(57)【要約】  造形面の温度を下げずに造形面の温度を維持すること。３次元積層造形装置であって、３次元積層造形物が造形される造形面上に、前記３次元積層造形物の材料を散布する材料散布手段と、電子ビームを発生させる電子銃と、前記造形面上で、前記電子ビームを１次元偏向または２次元偏向させる少なくとも１つの偏向器と、前記電子銃と前記偏向器との間に設けられ、前記電子ビームを集束させる少なくとも１つのレンズと、前記電子ビームにより走査する領域に基づいて、前記電子ビームのフォーカスを制御するフォーカス制御手段と、前記偏向器による偏向方向および走査速度を制御する制御手段と、を備える。
2017163403.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
３次元積層造形物が造形される造形面上に、前記３次元積層造形物の材料を散布する材料散布手段と、
電子ビームを発生させる電子銃と、
前記造形面上で、前記電子ビームを１次元偏向または２次元偏向させる少なくとも１つの偏向器と、
前記電子銃と前記偏向器との間に設けられ、前記電子ビームを集束させる少なくとも１つのレンズと、
前記電子ビームにより走査する領域に基づいて、前記電子ビームのフォーカスを制御するフォーカス制御手段と、
前記偏向器による偏向方向および走査速度を制御する制御手段と、
を備える３次元積層造形装置。
【請求項２】
前記フォーカス制御手段は、前記電子ビームにより走査する領域が、前記材料を溶融させない領域である非溶融領域である場合に、前記電子ビームをデフォーカスする請求項１に記載の３次元積層造形装置。
【請求項３】
前記フォーカス制御手段は、前記電子ビームにより走査する領域を仮焼結する場合に、前記電子ビームをデフォーカスする請求項１または２に記載の３次元積層造形装置。
【請求項４】
前記制御手段は、前記電子ビームにより前記非溶融領域を走査する場合の走査速度を、前記材料が溶融される領域である溶融領域よりも高速にする請求項１または３に記載の３次元積層造形装置。
【請求項５】
前記フォーカス制御手段は、前記電子ビームの出力を変更する場合に、デフォーカスする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の３次元積層造形装置。
【請求項６】
前記造形面の温度測定手段をさらに備え、
前記フォーカス制御手段は、前記造形面の温度に基づいて、前記フォーカスを制御し、
前記制御手段は、前記造形面の温度に基づいて、前記偏向器による偏向方向および走査速度を制御する、請求項１乃至５のいずれか１項に記載の３次元積層造形装置。
【請求項７】
前記制御手段は、前記造形面をメッシュに区切り、メッシュ毎に前記走査速度を制御する請求項１乃至６のいずれか１項に記載の３次元積層造形装置。
【請求項８】
３次元積層造形物が造形される造形面上に、前記３次元積層造形物の材料を散布する材料散布ステップと、
電子ビームを発生させる発生ステップと、
少なくとも１つの偏向器により、前記造形面上で、前記電子ビームを１次元偏向または２次元偏向させる偏向ステップと、
電子銃と偏向器との間に設けられた少なくとも１つのレンズにより、前記電子ビームを集束させる集束ステップと、
前記電子ビームのフォーカスを制御するフォーカス制御ステップと、
前記偏向器による偏向方向および走査速度を制御する制御ステップと、
を含む３次元積層造形装置の制御方法。
【請求項９】
３次元積層造形物が造形される造形面上に、前記３次元積層造形物の材料を散布する材料散布ステップと、
電子ビームを発生させる発生ステップと、
少なくとも１つの偏向器により、前記造形面上で、前記電子ビームを１次元偏向または２次元偏向させる偏向ステップと、
電子銃と偏向器との間に設けられた少なくとも１つのレンズにより、前記電子ビームを集束させる集束ステップと、
前記電子ビームのフォーカスを制御するフォーカス制御ステップと、
前記偏向器による偏向方向および走査速度を制御する制御ステップと、
