(57)【要約】  搬送システムは、軌道と、複数の天井搬送車と、天井搬送車に対するＦＯＵＰの搬送指令を出力する搬送コントローラと、を備える。搬送コントローラは、下流側ポートに載置された第１ＦＯＵＰが回収待ちの状態であり、且つ、上流側ポートにＦＯＵＰが載置されていない場合に、第１ＦＯＵＰが回収待ちの状態となってから予め定められた待機時間が経過するまでは、上流側ポートに第２ＦＯＵＰを搬送する天井搬送車が把握されるまで第１ＦＯＵＰの回収を指示する搬送指令の出力を待機し、第１ＦＯＵＰが回収待ちの状態となった時点から待機時間が経過した場合には、第１ＦＯＵＰの回収を指示する搬送指令を出力する。
2017098805.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
軌道と、
前記軌道に沿って走行し、被搬送物を搬送する複数の搬送車と、
前記搬送車に対する前記被搬送物の搬送指令を出力するコントローラと、を備え、
前記コントローラは、前記被搬送物を載置可能な場所である下流側ポートに載置された第１の被搬送物が回収待ちの状態であり、且つ、前記搬送車の走行方向において前記下流側ポートよりも上流側に配置され、前記被搬送物を載置可能な場所である上流側ポートに前記被搬送物が載置されていない場合に、
前記第１の被搬送物が回収待ちの状態となってから予め定められた待機時間が経過するまでは、前記上流側ポートに第２の被搬送物を搬送する前記搬送車が把握されるまで前記第１の被搬送物の回収を指示する搬送指令の出力を待機し、
前記第１の被搬送物が回収待ちの状態となった時点から前記待機時間が経過した場合には、前記第１の被搬送物の回収を指示する搬送指令を出力する、
搬送システム。
【請求項２】
前記コントローラは、上位コントローラから受け付けた前記被搬送物の搬送要求に基づいて前記被搬送物の搬送指令を出力するように構成されており、
前記コントローラは、前記第１の被搬送物が回収待ちの状態となってから予め定められた第１の待機時間が経過するまでに、前記上流側ポートへの前記第２の被搬送物の搬送を指示する搬送要求を前記上位コントローラから受け付けなかった場合に、前記第１の被搬送物の回収を指示する搬送指令を出力する、
請求項１に記載の搬送システム。
【請求項３】
前記コントローラは、前記上流側ポートへの前記第２の被搬送物の搬送を指示する搬送要求を前記上位コントローラから受け付けてから予め定められた第２の待機時間が経過するまでに、前記第２の被搬送物が前記搬送車によって搬送される搬送状態とならなかった場合に、前記第１の被搬送物の回収を指示する搬送指令を出力する、
請求項２に記載の搬送システム。
【請求項４】
前記搬送車が前記被搬送物を受け渡し可能な保管部、及び前記搬送車が前記被搬送物を受け渡し可能な装置ポートと前記保管部との間で前記被搬送物を移載可能な移載機構、を有する保管装置を更に備え、
前記保管部は、前記搬送車の走行方向において前記装置ポートよりも上流側に設けられる第１保管部と、前記搬送車の走行方向において前記装置ポートよりも下流側に設けられる第２保管部とを含み、
前記下流側ポートは、前記装置ポート又は前記第２保管部であり、
前記上流側ポートは、前記下流側ポートが前記装置ポートである場合には、前記第１保管部であり、前記下流側ポートが前記第２保管部である場合には、前記第１保管部又は前記装置ポートであり、
前記コントローラは、前記移載機構に対する前記被搬送物の搬送指令を更に出力するように構成され、前記下流側ポートが空であり且つ前記上流側ポートに前記第１の被搬送物が載置されている場合、前記第１の被搬送物の前記下流側ポートへの移載を指示する搬送指令を前記移載機構に対して出力する、
請求項１〜３のいずれか一項に記載の搬送システム。
【請求項５】
前記コントローラは、前記第１の被搬送物の搬送に関する優先度が予め定められた基準より高い場合、前記第１の被搬送物が回収待ちの状態となった時点で、前記第１の被搬送物の回収を指示する搬送指令を出力する、
請求項１〜４のいずれか一項に記載の搬送システム。
【請求項６】
前記コントローラは、前記第１の被搬送物の次の搬送先が予め定められた特定の搬送先である場合、前記第１の被搬送物が回収待ちの状態となった時点で、前記第１の被搬送物の回収を指示する搬送指令を出力する、
請求項１〜５のいずれか一項に記載の搬送システム。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか一項記載の搬送システムにおいて、前記コントローラによって実施される搬送方法であって、
前記下流側ポートに載置された第１の被搬送物が回収待ちの状態となったことを検知する第１ステップと、
前記第１ステップにおいて前記第１の被搬送物が回収待ちの状態となったことが検知された場合に、前記上流側ポートに前記被搬送物が載置されているか否かを判定する第２ステップと、
前記第２ステップにおいて、前記上流側ポートに前記被搬送物が載置されていないと判定された場合に、前記第１の被搬送物が回収待ちの状態となってから予め定められた待機時間が経過するまでは、前記上流側ポートに第２の被搬送物を搬送する前記搬送車が把握されるまで前記第１の被搬送物の回収を指示する搬送指令の出力を待機し、前記第１の被搬送物が回収待ちの状態となった時点から前記待機時間が経過した場合には、前記第１の被搬送物の回収を指示する搬送指令を出力する第３ステップと、
を含む搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、搬送システム及び搬送方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば半導体製造工場に適用される搬送システムとして、処理装置への被搬送物の供給と処理装置から処理済みの被搬送物の回収とを天井搬送車に実行させるシステムが知られている。このような搬送システムにおいて、例えば、天井搬送車の走行方向における装置ポートよりも上流側に仮置台を設ける構成が知られている（特許文献１参照）。【０００３】
このような構成によれば、仮置台に被搬送物を載置した天井搬送車が下流側の装置ポートに載置されている処理済みの被搬送物を回収すること（置き取り動作）が可能となる。このような置き取り動作が成立した場合、処理装置に対する被搬送物の供給及び回収を１台の天井搬送車に行わせることができるため、天井搬送車の運用効率を向上させることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１４−５７１１１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、従来、上述した置き取り動作は、あくまでも、装置ポート上に回収待ちの被搬送物があるときに仮置台に向かって被搬送物を搬送する天井走行車が現れた場合に偶然成立するものに過ぎなかった。このため、置き取り動作が成立する可能性は低かった。【０００６】
