(57)【要約】  搬送システム１の軌道１０には、特定の処理装置１００Ａに対応して、搬送車２０を待機させる待機区間３０が設けられている。コントローラ５０は、特定の処理装置１００Ａのロードポート１０１にＦＯＵＰ９０を搬送する搬送要求が存在することを把握した場合には、搬送車２０に対して、待機区間３０にＦＯＵＰ９０を搬送する第１搬送指令を割り付ける。当該搬送車２０は、待機区間３０に到着した場合には、ＦＯＵＰ９０を保持した状態で待機する。その後、コントローラ５０は、特定の処理装置１００Ａのロードポート１０１にＦＯＵＰ９０を搬送可能な状況にあることを把握した場合には、当該搬送車２０に対して、特定の処理装置１００Ａのロードポート１０１にＦＯＵＰ９０を搬送する第２搬送指令を割り付ける。
2017098813.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
軌道と、
前記軌道に沿って走行し、複数の処理装置のそれぞれのロードポートに対して被搬送物を搬送する複数の搬送車と、
複数の前記搬送車のそれぞれと通信し、複数の前記搬送車のそれぞれの動作を制御するコントローラと、を備え、
前記軌道には、複数の前記処理装置のうちの特定の処理装置に対応して、前記搬送車を待機させる待機区間が設けられており、
前記コントローラは、前記特定の処理装置のロードポートに前記被搬送物を搬送する搬送要求が存在することを把握した場合には、前記搬送車に対して、前記待機区間に前記被搬送物を搬送する第１搬送指令を割り付け、
前記第１搬送指令を割り付けられた前記搬送車は、前記待機区間に到着した場合には、前記被搬送物を保持した状態で前記待機区間にて待機し、
前記コントローラは、前記搬送車に対して前記第１搬送指令を割り付けた後、前記特定の処理装置の前記ロードポートに前記被搬送物を搬送可能な状況にあることを把握した場合には、前記第１搬送指令を割り付けられた前記搬送車に対して、前記特定の処理装置の前記ロードポートに前記被搬送物を搬送する第２搬送指令を割り付ける、搬送システム。
【請求項２】
前記搬送車は、前記軌道に沿って一方向に走行し、
前記待機区間は、前記特定の処理装置の前記ロードポートに対して前記被搬送物を移載する位置を含む第１走行区間に上流側から連続する第２走行区間に対して並列に接続されている、請求項１記載の搬送システム。
【請求項３】
前記第１走行区間は、複数の前記特定の処理装置に対して１つ設けられている、請求項２記載の搬送システム。
【請求項４】
前記コントローラは、待機区間離脱条件が満たされたことを把握した場合には、前記第１搬送指令を割り付けられた前記搬送車に対して、所定の搬送先に前記被搬送物を搬送する第３搬送指令を割り付ける、請求項１〜３のいずれか一項記載の搬送システム。
【請求項５】
前記コントローラは、前記待機区間離脱条件として、前記第１搬送指令を割り付けられた前記搬送車が前記待機区間に到着してから所定時間以上経過したことを把握した場合には、当該搬送車に対して、前記第３搬送指令を割り付ける、請求項４記載の搬送システム。
【請求項６】
前記コントローラは、前記待機区間離脱条件として、前記待機区間に所定数以上の複数の前記搬送車が待機していることを把握した場合には、複数の当該搬送車のうちの少なくとも１台に対して、前記第３搬送指令を割り付ける、請求項４記載の搬送システム。
【請求項７】
前記搬送車は、前記軌道に沿って一方向に走行し、
前記コントローラは、
前記待機区間に複数の前記搬送車が待機している場合において、複数の当該搬送車のうち、最も下流側の前記搬送車を除くいずれかの前記搬送車に対して、前記待機区間から離脱する搬送指令を割り付けるときには、当該搬送車よりも下流側の他の前記搬送車に対して、前記待機区間から離脱して再び前記待機区間に前記被搬送物を搬送する搬送指令を割り付け、
前記待機区間離脱条件として、前記第１搬送指令を割り付けられた前記搬送車が、前記待機区間から所定回数以上離脱したことを把握したときには、当該搬送車に対して、前記第３搬送指令を割り付ける、請求項４記載の搬送システム。
【請求項８】
軌道と、前記軌道に沿って走行し、複数の処理装置のそれぞれのロードポートに対して被搬送物を搬送する複数の搬送車と、複数の前記搬送車のそれぞれと通信し、複数の前記搬送車のそれぞれの動作を制御するコントローラと、を備え、前記軌道には、複数の前記処理装置のうちの特定の処理装置に対応して、前記搬送車を待機させる待機区間が設けられた搬送システムにおいて実施される搬送方法であって、
前記コントローラが、前記特定の処理装置のロードポートに前記被搬送物を搬送する搬送要求が存在することを把握した場合には、前記搬送車に対して、前記待機区間に前記被搬送物を搬送する第１搬送指令を割り付ける第１ステップと、
前記第１搬送指令を割り付けられた前記搬送車が、前記待機区間に到着した場合には、前記被搬送物を保持した状態で前記待機区間にて待機する第２ステップと、
前記コントローラが、前記搬送車に対して前記第１搬送指令を割り付けた後、前記特定の処理装置の前記ロードポートに前記被搬送物を搬送可能な状況にあることを把握した場合には、前記第１搬送指令を割り付けられた前記搬送車に対して、前記特定の処理装置の前記ロードポートに前記被搬送物を搬送する第２搬送指令を割り付ける第３ステップと、を含む、搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の一形態は、搬送システム及び搬送方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば半導体製造工場に適用される搬送システムとして、軌道と、軌道に沿って走行し、複数の処理装置のそれぞれのロードポートに対して被搬送物を搬送する複数の搬送車と、複数の搬送車のそれぞれと通信し、複数の搬送車のそれぞれの動作を制御するコントローラと、を備えるものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０００−３３９０２７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述したような搬送システムでは、ロードポートに被搬送物を搬送する搬送要求が存在する場合において、ロードポートに被搬送物を搬送可能な状況にないときには、コントローラは、搬送車に対して、被搬送物を一時保管するための保管棚等に被搬送物を搬送する搬送指令を割り付ける。その後、ロードポートに被搬送物を搬送可能な状況になったときには、コントローラは、いずれかの搬送車に対して、保管棚等からロードポートに被搬送物を搬送する搬送指令を割り付ける。【０００５】
