(57)【要約】  小型流体制御弁の流路構造であって、上面視において弁本体（１１）の縦幅は横幅よりも狭くなっており、弁本体（１１）の内部には、弁本体（１１）の下面（１１ａ）で横幅の方向に並んでそれぞれ開口する第１流路（２１）及び第２流路（３１）が形成されており、下面（１１ａ）において、第１流路（２１）の開口（２１ａ）の周囲には環状の第１環状凹部（２２）が形成されており、下面（１１ａ）において、第２流路（３１）の開口（３１ａ）の周囲には環状の第２環状凹部（３２）が形成されており、第１流路（２１）及び第２流路（３１）は、弁室（１２）にそれぞれ接続されており、弁本体（１１）には、横幅の方向の端面（１１ｃ）から弁室（１２）まで貫通する貫通孔（５１）が形成されており、貫通孔（５１）の端面（１１ｃ）での開口（５１ｃ）を閉塞する閉塞部材（５５）を備える。
2016159088.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
弁室が内部に形成された弁本体を備える小型流体制御弁の流路構造であって、  上面視において前記弁本体の縦幅は横幅よりも狭くなっており、  前記弁本体の内部には、前記弁本体の下面で前記横幅の方向に並んでそれぞれ開口する第１流路及び第２流路が形成されており、  前記下面において、前記第１流路の前記開口の周囲には環状の第１環状凹部が形成されており、  前記下面において、前記第２流路の前記開口の周囲には環状の第２環状凹部が形成されており、  前記第１流路及び前記第２流路は、前記弁室にそれぞれ接続されており、  前記弁本体には、前記横幅の方向の端面から前記弁室まで貫通する貫通孔が形成されており、  前記貫通孔の前記端面での開口を閉塞する閉塞部材を備える、小型流体制御弁の流路構造。
【請求項２】
前記弁本体において、前記第２流路の前記弁室での開口の周囲には環状の弁座が形成されており、  前記貫通孔は、前記横幅の方向の端面から前記弁室を介して前記第１流路まで貫通している請求項１に記載の小型流体制御弁の流路構造。
【請求項３】
弁室が内部に形成された弁本体を備える小型流体制御弁の流路構造であって、  上面視において前記弁本体の縦幅は横幅よりも狭くなっており、  前記弁本体の内部には、前記弁本体の下面で前記横幅の方向に並んでそれぞれ開口する第１流路及び第２流路が形成されており、  前記下面において、前記第１流路の前記開口の周囲には環状の第１環状凹部が形成されており、  前記下面において、前記第２流路の前記開口の周囲には環状の第２環状凹部が形成されており、  前記第１流路及び前記第２流路は、前記弁室にそれぞれ接続されており、  前記弁本体には、前記縦幅の方向の端面から前記弁室まで貫通する貫通孔が形成されており、  前記貫通孔の前記端面での開口を閉塞する閉塞部材を備える、小型流体制御弁の流路構造。
【請求項４】
前記弁本体において、前記第２流路の前記弁室での開口の周囲には環状の弁座が形成されており、  前記貫通孔は、前記第１流路に接続されている請求項３に記載の小型流体制御弁の流路構造。
【請求項５】
前記弁本体において、前記第１流路の前記弁室での開口の周囲には環状の弁座が形成されており、  前記貫通孔は、前記第２流路に接続されている請求項３に記載の小型流体制御弁の流路構造。
【請求項６】
前記端面は第１端面であり、  前記貫通孔は、前記縦幅の方向の前記第１端面から前記弁室を介して第２端面まで貫通しており、  前記貫通孔の前記第２端面での開口を閉塞する閉塞部材を備える請求項３〜５のいずれか１項に記載の小型流体制御弁の流路構造。
【請求項７】
前記貫通孔は、前記弁本体の高さ方向において前記弁座の位置を含む範囲に形成されている請求項２、４、５のいずれか１項に記載の小型流体制御弁の流路構造。
【請求項８】
前記第１流路は、前記第１環状凹部から前記下面に垂直な方向へ延びる第１垂直流路と、前記第１垂直流路及び前記弁室を接続する第１接続流路とを含み、  前記第２流路は、前記第２環状凹部から前記下面に垂直な方向へ延びる第２垂直流路と、前記第２垂直流路及び前記弁室を接続する第２接続流路とを含み、  前記第１接続流路は、前記弁本体において前記縦幅の方向の端面に開口する溝状の第１溝状凹部と前記第１溝状凹部の開口を閉塞する閉塞部材とで形成された第１端面流路、を含む、請求項１〜７のいずれか１項に記載の小型流体制御弁の流路構造。
【請求項９】
弁室が内部に形成された弁本体を備える小型流体制御弁の流路構造であって、  上面視において前記弁本体の縦幅は横幅よりも狭くなっており、  前記弁本体の内部には、前記弁本体の下面で前記横幅の方向に並んでそれぞれ開口する第１流路及び第２流路が形成されており、  前記下面において、前記第１流路の前記開口の周囲には環状の第１環状凹部が形成されており、  前記下面において、前記第２流路の前記開口の周囲には環状の第２環状凹部が形成されており、  前記第１流路は、前記第１環状凹部から前記下面に垂直な方向へ延びる第１垂直流路と、前記第１垂直流路及び前記弁室を接続する第１接続流路とを含み、  前記第２流路は、前記第２環状凹部から前記下面に垂直な方向へ延びる第２垂直流路と、前記第２垂直流路及び前記弁室を接続する第２接続流路とを含み、  前記第１接続流路は、前記弁本体において前記縦幅の方向の端面に開口する溝状の第１溝状凹部と前記第１溝状凹部の開口を閉塞する第１閉塞部材とで形成された第１端面流路、を含む、小型流体制御弁の流路構造。
【請求項１０】
前記第２接続流路は、前記弁本体において前記縦幅の方向の端面に開口する溝状の第２溝状凹部と前記第２溝状凹部の開口を閉塞する第１閉塞部材とで形成された第２端面流路、を含む請求項９に記載の小型流体制御弁の流路構造。
【請求項１１】
前記弁本体には、前記第１流路が２つ形成されている請求項９又は１０に記載の小型流体制御弁の流路構造。
【請求項１２】
前記弁室は第１弁室であり、  前記弁本体の内部には第２弁室が形成されており、  前記第１接続流路は、前記第１垂直流路、前記第１弁室、及び前記第２弁室を接続している請求項９又は１０に記載の小型流体制御弁の流路構造。
【請求項１３】
前記弁本体には、前記第２流路が２つ形成されている請求項１２に記載の小型流体制御弁の流路構造。
【請求項１４】
前記第１端面流路における前記弁本体の高さ方向の長さは、前記第１端面流路における前記弁本体の横幅方向の長さよりも長くなっている請求項９〜１２のいずれか１項に記載の小型流体制御弁の流路構造。
【請求項１５】
前記弁本体において、前記第２接続流路の前記弁室での開口の周囲には環状の弁座が形成されている請求項９〜１２、１４のいずれか１項に記載の小型流体制御弁の流路構造。
【請求項１６】
前記第１端面流路は、前記弁室で開口している請求項９、１４、１５のいずれか１項に記載の小型流体制御弁の流路構造。
【請求項１７】
前記第１端面流路における前記弁本体の横幅方向の長さは、前記第１端面流路における前記弁本体の高さ方向の長さよりも長くなっている請求項９、１０、１２、１３のいずれか１項に記載の小型流体制御弁の流路構造。
【請求項１８】
前記弁本体において、前記第１接続流路の前記弁室での開口の周囲には環状の弁座が形成されている請求項９、１０、１２、１３、１７のいずれか１項に記載の小型流体制御弁の流路構造。
【請求項１９】
前記第２接続流路は、前記弁本体において前記縦幅の方向の端面に開口する溝状の第２溝状凹部と前記第２溝状凹部の開口を閉塞する第１閉塞部材とで形成された第２端面流路、を含み、  前記第２端面流路は、前記弁室で開口している請求項９、１０、１２、１３、１７、１８のいずれか１項に記載の小型流体制御弁の流路構造。
【請求項２０】
前記弁本体には、前記縦幅の方向の端面から前記弁室まで貫通する貫通孔が形成されており、  前記貫通孔の前記端面での開口を閉塞する第２閉塞部材を備え、  前記貫通孔は、前記第１接続流路に接続されている請求項１５又は１６に記載の小型流体制御弁の流路構造。
【請求項２１】
前記弁本体には、前記縦幅の方向の端面から前記弁室まで貫通する貫通孔が形成されており、  前記貫通孔の前記端面での開口を閉塞する第２閉塞部材を備え、  前記貫通孔は、前記第２接続流路に接続されている請求項１８又は１９に記載の小型流体制御弁の流路構造。
【請求項２２】
前記端面は第１端面であり、  前記貫通孔は、前記縦幅の方向の前記第１端面から前記弁室を介して第２端面まで貫通しており、  前記貫通孔の前記第２端面での開口を閉塞する第２閉塞部材を備える請求項２０又は２１に記載の小型流体制御弁の流路構造。
【請求項２３】
前記弁本体には、前記横幅の方向の端面から前記弁室を介して前記第１接続流路まで貫通する貫通孔が形成されており、  前記貫通孔の前記端面での開口を閉塞する第２閉塞部材を備える請求項１５又は１６に記載の小型流体制御弁の流路構造。
【請求項２４】
