(57)【要約】本発明は、アルカリ溶解性、現像液耐性、細線密着性及びパターン直進性に優れ、膜収縮の小さいアルカリ可溶型感放射線性樹脂組成物を得るために好適に用いられるアルカリ可溶性樹脂を提供することを目的とする。本発明のアルカリ可溶性樹脂は、（ａ）環状構造を有し且つ水酸基を有する（メタ）アクリル酸エステル、（ｂ）（メタ）アクリル酸エステルモノマー、及び、（ｃ）カルボン酸又はその酸無水物を反応させて得られることを特徴とする。【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）環状構造を有し且つ水酸基を有する（メタ）アクリル酸エステル、
（ｂ）（メタ）アクリル酸エステルモノマー、及び、
（ｃ）カルボン酸又はその酸無水物
を反応させて得られることを特徴とするアルカリ可溶性樹脂。
【請求項２】
（ｃ）カルボン酸又はその酸無水物が、（ｃ１）テトラカルボン酸又はその酸二無水物、及び、（ｃ２）ジカルボン酸又はその酸無水物である請求項１に記載のアルカリ可溶性樹脂。
【請求項３】
（ａ）環状構造を有し且つ水酸基を有する（メタ）アクリル酸エステルと、（ｂ）（メタ）アクリル酸エステルモノマーと、（ｃ１）テトラカルボン酸又はその酸二無水物とを反応させ、次いで（ｃ２）ジカルボン酸又はその酸無水物を反応させて得られる請求項２に記載のアルカリ可溶性樹脂。
【請求項４】
（ａ）環状構造を有し且つ水酸基を有する（メタ）アクリル酸エステルと、（ｃ１）テトラカルボン酸又はその酸二無水物とを反応させ、次いで（ｂ）（メタ）アクリル酸エステルモノマーと、（ｃ２）ジカルボン酸又はその酸無水物を反応させて得られる請求項２に記載のアルカリ可溶性樹脂。
【請求項５】
（ｂ）（メタ）アクリル酸エステルモノマーが水酸基を有する請求項１〜４のいずれか１項に記載のアルカリ可溶性樹脂。
【請求項６】
下記一般式（１）：
【化１】
2016175160.tif 000007
（一般式（１）中、Ｘは（ａ）環状構造を有し且つ水酸基を有する（メタ）アクリル酸エステルの水酸基を除いた残基を表し、Ｙは（ｃ２）ジカルボン酸又はその酸無水物のカルボキシル基又は酸無水物基を除いた残基を表し、Ｚは（ｃ１）テトラカルボン酸又はその酸二無水物のカルボキシル基又は酸無水物基を除いた残基を表し、Ａは水酸基を有する（ｂ）（メタ）アクリル酸エステルモノマーの水酸基を除いた残基を表し、ｎは１〜２０の整数を表す。）で表されることを特徴とするアルカリ可溶性樹脂。
【請求項７】
下記一般式（２）：
【化２】
2016175160.tif 000008
（一般式（２）中、Ｘは（ａ）環状構造を有し且つ水酸基を有する（メタ）アクリル酸エステルの水酸基を除いた残基を表し、Ｚは（ｃ１）テトラカルボン酸又はその酸二無水物のカルボキシル基又は酸無水物基を除いた残基を表し、Ａは水酸基を有する（ｂ）（メタ）アクリル酸エステルモノマーの水酸基を除いた残基を表し、ｎは１〜２０の整数を表す。）で表されることを特徴とするアルカリ可溶性樹脂。
【請求項８】
（ａ）環状構造を有し且つ水酸基を有する（メタ）アクリル酸エステルが、ビスフェノール骨格を有する請求項１〜７のいずれか１項に記載のアルカリ可溶性樹脂。
【請求項９】
（ｂ）（メタ）アクリル酸エステルモノマーが、多官能（メタ）アクリル酸エステルモノマーである請求項１〜８のいずれか１項に記載のアルカリ可溶性樹脂。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、アルカリ可溶性樹脂に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）、有機ＥＬディスプレイ等のＩＴＯ電極形成用のためのレジスト材料や層間絶縁膜、回路保護膜、液晶ディスプレイのカラーフィルター製造用着色顔料分散レジスト、有機ＥＬディスプレイ用隔壁材等の永久膜形成材料として、感放射線性樹脂組成物が幅広く使用されている。この中で、近年、液晶ディスプレイはテレビ用途等で需要が高まっており、その製造工程において、感放射線性樹脂組成物が多用されている。【０００３】
感放射線性樹脂組成物として、例えば特許文献１には、ビスフェノール類から誘導される２個のグリシジルエーテル基を有するエポキシ化合物と（メタ）アクリル酸との反応物を、更に多塩基酸カルボン酸又はその無水物と反応させて得られた不飽和基含有化合物を必須成分として含むブラックレジスト用感光性樹脂組成物が提案されている。しかしながら、該組成物は、アルカリ溶解性には優れるものの、現像液耐性、細線密着性及びパターン直進性が充分ではなく、膜収縮も大きいため、これらの点で改善の余地があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−３６１７３６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、アルカリ溶解性、現像液耐性、細線密着性及びパターン直進性に優れ、膜収縮の小さいアルカリ可溶型感放射線性樹脂組成物を得るために好適に用いられるアルカリ可溶性樹脂を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明者らは、上記課題を解決するために鋭意検討した結果、（ａ）環状構造を有し且つ水酸基を有する（メタ）アクリル酸エステル、及び、（ｃ）カルボン酸又はその酸無水物に加えて、（ｂ）（メタ）アクリル酸エステルモノマーを反応させて得られたアルカリ可溶性樹脂が、アルカリ溶解性、現像液耐性、細線密着性及びパターン直進性に優れ、膜収縮の小さいアルカリ可溶型感放射線性樹脂組成物を得るために好適に用いられることを見出し、本発明を完成させた。【０００７】
すなわち、第一の本発明のアルカリ可溶性樹脂は、
（ａ）環状構造を有し且つ水酸基を有する（メタ）アクリル酸エステル、
（ｂ）（メタ）アクリル酸エステルモノマー、及び、
（ｃ）カルボン酸又はその酸無水物
を反応させて得られることを特徴とする。【０００８】
第一の本発明のアルカリ可溶性樹脂は、（ｃ）カルボン酸又はその酸無水物が、（ｃ１）テトラカルボン酸又はその酸二無水物、及び、（ｃ２）ジカルボン酸又はその酸無水物であることが好ましい。【０００９】
