(57)【要約】  ダイシングの際に封止枠にかかるストレスを低減する。  本発明に係るウエハレベルパッケージは、第１ウエハと、第１ウエハに対向して設けられた第２ウエハと、第１ウエハと第２ウエハとの間に設けられ、アレイ状に配置された複数の略矩形のチップと、所定の間隔で設けられ、複数の略矩形のチップそれぞれを囲んで当該チップを封止する、複数の封止枠と、複数のチップのうち、互いに角が対向するチップをそれぞれ封止する封止枠同士を連結する連結部と、を備える。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１ウエハと、
前記第１ウエハに対向して設けられた第２ウエハと、
前記第１ウエハと前記第２ウエハとの間に設けられ、アレイ状に配置された複数の略矩形のチップと、
所定の間隔で設けられ、前記複数の略矩形のチップそれぞれを囲んで当該チップを封止する、複数の封止枠と、
前記複数のチップのうち、互いに角が対向するチップをそれぞれ封止する封止枠同士を連結する連結部と、
を備えるウエハレベルパッケージ。
【請求項２】
前記封止枠は、矩形の形状であって、
前記連結部は、前記封止枠の角部に接続すること
を特徴とする請求項１に記載のウエハレベルパッケージ。
【請求項３】
前記封止枠の角部は、円弧状であること
を特徴とする、請求項２に記載のウエハレベルパッケージ。
【請求項４】
前記連結部の幅は、前記封止枠の幅よりも細いことを特徴とする、請求項１〜３いずれか一項に記載のウエハレベルパッケージ。
【請求項５】
請求項１〜４いずれか一項に記載されたウエハレベルパッケージが有する前記連結部を、ダイシング工程によって切断して形成された、ウエハレベルチップサイズパッケージ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウエハレベルパッケージ及びウエハレベルチップサイズパッケージに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ウエハの状態で、配線や保護膜、端子の形成を行い、その後ダイシング等によって個片化してパッケージを形成するウエハレベルチップサイズパッケージ技術が注目されてきている。ウエハレベルチップサイズパッケージでは、最終的にウエハを切断したチップの大きさがそのままパッケージの大きさになり、チップの小型化、軽量化を図ることができる。【０００３】
例えば特許文献１には、基板ウエハに複数の電子装置を設け、貫通して延びる複数の導電性経路を含むカバーウエハを設け、複数の導電性経路が基板ウエハの複数の電子装置と整列するようにして、カバーウエハを基板ウエハと整列させ、接合する技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第２８２０６０９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に開示されているような、従来のウエハレベルパッケージ技術では、ウエハ上に整列される電子装置同士は、隙間なく形成された半田接合部によって区画される。そのため、特許文献１に記載の技術で製造されたウエハレベルパッケージをチップサイズに切断する場合、半田接合部を分断する必要がある。従って、ダイシングの際に半田接合部にかかるストレスによって、封止不良が発生し易く、良品率低下や信頼性低下を生じ易い。【０００６】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、ダイシングの際に封止枠にかかるストレスを低減することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一側面に係るウエハレベルパッケージは、第１ウエハと、第１ウエハに対向して設けられた第２ウエハと、第１ウエハと第２ウエハとの間に設けられ、アレイ状に配置された複数の略矩形のチップと、所定の間隔で設けられ、複数の略矩形のチップそれぞれを囲んで当該チップを封止する、複数の封止枠と、複数のチップのうち、互いに角が対向するチップをそれぞれ封止する封止枠同士を連結する連結部と、を備える。【０００８】
かかるウエハレベルパッケージによると、封止枠同士は離間して設けられるため、ダイシングによって封止枠にかかるストレスを、低減することができる。【０００９】
また、封止枠は、矩形の形状であって、連結部は、封止枠の角部に接続することが好ましい。この場合、連結部の長さを長くすることができるため、ダイシングによって封止枠にかかるストレスを、より一層低減することが可能になる。【００１０】
