(57)【要約】  著しく低い炭素含有量と極めて小さい磁石材料粒子の平均粒径とを併せ持つ、従来存在しなかった新規な希土類焼結磁石及びそのような磁石を形成するための焼結体を提供する。  希土類物質を含み各々が磁化容易軸を有する多数の磁石材料粒子が一体に焼結された構成を有する希土類磁石形成用焼結体。この希土類磁石形成用焼結体は、炭素含有量が５００ｐｐｍ以下であって、しかも、磁石材料粒子の平均粒径が２μｍ以下である。【特許請求の範囲】
【請求項１】
希土類物質を含み各々が磁化容易軸を有する多数の磁石材料粒子が一体に焼結された構成を有する希土類磁石形成用焼結体であって、
炭素含有量が５００ｐｐｍ以下であり、
前記磁石材料粒子の平均粒径が２μｍ以下である
ことを特徴とする希土類磁石形成用焼結体。
【請求項２】
前記磁石材料粒子のアスペクト比が２以下である
ことを特徴とする請求項１に記載の希土類磁石形成用焼結体。
【請求項３】
単一焼結構造を有し、任意の複数の領域内における前記磁石材料粒子に対し、それぞれ異なる方向の磁化容易軸の配向が与えられた
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の希土類磁石形成用焼結体。
【請求項４】
希土類物質を含み各々が磁化容易軸を有する多数の磁石材料粒子が一体に焼結された構成を有する希土類磁石形成用焼結体であって、
単一焼結構造を有し、任意の複数の領域内における前記磁石材料粒子に対し、それぞれ異なる方向の磁化容易軸の配向が与えられ、
炭素含有量が５００ｐｐｍ以下である
ことを特徴とする希土類磁石形成用焼結体。
【請求項５】
希土類物質を含み各々が磁化容易軸を有する多数の磁石材料粒子が一体に焼結された構成を有する希土類磁石形成用焼結体であって、
単一焼結構造を有し、任意の複数の領域内における前記磁石材料粒子に対し、それぞれ異なる方向の磁化容易軸の配向が与えられ、
前記磁石材料粒子の平均粒径が２μｍ以下である
ことを特徴とする希土類磁石形成用焼結体。
【請求項６】
前記磁石材料粒子のアスペクト比が２以下である
ことを特徴とする請求項４又は５に記載の希土類磁石形成用焼結体。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか１項に記載した希土類磁石形成用焼結体に着磁することによって形成された希土類焼結磁石。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、希土類焼結磁石を形成するための希土類磁石形成用焼結体及び該焼結体に着磁することにより得られる希土類焼結磁石に関する。特に本発明は、希土類物質を含み、各々が磁化容易軸を有する多数の磁石材料粒子が一体に焼結された構成を有する希土類磁石形成用焼結体であって、高い保磁力を有し、磁化容易軸が非平行に配向された区分を有することのできるものに関する。本発明はまた、このような焼結体に着磁することにより得られる希土類焼結磁石に関する。
【背景技術】
【０００２】
希土類焼結磁石は、高い保磁力及び残留磁束密度を期待できる高性能永久磁石として注目され、実用化されており、一層の高性能化のために開発が進んでいる。例えば、日本金属学会誌第７６巻第１号（２０１２）１２頁ないし１６頁に掲載された宇根康裕他の「結晶微粒化によるＮｄ−Ｆｅ−Ｂ焼結磁石の高保磁力化」と題する論文（非特許文献１）は、磁石材料の粒径を細かくしていくと保磁力が増大することは、よく知られているが、平均粉末粒径を２．７μｍよりも小さくしていくと保磁力の低下が観察され、これは粉末あるいは焼結体に発生する何らかの異常が原因であると考えられるとの認識のもとに、Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ系焼結磁石の高保磁力化のために、平均粉末粒径が１μｍの磁石形成用材料粒子を用いて希土類焼結磁石の製造を行う例が記載されている。この非特許文献１に記載された希土類焼結磁石の製造方法においては、磁石材料粒子と界面活性剤からなる潤滑剤を混合した混合物をカーボン製モールドに充填し、該モールドを空芯コイル内に固定してパルス磁界を印加することにより、磁石材料粒子を配向させることが記載されている。そして、非特許文献１に記載された焼結体作製工程の実験装置により、低汚染の焼結体が作製できたとして、平均粉末粒径が１．１μｍであって酸素量が１４６０ｐｐｍ、窒素量が１５０ｐｐｍ、炭素量が１２００ｐｐｍの焼結体などが記載されている。【０００３】
またJournal of Magnetism and Magnetic Material第９７巻（１９９１）１０７頁ないし１１１頁に掲載されたT. Minowa他の「Microstructure of Nd-rich phase in Nd-Fe-B magnet containing oxygen and carbon impurities」と題する論文（非特許文献２）は、Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ系磁石の特性が、不純物元素である酸素及び炭素により著しい影響を受けるとして、Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ系磁石に不純物を添加した場合について、磁石の固有保磁力の炭素及び酸素含有量依存性を観察したところ、いずれの不純物も保磁力を低下させるものの、酸素よりも炭素の方が悪影響が大きいとみられることが記載されている。【０００４】
Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ系焼結磁石を含むＲ−Ｆｅ−Ｂ系（ＲはＹを含む希土類元素）焼結型永久磁石の性能に対する炭素、酸素及び窒素の含有量の影響について、特許第３５８６５７７号公報（特許文献１）は、Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系焼結型永久磁石はＳｍ−Ｃｏ系焼結型永久磁石に比べて耐蝕性が劣るとの課題認識に基づき、Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系焼結型永久磁石の耐蝕性を大幅に改善することを解決課題として、特定範囲量の希土類量と特定量以下の酸素量と炭素量のＲ−Ｆｅ−Ｂ系焼結型永久磁石において、その含有窒素量を特定範囲量とすることによって、耐蝕性が改善されること、具体的には、焼結型永久磁石の組成を重量百分率でＲ２７．０〜３１．０％、Ｂ０．５〜２．０％、Ｎ０．０２〜０．１５％、Ｏ０．２５％以下、Ｃ０．１５％以下、残部Ｆｅとすることが記載されている。【０００５】
特開昭６２−１３３０４０号公報（特許文献２）は、希土類鉄ホウ素を主成分とする永久磁石を粉末成形法で製造しようとすると、原料が非常に活性なため粉の劣化が激しく磁気特性を低下させるという問題があり、その原因は微粉の酸化によるものと考えられていたところ、製造工程中における磁気特性の低下現象が単なる微粉の酸化によるものではなく、他の微少成分の存在が大きく作用しているのではないかとの疑いを持ち、ＣとＯ分が磁気特性の低下に重要な要因を占めていることを見出したとして、重量百分率で２５〜４０％のＲ（ＲはＹ又は希土類元素）と、０．７〜７．５％のＢと、０．０５％以下のＣと、０．３％未満のＯと、残部Ｍ（ＭはＦｅ等）よりなる希土類永久磁石材料が記載されており、実施例において、酸素含有量が０．１５％、炭素が０．００６％の焼結体が得られたと記載されている。【０００６】
特開２００６−２１９７２３号公報（特許文献３）は、Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系希土類永久磁石において、従来のＣｏ及びＲの含有範囲では、Ｃ含有量が増加するにつれて保磁力（ＨｃＪ）が減少する傾向にあったところ、Ｃｏ及びＲが比較的低い特定の含有量の範囲にある場合に、保磁力（ＨｃＪ）がピークを示すＣ（炭素）含有量が存在することを見出したとして、Ｒ：２７．５〜３０．５ｗｔ％（Ｒは希土類元素の１種又は２種以上、但し希土類元素はＹを含む概念である）、Ｂ：０．５〜４ｗｔ％、Ｃｏ：１．３ｗｔ％以下（ただし、０を含まず）、Ｃ：５００〜１５００ｐｐｍ、残部実質的にＦｅからなる組成を有する焼結体からなるＲ−Ｆｅ−Ｂ系希土類永久磁石が記載されている。そして、特許文献３に記載されているＲ−Ｆｅ−Ｂ系希土類永久磁石において、焼結体のＯ含有量が２０００ｐｐｍ以下であることが高い磁気特性にとって好ましいところ、Ｏ含有量を低くすると焼結体組織が粗くなるのがＲ−Ｆｅ−Ｂ系希土類永久磁石の一般的な傾向であるが、特許文献３に記載されている発明によれば高い保磁力（ＨｃＪ）の得られる範囲のＣ含有量で焼結体組織が微細化するため、平均結晶粒径が３．４μｍ以下という微細な結晶組織を得ることができる、としている。【０００７】
これら従来の所謂圧粉工法による希土類磁石形成用焼結体の製造方法とは全く異なる製法として、特開２０１３−１９１６１２号公報（特許文献４）は、希土類元素を含む磁石材料粒子をバインダーと混合した混合物を形成し、この混合物をシート状に成形してグリーンシートを作成し、このグリーンシートに磁場を印加することによって磁場配向を行い、磁場配向されたグリーンシートに仮焼処理を行ってバインダーを分解し、飛散させ、次いで焼成温度で焼結して、希土類焼結磁石を形成する方法が開示されている。
また、グリーンシートを作製する際に磁石粉末に混合されるバインダーとして所定のものを用いることによって、磁石内に含有する炭素量及び酸素量を低減させることが可能であり、焼結後に磁石に残存する炭素量を２０００ｐｐｍ以下、より好ましくは１０００ｐｐｍ以下と、酸素量を５０００ｐｐｍ以下、より好ましくは２０００ｐｐｍ以下とすることが開示されている。一方、特許文献４には、磁石粉末にバインダーを混合する前に、磁石粉末を所定範囲の粒径（例えば１．０μｍ〜５．０μｍ）の平均粒径を有する微粉末とすることが開示されているものの、焼結後の磁石材料粒子の粒径がどの程度であるかについての記載はない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特許第３５８６５７７号公報
【特許文献２】特開昭６２−１３３０４０号公報
【特許文献３】特開２００６−２１９７２３号公報
【特許文献４】特開２０１３−１９１６１２号公報
【特許文献５】米国特許第５７０５９０２号明細書
【特許文献６】特開２０１３−２１５０２１号公報
【非特許文献】
【０００９】
【非特許文献１】日本金属学会誌第７６巻第１号（２０１２）１２頁ないし１６頁
【非特許文献２】Journal of Magnetism and Magnetic Material第９７巻（１９９１）１０７頁ないし１１１頁
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
上述したように、希土類永久磁石の製造に関連する特許文献及び非特許文献のいずれも、希土類磁石用焼結体であって、炭素含有量が磁石の特性、特に保磁力に悪影響を及ぼさない程度に十分に低く、さらに磁石材料粒子の平均粒径が優れた保磁力を達成し得る程度に小さいものについては、開示していない。従来技術では、磁石粉末の粉砕粒子径を小さくしようとすると、炭素含有量が増加してしまう傾向にあり、炭素含有量を低減させようとする場合には、粉砕粒子径をある程度大きいものとせざるを得なかった。また、圧粉工法において磁石材料への炭素混入の原因となると考えられる有機成分を使用しない特殊な磁石材料の製法も考えられるが、磁石材料粒子のアスペクト比が大きくなることによる希土類磁石用焼結体の機械的強度の低下が懸念される。【００１１】
さらに、磁石材料粒子の平均粒径が小さくなるように磁石粉末の粉砕粒子径を小さくしようとすると、磁石材料粒子の磁化容易軸の配向を制御することが困難になる。という問題点もあった。したがって、炭素含有量が低く、あるいは磁石粉末の粉砕粒子径が小さいにもかかわらず、任意の形状を有し、かつ、任意の複数の領域内における磁石材料粒子に対し、それぞれ異なる方向の磁化容易軸の配向が与えられた、単一焼結構造の希土類永久磁石形成用焼結体は、得られていないのが現状である。【００１２】
