(57)【要約】  移動体の移動方向回りの回転を抑制でき、移動体を安定に移動させ得る駆動装置を得る。  駆動ユニット２と移動体３とバネ部材４とを備える駆動装置１。駆動ユニット２は、弾性体５と圧電素子６〜９とを有する。移動体３の外周面にバネ部材４が固定されている。弾性体５の開口部に、バネ部材４が取り付けられた移動体３が挿入されている。バネ部材４は、上記開口部の内壁に圧接される複数の圧接部Ａ１〜Ａ４を外表面に有する。弾性体５の第１の主面５ａ側からみたときに、少なくとも１つの上記圧接部Ａ１〜Ａ４におけるバネ部材４の曲率が小さくなるように、バネ部材４が径方向外側に圧接部以外の部分において拡径されている。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
対向し合う第１及び第２の主面を有し、かつ前記第１の主面から前記第２の主面に向かって貫通している開口部を有する弾性体と、前記弾性体の前記第１及前記び第２の主面の内の少なくとも一方の主面に接合された圧電素子とを有する駆動ユニットと、
前記弾性体の前記開口部に挿入されており、前記駆動ユニットを駆動することにより、前記弾性体の前記第１の主面と前記第２の主面とを結ぶ方向に移動される移動体と、
前記移動体に固定されており、前記開口部の内壁に圧接される複数の圧接部を外表面に有するバネ部材と、
を備え、
前記圧電素子を駆動することにより、前記駆動ユニットが、屈曲振動と、前記屈曲振動とは異なる少なくとも一種の他の振動とで、または前記屈曲振動と、前記屈曲振動とは異なる少なくとも一種の前記他の振動とが結合してなる結合モードの振動で振動するように構成されており、
前記他の振動または前記結合モードの振動が、前記移動体を移動させ得るように前記弾性体の前記開口部の前記内壁に前記バネ部材が圧接している移動可能状態と、前記弾性体の前記開口部の前記内壁が前記バネ部材から隔てられており、あるいは前記移動可能状態よりも低い摩擦係合力で前記バネ部材が前記弾性体の前記開口部の前記内壁に接触しているリリース状態とをそれぞれ実現する振動姿態を有し、
前記弾性体の前記第１の主面側からみたときに、少なくとも１つの前記圧接部における前記バネ部材の曲率が小さくなるように、前記バネ部材が径方向外側に前記圧接部以外の部分において拡径されている、駆動装置。
【請求項２】
前記駆動ユニットの前記屈曲振動及び前記他の振動により、または前記結合モードの振動により、前記移動体を移動させる、請求項１に記載の駆動装置。
【請求項３】
前記移動体により、前記バネ部材が径方向外側に前記圧接部以外の部分において拡径されている、請求項１または２に記載の駆動装置。
【請求項４】
前記バネ部材が円筒体の周方向一部において、前記第１の主面と前記第２の主面とを結ぶ方向に延びるスリットを有する、請求項１〜３のいずれか１項に記載の駆動装置。
【請求項５】
前記弾性体の前記第１の主面側からみた場合に、前記バネ部材に外接している円の半径が、少なくとも一カ所において、前記開口部に内接している円の半径よりも大きい、請求項１〜４のいずれか１項に記載の駆動装置。
【請求項６】
前記弾性体の前記第１の主面側からみた場合に、前記移動体が、コーナー部が丸みを帯びた矩形の形状を有し、前記バネ部材の前記スリットが、１つのコーナー部の丸みを帯びた部分に位置しており、前記バネ部材が前記駆動体に、前記弾性体の前記第１の主面側からみた場合に、５カ所において接触している、請求項４に記載の駆動装置。
【請求項７】
前記移動体が、前記駆動体の前記第１の主面と前記第２の主面とを結ぶ方向に延びる角柱状の形状を有する、請求項１〜５のいずれか１項に記載の駆動装置。
【請求項８】
前記バネ部材と前記移動体との間に、前記圧接部以外の部分において、前記バネ部材の前記曲率を部分的に大きくするために、前記バネ部材の内面に接触している曲率拡大部材が設けられている、請求項１〜７のいずれか１項に記載の駆動装置。
【請求項９】
前記曲率拡大部材が、前記バネ部材の端部と前記移動体との間に設けられている、請求項８に記載の駆動装置。
【請求項１０】
前記曲率拡大部材が、前記移動体と一体に形成されている、請求項８または９に記載の駆動装置。
【請求項１１】
