(57)【要約】  品質管理装置（２０）は、前工程から取得された測定値及び後工程から取得された比較用測定値に基づいて回帰式を算出する回帰分析部（３３）と、当該前工程における判定基準範囲を定める判定基準値をその回帰式の説明変数に代入して予測値を算出し、当該予測値を後工程における比較用判定基準範囲と比較して測定値が許容されるか否かを判定するマージン判定部（３４）と、その判定結果に応じて判定基準値に代わるべき新たな判定基準値を算出する基準値算出部（３５）とを備える。
2017168507.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
製造プロセスを構成する複数の工程のうちの一の検査工程または一の製造工程のいずれかである前工程から測定値の系列を取得するとともに、前記複数の工程のうち前記前工程よりも下流にある他の検査工程である後工程から、前記測定値の系列に対応する比較用測定値の系列を取得する測定値取得部と、
前記測定値を説明変数の値として使用し、前記比較用測定値を目的変数の値として使用した回帰分析を実行することにより回帰式を算出する回帰分析部と、
前記前工程における品質判定のための判定基準範囲を定める判定基準値を前記回帰式の説明変数に代入することで予測値を算出し、当該予測値を前記後工程における品質判定のための比較用判定基準範囲と比較して前記測定値が許容されるか否かを判定するマージン判定部と、
前記マージン判定部による判定結果に応じて、前記判定基準値に代わるべき新たな判定基準値を算出する基準値算出部と
を備えることを特徴とする品質管理装置。
【請求項２】
請求項１記載の品質管理装置であって、前記基準値算出部は、前記測定値が許容されないと判定された場合には、前記判定基準範囲が狭くなるように当該新たな判定基準値を算出することを特徴とする品質管理装置。
【請求項３】
請求項２記載の品質管理装置であって、
前記判定基準値は、前記判定基準範囲の上限値であり、
前記マージン判定部は、前記予測値から前記比較用判定基準範囲の上限値を差し引いて得られる第１の差分値が第１の閾値よりも大きいとき、または、前記比較用判定基準範囲の下限値から前記予測値を差し引いて得られる第２の差分値が第２の閾値よりも大きいときに、前記測定値が許容されないと判定することを特徴とする品質管理装置。
【請求項４】
請求項２記載の品質管理装置であって、
前記判定基準値は、前記判定基準範囲の下限値であり、
前記マージン判定部は、前記比較用判定基準範囲の下限値から前記予測値を差し引いて得られる第３の差分値が第３の閾値よりも大きいとき、または、前記予測値から前記比較用判定基準範囲の上限値を差し引いて得られる第４の差分値が第４の閾値よりも大きいときに、前記測定値が許容されないと判定することを特徴とする品質管理装置。
【請求項５】
請求項１記載の品質管理装置であって、前記基準値算出部は、前記測定値が許容されると判定された場合には、前記判定基準範囲が拡がるように当該新たな判定基準値を算出することを特徴とする品質管理装置。
【請求項６】
請求項５記載の品質管理装置であって、
前記判定基準値は、前記判定基準範囲の上限値であり、
前記マージン判定部は、前記比較用判定基準範囲の上限値から前記予測値を差し引いて得られる第１の差分値が第１の閾値よりも大きく、または、前記予測値から前記比較用判定基準範囲の下限値を差し引いて得られる第２の差分値が第２の閾値よりも大きいときに、前記測定値が許容されると判定することを特徴とする品質管理装置。
【請求項７】
請求項５記載の品質管理装置であって、
前記判定基準値は、前記判定基準範囲の下限値であり、
前記マージン判定部は、前記予測値から前記比較用判定基準範囲の下限値を差し引いて得られる第３の差分値が第３の閾値よりも大きく、または、前記比較用判定基準範囲の上限値から前記予測値を差し引いて得られる第４の差分値が第４の閾値よりも大きいときに、前記測定値が許容されると判定することを特徴とする品質管理装置。
【請求項８】
請求項１記載の品質管理装置であって、前記回帰分析部は、前記測定値の系列と前記比較用測定値の系列との間の相関度を算出し、前記相関度が予め定められた閾値以上である場合に前記回帰分析を実行することを特徴とする品質管理装置。
【請求項９】
請求項１記載の品質管理装置であって、当該新たな判定基準値が適用された場合の前記前工程における製造物群の品質状態を予想する状態分析部を更に備えることを特徴とする品質管理装置。
【請求項１０】
請求項９記載の品質管理装置であって、画像情報生成部を更に備え、
前記状態分析部は、前記前工程における製造物群の当該予想された品質状態に基づいて、前記後工程における製造物群の品質状態を予想し、
前記画像情報生成部は、前記後工程における製造物群の当該予想された品質状態を示す画像情報を生成して当該画像情報をディスプレイに表示させることを特徴とする品質管理装置。
【請求項１１】
製造プロセスを構成する複数の工程における品質を管理する品質管理装置において実行される品質管理方法であって、
前記複数の工程のうちの一の検査工程または一の製造工程のいずれかである前工程から測定値の系列を取得するとともに、前記複数の工程のうち前記前工程よりも下流にある他の検査工程である後工程から、前記測定値の系列に対応する比較用測定値の系列を取得するステップと、
前記測定値を説明変数の値として使用し、前記比較用測定値を目的変数の値として使用した回帰分析を実行することにより回帰式を算出するステップと、
前記前工程における品質判定のための判定基準範囲を定める判定基準値を前記回帰式の説明変数に代入することで予測値を算出するステップと、
当該予測値を前記後工程における品質判定のための比較用判定基準範囲と比較して前記測定値が許容されるか否かを判定するステップと、
当該判定結果に応じて、前記判定基準値に代わるべき新たな判定基準値を算出するステップと
を備えることを特徴とする品質管理方法。
【請求項１２】
請求項１１記載の品質管理方法であって、前記測定値が許容されないと判定された場合には、前記判定基準範囲が狭くなるように当該新たな判定基準値が算出されることを特徴とする品質管理方法。
【請求項１３】
請求項１１記載の品質管理方法であって、前記測定値が許容されると判定された場合には、前記判定基準範囲が拡がるように当該新たな判定基準値が算出されることを特徴とする品質管理方法。
【請求項１４】
請求項記１１載の品質管理方法であって、当該新たな判定基準値が適用された場合の前記前工程における製造物群の品質状態を予想するステップを更に備えることを特徴とする品質管理方法。
【請求項１５】
請求項１４記載の品質管理方法であって、
前記前工程における製造物群の当該予想された品質状態に基づいて、前記後工程における製造物群の品質状態を予想するステップと、
前記後工程における製造物群の当該予想された品質状態を示す画像情報を生成して当該画像情報をディスプレイに表示させるステップと
を更に備えることを特徴とする品質管理方法。
【請求項１６】
製造プロセスを構成する複数の工程における品質を管理するための品質管理プログラムであって、
前記複数の工程のうちの一の検査工程または一の製造工程のいずれかである前工程から測定値の系列を取得するとともに、前記複数の工程のうち前記前工程よりも下流にある他の検査工程である後工程から、前記測定値の系列に対応する比較用測定値の系列を取得するステップと、
前記測定値を説明変数の値として使用し、前記比較用測定値を目的変数の値として使用した回帰分析を実行することにより回帰式を算出するステップと、
前記前工程における品質判定のための判定基準範囲を定める判定基準値を前記回帰式の説明変数に代入することで予測値を算出するステップと、
当該予測値を前記後工程における品質判定のための比較用判定基準範囲と比較して前記測定値が許容されるか否かを判定するステップと、
当該判定結果に応じて、前記判定基準値に代わるべき新たな判定基準値を算出するステップと
をコンピュータに実行させることを特徴とする品質管理プログラム。
【請求項１７】
請求項１６記載の品質管理プログラムであって、前記測定値が許容されないと判定された場合には、前記判定基準範囲が狭くなるように当該新たな判定基準値が算出されることを特徴とする品質管理プログラム。
【請求項１８】
請求項１６記載の品質管理プログラムであって、前記測定値が許容されると判定された場合には、前記判定基準範囲が拡がるように当該新たな判定基準値が算出されることを特徴とする品質管理プログラム。
【請求項１９】
請求項１６記載の品質管理プログラムであって、当該新たな判定基準値が適用された場合の前記前工程における製造物群の品質状態を予想するステップを前記コンピュータに更に実行させることを特徴とする品質管理プログラム。
【請求項２０】
請求項１９記載の品質管理プログラムであって、
前記前工程における製造物群の当該予想された品質状態に基づいて、前記後工程における製造物群の品質状態を予想するステップと、
前記後工程における製造物群の当該予想された品質状態を示す画像情報を生成して当該画像情報をディスプレイに表示させるステップと
を前記コンピュータに更に実行させることを特徴とする品質管理プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の工程を含む製造プロセスにおける品質管理技術に関し、特に、製造プロセスを構成する検査工程に対して使用される品質管理技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
工場では、複数の工程を有する製造プロセスにより製品が製造されることが多い。このような製造プロセスでは、上流の工程から下流の工程に向けて各種処理（たとえば、工程ごとの部品の組み立て、または部品の加工）が順次実行される。また、そのような製造プロセスでは、中間製造物もしくは製品（最終製造物）の品質の良否を判定するために検査工程が設けられていることがある。検査工程では、センサなどの測定器を用いて、たとえば、中間製造物または製品の状態を示す測定値（たとえば、厚みなどの寸法または電気的特性値）が計測される。そして、その測定値が予め定められた判定基準を満たせば、品質良好との判定がなされ、その測定値がその判定基準を満たさなければ、品質不良との判定がなされる。品質不良と判定された製造物（以下「不良品」ともいう。）は、一旦製造ラインから外されて補正などの調整を施された後に、製造ラインに再度投入されるか、あるいは、廃棄される。判定基準は、たとえば、当該製造プロセスの設計者または管理者が自らの過去の経験または設計の知識に基づいて設定することができる。【０００３】
