(57)【要約】  静圧シール付きモーター（１）では、前後に突出するモーター回転軸（１２）の第１、第２軸端部（１２ａ、１２ｃ）に配置した第１、第２静圧シール部（３０、４０）によって、前後の隙間がシールされる。第１、第２静圧シール部（３０、４０）のシール隙間（３２、４２）に供給されるシールガスは、薬液雰囲気（５ａ、５ｂ）とモーター室（１８）あるいはエンコーダー室（２１）に分岐して流れる。シールガスの分岐流によって、モーター室（１８）、エンコーダー室（２１）から薬液雰囲気（５ａ、５ｂ）に塵埃が侵入することが防止され、薬液雰囲気（５ａ、５ｂ）からモーター室（１８）、エンコーダー室（２１）に薬液を含むガスが侵入することが防止される。
2016166899.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
モーターケースと、
前記モーターケースの後端に取り付けたエンコーダーカバーと、
前記モーターケースの内部に形成されるモーター室と前記エンコーダーカバーの内部に形成されるエンコーダー室との間を仕切る仕切り板と、
前記モーターケースのケース前板部分、前記仕切り板、および前記エンコーダーカバーのカバー背板部分を貫通して延びるモーター回転軸と、
前記ケース前板部分と、当該ケース前板部分から前方に突出している前記モーター回転軸の第１軸端部との間の隙間を封鎖している第１静圧シール部と、
前記カバー背板部分と、当該カバー背板部分から後方に突出している前記モーター回転軸の第２軸端部との間の隙間を封鎖している第２静圧シール部と、
前記モーター室と前記エンコーダー室を連通するために前記仕切り板に形成した仕切り板連通路と、
前記エンコーダー室と外部を連通するために前記エンコーダーカバーに形成した排気口と
を有しており、
前記第１静圧シール部は、前記第１軸端部の外周面との間に、外部から供給されるシールガスによって密閉される第１シール隙間を形成する第１シールリングを備え、
前記第２静圧シール部は、前記第２軸端部の外周面との間に、外部から供給されるシールガスによって密閉される第２シール隙間を形成する第２シールリングを備えていることを特徴とする静圧シール付きモーター。
【請求項２】
前記第１シールリングは、その外周面に形成したシールガスの第１給気口を備え、
前記第１シール隙間は、前記第１給気口からシールガスが供給される円環状の第１給気溜まりと、この第１給気溜まりと前記モーター室内とを連通する当該第１給気溜まりよりも狭い円環状の第１内側隙間と、前記第１給気溜まりと外部とを連通する前記第１給気溜まりよりも狭い円環状の第１外側隙間とを備えており、
前記第２シールリングは、その外周面に形成したシールガスの第２給気口を備え、
前記第２シール隙間は、前記第２給気口からシールガスが供給される円環状の第２給気溜まりと、この第２給気溜まりと前記エンコーダー室内とを連通する当該第２給気溜まりよりも狭い円環状の第２内側隙間と、前記第２給気溜まりと外部とを連通する前記第２給気溜まりよりも狭い円環状の第２外側隙間とを備えている請求項１に記載の静圧シール付きモーター。
【請求項３】
前記モーター室内における前記ケース前板部分に取り付けられて前記モーター回転軸を支持しているモーター側軸受けと、
前記仕切り板に取り付けられて前記モーター回転軸を支持しているエンコーダー側軸受けと
を有している請求項２に記載の静圧シール付きモーター。
【請求項４】
前記ケース前板部分における前記モーター側軸受けが取り付けられている軸受け取り付け部には、前記モーター側軸受けを迂回させて、前記第１シール隙間の前記第１内側隙間から前記モーター室内にシールガスを導く迂回路が形成されている請求項３に記載の静圧シール付きモーター。
【請求項５】
前記エンコーダー室内に配置されているモーターエンコーダーは磁気エンコーダーである請求項１に記載の静圧シール付きモーター。
【請求項６】