前記曲率拡大部材が前記バネ部材の内面に一体に設けられている、請求項８または９に記載の駆動装置。
【請求項１２】
前記バネ部材が、前記駆動体の周方向に配置された複数のバネ部材を有する、請求項１〜９のいずれか１項に記載の駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電素子を駆動して移動体を移動させる駆動装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、カメラのレンズなどを移動させる駆動装置として、圧電素子を用いた駆動装置が種々提案されている。【０００３】
下記の特許文献１には、屈曲振動と他の振動とを利用した超音波モーターが開示されている。ここでは、筒状の移動体が、円板状の基体の貫通孔に挿入されている。筒状の移動体は、その軸方向に移動するように構成されている。円板状の基体の両面に圧電素子が設けられている。この円板の屈曲振動と径方向振動との複合共振が用いられている。【０００４】
また、従来、市販のデジタルカメラの一部では、オートフォーカス用途に、圧電リニアアクチュエータが用いられている。この種のオートフォーカス用途圧電リニアアクチュエータでは、レンズを含む移動体の回転を抑制することが求められている。そのため、レンズを含む移動体に、回転止めのための突起が設けられており、他方、ケースに該突起が嵌まり合う凹部が設けられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平１−２９８９６８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記のように、従来、圧電素子を用いた駆動装置において、移動体の軸方向の回り、すなわち移動方向回りの回転を防止するために、突起と凹部との組み合わせが用いられていた。しかしながら、このような構造では、突起部と凹部との間に隙間が存在する。そのため、レンズを含む移動体が軸方向まわりにおいてがたつくことがあった。また、移動体の駆動状態が安定せず、性能ばらつきが生じがちであった。【０００７】
本発明の目的は、移動体の移動方向回りの回転を抑制し、移動体を安定に移動させ得る駆動装置を提供することになる。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係る駆動装置は、対向し合う第１及び第２の主面を有し、かつ前記第１の主面から前記第２の主面に向かって貫通している開口部を有する弾性体と、前記弾性体の前記第１及び前記第２の主面の内の少なくとも一方の主面に接合された圧電素子とを有する駆動ユニットと、前記弾性体の前記開口部に挿入されており、前記駆動ユニットを駆動することにより、前記弾性体の前記第１の主面と前記第２の主面とを結ぶ方向に移動される移動体と、前記移動体に固定されており、前記開口部の内壁に圧接される複数の圧接部を外表面に有するバネ部材と、を備え、前記圧電素子を駆動することにより、前記駆動ユニットが、屈曲振動と、前記屈曲振動とは異なる少なくとも一種の他の振動とで、または前記屈曲振動と、前記屈曲振動とは異なる少なくとも一種の前記他の振動とが結合してなる結合モードの振動で振動するように構成されており、前記他の振動または前記結合モードの振動が、前記移動体を移動させ得るように前記弾性体の前記開口部の前記内壁に前記バネ部材が圧接している移動可能状態と、前記弾性体の前記開口部の前記内壁が前記バネ部材から隔てられており、あるいは前記移動可能状態よりも低い摩擦係合力で前記バネ部材が前記弾性体の前記開口部の前記内壁に接触しているリリース状態とをそれぞれ実現する振動姿態を有し、前記弾性体の前記第１の主面側からみたときに、少なくとも１つの前記圧接部における前記バネ部材の曲率が小さくなるように、前記バネ部材が径方向外側に前記圧接部以外の部分において拡径されている。【０００９】
本発明に係る駆動装置のある特定の局面では、前記駆動ユニットの前記屈曲振動及び前記他の振動により、または前記結合モードの振動により、前記移動体を移動させる。【００１０】
本発明に係る駆動装置の他の特定の局面では、前記移動体により、前記バネ部材が径方向外側に前記圧接部以外の部分において拡径されている。【００１１】
