(57)【要約】  吸着ノズルの先端の検査が行われる際に、吸着ノズルの先端が撮像される。そして、その撮像データに基づいて、吸着ノズルの先端の開口部が特定される。この際、その撮像データに基づく画像１７０では、設定輝度以上の箇所１７２の内部の設定輝度未満の箇所１７６，１７８が、開口部として特定される。さらに、その特定された開口部が、境界線１９０，１９２によって４つのエリアに区分けされ、エリア毎の開口部の面積が演算される。そして、演算された面積に基づいて、エリア毎に、吸着ノズルの良否が判定される。これにより、例えば、不良ノズルの開口部の全体の面積が、正常ノズルの開口部の全体の面積と略同じである場合であっても、開口部のエリア毎の面積に基づいて吸着ノズルの良否を判定することで、吸着ノズルの良否を確実に判定することが可能となる。
2017046862.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品実装機で用いられる吸着ノズルの先端の撮像データに基づいて前記吸着ノズルの先端の開口部を特定し、特定された開口部を複数のエリアに区分けして、特定された開口部の面積を前記複数のエリア毎に演算する演算部と、
前記演算部により演算された面積に基づいて、複数のエリア毎に前記吸着ノズルの良否を判定する判定部と
を備えることを特徴とする制御装置。
【請求項２】
前記制御装置が、
吸着ノズルの先端の撮像データに基づいて前記吸着ノズルの先端の外形線を認識し、その外形線に基づいて、前記複数のエリアの境界線を決定する決定部を備え、
前記演算部が、
吸着ノズルの先端の撮像データに基づいて特定された開口部を、前記決定部により決定された境界線に基づいて前記複数のエリアに区分けして、特定された開口部の面積を前記複数のエリア毎に演算することを特徴とする請求項１に記載の制御装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、吸着ノズルの良否を判定するための制御装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
吸着ノズルの先端には、開口部が形成されており、その開口部からエアを吸引することで、部品が開口部において吸着保持される。このため、開口部への異物等の付着，開口部の欠け等によって、部品を適切に保持できない虞がある。このため、吸着ノズルの先端の状態を検査する必要がある。下記特許文献には、吸着ノズルの開口部の面積が、撮像データに基づいて、演算され、その演算値が設定値と異なる場合に、その吸着ノズルは不良ノズルであると判定される。【０００３】
【特許文献１】特開平６−２０９１８９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記特許文献に記載の技術によれば、ある程度、吸着ノズルの良否を判定することが可能となる。しかしながら、例えば、吸着ノズルの開口部が、一部において、欠け等によって大きくなり、その一部と異なる部分において、異物の付着物によって、開口部が小さくなる場合がある。このような場合には、不良ノズルの開口部の面積と、正常ノズルの開口部の面積とが略同じとなり、不良ノズルが、正常なノズルであると、誤判定される虞がある。本発明は、そのような実情に鑑みてなされたものであり、本発明の課題は、吸着ノズルの良否を確実に判定することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するために、本願に記載の制御装置は、電子部品実装機で用いられる吸着ノズルの先端の撮像データに基づいて前記吸着ノズルの先端の開口部を特定し、特定された開口部を複数のエリアに区分けして、特定された開口部の面積を前記複数のエリア毎に演算する演算部と、前記演算部により演算された面積に基づいて、複数のエリア毎に前記吸着ノズルの良否を判定する判定部とを備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００６】