前記モーター回転軸は中空軸である請求項１に記載の静圧シール付きモーター。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、半導体製造工程において使用されるウエハの洗浄装置、薬液塗布装置、ウエハ搬送装置等の駆動源等として用いる静圧シール付きモーターに関する。
【背景技術】
【０００２】
ウエハの洗浄等に使用する駆動機構としては、特許文献１に記載された構成のものが知られている。ここに開示の駆動機構では、容器内において垂直に配置したモーター中空軸の先端に回転テーブルを取り付け、回転テーブルを回転させ、その上に載せたウエハに対して上側に配置された供給ノズルから洗浄液を吹き付けている。中空軸の外周側および内周側の双方のシール性を確保するために、中空軸の外周側および内周側にラビリンスシールが配置されている。【０００３】
このようなシール部を備えた駆動機構は、シール性を確保するために所定の軸長が必要であるので、モーター中空軸の軸方向の長さが長くなってしまう。モーター中空軸の軸受け位置からシール位置までの距離が長くなると、軸振れ等が大きくなるので、シール性の低下を回避するために、シールを大型化せざるを得ない。【０００４】
特許文献２には、シール部として静圧シールを用いた回転型電動機が提案されている。この回転型電動機においては、モーター回転軸を支持する両側のモーター軸受けの両側に密閉空間が形成され、密閉空間は静圧シールによってシールされている。静圧シールは、モーター回転軸の両側の軸端部の外周面に対峙するモーターケースの両側の部位に形成されている。各静圧シールには、モーターケースに形成した給気路を介して、外部からシールガスが供給される。【０００５】
各静圧シールに供給されるシールガスの一部は密閉空間内に導かれ、密閉空間内の内圧が、モーター軸受けの間に形成されているモーター室内の内圧よりも高くなる。モーターケースには排気口が形成されており、両側の密閉空間から両側のモーター軸受けを通ってモーター室内に流入するシールガスが、モーター室から直接に排気口を介して外部に排出される。これにより、回転型電動機の内部、両端のモーター軸受けから、摩耗粉、グリースなどが外部に漏れ出て周囲環境を汚染することを防止している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平１１−２６５８６８号公報
【特許文献２】特許第４３１４６２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
静圧シールを用いることにより、モーターの回転部と固定部との間のシール部をコンパクトに構成できるので、モーターの偏平化に有利である。しかしながら、特許文献２に記載の回転型電動機においては、モーターケースの構成部品に、静圧シール用の周溝、および、当該周溝にシールガスを供給するための給気路を形成している。また、両側のモーター軸受けのそれぞれの外側には静圧シールから漏れ出るシールガスによって内圧をモーター室の内圧よりも高くするための密閉空間を形成している。このように、モーターケース自体に、静圧シール、給気路を形成し、モーター軸受けの両側に密閉空間を付設しているので、構造の複雑化、大型化を招き、モーターの小型化には好ましくない。【０００８】
また、モーターケースに排気口を設けてモーター室内から気体を外部に排出するようにしている。モーターケースの内周部にはモーターステータの構成部品が組み付けられており、一般に、排気口を設けるスペースを確保することが困難な場合が多い。このため、排気口を設けるためにモーターの軸長が長くなることが多く、モーターの小型化には好ましくない。【０００９】
さらに、モーター回転軸を支持している両側のモーター軸受けの内部を通って、シールガスがモーター室内に流れ込む。このため、モーター軸受けの内部において発生した摩耗粉等の異物が、モーター内部の各部分に拡散して付着するおそれがある。【００１０】