具体的に、コントローラは、保管棚等に一時保管された被搬送物を保管棚等からロードポートに搬送する場合には、その被搬送物を搬送可能な搬送車を検出し、その搬送車に対して、保管棚等からロードポートに被搬送物を搬送する搬送指令を割り付ける。搬送指令を割り付けられた搬送車は、保管棚等に一時保管された被搬送物を荷つかみし、ロードポートに搬送して荷おろしする。以上の動作には時間を要する。このため、ロードポートに被搬送物を搬送可能な状況になってから、そのロードポートに被搬送物が荷おろしされるまでの時間の短縮には限界がある。【０００６】
特に、保管棚等とロードポートとの距離が長いような場合には、搬送車が、保管棚等に一時保管された被搬送物を荷つかみし、ロードポートに搬送して荷おろしするのに要する時間が長くなる。その結果、例えば処理スピードの速い処理装置等、特定の処理装置においては、稼働率が低下するおそれがある。【０００７】
そこで、本発明の一形態は、特定の処理装置における稼働率の低下を抑制することができる搬送システム及び搬送方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一形態の搬送システムは、軌道と、軌道に沿って走行し、複数の処理装置のそれぞれのロードポートに対して被搬送物を搬送する複数の搬送車と、複数の搬送車のそれぞれと通信し、複数の搬送車のそれぞれの動作を制御するコントローラと、を備え、軌道には、複数の処理装置のうちの特定の処理装置に対応して、搬送車を待機させる待機区間が設けられており、コントローラは、特定の処理装置のロードポートに被搬送物を搬送する搬送要求が存在することを把握した場合には、搬送車に対して、待機区間に被搬送物を搬送する第１搬送指令を割り付け、第１搬送指令を割り付けられた搬送車は、待機区間に到着した場合には、被搬送物を保持した状態で待機区間にて待機し、コントローラは、搬送車に対して第１搬送指令を割り付けた後、特定の処理装置のロードポートに被搬送物を搬送可能な状況にあることを把握した場合には、第１搬送指令を割り付けられた搬送車に対して、特定の処理装置のロードポートに被搬送物を搬送する第２搬送指令を割り付ける。【０００９】
この搬送システムでは、特定の処理装置のロードポートに被搬送物を搬送可能な状況にないときであっても、搬送車は、被搬送物を荷つかみし、特定の処理装置に対応する待機区間に向かって走行を開始する。特定の処理装置のロードポートに被搬送物を搬送可能な状況になると、待機区間に向かって走行している搬送車、或いは、待機区間に到着して被搬送物を保持した状態で待機している搬送車は、改めて荷つかみ等の動作を行うことを必要とせず、直ちに特定の処理装置のロードポートに被搬送物を搬送することができる。よって、特定の処理装置における稼働率の低下を抑制することができる。【００１０】
本発明の一形態の搬送システムでは、搬送車は、軌道に沿って一方向に走行し、待機区間は、特定の処理装置のロードポートに対して被搬送物を移載する位置を含む第１走行区間に上流側から連続する第２走行区間に対して並列に接続されていてもよい。この場合、第２走行区間から第１走行区間への搬送車の走行を妨げずに、待機区間に搬送車を待機させることができる。【００１１】
本発明の一形態の搬送システムでは、第１走行区間は、複数の特定の処理装置に対して１つ設けられていてもよい。この場合、複数の特定の処理装置に対して１つの待機区間が対応することになるため、待機区間を設けるために必要なスペースの広さを低減することができる。【００１２】
本発明の一形態の搬送システムでは、コントローラは、待機区間離脱条件が満たされたことを把握した場合には、第１搬送指令を割り付けられた搬送車に対して、所定の搬送先に被搬送物を搬送する第３搬送指令を割り付けてもよい。この場合、例えば特定の処理装置に何らかの不具合が発生したことに起因して搬送車が待機区間に留まったままとなることを抑制することができる。【００１３】
本発明の一形態の搬送システムでは、コントローラは、待機区間離脱条件として、第１搬送指令を割り付けられた搬送車が待機区間に到着してから所定時間以上経過したことを把握した場合には、当該搬送車に対して、第３搬送指令を割り付けてもよい。この場合、例えば特定の処理装置に何らかの不具合が発生したことに起因して搬送車が待機区間に留まったままとなることを抑制することができる。【００１４】
本発明の一形態の搬送システムでは、コントローラは、待機区間離脱条件として、待機区間に所定数以上の複数の搬送車が待機していることを把握した場合には、複数の当該搬送車のうちの少なくとも１台に対して、第３搬送指令を割り付けてもよい。この場合、例えば特定の処理装置に何らかの不具合が発生したことに起因して搬送車が待機区間に留まったままとなることを抑制することができる。【００１５】
本発明の一形態の搬送システムでは、搬送車は、軌道に沿って一方向に走行し、コントローラは、待機区間に複数の搬送車が待機している場合において、複数の当該搬送車のうち、最も下流側の搬送車を除くいずれかの搬送車に対して、待機区間から離脱する搬送指令を割り付けるときには、当該搬送車よりも下流側の他の搬送車に対して、待機区間から離脱して再び待機区間に被搬送物を搬送する搬送指令を割り付け、待機区間離脱条件として、第１搬送指令を割り付けられた搬送車が、待機区間から所定回数以上離脱したことを把握したときには、当該搬送車に対して、第３搬送指令を割り付けてもよい。この場合、例えば特定の処理装置に何らかの不具合が発生したことに起因して追い出し制御（上流側の搬送車を待機区間から離脱させるために、下流側の搬送車を待機区間から離脱させて再び待機区間に戻す制御）が繰り返され続けることを抑制することができる。【００１６】