をコンピュータに実行させる３次元積層造形装置の制御プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、３次元積層造形装置、３次元積層造形装置の制御方法および３次元積層造形装置の制御プログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
上記技術分野において、特許文献１には、荷電粒子ビーム露光装置において、ブランキング機構により電子ビームを遮蔽する技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−６７１９２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記文献に記載の技術では、ブランキング機構により電子ビームを遮蔽するので、造形面の温度を下げずに造形面の温度を維持することができなかった。【０００５】
本発明の目的は、上述の課題を解決する技術を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するため、本発明に係る３次元積層造形装置は、
３次元積層造形物が造形される造形面上に、前記３次元積層造形物の材料を散布する材料散布手段と、
電子ビームを発生させる電子銃と、
前記造形面上で、前記電子ビームを１次元偏向または２次元偏向させる少なくとも１つの偏向器と、
前記電子銃と前記偏向器との間に設けられ、前記電子ビームを集束させる少なくとも１つのレンズと、
前記電子ビームにより走査する領域に基づいて、前記電子ビームのフォーカスを制御するフォーカス制御手段と、
前記偏向器による偏向方向および走査速度を制御する制御手段と、
を備える。【０００７】
上記目的を達成するため、本発明に係る３次元積層造形装置の制御方法は、
３次元積層造形物が造形される造形面上に、前記３次元積層造形物の材料を散布する材料散布ステップと、
電子ビームを発生させる発生ステップと、
少なくとも１つの偏向器により、前記造形面上で、前記電子ビームを１次元偏向または２次元偏向させる偏向ステップと、
前記電子銃と前記偏向器との間に設けられた少なくとも１つのレンズにより、前記電子ビームを集束させる集束ステップと、
前記電子ビームのフォーカスを制御するフォーカス制御ステップと、
前記偏向器による偏向方向および走査速度を制御する制御ステップと、
を含む。【０００８】
上記目的を達成するため、本発明に係る３次元積層造形装置の制御プログラムは、
３次元積層造形物が造形される造形面上に、前記３次元積層造形物の材料を散布する材料散布ステップと、
電子ビームを発生させる発生ステップと、
少なくとも１つの偏向器により、前記造形面上で、前記電子ビームを１次元偏向または２次元偏向させる偏向ステップと、
前記電子銃と前記偏向器との間に設けられた少なくとも１つのレンズにより、前記電子ビームを集束させる集束ステップと、
前記電子ビームのフォーカスを制御するフォーカス制御ステップと、
前記偏向器による偏向方向および走査速度を制御する制御ステップと、
をコンピュータに実行させる。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、造形面の温度を下げずに造形面の温度を維持することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の第１実施形態に係る３次元積層造形装置の構成を示す図である。
【図２】本発明の第２実施形態に係る３次元積層造形装置の構成を示す図である。
【図３】本発明の第２実施形態に係る３次元積層造形装置により３次元積層造形物が造形される造形面のメッシュモデルの一例を示す図である。
【図４】本発明の第２実施形態に係る３次元積層造形装置により３次元積層造形物が造形される造形面のメッシュモデル内に３次元積層造形物が存在する場合の一例を示す図である。
【図５】本発明の第２実施形態に係る３次元積層造形装置の処理手順を説明するフローチャートである。
