(57)【要約】  静電チャックヒータは、静電チャックと支持台との間に、樹脂シート３２にヒータ線３４が埋設されたシートヒータ３０が配置されたものである。ヒータ線３４は、樹脂シート３２の多数のゾーンＺ１ごとに設けられ、一端３４ａから他端３４ｂまで一筆書きの要領でゾーンＺ１の全体に行き渡るように配線された銅線によって構成されている。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
静電チャックと支持台との間に、樹脂シートにヒータ線が埋設されたシートヒータが配置された静電チャックヒータであって、
前記ヒータ線は、前記樹脂シートの多数のゾーンごとに設けられ、一端から他端まで一筆書きの要領で前記ゾーンの全体に行き渡るように配線された銅線によって構成されている、
静電チャックヒータ。
【請求項２】
前記ヒータ線は、１ｍｍ幅の中に５０本以下配線されている、
請求項１に記載の静電チャックヒータ。
【請求項３】
前記ヒータ線は、厚みが３５μｍ以下である、
請求項１又は２に記載の静電チャックヒータ。
【請求項４】
前記シートヒータは、前記シートヒータの表面に平行で高さの異なる第１電極領域と第２電極領域を有し、前記第１電極領域は前記ヒータ線が設けられた領域であり、前記第２電極領域は各ヒータ線に給電するジャンパ線が複数設けられた領域であり、前記ジャンパ線は銅線で構成されている、
請求項１〜３のいずれか１項に記載の静電チャックヒータ。
【請求項５】
前記ジャンパ線は、１０ｍｍ幅の中に前記銅線が９本以上配線されている、
請求項４に記載の静電チャックヒータ。
【請求項６】
前記銅線は、最も幅の広い部分の線幅から最も幅の狭い部分の線幅を差し引いた値であるばらつきが４μｍ以下である、
請求項１〜５のいずれか１項に記載の静電チャックヒータ。
【請求項７】
前記銅線は、純度が９９．９質量％以上である、
請求項１〜６のいずれか１項に記載の静電チャックヒータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、静電チャックヒータに関する。
【背景技術】
【０００２】
静電チャックヒータとしては、静電チャックとベースとの間に、樹脂シートに加熱部材が埋設されたシートヒータが設けられたものが知られている（特許文献１参照）。こうした静電チャックヒータでは、樹脂シートが静電チャックに対して急激な膨張・収縮を緩和する緩衝層として機能し、静電チャックにクラック等が発生するのを防止できる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−４０６４４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１では、加熱部材はチタンやタングステン、モリブデンのような比較的抵抗の高い材料で構成されているため、加熱部材を細かく配線すると温度が上がり過ぎるという問題があった。そのため、加熱部材の配線間隔を広くする必要があったが、そうすると、加熱部材が存在する部分と存在しない部分との温度差が広がり、均熱性を損ねるという問題があった。【０００５】
本発明は、上述した課題を解決するためになされたものであり、従来に比べてウエハの均熱性を向上させることを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の静電チャックヒータは、
静電チャックと支持台との間に、樹脂シートにヒータ線が埋設されたシートヒータが配置された静電チャックヒータであって、
前記ヒータ線は、前記樹脂シートの多数のゾーンごとに設けられ、一端から他端まで一筆書きの要領で前記ゾーンの全体に行き渡るように配線された銅線によって構成されている、
ものである。【０００７】
この静電チャックヒータでは、樹脂シートの多数のゾーンごとに設けられたヒータ線は銅線によって構成されている。銅は、チタンやタングステン、モリブデンなどと比べて電気抵抗が低い。そのため、ヒータ線を細かく配線したとしても温度が上がり過ぎることはなく、配線間隔を狭くすることができる。その結果、静電チャックのウエハ載置面においてヒータ線が存在する部分と存在しない部分との温度差が小さくなり、ウエハの均熱性が向上する。【０００８】