本発明の一形態の搬送方法は、軌道と、軌道に沿って走行し、複数の処理装置のそれぞれのロードポートに対して被搬送物を搬送する複数の搬送車と、複数の搬送車のそれぞれと通信し、複数の搬送車のそれぞれの動作を制御するコントローラと、を備え、軌道には、複数の処理装置のうちの特定の処理装置に対応して、搬送車を待機させる待機区間が設けられた搬送システムにおいて実施される搬送方法であって、コントローラが、特定の処理装置のロードポートに被搬送物を搬送する搬送要求が存在することを把握した場合には、搬送車に対して、待機区間に被搬送物を搬送する第１搬送指令を割り付ける第１ステップと、第１搬送指令を割り付けられた搬送車が、待機区間に到着した場合には、被搬送物を保持した状態で待機区間にて待機する第２ステップと、コントローラが、搬送車に対して第１搬送指令を割り付けた後、特定の処理装置のロードポートに被搬送物を搬送可能な状況にあることを把握した場合には、第１搬送指令を割り付けられた搬送車に対して、特定の処理装置のロードポートに被搬送物を搬送する第２搬送指令を割り付ける第３ステップと、を含む。【００１７】
この搬送方法によれば、上述した搬送システムと同様に、特定の処理装置における稼働率の低下を抑制することができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明の一形態によれば、特定の処理装置における稼働率の低下を抑制することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】図１は、本発明の一実施形態に係る搬送システムの一部の平面図である。
【図２】図２は、図１の搬送システムにおける待機制御を説明するための平面図である。
【図３】図３は、図１の搬送システムにおける待機制御を説明するための平面図である。
【図４】図４は、図１の搬送システムにおける待機制御を説明するための平面図である。
【図５】図５は、図１の搬送システムにおける第１離脱制御を説明するための平面図である。
【図６】図６は、図１の搬送システムにおける第１離脱制御を説明するための平面図である。
【図７】図７は、図１の搬送システムにおける第２離脱制御を説明するための平面図である。
【図８】図８は、図１の搬送システムにおける第３離脱制御を説明するための平面図である。
【図９】図９は、図１の搬送システムにおける第３離脱制御を説明するための平面図である。
【図１０】図１０は、変形例に係る搬送システムの一部の平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明の好適な実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、各図において同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明を省略する。
【００２１】
［搬送システムの構成］
図１に示されるように、搬送システム１は、軌道１０と、複数の搬送車２０と、コントローラ５０と、を備えている。軌道１０は、複数の処理装置１００を備える半導体製造工場の天井付近に敷設されている。搬送車２０は、ＯＨＴ（Overhead  Hoist  Transfer）であり、軌道１０に吊り下げられた状態で軌道１０に沿って一方向に走行する。搬送車２０は、各処理装置１００のロードポート１０１に対して、複数の半導体ウェハが収容されたＦＯＵＰ（Front  Opening  Unified  Pod）９０を被搬送物として搬送する。コントローラ５０は、各搬送車２０と通信し、各搬送車２０の動作を制御する。
【００２２】
軌道１０は、複数の区間１０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄ，１０ｅによって構成された部分を含んでいる。区間１０ｂは、区間１０ａの下流側に直線的に接続されている。区間１０ｃは、折り返すようにカーブしつつ区間１０ｂの下流側に接続されている。区間１０ｄは、区間１０ｃの下流側に直線的に接続されている。区間１０ｅは、区間１０ｃと区間１０ｄとの接続位置から分岐し、区間１０ａと区間１０ｂとの接続位置に合流している。
【００２３】
このような軌道１０において、区間１０ａの上流側から進入した搬送車２０は、区間１０ａから区間１０ｂへと走行し、続いて区間１０ｃへと走行した後、区間１０ｄへと走行して下流側へと退出する。或いは、区間１０ａの上流側から進入した搬送車２０は、区間１０ａから区間１０ｂへと走行し、続いて区間１０ｃへと走行した後、区間１０ｃから区間１０ｅへと走行し、再び区間１０ｂへと走行する。なお、図中に示す軌道１０の構成は一例であって、これに限定されない。
【００２４】
区間１０ｂには、複数の処理装置１００のうちの特定の処理装置１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃに対応して、搬送車２０を待機させる待機区間３０が設けられている。待機区間３０には、搬送車２０を待機させる位置である複数の待機ポイント３１，３２が設定されている。図中には、待機ポイントとして、待機区間３０の最も上流側に設定された待機ポイント３１と、待機ポイント３１の下流側に設定された４つの待機ポイント３２ａ，３２ｂ，３２ｃ，３２ｄが示されている。
【００２５】
区間１０ｃには、各特定の処理装置１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃのロードポート１０１に対してＦＯＵＰ９０を移載する位置が設定されている。３台の特定の処理装置１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃは、区間１０ｃに沿って上流側からこの順序で配置されており、各特定の処理装置１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃのロードポート１０１は、区間１０ｃの下方に位置している。各特定の処理装置１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃは、ロードポート１０１にＦＯＵＰ９０が載置されると、当該ＦＯＵＰ内の半導体ウェハを取り込んで、当該半導体ウェハに所定の処理を施す。各特定の処理装置１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃは、所定の処理を施した半導体ウェハをＦＯＵＰ９０内に戻し、ＦＯＵＰ９０を搬送車２０により搬送可能な状態にする。
