(57)【要約】  ゲートバルブによる有機機能層への影響を抑制することが可能な有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法を提供する。  有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法は、有機機能層を成膜するチャンバーに基材（２）を搬送する工程と、チャンバーにおける基材（２）の出入口に設けられた弁座（３１Ａ）及び弁体（３２Ａ）を有するゲートバルブ（３０Ａ）の弁体（３２Ａ）を、弁座（３１Ａ）に着座させることによって、弁体（３２Ａ）と弁座（３１Ａ）とで基材（２）を挟み込んだ状態で閉弁する工程と、基材（２）上に有機機能層を成膜する工程と、弁体（３２Ａ）を弁座（３１Ａ）から離座させて開弁する際に、弁体（３２Ａ）のうち着座状態で基材（２）の他面と当接する部位を弁体（３２Ａ）の離座方向とは異なる方向にも移動させながら開弁する工程と、チャンバーから基材（２）を搬送する工程と、を含む。
2016204201.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
可撓性を有する帯状の基材が搬送され少なくとも有機機能層が成膜される有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法であって、
前記有機機能層を成膜するチャンバーにおける前記基材の出入口に設けられた前記基材の一面側に設けられる弁座と、前記基材の他面側に設けられる弁体とを有するゲートバルブが開弁された状態で、前記チャンバー内の成膜位置に前記基材の成膜領域を搬送する工程と、
前記基材の前記成膜領域が前記チャンバー内の前記成膜位置に搬送された状態において、前記弁体を前記弁座に着座させることによって、当該弁体と前記弁座とで前記基材を挟み込んだ状態として前記ゲートバルブを閉弁する工程と、
前記ゲートバルブが閉弁された状態で、前記チャンバー内の前記成膜位置で前記基材の前記成膜領域上に前記有機機能層を成膜する工程と、
前記弁体のうち着座状態で前記基材の他面と当接する部位を前記弁体の離座方向とは異なる方向にも移動させながら前記弁体を前記弁座から離座させることによって前記ゲートバルブを開弁する工程と、
前記ゲートバルブが開弁された状態で、前記有機機能層が成膜された前記基材の前記成膜領域を前記チャンバー内の前記成膜位置から搬送する工程と、
を含むことを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
【請求項２】
前記有機機能層を成膜する工程において、それぞれ材料が異なる３層以上の前記有機機能層を成膜する
ことを特徴とする請求項１に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
【請求項３】
前記有機機能層を成膜する工程は、発光層を成膜する工程を含む
ことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
【請求項４】
前記弁体は、円柱形状を呈しており、
前記弁体を前記弁座から離座させる際に、前記弁体を、回転しつつ前記弁座から離座する方向に移動させる
ことを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
【請求項５】
前記弁体は、弁体基部と、前記弁体基部に対して相対移動可能な可動部と、を有し、
前記弁体を前記弁座に着座させた状態において、前記弁体基部及び前記可動部を前記基材に当接し、
前記弁体を前記弁座から離座する際に、前記弁体基部を前記弁座から離間する方向に移動させつつ、前記可動部を前記弁体基部から離間する方向に相対移動させる
ことを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
【請求項６】
前記弁体を前記弁座から離座させる際に、前記弁体を、前記弁座から離座する方向に移動させつつ、前記基材の他面に沿う方向にも移動させる
ことを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法に関する。【０００２】
従来、有機エレクトロルミネッセンス素子を製造するに際し、真空成膜で各有機機能層を形成することが行われている。特許文献１には、真空成膜を行うチャンバーの出入口にゲートバルブを設け、かかるゲートバルブによってチャンバー内の真空度を維持する有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１４−１５４３１５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来のゲートバルブでは、弁体が樹脂製の可撓性部材であるため、弁体が基材を介して弁座に着座して弁体及び弁座で基材を挟み込む閉弁状態から、弁体が弁座から離座した開弁状態となる際に、基材が弁体に密着したままとなって基材が弁体に引っ張られ、当該基材に過度の張力がかかるせいか、成膜した発光層等の有機機能層に影響が出てしまい、発光面が均一に発光しない発光ムラが発生することがあった。【０００５】