本発明に係る駆動装置の他の特定の局面では、前記バネ部材が円筒体の周方向一部において、前記第１の主面と前記第２の主面とを結ぶ方向に延びるスリットを有する。この場合には、バネ部材を、移動体の外周面に容易に固定することができる。【００１２】
本発明に係る駆動装置の他の特定の局面では、前記弾性体の前記第１の主面側からみた場合に、前記バネ部材に外接している円の半径が、少なくとも一カ所において、前記開口部に内接している円の半径よりも大きい。【００１３】
本発明に係る駆動装置の別の特定の局面では、前記弾性体の前記第１の主面側からみた場合に、前記移動体が、コーナー部が丸みを帯びた矩形の形状を有し、前記バネ部材の前記スリットが、１つのコーナー部の丸みを帯びた部分に位置しており、前記バネ部材が前記駆動体に、前記弾性体の前記第１の主面側からみた場合に、５カ所において接触している。この場合には、バネ部材の複数の圧接部における圧接状態のばらつきを小さくすることができる。【００１４】
本発明に係る駆動装置の他の特定の局面では、前記移動体が、前記駆動体の前記第１の主面と前記第２の主面とを結ぶ方向に延びる角柱状の形状を有する。【００１５】
本発明に係る駆動装置のさらに他の特定の局面では、前記バネ部材と前記移動体との間に、前記圧接部以外の部分において、前記バネ部材の前記曲率を部分的に大きくするために、前記バネ部材の内面に接触している曲率拡大部材が設けられている。【００１６】
本発明に係る駆動装置のさらに他の特定の局面では、前記曲率拡大部材が、前記バネ部材の端部と前記移動体との間に設けられていてもよい。【００１７】
本発明に係る駆動装置では、前記曲率拡大部材が、前記移動体と一体に形成されていてもよい。この場合には、部品点数を低減することができる。【００１８】
本発明に係る駆動装置のさらに他の特定の局面では、前記曲率拡大部材が前記バネ部材の内面に一体に設けられていてもよい。【００１９】
本発明に係る駆動装置のさらに他の特定の局面では、前記バネ部材が、前記駆動体の周方向に配置された複数のバネ部材を有する。このように、バネ部材は、複数のバネ部材に分割されていてもよい。
【発明の効果】
【００２０】
本発明に係る駆動装置によれば、移動体の移動方向回りの回転を抑制することができ、移動体を安定に移動することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】図１は、本発明の第１の実施形態に係る駆動装置の弾性体の第１の主面側からみた正面図である。
【図２】図２は、本発明の第１の実施形態で用いられている駆動ユニットを示す斜視図である。
【図３】図３は、図２に示した駆動ユニットが励振された際に生じる屈曲振動と、拡がり振動の、弾性体の厚みに対する共振周波数の関係を示す図である。
【図４】図は、本発明の第１の実施形態で用いられている移動体を示す斜視図である。
【図５】図５は、本発明の第１の実施形態で用いられているバネ部材を示す斜視図である。
【図６】本発明の第１の実施形態の駆動装置において、図６（ａ）は初期状態を説明するための模式図である。図６（ｂ）はリリース状態を説明するための模式図である。
【図７】本発明の第１の実施形態の駆動装置において、図７（ａ）及び図７（ｂ）は、おのおの移動体を移動する様子を説明するための模式図である。
【図８】図８は、比較例の駆動装置における移動体の軌跡を示す図である。
【図９】図９は、第１の実施形態の実験例の駆動装置における移動体の軌跡を示す図である。
【図１０】図１０は、本発明の第２の実施形態に係る駆動装置で用いられている移動体の斜視図である。
【図１１】図１１は、第２の実施形態において、移動体の周囲にバネ部材が取り付けられている状態を示す正面図である。
【図１２】図１２は、本発明の第３の実施形態に係る駆動装置で用いられている移動体の斜視図である。
【図１３】図１３は、本発明の第４の実施形態に係る駆動装置の正面図である。
【図１４】図１４は、本発明の第５の実施形態に係る駆動装置の正面図である。
【図１５】図１５は、本発明の第６の実施形態に係る駆動装置の正面図である。
【図１６】図１６は、本発明の駆動装置で用いられるバネ部材の変形例を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。
