(57)【要約】  第１データ取得処理部１１１は、カメラ２００に入射した測定光の画像に基づいて、光強度分布データを取得する。第２データ取得処理部１１２は、検出器２により検出される測定光の検出強度に基づいて、光強度分布データを取得する。屈折率測定処理部１２０は、第２データ取得処理部１１２により取得された光強度分布データに基づいて、試料の屈折率を測定する。判定処理部１５０は、第１データ取得処理部１１１及び第２データ取得処理部１１２により取得された各光強度分布データのピークに基づいて、屈折率測定処理部１２０により測定された試料の屈折率の良否を判定する。
2017138083.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｖブロックプリズムを介して試料に測定光を照射することにより試料の屈折率を測定するＶブロック方式の屈折率測定装置であって、
測定光を照射する光源部と、
前記光源部から照射された測定光が通過するスリットと、
前記スリットを通過した測定光が入射するカメラと、
試料を透過した測定光を検出する検出器と、
前記カメラに入射した測定光の画像に基づいて、光強度分布データを取得する第１データ取得処理部と、
前記検出器により検出される測定光の検出強度に基づいて、光強度分布データを取得する第２データ取得処理部と、
前記第２データ取得処理部により取得された光強度分布データに基づいて、試料の屈折率を測定する屈折率測定処理部と、
前記第１データ取得処理部及び前記第２データ取得処理部により取得された各光強度分布データのピークに基づいて、前記屈折率測定処理部により測定された試料の屈折率の良否を判定する判定処理部とを備えることを特徴とするＶブロック方式の屈折率測定装置。
【請求項２】
前記第１データ取得処理部及び前記第２データ取得処理部の少なくとも一方により取得された光強度分布データのピークについて、ピーク値に対する光強度の比率が一定値以上である範囲の幅を算出する幅算出処理部をさらに備え、
前記判定処理部は、前記幅算出処理部により算出された幅に基づいて、前記屈折率測定処理部により測定された試料の屈折率の良否を判定することを特徴とする請求項１に記載のＶブロック方式の屈折率測定装置。
【請求項３】
前記ピーク値に対する光強度の比率が一定値以上である範囲の幅は、半値幅であることを特徴とする請求項２に記載のＶブロック方式の屈折率測定装置。
【請求項４】
前記第１データ取得処理部及び前記第２データ取得処理部の少なくとも一方により取得された光強度分布データのピークについて、Ｓ／Ｎ比を算出するＳ／Ｎ比算出処理部をさらに備え、
前記判定処理部は、前記Ｓ／Ｎ比算出処理部により算出されたＳ／Ｎ比に基づいて、前記屈折率測定処理部により測定された試料の屈折率の良否を判定することを特徴とする請求項１に記載のＶブロック方式の屈折率測定装置。
【請求項５】
前記第１データ取得処理部は、前記カメラに入射した測定光の画像について、当該画像における前記スリットが延びる方向に対して平行方向又は垂直方向に沿った光強度分布データを取得することを特徴とする請求項１に記載のＶブロック方式の屈折率測定装置。
【請求項６】
前記判定処理部による判定結果を報知する報知処理部をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載のＶブロック方式の屈折率測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、Ｖブロックプリズムを介して試料に測定光を照射することにより試料の屈折率を測定するＶブロック方式の屈折率測定装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
屈折率測定装置の一例であるＶブロック方式の屈折率測定装置では、Ｖブロックプリズムに形成されているＶ字状の溝に試料が載置され、Ｖブロックプリズムを介して試料に測定光を照射することにより、試料を透過した測定光を検出器で検出して試料の屈折率を測定することができるようになっている（例えば、下記特許文献１参照）。【０００３】
この種の屈折率測定装置では、試料を透過して検出器へと導かれる測定光の一部が、例えばビームスプリッタにより分離され、接眼部（図示せず）に導かれる。作業者は、Ｖブロックプリズムの位置調整を行う際などに、接眼部から装置内を覗くことにより、測定光の状態を目視しながら作業を行うことができる。【０００４】