本発明は、前記事情に鑑みて創案されたものであり、ゲートバルブによる有機機能層への影響を抑制することが可能な有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記課題を解決するための本発明は、以下の構成を備える。
１．可撓性を有する帯状の基材が搬送され少なくとも有機機能層が成膜される有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法であって、前記有機機能層を成膜するチャンバーにおける前記基材の出入口に設けられた前記基材の一面側に設けられる弁座と、前記基材の他面側に設けられる弁体とを有するゲートバルブが開弁された状態で、前記チャンバー内の成膜位置に前記基材の成膜領域を搬送する工程と、前記基材の前記成膜領域が前記チャンバー内の前記成膜位置に搬送された状態において、前記弁体を前記弁座に着座させることによって、当該弁体と前記弁座とで前記基材を挟み込んだ状態として前記ゲートバルブを閉弁する工程と、前記ゲートバルブが閉弁された状態で、前記チャンバー内の前記成膜位置で前記基材の前記成膜領域上に前記有機機能層を成膜する工程と、前記弁体のうち着座状態で前記基材の他面と当接する部位を前記弁体の離座方向とは異なる方向にも移動させながら前記弁体を前記弁座から離座させることによって前記ゲートバルブを開弁する工程と、前記ゲートバルブが開弁された状態で、前記有機機能層が成膜された前記基材の前記成膜領域を前記チャンバー内の前記成膜位置から搬送する工程と、を含むことを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
２．前記有機機能層を成膜する工程において、それぞれ材料が異なる３層以上の前記有機機能層を成膜することを特徴とする前記１に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
３．前記有機機能層を成膜する工程は、発光層を成膜する工程を含むことを特徴とする前記１又は２に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
４．前記弁体は、円柱形状を呈しており、前記弁体を前記弁座から離座させる際に、前記弁体を、回転しつつ前記弁座から離座する方向に移動させることを特徴とする前記１から３のいずれかに記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
５．前記弁体は、弁体基部と、前記弁体基部に対して相対移動可能な可動部と、を有し、前記弁体を前記弁座に着座させた状態において、前記弁体基部及び前記可動部を前記基材に当接し、前記弁体を前記弁座から離座する際に、前記弁体基部を前記弁座から離間する方向に移動させつつ、前記可動部を前記弁体基部から離間する方向に相対移動させることを特徴とする前記１から３のいずれかに記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
６．前記弁体を前記弁座から離座させる際に、前記弁体を、前記弁座から離座する方向に移動させつつ、前記基材の他面に沿う方向にも移動させることを特徴とする前記１から３のいずれかに記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によると、ゲートバルブによる有機機能層への影響を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の実施形態に係る有機エレクトロルミネッセンス素子製造装置を示す模式図である。
【図２】本発明の実施形態に係る有機エレクトロルミネッセンス素子製造装置を示すブロック図である。
【図３】本発明の第一の実施形態に係るゲートバルブを示す模式図であり、（ａ）は開弁状態を示す図、（ｂ）は閉弁状態を示す図、（ｃ）は開弁動作を示す図である。
【図４】本発明の第二の実施形態に係るゲートバルブを示す模式図であり、（ａ）は開弁状態を示す図、（ｂ）は閉弁状態を示す図、（ｃ）は開弁動作を示す図である。
【図５】本発明の第三の実施形態に係るゲートバルブを示す模式図であり、（ａ）は開弁状態を示す図、（ｂ）は閉弁状態を示す図、（ｃ）は開弁動作を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
本発明の実施形態について、適宜図面を参照しながら詳細に説明する。以下の説明において、「上流／下流」といった方向は、有機エレクトロルミネッセンス素子製造装置によって移動する基材を基準とする。すなわち、基材が進行する方向が「下流側」である。
【００１０】
まず、本発明の実施形態に係るゲートバルブを有する有機エレクトロルミネッセンス素子製造装置の構成について説明する。図１は、本発明の実施形態に係る有機エレクトロルミネッセンス素子製造装置を示す模式図である。図２は、本発明の実施形態に係る有機エレクトロルミネッセンス素子製造装置を示すブロック図である。