本発明は、著しく低い炭素含有量と極めて小さい磁石材料粒子の平均粒径とを併せ持つ、従来存在しなかった新規な希土類磁石用焼結体、また、著しく低い炭素含有量が著しく低いか又は磁石材料粒子の平均粒径が極めて小さく、磁化容易軸が非平行に配向された区分を有することのできる希土類磁石用焼結体、及びそのような希土類磁石用焼結体により得られる磁石を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明は、上記の目的を達成するため、一態様において、希土類物質を含み各々が磁化容易軸を有する多数の磁石材料粒子が一体に焼結された構成を有する希土類磁石形成用焼結体を提供する。この希土類磁石形成用焼結体は、炭素含有量が５００ｐｐｍ以下であって、しかも、磁石材料粒子の平均粒径が２μｍ以下である。【００１４】
本発明の上記態様においては、磁石材料粒子のアスペクト比が２以下であることが好ましい。【００１５】
本発明の上記態様においてはまた、単一焼結構造を有し、任意の複数の領域内における前記磁石材料粒子に対し、それぞれ異なる方向の磁化容易軸の配向が与えられることが好ましい。【００１６】
本発明はまた、他の態様において、希土類物質を含み各々が磁化容易軸を有する多数の磁石材料粒子が一体に焼結された構成を有する希土類磁石形成用焼結体であって、単一焼結構造を有し、任意の複数の領域内における磁石材料粒子に対し、それぞれ異なる方向の磁化容易軸の配向が与えられ、炭素含有量が５００ｐｐｍ以下であるものを提供する。【００１７】
本発明はまた、さらに他の態様において、希土類物質を含み各々が磁化容易軸を有する多数の磁石材料粒子が一体に焼結された構成を有する希土類磁石形成用焼結体であって、単一焼結構造を有し、任意の複数の領域内における磁石材料粒子に対し、それぞれ異なる方向の磁化容易軸の配向が与えられ、磁石材料粒子の平均粒径が２μｍ以下であるものを提供する。【００１８】
本発明のこれら他の態様においても、前記磁石材料粒子のアスペクト比が２以下であることが好ましい。【００１９】
本発明の別の態様においては、上述した希土類磁石形成用焼結体に着磁することによって形成された希土類焼結磁石が提供される。
【発明の効果】
【００２０】
本発明による希土類磁石形成用焼結体は、炭素含有量が５００ｐｐｍ以下であって、しかも、磁石材料粒子の平均粒径が２μｍ以下であるため、着磁された磁石は、高い保磁力を有することとなる。また、磁石粉末の粉砕粒子径が小さいにもかかわらず、任意の複数の領域内における磁石材料粒子に対し、それぞれ異なる方向の磁化容易軸の配向を与えることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１（ａ）】本発明の一実施形態の希土類磁石形成用焼結体の一例を横断面で示す断面図であり、全体を示す断面図である。
【図１（ｂ）】本発明の一実施形態の希土類磁石形成用焼結体の一例を横断面で示す断面図であり、端部領域の一部を示す断面図である。
【図２】本発明により形成される磁石が埋め込まれる電動モータのロータコアに設けられた磁石挿入用スロットの一例を示すロータ部分の断面図である。
【図３】図２に示すロータコアに永久磁石が埋め込まれた状態を示すロータ部分の端面図である。
【図４】本発明の永久磁石を適用することができる電動モータの横断面図である。
【図５】図１に示す実施形態による焼結体から形成される希土類永久磁石における磁束密度の分布を示す図である。
【図６（ａ）】本発明の一実施形態である図１に示す永久磁石形成用焼結体の製造工程の例を示す概略図であり、グリーンシート形成までの一の段階を示す。
【図６（ｂ）】本発明の一実施形態である図１に示す永久磁石形成用焼結体の製造工程の例を示す概略図であり、グリーンシート形成までの別の段階を示す。
【図６（ｃ）】本発明の一実施形態である図１に示す永久磁石形成用焼結体の製造工程の例を示す概略図であり、グリーンシート形成までのまた別の段階を示す。
【図６（ｄ）】本発明の一実施形態である図１に示す永久磁石形成用焼結体の製造工程の例を示す概略図であり、グリーンシート形成までのさらに別の段階を示す。
【図７（ａ）】本実施形態における磁石材料粒子の磁化容易軸配向処理を示す加工用シート片の断面図であり、磁場印加時のシート片の断面形状を示す。
【図７（ｂ）】本実施形態における磁石材料粒子の磁化容易軸配向処理を示す加工用シート片の断面図であり、磁場印加後に変形処理を施された焼結処理用シート片の断面形状を示す。
【図７（ｃ）】本実施形態における磁石材料粒子の磁化容易軸配向処理を示す加工用シート片の断面図であり、第１の成形体を第２の成形体にする曲げ変形加工工程を示す。
【図８】仮焼処理における好ましい昇温速度を示すグラフである。
【図９（ａ）】本発明の他の実施形態を示す図７（ａ）（ｂ）と同様な図であり、第１の成形体を示す。
【図９（ｂ）】本発明の他の実施形態を示す図７（ａ）（ｂ）と同様な図であり、第２の成形体を示す。
【図１０（ａ）】本発明のさらに他の実施形態を示す図９（ａ）（ｂ）と同様な図であり、一態様における第１の成形体を示す。
【図１０（ｂ）】本発明のさらに他の実施形態を示す図９（ａ）（ｂ）と同様な図であり、第２の成形体を示す。
【図１０（ｃ）】本発明のさらに他の実施形態を示す図９（ａ）（ｂ）と同様な図であり、他の態様による第２の成形体を示す。
【図１０（ｄ）】本発明のさらに他の実施形態を示す図９（ａ）（ｂ）と同様な図であり、さらに別の態様における第１の成形体を示す。
【図１０（ｅ）】本発明のさらに他の実施形態を示す図９（ａ）（ｂ）と同様な図であり、第２の成形体を示す。
【図１０（ｆ）】本発明のさらに他の実施形態を示す図９（ａ）（ｂ）と同様な図であり、他の態様による第２の成形体を示す。
【図１１（ａ）】ラジアル配向円環状磁石を製造するための、本発明の実施形態を示す図であり、第１の成形体を示す側面図である。
【図１１（ｂ）】ラジアル配向円環状磁石を製造するための、本発明の実施形態を示す図であり、第２の成形体を示す斜視図である。
【図１１（ｃ）】ラジアル配向円環状磁石を製造するための、本発明の実施形態を示す図であり、アキシャル配向円環状磁石を製造するために（ｂ）とは異なる方向で円環状に形成された第２の成形体を示す斜視図である。
【図１２】図１１の本実施形態により製造される円環状磁石を用いてハルバッハ配列の磁石を形成する例を示す斜視図である。
【図１３（ａ）】本発明のさらに他の実施形態を示すもので、製造の一の段階を示す概略図である。
【図１３（ｂ）】本発明のさらに他の実施形態を示すもので、製造の別の段階を示す概略図である。
【図１３（ｃ）】本発明のさらに他の実施形態を示すもので、製造のまた別の段階を示す概略図である。
【図１３（ｄ）】本発明のさらに他の実施形態を示すもので、製造のさらに別の段階を示す概略図である。
【図１３（ｅ）】本発明のさらに他の実施形態を示すもので、製造のまたさらに別の段階を示す概略図である。
【図１３（ｆ）】本発明のさらに他の実施形態を示すもので、製造のさらにまた別の段階を示す概略図である。
【図１４（ａ）】配向角及び配向軸角度を示す概略図であり、希土類磁石における磁石材料粒子の磁化容易軸の配向の一例を示す横断面図である。
【図１４（ｂ）】配向角及び配向軸角度を示す概略図であり、個々の磁石材料粒子の磁化容易軸の「配向角」及び「配向軸角度」を定める手順を示す概略拡大図である。
【図１５】配向角バラツキ角度を求める手順を示す図表である。
【図１６（ａ）】ＥＢＳＤ解析に基づく配向角の分布の表示を示すものであって、希土類磁石の軸の方向を示す斜視図を示す。
【図１６（ｂ）】ＥＢＳＤ解析に基づく配向角の分布の表示を示すものであって、希土類磁石の中央部と両端部におけるＥＢＳＤ解析により得られた極点図の例を示す。
【図１６（ｃ）】ＥＢＳＤ解析に基づく配向角の分布の表示を示すものであって、（ａ）におけるＡ２軸に沿った磁石の断面における配向軸角度を示す。
【図１７（ａ）】磁石材料粒子の粒径の具体的な測定手法を示す図である。
【図１７（ｂ）】磁石材料粒子の粒径の具体的な測定手法を示す他の図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
実施形態の説明に先立って、用語の定義及び配向角の測定について説明する。
〔配向角〕
配向角は、予め定めた基準線に対する磁石材料粒子の磁化容易軸の方向の角度を意味する。
〔配向軸角度〕
磁石の特定の面内において予め定めた区画内にある磁石形成材料粒子の配向角のうち、最も頻度が高い配向角である。本発明においては、配向軸角度を定める区画は、磁石材料粒子を少なくとも３０個、例えば２００個ないし３００個含む４角形区画又は一辺が３５μｍの正方形区画とする。
【００２３】
図１４に配向角及び配向軸角度を示す。図１４（ａ）は、希土類磁石における磁石材料粒子の磁化容易軸の配向の一例を示す横断面図であり、該希土類磁石Ｍは、第１の表面Ｓ−１と、該第１の表面Ｓ−１から厚みｔだけ間隔をもった位置にある第２の表面Ｓ−２と、幅Ｗとを有し、幅Ｗ方向の両端部には、端面Ｅ−１、Ｅ−２が形成されている。図示例では、第１の表面Ｓ−１と第２の表面Ｓ−２とは、互いに平行な平坦面であり、図示の横断面では、これら第１の表面Ｓ−１及び第２の表面Ｓ−２は、互いに平行な２つの直線で表される。端面Ｅ−１は、第１の表面Ｓ−１に対して上右方向に傾斜した傾斜面となっており、同様に、端面Ｅ−２は、第２の表面Ｓ−２に対して上左方向に傾斜した傾斜面となっている。矢印Ｂ−１は、該希土類磁石Ｍの幅方向中央領域における磁石材料粒子の磁化容易軸の配向軸の方向を概略的に示す。これに対して、矢印Ｂ−２は、端面Ｅ−１に隣接する領域における磁石材料粒子の磁化容易軸の配向軸の方向を概略的に示す。同様に、矢印Ｂ−３は、端面Ｅ−２に隣接する領域における磁石材料粒子の磁化容易軸の配向軸の方向を概略的に示す。
【００２４】
「配向軸角度」は、矢印Ｂ−１、Ｂ−２、Ｂ−３で表されるこれら配向軸と、一つの基準線との間の角度である。基準線は任意に設定することができるが、図１４(ａ）に示す例のように、第１の表面Ｓ−１の断面が直線で表される場合には、該第１の表面Ｓ−１の断面を基準線とすることが便利である。図１４（ｂ）は、個々の磁石材料粒子の磁化容易軸の「配向角」及び「配向軸角度」を定める手順を示す概略拡大図である。図１４（ａ）に示す希土類磁石Ｍの任意の個所、例えば図１４（ａ）に示す４角形区画Ｒが図１４（ｂ）に拡大して示される。この４角形区画Ｒには、３０個以上、例えば２００個ないし３００個といった、多数の磁石材料粒子Ｐが含まれる。４角形区画に含まれる磁石材料粒子の数が多いほど、測定精度は高まるが、３０個程度でも、十分な精度で測定することができる。それぞれの磁石材料粒子Ｐは、磁化容易軸Ｐ−１を有する。磁化容易軸Ｐ−１は、通常は極性を持たないが、磁石材料粒子が着磁されることによって極性をもったベクトルとなる。図１４（ｂ）では、着磁される予定の極性を考慮して、磁化容易軸に方向性を付与した矢印で示す。以下の説明において、「磁化容易軸の配向方向」という用語又は同様の用語は、このように着磁される予定の極性を考慮して、その方向を表すものとして使用する。
【００２５】
図１４（ｂ）に示すように、個々の磁石材料粒子Ｐの磁化容易軸Ｐ−１は、該磁化容易軸が指向する方向と基準線との間の角度である「配向角」を有する。そして、図１４（ｂ）に示される４角形区画Ｒ内の磁石材料粒子Ｐの磁化容易軸Ｐ−１の「配向角」のうち、最も頻度の高い配向角を、「配向軸角度」Ｂとする。
〔配向角バラツキ角度〕
任意の４角形区画における配向軸角度と、該区画内に存在する磁石材料粒子のすべてについて、その磁化容易軸の配向角との差を求め、該配向角の差の分布における半値幅により表される角度の値を配向角バラツキ角度とする。図１５は、配向角バラツキ角度を求める手順を示す図表である。図１５において、磁化容易軸に対する個々の磁石材料粒子の磁化容易軸の配向角の差Δθの分布が、曲線Ｃにより表される。縦軸に示す累積頻度が最大になる位置を１００％とし、累積頻度が５０％になる配向角差Δθの値が半値幅である。
