(57)【要約】  共振子において、アンカーロスを軽減することでＱ値を向上させることができる。  圧電振動部と、圧電振動部の周囲の少なくとも一部に設けられた保持部と、圧電振動部と、保持部との間に第１のノード生成部と、第１のノード生成部と、第１のノード生成部と対向する圧電振動部の領域とを接続する第１の接続腕と、第１のノード生成部と、保持部における、第１のノード生成部と対向する領域とを接続する第１の保持腕と、を備え、第１のノード生成部は、第１のノード生成部と圧電振動部とを第１の接続腕が接続する第１方向、及び第１方向に直交する第２方向に沿って、第１のノード生成部の中心をとおる２本の線それぞれに対して、略対称な形状である。
2017051573.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電振動部と、
前記圧電振動部の周囲の少なくとも一部に設けられた保持部と、
前記圧電振動部と、前記保持部との間に第１のノード生成部と、
前記第１のノード生成部と、前記第１のノード生成部と対向する前記圧電振動部の領域とを接続する第１の接続腕と、
前記第１のノード生成部と、前記保持部における、前記第１のノード生成部と対向する領域とを接続する第１の保持腕と、
を備え、
前記第１のノード生成部は、前記第１のノード生成部と前記圧電振動部とを前記第１の接続腕が接続する第１方向、及び前記第１方向に直交する第２方向に沿って、前記第１のノード生成部の中心をとおる２本の線それぞれに対して、略対称な形状である、
共振子。
【請求項２】
前記共振子は、
前記圧電振動部と前記保持部との間に、前記圧電振動部を挟んで前記第１のノード生成部と対向して設けられる第２のノード生成部と、
前記圧電振動部と前記第２のノード生成部とを接続する第２の接続腕と、
前記第２のノード生成部と前記保持部とを接続する第２の保持腕と、
をさらに備え、
前記第２のノード生成部は、第１方向、及び第２方向に沿って、前記第２のノード生成部の中心をとおる２本の線それぞれに対して、略対称な形状であることを特徴とする請求項１に記載の共振子。
【請求項３】
前記圧電振動部は、第１の電極、圧電薄膜、及び第２の電極が積層されて形成されており、
前記第１のノード生成部及び前記第２のノード生成部は、それぞれ、前記圧電振動部の積層方向における振動の変位が、その周辺より小さいノード領域を複数有し、
前記第１の保持腕は、前記第１のノード生成部における複数の前記ノード領域のいずれかにおいて、前記第１のノード生成部に接続し、
前記第２の保持腕は、前記第２のノード生成部における複数の前記ノード領域のいずれかにおいて、前記第２のノード生成部に接続することを特徴とする請求項２に記載の共振子。
【請求項４】
前記共振子は、
前記第１の保持腕、及び前記第２の保持腕を複数備え、
複数の前記第１の保持腕、及び複数の前記第２の保持腕は、複数の前記ノード領域のそれぞれと接続する、請求項３に記載の共振子。
【請求項５】
前記第１のノード生成部及び前記第２のノード生成部は、
略円形の形状であることを特徴とする請求項２〜３のいずれか一項に記載の共振子。
【請求項６】
前記第１のノード生成部及び前記第２のノード生成部は、
４辺の長さがほぼ等しい矩形の形状であることを特徴とする請求項２〜５いずれか一項に記載の共振子。
【請求項７】
前記第１の接続腕及び前記第２の接続腕の幅は、前記第１の保持腕及び前記第２の保持腕の幅よりも大きいことを特徴とする請求項２〜６いずれか一項に記載の共振子。
【請求項８】
前記第１の保持腕は、前記第１方向に沿った前記第１の接続腕の延長線上になく、
前記第２の保持腕は、前記第１方向に沿った前記第２の接続腕の延長線上にないことを特徴とする請求項２〜７いずれか一項に記載の共振子。
【請求項９】
請求項１〜８いずれか一項に記載の共振子と、当該共振子を間に挟む下蓋と上蓋とを備える共振装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は振動部が面内の振動モードで振動する共振子及び共振装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ  Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｓｙｓｔｅｍｓ）技術を用いた共振装置が例えばタイミングデバイスとして用いられている。この共振装置は、スマートフォンなどの電子機器内に組み込まれるプリント基板上に実装される。共振装置は、下側基板と、下側基板との間でキャビティを形成する上側基板と、下側基板及び上側基板の間でキャビティ内に配置された共振子と、を備えている。【０００３】
例えば特許文献１には、断面矩形の振動体において、該矩形の長辺の長さｂと短辺の長さａとの間の比ｂ／ａが特定の範囲に選択されることで、幅広がりモードを有効に励振することがきる共振子について開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】米国特許第５５４８１８０号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従来の共振子は、矩形の振動部（振動体）が保持腕によって保持部に接続される構成となっている。このような共振子の場合、振動部が保持腕に保持されることによって、振動が漏れてしまい、アンカーロスが発生する。この結果、共振子のＱ値の低下を招いてしまう。特許文献１に記載された共振子では、振動体の縦横比を最適化することで、振動体の振動方向に平行な辺の中央付近にノード点が形成される。しかしながら、振動に対して垂直な方向や振動体の厚み方向については、考慮されておらず、アンカーロスが依然として発生する。【０００６】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、共振子において、アンカーロスを軽減することでＱ値を向上させることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一側面に係る共振子は、圧電振動部と、圧電振動部の周囲の少なくとも一部に設けられた保持部と、圧電振動部と、保持部との間に第１のノード生成部と、第１のノード生成部と、第１のノード生成部と対向する圧電振動部の領域とを接続する第１の接続腕と、第１のノード生成部と、保持部における、第１のノード生成部と対向する領域とを接続する第１の保持腕と、を備え、第１のノード生成部は、第１のノード生成部と圧電振動部とを第１の接続腕が接続する第１方向、及び第１方向に直交する第２方向に沿って、第１のノード生成部の中心をとおる２本の線それぞれに対して、略対称な形状である。【０００８】
かかる共振子によると、圧電振動部における積層方向の振動に対するノード点を、ノード生成部上に生成することができる。これによって、振動部が保持部に保持されることによるアンカーロスが軽減し、Ｑ値を向上させることが可能になる。【０００９】
また、共振子は、圧電振動部と保持部との間に、圧電振動部を挟んで第１のノード生成部と対向して設けられる第２のノード生成部と、圧電振動部と第２のノード生成部とを接続する第２の接続腕と、第２のノード生成部と保持部とを接続する第２の保持腕と、をさらに備え、第２のノード生成部は、第１方向、及び第２方向に沿って、第２のノード生成部の中心をとおる２本の線それぞれに対して、略対称な形状であることが好ましい。特に、圧電振動部は、第１の電極、圧電薄膜、及び第２の電極が積層されて形成されており、第１のノード生成部及び第２のノード生成部は、それぞれ、圧電振動部の積層方向における振動の変位が、その周辺より小さいノード領域を複数有し、第１の保持腕は、第１のノード生成部における複数のノード領域のいずれかにおいて、第１のノード生成部に接続し、第２の保持腕は、第２のノード生成部における複数のノード領域のいずれかにおいて、第２のノード生成部に接続することが好ましい。【００１０】
また、第１のノード生成部及び第２のノード生成部は、略円形の形状であることが好ましい。また、第１のノード生成部及び第２のノード生成部は、４辺の長さがほぼ等しい矩形の形状であることが好ましい。また、第１の接続腕及び第２の接続腕の幅は、第１の保持腕及び第２の保持腕の幅よりも大きいことが好ましい。また、第１の保持腕は、第１方向に沿った第１の接続腕の延長線上になく、第２の保持腕は、第１方向に沿った第２の接続腕の延長線上にないことが好ましい。【００１１】