【００２６】
各特定の処理装置１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃは、処理装置１００の中でも処理スピードが速い処理（すなわち、処理装置１００の中でも、ＦＯＵＰ９０がロードポート１０１に載置されてから、半導体ウェハに所定の処理を施し、ＦＯＵＰ９０を搬送車２０により搬送可能な状態にするまでの時間が短い処理）を実施するものである。例えば、各特定の処理装置１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃとしては、検査装置、リソグラフィ装置等が挙げられる。
【００２７】
また、区間１０ｃには、特定の処理装置１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃ以外の処理装置１００である通常の処理装置１００Ｄ，１００Ｅが配置されている。通常の処理装置１００Ｄ，１００Ｅは、区間１０ｃに沿って上流側からこの順で配置されており、各通常の処理装置１００Ｄ，１００Ｅのロードポート１０１は、区間１０ｃの下方に位置している。各通常の処理装置１００Ｄ，１００Ｅは、ロードポート１０１にＦＯＵＰ９０が載置されると、当該ＦＯＵＰ内の半導体ウェハを取り込んで、当該半導体ウェハに所定の処理を施す。各特定の処理装置１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃは、処理を施した半導体ウェハをＦＯＵＰ９０内に戻し、ＦＯＵＰ９０を搬送車２０により搬送可能な状態にする。各通常の処理装置１００Ｄ，１００Ｅは、特定の処理装置１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃよりも処理スピードが遅い処理を実施するものである。
【００２８】
区間１０ｃと区間１０ｄとの接続位置の近傍には、保管庫４０が配置されている。保管庫４０は、搬送車２０によって搬送された複数のＦＯＵＰ９０を一時保管するための設備である。保管庫４０のポート４１は、区間１０ｃと区間１０ｄとの接続位置の下方に位置している。保管庫４０は、ポート４１にＦＯＵＰ９０が載置されると、当該ＦＯＵＰ９０を取り込んで一時保管し、一時保管しているＦＯＵＰ９０が搬送車２０によって取得される場合には、当該ＦＯＵＰ９０をポート４１に載置して搬送車２０により搬送可能な状態にする。なお、保管庫４０に代えて、被搬送物を一時保管するための保管棚等を用いてもよい。
【００２９】
搬送車２０は、ＦＯＵＰ９０をロードポート１０１に対して移載する移載機構を有している。移載機構は、例えば、ＦＯＵＰ９０を把持する把持部、及び把持部を昇降させる昇降機構によって構成されている。これにより、搬送車２０は、例えば特定の処理装置１００Ａのロードポート１０１に対してＦＯＵＰ９０を移載する位置に停止し、その状態で移載機構を動作させることで、当該ロードポート１０１に対してＦＯＵＰ９０を移載することができる。なお、ロードポート１０１に対するＦＯＵＰ９０の移載とは、搬送車２０が保持（積載）しているＦＯＵＰ９０をロードポート１０１に供給（荷おろし）する場合と、ロードポート１０１に載置されているＦＯＵＰ９０を搬送車２０が取得（荷つかみ）する場合と、を含む。
【００３０】
コントローラ５０は、搬送コントローラ５０Ａと、搬送車コントローラ５０Ｂと、を有している。搬送コントローラ５０Ａは、搬送車コントローラ５０Ｂに対する上位コントローラである。搬送コントローラ５０Ａは、搬送車コントローラ５０Ｂ及び製造コントローラ（不図示）と通信する。製造コントローラは、各処理装置１００と通信し、搬送コントローラ５０Ａに対して各処理装置１００のロードポート１０１にＦＯＵＰ９０を搬送する搬送要求を出す。搬送要求が存在することを搬送コントローラ５０Ａが把握すると、搬送車コントローラ５０Ｂは、いずれかの搬送車２０に対して、当該搬送要求に対応する搬送指令を割り付ける。搬送コントローラ５０Ａ、搬送車コントローラ５０Ｂ、及び製造コントローラのそれぞれは、例えば、プロセッサ、メモリ、ストレージ、及び通信デバイス等を含むコンピュータ装置として構成される。各コントローラにおいて、プロセッサが、メモリ等に読み込まれた所定のソフトウェア（プログラム）を実行し、メモリ及びストレージにおけるデータの読み出し及び書き込み、並びに通信デバイスによるコントローラ間での通信を制御することによって、後述する各コントローラの機能が実現される。
【００３１】
［搬送システムにおける待機制御］
搬送システム１では、以下に説明する待機制御が実施される。一例として、次のような状況において実施される待機制御について説明する。すなわち、図１に示されるように、区間１０ｃに沿って配置された３台の特定の処理装置１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃのうち、特定の処理装置１００Ａのロードポート１０１にＦＯＵＰ９０が載置されている。したがって、このとき、特定の処理装置１００Ａは、そのロードポート１０１にＦＯＵＰ９０を搬送可能な状況にない。また、特定の処理装置１００Ａのロードポート１０１に載置されたＦＯＵＰ９０を取得するために、搬送車２０Ａが特定の処理装置１００Ａに向かって区間１０ｃを走行中である。
【００３２】
このような状況において、特定の処理装置１００Ａのロードポート１０１に別のＦＯＵＰ９０を搬送する搬送要求が存在するときには、搬送コントローラ５０Ａは、製造コントローラと通信することにより、当該搬送要求が存在することを把握する。ここで、搬送コントローラ５０Ａは、待機区間３０にＦＯＵＰ９０を搬送する第１搬送指令を作成する。そして、搬送コントローラ５０Ａは、搬送車コントローラ５０Ｂに対して第１搬送指令を送信する。第１搬送指令を受信した搬送車コントローラ５０Ｂは、搬送車２０Ｂに対して第１搬送指令を割り付ける（第１ステップ）。具体的に、第１搬送指令は、搬送車２０Ｂに対して、待機区間３０の待機ポイント３１にＦＯＵＰ９０を搬送させる指令である。図中には、第１搬送指令を割り付けられた搬送車２０Ｂが、特定の処理装置１００Ａのロードポート１０１に搬送されるべきＦＯＵＰ９０を保持して区間１０ａを走行している状態が示されている。なお、特定の処理装置１００Ａのロードポート１０１にＦＯＵＰ９０が載置されておらず、特定の処理装置１００Ａは、そのロードポート１０１にＦＯＵＰ９０を搬送可能な状況にある場合であっても、搬送車コントローラ５０Ｂは、搬送車２０Ｂに対して、待機区間３０にＦＯＵＰ９０を搬送する第１搬送指令を割り付ける。
