(57)【要約】  この線形摩擦接合装置は、ブレードのブレード側接合面と、ディスクの外周面に設けられたディスク突起のディスク側接合面とを摩擦熱によって接合するものであり、押圧テーブルに設けられ、ディスクを保持するディスクホルダユニットを備える。ディスクホルダユニットは、押圧テーブルに支持されるユニットベースと、ユニットベースの厚み方向の一方側に軸心周りに回転可能に設けられ、ディスクを同心状に取付可能とし、軸心周りの回転によってディスク突起を接合するための接合位置に割り出し可能な回転テーブルと、回転テーブルを軸心周りに回転させる回転アクチュエータと、回転テーブルをユニットベースに対して固定するための固定部とを有する。
2017135187.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ブレードのブレード側接合面と、ディスクの外周面に設けられたディスク突起のディスク側接合面とを摩擦熱によって接合する線形摩擦接合装置であって、
装置本体に設けられ、加振方向で往復移動可能な加振テーブルと、
前記加振テーブルに設けられ、前記ブレードを保持するブレードホルダユニットと、
前記装置本体における前記加振テーブルに対して離隔した位置に設けられ、前記加振方向に直交する押圧方向で移動可能な押圧テーブルと、
前記押圧テーブルに設けられ、前記ディスクを保持するディスクホルダユニットと、
を備え、
前記ディスクホルダユニットは、前記押圧テーブルに支持されるユニットベースと、
前記ユニットベースの厚み方向の一方側に軸心周りに回転可能に設けられ、前記ディスクを同心状に取付可能とし、前記軸心周りの回転によって前記ディスク突起を接合するための接合位置に割り出し可能な回転テーブルと、
前記回転テーブルを前記軸心周りに回転させる回転アクチュエータと、
前記回転テーブルを前記ユニットベースに対して固定するための固定部と、
を有する、線形摩擦接合装置。
【請求項２】
前記回転テーブルは、前記ユニットベース側に、断面Ｔ字状のリング溝を有し、
前記固定部は、
前記ユニットベースの内部に設けられ、かつ、作動流体の圧力を受けるシリンダ室と、
前記シリンダ室の内側に、前記厚み方向で移動可能に設けられたピストンと、
基端部が前記ピストンに固定され、前記回転テーブルの前記リング溝に嵌合し、かつ、前記リング溝の壁面を前記ユニットベース側へ押圧可能な押圧ロッドと、
を含む、請求項１に記載の線形摩擦接合装置。
【請求項３】
複数の前記固定部は、円周方向に沿って間隔を置いて配置される、請求項２に記載の線形摩擦接合装置。
【請求項４】
前記シリンダ室における前記押圧ロッド側にかかる作動流体の圧力は、段階的に又は漸次、高くなる、請求項２又は請求項３に記載の線形摩擦接合装置。
【請求項５】
前記回転テーブルの径方向中央部の剛性は、前記回転テーブルの径方向外側部の剛性よりも低い、請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の線形摩擦接合装置。
【請求項６】
請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の線形摩擦接合装置にそれぞれ含まれ、前記ブレードを保持して加振方向に沿って往復移動可能なブレード治具と、前記ディスクを保持し、前記加振方向に直交する押圧方向に沿って前記ブレード治具に対して相対的に移動可能で、かつ、前記ディスク突起を接合するための接合位置に割り出し可能なディスク治具との位置を調整する方法であって、
前記ブレード側接合面に対応する仮想ブレード側接合面と、該仮想ブレード側接合面にそれぞれ直交する一対のブレード基準面とを有し、前記ブレードを模擬して製作されたマスターブレードを用い、前記ブレード治具が前記マスターブレードを保持した状態で、前記仮想ブレード側接合面及び第１の前記ブレード基準面が前記加振方向に対してそれぞれ平行になるように、前記ブレード治具の位置調整を行う第１調整工程と、
外周面に前記ディスク突起に対応するマスター突起が設けられ、前記マスター突起が前記ディスク側接合面に対応する仮想ディスク側接合面と、該仮想ディスク側接合面にそれぞれ直交する一対のディスク基準面とを有し、前記ディスクを模擬して製作されたマスターディスクを用い、前記ディスク治具が前記マスターディスクを保持し、かつ、前記マスター突起を前記接合位置に割り出した状態で、前記仮想ディスク側接合面が前記仮想ブレード側接合面に平行になるように、前記ディスク治具の位置調整を行う第２調整工程と、
前記仮想ブレード側接合面、前記第１のブレード基準面、及び前記仮想ディスク側接合面を前記加振方向に対して平行にそれぞれ保った状態で、第１の前記ディスク基準面と前記第１のブレード基準面との段差量、及び、第２の前記ディスク基準面と第２の前記ブレード基準面との段差量がそれぞれ予め設定された段差量になるように、前記ブレード治具に対する前記ディスク治具の相対位置の位置調整を行う第３調整工程と、
を含む、治具の位置調整方法。
【請求項７】
前記第１調整工程では、伸縮可能な測定子を有するダイヤルゲージを用い、
前記測定子の先端部を前記仮想ブレード側接合面に当接させた状態で、前記マスターブレードを前記加振方向に沿って移動させる場合、及び、
前記測定子の先端部を前記第１のブレード基準面に当接させた状態で、前記マスターブレードを前記加振方向に沿って移動させる場合に、
前記測定子の伸縮量がそれぞれ一定になるように前記ブレード治具の位置調整を行う、請求項６に記載の治具の位置調整方法。
【請求項８】
前記第２調整工程では、前記マスター突起を前記接合位置に割り出し、かつ、前記仮想ディスク側接合面を前記仮想ブレード側接合面に接近させた状態で、前記仮想ディスク側接合面と前記仮想ブレード側接合面との隙間を測定しながら、前記仮想ディスク側接合面が前記仮想ブレード側接合面に平行になるように、前記ブレード治具の位置調整を行う請求項６又は請求項７に記載の治具の位置調整方法。
【請求項９】
前記マスター突起は、前記マスターディスクの外周面に、周方向に間隔を置いて複数設けられ、
前記第２調整工程では、複数の前記マスター突起を前記接合位置に順次割り出しながら、前記仮想ディスク側接合面を前記仮想ブレード側接合面に平行にするためのディスク治具用調整量をそれぞれ求め、複数の前記ディスク治具用調整量に基づいて、前記接合位置に割り出した前記マスター突起の前記仮想ディスク側接合面が前記仮想ブレード側接合面に平行になるように、前記ディスク治具の位置調整を行い、
前記第３調整工程では、前記複数のマスター突起を前記接合位置に順次割り出しながら、前記第１のディスク基準面と前記第１のブレード基準面との段差量、及び、前記第２のディスク基準面と前記第２のブレード基準面との段差量をそれぞれ予め設定された段差量にするための相対位置用調整量をそれぞれ求め、複数の前記相対位置用調整量に基づいて、前記接合位置に割り出した前記マスター突起の前記第１のディスク基準面と前記第１のブレード基準面との段差量、及び、前記接合位置に割り出した前記マスター突起の前記第２のディスク基準面と前記第２のブレード基準面との段差量がそれぞれ予め設定された段差量になるように、前記ブレード治具に対する前記ディスク治具の相対位置の位置調整を行う、
請求項６から請求項８のいずれか１項に記載の治具の位置調整方法。
【請求項１０】
請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の線形摩擦接合装置にそれぞれ含まれる、前記ブレードを保持するブレード治具と、前記ディスクを保持するディスク治具との位置調整方法であって、
仮想ブレード側接合面と、該仮想ブレード側接合面に直交する一対のブレード基準面とを有し、前記ブレードを模擬して製作されたマスターブレードと、前記ディスクを模擬して製作され、ディスク側接合面に対応する仮想ディスク側接合面と、前記仮想ディスク側接合面に直交する一対のディスク基準面とを有するマスター突起が外周面に設けられたマスターディスクとを用い、
前記ブレード治具が前記マスターブレードを保持した状態で、前記仮想ブレード側接合面及び第１の前記ブレード基準面が前記線形摩擦接合装置の加振方向と平行になるように、前記ブレード治具の位置調整を行う第１調整工程と、
前記ディスク治具が前記マスターディスクを保持し、かつ、前記マスター突起が接合位置に割り出された状態で、前記仮想ブレード側接合面と前記仮想ディスク側接合面が平行になるように、前記ディスク治具の位置調整を行う第２調整工程と、
前記仮想ブレード側接合面、前記第１のブレード基準面、及び前記仮想ディスク側接合面を加振方向へ平行に保持した状態で、第１の前記ディスク基準面と前記第１のブレード基準面との段差量、及び第２の前記ディスク基準面と第２の前記ブレード基準面との段差量がそれぞれ予め設定された段差量になるように、前記ブレード治具と前記ディスク治具との相対位置調整を行う第３調整工程と、
を含む、治具の位置調整方法。
【請求項１１】
請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の線形摩擦接合装置にそれぞれ含まれ、前記ブレードを保持して加振方向に沿って往復移動可能なブレード治具と、前記ディスクを保持し、前記加振方向に直交する押圧方向に沿って前記ブレード治具に対して相対的に移動可能で、かつ、前記ディスク突起を接合するための接合位置に割り出し可能なディスク治具との位置を調整する装置であって、
前記ブレード治具に保持され、前記ディスクの外周面に向かう第１面を有する本体部を含むマスターブレードと、
前記ディスク治具に保持されるマスターディスクと、
前記マスターディスクの外周領域にそれぞれ間隔を置いて設置され、前記第１面に対向可能となる第２面を有する複数の突出部と、
前記マスターブレードに保持され、前記第１面と前記第２面とが対向しているときに、前記突出部の一面の位置を計測可能とするマスターブレード側計測器、又は、前記マスターディスクに保持され、前記第１面と前記第２面とが対向しているときに、前記マスターブレードの一面の位置を計測可能とするマスターブロック側計測器と、
を有する、治具の位置調整装置。
【請求項１２】
前記マスターブレード側計測器又は前記マスターブロック側計測器は、接触式変位計である請求項１１に記載の治具の位置調整装置。
【請求項１３】
前記マスターブレード側計測器は、
前記第２面に垂直に連接する一方の面を計測面とする第１方向用計測器と、
前記第２面と前記一方の面との双方に垂直に連接する他方の面を計測面とする第２方向用計測器と、
を含む、請求項１１又は請求項１２に記載の治具の位置調整装置。
【請求項１４】
前記第１方向用計測器は、さらに、計測面上の互いに離間した位置を計測位置とする第１計測器及び第２計測器を含む請求項１３に記載の治具の位置調整装置。
【請求項１５】
前記マスターディスク側計測器は、
前記第１面を計測面とする第３方向用計測器を含む請求項１１から請求項１４のいずれか１項に記載の治具の位置調整装置。
【請求項１６】
前記マスターブレード側計測器は、
前記第２面を計測面とする第３方向用計測器を含む請求項１１から請求項１４のいずれか１項に記載の治具の位置調整装置。
【請求項１７】
前記第３方向用計測器は、
計測面上の一方の方向に互いに離間した位置を計測位置とする第３計測器及び第４計測器と、
計測面上で、かつ、前記第３計測器及び前記第４計測器に対して他方の方向に互いに離間した位置を計測位置とする第５計測器及び第６計測器と、
を含む、請求項１５又は請求項１６に記載の治具の位置調整装置。
【請求項１８】
請求項１１から請求項１７のいずれか１項に記載の治具の位置調整装置を用いて、ブレード治具とディスク治具との位置を調整する方法であって、
前記マスターブレード側計測器又は前記マスターブロック側計測器の原点位置を合わせる準備工程と、
前記マスターブレード側計測器又は前記マスターブロック側計測器を用いて、前記ブレード治具と前記ディスク治具との相対位置を計測する計測工程と、
前記計測工程で得られた計測値が予め設定された許容範囲に含まれるように、前記ブレード治具に対する前記ディスク治具の相対位置の位置調整を行う調整工程と、
