(57)【要約】  板ガラスＧｂにレーザー光Ｌを照射することで繊維状ガラスＧｆを生成させ、生成された繊維状ガラスＧｆを、レーザー光Ｌと交差する又はレーザー光Ｌに沿った捕集面２１にて捕集する繊維状ガラスの製造方法。
2016178408.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
非繊維状ガラスにエネルギー線を照射することで繊維状ガラスを生成させ、
生成された前記繊維状ガラスを、前記エネルギー線と交差する又は前記エネルギー線に沿った捕集面にて捕集することを特徴とする繊維状ガラスの製造方法。
【請求項２】
前記エネルギー線は、レーザー光であることを特徴とする請求項１に記載の繊維状ガラスの製造方法。
【請求項３】
前記非繊維状ガラスにおける前記エネルギー線が照射される側の反対側に前記捕集面を配置し、該反対側にて生成された前記繊維状ガラスを前記捕集面にて捕集することを特徴とする請求項１又は２に記載の繊維状ガラスの製造方法。
【請求項４】
前記繊維状ガラスを前記捕集面に堆積させることでシート状のガラス繊維集合体を成形することを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の繊維状ガラスの製造方法。
【請求項５】
前記非繊維状ガラスは、板ガラスであることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の繊維状ガラスの製造方法。
【請求項６】
前記繊維状ガラスの平均繊維径が１ｎｍ以上、２０μｍ以下の範囲であることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の繊維状ガラスの製造方法。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか１項に記載の繊維状ガラスの製造方法によって製造された前記繊維状ガラスと、該繊維状ガラスを捕集した前記捕集面を有する支持体とを備えた物品。
【請求項８】
細胞培養基材として用いられることを特徴とする請求項７に記載の繊維状ガラスを備えた物品。
【請求項９】
載置部に載置した粉末ガラスにエネルギー線を照射して前記粉末ガラスに前記エネルギー線を吸収させることにより前記粉末ガラスを加熱して繊維状ガラスを生成するガラス繊維生成工程を備えることを特徴とする繊維状ガラスの製造方法。
【請求項１０】
前記ガラス繊維生成工程において、前記粉末ガラスを透過した前記エネルギー線が前記載置部に照射されることで該載置部に生じた熱によって前記粉末ガラスを加熱することを特徴とする請求項９に記載の繊維状ガラスの製造方法。
【請求項１１】
前記ガラス繊維生成工程において、前記載置部に対する前記エネルギー線の照射によって溶融した前記載置部の構成成分を、前記繊維状ガラスの表面に付着させる、又は前記繊維状ガラスの内部に混入させることを特徴とする請求項１０に記載の繊維状ガラスの製造方法。
【請求項１２】
前記載置部が金属材料よりなることを特徴とする請求項１０又は１１に記載の繊維状ガラスの製造方法。
【請求項１３】
前記ガラス繊維生成工程において、前記粉末ガラスへの前記エネルギー線の照射前又は照射中に、前記粉末ガラスを前記エネルギー線とは別の熱源により加熱することを特徴とする請求項９〜１２のいずれか１項に記載の繊維状ガラスの製造方法。
【請求項１４】
載置部に載置した珪砂を含むガラス原料にエネルギー線を照射して前記ガラス原料に前記エネルギー線を吸収させることにより前記ガラス原料を加熱して繊維状ガラスを生成するガラス繊維生成工程を備えることを特徴とする繊維状ガラスの製造方法。
【請求項１５】
前記ガラス繊維生成工程において、前記ガラス原料を透過した前記エネルギー線が前記載置部に照射されることで該載置部に生じた熱によって前記ガラス原料を加熱することを特徴とする請求項１４に記載の繊維状ガラスの製造方法。
【請求項１６】
前記ガラス繊維生成工程において、前記載置部に対する前記エネルギー線の照射によって溶融した前記載置部の構成成分を、前記繊維状ガラスの表面に付着させる、又は前記繊維状ガラスの内部に混入させることを特徴とする請求項１５に記載の繊維状ガラスの製造方法。
【請求項１７】
前記載置部が金属材料よりなることを特徴とする請求項１５又は１６に記載の繊維状ガラスの製造方法。
【請求項１８】
前記ガラス繊維生成工程において、前記ガラス原料への前記エネルギー線の照射前又は照射中に、前記ガラス原料を前記エネルギー線とは別の熱源により加熱することを特徴とする請求項１４〜１７のいずれか１項に記載の繊維状ガラスの製造方法。
【請求項１９】
板ガラスにエネルギー線を照射することで繊維状ガラスを生成させるガラス繊維生成工程を備え、
前記ガラス繊維生成工程において、前記板ガラスへの前記エネルギー線の照射による前記繊維状ガラスの生成を当該板ガラスの端部から開始することを特徴とする繊維状ガラスの製造方法。
【請求項２０】
前記繊維状ガラスの平均繊維径が１ｎｍ以上、２０μｍ以下の範囲であることを特徴とする請求項９〜１９のいずれか１項に記載の繊維状ガラスの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、繊維状ガラスの製造方法及び繊維状ガラスを備えた物品に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、平均繊維径が例えばナノメートルオーダーである繊維集合体は、再生医療の分野等、様々な分野で活用されており、そのような繊維集合体の主な製造方法としては、エレクトロスピニング法（以下、ＥＳ法という）が知られている（例えば特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】米国特許第１９７５５０４号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、上記繊維集合体の中でも、ガラス製の繊維集合体（以下、繊維状ガラス）は、樹脂製の繊維集合体等と比べて、化学的耐久性に優れている等の理由から大いに注目されている。しかしながら、このような繊維状ガラスの製造方法に関する技術については、未だ完全に確立されるに至っていない。特許文献１に開示されるＥＳ法は、主に、樹脂製の繊維集合体に対して確立された製造方法であるため、ＥＳ法に基づいて繊維状ガラスを製造しようとすれば、繊維状ガラスの原材料をゾル・ゲル法によって液相中にて合成する工程等が別途必要となる。したがって、製造時間が長くなったり、装置が複雑化するため、繊維状ガラスを大量に安価に製造することが困難であった。【０００５】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであって、その目的は、製造時間の短縮化を図ることを可能とした繊維状ガラスの製造方法及び繊維状ガラスを備えた物品を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決する繊維状ガラスの製造方法は、非繊維状ガラスにエネルギー線を照射することで繊維状ガラスを生成させ、生成された前記繊維状ガラスを、前記エネルギー線と交差する又は前記エネルギー線に沿った捕集面にて捕集する。【０００７】
この製造方法によれば、非繊維状ガラスにエネルギー線を照射することで、そのエネルギー線の照射部位における非繊維状ガラスが溶融して飛散した飛沫から繊維状ガラスが生成される。このため、例えば前記ＥＳ法に見られるようなゾル・ゲル法の実施工程等を行う必要がなくなり、製造時間の短縮化を図るとともに繊維状ガラスを容易且つ大量に製造することが可能となる。【０００８】
また、この製造方法によれば、静電的な引力や重力を利用して繊維状ガラスを捕集面で捕集することが可能となり、吸い込み機構や巻き取り機構等の繊維状ガラスを積極的に捕集する機構を備えずとも、繊維状ガラスを捕集することができる。それにより、繊維状ガラスを製造する製造装置の簡素化が可能となる。【０００９】
上記繊維状ガラスの製造方法において、前記エネルギー線は、レーザー光であることが好ましい。
この製造方法によれば、レーザー光を照射することで繊維状ガラスを生成させる繊維状ガラスの製造装置において、簡素化が可能となる。【００１０】
上記繊維状ガラスの製造方法において、前記非繊維状ガラスにおける前記エネルギー線が照射される側の反対側に前記捕集面を配置し、該反対側にて生成された前記繊維状ガラスを前記捕集面にて捕集することが好ましい。【００１１】
この製造方法によれば、非繊維状ガラスにおけるエネルギー線が照射される側の反対側に捕集面を配置し、該反対側において生成された繊維状ガラスを捕集面で捕集する。このため、生成された繊維状ガラスとエネルギー線との干渉、又は繊維状ガラスを捕集する捕集面とエネルギー線との干渉を気にすることなく、繊維状ガラスの捕集が可能となる。【００１２】
