(57)【要約】  吸着ノズルの交換運転に要する時間を短縮可能なノズル管理装置およびノズル管理装置の制御方法を提供することを目的とする。  ノズル管理装置の制御装置は、交換運転において、保管対象である複数の吸着ノズルの一部を空の第一ソケットに移載した後に、吸着ノズルの移載により空となったソケットに対応する指定の吸着ノズルをパレットから移載する搬入動作と、搬入動作により空となったソケットに保管対象である吸着ノズルをノズルステーションから移載する搬出動作と、を交互に繰り返すようにノズル移載装置の動作を制御する。
2017068661.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
部品実装機で使用される吸着ノズルを保管するパレットと、
前記部品実装機に着脱可能に設置されて複数の前記吸着ノズルを保持するノズルステーションを対象とし、前記部品実装機から取り外された前記ノズルステーションを設置するノズルステーション設置装置と、
前記パレットと前記ノズルステーション設置装置に設置された前記ノズルステーションとの間で前記吸着ノズルを移載するノズル移載装置と、
運転モードに応じて前記ノズル移載装置の動作を制御する制御装置と、を備え、
前記パレットおよび前記ノズルステーションは、前記吸着ノズルを所定の姿勢で保持可能な複数のソケットをそれぞれ有し、
前記運転モードには、前記ノズルステーションから前記パレットに保管対象である複数の前記吸着ノズルを移載するとともに、前記パレットから前記ノズルステーションの前記ソケットに対応してそれぞれ指定された複数の前記吸着ノズルを移載する交換運転が含まれ、
前記制御装置は、
前記交換運転において、保管対象である複数の前記吸着ノズルの一部を前記ノズル移載装置の可動範囲に確保された空の第一ソケットに移載した後に、
前記吸着ノズルの移載により空となった前記ノズルステーションの前記ソケットに対応する指定の前記吸着ノズルを前記パレットから移載する搬入動作と、前記搬入動作により空となった前記パレットの前記ソケットに保管対象である複数の前記吸着ノズルの一部を前記ノズルステーションから移載する搬出動作と、を交互に繰り返すように前記ノズル移載装置の動作を制御するノズル管理装置。
【請求項２】
前記制御装置は、前記交換運転を除く前記運転モードにおいて、前記パレットにおける複数の前記ソケットの一部について空の状態を維持して、前記パレットに空の前記第一ソケットを確保する、請求項１に記載のノズル管理装置。
【請求項３】
前記ノズル管理装置は、前記吸着ノズルを保持可能な仮置き台をさらに備え、
前記制御装置は、前記交換運転に際して、前記パレットから前記仮置き台に前記吸着ノズルを移載して、空の前記第一ソケットを前記パレットに確保する、請求項１に記載のノズル管理装置。
【請求項４】
前記ノズル管理装置は、前記吸着ノズルを保持可能な仮置き台をさらに備え、
空の前記第一ソケットは、前記仮置き台に確保される、請求項１に記載のノズル管理装置。
【請求項５】
前記ノズル管理装置は、複数の前記パレットを収容するストッカーをさらに備え、
前記ストッカーは、複数の前記パレットを収容する位置と、前記ノズル移載装置が前記吸着ノズルを取り出し可能となる位置との間で前記パレットを移動させるキャリアを有し、
前記制御装置は、前記交換運転において指定された複数の前記吸着ノズルを前記ノズルステーションに移載するために前記ストッカーに収容された複数の前記パレットを要する場合に、前記キャリアの移動動作に伴う前記パレットの移動回数、移動時間、および移動距離の少なくとも一つが最小となるように前記交換運転に必要な複数の前記パレットの組み合わせを設定する、請求項１−４の何れか一項に記載のノズル管理装置。
【請求項６】
前記ノズル管理装置は、管理対象の前記吸着ノズルのメンテナンスを実行する保守装置をさらに備え、
前記保守装置は、前記ノズル移載装置の可動範囲において前記吸着ノズルを保持する保守用パレットを有し、
前記制御装置は、前記交換運転において指定された複数の前記吸着ノズルの数量に対して、前記保守装置によるメンテナンスの実行後に前記ノズル管理装置に保管された前記吸着ノズルの数量が不足する場合に、少なくとも不足分の前記吸着ノズルを前記ノズルステーションから前記保守用パレットに移載するように前記ノズル移載装置の動作を制御する、請求項１−５の何れか一項に記載のノズル管理装置。
【請求項７】
部品実装機で使用される吸着ノズルを保管するパレットと、
前記部品実装機に着脱可能に設置されて複数の前記吸着ノズルを保持するノズルステーションを対象とし、前記部品実装機から取り外された前記ノズルステーションを設置するノズルステーション設置装置と、
前記パレットと前記ノズルステーション設置装置に設置された前記ノズルステーションとの間で前記吸着ノズルを移載するノズル移載装置と、
運転モードに応じて前記ノズル移載装置の動作を制御する制御装置と、
を備えるノズル管理装置の制御方法であって、
前記パレットおよび前記ノズルステーションは、前記吸着ノズルを所定の姿勢で保持可能な複数のソケットをそれぞれ有し、
前記運転モードには、前記ノズルステーションから前記パレットに保管対象である複数の前記吸着ノズルを移載するとともに、前記パレットから前記ノズルステーションの前記ソケットに対応してそれぞれ指定された複数の前記吸着ノズルを移載する交換運転が含まれ、
前記制御方法は、
前記交換運転において、保管対象である複数の前記吸着ノズルの一部を前記ノズル移載装置の可動範囲に確保された空の第一ソケットに移載する退避工程と、
前記吸着ノズルの移載により空となった前記ノズルステーションの前記ソケットに対応する指定の前記吸着ノズルを前記パレットから移載する搬入動作と、前記搬入動作により空となった前記パレットの前記ソケットに保管対象である複数の前記吸着ノズルの一部を前記ノズルステーションから移載する搬出動作と、を交互に繰り返すように前記ノズル移載装置の動作を制御する交換工程と、を備えるノズル管理装置の制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズル管理装置およびノズル管理装置の制御方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