【図６】本発明の第３実施形態に係る３次元積層造形装置の構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下に、本発明を実施するための形態について、図面を参照して、例示的に詳しく説明記載する。ただし、以下の実施の形態に記載されている、構成、数値、処理の流れ、機能要素などは一例に過ぎず、その変形や変更は自由であって、本発明の技術範囲を以下の記載に限定する趣旨のものではない。
【００１２】
［第１実施形態］
本発明の第１実施形態としての３次元積層造形装置１００について、図１を用いて説明する。３次元積層造形装置１００は、パウダーベッド方式の装置である。３次元積層造形装置１００は、リコータなどにより造形面上に敷き詰めた材料に電子ビームを照射して、材料を溶融し、凝固させ、１層分の材料の積層を完成させる。そして、１層分の積層が完了したら、３次元積層造形装置１００は、１層分の高さに相当する高さだけ造形台を下げて、次の層の材料をリコータなどにより敷き詰める。材料を敷き詰めたら、電子ビームを照射して、材料を溶融し、凝固させ、次の１層分の材料の積層を完成させる。３次元積層造形装置１００は、この動作を繰り返して、所望の３次元積層造形物を造形する。
【００１３】
＜前提技術＞
まず、本実施形態の前提技術について説明する。本実施形態の前提技術において、電子ビームの出力や電流値などを変更する場合、電子ビームを発生する電子銃に印加する加速電圧などを変更する。電子ビームの出力などを変更した後、電子ビームが安定して、実際に造形に使えるようになるまでの間にタイムラグが存在する。このタイムラグの間に、電子ビームが造形面上の材料に照射されてしまうと、材料に余計な熱（エネルギー）が加えられ、電子ビーム安定後に電子ビームを照射しても、所望の熱を与えることができない。そのため、材料の溶融をコントロールできず、完成した３次元積層造形物の造形精度が低下するなどの現象が発生していた。
【００１４】
よって、このような現象を発生させないため、例えば、電子ビームを遮断する機構（ブランキング機構）を設けて、電子ビームが造形面に到達しないように、受け皿に電子ビームを飛ばしていた。また、アパーチャーガードを設けて、電子ビームを遮断することなどが行われていた。
【００１５】
高いエネルギーを持つ電子ビームが狭い範囲に一定時間で照射されると、電子ビームを照射された材料が溶かされ、不良品発生の原因となる。そのため、ブランキング機構を用いて、電子ビームを受け皿に向けて飛ばしても、受け皿自体が電子ビームのエネルギーにより溶融し、昇華するので、カラム内が汚れ、ひいては、３次元積層造形物を汚してしまっていた。このように、電子ビームを遮断しても様々な問題が生じ、また、遮断された電子ビームは造形には寄与しないので、電子ビームのエネルギーの無駄も生じていた。
【００１６】
＜本実施形態の技術＞
図１に示すように、３次元積層造形装置１００は、材料散布部１０１と、電子銃１０２と、偏向器１０３と、レンズ１０４と、フォーカス制御部１０５と、偏向方向制御部１０６とを含む。
【００１７】
材料散布部１０１は、３次元積層造形物１２０が造形される造形面（造形台１４０）上に、３次元積層造形物１２０の材料１５０を散布する。材料散布部１０１は、例えば、リコータなどであり、材料散布部１０１は、造形面上を移動しながら、充填された材料１５０を造形面に敷き詰める。なお、材料１５０は、例えば、金属粉末や樹脂粉末などであるが、これらには限定されない。
【００１８】
そして、材料散布部１０１により材料１５０を造形面上に敷き詰めた後、電子銃１０２は、電子ビーム１３０を発生させる。そして、３次元積層造形装置１００は、発生させた電子ビーム１３０をレンズ１０４により集束させる。そして、集束した電子ビーム１３０を偏向器１０３を用いて１次元偏向または２次元偏向することにより、造形面上の所望の位置に入射させる。そして、入射させた電子ビーム１３０により、この所望の位置に存在する金属粉末などの材料１５０を溶融し、その後、電子ビーム１３０の照射を止めることにより、溶融した材料１５０が凝固する。次に、３次元積層造形装置１００は、金属粉末などの材料１５０の溶融および凝固による３次元積層造形物１２０の高さの上昇分を造形台１４０（Ｚ軸ステージ）を下降させることにより補償する。