上記繊維状ガラスの製造方法において、前記繊維状ガラスを前記捕集面に堆積させることでシート状のガラス繊維集合体を成形することが好ましい。
この製造方法によれば、非繊維状ガラスに対するエネルギー線の照射によって生成された繊維状ガラスを捕集面に堆積させることで、シート状のガラス繊維集合体が成形される。このため、繊維状ガラスからなるシート状のガラス繊維集合体を容易に製造することが可能となる。【００１３】
上記繊維状ガラスの製造方法において、前記非繊維状ガラスは、板ガラスであることが好ましい。
この製造方法によれば、板ガラスにおけるエネルギー線が照射される側の反対側に空間を確保することが容易となり、該板ガラスの反照射側で繊維状ガラスを捕集する場合に好適である。【００１４】
上記繊維状ガラスの製造方法において、前記繊維状ガラスの平均繊維径が１ｎｍ以上、２０μｍ以下の範囲であることが好ましい。
この製造方法によれば、生成した繊維状ガラスを、例えば再生医療分野の細胞培養基材（スキャフォールド）として用いる場合において、生体親和性等の点で好適な繊維状ガラスを製造することができる。【００１５】
上記課題を解決する繊維状ガラスを備えた物品は、上記記載の繊維状ガラスの製造方法によって製造された前記繊維状ガラスと、該繊維状ガラスを捕集した前記捕集面を有する支持体とを備えている。【００１６】
この構成によれば、上記の繊維状ガラスの製造方法によって製造された繊維状ガラスを備えた物品は、繊維状ガラスの製造過程で用いる捕集面を有する支持体を備えた構成となる。このため、繊維状ガラスを備えた物品の製造工程において、エネルギー線の照射により生成して捕集した繊維状ガラスを支持体と組み合わせる工程を省くことができ、製造工程の簡素化に寄与できる。【００１７】
上記繊維状ガラスを備えた物品が細胞培養基材として用いられることが好ましい。
この構成によれば、繊維状ガラスは、樹脂製の繊維物と比較して、化学的耐久性に優れている等の理由から細胞培養基材として使用するのに適しており、繊維状ガラスが支持体に支持されてなる細胞培養基材を簡素化された製造工程によって製造することが可能となる。【００１８】
上記課題を解決する繊維状ガラスの製造方法は、載置部に載置した粉末ガラスにエネルギー線を照射して前記粉末ガラスに前記エネルギー線を吸収させることにより前記粉末ガラスを加熱して繊維状ガラスを生成するガラス繊維生成工程を備える。【００１９】
この製造方法によれば、粉末ガラスがエネルギー線の吸収により加熱され、その加熱部位における粉末ガラスが溶融して飛散した飛沫から繊維状ガラスが生成される。このため、例えば前記ＥＳ法に見られるようなゾル・ゲル法の実施工程等を行う必要がなくなり、製造時間の短縮化を図るとともに繊維状ガラスを容易且つ大量に製造することが可能となる。【００２０】
また、この方法では、エネルギー線を照射して繊維状ガラスを生成するガラス素材に粉末ガラスを用いる。これにより、ガラス素材に例えば板ガラスを用いる場合に比べて、粉末ガラスの方がエネルギー線の照射により溶融しやすい傾向があるため、繊維状ガラスの生成に要する時間を短くすることが可能となり、その結果、製造時間の短縮化を図るのに更に有利となる。また、例えば、失透温度等の制約により予め板状に成形したり直接的に紡糸したりすることが困難な組成からなるガラス材を、容易に繊維状に成形できる。【００２１】
上記繊維状ガラスの製造方法では、前記ガラス繊維生成工程において、前記粉末ガラスを透過した前記エネルギー線が前記載置部に照射されることで該載置部に生じた熱によって前記粉末ガラスを加熱することが好ましい。【００２２】
この製造方法によれば、エネルギー線の照射により載置部が加熱され、その載置部の熱により粉末ガラスが加熱される。これにより、常温でエネルギー線を透過させる特性を有する粉末ガラスを用いた場合、載置部からの熱によってエネルギー線を吸収しやすくなる温度まで粉末ガラスを昇温させた後、エネルギー線の吸収により粉末ガラスを加熱して繊維状ガラスを生成することができる。従って、この方法によれば、繊維状ガラスの生成に使用できる粉末ガラスが、常温でエネルギー線を吸収する特性を有するものに限定されることなく、使用できる粉末ガラスの種類を広げることができる。また、この方法では、粉末ガラスへのエネルギー線の照射が載置部の加熱も兼ねているため、粉末ガラスを昇温するためのヒーター等の特段の昇温手段を備えなくても繊維状ガラスの生成が可能となる。【００２３】
上記繊維状ガラスの製造方法では、前記ガラス繊維生成工程において、前記粉末ガラスへの前記エネルギー線の照射前又は照射中に、前記粉末ガラスを前記エネルギー線とは別の熱源により加熱することが好ましい。【００２４】
この製造方法によれば、常温でエネルギー線を透過させる特性を有する粉末ガラスを用いた場合に、エネルギー線とは別の熱源によってエネルギー線を吸収しやすくなる温度まで粉末ガラスを加熱した後、エネルギー線の吸収により粉末ガラスを加熱して繊維状ガラスを生成することができる。従って、この方法によれば、繊維状ガラスの生成に使用できる粉末ガラスが、常温でエネルギー線を吸収する特性を有するものに限定されることなく、使用できる粉末ガラスの種類を広げることができる。また、この方法では、載置部がエネルギー線を吸収可能なもの（つまり、エネルギー線を受けて昇温するもの）である必要がないことから、エネルギー線を透過する材料とすることもでき、載置部に使用できる材料の種類を広げることができる。【００２５】
上記課題を解決する繊維状ガラスの製造方法は、載置部に載置した珪砂を含むガラス原料にエネルギー線を照射して前記ガラス原料に前記エネルギー線を吸収させることにより前記ガラス原料を加熱して繊維状ガラスを生成するガラス繊維生成工程を備える。【００２６】
この製造方法によれば、珪砂を含むガラス原料がエネルギー線の吸収により加熱され、その加熱部位におけるガラス原料が溶融して飛散した飛沫から繊維状ガラスが生成される。このため、例えば前記ＥＳ法に見られるようなゾル・ゲル法の実施工程等を行う必要がなくなり、製造時間の短縮化を図るとともに繊維状ガラスを容易且つ大量に製造することが可能となる。更に、この方法によれば、ガラス原料から生成された板ガラスや粉末ガラス等の非繊維状ガラスから繊維状ガラスを生成するのではなく、ガラス原料から直接的に繊維状ガラスを生成する。このため、非繊維状ガラスを用意するコストや手間を省くことができ、製造コストの削減に寄与できる。【００２７】
上記繊維状ガラスの製造方法では、前記ガラス繊維生成工程において、前記ガラス原料を透過した前記エネルギー線が前記載置部に照射されることで該載置部に生じた熱によって前記ガラス原料を加熱することが好ましい。【００２８】
この製造方法によれば、エネルギー線の照射により載置部が加熱され、その載置部の熱によりガラス原料が加熱される。これにより、繊維状ガラスが生成される温度までガラス原料を効率良く昇温できる。【００２９】
上記繊維状ガラスの製造方法では、前記ガラス繊維生成工程において、前記載置部に対する前記エネルギー線の照射によって溶融した前記載置部の構成成分を、前記繊維状ガラスの表面に付着させる、又は前記繊維状ガラスの内部に混入させることが好ましい。【００３０】
この製造方法によれば、載置部の構成成分を含んで構成された繊維状ガラス物品を製造することができる。このため、載置部の構成材料の選択によって、繊維状ガラスに所望の成分が含まれた繊維状ガラス物品を得ることができる。例えば、載置部を金属材料で構成した場合には、繊維状ガラスと金属の複合材料よりなる繊維状ガラス物品を得ることができ、該物品を例えば触媒の用途に用いることができる。【００３１】
上記繊維状ガラスの製造方法において、前記載置部が金属材料よりなることが好ましい。
この製造方法によれば、載置部を構成する金属材料をエネルギー線の照射によって溶融させることで、金属材料が付着又は内部に混入した繊維状ガラスを生成することが可能となる。【００３２】
上記繊維状ガラスの製造方法では、前記ガラス繊維生成工程において、前記ガラス原料への前記エネルギー線の照射前又は照射中に、前記ガラス原料を前記エネルギー線とは別の熱源により加熱することが好ましい。【００３３】
この製造方法によれば、繊維状ガラスが生成される温度までガラス原料を熱源により昇温するため、繊維状ガラスを効率的に生成できる。また、この方法では、載置部がエネルギー線を吸収可能なもの（つまり、エネルギー線を受けて昇温するもの）である必要がないことから、エネルギー線を透過する材料とすることもでき、載置部に使用できる材料の種類を広げることができる。【００３４】
上記課題を解決する繊維状ガラスの製造方法は、板ガラスにエネルギー線を照射することで繊維状ガラスを生成させるガラス繊維生成工程を備え、前記ガラス繊維生成工程において、前記板ガラスへの前記エネルギー線の照射による前記繊維状ガラスの生成を当該板ガラスの端部から開始する。【００３５】