〔配向角の測定〕
個々の磁石材料粒子Ｐにおける磁化容易軸Ｐ−１の配向角は、走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）画像に基づく「電子後方散乱回折解析法」（ＥＢＳＤ解析法）により求めることができる。この解析のための装置としては、Ｏｘｆｏｒｄ  Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔｓ社製のＥＢＳＤ検出器（ＡＺｔｅｃＨＫＬ ＥＢＳＤ ＮｏｒｄｌｙｓＮａｎｏ Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ）を備えた走査電子顕微鏡である、東京都昭島市所在の日本電子株式会社製ＪＳＭ−７０００１Ｆ、もしくは、ＥＤＡＸ社製のＥＢＳＤ検出器（Ｈｉｋａｒｉ  Ｈｉｇｈ  Ｓｐｅｅｄ  ＥＢＳＤ  Ｄｅｔｅｃｔｏｒ）を備えた走査電子顕微鏡である、ＺＥＩＳＳ社製ＳＵＰＲＡ４０ＶＰがある。また、外部委託によりＥＢＳＤ解析を行う事業体としては、東京都中央区日本橋所在のＪＦＥテクノリサーチ株式会社及び大阪府茨木市所在の株式会社日東分析センターがある。ＥＢＳＤ解析によれば、所定の区画内に存在する磁石材料粒子の磁化容易軸の配向角及び配向軸角度を求めることができ、これらの値に基づき、配向角バラツキ角度も取得することができる。図１６は、ＥＢＳＤ解析法による磁化容易軸の配向表示の一例を示すもので、図１６（ａ）は、希土類磁石の軸の方向を示す斜視図を、同（ｂ）は、中央部と両端部におけるＥＢＳＤ解析により得られた極点図の例を示すものである。また、図１６（ｃ）にＡ２軸に沿った磁石の断面における配向軸角度を示す。配向角は、磁石材料粒子の磁化容易軸の配向ベクトルを、Ａ１軸とＡ２軸を含む平面における成分と、Ａ１軸とＡ３軸を含む平面における成分に分けて表示することができる。Ａ２軸は幅方向であり、Ａ１軸は厚み方向である。図１６（ｂ）の中央の図は、磁石の幅方向中央においては、磁化容易軸の配向がほぼＡ１軸に沿った方向であることを示す。これに対し、図１６（ｂ）の左の図は、磁石の幅方向左端部における磁化容易軸の配向が下から右上方向にＡ１軸−Ａ２軸の面に沿って傾斜していることを示す。同様に、図１６（ｂ）の右の図は、磁石の幅方向右端部における磁化容易軸の配向が下から左上方向にＡ１軸−Ａ２軸の面に沿って傾斜していることを示す。このような配向を、配向ベクトルとして、図１６（ｃ）に示す。
〔結晶方位図〕
任意の区画内に存在する個々の磁石材料粒子について、観察面に垂直な軸に対する該磁石材料粒子の磁化容易軸の傾斜角を表示する図である。この図は、走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）画像に基づき作成することができる。
【００２６】
以下、本発明の実施の形態を図について説明する。
【００２７】
図１ないし図４に、本発明の一実施形態による希土類磁石形成用焼結体と、該焼結体から形成される永久磁石を組み込んだ電動モータの一例を示す。本実施形態においては、希土類永久磁石１は、磁石材料として、Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ系磁石材料を含む。典型的には、Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ系磁石材料は、Ｎｄを２７ないし４０ｗｔ％、Ｂを０．８ないし２ｗｔ％、電解鉄であるＦｅを６０ないし７０ｗｔ％の割合で含む。この磁石材料には、磁気特性向上を目的として、Ｄｙ、Ｔｂ、Ｃｏ、Ｃｕ、Ａｌ、Ｓｉ、Ｇａ、Ｎｂ、Ｖ、Ｐｒ、Ｍｏ、Ｚｒ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ、Ａｇ、Ｂｉ、Ｚｎ、Ｍｇ等の他元素を少量含んでも良い。
【００２８】
本発明による希土類磁石形成用焼結体は、該希土類磁石形成用焼結体全体の重量を基準として、５００ｐｐｍ以下の炭素含有量を有する。保磁力増加の観点から、炭素含有量は３００ｐｐｍ以下であるのがさらに好ましい。また、この希土類磁石形成用焼結体の酸素含有量は４５００ｐｐｍ以下であるのが望ましく、窒素含有量は３５０ｐｐｍ以下であるのが望ましく、水素含有量は１５００ｐｐｍ以下であるのが望ましい。これら炭素、窒素、酸素、及び水素の含有量は、市販の炭素量分析装置、酸素・窒素分析装置、及び水素分析装置を使用して、希土類磁石形成用焼結体の分析を行うことにより、確認することができる。希土類磁石形成用焼結体に含まれるこれら炭素、酸素、窒素及び水素は、専ら希土類磁石形成用焼結体の製造工程において混入し、取り除かれずに不可避的に残存している不純物である。
【００２９】
図１（ａ）を参照すると、本実施形態による磁石形成用焼結体１は、上述した磁石材料の微細粒子が一体に焼結成形されたものであり、互いに平行な上辺２と下辺３、及び左右両端の端面４、５を有し、該端面４、５は上辺２及び下辺３に対し傾斜した傾斜面として形成されている。上辺２は、本発明の第２の表面の断面に対応する辺であり、下辺３は、本発明の第１の表面の断面に対応する辺である。端面４、５の傾斜角は、該端面４、５の延長線４ａ、５ａと上辺２との間の角度θとして定義される。好ましい形態では、傾斜角θは、４５°ないし８０°、より好ましくは５５°ないし８０°である。その結果、磁石形成用焼結体１は、上辺２が下辺３より短い台形の長さ方向断面を有する形状に形成されている。
【００３０】
磁石形成用焼結体１は、上辺２及び下辺３に沿った幅方向に、所定の寸法の中央領域６と、両端部側の端部領域７、８とに区分された複数の領域を有する。中央領域６においては、該領域６に含まれる磁石材料粒子は、その磁化容易軸が上辺２及び下辺３に対して実質的に直角な、厚み方向に平行に配向したパラレル配向となっている。これに対して、端部領域７、８では、該領域７、８に含まれる磁石材料粒子の磁化容易軸は、厚み方向に対して、下から上に向けて、配向方向が中央領域６の方向に傾斜しており、その傾斜角は、端面４、５に隣接する位置では該端面４、５の傾斜角θに沿った角度であり、中央領域６に隣接する位置では、該上辺２に対しほぼ直角であり、端面４、５に隣接する位置から中央領域６に近づくにしたがって漸次大きくなる。このような磁化容易軸の配向を、図１（ａ）に、中央領域６のパラレル配向については、矢印９で、端部領域７、８の傾斜配向については、矢印１０で、それぞれ示す。端部領域７、８の傾斜配向に関し、別の表現をすれば、これら領域に含まれる磁石材料粒子の磁化容易軸は、上辺２と端面４、５とが交差する角部から中央部に向けて、端部領域７、８の幅方向寸法に対応する所定の範囲の領域に集束するように配向される。この配向の結果、端部領域７、８においては、磁化容易軸が上辺２に指向される磁石材料粒子の密度が、中央領域６におけるよりも高くなる。本発明の好ましい形態では、中央領域６に対応する上辺２の幅方向の寸法、すなわち、パラレル長Ｐと、上辺２の幅方向寸法Ｌとの比、すなわち、パラレル率Ｐ／Ｌが、０．０５ないし０．８、より好ましくは０．２ないし０．５となるように、中央領域６と端部領域７，８の寸法が定められる。この実施形態では、中央領域６と、端部領域７，８の端面に近い領域では、これら領域に含まれる磁石材料粒子の磁化容易軸の配向は、配向軸角度が２０°以上異なるものとなる。ここでは、このような配向を「非パラレル配向」と呼ぶ。
【００３１】
上記した端部領域７、８における磁石材料の磁化容易軸の配向を、端部領域７について図１（ｂ）に誇張して示す。図１（ｂ）において、磁石材料粒子の各々の磁化容易軸Ｃは、端面４に隣接する部分では該端面４にほぼ沿って、該端面４の傾斜角θだけ傾斜して配向される。そして、該傾斜角は、端部から中央部に近づくにしたがって、漸次増加する。すなわち、磁石材料粒子の磁化容易軸Ｃの配向は、下辺３の側から上辺２に向けて集束するようになり、磁化容易軸Ｃが上辺２に指向される磁石材料粒子の密度は、パラレル配向の場合に比して高くなる。
【００３２】
本発明による希土類磁石形成用焼結体はまた、磁石材料粒子の平均粒径が２μｍ以下である。保磁力増加の観点から、磁石材料粒子の平均粒径は１．５μｍ以下であるのがさらに好ましい。ここで、「磁石材料粒子の平均粒径」とは、得られた焼結体中に焼結されている磁石材料粒子の平均粒径であって、焼結体を製造する過程で微粉砕して得られる磁石粉末の粉砕粒子径とは異なる。磁石材料粒子の平均粒径は、ＥＢＳＤ検出器を備えた市販のＳＥＭを使用して測定することができる。
【００３３】
図２は、上述した磁化容易軸の配向を有する磁石形成用焼結体１を着磁させることによって形成された希土類磁石を埋め込んで使用するのに適した電動モータ２０のロータコア部分を拡大して示す断面図である。ロータコア２１は、その周面２１ａがエアギャップ２２を介してステータ２３と対向するように、該ステータ２３内に回転自在に配置される。ステータ２３は、周方向に間隔をもって配設された複数のティース２３ａを備えており、このティース２３ａに界磁コイル２３ｂが巻かれる。上述のエアギャップ２２は、各ティース２３ａの端面とロータコア２１の周面２１ａとの間に形成されることになる。ロータコア２１には、磁石挿入用スロット２４が形成されている。このスロット２４は、直線状中央部分２４ａと、該中央部分２４ａの両端部からロータコア２１の周面２１ａの方向に斜めに延びる一対の傾斜部分２４ｂとを有する。図２から分かるように、傾斜部分２４ｂは、その末端部がロータコア２１の周面２１ａに近接した位置にある。
【００３４】
上述した磁化容易軸の配向を有する磁石形成用焼結体１を着磁させることによって形成された希土類磁石３０を図２に示すロータコア２１の磁石挿入用スロット２４に挿入した状態を図３に示す。図３に示すように、希土類永久磁石３０は、その上辺２が外側に、すなわちステータ２３側に向くように、ロータコア２１に形成された磁石挿入用スロット２４の直線状中央部分２４ａに挿入される。挿入された磁石３０の両端より外側には、スロット２４の直線状中央部分２４ａの一部と傾斜部分２４ｂが空隙部として残される。このように、ロータコア２１のスロット２４に永久磁石が挿入されることによって形成された電動モータ２０の全体を、図４に横断面図で示す。
【００３５】
図５は、上述した実施形態により形成される希土類永久磁石３０における磁束密度の分布を示すものである。図５に示すように、磁石３０の両側端部領域７、８における磁束密度Ａは、中央領域６における磁束密度Ｂより高くなる。そのため、この磁石３０を電動モータ２０のロータコア２１に埋め込んで作動させたとき、磁石３０の端部にステータ２３からの磁束が作用しても磁石３０の端部の減磁が抑制され、磁石３０の端部には、減磁後も十分な磁束が残されることになり、モータ２０の出力が低下することが防止される。
［希土類永久磁石形成用焼結体の製造方法］
次に、図１に示す本発明の一実施形態による希土類磁石形成用焼結体１を製造するための製造方法の一例について、図６を参照して説明する。図６は、本実施形態に係る永久磁石形成用焼結体１の製造工程を示す概略図である。
【００３６】
先ず、所定分率のＮｄ−Ｆｅ−Ｂ系合金からなる磁石材料のインゴットを鋳造法により製造する。代表的には、ネオジム磁石に使用されるＮｄ−Ｆｅ−Ｂ系合金は、Ｎｄが３０ｗｔ％、電解鉄であることが好ましいＦｅが６７ｗｔ％、Ｂが１．０ｗｔ％の割合で含まれる組成を有する。次いで、このインゴットを、スタンプミル又はクラッシャー等の公知の手段を使用して粒径２００μｍ程度の大きさに粗粉砕する。代替的には、インゴットを溶解し、ストリップキャスト法によりフレークを作製し、水素解砕法で粗粉化することもできる。それによって、粗粉砕磁石材料粒子１１５が得られる（図６（ａ）参照）。
【００３７】