【００３３】
続いて、図２に示されるように、搬送車２０Ｂが待機ポイント３１に到着して、第１搬送指令は完了する。待機ポイント３１に到着した搬送車２０Ｂは、ＦＯＵＰ９０を保持した状態で待機ポイント３１にて待機する（第２ステップ）。
【００３４】
続いて、図３に示されるように、待機区間３０において、搬送車２０Ｂの下流側の待機ポイント３２が空いている状態（すなわち、他の搬送車２０が待機していない状態）である場合には、搬送車コントローラ５０Ｂは、搬送車２０Ｂに対して、下流側の待機ポイント３２に移動させる移動指令を割り付ける。図中には、搬送車コントローラ５０Ｂによって待機ポイント３２ａに移動する移動指令を割り付けられた搬送車２０Ｂが、待機ポイント３２ａに移動した状態が示されている。待機ポイント３２ａに到着した搬送車２０Ｂは、ＦＯＵＰ９０を保持した状態で待機ポイント３２ａにて待機する。
【００３５】
また、図中では、搬送車２０Ａが、特定の処理装置１００Ａのロードポート１０１に対してＦＯＵＰ９０を移載する位置に到着している。搬送車２０Ａは、特定の処理装置１００Ａのロードポート１０１に載置されたＦＯＵＰ９０を取得する。これにより、特定の処理装置１００Ａは、そのロードポート１０１にＦＯＵＰ９０を搬送可能な状況となる。
【００３６】
続いて、図４に示されるように、搬送コントローラ５０Ａは、製造コントローラと通信することにより、特定の処理装置１００Ａのロードポート１０１にＦＯＵＰ９０を搬送可能な状況にあることを把握する。ここで、搬送コントローラ５０Ａは、特定の処理装置１００Ａのロードポート１０１にＦＯＵＰ９０を搬送する第２搬送指令を作成する。そして、搬送コントローラ５０Ａは、搬送車コントローラ５０Ｂに対して第２搬送指令を送信する。第２搬送指令を受信した搬送車コントローラ５０Ｂは、第１搬送指令を割り付けられた搬送車２０Ｂに対して第２搬送指令を割り付ける（第３ステップ）。続いて、搬送車２０Ｂが待機ポイント３２ａから特定の処理装置１００Ａのロードポート１０１にＦＯＵＰ９０を搬送して、第２搬送指令は完了する。
【００３７】
このとき、搬送車コントローラ５０Ｂは、特定の処理装置１００Ａのロードポート１０１からＦＯＵＰ９０を取得した搬送車２０Ａを、ロードポート１０１に対してＦＯＵＰ９０を移載する位置から、軌道１０上の他の位置に走行させる。
【００３８】
［搬送システムにおける離脱制御］
搬送システム１では、以下に説明する第１離脱制御、第２離脱制御及び第３離脱制御が実施される。
【００３９】
まず、一例として、次のような状況において実施される第１離脱制御について説明する。すなわち、図５に示されるように、区間１０ｃに沿って配置された３台の特定の処理装置１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃのうち、特定の処理装置１００Ａのロードポート１０１にＦＯＵＰ９０が載置されている。したがって、このとき、特定の処理装置１００Ａは、そのロードポート１０１にＦＯＵＰ９０を搬送可能な状況にない。また、第１搬送指令を割り付けられたことによって待機区間３０にＦＯＵＰ９０を搬送した搬送車２０Ａが、特定の処理装置１００Ａのロードポート１０１に搬送されるべきＦＯＵＰ９０を保持して待機ポイント３２ａにて待機している。
【００４０】
このような状況において、例えば特定の処理装置１００Ａ又はコントローラ５０等に何らかの不具合が発生すると、待機ポイント３２ａにて待機している搬送車２０Ａは、特定の処理装置１００Ａのロードポート１０１にＦＯＵＰ９０を搬送することができず、待機ポイント３２ａに留まったままとなる場合がある。
【００４１】
この場合に、搬送コントローラ５０Ａは、第１待機区間離脱条件（待機区間離脱条件）が満たされたことを把握したときには、所定の搬送先にＦＯＵＰ９０を搬送する第３搬送指令を作成する。そして、搬送コントローラ５０Ａは、搬送車コントローラ５０Ｂに対して第３搬送指令を送信する。第３搬送指令を受信した搬送車コントローラ５０Ｂは、搬送車２０Ａに対して第３搬送指令を割り付ける。ここで、第１待機区間離脱条件は、搬送車２０Ａが待機区間３０に到着してから所定時間以上経過したことによって満たされる。なお、所定の搬送先は、ここでは保管庫４０とされるが、他の搬送先とされてもよい。
【００４２】
続いて、図６に示されるように、搬送車２０Ａが、待機ポイント３２ａから保管庫４０にＦＯＵＰ９０を搬送して、第３搬送指令は完了する。以上により、第１離脱制御が完了する。
【００４３】
次に、一例として、次のような状況において実施される第２離脱制御について説明する。すなわち、図７に示されるように、区間１０ｃに沿って配置された３台の特定の処理装置１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃのそれぞれのロードポート１０１にＦＯＵＰ９０が載置されている。したがって、このとき、各特定の処理装置１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃは、それらのロードポート１０１にＦＯＵＰ９０を搬送可能な状況にない。また、第１搬送指令を割り付けられたことによって待機区間３０にＦＯＵＰ９０を搬送した各搬送車２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃ，２０Ｄ，２０Ｅが、各特定の処理装置１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃのいずれかのロードポート１０１に搬送されるべきＦＯＵＰ９０を保持して、待機ポイント３２ａ，３２ｂ，３２ｃ，３２ｄ，３１にて待機している。
【００４４】
