(57)【要約】  流体制御装置（１）は、ケース天板、ケース側板、およびケース底板を備え、内部空間（５９）および開口が設けられているケース（２１）と、内部空間（５９）を底板側領域と天板側領域とに分割する位置に設けられ、底板側領域と天板側領域との間に流体の流れを生じさせるとともに流体の流れの方向を規制するポンプ（１１）と、ケース（２１）を固定する固定部材（３１）と、を備える。そして、ケース（２１）は、ケース天板またはケース底板を取付面（Ｂ）として固定部材（３１）に取り付けられている。
2017061349.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部空間を囲う天板、側板、および、底板を備え、前記内部空間を外部空間に通じさせる流入口および排出口が設けられた、平板状構造のケースと、
前記内部空間を、前記流入口に連通する第１気室と前記排出口に連通する第２気室とに仕切る弁部と、
前記ケースを固定する固定部材と、を備え、
前記第１気室または前記第２気室の一方が前記ケースの底板側に位置し、他方が天板側に位置し、
前記ケースは、前記天板または前記底板を取付面として前記固定部材に取り付けられている、流体制御装置。
【請求項２】
前記第１気室と前記第２気室とのうち、前記取付面に近い側に位置する一方は、他方よりも、前記弁部の動作中の前記外部空間との圧力差が大きい、請求項１に記載の流体制御装置。
【請求項３】
前記第１気室と前記第２気室とのうち、前記取付面に近い側に位置する一方は、他方よりも、前記弁部の動作中の前記外部空間との圧力差が小さい、請求項１に記載の流体制御装置。
【請求項４】
前記内部空間を圧力容器に通じさせるノズルを備え、該ノズルは、前記取付面から前記固定部材を通るように突出している、請求項１乃至３のいずれかに記載の流体制御装置。
【請求項５】
前記内部空間を圧力容器に通じさせるノズルを備え、該ノズルは、前記側板に設けられている、請求項１乃至３のいずれかに記載の流体制御装置。
【請求項６】
前記弁部を間欠的に動作させる制御部を更に備える、
請求項１乃至５のいずれかに記載の流体制御装置。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれかに記載の流体制御装置と、
前記第１気室と前記第２気室とのうち、前記外部空間よりも減圧される領域に接続した圧力容器と、を備える、
減圧装置。
【請求項８】
請求項１乃至６のいずれかに記載の流体制御装置と、
前記第１気室と前記第２気室とのうち、前記外部空間よりも加圧される領域に接続した圧力容器と、を備える、
加圧装置。
【請求項９】
請求項２に記載の流体制御装置と、
前記第１気室と前記第２気室とのうち、前記外部空間よりも減圧される領域に接続した圧力容器と、を備え、
前記固定部材は前記圧力容器であり、
前記取付面は、前記第１気室と前記第２気室とのうち、前記外部空間との圧力差が大きい側の面である、
減圧装置。
【請求項１０】
請求項２に記載の流体制御装置と、
前記第１気室と前記第２気室とのうち、前記外部空間よりも加圧される領域に接続した圧力容器と、を備え、
前記固定部材は前記圧力容器であり、
前記取付面は、前記第１気室と前記第２気室とのうち、前記外部空間との圧力差が大きい側の面である、
加圧装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体を輸送する流体制御装置と、流体を吸引する減圧装置と、流体を吐出する加圧装置と、に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、流体の輸送を伴って動作する各種の装置（この発明では流体制御装置と言う。）では、圧電アクチュエータと弁部とを備える圧電マイクロポンプが広く使用されている（例えば特許文献１参照）。圧電マイクロポンプは、流入口および流出口が設けられたケースに圧電素子等を収納した状態で提供され、流体制御装置の内部に、ケースに格納されたまま取り付けられることがあった。【０００３】
図１７（Ａ）は、流体制御装置におけるポンプの従来の取り付け構造の一例を示す模式図である。【０００４】
流体制御装置１０１は、ポンプ１１１と、ポンプ１１１を格納するケース１２１と、フレームや外装板などの固定部材１３１と、を備える。固定部材１３１には、パッキン１３３が取り付けられ、ケース１２１の側面はパッキン１３３により保持されている。ケース１２１の内部は、ポンプ１１１によって底面側の空間１２４と天面側の空間１２５に区画されている。ポンプ１１１は、アクチュエータ（不図示）を備え、アクチュエータの駆動により底面側の空間１２４と天面側の空間１２５との間に流体の流れを生じさせる。また、ポンプ１１１は、弁部（不図示）を備え、弁部の動作により流体の流れの方向を規制し、２つの空間１２４，１２５に大きな圧力差を生じさせて、高い流体圧を得る。【０００５】
ここで、ケース１２１の底面側の空間１２４から天面側の空間１２５への流体の流れが生じる場合、底面側の空間１２４が外部空間に常時開放され、天面側の空間１２５が圧力容器に接続されていると、天面側の空間１２５と圧力容器が外部空間よりも高い流体圧に加圧されることになる。したがって、この場合の流体制御装置１０１は、加圧装置を構成することになる。また、天面側の空間１２５が外部空間に常時開放され、底面側の空間１２４が圧力容器に接続されていると、底面側の空間１２４と圧力容器が外部空間よりも低い流体圧に減圧されることになる。したがって、この場合の流体制御装置１０１は減圧装置を構成することになる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特表２０１２−５２８９８１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
加圧装置や減圧装置では、圧力状態を切り替える際などに、以下の理由により、部材の変形音や部材間の摩擦音が生じることがあった。図１７（Ｂ）は、流体制御装置１０１を加圧装置として構成する場合に生じる変形を模式的に示す図である。【０００８】
１．２つの空間１２４，１２５の一方（図１７（Ｂ）では天面側の空間１２５）は外部空間との圧力差が大きいので、その空間に面するケース１２１の天面または底面（図１７（Ｂ）では天面）には、圧力状態の切り替えに伴って、膨らむ、または、へこむ状態と平坦な状態との間で変形が生じる。また、この変形が、固定部材１３１等の他部材に伝わることで、他部材にも変形が生じることがある。【０００９】
