(57)【要約】  撮像素子は、マイクロレンズを透過して入射した光を光電変換して電荷を生成する光電変換部と、光電変換部で生成された電荷を蓄積する蓄積部と、光電変換部で生成された電荷を蓄積部に転送する転送部とを備え、光電変換部と転送部と蓄積部とは、マイクロレンズの光軸方向に沿って設けられる。
2017057278.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
マイクロレンズを透過して入射した光を光電変換して電荷を生成する光電変換部と、
前記光電変換部で生成された電荷を蓄積する蓄積部と、
前記光電変換部で生成された電荷を前記蓄積部に転送する転送部と、を備え、
前記光電変換部と前記転送部と前記蓄積部とは、前記マイクロレンズの光軸方向に沿って設けられる撮像素子。
【請求項２】
請求項１に記載の撮像素子において、
前記転送部は、前記マイクロレンズの光軸方向において、前記光電変換部と前記蓄積部との間に設けられる撮像素子。
【請求項３】
マイクロレンズの光軸と交差する第１面と第２面とを有し、前記第１面と前記第２面との間に前記マイクロレンズを透過して入射した光を光電変換して電荷を生成する光電変換部と、前記光電変換部で生成された電荷を蓄積する蓄積部と、前記光電変換部で生成された電荷を前記蓄積部に転送する転送部とを備える撮像素子であって、
前記マイクロレンズの光軸方向において、前記光電変換部は前記第１面側に設けられ、前記蓄積部は前記第２面側に設けられ、前記転送部は前記光電変換部と前記蓄積部との間に設けられる撮像素子。
【請求項４】
請求項３に記載の撮像素子において、
前記第１面は光が入射する入射面である撮像素子。
【請求項５】
請求項１から４までのいずれか１項に記載の撮像素子であって、
前記転送部は、前記光電変換部で生成された電荷を前記蓄積部に転送する転送路である撮像素子。
【請求項６】
請求項１から５までのいずれか１項に記載の撮像素子であって、
前記蓄積部の周囲に設けられ、前記光電変換部で生成された電荷を前記蓄積部に転送する転送路を形成する電極を備える撮像素子。
【請求項７】
請求項６に記載の撮像素子において、
前記電極は、前記転送路の周りの少なくとも一部を囲んで設けられる撮像素子。
【請求項８】
請求項１から７までのいずれか１項に記載の撮像素子であって、
前記マイクロレンズを透過して前記蓄積部に入射する光を遮光する遮光部と、を備え、
前記光電変換部は、前記マイクロレンズと前記遮光部との間で、前記マイクロレンズを透過して入射した光を受光する撮像素子。
【請求項９】
請求項８に記載の撮像素子において、
前記光電変換部は、前記マイクロレンズと前記遮光部との間で、前記マイクロレンズの光軸と交差する方向から入射した光を受光する受光面を有する撮像素子。
【請求項１０】
請求項８または９に記載の撮像素子において、
前記光電変換部は、前記マイクロレンズと前記遮光部との間で、前記マイクロレンズを透過して入射した光を受光する複数の受光面を有する撮像素子。
【請求項１１】
請求項８から１０までのいずれか１項に記載の撮像素子において、
前記光電変換部の少なくとも一部は、前記遮光部よりも入射光が入射してくる側に突出する撮像素子。
【請求項１２】
請求項１１に記載の撮像素子において、
前記遮光部は、開口部を有し、
前記光電変換部の少なくとも一部は、前記開口部から、前記遮光部よりも入射光が入射してくる側に突出する撮像素子。
【請求項１３】
請求項１から１２までのいずれか１項に記載の撮像素子と、
前記撮像素子から出力された信号に基づいて画像データを生成する生成部と、備える撮像装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、撮像素子および撮像装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１の公報には、次のような固体撮像素子が開示されている。
半導体基板には、光電変換部及び信号走査回路部を含み画素行列を配置して成る撮像領域が設けられている。撮像領域は、隣接する画素との境界部分に対応して各画素を囲むように設けられる素子分離絶縁膜と、半導体基板の表面上且つ素子分離絶縁膜の下方領域に設けられるＭＯＳＦＥＴと、半導体基板内の素子分離絶縁膜の近傍領域に設けられた第１導電型の第１の拡散層とを備える。素子分離絶縁膜は、信号走査回路部が形成される半導体基板の表面から半導体基板中にオフセットされて設けられ且つ半導体基板の裏面に達して形成されている。ＭＯＳＦＥＴは、ゲート電極と、半導体基板内且つゲート電極の上方に形成される第１導電型の第２の拡散層とを備えている。第１の拡散層と、第２の拡散層とが接し、半導体基板の垂直方向において、垂直方向に直交する第１の方向に沿った第１の拡散層の幅の中心は、第１の方向に沿った第２の拡散層の幅の中心近傍に位置する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】日本国特許５５４７２６０号
【発明の概要】
【０００４】
近年、多画素化の固体撮像素子が要求されている。しかし、従来の固体撮像素子は、第１拡散層と第２拡散層とが半導体基板の表面に沿って配置されているため、多画素化すると受光面積が小さくなる。受光面積が小さくなると、光電変換により発生する電荷量が少なくなり、感度の劣化が懸念される。
【０００５】
本発明の第１の態様による撮像素子は、マイクロレンズを透過して入射した光を光電変換して電荷を生成する光電変換部と、前記光電変換部で生成された電荷を蓄積する蓄積部と、前記光電変換部で生成された電荷を前記蓄積部に転送する転送部とを備える。前記光電変換部と前記転送部と前記蓄積部とは、前記マイクロレンズの光軸方向に沿って設けられる。
本発明の第２の態様による撮像素子は、マイクロレンズの光軸と交差する第１面と第２面とを有し、前記第１面と前記第２面との間に前記マイクロレンズを透過して入射した光を光電変換して電荷を生成する光電変換部と、前記光電変換部で生成された電荷を蓄積する蓄積部と、前記光電変換部で生成された電荷を前記蓄積部に転送する転送部とを備える。前記マイクロレンズの光軸方向において、前記光電変換部は前記第１面側に設けられ、前記蓄積部は前記第２面側に設けられ、前記転送部は前記光電変換部と前記蓄積部との間に設けられる。
本発明の第３の態様による撮像装置は、撮像素子と、撮像素子から出力された信号に基づいて画像データを生成する生成部とを備える。撮像素子は、マイクロレンズを透過して入射した光を光電変換して電荷を生成する光電変換部と、前記光電変換部で生成された電荷を蓄積する蓄積部と、前記光電変換部で生成された電荷を前記蓄積部に転送する転送部とを備える。前記光電変換部と前記転送部と前記蓄積部とは、前記マイクロレンズの光軸方向に沿って設けられる。
本発明の第４の態様による撮像装置は、撮像素子と、撮像素子から出力された信号に基づいて画像データを生成する生成部とを備える。撮像素子は、マイクロレンズの光軸と交差する第１面と第２面とを有し、前記第１面と前記第２面との間に前記マイクロレンズを透過して入射した光を光電変換して電荷を生成する光電変換部と、前記光電変換部で生成された電荷を蓄積する蓄積部と、前記光電変換部で生成された電荷を前記蓄積部に転送する転送部とを備える。前記マイクロレンズの光軸方向において、前記光電変換部は前記第１面側に設けられ、前記蓄積部は前記第２面側に設けられ、前記転送部は前記光電変換部と前記蓄積部との間に設けられる。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
