(57)【要約】  薄型化及び小型化に伴う振動の強度の低下が生じ難い、振動装置を提供する。  振動装置１は、第１，第２の端部２ａ４，２ａ５と、第１，第２の端部２ａ４，２ａ５の間に位置する第１の平面部２ａ１とを有する第１の弾性板２ａと、第１の弾性板２ａの第２の端部２ａ５側に接合されており、第１の弾性板２ａの第１の平面部２ａ１に対向している第２の平面部２ｂ１を有し、かつ第１の弾性板２ａよりも曲げ剛性が高い第２の弾性板２ｂと、第１の弾性板２ａの第１の平面部２ａ１における第２の弾性板２ｂ側の面に設けられている圧電振動素子３と、第１の弾性板２ａの第１の端部２ａ４に取り付けられている質量付加部材８とを備える。
2017130738.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１，第２の端部と、前記第１，第２の端部の間に位置する第１の平面部と、を有する第１の弾性板と、
前記第１の弾性板の前記第２の端部側に接合されており、前記第１の弾性板の前記第１の平面部に対向している第２の平面部を有し、かつ前記第１の弾性板よりも曲げ剛性が高い第２の弾性板と、
前記第１の弾性板の前記第１の平面部における前記第２の弾性板側の面に設けられている圧電振動素子と、
前記第１の弾性板の前記第１の端部に取り付けられている質量付加部材と、
を備える、振動装置。
【請求項２】
前記圧電振動素子及び前記質量付加部材が取り付けられた前記第１の弾性板を収納するように設けられている、パッケージ材をさらに備える、請求項１に記載の振動装置。
【請求項３】
前記第２の弾性板の前記第２の平面部における前記第１の弾性板側の面に設けられており、前記圧電振動素子を駆動するための回路の少なくとも一部を形成している回路部をさらに備える、請求項１または２に記載の振動装置。
【請求項４】
前記第２の弾性板の厚みの方が前記第１の弾性板の厚みよりも厚い、請求項１〜３のいずれか１項に記載の振動装置。
【請求項５】
前記第２の弾性板の材料が、前記第１の弾性板の材料よりも曲げ剛性が高い、請求項１〜４のいずれか１項に記載の振動装置。
【請求項６】
前記第１の弾性板が、前記第２の弾性板に接合されている第１の接合部と、前記第１の接合部及び前記第１の平面部を連結している第１の連結部と、を有し、
前記第１の接合部が前記第１の連結部よりも前記第２の端部側に位置しており、
前記第１の弾性板が、前記第１の連結部において前記第２の弾性板側に曲がっている、請求項１〜５のいずれか１項に記載の振動装置。
【請求項７】
前記第１の連結部から、前記第１の接合部が前記第１の端部から遠ざかる方向に延びており、前記第１の接合部が、前記第２の弾性板の前記第２の平面部に平行に延びている面を有し、かつ該面において前記第２の弾性板に接合されている、請求項６に記載の振動装置。
【請求項８】
前記第１の連結部から、前記第１の接合部が前記第１の端部に近づく方向に延びており、前記第１の接合部が、前記第２の弾性板の前記第２の平面部に平行に延びている面を有し、かつ該面において前記第２の弾性板に接合されている、請求項６に記載の振動装置。
【請求項９】
前記第２の弾性板が、第３，第４の端部と、前記第２の弾性板が前記第１の弾性板に接合されている第２の接合部と、前記第２の接合部及び前記第２の平面部を連結している第２の連結部と、を有し、
前記第２の平面部が前記第３，第４の端部の間に位置しており、前記第２の接合部が前記第２の連結部よりも前記第４の端部側に位置しており、
前記第２の弾性板が、前記第２の連結部において前記第１の弾性板側に曲がっている、請求項１〜５のいずれか１項に記載の振動装置。
【請求項１０】
前記第２の連結部から、前記第２の接合部が前記第３の端部から遠ざかる方向に延びており、前記第２の接合部が、前記第１の弾性板の前記第１の平面部に平行に延びている面を有し、かつ該面において前記第１の弾性板に接合されている、請求項９に記載の振動装置。
【請求項１１】
前記第２の接合部が前記第４の端部を含み、前記第４の端部が前記第２の弾性板の端面を含み、該端面において前記第２の接合部が前記第１の弾性板に接合されている、請求項９に記載の振動装置。
【請求項１２】
前記第２の弾性板が、第３，第４の端部と、前記第４の端部側において前記第１の弾性板側に突出している突出部と、を有し、前記突出部が前記第１の弾性板に接合されている、請求項１〜５のいずれか１項に記載の振動装置。
【請求項１３】
前記突出部の厚みが、前記第２の弾性板における前記突出部以外の少なくとも一部と同じ厚みであり、前記突出部が形成されている部分が、前記第２の弾性板の前記第１の弾性板側とは反対側の面に開口した凹部となっている、請求項１２に記載の振動装置。
【請求項１４】
前記突出部が前記第２の弾性板の前記第４の端部を含む、請求項１２または１３に記載の振動装置。
【請求項１５】