また、共振子は、第１の保持腕、及び第２の保持腕を複数備え、複数の第１の保持腕、及び複数の第２の保持腕は、複数のノード領域のそれぞれと接続することが好ましい。この場合、振動部が保持部に保持されることによるアンカーロスをより軽減することが可能になる。【００１２】
本発明の一側面に係る共振装置は、上記のいずれかに記載の共振子を備える。【００１３】
かかる共振装置によると、アンカーロスが軽減し、Ｑ値を向上させることが可能になる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、共振子において、アンカーロスを軽減することでＱ値を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の第１実施形態に係る共振装置の外観を概略的に示す斜視図である。
【図２】本発明の第１実施形態に係る共振装置の構造を概略的に示す分解斜視図である。
【図３】本発明の第１実施形態に係る下蓋の平面図である。
【図４】上側基板を取り外した本発明の第１実施形態に係る共振子の平面図である。
【図５】図１の断面図である。
【図６】本発明の第１実施形態に係る共振子の変位を示す図である。
【図７】本発明の第１実施形態に係る振動部の幅に対するノード生成部の半径と、保持腕と保持部の接続箇所での変位積分値値との相関を示すグラフである。
【図８】図４に対応し、上側基板を取り外した本発明の第２実施形態に係る共振子の平面図である。
【図９】図６に対応し、第２実施形態に係る共振子の変位を示す図である。
【図１０】図４に対応し、上側基板を取り外した本発明の第３実施形態に係る共振子の平面図である。
【図１１】図４に対応し、上側基板を取り外した本発明の第４実施形態に係る共振子の平面図である。
【図１２】図４に対応し、上側基板を取り外した本発明の第５実施形態に係る共振子の平面図である。
【図１３】図４に対応し、上側基板を取り外した本発明の第６実施形態に係る共振子の平面図である。
【図１４】図４に対応し、上側基板を取り外した本発明の第７実施形態に係る共振子の平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
［第１の実施形態］
以下、添付の図面を参照して本発明の第１実施形態について説明する。図１は、本発明の第１実施形態に係る共振装置１の外観を概略的に示す斜視図である。また、図２は、本発明の第１実施形態に係る共振装置１の構造を概略的に示す分解斜視図である。
【００１７】
この共振装置１は、共振子１０と、共振子１０を挟んで設けられた上蓋３０及び下蓋２０と、を備えている。すなわち、共振装置１は、下蓋２０と、共振子１０と、上蓋３０とがこの順で積層されて構成されている。
【００１８】
また、共振子１０と下蓋２０及び上蓋３０とが接合され、これにより、共振子１０が封止され、また、共振子１０の振動空間が形成される。共振子１０、下蓋２０及び上蓋３０は、それぞれＳｉ基板を用いて形成されている。そして、共振子１０、下蓋２０及び上蓋３０は、Ｓｉ基板同士が互いに接合されて、互いに接合される。共振子１０及び下蓋２０は、ＳＯＩ基板を用いて形成されてもよい。
【００１９】
共振子１０は、ＭＥＭＳ技術を用いて製造されるＭＥＭＳ共振子である。なお、共振子１０は水晶共振子であってもよい。
以下、共振装置１の各構成について詳細に説明する。
【００２０】
（１．上蓋３０）
上蓋３０はＸＹ平面に沿って平板状に広がっており、その裏面に例えば平たい直方体形状の凹部３１が形成されている。凹部３１は、側壁３３に囲まれており、共振子１０が振動する空間である振動空間の一部を形成する。
【００２１】
（２．下蓋２０）
下蓋２０は、ＸＹ平面に沿って設けられる矩形平板状の底板２２と、底板２２の周縁部からＺ軸方向（すなわち、下蓋２０と共振子１０との積層方向）に延びる側壁２３とを有する。下蓋２０には、共振子１０と対向する面において、底板２２の表面と側壁２３の内面とによって形成される凹部２１が設けられる。凹部２１は、共振子１０の振動空間の一部を形成する。上述した上蓋３０と下蓋２０とによって、この振動空間は気密に封止され、真空状態が維持される。この振動空間には、例えば不活性ガス等の気体が充填されてもよい。
【００２２】
図３は、本実施形態に係る下蓋２０の構造を概略的に示す平面図である。図３では、下蓋２０の長辺方向をＹ軸方向、短辺方向をＸ軸方向、厚さ方向をＺ軸方向とする。凹部２１は、共振子１０側から視た平面視において、矩形Ｓにより規定される空間（以下、単に「矩形Ｓ」とも呼ぶ。）と、２つの弓形Ｒにより規定される空間（以下、単に「弓形Ｒ」とも呼ぶ。）とから構成される形状となっている。なお、凹部２１は、矩形Ｓと弓形Ｒとの間が仕切られておらず、１つの連続した空間で形成されている。
【００２３】
矩形Ｓは、Ｙ軸方向に長辺Ｍ、Ｍ´を、Ｘ軸方向に短辺Ｎ、Ｎ´を有している。矩形Ｓは、後述する振動部１２０（図４参照）の面積よりも大きく、振動部１２０に対して相似な形状であることが望ましい。
【００２４】
弓形Ｒは、その弦において、矩形Ｓの１対の辺と接合する。弓形Ｒが接合する辺は、後述する保持部１４０（図４参照）において、保持腕１１２Ａ（１１３Ａ）、１１２Ｂ（１１３Ｂ）に接続される辺と、Ｚ軸方向において対向する辺である。本実施形態では、保持部１４０は、保持部１４０におけるＸ軸方向に平行な辺において、保持腕１１２Ａ（１１３Ａ）、１１２Ｂ（１１３Ｂ）を介して振動部１２０に接続する。従って、２つの弓形Ｒは、その弦が、矩形Ｓにおける、Ｘ軸方向に平行な２つの短辺（図３における点線Ｎ、Ｎ´）と一致するように位置する。
【００２５】
弓形Ｒの円弧が形成する円の半径は、後述するノード生成部１３０Ａ、１３０Ｂ（図４参照）の円弧が形成する円の半径よりも大きい。本実施形態において、弓形Ｒは、半円の形状である。
【００２６】
本実施形態において、弓形Ｒの弦は矩形Ｓの短辺に一致し、弓形Ｒは半円の形状であるため、弓形Ｒの円弧が形成する円の中心ＣＭ、ＣＮは、矩形Ｓの辺ＮＮ´上に位置する。また、円の中心ＣＭは、後述する保持部１４０における、保持腕１１２Ａと保持部１４０との接続箇所と、保持腕１１３Ａと保持部１４０との接続箇所とから等距離にある領域に対応する位置に設けられることが好ましい。また円の中心ＣＮは、後述する保持部１４０における、保持腕１１２Ｂと保持部１４０との接続箇所と、保持腕１１３Ｂと保持部１４０との接続箇所とから等距離にある領域に対応する位置に設けられることが好ましい。
【００２７】
凹部２１が弓形Ｒを備えることによって、後述する振動部１２０の振動が、保持腕１１２Ａ、１１２Ｂを伝搬して保持部１４０（図４参照）に漏れた場合であっても、弓形Ｒにおける円弧部分の側壁２３によって、漏れた振動を、弓形Ｒの中心ＣＭ、ＣＮに向けて反射させることができる。これによって、本実施形態に係る共振装置１は、共振子１０による振動の閉じ込め性を高めることができる。
【００２８】
（３．共振子１０）
図４は、本実施形態に係る、共振子１０の構造を概略的に示す平面図である。図４を用いて本実施形態に係る共振子１０の各構成について説明する。共振子１０は、振動部１２０（圧電振動部の一例である。）と、保持部１４０と、ノード生成部１３０Ａ（第１のノード生成部の一例である。）、１３０Ｂ（第２のノード生成部の一例である。）と、接続腕１１１Ａ（第１の接続腕の一例である。）、接続腕１１１Ｂ（第２の接続腕の一例である。）と、保持腕１１２Ａ、１１３Ａ（第１の保持腕の一例である。）、保持腕１１２Ｂ、１１３Ｂ（第２の保持腕の一例である。）とを備えている。
【００２９】
（ａ）振動部１２０
振動部１２０は、図４の直交座標系におけるＸＹ平面に沿って平板状に広がる略直方体の輪郭を有している。なお、振動部１２０は、平板状に限らず、例えば一定の厚みを有する四角柱であってもよい。振動部１２０には、点線で示す領域に、長さ方向と幅方向とを有する矩形板状の金属層Ｅ１（第１の電極の一例である。振動部１２０上に形成される金属層Ｅ１を、「上部電極Ｅ１」とも呼ぶ。）が設けられている。上部電極Ｅ１の下方には、金属層Ｅ２（第２の電極の一例である。振動部１２０上に形成される金属層Ｅ２を、「下部電極Ｅ２」とも呼ぶ。）が設けられている。
【００３０】
図４において、振動部１２０は、Ｘ軸方向に１対の短辺１２１ａ、１２１ｂ、Ｙ軸方向に１対の長辺１２１ｃ、１２１ｄを有している。本実施形態では、例えば、短辺１２１ａ、１２１ｂの長さが１００μｍ程度、長辺１２１ｃ、１２１ｄの長さが１５０μｍ程度に設定される。