特に、封止枠の角部は、円弧状であることが好ましい。この好ましい態様では、ダイシングラインの幅に依存せずに、連結部の長さを調整することが可能になる。【００１１】
また、連結部の幅は、前記封止枠の幅よりも細いことが好ましい。この好ましい態様では、ダイシングによって切断される連結部が細く形成されるので、ダイシングによって封止枠にかかるストレスを、より一層低減することが可能になる。【００１２】
本発明の一側面に係るウエハレベルチップサイズパッケージは、上記のいずれかに記載のウエハレベルパッケージが有する連結部を、ダイシング工程によって切断して形成されたものである。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、ダイシングの際に封止枠にかかるストレスを低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の第１実施形態に係るウエハレベルパッケージの構造を概略的に示す分解斜視図である。
【図２】図１の領域Ｂを拡大した部分拡大図である。
【図３】図１のＡ−Ａ´線に沿った断面図である。
【図４】本発明の第１実施形態に係るウエハレベルパッケージを製造する際のプロセスフローである。
【図５】図２に対応し、本発明の第２実施形態に係るウエハレベルパッケージの封止枠及び連結部の構造を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
［第１の実施形態］
以下、添付の図面を参照して本発明の第１実施形態について説明する。図１は、本発明の第１実施形態に係るウエハレベルパッケージ１の構造を概略的に示す分解斜視図である。
【００１６】
（１．ウエハレベルパッケージ１の概略構成）
図１に示すように、このウエハレベルパッケージ１は、上側基板（第２ウエハの一例である。）１３と、下側基板（第１ウエハの一例である。）１４とを備えている。上側基板１３及び、下側基板１４は円形の形状をしている。また、上側基板１３及び、下側基板１４は、互いに対向するように設けられている。
【００１７】
下側基板１４上には複数の略矩形のデバイスＤが形成されている。デバイスＤは、例えば、ＭＥＭＳや電子回路等の半導体チップである。
【００１８】
デバイスＤは、下側基板１４の全面にアレイ状に配置されている。具体的には、デバイスＤが配置された各列は、互いに平行になるように下側基板１４に複数配置されている。同様に、デバイスＤが配置された各行は、互いに平行になるように下側基板１４に複数配置されている。
【００１９】
本実施形態では、各列又は各行に含まれるデバイスＤの数は一定ではない。具体的には、複数の行のうち、中心付近の行に含まれるデバイスＤの数は、外側の行に含まれるデバイスＤの数よりも多い。また、複数の列のうち、中心付近の列に含まれるデバイスＤの数は、外側の列に含まれるデバイスＤの数よりも多い。これによって、デバイスＤは、下側基板１４の端部まで配置される。なお、デバイスＤの配置はこれに限定されず、例えば、すべての行と列とに含まれるデバイスＤの数が一定となるような行列に配置されていてもよい。
【００２０】
複数のデバイスＤのそれぞれの周りには、封止枠Ｆが形成されている。また、下側基板１４には、封止枠Ｆ同士を連結する連結部Ｃが形成されている。
【００２１】
（２．封止枠Ｆ及び連結部Ｃの構造）
図２は、図１の領域Ｂを拡大した図である。図２を用いて、封止枠Ｆ及び連結部Ｃの構造の一例について説明する。以下の説明では、連結部Ｃ１、Ｃ２をまとめて「連結部Ｃ」とも呼び、封止枠Ｆ１〜Ｆ４をまとめて「封止枠Ｆ」とも呼び、さらにデバイスＤ１〜Ｄ４をまとめて「デバイスＤ」とも呼ぶ。
【００２２】
封止枠Ｆ１〜Ｆ４は、それぞれデバイスＤ１〜Ｄ４を囲むように設けられ、各デバイスを封止している。本実施形態において、封止枠Ｆ１〜Ｆ４は略矩形の形状をしている。
封止枠Ｆ１及びＦ３と、Ｆ２及びＦ４とは、所定の間隔ｄ１を隔てて設けられる。また、封止枠Ｆ１及びＦ２、とＦ３及びＦ４とは、所定の間隔ｄ２を隔てて設けられる。
【００２３】
間隔ｄ１、ｄ２は、ダイシング工程において、ダイシングブレードやレーザによって切断される領域をいう。間隔ｄ１、ｄ２は、少なくともダイシングに用いるブレードやレーザにより切断される幅（ダイシングライン）よりも大きいことが望ましい。
【００２４】
連結部Ｃ１は、間隔ｄ１及びｄ２の交点付近に設けられる。連結部Ｃ１は、隣接する複数のデバイスＤ１〜Ｄ４のうち、互いに角が対向するデバイスＤ１、Ｄ４を封止する、封止枠Ｆ１とＦ４とを連結する。連結部Ｃ１は、封止枠Ｆ１、Ｆ４を当該封止枠Ｆ１、Ｆ４それぞれの角部同士で連結することが望ましい。これによって、連結部Ｃ１の長さを長く形成することができる。これにより、ダイシング工程によって、連結部Ｃ１が切断される際に、封止枠Ｆ１、F４へとかかるストレスを低減することができる。