前記第２の弾性板の前記第２の平面部の厚みが、前記第２の弾性板が前記第１の弾性板に接合されている部分の厚みよりも薄い、請求項１〜１４のいずれか１項に記載の振動装置。
【請求項１６】
前記第２の弾性板が第３，第４の端部を有し、前記第１の弾性板と前記第２の弾性板とが接合されている部分が、前記第１の弾性板の前記第２の端部及び前記第２の弾性板の前記第４の端部の内の少なくとも一方を含む、請求項１〜１５のいずれか１項に記載の振動装置。
【請求項１７】
前記第１の弾性板の前記第１，第２の端部を結ぶ方向が前記第１の弾性板の長手方向である、請求項１〜１６のいずれか１項に記載の振動装置。
【請求項１８】
前記第１，第２の弾性板が金属からなる、請求項１〜１７のいずれか１項に記載の振動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、金属板などの弾性板に圧電振動素子が固定されている振動装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、着信を報知する目的などに用いられる振動装置として、種々の振動装置が提案されている。下記の特許文献１には、このような振動装置の一例が開示されている。特許文献１に記載の振動装置では、金属板を側面から見てＵ字状の形状となるように曲げ加工された、弾性板が用いられている。この弾性板は、屈曲部を介して一方側が板状の固定部、他方側が板状の振動部とされている。振動部には、圧電振動板が設けられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】国際公開第２０１０／０２３８０１号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
この種の振動装置では、電子機器等の小型化や、高機能化による搭載部品の小型化に伴って、より一層の小型化及び薄型化が求められてきている。また、振動装置の小型化及び薄型化に伴い、振動の強度が低くなりがちであった。【０００５】
本発明の目的は、薄型化及び小型化に伴う振動の強度の低下が生じ難い、振動装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る振動装置は、第１，第２の端部と、前記第１，第２の端部の間に位置する第１の平面部とを有する第１の弾性板と、前記第１の弾性板の前記第２の端部側に接合されており、前記第１の弾性板の前記第１の平面部に対向している第２の平面部を有し、かつ前記第１の弾性板よりも曲げ剛性が高い第２の弾性板と、前記第１の弾性板の前記第１の平面部における前記第２の弾性板側の面に設けられている圧電振動素子と、前記第１の弾性板の前記第１の端部に取り付けられている質量付加部材とを備える。【０００７】
本発明に係る振動装置のある特定の局面では、前記圧電振動素子及び前記質量付加部材が取り付けられた前記第１の弾性板を収納するように設けられているパッケージ材をさらに備える。この場合には、振動装置の強度を高めることができる。【０００８】
本発明に係る振動装置の他の特定の局面では、前記第２の弾性板の前記第２の平面部における前記第１の弾性板側の面に設けられており、前記圧電振動素子を駆動するための回路の少なくとも一部を形成している回路部をさらに備える。【０００９】
本発明に係る振動装置のさらに他の特定の局面では、前記第２の弾性板の厚みの方が前記第１の弾性板の厚みよりも厚い。この場合には、第２の弾性板の曲げ剛性を効果的に高めることができる。【００１０】
本発明に係る振動装置の別の特定の局面では、前記第２の弾性板の材料が、前記第１の弾性板の材料よりも曲げ剛性が高い。この場合には、第２の弾性板の曲げ剛性を効果的に高めることができる。【００１１】
本発明に係る振動装置のさらに別の特定の局面では、前記第１の弾性板が、前記第２の弾性板に接合されている第１の接合部と、前記第１の接合部及び前記第１の平面部を連結している第１の連結部とを有し、前記第１の接合部が前記第１の連結部よりも前記第２の端部側に位置しており、前記第１の弾性板が、前記第１の連結部において前記第２の弾性板側に曲がっている。【００１２】
本発明に係る振動装置のさらに別の特定の局面では、前記第１の連結部から、前記第１の接合部が前記第１の端部から遠ざかる方向に延びており、前記第１の接合部が、前記第２の弾性板の前記第２の平面部に平行に延びている面を有し、かつ該面において前記第２の弾性板に接合されている。この場合には、小型化を進めることができる。【００１３】
本発明に係る振動装置のさらに別の特定の局面では、前記第１の連結部から、前記第１の接合部が前記第１の端部に近づく方向に延びており、前記第１の接合部が、前記第２の弾性板の前記第２の平面部に平行に延びている面を有し、かつ該面において前記第２の弾性板に接合されている。【００１４】
