(57)【要約】  高い測定精度を備えた電子部品の電気的特性測定方法を提供する。  予め、測定端子を外部電極に当接させた際の荷重の大きさと、電気的特性の測定誤差量との相関式を作成するステップと、電子部品の外部電極に測定端子を当接させて、測定器により電子部品に流れる電気信号を検出し、電子部品の電気的特性を測定して測定電気的特性を得ると同時に、その当接における荷重の大きさを荷重センサにより測定して荷重値を得るステップと、相関式に基づき、荷重値の大きさによって、測定電気的特性を補正するステップと、を備える。
2016163229.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品の外部電極に測定端子を当接させて、前記測定端子に接続された測定器により前記電子部品に流れる電気信号を検出し、前記電子部品の電気的特性を測定する電気的特性測定方法であって、
予め、前記測定端子を前記外部電極に当接させた際の荷重の大きさと、電気的特性の測定誤差量との相関式を作成するステップと、
前記電子部品の前記外部電極に前記測定端子を当接させて、前記測定器により前記電子部品に流れる電気信号を検出し、前記電子部品の電気的特性を測定して測定電気的特性を得ると同時に、前記当接における荷重の大きさを荷重センサにより測定して荷重値を得るステップと、
前記相関式に基づき、前記荷重値の大きさによって、前記測定電気的特性を補正するステップと、を備えた電気的特性測定方法。
【請求項２】
さらに、基準となる基準温度と、測定時の前記電子部品の温度とのずれによって、前記測定電気的特性を補正するステップを備えた、請求項１に記載された電気的特性測定方法。
【請求項３】
さらに、前記電子部品の補正後の電気的特性が予め定められた許容範囲内にあるか否かで、前記電子部品を良品か不良品かに分類するステップを備えた、請求項１または２に記載された電気的特性測定方法。
【請求項４】
さらに、前記荷重値の大きさが、予め定めた閾値を越えて小さい場合と、予め定められた閾値を越えて大きい場合との、少なくとも一方の場合に、当該電子部品を不良品と判断するステップを備えた、請求項１ないし３のいずれか1項に記載された電気的特性測定方法。
【請求項５】
前記電気的特性が抵抗値である、請求項１ないし４のいずれか1項に記載された電気的特性測定方法。
【請求項６】
電子部品の外部電極に当接する測定端子と、
前記測定端子に接続され、前記電子部品に流れる電気信号を検出し、前記電子部品の電気的特性を測定する測定器と、
測定の際に、前記電子部品の、前記測定端子が当接する面と反対側の面に当接する当接部材と、
前記当接部材に設けられた、前記測定端子を前記電子部品の前記外部電極に当接させた際の荷重の大きさを測定する荷重センサと、を備えた電気的特性測定装置。
【請求項７】
電子部品の外部電極に当接する測定端子と、
前記測定端子に接続され、前記電子部品に流れる電気信号を検出し、前記電子部品の電気的特性を測定する測定器と、
測定の際に、前記電子部品の、前記測定端子が当接する面と反対側の面に当接し、かつ、前記測定端子を前記電子部品の前記外部電極に当接させた際の荷重の大きさを測定する荷重センサと、を備えた電気的特性測定装置。
【請求項８】
さらに、予め作成された、前記測定端子を前記外部電極に当接させた際の荷重の大きさと、電気的特性の測定誤差量との相関式を記憶する記憶手段と、
前記相関式に基づき、前記荷重センサで測定された荷重値の大きさによって、前記測定端子で測定された測定電気的特性を補正する演算手段と、を備えた、請求項６または７に記載された電気的特性測定装置。
【請求項９】
さらに、基準となる基準温度と、測定時の前記電子部品の温度とのずれによって、前記測定電気的特性を補正する演算手段を備えた、請求項６ないし８のいずれか1項に記載された電気的特性測定装置。
【請求項１０】
前記電気的特性が抵抗値である、請求項６ないし９のいずれか1項に記載された電気的特性測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品の電気的特性測定方法に関し、さらに詳しくは、高い測定精度を備えた電子部品の電気的特性測定方法に関する。【０００２】
また、本発明は、上記電子部品の電気的特性測定方法に使用するのに適した電気的特性測定装置に関し、さらに詳しくは、高い測定精度を備えた電気的特性測定装置に関する。
【背景技術】
【０００３】
電子機器の高機能化、高精度化にともない、電子機器に使用される電子部品にも、高い特性精度が求められている。特に、医療用や車載用の電子機器に使用される電子部品には、安全性の観点からも、より高い特性精度が求められている。たとえば、そのような高い特性精度が求められる用途においては、特性精度のバラツキの大きさを、一般の民生用途の１／２から１／１０、もしくはそれ以下に収めるように求められる場合もある。【０００４】
そのような、電子部品に対する高い特性精度の要求に対応するために、電子部品の電気的特性測定方法や電気的特性測定装置においても、高い測定精度が求められている。すなわち、高い測定精度で電子部品の電気的特性を測定し、目標とする電気的特性値から外れた電子部品を、規格外として使用しないようにする必要がある。【０００５】
電子部品の電気的特性の測定において、測定誤差を発生させる大きな原因の1つとして、基準となる温度（その電気的特性の測定に求められている特定の温度；以下において「基準温度」という）と、測定時の電子部品の実際の温度（以下において「測定温度」という）とのずれがある。すなわち、たとえば、基準温度である２５℃で電気的特性を測定しなければならないにもかかわらず、測定温度が２５℃からずれてしまうと、測定された測定電気的特性は、実際にその電子部品が備えている２５℃での電気的特性からずれてしまう。しかしながら、実際に電子部品の電気的特性を測定する工場の製造ラインなどにおいては、気候、空調の状態、ドアの開け閉め、作業者の人数などにより影響を受けるため、測定温度を基準温度と同一の温度に保つことは難しい。【０００６】
