(57)【要約】  本発明にかかるシート状物の検査装置は、連続的に搬送されるシート状物に対して、照射光を照射する照射手段と、シート状物からの透過光または反射光を投影する投影手段と、投影手段に投影された投影像を撮像する撮像手段と、撮像手段が撮像した画像データからシート状物に存在する欠点を検出するデータ処理手段を有し、照射手段は、シート状物の走行面に垂直な方向からみたその長手方向がシート状物の搬送方向と同一方向であり、シート状物のシート幅方向に広がる光を照射する。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
連続的に搬送されるシート状物に対して、照射光を照射する照射手段と、
前記シート状物からの透過光または反射光を投影する投影手段と、
前記投影手段に投影された投影像を撮像する撮像手段と、
前記撮像手段が撮像した画像データから前記シート状物に存在する欠点を検出するデータ処理手段と、を有し、
前記照射手段は、前記シート状物の走行面に垂直な方向からみたその長手方向が前記シート状物の搬送方向と同一方向であり、前記シート状物のシート幅方向に広がる光を照射する、シート状物の検査装置。
【請求項２】
前記データ処理手段が検出する欠点が、前記シート状物の搬送方向と同一方向に延びる凹凸状の形状である、請求項１に記載のシート状物の検査装置。
【請求項３】
前記シート状物の走行面に平行な面と、前記照射手段の長手方向に平行な線とが平行である、請求項１または２に記載のシート状物の検査装置。
【請求項４】
前記照射手段、前記投影手段および前記撮像手段が、前記シート状物のシート幅を維持して、該シート状物の走行面に対して垂直な方向に延びる領域の外側に設置されている、請求項１から３のいずれか一つに記載のシート状物の検査装置。
【請求項５】
連続的に搬送されるシート状物に対して、このシート状物に垂直な方向からみて前記シート状物の搬送方向と同一方向に延びる光源から、シート幅方向に広がる光を照射し、
前記照射された光が前記シート状物を透過した透過光、または前記照射された光が前記シート状物の表面で反射した反射光の投影像から前記シート状物に存在する欠点を検出する、シート状物の検査方法。
【請求項６】
前記シート状物の搬送方向と同一方向に延びる凹凸状の形状を前記欠点として検出する、請求項５に記載のシート状物の検査方法。
【請求項７】
前記光源から照射される光の光軸が、前記シート状物の搬送方向に対して垂直となるように光を照射する、請求項５または６に記載のシート状物の検査方法。
【請求項８】
前記シート状物のシート幅を維持して、該シート状物の走行面に対して垂直な方向に延びる領域の外側から光を照射し、前記領域の外側において透過光または反射光の投影像を投影する、請求項５から７のいずれか一つに記載のシート状物の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート状物の表面の凹凸を精度良く検査するシート状物の検査装置、およびシート状物の検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
フィルムのような光透過性を有するシート状物は、各種産業用途に広く使用されている。その用途が多様化するにつれて、フィルムに要求される品質はますます厳しくなっている。例えば、フィルムを、液晶偏光板、位相差板等の液晶ディスプレイ構成部材、ＰＤＰ部材、タッチパネル用部材、合わせガラス用部材等の各種光学用フィルムとして用いる場合には、シート状物に対して優れた透明性およびフィルム表面品位が要求される。【０００３】
従来、シート状物に存在する欠点の有無を検査することを目的として、連続的に搬送されるシート状物に対して、照射手段から光を照射し、シート状物からの透過光または反射光を撮像手段により受光し、シート状物の表面の凹凸を検出する方法が用いられている。例えば、特許文献１および２に記載の方法が知られている。【０００４】