第一の本発明のアルカリ可溶性樹脂は、（ａ）環状構造を有し且つ水酸基を有する（メタ）アクリル酸エステルと、（ｂ）（メタ）アクリル酸エステルモノマーと、（ｃ１）テトラカルボン酸又はその酸二無水物とを反応させ、次いで（ｃ２）ジカルボン酸又はその酸無水物を反応させて得られることが好ましい。【００１０】
第一の本発明のアルカリ可溶性樹脂は、（ａ）環状構造を有し且つ水酸基を有する（メタ）アクリル酸エステルと、（ｃ１）テトラカルボン酸又はその酸二無水物とを反応させ、次いで（ｂ）（メタ）アクリル酸エステルモノマーと、（ｃ２）ジカルボン酸又はその酸無水物を反応させて得られることが好ましい。【００１１】
第一の本発明のアルカリ可溶性樹脂は、（ｂ）（メタ）アクリル酸エステルモノマーが水酸基を有することが好ましい。【００１２】
第二の本発明のアルカリ可溶性樹脂は、
下記一般式（１）：【００１３】
【化１】
2016175160.tif 000002
【００１４】
（一般式（１）中、Ｘは（ａ）環状構造を有し且つ水酸基を有する（メタ）アクリル酸エステルの水酸基を除いた残基を表し、Ｙは（ｃ２）ジカルボン酸又はその酸無水物のカルボキシル基又は酸無水物基を除いた残基を表し、Ｚは（ｃ１）テトラカルボン酸又はその酸二無水物のカルボキシル基又は酸無水物基を除いた残基を表し、Ａは水酸基を有する（ｂ）（メタ）アクリル酸エステルモノマーの水酸基を除いた残基を表し、ｎは１〜２０の整数を表す。）で表されることを特徴とする。【００１５】
第三の本発明のアルカリ可溶性樹脂は、下記一般式（２）：【００１６】
【化２】
2016175160.tif 000003
【００１７】
（一般式（２）中、Ｘは（ａ）環状構造を有し且つ水酸基を有する（メタ）アクリル酸エステルの水酸基を除いた残基を表し、Ｚは（ｃ１）テトラカルボン酸又はその酸二無水物のカルボキシル基又は酸無水物基を除いた残基を表し、Ａは水酸基を有する（ｂ）（メタ）アクリル酸エステルモノマーの水酸基を除いた残基を表し、ｎは１〜２０の整数を表す。）で表されることを特徴とする。【００１８】
第一〜第三の本発明のアルカリ可溶性樹脂は、（ａ）環状構造を有し且つ水酸基を有する（メタ）アクリル酸エステルが、ビスフェノール骨格を有することが好ましい。【００１９】
第一〜第三の本発明のアルカリ可溶性樹脂は、（ｂ）（メタ）アクリル酸エステルモノマーが、多官能（メタ）アクリル酸エステルモノマーであることが好ましい。
【発明の効果】
【００２０】
第一〜第三の本発明のアルカリ可溶性樹脂は、（ａ）環状構造を有し且つ水酸基を有する（メタ）アクリル酸エステル、及び、（ｃ）カルボン酸又はその酸無水物に加えて、（ｂ）（メタ）アクリル酸エステルモノマーを反応させて得られたものであるため、アルカリ溶解性、現像液耐性、細線密着性及びパターン直進性に優れ、膜収縮の小さいアルカリ可溶型感放射線性樹脂組成物を得るために好適に用いられる。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
＜＜第一の本発明のアルカリ可溶性樹脂＞＞
第一の本発明のアルカリ可溶性樹脂は、
（ａ）環状構造を有し且つ水酸基を有する（メタ）アクリル酸エステル、
（ｂ）（メタ）アクリル酸エステルモノマー、及び、
（ｃ）カルボン酸又はその酸無水物
を反応させて得られることを特徴とする。
【００２２】
＜（ａ）成分＞
（ａ）環状構造を有し且つ水酸基を有する（メタ）アクリル酸エステル（以下、単に（ａ）成分ともいう）の環状構造とは、分子を構成する原子が環状に結合してなる構造を指す。環状構造としては、特に限定されないが、例えば、芳香環、脂環、縮合環、複素環等が挙げられる。これらは（ａ）成分中に単独で存在していても良いし、２種以上が併存していても良い。
【００２３】
（ａ）成分としては、特に限定されないが、例えば、ビスフェノールフルオレン型（エポキシ）アクリレート、ビスクレゾールフルオレン型（エポキシ）アクリレート、ビスフェニルフェノールフルオレン型（エポキシ）アクリレート、ビスフェノールＡ型（エポキシ）アクリレート、ビスフェノールＡＰ型（エポキシ）アクリレート、ビスフェノールＦ型（エポキシ）アクリレート等のビスフェノール骨格含有（エポキシ）アクリレート、トリスフェノール骨格含有（エポキシ）アクリレート、テトラフェノール骨格含有（エポキシ）アクリレート、ナフタレン骨格含有（エポキシ）アクリレート、ノボラック骨格含有（エポキシ）アクリレート、アダマンタン骨格含有（エポキシ）アクリレート、イソシアヌル酸骨格含有（エポキシ）アクリレート等が挙げられる。これらは単独で用いても良いし、２種以上を併用しても良い。
【００２４】
なお、本明細書において、（メタ）アクリル酸エステルとは、（メタ）アクリル酸と、水酸基含有化合物又はエポキシ基含有化合物とのエステルを指すものとする。また、本明細書において、（メタ）アクリル酸とは、アクリル酸又はメタクリル酸を指すものとする。
【００２５】
（ａ）成分は、硬化膜にした時の耐熱性、密着性、耐薬品性に優れることから、ビスフェノール骨格を有することが好ましく、フルオレン骨格を有する事がより好ましい。
【００２６】
（ａ）成分が有する水酸基の数は、特に限定されないが、１分子内に２〜５個であることが好ましく、２個であることがより好ましい。また、（ａ）成分が有する炭素−炭素二重結合（Ｃ＝Ｃ結合）の数は、特に限定されないが、１分子内に１〜４個であることが好ましく、１〜２個であることがより好ましい。
【００２７】
＜（ｂ）成分＞