本発明に係る振動装置のさらに別の特定の局面では、前記第２の弾性板が、第３，第４の端部と、前記第２の弾性板が前記第１の弾性板に接合されている第２の接合部と、前記第２の接合部及び前記第２の平面部を連結している第２の連結部とを有し、前記第２の平面部が前記第３，第４の端部の間に位置しており、前記第２の接合部が前記第２の連結部よりも前記第４の端部側に位置しており、前記第２の弾性板が、前記第２の連結部において前記第１の弾性板側に曲がっている。【００１５】
本発明に係る振動装置のさらに別の特定の局面では、前記第２の連結部から、前記第２の接合部が前記第３の端部から遠ざかる方向に延びており、前記第２の接合部が、前記第１の弾性板の前記第１の平面部に平行に延びている面を有し、かつ該面において前記第１の弾性板に接合されている。【００１６】
本発明に係る振動装置のさらに別の特定の局面では、前記第２の接合部が前記第４の端部を含み、前記第４の端部が前記第２の弾性板の端面を含み、該端面において前記第２の接合部が前記第１の弾性板に接合されている。この場合には、第１の弾性板と第２の弾性板との接合面積を小さくすることができる。よって、振動装置の小型化を進めることができる。【００１７】
本発明に係る振動装置のさらに別の特定の局面では、前記第２の弾性板が、第３，第４の端部と、前記第４の端部側において前記第１の弾性板側に突出している突出部とを有し、前記突出部が前記第１の弾性板に接合されている。この場合には、振動装置が搭載された対象に第２の弾性板が接触する面積を大きくすることができる。よって、振動を効率的に外部に伝搬させることができる。【００１８】
本発明に係る振動装置のさらに別の特定の局面では、前記突出部の厚みが、前記第２の弾性板における前記突出部以外の少なくとも一部と同じ厚みであり、前記突出部が形成されている部分が、前記第２の弾性板の前記第１の弾性板側とは反対側の面に開口した凹部となっている。【００１９】
本発明に係る振動装置のさらに別の特定の局面では、前記突出部が前記第２の弾性板の前記第４の端部を含む。この場合には、振動装置の小型化を進めることができる。【００２０】
本発明に係る振動装置のさらに別の特定の局面では、前記第２の弾性板の前記第２の平面部の厚みが、前記第２の弾性板が前記第１の弾性板に接合されている部分の厚みよりも薄い。この場合には、質量付加部材が第２の弾性板により一層衝突し難い。よって、薄型化及び小型化に伴う振動の強度の低下がより一層生じ難い。【００２１】
本発明に係る振動装置のさらに別の特定の局面では、前記第２の弾性板が第３，第４の端部を有し、前記第１の弾性板と前記第２の弾性板とが接合されている部分が、前記第１の弾性板の前記第２の端部及び前記第２の弾性板の前記第４の端部の内の少なくとも一方を含む。この場合には、振動装置の小型化を進めることができる。【００２２】
本発明に係る振動装置のさらに別の特定の局面では、前記第１の弾性板の前記第１，第２の端部を結ぶ方向が前記第１の弾性板の長手方向である。【００２３】
本発明に係る振動装置のさらに別の特定の局面では、前記第１，第２の弾性板が金属からなる。この場合には、第１，第２の弾性板における、振動の強度の低下を抑制することができる。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、薄型化及び小型化に伴う振動の強度の低下が生じ難い、振動装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】図１は、本発明の第１の実施形態に係る振動装置の斜視図である。
【図２】図２は、本発明の第１の実施形態に係る振動装置の側面断面図である。
【図３】図３は、本発明の第１の実施形態に係る振動装置の分解斜視図である。
【図４】図４（ａ）は、本発明の第１の実施形態における圧電振動素子の側面図であり、図４（ｂ）は、第１の実施形態における圧電振動素子の平面図である。
【図５】図５は、本発明の第１の実施形態における圧電振動素子と回路基板との接続の状態を説明するための、圧電振動素子、回路基板及びフレキシブルプリント配線板を展開して示す平面図である。
【図６】図６は、本発明の第１の実施形態における第１，第２の弾性板の振動を説明するための模式図である。
【図７】図７は、本発明の第２の実施形態における第１，第２の弾性板の斜視図である。
【図８】図８は、本発明の第３の実施形態における第１，第２の弾性板の斜視図である。
【図９】図９は、本発明の第４の実施形態における第１，第２の弾性板の斜視図である。
【図１０】図１０は、本発明の第５の実施形態における第１，第２の弾性板の斜視図である。
【図１１】図１１（ａ）は、本発明の第６の実施形態における第１，第２の弾性板の斜視図であり、図１１（ｂ）は、第６の実施形態における第１，第２の弾性板の背面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。
【００２７】
なお、本明細書に記載の各実施形態は、例示的なものであり、異なる実施形態間において、構成の部分的な置換または組み合わせが可能であることを指摘しておく。