【００３１】
上部電極Ｅ１及び下部電極Ｅ２は、Ｙ軸方向に長辺、Ｘ軸方向に短辺を有し、振動部１２０上に形成されている。
【００３２】
上部電極Ｅ１は、振動部１２０から、接続腕１１１Ａ、ノード生成部１３０Ａ、保持腕１１２Ａを介して、保持部１４０における、振動部１２０の短辺１２１ａと対向する領域に引き出される。なお、下部電極Ｅ２の構成は、上部電極Ｅ１の構成と同様に、振動部１２０に形成され、さらに振動部１２０から、接続腕１１１Ｂ、ノード生成部１３０Ｂ、保持腕１１２Ｂを介して、保持部１４０における振動部１２０の短辺１２１ｂと対向する領域に引き出される。
【００３３】
振動部１２０と保持部１４０との間には、所定の間隔で空間が形成されている。図４の例では、振動部１２０は、１対の短辺１２１ａ、１２１ｂにおいて、それぞれ、接続腕１１１Ａ、１１１Ｂに接続され、さらに、ノード生成部１３０Ａ、１３０Ｂ及び保持腕１１２Ａ、１１３Ａ、１１２Ｂ、１１３Ｂを介して保持部１４０に保持されている。他方で、振動部１２０は、１対の長辺１２１ｃ、１２１ｄにおいて、保持部１４０に接続されていない。
【００３４】
（ｂ）保持部１４０
保持部１４０は、その外形が、ＸＹ平面に沿って、例えば矩形の枠状に形成される。また、保持部１４０は、その内形が、ＸＹ平面に沿って振動部１２０及びノード生成部１３０Ａ、１３０Ｂの外側を囲むように形成される。すなわち、本実施形態では、保持部１４０は、矩形の平板から、振動部１２０とノード生成部１３０Ａ、１３０Ｂの外縁に沿ってくり抜いた枠形状を有している。また、保持部１４０と振動部１２０及びノード生成部１３０Ａ、１３０Ｂとの間に形成される空間（隙間）は、一定の間隔を有する。
なお、保持部１４０は、振動部１２０の周囲の少なくとも一部に設けられていればよく、枠状の形状に限定されない。
【００３５】
（ｃ）ノード生成部１３０Ａ、１３０Ｂ
ノード生成部１３０Ａは、振動部１２０の短辺１２１ａと、保持部１４０における、短辺１２１ａと対向する領域との間に設けられる。
【００３６】
ノード生成部１３０Ａは、Ｙ軸方向（第１方向の一例である。）の中心線ＣＹに沿って、ＸＺ平面に平行に規定される仮想平面に対して略面対称となる形状をしている。なお、本実施形態においては、ノード生成部１３０Ａは、Ｘ軸方向（第２方向の一例である。）の中心線ＣＸに沿って、ＹＺ平面に平行に規定される仮想平面に対しても略面対称となる形状をしている。具体的には、本実施形態においては、ノード生成部１３０Ａは、半径３４μｍ程度の円形の形状をしている。
【００３７】
ノード生成部１３０Ａは、短辺１２１ａに対向する頂点において、接続腕１１１Ａに接続されている。接続腕１１１ＡのＸ軸方向の中心線は、ノード生成部１３０ＡのＸ軸方向の中心線ＣＸの延長線に一致している。
【００３８】
また、ノード生成部１３０Ａは、保持腕１１２Ａ、１１３Ａによって保持部１４０に接続されている。具体的には、ノード生成部１３０Ａは、ノード生成部１３０ＡのＹ軸方向における中心線ＣＹから、中心線ＣＹ、ＣＸの交点を中心にＹ軸方向に約−４５度傾き、且つ、振動部１２０から離れる方向にノード生成部１３０Ａの外方に向かって伸びる線分Ｃ１上において、保持腕１１２Ａに接続される。また、ノード生成部１３０Ａは、中心線ＣＹから、中心線ＣＹ、ＣＸの交点を中心にＹ軸方向に約＋４５度傾き、且つ、振動部１２０から離れる方向にノード生成部１３０Ａの外方に向かって伸びる線分Ｃ１´上において、保持腕１１３Ａに接続される。
【００３９】
ノード生成部１３０Ａの直径Ｌは、接続腕１１１ＡのＸ軸方向の幅よりも大きいことが好ましい。さらに直径Ｌは、振動部１２０のＸ軸方向の幅よりも短いことが好ましい。より好ましくは、直径Ｌは、振動部１２０のＸ軸方向の幅の７割程度である。
なお、ノード生成部１３０Ｂは、ノード生成部１３０Ａと同様の構成を有する。
【００４０】
（ｄ）接続腕１１１Ａ、１１１Ｂ
接続腕１１１Ａは、略矩形の形状をしている。接続腕１１１Ａは、一端が振動部１２０における短辺１２１ａの中央付近に接続されており、そこからノード生成部１３０Ａに向かって、短辺１２１ａに対して垂直に延びている。接続腕１１１Ａの他端は、幅方向の中心が、ノード生成部１３０Ａの中心線ＣＸと一致するように接続している。本実施形態においては、接続腕１１１ＡのＸ軸方向の幅は１０μｍ程度である。
なお、接続腕１１１Ｂは、接続腕１１１Ａと同様の構成を有する。
【００４１】
（ｅ）保持腕１１２Ａ、１１３Ａ、１１２Ｂ、１１３Ｂ
保持腕１１２Ａは、略矩形の形状をしている。保持腕１１２Ａは、Ｙ軸方向に対して所定の角度傾いて設けられている。このため、保持腕１１２Ａは、接続腕１１１Ａの延長線とは一致しない。保持腕１１２Ａ、１１３Ａは、中心線ＣＸに沿って、ＹＺ平面に平行に規定される仮想平面に対して略面対称の構造をしている。
【００４２】
保持腕１１２Ａは、例えば、一端が、線分Ｃ１と、保持腕１１２ＡのＸ軸方向に沿った長さ（幅）方向の中心が一致するように、ノード生成部１３０Ａと接続している。保持腕１１２Ａは、そこから線分Ｃ１の延長線に沿って延び、保持部１４０における線分Ｃ１の延長線との接点において、保持部１４０と接続している。保持腕１１２Ａの幅の大きさは、接続腕１１１ＡのＸ軸方向に沿った長さ（幅）の大きさ以下であることが望ましい。本実施形態においては、保持腕１１２Ａの幅は、接続腕１１１Ａの幅より狭く、５μｍ程度である。保持腕１１２Ａの幅を接続腕１１１Ａの幅よりも小さくすることで、ノード生成部１３０Ａから保持部１４０へと振動が伝搬されることを抑制することができる。
なお、保持腕１１３Ａ、１１２Ｂ、１１３Ｂは、保持腕１１２Ａと同様の構成を有する。
【００４３】
また、共振子１０は、ノード生成部１３０Ａと保持部１４０とを接続する構成として、保持腕１１２Ａ、１１３Ａの両方を必ずしも備える必要はなく、いずれか一方のみを備えてもよい。同様に、共振子１０は、ノード生成部１３０Ｂと保持部１４０とを接続する構成として、保持腕１１２Ｂ、１１３Ｂの両方を必ずしも備える必要はなく、いずれか一方のみを備えてもよい。
【００４４】
（４．積層構造）
図５（Ａ）及び（Ｂ）を用いて共振装置１の積層構造（断面構造）について説明する。図５（Ａ）は、図１のＡＡ´断面図、図５（Ｂ）は、図１のＢＢ´断面図である。
【００４５】
図５（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、本実施形態に係る共振装置１では、下蓋２０の側壁２３と共振子１０の保持部１４０が接合され、さらに共振子１０の保持部１４０と上蓋３０の側壁３３が接合される。このようにして、下蓋２０と上蓋３０との間に共振子１０が保持され、下蓋２０と上蓋３０との間に、振動部１２０が振動する振動空間が形成される。
【００４６】
下蓋２０の底板２２及び側壁２３は、Ｓｉ（シリコン）により、一体的に形成されている。側壁２３の上面にはＳｉＯ２（二酸化ケイ素）膜Ｆ１が形成されており、このＳｉＯ２膜Ｆ１によって、下蓋２０が共振子１０の保持部１４０と接合される。Ｚ軸方向に規定される下蓋２０の厚みは例えば１５０μｍ、凹部２１の深さは例えば５０μｍである。
【００４７】
上蓋３０は、所定の厚みのＳｉ（シリコン）ウエハにより形成されている。図４に示すように、上蓋３０はその周辺部（側壁３３）で共振子１０の保持部１４０と接合されている。上蓋３０の周縁部と保持部１４０との間には、接合層Ｈが形成されており、この接合層Ｈによって、上蓋３０が保持部１４０と接合される。接合層Ｈは、例えばＡｕ（金）膜及びＳｎ（錫）膜から形成されている。
【００４８】
共振子１０では、保持部１４０、振動部１２０、ノード生成部１３０Ａ、１３０Ｂ、接続腕１１１Ａ、１１１Ｂ、及び保持腕１１２Ａ、１１３Ａ、１１２Ｂ、１１３Ｂは、同一プロセスで形成される。具体的には、まず、Ｓｉ（シリコン）層Ｆ２の上に、金属層Ｅ２が積層される。そして、金属層Ｅ２の上に、金属層Ｅ２を覆うように圧電薄膜Ｆ３が積層され、さらに、圧電薄膜Ｆ３の上に、金属層Ｅ１が積層され、さらに、金属層Ｅ１の上には、再度、圧電薄膜Ｆ３が積層される。
【００４９】
Ｓｉ層Ｆ２は、例えば、厚さ３０μｍ程度の縮退したｎ型Ｓｉ半導体から形成されており、ｎ型ドーパントとしてＰ（リン）やＡｓ（ヒ素）、Ｓｂ（アンチモン）などを含むことができる。Ｓｉ層Ｆ２として用いられる縮退Ｓｉの抵抗値は、０．５ｍΩ・ｃｍ以上０．９ｍΩ・ｃｍ以下であることが望ましい。本実施形態で用いられる縮退Ｓｉの抵抗値は、たとえば０．６３ｍΩ・ｃｍである。なお、Ｓｉ層Ｆ２の下面にはＳｉＯ２層が形成されてもよい。これにより、振動部１２０の温度特性を向上させることが可能になる。