（ｂ）（メタ）アクリル酸エステルモノマー（以下、単に（ｂ）成分ともいう）としては、特に限定されないが、例えば、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、３−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、テトラエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、テトラメチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンモノ（メタ）アクリレート、トリメチロールエタントリ（メタ）アクリレート、トリメチロールエタンジ（メタ）アクリレート、トリメチロールエタンモノ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールモノ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールモノ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールジ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、グリセロール（メタ）アクリレート等の環状構造を有しない（メタ）アクリル酸エステルモノマーや、イソシアヌル酸エチレンオキサイド変性ジ（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシ−３−フェノキシプロピルアクリレート等の環状構造を有する（メタ）アクリル酸エステルモノマーや、デンドリマー型アクリレート、ハイパーブランチ型アクリレート等が挙げられる。これらは単独で用いても良いし、２種以上を併用しても良い。これらの中では、環状構造を有しない（メタ）アクリル酸エステルモノマー、デンドリマー型アクリレート、ハイパーブランチ型アクリレートを用いる事が好ましい。
【００２８】
（ｂ）成分は、アルカリ可溶性樹脂を合成する際の反応に供するため、反応性官能基として、水酸基、エポキシ基、アミノ基等を有することが好ましく、特に水酸基を有する事が好ましい。
【００２９】
（ｂ）成分が反応性官能基を有する場合、反応性官能基の数は特に限定されないが、１分子内に１〜５個であることが好ましく、１個であることがより好ましい。また、（ｂ）成分が有する炭素−炭素二重結合（Ｃ＝Ｃ結合）の数は、特に限定されないが、１分子内に１〜５個であることが好ましく、３〜５個であることがより好ましい。
【００３０】
（ｂ）成分は、膜の硬化性に優れることから、多官能（メタ）アクリル酸エステルモノマーであることが好ましい。ここで、多官能とは、１分子内に炭素−炭素二重結合を２個以上有することを意味する。
【００３１】
＜（ｃ）成分＞
（ｃ）カルボン酸又はその酸無水物（以下、単に（ｃ）成分ともいう）としては、特に限定されず、公知の化合物を用いることができる。
【００３２】
（ｃ）成分は、現像性を調節できることから、（ｃ１）テトラカルボン酸又はその酸二無水物（以下、単に（ｃ１）成分ともいう）、及び、（ｃ２）ジカルボン酸又はその酸無水物（以下、単に（ｃ２）成分ともいう）であることが好ましい。
【００３３】
（ｃ１）成分としては、特に限定されないが、例えば、ピロメリット酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸、ビフェニルテトラカルボン酸、ビフェニルエーテルテトラカルボン酸、ジフェニルスルホン酸テトラカルボン酸、４，４’−ヘキサフルオロプロピリデンビスフタル酸、１，２，４，５−シクロヘキサンテトラカルボン酸等やこれらの酸二無水物等が挙げられる。これらは単独で用いても良いし、２種以上を併用しても良い。
【００３４】
（ｃ２）成分としては、特に限定されないが、例えば、マレイン酸、コハク酸、イタコン酸、フタル酸、テトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロフタル酸、メチルエンドメチレンテトラヒドロフタル酸、クロレンド酸、メチルテトラヒドロフタル酸、コハク酸、グルタル酸、トリメリット酸等やこれらの酸無水物等が挙げられる。これらは単独で用いても良いし、２種以上を併用しても良い。
【００３５】
＜（ａ）〜（ｃ）成分の反応＞
（ａ）〜（ｃ）成分の反応において、各成分の添加順序は特に限定されないが、例えば、（ｃ）成分として（ｃ１）成分及び（ｃ２）成分を用いる場合、（ａ）成分と、（ｂ）成分と、（ｃ１）成分とを反応させ、次いで（ｃ２）成分を反応させる方法や、（ａ）成分と、（ｃ１）成分とを反応させ、次いで（ｂ）成分と、（ｃ２）成分を反応させる方法等が挙げられる。
【００３６】
（ａ）〜（ｃ）成分の反応において、各成分の使用量としては、特に限定されないが、（ａ）成分の水酸基１００モル部に対し、（ｂ）成分の反応性官能基が通常１〜６０モル部、好ましくは３モル部以上３０モル部未満、（ｃ）成分のカルボキシル基又は酸無水物基が酸無水物基に換算して通常３０〜１００モル部、好ましくは５０モル部以上１００モル部未満の割合になるように反応させるのが有利である。ここで、酸無水物基とは−ＣＯ−Ｏ−ＣＯ−基であり、テトラカルボン酸又はジカルボン酸のカルボキシル基２つが１つの酸無水物基に相当すると定義される。（ｂ）成分の反応性官能基が１モル部未満では現像性の悪化を招く原因となるし、６０モル部を超えて使用しても同様に現像性の悪化を招く原因となる。また、（ｃ）成分のカルボキシル基又は酸無水物基が酸無水物基に換算して３０モル部未満では分子量を十分に増加させて高感度に必要な重合性二重結合基を十分に導入する事ができにくいし、１００モル部を超えて使用しても同様に分子量増加が得られないばかりか、未反応物が残存し、現像性の悪化を招く原因となる。更に、特に（ｃ）成分として（ｃ１）成分及び（ｃ２）成分を用いる場合には、（ｃ１）成分と（ｃ２）成分の割合は、モル比で、通常９９：１〜１０：９０、好ましくは９５：５〜２０：８０の範囲で選定される。（ｃ２）成分のモル比が１未満では、樹脂粘度が高くなり作業性が悪化するだけではなく、分子量が大きくなりすぎるため、未露光部が現像液に対して溶解せず、目的のパターンが得られないことがある。また、（ｃ２）成分のモル比が９０を超えると、分子量が小さいため、プリベーク後の塗膜にスティッキングが残る問題が生じることがある。
【００３７】