本願に記載の制御装置では、吸着ノズルの先端の撮像データに基づいて、吸着ノズルの先端の開口部が特定される。さらに、その特定された開口部が複数のエリアに区分けされ、特定された開口部の面積が、その複数のエリア毎に演算される。そして、演算された面積に基づいて、複数のエリア毎に、吸着ノズルの良否が判定される。これにより、例えば、不良ノズルの開口部の全体の面積が、正常ノズルの開口部の全体の面積と略同じである場合であっても、開口部のエリア毎の面積に基づいて吸着ノズルの良否を判定することで、吸着ノズルの良否を確実に判定することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】電子部品装着装置の斜視図である。
【図２】ノズル管理装置の斜視図である。
【図３】一般的な吸着ノズルの先端を示す図である。
【図４】複雑な形状の開口部を有する吸着ノズルの先端を示す図である。
【図５】図４の吸着ノズルの先端の撮像データに基づく画像を示す図である。
【図６】図４の吸着ノズルの先端の撮像データに基づく画像を示す図である。
【図７】図４の吸着ノズルの先端の撮像データに基づく画像を示す図である。
【図８】図４の吸着ノズルの先端の撮像データに基づく画像を示す図である。
【図９】ノズル管理装置の備える制御装置を示すブロック図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下、本発明を実施するための形態として、本発明の実施例を、図を参照しつつ詳しく説明する。【０００９】
＜電子部品装着装置の構成＞
図１に、電子部品装着装置１０を示す。電子部品装着装置１０は、１つのシステムベース１２と、そのシステムベース１２の上に隣接された２台の電子部品装着機（以下、「装着機」と略す場合がある）１４とを有している。なお、装着機１４の並ぶ方向をＸ軸方向と称し、その方向に直角な水平の方向をＹ軸方向と称する。【００１０】
各装着機１４は、主に、装着機本体２０、搬送装置２２、装着ヘッド移動装置（以下、「移動装置」と略す場合がある）２４、装着ヘッド２６、供給装置２８、ノズルステーション３０を備えている。装着機本体２０は、フレーム部３２と、そのフレーム部３２に上架されたビーム部３４とによって構成されている。【００１１】
搬送装置２２は、２つのコンベア装置４０，４２を備えている。それら２つのコンベア装置４０，４２は、互いに平行、かつ、Ｘ軸方向に延びるようにフレーム部３２に配設されている。２つのコンベア装置４０，４２の各々は、電磁モータ（図示省略）によって各コンベア装置４０，４２に支持される回路基板をＸ軸方向に搬送する。また、回路基板は、所定の位置において、基板保持装置（図示省略）によって保持される。【００１２】
移動装置２４は、ＸＹロボット型の移動装置である。移動装置２４は、スライダ５０をＸ軸方向にスライドさせる電磁モータ（図示省略）と、Ｙ軸方向にスライドさせる電磁モータ（図示省略）とを備えている。スライダ５０には、装着ヘッド２６が取り付けられており、その装着ヘッド２６は、２つの電磁モータの作動によって、フレーム部３２上の任意の位置に移動させられる。【００１３】
装着ヘッド２６は、回路基板に対して電子部品を装着するものである。装着ヘッド２６は、下端面に設けられた吸着ノズル６０を有している。吸着ノズル６０は、負圧エア，正圧エア通路を介して、正負圧供給装置（図示省略）に通じている。吸着ノズル６０は、負圧によって電子部品を吸着保持し、保持した電子部品を正圧によって離脱する。また、装着ヘッド２６は、吸着ノズル６０を昇降させる昇降装置（図示省略）を有している。その昇降装置によって、装着ヘッド２６は、保持する電子部品の上下方向の位置を変更する。なお、吸着ノズル６０は、装着ヘッド２６に着脱可能とされており、保持対象の電子部品に応じた吸着ノズルに交換可能とされている。【００１４】
供給装置２８は、フィーダ型の供給装置であり、複数のテープフィーダ７０を有している。テープフィーダ７０は、テープ化部品を巻回させた状態で収容している。テープ化部品は、電子部品がテーピング化されたものである。そして、テープフィーダ７０は、送り装置（図示省略）によって、テープ化部品を送り出す。これにより、フィーダ型の供給装置２８は、テープ化部品の送り出しによって、電子部品を供給位置において供給する。【００１５】
ノズルステーション３０は、ノズルトレイ７６を有している。ノズルトレイ７６には、複数の吸着ノズル６０が収容されている。このノズルステーション３０では、装着ヘッド２６に取り付けられている吸着ノズル６０と、ノズルトレイ７６に収容されている吸着ノズル６０との交換等が、必要に応じて行われる。また、ノズルトレイ７６は、ノズルステーション３０に着脱可能であり、ノズルトレイ７６に収容された吸着ノズル６０の回収，ノズルトレイ７６への吸着ノズル６０の補給等を装着機１４の外部において行うことが可能である。【００１６】