しかし、このような屈折率測定装置では、測定中に接眼部から装置外の光が入射し、検出器による検出結果に影響を与えるのを防止するため、測定中は接眼部にキャップが被せられる。そのため、実際の測定光の状態を測定中に観察することができないという問題があった。【０００５】
そこで、接眼部にカメラを装着し、接眼部からの装置外の光の入射を防止するとともに、接眼部において測定光をカメラで撮像することにより、測定中にカメラで撮像した画像を観察することができるような構成が考えられる。下記特許文献２では、検出器により検出される測定光の検出強度を表すグラフ、及び、カメラにより撮像される測定光の画像が、１つの表示画面にリアルタイムで表示されるような構成が提案されている。【０００６】
試料の屈折率は、検出器により検出される測定光の検出強度のピーク値から自動算出されるが、例えば試料が樹脂又は液体である場合には、試料の屈折率が不均一になることが多い。そのような場合でも、上記のようなカメラを装着した屈折率測定装置を用いれば、作業者は、グラフの形状とカメラの画像を確認することにより、試料の状態又は測定結果の良否を判定することが可能となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】国際公開第２０１５／００１６５０号
【特許文献２】国際公開第２０１４／２０７８０９号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、作業者がグラフの形状とカメラの画像を確認する場合には、作業者に応じて判定結果にばらつきが生じてしまうという問題がある。また、上記のような判定は容易ではなく、適切な判定を行うためには熟練が必要である。【０００９】
本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、測定された試料の屈折率の良否を容易かつ精度よく判定することができるＶブロック方式の屈折率測定装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
（１）本発明に係るＶブロック方式の屈折率測定装置は、Ｖブロックプリズムを介して試料に測定光を照射することにより試料の屈折率を測定するＶブロック方式の屈折率測定装置であって、光源部と、スリットと、カメラと、検出器と、第１データ取得処理部と、第２データ取得処理部と、屈折率測定処理部と、判定処理部とを備える。前記光源部は、測定光を照射する。前記スリットは、前記光源部から照射された測定光が通過する。前記カメラには、前記スリットを通過した測定光が入射する。前記検出器は、試料を透過した測定光を検出する。前記第１データ取得処理部は、前記カメラに入射した測定光の画像に基づいて、光強度分布データを取得する。前記第２データ取得処理部は、前記検出器により検出される測定光の検出強度に基づいて、光強度分布データを取得する。前記屈折率測定処理部は、前記第２データ取得処理部により取得された光強度分布データに基づいて、試料の屈折率を測定する。前記判定処理部は、前記第１データ取得処理部及び前記第２データ取得処理部により取得された各光強度分布データのピークに基づいて、前記屈折率測定処理部により測定された試料の屈折率の良否を判定する。【００１１】
このような構成によれば、カメラに入射した測定光の画像に基づいて取得された光強度分布データのピーク、及び、検出器により検出される測定光の検出強度に基づいて取得された光強度分布データのピークに基づいて、測定された試料の屈折率の良否が判定される。このように、検出器により検出される測定光の検出強度だけでなく、カメラに入射した測定光の画像も用いることによって、測定された試料の屈折率の良否を精度よく判定することができる。また、各光強度分布データのピークに基づいて、測定された試料の屈折率の良否を自動で容易に判定することができるとともに、作業者に応じて判定結果にばらつきが生じるといったことがない。したがって、測定された試料の屈折率の良否を容易かつ精度よく判定することができる。【００１２】
（２）前記屈折率測定装置は、前記第１データ取得処理部及び前記第２データ取得処理部の少なくとも一方により取得された光強度分布データのピークについて、ピーク値に対する光強度の比率が一定値以上である範囲の幅を算出する幅算出処理部をさらに備えていてもよい。この場合、前記判定処理部は、前記幅算出処理部により算出された幅に基づいて、前記屈折率測定処理部により測定された試料の屈折率の良否を判定してもよい。【００１３】
