(57)【要約】  本発明は、１０ＭＨｚから１ＧＨｚまでの広い周波数範囲においてノイズを吸収するノイズ抑制シートを提供する。  導電性フィラーと樹脂からなる導電性層と、フェライトからなる磁性層を積層したフェライト積層体であり、前記導電層の表面電気抵抗が１００〜５０００Ω／□であり、前記フェライトが小片状に分割されており、フェライトの１０ＭＨｚにおける透磁率の実数部が１３０〜４８０であり、透磁率の虚数部が３０〜４４０である。【選択図】  なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
導電性フィラーと樹脂から成る導電性層と焼結フェライトから成る磁性層とから成るフェライト積層体。
【請求項２】
当該積層体のマイクロストリップライン測定による透過減衰量が１ＧＨｚにおいて３．６〜８ｄＢであって、ループアンテナ測定による透過減衰量が１０ＭＨｚにおいて１２〜３０ｄＢである請求項１記載のフェライト積層体。
【請求項３】
前記磁性層の１０ＭＨｚにおける透磁率の実数部が１３０〜４８０であり、透磁率の虚数部が３０〜４４０である請求項１又は２に記載のフェライト積層体。
【請求項４】
前記導電層の表面電気抵抗が１００〜５０００Ω／□である請求項１〜３のいずれかに記載のフェライト積層体。
【請求項５】
導電層と磁性層とが粘着層を介して積層されている請求項１〜４のいずれかに記載のフェライト積層体。
【請求項６】
当該積層体の少なくとも一方の表面に更に粘着層又は保護層を設けた請求項１〜５のいずれかに記載のフェライト積層体。
【請求項７】
当該積層体の一方の表面に更に粘着層を設け、反対側の表面に更に保護層を設けた請求項１〜６のいずれかに記載のフェライト積層体。
【請求項８】
焼結フェライトの組成が、酸化物換算で４７〜５０ｍｏｌ％のＦｅ２Ｏ３、８〜１６ｍｏｌ％のＮｉＯ、２４〜３５ｍｏｌ％のＺｎＯ、７〜１２．５ｍｏｌ％のＣｕＯから成り、合計で１００ｍｏｌ％である請求項１〜７のいずれかに記載のフェライト積層体。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれかに記載のフェライト積層体から成るノイズ抑制シート。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、導電性フィラーと樹脂から成る導電性層と焼結フェライトから成る磁性層とから成るフェライト積層体および当該フェライト積層体から成るノイズ抑制シートに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年のデジタル電子機器の進歩は目覚ましいものがあるが、特にスマートフォン、携帯電話、デジタルカメラやノートパソコンに代表されるモバイル電子機器においては、動作信号の高周波化と共に、小型化や軽量化の為、電子部品や配線基板の高密度実装が最大の技術課題に挙げられている。【０００３】
電子機器内の電子部品や配線基板の高密度実装と動作信号の高周波化が進んできたために、発生した不要輻射が周囲の部品に大きな悪影響を与えるようになってきた。従って、電子機器のマイクロプロセッサ、ＬＳＩや液晶パネルなどから放射される不要輻射を抑制する目的でノイズ抑制シートを電子回路又は配線基板等に貼付することが行われている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平７−２１２０７９号公報
【特許文献２】特開２００９−２９００７５号公報
【特許文献３】特開２０１３−２２９５４１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１において、軟磁性粉末として平均粒径１０μｍの偏平状のＦｅ−Ａｌ−Ｓｉ合金粉末を含有させたノイズ抑制シートが開示されており、数百ＭＨｚ〜数ＧＨｚにおいてノイズ抑制効果を有することが示されている。【０００６】