特に圧力容器の変形または温度変化による圧力容器内の圧力変化がポンプに伝播した場合、ポンプで発生しうる以上の圧力差が生じる可能性がある。【００１０】
２．圧力状態の切り替えに伴って、ケース１２１の天面または底面に変形が生じ、その反力でマイクロポンプ１１１を収納するケース１２１が天面方向または底面方向に移動する。【００１１】
上記の変形や移動は、圧力状態の切り替えに伴う不要音の発生要因となるだけでなく、その際の衝撃によってケース１２１の固定が次第に緩んだり、部材の剥がれや割れなどの不具合を招いたりするおそれもあった。【００１２】
不具合については上記に加えて、ケース１２１が変形してポンプ１１１に接触した場合、ポンプ１１１に応力がかかって特性が変化する恐れも含まれる。【００１３】
そこで、本発明の目的は、圧力状態の切り替えに伴って発生する不要音や不具合を低減できる、静音性および耐久性に優れた流体制御装置、減圧装置、および、加圧装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明の流体制御装置は、内部空間を囲う天板、側板、および底板を備え、前記内部空間を外部空間に通じさせる開口が設けられているケースと、前記内部空間を天板側領域と底板側領域とに分割する位置に設けられていて、前記天板側領域と前記底板側領域との間に流体の流れを生じさせるアクチュエータおよび前記流体の流れの方向を規制する弁部を備えるポンプと、前記ケースを固定する固定部材と、を備える。そして、前記ケースは、前記天板または前記底板を取付面として前記固定部材に取り付けられている。【００１５】
この構成では、アクチュエータを駆動すると、ケースの天板側領域と底板側領域とのうちの一方は、開口を介して通じる外部空間と同程度の流体圧となり、他方は、弁部により外部空間との圧力差が大きくなる。したがって、圧力差が大きい領域に面するケースの天板または底板に変形が生じることになる。この変形は、不要音や不具合の発生要因となりうるが、上記のようにケースが天板または底板を取付面として固定部材に取り付けられていれば、ケースの天板または底板の変形の反力で生じる移動が抑制されるために、不要音や不具合の発生を抑制できる。【００１６】
更に、上記変形が抑制されるために、ケースの天板側領域と底板側領域とのうち、外部空間との圧力差が大きくなる領域はポンプとの距離を近接できるため、流体制御装置を低背化できる。【００１７】
この発明の流体制御装置において、前記天板側領域と前記底板側領域とのうち、前記取付面に近い側に位置する一方は、他方よりも、前記ポンプの動作中の前記外部空間との圧力差が小さくてもよい。この場合には、外部空間との圧力差による撓みが殆ど生じない天板または底板が固定部材への取付面となるので、ケースと固定部材との取り付け部分に割れや剥がれといった不具合が生じたり、固定部材に変形が伝わって他部材で不要音や不具合が生じたりすることを特に抑制できる。【００１８】
この発明の流体制御装置において、前記天板側領域と前記底板側領域とのうち、前記取付面に近い側に位置する一方は、他方よりも、前記ポンプの動作中の外部空間との圧力差が大きくてもよい。この場合には、外部空間との圧力差が大きい領域に面する天板または底板の変形が固定部材により抑制され、ケースやポンプで不要音や不具合が生じることを特に抑制できる。【００１９】
前記天板側領域と前記底板側領域とのうち、前記ポンプの動作中の外部空間との圧力差が大きい方の領域は、ポンプと天板との距離またはポンプと底板との距離が、天板または底板の変形量より充分大きいことが好ましい。天板または底板とポンプとの接触を防止することで、ポンプの特性変化という不具合を防止できるためである。【００２０】
この発明の流体制御装置において、前記内部空間を圧力容器に通じさせるノズルを備え、該ノズルは、前記取付面から前記固定部材を通るように突出していてもよい。ケースの取付面から圧力容器との接続を行う場合、仮に固定部材にノズルが設けられていると、ケースと固定部材との間をパッキン等で気密する必要が生じる。そこで、ケースに、取付面から固定部材を通るように突出するノズルを設けることで、ケースと固定部材との間を気密する必要を無くし、パッキン等を設けずにより簡便にケースを固定することができる。【００２１】
この発明の流体制御装置において、前記内部空間を圧力容器に通じさせるノズルを備え、該ノズルは、前記側板に設けられていてもよい。この場合にも、ケースと固定部材との間をパッキン等でシールする必要がなく、パッキン等を設けずにより簡便にケースを固定することができる。また、ケースと固定部材との取付面の面積が増すので、取付面の強度が増し、より変形しにくくすることができる。【００２２】
この発明の流体制御装置において、前記アクチュエータを間欠的に駆動させる制御部を更に備えてもよい。間欠動作時は、アクチュエータの駆動の度に各部の変形が生じ、不要音・不具合発生の度合いが大きいので、本発明による改善の効果が大きい。【００２３】
この発明の減圧装置は、上述した流体制御装置と、前記天板側領域と前記底板側領域とのうち、外部空間よりも減圧される領域に接続した圧力容器と、を備えるものである。また、この発明の加圧装置は、上述した流体制御装置と、前記天板側領域と前記底板側領域とのうち、外部空間よりも加圧される領域に接続した圧力容器と、を備えるものである。減圧装置は、例えば鼻水吸引器や、搾乳器、局所陰圧閉鎖療法（ＮＰＷＴ）の分泌物吸引器などである。加圧装置は、例えばエアマット、血圧計のカフなどである。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、圧力状態の切り替えに伴って生じる不要音や不具合の発生を抑制できる。したがって、部材間の固定の緩み、部材の割れ、剥がれといった不具合が生じにくくでき、耐久性および静音性に優れた流体制御装置、減圧装置、および、加圧装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】図１は第１実施形態に係る流体制御装置を模式的に示す断面図である。
【図２】図２は第１実施形態に係るケースおよびポンプの構成例を示す分解斜視図である。
【図３】図３は第１実施形態に係るケースおよびポンプの第１の動作状態を示す断面図である。