部品実装機による電子部品の実装処理において、電子部品を吸着して保持する吸着ノズルが用いられる。例えば、特許文献１には、複数の吸着ノズルをパレットにより保持して管理するノズル管理装置が開示されている。ノズル管理装置は、部品実装機から取り外されてノズル管理装置の機内に設置されたノズルステーションと上記のパレットとの間で吸着ノズルを入れ替える交換運転を行う。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】国際公開第２０１４／０６８６７３号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ノズル管理装置による交換運転は、例えば部品実装機の段取り替えとして行われる。そのため、ノズル管理装置には、交換運転に要する時間の短縮が望まれている。
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、吸着ノズルの交換運転に要する時間を短縮可能なノズル管理装置およびノズル管理装置の制御方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
請求項１に係るノズル管理装置は、部品実装機で使用される吸着ノズルを保管するパレットと、前記部品実装機に着脱可能に設置されて複数の前記吸着ノズルを保持するノズルステーションを対象とし、前記部品実装機から取り外された前記ノズルステーションを設置するノズルステーション設置装置と、前記パレットと前記ノズルステーション設置装置に設置された前記ノズルステーションとの間で前記吸着ノズルを移載するノズル移載装置と、運転モードに応じて前記ノズル移載装置の動作を制御する制御装置と、を備える。
前記パレットおよび前記ノズルステーションは、前記吸着ノズルを所定の姿勢で保持可能な複数のソケットをそれぞれ有する。前記運転モードには、前記ノズルステーションから前記パレットに保管対象である複数の前記吸着ノズルを移載するとともに、前記パレットから前記ノズルステーションの前記ソケットに対応してそれぞれ指定された複数の前記吸着ノズルを移載する交換運転が含まれる。
前記制御装置は、前記交換運転において、保管対象である複数の前記吸着ノズルの一部を前記ノズル移載装置の可動範囲に確保された空の第一ソケットに移載した後に、前記吸着ノズルの移載により空となった前記ノズルステーションの前記ソケットに対応する指定の前記吸着ノズルを前記パレットから移載する搬入動作と、前記搬入動作により空となった前記パレットの前記ソケットに保管対象である複数の前記吸着ノズルの一部を前記ノズルステーションから移載する搬出動作と、を交互に繰り返すように前記ノズル移載装置の動作を制御する。【０００６】
請求項７に係るノズル管理装置の制御方法は、部品実装機で使用される吸着ノズルを保管するパレットと、前記部品実装機に着脱可能に設置されて複数の前記吸着ノズルを保持するノズルステーションを対象とし、前記部品実装機から取り外された前記ノズルステーションを設置するノズルステーション設置装置と、前記パレットと前記ノズルステーション設置装置に設置された前記ノズルステーションとの間で前記吸着ノズルを移載するノズル移載装置と、運転モードに応じて前記ノズル移載装置の動作を制御する制御装置と、を備えるノズル管理装置の制御方法である。
前記パレットおよび前記ノズルステーションは、前記吸着ノズルを所定の姿勢で保持可能な複数のソケットをそれぞれ有する。前記運転モードには、前記ノズルステーションから前記パレットに保管対象である複数の前記吸着ノズルを移載するとともに、前記パレットから前記ノズルステーションの前記ソケットに対応してそれぞれ指定された複数の前記吸着ノズルを移載する交換運転が含まれる。
前記制御方法は、前記交換運転において、保管対象である複数の前記吸着ノズルの一部を前記ノズル移載装置の可動範囲に確保された空の第一ソケットに移載する退避工程と、前記吸着ノズルの移載により空となった前記ノズルステーションの前記ソケットに対応する指定の前記吸着ノズルを前記パレットから移載する搬入動作と、前記搬入動作により空となった前記パレットの前記ソケットに保管対象である複数の前記吸着ノズルの一部を前記ノズルステーションから移載する搬出動作と、を交互に繰り返すように前記ノズル移載装置の動作を制御する交換工程と、を備える。
【発明の効果】
【０００７】
請求項１，７に係る発明の構成によると、ノズル移載装置は、搬入動作と搬出動作とを交互に行うように、ノズルステーションとパレットとの間を往復する。これにより、往復動作の両方において吸着ノズルをノズル移載装置が移載するので、交換運転において保管対象の吸着ノズルを全て搬出した後に指定の吸着ノズルをまとめて搬入する構成と比較して、交換運転におけるノズル移載装置の動作効率を向上できる。また、交換運転に要する時間を短縮することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】実施形態におけるノズル洗浄装置の構成を示す上面図である。
【図２】部品実装機で使用される吸着ノズルを示す斜視図である。
【図３】ノズルストッカーを示す側面図である。
【図４】吸着ノズルの交換運転処理を示すフローチャートである。
【図５Ａ】準備処理後のノズルステーションとパレットの状態を示す図である。
【図５Ｂ】退避工程における吸着ノズルの退避動作を示す図である。
【図５Ｃ】交換工程における最初の搬入動作を示す図である。
【図５Ｄ】交換工程における最初の搬出動作を示す図である。
【図５Ｅ】交換工程における第二の搬入動作を示す図である。
【図５Ｆ】交換工程の終了後の状態を示す図である。
【図６】図４における準備処理を示すフローチャートである。
【図７Ａ】第一変形態様：空の第一ソケットの確保動作を示す図である。
【図７Ｂ】第一変形態様：後処理における退避ノズルの戻し動作を示す図である。
【図８Ａ】第二変形態様：仮置き台に確保された空の第一ソケットに保管対象の吸着ノズルを退避させる退避動作を示す図である。