そこで、本開示の一形態は、搬送効率の悪化を抑制しつつ置き取り動作が成立する可能性を高めることで、搬送車の運用効率を向上させることができる搬送システム及び搬送方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本開示の一形態に係る搬送システムは、軌道と、軌道に沿って走行し、被搬送物を搬送する複数の搬送車と、搬送車に対する被搬送物の搬送指令を出力するコントローラと、を備え、コントローラは、被搬送物を載置可能な場所である下流側ポートに載置された第１の被搬送物が回収待ちの状態であり、且つ、搬送車の走行方向において下流側ポートよりも上流側に配置され、被搬送物を載置可能な場所である上流側ポートに被搬送物が載置されていない場合に、第１の被搬送物が回収待ちの状態となってから予め定められた待機時間が経過するまでは、上流側ポートに第２の被搬送物を搬送する搬送車が把握されるまで第１の被搬送物の回収を指示する搬送指令の出力を待機し、第１の被搬送物が回収待ちの状態となった時点から待機時間が経過した場合には、第１の被搬送物の回収を指示する搬送指令を出力する。【０００８】
上記搬送システムでは、コントローラは、予め定められた待機時間内で、上流側ポートに第２の被搬送物を搬送する搬送車が把握されるまで、下流側ポート上で回収待ちの状態になっている第１の被搬送物の回収を指示する搬送指令（回収指令）の出力を待機する。このように、上流側ポートに第２の被搬送物を搬送する搬送車が把握された後に第１の被搬送物の回収指令を出力することで、第２の被搬送物を搬送する搬送車に第１の被搬送物の回収指令が割り付けられる可能性を高めることができる。その結果、第２の被搬送物を上流側ポートに載置した搬送車によって第１の被搬送物が回収される置き取り動作が成立する可能性を高めることができる。また、回収指令の出力を待機可能な待機時間が予め定められていることにより、回収指令の出力を待機し続けることによって搬送効率が悪化することを抑制することができる。従って、上記搬送システムによれば、搬送効率の悪化を抑制しつつ置き取り動作が成立する可能性を高めることで、搬送車の運用効率を向上させることができる。【０００９】
上記搬送システムでは、コントローラは、上位コントローラから受け付けた被搬送物の搬送要求に基づいて被搬送物の搬送指令を出力するように構成されており、コントローラは、第１の被搬送物が回収待ちの状態となってから予め定められた第１の待機時間が経過するまでに、上流側ポートへの第２の被搬送物の搬送を指示する搬送要求を上位コントローラから受け付けなかった場合に、第１の被搬送物の回収を指示する搬送指令を出力してもよい。上位コントローラから第２の被搬送物の搬送要求を受け付けるまでの時間が長期化した場合、その分、置き取り動作を実行可能な搬送車が第１の被搬送物を回収する時間も遅延することになる。そこで、上記搬送システムでは、第１の被搬送物が回収待ちの状態となってから上流側ポートへの第２の被搬送物の搬送を指示する搬送要求を受け付けるまでの時間が第１の待機時間を超過した場合に回収指令を出力する。これにより、回収指令の出力を待機し続けることによる搬送効率の悪化を適切に抑制することができる。【００１０】
上記搬送システムでは、コントローラは、上流側ポートへの第２の被搬送物の搬送を指示する搬送要求を上位コントローラから受け付けてから予め定められた第２の待機時間が経過するまでに、第２の被搬送物が搬送車によって搬送される搬送状態とならなかった場合に、第１の被搬送物の回収を指示する搬送指令を出力してもよい。上位コントローラから上流側ポートへの第２の被搬送物の搬送を指示する搬送要求を受け付けてから当該第２の被搬送物が搬送状態となるまでの時間が長期化した場合、その分、置き取り動作を実行可能な搬送車が第１の被搬送物を回収する時間も遅延することになる。そこで、上記搬送システムでは、上流側ポートへの第２の被搬送物の搬送を指示する搬送要求を上位コントローラから受け付けてから第２の被搬送物が搬送状態となるまでの時間が第２の待機時間を超過した場合に回収指令を出力する。これにより、回収指令の出力を待機し続けることによる搬送効率の悪化を適切に抑制することができる。【００１１】
上記搬送システムは、搬送車が被搬送物を受け渡し可能な保管部、及び搬送車が被搬送物を受け渡し可能な装置ポートと保管部との間で被搬送物を移載可能な移載機構、を有する保管装置を更に備え、保管部は、搬送車の走行方向において装置ポートよりも上流側に設けられる第１保管部と、搬送車の走行方向において装置ポートよりも下流側に設けられる第２保管部とを含み、下流側ポートは、装置ポート又は第２保管部であり、上流側ポートは、下流側ポートが装置ポートである場合には、第１保管部であり、下流側ポートが第２保管部である場合には、第１保管部又は装置ポートであり、コントローラは、移載機構に対する被搬送物の搬送指令を更に出力するように構成され、下流側ポートが空であり且つ上流側ポートに第１の被搬送物が載置されている場合、第１の被搬送物の下流側ポートへの移載を指示する搬送指令を移載機構に対して出力してもよい。上記構成によれば、移載機構によって上流側ポート（第１保管部又は装置ポート）から下流側ポート（装置ポート又は第２保管部）への被搬送物の移載を行うことで、置き取り動作を実行可能な状況を意図的に生成することができる。【００１２】
上記搬送システムでは、コントローラは、第１の被搬送物の搬送に関する優先度が予め定められた基準より高い場合、第１の被搬送物が回収待ちの状態となった時点で、第１の被搬送物の回収を指示する搬送指令を出力してもよい。上記搬送システムによれば、搬送に関する優先度が高い被搬送物を、置き取り動作が成立する可能性を高めるために回収指令の出力を待機する制御（置き取り制御）の実行対象から除外し、速やかに搬送することができる。これにより、第１の被搬送物に対して要求される要件を満たした上で、置き取り制御を適切に実行することができる。【００１３】
上記搬送システムでは、コントローラは、第１の被搬送物の次の搬送先が予め定められた特定の搬送先である場合、第１の被搬送物が回収待ちの状態となった時点で、第１の被搬送物の回収を指示する搬送指令を出力してもよい。上記搬送システムによれば、例えば搬送を急ぐ必要のある搬送先を予め特定の搬送先として定めておくことで、このような特定の搬送先を次の搬送先とする被搬送物を、置き取り制御の実行対象から除外し、速やかに搬送することができる。これにより、第１の被搬送物に要求される要件を満たした上で、置き取り制御を適切に実行することができる。【００１４】
