(57)【要約】  極端紫外光生成装置は、レーザ光を出力するレーザ装置と共に用いられる極端紫外光生成装置であって、内部の生成領域でターゲットに前記レーザ光が照射されることで発生するプラズマから極端紫外光が生成されるチャンバと、前記チャンバ内の前記生成領域に向かって前記ターゲットをドロップレットとして出力するターゲット供給器と、前記ターゲット供給器と前記生成領域との間にある検出領域において前記ドロップレットを検出するドロップレット検出器と、前記レーザ光を出力する契機を前記レーザ装置に与えるトリガ信号を前記レーザ装置に送信する制御部と、を備え、前記ドロップレット検出器は、前記ドロップレットが前記検出領域を通過したタイミングを示す通過タイミング信号を前記制御部に送信し、前記制御部は、前記プラズマから放射された電磁波に起因して前記通過タイミング信号に重畳するノイズを補償するノイズ補償部を含み、前記ノイズ補償部によって前記ノイズが補償された前記通過タイミング信号に基づいて、前記トリガ信号を前記レーザ装置に送信してもよい。
2017051454.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ光を出力するレーザ装置と共に用いられる極端紫外光生成装置であって、
内部の生成領域でターゲットに前記レーザ光が照射されることで発生するプラズマから極端紫外光が生成されるチャンバと、
前記チャンバ内の前記生成領域に向かって前記ターゲットをドロップレットとして出力するターゲット供給器と、
前記ターゲット供給器と前記生成領域との間にある検出領域において前記ドロップレットを検出するドロップレット検出器と、
前記レーザ光を出力する契機を前記レーザ装置に与えるトリガ信号を前記レーザ装置に送信する制御部と、
を備え、
前記ドロップレット検出器は、前記ドロップレットが前記検出領域を通過したタイミングを示す通過タイミング信号を前記制御部に送信し、
前記制御部は、
前記プラズマから放射された電磁波に起因して前記通過タイミング信号に重畳するノイズを補償するノイズ補償部を含み、
前記ノイズ補償部によって前記ノイズが補償された前記通過タイミング信号に基づいて、前記トリガ信号を前記レーザ装置に送信する
極端紫外光生成装置。
【請求項２】
前記ドロップレットが前記検出領域を通過したタイミングは、前記ドロップレットが前記検出領域に進入してから前記検出領域を退去するまでの期間である検出期間以内に含まれ、
前記ノイズ補償部は、
前記ノイズが前記通過タイミング信号に重畳するタイミングを前記検出期間外に分離すると共に、
前記検出期間から分離されたタイミングで前記通過タイミング信号に重畳する前記ノイズをマスクする
ことによって、前記ノイズを補償する
請求項１に記載の極端紫外光生成装置。
【請求項３】
前記ノイズ補償部は、前記ドロップレットの速度を補正することによって、前記ノイズが前記通過タイミング信号に重畳する前記タイミングを前記検出期間外に分離する
請求項２に記載の極端紫外光生成装置。
【請求項４】
前記ターゲット供給器は、溶融状態の前記ターゲットに圧力を加えることによって、前記ターゲットを前記ドロップレットとして前記チャンバ内に出力し、
前記ノイズ補償部は、前記ターゲット供給器にて前記ターゲットに加わる前記圧力を補正することによって、前記ドロップレットの前記速度を補正する
請求項３に記載の極端紫外光生成装置。
【請求項５】
前記ノイズ補償部は、前記速度が補正された前記ドロップレットが前記生成領域に到達するタイミングと前記レーザ光が前記生成領域に到達するタイミングとが略一致するよう、前記トリガ信号が前記制御部から送信されるタイミングを補正する
請求項４に記載の極端紫外光生成装置。
【請求項６】
前記ノイズ補償部は、複数の前記ドロップレットを出力する時間間隔を補正することによって、前記ノイズが前記通過タイミング信号に重畳する前記タイミングを前記検出期間外に分離する
請求項２に記載の極端紫外光生成装置。
【請求項７】
前記ターゲット供給器は、溶融状態で前記チャンバ内に噴出する前記ターゲットに振動を加えることによって、前記ターゲットから前記複数のドロップレットを生成して前記チャンバ内に出力し、
前記ノイズ補償部は、前記ターゲット供給器にて前記ターゲットに加わる前記振動の周波数を補正することによって、前記複数のドロップレットの前記時間間隔を補正する
請求項６に記載の極端紫外光生成装置。
【請求項８】
前記ノイズ補償部は、前記検出領域から前記生成領域までの距離を補正することによって、前記ノイズが前記通過タイミング信号に重畳する前記タイミングを前記検出期間外に分離する
請求項２に記載の極端紫外光生成装置。
【請求項９】
前記検出領域及び前記生成領域を通る前記ドロップレットの軌道に沿って前記検出領域の位置を移動させる移動機構を更に備え、
前記ノイズ補償部は、前記移動機構を用いて前記検出領域の前記位置を補正することによって、前記検出領域から前記生成領域までの距離を補正する
請求項８に記載の極端紫外光生成装置。
【請求項１０】
前記ノイズ補償部は、前記距離が補正された前記検出領域を通過する前記ドロップレットが前記生成領域に到達するタイミングに前記レーザ光が前記生成領域に到達するよう、前記トリガ信号が前記制御部から送信されるタイミングを補正する
請求項９に記載の極端紫外光生成装置。
【請求項１１】
前記ノイズ補償部は、
前記ノイズが前記通過タイミング信号に重畳するタイミングを、前記検出期間を含むノイズ禁止期間外に分離すると共に、
前記ノイズ禁止期間から分離されたタイミングで前記通過タイミング信号に重畳する前記ノイズをマスクする
請求項２に記載の極端紫外光生成装置。
【請求項１２】
前記ノイズ禁止期間は、前記ノイズの時間幅と前記検出期間との合計時間よりも長い
請求項１１に記載の極端紫外光生成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、極端紫外光生成装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、半導体プロセスの微細化に伴って、半導体プロセスの光リソグラフィにおける転写パターンの微細化が急速に進展している。次世代においては、２０ｎｍ以下の微細加工が要求されるようになる。このため、波長１３ｎｍ程度の極端紫外（ＥＵＶ）光を生成する極端紫外（ＥＵＶ）光生成装置と縮小投影反射光学系とを組み合わせた露光装置の開発が期待されている。【０００３】
ＥＵＶ光生成装置としては、ターゲットにレーザ光を照射することによって生成されるプラズマが用いられるＬＰＰ（Laser Produced Plasma）式の装置と、放電によって生成されるプラズマが用いられるＤＰＰ（Discharge Produced Plasma）式の装置と、軌道放射光が用いられるＳＲ（Synchrotron Radiation）式の装置との３種類の装置が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１１−３８８７号公報
【特許文献２】特表２０１４−５３４５５９号公報
【特許文献３】特開２００９−９５８２６号公報
【特許文献４】特開２０１３−６２１４６号公報
【概要】
【０００５】