この製造方法によれば、板ガラスにエネルギー線を照射することで、そのエネルギー線の照射部位における板ガラスが溶融して飛散した飛沫から繊維状ガラスが生成される。このため、例えば前記ＥＳ法に見られるようなゾル・ゲル法の実施工程等を行う必要がなくなり、製造時間の短縮化を図るとともに繊維状ガラスを容易且つ大量に製造することが可能となる。また、この方法では、板ガラスへのエネルギー線の照射による繊維状ガラスの生成を当該板ガラスの端部から開始する。板ガラスの端部では、板ガラスの中央部分等に比べて熱が蓄積されやすいため、軟化点以上に昇温しやすく、効率的に繊維状ガラスを生成できる。【００３６】
上記繊維状ガラスの製造方法において、前記繊維状ガラスの平均繊維径が１ｎｍ以上、２０μｍ以下の範囲であることが好ましい。
この製造方法によれば、生成した繊維状ガラスを、例えば触媒の用途（担体）に用いる場合において、十分な表面積を持たせることができる。また、例えば、繊維状ガラスを再生医療分野の細胞培養基材（スキャフォールド）として用いる場合において、生体親和性等の点で好適な繊維状ガラスを製造することができる。
【発明の効果】
【００３７】
本発明の繊維状ガラスの製造方法及び繊維状ガラスを備えた物品によれば、製造時間の短縮化を図ることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】第１実施形態の繊維状ガラス製造装置を示す概略構成を示す模式図である。
【図２】別例の捕集方法を説明するための模式図である。
【図３】別例の捕集方法を説明するための模式図である。
【図４】別例の捕集方法を説明するための模式図である。
【図５】別例の捕集方法を説明するための模式図である。
【図６】別例の捕集方法を説明するための模式図である。
【図７】第２実施形態の繊維状ガラス製造装置の概略構成を示す模式図である。
【図８】同形態の繊維状ガラスの製造方法を説明するための模式図である。
【図９】同形態の繊維状ガラスの製造方法を説明するための模式図である。
【図１０】ＥＰＭＡによる繊維状ガラスの構成元素の分析結果を示すグラフである。
【図１１】別例の繊維状ガラスの製造方法を説明するための模式図である。
【図１２】別例の繊維状ガラスの製造方法を説明するための模式図である。
【図１３】別例の繊維状ガラスの製造方法を説明するための模式図である。
【図１４】別例の繊維状ガラスの製造方法を説明するための模式図である。
【図１５】別例の繊維状ガラスの製造方法を説明するための模式図である。
【図１６】別例の繊維状ガラスの製造方法を説明するための模式図である。
【図１７】第３実施形態の繊維状ガラスの製造方法を説明するための模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００３９】
（第１実施形態）
以下、繊維状ガラスの製造方法及び繊維状ガラスを備えた物品の第１実施形態について説明する。
【００４０】
まず、本実施形態の繊維状ガラスの製造方法を具現化するための繊維状ガラス製造装置１０について説明する。
図１に示すように、繊維状ガラス製造装置１０は、板ガラスＧｂ（非繊維状ガラス）にレーザー光Ｌを照射することで繊維状ガラスＧｆを製造するための装置である。本実施形態の繊維状ガラス製造装置１０では、平均繊維径が１ｎｍ以上、２０μｍ以下程度、より好ましくは１０ｎｍ以上、１μｍ以下の微細な繊維状ガラスＧｆが製造される。また、繊維状ガラスＧｆの素材となる板ガラスＧｂは、無アルカリガラスや石英ガラス、ソーダガラス、ホウ酸塩ガラス、リン酸塩ガラス、アルミン酸塩ガラス等、何れの材料のものであってもよい。
【００４１】
繊維状ガラス製造装置１０は、板ガラスＧｂを載置するステージＳと、板ガラスＧｂに対してレーザー光Ｌを照射するためのレーザー光照射部１１とを備えている。本実施形態では、ステージＳに水平に配置した板ガラスＧｂの上方にレーザー光照射部１１が配置されている。そして、レーザー光照射部１１から出射されたレーザー光Ｌが板ガラスＧｂに対して上方から照射されることで、板ガラスＧｂにおける反照射側の面（レーザー光照射部１１と対向する側とは反対側の面）、つまり、板ガラスＧｂの下面側で繊維状ガラスＧｆが生成される。なお、以下の説明では、板ガラスＧｂにおけるレーザー光Ｌが照射される側の面（上面）を板ガラスＧｂの表面Ｇ１とし、その反対側の面（下面）を板ガラスＧｂの裏面Ｇ２とする。
【００４２】
レーザー光照射部１１は、主に、レーザー発振器１２（レーザー光源）、ガルバノスキャナ１３、及びｆθレンズ１４（エフシータレンズ）等から構成されている。
レーザー発振器１２は、レーザー光Ｌを発振させて外部に放出するための機器である。レーザー発振器１２によって発振されるレーザー光Ｌについては、板ガラスＧｂを局所的に軟化点以上の温度にまで加熱することが可能であれば、例えば、フェムト秒レーザーやピコ秒レーザー等、何れのパルス幅であってもよく、また、炭酸ガスレーザーやエキシマレーザー等、何れの波長であってもよい。レーザー発振器１２にて発振されたレーザー光Ｌは、その後、ガルバノスキャナ１３の内部へと導かれる。
【００４３】
ガルバノスキャナ１３は、板ガラスＧｂに照射するレーザー光Ｌを走査させるための光学系としてレーザー光照射部１１に配設されるものである。ガルバノスキャナ１３には、複数（本実施形態では２個）のガルバノミラー１５が内装されている。各ガルバノミラー１５は、エンコーダーが内装された駆動モータ１５ａ、及び該駆動モータ１５ａの出力軸の先端部に固設される鏡面体１５ｂ等により構成される。鏡面体１５ｂは、駆動モータ１５ａの出力軸が、所定の回転方向、且つ回転角度だけ回転するのに伴って、平面部が所定の方向に向けられるようになっている。
【００４４】
ガルバノスキャナ１３に対して、レーザー発振器１２よりレーザー光Ｌが放出されると、そのレーザー光Ｌは、ガルバノスキャナ１３の内部へと導入される。そして、レーザー光Ｌは、複数のガルバノミラー１５の各鏡面体１５ｂによって反射されることにより屈曲され、ガルバノスキャナ１３の外部へと導出される。
【００４５】
なお、各ガルバノミラー１５における駆動モータ１５ａの制御については、それぞれ所定のプログラムが予め設定されており、該プログラムに基づいて高速・高精度に駆動モータ１５ａの運転が制御される。それにより、鏡面体１５ｂの平面部の向きがフレキシブルに変更され、ガルバノスキャナ１３より導出された後のレーザー光Ｌの進行方向が自在に変更されるようになっている。
【００４６】
ガルバノスキャナ１３より導出されたレーザー光Ｌは、その後、ｆθレンズ１４へと導かれる。ｆθレンズ１４は集光レンズであり、レーザー光Ｌを所定のスポット径となるまで収束させて繊維状ガラスＧｆの生成に適したエネルギー密度まで高めるものである。また、本実施形態のｆθレンズ１４には、互いに対向配置された複数枚のレンズ（図示せず）が備えられ、レンズ面の中心部と周辺部とにおいて該レンズ面を通過する様々なレーザー光の走査速度が常に一定の値となるように、また、レーザー光Ｌが板ガラスＧｂに常に垂直に照射されるよう設計されている。なお、ｆθレンズには種々のものがあり、上記以外の構成のものを使用することも可能である。
【００４７】
ｆθレンズ１４を通過したレーザー光Ｌは、所定のスポット径で板ガラスＧｂの表面Ｇ１に対して垂直に照射される。なお、このときのレーザー光Ｌの焦点位置は、レーザー光Ｌの焦点深度や板ガラスＧｂの特性等に応じて任意の位置に定めてよい。
【００４８】
例えば、レーザー光Ｌの焦点深度が比較的深い場合や、板ガラスＧｂの板厚が比較的薄い場合には、レーザー光Ｌの焦点位置が板ガラスＧｂの裏面Ｇ２側（反光源側）に設定されることが好ましい。具体的には、板ガラスＧｂの裏面Ｇ２を基準として０ｍｍ〜１０ｍｍの範囲内に位置することが好ましい。このような焦点位置に設定されることによって、板ガラスＧｂを裏面Ｇ２側まで効率良く加熱できるため、繊維状ガラスＧｆの成形速度を速くすることができる。
【００４９】
また、レーザー光Ｌの焦点深度が浅い場合や板ガラスＧｂの板厚が比較的厚い場合には、レーザー光Ｌの焦点位置が板ガラスＧｂの内部（板ガラスＧｂの表面Ｇ１、裏面Ｇ２、及びこれらの間の領域を含む）に設定されることが好ましい。このような焦点位置に設定されることによって、レーザー光Ｌのエネルギーの拡散を抑制して、加熱不足に起因する繊維状ガラスＧｆの成形不良等を抑制することができる。
【００５０】
また、板ガラスＧｂに照射されるレーザー光Ｌは、ガルバノミラー１５の動作によって板ガラスＧｂに対する照射位置が変更（走査）されるようになっている。このとき、レーザー光Ｌは、ｆθレンズ１４の作用により安定したスポット径をもって板ガラスＧｂに照射されるようになっている。
【００５１】
次に、板ガラスＧｂを載置するステージＳについて説明する。
