(57)【要約】  反射面の歪みや変形を抑制しつつ駆動体に連結できるミラーユニット及び光走査型の対象物検知装置を提供する。第１の固定部２１における、部分球状部１３ｅとの当接点Ｐ１での法線ＮＬが、回転軸線ＲＯに平行であって、当接点Ｐ１に対応する第２の固定部２３と部分球状部１３ｃとの当接点Ｐ２を通過するように配置することで、フランジ部１３の変形量を極力抑えることができる。第１の固定部２１と第２の固定部２３による固定の際に、フランジ部１３の変位量を小さく抑えることができれば、フランジ部１３に連結された上部角錐部１１と下部角錐部１２の変形を抑えることができるので、反射面ＭＲ１，ＭＲ２の平面度及び角度を精度良く確保することができ、高精度な測定を実現できる。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光束を反射する反射面を外周側面に形成した反射部と、前記反射部に対して交差する方向に延在し前記反射部を支持するフランジ部と、を一体的に形成した樹脂製の光学素子と、
前記光学素子を回転させる回転駆動体と、
前記光学素子の前記フランジ部を前記回転駆動体に連結する連結装置と、を有し、前記回転駆動体の回転軸線回りに前記光学素子が回転可能となっている光学ユニットであって、
前記フランジ部は、前記回転軸線方向における一方の側に、３つ以上の第１の断面円弧状凸面が形成され、前記回転軸線方向における他方の側に、３つ以上の第２の断面円弧状凸面が形成され、
前記連結装置は、前記第１の断面円弧状凸面に同時に当接する第１の固定部と、前記第２の断面円弧状凸面に同時に当接する第２の固定部と、各断面円弧状凸面と各固定部とが互いに向かう方向に付勢する付勢部と、前記回転駆動体と前記第１の固定部又は前記第２の固定部とを連結する連結部と、を有し、
前記フランジ部は、前記第１の断面円弧状凸面の３個の面頂点を結んで形成される三角形内及び前記第２の断面円弧状凸面の３個の面頂点を結んで形成される三角形内に、前記回転駆動体の回転軸線が通るように構成され、
前記第１の固定部における、前記第１の断面円弧状凸面との当接点Ｐ１での法線が、前記回転軸線に略平行であって、前記当接点Ｐ１に対応する前記第２の固定部と前記第２の断面円弧状凸面との当接点Ｐ２を通過しており、
前記第１の固定部又は前記第２の固定部が前記光学素子の内周側面に係合するよう構成された光学ユニット。
【請求項２】
前記反射部は、前記フランジ部から一方の側に延在する第１の反射部と、前記フランジ部から他方の側に延在する第２の反射部とからなり、前記第１の反射部の反射面と、前記第２の反射部の反射面は、前記回転軸線に対して互いに向き合う方向に傾いている請求項１に記載の光学ユニット。
【請求項３】
前記回転軸線方向に見て、前記反射部の内周側面は正三角形状であり、前記内周側面に係合する前記固定部の外周は六角形状である請求項１又は２に記載の光学ユニット。
【請求項４】
前記回転軸線方向に見て、前記反射部の内周側面は正方形状であり、前記内周側面に係合する前記固定部の外周は正八角形状である請求項１又は２に記載の光学ユニット。
【請求項５】
請求項１〜４の記載の光学ユニットと、光源と、受光部とを有し、前記光源から出射された光束は、回転する前記光学ユニットの反射面で反射されて、対象物に対して走査されつつ投光されるようになっており、対象物で反射した光束は、前記反射面で反射した後に、前記受光部で受光されるようになっている光走査型の対象物検知装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザー光等を照射して対象物を検出する対象物検知装置に用いると好適なミラーユニット及び光走査型の対象物検知装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、自動車や飛行体などの分野で、進行方向前方に存在する障害物の検知を精度良く行うために、外界に向かって出射したレーザー光と、対象物に当たって反射した反射光（あるいは対象物を通過後に構造物に当たり戻ってくる反射光）との関係に基づいて、障害物の情報を取得するレーザー走査型測定機が開発され、既に実用化されている。【０００３】
