(57)【要約】  少なくとも一つの光源と、被測定流体を入れるための測定セルと、前記光源の光を前記測定セル内に入射する入射光と前記測定セル内に入射しない非入射光とに分岐するための分岐器と、前記入射光が前記測定セルを通過した透過光を検出するための透過光検出器と、前記非入射光を検出するための非入射光検出器と、前記非入射光検出器の検出信号を用いて前記透過光検出器の検出信号を補正する演算部と、を備える濃度測定装置。【選択図】  図１
2017029791.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも一つの光源と、
被測定流体を入れるための測定セルと、
前記光源の光を前記測定セル内に入射する入射光と前記測定セル内に入射しない非入射光とに分岐するための分岐器と、
前記入射光が前記測定セルを通過した透過光を検出するための透過光検出器と、
前記非入射光を検出するための非入射光検出器と、
前記非入射光検出器の検出信号を用いて前記透過光検出器の検出信号を補正する演算部と、
を備える濃度測定装置。
【請求項２】
前記光源は、其々が異なる波長の前記光を発する複数の光源を含み、
前記複数の光源が発する異なる複数の波長の前記光を前記分岐器で分岐させる前に合波する少なくとも一つの合波器を更に備える、請求項１に記載の濃度測定装置。
【請求項３】
其々が異なる波長の光を発する複数の光源と、
被測定流体を入れるための測定セルと、
前記複数の光源が発する複数の異なる波長の前記光を合波する少なくとも一つの合波器と、
合波された前記光が前記測定セルを通過した透過光を検出するための透過光検出器と、
前記合波器に設けられ、前記光源の光の一部を、前記測定セルに入射しない非入射光として取り出す非入射光検出口と、
前記非入射光検出口の検出信号を用いて前記透過光検出器の検出信号を補正する演算部と、
を備える濃度測定装置。
【請求項４】
前記非入射光検出口には、前記非入射光を通すためのスリットがさらに設けられている、請求項３に記載の濃度測定装置。
【請求項５】
前記演算部が下記式に基づく演算処理により前記透過光検出器の検出信号を補正する、請求項１又は３に記載の濃度測定装置。
Ｉｃｏｒ＝Ｉｃｅｌｌ×（Ｉｒｅｆ，０／Ｉｒｅｆ）
ただし、上式において、Ｉｃｏｒは補正された前記透過光検出器の光強度、Ｉｒｅｆ，０は前記非入射光検出器で検出された前記非入射光の初期強度、Ｉｃｅｌｌは前記透過光検出器で検出された前記透過光の測定時の光強度、Ｉｒｅｆは前記非入射光検出器で検出された前記非入射光の測定時の光強度である。
【請求項６】
前記複数の光源の其々に異なる周波数の駆動電流を流す発振回路装置を更に備える請求項２又は３に記載の濃度測定装置。
【請求項７】
前記演算部による演算処理が、前記透過光検出器の検出信号を、高速フーリエ変換を用いて周波数解析する処理を含む、請求項６に記載の濃度測定装置。
【請求項８】
前記演算部による演算処理が、前記非入射光の検出信号を、高速フーリエ変換を用いて周波数解析する処理を含む、請求項６に記載の濃度測定装置。
【請求項９】
前記光源が紫外光を発光する発光素子を含む、請求項１に記載の濃度測定装置。
【請求項１０】
前記演算部は、前記非入射光検出器の検出信号に変化が無い場合は、前記透過光検出器の検出信号を補正しない、請求項１に記載の濃度測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、吸光光度法の原理に基づいてガス濃度を測定するための濃度測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体製造装置に有機金属（ＭＯ）ガス等の原料ガスを供給するガス供給ラインに組み込まれ、ガス供給ライン中のガスの濃度を測定する濃度測定装置が知られている。【０００３】
この種の濃度測定装置では、ガス供給ラインに設けられた測定セルに所定波長の光を光源より入射し、測定セル内を通過する際にガスによる吸収を受けた光を光検出器で検出することにより吸光度を測定し、吸光度から濃度を求めている。【０００４】