なお、静電チャックは、セラミック焼結体に静電電極が埋設されたものとしてもよい。支持台は、金属製のものとしてもよく、内部に冷媒流路を有するものとしてもよい。【０００９】
本発明の静電チャックヒータにおいて、前記ヒータ線は、１ｍｍ幅の中に５０本以下配線されるようにしてもよい。こうすれば、ヒータ線の配線間隔を十分狭くすることができ、ウエハの均熱性がより向上する。ヒータ線は、１ｍｍ幅の中に１本以上配線されていればよいが、５本以上配線されていることが好ましい。【００１０】
本発明の静電チャックヒータにおいて、前記ヒータ線は、厚みを３５μｍ以下にしてもよい。こうすれば、樹脂シートを薄くすることができるため、静電チャックと支持台との間の熱抵抗を小さくすることができる。ヒータ線の厚みの下限値は特に限定するものでないが、製造限界値（例えば４μｍ）としてもよい。【００１１】
本発明の静電チャックヒータにおいて、前記シートヒータは、前記シートヒータの表面に平行で高さの異なる第１電極領域と第２電極領域を有し、前記第１電極領域は前記ヒータ線が設けられた領域であり、前記第２電極領域は各ヒータ線に給電するジャンパ線が複数設けられた領域であり、前記ジャンパ線は銅線で構成されていてもよい。こうすれば、各ヒータ電極に供給する電力を個別に制御することができるため、高い均熱性を達成しやすい。また、ジャンパ線は電気抵抗（比抵抗）の小さい銅線で構成されているため、断面積が小さくても発熱しにくい。そのため、高密度でレイアウトすることができる。例えば、ジャンパ線は、１０ｍｍ幅の中に銅線が９本以上配線されていてもよい。また、ジャンパ線は、１０ｍｍ幅の中に銅線が２０本以下配線されていてもよい。【００１２】
本発明の静電チャックヒータにおいて、前記銅線は、線幅のばらつき（最も幅の広い部分の線幅から最も幅の狭い部分の線幅を差し引いた値）が４μｍ以下となるようにしてもよい。銅線の形状をウェットエッチングで作製すれば、銅線の線幅のばらつきを４μｍ以下に収めることができる。こうすれば、線間距離の設計値を１０〜数１０μｍに設定したとしても、実際に銅線を作製したときに隣合う線同士が接触してしまうことがない。【００１３】
本発明の静電チャックヒータにおいて、前記銅線は、純度が９９．９質量％以上であることが好ましい。一般に銅の純度が高いほど電気抵抗は低いため、本発明の静電チャックヒータのヒータ線あるいはジャンパ線に用いるのに適している。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】静電チャックヒータ２０の概略構成を示す断面図。
【図２】シートヒータ３０の内部構造を示す斜視図。
【図３】ゾーンＺ１に設けられたヒータ線３４の平面図。
【図４】ヒータ線３４の製造工程図。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
本発明の好適な実施形態を、図面を参照しながら以下に説明する。図１は静電チャックヒータ２０の概略構成を示す断面図、図２はシートヒータ３０の内部構造を示す斜視図、図３はゾーンＺ１に設けられたヒータ線３４の平面図である。
【００１６】
静電チャックヒータ２０は、ウエハＷをウエハ載置面２２ａに吸着保持する装置である。この静電チャックヒータ２０は、静電チャック２２、シートヒータ３０及び支持台６０を備えている。静電チャック２２の下面とシートヒータ３０の上面３０ａとは第１ボンディングシート８１を介して互いに接着されている。支持台６０の上面とシートヒータ３０の下面３０ｂとは第２ボンディングシート８２を介して互いに接着されている。各ボンディングシート８１，８２としては、ポリプロピレン製の芯材の両面にアクリル樹脂層を備えたシート、ポリイミド製の芯材の両面にシリコーン樹脂層を備えたシート、エポキシ樹脂単独のシートなどが挙げられる。
【００１７】
静電チャック２２は、円板状の部材であり、セラミックス焼結体２６に静電電極２４が埋設されたものである。セラミックス焼結体２６としては、例えば窒化アルミニウム焼結体やアルミナ焼結体などが挙げられる。静電チャック２２の上面は、ウエハＷを載置するウエハ載置面２２ａとなっている。セラミックス焼結体２６の厚みは、特に限定するものではないが、０．５〜４ｍｍが好ましい。