特に、ＮＴＣサーミスタやＰＴＣサーミスタなどのサーミスタは、温度により抵抗値が大きく変化する電子部品であるため、サーミスタの抵抗値測定においては、基準温度と測定温度とのずれが原因により発生する測定誤差が大きな問題となる。【０００７】
この問題を解決した抵抗値測定方法が、特許文献１（特開２００７−２４０１５８号公報）に開示されている。【０００８】
特許文献１に開示された抵抗値測定方法は、次のステップでサーミスタの抵抗値を測定している。【０００９】
まず、要求された電気的特性を厳格に備えた、基準となる基準サーミスタ（基準ワーク）を選定する。この基準サーミスタの選定は、難しいものではない。すなわち、たとえば、２５℃で抵抗値を測定する必要がある場合には、測定温度を厳格に２５℃に保ったうえで、複数のサーミスタの抵抗値を測定し、求められた抵抗値を厳格に備えたサーミスタを基準サーミスタとして選定すれば良い。基準サーミスタは複数個を選定しても良い。【００１０】
次に、抵抗値を測定する被測定サーミスタ（被測定ワーク）を用意し、測定端子を被測定サーミスタの外部電極に当接し、被測定サーミスタの抵抗値を測定して測定抵抗値Ｒ１を得る。このとき、同時に、被測定サーミスタの抵抗値を測定した場所の極めて近傍において、基準サーミスタの抵抗値を測定して測定抵抗値Ｒ０を得る。【００１１】
次に、下の式１により、基準サーミスタの測定抵抗値Ｒ０に対する、被測定サーミスタの測定抵抗値Ｒ１の偏差（測定値ずれ率）を求める。
偏差（％）＝（Ｒ１−Ｒ０）／Ｒ０×１００・・・（式１）
次に、求められた偏差から、被測定サーミスタの良品／不良品の判断を行う。具体的には、求められた偏差が、予め定められた許容範囲内の場合に被測定サーミスタを良品と判断し、予め定められた許容範囲外の場合に被測定サーミスタを不良品と判断する。【００１２】
この場合において、被測定サーミスタと基準サーミスタとは、極めて近傍に配置されているため、抵抗値を測定した時点において、被測定サーミスタと基準サーミスタとは同一温度であると推定して偏差を求め、被測定サーミスタの良品／不良品の判断を行っている。【００１３】
すなわち、たとえば、基準温度が２５℃である場合には、被測定サーミスタの測定温度を厳格に２５℃にして抵抗値を測定することが理想である。しかしながら、上述のとおり、実際の電子部品の電気的特性の測定においては、種々の要因により、被測定サーミスタの測定温度を基準温度と同一の温度に保つことは難しい。【００１４】
そこで、特許文献１に開示された抵抗値測定方法では、被測定サーミスタと基準サーミスタとを極めて近傍に配置することにより、被測定サーミスタと基準サーミスタとは同一温度であると推定し、その上で、基準サーミスタの測定抵抗値Ｒ０に対する被測定サーミスタの測定抵抗値Ｒ１の偏差を求め、被測定サーミスタの良品／不良品の判断を行っている。【００１５】
すなわち、特許文献１に開示された抵抗値測定方法は、被測定サーミスタの測定温度と基準温度との差異に起因する測定誤差を極めて小さくした状態で、被測定サーミスタの良品／不良品の判断を行っている。【００１６】
特許文献１に開示された抵抗値測定方法は、基準サーミスタを精度の高い一種の温度計として利用し、被測定サーミスタの測定温度と基準温度との差異に起因する測定誤差を極めて小さくしている。
（なお、特許文献１に開示された抵抗値測定方法は、基準サーミスタの温度と被測定サーミスタの温度を可能な限り同一にし、より精度の高い測定値ずれ率（偏差）を求めることを目的にしている。）
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１７】
【特許文献１】特開２００７−２４０１５８号公報
【特許文献２】特開２００２−８２１４４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１８】
特許文献１に開示された電気的特性測定方法（抵抗値測定方法）は、基準温度と測定温度との差異に起因する測定誤差を極めて小さくした、測定精度の高い電気的特性測定方法である。【００１９】
しかしながら、電子部品の電気的特性の測定において測定誤差を発生させる原因は、基準温度と測定温度のずれだけではない。【００２０】
本発明の発明者らは、電気的特性の測定精度を高めるために、測定端子が電子部品の外部電極に当接する際の荷重のばらつきが原因で発生する測定誤差に着目し、その改善に取り組んだ。なお、荷重とは、測定端子が電子部品の外部電極に当接している時間内に計測される荷重を指す。【００２１】
なお、測定端子が電子部品の外部電極に当接する際の荷重の大きさのばらつきは、電気的特性が測定される電子部品の形状や寸法のばらつき、外部電極の厚み寸法のばらつき、測定時における測定のキャビィティ内での位置など、種々の要因で発生する。【００２２】
このテーマに関連する技術として、特許文献２（特開２００２−８２１４４号公報）に開示された電気的特性測定方法および電気的特性測定装置（テストハンドラ）がある。【００２３】
特許文献２に開示された電気的特性測定方法および電気的特性測定装置は、測定対象の電子部品が、下面に多数の半田ボールが外部電極として形成された半導体パッケージである。以下に、特許文献２に開示された電気的特性測定方法および電気的特性測定装置の概略を説明する。【００２４】
まず、測定装置を用意する。測定装置は、半導体パッケージの上面を真空吸着して移動させるハンドラ・アームを備えている。ハンドラ・アームには、押圧力センサが組込まれている。また、測定装置は、測定用ボードを備えている。測定用ボードには、上向きに、複数の測定端子（スプリング・プローブ）が設けられている。【００２５】
次に、ハンドラ・アームで半導体パッケージの上面を真空吸着し、半導体パッケージを測定端子上に移動させる。【００２６】
次に、ハンドラ・アームを降下させ、対応する半導体パッケージの半田ボールと測定端子とを接触させる。このハンドラ・アームを降下させる際に、押圧力センサで押圧力を監視し、押圧力が予め定められた基準押圧力に達した時点で、ハンドラ・アームの降下を停止させる。【００２７】