【００２８】
図１は本発明の第１の実施形態に係る振動装置の外観を示す斜視図であり、図２はその側面断面図である。図３は、第１の実施形態に係る振動装置の分解斜視図である。
【００２９】
図１〜図３に示す振動装置１は、携帯型電子機器の振動報知機能などに用いることができる。図２に示すように、振動装置１は、第１の弾性板２ａを有する。第１の弾性板２ａは、第１，第２の端部２ａ４，２ａ５を有する。本実施形態では、平面視において、第１の端部２ａ４と第２の端部２ａ５とを結ぶ方向が、第１の弾性板２ａの長手方向である。
【００３０】
振動装置１は、第１の弾性板２ａの第２の端部２ａ５側に接続されている第２の弾性板２ｂを有する。第２の弾性板２ｂは、第３，第４の端部２ｂ４，２ｂ５を有する。第２の弾性板２ｂは、第４の端部２ｂ５側に位置している第２の接合部２ｂ３を有する。第２の弾性板２ｂは、第２の接合部２ｂ３において第１の弾性板２ａに接続されている。本実施形態では、第３の端部２ｂ４と第４の端部２ｂ５とを結ぶ方向が、第２の弾性板２ｂの長手方向である。なお、第１，第２の弾性板２ａ，２ｂにおける長手方向は上記に限定されない。
【００３１】
第２の弾性板２ｂの厚みは第１の弾性板２ａの厚みよりも厚い。さらに、第２の弾性板２ｂの材料は、第１の弾性板２ａの材料よりも曲げ剛性が高い。これにより、第２の弾性板２ｂは、第１の弾性板２ａよりも曲げ剛性が高い。なお、曲げ剛性とは、物体に力が加わったとき、物体の曲げ変形のし難さを示す性質をいう。曲げ剛性が高いとは、曲げ変形し難いことをいう。
【００３２】
より具体的には、第１の弾性板２ａはＳＵＳ３０４からなり、第２の弾性板２ｂはＳＵＳ３０１からなる。なお、第１，第２の弾性板２ａ，２ｂは、上記以外の金属や合成樹脂などの、弾性を有する他の材料からなっていてもよい。もっとも、本実施形態のように、第１，第２の弾性板２ａ，２ｂはステンレス鋼などの金属からなることが好ましい。それによって、第１，第２の弾性板２ａ，２ｂにおける、振動の強度の低下をより一層抑制することができる。
【００３３】
なお、第１，第２の弾性板２ａ，２ｂは同じ材料からなっていてもよい。この場合には、厚みなどを異ならせることにより、第２の弾性板２ｂの曲げ剛性を第１の弾性板２ａの曲げ剛性よりも高くすることができる。あるいは、第１，第２の弾性板２ａ，２ｂの厚みが同じであってもよい。この場合には、材料などを異ならせることにより、第２の弾性板２ｂの曲げ剛性を第１の弾性板２ａの曲げ剛性よりも高くすることができる。
【００３４】
第１の弾性板２ａは、第１，第２の端部２ａ４，２ａ５の間に位置している第１の平面部２ａ１、第１の連結部２ａ２及び第１の接合部２ａ３を有する。第１の平面部２ａ１は平面状である。第１の平面部２ａ１の先端部が上記第１の端部２ａ４に位置する。第１の連結部２ａ２は、第１の平面部２ａ１と第１の接合部２ａ３とを接続している。第１の接合部２ａ３は、第２の弾性板２ｂに接合されている。第１の接合部２ａ３の先端部が第２の端部２ａ５に位置する。
【００３５】
他方、第２の弾性板２ｂは、第３，第４の端部２ｂ４，２ｂ５の間に位置している第２の平面部２ｂ１と、第２の接合部２ｂ３とを有する。第２の平面部２ｂ１は平面状である。第１の弾性板２ａの第１の平面部２ａ１に、第２の弾性板２ｂの第２の平面部２ｂ１が対向されている。第２の接合部２ｂ３は、第１の弾性板２ａの第１の接合部２ａ３に接合されている。
【００３６】
第１の弾性板２ａは、第１の連結部２ａ２において、第２の弾性板２ｂ側に曲がっている。第１の連結部２ａ２から第１の接合部２ａ３が、第１の端部２ａ４から遠ざかる方向に延びている。第１の接合部２ａ３は、第２の弾性板２ｂの第２の平面部２ｂ１に平行に延びている面を有する。該面において、第１の接合部２ａ３は第２の弾性板２ｂに接合されている。第１の弾性板２ａと第２の弾性板２ｂとは、溶接により接合されていることが好ましい。それによって、接合強度を効果的に高めることができる。
【００３７】
上記溶接は、例えば、レーザー光の照射などにより行うことができる。なお、第１，第２の弾性板２ａ，２ｂの接合は、上記には限定されず、例えば、ろう材用金属や接着剤などにより果たされていてもよい。
【００３８】
図２に示すように、第１の連結部２ａ２は、一点鎖線Ａ及び一点鎖線Ｂの間に位置する。第１の連結部２ａ２の両端部は湾曲している。なお、第１の連結部２ａ２の両端部の内の少なくとも一方が、角部を有するように屈曲していてもよい。
【００３９】
第１の弾性板２ａの第１の平面部２ａ１に、圧電振動素子３が設けられている。より具体的には、第１の平面部２ａ１における第２の弾性板２ｂ側の面に圧電振動素子３が設けられている。圧電振動素子３は、熱硬化性樹脂系接着剤などの適宜の接着剤を用いて第１の弾性板２ａに固定されている。圧電振動素子３は、矩形板状の形状を有する。
【００４０】