【００１１】
＜帯状の基材＞
本発明の可撓性を有する帯状の基材は、従来から有機エレクトロルミネッセンス素子で用いられる可撓性基材であれば、特に限定されない。可撓性を有する基材としては、例えば、透明な樹脂フィルム（プラスチックフィルム）が好ましい。透明な樹脂フィルムとしては、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、２，６−ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）等のポリエステルフィルム、ポリカーボネート、ポリエーテルエーテルケトン、ポリサルフォン、ポリエーテルサルフォン（ＰＥＳ）、テトラフルオロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体、ポリカーボネート、ポリウレタン、ポリイミド、ポリエーテルイミド、ポリプロピレン等のプラスチックフィルム等が挙げられる。
【００１２】
＜有機機能層＞
本発明の有機機能層は、従来から有機エレクトロルミネッセンス素子で用いられる有機機能層であれば、特に限定されない。有機機能層としては、例えば、正孔輸送層、電子輸送層、発光層等が挙げられる。特に、本発明は、発光層の成膜に適用されることが好ましい。本発明の方法によって発光層を成膜することによって、製造された有機エレクトロルミネッセンス素子の発光ムラをより好適に低減することができる。
【００１３】
＜有機エレクトロルミネッセンス素子製造装置＞
図１に示すように、本発明の実施形態に係る有機エレクトロルミネッセンス素子製造装置１は、基材２上に有機機能層をパターン成膜することによって有機エレクトロルミネッセンス素子（以下、有機ＥＬ素子ともいう）を製造するための装置である。有機ＥＬ素子製造装置１は、有機機能層形成部１０Ｘ，１０Ｙ，１０Ｚと、蛇行補正部２０と、ゲートバルブ３０Ｘ，３０Ｙと、を備える。さらに、有機ＥＬ素子製造装置１は、図２に示すように、有機機能層形成部１０Ｘ，１０Ｙ，１０Ｚごとに設けられたローラー駆動部４１、マスク駆動部４２及びタッチプレート駆動部４３と、蛇行補正部２０に設けられたローラー駆動部４４ａ，４４ｂと、ゲートバルブ３０Ｘ，３０Ｙごとに設けられた弁体駆動部４５と、これら各駆動部を制御する制御部５０と、を備える。
【００１４】
なお、有機ＥＬ素子製造装置１は、３以上の有機機能層形成部を備えてもよく、パターン成膜される有機機能層以外の機能層を形成する形成部を備えていてもよい。また、基材２の成膜領域に有機機能層を形成する手法は、後記するものに限定されない。
【００１５】
＜有機機能層形成部＞
図１に示すように、有機機能層形成部１０Ｘ，１０Ｙ，１０Ｚは、可撓性を有する帯状の基材２の成膜領域に有機機能層をパターン成膜する。これら有機機能層形成部１０Ｘ，１０Ｙ，１０Ｚは、上流側から有機機能層形成部１０Ｘ、有機機能層形成部１０Ｙ、有機機能層形成部１０Ｚの順に設けられている。
有機機能層形成部１０Ｘ，１０Ｙ，１０Ｚは、それぞれ、チャンバー１１と、駆動ローラー１２ａと、タッチローラー１２ｂと、撮影部１６ａ，１６ｂと、材料出射部１７と、マスク１８と、を備える。
なお、有機機能層形成部１０Ｘ，１０Ｙ，１０Ｚのチャンバー１１の内部は、図示しない真空吸引部によって高真空に維持可能である。また、有機機能層形成部１０Ｘのチャンバー１１の下流端部と有機機能層形成部１０Ｙのチャンバー１１の上流端部とは、基材２を搬送可能となるように連通しており、有機機能層形成部１０Ｙのチャンバー１１の下流端部と有機機能層形成部１０Ｚのチャンバー１１の上流端部とは、基材２を搬送可能となるように連通している。
【００１６】
駆動ローラー１２ａは、チャンバー１１内に設けられている。タッチローラー１２ｂは、チャンバー１１内の駆動ローラー１２と対向する位置に設けられた従動ローラーである。基材２は、駆動ローラー１２ａとタッチローラー１２ｂとによって挟持されている。
図２に示す制御部５０は、ローラー駆動部４１を制御することによって駆動ローラー１２ａを回転させ、基材２を上流側から下流側へと搬送する。
【００１７】
図１に示すように、撮影部１６ａ，１６ｂは、チャンバー１１内の駆動ローラー１２ａよりも下流側に設けられたカメラであり、基材２上に設けられたマーカー（不図示）及びマスク１８上に設けられたマーカー（不図示）を撮影し、撮影結果を制御部５０へ出力する。
【００１８】
材料出射部１７は、チャンバー１１内の駆動ローラー１２ａよりも下流側であって、基材２の下側に設けられている。
図２に示す制御部５０は、材料出射部１７を制御することによって、有機機能層の材料（例えば、蒸発した材料）をマスク１８を介して基材２の下面の成膜領域へ出射する。
本実施形態において、有機機能層形成部１０Ｘ，１０Ｙ，１０Ｚの材料出射部１７が出射する有機機能層の材料は、それぞれ異なる。