【００１９】
フォーカス制御部１０５は、電子銃１０２で発生した電子ビーム１３０のフォーカス（スポット径）を制御する。フォーカス制御部１０５は、造形面において、電子ビーム１３０により走査する領域に基づいて、電子ビーム１３０のフォーカスを制御する。
【００２０】
例えば、材料１５０を溶融させない領域（非溶融領域）を電子ビーム１３０により走査する場合、フォーカスを絞った状態で非溶融領域に電子ビーム１３０を照射すると、非溶融領域の材料１５０に大きな熱（エネルギー）が与えられる。そのため、非溶融領域では材料１５０を溶融させないにもかかわらず、材料１５０が溶融してしまい、３次元積層造形物１２０の造形精度が低下する。したがって、フォーカス制御部１０５は、非溶融領域に電子ビーム１３０を照射する場合、電子ビーム１３０のフォーカスをデフォーカスして（暈して）、非溶融領域の材料１５０に余分な熱（エネルギー）が与えられないようにする。
【００２１】
また、３次元積層造形装置１００は、電子ビーム１３０が、非溶融領域と材料１５０を溶融させる領域である溶融領域とを行き来する場合、電子ビーム１３０の出力を変更して、材料１５０の溶融または非溶融を制御する。この場合に、電子ビーム１３０の出力を調整する場合、電子銃１０２に印加する加速電圧などを変化させて、電子ビーム１３０の出力や電流値を変更するが、電子ビーム１３０の出力や電流値が安定するまでに一定の時間を要する。電子ビーム１３０の出力などが安定するまでの間に、材料１５０に余計なエネルギーが加えられないように、フォーカス制御部１０５は、電子ビーム１３０の出力などが安定するまでの間、電子ビーム１３０のフォーカスをデフォーカスする。電子ビーム１３０のフォーカスをこのように制御することにより、３次元積層造形装置１００は、電子ビーム１３０の走査速度を変えないで、電子ビーム１３０により材料１５０に与えられるエネルギーを制御して、低下させることができる。
【００２２】
偏向方向制御部１０６は、偏向器１０３による電子ビーム１３０の偏向方向を制御する。偏向方向制御部１０６は、例えば、３次元積層造形物１２０の造形モデルに従って、散布された材料１５０上を走査する電子ビーム１３０の走査方向を制御する。つまり、偏向方向制御部１０６は、溶融する材料１５０の材質や、電子ビーム１３０の出力、３次元積層造形物１２０の造形形状をデータ化した造形モデルに従って、電子ビーム１３０の走査方向を制御する。なお、電子ビーム１３０の走査は、直線状に走査してもよいが、これには限られず、例えば、サイン波状や渦巻き状に走査してもよい。
【００２３】
本実施形態によれば、造形面の温度を下げずに造形面の温度を維持することができる。造形面全体の温度を一定に保つことができる。また、造形面全体の温度を一定に保つことができるので、造形面全体の冷え方に差が生じず、熱応力の発生を抑制できる。さらに、熱応力の発生を抑制できるので、造形精度の高い３次元積層造形物を造形できる。
【００２４】
［第２実施形態］
次に本発明の第２実施形態に係る３次元積層造形装置について、図２乃至図５を用いて説明する。図２は、本実施形態に係る３次元積層造形装置２００の構成を説明するための図である。本実施形態に係る３次元積層造形装置２００は、上記第１実施形態と比べると、走査速度制御部を有する点で異なる。その他の構成および動作は、第２実施形態と同様であるため、同じ構成および動作については同じ符号を付してその詳しい説明を省略する。
【００２５】
３次元積層造形装置２００は、走査速度制御部２０７をさらに備え、偏向方向制御部１０６と走査速度制御部２０７とで制御部２０１を構成する。
【００２６】
走査速度制御部２０７は、電子ビーム１３０の走査速度を制御する。走査速度制御部２０７は、例えば、非溶融領域では材料１５０の温度が上がり過ぎないように、電子ビーム１３０の走査速度を高速にする。
【００２７】
これに対して、走査速度制御部２０７は、溶融領域では材料１５０の温度が溶融温度まで上がらなければならないので、電子ビーム１３０の走査速度を低速にして、材料１５０に熱が十分に伝わるようにする。このように、溶融領域における電子ビーム１３０の走査速度を制御すれば、材料１５０を仮焼結状態にすることも、本溶融状態にすることもできる。