【００１８】
シートヒータ３０は、円板状の部材であり、耐熱性の樹脂シート３２に、ヒータ線３４及びジャンパ線３６，３７を内蔵したものである。樹脂シート３２の材質としては、例えばポリイミド樹脂や液晶ポリマーなどが挙げられる。シートヒータ３０は、シートヒータ３０の上面３０ａに平行で高さの異なる第１電極領域Ａ１と第２電極領域Ａ２（図２参照）を有している。
【００１９】
第１電極領域Ａ１は、多数のゾーンＺ１（例えば１００ゾーンとか３００ゾーン）に分けられている。各ゾーンＺ１には、銅線からなるヒータ線３４が一筆書きの要領で一端３４ａから他端３４ｂまでそのゾーンＺ１の全体に行き渡るようにジグザグ状に配線されている。図２では、第１電極領域Ａ１に点線で示す仮想線を引き、その仮想線で囲まれた部分をゾーンＺ１とした。この図２では、便宜上、１つのゾーンＺ１のみにヒータ線３４を示したが、他のゾーンＺ１にも同様のヒータ線３４が設けられている。また、シートヒータ３０の外形を一点鎖線で示した。
【００２０】
図３は、１つのゾーンＺ１に設けられたヒータ線３４の平面図である。ヒータ線３４は、高純度（９９．９質量％以上）の銅線からなり、１ｍｍ幅の中に５０本以下配線されていることが好ましい。ヒータ線３４は、１ｍｍ幅の中に１本以上配線されていればよいが、５本以上配線されていてもよい。また、ヒータ線３４の線幅を１０μｍ以上（好ましくは２０〜８０μｍ、より好ましくは４０〜６０μｍ）、線間距離を１０μｍ以上（好ましくは２０〜８０μｍ、より好ましくは４０〜６０μｍ）としてもよい。ヒータ線３４の線幅を１０μｍ、線間距離を１０μｍとした場合、１ｍｍ幅にヒータ線３４を５０本配線することができる。ヒータ線３４の線幅を５０μｍ、線間距離を５０μｍとした場合、１ｍｍ幅にヒータ線３４を１０本配線することができる。ヒータ線３４の線幅を１００μｍ、線間距離を１００μｍとした場合、１ｍｍ幅にヒータ線３４を５本配線することができる。ヒータ線３４は、厚みを３５μｍ以下にしてもよい。ヒータ線３４の厚みの下限値は特に限定するものでないが、製造限界値（例えば４μｍ）としてもよい。ヒータ線３４は、線幅のばらつき（最も幅の広い部分の線幅から最も幅の狭い部分の線幅を差し引いた値）が４μｍ以下に収まるものとしてもよい。ヒータ線３４の形状をウェットエッチングで作製すれば、線幅のばらつきを４μｍ以下に収めることができる。
【００２１】
第２電極領域Ａ２には、図２に示すように、各ヒータ線３４の一端３４ａに接続された銅線からなる給電用（＋極側）のジャンパ線３６と、各ヒータ線３４の他端３４ｂに接続された銅線からなるグランド用（−極側）のジャンパ線３７とが設けられている。そのため、ジャンパ線３６の数とジャンパ線３７の数は、いずれもヒータ線３４の数と一致する。第２電極領域Ａ２は、ゾーンＺ１の数よりも少ない数（例えば６ゾーンとか８ゾーン）のゾーンＺ２に分けられている。図２では、第２電極領域Ａ２に点線で示す仮想線を引き、その仮想線で囲まれた部分をゾーンＺ２とした。この図２では、便宜上、１つのゾーンＺ２のみにジャンパ線３６，３７（一部）を示したが、他のゾーンＺ２にも同様のジャンパ線３６，３７が設けられている。本実施形態では、一つのゾーンＺ２を第１電極領域Ａ１に投影したときの投影領域の中に入る複数のヒータ線３４を、同じ組に属するものとして説明する。一つの組に属するヒータ線３４の一端３４ａは、その組に対応するゾーンＺ２内のジャンパ線３６の一端３６ａに、第１電極領域Ａ１と第２電極領域Ａ２との間を上下方向に貫く図示しないビアを介して接続されている。そのジャンパ線３６の他端３６ｂはそのゾーンＺ２に設けられた外周領域３８まで引き出されている。また、そのヒータ線３４の他端３４ｂは、同じゾーンＺ２内のジャンパ線３７の一端３７ａに、第１電極領域Ａ１と第２電極領域Ａ２との間を上下方向に貫く図示しないビアを介して接続されている。そのジャンパ線３７の他端３７ｂはそのゾーンＺ２に設けられた外周領域３８まで引き出されている。その結果、同じ組に属するヒータ線３４に接続されたジャンパ線３６，３７の他端３６ｂ，３７ｂは、一つの外周領域３８にまとめて配置されている。その外周領域３８をシートヒータ３０の下面３０ｂに投影した領域Ｘ内には、ジャンパ線３６，３７の他端３６ｂ，３７ｂと図示しないビアを介して接続されるジャンパランド４６ｂ，４７ｂが並んで配置されている。このジャンパランド４６ｂ，４７ｂも銅製である。