本発明では特に、粗粉砕に高圧水素解砕を用いる事で、最終的な粉砕粒子径を小さくするのが望ましい。また、粗粉砕を行う際、液化Ａｒなどを用いて冷却をすることにより、粉砕粒子径を小さくすることができる場合があることから、このような冷却を採用して粗粉砕を行うのが望ましい。
【００３８】
次いで、粗粉砕磁石材料粒子１１５を、ビーズミル１１６による湿式法又はジェットミルを用いた乾式法等によって微粉砕する。例えば、ビーズミル１１６による湿式法を用いた微粉砕では、溶媒中で粗粉砕磁石粒子１１５を所定範囲の粒径、例えば０．１μｍないし５．０μｍに微粉砕し、溶媒中に磁石材料粒子を分散させた状態にする（図６（ｂ）参照）。例えば、ビーズ径２ｍｍφ以下、粉砕時間は２時間以上、ビーズに対して粗粉１０重量部以下にすることで、微粉化を行うのが望ましい。その後、湿式粉砕後の溶媒に含まれる磁石粒子を減圧乾燥などの手段によって乾燥させて、乾燥した磁石粒子を取り出す（図示せず）。ここで、粉砕に用いる溶媒の種類には特に制限はなく、イソプロピルアルコール、エタノール、メタノールなどのアルコール類、酢酸エチル等のエステル類、ペンタン、ヘキサンなどの低級炭化水素類、ベンゼン、トルエン、キシレンなど芳香族類、ケトン類、それらの混合物等の有機溶媒、又は、液化窒素、液化ヘリウム、液化アルゴン等の無機溶媒を使用することができる。この場合において、溶媒中に酸素原子を含まない溶媒を用いることが好ましい。
【００３９】
一方、ジェットミルによる乾式法を用いる微粉砕においては、粗粉砕した磁石材料粒子１１５を、（ａ）酸素含有量が０．５％以下、好ましくは実質的に０％の窒素ガス、Ａｒガス、Ｈｅガスなどの不活性ガスからなる雰囲気中、又は（ｂ）酸素含有量が０．０００１ないし０．５％の窒素ガス、Ａｒガス、Ｈｅガスなどの不活性ガスからなる雰囲気中で、ジェットミルにより微粉砕し、６．０μｍ以下、例えば０．７μｍないし５．０μｍといった所定範囲の平均粒径を有する微粒子とする。ここで、酸素濃度が実質的に０％とは、酸素濃度が完全に０％である場合に限定されず、微粉の表面にごく僅かに酸化被膜を形成する程度の量の酸素を含有するものであっても良いことを意味する。Ｈｅガスを用いたジェットミル粉砕は、窒素ガス雰囲気のジェットミルよりも一般的に小さい粒子径が得られるため、好ましい。いずれの粉砕方式であっても、適切な粉砕助剤を添加する事で、更に微粒子化が促進される。
【００４０】
次に、ビーズミル１１６等で微粉砕された磁石材料粒子を所望形状に成形する。この磁石材料粒子の成形のために、上述のように微粉砕された磁石材料粒子１１５と樹脂材料からなるバインダーとを混合した混合物、すなわち、複合材料を準備する。バインダーとして用いられる樹脂は、構造中に酸素原子を含まず、かつ、解重合性のあるポリマーが好ましい。また、後述のように磁石粒子とバインダーとの複合材料を、所望形状に成形する際に生じる複合材料の残余物を再利用できるようにするために、かつ、複合材料を加熱して軟化した状態で磁場配向を行うことができるようにするために、樹脂材料としては、熱可塑性樹脂を用いることが好ましい。具体的には、以下の一般式（１）に示されるモノマーから形成される１種又は２種以上の重合体又は共重合体からなるポリマーが好適に用いられる。
【００４１】
【化１】
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【００４２】
（但し、Ｒ１及びＲ２は、水素原子、低級アルキル基、フェニル基又はビニル基を表す）  上記条件に該当するポリマーとしては、例えばイソブチレンの重合体であるポリイソブチレン（ＰＩＢ）、イソプレンの重合体であるポリイソプレン（イソプレンゴム、ＩＲ）、１，３−ブタジエンの重合体であるポリブタジエン（ブタジエンゴム、ＢＲ）、スチレンの重合体であるポリスチレン、スチレンとイソプレンの共重合体であるスチレン−イソプレンブロック共重合体（ＳＩＳ）、イソブチレンとイソプレンの共重合体であるブチルゴム（ＩＩＲ）、スチレンとブタジエンの共重合体であるスチレン−ブタジエンブロック共重合体（ＳＢＳ）、スチレンとエチレン、ブタジエンの共重合体であるスチレン-エチレン-ブタジエン-スチレン共重合体（ＳＥＢＳ）、スチレンとエチレン、プロピレンの共重合体であるスチレン-エチレン-プロピレン-スチレン共重合体（ＳＥＰＳ）、エチレンとプロピレンの共重合体であるエチレン-プロピレン共重合体（ＥＰＭ）、エチレン、プロピレンとともにジエンモノマーを共重合させたＥＰＤＭ、２−メチル−１−ペンテンの重合体である２−メチル−１−ペンテン重合樹脂、２−メチル−１−ブテンの重合体である２−メチル−１−ブテン重合樹脂等がある。また、バインダーに用いる樹脂としては、酸素原子、窒素原子を含むモノマーの重合体又は共重合体（例えば、ポリブチルメタクリレートやポリメチルメタクリレート等）を少量含む構成としても良い。更に、上記一般式（１）に該当しないモノマーが一部共重合していても良い。その場合であっても、本発明の目的を達成することが可能である。
【００４３】
なお、バインダーに用いる樹脂としては、磁場配向を適切に行うために２５０℃以下で軟化する熱可塑性樹脂、より具体的には、ガラス転移点又は流動開始温度が２５０℃以下の熱可塑性樹脂を用いることが望ましい。
【００４４】
熱可塑性樹脂中に磁石材料粒子を分散させるために、 配向潤滑剤を適量添加することが望ましい。 配向潤滑剤としては、アルコール、カルボン酸、ケトン、エーテル、エステル、アミン、イミン、イミド、アミド、シアン、リン系官能基、スルホン酸、二重結合や三重結合などの不飽和結合を有する化合物、液状飽和炭化水素化合物のうち、少なくともひとつを添加することが望ましい。これら物質の複数を混合して用いても良い。そして、後述するように、磁石材料粒子とバインダーとの混合物すなわち複合材料に対して磁場を印加して該磁石材料を磁場配向するにあたっては、混合物を加熱してバインダー成分が軟化した状態で磁場配向処理を行う。
【００４５】
磁石材料粒子に混合されるバインダーとして上記条件を満たすバインダーを用いることによって、焼結後の希土類永久磁石形成用焼結体内に残存する炭素量及び酸素量を低減させることが可能となる。具体的には、焼結後に磁石形成用焼結体内に残存する炭素量を２０００ｐｐｍ以下、より好ましくは１０００ｐｐｍ以下とすることができる。本発明では、希土類磁石形成用焼結体の炭素含有量が５００ｐｐｍ以下、好ましくは３００ｐｐｍ以下となるようにする。また、焼結後に磁石形成用焼結体内に残存する酸素量を５０００ｐｐｍ以下、より好ましくは２０００ｐｐｍ以下とすることができる。
【００４６】
バインダーの添加量は、スラリー又は加熱溶融した複合材料を成形する場合に、成形の結果として得られる成形体の厚み精度が向上するように、磁石材料粒子間の空隙を適切に充填できる量とする。例えば、磁石材料粒子とバインダーの合計量に対するバインダーの比率が、１ｗｔ％ないし４０ｗｔ％、より好ましくは２ｗｔ％ないし３０ｗｔ％、さらに好ましくは３ｗｔ％ないし２０ｗｔ％とする。
【００４７】
以下の実施形態では、複合材料を一旦製品形状以外の形状に成形した成形体の状態で平行磁場を印加して磁場における磁石材料粒子の配向を行い、その後に、該成形体を所望の製品形状にし、次いで焼結処理を行うことによって、例えば図１に示す台形形状のような、所望の製品形状の焼結磁石とする。特に、以下の実施形態では、磁石材料粒子とバインダーとからなる混合物すなわち複合材料１１７を、シート形状のグリーン成形体（以下、「グリーンシート」という）に一旦成形した後に、配向処理のための成形体形状とする。複合材料を特にシート形状に成形する場合には、例えば磁石材料粒子とバインダーとの混合物である複合材料１１７を加熱した後にシート形状に成形するホットメルト塗工によるか、磁石材料粒子とバインダーとの混合物である複合材料１１７を成形型に入れて加熱および加圧する方法によるか、又は、磁石材料粒子とバインダーと有機溶媒とを含むスラリーを基材上に塗工することによりシート状に成形するスラリー塗工等による成形を採用することができる。
【００４８】
なお、磁化容易軸のパラレル配向を得る場合には、製品形状に成形した成形体の状態で平行磁場を印加して磁場における磁石材料粒子の配向を行い、次いで焼結処理を行えばよい。
【００４９】
以下においては、特にホットメルト塗工を用いたグリーンシート成形について説明するが、本発明は、そのような特定の成形法に限定されるものではない。例えば、複合材料１１７を成形用型に入れ、室温〜３００℃に加熱しながら、０．１〜１００ＭＰａ加圧することで成形を行ってもよい。この場合、より具体的には、軟化する温度に加熱した複合材料１１７を、射出圧を加えて金型に押込み充填して成形する方法が挙げられる。
【００５０】
既に述べたように、ビーズミル１１６等で微粉砕された磁石材料粒子にバインダーを混合することにより、磁石材料粒子とバインダーとからなる粘土状の混合物すなわち複合材料１１７を作製する。ここで、バインダーとしては、上述したように樹脂及び 配向潤滑剤の混合物を用いることができる。例えば、樹脂としては、構造中に酸素原子を含まず、かつ解重合性のあるポリマーからなる熱可塑性樹脂を用いることが好ましく、一方、 配向潤滑剤としては、アルコール、カルボン酸、ケトン、エーテル、エステル、アミン、イミン、イミド、アミド、シアン、リン系官能基、スルホン酸、二重結合や三重結合などの不飽和結合を有する化合物のうち、少なくとも一つを添加することが好ましい。また、バインダーの添加量は、上述したように添加後の複合材料１１７における磁石材料粒子とバインダーの合計量に対するバインダーの比率が、１ｗｔ％ないし４０ｗｔ％、より好ましくは２ｗｔ％ないし３０ｗｔ％、さらに好ましくは３ｗｔ％ないし２０ｗｔ％となるようにする。
【００５１】
ここで 配向潤滑剤の添加量は磁石材料粒子の粒子径に応じて決定することが好ましく、磁石材料粒子の粒子径が小さい程、添加量を多くすることが推奨される。具体的な添加量としては、磁石材料粒子１００重量部に対して０．１重量部ないし１０重量部、より好ましくは０．３重量部ないし８重量部とする。添加量が少ない場合には分散効果が小さく、配向性が低下する恐れがある。また、添加量が多すぎる場合は、磁石材料粒子を汚染する恐れがある。磁石材料粒子に添加された 配向潤滑剤は、磁石材料粒子の表面に付着し、磁石材料粒子を分散させ粘土状混合物を与えるとともに、後述の磁場での配向処理において、磁石材料粒子の回動を補助するように作用する。その結果、磁場を印加した際に配向が容易に行われ、磁石粒子の磁化容易軸方向をほぼ同一方向に揃えること、すなわち、配向度を高くすることが可能になる。特に、磁石材料粒子にバインダーを混合すると、粒子表面にバインダーが存在するようになるため、磁場配向処理時の摩擦力が高くなり、そのために粒子の配向性が低下する恐れがあり、 配向潤滑剤を添加することの効果がより高まる。
【００５２】
磁石材料粒子とバインダーとの混合は、窒素ガス、Ａｒガス、Ｈｅガスなどの不活性ガスからなる雰囲気のもとで行うことが好ましい。磁石材料粒子とバインダーとの混合は、例えば磁石材料粒子とバインダーをそれぞれ攪拌機に投入し、攪拌機で攪拌することにより行う。この場合において、混練性を促進する為に加熱攪拌、減圧撹拌、もしくは減圧加熱撹拌を行っても良い。さらに、磁石材料粒子とバインダーの混合も、窒素ガス、Ａｒガス、Ｈｅガスなど不活性ガスからなる雰囲気で行うことが望ましい。また、特に磁石材料粒子を湿式法で粉砕する場合には、粉砕に用いた溶媒から磁石粒子を取り出すことなく、バインダーを溶媒中に添加して混練し、その後に溶媒を揮発させ、複合材料１１７を得るようにしても良い。
【００５３】