図４（ａ）は、第１の実施形態における圧電振動素子の側面図である。図４（ｂ）は、第１の実施形態における圧電振動素子の平面図である。
【００４１】
図４（ａ）に示すように、圧電振動素子３は、圧電体層４を有する。圧電体層４は、第１の主面４ａと、第１の主面４ａと対向している第２の主面４ｂとを有する。圧電振動素子３は、第１の主面４ａ側から第１の弾性板に固定されている。
【００４２】
図４（ｂ）中の破線で示すように、圧電体層４の第２の主面４ｂ上に、第１の電極５ａと第２の電極５ｂとが設けられている。図４（ａ）に示すように、第１の電極５ａと圧電体層４を介して対向するように、第３の電極５ｃが第１の主面４ａ上に設けられている。第３の電極５ｃは、ビアホール電極または圧電体層４の側面を経由した接続電極（図示せず）により、第２の電極５ｂに電気的に接続されている。
【００４３】
圧電体層４を構成する材料としては、ＰＺＴ系セラミックスのような適宜の圧電セラミックスを用いることができる。第１〜第３の電極５ａ〜５ｃは、適宜の金属もしくは合金からなる。もっとも、本発明において圧電振動素子３の構成は特に限定されない。
【００４４】
圧電振動素子３の第１，第３の電極５ａ，５ｃ間に交流電界を印加することにより、圧電振動素子３が面内方向に伸縮する。圧電振動素子３が伸縮すると、図２に示す第１の弾性板２ａに反りが生じる。それに伴って、第１の弾性板２ａは、第１の端部２ａ４が図２における下方に変位した状態と、上方に変位した状態とを繰り返し、振動する。第１の弾性板２ａの振動は、第１の接合部２ａ３を介して第２の弾性板２ｂに伝搬する。ここで、振動装置１は、第２の弾性板２ｂ側から搭載される。振動装置１の振動は、第２の弾性板２ｂから外部に伝搬する。それによって、上記振動報知機能などが果たされる。
【００４５】
本実施形態の特徴は、振動装置１が、圧電振動素子３が設けられている第１の弾性板２ａと、第１の弾性板２ａに接合されている第２の弾性板２ｂとを有し、かつ第２の弾性板２ｂの方が第１の弾性板２ａよりも曲げ剛性が高いことにある。それによって、振動装置１の薄型化及び小型化に伴う第２の弾性板２ｂの振動の強度の低下が生じ難い。よって、第２の弾性板２ｂから外部に、振動を効率的に伝搬させることができる。この詳細は後述する。
【００４６】
図２及び図３に示すように、回路部としての回路基板６が、第２の弾性板２ｂの第２の平面部２ｂ１に設けられている。より具体的には、回路基板６は、第２の平面部２ｂ１における第１の弾性板２ａ側の面上に設けられている。
【００４７】
回路基板６には、ガラスエポキシ基板やポリイミドなどの合成樹脂からなる適宜の基板材料を用いることができる。この回路基板６には、上記圧電振動素子３に給電し、駆動するための駆動回路の少なくとも一部が形成されている。
【００４８】
回路基板６は、圧電振動素子３に、フレキシブルプリント配線板７により電気的に接続されている。フレキシブルプリント配線板７は、熱硬化性ポリイミドなどの柔軟性を有する樹脂フィルムを用いて構成されている。回路基板６及び圧電振動素子３と、フレキシブルプリント配線板７との接続には、導電性接着剤や、半田などを用いることができる。
【００４９】
図５は、第１の実施形態における圧電振動素子と回路基板との接続の状態を説明するための、圧電振動素子、回路基板及びフレキシブルプリント配線板を展開して示す平面図である。
【００５０】
フレキシブルプリント配線板７は、第１の電気的接続部７ａ１，７ａ２、第２の電気的接続部７ｂ、第３の電気的接続部７ｃ１，７ｃ２及び配線連結部７ｄを有する。第１の電気的接続部７ａ１，７ａ２は、外部に接続される。第１の電気的接続部７ａ１と第１の電気的接続部７ａ２とは異なる電位に接続される。第１の電気的接続部７ａ１，７ａ２は、配線７ｅ１，７ｅ２により第２の電気的接続部７ｂに電気的に接続されている。
【００５１】
第２の電気的接続部７ｂ上には、回路基板６が載置されている。第２の電気的接続部７ｂと回路基板６とは電気的に接続されている。第２の電気的接続部７ｂは、配線連結部７ｄ中を通る配線７ｅ３，７ｅ４により、第３の電気的接続部７ｃ１，７ｃ２に電気的に接続されている。
【００５２】
第３の電気的接続部７ｃ１，７ｃ２は、圧電振動素子３に接続されている。より具体的には、第３の電気的接続部７ｃ１は、圧電振動素子３の第１の電極５ａに接続されている。第３の電気的接続部７ｃ２は、圧電振動素子３の第２の電極５ｂに接続されている。
【００５３】
図２に示すように、フレキシブルプリント配線板７は、第２の弾性板２ｂの第２の平面部２ｂ１における第１の弾性板２ａ側の面に固定されている。この固定は、適宜の接着剤や、適宜の接着シートを用いて行うことができる。そして、第２の電気的接続部が第２の弾性板２ｂ上に配置され、かつ第３の電気的接続部が第１の弾性板２ａ上に配置されるように、配線連結部７ｄが折り曲げられている。
【００５４】
