(57)【要約】  レンズユニット２は、光路直交方向の断面が同じ大きさの平行平板ガラス基板を、それぞれの基体とする複数の光学素子１０、２０、３０が積層されており、光学素子２０、３０が、前記基体に樹脂レンズ２１、３１、３２が配設されているレンズ素子であり、それぞれの前記複数の光学素子１０、２０、３０がに、光路を囲む環状の凹部Ｔ２０があり、前記凹部に充填された遮光材料からなる遮光壁１５、２５、３５がある。
2017203592.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光路直交方向の断面が同じ大きさの平行平板ガラス基板を、それぞれの基体とする複数の光学素子が積層されており、
いずれかの前記光学素子が、前記基体に樹脂レンズが配設されているレンズ素子であり、
それぞれの前記複数の光学素子に、光路を囲む環状の凹部があり、前記凹部に充填された遮光材料からなる遮光壁があることを特徴とする内視鏡用光学ユニット。
【請求項２】
前記凹部の深さが、それぞれの前記光学素子の厚さの７５％以上であることを特徴とする請求項１に記載の内視鏡用光学ユニット。
【請求項３】
前記凹部が、前記光学素子を貫通していることを特徴とする請求項２に記載の内視鏡用光学ユニット。
【請求項４】
前記遮光壁から延設されている環状の凸部を有し、前記凸部が隣り合う光学素子の間の距離を規定するように構成されているスペーサであることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の内視鏡用光学ユニット。
【請求項５】
いずれかの前記スペーサが、光路の一部を遮り光量を調整する絞り部の機能を有するように構成されていることを特徴とする請求項４に記載の内視鏡用光学ユニット。
【請求項６】
前記凹部が、前記光学素子の側面の切り欠き部であり、
前記遮光壁が、前記側面に露出していることを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の内視鏡用光学ユニット。
【請求項７】
前記複数の光学素子が集光した光を受光する受光部を有する撮像素子が更に積層されていることを特徴とする請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の内視鏡用光学ユニット。
【請求項８】
前記撮像素子の光路直交方向の断面が、前記透明基板と同じ大きさであることを特徴とする請求項７に記載の内視鏡用光学ユニット。
【請求項９】
請求項１から請求項８のいずれか１項に記載の内視鏡用光学ユニットを挿入部の先端硬性部に具備することを特徴とする内視鏡。
【請求項１０】
複数の平行平板ガラスウエハのそれぞれに複数の環状の凹部を形成する凹部形成工程と、
前記凹部を、遮光材料で充填し遮光壁を作製する遮光壁作製工程と、
前記遮光壁が作製された複数の前記ガラスウエハを積層し接合ウエハを作製する工程と、
前記接合ウエハを切断し、光路直交方向の断面が同じ大きさのガラス基板を基体とする複数の光学素子が積層されており、それぞれの前記複数の光学素子に、光路を囲む前記遮光壁がある内視鏡用光学ユニットに個片化する工程と、を具備し、
さらに、前記接合ウエハを作製する工程よりも前に、少なくともいずれかのガラスウエハの凹部形成領域の内側に樹脂レンズを配設する工程を具備することを特徴とする内視鏡用光学ユニットの製造方法。
【請求項１１】
前記遮光壁を作製する工程において、前記遮光壁から環状の凸部が延設され、前記凸部が隣り合う光学素子の間の距離を規定するように構成されているスペーサであることを特徴とする請求項１０に記載の内視鏡用光学ユニットの製造方法。
【請求項１２】
前記接合ウエハを作製する工程において、複数の撮像素子を含む撮像ウエハが、前記複数のガラスウエハとともに積層されることを特徴とする請求項１０または請求項１１に記載の内視鏡用光学ユニットの製造方法。
【請求項１３】
前記接合ウエハを切断する工程で作製された複数のレンズユニットを、複数の撮像素子を含む撮像ウエハに配設する工程と、
前記複数のレンズユニットが配設された前記撮像ウエハを切断する工程と、を具備することを特徴とする請求項１０または請求項１１に記載の内視鏡用光学ユニットの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、内視鏡の硬性先端部に配設される複数の素子が積層された内視鏡用光学ユニット、硬性先端部に複数の素子が積層された内視鏡用光学ユニットが配設された内視鏡、および、内視鏡の硬性先端部に配設される複数の素子が積層された内視鏡用光学ユニットの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
内視鏡の硬性先端部に配設される内視鏡用光学ユニットは低侵襲化のため細径化が重要である。細径の光学ユニットを効率良く製造する方法として、それぞれが複数の光学素子を含む素子ウエハを積層し接合ウエハを作製し、接合ウエハを切断し個片化する方法がある。【０００３】
日本国特開２０１２−１８９９３号公報には、ウエハレベル積層体からなる撮像モジュールが開示されている。この撮像モジュールは、複数のレンズを含むレンズウエハと複数の撮像素子を含む撮像ウエハとを接合後に、切断し個片化することで作製されている。【０００４】