ステージＳは、鉛直方向と直交する水平面をなす捕集面２１と、その捕集面２１から鉛直方向上方に突出する複数（図１では２つのみ図示）のピン状の支持部２２とを有している。各支持部２２は、その先端（上端）で板ガラスＧｂを水平に支持可能に構成され、板ガラスＧｂが各支持部２２に支持された状態において、捕集面２１は板ガラスＧｂの裏面Ｇ２と鉛直方向に対向するように構成されている。つまり、捕集面２１は、板ガラスＧｂを支持する部位（支持部２２の先端）よりも下方に位置している。また、この捕集面２１は、レーザー光照射部１１から出射されて板ガラスＧｂに照射されるレーザー光Ｌの光軸Ｌａと直交するように構成されている。
【００５２】
このステージＳは、板ガラスＧｂに対するレーザー光Ｌの照射により生成された繊維状ガラスＧｆを捕集する捕集部材としての役割を兼ねている。なお、ステージＳは、レーザー光Ｌへの耐性のある金属製であることが好ましい。
【００５３】
なお、捕集面２１の面積は、例えば、１００ｍｍ２〜１００００００ｍｍ２程度に設定されることが好ましい。また、板ガラスＧｂの裏面Ｇ２から捕集面２１までの距離は、例えば、０．１ｍｍ〜２００ｍｍ程度（より好ましくは０．５ｍｍ〜１００ｍｍ）に設定されることが好ましい。このような寸法範囲内であれば、繊維状ガラスＧｆを捕集面２１にて効率良く捕集することができる。なお、上記寸法範囲は一例であり、捕集面２１の面積や、板ガラスＧｂの裏面Ｇ２から捕集面２１までの距離は任意に定めてよい。
【００５４】
［繊維状ガラスの製造方法］
次に、繊維状ガラス製造装置１０を用いた繊維状ガラスＧｆの製造方法をその作用とともに説明する。
【００５５】
ステージＳの支持部２２上に板ガラスＧｂを水平に載置した後、レーザー光照射部１１を作動させてレーザー光Ｌを板ガラスＧｂに照射する。レーザー光照射部１１の作動としては、まず、レーザー発振器１２よりレーザー光Ｌが発振され、その発振されたレーザー光Ｌは、ガルバノスキャナ１３、ｆθレンズ１４と順に通過した後、板ガラスＧｂの表面Ｇ１上に所定のスポット径をもって照射される。このとき、予め設定された所定のプログラムに基づき、ガルバノミラー１５の動作が制御され、板ガラスＧｂに対するレーザー光Ｌの照射位置が走査される。そして、レーザー光Ｌの照射によって板ガラスＧｂが加熱されることで、レーザー光Ｌが照射された部位の裏面Ｇ２側で繊維状ガラスＧｆが生成される。なお、繊維状ガラスＧｆの生成方法としては、例えば特開２０１５−６１８０９号公報等に記載されている公知の技術を用いることができる。
【００５６】
レーザー光Ｌの照射によって板ガラスＧｂの裏面Ｇ２で生成された繊維状ガラスＧｆは、自重及びレーザー光Ｌにより誘起された運動エネルギーによってステージＳの捕集面２１上に捕集される。また、繊維状ガラスＧｆには、捕集面２１との間の静電的な引力が働く場合があり、その静電的な引力によっても繊維状ガラスＧｆが捕集面２１に捕集されるようになっている。そして、繊維状ガラスＧｆを捕集面２１上に所定量堆積させることで、シート状のガラス繊維集合体Ｇｓが捕集面２１上に生成されるようになっている。なお、このとき、捕集面２１に落下する多数の繊維状ガラスＧｆ同士が絡まり合う又は部分的に溶着されること等によって、ガラス繊維集合体Ｇｓのシート形状が保たれるようになっている。
【００５７】
シート状に成形されたガラス繊維集合体Ｇｓは、例えばピンセットやスキージ等の剥離器具を用いて任意に捕集面２１から剥離して用いることができる。また、捕集面２１上にネット状部材を予め配置しておけば、該ネット状部材を取り外すことでガラス繊維集合体Ｇｓを型崩れすることなく容易に捕集面２１から剥離させることができる。
【００５８】
なお、上記のように製造されたガラス繊維集合体Ｇｓを、例えば再生医療分野の細胞培養基材（スキャフォールド）として用いる場合には、生体親和性等を考慮し、ガラス繊維集合体Ｇｓの平均繊維径が１ｎｍ以上、２０μｍ以下、より好ましくは１０ｎｍ以上、１μｍ以下とされていることが好ましい。また、ガラス繊維集合体Ｇｓの用途はこれに限らず、例えば、創傷被覆材、機械振動子、光学部品、触媒等として用いることができる。
【００５９】
次に、本実施形態の特徴的な効果を記載する。
（１）板ガラスＧｂにレーザー光Ｌを照射することで該板ガラスＧｂの裏面Ｇ２側で生成した繊維状ガラスＧｆを、該繊維状ガラスＧｆの自重及びレーザー光Ｌにより誘起された運動エネルギーによって落下させて、ステージＳの捕集面２１で捕集するようにしている。これにより、生成した繊維状ガラスＧｆを空気とともに吸い込んで捕集する吸気機構や、繊維状ガラスＧｆを巻き取って捕集する巻き取り機構等の、繊維状ガラスＧｆを積極的に捕集する機構を備えずとも、繊維状ガラスＧｆを捕集することができ、その結果、繊維状ガラス製造装置１０を簡素な構成とすることができる。
【００６０】
更に、本実施形態では、繊維状ガラスＧｆを捕集面２１上に所定量堆積させることで、シート状のガラス繊維集合体Ｇｓが成形される。前記吸気機構や前記巻き取り機構を用いた捕集方法では、繊維状ガラスＧｆをシート状以外の状態でしか捕集できないことから、シート状のガラス繊維集合体Ｇｓを得るためには、捕集した多数の繊維状ガラスＧｆをシート状に成形する工程が必要となる。その点、本実施形態では、板ガラスＧｂから落下する繊維状ガラスＧｆを捕集面２１で捕集する（堆積させる）だけでシート状のガラス繊維集合体Ｇｓを成形することができるため、繊維状ガラスＧｆをシート状に成形する特段の工程が不要となり、その結果、製造工程の簡素化に寄与できる。
【００６１】
（２）板ガラスＧｂに対する表面Ｇ１側からのレーザー光Ｌの照射によって該板ガラスＧｂの裏面Ｇ２側で繊維状ガラスＧｆが生成される。このため、生成された繊維状ガラスＧｆとレーザー光Ｌとの干渉、又は繊維状ガラスＧｆを捕集するための部材とレーザー光Ｌとの干渉を気にすることなく、繊維状ガラスＧｆの捕集が可能となる。
【００６２】
（３）繊維状ガラスＧｆを生成する素材が板ガラスＧｂであるため、板ガラスＧｂを捕集面２１から上方に離間する状態で安定して支持することができる。これにより、板ガラスＧｂの裏面Ｇ２側（反照射側）に空間を確保することが容易となり、本実施形態のように板ガラスＧｂの裏面Ｇ２側（反照射側）で繊維状ガラスＧｆを捕集する場合に好適である。
【００６３】
（４）繊維状ガラス製造装置１０にて製造される繊維状ガラスＧｆの平均繊維径を１ｎｍ以上、２０μｍ以下の範囲とすることで、製造した繊維状ガラスＧｆを、例えば再生医療分野の細胞培養基材として用いる場合に生体親和性等の点で好適となる。また、繊維状ガラスＧｆは、樹脂製の繊維物と比較して、化学的耐久性に優れている等の理由から細胞培養基材として使用するのに適している。
【００６４】
なお、上記第１実施形態は、以下のように変更してもよい。
・上記第１実施形態では、レーザー光Ｌの照射によって板ガラスＧｂの裏面Ｇ２に生成された繊維状ガラスＧｆをその自重及びレーザー光Ｌにより誘起された運動エネルギーによって落下させて捕集面２１にて捕集するが、繊維状ガラスＧｆの捕集方法は、これに特に限定されるものではなく、適宜変更可能である。
【００６５】
例えば、図２に示すように、ステージＳ上に配置した捕集部材３１によって繊維状ガラスＧｆを捕集してもよい。この捕集部材３１は、板ガラスＧｂに照射されるレーザー光Ｌの光軸Ｌａに沿った捕集面３１ａを有している。そして、板ガラスＧｂに対するレーザー光Ｌの照射によって該板ガラスＧｂの裏面Ｇ２側に生成された繊維状ガラスＧｆは、静電的な引力によって捕集面３１ａに捕集（結合）されるようになっている。
【００６６】
このような方法によっても、前述の吸気機構や巻き取り機構等の繊維状ガラスＧｆを積極的に捕集する機構を備えずとも、繊維状ガラスＧｆを捕集することができ、その結果、繊維状ガラス製造装置１０を簡素な構成とすることができる。
【００６７】
更に、図２に示す例では、生成した繊維状ガラスＧｆを捕集部材３１も含めたガラス物品（例えば、細胞培養基材）とすることも可能である。つまり、本例では、捕集部材３１を繊維状ガラスＧｆの支持体として備えたガラス物品を製造することが可能となる。この場合、ガラス物品を製造するに際し、繊維状ガラスＧｆを支持する支持体を捕集部材３１とは別に用意して、捕集部材３１から取り出した繊維状ガラスＧｆを支持体に移す工程を省くことができ、製造工程の簡素化に寄与できる。
【００６８】
また、繊維状ガラスＧｆ、捕集部材３１及び板ガラスＧｂの三者を含めた構造体をガラス物品とすることも可能である。
例えば、図３に示す例では、捕集部材３１を板ガラスＧｂの裏面Ｇ２に予め固着しておき、板ガラスＧｂに対するレーザー光Ｌの照射によって該板ガラスＧｂの裏面Ｇ２側に生成された繊維状ガラスＧｆを捕集部材３１の捕集面３１ａにて捕集する。このとき、繊維状ガラスＧｆを板ガラスＧｂの裏面Ｇ２に結合したままの状態とすることで、繊維状ガラスＧｆが板ガラスＧｂ及び捕集部材３１のそれぞれと結合されて構成されたガラス物品を製造することができる。