このような状況において、例えば特定の処理装置１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃ又はコントローラ５０等に何らかの不具合が発生すると、待機ポイント３２ａ，３２ｂ，３２ｃ，３２ｄ，３１にて待機している各搬送車２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃ，２０Ｄ，２０Ｅは、各特定の処理装置１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃのロードポート１０１にＦＯＵＰ９０を搬送することができず、待機ポイント３２ａ，３２ｂ，３２ｃ，３２ｄ，３１に留まったままとなる場合がある。このような場合には、待機区間３０にて待機している搬送車２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃ，２０Ｄ，２０Ｅのうちの少なくとも１台を待機区間３０から離脱させないと、別の新たな搬送車２０を待機させるための場所を確保することができないという問題がある。
【００４５】
この場合に、搬送コントローラ５０Ａは、第２待機区間離脱条件（待機区間離脱条件）が満たされたことを把握したときには、第３搬送指令を作成する。そして、搬送コントローラ５０Ａは、搬送車コントローラ５０Ｂに対して第３搬送指令を送信する。第３搬送指令を受信した搬送車コントローラ５０Ｂは、搬送車２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃ，２０Ｄ，２０Ｅのうちの少なくとも１台に対して第３搬送指令を割り付ける。ここで、第２待機区間離脱条件は、待機区間３０に所定数以上の複数の搬送車２０が待機していることによって満たされる。一例として、ここでは所定数とは５台であるが、他の台数であってもよい。
【００４６】
続いて、搬送車２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃ，２０Ｄ，２０Ｅのうちの少なくとも１台が、待機ポイント３２ａ，３２ｂ，３２ｃ，３２ｄ，３１から所定の搬送先にＦＯＵＰ９０を搬送して、第３搬送指令は完了する。以上により、第２離脱制御が完了する。なお、所定の搬送先は、ここでは保管庫４０とされるが、他の搬送先とされてもよい。
【００４７】
次に、一例として、次のような状況において実施される第３離脱制御について説明する。すなわち、図８に示されるように、区間１０ｃに沿って配置された３台の特定の処理装置１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃのそれぞれのロードポート１０１にＦＯＵＰ９０が載置されている。したがって、このとき、各特定の処理装置１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃは、そのロードポート１０１にＦＯＵＰ９０を搬送可能な状況にない。また、第１搬送指令を割り付けられたことによって待機区間３０にＦＯＵＰ９０を搬送した搬送車２０Ａ、２０Ｂが、特定の処理装置１００Ａ，１００Ｂのロードポート１０１に搬送されるべきＦＯＵＰ９０を保持して、待機ポイント３２ａ，３２ｂにてそれぞれ待機している。また、第１搬送指令を割り付けられたことによって待機区間３０にＦＯＵＰ９０を搬送した搬送車２０Ｃが、特定の処理装置１００Ｃのロードポート１０１に搬送されるべきＦＯＵＰ９０を保持して、待機ポイント３２ｃにて待機している。更に、特定の処理装置１００Ｃのロードポート１０１に載置されたＦＯＵＰ９０を取得するために、搬送車２０Ｄが、特定の処理装置１００Ｃのロードポート１０１に対してＦＯＵＰ９０を移載する位置にある。
【００４８】
このような状況において、搬送車２０Ｄは、特定の処理装置１００Ｃのロードポート１０１に載置されたＦＯＵＰ９０を取得する。これにより、特定の処理装置１００Ｃは、そのロードポート１０１にＦＯＵＰ９０を搬送可能な状況となる。
【００４９】
続いて、図９に示されるように、搬送コントローラ５０Ａは、待機区間３０から離脱する搬送指令を作成する。そして、搬送コントローラ５０Ａは、搬送車コントローラ５０Ｂに対して、当該搬送指令を送信する。当該搬送指令を受信した搬送車コントローラ５０Ｂは、待機区間３０にて待機している搬送車２０Ｃに対して当該搬送指令を割り付ける。
【００５０】
このとき、搬送コントローラ５０Ａは、待機区間３０から離脱して再び待機区間３０にＦＯＵＰ９０を搬送する搬送指令を作成する。そして、搬送コントローラ５０Ａは、搬送車コントローラ５０Ｂに対して、当該搬送指令を送信する。当該搬送指令を受信した搬送車コントローラ５０Ｂは、搬送車２０Ｃよりも下流側の搬送車２０Ａ，２０Ｂに対して当該搬送指令を割り付ける（追い出し制御）。
【００５１】
この例では、待機区間３０から離脱する搬送指令として、搬送車２０Ｃに対して特定の処理装置１００Ｃのロードポート１０１にＦＯＵＰ９０を搬送する第２搬送指令を割り付ける場合の追い出し制御について説明した。なお、追い出し制御において、待機区間３０から離脱する搬送指令としては、第２搬送指令でなくてもよく、例えば第１離脱制御又は第２離脱制御による搬送指令であってもよい。
【００５２】
また、ここでは、一例として、搬送車コントローラ５０Ｂが、待機区間３０にて待機している複数の搬送車２０のうち、最も上流側の搬送車２０である搬送車２０Ｃに対して、待機区間３０から離脱する搬送指令を割り付ける場合について説明した。しかし、待機区間３０から離脱する搬送指令を割り付ける搬送車２０としては、待機区間３０にて待機している各搬送車２０のうち、最も下流側の搬送車２０を除くいずれかの搬送車２０であればよい。
【００５３】
その後、待機区間３０から離脱して再び待機区間３０にＦＯＵＰ９０を搬送した搬送車２０Ａ，２０Ｂは、ＦＯＵＰ９０を保持した状態で待機区間３０にて待機する。搬送車２０Ａ，２０Ｂに対して、搬送車コントローラ５０Ｂは、再度、待機区間３０から離脱して再び待機区間３０にＦＯＵＰ９０を搬送する搬送指令を割り付ける場合があり得る。
【００５４】