内視鏡用光学ユニットは、光路内への外光の進入を防止するために、外面を遮光する必要がある。しかし、光学ユニットの外面に遮光膜を配設したり、遮光機能を有するレンズ枠を設けたりすると製造工程が複雑になるだけでなく、外径が大きくなり、細径化に逆行する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】日本国特開２０１２−１８９９３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の実施形態は、製造が容易な遮光機能を有する内視鏡用光学ユニット、製造が容易な遮光機能を有する内視鏡、および遮光機能を有する内視鏡用光学ユニットの容易な製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の実施形態の内視鏡用光学ユニットは、光路直交方向の断面が同じ大きさの平行平板ガラス基板を、それぞれの基体とする複数の光学素子が積層されており、いずれかの前記光学素子が、前記基体に樹脂レンズが配設されているレンズ素子であり、それぞれの前記複数の光学素子に、光路を囲む環状の凹部があり、前記凹部に充填された遮光材料からなる遮光壁がある。【０００８】
別の実施形態の内視鏡は、内視鏡用光学ユニットを挿入部の先端硬性部に具備し、内視鏡用光学ユニットは、光路直交方向の断面が同じ大きさの平行平板ガラス基板を、それぞれの基体とする複数の光学素子が積層されており、いずれかの前記光学素子が、前記基体に樹脂レンズが配設されているレンズ素子であり、それぞれの前記複数の光学素子に、光路を囲む環状の凹部があり、前記凹部に充填された遮光材料からなる遮光壁がある。【０００９】
別の実施形態の内視鏡用光学ユニットの製造方法は、複数の平行平板ガラスウエハのそれぞれに複数の環状の凹部を形成する凹部形成工程と、前記凹部を、遮光材料で充填し遮光壁を作製する遮光壁作製工程と、前記遮光壁が作製された複数の前記ガラスウエハを積層し接合ウエハを作製する工程と、前記接合ウエハを切断し、光路直交方向の断面が同じ大きさのガラス基板を基体とする複数の光学素子が積層されており、それぞれの前記複数の光学素子に、光路を囲む前記遮光壁がある内視鏡用光学ユニットに個片化する工程と、を具備し、さらに、前記接合ウエハを作製する工程よりも前に、少なくともいずれかのガラスウエハの凹部形成領域の内側に樹脂レンズを配設する工程を具備する。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の実施形態によれば、製造が容易な遮光機能を有する内視鏡用光学ユニット、製造が容易な遮光機能を有する内視鏡、および遮光機能を有する内視鏡用光学ユニットの容易な製造方法を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】第１実施形態の内視鏡用光学ユニットの斜視図である。
【図２】第１実施形態の内視鏡用光学ユニットの図１のＩＩ−ＩＩ線に沿った断面図である。
【図３】第１実施形態の内視鏡用光学ユニットの分解図である。
【図４】第１実施形態の内視鏡用光学ユニットを有する内視鏡の外観図である。
【図５】第１実施形態の内視鏡用光学ユニットの製造方法のフローチャートである。
【図６Ａ】第１実施形態の内視鏡用光学ユニットの製造方法を説明するための斜視断面図である。
【図６Ｂ】第１実施形態の内視鏡用光学ユニットの製造方法を説明するための斜視断面図である。
【図６Ｃ】第１実施形態の内視鏡用光学ユニットの製造方法を説明するための斜視断面図である。
【図６Ｄ】第１実施形態の内視鏡用光学ユニットの製造方法を説明するための斜視断面図である。
【図６Ｅ】第１実施形態の内視鏡用光学ユニットの製造方法を説明するための斜視断面図である。
【図７】第１実施形態の内視鏡用光学ユニットの製造方法を説明するための接合ウエハの分解図である。
【図８】第１実施形態の内視鏡用光学ユニットの製造方法を説明するための接合ウエハの斜視図である。
【図９】第１実施形態の内視鏡用光学ユニットの製造方法を説明するための斜視図である。
【図１０】第１実施形態の変形例１の内視鏡用光学ユニットの断面図である。
【図１１Ａ】第１実施形態の変形例２の内視鏡用光学ユニットの光学素子の上面図である。
【図１１Ｂ】第１実施形態の変形例２の内視鏡用光学ユニットの光学素子の上面図である。
【図１１Ｃ】第１実施形態の変形例２の内視鏡用光学ユニットの光学素子の上面図である。
【図１２】第１実施形態の変形例３の内視鏡用光学ユニットの接合ウエハの分解断面図である。
【図１３】第１実施形態の変形例３の内視鏡用光学ユニットの斜視図である。
【図１４】第２実施形態の内視鏡用光学ユニットの製造方法のフローチャートである。
【図１５】第２実施形態の内視鏡用光学ユニットの接合ウエハの分解断面図である。
【図１６】第２実施形態の内視鏡用光学ユニットの斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
＜第１実施形態＞
図１〜図３に示すように、本実施形態の内視鏡用光学ユニットは複数の光学素子１０〜３０が積層されたレンズユニット２である。レンズユニット２は撮像素子４０とともに、別の実施形態の内視鏡用光学ユニットである撮像ユニット１を構成している。
【００１３】
なお、以下の説明において、各実施の形態に基づく図面は、模式的なものであり、各部分の厚さと幅との関係、夫々の部分の厚さの比率および相対角度などは現実のものとは異なることに留意すべきであり、図面の相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれている場合がある。また、一部の構成要素の図示を省略する場合がある。
【００１４】
レンズユニット２は、光路直交方向、すなわち光軸Ｏに直交する方向の断面が同じ大きさの平行平板ガラス基板である赤外線カットフィルタまたはガラス基板を、それぞれの基体とする複数の光学素子１０〜３０が積層されている。複数の光学素子１０〜３０は直方体で断面が同じ大きさのため、レンズユニット２は直方体である。
【００１５】
光学素子１０は、赤外線を遮断する機能を有する赤外線カットフィルタ素子であり、入光面１０ＳＡと対抗する裏面１０ＳＢには、光路の一部を遮ることで光量を調整するため光学的な絞り（絞り部）である絞り１４が配設されている。
【００１６】