【００６９】
なお、図２や図３に示す例では、板ガラスＧｂに照射されるレーザー光Ｌの光軸Ｌａに沿った捕集面３１ａを有する捕集部材３１を用いたが、これに限らず、例えば図４に示すように、板ガラスＧｂに照射されるレーザー光Ｌの光軸Ｌａと交差（図４では直交）する捕集面３２ａを有する捕集部材３２を用いてもよい。同図の例では、捕集部材３２はステージＳ上に載置され、板ガラスＧｂにレーザー光Ｌを照射することで該板ガラスＧｂの裏面Ｇ２側で生成した繊維状ガラスＧｆは、該繊維状ガラスＧｆの自重及びレーザー光Ｌにより誘起された運動エネルギーによって落下して、捕集部材３２の捕集面３２ａで捕集（結合）される。なお、図４に示すように、繊維状ガラスＧｆを板ガラスＧｂの裏面Ｇ２に結合したままの状態とすることで、繊維状ガラスＧｆが板ガラスＧｂ及び捕集部材３２のそれぞれと結合されて構成されたガラス物品を製造することが可能となる。なお、このように、板ガラスＧｂ、繊維状ガラスＧｆ及び捕集部材３２を一体とする以外に、繊維状ガラスＧｆが板ガラスＧｂ及び捕集部材３２の少なくとも一方から切り離された構成としてもよい。
【００７０】
・上記第１実施形態では、板ガラスＧｂにレーザー光Ｌを照射して、該板ガラスＧｂの反照射側（裏面Ｇ２側）で繊維状ガラスＧｆを生成しているが、これに特に限定されるものではなく、レーザー光Ｌの照射側で繊維状ガラスＧｆを生成してもよい。
【００７１】
この場合、例えば図５に示すように、透光性を有する例えば板ガラスよりなる捕集部材３３を、板ガラスＧｂの照射面側（表面Ｇ１側）に、レーザー光Ｌの光軸Ｌａと交差（図５では直交）するように配置する。この捕集部材３３は、板ガラスＧｂの表面Ｇ１と鉛直方向に対向する捕集面３３ａを有する。
【００７２】
この構成では、レーザー光照射部１１から出射されたレーザー光Ｌは、捕集部材３３を透過して板ガラスＧｂの表面Ｇ１に照射される。そして、レーザー光Ｌの照射によって板ガラスＧｂの表面Ｇ１側に生成された繊維状ガラスＧｆは、静電的な引力によって捕集部材３３の捕集面３３ａに捕集（結合）されるようになっている。
【００７３】
このような方法によっても、前述の吸気機構や巻き取り機構等の繊維状ガラスＧｆを積極的に捕集する機構を備えずとも、繊維状ガラスＧｆを捕集することができ、その結果、繊維状ガラス製造装置１０を簡素な構成とすることができる。
【００７４】
なお、上記第１実施形態及び上記の図２〜図５に示す例では、水平に配置した板ガラスＧｂに対して上方からレーザー光Ｌを照射して繊維状ガラスＧｆを生成しているが、これに特に限定されるものではない。例えば、水平に配置した板ガラスＧｂに対して下方からレーザー光Ｌを照射するように構成してもよい。また、例えば、鉛直方向に沿って配置した板ガラスＧｂに対して水平方向の側方側からレーザー光Ｌを照射するように構成してもよい。
【００７５】
・上記第１実施形態では、繊維状ガラスＧｆを生成する素材（非繊維状ガラス）として板ガラスＧｂを用いたが、これに特に限定されるものではなく、素材として管ガラスを用いてもよい。
【００７６】
また、例えば図６に示すように、繊維状ガラスＧｆを生成する素材として非晶質の粉末ガラス（ガラス微粒子）Ｇｐや、結晶質である珪砂を含むガラス原料を用いてもよい。同図に示す例では、ステージＳ上に所定量の粉末ガラスＧｐが配置され、その粉末ガラスＧｐよりも照射側（上方）に捕集部材３４が配置される。この捕集部材３４は、粉末ガラスＧｐに照射されるレーザー光Ｌの光軸Ｌａに沿った捕集面３４ａを有している。そして、粉末ガラスＧｐに対して上方からレーザー光Ｌが照射されると、粉末ガラスＧｐから上側（レーザー光照射部１１側）に繊維状ガラスＧｆが生成され、該繊維状ガラスＧｆは、静電的な引力によって捕集面３４ａに捕集（結合）されるようになっている。
【００７７】
・上記実施形態では、捕集面２１がレーザー光Ｌの光軸Ｌａと直交するように構成されたが、これらに限らず、捕集面２１が光軸Ｌａに対して傾斜しつつ交差するように構成してもよい。
【００７８】
・上記第１実施形態では、レーザー光Ｌの照射によって板ガラスＧｂ（非繊維状ガラス）から繊維状ガラスＧｆを生成したが、これ以外に例えば、電子ビームを照射することで板ガラスＧｂ（非繊維状ガラス）から繊維状ガラスＧｆを生成してもよい。
【００７９】
・また、上記第１実施形態及び変形例において、捕集部材に電圧を印加し、各々の捕集面に積極的に静電的引力を発生させるよう構成してもよい。また、生成された繊維状ガラスＧｆやその繊維状ガラスＧｆの付着物が磁性を有する場合には、捕集部材に磁力を発生させるようにすれば、捕集部材に対する磁気的な引力によって繊維状ガラスＧｆを捕集しやすくすることができる。
【００８０】
・また、上記第１実施形態及び変形例において、繊維状ガラスＧｆが生成される空間（例えば、板ガラスＧｂとステージＳとの間の空間Ｘ（図１〜図５参照））は閉空間とされることが好ましい。例えば、支持部２２をステージＳ（捕集面２１）に対して立設した枠壁状として構成し、該支持部２２の上端に板ガラスＧｂを載置すれば、容易に空間Ｘを閉空間とすることができる。このような構成によれば、空間Ｘにおいて気流が生じ難くなる。そのため、繊維状ガラスＧｆが気流により吹き飛ばされ難くなり、繊維状ガラスＧｆをより確実に捕集できる。また、上記第１実施形態に適用した場合には、ガラス繊維集合体Ｇｓを均一な厚みで形成し易くなる。
【００８１】
・上記実施形態では、ステージＳ（捕集部材）の捕集面２１が板ガラスＧｂに対して平行をなし、図２や図３に示す例では、捕集部材３１の捕集面３１ａが板ガラスＧｂに対して垂直をなしているが、これに限らず、捕集部材の捕集面を板ガラスＧｂに対して傾斜させてもよい。
【００８２】
・上記第１実施形態及び変形例において、捕集部材を揺動させることで、当該捕集部材にて繊維状ガラスＧｆを好適に捕集できる。なお、このように捕集部材を揺動させることは、平均繊維径が比較的大きい場合に特に有効である。
【００８３】
・上記第１実施形態及び変形例では、１枚の板ガラスＧｂに対してレーザー光Ｌを照射することで繊維状ガラスＧｆを生成しているが、これに限らず、複数枚積層した板ガラスＧｂに対してレーザー光Ｌを照射することで繊維状ガラスＧｆを生成してもよい。また、板ガラスＧｂは平板状である必要はなく、湾曲した形状であってもよい。また、可撓性を有する板ガラス（ガラスリボン）をロール状に成形した素材に対してレーザー光Ｌを照射することで繊維状ガラスＧｆを生成してもよい。
【００８４】
（第２実施形態）
以下、繊維状ガラスの製造方法の第２実施形態について、図７〜図１０に従って説明する。なお、図面では、説明の便宜上、構成の一部を誇張して示す場合があり、各部分の寸法比率についても実際と異なる場合がある。
【００８５】
まず、本実施形態の繊維状ガラスの製造方法を具現化するための繊維状ガラス製造装置１０について説明する。
図７に示すように、繊維状ガラス製造装置１０は、非晶質の粉末ガラスＧｐにレーザー光Ｌを照射することで繊維状ガラスＧｆ（図９参照）を製造するための装置である。本実施形態の繊維状ガラス製造装置１０では、平均繊維径が１ｎｍ以上、２０μｍ以下程度、より好ましくは１０ｎｍ以上、１μｍ以下の微細な繊維状ガラスＧｆが製造される。また、繊維状ガラスＧｆの素材となる粉末ガラスＧｐには、平均粒子径がおよそ１０ｎｍの多数のシリカ微粒子（フュームドシリカ）からなる粉末ガラスを用いている。
【００８６】
繊維状ガラス製造装置１０は、粉末ガラスＧｐを載置するステージＳ（載置部）と、粉末ガラスＧｐに対してレーザー光Ｌを照射するためのレーザー光照射部１１とを備えている。本実施形態では、ステージＳの載置面Ｓａに載置した粉末ガラスＧｐの上方にレーザー光照射部１１が配置され、粉末ガラスＧｐにはレーザー光照射部１１からのレーザー光Ｌが上方から照射されるようになっている。ステージＳは、後述の波長を有するレーザー光Ｌを吸収する材料にて構成され、本実施形態では例えばステンレス鋼等の金属材料にて構成されている。また、載置面Ｓａは、鉛直方向に対して垂直をなす平面状に形成されている。つまり、載置面Ｓａは、鉛直方向に沿って出射されるレーザー光Ｌの光軸Ｌａに対して垂直をなしている。
【００８７】
［レーザー光照射部１１の構成］
レーザー光照射部１１は、主に、レーザー発振器１２（レーザー光源）、ガルバノスキャナ１３、及びｆθレンズ１４（エフシータレンズ）等から構成されている。
【００８８】
レーザー発振器１２は、レーザー光Ｌを発振させて外部に放出するための機器であり、本実施形態では、およそ１０７０ｎｍの波長のレーザー光Ｌを発生させる連続発振ファイバレーザをレーザー発振器１２に用いている。なお、レーザー発振器１２の発振方式は、連続発振に限られるものではなく、パルス発振としてもよい。レーザー発振器１２にて発振されたレーザー光Ｌは、その後、ガルバノスキャナ１３の内部へと導かれる。
【００８９】