【図４】図４は第１実施形態に係るケースおよびポンプの第２の動作状態を示す断面図である。
【図５】図５は第１実施形態に係る流体制御装置の第１の変形例を示す断面図である。
【図６】図６は第１実施形態に係る流体制御装置の固定部材の具体的な構成例を示す図である。
【図７】図７は第１実施形態に係る流体制御装置の第２の変形例を示す断面図である。
【図８】図８は第１実施形態に係る流体制御装置の第３の変形例を示す断面図である。
【図９】図９は第１実施形態に係る流体制御装置の第４の変形例を示す断面図である。
【図１０】図１０は第１実施形態に係る流体制御装置の第５の変形例を示す断面図である。
【図１１】図１１は第１実施形態に係る流体制御装置の第６の変形例を示す断面図である。
【図１２】図１２は第２実施形態に係る流体制御装置の構成例を示す断面図である。
【図１３】図１３は第３実施形態に係る流体制御装置の構成例を示す断面図である。
【図１４】図１４は第４実施形態に係る流体制御装置の構成例を示す断面図である。
【図１５】図１５は第５実施形態に係る減圧装置を模式的に示す断面図である。
【図１６】図１６は第６実施形態に係る加圧装置を模式的に示す断面図である。
【図１７】図１７（Ａ）は、流体制御装置におけるポンプの従来の取り付け構造の一例を示す模式図である。図１７（Ｂ）は、流体制御装置１０１を加圧装置として構成する場合に生じる変形を模式的に示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
《第１実施形態》
以下、第１実施形態に係る流体制御装置１について説明する。
【００２７】
図１は、第１実施形態に係る流体制御装置１を模式的に示す断面図である。
【００２８】
ここで示す流体制御装置１は、空気等の気体の輸送を伴って動作するものであり、例えば、鼻水吸引器、搾乳器、局所陰圧閉鎖療法（ＮＰＷＴ）の分泌物吸引器、エアマット、血圧計のカフなどである。
【００２９】
流体制御装置１は、固定部材３１と、粘着シート３２と、パッキン３４と、ケース２１と、ポンプ１１と、制御部２と、ノズル２９，３３を備えている。固定部材３１は、特許請求の範囲に記載の「固定部材」に相当するものである。この固定部材３１は、後に示すように、例えば流体制御装置１の筐体、流体制御装置１の内にある制御ユニットの筐体、回路基板、バッテリー、ヒートシンク、ヒートパイプ等である。固定部材３１は、ケース２１の取付面よりも剛性が高い材料で構成されていることが好ましい。また、固定部材３１の材質には金属のように弾性率の高いものが好ましい。樹脂のように弾性率が低い材料である場合には、固定部材３１の厚みがケース２１より厚いことが好ましい。
【００３０】
ケース２１は、後述する天面または底面を取付面Ｂとして固定部材３１に取り付けられている。ノズル２９はケース２１に付設されている。ノズル３３は固定部材３１に付設されている。ノズル２９とノズル３３とのうちの一方は、圧力容器（不図示）に接続されるものであり、特許請求の範囲に記載の「ノズル」に相当している。ノズル２９とノズル３３とのうちの他方は、外部空間に開放されるものであり、特許請求の範囲に記載の「開口」に相当している。ポンプ１１は、ケース２１の内部空間５９に収納されている。制御部２は、交流の駆動電圧をポンプ１１に出力する。ポンプ１１は、交流の駆動電圧が印加されることで駆動し、ケース２１内の気体に所定の流れを生じさせる。このため、ポンプ１１を駆動すると、ノズル２９，３３を介して気体が流れ、圧力容器（不図示）と外部空間との圧力差を大きくすることができる。粘着シート３２は、ケース２１の取付面Ｂと固定部材３１とに接着することにより、両者を固定している。パッキン３４は、ケース２１または固定部材３１と粘着シート３２との間に接着不良があっても気密を保つために、取付面Ｂの外側を囲んでケース２１と固定部材３１とに密着するように設けている。
【００３１】
また、後に示すように、外部空間との圧力差が大きい面を、圧力容器に固定する構成でもよい。その場合には、固定部両面の圧力差が減少するため、さらにケースの変形が抑制され、不要音や不具合の低減効果が大きい。
【００３２】
圧力容器は、マットやカフ、ガーゼのように、ナイロンなどの樹脂材料でできた薄い袋状容器でもよいし、厚い材料でできた箱状容器でもよい。
【００３３】
なお、ケース２１と固定部材３１とは、粘着シート３２によらず、接着剤による接着、直接接合、ねじ止め、嵌合など、その他の方法で固定されていてもよい。また、パッキン３４は、ケース２１と固定部材３１との接着面を気密する必要が無いような場合には設けなくてもよい。
【００３４】
図２は、ケース２１およびポンプ１１の構成例に係る分解斜視図である。図３は、該構成例に係る第１の動作状態を示す断面図である。図４は、該構成例に係る第２の動作状態を示す断面図である。以下、ケース２１およびポンプ１１において、図２における上方向を天面方向または天面側と言い、図２における下方向を底面方向または底面側と言う。
【００３５】
ここで示すケース２１およびポンプ１１は、薄板状部材の積層構造を有する積層モジュール３を構成している。積層モジュール３は、ケース天板４１、バルブ天板４２、バルブ側板４３、バルブフィルム４４、バルブ底板４５、ポンプ側板４６、振動板４７、圧電素子４８、ケース側板４９、および、ケース底板５０を備えている。
【００３６】
ケース天板４１、ケース側板４９、および、ケース底板５０は、それぞれ天面側から底面側にかけて順に積層した状態で接合されてケース２１を構成している。
【００３７】
ケース天板４１は、例えば樹脂からなる円板状の部材であり、円形の開口５１が天面方向（底面方向）に貫通して設けられている。この開口５１は、ケース２１の内部から気体を排出する排出口として機能する。
【００３８】
ケース底板５０は、例えば樹脂からなる円板状の部材であり、円形の開口６０が天面方向（底面方向）に貫通して設けられている。この開口６０は、ケース２１の内部に気体が流入する流入口として機能する。
【００３９】
ケース側板４９は、ケース天板４１とケース底板５０との間に設けられた円筒状の部材であり、ケース天板４１の開口５１およびケース底板５０の開口６０と通じる内部空間５９が設けられている。ケース側板４９には、内周面から内部空間５９に突出するとともに内周に沿って延在するように、隔壁２６が設けられている。隔壁２６は、ケース側板４９における天面方向（底面方向）の中央付近に位置している。