特許文献２において、Ｎｉ−Ｚｎフェライト焼結体からなるノイズ抑制シートが開示されている。該文献は、Ｎｉ−Ｚｎフェライトの複素透磁率と体積抵抗率を制御することにより、１０ＭＨｚから１ＧＨｚにおいて電磁波の反射が少ないノイズ抑制シートを提供するものであるが、１０ＭＨｚでの吸収量は数％と低いものである。【０００７】
特許文献３においては、導電性フィラーと樹脂とからなる導電層に、軟磁性粉末と樹脂とからなる磁性層を積層したノイズ抑制シートが開示されており、数百ＭＨｚ〜数ＧＨｚにおいてノイズ抑制効果を有することが示されている。【０００８】
上述のように数百ＭＨｚ〜数ＧＨｚにおいてノイズ抑制効果を有するノイズ抑制シートは種々提案されているが、数十ＭＨｚにおいてもノイズを発生する電子部品に対して十分な効果を有するノイズ抑制シートは未だ提案されていない。【０００９】
そこで本発明は、１０ＭＨｚ及び１ＧＨｚにおいて十分なノイズ抑制効果を発揮することができるフェライト積層体、ノイズ抑制シートを提供することを技術的課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
前記技術的課題は、次のとおりの本発明によって達成できる。【００１１】
即ち、本発明は、導電性フィラーと樹脂から成る導電性層と焼結フェライトから成る磁性層とから成るフェライト積層体である（本発明１）。【００１２】
また、本発明は、当該積層体のマイクロストリップライン測定による透過減衰量が１ＧＨｚにおいて３．６〜８ｄＢであって、ループアンテナ測定による透過減衰量が１０ＭＨｚにおいて１２〜３０ｄＢである本発明１記載のフェライト積層体である（本発明２）。【００１３】
また、本発明は、前記磁性層の１０ＭＨｚにおける透磁率の実数部が１３０〜４８０であり、透磁率の虚数部が３０〜４４０である本発明１又は２に記載のフェライト積層体である（本発明３）。【００１４】
また、本発明は、前記導電層の表面電気抵抗が１００〜５０００Ω／□である本発明１〜３のいずれかに記載のフェライト積層体である（本発明４）。【００１５】
また、本発明は、導電層と磁性層とが粘着層を介して積層されている本発明１〜４のいずれかに記載のフェライト積層体である（本発明５）。【００１６】
また、本発明は、当該積層体の少なくとも一方の表面に更に粘着層又は保護層を設けた本発明１〜５のいずれかに記載のフェライト積層体である（本発明６）。【００１７】
また、本発明は、当該積層体の一方の表面に更に粘着層を設け、反対側の表面に更に保護層を設けた本発明１〜６のいずれかに記載のフェライト積層体である（本発明７）。【００１８】
また、本発明は、焼結フェライトの組成が、酸化物換算で４７〜５０ｍｏｌ％のＦｅ２Ｏ３、８〜１６ｍｏｌ％のＮｉＯ、２４〜３５ｍｏｌ％のＺｎＯ、７〜１２．５ｍｏｌ％のＣｕＯから成り、合計で１００ｍｏｌ％である本発明１〜７のいずれかに記載のフェライト積層体である（本発明８）。【００１９】
また、本発明は、本発明１〜８のいずれかに記載のフェライト積層体から成るノイズ抑制シートである（本発明９）。
【発明の効果】
【００２０】
本発明に係るフェライト積層体は、高周波帯の１ＧＨｚのみならず、低周波帯の１０ＭＨｚにおいてもノイズを吸収するので、モバイル電子機器等のノイズ抑制シートとして好適である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
本発明の構成をより詳しく説明すれば次の通りである。【００２２】
本発明に係るフェライト積層体は、導電性フィラーと樹脂から成る導電性層と、焼結フェライトから成る磁性層とを積層して成る。導電性層および／または磁性層は複数積層されていてもよい。【００２３】
本発明における焼結フェライトの組成は、酸化物換算で４７〜５０ｍｏｌ％のＦｅ２Ｏ３、８〜１６ｍｏｌ％のＮｉＯ、２４〜３５ｍｏｌ％のＺｎＯ、７〜１２．５ｍｏｌ％のＣｕＯが好ましく、合計で１００ｍｏｌ％となる。但し、原料や製造工程から不回避的に混入する微量の不純物を含んでいても良い。【００２４】
