(57)【要約】  搬送システム１は、一方の側方且つ下方に装置ポート１０１が位置するように、上下に並設された第１軌道１１Ａ及び第２軌道１１Ｂと、第１軌道１１Ａ及び第２軌道１１Ｂのそれぞれに沿って走行し、ＦＯＵＰ９０を搬送する複数の天井搬送車２０Ａ，２０Ｂと、第１軌道１１Ａ及び第２軌道１１Ｂに対して一方とは他方の側方且つ下方に設けられ、ＦＯＵＰ９０が載置される保管棚４０と、を備え、天井搬送車２０Ａ，２０Ｂは、ＦＯＵＰ９０を把持可能な把持部２１と、装置ポート１０１及び保管棚４０のそれぞれの上方に把持部２１を移動可能な移動機構２３と、移動機構２３によって装置ポート１０１及び保管棚４０のそれぞれの上方に移動された把持部２１を、装置ポート１０１及び保管棚４０のそれぞれに対して昇降可能な昇降機構２２と、を有する。
2017029871.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方の側方且つ下方に装置ポートが位置するように設けられた第１軌道と、
一方の側方且つ下方に前記装置ポートが位置するように、前記第１軌道に沿って前記第１軌道に対し下方に且つ鉛直方向に並んで設けられた第２軌道と、
前記第１軌道及び前記第２軌道のそれぞれに沿って走行し、被搬送物を搬送する複数の天井搬送車と、
前記第１軌道及び前記第２軌道に対して前記一方とは他方の側方且つ下方に設けられ、前記被搬送物が載置される保管部と、を備え、
前記天井搬送車は、
前記被搬送物を把持可能な把持部と、
前記装置ポート及び前記保管部のそれぞれの上方に前記把持部を移動可能な移動機構と、
前記移動機構によって前記装置ポート及び前記保管部のそれぞれの上方に移動された前記把持部を、前記装置ポート及び前記保管部のそれぞれに対して昇降可能な昇降機構と、を有する、搬送システム。
【請求項２】
前記天井搬送車の動作を制御するコントローラを更に備え、
前記コントローラは、
前記第１軌道上の前記天井搬送車及び前記第２軌道上の前記天井搬送車の両方の前記天井搬送車が、同一の前記装置ポートに対して前記被搬送物を移載する装置ポート側移載動作を実行すべき状況にある場合には、前記第１軌道上の前記天井搬送車及び前記第２軌道上の前記天井搬送車の一方の前記天井搬送車による前記装置ポート側移載動作の間、他方の前記天井搬送車による前記装置ポート側移載動作の実行を禁止し、
前記第１軌道上の前記天井搬送車及び前記第２軌道上の前記天井搬送車の両方が、同一の前記保管部に対して前記被搬送物を移載する保管部側移載動作を実行すべき状況にある場合には、前記第１軌道上の前記天井搬送車及び前記第２軌道上の前記天井搬送車の一方の前記天井搬送車による前記保管部側移載動作の間、他方の前記天井搬送車による前記保管部側移載動作の実行を禁止する、請求項１記載の搬送システム。
【請求項３】
前記天井搬送車の動作を制御するコントローラを更に備え、
前記コントローラは、
同一の前記装置ポートについて、前記第１軌道上の前記天井搬送車及び前記第２軌道上の前記天井搬送車の一方の前記天井搬送車が、当該装置ポートから回収される側の前記被搬送物を当該装置ポートから取得し、前記第１軌道上の前記天井搬送車及び前記第２軌道上の前記天井搬送車の他方の前記天井搬送車が、当該装置ポートに供給される側の前記被搬送物を当該装置ポートに載置すべき状況にある場合において、他方の前記天井搬送車が、一方の前記天井搬送車よりも前に、当該装置ポートに対する移載領域に到着したときには、
一方の前記天井搬送車が前記移載領域に到着して前記回収される側の被搬送物を当該装置ポートから取得するまで、他方の前記天井搬送車が前記移載領域において待機するように、前記天井搬送車の動作を制御し、
他方の前記天井搬送車が前記移載領域において待機した状態で、前記移載領域に到着した一方の前記天井搬送車が前記回収される側の被搬送物を当該装置ポートから取得するように、前記天井搬送車の動作を制御し、
一方の前記天井搬送車が前記回収される側の被搬送物を当該装置ポートから取得した後に、他方の前記天井搬送車が前記供給される側の被搬送物を当該装置ポートに載置するように、前記天井搬送車の動作を制御する、請求項１記載の搬送システム。
【請求項４】
前記コントローラは、一方の前記天井搬送車が前記移載領域に到着するまでの予想時間を取得し、当該予想時間が所定時間よりも短い場合に、一方の前記天井搬送車が前記移載領域に到着して前記回収される側の被搬送物を当該装置ポートから取得するまで、他方の前記天井搬送車が前記移載領域において待機するように、前記天井搬送車の動作を制御する、請求項３記載の搬送システム。
【請求項５】
前記天井搬送車の動作を制御するコントローラを更に備え、
前記コントローラは、
同一の前記装置ポートについて、前記第１軌道上の前記天井搬送車及び前記第２軌道上の前記天井搬送車の一方の前記天井搬送車が、当該装置ポートから回収される側の前記被搬送物を当該装置ポートから取得し、前記第１軌道上の前記天井搬送車及び前記第２軌道上の前記天井搬送車の他方の前記天井搬送車が、当該装置ポートに供給される側の前記被搬送物を当該装置ポートに載置すべき状況にある場合において、他方の前記天井搬送車が、一方の前記天井搬送車よりも前に、当該装置ポートに対する移載領域に到着したときには、
他方の前記天井搬送車が前記供給される側の被搬送物を前記保管部に載置して前記回収される側の被搬送物を当該装置ポートから取得するように、前記天井搬送車の動作を制御し、
前記移載領域に到着した一方の前記天井搬送車が前記供給される側の被搬送物を前記保管部から取得して前記供給される側の被搬送物を当該装置ポートに載置するように、前記天井搬送車の動作を制御する、請求項１記載の搬送システム。
【請求項６】
前記コントローラは、一方の前記天井搬送車が前記移載領域に到着するまでの予想時間を取得し、当該予想時間が所定時間よりも長い場合に、他方の前記天井搬送車が前記供給される側の被搬送物を前記保管部に載置して前記回収される側の被搬送物を当該装置ポートから取得するように、前記天井搬送車の動作を制御する、請求項５記載の搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の一形態は、搬送システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば半導体製造工場に適用される搬送システムとして、上下に並設された第１軌道及び第２軌道と、第１軌道及び第２軌道のそれぞれに沿って走行する天井搬送車と、第１軌道及び第２軌道のそれぞれの側方に設けられた保管棚と、を備えるものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−３３１９０６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述したような搬送システムには、半導体処理装置の稼働率を向上させる観点から、天井搬送車の渋滞を抑制して、半導体処理装置の装置ポートに対して被搬送物を効率良く搬送することが求められている。【０００５】