しかしながら、温度等周辺環境の影響や、光源の発光強度や光検出器（受光素子）の受光強度のゆらぎ等により測定濃度に誤差が生じる。測定精度を維持するために校正が必要であるが、半導体製造装置のガス供給ラインはコンタミネーションの混入を避けるため外部と接触を避けつつ校正する必要がある。【０００５】
そのため、被測定流体を流す測定用セルと、この測定用セルと同等の特性を有して校正用流体を流す校正用セルとを、両セルのうちの一つのセルを選択的に切り替えて、光を投光する光源と、前記セル内を通過した光を受光する受光器とを有するインライン式濃度測定装置が提案されている（例えば特許文献１等）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０００−２０６０４５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上記従来の濃度測定装置は、測定用セルと校正用セルとに同一の光源及び同一の受光器を用いる必要がある上、測定するセルの切換が必要となるため、構造が複雑となり、リアルタイムでの測定ができないという問題がある。【０００８】
そこで本発明は、構造が複雑にならずに、リアルタイムで測定濃度の誤差を精度よく補正することができる濃度測定装置を提供することを主たる目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するため、本発明に係る濃度測定装置の第１の態様は、少なくとも一つの光源と、被測定流体を入れるための測定セルと、前記光源の光を前記測定セル内に入射する入射光と前記測定セル内に入射しない非入射光とに分岐させる分岐器と、前記入射光が前記測定セルを通過した透過光を検出する透過光検出器と、前記非入射光を検出する非入射光検出器と、前記非入射光検出器の検出信号を用いて前記透過光検出器の検出信号を補正する演算部と、を備える。【００１０】
また、本発明に係る濃度測定装置の第２の態様は、上記第１の態様において、前記光源が、其々が異なる波長の光を発する複数の光源を含み、前記複数の発光素子が発する異なる複数の波長の光を、前記分岐器で分岐させる前に合波する少なくとも一つの合波器を更に備える。【００１１】
また、本発明に係る濃度測定装置の第３の態様は、其々が異なる波長の光を発する複数の光源と、被測定流体を入れるための測定セルと、前記複数の光源が発する複数の異なる波長の前記光を合波する少なくとも一つの合波器と、合波された前記光が前記測定セルを通過した透過光を検出するための透過光検出器と、前記合波器に設けられ、前記光源の光の一部を、前記測定セルに入射しない非入射光として取り出す非入射光検出口と、前記非入射光検出口の検出信号を用いて前記透過光検出器の検出信号を補正する演算部と、を備える。【００１２】
本発明に係る濃度測定装置の第４の態様は、上記第３の態様において、前記非入射光検出口に、前記非入射光を通すためのスリットがさらに設けられる。【００１３】
本発明に係る濃度測定装置の第５の態様は、上記第１又は第３の態様において、前記演算部が、下記式に基づく演算処理により前記透過光検出器の検出信号を補正する。
Ｉｃｏｒ＝Ｉｃｅｌｌ×（Ｉｒｅｆ，０／Ｉｒｅｆ）
ただし、上式において、Ｉｃｏｒは補正された前記透過光検出器の光強度、Ｉｒｅｆ，０は前記非入射光検出器で検出された前記非入射光の初期強度、Ｉｃｅｌｌは前記透過光検出器で検出された測定時の光強度、Ｉｒｅｆは前記非入射光検出器で検出された測定時の光強度である。【００１４】
本発明に係る濃度測定装置の第６の態様は、上記第２又は第３の態様において、前記複数の光源の其々に異なる周波数の駆動電流を流す発振回路装置を備える。【００１５】
本発明に係る濃度測定装置の第７の態様は、上記第６の態様において、前記演算部による演算処理が、前記透過光検出器の検出信号を、高速フーリエ変換を用いて周波数解析する処理を含む。【００１６】
本発明に係る濃度測定装置の第８の態様は、上記第６の態様において、前記演算部による演算処理が、前記非入射光の検出信号を、高速フーリエ変換を用いて周波数解析する処理を含む。【００１７】