光学素子２０は、平行平板ガラスの第１の主面２０ＳＡに樹脂からなる非球面の凸レンズ２１が配設されている、（プラスチック＋ガラス）からなるハイブリッドレンズ素子である。光学素子３０は、平行平板ガラスの第１の主面３０ＳＡに樹脂からなる非球面の凸レンズ３１が配設されており、第１の主面３０ＳＡと対向する第２の主面３０ＳＢには樹脂からなる非球面の凹レンズ３２が配設されているハイブリッドレンズ素子である。
【００１７】
すなわち、レンズユニット２の光学素子１０〜３０のうち、光学素子２０、３０は基体に樹脂レンズが配設されているレンズ素子である。
【００１８】
そして、光学素子１０〜３０には、光路を囲む環状の連続した凹部である貫通孔があり、貫通孔に充填された遮光材料である銅からなる遮光壁１５〜３５がある。光学素子１０〜３０の遮光壁１５〜３５は、光路を囲む断面が額縁状で、かつ、同じ大きさで、途切れることなく光路を取り囲んでいる。
【００１９】
また、光学素子１０の裏面１０ＳＢの遮光壁１５からは、環状の絞り１４が凸状に延設されている。絞り１４は、外周は矩形であるが、内周は円形である。言い替えれば、絞り１４の中心は円形の空間である。
【００２０】
光学素子２０の第１の主面２０ＳＡの遮光壁２５からは、環状のスペーサ２４が凸状に延設されている。スペーサ２４は絞り１４と当接している。すなわち、光学素子１０の裏面１０ＳＢと光学素子２０の第１の主面２０ＳＡとの間の距離は、絞り１４の厚さおよびスペーサ２４の厚さにより規定されている。
【００２１】
光学素子３０の第１の主面３０ＳＡの遮光壁３５からは、環状のスペーサ３４が凸状に延設されている。スペーサ３４は、光学素子２０の第２の主面２０ＳＢと当接している。すなわち、光学素子２０の裏面２０ＳＢと、光学素子３０の第１の主面３０ＳＡとの間の距離は、スペーサ３４の厚さにより規定されている。
【００２２】
また、スペーサ１４、２４，３４の外周部は、接合強度および信頼性向上のため、封止樹脂５０が充填されている。
【００２３】
レンズユニット２は、環状の遮光壁１５、２５、３５、環状の絞り１４、および環状のスペーサ２４、３４により、光路内への外光の進入が防止されている。
【００２４】
遮光機能を有するレンズユニット２は、外面に遮光膜を配設したり、遮光機能を有するレンズ枠を設けたりする必要がなく、細径である。また、後述するように、遮光壁１５、２５、３５は、ウエハプロセスで作製されるため、レンズユニット２は、製造が簡単である。さらに、レンズユニット２は遮光壁１５、２５、３５から延設された絞り１４およびスペーサ２４、３４を有しているので、さらに製造が容易である。
【００２５】
一方、半導体基板からなる撮像素子４０の撮像面４０ＳＡには、ＣＭＯＳ受光素子等の受光部４１と、環状のスペーサ４４とが配設されている。受光部４１はレンズユニット２の光学素子１０、２０、３０が集光した光を受光する。環状のスペーサ４４は、光学素子３０の第２の主面３０ＳＢと当接している。すなわち、光学素子３０の裏面３０ＳＢと、撮像素子４０の撮像面４０ＳＡとの間の距離は、スペーサ４４の厚さにより規定されている。なお、図示しない貫通配線を介して、受光部４１は裏面４０ＳＢの外部接続電極４９と接続されている。
【００２６】
撮像素子４０の光路直交方向の断面は、レンズユニット２の光学素子１０〜３０と同じ大きさの矩形である。このため、遮光機能を有する撮像ユニット１は細径の直方体であり製造が容易である。
【００２７】
＜内視鏡＞
図３に示す様に、撮像ユニット１（レンズユニット２）は内視鏡９の挿入部９Ｂの硬性先端部９Ａに配設され、被写体像を撮像し、撮像信号を処理して出力する。すなわち、別の実施形態の内視鏡９は、撮像ユニット１が硬性先端部９Ａに配設された挿入部９Ｂと、挿入部９Ｂの基端側に配設された操作部９Ｃと、操作部９Ｃから延出するユニバーサルコード９Ｄと、を含む。なお、硬性先端部９Ａに配設された撮像ユニット１から出力された撮像信号は、ユニバーサルコード９Ｄを挿通するケーブルを介してプロセッサに伝送される。また、撮像ユニット１への駆動信号もユニバーサルコード９Ｄを挿通するケーブルを介してプロセッサから伝送される。
【００２８】
実施形態の内視鏡９は、遮光機能を有する撮像ユニット１（レンズユニット２）を硬性先端部９Ａに具備するため、細径で製造が容易である。
【００２９】
＜製造方法＞
次に図５に示すフローチャートに沿って、撮像ユニット１（レンズユニット２）の製造方法を説明する。また、図６Ａ〜図６Ｅには、素子ウエハの製造方法の一例として、素子ウエハ２０Ｗの製造工程を示す。
【００３０】
＜ステップＳ１１＞樹脂レンズ配設
複数の平行平板ガラスウエハ１０Ｗ〜３０Ｗ（図７参照）が準備される。ガラスウエハ１０Ｗ〜３０Ｗは、光透過性を有する、例えば無色透明のガラスウエハまたは所定波長帯の光を遮断するフィルターウエハ等などである。ガラスウエハ１０Ｗ〜３０Ｗの厚さは、求められる光学的特性に応じて、それぞれ決定される。なお、後述するように、ガラスウエハ１０Ｗ〜３０Ｗは切断されると、それぞれのレンズユニット２のガラス基板１０〜３０となる。
【００３１】
例えば図６Ａに示す様に、ガラスウエハ２０Ｗでは、第１の主面２０ＳＡの所定位置に複数の樹脂レンズ２１が配設される。樹脂レンズ２１の配設位置は、後の工程で凹部Ｔ２０が形成される領域の内側である（図６Ｂ参照）。樹脂レンズ２１は、例えば、レンズ用透明樹脂を塗布し、所定形状の金型をレンズ用透明樹脂に押し付けて、紫外線（ＵＶ）を下方（第２の主面２０ＳＢ側）から照射してレンズ用透明樹脂を硬化させることで配設される。
【００３２】
一方、シリコン等の半導体ウエハ４０Ｗに公知の半導体製造技術により複数の受光部４１等が所定位置に形成される。
【００３３】
＜ステップＳ１２＞凹部形成
