方向に平行な配線３１Ｂとを有している。なお、配線３１Ａ、３１Ｂは金属層をエッチングして形成されており、該配線３１Ａ、３１Ｂの上面または下面には図示しない黒化層が形成されている。また、黒化層は配線３１Ａ、３１Ｂと同じ形状にエッチングされている。
【０１００】
透明基材１１と配線３１Ａ、３１Ｂとの配置は特に限定されない。透明基材１１と配線との配置の構成例を図４Ａ、図４Ｂに示す。図４Ａ、図４Ｂは図３のＡ−Ａ´線での断面図に当たる。
【０１０１】
まず、図４Ａに示したように、透明基材１１の上下面にそれぞれ配線３１Ａ、３１Ｂが配置されていてもよい。なお、図４Ａでは配線３１Ａの上面、及び３１Ｂの下面には、配線と同じ形状にエッチングされた黒化層３２Ａ、３２Ｂが配置されている。
【０１０２】
また、図４Ｂに示したように、１組の透明基材１１を用い、一方の透明基材１１を挟んで上下面に配線３１Ａ、３１Ｂを配置し、かつ、一方の配線３１Ｂは透明基材１１間に配置されてもよい。この場合も、配線３１Ａ、３１Ｂの上面には配線と同じ形状にエッチングされた黒化層３２Ａ、３２Ｂが配置されている。なお、既述のように、金属層、黒化層以外に密着層を設けることもできる。このため、図４Ａ、図４Ｂいずれの場合でも、例えば配線３１Ａおよび／または配線３１Ｂと透明基材１１との間に密着層を設けることもできる。密着層を設ける場合、密着層も配線３１Ａ、３１Ｂと同じ形状にエッチングされていることが好ましい。
【０１０３】
図３及び図４Ａに示したメッシュ状の配線を有する導電性基板は例えば、図１Ｂのように透明基材１１の両面に金属層１２Ａ、１２Ｂと、黒化層１３Ａ、１３Ｂとを備えた導電性基板から形成することができる。
【０１０４】
図１Ｂの導電性基板を用いて形成した場合を例に説明すると、まず、透明基材１１の一方の面１１ａ側の金属層１２Ａ、黒化層１３Ａを、図１Ｂ中Ｙ軸方向に平行な複数の線状のパターンがＸ軸方向に沿って所定の間隔をあけて配置されるようにエッチングを行う。なお、図１Ｂ中のＸ軸方向は、各層の幅方向と平行な方向を意味している。また、図１Ｂ中のＹ軸方向とは、図１Ｂ中の紙面と垂直な方向を意味している。
【０１０５】
そして、透明基材１１の他方の面１１ｂ側の金属層１２Ｂ、黒化層１３Ｂを図１Ｂ中Ｘ軸方向と平行な複数の線状のパターンが所定の間隔をあけてＹ軸方向に沿って配置されるようにエッチングを行う。
【０１０６】
以上の操作により図３、図４Ａに示したメッシュ状の配線を有する導電性基板を形成することができる。なお、透明基材１１の両面のエッチングは同時に行うこともできる。すなわち、金属層１２Ａ、１２Ｂ、黒化層１３Ａ、１３Ｂのエッチングは同時に行ってもよい。また、図４Ａにおいて、配線３１Ａ、３１Ｂと、透明基材１１との間にさらに配線３１Ａ、３１Ｂと同じ形状にパターン化された密着層を有する導電性基板は、図２Ｂに示した導電性基板を用いて同様にエッチングを行うことで作製できる。
【０１０７】
図３に示したメッシュ状の配線を有する導電性基板は、図１Ａまたは図２Ａに示した導電性基板を２枚用いることにより形成することもできる。図１Ａの導電性基板を２枚用いて形成した場合を例に説明すると、図１Ａに示した導電性基板２枚についてそれぞれ、金属層１２、黒化層１３を、Ｘ軸方向と平行な複数の線状のパターンが所定の間隔をあけてＹ軸方向に沿って配置されるようにエッチングを行う。そして、上記エッチング処理により各導電性基板に形成した線状のパターンが互いに交差するように向きをあわせて２枚の導電性基板を貼り合せることによりメッシュ状の配線を備えた導電性基板とすることができる。２枚の導電性基板を貼り合せる際に貼り合せる面は特に限定されるものではない。例えば、金属層１２等が積層された図１Ａにおける表面Ａと、金属層１２等が積層されていない図１Ａにおける他方の面１１ｂとを貼り合せて、図４Ｂに示した構造となるようにすることもできる。
【０１０８】
また、例えば透明基材１１の金属層１２等が積層されていない図１Ａにおける他方の面１１ｂ同士を貼り合せて断面が図４Ａに示した構造となるようにすることもできる。
【０１０９】