【図１】第１実施形態による固体撮像素子１００の概略構成を示す図
【図２】第１実施形態の画素２０の等価回路を示す図
【図３】第１実施形態の画素２０の断面図
【図４】（ａ）は第１実施形態のリング状転送ゲートを説明する横断面図、（ｂ）は配線面側見た配置例を示す図、（ｃ）は他の配置例を示す図
【図５】（ａ）第１実施形態のリング状ゲート電極近傍の詳細構造を説明する断面図、（ｂ）〜（ｄ）はそれぞれ（ａ）のｂ−ｂ線、ｃ−ｃ線、ｄ−ｄ線断面図、（ｅ）、（ｆ）は転送ゲートオン時に形成される反転層を説明する横断面図
【図６】第１実施形態の工程を説明する図
【図７】図６に続く第１実施形態の工程を説明する図
【図８】図７に続く第１実施形態の工程を説明する図
【図９】図８に続く第１実施形態の工程を説明する図
【図１０】転送ゲート電極の変形例を説明する図５に対応する図
【図１１】第２実施形態の画素２０の断面図
【図１２】第３実施形態の画素２０の断面図
【図１３】（ａ）は第４実施形態の画素２０の断面図、（ｂ）は第５実施形態の画素２０の断面図
【図１４】（ａ）は第６実施形態の画素２０の断面図、（ｂ）は第７実施形態の画素２０の断面図
【図１５】第４実施形態の変形例の画素２０の断面図
【図１６】（ａ）は第８実施形態の画素２０の断面図、（ｂ）は第９実施形態の画素２０の断面図
【図１７】（ａ）は第１０実施形態の画素２０の断面図、（ｂ）は第１１実施形態の画素２０の断面図
【図１８】本発明の撮像装置を説明するブロック図
【発明を実施するための形態】
【０００７】
《第１実施形態》
（素子概略構成）
図１は、本実施形態の固体撮像素子１００の概略構成を示す図である。
固体撮像素子１００は、受光面（入射面）に画素２０を画素配列した撮像部３０を備える。これらの画素２０には、垂直制御線３２を介して、垂直走査回路３１から駆動信号が供給される。また、画素２０は、列単位に垂直信号線２１に接続される。この垂直信号線２１は画素電流源２２にそれぞれ接続される。
【０００８】
一方、画素２０から垂直信号線２１に対して時分割に出力されるノイズ出力と信号出力は、列アンプ２３を介して、ＣＤＳ回路２４（相関二重サンプリング回路）に順次に入力される。このＣＤＳ回路２４は、両出力の差分をとって真の信号出力を生成する。この真の信号出力は、水平走査回路３３からの駆動信号により水平走査され、水平信号線２５に順次出力される。この水平信号線２５の信号出力は、出力アンプ２６を介して出力端子２７に出力する。
【０００９】
（画素２０の等価回路）
図２は、上述した画素２０の等価回路を示す図である。
画素２０には、フォトダイオード（ＰＤ１）が設けられる。ＰＤ１は、転送駆動信号（転送ゲート電圧）でゲート制御される転送トランジスタ（ＴＧ：以下で転送ゲートとも呼ぶ）４を介してフローティングディフュージョン（ＦＤ）８に接続される。ＦＤ８は、増幅トランジスタ（ＡＭＰ）１１のゲート電極に接続される。また、ＦＤ８は、リセット駆動信号（リセットゲート電圧）でゲート制御されるリセットトランジスタ（ＲＳＴ：以下でリセットゲートとも呼ぶ）１３を介して基準電位Ｖｄｄに接続される。増幅トランジスタ１１は、ドレインが電位Ｖｄｄに接続され、ソースが選択駆動信号（選択ゲート電圧）でゲート制御される選択トランジスタ（ＳＥＬ：以下で選択ゲートとも呼ぶ）１２を介して垂直信号線２１に接続される。
【００１０】
転送トランジスタ４の転送ゲート電圧は転送配線４Ｈを介して供給される。リセットトランジスタ１３のリセットゲート電圧はリセット配線１３Ｈを介して供給される。選択トランジスタ１２の選択ゲート電圧は選択配線１２Ｈを介して供給される。転送配線４Ｈ、リセット配線１３Ｈ、および選択配線１２Ｈは、ＰＤ１やＦＤ８が形成される基板と同じ基板内の配線領域２０３（配線層）に形成される。
その他の構成は図１と同じため、ここでの重複説明を省略する。
【００１１】
（画素２０の素子構造）
図３は、画素２０の素子構造の一部を示す断面図である。入射光は、図３の上方から入射する。
固体撮像素子１００は半導体基板２００に形成される。半導体基板２００はモノリシック半導体基板である。半導体基板２００は、図３の上方（受光面側）から下方（配線領域側）に向かって積層される概略３つの層で構成される。最上方には酸化膜２０１、最下方には配線領域２０３、酸化膜２０１と配線領域２０３との間には拡散領域２０２が形成される。なお、拡散領域２０２を半導体領域と呼ぶ。配線領域２０３は配線以外の領域が酸化層である。なお、酸化膜および酸化層は、主として半導体基板を酸化した領域から成る膜および層である。
【００１２】
（半導体領域２０２）
半導体基板２００の半導体領域（拡散領域）２０２には、基板厚み方向（光が入射する方向）に長い縦長形状のＰＤ１と、基板の面方向に配設される信号読み出し回路３００とが形成されている。半導体領域２０２は、薄い層形状の基部領域２０２Ｋと、基部領域２０２Ｋから光が入射する受光面側に延びる凸領域２０２Ｔとを有する。凸領域２０２ＴにはＰＤ１が形成され、基部領域２０２Ｋには信号読み出し回路３００が形成されている。ＰＤ１や信号読み出し回路３００は、ｐ型領域の所定箇所にｐ型不純物とｎ型不純物を適宜の濃度で選択的に注入することにより形成される。
半導体領域２０２には、入射した光を光電変換により電荷に変換するＰＤ１と、ＰＤ１で光電変換された電荷を画素信号として垂直信号線２１に出力するための信号読み出し回路３００とが形成される。
【００１３】
半導体領域２０２に形成される信号読み出し回路３００は、ＰＤ１の電荷をＦＤ８に転送する転送トランジスタ４と、転送された電荷を蓄積して電圧に変換するＦＤ８と、ＦＤ８の出力電圧を増幅する増幅トランジスタ１１と、ＦＤ８をリセットするリセットトランジスタ１３とを含んで構成される。
【００１４】
転送トランジスタ４は、ゲート電極４ｇにゲート電圧が印加されると、ＰＤ１で発生した電荷をＦＤ８に転送する。転送ゲート電極４ｇは、ＰＤ１の外周の酸化膜２０１に形成されたリング状の電極である。転送ゲート電極４ｇと半導体領域２０２との間には絶縁膜２０２Ｓ（酸化膜）が設けられている。リング状の転送ゲート電極４ｇは後述する。
転送トランジスタ４は、ゲート電極４ｇにゲート電圧が印加されたとき、ＰＤ１で光電変換された電荷をＦＤ８に転送する転送路（チャネル）がｐ−ｎ接合部に形成されるトランジスタである。転送路となるｐ領域１ｂは、光が入射する方向においてＰＤ１とＦＤ８の間に配置される。換言すれば、光が入射する受光面側から配線領域側に向って、ＰＤ１とｐ領域１ｂとＦＤ８とが配置されている。
【００１５】
ＦＤ８は、転送トランジスタ４から転送される電荷を蓄積して電圧に変換するキャパシタであり、ＰＤ１の下の半導体基板基部領域２０２Ｋに設けられている。光電変換により発生した電荷はＦＤ８のキャパシタにより電圧に変換され、この電圧が増幅トランジスタ１１のゲート電圧なる。ＰＤ１で発生した電荷ＱをＦＤ８の容量Ｃで除した値が画素２０の画素信号の基であるから、ＦＤ８の容量を小さくすることが撮像素子の感度向上に寄与する。
【００１６】
増幅トランジスタ１１は、ゲート電極１１ｇに印加されるＦＤ８の電圧を増幅する。増幅トランジスタ１１で増幅された電圧が、図示しない積層される別の半導体基板の選択回路に出力される。
なお、図示しない半導体基板に形成される選択回路は、増幅トランジスタ１１から出力される画素信号を垂直信号線２１に出力する選択トランジスタ１２を含む。
【００１７】