本発明の課題は、このような点に鑑みて、機構の複雑化、大型化を伴うことなく、異物が外部に漏れ出ることを防止でき、外部から腐食性の気体や液体等が内部に侵入することを防止できる静圧シール付きモーターを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記の課題を解決するために、本発明の静圧シール付きモーターは、
モーターケースと、
前記モーターケースの後端に取り付けたエンコーダーカバーと、
前記モーターケースの内部に形成されるモーター室と前記エンコーダーカバーの内部に形成されるエンコーダー室との間を仕切る仕切り板と、
前記モーターケースのケース前板部分、前記仕切り板、および前記エンコーダーカバーのカバー背板部分を貫通して延びるモーター回転軸と、
前記ケース前板部分と、当該ケース前板部分から前方に突出している前記モーター回転軸の第１軸端部との間の隙間を封鎖している第１静圧シール部と、
前記カバー背板部分と、当該カバー背板部分から後方に突出している前記モーター回転軸の第２軸端部との間の隙間を封鎖している第２静圧シール部と、
前記モーター室と前記エンコーダー室を連通するために前記仕切り板に形成した仕切り板連通路と、
前記エンコーダー室と外部を連通するために前記エンコーダーカバーに形成した排気口と
を有しており、
前記第１静圧シール部は、前記第１軸端部の外周面との間に、外部から供給されるシールガスによって密閉される第１シール隙間を形成する第１シールリングを備え、
前記第２静圧シール部は、前記第２軸端部の外周面との間に、外部から供給されるシールガスによって密閉される第２シール隙間を形成する第２シールリングを備えていることを特徴としている。【００１２】
本発明では、モーターケースの前端およびエンコーダーカバーの後端から前後に突出しているモーター回転軸の第１、第２軸端部に第１、第２シールリングを取り付けている。これらシールリングによって構成される第１、第２静圧シール部によって、モーターケース前端およびエンコーダーカバー後端におけるモーター固定部とモーター回転部との間の隙間をシールしている。【００１３】
第１、第２シールリングのシール隙間に供給されたシールガスによって、当該シール隙間がシールされ、シール隙間に供給されたシールガスの一部により、シール隙間からモーター室内、エンコーダー室内へ向かうガス流が形成される。これにより、モーター室内、エンコーダー室内から外部に摩耗粉等の異物が漏れ出ることが防止される。【００１４】
モーター室内に流入したシールガスはモーター室内を通って仕切り板連通路からエンコーダー室内に流入する。エンコーダー室内に流入したシールガスは、エンコーダーカバーに形成されている排気口から外部に排出されて所定の回収部に回収される。【００１５】
一方、第１、第２シールリングのシール隙間に供給されたシールガスの一部は第１、第２軸端部の外周面に沿って前側および後側に流れてシール隙間から外部に流出する。シール隙間がシールガスによってシールされると共に、シール隙間から外部に流出するシールガスの流れが形成されるので、外部からモーター室内、エンコーダー室内に、腐食性のガス、液体等が侵入することが防止される。【００１６】
本発明では、第１、第２シールリングをモーター回転軸の第１、第２軸端部に取り付けて第１、第２静圧シール部を構成している。モーターケースの構成部材にシールガスの給気路を形成し、そのケース前板部分と、ここを貫通しているモーター回転軸の外周面との間に静圧シール部を形成する場合に比べて、モーター構成部品の構造の複雑化を招くことなく、モーターケースの前端の隙間およびエンコーダーカバーの後端の隙間を確実にシールできる。【００１７】
また、モーター室内に流入したシールガスを、仕切り板連通路を介してエンコーダー室に流出させ、エンコーダー室からエンコーダーカバーに形成されている排気口を介して外部に排出している。モーターカバーに排気口を形成する場合に比べて、モーターの偏平化に有利である。【００１８】