このような追い出し制御が実施される状況において、例えば特定の処理装置１００Ａ，１００Ｂ又はコントローラ５０等に何らかの不具合が発生すると、待機ポイント３２ａ，３２ｂにて待機している搬送車２０Ａ，２０Ｂは、特定の処理装置１００Ａ，１００Ｂのロードポート１０１にＦＯＵＰ９０を搬送することができず、待機ポイント３２ａ，３２ｂに留まったままとなる場合がある。このことから、同一の搬送車２０Ａ，２０Ｂに対して追い出し制御が所定回数以上繰り返されるときには、例えば特定の処理装置１００Ａ，１００Ｂ又はコントローラ５０等に不具合が発生しているおそれがある。
【００５５】
そこで、搬送コントローラ５０Ａは、第３待機区間離脱条件（待機区間離脱条件）が満たされたことを把握したときには、第３搬送指令を作成する。そして、搬送コントローラ５０Ａは、搬送車コントローラ５０Ｂに対して第３搬送指令を送信する。第３搬送指令を受信した搬送車コントローラ５０Ｂは、待機ポイント３２ａ，３２ｂにて待機している搬送車２０Ａ，２０Ｂに対して第３搬送指令を割り付ける。ここで、第３待機区間離脱条件は、第１搬送指令を割り付けられた搬送車２０が、待機区間３０から所定回数以上離脱することによって満たされる。
【００５６】
続いて、搬送車２０Ａ，２０Ｂが、待機ポイント３２ａ，３２ｂから保管庫４０にＦＯＵＰ９０を搬送して、第３搬送指令は完了する。以上により、第３離脱制御が完了する。なお、所定の搬送先は、ここでは保管庫４０とされるが、他の搬送先とされてもよい。
【００５７】
［作用及び効果］
以上説明したように、搬送システム１及び当該搬送システム１において実施される搬送方法では、各特定の処理装置１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃのロードポート１０１にＦＯＵＰ９０を搬送可能な状況にないときであっても、搬送車２０は、ＦＯＵＰ９０を荷つかみし、待機区間３０に向かって走行を開始する。各特定の処理装置１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃのロードポート１０１にＦＯＵＰ９０を搬送可能な状況になると、待機区間３０に向かって走行している搬送車２０Ｂ、或いは、待機区間３０に到着してＦＯＵＰ９０を保持した状態で待機している搬送車２０Ｂは、改めて荷つかみ等の動作を行うことを必要とせず、直ちに特定の処理装置１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃのロードポート１０１にＦＯＵＰ９０を搬送することができる。よって、特定の処理装置１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃにおける稼働率の低下を抑制することができる。
【００５８】
また、搬送システム１では、例えば後工程の特定の処理装置１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃのロードポート１０１にＦＯＵＰ９０が載置されていることによって、当該特定の処理装置１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃのロードポート１０１に別のＦＯＵＰ９０を搬送可能な状況にないときであっても、搬送車２０は、例えば前工程の処理装置１００のロードポートから待機区間３０に当該別のＦＯＵＰ９０を搬送することができる。このため、前工程の処理装置１００のロードポート１０１からＦＯＵＰ９０を荷つかみするのに要する時間を短くすることができる。よって、前工程の処理装置１００における稼働率の低下を抑制することができる。
【００５９】
搬送システム１では、搬送車コントローラ５０Ｂは、待機区間離脱条件が満たされたことを把握した場合には、第１搬送指令を割り付けられた搬送車２０に対して、保管庫４０にＦＯＵＰ９０を搬送する第３搬送指令を割り付ける。このため、例えば特定の処理装置１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃに何らかの不具合が発生したことに起因して搬送車２０が待機区間３０に留まったままとなることを抑制することができる。
【００６０】
搬送システム１では、搬送車コントローラ５０Ｂは、第１待機区間離脱条件として、第１搬送指令を割り付けられた搬送車２０が待機区間３０に到着してから所定時間以上経過したことを把握した場合には、当該搬送車２０に対して、第３搬送指令を割り付ける。このため、例えば特定の処理装置１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃに何らかの不具合が発生したことに起因して搬送車２０が待機区間３０に留まったままとなることを抑制することができる。
【００６１】
搬送システム１では、搬送車コントローラ５０Ｂは、第２待機区間離脱条件として、待機区間３０に所定数以上の複数の搬送車２０が待機していることを把握した場合には、各搬送車２０のうちの少なくとも１台に対して、第３搬送指令を割り付ける。このため、例えば特定の処理装置１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃに何らかの不具合が発生したことに起因して搬送車２０が待機区間３０に留まったままとなることを抑制することができる。
【００６２】
搬送システム１では、搬送車２０は、軌道１０に沿って一方向に走行し、搬送車コントローラ５０Ｂは、待機区間３０に複数の搬送車２０が待機している場合において、各搬送車２０のうち、最も下流側の搬送車２０を除くいずれかの搬送車２０に対して、待機区間３０から離脱する搬送指令を割り付けるときには、当該搬送車２０よりも下流側の他の搬送車２０に対して、待機区間３０から離脱して再び待機区間３０にＦＯＵＰ９０を搬送する搬送指令を割り付け、第３待機区間離脱条件として、第１搬送指令を割り付けられた搬送車２０が、待機区間３０から所定回数以上離脱したことを把握したときには、当該搬送車２０に対して、第３搬送指令を割り付ける。このため、例えば特定の処理装置１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃに何らかの不具合が発生したことに起因して追い出し制御が繰り返され続けることを抑制することができる。
【００６３】
［変形例］
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。例えば、上記実施形態では、搬送車２０は、軌道１０に沿って一方向に走行する。しかし、搬送車２０は、軌道１０に沿って双方向に走行してもよい。