【００１９】
マスク１８は、チャンバー１１内の駆動ローラー１２ａよりも下流側であって、基材２の下側かつ基材２と材料出射部１７との間に設けられている。
図２に示す制御部５０は、マスク駆動部４２を制御することによってマスク１８を移動させる。
【００２０】
タッチプレート１９は、チャンバー１１内の駆動ローラー１２ａよりも下流側であって、基材２を介してマスク１８と対向する位置に設けられている。
図２に示す制御部５０は、タッチプレート駆動部４３を制御することによってタッチプレート１９を移動させる。
【００２１】
＜蛇行補正部＞
図１に示すように、蛇行補正部２０は、基材２の蛇行を補正する。蛇行補正部２０は、有機機能層形成部１０Ｚの下流側に設けられている。
蛇行補正部２０は、チャンバー２１と、従動ローラー２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄと、蛇行補正ローラー２２ａ，２２ｂと、蛇行検出部２３と、を備える。
【００２２】
従動ローラー２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄは、チャンバー２１内に設けられている。従動ローラー２１ａ，２１ｃには、基材２の上面が巻回されており、従動ローラー２１ｂ，２１ｄには、基材２の下面が巻回されている。
【００２３】
蛇行補正ローラー２２ａ，２２ｂは、チャンバー２１内の従動ローラー２１ｂ，２１ｃ間に設けられた従動ローラーである。蛇行補正ローラー２２ａ，２２ｂには、基材２の上面が巻回されている。
【００２４】
蛇行検出部２３は、チャンバー２１内の蛇行補正ローラー２２ａ，２２ｂ間に設けられたキャパシタンスセンサーであり、基材２の位置（詳細には、幅方向の位置）を検出し、検出結果を制御部５０へ出力する。
図２に示す制御部５０は、蛇行検出部２３の検出結果に基づいてローラー駆動部４４ａ，４４ｂを駆動することによって、基材２の搬送方向に対する蛇行補正ローラー２２ａ，２２ｂの軸方向の傾斜を変更し、基材２の蛇行を補正する。
【００２５】
＜ゲートバルブ＞
図１に示すように、ゲートバルブ３０Ｘ，３０Ｙは、隣り合うチャンバー間に設けられており、基材２を搬送可能な開弁状態と、基材２を挟み込んで密封（疑似密封）し、チャンバーの真空状態を維持する閉弁状態と、を切替可能な弁である。ゲートバルブ３０Ｘは、有機機能層形成部１０Ｘのチャンバー１１と当該チャンバー１１よりも上流側のチャンバーとの間に設けられている。すなわち、ゲートバルブ３０Ｘは、有機機能層形成部１０Ｘにおける基材２の入口を密封可能な弁である。また、ゲートバルブ３０Ｙは、有機機能層形成部１０Ｚのチャンバー１１と蛇行補正部２０のチャンバー２１との間に設けられている。すなわち、ゲートバルブ３０Ｙは、有機機能層形成部１０Ｚにおける基材２の出口（換言すると、蛇行補正部２０のチャンバー２１における基材２の入口）を密封可能な弁である。
図２に示す制御部５０は、弁体駆動部４５を制御することによって、弁体３２を移動させ、ゲートバルブ３０Ｘ，３０Ｙを開弁状態と閉弁状態とに切り替える。
【００２６】
＜有機ＥＬ素子の製造方法＞
続いて、有機ＥＬ素子製造装置１による有機ＥＬ素子の製造方法について、図１及び図２を参照して説明する。まず、制御部５０は、ゲートバルブ３０Ｘ，３０Ｙが開弁した状態において、有機機能層形成部１０Ｘ，１０Ｙ，１０Ｚのローラー駆動部４１を制御することによって、駆動ローラー１２ａを回転させ、基材２を上流側から下流側へと所定距離だけ搬送させた後、駆動ローラー１２ａを止め、基材２の成膜領域がチャンバー１１内の成膜位置に配置された状態で基材２を停止させる（基材搬送工程）。
【００２７】
続いて、制御部５０は、ゲートバルブ３０Ｘ，３０Ｙの弁体駆動部４５を制御することによって、ゲートバルブ３０Ｘ，３０Ｙを閉弁し、有機機能層形成部１０Ｘのチャンバー１１における基材２の入口と有機機能層形成部１０Ｚのチャンバー１２における基材２の出口とを密封する（閉弁工程）。
【００２８】
続いて、制御部５０は、有機機能層形成部１０Ｘ，１０Ｙ，１０Ｚのそれぞれにおいて、撮影部１６ａ，１６ｂの撮影結果に基づいてマスク駆動部４２を制御することによって、マスク１８を移動させてマスク１８と基材２との位置合わせを行った後に、マスク駆動部４２及びタッチプレート駆動部４３を制御することによって、マスク１８と、基材２と、タッチプレート１９とを密着させる。
続いて、制御部５０は、有機機能層形成部１０Ｘ，１０Ｙ，１０Ｚのそれぞれにおいて、材料出射部１７を制御することによって、有機機能層の材料をマスク１８を介して基材２の下面に出射し、パターニングされた有機機能層を基材２の下面の成膜領域に形成する（例えば、蒸発有機材料を基材２の下面に蒸着させる）（有機機能層パターニング工程、有機機能層成膜工程）。かかる有機機能層パターニング工程では、有機機能層形成部１０Ｘ，１０Ｙ，１０Ｚのいずれかにおいて、発光層が形成される。また、有機機能層形成部１０Ｘ，１０Ｙ，１０Ｚの材料出射部１７が出射する有機機能層の材料は、それぞれ異なるので、有機機能層パターニング工程では、それぞれ材料が異なる３層の有機機能層が成膜される。