すなわち、モーター室から直接外部にシールガスを排出する場合には、モーターケースに排気口を形成する必要がある。モーターケースの内周面にはモーターステータを構成しているステータコア、駆動コイル等が組み付けられる。したがって、モーターケースには排気口を設けるスペースを確保できない場合が多い。排気口を設けると、モーターケースの軸長が長くなってしまうことが多く、モーターの偏平化には不利である。【００１９】
また、モーター回転軸を回転自在の状態で支持するための軸受けが、モーターケースのケース前板部分、モーターケースの後端に取り付けた仕切り板に取り付けられる。排気口等による断面欠損は、モーターケースに必要とされる強度、剛性の確保には不利である。エンコーダーカバーは、モーターケースに比べて強度、剛性が低くてもよく、排気口を設けることが容易である。【００２０】
ここで、第１、第２静圧シール部は次の構成とすることができる。前記第１シールリングは、その外周面に形成したシールガスの第１給気口を備え、前記第１シール隙間は、前記第１給気口からシールガスが供給される円環状の第１給気溜まりと、この第１給気溜まりと前記モーター室内とを連通する当該第１給気溜まりよりも狭い円環状の第１内側隙間と、前記第１給気溜まりと外部とを連通する前記第１給気溜まりよりも狭い円環状の第１外側隙間とを備えている。【００２１】
前記第２シールリングは、その外周面に形成したシールガスの第２給気口を備え、前記第２シール隙間は、前記第２給気口からシールガスが供給される円環状の第２給気溜まりと、この第２給気溜まりと前記エンコーダー室内とを連通する当該第２給気溜まりよりも狭い円環状の第２内側隙間と、前記第２給気溜まりと外部とを連通する前記第２給気溜まりよりも狭い円環状の第２外側隙間とを備えている。【００２２】
本発明の静圧シール付きモーターにおいて、モーター回転軸を支持する軸受けは、モーターケースのケース前板部分および仕切り板にそれぞれ取り付けられる。【００２３】
この場合には、ケース前板部分におけるモーター側軸受けが取り付けられている軸受け取り付け部には、モーター側軸受けを迂回させて、第１シール隙間の第１内側隙間からモーター室内にシールガスを導く迂回路が形成されていることが望ましい。【００２４】
迂回路を形成することにより、モーター室内へのシールガスの円滑な流れが形成される。また、シールガスがモーター側軸受けの内部を通って、ここで発生する摩耗粉等の異物をモーター室内に飛散させてしまうことを抑制できる。【００２５】
なお、他方のエンコーダー側軸受けの内部を通ってシールガスが流れることは殆ど無い。すなわち、当該軸受けが取り付けられている仕切板に連通路が形成されており、ここを通ってシールガスがエンコーダー室内に流れ込む。また、第２静圧シール部においては、その第２シール隙間からエンコーダー室内に流れ込むシールガスは当該エンコーダー室から排気口を介して外部に排出される。よってシールガスによって、エンコーダー側軸受けで発生した摩耗粉等の異物が、モーター室内あるいはエンコーダー室内に飛散するおそれがない。【００２６】
本発明の静圧シール付きモーターにおいて、エンコーダー室内に配置されているモーターエンコーダーは、磁気エンコーダーであることが望ましい。モーター室内で発生した油分などの異物がエンコーダー室内に流入してモーターエンコーダーに付着することが考えられる。磁気エンコーダーを用いれば、油分等の異物が付着しても検出動作に支障を来すことがない。【００２７】
なお、本発明の静圧シール付きモーターのモーター回転軸を中空軸とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明を適用した静圧シール付きモーターの正面図および断面図である。
【図２】前側静圧シール部を示す拡大図およびシール隙間の圧力分布図、並びに、後側静圧シール部を示す拡大図およびシール隙間の圧力分布図である。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
