(57)【要約】  水晶より電気機械結合係数が大きく、より良好な周波数温度特性を有する圧電結晶による振動子を提供するために、振動片（１０１）をＣａ3Ｔａ（Ｇａ1-xＡｌx）3Ｓｉ2Ｏ14単結晶（０＜ｘ≦１）から構成する。単結晶は、Ｘ軸を回転軸としてＸＺ平面からの回転角をθとしたとき、１８ｘ＋１７．５≦θ≦２４ｘ＋２４．５とされている。また、振動片（１０１）をＣａ3Ｎｂ（Ｇａ1-xＡｌx）3Ｓｉ2Ｏ14単結晶（０＜ｘ≦１）から構成する。この構成における単結晶は、Ｘ軸を回転軸としてＸＺ平面からの回転角をθとしたとき、１８ｘ＋１７．５≦θ≦２４ｘ＋２４．５とされている。
2017078135.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｃａ3Ｔａ（Ｇａ1-xＡｌx）3Ｓｉ2Ｏ14単結晶（０＜ｘ≦１）からなる振動片を少なくとも１枚備え、
前記単結晶は、Ｘ軸を回転軸としてＸＺ平面からの回転角をθとしたとき、１８ｘ＋１７．５≦θ≦２４ｘ＋２４．５とされている
ことを特徴とする圧電振動子。
【請求項２】
請求項１記載の圧電振動子において、
２０ｘ＋２０．１６≦θ≦２１ｘ＋２２．０８３とされていることを特徴とする圧電振動子。
【請求項３】
Ｃａ3Ｎｂ（Ｇａ1-xＡｌx）3Ｓｉ2Ｏ14単結晶（０＜ｘ≦１）からなる振動片を少なくとも１枚備え、
前記単結晶は、Ｘ軸を回転軸としてＸＺ平面からの回転角をθとしたとき、２５ｘ＋２３．０８３≦θ≦３２ｘ＋２６．１６７とされている
ことを特徴とする圧電振動子。
【請求項４】
請求項３記載の圧電振動子において、
２７．６ｘ＋２４．３６７≦θ≦２７．８ｘ＋２５．７８３とされていることを特徴とする圧電振動子。
【請求項５】
Ｃａ3（Ｔａ1-yＮｂy）（Ｇａ1-xＡｌx）3Ｓｉ2Ｏ14単結晶（０＜ｘ≦１、０≦ｙ≦１）からなる振動片を少なくとも１枚備え、
前記単結晶は、Ｘ軸を回転軸としてＸＺ平面からの回転角をθとしたとき、｛１８＋（２５−１８）ｙ｝ｘ＋１７．５＋（２３．０８３−１７．５）ｙ≦θ≦｛２４＋（３２−２４）ｙ｝ｘ＋２４．５＋（２６．１６７−２４．５）ｙとされている
ことを特徴とする圧電振動子。
【請求項６】
請求項５記載の圧電振動子において、
｛２０＋（２７．６−２０）ｙ｝ｘ＋２０．１６＋（２４．３６７−２０．１６）ｙ≦θ≦｛２１＋（２７．８−２１）ｙ｝ｘ＋２２．０８３＋（２５．７８３−２２．０８３）ｙとされていることを特徴とする圧電振動子。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか１項に記載の圧電振動子であって、
前記振動片に設けられた電極と、
前記電極に接続された接続端子と、
前記振動片を収容して不活性ガスを封入する気密容器と
を備えることを特徴とする圧電振動子。
【請求項８】
請求項１〜６のいずれか１項に記載の圧電振動子を用いたセンサであって、
前記振動片に設けられて測定対象の物質が接触する測定領域と、
前記測定領域に対する前記物質の接触による前記振動子の共振周波数の変化により前記測定領域に接触した前記物質の質量を検出する測定手段と
を備えることを特徴とするセンサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、Ｃａ3（Ｔａ1-yＮｂy）（Ｇａ1-xＡｌx）3Ｓｉ2Ｏ14単結晶（０＜ｘ≦１、０≦ｙ≦１）より構成された振動片を用いた圧電振動子およびこの圧電振動子を用いたセンサに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、スマートフォンや高速データ通信の普及により、広域通信網のトラフィックが増大し、新たな広帯域通信方式の技術が盛んに開発されている。