＜装着機による装着作業＞
装着機１４では、上述した構成によって、搬送装置２２に保持された回路基板に対して、装着ヘッド２６によって装着作業を行うことが可能である。具体的には、装着機１４の制御装置（図示省略）の指令により、回路基板が作業位置まで搬送され、その位置において、基板保持装置によって保持される。また、テープフィーダ７０は、制御装置の指令により、テープ化部品を送り出し、電子部品を供給位置において供給する。そして、装着ヘッド２６が、電子部品の供給位置の上方に移動し、吸着ノズル６０によって電子部品を吸着保持する。続いて、装着ヘッド２６は、回路基板の上方に移動し、保持している電子部品を回路基板上に装着する。【００１７】
装着機１４では、上述したように、テープフィーダ７０によって供給された電子部品を、吸着ノズル６０によって吸着保持し、その電子部品が回路基板上に装着される。このため、吸着ノズル６０に不具合が生じている場合には、装着作業を適切に行うことができない虞があるため、吸着ノズル６０を適切に管理する必要がある。そこで、以下に説明するノズル管理装置により、吸着ノズル６０の管理が行われる。【００１８】
＜ノズル管理装置の構成＞
ノズル管理装置８０は、図２に示すように、管理装置本体９０、パレット収容装置９２、ノズル移載装置９４、ノズル洗浄装置９６、ノズル検査装置９８を有している。なお、図２は、ノズル管理装置８０の外殻部材を取り外した状態を示す斜視図であり、ノズル管理装置８０の内部構造を示している。【００１９】
管理装置本体９０は、フレーム部１００と、そのフレーム部１００に上架されたビーム部１０２とによって構成されている。フレーム部１００は、中空構造とされており、フレーム部１００内にパレット収容装置９２が配設され、パレット収容装置９２の上端部が、フレーム部１００の上面に露出している。【００２０】
パレット収容装置９２は、複数のパレット載置棚１０６と、支持アーム１０８とを含む。パレット載置棚１０６は、ノズルパレット１１０を載置するための棚であり、複数のパレット載置棚１０６が、フレーム部１００の内部において、上下方向に並んで配設されている。なお、ノズルパレット１１０には、複数の載置穴１１２が形成されており、載置穴１１２に、吸着ノズル６０が収容される。また、支持アーム１０８は、アーム移動装置（図示省略）の作動により、複数のパレット載置棚１０６の前方において、上下方向に移動するとともに、パレット載置棚１０６に接近・離間する。これにより、パレット載置棚１０６へのノズルパレット１１０の収納、パレット載置棚１０６からのノズルパレット１１０の取出しが、支持アーム１０８によって行われる。なお、パレット載置棚１０６から取り出されたノズルパレット１１０は、支持アーム１０８が上方に移動することで、フレーム部１００の上面側に移動する。【００２１】
ノズル移載装置９４は、吸着ノズル６０を移載するための装置であり、ビーム部１０２に配設されている。ノズル移載装置９４は、移載ヘッド１２０とヘッド移動装置１２２とを有している。移載ヘッド１２０の下端面には、下方を向いた状態のカメラ１２６と、吸着ノズル６０を保持するための保持チャック１２８とが取り付けられている。【００２２】
また、ヘッド移動装置１２２は、ビーム部１０２に吊り下げられており、移載ヘッド１２０をフレーム部１００の上において前後方向、左右方向、上下方向に移動させるＸＹＺ型の移動装置である。なお、フレーム部１００の前方側の上面には、ノズルトレイ７６をセットするための固定ステージ１３０が設けられており、固定ステージ１３０にセットされたノズルトレイ７６と、パレット収容装置９２の支持アーム１０８に支持されたノズルパレット１１０との間で、吸着ノズル６０が移載される。【００２３】
ノズル洗浄装置９６は、吸着ノズル６０の洗浄および乾燥を行う装置であり、パレット収容装置９２の隣に配設されている。ノズル洗浄装置９６は、洗浄・乾燥機構１３２と洗浄パレット移動機構１３４とを備えている。洗浄・乾燥機構１３２は、内部において吸着ノズル６０の洗浄および乾燥を行う機構である。また、洗浄パレット移動機構１３４は、洗浄パレット１３６が露出する露出位置（図２で洗浄パレット１３６が図示されている位置）と、洗浄・乾燥機構１３２の内部との間で、洗浄パレット１３６を移動させる機構である。【００２４】