本開示の一形態に係る搬送方法は、上記搬送システムにおいて、上記コントローラによって実施される搬送方法であって、下流側ポートに載置された第１の被搬送物が回収待ちの状態となったことを検知する第１ステップと、第１ステップにおいて第１の被搬送物が回収待ちの状態となったことが検知された場合に、上流側ポートに被搬送物が載置されているか否かを判定する第２ステップと、第２ステップにおいて、上流側ポートに被搬送物が載置されていないと判定された場合に、第１の被搬送物が回収待ちの状態となってから予め定められた待機時間が経過するまでは、上流側ポートに第２の被搬送物を搬送する搬送車が把握されるまで第１の被搬送物の回収を指示する搬送指令の出力を待機し、第１の被搬送物が回収待ちの状態となった時点から待機時間が経過した場合には、第１の被搬送物の回収を指示する搬送指令を出力する第３ステップと、を含む。【００１５】
上記搬送方法では、コントローラは、下流側ポート上の第１の被搬送物が回収待ちの状態であり、且つ、上流側ポートに被搬送物が載置されていない場合に、予め定められた待機時間内で、上流側ポートに第２の被搬送物を搬送する搬送車が把握されるまで、下流側ポート上で回収待ちの状態になっている第１の被搬送物の回収を指示する搬送指令（回収指令）の出力を待機する。これにより、第２の被搬送物を搬送する搬送車に第１の被搬送物の回収指令が割り付けられる可能性を高めることができる。その結果、第２の被搬送物を上流側ポートに載置した搬送車によって第１の被搬送物が回収される置き取り動作が成立する可能性を高めることができる。また、回収指令の出力を待機可能な待機時間が予め定められていることにより、回収指令の出力を待機し続けることによって搬送効率が悪化することを抑制することができる。従って、上記搬送方法によれば、搬送効率の悪化を抑制しつつ置き取り動作が成立する可能性を高めることで、搬送車の運用効率を向上させることができる。
【発明の効果】
【００１６】
本開示の一形態によれば、搬送効率の悪化を抑制しつつ置き取り動作が成立する可能性を高めることで、搬送車の運用効率を向上させることができる搬送システムを提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】図１は、本開示の一実施形態の搬送システムの要部を示す図である。
【図２】図２は、図１の保管装置及び半導体処理装置の平面図である。
【図３】図３は、搬送システムの制御構成を示すブロック図である。
【図４】図４は、置き取り動作の一例を説明するための図である。
【図５】図５は、置き取り動作の一例を説明するための図である。
【図６】図６は、置き取り動作の一例を説明するための図である。
【図７】図７は、置き取り動作の一例を説明するための図である。
【図８】図８は、置き取り動作の一例を説明するための図である。
【図９】図９は、置き取り動作の一例を説明するための図である。
【図１０】図１０は、搬送システムの動作を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、添付図面を参照しながら本開示の一実施形態を詳細に説明する。なお、図面の説明において同一又は同等の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
【００１９】
図１及び図２を用いて、本実施形態の搬送システム１について説明する。搬送システム１は、複数の半導体処理装置１００を備える半導体製造工場内で、複数の半導体ウェハが収容されたＦＯＵＰ（Front  Opening  Unified  Pod）を搬送するためのシステムである。図１に示すように、搬送システム１は、軌道１０と、複数の天井搬送車２０と、各半導体処理装置１００に対応するように設置された保管装置３０と、を備える。図１は、半導体製造工場内に存在する複数の半導体処理装置１００のうち１つの半導体処理装置１００に対応する保管装置３０を図示している。
【００２０】
軌道１０は、半導体製造工場の天井付近に敷設されている。天井搬送車２０は、ＯＨＴ（Overhead  Hoist  Transfer）である。天井搬送車２０は、軌道１０に吊り下げられた状態で軌道１０に沿って一方向に走行する。以下、天井搬送車２０の走行方向Ａにおける上流側及び下流側のことを「上流側」及び「下流側」という。
【００２１】
天井搬送車２０は、複数の半導体ウェハが収容されたＦＯＵＰ９０を各半導体処理装置１００の装置ポート１０１又は後述する保管部３１に搬送（供給）する。本実施形態では一例として、１つの半導体処理装置１００に対して２つの装置ポート１０１が、天井搬送車２０の走行方向Ａに沿って並んで設けられている。半導体処理装置１００は、装置ポート１０１に載置されたＦＯＵＰ９０に収容された半導体ウェハ等に対して所定の加工処理を実行する。以降の説明においては、ＦＯＵＰ９０に収容された半導体ウェハ等に対する処理のことを指して、単にＦＯＵＰ９０に対する処理と表現する。例えば、収容する半導体ウェハ等に対する加工処理が実行された後のＦＯＵＰ９０のことを指して、処理済みのＦＯＵＰ９０等と表現する。処理済みとなったＦＯＵＰ９０は、天井搬送車２０によって回収され、例えば次工程の処理を行う半導体処理装置１００の装置ポート等に搬送される。処理済みとなったＦＯＵＰ９０は、装置ポート１０１において天井搬送車２０に回収されることもあるし、一旦保管部３１に退避させられた後に天井搬送車２０に回収されることもある。
【００２２】
天井搬送車２０は、ＦＯＵＰ９０のフランジ部９１を把持可能な把持機構２１と、把持機構２１が接続されたベルト２２の繰出し入れによって把持機構２１を昇降可能な昇降機構２３と、を有する。天井搬送車２０は、把持機構２１を昇降機構２３で昇降させることで、後述する保管部３１及び装置ポート１０１のそれぞれとの間で、ＦＯＵＰ９０を受け渡し可能となっている。
【００２３】
保管装置３０は、一例として２つの保管部３１と、ローカル台車（移載機構）３２と、保管部３１及びローカル台車３２を支持する支持部材３３と、を備える。支持部材３３は、主面同士が軌道１０の延伸方向に対向するように地面に立設された一対の側壁部３３ａ，３３ａと、軌道１０の下方において軌道１０の延伸方向に沿って延在する一対のレール部材３３ｂ，３３ｂと、を有する。一対のレール部材３３ｂ，３３ｂ同士は、同一の高さ位置において軌道１０の延伸方向に直交する方向に対向している。各レール部材３３ｂの両端部はそれぞれ、一対の側壁部３３ａ，３３ａの上面端部に支持されている。なお、一対のレール部材３３ｂ，３３ｂ同士の間隔は、天井搬送車２０によって昇降させられるＦＯＵＰ９０がレール部材３３ｂと干渉しない寸法とされている。
【００２４】
保管部３１は、ＦＯＵＰ９０を載置可能なように水平方向に延在する板状部材である。２つの保管部３１のうち上流側の第１保管部３１Ａは、２つの装置ポート１０１よりも上流側に位置するように、上流側の側壁部３３ａの下流側側面に固定されている。一方、２つの保管部３１のうち下流側の第２保管部３１Ｂは、２つの装置ポート１０１よりも下流側に位置するように、下流側の側壁部３３ａの上流側側面に固定されている。
【００２５】