前記弁本体には、前記縦幅の方向の端面から前記弁室まで貫通する貫通孔が形成されており、  前記貫通孔は、前記弁本体の高さ方向において前記弁座の位置を含む範囲に形成されている請求項１５又は１８に記載の小型流体制御弁の流路構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、流体を制御する小型流体制御弁の流路構造に関する。
【背景技術】
【０００２】  従来、流体制御弁の弁本体の内部に、弁室と、下面で開口する第１流路及び第２流路とを形成し、第１流路及び第２流路を弁室に連通させたものがある（特許文献１参照）。特許文献１に記載の流体制御弁は、複数の弁を集積した場合の占有面積を小さくするために、幅１０ｍｍ程度の小型流体制御弁となっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１１−１２７００号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】  ところで、特許文献１に記載の流体制御弁では、第１流路及び第２流路の開口の周囲に、シール部材を配置するための環状の凹部を形成している。例えば、第１流路と環状の凹部とが干渉しないように、第１流路及び環状の凹部を形成する必要があるため、第１流路の形状や寸法が制限される。したがって、特許文献１に記載の小型流体制御弁では、第１流路の流路面積や、第１流路と弁室との接続部の流路面積を十分に確保することができず、流体制御弁を流通可能な流体の最大流量が制限されることとなる。【０００５】  本発明は、こうした課題を解決するためになされたものであり、その主たる目的は、最大流量が制限されることを抑制することのできる小型流体制御弁の流路構造を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】  以下、上記課題を解決するための手段、及びその作用効果について記載する。【０００７】  第１の手段は、弁室が内部に形成された弁本体を備える小型流体制御弁の流路構造であって、上面視において前記弁本体の縦幅は横幅よりも狭くなっており、前記弁本体の内部には、前記弁本体の下面で前記横幅の方向に並んでそれぞれ開口する第１流路及び第２流路が形成されており、前記下面において、前記第１流路の前記開口の周囲には環状の第１環状凹部が形成されており、前記下面において、前記第２流路の前記開口の周囲には環状の第２環状凹部が形成されており、前記第１流路及び前記第２流路は、前記弁室にそれぞれ接続されており、前記弁本体には、前記横幅の方向の端面から前記弁室まで貫通する貫通孔が形成されており、前記貫通孔の前記端面での開口を閉塞する閉塞部材を備える。【０００８】  上記構成によれば、小型流体制御弁は弁本体を備え、弁本体の内部に弁室が形成されている。上面視において、弁本体の縦幅は横幅よりも狭くなっている。すなわち、小型流体制御弁の占有面積を小さくするために、弁本体の縦幅が狭くなっている。【０００９】  弁本体の内部には、弁本体の下面で横幅の方向に並んでそれぞれ開口する第１流路及び第２流路が形成されている。弁本体の下面において、第１流路の開口の周囲には環状の第１環状凹部が形成されており、第２流路の開口の周囲には環状の第２環状凹部が形成されている。このため、小型流体制御弁を流体の流路や他の機器に接続する際に、第１環状凹部及び第２環状凹部にシール部材を配置することができる。【００１０】  弁本体には、横幅の方向の端面から弁室まで貫通する貫通孔が形成されており、貫通孔の前記端面での開口を閉塞する第２閉塞部材を備えている。このため、貫通孔により弁室内の空間を拡大することができ、弁室内において流体を流通させ易くすることができる。しかも、弁本体において横幅の方向の端面から切削して貫通孔を形成し、貫通孔の前記端面での開口を第２閉塞部材により閉塞することで、弁室を自由な形状や寸法に容易に拡大することができる。【００１１】  第２の手段では、前記弁本体において、前記第２流路の前記弁室での開口の周囲には環状の弁座が形成されており、前記貫通孔は、前記横幅の方向の端面から前記弁室を介して前記第１流路まで貫通している。【００１２】  上記構成によれば、第１流路と弁室との接続部の流路面積を、貫通孔により拡大することができる。【００１３】  第３の手段は、弁室が内部に形成された弁本体を備える小型流体制御弁の流路構造であって、上面視において前記弁本体の縦幅は横幅よりも狭くなっており、前記弁本体の内部には、前記弁本体の下面で前記横幅の方向に並んでそれぞれ開口する第１流路及び第２流路が形成されており、前記下面において、前記第１流路の前記開口の周囲には環状の第１環状凹部が形成されており、前記下面において、前記第２流路の前記開口の周囲には環状の第２環状凹部が形成されており、前記第１流路及び前記第２流路は、前記弁室にそれぞれ接続されており、前記弁本体には、前記縦幅の方向の端面から前記弁室まで貫通する貫通孔が形成されており、前記貫通孔の前記端面での開口を閉塞する閉塞部材��備える。【００１４】  上記構成によれば、弁本体には、縦幅の方向の端面から弁室まで貫通する貫通孔が形成されており、貫通孔の前記端面での開口を閉塞する第２閉塞部材を備えている。このため、貫通孔により弁室内の空間を拡大することができ、弁室内において流体を流通させ易くすることができる。しかも、弁本体において縦幅の方向の端面から切削して貫通孔を形成し、貫通孔の前記端面での開口を第２閉塞部材により閉塞することで、弁室を自由な形状や寸法に容易に拡大することができる。【００１５】  第４の手段では、前記弁本体において、前記第２流路の前記弁室での開口の周囲には環状の弁座が形成されており、前記貫通孔は、前記第１流路に接続されている。【００１６】  上記構成によれば、第１流路と弁室との接続部の流路面積を、貫通孔により拡大することができる。【００１７】  第５の手段では、前記弁本体において、前記第１流路の前記弁室での開口の周囲には環状の弁座が形成されており、前記貫通孔は、前記第２流路に接続されている。【００１８】  上記構成によれば、第２流路と弁室との接続部の流路面積を、貫通孔により拡大することができる。【００１９】  第６の手段では、前記端面は第１端面であり、前記貫通孔は、前記縦幅の方向の前記第１端面から前記弁室を介して第２端面まで貫通しており、前記貫通孔の前記第２端面での開口を閉塞する閉塞部材を備える。【００２０】  上記構成によれば、貫通孔は、弁本体の縦幅方向の第１端面から弁室を介して第２端面まで貫通している。そして、貫通孔の前記第１端面及び第２端面での開口が、それぞれ閉塞部材により閉塞されている。このため、弁本体において縦幅方向の一方の端面から他方の端面まで切削することで、貫通孔を容易に形成することができるとともに、両端面付近において弁室を拡大することができる。【００２１】  第７の手段では、前記貫通孔は、前記弁本体の高さ方向において前記弁座の位置を含む範囲に形成されている。【００２２】  上記構成によれば、貫通孔は、弁本体の高さ方向において弁座の位置を含む範囲に形成されているため、弁室において弁座の周囲の空間を拡大することができる。このため、弁座の周囲に流体を流通させ易くなり、ひいては弁座の内側で開口する流路と弁室とで流体を流通させ易くなる。【００２３】  第８の手段は、前記第１流路は、前記第１環状凹部から前記下面に垂直な方向へ延びる第１垂直流路と、前記第１垂直流路及び前記弁室を接続する第１接続流路とを含み、前記第２流路は、前記第２環状凹部から前記下面に垂直な方向へ延びる第２垂直流路と、前記第２垂直流路及び前記弁室を接続する第２接続流路とを含み、前記第１接続流路は、前記弁本体において前記縦幅の方向の端面に開口する溝状の第１溝状凹部と前記第１溝状凹部の開口を閉塞する閉塞部材とで形成された第１端面流路、を含む。【００２４】  また、第９の手段は、弁室が内部に形成された弁本体を備える小型流体制御弁の流路構造であって、上面視において前記弁本体の縦幅は横幅よりも狭くなっており、前記弁本体の内部には、前記弁本体の下面で前記横幅の方向に並んでそれぞれ開口する第１流路及び第２流路が形成されており、前記下面において、前記第１流路の前記開口���周囲には環状の第１環状凹部が形成されており、前記下面において、前記第２流路の前記開口の周囲には環状の第２環状凹部が形成されており、前記第１流路は、前記第１環状凹部から前記下面に垂直な方向へ延びる第１垂直流路と、前記第１垂直流路及び前記弁室を接続する第１接続流路とを含み、前記第２流路は、前記第２環状凹部から前記下面に垂直な方向へ延びる第２垂直流路と、前記第２垂直流路及び前記弁室を接続する第２接続流路とを含み、前記第１接続流路は、前記弁本体において前記縦幅の方向の端面に開口する溝状の第１溝状凹部と前記第１溝状凹部の開口を閉塞する第１閉塞部材とで形成された第１端面流路、を含む。