(57)【要約】  冷媒を用いた真空応用装置内の冷却部において、温度維持を可能とする荷電粒子線装置である。この荷電粒子線装置は、冷却部（５）を冷却する冷媒（２）を収容する冷却タンク（１）と、冷却タンク（１）から冷却部（５）まで冷媒（２）を供給する冷却パイプ（６）と、冷媒（２）が固体に偏っている場合、該冷媒（２）が液化するように導くユニットと、を備える。
2017098958.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空応用装置の内部の冷却部を冷却する荷電粒子線装置において、  前記冷却部を冷却する冷媒を収容する冷却タンクと、  前記冷却タンクから前記冷却部まで前記冷媒を供給する冷却パイプと、  前記冷媒が固体に偏っている場合、該冷媒が液化するように導くユニットと、を備える荷電粒子線装置。
【請求項２】
前記ユニットは、前記冷媒を固液共存状態に維持する、請求項１記載の荷電粒子線装置。
【請求項３】
前記ユニットは、前記冷却タンク内を加圧することにより、前記冷媒が液化するように導く、請求項１記載の荷電粒子線装置。
【請求項４】
前記ユニットは、前記冷媒を加熱することにより、前記冷媒が液化するように導く、請求項１記載の荷電粒子線装置。
【請求項５】
前記ユニットは、前記冷媒を振動することにより、前記冷媒が液化するように導く、請求項１記載の荷電粒子線装置。
【請求項６】
前記ユニットは、前記冷却タンク内の圧力を加減圧することにより前記冷媒を固液共存状態に維持する、請求項２記載の荷電粒子線装置。
【請求項７】
前記ユニットは、前記冷媒が固体に偏っている場合、前記冷媒を加熱することにより前記冷媒が液化するように導き、前記冷媒が液体に偏っている場合、前記冷却タンク内を減圧することにより前記冷媒が固体化するように導く、請求項２記載の荷電粒子線装置。
【請求項８】
前記ユニットは、前記冷媒が固体に偏っている場合、前記冷媒を振動することにより前記冷媒が液化するように導き、前記冷媒が液体に偏っている場合、前記冷却タンクを減圧することにより前記冷媒が固体化するように導く、請求項２記載の荷電粒子線装置。
【請求項９】
前記ユニットは、前記冷却タンク内の圧力を減圧するポンプと、前記冷却タンク内の圧力を加圧するリークバルブと、を含む、請求項６記載の荷電粒子線装置。
【請求項１０】
前記ユニットは、前記冷媒を加熱するヒータを備える、請求項７記載の荷電粒子線装置。
【請求項１１】
前記ユニットは、前記冷媒を振動する振動発生装置を備える、請求項８記載の荷電粒子線装置。
【請求項１２】
前記ユニットは、前記冷却タンク内の真空度を測定する真空計と、前記真空計で測定した真空度に基づいて前記ポンプ及び／又は前記リークバルブを制御する制御部と、を更に含み、  前記制御部は、前記真空計で測定した真空度が所定の真空度の場合に、前記ポンプ及び／又は前記リークバルブを制御する、請求項９記載の荷電粒子線装置。
【請求項１３】
前記ユニットは、前記冷却タンク内の温度を測定する熱電対と、前記熱電対で測定した温度に基づいて前記ポンプ及び／又は前記リークバルブを制御する制御部と、を更に含み、  前記制御部は、前記熱電対で測定した温度が所定の温度の場合に、前記ポンプ及び／又は前記リークバルブを制御する、請求項９記載の荷電粒子線装置。
【請求項１４】
前記ユニットは、前記リークバルブを通じて窒素ガスを供給する窒素ボンベを更に含み、  前記制御部は、前記窒素ボンベから前記リークバルブを通じて前記窒素ガスを供給する、請求項９記載の荷電粒子線装置。
【請求項１５】
前記ユニットを制御する制御部を更に含む、請求項１記載の荷電粒子線装置。
【請求項１６】
前記冷却部は、試料ホルダの近傍に配置される、請求項１記載の荷電粒子線装置。
【請求項１７】
前記冷却部は、試料ホルダと一体に形成されている、請求項１記載の荷電粒子線装置。
【請求項１８】
真空応用装置内の冷却部を冷却する荷電粒子線装置の制御方法において、  前記冷却部を冷却する冷媒を収容する冷却タンクから前記冷却部まで前記冷媒を供給するステップと、  前記冷媒が固体に偏っている場合、該冷媒が液化するように導くステップと、を備える制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、荷電粒子線装置およびその制御方法に関する。
【背景技術】
【０００２】  電子顕微鏡などの荷電粒子線装置において、試料を冷却しながら、加工及び観察することは、水分を含む試料や電子線照射によるダメージを受け易い材料などの加工と観察を可能にし、生体材料や有機物材料などの分野において、広く利用されている。【０００３】  ここで、特許文献１には、熱ダメージの影響が懸念されるような材料を冷却した状態で加工観察する荷電粒子線装置が記載されている。【０００４】  また、特許文献２には、冷媒を収容する冷却タンクと、冷却タンクから冷却部近傍まで冷却パイプを有し、冷却部先端まで冷媒が供給されるアンチコンタミネーショントラップが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１０−２５７６１７号公報