基準押圧力は、次の観点により、予め定められている。まず、半田ボールと測定端子との接触圧力が小さいと、半田ボールと測定端子との接触抵抗が不安定となり、測定された電気的特性値の信頼性が担保されない虞がある。そこで、基準押圧力は、半田ボールと測定端子との接触抵抗が安定する一定以上の大きさの押圧力に設定される。しかしながら、半田ボールと測定端子との接触圧力が大きすぎると、半導体パッケージの半田ボールに接触痕などの外観不良を発生させてしまう虞がある。そこで、基準押圧力は、半田ボールと測定端子との接触抵抗が安定する一定以上の大きさの押圧力であって、かつ、半田ボールに外観不良を発生させる押圧力よりも小さい押圧力に設定される。【００２８】
次に、半田ボールと測定端子との接触圧力を基準押圧力に保った状態で、測定端子により半導体パッケージの電気的特性を測定する。【００２９】
このような内容からなる、特許文献２に開示された電気的特性測定方法および電気的特性測定装置は、半田ボールと測定端子との接触圧力を考慮した測定精度の高いものであるが、次のような問題があった。【００３０】
すなわち、特許文献２に開示された電気的特性測定方法は、押圧力センサで半田ボールと測定端子との接触圧力を監視しながらハンドラ・アームを降下させ、基準押圧力に達した時点でハンドラ・アームの降下を停止させているため、ハンドラ・アームの降下を高速で行うことができず、測定に時間がかかるという問題があった。すなわち、ハンドラ・アームの降下を高速で行うと、ハンドラ・アームの降下停止を完了した時点で既に基準押圧力を超えてしまっており、半導体パッケージの半田ボールに接触痕などの外観不良を発生させてしまっている虞があるため、ハンドラ・アームの降下を高速で行うことができなかった。特許文献２に開示された電気的特性測定方法では、電気的特性の測定に時間がかかってしまい、たとえば電子部品の製造工程において電気的特性を測定する場合には、生産性が低下し、電子部品の製造コストが高くなってしまうという問題があった。【００３１】
また、特許文献２に開示された電気的特性測定装置は、駆動部分であるハンドラ・アームに押圧力センサが組込まれていた。駆動部分に押圧力センサが組込まれると、構造が複雑になり、測定装置が高価になってしまうという問題があった。また、測定装置の保全作業も煩雑であり、保全コストが高くなってしまうという問題があった。このように、特許文献２に開示された電気的特性測定装置には、構造が複雑であり、高価で、保全コストも高いという問題があった。
【課題を解決するための手段】
【００３２】
本発明は、上述した従来技術の課題を解決するためになされたものである。その手段として、本発明の電子部品の電気的特性測定方法は、電子部品の外部電極に測定端子を当接させて、測定端子に接続された測定器により電子部品に流れる電気信号を検出し、電子部品の電気的特性を測定する電気的特性測定方法であって、予め、測定端子を外部電極に当接させた際の荷重の大きさと、電気的特性の測定誤差量との相関式を作成するステップと、電子部品の外部電極に測定端子を当接させて、測定器により電子部品に流れる電気信号を検出し、電子部品の電気的特性を測定して測定電気的特性を得ると同時に、その当接における荷重の大きさを荷重センサにより測定して荷重値を得るステップと、相関式に基づき、荷重値の大きさによって、測定電気的特性を補正するステップと、を備える。【００３３】
さらに、電子部品の電気的特性測定方法は、基準となる基準温度と、測定時の電子部品の温度とのずれによって、測定電気的特性を補正するステップを備えても良い。この場合には、測定端子が電子部品の外部電極に当接する際の荷重が原因で発生する測定誤差の補正に加えて、基準温度と測定温度とのずれが原因で発生する測定誤差も併せて補正することができる。【００３４】
さらに、電子部品の電気的特性測定方法は、電子部品の補正後の電気的特性が予め定められた許容範囲内にあるか否かで、電子部品を良品か不良品かに分類するステップを備えても良い。この場合には、要求された電気特性を備えない電子部品を規格外として使用しないようにすることが可能になる。【００３５】
さらに、電子部品の電気的特性測定方法は、荷重値の大きさが、予め定めた閾値を越えて小さい場合と、予め定められた閾値を越えて大きい場合との、少なくとも一方の場合に、その電子部品を不良品と判断するステップを備えても良い。荷重値の大きさが、予め定めた閾値を越えて小さい場合には、測定端子と電子部品の外部電極との接触抵抗が大きく、測定された電気的特性に、補正可能な限界を超えた測定誤差が発生している虞がある。また、荷重値の大きさが、予め定めた閾値を越えて大きい場合には、電子部品の内部にクラックなどの不良が発生している虞や、電子部品の外部電極に接触痕などの外観不良が発生しいている虞や、測定された電気的特性に、補正可能な限界を超えた測定誤差が発生している虞がある。そこで、荷重値の大きさが、予め定めた閾値を越えて小さい場合と、予め定められた閾値を越えて大きい場合との、少なくとも一方の場合に、その電子部品を不良品と判断することにより、その電子部品を規格外として使用しないようにすることが可能になる。【００３６】
測定される電気的特性としては、たとえば、抵抗値をあげることができる。ただし、測定される電気的特性は、抵抗値には限定されず、キャパシタンス値、インダクタンス値など、その他の電気的特性であっても良い。【００３７】
また、本発明の電気的特性測定装置は、上述した従来技術の課題を解決する手段として、電子部品の外部電極に当接する測定端子と、測定端子に接続され、電子部品に流れる電気信号を検出し、電子部品の電気的特性を測定する測定器と、測定の際に、電子部品の、測定端子が当接する面と反対側の面に当接する当接部材と、その当接部材に設けられた、測定端子を電子部品の外部電極に当接させた際の荷重の大きさを測定する荷重センサと、を備える。【００３８】
なお、上記電気的特性測定装置において、荷重センサを当接部材に設ける代わりに、荷重センサ自体を当接部材として利用しても良い。【００３９】