続いて、複合材料１１７をシート状に成形することにより、前述したグリーンシートを作成する。ホットメルト塗工を採用する場合には、複合材料１１７を加熱することにより該複合材料１１７を溶融し、流動性を有する状態にした後、支持基材１１８上に塗工する。その後、放熱により複合材料１１７を凝固させて、支持基材１１８上に長尺シート状のグリーンシート１１９を形成する（図６（ｄ）参照）。この場合において、複合材料１１７を加熱溶融する際の温度は、用いるバインダーの種類や量によって異なるが、通常は５０℃ないし３００℃とする。但し、用いるバインダーの流動開始温度よりも高い温度とする必要がある。なお、スラリー塗工を用いる場合には、多量の溶媒中に磁石材料粒子とバインダー、及び、任意ではあるが、配向を助長する添加剤を分散させて、スラリーを支持基材１１８上に塗工する。その後、乾燥して溶媒を揮発させることにより、支持基材１１８上に長尺シート状のグリーンシート１１９を形成する。
【００５４】
ここで、溶融した複合材料１１７の塗工方式は、スロットダイ方式又はカレンダーロール方式等の、層厚制御性に優れる方式を用いることが好ましい。特に、高い厚み精度を実現する為には、特に層厚制御性に優れた、すなわち、基材の表面に高精度の厚さの層を塗工できる方式である、ダイ方式やコンマ塗工方式を用いることが望ましい。例えば、スロットダイ方式では、加熱して流動性を有する状態にした複合材料１１７をギアポンプにより圧送してダイに注入し、ダイから吐出することにより塗工を行う。また、カレンダーロール方式では、加熱した２本のロールのニップ間隙に、複合材料１１７を制御した量で送り込み、ロールを回転させながら、支持基材１１８上に、ロールの熱で溶融した複合材料１１７を塗工する。支持基材１１８としては、例えばシリコーン処理ポリエステルフィルムを用いることが好ましい。さらに、消泡剤を用いるか、加熱減圧脱泡を行うことによって、塗工され展開された複合材料１１７の層中に気泡が残らないように、充分に脱泡処理することが好ましい。或いは、支持基材１１８上に塗工するのではなく、押出成型や射出成形によって溶融した複合材料１１７をシート状に成型しながら支持基材１１８上に押し出すことによって、支持基材１１８上にグリーンシート１１９を成形することもできる。
【００５５】
図６に示す実施形態では、スロットダイ１２０を用いて複合材料１１７の塗工を行うようにしている。このスロットダイ方式によるグリーンシート１１９の形成工程では、塗工後のグリーンシート１１９のシート厚みを実測し、その実測値に基づいたフィードバック制御により、スロットダイ１２０と支持基材１１８との間のニップ間隙を調節することが望ましい。この場合において、スロットダイ１２０に供給する流動性複合材料１１７の量の変動を極力低下させること、例えば±０．１％以下の変動に抑えること、さらに塗工速度の変動も極力低下させること、例えば±０．１％以下の変動に抑えることが望ましい。このような制御によって、グリーンシート１１９の厚み精度を向上させることが可能である。なお、形成されるグリーンシート１１９の厚み精度は、例えば１ｍｍといった設計値に対して、±１０％以内、より好ましくは±３％以内、さらに好ましくは±１％以内とすることが好ましい。カレンダーロール方式では、カレンダー条件を同様に実測値に基づいてフィードバック制御することで、支持基材１１８に転写されるコンパウンド１１７の膜厚を制御することが可能である。
【００５６】
グリーンシート１１９の厚みは、０．０５ｍｍないし２０ｍｍの範囲に設定することが望ましい。厚みを０．０５ｍｍより薄くすると、必要な磁石厚みを達成するために、多層積層しなければならなくなるので、生産性が低下することになる。
【００５７】
次に、上述したホットメルト塗工によって支持基材１１８上に形成されたグリーンシート１１９から、所望の磁石寸法に対応する寸法に切り出された加工用シート片１２３を作成する。この加工用シート片１２３は、本発明の第１の成形体に対応するもので、その形状は、所望の磁石の形状とは異なる。詳細に述べると、該第１の成形体である加工用シート片１２３は、該加工用シート片１２３に平行磁場が印加され、該加工用シート片１２３に含まれる磁石材料粒子の磁化容易軸が平行になるように配向された後に、該加工用シート片１２３を変形させて所望の磁石形状としたとき、その所望の形状を有する磁石において、所望の磁化容易軸の非パラレル配向が得られるような形状に成形される。
【００５８】
本実施形態においては、第１の成形体である加工用シート片１２３は、図７（ａ）に示すように、最終製品となる台形断面の希土類永久磁石形成用焼結体１における中央領域６に対応する幅方向長さの直線状領域６ａと、該直線状領域６ａの両端に連続する円弧状領域７ａ、８ａを有する断面形状である。この加工用シート片１２３は、図の紙面に直角な方向の長さ寸法を有し、断面の寸法及び長さ寸法は、後述する焼結工程における寸法の縮小を見込んで、焼結工程後に所定の磁石寸法が得られるように定める。
【００５９】
図７（ａ）に示す加工用シート片１２３には、直線状領域６ａの表面に直角になる方向に平行磁場１２１が印加される。この磁場印加により、加工用シート片１２３に含まれる磁石材料粒子の磁化容易軸が、図７（ａ）に矢印１２２で示すように、磁場の方向に、すなわち厚み方向に平行に配向される。具体的に述べると、加工用シート片１２３は、該加工用シート片１２３に対応する形状のキャビティを有する磁場印加用型内に収容され（図示せず）、加熱することにより加工用シート片１２３に含まれるバインダーを軟化させる。それによって、磁石材料粒子はバインダー内で回動できるようになり、その磁化容易軸を平行磁場１２１に沿った方向に配向させることができる。
【００６０】
ここで、加工用シート片１２３を加熱するための温度及び時間は、用いるバインダーの種類及び量によって異なるが、例えば４０ないし２５０℃で０．１ないし６０分とする。いずれにしても、加工用シート片１２３内のバインダーを軟化させるためには、加熱温度は、用いられるバインダーのガラス転移点又は流動開始温度以上の温度とする必要がある。加工用シート片１２３を加熱するための手段としては、例えばホットプレートによる加熱、又はシリコーンオイルのような熱媒体を熱源に用いる方式がある。磁場印加における磁場の強さは、５０００[Oe]〜１５００００[Oe]、好ましくは、１００００[Oe]〜１２００００[Oe]とすることができる。その結果、加工用シート片１２３に含まれる磁石材料粒子の結晶の磁化容易軸が、図７（ａ）に符号１２２で示すように、平行磁場１２１に沿った方向に、平行に配向される。この磁場印加工程では、複数個の加工用シート片１２３に対して同時に磁場を印加する構成とすることもできる。このためには、複数個のキャビティを有する型を使用するか、或いは、複数個の型を並べて、同時に平行磁場１２１を印加すればよい。加工用シート片１２３に磁場を印加する工程は、加熱工程と同時に行っても良いし、加熱工程を行った後であって、加工用シート片１２３のバインダーが凝固する前に行っても良い。
【００６１】
次に、図７（ａ）に示す磁場印加工程により磁石材料粒子の磁化容易軸が矢印１２２で示すように平行配向された加工用シート片１２３を、磁場印加用の型から取り出し、図７（ｂ）（ｃ）に示す細長い長さ方向寸法の台形キャビティ１２４を有する最終成形用型１２６内に移して、該キャビティ１２４に対応する凸型形状を有する雄型１２７により該加工用シート片１２３をキャビティ１２４内で押圧し、加工用シート片１２３の両端部の円弧状領域７ａ、８ａを、中央の直線状領域６ａに直線状に連続するように変形させて、図７（ｂ）に示す焼結処理用シート片１２５に成形する。この焼結処理用シート片１２５が、本発明の第２の成形体に対応する。
【００６２】
この成形により、加工用シート片１２３は、両端の円弧状領域７ａ、８ａが、中央の直線状領域６ａに対して直線状に連続する形状になり、同時に、両端部には、傾斜面１２５ａ、１２５ｂが形成されて、細長い台形状を構成する。この成形工程により形成される焼結処理用シート片１２５においては、中央の直線状領域６ａに含まれる磁石材料粒子の磁化容易軸は、厚み方向に平行に配向されたパラレル配向状態に維持されるが、両端の領域７ａ、８ａにおいては、上向きに凸の形状が中央の直線状領域に連続する直線形状に変形される結果、図７（ｂ）に示すように、磁化容易軸は、それぞれの対応する領域における上辺に集束する配向になる。
【００６３】
このようにして磁石材料粒子の磁化容易軸が配向された配向後の焼結処理用シート片１２５を、大気圧、或いは、大気圧より高い圧力又は低い圧力、例えば、０．１ＭＰａないし７０ＭＰａ、好ましくは、１．０Ｐａ又は１．０ＭＰａに調節した非酸化性雰囲気において、バインダー分解温度で数時間ないし数十時間、例えば５時間保持することにより仮焼処理（脱炭素）を行う。この処理では、水素雰囲気又は水素と不活性ガスの混合ガス雰囲気を用いることが推奨される。水素雰囲気のもとで仮焼処理を行う場合には、仮焼中の水素の供給量は、例えば５Ｌ／ｍｉｎとする。仮焼処理を行うことによって、バインダーに含まれる有機化合物を、解重合反応、その他の反応によりモノマーに分解し、飛散させて除去することが可能となる。すなわち、焼結処理用シート片１２５に残存する炭素の量を低減させる処理である脱カーボン処理が行われることとなる。また、仮焼処理は、焼結処理用シート片１２５内に残存する炭素の量が２０００ｐｐｍ以下、より好ましくは１０００ｐｐｍ以下とする条件で行うことが望ましい。それによって、その後の焼結処理で焼結処理用シート片１２５の全体を緻密に焼結させることが可能となり、残留磁束密度及び保磁力の低下を抑制することが可能になる。なお、上述した仮焼処理を行う際の加圧条件を大気圧より高い圧力とする場合には、圧力は１５ＭＰａ以下とすることが望ましい。ここで、加圧条件は、大気圧より高い圧力、より具体的には０．２ＭＰａ以上とすれば、特に残存炭素量軽減の効果が期待できる。バインダーの種類により異なるが、仮焼処理の温度は、２５０℃ないし６００℃、より好ましくは３００℃ないし５００℃とすればよい。
【００６４】
上述の仮焼処理においては、一般的な希土類磁石の焼結処理と比較して、昇温速度を小さくすることが好ましい。具体的には、昇温速度を２℃／ｍｉｎ以下、例えば１．５℃／ｍｉｎとすることにより、好ましい結果を得ることができる。従って、仮焼処理を行う場合には、図８に示すように２℃／ｍｉｎ以下の所定の昇温速度で昇温し、予め設定された設定温度、すなわち、バインダー分解温度に到達した後に、該設定温度で数時間ないし数十時間保持することにより仮焼処理を行う。このように、仮焼処理において昇温速度を小さくすることによって、焼結処理用シート片１２５内の炭素が急激に除去されることがなく、段階的に除去されるようになるので、十分なレベルまで残量炭素を減少させて、焼結後の永久磁石形成用焼結体の密度を上昇させることが可能となる。すなわち、残留炭素量を減少させることにより、永久磁石中の空隙を減少させることができる。上述のように、昇温速度を２℃／ｍｉｎ程度とすれば、焼結後の永久磁石形成用焼結体の密度を９８％以上、例えば７．４０ｇ／ｃｍ３以上とすることができ、着磁後の磁石において高い磁石特性を達成することが期待できる。
【００６５】
なお、仮焼処理の前に、配向潤滑剤、可塑剤などのオイル成分を揮発させる脱オイル処理を行ってもよい。含有するオイル成分の種類により異なるが、脱オイル処理の温度は、６０℃ないし１２０℃、より好ましくは８０℃ないし１００℃とすればよい。上記脱オイル処理においては、昇温速度を１０℃／ｍｉｎ以下、例えば０．７℃／ｍｉｎとすることにより、好ましい結果を得ることができる。また、脱オイル工程は減圧雰囲気で行うことでより好ましい結果が得られ、０．０１Ｐａないし２０Ｐａ、より好ましくは０．１Ｐａないし１０Ｐａの減圧下で行うのが良い。
【００６６】