を含む、治具の位置調整方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、ブリスク（一体翼車）の一部であるブレードの接合面と、ブリスクの一部であるディスクの外周面に設けられたディスク突起の接合面とを摩擦熱によって接合する線形摩擦接合装置に関する。また、本開示は、線形摩擦接合装置に含まれるブレード治具とディスク治具との位置調整を行う方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ブレードとディスクとを一体化したブリスクの製造又は修理に用いられる線形摩擦接合装置がある（特許文献１参照）。【０００３】
一般に、線形摩擦接合装置は、ベッドと、ベッドに設けられたコラムとを含む装置本体を備える。また、コラムは、その側面に、加振方向である鉛直方向へ移動可能である加振テーブルを備える。加振テーブルは、その側面に、ブレードを保持するブレード治具（ブレードホルダユニット）を備える。【０００４】
ベッドは、その上面における加振テーブルに離隔した位置に、押圧テーブルを備える。押圧テーブルは、加振方向に直交する押圧方向である水平方向へ移動可能である。また、押圧テーブルは、その上面に、ディスクを保持するディスク治具（ディスクホルダユニット）を備える。ディスク治具は、ディスクの軸心周りの回転によって、予めディスクに形成されている突起を接合するための接合位置（所定の接合位置）に割り出し可能に構成されている。【０００５】
ここで、ブレード治具がブレードを保持し、かつ、ディスク治具がディスクを保持した状態で、ディスクをその軸心周りに回転させて、突起を所定の接合位置に割り出すと、ブレードのブレード側接合面と突起のディスク側接合面とを対向させることができる。そして、加振テーブルを加振方向に沿って往復移動させつつ、押圧テーブルを押圧方向に沿って移動させる。すると、ブレードを加振方向に沿って往復移動させた状態で、ディスク側接合面をブレード側接合面に対して接近させて、突起をブレード側接合面側へ押圧することができる。さらに、ブレード側接合面とディスク側接合面との間に摩擦熱を発生させれば、ブレード側接合面とディスク側接合面とを接合することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１５−１０８３３８号公報
【発明の概要】
【０００７】
ここで、ブレード治具とディスク治具との位置調整を行う際には、ブレード側接合面とディスク側接合面とを対向させて、ディスク側接合面をブレード側接合面に対して接近させる。そして、ブレード側接合面とディスク側接合面とが整合するように、押圧方向に直交する仮想平面上で、ブレード治具に対するディスク治具の相対位置の位置調整を行う。
【０００８】
しかし、これらの治具の位置調整は、ブレード側接合面及びディスク側接合面を基準に行っているため、ブレード側接合面の機械加工誤差及びディスク側接合面の機械加工誤差の影響を受ける。そのため、治具の位置調整を高精度に行うことが難しく、ブレード側接合面とディスク側接合面との接合精度を向上させるには限界がある。
【０００９】
また、ブレード側接合面とディスク側接合面との接合精度をより高めるには、接合中にブレード側接合面とディスク側接合面との間に大きな摩擦力が働いても、押圧テーブルに対するディスクの固定状態を強固に維持することが必要である。
【００１０】
そこで、本開示は、ブレードの接合面とディスク突起の接合面との接合精度を向上させるのに有利となる線形摩擦接合装置、並びに、治具の調整装置及び調整方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本開示の一態様に係る線形摩擦接合装置は、ブレードのブレード側接合面と、ディスクの外周面に設けられたディスク突起のディスク側接合面とを摩擦熱によって接合する線形摩擦接合装置であって、装置本体に設けられ、加振方向で往復移動可能な加振テーブルと、加振テーブルに設けられ、ブレードを保持するブレードホルダユニットと、装置本体における加振テーブルに対して離隔した位置に設けられ、加振方向に直交する押圧方向で移動可能な押圧テーブルと、押圧テーブルに設けられ、ディスクを保持するディスクホルダユニットと、を備え、ディスクホルダユニットは、押圧テーブルに支持されるユニットベースと、ユニットベースの厚み方向の一方側に軸心周りに回転可能に設けられ、ディスクを同心状に取付可能とし、軸心周りの回転によってディスク突起を接合するための接合位置に割り出し可能な回転テーブルと、回転テーブルを軸心周りに回転させる回転アクチュエータと、回転テーブルをユニットベースに対して固定するための固定部と、を有する。【００１２】
また、本開示の一態様に係る治具の位置調整方法は、上記の線形摩擦接合装置にそれぞれ含まれ、ブレードを保持して加振方向に沿って往復移動可能なブレード治具と、ディスクを保持し、加振方向に直交する押圧方向に沿ってブレード治具に対して相対的に移動可能で、かつ、ディスク突起を接合するための接合位置に割り出し可能なディスク治具との位置を調整する方法であって、ブレード側接合面に対応する仮想ブレード側接合面と、該仮想ブレード側接合面にそれぞれ直交する一対のブレード基準面とを有し、ブレードを模擬して製作されたマスターブレードを用い、ブレード治具がマスターブレードを保持した状態で、仮想ブレード側接合面及び第１のブレード基準面が加振方向に対してそれぞれ平行になるように、ブレード治具の位置調整を行う第１調整工程と、外周面にディスク突起に対応するマスター突起が設けられ、マスター突起がディスク側接合面に対応する仮想ディスク側接合面と、該仮想ディスク側接合面にそれぞれ直交する一対のディスク基準面とを有し、ディスクを模擬して製作されたマスターディスクを用い、ディスク治具がマスターディスクを保持し、かつ、マスター突起を接合位置に割り出した状態で、仮想ディスク側接合面が仮想ブレード側接合面に平行になるように、ディスク治具の位置調整を行う第２調整工程と、仮想ブレード側接合面、第１のブレード基準面、及び仮想ディスク側接合面を加振方向に対して平行にそれぞれ保った状態で、第１のディスク基準面と第１のブレード基準面との段差量、及び、第２のディスク基準面と第２のブレード基準面との段差量がそれぞれ予め設定された段差量になるように、ブレード治具に対するディスク治具の相対位置の位置調整を行う第３調整工程と、を含む。【００１３】
また、本開示の一態様に係る治具の位置調整方法は、上記の線形摩擦接合装置にそれぞれ含まれる、前記ブレードを保持するブレード治具と、前記ディスクを保持するディスク治具との位置調整方法であって、仮想ブレード側接合面と、該仮想ブレード側接合面に直交する一対のブレード基準面とを有し、ブレードを模擬して製作されたマスターブレードと、ディスクを模擬して製作され、ディスク側接合面に対応する仮想ディスク側接合面と、仮想ディスク側接合面に直交する一対のディスク基準面とを有するマスター突起が外周面に設けられたマスターディスクとを用い、ブレード治具がマスターブレードを保持した状態で、仮想ブレード側接合面及び第１のブレード基準面が線形摩擦接合装置の加振方向と平行になるように、ブレード治具の位置調整を行う第１調整工程と、ディスク治具がマスターディスクを保持し、かつ、マスター突起が接合位置に割り出された状態で、仮想ブレード側接合面と仮想ディスク側接合面が平行になるように、ディスク治具の位置調整を行う第２調整工程と、仮想ブレード側接合面、第１のブレード基準面、及び仮想ディスク側接合面を加振方向へ平行に保持した状態で、第１のディスク基準面と第１のブレード基準面との段差量、及び第２のディスク基準面と第２のブレード基準面との段差量がそれぞれ予め設定された段差量になるように、ブレード治具とディスク治具との相対位置調整を行う第３調整工程と、を含む。【００１４】
また、本開示の一態様に係る治具の位置調整装置は、上記の線形摩擦接合装置にそれぞれ含まれ、ブレードを保持して加振方向に沿って往復移動可能なブレード治具と、ディスクを保持し、加振方向に直交する押圧方向に沿ってブレード治具に対して相対的に移動可能で、かつ、ディスク突起を接合するための接合位置に割り出し可能なディスク治具との位置を調整する装置であって、ブレード治具に保持され、ディスクの外周面に向かう第１面を有する本体部を含むマスターブレードと、ディスク治具に保持されるマスターディスクと、マスターディスクの外周領域にそれぞれ間隔を置いて設置され、第１面に対向可能となる第２面を有する複数の突出部と、マスターブレードに保持され、第１面と第２面とが対向しているときに、突出部の一面の位置を計測可能とするマスターブレード側計測器、又は、マスターディスクに保持され、第１面と第２面とが対向しているときに、マスターブレードの一面の位置を計測可能とするマスターブロック側計測器と、を有する。【００１５】
また、本開示の一態様に係る治具の位置調整方法は、上記の位置調整装置を用いて、ブレード治具とディスク治具との位置を調整する方法であって、マスターブレード側計測器又はマスターブロック側計測器の原点位置を合わせる準備工程と、マスターブレード側計測器又はマスターブロック側計測器を用いて、ブレード治具とディスク治具との相対位置を計測する計測工程と、計測工程で得られた計測値が予め設定された許容範囲に含まれるように、ブレード治具に対するディスク治具の相対位置の位置調整を行う調整工程と、を含む。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】図１は、本開示の第１実施形態に係る治具の位置調整方法における第１調整工程を説明する図である。
【図２】図２は、本開示の第１実施形態に係る治具の位置調整方法における第２調整工程を説明する図である。
【図３】図３は、本開示の第１実施形態に係る治具の位置調整方法における第３調整工程を説明する図である。
【図４】図４は、本開示の第１実施形態に係る治具の位置調整方法における第３調整工程を説明する図である。
【図５】図５は、本開示の第１実施形態におけるブレード治具がマスターブレード又はブレードを保持した様子を示す図である。
【図６】図６は、本開示の第１実施形態におけるディスク治具がマスターディスクを保持した様子を示す図である。
【図７】図７は、本開示の第１実施形態におけるディスク治具がディスクを保持した様子を示す図である
【図８】図８は、図１１における矢視部VIIIの拡大図である。
【図９】図９は、本開示の第１実施形態に係る線形摩擦接合装置の構成を示す正面図である。
【図１０】図１０は、本開示の第１実施形態における、ブレード側接合面と、ディスク側接合面とを接合する様子を示す図である。
【図１１】図１１は、図９における矢視部XIの拡大図である。
【図１２】図１２は、図１１におけるXII-XII線に沿った図である。
【図１３】図１３は、本開示の第２実施形態における、マスターブレードと、マスターディスクのマスターブロックとの構成を示す図である。
【図１４】図１４は、本開示の第２実施形態におけるディスク治具がマスターディスクを保持した様子を示す図である。
【図１５】図１５は、本開示の第２実施形態におけるブレード治具がマスターブレードを保持した様子を示す図である。
【図１６】図１６は、本開示の第２実施形態に係る治具の位置調整方法における準備工程を説明する図である。
【図１７】図１７は、本開示の第２実施形態に係る治具の位置調整方法における計測工程を説明する図である。
【図１８】図１８は、本開示の第３実施形態に係るディスクホルダユニットの断面図である。
【図１９】図１９は、本開示の第３実施形態に係るディスクホルダユニットの斜視図である。
【図２０】図２０は、油圧ユニットの回路図である。
【図２１】図２１は、本開示の第３実施形態に係る線形摩擦接合装置の構成を示す正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本開示の実施形態について図面を参照して説明する。ここでは、線形摩擦接合装置として、ブリスクを構成するブレードと、ブリスクを構成するディスクとを摩擦接合する線形摩擦接合装置を例に挙げて説明する。なお、図面中、鉛直方向にＺ軸を取り、Ｚ軸に垂直となる平面上において、後述する押圧方向にＸ軸を取り、Ｘ軸に垂直となる方向にＹ軸を取る。ここで、以下の説明でいう「上下」は、Ｚ方向のプラス側（上）とマイナス側（下）とを示し、「左右」は、Ｘ方向のマイナス側（左）とプラス側（右）とを示し、「前後」は、Ｙ方向のマイナス側（前）とプラス側（後）とを示す。