【図８Ｂ】第二変形態様：後処理における退避ノズルの戻し動作を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明のノズル管理装置およびノズル管理装置の制御方法を具体化した実施形態について図面を参照して説明する。ノズル管理装置は、部品実装機で使用される吸着ノズルをパレットにより保持して管理する外部装置である。実施形態において、ノズル管理装置は、吸着ノズルを洗浄するとともに、吸着ノズルの検査や保管などに用いられるノズル洗浄装置である。
【００１０】
＜実施形態＞
（１．部品実装機１０）
部品実装機１０は、フィーダにより供給された電子部品を吸着ノズル９０により保持して、この電子部品を回路基板上の所定位置に装着する装置である。吸着ノズル９０は、部品実装機１０における移載装置に着脱可能に設けられ、実装対象の電子部品の種別などに応じて適宜交換される。吸着ノズル９０は、サイズや形状の異なる種類に対応するノズルステーション１１に保持される（図１を参照）。
【００１１】
（１−１．吸着ノズル９０）
吸着ノズル９０は、図２に示すように、胴体軸９１と、フランジ９２と、ノズル軸９３と、２Ｄコード９４とを有する。胴体軸９１は、筒状に形成される。胴体軸９１は、部品実装機１０の移載装置に保持される本体部として機能する。フランジ９２は、円盤状からなり、胴体軸９１の軸方向の一端側（図２の下側）に設けられる。
【００１２】
ノズル軸９３は、胴体軸９１から軸方向に延伸する管状に形成される。ノズル軸９３は、電子部品に接触して保持する部位である。ノズル軸９３は、胴体軸９１に対して軸方向に進退可能に構成される。ノズル軸９３は、図示しない弾性部材により胴体軸９１から進出する方向に付勢されている。ノズル軸９３は、先端部に胴体軸９１側への荷重を加えられた場合に、上記の弾性部材による弾性力に抗して胴体軸９１の内部に後退する。２Ｄコード９４は、フランジ９２の上面に付される。２Ｄコード９４には、吸着ノズル９０の識別符号（ＩＤ）や種別などの固有情報が含まれる。
【００１３】
（１−２．ノズルステーション１１）
ノズルステーション１１は、部品実装機１０の基台に着脱可能に設置される。ノズルステーション１１は、全体形状として直方体をなすように形成される。ノズルステーション１１は、ノズル軸９３が下方に向けられた姿勢にある吸着ノズル９０を保持可能に構成される。
【００１４】
（２．ノズル洗浄装置２０）
ノズル洗浄装置２０は、図１に示すように、部品実装機１０に対する外部装置である。ノズル洗浄装置２０は、本実施形態において、複数の吸着ノズル９０の保持した状態にあるノズルステーション１１を搬入されて、当該吸着ノズル９０を対象とした洗浄、検査、および保管を行うノズル管理装置である。
【００１５】
また、ノズル洗浄装置２０は、保管されている吸着ノズル９０を要求に応じてノズルステーション１１に移載して、部品実装機１０の段取り替えを支援する機能を有する。ノズル洗浄装置２０は、洗浄ユニット３０と、検査ユニット４０と、ノズルストッカー５０と、ノズル移載装置６０と、ノズルステーション設置装置７０と、制御装置８０と、排出ボックス８５とを備える。
【００１６】
（２−１．洗浄ユニット３０）
洗浄ユニット３０は、ノズル洗浄装置２０において吸着ノズル９０を対象としたメンテナンスのうち洗浄に関する機能を有する。洗浄ユニット３０は、管理対象の吸着ノズル９０のメンテナンスを実行する保守装置の一部を構成する。洗浄ユニット３０は、洗浄庫３１と、洗浄パレット３２（本発明の「保守用パレット」に相当する）と、ブロー装置３３とを有する。
【００１７】
洗浄庫３１は、庫内において吸着ノズル９０の洗浄および乾燥を行う。洗浄パレット３２は、ノズル移載装置６０の可動範囲Ｒにおいて吸着ノズル９０を保持する。洗浄パレット３２は、図示しないパレット移動機構により洗浄庫の庫内と、規定位置（上記の可動範囲Ｒの内部であって、図１にて洗浄パレット３２が図示されている位置）との間を移動される。ブロー装置３３は、洗浄された吸着ノズル９０にエアを吹き付けて、吸着ノズル９０を乾燥させる。
【００１８】
上記のような構成からなる洗浄ユニット３０は、ノズル移載装置６０により洗浄ユニット３０に移載された吸着ノズル９０を対象として、洗浄処理および乾燥処理を実行する。具体的には、洗浄ユニット３０は、洗浄パレット３２に吸着ノズル９０を保持させた状態で、洗浄庫３１の庫内に洗浄パレット３２を移動する。洗浄ユニット３０は、洗浄庫３１において吸着ノズル９０の内部に高圧の水を流通させて、また吸着ノズル９０の外面に高圧の水を噴射して洗浄する。
【００１９】
そして、洗浄ユニット３０は、洗浄庫３１において吸着ノズル９０を乾燥させ、洗浄パレット３２を規定位置に移動させる。その後に、吸着ノズル９０は、ノズル移載装置６０によって個々にブロー装置３３の内部に移動され、ブロー装置３３の作動により水分を吹き飛ばされて乾燥される。また、乾燥処理を終えた吸着ノズル９０は、ノズル移載装置６０によって、ノズルストッカー５０の保管パレット５１またはノズルステーション１１に適宜移載される。
【００２０】
（２−２．検査ユニット４０）
検査ユニット４０は、ノズル洗浄装置２０において吸着ノズル９０を対象としたメンテナンスのうち吸着ノズル９０の状態の検査に関する機能を有する。検査ユニット４０は、管理対象の吸着ノズル９０のメンテナンスを実行する保守装置の一部を構成する。上記の吸着ノズル９０の状態には、本実施形態において、摺動状態および先端状態が含まれる。
【００２１】
検査ユニット４０は、ロードセル４１と、検査カメラ４２と、治具置き台４３とを有する。ロードセル４１は、吸着ノズル９０の摺動状態の検査に用いられる。ロードセル４１は、吸着ノズル９０のノズル軸９３が胴体軸９１の内部に向かって摺動した際の荷重を検出する。ロードセル４１による検出値が規定値よりも大きい吸着ノズル９０は、何らかの要因によって摺動抵抗が大きくなっており、不良であるものと判定される。
【００２２】
検査カメラ４２は、光軸が鉛直方向の上向きとなるようにノズル洗浄装置２０の基台に固定され、ノズル移載装置６０の下方から撮像可能に構成される。具体的には、検査カメラ４２は、ノズル移載装置６０に保持された状態の吸着ノズル９０を撮像可能に構成される。検査カメラ４２は、吸着ノズル９０の先端状態の検査に用いられる。この検査により、ノズル軸９３の形状の適否、欠けや付着物の有無などが確認される。先端部の形状が正常でないと判定された吸着ノズル９０は、例えば先端部に欠けが生じており、不良であるものと判定される。