続いて、仮焼処理によって仮焼された焼結処理用シート片１２５を焼結する焼結処理が行われる。焼結処理としては、減圧中での無加圧焼結法を採用することもできるが、本実施形態では、焼結処理用シート片１２５を、図７の紙面に垂直の方向である焼結処理用シート片１２５の長さ方向に一軸加圧した状態で焼結する一軸加圧焼結法を採用することが好ましい。この方法では、図７（ｂ）に符号「１２４」で示すものと同じ台形形状断面のキャビティを有する焼結用型（図示せず）内に焼結処理用シート片１２５を装填し、型を閉じて、図７の紙面に垂直の方向である焼結処理用シート片１２５の長さ方向に加圧しながら焼結を行う。詳細に述べると、焼結処理用シート片１２５から形成される希土類永久磁石を、図２に示す磁石挿入用スロット２４に収容したときにロータコア２１の軸方向と同方向となる方向に、焼結処理用シート片１２５を長さ方向に加圧した状態で焼結する一軸加圧焼結が用いられる。この加圧焼結技術としては、例えば、ホットプレス焼結、熱間静水圧加圧（ＨＩＰ）焼結、超高圧合成焼結、ガス加圧焼結、放電プラズマ（ＳＰＳ）焼結等、公知の技術のいずれを採用してもよい。特に、一軸方向に加圧可能であるホットプレス焼結を用いることが好ましい。なお、焼結を行う場合には、加圧圧力を、例えば０．０１ＭＰａ〜１００ＭＰａ（好ましくは０．０１ＭＰａ〜１５ＭＰａ）とし、数Ｐａ以下の減圧雰囲気で９００℃〜１０００℃、例えば９４０℃まで、３℃／分〜３０℃／分、例えば１０℃／分の昇温速度で温度上昇させ、その後、加圧方向の１０秒当たりの変化率が０になるまで保持することが好ましい。この保持時間は、通常は５分程度である。次いで冷却し、再び３００℃〜１０００℃に昇温して２時間、その温度に保持する熱処理を行う。このような焼結処理の結果、焼結処理用シート片１２５から、本発明の希土類永久磁石形成用焼結体１が製造される。このように、焼結処理用シート片１２５を長さ方向に加圧した状態で焼結する一軸加圧焼結法によれば、焼結処理用シート片１２５内の磁石材料粒子に与えられた磁化容易軸の配向が変化することを抑制できる。この焼結段階で、焼結処理用シート片１２５内の樹脂材料は、殆どすべてが蒸散し、残存樹脂量は、あったとしても非常に微量なものとなる。焼結処理により得られる希土類磁石形成用焼結体の密度は、７．５ｇ／ｃｍ3以上であることが好ましい。焼結体密度が高くなることで磁気特性や機械強度が向上する。
【００６７】
本発明の一実施形態による希土類磁石形成用焼結体は、磁石材料粒子のアスペクト比が２以下、好ましくは１．８以下であるのが望ましい。アスペクト比が大き過ぎると、希土類磁石形成用焼結体の機械的強度が低下する傾向があるからである。
【００６８】
この希土類永久磁石形成用焼結体１は、図２に示すロータコア２１の磁石挿入用スロット２４内に、未着磁の状態で挿入される。その後、このスロット２４内に挿入された希土類永久磁石形成用焼結体１に対して、その中に含まれる磁石材料粒子の磁化容易軸すなわちＣ軸に沿って着磁を行う。具体的に述べると、ロータコア２１の複数のスロット２４に挿入された複数の希土類永久磁石形成用焼結体１に対して、ロータコア２１の周方向に沿って、Ｎ極とＳ極とが交互に配置されるように着磁を行う。その結果、永久磁石１を製造することが可能となる。なお、希土類永久磁石形成用焼結体１の着磁には、例えば着磁コイル、着磁ヨーク、コンデンサー式着磁電源装置等の公知の手段のいずれを用いてもよい。また、希土類永久磁石形成用焼結体１は、スロット２４に挿入する前に着磁を行って、希土類永久磁石とし、この着磁された磁石をスロット２４に挿入するようにしてもよい。
【００６９】
本発明による希土類磁石形成用焼結体は、炭素含有量が５００ｐｐｍ以下であって、しかも、磁石材料粒子の平均粒径が２μｍ以下であるため、着磁された磁石は、高い保磁力を有する。本発明の場合、得られる磁石の保磁力（Ｈcj）は、例えば５．０ｋOe以上であり、より好ましくは１０ｋOe以上であり、更に好ましくは１５．０ｋOe以上であり、更に好ましくは１７．０ｋＯｅ以上である。また磁石の、残留磁束密度（Ｂｒ）、角型度（Ｈk／Ｈcj）、磁気エネルギー積（（ＢＨ）max）も、従来のものと比べて遜色ない。
【００７０】
上記に説明した実施形態では、磁石材料粒子とバインダーとを混合した混合物である複合材料を成形することによって、減磁対策が望まれる端部領域の表面に向けて磁化容易軸が適切に集束するように配向させることが可能となるため、着磁後において適切に磁束を集中させることが可能となり、耐減磁性を確保するとともに磁束密度のバラつきも防止できる。さらに、バインダーとの混合物を成形するので、圧粉成形等を用いる場合と比較して、配向後に磁石粒子が回動することもなく、配向度を向上させることが可能となる。磁石材料粒子とバインダーとの混合物である複合材料に対して磁場を印加して配向を行う方法によれば、磁場形成のための電流を通す巻き線の巻き数を適宜増やすことができるため、磁場配向を行う際の磁場強度を大きく確保することができ、かつ静磁場で長時間の磁場印加を施すことができるので、バラつきの少ない高い配向度を実現することが可能となる。そして、配向後に配向方向を補正するようにすれば、高配向でバラつきの少ない配向を確保することが可能となる。
【００７１】
このように、バラつきの少ない高配向度が実現できるということは、焼結による収縮のバラつきの低減に繋がる。したがって、焼結後の製品形状の均一性を確保することができる。その結果、焼結後の外形加工に対する負担が軽減され、量産の安定性が大きく向上することが期待できる。また、磁場配向する工程では、磁石粒子とバインダーとの混合物である複合材料に対して磁場を印加するとともに、磁場の印加された複合材料を成形体へと変形することによって磁化容易軸の方向を操作して、磁場配向を行うので、一旦磁場配向された複合材料を変形することによって、配向方向を補正し、減磁対象領域に向けて磁化容易軸を適切に集束させるように配向することが可能となる。その結果、高配向で、バラつきの少ない配向を達成することが可能になる。複合材料を加工用シート片に成形し、該加工用シート片に磁界を印加した後に、該加工用シート片を変形させて焼結処理用シート片としているので、この変形工程と同時に配向方向を補正することが可能となり、その結果、永久磁石の成形工程と配向工程とを単一の工程で行うことができ、生産性を向上させることが可能となる。また、すでに述べたように、焼結体に着磁することより形成された永久磁石が配置された回転電機では、永久磁石形成用焼結体１に着磁して得られる永久磁石の端部に減磁作用を与える外部磁界が作用したとしても、トルク又は発電量が低下する、という不具合を防止することが可能になる。例えば、上記の実施形態では、永久磁石形成用焼結体１を、断面が台形の形状としているが、用いる用途に応じてその他の形状、例えば、弓型形状、半月型形状にすることも可能である。更に、実現する磁束密度分布の形状は、永久磁石の形状又は用途によって適宜変更することが可能である。
【００７２】
図９（ａ）（ｂ）は、本発明の他の実施形態を示す図７（ａ）（ｂ）と同様な図である。図９（ａ）に示すように、グリーンシート１１９から形成される第１の成形体２００は、一対の脚部２００ａ、２００ｂと、該脚部２００ａ、２００ｂの間の半円形部分２００ｃとからなる倒立Ｕ字形状であり、該第１の成形体２００における磁石材料粒子の磁化容易軸は、外部平行磁界の印加により、図９（ａ）に矢印２００ｄで示すように、図において左から右方向に、平行に配向される。このＵ字形状の第１の成形体２００は、所定の温度条件のもとで変形させられ、図９（ｂ）に示す直線状に成形されて第２の成形体２０１となる。第１の成形体２００から第２の成形体２０１への変形は、無理な変形を生じないように少しずつ段階的に行うことが好ましい。このためには、各変形段階の形状に対応するキャビティを有する成形用の型を準備して、その成形用型内で成形を行うことが好ましい。図９（ｂ）に示す第２の成形体２０１においては、該第２の成形体２０１における磁石材料粒子の磁化容易軸は、一方の端の端部領域２０１ａでは、図に矢印２０２で示すように図の上から下に指向するパラレル配向となり、他方の端の端部領域２０１ｂでは、図に矢印２０３で示すように図の下から上に指向するパラレル配向となる。両端部領域２０１ａ、２０１ｂの間の中央領域２０１ｃでは、図に矢印２０４で示すように上向きに凹の半円形配向となる。この第２の成形体２０１を焼結して得られた希土類磁石形成用焼結体に着磁することによって形成される希土類永久磁石においては、一方の端の端部領域２０１ｂの上面から磁石外に出て、円弧状の経路を辿り、他方の端の端部領域２０１ａの上面から磁石内に入る磁束の流れを生じる。したがって、この磁石によれば、磁石の片面において増強された磁束の流れを生成することができ、例えばリニアモータに使用するのに適した永久磁石を得ることができる。
【００７３】
図１０（ａ）は、本発明のさらに別の実施形態を示すもので、第１の成形体３００は、図９（ａ）に示す第１の成形体２００における倒立Ｕ字形状と比較して、一対の脚部３００ａ、３００ｂが、半円形部分３００ｃとは反対側の端部で幅方向に開いた形状となっている。そして、平行磁界の印加方向は、図において下から上に指向されている。したがって、第１の成形体３００に含まれる磁石材料粒子の磁化容易軸は、図１０（ａ）に矢印３００ｄで示されるように、下から上に平行に配向される。この第１の成形体３００は、図１０（ｂ）に示す円弧状に変形されて、第２の成形体３００ｅとなる。この第２の成形体３００ｅに含まれる磁石材料粒子の磁化容易軸３００ｆは、図１０（ｂ）に示すように、幅方向の中央部に行くにしたがって漸次配向角が大きくなり、中央部に向けて集束する配向となる。このようにして、極異方配向の円弧状セグメント磁石のための磁化容易軸配向をもった焼結体を形成することができる。図１０（ｃ）は、図１０（ｂ）の変形であり、第２の成形体３００ｇは、第１の成形体３００から細長い長方体形状に変形させられる。この変形例による第２の成形体３００ｇにおける磁化容易軸３００ｈの配向は、図１０（ｂ）に示すものと同様なものとなる。図１０（ｂ）に示す極異方配向の円弧状セグメントを焼結して形成された焼結体に着磁することによって得られる極異方配向の円弧状セグメント磁石は、電動モータのロータ周面に周方向に並べて配置して、永久磁石表面配置型モータ（ＳＰＭモータ）を構成するのに使用することができる。
【００７４】
図１０（ｄ）は、図１０(ａ）に示す第１の成形体３００を上下反転させることにより、一対の脚部４００ａ、４００ｂと該脚部４００ａ、４００ｂ間の半円形部分４００ｃとを有する開脚Ｕ字形に形成された第１の成形体４００を示すものである。外部平行磁界は、図において下から上に指向される。その結果、該第１の成形体４００に含まれる磁石材料粒子の磁化容易軸は、図に符号４００ｄで示すように、下から上に指向された平行配向となる。この第１の成形体４００を、半円形部分４００の曲率半径より大きい曲率半径を有する円弧状に変形させることによって形成された第２の成形体４００ｅを図１０(ｅ）に示す。この第２の成形体４００ｅに含まれる磁石材料粒子の磁化容易軸４００ｆは、図１０（ｅ）に示すように、幅方向の中央部から端部に向かって拡がる配向となる。図１０（ｆ）は、図１０（ｅ）の変形であり、第２の成形体４００ｇは、第１の成形体４００から細長い長方体形状に変形させられる。この変形例による第２の成形体４００ｇにおける磁化容易軸４００ｈの配向は、図１０（ｅ）に示すものと同様なものとなる。
【００７５】
図１１（ａ）（ｂ）は、円環状で磁石材料粒子の磁化容易軸が半径方向に配向された、ラジアル配向の希土類磁石形成用焼結体を製造する方法を示す側面図及び斜視図である。図１１（ａ）は、第１の成形体５００を示すもので、該第１の成形体５００は、第１の表面である下面５００ａと、該下面５００ａに平行な第２の表面である上面５００ｂと、両端の端面５００ｃ、５００ｄとを有する、ほぼ長方形横断面で、図の紙面に直角な方向の長さを有する長方体形状である。この第１の成形体５００には、下から上に向けて平行外部磁界が印加され、該第１の成形体５００に含まれる磁石材料粒子の磁化容易軸は、図１１（ａ）に符号５００ｅで示すように、下面５００ａから上面５００ｂに向けて平行に配向される。この第１の成形体５００は、図１１（ａ）の紙面の平面内で、上面５００ｂが外側になり、下面５００ａが内側になるように、円環状に曲げられる。この曲げ加工に際して、両端面５００ｃ、５００ｄが適切に突き合わされて円環が形成されるように、該両端面を斜めに裁断する。そして、突き合わされた両端面５００ｃ、５００ｄを互いに融着して接合する。この曲げ加工及び両端部の融着により図１１（ｂ）に示す円環状の第２の成形体５００ｇが形成される。図１１（ｂ）に示すように、第２の成形体５００ｇにおいては、磁石材料粒子の磁化容易軸５００ｆは、半径方向外向きのラジアル配向となる。次に、図１１（ｃ）を参照すると、図１１（ａ）に示す第１の成形体５００は、図の紙面に直角な方向、すなわち長さ方向に延びる部分が内側になるようにして、円環状に曲げられる。この場合には、曲げ加工に際して両端面５００ｃ、５００ｄが適切に突き合わされて円環が形成されるように、該両端面を、長さ方向に斜めに裁断する。そして、突き合わされた両端面５００ｃ、５００ｄを互いに融着して接合する。この曲げ加工及び両端部の融着により図１０（ｃ）に示す円環状の第２の成形体５００ｇ’が形成される。図１０（ｃ）に示すように、第２の成形体５００ｇ’においては、磁石材料粒子の磁化容易軸５００ｈは、円環の軸方向に平行なアキシャル配向となる。