そこで、本発明の一形態は、装置ポートに対する被搬送物の搬送効率を向上させることができる搬送システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一形態の搬送システムは、一方の側方且つ下方に装置ポートが位置するように設けられた第１軌道と、一方の側方且つ下方に装置ポートが位置するように、第１軌道に沿って第１軌道に対し下方に且つ鉛直方向に並んで設けられた第２軌道と、第１軌道及び第２軌道のそれぞれに沿って走行し、被搬送物を搬送する複数の天井搬送車と、第１軌道及び第２軌道に対して一方とは他方の側方且つ下方に設けられ、被搬送物が載置される保管部と、を備え、天井搬送車は、被搬送物を把持可能な把持部と、装置ポート及び保管部のそれぞれの上方に把持部を移動可能な移動機構と、移動機構によって装置ポート及び保管部のそれぞれの上方に移動された把持部を、装置ポート及び保管部のそれぞれに対して昇降可能な昇降機構と、を有する。【０００７】
この搬送システムでは、第１軌道上の天井搬送車及び第２軌道上の天井搬送車の両方の天井搬送車が同一の装置ポートに対してだけでなく、同一の保管部に対しても、被搬送物を移載することができる。これにより、例えば、第１軌道上の天井搬送車及び第２軌道上の天井搬送車の一方の天井搬送車が保管部に載置した被搬送物を、他方の天井搬送車が保管部から取得して装置ポートへ載置するような動作を実行することが可能となる。よって、この搬送システムによれば、装置ポートに対する被搬送物の搬送効率を向上させることができる。【０００８】
本発明の一形態の搬送システムは、天井搬送車の動作を制御するコントローラを更に備え、コントローラは、第１軌道上の天井搬送車及び第２軌道上の天井搬送車の両方の天井搬送車が、同一の装置ポートに対して被搬送物を移載する装置ポート側移載動作を実行すべき状況にある場合には、前記第１軌道上の前記天井搬送車及び前記第２軌道上の前記天井搬送車の一方の前記天井搬送車による前記装置ポート側移載動作の間、他方の前記天井搬送車による前記装置ポート側移載動作の実行を禁止し、第１軌道上の天井搬送車及び第２軌道上の天井搬送車の両方が、同一の保管部に対して被搬送物を移載する保管部側移載動作を実行すべき状況にある場合には、前記第１軌道上の前記天井搬送車及び前記第２軌道上の前記天井搬送車の一方の前記天井搬送車による前記保管部側移載動作の間、他方の前記天井搬送車による前記保管部側移載動作の実行を禁止してもよい。これにより、第１軌道上の天井搬送車及び第２軌道上の天井搬送車の両方の天井搬送車が同一の装置ポートに対して同時に被搬送物の装置ポート側移載動作を実行すること、及び、第１軌道上の天井搬送車及び第２軌道上の天井搬送車の両方の天井搬送車が同一の保管部に対して同時に被搬送物の保管部側移載動作を実行することを確実に防止することができる。【０００９】
本発明の一形態の搬送システムでは、天井搬送車の動作を制御するコントローラを更に備え、コントローラは、同一の装置ポートについて、第１軌道上の天井搬送車及び第２軌道上の天井搬送車の一方の天井搬送車が、当該装置ポートから回収される側の被搬送物を当該装置ポートから取得し、第１軌道上の天井搬送車及び第２軌道上の天井搬送車の他方の天井搬送車が、当該装置ポートに供給される側の被搬送物を当該装置ポートに載置すべき状況にある場合において、他方の天井搬送車が、一方の天井搬送車よりも前に、当該装置ポートに対する移載領域に到着したときには、一方の天井搬送車が移載領域に到着して回収される側の被搬送物を当該装置ポートから取得するまで、他方の天井搬送車が移載領域において待機するように、天井搬送車の動作を制御し、他方の天井搬送車が移載領域において待機した状態で、移載領域に到着した一方の天井搬送車が回収される側の被搬送物を当該装置ポートから取得するように、天井搬送車の動作を制御し、一方の天井搬送車が回収される側の被搬送物を当該装置ポートから取得した後に、他方の天井搬送車が供給される側の被搬送物を当該装置ポートに載置するように、天井搬送車の動作を制御してもよい。これにより、例えば、一方の天井搬送車が移載領域に到着するまでの時間が比較的短い場合等に、他方の天井搬送車が位置する軌道上での渋滞の発生を抑制しつつ、回収される側の被搬送物を装置ポートから取得すると共に、供給される側の被搬送物を装置ポートに載置することができる。【００１０】
本発明の一形態の搬送システムでは、コントローラは、一方の天井搬送車が移載領域に到着するまでの予想時間を取得し、当該予想時間が所定時間よりも短い場合に、一方の天井搬送車が移載領域に到着して回収される側の被搬送物を当該装置ポートから取得するまで、他方の天井搬送車が移載領域において待機するように、天井搬送車の動作を制御してもよい。これにより、一方の天井搬送車が移載領域に到着するまでの時間について客観的に判断して、他方の天井搬送車が位置する軌道上での渋滞の発生をより確実に抑制することができる。【００１１】
本発明の一形態の搬送システムでは、天井搬送車の動作を制御するコントローラを更に備え、コントローラは、同一の装置ポートについて、第１軌道上の天井搬送車及び第２軌道上の天井搬送車の一方の天井搬送車が、当該装置ポートから回収される側の被搬送物を当該装置ポートから取得し、第１軌道上の天井搬送車及び第２軌道上の天井搬送車の他方の天井搬送車が、当該装置ポートに供給される側の被搬送物を当該装置ポートに載置すべき状況にある場合において、他方の天井搬送車が、一方の天井搬送車よりも前に、当該装置ポートに対する移載領域に到着したときには、他方の天井搬送車が供給される側の被搬送物を保管部に載置して回収される側の被搬送物を当該装置ポートから取得するように、天井搬送車の動作を制御し、移載領域に到着した一方の天井搬送車が供給される側の被搬送物を保管部から取得して供給される側の被搬送物を当該装置ポートに載置するように、天井搬送車の動作を制御してもよい。これにより、例えば、一方の天井搬送車が移載領域に到着するまでの時間が比較的長い場合等に、他方の天井搬送車が位置する軌道上での渋滞の発生を抑制しつつ、回収される側の被搬送物を装置ポートから取得すると共に、供給される側の被搬送物を装置ポートに載置することができる。【００１２】