なお、図４Ａ、図４Ｂにおいて、配線３１Ａ、３１Ｂと、透明基材１１との間にさらに配線３１Ａ、３１Ｂと同じ形状にパターン化された密着層を有する導電性基板は、図１Ａに示した導電性基板にかえて図２Ａに示した導電性基板を用いることで作製できる。
【０１１０】
図３、図４Ａ、図４Ｂに示したメッシュ状の配線を有する導電性基板における配線の幅や、配線間の距離は特に限定されるものではなく、例えば、配線に流す電流量等に応じて選択することができる。
【０１１１】
ただし、本実施形態の導電性基板によれば、ニッケルの単体と、ニッケル酸化物と、ニッケル水酸化物と、銅とを含有する黒化層を有しており、黒化層と銅層とを同時にエッチングし、パターン化した場合でも、黒化層、及び銅層を所望の形状にパターン化できる。具体的には例えば配線幅が１０μｍ以下の配線を形成することができる。このため、本実施形態の導電性基板は、配線幅が１０μｍ以下の配線を含むことが好ましい。配線幅の下限値は特に限定されないが、例えば３μｍ以上とすることができる。
【０１１２】
また、図３、図４Ａ、図４Ｂにおいては、直線形状の配線を組み合わせてメッシュ状の配線（配線パターン）を形成した例を示しているが、係る形態に限定されるものではなく、配線パターンを構成する配線は任意の形状とすることができる。例えばディスプレイの画像との間でモアレ（干渉縞）が発生しないようメッシュ状の配線パターンを構成する配線の形状をそれぞれ、ぎざぎざに屈曲した線（ジグザグ直線）等の各種形状にすることもできる。
【０１１３】
このように２層の配線から構成されるメッシュ状の配線を有する導電性基板は、例えば投影型静電容量方式のタッチパネル用の導電性基板として好ましく用いることができる。
【０１１４】
以上の本実施形態の導電性基板によれば、透明基材の少なくとも一方の面上に形成された金属層上に、黒化層を積層した構造を有している。そして、黒化層はニッケルの単体と、ニッケル酸化物と、ニッケル水酸化物と、銅とを含有しているため、金属層と、黒化層とをエッチングによりパターン化する際、黒化層を容易に所望の形状にパターン化することができる。
【０１１５】
また、本実施形態の導電性基板に含まれる黒化層は、金属層表面における光の反射を十分に抑制し、反射率を抑制した導電性基板とすることができる。また、例えばタッチパネル等の用途に用いた場合にディスプレイの視認性を高めることができる。
（導電性基板の製造方法）
次に本実施形態の導電性基板の製造方法の一構成例について説明する。
【０１１６】
本実施形態の導電性基板の製造方法は、以下の工程を有することができる。  
透明基材の少なくとも一方の面上に金属層を形成する金属層形成工程。  
金属層上に黒化層を形成する黒化層形成工程。
【０１１７】
そして、黒化層形成工程では、ニッケルの単体と、ニッケル酸化物と、ニッケル水酸化物と、銅とを含有する黒化層を形成することができる。
【０１１８】
以下に本実施形態の導電性基板の製造方法について具体的に説明する。
【０１１９】
なお、本実施形態の導電性基板の製造方法により既述の導電性基板を好適に製造することができる。このため、以下に説明する点以外については上述の導電性基板の場合と同様の構成とすることができるため説明を一部省略する。
【０１２０】
金属層形成工程に供する透明基材は予め準備しておくことができる。用いる透明基材の種類は特に限定されるものではないが、既述のように可視光を透過する絶縁体フィルム（樹脂フィルム）や、ガラス基板等の透明基材を好ましく用いることができる。透明基材は必要に応じて予め任意のサイズに切断等行っておくこともできる。
【０１２１】
そして、金属層は既述のように、金属薄膜層を有することが好ましい。また、金属層は金属薄膜層と金属めっき層とを有することもできる。このため、金属層形成工程は、例えば乾式めっき法により金属薄膜層を形成する工程を有することができる。また、金属層形成工程は、乾式めっき法により金属薄膜層を形成する工程と、該金属薄膜層を給電層として、湿式めっき法の一種である電気めっき法により金属めっき層を形成する工程と、を有していてもよい。
【０１２２】