ノズル洗浄装置９６により、吸着ノズル６０の洗浄が行われる際には、洗浄対象の吸着ノズル６０が、ノズル移載装置９４によって、ノズルトレイ７６若しくは、ノズルパレット１１０から、洗浄パレット１３６に移載される。そして、洗浄パレット１３６が、洗浄パレット移動機構１３４の作動により、洗浄・乾燥機構１３２の内部に移動し、洗浄・乾燥機構１３２の内部において、吸着ノズル６０の洗浄および乾燥が行われる。吸着ノズル６０の洗浄および乾燥が完了すると、洗浄パレット１３６が、洗浄パレット移動機構１３４の作動により、露出位置に移動され、洗浄パレット１３６から、ノズルトレイ７６若しくは、ノズルパレット１１０に戻される。【００２５】
ノズル検査装置９８は、ノズル洗浄装置９６によって洗浄された吸着ノズル６０を検査する装置であり、ロードセル１４２とエア供給装置１４４とカメラ１４６とを有している。【００２６】
ロードセル１４２は、洗浄パレット移動機構１３４の隣に配設されており、ロードセル１４２を用いて、吸着ノズル６０の先端部の伸縮状態が検査される。詳しくは、検査対象の吸着ノズル６０が保持チャック１２８によって保持され、その保持チャック１２８に保持された吸着ノズル６０の先端部がロードセル１４２に当接される。吸着ノズル６０の先端部は、伸縮可能とされており、ロードセル１４２により測定された荷重に基づいて、吸着ノズル６０の先端部の伸縮状態が検査される。【００２７】
また、エア供給装置１４４は、ノズル移載装置９４の移載ヘッド１２０に装着されており、エア供給装置１４４を用いて、吸着ノズル６０のエア流量検査が行われる。詳しくは、エア供給装置１４４が、ヘッド移動装置１２２の作動により、ノズルトレイ７６とノズルパレット１１０と洗浄パレット１３６との何れかに載置された吸着ノズル６０の上方に移動する。そして、エア供給装置１４４が、検査対象の吸着ノズル６０に接続され、エア供給装置１４４からエアが供給される。この際にエア流量が測定され、吸着ノズル６０のエア流量検査が行われる。【００２８】
また、カメラ１４６は、上方を向いた状態でロードセル１４２の隣に配設されており、カメラ１４６を用いて、吸着ノズル６０の先端部が検査される。詳しくは、検査対象の吸着ノズル６０が保持チャック１２８によって保持され、その保持チャック１２８に保持された吸着ノズル６０が、カメラ１４６の上方に移動される。そして、吸着ノズル６０が下方から、カメラ１４６により撮像される。これにより、吸着ノズル６０の先端の撮像データが得られる。吸着ノズル６０の先端は、一般的に、図３に示すように、円形をしており、丸形状の開口部１５０を有している。【００２９】
このため、形状マッチングにより吸着ノズル６０の先端を検査することが可能である。形状マッチングとは、予め作成された丸形状のテンプレート画像データと、撮像データとを比較する検査手法である。そして、テンプレート画像データと撮像データとの相関性が閾値以上であれば、正常なノズルと判定される。一方、テンプレート画像データと撮像データとの相関性が閾値未満であれば、欠けの発生，異物の付着等によって、不良ノズルと判定される。【００３０】
しかしながら、近年、吸着対象の電子部品の極小化に伴って、吸着ノズル６０の先端部も極小化している。そして、先端部の極小化した吸着ノズル６０では、吸着面積の確保，吸着の安定性等を目的として、図４に示すように、開口部１５２は、単なる丸形状でなく、複雑な形状とされている。このため、複雑な形状の開口部１５２を有する吸着ノズル６０の先端と同形状のテンプレート画像データを作成することは、困難であり、そのようなテンプレート画像データの作成は、非常に手間がかかる。【００３１】
このため、撮像データに基づいて吸着ノズル６０の開口部１５２と判定される面積を演算し、その演算値と、予め設定された設定値との比較により、吸着ノズル６０の先端を検査することが可能である。詳しくは、複雑な形状の開口部１５２を有する吸着ノズル６０の開口部の撮像データにおいて、設定輝度以上を示すデータと、設定輝度未満を示すデータとに区分けされる。これにより、図５に示すように、撮像データに基づく画像１６０は、設定輝度以上の箇所１６２と、設定輝度未満の箇所１６４，１６６とに区分けされる。なお、設定輝度以上の箇所１６２は、白く示され、設定輝度未満の箇所１６４，１６６は、黒く示される。【００３２】