本発明の一形態の搬送システムでは、コントローラは、一方の天井搬送車が移載領域に到着するまでの予想時間を取得し、当該予想時間が所定時間よりも長い場合に、他方の天井搬送車が供給される側の被搬送物を保管部に載置して回収される側の被搬送物を当該装置ポートから取得するように、天井搬送車の動作を制御してもよい。これにより、一方の天井搬送車が移載領域に到着するまでの時間について客観的に判断して、他方の天井搬送車が位置する軌道上での渋滞の発生をより確実に抑制することができる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の一形態によれば、装置ポートに対する被搬送物の搬送効率を向上させることができる搬送システムを提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】図１は、本発明の一実施形態の搬送システムの平面図である。
【図２】図２は、図１の搬送システムの一部の正面図である。
【図３】図３は、図１の搬送システムにおける第１取り置き制御を説明するための図である。
【図４】図４は、図１の搬送システムにおける第１取り置き制御を説明するための図である。
【図５】図５は、図１の搬送システムにおける第１取り置き制御を説明するための図である。
【図６】図６は、図１の搬送システムにおける第１取り置き制御を説明するための図である。
【図７】図７は、図１の搬送システムにおける第１取り置き制御を説明するための図である。
【図８】図８は、図１の搬送システムにおける第２取り置き制御を説明するための図である。
【図９】図９は、図１の搬送システムにおける第２取り置き制御を説明するための図である。
【図１０】図１０は、図１の搬送システムにおける第２取り置き制御を説明するための図である。
【図１１】図１１は、図１の搬送システムにおける第２取り置き制御を説明するための図である。
【図１２】図１２は、図１の搬送システムにおける第２取り置き制御を説明するための図である。
【図１３】図１３は、図１の搬送システムにおける第２取り置き制御を説明するための図である。
【図１４】図１４は、図１の搬送システムにおける第２取り置き制御を説明するための図である。
【図１５】図１５は、図１の搬送システムにおける第２取り置き制御を説明するための図である。
【図１６】図１６は、図１の搬送システムにおける第１インターロック制御を説明するための図である。
【図１７】図１７は、図１の搬送システムにおける第１インターロック制御を説明するための図である。
【図１８】図１８は、図１の搬送システムにおける第２インターロック制御を説明するための図である。
【図１９】図１９は、図１の搬送システムにおける第２インターロック制御を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の好適な実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、各図において同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明を省略する。
【００１６】
［搬送システムの構成］
図１及び図２に示されるように、搬送システム１は、軌道１０Ａ，１０Ｂと、複数の天井搬送車２０Ａ，２０Ｂと、複数の保管棚４０と、コントローラ５０と、を備えている。軌道１０Ａ，１０Ｂは、複数の半導体処理装置１００を備える半導体製造工場の天井付近に敷設されている。天井搬送車２０Ａ，２０Ｂは、ＯＨＴ（Overhead  Hoist  Transfer）であり、軌道１０Ａ，１０Ｂに吊り下げられた状態で軌道１０Ａ，１０Ｂに沿って一方向に走行する。すなわち、天井搬送車２０Ａ，２０Ｂは、軌道１０Ａ，１０Ｂ上を、それぞれの延在方向に走行する。なお、以下の説明において、軌道１０Ａに沿って走行する天井搬送車を天井搬送車（第１の天井搬送車）２０Ａと呼ぶこととし、軌道１０Ｂに沿って走行する天井搬送車を天井搬送車（第２の天井搬送車）２０Ｂと呼ぶこととする。天井搬送車２０Ａ，２０Ｂは、複数の半導体ウェハが収容されたＦＯＵＰ（Front  Opening  Unified  Pod）を各半導体処理装置１００の装置ポート１０１に対して搬送する。保管棚４０は、各半導体処理装置１００に対応するように設置されている。例えば、軌道１０Ａ，１０Ｂの延在方向に関して、各半導体処理装置１００の装置ポート１０１に対応する位置に、少なくともひとつの保管棚４０が設置されている。保管棚４０は、軌道１０Ａ，１０Ｂの延在方向に関して各半導体処理装置１００の装置ポート１０１と同じ位置に設置されたものである。或いは、各半導体処理装置１００に対応する保管棚４０が、軌道１０Ａ，１０Ｂの延在方向に関して、当該半導体処理装置１００の装置ポート１０１よりも上流側（天井搬送車２０Ａ，２０Ｂの走行方向上流側）に設置されたものである。コントローラ５０は、天井搬送車２０Ａ，２０Ｂの動作を制御する。
【００１７】
軌道１０Ａ，１０Ｂは、それぞれ工程間軌道１３Ａ，１３Ｂ、工程内軌道１４Ａ，１４Ｂ及び分岐軌道１５Ａ，１５Ｂを構成している。天井搬送車２０Ａ，２０Ｂは、分岐軌道１５Ａ，１５Ｂを介して、工程間軌道１３Ａ，１３Ｂと工程内軌道１４Ａ，１４Ｂとの間を行き来することができる。工程内軌道１４Ａ，１４Ｂは、鉛直方向から見た場合にループ状である。
【００１８】
搬送システム１では、工程内軌道１４Ａの一部によって、第１軌道１１Ａが構成され、工程内軌道１４Ｂの一部によって、第２軌道１１Ｂが構成されている。第１軌道１１Ａ及び第２軌道１１Ｂは、工程内軌道１４Ａ，１４Ｂの内に設けられた直線部分によって構成されている。第２軌道１１Ｂは、第１軌道１１Ａに沿って設けられている。すなわち、第１軌道１１Ａと第２軌道１１Ｂとは、天井搬送車２０の走行方向が同じ方向となるように平行に設けられている。第２軌道１１Ｂは、第１軌道１１Ａの下方（真下）に、その第１軌道１１Ａと鉛直方向に沿って並んで設けられている。すなわち、図２等に示すように、第２軌道１１Ｂは、第１軌道１１Ａに対し下方に且つ鉛直方向に並んで、鉛直方向から見た場合に第１軌道１１Ａと第２軌道１１Ｂとが一致する位置に設けられている。第１軌道１１Ａ及び第２軌道１１Ｂの側面には、それぞれ天井搬送車２０Ａ，２０Ｂと通信するための複数の送受信部１２Ａ，１２Ｂが設けられている（図３参照）。