さらに、電気的特性測定装置は、予め作成された、測定端子を外部電極に当接させた際の荷重の大きさと、電気的特性の測定誤差量との相関式を記憶する記憶手段と、相関式に基づき、荷重センサで測定された荷重値の大きさによって、測定端子で測定された測定電気的特性を補正する演算手段と、を備えても良い。この場合には、測定端子が電子部品の外部電極に当接する際の荷重が原因で発生する測定誤差を補正した、精度の高い測定結果を得ることができる。【００４０】
さらに、電気的特性測定装置は、基準となる基準温度と、測定時の電子部品の温度とのずれによって、測定電気的特性を補正する演算手段を備えても良い。この場合には、測定端子が電子部品の外部電極に当接する際の荷重が原因で発生する測定誤差の補正に加えて、基準温度と測定温度とのずれが原因で発生する測定誤差も併せて補正することができる。【００４１】
測定される電気的特性としては、たとえば、抵抗値をあげることができる。ただし、測定される電気的特性は、抵抗値には限定されず、キャパシタンス値、インダクタンス値など、その他の電気的特性であっても良い。
【発明の効果】
【００４２】
本発明の電子部品の電気的特性測定方法によれば、測定端子が電子部品の外部電極に当接する際の荷重が原因で発生する測定誤差を補正した、精度の高い測定結果を得ることができる。そして、その測定結果に基づき、適正な良品／不良品判断を行うことができる。また、本発明の電気的特性測定方法は、荷重の大きさを監視して、測定端子が電子部品の外部電極に当接する際の荷重の大きさを制御するのではなく、発生した測定誤差を補正して精度の高い測定結果を得るものであるため、測定装置を高速で駆動して、電子部品の電気的特性を測定することができる。したがって、本発明の電気的特性測定方法によれば、たとえば電子部品の製造工程において電気的特性を測定する場合であっても、電子部品の生産性が低下することがなく、電子部品の製造コストが高くなってしまうことがない。【００４３】
また、本発明の電気的特性測定装置は、測定端子が電子部品の外部電極に当接する際の荷重が原因で発生する測定誤差を補正した、精度の高い測定結果を得ることができる。そして、その測定結果に基づき、適正な良品／不良品判断を行うことができる。また、本発明の電気的特性測定装置は、測定の際に、電子部品の測定端子が当接する面と反対側の面に当接する当接部材に荷重センサを設けた簡易な構造であり、安価に製造することができる。また、保全作業も簡単であり、保全コストを安価に抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】第１実施形態にかかる電子部品の電気的特性測定方法に使用した電気的特性測定装置１００の概念図である。
【図２】電気的特性測定装置１００の要部断面図である。
【図３】基準電子部品Ａおよび被測定電子部品Ｂの底面図である。
【図４】第１実施形態にかかる電子部品の電気的特性測定方法のフロー図である。
【図５】第２実施形態にかかる電子部品の電気的特性測定方法のフロー図である。
【図６】第３実施形態にかかる電子部品の電気的特性測定方法のフロー図である。
【図７】第４実施形態にかかる電子部品の電気的特性測定方法のフロー図である。
【図８】第５実施形態にかかる電子部品の電気的特性測定方法のフロー図である。
【発明を実施するための形態】
【００４５】
以下、図面とともに、本発明を実施するための形態について説明する。
【００４６】
［第１実施形態］
図１に、本実施形態において使用する電気的特性測定装置１００を示す。ただし、図１は、電気的特性測定装置１００の概念図である。なお、図１には、基準電子部品Ａおよび被測定電子部品Ｂも示している。
【００４７】
基準電子部品Ａおよび被測定電子部品Ｂは、同一種類かつ同一規格の電子部品であり、本実施形態においてはＮＴＣサーミスタとした。ただし、電子部品の種類は任意であり、ＮＴＣサーミスタには限定されず、ＰＴＣサーミスタや、固定抵抗や、キャパシタや、インダクタなどであっても良い。基準電子部品Ａは1対の外部電極Ａａ、Ａｂを備え、被測定電子部品Ｂは1対の外部電極Ｂａ、Ｂｂを備えている。ただし、それぞれの備える外部電極の数は1対には限定されず、それより多くても良い。
【００４８】
電気的特性測定装置１００は、複数の被測定電子部品Ｂを順次供給するパーツフィーダ１を備える。パーツフィーダ１は、モータにより回転する回転板２を備え、回転板２が回転することにより、回転板２の上に投入された多数の被測定電子部品Ｂを順次供給する。
【００４９】
パーツフィーダ１は、リニアフィーダ３に接続されている。リニアフィーダ３は、コンベアを備え、パーツフィーダ１により供給された被測定電子部品Ｂを直線状に搬送する。
【００５０】
リニアフィーダ３は、測定ベース４に設けられたインデックステーブル５に接続されている。インデックステーブル５は、円板状であり、その外周に被測定電子部品Ｂを収容する多数の凹部５ａが形成されている。インデックステーブル５は、凹部５ａに被測定電子部品Ｂを収容した状態で、モータにより間欠的に回転する。
【００５１】
なお、図１においては図示を省略しているが、インデックステーブル５の周囲には、凹部５ａに収容された被測定電子部品Ｂが、インデックステーブル５の回転にともなって円状に搬送されるよう、インデックスガイドが適宜設けられている。また、同じく図１においては図示を省略しているが、インデックステーブル５の上面には、インデックスカバーが設けられる場合がある。
【００５２】
測定ベース４は、基準電子部品Ａの電気的特性を測定する基準電子部品測定領域Ｓを備える。
【００５３】
また、測定ベース４は、基準電子部品測定領域Ｓの近傍に、被測定電子部品Ｂの電気的特性を測定する被測定電子部品測定領域Ｔを備える。被測定電子部品Ｂは、被測定電子部品測定領域Ｔへ、インデックステーブル５により順次搬送される。
【００５４】
図２に、基準電子部品測定領域Ｓおよび被測定電子部品測定領域Ｔの断面図を示す。なお、図２は、図１のＸ-Ｘ部分を示している。
【００５５】