特許文献１に記載の方法は、被検査体の片方の面側から照射手段により光を照射し、被検査体の他方の面に対向して配設された撮像手段により、被検査体からの透過光を撮像し、データ処理手段により被検査体の表面に存在する凹凸状欠点を検出する。このとき、照射手段の長手方向と撮像手段の走査方向が被検査体の幅方向に対して、ある角度だけ傾けて設置することで凹凸状欠点の検出感度を向上させている。【０００５】
特許文献２に記載の方法は、被検査体に照射手段により平行光を照射し、被検査体面に対して照射手段と反対側に設置されたスクリーンに被検査体を透過した光を投影し、撮像手段により、スクリーンに投影された光を暗視野方向から撮像して凹凸状欠点を検出する。このとき、照射手段には点光源を用いることで平行光に近い光を照射し、欠点部を透過した光の陰影を強調させている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００９−０２５２６９号公報
【特許文献２】特開２００５−２４１５８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１および特許文献２には次のような課題がある。特許文献１に記載の方法は、照射手段の長手方向と撮像手段の走査方向を被検査体の幅方向に対して、ある角度だけ傾けて設置する必要があるため、１つの照射手段と撮像手段で被検査体の幅方向すべてを検査しようとすると、設置スペースが大きくなってしまうという課題がある。一方で、設置スペースを小さくするために、複数の照射手段と撮像手段を被検査体の幅方向に並べた場合は、照射手段と撮像手段それぞれの機差や設置精度の違いから被検査体の幅方向に対して凹凸状欠点の検出感度の差が生まれてしまう。また、台数が増えることにより、検出感度の調整が困難で多大な労力がかかるという課題がある。【０００８】
特許文献２に記載の方法は、照射手段に点光源を用いており、ある照射角度を持った光が照射される。したがって、被検査体の幅方向すべてを検査しようとすると、被検査体と照射手段との距離を大きくとる必要があるため、距離を離した分だけ、光の強度が低下し、検査に十分な光量を確保できず、凹凸状欠点の検出感度が低下するか、もしくは多数の照射手段が必要になるという課題がある。【０００９】
本発明の目的は、従来技術の上記課題を解決し、シート状物の表面の凹凸を精度良く検査するシート状物の検査装置、およびシート状物の検査方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成する本発明のシート状物の検査装置は、連続的に搬送されるシート状物に対して、照射光を照射する照射手段と、前記シート状物からの透過光または反射光を投影する投影手段と、前記投影手段に投影された投影像を撮像する撮像手段と、前記撮像手段が撮像した画像データから前記シート状物に存在する欠点を検出するデータ処理手段と、を有し、前記照射手段は、前記シート状物の走行面に垂直な方向からみたその長手方向が前記シート状物の搬送方向と同一方向であり、前記シート状物のシート幅方向に広がる光を照射する。【００１１】
本発明のシート状物の検査装置は、以下の構成であることが好ましい。
・前記データ処理手段が検出する欠点が、前記シート状物の搬送方向と同一方向に延びる凹凸状の形状である。
・前記シート状物の走行面に平行な面と、前記照射手段の長手方向に平行な線とが平行である。
・前記照射手段、前記投影手段および前記撮像手段が、前記シート状物のシート幅を維持して、該シート状物の走行面に対して垂直な方向に延びる領域の外側に設置されている。【００１２】
上記目的を達成する本発明のシート状物の検査方法は、連続的に搬送されるシート状物に対して、このシート状物に垂直な方向からみて前記シート状物の搬送方向と同一方向に延びる光源から、シート幅方向に広がる光を照射し、前記照射された光が前記シート状物を透過した透過光、または前記照射された光が前記シート状物の表面で反射した反射光の投影像から前記シート状物に存在する欠点を検出する。【００１３】
本発明のシート状物の検査方法は、以下を行うことが好ましい。
・前記シート状物の搬送方向と同一方向に延びる凹凸状の形状を前記欠点として検出する。
・前記光源から照射される光の光軸が、前記シート状物の搬送方向に対して垂直となるように光を照射する。