一方、特許文献１（特開２００９−９９９６０号公報）に開示されているように、重回帰分析という統計的手法により、品質の良否を判定する方法も存在する。特許文献１の方法では、製造プロセスを構成する複数の工程（処理工程及び検査工程を含む。）にて取得された複数の測定値を説明変数として使用し、製品の電気的特性値を目的変数として使用した重回帰分析を実行することにより重回帰式が構築される。この重回帰式が一旦構築された後は、この重回帰式の複数の説明変数に測定値を代入することにより、製品の電気的特性値の予測値が算出される。その予測値が管理範囲から外れたときに、品質不良が発生すると予想することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−９９９６０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
製造プロセスの上流に検査工程が設けられている場合、その検査工程の判定基準が緩すぎると、下流工程での不良品の増加に起因して手戻り（ｒｅｗｏｒｋ）が多発し、歩留まりの低下を招くおそれがある。逆に、上流の検査工程の判定基準が厳しすぎると、上流の検査工程で過剰品質が要求されることにより不良品が増加し、歩留まりの低下を招くおそれがある。特許文献１の方法では、下流工程の状況に合わせて上流の検査工程の判定基準を柔軟に変更することができない。このため、その検査工程での判定基準が厳しすぎる、または緩すぎることで歩留まりの低下が生ずるおそれがある。【０００６】
上記に鑑みて本発明の目的は、下流工程の状況に合わせて上流の工程の判定基準を柔軟に設定することを可能とする品質管理装置、品質管理方法及び品質管理プログラムを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一態様による品質管理装置は、製造プロセスを構成する複数の工程のうちの一の検査工程または一の製造工程のいずれかである前工程から測定値の系列を取得するとともに、前記複数の工程のうち前記前工程よりも下流にある他の検査工程である後工程から、前記測定値の系列に対応する比較用測定値の系列を取得する測定値取得部と、前記測定値を説明変数の値として使用し、前記比較用測定値を目的変数の値として使用した回帰分析を実行することにより回帰式を算出する回帰分析部と、前記前工程における品質判定のための判定基準範囲を定める判定基準値を前記回帰式の説明変数に代入することで予測値を算出し、当該予測値を前記後工程における品質判定のための比較用判定基準範囲と比較して前記測定値が許容されるか否かを判定するマージン判定部と、前記マージン判定部による判定結果に応じて、前記判定基準値に代わるべき新たな判定基準値を算出する基準値算出部とを備えている。【０００８】
本発明の他の態様による品質管理方法は、製造プロセスを構成する複数の工程における品質を管理する品質管理装置において実行される品質管理方法であって、前記複数の工程のうちの一の検査工程または一の製造工程のいずれかである前工程から測定値の系列を取得するとともに、前記複数の工程のうち前記前工程よりも下流にある他の検査工程である後工程から、前記測定値の系列に対応する比較用測定値の系列を取得するステップと、前記測定値を説明変数の値として使用し、前記比較用測定値を目的変数の値として使用した回帰分析を実行することにより回帰式を算出するステップと、前記前工程における品質判定のための判定基準範囲を定める判定基準値を前記回帰式の説明変数に代入することで予測値を算出するステップと、当該予測値を前記後工程における品質判定のための比較用判定基準範囲と比較して前記測定値が許容されるか否かを判定するステップと、当該判定結果に応じて、前記判定基準値に代わるべき新たな判定基準値を算出するステップとを備えている。【０００９】
本発明の更に他の態様による品質管理プログラムは、製造プロセスを構成する複数の工程における品質を管理するための品質管理プログラムであって、前記複数の工程のうちの一の検査工程または一の製造工程のいずれかである前工程から測定値の系列を取得するとともに、前記複数の工程のうち前記前工程よりも下流にある他の検査工程である後工程から、前記測定値の系列に対応する比較用測定値の系列を取得するステップと、前記測定値を説明変数の値として使用し、前記比較用測定値を目的変数の値として使用した回帰分析を実行することにより回帰式を算出するステップと、前記前工程における品質判定のための判定基準範囲を定める判定基準値を前記回帰式の説明変数に代入することで予測値を算出するステップと、当該予測値を前記後工程における品質判定のための比較用判定基準範囲と比較して前記測定値が許容されるか否かを判定するステップと、当該判定結果に応じて、前記判定基準値に代わるべき新たな判定基準値を算出するステップとをコンピュータに実行させるものである。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、後工程の状態に合わせて上流の前工程における判定基準範囲を設定することができるので、歩留まりの向上が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明に係る実施の形態１の製造システムの一例を概略的に示す図である。
【図２】実施の形態１における品質管理装置の概略構成を示すブロック図である。
【図３】実施の形態１における測定値記録部に記憶される測定データのフォーマットの一例を示す図である。
【図４】実施の形態１における工程記憶部に記憶されている工程順序データのフォーマットの一例を示す図である。
【図５】実施の形態１における基準値記録部に記憶されている判定基準データのフォーマットの一例を示す図である。
【図６】実施の形態１における基準値記録部に記憶されている判定基準データのフォーマットの他の例を示す図である。
【図７】実施の形態１に係る強度基準算出処理の手順の一例を示すフローチャートである。
【図８】回帰式の一例を示すグラフである。
【図９】図９Ａ及び図９Ｂは、判定基準範囲の変更例を示すグラフである。
【図１０】実施の形態１に係る緩和基準算出処理の手順の一例を示すフローチャートである。
【図１１】実施の形態１の品質管理装置のハードウェア構成例を示すブロック図である。
【図１２】実施の形態１の品質管理装置の他のハードウェア構成例を示すブロック図である。
【図１３】本発明に係る実施の形態２の製造システムにおける品質管理装置の概略構成を示すブロック図である。
【図１４】実施の形態２に係る工程監視処理の手順の一例を概略的に示すフローチャートである。
【図１５】図１５Ａ〜図１５Ｃは、前工程の或る測定項目について強化基準値が新たに算出された場合に生成される画像情報の例を示す図である。
【図１６】図１６Ａ〜図１６Ｃは、前工程の或る測定項目について緩和基準値が新たに算出された場合に生成される画像情報の例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、図面を参照しつつ、本発明に係る実施の形態について詳細に説明する。なお、図面全体において同一符号を付された構成要素は、同一構成及び同一機能を有するものとする。
【００１３】
実施の形態１．
図１は、本発明に係る実施の形態１である製造システム１の構成の一例を概略的に示すブロック図である。図１に示されるように、この製造システム１は、製造プロセスを構成する第１工程から第Ｎ工程までのＮ個の工程（Ｎは正整数）を順次実行するために、Ｒ個の製造装置１０１，…，１０ｒ，…，１０Ｒ、及び、Ｑ個の検査装置１１１，…，１１ｑ，…，１１Ｑを備えている。ここで、Ｒ，Ｑは、３以上の整数である。製造装置１０１〜１０Ｒはそれぞれ製造工程を実行すると同時に当該製造工程の状態を表す測定データＮ１〜ＮＲを供給する装置群であり、検査装置１１１〜１１Ｑはそれぞれ検査工程を実行し、その検査工程で取得された測定データＭ１〜ＭＱを供給する装置群である。
【００１４】
図１の構成例では、第１工程は、製造装置１０１により実行され、第２工程は、検査装置１１１により実行され、第ｎ工程は、製造装置１０ｒにより実行され、第ｎ＋１工程は、検査装置１１ｑにより実行され、第Ｎ−１工程は、製造装置１０Ｒにより実行され、第Ｎ工程は、検査装置１１Ｑにより実行される。ただし、本発明は、このような第１工程〜第Ｎ工程と、製造装置１０１〜１０Ｒ及び検査装置１１１〜１１Ｑとの間の対応関係に限定されるものではない。また、本実施の形態では、製造装置１０１〜１０Ｒと検査装置１１１〜１１Ｑとが互いに分離して配置されているが、これに限定されるものではない。製造装置内に検査装置が組み込まれていてもよい。
【００１５】
各製造装置１０ｒ（ｒは１〜Ｒのうちの任意整数）は、センサなどの測定器を用いて、プロセス条件を定める１種または複数種の測定値、及び、各製造装置の動作状態を示す１種または複数種の測定値を計測し、これら測定値を含む測定データＮｒを品質管理装置２０に供給することができる。以下、測定値の種類を「測定項目」と呼ぶこととする。プロセス条件を定める測定項目としては、たとえば、半導体製造技術の場合には、基板温度、反応ガス流量またはチャンバ内圧力が挙げられ、プレス加工技術の場合には、プレス圧力が挙げられる。各製造装置の動作状態を示す測定項目としては、たとえば、各製造装置の消費電力が挙げられる。
【００１６】
一方、各検査装置１１ｑ（ｑは１〜Ｑのうちの任意整数）は、センサなどの測定器を用いて、製造物（中間製造物または最終製造物）の状態を示す１つまたは複数の測定項目の測定値を計測し、当該測定値を含む測定データＭｑを品質管理装置２０に供給することができる。製造物の状態を示す測定項目としては、たとえば、当該製造物の厚みなどの寸法、温度、または、電気抵抗などの電気的特性値が挙げられる。以下、検査装置１１１〜１１Ｑで取得可能な測定項目を「検査項目」とも呼ぶこととする。
【００１７】
各検査装置１１ｑは、判定基準範囲が設定されている検査項目について、製造物の品質が判定基準内（良好）または判定基準外（不良）のいずれにあるかを判定することができる機能を有している。すなわち、検査項目の測定値が判定基準範囲内にあれば、製造物は、当該検査項目の判定基準を満たす良品であると判定される。一方、その検査項目の測定値が判定基準範囲外にあれば、製造物は、当該検査項目の判定基準を満たさない不良品であると判定される。本実施の形態では、１つの判定基準範囲は、上限基準値及び下限基準値の組み合わせ、上限基準値のみ、または下限基準値のみのいずれかが与えられたときに設定される。たとえば、検査装置１１１が、中間製造物の「厚み」及び「電気抵抗」という２つの検査項目の測定値を計測することができる場合、「厚み」の品質検査のための判定基準範囲と、「電気抵抗」の品質検査のための判定基準範囲との少なくとも一方を設定することが可能である。検査装置１１ｑは、各検査項目について、その測定値と製造物の良否判定結果とを含む測定データＭｑを品質管理装置２０に供給することができる。測定データＭｑのデータ構造については後述する。