【００１９】
複数の装置ポート１０１は、工程内軌道１４Ａ，１４Ｂの外側（鉛直方向から見た場合において、ループ状を呈する工程内軌道１４Ａ，１４Ｂよりも外周側）において、第１軌道１１Ａ及び第２軌道１１Ｂが延在する方向に沿って配置されている。一対の第１軌道１１Ａ及び第２軌道１１Ｂに着目すると、複数の装置ポート１０１は、上下に並設された第１軌道１１Ａ及び第２軌道１１Ｂの一方の側方且つ下方に位置するように設けられている。
【００２０】
複数の装置ポート１０１は、その上に天井搬送車２０Ａ，２０Ｂの被搬送物であるＦＯＵＰ９０が載置され、当該ＦＯＵＰ９０を半導体処理装置１００に移載する。また、複数の装置ポート１０１は、ＦＯＵＰ９０に収容された半導体ウェハが半導体処理装置１００にて処理されると、当該ＦＯＵＰ９０を半導体処理装置１００から移載し、その上にＦＯＵＰ９０が載置された状態となる。
【００２１】
半導体処理装置１００は、装置コントローラ１０２によって、その動作を制御されている（図３参照）。装置コントローラ１０２は、天井搬送車２０Ａ，２０Ｂとの間で通信を行い、天井搬送車２０Ａ，２０Ｂに対して装置ポート１０１に対するＦＯＵＰ９０の移載許可を出す。本実施例において、装置ポート１０１に対するＦＯＵＰ９０の移載とは、天井搬送車２０Ａ，２０Ｂが保持（積載）しているＦＯＵＰ９０を装置ポート１０１に供給（載置）する場合と、装置ポート１０１に載置されたＦＯＵＰ９０を天井搬送車２０Ａ，２０Ｂが回収（取得）する場合と、を含む。本実施例において、保管棚４０に対するＦＯＵＰ９０の移載とは、天井搬送車２０Ａ，２０Ｂが保持しているＦＯＵＰ９０を保管棚４０に供給する場合と、保管棚４０に載置されたＦＯＵＰ９０を天井搬送車２０Ａ，２０Ｂが回収する場合と、を含む。
【００２２】
複数の保管棚４０には、ＦＯＵＰ９０が載置される。つまり、複数の保管棚４０は、ＦＯＵＰ９０を支持する。保管棚４０上の領域は、その上にＦＯＵＰ９０を載置可能な保管部４０ａとして機能する。保管部４０ａは、第１軌道１１Ａ及び第２軌道１１Ｂにおいて停止した天井搬送車２０Ａ，２０ＢがＦＯＵＰ９０を移載可能な一時保管領域である。
【００２３】
一対の第１軌道１１Ａ及び第２軌道１１Ｂに着目すると、複数の保管棚４０は、第１軌道１１Ａ及び第２軌道１１Ｂに対して、複数の装置ポート１０１が設けられている一方とは他方の側方且つ下方に設けられている。すなわち、複数の保管棚４０は、鉛直方向から見た場合に、第１軌道１１Ａ及び第２軌道１１Ｂを介して複数の装置ポート１０１と対向する側方に設けられている。複数の装置ポート１０１は、ループ状を呈する工程内軌道１４Ａ，１４Ｂの内側に設けられている。複数の装置ポート１０１は、第１軌道１１Ａ及び第２軌道１１Ｂが延在する方向に沿って設けられており、鉛直方向において第２軌道１１Ｂよりも下方に設けられている。
【００２４】
このように、搬送システム１は、いずれも、一方の側方且つ下方に装置ポート１０１が位置するように上下に並設された第１軌道１１Ａ及び第２軌道１１Ｂと、第１軌道１１Ａ及び第２軌道１１Ｂのそれぞれに沿って走行し、ＦＯＵＰ９０を搬送する天井搬送車（第１の天井搬送車）２０Ａ及び天井搬送車（第２の天井搬送車）２０Ｂと、第１軌道１１Ａ及び第２軌道１１Ｂに対して一方とは他方の側方且つ下方に設けられ、ＦＯＵＰ９０が載置される保管棚４０と、を備えている。
【００２５】
天井搬送車２０Ａは、第１軌道１１Ａに沿って走行し、ＦＯＵＰ９０を搬送する。天井搬送車２０Ｂは、第２軌道１１Ｂに沿って走行し、ＦＯＵＰ９０を搬送する。天井搬送車２０Ａ，２０Ｂは、ＦＯＵＰ９０を、例えば装置ポート１０１，１０１間、保管棚４０，４０間、装置ポート１０１及び保管棚４０間において搬送する。
【００２６】
天井搬送車２０Ａ，２０Ｂは、いずれも、ＦＯＵＰ９０を装置ポート１０１及び保管棚４０に対して移載する被搬送物移載機構を有している。被搬送物移載機構は、把持部２１と、昇降機構２２と、移動機構２３と、を含んでいる。また、天井搬送車２０Ａ，２０Ｂは、それぞれ送受信部２４Ａ，２４Ｂを有している。
【００２７】
把持部２１は、ＦＯＵＰ９０のフランジ部９１を把持及び解放する装置である。把持部２１は、ＦＯＵＰ９０のフランジ部９１を把持可能である。把持部２１は、天井搬送車２０Ａ，２０Ｂが装置ポート１０１及び保管棚４０からＦＯＵＰ９０を取得する際に、ＦＯＵＰ９０のフランジ部９１を把持する。把持部２１は、天井搬送車２０Ａ，２０Ｂが装置ポート１０１及び保管棚４０へＦＯＵＰ９０を載置する際に、ＦＯＵＰ９０のフランジ部９１を解放する。
【００２８】
昇降機構２２は、把持部２１を鉛直方向に昇降させる装置である。昇降機構２２は、把持部２１を鉛直方向に昇降可能である。昇降機構２２は、巻上機構２２ａと、ベルト２２ｂと、含んでいる。巻上機構２２ａは、移動機構２３によって保持されている。巻上機構２２ａは、ベルト２２ｂを鉛直方向に巻上げ及び巻下ろす装置である。巻上機構２２ａは、ベルト２２ｂを鉛直方向に巻上げ及び巻下ろし可能である。ベルト２２ｂは、巻上機構２２ａから垂下され、その下端において把持部２１を保持している。昇降機構２２は、把持部２１によって把持されたＦＯＵＰ９０が少なくとも装置ポート１０１及び保管棚４０に達するだけの距離を巻上げ及び巻下ろし可能である。
【００２９】
移動機構２３は、天井搬送車２０Ａ，２０Ｂから両方の側方に対して把持部２１及び昇降機構２２を移動させる装置である。天井搬送車２０Ａ，２０Ｂから両方の側方に対して把持部２１及び昇降機構２２を移動可能である。すなわち、移動機構２３は、天井搬送車２０Ａ，２０Ｂから、天井搬送車２０Ａ，２０Ｂの進行方向に対し垂直な水平方向に対して把持部２１及び昇降機構２２を移動可能である。移動機構２３は、把持部２１及び昇降機構２２を、装置ポート１０１及び保管棚４０のそれぞれの上方に移動可能である。把持部２１によってＦＯＵＰ９０が把持されている場合、移動機構２３は、当該ＦＯＵＰ９０を装置ポート１０１及び保管棚４０の鉛直方向上方に対して移動可能である。
【００３０】