ちなみに、設定輝度以上の箇所１６２は、吸着ノズル６０の先端の端面において反射した光によって輝度が高くなるため、吸着ノズル６０の先端の端面を示している。一方、設定輝度未満の箇所１６４は、吸着ノズル６０の先端の端面の外側を示し、設定輝度未満の箇所１６６は、吸着ノズル６０の先端の端面の内側、つまり、開口部１５２を示している。このため、設定輝度以上の箇所１６２に囲まれた設定輝度未満の箇所１６６が、開口部１５２として特定され、その設定輝度未満の箇所１６６の面積が、開口部１５２の面積として演算される。【００３３】
また、実物の吸着ノズル６０の開口部１５２の面積Ｘが測定されており、設定値Ｘとして記憶されている。このため、開口部１５２の面積として演算された演算値と、設定値Ｘとが比較され、演算値と設定値Ｘとの差が閾値未満であれば、正常なノズルと判定され、演算値と設定値Ｘとの差が閾値以上であれば、不良ノズルと判定される。これにより、テンプレート画像データを作成することなく、吸着ノズル６０の先端の検査を行うことが可能となる。なお、図５の画像１６０では、欠け，異物等は存在しておらず、画像１６０に基づいて演算された開口部１５２の面積の演算値は、設定値Ｘと略同じと値となっている。このため、図５の画像１６０に基づく吸着ノズル６０の先端の検査では、正常なノズルと判定される。【００３４】
しかしながら、開口部１５２の面積に基づく検査手法においても、検査を適切に行えない場合がある。具体的に、例えば、吸着ノズル６０の先端に欠けが生じ、異物が付着している場合の撮像データに基づく画像１７０を、図６に示す。この画像１７０では、図５に示す画像１６０と同様に、設定輝度以上の箇所１７２が存在する。ただし、設定輝度以上の箇所１７２は、図５に示す画像１６０の設定輝度以上の箇所１６２と比較して、２つの箇所１７４，１７６において、設定輝度未満となっている。１つの箇所（点線で囲まれた箇所）１７４は、吸着ノズル６０の先端面に欠けが生じている個所を示している。また、もう１つの箇所１７６は、吸着ノズル６０の先端面に異物等が付着した箇所を示している。【００３５】
また、図６の画像１７０では、図５の画像１６０と同様に、設定輝度以上の箇所１７２の内部に、設定輝度未満の箇所１７８が存在する。ただし、設定輝度未満の箇所１７８は、図５の画像１６０の設定輝度未満の箇所１６６と比較して、２つの箇所１８０，１８２において、設定輝度以上となっている。それら２つの箇所１８０，１８２は、吸着ノズル６０の内側、つまり、開口部１５２に異物等が付着した箇所を示している。【００３６】
そして、この画像１７０の撮像データに基づいて開口部１５２の面積が演算されると、その演算値は、図５の画像１６０の撮像データに基づいて演算される開口部１５２の面積の演算値と略同じとなる。詳しくは、開口部１５２の面積の演算値は、上述したように、設定輝度以上の箇所に囲まれた設定輝度未満の箇所の面積が、開口部１５２の面積として演算される。このため、図６の画像１７０では、設定輝度以上の箇所１７２に囲まれた設定輝度未満の箇所１７６，１７８の面積が、開口部１５２の面積として演算される。【００３７】
また、図５の画像１６０では、設定輝度以上の箇所１６２に囲まれた設定輝度未満の箇所１６６の面積が、開口部１５２の面積として演算される。ここで、設定輝度未満の箇所１７６，１７８と、設定輝度未満の箇所１６６とを比較すると、設定輝度未満の箇所１６６の面積（Ａ）から設定輝度以上の箇所１８０，１８２の面積（Ｂ）を減じ、さらに、設定輝度未満の箇所１７４，１７６の面積（Ｃ）を加えた値が、設定輝度未満の箇所１７６，１７８の面積（Ｄ）となる。つまり、Ａ−Ｂ＋Ｃ＝Ｄとなる。また、図６の画像１７０では、設定輝度以上の２つの箇所１８０，１８２の面積（Ｂ）と、設定輝度未満の２つの箇所１７４，１７６の面積（Ｃ）とは、略同じである。このため、設定輝度未満の箇所１６６の面積（Ａ）と、設定輝度未満の箇所１７６，１７８の面積（Ｄ）とは、同じとなる。つまり、図６の画像１７０の撮像データに基づいて演算される開口部１５２の演算値は、図５の画像１６０の撮像データに基づいて演算される開口部１５２の面積の演算値と略同じとなる。【００３８】