【００２３】
なお、本明細書に記載の各実施形態は、例示的なものであり、異なる実施形態間において、構成の部分的な置換または組み合わせが可能であることを指摘しておく。
【００２４】
（第１の実施形態）
図１は、本発明の第１の実施形態に係る駆動装置の正面図であり、図２はこの駆動装置で用いられる駆動ユニットを示す斜視図であり、図４は、移動体を示す斜視図であり、図５は、移動体に取り付けられるバネ部材を示す斜視図である。
【００２５】
図１に示すように、駆動装置１は、駆動ユニット２と、移動体３と、移動体３に取り付けられたバネ部材４とを有する。
【００２６】
図２に示すように、駆動ユニット２は、弾性体５を有する。弾性体５は、対向し合う第１の主面５ａと、第２の主面５ｂとを有する。弾性体５は、金属などの適宜の剛性材料からなる。弾性体５は、本実施形態では、矩形枠状の形状を有し、中央に開口部５ｃを有する。第１の主面５ａ上には、複数の圧電素子６〜９が接合されている。
【００２７】
複数の圧電素子６〜９は、第１の主面５ａでなく、第２の主面５ｂに接合されていてもよい。また、両主面に複数の圧電素子が接合されていてもよい。
【００２８】
圧電素子６〜９は、それぞれ、圧電体層と、圧電体層を挟んで対向するように設けられた一対の電極を有する。圧電素子６〜９に交流電圧を印加することにより、弾性体５が屈曲振動と、拡がり振動で振動する。
【００２９】
本実施形態では、この屈曲振動と拡がり振動との結合モードを利用する。屈曲振動と拡がり振動の共振周波数を調整することにより、複数の結合モードを生じさせることができる。
【００３０】
図３は、屈曲振動の共振周波数及び拡がり振動の共振周波数と、弾性体５の厚みとの関係を示す図である。図３に示すように、弾性体５の厚みを調整することにより、屈曲振動の共振周波数及び拡がり振動の共振周波数を調整でき、両者の結合モードを生じさせることができる。後述するように、複数の結合モードのうち、第１の結合モード及び第２の結合モードの２つの結合モードを利用する。
【００３１】
図１に示すように、移動体３にバネ部材４が取り付けられている。図４に示すように、移動体３は、略四角柱状の形状を有する。すなわち、移動体３は、第１の主面３ａと、第１の主面３ａと対向する第２の主面３ｂとを有する。第１の主面３ａと第２の主面３ｂとを、側面３ｃ〜３ｆが結んでいる。
【００３２】
上記第１の主面３ａと第２の主面３ｂとを結ぶ方向が軸方向であり、移動体３の移動方向である。
【００３３】
図１は、上記第１の主面３ａ側からみた駆動装置１の正面図である。図１における紙面−紙背方向が前述した移動方向である。
【００３４】
第１の主面３ａは、４つのコーナー部が丸みを帯びるように丸められている。図４に示すように、移動体３では、側面３ｃ〜３ｆが隣り合っている上記４つのコーナー部が丸められている。
【００３５】
上記移動体３は、セラミックス、金属、合成樹脂などの適宜の材料からなる。
【００３６】
図５に示すように、バネ部材４は、略円筒状の形状を有する。もっとも、円筒の一部が切り欠かれて、スリット４ａが形成されている。バネ部材４の軸方向は、前述した移動体３の移動方向である。そして、スリット４ａは、この移動方向と平行な方向に延ばされている。従って、バネ部材４は、スリット４ａに臨む端部４ａ１，４ａ２を有する。端部４ａ１，４ａ２は、上記移動方向と平行な方向に延びている。
【００３７】
バネ部材４は、金属などのバネ性を有する材料からなる。このバネ部材４の内径は、上記バネ部材４を移動体３に外挿した場合に、バネ部材４が移動体３に圧接されるように選ばれている。すなわち、取り付ける前のバネ部材４の内径は、移動体３の移動方向と直交する断面における最大幅寸法よりも小さくされている。従って、取り付けに際しては、バネ部材４を拡径し、移動体３に取り付ける。取り付けられた状態では、バネ部材４が縮径する力が作用するため、バネ部材４は、移動体３に確実に固定されている。
【００３８】
前述した駆動ユニット２を駆動することにより、上記移動体３は、移動体３に取り付けられたバネ部材４と共に、上述した移動方向に沿って移動される。この移動操作の詳細は後程説明する。もっとも、移動に際しては、図１に示す圧接部Ａ１〜Ａ４において、バネ部材４に駆動ユニット２の開口部の内壁が接触し、接触部分を移動方向に沿って移動させるように、弾性体５が変位する。それによって、移動体３がバネ部材４と共に移動される。