（ａ）〜（ｃ）成分の反応温度は、特に限定されないが、８０〜１３０℃であることが好ましく、９０〜１１０℃であることがより好ましい。反応温度が８０℃未満であると、反応がスムーズに進行せず、未反応物が残存する恐れがあり、１３０℃を超えると、（ａ）成分及び（ｂ）成分の重合が一部起こり、分子量が急激に増大する原因となる。反応時間は、特に限定されないが、２〜２４時間であることが好ましく、４〜２０時間であることがより好ましい。反応時間が２時間未満であると、反応が十分に進行せず、未反応物が残存する恐れがあり、２４時間を超えると、（ａ）成分及び（ｂ）成分の重合が一部起こり、分子量が急激に増大する原因となる。
【００３８】
（ａ）〜（ｃ）成分の反応は、必要に応じて、溶媒、触媒等の存在下で行っても良い。また、該反応においては、（ａ）〜（ｃ）成分に加えて、任意に、他のモノマーを反応させても良い。他のモノマーとしては、特に限定されないが、例えば、多価アルコール、エポキシ化合物、イソシアネート化合物、シランカップリング剤等が挙げられる。これらは単独で用いても良いし、２種以上を併用しても良い。
【００３９】
＜＜第二の本発明のアルカリ可溶性樹脂＞＞
第二の本発明のアルカリ可溶性樹脂は、下記一般式（１）：
【００４０】
【化３】
2016175160.tif 000004
【００４１】
（一般式（１）中、Ｘは（ａ）環状構造を有し且つ水酸基を有する（メタ）アクリル酸エステルの水酸基を除いた残基を表し、Ｙは（ｃ２）ジカルボン酸又はその酸無水物のカルボキシル基又は酸無水物基を除いた残基を表し、Ｚは（ｃ１）テトラカルボン酸又はその酸二無水物のカルボキシル基又は酸無水物基を除いた残基を表し、Ａは水酸基を有する（ｂ）（メタ）アクリル酸エステルモノマーの水酸基を除いた残基を表し、ｎは１〜２０の整数を表す。）で表されることを特徴とする。
【００４２】
（ａ）、（ｂ）、（ｃ１）、（ｃ２）成分については、第一の本発明のアルカリ可溶性樹脂と同様である。
【００４３】
＜＜第三の本発明のアルカリ可溶性樹脂＞＞
第三の本発明のアルカリ可溶性樹脂は、下記一般式（２）：
【００４４】
【化４】
2016175160.tif 000005
【００４５】
（一般式（２）中、Ｘは（ａ）環状構造を有し且つ水酸基を有する（メタ）アクリル酸エステルの水酸基を除いた残基を表し、Ｚは（ｃ１）テトラカルボン酸又はその酸二無水物のカルボキシル基又は酸無水物基を除いた残基を表し、Ａは水酸基を有する（ｂ）（メタ）アクリル酸エステルモノマーの水酸基を除いた残基を表し、ｎは１〜２０の整数を表す。）で表されることを特徴とする。
【００４６】
（ａ）、（ｂ）、（ｃ１）成分については、第一の本発明のアルカリ可溶性樹脂と同様である。
【００４７】
第一〜第三の本発明のアルカリ可溶性樹脂の酸価は、特に限定されないが、３０〜１２０ｍｇＫＯＨ／ｇであることが好ましく、５０〜１１０ｍｇＫＯＨ／ｇであることがより好ましい。酸価が３０ｍｇＫＯＨ／ｇ未満であると、未露光部の現像液に対する溶解性が低くなり、現像に要する時間が長くなってしまうだけではなく、目的のパターンが得られないことがあり、１２０ｍｇＫＯＨ／ｇを超えると、未露光部の現像液に対する溶解性が高くなり過ぎ、現像マージンが取れず、こちらも目的のパターンが得られないことがある。
【００４８】
第一〜第三の本発明のアルカリ可溶性樹脂の重量平均分子量は、特に限定されないが、１，０００〜５０，０００であることが好ましく、１，０００〜２０，０００であることがより好ましく、１，０００〜１０，０００であることがさらに好ましい。重量平均分子量が１，０００未満であると、プリベーク後の塗膜にスティッキングが残る問題が生じることがあり、５０，０００を超えると、樹脂粘度が高くなり作業性が悪化するだけではなく、未露光部が現像液に対して溶解せず、目的のパターンが得られないことがある。
【００４９】
＜＜アルカリ可溶型感放射線性樹脂組成物＞＞
以下、（Ａ）第一〜第三のいずれかの本発明のアルカリ可溶性樹脂（以下、単に（Ａ）成分ともいう）を含有するアルカリ可溶型感放射線性樹脂組成物について説明する。
【００５０】
ここで、感放射線性とは、各種の放射線により化学反応を起す性質を言い、このような放射線としては、波長の長いものから順に、可視光線、紫外線、電子線、Ｘ線、α線、β線、及びγ線が挙げられる。これらの中で、経済性及び効率性の点から、実用的には、紫外線が最も好ましい放射線である。紫外線としては、低圧水銀灯、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、アーク灯、キセノンランプなどのランプから発振される紫外光を好適に使用することができる。紫外線よりも波長の短い放射線は、化学反応性が高く、理論的には紫外線より優れているが、経済性の観点から紫外線が実用的である。
【００５１】
アルカリ可溶型感放射線性樹脂組成物は、（Ａ）成分に加えて、任意に他の成分を含有していても良い。他の成分としては、特に限定されないが、例えば、（Ｂ）エポキシ基を有する化合物（以下、単に（Ｂ）成分ともいう）、（Ｃ）光重合開始剤及び／又は光増感剤（以下、単に（Ｃ）成分ともいう）、（Ｄ）光重合性モノマー及び／又はオリゴマー（以下、単に（Ｄ）成分ともいう）、溶媒、顔料、エポキシ基硬化促進剤、熱重合禁止剤、酸化防止剤、密着助剤、界面活性剤、消泡剤等が挙げられる。
【００５２】
（Ｂ）成分としては、特に限定されないが、例えば、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＳ型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂等のエポキシ樹脂や、フェニルグリシジルエーテル、ｐ−ブチルフェノールグリシジルエーテル、トリグリシジルイソシアヌレート、ジグリシジルイソシアヌレート、アリルグリシジルエーテル、グリシジルメタクリレート等のエポキシ基を少なくとも１個有する化合物等が挙げられる。これらは単独で用いても良いし、２種以上を併用しても良い。
【００５３】
アルカリ可溶型感放射線性樹脂組成物が（Ｂ）成分を含有する場合、その含有量は、特に限定されないが、（Ａ）成分１００重量部に対して５〜５０重量部であることが好ましく、１０〜３０重量部であることがより好ましい。含有量が５重量部未満であると、硬化後の特性、特に耐アルカリ性が不十分となることがあり、５０重量部を超えると、硬化時に割れが起こり、密着性も低下しやすくなることがある。