【００１８】
また、図１に示されるように製造システム１は、品質管理装置２０を備えている。この品質管理装置２０は、検査装置１１１〜１１Ｑから送信された測定データＭ１〜ＭＱからなるデータ群ＭＶを取得し、製造装置１０１〜１０Ｒから送信された測定データＮ１〜ＮＲからなるデータ群ＮＶを取得する。また、品質管理装置２０は、検査装置１１１〜１１Ｑのそれぞれの判定基準範囲を設定するための判定基準データＲ１〜ＲＱからなるデータ群ＲＶを送信することができる。これら判定基準データＲ１〜ＲＱは、それぞれ、検査装置１１１〜１１Ｑに供給される。検査装置１１１〜１１Ｑはそれぞれ判定基準データＲ１〜ＲＱを用いて自己の判定基準範囲を設定することができる。
【００１９】
次に、本実施の形態の品質管理装置２０の構成を説明する。図２は、実施の形態１における品質管理装置２０の概略構成を示すブロック図である。図２に示されるように、品質管理装置２０は、測定値取得部２１、測定値記憶部２２、工程記憶部２３、基準値記憶部２４、条件記憶部２５、工程選択部３１、項目選択部３２、回帰分析部３３、マージン判定部３４、基準値算出部３５、データ出力制御部３６、基準値設定部３８、条件設定部３９及びインタフェース部（Ｉ／Ｆ部）４０を備えている。
【００２０】
測定値取得部２１は、製造装置１０１〜１０Ｒ及び検査装置１１１〜１１Ｑから測定データＮ１〜ＮＲ，Ｍ１〜ＭＱを取得し、当該測定データＮ１〜ＮＲ，Ｍ１〜ＭＱを測定値記憶部２２に蓄積させる。図３は、測定値記憶部２２に記憶される測定データＮ１〜ＮＲ，Ｍ１〜ＭＱのデータ構造２００の一例を示す図である。図３に示されるデータ構造２００は、製造物の個体を識別するための識別符号であるシリアルＩＤを格納するデータ格納領域２０１と、検査工程を識別するための識別符号である工程ＩＤを格納するデータ格納領域２０２と、測定項目の識別情報を格納するデータ格納領域２０３と、測定値を格納するデータ格納領域２０４と、良否判定結果を格納するデータ格納領域２０５と、製造物の検査工程への投入回数を格納するデータ格納領域２０６とを有している。なお、製造装置１０１〜１０Ｒは、製造物の良否判定を行う機能を有していないので、測定データＮ１〜ＮＲのデータ格納領域２０５には、良否判定結果は格納されない。
【００２１】
検査工程で不良品と判定された製造物の個体は、調整を施された後に再度製造ラインに投入される場合があり、同一の検査工程で同一の個体が複数回検査される場合がある。そこで、或る検査工程に対して同一の個体が検査を受けた回数が「投入回数」としてデータ格納領域２０６に格納される。投入回数は、１で始まる連番とすることができる。なお、製造物のロット番号及び検査日時などが測定値記憶部２２に記憶されてもよい。
【００２２】
また、工程記憶部２３には、製造プロセスを構成する複数の工程の順序関係を示す工程順序データが記憶されている。図４は、工程順序データのデータ構造３００の一例を示す図である。図４に示されるデータ構造３００は、当該工程の順序を示す順序識別子の値を格納するデータ格納領域３０１と、当該工程ＩＤを格納するデータ格納領域３０２とを有している。図４の工程ＩＤは、図３に示した工程ＩＤと同種の識別子符号である。たとえば、或る工程に割り当てられる順序識別子の値が、当該或る工程よりも下流にある工程に割り当てられる順序識別子の値よりも常に大きい値となるようにすればよい。なお、図４に示したデータ構造３００は、複数の製造ラインの合流または複数の製造ラインへの分岐が無い場合の最も単純な例である。製造ラインの合流及び分岐の管理を可能とするようにデータ構造３００が変更されてもよい。
【００２３】
また、基準値記憶部２４には、各工程のおける判定基準範囲を定める上限基準値（以下「上限値」ともいう。）及び下限基準値（以下「下限値」ともいう。）を設定するための判定基準データが記憶されている。図５は、基準値記憶部２４に記憶される判定基準データのデータ構造４００の一例を示す図である。図５に示されるデータ構造４００は、工程ＩＤを格納するデータ格納領域４０１と、測定項目を識別するための識別符号を格納するデータ格納領域４０２と、判定基準範囲の上限値を格納するデータ格納領域４０３と、判定基準範囲の下限値を格納するデータ格納領域４０４とを有している。
【００２４】
なお、判定基準範囲は、製造プロセスの運用中に変更される場合があるので、その判定基準範囲の上限値及び下限値の設定日時、または上限値及び下限値が最新版であるか否かを識別するためのフラグが記憶されるようにデータ構造４００が変更されてもよい。図６は、図５に示したデータ構造４００に、その設定日時を格納するデータ格納領域４０５が追加されたデータ構造４００Ａの一例を示す図である。
【００２５】
そして、条件記憶部２５には、後述する相関係数の絶対値と比較されるべき相関判定用の閾値及びマージン判定用の閾値などの条件値が記憶されている。
【００２６】
次に、図７〜図１０を参照しつつ、上記品質管理装置２０における工程選択部３１、項目選択部３２、回帰分析部３３、マージン判定部３４、基準値算出部３５及びデータ出力制御部３６の動作について説明する。図７は、実施の形態１に係る強化基準算出処理の手順の一例を概略的に示すフローチャートである。
【００２７】
図７を参照すると、先ず、工程選択部３１は、工程記憶部２３に記憶されている工程順序データ（図４）を参照して、製造プロセスを構成する一の検査工程を分析対象の後工程として選択する（ステップＳＴ１１）。工程選択部３１は、工程順序データにおける順序識別子と工程ＩＤとの組み合わせに基づいて、たとえば、１番目の検査工程よりも後の検査工程を後工程として選択することが可能である。続けて、工程選択部３１は、工程記憶部２３に記憶されている工程順序データを参照して、ステップＳＴ１１で選択された後工程よりも上流にある一の検査工程または一の製造工程のいずれかを前工程として選択する（ステップＳＴ１２）。
【００２８】
次に、項目選択部３２は、基準値記憶部２４に記憶されている判定基準データ（図５）を参照して、選択された前工程の一の測定項目Ｘと、選択された後工程の一の測定項目である検査項目Ｙとの組（Ｘ，Ｙ）を選択する（ステップＳＴ１３）。ここで、後工程について選択された検査項目に品質不良が発生しないことが明らかであれば、項目選択部３２は、その検査項目を選択してなくてもよい。
【００２９】
次に、回帰分析部３３は、測定項目Ｘの測定値の系列と検査項目Ｙの測定値の系列とを測定値記憶部２２から読み出す（ステップＳＴ１４）。より具体的には、製造物の個体のシリアルＩＤが整数ｉと、測定項目Ｘの測定値がｘα（ｉ）と、検査項目Ｙの測定値がｙβ（ｉ）とそれぞれ表されるとき回帰分析部３３は、測定項目Ｘの測定値系列ｘα（１），ｘα（２），ｘα（３），…と、検査項目Ｙの測定値系列ｙβ（１），ｙβ（２），ｙβ（３），…とを測定値記憶部２２から読み出す（ステップＳＴ１４）。なお、α，βはそれぞれ測定項目Ｘ，Ｙの識別符号である。
【００３０】
なお、或る製造物の個体について、１つの工程の１つの測定項目に複数の測定値が存在する場合、回帰分析部３３は、前工程の測定項目Ｘについては、当該複数の測定値の中から最後に品質良好と判定されたときの測定値を選択して読み出せばよい。また、後工程の検査項目Ｙについては、回帰分析部３３は、そのような複数の測定値のうち製造ラインへの初回投入のとき（投入回数が「１」のとき）の測定値を選択して読み出してもよい。
【００３１】
ステップＳＴ１４の後、回帰分析部３３は、測定項目Ｘの測定値系列と検査項目Ｙの測定値系列との間の相関係数ｃ１を算出する（ステップＳＴ１５）。相関係数ｃ１は、たとえば、公知の相互相関関数を用いて算出することが可能である。そして、回帰分析部３３は、条件記憶部２５から相関判定用の閾値ＴＨ１を取得し、その相関係数ｃ１の絶対値が閾値ＴＨ１以上であるか否かを判定する（ステップＳＴ１６）。相関係数ｃ１の絶対値が閾値ＴＨ１以上ではないと判定した場合（ステップＳＴ１６のＮＯ）、回帰分析部３３は、ステップＳＴ２２に処理を移行させる。なお、測定項目Ｘの測定値系列と検査項目Ｙの測定値系列との間の相関度を表す数値であれば、相関係数以外の他の統計的指標が使用されてもよい。
【００３２】
一方、相関係数ｃ１の絶対値が閾値ＴＨ１以上であると判定した場合（ステップＳＴ１６のＹＥＳ）、回帰分析部３３は、測定項目Ｘの測定値系列と検査項目Ｙの測定値系列との間の相関度が高いと判断して、測定項目Ｘの測定値ｘα（ｉ）を説明変数の値として使用し、検査項目Ｙの測定値ｙβ（ｉ）を目的変数の値として使用した回帰分析を実行して回帰式を算出する（ステップＳＴ１７）。
【００３３】
その後、回帰分析部３３は、当該前工程の判定基準データに基づき、測定項目Ｘについて判定基準範囲が存在するか否か、すなわち判定基準範囲を定める数値（上限値及び下限値の組み合わせ、上限値のみ、または下限値のみ）が設定されているか否かを判定する（ステップＳＴ１８）。判定基準範囲が存在するとの判定がなされた場合には（ステップＳＴ１８のＹＥＳ）、マージン判定部３４の中の第１マージン判定部３４Ａは、ステップＳＴ１７で算出された回帰式を用いて測定項目Ｘがマージン（許容範囲）を超過するか否か、すなわち測定項目Ｘの測定値が許容されるか否かを判定する（ステップＳＴ１９）。具体的には、第１マージン判定部３４Ａは、上マージン及び下マージンのうちの少なくとも一方の超過があるか否かを判定する（ステップＳＴ１９）。これら上マージン及び下マージンについて以下に説明する。ステップＳＴ１７で算出される回帰式が線形回帰式の場合、この回帰式は次式（１）で表現することができる。
ｙ＝ａ・ｘ＋ｂ                                （１）
【００３４】
ここで、ｙは目的変数、ｘは説明変数、ａは回帰係数、ｂは定数である。また、測定項目Ｘの判定基準範囲の上限値をＵｘ、測定項目Ｘの判定基準範囲の下限値をＬｘで表すものとし、検査項目Ｙの判定基準範囲の上限基準値をＵｙ、測定項目Ｘの判定基準範囲の下限基準値をＬｙで表すものとする。このとき、図８に例示されるように、ｘ＝Ｕｘのときの回帰式の予測値（＝ａ・Ｕｘ＋ｂ）が、上限基準値Ｕｙと下限基準値Ｌｙとの間の判定基準範囲に完全にまたは実質的に含まれていれば、測定項目Ｘは上マージンを超過しないと判定される。そうでなければ、測定項目Ｘは上マージンを超過すると判定される。一方、ｘ＝Ｌｘのときの回帰式の予測値（＝ａ・Ｌｘ＋ｂ）が、上限基準値Ｕｙと下限基準値Ｌｙとの間の判定基準範囲内に完全にまたは実質的に含まれていれば、測定項目Ｘは下マージンを超過しないと判定される。そうでなければ、測定項目Ｘは下マージンを超過すると判定される。