このような構成によれば、光強度分布データのピークについて算出された上記幅は、ピークが急峻であるかどうかの指標となるため、そのような幅を用いることによって、測定された試料の屈折率の良否を精度よく判定することができる。【００１４】
（３）前記ピーク値に対する光強度の比率が一定値以上である範囲の幅は、半値幅であってもよい。【００１５】
（４）前記屈折率測定装置は、前記第１データ取得処理部及び前記第２データ取得処理部の少なくとも一方により取得された光強度分布データのピークについて、Ｓ／Ｎ比を算出するＳ／Ｎ比算出処理部をさらに備えていてもよい。この場合、前記判定処理部は、前記Ｓ／Ｎ比算出処理部により算出されたＳ／Ｎ比に基づいて、前記屈折率測定処理部により測定された試料の屈折率の良否を判定してもよい。【００１６】
このような構成によれば、光強度分布データのピークについて算出されたＳ／Ｎ比は、ピーク値が大きいかどうかの指標となるため、そのようなＳ／Ｎ比を用いることによって、測定された試料の屈折率の良否を精度よく判定することができる。【００１７】
（５）前記第１データ取得処理部は、前記カメラに入射した測定光の画像について、当該画像における前記スリットが延びる方向に対して平行方向又は垂直方向に沿った光強度分布データを取得してもよい。【００１８】
このような構成によれば、カメラの画像におけるスリットが延びる方向に対して平行方向又は垂直方向に沿った光強度分布データのピークに基づいて、測定された試料の屈折率の良否が判定される。例えば、スリットが延びる方向に対して平行方向に沿った光強度分布データのピークについては、そのピークが急峻でなく、ピーク値が大きいほど、測定された試料の屈折率が良好と判定できる。一方、スリットが延びる方向に対して垂直方向に沿った光強度分布データのピークについては、そのピークが急峻であり、ピーク値が大きいほど、測定された試料の屈折率が良好と判定できる。【００１９】
（６）前記屈折率測定装置は、前記判定処理部による判定結果を報知する報知処理部をさらに備えていてもよい。【００２０】
このような構成によれば、測定された試料の屈折率の良否が、判定結果として報知処理部により報知されるため、その判定結果に基づいて、屈折率の値の信頼性が高いかどうかを判断することができる。これにより、信頼性が低い屈折率の値を測定結果から除外することができるため、より信頼性が高い屈折率の測定結果を得ることができる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、検出器により検出される測定光の検出強度だけでなく、カメラに入射した測定光の画像も用いることによって、測定された試料の屈折率の良否を精度よく判定することができる。また、本発明によれば、各光強度分布データのピークに基づいて、測定された試料の屈折率の良否を自動で容易に判定することができるとともに、作業者に応じて判定結果にばらつきが生じるといったことがない。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の一実施形態に係る屈折率測定装置の構成例を示す概略平面図である。
【図２】図１の屈折率測定装置における制御部の構成例を示すブロック図である。
【図３Ａ】カメラにより撮影された画像が表示部に表示される態様の一例を示す概略図である。
【図３Ｂ】データ取得処理部により取得された光強度分布データが表示部に表示される態様の一例を示す概略図である。
【図４】図３Ｂに示す光強度分布データに基づいて、測定された試料の屈折率の良否を判定する際の態様について説明するための図である。
【図５】図３Ａに示すようなカメラの画像に基づいて、測定された試料の屈折率の良否を判定する際の態様について説明するための図である。
【図６】図３Ａに示すようなカメラの画像に基づいて、測定された試料の屈折率の良否を判定する際の別の態様について説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
図１は、本発明の一実施形態に係る屈折率測定装置の構成例を示す概略平面図である。この屈折率測定装置は、Ｖブロックプリズム１を介して試料に測定光を照射することにより試料の屈折率を測定するＶブロック方式の屈折率測定装置である。
【００２４】