上流側の第１保管部３１Ａは、装置ポート１０１に空きがない場合（図１の例では、２つの装置ポート１０１にＦＯＵＰ９０が載置されている場合）に、処理待ちのＦＯＵＰ９０を待機させる待機場所として機能する。第１保管部３１Ａに処理待ちのＦＯＵＰ９０を待機させておくことで、装置ポート１０１に空きが生じた場合に、第１保管部３１Ａから当該装置ポート１０１に処理待ちのＦＯＵＰ９０を直ちに供給することができる。
【００２６】
下流側の第２保管部３１Ｂは、半導体処理装置１００による処理が完了した処理済みのＦＯＵＰ９０を装置ポート１０１から退避させる退避場所として機能する。第２保管部３１Ｂに処理済みのＦＯＵＰ９０を退避させることで、処理済みのＦＯＵＰ９０が天井搬送車２０によって回収されずに装置ポート１０１上に載置されたままとなり、当該装置ポート１０１が利用できない状態のままになることを解消できる。
【００２７】
ローカル台車３２は、車輪Ｗが取り付けられた台車部３２ａを有する。また、ローカル台車３２は、天井搬送車２０と同様に、ＦＯＵＰ９０のフランジ部９１を把持可能な把持機構３２ｂと、把持機構３２ｂが接続されたベルト３２ｃの繰出し入れによって把持機構３２ｂを昇降可能な昇降機構（不図示）と、を有する。ローカル台車３２は、台車部３２ａの車輪Ｗが一対のレール部材３３ｂ，３３ｂ上を走行することにより、一対のレール部材３３ｂ，３３ｂに沿って移動自在とされている。また、ローカル台車３２は、把持機構３２ｂを昇降機構で昇降させることで、保管部３１と装置ポート１０１との間で、ＦＯＵＰ９０の移載を行うことが可能となっている。
【００２８】
図３に示すように、搬送システム１は、制御系統を司る機能要素として、搬送コントローラ４１と、複数の天井搬送車２０に共通の天井搬送車コントローラ４２と、保管装置３０毎に設けられた保管装置コントローラ４３と、を備える。搬送コントローラ４１、天井搬送車コントローラ４２、及び保管装置コントローラ４３の各々は、例えば、プロセッサ、メモリ、ストレージ、及び通信デバイス等を含むコンピュータ装置として構成される。各コントローラにおいて、プロセッサが、メモリ等に読み込まれた所定のソフトウェア（プログラム）を実行し、メモリ及びストレージにおけるデータの読み出し及び書き込み、並びに通信デバイスによるコントローラ間での通信を制御することによって、後述する各コントローラの機能が実現される。
【００２９】
搬送コントローラ４１は、天井搬送車２０及びローカル台車３２の動作を制御するコントローラである。天井搬送車２０の動作を制御する場合、搬送コントローラ４１は、天井搬送車コントローラ４２に対して、ＦＯＵＰ９０の搬送指令を出力する。すなわち、搬送コントローラ４１は、天井搬送車コントローラ４２を介して、天井搬送車２０に対するＦＯＵＰ９０の搬送指令を出力する。また、ローカル台車３２の動作を制御する場合、搬送コントローラ４１は、当該ローカル台車３２を含む保管装置３０を制御する保管装置コントローラ４３に対して、ＦＯＵＰ９０の搬送指令を出力する。すなわち、搬送コントローラ４１は、保管装置コントローラ４３を介して、当該保管装置コントローラ４３によって制御されるローカル台車３２に対するＦＯＵＰ９０の搬送指令を出力する。
【００３０】
搬送指令とは、搬送対象のＦＯＵＰ９０をある出発地（搬送元）からある目的地（搬送先）まで搬送することを指示する情報である。具体的には、搬送指令は、搬送対象のＦＯＵＰ９０を識別する情報（ＩＤ）と、搬送対象のＦＯＵＰ９０を荷掴みする地点（装置ポート及び保管部等）を特定する情報（Ｆｒｏｍ地点）と、搬送対象のＦＯＵＰ９０を荷降ろしする地点（装置ポート及び保管部等）を特定する情報（Ｔｏ地点）とを互いに関連付けた情報である。
【００３１】
搬送コントローラ４１は、搬送指令のＦｒｏｍ地点とＴｏ地点の組み合わせに基づいて、適切なコントローラに搬送指令を出力する。具体的には、Ｆｒｏｍ地点とＴｏ地点の組み合わせが同一の保管装置３０内のローカル台車３２によって移載可能な組み合わせである場合、搬送コントローラ４１は、当該保管装置３０に対応する保管装置コントローラ４３に搬送指令を出力する。一方、Ｆｒｏｍ地点とＴｏ地点の組み合わせが同一の保管装置３０内のローカル台車３２によって移載可能な組み合わせでない場合（例えば異なる半導体処理装置１００間の搬送の場合）、搬送コントローラ４１は、天井搬送車コントローラ４２に搬送指令を出力する。
【００３２】
搬送コントローラ４１により出力される搬送指令は、上位コントローラ４０からの搬送要求に基づいて生成される。上位コントローラ４０は、半導体製造工場全体の状況を監視することにより、各半導体処理装置１００の装置ポート１０１及び保管部３１の空き状況を把握している。また、上位コントローラ４０は、各ＦＯＵＰ９０の処理状況も把握している。上位コントローラ４０は、搬送コントローラ４１、天井搬送車コントローラ４２、及び保管装置コントローラ４３と同様に、例えば、プロセッサ、メモリ、ストレージ、及び通信デバイス等を含むコンピュータ装置として構成される。
【００３３】
上位コントローラ４０は、例えば半導体処理装置１００の装置ポート１０１又は第１保管部３１Ａに空きが生じたことを検知すると、新たなＦＯＵＰ９０の荷降ろし（供給）を指示する搬送要求を搬送コントローラ４１に出力する。
【００３４】
また、上位コントローラ４０は、例えば半導体処理装置１００の装置ポート１０１上に処理済みのＦＯＵＰ９０が生じたこと（すなわち、装置ポート１０１上に載置されたＦＯＵＰ９０に対する半導体処理装置１００の処理が完了したこと）を検知すると、当該処理済みのＦＯＵＰ９０の荷掴み（回収）を指示する搬送要求を搬送コントローラ４１に出力する。
【００３５】
搬送コントローラ４１は、上記例示したような上位コントローラ４０からの搬送要求を受信すると、当該搬送要求に基づいて、どのＦＯＵＰ９０をどこからどこに搬送するかを決定し、上述した搬送指令を生成する。例えば、搬送コントローラ４１は、予めプログラムされたルールに基づき、上位コントローラ４０から受信した供給要求（供給を要求する搬送要求）及び回収要求（回収を要求する搬送要求）のマッチングを図ることにより、Ｆｒｏｍ地点及びＴｏ地点が指定された搬送指令を生成する。搬送コントローラ４１は、このようにして生成された搬送指令を天井搬送車コントローラ４２又は保管装置コントローラ４３に出力する。
【００３６】
天井搬送車コントローラ４２は、複数の天井搬送車２０の走行動作を制御する単一のコントローラであり、搬送コントローラ４１からの搬送指令（ＩＤ，Ｆｒｏｍ地点，Ｔｏ地点）を受信すると、当該搬送指令を特定の天井搬送車２０に割り付ける。具体的には、天井搬送車コントローラ４２は、搬送指令に示されるＦＯＵＰ９０の搬送処理を実行させる天井搬送車２０を予め定められた割付ルールに基づいて決定する。そして、天井搬送車コントローラ４２は、決定された天井搬送車２０に対して、ＦＯＵＰ９０の搬送処理を実行するように制御信号を送信する。例えば、天井搬送車コントローラ４２は、現時点で搬送指令が割り付けられていない天井搬送車２０のうち割付対象の搬送指令のＦｒｏｍ地点に最も近い位置に存在する天井搬送車２０に、当該割付対象の搬送指令を割り付ける。また、天井搬送車コントローラ４２は、別の搬送指令を実行中の天井搬送車２０であっても、割付対象の搬送指令のＦｒｏｍ地点から所定範囲内の地点をＴｏ地点としてＦＯＵＰ９０を搬送中の天井搬送車２０に対して、「割付対象の搬送指令を現在実行中の搬送指令の後に実行すること」を指示する搬送指令（搬送指令予約）として割り付けることもできる。