【特許文献２】国際公開第２０１５／０４１２６７号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】  上記従来技術によれば、真空状態が維持されると冷媒が固体化し、冷媒自体の体積が減少することで、この減少した部分が空洞になる。これにより、冷媒がタンク内壁等に接触する部分が減少し、冷媒から冷却部への熱伝導作用も下がる、という課題がある。【０００７】  そこで、本発明の目的は、冷媒を用いた真空応用装置内の冷却部において、温度維持を可能とする荷電粒子線装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】  一実施形態の荷電粒子線装置は、冷却部を冷却する冷媒を収容する冷却タンクと、冷却タンクから冷却部まで冷媒を供給する冷却パイプと、冷媒が固体に偏っている場合、該冷媒が液化するように導くユニットと、を備える。
【発明の効果】
【０００９】  本発明によれば、冷媒を用いた真空応用装置内の冷却部において、温度維持を可能とする荷電粒子線装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１Ａ】本発明に対する比較技術におけるアンチコンタミネーショントラップを示す説明図である。
【図１Ｂ】本発明に対する比較技術におけるアンチコンタミネーショントラップを示す説明図である。
【図１Ｃ】本発明に対する比較技術におけるアンチコンタミネーショントラップを示す説明図である。
【図１Ｄ】本発明に対する比較技術におけるアンチコンタミネーショントラップを示す説明図である。
【図２】荷電粒子線装置の構造例１を示す説明図である。
【図３】荷電粒子線装置の構造例２を示す説明図である。
【図４】荷電粒子線装置の構造例３を示す説明図である。
【図５】荷電粒子線装置の構造例４を示す説明図である。
【図６】荷電粒子線装置の構造例５を示す説明図である。
【図７】荷電粒子線装置の構造例６を示す説明図である。
【図８】試料ホルダの構造例を示す説明図である。
【図９】制御方法１を示すフローチャートである。
【図１０】制御方法２を示すフローチャートである。
【図１１】制御方法３を示すフローチャートである。
【図１２】制御方法４を示すフローチャートである。
【図１３】アンチコンタミネーショントラップを搭載した走査電子顕微鏡の一例を示す構成図である。
【図１４】アンチコンタミネーショントラップを搭載した荷電粒子線装置の一例の主要部を示す断面図である。
【図１５】図１４に示すアンチコンタミネーショントラップを搭載した荷電粒子線装置の一例の主要部を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】  以下、複数の実施形態に分割して説明するが、特に明示した場合を除き、それらは互いに無関係なものではなく、一方は他方の一部または全部の変形例、詳細、補足説明などの関係にある。また、必ずしも以下に説明する全ての構成を備えるものに限定されるものではなく、実施形態の構成の一部について、他の構成の追加・削除・置換をすることが可能であり、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。
【００１２】  以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。尚、実施形態を説明するための全図において、同一の部材には原則として同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。  ［本実施形態に対する比較技術］
【００１３】  まず、本実施形態に対する比較技術を説明する。試料への熱ダメージや、霜などのコンタミネーションを防ぐ技術について、本願発明者が検討した結果、以下のような知見を得るに至った。
【００１４】  液体窒素等のような極低温の冷媒によって冷却された部材に試料を固定して目的の試料を冷却する場合、冷媒が気化した際に発生する気泡によって試料に振動が加わり、像障害を起こす場合がある。
【００１５】  また、試料の温度が液体窒素の温度である−１９６℃の場合、霜などのコンタミネーションを吸着するために真空応用装置内に設けたアンチコンタミネーショントラップの冷却部温度は−１９６℃以下にする必要がある。そのため、冷媒には、液体窒素を真空引きして得られる固液共存のスラリー状流体である−２１０℃のスラッシュ化（固液共存化）した窒素や−２６９℃の液体ヘリウムなどを用いる。
【００１６】  こうすることで、液体窒素などの冷媒による振動を低減することができる。また、冷却温度は、液体窒素使用時より低くなるため、熱ダメージへの効果が向上する。
【００１７】  ところが、スラッシュ化した冷媒を用いると、冷媒が固体化し、冷媒自体の体積が減少することで、この減少した部分が空洞（真空又は略真空）となる。これにより、冷媒がタンク内壁や冷却部の接合面と接触する部分（接触面積）が減少するため、冷媒から冷却部への熱伝導作用も下がり、冷却部の温度が上昇する。試料を冷却しながら観察する場合には、温度変化による部材の膨張縮小による熱ドリフトが発生するため、温度の安定が重要であり、冷却部の温度を安定させるためには、冷媒を空洞の部分に供給して、再び温度を下げる必要がある。
【００１８】  従来の手法では、試料が極低温下にあるため、真空応用装置内の霜やカーボンなどが試料に吸着されてしまい、汚れるというコンタミネーションの問題がある。そのため、真空応用装置内に試料より温度の低いアンチコンタミネーションと呼ばれる冷却部を設けて、試料のコンタミネーションを防ぐことが必須となっている。