本発明におけるフェライトにおけるＦｅ２Ｏ３の組成が４７ｍｏｌ％未満の場合は、μ′が小さくなる。５０ｍｏｌ％を越える場合は、焼結できなくなる。より好ましいＦｅ２Ｏ３の組成は４７．５〜４９．５ｍｏｌ％である。【００２５】
本発明におけるフェライトにおけるＮｉＯの組成が８ｍｏｌ％未満の場合は、μ″が大きくなる。１６ｍｏｌ％を越える場合は、μ′が小さくなる。より好ましいＮｉＯの組成は８．５〜１５．５ｍｏｌ％である。【００２６】
本発明におけるフェライトにおけるＺｎＯの組成が２４ｍｏｌ％未満の場合は、μ′が小さくなる。３５ｍｏｌ％を越える場合は、μ″が大きくなる。より好ましいＺｎＯの組成は２４．５〜３４．５ｍｏｌ％である。【００２７】
本発明におけるフェライトにおけるＣｕＯの組成が７ｍｏｌ％未満の場合は、焼結できなくなる。１２．５ｍｏｌ％を越える場合は、μ′が小さくなる。より好ましいＣｕＯの組成は７．５〜１２．０ｍｏｌ％である。【００２８】
本発明におけるフェライト板の密度は、４．８〜５．３ｇ／ｃｍ３が好ましい。密度が４．８ｇ／ｃｍ３未満の場合は、フェライトが焼結不十分で割れやすくなり、製造工程において取り扱いが困難になる。本発明で得られる密度の最大値は５．３ｇ／ｃｍ３である。【００２９】
本発明におけるフェライトの厚さは、２０〜１１０μｍが好ましい。厚さが２０μｍ未満のフェライトは工業的に生産することが困難である。１１０μｍを超えると薄膜化の要請に合致せず、また、重量が重くなるので軽量化の要請にも合致しない。より好ましい厚さは２５〜１０５μｍである。【００３０】
本発明におけるフェライトの１０ＭＨｚにおける透磁率の実数部μ′は、１３０〜４８０が好ましい。実数部μ′が１３０未満の場合は、透磁率の虚数部μ″が小さくなり、ノイズ抑制効果が低くなる。本発明では４８０を超えるμ′は得られない。より好ましい実数部μ′は１５０〜４６０である。【００３１】
本発明におけるフェライトの１０ＭＨｚにおける透磁率の虚数部μ″は、３０〜４４０が好ましい。虚数部μ″が３０未満の場合は、ノイズ抑制効果が低くなる。本発明では４４０を超えるμ″は得られない。より好ましい虚数部μ″は３５〜４２０である。【００３２】
本発明における磁性層は、上記のような特定の焼結フェライトから成り、樹脂などの成分を含まない。これにより、特許文献１、３とは異なり、本発明のフェライト積層体は１０ＭＨｚ及び１ＧＨｚにおいて十分なノイズ抑制効果を発揮することができる。【００３３】
本発明における導電層は、樹脂中に導電性フィラーを分散させ、シート状に成形されたものである。導電性フィラーとしては、導電性カーボンが挙げられる。導電性カーボンとしては、導電性カーボンブラック、炭素繊維を加工した繊維状カーボン、カーボンナノチューブが好ましい、導電性カーボンブラックとしては、粒径２０〜６０ｎｍ、ＢＥＴ比表面積３０〜１３００ｍ２／ｇのものが好ましく、粒径３０〜４０ｎｍ、ＢＥＴ比表面積７００〜１３００ｍ２／ｇの中空シェル構造を持つ高導電性カーボンブラックがより好ましい。炭素繊維を加工した繊維状カーボンとしては、繊維長３０〜１５０μｍのミルドファイバー、あるいは、繊維長３〜２４ｍｍのカットファイバーが好ましい。カーボンナノチューブとしては、繊維径４０〜１６０μｍ、ＢＥＴ比表面積１６〜３４ｍ２／ｇ、純度９９％以上のものが好ましい。【００３４】
本発明における導電層には、導電性フィラーを５〜２５ｗｔ％含有することが好ましい。導電性フィラーの含有量が５ｗｔ％未満の場合は、表面電気抵抗が高くなり、所望のノイズ抑制効果を得られない。導電性フィラーの含有量が２５ｗｔ％を超える場合は、マイクロストリップライン測定において反射量が大きくなり、信号を伝え難くなる。より好ましい含有量は７〜２４ｗｔ％である。【００３５】
本発明における導電層には、樹脂を１０〜３０ｗｔ％含有することが好ましい。樹脂の含有量が１０ｗｔ％未満の場合は、シート形状を保持することが困難となる。樹脂の含有量が３０ｗｔ％を超える場合は、所望のノイズ抑制効果を得られない。【００３６】