以下に、図面を参照して、本発明を適用した静圧シール付きモーターの実施の形態を説明する。以下に述べる実施の形態は、本発明をウエハの洗浄等に使用する駆動機構として用いる場合の例であるが、本発明の静圧シール付きモーターは、モーター設置雰囲気と、これを取り囲むクリーンルーム等の外周雰囲気との間をシールする必要がある各種の駆動機構に適用可能である。
【００３０】
（全体構成）
図１（ａ）は本実施の形態に係る静圧シール付きモーターの正面図であり、図１（ｂ）はその断面図である。静圧シール付きモーター１は、ウエハ洗浄装置の容器の構成部品である一対の隔離壁２、３の間に架け渡された状態に設置され、隔離壁２、３の間の空間がモーター設置雰囲気４であり、隔離壁２、３の前後がウエハ洗浄用の薬液がウエハに吹き付けられる薬液雰囲気５ａ、５ｂである。モーター設置雰囲気４と薬液雰囲気５ａ、５ｂとの間を確実にシールした状態で、静圧シール付きモーター１が前後の隔離壁２、３の間に設置されている。
【００３１】
静圧シール付きモーター１（以下、単に「モーター１」と呼ぶものとする。）は、円筒状のハウジング１１と、このハウジング１１の中心部分をモーター軸線１ａの方向に貫通して延びる中空軸からなるモーター回転軸１２とを備えている。
【００３２】
ハウジング１１は、モーターケース１３と、このモーターケース１３におけるモーター軸線１ａの方向の一方の端に同軸に取り付けたエンコーダーカバー１４とを備えている。以下の説明においては、便宜上、モーター軸線１ａの方向におけるモーターケース１３の側を「前側」、エンコーダーカバー１４の側を「後側」と呼ぶものとする。
【００３３】
モーターケース１３は円筒状のケース胴部１３ａと、その前側の端から半径方向の内方に延びる円盤状のケース前板部分１３ｂとを備えている。エンコーダーカバー１４は、ケース胴部１３ａに同軸に取り付けた円筒状のカバー胴部１４ａと、その後側の端から半径方向の内方に延びる円盤状のカバー背板部分１４ｂとを備えている。ケース胴部１３ａの後端部は、当該後端部に同軸に取り付けた円盤状の仕切り板１５によって封鎖されている。
【００３４】
モーター回転軸１２は、前側のモーター側軸受け１６と、後側のエンコーダー側軸受け１７とによって回転自在の状態で支持されている。モーター側軸受け１６は、ケース前板部分１３ｂの内周側の部分に形成した軸受け保持部１３ｃに取り付けられている。エンコーダー側軸受け１７は、仕切り板１５の内周面に形成した軸受け保持部１５ａに取り付けられている。
【００３５】
モーターケース１３と、仕切り板１５と、モーター回転軸１２とによって区画された空間がモーター室１８であり、ここには、ケース胴部１３ａの内周面に取り付けたステーターアセンブリ１９およびモーター回転軸１２の外周面に取り付けたローターアセンブリ２０とが組み込まれている。
【００３６】
エンコーダーカバー１４と、仕切り板１５と、モーター回転軸１２とによって区画された空間がエンコーダー室２１であり、ここには、モーター回転軸１２の回転情報を検出するための磁気エンコーダー２２が組み込まれている。磁気エンコーダー２２の磁極エンコーダー板２２ａがモーター回転軸１２に同軸に取り付けられ、磁極検出部２２ｂおよび信号変換部２２ｃが仕切り板１５に取り付けられている。
【００３７】
仕切り板１５における半径方向の中程の部位には、貫通穴からなる仕切板連通路１５ｂが形成されている。仕切板連通路１５ｂを介して、モーター室１８とエンコーダー室２１が連通している。また、エンコーダーカバー１４のカバー胴部１４ａには排気口１４ｃが形成されている。排気口１４ｃには排気回収管２３が接続され、ここを介して不図示の回収部に排気を回収可能となっている。
【００３８】