【００３７】
搬送指令が割り付けられた天井搬送車２０は、当該搬送指令に基づく搬送処理を行うように走行動作を開始する。ただし、上述の搬送指令予約が割り付けられた天井搬送車２０は、現在実行中の搬送指令に基づく搬送処理を完了した後に、搬送指令予約に基づく搬送処理を行うように走行動作を開始する。具体的には、天井搬送車２０は、Ｆｒｏｍ地点に向かって走行を開始し、Ｆｒｏｍ地点に到着すると、搬送指令のＩＤによって特定されるＦＯＵＰ９０を荷掴みする。その後、天井搬送車２０は、Ｔｏ地点に示される位置に向かって走行を開始し、Ｔｏ地点に示される位置に到着すると、掴んでいるＦＯＵＰ９０を荷降ろしする。このような一連の動作によって、搬送指令のＩＤによって特定されるＦＯＵＰ９０が、Ｆｒｏｍ地点からＴｏ地点まで搬送される。
【００３８】
保管装置コントローラ４３は、搬送コントローラ４１からの搬送指令（ＩＤ，Ｆｒｏｍ地点，Ｔｏ地点）を受信すると、制御対象の保管装置３０のローカル台車３２に対して、搬送指令に基づく搬送処理を実行するように制御信号を送信する。これにより、ローカル台車３２は、上述した搬送指令が割り付けられた天井搬送車２０と同様に、搬送指令に基づく搬送処理を行うように走行動作を開始する。具体的には、ローカル台車３２は、Ｆｒｏｍ地点に向かって走行を開始し、Ｆｒｏｍ地点に到着すると、搬送指令のＩＤによって特定されるＦＯＵＰ９０を荷掴みする。その後、ローカル台車３２は、Ｔｏ地点に示される位置に向かって走行を開始し、Ｔｏ地点に示される位置に到着すると、掴んでいるＦＯＵＰ９０を荷降ろしする。
【００３９】
なお、保管装置コントローラ４３は、図示しないセンサ等によって制御対象の保管装置３０の保管部３１の空き状況を監視し、監視結果を逐次搬送コントローラ４１に送信する。これにより、搬送コントローラ４１は、各保管装置３０の保管部３１の空き状況を把握することができる。
【００４０】
次に、搬送コントローラ４１による置き取り制御について説明する。搬送コントローラ４１は、ＦＯＵＰ９０を載置可能な場所である下流側ポート（上述した装置ポート１０１又は第２保管部３１Ｂ）に載置されたＦＯＵＰ９０が回収待ちの状態となった際に、下流側ポートよりも上流側に配置され、ＦＯＵＰ９０を載置可能な場所である上流側ポートにＦＯＵＰ９０が載置されていない場合に、天井搬送車２０の運用効率を高めるための置き取り制御を実行する。図１に示す構成例においては、上流側ポートは、下流側ポートが装置ポート１０１である場合には第１保管部３１Ａであり、下流側ポートが第２保管部３１Ｂである場合には第１保管部３１Ａ又は装置ポート１０１である。
【００４１】
置き取り制御とは、置き取り動作が成立する可能性を高めるための制御である。また、置き取り動作とは、新たに半導体処理装置１００に供給されるＦＯＵＰ９０（第２の被搬送物）を上流側ポートに載置した天井搬送車２０によって、回収待ちのＦＯＵＰ９０（第１の被搬送物）が回収される動作を意味する。すなわち、置き取り動作とは、半導体処理装置１００に対するＦＯＵＰ９０の供給及び回収を１台の天井搬送車２０により行う動作である。従って、置き取り動作を成立させることにより、置き取り動作が成立しない場合（すなわち、ＦＯＵＰ９０の供給及び回収に２台の天井搬送車２０が必要になる場合）と比較して、天井搬送車２０の運用効率を向上させることができる。
【００４２】
搬送コントローラ４１は、置き取り制御として、以下の動作を実行する。搬送コントローラ４１は、下流側ポートのＦＯＵＰ９０が回収待ちの状態となってから予め定められた待機時間が経過するまでは、上流側ポートに他のＦＯＵＰ９０を搬送する天井搬送車２０が把握されるまで下流側ポートのＦＯＵＰ９０の回収を指示する搬送指令（回収指令）の出力（天井搬送車コントローラ４２への出力）を待機する。すなわち、搬送コントローラ４１は、回収待ちのＦＯＵＰ９０の回収指令を出力するタイミングを上流側ポートに他のＦＯＵＰ９０を搬送する天井搬送車２０が把握されるまで遅らせるように制御する。これにより、置き取り動作が成立する可能性を高める。このように回収指令の出力タイミングを制御することで、天井搬送車コントローラ４２による回収指令の割付処理において、上流側ポートにＦＯＵＰ９０を搬送する天井搬送車２０に当該回収指令が割り付けられる可能性を高めることができる。具体的には、下流側ポートのＦＯＵＰ９０の回収指令が、上流側ポートにＦＯＵＰ９０を搬送する天井搬送車２０に対して、上述した搬送指令予約として割り付けられる可能性が高くなる。このような置き取り制御によれば、置き取り動作が成立する可能性を高め、天井搬送車の２０の運用効率を向上させることができる。
【００４３】
一方、回収指令の出力を待機する時間が長期化した場合、置き取り動作が成立することで天井搬送車２０の運用効率が向上したとしても、搬送システム１全体におけるＦＯＵＰ９０の搬送効率が悪化するおそれがある。そこで、搬送コントローラ４１は、下流側ポートのＦＯＵＰ９０が回収待ちの状態となってから予め定められた待機時間が経過した場合には、当該ＦＯＵＰ９０の回収指令を天井搬送車コントローラ４２に出力する。すなわち、搬送コントローラ４１は、回収待ちのＦＯＵＰ９０が発生してから一定時間待機しても上流側ポートにＦＯＵＰ９０を搬送する天井搬送車２０が把握されない場合には、回収指令の出力の待機を解除し、回収指令を出力する。このように回収指令の出力タイミングを遅らせることが可能な待機時間を予め定めておき、待機時間が経過した場合には速やかに回収指令を出力することで、ＦＯＵＰ９０の搬送効率の悪化を抑制することができる。
【００４４】
図４〜図９を用いて、置き取り制御の具体例について説明する。図４は、当該例における初期状態を示している。初期状態において、半導体処理装置１００の２つの装置ポート１０１のうち下流側の装置ポート１０１Ｂには、ＦＯＵＰ９０Ａ（第１の被搬送物）が載置されている。一方、上流側の装置ポート１０１Ａには、ＦＯＵＰ９０Ｂが載置されている。ここで、ＦＯＵＰ９０Ａに対する半導体処理装置１００の処理が完了すると、搬送コントローラ４１は、上述した上位コントローラ４０から、ＦＯＵＰ９０Ａの回収要求を受け付ける。
【００４５】