【００３５】
より具体的には、測定項目Ｘの測定値系列と検査項目Ｙの測定値系列との間に正の相関が成立する場合（回帰係数ａが正の場合）、測定項目Ｘが上マージンを超過しない条件は、たとえば、次の不等式（２Ａ）が成立することであり、測定項目Ｘが下マージンを超過しない条件は、たとえば、次の不等式（３Ａ）が成立することである。
（ａ・Ｕｘ＋ｂ）−Ｕｙ≦δ１                        （２Ａ）
Ｌｙ−（ａ・Ｌｘ＋ｂ）≦δ２                        （３Ａ）
【００３６】
ここで、δ１，δ２は、マージン判定用の零または零付近の正の閾値である。式（２Ａ）は、ｘ＝Ｕｘのときの予測値（＝ａ・Ｕｘ＋ｂ）から上限値Ｕｙを差し引いて得られる差分値が閾値δ１以下である場合を示す不等式である。式（３Ａ）は、下限値Ｌｙから、ｘ＝Ｌｘのときの予測値（＝ａ・Ｌｘ＋ｂ）を差し引いて得られる差分値が閾値δ２以下である場合を示す不等式である。
【００３７】
また、正の相関が成立する場合（回帰係数ａが正の場合）に測定項目Ｘが上マージンを超過する条件は、たとえば、次の不等式（２Ｂ）が成立することであり、測定項目Ｘが下マージンを超過する条件は、たとえば、次の不等式（３Ｂ）が成立することである。
（ａ・Ｕｘ＋ｂ）−Ｕｙ＞δ１                        （２Ｂ）
Ｌｙ−（ａ・Ｌｘ＋ｂ）＞δ２                        （３Ｂ）
【００３８】
式（２Ｂ）は、ｘ＝Ｕｘのときの予測値（＝ａ・Ｕｘ＋ｂ）から上限値Ｕｙを差し引いて得られる差分値が閾値δ１よりも大きい場合を示す不等式である。式（３Ｂ）は、下限値Ｌｙから、ｘ＝Ｌｘのときの予測値（＝ａ・Ｌｘ＋ｂ）を差し引いて得られる差分値が閾値δ２よりも大きい場合を示す不等式である。
【００３９】
一方、測定項目Ｘの測定値系列と検査項目Ｙの測定値系列との間に負の相関が成立する場合（回帰係数ａが負の場合）、測定項目Ｘが上マージンを超過しない条件は、たとえば、次の不等式（４Ａ）が成立することであり、測定項目Ｘが下マージンを超過しない条件は、たとえば、次の不等式（５Ａ）が成立することである。
Ｌｙ−（ａ・Ｕｘ＋ｂ）≦δ３                        （４Ａ）
（ａ・Ｌｘ＋ｂ）−Ｕｙ≦δ４                        （５Ａ）
【００４０】
ここで、δ３，δ４は、マージン判定用の零または零付近の正の閾値である。式（４Ａ）は、下限値Ｌｙから、ｘ＝Ｕｘのときの予測値（＝ａ・Ｕｘ＋ｂ）を差し引いて得られる差分値が閾値δ３以下である場合を示す不等式である。式（５Ａ）は、ｘ＝Ｌｘのときの予測値（＝ａ・Ｌｘ＋ｂ）から上限値Ｕｙを差し引いて得られる差分値が閾値δ４以下である場合を示す不等式である。
【００４１】
また、負の相関が成立する場合（回帰係数ａが負の場合）に測定項目Ｘが下マージンを超過する条件は、たとえば、次の不等式（４Ｂ）の成立することであり、測定項目Ｘが上マージンを超過する条件は、たとえば、次の不等式（５Ｂ）が成立することである。
Ｌｙ−（ａ・Ｕｘ＋ｂ）＞δ３                      （４Ｂ）
（ａ・Ｌｘ＋ｂ）−Ｕｙ＞δ４                        （５Ｂ）
【００４２】
式（４Ｂ）は、下限値Ｌｙから、ｘ＝Ｕｘのときの予測値（＝ａ・Ｕｘ＋ｂ）を差し引いて得られる差分値が閾値δ３よりも大きい場合を示す不等式である。式（５Ｂ）は、ｘ＝Ｌｘのときの予測値（＝ａ・Ｌｘ＋ｂ）から上限値Ｕｙを差し引いて得られる差分値が閾値δ４よりも大きい場合を示す不等式である。
【００４３】
閾値δ１，δ２，δ３，δ４は、条件記憶部２５に記憶されている。条件設定部３９は、操作入力部４２からＩ／Ｆ部４０を介して入力された値を閾値δ１，δ２，δ３，δ４として条件記憶部２５に記憶することができる。あるいは、次式に示されるように閾値δ１〜４を定める係数ε１（０≦ε１≦１），ε２（０≦ε２≦１），ε３（０≦ε３≦１），ε４（０≦ε４≦１）の値が条件記憶部２５に記憶されていてもよい。
δ１＝（Ｕｙ−Ｌｙ）×ε１、
δ２＝（Ｕｙ−Ｌｙ）×ε２、
δ３＝（Ｕｙ−Ｌｙ）×ε３、
δ４＝（Ｕｙ−Ｌｙ）×ε４。
【００４４】
上記のとおり、マージン超過の場合は（ステップＳＴ１９のＹＥＳ）、基準値算出部３５における強化基準値算出部３５Ａが、測定項目Ｘの判定基準範囲が狭くなるように且つ測定項目Ｘがマージンを超過しないように強化基準値を新たに算出する（ステップＳＴ２０）。具体的には、たとえば、上式（２Ｂ）の成立により測定項目Ｘが上マージンを超過する場合には、強化基準値算出部３５Ａは、図９Ａに示すように測定項目Ｘの判定基準範囲が狭くなるように、次式（６）を満たす新たな上限基準値Ｕｚを強化基準値として算出すればよい。
０≦（ａ・Ｕｚ＋ｂ）−Ｕｙ≦δ１                      （６）
【００４５】
一方、上式（３Ｂ）の成立により測定項目Ｘが下マージンを超過する場合には、強化基準値算出部３５Ａは、たとえば、図９Ｂに示すように測定項目Ｘの判定基準範囲が狭くなるように、次式（７）を満たす新たな下限基準値Ｌｚを強化基準値として算出すればよい。
０≦Ｌｙ−（ａ・Ｌｚ＋ｂ）≦δ２                      （７）
【００４６】
ところで、ステップＳＴ１８で判定基準範囲が存在しないとの判定がなされた場合（ステップＳＴ１８のＮＯ）、強化基準値算出部３５Ａは、測定項目Ｘがマージンを超過しないように強化基準値を新たに算出する（ステップＳＴ２１）。判定基準範囲が存在しないとの判定がなされる条件は、たとえば、上限値Ｕｘと下限値Ｌｘとが共に零値に設定されている場合（Ｕｘ＝Ｌｘ＝０）である。
【００４７】
強化基準値算出部３５Ａは、上記ステップＳＴ２０，ＳＴ２１で新たに算出された強化基準値をデータ出力制御部３６に出力する。
【００４８】
上記ステップＳＴ１９で測定項目Ｘがマージンを超過しないと判定された場合（ステップＳＴ１９のＮＯ）、または、ステップＳＴ２０で強化基準値が算出された場合には、データ出力制御部３６は、測定項目Ｘ，Ｙのすべての組が選択されたか否かを判定する（ステップＳＴ２２）。
【００４９】
測定項目Ｘ，Ｙのすべての組が選択されていない場合には（ステップＳＴ２２のＮＯ）、データ出力制御部３６は、項目選択部３２に未選択の組（Ｘ，Ｙ）を選択させる（ステップＳＴ１３）。その後、ステップＳＴ１４〜ＳＴ２０が実行される。一方、測定項目Ｘ，Ｙのすべての組が選択された場合（ステップＳＴ２２のＹＥＳ）、データ出力制御部３６は、すべての前工程が選択されているか否かを判定する（ステップＳＴ２３）。すべての前工程が選択されていないと判定した場合（ステップＳＴ２３のＮＯ）、データ出力制御部３６は、工程選択部３１に未選択の前工程を選択させる（ステップＳＴ１２）。その後、ステップＳＴ１３〜ＳＴ２２が実行される。
【００５０】
ステップＳＴ２３ですべての前工程が選択されたと判定した場合（ステップＳＴ２３のＹＥＳ）、データ出力制御部３６は、すべての後工程が選択されているか否かを判定する（ステップＳＴ２４）。すべての後工程が選択されていないと判定した場合（ステップＳＴ２４のＮＯ）、データ出力制御部３６は、工程選択部３１に未選択の後工程を選択させる（ステップＳＴ１１）。その後、ステップＳＴ１２〜ＳＴ２３が実行される。
【００５１】
最終的に、前工程と後工程との組み合わせのすべてが選択されたとき（ステップＳＴ２４のＹＥＳ）、データ出力制御部３６は、以上の強化基準算出処理を終了させる。
【００５２】
データ出力制御部３６は、測定項目Ｘ，Ｙと強化基準値との組を基準値設定部３８に供給する。このとき、基準値設定部３８は、Ｉ／Ｆ部４０を介して、測定項目Ｘ，Ｙと強化基準値との組を表す画像をディスプレイ４１に表示させることが可能である。これにより、製品設計者または検査の専門家などのユーザは、当該強化基準値の妥当性を評価することができる。また、基準値設定部３８は、強化基準値の妥当性を評価したユーザにより操作入力部４２に入力された指示に応じて、基準値記憶部２４における判定基準範囲を変更または新たに設定することができる。更に、基準値設定部３８は、当該強化基準値を検査装置に供給して判定基準範囲を更新または新たに設定させることもできる。
【００５３】
次に、図１０を参照しつつ、緩和基準算出処理について説明する。図１０は、実施の形態１に係る緩和基準算出処理の手順の一例を示すフローチャートである。
【００５４】
図１０を参照すると、工程選択部３１は、工程記憶部２３に記憶されている工程順序データ（図４）を参照して、製造プロセスを構成する一の検査工程または一の製造工程のいずれか一方を分析対象の前工程として選択する（ステップＳＴ３１）。工程選択部３１は、工程順序データにおける順序識別子と工程ＩＤとの組み合わせに基づいて、たとえば、最後の検査工程よりも上流にある一の検査工程または一の製造工程のいずれか一方を前工程として選択することが可能である。次いで、項目選択部３２は、選択された前工程の測定項目Ｘを一つ選択する（ステップＳＴ３２）。その後、工程選択部３１は、工程記憶部２３に記憶されている工程順序データを参照して、選択された前工程よりも下流にある一の検査工程を後工程として選択する（ステップＳＴ３３）。次いで、項目選択部３２は、選択された後工程の検査項目Ｙを一つ選択する（ステップＳＴ３４）。
【００５５】
次に、回帰分析部３３は、上記ステップＳＴ１４と同様に、測定項目Ｘの測定値ｘα（ｉ）の系列と検査項目Ｙの測定値ｙβ（ｉ）の系列とを測定値記憶部２２から読み出す（ステップＳＴ３５）。ここで、回帰分析部３３は、或る製造物の個体について、１つの工程の１つの測定項目に複数の測定値が存在する場合は、前工程の測定項目Ｘについては、当該複数の測定値の中から最後に品質良好と判定されたときの測定値を選択して読み出せばよい。また、後工程の検査項目Ｙについては、回帰分析部３３は、そのような複数の測定値のうち製造ラインへの初回投入のとき（投入回数が「１」のとき）の測定値を選択して読み出してもよい。
【００５６】
ステップＳＴ３５の後、回帰分析部３３は、測定項目Ｘの測定値系列と検査項目Ｙの測定値系列との間の相関係数ｃ２を算出する（ステップＳＴ３６）。相関係数ｃ２は、たとえば、公知の相互相関関数を用いて算出することが可能である。そして、回帰分析部３３は、条件記憶部２５から相関判定用の閾値ＴＨ２を取得し、その相関係数ｃ２の絶対値が閾値ＴＨ２以上であるか否かを判定する（ステップＳＴ３７）。相関係数ｃ２の絶対値が閾値ＴＨ２以上ではないと判定した場合（ステップＳＴ３７のＮＯ）、回帰分析部３３は、ステップＳＴ４２に処理を移行させる。なお、測定項目Ｘの測定値系列と検査項目Ｙの測定値系列との間の相関度を表す数値であれば、相関係数以外の他の統計的指標が使用されてもよい。