リセットトランジスタ１３は、ゲート電極１３ｇにゲート電圧が印加されると、ＦＤ８に蓄積された電荷を排出して基準電位Ｖｄｄにリセットする。
【００１８】
（リング状転送ゲート電極４ｇ）
図４（ａ）は、転送ゲート電極４ｇの形状を説明する図であって、受光面側から画素２０の内部構造を見た模式図である。右下がりのハッチング線はｐ領域、縦のハッチング線はポリシリコン領域である。図４（ａ）の転送ゲート電極４ｇは、ｐ領域（図３の１ｂ）の周りを取り囲むよう配置されている。光が入射する方向と交差する方向において、転送路となるｐ領域が転送ゲート電極４ｇの間にある。転送ゲート電極４ｇとｐ領域との間には絶縁膜２０２ｓがある。
ＰＤ１は、ｐ型半導体領域２０２の基部領域２０２Ｋから受光面に向けて突出している。角柱形状のＰＤ１の周囲には、ポリシリコンにより転送ゲート電極４ｇがリング状に形成されている。
【００１９】
図５を参照してＰＤ１とゲート電極４ｇの電気的接続関係を説明する。
（ａ）のｂ−ｂ断面を（ｂ）に示し、（ａ）のｃ−ｃ断面を（ｃ）に示し、（ａ）のｄ−ｄ断面を（ｄ）に示す。ゲート電極４ｇに電圧が印加されたとき、ＰＤ１のｐ型光電変換領域１ｃがｐ型半導体領域１ｂに接続するように形成されている。すなわち、ゲート電極に電圧が印加されたとき、ｃ−ｃ断面では、ｐ型光電変換領域１ｃの外周全周に反転層が形成されるが、（ｅ）に示すように、ｂ−ｂ断面では、ｎ型光電変換領域１ａの内方にｐ型領域が残存される。このｐ型領域の残存により、転送ゲート電極にゲート電圧が印加されたときｐ型領域１ｂ，１ｃがＧＮＤ電位に固定される。
図５（ｂ）、（ｄ）から分かるように、ゲート電極４ｇに電圧が印加されていないときも、ｐ型光電変換領域１ｃがｐ型半導体領域１ｂに接続するように形成されている。
【００２０】
図４（ｂ）は、ｐ型半導体領域２０２の基部領域２０２Ｋに形成した信号読み出し回路３００の配置例を配線面側から見て示す模式図である。左下がりのハッチング線はｎ領域、縦のハッチング線はポリシリコン領域、点描画領域は酸化膜である。
リセットゲート電極１３ｇは、リセットゲート電極１３ｇにゲート電圧が印加されると、ＦＤ８に蓄積された電荷を排出して基準電位Ｖｄｄにリセットする。増幅トランジスタ１１は、ゲート電極１１ｇに印加されるＦＤ８の電圧に基づいて制御され、ＦＤ８の電圧を増幅する。ＧＮＤ端子は、ｐ型半導体領域２０２をＧＮＤ電位とするための端子である。なお、信号読み出し回路３００へ画素信号を出力するための選択トランジスタが配置されていてもよい。
【００２１】
図４（ｃ）は、ｐ型半導体領域２０２の基部領域２０２Ｋに形成した信号読み出し回路３００の他の配置例を示す模式図である。左下がりのハッチング線はｎ領域、縦のハッチング線はポリシリコン領域、点描画領域は酸化膜である。
リセットゲート電極１３ｇは、リセットゲート電極１３ｇにゲート電圧が印加されるとＦＤ８を基準電位Ｖｄｄでリセットする。増幅トランジスタ１１は、ゲート電極１１ｇに印加されるＦＤ８の電圧に基づいて制御され、ＦＤ８の電圧を増幅する。ＧＮＤ端子は、ｐ型半導体領域２０２をＧＮＤ電位とするための端子である。
【００２２】
（配線領域２０３）
図３に戻って説明する。配線領域２０３には、上述したＦＤ８と増幅トランジスタ１１のゲート電極１１ｇとを接続する配線１１Ｈと、リセットトランジスタ１３のゲート電極１３ｇにゲート電圧を供給するリセット配線１３Ｈが形成されている。
【００２３】
（酸化膜２０１）
酸化膜２０１の表面、すなわち半導体基板２００の裏面である受光面（入射面）には遮光膜４５０が形成されている。遮光膜４５０は、信号読み出し回路３００などに光が入射することを防ぐために設けられる。遮光膜４５０は、ＰＤ１への光入射に供する箇所において、受光面から凹んだすり鉢状の光入射領域４００を形成する角錐部４５１を備えている。ＰＤ１は光入射領域４００の底部において角錐部４５１を貫通して受光面側に延在している。光入射領域４００の受光面での広さ、すなわち、角錐部４５１の受光面側の端の輪郭が撮像素子１００の開口４０１となる。遮光膜４５０は、光入射領域４００に入射する光が信号読み出し回路３００などへの入射するのを防ぐ。遮光膜４５０は、半導体領域２０２の少なくとも一部を遮光する。また、遮光膜４５０は、転送ゲート４ｇにゲート電圧を供する転送配線（図２に符号４Ｈで示している）の機能も有する。この点は後で説明する。
【００２４】
（ＰＤ１の詳細）
図３を参照してＰＤ１を詳細に説明する。
ＰＤ１は、ｎ型不純物をｐ型半導体領域２０２の所定領域に選択的に注入して形成したｐ−ｎ接合の光電変換部である。ＰＤ１は角柱形状に形成されている。角柱の内方にはｎ型光電変換領域１ａが形成され、ｎ型光電変換領域１ａの下方に接する箇所にはｐ型光電変換領域１ｂが形成され、ｎ型光電変換領域１ａの表面にはｐ＋領域１ｃが形成されている。ｎ型光電変換領域１ａとｐ型光電変換領域１ｂによりｐ−ｎ接合の光電変換部を形成している。なお、ＰＤ１は角柱形状に限定されず、光が入射する方向に延びた立体であればよい。例えば、円柱、楕円柱、角錐、円錐、楕円錐、球体、楕円体、多面体などでもよい。
【００２５】
ＰＤ１の表面領域１ｃのｐ＋領域は、光電変換領域１ａの空乏層が表面に到達することを防ぐ。空乏層が表面に到達することが防止されるので、半導体界面で発生する暗電流が光電変換領域１ａへ流れ込むこと防ぐ。
【００２６】
ｐ型光電変換領域１ｂの下方に接するようにｎ型電荷蓄積領域８が形成される。便宜上、このｎ型電荷蓄積領域をＦＤ８として説明する。
転送トランジスタ４のゲート電極４ｇにゲート電圧が印加されると、ｐ型光電変換領域１ｂ表面に反転層であるn型のチャネルができる。このチャネルを電流が流れてＦＤ８に電荷が蓄積される。
【００２７】
ＰＤ１は、信号読み出し回路３００が形成される半導体領域２０２から受光面側に突出して形成されている。換言すると、ＰＤ１は、信号読み出し回路３００が形成されている半導体領域２０２の基部領域２０２Ｋから受光面側に延在して突出する凸領域２０２Ｔに形成されている。すなわち、図３において、ＰＤ１は、信号読み出し回路３００が形成される基部領域２０２Ｋから受光面側に延びる凸形状である。換言すると、ＰＤ１の少なくとも一部は、光が入射する方向に沿って延びる凸部を有している。ＰＤ１の少なくとも一部は、後述する遮光膜底部４５２が有する開口部４５２Ａよりも光が入射する方向に向かって延びており、遮光部４５２よりも受光面側にある。なお、ＰＤ１の少なくとも一部は、反射膜４５０または開口４０１よりも光が入射する方向に向かって延びていてもよい。
なお、凸形状のＰＤ１の延在方向は不図示のマイクロレンズの光軸方向である。光が入射する方向もマイクロレンズの光軸方向である。
【００２８】
半導体領域２０２の凸領域２０２Ｔは、受光面側の酸化膜２０１に形成されているすり鉢状凹部に基板表面側から突出している。すり鉢状の凹部形状を規定する面には遮光膜４５０が形成されている。凹部の遮光膜４５０は上述した角錐部４５１であり、角錐部４５１の上面には、言い換えると凹部には酸化層が堆積されている。凹部が光路領域４００として利用される。光路領域４００に入射した光は遮光膜４５０の角錐部４５１で反射してＰＤ１の側面１ｄから入射する。
光路領域４００には酸化膜、たとえば酸化層が堆積されていると説明したが、可視光成分の透過率が所定以上であれば、光路領域４００内部の材質は酸化層に限定されない。
光路領域４００内部を空洞としてもよい。光路領域４００の形状は矩形に限定されない。例えば、光路領域４００の形状は、円、楕円、多角形、円環であってもよい。
【００２９】