図６Ｂに示す様に、ガラスウエハ２０Ｗの第２の主面２０ＳＢに、サポートウエハである保持ウエハ６０が配設されて、複数の樹脂レンズ２１を囲むように、それぞれ環状の凹部Ｔ２０が形成される。凹部Ｔ２０は、ガラスウエハ２０Ｗを貫通している環状のＴＧＶ（Through Glass Via）である。凹部Ｔ２０の形成は、ガラスウエハ２０Ｗの第１の主面２０ＳＡにエッチングマスク（不図示）を配設して、ウエットエッチングまたはドライエッチング等により行われる。
【００３４】
なお、ガラスウエハ１０Ｗ〜３０Ｗの複数の凹部は、それぞれのウエハの同じ位置に、マトリックス状に形成される。
【００３５】
＜ステップＳ１３＞遮光壁形成
凹部Ｔ２０が、遮光材料で充填され、遮光壁２５が作製される。本実施形態の撮像ユニット１では、遮光壁２５は電気めっき法により形成される銅からなる。
【００３６】
すなわち、図６Ｃに示す様に、ガラスウエハ２０Ｗに例えばＣＶＤ法により下地導電膜が配設されてから、めっきマスク６１が配設され、電気めっき法により凹部Ｔ２０の内部に銅めっき膜が配設される。
【００３７】
遮光壁２５の厚さ、すなわち、凹部の開口幅は、遮光のため及び生産性の観点、１０μｍ以上が好ましく、３０μｍ以上が特に好ましい。遮光壁２５の厚さの上限は、細径化の観点から例えば２００μｍである。
【００３８】
なお、凹部の開口が例えば５０μｍ以上の場合には、遮光材料（めっき膜）が凹部の内部を完全に充填している必要はない。少なくとも凹部の内側の壁面が所定厚以上（例えば１０μｍ以上）のめっき膜で覆われていれば、凹部の内部に空間があってもよい。
【００３９】
また、遮光材料は、遮光性樹脂、例えば、炭素粒子が分散された樹脂を凹部に充填して硬化処理してもよい。ただし、遮光性および生産性の観点からは、Ｎｉ、Ｃｕ、Ａｕ、Ｓｎ、ＳｎＡｇ、Ｉｎ等の金属が好ましく、電気めっき膜であることが特に好ましい。
【００４０】
本実施形態の撮像ユニット１では、遮光壁２５を構成しているＣｕめっき膜は、凹部Ｔ２０の内部だけでなく、第１の主面１０ＳＢから凸状に延設される。すなわち、遮光壁２５から延設されている環状の凸部２４も、遮光壁２５と同時に配設され同じ材料からなる。
【００４１】
なお、遮光壁２５と凸部２４とは、異なる材料で構成されていてもよい。例えば、遮光壁２５がＣｕで、凸部２４が金でもよい。また、凸部の上部だけが金でもよい。
【００４２】
そして、保持ウエハ６０が取り外されて、複数の樹脂レンズ２１が、それぞれの額縁状の凸部２４の内部に配設されているガラスウエハ２０Ｗが完成する。
【００４３】
遮光壁の機能を有する環状の凸部２４は、後述するように、積層されたときに隣り合っているガラスウエハ（光学素子）の間の距離を規定するスペーサとなる。
【００４４】
同様に、ガラスウエハ１０Ｗ、３０Ｗにも、遮光壁１５、３５および凸部１４、３４が配設される。図２に示したように、ガラスウエハ１０Ｗの第２の主面１０ＳＢの凸部１４は、スペーサ機能だけでなく、光路の光量を制限する絞り部の機能も有する。
【００４５】
また、半導体ウエハ４０Ｗの撮像面４０ＳＡにも、受光部４１を囲む環状の凸部４４が形成される。
【００４６】
＜ステップＳ１４＞ウエハ接合
図８に示す様に、遮光壁が作製された複数のガラスウエハ１０〜３０および撮像ウエハ４０Ｗが積層され接合ウエハ７０Ｗが作製される。
【００４７】
すなわち、例えば、それぞれのウエハの凸部が、他のウエハの遮光壁の開口と当接するように、位置決めされて、接合される。接合には、接着剤を用いてもよいが、接着剤を介しないで、金属接合等を用いることが好ましい。なお、環状の接合部の外周部には、補強のために封止樹脂５０が充填される。
【００４８】
なお、接合面が金からなる接合ウエハは超音波接合または常温接合による金属接合が容易である。凸部の上部が低融点金属であるＳｎ等により構成されているウエハは、加熱処理により金属接合を行うことができる。
【００４９】
＜ステップＳ１５＞切断
図９に示す様に、接合ウエハ７０Ｗが切断され、撮像ユニット１に個片化される。
【００５０】
本実施形態の撮像ユニットの製造方法によれば、遮光機能を有する内視鏡用光学ユニット１を容易に製造できる。
【００５１】
＜変形例＞
次に第１実施形態の内視鏡用光学ユニットの変形例について説明する。変形例の内視鏡用光学ユニットは、撮像ユニット１またはレンズユニット２と類似し、同じ機能を有しているため、同じ機能の構成要素には同じ符号を付し説明は省略する。
【００５２】
＜変形例１＞
図１０に示す様に変形例１の撮像ユニット１Ａ（レンズユニット２Ａ）では、遮光壁１５Ａ、２５Ａ、３５Ａの高さ、すなわち、凹部の深さが、それぞれの光学素子１０、２０，３０の厚さの８０％であり、凹部は貫通ビアではなく、有底のビアである。
【００５３】
撮像ユニット１Ａでは、ウエハに形成する環状の凹部が貫通孔ではないために、図６Ｂに示した撮像ユニット１のように、凹部を形成する時にガラスウエハ２０Ｗの第２の主面２０ＳＢに保持ウエハ６０を配設する必要がない。
【００５４】
このため、撮像ユニット１Ａおよびレンズユニット２Ａは、製造がより容易である。
【００５５】
なお、遮光性の観点からは、凹部の深さ（遮光壁の高さ）は、それぞれの光学素子１０、２０、３０の厚さの７５％以上であることが好ましい。また、遮光性の観点からは、光学素子の厚さに対して凹部の深さが５０μｍ小さい場合には、遮光壁の幅は５０μｍ以上であることが好ましく、１００μｍ以上であることが特に好ましい。
【００５６】
また、光学素子１０、２０，３０の少なくともいずれかの環凹部が有底環状であり、他の光学素子の凹部が貫通環状ビアであってもよい。
【００５７】
＜変形例２＞
撮像ユニット１（レンズユニット２）では遮光壁１５等の断面形状は、外周が矩形の額縁状であった。これに対して図１１Ａに示す変形例の撮像ユニット１Ｂ１（レンズユニット２Ｂ１）の遮光壁２５Ｂ１等は円形である。また、図１１Ｂに示す変形例の撮像ユニット１Ｂ２（レンズユニット２Ｂ２）の遮光壁２５Ｂ２等は六角形である。すなわち、遮光壁は光路を囲んでいれば、その形状は円形または４角形超の多角形でもよい。
【００５８】