試料としては、例えばガラス、プラスチック又は液体などを挙げることができる。試料は、Ｖブロックプリズム１に形成されているＶ字状の溝１１（図１では溝１１を真上から見た図を示している。）に載置され、試料を透過した測定光を検出器２で検出することにより試料の屈折率を測定することができるようになっている。
【００２５】
この屈折率測定装置には、上述のＶブロックプリズム１及び検出器２に加えて、測定光を照射する光源部３と、光源部３からの測定光をＶブロックプリズム１に導く第１光学系４と、Ｖブロックプリズム１を透過した測定光を検出器２に導く第２光学系５とが備えられている。
【００２６】
光源部３には、複数の光源３１が備えられている。光源３１としては、例えばヘリウムランプ、水素ランプ及び水銀ランプが用いられ、ヘリウムｄ線、水素Ｃ線、水素Ｆ線、水銀ｅ線、水銀ｇ線及び水銀ｈ線などの異なる波長の測定光を光源部３から照射することができるようになっている。光源３１からの測定光は、ミラー３２で反射され、光源部３から水平方向に照射される。ミラー３２は、垂直方向（図１における紙面前後方向）に延びる回転軸３２１を中心に回転可能となっており、ミラー３２の回転位置に応じた光源３１からの測定光を第１光学系４に導くことができる。ただし、光源３１は、上記のような種類に限られるものではない。
【００２７】
第１光学系４には、レンズ４１、ミラー４２，４３，４４、干渉フィルタ４５、スリット４６及びコリメータレンズ４７などが備えられている。光源部３からの測定光は、レンズ４１を通過し、ミラー４２，４３で順次に反射した後、干渉フィルタ４５に入射する。
【００２８】
干渉フィルタ４５は複数設けられており、光源３１の種類に応じて選択された干渉フィルタ４５が光路中に挿入されることにより、その干渉フィルタ４５に対応する特定波長の測定光（単色光）のみが干渉フィルタ４５を透過し、ミラー４４側へと導かれる。ミラー４４で反射した測定光は、スリット４６を通過し、コリメータレンズ４７で平行光とされた後、Ｖブロックプリズム１に入射する。Ｖブロックプリズム１に対して一方の端面１２から入射した測定光は、Ｖ字状の溝１１に載置されている試料を透過した後、再びＶブロックプリズム１を通り、Ｖブロックプリズム１と試料の屈折率差に応じた角度で他方の端面１３から出射する。
【００２９】
第２光学系５には、ミラー５１，５２、テレメータレンズ５３及びビームスプリッタ５４などが備えられている。第２光学系５は、モータ６の回転軸６１に取り付けられた円板７に固定されている。具体的には、ミラー５１，５２及びテレメータレンズ５３が、回転軸６１に対して偏心した位置で回転軸６１に平行に並び、ミラー５２及びビームスプリッタ５４が、回転軸６１に対して垂直方向に並ぶように、それぞれ円板７に固定されている。
【００３０】
ミラー５１は、測定光の入射方向に対して反射面が４５°傾斜するように配置されることにより、当該ミラー５１で反射した測定光は、進行方向が９０°変換されてテレメータレンズ５３に導かれる。テレメータレンズ５３は、Ｖブロックプリズム１からの測定光を集光させてミラー５２に導き、ミラー５２で反射した測定光は、ビームスプリッタ５４を透過して、円板７に固定された検出器２により検出される。
【００３１】
ミラー５１及びテレメータレンズ５３は、Ｖブロックプリズム１からの測定光の入射方向に対して垂直方向に１列に配置され、回転軸６１に対して偏心した位置で、テレメータ部５０として一体的に円板７に保持されている。したがって、モータ６を回転させることにより、回転軸６１を中心に円板７を回転させれば、Ｖブロックプリズム１に対するテレメータ部５０の位置を変化（走査）させ、Ｖブロックプリズム１からの測定光を異なる角度から受光して検出器２に導くことができる。モータ６は、例えばエンコーダ付きのサーボモータからなり、モータ６の回転角を正確に把握することができる。
【００３２】
一方、ビームスプリッタ５４で反射した測定光は、ミラー８で反射した後、レンズ９を通過してカメラ２００へと導かれ、当該カメラ２００により試料を透過した測定光を撮像することができる。すなわち、スリット４６を通過した測定光は、Ｖブロックプリズム１及び試料を透過した後、カメラ２００に入射する。ただし、スリット４６がＶブロックプリズム１よりも下流側に配置されることにより、Ｖブロックプリズム１及び試料を透過した測定光が、スリット４６を通過するような構成であってもよい。ビームスプリッタ５４及びミラー８は、回転軸６１上に設けられており、Ｖブロックプリズム１の位置調整を行う際には、ビームスプリッタ５４とミラー８との間の光路上にオートコリメーションプリズム１０を挿入可能となっている。