本発明において導電層に用いる樹脂は、アクリル樹脂、または、フェノール樹脂が好ましく、アクリル樹脂とフェノール樹脂を混合して用いてもよい。アクリル樹脂とフェノール樹脂は公知のものを使用できる。【００３７】
本発明における導電層は、難燃剤を含有してもよい。難燃剤としては公知のものを使用することができ、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム等が例示される。導電層中の難燃剤の含有量は０〜３０ｗｔ％が好ましく、更に好ましい含有量は、１３〜２６ｗｔ％である。【００３８】
本発明における導電層には、導電性フィラーの分散助剤として平均粒子径が０．０５〜５μｍの粉末を含有してもよく、特に導電性フィラーが繊維状の場合、原料の混合工程において、その分散効果が高い。分散助剤としては特に限定されるものではないが、ヘマタイトやマグネタイト等の酸化鉄粉末、フェライト粉末、酸化ケイ素粉末、酸化アルミニウム粉末等の各種酸化物粉末が挙げられる。また、金属粉末であってもよい。マグネタイトやフェライト粉末等の磁性を有する分散助剤を含有する場合は、ループアンテナ測定による透過減衰量を損なわない範囲の含有量とすることが好ましい。分散助剤の含有量は３０〜７０ｗｔ％が好ましい。この範囲外の場合は、分散助剤としての機能が低くなる。【００３９】
本発明における導電層の厚さは１５〜９０μｍが好ましい。厚さが１５μｍ未満の場合は、マイクロストリップライン測定による透過減衰量が小さくなるので、所望のノイズ抑制効果を得られない。厚さが９０μｍを超える場合は、マイクロストリップライン測定において反射量が大きくなり、信号を伝え難くなる。より好ましい厚さは２０〜８５μｍである。【００４０】
本発明における導電層の表面電気抵抗は、１００〜５０００Ω／□が好ましい。表面電気抵抗が１００Ω／□未満の場合、マイクロストリップライン測定による透過減衰量が小さくなるので、所望のノイズ抑制効果を得られない。表面電気抵抗が５０００Ω／□を超える場合は、マイクロストリップライン測定において反射量が大きくなり、信号を伝え難くなる。より好ましい表面電気抵抗は１１０〜４９００Ω／□である。【００４１】
本発明に係るフェライト積層体のマイクロストリップライン測定による透過減衰量は、１ＧＨｚにおいて３．６〜８ｄＢが好ましい。透過減衰量が３．６ｄＢ未満の場合は、所望のノイズ抑制効果を得られない。透過減衰量が８．０ｄＢを超える場合は、マイクロストリップライン測定において反射量が大きくなり、信号を伝え難くなる。より好ましい透過減衰量は、３．８〜７．５ｄＢである。【００４２】
本発明に係るフェライト積層体のループアンテナ測定による透過減衰量は、１０ＭＨｚにおいて１２〜３０ｄＢが好ましい。透過減衰量が１２ｄＢ未満の場合は、所望のノイズ抑制効果を得られない。本発明においては、３０ｄＢを超える透過減衰量は得られない。より好ましい透過減衰量は１３〜２９ｄＢである。【００４３】
本発明に係るフェライト積層体を構成する磁性層のうちフェライトと導電層との厚みの比（フェライト／導電層）は、０．３〜４．０が好ましい。【００４４】
本発明に係るフェライト積層体の全体の厚さは３５〜２００μｍが好ましい。【００４５】
本発明に係るフェライト積層体は、導電層と磁性層とを粘着層を介して積層してもよい。【００４６】
本発明における粘着層としては、両面粘着テープが挙げられる。両面粘着テープとしては、特に制限されるものではなく、ＰＥＴフィルムやポリイミドフィルムを基材とした、または、基材を含まない公知の両面粘着テープを使用することができる。また、これらを積層したものであってもよい。薄膜化の要請により、粘着層の厚さは、３〜３０μｍが好ましい。【００４７】
本発明に係るフェライト積層体は、積層体の少なくとも一方の表面に粘着層又は保護層を設けてもよい。【００４８】