図２に示すように、基準電子部品測定領域Ｓには、基準電子部品Ａを収容するキャビティ６が設けられている。キャビティ６は、測定ベース４と、ガイド７ａ、７ｂと、当接部材８とで構成されている。当接部材８は、基準電子部品Ａの上面に当接する部材である。
【００５６】
また、図２に示すように、被測定電子部品測定領域Ｔには、被測定電子部品Ｂを収容するキャビティ９が設けられている。キャビティ９は、測定ベース４と、インデックステーブル５の凹部５ａと、ガイド７ｃと、当接部材１０とで構成されている。当接部材１０は、被測定電子部品Ｂの上面に当接する部材である。
【００５７】
キャビティ６部分の測定ベース４には、たとえば４つの孔が設けられ、その４つの孔に、２対の測定端子１１ａ、１１ｂ、１２ａ、１２ｂが配置されている。測定端子１１ａ、１１ｂ、１２ａ、１２ｂは、基準電子部品Ａの外部電極Ａａ、Ａｂに当接するためのものである。測定端子１１ａ、１１ｂ、１２ａ、１２ｂは、測定端子駆動機構１５に取付けられ、常時、基準電子部品Ａの測定電気的特性に影響を与えない（測定誤差を発生させない）圧力で基準電子部品Ａの外部電極Ａａ、Ａｂに当接している。
【００５８】
なお、本実施形態においては、測定端子駆動機構１５に取付けられた測定端子１１ａ、１１ｂ、１２ａ、１２ｂは、常時、一定の圧力で基準電子部品Ａの外部電極Ａａ、Ａｂに当接しているが、これに代えて、測定端子駆動機構１５を駆動することにより、測定のつど、間欠的に測定端子１１ａ、１１ｂ、１２ａ、１２ｂが基準電子部品Ａの外部電極Ａａ、Ａｂに当接するようにしても良い。ただし、この場合には、測定端子１１ａ、１１ｂ、１２ａ、１２ｂが被測定電子部品Ａの外部電極Ａａ、Ａｂに当接した際の荷重の大きさを測定し、基準電子部品Ａの測定抵抗値から、その荷重が原因で発生した測定誤差を補正することが必要になる。
【００５９】
キャビティ９部分の測定ベース４にも、たとえば４つの孔が設けられ、その４つの孔に、２対の測定端子１３ａ、１３ｂ、１４ａ、１４ｂが配置されている。測定端子１３ａ、１３ｂ、１４ａ、１４ｂは、被測定電子部品Ｂの外部電極Ｂａ、Ｂｂに当接するためのものである。測定端子１３ａ、１３ｂ、１４ａ、１４ｂは測定端子駆動機構１６に取付けられ、測定端子駆動機構１６が駆動されることにより、間欠的に被測定電子部品Ｂの外部電極Ｂａ、Ｂｂに当接する。
【００６０】
キャビティ９の当接部材１０には、荷重センサ１７が設けられている。荷重センサ１７は、測定端子１３ａ、１３ｂ、１４ａ、１４ｂが被測定電子部品Ｂの外部電極Ｂａ、Ｂｂに当接した際の荷重の大きさを測定するためのものである。なお、荷重とは、測定端子１３ａ、１３ｂ、１４ａ、１４ｂが被測定電子部品Ｂの外部電極Ｂａ、Ｂｂに当接している時間内に計測される荷重を指す。
【００６１】
図１に示すように、電気的特性測定装置１００は、測定器１８を備える。測定器１８には、測定端子１１ａ、１１ｂ、１２ａ、１２ｂと、測定端子１３ａ、１３ｂ、１４ａ、１４ｂが接続されている。測定器１８は、基準電子部品Ａの電気的特性と被測定電子部品Ｂの電気的特性とを測定するためのものである。
【００６２】
図３に、基準電子部品Ａおよび被測定電子部品Ｂの底面を示す。また、図３には、基準電子部品Ａの外部電極Ａａ、Ａｂの測定端子１１ａ、１１ｂ、１２ａ、１２ｂが当接する部分と、被測定電子部品Ｂの外部電極Ｂａ、Ｂｂの測定端子１３ａ、１３ｂ、１４ａ、１４ｂが当接する部分を、それぞれ破線で示している。
【００６３】
たとえば、測定器１８は、測定端子１１ａ、１１ｂ間に所定の値の電流を流し、測定端子１２ａ、１２ｂ間の電圧を測定することにより、基準電子部品Ａの抵抗値を測定することができる。また、測定器１８は、測定端子１３ａ、１３ｂ間に所定の値の電流を流し、測定端子１４ａ、１４ｂ間の電圧を測定することにより、基準電子部品Ｂの抵抗値を測定することができる。
【００６４】
なお、本実施形態においては、1つの測定器１８で、基準電子部品Ａの電気的特性と被測定電子部品Ｂの電気的特性とを測定しているが、基準電子部品Ａの電気的特性を測定する測定器と、被測定電子部品Ｂの電気的特性を測定する測定器とを、別々に設けても良い。
【００６５】
電気的特性測定装置１００は、パーソナルコンピュータ（以下において「ＰＣ」という）１９を備える。ＰＣ１９は、少なくとも、記憶装置、演算装置、入力インターフェース、出力インターフェースなどを備える。
【００６６】
ＰＣ１９は、パーツフィーダ１、リニアフィーダ３、インデックステーブル５、測定端子駆動機構１６、それぞれの駆動系に接続されている。ＰＣ１９の記憶装置には、パーツフィーダ１、リニアフィーダ３、インデックステーブル５、測定端子駆動機構１６、それぞれを制御する所定のコンピュータプログラムが記憶されており、ＰＣ１９は、パーツフィーダ１、リニアフィーダ３、インデックステーブル５、測定端子駆動機構１６を、それぞれ制御する。
【００６７】
また、ＰＣ１９は、荷重センサ１７に接続されている。なお、荷重センサ１７とＰＣ１９との間には、アンプ２０とアナログ・デジタル変換器２１とが挿入されている。
【００６８】
また、ＰＣ１９は、測定器１８に接続されている。
【００６９】
さらに、ＰＣ１９の記憶装置には、後述する、測定端子１３ａ、１３ｂ、１４ａ、１４ｂを被測定電子部品Ｂの外部電極Ｂａ、Ｂｂに当接させた際の荷重の大きさと、測定器１８で測定された測定電気的特性（測定抵抗値）の測定誤差量との相関式（相関データ）が記憶されている。
【００７０】
電気的特性測定装置１００の測定ベース４は、電気的特性を測定した後に、不良品と判断された被測定電子部品Ｂを排除する不良品排除領域Ｕを備える。不良品排除領域Ｕには、インデックステーブル５の凹部５ａから、不良品と判断された被測定電子部品Ｂを排除する排除機構（図示せず）が設けられている。排除機構はＰＣ１９に接続されており、ＰＣ１９の演算装置により不良品と判断された被測定電子部品Ｂを、インデックステーブル５の凹部５ａから排除する。
【００７１】