振動装置１の製造に際し、図５に示したように、圧電振動素子３、回路基板６及びフレキシブルプリント配線板７を展開した状態において、電気的接続作業を行うことができる。従って、電気的接続作業を容易に行うことができる。
【００５５】
なお、回路部は回路基板には限定されない。回路部は、圧電振動素子３を駆動するための回路の少なくとも一部を形成していればよい。例えば、回路部は、配線エレメントなどからなっていてもよい。また、回路部と圧電振動素子３との接続の構成も特に限定されない。例えば、リード線などにより回路部と圧電振動素子３とが接続されていてもよい。
【００５６】
図１に示すように、フレキシブルプリント配線板７の第１の電気的接続部７ａ１，７ａ２は、第２の弾性板２ｂ及び後述するパッケージ材９よりも側方にはみ出している。よって、外部との電気的接続を容易に行うことができる。
【００５７】
図２に示すように、第１の弾性板２ａの第１の端部２ａ４には、質量付加部材８が取り付けられている。質量付加部材８により、振動装置１の共振周波数を調整することができる。また、質量付加部材８を加えることで、第１の弾性板２ａからなる振り子の先端質量を大きくし、振動装置１の振動を大きくすることができる。質量付加部材８は、適宜の金属または、金属と樹脂の合成材料、セラミックスなどからなる。好ましくは、質量付加作用が高いため、タングステンなどの密度の高い金属が望ましい。
【００５８】
質量付加部材８は、第１の弾性板２ａ側に位置している第１の主面８Ａと、第２の弾性板２ｂ側に位置している第２の主面８Ｂとを有する。
【００５９】
質量付加部材８の第１の主面８Ａは、階段状の形状を有する。より具体的には、上記第１の主面８Ａは、段差を介して連ねられている第３の平面部８ａ、第４の平面部８ｂ及び第５の平面部８ｃを有する。第３の平面部８ａと第４の平面部８ｂとの段差の高さが、第１の弾性板２ａの厚みと同等とされている。
【００６０】
第１の弾性板２ａの第１の端部２ａ４は、第４の平面部８ｂに設けられている。より具体的には、第１の弾性板２ａは、上記段差近くに第１の端部２ａ４が配置され、かつ第１の端部２ａ４近傍が第４の平面部８ｂに載置されている。
【００６１】
第４の平面部８ｂと第５の平面部８ｃも、別の段差を介して連ねられている。圧電振動素子３の先端部が上記段差近くに配置されている。本実施形態では、上記先端部にフレキシブルプリント配線板７における第１の弾性板２ａ側に配置された部分の先端部が至っている。上記別の段差の高さは、圧電振動素子３及びフレキシブルプリント配線板７の厚みの合計以上とされている。従って、第１の弾性板２ａ、圧電振動素子３やフレキシブルプリント配線板７の厚みが上記段差及び別の段差の高さの合計寸法内に吸収される。よって、大型化を招くことなく、質量付加部材８を第１の弾性板２ａの第１の端部２ａ４に固定することができる。
【００６２】
なお、フレキシブルプリント配線板７は、平面視において、質量付加部材８に重なる位置に至っていなくてもよい。この場合には、質量付加部材８の上記別の段差の高さは、圧電振動素子３の厚み以上であることが好ましい。
【００６３】
第３の平面部８ａは傾斜面となっている。第２の主面８Ｂも、少なくとも一部が傾斜面となっている。それによって、第１の弾性板２ａの第１の端部２ａ４から遠ざかるにつれて、質量付加部材８の厚み（質量付加部材８の第１の主面８Ａと質量付加部材８の第２の主面８Ｂとの距離）が小さくなっている。これにより、第１の弾性板２ａの振動に際し、質量付加部材８が第２の弾性板２ｂ及び後述するパッケージ材９の天板部９ａに衝突し難い。よって、振動をより一層効率よく外部に伝搬させることができる。
【００６４】
なお、質量付加部材８の形状は特に限定されない。
【００６５】
振動装置１は、カバー材としてのパッケージ材９を有する。パッケージ材９は、圧電振動素子３及び質量付加部材８が取り付けられた第１の弾性板２ａを収納するように設けられている。
【００６６】
図１に示すように、パッケージ材９は、天板部９ａと、天板部９ａに一方端が連ねられている第１〜第４の側面部９ｂ〜９ｅとを有する。第１，第３の側面部９ｂ，９ｄは互いに対向し合っている。第２，第４の側面部９ｃ，９ｅも互いに対向し合っている。
【００６７】
第１の側面部９ｂは第１の弾性板２ａの第１の端部２ａ４側に位置している。第３の側面部９ｄは第２の端部２ａ５側に位置している。なお、パッケージ材９は、第１，第３の側面部９ｂ，９ｄの内の少なくとも一方を有していなくともよい。もっとも、パッケージ材９が第１，第３の側面部９ｂ，９ｄを有することにより、振動装置１の強度を効果的に高めることができる。
【００６８】
パッケージ材９は、適宜の金属もしくは合成樹脂からなる。好ましくは、機械的強度に優れているため、金属が望ましい。より好ましくは、防錆性に優れているためステンレス鋼が望ましい。
【００６９】
