(57)【要約】  浮上搬送装置を用いて、幅や形状の異なる様々な薄板状材料を搬送でき、かつ、薄板状体の中央部の膨らみを防止し、搬送装置と薄板状体の接触による損傷を防止する。  搬送装置の搬送面上で薄板状体を気体により浮上させつつ、薄板状体を搬送する薄板状体の搬送方法であって、薄板状体の幅方向の両端部近傍において、搬送装置の搬送面から薄板状体の下面に薄板状体の外側に向けて気体を吹き付けて薄板状体を浮上させ搬送する。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送装置の搬送面上で薄板状体を気体により浮上させつつ、該薄板状体を搬送する薄板状体の搬送方法であって、
前記薄板状体の搬送方向に直交する前記薄板状体の幅方向の両端部近傍において、前記搬送装置の搬送面から前記薄板状体の下面に対し、前記薄板状体の幅方向の外側に向けて気体を吹き付けて該薄板状体を浮上させ搬送する第１の領域を備える薄板状体の搬送方法。
【請求項２】
前記第１の領域と、前記薄板状体の下面に略鉛直方向に気体を吹き付ける第２の領域とを備え、
前記第１の領域が、前記薄板状体の幅方向の両端部のそれぞれ１／５以上の領域である請求項１に記載の薄板状体の搬送方法。
【請求項３】
前記第１の領域が、前記薄板状体の幅方向の両端からそれぞれ５０〜４００ｍｍの領域である請求項１または２に記載の薄板状体の搬送方法。
【請求項４】
前記第１の領域において、前記搬送面と前記薄板状体に吹きつけられる気体の吹付方向の成す角度αが２０〜６０°である請求項１〜３のいずれか１項に記載の薄板状体の搬送方法。
【請求項５】
前記薄板状体が厚さ０．５ｍｍ以下のガラス板である請求項１〜４のいずれか１項に記載の薄板状体の搬送方法。
【請求項６】
搬送装置の搬送面上で薄板状体を気体により浮上させつつ、該薄板状体を搬送する薄板状体の搬送装置であって、
前記搬送装置は、搬送面を備え、
前記搬送面には、前記薄板状体の搬送方向に直交する前記薄板状体の幅方向の両端部近傍において、前記搬送装置の前記搬送面から前記薄板状体の下面に対し、前記薄板状体の幅方向の外側に向けて気体を吹き付ける吹付口が形成された第１の領域を備える薄板状体の搬送装置。
【請求項７】
前記搬送装置が、前記薄板状体の下面に略鉛直方向に気体を吹き付ける第２の領域を備える請求項６に記載の薄板状体の搬送装置。
【請求項８】
前記第１の領域が、前記搬送装置の幅方向の両端部のそれぞれ１／５以上の領域である請求項６または７に記載の薄板状体の搬送装置。
【請求項９】
前記第１の領域が、前記搬送装置の幅方向の両端からそれぞれ１００〜１５００ｍｍの領域である請求項６〜８のいずれか１項に記載の薄板状体の搬送装置。
【請求項１０】
前記搬送装置は、前記第１の領域において前記吹付口が、複数のノズルまたは搬送方向に平行に形成されたスリットのうち少なくとも一方であり、前記搬送面と前記一方の吹付方向の成す角度αが２０〜６０°である請求項６〜９のいずれか１項に記載の薄板状体の搬送装置。
【請求項１１】
前記搬送装置は、前記薄板状体の駆動手段を備える請求項６〜１０のいずれか１項に記載の薄板状体の搬送装置。
【請求項１２】
前記搬送装置は、前記搬送面の下側に、前記吹付口と連通する箱状の中空空間を備え、前記中空空間が複数に区切られている請求項６〜１１のいずれか１項に記載の薄板状体の搬送装置。
【請求項１３】
ガラス原料を溶解して溶融ガラスを製造し、溶融ガラスを薄板状に成形し、成形したガラス薄板状体を請求項１〜６のいずれか１項に記載の薄板状体の搬送方法によって搬送し、次いで、前記ガラス薄板状体を製品加工するガラス薄板状体製品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、浮上搬送式の薄板状体の搬送方法、装置、及びガラス薄板状体製品の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶ディスプレイ用やＯＬＥＤ照明機器等に使用される厚さが薄いガラス板のような薄板状体を搬送する際に、エアコンベアなどの浮上搬送式の搬送装置により搬送する方法が知られている。一般に浮上搬送装置は、搬送面に気体の吹付口を備え、その搬送面上に載置された薄板状体の下面に気体を送り込んで、薄板状体を浮上させる構成となっている。【０００３】