遮光膜４５０は、角錐部４５１の最下端で受光面と平行に形成された底部４５２を備えている。ＰＤ１が形成された半導体領域２０２の凸領域２０２Ｔは、この底部４５２を貫通して、すなわち底部４５２に形成した開口部４５２Ａを介して受光面に向かって延在している。光路領域４００に入射した光は遮光膜４５０の底部の遮光膜４５２で遮光され、酸化膜２０１の下方の半導体領域２０２へ光が入射することを防ぐ。
【００３０】
換言すると、光路領域４００の内周傾斜面には反射膜４５１が形成され、光路領域４００の底部には遮光膜４５２が形成されている。反射膜４５１および遮光膜４５２は、たとえば反射率の高いアルミなどをＰＶＤにて形成することができる。反射膜４５１は反射率の高い材料、遮光膜４５２は光透過率の低い材料で形成されればよく、同じ材料であっても、異なる材料であってもよい。
【００３１】
光路領域４００の上面には、カラーフィルタとマイクロレンズが設けられている。カラーフィルタを省略することもできる。
【００３２】
以上説明した固体撮像素子１００による光電変換動作を説明する。
固体撮像素子１００の受光面にはマトリクス状に画素が配列されている。撮像素子１００に到来した光は、画素ごとに設けられているマイクロレンズで集光される。集光された光はカラーフィルタで波長選択されて開口４０１から光路領域４００に入射する。入射光の一部はＰＤ１の面１ｅから内部に入射する。光路領域４００に入射した光のうち面１ｅからＰＤ１に入射した光以外の光、すなわちＰＤ１の外側面１ｄと反射膜（遮光膜４５０の角錐部）４５１との間の光路領域４００に入射した光は、反射膜４５１で反射してＰＤ１に側面１ｄから入射する。ＰＤ１は、面１ｅと側面１ｄとから入射する光を電荷に光電変換する。これにより、ＰＤ１は入射した光からより効率良く電荷を発生させる。
【００３３】
光路領域４００の底部に入射する光は遮光膜４５２で遮光される。遮光膜４５２は、入射光が信号読み出し回路３００が形成されている半導体領域２０２に入射することを防ぐ。これにより、読み出し回路３００へ入射した光によるノイズの発生を低減することができる。遮光膜４５２は、上述したようにＰＤ１が凸形状であるため、ＰＤ１が光の入射する方向に向かって延びる部分に開口部４５２Ａを有する。
【００３４】
転送トランジスタ４とリセットトランジスタ１３でＰＤ１とＦＤ８をリセットしてから所定の蓄積時間が経過した時点で転送トランジスタ４をオンすると、ＰＤ１に蓄積された電荷による検出電流によりＦＤ８に電荷が蓄積される。ＦＤ８に蓄積された電荷は電圧に変換されて増幅トランジスタ１１のゲート電極に印加されて増幅される。増幅された電圧は図示しない基板に形成された選択トランジスタ１２から画素信号として選択されて垂直信号線２１に出力される。
【００３５】
ＰＤ１からＦＤ８への検出電流は、半導体基板の厚み方向に流れる。すなわち、垂直転送される。
特許文献１の固体撮像素子において、電荷を画素信号として取り出す信号読み出し回路３００は、転送回路と増幅回路と選択回路の間で信号を半導体基板表面に沿って転送する。
【００３６】
第１実施形態の固体撮像素子１では、ＰＤ１からＦＤ８までの信号経路が基板厚み方向となり、その分、転送トランジスタ４の基板表面方向の大きさを小さくすることができる。すなわち、画素の小型化を図ることができる。
【００３７】
以上説明した第１実施形態による固体撮像素子の作用効果は以下のとおりである。
（１）固体撮像素子１００は、入射した光を光電変換して電荷を生成するＰＤ（光電変換領域）１と、ＰＤ１から電荷が転送されるＦＤ（電荷転送領域）８を含む読み出し回路３００とが形成された半導体領域２０２を備える。半導体領域２０２，すなわちＰＤ１の少なくとも一部は、受光面側に設けた光路領域（入射領域）４００に突出して設けられている。
このようなＰＤ１の構成により、入射光がＰＤ１の面１ｅと側面１ｄとから入射するので、ＰＤ１の受光面積が大きくなる。したがって、Ｓ／Ｎ比が大きくなり、感度が向上する。また、露出時間の短縮によるＳ／Ｎ比の劣化、画素の微小化に伴うＳ／Ｎ比の劣化を防止することができる。したがって、たとえば１０００〜１００００フレームのような高速読み出しされる固体撮像素子であってもノイズの少ない高画質の画像を得ることができる。
【００３８】
（２）ＰＤ１は光路領域４００の底部を貫通して受光面側まで延在している。ＰＤ１の側面１ｄから入射する光の一部が、ＰＤ１の側面１ｄに沿って光路領域内を下方に入射し、受光面側から読み出し回路３００が形成されている半導体領域２０２に光が入射しないように、光路領域４００の底部には遮光膜４５２が形成されている。
そのため、ＰＤ１の側面からの光の入射を可能とした構成を採用しても、読み出し回路３００への光の入射が低減され、ノイズの発生を抑制することができる。
【００３９】
（３）ｎ型領域１ａとｐ型領域１ｂとｐ＋領域１ｃとを含むＰＤ１は、ＦＤ８を含む読み出し回路３００の形成面より受光面側に延びている。ＦＤ８はｐ型領域１ｂの直下に接している。そのため、ＰＤ１で発生した電荷は、ＰＤ１からＦＤ８に垂直転送される。すなわち、半導体基板の面に平行な横転送方式ではなく、半導体基板厚み方向の信号経路で電荷の転送が行われる。その結果、ＰＤ１の電荷をＦＤ８に横転送する従来技術の固体撮像素子に比べると、画素を小型化できる。
【００４０】
（４）第１実施形態の固体撮像素子１００の転送ゲート電極４ｇはＰＤ１のｐ型領域１ｂを取り囲むリング形状である。そのため、ゲート幅が実質的に広がり転送効率が改善される。さらに、ゲート電極形状がＰＤ１の光軸に対して点対称形状であり、製造プロセスを安定させることができる。
【００４１】
以上説明した固体撮像素子１００の製造方法を説明する。なお、以下の説明では各工程で使用するマスク形状とレジスト塗布などのプロセスについての説明は省略する。
図６（ａ）：固体撮像素子１００を製造するためにｎ型半導体基板５０１を準備する。
図６（ｂ）：ｎ型半導体基板の上面に素子分離酸化膜５０２を形成する。
図６（ｃ）：ｎ型半導体基板の上面側にｐ型領域５０３を形成する。
図６（ｄ）：ｐ型領域５０３の上面にゲート電極５０４をポリシリコンで形成する。
図６（ｅ）：ｐ型領域５０３の上面にソース領域５０５とドレイン領域５０６を形成する。さらに、ＧＮＤコンンタクト領域５０７を作成する。
図６（ｆ）：ｐ型領域５０３の上面に酸化膜５０８を堆積させる。
【００４２】
図７（ａ）：図６（ｆ）の工程を終えた中間製品Ｃ１の酸化膜５０８の上面に支持基板５０９を接合する。
図７（ｂ）：図７（ａ）の工程を終えた中間製品Ｃ２の表裏を反転する。
図７（ｃ）：図７（ｂ）で反転された中間製品Ｃ３のｎ型領域５０１を研磨して薄膜化する。
図７（ｄ）：薄膜化した中間製品Ｃ４を上層のｎ型領域５０１からｐ型領域５０３の上層まで凸状にエッチングする。凸状部５１１は後工程を経てＰＤ１となる領域である。
図７（ｅ）：凸状にエッチングされた中間製品Ｃ５の上面に酸化膜５１２を形成する。
図７（ｆ）：酸化膜５１２が形成された中間製品Ｃ６の凸状部５１１の最下端部の外周全周にポリシリコンでリング状ゲート電極５１３（４ｇ）を形成する。
【００４３】
図８（ａ）：図７（ｆ）の工程を終えた中間製品Ｃ７の上面に反射防止膜窒化膜５１４を形成する。
図８（ｂ）：図８（ａ）の工程を終えた中間製品Ｃ８の上面に酸化膜５１５を形成する。
図８（ｃ）：図８（ｂ）の工程を終えた中間製品Ｃ９の酸化膜５１５をエッチングして凸状部５１１の外周部に角錐状の凹部５１６を形成する。