ガルバノスキャナ１３は、粉末ガラスＧｐに照射するレーザー光Ｌを走査させるための光学系としてレーザー光照射部１１に配設されるものである。ガルバノスキャナ１３には、複数（本実施形態では２個）のガルバノミラー１５が内装されている。各ガルバノミラー１５は、エンコーダーが内装された駆動モータ１５ａ、及び該駆動モータ１５ａの出力軸の先端部に固設される鏡面体１５ｂ等により構成される。鏡面体１５ｂは、駆動モータ１５ａの出力軸が、所定の回転方向、且つ回転角度だけ回転するのに伴って、平面部が所定の方向に向けられるようになっている。
【００９０】
ガルバノスキャナ１３に対して、レーザー発振器１２よりレーザー光Ｌが放出されると、そのレーザー光Ｌは、ガルバノスキャナ１３の内部へと導入される。そして、レーザー光Ｌは、複数のガルバノミラー１５の各鏡面体１５ｂによって反射されることにより屈曲され、ガルバノスキャナ１３の外部へと導出される。
【００９１】
なお、各ガルバノミラー１５における駆動モータ１５ａの制御については、それぞれ所定のプログラムが予め設定されており、該プログラムに基づいて高速・高精度に駆動モータ１５ａの運転が制御される。それにより、鏡面体１５ｂの平面部の向きがフレキシブルに変更され、ガルバノスキャナ１３より導出された後のレーザー光Ｌの進行方向が自在に変更されるようになっている。
【００９２】
ガルバノスキャナ１３より導出されたレーザー光Ｌは、その後、ｆθレンズ１４へと導かれる。ｆθレンズ１４は集光レンズであり、レーザー光Ｌを所定のスポット径となるまで収束させて繊維状ガラスＧｆの生成に適したエネルギー密度まで高めるものである。また、本実施形態のｆθレンズ１４には、互いに対向配置された複数枚のレンズ（図示せず）が備えられ、レンズ面の中心部と周辺部とにおいて該レンズ面を通過する様々なレーザー光の走査速度が常に一定の値となるように、また、レーザー光ＬがステージＳの載置面Ｓａに常に垂直に照射されるように設計されている。なお、ｆθレンズには種々のものがあり、上記以外の構成のものを使用することも可能である。
【００９３】
また、粉末ガラスＧｐに向かって出射されたレーザー光Ｌの焦点位置は、ステージＳの載置面Ｓａに設定されている。また、レーザー光Ｌは、ガルバノミラー１５の動作によって粉末ガラスＧｐに対する照射位置が変更（走査）されるようになっている。このとき、レーザー光Ｌは、ｆθレンズ１４の作用により安定したスポット径をもって粉末ガラスＧｐに照射されるようになっている。
【００９４】
［繊維状ガラスＧｆの製造方法］
次に、繊維状ガラス製造装置１０を用いた繊維状ガラスＧｆの製造方法（繊維状ガラス生成工程）をその作用とともに説明する。
【００９５】
ステージＳの載置面Ｓａに粉末ガラスＧｐを載置した後、レーザー光照射部１１を作動させてレーザー光Ｌを粉末ガラスＧｐに照射する。レーザー光照射部１１の作動としては、まず、レーザー発振器１２よりレーザー光Ｌが発振され、その発振されたレーザー光Ｌは、ガルバノスキャナ１３、ｆθレンズ１４と順に通過した後、粉末ガラスＧｐに向かって出射される。
【００９６】
ここで、粉末ガラスＧｐ（フュームドシリカ）は、上記波長のレーザー光Ｌに対する常温での透過率が極めて高い（つまり、吸収係数が極めて小さい）。このため、繊維状ガラス製造装置１０内の雰囲気温度が常温の場合、レーザー光照射部１１から出射されたレーザー光Ｌは、粉末ガラスＧｐに対してほとんど吸収されずに透過して、ステージＳの載置面Ｓａに照射される。
【００９７】
一方、ステージＳは、上記波長のレーザー光Ｌに対する吸収係数が大きい金属材料よりなるため、ステージＳの載置面Ｓａにおけるレーザー光Ｌを受けた部位は、レーザー光Ｌを吸収して昇温される。
【００９８】
すると、図８中の矢印で示すように、レーザー光Ｌにより昇温（加熱）された載置面Ｓａの熱が粉末ガラスＧｐに伝達され、粉末ガラスＧｐが昇温される。粉末ガラスＧｐは、所定温度に達するとレーザー光Ｌの透過率が低下（吸収係数が増加）する特性を有するため、該所定温度に達すると粉末ガラスＧｐはレーザー光Ｌを吸収して昇温される。そして、粉末ガラスＧｐの温度が軟化点以上となると、図９に示すように、粉末ガラスＧｐが溶融して周囲に飛散し、その飛散した溶融ガラスが繊維状を保ったまま冷却固化されて繊維状ガラスＧｆが生成される。
【００９９】
なお、生成した繊維状ガラスＧｆの捕集方法としては、レーザー光Ｌの照射部位から周囲に飛散する繊維状ガラスＧｆを、ステージＳに載置した捕集部材（図示略）上に堆積させるといった方法が考えられる。
【０１００】
［繊維状ガラスＧｆについて］
上記の製造方法によって、平均繊維径が１ｎｍ以上、２０μｍ以下程度、より好ましくは１０ｎｍ以上、１μｍ以下の微細な繊維状ガラスＧｆの集合体が生成される。
【０１０１】
また、生成された繊維状ガラスＧｆの集合体の構成元素について、電子線マイクロアナライザ（ＥＰＭＡ）による分析を行い、そのＥＰＭＡによる分析結果を図１０に示す。同図から、繊維状ガラスＧｆの集合体には、粉末ガラスＧｐの成分であるシリカの他に、ステージＳ由来のＦｅが構成元素として含まれていることが判る。つまり、本実施形態の製造方法によれば、繊維状ガラスＧｆと金属の複合材料を生成することができる。なお、繊維状ガラスＧｆの集合体に含まれる金属は、繊維状ガラスＧｆの表面に付着、又は繊維状ガラスＧｆ内に混入されている。
【０１０２】
この繊維状ガラスＧｆと金属との複合材料は、例えば、触媒の用途に用いることが可能であり、この場合、繊維状ガラスＧｆは、触媒としての金属成分を担持する担体として機能する。また、触媒用途の場合、上記のように繊維状ガラスＧｆの平均繊維径が１ｎｍ以上、２０μｍ以下程度とされることで、担体として十分な表面積を持たせることができる。
【０１０３】
次に、本実施形態の特徴的な効果を記載する。
（１）ステージＳの載置面Ｓａに載置した粉末ガラスＧｐにレーザー光Ｌを照射し、粉末ガラスＧｐにレーザー光Ｌを吸収させることで加熱して繊維状ガラスＧｆを生成するガラス繊維生成工程を備える。この工程では、粉末ガラスＧｐがレーザー光Ｌの吸収により加熱され、その加熱部位における粉末ガラスＧｐが溶融して飛散した飛沫から繊維状ガラスＧｆが生成される。このため、例えばＥＳ法に見られるようなゾル・ゲル法の実施工程等を行う必要がなくなり、製造時間の短縮化を図るとともに繊維状ガラスＧｆを容易且つ大量に製造することが可能となる。
【０１０４】
また、この方法では、レーザー光Ｌを照射して繊維状ガラスＧｆを生成するガラス素材に粉末ガラスＧｐを用いる。これにより、ガラス素材に例えば板ガラスを用いる場合に比べて、粉末ガラスＧｐの方がレーザー光Ｌの照射により溶融しやすい傾向があるため、繊維状ガラスＧｆの生成に要する時間を短くすることが可能となり、その結果、製造時間の短縮化を図るのに更に有利となる。また、例えば、失透温度等の制約により予め板状に成形したり直接的に紡糸したりすることが困難な組成からなるガラス材においても、容易に繊維状に成形できる。
【０１０５】
（２）上記のガラス繊維生成工程において、粉末ガラスＧｐを透過したレーザー光ＬがステージＳの載置面Ｓａに照射されることで該載置面Ｓａに生じた熱によって粉末ガラスＧｐを加熱する。この方法によれば、レーザー光Ｌの照射により載置面Ｓａが加熱され、その載置面Ｓａの熱により粉末ガラスＧｐが加熱される。これにより、本実施形態のように常温でレーザー光Ｌを透過させる特性を有する粉末ガラスＧｐを用いた場合であっても、載置面Ｓａからの熱で粉末ガラスＧｐを昇温してレーザー光Ｌを吸収しやすくなる状態とすることができ、レーザー光Ｌによって粉末ガラスＧｐから繊維状ガラスＧｆを生成することができる。従って、この方法によれば、繊維状ガラスＧｆの生成に使用できる粉末ガラスＧｐが、常温でレーザー光Ｌを吸収する特性を有するものに限定されることなく、使用できる粉末ガラスＧｐの種類を広げることができる。また、この方法では、粉末ガラスＧｐへのレーザー光Ｌの照射が載置面Ｓａの加熱も兼ねているため、粉末ガラスＧｐを昇温するためのヒーター等の特段の昇温手段を備えなくても繊維状ガラスＧｆの生成が可能となる。
【０１０６】
（３）上記のガラス繊維生成工程において、ステージＳに対するレーザー光Ｌの照射によって溶融したステージＳ（載置面Ｓａ）の構成成分を、繊維状ガラスＧｆの表面に付着させる、又は繊維状ガラスＧｆの内部に混入させる。この方法によれば、ステージＳ（載置面Ｓａ）の構成成分を含んで構成された繊維状ガラス物品（繊維状ガラスＧｆの集合体）を製造することができる。このため、ステージＳ（載置面Ｓａ）の構成材料の選択によって、繊維状ガラスＧｆに所望の成分が含まれた繊維状ガラス物品を得ることができる。本実施形態のように、ステージＳの載置面Ｓａを金属材料で構成した場合には、繊維状ガラスＧｆと金属の複合材料よりなる繊維状ガラス物品を得ることができ、該物品を例えば触媒の用途に用いることができる。
【０１０７】