この広帯域通信方式においては、広帯域な周波数に対応した圧電デバイス（例えば、圧電振動子、発振器、Voltage Controlled Crystal Oscillator：ＶＣＸＯ、Monolithic Crystal Filter：ＭＣＦ等）がキーデバイスの１つとなる。ＶＣＸＯを例にあげると、一般には、容易に入手できること、周波数温度特性が良いことなどから水晶が用いられている（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特表２００４−５３４２２２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、水晶を用いたＶＣＸＯでは、水晶振動子の電気機械結合係数が０．７％と非常に小さいため、周波数可変幅が小さく、上述したような広帯域化に対応できなくなってきている。このため、周波数温度特性に優れ、かつ、周波数可変幅の広帯域化が可能な圧電結晶による振動子が求められている。ＬｉＴａＯ3圧電単結晶は、電気機械結合係数が大きく広帯域な周波数可変幅を実現できるが、周波数温度特性が１０００ｐｐｍ（−３０℃〜８０℃）と大きいという問題がある。【０００５】
本発明は、以上のような問題点を解消するためになされたものであり、水晶より電気機械結合係数が大きく、より良好な周波数温度特性を有する圧電結晶による振動子を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る圧電振動子は、Ｃａ3Ｔａ（Ｇａ1-xＡｌx）3Ｓｉ2Ｏ14単結晶（０＜ｘ≦１）からなる振動片を少なくとも１枚備え、単結晶は、Ｘ軸を回転軸としてＸＺ平面からの回転角をθとしたとき、１８ｘ＋１７．５≦θ≦２４ｘ＋２４．５とされている。【０００７】
上記圧電振動子において、２０ｘ＋２０．１６≦θ≦２１ｘ＋２２．０８３とされているとよりよい。【０００８】
本発明に係る圧電振動子は、Ｃａ3Ｎｂ（Ｇａ1-xＡｌx）3Ｓｉ2Ｏ14単結晶（０＜ｘ≦１）からなる振動片を少なくとも１枚備え、単結晶は、Ｘ軸を回転軸としてＸＺ平面からの回転角をθとしたとき、２５ｘ＋２３．０８３≦θ≦３２ｘ＋２６．１６７とされている。【０００９】
上記圧電振動子において、２７．６ｘ＋２４．３６７≦θ≦２７．８ｘ＋２５．７８３とされているとよりよい。【００１０】
本発明に係る圧電振動子は、Ｃａ3（Tａ1-yＮｂy）（Ｇａ1-xＡｌx）3Ｓｉ2Ｏ14単結晶（０＜ｘ≦１、０≦ｙ≦１）からなる振動片を少なくとも１枚備え、単結晶は、Ｘ軸を回転軸としてＸＺ平面からの回転角をθとしたとき、｛１８＋（２５−１８）ｙ｝ｘ＋１７．５＋（２３．０８３−１７．５）ｙ≦θ≦｛２４＋（３２−２４）ｙ｝ｘ＋２４．５＋（２６．１６７−２４．５）ｙとされている。【００１１】
上記圧電振動子において、｛２０＋（２７．６−２０）ｙ｝ｘ＋２０．１６＋（２４．３６７−２０．１６）ｙ≦θ≦｛２１＋（２７．８−２１）ｙ｝ｘ＋２２．０８３＋（２５．７８３−２２．０８３）ｙとされているとよりよい。【００１２】
上記圧電振動子において、振動片に設けられた電極と、電極に接続された接続端子と、振動片を収容して不活性ガスを封入する気密容器とを備える。【００１３】
本発明に係るセンサは、上記圧電振動子を用い、振動片に設けられて測定対象の物質が接触する測定領域と、測定領域に対する物質の接触による振動子の共振周波数の変化により測定領域に接触した物質の質量を検出する測定手段とを備える。
【発明の効果】
【００１４】
以上説明したことにより、本発明によれば、水晶より電気機械結合係数が大きく、より良好な周波数温度特性を有する圧電結晶による振動子が提供でき、この振動子を用いた特定のよいセンサが構成できるという優れた効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】図１は、本発明の実施の形態における圧電振動子の構成を示す斜視図である。