第１軌道１１Ａ及び第２軌道１１Ｂのそれぞれにおいて停止した天井搬送車２０Ａ，２０Ｂは、当該第１軌道１１Ａ及び第２軌道１１Ｂの側方且つ下方に位置している装置ポート１０１及び保管棚４０の両方に対して、ＦＯＵＰ９０を移載することができる。換言すると、天井搬送車２０Ａ及び天井搬送車２０Ｂは、同一の装置ポート１０１及び同一の保管棚４０に対してＦＯＵＰ９０を移載可能である。すなわち、第１軌道１１Ａにおける天井搬送車２０Ａ及び第２軌道１１Ｂにおける天井搬送車２０Ｂの何れにおいても、装置ポート１０１との間でＦＯＵＰ９０の受け渡し（移載）が可能とされている。且つ、第１軌道１１Ａにおける天井搬送車２０Ａ及び第２軌道１１Ｂにおける天井搬送車２０Ｂの何れにおいても、保管棚４０との間でＦＯＵＰ９０の受け渡しが可能とされている。すなわち、保管棚４０は、第１軌道１１Ａ上を走行する天井搬送車２０Ａ及び第２軌道１１Ｂ上を走行する天井搬送車２０Ｂに共用される保管部４０ａを備えている。
【００３１】
具体的には、天井搬送車２０Ａ，２０Ｂは、第１軌道１１Ａ及び第２軌道１１Ｂの直下において把持部２１がＦＯＵＰ９０のフランジ部９１を把持している状態から、移動機構２３を動作させてＦＯＵＰ９０を装置ポート１０１及び保管棚４０のそれぞれの上方に移動させる。続いて、天井搬送車２０Ａ，２０Ｂは、巻上機構２２ａを動作させてベルト２２ｂを巻下ろし、ＦＯＵＰ９０を降下させ装置ポート１０１上又は保管棚４０上に載置する。以上により、天井搬送車２０Ａ，２０Ｂは、装置ポート１０１及び保管棚４０へＦＯＵＰ９０を移載（載置）する。
【００３２】
また、天井搬送車２０Ａ，２０Ｂは、装置ポート１０１上又は保管棚４０上に載置された状態のＦＯＵＰ９０のフランジ部９１を把持部２１により把持する。続いて、天井搬送車２０Ａ，２０Ｂは、巻上機構２２ａを動作させてベルト２２ｂを巻上げ、ＦＯＵＰ９０を上昇させる。続いて、天井搬送車２０Ａ，２０Ｂは、移動機構２３を動作させてＦＯＵＰ９０を第１軌道１１Ａ及び第２軌道１１Ｂの直下に移動させる。以上により、天井搬送車２０Ａ，２０Ｂは、装置ポート１０１又は保管棚４０からＦＯＵＰ９０を移載（取得）する。
【００３３】
送受信部２４Ａ，２４Ｂは、天井搬送車２０Ａ，２０Ｂの各上面にそれぞれ設けられている（図３参照）。送受信部２４Ａは、第１軌道１１Ａに設けられた送受信部１２Ａと通信可能である。送受信部１２Ａ，２４Ａは、ＳＥＭＩ規格Ｅ８４に則って互いに通信する８ビットセンサの送受信部である。送受信部２４Ｂは、第２軌道１１Ｂに設けられた送受信部１２Ｂと通信可能である。送受信部１２Ｂ，２４Ｂは、ＳＥＭＩ規格Ｅ８４に則って互いに通信する８ビットセンサの送受信部である。送受信部２４Ａ，２４Ｂは、送受信部１２Ａ，１２Ｂとの間で通信可能な位置に天井搬送車２０Ａ，２０Ｂが位置しているときには、送受信部１２Ａ，１２Ｂを介して装置コントローラ１０２に接続されている。
【００３４】
コントローラ５０は、複数の天井搬送車２０Ａ，２０Ｂの動作を制御する。コントローラ５０は、各エリアに位置する天井搬送車２０Ａ，２０Ｂの動作を制御するローカルコントローラ５２Ａ，５２Ｂと、各ローカルコントローラ５２Ａ，５２Ｂと通信し、各ローカルコントローラ５２Ａ，５２Ｂを統括する上位コントローラ５１と、を有している（図３参照）。各ローカルコントローラ５２Ａ，５２Ｂによって管轄されるエリアは、第１軌道と第２軌道とで異なるエリアとされ、且つ、半導体処理装置１００毎に異なるエリアとされている。なお、各ローカルコントローラ５２Ａ，５２Ｂによって管轄されるエリアは、このような分け方に限定されない。
【００３５】
［搬送システムにおける取り置き制御］
以上のように構成された搬送システム１では、例えば、次のような取り置き制御を実行することができる。なお、以下の説明における装置ポート１０１に対する移載領域Ｒとは、第１軌道１１Ａ上及び第２軌道１１Ｂ上において、天井搬送車２０Ａ，２０Ｂが停止して当該装置ポート１０１に対してＦＯＵＰ９０を移載することができる領域を意味する。装置ポート１０１に対する移載領域Ｒは、第１軌道１１Ａ上及び第２軌道１１Ｂ上であって、第１軌道１１Ａ及び第２軌道１１Ｂのそれぞれに沿った方向において装置ポート１０１及び保管棚４０と同位置となる領域である。或いは、当該方向に関して、装置ポート１０１に対応する保管棚４０がその装置ポート１０１よりも上流側に設けられた態様においては、装置ポート１０１に対する移載領域Ｒは、当該方向においてその装置ポート１０１に対応する保管棚４０と同位置となる領域を含む。
【００３６】
まず、第１取り置き制御について説明する。第１取り置き制御において、コントローラ５０は、同一の装置ポート１０１について、天井搬送車２０Ａ，２０Ｂの一方の天井搬送車が、ＦＯＵＰ９０を装置ポート１０１から取得し、他方の天井搬送車が別のＦＯＵＰ９０を空になった装置ポート１０１に載置する場合において、他方の天井搬送車が、一方の天井搬送車よりも前に、装置ポート１０１に対する移載領域Ｒに到着したときには、一方の天井搬送車が移載領域Ｒに到着してＦＯＵＰ９０を装置ポート１０１から取得するまで、他方の天井搬送車が移載領域Ｒにおいて待機するように制御し、他方の天井搬送車が移載領域Ｒにおいて待機した状態で、移載領域Ｒに到着した一方の天井搬送車がＦＯＵＰ９０を装置ポート１０１から取得するように制御し、一方の天井搬送車がＦＯＵＰ９０を装置ポート１０１から取得した後に、他方の天井搬送車が別のＦＯＵＰ９０を装置ポート１０１に載置するように制御する。
【００３７】
具体的には、図３に示されるように、例えば、同一の装置ポート１０１について、ＦＯＵＰ９０が積載されていない状態（すなわち、空の状態）の天井搬送車２０Ｂ（すなわち、空台車）が、当該装置ポート１０１から回収される側のＦＯＵＰ９０であるＦＯＵＰ９０Ｂを当該装置ポート１０１から取得し、ＦＯＵＰ９０が積載された状態（すなわち、実の状態）の天井搬送車２０Ａ（すなわち、実台車）が、当該装置ポート１０１に供給される側のＦＯＵＰ９０であるＦＯＵＰ９０Ａを当該装置ポート１０１に載置すべき状況にある場合において、天井搬送車２０Ａが、天井搬送車２０Ｂよりも前に、当該装置ポート１０１に対する移載領域Ｒ（図１参照）に到着したときには、コントローラ５０は、天井搬送車２０Ｂが移載領域Ｒに到着して当該装置ポート１０１からＦＯＵＰ９０Ｂを取得するまで、天井搬送車２０Ａが移載領域Ｒにおいて待機するように、天井搬送車２０Ａ，２０Ｂの動作を制御する。続いて、図４及び図５に示されるように、コントローラ５０は、移載領域Ｒに到着した天井搬送車２０Ｂが当該装置ポート１０１からＦＯＵＰ９０Ｂを取得するように、天井搬送車２０Ａ，２０Ｂの動作を制御する。続いて、図６に示されるように、コントローラ５０は、天井搬送車２０Ｂが移載領域Ｒから次の目的地へ向けて走行するように、天井搬送車２０Ａ，２０Ｂの動作を制御する。続いて、図７に示されるように、コントローラ５０は、天井搬送車２０Ａが当該装置ポート１０１にＦＯＵＰ９０Ａを載置するように、天井搬送車２０Ａ，２０Ｂの動作を制御する。