【００７６】
図１２は、図１１（ｂ）に示すラジアル配向の円環状に形成された第２の成形体５００ｇと、図１１（ｃ）に示すアキシャル配向の円環状に形成された第２の成形体５００ｇ’とを焼結した希土類磁石形成用焼結体に着磁することによって得られる焼結型希土類永久磁石を、互いに交互に重ねることによって形成されるハルバッハ配列の磁石を示す。ハルバッハ配列の円環状磁石は、同期リニアモータなどの用途に有望視されており、例えば米国特許第５７０５９０２号明細書（特許文献５）には、この種の磁石を直列電動発電機に使用した例が開示されており、特開２０１３−２１５０２１号公報（特許文献６）には、別の応用例が開示されているが、ラジアル配向及びアキシャル配向の円環状磁石を、安定的に低価格で製造することは容易ではない。しかし、本発明の方法によれば、上述のように、容易に、かつ、高い磁気特性の、ラジアル及びアキシャル配向円環状磁石を製造することができる。
【００７７】
図１３に、図９（ｂ）に示す希土類焼結磁石と類似する磁化容易軸配向を有する希土類焼結磁石を製造するための、本発明のさらに他の実施形態を示す。こ実施形態においては、図１３（ａ）にしめすように、グリーンシート６００の幅方向に平行に、外部平行磁場が印加される。この外部平行磁場の印加により、グリーンシート６００内に含まれる磁石材料粒子の磁化容易軸は、図１３（ａ）に矢印６００ａで示すように、グリーンシート６００の幅方向に配向される。次いで、このように磁化容易軸が配向されたグリーンシート６００は、半円形円弧状状のキャビティを有する型内に挿入されて、グリーンシート６００の樹脂成分の軟化温度まで加熱された状態で、半円形円弧状に変形させられて、図１３（ｂ）に示すような円弧状部材６００ｂとなる。該円弧状部材６００ｂの厚み分だけ曲率半径の異なる多数の円弧状部材が形成される。これら異なる曲率半径の多数の円弧状部材６００ｃが重ねられ、互いに融着されて、図１３（ｃ）に示すように半円形中間部材６００ｃが形成される。このとき、円弧の中心位置に使用される半円形部材６００ｄは、グリーンシート６００から直接切り出すことによって形成することができる。
【００７８】
半円形中間部材６００ｃは、図１３（ｄ）に示すように、幅方向両端部６００ｅ、６００ｆと、下部６００ｇを切り落すことにより、中央部の、所定の厚み方向寸法と、所定の幅方向寸法を有する長方形部分が、焼結用部材片６００ｈとして切り出される。この焼結用部材片６００ｈの両端には、下向きの磁化容易軸配向を有する焼結用端部片６００ｉと、上向きの磁化容易軸配向を有する焼結用端部片６００ｊとが、それぞれ融着されて、焼結用磁石部材７００が形成される。この焼結用磁石部材７００は、対応する形状のキャビティを有する焼結用型内に挿入され、所定の焼結条件で焼結処理されて、図１３（ｆ）に示す希土類磁石形成用焼結体７０１が形成される。この焼結処理に際しては、焼結用磁石部材７００には、その長さ方向、すなわち図の紙面に直角の方向に加圧力を加えてもよいし、加えなくてもよい。このようにして得られた希土類磁石形成用焼結体７０１は、図１３（ｆ）に示すように、磁化容易軸の配向が、中央部材では、上向きに凹の円弧状であり、両端部では下向き及び上向きになる。この焼結体７０１に着磁することによって得られる希土類焼結磁石は、図９（ｂ）に示すものと同様の磁束を生成することができる。
【実施例】
【００７９】
以下に、本発明の実施例を説明する。ここに示す実施例では、下記表１の材料及び表２の合金を使用した。【００８０】
【表１】
2017022684.tif 000003
【００８１】
【表２】
2017022684.tif 000004
【００８２】
〔実施例１〕
以下の手順で、希土類焼結磁石を作成した。【００８３】
＜粗粉砕＞
ストリップキャスティング法により得られた、合金組成Ａ（Ｎｄ：２３ｗｔ％、Ｐｒ：６．７５ｗｔ％、Ｂ：１．００ｗｔ％、Ｇａ：０．１ｗｔ％、Ｎｂ：０．２ｗｔ％、Ｃｏ：２．０ｗｔ％、Ｃｕ：０．１ｗｔ％、残部Ｆｅ、その他不可避不純物を含む）の合金を、室温にて水素を吸蔵させ、０．８５ＭＰａで１日保持した。その後、液化Ａｒで冷却しながら、０．２ＭＰａで１日保持することにより、水素解砕を行った。【００８４】
＜微粉砕＞
水素粉砕された合金粗粉１００重量部に対して、Ｚｒビーズ（２φ）１．５ｋｇを混合し、タンク容量０．８Ｌのボールミル（製品名：アトライタ ０．８Ｌ、日本コークス工業社製）に投入し、回転数５００ｒｐｍで２時間粉砕した。粉砕時の粉砕助剤として、ベンゼンを１０重量部添加し、また、溶媒として液化Ａｒを用いた。【００８５】
＜混練＞
粉砕後の合金粒子１００重量部に対して、１−オクタデシン６．７重量部、ポリイソブチレン（ＰＩＢ）（Ｂ１００、ＢＡＳＦ製）のトルエン溶液（１０重量％）４０重量部を混合し、ミキサー（装置名：ＴＸ−０．５、井上製作所製）により７０℃で減圧加熱撹拌を行った。トルエン留去後、更に同条件下で２時間混練を行ない、粘土状の複合材料を作製した。【００８６】
＜第１の成形体の形成＞
該混練工程で作成した複合材料を44mm×4mm×4mmのキャビティーを有するステンレス鋼（ＳＵＳ）製の型に収めて、第１の成形体を形成した。【００８７】
＜磁場配向＞
作成した第１の成形体を、超伝導ソレノイドコイル（装置名：ＪＭＴＤ−１２Ｔ１００、ＪＡＳＴＥＣ製）により、配向処理を行った。配向は外部磁場７Ｔ、８０℃で１０分間行った。磁場は、４ｍｍの厚み方向に対して平行に印加した。その後、逆磁場を掛けることにより、脱磁処理を施した。逆磁場の印加は、-０．２Ｔから＋０．１８Ｔ、さらに−０．１６Ｔへと強度を変化させながら、ゼロ磁場へと漸減させることにより行った。【００８８】
＜仮焼（脱炭素）＞
磁場配向処理を行った成形体をステンレス鋼製の型から取り出し、高圧高温水素中（０．８ＭＰａ）で脱炭素処理を行った。脱炭素処理は、室温から３５０℃まで８時間かけて昇温した後、２時間３５０℃で保持して行った。【００８９】
＜焼結＞
脱炭素後、減圧中にて焼結を行った。焼結は、９５０℃まで２時間かけて昇温後、９６０℃で２時間保持して行った。焼結後、室温まで冷却した。【００９０】
＜焼鈍＞
得られた焼結体を、減圧下で室温から５００℃まで０．５時間かけて昇温した後、５００℃で１時間保持し、その後急冷することで焼鈍を行った。【００９１】
〔実施例２〜１４〕
表２に記載の条件に変更したこと以外は、実施例１と同様の操作を行い、各焼結体を得た。【００９２】
なお、ジェットミル粉砕は、次の通り行った。水素粉砕された合金粗粉１００重量部に対して、カプロン酸メチル１重量部を混合した後、ヘリウムジェットミル粉砕装置（装置名：ＰＪＭ−８０ＨＥ、ＮＰＫ製）により粉砕を行った。粉砕した合金粒子の捕集は、サイクロン方式により分離回収し、超微粉は除去した。粉砕時の供給速度を１ｋｇ／ｈとし、Ｈｅガスの導入圧力は０．６ＭＰａ、流量１．３ｍ3／ｍｉｎ、酸素濃度１ｐｐｍ以下、露点−７５℃以下であった。【００９３】
また、混練時にオレイルアルコール系を用いた場合は、次の通り行った。粉砕後の合金粒子１００重量部に対して、１−オクテンを４０重量部添加し、ミキサー（装置名：ＴＸ−０．５、井上製作所製）により６０℃で１時間加熱撹拌を行った。その後、１−オクテンとその反応物を減圧加熱留去し脱水素処理を行った。そこに、表３記載量のオレイルアルコール、１−オクタデセンおよびポリイソブチレン（ＰＩＢ）（Ｂ１００、ＢＡＳＦ製）のトルエン溶液（１０重量％）を加え７０℃の減圧加熱撹拌条件でトルエン留去後、減圧下で２時間混練を行ない、粘土状の複合材料を作製した。【００９４】
実施例２〜１４の各工程における処理条件をまとめて表３に示す。【００９５】
【表３】
2017022684.tif 000005
【００９６】
＜炭素量・酸素量、窒素量、水素量＞
得られた焼結体の炭素量は、炭素量分析装置（装置名：ＥＭＡ６２０ＳＰ、堀場製作所製）、酸素量・窒素量は、酸素・窒素分析装置（装置名：ＰＣ４３６、ＬＥＣＯ社製)、水素量は水素分析装置（装置名：ＲＨ４０４、ＬＥＣＯ社製)にて分析を行った。【００９７】
焼結体は、表面を研削し、酸化層を取り除いた後に、グローブボックス内で数１０μｍ程度まで粉砕した。酸素量・窒素量分析ではＮｉパン（ＬＥＣＯジャパン合同会社）に、水素量分析では、Ｓｎパン（ＬＥＣＯ社製  φ5.0mm/H13mm）に得られた粉砕粉を３０〜４０ｍｇ程度、封入し、被験サンプルとした。炭素量分析では、直接装置に０．２ｇ程度を投入し、分析を行った。分析は２回行い、その平均値を分析値として採用した。【００９８】
＜粉砕粒子径＞
微粉砕後の粉砕粒子径は、レーザ回折/散乱式粒子径分布測定装置（装置名：ＬＡ９５０、ＨＯＲＩＢＡ製）により測定を行った。具体的には、微粉砕粉を徐酸化した後に、数百mgの徐酸化粉をシリコーンオイル（製品名：ＫＦ−９６Ｈ−１００万ｃｓ、信越化学製）と均一に混合してペースト状とし、それを石英ガラスに挟むことで被験サンプルとした（ＨＯＲＩＢＡペースト法）。【００９９】
粒度分布（体積%）のグラフにて、Ｄ５０の値を平均粒子径とした。ただし、粒度分布がダブルピークの場合は、粒子径が小さいピークのみに対してＤ５０を算出する事で、平均粒子径とした。【０１００】
＜焼結粒子径＞
得られた焼結体の焼結粒子径は、焼結体の表面をＳｉＣペーパー研磨、バフ研磨、及びミリングにより表面処理をした後に、ＥＢＳＤ検出器（装置名：ＡＺｔｅｃＨＫＬ ＥＢＳＤ ＮｏｒｄｌｙｓＮａｎｏ Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ 、Ｏｘｆｏｒｄ Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔｓ製）を備えたＳＥＭ（装置名：ＪＳＭ−７００１Ｆ、日本電子製）、もしくは、ＥＤＡＸ社製のＥＢＳＤ検出器（Ｈｉｋａｒｉ  Ｈｉｇｈ  Ｓｐｅｅｄ  ＥＢＳＤ  Ｄｅｔｅｃｔｏｒ）を備えた走査電子顕微鏡（ＺＥＩＳＳ社製ＳＵＰＲＡ４０ＶＰ）により分析した。視野角は粒子個数が少なくとも２００個以上入るように設定し、ステップは０．１もしくは０．２μｍに設定した。粒子径が大きい場合は、粒子径に対して１／１０程度のステップに設定するのが好ましい。【０１０１】
分析データはＣｈａｎｅｌ５（Ｏｘｆｏｒｄ Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔｓ製）、もしくはＯＩＭ解析ソフト  ｖｅｒ５．２（ＥＤＡＸ社製）により解析を行い、粒界の判断は結晶方位のズレ角度が２°以上となる部分を粒界層として、処理を行った。主相のみを抽出し、その円相当径の個数平均値を焼結粒子径とした。【０１０２】
図１７に、実施例１１の磁石材料粒子について焼結粒子径を測定した際の具体的手法を示す。図１７（ａ）のようなＳＥＭ観察から、２０μｍの測定エリアについて、ＥＢＳＤ分析で粒界を判断し、ＥＢＳＤ分析では結晶方位を読み取ることのできなかった部分（図１７（ｂ）中の黒塗り部分）を除き、線で区分されている粒界層について、粒子径を決定した。【０１０３】
＜アスペクト比＞