【００１８】
＜第１実施形態＞
まず、本開示の第１実施形態に係る線形摩擦接合装置と、それに用いられる治具の位置調整方法とについて説明する。
【００１９】
（線形摩擦接合装置の構成）
第１実施形態に係る線形摩擦接合装置１は、ブレード３のブレード側接合面３ａと、ディスク５の外周面に設けられた突起（ディスク突起）７のディスク側接合面７ａとの間に発生した摩擦熱を利用して、ブレード側接合面３ａとディスク側接合面７ａとを接合する装置である。
【００２０】
ここで、ブレード３及びディスク５は、ガスタービン（図示省略）に用いられるブリスク（図示省略）の一部である。また、ブレード３は、そのブレード側接合面３ａ側（根元側）に、矩形状の被挟持部（被クランプ部）３ｂと矩形状のストッパ部３ｃとを連続して有する。ストッパ部３ｃは、被挟持部３ｂよりもブレード側接合面３ａ側に位置し、ストッパ部３ｃの外径寸法は、被挟持部３ｂの外径寸法よりも大きい。
【００２１】
図９に示すように、線形摩擦接合装置１は、装置本体９を備える。装置本体９は、床面Ｆに複数の防振ゴム１１介して設置されたベッド１３を有する。ベッド１３は、左右方向（水平方向の１つ）へ延びている。ベッド１３は、その左部に、第１コラム１５を備える。第１コラム１５は、鉛直方向（上下方向）へ延びている。ベッド１３は、その右部に、第２コラム１７を備える。第２コラム１７は、鉛直方向へ延びている。そして、第１コラム１５及び第２コラム１７は、それらの上部の間に、上部フレーム１９を連結するように備える。上部フレーム１９は、左右方向へ延びている。
【００２２】
図９、図１１及び図１２に示すように、第１コラム１５は、その右側面（右側）に、ガイドブロック２１を備える。ガイドブロック２１は、断面Ｔ字形状のガイド溝２３を有する。ガイド溝２３は、鉛直方向へ延びている。また、ガイドブロック２１は、そのガイド溝２３内に、矩形状の加振テーブル２５を備える。加振テーブル２５は、加振方向である鉛直方向に沿って往復移動可能である。換言すれば、加振テーブル２５は、ガイドブロック２１を介して第１コラム１５の右側面に加振方向に沿って移動可能に設けられている。加振テーブル２５は、その右側に、凸部２５ａを有する。凸部２５ａは、加振方向（鉛直方向）へ延びている。更に、ガイドブロック２１は、その下側に、ガイド溝２３内からの加振テーブル２５の離脱を抑止するストッパプレート２７を備える。
【００２３】
ガイドブロック２１は、そのガイド溝２３内に、支持油（支持流体の一例）の静圧を利用して加振テーブル２５を加振方向に沿って往復移動可能に案内する静圧支持ユニット２９を備える。換言すれば、加振テーブル２５は、ガイド溝２３内に静圧支持ユニット２９を介して加振方向に沿って往復移動可能に設けられている。また、静圧支持ユニット２９は、ガイド溝２３内に間隔を置いて設けられた複数の静圧パッド３１を有する。複数の静圧パッド３１は、加振テーブル２５（凸部２５ａを除く加振テーブル２５）の左側面、右側面、前端面及び後端面に向かって支持油を噴出可能になっている。なお、各静圧パッド３１は、支持油を供給する供給ポンプ（図示省略）に接続されている。
【００２４】
図９に示すように、上部フレーム１９は、その左部に、所定の振幅で加振テーブル２５を加振方向に沿って往復移動させる加振アクチュエータとしての油圧式の加振シリンダ３３を備える。また、加振シリンダ３３は、加振方向に沿って往復移動可能なピストンロッド３５を有する。ピストンロッド３５の先端部は、加振テーブル２５の適宜位置にカップリング３７を介して連結している。ここで、「所定の振幅」とは、一例として、±１０．０ｍｍ以下の設定された振幅のことをいう。なお、加振アクチュエータとして、油圧式の加振シリンダ３３に代えて、電動式の加振シリンダ（図示省略）又は加振モータ（図示省略）等を用いてもよい。
【００２５】
加振テーブル２５は、その凸部２５ａの右側面（右側）に、ブレード３を保持するブレード治具（ブレードホルダユニット）３９を備える。
【００２６】
ここで、図８において、図８（ａ）は、第１クランプ部材４５と第２クランプ部材４７とによってブレード３の被挟持部を挟持した様子を示している。一方、図８（ｂ）は、第１クランプ部材４５と第２クランプ部材４７とによる挟持状態を解除した様子を示している。図５（ｂ）及び図８（ａ），（ｂ）に示すように、ブレード治具３９は、凸部２５ａの右側面に複数のボルト４１を介して設けられたブレード治具ベース（ブレードホルダユニットベース）４３を備える。また、ブレード治具ベース４３は、その中央部から下部にかけて、ブロック部４３ａを有する。ブレード治具ベース４３は、その上部に、壁部４３ｂを有する。壁部４３ｂは、ブロック部４３ａに加振方向で対向している。
【００２７】
ブレード治具ベース４３は、ブロック部４３ａの上側に、第１クランプ部材４５を備える。また、ブレード治具ベース４３は、ブロック部４３ａと壁部４３ｂとの間に、第１クランプ部材４５と協働してブレード３の被挟持部３ｂを挟持（クランプ）する第２クランプ部材４７を備える。そして、第１クランプ部材４５の挟持面（クランプ面）４５ｆ及び第２クランプ部材４７の挟持面４７ｆの側面視形状（加振方向に直交する押圧方向に平行な方向から見た形状）は、それぞれ被挟持部３ｂの形状に対応したＬ字形状である。更に、第１クランプ部材４５は、その挟持面４５ｆに被挟持部３ｂがセットされると、ブレード側接合面３ａが加振方向に平行となる。なお、ブレード治具ベース４３は、ブロック部４３ａと壁部４３ｂとの間に、第１クランプ部材４５を加振方向に沿って案内するガイド部材（図示省略）を備えてもよい。
【００２８】
ブレード治具ベース４３は、壁部４３ｂに、第２クランプ部材４７に加振方向に対して傾斜する方向ＳＤ（図８参照）の挟持力（クランプ力）を付与するクランプ付与部材としてのクランプボルト４９を備える。クランプボルト４９は、壁部４３ｂに螺合している。クランプボルト４９の先端部は、クランプボルト４９の締付け力によって加圧接触可能である。また、クランプボルト４９は、その中間部に、ブレード治具ベース４３に対するクランプボルト４９の位置を固定するための固定ナット５１を備える。
【００２９】
図９に示すように、ベッド１３は、その上面における加振テーブル２５に対して右方向に離隔した位置に、一対のガイドレール５３を備える。一対のガイドレール５３は、前後方向（水平方向の１つ）に離隔しており、各ガイドレール５３は、左右方向に延びている。そして、一対のガイドレール５３は、それらの上側に、押圧テーブル５５を備える。換言すれば、押圧テーブル５５は、ベッド１３の上面における加振テーブル２５に対して右方向に離隔した位置に一対のガイドレール５３を介して設けられる。また、押圧テーブル５５は、その下面（下側）に、対応するガイドレール５３に案内される複数の被案内部材５７を有する。換言すれば、押圧テーブル５５は、一対のガイドレール５３及び複数の被案内部材５７を介して加振方向に直交する押圧方向（左方向）及びその反対方向（右方向）へ移動可能である。
【００３０】
押圧テーブル５５は、その上面に、支持フレーム５９を複数のボルト６１（図７参照）を介して備える。支持フレーム５９は、水平方向に対して傾斜した傾斜部５９ａを有する。そして、第２コラム１７は、その中央部に、押圧テーブル５５を押圧方向及びその反対方向へ移動させる押圧アクチュエータとしての油圧式の押圧シリンダ６３を備える。また、押圧シリンダ６３は、押圧方向及びその反対方向へ移動可能なピストンロッド６５を有する。ピストンロッド６５の先端部（左端部）は、支持フレーム５９の適宜位置にカップリング６７を介して連結している。なお、押圧アクチュエータとして、油圧式の押圧シリンダ６３に代えて、電動式の押圧シリンダ（図示省略）又は押圧モータ（図示省略）等を用いてもよい。
【００３１】
支持フレーム５９は、その傾斜部５９ａに、ディスク５を保持するディスク治具（ディスクホルダユニット）６９を備える。
【００３２】
図７及び図９に示すように、ディスク治具６９は、支持フレーム５９の傾斜部５９ａに複数のボルト７１を介して設けられたディスク治具ベース（ディスクホルダユニットベース）７３を備える。また、ディスク治具ベース７３は、その上面に、円形の回転テーブル７５を備える。回転テーブル７５は、鉛直方向に対して傾斜した軸心（回転テーブル７５の軸心）周りに回転可能である。回転テーブル７５は、その中央部（中心部）に、ディスク５を回転テーブル７５に同心状に取り付けるためのチャック機構７７を有する。そして、回転テーブル７５は、その軸心周りの回転によって突起７を接合するための所定の接合位置に割り出し（位置決め）できる。換言すれば、ディスク治具６９は、回転テーブル７５の軸心周りの回転（ディスク５の軸心周りの回転）によって突起７を所定の接合位置に割り出しできる。更に、回転テーブル７５は、突起７を所定の接合位置に割り出すと、その突起７のディスク側接合面７ａは、加振方向に平行となる。
【００３３】
ディスク治具ベース７３は、その中央部に、回転テーブル７５をその軸心周りに回転させる回転アクチュエータとしての回転モータ（図示省略）を備える。また、ディスク治具ベース７３は、その適宜位置に、回転テーブル７５を支持フレーム５９の傾斜部５９ａに対して固定するための固定アクチュエータとしての油圧式の固定シリンダ（図示省略）を備える。
【００３４】
（ブレード治具３９の動作）
図８（ｂ）に示すように、ブレード３のストッパ部３ｃを第１クランプ部材４５の右側面に突き当てた状態で、被挟持部３ｂを第１クランプ部材４５の挟持面４５ｆと第２クランプ部材４７の挟持面４７ｆとの間にセットする。これにより、ブレード側接合面３ａは、加振方向に平行となる。そして、図８（ａ）に示すように、クランプボルト４９を締め付けて、クランプボルト４９の先端部を第２クランプ部材４７に加圧接触させることにより、第２クランプ部材４７（第１クランプ部材４５及び第２クランプ部材４７）に方向ＳＤに沿う挟持力を付与する。これにより、被挟持部３ｂは、第１クランプ部材４５の挟持面４５ｆと第２クランプ部材４７の挟持面４７ｆとにより挟持される。そして、ブレード側接合面３ａを加振方向に対して平行にした状態で、ブレード治具３９がブレード３を保持して、加振テーブル２５に対してブレード３を固定することができる。
【００３５】
なお、ブレード治具３９からブレード３を取り外す場合には、クランプボルト４９を緩めて、クランプボルト４９の先端部による加圧状態を解除する。これにより、第１クランプ部材４５と第２クランプ部材４７とによる挟持状態（クランプ状態）が解除される。
【００３６】
（ディスク治具６９の動作）
図７に示すように、ディスク治具６９は、チャック機構７７等によってディスク５を回転テーブル７５に同心状に取り付けることにより、ディスク５を保持する。そして、回転モータの駆動により回転テーブル７５をその軸心周りに回転させて、所定の突起７を所定の接合位置に割り出すことにより、所定の突起７のディスク側接合面７ａを加振方向に対して平行にする。更に、固定シリンダの駆動により回転テーブル７５をディスク治具ベース７３に対して固定する。これにより、ディスク側接合面７ａを加振方向に対して平行にした状態で、ディスク治具６９がディスク５を保持して、押圧テーブル５５に対してディスク５を固定することができる。
【００３７】
（線形摩擦接合装置１全体の動作）
図９及び図１０に示すように、ブレード治具３９によって保持されたブレード３のブレード側接合面３ａと、ディスク治具６９によって保持されたディスク５の突起７のディスク側接合面７ａとを、加振方向に対して平行な状態で対向させる。次に、加振シリンダ３３の駆動により所定の振幅で加振テーブル２５を加振方向に沿って往復移動させる。そして、押圧シリンダ６３の駆動により押圧テーブル５５を押圧方向に沿って移動させる。これにより、ブレード３を加振方向に沿って往復移動させた状態で、ディスク側接合面７ａは、ブレード側接合面３ａに接近し、突起７は、ブレード側接合面３ａ側へ所定の押圧荷重で押圧される。そして、ブレード側接合面３ａとディスク側接合面７ａとの間には摩擦熱が発生し、ブレード側接合面３ａとディスク側接合面７ａとが接合される。
【００３８】