このため、図６の画像１７０の撮像データに基づいて演算される開口部１５２の演算値は、設定値Ｘと略同じとなり、図６の画像１７０に基づく吸着ノズル６０の先端の検査では、正常なノズルと判定される。このように、開口部１５２の面積に基づいて、吸着ノズル６０の先端の検査が行われた場合に、欠けが生じ、異物が付着している吸着ノズル６０に対して、正常なノズルと誤判定される虞がある。このようなことに鑑みて、撮像データに基づいて特定された吸着ノズル６０の開口部１５２が、複数のエリアに区分けされ、その区分けされたエリア毎に、撮像データに基づいて特定された吸着ノズル６０の開口部１５２の面積が演算される。【００３９】
具体的には、まず、開口部１５２を複数のエリアに区分けするための境界線が決定される。本実施例では、開口部１５２が４つのエリアに区分けされる。このため、開口部１５２を４つのエリアに区分けするための境界線が決定される。境界線の決定手法としては、撮像データに基づいて吸着ノズル６０の先端の外形線が認識される。吸着ノズル６０の先端の外形線は、吸着ノズル６０の先端の外縁であることから、図６の画像１７０の設定輝度以上の箇所１７２の外縁が、吸着ノズル６０の先端の外形線として認識される。【００４０】
そして、開口部１５２を４つのエリアに区分けするべく、吸着ノズル６０の先端の外形線に基づいて、境界線が決定される。詳しくは、図７に示すように、吸着ノズル６０の先端の外形線、つまり、画像１７０の設定輝度以上の箇所１７２の外縁は、概して矩形であるため、矩形の長辺の中点を通るとともに、短辺に平行な線が、境界線１９０として決定される。また、矩形の短辺の中点を通るとともに、長辺に平行な線が、境界線１９２として決定される。そして、２本の境界線１９０，１９２によって、撮像データに基づいて開口部１５２と判定された箇所、つまり、設定輝度以上の箇所１７２に囲まれた設定輝度未満の箇所１７６，１７８が４つのエリアに区分けされる。【００４１】
続いて、エリア毎の設定輝度未満の箇所の面積が演算される。この際、図での左上のエリア（以下、「第１エリア」と記載する場合がある）の面積は、設定輝度未満の箇所１７８のうちの、境界線１９０の左側、かつ、境界線１９２の上側の箇所１７８ａの面積となる。また、図での左下のエリア（以下、「第２エリア」と記載する場合がある）の面積は、設定輝度未満の箇所１７８のうちの、境界線１９０の左側、かつ、境界線１９２の下側の箇所１７８ｂの面積となる。また、図での右上のエリア（以下、「第３エリア」と記載する場合がある）の面積は、設定輝度未満の箇所１７８のうちの、境界線１９０の右側、かつ、境界線１９２の上側の箇所１７８ｃの面積となる。また、図での右下のエリア（以下、「第４エリア」と記載する場合がある）の面積は、設定輝度未満の箇所１７６と、設定輝度未満の箇所１７８のうちの、境界線１９０の右側、かつ、境界線１９２の下側の箇所１７８ｄとを合計した面積となる。【００４２】
次に、演算されたエリア毎の面積の演算値と、設定値（Ｘ／４）とが比較される。この際、複数のエリアのうちの少なくとも１のエリアにおいて、演算されたエリア毎の面積の演算値と、設定値（Ｘ／４）とが異なる場合に、不良ノズルと判定される。一方、複数のエリアのうちの全てのエリアにおいて、演算されたエリア毎の面積の演算値と、設定値（Ｘ／４）とが同じ場合に、正常なノズルと判定される。なお、設定値（Ｘ／４）は、実物の吸着ノズル６０の開口部１５２の面積Ｘの１／４の値である。【００４３】
具体的には、図７の画像１７０では、第１のエリアの面積の演算値は、異物等の存在により、設定値（Ｘ／４）より小さくなる。また、第４のエリアの面積の演算値は、異物，欠け等の存在により、設定値（Ｘ／４）より大きくなる。なお、第２のエリアの面積の演算値、および、第４のエリアの面積の演算値は、設定値（Ｘ／４）と同じ値となる。このため、図７の画像１７０の撮像データに基づく吸着ノズル６０の先端の検査では、画像１７０に応じた吸着ノズル６０は、不良ノズルと判定される。【００４４】