一般的なレーザー走査型測定機においては、投光系がレーザーダイオードとコリメーターから構成され、受光系が受光レンズ（またはミラー）とフォトダイオードなどの光検出素子から構成され、更には投光系と受光系との間に反射面を備えた反射ミラーが配置されている。このようなレーザー走査型測定機においては、反射ミラーの回転によって、投光系から出射された光を回転する反射面で走査して対象物の検知を所望する方向に照射することにより、１点での測定ではなく２次元的に対象物を広範囲に測定できるというメリットがある。【０００４】
ところで、レーザー光走査のため反射ミラーを回転させる動力源として、モーターなどが用いられる。その一方、コストや軽量化を図るために、反射ミラーは樹脂製としたいという要請もある。しかるに樹脂製の反射ミラーを、モーター等の回転軸にどのように連結するかが問題となる。【０００５】
ここで、反射ミラーをモーター等の回転軸に連結する場合、例えば複写機などで使用されるポリゴンミラーの技術を流用することも考えられる。ポリゴンミラーの固定方法の一つとして、回転軸に設けたフランジ（段部）にポリゴンミラーを嵌合搭載した状態でネジ止めする方法等が知られている。しかしながら、ポリゴンミラーを樹脂製とすると、ねじ止めにより反射面が変形する恐れがあり、それにより対象物検知の精度低下を招くこととなる。【０００６】
これに対し特許文献１には、長尺のｆθレンズのフランジ部に設けた突起をレンズ保持部材に当接させて保持することにより、レンズ面の歪みを極力回避する技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】国際公開第２０１３／０４７１７４号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかるに、特許文献１に示された技術は、ｆθレンズのフランジ部に設けた突起を利用して、長尺のｆθレンズを位置決めして固定するための技術に関するものでしかなく、回転する部材への応用、つまり、突起と回転軸との位置関係をどのようにするかについての技術開示がない。すなわち、特許文献１には、反射面の歪みや変形を抑制しつつモーター等に光学素子を連結できる技術を開示も示唆もしてない。【０００９】
本発明は、上記事情に鑑みなされたものであり、反射面の歪みや変形を抑制しつつ駆動体に連結できるミラーユニット及び光走査型の対象物検知装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上述した目的のうち少なくとも一つを実現するために、本発明の一側面を反映したミラーユニットは、
光束を反射する反射面を外周側面に形成した反射部と、前記反射部に対して交差する方向に延在し前記反射部を支持するフランジ部と、を一体的に形成した樹脂製の光学素子と、
前記光学素子を回転させる回転駆動体と、
前記光学素子の前記フランジ部を前記回転駆動体に連結する連結装置と、を有し、前記回転駆動体の回転軸線回りに前記光学素子が回転可能となっている光学ユニットであって、
前記フランジ部は、前記回転軸線方向における一方の側に、３つ以上の第１の断面円弧状凸面が形成され、前記回転軸線方向における他方の側に、３つ以上の第２の断面円弧状凸面が形成され
前記連結装置は、前記第１の断面円弧状凸面に同時に当接する第１の固定部と、前記第２の断面円弧状凸面に同時に当接する第２の固定部と、各断面円弧状凸面と各固定部とが互いに向かう方向に付勢する付勢部と、前記回転駆動体と前記第１の固定部又は前記第２の固定部とを連結する連結部と、を有し、
前記フランジ部は、前記第１の断面円弧状凸面の３個の面頂点を結んで形成される三角形内及び前記第２の断面円弧状凸面の３個の面頂点を結んで形成される三角形内に、前記回転駆動体の回転軸線が通るように構成され、
前記第１の固定部における、前記第１の断面円弧状凸面との当接点Ｐ１での法線が、前記回転軸線に略平行であって、前記当接点Ｐ１に対応する前記第２の固定部と前記第２の断面円弧状凸面との当接点Ｐ２を通過しており、
前記第１の固定部又は前記第２の固定部が前記光学素子の内周側面に係合するよう構成されたものである。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、反射面の歪みや変形を抑制しつつ駆動体に連結できるミラーユニット及び光走査型の対象物検知装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本実施形態にかかる光走査型の対象物検知装置としてのレーザーレーダーを車両に搭載した状態を示す概略図である。