【００５７】
一方、相関係数ｃ２の絶対値が閾値ＴＨ２以上であると判定した場合は（ステップＳＴ３７のＹＥＳ）、回帰分析部３３は、測定項目Ｘの測定値系列と検査項目Ｙの測定値系列との間の相関度が高いと判断して、測定項目Ｘの測定値ｘα（ｉ）を説明変数の値として使用し、検査項目Ｙの測定値ｙβ（ｉ）を目的変数の値として使用した回帰分析を実行して回帰式を算出する（ステップＳＴ３８）。
【００５８】
その後、マージン判定部３４の中の第２マージン判定部３４Ｂは、この回帰式を用いて測定項目Ｘがマージンを満たすか否か、すなわち測定項目Ｘの測定値が許容されるか否かを判定する（ステップＳＴ３９）。具体的には、第２マージン判定部３４Ｂは、測定項目Ｘが上マージン及び下マージンの両方を同時に満たすか否かを判定する（ステップＳＴ３９）。緩和基準算出処理用の上マージン及び下マージンについて以下に説明する。まず、回帰式は、上記強化基準算出処理の場合と同様に、次式（１）で表現することができる。
ｙ＝ａ・ｘ＋ｂ                                    （１）
【００５９】
測定項目Ｘの測定値系列と検査項目Ｙの測定値系列との間に正の相関が成立する場合（回帰係数ａが正の場合）、測定項目Ｘが上マージンを満たす条件は、たとえば、次の不等式（８）の成立することであり、測定項目Ｘが下マージンを満たす条件は、たとえば、次の不等式（９）が成立することである。
Ｕｙ−（ａ・Ｕｘ＋ｂ）＞δ１                          （８）
（ａ・Ｌｘ＋ｂ）−Ｌｙ＞δ２                          （９）
【００６０】
一方、測定項目Ｘの測定値系列と検査項目Ｙの測定値系列との間に負の相関が成立する場合（回帰係数ａが負の場合）、測定項目Ｘが下マージンを満たす条件は、たとえば、次の不等式（１０）の成立することであり、測定項目Ｘが上マージンを満たす条件は、たとえば、次の不等式（１１）が成立することである。
（ａ・Ｕｘ＋ｂ）−Ｌｙ＞δ３                        （１０）
Ｕｙ−（ａ・Ｌｘ＋ｂ）＞δ４                            （１１）
【００６１】
δ１，δ２，δ３，δ４は、上記強化基準算出処理で使用された閾値と同じものである。
【００６２】
次に、第２マージン判定部３４Ｂは、すべての検査項目Ｙが選択されたか否かを判定する（ステップＳＴ４０）。すべての検査項目Ｙが選択されていないと判定したとき（ステップＳＴ４０のＮＯ）、第２マージン判定部３４Ｂは、ステップＳＴ３４に処理を移行させる。その後、未選択の検査項目Ｙが選択され（ステップＳＴ３４）、ステップＳＴ３５〜ＳＴ３９が実行される。
【００６３】
当該後工程のすべての検査項目Ｙについて測定項目Ｘがマージンを満たしている場合は（ステップＳＴ３９のＹＥＳ、及びステップＳＴ４０のＹＥＳ）、基準値算出部３５における緩和基準値算出部３５Ｂが、測定項目Ｘの判定基準範囲が拡がるように緩和基準値を新たに算出する（ステップＳＴ４１）。具体的には、たとえば、緩和基準値算出部３５Ｂは、次式（１２）により新たな上限基準値Ｕｋを緩和基準値として算出することができる。
Ｕｋ＝ＭＩＮ｛ｘ｜ｙ＝ａ・ｘ＋ｂ，ｙ＝｛Ｕｙ，Ｌｙ｝，且つ，ｘ＞Ｕｘ｝
（１２）
【００６４】
上式（１２）の右辺の｛｝は、回帰直線（ｙ＝ａ・ｘ＋ｂ）とｙ＝｛Ｕｙ｝との交点のｘ座標値と、その回帰直線と直線ｙ＝｛Ｌｙ｝との交点のｘ座標値とからなる集合のうち、測定項目Ｘの判定基準範囲の上限値Ｕｘよりも大きなｘ座標値（＞Ｕｘ）の集合｛ｘ｝を意味する。ここで、｛Ｕｙ｝は、特定の測定項目ＸについてステップＳＴ３４で選択されたすべての検査項目Ｙの判定基準範囲の上限値Ｕｙの集合を意味し、｛Ｌｙ｝は、当該特定の測定項目ＸについてステップＳＴ３４で選択されたすべての検査項目Ｙの判定基準範囲の下限値Ｌｙの集合を意味する。式（１２）の左辺の緩和基準値Ｕｋは、上式（１２）の右辺のｘ座標値の集合｛ｘ｝の中の最小値である。
【００６５】
また、緩和基準値算出部３５Ｂは、次式（１３）により新たな下限基準値Ｌｋを緩和基準値として算出することもできる。
Ｌｋ＝ＭＡＸ｛ｘ｜ｙ＝ａ・ｘ＋ｂ，ｙ＝｛Ｕｙ，Ｌｙ｝，且つ，ｘ＜Ｌｘ｝
（１３）
【００６６】
上式（１３）の右辺の｛｝は、回帰直線（ｙ＝ａ・ｘ＋ｂ）とｙ＝｛Ｕｙ｝との交点のｘ座標値と、その回帰直線と直線ｙ＝｛Ｌｙ｝との交点のｘ座標値とからなる集合のうち、測定項目Ｘの判定基準範囲の下限値Ｌｘよりも小さなｘ座標値（＜Ｌｘ）の集合｛ｘ｝を意味する。ここで、｛Ｕｙ｝は、特定の測定項目ＸについてステップＳＴ３４で選択されたすべての検査項目Ｙの判定基準範囲の上限値Ｕｙの集合を意味し、｛Ｌｙ｝は、当該特定の測定項目ＸについてステップＳＴ３４で選択されたすべての検査項目Ｙの判定基準範囲の下限値Ｌｙの集合を意味する。式（１３）の左辺の緩和基準値Ｌｋは、上式（１３）の右辺のｘ座標値の集合｛ｘ｝の中の最大値である。
【００６７】
上記ステップＳＴ３９で測定項目Ｘがマージンを満たさないと判定された場合（ステップＳＴ３９のＮＯ）、または、ステップＳＴ４１で緩和基準値が算出された場合には、データ出力制御部３６は、すべての後工程が選択されているか否かを判定する（ステップＳＴ４２）。すべての後工程が選択されていないと判定した場合（ステップＳＴ４２のＮＯ）、データ出力制御部３６は、工程選択部３１に未選択の後工程を選択させる（ステップＳＴ３３）。その後、ステップＳＴ３４が実行される。
【００６８】
ステップＳＴ４２ですべての後工程が選択されたと判定した場合（ステップＳＴ４２のＹＥＳ）、データ出力制御部３６は、すべての測定項目Ｘが選択されたか否かを判定する（ステップＳＴ４３）。すべての測定項目Ｘが選択されていないと判定した場合（ステップＳＴ４３のＮＯ）、データ出力制御部３６は、項目選択部３２に未選択の測定項目Ｘを選択させる（ステップＳＴ３２）。その後、ステップＳＴ３３が実行される。
【００６９】
ステップＳＴ４３ですべての測定項目Ｘが選択されたと判定した場合（ステップＳＴ４３のＹＥＳ）、データ出力制御部３６は、すべての前工程が選択されたか否かを判定する（ステップＳＴ４４）。すべての前工程が選択されていないと判定した場合（ステップＳＴ４４のＮＯ）、データ出力制御部３６は、工程選択部３１に未選択の前工程を選択させる（ステップＳＴ３１）。その後、ステップＳＴ３２が実行される。
【００７０】
最終的に、前工程と後工程との組み合わせのすべてが選択されたとき（ステップＳＴ４４のＹＥＳ）、データ出力制御部３６は、以上の緩和基準算出処理を終了させる。
【００７１】
データ出力制御部３６は、測定項目Ｘ，Ｙと緩和基準値との組を基準値設定部３８に供給する。このとき、基準値設定部３８は、Ｉ／Ｆ部４０を介して、測定項目Ｘ，Ｙと緩和基準値との組を表す画像をディスプレイ４１に表示させることが可能である。これにより、製品設計者または検査の専門家などのユーザは、当該緩和基準値の妥当性を評価することができる。また、基準値設定部３８は、緩和基準値の妥当性を評価したユーザにより操作入力部４２に入力された指示に応じて、基準値記憶部２４における判定基準範囲を変更または新たに設定することができる。更に、基準値設定部３８は、当該緩和基準値を検査装置に供給して判定基準範囲を更新または新たに設定させることもできる。
【００７２】
以上に説明した品質管理装置２０のハードウェア構成は、たとえば、ワークステーションまたはメインフレームなどの、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ）内蔵のコンピュータ構成を有する情報処理装置により実現可能である。あるいは、上記品質管理装置２０のハードウェア構成は、ＤＳＰ（Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｓｉｇｎａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｏｒ）、ＡＳＩＣ（Ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ  Ｓｐｅｃｉｆｉｃ  Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ  Ｃｉｒｃｕｉｔ）またはＦＰＧＡ（Ｆｉｅｌｄ−Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ  Ｇａｔｅ  Ａｒｒａｙ）などの集積回路（Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ  Ｃｉｒｃｕｉｔ）を有する情報処理装置により実現されてもよい。
【００７３】
なお、測定値取得部２１、測定値記憶部２２、工程記憶部２３、基準値記憶部２４及び条件記憶部２５の全部または一部は、たとえば、ＲＤＢＭＳ（Ｒｅｌａｔｉｏｎａｌ  ＤａｔａＢａｓｅ  Ｍａｎａｇｅｍｅｎｔ  Ｓｙｓｔｅｍ）などのデータ管理プログラムの機能を利用して構成されてもよいし、あるいは、通信ネットワークを介して相互に接続された計算機システムまたは情報処理装置を利用して構成されてもよい。
【００７４】
図１１は、上記品質管理装置２０のハードウェア構成例である情報処理装置２０Ａの概略構成を示すブロック図である。この情報処理装置２０Ａは、ＣＰＵ５０ｃを含むプロセッサ５０、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ  Ａｃｃｅｓｓ  Ｍｅｍｏｒｙ）５１、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ  Ｏｎｌｙ  Ｍｅｍｏｒｙ）５２、入力インタフェース（入力Ｉ／Ｆ）５３、ディスプレイ・インタフェース（ディスプレイＩ／Ｆ）５４、記憶装置５５及び出力インタフェース（出力Ｉ／Ｆ）５６を備えて構成されている。これらプロセッサ５０、ＲＡＭ５１、ＲＯＭ５２、入力Ｉ／Ｆ５３、ディスプレイＩ／Ｆ５４、記憶装置５５及び出力Ｉ／Ｆ５６は、バス回路などの信号路５７を介して相互に接続されている。プロセッサ５０は、コンピュータ・プログラムである品質管理プログラムをＲＯＭ５２から読み出し、この品質管理プログラムに従って動作することにより、品質管理装置２０の機能を実現することができる。入力Ｉ／Ｆ５３、ディスプレイＩ／Ｆ５４及び出力Ｉ／Ｆ５６は、それぞれ、外部のハードウェア機器との間で信号を送受信する機能を有する回路である。