【００４０】
バルブ天板４２、バルブ側板４３、バルブフィルム４４、バルブ底板４５、ポンプ側板４６、振動板４７、および、圧電素子４８は、ポンプ１１を構成している。ポンプ１１は、ケース側板４９における隔壁２６の天面側の面にバルブ底板４５の底面側の外縁部分を接合させることで、ケース天板４１とケース底板５０との間で中空に支持される。以下、内部空間５９における、ポンプ１１および隔壁２６よりも天面側の領域を天板側領域２５（図３および図４参照。）と言う。また、内部空間５９における、ポンプ１１および隔壁２６よりも底面側の領域を底板側領域２４（図３および図４参照。）と言う。すなわち、ポンプ１１は、ケース２１の内部空間５９が天板側領域２５と底板側領域２４とに分割される位置に設けていて、隔壁２６とともに天板側領域２５と底板側領域２４とを区画している。流入口としての開口６０に連通する底板側領域２４は本発明に係る「第１気室」に相当し、排出口としての開口５１に連通する天板側領域２５は本発明に係る「第２気室」に相当する。
【００４１】
また、ポンプ１１は、バルブ１２とアクチュエータ１３とを備えている。アクチュエータ１３は、ポンプ１１における底面側に設けられていて、駆動されることで振動し、底板側領域２４から天板側領域２５への気体の流れを生じさせる。バルブ１２は、特許請求の範囲に記載の「弁部」に相当するものであり、ポンプ１１における天面側に設けられていて、天板側領域２５から底板側領域２４への気体の流れを規制し、気体の流れの方向を天面方向（底板側領域２４から天板側領域２５に向かう方向）に限定する。
【００４２】
アクチュエータ１３は、振動板４７の底面側に圧電素子４８が積層して接合されることで構成されている。圧電素子４８は、例えばチタン酸ジルコン酸鉛系セラミックスなどからなる面内方向に伸縮する圧電性を有する円板状の部材に、天面側電極および底面側電極を形成して構成している。振動板４７は、例えば金属材料からなる円板状の部材である。この振動板４７は、圧電素子４８に生じる面内方向の伸縮を拘束することにより、圧電素子４８とともに同心円状に撓むように変形する（図３および図４参照）。したがって、アクチュエータ１３は、圧電素子４８に交流の駆動電圧が印加されることで駆動し、同心円状に繰り返し撓むように振動する。
【００４３】
振動板４７には、円形の開口５７が天面方向（底面方向）に貫通して設けられている。また、圧電素子４８には、円形の開口５８が天面方向（底面方向）に貫通して設けられている。これらの開口５７，５８は、底板側領域２４からポンプ１１に気体が流入する流入口として機能する。なお、ここでは、開口５７，５８を振動板４７および圧電素子４８の中央付近に配しているが、圧電素子４８には開口５８を設けず、振動板４７の開口５７を圧電素子４８に重ならない位置に設けるようにしてもよい。それにより、圧電素子４８に穴あけ加工が不要なため、圧電素子の製造が容易かつ安価となる。また、圧電素子４８の穴あけに伴う欠陥が生じないため、長期使用に伴う圧電素子の故障も生じにくい。
【００４４】
アクチュエータ１３の天面側には、ポンプ側板４６が積層して接合されている。ポンプ側板４６は、例えば金属からなる円環状の部材であり、円形の開口５６が天面方向（底面方向）に貫通して設けられている。この開口５６は、気体に圧力変化を生じさせるポンプ室として機能する。
【００４５】
ポンプ側板４６の天面側には、バルブ底板４５が積層して接合されている。バルブ底板４５は、例えば金属からなる円板状の部材であり、複数の円形の開口５５が天面方向（底面方向）に貫通して設けられている。複数の開口５５は、バルブ底板４５の中央付近に集中して配置されている。これらの開口５５は、ポンプ室（開口５６）からバルブ１２に気体が流入する流入口として機能する。
【００４６】
バルブ１２は、バルブフィルム４４を内部に収容した状態で、バルブ天板４２、バルブ側板４３、および、バルブ底板４５が、それぞれ天面側から底面側にかけて順に積層して接合されることにより構成されている。バルブ側板４３は、例えば金属からなる円環状の部材であり、円形の開口５３が天面方向（底面方向）に貫通して設けられている。この開口５３は、バルブフィルム４４を収納するバルブ室として機能する。バルブ天板４２は、例えば金属からなる円板状の部材であり、複数の円形の開口５２が天面方向（底面方向）に貫通して設けられている。複数の開口５２は、バルブ天板４２の中央付近に集中して配置されている。これらの開口５２は、バルブ室（開口５３）から天板側領域２５に気体を排出する排出口として機能する。開口５２は、複数である方がポンプとして高い特性が得られるが、複数でなくてもよい。また、開口５２はそれぞれ円形でなくてもよい。
【００４７】
バルブフィルム４４は、円板状のフィルム部材であり、複数の円形の開口５４が天面方向（底面方向）に貫通して設けられている。複数の開口５４は、バルブフィルム４４の中央付近に集中して配置されている。バルブフィルム４４は、バルブ側板４３の厚みよりも薄い厚みに設定されるとともに、バルブ室（開口５３）の開口径よりも微小に小さい外周径を有するように設定されている（図３および図４参照。）。そして、バルブフィルム４４は、極めて軽い質量となるように、ポリイミドなどの軽量な樹脂で構成されている。これにより、バルブフィルム４４は、バルブ室（開口５３）内で天面方向（底面方向）に沿って移動自在である。
【００４８】
なお、バルブフィルム４４の外周の一部には、突起２７を設けている。そして、バルブ側板４３の内周面には、突起２７が係止される溝２８を天面方向（底面方向）に延びるように設けている。この溝２８に突起２７が係止されることにより、バルブフィルム４４は、バルブ室（開口５３）内で天面方向（底面方向）に沿って移動する際、回転しないように構成されている。
【００４９】
また、バルブ天板４２の開口５２とバルブフィルム４４の開口５４とは、互いに対向する位置に配置されている。一方、バルブ底板４５の開口５５とバルブフィルム４４の開口５４とは、互いに対向しない位置に配置されている。このため、バルブフィルム４４が天面側に移動してバルブ天板４２に接する状態では、バルブ天板４２の開口５２とバルブフィルム４４の開口５４とが通じる。一方、バルブフィルム４４が底面側に移動してバルブ底板４５に接する状態では、バルブ底板４５の開口５５とバルブフィルム４４の開口５４とが通じなくなる。このことによって、バルブ１２では、バルブフィルム４４が移動することによって、バルブ天板４２の開口５２とバルブ底板４５の開口５５との間の流路開閉状態が変わることになる。