【図２】本実施形態にかかるレーザーレーダーＬＲの概略構成図である。
【図３】レーザーレーダーＬＲに用いるミラーユニットＭＵを、回転軸を通る断面で切断して示す断面図である。
【図４】図３の構成をIV-IV線で切断して矢印方向に見た図である。
【図５】図５は、図４の構成をV-V線で切断して矢印方向に見た図である。
【図６】図３の構成をVI-VI線で切断して矢印方向に見た図である。
【図７】２点の支持点ＳＰで支持された固定部ＦＸに付与される外力の位置を変えて示すモデルである。
【図８】多面鏡体１０の回転に応じて、出射するレーザースポット光ＳＢで、レーザーレーダーＬＲの検出範囲である画面Ｇ上を走査する状態を示す図である。
【図９】本実施形態の変形例にかかる図６と同様な断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、添付した図面を参照しながら、本発明の実施形態を説明する。図１は、本実施形態にかかる光走査型の対象物検知装置としてのレーザーレーダーを車両に搭載した状態を示す概略図である。但し、本実施形態のレーザーレーダーは、車載用途に限られず、ロボット、飛行体や船舶などの移動体に搭載したり、道路や鉄道などの交通インフラにおいて固定物に設置したりできる。本実施形態のレーザーレーダーＬＲは、車両１のフロントウィンドウ１ａの背後、もしくはフロントグリル１ｂの背後に設けられている。
【００１４】
図２は、本実施形態にかかるレーザーレーダーＬＲの概略構成図である。図３は，レーザーレーダーＬＲに用いるミラーユニットＭＵを、回転軸を通る断面で切断して示す断面図である。図４は、図３の構成をIV-IV線で切断して矢印方向に見た図である。図５は、図４の構成をV-V線で切断して矢印方向に見た図であるが、主要部のみ示している。図６は、図３の構成をVI-VI線で切断して矢印方向に見た図である。
【００１５】
図２において、レーザーレーダーＬＲは、例えば、レーザー光束を出射するパルス式の半導体レーザー（光源）ＬＤと、半導体レーザーＬＤからの発散光を平行光に変換するコリメートレンズＣＬと、コリメートレンズＣＬで平行とされたレーザー光を、回転する反射面により対象物ＯＢＪ側（図１）に向かって走査投光すると共に、走査投光された対象物ＯＢＪからの反射光を反射させるミラーユニットＭＵと、ミラーユニットＭＵで反射された対象物ＯＢＪからの反射光を集光するレンズＬＳと、レンズＬＳにより集光された光を受光するフォトダイオード（受光部）ＰＤとを有する。半導体レーザーＬＤとコリメートレンズＣＬとで投光系ＬＰＳを構成し、レンズＬＳとフォトダイオードＰＤとで受光系ＲＰＳを構成する。
【００１６】
図３に示すように、ミラーユニットＭＵは、光学素子である多面鏡体１０を有する。多面鏡体１０は、三角錐を逆向きに上下に連結したような樹脂の一体形状であって、射出成形によって形成できる。多面鏡体１０は、その軸線が回転軸線ＲＯに一致しており、中空の上部角錐部１１と、中空の下部角錐部１２との間に、回転軸線ＲＯに直交する板状のフランジ部１３を設けてなる。フランジ部１３により支持されて上方に延在する上部角錐部１１が第１の反射部を構成し、またフランジ部１３により支持されて下方に延在する下部角錐部１２が第２の反射部を構成する。フランジ部１３の中央には、円形開口１３ａが形成されている。上部角錐部１１の外周には、３面の反射面ＭＲ２が周方向に並んで形成されており、下部角錐部１２の外周には、３面の反射面ＭＲ１が周方向に並んで形成されている。各反射面ＭＲ１，ＭＲ２は、回転軸線ＲＯに対して向かい合う方向に傾いている。
【００１７】
図３において、フランジ部１３の下方には、第１の固定部２１が設けられている。金属又は樹脂製の第１の固定部２１は、六角錐台状（図６参照）を有し、その上面中央に円筒軸２１ａを植設しており、この円筒軸２１ａは、円形開口１３ａを貫通して上方に延在している。円筒軸２１ａの上端には雄ねじ２１ｂが形成されている。又、第１の固定部２１の下面中央には、袋孔２１ｃが形成され、その内周には雌セレーション２１ｄが形成されている。
【００１８】