【００２５】
連結部Ｃ２は、間隔ｄ１及びｄ２の交点付近に設けられる。連結部Ｃ２は、隣接する複数のデバイスＤ１〜Ｄ４のうち、互いに角が対向するデバイスＤ２、Ｄ３を封止する、封止枠Ｆ２とＦ３とを連結する。連結部Ｃ２は、封止枠Ｆ２、Ｆ３を、当該封止枠Ｆ２、Ｆ３それぞれの角部同士で連結することが望ましい。これによって、連結部Ｃ２の長さを長く形成することができる。これにより、ダイシング工程によって、連結部Ｃ２が切断される際に、封止枠Ｆ２、Ｆ３へとかかるストレスを低減することができる。
【００２６】
また、連結部Ｃ１、Ｃ２は、間隔ｄ１、ｄ２の交点付近において交差する。連結部Ｃ１、Ｃ２は、交差する点において、一体に形成される。
【００２７】
このように、連結部Ｃによって封止枠Ｆ同士が連結されることで、上側基板１３及び下側基板１４の間の空間に薬液が侵入することを防ぐことができる。より具体的には、例えばウエット工程において、薬液が封止枠Ｆの隙間を経由して、上側基板１３及び下側基板１４の隙間に侵入し、残留してしまうことを防ぐことができる。これによって、残留した薬液が、他の工程で染み出たり、気化したりすることによる設備の汚染を防ぐことができる。また、熱処理工程において、残留した薬液が気化して膨張することで、誘発されるウエハ破損を防ぐことができる。
【００２８】
また、本実施形態に係る連結部Ｃが封止枠Ｆの角部同士を接続することによって、連結部Ｃの長さを長くすることができる。これにより、ダイシング工程によって、連結部Ｃが切断される際に、封止枠Ｆへとかかるストレスを低減することができる。さらに、連結部Ｃの幅は、封止枠Ｆの幅よりも細いことが望ましい。これによって、封止枠Ｆにかかるダイシングストレスをより低減させることができ、さらに、廃棄材料を削減することができるため、耐環境性を高めることができる。
【００２９】
さらに、例えば、封止枠Ｆと、上側基板１３及び下側基板１４との接合に金属接合が用いられる場合、加熱処理による線膨張差によって、封止枠Ｆの角部に強い熱応力が残留する。封止枠Ｆの角部に連結部Ｃを連結することによって、封止枠Ｆの角部にかかる残留応力が、連結部Ｃとの連結箇所へ分散されるため、熱応力による封止枠破壊を抑制することができる。
【００３０】
（３．積層構造）
図３は、図１のＡＡ´断面図の一部を示す図である。ＡＡ´断面はデバイスＤの対角線に沿ってウエハレベルパッケージ１を切断する断面である。図３に示すように、本実施形態に係るウエハレベルパッケージ１では、下側基板１４の上に、封止枠Ｆ及び連結部Ｃが接合され、さらに、封止枠Ｆ及び連結部Ｃの上に、上側基板１３が覆いかぶさって接合される。
【００３１】
上側基板１３、及び下側基板１４は、所定の厚みのシリコンウエハやガラス等から形成される。
【００３２】
封止枠Ｆは、例えばＡｕ（金）膜やＳｎ（錫）膜、Ａｌ（アルミニウム）膜、ＡｌＣｕ（アルミニウム銅）膜、Ｇｅ（ゲルマニウム）膜、樹脂等から形成される。封止枠Ｆは、上側基板１３と下側基板１４上に、上側基板１３と下側基板１４とを接合するために形成される。また、連結部Ｃは、封止枠Ｆと同一プロセスによって一体形成される。
封止枠Ｆ及び連結部Ｃと、上側基板１３及び下側基板１４との接合には、金属接合や共晶接合、直接接合等が用いられる。
【００３３】
下側基板１４と上側基板１３と封止枠Ｆとによって、デバイスＤが気密に封止されている。この空間は、例えば不活性ガス等の気体が充填されてもよいし、真空状態としてもよい。
【００３４】
（４．プロセスフロー）
図４は、本実施形態に係るウエハレベルパッケージ１を製造するためのプロセスフローの一例を示す図である。
【００３５】
図４（Ａ）は、図１の領域Ｂに対応する平面透視図である。図４（１Ｂ）〜（１Ｄ）は、図４（Ａ）のａ１−ｂ１断面からみたプロセスフローである。
【００３６】
図４（１Ｂ）に示すように、まず、上側基板１３に接合材ｆ３´及びｆ４´が形成される。また、下側基板１４に接合材ｆ３及びｆ４が形成される（図４（１Ｂ））。
【００３７】
次の工程で、接合材ｆ３−ｆ３´が接合されて、封止枠Ｆ３が形成される。また、接合材ｆ４−ｆ４´が接合されて、封止枠Ｆ４が形成される（図４（１Ｃ））。接合材ｆ３−ｆ３´及び接合材ｆ４−ｆ４´の接合には、例えば、共晶接合や直接接合が用いられる。接合材ｆ３−ｆ３´及び接合材ｆ４−ｆ４´が接合されることで、ウエハレベルパッケージ１が形成される。
【００３８】