【００３９】
本実施形態では、上記圧接部Ａ１〜Ａ４におけるバネ部材４の曲率が小さくなるように、移動体３により、バネ部材４が径方向外側に、圧接部Ａ１〜Ａ４以外の部分において拡径されている。
【００４０】
図１に示すように、移動体３に対し、バネ部材４は、接触点Ｂ１〜Ｂ５により接するようにして、バネ部材４が上記接触点Ｂ１〜Ｂ５において拡径されている。ここで、接触点Ｂ１〜Ｂ３は、第１の主面３ａからみたときに、第１の主面３ａの３つのコーナー部分の中央に位置している。他方、接触点Ｂ４，Ｂ５は、前述したスリット４ａの両側部分、すなわち端部４ａ１と端部４ａ２が移動体３に接触している部分である。
【００４１】
上記のように、接触点Ｂ１〜Ｂ５において、バネ部材４が拡径する方向に変形されている。そのため、接触点Ｂ１〜Ｂ５における曲率よりも、圧接部Ａ１〜Ａ４における曲率が小さくされている。よって、バネ部材４は、圧接部Ａ１〜Ａ４において、曲率が小さくされているため、バネ部材４は、上記移動体３の移動方向の回りに回転し難い。すなわち、上記圧接部Ａ１〜Ａ４においてバネ部材４の第１の主面３ａからみた場合の曲率が小さくされているため、移動体３の移動方向回りの回転を抑制することができる。
【００４２】
言い換えれば弾性体５の第１の主面５ａ側からみた場合、バネ部材４に外接している円の半径が、少なくとも１カ所において、前記開口部５ｃに内接している円の半径よりも大きい。そのため、上記のように、移動体３の移動方向回りの回転が確実に抑制される。
【００４３】
また、上記のように、スリット４ａの両側の端部４ａ１，４ａ２が移動体３に接触しているため、各圧接部Ａ１〜Ａ４の圧接状態のばらつきが生じ難い。
【００４４】
次に、上記駆動装置１における駆動操作を説明する。
【００４５】
複数の圧電素子６〜９に交流電圧を印加すると、前述した屈曲振動と拡がり振動とが生じる。本実施形態ではこの屈曲振動と拡がり振動とが結合してなる結合モードを利用している。すなわち、上記屈曲振動と拡がり振動の結合モードとして、共振周波数が異なる複数の結合モードが現れる。本実施形態では、第１の結合モードと第２の結合モードとを利用する。第１，第２の結合モードの振動は、弾性体５の開口部５ｃの内壁がバネ部材４に圧接している移動可能状態と、開口部５ｃの内壁がバネ部材４に対して隔てられており、あるいは移動可能状態よりも低い摩擦係合力でバネ部材４に接触しているリリース状態とを実現する振動姿態を有する。すなわち、第１の結合モード及び第２の結合モードのいずれの場合においても、上記２つの状態を実現する振動姿態が生じる。
【００４６】
ただし、第１の結合モードでは、移動可能状態において、上記第１の結合モードにより、上記移動体３の軸方向において一方側に移動される。これを前進とすると、第２の結合モードでは、移動可能状態において、開口部５ｃの内壁が移動体３及びバネ部材４を後退させることになる。すなわち、上記第１の結合モードと第２の結合モードが生じるように駆動周波数を切り換えることにより、移動体３を前進あるいは後退させることができる。
【００４７】
上記のように、本実施形態では、上記リリース状態と移動可能状態を実現する振動姿態が生じる第１，第２の結合モードを利用する。結合させるには、好ましくは、屈曲振動の共振周波数と、拡がり振動の共振周波数が一致されていることが望ましい。もっとも、双方の共振周波数は完全に一致されずともよく、屈曲振動の共振周波数と、拡がり振動の共振周波数との差の絶対値は、第１の結合モードにおける共振周波数及び第２の結合モードにおける共振周波数の平均値の１５％以内の範囲内であればよい。
【００４８】
なお、本実施形態では、屈曲振動と拡がり振動との結合モードを利用しているが、屈曲振動と、結合モードとを利用してもよい。また、屈曲振動と拡がり振動などの屈曲振動以外の他の振動モードを利用してもよい。
【００４９】