【００３８】
次に、第２取り置き制御について説明する。第２取り置き制御において、コントローラ５０は、同一の装置ポート１０１について、天井搬送車２０Ａ，２０Ｂの一方の天井搬送車が、ＦＯＵＰ９０を当該装置ポート１０１から取得し、他方の天井搬送車が、当該装置ポート１０１に別のＦＯＵＰ９０を空になった装置ポート１０１に載置する場合において、他方の天井搬送車が、一方の天井搬送車よりも前に、当該装置ポート１０１に対する移載領域Ｒに到着したときには、他方の天井搬送車が別のＦＯＵＰ９０を保管棚４０に載置してＦＯＵＰ９０を装置ポート１０１から取得するように制御し、移載領域Ｒに到着した一方の天井搬送車が別のＦＯＵＰ９０を保管棚４０から取得して別のＦＯＵＰ９０を装置ポート１０１に載置するように制御する。
【００３９】
具体的には、図８及び図９に示されるように、例えば、同一の装置ポート１０１について、空の状態の天井搬送車２０Ｂが、当該装置ポート１０１から回収される側のＦＯＵＰ９０であるＦＯＵＰ９０Ｂを当該装置ポート１０１から取得し、実の状態の天井搬送車２０Ａが、当該装置ポート１０１に供給される側のＦＯＵＰ９０であるＦＯＵＰ９０Ａを当該装置ポート１０１に載置すべき状況にある場合において、天井搬送車２０Ａが、天井搬送車２０Ｂよりも前に、当該装置ポート１０１に対する移載領域Ｒ（図１参照）に到着したときには、コントローラ５０は、天井搬送車２０Ａが保管棚４０にＦＯＵＰ９０Ａを載置するように、天井搬送車２０Ａ，２０Ｂの動作を制御する。続いて、図１０及び図１１に示されるように、コントローラ５０は、天井搬送車２０Ａが当該装置ポート１０１からＦＯＵＰ９０Ｂを取得するように、天井搬送車２０Ａ，２０Ｂの動作を制御する。続いて、図１２に示されるように、コントローラ５０は、天井搬送車２０Ａが移載領域Ｒから次の目的地へ向けて走行するように、天井搬送車２０Ａ，２０Ｂの動作を制御する。続いて、図１３及び図１４に示されるように、コントローラ５０は、移載領域Ｒに到着した天井搬送車２０Ｂが保管棚４０からＦＯＵＰ９０Ａを取得するように、天井搬送車２０Ａ，２０Ｂの動作を制御する。続いて、図１５に示されるように、コントローラ５０は、天井搬送車２０Ｂが保管棚４０から取得したＦＯＵＰ９０Ａを当該装置ポート１０１に載置するように、天井搬送車２０Ａ，２０Ｂの動作を制御する。
【００４０】
搬送システム１では、コントローラ５０は、上記一方の天井搬送車が移載領域Ｒに到着するまでの予想時間を取得し、当該予想時間が所定時間よりも短い場合に、一方の天井搬送車が移載領域Ｒに到着してＦＯＵＰ９０を装置ポート１０１から取得するまで、上記他方の天井搬送車が移載領域Ｒにおいて待機するように制御する。また、搬送システム１において、コントローラ５０は、上記一方の天井搬送車が移載領域Ｒに到着するまでの予想時間を取得し、当該予想時間が所定時間よりも長い場合に、上記他方の天井搬送車が別のＦＯＵＰ９０を保管棚４０に載置してＦＯＵＰ９０を装置ポート１０１から取得するように制御する。
【００４１】
具体的には、搬送システム１では、コントローラ５０は、第１取り置き制御又は第２取り置き制御を実行する前において、天井搬送車２０Ａが、天井搬送車２０Ｂよりも前に、当該装置ポート１０１に対する移載領域Ｒ（図１参照）に到着してから天井搬送車２０Ｂが到着するまでの予想時間を取得する。より具体的には、ローカルコントローラ５２Ａからの問い合わせに対して上位コントローラ５１が予想時間を算出する。続いて、コントローラ５０は、予想時間が所定時間以下であるか否かを判定する。続いて、コントローラ５０は、予想時間が所定時間以下であると判定したときには、第１取り置き制御を実行し、予想時間が所定時間よりも長いと判定したときには、第２取り置き制御を実行する。
【００４２】
［搬送システムにおけるインターロック制御］
また、搬送システム１では、例えば、次のようなインターロック制御を実行することができる。
【００４３】
まず、第１インターロック制御について説明する。第１インターロック制御において、コントローラ５０は、天井搬送車２０Ａ，２０Ｂの両方が、同一の装置ポート１０１に対してＦＯＵＰ９０を移載する場合に、一方の天井搬送車による移載動作を許可し、その間の他方の天井搬送車による移載動作を禁止する。
【００４４】
具体的には、図１６及び図１７に示されるように、コントローラ５０は、上位コントローラ５１と、ローカルコントローラ５２Ａ，５２Ｂと、の間で通信を行う。そして、コントローラ５０は、同一の装置ポート１０１に対して、同時に、天井搬送車２０Ａ，２０Ｂの両方がＦＯＵＰ９０を移載する装置ポート側移載動作を実行すべき状況にある場合には、天井搬送車２０Ａ，２０Ｂのいずれかに対してのみ、装置コントローラ１０２との通信を許可する。その結果、装置コントローラ１０２との通信を許可されなかった天井搬送車に対しては、装置コントローラ１０２からの移載許可が出ることはない。装置コントローラ１０２との通信を許可された天井搬送車が装置ポート側移載動作を終了した後、装置コントローラ１０２との通信を許可されなかった天井搬送車に対して装置コントローラ１０２との通信を許可する。コントローラ５０は、必ずしも天井搬送車２０Ａ，２０Ｂの内の移載領域Ｒに先に到着した天井搬送車に対して装置コントローラ１０２との通信を許可しなくてもよい。図示する例では、コントローラ５０は、天井搬送車２０Ａによって装置ポート側移載動作が実行されている間は、天井搬送車２０Ｂによって装置ポート側移載動作が実行されることを禁止するように、天井搬送車２０Ａ，２０Ｂの動作を制御する。具体的には、コントローラ５０は、天井搬送車２０Ａの把持部２１が、移動機構２３により移載対象となる装置ポート１０１の上方に移動させられている間は、天井搬送車２０Ｂの把持部２１を、移動機構２３により移載対象となる装置ポート１０１の上方に移動させることを禁止するように、天井搬送車２０Ａ，２０Ｂの動作を制御する。
【００４５】
次に、第２インターロック制御について説明する。第２インターロック制御において、コントローラ５０は、天井搬送車２０Ａ，２０Ｂの両方が、同一の保管棚４０に対してＦＯＵＰ９０を移載する場合に、一方の天井搬送車による移載動作を許可し、その間の他方の天井搬送車による移載動作を禁止する。
【００４６】