次に、ダイシング工程において、ウエハレベルパッケージ１をダイシングすることで、ウエハレベルチップサイズパッケージが製造される。ダイシング工程では、ダイシングテープＴの上に、下側基板１４が載置される。ブレードやレーザによって、ダイシングラインＬに沿って、上側基板１３と下側基板１４とがダイシングされる（図４（１Ｄ））。
【００３９】
他方、連結部Ｃを含む断面から見たプロセスフローについて説明する。図４（２Ｂ）〜（２Ｄ）は、図４（Ａ）のａ２−ｂ２断面からみたプロセスフローである。
【００４０】
図４（２Ｂ）に示すように、まず、上側基板１３に接合材ｃ１´及びｃ２´が形成される。また、下側基板１４に接合材ｃ１及びｃ２が形成される（図４（２Ｂ））。
【００４１】
次の工程で、接合材ｃ１−ｃ１´が接合されて、連結部Ｃ１が形成される。また、接合材ｃ２−ｃ２´が接合されて、連結部Ｃ２が形成される（図４（２Ｃ））。接合材ｃ１−ｃ１´及び接合材ｃ２−ｃ２´の接合には、例えば、共晶接合や直接接合が用いられる。接合材ｃ１−ｃ１´及び接合材ｃ２−ｃ２´が接合されることで、ウエハレベルパッケージ１が形成される。
【００４２】
次に、ウエハレベルチップサイズパッケージを製造するダイシング工程において、ダイシングテープＴの上に、下側基板１４が載置される。ブレードやレーザによって、連結部Ｃ１及びＣ２を切断するように設けられるダイシングラインＬに沿って、上側基板１３と下側基板１４とがダイシングされる（図４（２Ｄ））。
【００４３】
このように、本実施形態に係るウエハレベルパッケージ１において、連結部Ｃは、角が対向するデバイスＤをそれぞれ封止する封止枠Ｆ同士の角同士を接続する。これによって、連結部Ｃの長さを長くすることができ、ダイシングによる、封止枠Ｆへのストレスを低減することができる。
【００４４】
［第２の実施形態］
第２の実施形態以降では第１の実施形態と共通の事柄についての記述を省略し、異なる点についてのみ説明する。特に、同様の構成による同様の作用効果については実施形態毎には逐次言及しない。
【００４５】
図５は、本実施形態に係る、ウエハレベルパッケージ１の封止枠Ｆ及び連結部Ｃの構造の一例を示す図である。以下に、本実施形態に係るウエハレベルパッケージ１の詳細構成のうち、第１の実施形態との差異点を中心に説明する。
【００４６】
図５に示すように、本実施形態では、封止枠ＦはＲ形状（円弧状の一例である。）の角部を有した略矩形の形状をしている。連結部Ｃ１は、封止枠Ｆ１とＦ４との角部を、当該角部同士が最も近づく点で連結する。同様に、連結部Ｃ２は、封止枠Ｆ２とＦ３との角部を、当該角部同士が最も近づく点で連結する。
【００４７】
このように、本実施形態に係る封止枠ＦがＲ形状の角部を有することによって、ダイシングラインの幅や、間隔ｄ１、ｄ２の幅によらずに、連結部Ｃの長さを調整することができる。これによって、ダイシングによって封止枠Ｆにかかるストレスを低減することができるのと同時に、下側基板１４上に、より多くのデバイスＤを形成することができる。
その他の構成、効果は第１の実施形態と同様である。
【００４８】
以上説明した各実施形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定して解釈するためのものではない。本発明は、その趣旨を逸脱することなく、変更／改良され得るととともに、本発明にはその等価物も含まれる。即ち、各実施形態に当業者が適宜設計変更を加えたものも、本発明の特徴を備えている限り、本発明の範囲に包含される。例えば、各実施形態が備える各要素およびその配置、材料、条件、形状、サイズなどは、例示したものに限定されるわけではなく適宜変更することができる。例えば、既述の実施形態において、封止枠Ｆは略矩形の形状として説明したが、これに限定されず、多角形や円形、楕円形等であってもよい。
【００４９】
また、各実施形態は例示であり、異なる実施形態で示した構成の部分的な置換または組み合わせが可能であることは言うまでもなく、これらも本発明の特徴を含む限り本発明の範囲に包含される。
【符号の説明】
【００５０】
１              ウエハレベルパッケージ
１３            上側基板
１４            下側基板
Ｄ              デバイス
Ｃ              連結部
Ｆ              封止枠
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【国際調査報告】
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2016204170.tif 000009
2016204170.tif 000010
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