・前記シート状物のシート幅を維持して、該シート状物の走行面に対して垂直な方向に延びる領域の外側から光を照射し、前記領域の外側において透過光または反射光の投影像を投影する。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、シート状物の表面の凹凸を精度良く検査するシート状物の検査装置、およびシート状物の検査方法を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】図１は、本発明の一実施形態における検査装置構成を示す斜視図である。
【図２】図２は、本発明とは異なる、照射手段の長手方向とシート状物の搬送方向とが直交するときの検査装置構成を示す斜視図である。
【図３Ａ】図３Ａは、本発明の一実施形態における原理を示すシート搬送方向から見た矢視図である。
【図３Ｂ】図３Ｂは、本発明の一実施形態における原理を示すシート幅方向から見た矢視図である。
【図３Ｃ】図３Ｃは、本発明の一実施形態における原理を示すシート搬送方向から見た矢視図である。
【図３Ｄ】図３Ｄは、本発明の一実施形態における原理を示すシート幅方向から見た矢視図である。
【図４Ａ】図４Ａは、本発明の一実施形態における原理を示すシート搬送方向から見た矢視図である。
【図４Ｂ】図４Ｂは、本発明の一実施形態における原理を示すシート幅方向から見た矢視図である。
【図４Ｃ】図４Ｃは、本発明の一実施形態における原理を示すシート搬送方向から見た矢視図である。
【図４Ｄ】図４Ｄは、本発明の一実施形態における原理を示すシート幅方向から見た矢視図である。
【図５Ａ】図５Ａは、本発明の一実施形態における原理を示すシート幅方向から見た矢視図である。
【図５Ｂ】図５Ｂは、本発明の一実施形態における原理を示すシート搬送方向から見た矢視図である。
【図５Ｃ】図５Ｃは、本発明の一実施形態における原理を示すシート幅方向から見た矢視図である。
【図５Ｄ】図５Ｄは、本発明の一実施形態における原理を示すシート搬送方向から見た矢視図である。
【図６Ａ】図６Ａは、本発明の別の実施形態における検査装置構成を示すシート搬送方向から見た矢視図である。
【図６Ｂ】図６Ｂは、本発明の別の実施形態における検査装置構成を示すシート搬送方向から見た矢視図である。
【図６Ｃ】図６Ｃは、本発明の別の実施形態における検査装置構成を示すシート搬送方向から見た矢視図である。
【図６Ｄ】図６Ｄは、本発明の別の実施形態における検査装置構成を示すシート搬送方向から見た矢視図である。
【図７Ａ】図７Ａは、本発明の別の実施形態における検査装置構成を示すシート搬送方向から見た矢視図である。
【図７Ｂ】図７Ｂは、本発明の別の実施形態における検査装置構成を示すシート搬送方向から見た矢視図である。
【図７Ｃ】図７Ｃは、本発明の別の実施形態における検査装置構成を示すシート搬送方向から見た矢視図である。
【図７Ｄ】図７Ｄは、本発明の別の実施形態における検査装置構成を示すシート搬送方向から見た矢視図である。
【図８】図８は、実施例１における測定結果を示す図である。
【図９】図９は、実施例２における測定結果を示す図である。
【図１０】図１０は、実施例３における測定結果を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下に、本発明にかかるシート状物の検査装置およびシート状物の検査方法の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。
【００１７】
図１は、本発明の一実施形態におけるシート状物の検査装置の構成を示す斜視図である。連続的に搬送されるシート状物１は、シート状物１の搬送方向（Ｙ方向）であるシート搬送方向に一定の速度で走行している。このシート状物１の表面に向かって照射手段３から光が照射され、シート状物１を透過した光または反射した光を投影手段４に投影する。投影手段４に投影された投影像を撮像手段５により撮像しデータ処理手段６に画像データとして入力する。その画像データに対して、データ処理手段６にて予め決められたプログラムにより画像処理を実行することでシート状物１に存在する欠点を検出する。欠点の検出方法として、データ処理手段６を用いることの他に、投影手段４に投影された投影像を目視で確認し、検出してもよい。なお、以下の説明においては、検査装置が設置されている位置において、搬送されるシート状物１の表面（または後述する走行面）がＸＹ平面に対して平行となっているものとする。