また、図１１Ｃに示す変形例の撮像ユニット１Ｂ３（レンズユニット２Ｂ３）の遮光壁２５Ｂ３のように、中央の空間が光路を囲んでいれば、外周は大きく広がっていてもよい。
【００５９】
また、光学素子１０、２０，３０の遮光壁の形状が異なっていてもよい。
【００６０】
＜変形例３＞
変形例３の内視鏡用光学ユニット（撮像ユニット１Ｃ、レンズユニット２Ｃ）では、図１２に示す様に、素子ウエハ１０ＷＣ等に形成される複数の凹部が、切断線ＣＬにまたがっている。このため接合ウエハ７０ＷＣの切断により個片化された撮像ユニット１Ｃでは、図１３に示す様に、接合ウエハ７０ＷＣの環状で外周が矩形の凹部が側面の切り欠き部となり、遮光壁１５Ｃ等およびスペーサ１４Ｃ等が側面に露出している。言い替えれば、遮光壁１５Ｃ等およびスペーサ１４Ｃの外面は切断面である。
【００６１】
撮像ユニット１Ｃは、撮像ユニット１等よりも、より細径化が容易である。また、凹部の開口幅が、撮像ユニット１等よりも広いため、内部に遮光材料、例えば、めっき膜を充填することが容易である。
【００６２】
なお、撮像ユニット１Ｃにおいても、撮像ユニット１Ａのように、凹部を有底のビアとすることで、撮像ユニット１Ａと同じ効果を有することは言うまでも無い。
【００６３】
＜第２実施形態＞
第２実施形態の撮像ユニット１Ｄは、撮像ユニット１またはレンズユニット２と類似し、同じ機能を有しているため、同じ機能の構成要素には同じ符号を付し説明は省略する。
【００６４】
図１４に示すフローチャートの様に、撮像ユニット１Ｄの製造方法は、図５に示した撮像ユニット１の製造方法と類似している。しかし、ウエハ接合工程（Ｓ１４Ａ）において、撮像ウエハ４０Ｗは接合されない。
【００６５】
このため、接合ウエハを切断する工程（ステップ１５Ａ）で作製されるのは、撮像素子を有していない、矩形のレンズユニット２Ｄである。
【００６６】
すなわち、図１５に示す様にレンズユニット２Ｄは、光学素子１０Ｄ、２０Ｄ、８０Ｄ、３０Ｄを有する。レンズユニット２Ｄでは、光学素子３０Ｄは、カバーガラス素子であり、光学素子８０Ｄが赤外線カットフィルタ素子である。そして、光学素子２０Ｄにも、絞り機能を有するスペーサ２９が配設されている。
【００６７】
すなわち、レンズユニットに含まれる光学素子の数、種類および積層順序、さらにフィルタ等の配置は仕様に応じて変更される。
【００６８】
一方、撮像ウエハ４０ＷＤは、受光部４１等が形成された後に、ウエハ状態で、動作検査（ステップＳ１６）が行われる。
【００６９】
そして、撮像ウエハ４０ＷＤが含む複数の撮像素子のうち、検査で良品と判定された撮像素子にだけ、レンズユニット２Ｄが配設される（ステップＳ１７）。切断（ステップＳ１８）により個片化される撮像ユニット１Ｄは、動作検査により良品と判定された撮像素子４０Ｄを含むため、製造歩留まりがよい。
【００７０】
なお、接合ウエハを切断する工程（ステップ１５Ａ）で、複数のレンズユニットを含むレンズブロックに切断し、レンズブロックを撮像ウエハ４０ＷＤに配設してもよい。逆に、撮像ウエハ４０ＷＤを複数の撮像素子を含む撮像ブロックに切断してから、レンズユニット２を配設してもよい。さらに、複数のレンズユニットを含む接合ウエハに、個片化された撮像素子を配設してもよい。
【００７１】
なお、撮像ユニット１Ａ（レンズユニット２Ａ）、撮像ユニット１Ｂ１（レンズユニット２Ｂ１）、撮像ユニット１Ｂ２（レンズユニット２Ｂ２）、撮像ユニット１Ｄを挿入部９Ｂの先端硬性部９Ａに具備する内視鏡が、内視鏡９の効果を有し、さらに、それぞれの撮像ユニット（レンズユニット）の効果を有することは言うまでも無い。
【００７２】
本発明は、上述した実施形態等に限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲内において種々の変更、組み合わせおよび応用が可能である。
【符号の説明】
【００７３】
１、１Ａ〜１Ｆ・・・撮像ユニット
２、２Ａ〜２Ｄ・・・レンズユニット
９・・・内視鏡
９Ａ・・・硬性先端部
９Ｂ・・・挿入部
１０・・・光学素子
１０Ｗ・・・ガラスウエハ
１４・・・スペーサ
１５・・・遮光壁
２０・・・光学素子
２０Ｗ・・・ガラスウエハ
２１・・・樹脂レンズ
２４・・・スペーサ
２５・・・遮光壁
３０・・・光学素子
３１・・・凸レンズ
３２・・・凹レンズ
３４・・・スペーサ
３５・・・遮光壁
４０・・・撮像素子
４０Ｗ・・・撮像ウエハ
４４・・・スペーサ
４９・・・外部接続電極
５０・・・封止樹脂
６０・・・保持ウエハ
８０Ｄ・・・光学素子
【図１】
2017203592.tif 000003
【図２】
2017203592.tif 000004
【図３】
2017203592.tif 000005
【図４】
2017203592.tif 000006
【図５】
2017203592.tif 000007
【図６Ａ】
2017203592.tif 000008
【図６Ｂ】
2017203592.tif 000009
【図６Ｃ】
2017203592.tif 000010
【図６Ｄ】
2017203592.tif 000011
【図６Ｅ】
2017203592.tif 000012
【図７】
2017203592.tif 000013
【図８】
2017203592.tif 000014
【図９】
2017203592.tif 000015
【図１０】
2017203592.tif 000016
【図１１Ａ】
2017203592.tif 000017
【図１１Ｂ】
2017203592.tif 000018
【図１１Ｃ】
2017203592.tif 000019
【図１２】
2017203592.tif 000020
【図１３】
2017203592.tif 000021
【図１４】
2017203592.tif 000022
【図１５】
2017203592.tif 000023