レーザーレーダーのフレーム１４に、モーター２２が固定されている。モーター２２の上方に突出した回転軸（回転駆動体）２２ａの外周には、雄セレーション２２ｂが形成されており、この雄セレーション２２ｂを雌セレーション２１ｄに係合させることで、第１の固定部２１が回転軸２２ａと一体的に回転するようになっている。雄セレーション２２ｂと雌セレーション２１ｄとで、連結部を構成する。尚、回転軸２２ａを円筒状とし、第１の固定部２１の側面から挿通したねじ（不図示）を回転軸２２ａに突き当てることで、第１の固定部２１を回転軸２２ａに固定することもできる。
【００１９】
一方、フランジ部１３の上方には、板状の第２の固定部２３が設けられている。金属又は樹脂製の第２の固定部２３は、三角板状であって、その中央には円形開口２３ａが形成されている。第１の固定部２１の円筒軸２１ａは、更に円形開口２３ａを貫通して上方に延在している。
【００２０】
中空の円盤状のねじ部材２４は、その内周に設けた雌ねじ２４ａを、円筒軸２１ａの先端に形成した雄ねじ２１ｂに螺合させることで、円筒軸２１ａの先端に取り付けられている。第２の固定部２３の上面とねじ部材２４の下面とに端部をそれぞれ当接させながら、円筒軸２１ａの周囲に巻き回されるようにしてコイルバネ２５が配置されている。付勢部であるコイルバネ２５の付勢力により、第２の固定部２３はフランジ部１３側に付勢されている。回転軸２２ａの雄セレーション２２ｂと、雌セレーション２１ｄを含む第１の固定部２１と，第２の固定部２３と、コイルバネ２５により連結装置を構成する。
【００２１】
ミラーユニットＭＵの組み付け時には、第１の固定部２１の円筒軸２１ａを、多面鏡体１０の円形開口１３ａ、第２の固定部２３の円形開口２３ａを挿通するようにして、これらを組み付けた後、更に円筒軸２１ａにコイルバネ２５を取り付けて、その先端にねじ部材２４を螺合させることで、多面鏡体１０と、第１の固定部２１と、第２の固定部２３とを一体化することができる。このとき、コイルバネ２５の荷重（付勢力）は、動作環境により生じる振動でも当接部のずれを発生しない荷重であると好ましく、具体的には例えば２〜５Ｎとするのが好ましい。
【００２２】
図５において、多面鏡体１０のフランジ部１３の上面１３ｂには、３つの部分球状部１３ｃが形成されている。図４に示すように、部分球状部１３ｃは、回転軸ＲＯから等距離で且つ周方向に１２０°の間隔で配置されている。回転軸ＲＯと部分球状部１３ｃの頂点とを結ぶ直線Ｌの延長線が上部角錐部１１の角部を通過するようになっていると、スペースの有効活用を図れて好ましい。
【００２３】
同様に図５において、多面鏡体１０のフランジ部１３の下面１３ｄにも、３つの部分球状部１３ｅが形成されている。部分球状部１３ｅは、部分球状部１３ｃと同一形状であると好ましく、多面鏡体１０の射出成形時に同時に型成形されると良い。但し、部分球状部１３ｃ、１３ｅの曲率半径が互いに異なっていても良いし、或いは球面形状ではなく面頂点を有する非球面形状であっても良いし、３つ以上設けられていても良い。部分球状部１３ｅが第１の断面円弧状凸面を構成し、部分球状部１３ｃが第２の断面円弧状凸面を構成する。フランジ部１３は、３個の部分球状部１３ｅの面頂点を結んで形成される三角形内（好ましくは中央）に、回転軸線ＲＯが通るように構成され、また３個の部分球状部１３ｃの面頂点を結んで形成される三角形内（好ましくは中央）に、回転軸線ＲＯが通るように構成されている。これにより、回転時における多面鏡体１０の良好な回転バランスを確保できる。
【００２４】
３つの部分球状部１３ｅは、第１の固定部２１の平面上面２１ｅに同時に当接し、３つの部分球状部１３ｃは、第２の固定部２３の平面下面２３ｂに同時に当接している。ここで、第１の固定部２１における、部分球状部１３ｅとの当接点Ｐ１での法線ＮＬが、回転軸線ＲＯに略平行であって、当接点Ｐ１に対応する第２の固定部２３と部分球状部１３ｃとの当接点Ｐ２を通過している。尚、「略平行」とは、完全な平行に対して±２°以内で傾いている場合も含む。
【００２５】
つまり、コイルバネ２５の付勢力Ｆが第２の固定部２３に付与されたとき、かかる付勢力Ｆは３等分されて，法線ＮＬに沿って第２の固定部２３の平面下面２３ｂからフランジ部１３の上面１３ｂの各部分球状部１３ｃに伝達される。更に、３等分された付勢力Ｆは、法線ＮＬに沿ってフランジ部１３の下面１３ｄの各部分球状部１３ｅから、これらに当接した第１の固定部２１の平面上面２１ｅに伝達されるが、各当接点で等しい反力が生じ、両者は釣り合った状態になる。言い換えると、この系では、法線ＮＬに交差する方向には理想状態では外力が生じないようになっている。