【００２３】
治具置き台４３（本発明の「仮置き台」に相当する）は、ノズル洗浄装置２０におけるキャリブレーション処理に用いられる治具ノズルを保持可能に構成される。上記のキャリブレーション処理は、例えばノズル移載装置６０の動作を校正するための校正値を取得する処理である。キャリブレーション処理は、例えばノズル移載装置６０に治具ノズルを保持させた状態で位置決めさせ、制御上の位置と検査カメラ４２などにより認識される実際の位置との差分に基づいて、上記の校正値を算出する。治具置き台４３は、部品実装機１０の実装処理に用いられる吸着ノズル９０を保持可能に構成される。
【００２４】
（２−３．ノズルストッカー５０）
ノズルストッカー５０は、ノズル移載装置６０により保管パレット５１に移載された吸着ノズル９０を収納および取り出し可能に保管する。ノズルストッカー５０は、図３に示すように、複数の保管パレット５１と、収容装置５２と、キャリア５３とを備える。保管パレット５１（本発明の「パレット」に相当する）は、部品実装機１０で使用される吸着ノズル９０を複数保持する。
【００２５】
収容装置５２は、本実施形態において、複数の保管パレット５１を上下方向に所定の間隔で並べて収容する。キャリア５３は、収容装置５２において、複数の保管パレット５１を収容する位置と、ノズル移載装置６０が吸着ノズル９０を取り出し可能となる位置（本実施形態においては、最上段の位置）との間で、要求に対応する保管パレット５１を移動させて入れ替える。
【００２６】
キャリア５３は、保管パレット５１を支持する支持アーム５３ａを収容装置５２の収容方向（図３の左右方向）および上下方向に移動可能とする移動機構である。キャリア５３は、収容装置５２に収容された保管パレット５１の下方に支持アーム５３ａを挿入した後に上方に移動させる。そして、キャリア５３は、支持アーム５３ａを収容装置５２とは反対側に水平移動させて、支持する保管パレット５１を収容装置５２から引き出す。
【００２７】
（２−４．ノズル移載装置６０）
ノズル移載装置６０は、可動範囲Ｒにおいて（図１を参照）、洗浄ユニット３０、検査ユニット４０、ノズルストッカー５０、ノズルステーション設置装置７０、および排出ボックス８５との間で吸着ノズル９０を移載する。ノズル移載装置６０は、移載ヘッド６１と、保持チャック６２と、ヘッドカメラ６３とを備える。移載ヘッド６１は、３次元方向に移動可能な移動機構に設けられる。
【００２８】
保持チャック６２は、移載ヘッド６１に着脱可能に設けられ、吸着ノズル９０を１本ずつ把持して保持する。保持チャック６２は、移載ヘッド６１の駆動によって、保持チャック６２の軸線周りに回転可能に構成される。ヘッドカメラ６３は、光軸が鉛直方向の下向きとなるように移載ヘッド６１に固定される。ヘッドカメラ６３は、ノズルステーション１１や保管パレット５１、吸着ノズル９０などに付された各種の２Ｄコードを撮像可能に構成される。
【００２９】
（２−５．ノズルステーション設置装置７０）
ノズルステーション設置装置７０は、各種のノズルステーション１１を対象とし、部品実装機１０から取り外されたノズルステーション１１をノズル洗浄装置２０の機内における設置に用いられる。ノズルステーション設置装置７０は、３つの基準ベース７１および中間ベース７２を備える。３つの基準ベース７１は、同一の構成からなり、所定の間隔を有して配置される。
【００３０】
３つの基準ベース７１には、種々のノズルステーション１１が直接的に、または中間ベース７２を介して間接的に設置される。また、３つの基準ベース７１の各々には、複数の着座センサが設けられている。制御装置８０は、それぞれの着座センサによる検出信号を入力し、当該検出信号に基づいて、中間ベース７２が載置された状態や直接的にノズルステーション１１が載置された状態などを認識可能に構成される。
【００３１】
（２−６．制御装置８０）
制御装置８０は、主として、ＣＰＵや各種メモリ、制御回路により構成されるコントローラである。制御装置８０は、外部装置であるホストコンピュータと通信可能に接続され、各種の情報を共有する構成としてもよい。制御装置８０は、ノズル洗浄装置２０の運転モードに応じてノズル移載装置６０などの各装置の動作を制御する。
【００３２】
上記の運転モードには、ノズルステーション設置装置７０に設置されたノズルステーション１１から保管対象の吸着ノズル９０を保管パレット５１に移載するとともに、保管パレット５１から指定された複数の吸着ノズル９０をノズルステーション１１に移載する交換運転が含まれる。その他に、運転モードには、吸着ノズル９０を洗浄、検査、および収納を一連で行うメンテナンス運転などが含まれる。制御装置８０による交換運転の制御の詳細については後述する。
【００３３】
（２−７．排出ボックス８５）
排出ボックス８５は、ノズル洗浄装置２０に取り外し可能に設置される。排出ボックス８５は、検査ユニット４０による検査結果に基づいて不良と判定された吸着ノズル９０を溜め置きする。排出ボックス８５は、複数の空間に区画されており、例えば不良要因ごとの仕分けに利用される。
【００３４】
（３．制御装置８０による交換運転）
上記のノズル洗浄装置２０の制御装置８０による吸着ノズル９０の交換運転の制御について説明する。上記のように、ノズルステーション１１および保管パレット５１は、ノズル移載装置６０の可動範囲Ｒにおいて、吸着ノズル９０を所定の姿勢で保持可能な複数のソケットをそれぞれ有する。ここでは、説明を簡易にするために、図５Ａに示すように、ノズルステーション１１が１０個のソケットＴ１〜Ｔ１０を有するものとし、保管パレット５１が１５個のソケットＫ１〜Ｋ１５を有するものとする。
【００３５】
なお、図５Ａ〜図５Ｆにおいて、各ソケットＴ１〜Ｔ１０，Ｋ１〜Ｋ１５は、吸着ノズル９０を保持する場合には黒色の背景とし、吸着ノズル９０を保持していない場合には白色の背景として示される。各ソケットＴ１〜Ｔ１０，Ｋ１〜１５が吸着ノズル９０を保持しているか否かについては、例えばノズル移載装置６０のヘッドカメラ６３の撮像による画像データに基づいて認識される。