さらに、電気的特性測定装置１００の測定ベース４は、不良品と判断された被測定電子部品Ｂを排除した後に、良品と判断された被測定電子部品Ｂを回収する被測定電子部品回収領域Ｒを備える。本実施形態においては、良品と判断された被測定電子部品Ｂを一律に回収しているが、ＰＣ１９と連動させることにより、電気的特性（抵抗値）の測定結果により、被測定電子部品Ｂを選別して回収するようにしても良い。
【００７２】
次に、電気的特性測定装置１００を使用した、電子部品の電気的特性測定方法について説明する。本実施形態においては、上述したとおり、被測定電子部品ＢとしてＮＴＣサーミスタを使用し、電気的特性として被測定電子部品Ｂの抵抗値を測定する。また、基準電子部品Ａとして、被測定電子部品Ｂと同一種類、同一規格のＮＴＣサーミスタを使用する。
【００７３】
測定に先立ち、予め、複数のＮＴＣサーミスタの中から、要求された抵抗値（電気的特性）を厳格に備えた、基準となる基準電子部品（基準ＮＴＣサーミスタ）Ａを選定する。具体的には、たとえば、２５℃で抵抗値を測定する必要がある場合には、測定温度を厳格に２５℃に保ったうえで、複数のＮＴＣサーミスタの抵抗値を測定し、求められた抵抗値を厳格に備えたＮＴＣサーミスタを基準電子部品Ａとして選定する。基準電子部品Ａは複数個が選定される。
【００７４】
また、測定に先立ち、予め、基準電子部品Ａを使って、測定端子を外部電極に当接させた際の荷重の大きさ（偏差）と、抵抗値の測定誤差量との相関式（相関データ）を作成する。具体的には、電気的特性測定装置１００の、基準電子部品Ａを収容するキャビティ６と、本来は被測定電子部品Ｂを収容するキャビティ９のそれぞれに、厳格に基準となる抵抗値を備えた基準電子部品Ａを収容する。続いて、荷重センサ１７で荷重の大きさを監視しながら、測定端子駆動機構１６を制御して駆動し、基準となる荷重（基準温度で測定した場合にキャビティ９に収容された基準電子部品Ａの真の抵抗値が測定される荷重）から、プラス方向またはマイナス方向に僅かずつ荷重を強制的にずらしながら、抵抗値を複数回測定することにより、測定端子を外部電極に当接させた際の荷重の大きさと、抵抗値の測定誤差量との相関式を作成する。なお、このとき、インデックステーブル５は停止させておき、回転させない。相関式は、基準温度と測定温度とのずれの大きさが原因で発生する測定誤差を補正したうえで作成する。
【００７５】
あるいは、以上の方法に代えて、次の方法で、測定端子を外部電極に当接させた際の荷重の大きさと抵抗値の測定誤差量との相関式を作成することもできる。まず、複数の、厳格に基準となる抵抗値を備えた基準電子部品Ａを用意する。次に、１つの基準電子部品Ａをキャビティ６に収容し、残りの基準電子部品Ａをパーツフィーダ１の回転板２の上に投入する。次に、実際に電気的特性測定装置１００を駆動させ、複数の基準電子部品Ａの抵抗値を測定する。この測定における、測定端子を外部電極に当接させた際の荷重の大きさと、測定抵抗値の関係から、測定端子を外部電極に当接させた際の荷重の大きさと抵抗値の測定誤差量との相関式を作成することができる。
【００７６】
作成された、測定端子を外部電極に当接させた際の荷重の大きさと抵抗値の測定誤差量との相関式を、ＰＣ１９の記憶装置に記憶させる。
【００７７】
また、測定に先立ち、予め、ＰＣ１９の記憶装置に、被測定電子部品Ｂが良品と判断される抵抗値（電気的特性）の許容範囲を記憶させる。さらに、荷重センサ１７で測定された荷重値の大きさが、予め定めた閾値を越えて小さい場合と、予め定められた閾値を越えて大きい場合との、少なくとも一方の場合に、当該被測定電子部品Ｂを不良品と判断することにした場合には、ＰＣ１９の記憶装置に、それらの閾値を記憶させる。
【００７８】
以上の準備の後、測定を開始する。図４に、本実施形態にかかる電子部品の電気的特性測定方法のフローを示す。
【００７９】
まず、基準電子部品Ａをキャビティ６に収容するとともに、複数の被測定電子部品Ｂをパーツフィーダ１の回転板２上に投入する。
【００８０】
次に、ＰＣ１９の制御に基づき、パーツフィーダ１、リニアフィーダ３、インデックステーブル５が、それぞれ駆動を開始する。その結果、被測定電子部品Ｂが、順次、測定ベース４の被測定電子部品測定領域Ｔに搬送される。
【００８１】
１番目（先頭）の被測定電子部品Ｂが、測定ベース４の被測定電子部品測定領域Ｔのキャビティ９に接近すると、ＰＣ１９の制御に基づき、測定端子駆動機構１６が駆動を開始する。
【００８２】
そして、基準電子部品Ａの抵抗値が、測定端子１１ａ、１１ｂ、１２ａ、１２ｂを介して、測定器１８により測定され、基準電子部品Ａの測定抵抗値が得られる。同時に、1番目の被測定電子部品Ｂの抵抗値が、測定端子１３ａ、１３ｂ、１４ａ、１４ｂを介して、測定器１８により測定され、被測定電子部品Ｂの測定抵抗値が得られる。なお、基準電子部品Ａの抵抗値の測定と、被測定電子部品Ｂの抵抗値の測定とは、厳格に同時である必要はなく、僅かに時間がずれていても良い。
【００８３】
被測定電子部品Ｂの抵抗値の測定においては、荷重センサ１７により、測定端子１３ａ、１３ｂ、１４ａ、１４ｂが被測定電子部品Ｂの外部電極Ｂａ、Ｂｂに当接した際の荷重の大きさが測定される。
【００８４】
１番目の被測定電子部品Ｂの測定抵抗値と、同時に測定した基準電子部品Ａの測定抵抗値とが、測定器１８からＰＣ１９に伝達される。また、1番目の被測定電子部品Ｂの抵抗値を測定した際の、荷重センサ１７により測定された荷重の大きさが、荷重センサ１７からＰＣ１９に伝達される。
【００８５】
次に、ＰＣ１９の演算装置において、以下の演算処理を行う。
【００８６】
まず、ＰＣ１９の記憶装置に記憶された、測定端子を外部電極に当接させた際の荷重の大きさと、抵抗値の測定誤差量との相関式に基づき、荷重センサ１７により測定された荷重の大きさによって、1番目の被測定電子部品Ｂの測定抵抗値を補正する。この結果、１番目の被測定電子部品Ｂの測定抵抗値から、測定端子を外部電極に当接させた際の荷重が原因で発生した測定誤差が除去される。
【００８７】
次に、式１により、基準サーミスタの測定抵抗値Ｒ０に対する、荷重が原因で発生した測定誤差が除去された後の被測定サーミスタの測定抵抗値Ｒ１の偏差（測定値ずれ率）を演算により求める。