【００１９】  図１は、本実施形態に対する比較技術におけるアンチコンタミネーショントラップ１１０を示す説明図である。図１は、特許文献２に記載のアンチコンタミネーショントラップを本願発明者の視点で描き直した構造例である。
【００２０】  この例では、試料の温度が液体窒素の温度である−１９６℃であり、液体窒素を真空引きして得られる固液共存のスラリー状流体である−２１０℃のスラッシュ化窒素を用いる場合を示している。
【００２１】  ここで、低温という点では液体よりも固体の方が優れているが、冷却する対象への接触面積を大きくして低温の熱を伝えるという点では液体が優れている。よって、双方の利点を生かすことができる固液共存のスラリー状流体を用いるが、冷媒は、真空度が高い（圧力が低い）と固体に偏ってしまい、真空度が低い（圧力が高い）と液体に偏ってしまう。
【００２２】  そこで、本発明は、真空度を維持して冷媒が固体に偏ってしまった場合、該冷媒を固体化する方向に導く（固液共存状態に戻す）ようにした点に特徴がある。更に、冷却タンク内を加減圧すること等により、冷媒がどちらにも偏らず、固液共存の状態を保つようにした点に特徴がある。即ち、冷却パイプ内の冷媒中に空洞ができないように冷媒に対する圧力を変化させている。尚、本実施例でいう「加減圧」とは、減圧、及び、加圧の処理が少なくとも１回行われることを示す。
【００２３】  図１Ａに示すアンチコンタミネーショントラップは、冷媒２を収容する冷却タンク１と、真空室４と冷却タンク１を接続するためのフランジ３と、冷却タンク１に接続した冷却パイプ６と、冷却部５と、冷却パイプ６の先端部で気化した窒素を排出する気化窒素逃しチューブ７と、冷却タンク１内を真空引き（減圧）し窒素をスラッシュ化するためのポンプ９とから構成されている。冷却部５は、真空応用装置の内部に設けられている。
【００２４】  このアンチコンタミネーショントラップでは、冷却タンク１に冷媒２（液体窒素）を収容すると、冷却パイプ６まで冷媒２が充填され、冷却部５が冷却される。まず、冷媒２は、常温である冷却タンク１内に入り、冷媒２の一部が蒸発（気化）して、窒素の気泡８を発生する。この気泡８が気化窒素逃しチューブ７を通って排出されることにより、冷却パイプ６の先端部まで液体窒素が充填される（図１Ｂ）。こうして、徐々に冷却タンク１の内部が冷やされていく。冷却タンク１は２重壁の内部を真空にした構造となっており、その外壁は断熱性が高いため、タンク内は温度が低い状態に保たれる。これにより、液体窒素の蒸発は少なくなり、気泡も減っていく。
【００２５】  次に、ポンプ９で冷却タンク１内を真空引き（減圧）する。すると、冷却タンク１の液体窒素は一部蒸発し、その気化熱によって残った液体窒素は冷却され、徐々に固体化する。そして、冷媒２は液体部分と固体部分（２１）が共存した固液共存のスラリー状流体となり（図１Ｃ）、温度は−２１０℃に到達する。
【００２６】  図１Ｃの状態を維持できることが望ましいが、真空状態を保つためにポンプ９を稼働させ続けると、タンク内の液体窒素が完全に固体窒素となり（図１Ｄ）、窒素自体の体積が減少することでこの減少した部分が空洞（真空もしくは略真空）になる。即ち、固液共存の窒素に比べ、固体窒素の場合には、タンク内壁や冷却部の接合面に対する接触面積が減少するため、冷媒から冷却部への熱伝導作用も下がり（冷却効率は下がる）、冷却部５の温度が上昇する。  ［本実施形態］
【００２７】  次に、本実施形態における荷電粒子線装置について説明する。真空応用装置内の冷却部を冷却する本荷電粒子線装置は、以下のような特徴を有する。
【００２８】  冷却部を冷却する冷媒を収容する冷却タンクと、冷却タンクから冷却部まで冷媒を供給する冷却パイプと、冷媒が固体に偏っている場合、該冷媒が液化するように導くユニットと、を備える。
【００２９】  該ユニットは、冷媒を固液共存状態に維持する（冷媒中に空洞を作らずに冷媒を供給し続ける）。
【００３０】  該ユニットは、冷却タンク内を加圧する、及び／又は、冷媒を加熱する、及び／又は、冷媒を振動することにより、冷媒が液化するように導く。
【００３１】  また、該ユニットは、冷却タンク内の圧力を加減圧することにより、冷媒を固液共存状態に維持する。
【００３２】  また、該ユニットは、冷媒が固体に偏っている場合、冷媒を加熱することにより冷媒が液化するように導き、冷媒が液体に偏っている場合、冷却タンク内を減圧することにより冷媒が固体化するように導く。
【００３３】  また、該ユニットは、冷媒が固体に偏っている場合、冷媒を振動することにより冷媒が液化するように導き、冷媒が液体に偏っている場合、冷却タンクを減圧することにより冷媒が固体化するように導く。
【００３４】  該ユニットは、冷却タンク内の圧力を減圧するポンプと、冷却タンク内の圧力を加圧するリークバルブと、を備えてもよい。また、該ユニットは、冷媒を加熱するヒータを備えてもよい。また、該ユニットは、冷媒を振動する振動発生装置を備えてもよい。
【００３５】  また、該ユニットは、冷却タンク内の真空度を測定する真空計と、真空計で測定した真空度に基づいてポンプ及び／又はリークバルブを制御する制御部を含み、該制御部は、真空計で測定した真空度が所定の真空度の場合に、ポンプ及び／又はリークバルブを制御してもよい。