金属薄膜層を形成する工程で用いる乾式めっき法としては、特に限定されるものではなく、例えば、蒸着法、スパッタリング法、又はイオンプレーティング法等を用いることができる。なお、蒸着法としては真空蒸着法を好ましく用いることができる。金属薄膜層を形成する工程で用いる乾式めっき法としては、特に膜厚の制御が容易であることから、スパッタリング法を用いることがより好ましい。
【０１２３】
次に金属めっき層を形成する工程について説明する。湿式めっき法により金属めっき層を形成する工程における条件、すなわち、電気めっき処理の条件は、特に限定されるものではなく、常法による諸条件を採用すればよい。例えば、金属めっき液を入れためっき槽に金属薄膜層を形成した基材を供給し、電流密度や、基材の搬送速度を制御することによって、金属めっき層を形成できる。
【０１２４】
次に、黒化層形成工程について説明する。
【０１２５】
黒化層形成工程においては、ニッケルの単体と、ニッケル酸化物と、ニッケル水酸化物と、銅とを含有する黒化層を形成することができる。
【０１２６】
黒化層は湿式法により形成できる。具体的には例えば、金属層を給電層として用いて、既述の黒化めっき液を含むめっき槽内で、金属層上に電解めっき法により黒化層を形成することができる。このように金属層を給電層として、電解めっき法により黒化層を形成することで、金属層の透明基材と対向する面とは反対側の面の全面に黒化層を形成できる。
【０１２７】
黒化めっき液については既述のため、説明を省略する。
【０１２８】
本実施形態の導電性基板の製造方法においては、上述の工程に加えてさらに任意の工程を実施することもできる。
【０１２９】
例えば透明基材と金属層との間に密着層を形成する場合、透明基材の金属層を形成する面上に密着層を形成する密着層形成工程を実施することができる。密着層形成工程を実施する場合、金属層形成工程は、密着層形成工程の後に実施することができ、金属層形成工程では、本工程で透明基材上に密着層を形成した基材に金属薄膜層を形成できる。
【０１３０】
密着層形成工程において、密着層の成膜方法は特に限定されるものではないが、乾式めっき法により成膜することが好ましい。乾式めっき法としては例えばスパッタリング法、イオンプレーティング法や蒸着法等を好ましく用いることができる。密着層を乾式法により成膜する場合、膜厚の制御が容易であることから、スパッタリング法を用いることがより好ましい。なお、密着層には既述のように炭素、酸素、水素、窒素から選ばれる１種類以上の元素を添加することもでき、この場合は反応性スパッタリング法をさらに好ましく用いることができる。
【０１３１】
本実施形態の導電性基板の製造方法で得られる導電性基板は例えばタッチパネル等の各種用途に用いることができる。そして、各種用途に用いる場合には、本実施形態の導電性基板に含まれる金属層、及び黒化層がパターン化されていることが好ましい。なお、密着層を設ける場合は、密着層についてもパターン化されていることが好ましい。金属層、及び黒化層、場合によってはさらに密着層は、例えば所望の配線パターンにあわせてパターン化することができ、金属層、及び黒化層、場合によってはさらに密着層は同じ形状にパターン化されていることが好ましい。
【０１３２】
このため、本実施形態の導電性基板の製造方法は、金属層、及び黒化層をパターン化するパターニング工程を有することができる。なお、密着層を形成した場合には、パターニング工程は、密着層、金属層、及び黒化層をパターン化する工程とすることができる。
【０１３３】
パターニング工程の具体的手順は特に限定されるものではなく、任意の手順により実施することができる。例えば図１Ａのように透明基材１１上に金属層１２、黒化層１３が積層された導電性基板１０Ａの場合、まず黒化層１３上の表面Ａに所望のパターンを有するレジストを配置するレジスト配置ステップを実施することができる。次いで、黒化層１３上の表面Ａ、すなわち、レジストを配置した面側にエッチング液を供給するエッチングステップを実施できる。
【０１３４】
エッチングステップにおいて用いるエッチング液は特に限定されるものではない。ただし、本実施形態の導電性基板の製造方法で形成する黒化層は金属層とほぼ同様のエッチング液への反応性を示す。このため、エッチングステップにおいて用いるエッチング液は特に限定されるものではなく、一般的に金属層のエッチングに用いられるエッチング液を好ましく用いることができる。