本発明における保護層は、これを設けることによりフェライトを分割する際の粉落ちに対しての信頼性及び耐久性を高めることができる。該保護層としては、ノイズ抑制シートを屈曲させた場合に破断することなく伸びる樹脂であれば特に制限されるものではなく、ＰＥＴフィルム、ポリイミドフィルム、樹脂を含有する塗料等が例示される。また、保護層として、フェライトの片面に粘着剤、ＰＥＴフィルムやポリイミドフィルム等の屈曲性且つ伸縮性のフィルムを順次積層したものであってもよい。更には、保護層を二層以上設けておき、ノイズ抑制シートの製造工程及びその加工工程において保護層に傷、汚れ、破れ等が生じた場合、順次その保護層を除去することにより、最終的に最上層に傷、汚れ、破れ等のない清浄な保護層を得ることができる。薄膜化の要請により、保護層の厚さは、３〜３０μｍが好ましい。【００４９】
本発明に係るフェライト積層体は、屈曲した部分に密着させて貼付する為と、使用時に割れることを防ぐ為に、予め、磁性層を構成するフェライトは小片状に分割されていることが好ましい。その方法としては、例えば、予め、フェライトの少なくとも一方の表面に設けられた少なくとも１つの溝を起点としてフェライトを分割したり、溝を形成することなくフェライト焼結板を分割して小片状とする方法のいずれでもよい。前記溝は連続していても、断続的に形成されていてもよく、また、多数の微小な凹部を形成することで、溝の代用とすることもできる。溝の断面は特に限定されるものではないが、Ｕ字型又はＶ字型が好ましい。【００５０】
フェライトは、溝によって任意の大きさの三角形、四辺形、多角形またはそれらの組合せに分割されていることが好ましい。例えば、三角形、四辺形、多角形の１辺の長さは、通常１〜１２ｍｍであり、被付着物の接着面が曲面の場合は、好ましくは１ｍｍ以上でその曲率半径の１／３以下、より好ましくは１ｍｍ以上で１／４以下である。更には、フェライトは、溝によって分割されず、不定形に分割されていても良い。【００５１】
フェライトに形成する溝の開口部の幅は、通常２５０μｍ以下が好ましく、より好ましくは１〜１５０μｍである。開口部の幅が２５０μｍを超える場合は、ノイズ抑制シートの透磁率の低下が大きくなり好ましくない。また、溝の深さは、フェライトの厚さの好ましくは１／２０〜１／４、より好ましくは１／２０〜１／６である。【００５２】
次に、本発明に係るフェライト積層体の製造方法について述べる。【００５３】
本発明に係るフェライト積層体は、あらかじめ別々に作製した磁性層と導電層とを積層して得ることができる。【００５４】
フェライトからなる磁性層は、例えば、下記のようにして製造できる。【００５５】
まず、フェライト粉末は、フェライトを構成する各元素の酸化物、炭酸塩、水酸化物、シュウ酸塩等の原料を所定の組成割合で混合して得られた原料混合物、又は、水溶液中で各元素を沈殿させて得られた沈殿物を、大気中において７００〜９００℃の温度範囲で１〜２０時間仮焼成した後、粉砕することにより得ることができる。【００５６】
得られたフェライト粉末とバインダー樹脂を混合した後、粉末圧縮成形法、射出成形法、カレンダー法、押し出し法等によってフェライト含有樹脂板を成形し、必要に応じて脱脂処理した後、焼結処理してフェライト板を製造することが出来る。また、フェライト粉末とバインダー樹脂と溶媒とを混合した後、フィルム叉はシート上にドクターブレード等で塗布してグリーンシートを得、必要に応じて脱脂処理した後、得られたグリーンシートを焼結処理してフェライト板を製造することができる。尚、得られたグリーンシートを複数枚積層した後、焼結してもよい。【００５７】
必要により、フェライト板に溝を形成する場合には、フェライト板の成形中、成形後または焼結処理後に溝を形成することが出来る。例えば、粉末圧縮成形法または射出成形法で成形する場合は、成形中に形成することが好ましく、カレンダー法または押し出し法で成形する場合は、成形後で焼結前に形成することが好ましく、グリーンシートを経由してフェライト板を製造する場合は、グリーンシートに形成することが好ましい。【００５８】