【００１８】
照射手段３は、一方向に延びる線状の照明光を出射する長尺の照射手段である。透過光を用いて検査する場合、照射手段３は、シート状物１の走行面の片側に配置され、投影手段４と撮像手段５は照射手段３とはシート状物１を介して反対側に配置される。また、反射光を用いて検査する場合、照射手段３、投影手段４および撮像手段５はシート状物１の走行面の片側に配置される。
【００１９】
照射手段３をシート状物１の走行面に垂直な方向（Ｚ方向）からみたとき、その長手方向はシート搬送方向と平行となるように配置される。また、照射手段３は、シート幅方向（Ｘ方向）に広がる光を照射する。
【００２０】
本発明において、「シート状物」とは、例えばフィルムなどのシートもしくは板状の物体であるが、これらに限定されるものではない。ただし、シート状物からの透過光を用いて検査する場合は、透明または半透明である必要がある。
【００２１】
本発明において、「照射手段」は、一方向に延びる線光源を指し、長手方向および光軸方向と直交する方向の幅は鮮明な投影像を得るために、欠点の幅よりも小さいことが好ましい。例えば、点光源である光ファイバを線状に配列したものが好適に用いられるが、これに限らず光源にスリットを設け照射面が線状となるようにしたものなどを用いてもよい。一般的に、点光源は距離の２乗に反比例して光のエネルギーが減衰するが、線光源は距離に反比例して光のエネルギーが減衰する。また、線光源は点光源を線状に配列したものであるため、個々の点光源の光のエネルギーを積分したものが、線光源の光のエネルギーとなる。したがって、線光源は点光源よりも光量を確保することができ、広幅のシート状物を検査する際に、照射手段とシート状物の距離を大きくとることが必要となった場合でも、検出感度を低下させずに検査することが可能となる。
【００２２】
本発明において、「投影手段」とは、投影像を視覚的に捕らえられるように表示するものを指し、例えば、プロジェクタの映像を映し出すスクリーンが好適に用いられるが、紙や不透明フィルムなどを用いてもよい。
【００２３】
本発明において、「撮像手段」とは、光を電気信号に変換できるものを指し、例えば受光素子が１次元に配置されたラインセンサカメラが好適に用いられるが、これに限らず２次元に配置されたエリアセンサカメラや光電子増倍管などを用いてもよい。
【００２４】
本発明において、「シート状物の走行面」とは、実際にシート状物を搬送したときにシート状物が通過する位置およびシート幅方向の範囲である。
【００２５】
本発明において、「欠点」とは、シート状物の搬送方向と同一方向に延びる凹凸状の形状のものを指し、例えばスジやキズなどのシート状物の表面に存在するものであることが好ましい。
【００２６】
ここで、欠点の検出原理を図１、図２、図３Ａ〜図３Ｄを用いて説明する。図１は、照射手段３の長手方向とシート搬送方向（Ｙ方向）とが同一方向となるように配置した図である。図２は、照射手段３の長手方向とシート状物１のシート幅方向（Ｘ方向）とが同一方向となるように配置した図である。図３Ａは、図１の構成での欠点２とその投影像７との関係を示したシート搬送方向（Ｙ方向）から見た矢視図（以下、シート搬送方向Ｙ矢視図）である。図３Ｂは、図１の構成での欠点２とその投影像７との関係を示したシート幅方向（Ｘ方向）から見た矢視図（以下、シート幅方向Ｘ矢視図）である。図３Ｃは、図２の構成での欠点２とその投影像７との関係を示したシート搬送方向Ｙ矢視図である。図３Ｄは、図２の構成での欠点２とその投影像７との関係を示したシート幅方向Ｘ矢視図である。
【００２７】