【図２】図２は、本発明の実施の形態における圧電振動子の構成を示す断面図である。
【図３Ａ】図３Ａは、実施の形態１における圧電振動子の周波数温度特性のカット角θ依存性を示す特性図である。
【図３Ｂ】図３Ｂは、実施の形態１における圧電振動子の電気機械結合係数のカット角θ依存性を示す特性図である。
【図４】図４は、図３Ａに示す周波数温度変化量について、１０００ｐｐｍ以下となる領域を拡大した結果を示す特性図である。
【図５】図５は、実施の形態１における圧電振動子の最適カット角とＡｌ置換量との関係を示す特性図である。
【図６Ａ】図６Ａは、実施の形態２における圧電振動子の周波数温度特性のカット角θ依存性を示す特性図である。
【図６Ｂ】図６Ｂは、実施の形態２における圧電振動子の電気機械結合係数のカット角θ依存性を示す特性図である。
【図７】図７は、図６Ａに示す周波数温度変化量について、１０００ｐｐｍ以下となる領域を拡大した結果を示す特性図である。
【図８】図８は、実施の形態２における圧電振動子の最適カット角とＡｌ置換量との関係を示す特性図である。
【図９】図９は、実施の形態４におけるセンサを用い、測定領域に純水を接触させた状態で、圧電振動子における等価直列共振抵抗の変化を測定した結果を示す特性図である。
【図１０】図１０は、水晶振動子による従来のセンサを用い、測定領域に純水を接触させた状態で、水晶振動子における等価直列共振抵抗の変化を測定した結果を示す特性図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の実施の形態について図を参照して説明する。
【００１７】
［実施の形態１］
はじめに、本発明の実施の形態１について説明する。図１は、本発明の実施の形態１における圧電振動子の構成を示す斜視図である。この圧電振動子は、Ｃａ3Ｔａ（Ｇａ1-xＡｌx）3Ｓｉ2Ｏ14単結晶（０＜ｘ≦１）から構成された振動片１０１を備える。振動片１０１は、例えば板状とされている。また、単結晶は、Ｘ軸を回転軸としてＸＺ平面からの回転角（カット角）をθ（度）としたとき、１８ｘ＋１７．５≦θ≦２４ｘ＋２４．５とされている。θは、ＩＥＣ（International Electrotechnical Commission）の定義による。この定義において、例えば水晶ＡＴカットの角度θは、３５°１５’となる。なお、ＸＹ面がＣａ3Ｔａ（Ｇａ1-xＡｌx）3Ｓｉ2Ｏ14単結晶（０＜ｘ≦１）の（００１）面、ＹＺ面がＣａ3Ｔａ（Ｇａ1-xＡｌx）3Ｓｉ2Ｏ14単結晶（０＜ｘ≦１）の（１１０）面、ＸＺ面がＣａ3Ｔａ（Ｇａ1-xＡｌx）3Ｓｉ2Ｏ14単結晶（０＜ｘ≦１）の（１００）面である。
【００１８】
振動片１０１は、例えばチョクラルスキー法により得られたＣａ3Ｔａ（Ｇａ1-xＡｌx）3Ｓｉ2Ｏ14単結晶（０＜ｘ≦１）のインゴットより、ワイヤーソーで切り出して両面を研磨することにより得られる。
【００１９】
例えば、図２に示すように、各電極を形成して所定の信号を印加することで、圧電振動子を動作（発振）させることができる。板状の振動片１０１の主表面には、電極１０２を形成し、振動片１０１の裏面には、電極１０３を形成する。これら電極１０２、電極１０３は、振動片１０１の主表面および裏面に、所定の金属材料を蒸着して金属膜を形成し、形成した金属膜を公知のフォトリソグラフィ技術でパターン加工することで形成できる。金属膜は、例えば、金層およびクロム層の多層構造とすればよい。また、電極１０２、電極１０３の各々に接続する接続端子（不図示）に、信号（励振信号）を印加する回路を接続して用いればよい。