【００６４】
また、上記実施形態では、搬送システム１は、区間１０ｃに３台の特定の処理装置１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃを備えている。しかし、搬送システム１は、区間１０ｃに３台より多い台数の特定の処理装置を備えていてもよく、また、３台より少ない台数（１台又は２台）の特定の処理装置を備えていてもよい。
【００６５】
また、図１０に示されるように、搬送車２０は、軌道１０に沿って一方向に走行し、待機区間３０は、各特定の処理装置１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃのロードポート１０１に対してＦＯＵＰ９０を移載する位置を含む第１走行区間３３Ａに上流側から連続する第２走行区間３３Ｂに対して並列に接続されていてもよい。特に、第１走行区間３３Ａは、特定の処理装置１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃに対して１つ設けられていてもよい。
【００６６】
この場合、上記実施形態に比較して、区間１０ｆが、区間１０ｂに対して並列に接続されている。すなわち、区間１０ｂが第２走行区間３３Ｂに相当し、区間１０ｆが待機区間３０に相当する。具体的には、区間１０ｆは、その上流側において、第２走行区間３３Ｂ（区間１０ｂ）の上流側から分岐し、その下流側において、第２走行区間３３Ｂ（区間１０ｂ）の下流側、すなわち第１走行区間３３Ａ（区間１０ｃ）の上流側に合流する。
【００６７】
このような軌道１０において、区間１０ａの上流側から進入した搬送車２０は、区間１０ａから区間１０ｂへと走行し、続いて区間１０ｃへと走行する。或いは、区間１０ａの上流側から進入した搬送車２０は、区間１０ａから区間１０ｆへと走行し、続いて区間１０ｃへと走行する。区間１０ｃへと走行した搬送車２０は、区間１０ｄへと走行して下流側へと退出する。或いは、区間１０ｃへと走行した搬送車２０は、区間１０ｃから区間１０ｅへと走行し、再び区間１０ｂへと走行する。なお、図中に示す軌道１０の構成は一例であって、これに限定されない。
【００６８】
このような搬送システム１では、搬送車２０は、軌道１０に沿って一方向に走行し、待機区間３０は、各特定の処理装置１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃのロードポート１０１に対してＦＯＵＰ９０を移載する位置を含む第１走行区間３３Ａに上流側から連続する第２走行区間３３Ｂに対して並列に接続されている。このため、第２走行区間３３Ｂから第１走行区間３３Ａへの搬送車２０の走行を妨げずに、待機区間３０に搬送車２０を待機させることができる。
【００６９】
また、このような搬送システム１では、第１走行区間３３Ａは、特定の処理装置１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃに対して１つ設けられている。このため、特定の処理装置１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃに対して１つの待機区間３０が対応することになることから、待機区間３０を設けるために必要なスペースの広さを低減することができる。
【００７０】
なお、このような搬送システム１では、各特定の処理装置のロードポート１０１に対してＦＯＵＰ９０を移載する位置を含む第１走行区間３３Ａに３台の特定の処理装置１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃを備えている。しかし、搬送システム１は、第１走行区間３３Ａに３台より多い台数の特定の処理装置を備えていてもよく、また、３台より少ない台数（１台又は２台）の特定の処理装置を備えていてもよい。
【００７１】
また、上記実施形態では、搬送コントローラ５０Ａが有する機能の一部又は全部を搬送車コントローラ５０Ｂが有していてもよく、搬送車コントローラ５０Ｂが有する機能の一部又は全部を搬送コントローラ５０Ａが有していてもよい。或いは、１つのコントローラ５０が、搬送コントローラ５０Ａ及び搬送車コントローラ５０Ｂの有する機能を有していてもよい。
【００７２】
また、上記実施形態では、本発明の搬送システム１が搬送する被搬送物は、複数の半導体ウェハが収容されたＦＯＵＰ９０に限定されず、ガラスウェハ、レチクル等が収容されたその他の容器であってもよい。また、本発明の搬送システム１は、半導体製造工場に限定されず、その他の施設にも適用可能である。
【００７３】
また、上記実施形態では、搬送車２０としてＯＨＴを例示した。しかし、搬送車２０はＯＨＴに限定されず、軌道１０に沿って走行し、処理装置１００のロードポート１０１に対して被搬送物を搬送することができる装置であればよい。
【符号の説明】
【００７４】
１…搬送システム、１０…軌道、２０，２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃ，２０Ｄ…搬送車、３０…待機区間、３３Ａ…第１走行区間、３３Ｂ…第２走行区間、５０…コントローラ、９０…ＦＯＵＰ（被搬送物）、１００…処理装置、１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃ…特定の処理装置、１０１…ロードポート。
【図１】
2017098813.tif 000003
【図２】
2017098813.tif 000004
【図３】
2017098813.tif 000005
【図４】
2017098813.tif 000006
【図５】
2017098813.tif 000007
【図６】
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【図７】
2017098813.tif 000009
【図８】
2017098813.tif 000010
【図９】
2017098813.tif 000011
【図１０】
2017098813.tif 000012
【国際調査報告】
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