ブレード側接合面３ａとディスク側接合面７ａとが接合された後、ブレード治具３９から接合済みのブレード３を取り外し、ブレード治具３９は、他のブレード３を保持する。また、回転モータの駆動により回転テーブル７５をその軸心周りに回転させて、他の所定の突起７を所定の接合位置に割り出す。そして、前述のように、他のブレード３のブレード側接合面３ａと他の突起７のディスク側接合面７ａとが接合される。更に、接合対象であるブレード３及び突起７がなくなるまで、ブレード側接合面３ａとディスク側接合面７ａとの接合に関する動作が繰り返される。
【００３９】
（治具の位置調整方法）
本実施形態に係る治具の位置調整方法は、マスターブレード７９及びマスターディスク８１を用いて、線形摩擦接合装置１の構成要素である２つの治具（ブレード治具３９とディスク治具６９）の位置調整を行う。
【００４０】
ここで、図５（ａ），（ｂ）から図７に示すように、マスターディスク８１は、ブレード３を模擬してブレード３よりも高精度に製作される。マスターブレード７９は、ブレード側接合面３ａに対応する仮想ブレード側接合面（仮想のブレード側接合面）７９ａと、仮想ブレード側接合面７９ａにそれぞれ直交し、かつ、直交する一対のブレード基準面７９ｂ，７９ｃを有する。また、マスターディスク８１は、ディスク５を模擬してディスク５よりも高精度に製作される。マスターディスク８１は、その外周面に、突起７に対応する（模擬した）複数のマスター突起８３を周方向（マスターディスク８１の外周面の周方向）に間隔を置いて有する。各マスター突起８３は、ディスク側接合面７ａに対応する仮想ディスク側接合面（仮想のディスク側接合面）８３ａと、仮想ディスク側接合面８３ａにそれぞれ直交し、かつ、直交する一対のディスク基準面８３ｂ，８３ｃを有する。なお、一対のブレード基準面７９ｂ，７９ｃの交差角と一対のディスク基準面８３ｂ，８３ｃの交差角とが同じであれば、一対のブレード基準面７９ｂ，７９ｃ及び一対のディスク基準面８３ｂ，８３ｃはそれぞれ直交しなくてもよい。
【００４１】
本実施形態に係る治具の位置調整方法は、下記の第１調整工程と、第２調整工程と、第３調整工程とを含む。
【００４２】
（ｉ）第１調整工程
図５（ａ）に示すように、ブレード治具３９は、ブレード３を挟持するときと同様に、第１クランプ部材４５と第２クランプ部材４７とを協働させて、マスターブレード７９を保持する。次に、作業者は、伸縮可能（変位可能）な測定子８５ａを有するダイヤルゲージ８５を用いて、図１（ａ）に示すように、ダイヤルゲージ８５の測定子８５ａの先端部を仮想ブレード側接合面７９ａに当接させる。更に、加振シリンダ３３（図９参照）は、加振テーブル２５と共に、マスターブレード７９を低速（接合時の加振速度よりも低速）で加振方向に沿って往復移動させる。そして、作業者は、測定子８５ａの伸縮量（変位量）が一定になるように、ブレード治具３９の位置調整を行う。換言すれば、ブレード治具３９は、仮想ブレード側接合面７９ａが加振方向（鉛直方向）に対して平行になるように、位置調整される。
【００４３】
ここで、「位置調整」には、所定の２軸方向のうちの少なくとも１軸方向の位置調整の他に、所定の３軸方向のうち少なくとも１軸周りの傾き調整を含む。「所定の２軸方向」とは、加振方向を含み、かつ、押圧方向を除く、直交する２軸方向をいい、「所定の３軸方向」とは、加振方向と押圧方向とを含む、直交する３軸方向をいう。また、ブレード治具３９の位置調整は、例えばシム（図示省略）等を用いて、加振テーブル２５に対するブレード治具ベース４３の位置調整等によって行われてもよい。
【００４４】
仮想ブレード側接合面７９ａが加振方向に対して平行になるようにブレード治具３９の位置調整が行われた後、作業者は、図１（ｂ）に示すように、ダイヤルゲージ８５の測定子８５ａの先端部を第１のブレード基準面７９ｂに当接させる。更に、加振シリンダ３３は、加振テーブル２５と共に、マスターブレード７９を低速で加振方向に沿って往復移動させる。そして、作業者は、測定子８５ａの伸縮量が一定になるように、ブレード治具３９の位置調整を行う。換言すれば、ブレード治具３９は、第１のブレード基準面７９ｂが加振方向に対して平行になるように、位置調整される。
【００４５】
なお、第１のブレード基準面７９ｂが加振方向に対して平行になるように、ブレード治具３９の位置調整を行った後に、仮想ブレード側接合面７９ａが加振方向に対して平行になるように、ブレード治具３９の位置調整を行ってもよい。
【００４６】
（ｉｉ）第２調整工程
第１調整工程の終了後、図６に示すように、ディスク治具６９は、ディスク５を取り付けるときと同様に、チャック機構７７等によって、マスターディスク８１を回転テーブル７５に同心状に取り付ける。次に、回転モータは、回転テーブル７５をその軸心周りに回転させて、いずれかのマスター突起８３が、所定の接合位置に割り出される。更に、押圧シリンダ６３（図９参照）は、押圧テーブル５５と共にディスク治具６９を押圧方向に沿って移動させて、いずれかのマスター突起８３の仮想ディスク側接合面８３ａを仮想ブレード側接合面７９ａに接近させる。
【００４７】
次に、作業者は、図２に示すように、隙間ゲージ８７を用いて、いずれかのマスター突起８３の仮想ディスク側接合面８３ａと仮想ブレード側接合面７９ａとの隙間を測定し、その測定結果に基づいてディスク治具用調整量を求める。同様に、作業者は、他の複数のマスター突起８３を所定の接合位置に順次割り出しながら、ディスク治具用調整量を求める。そして、作業者は、複数のディスク治具用調整量に基づいて、所定の接合位置に割り出したマスター突起８３の仮想ディスク側接合面８３ａが仮想ブレード側接合面７９ａに平行になるように、ディスク治具６９の位置調整を行う。
【００４８】
ここで、「ディスク治具用調整量」とは、仮想ディスク側接合面８３ａと仮想ブレード側接合面７９ａとを平行にするためのディスク治具６９の調整量をいう。ディスク治具６９の位置調整は、シム（図示省略）等を用いて、押圧テーブル５５に対する支持フレーム５９の位置調整又は支持フレーム５９に対するディスク治具ベース７３の位置調整等によって行われてもよい（図６参照）。
【００４９】
なお、隙間ゲージ８７に代えて、２次元レーザ変位センサ等の２次元変位センサを用いることで、仮想ディスク側接合面８３ａと仮想ブレード側接合面７９ａとの隙間を測定してもよい。
【００５０】
（ｉｉｉ）第３調整工程
図３及び図４に示すように、第３調整工程においては、専用の段差量測定具８９が用いられる。ここで、段差量測定具８９は、一対のブレード基準面７９ｂ，７９ｃに当接可能なホルダ当接面９１ａを有するホルダ９１と、ホルダ９１の先端部に設けられ、かつ、伸縮可能な測定子９３ａを有するダイヤルゲージ９３とを備える。
【００５１】
第２調整工程の終了後、作業者は、ホルダ当接面９１ａを第１のブレード基準面７９ｂに、一方、ダイヤルゲージ９３の測定子９３ａの先端部を第１のディスク基準面８３ｂにそれぞれ当接させる。作業者は、その状態で、段差量測定具８９（ダイヤルゲージ９３）を用いて第１のディスク基準面８３ｂと第１のブレード基準面７９ｂとの段差量を測定する。また、作業者は、ホルダ当接面９１ａを第２のブレード基準面７９ｃに、一方、ダイヤルゲージ９３の測定子９３ａの先端部を第２のディスク基準面８３ｃにそれぞれ当接させる。作業者は、その状態で、段差量測定具８９を用いて第２のディスク基準面８３ｃと第２のブレード基準面７９ｃとの段差量を測定する。それらの測定結果に基づいて、相対位置用調整量が求められる。同様に、他の複数のマスター突起８３を所定の接合位置に順次割り出しながら、相対位置用調整量が求められる。そして、複数の段差量用調整量に基づいて、押圧方向に直交する仮想平面上において、ブレード治具３９に対するディスク治具６９の相対位置の位置調整が行われる。換言すれば、所定の２つの段差量がそれぞれ予め設定された段差量になるように、押圧方向に直交する仮想平面上において、ブレード治具３９に対するディスク治具６９の相対位置の位置調整が行われる。なお、ディスク治具６９の相対位置の位置調整は、仮想ブレード側接合面７９ａ、第１のブレード基準面７９ｂ及び仮想ディスク側接合面８３ａを加振方向に対して平行にそれぞれ保った状態で行われる。
【００５２】
ここで、「相対位置用調整量」とは、第１のディスク基準面８３ｂと第１のブレード基準面７９ｂとの段差量、及び、第２のディスク基準面８３ｃと第２のブレード基準面７９ｃとの段差量をそれぞれ極小にするためのディスク治具６９の相対位置の調整量をいう。「所定の２つの段差量」とは、１つは、接合位置に割り出したマスター突起８３の第１のディスク基準面８３ｂと第１のブレード基準面７９ｂとの段差量をいう。もう一つは、接合位置に割り出したマスター突起８３の第２のディスク基準面８３ｃと第２のブレード基準面７９ｃとの段差量をいう。ディスク治具６９の相対位置の位置調整は、例えばシム等を用いて、加振テーブル２５に対するブレード治具ベース４３の位置調整又は押圧テーブル５５にする支持フレーム５９の位置調整等によって行われてもよい（図６参照）。
【００５３】
なお、ダイヤルゲージ９３に代えて、レーザ変位センサ等の変位センサを用いることで、第１のディスク基準面８３ｂと第１のブレード基準面７９ｂとの段差量等を測定してもよい。
【００５４】
次に、本実施形態の作用及び効果について説明する。
【００５５】
本実施形態に係る治具の位置調整方法によれば、ブレード治具３９の位置調整は、マスターブレード７９の仮想ブレード側接合面７９ａと、一対のブレード基準面７９ｂ，７９ｃとを基準として行われる。また、ディスク治具６９の位置調整は、マスターディスク８１の仮想ディスク側接合面８３ａと、一対のディスク基準面８３ｂ，８３ｃとを基準として行われる。これにより、ブレード側接合面３ａの機械加工誤差、及び、ディスク側接合面７ａの機械加工誤差の影響を受けないので、２つの治具３９，６９の位置調整が高精度に行われる。
【００５６】
また、ディスク治具６９の位置調整は、複数のマスター突起８３を所定の接合位置に順次割り出しながら求められた複数のディスク治具用調整量に基づいて行われる。そして、ブレード治具３９に対するディスク治具６９の相対位置の位置調整は、複数のマスター突起８３を所定の接合位置に順次割り出しながら求められた複数の相対位置用調整量に基づいて行われる。これにより、ディスク治具６９による突起７の割り出し誤差を補償することができる。
【００５７】
このように、本実施形態によれば、ブレード３のブレード側接合面３ａと突起７のディスク側接合面７ａとの接合精度をより高めることができ、その結果、ブリスクの品質を向上させることができる。特に、ディスク治具６９による突起７の割り出し誤差を補償できるため、前述の効果をより一層高めることができる。
【００５８】
なお、押圧テーブル５５を押圧方向及びその反対方向に沿って移動可能にする代わりに、加振テーブル２５を第１コラム１５と一体的に押圧方向及びその反対方向に沿って移動可能にしてもよい。また、鉛直方向を加振方向とする代わりに、鉛直方向以外の例えば水平方向を加振方向にしてもよい。また、第２調整工程を第１調整工程の前に実施する等、工程の順番を適宜に変更してもよい。
【００５９】
＜第２実施形態＞
次に、本開示の第２実施形態に係る線形摩擦接合装置と、それに用いられる治具の位置調整装置及び位置調整方法とについて説明する。第１実施形態に係る線形摩擦接合装置１では、位置調整用の部材としてのマスターブレード７９及びマスターディスク８１と、計測器としてのダイヤルゲージ９３とを用いて、ブレード治具３９とディスク治具６９との位置調整を行う方法を例示した。これに対して、本実施形態では、マスターブレード７９又はマスターディスク８１に代えて、互いの相対位置を計測することができる計測器を予め備えているマスターブレード又はマスターディスクを用いる。
【００６０】
（治具の位置調整装置の構成）
まず、本実施形態における治具の位置調整装置の構成について説明する。図１３は、本実施形態における治具の位置調整装置３００に含まれる、マスターブレード３０１と、マスターディスク側のマスターブロック３０２とを示す斜視図である。図１４は、ディスク治具６９がマスターディスク３５０を保持した様子を示す斜視図である。なお、以下、本実施形態に係る各図では、第１実施形態に係る線形摩擦接合装置１の構成と同一構成には同一の符号を付し、説明を省略する。
【００６１】