【００２５】  第８、第９手段によれば、第１流路は、第１環状凹部から弁本体の下面に垂直な方向へ延びる第１垂直流路を含み、第２流路は、第２環状凹部から弁本体の下面に垂直な方向へ延びる第２垂直流路を含んでいる。このため、環状凹部に対して第１流路及び第２流路をそれぞれ垂直に接続することができ、環状凹部と第１流路及び第２流路とが干渉することを抑制することができる。したがって、環状凹部に対して第１流路及び第２流路を斜めに接続する構造と比較して、環状凹部と第１流路及び第２流路との接続部の流路面積を大きくすることができる。そして、第１垂直流路と弁室とが第１接続流路により接続され、第２垂直流路と弁室とが第２接続流路により接続されている。【００２６】  ここで、環状凹部に対して第１流路及び第２流路をそれぞれ垂直に接続するためには、第１接続流路及び第２接続流路の一方、例えば第１接続流路の形状や寸法が制限されるおそれがある。この点、第１接続流路は、弁本体において縦幅の方向の端面に開口する溝状の第１溝状凹部と第１溝状凹部の開口を閉塞する第１閉塞部材とで形成された第１端面流路、を含んでいる。第１端面流路は、弁本体において縦幅の方向の端面を溝状に切削して第１溝状凹部を形成し、第１溝状凹部の開口を第１閉塞部材により閉塞することで、自由な形状や寸法に容易に形成することができる。例えば、第１溝状凹部の開口に第１閉塞部材を溶接したり、接着したりすることで、第１溝状凹部の開口を第１閉塞部材により閉塞する。したがって、環状凹部に対して第１流路及び第２流路をそれぞれ垂直に接続する構造であっても、第１端面流路を形成することにより第１接続流路の流路面積を確保することができる。その結果、小型流体制御弁において、最大流量が制限されることを抑制することができる。【００２７】  第１０の手段では、前記第２接続流路は、前記弁本体において前記縦幅の方向の端面に開口する溝状の第２溝状凹部と前記第２溝状凹部の開口を閉塞する第１閉塞部材とで形成された第２端面流路、を含む。【００２８】  上記構成によれば、第２接続流路は、弁本体において縦幅の方向の端面に開口する溝状の第２溝状凹部と第２溝状凹部の開口を閉塞する第１閉塞部材とで形成された第２端面流路、を含んでいる。このため、第２接続流路の流路面積を確保することが容易となり、第１流路及び第２流路を配置する自由度を向上させることができる。【００２９】  第１１の手段では、前記弁本体には、前記第１流路が２つ形成されている。【００３０】  上記構成によれ���、第１流路が２つ形成されているため、２つの第１流路と１つの第２流路とを備える３ポートの流体制御弁を製造することができる。そして、３つの流路において、それぞれ流路面積を確保することができる。【００３１】  第１２の手段では、前記弁室は第１弁室であり、前記弁本体の内部には第２弁室が形成されており、前記第１接続流路は、前記第１垂直流路、前記第１弁室、及び前記第２弁室を接続している。【００３２】  上記構成によれば、弁本体の内部には第１弁室及び第２弁室が形成されており、第１接続流路は、第１垂直流路、第１弁室、及び第２弁室を接続している。このため、第１弁室及び第２弁室を備える合流弁や分流弁において、それぞれの流路の流路面積を確保することができる。【００３３】  第１３の手段では、前記弁本体には、前記第２流路が２つ形成されている。【００３４】  上記構成によれば、第２流路が２つ形成されているため、１つの第１流路と２つの第２流路とを備える３ポートの流体制御弁を製造することができる。そして、３つの流路において、それぞれ流路面積を確保することができる。【００３５】  具体的には、第１４の手段のように、前記第１端面流路における前記弁本体の高さ方向の長さは、前記第１端面流路における前記弁本体の横幅方向の長さよりも長くなっているといった構成を採用することができる。こうした構成によれば、第１接続流路の流路面積を確保しつつ、弁本体の高さ方向に第１接続流路を延ばすことができ、第１接続流路の配置を容易化することができる。【００３６】  具体的には、第１５の手段のように、前記弁本体において、前記第２接続流路の前記弁室での開口の周囲には環状の弁座が形成されているといった構成を採用することができる。こうした構成によれば、弁座に対して流体制御弁の弁体を当接及び離間させることにより、第２流路と弁室とを遮断及び連通させることができ、ひいては弁室を介して第２流路と第１流路とを遮断及び連通させることができる。【００３７】  第１６の手段では、前記第１端面流路は、前記弁室で開口している。【００３８】  上記構成によれば、第１端面流路は弁室で開口しているため、第１接続流路を弁室に容易に接続することができるとともに、第１接続流路と弁室との接続部の流路面積を容易に確保することができる。【００３９】  具体的には、第１７の手段のように、前記第１端面流路における前記弁本体の横幅方向の長さは、前記第１端面流路における前記弁本体の高さ方向の長さよりも長くなっているといった構成を採用することができる。こうした構成によれば、第１接続流路の流路面積を確保しつつ、弁本体の横幅方向に第１接続流路を延ばすことができ、第１接続流路の配置を容易化することができる。【００４０】  具体的には、第１８の手段のように、前記弁本体において、前記第１接続流路の前記弁室での開口の周囲には環状の弁座が形成されているといった構成を採用することができる。こうした構成によれば、弁座に対して流体制御弁の弁体を当接及び離間させることにより、第１流路と弁室とを遮断及び連通させることができ、ひいては弁室を介して第１流路と第２流路とを遮断及び連通させることができる。【００４１】  第１９の手段では、前記第２接続流路は、前記弁本体において前記縦幅の方向の端面に開口する溝状の第２溝状凹部と前記第２溝状凹部の開口を閉塞する第１閉塞部材とで形成された第２端面流路、を含み、前記第２端面流路は、前記弁室で開口している。【００４２】  上記構成によれば、第２端面流路は弁室で開口しているため、第２接続流路を弁室に容易に接続することができるとともに、第２接続流路と弁室との接続部の流路面積を容易に確保することができる。【００４３】  第２０の手段では、前記弁本体には、前記縦幅の方向の端面から前記弁室まで貫通する貫通孔が形成されており、前記貫通孔の前記端面での開口を閉塞する第２閉塞部材を備え、前記貫通孔は、前記第１接続流路に接続されている。【００４４】  上記構成によれば、貫通孔は、弁本体の縦幅の方向の端面から弁室まで貫通しており、且つ第１接続流路に接続されている。このため、第１接続流路と弁室との接続部の流路面積を、貫通孔により拡大することができる。【００４５】  第２１の手段では、前記弁本体には、前記縦幅の方向の端面から前記弁室まで貫通する貫通孔が形成されており、前記貫通孔の前記端面での開口を閉塞する第２閉塞部材を備え、前記貫通孔は、前記第２接続流路に接続されている。【００４６】  上記構成によれば、貫通孔は、弁本体の縦幅の方向の端面から弁室まで貫通しており、且つ第２接続流路に接続されている。このため、第２接続流路と弁室との接続部の流路面積を、貫通孔により拡大することができる。【００４７】  第２２の手段では、前記端面は第１端面であり、前記貫通孔は、前記縦幅の方向の前記第１端面から前記弁室を介して第２端面まで貫通しており、前記貫通孔の前記第２端面での開口を閉塞する第２閉塞部材を備える。【００４８】  上記構成によれば、貫通孔は、弁本体の縦幅方向の第１端面から弁室を介して第２端面まで貫通している。そして、貫通孔の前記第１端面及び第２端面での開口が、それぞれ第２閉塞部材により閉塞されている。このため、弁本体において縦幅方向の一方の端面から他方の端面まで切削することで、貫通孔を容易に形成することができるとともに、両端面付近において弁室を拡大することができる。【００４９】  第２３の手段では、前記弁本体には、前記横幅の方向の端面から前記弁室を介して前記第１接続流路まで貫通する貫通孔が形成されており、前記貫通孔の前記端面での開口を閉塞する第２閉塞部材を備える。【００５０】  上記構成によれば、貫通孔は、弁本体の横幅の方向の端面から弁室まで貫通しており、且つ弁室を介して第１接続流路まで貫通している。このため、第１接続流路と弁室との接続部の流路面積を、貫通孔により拡大することができる。【００５１】  第２４の手段では、前記弁本体には、前記縦幅の方向の端面から前記弁室まで貫通する貫通孔が形成されており、前記貫通孔は、前記弁本体の高さ方向において前記弁座の位置を含む範囲に形成されている。【００５２】  上記構成によれば、貫通孔は、弁本体の高さ方向において弁座の位置を含む範囲に形成されているため、弁室において弁座の周囲の空間を拡大することができる。このため、弁座の周囲に流体を流通させ易くなり、ひいては弁座の内側で開口する流路と弁室とで流体を流通させ易くなる。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】第１実施形態に係る流体制御弁の弁部を示す断面図。