脱脂処理は、通常１５０〜５００℃の温度で行われる。焼結温度は、通常８５０〜９７０℃、好ましくは８７０〜９６０℃である。焼結時間は、通常３０〜１８０分、好ましくは３０〜１２０分である。焼結温度が８５０℃未満の場合は、粒子の焼結が困難となり、得られたフェライト板の強度が十分でなく、μ′も低いものとなる。また、焼結温度が９７０℃であれば粒子の焼結は十分進行する為、９７０℃を越えて高くする必要がない。焼結時間が３０分未満の場合は、粒子の焼結が困難となり、得られたフェライト板の強度が十分でなく、μ′も低いものとなる。また、焼結時間が１８０分であれば粒子の焼結は十分進行する為、１８０分を超えて長くする必要がない。【００５９】
次いで、得られたフェライト板の一方の表面に対して粘着層、例えば、両面粘着テープを設け、他方の表面に対して粘着層もしくは保護層を設けた後、ローラー等により分割処理することで、フェライトに保護層及び／又は粘着層を貼付した磁性層を得ることができる。得られる磁性層は、焼結フェライト板からなりフェライト板の少なくとも一方の表面に粘着層又は保護層が形成された積層構造を有するものであって、樹脂などのバインダー成分とフェライトとが混合状態にある複合体とは異なるものである。【００６０】
本発明における導電層の作製方法は、公知の方法を用いることができる、例えば、溶剤に導電性フィラーや樹脂等を添加し、撹拌することによって得られた分散液を、バーコーター、コンマコーター、ダイコーター等を用いて剥離性フィルム上に任意の厚さで塗布した後、加熱等により乾燥して溶剤を除去することにより導電層を得ることができる。【００６１】
前記溶剤としては、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、イソホロン等のケトン溶剤、酢酸エチル、酢酸ブチル等のエステル溶剤、トルエン、キシレン等の芳香族溶剤、セロソルブアセテート、メチルセロソルブアセテート等のセロソルブ溶剤、テトラヒドロフラン、ジエチレングリコールジメチルエーテル等のエーテル溶剤、イソプロピルアルコール、ｎ−ブチルアルコール等のアルコール、ジメチルホルムアミド等の非プロトン性極性溶剤が挙げられる。樹脂溶液中の溶剤の含有量は、溶液に求める粘度等を基にして適宜決定される。【００６２】
前記剥離性フィルムとしては、ポリプロピレンフィルム、フッ素樹脂系フィルム、ポリエチレンフィルム、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム、紙及びこれらにシリコーン樹脂で剥離処理を施したもの等が挙げられる。厚さは１０〜２００μｍが好ましい。【００６３】
上記フェライトに保護層と粘着層を貼付した焼結フェライト板からなる磁性層の一方の表面に設けられている粘着層を介して、上記導電層を積層することによって、本発明に係るフェライト積層体を得ることできる。導電層の他方の表面には必要に応じて粘着層もしくは保護層を設けることができる。【００６４】
本発明に係るフェライト積層体は、ノイズ抑制シートして用いることができる。ノイズ抑制シートは、対象物に貼付することで、ノイズ抑制効果を発揮することができる。【００６５】
本発明に係るノイズ抑制シートは、対象物に対する設置の方法は特に限定されるものではないが、ノイズを抑制したい面に対して磁性層が接するように設置することが好ましい。【００６６】
＜作用＞
本発明において最も重要な点は、本発明に係るノイズ抑制シートは、導電層の表面電気抵抗が適切な範囲であることによって１ＧＨｚにおいて十分なノイズ抑制効果を有し、更には、フェライトの１０ＭＨｚにおけるμ″が大きいことにより１０ＭＨｚにおいて十分なノイズ抑制効果を有する点である。
【実施例】
【００６７】
本発明の代表的な実施の形態は、次の通りである。【００６８】