本発明に係る濃度測定装置の第９の態様は、上記第１の態様において、前記光源が紫外光を発光する光源を含む。【００１８】
本発明に係る濃度測定装置の第１０の態様は、上記第１の態様において、前記演算部が、前記非入射光検出器の検出信号に変化が無い場合は、前記透過光検出器の検出信号を補正しない。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、校正用セルが不要であり、前記非入射光の検出信号を用いて透過光検出器の検出信号を補正することにより、リアルタイムで測定濃度を補正し、測定精度を維持することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明に係る濃度測定装置の第１実施形態を示す概略構成図である。
【図２】波長の異なる複数の光源の其々に、異なる周波数の駆動電流を流した場合に生じる光の波形を示す波形図である。
【図３】図２の異なる波長をもつ複数の波形を合波器によって合波した光の波形を示す波形図である。
【図４】図３の波形データを高速フーリエ変換により周波数解析した後の振幅スペクトルを示すスペクトル図である。
【図５】本発明に係る濃度測定装置の第２実施形態を示す概略構成図である。
【図６】前記第２実施形態の構成要素である合波器の一つの内部構造を示す拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
本発明に係る濃度測定装置の第１実施形態について、以下に図１〜図４を参照して説明する。
【００２２】
濃度測定装置１は、図１を参照すれば、被測定流体を流すための測定セル４と、光源１２〜１５と、光源１２〜１５の光を測定セル４内に入射する入射光Ｌ１と測定セル４内に入射しない非入射光Ｌ２とに分岐する分岐器１６と、測定セル４を通過した透過光を検出する透過光検出器６と、非入射光Ｌ２を検出する非入射光検出器７と、非入射光検出器７の検出信号の変化を用いて透過光検出器６の検出信号を補正する演算部８ａと、を備える。
【００２３】
測定セル４は、両端に対向配置された光入射窓３と光出射窓５と、被測定流体の流入口４ａ及び流出口４ｂとを備えている。光入射窓３及び光出射窓５は、紫外光等に対しても耐性を有し、機械的・化学的に安定なサファイアガラスが好適に用いられるが、他の安定な材料、例えば石英ガラスも利用され得る。
【００２４】
光源１２〜１５は、其々異なる波長の光を発生させるＬＥＤであり、其々に異なる周波数の駆動電流が流される。後述するように、透過光検出器６及び非入射光検出器７が波長の違いを検知できないため、光源１２〜１５の其々に異なる周波数の駆動電流を流すことにより、透過光検出器６及び非入射光検出器７が検出した検出信号から、異なる波長の光源１２〜１５を区別できるようにしている。
【００２５】
図示例で、光源１２の光の波長は３６５ｎｍ、光源１３の光の波長は３１０ｎｍ、光源１４の光の波長は２８０ｎｍ、光源１５の光の波長は２５５ｎｍであり、光源１２の駆動電流の周波数は２１６Ｈｚ，光源１３の駆動電流の周波数は１９２Ｈｚ、光源１４の駆動電流の周波数は１６８Ｈｚ、光源１５の駆動電流の周波数は１４４Ｈｚである。図２は、光源１２〜１５の各波形を示している。
【００２６】
光源１２〜１５が発する複数の波長の光は、ＷＤＭ（波長分割多重方式）の合波器１７〜１９で其々合波される。合波器１７は、光源１２の光と光源１３の光を合波して合波光Ａを出力する。合波器１８、は合波光Ａに光源１４の光を合波して合波光Ｂを出力する。合波器１９は、合波光Ｂに光源１５の光を合波して合波光Ｃとする。従って、合波光Ｃには、４つの異なる波長が含まれている。図３は、フォトダイオードで検出した合波光Ｃの波形を示している。
【００２７】
合波光Ｃは、光ファイバー２を通じて導光され、図示しないコリメーターを介して平行光とされて、光入射窓３を透過し、測定セル４内に入射される。符号２０は、光源１２〜１５の各々に異なる周波数の駆動電流を流す発振回路装置である。