本開示の１つの観点に係る極端紫外光生成装置は、レーザ光を出力するレーザ装置と共に用いられる極端紫外光生成装置であって、内部の生成領域でターゲットにレーザ光が照射されることで発生するプラズマから極端紫外光が生成されるチャンバと、チャンバ内の生成領域に向かってターゲットをドロップレットとして出力するターゲット供給器と、ターゲット供給器と生成領域との間にある検出領域においてドロップレットを検出するドロップレット検出器と、レーザ光を出力する契機をレーザ装置に与えるトリガ信号をレーザ装置に送信する制御部と、を備え、ドロップレット検出器は、ドロップレットが検出領域を通過したタイミングを示す通過タイミング信号を制御部に送信し、制御部は、プラズマから放射された電磁波に起因して通過タイミング信号に重畳するノイズを補償するノイズ補償部を含み、ノイズ補償部によってノイズが補償された通過タイミング信号に基づいて、トリガ信号をレーザ装置に送信してもよい。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
本開示のいくつかの実施形態を、単なる例として、添付の図面を参照して以下に説明する。
【図１】図１は、例示的なＬＰＰ式のＥＵＶ光生成システムの構成を概略的に示す。
【図２】図２は、比較例のＥＵＶ光生成装置の構成を説明するための図を示す。
【図３】図３は、比較例に係るターゲット供給器及びドロップレット検出器の構成を説明するための図を示す。
【図４】図４は、制御部によって制御されるレーザ装置の出力タイミングを説明するための図である。
【図５】図５は、比較例のＥＵＶ光生成装置の課題を説明するための図を示す。
【図６】図６は、第１実施形態のＥＵＶ光生成装置の構成を説明するための図を示す。
【図７】図７は、第１実施形態に係るノイズ補償部に含まれるノイズ判定機能を説明するための図を示す。
【図８】図８は、第１実施形態に係るノイズ補償部に含まれるノイズ分離機能を説明するための図を示す。
【図９】図９は、ノイズ分離機能の一態様としてドロップレットの速度を補正する機能を説明するための図を示す。
【図１０】図１０は、ノイズ分離機能の一態様であるドロップレットの速度を補正する機能を用いて、ドロップレットの速度補正量を具体的に計算した例を説明するための図である。
【図１１】図１１は、ドロップレットの速度補正量と、タンク内のターゲットに加わる圧力の圧力補正量との関係を記述した近似式を説明するための図である。
【図１２】図１２は、ドロップレットの速度補正量と、タンク内のターゲットに加わる圧力の圧力補正量とを対応付けたテーブルを示す図である。
【図１３】図１３は、第１実施形態に係るノイズ補償部に含まれるノイズマスク機能及び遅延時間補正機能を説明するための図を示す。
【図１４】図１４は、第１実施形態に係るノイズ補償部の処理を説明するための図を示す。
【図１５】図１５は、第２実施形態に係るノイズ補償部に含まれるノイズ分離機能を説明するための図を示す。
【図１６】図１６は、第３実施形態のＥＵＶ光生成装置の構成を説明するための図を示す。
【図１７】図１７は、第３実施形態に係るノイズ補償部に含まれるノイズ判定機能を説明するための図を示す。
【図１８】図１８は、第３実施形態に係るノイズ補償部に含まれるノイズ分離機能を説明するための図を示す。
【図１９】図１９は、第３実施形態に係るノイズ補償部の処理を説明するための図を示す。
【図２０】図２０は、第４実施形態に係るノイズ禁止期間を説明するための図を示す。
【図２１】図２１は、第４実施形態に係るノイズ補償部に含まれるノイズ判定機能を説明するための図を示す。
【図２２】図２２は、第４実施形態に係るノイズ補償部に含まれるノイズ判定機能を説明するための図であって、ノイズ禁止期間と複数のドロップレットの空間的な間隔との関係を示す。
【図２３】図２３は、第５実施形態に係るドロップレット検出器及び移動機構を説明するための図を示す。
【図２４】図２４は、第６実施形態に係るドロップレット検出器及び移動機構を説明するための図を示す。
【図２５】図２５は、各制御部のハードウェア環境を示すブロック図を示す。
【実施形態】
【０００７】
＜内容＞
１．ＥＵＶ光生成システムの全体説明
１．１  構成
１．２  動作
２．用語の説明
３．課題
３．１  比較例の構成
３．２  比較例の動作
３．３  課題
４．第１実施形態
４．１  構成
４．１．１  ノイズ判定機能
４．１．２  ノイズ分離機能
４．１．３  ノイズマスク機能
４．１．４  遅延時間補正機能
４．２  動作
４．３  作用効果
５．第２実施形態
５．１  構成及び動作
５．２  作用効果
６．第３実施形態
６．１  構成
６．２  動作
６．３  作用効果
７．第４実施形態
７．１  構成及び動作
７．２  作用効果
８．第５実施形態
８．１  構成及び動作
８．２  作用効果
９．第６実施形態
９．１  構成及び動作
９．２  作用効果
１０．その他
１０．１  各制御部のハードウェア環境
１０．２  その他の変形例等
【０００８】
以下、本開示の実施形態について、図面を参照しながら詳しく説明する。以下に説明される実施形態は、本開示のいくつかの例を示すものであって、本開示の内容を限定するものではない。また、各実施形態で説明される構成及び動作の全てが本開示の構成及び動作として必須であるとは限らない。なお、同一の構成要素には同一の参照符号を付して、重複する説明を省略する。
【０００９】
［１．ＥＵＶ光生成システムの全体説明］
［１．１  構成］
図１に、例示的なＬＰＰ方式のＥＵＶ光生成システムの構成を概略的に示す。
ＥＵＶ光生成装置１は、少なくとも１つのレーザ装置３と共に用いられてもよい。本願においては、ＥＵＶ光生成装置１及びレーザ装置３を含むシステムを、ＥＵＶ光生成システム１１と称する。図１に示し、かつ、以下に詳細に説明するように、ＥＵＶ光生成装置１は、チャンバ２、ターゲット供給器２６を含んでもよい。チャンバ２は、密閉可能であってもよい。ターゲット供給器２６は、例えば、チャンバ２の壁を貫通するように取り付けられてもよい。ターゲット供給器２６から供給されるターゲット２７の材料は、スズ、テルビウム、ガドリニウム、リチウム、キセノン、又は、それらの内のいずれか２つ以上の組合せを含んでもよいが、これらに限定されない。
【００１０】
チャンバ２の壁には、少なくとも１つの貫通孔が設けられてもよい。その貫通孔には、ウインドウ２１が設けられてもよく、ウインドウ２１をレーザ装置３から出力されるパルスレーザ光３２が透過してもよい。チャンバ２の内部には、例えば、回転楕円面形状の反射面を有するＥＵＶ集光ミラー２３が配置されてもよい。ＥＵＶ集光ミラー２３は、第１及び第２の焦点を有し得る。ＥＵＶ集光ミラー２３の表面には、例えば、モリブデンと、シリコンとが交互に積層された多層反射膜が形成されてもよい。ＥＵＶ集光ミラー２３は、例えば、その第１の焦点がプラズマ生成領域２５に位置し、その第２の焦点が中間集光点（ＩＦ）２９２に位置するように配置されるのが好ましい。ＥＵＶ集光ミラー２３の中央部には貫通孔２４が設けられてもよく、貫通孔２４をパルスレーザ光３３が通過してもよい。
【００１１】
ＥＵＶ光生成装置１は、ＥＵＶ光生成制御部５、ターゲットセンサ４等を含んでもよい。ターゲットセンサ４は、撮像機能を有してもよく、ターゲット２７の存在、軌跡、位置、速度等を検出するよう構成されてもよい。
【００１２】
また、ＥＵＶ光生成装置１は、チャンバ２の内部と露光装置６の内部とを連通させる接続部２９を含んでもよい。接続部２９内部には、アパーチャ２９３が形成された壁２９１が設けられてもよい。壁２９１は、そのアパーチャ２９３がＥＵＶ集光ミラー２３の第２の焦点位置に位置するように配置されてもよい。