【図２】図１の弁部のうち弁本体を示す上面図。
【図３】図１の弁部の３−３線断面図。
【図４】第２実施形態に係る流体制御弁の弁部を示す断面図。
【図５】図４の弁部のうち弁本体を示す上面図。
【図６】第３実施形態に係る流体制御弁の弁部を示す断面図。
【図７】図６の弁部のうち弁本体を示す上面図。
【図８】第４実施形態に係る流体制御弁の弁部を示す断面図。
【図９】図８の弁部のうち弁本体を示す上面図。
【図１０】第５実施形態に係る流体制御弁の弁本体を示す正面図。
【図１１】図１０の１１−１１線断面図。
【図１２】図１１の１２−１２線断面図。
【図１３】図１０の弁本体の背面図。
【図１４】第６実施形態に係る流体制御弁の弁本体を示す正面図。
【図１５】図１４の１５−１５線断面図。
【図１６】図１５の１６−１６線断面図。
【図１７】第７実施形態に係る流体制御弁の弁本体を示す正面図。
【図１８】図１７の１８−１８線断面図。
【図１９】図１８の１９−１９線断面図。
【図２０】図１７の弁本体の背面図。
【図２１】第８実施形態に係る流体制御弁の弁本体を示す正面図。
【図２２】図２１の２２−２２線断面図。
【図２３】図２２の２３−２３線断面図。
【図２４】第９実施形態に係る流体制御弁の弁本体を示す正面図。
【図２５】第１０実施形態に係る流体制御弁の弁本体を示す正面図。
【図２６】第１１実施形態に係る流体制御弁の弁本体を示す正面図。
【図２７】第１２実施形態に係る流体制御弁の弁本体を示す正面図。
【図２８】第１３実施形態に係る流体制御弁の弁本体を示す正面図。
【発明を実施するための形態】
【００５４】  （第１実施形態）  以下、半導体製造装置等に用いられる小型流体制御弁として具体化した第１実施形態について、図１〜３を参照して説明する。図１は本実施形態に係る流体制御弁の弁部１０を示す断面図、図２は図１の弁部１０のうち弁本体１１を示す上面図、図３は図１の弁部１０の３−３線断面図である。
【００５５】  流体制御弁は、流体を制御する弁部１０と、弁部１０に駆動力を作用させるアクチュエータ部（図示略）とを備えている。アクチュエータ部として、空圧機器、電磁ソレノイド、ピエゾ素子、モータ等を採用することができる。弁部１０に、アダプタ（図示略）を介してアクチュエータ部が連結される。
【００５６】  弁部１０は、弁本体１１、ホルダ４１、ステム４２、圧縮ばね４３、弁体４５、ベローズ４８等を備えている。
【００５７】  弁本体１１は、ブロック状（概略として直方体状）に形成されている。図２に示す上面視において、弁本体１１の縦幅（図２の上下方向の幅）は、横幅（図２の左右方向の幅）よりも狭くなっている。弁本体１１の縦幅は略１０ｍｍであり、横幅は略３３ｍｍである。弁本体１１の横幅方向の両端には、ボルト孔１１ｂが形成されている。ボルト孔１１ｂには、弁本体１１を他の流路ブロックや機器に接続するボルト等が挿通される。
【００５８】  弁本体１１の内部には、弁室１２が形成されている。弁室１２は、弁本体１１の高さ方向（図１の上下方向）の中間から上方へ延びており、円柱状の空間となっている。弁室１２は、図２に示す上面視において、縦幅方向の中央、且つ横幅方向の中央に形成されている。弁室１２の上端は、弁本体１１の上面で開口している。
【００５９】  弁本体１１の内部には、弁本体１１の下面１１ａでそれぞれ開口する第１流路２１及び第２流路３１が形成されている。第１流路２１と第２流路３１とは、弁本体１１の横幅方向に並んで形成されている。第１流路２１の下面１１ａでの開口２１ａと、第２流路３１の下面１１ａでの開口３１ａとは、弁本体１１の横幅方向に並んで形成されている。下面１１ａにおいて、第１流路２１の開口２１ａの周囲には、環状の第１環状凹部２２が形成されている。下面１１ａにおいて、第２流路３１の開口３１ａの周囲には環状の第２環状凹部３２が形成されている。
【００６０】  第１流路２１及び第２流路３１は、それぞれ弁室１２に接続されている。第１流路２１は、弁室１２の底部から中間部にわたって、弁室１２の外周縁部に接続されている。第２流路３１は、弁室１２の底部の中央に接続されている。弁本体１１を他の流路ブロックや機器に接続する際に、第１環状凹部２２及び第２環状凹部３２には、それぞれＯリングやガスケット等のシール部材が配置される。
【００６１】  弁本体１１において、第２流路３１の弁室１２での開口３１ｂの周囲には、環状の弁座１３が形成されている。弁座１３は、弁室１２の底部に形成されており、下面１１ａに対して平行に形成されている。
【００６２】  弁本体１１の上部には、ホルダ４１が溶接により固定されている。弁本体１１とホルダ４１との溶接部４１ａにより、弁本体１１とホルダ４１との間が密封されている。ホルダ４１は、円筒状に形成されている。ホルダ４１の内部には、円柱状のステム４２が挿通されている。ステム４２は、ホルダ４１の内周面により摺動可能に支持されている。ステム４２の下部には、弁体保持部４２ａが設けられている。弁体保持部４２ａにより、弁体４５が保持されている。弁体４５は、耐薬品を有するフッ素樹脂等により、円板状に形成されている。なお、弁体４５を弾性体等により形成することもできる。弁体４５は、第２流路３１及び弁座１３に対向している。弁体４５において弁座１３に対向する部分には、環状の凸部が形成されている。
【００６３】  ホルダ４１の上部には、圧縮ばね４３が保持されている。圧縮ばね４３の一端は、ホルダ４１の上部に支持されており、他端はステム４２に取り付けられたばね押さえ４３ａにより支持されている。こうした構成により、圧縮ばね４３は、ステム４２を弁座１３から離間させる方向へ付勢する。ステム４２の円柱部４２ｂ及びホルダ４１の円筒部４１ｂの外周は、ベローズ４８により覆われている。ベローズ４８の一端はホルダ４１の円筒部４１ｂの上部に接続されており、ベローズ４８の他端はステム４２の円柱部４２ｂの下部、詳しくは弁体保持部４２ａに接続されている。ベローズ４８は、ステム４２の円柱部４２ｂ及びホルダ４１の円筒部４１ｂと、弁室１２とを遮断している。
【００６４】  上記構成において、アクチュエータ部によりステム４２へ駆動力が作用させられる。この駆動力と圧縮ばね４３の付勢力により、ステム４２は弁座１３の方向へ往復動させられる。これにより、弁体４５が弁座１３に対して当接及び離間する。弁体４５が弁座１３に当接すると、第２流路３１と弁室１２とが遮断され、ひいては第２流路３１と第１流路２１とが遮断される。一方、弁体４５が弁座１３から離間すると、第２流路３１と弁室１２とが連通され、ひいては弁室１２を介して第２流路３１と第１流路２１とが連通される。
【００６５】  第１流路２１及び第２流路３１は、一方が流体の流入流路となり、他方が流体の流出流路となる。第１流路２１及び第２流路３１のいずれを流体の流入流路としてもよい。また、流体は、気体でもよいし、液体でもよい。気体としては、反応ガスや、窒素、空気等を採用することができる。液体としては、薬液、水、油等を採用することができる。そして、第１流路２１と第２流路３１とが連通された場合に、流入流路となる一方から流体が弁室１２へ流入し、弁室１２を介して流出流路となる他方から流体が流出する。第１流路２１と第２流路３１とが遮断された場合に、流体の流通が停止される。
【００６６】  本実施形態の小型流体制御弁の流路構造では、弁本体１１には、横幅方向の端面１１ｃから弁室１２まで貫通する貫通孔５１が形成されている。貫通孔５１は、端面１１ｃから弁室１２を介して第１流路２１まで貫通している。貫通孔５１の断面は円形となっている。貫通孔５１は、第１流路２１（第１接続流路）の上端部に接続されている。すなわち、第１流路２１の上端部では、第１流路２１、弁室１２、及び貫通孔５１が互いに接続されている。貫通孔５１の径は第１流路２１の径よりも大きくなっており、貫通孔５１の断面積は第１流路２１の断面積よりも大きくなっている。
【００６７】  貫通孔５１の端面１１ｃでの開口５１ｃは、蓋５５（閉塞部材、第２閉塞部材）により閉塞されている。詳しくは、開口５１ｃに蓋５５を溶接することにより、開口５１ｃが蓋５５により閉塞されている。なお、開口５１ｃに接着剤等により蓋５５を接着することにより、開口５１ｃを蓋５５により閉塞することもできる。蓋５５は、貫通孔５１の断面形状と相似形の板材、すなわち円形の板材により形成されている。蓋５５は、端面１１ｃに取り付けられている。
【００６８】  貫通孔５１は、弁本体１１を端面１１ｃから横幅方向に切削することにより形成される。弁室１２に貫通する位置まで弁本体１１を切削した後、さらに第１流路２１に貫通する位置まで弁本体１１を切削することで、貫通孔５１が形成される。その後、貫通孔５１の開口５１ｃが蓋５５により閉塞される。なお、弁室１２と貫通孔５１とは、どちらが先に弁本体１１に形成されていてもよい。
【００６９】  以上詳述した本実施形態は、以下の利点を有する。