【００５０】
ここで、図３および図４に基づいて、積層モジュール３における気体の流れをより詳細に説明する。図３および図４中では、黒矢印で気体の流れを例示している。
【００５１】
図３では、圧電素子４８が面内方向に拡大し、アクチュエータ１３が底面側に凸に撓む第１の動作状態を示している。このとき、ポンプ室（開口５６）の容積は増し、ポンプ室（開口５６）内の流体圧は減じる。これにより、バルブ室（開口５３）および底板側領域２４に対してポンプ室（開口５６）が陰圧になる。すると、バルブ室（開口５３）において、バルブフィルム４４が底面側に引き寄せられてバルブ底板４５に接する。これにより、バルブ底板４５の開口５５が、バルブフィルム４４に塞がれる。よって、ポンプ室（開口５６）は、底板側領域２４から気体を吸引する。
【００５２】
図４では、圧電素子４８が面内方向に縮小し、アクチュエータ１３が天面側に凸に撓む状態を示している。このとき、ポンプ室（開口５６）の容積は減じ、ポンプ室（開口５６）の流体圧は増す。これにより、バルブ室（開口５３）および底板側領域２４に対してポンプ室（開口５６）が陽圧になる。すると、バルブ室（開口５３）において、バルブフィルム４４が天面側に押し離されてバルブ天板４２に接する。これにより、バルブ天板４２の開口５２がバルブフィルム４４の開口５４と重なる。よって、ポンプ室（開口５６）は、バルブ室（開口５３）を介して天板側領域２５に気体を吐出する。また、このときポンプ室（開口５６）の気体の一部は、底板側領域２４にも吐出される。
【００５３】
したがって、気体の流れは、バルブ１２の内部を底面側から天面側に通過するように限定される。そして、これらの動作状態は、ポンプ１１が駆動する間に交互に繰り返されるので、ケース２１の内部には、底板側領域２４から天板側領域２５へ向かう気体の流れが定常的に生じることになる。
【００５４】
次に、図２乃至図４に示した積層モジュール３を備える流体制御装置１において、ポンプ１１を駆動している状態でケース２１に生じる変形について、より詳細に説明する。
【００５５】
図５は、流体制御装置１を減圧装置として構成する場合において、ケース２１の天面側を取付面Ｂとして固定部材３１に取り付けたときに、ケース２１に生じる第１の変形例を説明する図である。図６は流体制御装置１の固定部材３１の具体的な構成例を示す図である。
【００５６】
ケース２１の内部では、底板側領域２４から天板側領域２５に流体の流れが生じるため、流体制御装置１を減圧装置として構成する場合には、ケース２１の底板側領域２４側に圧力容器２２を接続し、ケース２１の天板側領域２５側を外部空間に開放する必要がある。したがって、ケース２１の天面側を取付面Ｂとして固定部材３１に取り付ける際には、ケース２１の底面にノズル２９を付設して該ノズル２９を圧力容器２２に接続し、固定部材３１に付設されるノズル３３を外部空間に開放するとよい。図６に示す例では、固定部材３１は、流体制御装置が組み込まれる装置の筐体である。
【００５７】
このような状態で、ポンプ１１を駆動すると、ケース２１の底板側領域２４は、外部空間に対して陰圧になり、外部空間との圧力差ΔＰがマイナスになる。また、ケース２１の天板側領域２５は、外部空間と殆んど同じ流体圧になり、外部空間との圧力差ΔＰが略ゼロになる。これにより、ケース２１は、外部空間との圧力差によって底面のみがへこむように変形する。ここで、ケース２１の高さは低いので、ケース２１の側面は圧力による変形が少ない。
【００５８】
このような変形の反力により、ケース２１およびポンプ１１は底面側に移動しようとする。しかしながら、ケース２１の天面は取付面Ｂとして固定部材３１に取り付けられているために、ケース２１およびポンプ１１は底面側に殆ど移動することができない。
【００５９】
したがって、この第１の変形例では、変形に伴ってケース２１およびポンプ１１が底面側に加振されることが無く、加振による不要音や不具合の発生を抑制することができる。特に、この第１の変形例では、固定部材３１に対して、変形が殆ど生じないケース２１の天面が取り付けられるので、固定部材３１にケース２１の変形が伝わることもなく、固定部材３１の変形が防がれる。したがって、この場合の流体制御装置１では、固定部材３１での変形音の発生や、固定部材３１による他部材との摩擦音の発生、固定部材３１と他部材との固定の緩み、固定部材３１や他部材の割れや剥がれ、などを抑制することができる。
【００６０】
ここで底板側領域２４は、ケース２１が変形によりポンプ１１に接触しないよう、ケース２１とポンプ１１との距離は大きいほうが好ましい。ケース２１とポンプ１１との接触によるポンプの特性変化という不具合を防止できるためである。
【００６１】
図７は、流体制御装置１を加圧装置として構成する場合において、ケース２１の底面側を取付面Ｂとして固定部材３１に取り付けたときに、ケース２１に生じる第２の変形例を説明する図である。
【００６２】
ケース２１の内部では、底板側領域２４から天板側領域２５に流体の流れが生じるため、流体制御装置１を加圧装置として構成する場合には、ケース２１の天板側領域２５側に圧力容器２２を接続し、ケース２１の底板側領域２４側を外部空間に開放する必要がある。したがって、ケース２１の底面側を取付面Ｂとして固定部材３１に取り付ける際には、ケース２１の天面にノズル２９を付設して該ノズル２９を圧力容器２２に接続し、固定部材３１に付設されるノズル３３を外部空間に開放するとよい。
【００６３】
このような状態で、ポンプ１１を駆動すると、ケース２１の天板側領域２５は、外部空間に対して陽圧になり、外部空間との圧力差ΔＰがプラスになる。また、ケース２１の底板側領域２４は、外部空間と殆んど同じ流体圧になり、外部空間との圧力差ΔＰが略ゼロになる。これにより、ケース２１は、外部空間との圧力差によって天面のみが膨らむように変形する。
【００６４】
このような変形の反力により、ケース２１およびポンプ１１は底面側に移動しようとする。しかしながら、ケース２１の底面は取付面Ｂとして固定部材３１に取り付けられているために、ケース２１およびポンプ１１は底面側に殆ど移動することができない。
【００６５】