【００３６】  また、該ユニットは、冷却タンク内の温度を測定する熱電対と、熱電対で測定した温度に基づいてポンプ及び／又はリークバルブを制御する制御部を含み、該制御部は、熱電対で測定した温度が所定の温度の場合に、ポンプ及び／又はリークバルブを制御してもよい。
【００３７】  また、該ユニットは、リークバルブを通じて窒素ガスを供給する窒素ボンベを含み、該制御部は、窒素ボンベからリークバルブを通じて窒素ガスを供給してもよい。
【００３８】  制御部は、その他、該ユニットの種々機能を制御してもよい。
【００３９】  冷却部は、試料ホルダの近傍に配置されてもよく、試料ホルダと一体に形成されてもよい。  ＜アンチコンタミネーショントラップの構造例１＞
【００４０】  図２は、荷電粒子線装置の構造例１を示す説明図である。図２は、冷却タンク内の冷媒に対する圧力を変化させるための一例である。
【００４１】  図２に示すアンチコンタミネーショントラップは、図１Ａに対して、リークバルブ１０と、熱電対１６が追加されている。リークバルブ１０は、冷却タンク１内の圧力変化を起こすものであり、例えば、真空（減圧状態）状態に、空気（目的によって窒素ガスなどの場合もある）を入れて加圧するためのバルブである。また、熱電対１６は、冷却部５の温度を測定するための器具である。
【００４２】  冷却タンク１内を真空状態に維持すると冷媒が固体化する。冷媒の固液共存状態を維持するため、ポンプ９を停止し、リークバルブ１０を開くことで冷却タンク１内に空気を吸い込み、冷却タンク１内の圧力を上げる（加圧する）。この際、一部の固体窒素が液体化し、空洞１１へ流れ込む。これにより、アンチコンタミネーショントラップ内にできる空洞１１に冷媒２を供給することができる。そして、空洞１１に冷媒２が供給された後、リークバルブ１０を閉めてポンプ９により冷却タンク１を排気する（減圧する）ことで、冷却部５の温度を−２１０℃に維持することができる。冷却部５の温度は、熱電対１６で測定して確認することができる。
【００４３】  しかし、リーク時に空気を吸い込むことで冷却タンク１内に霜が付着し、振動などの原因になることが考えられる。そこで、図３以降では、更に工夫を施した構造例を順に説明する。  ＜アンチコンタミネーショントラップの構造例２＞
【００４４】  図３は、荷電粒子線装置の構造例２を示す説明図である。図３は、空気を使わずに冷却タンク内の冷媒に対する圧力を変化させるための一例であり、リーク時に霜の付着を抑えるための構造例である。
【００４５】  図３に示すアンチコンタミネーショントラップは、図２の構成に対して、窒素ボンベ１２が追加されている。窒素ボンベ１２は、リークバルブ１０を通じて冷却タンク１内に窒素ガスを供給するための装置である。
【００４６】  ここでは、リーク時に窒素ボンベ１２から冷却タンク１内に窒素ガスを供給することで、冷却タンク１内への霜の付着を抑制することができる。また、図２と同様、空洞１１に冷媒２が供給された後、リークバルブ１０を閉めてポンプ９により冷却タンク１を排気することで、冷却部５の温度を−２１０℃に維持することができる。  ＜アンチコンタミネーショントラップの制御方法１＞
【００４７】  リークバルブ１０の開閉やポンプ９の稼動停止を、図２及び図３に破線で示した制御部１４で自動制御する機能を付加することも可能である。例えば、リークバルブ１０にタイマーによって自動開閉する機能を付加することで、所定の時間間隔でリークバルブ１０を開閉することができ、冷却部５の温度を安定させることができる。図９はその一例を示すフローチャートである。
【００４８】  図９は、冷却部の温度を安定的に維持するための制御方法１を示すフローチャートである。まず、冷却部５がスラッシュ化窒素の到達温度である−２１０℃に到達してからリークを開始するまでの時間である連続排気時間と、リークを続ける時間であるリーク時間を決める。そして、制御部１４に、連続排気時間とリーク時間を入力して、ポンプ９を稼動して冷却タンク１内を排気する（Ｓ１）。これにより、冷却タンク１内の圧力は減圧される。
【００４９】  入力した連続排気時間が経過した後、ポンプ９を止めてリークバルブ１０を開き、リークを開始する（Ｓ２）。リークを開始することで、冷却タンク１内は加圧される。次に、入力したリーク時間が経過した後、リークバルブ１０を閉じてポンプ９を再稼動し、再び冷却タンク１内を排気する（Ｓ３）。その後、Ｓ２に戻り、再びポンプ９を停止させる。
【００５０】  このように、オペレータが連続排気時間とリーク時間を入力することで、該処理は制御部１４により自動で行われる。制御部１４は、リークバルブ１０の開閉、及び、ポンプ９の稼動停止を定期的に行うことで、冷媒２が冷却パイプ６の先端部へ供給され、安定的に温度を維持することができる。  ＜アンチコンタミネーショントラップの構造例３＞
【００５１】  図４は、荷電粒子線装置の構造例３を示す説明図である。図４は、冷却タンク内の冷媒に対する圧力変化を定期的に実施するための一例であり、冷却部の温度を安定的に維持するための別の構造例である。