【００３３】
カメラ２００は、例えばＣＣＤ（Charge Coupled Device）カメラにより構成することができる。カメラ２００は、上記のような位置に設けられた構成に限らず、例えば円板７に取り付けられ、ビームスプリッタ５４とは別に設けられたビームスプリッタを介して、当該カメラ２００に測定光が導かれるような構成であってもよいし、カメラ２００が２つ以上設けられた構成であってもよい。
【００３４】
図２は、図１の屈折率測定装置における制御部１００の構成例を示すブロック図である。この屈折率測定装置の動作は、例えばＣＰＵ（Central Processing Unit）を含む制御部１００により制御される。制御部１００は、ＣＰＵがプログラムを実行することにより、データ取得処理部１１０、屈折率測定処理部１２０、半値幅算出処理部１３０、Ｓ／Ｎ比算出処理部１４０、判定処理部１５０及び報知処理部１６０などとして機能する。
【００３５】
データ取得処理部１１０は、カメラ２００又は検出器２からの入力信号に基づいて、光強度分布データを取得する。データ取得処理部１１０には、カメラ２００に入射した測定光の画像に基づいて光強度分布データを取得する第１データ取得処理部１１１と、検出器２により検出される測定光の検出強度に基づいて光強度分布データを取得する第２データ取得処理部１１２とが含まれる。
【００３６】
第１データ取得処理部１１１は、スリット４６を通過してカメラ２００に入射した測定光の画像に対する処理により、光強度分布データを取得する。当該画像は、スリット４６に対応する一直線状の細長い形状であり、画像上における特定の方向に沿った位置と、各位置における輝度（光強度）との関係が、光強度分布データとして取得される。上記特定の方向は、例えばスリット４６が延びる方向に対して平行方向又は垂直方向である。
【００３７】
第２データ取得処理部１１２は、モータ６を回転させることにより試料から出射する測定光を受光する角度を変化させながら、モータ６の回転角と、各回転角における検出器２の検出強度（光強度）との関係を、光強度分布データとして取得する。検出器２からの検出信号にはノイズ成分が含まれているが、例えばフィルタ処理又は周波数解析などの周知の方法を用いて信号成分とノイズ成分を分離することにより、信号成分のみからなる光強度分布データを取得することができる。
【００３８】
屈折率測定処理部１２０は、第２データ取得処理部１１２により取得された光強度分布データに基づいて、試料の屈折率を測定する。具体的には、モータ６の各回転角における検出器２の検出強度の中から、最も高い検出強度（ピーク値）に対応する回転角が特定され、その回転角とＶブロックプリズム１の屈折率とに基づいて試料の屈折率が測定される。
【００３９】
半値幅算出処理部（幅算出処理部）１３０は、データ取得処理部１１０により取得された光強度分布データのピークについて、半値幅を算出する処理を行う。具体的には、縦軸を光強度とする光強度分布データのグラフにおいて、光強度分布データのピーク値の半分の値に対応する横軸の幅が、半値幅として算出される。本実施形態では、第１データ取得処理部１１１及び第２データ取得処理部１１２の両方で取得された光強度分布データのピークについて、それぞれ半値幅が算出される場合について説明するが、第１データ取得処理部１１１又は第２データ取得処理部１１２の一方で取得された光強度分布データのピークについてのみ、半値幅が算出されてもよい。また、ピーク値に対する光強度の比率が５０％以上である範囲の幅（半値幅）に限らず、例えば上記比率が６０％や４０％など、任意の比率に対応する幅が算出されてもよい。
【００４０】
Ｓ／Ｎ比算出処理部１４０は、データ取得処理部１１０により取得された光強度分布データのピークについて、Ｓ／Ｎ比を算出する処理を行う。具体的には、縦軸を光強度とする光強度分布データのグラフにおけるピーク値（Ｓ値）と、ノイズ成分の振幅（Ｎ値）との比が、Ｓ／Ｎ比として算出される。本実施形態では、第１データ取得処理部１１１及び第２データ取得処理部１１２の両方で取得された光強度分布データのピークについて、それぞれＳ／Ｎ比が算出される場合について説明するが、第１データ取得処理部１１１又は第２データ取得処理部１１２の一方で取得された光強度分布データのピークについてのみ、Ｓ／Ｎ比が算出されてもよい。
【００４１】