【００１３】
更に、ＥＵＶ光生成装置１は、レーザ光進行方向制御部３４、レーザ光集光ミラー２２、ターゲット２７を回収するためのターゲット回収器２８等を含んでもよい。レーザ光進行方向制御部３４は、レーザ光の進行方向を規定するための光学素子と、この光学素子の位置、姿勢等を調整するためのアクチュエータとを備えてもよい。
【００１４】
［１．２  動作］
図１を参照すると、レーザ装置３から出力されたパルスレーザ光３１は、レーザ光進行方向制御部３４を経て、パルスレーザ光３２としてウインドウ２１を透過してチャンバ２内に入射してもよい。パルスレーザ光３２は、少なくとも１つのレーザ光経路に沿ってチャンバ２内を進み、レーザ光集光ミラー２２で反射されて、パルスレーザ光３３として少なくとも１つのターゲット２７に照射されてもよい。
【００１５】
ターゲット供給器２６は、ターゲット２７をチャンバ２内部のプラズマ生成領域２５に向けて出力するよう構成されてもよい。ターゲット２７には、パルスレーザ光３３に含まれる少なくとも１つのパルスが照射されてもよい。パルスレーザ光３３が照射されたターゲット２７はプラズマ化し、そのプラズマからＥＵＶ光２５１が、他の波長の光の放射に伴って放射され得る。ＥＵＶ光２５１は、ＥＵＶ集光ミラー２３によって選択的に反射されてもよい。ＥＵＶ集光ミラー２３によって反射されたＥＵＶ光２５２は、中間集光点２９２で集光され、露光装置６に出力されてもよい。なお、１つのターゲット２７に、パルスレーザ光３３に含まれる複数のパルスが照射されてもよい。
【００１６】
ＥＵＶ光生成制御部５は、ＥＵＶ光生成システム１１全体の制御を統括するよう構成されてもよい。ＥＵＶ光生成制御部５は、ターゲットセンサ４によって撮像されたターゲット２７のイメージデータ等を処理するよう構成されてもよい。また、ＥＵＶ光生成制御部５は、例えば、ターゲット２７が出力されるタイミング制御及びターゲット２７の出力方向等の制御の内の少なくとも１つを行ってもよい。更に、ＥＵＶ光生成制御部５は、例えば、レーザ装置３の出力タイミングの制御、パルスレーザ光３２の進行方向の制御、パルスレーザ光３３の集光位置の制御の内の少なくとも１つを行ってもよい。上述の様々な制御は単なる例示に過ぎず、必要に応じて他の制御が追加されてもよい。
【００１７】
［２．用語の説明］
「ターゲット」は、チャンバ内に導入されたレーザ光の被照射物である。レーザ光が照射されたターゲットは、プラズマ化してＥＵＶ光を放射する。
「ドロップレット」は、チャンバ内へ供給されるターゲットの一形態である。
「プラズマ生成領域」は、チャンバ内の所定領域である。プラズマ生成領域は、チャンバ内に出力されたドロップレットに対してレーザ光が照射され、ターゲットがプラズマ化される領域である。
「ドロップレット軌道」は、チャンバ内に出力されたドロップレットが進行する経路である。ドロップレット軌道は、プラズマ生成領域において、チャンバ内に導入されたレーザ光の光路と交差してもよい。
「光路軸」は、レーザ光の進行方向に沿ってレーザ光のビーム断面の中心を通る軸である。
「光路」は、レーザ光が通る経路である。光路には、光路軸が含まれてもよい。
「Ｚ軸方向」は、ＥＵＶ光生成装置がＥＵＶ光を出力する方向である。すなわち、Ｚ軸方向は、ＥＵＶ光生成装置のチャンバから露光装置へＥＵＶ光が出力される方向である。
「Ｙ軸方向」は、ターゲット供給器がチャンバ内にターゲットを出力する方向である。
「Ｘ軸方向」は、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に直交する方向である。
【００１８】
［３．課題］
図２〜図５を用いて、比較例のＥＵＶ光生成装置１について説明する。
比較例のＥＵＶ光生成装置１は、ドロップレット検出器４１を含むＥＵＶ光生成装置１であってもよい。
【００１９】
［３．１  比較例の構成］
図２は、比較例のＥＵＶ光生成装置１の構成を説明するための図を示す。図３は、比較例に係るターゲット供給器２６及びドロップレット検出器４１の構成を説明するための図を示す。
比較例のＥＵＶ光生成装置１は、パルスレーザ光３１を出力するレーザ装置３と共に用いられる装置であってもよい。
比較例のＥＵＶ光生成装置１は、チャンバ２と、ターゲット供給器２６と、ターゲット回収器２８と、ドロップレット検出器４１と、ＥＵＶ光生成制御部５と、制御部８とを備えてもよい。
【００２０】
チャンバ２は、上述のように、ターゲット供給器２６によって内部に供給されたドロップレット２７１にパルスレーザ光３３が照射されることでＥＵＶ光２５２が生成される容器であってもよい。チャンバ２は、ＥＵＶ光２５２を生成するために減圧される内部空間を外界から隔絶してもよい。
チャンバ２は、例えば、中空の筒形状に形成されてもよい。
筒形状のチャンバ２の中心軸方向は、ＥＵＶ光２５２を露光装置６へ出力する方向に略平行であってもよい。
チャンバ２の内部空間を形成する壁２ａは、導電性を有する材料を用いて形成されてもよい。
チャンバ２は、チャンバ２外からチャンバ２内へドロップレット２７１を供給するためのターゲット供給路２ｂを含んでもよい。
ターゲット供給路２ｂは、筒形状のチャンバ２の側面部に設けられてもよい。
ターゲット供給路２ｂは、筒形状に形成されてもよい。
筒形状のターゲット供給路２ｂの中心軸方向は、ＥＵＶ光２５２を露光装置６へ出力する方向に略直交してもよい。
【００２１】
チャンバ２の内部には、レーザ光集光光学系２２ａと、ＥＵＶ集光光学系２３ａと、ターゲット回収器２８と、プレート２３５と、が設けられてもよい。
【００２２】
プレート２３５は、チャンバ２の内部空間を区画分けしてもよい。
プレート２３５は、チャンバ２の内側面に固定されてもよい。
プレート２３５の中央には、その厚さ方向にパルスレーザ光３３が通過可能な孔２３５ａが設けられてよい。孔２３５ａの開口方向は、図１における貫通孔２４とプラズマ生成領域２５とを通る軸と略同一方向であってもよい。
プレート２３５より接続部２９側に区画分けされたチャンバ２の内部空間には、ＥＵＶ集光光学系２３ａが設けられてもよい。
プレート２３５よりウインドウ２１側に区画分けされたチャンバ２の内部空間には、レーザ光集光光学系２２ａが設けられてもよい。
【００２３】
ＥＵＶ集光光学系２３ａは、ＥＵＶ集光ミラー２３と、ホルダ２３１とを含んでもよい。
ＥＵＶ集光ミラー２３は、ホルダ２３１に保持されてもよい。ホルダ２３１は、プレート２３５に固定されてもよい。
【００２４】
レーザ光集光光学系２２ａは、レーザ光集光ミラー２２と、ホルダ２２３と、ホルダ２２４とを含んでもよい。
レーザ光集光ミラー２２は、チャンバ２の底面部に設けられたウインドウ２１を透過したパルスレーザ光３２が入射するように配置されてもよい。
レーザ光集光ミラー２２は、軸外放物面ミラー２２１と、平面ミラー２２２とを含んでもよい。
【００２５】
軸外放物面ミラー２２１は、チャンバ２の底面部に設けられたウインドウ２１及び平面ミラー２２２とそれぞれ対向して配置されてもよい。軸外放物面ミラー２２１は、ホルダ２２３に保持されてもよい。
平面ミラー２２２は、孔２３５ａ及び軸外放物面ミラー２２１とそれぞれ対向して配置されてもよい。平面ミラー２２２は、ホルダ２２４に保持されてもよい。