【００２０】
また、上述したように各電極を設けた振動片を、窒素やアルゴンなどの不活性ガスが封入された気密容器に収容して用いればよい。例えば、ＪＩＳ規格で３２２５サイズ以下のチップ、特に２５２０サイズ以下のチップとする場合、従来の水晶振動子では、直列抵抗値の関係で真空封止することが必要とされていたが、本発明の振動子によれば、不活性ガスの雰囲気としても同様の性能が得られる。
【００２１】
次に、実施の形態１におけるＣａ3Ｔａ（Ｇａ1-xＡｌx）3Ｓｉ2Ｏ14単結晶について、Ａｌ置換量（組成比）ｘ（ＧａをＡｌで置換する割合）を０，２５，５０％としたとき、周波数温度特性のカット角θ依存性、および電気機械結合係数のカット角θ依存性を測定した結果について説明する。図３Ａは、周波数温度特性のカット角θ依存性を示す特性図である。また、図３Ｂは、電気機械結合係数のカット角θ依存性を示す特性図である。各Ａｌ置換量の結晶についてカット角θを３°ステップでカットし、得られた振動片を用いて振動子を作製した。共振周波数は２４ＭＨｚになるよう振動片厚みを調整した。
【００２２】
図３Ａに示す周波数温度特性のカット角θ依存性においては、−３０℃〜８０℃の範囲で、共振周波数の温度特性を測定し、周波数変化量を２５℃における共振周波数で規格化しｐｐｍ表示した。図３Ｂに示す電気機械結合係数のカット角θ依存性においては、共振周波数と反共振周波数を用いて、計算を行いパーセント表示とした。
【００２３】
図３Ａに示すように、カット角を変化させると、周波数温度特性はあるカット角で周波数変化量の最小値を持つような変化を示す。また、Ａｌ置換量を変化させると、周波数変化量が小さくなるカット角が変化することがわかる。
【００２４】
一方、図３Ｂに示すように、電気機械結合係数は、カット角を変化させると概ね上に凸な変化を示し、極大となるカット角が存在する。また、周波数変化と同様に、Ａｌ置換量を変えると、極大となるカット角が変化する。一般的に良く使われるＡＴカット水晶振動子の電気機械結合係数が０．７％であるのに対し、本発明による圧電振動子の電気機械結合係数は、２％以上となり、周波数可変幅の広帯域化に貢献することがわかる。
【００２５】
図３Ａに示す周波数温度変化量について、１０００ｐｐｍ以下となる領域を拡大した結果を図４に示す。図４の結果を用い、横軸にＡｌ置換量をとり、周波数温度変化が極小となるカット角と、１０００ｐｐｍ以下及び２００ｐｐｍ以下となるカット角を縦軸にとした状態を図５に示す。各プロットについて、線形近似を行うと以下に示す結果となる。
【００２６】
Ａｌ置換量（組成比）ｘに応じて、カット角θの範囲を「１８ｘ＋１７．５≦θ≦２４ｘ＋２４．５」とすると、周波数温度変化量を１０００ｐｐｍ以下とすることができ好ましい。これは、図５に示す２つの太い破線の範囲内である。さらに、図５に示す２つの細い点線の範囲である「２０ｘ＋２０．１６≦θ≦２１ｘ＋２２．０８３」とすると周波数温度変化量を２００ｐｐｍ以下にすることができ、より好ましい。
【００２７】
次に、発振起動時間について説明する。Ａｌ置換量（組成比）ｘを５％としカット角を２１．１°とした振動片１０１を用いた実施の形態１の圧電振動子と、ＡＴカットの水晶による振動片を用いた圧電振動子との発振起動時間を比較した。両者共に、共振周波数が８ＭＨｚとなる振動片厚みとした。２つの電極に所定の信号電圧を印加して共振周波数８ＭＨｚの発信状態とさせ、信号電圧印加から発信が安定するまでの時間を測定した。測定の結果を以下の表１に示す。なお、表１には、共振抵抗の値についても示している。
【００２８】
【表１】
2017078135.tif 000003
【００２９】