したがって、この第２の変形例でも、変形に伴ってケース２１およびポンプ１１が底面側に加振されることが無く、加振による不要音や不具合の発生を抑制することができる。そして、やはり、この場合の流体制御装置１でも、固定部材３１に対して、変形が殆ど生じないケース２１の底面が取り付けられるので、固定部材３１にケース２１の変形が伝わることもなく、固定部材３１の変形を防ぐことができる。
【００６６】
図８は、流体制御装置１を減圧装置として構成する場合において、ケース２１の底面側を取付面Ｂとして固定部材３１に取り付けたときに、ケース２１に生じる第３の変形例を説明する図である。
【００６７】
この場合には、ケース２１の底面側を取付面Ｂとして固定部材３１に取り付けるので、ケース２１の天面にノズル２９を付設して該ノズル２９を外部空間に開放し、固定部材３１に付設されるノズル３３を圧力容器２２に接続するとよい。
【００６８】
このような状態で、ポンプ１１を駆動すると、ケース２１の底板側領域２４は、外部空間との圧力差ΔＰがマイナスになり、ケース２１の底面をへこむように変形させる力が生じる。しかしながら、ケース２１の底面が取付面Ｂとして固定部材３１に取り付けられているために、ケース２１の底面は殆ど変形しない。特に、固定部材３１の弾性率がケース２１の底面の弾性率より高い場合や、固定部材３１の厚みがケース２１の底面の厚みより大きい場合、変形抑制効果は大きい。
【００６９】
したがって、この第３の変形例では、取付面Ｂが加振されることが無く、加振による不要音や不具合の発生を抑制することができる。そして、特にこの第３の変形例では、変形が生じるケース２１の底面が固定部材３１に取り付けられるので、ケース２１の底面の変形量が低減される。したがって、この場合の流体制御装置１では、積層モジュール３における部材の割れや剥がれ、積層モジュール３からの不要音の発生などを抑制することができる。
【００７０】
加えて、ケース２１の底面の変形量が抑制されるため、ポンプ１１とケース２１の底面とを近接でき、流体制御装置１を低背化できる。
【００７１】
図９は、流体制御装置１を加圧装置として構成する場合において、ケース２１の天面側を取付面Ｂとして固定部材３１に取り付けたときに、ケース２１に生じる第４の変形例を説明する図である。
【００７２】
この場合には、ケース２１の天面側を取付面Ｂとして固定部材３１に取り付けるので、ケース２１の底面にノズル２９を付設して該ノズル２９を外部空間に開放し、固定部材３１に付設されるノズル３３を圧力容器２２に接続するとよい。
【００７３】
このような状態で、ポンプ１１を駆動すると、ケース２１の天板側領域２５は、外部空間との圧力差ΔＰがプラスになり、ケース２１の天面を膨らむように変形させる力が生じる。しかしながら、ケース２１の天面が取付面Ｂとして固定部材３１に取り付けられているために、ケース２１の天面は殆ど変形することができない。
【００７４】
したがって、この第４の変形例でも、取付面Ｂが加振されることが無く、加振による不要音や不具合の発生を抑制することができる。そして、この第４の変形例では、変形が生じるケース２１の天面が固定部材３１に取り付けられるので、ケース２１の天面の変形量が低減される。したがって、この場合の流体制御装置１でも、積層モジュール３における部材の割れや剥がれ、積層モジュール３からの不要音の発生などを抑制することができる。
【００７５】
以上に説明したように、本実施形態に係る流体制御装置１では、ケース２１の天面または底面を取付面Ｂとして固定部材３１にケース２１を取り付けているので、圧力状態の切り替えに伴ってどのような変形が生じても不要音や不具合の発生を抑制できる。したがって、部材間の固定の緩み、部材の割れ、剥がれといった不具合が生じにくく、耐久性および静音性に優れた流体制御装置１を構成することができる。
【００７６】
図１０は、流体制御装置１が組み込まれる装置の筐体以外の部材を固定部材として利用する例を説明する図である。この例では、ヒートシンク等の放熱体３６およびバッテリー３７の面に粘着シート３２を介してケース２１を接着している。このように、ヒートシンク等の放熱体３６やバッテリー３７を固定部材として利用してもよい。
【００７７】
図１１は、流体制御装置１が組み込まれる装置の筐体以外の部材を固定部材として利用する別の例を説明する図である。この例では、圧力容器２２の外面にケース２１を接着している。このように、圧力容器２２を固定部材として利用してもよい。
【００７８】
《第２実施形態》
次に、第２実施形態に係る流体制御装置１Ａについて説明する。
【００７９】
図１２は、第２実施形態に係る流体制御装置１Ａを模式的に示す断面図である。
【００８０】
ここで示す流体制御装置１Ａにおける第１実施形態との相違点は、固定部材３１Ａとノズル３３Ａを備え、パッキン３４を省いた点にある。ノズル３３Ａは、圧力容器に接続されるものであり、固定部材３１Ａではなくケース２１に付設され、取付面Ｂから固定部材３１Ａを通るように突出している。固定部材３１Ａは、ノズル３３Ａが挿入される開口３５Ａが設けられている。
【００８１】
このような構成の流体制御装置１Ａでは、粘着シート３２に接着不良があったとしても、ノズル３３Ａがケース２１から直接、突出しているので、固定部材３１Ａとケース２１との間の気密が問題にならない。したがって、パッキン等の気密性を高める部材を設ける必要が無く、固定部材３１Ａとケース２１との固定に、より簡易な構成を採用することができる。
【００８２】
《第３実施形態》
次に、第３実施形態に係る流体制御装置１Ｅについて説明する。
【００８３】
図１３は、第３実施形態に係る流体制御装置１Ｅを模式的に示す断面図である。
【００８４】
ここで示す流体制御装置１Ｅにおける第１実施形態との相違点は、固定部材３１Ｅとノズル３３Ｅを備え、パッキン３４を省いた点にある。ノズル３３Ｅは、ケース２１における側面から突出するように設けられている。固定部材３１Ｅは、開口が設けられていない。
【００８５】
このような構成の流体制御装置１Ｅでも、粘着シート３２に接着不良があったとしても、固定部材３１Ｅとケース２１との間の気密が問題にならないので、パッキン等を省いた簡易な構成で、固定部材３１Ｅとケース２１とを固定することができる。また、固定部材３１Ｅとケース２１の取り付け部分の面積が増すので、取り付け部分の剛性を高めて、より変形しにくくすることができる。
【００８６】