続いて、制御部５０は、マスク駆動部４２及びタッチプレート駆動部４３を制御することによって、マスク１８と、基材２と、タッチプレート１９との密着を解除する。
【００２９】
続いて、制御部５０は、ゲートバルブ３０Ｘ，３０Ｙのそれぞれにおいて、弁体駆動部４５を制御することによって、ゲートバルブ３０Ｘ，３０Ｙを開弁する（開弁工程）。制御部５０は、開弁工程の後に前記した基材搬送工程に戻って有機機能層が形成された基材２の成膜領域をチャンバー１１内の成膜位置から下流側へ搬送するとともに、前記各工程を繰り返し実行することによって有機ＥＬ素子を製造する。
【００３０】
＜第一の実施形態＞
続いて、前記ゲートバルブ３０Ｘ，３０Ｙの具体例である第一の実施形態に係るゲートバルブ３０Ａについて、図３を参照して説明する。
図３に示すように、第一の実施形態に係るゲートバルブ３０Ａは、図示しないハウジング内に設けられた弁座３１Ａ及び弁体３２Ａを備える。
【００３１】
弁座３１Ａは、基材２の上面側に設けられた金属製のブロックである。当該弁座３１Ａの上流側下端部には、側面視で円弧形状を呈する弁座面３１ａが形成されている。
【００３２】
弁体３２Ａは、基材２の下面側に設けられた樹脂製の可撓性部材である。弁体３２Ａは、円柱形状を呈しており、当該弁体３２Ａの右斜め上部の外周面は、基材２を介して弁座面３１ａに着座する密封面３２ａを構成する。
【００３３】
本実施形態において、弁体駆動部４５（図２参照）は、弁体３２Ａを着座方向（図３の右斜め上方向）Ａ１及び離座方向（図３の左斜め下方向）Ａ２に移動させるための機構と、弁体３２Ａを回転方向Ａ３に回転させるための機構と、を有する。ここで、回転方向Ａ３は、弁体３２Ａの中心軸を回転軸とし、弁体３２Ａの右斜め上部の外周面である密封面３２ａが基材２の上流側から下流側へ向かって移動する方向である。
【００３４】
＜動作例：閉弁＞
前記した閉弁工程において、ゲートバルブ３０Ａを閉弁する際には、制御部５０は、弁体駆動部４５を制御することによって、離座している弁体３２Ａを着座方向Ａ１に移動させ、基材２を弁座３１Ａの着座面３１ａと弁体３２Ａの密封面３２ａとで挟み込んで閉弁する（図３（ａ）→図３（ｂ））。
【００３５】
＜動作例：開弁＞
前記した開弁工程において、ゲートバルブ３０Ａを開弁する際には、制御部５０は、弁体駆動部４５を制御することによって、着座している弁体３２Ａを回転方向Ａ２に回転させつつ離座方向Ａ２に移動させ、弁体３２Ａを弁座３１Ａから離座させて開弁する（図３（ｂ）→図３（ｃ））。
かかる動作により、弁体３２Ａが回転方向Ａ３に回転しながら離座方向Ａ２に移動するので、閉弁状態で弁体３２Ａに密着した基材２は、弁体３２Ａの回転によって弁体３２Ａから剥がされる。
【００３６】
本発明の第一の実施形態に係るゲートバルブ３０Ａ及び当該ゲートバルブ３０Ａを用いた有機ＥＬ素子の製造方法は、弁体３２Ａが弁座３１Ａから離座して開弁する際に、弁体３２Ａのうち着座状態で基材２の下面と当接する密封面３２ａが、弁体３２Ａの離座方向Ａ２とは異なる方向にも移動するので、基材２を弁体３２Ａから剥がすことができ、基材２が弁体３２Ａに密着したままとなって基材２の搬送に支障をきたすことを好適に防ぐことができる。
また、ゲートバルブ３０Ａ及び当該ゲートバルブ３０Ａを用いた有機ＥＬ素子の製造方法は、弁体３２Ａの回転方向Ａ３が基材２の搬送方向に対応しているので、弁体３２Ａの回転によって基材２が伸びたり上流側に戻されたりすることを防ぐことができる。
また、ゲートバルブ３０Ａ及び当該ゲートバルブ３０Ａを用いた有機ＥＬ素子の製造方法は、弁体３２Ａが弁座３１Ａから離座して開弁する際に、基材２を弁体３２Ａから剥がすことができ、基材２が弁体３２Ａに引っ張られることによる有機機能層への影響（ダークスポットの発生等）を抑制することができる。
また、ゲートバルブ３０Ａ及び当該ゲートバルブ３０Ａを用いた有機ＥＬ素子の製造方法は、有機機能層形成部１０Ｙのチャンバー１１の出口に設けられたゲートバルブ３０Ａを前記方法で開弁させることによって、基材２の有機機能層が形成された成膜領域が弁体３２Ａ及び弁座３１Ａに挟まれた状態からゲートバルブ３０Ａを開弁する場合であっても、有機機能層を弁体３２Ａから剥がすことができ、基材２が弁体３２Ａに引っ張られることによる有機機能層への影響（発光ムラの発生等）を抑制することができる。
【００３７】
＜第二の実施形態＞
続いて、本発明の第二の実施形態に係るゲートバルブ３０Ｂについて、第一の実施形態に係るゲートバルブ３０Ａとの相違点を中心に説明する。
図４に示すように、本発明の第二の実施形態に係るゲートバルブ３０Ｂは、弁座３１Ａ及び弁体３２Ａに代えて、弁座３１Ｂ及び弁体３２Ｂを備える。
【００３８】
弁座３１Ｂは、基材２の上面側に設けられた金属製のブロックである。当該弁座３１Ｂの下面は、弁座面３１ｂを構成する。
【００３９】