【００２８】
測定セル４を通過した光は、出射窓５を透過して透過光検出器６で受光される。透過光検出器６は、受光素子として、フォトダイオード、フォトトランジスター等の光センサーを備える。透過光検出器６は、測定セル４を通過した透過光が照射されると、透過光に比例した電圧の検出信号を、配線６ａを通じて制御演算部８に出力する。
【００２９】
図示例においては測定セル４に透過光検出器６が設置されているが、測定セル内のガスから透過光検出器６の受光素子へ伝わる熱の影響を回避するため、測定セル４の透過光を、測定セル４の光出射窓５の外側に接続されたコリメーター及び光ファイバー（図示せず。）を介して、測定セル４から離れた位置に配置した受光素子で受光させることもできる。
【００３０】
分岐器１６は、合波Ｃの光の一部（例えば２５〜３５％の所定割合）を、測定セル４内に入射しない非入射光Ｌ２として、分岐させる。分岐した非入射光Ｌ２は、光ファイバー２１により伝送されて、非入射光検出器７で受光される。非入射光検出器７の検出信号は、電気信号として電気配線２２を通じて制御演算部８に出力される。非入射光検出器７は、透過光検出器６と同様の受光素子を備えることができる。
【００３１】
制御演算部８の演算部８ａでは、吸光光度法に基づき、透過光検出器６によって検出された光の検出信号から、被測定流体の濃度を演算する。制御演算部８は、算出された濃度を液晶パネル等の表示部９に表示させる。
【００３２】
透過光検出器６は、複数の周波数が合波された光を検出するが、合波後の光の検出信号は、Ａ／Ｄ変換されてデジタル信号として演算部８ａに伝送され、演算部８ａで高速フーリエ変換により周波数解析され、各周波数成分の振幅スペクトルに変換される。図４は、高速フーリエ変換による周波数解析後の振幅スペクトルを表すスペクトル図である。図４において、横軸の周波数は駆動電流の周波数を示し、縦軸の振幅は光強度を示している。図４は、吸光特性を持つ被測定流体を流していない状態、或いは、光の吸収の無い窒素ガスを流している状態のように、光の吸収が無い状態（以下、「無吸収状態」という。）を示している。被測定流体としての有機金属材料を測定セル４に流すと、図４のスペクトル図において吸収がある波長の周波数の振幅が減少する。
【００３３】
吸収がある波長の振幅スペクトルの振幅の変化から、ランベルト・ベールの法則に基づき、吸光度Ａλを求める下記式（１）により、吸光度Ａλを算出することができる。
【００３４】
Ａλ＝ｌｏｇ１０（Ｉ０／Ｉ）＝αＬＣ  ・・・・（１）
但し、Ｉ０は測定セルに入射する前記入射光の強度、Ｉは測定セルを通過した透過光の強度、αはモル吸光係数（ｍ２／ｍｏｌ）、Ｌは測定セルの光路長（ｍ）、Ｃは濃度（ｍｏｌ／ｍ３）である。モル吸光係数αは物質によって決まる係数である。
【００３５】
即ち、上式（１）の（Ｉ０／Ｉ）を、図４に示した振幅スペクトルの無吸収状態の振幅のピーク値（Ｐ０）と振幅スペクトルの濃度測定時の振幅のピーク値（Ｐ）との変化（Ｐ０／Ｐ）と看做して、吸光度Ａλを求めることができる。吸光度Ａλが求まれば、上式（１）から被測定流体の濃度Ｃを求めることができる。
【００３６】
振幅スペクトルの前記無吸収状態の振幅のピーク値（Ｐ０）は、駆動電流の周波数ごとに制御演算部８内のメモリ等に予め記憶され得る。
【００３７】
合波光が分岐された非入射光Ｌ２の非入射光検出器７による検出信号も、Ａ／Ｄ変換されてデジタル信号として演算部８ａに伝送され、演算部８ａにおいて高速フーリエ変換により周波数解析されて、各周波数成分の振幅スペクトルに変換される。振幅スペクトルの振幅のピーク値の初期値（Ｓ０）は、周波数ごとに制御演算部８内のメモリ等に記録され、後述する濃度補正に用いられる。
【００３８】