【００２２】
ジャンパ線３６は、１０ｍｍ幅の中に銅線が９本以上（好ましくは９本以上２０本以下）配線されていてもよい。ジャンパ線３６は、厚みを３５μｍ以下にしてもよい。ジャンパ線３６の厚みの下限値は特に限定するものでないが、製造限界値（例えば４μｍ）としてもよい。ジャンパ線３６は、線幅のばらつきが４μｍ以下に収まるものとしてもよい。ジャンパ線３６の形状をウェットエッチングで作製すれば、線幅のばらつきを４μｍ以下の範囲内に収めることができる。ジャンパ線３７の配線密度や厚み、作製方法等は、ジャンパ線３６と同様である。
【００２３】
支持台６０は、図１に示すように、Ａｌ又はＡｌ合金などの金属で作製された円板状の部材であり、内部に冷媒流路６２が設けられている。冷媒流路６２の入口６２ａと出口６２ｂには、冷媒の温度を調整するチラー７０が接続されている。冷媒は、チラー７０から冷媒流路６２の入口６２ａに供給されると、支持台６０の全体に行き渡るように設けられた冷媒流路６２を通過し、冷媒流路６２の出口６２ｂからチラー７０へ戻され、チラー７０内で設定温度に冷やされたあと再び冷媒流路６２の入口６２ａに供給される。なお、支持台６０は、その他に、図示しないがウエハＷをリフトアップするリフトピンを上下動するための貫通孔などを有している。
【００２４】
静電電極２４には、図示しない給電棒を介して直流電源から電力が供給される。ヒータ線３４には、図２に示すように、ジャンパランド４６ｂ，４７ｂに接続された接続用フレキシブルプリント基板（接続用ＦＰＣ）７５を介して電力が供給される。接続用ＦＰＣ７５は、樹脂皮膜で覆われた金属導線を帯状に束ねたケーブルである。
【００２５】
次に、こうして構成された静電チャックヒータ２０の使用例について説明する。図示しない真空チャンバ内に静電チャックヒータ２０をセットし、ウエハＷを静電チャック２２のウエハ載置面２２ａに載置する。そして、真空チャンバ内を真空ポンプにより減圧して所定の真空度になるように調整し、静電チャック２２の静電電極２４に直流電圧をかけてクーロン力又はジョンソン・ラベック力を発生させ、ウエハＷを静電チャック２２のウエハ載置面２２ａに吸着固定する。次に、真空チャンバ内を所定圧力（例えば数１０〜数１００Ｐａ）のプロセスガス雰囲気とする。この状態で、プラズマを発生させてウエハＷの表面をエッチングする。この間、ウエハＷの温度が予め定めた目標温度となるように、図示しないコントローラが制御する。具体的には、コントローラは、ウエハＷの温度を測定する測温センサ（図示せず）からの検出信号を入力し、ウエハＷの測定温度が目標温度に一致するように、各ヒータ線３４へ供給する電流や冷媒流路６２に循環させる冷媒の温度を制御する。特に、コントローラは、ウエハＷの温度分布が発生しないように各ヒータ線３４へ供給する電流を細かく制御する。なお、測温センサは、樹脂シート３２に埋設されていてもよいし、樹脂シート３２の表面に接着されていてもよい。この静電チャックヒータ２０では、多数のヒータ線３４によりゾーンごとに温度を細かく制御することが可能なため、高い精度の均熱性を達成することができる。
【００２６】
次に、静電チャック２２の製造方法の一例を説明する。まず、セラミックスの成形体又は焼結体の円板部材を準備し、その一方の面に静電電極２４を形成する。静電電極２４は、電極ペーストをスクリーン印刷してもよいし、ＰＶＤやＣＶＤ、メッキ等により形成してもよい。続いて、その円板部材のうち静電電極２４が形成された面に、円板部材と同じ径の別の円板状成形体を積層して積層体とする。この積層体をホットプレス焼成し、静電電極２４が埋設されたセラミックス焼結体２６を得る。このセラミックス焼結体２６を研削又はブラスト等の加工により所望の形状、厚みに調整する。これにより、静電チャック２２が得られる。
【００２７】