【図１６】
2017203592.tif 000024
【手続補正書】
【提出日】平成29年6月2日(2017.6.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光路直交方向の断面が同じ大きさの平行平板ガラス基板を、それぞれの基体とする複数の光学素子が積層されており、
いずれかの前記光学素子が、前記基体に樹脂レンズが配設されているレンズ素子であり、
それぞれの前記複数の光学素子に、光路を囲む環状の前記平行平板ガラス基板を貫通している凹部があり、前記凹部に充填された遮光材料からなる遮光壁があることを特徴とする内視鏡用光学ユニット。
【請求項２】
前記遮光壁から延設されている、遮光材料からなる環状の凸部を有し、前記凸部が隣り合う光学素子の間の距離を規定するように構成されているスペーサであることを特徴とする請求項１に記載の内視鏡用光学ユニット。
【請求項３】
前記遮光壁と前記スペーサとが、同じ材料からなることを特徴とする請求項２に記載の内視鏡用光学ユニット。
【請求項４】
前記遮光壁と前記スペーサとが、電気めっき膜であることを特徴とする請求項３に記載の内視鏡用光学ユニット。
【請求項５】
いずれかの前記スペーサが、光路の一部を遮り光量を調整する絞り部の機能を有するように構成されていることを特徴とする請求項２から請求項４のいずれか１項に記載の内視鏡用光学ユニット。
【請求項６】
前記凹部が、前記光学素子の側面の切り欠き部であり、
前記遮光壁が、前記側面に露出していることを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の内視鏡用光学ユニット。
【請求項７】
前記複数の光学素子が集光した光を受光する受光部を有する撮像素子が更に積層されていることを特徴とする請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の内視鏡用光学ユニット。
【請求項８】
前記撮像素子の光路直交方向の断面が、前記透明基板と同じ大きさであることを特徴とする請求項７に記載の内視鏡用光学ユニット。
【請求項９】
請求項１から請求項８のいずれか１項に記載の内視鏡用光学ユニットを挿入部の先端硬性部に具備することを特徴とする内視鏡。
【請求項１０】
複数の平行平板ガラスウエハのそれぞれに前記平行平板ガラス基板を貫通している複数の環状の凹部を形成する凹部形成工程と、
前記凹部を、遮光材料で充填し遮光壁を作製する遮光壁作製工程と、
前記遮光壁が作製された複数の前記ガラスウエハを積層し接合ウエハを作製する工程と、
前記接合ウエハを切断し、光路直交方向の断面が同じ大きさのガラス基板を基体とする複数の光学素子が積層されており、それぞれの前記複数の光学素子に、光路を囲む前記遮光壁がある内視鏡用光学ユニットに個片化する工程と、を具備し、
さらに、前記接合ウエハを作製する工程よりも前に、少なくともいずれかのガラスウエハの凹部形成領域の内側に樹脂レンズを配設する工程を具備することを特徴とする内視鏡用光学ユニットの製造方法。
【請求項１１】
前記遮光壁を作製する工程において、前記遮光壁から環状の凸部が延設され、前記凸部が隣り合う光学素子の間の距離を規定するように構成されているスペーサであることを特徴とする請求項１０に記載の内視鏡用光学ユニットの製造方法。
【請求項１２】
前記接合ウエハを作製する工程において、複数の撮像素子を含む撮像ウエハが、前記複数のガラスウエハとともに積層されることを特徴とする請求項１０または請求項１１に記載の内視鏡用光学ユニットの製造方法。
【請求項１３】
前記接合ウエハを切断する工程で作製された複数のレンズユニットを、複数の撮像素子を含む撮像ウエハに配設する工程と、
前記複数のレンズユニットが配設された前記撮像ウエハを切断する工程と、を具備することを特徴とする請求項１０または請求項１１に記載の内視鏡用光学ユニットの製造方法。
【手続補正書】
【提出日】平成30年7月18日(2018.7.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００２】
内視鏡の硬性先端部に配設される内視鏡用光学ユニットは低侵襲化のため細径化が重要である。細径の光学ユニットを効率良く製造する方法として、それぞれが複数の光学素子を含む素子ウエハを積層し接合ウエハを作製し、接合ウエハを切断しウエハレベル積層体に個片化する方法がある。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明の実施形態の内視鏡用光学ユニットは、光路直交方向の断面が同じ大きさのガラス基板を、それぞれの基体とする複数の光学素子が積層されており、少なくともいずれかの前記光学素子が、前記基体に樹脂レンズが配設されているレンズ素子であり、それぞれの前記複数の光学素子に、光路を囲む環状の前記ガラス基板を貫通している凹部があり、前記凹部に充填された遮光材料からなる遮光壁がある。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
別の実施形態の内視鏡は、内視鏡用光学ユニットを挿入部の先端硬性部に具備し、内視鏡用光学ユニットは、光路直交方向の断面が同じ大きさのガラス基板を、それぞれの基体とする複数の光学素子が積層されており、少なくともいずれかの前記光学素子が、前記基体に樹脂レンズが配設されているレンズ素子であり、それぞれの前記複数の光学素子に、光路を囲む環状の前記ガラス基板を貫通している凹部があり、前記凹部に充填された遮光材料からなる遮光壁がある。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