【００５２】  図４に示すアンチコンタミネーショントラップは、図３の構成に対して、冷却タンク１内の真空度を測定するための真空計１３と、制御部１４が追加されている。制御部１４は、真空計１３で測定した真空度に基づいて、ポンプ９の稼動停止及びリークバルブ１０の開閉を制御する。制御部１４によるリークバルブ１０及びポンプ９の制御により、定期的かつ自動的に冷却部５の近傍へ冷媒２を供給することができる。  ＜アンチコンタミネーショントラップの制御方法２＞
【００５３】  図１０は、図４に示すアンチコンタミネーショントラップにおいて、冷却部の温度を安定的に維持するための制御方法２を示すフローチャートである。
【００５４】  まず、冷却部５がスラッシュ化窒素の到達温度である−２１０℃に到達してからリークを開始するまでの時間である連続排気時間と、真空度が悪化して排気を再開する真空度である排気再開真空度を決める。そして、制御部１４に、連続排気時間と排気再開真空度を入力して、ポンプ９を稼動して冷却タンク１内を排気する（Ｓ１１）。
【００５５】  入力した連続排気時間が経過した後、ポンプ９を止めてリークバルブ１０を開き、リークを開始する（Ｓ１２）。次に、真空計１３で測定した冷却タンク１内の真空度が、入力した排気再開真空度まで到達した後、リークバルブ１０を閉じてポンプ９を再稼動し、再び冷却タンク１内を排気する（Ｓ１３）。その後、Ｓ１２に戻り、ポンプ９の再稼動により真空度が適切な値になったときに再びポンプ９を停止させる。
【００５６】  このように、オペレータが連続排気時間と排気再開真空度を入力することで、該処理は制御部１４により自動で行われる。制御部１４は、真空計１３で測定した冷却タンク１内の真空度を参照しながら、リークバルブ１０の開閉、及び、ポンプ９の稼動停止を定期的に行うことで、冷媒２が冷却パイプ６の先端部へ供給され、安定的に温度を維持することができる。また、冷却タンク１の真空度の悪化によってスラッシュ化窒素が完全に液化してしまうことを防ぐことができる。  ＜アンチコンタミネーショントラップの制御方法３＞
【００５７】  図１１は、図４に示すアンチコンタミネーショントラップにおいて、冷却部の温度を安定的に維持するための制御方法３を示すフローチャートである。
【００５８】  まず、冷却部５がスラッシュ化窒素の到達温度である−２１０℃に到達してからリークを開始するまでの時間である連続排気時間と、ポンプ９を再稼動させる時間であるポンプ再稼動時間と、真空度が悪化して排気を再開する真空度である排気再開真空度を決める。そして、制御部１４に、連続排気時間とポンプ再稼動時間と排気再開真空度を入力して、ポンプ９を稼動して冷却タンク１内を排気する（Ｓ２１）。
【００５９】  入力した連続排気時間が経過した後、ポンプ９を止め、自然リークを開始する（Ｓ２２）。この自然リークでは、冷却タンク１内の圧力が緩やかに上昇して、固体窒素は徐々に液体化し、固液共存のスラリー状態となる。
【００６０】  次に、入力したポンプ再稼動時間が経過した後、もしくは、真空計１３で測定した冷却タンク１内の真空度が、入力した排気再開真空度になった場合、ポンプ９を再稼動し、再び冷却タンク１内を排気する（Ｓ２３）。その後、Ｓ２２に戻り、ポンプ９の再稼動により真空度が適切な値になったときに再びポンプ９を停止させ、温度を維持する。
【００６１】  このように、オペレータが連続排気時間とポンプ再稼動時間と排気再開真空度を入力することで、該処理は制御部１４により自動で行われる。制御部１４は、真空計１３で測定した冷却タンク１内の真空度を参照しながら、ポンプ９の稼動停止を行うことで、冷媒２が冷却パイプ６の先端部へ供給され、安定的に温度を維持することができる。また、冷却タンク１の真空度の悪化によってスラッシュ化窒素が完全に液化してしまうことを防ぐことができる。更に、ポンプ９の停止時間が長くなるため、液体窒素の消費量とポンプ９による振動を低減することができる。  ＜アンチコンタミネーショントラップの構造例４＞
【００６２】  図５は、荷電粒子線装置の構造例４を示す説明図である。図５は、冷却タンク内の冷媒に振動を与えるための一例であり、振動により冷却部の近傍にできる空洞へ冷媒を供給するための構造例である。
【００６３】  図５に示すアンチコンタミネーショントラップは、図２〜４のようなリークバルブ１０を用いた構造例とは異なり、図１の構成に対して、熱電対１６と、冷却タンク１内の冷媒２を振動する振動発生装置１５が追加されている。振動発生装置１５で定期的に冷却部５の近傍で冷媒２を振動させることにより、固体化した窒素を液体化するように導き、スラッシュ化した窒素を冷却部５の近傍へ供給することができる。  ＜アンチコンタミネーショントラップの構造例５＞
【００６４】  図６は、荷電粒子線装置の構造例５を示す説明図である。図６は、熱電対１６から冷却部の温度を読み取り、冷却タンク内の冷媒に対する圧力変化を定期的に実施し、冷却部の温度を安定的に維持するための別の構造例である。
【００６５】図６では、図３の点線で示された制御部１４が熱電対１６に接続されている。制御部１４は、熱電対１６で測定した温度に基づいて、ポンプ９の稼動停止及びリークバルブ１０の開閉を制御することで、定期的かつ自動的に冷却部５の近傍へ冷媒２を供給することができる。＜アンチコンタミネーショントラップの制御方法４＞
【００６６】  図１２は、図６に示すアンチコンタミネーショントラップにおいて、冷却部の温度を安定的に維持するための制御方法４を示すフローチャートである。