【００３６】
（３−１．準備処理）
ノズル洗浄装置２０の制御装置８０は、先ず、図４に示すように、当該交換運転に応じた準備処理を実行する（ステップ１０（以下、「ステップ」を「Ｓ」と表記する））。準備処理において、制御装置８０は、図６に示すように、交換運転においてノズルステーション１１に搬入するように指定された吸着ノズル９０の種別、数量を取得する（Ｓ１１）。
【００３７】
ノズルステーション１１の各ソケットＴ１〜Ｔ１０には、例えばノズル種別が指定される。本実施形態において、ソケットＴ１，Ｔ２にはノズル種別がＡタイプの吸着ノズル９０が指定され、ソケットＴ３〜Ｔ５にはノズル種別がＢタイプの吸着ノズル９０が指定され、残りのＴ６〜Ｔ１０には「空」が指定されているものとする。
【００３８】
よって、この交換運転において必要とされる吸着ノズル９０の数量は、Ａタイプの吸着ノズル９０が２本、およびＢタイプの吸着ノズル９０が３本である。上記のノズル種別の「Ａタイプ」および「Ｂタイプ」は、互いにノズル種別が異なることを示し、例えば吸着の対象とする電子部品の寸法や外形によって使い分けられる。
【００３９】
次に、制御装置８０は、ノズルストッカー５０に収容された複数の保管パレット５１の情報を取得する（Ｓ１２）。具体的には、制御装置８０は、複数の保管パレット５１のそれぞれに収納された吸着ノズル９０のノズル種別および数量を取得する。そして、制御装置８０は、交換運転において指定された複数の吸着ノズル９０の数量（本実施形態において、Ａタイプを２本、Ｂタイプを３本）に対して、保守装置（本実施形態において、洗浄ユニット３０および検査ユニット４０）によるメンテナンスの実行後にノズルストッカー５０に保管された吸着ノズル９０の数量が不足するか否かを判定する（Ｓ１３）。
【００４０】
交換運転に必要な吸着ノズル９０がノズルストッカー５０において不足する場合には（Ｓ１３：Ｙｅｓ）、制御装置８０は、少なくとも不足分の吸着ノズル９０をノズルステーション１１から洗浄パレット３２に移載するようにノズル移載装置６０の動作を制御する（Ｓ１４）。例えば、Ｂタイプの吸着ノズル９０の必要数３本に対して、ノズルストッカー５０にメンテナンス済みのＢタイプの吸着ノズル９０の保管数が１本である場合に、制御装置８０は、不足分である２本のＢタイプの吸着ノズル９０をノズルステーション１１から洗浄パレット３２に移載する。
【００４１】
その後に、制御装置８０は、メンテナンス運転（本実施形態において、洗浄処理）を開始する（Ｓ１５）。これにより、以降の処理がメンテナンス運転と並行して実行される。また、制御装置８０は、不足分の吸着ノズル９０を洗浄パレット３２に移載する場合に（Ｓ１４）、不足分に規定数を追加するようにしてもよい。これにより、例えば洗浄後の検査において一部の吸着ノズル９０が不良と判定されて、再び不足分が発生することを防止することができる。
【００４２】
続いて、交換運転に必要な吸着ノズル９０がノズルストッカー５０において不足しない場合（Ｓ１３：Ｎｏ）、およびメンテナンス運転が開始された場合には（Ｓ１５）、制御装置８０は、保管パレット５１の最適化処理を実行する（Ｓ１６）。この保管パレット５１の最適化処理は、交換運転において指定された吸着ノズル９０をノズルステーション１１に搬入するために、ノズルストッカー５０の必要な動作の効率化を図る処理である。
【００４３】
詳細には、制御装置８０は、交換運転において指定された吸着ノズル９０をノズルステーション１１に移載するためにノズルストッカー５０に収容された複数の保管パレット５１を要するか否かを判定する。複数の保管パレット５１が必要と判定された場合には、制御装置８０は、キャリア５３の移動動作に伴う保管パレット５１の移動回数、移動時間、および移動距離の少なくとも一つが最小となるように、交換運転に必要な複数の保管パレット５１の組み合わせを設定する。
【００４４】
具体的には、制御装置８０は、複数の保管パレット５１のうち指定のノズル種別の吸着ノズル９０をより多く保持する保管パレット５１を優先して設定する。これにより、キャリア５３の移動動作に伴う保管パレット５１の移動回数が最小となる。その他に、制御装置８０は、ノズルストッカー５０の収容装置５２において収容された保管パレット５１の上下方向の位置に基づいて、最上段に近い保管パレット５１を優先して設定するようにしてもよい。
【００４５】
制御装置８０は、保管パレット５１の最適化処理の結果に基づいて、最初に設定された保管パレット５１を最上段の位置に移動させるようにノズルストッカー５０のキャリア５３の移動動作を制御する（Ｓ１７）。また、保管パレット５１の最適化処理（Ｓ１６）において、交換運転に必要な保管パレット５１が１つの場合には、その保管パレット５１をノズルストッカー５０の最上段の位置に移動させるように制御する（Ｓ１７）。以下では、説明を簡易にするために、交換運転に必要な保管パレット５１が１つであるものとして説明する。
【００４６】
（３−２．退避工程）
続いて、制御装置８０は、保管対象である複数の吸着ノズル９０の一部をノズル移載装置６０の可動範囲に確保された空の退避ソケットＳｖ（本発明の「第一ソケット」に相当する）に移載する退避工程を実行する（Ｓ２０）。詳細には、制御装置８０は、先ず退避ソケットＳｖの位置を認識して、空の退避ソケットＳｖを確保する（Ｓ２１）。
【００４７】
本実施形態において、制御装置８０は、交換運転を除く運転モードにおいて、保管パレット５１におけるソケットＫ１〜Ｋ１５の一部について空の状態を維持して、保管パレット５１に空の退避ソケットＳｖを確保する構成としている。なお、退避ソケットＳｖは、図５Ａに示すように、１本の吸着ノズル９０を保持可能に、ソケットＫ１〜Ｋ１０のうち１箇所に確保される。
【００４８】
これは、ノズル移載装置６０が吸着ノズル９０を１本ずつ移載するように、１つの保持チャック６２がノズル移載装置６０に設けられていることに基づくものである。そのため、ノズル移載装置６０が複数の保持チャック６２を有し、１回の移動動作により複数の吸着ノズル９０を移載可能な場合には、複数の退避ソケットＳｖが確保される構成が望ましい。
【００４９】