【００７０】  ・弁本体１１には、横幅方向の端面１１ｃから弁室１２まで貫通する貫通孔５１が形成されており、貫通孔５１の端面１１ｃでの開口５１ｃを閉塞する蓋５５を備えている。このため、貫通孔５１により弁室１２内の空間を拡大することができ、弁室１２内において流体を流通させ易くすることができる。しかも、弁本体１１において横幅の方向の端面１１ｃから切削して貫通孔５１を形成し、貫通孔５１の端面１１ｃでの開口５１ｃを蓋５５により閉塞することで、弁室１２を自由な形状や寸法に容易に拡大することができる。
【００７１】  ・弁室１２においてベローズ４８の周囲の空間を、貫通孔５１により拡大することができる。このため、ベローズ４８の周囲に流体を流通させ易くすることができる。
【００７２】  ・貫通孔５１は、弁本体１１の横幅の方向の端面１１ｃから弁室１２まで貫通しており、且つ弁室１２を介して第１流路２１まで貫通している。このため、第１流路２１と弁室１２との接続部の流路面積を、貫通孔５１により拡大することができる。
【００７３】  ・貫通孔５１の径は第１流路２１の径よりも大きくなっており、貫通孔５１の断面積は第１流路２１の断面積よりも大きくなっている。このため、第１流路２１と弁室１２との接続部の流路面積を、容易に拡大することができる。
【００７４】  （第２実施形態）  以下、第２実施形態について、第１実施形態との相違点を中心に説明する。図４は本実施形態に係る流体制御弁の弁部１０を示す断面図であり、図５は図４の弁部１０のうち弁本体１１１を示す上面図である。第１実施形態と同一の部材については、同一の符号を付すことにより、その説明を省略する。
【００７５】  弁本体１１１の概略形状は、第１実施形態の弁本体１１と同様であるが、横幅方向の端面１１１ｃが曲面状に形成されている。本実施形態の小型流体制御弁の流路構造では、弁本体１１１には、第１実施形態の貫通孔５１に代えて、貫通孔１５１が形成されている。そして、第１実施形態の蓋５５に代えて、蓋１５５が設けられている。その他の構成は、基本的に第１実施形態と同一である。
【００７６】  弁本体１１１には、弁本体１１１の縦幅方向の第１端面１１１ｄから弁室１２まで貫通する貫通孔１５１が形成されている。貫通孔１５１は、第１端面１１１ｄから弁室１２を介して第２端面１１１ｅまで貫通している。貫通孔１５１の断面は円形となっている。貫通孔１５１は、第１流路２１（第１接続流路）の上端部に接続されている。すなわち、第１流路２１の上端部では、第１流路２１、弁室１２、及び貫通孔１５１が互いに接続されている。貫通孔１５１の径は第１流路２１及び弁室１２の径よりも大きくなっており、貫通孔１５１の断面積は第１流路２１及び弁室１２の断面積よりも大きくなっている。
【００７７】  貫通孔１５１の第１端面１１１ｄ及び第２端面１１１ｅでのそれぞれの開口１５１ｃは、蓋１５５（閉塞部材、第２閉塞部材）によりそれぞれ閉塞されている。蓋１５５は、貫通孔１５１の断面形状と相似形の板材、すなわち円形の板材により形成されている。蓋１５５は、第１端面１１１ｄ及び第２端面１１１ｅにそれぞれ取り付けられている。
【００７８】  貫通孔１５１は、弁本体１１１を第１端面１１１ｄから縦幅方向に切削することにより形成される。弁室１２に貫通する位置まで弁本体１１１を切削した後、さらに第２端面１１１ｅに貫通する位置まで弁本体１１１を切削することで、貫通孔１５１が形成される。その後、貫通孔１５１の開口１５１ｃが蓋１５５により閉塞される。なお、弁室１２と貫通孔１５１とは、どちらが先に弁本体１１１に形成されていてもよい。
【００７９】  以上詳述した本実施形態は、以下の利点を有する。ここでは、第１実施形態と相違する利点のみを述べる。
【００８０】  ・弁本体１１１には、縦幅方向の第１端面１１１ｄから弁室１２まで貫通する貫通孔１５１が形成されており、貫通孔１５１の第１端面１１１ｄでの開口１５１ｃを閉塞する蓋１５５を備えている。このため、貫通孔１５１により弁室１２内の空間を拡大することができ、弁室１２内において流体を流通させ易くすることができる。しかも、弁本体１１１において縦幅の方向の第１端面１１１ｄから切削して貫通孔１５１を形成し、貫通孔１５１の第１端面１１１ｄでの開口１５１ｃを蓋１５５により閉塞することで、弁室１２を自由な形状や寸法に容易に拡大することができる。
【００８１】  ・貫通孔１５１は、弁本体１１１の縦幅方向の第１端面１１１ｄから弁室１２まで貫通しており、且つ第１流路２１に接続されている。このため、第１流路２１と弁室１２との接続部の流路面積を、貫通孔１５１により拡大することができる。
【００８２】  ・貫通孔１５１は、弁本体１１１の縦幅方向の第１端面１１１ｄから弁室１２を介して第２端面１１１ｅまで貫通している。そして、貫通孔１５１の第１端面１１１ｄ及び第２端面１１１ｅでの開口が、それぞれ蓋１５５により閉塞されている。このため、弁本体１１１において縦幅方向の一方の端面から他方の端面まで切削することで、貫通孔１５１を容易に形成することができるとともに、両端面１１１ｄ，１１１ｅ付近において弁室１２を拡大することができる。
【００８３】  ・貫通孔５１の径は第１流路２１及び弁室１２の径よりも大きくなっており、貫通孔５１の断面積は第１流路２１及び弁室１２の断面積よりも大きくなっている。このため、第１流路２１と弁室１２との接続部の流路面積、及び弁室１２の流路面積を、容易に拡大することができる。
【００８４】  （第３実施形態）  以下、第３実施形態について、第１実施形態との相違点を中心に説明する。図６は本実施形態に係る流体制御弁の弁部１０を示す断面図であり、図７は図６の弁部１０のうち弁本体２１１を示す上面図である。第１実施形態と同一の部材については、同一の符号を付すことにより、その説明を省略する。
【００８５】  弁本体２１１の概略形状は、第１実施形態の弁本体１１と同様であるが、横幅方向の端面１１１ｃが曲面状に形成されている。本実施形態の小型流体制御弁の流路構造では、弁本体２１１には、第１実施形態の貫通孔５１に代えて、貫通孔２５１が形成されている。換言すれば、第２実施形態の貫通孔１５１に代えて、貫通孔２５１形成されている。そして、第１実施形態の蓋５５に代えて、蓋２５５が設けられている。換言すれば、第２実施形態の蓋１５５に代えて、蓋２５５が設けられている。その他の構成は、基本的に第１実施形態と同一である。
【００８６】  弁本体２１１には、弁本体２１１の縦幅方向の端面２１１ｄから弁室１２まで貫通する貫通孔２５１が形成されている。貫通孔２５１の断面は長円形となっている。貫通孔２５１は、弁本体２１１の高さ方向において弁座１３の位置を含む範囲に形成されている。貫通孔２５１は、弁本体２１１の横幅方向において弁室１２及び弁座１３と同じ位置に形成されている。貫通孔２５１の長径は弁室１２の径と略等しくなっている。
【００８７】  貫通孔２５１の端面２１１ｄでの開口２５１ｃは、蓋２５５（閉塞部材、第２閉塞部材）により閉塞されている。蓋２５５は、貫通孔２５１の断面形状と相似形の板材、すなわち長円形の板材により形成されている。蓋２５５は、端面２１１ｄに取り付けられている。
【００８８】  貫通孔２５１は、弁本体２１１を端面２１１ｄから縦幅方向に切削することにより形成される。弁室１２に貫通する位置まで弁本体２１１を切削することで、貫通孔２５１が形成される。その後、貫通孔２５１の開口２５１ｃが蓋２５５により閉塞される。なお、弁室１２と貫通孔２５１とは、どちらが先に弁本体２１１に形成されていてもよい。
【００８９】  以上詳述した本実施形態は、以下の利点を有する。ここでは、上述した各実施形態と相違する利点のみを述べる。
【００９０】  ・貫通孔２５１は、弁本体２１１の高さ方向において弁座１３の位置を含む範囲に形成されているため、弁室１２において弁座１３の周囲の空間を拡大することができる。このため、弁座１３の周囲に流体を流通させ易くなり、ひいては弁座１３の内側で開口する第２流路３１と弁室１２とで流体を流通させ易くなる。
【００９１】  （第４実施形態）  以下、第４実施形態について、第１実施形態との相違点を中心に説明する。図８は本実施形態に係る流体制御弁の弁部１０を示す断面図であり、図９は図８の弁部１０のうち弁本体３１１を示す上面図である。第１実施形態と同一の部材については、同一の符号を付すことにより、その説明を省略する。
【００９２】  弁本体３１１の概略形状は、第１実施形態の弁本体１１と同様であるが、横幅方向の端面１１１ｃが曲面状に形成されている。本実施形態の小型流体制御弁の流路構造では、弁本体３１１には、第１実施形態の貫通孔５１に代えて、貫通孔３５１が形成されている。換言すれば、第３実施形態の貫通孔２５１に代えて、貫通孔３５１形成されている。そして、第１実施形態の蓋５５に代えて、蓋３５５が設けられている。換言すれば、第３実施形態の蓋２５５に代えて、蓋３５５が設けられている。その他の構成は、基本的に第１実施形態と同一である。