偏差（％）＝（Ｒ１−Ｒ０）／Ｒ０×１００・・・（式１）
なお、偏差の演算は、測定端子を外部電極に当接させた際の荷重が原因で発生した測定誤差の除去の演算の後に独立して行っても良いが、測定端子を外部電極に当接させた際の荷重が原因で発生した測定誤差の除去の演算と一括して同時に行っても良い。    
【００８８】
次に、求められた偏差が、予め定められた許容範囲内にあるか否かで、１番目の被測定電子部品Ｂを良品か不良品かを判断し、分類する。予め定められた許容範囲内の場合には、１番目の被測定電子部品Ｂは良品と判断され、予め定められた許容範囲外の場合には、１番目の被測定電子部品Ｂは不良品と判断される。なお、被測定電子部品Ｂが良品と判断される抵抗値の許容範囲は、予めＰＣ１９の記憶装置に記憶されている。この良品か不良品かの判断は、荷重が原因で発生した測定誤差が除去され、かつ、測定温度と基準温度との差異に起因する測定誤差を極めて小さくしたうえで行うものであり、極めて精度の高いものである。
【００８９】
以上で良品か不良品かの判断を完結させても良いが、さらに、任意の設定（演算処理）として、求められた偏差が予め定められた許容範囲内にあっても、荷重センサ１７で測定された荷重値の大きさが、予め定めた閾値を越えて小さい場合と、予め定められた閾値を越えて大きい場合との、少なくとも一方の場合に、その被測定電子部品Ｂを不良品と判断するようにしても良い。荷重値の大きさが、予め定めた閾値を越えて小さい場合には、測定端子と外部電極との接触抵抗が大きく、測定された抵抗値に、補正可能な限界を超えた測定誤差が発生している虞があるからである。また、荷重値の大きさが、予め定めた閾値を越えて大きい場合には、被測定電子部品Ｂの内部にクラックなどの不良が発生している虞や、被測定電子部品Ｂの外部電極Ｂａ、Ｂｂに接触痕などの外観不良が発生しいている虞や、測定された抵抗値に、補正可能な限界を超えた測定誤差が発生している虞があるからである。なお、荷重センサ１７で測定された荷重値の大きさによる被測定電子部品Ｂの良品／不良品の判断は、上述した偏差による被測定電子部品Ｂの良品／不良品の判断の、前であっても良いし、後であっても良い。
【００９０】
１番目の被測定電子部品Ｂの良品か不良品かの判断結果は、ＰＣ１９の記憶装置に記憶される。
【００９１】
そして、１番目の被測定電子部品Ｂが良品と判断された場合には、１番目の被測定電子部品Ｂは、被測定電子部品回収領域Ｒにおいて、良品として回収される。
【００９２】
一方、１番目の被測定電子部品Ｂが不良品と判断された場合には、１番目の被測定電子部品Ｂは、不良品排除領域Ｕにおいて、ＰＣ１９に制御された排除機構（図示せず）により、不良品として排除される。
【００９３】
以上の方法により、１番目の被測定電子部品Ｂの抵抗値が測定される。測定された抵抗値は、測定端子を外部電極に当接させた際の荷重が原因で発生した測定誤差が補正され、かつ基準温度と測定温度とのずれが原因で発生した測定誤差が極めて小さくされており、極めて精度の高いものである。
【００９４】
以下、同様の方法で、２番目以降の被測定電子部品Ｂの抵抗値を測定する。
【００９５】
［第２実施形態］
図５に、第２実施形態にかかる電子部品の電気的特性測定方法のフローを示す。なお、第２実施形態にかかる電子部品の電気的特性測定方法も、電気的特性測定装置１００を使用して行う。
【００９６】
上述した第１実施形態にかかる電子部品の電気的特性測定方法では、図４に示すように、被測定電子部品Ｂの外部電極に測定端子を当接させた際の荷重が原因で発生した測定誤差を先に補正し、基準サーミスタの測定抵抗値に対する（荷重が原因で発生した測定誤差が除去された後の）被測定サーミスタの測定抵抗値の偏差を後から求めた。
【００９７】
第２実施形態にかかる電子部品の電気的特性測定方法では、この順番を入れ替えた。すなわち、基準サーミスタの測定抵抗値に対する被測定サーミスタの測定抵抗値の偏差を先に求め、被測定電子部品Ｂの外部電極に測定端子を当接させた際の荷重が原因で発生した測定誤差を後から補正した。
【００９８】
第２実施形態にかかる電子部品の電気的特性測定方法の他のステップは、第１実施形態にかかる電子部品の電気的特性測定方法と同じにした。
【００９９】
［第３実施形態］
図６に、第３実施形態にかかる電子部品の電気的特性測定方法のフローを示す。なお、第３実施形態にかかる電子部品の電気的特性測定方法も、電気的特性測定装置１００を使用して行う。
【０１００】
上述した第１実施形態にかかる電子部品の電気的特性測定方法では、図４に示すように、被測定電子部品Ｂの外部電極に測定端子を当接させた際の荷重が原因で発生した測定誤差を先に補正し、基準サーミスタの測定抵抗値に対する（荷重が原因で発生した測定誤差が除去された後の）被測定サーミスタの測定抵抗値の偏差を後から求めた。
【０１０１】
第３実施形態にかかる電子部品の電気的特性測定方法では、上記２つを同時に行った。すなわち、被測定電子部品Ｂの外部電極に測定端子を当接させた際の荷重が原因で発生した測定誤差の補正の演算と、基準サーミスタの測定抵抗値に対する被測定サーミスタの測定抵抗値の偏差の演算とを同時に行った。
【０１０２】
第３実施形態にかかる電子部品の電気的特性測定方法の他のステップは、第１実施形態にかかる電子部品の電気的特性測定方法と同じにした。
【０１０３】
［第４実施形態］
図７に、第４実施形態にかかる電子部品の電気的特性測定方法のフローを示す。なお、第４実施形態にかかる電子部品の電気的特性測定方法も、電気的特性測定装置１００を使用して行う。
【０１０４】
第４実施形態にかかる電子部品の電気的特性測定方法は、上述した図４に示す第１実施形態にかかる電子部品の電気的特性測定方法に、ステップを１つ追加した。具体的には、被測定電子部品Ｂの外部電極に測定端子を当接させた際の荷重が原因で発生した測定誤差の補正、および基準サーミスタの測定抵抗値に対する被測定サーミスタの測定抵抗値の偏差の演算が終了した後に、荷重センサ１７で測定された荷重値の大きさが、予め定めた閾値を越えて小さい場合と、予め定められた閾値を越えて大きい場合に、その被測定電子部品Ｂを不良品と判断するステップを追加した。