【００６７】  まず、冷却部５が固体窒素温度である−２１０℃に到達するまで連続排気を行う（Ｓ３１）。−２１０℃に到達後、固体窒素化による冷却効率の低下により、冷却部の温度が上昇し始める。制御部１４は、熱電対１６から上記温度上昇を読み取り、ポンプ９を停止する（Ｓ３２）。その後、リークバルブを開き圧力を穏やかに上昇させる（Ｓ３３）。大気流入により、タンク内の固体窒素は徐々に液体化し、固液共存のスラリー状流体となり、冷却部の温度は−２１０℃に戻る。制御部１４はこの温度を読み取ると、リークバルブを閉じ密封状態とする（Ｓ３４）。これにより、大気の流入を抑え、タンク内の温度上昇と霜流入を抑制する。しかし、真空排気を停止することにより、固体窒素の液化は徐々に進行するため、冷却部の温度は徐々に上昇する。
【００６８】  ここで、制御部１４に再排気を行う温度を設定する（Ｓ３５）ことで、例えば−２００℃設定した場合、冷却部温度が−２００℃に到達した時点で、ポンプ９によりタンク内の真空排気を開始する（Ｓ３６）。その後、Ｓ３２に戻り、Ｓ３２からＳ３６を繰り返す。オペレータは再排気する温度を設定することにより、自動で冷却温度を維持することができる。尚、Ｓ３５の温度設定は、事前にオペレータが設定しておいてもよい。＜アンチコンタミネーショントラップの構造例６＞
【００６９】  図７に示すアンチコンタミネーショントラップは、図２〜４のようなリークバルブ１０を用いた構造例とは異なり、冷却タンク１内の冷媒２を加熱するヒータを有するものである。図７は、図１と比較して、熱電対１６に加え、冷却部５の近傍を加熱するためのヒータ１７が追加されている。
【００７０】  図７に示すアンチコンタミネーショントラップでは、ヒータ１７で定期的に冷却部５の近傍で冷媒２を加熱させることにより、固体窒素を液化し、冷却部５の近傍へ供給することができる。＜試料ホルダの構造例＞
【００７１】  上記アンチコンタミーショントラップの構造及びその制御方法は、冷却可能な試料ホルダにおいても適用することが可能である。図８は、図４で示したアンチコンタミネーショントラップの冷却機構を試料ホルダに適用した例である。冷却部５の先端に熱電対１６とヒータ１７と試料固定部１９があり、試料１８は試料固定部１９に固定する。更に、薄い試料に電子線を照射し、透過した電子を観察（ＴＥＭ・ＳＴＥＭ法）できるように、試料搭載位置の下には電子線透過用穴２０がある。
【００７２】  前述したように、試料を冷却しながら観察する場合には、温度変化による部材の膨張縮小による熱ドリフトが発生するため、温度の安定が重要である。そのため、試料近傍にはヒータ１７と熱電対１６があり、設定した温度を維持できる機構となっている。  ＜走査電子顕微鏡＞
【００７３】  図１３は、図２〜７に示したアンチコンタミネーショントラップを搭載した走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）の一例を示す構成図である。
【００７４】  ＳＥＭ１０１は、電子線１０３を照射する電子光学鏡筒１０７と、電子光学鏡筒１０７の各条件を調整する制御装置（図示せず）と、試料に対する電子線１０３の照射によって試料により放出される２次電子を検出する２次電子検出器１０８と、試料を凍結し冷却することができる試料ホルダ１０９と、図２〜７に示したアンチコンタミネーショントラップ１１０と、冷媒をスラッシュ化するためのポンプ９などにより構成されている。尚、試料の下方には、試料を透過した電子を検出できる透過電子検出器を配置してもよい。
【００７５】  電子光学鏡筒１０７の内部には、電子源１０２と、電子源１０２より放出される電子線１０３を収束する第１コンデンサレンズ１０４及び第２コンデンサレンズ１０５と、電子線１０３を走査する偏向コイル１０６と、電子線１０３の焦点を合わせる対物レンズが設けられている。対物レンズは、上磁極１１１と下磁極１１２より構成されている。
【００７６】  また、電子光学鏡筒１０７の側面には、ステージ１１３が設けられ、対物レンズの上磁極１１１と下磁極１１２との間に、試料を保持した試料ホルダ１０９が配置されている。試料ホルダ１０９の先端部を所望方向に移動するステージ１１３が設けられている電子光学鏡筒１０７の別の側面に、アンチコンタミネーショントラップ１１０が設けられている。アンチコンタミネーショントラップ１１０の先端の冷却部５は、真空室４における対物レンズの上磁極１１１と下磁極１１２と間の試料近傍に位置している。また、アンチコンタミネーショントラップ１１０の先端の冷却部５には、温度を測定するための熱電対１６が装着されている。
【００７７】  このＳＥＭ１０１は、対物レンズの上磁極１１１と下磁極１１２との間に試料が配置されるので、インレンズ形のＳＥＭと呼ばれる。このＳＥＭ１０１において、電子線１０３が試料ホルダ１０９に保持された試料に照射される経路の真空状態の部分を真空応用装置と呼ぶ。
【００７８】  ＳＥＭ１０１によれば、図２〜７に示したアンチコンタミネーショントラップによる効果を活かしながら、電子線１０３の照射によるダメージを受け易い材料などの観察を効率的に行うことができる。  ＜荷電粒子線装置＞