別の実施形態の内視鏡用光学ユニットの製造方法は、複数のガラスウエハのそれぞれに、複数の環状の貫通している凹部を形成する凹部形成工程と、前記凹部を、遮光材料で充填し遮光壁を作製する遮光壁作製工程と、前記遮光壁が作製された複数の前記ガラスウエハを積層し接合ウエハを作製する工程と、前記接合ウエハを切断し、光路直交方向の断面が同じ大きさのガラス基板を基体とする複数の光学素子が積層されており、それぞれの前記複数の光学素子に、光路を囲む前記遮光壁がある内視鏡用光学ユニットに個片化する工程と、を具備し、さらに、前記接合ウエハを作製する工程よりも前に、少なくともいずれかの前記ガラスウエハの凹部形成領域の内側に樹脂レンズを配設する工程を具備する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
＜第１実施形態＞
図１〜図３に示すように、本実施形態の内視鏡用光学ユニットは複数の光学素子１０、２０、３０が積層されたレンズユニット２である。レンズユニット２は撮像素子４０とともに、別の実施形態の内視鏡用光学ユニットである撮像ユニット１を構成している。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
レンズユニット２は、光路直交方向、すなわち光軸Ｏに直交する方向の断面が同じ大きさの平行平板のガラス基板を、それぞれの基体とする複数の光学素子１０、２０、３０が積層されている。複数の光学素子１０、２０、３０は直方体で断面が同じ大きさのため、レンズユニット２は直方体である。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
光学素子２０は、平行平板のガラス基板の第１の主面２０ＳＡに樹脂からなる非球面の凸レンズ２１が配設されている、（プラスチック＋ガラス）からなるハイブリッドレンズ素子である。光学素子３０は、平行平板のガラス基板の第３の主面３０ＳＡに樹脂からなる非球面の凸レンズ３１が配設されており、第３の主面３０ＳＡと対向する第４の主面３０ＳＢには樹脂からなる非球面の凹レンズ３２が配設されているハイブリッドレンズ素子である。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
そして、光学素子１０、２０、３０には、光路を囲む環状の連続した凹部である貫通孔（スルホールリング）があり、貫通孔に充填された遮光材料である銅からなる遮光壁１５、２５、３５がある。光学素子１０、２０、３０の遮光壁１５、２５、３５は、光路を囲む断面が額縁状で、かつ、同じ大きさで、途切れることなく光路を取り囲んでいる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
光学素子２０の第１の主面２０ＳＡの遮光壁２５からは、環状のスペーサ２４が凸状に延設されている。スペーサ２４は絞り１４と当接している。隣り合う２つの光学素子１０、２０の間の距離、すなわち、光学素子１０の裏面１０ＳＢと光学素子２０の第１の主面２０ＳＡとの間の距離は、絞り１４の厚さおよびスペーサ２４の厚さにより規定されている。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
光学素子３０の第３の主面３０ＳＡの遮光壁３５からは、環状のスペーサ３４が凸状に延設されている。スペーサ３４は、光学素子２０の第２の主面２０ＳＢと当接している。隣り合う２つの光学素子２０、３０の間の距離、すなわち、光学素子２０の第２の主面２０ＳＢと、光学素子３０の第３の主面３０ＳＡとの間の距離は、スペーサ３４の厚さにより規定されている。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
一方、半導体基板からなる撮像素子４０の撮像面４０ＳＡには、ＣＭＯＳ受光素子等の受光部４１と、環状のスペーサ４４とが配設されている。受光部４１はレンズユニット２の光学素子１０、２０、３０が集光した光を受光する。環状のスペーサ４４は、光学素子３０の第４の主面３０ＳＢと当接している。すなわち、光学素子３０の第４の主面３０ＳＢと、撮像素子４０の撮像面４０ＳＡとの間の距離は、スペーサ４４の厚さにより規定されている。なお、図示しない貫通配線を介して、受光部４１は裏面４０ＳＢの外部接続電極４９と接続されている。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
＜ステップＳ１１＞樹脂レンズ配設
複数の平行平板ガラスウエハ１０Ｗ、２０Ｗ、３０Ｗ（図７参照）が準備される。ガラスウエハ１０Ｗ、２０Ｗ、３０Ｗは、光透過性を有する、例えば無色透明のガラスウエハまたは所定波長帯の光を遮断するガラスフィルターウエハ等などである。ガラスウエハ１０Ｗ、２０Ｗ、３０Ｗの厚さは、求められる光学的特性に応じて、それぞれ決定される。なお、後述するように、ガラスウエハ１０Ｗ、２０Ｗ、３０Ｗは切断されると、それぞれのレンズユニット２のガラス基板１０、２０、３０となる。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
例えば図６Ａに示す様に、ガラスウエハ２０Ｗでは、第１の主面２０ＳＡの所定位置に複数の樹脂レンズ２１が配設される。樹脂レンズ２１の配設位置は、後の工程で凹部Ｔ２０が形成される領域の内側（凹部形成領域の内側）である（図６Ｂ参照）。樹脂レンズ２１は、例えば、レンズ用透明樹脂を塗布し、所定形状の金型をレンズ用透明樹脂に押し付けて、紫外線（ＵＶ）を下方（第２の主面２０ＳＢ側）から照射してレンズ用透明樹脂を硬化させることで配設される。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
＜ステップＳ１２＞凹部形成