一方で、剛性の低い薄いガラス板などをエアコンベアにより搬送した場合、エアコンベアから吹き付ける空気によってガラス基板の中央部分の浮上量が幅方向両端よりも大きくなり、ガラス板が膨らんでしまうことがある。ガラス板の中央部が膨らむと、ガラス板の外側端部が搬送面よりも下がってしまい、エアコンベアにガラス板が接触して損傷してしまうという問題を生じ易い。ガラス板の剛性は、ガラス板の厚さの３乗に比例するため、ガラス板の厚さが薄くなればなるほど、自重による変形が顕著になるためガラス板のエアコンベアとの接触損傷の問題が顕著になる。【０００４】
引用文献１には、エアコンベアを用いてガラス基板等のような薄板状材料を搬送する際に、薄板状材料の幅方向の両端部及び中央部を、吸引装置を用いて下面側から吸引して平面に近い状態で搬送することにより薄板状材料の中央部分が膨らまないようにして、搬送できるようにした薄板状材料の搬送方法及び装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１０−１２６２９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、前述の方法では、薄板状体の両端部に吸引装置（サイド吸引装置）を備えることが必須であり、幅の異なる薄板状体を搬送装置と接触することなく搬送することには搬送装置を改造する必要がある。また、浮上搬送装置（エアテーブルユニット）と中央部と両端部に複数の吸引装置を備えることが必須であり、非常に複雑な機構が必要となる。【０００７】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、吸引機構などを備えない簡素な構成の浮上搬送装置を用いて、幅や形状の異なる様々な薄板状材料を搬送することができ、かつ、薄板状体の中央部の膨らみを防止し、搬送装置と薄板状体の接触による損傷を防止する薄板状材料の搬送方法、装置、及びガラス薄板状体の製造方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、搬送装置の搬送面上で薄板状体を気体により浮上させつつ、薄板状体を搬送する薄板状体の搬送方法であって、薄板状体の搬送方向に直交する薄板状体の幅方向の両端部近傍において、搬送装置の搬送面から薄板状体の下面に対し、薄板状体の幅方向の外側に向けて気体を吹き付けて薄板状体を浮上させ搬送する第１の領域を備える薄板状体の搬送方法を提供する。【０００９】
また、搬送装置の搬送面上で薄板状体を気体により浮上させつつ、薄板状体を搬送する薄板状体の搬送装置であって、搬送装置は、搬送面を備え、搬送面には、薄板状体の搬送方向に直交する薄板状体の幅方向の両端部近傍において、搬送装置の搬送面から薄板状体の下面に対し、薄板状体の幅方向の外側に向けて気体を吹き付ける吹付口が形成された第１の領域を備える薄板状体の搬送装置を提供する。
さらに、本発明は、ガラス原料を溶解して溶融ガラスを製造し、溶融ガラスを薄板状に成形し、成形したガラス薄板状体を前記の薄板状体の搬送方法によって搬送し、次いで、前記ガラス薄板状体を製品加工するガラス薄板状体製品の製造方法を提供する。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、吸引機構などを備えない簡素な構成の浮上搬送装置を用いて、幅や形状の異なる様々な薄板状材料を搬送することができる。また、薄板状体の中央部の膨らみを防止し、搬送装置と薄板状体の接触による損傷を防止する薄板状材料の搬送方法を提供することができる。さらに、前記搬送方法を用いたガラス薄板状体製品の製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明に係る搬送装置の一態様を示す模式平面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ‘断面の一部を示す断面模式図である。
【図３】本発明に係る搬送装置の吹付口の一態様を示す断面模式図である。
【図４】本発明に係る搬送装置の他の実施態様を示す模式平面図である。