【００５４】
（Ｃ）成分としては、特に限定されないが、例えば、アセトフェノン、２，２−ジエトキシアセトフェノン、ｐ−ジメチルアセトフェノン、ｐ−ジメチルアミノプロピオフェノン、ジクロロアセトフェノン、トリクロロアセトフェノン、ｐ−ｔｅｒｔ−ブチルアセトフェノン等のアセトフェノン類や、ベンゾフェノン、２−クロロベンゾフェノン、ｐ，ｐ’−ビスジメチルアミノベンゾフェノン等のベンゾフェノン類や、ベンジル、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル等のベンゾインエ−テル類や、ベンジルジメチルケタール、チオキサンテン、２−クロロチオキサンテン、２,４−ジエチルチオキサンテン、２−メチルチオキサンテン、２−イソプロピルチオキサンテン等のイオウ化合物や、２−エチルアントラキノン、オクタメチルアントラキノン、１,２−ベンズアントラキノン、２,３−ジフェニルアントラキノン等のアントラキノン類や、アゾビスイソブチロニトリル、ベンゾイルパーオキシド、クメンパーオキシド等の有機過酸化物や、２−メルカプトベンゾイミダール、２−メルカプトベンゾオキサゾール、２−メルカプトベンゾチアゾール等のチオール化合物等が挙げられる。これらは単独で用いても良いし、２種以上を併用しても良い。
【００５５】
アルカリ可溶型感放射線性樹脂組成物が（Ｃ）成分を含有する場合、その含有量は、特に限定されないが、（Ａ）成分１００重量部に対して０．１〜３０重量部であることが好ましく、１〜２０重量部であることがより好ましい。含有量が０．１重量部未満であると、光重合の速度が遅くなって、感度が低下することがあり、３０重量部を超えると、光が基板まで達しにくいため、基板と樹脂との密着性が悪くなることがある。
【００５６】
（Ｄ）成分としては、特に限定されないが、例えば、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、３−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、テトラエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、テトラメチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンモノ（メタ）アクリレート、トリメチロールエタントリ（メタ）アクリレート、トリメチロールエタンジ（メタ）アクリレート、トリメチロールエタンモノ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールモノ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールモノ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールジ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、グリセロール（メタ）アクリレート等が挙げられる。これらは単独で用いても良いし、２種以上を併用しても良い。
【００５７】
アルカリ可溶型感放射線性樹脂組成物が（Ｄ）成分を含有する場合、その含有量は、特に限定されないが、（Ａ）成分１００重量部に対して５０重量部以下であることが好ましく、４０重量部以下であることがより好ましい。含有量が５０重量部を超えると、プリベーク後のスティッキング性に問題が出てくることがある。
【００５８】
溶媒としては、特に限定されないが、例えば、メタノール、エタノールなどのアルコール類；テトラヒドロフランなどのエーテル類；エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールメチルエチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテルなどのグリコールエーテル類；メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテートなどのエチレングリコールアルキルエーテルアセテート類；ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテルなどのジエチレングリコール類；プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールエチルエーテルアセテートなどのプロピレングリコールアルキルエーテルアセテート類；トルエン、キシレンなどの芳香族炭化水素類；メチルエチルケトン、メチルアミルケトン、シクロヘキサノン、４−ヒドロキシ−４−メチル−２−ペンタノンなどのケトン類；ならびに２−ヒドロキシプロピオン酸エチル、２−ヒドロキシ−２−メチルプロピオン酸メチル、２−ヒドロキシ−２−メチルプロピオン酸エチル、エトキシ酢酸エチル、ヒドロキシ酢酸エチル、２−ヒドロキシ−２−メチルブタン酸メチル、３−メトキシプロピオン酸メチル、３−メトキシプロピオン酸エチル、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、酢酸エチル、酢酸ブチル、乳酸メチル、乳酸エチルなどのエステル類等が挙げられる。これらは単独で用いても良いし、２種以上を併用しても良い。
【００５９】
アルカリ可溶型感放射線性樹脂組成物が溶媒を含有する場合、その含有量は、特に限定されず、目標とする粘度によって変化するが、アルカリ可溶型感放射線性樹脂組成物の固形分濃度が１〜５０重量％となる量が好ましく、５〜３０重量％となる量がより好ましい。
【００６０】
顔料としては、特に限定されないが、例えば、カーボンブラック、酸化クロム、酸化鉄、チタンブラック、アニリンブラック、シアニンブラック、ペリレンブラック等が挙げられる。これらは単独で用いても良いし、２種以上を併用しても良い。
【００６１】