まず、図１の構成での欠点２の投影像７の見え方を説明する。図３Ａに示すように、照射手段３は長さを持たず、発光点（図３Ａにおける照明手段３）は欠点２の幅（以下、欠点幅ともいう）と比較して小さくなり点光源とみなせる。そのため、欠点２の投影像７は端部もぼやけることなく鮮明に映る。また、図３Ｂに示すように、照射手段３は長さを持っているが、発光点は欠点幅と比較して小さくなる。そのため、欠点２の投影像７は端部では、ぼやけるものの、全体でみると鮮明さへの影響は少ない。
【００２８】
次に、図２の構成での欠点２の投影像７の見え方を説明する。図３Ｃに示すように、照射手段３はＸ方向の長さを持っており、発光点は欠点幅と比較して大きくなる。そのため、欠点２の投影像７は全体的に、ぼやけることになる。また、図３Ｄに示すように、照射手段３はＸ方向の長さを持たず、発光点は欠点幅と比較して小さくなり点光源とみなせる。そのため、欠点２の投影像７は、ぼやけることなく鮮明に映る。実際には、投影像７は、シート状物１を透過した光が屈折したものとなるが、わかりやすくするために、投影像７を欠点２の影として表現している。
【００２９】
また、上述の説明は、照射手段３と投影手段４とがシート状物１の走行面を基準に反対側に位置し、シート状物１の透過光を投影手段４に投影する構成についてのものである。これに対して、照射手段３と投影手段４とがシート状物１の走行面を基準に同じ側に位置し、シート状物１の反射光を投影手段４に投影する構成における欠点の検出原理を、図４Ａ〜図４Ｄを用いて説明する。図４Ａは、照射手段３の長手方向とシート搬送方向（Ｙ方向）とが同一方向となるように配置した構成での欠点２とその投影像７との関係を示したシート搬送方向Ｙ矢視図である。図４Ｂは、照射手段３の長手方向とシート搬送方向（Ｙ方向）とが同一方向となるように配置した構成での欠点２とその投影像７との関係を示したシート幅方向Ｘ矢視図である。図４Ｃは、照射手段３の長手方向とシート状物１のシート幅方向（Ｘ方向）とが同一方向となるように配置した構成での欠点２とその投影像７との関係を示したシート搬送方向Ｙ矢視図である。図４Ｄは、照射手段３の長手方向とシート状物１のシート幅方向（Ｘ方向）とが同一方向となるように配置した構成での欠点２とその投影像７との関係を示したシート幅方向Ｘ矢視図である。
【００３０】
図４Ａでは、図３Ａと同様に欠点２の投影像７は端部もぼやけることなく鮮明に映る。図４Ｂでは、図３Ｂと同様に欠点２の投影像７は端部では、ぼやけるものの、全体でみると鮮明さへの影響は少ない。図４Ｃでは、図３Ｃと同様に欠点２の投影像７は全体的に、ぼやけることになる。図４Ｄでは、図３Ｄと同様に欠点２の投影像７は、ぼやけることなく鮮明に映る。
【００３１】
本発明における欠点２はシート搬送方向（Ｙ方向）と同一方向に延びる凹凸であり、シート搬送方向（Ｙ方向）から見ると微小であるが、シート幅方向（Ｘ方向）から見ると大きい。そのため、シート幅方向Ｘから見たときの投影像の端部がぼやけていても欠点２の検出には影響がなく、シート搬送方向（Ｙ方向）から見たときの投影像７が鮮明に映れば安定した検出が可能となる。
【００３２】
また、この原理を応用することで、データ処理手段６により欠点を検出する際にノイズとなるキズなどの微小な欠点を、撮像手段５により撮像し画像データを得る段階で取り除くことができる。すなわち、欠点の発生方向によって、欠点を選択的に撮像した画像データを得ることができる。
【００３３】
図５Ａは、シート状物１の走行面に平行な面と照射手段３の長手方向に平行な線とが平行である、言い換えると、照射される光の光軸８がシート状物１のシート搬送方向（Ｙ方向）に対して垂直である構成でのシート幅方向Ｘ矢視図である。また、図５Ｂは、そのときのシート搬送方向Ｙ矢視図である。図５Ｃは、シート状物１の走行面に平行な面と照射手段３の長手方向に平行な線とが平行ではない、言い換えると、照射される光の光軸８がシート状物１のシート搬送方向（Ｙ方向）に対して垂直ではない構成でのシート幅方向Ｘ矢視図である。また、図５Ｄは、そのときのシート搬送方向Ｙ矢視図である。
【００３４】