（４）ステージＳ（載置面Ｓａ）が金属材料よりなるため、ステージＳを構成する金属材料をレーザー光Ｌの照射によって溶融させ、その金属材料を繊維状ガラスＧｆに対して付着又は内部に混入させることが可能となる。
【０１０８】
（５）生成される繊維状ガラスＧｆの平均繊維径が１ｎｍ以上、２０μｍ以下の範囲であるため、生成した繊維状ガラスＧｆを、例えば触媒の用途（担体）に用いる場合において、十分な表面積を持たせることができる。また、例えば、繊維状ガラスＧｆを再生医療分野の細胞培養基材（スキャフォールド）として用いる場合において、生体親和性等の点で好適な繊維状ガラスＧｆを製造することができる。
【０１０９】
なお、上記第２実施形態は、以下のように変更してもよい。
・上記第２実施形態のガラス繊維生成工程では、粉末ガラスＧｐを透過したレーザー光ＬがステージＳの載置面Ｓａに照射されることで該載置面Ｓａが加熱され、その載置面Ｓａに生じた熱によって、粉末ガラスＧｐがレーザー光Ｌを吸収しやすくなる温度とされる。しかしながら、レーザー光Ｌを吸収しやすくなる温度に粉末ガラスＧｐを昇温する手段は、上記第２実施形態に限定されるものではなく、粉末ガラスＧｐを昇温するための、レーザー光Ｌとは別の熱源を備えてもよい。
【０１１０】
例えば、図１１に示す例では、ステージＳの下側（載置面Ｓａとは反対側）に、レーザー光Ｌとは別の熱源としてヒーターＨが設けられている。同図に示すように、ガラス繊維生成工程において、粉末ガラスＧｐへのレーザー光Ｌの照射前に、粉末ガラスＧｐをヒーターＨによってステージＳを介して加熱する。そして、レーザー光Ｌを吸収しやすくなる温度以上に粉末ガラスＧｐを加熱した後、図１２に示すように、レーザー光Ｌを粉末ガラスＧｐに照射することで、繊維状ガラスＧｆを生成する。
【０１１１】
このような製造方法によっても、繊維状ガラスＧｆの生成に使用できる粉末ガラスＧｐが、常温でレーザー光Ｌを吸収する特性を有するものに限定されることなく、使用できる粉末ガラスＧｐの種類を広げることができる。
【０１１２】
更に、このような製造方法では、ステージＳ（載置面Ｓａ）がレーザー光Ｌの照射によって加熱される必要がないため、ステージＳの構成材料として、上記波長（およそ１０７０ｎｍ）のレーザー光Ｌを透過させる材料（吸収係数が小さい材料）を用いることが可能となる。なお、上記波長のレーザー光Ｌを透過させる材料としては、例えば石英ガラスやサファイアガラス等が挙げられる。
【０１１３】
このようなレーザー光Ｌを透過させる材料でステージＳ（載置面Ｓａ）を構成した場合には、載置面Ｓａがレーザー光Ｌを吸収しないことから該載置面Ｓａの構成成分の溶融が生じないため、ステージＳの構成成分が含まれていない繊維状ガラスＧｆを得ることができる。
【０１１４】
また、上記第２実施形態のようにステージＳを金属材料とした構成においてヒーターＨを設けた場合には、レーザー光Ｌの照射によるステージＳの加熱に加えてヒーターＨによってもステージＳが加熱される。このため、粉末ガラスＧｐをレーザー光Ｌを吸収しやすくなる温度以上にするのに要する時間を短縮することができ、その結果、製造時間のより一層の短縮化に寄与できる。
【０１１５】
なお、図１１及び図１２に示す例では、粉末ガラスＧｐに対してレーザー光Ｌを照射する前に該粉末ガラスＧｐをヒーターＨにて加熱しているが、粉末ガラスＧｐに対するレーザー光Ｌの照射中にヒーターＨにて粉末ガラスＧｐを加熱してもよい。
【０１１６】
また、図１１及び図１２に示す例では、ヒーターＨをステージＳの下側に設け、ステージＳを加熱することで間接的に粉末ガラスＧｐを加熱しているが、これに限らず、例えば、ヒーターＨをステージＳの上方に配置して、該ヒーターＨにて粉末ガラスＧｐの周辺の雰囲気温度を上昇させることで粉末ガラスＧｐを加熱してもよい。また、常温の粉末ガラスＧｐに吸収させることが可能な波長のレーザー光（より好ましくは、レーザー光Ｌよりも短い波長のもの）を照射することで、粉末ガラスＧｐをレーザー光Ｌを吸収しやすくなる温度以上に加熱してもよい。
【０１１７】
・上記第２実施形態では、繊維状ガラスＧｆを触媒の用途に用いる例を挙げたが、それ以外に例えば、上記の細胞培養基材や、創傷被覆材、機械振動子、光学部品等として用いることができる。なお、生成する繊維状ガラスＧｆ（繊維状ガラス物品）にステージＳの構成成分を含ませる場合には、繊維状ガラスＧｆの用途に応じてステージＳの構成材料を選択することで、用途に応じた所望の成分が含まれた繊維状ガラスＧｆを得ることができる。また、繊維状ガラスＧｆの用途に応じて、ステージＳの構成成分を繊維状ガラスＧｆに含ませるか否か（つまり、ステージＳの構成材料をレーザー光Ｌを吸収する材料とするか否か）を選択することによっても、用途に応じた繊維状ガラスＧｆを得ることができる。
【０１１８】
・上記第２実施形態では、ステージＳの載置面Ｓａが鉛直方向に対して垂直をなす平面状に形成されたが、これ以外に例えば、鉛直方向に対して傾斜させてもよい。これにより、繊維状ガラスＧｆの飛散方向を載置面Ｓａの傾斜方向に促すことが可能となる。また、図１３に示すように、載置面Ｓａを鉛直方向に対して傾斜させるとともに湾曲面状に形成してもよい。
【０１１９】
また、上記第２実施形態では、レーザー光Ｌは光軸Ｌａが鉛直方向に沿うように出射されたが、図１３に示すように、光軸Ｌａが鉛直方向に対して傾斜していてもよい。なお、同図の例では、レーザー光Ｌの光軸Ｌａを載置面Ｓａの傾き方向に対応して傾斜させている。
【０１２０】
・図１４に示すように、レーザー光Ｌを透過させる材料で構成されたステージＳの下側（載置面Ｓａとは反対側）から上方に向かってレーザー光Ｌを出射し、ステージＳを透過するレーザー光Ｌを載置面Ｓａ上の粉末ガラスＧｐに照射してもよい。
【０１２１】
・上記第２実施形態において、粉末ガラスＧｐに金属粉を混合させ、その粉末ガラスＧｐと金属粉とが混合された粉体にレーザー光Ｌを照射することで、繊維状ガラスＧｆと金属の複合材料を生成してもよい。
【０１２２】
・上記第２実施形態では、シリカ微粒子（フュームドシリカ）からなる粉末ガラスＧｐを用いたが、粉末ガラスＧｐに用いるガラスはこれ以外に例えば、無アルカリガラスやソーダガラス、ホウ酸塩ガラス、リン酸塩ガラス、アルミン酸塩ガラス等、何れの材料のものであってもよい。また、粉末ガラスＧｐの平均粒子径は上記第２実施形態に限定されるものではなく、適宜変更可能である。粉末ガラスは、従来周知の任意の方法で製造して良い。例えば、粉末ガラスは、溶融ガラスをフィルム状に成形し、水砕した後、ボールミル等を用いて粉末状にすることによって得られる。
【０１２３】
・粉末ガラスＧｐに照射するレーザー光Ｌの波長は、上記第２実施形態に限定されるものではなく、粉末ガラスＧｐを局所的に軟化点以上の温度にまで加熱することが可能であれば、レーザー光Ｌの波長は変更可能である。
【０１２４】
・上記第２実施形態では、粉末ガラスＧｐにレーザー光Ｌを照射して繊維状ガラスＧｆを生成したが、これ以外に例えば、粉末ガラスＧｐに電子ビームを照射して繊維状ガラスＧｆを生成してもよい。
【０１２５】
・例えば図１５に示すように、ステージＳにおける粉末ガラスＧｐを載置する載置面を、ステージ本体Ｓｍとは別部材の載置部材Ｓｐにて構成してもよい。つまり、同図に示す構成では、ステージＳは、ステージ本体Ｓｍと、そのステージ本体Ｓｍ上に設けられた載置部材Ｓｐとを備えている。また、同図に示す構成では、載置部材Ｓｐは、レーザー光Ｌを吸収する例えばステンレス鋼等の金属箔よりなる。
【０１２６】
このような構成では、ステージＳの載置部材Ｓｐ上に載置された粉末ガラスＧｐにレーザー光Ｌを照射することで繊維状ガラスＧｆが生成される。この際、載置部材Ｓｐに対するレーザー光Ｌの照射によって溶融した載置部材Ｓｐの構成成分を、繊維状ガラスＧｆの表面に付着させる（又は繊維状ガラスＧｆの内部に混入させる）ことができる。その結果、載置部材Ｓｐの構成成分を含んで構成された繊維状ガラス物品（繊維状ガラスＧｆの集合体）を製造することができる。これにより、載置部材Ｓｐを金属材料で構成した場合には、繊維状ガラスＧｆと金属の複合材料よりなる繊維状ガラス物品を得ることができ、該物品を例えば触媒の用途に用いることができる。
【０１２７】
そして、例えば、繊維状ガラスＧｆと金属の複合材料よりなる繊維状ガラス物品を得ようとする場合、ステージＳにおいて載置部材Ｓｐを金属材料で構成するのみで、ステージ本体Ｓｍについては金属以外の材料（例えばガラス等）で構成することが可能となる。また、ステージＳにおいて、粉末ガラスＧｐが載置される部分はレーザー光Ｌの照射によって溶融するため、この部分をステージ本体Ｓｍとは別体の載置部材Ｓｐにて構成することで、溶融による劣化時には載置部材Ｓｐの交換で対応でき、メンテナンス性を向上させることができる。
【０１２８】