水晶振動子の共振抵抗は１７０Ω以上と高く、発振起動時間が１５００μｓｅｃと起動時間が非常に長い。一方、実施の形態１では、共振抵抗が３０Ω以下と低く、発振起動時間が１３０μｓｅｃと水晶の１／１０以下の起動時間となっている。近年の電子デバイスにおいては、消費電力削減の観点から、必要時のみ起動し、これ以外の時間は最小限の動作しか行わないスリープモードが多用されている。
【００３０】
スリープモードからの復帰時間、すなわち発振回路の起動時間は、デバイスとして本来の動作を行うための準備時間であり、この起動時間を短くすることが、消費電力の低減化に重要な要件となる。従来の振動子は、この起動時間が長く、無駄な電力を消費していた。本発明によれば、起動時間を大幅に短縮できるため、機器の低消費電力化に貢献する効果がある。
【００３１】
［実施の形態２］
次に、本発明の実施の形態２について説明する。実施の形態２においても、前述した実施の形態１と同様に図１の斜視図に示す構成となり、実施の形態２においては、Ｃａ3Ｎｂ（Ｇａ1-xＡｌx）3Ｓｉ2Ｏ14単結晶（０＜ｘ≦１）から構成された振動片１０１を備える。振動片１０１は、例えば板状とされている。また、単結晶は、Ｘ軸を回転軸としてＸＺ平面からの回転角（カット角）をθとしたとき、２５ｘ＋２３．０８３≦θ≦３２ｘ＋２６．１６７とされている。θは、ＩＥＣ（International Electrotechnical Commission）の定義による。この定義において、例えば水晶ＡＴカットの角度θは、３５°１５’となる。なお、ＸＹ面がＣａ3Ｎｂ（Ｇａ1-xＡｌx）3Ｓｉ2Ｏ14単結晶（０＜ｘ≦１）の（００１）面、ＹＺ面がＣａ3Ｎｂ（Ｇａ1-xＡｌx）3Ｓｉ2Ｏ14単結晶（０＜ｘ≦１）の（１１０）面、ＸＺ面がＣａ3Ｎｂ（Ｇａ1-xＡｌx）3Ｓｉ2Ｏ14単結晶（０＜ｘ≦１）の（１００）面である。
【００３２】
実施の形態２における振動片１０１においても、例えばチョクラルスキー法により得られたＣａ3Ｎｂ（Ｇａ1-xＡｌx）3Ｓｉ2Ｏ14単結晶（０＜ｘ≦１）のインゴットより、ワイヤーソーで切り出して両面を研磨することにより得られる。
【００３３】
また、図２に示すように、各電極を形成して所定の信号を印加することで、圧電振動子を動作（発振）させることができる。板状の振動片１０１の主表面には、電極１０２を形成し、振動片１０１の裏面には、電極１０３を形成する。これら電極１０２、電極１０３は、振動片１０１の主表面および裏面に、所定の金属材料を蒸着して金属膜を形成し、形成した金属膜を公知のフォトリソグラフィ技術でパターン加工することで形成できる。金属膜は、例えば、金層およびクロム層の多層構造とすればよい。また、電極１０２、電極１０３の各々に接続する接続端子（不図示）に、信号（励振信号）を印加する回路を接続して用いればよい。
【００３４】
次に、実施の形態２におけるＣａ3Ｎｂ（Ｇａ1-xＡｌx）3Ｓｉ2Ｏ14単結晶について、Ａｌ置換量ｘ（ＧａをＡｌで置換する割合）を０，２５，５０％としたとき、周波数温度特性のカット角θ依存性、および電気機械結合係数のカット角θ依存性を測定した結果について説明する。図６Ａは、周波数温度特性のカット角θ依存性を示す特性図である。また、図６Ｂは、電気機械結合係数のカット角θ依存性を示す特性図である。各Ａｌ置換量の結晶についてカット角θを３°ステップでカットし、得られた振動片を用いて振動子を作製した。共振周波数は２４ＭＨｚになるよう振動片厚みを調整した。
【００３５】
図６Ａに示す周波数温度特性のカット角θ依存性においては、−３０℃〜８０℃の範囲で、共振周波数の温度特性を測定し、周波数変化量を２５℃における共振周波数で規格化しｐｐｍ表示した。図６Ｂに示す電気機械結合係数のカット角θ依存性においては、共振周波数と反共振周波数を用いて、計算を行いパーセント表示とした。