【図５】本発明に係るガラス薄板状体製品の製造方法の実施態様を示すフロー図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明を実施するための態様について図面を参照して説明する。各図面において、同一の又は対応する構成には、同一の又は対応する符号を付して説明を省略する。本明細書において、数値範囲を表す「〜」はその前後の数値を含む範囲を意味する。
【００１３】
また、本発明において、薄板状体とは、厚さの薄い板状の物体であって、剛性の低いものを表わす。薄板状体の形状は、矩形など所望の形状に切断されたシートやフィルムでもよく、帯状に連続したものでもよい。薄板状体の材質は特に限定されないが、ガラス、金属、樹脂、セラミックスなどであってもよい。なかでも、ガラスであるのが好ましい。
【００１４】
搬送方向とは、薄板状体が搬送装置により搬送される方向であり、幅方向とは搬送方向に直交する方向を表わすものとする。また、搬送面とは搬送装置の上面であり、搬送面に備えられる吹付口より気体を薄板状体に吹き付けて浮上させる。
【００１５】
薄板状体の下面とは、薄板状体の表裏二つの主面のうち鉛直方向下側で浮上搬送装置の搬送面と対抗する面を表わし、薄板状体の上面とはもう一方の主面を表わす。
【００１６】
薄板状体の幅方向の両端部近傍とは、薄板状体の幅方向の長さにおいて薄板状体の下面に吹き付けられた気体を薄板状体の下面の外側に排気するのに十分な長さをいう。
【００１７】
外側とは、搬送方向に直交する方向を含み、搬送装置の中心線から搬送装置の両端部へ向う方向をいう。
【００１８】
吹付方向とは、搬送方向に直交する断面において、気体を吹き付ける吹付口の流路の中心線と搬送面がなす角度を表わし、ノズルにおいては、径の中心線であり、スリットにおいては、搬送面のスリットの幅（短径）の中心線である。
【００１９】
（第１の実施態様）
図１は、本発明に係る搬送装置の一態様を示す模式平面図である。図１には、浮上式のエアコンベア（搬送装置）１０によってガラス板（薄板状体）Ｇを搬送する態様が示されている。
【００２０】
図に示すようにガラス板Ｇは矢印（⇒）で示すガラス板の搬送方向に搬送される。搬送装置１０はガラスの下面と対向する略水平な搬送面１２を備え、搬送面１２の幅方向中央部に搬送手段１４と、搬送手段１４の両側に浮上手段２０を備える。浮上手段２０は、ガラス板Ｇの下面に外側に向けて気体を吹き付ける第１の領域２２と、ガラス板Ｇの下面に略鉛直に気体を吹き付ける第２の領域２４と、搬送装置１０の搬送面１２にガラス板Ｇに気体を吹き付ける吹付口２６を備える。本実施態様において第１の領域２２の吹付口はスリット２８であり、第２の領域２４の吹付口はノズル３０である。浮上手段２０は搬送手段１４の両側に複数の区画に区切られており、それぞれ第１の領域２２の区画が４０ａ、４０ｂ、４０ｃ、・・・、４１ａ、４１ｂ、４１ｃ、・・・であり、第２の領域２４の区画が４２ａ、４２ｂ、４２ｃ、・・・、４３ａ、４３ｂ、４３ｃ、・・・である。
【００２１】
第１の領域２２において、スリット２８は、それぞれの区画ごとに搬送方向に平行に複数配置されている。第２の領域２４において、ノズル３０は、搬送方向に平行に複数の列をなして多数千鳥状に配置されている。
【００２２】
図２は、図１のＡ−Ａ‘断面の一部を示す断面図であるが、ここでは搬送装置１０の搬送方向の片側半分の断面が図示されている。搬送装置１０は搬送面１２を形成するエアテーブル１６と、エアテーブル１６の下側にケーシング４２と中空空間を区切る仕切り壁４４と、を備え、箱状の中空空間である区画４０ｂ及び区画４２ｂを形成している。エアテーブル１６は中空空間から気体を吹き付ける吹付口２６が中空空間と連通して設けられている。また、ケーシング４２の下面には、区画４０ｂ及び区画４２ｂのそれぞれと連通してホース（気体供給路）４６を介してブロア（図示せず）が取り付けられており、搬送装置１０にガラス板Ｇを浮上させるための空気（気体）を供給する。
【００２３】
このとき第１の領域２２の搬送方向に直角な長さＷ１は、第１の領域２２の幅方向の長さを指し、１００〜１５００ｍｍが好ましく、２００〜８００ｍｍがさらに好ましい。また、搬送装置１０の幅方向の長さＷ０に対して、Ｗ１は両端部の１／５以上であればよく、１／４以上が好ましく、１／３以上がさらに好ましい。Ｗ１が長いほどガラス板Ｇの中央部の膨らみを防止でき搬送が安定するためである。