位置調整装置３００は、第１実施形態におけるマスターブレード７９に対応するマスターブレード３０１を含む。マスターブレード３０１は、本体部３１０と、当該本体部３１０に着脱可能な計測器保持部３１１とを含む。
【００６２】
本体部３１０は、Ｚ方向に長い直方体である。本体部３１０のＺ方向の長さは、第１実施形態におけるマスターブレード７９のＺ方向の長さと同一である。また、本体部３１０は、ブレード治具３９が第１クランプ部材４５と第２クランプ部材４７とを協働させて本体部３１０を安定して保持し得る保持部分３１０ｄを含む。さらに、本体部３１０のＸ方向の長さは、保持部分３１０ｄのＸ方向の長さに加えて、計測器保持部３１１を支持し得る程度の長さを含む。
【００６３】
また、本体部３１０において、マスターブロック３０２に対向する面（第１面）は、第１実施形態でいう仮想ブレード側接合面７９ａに対応する仮想ブレード側接合面３１０ｂである。また、計測器保持部３１１が支持される支持面３１０ａは、Ｙ方向のマイナス側に面し、仮想ブレード側接合面３１０ｂに直交する面である。支持面３１０ａは、Ｚ方向に一列に並ぶねじ穴列を２列有する。まず、本体部３１０に対して計測器保持部３１１が図１３に示すように保持されている状態は、本実施形態に係る治具の位置調整方法における下記の第１〜第３調整工程のときの状態である。この状態では、計測器保持部３１１は、本体部３１０にＺ方向に一列に形成されている３つのねじ溝３１０ｈ，３１０ｉ，３１０ｊ（図１６（ａ）参照）にねじ止めされている。
【００６４】
一方、支持面３１０ａは、それらのねじ溝３１０ｈ，３１０ｉ，３１０ｊのＸ方向マイナス側に、図１３に示すように、さらにＺ方向に一列に形成されている３つのねじ溝３１０ｅ，３１０ｆ，３１０ｇを有する。計測器保持部３１１は、ねじ溝３１０ｈ，３１０ｉ，３１０ｊに支持されている状態からねじ締結が解除され、本実施形態に係る治具の位置調整方法における下記の準備工程のときに、新たにねじ溝３１０ｅ，３１０ｆ，３１０ｇにねじ締結され得る。
【００６５】
計測器保持部３１１は、図１３（ｂ）に示すように、第１板体３１１ａと、第２板体３１１ｂと、第３板体３１１ｃとを含む。
【００６６】
第１板体３１１ａは、計測器保持部３１１が本体部３１０に支持されている状態で、第１の側面が本体部３１０の支持面３１０ａに接触し、第１の側面に直交する第２の側面が本体部３１０の計測面３１０ｃ（図１６（ａ）参照）に接触する。特に、第１板体３１１ａは、第１の側面と当該第１の側面に対向する第３の側面との間を貫通する３つのねじ穴３１１ｄ，３１１ｅ，３１１ｆを有する。計測器保持部３１１が本体部３１０に支持されるときには、これらのねじ穴３１１ｄ，３１１ｅ，３１１ｆを介してねじが取り付けられ、本体部３１０に形成されているねじ溝３１０ｅ等に螺合する。
【００６７】
第２板体３１１ｂは、本体部３１０の支持面３１０ａに対して平行である。第２板体３１１ｂのＸ方向マイナス側の端辺は、第１板体３１１ａに連接している。一方、第２板体３１１ｂのＸ方向プラス側の端辺は、マスターブロック３０２側に突出している。また、第２板体３１１ｂには、それぞれ一定の間隔で離間したＺ方向のプラス側とマイナス側との２カ所に、マスターブレード側計測器（第１方向用計測器）としての相対位置計測器が設置される。このうち、Ｚ方向プラス側に位置する方を第１相対位置計測器３３０（第１計測器）とする。一方、Ｚ方向マイナス側に位置する方を第２相対位置計測器３３１（第２計測器）とする。これらの相対位置計測器３３０，３３１は、ともに、Ｙ方向のマイナス側からプラス側に向いており、プラス側の先端が計測端である。これらの計測端は、それぞれ、位置計測の際には、マスターブロック３０２の一面である後述の計測面３２０ｃに接触可能である。
【００６８】
第３板体３１１ｃは、本体部３１０の計測面３１０ｃに対して平行である。第３板体３１１ｃのＸ方向マイナス側の端辺は、第１板体３１１ａに連接している。一方、第３板体３１１ｃのＸ方向プラス側の端辺は、マスターブロック３０２側に突出している。また、第３板体３１１ｃには、マスターブロック側計測器（第２方向用計測器）としての第３相対位置計測器３３２が設置される。第３相対位置計測器３３２は、Ｚ方向のマイナス側からプラス側に向いており、プラス側の先端が計測端である。この計測端は、位置計測の際には、マスターブロック３０２の一面である後述の計測面３２０ｄ（図１７参照）に接触可能である。
【００６９】
また、位置調整装置３００は、第１実施形態におけるマスター突起８３に対応するマスターブロック３０２を含む。マスターブロック３０２は、Ｚ方向に長い直方体である本体部３２０と、位置計測の際にマスターブレード３０１の本体部３１０に向かって突出するように当該本体部３２０に連設された突出部３２０ａとを含む。
【００７０】
突出部３２０ａにおいて、マスターブレード３０１の本体部３１０にある仮想ブレード側接合面３１０ｂに対向する面（第２面）は、第１実施形態でいう仮想ディスク側接合面８３ａに対応する仮想ディスク側接合面３２０ｂである。また、仮想ディスク側接合面３２０ｂに直交する面のうち、Ｙ方向のマイナス側に面する計測面３２０ｃは、上述のとおり、位置計測の際には、第１相対位置計測器３３０の計測端と、第２相対位置計測器３３１の計測端とに対向する。さらに、仮想ディスク側接合面３２０ｂに直交する面のうち、Ｚ方向のマイナス側に面する計測面３２０ｄは、上述のとおり、位置計測の際には、第３相対位置計測器３３２の計測端に対向する。
【００７１】
また、マスターブロック３０２は、それぞれ、計測端が、Ｘ方向のプラス側からマイナス側に向き、仮想ディスク側接合面３２０ｂからＸ方向マイナス側に突出可能とする、マスターディスク側計測器（第３方向用計測器）としての４つの相対位置計測器を有する。これらの相対位置計測器は、それぞれ一定の間隔で離間したＺ方向のプラス側とマイナス側との２カ所に、２つずつ設置される。このうち、Ｚ方向プラス側に位置する方を、第４相対位置計測器３３３（第３計測器）と、第５相対位置計測器３３４（第４計測器）とする。さらに、第４相対位置計測器３３３と第５相対位置計測器３３４とは、Ｙ方向でそれぞれ一定の間隔で離間している。このうち、第４相対位置計測器３３３は、Ｙ方向のマイナス側に位置し、第５相対位置計測器３３４は、Ｙ方向のプラス側に位置する。一方、Ｚ方向マイナス側に位置する相対位置計測器が、第６相対位置計測器３３５（第５計測器）と、第７相対位置計測器３３６（第６計測器）である。第６相対位置計測器３３５のＹ方向の位置は、第４相対位置計測器３３３と同一である。同様に、第７相対位置計測器３３６のＹ方向の位置は、第５相対位置計測器３３４と同一である。なお、４つの相対位置計測器３３４〜３３６を上記のようにマスターブロック３０２に配置する関係上、特に各計測端が外部から視認しやすいように、図１３等に示すように、各計測端がある突出部３２０ａの一部を切り欠きとすることが望ましい。
【００７２】
各相対位置計測器３３０〜３３６は、本実施形態では、エアー駆動方式の接触式変位計である。この場合、計測端とは、接触式変位計の接触子に相当する。なお、相対位置計測器３３０〜３３６としては、このような接触式変位計に限らず、例えば、レーザ変位センサ等の変位センサを採用してもよい。
【００７３】
また、相対位置計測器３３０〜３３６が接触式変位計である場合、マスターブレード３０１の本体部３１０にある、支持面３１０ａ、仮想ブレード側接合面３１０ｂ及び計測面３１０ｃは、位置計測前及び位置計測のときに、いずれかの計測端が当接する。また、マスターブロック３０２の突出部３２０ａにある、仮想ディスク側接合面３２０ｂ、計測面３２０ｃ及び計測面３２０ｄも、位置計測前及び位置計測のときに、いずれかの計測端が当接する。そこで、これらの面の表面は、予め高精度に平坦化しておくことが望ましい。
【００７４】
位置調整装置３００は、図１４に示すように、複数のマスターブロック３０２を設置するマスターディスク３５０を含む。マスターディスク３５０は、第１実施形態におけるマスターディスク８１と同様に、ディスク治具６９に保持される。マスターディスク３５０は、環状の平板部材であり、ディスク治具６９とは反対側に向かう表面上の外周領域に、間隔を置いて複数のマスターブロック３０２を設置する。図１４に示す例では、第１実施形態におけるマスター突起８３と同様に、９０°間隔で４つのマスターブロック３０２が設置されている。各マスターブロック３０２は、それぞれ、マスターブレード３０１に対向したときに、マスターブレード３０１の仮想ブレード側接合面３１０ｂに対して仮想ディスク側接合面３２０ｂがＺ方向に沿って対面するように、マスターディスク３５０に固定される。ここで、マスターブロック３０２がマスターブレード３０１に対向するとは、マスターブレード３０２がマスターブレード３０１に最も近接する位置にある状態とも言える。そして、各マスターブロック３０２は、それぞれ、マスターディスク３５０の表面上に連設されている台座部３５０ａを介して、マスターディスク３５０の表面に対して傾くように固定される。すなわち、この場合には、マスターディスク３５０の表面に対するマスターブロック３０２の傾き角度は、回転テーブル７５の傾斜角度に合う。さらに、各マスターブロック３０２がマスターディスク３５０に固定されている状態では、各マスターブロック３０２のそれぞれの突出部３２０ａは、マスターディスク３５０の外周面よりも外側、すなわち放射方向に向かって突出する。
【００７５】
（治具の位置調整方法）
本実施形態に係る位置調整装置３００を用いた治具の位置調整方法は、下記の準備工程と、計測工程と、調整工程とを含む。
【００７６】
（ｉ）準備工程
図１５は、本実施形態におけるブレード治具３９がマスターブレード３０１を保持した様子を示す斜視図である。また、図１６は、本実施形態に係る治具の位置調整方法における準備工程を説明するための斜視図である。このうち、図１６（ａ）は、マスターブレード３０１の準備工程を説明するための図である。一方、図１６（ｂ）は、マスターブロック３０２の準備工程を説明するための図である。
【００７７】
相対位置計測器３３０〜３３６を用いて以下の各調整工程を行うに際して、相対位置計測器３３０〜３３６のそれぞれについて、原点位置、すなわち、相対位置変位がゼロと見なすことができる位置を特定する必要がある。そこで、本実施形態では、マスターブレード３０１と、マスターブロック３０２とのそれぞれについて原点位置の計測を行う。
【００７８】
まず、マスターブレード３０１における第１相対位置計測器３３０〜第３相対位置計測器３３２の原点位置を調整する場合、図１６（ａ）に示すように、計測器保持部３１１は、ねじ溝３１０ｅ，３１０ｆ，３１０ｇに対してねじ締結される。この状態では、第１相対位置計測器３３０及び第２相対位置計測器３３１のそれぞれの計測端は、本体部３１０の支持面３１０ａに対向する。そして、第１相対位置計測器３３０及び第２相対位置計測器３３１は、それぞれ、計測端を支持面３１０ａに接触させることで、それら位置を原点位置として計測する。同様に、この状態では、第３相対位置計測器３３２の計測端は、本体部３１０の計測面３１０ｃに対向するので、計測端を計測面３１０ｃに接触させることで、その位置を原点位置として計測する。これらすべての原点位置の計測が終了したら、作業者は、ねじ溝３１０ｅ，３１０ｆ，３１０ｇに対する計測器保持部３１１のねじ締結を解除し、計測器保持部３１１を新たにねじ溝３１０ｈ，３１０ｉ，３１０ｊに対してねじ締結する。
【００７９】
次に、マスターブロック３０２における第４相対位置計測器３３３〜第７相対位置計測器３３６の原点位置を調整する場合には、以下のように行う。まず、図１６（ｂ）に示すように、仮想ディスク側接合面３２０ｂに、マスターブレード３０１の仮想ブレード側接合面３１０ｂを当接させる。この状態では、第４相対位置計測器３３３〜第７相対位置計測器３３６の各計測端は、それぞれ、仮想ブレード側接合面３１０ｂに対向する。そして、第４相対位置計測器３３３〜第７相対位置計測器３３６は、それぞれ、計測端を仮想ブレード側接合面３１０ｂに接触させることで、それら位置を原点位置として計測する。この原点位置の計測は、マスターディスク３５０上に配置されているすべてのマスターブロック３０２について行われる。
【００８０】
（ｉｉ）計測工程