非入射光検出器７で検出された非入射光Ｌ２は、測定セル４を通過していないため、被測定流体による吸収を受けていない。非入射光検出器７で検出された光の初期強度（Ｉｒｅｆ，０）から経時後の測定時における非入射光検出器７で検出された光強度（Ｉｒｅｆ）への変化率（Ｉｒｅｆ／Ｉｒｅｆ，０）は、温度を代表とする周囲環境による変化、光学素子の経年劣化、光源の駆動安定迄の発光強度変化、光入射光検出器の受光強度変化等によるものと考えられる。従って、前記変化率（Ｉｒｅｆ／Ｉｒｅｆ，０）の逆数（Ｉｒｅｆ，０／Ｉｒｅｆ）を、透過光検出器６の測定時の光強度（Ｉｃｅｌｌ）に乗算することにより、透過光検出器６の検出信号を補正することができる。
【００３９】
従って、演算部８ａは、下記式（２）に基づいて透過光検出器６の検出信号を補正することができる。
Ｉｃｏｒ＝Ｉｃｅｌｌ×（Ｉｒｅｆ，０／Ｉｒｅｆ）    ・・・  （２）
上式（２）において、Ｉｃｏｒは補正された透過光検出器６の光強度、Ｉｒｅｆ，０は非入射光検出器７で検出された非入射光Ｌ２の初期強度、Ｉｃｅｌｌは透過光検出器６で検出された測定時の光強度、Ｉｒｅｆは非入射光検出器７で検出された測定時の光強度である。なお、初期強度Ｉｒｅｆ，０は、上記した振幅のピーク値（Ｐ０）の測定と同時期に測定され得る。
【００４０】
なお、構成機器の温度依存性及び被測定流体の温度変動があるため、適宜箇所に温度検出器を設置し、測定した温度により出力値（濃度測定値）が修正され得る。
【００４１】
本実施形態においては、上記したように、非入射光検出器７の検出信号は、高速フーリエ変換により振幅スペクトルに変換される。非入射光検出器７の振幅スペクトルのピーク値の初期値（Ｓ０）は上記したようにメモリ等に記憶されている。時間経過による光学素子の経年劣化等により非入射光検出器７で検出する光強度が低下すると、振幅スペクトルのピーク値（Ｓ）が低下する。この変化率（Ｓ／Ｓ０）は、上記式（２）に示された光強度の変化率（Ｉｒｅｆ／Ｉｒｅｆ，０）と看做すことができる。従って、透過光検出器６で検出された光強度（Ｉｃｅｌｌ）に変化率（Ｓ／Ｓ０）の逆数（Ｓ０／Ｓ）を乗算することにより、補正された透過光検出器６の光強度（Ｉｃｏｒ）が得られる。
【００４２】
透過光検出器６で検出された光強度（Ｉｃｅｌｌ）を、上記した振幅スペクトルの濃度測定時の振幅のピーク値（Ｐ）で置き換え、上記式（１）に代入すると、下記式（３）により補正された濃度を計算することができる。
【００４３】
ｌｏｇ１０（Ｐ０／（Ｐ×（Ｓ０／Ｓ）））＝αＬＣ  ・・・・（３）
本実施形態では、４波長の其々について補正がなされ得る。ガスの種類により吸収スペクトルが異なるため、吸光のある波長と吸光のない波長を組合せることにより、より精度の高い濃度測定が可能となる。測定するガス種によっては、全ての波長の其々について補正するのではなく、複数波長のうちの必要な波長のみ、例えば４波長のうち２種類の波長についてのみ補正することもできる。補正された濃度は、表示部９に表示され得る。
【００４４】
演算部８ａは、非入射光検出器７の検出信号に変化が無い場合は、透過光検出器６の検出信号を補正しないこととすることができる。ここで、検出信号に変化が無い場合とは、検出信号に変動が無い場合の他、検出信号の変動が一定の範囲（許容範囲）内である場合がある。
【００４５】
なお、構成機器の温度依存性及び被測定流体の温度変動があるため、適宜箇所に温度検出器を設置し、測定した温度により出力値（濃度測定値）を修正することができる。
【００４６】
上記構成を有する濃度測定装置によれば、校正用セルを別途設けることが不要であり、非入射光検出器７の検出信号の変化を用いて透過光検出器の検出信号を補正することにより、リアルタイムで測定濃度を補正して、測定精度を長期間維持することができる。
【００４７】
また、補正方法をプログラム処理によりソフト的に定義しており、プログラムの書換えにより補正プログラムを修正できるため、補正の拡張性が高い。また、透過光検出器６と非入射光検出器７を同型の回路を用いて同じタイミングで測定することにより、逐次強度補正をかけることができ、補正精度を高めることができる。
【００４８】
次に、本発明の第２実施形態について、図５及び図６を参照して説明する。なお、上記第１実施形態と同様の構成要素については、同符号を付して詳細な説明を省略する。図５は、第２実施形態の濃度測定装置を示し、図６は、図５に示された合波器１７Ａの内部構造を示す拡大図である。