【００２６】
ここで、本発明者らが行ったシミュレーション結果を説明する。図７は、２点の支持点ＳＰで支持された固定部ＦＸに付与される外力の位置を変えて示すモデルであり、シミュレーションにより各モデルにおいて外力Ｆを付与する前後での平面度変化を求めた。図７（ａ）では、固定部ＦＸ上面に合計１０Ｎになるよう等しく分散した外力Ｆを固定部ＦＸに付与した状態で、固定部ＦＸの平面度変化をＰＶ値（平面の一番高い点から一番低い点の高低差）で求めたところ、２．９μｍであった。
【００２７】
更に図７（ｂ）では、支持点ＳＰの２点を通過する固定部ＦＸの面法線ＮＬの両側計４点において、合計１０Ｎになるよう等しく分散した外力Ｆを固定部ＦＸに付与した状態で、固定部ＦＸの平面度変化をＰＶ値で求めたところ、０．３１μｍであった。
【００２８】
更に図７（ｃ）では、支持点ＳＰの２点を通過する固定部ＦＸの面法線ＮＬの内側計２点において、合計１０Ｎになるよう等しく分散した外力Ｆを固定部ＦＸに付与した状態で、固定部ＦＸの平面度変化をＰＶ値で求めたところ、０．６１μｍであった。
【００２９】
これに対し図７（ｄ）では、支持点ＳＰの２点を通過する固定部ＦＸの面法線ＮＬ上において、合計１０Ｎになるよう等しく分散した外力Ｆを固定部ＦＸに付与した状態で、固定部ＦＸの平面度変化をＰＶ値で求めたところ、０．０５μｍであり、変形度が最も小さくなった。
【００３０】
以上のシミュレーション結果は、３点支持の場合でも同様に適用できると推認されるので、図５に示すように、第１の固定部２１における、部分球状部１３ｅとの当接点Ｐ１での法線ＮＬが、回転軸線ＲＯに平行であって、当接点Ｐ１に対応する第２の固定部２３と部分球状部１３ｃとの当接点Ｐ２を通過するように配置することで、フランジ部１３の変形量を極力抑えることができるといえる。第１の固定部２１と第２の固定部２３による固定の際に、フランジ部１３の変位量を小さく抑えることができれば、フランジ部１３に連結された上部角錐部１１と下部角錐部１２の変形を抑えることができるので、反射面ＭＲ１，ＭＲ２の平面度及び角度を精度良く確保することができ、高精度な測定を実現できる。
【００３１】
更に図６に示す方向から見て、下部角錐部１２の内周面１２ａは正三角形状であり、第１の固定部２１の外形は正六角形状である。又、第１の固定部２１の外周面２１ｆの３面は、下部角錐部１２の内周面１２ａと傾斜角が同じであり、両者は密着当接している。これにより第１の固定部２１と下部角錐部１２とは回転方向に固定される。従って、不図示の外部電源からモーター２２が給電され、回転軸２２ａが回転すると、セレーション結合（２２ｂ、２１ｄ）により回転軸２２ａに対して固定連結された第２の固定部２１が回転し、更に下部角錐部１２を介して多面鏡体１０が回転することとなる。一方、第２の固定部２３は、コイルバネ２５によりフランジ部１３に向かって付勢されているので円筒軸２１ａと共に回転する。ここで、仮にミラーユニットＭＵの回転速度が速くなり、コイルバネ２５の付勢力ではミラーユニットＭＵを維持できなくなっても、連結部の外周面２１ｆとフランジの内周面１２ａが当接するので、ミラーユニットＭＵの回転は維持される。尚、下部角錐部１２の内周面１２ａに当接させるためには、外周面２１ｆは３面あれば足りるので、必ずしも第１の固定部２１の外形は正六角形状でなくても良い。
【００３２】
次に、レーザーレーダーＬＲの測距動作について説明する。図２において、半導体レーザーＬＤからパルス状に間欠的に出射された発散光は、コリメートレンズＣＬで平行光束に変換され、回転する多面鏡体１０の反射面ＭＲ１に入射し、ここで反射され、回転軸ＲＯに沿って進行し、更に反射面ＭＲ２で反射した後、透明板ＴＲを透過して外部の対象物ＯＢＪ側に走査投光される。
【００３３】