図６Ｂに示す様に、ガラスウエハ２０Ｗの第２の主面２０ＳＢに、サポートウエハである保持ウエハ６０が配設されて、複数の樹脂レンズ２１を囲むように、それぞれ環状の凹部Ｔ２０が形成される。凹部Ｔ２０は、ガラスウエハ２０Ｗを貫通している環状のＴＧＨ（Through Glass Hole）である。凹部Ｔ２０の形成は、ガラスウエハ２０Ｗの第１の主面２０ＳＡにエッチングマスク（不図示）を配設して、ウエットエッチングまたはドライエッチング等により行われる。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４０】
本実施形態の撮像ユニット１では、遮光壁２５を構成しているＣｕめっき膜は、凹部Ｔ２０の内部だけでなく、第１の主面２０ＳＡから凸状に延設される。すなわち、遮光壁２５から延設されている環状の凸部２４も、遮光壁２５と同時に配設され同じ材料からなる。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４４】
同様に、ガラスウエハ１０Ｗ、３０Ｗにも、遮光壁１５、３５および凸部１４、３４が配設される。図２に示したように、ガラスウエハ１０Ｗの裏面１０ＳＢの凸部１４は、スペーサ機能だけでなく、光路の光量を制限する絞り部の機能も有する。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４６】
＜ステップＳ１４＞ウエハ接合
図８に示す様に、遮光壁が作製された複数のガラスウエハ１０Ｗ、２０Ｗ、３０Ｗおよび複数の撮像素子を含む撮像ウエハ４０Ｗが積層され接合ウエハ７０Ｗが作製される。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５６】
また、光学素子１０、２０、３０の少なくともいずれかの凹部が有底であり、他の光学素子の凹部が貫通孔であってもよい。
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５７】
＜変形例２＞
撮像ユニット１（レンズユニット２）では遮光壁１５等の断面形状は、外周が矩形の額縁状であった。これに対して図１１Ａに示す変形例の撮像ユニット１Ｂ１（レンズユニット２Ｂ１）の遮光壁２５Ｂ１等は円形である。また、図１１Ｂに示す変形例の撮像ユニット１Ｂ２（レンズユニット２Ｂ２）の遮光壁２５Ｂ２等は六角形である。すなわち、遮光壁は光路を囲んでいれば、その形状は円形または多角形でもよい。
【手続補正２０】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光路直交方向の断面が同じ大きさのガラス基板を、それぞれの基体とする複数の光学素子が積層されており、
少なくともいずれかの前記光学素子が、前記基体に樹脂レンズが配設されているレンズ素子であり、
それぞれの前記複数の光学素子に、光路を囲む環状の前記ガラス基板を貫通している凹部があり、前記凹部に充填された遮光材料からなる遮光壁があることを特徴とする内視鏡用光学ユニット。
【請求項２】
前記遮光壁から延設されている、遮光材料からなる環状の凸部を有し、前記凸部が隣り合う前記２つの光学素子の間の距離を規定するように構成されているスペーサであることを特徴とする請求項１に記載の内視鏡用光学ユニット。
【請求項３】
前記遮光壁と前記スペーサとが、同じ材料からなることを特徴とする請求項２に記載の内視鏡用光学ユニット。
【請求項４】
前記遮光壁と前記スペーサとが、電気めっき膜からなることを特徴とする請求項３に記載の内視鏡用光学ユニット。
【請求項５】
いずれかの前記スペーサが、光路の一部を遮り光量を調整する絞り部の機能を有するように構成されていることを特徴とする請求項２から請求項４のいずれか１項に記載の内視鏡用光学ユニット。
【請求項６】
前記複数の光学素子が集光した光を受光する受光部を有する撮像素子が更に積層されていることを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の内視鏡用光学ユニット。
【請求項７】
前記撮像素子の光路直交方向の断面が、前記ガラス基板と同じ大きさであることを特徴とする請求項６に記載の内視鏡用光学ユニット。
【請求項８】
請求項１から請求項７のいずれか１項に記載の内視鏡用光学ユニットを挿入部の先端硬性部に具備することを特徴とする内視鏡。
【請求項９】
複数のガラスウエハのそれぞれに、複数の環状の貫通している凹部を形成する凹部形成工程と、
前記凹部を、遮光材料で充填し遮光壁を作製する遮光壁作製工程と、
前記遮光壁が作製された複数の前記ガラスウエハを積層し接合ウエハを作製する工程と、
前記接合ウエハを切断し、光路直交方向の断面が同じ大きさのガラス基板を基体とする複数の光学素子が積層されており、それぞれの前記複数の光学素子に、光路を囲む前記遮光壁がある内視鏡用光学ユニットに個片化する工程と、を具備し、
さらに、前記接合ウエハを作製する工程よりも前に、少なくともいずれかの前記ガラスウエハの凹部形成領域の内側に樹脂レンズを配設する工程を具備することを特徴とする内視鏡用光学ユニットの製造方法。
【請求項１０】
前記遮光壁を作製する工程において、前記遮光壁から環状の凸部が延設され、前記凸部が隣り合う２つの前記光学素子の間の距離を規定するように構成されているスペーサであることを特徴とする請求項９に記載の内視鏡用光学ユニットの製造方法。
【請求項１１】
前記接合ウエハを作製する工程において、複数の撮像素子を含む撮像ウエハが、前記複数のガラスウエハとともに積層されることを特徴とする請求項９または請求項１０に記載の内視鏡用光学ユニットの製造方法。
【請求項１２】
前記接合ウエハを切断する工程で作製された複数のレンズユニットを、複数の撮像素子を含む撮像ウエハに配設する工程と、
前記複数のレンズユニットが配設された前記撮像ウエハを切断する工程と、を具備することを特徴とする請求項９または請求項１０に記載の内視鏡用光学ユニットの製造方法。
【国際調査報告】
2017203592.tif 000025
2017203592.tif 000026
2017203592.tif 000027
2017203592.tif 000028