アルカリ可溶型感放射線性樹脂組成物が顔料を含有する場合、その含有量は、特に限定されないが、（Ａ）成分１００重量部に対して５０〜１５０重量部であることが好ましく、８０〜１２０重量部であることがより好ましい。含有量が５０重量部未満であると、遮光性が十分でなくなることがあり、１５０重量部を超えると、本来のバインダーとなるアルカリ可溶性樹脂の含有量が減少するため、現像特性を損なうと共に膜形成能が損なわれるという好ましくない問題が生じることがある。
【００６２】
アルカリ可溶型感放射線性樹脂組成物は、硬化後の特性を十分に引き出せることから、（Ａ）成分に加えてさらに、（Ｂ）成分及び（Ｃ）成分を含むことが好ましい。
【００６３】
アルカリ可溶型感放射線性樹脂組成物は、硬化後の特性を十分に引き出せることから、（Ａ）成分に加えてさらに、（Ｄ）成分を、（Ａ）成分１００重量部に対し５０重量部以下含むことが好ましい。
【００６４】
アルカリ可溶型感放射線性樹脂組成物は、第一〜第三のいずれかの本発明のアルカリ可溶性樹脂を含有するため、アルカリ溶解性、現像液耐性、細線密着性及びパターン直進性に優れ、膜収縮が小さい。
【００６５】
＜＜硬化物＞＞
以下、上述のアルカリ可溶型感放射線性樹脂組成物を硬化させて得られる硬化物について説明する。
【００６６】
アルカリ可溶型感放射線性樹脂組成物を硬化させる方法としては、特に限定されないが、アルカリ可溶型感放射線性樹脂組成物の溶液を、ディッピング法、スプレー法、スリットコーター、スピンナーを用いる等のいずれかの方法により基板等に塗布し、乾燥し、光（紫外線、放射線等を含む）を照射した後、現像処理、ポストベークを行う方法等が挙げられる。
【００６７】
硬化物は、上述のアルカリ可溶型感放射線性樹脂組成物を硬化させて得られたものであるため、現像液耐性、細線密着性及びパターン直進性に優れ、膜収縮が小さい。
【００６８】
＜＜硬化膜＞＞
以下、上述のアルカリ可溶型感放射線性樹脂組成物を硬化させて得られる硬化膜について説明する。アルカリ可溶型感放射線性樹脂組成物を硬化させる方法については、前述のとおりである。
【００６９】
硬化膜の膜厚は、特に限定されないが、０．１〜１０μｍであることが好ましく、１〜５μｍであることがより好ましい。膜厚が０．１μｍ未満であると、遮光性が十分でなくなることがあり、１０μｍを超えると、膜全体が十分に硬化しなくなることがある。
【００７０】
硬化膜の用途は、特に限定されないが、カラーフィルター、液晶表示素子、集積回路素子、固体撮像素子などの保護膜や層間絶縁膜、カラーレジスト、プリント配線板製造の際に用いられるソルダーレジスト等が挙げられる。
【００７１】
硬化膜は、上述のアルカリ可溶型感放射線性樹脂組成物を硬化させて得られたものであるため、現像液耐性、細線密着性及びパターン直進性に優れ、膜収縮が小さい。
【００７２】
＜＜カラーフィルター＞＞
上述の硬化膜は、カラーフィルターとすることができる。
カラーフィルターは、上述の硬化膜からなるため、現像液耐性、細線密着性及びパターン直進性に優れ、膜収縮が小さい。
【実施例】
【００７３】
以下、実施例を挙げて本発明を説明するが、本発明は以下の実施例に限定されない。以下、「部」又は「％」は特記ない限り、それぞれ「重量部」又は「重量％」を意味する。【００７４】
（実施例１）
３００ｍｌセパラブルフラスコ中に、ビスフェノールフルオレン型エポキシアクリレートのメトキシブチルアセテート溶液１３３．９ｇ及びペンタエリスリトール（トリ／テトラ）アクリレート９．０ｇ及び３，３’，４，４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物１１．７ｇを混合し、徐々に昇温して１００〜１０５℃で１４時間反応させた。酸無水物の消失を確認した後、メトキシブチルアセテート１６．７ｇを加えて希釈し、１，２，３，６−テトラヒドロ無水フタル酸８．６ｇを混合し、９０〜９５℃で４時間反応させ、アルカリ可溶性樹脂１を得た。酸無水物の消失はＩＲスペクトルにより確認した。また、得られたアルカリ可溶性樹脂１の固形分は５６．２％、酸価は４９．９ｍｇＫＯＨ／ｇ（固形分換算で８８．８ｍｇＫＯＨ／ｇ）、重量平均分子量は３，５００であった。【００７５】
（実施例２）
３００ｍｌセパラブルフラスコ中に、ビスフェノールフルオレン型エポキシアクリレートのメトキシブチルアセテート溶液１３３．９ｇ及び３，３’，４，４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物１１．７ｇを混合し、徐々に昇温して１００〜１０５℃で１４時間反応させた。酸無水物の消失を確認した後、メトキシブチルアセテート１６．７ｇを加えて希釈し、ペンタエリスリトール（トリ／テトラ）アクリレート９．０ｇ及び１，２，３，６−テトラヒドロ無水フタル酸８．６ｇを混合し、９０〜９５℃で４時間反応させ、アルカリ可溶性樹脂２を得た。酸無水物の消失はＩＲスペクトルにより確認した。また、得られたアルカリ可溶性樹脂２の固形分は５６．６％、酸価は４９．６ｍｇＫＯＨ／ｇ（固形分換算で８７．６ｍｇＫＯＨ／ｇ）、重量平均分子量は３，９００であった。【００７６】
（実施例３）
３００ｍｌセパラブルフラスコ中に、ビスフェノールフルオレン型エポキシアクリレートのメトキシブチルアセテート溶液１３３．９ｇ及びジペンタエリスリトール（ペンタ／ヘキサ）アクリレート９．０ｇ及び３，３’，４，４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物１１．７ｇを混合し、徐々に昇温して１００〜１０５℃で１４時間反応させた。酸無水物の消失を確認した後、メトキシブチルアセテート１６．７ｇを加えて希釈し、１，２，３，６−テトラヒドロ無水フタル酸８．６ｇを混合し、９０〜９５℃で４時間反応させ、アルカリ可溶性樹脂３を得た。酸無水物の消失はＩＲスペクトルにより確認した。また、得られたアルカリ可溶性樹脂３の固形分は５６．８％、酸価は４９．３ｍｇＫＯＨ／ｇ（固形分換算で８６．８ｍｇＫＯＨ／ｇ）、重量平均分子量は３，７００であった。【００７７】
（実施例４）