シートヒータ３０の製造方法の一例を説明する。まず、シートヒータ３０の上面３０ａと第１電極領域Ａ１との間を形成する第１樹脂層を用意し、その第１樹脂層の表面にヒータ線３４を周知のフォトリソグラフィにより形成する。次に、ヒータ線３４を覆うように第２樹脂層をラミネートし、その第２樹脂層の表面にジャンパ線３６，３７を周知のフォトリソグラフィにより形成する。このとき、ヒータ線３４とジャンパ線３６，３７とを電気的に接続するビアも、第２樹脂層を上下方向に貫通するように設ける。次に、ジャンパ線３６，３７を覆うように第３樹脂層をラミネートし、その第３樹脂層の表面にジャンパランド４６ｂ，４７ｂを周知のフォトリソグラフィにより形成する。このとき、ジャンパ線３６，３７とジャンパランド４６ｂ，４７ｂとを電気的に接続するビアも、第３樹脂層を上下方向に貫通するように設ける。これにより、シートヒータ３０が得られる。なお、第１〜第３樹脂層としては、例えば、ポリイミド樹脂を用いてもよいし、液晶ポリマーを用いてもよい。
【００２８】
ここで、ヒータ線３４の製造例を図４を用いて以下に説明する。まず、樹脂層１１０の上面全面に銅箔１３４を貼り、銅箔１３４の上面全面にレジスト層１４０を形成し、そのレジスト層１４０にマスクを被せてヒータ線３４の形状（図３参照）と同じ形状が残るようにパターン形成する（図４（ａ）参照）。なお、銅箔１３４は、真空蒸着やスパッタ等により形成してもよい。次に、ウェットエッチングにより銅箔１３４のうちレジスト層１４０でマスクされていない部分を腐食させてエッチング液に溶解させる（図４（ｂ）参照）。最後に、レジスト層１４０を剥離液で除去してヒータ線３４を完成させる（図４（ｃ）参照）。ウェットエッチングで作製したヒータ線３４の線幅のばらつき（最も幅の広い部分の線幅から最も幅の狭い部分の線幅を差し引いた値）を測定した。線幅の設計値は５０μｍ、１００μｍ、１０００μｍ、２０００μｍとした。その結果を表１に示す。いずれの設計値においても、線幅のばらつきは４μｍ以下であった。比較として、従来のＷ系金属ペーストを印刷して作製したヒータ線の線幅のばらつきを測定したところ、表１に示すように、線幅のばらつきは約６０μｍであった。但し、設計値を５０μｍに設定した場合にはヒータ線を製造できなかった。なお、ジャンパ線３６もウェットエッチングで作製することにより線幅のばらつきを４μｍ以下にすることができる。
【００２９】
【表１】
2017170374.tif 000003
【００３０】
以上説明した静電チャックヒータ２０では、樹脂シート３２のゾーンＺ１ごとに埋設されたヒータ線３４は銅線によって構成されている。銅は、チタンやタングステン、モリブデンなどと比べて電気抵抗が低い。そのため、ヒータ線３４を細かく配線したとしても温度が上がり過ぎることはなく、線間距離（配線間隔）を狭くすることができる。その結果、静電チャック２２のウエハ載置面２２ａにおいてヒータ線３４が存在する部分と存在しない部分との温度差が小さくなり、ウエハＷの均熱性が向上する。
【００３１】
また、ヒータ線３４を１ｍｍ幅の中に５０本以下配線されるようにすれば、ヒータ線３４の配線間隔を十分狭くすることができるため、ウエハＷの均熱性がより向上する。
【００３２】
更に、ヒータ線３４の厚みを３５μｍ以下にすれば、樹脂シート３２を薄くすることができるため、静電チャック２２と支持台６０との間の熱抵抗を小さくすることができる。
【００３３】
更にまた、ジャンパ線３６，３７も電気抵抗（比抵抗）の小さい銅線で構成されているため、断面積が小さくても発熱しにくい。そのため、ジャンパ線３６，３７を高密度でレイアウトすることができる。例えば、ジャンパ線３６，３７は、１０ｍｍ幅の中に銅線が９本以上配線されていてもよい。また、ジャンパ線３６，３７は、１０ｍｍ幅の中に銅線が２０本以下配線されていてもよい。
【００３４】
そしてまた、ヒータ線３４もジャンパ線３６，３７も線幅のばらつきが４μｍ以下であるため、線間距離の設計値を１０〜数１０μｍに設定したとしても、実際に銅線を作製したときに隣合う線同士が接触してしまうことがない。
【００３５】
そして更にまた、ヒータ線３４やジャンパ線３６，３７を構成する銅線は、純度が９９．９質量％以上である。一般に銅の純度が高いほど電気抵抗は低いため、静電チャックヒータ２０のヒータ線３４やジャンパ線３６，３７に用いるのに適している。
【００３６】
なお、本発明は上述した実施形態に何ら限定されることはなく、本発明の技術的範囲に属する限り種々の態様で実施し得ることはいうまでもない。