また、図５に示す画像１６０に境界線１９０，１９２が記された場合には、撮像データに基づいて開口部１５２と判定された箇所、つまり、設定輝度以上の箇所１６２に囲まれた設定輝度未満の箇所１６６が、図８に示すように、境界線１９０，１９２によって４つのエリアに区分けされる。この図８の画像１６０では、４つの全てのエリアにおいて、エリア毎の面積の演算値は、設定値（Ｘ／４）と同じ値となる。このため、図８の画像１６０の撮像データに基づく吸着ノズル６０の先端の検査では、画像１６０に応じた吸着ノズル６０は、正常なノズルと判定される。【００４５】
このように、撮像データに基づいて特定された吸着ノズル６０の開口部１５２が、複数のエリアに区分けされ、その区分けされたエリア毎の開口部１５２の面積に基づいて、吸着ノズル６０の先端の検査を行うことで、適切に吸着ノズル６０の良否を判定することが可能となる。【００４６】
なお、図２に示すように、ノズル管理装置８０のフレーム部１００の上面には、複数の廃棄ボックス１４８が配設されており、上記検査により不良ノズルと判定された吸着ノズル６０は、廃棄ボックス１４８に廃棄される。また、上記検査により正常なノズルと判定された吸着ノズル６０は、ノズルトレイ７６若しくは、ノズルパレット１１０に戻される。【００４７】
さらに、ノズル管理装置８０は、図９に示すように、制御装置２００を備えている。制御装置２００は、コントローラ２０２と複数の駆動回路２０６とを備えている。複数の駆動回路２０６は、パレット収容装置９２、ノズル移載装置９４、ノズル洗浄装置９６、ノズル検査装置９８に接続されている。コントローラ２０２は、ＣＰＵ，ＲＯＭ，ＲＡＭ等を備え、コンピュータを主体とするものであり、複数の駆動回路２０６に接続されている。これにより、パレット収容装置９２、ノズル移載装置９４等の作動が、コントローラ２０２によって制御される。【００４８】
また、コントローラ２０２は、決定部２１０と、演算部２１２と、判定部２１４とを有している。決定部２１０は、撮像データに基づいて、境界線１９０，１９２を決定するための機能部である。演算部２１２は、撮像データに基づいて開口部１５２を特定し、その開口部の面積を、境界線１９０，１９２によって区画されるエリア毎に演算するための機能部である。判定部２１４は、エリア毎に演算された面積の演算値と、設定値（Ｘ／４）とを比較し、吸着ノズル６０の良否の判定を行うための機能部である。【００４９】
ちなみに、上記実施例において、電子部品装着装置１０は、電子部品実装機の一例である。吸着ノズル６０は、吸着ノズルの一例である。開口部１５２は、開口部の一例である。境界線１９０，１９２は、境界線の一例である。制御装置２００は、制御装置の一例である。決定部２１０は、決定部の一例である。演算部２１２は、演算部の一例である。判定部２１４は、判定部の一例である。【００５０】
なお、本発明は、上記実施例に限定されるものではなく、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した種々の態様で実施することが可能である。具体的には、例えば、上記実施例では、撮像データに基づいて特定された開口部１５２が４つのエリアに区分けされているが、撮像データに基づいて特定された開口部１５２を、任意の数のエリアに区分けすることが可能である。【００５１】
また、上記実施例では、ノズル管理装置８０において吸着ノズル６０の先端の検査が行われているが、電子部品装着装置１０において吸着ノズル６０の先端の検査を行うことが可能である。
【符号の説明】
【００５２】
１０：電子部品装着装置（電子部品実装機）  ６０：吸着ノズル    １５２：開口部    １９０：境界線    １９２：境界線    ２００：制御装置    ２１０：決定部    ２１２：演算部    ２１４：判定部
【図１】
2017046862.tif 000003
【図２】
2017046862.tif 000004
【図３】
2017046862.tif 000005
【図４】
2017046862.tif 000006
【図５】
2017046862.tif 000007
【図６】
2017046862.tif 000008
【図７】
2017046862.tif 000009
【図８】
2017046862.tif 000010
【図９】
2017046862.tif 000011
【国際調査報告】
2017046862.tif 000012
2017046862.tif 000013
2017046862.tif 000014
2017046862.tif 000015