【００２８】
そして、フォーカス制御部１０５、偏向方向制御部１０６および走査速度制御部２０７は協同して、電子ビーム１３０のフォーカス、走査方向および走査速度を制御する。
【００２９】
例えば、非溶融領域を電子ビーム１３０により走査する場合、非溶融領域では材料１５０を溶融させないので、電子ビーム１３０により与えられる熱を下げなければならない。この場合、電子ビーム１３０の出力を下げることでも対応することはできるが、出力の上げ下げをすると、出力が安定するまでの間は、材料１５０に所望の熱を与えることができない。したがって、電子ビーム１３０により材料１５０に余分な熱が与えられないようにしなければならない。
【００３０】
そこで、フォーカス制御部１０５が、電子ビーム１３０のフォーカスをデフォーカスし（暈し）、さらに、走査速度制御部２０７が、電子ビーム１３０の走査速度を制御する。つまり、非溶融領域を走査するので、電子ビーム１３０のフォーカスをデフォーカスし、さらに、材料１５０に多くの熱が与えられないように、電子ビーム１３０の走査速度を速くする。このように制御すれば、電子ビーム１３０のデフォーカスにより、材料１５０に与えられる熱が分散し、さらに、走査速度を速くするので、材料１５０が電子ビーム１３０に暴露される時間が減少するので、与えられる熱が減少する。
【００３１】
このように、使用する材料１５０や電子ビーム１３０の出力（電流値）に応じて、電子ビーム１３０のフォーカスを変更したり、走査速度を変更したりすることにより、溶融領域および非溶融領域を含む造形面（積層造形エリア）全体の温度を一定に保つこともできる。
【００３２】
また、３次元積層造形装置２００によれば、造形面上の溶融領域の仮焼結および本溶融の切り替えも実現できる。例えば、材料１５０の仮焼結を実施する場合、フォーカス制御部１０５は、電子ビーム１３０のフォーカスをデフォーカスし、走査速度制御部２０７は、電子ビーム１３０の走査速度を速くする。そして、材料１５０の本溶融を実施する場合、フォーカス制御部１０５は、電子ビーム１３０のフォーカスを絞り、走査速度制御部２０７は、電子ビーム１３０の走査速度を遅くする。
【００３３】
このよう制御することにより、電子ビーム１３０の出力（電流値）を制御するよりも、仮焼結と本溶融との間の切り替えを迅速に行うことができ、３次元積層造形物１２０の造形時間を短縮することができる。
【００３４】
また、電子ビームのフォーカス制御や走査速度制御をするタイミングは、例えば、電子ビーム１３０の出力（電流）を変えるタイミングであってもよい。また、電子ビーム１３０の出力を変えてから、出力が安定するまでの間、フォーカス制御や走査速度制御を継続してもよい。
【００３５】
図３は、本実施形態に係る３次元積層造形装置２００により３次元積層造形物が造形される造形面のメッシュモデルの一例を示す図である。図４は、本実施形態に係る３次元積層造形装置２００により３次元積層造形物が造形される造形面のメッシュモデル内に３次元積層造形物が存在する場合の一例を示す図である。
【００３６】
３次元積層造形装置２００は、例えば、造形面をｎ×ｍ四方のメッシュに区切り、メッシュごとにデフォーカス量や走査速度を決定してもよい。また、例えば、造形が進んで、造形面に３次元積層造形物１２０が存在する場合、３次元積層造形装置２００は、メッシュごとに３次元積層造形物１２０の存在の有無に基づいて、デフォーカス量や走査速度を決定してもよい。図３に示したように、造形面をメッシュに区切ることにより、メッシュ毎に電子ビーム１３０のフォーカスや走査速度を制御することができる。例えば、仮焼結（プレヒート）時には、外側のメッシュの走査速度を遅くし、中心付近のメッシュの走査速度を速くすることにより、造形面の表面温度を均一に維持することができる。
【００３７】