【００５０】
また、金属層Ｅ２、Ｅ１は、例えば厚さ０．１μｍ程度のＭｏ（モリブデン）やアルミニウム（Ａｌ）等を用いて形成される。なお、Ｓｉ層Ｆ２に縮退したＳｉを用いた場合には、金属層Ｅ２に代えて、Ｓｉ層Ｆ２を下部電極として用いてもよい。
【００５１】
金属層Ｅ２、Ｅ１は、エッチング等により、所望の形状に形成される。金属層Ｅ２は、振動部１２０上においては、下部電極Ｅ２として機能するように形成される。また、金属層Ｅ２は、ノード生成部１３０Ａ、１３０Ｂ、接続腕１１１Ａ、１１１Ｂ、保持腕１１２Ａ、１１３Ａ、１１２Ｂ、１１３Ｂ、保持部１４０上においては、共振子１０の外部に設けられた交流電源に下部電極Ｅ２を接続するための配線として機能するように形成される。
【００５２】
他方で、金属層Ｅ１は、例えば振動部１２０上においては、上部電極Ｅ１として機能するように形成される。また、金属層Ｅ１は、ノード生成部１３０Ａ、１３０Ｂ、接続腕１１１Ａ、１１１Ｂ、保持腕１１２Ａ、１１３Ａ、１１２Ｂ、１１３Ｂ及び保持部１４０上においては、例えば共振子１０の外部に設けられた交流電源に上部電極Ｅ１を接続するための配線として機能するように形成される。
【００５３】
なお、交流電源から下部配線または上部配線への接続にあたっては、上蓋３０の外面に電極を形成して、当該電極が交流電源と下部配線または上部配線とを接続する構成や、上蓋３０内にビアを形成し、当該ビアの内部に導電性材料を充填して配線を設け、当該配線が交流電源と下部配線または上部配線とを接続する構成が用いられてもよい。
【００５４】
圧電薄膜Ｆ３は、印加された電圧を振動に変換する圧電体の薄膜であり、例えば、ＡｌＮ（窒化アルミニウム）等の窒化物や酸化物を主成分とすることができる。具体的には、圧電薄膜Ｆ３は、ＳｃＡｌＮ（窒化スカンジウムアルミニウム）により形成することができる。ＳｃＡＬＮは、窒化アルミニウムにおけるアルミニウムの一部をスカンジウムに置換したものである。また、圧電薄膜Ｆ３は、例えば、１μｍの厚さを有する。
【００５５】
圧電薄膜Ｆ３は、金属層Ｅ２、Ｅ１によって圧電薄膜Ｆ３に印加される電界に応じて、ＸＹ平面の面内方向に伸縮する。この圧電薄膜Ｆ３の伸縮によって、振動部１２０は、Ｘ軸方向に輪郭振動する。振動部１２０の振動は、接続腕１１１Ａ、１１１Ｂを介してノード生成部１３０Ａ、１３０Ｂへ伝搬される。
【００５６】
図６は、本実施形態に係る共振子１０の振動による変位を、Ｚ軸成分に分解した分布を模式的に示す図である。図６の各図において、薄いグレーで表されている箇所は変位の小さい箇所を示し、白く表されている箇所及び濃いグレーで表されている箇所は変位の大きい箇所を示している。さらに、濃いグレーで表されている箇所は各軸の正の方向への変位を示し、白く表されている箇所は各軸の負の方向への変位を示している。
【００５７】
図６に示すように、振動部１２０はＺ軸方向についても振動している。図５に示したように、共振子１０は、音速の異なる材料を積層させて形成されている。そのため共振子１０における、各層の弾性特性は異なる。この結果、振動部１２０が面内振動をする場合であっても、振動部１２０において、Ｚ軸方向への振動が発生することになる。
【００５８】
振動のある瞬間においては、振動部１２０は、中心部がＺ軸正の方向へ変位し、四隅がＺ軸負の方向へ変位する。
【００５９】
ノード生成部１３０ＡにおけるＺ軸方向の変位は、中心線ＣＸに沿ってＹＺ平面に平行に規定される平面、及び中心線ＣＹに沿ってＸＺ平面に平行に規定される平面それぞれに対して、略面対称となっている。この結果、ノード生成部１３０Ａにおける、中心線ＣＸ、ＣＹから約４５度傾いた線分Ｃ１、Ｃ１´近傍の領域Ｒ１〜Ｒ４頂点において、Ｚ軸方向の振動による変位が、その周辺よりも低減される領域（以下、「ノード領域」とも呼ぶ。）が複数発生している。
【００６０】
本実施形態において、保持腕１１２Ａ、１１３Ａは、ノード生成部１３０Ａのノード領域に接続するように形成される。この結果、振動部１２０で発生した振動は、保持腕１１２Ａ、１１３Ａにおいて打ち消され、保持部１４０に伝搬されない。これによって、共振子１０のアンカーロスを低減させることができ、Ｑ値を向上させることが可能になる。
なお、ノード生成部１３０Ｂの変位の分布もノード生成部１３０Ａと同様である。
【００６１】
図７は、本実施形態に係る共振子１０と、比較例の共振子１０´との間で、保持部と保持腕との接続箇所における変位積分値を比較したグラフである。図７の例では、比較例の共振子１０´として、本実施形態に係る共振子１０と同様の振動部及び保持部を備える共振子を用いている。共振子１０と共振子１０´とを比較すると、共振子１０においては、振動部１２０は、接続腕１１１Ａ、１１１Ｂ、ノード生成部１３０Ａ、１３０Ｂ、及び保持腕１１２Ａ、１１３Ａ、１１２Ｂ、１１３Ｂを介して保持部に接続するのに対して、共振子１０´においては、振動部は保持腕を介して保持部に接続される。
【００６２】
図７では、縦軸は、保持腕の面積で、保持腕における変位を積分した値を表している。また、横軸は、振動部１２０の短辺１２１ａの長さに対するノード生成部１３０Ａ、１３０Ｂの半径の比を表している。なお、比較例の共振子１０´はノード生成部を備えていないので、変位積分値は横軸の値によらず、常に一定（グラフの太線）である。他方、図７のグラフにおいて、点で示しているのが、本実施形態に係る共振子１０の変位積分値である。
【００６３】
図７において、横軸が０．２以上０．４８以下付近の範囲で、共振子１０の変位積分値が共振子１０´と比べ低減している。アンカーロスは変位積分値に比例して大きくなる値である。従って、図７のグラフから、ノード生成部１３０Ａ、１３０Ｂを備えることで、アンカーロスが大幅に低減されていることが分かる。特に、振動部１２０の短辺１２１ａの長さ対するノード生成部１３０Ａ、１３０Ｂの半径の比が０．３以上０．４５以下付近において、アンカーロスを最も低減できることが分かる。
【００６４】
［第２の実施形態］
第２の実施形態以降では第１の実施形態と共通の事柄についての説明を省略し、異なる点についてのみ説明する。特に、同様の構成による同様の作用効果については実施形態毎には逐次言及しない。
【００６５】
図８は、第２の実施形態に係る、共振子１０の平面図の一例を示す図である。以下に、本実施形態に係る共振装置１の詳細構成のうち、第１の実施形態との差異点を中心に説明する。
【００６６】
（２−１）ノード生成部１３０Ａ、１３０Ｂ
本実施形態では、ノード生成部１３０Ａは、略正方形の形状を有している。本実施形態に係るノード生成部１３０Ａにおける、振動部１２０の短辺１２１ａに対向する辺１３１ａは、短辺１２１ａに平行に設けられている。ノード生成部１３０Ａの１辺の長さは５０μｍ程度に設定されている。ノード生成部１３０Ａのその他の構成は第１の実施形態と同様である。なお、ノード生成部１３０Ｂの構成は、ノード生成部１３０Ａと同様である。
【００６７】
（２−２）接続腕１１１Ａ、１１１Ｂ
本実施形態では、接続腕１１１Ａは、その一端が、ノード生成部１３０Ａの辺１３１ａの、Ｘ軸方向における中心において、ノード生成部１３０Ａと接続する。接続腕１１１Ａのその他の構成は、第１の実施形態と同様である。なお、接続腕１１１Ｂの構成は、接続腕１１１Ａの構成と同様である。
【００６８】
（２−３）保持腕１１２Ａ、１１３Ａ、１１２Ｂ、１１３Ｂ
本実施形態では、線分Ｃ１は、ノード生成部１３０Ａの対角線と一致する。保持腕１１２Ａは、一端が、ノード生成部１３０Ａと、ノード生成部１３０Ａにおける保持部１４０と対向する辺１３１ｂの一端において接続する。保持腕１１２Ａは、そこから対角線Ｃ１の延長線に沿って延び、他端が、対角線Ｃ１の延長線と保持部１４０との接点において、保持部１４０と接続している。保持腕１１２Ａのその他の構成は第１の実施形態と同様である。なお、保持腕１１３Ａ、１１２Ｂ、１１３Ｂの構成は、保持腕１１２Ａの構成と同様である。
【００６９】
図９は、第１の実施形態の図６に対応し、本実施形態に係る共振子１０の振動による変位を、Ｚ軸成分に分解した様子を示す図である。
【００７０】
図９に示すように、ノード生成部１３０ＡにおけるＺ軸方向の変位は、中心線ＣＸに沿ってＹＺ平面に平行に規定される平面、及び中心線ＣＹに沿ってＸＺ平面に平行に規定される平面それぞれに対して、略面対称となっている。この結果、ノード生成部１３０Ａにおける、線分Ｃ１、Ｃ１´近傍の領域Ｒ１〜Ｒ４においては、Ｚ軸方向の振動による変位が低減される。