加えて、第２実施形態との相違点として、ノズル３３Ｅの向きが粘着シート３２に対し略平行に配されている。従って、圧力容器とノズル３３Ｅとを挿抜する際、粘着シート３２にかかる応力がせん断方向となり、強度をより高めることができる。
【００８７】
《第４実施形態》
次に、第４実施形態に係る流体制御装置１Ｂについて説明する。
【００８８】
図１４は、第４実施形態に係る流体制御装置１Ｂを模式的に示す断面図である。
【００８９】
ここで示す流体制御装置１Ｂにおける第１実施形態との相違点は、固定部材３１Ｂとノズル２９Ｂ，３３Ｂを備え、パッキン３４を省いた点にある。ノズル２９Ｂ，３３Ｂは、いずれもケース２１における側面から突出するように設けられている。固定部材３１Ｂは、開口が設けられていない。
【００９０】
このような構成の流体制御装置１Ｂでも、第３実施形態と同様、簡易な構成で固定部材３１Ｂとケース２１とを固定することができ、また、固定部材３１Ｅとケース２１の取り付け部分の剛性を高めることができる。その上、この流体制御装置１Ｂでは、ノズル２９Ｂ，３３Ｂがいずれもケース２１の側面に設けられているので、ケース２１およびノズル２９Ｂ，３３Ｂを全体として薄く構成することができる。
【００９１】
《第５実施形態》
次に、第５実施形態に係る減圧装置１Ｃについて説明する。
【００９２】
図１５は、第５実施形態に係る減圧装置１Ｃを模式的に示す図である。
【００９３】
減圧装置１Ｃは、ポンプ１１、ケース２１、固定部材３１、および、圧力容器９Ｃを備えている。圧力容器９Ｃは、例えば鼻水吸引用や、搾乳用、局所陰圧閉鎖療法（ＮＰＷＴ）の分泌物吸引用のアダプタに取り付けられるものであり、ケース２１の外部空間に対して陰圧となる底板側領域２４に、接続チューブ等を介して接続されている。この減圧装置１Ｃは、ポンプ１１を駆動することで圧力容器９Ｃを外部空間に対して陰圧にすることができ、圧力容器９Ｃを介して外部の流体を吸引することができる。
【００９４】
なお、吸引物の除去や駆動中に圧力容器９Ｃの吸引口を大気に開放した場合、急激な圧力変化が底板側領域２４に伝播し、ケース内で不要音や不具合が発生する恐れがあるが、固定部材３１に対して、変形が殆ど生じないケース２１の天面が取り付けられるので、固定部材３１にケース２１の変形が伝わることもなく、固定部材３１の変形を防ぐことができ、減圧装置としての不具合発生を低減し、減圧装置外への不要音の伝搬を抑制できる。
【００９５】
《第６実施形態》
次に、第６実施形態に係る加圧装置１Ｄについて説明する。
【００９６】
図１６は、第６実施形態に係る加圧装置１Ｄを模式的に示す図である。
【００９７】
加圧装置１Ｄは、ポンプ１１、ケース２１、固定部材３１、および、圧力容器９Ｄを備えている。圧力容器９Ｄは、例えば横臥用のエアマットや、血圧計のカフなどであり、外部空間に対して陽圧となるケース２１の天板側領域２５に接続チューブ等を介して接続されている。この加圧装置１Ｄは、ポンプ１１を駆動することで圧力容器９Ｄを外部空間に対して陽圧にすることができる。
【００９８】
なお、例えば、加圧装置１Ｄが、圧力容器９Ｄとして横臥用のエアマットを備える場合には、横臥用のエアマットに排気のための電磁弁１０Ｄを付設し、制御部２で、ポンプ１１による圧力容器９Ｄ（エアマット）の吸気だけでなく、電磁弁１０Ｄによる圧力容器９Ｄ（エアマット）の排気を制御するようにしてもよい。この場合、制御部２で、圧力容器９Ｄ（エアマット）に対する吸気と排気とを定期的に変更するよう制御し、体圧分散や床ずれ対策等の機能を実現することも可能である。
【００９９】
このように制御部２でポンプ１１を間欠動作させるような用途の場合には、ケース２１内の圧力状態が頻繁に変更されることになるので、ケース２１を天面または底面で固定部材３１に取り付けて不要音や不具合の発生を抑制することが特に有効である。なお、流体制御装置を加圧装置でなく減圧装置として構成する場合にも、例えば、局所陰圧閉鎖療法の分泌物吸引用とする場合には、制御部２でポンプ１１を時間経過に伴い間欠動作させる必要があるので、やはり、ケース２１を天面または底面で固定部材３１に取り付けて不要音や不具合の発生を抑制することによる効用が特に大きい。
【０１００】
なお、横臥用のエアマットにおいて、使用者が乗った場合、もしくは寝返りなどで急激な圧力変化が圧力容器９Ｄに発生し、天板側領域２５に伝播し、不要音や不具合が発生する恐れがあるが、ケース２１の天板板側領域２５の天板を固定部材３１に固定することにより、前記不要音や不具合の発生を低減できる。
【０１０１】
《その他の実施形態》
前述した実施形態では、流体として気体を用いたが、気体の他の流体、例えば液体、粉体（気固混合流体）、固液混合流体、気液混合流体、ゲル等を流体として用いて、流体制御装置を実施することもできる。
【０１０２】
また、前述した実施形態では、弁部として、バルブフィルムを有する積層構造のバルブを用いたが、これとは異なる弁構造を用いて、流体制御装置を実施することもできる。弁部は、ポンプの動作状態にかかわらず常に流体の流れる方向を規制する逆止弁構造であってもよく、ポンプが駆動を停止すると弁機能も停止するような弁構造であってもよい。例えば、ポンプ室に通じる流路の一部で、アクチュエータの振動に伴って流路面積が増減するような弁構造を用いることもできる。
【０１０３】
また、前述した実施形態ではアクチュエータを圧電駆動したが、他の駆動方法、例えば、電磁駆動等によってアクチュエータを動作させて、流体制御装置を実施することもできる。また、ポンプ室の形状やポンプ室に通じる流路の形状などを変更して、流体制御装置を実施することもできる。
【０１０４】
また、前述した実施形態では、圧電材料にチタン酸ジルコン酸鉛系セラミックスを用いたが、他の圧電材料、例えば、ニオブ酸カリウムナトリウム系やアルカリニオブ酸系セラミックス等の非鉛系圧電体セラミックスを圧電材料に用いて、流体制御装置を実施することもできる。
【０１０５】
また、前述した実施形態では、振動板の片面に圧電素子を設けたユニモルフ型のアクチュエータを使用したが、他のアクチュエータ、例えば振動板の両面に圧電素子を設けたバイモルフ型のアクチュエータを用いて、流体制御装置を実施することもできる。
【０１０６】
また、前述した実施形態では、積層モジュールを構成する各部材として外形および内形が円状のものを使用したが、他の形状、例えば楕円形や多角形などの外形や内形を有する部材を用いて、流体制御装置を実施することもできる。