３００ｍｌセパラブルフラスコ中に、ビスフェノールフルオレン型エポキシアクリレートのメトキシブチルアセテート溶液１３３．９ｇ及び３，３’，４，４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物１１．７ｇを混合し、徐々に昇温して１００〜１０５℃で１４時間反応させた。酸無水物の消失を確認した後、メトキシブチルアセテート１６．７ｇを加えて希釈し、ジペンタエリスリトール（ペンタ／ヘキサ）アクリレート９．０ｇ及び１，２，３，６−テトラヒドロ無水フタル酸８．６ｇを混合し、９０〜９５℃で４時間反応させ、アルカリ可溶性樹脂４を得た。酸無水物の消失はＩＲスペクトルにより確認した。また、得られたアルカリ可溶性樹脂４の固形分は５６．９％、酸価は４８．４ｍｇＫＯＨ／ｇ（固形分換算で８５．１ｍｇＫＯＨ／ｇ）、重量平均分子量は３，８００であった。【００７８】
（実施例５）
３００ｍｌセパラブルフラスコ中に、アダマンタントリオールモノアクリレートのメトキシブチルアセテート溶液１３１．４ｇ及びペンタエリスリトール（トリ／テトラ）アクリレート８．５ｇ及び３，３’，４，４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物１１．１ｇを混合し、徐々に昇温して１００〜１０５℃で１４時間反応させた。酸無水物の消失を確認した後、メトキシブチルアセテート１０．７ｇを加えて希釈し、１，２，３，６−テトラヒドロ無水フタル酸８．１ｇを混合し、９０〜９５℃で４時間反応させ、アルカリ可溶性樹脂５を得た。酸無水物の消失はＩＲスペクトルにより確認した。また、得られたアルカリ可溶性樹脂５の固形分は５６．７％、酸価は４９．７ｍｇＫＯＨ／ｇ（固形分換算で８７．７ｍｇＫＯＨ／ｇ）、重量平均分子量は３，２００であった。【００７９】
（実施例６）
３００ｍｌセパラブルフラスコ中に、アダマンタントリオールモノアクリレートのメトキシブチルアセテート溶液１３１．４ｇ及び３，３’，４，４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物１１．１ｇを混合し、徐々に昇温して１００〜１０５℃で１４時間反応させた。酸無水物の消失を確認した後、メトキシブチルアセテート１０．７ｇを加えて希釈し、ペンタエリスリトール（トリ／テトラ）アクリレート８．５ｇ及び１，２，３，６−テトラヒドロ無水フタル酸８．１ｇを混合し、９０〜９５℃で４時間反応させ、アルカリ可溶性樹脂６を得た。酸無水物の消失はＩＲスペクトルにより確認した。また、得られたアルカリ可溶性樹脂６の固形分は５６．１％、酸価は４８．２ｍｇＫＯＨ／ｇ（固形分換算で８５．９ｍｇＫＯＨ／ｇ）、重量平均分子量は３，３００であった。【００８０】
（実施例７）
３００ｍｌセパラブルフラスコ中に、ビスフェノールフルオレン型エポキシアクリレートのメトキシブチルアセテート溶液１３８．６ｇ及びペンタエリスリトール（トリ／テトラ）アクリレート９．０ｇ及び無水ピロメリット酸９．０ｇを混合し、徐々に昇温して１００〜１０５℃で１４時間反応させた。酸無水物の消失を確認した後、メトキシブチルアセテート１４．５ｇを加えて希釈し、１，２，３，６−テトラヒドロ無水フタル酸８．９ｇを混合し、９０〜９５℃で４時間反応させ、アルカリ可溶性樹脂７を得た。酸無水物の消失はＩＲスペクトルにより確認した。また、得られたアルカリ可溶性樹脂７の固形分は５５．８％、酸価は４８．９ｍｇＫＯＨ／ｇ（固形分換算で８７．６ｍｇＫＯＨ／ｇ）、重量平均分子量は３，８００であった。【００８１】
（実施例８）
３００ｍｌセパラブルフラスコ中に、ビスフェノールフルオレン型エポキシアクリレートのメトキシブチルアセテート溶液１３８．６ｇ及び無水ピロメリット酸９．０ｇを混合し、徐々に昇温して１００〜１０５℃で１４時間反応させた。酸無水物の消失を確認した後、メトキシブチルアセテート１４．５ｇを加えて希釈し、ペンタエリスリトール（トリ／テトラ）アクリレート９．０ｇ及び１，２，３，６−テトラヒドロ無水フタル酸８．９ｇを混合し、９０〜９５℃で４時間反応させ、アルカリ可溶性樹脂８を得た。酸無水物の消失はＩＲスペクトルにより確認した。また、得られたアルカリ可溶性樹脂８の固形分は５６．５％、酸価は４７．７ｍｇＫＯＨ／ｇ（固形分換算で８４．４ｍｇＫＯＨ／ｇ）、重量平均分子量は４，０００であった。【００８２】
（実施例９）
３００ｍｌセパラブルフラスコ中に、トリスフェノールメタン型エポキシアクリレートのメトキシブチルアセテート溶液１４５．６ｇ及び３，３’，４，４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物９．０ｇを混合し、徐々に昇温して１００〜１０５℃で１４時間反応させた。酸無水物の消失を確認した後、メトキシブチルアセテート１６．６ｇを加えて希釈し、ジペンタエリスリトール（ペンタ／ヘキサ）アクリレート９．０ｇ及び１，２，３，６−テトラヒドロ無水フタル酸４．６ｇを混合し、９０〜９５℃で４時間反応させ、アルカリ可溶性樹脂９を得た。酸無水物の消失はＩＲスペクトルにより確認した。また、得られたアルカリ可溶性樹脂９の固形分は５５．８％、酸価は３１．４ｍｇＫＯＨ／ｇ（固形分換算で５６．４ｍｇＫＯＨ／ｇ）、重量平均分子量は５，３００であった。【００８３】
（実施例１０）
３００ｍｌセパラブルフラスコ中に、ビスフェノールＡノボラック型エポキシアクリレートのメトキシブチルアセテート溶液１３６．６ｇ及び３，３’，４，４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物２．３ｇを混合し、徐々に昇温して１００〜１０５℃で１４時間反応させた。酸無水物の消失を確認した後、メトキシブチルアセテート２０．４ｇを加えて希釈し、ジペンタエリスリトール（ペンタ／ヘキサ）アクリレート９．０ｇ及び１，２，３，６−テトラヒドロ無水フタル酸１６．４ｇを混合し、９０〜９５℃で４時間反応させ、アルカリ可溶性樹脂１０を得た。酸無水物の消失はＩＲスペクトルにより確認した。また、得られたアルカリ可溶性樹脂１０の固形分は５４．９％、酸価は４３．６ｍｇＫＯＨ／ｇ（固形分換算で７９．４ｍｇＫＯＨ／ｇ）、重量平均分子量は４２，１００であった。【００８４】
（比較例１）