【００９３】  弁本体３１１には、弁本体３１１の縦幅方向の端面３１１ｄから弁室１２まで貫通する貫通孔３５１が形成されている。貫通孔３５１の断面は円形となっている。貫通孔３５１は、弁本体３１１の高さ方向において弁座１３の位置を含む範囲に形成されている。弁本体３１１の横幅方向において、貫通孔３５１は、弁室１２及び弁座１３の第１流路２１と反対側の位置に形成されている。すなわち、第１流路２１と貫通孔３５１とは、ベローズ４８及び弁室１２を挟んで対向している。
【００９４】  貫通孔３５１の端面３１１ｄでの開口３５１ｃは、蓋３５５（閉塞部材、第２閉塞部材）により閉塞されている。蓋３５５は、貫通孔３５１の断面形状と相似形の板材、すなわち円形の板材により形成されている。蓋３５５は、端面３１１ｄに取り付けられている。
【００９５】  貫通孔３５１は、弁本体３１１を端面３１１ｄから縦幅方向に切削することにより形成される。弁室１２及び弁座１３の一部に貫通する位置まで弁本体３１１を切削することで、貫通孔３５１が形成される。その後、貫通孔３５１の開口３５１ｃが蓋３５５により閉塞される。なお、弁室１２と貫通孔３５１とは、どちらが先に弁本体３１１に形成されていてもよい。
【００９６】  以上詳述した本実施形態は、以下の利点を有する。ここでは、上述した各実施形態と相違する利点のみを述べる。
【００９７】  ・第１流路２１と貫通孔３５１とは、ベローズ４８及び弁室１２を挟んで対向している。このため、第１流路２１が流入流路となる場合に、ベローズ４８を挟んで第１流路２１と反対側の流体が流通しにくい部分の空間を拡大することができる。したがって、弁座１３の周囲において第１流路２１と反対側の部分に流体を流通させ易くなり、ひいては弁座１３の内側で開口する第２流路３１と弁室１２とで流体を流通させ易くなる。
【００９８】  （第５実施形態）  以下、第５実施形態について、第１実施形態との相違点を中心に説明する。図１０は本実施形態に係る流体制御弁の弁本体４１１を示す正面図であり、図１１は図１０の１１−１１線断面図であり、図１２は図１１の１２−１２線断面図であり、図１３は図１０の弁本体４１１の背面図である。第１実施形態と同一の部材については、同一の符号を付すことにより、その説明を省略する。
【００９９】  弁本体４１１の概略形状は、第１実施形態の弁本体１１と同様である。本実施形態の小型流体制御弁の流路構造では、弁本体４１１には、第１実施形態の貫通孔５１が形成されておらず、第１実施形態の第１流路２１及び第２流路３１の構成が変更されている。その他の構成は、基本的に第１実施形態と同一である。
【０１００】  弁本体４１１の内部には、弁本体４１１の下面１１ａでそれぞれ開口する第１垂直流路１２３（第１流路）及び第２垂直流路１３３（第２流路）が形成されている。第１垂直流路１２３及び第２垂直流路１３３は、第１環状凹部２２及び第２環状凹部３２からそれぞれ下面１１ａに垂直な方向へ延びている。第１垂直流路１２３と第２垂直流路１３３とは、弁本体４１１の横幅方向に並んで形成されている。第１垂直流路１２３の下面１１ａでの開口１２１ａと、第２垂直流路１３３の下面１１ａでの開口１３１ａとは、弁本体４１１の横幅方向に並んで形成されている。下面１１ａにおいて、第１垂直流路１２３の開口１２１ａの周囲には、環状の第１環状凹部２２が形成されている。下面１１ａにおいて、第２垂直流路１３３の開口１３１ａの周囲には環状の第２環状凹部３２が形成されている。
【０１０１】  第１垂直流路１２３及び第２垂直流路１３３は、それぞれ第１接続流路及び第２接続流路により弁室１２に接続されている。
【０１０２】  第１接続流路は、第１溝状凹部１２６と蓋１２９（第１閉塞部材）とで形成された第１端面流路を含んでいる。第１溝状凹部１２６は、溝状の凹部であり、弁本体４１１において縦幅の方向の第１端面４１１ｄに開口している。第１溝状凹部１２６（第１端面流路）における弁本体４１１の高さ方向の長さは、第１溝状凹部１２６における弁本体４１１の横幅方向の長さよりも長くなっている。第１溝状凹部１２６は、弁本体４１１において縦幅方向（水平方向）に延びる第１水平流路１２４により第１垂直流路１２３に接続されている。第１溝状凹部１２６は、弁室１２で開口している。第１溝状凹部１２６は、弁室１２の底部から中間部にわたって、弁室１２の外周縁部に接続されている。
【０１０３】  第１溝状凹部１２６の第１端面４１１ｄでの開口１２６ａは、蓋１２９により閉塞されている。詳しくは、開口１２６ａに蓋１２９を溶接することにより、開口１２６ａが蓋１２９により閉塞されている。蓋１２９は、第１溝状凹部１２６の開口１２６ａの形状と相似形の板材、すなわち長円形の板材により形成されている。蓋１２９は、第１端面４１１ｄに取り付けられている。
【０１０４】  第１溝状凹部１２６は、弁本体４１１を第１端面４１１ｄから縦幅方向に切削することにより形成される。第１溝状凹部１２６を形成した後、第１水平流路１２４が弁本体４１１を縦幅方向に切削することにより形成される。その後、第１溝状凹部１２６の開口１２６ａが蓋１２９により閉塞される。なお、弁室１２、第１垂直流路１２３、第１溝状凹部１２６、及び第１水平流路１２４は、いずれが先に弁本体４１１に形成されていてもよい。
【０１０５】  第２接続流路は、第２溝状凹部１３６と蓋１３９（第１閉塞部材）とで形成された第２端面流路を含んでいる。第２溝状凹部１３６は、溝状の凹部であり、弁本体４１１において縦幅の方向の第２端面４１１ｅに開口している。第２溝状凹部１３６（第２端面流路）における弁本体４１１の横幅方向の長さは、第２溝状凹部１３６における弁本体４１１の高さ方向の長さよりも長くなっている。第２溝状凹部１３６は、弁本体４１１において縦幅方向（水平方向）に延びる第２水平流路１３４により第２垂直流路１３３に接続されている。第２溝状凹部１３６は、弁本体４１１において縦幅方向（水平方向）に延びる第３水平流路１３７に接続されている。第３水平流路１３７は、下面１１ａに垂直な方向へ延びて弁室１２に開口する第３垂直流路１３８に接続されている。第３垂直流路１３８は、弁室１２の底部で開口している。弁本体４１１において、第３垂直流路１３８の弁室１２での開口の周囲には環状の弁座１３が形成されている。
【０１０６】  第２溝状凹部１３６の第２端面４１１ｅでの開口１３６ａは、蓋１３９により閉塞されている。蓋１３９は、第２溝状凹部１３６の開口１３６ａの形状と相似形の板材、すなわち長円形の板材により形成されている。蓋１３９は、第２端面４１１ｅに取り付けられている。
【０１０７】  第２溝状凹部１３６は、弁本体４１１を第２端面４１１ｅから縦幅方向に切削することにより形成される。第２溝状凹部１３６を形成した後、第２水平流路１３４及び第３水平流路１３７が弁本体４１１を縦幅方向に切削することにより形成される。また、弁本体４１１を高さ方向に切削することにより、第３垂直流路１３８が形成される。その後、第２溝状凹部１３６の開口１３６ａが蓋１３９により閉塞される。なお、第２溝状凹部１３６、第２水平流路１３４、第３水平流路１３７、及び第３垂直流路１３８は、いずれが先に弁本体４１１に形成されていてもよい。
【０１０８】  なお、第１垂直流路１２３、第１水平流路１２４、及び第１端面流路（第１溝状凹部１２６及び蓋１２９）により、第１流路が構成されている。第１水平流路１２４、及び第１端面流路により、第１接続流路が構成されている。また、第２垂直流路１３３、第２水平流路１３４、第２端面流路（第２溝状凹部１３６及び蓋１３９）、第３水平流路１３７、及び第３垂直流路１３８により、第２流路が構成されている。第２水平流路１３４、第２端面流路、第３水平流路１３７、及び第３垂直流路１３８により、第２接続流路が構成されている。
【０１０９】  以上詳述した本実施形態は、以下の利点を有する。ここでは、第１実施形態と相違する利点のみを述べる。
【０１１０】  ・第１流路は、第１環状凹部２２から弁本体４１１の下面１１ａに垂直な方向へ延びる第１垂直流路１２３を含み、第２流路は、第２環状凹部３２から弁本体４１１の下面１１ａに垂直な方向へ延びる第２垂直流路１３３を含んでいる。このため、環状凹部２２，３２に対して第１流路及び第２流路をそれぞれ垂直に接続することができ、環状凹部２２，３２と第１流路及び第２流路とがそれぞれ干渉することを抑制することができる。したがって、環状凹部２２，３２に対して第１流路及び第２流路を斜めに接続する構造と比較して、環状凹部２２，２３と第１流路及び第２流路とのそれぞれの接続部の流路面積を大きくすることができる。