【００３６】
図６Ａに示すように、カット角を変化させると、周波数温度特性はあるカット角で周波数変化量の最小値を持つような変化を示す。また、Ａｌ置換量を変化させると、周波数変化量が小さくなるカット角が変化することがわかる。
【００３７】
一方、図６Ｂに示すように、電気機械結合係数は、カット角を変化させると概ね上に凸な変化を示し、極大となるカット角が存在する。また、周波数変化と同様に、Ａｌ置換量を変えると、極大となるカット角が変化する。一般的に良く使われるＡＴカット水晶振動子の電気機械結合係数が０．７％であるのに対し、本発明による圧電振動子の電気機械結合係数は、２％以上となり、周波数可変幅の広帯域化に貢献することがわかる。
【００３８】
図６Ａに示す周波数温度変化量について、１０００ｐｐｍ以下となる領域を拡大した結果を図７に示す。図７の結果を用い、横軸にＡｌ置換量をとり、周波数温度変化が極小となるカット角と、１０００ｐｐｍ以下及び２００ｐｐｍ以下となるカット角を縦軸にとした状態を図８に示す。各プロットについて、線形近似を行うと以下に示す結果となる。
【００３９】
Ａｌ置換量（組成比）ｘに応じて、カット角θの範囲を「２５ｘ＋２３．０８３≦θ≦３２ｘ＋２６．１６７」とすると、周波数温度変化量を１０００ｐｐｍ以下とすることができ好ましい。これは、図８に示す２つの太い破線の範囲内である。さらに、図８に示す２つの細い点線の範囲である「２７．６ｘ＋２４．３６７≦θ≦２７．８ｘ＋２５．７８３」とすると周波数温度変化量を２００ｐｐｍ以下にすることができ、より好ましい。
【００４０】
［実施の形態３］
次に、本発明の実施の形態３について説明する。実施の形態３においても、前述した実施の形態１，２と同様に図１の斜視図に示す構成となり、実施の形態３においては、Ｃａ3（Ｔａ1-yＮｂy）（Ｇａ1-xＡｌx）3Ｓｉ2Ｏ14単結晶（０＜ｘ≦１、０≦ｙ≦１）から構成された振動片１０１を備える。振動片１０１は、例えば板状とされている。また、単結晶は、Ｘ軸を回転軸としてＸＺ平面からの回転角（カット角）をθとしたとき、｛１８＋（２５−１８）ｙ｝ｘ＋１７．５＋（２３．０８３−１７．５）ｙ≦θ≦｛２４＋（３２−２４）ｙ｝ｘ＋２４．５＋（２６．１６７−２４．５）ｙとされている。θは、ＩＥＣ（International Electrotechnical Commission）の定義による。この定義において、例えば水晶ＡＴカットの角度θは、３５°１５’となる。なお、ＸＹ面がＣａ3（Ｔａ1-yＮｂy）（Ｇａ1-xＡｌx）3Ｓｉ2Ｏ14単結晶（０＜ｘ≦１、０≦ｙ≦１）の（００１）面、ＹＺ面がＣａ3（Ｔａ1-yＮｂy）（Ｇａ1-xＡｌx）3Ｓｉ2Ｏ14単結晶（０＜ｘ≦１、０≦ｙ≦１）の（１１０）面、ＸＺ面がＣａ3（Ｔａ1-yＮｂy）（Ｇａ1-xＡｌx）3Ｓｉ2Ｏ14単結晶（０＜ｘ≦１、０≦ｙ≦１）の（１００）面である。
【００４１】
実施の形態３における振動片１０１においても、例えばチョクラルスキー法により得られたＣａ3（Ｔａ1-yＮｂy）（Ｇａ1-xＡｌx）3Ｓｉ2Ｏ14単結晶（０＜ｘ≦１、０≦ｙ≦１）のインゴットより、ワイヤーソーで切り出して両面を研磨することにより得られる。
【００４２】
また、図２に示すように、各電極を形成して所定の信号を印加することで、圧電振動子を動作（発振）させることができる。板状の振動片１０１の主表面には、電極１０２を形成し、振動片１０１の裏面には、電極１０３を形成する。これら電極１０２、電極１０３は、振動片１０１の主表面および裏面に、所定の金属材料を蒸着して金属膜を形成し、形成した金属膜を公知のフォトリソグラフィ技術でパターン加工することで形成できる。金属膜は、例えば、金層およびクロム層の多層構造とすればよい。また、電極１０２、電極１０３の各々に接続する接続端子（不図示）に、信号（励振信号）を印加する回路を接続して用いればよい。