ここで、部品実装機１０から取り外されたノズルステーション１１に保持され、ノズル洗浄装置２０に保管するよう指定された保管対象の吸着ノズル９０を、以下では吸着ノズルＭ１〜Ｍ５とも称する。また、ノズル洗浄装置２０に保管されており、既に洗浄や検査などのメンテナンスが終わっている吸着ノズル９０であって、ノズル種別がＡタイプのものを吸着ノズルＡ１〜Ａ７とも称し、またノズル種別がＢタイプのものを吸着ノズルＢ１〜Ｂ７とも称する。
【００５０】
制御装置８０は、図５Ｂに示すように、保管対象の吸着ノズルＭ１〜Ｍ５のうち第一の吸着ノズルＭ１を空の退避ソケットＳｖに移載する（Ｓ２２）。これにより、第一の吸着ノズルＭ１は、保管パレット５１のソケットＫ８に保持される。また、ノズルステーション１１において第一の吸着ノズルＭ１を保持していたソケットＴ１が空となる。なお、図５Ｂ〜図５Ｆにおける矢印は、吸着ノズル９０を保持する保持チャック６２の移動を示す。
【００５１】
（３−３．交換工程）
続いて、制御装置８０は、交換工程に移行する（Ｓ３０）。詳細には、制御装置８０は、先ず、空となったノズルステーション１１のソケットＴ１に指定の吸着ノズル９０を移載する搬入動作を行う（Ｓ３１）。具体的には、図５Ｃに示すように、ノズルステーション１１のソケットＴ１に対応する指定のノズル種別（Ａタイプ）の吸着ノズルＡ１〜Ａ７のうち、退避工程（Ｓ２０）にて第一の吸着ノズルＭ１を移載したソケットＫ８に最寄りのソケットＫ７に保持された吸着ノズルＡ７を保持チャック６２により保持する。
【００５２】
そして、保持チャック６２を移動させて、Ａタイプの吸着ノズルＡ７をノズルステーション１１におけるソケットＴ１に移載する。これにより、Ａタイプの吸着ノズルＡ７は、ノズルステーション１１のソケットＴ１に保持される。また、保管パレット５１においてＡタイプの吸着ノズルＡ７を保持していたソケットＫ７が空となる。
【００５３】
次に、制御装置８０は、搬入動作（Ｓ３１）により空となった保管パレット５１に残っている保管対象の吸着ノズル９０を移載する搬出動作を行う（Ｓ３２）。具体的には、図５Ｄに示すように、搬入動作（Ｓ３１）にて吸着ノズルＡ７を移載したソケットＴ１に最寄りのソケットＴ２に保持された保管対象の第二の吸着ノズルＭ２を保持チャック６２により保持する。
【００５４】
そして、保持チャック６２を移動させて、第二の吸着ノズルＭ２を保管パレット５１における空のソケットＫ７に移載する。これにより、保管対象の第二の吸着ノズルＭ２は、保管パレット５１のソケットＫ７に保持される。また、ノズルステーション１１において第二の吸着ノズルＭ２を保持していたソケットＴ２が空となる。
【００５５】
続いて、制御装置８０は、全ての搬入動作および搬出動作が終了したか否かを判定し（Ｓ３３）、終了していない場合には（Ｓ３３：Ｎｏ）、上記の搬入動作（Ｓ３１）および搬出動作（Ｓ３２）を交互に繰り返すようにノズル移載装置６０の動作を制御する。全ての搬入動作および搬出動作が終了すると（Ｓ３３：Ｙｅｓ）、図５Ｆに示すように、保管対象の全ての吸着ノズルＭ１〜Ｍ５が保管パレット５１に搬出される。また、指定のノズル種別の吸着ノズルＡ７，Ａ６，Ｂ３，Ｂ４，Ｂ５がノズルステーション１１のソケットＴ１〜Ｔ５に搬入される。
【００５６】
なお、上記の交換工程（Ｓ３０）においては、交換運転に必要な保管パレット５１が１つであるものとして説明した。これに対して、必要な保管パレット５１が複数であり、準備処理（Ｓ１０）の最適化処理（Ｓ１６）にて交換運転に用いられる複数の保管パレット５１の順序が設定されている場合には、制御装置８０は、搬入動作（Ｓ３１）の前に必要に応じて保管パレット５１を交換するようにノズルストッカー５０の移動動作を制御する。
【００５７】
（３−４．終了処理）
最後に、制御装置８０は、交換運転の終了処理を実行する（Ｓ４０）。詳細には、制御装置８０は、保管パレット５１の各ソケットＫ１〜Ｋ１０に保持された吸着ノズル９０に係る情報を記憶する。また、制御装置８０は、指定された吸着ノズル９０がノズルステーション１１に移載されたことを作業者に通知し、交換運転を終了する。
【００５８】
なお、上記の交換工程（Ｓ３０）においては、交換運転に必要な保管パレット５１が１つであり、且つ当該保管パレット５１に指定された吸着ノズル９０が保持されているものとした。これに対して、ノズルストッカー５０に必要な吸着ノズル９０が不足しており（Ｓ１３：Ｙｅｓ）、上記の交換工程（Ｓ３０）と並行してメンテナンス運転が実行されている場合には、終了処理（Ｓ４０）において、洗浄ユニット３０から検査ユニット４０による検査を経て必要な吸着ノズル９０がノズルステーション１１に移載される。
【００５９】
（４．実施形態の構成による効果）
ノズル管理装置（ノズル洗浄装置２０）は、部品実装機１０で使用される吸着ノズル９０を保管するパレット（保管パレット５１）と、部品実装機１０に着脱可能に設置されて複数の吸着ノズル９０を保持するノズルステーション１１を対象とし、部品実装機１０から取り外されたノズルステーション１１を設置するノズルステーション設置装置７０と、パレット（保管パレット５１）とノズルステーション設置装置７０に設置されたノズルステーション１１との間で吸着ノズル９０を移載するノズル移載装置６０と、運転モードに応じてノズル移載装置６０の動作を制御する制御装置８０と、を備える。
パレット（保管パレット５１）およびノズルステーション１１は、吸着ノズル９０を所定の姿勢で保持可能な複数のソケットをそれぞれ有する。運転モードには、ノズルステーション１１からパレット（保管パレット５１）に保管対象である複数の吸着ノズル９０を移載するとともに、パレット（保管パレット５１）からノズルステーション１１のソケットに対応してそれぞれ指定された複数の吸着ノズル９０を移載する交換運転が含まれる。
制御装置８０は、交換運転において、保管対象である複数の吸着ノズル９０の一部をノズル移載装置６０の可動範囲に確保された空の第一ソケット（退避ソケットＳｖ）に移載した後に（Ｓ２０）、吸着ノズル９０の移載により空となったノズルステーション１１のソケットに対応する指定の吸着ノズル９０をパレット（保管パレット５１）から移載する搬入動作（Ｓ２１）と、搬入動作により空となったパレット（保管パレット５１）のソケットに保管対象である複数の吸着ノズル９０の一部をノズルステーション１１から移載する搬出動作（Ｓ２２）と、を交互に繰り返すようにノズル移載装置６０の動作を制御する。