ここで、搬送コントローラ４１は、保管装置コントローラ４３との通信によって第２保管部３１Ｂが空であることを把握している。そこで、搬送コントローラ４１は、このように下流側ポート（この例では第２保管部３１Ｂ）が空であり且つ上流側ポート（この例では装置ポート１０１Ｂ）に回収対象のＦＯＵＰ９０Ａが載置されている場合、ＦＯＵＰ９０Ａを下流側ポートに移載させる。具体的には、搬送コントローラ４１は、第２保管部３１ＢへのＦＯＵＰ９０Ａの移載を指示する搬送指令を、保管装置コントローラ４３を介してローカル台車３２に対して出力する。これにより、図５に示すように、ＦＯＵＰ９０Ａは、ローカル台車３２によって第２保管部３１Ｂに移載され、第２保管部３１Ｂ上において回収待ちの状態となる。また、この移載動作によって、装置ポート１０１Ｂは空となり、下流側ポートである第２保管部３１Ｂよりも上流側の第１保管部３１Ａ及び装置ポート１０１ＢにＦＯＵＰ９０が載置されていない状態となる。すなわち、上述の置き取り動作を実行可能な状態となる。
【００４６】
この場合、搬送コントローラ４１は、回収待ちのＦＯＵＰ９０Ａが載置されている第２保管部３１Ｂよりも上流側の装置ポート１０１ＢにＦＯＵＰ９０Ａが載置されていないことを検知し、上述の置き取り制御を実行する。具体的には、搬送コントローラ４１は、ＦＯＵＰ９０Ａが第２保管部３１Ｂに載置されてから（すなわち、ＦＯＵＰ９０Ａが回収待ちの状態となってから）予め定められた待機時間が経過するまでは、上流側ポート（図５の例では、第１保管部３１Ａ又は装置ポート１０１Ｂ）に新たなＦＯＵＰ９０を搬送する天井搬送車２０が把握されるまで、ＦＯＵＰ９０Ａの回収を指示する回収指令の出力を待機する。以下、上述の待機時間の一例について説明する。
【００４７】
搬送コントローラ４１は、ＦＯＵＰ９０Ａが回収待ちの状態となってから予め定められた待機時間Ｔ１（第１の待機時間）が経過するまでに、上流側ポートへのＦＯＵＰ９０（第２の被搬送物）の搬送（供給）を指示する搬送要求（以下「上流側搬送要求」という。）を上位コントローラ４０から受け付けなかった場合に、ＦＯＵＰ９０Ａの回収指令を出力する。例えば、搬送コントローラ４１は、ＦＯＵＰ９０Ａが回収待ちの状態となった際に第１のタイマを起動し、第１のタイマを起動してから待機時間Ｔ１を経過するまでに上流側搬送要求を受け付けなかった場合、ＦＯＵＰ９０Ａの回収指令を出力する。
【００４８】
待機時間Ｔ１は、以下の考え方に基づいている。すなわち、搬送コントローラ４１が上位コントローラ４０から上流側搬送要求を受け付けるまでの時間が長期化した場合、その分、置き取り動作を実行可能な天井搬送車２０がＦＯＵＰ９０Ａを回収する時間も遅延することになる。従って、ＦＯＵＰ９０Ａが回収待ちの状態となってから上流側搬送要求を受け付けるまでの時間を指標として、上述の制御を行うことで、回収指令の出力を待機し続けることによる搬送効率の悪化を適切に抑制することができる。
【００４９】
一方、搬送コントローラ４１は、ＦＯＵＰ９０Ａが回収待ちの状態となってから待機時間Ｔ１が経過するまでに上流側搬送要求を受け付けた場合、以下の制御を実行する。ここでは一例として、上流側搬送要求に基づいて、装置ポート１０１ＢへのＦＯＵＰ９０Ｃの搬送が実行される場合について考える。搬送コントローラ４１は、上流側搬送要求を上位コントローラ４０から受け付けてから予め定められた待機時間Ｔ２（第２の待機時間）が経過するまでに、ＦＯＵＰ９０Ｃが天井搬送車２０によって搬送される搬送状態とならなかった場合、ＦＯＵＰ９０Ａの回収指令を出力する。例えば、搬送コントローラ４１は、上流側搬送要求を受け付けた際に第２のタイマを起動し、第２のタイマが起動してから待機時間Ｔ２を経過するまでに当該上流側搬送要求に基づいて生成された搬送指令の搬送対象であるＦＯＵＰ９０Ｃが搬送状態とならなかった場合、ＦＯＵＰ９０Ａの回収指令を出力する。なお、ＦＯＵＰ９０Ｃが搬送状態となったか否か（すなわち、ＦＯＵＰ９０Ｃを搬送する天井搬送車２０が把握されたか否か）については、例えば天井搬送車２０の走行動作を制御する天井搬送車コントローラ４２によって把握される。従って、搬送コントローラ４１は、例えば天井搬送車コントローラ４２からの通知を受け取ることにより、ＦＯＵＰ９０Ｃが搬送状態となったか否かを把握することができる。
【００５０】
なお、搬送コントローラ４１が上流側搬送要求を受け付けた後、ＦＯＵＰ９０Ｃが天井搬送車２０によって搬送される搬送状態になるまでの間には、例えば以下のような処理が実行される。すなわち、搬送コントローラ４１は、上位コントローラ４０から上流側搬送要求を受け付けると、当該上流側搬送要求に基づく搬送指令（上記例では、ＦＯＵＰ９０Ｃを装置ポート１０１Ｂに搬送することを指示する搬送指令）を生成し、天井搬送車コントローラ４２に出力する。続いて、天井搬送車コントローラ４２が、当該搬送指令を特定の天井搬送車２０を割り付ける。その後、搬送指令を割り付けられた天井搬送車２０は、搬送対象のＦＯＵＰ９０Ｃの荷掴み位置（搬送指令のＦｒｏｍ地点）に向かって走行を開始する。当該天井搬送車２０がＦＯＵＰ９０Ｃの荷掴み位置に到着し、ＦＯＵＰ９０Ｃの荷掴みが完了した段階で、ＦＯＵＰ９０Ｃを搬送可能な状態（すなわち搬送状態）となる。
【００５１】
待機時間Ｔ２は、以下の考え方に基づいている。すなわち、搬送コントローラ４１が上位コントローラ４０から上流側搬送要求を受け付けてからＦＯＵＰ９０Ｃが搬送状態となるまでの時間が長期化した場合、その分、置き取り動作を実行可能な天井搬送車２０がＦＯＵＰ９０Ａを回収する時間も遅延することになる。従って、上流側搬送要求を上位コントローラ４０から受け付けてからＦＯＵＰ９０Ｃが搬送状態となるまでの時間を指標として、上述の制御を行うことで、回収指令の出力を待機し続けることによる搬送効率の悪化を適切に抑制することができる。
【００５２】
一方、搬送コントローラ４１は、上流側搬送要求を受け付けてから待機時間Ｔ２が経過するまでに、ＦＯＵＰ９０Ｃが天井搬送車２０によって搬送される搬送状態となった場合、新たなＦＯＵＰ９０Ｃを搬送する天井搬送車２０が予め定められた待機時間が経過するまでに把握されたとして、ＦＯＵＰ９０Ａの回収指令を出力する。これにより、図６及び図７に示すように、ＦＯＵＰ９０Ｃを装置ポート１０１Ｂに載置した天井搬送車（図６及び図７の天井搬送車２０Ａ）によって第２保管部３１Ｂ上のＦＯＵＰ９０Ａが回収される置き取り動作が成立する可能性を高めることができる。
【００５３】
なお、上記例では、上流側搬送要求に基づいて装置ポート１０１ＢへのＦＯＵＰ９０Ｃの搬送が実行される場合について説明したが、上流側搬送要求に基づいて第１保管部３１ＡへのＦＯＵＰ９０Ｃの搬送が実行される場合にも、上述同様の置き取り制御が可能となる。この場合には、新たなＦＯＵＰ９０Ｃを第１保管部３１Ａに載置した天井搬送車２０によって第２保管部３１Ｂ上のＦＯＵＰ９０Ａが回収される置き取り動作が成立する可能性を高めることができる。
【００５４】