得られた焼結体の焼結粒子アスペクト比は、粒子形状に外接する長方形のうち最も長い辺の長さ（a）と最も短い辺の長さ（b）を算出し、その比をアスペクト比(a/b)とした。ＥＢＳＤによる粒界抽出像をＩｍａｇｅＪ（Ｗａｙｎｅ  Ｒａｓｂａｎｄ製）により、解析する事で(a)、(b)を決定した。【０１０４】
＜磁気特性評価＞
得られた焼結体に対して研磨を行い、BHトレーサー（装置名：ＴＲＦ−５ＢＨ−２５、東英工業製）にて、保磁力（Ｈcj）、残留磁束密度（Ｂｒ）、角型度（Ｈk／Ｈcj）、磁気エネルギー積（（ＢＨ）max）を測定した。【０１０５】
得られた実施例１〜１４の評価結果を表４に示す。【０１０６】
【表４】
2017022684.tif 000006
【０１０７】
実施例１〜実施例１４のいずれにおいても、希土類磁石形成用焼結体は、炭素含有量が５００ｐｐｍ以下であって、しかも、磁石材料粒子の平均粒径が２μｍ以下であり、着磁された磁石は、１７．０ｋＯｅ以上の高い保磁力（Ｈcj）を有するとともに、残留磁束密度（Ｂｒ）、角型度（Ｈk／Ｈcj）、磁気エネルギー積（（ＢＨ）max）も、従来のものと比べて遜色ないことが確認できた。【０１０８】
〔実施例１５〕
磁場配向後、以下のように第１の成形体の形成、第２の成形体の形成、脱オイル処理を行ったこと、及び、表５、６に記載の条件に変更したこと以外は、実施例１と同様の操作を行い、各焼結体を得た。磁場の印加方向は、図７（ａ）に示す方向にて印加した。
＜第１の成形体の形成＞
混練工程で作成した複合材料を図７（ａ）に示す形状と同一のキャビティー（端部領域７ａ、８ａの第１の表面に対応する部分の曲率半径が２１．５０ｍｍであり、端部領域７ａ、８ａの第２の表面に対応する部分の曲率半径が１９．８ｍｍであり、）を有するステンレス鋼（ＳＵＳ）製の型に収めて、第１の成形体を形成した。
＜第２の成形体の形成＞
上記のように脱磁処理を行った第１の成形体を、ステンレス鋼製の型から成形体を取り出し、端部領域７ａ、８ａの第２の表面に対応する部分の曲率半径が５０．００ｍｍであるキャビティを有する雌型に収め、第１の表面に対応する部分の曲率半径が５０．００ｍｍである型面を有する雄型で押圧することにより、該第１の成形体を変形させて、中間成形体を形成した。次いで、該中間成形体を、第２の成形体に対応するキャビティを有する雌型に収め、該第２の成形体の第１の表面に対応する型面を有する雄型で押圧することにより、該中間成形体を変形させて、第２の成形体を形成した。中間成形体及び第２の成形体への変形は、いずれも６０℃の温度条件のもとで行った。変形後は、ステンレス鋼製の型から成形体を取り出し、成形体と同一形状のキャビティーを有するグラファイト製の型に挿入した。グラファイト型のキャビティーの長さ方向長さは、成型したコンパウンドの長さ方向よりも２０ｍｍ程度長いキャビティーを有しており、キャビティーの中央部に位置するように挿入する。グラファイト型には離型材として、ＢＮ（窒化ホウ素）粉末を塗布した。【０１０９】
＜脱オイル＞
グラファイト型に挿入された成形体に対して、減圧雰囲気下にて、脱オイル処理を行った。排気ポンプは、ロータリーポンプで行い、室温から１００℃まで０．９１℃／ｍｉｎで昇温し、４０ｈ保持した。この工程によって、配向潤滑剤、可塑剤のようなオイル成分を揮発により除去した。【０１１０】
＜焼結＞
脱炭素後に、減圧中で焼結を行った。この焼結は、第２の成形体をグラファイト型内に収めたまま、該第２の成形体に対して、初期荷重として２．４ＭＰａの加圧を長さ方向に加えながら、７００℃まで２７℃／ｍｉｎで昇温した。その後、最終焼結温度である９５０℃まで１２ＭＰａの加圧下で、７．１℃／ｍｉｎで昇温し、９５０℃で５分保持することで行った。得られた焼結体は、焼結後に室温まで冷却した。【０１１１】
〔実施例１６〜１７〕
磁場配向後、以下のように第２の成形体の形成を行ったこと、及び、表５に記載の条件に変更したこと以外は、実施例１と同様の操作を行い、各焼結体を得た。第１の成形体は実施例１５と同様に行い、磁場の印加方向は、図７（ａ）に示す方向にて印加した。なお、実施例１６と実施例１７は厚みの異なる形状である。【０１１２】
＜第２の成形体の形成＞
上記のように脱磁処理を行った第１の成形体を、ステンレス鋼製の型から成形体を取り出し、端部領域７ａ、８ａの第２の表面に対応する部分の曲率半径が５０．００ｍｍであるキャビティを有する雌型に収め、第１の表面に対応する部分の曲率半径が５０．００ｍｍである型面を有する雄型で押圧することにより、該第１の成形体を変形させて、中間成形体を形成した。次いで、該中間成形体を、第２の成形体に対応するキャビティを有する雌型に収め、該第２の成形体の第１の表面に対応する型面を有する雄型で押圧することにより、該中間成形体を変形させて、第２の成形体を形成した。中間成形体及び第２の成形体への変形は、いずれも６０℃の温度条件のもとで行った。【０１１３】
【表５】
2017022684.tif 000007
【０１１４】
【表６】
2017022684.tif 000008
【０１１５】
実施例１５〜１７では、実施例１と同様の評価に加え、以下のように配向軸角度の測定も行った。
＜配向軸角度、配向角バラツキ角度の測定＞
得られた焼結体の配向は、焼結体の表面をＳｉＣペーパー研磨、バフ研磨、ミリングにより表面処理をした後、ＥＢＳＤ検出器（装置名：ＡＺｔｅｃＨＫＬ ＥＢＳＤ ＮｏｒｄｌｙｓＮａｎｏ Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ 、Ｏｘｆｏｒｄ Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔｓ製）を備えたＳＥＭ（装置名：JSM-7001F、日本電子製）、もしくは、ＥＤＡＸ社製のＥＢＳＤ検出器（Ｈｉｋａｒｉ  Ｈｉｇｈ  Ｓｐｅｅｄ  ＥＢＳＤ  Ｄｅｔｅｃｔｏｒ）を備えた走査電子顕微鏡（ＺＥＩＳＳ社製ＳＵＰＲＡ４０ＶＰ）により分析した。なお、ＥＢＳＤの分析は、３５μｍの視野角で、０．２μｍステップにて行った。分析精度を向上させるために、少なくとも３０個の焼結粒子が入るように分析を行った。分析データはＣｈａｎｅｌ５（Ｏｘｆｏｒｄ Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔｓ製）、もしくはＯＩＭ解析ソフト  ｖｅｒ５．２（ＥＤＡＸ社製）により解析を行った。【０１１６】
本実施例では、焼結体である台形磁石を長さ方向の中央で切断し、その断面において測定を行った。測定は、当該断面の厚み方向の中央において、台形の左端付近・右端付近と中央付近との計３箇所を分析した。【０１１７】
各分析点において、磁化容易軸が最も高頻度で向いている方向をその分析点における配向軸方向とし、基準面に対する配向軸方向の角度を配向軸角度とし、図１５（ａ）に示すように、台形の底面をＡ２軸方向とＡ３軸方向とを含む平面とするとき、この平面を基準面として、Ａ１軸からＡ３軸方向への配向軸のずれ角αと、Ａ１軸からＡ２軸方向への配向軸のずれ角βとを配向軸角度として求めた。また、各分析点の中で最も角度差がある２つの配向軸角度について成す角度を求め、配向軸角度差φを算出した（０°≦φ≦９０°）。【０１１８】
また、各ＥＢＳＤ分析において、配向軸方向を０°に補正した後に、０°方向からの各結晶粒子の磁化容易軸の配向軸方向に対する角度差Δθをピクセル単位で算出し（０°≦Δθ≦９０°）、当該角度差Δθの頻度を９０°から０°にかけて積算した累積比率をグラフにプロットし、累計比率が５０％となる角度を配向角バラツキ角度（Δθの半値幅）として求めた。【０１１９】
結果を表７に示す。【０１２０】
【表７】
2017022684.tif 000009
【０１２１】
実施例１５〜実施例１７のいずれにおいても、希土類磁石形成用焼結体は、炭素含有量が５００ｐｐｍ以下であって、磁石材料粒子の平均粒径が２μｍ以下であり、さらに、複数の領域内における磁石材料粒子に対し、それぞれ異なる方向の磁化容易軸の配向が与えられたこと、具体的には、各分析点の配向ベクトルの成す角φは少なくとも20°以上であることからパラレル配向ではなく、さらに、各分析点の配向角バラツキ角度の指標であるΔθの半値幅の値が１０°〜２４°程度であることから、非パラレル磁石でありながらバラツキの小さい磁石が得られていることが確認できた。
【符号の説明】
【０１２２】
１・・・希土類永久磁石形成用焼結体
２・・・上辺
３・・・下辺
４、５・・・端面
６・・・中央領域
７、８・・・端部領域
２０・・・電動モータ
２１・・・ロータコア
２１ａ・・・周面
２２・・・エアギャップ
２３・・・ステータ
２３ａ・・・ティース
２３ｂ・・・界磁コイル
２４・・・磁石挿入用スロット
２４ａ・・・直線状中央部分
２４ｂ・・・傾斜部分
３０・・・希土類磁石
１１７・・・複合材料
１１８・・・支持基材
１１９・・・グリーンシート
１２０・・・スロットダイ
１２３・・・加工用シート片
１２５・・・焼結処理用シート片
Ｃ・・・磁化容易軸
θ・・・傾斜角
【図１（ａ）】
2017022684.tif 000010
【図１（ｂ）】
2017022684.tif 000011
【図２】
2017022684.tif 000012
【図３】
2017022684.tif 000013
【図４】
2017022684.tif 000014
【図５】
2017022684.tif 000015
【図６（ａ）】
2017022684.tif 000016
【図６（ｂ）】
2017022684.tif 000017
【図６（ｃ）】
2017022684.tif 000018
【図６（ｄ）】
2017022684.tif 000019
【図７（ａ）】
2017022684.tif 000020
【図７（ｂ）】
2017022684.tif 000021
【図７（ｃ）】
2017022684.tif 000022
【図８】
2017022684.tif 000023
【図９（ａ）】
2017022684.tif 000024
【図９（ｂ）】
2017022684.tif 000025
【図１０（ａ）】
2017022684.tif 000026
【図１０（ｂ）】
2017022684.tif 000027
【図１０（ｃ）】
2017022684.tif 000028
【図１０（ｄ）】
2017022684.tif 000029
【図１０（ｅ）】
2017022684.tif 000030
【図１０（ｆ）】
2017022684.tif 000031
【図１１（ａ）】
2017022684.tif 000032
【図１１（ｂ）】
2017022684.tif 000033
【図１１（ｃ）】
2017022684.tif 000034
【図１２】
2017022684.tif 000035
【図１３（ａ）】
2017022684.tif 000036
【図１３（ｂ）】
2017022684.tif 000037
【図１３（ｃ）】
2017022684.tif 000038
【図１３（ｄ）】
2017022684.tif 000039
【図１３（ｅ）】
2017022684.tif 000040
【図１３（ｆ）】
2017022684.tif 000041
【図１４（ａ）】
2017022684.tif 000042
【図１４（ｂ）】
2017022684.tif 000043
【図１５】
2017022684.tif 000044
【図１６（ａ）】
2017022684.tif 000045
【図１６（ｂ）】
2017022684.tif 000046
【図１６（ｃ）】
2017022684.tif 000047
【図１７（ａ）】
2017022684.tif 000048
【図１７（ｂ）】
2017022684.tif 000049
【国際調査報告】
2017022684.tif 000050
2017022684.tif 000051
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