３００ｍｌセパラブルフラスコ中に、ビスフェノールフルオレン型エポキシアクリレートのメトキシブチルアセテート溶液１４７．４ｇ及び３，３’，４，４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物１２．９ｇを混合し、徐々に昇温して１００〜１０５℃で１４時間反応させた。酸無水物の消失を確認した後、メトキシブチルアセテート１０．３ｇを加えて希釈し、１，２，３，６−テトラヒドロ無水フタル酸９．５ｇを混合し、９０〜９５℃で４時間反応させ、アルカリ可溶性樹脂１１を得た。酸無水物の消失はＩＲスペクトルにより確認した。また、得られたアルカリ可溶性樹脂１１の固形分は５５．１％、酸価は５６．９ｍｇＫＯＨ／ｇ（固形分換算で１０３．３ｍｇＫＯＨ／ｇ）、重量平均分子量は４，１００であった。【００８５】
（比較例２）
３００ｍｌセパラブルフラスコ中に、アダマンタントリオールモノアクリレートのメトキシブチルアセテート溶液１４４．６ｇ及び３，３’，４，４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物１２．２ｇを混合し、徐々に昇温して１００〜１０５℃で１４時間反応させた。酸無水物の消失を確認した後、メトキシブチルアセテート４．１ｇを加えて希釈し、１，２，３，６−テトラヒドロ無水フタル酸８．９ｇを混合し、９０〜９５℃で４時間反応させ、アルカリ可溶性樹脂１２を得た。酸無水物の消失はＩＲスペクトルにより確認した。また、得られたアルカリ可溶性樹脂１２の固形分は５６．３％、酸価は５６．４ｍｇＫＯＨ／ｇ（固形分換算で１００．２ｍｇＫＯＨ／ｇ）、重量平均分子量は３，６００であった。【００８６】
（比較例３）
３００ｍｌセパラブルフラスコ中に、ビスフェノールフルオレン型エポキシアクリレートのメトキシブチルアセテート溶液１５２．５ｇ及び無水ピロメリット酸９．９ｇを混合し、徐々に昇温して１００〜１０５℃で１４時間反応させた。酸無水物の消失を確認した後、メトキシブチルアセテート７．８ｇを加えて希釈し、１，２，３，６−テトラヒドロ無水フタル酸９．８ｇを混合し、９０〜９５℃で４時間反応させ、アルカリ可溶性樹脂１３を得た。酸無水物の消失はＩＲスペクトルにより確認した。また、得られたアルカリ可溶性樹脂１３の固形分は５５．４％、酸価は５７．４ｍｇＫＯＨ／ｇ（固形分換算で１０３．６ｍｇＫＯＨ／ｇ）、重量平均分子量は４，３００であった。【００８７】
（配合例１〜１０及び比較配合例１〜４）
実施例１〜１０及び比較例１〜３で得られたアルカリ可溶性樹脂１〜１３を用い、下記表１に示す重量比で各成分を混合し、アルカリ可溶型感放射線性樹脂組成物を調製した。【００８８】
配合例１〜１０及び比較配合例１〜４で得られたアルカリ可溶型感放射線性樹脂組成物について、アルカリ溶解性、現像液耐性、細線密着性、パターン直進性、膜収縮を、下記の方法により評価した。結果を下記表１に示す。【００８９】
（アルカリ溶解性）
露光処理していないプリベークした塗膜を０．５重量％の水酸化カリウム水溶液に３０秒間浸漬して現像し、現像後のガラス基板を５０倍に拡大して、残存する樹脂を目視で確認することにより、アルカリ溶解性を下記３段階で評価した。
○：アルカリ溶解性の良好なもの（ガラス上にアルカリ可溶型感放射線性樹脂組成物が全く残らないもの）
△：アルカリ溶解性の不良なもの（ガラス上にアルカリ可溶型感放射線性樹脂組成物がわずかに残るもの）
×：アルカリ溶解性の不良なもの（ガラス上にアルカリ可溶型感放射線性樹脂組成物が多く残るもの）【００９０】
（現像液耐性）
全面に露光処理した塗膜を０．５重量％の水酸化カリウム水溶液に３分間浸漬して現像し、現像後のガラス基板を５０倍に拡大して、塗膜の状態を目視で確認することにより、現像液耐性を下記３段階で評価した。
○：現像液耐性の良好なもの（塗膜にクラックが全く入っていないもの）
△：現像液耐性の不良なもの（塗膜にわずかにクラックが入っているもの）
×：現像液耐性の不良なもの（塗膜に多くクラックが入っているもの）【００９１】
（細線密着性）
ネガマスクを用いて露光処理した塗膜を０．５重量％の水酸化カリウム水溶液に３０秒間浸漬して現像し、現像後のガラス基板を５０倍に拡大して、ラインパターンを目視で確認することにより、細線密着性を下記３段階で評価した。
○：細線密着性の良好なもの（基板から剥がれずラインパターンが形成されたもの）
△：細線密着性の不良なもの（ラインパターンは形成されているがパターン欠けが発生しているもの）
×：細線密着性の不良なもの（基板から剥がれてラインパターンが形成されなかったもの）【００９２】
（パターン直進性）
ネガマスクを用いて露光処理した塗膜を０．５重量％の水酸化カリウム水溶液に３０秒間浸漬して現像し、現像後のガラス基板を５０倍に拡大して、ラインパターンを目視で確認することにより、パターン直進性を下記３段階で評価した。
○：パターン直進性の良好なもの（ラインのエッジにがたつきがないもの）
△：パターン直進性の不良なもの（ラインのエッジにわずかにがたつきがあるもの）
×：パターン直進性の不良なもの（ラインのエッジに多くがたつきがあるもの）【００９３】
（膜収縮）
露光・現像処理を行った塗膜を、２３０℃にて３０分間ポストベークし、ポストベーク前後の膜べりを確認することにより、膜収縮を下記３段階で評価した。
○：膜収縮の良好なもの（膜べりが少ないもの）
△：膜収縮の不良なもの（膜べりがやや多いもの）
×：膜収縮の不良なもの（膜べりが多いもの）【００９４】
【表１】
2016175160.tif 000006
【００９５】
なお、使用したテトラメチルビフェニル型エポキシ樹脂は、油化シェル社製、商品名「エピコートＹＸ−４０００」、エポキシ当量１９３である。また光重合開始剤は、ＢＡＳＦ社製、商品名「イルガキュアー９０７」である。【００９６】
表１の結果から、（ａ）、（ｃ）成分に加えて（ｂ）成分を反応させて得られた第一〜第三の本発明のアルカリ可溶性樹脂を用いた配合例１〜１０は、（ｂ）成分を反応させていないアルカリ可溶性樹脂を用いた比較配合例１〜４と比較して、現像液耐性、細線密着性及びパターン直進性に優れ、膜収縮も小さいことが分かる。
【国際調査報告】
2016175160.tif 000009
2016175160.tif 000010
2016175160.tif 000011