また、図８及び図９に示すように、装置ポート１０１Ａに載置されたＦＯＵＰ９０Ｂを天井搬送車２０に直接回収させる場合（すなわち、ＦＯＵＰ９０Ｂを一旦第２保管部３１Ｂに移載しない場合）にも、上述同様の置き取り制御を行うことが可能である。この場合には、搬送コントローラ４１が上位コントローラ４０からＦＯＵＰ９０Ｂの回収要求を受け付けた時点を、ＦＯＵＰ９０Ｂが回収待ちの状態となった時点として、上述同様の置き取り制御を実行することができる。このような置き取り制御によって、新たなＦＯＵＰ９０Ｄを第１保管部３１Ａに載置した天井搬送車２０Ｂによって装置ポート１０１Ａ上のＦＯＵＰ９０Ｂが回収される置き取り動作が成立する可能性を高めることができる。
【００５５】
上述した置き取り制御を実行することで、回収待ちのＦＯＵＰ９０の回収タイミングの遅延に起因する搬送効率の悪化を抑制しつつ、置き取り動作が成立する可能性を高めることで天井搬送車２０の運用効率を高めることができる。しかし、例えば回収待ちのＦＯＵＰ９０の種類によっては、上述の置き取り制御（回収指令の出力の待機）を実行せずに直ちに回収指令を出力すべき場合もあり得る。そこで、搬送コントローラ４１は、以下に述べるような所定の除外条件を満たすＦＯＵＰ９０が回収対象である場合に、上述の置き取り制御を実行しないようにすることができる。
【００５６】
例えば、搬送コントローラ４１は、ＦＯＵＰ９０（図４〜図９の例では、ＦＯＵＰ９０Ａ又はＦＯＵＰ９０Ｂ）の搬送に関する優先度が予め定められた基準より高い場合、ＦＯＵＰ９０が回収待ちの状態となった時点で、当該ＦＯＵＰ９０の回収指令を出力してもよい。例えば、上位コントローラ４０からの搬送要求に上記優先度の情報を含めるようにすることで、搬送コントローラ４１は、回収対象のＦＯＵＰ９０の優先度を把握することができる。また、このような優先度としては、例えば「１：優先度低」、「２：優先度中」、「３：優先度高」等の予め定められた段階値を用いることができる。そして、搬送コントローラ４１は、回収対象のＦＯＵＰ９０の優先度が予め定められた基準（例えば「２」と「３」の間）よりも高い場合（この場合、優先度が「３」の場合）、当該ＦＯＵＰ９０が回収待ちの状態となった時点で直ちに当該ＦＯＵＰ９０の回収指令を出力する。
【００５７】
例えば、各半導体処理装置１００による一連の加工処理が正常に実行されるか否かを検証するための試作品としての半導体ウェアを格納したＦＯＵＰ９０（以下「試作品ＦＯＵＰ」）については、いち早く検証結果を把握するために、他のＦＯＵＰ９０よりも優先させて工程間搬送を行うことが好ましい。従って、このような試作品ＦＯＵＰの優先度を上述した「３」に設定することで、試作品ＦＯＵＰを置き取り制御の実行対象外とすることができる。これにより、置き取り制御によって試作品ＦＯＵＰの回収タイミングが遅れてしまうことを防ぐことができる。
【００５８】
また、搬送コントローラ４１は、ＦＯＵＰ９０（図４〜図９の例では、ＦＯＵＰ９０Ａ又はＦＯＵＰ９０Ｂ）の次の搬送先が予め定められた特定の搬送先である場合、ＦＯＵＰ９０が回収待ちの状態となった時点で、当該ＦＯＵＰ９０の回収指令を出力してもよい。例えば、次の搬送先がＦＯＵＰ９０を一時的に保管するためのストッカー等である場合、当該ＦＯＵＰ９０の搬送を急ぐ必要はあまりない。一方、次の搬送先が半導体処理装置１００（当該半導体処理装置１００の装置ポート１０１）である場合、ＦＯＵＰ９０の搬送を急いだ方が良い場合がある。例えば、一の半導体処理装置１００での加工処理による半導体ウェハの化学的な変化が速い場合等には、当該一の半導体処理装置１００での加工処理後一定期間以内に、次工程の加工処理を実行する必要がある。そこで、上述した特定の搬送先として、加工処理の着手を急ぐ必要がある半導体処理装置１００の装置ポート１０１を設定することで、当該装置ポート１０１に搬送されるＦＯＵＰ９０を置き取り制御の実行対象外とし、当該ＦＯＵＰ９０を速やかに次の搬送先に搬送することができる。
【００５９】
以上のように構成された搬送システム１では、搬送コントローラ４１によって、一例として図１０に示すような搬送方法が実施される。なお、図１０に示す搬送方法の説明においては、回収対象のＦＯＵＰのことを「第１ＦＯＵＰ」と表し、新たに供給されるＦＯＵＰのことを「第２ＦＯＵＰ」と表す。図４〜図７の例では、ＦＯＵＰ９０Ａが第１ＦＯＵＰに該当し、ＦＯＵＰ９０Ｃが第２ＦＯＵＰに該当する。また、図８及び図９の例では、ＦＯＵＰ９０Ｂが第１ＦＯＵＰに該当し、ＦＯＵＰ９０Ｄが第２ＦＯＵＰに該当する。
【００６０】
まず、搬送コントローラ４１は、下流側ポート（図４〜図７の例では第２保管部３１Ｂであり、図８及び図９の例では装置ポート１０１Ａ）に載置された第１ＦＯＵＰが回収待ちの状態となったことを検知する（ステップＳ１、第１ステップ）。具体的には、搬送コントローラ４１は、上位コントローラ４０から第１ＦＯＵＰに対する回収要求を受け付けているか否かによって、第１ＦＯＵＰが回収待ちの状態であるか否かを検知できる。
【００６１】
続いて、搬送コントローラ４１は、第１ＦＯＵＰが置き取り制御の除外対象か否かを判定する（ステップＳ２）。具体的には、搬送コントローラ４１は、上述したように、第１ＦＯＵＰの搬送に関する優先度又は搬送先に基づいて、第１ＦＯＵＰを置き取り制御の実行対象外とするか否かを判定することができる。第１ＦＯＵＰが置き取り制御の除外対象であると判定された場合（ステップＳ２：ＹＥＳ）、搬送コントローラ４１は、置き取り制御（ステップＳ４〜Ｓ９）を実行することなく、第１ＦＯＵＰの回収指令を出力する（ステップＳ１０）。
【００６２】
一方、第１ＦＯＵＰが置き取り制御の除外対象でないと判定された場合（ステップＳ２：ＮＯ）、搬送コントローラ４１は、上流側ポート（図４〜図７の例では第１保管部３１Ａ又は装置ポート１０１Ｂであり、図８及び図９の例では第１保管部３１Ａ）が空であるか否か（すなわち、ＦＯＵＰ９０が載置されているか否か）を判定する（ステップＳ３、第２ステップ）。上流側ポートが空でないと判定された場合（ステップＳ３：ＮＯ）、置き取り動作が成立し得る状況ではないため、搬送コントローラ４１は、置き取り制御（ステップＳ４〜Ｓ９）を実行することなく、第１ＦＯＵＰの回収指令を出力する（ステップＳ１０）。
【００６３】
一方、上流側ポートが空であると判定された場合（ステップＳ３：ＹＥＳ）、置き取り動作が成立し得る状況であるため、搬送コントローラ４１は、置き取り制御（ステップＳ４〜Ｓ９、第３ステップ）を実行する。まず、搬送コントローラ４１は、第１のタイマを起動する（ステップＳ４）。そして、搬送コントローラ４１は、第１のタイマを起動してから待機時間Ｔ１を経過するまで、上流側ポートへの第２ＦＯＵＰの搬送を指示する搬送要求（上流側搬送要求）を上位コントローラ４０から受け付けたか否かを監視する（ステップＳ５，Ｓ６）。第１のタイマを起動してから待機時間Ｔ１を経過するまでに上流側搬送要求を受け付けなかった場合（ステップＳ６：ＹＥＳ）、搬送コントローラ４１は、第１ＦＯＵＰの回収タイミングの遅延に起因する搬送効率の悪化を抑制すべく、第１ＦＯＵＰの回収指令を出力する（ステップＳ１０）。
【００６４】