ホルダ２２３及びホルダ２２４は、不図示の３軸ステージに固定されてもよい。３軸ステージは、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向の３軸方向にホルダ２２３及びホルダ２２４を動かすアクチェータを含んでもよい。３軸ステージのアクチュエータの動作は、ＥＵＶ光生成制御部５によって制御されてもよい。
軸外放物面ミラー２２１及び平面ミラー２２２の位置及び姿勢は、ＥＵＶ光生成制御部５が３軸ステージのアクチュエータを制御することに伴って、調整され得る。当該調整は、レーザ光集光ミラー２２から出射光であるパルスレーザ光３３が、プラズマ生成領域２５で集光するように実行され得る。
【００２６】
ターゲット回収器２８は、チャンバ２内に出力されたドロップレット２７１のうち、パルスレーザ光３３が照射されなかったドロップレット２７１を回収する機器であってもよい。
ターゲット回収器２８は、ドロップレット軌道Ｆの延長線上に配置されてもよい。
【００２７】
レーザ光進行方向制御部３４は、レーザ装置３から出力されたパルスレーザ光３１がパルスレーザ光３２としてチャンバ２のウインドウ２１に入射するよう、パルスレーザ光３１の進行方向を制御してもよい。
レーザ光進行方向制御部３４は、高反射ミラー３４１と、高反射ミラー３４２とを含んでもよい。
高反射ミラー３４１及び高反射ミラー３４２は、不図示のアクチュエータによって位置及び姿勢が調整されてもよい。当該アクチュエータの動作は、ＥＵＶ光生成制御部５によって制御されてもよい。
高反射ミラー３４１及び高反射ミラー３４２の位置及び姿勢は、ＥＵＶ光生成制御部５が当該アクチュエータを制御することに伴って、調整され得る。当該調整は、レーザ光進行方向制御部３４からの出射光であるパルスレーザ光３２が、チャンバ２の底面部に設けられたウインドウ２１を透過するように実行されてもよい。
【００２８】
ＥＵＶ光生成制御部５は、露光装置６に設けられた露光装置制御部６１との間で各種信号の送受信を行ってもよい。
例えば、ＥＵＶ光生成制御部５は、ＥＵＶ光２５２の露光装置６への出力に関する制御指令を示すＥＵＶ光出力指令信号を、露光装置制御部６１から受信してもよい。ＥＵＶ光出力指令信号は、ＥＵＶ光２５２の目標出力タイミング、目標繰り返し周波数、目標パルスエネルギ等の各種目標値を含んでもよい。
ＥＵＶ光生成制御部５は、露光装置制御部６１からの各種信号に基づいて、ＥＵＶ光生成システム１１の各構成要素の動作を統括的に制御してもよい。
【００２９】
ＥＵＶ光生成制御部５は、レーザ装置３との間で制御信号の送受信を行ってもよい。それにより、ＥＵＶ光生成制御部５は、レーザ装置３の動作を制御してもよい。
ＥＵＶ光生成制御部５は、レーザ光進行方向制御部３４及びレーザ光集光光学系２２ａを動かすそれぞれのアクチェータとの間で各々制御信号の送受信を行ってもよい。それにより、ＥＵＶ光生成制御部５は、パルスレーザ光３１〜３３の進行方向及び集光位置を調整してもよい。
ＥＵＶ光生成制御部５は、制御部８との間で制御信号の送受信を行ってもよい。それにより、ＥＵＶ光生成制御部５は、ターゲット供給器２６及びドロップレット検出器４１に含まれる各構成要素の動作を間接的に制御してもよい。
【００３０】
ターゲット供給器２６は、チャンバ２内に供給するターゲット２７を溶融させ、ドロップレット２７１としてチャンバ２内のプラズマ生成領域２５に出力する機器であってもよい。ターゲット供給器２６は、いわゆるコンティニュアスジェット方式でドロップレット２７１を出力する機器であってもよい。
ターゲット供給器２６が供給するターゲット２７の材料は、金属材料であってもよい。ターゲット２７を構成する金属材料は、スズ、テルビウム、ガドリニウム、リチウム又は、それらの内のいずれか２つ以上の組合せを含む材料であってもよい。好適には、ターゲット２７を構成する金属材料は、スズであってもよい。
ターゲット供給器２６は、チャンバ２のターゲット供給路２ｂの端部に設けられてもよい。
ターゲット供給器２６は、図３に示されるように、タンク２６１と、ノズル２６２とを含んでもよい。更に、ターゲット供給器２６は、ヒータ２６３ａと、ヒータ電源２６３ｂと、温度センサ２６３ｃと、温度制御部２６３ｄと、圧力調節器２６４ａと、ガスボンベ２６４ｂと、ピエゾ素子２６５ａと、ピエゾ電源２６５ｂとを含んでもよい。
【００３１】
タンク２６１は、チャンバ２内に出力されるターゲット２７を収容する容器であってもよい。タンク２６１は、ターゲット２７を溶融状態で内部に収容してもよい。
タンク２６１は、中空の筒形状に形成されてもよい。
タンク２６１は、ターゲット２７と反応し難い材料で形成されてもよい。ターゲット２７と反応し難い材料は、例えば、ＳｉＣ、ＳｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３、モリブデン、タングステン及びタンタルのうちの少なくとも１つであってもよい。
タンク２６１は、チャンバ２のターゲット供給路２ｂの端部外側に配置されてもよい。
タンク２６１は、その中心軸がドロップレット軌道Ｆと略一致するように配置されてもよい。
【００３２】
ノズル２６２は、タンク２６１内に収容されたターゲット２７をチャンバ２内に出力するための部材であってもよい。
ノズル２６２は、板状に形成されてもよい。
ノズル２６２は、ターゲット２７と反応し難い材料で形成されてもよい。
ノズル２６２は、タンク２６１に接続されてもよい。ノズル２６２は、タンク２６１のプラズマ生成領域２５側の端部であるネック部２６１ａの先端に接続されてもよい。
ノズル２６２の中央には、ノズル孔２６２ａが形成されてもよい。
ノズル孔２６２ａは、ノズル２６２を貫通するように形成されてもよい。ノズル孔２６２ａは、その中心軸がドロップレット軌道Ｆと略一致するように形成されてもよい。ノズル孔２６２ａは、溶融したターゲット２７をチャンバ２内へジェット状に噴出するような形状に形成されてもよい。
【００３３】
タンク２６１、ノズル２６２、ターゲット供給路２ｂを含むチャンバ２は、それらの内部が互いに連通してもよい。
【００３４】
ヒータ２６３ａは、タンク２６１を加熱してもよい。
ヒータ２６３ａは、タンク２６１に接続されてもよい。ヒータ２６３ａは、タンク２６１の外表面を覆うように配置されてもよい。
ヒータ２６３ａは、ヒータ電源２６３ｂに接続されてもよい。
【００３５】
ヒータ電源２６３ｂは、ヒータ２６３ａに電力を供給する電源であってもよい。
ヒータ電源２６３ｂは、温度制御部２６３ｄに接続されてもよい。ヒータ電源２６３ｂの動作は、温度制御部２６３ｄによって制御されてもよい。
【００３６】
温度センサ２６３ｃは、タンク２６１の温度を検出するセンサであってもよい。
温度センサ２６３ｃは、タンク２６１の外表面であって、ネック部２６１ａ付近に接続されてもよい。
温度センサ２６３ｃは、温度制御部２６３ｄに接続されてもよい。温度センサ２６３ｃは、検出されたタンク２６１の温度に応じた温度検出信号を温度制御部２６３ｄに送信してもよい。
【００３７】
温度制御部２６３ｄは、タンク２６１の温度を制御する制御部であってもよい。
温度制御部２６３ｄは、制御部８に接続されてもよい。温度制御部２６３ｄは、制御部８からの指令に基づいて、タンク２６１の温度を制御してもよい。
【００３８】
圧力調節器２６４ａは、タンク２６１内のターゲット２７に加わる圧力を調節してもよい。