【０１３５】
エッチング液としては例えば、硫酸、過酸化水素（過酸化水素水）、塩酸、塩化第二銅、及び塩化第二鉄から選択された１種類以上を含む混合水溶液を好ましく用いることができる。エッチング液中の各成分の含有量は、特に限定されるものではない。
【０１３６】
エッチング液は室温で用いることもできるが、反応性を高めるため加温して用いることもでき、例えば４０℃以上５０℃以下に加熱して用いることもできる。
【０１３７】
また、図１Ｂのように透明基材１１の一方の面１１ａ、他方の面１１ｂに金属層１２Ａ、１２Ｂ、黒化層１３Ａ、１３Ｂを積層した導電性基板１０Ｂについてもパターン化するパターニング工程を実施できる。この場合例えば黒化層１３Ａ、１３Ｂ上の表面Ａ、及び表面Ｂに所望のパターンを有するレジストを配置するレジスト配置ステップを実施できる。次いで、黒化層１３Ａ、１３Ｂ上の表面Ａ、及び表面Ｂ、すなわち、レジストを配置した面側にエッチング液を供給するエッチングステップを実施できる。
【０１３８】
エッチングステップで形成するパターンについては特に限定されるものではなく、任意の形状とすることができる。例えば図１Ａに示した導電性基板１０Ａの場合、既述のように金属層１２、黒化層１３を複数の直線や、ぎざぎざに屈曲した線（ジグザグ直線）を含むようにパターンを形成することができる。
【０１３９】
また、図１Ｂに示した導電性基板１０Ｂの場合、金属層１２Ａと、金属層１２Ｂとでメッシュ状の配線となるようにパターンを形成することができる。この場合、黒化層１３Ａは、金属層１２Ａと同様の形状に、黒化層１３Ｂは金属層１２Ｂと同様の形状になるようにそれぞれパターン化を行うことが好ましい。
【０１４０】
また、例えばパターニング工程で上述の導電性基板１０Ａについて金属層１２等をパターン化した後、パターン化した２枚以上の導電性基板を積層する積層工程を実施することもできる。積層する際、例えば各導電性基板の金属層のパターンが交差するように積層することにより、メッシュ状の配線を備えた積層導電性基板を得ることもできる。
【０１４１】
積層した２枚以上の導電性基板を固定する方法は特に限定されるものではないが、例えば接着剤等により固定することができる。
【０１４２】
以上の本実施形態の導電性基板の製造方法により得られる導電性基板は、透明基材の少なくとも一方の面上に形成された金属層上に、黒化層を積層した構造を有している。そして、黒化層はニッケルの単体と、ニッケル酸化物と、ニッケル水酸化物と、銅とを含有しているため、既述の様に、金属層と、黒化層とをエッチングによりパターン化する際、黒化層を容易に所望の形状にパターン化することができる。
【０１４３】
また、本実施形態の導電性基板の製造方法により得られる導電性基板に含まれる黒化層は、金属層表面における光の反射を十分に抑制し、反射率を抑制した導電性基板とすることができる。このため、例えばタッチパネル等の用途に用いた場合にディスプレイの視認性を高めることができる。
【実施例】
【０１４４】
以下に具体的な実施例、比較例を挙げて説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。
（評価方法）
以下の実験例において作製した試料について以下の方法により評価を行った。
（１）黒化層の成分分析
黒化層の成分分析は、Ｘ線光電子分光装置（ＰＨＩ社製、形式：ＱｕａｎｔａＳＸＭ）により行った。なお、Ｘ線源には単色化Ａｌ（１４８６．６ｅＶ）を使用した。【０１４５】
後述のように、以下の各実験例では、図１Ａの構造を有する導電性基板を作製した。そこで、図１Ａにおける黒化層１３の外部に露出した表面ＡをＡｒイオンエッチングし、最表面から１０ｎｍ内部のＮｉ  ２Ｐスペクトル、及びＣｕ  ＬＭＭスペクトルを測定した。得られたスペクトルから、黒化層に含まれるニッケルの原子数を１００とした場合の、銅の原子数の比率を算出した。なお、表１中では結果を金属成分の比として示している。【０１４６】
また、Ｎｉ  ２Ｐスペクトルのピーク分離解析により、黒化層に含まれる、金属ニッケルの原子数を１００としたときのニッケル酸化物となっているニッケルの原子数、及びニッケル水酸化物となっているニッケルの原子数を算出した。なお、表１中では結果をニッケル成分比として示している。