図８（ｄ）：図８（ｃ）の工程を終えた中間製品Ｃ１０の酸化膜上面に金属材料により遮光膜５１７（４５０、４５１、４５２）を蒸着する。遮光膜５１７は転送トランジスタのゲート電圧の配線層４Ｈとしても使用される。
図８（ｅ）：図８（ｄ）の工程を終えた中間製品Ｃ１１の遮光膜５１７の上面に酸化膜５１８を形成する。酸化膜５１８の上面に支持基板５１９を接合する。
図８（ｆ）：図８（ｅ）の工程を終えた中間製品Ｃ１２の表裏を反転し、上面に各種の配線５２０，５２１を形成する。
【００４４】
図９：図８（ｆ）の工程を終えた中間製品Ｃ１３の支持基板５１９を除去して反転する。これが図３で説明した固体撮像素子１００である。
【００４５】
《第１実施形態の変形例》
図１０（ａ）は、第１実施形態の変形例の固体撮像素子１００Ｒを示す。
第１実施形態では、転送ゲート電極４ｇをリング状としたが、第１実施形態の変形例では、図１０（ｃ）〜（ｅ）に示すようにコ字状ゲート４ｇＫ、Ｌ字状ゲート４ｇＬ、一面ゲート４ｇＩのいずれかとする。比較のため、リング状ゲート４ｇを図１０（ｂ）に示す。
【００４６】
図１０（ａ）に示すように、ゲート電極が形成されないＰＤ１の左側面部では、凸領域２０２Ｔのｐ＋領域１ｃとｐ型領域１ｂと基部領域２０２Ｋのｐ型領域２０２ｐとが電気的に接続されている。そのため、ゲートがオンしたときでもｐ型領域１ｂがＧＮＤ電位に固定される。
【００４７】
ゲート電圧が印加されたときにｐ型領域１ｂの周囲に形成される反転層の形状は、ゲート形状に対応する。図１０（ｇ）〜（ｉ）に示すように、コ字状ゲート４ｇＫでは反転層はコ字状となり、Ｌ字状ゲート４ｇＬではＬ字状となり、一面ゲート４ｇＩでは一直線状となる。比較のため、リング状ゲート４ｇの反転層を図１０（ｆ）に示す。
第１実施形態の変形例の固体撮像素子１００Ｒは第１実施形態と同様の作用効果を奏することができる。
【００４８】
《他の実施形態》
以上説明した固体撮像素子１００では、ＰＤ１の直下にＦＤ８を配設して電荷転送を基板厚み方向とした。すなわち、固体素子１００は、電荷を縦方向に転送する構造である。以下では、電荷を縦方向に転送する方式を縦転送方式あるいは垂直転送方式と呼び、これらの他の実施形態を説明する。
【００４９】
一般的に、撮像素子の内部量子効率はフォトダイオードの形成位置と光の波長で決まる光吸収深さに依存する。シリコン表面側にフォトダイオードが形成される表面照射型の画素では、内部量子効率は短波長光ほど高く、長波長光ほど低い。逆に、裏面照射型の画素では、シリコン基板の深い領域にフォトダイオードが形成されるので、内部量子効率は長波長光ほど高く、短波長光ほど低くなる。
【００５０】
フォトダイオードをある固定の深さに形成するのではなく、波長毎に最適な深さにフォトダイオードを形成できれば、表面照射型でも裏面照射型でも内部量子効率は向上する。しかし、シリコン基板の深い領域にフォトダイオードを形成してしまうと完全転送が難しくなるため、従来は作成が困難であった。
【００５１】
以下で説明する第２実施形態〜第５実施形態の構成を有する固体撮像素子は、垂直型転送ゲート構造を用いて光波長に応じた深さのフォトダイオードを実現することで、感度を向上させることができる。
【００５２】
《第２〜第３実施形態》
第１実施形態では、受光面からＰＤまでの深さ位置は波長選択した光にかかわらず固定である。第２実施形態では、入射面（受光面）からＰＤまでの深さ位置を波長選択した光に応じた位置、すなわちＲＧＢ画素に応じた位置とする。さらに第２実施形態では、垂直型転送ゲート構造を採用してＰＤからＦＤへ電荷を転送する。
【００５３】
例えば、カラーフィルタがベイヤ配列の表面照射型画素では、Ｒ画素、Ｇ画素、Ｂ画素の順でフォトダイオードを基板表面からシリコン層の深い位置に形成し、垂直型転送ゲート６１Ｒ、６１Ｇ、６１Ｂのゲート長もそれに応じて長さを変える。裏面照射型画素では逆にフォトダイオードをＢ画素、Ｇ画素、Ｒ画素の順で基板表面から深く形成し、ゲート長もそれに応じた長さにする。
【００５４】
《第２実施形態》
図１１の固体撮像素子１００Ａは裏面照射型である。Ｓｉ層６５１と配線層６５２とから成る半導体基板６００上にＲＧＢの画素がベイヤ配列で設けられている。ＰＤ１は、ＲＧＢの波長に応じた深さに配置され、ＰＤ１の電荷は垂直型転送ゲート６１Ｒ、６１Ｇ、６１ＢでＦＤ８に転送される。
【００５５】
具体的には、Ｒ画素のＳｉ層６５１内には、Ｓｉ層６５１の表面６５１ａから第１の深さ位置にＰＤ１が、Ｓｉ層６５１の表面６５１ａにはＦＤ８が形成されている。Ｇ画素のＳｉ層６５１内には、Ｓｉ層６５１の表面６５１ａからから第２の深さ位置にＰＤ１が、Ｓｉ層６５１の表面６５１ａにはＦＤ８が形成されている。Ｂ画素のＳｉ層６５１内には、Ｓｉ層６５１の表面６５１ａから第３の深さ位置にＰＤ１が、Ｓｉ層６５１の表面６５１ａにはＦＤ８が形成されている。第１の深さ位置（Ｒ画素）＜第２の深さ位置（Ｇ画素）＜第３の深さ位置（Ｂ画素）である。
ＲＧＢの各画素において、ＰＤ１とＦＤ８との間で電荷を転送する垂直型転送ゲート６１Ｒ、６１Ｇ、６１Ｂ（以下、代表して符号６１とする）がＳｉ層６５１内に設けられている。ゲート長は、転送ゲート６１Ｒ＜転送ゲート６１Ｇ＜転送ゲート６１Ｂである。
【００５６】
配線層６５２には、垂直型転送ゲート６１のゲート電極６５２Ｖと、ゲート電極６５２Ｖにゲート制御信号を供給する配線層６５２Ｈが設けられている。また、ＦＤ８の電位を不図示の増幅トランジスタに転送する配線６５３Ｈも設けられている。なお、配線層６５２の配線以外の領域はＳｉＯ２等の酸化膜６５２Ｓである。
【００５７】
《第３実施形態》
図１２の固体撮像素子１００Ｂは表面照射型である。図１１の裏面照射型の固体撮像素子１００Ａを表面照射型の素子に代えたものである。
具体的には、Ｒ画素のＳｉ層６５１内には、Ｓｉ層６５１の表面６５１ａから第４の深さ位置にＰＤ１が、Ｓｉ層６５１の表面６５１ａにはＦＤ８が形成されている。Ｇ画素のＳｉ層６５１内には、Ｓｉ層６５１の表面６５１ａから第５の深さ位置にＰＤ１が、Ｓｉ層６５１の表面６５１ａにはＦＤ８が形成されている。Ｂ画素のＳｉ層６５１内には、Ｓｉ層６５１の表面６５１ａから第６の深さ位置にＰＤ１が、Ｓｉ層６５１の表面６５１ａにはＦＤ８が形成されている。第４の深さ位置（Ｒ画素）＞第５の深さ位置（Ｇ画素）＞第６の深さ位置（Ｂ画素）である。
ＲＧＢの各画素において、ＰＤ１とＦＤ８との間で電荷を転送する垂直型転送ゲート６１Ｒ、６１Ｇ、６１Ｂ（以下、代表して符号６１とする）がＳｉ層６５１内に設けられている。ゲート長は、転送ゲート６１Ｒ＞転送ゲート６１Ｇ＞転送ゲート６１Ｂである。
図１０と同一の箇所には同一の符号を付して詳細な説明は省略する。
【００５８】
図１１、図１２に示した第２および第３実施形態による固体撮像素子１００Ａ、１００Ｂは次のような作用効果を奏する。
（１）図１１および図１２に示した変形例の固体撮像素子１００Ａと１００Ｂは、画素内のフォトダイオードの形成深さと、垂直型転送ゲートのゲート長が、カラーフィルタ色毎に異なるようにした。色毎にＰＤ１が異なる深さに形成されていても、垂直型転送ゲート長を最適化し、転送ゲートをＰＤ１に隣接して配置させることで、転送特性を悪化させずに内部量子効率を向上できる。
【００５９】
《第４実施形態》
図１３（ａ）は、第４実施形態の固体撮像素子１００Ｃを説明する図である。この固体撮像素子１００Ｃは、第２実施形態で示した垂直転送ゲート６１の縦断面形状を台形形状にしたものである。以下、説明する。
【００６０】