【００７９】  次に、図２〜７に示したアンチコンタミネーショントラップを搭載した荷電粒子線装置について、図１４〜１５を用いて説明する。図１４〜１５は、本実施形態におけるアンチコンタミネーショントラップを搭載した荷電粒子線装置の一例の主要部を示す説明図であり、図１４は断面図であり、図１５は平面図である。
【００８０】  荷電粒子線装置の主要部は、試料１８を保持し、この試料１８を液状冷媒（液体窒素）で冷却する試料ホルダ１０９と、試料１８をスラッシュ化した冷媒（スラッシュ化窒素）で冷却する冷却部５を有し、図２〜７に示したアンチコンタミネーショントラップ１１０と、冷媒をスラッシュ化するためのポンプ９などにより構成されている。
【００８１】  冷却部５は、断面視（図１４）において上下左右に板状部を有する角筒状で、電子線１０３などを遮ることがないように上部に開口を有する形状となっている。この冷却部５の構造では、冷却部５の角筒状の内部に試料ホルダ１０９を挿入し、試料ホルダ１０９に保持された試料１８に対して電子線１０３を照射する。そして、電子線１０３の照射によって試料１８により放出される２次電子を検出することで、試料１８の観察及び分析を行うことができる。尚、角筒状の下部にも開口を有する形状とした場合には、試料１８を透過した透過電子を検出することも可能となる。
【００８２】  本実施形態における荷電粒子線装置によれば、試料１８の温度を液体窒素の温度（−１９６℃）まで下げても、アンチコンタミネーショントラップ１１０の方が低温（−２１０℃）のため、試料１８に霜が付きにくい。また、試料１８の温度を下げられるので、試料１８への電子線ダメージや熱ダメージを低減できる。
【００８３】  また、電子線１０３による温度上昇を低減できるため、アモルファス氷が結晶化しにくい。例えば、クライオシステムでは、アモルファス氷の膜に試料１８を固定して観察することがある。アモルファス氷は、約−１２０℃以上になると結晶化してしまう。試料１８を十分に冷やせないと、電子線１０３を照射したときに、アモルファス氷が結晶化する。結晶化すると、氷の構造がアーティファクトとなり、試料本来の構造が分からなくなる。本実施形態においては、電子線１０３による温度上昇を低減できるため、アモルファス氷が結晶化することがない。
【００８４】  また、電子線ダメージや熱ダメージが少ないため、荷電粒子線装置の倍率を上げることができる。  ＜変形例・応用例＞
【００８５】  上述した図１４に示した荷電粒子線装置においては、冷却部５の形状が角筒状である場合を説明したが、これに限らず、種々変更可能である。例えば、冷却部を、図１４と同様の断面視において、上下に板状部を有する形状で、この上下の板状部には電子線や透過電子などを遮ることがないように開口が形成された構造にする。この冷却部の構造では、試料ホルダを上下の板状部に挟まれるように配置して、試料の観察及び分析を行うことができる。
【００８６】  また、別の冷却部では、下部に板状部を有する形状で、この下部の板状部には透過電子を遮ることがないように開口が形成された構造にする。この冷却部の構造では、試料ホルダを板状部の上に配置して、試料の観察及び分析を行うことができる。
【００８７】  さらに、別の冷却部では、試料の方向に中心部が出っ張った半球状にしたり、逆に、中心部が窪んだＵ字形状にするなどの構造とすることも考えられる。このような冷却部の構造においても、同様に、試料の観察及び分析を行うことができる。
【００８８】  また、本実施形態においては、図１３に示したようなインレンズ形の走査電子顕微鏡に限らず、セミインレンズ形やアウトレンズ形の走査電子顕微鏡などにも適用することができる。また、透過電子顕微鏡（ＴＥＭ）などを含む各種の電子顕微鏡にも適用することができる。透過電子顕微鏡は、バイオメディカルから食品・アグリカルチャー、高分子・化学、ナノマテリアルまで、様々な分野で最適な解析ソリューションを提供することができる。
【００８９】  また、本実施形態においては、液体窒素をスラッシュ化した冷媒を用いる場合に限らず、例えば、液体ヘリウムなどをスラッシュ化した冷媒を用いる場合などにも適用することができる。
【００９０】  本発明は、走査電子顕微鏡や透過電子顕微鏡などの電子顕微鏡の他、荷電粒子線装置や凍結乾燥装置などの真空応用装置に利用して有効な技術である。さらに、イオンビームを使う集束イオンビーム装置（ＦＩＢ）やイオン顕微鏡などにも利用可能である。特に、アンチコンタミネーショントラップを搭載した真空応用装置内の冷却部において、安定な温度維持や測定を可能にする技術に好適である。
【符号の説明】
【００９１】１      冷却タンク２      冷媒３      フランジ４      真空室５      冷却部６      冷却パイプ７      気化窒素逃しチューブ８      気泡９      ポンプ１０    リークバルブ１１    空洞１２    窒素ボンベ１３    真空計１４    制御部１５    振動発生装置１６    熱電対１７    ヒータ１８    試料１９    試料固定部２０    電子線透過用穴１０１  走査電子顕微鏡１０２  電子源１０３  電子線１０４  第１コンデンサレンズ１０５  第２コンデンサレンズ１０６  偏向コイル１０７  電子光学鏡筒１０８  ２次電子検出器１０９  試料ホルダ１１０  アンチコンタミネーショントラップ１１１  上磁極１１２  下磁極１１３  ステージ
【図１Ａ】
2017098958.tif 000003