【００７５】
また、記憶装置５５としては、たとえば、ＨＤＤ（ハードディスクドライブ）またはＳＳＤ（ソリッドステートドライブ）などの記録媒体を使用することが可能である。あるいは、フラッシュメモリなどの着脱式の記録媒体を記憶装置５５として使用してもよい。
【００７６】
図１１の情報処理装置２０Ａを用いて図２の品質管理装置２０が構成される場合には、この品質管理装置２０の構成要素２１，３１〜３６，３８，３９は、図１１に示したプロセッサ５０及び品質管理プログラムにより実現することができる。品質管理装置２０の構成要素２２〜２５は、図１１に示した記憶装置５５により実現可能である。また、基準値設定部３８の出力データ群ＲＶを検査装置１１１〜１１Ｑに供給する機能は、図１１に示した出力Ｉ／Ｆ５６で実現可能である。更に、図２のＩ／Ｆ部４０は、図１１に示した入力Ｉ／Ｆ５３及びディスプレイＩ／Ｆ５４で実現可能である。
【００７７】
次に、図１２は、上記品質管理装置２０の他のハードウェア構成例である情報処理装置２０Ｂの概略構成を示すブロック図である。この情報処理装置２０Ｂは、ＤＳＰ、ＡＳＩＣまたはＦＰＧＡなどのＬＳＩからなる信号処理回路６０、入力Ｉ／Ｆ５３、ディスプレイＩ／Ｆ５４、記憶装置５５及び出力Ｉ／Ｆ５６を備えて構成されている。これら信号処理回路６０、入力Ｉ／Ｆ５３、ディスプレイＩ／Ｆ５４、記憶装置５５及び出力Ｉ／Ｆ５６は、信号路５７を介して相互に接続されている。図１２の情報処理装置２０Ｂを用いて図２の品質管理装置２０が構成される場合には、この品質管理装置２０の構成要素２１，３１〜３６，３８，３９は、図１２に示した信号処理回路６０により実現することができる。品質管理装置２０の構成要素２２〜２５は、図１２に示した記憶装置５５により実現可能である。また、基準値設定部３８の出力データ群ＲＶを検査装置１１１〜１１Ｑに供給する機能は、図１２に示した出力Ｉ／Ｆ５６で実現可能である。更に、図２のＩ／Ｆ部４０は、図１２に示した入力Ｉ／Ｆ５３及びディスプレイＩ／Ｆ５４で実現可能である。
【００７８】
以上に説明したように本実施の形態の品質管理装置２０は、後工程の状況に合わせて上流の工程における判定基準範囲を適宜調整することができるので、歩留まりを向上させることが可能である。また、本実施の形態に係る強化基準算出処理及び緩和基準算出処理は、製造プロセスを構成する工程の組み合わせについて実行されるので、製造プロセスにおける複数の工程全体の判定基準を最適化することが可能である。
【００７９】
実施の形態２．
次に、本発明に係る実施の形態２の製造システムについて説明する。図１３は、実施の形態２の製造システムにおける品質管理装置２０Ｃの概略構成を示すブロック図である。実施の形態２の製造システムの構成は、図２の品質管理装置２０に代えて図１３の品質管理装置２０Ｃを有する点を除いて、実施の形態１の製造システム１の構成と同じである。本実施の形態の品質管理装置２０Ｃの構成は、工程監視部２７を有する点を除いて、上記実施の形態１の品質管理装置２０の構成と同じである。
【００８０】
図１３に示されるように、工程監視部２７は、状態分析部２８及び画像情報生成部２９を有している。状態分析部２８は、基準値算出部３５で新たな判定基準値（強化基準値もしくは緩和基準値、または強化基準値及び緩和基準値の双方）が算出されたか否かを監視する。基準値算出部３５で新たな判定基準値が算出されたことを検出すると、状態分析部２８は、当該新たな判定基準値が適用された場合の前工程における製造物群の品質状態（たとえば、良品または不良品の状態）を予想するとともに、その前工程よりも下流の後工程における当該製造物群の品質状態（たとえば、良品または不良品の状態）をも予想することができる。画像情報生成部２９は、状態分析部２８で予想された前工程及び後工程における当該製造物群の品質状態を示す画像情報（たとえば、良品または不良品の個数を示す統計データ）を生成し、この画像情報をＩ／Ｆ部４０を介してディスプレイ４１に供給することによりその画像情報をディスプレイ４１に表示させることができる。これにより、製品設計者または検査の専門家などのユーザは、その画像情報に基づいて、新たな判定基準値の妥当性を正確に評価することが可能となる。
【００８１】
以下、図１４を参照しつつ、工程監視部２７の動作について説明する。図１４は、実施の形態２に係る工程監視処理の手順の一例を概略的に示すフローチャートである。
【００８２】
図１４を参照すると、先ず、状態分析部２８は、測定値記憶部２２から各工程の測定データを取得し（ステップＳＴ５１）、基準値記憶部２４から各工程の判定基準データを取得する（ステップＳＴ５２）。そして、状態分析部２８は、その取得された判定基準データに含まれる判定基準値（上限値及び下限値）とは異なる新たな判定基準値（強化基準値もしくは緩和基準値、または強化基準値及び緩和基準値の双方）が算出された前工程が発生したか否かを判定する（ステップＳＴ５３）。新たな判定基準値が算出された前工程が発生しない場合（ステップＳＴ５３のＮＯ）、ステップＳＴ５８に処理が移行する。
【００８３】
一方、新たな判定基準値が算出された前工程が生じた場合（ステップＳＴ５３のＹＥＳ）、状態分析部２８は、ステップＳＴ５１で取得された前工程の測定データを用いて、その前工程に新たな判定基準値が適用された場合のその前工程における製造物群の品質状態を予想する（ステップＳＴ５４）。また、状態分析部２８は、ステップＳＴ５１で取得された後工程の測定データを用いて、その後工程における当該製造物群の品質状態を予想し（ステップＳＴ５５）、更に、その後工程における当該製造物群の現在の品質状態を検出する（ステップＳＴ５６）。
【００８４】
画像情報生成部２９は、ステップＳＴ５４〜ＳＴ５６で予想され且つ検出された品質状態を示す画像情報を生成し（ステップＳＴ５７）、この画像情報をディスプレイ４１に表示させる（ステップＳＴ５８）。その後、終了指示があれば（ステップＳＴ５８のＹＥＳ）、工程監視部２７は工程監視処理を終了し、終了指示がなければ（ステップＳＴ５８のＮＯ）、工程監視部２７はステップＳＴ５１以後の処理を続行する。
【００８５】
図１５Ａ〜図１５Ｃは、前工程Ｋの或る測定項目について強化基準値Ｕｚが新たに算出された場合の画像情報の例を示す図である。図１５Ａは、現在の不良品の頻度分布（個体数分布）を概略的に示すグラフである。図１５Ｂは、前工程Ｋにおける判定基準値の変更（強化基準値Ｕｚの適用）に応じて、後工程Ｐで発生すると予想される不良品の頻度分布（個体数分布）を概略的に示すグラフである。また、図１５Ｃは、前工程Ｋにおける判定基準値の変更に応じて後工程Ｄで発生すると予想される不良品の頻度分布（個体数分布）を概略的に示すグラフである。図１５Ｂ及び図１５Ｃでは、判定基準値の変更前の現在の頻度分布曲線が実線で示され、判定基準値の変更後に予想される頻度分布曲線が破線で示されている。また、図１５Ｂ及び図１５Ｃでは、算出された不良品数も表示されている。図１５Ａに示されるように前工程Ｋに強化基準値Ｕｚが適用されると、前工程Ｋにて今まで良品として通過していた製造物が、強化基準値Ｕｚの適用後は不良品となり、後工程Ｐ，Ｄへ流れなくなる。よって、前工程Ｋの不良品数は増加し、後工程へ流れる個体数及び不良品数は減少すると予想される。
【００８６】
一方、図１６Ａ〜図１６Ｃは、前工程Ｋの或る測定項目について緩和基準値Ｌｋが新たに算出された場合の画像情報の例を示す図である。図１６Ａは、現在の不良品の頻度分布（個体数分布）を概略的に示すグラフである。図１６Ｂは、前工程Ｋにおける判定基準値の変更（緩和基準値Ｌｋの適用）に応じて、後工程Ｐで発生すると予想される不良品の頻度分布（個体数分布）を概略的に示すグラフである。また、図１６Ｃは、前工程Ｋにおける判定基準値の変更に応じて後工程Ｄで発生すると予想される不良品の頻度分布（個体数分布）を概略的に示すグラフである。図１６Ｂ及び図１６Ｃでは、判定基準値の変更前の現在の頻度分布曲線が実線で示され、判定基準値の変更後に予想される頻度分布曲線が破線で示されている。また、図１６Ｂ及び図１６Ｃでは、算出された不良品数も表示されている。図１６Ａに示されるように前工程Ｋに緩和基準値Ｌｋが適用されると、前工程Ｋでは不良品として判定されて後工程Ｐ，Ｄへ通過しなかった製造物が、緩和基準値Ｌｋの適用後は、良品となって後工程Ｐ，Ｄへと流れていくと予想される。
【００８７】
以上に説明したように実施の形態２では、工程監視部２７は、上流の前工程について新たな判定基準値が算出されたか否かを検出することができる。工程監視部２７は、上流の前工程でその新たな判定基準値が適用されたとき、上流の前工程及び下流の後工程における製造物群の品質状態を予想することが可能である。製品設計者または検査の専門家などのユーザは、その予想結果に基づき、当該新たな判定基準値の適用による効果を的確に評価することができる。
【００８８】
なお、画像情報生成部２９は、図１５Ａ〜図１５Ｃ及び図１６Ａ〜図１６Ｃに示した頻度分布及び不良品数に限らず、散布図などの画像情報を生成してディスプレイ４１に表示させてもよい。また、実施の形態２の品質管理装置２０Ｃのハードウェア構成は、実施の形態１の品質管理装置２０と同様に、情報処理装置２０Ｂまたは２０Ｃによって実現することが可能である。
【００８９】
以上、図面を参照して本発明に係る種々の実施の形態について述べたが、これら実施の形態は本発明の例示であり、これら実施の形態以外の様々な形態を採用することもできる。なお、本発明の範囲内において、上記実施の形態の構成要素１，２の自由な組み合わせ、上記実施の形態の任意の構成要素の変形、または上記実施の形態の任意の構成要素の省略が可能である。
【産業上の利用可能性】
【００９０】
本発明に係る品質管理装置及び製造システムは、製造プロセスの検査工程における判定基準範囲を調整することができるので、たとえば、製造プロセスの過程で生成される中間製造物または最終的に生成される製品の品質検査に用いるのに適している。
【符号の説明】
【００９１】
１  製造システム、１０１〜１０Ｒ  製造装置、１１１〜１１Ｑ  検査装置、２０，２０Ｃ  品質管理装置、２０Ａ，２０Ｂ  情報処理装置、２１  測定値取得部、２２  測定値記憶部、２３  工程記憶部、２４  基準値記憶部、２５  条件記憶部、２７  工程監視部、２８  状態分析部、２９  画像情報生成部、３１  工程選択部、３２  項目選択部、３３  回帰分析部、３４  マージン判定部、３４Ａ  第１マージン判定部、３４Ｂ  第２マージン判定部、３５  基準値算出部、３５Ａ  強化基準値算出部、３５Ｂ  緩和基準値算出部、３６  データ出力制御部、３８  基準値設定部、３９  条件設定部、４０  インタフェース部（Ｉ／Ｆ部）、４１  ディスプレイ、４２  操作入力部、５０  プロセッサ、５０ｃ  ＣＰＵ、５１  ＲＡＭ、５２  ＲＯＭ、５３  入力インタフェース（入力Ｉ／Ｆ）、５４  ディスプレイ・インタフェース（ディスプレイＩ／Ｆ）、５５  記憶装置、５６  出力インタフェース（出力Ｉ／Ｆ）、６０  信号処理回路。