判定処理部１５０は、第１データ取得処理部１１１及び第２データ取得処理部１１２により取得された各光強度分布データのピークに基づいて、屈折率測定処理部１２０により測定された試料の屈折率の良否を判定する。すなわち、測定された試料の屈折率の値が、信頼性の高い値であるか否かが判定される。本実施形態では、半値幅算出処理部１３０により算出された半値幅、及び、Ｓ／Ｎ比算出処理部１４０により算出されたＳ／Ｎ比に基づいて、屈折率測定処理部１２０により測定された試料の屈折率の良否が判定されるようになっている。このような良否の判定は、例えば半値幅又はＳ／Ｎ比が閾値と比較されることにより行われてもよい。
【００４２】
報知処理部１６０は、判定処理部１５０による判定結果を報知する処理を行う。本実施形態では、報知処理部１６０は、表示部３００に対する表示を制御することにより、判定処理部１５０による判定結果を表示部３００に表示させる。表示部３００は、例えば液晶表示器からなり、屈折率測定装置に備えられていてもよいし、屈折率測定装置とは別に設けられていてもよい。表示部３００には、カメラ２００により撮影された画像や、データ取得処理部１１０により取得された光強度分布データなども表示される。
【００４３】
図３Ａは、カメラ２００により撮影された画像が表示部３００に表示される態様の一例を示す概略図である。また、図３Ｂは、データ取得処理部１１０により取得された光強度分布データが表示部３００に表示される態様の一例を示す概略図である。図３Ａに示すようなカメラ２００により撮影された画像、及び、図３Ｂに示すような光強度分布データは、表示部３００に対して別々に表示されてもよいし、同一画面に表示されてもよい。
【００４４】
図３Ａに示すようなカメラ２００により撮影される画像には、スリット４６を通過した測定光の画像３０１が含まれる。この画像３０１は、スリット４６が延びる方向に対して平行方向Ｄ１に細長い形状であり、通常、スリット４６が延びる方向に対して垂直方向Ｄ２の幅は小さい。ただし、画像３０１がぼやけて、垂直方向Ｄ２の幅が大きくなる場合もあり、そのような場合には、測定された試料の屈折率が良好でない可能性がある。
【００４５】
図３Ｂに示す光強度分布データは、第２データ取得処理部１１２により取得された光強度分布データであり、モータ６の回転角を横軸、検出器２の検出強度（光強度）を縦軸とするグラフで表されている。この光強度分布データは、モータ６の回転に伴ってリアルタイムで変化するように表示されてもよい。
【００４６】
図４は、図３Ｂに示す光強度分布データに基づいて、測定された試料の屈折率の良否を判定する際の態様について説明するための図である。この図４に示すグラフＧ１１は、モータ６の回転角を横軸、検出器２の検出強度（光強度）を縦軸とするグラフであり、そのピーク値Ｐ１１の半分の値Ｐ１２に対応する横軸の幅が、半値幅Ｗ１として半値幅算出処理部１３０により算出される。
【００４７】
この場合、半値幅Ｗ１が小さくピークが急峻であるほど、測定された試料の屈折率が良好と判断することができる。一方、図４にグラフＧ１２で示すように、半値幅が大きくピークが急峻でない場合には、例えば屈折率が不均一な試料を測定しているなどの理由で、測定された試料の屈折率が良好でないと判断することができる。また、図４にグラフＧ１３で示すように、ピーク値が小さい場合には、Ｓ／Ｎ比が小さく、測定された試料の屈折率が良好でないと判断することができる。
【００４８】
図５は、図３Ａに示すようなカメラ２００の画像３０１に基づいて、測定された試料の屈折率の良否を判定する際の態様について説明するための図である。この図５に示すグラフＧ２１は、カメラ２００の画像３０１におけるスリット４６が延びる方向に対して平行方向Ｄ１の位置を横軸、各位置における輝度（光強度）を縦軸とするグラフであり、そのピーク値Ｐ２１の半分の値Ｐ２２に対応する横軸の幅が、半値幅Ｗ２として半値幅算出処理部１３０により算出される。
【００４９】
この場合、半値幅Ｗ２が大きくピークが急峻でないほど、上記平行方向Ｄ１に沿って画像３０１の輝度が均一であり、測定された試料の屈折率が良好と判断することができる。一方、図５にグラフＧ２２で示すように、半値幅が小さくピークが急峻である場合には、上記平行方向Ｄ１に沿って画像３０１の輝度が均一でなく、測定された試料の屈折率が良好でないと判断することができる。また、図５にグラフＧ２３で示すように、ピーク値が小さい場合には、Ｓ／Ｎ比が小さく、測定された試料の屈折率が良好でないと判断することができる。
【００５０】