ここで、モーター回転軸１２の前側の第１軸端部１２ａは、ケース前板部分１３ｂから前方に突出し、さらに、前側の隔離壁２を貫通して薬液雰囲気５ａの側に突入している。第１軸端部１２ａの外周部には、ケース前板部分１３ｂと隔離壁２との間に、前側の第１静圧シール部３０が配置されている。第１静圧シール部３０は、ケース前板部分１３ｂの円形内周面１３ｄと第１軸端部１２ａの円形外周面１２ｂとの間の隙間をシールしていると共に、隔離壁２の円形内周面２ａと第１軸端部１２ａの円形外周面１２ｂとの間の隙間をシールしている。
【００３９】
同様に、モーター回転軸１２の後側の第２軸端部１２ｃは、カバー背板部分１４ｂから後方に突出し、さらに、後側の隔離壁３を貫通して薬液雰囲気５ｂの側に露出している。第２軸端部１２ｃの外周部には、カバー背板部分１４ｂと隔離壁３との間に、後側の第２静圧シール部４０が配置されている。第２静圧シール部４０は、カバー背板部分１４ｂの円形内周面１４ｄと第２軸端部１２ｃの円形外周面１２ｄとの間の隙間をシールしていると共に、隔離壁３の円形内周面３ａと第２軸端部１２ｃの円形外周面１２ｄとの間の隙間をシールしている。
【００４０】
前後の第１、第２静圧シール部３０、４０は基本的に同一構造である。第１静圧シール部３０は、第１軸端部１２ａを同軸に取り囲む第１シールリング３１を備えている。第１シールリング３１はケース前板部分１３ｂの内周縁部分にボルトによって同軸に取り付けられている。第１シールリング３１の内周面と第１軸端部１２ａの円形外周面１２ｂとの間には、外部から供給され窒素ガスなどの清浄なシールガスによって密閉される第１シール隙間３２が形成されている。
【００４１】
同様に、第２静圧シール部４０は、第２軸端部１２ｃを同軸に取り囲む第２シールリング４１を備えている。第２シールリング４１はカバー背板部分１４ｂの内周縁部分にボルトによって取り付けられている。第２シールリング４１の内周面と第２軸端部１２ｃの円形外周面１２ｄとの間には、外部から供給され窒素ガスなどの清浄なシールガスによって密閉される第２シール隙間４２が形成されている。
【００４２】
（第１、第２静圧シール部）
図２（ａ）、（ｂ）は、それぞれ、前側の第１静圧シール部３０の拡大図および第１シール隙間３２の圧力分布図である。図２（ｃ）、（ｄ）は、それぞれ、後側の第２静圧シール部４０の拡大図および第２シール隙間４２の圧力分布図である。
【００４３】
図２（ａ）を参照して説明すると、第１静圧シール部３０の第１シールリング３１は、その内周側の部分が前後に対称な状態で突出しており、これにより、前側フランジ部３１ａおよび後側フランジ部３１ｂが形成されている。前側フランジ部３１ａの側は、前側の隔離壁２の内周縁部分に密着している。後側フランジ部３１ｂの円形外周面３１ｃおよび後側端面３１ｄは、ケース前板部分１３ｂの内周縁部分に密着しており、これらの間は、Ｏリング３３によってシールされている。
【００４４】
第１シールリング３１の円形外周面にはシールガスを外部から第１シール隙間３２に供給するための第１給気口３１ｅが開口している。第１給気口３１ｅには、給気管３４が接続され、給気管３４は不図示のシールガス供給源に繋がっている。
【００４５】
第１シールリング３１と第１軸端部１２ａとの間に形成されている第１シール隙間３２は、第１給気口３１ｅからシールガスが供給される円環状の第１給気溜まり３２ａと、この第１給気溜まり３２ａとモーター室１８内とを連通する円環状の第１内側隙間３２ｂと、第１給気溜まり３２ａと外部（薬液雰囲気５ａ）とを連通する円環状の第１外側隙間３２ｃとを備えている。第１給気溜まり３２ａに比べて、その両側の第１内側隙間３２ｂ、第１外側隙間３２ｃは半径方向の間隔が狭い。
【００４６】
ここで、第１シールリング３１が取り付けられているケース前板部分１３ｂの軸受け保持部１３ｃにはシールガス迂回路３４としての溝（半径方向溝３４ａおよび軸線方向溝３４ｂ）が、モーター側軸受け１６との間に形成されている。シールガス迂回路３４は、第１シール隙間３２の第１内側隙間３２ｂとモーター室１８の内部空間とを連通している。
【００４７】