その他の構成、作用効果は第１の実施形態と同様である。
【００７１】
［第３の実施形態］
図１０は、本実施形態に係る、共振子１０の平面図の一例を示す図である。以下に、本実施形態に係る共振装置１の詳細構成のうち、第１の実施形態との差異点を中心に説明する。
【００７２】
（３−１）ノード生成部１３０Ａ、１３０Ｂ
本実施形態では、ノード生成部１３０Ａは、その対角線が、Ｙ軸方向及びＸ軸方向に沿って設けられた略ひし形の形状を有する。ノード生成部１３０Ａの隣あう内角は必ずしも一致していなくてもよい。なお、ノード生成部１３０Ｂの構成は、ノード生成部１３０Ａと同様である。ノード生成部１３０Ａ、１３０Ｂのその他の構成は第１の実施形態と同様である。
【００７３】
（３−２）接続腕１１１Ａ、１１１Ｂ
本実施形態では、接続腕１１１Ａは、その一端が、ノード生成部１３０Ａにおける、振動部１２０の短辺１２１ａと対向する頂点において、ノード生成部１３０Ａと接続する。接続腕１１１Ａのその他の構成は第１の実施形態と同様である。なお、接続腕１１１Ｂの構成は、接続腕１１１Ａの構成と同様である。
【００７４】
（３−３）保持腕１１２Ａ、１１３Ａ、１１２Ｂ、１１３Ｂ
本実施形態では、線分Ｃ１は、ノード生成部１３０Ａの各辺の中心を結ぶ線分と一致する。保持腕１１２Ａは、一端が、ノード生成部１３０Ａと、ノード生成部１３０Ａにおける保持部１４０と対向する辺の中心において接続する。保持腕１１２Ａは、線分Ｃ１の延長線に沿って延び、他端が、線分Ｃ１の延長線と保持部１４０との接点において、保持部１４０と接続している。保持腕１１２Ａのその他の構成は第１の実施形態と同様である。なお、保持腕１１３Ａ、１１２Ｂ、１１３Ｂの構成は、保持腕１１２Ａの構成と同様である。
【００７５】
［第４の実施形態］
図１１は、本実施形態に係る、共振子１０の平面図の一例を示す図である。以下に、本実施形態に係る共振装置１の詳細構成のうち、第１の実施形態との差異点を中心に説明する。
本実施形態では、共振子１０は、第１の実施形態におけるノード生成部１３０Ａ、１３０Ｂ、接続腕１１１Ａ、１１１Ｂ、及び保持腕１１２Ａ、１１３Ａ、１１２Ｂ、１１３Ｂに対応する構成として、ノード生成部１３０Ａ１、１３０Ａ２、１３０Ｂ１、１３０Ｂ２、接続腕１１１Ａ１、１１１Ａ２、１１１Ｂ１、１１１Ｂ２、及び保持腕１１２Ａ１、１１２Ａ２、１１３Ａ１、１１３Ａ２、１１２Ｂ１、１１２Ｂ２、１１３Ｂ１、１１３Ｂ２を備えている。
【００７６】
（４−１）振動部１２０
本実施形態では、振動部１２０は、Ｘ軸方向に長辺、Ｙ軸方向に短辺を有している。また、振動部１２０上には、長さ方向と幅方向とを有する矩形板状の２つの上部電極Ｅ１ａ、Ｅ１ｂが設けられている。また、上部電極Ｅ１ａ、Ｅ１ｂの下には、上部電極Ｅ１ａ、Ｅ１ｂと対向して下部電極Ｅ２ａが設けられている。
【００７７】
上部電極Ｅ１ａ、Ｅ１ｂは、Ｙ軸方向に長辺、Ｘ軸方向に短辺を有し、振動部１２０上に形成されている。
【００７８】
上部電極Ｅ１ａは、振動部１２０から、接続腕１１１Ａ１、ノード生成部１３０Ａ１、及び保持腕１１２Ａ１を介して、保持部１４０における短辺１２１ａと対向する領域に引き出される。他方、上部電極Ｅ１ｂは、振動部１２０から、接続腕１１１Ｂ１、ノード生成部１３０Ｂ１、及び保持腕１１２Ｂ１を介して、保持部１４０における短辺１２１ｂと対向する辺に引き出される。
【００７９】
下部電極Ｅ２ａは、Ｘ軸方向に長辺、Ｙ軸方向に短辺を有し、振動部１２０上に形成されている。また、下部電極Ｅ２ａは、振動部１２０から、接続腕１１１Ａ１、１１１Ａ２、１１１Ｂ１、１１１Ｂ２、ノード生成部１３０Ａ１、１３０Ａ２、１３０Ｂ１、１３０Ｂ２、及び保持腕１１２Ａ１、１１２Ａ２、１１２Ｂ１、１１２Ｂ２を介して、保持部１４０における短辺１２１ａと対向する領域、及び短辺１２１ｂと対向する領域に引き出される。
その他の振動部１２０の構成は第１の実施形態と同様である。
【００８０】
（４−２）ノード生成部１３０Ａ１、１３０Ａ２、１３０Ｂ１、１３０Ｂ２
ノード生成部１３０Ａ１は上部電極Ｅ１ａの上側の短辺と対向して設けられる。
【００８１】
ノード生成部１３０Ａ１は、Ｘ軸方向の中心線ＣＸ上において、接続腕１１１Ａ１に接続されている。また、ノード生成部１３０Ａ１は、中心線ＣＸに対して線対称となる位置において、保持腕１１２Ａ１、１１３Ａ１にそれぞれ接続されている。その他のノード生成部１３０Ａ１の構成は、第１の実施形態におけるノード生成部１３０Ａの構成と同様である。
【００８２】
なお、ノード生成部１３０Ａ２、１３０Ｂ１、１３０Ｂ２の構成は、ノード生成部１３０Ａ１の構成と同様である。
【００８３】
（４−３）接続腕１１１Ａ１、１１１Ａ２、１１１Ｂ１、１１１Ｂ２
本実施形態では、接続腕１１１Ａ１は、一端が、上部電極Ｅ１ａのＸ軸方向の中央付近において短辺１２１ａと接続しており、そこからノード生成部１３０Ａに向かって延びている。接続腕１１１Ａ１の他端は、ノード生成部１３０Ａ１の中心線ＣＸに、接続腕１１１ＡのＸ軸方向の中心が一致するように、ノード生成部１３０Ａ１に接続している。接続腕１１１Ａ１のその他の構成については、第１の実施形態と同様である。
【００８４】
なお、接続腕１１１Ａ２、１１１Ｂ１、１１１Ｂ２の構成は、接続腕１１１Ａの構成と同様である。
【００８５】
（４−４）保持腕１１２Ａ１、１１２Ａ２、１１３Ａ１、１１３Ａ２、１１２Ｂ１、１１２Ｂ２、１１３Ｂ１、１１３Ｂ２
本実施形態に係る保持腕１１２Ａ１は、一端において、保持腕１１２Ａ１の幅方向の中心が、線分Ｃ１に一致するように、ノード生成部１３０Ａ１と接続している。保持腕１１２Ａ１は、そこから線分Ｃ１の延長線に沿って延び、保持部１４０における線分Ｃ１の延長線との接点において、保持部１４０と接続している。他方、本実施形態に係る保持腕１１３Ａ１は、一端において、保持腕１１３Ａ１の幅方向の中心が、線分Ｃ１´に一致するように、ノード生成部１３０Ａ１と接続している。保持腕１１３Ａ１は、そこから線分Ｃ１´の延長線に沿って延び、保持部１４０における線分Ｃ１´の延長線との接点において、保持部１４０と接続している。その他の保持腕１１２Ａ１、１１３Ａ１の構成は、第１の実施形態における保持腕１１２Ａ、１１３Ａの構成と同様である。
【００８６】
なお、保持腕１１２Ａ２、１１３Ａ２、１１２Ｂ１、１１２Ｂ２、１１３Ｂ１、１１３Ｂ２の構成は、保持腕１１２Ａ１、１１３Ａ１の構成と同様である。
【００８７】
［第５の実施形態］
図１２は、本実施形態に係る、共振子１０の平面図の一例を示す図である。以下に、本実施形態に係る共振装置１の詳細構成のうち、第１の実施形態との差異点を中心に説明する。
【００８８】
本実施形態においては、共振子１０は、第１の実施形態におけるノード生成部１３０Ａ、１３０Ｂ、接続腕１１１Ａ、１１１Ｂ、及び保持腕１１２Ａ、１１２Ｂに対応する構成として、ノード生成部１３０Ａ１、１３０Ａ２、１３０Ｂ１、１３０Ｂ２、接続腕１１１Ａ１、１１１Ａ２、１１１Ｂ１、１１１Ｂ２、及び保持腕１１３Ａ１、１１３Ａ２、１１３Ｂ１、１１３Ｂ２を備えている。なお、本実施形態においては、共振子１０は、第１の実施形態における保持腕１１２Ａ、１１２Ｂに対応する構成を有していない。
【００８９】
（５−１）振動部１２０
本実施形態に係る振動部１２０の構成は、第４の実施形態に係る振動部１２０の構成と同様である。
【００９０】
（５−２）ノード生成部１３０Ａ１、１３０Ａ２、１３０Ｂ１、１３０Ｂ２
本実施形態に係るノード生成部１３０Ａ１は、上部電極Ｅ１ａの上側の短辺と対向して設けられる。
【００９１】
ノード生成部１３０Ａ１は、Ｘ軸方向の中心線ＣＸ上において、接続腕１１１Ａ１に接続されている。また、ノード生成部１３０Ａ１は、線分Ｃ１´と、保持腕１１３Ａ１の幅方向の中心が一致するように、保持腕１１３Ａ１に接続される。その他のノード生成部１３０Ａ１の構成は、第１の実施形態におけるノード生成部１３０Ａの構成と同様である。
なお、ノード生成部１３０Ａ２、１３０Ｂ１、１３０Ｂ２の構成は、ノード生成部１３０Ａ１の構成と同様である。
【００９２】
（５−３）接続腕１１１Ａ１、１１１Ａ２、１１１Ｂ１、１１１Ｂ２
本実施形態に係る接続腕１１１Ａ１、１１１Ａ２、１１１Ｂ１、１１１Ｂ２の構成は、第４の実施形態に係る接続腕１１１Ａ１、１１１Ａ２、１１１Ｂ１、１１１Ｂ２の構成と同様である。
【００９３】