圧力調節器２６４ａは、タンク２６１内に連結されてもよい。
圧力調節器２６４ａは、ガスボンベ２６４ｂに連結されてもよい。ガスボンベ２６４ｂには、ヘリウム又はアルゴン等の不活性ガスが充填されてもよい。圧力調節器２６４ａは、ガスボンベ２６４ｂに充填された不活性ガスを、タンク２６１内に給気してもよい。
圧力調節器２６４ａは、不図示の排気口を備えてもよい。圧力調節器２６４ａは、排気口からタンク２６１内のガスを排気してもよい。
圧力調節器２６４ａは、タンク２６１内にガスを給気し又はタンク２６１内のガスを排気することによって、タンク２６１内のターゲット２７に加わる圧力を調節してもよい。圧力調節器２６４ａの動作は、制御部８によって制御されてもよい。
【００３９】
ピエゾ素子２６５ａは、タンク２６１のネック部２６１ａに振動を加えてもよい。
ピエゾ素子２６５ａは、ネック部２６１ａの外表面であって、ノズル２６２付近に接続されてもよい。
ピエゾ素子２６５ａは、ピエゾ電源２６５ｂに接続されてもよい。
【００４０】
ピエゾ電源２６５ｂは、ピエゾ素子２６５ａに電力を供給する電源であってもよい。
ピエゾ電源２６５ｂは、制御部８に接続されてもよい。ピエゾ電源２６５ｂの動作は、制御部８によって制御されてもよい。
【００４１】
ドロップレット検出器４１は、チャンバ２内に出力されたドロップレット２７１を検出するセンサであってもよい。
具体的には、ドロップレット検出器４１は、チャンバ２内の所定位置にある検出領域Ｒをドロップレット２７１が通過したタイミングを検出するセンサであってもよい。検出領域Ｒがある所定位置は、ターゲット供給器２６のノズル２６２とプラズマ生成領域２５との間にあるドロップレット軌道Ｆ上の位置であってもよい。
ドロップレット検出器４１は、図３に示されるように、光源部４１０と、受光部４２０とを含んでもよい。
【００４２】
光源部４１０と受光部４２０とは、チャンバ２の壁２ａの外側に接続されてもよい。チャンバ２の一部であるターゲット供給路２ｂの壁２ａに接続されてもよい。
光源部４１０と受光部４２０とは、ドロップレット軌道Ｆ上の検出領域Ｒを挟んで互いに対向するように配置されてもよい。
光源部４１０と受光部４２０との対向方向は、ドロップレット軌道Ｆと略直交してもよい。
【００４３】
光源部４１０は、チャンバ２内の検出領域Ｒに照明光を出力してもよい。光源部４１０から出力された照明光は、検出領域Ｒを通過するドロップレット２７１を照射してもよい。
光源部４１０は、光源４１１と、照明光学系４１２と、ウインドウ４１３とを含んでもよい。
【００４４】
光源４１１は、ウインドウ４１３を介して検出領域Ｒに出力される照明光の光源であってもよい。
光源４１１は、例えば、単波長の連続レーザ光を出力するＣＷ（Continuous Wave）レーザ等の光源であってもよい。また、光源４１１は、複数の波長を有する連続光を出力するランプ等の光源であってもよい。
光源４１１の動作は、制御部８によって制御されてもよい。
【００４５】
照明光学系４１２は、集光レンズ等を含む光学系であってもよい。当該集光レンズは、例えばシリンドリカルレンズであってもよい。
照明光学系４１２は、光源４１１から出力された照明光の光路上に配置されてもよい。
照明光学系４１２は、光源４１１から出力された照明光を透過させ、ウインドウ４１３に導いてもよい。照明光学系４１２は、光源４１１から出力された照明光を、ウインドウ４１３を介して検出領域Ｒに集光してもよい。
【００４６】
ウインドウ４１３は、チャンバ２の一部であるターゲット供給路２ｂの壁２ａに設けられてもよい。
ウインドウ４１３は、照明光学系４１２を透過した照明光の光路上に配置されてもよい。
ウインドウ４１３は、照明光学系４１２を透過した照明光を検出領域Ｒに向けて透過させてもよい。
【００４７】
受光部４２０は、光源部４１０から検出領域Ｒに出力された照明光を受光してもよい。
受光部４２０は、光センサ４２１と、受光光学系４２２と、ウインドウ４２３とを含んでもよい。
【００４８】
ウインドウ４２３は、チャンバ２の一部であるターゲット供給路２ｂの壁２ａに設けられてもよい。
ウインドウ４２３は、光源部４１０のウインドウ４１３と検出領域Ｒを挟んで対向して配置されてもよい。
ウインドウ４２３は、検出領域Ｒに出力された照明光の光路上に配置されてもよい。
ウインドウ４２３は、検出領域Ｒに出力された照明光を受光光学系４２２に向けて透過させてもよい。
【００４９】
受光光学系４２２は、コリメータ等の光学系であってもよく、レンズ等の光学素子によって構成されてもよい。
受光光学系４２２は、検出領域Ｒに出力されウインドウ４２３を透過した照明光の光路上に配置されてもよい。
受光光学系４２２は、ウインドウ４２３を透過した照明光を透過させ、光センサ４２１に導いてもよい。
【００５０】
光センサ４２１は、検出領域Ｒに出力された照明光を受光する受光素子であってもよい。
光センサ４２１は、フォトダイオード、フォトダイオードアレイ、アバランシェダイオード、光電子増倍管及びマルチピクセルフォトンカウンタのうちの少なくとも１つの受光素子であってもよい。光センサ４２１は、これらの受光素子と、イメージインテンシファイア等の高速シャッタとを組み合わせて構成されてもよい。
光センサ４２１は、受光光学系４２２を透過した照明光の光路上に配置されてもよい。
光センサ４２１は、受光光学系４２２を透過した照明光を受光し、その光強度を検出してもよい。
光センサ４２１は、制御部８に接続されてもよい。光センサ４２１は、受光した照明光の光強度に応じた検出信号を制御部８に送信してもよい。
【００５１】
制御部８は、ＥＵＶ光生成制御部５との間で各種信号の送受信を行ってもよい。
例えば、制御部８は、ドロップレット２７１のチャンバ２内への出力に関する制御指令を示すターゲット出力信号を、ＥＵＶ光生成制御部５から受信してもよい。ターゲット出力信号は、ＥＵＶ光出力指令信号に含まれる各種目標値に応じてドロップレット２７１が出力されるよう、ターゲット供給器２６の動作を制御する信号であってもよい。
制御部８は、ＥＵＶ光生成制御部５からの各種信号に基づいて、ターゲット供給器２６に含まれる各構成要素の動作を制御してもよい。
また、制御部８は、ＥＵＶ光生成制御部５からの各種信号に基づいて、レーザ装置３がパルスレーザ光３１を出力するタイミングを制御してもよい。
【００５２】
［３．２  比較例の動作］
図４を用いて、比較例のＥＵＶ光生成装置１の動作の概要について説明する。
図４は、制御部８によって制御されるレーザ装置３の出力タイミングを説明するための図である。
【００５３】
制御部８は、ＥＵＶ光生成制御部５からのターゲット出力信号を受信したか否かを判定してもよい。
制御部８は、ターゲット出力信号を受信すると、ＥＵＶ光生成制御部５からターゲット出力停止信号を受信するまで、以下のような処理を行ってもよい。
ターゲット出力停止信号は、チャンバ２内へのターゲット２７の供給をターゲット供給器２６に停止させる制御指令を示す信号であってもよい。
【００５４】
制御部８は、タンク２６１の目標温度を指定する信号を温度制御部２６３ｄに送信してもよい。
温度センサ２６３ｃは、検出されたタンク２６１の温度に応じた温度検出信号を温度制御部２６３ｄに送信してもよい。
温度制御部２６３ｄは、温度検出信号に示される検出値が目標温度に近付くよう、ヒータ２６３ａに電力を供給するヒータ電源２６３ｂの動作を制御してもよい。