具体的には、図１８及び図１９に示されるように、コントローラ５０は、上位コントローラ５１と、ローカルコントローラ５２Ａ，５２Ｂと、の間で通信を行う。そして、コントローラ５０は、同一の保管棚４０に対して、同時に、天井搬送車２０Ａ，２０Ｂの両方がＦＯＵＰ９０を移載する保管部側移載動作を実行すべき状況にある場合には、天井搬送車２０Ａ，２０Ｂのいずれかに対してのみ、当該保管棚４０に対するＦＯＵＰ９０の移載を許可する。コントローラ５０は、必ずしも天井搬送車２０Ａ，２０Ｂの内の移載領域Ｒに先に到着した天井搬送車に対して装置コントローラ１０２との通信を許可しなくてもよい。図示する例では、コントローラ５０は、天井搬送車２０Ａによって保管部側移載動作が実行されている間は、天井搬送車２０Ｂによって保管部側移載動作が実行されることを禁止するように、天井搬送車２０Ａ，２０Ｂの動作を制御する。具体的には、コントローラ５０は、天井搬送車２０Ａの把持部２１が、移動機構２３により移載対象となる保管棚４０の上方に移動させられている間は、天井搬送車２０Ｂの把持部２１を、移動機構２３により移載対象となる保管棚４０の上方に移動させることを禁止するように、天井搬送車２０Ａ，２０Ｂの動作を制御する。
【００４７】
［作用及び効果］
以上説明したように、搬送システム１では、第１軌道１１Ａ上の天井搬送車２０Ａ及び第２軌道１１Ｂ上の天井搬送車２０Ｂの両方の天井搬送車が同一の装置ポート１０１に対してだけでなく、同一の保管棚４０に対しても、ＦＯＵＰ９０を移載することができる。これにより、例えば、第１軌道１１Ａ上の天井搬送車２０Ａ及び第２軌道１１Ｂ上の天井搬送車２０Ｂの一方の天井搬送車が保管棚４０に載置したＦＯＵＰ９０を、他方の天井搬送車が保管棚４０から取得して装置ポート１０１へ載置するような動作を実行することが可能となる。よって、この搬送システム１によれば、装置ポート１０１に対するＦＯＵＰ９０の搬送効率を向上させることができる。
【００４８】
搬送システム１では、天井搬送車２０Ａ，２０Ｂの動作を制御するコントローラ５０を更に備え、コントローラ５０は、天井搬送車２０Ａ，２０Ｂの両方の天井搬送車が、同一の装置ポート１０１に対してＦＯＵＰ９０を移載する装置ポート側移載動作を実行すべき状況にある場合には、天井搬送車２０Ａ，２０Ｂの一方による装置ポート側移載動作の間、他方による装置ポート側移載動作の実行を禁止し、天井搬送車２０Ａ，２０Ｂの両方が、同一の保管棚４０に対してＦＯＵＰ９０を移載する保管部側移載動作を実行すべき状況にある場合には、天井搬送車２０Ａ，２０Ｂの一方による保管部側移載動作の間、他方による保管部側移載動作の実行を禁止する。これにより、天井搬送車２０Ａ，２０Ｂの両方の天井搬送車が同一の装置ポート１０１に対して同時にＦＯＵＰ９０の装置ポート側移載動作を実行すること、及び、天井搬送車２０Ａ，２０Ｂの両方の天井搬送車が同一の保管棚４０に対して同時にＦＯＵＰ９０の保管部側移載動作を実行することを確実に防止することができる。
【００４９】
搬送システム１では、天井搬送車２０Ａ，２０Ｂの動作を制御するコントローラ５０を更に備え、コントローラ５０は、同一の装置ポート１０１について、天井搬送車２０Ｂが、当該装置ポート１０１から回収される側のＦＯＵＰ９０であるＦＯＵＰ９０Ｂを当該装置ポート１０１から取得し、天井搬送車２０Ａが、当該装置ポート１０１に供給される側のＦＯＵＰ９０であるＦＯＵＰ９０Ａを当該装置ポート１０１に載置すべき状況にある場合において、天井搬送車２０Ａが、天井搬送車２０Ｂよりも前に、当該装置ポート１０１に対する移載領域Ｒに到着したときには、天井搬送車２０Ｂが移載領域Ｒに到着して回収される側のＦＯＵＰ９０Ｂを当該装置ポート１０１から取得するまで、天井搬送車２０Ａが移載領域Ｒにおいて待機するように、天井搬送車２０Ａ，２０Ｂの動作を制御し、天井搬送車２０Ａが移載領域Ｒにおいて待機した状態で、移載領域Ｒに到着した天井搬送車２０Ｂが回収される側のＦＯＵＰ９０Ｂを当該装置ポート１０１から取得するように、天井搬送車２０Ａ，２０Ｂの動作を制御し、天井搬送車２０Ｂが回収される側のＦＯＵＰ９０Ｂを当該装置ポート１０１から取得した後に、天井搬送車２０Ａが供給される側のＦＯＵＰ９０Ａを当該装置ポート１０１に載置するように、天井搬送車２０Ａ，２０Ｂの動作を制御する。これにより、例えば、天井搬送車２０Ｂが移載領域Ｒに到着するまでの時間が比較的短い場合等に、天井搬送車２０Ａが位置する第１軌道１１Ａ上での渋滞の発生を抑制しつつ、回収される側のＦＯＵＰ９０Ｂを装置ポート１０１から取得すると共に、供給される側のＦＯＵＰ９０Ａを装置ポート１０１に載置することができる。
【００５０】
搬送システム１では、コントローラ５０は、天井搬送車２０Ｂが移載領域Ｒに到着するまでの予想時間を取得し、当該予想時間が所定時間以下である場合に、天井搬送車２０Ｂが移載領域Ｒに到着して回収される側のＦＯＵＰ９０Ｂを当該装置ポート１０１から取得するまで、天井搬送車２０Ａが移載領域Ｒにおいて待機するように、天井搬送車２０Ａ，２０Ｂの動作を制御する。これにより、天井搬送車２０Ｂが移載領域Ｒに到着するまでの時間について客観的に判断して、天井搬送車２０Ａが位置する第１軌道１１Ａ上での渋滞の発生をより確実に抑制することができる。
【００５１】
搬送システム１では、天井搬送車２０Ａ，２０Ｂの動作を制御するコントローラ５０を更に備え、コントローラ５０は、同一の装置ポート１０１について、天井搬送車２０Ｂが、当該装置ポート１０１から回収される側のＦＯＵＰ９０であるＦＯＵＰ９０Ｂを当該装置ポート１０１から取得し、天井搬送車２０Ａが、当該装置ポート１０１に供給される側のＦＯＵＰ９０であるＦＯＵＰ９０Ａを当該装置ポート１０１に載置すべき状況にある場合において、天井搬送車２０Ａが、天井搬送車２０Ｂよりも前に、当該装置ポート１０１に対する移載領域Ｒに到着したときには、天井搬送車２０Ａが供給される側のＦＯＵＰ９０Ａを保管棚４０に載置して当該装置ポート１０１から回収される側のＦＯＵＰ９０Ｂを取得するように、天井搬送車２０Ａ，２０Ｂの動作を制御し、移載領域Ｒに到着した天井搬送車２０Ｂが供給される側のＦＯＵＰ９０Ａを保管棚４０から取得して供給される側のＦＯＵＰ９０Ａを当該装置ポート１０１に載置するように、天井搬送車２０Ａ，２０Ｂの動作を制御する。これにより、例えば、天井搬送車２０Ｂが移載領域Ｒに到着するまでの時間が比較的長い場合等に、天井搬送車２０Ａが位置する第１軌道１１Ａ上での渋滞の発生を抑制しつつ、回収される側のＦＯＵＰ９０Ｂを装置ポート１０１から取得すると共に、供給される側のＦＯＵＰ９０Ａを装置ポート１０１に載置することができる。