【００２４】
また、搬送するガラス板Ｇの形状により後述する第２の領域を設けず浮上手段２０の全域を第１の領域としてもよい。しかし、第１の領域２２の幅方向の長さであるＷ１は、通常、搬送装置１０の幅方向の長さＷ０に対して、１／３以上であるのが好ましく、１／２以上であるのがより好ましい。
【００２５】
また、Ｗ２は、第１の領域２２とガラス板Ｇの重なりの幅方向の長さ（板状体の両端からの距離）であり、ガラス板Ｇの幅方向の長さに対して、両端部の１／５以上であればよく、１／４以上が好ましく、１／３以上がさらに好ましい。Ｗ２が長いほどガラス板Ｇの中央部の膨らみを防止でき搬送が安定するためである。このとき、Ｗ２は、５０〜４００ｍｍが好ましく、１００〜３００ｍｍがさらに好ましい。
【００２６】
搬送装置１０の中央には吸着コンベア（搬送手段）１４が設けられ、ガラス板Ｇを吸着保持しながら搬送方向に駆動する。吸着コンベア１４の幅は、適宜設定可能であるが５０〜２００ｍｍが好ましく、９０〜１３０ｍｍがさらに好ましい。
【００２７】
図３は、本発明に係る搬送装置の吹付口の一態様を示す断面模式図である。図３に示すように第１の領域２２（図１参照）のスリット（吹付口）２８の流路４８は、搬送面１２の鉛直方向に対して外側に傾斜して配置されており、搬送面１２と吹出方向が角度αをなしている。スリット２８はエアテーブル１６を介して中空空間と連通している。本実施態様では、スリットの幅Ｌ１は１ｍｍで、エアテーブル１６内のスリットの流路長Ｌ２は１２ｍｍである。
【００２８】
このとき、角度αは２０〜６０°が好ましく、２５〜３５°がさらに好ましい。スリット幅Ｌ１は０．５〜３ｍｍが好ましく、０．８〜１．５ｍｍがさらに好ましい。スリットの流路長Ｌ２は、５〜２０ｍｍが好ましく、１０〜１５ｍｍがさらに好ましい。また、ガラス板Ｇの外側端部より内側の最も近い吹付口２６の距離Ｌ３は、１００ｍｍ以上でよく、１５０ｍｍ以上が好ましく、２００ｍｍ以上がさらに好ましい。Ｌ３が前述の長さであれば、ガラス板Ｇの中央部の膨らみを防止できるとともに、ガラス板Ｇの外側端部が搬送面よりも下がってしまうとの問題を防止できる。また、ガラス板Ｇの幅によりガラス板Ｇの外側端のさらに外側に吹付口２６を設けることもできる。また、エアテーブル１６は、搬送面１２側に破線で示すプレート５０を備えてもよい。プレート５０を用いて流路を形成する部分と搬送面１２を形成する部分を別体に形成してもよい。
【００２９】
本実施態様において、搬送装置１０の搬送面１２上のガラス板Ｇは、スリット２８及びノズル３０から吹き付けられる空気によって浮上し、吸着コンベア１４によって駆動されて搬送方向に送られる。
【００３０】
このとき第１の領域２２において、スリット２８がガラス板Ｇの下面に外側に向けて空気を吹き付けることにより、第１の領域２２でスリット２８から吹き付けられた空気のみでなく、第２の領域２４から吹き付けられた空気もガラス板Ｇの幅方向の外側に排気することができる。このため、ガラス板Ｇの中央付近に空気が滞留してガラス板Ｇが膨らみ、これによりガラス板Ｇの外側端が下がり搬送面１２と接触することを防止できる。
【００３１】
また、ガラス板Ｇの外側端部の内側で最も近い吹付口２６の距離Ｌ３が通常２００ｍｍ以下であればよく、好ましくは１５０ｍｍ以下である。外側端のさらに外側に吹付口２６を設けることもできるため、ガラス板Ｇの幅が異なってもガラス板Ｇと搬送面１２の接触を防止できる。このため、第１の領域２２でＬ３が前述の範囲であれば装置を改造したり、浮上装置の設定を変更したりすることなく幅や形状の異なる様々なガラス板Ｇを搬送することが可能になる。
【００３２】
本実施態様は、その剛性からガラス板Ｇとしては、０．５ｍｍ以下の厚さのガラス板に好適に適用できる。また、０．３ｍｍ以下の厚さのガラス板がさらに好ましい。剛性の低下によりガラスの変形が顕著になるためである。また、０．１ｍｍ以下の厚さのガラス板がさらに好ましい。従来の接触式のローラコンベアなどの方法での搬送が困難になるためである。
【００３３】