（５−４）保持腕１１３Ａ１、１１３Ａ２、１１３Ｂ１、１１３Ｂ２
本実施形態に係る保持腕１１３Ａ１、１１３Ａ２、１１３Ｂ１、１１３Ｂ２の構成は、第４の実施形態における保持腕１１３Ａ１、１１３Ａ２、１１３Ｂ１、１１３Ｂ２の構成と同様である。
その他の構成、効果は第１の実施形態と同様である。
【００９４】
［第６の実施形態］
図１３は、本実施形態に係る、共振子１０の平面図の一例を示す図である。以下に、本実施形態に係る共振装置１の詳細構成のうち、第１の実施形態との差異点を中心に説明する。
本実施形態においては、共振子１０は、第１の実施形態におけるノード生成部１３０Ａ、１３０Ｂ、接続腕１１１Ａ、１１１Ｂ、及び保持腕１１２Ａ、１１２Ｂに対応する構成として、ノード生成部１３０Ａ１、１３０Ａ２、１３０Ｂ１、１３０Ｂ２、接続腕１１１Ａ１、１１１Ａ２、１１１Ｂ１、１１１Ｂ２、及び保持腕１１２Ａ１、１１２Ａ２、１１２Ｂ１、１１２Ｂ２を備えている。なお、本実施形態においては、共振子１０は、第１の実施形態における保持腕１１３Ａ、１１３Ｂに対応する構成を有していない。
【００９５】
（６−１）振動部１２０
本実施形態に係る振動部１２０の構成は、第４の実施形態に係る振動部１２０の構成と同様である。
【００９６】
（６−２）ノード生成部１３０Ａ１、１３０Ａ２、１３０Ｂ１、１３０Ｂ２
本実施形態に係るノード生成部１３０Ａ１は、上部電極Ｅ１ａの上側の短辺と対向して設けられる。
【００９７】
ノード生成部１３０Ａ１は、Ｘ軸方向の中心線ＣＸ上において、接続腕１１１Ａ１に接続されている。また、ノード生成部１３０Ａ１は、線分Ｃ１と、保持腕１１２Ａ１の幅方向の中心が一致するように、保持腕１１２Ａ１に接続される。その他のノード生成部１３０Ａ１の構成は、第１の実施形態におけるノード生成部１３０Ａの構成と同様である。
なお、ノード生成部１３０Ａ２、１３０Ｂ１、１３０Ｂ２の構成は、ノード生成部１３０Ａ１の構成と同様である。
【００９８】
（６−３）接続腕１１１Ａ１、１１１Ａ２、１１１Ｂ１、１１１Ｂ２
本実施形態に係る接続腕１１１Ａ１、１１１Ａ２、１１１Ｂ１、１１１Ｂ２の構成は、第４の実施形態に係る接続腕１１１Ａ１、１１１Ａ２、１１１Ｂ１、１１１Ｂ２の構成と同様である。
【００９９】
（６−４）保持腕１１２Ａ１、１１２Ａ２、１１２Ｂ１、１１２Ｂ２
本実施形態に係る保持腕１１２Ａ１、１１２Ａ２、１１２Ｂ１、１１２Ｂ２の構成は、第４の実施形態における保持腕１１２Ａ１、１１２Ａ２、１１２Ｂ１、１１２Ｂ２の構成と同様である。
【０１００】
［第７の実施形態］
図１４は、本実施形態に係る、共振子１０の平面図の一例を示す図である。以下に、本実施形態に係る共振装置１の詳細構成のうち、第１の実施形態との差異点を中心に説明する。
【０１０１】
本実施形態においては、共振子１０は、第１の実施形態におけるノード生成部１３０Ａ、１３０Ｂ、接続腕１１１Ａ、１１１Ｂ、及び保持腕１１２Ａ、１１２Ｂに対応する構成として、ノード生成部１３０Ａ１、１３０Ａ２、１３０Ｂ１、１３０Ｂ２、接続腕１１１Ａ１、１１１Ａ２、１１１Ｂ１、１１１Ｂ２、及び保持腕１１３Ａ、１１３Ｂを備えている。なお、本実施形態においては、共振子１０は、第１の実施形態における保持腕１１２Ａ、１１２Ｂに対応する構成を有していない。
【０１０２】
（７−１）振動部１２０
本実施形態に係る振動部１２０の構成は、第４の実施形態に係る振動部１２０の構成と同様である。
【０１０３】
（７−２）ノード生成部１３０Ａ１、１３０Ａ２、１３０Ｂ１、１３０Ｂ２
本実施形態に係るノード生成部１３０Ａ１、１３０Ａ２、１３０Ｂ１、１３０Ｂ２の構成は、第５の実施形態に係るノード生成部１３０Ａ１、１３０Ａ２、１３０Ｂ１、１３０Ｂ２の構成と同様である。
【０１０４】
（７−３）接続腕１１１Ａ１、１１１Ａ２、１１１Ｂ１、１１１Ｂ２
本実施形態に係る接続腕１１１Ａ１、１１１Ａ２、１１１Ｂ１、１１１Ｂ２の構成は、第４の実施形態に係る接続腕１１１Ａ１、１１１Ａ２、１１１Ｂ１、１１１Ｂ２の構成と同様である。
【０１０５】
（７−４）保持腕１１３Ａ、１１３Ｂ
本実施形態では、保持腕１１３Ａは、４つの腕１Ａ、１Ａ´、２Ａ、３Ａを有している。腕２Ａは、振動部１２０と保持部１４０の間の空間において、振動部１２０の短辺１２１ａに対向してＸ軸方向に平行に設けられている。
【０１０６】
腕３Ａは、Ｙ軸方向に平行に設けられる。腕３Ａは、一端が腕２ＡのＸ軸方向の中央付近と接続し、そこから保持部１４０に向かって略垂直に延び、他端において、保持部１４０に接続している。
【０１０７】
腕１Ａは、線分Ｃ１´の延長線に沿って設けられる。腕１Ａは、一端において、その幅の中心が、線分Ｃ１´と一致するようにノード生成部１３０Ａ１に接続する。腕１Ａは、他端が腕２Ａの一端に接続する。なお、腕１Ａ´の構成は、腕１Ａの構成と同様である。
その他の構成、機能については第１の実施形態と同様である。
【０１０８】
以上説明した各実施形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定して解釈するためのものではない。本発明は、その趣旨を逸脱することなく、変更／改良され得るととともに、本発明にはその等価物も含まれる。即ち、各実施形態に当業者が適宜設計変更を加えたものも、本発明の特徴を備えている限り、本発明の範囲に包含される。例えば、各実施形態が備える各要素およびその配置、材料、条件、形状、サイズなどは、例示したものに限定されるわけではなく適宜変更することができる。
【０１０９】
また、各実施形態は例示であり、異なる実施形態で示した構成の部分的な置換または組み合わせが可能であることは言うまでもなく、これらも本発明の特徴を含む限り本発明の範囲に包含される。
【符号の説明】
【０１１０】
１                        共振装置
１０                      共振子
３０                      上蓋
２０                      下蓋
１４０                    保持部
１１１Ａ、１１１Ｂ        接続腕
１１２Ａ、１１２Ｂ        保持腕
１１３Ａ、１１３Ｂ        保持腕
１３０Ａ、１３０Ｂ        ノード生成部
１２０                    振動部
Ｆ１                      ＳｉＯ２膜
Ｆ２                      Ｓｉ層
Ｆ３                      圧電薄膜
Ｅ１、Ｅ２                金属層 
【図１】
2017051573.tif 000003
【図２】
2017051573.tif 000004
【図３】
2017051573.tif 000005
【図４】
2017051573.tif 000006
【図５】
2017051573.tif 000007
【図６】
2017051573.tif 000008
【図７】
2017051573.tif 000009
【図８】
2017051573.tif 000010
【図９】
2017051573.tif 000011
【図１０】
2017051573.tif 000012
【図１１】
2017051573.tif 000013
【図１２】
2017051573.tif 000014
【図１３】
2017051573.tif 000015
【図１４】
2017051573.tif 000016
【手続補正書】
【提出日】平成30年3月2日(2018.3.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
【図１】本発明の第１実施形態に係る共振装置の外観を概略的に示す斜視図である。
【図２】本発明の第１実施形態に係る共振装置の構造を概略的に示す分解斜視図である。
【図３】本発明の第１実施形態に係る下蓋の平面図である。
【図４】上蓋を取り外した本発明の第１実施形態に係る共振子の平面図である。
【図５】図１の断面図である。
【図６】本発明の第１実施形態に係る共振子の変位を示す図である。
【図７】本発明の第１実施形態に係る振動部の幅に対するノード生成部の半径と、保持腕と保持部の接続箇所での変位積分値との相関を示すグラフである。
【図８】図４に対応し、上蓋を取り外した本発明の第２実施形態に係る共振子の平面図である。
【図９】図６に対応し、第２実施形態に係る共振子の変位を示す図である。