【０１０７】
最後に、前述した実施形態の説明は、すべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、前述した実施形態ではなく、特許請求の範囲によって示される。さらに、本発明の範囲には、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【符号の説明】
【０１０８】
Ｂ…取付面
１，１Ａ，１Ｂ…流体制御装置
１Ｃ…減圧装置
１Ｄ…加圧装置
２…制御部
３…積層モジュール
９Ｃ，９Ｄ…圧力容器
１０Ｄ…電磁弁
１１…ポンプ
１２…バルブ
１３…アクチュエータ
２１…ケース
２２…圧力容器
２４…底板側領域
２５…天板側領域
２６…隔壁
２７…突起
２８…溝
２９，３３…ノズル
３１…固定部材
３２…粘着シート
３３…ノズル
３４…パッキン
３６…放熱体
３７…バッテリー
４１…ケース天板
４２…バルブ天板
４３…バルブ側板
４４…バルブフィルム
４５…バルブ底板
４６…ポンプ側板
４７…振動板
４８…圧電素子
４９…ケース側板
５０…ケース底板
５１，５２，５３，５４，５５，５６，５７，５８，６０…開口
５９…内部空間
【図１】
2017061349.tif 000003
【図２】
2017061349.tif 000004
【図３】
2017061349.tif 000005
【図４】
2017061349.tif 000006
【図５】
2017061349.tif 000007
【図６】
2017061349.tif 000008
【図７】
2017061349.tif 000009
【図８】
2017061349.tif 000010
【図９】
2017061349.tif 000011
【図１０】
2017061349.tif 000012
【図１１】
2017061349.tif 000013
【図１２】
2017061349.tif 000014
【図１３】
2017061349.tif 000015
【図１４】
2017061349.tif 000016
【図１５】
2017061349.tif 000017
【図１６】
2017061349.tif 000018
【図１７】
2017061349.tif 000019
【手続補正書】
【提出日】平成30年1月22日(2018.1.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部空間を囲う天板、側板、および、底板を備え、前記内部空間を外部空間に通じさせる流入口および排出口が設けられた、平板状構造のケースと、
前記内部空間を、前記流入口に連通する第１気室と前記排出口に連通する第２気室とに仕切り、前記第１気室と前記第２気室との間で流体の流れの方向を規制する弁部と、前記第１気室と前記第２気室との間に流体の流れを生じさせるアクチュエータと、を備えるポンプと、
前記ケースを固定する固定部材と、を備え、
前記第１気室または前記第２気室の一方が前記ケースの底板側に位置し、他方が前記ケースの天板側に位置し、
前記ケースは、前記天板または前記底板を取付面として前記固定部材に取り付けられている、流体制御装置。
【請求項２】
前記アクチュエータは振動板と該振動板を振動させる圧電素子とを有し、前記振動板の振動により前記第１気室と前記第２気室との間に圧力差を生じさせる、請求項１に記載の流体制御装置。
【請求項３】
前記ポンプは、前記振動板とポンプ側板とバルブ底板によって形成されるポンプ室と、前記バルブ底板とバルブ側板とバルブ天板とによって形成されるバルブ室とを有し、前記バルブ室は前記第１気室と前記第２気室との連通と非連通とを切替え可能なフィルムを備える、請求項２に記載の流体制御装置。
【請求項４】
前記第１気室と前記第２気室とのうち、前記取付面に近い側に位置する一方は、他方よりも、前記弁部の動作中の前記外部空間との圧力差が大きい、請求項１乃至３のいずれかに記載の流体制御装置。
【請求項５】
前記第１気室と前記第２気室とのうち、前記取付面に近い側に位置する一方は、他方よりも、前記弁部の動作中の前記外部空間との圧力差が小さい、請求項１乃至３のいずれかに記載の流体制御装置。
【請求項６】
前記内部空間を圧力容器に通じさせるノズルを備え、該ノズルは、前記取付面から前記固定部材を通るように突出している、請求項１乃至５のいずれかに記載の流体制御装置。
【請求項７】
前記内部空間を圧力容器に通じさせるノズルを備え、該ノズルは、前記側板に設けられている、請求項１乃至５のいずれかに記載の流体制御装置。
【請求項８】
前記弁部を間欠的に動作させる制御部を更に備える、
請求項１乃至７のいずれかに記載の流体制御装置。
【請求項９】
前記排出口または前記流入口を除く、前記ケースの前記天板の全体が前記固定部材に取り付けられている、
請求項１乃至８のいずれかに記載の流体制御装置。
【請求項１０】
前記排出口または前記流入口を除く、前記ケースの前記底板の全体が前記固定部材に取り付けられている、
請求項１乃至８のいずれかに記載の流体制御装置。
【請求項１１】
請求項１乃至１０のいずれかに記載の流体制御装置と、
前記第１気室と前記第２気室とのうち、前記外部空間よりも減圧される領域に接続した圧力容器と、を備える、
減圧装置。
【請求項１２】
請求項１乃至１０のいずれかに記載の流体制御装置と、
前記第１気室と前記第２気室とのうち、前記外部空間よりも加圧される領域に接続した圧力容器と、を備える、
加圧装置。
【請求項１３】
請求項４に記載の流体制御装置と、
前記第１気室と前記第２気室とのうち、前記外部空間よりも減圧される領域に接続した圧力容器と、を備え、
前記固定部材は前記圧力容器であり、
前記取付面は、前記第１気室と前記第２気室とのうち、前記外部空間との圧力差が大きい側の面である、
減圧装置。
【請求項１４】
請求項４に記載の流体制御装置と、
前記第１気室と前記第２気室とのうち、前記外部空間よりも加圧される領域に接続した圧力容器と、を備え、
前記固定部材は前記圧力容器であり、
前記取付面は、前記第１気室と前記第２気室とのうち、前記外部空間との圧力差が大きい側の面である、
加圧装置。
【国際調査報告】
2017061349.tif 000020
2017061349.tif 000021
2017061349.tif 000022
2017061349.tif 000023