通常、青色光に対する感度を高めるために形成される光電変換部の深さ位置はＳｉ基板厚みが２．０〜３．０μｍの場合には、その基板厚さの半分以下から入射表面までの位置に光電変換部を形成する必要がある（特開２０１４-１４９９８９８号公報、特開２０１４-２２５５６０号公報参照）。そのため転送ゲート部をＳｉ基板の半分以上の深さまで、つまり１．０〜１．５μｍの長さに形成する必要がある。
しかし、このように転送ゲートが長いトランジスタの構造では光電変換部に蓄積された電荷を完全に転送することが難しい。すなわち、通常の酸化膜構造の垂直型の転送用トランジスタでは、光電変換部とゲートの間に反転層が形成され、光電変換部とゲート部との界面に電荷が停滞してしまう。その結果、転送プロセス後に残った電荷が光電変換部に戻ってしまい、転送戻りの原因となってしまう。この転送残りが残像の発生原因となる。
なお、上記した通常の構造のように、ゲート酸化膜厚が一様で構造的にゲート幅も一定である場合、ゲート電極端部に比べ、ゲート電極中央部の方が長くオンされるので、オフした際、転送途中の電荷がゲート中央付近に僅かに滞留することにより、転送戻りの原因となる。
【００６１】
このような不具合を解消するため、光電変換部から電荷蓄積部へ電荷を転送する垂直転送ゲートの断面形状を、光電変換部から電荷蓄積部へ近づくほどゲート断面積が大きくなるような形状とする。
たとえば、図１３（ａ）に示す裏面照射型の固体撮像素子１００Ｃは、光電変換部（ＰＤ）１と、垂直型に形成された縦断面形状が台形、横断面形状が矩形の垂直転送ゲート部６２と、垂直転送ゲート部６２で転送された電荷を蓄積する電荷蓄積部（ＦＤ）８とを備える。また、垂直転送ゲート部６２の上底部の酸化膜６２Ｕの厚さは、台形の脚部と電荷蓄積部８にわたる酸化膜６２Ｌの厚さに比べて大きい。
なお、符号７１はマイクロレンズ、７２はカラーフィルタ、８１はｐ型半導体領域、９１は配線層である。
【００６２】
第４実施形態の固体撮像素子１００Ｃによれば、第１実施形態と同様の作用効果を得ることができる。さらに加えて、垂直転送ゲート部６２の断面積が光電変換部１から電荷蓄積部８に近づくにつれて大きく、かつ、垂直転送ゲート部６２の上底部の酸化膜６２Ｕの厚さが、台形の脚部と電荷蓄積部８にわたる酸化膜６２Ｌの厚さに比べて大きくなるようにしている。これにより蓄積電荷転送経路にある電位ポテンシャル障壁が緩和され、蓄積電荷転送特性が向上する。また、転送残り、転送戻りを低減させることができ、偽色、残像も防止できる。
換言すると、垂直転送ゲート部６２の上底部の酸化膜６２Ｕの方が、台形の脚部と電荷蓄積部８にわたる酸化膜６２Ｌよりゲート酸化膜が厚いので、ＦＤ側端部に比べ、ＰＤ側端部でゲートオン時間が短く、また、ＦＤ側で断面積（ゲート幅）を広げることで、ゲートオフした際、反転層がＰＤ側から消滅して行くので、ＰＤ側への電荷戻りを低減することができる、
【００６３】
《第５実施形態》
図１３（ｂ）に示す固体撮像素子１００Ｄは、図１３（ａ）の台形の垂直転送ゲート部６２に代えて、縦断面形状が直角三角形、横断面形状が矩形の垂直転送ゲート部６２Ａを採用したものである。垂直転送ゲート部６２Ａの上底部の酸化膜６２Ｕの厚さは、台形の脚部と電荷蓄積部８にわたる酸化膜６２Ｌの厚さに比べて大きい。
このような第５実施形態の固体撮像素子１００Ｄは第１実施形態の作用効果と第４実施形態の作用効果を奏することができる。
【００６４】
《第４および第５実施形態の変形例》
第４実施形態の固体撮像素子１００ＣのＰＤ１の半導体領域表面からの深さ位置と転送ゲート長さを、図１１の第２実施形態で説明したようにすることができる。第５実施形態の固体撮像素子１００Ｄの表面照射型の固体撮像素子に適用する場合、ＲＧＢ画素のＰＤ１の半導体領域表面からの深さ位置と転送ゲート長さは、図１２の第３実施形態で説明したようにすることができる。
このように波長毎にＰＦ形成深さ位置とゲート長制御を行うと、第２実施形態と同様の作用効果を奏することができる。
【００６５】
《第６実施形態》
図１４（ａ）は第６実施形態の裏面照射型の固体撮像素子１００Ｅを説明する図である。固体撮像素子１００Ｅは、図１３（ａ）の固体撮像素子１００Ｃの一つの画素に一対のＰＤ１Ｌ，ＰＤ１Ｒを設けたいわゆる２ＰＤ型の素子である。すなわち、固体撮像素子１００Ｅは、一対のＰＤ１Ｌ，ＰＤ１Ｒと、一対のＰＤ１Ｌ，ＰＤ１Ｒに対応するＦＤ８Ｌ、８Ｒを備えている。ＰＤ１Ｌの電荷は転送ゲート６２ＢＬからＦＤ８Ｌに転送される。ＰＤ１Ｒの電荷は転送ゲート６２ＢＲからＦＤ８Ｒに転送される。転送ゲート６２ＢＬ、ＢＲの縦断面形状は台形、横断面形状は矩形であり、ＰＤ１Ｌ、１ＲからＦＤ８Ｌ、８Ｒに近づくほど経路断面積が大きくなる。また、垂直転送ゲート部６２Ａの上底部の酸化膜６２Ｕの厚さは、台形の脚部と電荷蓄積部８にわたる酸化膜６２Ｌの厚さに比べて大きい。
したがって、第６実施形態でも第４実施形態と同様の作用効果を得ることができる。
【００６６】
このような第６実施形態の固体撮像素子１００Ｅによれば、転送残り、転送戻りを低減させることができる。その結果、偽色、残像が防止できる。 
フォトダイオードが４つ、８つ、・・・と増えた場合も同様である。
【００６７】
《第７実施形態》
図１４（ｂ）は第７実施形態の固体撮像素子１００Ｆを示す図である。この固体撮像素子１００Ｆは、図１４（ａ）の転送ゲート６２ＢＬ、ＢＲの縦断面形状を直角三角形にしたものである。その他は第６実施形態と同様であり説明を省略する。
【００６８】
《第６および７実施形態の変形例》
第６および７実施形態の変形例のように、第６および第７実施形態に示した固体撮像素子１００Ｅ，１００Ｆのような２ＰＤ方式の画素構造において、フォトダイオード深さを波長毎に変える場合、Ｐ型分離深さも同じ深さに形成する必要がある。しかし、シリコンの深い領域で良好なＰ型分離構造を形成することは困難である。シリコンの深い領域でＰ型分離が不十分だと、表面照射型素子では長波長光で、裏面照射型素子では逆に短波長光で分離特性が悪くなる。そこで、異なる波長の光に対しても高い瞳分割集光率を達成するために、波長毎にＰＤ位置をシリコン層表面から所定の深さ位置に設定することが好ましい。
【００６９】
すなわち、第６実施形態の固体撮像素子１００ＥのＰＤ１の半導体領域表面からの深さ位置と転送ゲート長さを、図１１の第２実施形態で説明したようにするのが好ましい。また、第７実施形態の固体撮像素子１００Ｆの表面照射型の固体撮像素子に適用する場合、ＲＧＢ画素のＰＤ１の半導体領域表面からの深さ位置と転送ゲート長さを、図１２の第３実施形態で説明したようにするのが好ましい。
このように、垂直型転送ゲート構造を用いて光波長に応じた深さのフォトダイオードを実現することで、感度を向上させ、また、光波長に応じてフォトダイオード開口率を調整することで、分離特性を向上させることができる。このような構成を採用すると、シリコン層の深部に形成された光電変換部に対しても完全転送可能なトランジスタ構造であり、高い瞳分割集光率を達成することができる。
【００７０】
《第４実施形態の変形例》
図１５に示す固体撮像素子１００Ｇでは、Ｐ-エピタキシャル層８１の上面近傍にＰ＋領域８１Ａが形成されている。ＰＤ１は、このＰ＋領域８１Ａに接している。そのため、ＰＤ１の接合容量が増加し、飽和電子数の向上が期待できる。
なお、図１３（ａ）と同様の箇所には同一の符号を付して説明を省略する。
【００７１】
第４実施形態〜第７実施形態の固体撮像素子は次のような構成のものも含む。