【００６０】
また、ノズル洗浄装置２０（ノズル管理装置）の制御方法は、交換運転において、保管対象である複数の吸着ノズル９０の一部をノズル移載装置６０の可動範囲に確保された空の第一ソケット（退避ソケットＳｖ）に移載する退避工程（Ｓ２０）と、吸着ノズル９０の移載により空となったノズルステーション１１のソケットに対応する指定の吸着ノズル９０をパレット（保管パレット５１）から移載する搬入動作（Ｓ３１）と、搬入動作により空となったパレット（保管パレット５１）のソケットに保管対象である複数の吸着ノズル９０の一部をノズルステーション１１から移載する搬出動作（Ｓ３２）と、を交互に繰り返すようにノズル移載装置６０の動作を制御する交換工程（Ｓ３０）と、を備える。
【００６１】
このような構成によると、ノズル移載装置６０は、搬入動作と搬出動作とを交互に行うように、ノズルステーション１１と保管パレット５１との間を往復する。これにより、保持チャック６２の往復動作の両方において吸着ノズル９０をノズル移載装置６０が移載するので、交換運転において保管対象の吸着ノズルを全て搬出した後に指定の吸着ノズルをまとめて搬入する構成と比較して、交換運転におけるノズル移載装置６０の動作効率を向上できる。また、交換運転に要する時間を短縮することができる。
【００６２】
また、保管対象の吸着ノズル９０の数量よりも空きソケットの数量の方が少ない保管パレット５１を用いた交換運転が可能となる。そのため、交換運転に際して、少なくとも保管対象の吸着ノズル９０の数量だけ空きソケットを有する保管パレット５１を準備する必要がないため、交換運転に用いられる保管パレット５１の制約が緩和される。結果として、交換運転における保管パレット５１の移動回数を低減できるので、交換運転に要する時間を短縮することができる。
【００６３】
また、制御装置８０は、交換運転を除く運転モードにおいて、パレット（保管パレット５１）における複数のソケットの一部について空の状態を維持して、パレット（保管パレット５１）に空の第一ソケット（退避ソケットＳｖ）を確保する。
このような構成によると、保管パレット５１には、空の退避ソケットＳｖが常時確保される。そのため、交換運転に際して、空の退避ソケットＳｖを確保するための準備が不要となり、要求に応じて吸着ノズル９０の搬出動作および搬入動作に即時に移行することができる。これにより、交換運転に要する時間を短縮することができる。
【００６４】
また、ノズル管理装置（ノズル洗浄装置２０）は、複数のパレット（保管パレット５１）を収容するストッカー（ノズルストッカー５０）をさらに備える。ストッカー（ノズルストッカー５０）は、複数のパレット（保管パレット５１）を収容する位置と、ノズル移載装置６０が吸着ノズル９０を取り出し可能となる位置との間でパレット（保管パレット５１）を移動させるキャリア５３を有する。
制御装置８０は、交換運転において指定された複数の吸着ノズル９０をノズルステーション１１に移載するためにストッカー（ノズルストッカー５０）に収容された複数のパレット（保管パレット５１）を要する場合に、キャリア５３の移動動作に伴うパレット（保管パレット５１）の移動回数、移動時間、および移動距離の少なくとも一つが最小となるように交換運転に必要な複数のパレット（保管パレット５１）の組み合わせを設定する（Ｓ１６）。
【００６５】
ノズル洗浄装置２０は、複数の保管パレット５１を用いて複数の吸着ノズル９０を管理する。また、交換運転に用いられる保管パレット５１が複数に亘る場合には、保管パレット５１を入れ替えるキャリア５３の動作が必要となり、保管パレット５１の移動回数に応じた時間を要する。これに対して、上記のような構成によると、ノズルストッカー５０におけるキャリア５３の動作時間が最小となるように交換運転が最適化される。これにより、交換運転に要する時間を短縮することができる。
【００６６】
また、ノズル管理装置（ノズル洗浄装置２０）は、管理対象の吸着ノズル９０のメンテナンスを実行する保守装置（洗浄ユニット３０、検査ユニット４０）をさらに備える。保守装置（洗浄ユニット３０、検査ユニット４０）は、ノズル移載装置６０の可動範囲Ｒにおいて吸着ノズル９０を保持する保守用パレット（洗浄パレット３２）を有する。
制御装置８０は、交換運転において指定された複数の吸着ノズル９０の数量に対して、保守装置（洗浄ユニット３０、検査ユニット４０）によるメンテナンスの実行後にノズル管理装置（ノズル洗浄装置２０）に保管された吸着ノズル９０の数量が不足する場合に（Ｓ１３：Ｙｅｓ）、少なくとも不足分の吸着ノズル９０をノズルステーション１１から保守用パレット（洗浄パレット３２）に移載するようにノズル移載装置６０の動作を制御する（Ｓ１４）。
【００６７】
ノズル管理装置（ノズル洗浄装置２０）に保管されているメンテナンスを終えた吸着ノズル９０では、交換運転において指定された全ての吸着ノズル９０を供給することができない場合には、ノズルステーション１１に保持されている吸着ノズル９０をメンテナンスして、供給する必要が生じる。上記のメンテナンスは、例えば吸着ノズル９０の洗浄や点検を含み、処理にある程度の時間を要し、交換運転の終了時間に影響する。これに対して、上記のような構成によると、メンテナンス運転を優先して実行開始させることができるので（Ｓ１４）、メンテナンス運転と交換運転を並行して実行することが可能となり、結果として交換運転の終了時間を早期にすることができる。
【００６８】
＜実施形態の変形態様＞
（第一ソケットの確保について）
実施形態において、制御装置８０は、空の退避ソケットＳｖを保管パレット５１に確保するものとした（Ｓ２１）。また、退避ソケットＳｖは、制御装置８０が交換運転を除く運転モードにおいて保管パレット５１のソケットＫ１〜Ｋ１５の何れかを空に維持することにより確保される。
【００６９】