図５Ｂにおいて、照射手段３はシート状物１の走行面に垂直な方向Ｚに対して、長さを持たず、発光点は欠点幅と比較して小さくなり点光源とみなせる。したがって、照射手段３の真下に上述した欠点２があるときはもちろんのこと、シート幅方向（Ｘ方向）の端に欠点２があるときでも欠点２の投影幅がぼやけることがない。一方、図５Ｄにおいて、照射手段３はシート状物１の走行面に垂直な方向（Ｚ方向）に対して、長さを持っており、発光点は欠点幅と比較して大きくなる。したがって、照射手段３の真下に欠点２があるときは投影幅がぼやけることはないが、シート幅方向（Ｘ方向）の端に向かうにつれて、投影幅のぼやけ具合は顕著になる。このことから、図５Ａ，Ｂの構成、つまりシート状物１の走行面に平行な面と照射手段３の長手方向に平行な線とが平行となるような構成とすることで、シート幅方向（Ｘ方向）にわたって、欠点２を鮮明に投影することができ、安定した検出が可能となる。
【００３５】
図６Ａ〜図６Ｄおよび図７Ａ〜図７Ｄは、照射手段３、投影手段４および撮像手段５がシート状物１のシート幅（Ｘ方向におけるシート状物１の範囲）を維持して、該シート状物の走行面（ＸＹ平面）に対して垂直な方向に延びる領域の外側に設置されている様々な構成を示す、シート搬送方向Ｙ矢視図である。なお、図６Ａ〜図６Ｄは、シート状物１の透過光を投影手段４に投影する構成であり、図７Ａ〜図７Ｄは、シート状物１の反射光を投影手段４に投影する構成である。図６Ａ〜図６Ｄおよび図７Ａ〜図７Ｄに示すように、各手段をシート状物１の上下から外れた位置に設置することによって、シート状物１の生産中でも容易に各手段を設置したり片付けたりすることができる。生産スタート時に簡易的に欠点の発生状況を把握したい場合などにも有効である。また、万が一、各手段が固定治具不良などにより落下した場合でも、シート状物１にダメージを与える心配がない。
【実施例】
【００３６】
以下に本発明の実施様態の１つとして、実施例を挙げて説明する。【００３７】
（実施例１）
以下に本実施形態の実施例１として、照射手段の長手方向の長さによる検出感度の違いを調べた。【００３８】
図１と同じ構成を有する装置を用いた。照射手段として、Ｕ−ＴＥＣＨＮＯＬＯＧＹ製の光ファイバＵＫＧ１００−１５００Ｓ−ＨＲ、ＬＥＤ光源ＵＦＬＳ−７５−０８Ｗ−Ｔを用いた。投影手段として、ＰＬＵＳ  Ｖｉｓｏｎ製のスクリーンＫＰＭ−８０を用いた。撮像手段として、ＢＡＳＬＥＲ製のラインセンサカメラｒａＬ１２２８８−８ｇｍを用いた。データ処理手段として、撮像手段に接続されたパーソナルコンピュータを用いた。図１のように、照射手段の長手方向とスジサンプルの搬送方向が同一方向となるように照射手段を設置した。照射手段に設けたスリットの間隔を狭めることにより、照射手段の長手方向の長さを１００ｍｍ、６０ｍｍ、４０ｍｍ、２０ｍｍとし、それぞれ撮像手段により投影手段に投影された投影像を撮像した。そのように得た画像データに対して、スジの検出感度を評価した。評価は、各画素の輝度値で行い、スジのない正常部（地合）の平均輝度Ｍとスジにおける最大輝度値Ｓとの差（Ｓ−Ｍ）で評価した結果を図８に示す。なお、評価値は１００ｍｍを基準として正規化している。１００ｍｍのときが感度最大となっており、本実施例では対象とするスジ欠点の検出感度を高感度化できることが示せた。【００３９】
（実施例２）
以下に本実施形態の実施例２として、照射手段の長手方向とシート状物の搬送方向の関係による検出感度の違いを調べた。【００４０】
図１と同じ構成を有する装置を用いた。照射手段として、Ｕ−ＴＥＣＨＮＯＬＯＧＹ製の光ファイバＵＫＧ１００−１５００Ｓ−ＨＲ、ＬＥＤ光源ＵＦＬＳ−７５−０８Ｗ−Ｔを用いた。投影手段として、ＰＬＵＳ  Ｖｉｓｏｎ製のスクリーンＫＰＭ−８０を用いた。撮像手段として、ＢＡＳＬＥＲ製のラインセンサカメラｒａＬ１２２８８−８ｇｍを用いた。データ処理手段として、撮像手段に接続されたパーソナルコンピュータを用いた。図１のように、照射手段の長手方向とスジサンプルの搬送方向が同一方向である場合を０度とし、その差を３度ずつ０〜９度の範囲でずらして撮像手段により投影手段に投影された投影像を撮像した。そのように得た画像データに対して、スジの検出感度を評価した。評価は、各画素の輝度値で行い、スジのない正常部（地合）の平均輝度Ｍとスジにおける最大輝度値Ｓとの差（Ｓ−Ｍ）で評価した結果を図９に示す。なお、評価値は０度を基準として正規化している。０度のときが感度最大となっており、本実施例では対象とするスジ欠点の検出感度を高感度化できることが示せた。【００４１】