【図１０】図４に対応し、上蓋を取り外した本発明の第３実施形態に係る共振子の平面図である。
【図１１】図４に対応し、上蓋を取り外した本発明の第４実施形態に係る共振子の平面図である。
【図１２】図４に対応し、上蓋を取り外した本発明の第５実施形態に係る共振子の平面図である。
【図１３】図４に対応し、上蓋を取り外した本発明の第６実施形態に係る共振子の平面図である。
【図１４】図４に対応し、上蓋を取り外した本発明の第７実施形態に係る共振子の平面図である。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
本実施形態において、弓形Ｒの弦は矩形Ｓの短辺に一致し、弓形Ｒは半円の形状であるため、弓形Ｒの円弧が形成する円の中心ＣＭ、ＣＮは、矩形Ｓの辺Ｎ、Ｎ´上に位置する。また、円の中心ＣＭは、後述する保持部１４０における、保持腕１１２Ａと保持部１４０との接続箇所と、保持腕１１３Ａと保持部１４０との接続箇所とから等距離にある領域に対応する位置に設けられることが好ましい。また円の中心ＣＮは、後述する保持部１４０における、保持腕１１２Ｂと保持部１４０との接続箇所と、保持腕１１３Ｂと保持部１４０との接続箇所とから等距離にある領域に対応する位置に設けられることが好ましい。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
また、ノード生成部１３０Ａは、保持腕１１２Ａ、１１３Ａによって保持部１４０に接続されている。具体的には、ノード生成部１３０Ａは、ノード生成部１３０ＡのＹ軸方向における中心線ＣＹから、中心線ＣＹ、ＣＸの交点を中心にＹ軸方向に約−４５度傾き、且つ、振動部１２０から離れる方向にノード生成部１３０Ａの外方に向かって伸びる線分Ｃ1上において、保持腕１１２Ａに接続される。また、ノード生成部１３０Ａは、中心線ＣＹから、中心線ＣＹ、ＣＸの交点を中心にＹ軸方向に約＋４５度傾き、且つ、振動部１２０から離れる方向にノード生成部１３０Ａの外方に向かって伸びる線分Ｃ1´上において、保持腕１１３Ａに接続される。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４２】
保持腕１１２Ａは、例えば、一端が、線分Ｃ1と、接続腕１１１Ａのｙ軸方向に沿った長さ（幅）方向の中心が一致するように、ノード生成部１３０Ａと接続している。保持腕１１２Ａは、そこから線分Ｃ1の延長線に沿って延び、保持部１４０における線分Ｃ1の延長線との接点において、保持部１４０と接続している。保持腕１１２Ａの幅の大きさは、接続腕１１１ＡのＸ軸方向に沿った長さ（幅）の大きさ以下であることが望ましい。本実施形態においては、保持腕１１２Ａの幅は、接続腕１１１Ａの幅より狭く、５μｍ程度である。保持腕１１２Ａの幅を接続腕１１１Ａの幅よりも小さくすることで、ノード生成部１３０Ａから保持部１４０へと振動が伝搬されることを抑制することができる。
なお、保持腕１１３Ａ、１１２Ｂ、１１３Ｂは、保持腕１１２Ａと同様の構成を有する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４７】
上蓋３０は、所定の厚みのＳｉ（シリコン）ウエハにより形成されている。図５（Ａ）に示すように、上蓋３０はその周辺部（側壁３３）で共振子１０の保持部１４０と接合されている。上蓋３０の周縁部と保持部１４０との間には、接合層Ｈが形成されており、この接合層Ｈによって、上蓋３０が保持部１４０と接合される。接合層Ｈは、例えばＡｕ（金）膜及びＳｎ（錫）膜から形成されている。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５４】
圧電薄膜Ｆ３は、印加された電圧を振動に変換する圧電体の薄膜であり、例えば、ＡｌＮ（窒化アルミニウム）等の窒化物や酸化物を主成分とすることができる。具体的には、圧電薄膜Ｆ３は、ＳｃＡｌＮ（窒化スカンジウムアルミニウム）により形成することができる。ＳｃＡｌＮは、窒化アルミニウムにおけるアルミニウムの一部をスカンジウムに置換したものである。また、圧電薄膜Ｆ３は、例えば、１μｍの厚さを有する。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５９】
ノード生成部１３０ＡにおけるＺ軸方向の変位は、中心線ＣＸに沿ってＹＺ平面に平行に規定される平面、及び中心線ＣＹに沿ってＸＺ平面に平行に規定される平面それぞれに対して、略面対称となっている。この結果、ノード生成部１３０Ａにおける、中心線ＣＸ、ＣＹから約４５度傾いた線分Ｃ1、Ｃ1´近傍の領域Ｒ１〜Ｒ４頂点において、Ｚ軸方向の振動による変位が、その周辺よりも低減される領域（以下、「ノード領域」とも呼ぶ。）が複数発生している。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７０】
図９に示すように、ノード生成部１３０ＡにおけるＺ軸方向の変位は、中心線ＣＸに沿ってＹＺ平面に平行に規定される平面、及び中心線ＣＹに沿ってＸＺ平面に平行に規定される平面それぞれに対して、略面対称となっている。この結果、ノード生成部１３０Ａにおける、線分Ｃ1、Ｃ1´近傍の領域Ｒ１〜Ｒ４においては、Ｚ軸方向の振動による変位が低減される。
その他の構成、作用効果は第１の実施形態と同様である。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７４】
（３−３）保持腕１１２Ａ、１１３Ａ、１１２Ｂ、１１３Ｂ
本実施形態では、線分Ｃ1は、ノード生成部１３０Ａの各辺の中心を結ぶ線分と一致する。保持腕１１２Ａは、一端が、ノード生成部１３０Ａと、ノード生成部１３０Ａにおける保持部１４０と対向する辺の中心において接続する。保持腕１１２Ａは、線分Ｃ1の延長線に沿って延び、他端が、線分Ｃ1の延長線と保持部１４０との接点において、保持部１４０と接続している。保持腕１１２Ａのその他の構成は第１の実施形態と同様である。なお、保持腕１１３Ａ、１１２Ｂ、１１３Ｂの構成は、保持腕１１２Ａの構成と同様である。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８３】
（４−３）接続腕１１１Ａ１、１１１Ａ２、１１１Ｂ１、１１１Ｂ２
本実施形態では、接続腕１１１Ａ１は、一端が、上部電極Ｅ１ａのＸ軸方向の中央付近において短辺１２１ａと接続しており、そこからノード生成部１３０Ａ１に向かって延びている。接続腕１１１Ａ１の他端は、ノード生成部１３０Ａ１の中心線ＣＸに、接続腕１１１ＡのＸ軸方向の中心が一致するように、ノード生成部１３０Ａ１に接続している。接続腕１１１Ａ１のその他の構成については、第１の実施形態と同様である。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８４】
なお、接続腕１１１Ａ２、１１１Ｂ１、１１１Ｂ２の構成は、接続腕１１１Ａ１の構成と同様である。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８５】
（４−４）保持腕１１２Ａ１、１１２Ａ２、１１３Ａ１、１１３Ａ２、１１２Ｂ１、１１２Ｂ２、１１３Ｂ１、１１３Ｂ２
本実施形態に係る保持腕１１２Ａ１は、一端において、保持腕１１２Ａ１の幅方向の中心が、線分Ｃ1に一致するように、ノード生成部１３０Ａ１と接続している。保持腕１１２Ａ１は、そこから線分Ｃ1の延長線に沿って延び、保持部１４０における線分Ｃ1の延長線との接点において、保持部１４０と接続している。他方、本実施形態に係る保持腕１１３Ａ１は、一端において、保持腕１１３Ａ１の幅方向の中心が、線分Ｃ1´に一致するように、ノード生成部１３０Ａ１と接続している。保持腕１１３Ａ１は、そこから線分Ｃ1´の延長線に沿って延び、保持部１４０における線分Ｃ1´の延長線との接点において、保持部１４０と接続している。その他の保持腕１１２Ａ１、１１３Ａ１の構成は、第１の実施形態における保持腕１１２Ａ、１１３Ａの構成と同様である。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８８】
本実施形態においては、共振子１０は、第１の実施形態におけるノード生成部１３０Ａ、１３０Ｂ、接続腕１１１Ａ、１１１Ｂ、及び保持腕１１２Ａ、１１２Ｂに対応する構成として、ノード生成部１３０Ａ１、１３０Ａ２、１３０Ｂ１、１３０Ｂ２、接続腕１１１Ａ１、１１１Ａ２、１１１Ｂ１、１１１Ｂ２、及び保持腕１１２Ａ１、１１２Ａ２、１１２Ｂ１、１１２Ｂ２を備えている。なお、本実施形態においては、共振子１０は、第１の実施形態における保持腕１１２Ａ、１１２Ｂに対応する構成を有していない。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９１】