次に、図２（ｃ）を参照して説明すると、他方の第２静圧シール部４０の第２シールリング４１は、その内周側の部分が前後に突出して、前側フランジ部４１ａおよび後側フランジ部４１ｂが形成されている。前側フランジ部４１ａは、カバー背板部分１４ｂの内周縁部分に密着しており、これらの間が、Ｏリング４３によってシールされている。後側フランジ部４１ｂは、後側の隔離壁３の内周縁部分に密着している。
【００４８】
第２シールリング４１の円形外周面にはシールガスを外部から第２シール隙間４２に供給するための第２給気口４１ｅが開口している。第２給気口４１ｅには、給気管４４が接続されており、給気管４４は不図示のシールガス供給源に繋がっている。
【００４９】
第２シールリング４１と第２軸端部１２ｃとの間に形成されている第２シール隙間４２は、第２給気口４１ｅからシールガスが供給される円環状の第２給気溜まり４２ａと、この第２給気溜まり４２ａとエンコーダー室内とを連通する円環状の第２内側隙間４２ｂと、第２給気溜まり４２ａと外部（薬液雰囲気５ｂ）とを連通する円環状の第２外側隙間４２ｃとを備えている。第２給気溜まり４２ａに比べて、その両側の第２内側隙間４２ｂ、第２外側隙間４２ｃは半径方向の間隔が狭い。
【００５０】
（動作説明）
この構成のモーター１においては、窒素ガス（Ｎ２）などの清浄なシールガスを、第１、第２静圧シール部３０、４０の給気口３１ｅ、４１ｅから第１、第２シール隙間３２、４２に導入する。第１シール隙間３２に導入されたシールガスは、第１給気溜まり３２ａで薬液雰囲気５ａとモーター室１８に分岐して流れる。第１シール隙間３２に供給されるシールガスの静圧分布は、第１シール隙間３２におけるモーター軸線１ａの方向に沿って、図２（ｂ）に示すような状態になる。すなわち、第１給気溜まり３２ａの部分において最も圧力が高く、モーター軸線１ａに沿って、第１内側隙間３２ｂ、第１外側隙間３２ｃの側に向かって漸減している。
【００５１】
前側の第１静圧シール部３０の第１シール隙間３２からモーター室１８の内部に流入するシールガスは、モーター側軸受け１６を迂回して、シールガス迂回路３４を通ってモーター室１８の内部に流入する。モーター室１８の内部に流入したシールガスは、仕切り板１５に形成されている仕切板連通路１５ｂを通ってエンコーダー室２１に流れ込み、エンコーダーカバー１４に形成されている排気口１４ｃから排出される。
【００５２】
後側の第２静圧シール部４０の第２シール隙間４２に導入されるシールガスは、第２給気溜まり４２ａで薬液雰囲気５ｂとエンコーダー室２１に分岐して流れる。この場合のシールガスの静圧分布は、図２（ｄ）に示すような状態になる。エンコーダー室２１に流入したシールガスは、エンコーダーカバー１４に形成されている排気口１４ｃから排出される。
【００５３】
薬液雰囲気５ａ、５ｂの内圧および、モーター室１８またはエンコーダー室２１の内圧に対して、第１、第２給気溜まり３２、４２の内圧を高く保持することにより、薬液を含んだガスがモーター室１８またはエンコーダー室２１に侵入するのを防ぐことができる。また、モーター室１８またはエンコーダー室２１の塵埃が薬液雰囲気５ａ、５ｂに流出することを防ぐことができる。
【図１】
2016166899.tif 000003
【図２】
2016166899.tif 000004
【手続補正書】
【提出日】平成29年9月25日(2017.9.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４４】
第１シールリング３１の円形外周面にはシールガスを外部から第１シール隙間３２に供給するための第１給気口３１ｅが開口している。第１給気口３１ｅには、給気管３５が接続され、給気管３５は不図示のシールガス供給源に繋がっている。
【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２】
2016166899.tif 000005
【国際調査報告】
2016166899.tif 000006
2016166899.tif 000007