図１７は、本実施形態に係る治具の位置調整方法における計測工程を説明するための斜視図である。この計測工程を開始するにあたり、図１５に示すように、ブレード治具３９は、ブレード３を挟持するときと同様に、第１クランプ部材４５と第２クランプ部材４７とを協働させて、マスターブレード３０１を保持する。
【００８１】
まず、マスターディスク３５０上の第１のマスターブロック３０２を、ブレード治具３９に保持されているマスターブレード３０１に近接させる。このとき、マスターブレード３０１の仮想ブレード側接合面３１０ｂと、マスターブロック３０２の仮想ディスク側接合面３２０ｂとは、図１７に示すように、間隔Ｗで対向する。次に、各相対位置計測器３３０〜３３６は、それぞれ、計測端をそれに対向する面に接触させる。具体的には、第１相対位置計測器３３０及び第２相対位置計測器３３１のそれぞれの計測端は、マスターブロック３０２の計測面３２０ｃに接触する。第３相対位置計測器３３２の計測端は、マスターブロック３０２の計測面３２０ｄに接触する。また、第４相対位置計測器３３３〜第７相対位置計測器３３６の各計測端は、それぞれ、マスターブレード３０１の仮想ブレード側接合面３１０ｂに接触する。そして、各相対位置計測器３３０〜３３６は、それぞれ、そのときの位置を計測する。
【００８２】
これらの計測により、以下の値を導くことができる。まず、第１相対位置計測器３３０と第２相対位置計測器３３１とのそれぞれの計測値の平均は、マスターブレード３０１とマスターブロック３０２とについてのＹ方向の相対位置を示す値となる。また、第３相対位置計測器３３２の計測値は、マスターブレード３０１とマスターブロック３０２とについてのＺ方向の相対位置を示す値となる。なお、Ｘ方向については、本実施形態に係る治具の位置調整方法が適用される線形摩擦接合装置における押圧方向に相当するため、相対位置の計測対象としない。
【００８３】
また、第１相対位置計測器３３０と第２相対位置計測器３３１とのそれぞれの計測値の差は、マスターブレード３０１とマスターブロック３０２とについてのＸ軸周りのずれを示す値となる。第４相対位置計測器３３３と第６相対位置計測器３３５とのそれぞれの計測値の差は、マスターブレード３０１とマスターブロック３０２とについてのＹ軸周りの回転を示す値となる。なお、これは、第５相対位置計測器３３４と第７相対位置計測器３３６とのそれぞれの計測値の差であっても同様である。また、第４相対位置計測器３３３と第５相対位置計測器３３４とのそれぞれの計測値の差は、マスターブレード３０１とマスターブロック３０２とについてのＺ軸周りの回転を示す値となる。なお、これは、第６相対位置計測器３３５と第７相対位置計測器３３６とのそれぞれの計測値の差であっても同様である。
【００８４】
引き続き、マスターディスク３５０上のその他のマスターブロック３０２についても、それぞれ、上記のようにマスターブレード３０１との間での相対位置計測が行われる。
【００８５】
（ｉｉｉ）調整工程
上記の計測工程で得られた各計測値は、第１実施形態に係る治具の位置調整方法における相対位置調整量に相当する。そして、この調整工程では、各計測値が予め設定された許容範囲に含まれるように、押圧方向に直交する仮想平面上において、ブレード治具３９に対するディスク治具６９の相対位置の位置調整が行われる。
【００８６】
次に、本実施形態の作用及び効果について説明する。
【００８７】
本実施形態に係る治具の位置調整装置３００及び位置調整方法によれば、第１実施形態に係る治具の位置調整方法と同様の効果を奏する。
【００８８】
また、第１実施形態に係る治具の位置調整方法では、第１〜第３調整工程での各種計測は、作業者がダイヤルゲージ９３等の測定具を用いて行う。さらに、特に第３調整工程では、作業者は、図３又は図４に示すように、１つのマスター突起８３について、複数回、ダイヤルゲージ９３を付け替えて段差量を計測する。これに対して、本実施形態に係る治具の位置調整装置３００によれば、一旦、作業者がマスターブレード３０１をブレード治具３９に保持させてしまえば、治具の位置調整方法を実施している間、着脱を要しない。また、位置調整装置３００では、１つのマスターブロック３０２について、複数箇所の相対位置計測を一度に行い得る。したがって、本実施形態によれば、マスターブレード３０１とマスターブロック３０２との相対位置を、より高精度に、かつ、より短時間に計測させることができる。
【００８９】
なお、上記説明では、第１相対位置計測器３３０及び第２相対位置計測器３３１は、それぞれ、計測端がＹ方向マイナス側からマスターブロック３０２の計測面３２０ｃに接触するように、計測器保持部３１１に設置されている。しかし、本開示の治具の位置調整装置では、このような構成に限らない。例えば、第１相対位置計測器３３０及び第２相対位置計測器３３１は、それぞれ、計測端がＹ方向プラス側からマスターブロック３０２の計測面３２０ｃの反対面に接触するように設置されてもよい。同様に、上記説明では、第３相対位置計測器３３２は、計測端がＺ方向マイナス側からマスターブロック３０２の計測面３２０ｄに接触するように、計測器保持部３１１に設置されている。しかし、本開示の治具の位置調整装置では、このような構成に限らず、第３相対位置計測器３３２は、計測端がＺ方向プラス側からマスターブロック３０２の計測面３２０ｄの反対面に接触するように設置されてもよい。
【００９０】
また、上記説明では、マスターブロック３０２に、第４相対位置計測器３３３〜第７相対位置計測器３３６の４つの相対位置計測器を設置する構成を例示した。しかし、本開示の治具の位置調整装置では、このような構成に限らない。例えば、マスターブレード３０１に、第４相対位置計測器３３３〜第７相対位置計測器３３６の４つの相対位置計測器を設置する構成もあり得る。具体的には、それら４つの相対位置計測器は、マスターブレード３０１の本体部３１０に、計測端が、Ｘ方向のマイナス側からプラス側に向き、かつ、仮想ブレード側接合面３１０ｂからＸ方向プラス側に突出するように、設置される。この場合、マスターブロック３０２には、いかなる相対位置計測器も設置されず、計測面３２０ｂは、単なる平坦面となる。このような構成によっても、上記説明と同様の効果を奏する。
【００９１】
また、上記説明では、第４相対位置計測器３３３〜第７相対位置計測器３３６の４つの相対位置計測器を有する４つのマスターブロック３０２が、マスターディスク３５０の表面上に設置される構成を例示した。しかし、本開示の治具の位置調整装置では、このような構成に限らない。例えば、マスターディスク３５０の厚みを厚くし、マスターディスク３５０の外周面に、９０°間隔で４つの突出部３２０ａを設置する構成もあり得る。この場合も、各突出部３２０ａには、第４相対位置計測器３３３〜第７相対位置計測器３３６の４つの相対位置計測器の計測端が配置されるが、それらの相対位置計測器は、マスターディスク３５０の内部に組み込まれることになる。このような構成によっても、上記説明と同様の効果を奏する。
【００９２】
＜第３実施形態＞
次に、本開示の第３実施形態に係る線形摩擦接合装置について説明する。なお、以下の説明で登場する各構成要素のうち、図１〜１２のいずれかに登場する構成要素に対応するものには、便宜上、図１〜１２で用いられている符号の番号を２００番台に変更して表すものとし、重複する図面を省略する。
【００９３】
図１０及び図２１に示すように、本実施形態に係る線形摩擦接合装置２０１は、ブレード２０３のブレード側接合面２０３ａと、ディスク２０５の外周面に設けられたディスク突起２０７のディスク側接合面２０７ａとの間に発生した摩擦熱を利用して、ブレード側接合面２０３ａとディスク側接合面２０７ａを接合する装置である。
【００９４】
ここで、ブレード２０３及びディスク２０５は、ガスタービン（図示省略）に用いられるブリスク（図示省略）の一部である。また、ブレード２０３は、そのブレード側接合面２０３ａ側（根元側）に、矩形状の被挟持部（被クランプ部）２０３ｂと矩形状のストッパ部２０３ｃを連続して有している。ストッパ部２０３ｃは、被挟持部２０３ｂよりもブレード側接合面２０３ａ側に位置しており、ストッパ部２０３ｃの外径寸法は、被挟持部２０３ｂの外径寸法よりも大きくなっている。
【００９５】
図２１に示すように、線形摩擦接合装置２０１は、装置本体２０９を備える。装置本体２０９は、床面Ｆに複数の防振ゴム１１を介して設置されたベッド２１３を有する。ベッド２１３は、左右方向（水平方向の１つ）へ延びている。ベッド２１３は、その左部に、第１コラム２１５を備える。第１コラム２１５は、鉛直方向（上下方向）へ延びている。ベッド２１３は、その右部に、第２コラム２１７を備える。第２コラム２１７は、鉛直方向へ延びている。そして、第１コラム２１５と第２コラム２１７は、それらの上部の間に、上部フレーム２１９を連結するように備える。上部フレーム２１９は、左右方向へ延びている。
【００９６】
図１１、図１２及び図２１に示すように、第１コラム２１５は、その右側面（右側）に、ガイドブロック２２１を備える。ガイドブロック２２１は、断面Ｔ字形状のガイド溝２２３を有する。ガイド溝２２３は、鉛直方向へ延びている。また、ガイドブロック２２１は、そのガイド溝２２３内に、矩形状の加振テーブル２２５を備える。加振テーブル２２５は、加振方向である鉛直方向に沿って往復移動可能である。換言すれば、加振テーブル２２５は、ガイドブロック２２１を介して第１コラム２１５の右側面に加振方向に沿って往復移動可能である。加振テーブル２２５は、その右側、凸部２２５ａを有する。凸部２２５ａは、加振方向（鉛直方向）に沿って延びている。更に、ガイドブロック２２１は、その下側に、ガイド溝２２３内からの加振テーブル２２５の離脱を抑止するストッパプレート２２７を備える。
【００９７】
ガイドブロック２２１は、そのガイド溝２２３内に、支持油（支持流体の一例）の静圧を利用して加振テーブル２２５を加振方向に沿って往復移動可能に案内する静圧支持ユニット２２９を備える。換言すれば、加振テーブル２２５は、ガイド溝２２３内に静圧支持ユニット２２９を介して加振方向に沿って往復移動可能である。また、静圧支持ユニット２２９は、ガイド溝２２３内に間隔を置いて設けられた複数の静圧パッド２３１を有する。複数の静圧パッド２３１は、加振テーブル２２５（凸部２２５ａを除く加振テーブル２２５）の左側面、右側面、前端面及び後端面に向かって支持油を噴出可能である。なお、各静圧パッド２３１は、支持油を供給する支持油用のポンプ（図示省略）に接続される。
【００９８】
図１１及び図２１に示すように、上部フレーム２１９は、その左部に、所定の振幅で加振テーブル２２５を加振方向に沿って往復移動させる加振アクチュエータとしての油圧式の加振シリンダ２３３を備える。また、加振シリンダ２３３は、加振方向に沿って往復移動可能なピストンロッド２３５を有する。ピストンロッド２３５の先端部は、加振テーブル２２５の適宜位置にカップリング２３７を介して連結している。ここで、「所定の振幅」とは、一例として、±１０．０ｍｍ以下に設定された振幅のことをいう。なお、加振アクチュエータとして、油圧式の加振シリンダ２３３に代えて、電動式の加振シリンダ（図示省略）又は加振モータ（図示省略）等を用いてもよい。
【００９９】
加振テーブル２２５は、その凸部２２５ａの右側面（右側）に、ブレード２０３を保持するブレードホルダユニット（ブレード治具）２３９を備える。
【０１００】
図８（ａ），（ｂ）及び図１１に示すように、ブレードホルダユニット２３９は、加振テーブル２２５の凸部２２５ａの右側面に複数のボルト２４１を介して設けられたユニットベース（治具ベース）２４３を備える。また、ユニットベース２４３は、その中央部から下部にかけて、ブロック部２４３ａを有する。ユニットベース２４３は、その上部に、壁部２４３ｂを有する。壁部２４３ｂは、ブロック部２４３ａに、加振方向で対向している。
【０１０１】
ユニットベース２４３は、ブロック部２４３ａの上側に、第１クランプ部材２４５を備える。また、ユニットベース２４３は、ブロック部２４３ａと壁部２４３ｂとの間に、第１クランプ部材２４５と協働して被挟持部２０３ｂを挟持（クランプ）する第２クランプ部材２４７を備える。そして、第１クランプ部材２４５の挟持面（クランプ面）２４５ｆ及び第２クランプ部材２４７の挟持面２４７ｆの側面視形状（加振方向に直交する押圧方向に対して平行な方向から見た形状）は、それぞれ被挟持部２０３ｂの形状に対応したＬ字形状になっている。更に、第１クランプ部材２４５は、その挟持面２４５ｆに被挟持部２０３ｂがセットされると、ブレード側接合面２０３ａを加振方向に対して平行とする。なお、ユニットベース２４３は、ブロック部２４３ａと壁部２４３ｂとの間に、第１クランプ部材２４５を加振方向に沿って案内するガイド部材（図示省略）を備えてもよい。