【図１】
2017168507.tif 000003
【図２】
2017168507.tif 000004
【図３】
2017168507.tif 000005
【図４】
2017168507.tif 000006
【図５】
2017168507.tif 000007
【図６】
2017168507.tif 000008
【図７】
2017168507.tif 000009
【図８】
2017168507.tif 000010
【図９】
2017168507.tif 000011
【図１０】
2017168507.tif 000012
【図１１】
2017168507.tif 000013
【図１２】
2017168507.tif 000014
【図１３】
2017168507.tif 000015
【図１４】
2017168507.tif 000016
【図１５】
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【図１６】
2017168507.tif 000018
【手続補正書】
【提出日】平成29年9月14日(2017.9.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明の他の態様による品質管理方法は、製造プロセスを構成する複数の工程における品質を管理する品質管理装置において実行される品質管理方法であって、前記複数の工程のうちの一の検査工程または一の製造工程のいずれかである前工程から測定値の系列を取得するとともに、前記複数の工程のうち前記前工程よりも下流にある他の検査工程である後工程から、前記測定値の系列に対応する比較用測定値の系列を取得するステップと、前記測定値を説明変数の値として使用し、前記比較用測定値を目的変数の値として使用した回帰分析を実行することにより回帰式を算出するステップと、前記前工程における品質判定のための判定基準範囲を定める判定基準値を前記回帰式の説明変数に代入することで予測値を算出するステップと、当該予測値を前記後工程における品質判定のための比較用判定基準範囲と比較して前記測定値が許容されるか否かの判定を行うステップと、当該判定の結果に応じて、前記判定基準値に代わるべき新たな判定基準値を算出するステップとを備えている。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明の更に他の態様による品質管理プログラムは、製造プロセスを構成する複数の工程における品質を管理するための品質管理プログラムであって、前記複数の工程のうちの一の検査工程または一の製造工程のいずれかである前工程から測定値の系列を取得するとともに、前記複数の工程のうち前記前工程よりも下流にある他の検査工程である後工程から、前記測定値の系列に対応する比較用測定値の系列を取得するステップと、前記測定値を説明変数の値として使用し、前記比較用測定値を目的変数の値として使用した回帰分析を実行することにより回帰式を算出するステップと、前記前工程における品質判定のための判定基準範囲を定める判定基準値を前記回帰式の説明変数に代入することで予測値を算出するステップと、当該予測値を前記後工程における品質判定のための比較用判定基準範囲と比較して前記測定値が許容されるか否かの判定を行うステップと、当該判定の結果に応じて、前記判定基準値に代わるべき新たな判定基準値を算出するステップとをコンピュータに実行させるものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
製造プロセスを構成する複数の工程のうちの一の検査工程または一の製造工程のいずれかである前工程から測定値の系列を取得するとともに、前記複数の工程のうち前記前工程よりも下流にある他の検査工程である後工程から、前記測定値の系列に対応する比較用測定値の系列を取得する測定値取得部と、
前記測定値を説明変数の値として使用し、前記比較用測定値を目的変数の値として使用した回帰分析を実行することにより回帰式を算出する回帰分析部と、
前記前工程における品質判定のための判定基準範囲を定める判定基準値を前記回帰式の説明変数に代入することで予測値を算出し、当該予測値を前記後工程における品質判定のための比較用判定基準範囲と比較して前記測定値が許容されるか否かを判定するマージン判定部と、
前記マージン判定部による判定結果に応じて、前記判定基準値に代わるべき新たな判定基準値を算出する基準値算出部と
を備えることを特徴とする品質管理装置。
【請求項２】
請求項１記載の品質管理装置であって、前記基準値算出部は、前記測定値が許容されないと判定された場合には、前記判定基準範囲が狭くなるように当該新たな判定基準値を算出することを特徴とする品質管理装置。
【請求項３】
請求項２記載の品質管理装置であって、
前記判定基準値は、前記判定基準範囲の上限値であり、
前記マージン判定部は、前記予測値から前記比較用判定基準範囲の上限値を差し引いて得られる第１の差分値が第１の閾値よりも大きいとき、または、前記比較用判定基準範囲の下限値から前記予測値を差し引いて得られる第２の差分値が第２の閾値よりも大きいときに、前記測定値が許容されないと判定することを特徴とする品質管理装置。
【請求項４】
請求項２記載の品質管理装置であって、
前記判定基準値は、前記判定基準範囲の下限値であり、
前記マージン判定部は、前記比較用判定基準範囲の下限値から前記予測値を差し引いて得られる第３の差分値が第３の閾値よりも大きいとき、または、前記予測値から前記比較用判定基準範囲の上限値を差し引いて得られる第４の差分値が第４の閾値よりも大きいときに、前記測定値が許容されないと判定することを特徴とする品質管理装置。
【請求項５】
請求項１記載の品質管理装置であって、前記基準値算出部は、前記測定値が許容されると判定された場合には、前記判定基準範囲が拡がるように当該新たな判定基準値を算出することを特徴とする品質管理装置。
【請求項６】
請求項５記載の品質管理装置であって、
前記判定基準値は、前記判定基準範囲の上限値であり、
前記マージン判定部は、前記比較用判定基準範囲の上限値から前記予測値を差し引いて得られる第１の差分値が第１の閾値よりも大きく、または、前記予測値から前記比較用判定基準範囲の下限値を差し引いて得られる第２の差分値が第２の閾値よりも大きいときに、前記測定値が許容されると判定することを特徴とする品質管理装置。
【請求項７】
請求項５記載の品質管理装置であって、
前記判定基準値は、前記判定基準範囲の下限値であり、
前記マージン判定部は、前記予測値から前記比較用判定基準範囲の下限値を差し引いて得られる第３の差分値が第３の閾値よりも大きく、または、前記比較用判定基準範囲の上限値から前記予測値を差し引いて得られる第４の差分値が第４の閾値よりも大きいときに、前記測定値が許容されると判定することを特徴とする品質管理装置。
【請求項８】
請求項１記載の品質管理装置であって、前記回帰分析部は、前記測定値の系列と前記比較用測定値の系列との間の相関度を算出し、前記相関度が予め定められた閾値以上である場合に前記回帰分析を実行することを特徴とする品質管理装置。
【請求項９】
請求項１記載の品質管理装置であって、当該新たな判定基準値が適用された場合の前記前工程における製造物群の品質状態を予想する状態分析部を更に備えることを特徴とする品質管理装置。
【請求項１０】
請求項９記載の品質管理装置であって、画像情報生成部を更に備え、
前記状態分析部は、前記前工程における製造物群の当該予想された品質状態に基づいて、前記後工程における製造物群の品質状態を予想し、
前記画像情報生成部は、前記後工程における製造物群の当該予想された品質状態を示す画像情報を生成して当該画像情報をディスプレイに表示させることを特徴とする品質管理装置。
【請求項１１】
製造プロセスを構成する複数の工程における品質を管理する品質管理装置において実行される品質管理方法であって、
前記複数の工程のうちの一の検査工程または一の製造工程のいずれかである前工程から測定値の系列を取得するとともに、前記複数の工程のうち前記前工程よりも下流にある他の検査工程である後工程から、前記測定値の系列に対応する比較用測定値の系列を取得するステップと、
前記測定値を説明変数の値として使用し、前記比較用測定値を目的変数の値として使用した回帰分析を実行することにより回帰式を算出するステップと、
前記前工程における品質判定のための判定基準範囲を定める判定基準値を前記回帰式の説明変数に代入することで予測値を算出するステップと、
当該予測値を前記後工程における品質判定のための比較用判定基準範囲と比較して前記測定値が許容されるか否かの判定を行うステップと、
当該判定の結果に応じて、前記判定基準値に代わるべき新たな判定基準値を算出するステップと
を備えることを特徴とする品質管理方法。
【請求項１２】
請求項１１記載の品質管理方法であって、前記測定値が許容されないと判定された場合には、前記判定基準範囲が狭くなるように当該新たな判定基準値が算出されることを特徴とする品質管理方法。
【請求項１３】
請求項１１記載の品質管理方法であって、前記測定値が許容されると判定された場合には、前記判定基準範囲が拡がるように当該新たな判定基準値が算出されることを特徴とする品質管理方法。
【請求項１４】
請求項記１１記載の品質管理方法であって、当該新たな判定基準値が適用された場合の前記前工程における製造物群の品質状態を予想するステップを更に備えることを特徴とする品質管理方法。
【請求項１５】
請求項１４記載の品質管理方法であって、
前記前工程における製造物群の当該予想された品質状態に基づいて、前記後工程における製造物群の品質状態を予想するステップと、
前記後工程における製造物群の当該予想された品質状態を示す画像情報を生成して当該画像情報をディスプレイに表示させるステップと
を更に備えることを特徴とする品質管理方法。
【請求項１６】
製造プロセスを構成する複数の工程における品質を管理するための品質管理プログラムであって、
前記複数の工程のうちの一の検査工程または一の製造工程のいずれかである前工程から測定値の系列を取得するとともに、前記複数の工程のうち前記前工程よりも下流にある他の検査工程である後工程から、前記測定値の系列に対応する比較用測定値の系列を取得するステップと、