弁体３２Ｂは、基材２の下面側に設けられた樹脂製の可撓性部材である。弁体３２Ｂは、弁体基部３２ｂと、可動部３２ｃと、を備える。弁体基部３２ｂは、上面に凹部を有するブロック形状を呈している。可動部３２ｃは、弁体基部３２ｂよりも小さいブロック形状を呈しており、可動部３２ｃは、弁体基部３２ｂの凹部に収容されている。弁体基部３２ｂ及び可動部３２ｃの上面は、面一となっており、基材２を介して弁座面３１ｂに着座する密封面３２ｄを構成する。
【００４０】
本実施形態において、弁体駆動部４５（図２参照）は、弁体基部３２ｂを着座方向（図４の上方向）Ｂ１及び離座方向（図４の下方向）Ｂ２に移動させるための機構と、可動部３２ｃを弁体基部３２ｂから離間する方向Ｂ３及び弁体基部３２ｂに近接する方向に相対移動させるための機構と、を有する。ここで、可動部３２ｃを弁体基部３２ｂに対して相対移動させる機構は、弁体基部３２ｂ内に設けられていてもよい。
【００４１】
＜動作例：閉弁＞
前記した閉弁工程において、ゲートバルブ３０Ｂを閉弁する際には、制御部５０は、弁体駆動部４５を制御することによって、離座している弁体３２Ｂ全体を着座方向Ｂ１に移動させ、基材２を弁座３１Ｂの着座面３１ｂと弁体３２Ｂの密封面３２ｄとで挟み込んで閉弁する（図４（ａ）→図４（ｂ））。
【００４２】
＜動作例：開弁＞
前記した開弁工程において、ゲートバルブ３０Ｂを開弁する際には、制御部５０は、弁体駆動部４５を制御することによって、着座している弁体３２Ｂの弁体基部３２ｂを離座方向Ｂ２に移動させつつ、可動部３２ｃを弁体基部３２ｂから離間する方向Ｂ３に相対移動させて開弁する（図４（ｂ）→図４（ｃ））。すなわち、弁体３２Ｂの基材２と当接する当接部（密着面３２ｄ）の一部が、開弁方向Ｂ２とは異なる方向Ｂ３に移動することにより、弁体基部３２ｂの密封面３２ｄが基材２から剥がれ、その後、可動部３２ｃの密封面３２ｄが基材２から剥がれる。開弁終了後、制御部５０は、弁体駆動部４５を制御することによって、可動部３２ｃを弁体基部３２ｂに近接する方向に相対移動させ、弁体３２Ｂを図４（ａ）に示す状態に復帰させる。
ここで、弁体基部３２ｂが離座方向Ｂ２に移動する速さは、可動部３２ｃが弁体基部３２ｂから離間する方向Ｂ３に相対移動する速さよりも大きい。
かかる動作により、弁体基部３２ｂが弁座３１Ｂから離間する方向Ｂ２に移動しつつ、可動部３２ｃが、弁体基部３２ｂから離間する方向Ｂ３に相対移動するので、閉弁状態で弁体３２Ｂに密着した基材２は、弁体基部３２ｂに対する可動部３２ｃの相対移動によって弁体３２Ｂから剥がされる。
【００４３】
本発明の第二の実施形態に係るゲートバルブ３０Ｂ及び当該ゲートバルブ３０Ｂを用いた有機ＥＬ素子の製造方法は、弁体３２Ｂが弁座３１Ｂから離座して開弁する際に、弁体３２Ｂの可動部３２ｃが弁体３２Ｂの離座方向Ｂ２とは異なる方向に移動するので、基材２を弁体３２Ｂから剥がすことができ、基材２が弁体３２Ｂに密着したままとなって基材２の搬送に支障をきたすことを好適に防ぐことができる。
また、ゲートバルブ３０Ｂ及び当該ゲートバルブ３０Ｂを用いた有機ＥＬ素子の製造方法は、弁体３２Ｂが弁座３１Ｂから離座して開弁する際に、基材２を弁体３２Ｂから剥がすことができ、基材２が弁体３２Ｂに引っ張られることによる有機機能層への影響（ダークスポットの発生等）を抑制することができる。
また、ゲートバルブ３０Ｂ及び当該ゲートバルブ３０Ｂを用いた有機ＥＬ素子の製造方法は、有機機能層形成部１０Ｙのチャンバー１１の出口に設けられたゲートバルブ３０Ｂを前記方法で開弁させることによって、基材２の有機機能層が形成された成膜領域が弁体３２Ｂ及び弁座３１Ｂに挟まれた状態からゲートバルブ３０Ｂを開弁する場合であっても、有機機能層を弁体３２Ｂから剥がすことができ、基材２が弁体３２Ｂに引っ張られることによる有機機能層への影響（発光ムラの発生等）を抑制することができる。
【００４４】
＜第三の実施形態＞
続いて、本発明の第三の実施形態に係るゲートバルブ３０Ｃについて、第二の実施形態に係るゲートバルブ３０Ｂとの相違点を中心に説明する。
図５に示すように、本発明の第三の実施形態に係るゲートバルブ３０Ｃは、弁体３２Ｂに代えて、弁体３２Ｃを備える。
【００４５】
弁座３１Ｂは、基材２の上面側に設けられた金属製のブロックである。当該弁座３１Ｂの下面は、弁座面３１ｂを構成する。
【００４６】
弁体３２Ｃは、基材２の下面側に設けられた樹脂製の可撓性部材である。弁体３２Ｃは、ブロック形状を呈している。弁体３２Ｃの上面は、基材２を介して弁座面３１ｂに着座する密封面３２ｅを構成する。
【００４７】
本実施形態において、弁体駆動部４５（図２参照）は、弁体３２Ｃを着座方向（図４の上方向）Ｃ１及び離座方向（図４の下方向）Ｃ２に移動させるための機構と、弁体３２Ｃを基材２の下面に沿う方向Ｃ３及び方向Ｃ３の逆方向に移動させるための機構と、を有する。ここで、方向Ｃ３は、基材２の搬送方向の上流側から下流側へ向かう方向である。
【００４８】
＜動作例：閉弁＞