一方、第１のタイマを起動してから待機時間Ｔ１を経過するまでに上流側搬送要求を受け付けた場合（ステップＳ５：ＹＥＳ）、搬送コントローラ４１は、第２のタイマを起動する（ステップＳ７）。なお、搬送コントローラ４１が上流側搬送要求を受け取った時点では、第２ＦＯＵＰは具体的に特定されていない。第２ＦＯＵＰは、搬送コントローラ４１が上流側搬送要求に基づいて搬送指令を生成した時点で、具体的に特定される。上述の通り、図４〜図７の例ではＦＯＵＰ９０Ｃが第２ＦＯＵＰとなり、図８及び図９の例ではＦＯＵＰ９０Ｄが第２ＦＯＵＰとなる。そして、搬送コントローラ４１は、第２のタイマを起動してから待機時間Ｔ２を経過するまで、上流側搬送要求に基づいて生成された搬送指令の搬送対象である第２ＦＯＵＰが搬送状態となったか否かを監視する（ステップＳ８，Ｓ９）。第２のタイマを起動してから待機時間Ｔ２を経過するまでに第２ＦＯＵＰが搬送状態とならなかった場合（ステップＳ９：ＹＥＳ）、搬送コントローラ４１は、第１ＦＯＵＰの回収タイミングの遅延に起因する搬送効率の悪化を抑制すべく、第１ＦＯＵＰの回収指令を出力する（ステップＳ１０）。
【００６５】
一方、第２のタイマを起動してから待機時間Ｔ２を経過するまでに第２ＦＯＵＰが搬送状態となった場合（ステップＳ８：ＹＥＳ）、搬送コントローラ４１は、第２ＦＯＵＰを搬送する天井搬送車２０が予め定められた待機時間が経過するまでに把握されたとして、第１ＦＯＵＰの回収指令を出力する（ステップＳ１０）。
【００６６】
以上説明したように、搬送システム１では、搬送コントローラ４１は、予め定められた待機時間内で、上流側ポートに第２ＦＯＵＰを搬送する天井搬送車２０が把握されるまで、下流側ポート上で回収待ちの状態になっている第１ＦＯＵＰの回収を指示する搬送指令（回収指令）の出力を待機する。このように、上流側ポートに第２ＦＯＵＰを搬送する天井搬送車２０が把握された後に第１ＦＯＵＰの回収指令を出力することで、第２ＦＯＵＰを搬送する天井搬送車２０に第１ＦＯＵＰの回収指令が割り付けられる可能性を高めることができる。その結果、第２ＦＯＵＰを上流側ポートに載置した天井搬送車２０によって第１ＦＯＵＰが回収される置き取り動作が成立する可能性を高めることができる。また、回収指令の出力を待機可能な待機時間が予め定められていることにより、回収指令の出力を待機し続けることによって搬送効率が悪化することを抑制することができる。従って、搬送システム１によれば、搬送効率の悪化を抑制しつつ置き取り動作が成立する可能性を高めることで、天井搬送車２０の運用効率を向上させることができる。
【００６７】
搬送システム１では、第１ＦＯＵＰが回収待ちの状態となってから上流側ポートへの第２ＦＯＵＰの搬送を指示する搬送要求を受け付けるまでの時間が待機時間Ｔ１を超過した場合に回収指令を出力する。これにより、回収指令の出力を待機し続けることによる搬送効率の悪化を適切に抑制することができる。
【００６８】
搬送システム１では、上流側ポートへの第２ＦＯＵＰの搬送を指示する搬送要求を上位コントローラ４０から受け付けてから第２ＦＯＵＰが搬送状態となるまでの時間が待機時間Ｔ２を超過した場合に回収指令を出力する。これにより、回収指令の出力を待機し続けることによる搬送効率の悪化を適切に抑制することができる。
【００６９】
搬送システム１によれば、ローカル台車３２によって上流側ポート（第１保管部３１Ａ又は装置ポート１０１）から下流側ポート（装置ポート１０１又は第２保管部３１Ｂ）へのＦＯＵＰ９０の移載を行うことで、置き取り動作を実行可能な状況を意図的に生成することができる。
【００７０】
搬送システム１では、搬送コントローラ４１は、第１ＦＯＵＰの搬送に関する優先度が予め定められた基準より高い場合、第１ＦＯＵＰが回収待ちの状態となった時点で、第１ＦＯＵＰの回収指令を出力する。これにより、搬送に関する優先度が高いＦＯＵＰ９０を、置き取り制御の実行対象から除外し、速やかに搬送することができる。これにより、第１ＦＯＵＰに対して要求される要件を満たした上で、置き取り制御を適切に実行することができる。
【００７１】
搬送システム１では、搬送コントローラ４１は、第１ＦＯＵＰの次の搬送先が予め定められた特定の搬送先である場合、第１ＦＯＵＰが回収待ちの状態となった時点で、第１ＦＯＵＰの回収指令を出力する。これにより、特定の半導体処理装置の装置ポート等の加工処理の着手を急ぐ必要のある搬送先を予め特定の搬送先として定めておくことで、このような特定の搬送先を次の搬送先とする被搬送物を、置き取り制御の実行対象から除外し、速やかに搬送することができる。これにより、第１ＦＯＵＰに要求される要件を満たした上で、置き取り制御を適切に実行することができる。
【００７２】
以上、本開示の一形態について説明したが、本開示は、上記形態に限定されない。例えば、図１及び図２に示した保管装置３０の構成は一例に過ぎず、保管部３１及びローカル台車３２の配置及び構成は任意に設計することができる。また、１つの半導体処理装置１００に設けられる装置ポート１０１の個数は上記実施形態で例示した２つに限られず、１つの場合や３つ以上の場合もある。また、１つの保管装置３０に設けられる保管部３１の個数も２つに限られず、１つの場合や３つ以上の場合もある。
【００７３】
また、図３に示した制御構成は一例であり、各コントローラの制御系統は、必ずしも図３に示す階層構造に一致していなくともよい。例えば、保管装置３０毎の保管装置コントローラ４３は、複数の保管装置３０に共通の単一のコントローラとして構成されてもよい。同様に、搬送コントローラ４１、天井搬送車コントローラ４２、及び保管装置コントローラ４３は、単一のコントローラとして構成されてもよい。
【００７４】
また、本開示の一形態に係る搬送システムが搬送する被搬送物は、複数の半導体ウェハが収容されたＦＯＵＰに限定されず、ガラスウェハ、レチクル等が収容されたその他の容器であってもよい。また、本開示の一形態に係る搬送システムは、半導体製造工場に限定されず、その他の施設にも適用可能である。また、本開示の一形態に係る搬送システムで被搬送物を搬送する搬送車は、天井搬送車に限定されず、例えば、ＦＯＵＰを載置した状態で軌道を走行することでＦＯＵＰを搬送する搬送車、或いは床面上に設けられた誘導線に沿ってＦＯＵＰを搬送する無人走行車等であってもよい。
【符号の説明】
【００７５】
１…搬送システム、１０…軌道、２０…天井搬送車、３０…保管装置、３１…保管部、３１Ａ…第１保管部、３１Ｂ…第２保管部、３２…ローカル台車（移載機構）、４１…搬送コントローラ、９０…ＦＯＵＰ（被搬送物）、９０Ａ，９０Ｂ…ＦＯＵＰ（第１の被搬送物）、９０Ｃ，９０Ｄ…ＦＯＵＰ（第２の被搬送物）、１０１，１０１Ａ，１０１Ｂ…装置ポート。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【国際調査報告】
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