上述したように、本実施形態では、第２の弾性板２ｂの方が第１の弾性板２ａよりも曲げ剛性が高い。それによって、振動装置１の薄型化及び小型化に伴う振動の強度の低下が生じ難い。これを、下記の図６を参照して説明する。
【００７０】
図６は、第１の実施形態における第１，第２の弾性板の振動を説明するための側面断面の模式図である。
【００７１】
圧電振動素子３に交流電界を印加することにより、第１の弾性板２ａは、図６中の一点鎖線で示すように、第１の端部２ａ４が図６における下方に変位した状態と、上方に変位した状態とを繰り返し、振動する。この振動は、第１の接合部２ａ３から第２の弾性板２ｂに伝搬する。ここで、第２の弾性板２ｂの方が第１の弾性板２ａよりも曲げ剛性が高いため、第２の弾性板２ｂは上記振動により屈曲し難い。そのため、図６中の二点鎖線で示すように、第２の弾性板２ｂは全体が上下に振動する。よって、第２の弾性板２ｂに伝搬した振動の強度が減衰し難い。従って、薄型化及び小型化を進めても、振動の強度の低下が生じ難い。
【００７２】
さらに、図２に示すように、パッケージ材９は、第２の弾性板２ｂにおいて、振動装置１が搭載される側には設けられていない。振動装置１は、振動を伝搬させる対象に、第２の弾性板２ｂが接するように搭載される。よって、振動をより一層効率的に外部に伝搬させることができる。
【００７３】
第２の弾性板２ｂにおいては、第１の弾性板２ａから伝搬した振動による屈曲が生じ難い。よって、振動装置１の搭載に際しては、例えば、変形し易く、第２の弾性板２ｂの屈曲を抑制し難い両面粘着テープなどを用いることもできる。両面粘着テープなどを用いたとしても、振動の伝搬効率の劣化を招き難く、かつ振動装置１を容易に実装することができる。
【００７４】
第１の弾性板２ａと第２の弾性板２ｂとが接合されている部分が、第１の弾性板２ａの第２の端部２ａ５及び第２の弾性板２ｂの第４の端部２ｂ５の内の少なくとも一方を含むことが好ましい。それによって、振動装置１の小型化を進めることができる。もっとも、より好ましくは、本実施形態のように、第１，第２の弾性板２ａ，２ｂが接合されている部分が、第２，第４の端部２ａ５，２ｂ５の両方を含むことが好ましい。それによって、振動装置１の小型化をより一層進めることができる。
【００７５】
下記の図７〜図１０並びに図１１（ａ）及び図１１（ｂ）において、第１の実施形態とは第１，第２の弾性板の構成が異なる第２〜第６の実施形態に係る振動装置を示す。第２〜第６の実施形態に係る振動装置においては、第１の実施形態の振動装置１と同様に、薄型化及び小型化に伴う振動の強度の低下が生じ難い。なお、図７〜図１０並びに図１１（ａ）及び図１１（ｂ）では、振動装置の第１，第２の弾性板の構成のみを示す。
【００７６】
図７は、第２の実施形態における第１，第２の弾性板の斜視図である。
【００７７】
本実施形態は、第２の弾性板１２ｂの第２の平面部１２ｂ１の厚みが、第２の接合部１２ｂ３の厚みよりも薄い点で、第１の実施形態と異なる。
【００７８】
第２の弾性板１２ｂの第２の接合部１２ｂ３の厚みは、第１の弾性板２ａの厚みよりも厚い。よって、第２の弾性板１２ｂは屈曲し難く、振動の強度の低下が生じ難い。
【００７９】
第２の平面部１２ｂ１の厚みは第２の接合部１２ｂ３の厚みよりも薄いため、振動に際し、質量付加部材が第２の弾性板１２ｂに、より一層衝突し難い。従って、小型化及び薄型化に伴う振動の強度の低下がより一層生じ難い。
【００８０】
図８は、第３の実施形態における第１，第２の弾性板の斜視図である。
【００８１】
本実施形態は、第１の弾性板２２ａにおいて、第１の連結部２２ａ２から、第１の接合部２２ａ３が第１の端部２２ａ４に近づく方向に延びている点で、第１の実施形態と異なる。
【００８２】
より具体的には、第１の接合部２２ａ３は、第２の弾性板２ｂの第２の平面部２ｂ１に平行に延びている面を有する。第１の接合部２２ａ３は、該面において第２の弾性板２ｂに接合されている。
【００８３】
第１の接合部２２ａ３は、平面視において、第１の平面部２２ａ１と重なっている部分を有する。よって、振動装置の小型化を進めることができる。
【００８４】
図９は、第４の実施形態における第１，第２の弾性板の斜視図である。
【００８５】
本実施形態は、第１の弾性板３２ａが平板状である点及び第２の弾性板３２ｂが第１の弾性板３２ａ側に曲がっている部分を有する点において、第１の実施形態と異なる。
【００８６】
より具体的には、第２の弾性板３２ｂは、第２の平面部３２ｂ１と第２の接合部３２ｂ３とを連結している第２の連結部３２ｂ２を有する。第２の接合部３２ｂ３は、第２の連結部３２ｂ２よりも第４の端部３２ｂ５側に位置している。
【００８７】
第２の弾性板３２ｂは、第２の連結部３２ｂ２において第１の弾性板３２ａ側に曲がっている。第２の連結部３２ｂ２から、第２の接合部３２ｂ３は第３の端部３２ｂ４から遠ざかる方向に延びている。第２の接合部３２ｂ３は、第１の弾性板３２ａの第１の平面部３２ａ１に平行に延びている面を有する。第２の接合部３２ｂ３は、該面において第１の弾性板３２ａに接合されている。