図６は、図３Ａに示すようなカメラ２００の画像３０１に基づいて、測定された試料の屈折率の良否を判定する際の別の態様について説明するための図である。この図６に示すグラフＧ３１は、カメラ２００の画像３０１におけるスリット４６が延びる方向に対して垂直方向Ｄ２の位置を横軸、各位置における輝度（光強度）を縦軸とするグラフであり、そのピーク値Ｐ３１の半分の値Ｐ３２に対応する横軸の幅が、半値幅Ｗ３として半値幅算出処理部１３０により算出される。
【００５１】
この場合、半値幅Ｗ３が小さくピークが急峻であるほど、上記垂直方向Ｄ２に沿って画像３０１がぼやけておらず、測定された試料の屈折率が良好と判断することができる。一方、図６にグラフＧ３２で示すように、半値幅が大きくピークが急峻でない場合には、図６に一点鎖線で示すように、上記垂直方向Ｄ２に沿って画像３０１がぼやけており、測定された試料の屈折率が良好でないと判断することができる。また、図６にグラフＧ３３で示すように、ピーク値が小さい場合には、Ｓ／Ｎ比が小さく、測定された試料の屈折率が良好でないと判断することができる。
【００５２】
このように、本実施形態では、カメラ２００に入射した測定光の画像３０１に基づいて取得された光強度分布データのピーク（図５及び図６参照）、及び、検出器２により検出される測定光の検出強度に基づいて取得された光強度分布データのピーク（図４参照）に基づいて、測定された試料の屈折率の良否が判定される。このように、検出器２により検出される測定光の検出強度だけでなく、カメラ２００に入射した測定光の画像３０１も用いることによって、測定された試料の屈折率の良否を精度よく判定することができる。また、各光強度分布データのピークに基づいて、測定された試料の屈折率の良否を自動で容易に判定することができるとともに、作業者に応じて判定結果にばらつきが生じるといったことがない。したがって、測定された試料の屈折率の良否を容易かつ精度よく判定することができる。
【００５３】
特に、光強度分布データのピークについて算出された半値幅Ｗ１〜Ｗ３は、ピークが急峻であるかどうかの指標となるため、そのような半値幅Ｗ１〜Ｗ３を用いることによって、測定された試料の屈折率の良否を精度よく判定することができる。また、光強度分布データのピークについて算出されたＳ／Ｎ比は、ピーク値Ｐ１１，Ｐ２１，Ｐ３１が大きいかどうかの指標となるため、そのようなＳ／Ｎ比を用いることによって、測定された試料の屈折率の良否を精度よく判定することができる。
【００５４】
また、本実施形態では、測定された試料の屈折率の良否が、判定結果として報知処理部１６０により報知されるため、その判定結果に基づいて、屈折率の値の信頼性が高いかどうかを判断することができる。これにより、信頼性が低い屈折率の値を測定結果から除外することができるため、より信頼性が高い屈折率の測定結果を得ることができる。報知処理部１６０により報知される判定結果には、注意喚起又は警告が含まれていてもよい。
【００５５】
以上の実施形態では、報知処理部１６０が、判定処理部１５０による判定結果を表示部３００に表示させるような構成について説明した。しかし、このような構成に限らず、例えば音声などの表示以外の方法を用いて、判定処理部１５０による判定結果が報知されるような構成であってもよい。
【００５６】
また、本発明が適用されるＶブロック方式の屈折率測定装置は、検出器２、光源部３、スリット４６及びカメラ２００を備えた構成であれば、図１に示すような構成に限らず、他のあらゆる構成を採用することができる。例えば、光源部３及びカメラ２００は、配置位置が入れ替えられてもよく、各種のミラー及びレンズは適宜に追加又は省略することができる。
【符号の説明】
【００５７】
１      Ｖブロックプリズム
２      検出器
３      光源部
４６    スリット
１００  制御部
１１０  データ取得処理部
１１１  第１データ取得処理部
１１２  第２データ取得処理部
１２０  屈折率測定処理部
１３０  半値幅算出処理部
１４０  Ｓ／Ｎ比算出処理部
１５０  判定処理部
１６０  報知処理部
２００  カメラ
３００  表示部
【図１】
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【図２】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【国際調査報告】
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