フェライトの組成は、蛍光Ｘ線分析装置３５３０（理学電機工業（株）製）を用いて測定した。【００６９】
本発明に係る厚みは、マイクロメーターで測定した。【００７０】
フェライトの密度は、ノギスとマイクロメーターで測定した外寸と電子天秤で測定した重量から計算で求めた。【００７１】
磁性層であるフェライトの透磁率の実数部μ′と虚数部μ″は、粘着層もしくは保護層を設けたフェライトを分割処理した後、外径２０ｍｍ、内径１０ｍｍに打ち抜いたリングをインピーダンスアナライザーＥ４９９１Ａ（アジレント・テクノロジー（株）製）を用いて１０ＭＨｚの周波数において測定した。【００７２】
導電層の表面電気抵抗は、抵抗率計Ｌｏｒｅｓｔａ−ＧＰ（三菱化学（株）製）を用いて測定した。縦３５ｍｍ横４５ｍｍの大きさに作製した導電層の中央部に四探針プローブＭＣＰ−Ｔ６００を圧着して測定した。【００７３】
マイクロストリップライン測定による透過減衰量は以下の方法で測定した。
長さ７５ｍｍ、幅２．３ｍｍ、厚さ３５μｍ及びインピーダンスを５０Ωに調整したマイクロストリップラインを施工した基板に、縦３５ｍｍ横４５ｍｍの大きさに作製した積層体を、マイクロストリップラインの長さ方向に積層体の横方向を合わせ、それぞれの中心が一致するように装着した。縦３５ｍｍ、横４５ｍｍ及び厚さ１０ｍｍの発泡倍率約２５倍の発泡ポリスチレンからなる板を積層体に重ね、その上に５６０ｇの荷重を載せた状態で、マイクロストリップラインに接続したネットワークアナライザＮ５２３０Ａ（アジレント・テクノロジー（株）製）を用いてＳパラメータを測定した。得られたＳパラメータの内、Ｓ２１の大きさ（単位：ｄＢ）をマイクロストリップライン測定による透過減衰量とした。尚、透過減衰量は、値が大きい程、ノイズを抑制する効果が高いことを意味する。【００７４】
ループアンテナ測定による透過減衰量は以下の方法で測定した。
一対の直径４ｍｍのループアンテナを０．５ｍｍの間隔、ループ面が平行、それらの中心が一致するように設置し、縦３５ｍｍ、横４５ｍｍの大きさに作製した積層体を、その中心がループアンテナの中心と一致するように配置した。ループアンテナに接続したネットワークアナライザＮ５２３０Ａ（アジレント・テクノロジー（株）製）を用いて、積層体を配置していないときのＳ２１を基準として、積層体を配置したときのＳ２１の大きさ（単位：ｄＢ）を測定し、これをループアンテナ測定による透過減衰量とした。尚、透過減衰量は、値が大きい程、ノイズを抑制する効果が高いことを意味する。【００７５】
実施例１：
フェライトの組成が、所定の組成になるように各酸化物原料を秤量し、ボールミルを用いて２０時間湿式混合を行った後、混合スラリーを濾別・乾燥して原料混合粉末を得た。該原料混合粉末を７３０℃で２時間焼成して得られた仮焼成物をボールミルで粉砕し、Ｎｉ−Ｚｎ−Ｃｕフェライト粉末を得た。【００７６】
得られたＮｉ−Ｚｎ−Ｃｕフェライト粉末１００重量部に対して、結合材料としてポリビニルブチラール８重量部、可塑剤としてフタル酸ベンジル−ｎ−ブチル３重量部、溶剤として３メチル−３メトキシ−１ブタノール５０重量部を加えた後、十分混合してスラリーを得た。このスラリーをドクターブレード式コーターによってＰＥＴフィルム上に塗布して塗膜を形成した後、乾燥することにより厚さ３１μｍのグリーンシートを得た。その一方の表面に、刃型を用いて格子状の溝を形成した。【００７７】
得られたグリーンシートを４００℃で脱脂した後に、８８０℃で２時間焼結することにより、フェライト板を得た。該フェライト板の組成は、Ｆｅ２Ｏ３が４９．４ｍｏｌ％、ＮｉＯが８．７ｍｏｌ％、ＺｎＯが３４．３ｍｏｌ％、ＣｕＯが７．６ｍｏｌ％であり、厚みは２６μｍであり、密度は４．８３ｇ／ｃｍ３であった。得られたフェライト板の一方の表面に厚み１０μｍのＰＥＴフィルムを貼付し、もう一方の表面に厚み１０μｍの両面テープを貼付した。得られたフェライト板の積層物をローラーによりフェライトを小片状に分割して、フェライトに保護層と粘着層を貼付した積層物を得た（磁性層）。得られたフェライトのμ′は１７０であり、μ″は１２８であり、厚みは４６μｍであった。【００７８】