目標温度は、ターゲット２７の融点以上の所定範囲内にある温度であってもよい。ターゲット２７がスズの場合、目標温度は、２５０℃〜２９０℃の範囲内にある温度であってもよい。
なお、制御部８は、タンク２６１内の温度がターゲット２７の融点以上の所定範囲内で維持されるよう、温度制御部２６３ｄを介してヒータ電源２６３ｂの動作を継続的に制御してもよい。
【００５５】
制御部８は、タンク２６１内のターゲット２７に加わる圧力が目標圧力になるよう、圧力調節器２６４ａの動作を制御してもよい。
目標圧力は、タンク２６１内のターゲット２７がノズル孔２６２ａから所定速度でジェット状に噴出するような圧力であってもよい。所定速度は、例えば５０ｍ／ｓ〜１００ｍ／ｓであってもよい。
【００５６】
制御部８は、ピエゾ素子２６５ａが所定波形でネック部２６１ａに振動を加えるよう、ピエゾ素子２６５ａに電力を供給するピエゾ電源２６５ｂの動作を制御してもよい。
所定波形は、ドロップレット２７１が所定周波数で生成されるような波形であってもよい。所定周波数は、例えば５０ｋＨｚ〜１００ｋＨｚであってもよい。
【００５７】
ピエゾ素子２６５ａは、ピエゾ電源２６５ｂから供給される所定波形の電力に応じて、所定波形でネック部２６１ａに振動を加え得る。ネック部２６１ａに接続されたノズル２６２も、所定波形で振動し得る。それにより、ノズル孔２６２ａから噴出したジェット状のターゲット２７には定在波が与えられ、ジェット状のターゲット２７は周期的に分離され得る。分離されたターゲット２７は、自己の表面張力によって自由界面を形成してドロップレット２７１を形成し得る。その結果、所定周波数でドロップレット２７１が生成され、チャンバ２内へ出力され得る。
チャンバ２内へ出力されたドロップレット２７１は、ドロップレット軌道Ｆ上を進行し、検出領域Ｒを通過し得る。
【００５８】
ドロップレット検出器４１に含まれる光源４１１は、チャンバ２内の検出領域Ｒに照明光を出力してもよい。ドロップレット検出器４１に含まれる光センサ４２１は、光源４１１から出力された照明光を受光してもよい。
【００５９】
ドロップレット軌道Ｆを進行するドロップレット２７１が検出領域Ｒを通過する場合、光源４１１から出力された照明光は、検出領域Ｒを通過するドロップレット２７１を照明し、光センサ４２１に向かって進み得る。この際、光センサ４２１に向かう照明光の一部は、当該ドロップレット２７１によって遮蔽され得る。
そのため、ドロップレット２７１が検出領域Ｒを通過する場合、光源４１１から出力された照明光の検出領域Ｒでの像の一部は、検出領域Ｒを通過するドロップレット２７１の影の像となって光センサ４２１に受光され得る。
よって、ドロップレット２７１が検出領域Ｒを通過する場合、光センサ４２１が受光する照明光の光強度は、ドロップレット２７１が検出領域Ｒを通過していない場合に比べて顕著に低下し得る。
光センサ４２１は、受光した照明光の光強度を電圧値に変換して当該光強度の変化に応じた検出信号を生成し、制御部８に送信し得る。
【００６０】
なお、光センサ４２１が受光した照明光の光強度を、光センサ４２１の受光強度ともいう。
光センサ４２１によって生成される当該受光強度の変化に応じた検出信号を、通過タイミング信号ともいう。
【００６１】
通過タイミング信号は、ドロップレット２７１が検出領域Ｒに進入する前は、所定のベース電圧を示し得る。通過タイミング信号は、ドロップレット２７１が検出領域Ｒに進入すると立ち下がり、ドロップレット２７１が検出領域Ｒの中央に進行すると極小値を示すように推移し得る。通過タイミング信号は、検出領域Ｒの中央に進行したドロップレット２７１が更にプラズマ生成領域２５側に進行すると立ち上がり、ドロップレット２７１が検出領域Ｒから退去するとベース電圧に戻るように推移し得る。
すなわち、通過タイミング信号は、ドロップレット２７１が検出領域Ｒに進入してから検出領域Ｒを退去するまでの期間内に極値を含むような信号波形を有し得る。
【００６２】
ドロップレット２７１が検出領域Ｒに進入してから検出領域Ｒを退去するまでの期間を、検出期間ともいう。
通過タイミング信号のうち、ドロップレット２７１が検出領域Ｒを通過することに伴って電圧が変化する部分を、ドロップレット通過部分ともいう。ドロップレット通過部分は、検出期間以内において示される通過タイミング信号であり得る。
通過タイミング信号のうち、ドロップレット２７１が検出領域Ｒを通過していない場合に示されるベース電圧の部分を、ベース部分ともいう。ベース部分は、検出期間外において示される通過タイミング信号であり得る。
【００６３】
制御部８は、光センサ４２１からの通過タイミング信号を受信してもよい。
制御部８は、通過タイミング信号が所定の閾値を超えて当該閾値より低くなった場合、ドロップレット２７１が検出領域Ｒを通過したと判定してもよい。すなわち、制御部８は、通過タイミング信号のドロップレット通過部分が所定の閾値を超えて当該閾値より低くなるタイミングを、ドロップレット２７１が検出領域Ｒを通過したタイミングと判定してもよい。
或いは、制御部８は、通過タイミング信号が所定の閾値を超えて当該閾値より低くなったタイミングと、通過タイミング信号が極値を示した後に当該閾値を超えて当該閾値より高くなったタイミングとの中間値を計算してもよい。そして、制御部８は、当該中間値のタイミングを、ドロップレット２７１が検出領域Ｒを通過したタイミングと判定してもよい。
何れにしても、ドロップレット２７１が検出領域Ｒを通過したタイミングは、少なくとも検出期間以内に含まれ、通過タイミング信号の少なくともドロップレット通過部分の何れかのタイミングとして制御部８に判定され得る。
所定の閾値は、通過タイミング信号のドロップレット通過部分が取り得る電圧値の範囲に基づいて予め定められてもよい。
【００６４】
制御部８は、図４に示されるように、ドロップレット２７１が検出領域Ｒを通過したタイミングにおいて、ドロップレット検出信号を生成してもよい。
ドロップレット検出信号は、検出領域Ｒを通過したドロップレット２７１が検出されたことを示す信号であってもよい。
【００６５】
制御部８は、図４に示されるように、ドロップレット検出信号が生成されたタイミングから遅延時間Ｄだけ遅延したタイミングで、トリガ信号をレーザ装置３に送信してもよい。
トリガ信号は、レーザ装置３がパルスレーザ光３１を出力する契機を与える信号であってもよい。
遅延時間Ｄは、パルスレーザ光３３がプラズマ生成領域２５に到達するタイミングを、ドロップレット２７１がプラズマ生成領域２５に到達するタイミングに略一致させるための時間であってもよい。遅延時間Ｄは、制御部８に予め保持されてもよい。
【００６６】
レーザ装置３は、トリガ信号を受信すると、パルスレーザ光３１を出力してもよい。レーザ装置３から出力されたパルスレーザ光３１は、レーザ光進行方向制御部３４及びウインドウ２１を介して、パルスレーザ光３２としてチャンバ２内に導入され得る。
チャンバ２内に導入されたパルスレーザ光３２は、レーザ光集光光学系２２ａにて集光され、パルスレーザ光３３としてプラズマ生成領域２５に導かれ得る。当該パルスレーザ光３３は、ドロップレット２７１がプラズマ生成領域２５に到達するタイミングでプラズマ生成領域２５に導かれ得る。
プラズマ生成領域２５に導かれたパルスレーザ光３３は、プラズマ生成領域２５に到達したドロップレット２７１を照射し得る。パルスレーザ光３３が照射されたドロップレット２７１はプラズマ化し、ＥＵＶ光２５１を含むプラズマ光を放射し得る。