本実施態様の第２の領域２４において、ノズル３０のノズル径φ（直径）は３．５ｍｍであり、ノズル３０の配置は、搬送方向に４０ｍｍピッチで複数列配置され、隣接する列のノズル位置と搬送方向に２０ｍｍ位置をずらすことにより千鳥状に配置されている。また、ノズル３０のノズル径φ、ノズル３０の数、ノズル３０の配置はガラス板の重量及び剛性などから適宜設定可能であり、汎用のパンチングメタルを用いてもよい。上記ノズル径φは、２〜８ｍｍが好ましく、３〜５ｍｍがさらに好ましい。ノズル３０のピッチ２０〜６０ｍｍが好ましく、３０〜５０ｍｍがさらに好ましい。
【００３４】
また、箱状の中空空間である区画４０ｂ、４２ｂには、それぞれホース４６が取り付けられブロアなどの空気供給手段からの空気が供給される。このとき、４０ａ、４０ｂ、４０ｃ・・・、４１ａ、４１ｂ、４１ｃ・・・、４２ａ、４２ｂ、４３ｃ・・・、４３ａ、４３ｂ、４３ｃ・・・など各区画の空気の供給量及び圧力は独立して制御可能である。空気供給手段は、ブロアに限定されず、コンプレッサ等を用いて圧縮空気をホース等の気体供給路より供給してもよい。
【００３５】
また、本実施態様ではガラス板Ｇに吹き付けられる気体に空気を用いている。空気を用いることがコスト面から有利であるためである。しかし、ガラス板Ｇに吹き付けられる気体はこの構成に限定されない。周囲の雰囲気が制御されている場合などでは、不活性ガス、酸化性ガスや還元性ガスを用いてもよい。
【００３６】
駆動手段として転動式の吸着コンベアを用いる例を示したが、本願発明の効果を損しない限り、公知の駆動手段が適用可能である。他の駆動手段としては、ローラコンベア、リニアガイド式駆動、気体による駆動、吸着パッドによる駆動などを挙げることができる。また、これらの駆動方式とガラス板の外周の一部の移動方向を規制するガイド部材と組み合わせて用いてもよい。
【００３７】
（第２の実施態様）
図４は、本発明に係る搬送装置の他の実施態様を示す平面図である。尚、図４において、前述の構成部分と同一の構成については、同一の符号を付してその説明を省略又は簡略する。
【００３８】
搬送装置１０はガラス板の下面と対向する略水平な搬送面１２を備え、搬送方向に平行に二つの吸着コンベア（駆動手段）１４ａ及び１４ｂと、吸着コンベアの両側に浮上手段２０を備える。浮上手段２０は、吸着コンベア１４ａ及び１４ｂの外側にガラス板Ｇの下面に外側に向けて気体を吹き付ける第１の領域２２と、吸着コンベア１４ａ及び１４ｂに挟まれた搬送装置１０の中央部にガラス板Ｇの下面に略鉛直に気体を吹き付ける第２の領域２４と、を備える。浮上手段２０の搬送面には、ガラス板Ｇに気体を吹き付ける吹付口２６を備える。
【００３９】
本実施態様において第１の領域２２の吹付口は外側に傾斜して気体を吹き付ける傾斜ノズル３１であり、第２の領域２４の吹付口はノズル３０である。傾斜ノズル３１は矢印で示す搬送方向に複数の列をなして配置され、ガラス板Ｇの外側に向けて気体を吹き付けることにより、ガラス板Ｇを浮上させるとともに、第１の領域２２で傾斜ノズル３１から吹き付けられた気体のみでなく、第２の領域２４でノズル３０から吹き付けられた気体をガラス板Ｇの幅方向の外側に排気することができる。傾斜ノズル３１の断面における、搬送面１２と吹出方向が角度α、流路長Ｌ２は、第１の実施態様と同様の構成とすることができる。また、傾斜ノズル３１のノズル径φは、適宜設定可能であるが、スリット２８と同様の効果を得られる個数であればスリット２８の幅Ｌ１の構成を適用することができる。
【００４０】
第２の領域２４において、ノズル３０は、搬送方向に平行に複数の列をなして多数千鳥状に配置されている。
【００４１】
浮上手段２０は、第１の実施態様と同様に搬送面１２の下方に形成された箱状の中空空間の複数の区画に区切られている。区画は、それぞれ第１の領域２２の区画が５２ａ、５２ｂ、５２ｃ・・・及び５４ａ、５４ｂ、５４ｃ・・・であり、第２の領域２４の区画が５３ａ、５３ｂ、５３ｃ・・・である。
【００４２】
図４では、傾斜ノズル３１が第１の領域２２の区画ごとに２本の列で形成される例を示したが、ガラス板Ｇの外側端部の内側に少なくとも一列が外側に傾斜して設けられれば良い。
【００４３】