次に導電層を以下の方法で作製した。繊維状導電性カーボン（グラノックミドルファイバーＨＣ−６００−１５Ｍ（日本グラファイトファイバー製））８ｗｔ％、アクリル樹脂（テイサンレジンＳＧ−Ｐ３（ナガセケムテックス製））１２ｗｔ％、フェノール樹脂（ＣＫＭ−９０８（昭和電工製））２ｗｔ％、難燃剤として水酸化アルミニウム１４ｗｔ％、分散助剤として粒状マグネタイト（ＭＡＴ−３０５（戸田工業製））６４ｗｔ％をメチルエチルケトンに加え撹拌し、導電性塗料を得た。得られた導電性塗料をＰＥＴフィルム上に塗布し、熱風循環型乾燥機中１５０℃で加熱乾燥して導電層を得た。得られた導電層の厚みは、２０μｍであり、表面電気抵抗は、４８６０Ω／□であった。【００７９】
上記で得られた磁性層の両面テープの剥離紙を剥離し粘着層を露出させ、上記で得られた導電層のＰＥＴフィルムを剥離して当該粘着層に導電層を積層した後、導電層の一方の表面に厚み１０μｍの粘着層（両面テープ）を設けることにより積層体を得た。得られた積層体は、ＰＥＴフィルム、フェライト板、粘着層、導電層及び粘着層（両面テープ）の順に積層されたものである。
得られた積層体の厚みは７６μｍであり、磁性層と導電層との厚みの比（フェライト／導電層）は１．３であった。また、マイクロストリップライン測定による透過減衰量が１ＧＨｚにおいて３．８ｄＢであり、ループアンテナ測定による透過減衰量が１０ＭＨｚにおいて１９．９ｄＢであった。【００８０】
実施例２〜４：
実施例１と同様の方法で積層体を得た。このときの製造条件を表１に、得られた積層体の諸特性を表２に示す。【００８１】
比較例１：
フェライトの組成及び焼成温度を変更した以外は、実施例１と同様の方法で磁性層を得た。このときの製造条件を表１に、得られた磁性層単層の諸特性を表２に示す。【００８２】
比較例２：
シクロヘキサノンにスチレン系エラストマーを２０重量％溶解した溶液に、溶剤を除去後の体積比が扁平状鉄−アルミニウム−ケイ素合金粉末（鉄、アルミニウム、ケイ素の重量比が８５：６：９、アスペスト比が２０〜３０、平均粒子径が４０μｍ）が５５ｖｏｌ％、スチレン系エラストマーが４５ｖｏｌ％となるように計量して、十分混合してスラリーを得た。その際、粘度調整の為にエチルシクロエキサノンを添加した。このスラリーをドクターブレード方式コーターによって、ＰＥＴフィルム上に塗布して乾燥した。得られた塗膜を温度１３０℃、圧力９０ＭＰａ、加圧時間５分の条件で成形して、厚み５０μｍの扁平状鉄−アルミニウム−ケイ素合金粉末含有シートを得た。得られたシートの１０ＭＨｚにおける透磁率のうち実数部μ′は８９、虚数部μ″は２２であり、表面電気抵抗は２×１０８Ω／□であった。マイクロストリップライン測定による透過減衰量が１ＧＨｚにおいて１．２ｄＢであり、ループアンテナ測定による透過減衰量が１０ＭＨｚにおいて１０．８ｄＢであった。【００８３】
得られた積層体の透過減衰量を表２に示す。【００８４】
比較例３：
実施例１で得られた導電層と、比較例２で得られた扁平状鉄−アルミニウム−ケイ素合金粉末含有シートとを厚み１０μｍの両面テープを介して貼り合わせて積層体を得た。得られた積層体のマイクロストリップライン測定による透過減衰量は１ＧＨｚにおいて３．７ｄＢであり、ループアンテナ測定による透過減衰量は１０ＭＨｚにおいて１０．９ｄＢであった。【００８５】
得られた積層体の透過減衰量を表２に示す。【００８６】
【表１】
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【００８７】
【表２】
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【国際調査報告】
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