前記測定値を説明変数の値として使用し、前記比較用測定値を目的変数の値として使用した回帰分析を実行することにより回帰式を算出するステップと、
前記前工程における品質判定のための判定基準範囲を定める判定基準値を前記回帰式の説明変数に代入することで予測値を算出するステップと、
当該予測値を前記後工程における品質判定のための比較用判定基準範囲と比較して前記測定値が許容されるか否かの判定を行うステップと、
当該判定の結果に応じて、前記判定基準値に代わるべき新たな判定基準値を算出するステップと
をコンピュータに実行させることを特徴とする品質管理プログラム。
【請求項１７】
請求項１６記載の品質管理プログラムであって、前記測定値が許容されないと判定された場合には、前記判定基準範囲が狭くなるように当該新たな判定基準値が算出されることを特徴とする品質管理プログラム。
【請求項１８】
請求項１６記載の品質管理プログラムであって、前記測定値が許容されると判定された場合には、前記判定基準範囲が拡がるように当該新たな判定基準値が算出されることを特徴とする品質管理プログラム。
【請求項１９】
請求項１６記載の品質管理プログラムであって、当該新たな判定基準値が適用された場合の前記前工程における製造物群の品質状態を予想するステップを前記コンピュータに更に実行させることを特徴とする品質管理プログラム。
【請求項２０】
請求項１９記載の品質管理プログラムであって、
前記前工程における製造物群の当該予想された品質状態に基づいて、前記後工程における製造物群の品質状態を予想するステップと、
前記後工程における製造物群の当該予想された品質状態を示す画像情報を生成して当該画像情報をディスプレイに表示させるステップと
を前記コンピュータに更に実行させることを特徴とする品質管理プログラム。
【手続補正書】
【提出日】平成29年10月16日(2017.10.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
製造プロセスを構成する複数の工程のうちの一の検査工程または一の製造工程のいずれかである前工程から測定値の系列を取得するとともに、前記複数の工程のうち前記前工程よりも下流にある他の検査工程である後工程から、前記測定値の系列に対応する比較用測定値の系列を取得する測定値取得部と、
前記測定値を説明変数の値として使用し、前記比較用測定値を目的変数の値として使用した回帰分析を実行することにより回帰式を算出する回帰分析部と、
前記前工程における品質判定のための判定基準範囲を定める判定基準値を前記回帰式の説明変数に代入することで予測値を算出し、当該予測値を前記後工程における品質判定のための比較用判定基準範囲と比較して前記測定値が許容されるか否かを判定するマージン判定部と、
前記マージン判定部による判定結果に応じて、前記判定基準値に代わるべき新たな判定基準値を算出する基準値算出部と
を備えることを特徴とする品質管理装置。
【請求項２】
請求項１記載の品質管理装置であって、前記基準値算出部は、前記測定値が許容されないと判定された場合には、前記判定基準範囲が狭くなるように当該新たな判定基準値を算出することを特徴とする品質管理装置。
【請求項３】
請求項２記載の品質管理装置であって、
前記判定基準値は、前記判定基準範囲の上限値であり、
前記マージン判定部は、前記予測値から前記比較用判定基準範囲の上限値を差し引いて得られる第１の差分値が第１の閾値よりも大きいとき、または、前記比較用判定基準範囲の下限値から前記予測値を差し引いて得られる第２の差分値が第２の閾値よりも大きいときに、前記測定値が許容されないと判定することを特徴とする品質管理装置。
【請求項４】
請求項２記載の品質管理装置であって、
前記判定基準値は、前記判定基準範囲の下限値であり、
前記マージン判定部は、前記比較用判定基準範囲の下限値から前記予測値を差し引いて得られる第３の差分値が第３の閾値よりも大きいとき、または、前記予測値から前記比較用判定基準範囲の上限値を差し引いて得られる第４の差分値が第４の閾値よりも大きいときに、前記測定値が許容されないと判定することを特徴とする品質管理装置。
【請求項５】
請求項１記載の品質管理装置であって、前記基準値算出部は、前記測定値が許容されると判定された場合には、前記判定基準範囲が拡がるように当該新たな判定基準値を算出することを特徴とする品質管理装置。
【請求項６】
請求項５記載の品質管理装置であって、
前記判定基準値は、前記判定基準範囲の上限値であり、
前記マージン判定部は、前記比較用判定基準範囲の上限値から前記予測値を差し引いて得られる第１の差分値が第１の閾値よりも大きく、または、前記予測値から前記比較用判定基準範囲の下限値を差し引いて得られる第２の差分値が第２の閾値よりも大きいときに、前記測定値が許容されると判定することを特徴とする品質管理装置。
【請求項７】
請求項５記載の品質管理装置であって、
前記判定基準値は、前記判定基準範囲の下限値であり、
前記マージン判定部は、前記予測値から前記比較用判定基準範囲の下限値を差し引いて得られる第３の差分値が第３の閾値よりも大きく、または、前記比較用判定基準範囲の上限値から前記予測値を差し引いて得られる第４の差分値が第４の閾値よりも大きいときに、前記測定値が許容されると判定することを特徴とする品質管理装置。
【請求項８】
請求項１記載の品質管理装置であって、前記回帰分析部は、前記測定値の系列と前記比較用測定値の系列との間の相関度を算出し、前記相関度が予め定められた閾値以上である場合に前記回帰分析を実行することを特徴とする品質管理装置。
【請求項９】
請求項１記載の品質管理装置であって、当該新たな判定基準値が適用された場合の前記前工程における製造物群の品質状態を予想する状態分析部を更に備えることを特徴とする品質管理装置。
【請求項１０】
請求項９記載の品質管理装置であって、画像情報生成部を更に備え、
前記状態分析部は、前記前工程における製造物群の当該予想された品質状態に基づいて、前記後工程における製造物群の品質状態を予想し、
前記画像情報生成部は、前記後工程における製造物群の当該予想された品質状態を示す画像情報を生成して当該画像情報をディスプレイに表示させることを特徴とする品質管理装置。
【請求項１１】
製造プロセスを構成する複数の工程における品質を管理する品質管理装置において実行される品質管理方法であって、
前記複数の工程のうちの一の検査工程または一の製造工程のいずれかである前工程から測定値の系列を取得するとともに、前記複数の工程のうち前記前工程よりも下流にある他の検査工程である後工程から、前記測定値の系列に対応する比較用測定値の系列を取得するステップと、
前記測定値を説明変数の値として使用し、前記比較用測定値を目的変数の値として使用した回帰分析を実行することにより回帰式を算出するステップと、
前記前工程における品質判定のための判定基準範囲を定める判定基準値を前記回帰式の説明変数に代入することで予測値を算出するステップと、
当該予測値を前記後工程における品質判定のための比較用判定基準範囲と比較して前記測定値が許容されるか否かの判定を行うステップと、
当該判定の結果に応じて、前記判定基準値に代わるべき新たな判定基準値を算出するステップと
を備えることを特徴とする品質管理方法。
【請求項１２】
請求項１１記載の品質管理方法であって、前記測定値が許容されないと判定された場合には、前記判定基準範囲が狭くなるように当該新たな判定基準値が算出されることを特徴とする品質管理方法。
【請求項１３】
請求項１１記載の品質管理方法であって、前記測定値が許容されると判定された場合には、前記判定基準範囲が拡がるように当該新たな判定基準値が算出されることを特徴とする品質管理方法。
【請求項１４】
請求項１１記載の品質管理方法であって、当該新たな判定基準値が適用された場合の前記前工程における製造物群の品質状態を予想するステップを更に備えることを特徴とする品質管理方法。
【請求項１５】
請求項１４記載の品質管理方法であって、
前記前工程における製造物群の当該予想された品質状態に基づいて、前記後工程における製造物群の品質状態を予想するステップと、
前記後工程における製造物群の当該予想された品質状態を示す画像情報を生成して当該画像情報をディスプレイに表示させるステップと
を更に備えることを特徴とする品質管理方法。
【請求項１６】
製造プロセスを構成する複数の工程における品質を管理するための品質管理プログラムであって、
前記複数の工程のうちの一の検査工程または一の製造工程のいずれかである前工程から測定値の系列を取得するとともに、前記複数の工程のうち前記前工程よりも下流にある他の検査工程である後工程から、前記測定値の系列に対応する比較用測定値の系列を取得するステップと、
前記測定値を説明変数の値として使用し、前記比較用測定値を目的変数の値として使用した回帰分析を実行することにより回帰式を算出するステップと、
前記前工程における品質判定のための判定基準範囲を定める判定基準値を前記回帰式の説明変数に代入することで予測値を算出するステップと、
当該予測値を前記後工程における品質判定のための比較用判定基準範囲と比較して前記測定値が許容されるか否かの判定を行うステップと、
当該判定の結果に応じて、前記判定基準値に代わるべき新たな判定基準値を算出するステップと
をコンピュータに実行させることを特徴とする品質管理プログラム。
【請求項１７】
請求項１６記載の品質管理プログラムであって、前記測定値が許容されないと判定された場合には、前記判定基準範囲が狭くなるように当該新たな判定基準値が算出されることを特徴とする品質管理プログラム。
【請求項１８】
請求項１６記載の品質管理プログラムであって、前記測定値が許容されると判定された場合には、前記判定基準範囲が拡がるように当該新たな判定基準値が算出されることを特徴とする品質管理プログラム。
【請求項１９】
請求項１６記載の品質管理プログラムであって、当該新たな判定基準値が適用された場合の前記前工程における製造物群の品質状態を予想するステップを前記コンピュータに更に実行させることを特徴とする品質管理プログラム。
【請求項２０】
請求項１９記載の品質管理プログラムであって、
前記前工程における製造物群の当該予想された品質状態に基づいて、前記後工程における製造物群の品質状態を予想するステップと、
前記後工程における製造物群の当該予想された品質状態を示す画像情報を生成して当該画像情報をディスプレイに表示させるステップと
を前記コンピュータに更に実行させることを特徴とする品質管理プログラム。
【国際調査報告】
2017168507.tif 000019
2017168507.tif 000020