前記した閉弁工程において、ゲートバルブ３０Ｃを閉弁する際には、制御部５０は、弁体駆動部４５を制御することによって、離座している弁体３２Ｃを着座方向Ｃ１に移動させ、基材２を弁座３１Ｂの着座面３１ｂと弁体３２Ｃの密封面３２ｅとで挟み込んで閉弁する（図５（ａ）→図５（ｂ））。
【００４９】
＜動作例：開弁＞
前記した開弁工程において、ゲートバルブ３０Ｃを開弁する際には、制御部５０は、弁体駆動部４５を制御することによって、着座している弁体３２Ｃを離座方向Ｃ２に移動させつつ、弁体３２Ｃを基材２の下面に沿う方向Ｃ３に移動させて開弁する（図５（ｂ）→図５（ｃ））。結果的に、弁体３２Ｃは、方向Ｃ２のベクトルと方向Ｃ３のベクトルとを合成した方向Ｃ４に移動する。開弁終了後、制御部５０は、制御部５０は、弁体駆動部４５を制御することによって、弁体３２Ｃを方向Ｃ３の逆方向に移動させ、弁体３２Ｃを図５（ａ）に示す位置に復帰させる。
かかる動作により、弁体３２Ｃが弁座３１Ｂから離間する方向Ｃ２に移動しつつ基材２の下面に沿う方向Ｃ３にも移動するので、閉弁状態で弁体３２Ｃに密着した基材２は、弁体３２Ｃの方向Ｃ３への移動によって弁体３２Ｃから剥がされる。
【００５０】
本発明の第三の実施形態に係るゲートバルブ３０Ｃ及び当該ゲートバルブ３０Ｃを用いた有機ＥＬ素子の製造方法は、弁体３２Ｃが弁座３１Ｂから離座して開弁する際に、弁体３２Ｃのうち着座状態で基材２の下面と当接する密封面３２ｅが、弁体３２Ｃの離座方向Ｃ２とは異なる方向にも移動するので、基材２を弁体３２Ｃから剥がすことができ、基材２が弁体３２Ｃに密着したままとなって基材２の搬送に支障をきたすことを好適に防ぐことができる。
また、ゲートバルブ３０Ｃ及び当該ゲートバルブ３０Ｃを用いた有機ＥＬ素子の製造方法は、弁体３２Ｃの移動方向Ｃ３が基材２の搬送方向に対応しているので、弁体３２Ｃの移動方向Ｃ３への移動による基材２の蛇行の発生を防ぐことができる。
また、ゲートバルブ３０Ｃ及び当該ゲートバルブ３０Ｃを用いた有機ＥＬ素子の製造方法は、弁体３２Ｃが弁座３１Ｂから離座して開弁する際に、基材２を弁体３２Ｃから剥がすことができ、基材２が米体３２Ｃに引っ張られることによる有機機能層への影響（ダークスポットの発生等）を抑制することができる。
特に、ゲートバルブ３０Ｃ及び当該ゲートバルブ３０Ｃを用いた有機ＥＬ素子の製造方法は、有機機能層形成部１０Ｙのチャンバー１１の出口に設けられたゲートバルブ３０Ｃを前記方法で開弁させることによって、基材２の有機機能層が形成された成膜領域が弁体３２Ｃ及び弁座３１Ｂに挟まれた状態からゲートバルブ３０Ｃを開弁する場合であっても、有機機能層を弁体３２Ｃから剥がすことができ、基材２が弁体３２Ｃに引っ張られることによる有機機能層への影響（発光ムラの発生等）を抑制することができる。
【００５１】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は前記実施形態に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。例えば、第一の実施形態において、開弁時の弁体３２Ａの回転方向は、前記したものと逆回転方向であってもよい。また、第三の実施形態において、開弁時の弁体３２Ｃの基材２に沿う移動方向は、前記したものと逆方向であってもよく、基材２の幅方向であってもよい。また、弁座３１Ａ，３１Ｂが樹脂製の可撓性部材である場合には、開弁時に弁座３１Ａ，３１Ｂを基材２に沿う方向、好ましくは、第一の実施形態及び第二の実施形態においては弁座３１Ａ，３１Ｃの基材２に沿う移動方向とは異なる方向に移動させる構成であってもよい。また、蛇行検出部２３は、キャパシタンスセンサーに限定されず、リニアセンサー等であってもよい。また、ゲートバルブ３０Ｘ，３０Ｙ間に設けられるチャンバー１０（１０Ｘ〜１０Ｚ）の数は、１つ又は２つであってもよく、さらには、３つ以上の任意の数に設定可能である。
【実施例】
【００５２】
以下実施例により本発明を具体的に説明するが本発明はこれにより限定されるものではない。
［実施例］
本実施例では、特開２０１３−３６１１９号公報に記載の真空成膜装置のゲートバルブＡ〜Ｄに本発明の各実施形態に係るゲートバルブ３０Ａ〜３０Ｃを適用した装置を用いて、特開２０１３−３６１１９号公報に記載の有機ＥＬ素子の製造工程に準じてサンプルを作製した。ただし、各有機機能層を成膜する成膜室（有機機能層形成部）の数は、成膜される有機機能層の数に合わせて適宜変更した。
まず、ポリエチレンテレフタレートの基材の両面に、酸化珪素からなるガスバリア層を一般的な真空プラズマＣＶＤ装置により形成することにより、ポリエチレンテレフタレートフィルム（ＰＥＴフィルム）を作成した。【００５３】
次に、前記作製したＰＥＴフィルムについて、ロールトゥロールの真空チャンバー内に幅７００ｍｍ、厚さ１００μｍのＰＥＴフィルムの元巻きを導入し、定法に従い、アルゴン雰囲気下で、ＩＴＯ膜を１３０ｎｍ成膜して、透明導電膜を形成した。【００５４】