図８は、多面鏡体１０の回転に応じて、出射するレーザースポット光ＳＢ（ハッチングで示す）で、レーザーレーダーＬＲの検出範囲である画面Ｇ上を走査する状態を示す図である。多面鏡体１０の反射面ＭＲ１と反射面ＭＲ２の組み合わせにおいて、それぞれ交差角が異なっている。レーザー光は、回転移動する反射面ＭＲ１と反射面ＭＲ２にて、順次反射してゆくが、まず１番対の反射面ＭＲ１と反射面ＭＲ２にて反射したレーザー光は、多面鏡体１０の回転に応じて、画面Ｇの一番上の領域Ｌｎ１を水平方向に左から右へと走査される。次に、２番対の反射面ＭＲ１と反射面ＭＲ２で反射したレーザー光は、多面鏡体１０の回転に応じて、画面Ｇの上から二番目の領域Ｌｎ２を水平方向に左から右へと走査される。次に、３番対の反射面ＭＲ１と反射面ＭＲ２で反射したレーザー光は、多面鏡体１０の回転に応じて、画面Ｇの上から三番目の領域Ｌｎ３を水平方向に左から右へと走査される。これにより１画面の走査が完了する。そして、多面鏡体１０が１回転した後、１番対の反射面ＭＲ１と反射面ＭＲ２が戻ってくれば、再び画面Ｇの一番上からの走査を繰り返す。
【００３４】
図２において、走査投光された光束のうち対象物ＯＢＪに当たって反射したレーザー光は、多面鏡体１０の反射面ＭＲ２に入射し、ここで反射され、回転軸ＲＯに沿って進行し、更に反射面ＭＲ１で反射して、レンズＬＳにより集光され、それぞれフォトダイオードＰＤの受光面で検知されることとなる。これにより画面Ｇ上の全範囲で、対象物ＯＢＪの検出を行える。
【００３５】
図９は、本実施形態の変形例にかかる図６と同様な断面図である。本変形例においては、多面鏡体１０が、四角錐を逆向きに上下に連結したような樹脂の一体形状であって、下部角錐部１２は４面の反射面ＭＲ１を有しており、図示していないが上部角錐部も同様である。更に、図９に示す方向から見て、下部角錐部１２の内周面１２ａは正四角形状であり、第１の固定部２１の外形は正八角形状である。第１の固定部２１の外周面２１ｆの４面を、下部角錐部１２の内周面１２ａに当接させることで、第１の固定部２１と下部角錐部１２とは回転方向に固定される。それ以外の構成は、上述した実施形態と同様である。
【００３６】
本発明は、明細書に記載の実施形態や変形例に限定されるものではなく、他の実施形態・変形例を含むことは、本明細書に記載された実施形態や技術思想から本分野の当業者にとって明らかである。明細書の記載及び実施形態は、あくまでも例証を目的としており、本発明の範囲は後述するクレームによって示されている。
【符号の説明】
【００３７】
１              車両
１ａ            フロントウィンドウ
１ｂ            フロントグリル
１０            多面鏡体
１１            上部角錐部
１２            下部角錐部
１２ａ          内周面
１３            フランジ部
１３ａ          円形開口
１３ｂ          上面
１３ｃ          部分球状部
１３ｄ          下面
１３ｅ          部分球状部
１４            フレーム
２１            第１の固定部
２１ａ          円筒軸
２１ｂ          平面下面
２１ｃ          袋孔
２１ｄ          雌セレーション
２１ｅ          平面上面
２１ｆ          外周面
２２            モーター
２２ａ          回転軸
２２ｂ          雄セレーション
２３            第２の固定部
２３ａ          円形開口
２３ｂ          平面下面
２４            ねじ部材
２５            コイルバネ
ＣＬ            コリメートレンズ
Ｆ              付勢力
ＬＤ            半導体レーザー
ＬＲ            レーザーレーダー
ＬＳ            レンズ
ＭＲ１，ＭＲ２  反射面
ＭＵ            ミラーユニット
ＯＢＪ          対象物
ＰＤ            フォトダイオード
【図１】
2017018065.tif 000003
【図２】
2017018065.tif 000004
【図３】
2017018065.tif 000005
【図４】
2017018065.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【国際調査報告】
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