【００４３】
次に、実施の形態３におけるＣａ3（Ｔａ1-yＮｂy）（Ｇａ1-xＡｌx）3Ｓｉ2Ｏ14単結晶においては、前述した実施の形態１，２と同様の測定の結果、Ａｌの組成比ｘおよびＮｂの組成比ｙに応じ、カット角θの範囲を「｛１８＋（２５−１８）ｙ｝ｘ＋１７．５＋（２３．０８３−１７．５）ｙ≦θ≦｛２４＋（３２−２４）ｙ｝ｘ＋２４．５＋（２６．１６７−２４．５）ｙ」とすると、周波数温度変化量を１０００ｐｐｍ以下とすることができ好ましい。さらに、「｛２０＋（２７．６−２０）ｙ｝ｘ＋２０．１６＋（２４．３６７−２０．１６）ｙ≦θ≦｛２１＋（２７．８−２１）ｙ｝ｘ＋２２．０８３＋（２５．７８３−２２．０８３）ｙ」とすると周波数温度変化量を２００ｐｐｍ以下にすることができ、より好ましい。
【００４４】
［実施の形態４］
次に、本発明の圧電振動子を用いたセンサについて説明する。このセンサは、振動片に設けられて測定対象の物質が接触する測定領域と、測定領域に対する物質の接触による振動子の共振周波数の変化により測定領域に接触した物質の質量を検出する測定手段とを備える。振動片は、例えば、Ｃａ3Ｔａ（Ｇａ1-xＡｌx）3Ｓｉ2Ｏ14（Ａｌ置換量５％）の単結晶から構成すればよい。カット角（回転角）θを２１．１°とし、周波数を１０ＭＨｚ近傍と設定すればよい。θは、ＩＥＣ（International Electrotechnical Commission）の定義による。この定義において、例えば水晶ＡＴカットの角度θは、３５°１５’となる。
【００４５】
このセンサを用い、測定領域に所定の溶液（純水）を接触させた状態で、圧電振動子における等価直列共振抵抗の変化を測定した。この結果を図９に示す。また、振動片を水晶から構成した同様の圧電振動子（水晶振動子）を用いたセンサについても、同様に測定領域に所定の溶液を接触させた状態で、等価直列共振抵抗の変化を測定した。この結果を図１０に示す。
【００４６】
本発明の圧電振動子によるセンサでは、大気中の等価直列共振抵抗が２０Ω程度と低く、純水を付加しても９０Ωとほとんど劣化していない。これに対し、水晶振動子によるセンサでは、大気中の等価直列共振抵抗はおよそ９０Ωとなり、純水を付加すると２ｋΩまで劣化した。
【００４７】
このように本発明の圧電振動子を用いたセンサによれば、従来の水晶振動子を用いたセンサに比較し、液体中における共振特性の劣化（等価直列共振抵抗の劣化）が少なく、本発明の圧電振動子は、液体を対象としたいわゆるＱＣＭとして好適である。なお、Ｃａの一部をＳｒに置き換えることも可能であり、この構成としても同様である。
【００４８】
なお、本発明は以上に説明した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想内で、当分野において通常の知識を有する者により、多くの変形および組み合わせが実施可能であることは明白である。
【符号の説明】
【００４９】
１０１…振動片、１０２，１０３…電極。
【図１】
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【図２】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図４】
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【図５】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【国際調査報告】
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