また、下層に本溶融を行ったメッシュが存在する場合には、本溶融を行ったメッシュの上層のメッシュやその周辺のメッシュでは、下層の熱による影響で、比較的温度の高い状態となっている。この場合において、上層のメッシュを仮焼結する場合には、上層のメッシュは、比較的温度が高いので、上層のメッシュの走査速度を速くすることにより、造形面の表面温度を均一に維持することができる。
【００３８】
図５は、本実施形態に係る３次元積層造形装置２００の処理手順を説明するフローチャートである。ステップＳ５０１において、３次元積層造形装置２００は、３次元積層造形物１２０の積層造形データ（造形モデル）を取得する。積層造形データは、例えば、ユーザが手動で入力してもよいし、ＣＡＭ（Computer Aided Manufacturing）やＣＡＤ（Computer Aided Design）などから取得してもよい。
【００３９】
ステップＳ５０３において、３次元積層造形装置２００は、仮焼結を実行するか否かを判断する。仮焼結を実行すると判断した場合（ステップＳ５０３のＹＥＳ）、３次元積層造形装置２００は、ステップＳ５０５に進む。ステップＳ５０５において、３次元積層造形装置２００は、電子ビーム１３０により仮焼結領域を走査するための走査データを生成する。
【００４０】
仮焼結を実行しないと判断した場合（ステップＳ５０３のＮＯ）、３次元積層造形装置２００は、ステップＳ３１３に進む。ステップＳ３１３において、３次元積層造形装置２００は、電子ビーム１３０により溶融領域を走査するための走査データを生成する。
【００４１】
ステップＳ５０７において、３次元積層造形装置２００は、電子ビーム１３０のデフォーカス量および走査速度を決定する。ステップＳ５０９において、３次元積層造形装置２００は、決定したデフォーカス量および走査速度で仮焼結および本溶融を実行する。ステップＳ３１１において、３次元積層造形装置２００は、３次元積層造形物１２０の造形が終了したか否かを判断する。造形が終了したと判断した場合（ステップＳ３１１のＹＥＳ）、３次元積層造形装置２００は、処理を終了する。造形が終了していないと判断した場合（ステップＳ３１１のＮＯ）、３次元積層造形装置２００は、ステップＳ５０３以降の各ステップを繰り返す。
【００４２】
本実施形態によれば、電子ビームのデフォーカス量と共に、電子ビームの走査速度も制御するので、電子ビームのエネルギーを有効に使え、また、ブランキング機構を用いて遮蔽する必要もないので、装置構成がコンパクトになり、装置の汚染もない。さらに、デフォーカス量および走査速度を制御するので、造形面の温度を細かく制御することができ、造形面を一定の温度に維持することができる。
【００４３】
［第３実施形態］
次に本発明の第３実施形態に係る３次元積層造形装置６００について、図６を用いて説明する。図６は、本実施形態に係る３次元積層造形装置６００の構成を説明するための図である。本実施形態に係る３次元積層造形装置６００は、上記第２実施形態と比べると、温度測定部を有する点で異なる。その他の構成および動作は、第２実施形態と同様であるため、同じ構成および動作については同じ符号を付してその詳しい説明を省略する。
【００４４】
３次元積層造形装置６００は、温度測定部６０８をさらに備える。温度測定部６０８は、造形面や造形面上の材料１５０の温度を測定し、例えば、測定した温度に関するデータを制御部２０１に送信する。そして、制御部２０１は、さらに、受信した温度に関するデータに基づいて、デフォーカス量や走査速度を決定する。
【００４５】
温度測定部６０８により測定した温度データを制御部２０１にフィードバックまたはフィードフォワードすることにより、より詳細なフォーカス制御および走査速度制御を実施してもよい。なお、温度測定部６０８は、例えば、サーモグラフィーや放射温度計などであるが、これらには限定されない。
【００４６】
本実施形態によれば、造形面の温度を測定するので、測定した温度データを制御部にフィードバックまたはフィードフォワードすることにより、より詳細なフォーカス制御および走査速度制御をすることができる。また、詳細なフォーカス制御および走査速度制御ができるので、造形面の温度を自在に制御することができ、３次元積層造形物の造形精度も向上する。
【００４７】
［他の実施形態］