ノード生成部１３０Ａ１は、Ｘ軸方向の中心線ＣＸ上において、接続腕１１１Ａ１に接続されている。また、ノード生成部１３０Ａ１は、線分Ｃ1´と、保持腕１１２Ａ１の幅方向の中心が一致するように、保持腕１１３Ａ１に接続される。その他のノード生成部１３０Ａ１の構成は、第１の実施形態におけるノード生成部１３０Ａの構成と同様である。
なお、ノード生成部１３０Ａ２、１３０Ｂ１、１３０Ｂ２の構成は、ノード生成部１３０Ａ１の構成と同様である。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９４】
［第６の実施形態］
図１３は、本実施形態に係る、共振子１０の平面図の一例を示す図である。以下に、本実施形態に係る共振装置１の詳細構成のうち、第１の実施形態との差異点を中心に説明する。
本実施形態においては、共振子１０は、第１の実施形態におけるノード生成部１３０Ａ、１３０Ｂ、接続腕１１１Ａ、１１１Ｂ、及び保持腕１１３Ａ、１１３Ｂに対応する構成として、ノード生成部１３０Ａ１、１３０Ａ２、１３０Ｂ１、１３０Ｂ２、接続腕１１１Ａ１、１１１Ａ２、１１１Ｂ１、１１１Ｂ２、及び保持腕１１３Ａ１、１１３Ａ２、１１３Ｂ１、１１３Ｂ２を備えている。なお、本実施形態においては、共振子１０は、第１の実施形態における保持腕１１２Ａ、１１２Ｂに対応する構成を有していない。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９７】
ノード生成部１３０Ａ１は、Ｘ軸方向の中心線ＣＸ上において、接続腕１１１Ａ１に接続されている。また、ノード生成部１３０Ａ１は、線分Ｃ1と、保持腕１１３Ａ１の幅方向の中心が一致するように、保持腕１１３Ａ１に接続される。その他のノード生成部１３０Ａ１の構成は、第１の実施形態におけるノード生成部１３０Ａの構成と同様である。
なお、ノード生成部１３０Ａ２、１３０Ｂ１、１３０Ｂ２の構成は、ノード生成部１３０Ａ１の構成と同様である。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９９】
（６−４）保持腕１１２Ａ１、１１２Ａ２、１１２Ｂ１、１１２Ｂ２
本実施形態に係る保持腕１１３Ａ１、１１３Ａ２、１１３Ｂ１、１１３Ｂ２の構成は、第４の実施形態における保持腕１１２Ａ１、１１２Ａ２、１１２Ｂ１、１１２Ｂ２の構成と同様である。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０１】
本実施形態においては、共振子１０は、第１の実施形態におけるノード生成部１３０Ａ、１３０Ｂ、接続腕１１１Ａ、１１１Ｂ、及び保持腕１１３Ａ、１１３Ｂに対応する構成として、ノード生成部１３０Ａ１、１３０Ａ２、１３０Ｂ１、１３０Ｂ２、接続腕１１１Ａ１、１１１Ａ２、１１１Ｂ１、１１１Ｂ２、及び保持腕１１３Ａ、１１３Ｂを備えている。なお、本実施形態においては、共振子１０は、第１の実施形態における保持腕１１２Ａ、１１２Ｂに対応する構成を有していない。
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０７】
腕１Ａは、線分Ｃ1´の延長線に沿って設けられる。腕１Ａは、一端において、その幅の中心が、線分Ｃ1´と一致するようにノード生成部１３０Ａ１に接続する。腕１Ａは、他端が腕２Ａの一端に接続する。なお、腕１Ａ´の構成は、腕１Ａの構成と同様である。
その他の構成、機能については第１の実施形態と同様である。
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１０】
１                        共振装置
１０                      共振子
３０                      上蓋
２０                      下蓋
１４０                    保持部
１１１Ａ、１１１Ｂ        接続腕
１１２Ａ、１１２Ｂ        保持腕
１１３Ａ、１１３Ｂ        保持腕
１３０Ａ、１３０Ｂ        ノード生成部
１２０                    振動部
Ｆ１                      ＳｉＯ2膜
Ｆ２                      Ｓｉ層
Ｆ３                      圧電薄膜
Ｅ１、Ｅ２                金属層
【手続補正２１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電振動部と、
前記圧電振動部の周囲の少なくとも一部に設けられた保持部と、
前記圧電振動部と、前記保持部との間に第１のノード生成部と、
前記第１のノード生成部と、前記第１のノード生成部と対向する前記圧電振動部の領域とを接続する第１の接続腕と、
前記第１のノード生成部と、前記保持部における、前記第１のノード生成部と対向する領域とを接続する第１の保持腕と、
を備え、
前記第１のノード生成部は、前記第１のノード生成部と前記圧電振動部とを前記第１の接続腕が接続する第１方向、及び前記第１方向に直交する第２方向に沿って、前記第１のノード生成部の中心をとおる２本の線それぞれに対して、略対称な形状である、
共振子。
【請求項２】
共振子は、
前記圧電振動部と前記保持部との間に、前記圧電振動部を挟んで前記第１のノード生成部と対向して設けられる第２のノード生成部と、
前記圧電振動部と前記第２のノード生成部とを接続する第２の接続腕と、
前記第２のノード生成部と前記保持部とを接続する第２の保持腕と、
をさらに備え、
前記第２のノード生成部は、第１方向、及び第２方向に沿って、前記第２のノード生成部の中心をとおる２本の線それぞれに対して、略対称な形状であることを特徴とする請求項１に記載の共振子。
【請求項３】
前記圧電振動部は、第１の電極、圧電薄膜、及び第２の電極が積層されて形成されており、
前記第１のノード生成部及び前記第２のノード生成部は、それぞれ、前記圧電振動部の積層方向における振動の変位が、その周辺より小さいノード領域を複数有し、
前記第１の保持腕は、前記第１のノード生成部における複数の前記ノード領域のいずれかにおいて、前記第１のノード生成部に接続し、
前記第２の保持腕は、前記第２のノード生成部における複数の前記ノード領域のいずれかにおいて、前記第２のノード生成部に接続することを特徴とする請求項２に記載の共振子。
【請求項４】
前記共振子は、
前記第１の保持腕、及び前記第２の保持腕を複数備え、
複数の前記第１の保持腕、及び複数の前記第２の保持腕は、複数の前記ノード領域のそれぞれと接続する、請求項３に記載の共振子。
【請求項５】
前記第１のノード生成部及び前記第２のノード生成部は、
略円形の形状であることを特徴とする請求項２〜３のいずれか一項に記載の共振子。
【請求項６】
前記第１のノード生成部及び前記第２のノード生成部は、
４辺の長さがほぼ等しい矩形の形状であることを特徴とする請求項２〜５いずれか一項に記載の共振子。
【請求項７】
前記第１の接続腕及び前記第２の接続腕の幅は、前記第１の保持腕及び前記第２の保持腕の幅よりも大きいことを特徴とする請求項２〜６いずれか一項に記載の共振子。
【請求項８】
前記第１の保持腕は、前記第１方向に沿った前記第１の接続腕の延長線上になく、
前記第２の保持腕は、前記第１方向に沿った前記第２の接続腕の延長線上にないことを特徴とする請求項２〜７いずれか一項に記載の共振子。
【請求項９】
請求項１〜８いずれか一項に記載の共振子と、当該共振子を間に挟む下蓋と上蓋とを備える共振装置。
【手続補正２２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図４】
2017051573.tif 000017
【手続補正２３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図５】
2017051573.tif 000018
【国際調査報告】
2017051573.tif 000019
2017051573.tif 000020
2017051573.tif 000021