（１）裏面照射型の固体撮像素子において、画素ごとに異なる深さに形成された光電変換部と、光電変換部で光電変換された信号を読み出すため、深さ方向にテーパー角をもって形成されたゲート部と、ゲート部を転送経路とした上記光電変換部に対応する深さに形成された垂直型トランジスタと、垂直型トランジスタから転送された電荷を蓄積するフローティングディフュージョンと、所定のトランジスタを含む画素トランジスタから構成される固体撮像素子。 
（２）（１）の素子において、垂直型トランジスタは、光電変換部近傍部の短辺を上底、シリコン表面近傍を下底とした台形構造をしている。 
（３）（１）の素子において、垂直型トランジスタの台形構造は台形の脚と下底との転送路側のなす角度が７５±１０度である固体撮像素子。 
【００７２】
（４）（１）の素子において、垂直型トランジスタの台形構造の上底部は光電変換部近傍に位置し、光電変換部を貫通しない深さに位置する固体撮像素子。 
（５）（１）の素子において、垂直型トランジスタの台形構造について画素端からの上底部の中心位置までの距離をＪとし、画素ピッチをＰｔとしたとき、Ｊ／Ｐｔ＞１／２を満たす固体撮像素子。
（６）（１）の素子において、垂直型トランジスタの台形構造についてフローティングディフュージョンからの上底部の中心位置から下底に下した垂線の足までの距離をＨとし、光電変換部幅をＷとしたとき、Ｗ／２＜Ｈを満たす固撮像素子。 
（７）（１）の素子において、垂直型トランジスタの台形構造の上底部の酸化膜は台形の脚部とフローティングディフュージョンにわたる酸化膜厚に対して大きい固体撮像素子。 
【００７３】
（８）（１）の素子において、垂直型トランジスタの台形構造の上底部の酸化膜Ｌ１と台形の脚部とフローティングディフュージョンにわたる酸化膜厚Ｌ２の比Ｌ１／Ｌ２がＬ１／Ｌ２＞４となる固体撮像素子。
（９）（１）の素子において、垂直型トランジスタの台形構造の上底部Ａ１と下底部Ａ２2の比Ａ１／Ａ２が０≦Ａ１／Ａ２≦５となる固体撮像素子。
（１０）（１）の素子において、一画素内に二つのPDを有する構造の場合は、画素ピッチをＰｔ、画素左端から左上底部の中心位置をＪ１、画素右端から右上底部の中心位置をＪ２とした場合にＪ１／Ｐｔ＞１／４かつＪ２／Ｐｔ＞１／４とする固体撮像素子。 
【００７４】
以上説明した第１実施形態〜第７実施形態の固体撮像素子は、半導体基板２００に形成される固体撮像素子１００〜１００Ｆであって、入射光を光電変換して電荷を生成する光電変換部１と、光電変換部１で生成された電荷を蓄積する蓄積部８と、光電変換部１で生成された電荷を蓄積部８に転送する転送路とが、入射光が入射する方向に沿って、換言するとマイクロレンズの光軸方向に沿って配置される固体撮像素子と記述することもできる。
また、以上説明した第１実施形態〜第７実施形態の固体撮像素子は、入射光が入射する方向と交差する第１面と第２面とを有し、第１面と第２面との間に、入射光を光電変換して電荷を生成する光電変換部１と、光電変換部１で生成された電荷を蓄積する蓄積部８と、光電変換部１で生成された電荷を蓄積部８に転送する転送路とが配置された半導体基板２００を備える。上記光電変換部１は、入射光が入射する方向において第１面側に配置され、蓄積部８は光電変換部よりも第２面側に配置され、転送路は、光電変換部１と蓄積部８との間に配置される。
このような固体撮像素子によれば、光電変換部、転送路、蓄積部を半導体基板厚み方向に配置することができるので、画素をより高密度に実装することができる。
とくに、第１実施形態の固体撮像素子１００のように、光電変換部１の直下に蓄積部８を配置し、素子平面視で光電変換部１の範囲内に蓄積部８と電荷転送路が配置された例では、画素の高密度実装がより効果的である。
また、第１実施形態の固体撮像素子１００では、縦長の光電変換部１を採用し、その面１ｅのみならず側面１ｄから光が入射するように光路領域４００を設けたので、光電変化効率もよい。
【００７５】
《第８〜第１１実施形態》
上述した第１〜第７実施形態の固体撮像素子はＰＤとＦＤ間の電荷を垂直転送するものである。以下の第８実施形態〜第１１実施形態の固体撮像素子は、画素毎にメモリ部を有するグローバル電子シャッタ方式の固体撮像素子であってメモリ部とＦＤ間の電荷を垂直転送するものである。
【００７６】
グローバル電子シャッタを実現するため、ＰＤに蓄積された電荷をメモリに転送するのと同時にＰＤに転送する必要がある。しかし、同時にＦＤに転送すると、ＦＤから読み出されるまでにＳｉ界面からの暗電流が蓄積され、ＳＮ比が悪化する。この問題を解決するため画素部の遮光された領域に蓄積メモリを形成する構造が特開２０１２−９６９７号公報で提案されている。しかしながら、遮光領域を形成し蓄積メモリを形成すると、隣接しているＰＤの面積を圧迫するため、感度低下につながる。
【００７７】
第８〜第１１実施形態の固体撮像素子は、ＰＤ面積の維持と、ＰＤからＦＤまで転送する間におけるメモリ部の暗電流蓄積を抑制するように構成したグローバル電子シャッタを有するＭＯＳ型固体撮像素子である。
【００７８】
《第８実施形態》
図１６（ａ）は、第８実施形態による表面照射型の固体撮像素子１００Ｈの画素断面の一部を示す図である。半導体基板２００は、半導体領域２０２と配線層２０３の２層構造である。半導体領域２０２には、ｎ型基板に形成したｐ型領域中にｎ型イオンをドープしたｎ型領域が形成され、これによりｎ−ｐ接合のＰＤ１が形成されている。半導体領域２０２の表面のＰＤ１の側方にはｎ＋領域のＦＤ８が形成されている。半導体領域２０２のＦＤ８の直下にはメモリ部８１が形成されている。ＦＤ８には、図示しない増幅トランジスタのゲート電極に電圧信号を供給する増幅ゲート配線１１Ｈが接続されている。ゲート配線１１Ｈは配線層２０３に設けられる。
【００７９】
ＰＤ１とメモリ部８１との間には第１転送ゲート１４１が設けられている。第１転送ゲート１４１とともにＦＤ８を挟み込む位置には第２転送ゲート１４２が設けられている。第１および第２転送ゲート１４１、１４２は、基板垂直方向に延在するトレンチ型転送ゲートである。
【００８０】
第１転送ゲート１４１にゲート信号が入力されると、ＰＤ１の電荷が半導体領域２０２のＰｗｅｌｌ領域を通ってメモリ部８１に転送され、メモリ部８１に電荷が蓄積される。第２転送ゲート１４２にゲート信号が入力されると、メモリ部８１の電荷が半導体領域２０２のＰｗｅｌｌ領域を通ってＦＤ８に転送され、ＦＤ８に電荷が蓄積される。メモリ部８１からＦＤ８への電荷転送は入射面に向かう方向の垂直転送である。
【００８１】
《第９実施形態》
図１６（ｂ）は、第９実施形態による裏面照射型の固体撮像素子１００Ｈの画素断面の一部を示す図である。図１６（ａ）と同様の箇所には同一の符号を付して説明を省略する。メモリ部８１へ光入射を防ぐため、受光面側の受光面に遮光膜４５５が形成されている。
【００８２】
《第１０実施形態》
図１７（ａ）は、第１０実施形態による表面照射型の固体撮像素子１００Ｊの画素断面の一部を示すである。図１６（ａ）と同様の箇所には同一の符号を付して説明を省略する。
Ｓｉ界面から発生する暗電流混入を防ぐため、Ｐｗｅｌｌ領域は、ｐ型イオン濃度の高いＰＤ部９１と、ｐ型イオン濃度の低いＦＤ部９２とに分割して形成されている。ＦＤ部９２には、ｐ型濃度の低いＰｗｅｌｌ領域にバイアス電圧を印加するバイアス電極９３が設けられている。
バイアス電極９３からＦＤ部９２のＰｗｅｌｌ領域にバイアス電圧を印加すると、メモリ部８１からＦＤ８に電荷が転送される。
なお、図１６（ａ）と同様の箇所には同一の符号を付して説明を省略する。
【００８３】
《第１１実施形態》