【００６７】
このようにして、ドロップレット検出器４１は、チャンバ２内に出力されたドロップレット２７１が検出領域Ｒを通過したタイミングを検出し、通過タイミング信号を制御部８に送信し得る。
そして、制御部８は、ドロップレット検出器４１からの通過タイミング信号の変化に同期してレーザ装置３にトリガ信号を送信し得る。すなわち、制御部８は、通過タイミング信号に基づいてトリガ信号をレーザ装置３に送信することで、レーザ装置３がパルスレーザ光３１を出力するタイミングを制御し得る。
【００６８】
［３．３  課題］
図５は、比較例のＥＵＶ光生成装置１の課題を説明するための図を示す。
プラズマ生成領域２５に到達したドロップレット２７１にパルスレーザ光３３が照射されてプラズマが生成されると、当該プラズマからＥＵＶ光２５１を含む電磁波が放射され得る。
このとき、プラズマから放射された電磁波が、ドロップレット検出器４１に入射し、光センサ４２１によってノイズとして出力されることがあり得る。このノイズは、プラズマから放射された電磁波に起因するノイズであり得る。このノイズは、図５に示されるように、光センサ４２１から送信される通過タイミング信号に重畳することがあり得る。
すると、制御部８は、ドロップレット２７１が検出領域Ｒを通過していないにもかかわらず、図５に示されるように、通過タイミング信号に重畳したノイズが所定の閾値を超えたタイミングでドロップレット検出信号を生成し得る。すなわち、ドロップレット検出信号が生成されるタイミングには、プラズマから放射された電磁波に起因するノイズによって誤差が生じることがあり得る。
このため、ドロップレット検出信号に基づいて生成されるトリガ信号が、制御部８からレーザ装置３に誤ったタイミングで送信されることがあり得る。
それにより、ドロップレット２７１がプラズマ生成領域２５に到達するタイミングと、パルスレーザ光３３がプラズマ生成領域２５に到達するタイミングとがずれることがあり得る。その結果、ＥＵＶ光生成装置１から出力されるＥＵＶ光２５２のパルスエネルギは、パルス毎で大きくばらつくことがあり得る。
したがって、プラズマから放射された電磁波に起因するノイズが通過タイミング信号に重畳しても適切なタイミングでドロップレット検出信号を生成することによって、ＥＵＶ光２５２のエネルギ安定性を向上させ得る技術が望まれている。
【００６９】
なお、プラズマから放射された電磁波に起因するノイズを、単にノイズともいう。
プラズマから放射された電磁波に起因するノイズが通過タイミング信号に対して重畳するタイミングを、ノイズの重畳タイミングともいう。
【００７０】
［４．第１実施形態］
図６〜図１４を用いて、第１実施形態のＥＵＶ光生成装置１について説明する。
第１実施形態のＥＵＶ光生成装置１は、比較例のＥＵＶ光生成装置１に対して、制御部８にノイズ補償部８１が追加された構成を備えてもよい。
第１実施形態のＥＵＶ光生成装置１の構成において、比較例のＥＵＶ光生成装置１と同様の構成については説明を省略する。
【００７１】
［４．１  構成］
図６は、第１実施形態のＥＵＶ光生成装置１の構成を説明するための図を示す。
第１実施形態に係る制御部８は、ノイズ補償部８１を含んでもよい。
ノイズ補償部８１は、ドロップレット検出器４１に含まれる光センサ４２１からの通過タイミング信号を受信してもよい。
ノイズ補償部８１は、プラズマから放射された電磁波に起因して通過タイミング信号に重畳するノイズを補償してもよい。
具体的には、ノイズ補償部８１は、ノイズの重畳タイミングが検出期間以内に含まれるか否かを判定するノイズ判定機能を含んでもよい。
ノイズ補償部８１は、ノイズの重畳タイミングを検出期間外に分離するノイズ分離機能を含んでもよい。
ノイズ補償部８１は、検出期間外に分離されたタイミングで通過タイミング信号に重畳するノイズをマスクするノイズマスク機能を含んでもよい。
ノイズ補償部８１は、トリガ信号が制御部８から送信されるタイミングを規定する遅延時間Ｄを補正する遅延時間補正機能を含んでもよい。
【００７２】
ノイズ補償部８１の各種機能は、ハードウェアで構成されてもよいし、ソフトウェアで構成されてもよい。このようなノイズ補償部８１の各種機能がソフトウェアで構成される場合、ノイズ補償部８１の各種機能を構成するソフトウェアによる情報処理は、ハードウェア資源を用いて具体的に実現され得る。
【００７３】
［４．１．１  ノイズ判定機能］
図７は、第１実施形態に係るノイズ補償部８１に含まれるノイズ判定機能を説明するための図を示す。
ノイズ補償部８１は、通過タイミング信号及びノイズのそれぞれの信号波形に基づいて、ノイズの重畳タイミングが検出期間以内に含まれるか否かを判定してもよい。
具体的には、ノイズ補償部８１は、通過タイミング信号のドロップレット通過部分に対してノイズが重畳しているか否かを判定することによって、ノイズの重畳タイミングが検出期間以内に含まれるか否かを判定してもよい。
ノイズ補償部８１は、ノイズ判定機能を実現するために、例えば次のように構成されてもよい。
【００７４】
ノイズ補償部８１は、通過タイミング信号が入力される高速Ａ／Ｄコンバータと、通過タイミング信号の周波数解析を実行し得るデジタル回路とを備えてもよい。
そして、ノイズ補償部８１は、このデジタル回路の周波数解析の結果に基づいて、通過タイミング信号のドロップレット通過部分に対して、ノイズが重畳しているか否かを判定してもよい。
例えば、ノイズ補償部８１は、通過タイミング信号の周波数成分のうち１ＭＨｚ以下の周波数成分が支配的である場合には、ノイズが通過タイミング信号に重畳していないと判定してもよい。通過タイミング信号における１ＭＨｚ以下の周波数成分は、通過タイミング信号のベース部分及びドロップレット通過部分に応じた周波数成分を示し得る。
一方、ノイズ補償部８１は、通過タイミング信号の周波数成分のうち１０〜２０ＭＨｚ以下の周波数成分が存在する場合には、ノイズが通過タイミング信号に重畳していると判定してもよい。そして、ノイズ補償部８１は、１０〜２０ＭＨｚ以下の周波数成分が、通過タイミング信号のドロップレット通過部分に対して重畳している場合、ノイズの重畳タイミングが検出期間以内に含まれると判定してもよい。
【００７５】
或いは、ノイズ補償部８１は、図７に示されるように、ノイズ判定閾値を予め保持してもよい。
ノイズ判定閾値は、通過タイミング信号のドロップレット通過部分の極性とは逆の極性を有する所定値として定められてもよい。
ノイズ補償部８１は、通過タイミング信号がノイズ判定閾値を超えて当該ノイズ判定閾値より高くなる場合、ノイズが通過タイミング信号に重畳していると判定してもよい。そして、ノイズ補償部８１は、当該ノイズが通過タイミング信号のドロップレット通過部分に対して重畳している場合、ノイズの重畳タイミングが検出期間以内に含まれると判定してもよい。
一方、ノイズ補償部８１は、通過タイミング信号がノイズ判定閾値を超えない場合、プラズマから放射された電磁波に起因するノイズが通過タイミング信号に重畳していないと判定してもよい。
【００７６】
［４．１．２  ノイズ分離機能］
図８は、第１実施形態に係るノイズ補償部８１に含まれるノイズ分離機能を説明するための図を示す。図９は、ノイズ分離機能の一態様としてドロップレット２７１の速度を補正する機能を説明するための図を示す。