【０１０２】
ユニットベース２４３は、壁部２４３ｂに、第２クランプ部材２４７に加振方向に対して傾斜する方向ＳＤの挟持力（クランプ力）を付与するクランプ付与部材としてのクランプボルト２４９を備える。クランプボルト２４９は、壁部２４３ｂに螺合している。クランプボルト２４９の先端部は、クランプボルト２４９の締付け力によって加圧接触可能である。また、クランプボルト２４９は、その中間部に、ユニットベース２４３に対するクランプボルト２４９の位置を固定するための固定ナット２５１を備える。
【０１０３】
図２１に示すように、ベッド２１３は、その上面における加振テーブル２２５に対して右方向に離隔した位置に、一対（１つのみ図示）のガイドレール２５３を備える。一対のガイドレール２５３は、前後方向（水平方向の１つ）に離隔しており、各ガイドレール２５３は、左右方向へ延びている。そして、一対のガイドレール２５３は、それらの上側に、押圧テーブル２５５を備える。換言すれば、押圧テーブル２５５は、ベッド２１３の上面における加振テーブル２２５に対して右方向に離隔した位置に一対のガイドレール２５３を介して設けられる。また、押圧テーブル２５５は、その下面（下側）に、対応するガイドレール２５３に案内される複数の被案内部材２５７を有する。換言すれば、押圧テーブル２５５は、一対のガイドレール２５３及び複数の被案内部材２５７を介して加振方向に直交する押圧方向（左方向）及びその反対方向（右方向）に沿って移動可能である。
【０１０４】
押圧テーブル２５５は、その上面に、支持フレーム２５９を複数のボルト２６１（図１９参照）を介して備える。支持フレーム２５９は、水平方向に対して傾斜した傾斜部２５９ａを有する。そして、第２コラム２１７は、その中央部に、押圧テーブル２５５を押圧方向及びその反対方向に沿って移動させる押圧アクチュエータとしての油圧式の押圧シリンダ２６３を備える。また、押圧シリンダ２６３は、押圧方向及びその反対方向に沿って移動可能なピストンロッド２６５を有する。ピストンロッド２６５の先端部（左端部）は、支持フレーム２５９の適宜位置にカップリング２６７を介して連結している。更に、押圧シリンダ２６３は、その適宜位置に、押圧テーブル２５５の押圧方向の位置を測定する位置測定器としてのリニアスケール（図示省略）を備える。なお、ピストンロッド２６５の先端部は、支持フレーム２５９の適宜位置に連結する代わりに、押圧テーブル２５５の適宜位置に連結してもよい。押圧アクチュエータとして、油圧式の押圧シリンダ２６３に代えて、電動式の押圧シリンダ（図示省略）又は押圧モータ（図示省略）等を用いてもよい。
【０１０５】
支持フレーム２５９は、その傾斜部２５９ａに、ディスク２０５を保持するディスクホルダユニット（ディスク治具）２６９を備える。換言すれば、線形摩擦接合装置２０１は、支持フレーム２５９の傾斜部２５９ａを介して押圧テーブル２５５に取付可能（設置可能）なディスクホルダユニット２６９を備える。
【０１０６】
次に、本実施形態に係るディスクホルダユニット２６９の具体的に構成について説明する。
【０１０７】
図１８及び図１９に示すように、ディスクホルダユニット２６９は、支持フレーム２５９の傾斜部２５９ａに複数のボルト２７１を介して設けられた環状のユニットベース（治具ベース）２７３を備える。換言すれば、ディスクホルダユニット２６９は、支持フレーム２５９の傾斜部２５９ａを介して押圧テーブル２５５に取付可能な環状のユニットベース２７３を備える。また、ユニットベース２７３は、環状の３つのベース構成部材２７５，２７７，２７９を積層して構成されている。ユニットベース２７３の軸心は、鉛直方向に対して傾斜している。
【０１０８】
ユニットベース２７３は、その上面（ユニットベース２７３の厚み方向の一方側）に、円形の回転テーブル２８１を備える。回転テーブル２８１は、ユニットベース２７３と同心状に位置しており、その軸心（回転テーブル２８１の軸心）周りに回転可能（回転摺動可能）である。また、回転テーブル２８１は、その中央部（中心部）に、テーブル軸２８３を有する。テーブル軸２８３は、スラストラジアル軸受２８５を介してユニットベース２７３に回転可能に支持されている。スラストラジアル軸受２８５は、ユニットベース２７３に設けられており、テーブル軸２８３のスラスト荷重及びラジアル荷重を支持するようになっている。なお、スラストラジアル軸受２８５に代えて、テーブル軸２８３のスラスト荷重を支持するスラスト軸受（図示省略）と、テーブル軸２８３のラジアル荷重を支持するラジアル軸受（図示省略）を用いてもよい。
【０１０９】
回転テーブル２８１は、その上面（回転テーブル２８１の厚み方向の一方側）の周縁に、環状の段差部２８１ａを有する。段差部２８１ａは、複数のボルト２８７によってディスク２０５を取付可能である。また、回転テーブル２８１は、その上面の中央部（中心部）に、ディスク２０５を同心状に取り付けるためのチャック機構２８９を有する。換言すれば、回転テーブル２８１は、複数のボルト２８７及びチャック機構２８９によってディスク２０５を同心状に取付可能である。更に、チャック機構２８９は、旋盤等の工作機械のチャック機構と同様の構成からなっており、径方向へ移動可能な複数の爪部材２９１と、回転操作によって複数の爪部材２９１を径方向へ同期して移動させるための操作部材２９３とを有する。なお、ユニットベース２７３は、その適宜箇所に、ディスク２０５の取り付けの際にボルト２８７を通過させるための通過孔（図示省略）を有する。
【０１１０】
回転テーブル２８１は、その軸心周りの回転によってディスク突起２０７を接合するための接合位置（所定の接合位置）に割り出し可能（位置決め可能）に構成されている。換言すれば、ディスクホルダユニット２６９は、ディスク２０５の軸心周りの回転（回転テーブル２８１の軸心周りの回転）によってディスク突起２０７を所定の接合位置に割り出し可能に構成されている。また、回転テーブル２８１は、ディスク突起２０７を所定の接合位置に割り出すと、そのディスク側接合面２０７ａを加振方向に対して平行にする。
【０１１１】
図１８に示すように、回転テーブル２８１の径方向中央部の厚みは、回転テーブル２８１の径方向外側部の厚みよりも薄い。換言すれば、回転テーブル２８１の径方向中央部の剛性は、回転テーブル２８１の径方向外側部の剛性よりも低く設定されている。また、回転テーブル２８１は、その下側（ユニットベース２７３側の摺動面）に、断面Ｔ字状のリング溝２９５を有する。なお、ユニットベース２７３の上面（摺動面）と回転テーブル２８１の下面（摺動面）との間には、潤滑油又はグリースが適宜に供給される。ユニットベース２７３の上面及び回転テーブル２８１の下面には、耐摩耗のコーティング（図示省略）が施されている。
【０１１２】
ユニットベース２７３は、その中央部に、回転テーブル２８１をその軸心（回転テーブル２８１の軸心）周りに回転（回転摺動）させる回転アクチュエータとして回転モータ（ダイレクトドライブモータ）２９７を備える。また、回転モータ２９７は、その軸心周りに回転可能な回転子（ロータ）２９９を有する。回転子２９９は、テーブル軸２８３と同心状（同軸状）に一体的に連結している。更に、回転テーブル２８１は、その外周面に、環状の摺接部材１０１を備える。摺接部材１０１は、ユニットベース２７３の外周面に摺接可能である。
【０１１３】
ユニットベース２７３は、その適宜位置に、回転テーブル２８１をユニットベース２７３に対して固定する固定部としての複数の油圧式の固定シリンダ１０３を備える。複数の固定シリンダ１０３は、ユニットベース２７３（回転テーブル２８１）と同心状の円周方向（所定の円周方向）に沿って間隔を置いて配置される。
【０１１４】
固定シリンダ１０３は、ユニットベース２７３の内部に設けられたシリンダ室１０５を有する。シリンダ室１０５は、作動油（作動流体の一例）の圧力を受ける。シリンダ室１０５は、その内側に、ピストン１０７を備える。ピストン１０７は、ユニットベース２７３の厚み方向（ユニットベース２７３の軸心方向）に沿って移動可能である。そして、ピストン１０７は、その上側に、押圧ロッド１０９を備える。押圧ロッド１０９の基部は、ピストン１０７に固定されている。また、押圧ロッド１０９は、ユニットベース２７３に形成した挿通穴１１１に挿通し、かつ、リング溝２９５に嵌合している。押圧ロッド１０９は、リング溝２９５の壁面２９５ｆをユニットベース２７３側（下方向）へ押圧可能である。
【０１１５】
なお、本実施形態にあっては、所定の接合位置側（左側）に位置する固定シリンダ１０３のシリンダ室１０５の横断面積は、他の固定シリンダ１０３のシリンダ室１０５の横断面積よりも大きい。
【０１１６】
ユニットベース２７３は、その外周面の適宜箇所に、各シリンダ室１０５における押圧ロッド１０９側に対して作動油を供給又は排出するための第１作動油ポート１１３を備える。第１作動油ポート１１３は、ユニットベース２７３の内部に形成した第１連絡通路（図示省略）を経由して、各シリンダ室１０５における押圧ロッド１０９側に連通している。また、ユニットベース２７３は、その外周面の適宜箇所に、各シリンダ室１０５における押圧ロッド１０９側の反対側に対して作動油を供給又は排出するための第２作動油ポート１１５を備える。第２作動油ポート１１５は、ユニットベース２７３の内部に形成した第２連絡通路（図示省略）を経由して、各シリンダ室１０５における押圧ロッド１０９側の反対側に連通している。
【０１１７】
図２０（ａ）に示すように、第１作動油ポート１１３及び第２作動油ポート１１５は、作動油の輸送（供給動作及び搬出動作）を行う油圧ユニット１１７に接続されている。
【０１１８】
第１作動油ポート１１３は、油圧回路１１９の一端に接続されており、油圧回路１１９の他端は、第１方向制御弁１２１のＡポートに接続されている。第１方向制御弁１２１のＰポートは、油圧回路１２３の一端に接続されており、油圧回路１２３の他端は、各シリンダ室１０５に作動油を供給するポンプ１２５（ポンプ１２５の吐出側）に接続されている。ポンプ１２５（ポンプ１２５の吸入側）は、作動油を収容するタンク１２７に接続されている。また、第２作動油ポート１１５は、油圧回路１２９の一端に接続されており、油圧回路１２９の他端は、第１方向制御弁１２１のＢポートに接続されている。第１方向制御弁１２１のＴポートは、油圧回路１３１の一端に接続されており、油圧回路１３１の他端は、タンク１２７に接続されている。そして、油圧回路１２３は、その中間部（一端と他端の間）に、第１減圧弁（第１圧力制御弁の一例）１３３を備える。第１減圧弁１３３は、各シリンダ室１０５における押圧ロッド１０９側に加える作動油の圧力を低く設定している。なお、第１減圧弁１３３の代わりに、第１圧力制御弁の一例として第１リリーフ弁（図示省略）が油圧回路１２３の中間部に配設されてもよい。
【０１１９】
油圧回路１１９の中間部は、油圧回路１３５の一端に接続されており、油圧回路１３５の他端は、第２方向制御弁１３７のＡポートに接続されている。第２方向制御弁１３７におけるＰポートは、油圧回路１３９の一端に接続されており、油圧回路１３９の他端は、油圧回路１２３におけるポンプ１２５と第１減圧弁１３３の間に接続されている。また、油圧回路１２９の中間部は、油圧回路１４１の一端に接続されており、油圧回路１４１の他端は、第２方向制御弁１３７のＢポートに接続されている。第２方向制御弁１３７のＴポートは、油圧回路１４３の一端に接続されており、油圧回路１４３の他端は、油圧回路１３１の中間部に接続されている。そして、油圧回路１３９は、その中間部に、第２減圧弁（第２圧力制御弁の一例）１４５を備える。第２減圧弁１４５は、各シリンダ室１０５における押圧ロッド１０９側に加える作動油の圧力を高く設定している。なお、第２減圧弁１４５の代わりに、第２圧力制御弁の一例として第２リリーフ弁（図示省略）が油圧回路１３９の中間部に配設されてもよい。
【０１２０】