また、ここでは第１の領域に形成された吹付口２６として、傾斜ノズル３１を用いる例を示したが、傾斜ノズル３１とスリット２８を組み合せて用いてもよい。つまり、搬送装置１０は、第１の領域２２において吹付口が、複数の傾斜ノズル３１または搬送方向に平行に形成されたスリット２８のうち少なくとも一方であり、搬送面１２と前記一方の吹付方向の成す角度αが２０〜６０°である。
【００４４】
また、ここでは第２の領域２４の吹付口２６にノズル３０を用いる例を示したが、ノズル３０とガラス板Ｇの下面に略垂直に気体を吹き付けるスリットを組み合せて用いてもよい。
第２の実施態様におけるその他の構成は第１の実施態様と同様であるため、説明を省略する。本実施態様に係る搬送装置１０によっても、第１の実施態様と同様の効果を得ることができる。
【００４５】
（ガラス薄板状体製品の製造方法の実施態様）
図５は、本発明に係るガラス薄板状体製品の製造方法の実施態様を示すフロー図である。ガラス薄板状体製品の製造方法では、ガラス原料を溶解して溶融ガラスを製造する溶解工程、溶融ガラスを成形してガラス薄板状体を製造する成形工程、ガラス薄板状体を前記した搬送方法及び装置で搬送する搬送工程、搬送したガラス薄板状体を切断加工や表面処理などをする加工工程を経て、ガラス薄板状体製品が製造される。
上記における溶解工程、成形工程、及び製品加工工程は、従来の既存の方法でもよい。溶解工程は、例えば、溶融されたガラス原料の上方から新たなガラス原料を投入し、溶融したガラス原料の上方に設置したバーナの加熱によって投入したガラス原料を溶解し、溶融したガラスを対流により、均質化して成形可能な溶融ガラスを製造する。溶解工程においては、必要に応じて溶融ガラス中の気泡等を除去するために、例えば、溶融ガラスを高温に加熱したり、減圧したりする脱泡工程を経る。
成形工程は、例えば、フロート法、ダウンドロー法等があげられる。成形工程では、成形後、ガラス板に導入された歪等を除去するために徐冷する。製品加工工程は、例えば、切断方法として、レーザ切断、ガラスカッタによる切断等が挙げられる。表面処理としては、アンチグレア処理、指紋が付きにくい処理などの処理が挙げられる。
【００４６】
以上、図面を参照しながら本願発明の好適な実施態様について説明したが、本願発明は上記実施態様に限定されるものではない。前述した実施態様において示した各構成の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本願発明の範囲内において種々の変形や変更が可能である。
【産業上の利用可能性】
【００４７】
本願発明は、材質に限定されず厚さが薄く剛性の低い薄板状体に適用可能であるが、特に液晶ディスプレイ用やＯＬＥＤ照明機器等に使用される厚さ０．５ｍｍ以下のガラス板を搬送する際に好適に適用される。また、幅や形状の異なる様々な形状の剛性の低い薄板状体を損傷させることなく安定して支持し搬送できるため、薄板状体を同一設備で搬送し多品種生産を行う際に好適である。
なお、２０１５年１１月１７日に出願された日本特許出願２０１５−２２４４６３号の明細書、特許請求の範囲、図面、及び要約書の全内容をここに引用し、本発明の明細書の開示として、取り入れるものである。
【符号の説明】
【００４８】
１０：  エアコンベア（搬送装置）、１２：  搬送面、１４：  吸着コンベア（搬送手段）、１６：  エアテーブル、２０：  浮上手段、２２：  第１の領域、２４：  第２の領域、２６：  吹付口、２８：  スリット、３０：  ノズル、３１：  傾斜ノズル、４０ａ〜４０ｃ、４１ａ〜４１ｃ、４２ａ〜４２ｃ、４３ａ〜４３ｃ、５２ａ〜５２ｃ、５３ａ〜５３ｃ、５４ａ〜５４ｃ：  区画（中空空間）、４２：  ケーシング、４４：  仕切り壁、４６：  ホース（気体供給路）、４８：  スリット（吹付口）の流路、５０：  プレート
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【国際調査報告】
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2017086257.tif 000009
2017086257.tif 000010
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