【００８８】
なお、第２の連結部３２ｂ２から、第２の接合部３２ｂ３が第３の端部３２ｂ４に近づく方向に延びていてもよい。
【００８９】
図１０は、第５の実施形態における第１，第２の弾性板の斜視図である。
【００９０】
本実施形態は、第２の弾性板４２ｂの第２の接合部４２ｂ３が第１の弾性板３２ａ側に向かって延びている点で、第４の実施形態と異なる。第２の接合部４２ｂ３は第４の端部４２ｂ５を含む。第４の端部４２ｂ５は第２の弾性板４２ｂの端面を含む。第２の接合部４２ｂ３は、該端面において第１の弾性板３２ａに接合されている。
【００９１】
本実施形態では、第１の弾性板３２ａと第２の弾性板４２ｂとの接合面積を小さくすることができる。よって、振動装置の小型化を進めることができる。
【００９２】
なお、第２の弾性板が平板状であり、第１の弾性板の第１の接合部が第２の弾性板に向かって延びており、かつ第２の端部側の端面において、第１の弾性板が第２の弾性板に接合されていてもよい。
【００９３】
図１１（ａ）は、第６の実施形態における第１，第２の弾性板の斜視図である。図１１（ｂ）は、第６の実施形態における第１，第２の弾性板の背面図である。
【００９４】
図１１（ａ）に示すように、本実施形態は、第２の弾性板５２ｂが第４の端部５２ｂ５側において第１の弾性板３２ａ側に突出している突出部５２ｂ６を有する点で、第４の実施形態と異なる。第２の弾性板５２ｂは、突出部５２ｂ６において、第１の弾性板３２ａに接合されている。
【００９５】
より具体的には、突出部５２ｂ６は、第１の弾性板３２ａの第１の平面部３２ａ１に平行に延びている面を有する。突出部５２ｂ６は、該面において第１の弾性板３２ａに接合されている。
【００９６】
突出部５２ｂ６は、第２の弾性板５２ｂの第４の端部５２ｂ５側が曲げ加工されることにより形成されている。図１１（ｂ）に示すように、突出部５２ｂ６が形成されている部分は、第２の弾性板５２ｂの第１の弾性板３２ａ側とは反対側の面に開口した凹部となっている。突出部５２ｂ６における第２の弾性板５２ｂの厚みは、図１１（ａ）に示す第２の平面部５２ｂ１の厚みと同じ厚みである。なお、突出部５２ｂ６における第２の弾性板５２ｂの厚みは、第２の弾性板５２ｂにおける突出部５２ｂ６以外の少なくとも一部と同じ厚みであればよい。
【００９７】
振動装置は、第２の弾性板５２ｂの図１１（ａ）における下側の面から実装される。このとき、振動装置が搭載される対象に、第２の弾性板５２ｂにおける上記面の、突出部５２ｂ６以外の部分を接触させることができる。よって、振動装置が搭載される対象に、第２の弾性板５２ｂが接触する面積を大きくすることができる。従って、振動を効率的に外部に伝搬させることができる。
【００９８】
突出部５２ｂ６は、第４の端部５２ｂ５を含んでいることが好ましい。それによって、第２の弾性板５２ｂが第１の弾性板３２ａと接合している部分に、第４の端部５２ｂ５を含ませることができる。よって、振動装置の小型化を進めることができる。
【符号の説明】
【００９９】
１…振動装置
２ａ…第１の弾性板
２ａ１…第１の平面部
２ａ２…第１の連結部
２ａ３…第１の接合部
２ａ４，２ａ５…第１，第２の端部
２ｂ…第２の弾性板
２ｂ１…第２の平面部
２ｂ３…第２の接合部
２ｂ４，２ｂ５…第３，第４の端部
３…圧電振動素子
４…圧電体層
４ａ，４ｂ…第１，第２の主面
５ａ〜５ｃ…第１〜第３の電極
６…回路基板
７…フレキシブルプリント配線板
７ａ１，７ａ２…第１の電気的接続部
７ｂ…第２の電気的接続部
７ｃ１，７ｃ２…第３の電気的接続部
７ｄ…配線連結部
７ｅ１〜７ｅ４…配線
８…質量付加部材
８Ａ，８Ｂ…第１，第２の主面
８ａ〜８ｃ…第３〜第５の平面部
９…パッケージ材
９ａ…天板部
９ｂ〜９ｅ…第１〜第４の側面部
１２ｂ…第２の弾性板
１２ｂ１…第２の平面部
１２ｂ３…第２の接合部
２２ａ…第１の弾性板
２２ａ１…第１の平面部
２２ａ２…第１の連結部
２２ａ３…第１の接合部
２２ａ４，２２ａ５…第１，第２の端部
３２ａ…第１の弾性板
３２ａ１…第１の平面部
３２ｂ…第２の弾性板
３２ｂ１…第２の平面部
３２ｂ２…第２の連結部
３２ｂ３…第２の接合部
３２ｂ４，３２ｂ５…第３，第４の端部
４２ｂ…第２の弾性板
４２ｂ３…第２の接合部
４２ｂ５…第４の端部
５２ｂ…第２の弾性板
５２ｂ１…第２の平面部
５２ｂ５…第４の端部
５２ｂ６…突出部
【図１】
2017130738.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【国際調査報告】
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2017130738.tif 000015
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