【００５２】
搬送システム１では、コントローラ５０は、天井搬送車２０Ｂが移載領域Ｒに到着するまでの予想時間を取得し、当該予想時間が所定時間よりも長い場合に、天井搬送車２０Ａが供給される側のＦＯＵＰ９０Ａを保管棚４０に載置して回収される側のＦＯＵＰ９０Ｂを当該装置ポート１０１から取得するように、天井搬送車２０Ａ，２０Ｂの動作を制御する。これにより、天井搬送車２０Ｂが移載領域Ｒに到着するまでの時間について客観的に判断して、天井搬送車２０Ａが位置する第１軌道１１Ａ上での渋滞の発生をより確実に抑制することができる。
【００５３】
［変形例］
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は、上記一実施形態に限定されるものではない。例えば、第１軌道１１Ａ及び第２軌道１１Ｂは、天井搬送車２０Ａ，２０Ｂが互いに乗り入れ可能に構成されていてもよい。
【００５４】
また、上記実施形態では、取り置き制御において、天井搬送車２０Ｂを空台車とし、天井搬送車２０Ａを実台車として、天井搬送車２０Ｂより前に天井搬送車２０Ａが装置ポート１０１の移載領域Ｒに到着するとしたが、逆に、天井搬送車２０Ａを空台車とし、天井搬送車２０Ｂを実台車として、天井搬送車２０Ａより前に天井搬送車２０Ｂが装置ポート１０１の移載領域Ｒに到着するとしてもよい。この場合でも、上述した取り置き制御に比べて実の状態の天井搬送車及び空の状態の天井走行車の走行する軌道が入れ替わる以外は、同様の取り置き制御が実行される。
【００５５】
また、上記実施形態において、実の状態の天井搬送車２０Ａが移載領域Ｒに到着してから空の状態の天井搬送車２０Ｂが移載領域Ｒに到着するまでの予想時間をコントローラ５０によって取得する方法としては、上位コントローラ５１が予想時間を算出する方法に限らず、例えば、コントローラ５０が、より上位のコントローラに対して問い合わせを行い、より上位のコントローラから予想時間の情報を受け取ってもよい。
【００５６】
また、上記実施形態では、コントローラ５０は、予想時間が所定時間以下であると判定したときに第１取り置き制御を実行し、予想時間が所定時間よりも長いと判定したときに第２取り置き制御を実行するとしたが、予想時間が所定時間よりも短いと判定したときに第１取り置き制御を実行し、予想時間が所定時間以上であると判定したときに第２取り置き制御を実行するとしてもよい。
【００５７】
また、上記実施形態では、コントローラ５０は、予想時間を取得し、当該予想時間が所定時間以下であると判定したときには第１取り置き制御を実行し、当該予想時間が所定時間よりも長いと判定したときには第２取り置き制御を実行するとした。しかし、コントローラ５０は、当該予想時間の取得を行うことなく、天井搬送車２０Ａが移載領域Ｒに到着した時点で第２取り置き制御を実行するとしてもよい。すなわち、第２取り置き制御を、第１取り置き制御よりも優先的に実行するとしてもよい。
【００５８】
また、上記実施形態では、当該予想時間の取得を行うことなく、天井搬送車２０Ａが移載領域Ｒに到着してから所定時間（例えば、１０秒）待機させ、天井搬送車２０Ａが移載領域Ｒにおいて待機している間に天井搬送車２０Ｂが移載領域Ｒに到着しなかったときには、第２取り置き制御を実行するとしてもよい。このとき、第２取り置き制御に代えて、天井搬送車２０Ｂが次の動作（例えば、保管棚４０にＦＯＵＰ９０Ａを載置する動作、或いはＦＯＵＰ９０Ａを保持したまま軌道上を一周する動作）を開始するように、天井搬送車２０Ａ，２０Ｂの動作を制御してもよい。
【００５９】
また、インターロック制御において、上記実施形態では、コントローラ５０は、天井搬送車２０Ａによって装置ポート側移載動作又は保管部側移載動作が実行されている間は、天井搬送車２０Ｂによって装置ポート側移載動作又は保管部側移載動作が実行されることを禁止するように、天井搬送車２０Ａ，２０Ｂの動作を制御するとした。しかし、コントローラ５０は、天井搬送車２０Ｂによって装置ポート側移載動作又は保管部側移載動作が実行されている間は、天井搬送車２０Ａによって装置ポート側移載動作又は保管部側移載動作が実行されることを禁止するように、天井搬送車２０Ａ，２０Ｂの動作を制御するとしてもよい。
【００６０】
また、上記実施形態では、上位コントローラ５１を介さず、ローカルコントローラ５２Ａ，５２Ｂにより実行されるものであってもよい。すなわち、インターロック制御は、ローカルコントローラ５２Ａ，５２Ｂが相互に通信を行い、それらローカルコントローラ５２Ａ，５２Ｂにより天井搬送車２０Ａ，２０Ｂを制御するものであってもよい。
【００６１】
また、上記実施形態では、第１軌道１１Ａ及び第２軌道１１Ｂに加え、第３軌道が、鉛直方向に見た場合に第１軌道及び第２軌道と一致する位置に設けられたものであってもよい。すなわち、３本の軌道が鉛直方向に並設されたものであってもよい。具体的には、第３軌道が、一方の側方且つ下方に装置ポート１０１が位置するように、第１軌道１１Ａ及び第２軌道１１Ｂに沿って第２軌道１１Ｂに対し下方に且つ鉛直方向に並んで設けられていてもよい。かかる構成においても、上述した取り置き制御及びインターロック制御を上記実施形態と同様に適用可能である。
【００６２】
また、上記実施形態では、４本以上の軌道が鉛直方向に並設されたものであってもよい。かかる構成においても、上述した取り置き制御及びインターロック制御を上記実施形態と同様に適用可能である。
【００６３】
また、上記実施形態では、本発明の搬送システムが搬送する被搬送物は、複数の半導体ウェハが収容されたＦＯＵＰ９０に限定されず、ガラスウェハ、レチクル等が収容されたその他の容器であってもよい。また、本発明の搬送システムは、半導体製造工場に限定されず、その他の施設にも適用可能である。
【符号の説明】
【００６４】
１…搬送システム、１１Ａ…第１軌道、１１Ｂ…第２軌道、２０Ａ，２０Ｂ…天井搬送車、２１…把持部、２２…昇降機構、２３…移動機構、４０ａ…保管部、５０…コントローラ、９０，９０Ａ，９０Ｂ…ＦＯＵＰ（被搬送物）、１０１…装置ポート、Ｒ…移載領域。
【図１】
2017029871.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【国際調査報告】
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