図６（ａ）は、駆動装置１を操作する際の初期状態を示し、上記のように、第１の結合モードを生じるように駆動ユニット２を駆動することにより、図６（ｂ）に示すように、リリース状態とする。なお、図６（ａ），図６（ｂ）及び図７（ａ），図７（ｂ）では、バネ部材４は図示を省略してある。すなわち、弾性体５の開口部が移動体３に取り付けられたバネ部材に圧接される。その状態で、上記第１の結合モードで移動させることにより、図７（ａ）に示すように、移動体３を矢印方向に、すなわち軸方向一方側に進めることができる。そして、第１の結合モードにおいて、リリース状態を実現することにより、前進を停止する。これらの工程を繰り返すことにより、移動体３を前方にピッチ送りすることができる。
【００５０】
なお、後退させる場合には、第２の結合モードを発生させ、第２の結合モードにより駆動すれば、移動体３及びバネ部材４を後退させることができる。
【００５１】
ところで、本実施形態の特徴は、上記のように、移動体３及びバネ部材４を移動させるに際し、移動体３及びバネ部材４の移動方向回りの回転が抑制され、それによって上記移動体３を安定に移動させ得ることにある。これを、具体的な実験例に基づき説明する。
【００５２】
図９は、上記実施形態に従って構成された駆動装置１において、移動体３を前進及び後退せしめる工程を５回繰り返した場合の移動体３の軌跡を示す図である。ここで、横軸及び縦軸は、移動体３の軸方向中心のＸ方向及びＹ方向の傾斜角度を示す。
【００５３】
他方、比較例として、上記バネ部材４及び移動体３に代えて、移動体によりバネ部材が圧接部において曲率が他の部分よりも小さくならないように構成されていることを除いては、上記実施形態と同様の構造の駆動装置を用意した。図８は、この比較例の駆動装置の移動体を前進及び後退せしめる工程を５回繰り返した場合の移動体の軌跡を示す図である。
【００５４】
以下に実験条件を示す。まず、台座に駆動装置を設置する。次に、レーザー光を移動体に照射し、駆動装置に移動体を前進及び後退せしめる電圧（３Ｖ）を５回印加する。このとき、同時にレーザー方式のチルト測定器を用いて、動作中の移動体の傾斜角度を測定し、軌跡を得る。図８と図９とを対比すれば明らかなように、上記実施形態によれば、移動方向回りの回転を確実に抑制し得ることがわかる。
【００５５】
（第２の実施形態）
図１０は、本発明の第２の実施形態に係る駆動装置で用いられている移動体３Ａの斜視図であり、図１１は第２の実施形態において、移動体３Ａの周囲にバネ部材４が取り付けられている状態を示す、移動体３Ａの第１の主面側からみた正面図である。
【００５６】
本実施形態では、移動体３Ａは、第１の主面３ａにおいて、コーナー部が丸みを帯びておらず、両側の辺に対して約４５°の角度をなすように傾斜されている。このような移動体３Ａに、図１１に示すように、バネ部材４が外挿され、取り付けられている。本実施形態においても、バネ部材４は、圧接部Ａ１〜Ａ４における曲率が相対的に小さくなるように、移動体３Ａにより、バネ部材４が圧接部Ａ１〜Ａ４以外の部分で拡径されている。ここでは、バネ部材４は、接触点Ｂ１〜Ｂ８の８点において、移動体３Ａに接触している。このように、コーナー部において、それぞれ２点で接触されているため、圧接点Ａ１〜Ａ４における圧接力のばらつきが生じ難い。本実施形態においても、第１の実施形態と同様の効果が得られる。
【００５７】
（第３の実施形態）
図１２は、第３の実施形態に係る駆動装置で用いられている移動体の斜視図である。第３の実施形態で用いられる移動体３は、円柱状の本体部３ｉを有する。本体部３ｉの移動方向の一方端側の主面にフランジ部３ｊが設けられている。本体部３ｉの移動方向の他方端側の主面にフランジ部３ｋが設けられている。フランジ部３ｊ，３ｋの径は、本体部３ｉの径よりも大きくされている。バネ部材は図示しないが、このフランジ部３ｊとフランジ部３ｋとの間に取り付けられる。そして、本体部３ｉの側面には複数のリブ３ｍが設けられている。複数のリブ３ｍは、本体部３ｉの側面から径方向外側に突出している。また各リブ３ｍは移動方向に延びている。
【００５８】
上記複数のリブ３ｍは、取り付けられるバネ部材を拡径するために設けられている。従って、複数のリブ３ｍは、圧接部以外の部分に設けられており、圧接部におけるバネ部材の前述した曲率よりも、圧接部以外の部分における曲率を大きくするように作用する。
【００５９】