（２）反射率測定
測定は、紫外可視分光光度計（株式会社  島津製作所製  型式：ＵＶ−２６００）に反射率測定ユニットを設置して行った。【０１４７】
後述のように各実験例では図１Ａに示した構造を有する導電性基板を作製した。このため、反射率測定は図１Ａに示した導電性基板１０Ａの黒化層１３の表面Ａに対して入射角５°、受光角５°として、波長４００ｎｍ以上７００ｎｍ以下の光を波長１ｎｍ間隔で照射して正反射率を測定し、その平均値を該導電性基板の反射率（平均反射率）とした。
（３）エッチング特性
まず、以下の実験例において得られた導電性基板の黒化層表面にドライフィルムレジスト（日立化成ＲＹ３３１０）をラミネート法により貼り付けた。そして、フォトマスクを介して紫外線露光を行い、さらに１％炭酸ナトリウム水溶液によりレジストを溶解して現像した。これにより、３．０μｍ以上１０．０μｍ以下の範囲で０．５μｍ毎にレジスト幅が異なるパターンをもつサンプルを作製した。すなわち、レジスト幅が３．０μｍ、３．５μｍ、４．０μｍ・・・９．５μｍ、１０．０μｍと、０．５μｍ毎に異なる１５種類の線状のパターンを形成した。【０１４８】
次いで、サンプルを硫酸１０重量％、過酸化水素３重量％からなる３０℃のエッチング液に、４０秒間浸漬し、水酸化ナトリウム水溶液でドライフィルムレジストを剥離、除去した。【０１４９】
得られたサンプルを２００倍の顕微鏡で観察し、導電性基板に残存する金属配線の配線幅の最小値を求めた。【０１５０】
レジストを剥離した後、導電性基板に残存する金属配線の配線幅の最小値が小さいほど、また形成した金属配線の周囲に溶け残りが少ないほど、銅層と、黒化層とのエッチング液に対する反応性がより同一に近いことを意味する。そこで、残存する金属配線の配線幅の最小値が３μｍ以上１０μｍ以下であり、かつ形成した金属配線の周囲に溶け残りがみられない場合に〇と評価した。また、残存する金属配線の最小値が３μｍ以上１０μｍ以下ではあるが、形成した金属配線の周囲に実用上支障がない程度ではあるが一部溶け残りがみられる場合には△と評価した。エッチング液に溶解せず、配線幅が１０μｍ以下の金属配線を形成できなかった場合、不合格として×と評価した。○、または△の場合には同時にエッチングできる金属層と黒化層とを備えた導電性基板であるといえ、合格と評価することができる。【０１５１】
なお、表２では評価結果である、○、△、×を示している。
（試料の作製条件）
以下に説明する条件で導電性基板を作製し、上述の評価方法により評価を行った。実験例１〜実験例１０のいずれもが実施例となる。
［実験例１］
図１Ａに示した構造を有する導電性基板を作製した。
（金属層形成工程）
長さ３００ｍ、幅２５０ｍｍ、厚さ１００μｍの長尺状のポリエチレンテレフタレート樹脂（ＰＥＴ）製の透明基材の一方の面上に金属層として銅層を成膜した。なお、透明基材として用いたポリエチレンテレフタレート樹脂製の透明基材について、全光線透過率をＪＩＳ  Ｋ  ７３６１−１に規定された方法により評価を行ったところ９７％であった。【０１５２】
金属層形成工程では、金属薄膜層形成工程と、金属めっき層形成工程と、を実施した。【０１５３】
まず、金属薄膜層形成工程について説明する。【０１５４】
金属薄膜層形成工程では、基材として上述の透明基材を用い、透明基材の一方の面上に金属薄膜層として、銅薄膜層を形成した。【０１５５】
金属薄膜層形成工程ではまず、予め６０℃まで加熱して水分を除去した上述の透明基材を、スパッタリング装置のチャンバー内に設置した。【０１５６】
次に、チャンバー内を１×１０−３Ｐａまで排気した後、アルゴンガスを導入し、チャンバー内の圧力を１．３Ｐａとした。【０１５７】
スパッタリング装置のカソードに予めセットしておいた銅ターゲットに電力を供給し、透明基材の一方の面上に銅薄膜層を厚さが０．７μｍになるように成膜した。【０１５８】
次に、金属めっき層形成工程においては金属めっき層として銅めっき層を形成した。銅めっき層は、電気めっき法により銅めっき層の厚さが０．３μｍになるように成膜した。【０１５９】