【図１Ｂ】
2017098958.tif 000004
【図１Ｃ】
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【図１Ｄ】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2017098958.tif 000010
【図６】
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【図７】
2017098958.tif 000012
【図８】
2017098958.tif 000013
【図９】
2017098958.tif 000014
【図１０】
2017098958.tif 000015
【図１１】
2017098958.tif 000016
【図１２】
2017098958.tif 000017
【図１３】
2017098958.tif 000018
【図１４】
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【図１５】
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【手続補正書】
【提出日】平成29年3月31日(2017.3.31)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空応用装置の内部の冷却部を冷却する荷電粒子線装置において、
前記冷却部を冷却する冷媒を収容する冷却タンクと、
前記冷却タンクから前記冷却部まで前記冷媒を供給する冷却パイプと、
前記冷却部まで供給されている冷媒が固体に偏っている場合、該冷媒が液化するように導くユニットと、を備える荷電粒子線装置。
【請求項２】
前記ユニットは、前記冷媒を固液共存状態に維持する、請求項１記載の荷電粒子線装置。
【請求項３】
前記ユニットは、前記冷却タンク内を加圧することにより、前記冷媒が液化するように導く、請求項１記載の荷電粒子線装置。
【請求項４】
前記ユニットは、前記冷媒を加熱することにより、前記冷媒が液化するように導く、請求項１記載の荷電粒子線装置。
【請求項５】
前記ユニットは、前記冷媒を振動することにより、前記冷媒が液化するように導く、請求項１記載の荷電粒子線装置。
【請求項６】
前記ユニットは、前記冷却タンク内の圧力を加減圧することによ前記冷媒を固液共存状態に維持する、請求項２記載の荷電粒子線装置。
【請求項７】
前記ユニットは、前記冷媒が固体に偏っている場合、前記冷媒を加熱することにより前記冷媒が液化するように導き、前記冷媒が液体に偏っている場合、前記冷却タンク内を減圧することにより前記冷媒が固体化するように導く、請求項２記載の荷電粒子線装置。
【請求項８】
前記ユニットは、前記冷媒が固体に偏っている場合、前記冷媒を振動することにより前記冷媒が液化するように導き、前記冷媒が液体に偏っている場合、前記冷却タンクを減圧することにより前記冷媒が固体化するように導く、請求項２記載の荷電粒子線装置。
【請求項９】
前記ユニットは、前記冷却タンク内の圧力を減圧するポンプと、前記冷却タンク内の圧力を加圧するリークバルブと、を含む、請求項６記載の荷電粒子線装置。
【請求項１０】
前記ユニットは、前記冷媒を加熱するヒータを備える、請求項７記載の荷電粒子線装置。
【請求項１１】
前記ユニットは、前記冷媒を振動する振動発生装置を備える、請求項８記載の荷電粒子線装置。
【請求項１２】
前記ユニットは、前記冷却タンク内の真空度を測定する真空計と、前記真空計で測定した真空度に基づいて前記ポンプ及び／又は前記リークバルブを制御する制御部と、を更に含み、
前記制御部は、前記真空計で測定した真空度が所定の真空度の場合に、前記ポンプ及び／又は前記リークバルブを制御する、請求項９記載の荷電粒子線装置。
【請求項１３】
前記ユニットは、前記冷却タンク内の温度を測定する熱電対と、前記熱電対で測定した温度に基づいて前記ポンプ及び／又は前記リークバルブを制御する制御部と、を更に含み、
前記制御部は、前記熱電対で測定した温度が所定の温度の場合に、前記ポンプ及び／又は前記リークバルブを制御する、請求項９記載の荷電粒子線装置。
【請求項１４】
前記ユニットは、前記リークバルブを通じて窒素ガスを供給する窒素ボンベを更に含み、
前記制御部は、前記窒素ボンベから前記リークバルブを通じて前記窒素ガスを供給する、請求項９記載の荷電粒子線装置。
【請求項１５】
前記ユニットを制御する制御部を更に含む、請求項１記載の荷電粒子線装置。
【請求項１６】
前記冷却部は、試料ホルダの近傍に配置される、請求項１記載の荷電粒子線装置。
【請求項１７】
前記冷却部は、試料ホルダと一体に形成されている、請求項１記載の荷電粒子線装置。
【請求項１８】
真空応用装置内の冷却部を冷却する荷電粒子線装置の制御方法において、
前記冷却部を冷却する冷媒を収容する冷却タンクから前記冷却部まで前記冷媒を供給するステップと、
前記冷却部まで供給されている冷媒が固体に偏っている場合、該冷媒が液化するように導くステップと、を備える制御方法。
【国際調査報告】
2017098958.tif 000021
2017098958.tif 000022
2017098958.tif 000023
2017098958.tif 000024