このように、バネ部材の圧接部における曲率を相対的に小さくするために、バネ部材を拡径させる構造は、種々変形することができる。なお、複数のリブ３ｍは、５箇所に設けられていると、バネ部材が移動体に均一に摩擦係合されやすいので効率がよい。本実施形態においても、第１の実施形態と同様の効果が得られる。
【００６０】
（第４の実施形態）
図１３は、第４の実施形態に係る駆動装置３１の移動体３３の第１の主面３３ａ側からみた正面図である。駆動装置３１では、移動体３３は円柱状である。このように、円柱状の移動体３３を用いてもよい。この場合、円柱状の移動体３３に、バネ部材４が外挿し取り付けられている。そして、バネ部材４は、スリット４ａを有する。バネ部材４と移動体３３との間に曲率拡大部材３４が設けられている。すなわち、曲率拡大部材３４は、圧接部以外の部分において、移動体３３の側面に固定されている。この曲率拡大部材３４は、移動体３３の軸方向全長に延びている。上記曲率拡大部材３４は、具体的には、移動体３３の側面において、径方向外側に突出するように設けられたリブである。上記曲率拡大部材３４にバネ部材４が接触している部分では、バネ部材４の曲率が大きくされている。よって、圧接部におけるバネ部材４の曲率を、曲率拡大部材３４が設けられている部分における曲率より小さくできる。このように、バネ部材４の軸方向にみたときに、バネ部材４の一部の曲率を大きくするために、曲率拡大部材３４を移動体３３とバネ部材４との間に設けてもよい。本実施形態では、曲率拡大部材３４は移動体３３に一体に設けられていたが、別部材で構成されていてもよい。あるいは、曲率拡大部材３４は、バネ部材４の内周面に一体に設けられていてもよい。本実施形態においても、第１の実施形態と同様の効果が得られる。
【００６１】
（第５の実施形態）
図１４は、第５の実施形態に係る駆動装置を説明するための正面図である。駆動装置４１では、バネ部材が、移動体３３の第１の主面３３ａ側からみたときに、略円弧状の第１のバネ部材４２と、第２のバネ部材４３とに分割されている。このように、複数のバネ部材４２，４３を用いてもよい。この場合、バネ部材４２，４３と移動体３３との間に、それぞれ、曲率拡大部材４４，４５が設けられている。それによって、曲率拡大部材４４，４５が設けられている部分における曲率よりも、圧接部におけるバネ部材４２，４３の曲率が小さくされる。よって、移動体３３及びバネ部材４２，４３の移動方向回りの回転が抑制される。
【００６２】
（第６の実施形態）
図１５は、第６の実施形態に係る駆動装置を説明するための正面図である。駆動装置５１では、バネ部材４が、移動体３３の第１の主面３３ａ側からみたときに、略円弧状の第１のバネ部材５２と、第２のバネ部材５３とに分割されている。そして、バネ部材５２，５３の端部と移動体３３との間に、それぞれ、曲率拡大部材５４，５５が設けられている。それによって、曲率拡大部材５４，５５が設けられている部分におけるバネ部材曲率よりも、圧接部におけるバネ部材５２，５３の曲率が小さくされる。よって、移動体３３及びバネ部材４の移動方向回りの回転が抑制される。
【００６３】
また、バネ部材は、２以上のバネ部材に分割されていてもよい。
【００６４】
また、上述してきた実施形態では、スリット４ａを有する略円筒状のバネ部材４を用いたが、図１６に示す変形例のように、円筒状のバネ部材４Ｂを用いてもよい。
【符号の説明】
【００６５】
１…駆動装置
２…駆動ユニット
２ａ…開口部
３，３Ａ…移動体
３ａ，３ｂ…第１，第２の主面
３ｃ〜３ｆ…側面
３ｉ…本体部
３ｊ，３ｋ…フランジ部
３ｍ…リブ
４，４Ｂ…バネ部材
４ａ…スリット
４ａ１，４ａ２…端部
５…弾性体
５ａ，５ｂ…第１，第２の主面
５ｃ…開口部
６〜９…圧電素子
３１，４１，５１…駆動装置
３３…移動体
３４…曲率拡大部材
４２，５２…第１のバネ部材
４３，５３…第２のバネ部材
４４，４５，５４，５５…曲率拡大部材
Ａ１〜Ａ４…圧接部
Ｂ１〜Ｂ８…接触点
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【国際調査報告】
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