なお、載置部材Ｓｐは、１枚の金属箔から構成してもよく、また、複数の金属箔を重ねた構成としてもよい。また、載置部材Ｓｐを、ガラスや金属からなる板状部材の上に金属箔を載置した構成としてもよい。
【０１２９】
また、図１５では、粉末ガラスＧｐから繊維状ガラスＧｆを生成する例を示しているが、これに限らず、例えば図１６に示すように、板ガラスＧｂを載置部材Ｓｐ上に載置し、その板ガラスＧｂに対するレーザー光Ｌの照射によって繊維状ガラスＧｆを生成してもよい。
【０１３０】
なお、図１６に示す例では、板ガラスＧｂへのレーザー光Ｌの照射による繊維状ガラスＧｆの生成を、当該板ガラスＧｂの端部Ｇｂ１（エッジ）から開始している。板ガラスＧｂの端部Ｇｂ１では、板ガラスＧｂの中央部分等に比べて熱が蓄積されやすいため、軟化点以上に昇温しやすく、効率的に繊維状ガラスＧｆを生成できる。なお、同図の例では、ステージＳが載置部材Ｓｐを備える構成としているが、これに特に限定されるものではなく、ステージＳの構成は適宜変更可能である。
【０１３１】
また、レーザー光Ｌを板ガラスＧｂに照射して切断することによって形成される切断面を新たな端部とし、当該端部に再度レーザー光Ｌを照射することによって繊維状ガラスＧｆを生成してもよい。また、レーザー光Ｌを板ガラスＧｂに照射して切断すると同時に切断面から繊維状ガラスＧｆを生成してもよい。
【０１３２】
（第３実施形態）
以下、繊維状ガラスの製造方法の第３実施形態について、図１７に従って説明する。なお、本実施形態は、上記第２実施形態に対して、繊維状ガラスＧｆを生成するための素材としてガラス原料Ｍを用いる点が異なるのみで、繊維状ガラス製造装置としては上記第２実施形態のものと同一構成であるため、その詳細な説明を省略する。
【０１３３】
繊維状ガラスＧｆを生成するためのガラス原料Ｍは、結晶質である珪砂（ＳｉＯ２）を含む周知の原料である。また、ガラス原料Ｍの平均粒子径は、３００μｍ以下であることが好ましいが、より好ましくは２００μｍ以下であり、更に好ましくは１００μｍ以下である。
【０１３４】
本実施形態の繊維状ガラスＧｆの製造方法（繊維状ガラス生成工程）では、ステージＳの載置面Ｓａに載置したガラス原料Ｍにレーザー光Ｌを照射する。すると、レーザー光Ｌの照射、及びレーザー光Ｌにより昇温（加熱）された載置面Ｓａの熱によってガラス原料Ｍが昇温される。そして、ガラス原料Ｍの温度が軟化点以上となると、ガラス原料Ｍが溶融して周囲に飛散し、その飛散した溶融ガラスが繊維状を保ったまま冷却固化されて繊維状ガラスＧｆが生成される。
【０１３５】
なお、本実施形態においても、生成した繊維状ガラスＧｆの捕集方法としては、レーザー光Ｌの照射部位から周囲に飛散する繊維状ガラスＧｆを、ステージＳに載置した捕集部材（図示略）上に堆積させるといった方法が考えられる。
【０１３６】
上記の製造方法によって、平均繊維径が１ｎｍ以上、２０μｍ以下程度、より好ましくは１０ｎｍ以上、１μｍ以下の微細な繊維状ガラスＧｆの集合体が生成される。また、上記の製造方法にて製造された繊維状ガラスＧｆの成分分析の結果、Ｓｉが５５〜６０％、Ｏが３３〜３５％、ＦｅとＮｉが合わせて３〜１０％含まれていた。つまり、生成された繊維状ガラスＧｆの構成元素としては、ガラス原料Ｍ（主に珪砂）の成分であるＳｉ，Ｏの他に、ステージＳ由来のＦｅ，Ｎｉが含まれる。このように、本実施形態の製造方法によれば、繊維状ガラスＧｆと金属の複合材料を生成することができる。なお、繊維状ガラスＧｆの集合体に含まれる金属は、繊維状ガラスＧｆの表面に付着、又は繊維状ガラスＧｆ内に混入されている。また、本実施形態の方法で生成された繊維状ガラスＧｆと金属との複合材料においても、上記各実施形態と同様に、例えば触媒の用途に用いることが可能である。
【０１３７】
本実施形態によれば、上記第２実施形態の効果（３）〜（５）と同様の効果に加え、下記の効果が得られる。
（１）ステージＳの載置面Ｓａに載置したガラス原料Ｍにレーザー光Ｌを照射し、ガラス原料Ｍにレーザー光Ｌを吸収させることで加熱して繊維状ガラスＧｆを生成するガラス繊維生成工程を備える。この工程では、ガラス原料Ｍがレーザー光Ｌの吸収により加熱され、その加熱部位におけるガラス原料Ｍが溶融して飛散した飛沫から繊維状ガラスＧｆが生成される。このため、例えばＥＳ法に見られるようなゾル・ゲル法の実施工程等を行う必要がなくなり、製造時間の短縮化を図るとともに繊維状ガラスＧｆを容易且つ大量に製造することが可能となる。更に、この方法によれば、ガラス原料Ｍから直接的に繊維状ガラスＧｆが生成されるため、非繊維状ガラスを用意するコストや手間を省くことができ、製造コストの削減に寄与できる。
【０１３８】
（２）ガラス原料Ｍを透過したレーザー光ＬがステージＳの載置面Ｓａに照射されることで該載置面Ｓａに生じた熱によってガラス原料Ｍを加熱する。この方法によれば、レーザー光Ｌの照射により載置面Ｓａが加熱され、その載置面Ｓａの熱によりガラス原料Ｍが加熱される。これにより、繊維状ガラスＧｆが生成される温度までガラス原料Ｍを効率良く昇温できる。
【０１３９】
なお、上記第３実施形態に対して、上記第２実施形態に適用する変更例（例えば図１１〜図１５に示す変更例）を同様に適用可能である。
例えば、上記第３実施形態において、ガラス原料Ｍへのレーザー光Ｌの照射前又は照射中に、レーザー光Ｌとは別の熱源（ヒーターＨ）によりガラス原料Ｍを加熱してもよい（図１１及び図１２に示すヒーターＨを参照）。これによれば、繊維状ガラスＧｆが生成される温度までガラス原料Ｍを熱源により昇温するため、繊維状ガラスＧｆを効率的に生成できる。また、この方法では、ステージＳがレーザー光Ｌを吸収可能なもの（つまり、レーザー光Ｌを受けて昇温するもの）である必要がないことから、レーザー光Ｌを透過する材料（例えば石英ガラスやサファイアガラス等）とすることもでき、ステージＳに使用できる材料の種類を広げることができる。
【０１４０】
なお、上記各実施形態および変更例において生成される繊維状ガラスＧｆの断面形状は、円形状、楕円形状、矩形状、その他扁平形状、又はこれらの組合せからなる形状であってもよい。また、繊維状ガラスＧｆは、その生成時において１本生成されても良く、同時に２本以上生成されてもよい。
【０１４１】
次に、上記実施形態及び別例から把握できる技術的思想を以下に追記する。
（イ）前記非繊維状ガラスと結合されたままの状態の前記繊維状ガラスを前記捕集面にて捕集することを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の繊維状ガラスの製造方法。
【０１４２】
これにより、繊維状ガラスが捕集面を有する支持体と非繊維状ガラスの両方と結合されてなるガラス物品を製造することが可能となる。
（ロ）前記繊維状ガラスが前記支持体と前記非繊維状ガラスの両方と結合されてなる請求項７又は８に記載の繊維状ガラスを備えた物品。
【０１４３】
これにより、繊維状ガラスが支持体と非繊維状ガラスの両方と結合されてなるガラス物品を提供できる。
（ハ）非繊維状ガラスを支持する支持部と、
前記支持部に支持された前記非繊維状ガラスにエネルギー線を照射して繊維状ガラスを生成するエネルギー線照射部と、
前記エネルギー線と交差する又は前記エネルギー線に沿った捕集面を有し、生成された前記繊維状ガラスを前記捕集面にて捕集する捕集部材と
を備えたことを特徴とする繊維状ガラス製造装置。
【符号の説明】
【０１４４】
１０…繊維状ガラス製造装置、１１…レーザー光照射部、２１…捕集面、３１，３２，３３，３４…捕集部材（支持体）、３１ａ，３２ａ，３３ａ，３４ａ…捕集面、Ｇｂ…板ガラス（非繊維状ガラス）、Ｇｆ…繊維状ガラス、Ｇｓ…ガラス繊維集合体、Ｇｐ…粉末ガラス（非繊維状ガラス）、Ｌ…レーザー光、Ｓ…ステージ（捕集部材、載置部）、Ｍ…ガラス原料。
【図１】
2016178408.tif 000003
【図２】
2016178408.tif 000004
【図３】
2016178408.tif 000005
【図４】
2016178408.tif 000006
【図５】
2016178408.tif 000007
【図６】
2016178408.tif 000008
【図７】
2016178408.tif 000009
【図８】
2016178408.tif 000010
【図９】
2016178408.tif 000011
【図１０】
2016178408.tif 000012
【図１１】
2016178408.tif 000013
【図１２】
2016178408.tif 000014
【図１３】
2016178408.tif 000015
【図１４】
2016178408.tif 000016
【図１５】
2016178408.tif 000017
【図１６】
2016178408.tif 000018
【図１７】
2016178408.tif 000019
【国際調査報告】
2016178408.tif 000020
2016178408.tif 000021