以上の金属薄膜層形成工程と、金属めっき層形成工程とを実施することで、金属層として厚さ１．０μｍの銅層を形成した。【０１６０】
金属層形成工程で作製した、透明基材上に厚さ１．０μｍの銅層が形成された基板を２０ｇ／Ｌの硫酸に３０ｓｅｃ浸漬し、洗浄した後に以下の黒化層形成工程を実施した。
（黒化層形成工程）
黒化層形成工程では、黒化めっき液を用いて電解めっき法により、銅層の一方の面上に黒化層を形成した。【０１６１】
なお、黒化めっき液として、ニッケルイオン、銅イオン、アミド硫酸、水酸化ナトリウムを含有するめっき液を調製した。黒化めっき液には、硫酸ニッケル６水和物、硫酸銅５水和物を添加することで、ニッケルイオン、銅イオンを供給した。【０１６２】
そして、黒化めっき液中のニッケルイオンの濃度が５ｇ／ｌ、銅イオンの濃度が０．０３ｇ／ｌ、アミド硫酸の濃度が１１ｇ／ｌとなるように各成分を添加調製した。【０１６３】
また、水酸化ナトリウム水溶液を黒化めっき液に添加して、黒化めっき液のｐＨを４．９に調整した。【０１６４】
黒化層形成工程においては黒化めっき液の温度が４０℃、電流密度が０．１０Ａ／ｄｍ２、めっき時間が４００ｓｅｃの条件で電解めっきを行い、黒化層を形成した。【０１６５】
形成した黒化層の膜厚は７０ｎｍとなった。【０１６６】
以上の工程により得られた導電性基板について、既述の黒化層の成分分析、反射率、及びエッチング特性の評価を実施した。結果を表１に示す。
［実験例２〜実験例１０］
各実験例において、黒化層を形成する際の黒化めっき液中のニッケルイオン濃度、銅イオン濃度、黒化層の成膜時の電流密度、及びめっき時間を表１に示したように変更した点以外は実験例１と同様にして導電性基板を作製し、評価を行った。結果を表１に示す。【０１６７】
【表１】
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表１に示した結果によると、実験例１〜実験例１０はいずれも、黒化層は、ニッケルの単体と、ニッケル酸化物と、ニッケル水酸化物と、銅とを含有することが確認できた。【０１６８】
そして、エッチング特性についても評価結果は〇、または△であり、同時にエッチングできる金属層と黒化層とを備えた導電性基板であることが確認できた。【０１６９】
特に、黒化層中に含まれるニッケルと、銅とが、原子数の比率で、ニッケルを１００とした場合に、銅が７以上９０以下である実験例１〜８については、エッチング特性が〇であり、反射率も１０％以下であることが確認できた。このため、実験例１〜実験例８の導電性基板は、特に、金属層と黒化層とのエッチング液に対する反応性が特に近く、また金属層表面での光の反射を特に抑制できる黒化層を備えていることが確認できた。【０１７０】
以上に導電性基板を、実施形態および実施例等で説明したが、本発明は上記実施形態および実施例等に限定されない。特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形、変更が可能である。【０１７１】
本出願は、２０１６年１月２９日に日本国特許庁に出願された特願２０１６−０１６６０３号に基づく優先権を主張するものであり、特願２０１６−０１６６０３号の全内容を本国際出願に援用する。
【符号の説明】
【０１７２】
１０Ａ、１０Ｂ、２０Ａ、２０Ｂ、３０                  導電性基板
１１                                                  透明基材
１２、１２Ａ、１２Ｂ                                  金属層
１３、１３Ａ、１３Ｂ、３２Ａ、３２Ｂ                  黒化層
【図１Ａ】
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【図１Ｂ】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図３】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【国際調査報告】
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