ここで、ポンプ１２５の駆動中に、第１方向制御弁１２１を中立状態（図２０（ａ）に示す状態）から、ＰポートとＡポートとを連通させる場合を考える。この動作によれば、図２０（ａ）の白抜き矢印のように、第１作動油ポート１１３には、作動油が供給されるので、第１作動油ポート１１３は、第１減圧弁１３３を用いて、各シリンダ室１０５における押圧ロッド１０９側に低い作動油の圧力を加えることができる。更に、第２方向制御弁１３７を中立状態（図２０（ａ）に示す状態）から、ＰポートとＡポートとを連通させる場合を考える。この動作によれば、図２０（ａ）の黒塗り矢印のように、第１作動油ポート１１３には、作動油が供給されるので、第１作動油ポート１１３は、第２減圧弁１４５を用いて、各シリンダ室１０５における押圧ロッド１０９側に高い作動油の圧力を加えることができる。換言すれば、ディスクホルダユニット２６９は、各シリンダ室１０５における押圧ロッド１０９側にかける作動油の圧力を段階的に高くする。なお、ポンプ１２５の駆動中に、第１方向制御弁１２１と第２方向制御弁１３７とのうちの少なくともいずれかを、中立状態から、ＰポートとＢポートとを連通させる場合は、以下の通りである。すなわち、図２０（ａ）の斜線矢印のように、第２作動油ポート１１５は、作動油が供給され、各シリンダ室１０５における押圧ロッド１０９側の反対側に作動油の圧力を加えることができる。
【０１２１】
第１作動油ポート１１３及び第２作動油ポート１１５は、油圧ユニット１１７に代えて、図２０（ｂ）に示すように、作動油の輸送を行う他の油圧ユニット１４７に接続されてもよい。
【０１２２】
第１作動油ポート１１３は、油圧回路１４９の一端に接続されており、油圧回路１４９の他端は、方向制御弁１５１のＡポートに接続されている。方向制御弁１５１のＰポートは、油圧回路１５３の一端に接続されており、油圧回路１５３の他端は、各シリンダ室１０５に作動油を供給するポンプ１５５（ポンプ１５５の吐出側）に接続されている。ポンプ１５５（ポンプ１５５の吸入側）は、作動油を収容するタンク１５７に接続されている。また、第２作動油ポート１１５は、油圧回路１５９の一端に接続されており、油圧回路１５９の他端は、方向制御弁１５１のＢポートに接続されている。方向制御弁１５１のＴポートは、油圧回路１６１の一端に接続されており、油圧回路１６１の他端は、タンク１５７に接続されている。更に、油圧回路１５３の中間部は、油圧回路１６３の一端に接続されており、油圧回路１６３の他端は、タンク１５７に接続されている。そして、油圧回路１６３は、その中間部に、電磁比例リリーフ弁（電磁比例弁の一例）１６５を備える。電磁比例リリーフ弁１６５は、各シリンダ室１０５における押圧ロッド１０９側に加える作動油の圧力を可変である。なお、電磁比例リリーフ弁１６５の代わりに、電磁比例弁の一例として電磁比例減圧弁（図示省略）が油圧回路１６３の中間部に配設されてもよい。
【０１２３】
ここで、ポンプ１５５の駆動中に、方向制御弁１５１を中立状態（図２０（ｂ）に示す状態）から、ＰポートとＡポートとを連通させる場合を考える。この動作によれば、図２０（ｂ）の白抜き矢印のように、第１作動油ポート１１３には、作動油が供給されるので、第１作動油ポート１１３は、各シリンダ室１０５における押圧ロッド１０９側に作動油の圧力を加えることができる。そして、電磁比例リリーフ弁１６５は、開の程度を適宜変更することにより、各シリンダ室１０５における押圧ロッド１０９側にかける作動油の圧力を漸次に高くすることができる。換言すれば、ディスクホルダユニット６９は、各シリンダ室１０５における押圧ロッド１０９側にかける作動油の圧力を漸次高くする。なお、ポンプ１５５の駆動中に、方向制御弁１５１を中立状態から、ＰポートとＢポートとを連通させる場合は、以下の通りである。すなわち、図２０（ｂ）の斜線矢印のように、第２作動油ポート１１５は、作動油が供給され、作動油を各シリンダ室１０５における押圧ロッド１０９側の反対側に作動油の圧力を加えることができる。
【０１２４】
次に、本実施形態の作用（ブレードホルダユニット２３９に関する作用、ディスクホルダユニット２６９に関する作用、及び、線形摩擦接合装置２０１全体に関する作用）及び効果について説明する。
【０１２５】
（ブレードホルダユニット２３９に関する作用）
作業者は、ストッパ部２０３ｃを第１クランプ部材２４５の右側面及び第２クランプ部材２４７の右側面に突き当てた状態で、被挟持部２０３ｂを、第１クランプ部材２４５の挟持面２４５ｆと第２クランプ部材２４７の挟持面２４７ｆとの間にセットする。これにより、ブレード側接合面２０３ａを加振方向に対して平行にすることができる。そして、クランプボルト２４９を締め付けて、クランプボルト２４９の先端部を第２クランプ部材２４７に加圧接触させることにより、第２クランプ部材２４７（第１クランプ部材２４５及び第２クランプ部材２４７）に、方向ＳＤの挟持力が付与される。これにより、第１クランプ部材２４５の挟持面２４５ｆと第２クランプ部材２４７の挟持面２４７ｆとで、被挟持部３ｂを挟持することができる。これにより、ブレードホルダユニット２３９は、ブレード側接合面２０３ａを加振方向に対して平行にした状態でブレード２０３を保持し、加振テーブル２２５に対して固定することができる。
【０１２６】
なお、ブレードホルダユニット２３９からブレード２０３を取り外す場合には、クランプボルト２４９を緩めて、クランプボルト２４９の先端部による加圧状態を解除する。これにより、第１クランプ部材２４５と第２クランプ部材２４７とによる挟持状態（クランプ状態）を解除することができる。
【０１２７】
（ディスクホルダユニット２６９に関する作用）
ディスクホルダユニット２６９は、複数のボルト２８７及びチャック機構２８９によってディスク２０５を回転テーブル２８１に同心状に取り付けることで、ディスク２０５を保持する。次に、各シリンダ室１０５における押圧ロッド１０９側の反対側に作動油の圧力を加えた状態で、回転モータ２９７は、回転テーブル２８１をその軸心周りに回転（回転摺動）させる。そして、ディスク２０５をその軸心周りに回転させて、ディスク突起２０７を所定の接合位置に割り出す。次に、各シリンダ室１０５における押圧ロッド１０９側の反対側の作動油の圧力の加圧状態を解除すると共に、各シリンダ室１０５における押圧ロッド１０９側に作動油の圧力を加える。そして、各押圧ロッド１０９は、作動油の圧力を利用して、リング溝２９５の壁面２９５ｆをユニットベース２７３側へ押圧する。これにより、ディスク突起２０７を所定の接合位置に割り出した状態で、複数の固定シリンダ１０３は、回転テーブル２８１をユニットベース２７３に対して強固に固定することができる。換言すれば、ディスク突起２０７を所定の接合位置に割り出した状態で、ディスク２０５を押圧テーブル２５５に対して強固に固定することができる。
【０１２８】
ここで、前述のように、ディスクホルダユニット２６９は、各シリンダ室１０５における押圧ロッド１０９側にかける作動油の圧力を段階的に又は漸次高くするように構成される。これにより、回転テーブル２８１をユニットベース２７３に対して固定する際に、回転テーブル２８１の位置ずれを抑えて、所定の接合位置に割り出したディスク突起２０７の変位（微動）を抑止することができる。
【０１２９】
前述のように、回転テーブル２８１の径方向中央部の剛性は、回転テーブル２８１の径方向外側部の剛性よりも低い。これにより、回転テーブル２８１の回転中に、回転テーブル２８１に局所的な撓みが生じて、ユニットベース２７３の上面（摺動面）と回転テーブル２８１の下面（摺動面）との間の摺動抵抗を低減することができる。
【０１３０】
（線形摩擦接合装置２０１全体に関する作用）
ブレードホルダユニット２３９によって保持されたブレード２０３のブレード側接合面２０３ａと、ディスクホルダユニット２６９によって保持されたディスク２０５のディスク側接合面２０７ａとを、加振方向に対して平行な状態で対向させる。次に、加振テーブル２２５は、加振シリンダ２３３の駆動により、所定の振幅で加振方向に沿って往復移動する。また、リニアスケールによって押圧テーブル２５５の押圧方向の位置を測定しながら、押圧シリンダ２６３の駆動により押圧テーブル２５５を押圧方向へ移動させる。すると、ブレード２０３を加振方向へ往復移動させた状態で、ディスク突起２０７をブレード２０３の接合面２０３ａ側へ所定の押圧荷重で押圧することができる。そして、押圧テーブル２５５の原点位置からの移動量が目標寄り量よりも小さく設定された目標前寄り量と同じになると、加振シリンダ２３３の駆動を停止する。更に、押圧テーブル２５５の原点位置からの移動量が目標寄り量と同じになるまで、押圧テーブル２５５を押圧方向へ移動させる。すると、ブレード２０３を停止させた状態で、ディスク突起２０７をブレード２０３の接合面２０３ａ側へ所定の押圧荷重で押圧することができる。これにより、ブレード２０３の接合面２０３ａとディスク突起２０７の接合面２０７ａとの間に摩擦熱を発生させて、ブレード２０３の接合面２０３ａとディスク突起２０７の接合面２０７ａを据え込んで接合することができる。
【０１３１】
ここで、「押圧テーブル２５５の原点位置」とは、ディスク突起２０７の接合面２０７ａをブレード２０３の接合面２０３ａに接触させたタイミングにおける、押圧テーブル２５５の押圧方向の位置のことをいう。「目標寄り量」とは、ブレード２０３の接合面２０３ａとディスク突起２０７の接合面２０７ａを接合させるためのブレード２０３及びディスク突起２０７の寄り量（変位量）のこという。
【０１３２】
ブレード２０３の接合面２０３ａとディスク突起２０７の接合面２０７ａを接合した後に、ブレードホルダユニット２３９から接合済みのブレード２０３を取り外して、ブレードホルダユニット２３９によって他のブレード２０３を保持する。また、回転モータ２９７の駆動により回転テーブル２８１をその軸心周りに回転させて、他の所定のディスク突起２０７を所定の接合位置に割り出す。そして、前述のように、他のブレード２０３の接合面２０３ａと他のディスク突起２０７の接合面２０７ａを接合する。更に、接合対象であるブレード２０３及びディスク突起２０７がなくなるまで、ブレード２０３の接合面２０３ａとディスク突起２０７の接合面２０７ａの接合に関する動作を繰り返して行う。
【０１３３】
なお、接合済みのブレード２０３の被挟持部２０３ｂ及びストッパ部２０３ｃ、並びに接合済みのディスク突起２０７は、後工程の機械加工によってブリスクの一部として製品形状に仕上げられる。
【０１３４】
従って、本発明の実施形態によれば、前述のように、ディスク突起２０７を所定の接合位置に割り出した状態で、回転テーブル２８１をユニットベース２７３に対して強固に固定することができる。そのため、接合中にブレード２０３の接合面２０３ａとディスク突起２０７の接合面２０７ａとの間に大きな摩擦力が働いても、ユニットベース２７３、換言すれば、押圧テーブル２５５に対するディスク２０５の固定状態を強固に維持することができる。よって、本実施形態によれば、ブレード２０３の接合面２０３ａとディスク突起２０７の接合面２０７ａとの接合精度をより高めることができる。特に、回転テーブル２８１をユニットベース２７３に対して固定する際に、所定の接合位置に割り出したディスク突起２０７の変位を防止できるため、ブレード２０３の接合面２０３ａとディスク突起２０７の接合面２０７ａとの接合精度をより一層高めることができる。
【０１３５】
ユニットベース２７３の上面と回転テーブル２８１の下面との間の摺動抵抗を低減できるため、ユニットベース２７３の上面及び回転テーブル２８１の下面の摩耗を抑えて、ディスクホルダユニット２６９の耐久性を高めることができる。
【０１３６】
なお、押圧テーブル２５５を押圧方向及びその反対方向へ移動可能にする代わりに、加振テーブル２２５を第１コラム２１５と一体的に押圧方向及びその反対方向へ移動可能にしてもよい。鉛直方向を加振方向とする代わりに、鉛直方向以外の例えば水平方向を加振方向にしてもよい。
【０１３７】
このように、本開示は、ここでは記載していない様々な実施の形態などを含むことは勿論である。従って、本開示の技術的範囲は、上述の説明から妥当な特許請求の範囲に係る発明特定事項によってのみ定められる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【国際調査報告】
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