以上、実施形態を参照して本願発明を説明したが、本願発明は上記実施形態に限定されるものではない。本願発明の構成や詳細には、本願発明のスコープ内で当業者が理解し得る様々な変更をすることができる。また、それぞれの実施形態に含まれる別々の特徴を如何様に組み合わせたシステムまたは装置も、本発明の範疇に含まれる。
【００４８】
また、本発明は、複数の機器から構成されるシステムに適用されてもよいし、単体の装置に適用されてもよい。さらに、本発明は、実施形態の機能を実現する情報処理プログラムが、システムあるいは装置に直接あるいは遠隔から供給される場合にも適用可能である。したがって、本発明の機能をコンピュータで実現するために、コンピュータにインストールされるプログラム、あるいはそのプログラムを格納した媒体、そのプログラムをダウンロードさせるＷＷＷ(World Wide Web)サーバも、本発明の範疇に含まれる。特に、少なくとも、上述した実施形態に含まれる処理ステップをコンピュータに実行させるプログラムを格納した非一時的コンピュータ可読媒体（non-transitory computer readable medium）は本発明の範疇に含まれる。
【図１】
2017163403.tif 000003
【図２】
2017163403.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【手続補正書】
【提出日】平成29年11月13日(2017.11.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
３次元積層造形物が造形される造形面上に、前記３次元積層造形物の材料を散布する材料散布手段と、
電子ビームを発生させる電子銃と、
前記造形面上で、前記電子ビームを１次元偏向または２次元偏向させる少なくとも１つの偏向器と、
前記電子銃と前記偏向器との間に設けられ、前記電子ビームを集束させる少なくとも１つのレンズと、
前記電子ビームにより走査する領域に基づいて、前記電子ビームのフォーカスを制御するフォーカス制御手段と、
前記偏向器による偏向方向および走査速度を制御する走査速度制御手段と、
を備え、
前記フォーカス制御手段は、前記電子ビームにより走査する領域が、前記材料を溶融させない領域である非溶融領域である場合に、前記電子ビームをデフォーカスする３次元積層造形装置。
【請求項２】
前記フォーカス制御手段は、前記電子ビームにより走査する領域を仮焼結する場合に、前記電子ビームをデフォーカスする請求項１に記載の３次元積層造形装置。
【請求項３】
前記走査速度制御手段は、前記電子ビームにより前記非溶融領域を走査する場合の走査速度を、前記材料が溶融される領域である溶融領域よりも高速にする請求項１または２に記載の３次元積層造形装置。
【請求項４】
前記フォーカス制御手段は、前記電子ビームの出力を変更する場合に、デフォーカスする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の３次元積層造形装置。
【請求項５】
前記造形面の温度測定手段をさらに備え、
前記フォーカス制御手段は、前記造形面の温度に基づいて、前記フォーカスを制御し、
前記走査速度制御手段は、前記造形面の温度に基づいて、前記偏向器による偏向方向および走査速度を制御する、請求項１乃至４のいずれか１項に記載の３次元積層造形装置。
【請求項６】
前記走査速度制御手段は、前記造形面をメッシュに区切り、メッシュ毎に前記走査速度を制御する請求項１乃至５のいずれか１項に記載の３次元積層造形装置。
【請求項７】
３次元積層造形物が造形される造形面上に、前記３次元積層造形物の材料を散布する材料散布ステップと、
電子ビームを発生させる発生ステップと、
少なくとも１つの偏向器により、前記造形面上で、前記電子ビームを１次元偏向または２次元偏向させる偏向ステップと、
電子銃と偏向器との間に設けられた少なくとも１つのレンズにより、前記電子ビームを集束させる集束ステップと、
前記電子ビームのフォーカスを制御するフォーカス制御ステップと、
前記偏向器による偏向方向および走査速度を制御する走査速度制御ステップと、