（実施例３）
以下に本実施形態の実施例３として、照射手段の光軸とシート状物の搬送方向の関係による検出感度の違いを調べた。【００４２】
図１と同じ構成を有する装置を用いた。照射手段として、Ｕ−ＴＥＣＨＮＯＬＯＧＹ製の光ファイバＵＫＧ５０−１５００Ｓ−ＨＲ、ＬＥＤ光源ＵＦＬＳ−７５−０８Ｗ−Ｔを用いた。投影手段として、ＰＬＵＳ  Ｖｉｓｏｎ製のスクリーンＫＰＭ−８０を用いた。撮像手段として、ＢＡＳＬＥＲ製のラインセンサカメラｒａＬ１２２８８−８ｇｍを用いた。データ処理手段として、撮像手段に接続されたパーソナルコンピュータを用いた。図５Ａ，５Ｃのように、照射手段から照射される光の光軸の、スジサンプルの搬送方向に対する角度が９０度の場合と３５度の場合とで、スジの検出感度を比較した。スジサンプルは照射手段の真下（照射手段３の中心からＺ方向に降りた位置）を０ｍｍとしてシート幅方向（Ｘ方向）に３００ｍｍずつ０〜６００ｍｍの範囲で撮像手段により投影手段に投影された投影像を撮像した。そのように得た画像データに対して、スジの感度を評価した。評価は、各画素の輝度値で行い、スジのない正常部（地合）の平均輝度Ｍとスジにおける最大輝度値Ｓとの差（Ｓ−Ｍ）で評価した結果を図１０に示す。なお、評価値は０度を基準として正規化している。９０度のときはシート幅方向に対するスジの検出感度の低下を抑えることができており、本実施例では対象とするスジ欠点の検出感度を高感度化できることが示せた。
【産業上の利用可能性】
【００４３】
本発明は、フィルムのような光透過性を有するシート状物の表面に生じる凹凸の検査に限らず、鉄鋼板のような光透過性を有しないシート状物の表面に生じる凹凸の検査などにも応用することができるが、その応用範囲が、これらに限られるものではない。
【符号の説明】
【００４４】
１：シート状物
２：欠点
３：照射手段
４：投影手段
５：撮像手段
６：データ処理手段
７：投影像
８：光軸
【図１】
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【図２】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図３Ｃ】
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【図３Ｄ】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図４Ｃ】
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【図４Ｄ】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図５Ｃ】
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【図５Ｄ】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図６Ｃ】
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【図６Ｄ】
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【図７Ａ】
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【図７Ｂ】
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【図７Ｃ】
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【図７Ｄ】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【国際調査報告】
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