【０１１１】  ・環状凹部２２，３２に対して第１流路及び第２流路をそれぞれ垂直に接続するためには、第１接続流路及び第２接続流路の一方、例えば第１接続流路の形状や寸法が制限されるおそれがある。この点、第１接続流路は、弁本体４１１において縦幅の方向の第１端面４１１ｄに開口する溝状の第１溝状凹部１２６と第１溝状凹部１２６の開口１２６ａを閉塞する蓋１２９とで形成された第１端面流路、を含んでいる。第１端面流路は、弁本体４１１において縦幅の方向の第１端面４１１ｄを溝状に切削して第１溝状凹部１２６を形成し、第１溝状凹部１２６の開口１２６ａを蓋１２９により閉塞することで、自由な形状や寸法に容易に形成することができる。したがって、環状凹部２２，３２に対して第１流路及び第２流路をそれぞれ垂直に接続する構造であっても、第１端面流路を形成することにより第１接続流路の流路面積を確保することができる。その結果、小型流体制御弁において、最大流量が制限されることを抑制することができる。
【０１１２】  ・第２接続流路は、弁本体４１１において縦幅の方向の第２端面に開口する溝状の第２溝状凹部１３６と第２溝状凹部１３６の開口１３６ａを閉塞する蓋１３９とで形成された第２端面流路、を含んでいる。このため、第２接続流路の流路面積を確保することが容易となり、第１流路及び第２流路を配置する自由度を向上させることができる。
【０１１３】  ・第１端面流路における弁本体４１１の高さ方向の長さは、第１端面流路における弁本体４１１の横幅方向の長さよりも長くなっている。このため、第１接続流路の流路面積を確保しつつ、弁本体４１１の高さ方向に第１接続流路を延ばすことができ、第１接続流路の配置を容易化することができる。
【０１１４】  ・第１端面流路は弁室１２で開口しているため、第１接続流路を弁室１２に容易に接続することができるとともに、第１接続流路と弁室１２との接続部の流路面積を容易に確保することができる。
【０１１５】  （第６実施形態）  以下、第６実施形態について、第５実施形態との相違点を中心に説明する。図１４は本実施形態に係る流体制御弁の弁本体５１１を示す正面図であり、図１５は図１４の１５−１５線断面図であり、図１６は図１５の１６−１６線断面図である。第１実施形態及び第５実施形態と同一の部材については、同一の符号を付すことにより、その説明を省略する。
【０１１６】  本実施形態の小型流体制御弁の流路構造では、弁本体５１１には、第１流路が２つ形成されており、第５実施形態の第１流路及び第２流路の構成が変更されている。その他の構成は、基本的に第５実施形態と同一である。
【０１１７】  弁本体５１１の内部には、弁本体５１１の下面１１ａでそれぞれ開口する２つの第１垂直流路２２３（第１流路）及び第２流路２３１が形成されている。第１垂直流路２２３及び第２流路２３１は、第１環状凹部２２及び第２環状凹部３２からそれぞれ下面１１ａに垂直な方向へ延びている。２つの第１垂直流路２２３と第２流路２３１とは、弁本体５１１の横幅方向に並んで形成されている。２つの第１垂直流路２２３の下面１１ａでの開口２２１ａと、第２流路２３１の下面１１ａでの開口２３１ａとは、弁本体５１１の横幅方向に並んで形成されている。下面１１ａにおいて、２つの第１垂直流路２２３の開口２２１ａの周囲には、環状の第１環状凹部２２がそれぞれ形成されている。下面１１ａにおいて、第２流路２３１の開口２３１ａの周囲には環状の第２環状凹部３２が形成されている。
【０１１８】  ２つの第１垂直流路２２３は、それぞれ第１接続流路により弁室１２に接続されている。第１接続流路は、第１溝状凹部２２６と蓋２２９（第１閉塞部材）とで形成された第１端面流路を含んでいる。第１溝状凹部２２６は、溝状の凹部であり、弁本体５１１において縦幅の方向の第１端面５１１ｄに開口している。第１溝状凹部２２６（第１端面流路）における弁本体５１１の高さ方向の長さは、第１溝状凹部２２６における弁本体５１１の横幅方向の長さよりも長くなっている。第１溝状凹部２２６は、弁本体５１１において縦幅方向（水平方向）に延びる第１水平流路２２４により第１垂直流路２２３に接続されている。第１溝状凹部２２６は、弁本体５１１において弁室１２の方向（水平方向）に延びる第４水平流路２２７により弁室１２に接続されている。
【０１１９】  第２流路２３１（第２接続流路）は、弁室１２の底部で開口している。弁本体５１１において、第２流路２３１の弁室１２での開口の周囲には環状の弁座１３が形成されている。
【０１２０】  なお、第１垂直流路２２３、第１水平流路２２４、第１端面流路（第１溝状凹部２２６及び蓋２２９）、及び第４水平流路２２７により、第１流路が構成されている。第１水平流路２２４、第１端面流路、及び第４水平流路２２７により、第１接続流路が構成されている。また、２つの第１流路のうちの一方を、第２流路と捉えることもできる。
【０１２１】  以上詳述した本実施形態は、以下の利点を有する。ここでは、上述した各実施形態と相違する利点のみを述べる。
【０１２２】  ・第１流路が２つ形成されているため、２つの第１流路と１つの第２流路２３１とを備える３ポートの流体制御弁を製造することができる。そして、３つの流路において、それぞれ流路面積を確保することができる。
【０１２３】  （第７実施形態）  以下、第７実施形態について、第５実施形態との相違点を中心に説明する。図１７は本実施形態に係る流体制御弁の弁本体６１１を示す正面図であり、図１８は図１７の１８−１８線断面図であり、図１９は図１８の１９−１９線断面図であり、図２０は図１７の弁本体６１１の背面図である。第１実施形態及び第５実施形態と同一の部材については、同一の符号を付すことにより、その説明を省略する。
【０１２４】  本実施形態の小型流体制御弁の流路構造では、弁本体６１１には、２つの弁室１２（第１弁室、第２弁室）と２つの第２流路とが形成されており、第５実施形態の第１流路の構成が変更されている。その他の構成は、基本的に第５実施形態と同一である。
【０１２５】  弁本体６１１の内部には、弁本体６１１の下面１１ａでそれぞれ開口する第１垂直流路３２３（第１流路）及び２つの第２垂直流路３３３（第２流路）が形成されている。第１垂直流路３２３及び第２垂直流路３３３は、第１環状凹部２２及び第２環状凹部３２からそれぞれ下面１１ａに垂直な方向へ延びている。第１垂直流路３２３と２つの第２垂直流路３３３とは、弁本体６１１の横幅方向に並んで形成されている。第１垂直流路３２３の下面１１ａでの開口３２１ａと、２つの第２垂直流路３３３の下面１１ａでの開口３３１ａとは、弁本体６１１の横幅方向に並んで形成されている。下面１１ａにおいて、第１垂直流路３２３の開口３２１ａの周囲には、環状の第１環状凹部２２が形成されている。下面１１ａにおいて、２つの第２垂直流路３３３の開口３３１ａの周囲にはそれぞれ環状の第２環状凹部３２が形成されている。
【０１２６】  第１垂直流路３２３及び第２垂直流路３３３は、それぞれ第１接続流路及び第２接続流路により弁室１２に接続されている。
【０１２７】  第１接続流路は、第１溝状凹部３２６と蓋３２９（第１閉塞部材）とで形成された第１端面流路を含んでいる。第１溝状凹部３２６は、溝状の凹部であり、弁本体６１１において縦幅の方向の第２端面６１１ｅに開口している。第１溝状凹部３２６（第１端面流路）における弁本体６１１の横幅方向の長さは、第１溝状凹部３２６における弁本体６１１の高さ方向の長さよりも長くなっている。第１溝状凹部３２６は、弁本体６１１の横幅方向において２つの弁室１２のそれぞれの弁座１３と同じ位置まで延びている。
【０１２８】  弁本体６１１の横幅方向において第１溝状凹部３２６の中央部は、弁本体６１１において縦幅方向（水平方向）に延びる第１水平流路３２４により、第１垂直流路３２３に接続されている。第１溝状凹部３２６は、弁本体６１１において縦幅方向（水平方向）に延びる２つの第２水平流路３２７にそれぞれ接続されている。第２水平流路３２７は、下面１１ａに垂直な方向へ延びて２つの弁室１２にそれぞれ開口する第３垂直流路３２８にそれぞれ接続されている。
【０１２９】  第１溝状凹部３２６の第２端面６１１ｅでの開口３２６ａは、蓋３２９により閉塞されている。蓋３２９は、第１溝状凹部３２６の開口３２６ａの形状と相似形の板材、すなわち長円形の板材により形成されている。蓋３２９は、第２端面６１１ｅに取り付けられている。
【０１３０】  第１溝状凹部３２６は、弁本体６１１を第２端面６１１ｅから縦幅方向に切削することにより形成される。第１溝状凹部３２６を形成した後、第１水平流路３２４が弁本体６１１を縦幅方向に切削することにより形成され、第２水平流路３２７が弁本体６１１を縦幅方向に切削することにより形成される。その後、第１溝状凹部３２６の開口３２６ａが蓋１２９により閉塞される。なお、弁室１２、第１垂直流路３２３、第１溝状凹部３２６、第１水平流路３２４、及び第２水平流路３２７は、いずれが先に弁本体６１１に形成されていてもよい。
【０１３１】  第２接続流路は、第５実施形態の第１接続流路と同様に弁本体６１１に形成されている。第２接続流路は、２つの弁室１２に対応してそれぞれ形成されている。