【００３７】
例えば、上述した実施形態では、ヒータ線３４をジグザグ状に形成したが、特にこの形状に限定されるものではなく、一筆書きの要領で描ける形状であればどのような形状でもよい。
【００３８】
上述した実施形態では、シートヒータ３０の構造として、ヒータ線３４の上に樹脂層を設けたが、この樹脂層を省略してヒータ線３４がシートヒータ３０の上面３０ａに露出するようにしてもよい。この場合、ヒータ線３４を覆うように第１ボンディングシート８１が配置される。
【００３９】
上述した実施形態では、給電用のジャンパ線３６及びグランド用のジャンパ線３７の両方を同じ第２電極領域Ａ２に設けたが、第２電極領域Ａ２とシートヒータ３０の下面３０ｂとの間に第１及び第２電極領域Ａ１，Ａ２と平行となるように第３電極領域Ａ３を設け、一方を第２電極領域Ａ２に、他方を第３電極領域Ａ３に設けてもよい。
【００４０】
上述した実施形態では、第１〜第２電極領域Ａ１〜Ａ２を一層ずつ設けたが、第１〜第２電極領域Ａ１〜Ａ２の少なくとも一つを多層（多段）にしてもよい。
【００４１】
本出願は、２０１６年３月２９日に出願された米国仮出願第６２／３１４，５６４号を優先権主張の基礎としており、引用によりその内容の全てが本明細書に含まれる。
【産業上の利用可能性】
【００４２】
本発明は、例えばウエハＷにプラズマ処理を施す半導体製造装置に利用可能である。
【符号の説明】
【００４３】
２０  静電チャックヒータ、２２  静電チャック、２２ａ  ウエハ載置面、２４  静電電極、２６  セラミックス焼結体、３０  シートヒータ、３０ａ  上面、３０ｂ  下面、３２  樹脂シート、３４  ヒータ線、３４ａ  一端、３４ｂ  他端、３６  ジャンパ線、３６ａ  一端、３６ｂ  他端、３７  ジャンパ線、３７ａ  一端、３７ｂ  他端、３８  外周領域、４６ｂ，４７ｂ  ジャンパランド、６０  支持台、６２  冷媒流路、６２ａ  入口、６２ｂ  出口、７０  チラー、７５  接続用ＦＰＣ、８１  第１ボンディングシート、８２  第２ボンディングシート、Ｚ１，Ｚ２  ゾーン、Ａ１〜Ａ２  第１〜第２電極領域。
【図１】
2017170374.tif 000004
【図２】
2017170374.tif 000005
【図３】
2017170374.tif 000006
【図４】
2017170374.tif 000007
【手続補正書】
【提出日】平成29年7月25日(2017.7.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
静電チャックと支持台との間に、樹脂シートにヒータ線が埋設されたシートヒータが配置された静電チャックヒータであって、
前記ヒータ線は、前記樹脂シートの多数のゾーンごとに設けられ、一端から他端まで一筆書きの要領で前記ゾーンの全体に行き渡るように配線された銅線によって構成され、
前記シートヒータは、前記シートヒータの表面に平行で高さの異なる第１電極領域と第２電極領域を有し、前記第１電極領域は前記ヒータ線が設けられた領域であり、前記第２電極領域は各ヒータ線に給電するジャンパ線が複数設けられた領域であり、前記ジャンパ線は銅線で構成され、
前記ジャンパ線は、１０ｍｍ幅の中に前記銅線が９本以上配線されている、
静電チャックヒータ。
【請求項２】
前記ヒータ線は、１ｍｍ幅の中に５０本以下配線されている、
請求項１に記載の静電チャックヒータ。
【請求項３】
前記ヒータ線は、厚みが３５μｍ以下である、
請求項１又は２に記載の静電チャックヒータ。
【請求項４】
（削除）
【請求項５】
（削除）
【請求項６】
前記銅線は、最も幅の広い部分の線幅から最も幅の狭い部分の線幅を差し引いた値であるばらつきが４μｍ以下である、
請求項１〜３のいずれか１項に記載の静電チャックヒータ。
【請求項７】
前記銅線は、純度が９９．９質量％以上である、
請求項１〜３，６のいずれか１項に記載の静電チャックヒータ。
【国際調査報告】
2017170374.tif 000008
2017170374.tif 000009
2017170374.tif 000010
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