これに対して、制御装置８０は、保管パレット５１から一時的に吸着ノズル９０を保管パレット５１の外部に仮置きすることによって退避ソケットＳｖを確保するようにしてもよい。具体的には、制御装置８０は、治具置き台４３を仮置き台として用いる。ここで、治具置き台４３は、ノズル移載装置６０の可動範囲Ｒにおいて、吸着ノズル９０を所定の姿勢で保持可能な複数のソケットをそれぞれ有する。ここでは、説明を簡易にするために、治具置き台４３は、図７Ａに示すように、３個のソケットＪ１〜Ｊ３を有するものとする。
【００７０】
制御装置８０は、交換運転に際して、保管パレット５１から例えばノズルステーション１１への搬入を指定されていない吸着ノズル９０、または余剰の吸着ノズル９０（以下、「吸着ノズルＡ８」とする）を治具置き台４３のソケットＪ３に移載する。これにより、仮置きの対象の吸着ノズルＡ８は、治具置き台４３のソケットＪ３に保持される。また、保管パレット５１において上記の吸着ノズルＡ８を保持していたソケットＫ８が空となり、実施形態と同様の退避工程（Ｓ２０）および交換工程（Ｓ３０）の実行が可能な状態となる。
【００７１】
また、制御装置８０は、上記のように保管パレット５１の外部に吸着ノズルＡ８を仮置きした場合には、例えば終了処理（Ｓ４０）において治具置き台４３から保管パレット５１に仮置きした吸着ノズルＡ８を移載するようにノズル移載装置６０の動作を制御する。具体的には、図７Ｂに示すように、仮置きされた吸着ノズルＡ８が治具置き台４３のソケットＪ３から保管パレット５１のソケットＫ１３に移載される。
【００７２】
このような構成によると、仮置き台として治具置き台４３を利用することによって、保管パレット５１に空の退避ソケットＳｖを確保することができる。よって、交換運転に用いられる保管パレット５１が空のソケットを有しない場合に対応して、交換運転を実行することができる。
【００７３】
その他に、空の退避ソケットＳｖは、仮置き台である治具置き台４３のソケットＪ１〜Ｊ３の何れかに確保される構成としてもよい。制御装置８０は、退避工程（Ｓ２０）において、図８Ａに示すように、例えば治具置き台４３のソケットＪ３を退避ソケットＳｖとして確保する（Ｓ２１）。そして、制御装置８０は、保管対象の第一の吸着ノズルＭ１を退避ソケットＳｖであるソケットＪ３に移載する（Ｓ２２）。
【００７４】
これにより、保管対象の第一の吸着ノズルＭ１は、治具置き台４３のソケットＪ３に保持される。また、ノズルステーション１１において第一の吸着ノズルＭ１を保持していたソケットＴ１が空となり、実施形態と同様の交換工程（Ｓ３０）の実行が可能な状態となる。
【００７５】
また、制御装置８０は、上記のように保管パレット５１の外部に退避ソケットＳｖを確保した場合には、例えば終了処理（Ｓ４０）において治具置き台４３から保管パレット５１に第一の吸着ノズルＭ１を移載するようにノズル移載装置６０の動作を制御する。具体的には、図８Ｂに示すように、仮置きされた第一の吸着ノズルＭ１が治具置き台４３のソケットＪ３から保管パレット５１のソケットＫ１３に移載される。
【００７６】
このような構成によると、仮置き台として治具置き台４３を利用することによって、交換運転に用いられる保管パレット５１が空のソケットを有しない場合に対応して、交換運転を実行することができる。
【００７７】
（その他）
実施形態において、交換運転の対象は、ノズルステーション設置装置７０に設置された１つのノズルステーション１１とした。これに対して、ノズルステーション設置装置７０に設置された複数のノズルステーション１１を対象とする場合には、例えば複数のノズルステーション１１を１つのノズルステーション１１とみなして、実施形態と同様に交換運転を実行することが可能である。
【００７８】
また、実施形態において、ノズル管理装置は、吸着ノズルを洗浄するとともに、吸着ノズルの検査や保管などに用いられるノズル洗浄装置である。これに対して、ノズル管理装置は、例えば洗浄ユニット３０や検査ユニット４０を有しない、例えば保管専用の外部装置である態様を採用してもよい。このような構成においても実施形態と同様の効果を奏する。
【符号の説明】
【００７９】
１０：部品実装機
１１：ノズルステーション、  Ｔ１〜Ｔ１０：ソケット
２０：ノズル洗浄装置（ノズル管理装置）
３０：洗浄ユニット（保守装置）
３１：洗浄庫、  ３２：洗浄パレット（保守用パレット）
３３：ブロー装置
４０：検査ユニット（保守装置）
４１：ロードセル、  ４２：検査カメラ、
４３：治具置き台（仮置き台）、  Ｊ１〜Ｊ５：ソケット
５０：ノズルストッカー（ストッカー）
５１：保管パレット（パレット）、  Ｋ１〜Ｋ１５：ソケット
５２：収容装置、  ５３：キャリア、  ５３ａ：支持アーム
６０：ノズル移載装置
６１：移載ヘッド、  ６２：保持チャック、  ６３：ヘッドカメラ
７０：ノズルステーション設置装置
７１：基準ベース、  ７２：中間ベース
８０：制御装置、  ８５：排出ボックス
９０：吸着ノズル
Ｍ１〜Ｍ５：（保管対象の）吸着ノズル
Ａ１〜Ａ８：（メンテナンス済みのＡタイプの）吸着ノズル
Ｂ１〜Ｂ７：（メンテナンス済みのＢタイプの）吸着ノズル
９１：胴体軸、  ９２：フランジ、  ９３：ノズル軸
９４：２Ｄコード
Ｒ：（ノズル移載装置の）可動範囲
Ｓｖ：退避ソケット（第一ソケット）
【図１】
2017068661.tif 000003
【図２】
2017068661.tif 000004
【図３】
2017068661.tif 000005
【図４】
2017068661.tif 000006
【図５Ａ】
2017068661.tif 000007
【図５Ｂ】
2017068661.tif 000008
【図５Ｃ】
2017068661.tif 000009
【図５Ｄ】
2017068661.tif 000010
【図５Ｅ】
2017068661.tif 000011
【図５Ｆ】
2017068661.tif 000012
【図６】
2017068661.tif 000013
【図７Ａ】
2017068661.tif 000014
【図７Ｂ】
2017068661.tif 000015
【図８Ａ】
2017068661.tif 000016
【図８Ｂ】
2017068661.tif 000017
【国際調査報告】
2017068661.tif 000018
2017068661.tif 000019