【００４９】
図５を参照して、第２実施形態に備えられる合波器１７Ａは、光源１２、１３から来た光Ｌ１２、Ｌ１３を光学フィルタ１７ｆによって合波する構成となっており、追加する側の光Ｌ１３は、光学フィルタ１７ｆに対して４５度傾けた状態で光Ｌ１３を当てることで、９０度曲がって、別の波長の光Ｌ１２と合波される。符号１７ｃは、コリメータレンズ等の集光レンズを示す。
【００５０】
この際、光学フィルタ１７ｆは、光Ｌ１３の全ての光を反射せず、そのうちのいくらかの光Ｌ１３ｍは光学フィルタ１７ｆを透過して直進する。同様に、合波光Ａの元になる光Ｌ１２は、光学フィルタ１７ｆを透過して直進するが、１００％透過せずに、そのうちのいくらかの光Ｌ１２ｍは、光学フィルタ１７ｆによって、跳ね返される。この光学フィルタ１７ｆを直進する光Ｌ１３ｍ及び光学フィルタ１７ｆで跳ね返された光Ｌ１２ｍは参照光（測定セル４に入射しない非入射光）として、非入射光検出口１７ｄから取り出されて非入射光検出器７で検出される。
【００５１】
また、非入射光Ｌ２を合波器１７Ａから外に出す際、合波器１７Ａ内で散乱している光を排除するために、スリット１７ｓが非入射光検出口１７ｄに光入射側に設けられている。なお、合波器に設置する非入射光検出口は、合波器が複数ある場合は、どの合波器に設けても良いし、１つでも、複数でも良い。
【００５２】
合波器１７Ａの上記構成により、第２実施形態の濃度測定装置１Ａは、第１実施形態の濃度測定装置１が備えているような分岐器１６が不要になる。第２実施形態のその他の構成は、上記第１実施形態と同様であるので、詳細な説明を省略する。
【００５３】
本発明は、上記実施形態に限定解釈されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能である。例えば、測定に用いられる光は、紫外領域以外の波長領域の光も利用可能である。
【００５４】
また、光源は、ＬＥＤ以外の発光素子、例えばＬＤ（レーザーダイオード）を用いることもできる。透過光検出器６及び非入射光検出器７は、フォトダイオードに限らず、他の受光素子、例えばフォトトランジスターを用いることもできる。
【００５５】
また、上記第１実施形態では複数の異なる波長の合波光を光源に用いたが、単一波長の光源を利用することもでき、この場合、合波器や高速フーリエ変換は省略できる。
【００５６】
また、上記実施形態では、測定セルに被測定流体を流す構成を例示したが、被測定流体を収容した測定セルを封止して濃度を検出する構成とすることもできる。
【００５７】
さらに、上記実施形態では、非入射光検出器７の検出した非入射光Ｌ２の初期強度と測定時の光強度との変化を用いて透過光検出器６の検出信号を補正する例を示したが、補正の方法はこれに限らない。例えば、光強度変化の差分を加減算する方法、光強度を規格化する方法、或いは、光強度変化の時間に対する傾きを用いる方法を用いることもできる。
【符号の説明】
【００５８】
１，１Ａ  濃度測定装置
４  測定セル
６  透過光検出器
７  非入射光検出器
８ａ  演算部
１２，１３，１４，１５  光源
１６  分岐器
１７，１７Ａ，１８，１９  合波器
１７ｄ  非入射光検出口
１７ｓ  スリット
Ｇ  被測定流体
Ｌ１  入射光
Ｌ２  非入射光
【図１】
2017029791.tif 000003
【図２】
2017029791.tif 000004
【図３】
2017029791.tif 000005
【図４】
2017029791.tif 000006
【図５】
2017029791.tif 000007
【図６】
2017029791.tif 000008
【国際調査報告】
2017029791.tif 000009
2017029791.tif 000010
2017029791.tif 000011
2017029791.tif 000012
2017029791.tif 000013
2017029791.tif 000014