次に、ＩＴＯ膜の形成された面に、幅方向６７０ｍｍ、長手方向７２０ｍｍの長方形の領域に紫外光で重合するフォトリソグラフ用の樹脂をパターン塗布し、９０℃の乾燥炉を通過させたのち、位置を合わせ露光後、搬送しながら、現像、エッチング、アルカリ処理を経て、イオン交換水で洗浄後、清浄な空気を吹き付けて、十分乾燥したのち、巻き取った。各パターンの間隔は、後述の真空成膜プラントの各真空成膜室に差圧を形成するためのゲートで挟み込まれる部分を予め確保するため６０ｍｍづつ距離を置いた。このＩＴＯパターン済ＰＥＴフィルムの元巻きを、連続真空有機ＥＬ成膜プラントの繰り出し側に取り付け、ガイドロール機構（基材搬送部）を使用して、前段の第一真空成膜室で、各材料を入れた蒸着ボートから、α−ＮＰＤ（４０ｎｍ）、ＣＢＰ（共蒸着成分としてＩｒ（ｐｐｙ）３を６％含有）（３５ｎｍ）、ＢＡｌｑ（５ｎｍ）、Ａｌｑ３（４０ｎｍ）、フッ化リチウム（０．５ｎｍ）を蒸着した。【００５５】
ここで、第一真空成膜室は、４つの有機機能層形成部１０及びフッ化リチウム層を形成するための機能層形成部（有機機能層形成部１０と略同等の構成を有する）を直列に接続することによって構成されており、最上流の有機機能層形成部１０におけるＩＴＯパターン済ＰＥＴフィルムの入口及び最下流の機能層形成部におけるＩＴＯパターン済ＰＥＴフィルムの出口には、本発明のゲートバルブ３０（３０Ａ〜３０Ｃ）が設けられている。
すなわち、前段の第一真空成膜室において有機機能層を成膜するために、まず、上流及び下流のゲートバルブ３０が開弁された状態で、４つの有機機能層形成部１０及び１つの機能層形成部のチャンバー１１内の成膜位置に基材２の成膜領域を搬送し、続いて、上流及び下流のゲートバルブ３０を閉弁し、続いて、各有機機能層形成部１０のチャンバー１１内の成膜位置で、前記した５種類の層（４層の有機機能層及び１層のフッ化リチウム層）を成膜した。
その後、上流及び下流のゲートバルブ３０を前記した手法で開弁し、続いて、各層が成膜された基材２の成膜領域を成膜位置から搬送した。かかる方法を複数回繰り返すことにより、前記した５種類の層（４層の有機機能層及び１層のフッ化リチウム層）が順に成膜された製造物を得た。【００５６】
続いて、後段の第二真空成膜室で、アルミニウムを１１０ｎｍ蒸着した後、ラミネート室において、封止樹脂（接着剤）が４０μｍ塗布されているガスバリア層形成済みのＰＥＴフィルム（ＰＥＴ厚み８０μｍ）を用いて窒素気流下でラミネートし、ゲートバルブから、大気下へ搬送し、巻き取った。また、この元巻きから素子（有機ＥＬ素子）を一部切り出し、以下の評価を行った。なお、用いた化合物の構造を以下に示す。【００５７】
【化１】
2016204201.tif 000003
【００５８】
［比較例］
比較例として、実施例におけるゲートバルブを従来のゲートバルブに代え、それ以外は実施例と同様にして有機ＥＬ素子を作成し、以下の評価を行った。【００５９】
＜発光ムラ（輝度分布）＞
実施例及び比較例に係る有機ＥＬ素子のそれぞれに対して、室温下で１０００ｃｄ／ｍ２となるように発光させ、２次元色彩輝度計 ＣＡ−２０００（コニカミノルタオプティクス社製）で輝度分布を測定した。そして、素子発光部における輝度の最大値と最小値との差を１０００ｃｄ／ｍ２で除し、得られた値を以下の基準に従って評価した。  
○：値が５％以上１０％未満（全面に亘って均一に発光しており、発光ムラは殆ど生じていない）  
△：値が１０％以上１５％未満（略全面に亘って均一に発光しているが、ところどころに発光ムラが見出される）  
×：値が１５％以上（発光強度の相異が目立ち、発光ムラが散見される）
この結果を表１に示す。ここで、実施例１は、第一の実施形態に係るゲートバルブ３０Ａを用いたケース、実施例２は、第二の実施形態に係るゲートバルブ３０Ｂを用いたケース、実施例３は、第三の実施形態に係るゲートバルブ３０Ｃを用いたケースである。【００６０】
【表１】
2016204201.tif 000004
【００６１】
表１に示すように、比較例は、発光ムラを抑制することができていないのに対し、実施例は、発光ムラを抑制することができている。
【符号の説明】
【００６２】
１      有機エレクトロルミネッセンス素子製造装置
２      基材
３０Ａ，３０Ｂ，３０Ｃ，３０Ｘ，３０Ｙ  ゲートバルブ
３１Ａ，３１Ｂ  弁座
３２，３２Ａ，３２Ｂ，３２Ｃ  弁体
【図１】
2016204201.tif 000005
【図２】
2016204201.tif 000006
【図３】
2016204201.tif 000007
【図４】
2016204201.tif 000008
【図５】
2016204201.tif 000009
【国際調査報告】
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2016204201.tif 000011
2016204201.tif 000012
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