を含み、
前記フォーカス制御ステップにおいて、前記電子ビームにより走査する領域が、前記材料を溶融させない領域である非溶融領域である場合に、前記電子ビームをデフォーカスする３次元積層造形装置の制御方法。
【請求項８】
３次元積層造形物が造形される造形面上に、前記３次元積層造形物の材料を散布する材料散布ステップと、
電子ビームを発生させる発生ステップと、
少なくとも１つの偏向器により、前記造形面上で、前記電子ビームを１次元偏向または２次元偏向させる偏向ステップと、
電子銃と偏向器との間に設けられた少なくとも１つのレンズにより、前記電子ビームを集束させる集束ステップと、
前記電子ビームのフォーカスを制御するフォーカス制御ステップと、
前記偏向器による偏向方向および走査速度を制御する走査速度制御ステップと、
をコンピュータに実行させ、
前記フォーカス制御ステップにおいて、前記電子ビームにより走査する領域が、前記材料を溶融させない領域である非溶融領域である場合に、前記電子ビームをデフォーカスする３次元積層造形装置の制御プログラム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
上記目的を達成するため、本発明に係る３次元積層造形装置は、
３次元積層造形物が造形される造形面上に、前記３次元積層造形物の材料を散布する材料散布手段と、
電子ビームを発生させる電子銃と、
前記造形面上で、前記電子ビームを１次元偏向または２次元偏向させる少なくとも１つの偏向器と、
前記電子銃と前記偏向器との間に設けられ、前記電子ビームを集束させる少なくとも１つのレンズと、
前記電子ビームにより走査する領域に基づいて、前記電子ビームのフォーカスを制御するフォーカス制御手段と、
前記偏向器による偏向方向および走査速度を制御する走査速度制御手段と、
を備え、
前記フォーカス制御手段は、前記電子ビームにより走査する領域が、前記材料を溶融させない領域である非溶融領域である場合に、前記電子ビームをデフォーカスする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
上記目的を達成するため、本発明に係る３次元積層造形装置の制御方法は、
３次元積層造形物が造形される造形面上に、前記３次元積層造形物の材料を散布する材料散布ステップと、
電子ビームを発生させる発生ステップと、
少なくとも１つの偏向器により、前記造形面上で、前記電子ビームを１次元偏向または２次元偏向させる偏向ステップと、
電子銃と偏向器との間に設けられた少なくとも１つのレンズにより、前記電子ビームを集束させる集束ステップと、
前記電子ビームのフォーカスを制御するフォーカス制御ステップと、
前記偏向器による偏向方向および走査速度を制御する走査速度制御ステップと、
を含み、
前記フォーカス制御ステップにおいて、前記電子ビームにより走査する領域が、前記材料を溶融させない領域である非溶融領域である場合に、前記電子ビームをデフォーカスする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
上記目的を達成するため、本発明に係る３次元積層造形装置の制御プログラムは、
３次元積層造形物が造形される造形面上に、前記３次元積層造形物の材料を散布する材料散布ステップと、
電子ビームを発生させる発生ステップと、
少なくとも１つの偏向器により、前記造形面上で、前記電子ビームを１次元偏向または２次元偏向させる偏向ステップと、
電子銃と偏向器との間に設けられた少なくとも１つのレンズにより、前記電子ビームを集束させる集束ステップと、
前記電子ビームのフォーカスを制御するフォーカス制御ステップと、
前記偏向器による偏向方向および走査速度を制御する走査速度制御ステップと、
をコンピュータに実行させ、
前記フォーカス制御ステップにおいて、前記電子ビームにより走査する領域が、前記材料を溶融させない領域である非溶融領域である場合に、前記電子ビームをデフォーカスする。
【国際調査報告】
2017163403.tif 000009
2017163403.tif 000010