【０１０５】
荷重値の大きさが、予め定めた閾値を越えて小さい場合には、測定端子と外部電極との接触抵抗が大きく、測定された抵抗値に、補正可能な限界を超えた測定誤差が発生している虞があるからである。また、荷重値の大きさが、予め定めた閾値を越えて大きい場合には、被測定電子部品Ｂの内部にクラックなどの不良が発生している虞や、被測定電子部品Ｂの外部電極Ｂａ、Ｂｂに接触痕などの外観不良が発生しいている虞や、測定された抵抗値に、補正可能な限界を超えた測定誤差が発生している虞があるからである。
【０１０６】
第４実施形態にかかる電子部品の電気的特性測定方法の他のステップは、第１実施形態にかかる電子部品の電気的特性測定方法と同じにした。
【０１０７】
［第５実施形態］
図８に、第５実施形態にかかる電子部品の電気的特性測定方法のフローを示す。
【０１０８】
上述した第１実施形態〜第４実施形態にかかる電子部品の電気的特性測定方法においては、被測定電子部品Ｂの外部電極に測定端子を当接させた際の荷重が原因で発生した測定誤差を補正するだけではなく、基準サーミスタの測定抵抗値に対する被測定サーミスタの測定抵抗値の偏差の演算をおこない、基準温度と測定温度とのずれが原因で発生した測定誤差を小さくしている。
【０１０９】
第５実施形態にかかる電子部品の電気的特性測定方法においては、基準サーミスタの測定抵抗値に対する被測定サーミスタの測定抵抗値の偏差の演算は行わず、被測定電子部品Ｂの外部電極に測定端子を当接させた際の荷重が原因で発生した測定誤差の補正のみを行うようにした。すなわち、被測定電子部品Ｂの外部電極に測定端子を当接させた際の荷重が原因で発生した測定誤差を補正した後の抵抗値（電気的特性）が、予め定められた許容範囲内にあるか否かで、被測定サーミスタの良品／不良品の判断を行うようにした。
【０１１０】
たとえば、厳格に温度管理された環境で電子部品の電気的特性を測定する場合には、基準温度と測定温度とのずれが原因で発生する測定誤差の補正（縮小化）は不要になる。この場合には、上述した電気的特性測定装置１００よりも簡易な測定装置で、電子部品の電気的特性を測定することが可能になる。
【０１１１】
このように、本発明の電子部品の電気的特性測定方法においては、基準温度と測定温度とのずれが原因で発生する測定誤差の補正（縮小化）は必須の構成ではない。
【０１１２】
以上、第１実施形態〜第５実施形態にかかる電子部品の電気的特性測定方法と、電気的特性測定装置１００の構成、動作などについて説明した。しかしながら、本発明が上述した内容に限定されることはなく、発明の趣旨に沿って種々の変更をなすことができる。
【０１１３】
たとえば、第１実施形態〜第５実施形態では、ＮＴＣサーミスタの抵抗値を測定したが、電子部品の種類はＮＴＣサーミスタには限定されず、測定される電気的特性も抵抗値には限定されない。たとえば、ＰＴＣサーミスタや固定抵抗の抵抗値を測定しても良いし、キャパシタのキャパスタン値や、インダクタのインダクタンス値を測定しても良い。
【０１１４】
また、第１実施形態〜第４実施形態では、基準サーミスタの測定抵抗値Ｒ０に対する被測定サーミスタの測定抵抗値Ｒ１の偏差を求め、求められた偏差が予め定められた許容範囲内にあるか否かで良品／不良品の判断をし、被測定サーミスタの測定温度と基準温度との差異に起因する測定誤差を小さくしている。これに代えて、被測定サーミスタの測定温度と基準温度との差異に起因する測定誤差に対しても、測定端子が被測定サーミスタの外部電極に当接する際の荷重が原因で発生する測定誤差の補正と同様に、基準温度と測定温度とのずれの大きさと抵抗値の測定誤差量との相関式を作成し、その相関式と基準サーミスタの測定抵抗値から、基準サーミスタと被測定サーミスタの測定温度を算定し、その算定温度に基づき、相関式により被測定サーミスタの測定抵抗値を補正するようにしても良い。
【０１１５】
また、電気的特性測定装置１００は、ＰＣ１９を備えているが、ＰＣ１９に代えて、専用の記憶装置、専用の演算装置などを、電気的特性測定装置１００自体に組込んでも良い。
【０１１６】
さらに、電気的特性測定装置１００は、荷重センサ１７を当接部材１０に設けているが、当接部材１０を省略し、荷重センサ１７自体に当接部材としての機能を兼ねさせても良い。
【符号の説明】
【０１１７】
１・・・パーツフィーダ
２・・・回転板
３・・・リニアフィーダ
４・・・測定ベース
５・・・インデックステーブル
５ａ・・・凹部
６・・・キャビティ（基準電子部品Ａが収容される）
７ａ、７ｂ、７ｃ・・・ガイド
８・・・当接部材
９・・・キャビティ（被測定電子部品Ｂが収容される）
１０・・・当接部材
１１ａ、１１ｂ、１２ａ、１２ｂ、１３ａ、１３ｂ、１４ａ、１４ｂ・・・測定端子
１５、１６・・・測定端子駆動機構
１７・・・荷重センサ
１８・・・測定器
１９・・・パーソナルコンピュータ（ＰＣ）
２０・・・アンプ
２１・・・アナログ・デジタル変換器
Ａ・・・基準電子部品（ＮＴＣサーミスタ）
Ｂ・・・被測定電子部品（ＮＴＣサーミスタ）
Ｓ・・・基準電子部品測定領域
Ｔ・・・被測定電子部品測定領域
Ｕ・・・不良品排除領域
Ｒ・・・被測定電子部品回収領域
１００・・・電気的特性測定装置 
【図１】
2016163229.tif 000003
【図２】
2016163229.tif 000004
【図３】
2016163229.tif 000005
【図４】
2016163229.tif 000006
【図５】
2016163229.tif 000007
【図６】
2016163229.tif 000008
【図７】
2016163229.tif 000009
【図８】
2016163229.tif 000010
【国際調査報告】
2016163229.tif 000011
2016163229.tif 000012
2016163229.tif 000013