【０１３２】  なお、第１垂直流路３２３、第１水平流路３２４、第１端面流路（第１溝状凹部３２６及び蓋３２９）、及び第２水平流路３２７により、第１流路が構成されている。第１水平流路３２４、第１端面流路、及び第２水平流路３２７により、第１接続流路が構成されている。また、第２垂直流路３３３、第２水平流路３３４、第２端面流路（第２溝状凹部３３６及び蓋３３９）により、第２流路が構成されている。第２水平流路３３４、第２端面流路により、第２接続流路が構成されている。
【０１３３】  以上詳述した本実施形態は、以下の利点を有する。ここでは、上述した各実施形態と相違する利点のみを述べる。
【０１３４】  ・弁本体６１１の内部には２つの弁室１２（第１弁室、第２弁室）が形成されており、第１接続流路は、第１垂直流路３２３、及び２つの弁室１２を接続している。このため、２つの弁室１２を備える合流弁や分流弁において、それぞれの流路の流路面積を確保することができる。
【０１３５】  ・第２流路が２つ形成されているため、１つの第１流路と２つの第２流路とを備える３ポートの流体制御弁を製造することができる。そして、３つの流路において、それぞれ流路面積を確保することができる。
【０１３６】  ・第１端面流路における弁本体６１１の横幅方向の長さは、第１端面流路における弁本体６１１の高さ方向の長さよりも長くなっている。このため、第１接続流路の流路面積を確保しつつ、弁本体６１１の横幅方向に第１接続流路を延ばすことができ、第１接続流路の配置を容易化することができる。
【０１３７】  ・第２端面流路は弁室１２で開口しているため、第２接続流路を弁室１２に容易に接続することができるとともに、第２接続流路と弁室１２との接続部の流路面積を容易に確保することができる。
【０１３８】  （第８実施形態）  以下、第８実施形態について、第６実施形態との相違点を中心に説明する。図２１は本実施形態に係る流体制御弁の弁本体７１１を示す正面図であり、図２２は図２１の２２−２２線断面図であり、図２３は図２２の２３−２３線断面図である。第１実施形態及び第６実施形態と同一の部材については、同一の符号を付すことにより、その説明を省略する。
【０１３９】  本実施形態の小型流体制御弁の流路構造では、弁本体７１１には、２つの弁室１２（第１弁室、第２弁室）と２つの第２流路とが形成されており、第６実施形態の第１流路の構成が２つの弁室１２に対応して変更されている。その他の構成は、基本的に第６実施形態と同一である。
【０１４０】  第１垂直流路４２３は、第１接続流路により２つの弁室１２にそれぞれ接続されている。第１接続流路は、第１溝状凹部４２６と蓋４２９（第１閉塞部材）とで形成された第１端面流路を含んでいる。第１溝状凹部４２６は、溝状の凹部であり、弁本体７１１において縦幅の方向の第１端面７１１ｄに開口している。第１溝状凹部４２６（第１端面流路）における弁本体７１１の高さ方向の長さは、第１溝状凹部４２６における弁本体７１１の横幅方向の長さよりも長くなっている。第１溝状凹部４２６は、弁本体７１１において縦幅方向（水平方向）に延びる第１水平流路４２４により第１垂直流路４２３に接続されている。第１溝状凹部４２６は、弁本体７１１において２つの弁室１２の方向（水平方向）にそれぞれ延びる第４水平流路４２７により２つの弁室１２にそれぞれ接続されている。
【０１４１】  第２流路４３１（第２接続流路）は、弁室１２の底部で開口している。弁本体７１１において、第２流路４３１の弁室１２での開口の周囲には環状の弁座１３が形成されている。
【０１４２】  なお、第１垂直流路４２３、第１水平流路４２４、第１端面流路（第１溝状凹部４２６及び蓋４２９）、及び第４水平流路４２７により、第１流路が構成されている。第１水平流路４２４、第１端面流路、及び第４水平流路４２７により、第１接続流路が構成されている。
【０１４３】  以上詳述した本実施形態は、以下の利点を有する。ここでは、上述した各実施形態と相違する利点のみを述べる。
【０１４４】  ・弁本体７１１の内部には２つの弁室１２（第１弁室、第２弁室）が形成されており、第１接続流路は、第１垂直流路４２３、及び２つの弁室１２を接続している。このため、２つの弁室１２を備える合流弁や分流弁において、それぞれの流路の流路面積を確保することができる。
【０１４５】  （第９実施形態）  以下、第９実施形態について、第１及び第５実施形態との相違点を中心に説明する。図２４は本実施形態に係る流体制御弁の弁本体８１１を示す正面図である。第１及び第５実施形態と同一の部材については、同一の符号を付すことにより、その説明を省略する。
【０１４６】  本実施形態の小型流体制御弁の流路構造は、第５実施形態の流路構造において、第１実施形態の貫通孔５１を形成して蓋５５により貫通孔５１の開口５１ｃを閉塞したものである。したがって、本実施形態は、第１実施形態及び第５実施形態と同様の利点を有する。
【０１４７】  （第１０実施形態）  以下、第１０実施形態について、第２及び第５実施形態との相違点を中心に説明する。図２５は本実施形態に係る流体制御弁の弁本体９１１を示す正面図である。第２及び第５実施形態と同一の部材については、同一の符号を付すことにより、その説明を省略する。
【０１４８】  本実施形態の小型流体制御弁の流路構造は、第５実施形態の流路構造において、第２実施形態の貫通孔１５１を形成して、貫通孔１５１の開口１５１ｃ及び第１溝状凹部１２６の開口１２６ａを蓋５２９により閉塞したものである。したがって、本実施形態は、第２実施形態及び第５実施形態と同様の利点を有する。
【０１４９】  （第１１実施形態）  以下、第１１実施形態について、第２及び第７実施形態との相違点を中心に説明する。図２６は本実施形態に係る流体制御弁の弁本体１０１１を示す正面図である。第２及び第７実施形態と同一の部材については、同一の符号を付すことにより、その説明を省略する。
【０１５０】  本実施形態の小型流体制御弁の流路構造は、第７実施形態の流路構造において、第２実施形態の貫通孔１５１を形成して、貫通孔１５１の開口１５１ｃ及び第１溝状凹部３２６の開口３２６ａを蓋５２９により閉塞したものである。したがって、本実施形態は、第２実施形態及び第７実施形態と同様の利点を有する。
【０１５１】  さらに、本実施形態は、以下の利点を有する。ここでは、上述した各実施形態と相違する利点のみを述べる。
【０１５２】  ・貫通孔１５１は、弁本体１０１１の縦幅の方向の端面１０１１ｄから弁室１２まで貫通しており、且つ第２接続流路に接続されている。このため、第２接続流路と弁室１２との接続部の流路面積を、貫通孔により拡大することができる。
【０１５３】  （第１２実施形態）  以下、第１２実施形態について、第３及び第５実施形態との相違点を中心に説明する。図２７は本実施形態に係る流体制御弁の弁本体１１１１を示す正面図である。第３及び第５実施形態と同一の部材については、同一の符号を付すことにより、その説明を省略する。
【０１５４】  本実施形態の小型流体制御弁の流路構造は、第５実施形態の流路構造において、第３実施形態の貫通孔２５１を形成して、貫通孔２５１の開口２５１ｃ及び第１溝状凹部１２６の開口１２６ａを蓋６２９により閉塞したものである。ただし、貫通孔２５１及び第１溝状凹部１２６は、弁本体１１１１の縦幅方向において同じ側の端面１１１１ｄから形成されている。したがって、本実施形態は、第３実施形態及び第５実施形態と同様の利点を有する。
【０１５５】  （第１３実施形態）  以下、第１３実施形態について、第５実施形態との相違点を中心に説明する。図２８は本実施形態に係る流体制御弁の弁本体１２１１を示す正面図である。第５実施形態と同一の部材については、同一の符号を付すことにより、その説明を省略する。
【０１５６】  本実施形態の小型流体制御弁の流路構造は、第５実施形態の流路構造を、ダイアフラム式の小型流体制御弁に適用したものである。この流体制御弁は、図１のベローズ４８及び弁体４５に代えてダイアフラム１４８を備えている。そして、ダイアフラム１４８よりも下側の空間において弁座１３の周囲が弁室１２となっている。こうした構成によれば、第５実施形態に準じた利点を有する。
【０１５７】  なお、上記各実施形態を以下のように変更して実施することもできる。
【０１５８】  ・貫通孔５１が第１接続流路まで貫通しておらず、弁室１２のみに貫通している流路構造を採用することもできる。
【０１５９】  ・第１端面流路が、弁本体の下面１１ａに対して垂直に延びる構造に限らず、下面１１ａに対して若干傾いて延びる構造であってもよい。
【符号の説明】
【０１６０】  １１…弁本体，１１ａ…下面、１１ｃ…端面、１２…弁室、２１…第１流路、２１ａ…開口、２２…第１環状凹部、３１…第２流路、３１ａ…開口、３２…第２環状凹部、５１…貫通孔、５１ｃ…開口、５５…閉塞部材。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【国際調査報告】
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