図１７（ｂ）は、第１１実施形態による裏面照射型の固体撮像素子１００Ｋの画素断面の一部を示す図である。図１７（ａ）と同様の箇所には同一の符号を付して説明を省略する。メモリ部８１への光入射を防ぐため裏面側に遮光膜４５５が形成されている。
【００８４】
第８〜第１１実施形態の固体撮像素子は次のような作用効果を奏する。
（１）第８および第９実施形態の固体撮像素子１００Ｈ、１００Ｉでは、トレンチ型転送ゲート１４２による縦方向転送を可能にすることで、ＦＤ８の下部に一時的に電荷を蓄積するメモリ部８１を形成できる。メモリ部８１を埋め込めるため、Ｓｉ界面からの暗電流成分が蓄積されることを防ぐ効果がある
（２）第８および第９実施形態の固体撮像素子１００Ｈ、１００Ｉでは、トレンチ型転送ゲート１４１と１４２の間の半導体領域においてＦＤ８の直下にメモリ部８１を配置した。そのため、受光面からの入射光がメモリ部８１に入射すること防止でき、ノイズが低減される。
【００８５】
（３）第９および第１１実施形態の裏面照射型の固体撮像素子１００Ｉ、１００Ｋでは、メモリ部８１の裏面側に遮光膜４５５を形成することで、メモリ部８１の遮光を実現することができ、漏光によるノイズを低減できる。
（４）第１０および第１１実施形態の固体撮像素子１００Ｊ、１００Ｋでは、ｐ型イオン濃度の低いＦＤ部８１のＰｗｅｌｌ領域にバイアス電極９３からバイアス電位を与え、メモリ部８１とＦＤ８との間に空乏層領域を広げ、メモリ部８１とＦＤ８を接合させて電荷が転送される。転送時のＳｉ界面における暗電流を更に抑制する効果がある。
【００８６】
このように第８〜第１１実施形態の固体撮像素子により、ＳＮ比の良好なグローバル電子シャッタを可能とした固体撮像素子を実現することができる。
【００８７】
第８実施形態〜第１１実施形態の固体撮像素子は次のような構成のものも含む。
（１）ＰＤ１と、電荷を検出するＦＤ８と、ＰＤ１で蓄積された電荷を一時保存するメモリ部８１と、ＰＤ１からメモリ部８１へ転送するための埋め込み型転送ゲート１４１と、メモリ部８からＦＤ８へ転送するための埋め込み型転送ゲート１４２とを有し、メモリ部８１は少なくとも一部がＦＤの下部に形成されている固体撮像素子。
（２）（１）の素子において、裏面側にメモリ部８１を入射光から遮光する遮光膜４５５をする裏面照射型固体撮像素子。
【００８８】
（３）ＰＤ１と、電荷を検出するＦＤ８と、ＰＤ１で蓄積された電荷を一時保存するメモリ部８１と、ＰＤ１からメモリ部８１へ転送するための埋め込み型転送ゲート１４１と、ＦＤ８からＰＤ１の領域に形成されるＰ型またはＮ型ｗｅｌｌ領域と、メモリ部８１とＦＤ８を接合する領域となるＰ型またはＮ型ｗｅｌｌ領域と、メモリ部８１とＦＤ８を接合する領域のＰ型またはＮ型ｗｅｌｌ電位を制御するＰ型またはＮ型ｗｅｌｌバイアス電極９３とを有し、メモリ部８１は少なくとも一部がＦＤ８の下部に形成されている固体撮像素子。
（４）（３）の素子において、裏面側にメモリ部８１を入射光から遮光する遮光膜４５５を有する裏面照射型固体撮像素子。
【００８９】
本発明による固体撮像素子は以上で説明した実施形態や変形例に限定されず、以下のような固体撮像素子も本発明に含まれる。図も参照して説明する。
（１）半導体基板２００に形成される固体撮像素子は、光が入射する方向と交差する第１面と第２面とを有し、第１面と第２面との間に、入射した光を光電変換して電荷を生成する光電変換部１と、光電変換部１で生成された電荷を蓄積する蓄積部８と、光電変換部１で生成された電荷を蓄積部８に転送する転送路４とが配置された半導体基板を備える。光電変換部１は、光が入射する方向において第１面側に配置され、蓄積部８は光電変換部１よりも第２面側に配置され、転送路４は、光電変換部１と蓄積部８との間に配置される。
光電変換部１と蓄積部８と転送路４とが半導体基板２００の第１面と第２面との間に配置されている。第１面は光が入射する方向と交差する方向である。光電変換部１と蓄積部８と転送路４は光が入射する方向に配置されることになり、画素の小型化に寄与する。
（２）上記（１）の素子において、第１面は光が入射する受光面である。
（３）上記（１）の素子において、半導体基板２００は、平板状の基部領域２０２Ｋから入射した光の受光面の方向に延びる凸形状の凸領域２０２Ｔを有し、光電変換部１は、凸領域２０２Ｔで受光面側に延びている。
【００９０】
（４）上記（３）の素子において、蓄積部８の出力を増幅する増幅トランジスタ１１が基部領域２０２Ｋの第２面側に設けられている。
（５）上記（１）の素子において、転送路は、光電変換部１の電荷を蓄積部８に転送する転送トランジスタ４を有し、転送トランジスタ４のゲート電極４ｇは、第１面側に設けられ、蓄積部８の周囲を取り巻く環状電極である。
（６）上記（５）の素子において、光電変換部１の周囲には、受光面に設けた開口４０１から光電変換部１へ入射した光を導く入射光路４００が設けられる。入射光路４００は、開口４０１が設けられ、蓄積部８への光の入射を遮る遮光膜４５０で区画され、遮光膜４５０は転送トランジスタ４のゲート電極４ｇへの駆動信号の配線経路である。
光電変換部１には光路領域４００を進む光が複数の方向から入射されるので、光により発生する電荷を多くすることができる。すなわち、量子効果を増大化することができる。
【００９１】
（７）上記（１）〜（６）の素子において、光が入射する半導体基板２００の受光面から光電変換部１と蓄積部８とを見たとき、光電変換部１と蓄積部８とが重なり合って配置されている。これにより、画素の小型化が可能となる。
（８）上記（１）〜（６）の素子において、光が入射する半導体基板２００の受光面には光の開口４０１が形成され、開口４０１から光電変換部１と蓄積部８とを見たとき、光電変換部１と蓄積部８とが開口４０１の範囲内で重なり合って配置されている。これにより、画素の小型化が可能となる。
（９）上記（４）の素子において、半導体基板２０２とは別の半導体基板には、増幅トランジスタ１１で増幅した信号を選択する選択部１２が形成され、別の半導体基板が半導体基板２０２に積層されている。
【００９２】
また本発明は、図１８に示すように、上述した各実施形態、変形例の撮像素子１００と、撮像素子１００から出力された信号に基づいて画像データを生成する生成部１５００と備える撮像装置１６００としても実施することができる。
【００９３】
次の優先権基礎出願の開示内容は引用文としてここに組み込まれる。
日本国特許出願２０１５年第１９５３４６号（２０１５年９月３０日出願）
【符号の説明】
【００９４】
１…フォトダイオード、１ａ…ｎ型光電変換領域、１ｂ…ｐ型光電変換領域、１ｃ…表面領域、１ｄ…側面、１ｅ…面、４…転送トランジスタ、４ｇ…転送ゲート電極、４Ｈ…転送配線、８…フローティングディフュージョン、１１…増幅トランジスタ、１２…選択トランジスタ、１３…リセットトランジスタ、２０…画素、２１…垂直信号線、６１、６１Ｒ、６１Ｇ、６１Ｂ、６２、１４１，１４２…垂直転送ゲート、８１…メモリ部、９１…ＰＤ部、９２…ＦＤ部、９３…バイアス電極、１００〜１００Ｋ…固体撮像素子、２００…半導体基板、２０１…酸化膜、２０２…半導体領域、２０３…配線領域、２０２Ｋ…基部領域、２０２Ｔ…凸領域、４００…光路領域、４０１…開口、４５０，４５２…遮光膜、４５１…反射膜
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【国際調査報告】
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