ノイズの重畳タイミングが検出期間以内に含まれる場合、制御部８は、誤ったタイミングでドロップレット検出信号を生成することがあり得る。
すなわち、ノイズ補償部８１は、ノイズの重畳タイミングが検出期間以内に含まれていなければ、ノイズは通過タイミング信号のベース部分に重畳し得る。この場合、ノイズ補償部８１は、通過タイミング信号のベース部分に重畳するノイズを比較的に容易にマスクし得る。しかし、ノイズの重畳タイミングが検出期間以内に含まれると、通過タイミング信号のドロップレット通過部分は比較的短時間であるため、このノイズをマスクすることが困難となり得る。すると、制御部８は、通過タイミング信号のドロップレット通過部分に重畳したノイズに基づいて、ドロップレット２７１が検出領域Ｒを通過したタイミングを判定する場合があり得る。この場合、制御部８は、誤ったタイミングでドロップレット検出信号を生成することがあり得る。
よって、ノイズの重畳タイミングは、検出期間外に分離される必要があり得る。
【００７７】
ノイズ補償部８１は、ノイズの重畳タイミングを検出期間外に分離してもよい。
具体的には、ノイズ補償部８１は、ノイズを通過タイミング信号のドロップレット通過部分から分離することによって、ノイズの重畳タイミングを検出期間外に分離してもよい。
【００７８】
ここで、図８に示されるように、通過タイミング信号のドロップレット通過部分の時間幅をＴｓ（μｓ）とする。Ｔｓの長さは、上述の検出期間に相当し得る。プラズマから放射された電磁波に起因して通過タイミング信号に重畳するノイズの時間幅をＴｎ（μｍ）とする。あるドロップレット２７１についてのドロップレット通過部分と、当該ドロップレット２７１に後続するドロップレット２７１についてのドロップレット通過部分との時間間隔をＴｒ（μｓ）とする。Ｔｒの長さは、ドロップレット２７１が生成される周期に相当し得ると共に、ＥＵＶ光２５２の繰り返し周期に相当し得る。
この場合、通過タイミング信号のドロップレット通過部分が少なくとも（Ｔｓ＋Ｔｎ）時間だけシフトすれば、ノイズは通過タイミング信号のドロップレット通過部分から分離され得る。すなわち、通過タイミング信号のドロップレット通過部分が少なくとも（Ｔｓ＋Ｔｎ）時間だけシフトすれば、ノイズの重畳タイミングは検出期間外に分離され得る。
また、通過タイミング信号のドロップレット通過部分がＴｒ以上シフトすると、ノイズの重畳タイミングが検出期間以内に含まれる虞れがあり得る。
【００７９】
すなわち、ノイズの重畳タイミングが検出期間外に分離されるためには、通過タイミング信号のドロップレット通過部分が、少なくとも（Ｔｓ＋Ｔｎ）以上であって、Ｔｒより小さい時間ｄ（μｓ）だけシフトすればよい。
言い換えると、ノイズの重畳タイミングが検出期間外に分離されるために、通過タイミング信号のドロップレット通過部分がシフトすべき時間ｄは、次式（１）のように記述されてもよい。
（Ｔｓ＋Ｔｎ）≦ｄ＜Ｔｒ                              …式（１）
【００８０】
ノイズの重畳タイミングが検出期間外に分離されるために、通過タイミング信号のドロップレット通過部分がシフトすべき時間ｄを、シフト時間ｄともいう。
【００８１】
ノイズ補償部８１は、上述のシフト時間ｄを確保するために、ドロップレット２７１の速度を補正してもよい。すなわち、ノイズ補償部８１は、ノイズ分離機能の一態様としてドロップレット２７１の速度を補正する機能を含んでもよい。
ここで、図９に示されるように、ドロップレット２７１の速度をＶ（ｍ／ｓ）とする。検出領域Ｒからプラズマ生成領域２５までの代表的な距離をＬ（μｍ）とする。
ドロップレット２７１が検出領域Ｒを通過してからプラズマ生成領域２５に到達するまでの時間は、Ｌ／Ｖ（μｓ）となり得る。
この場合、上述のシフト時間ｄは、次式（２）のように記述されてもよい。
ｄ＝｛Ｌ／（Ｖ−ｖ）｝−｛Ｌ／Ｖ｝                    …式（２）
右辺のｖ（ｍ／ｓ）は、上述のシフト時間ｄを確保するために必要なドロップレット２７１の速度Ｖにおける補正量であり得る。右辺の（Ｖ−ｖ）は、速度補正量ｖによって補正されたドロップレット２７１の速度であり得る。
式（２）をｖで展開すると、ドロップレット２７１の速度補正量ｖは、次式（３）のように記述され得る。
ｖ＝ｄＶ２／（ｄＶ＋Ｌ）                                …式（３）
【００８２】
図１０は、ノイズ分離機能の一態様であるドロップレット２７１の速度を補正する機能を用いて、ドロップレット２７１の速度補正量ｖを具体的に計算した例を説明するための図である。
ドロップレット２７１の速度Ｖは、５０ｍ／ｓであるとする。
ドロップレット２７１の直径は、２０μｍであるとする。
ドロップレット軌道Ｆに沿った方向における検出領域Ｒの幅は、２０μｍであるとする。
ＥＵＶ光２５２の繰り返し周波数は、１００ｋＨｚであるとする。すなわち、ＥＵＶ光２５２の繰り返し周期は、１０μｓであり得る。ドロップレット２７１が生成される周期は、１０μｓであり得る。あるドロップレット２７１についての通過タイミング信号のドロップレット通過部分と、後続するドロップレット２７１についての通過タイミング信号のドロップレット通過部分との時間間隔Ｔｒは、１０μｓであり得る。
検出領域Ｒからプラズマ生成領域２５までの距離Ｌは、２０００μｍであるとする。
ノイズの時間幅Ｔｎは、０．１μｓであるとする。Ｔｎは、実験によって０．１μｓ以下であることが予め分かっている。
【００８３】
この場合、通過タイミング信号のドロップレット通過部分の時間幅Ｔｓは、０．８μｓであると計算され得る。すなわち、上述の検出期間は、０．８μｓであり得る。
上述のシフト時間ｄの下限値は、０．９μｓであると計算され得る。
上述のシフト時間ｄは、式（１）から、０．９μｓ≦ｄ＜１０μｓと計算され得る。
ここで、シフト時間ｄは、３μｓに設定されたとする。
すると、上述のドロップレット２７１の速度補正量ｖは、式（３）から、１．１ｍ／ｓであると計算され得る。
よって、速度補正量ｖによって補正されたドロップレット２７１の速度Ｖは、５０ｍ／ｓから１．１ｍ／ｓを減算することで、４８．９ｍ／ｓであると計算され得る。
このように、ノイズ補償部８１は、ドロップレット２７１の速度Ｖ及び直径、検出領域Ｒの幅、検出領域Ｒからプラズマ生成領域２５までの距離Ｌ並びにノイズの時間幅Ｔｎが分かっていれば、シフト時間ｄを適切に設定でき、速度補正量ｖを計算し得る。
【００８４】
ところで、ドロップレット２７１の速度は、タンク２６１内のターゲット２７に加わる圧力と関係し得る。そして、ドロップレット２７１の速度補正量ｖは、タンク２６１内のターゲット２７に加わる圧力の圧力補正量ｐ（ＭＰａ）と関係し得る。
ノイズ補償部８１は、ドロップレット２７１の速度を補正するために、タンク２６１内のターゲット２７に加わる圧力を補正してもよい。すなわち、ノイズ補償部８１は、ドロップレット２７１の速度を補正する機能を実現するために、タンク２６１内のターゲット２７に加わる圧力を補正する機能を含んでもよい。
【００８５】
図１１は、ドロップレット２７１の速度補正量ｖと、タンク２６１内のターゲット２７に加わる圧力の圧力補正量ｐとの関係を記述した近似式を説明するための図である。
速度補正量ｖは、図１１に示されるように、圧力補正量ｐが増加するに従って、増加し得る。速度補正量ｖと圧力補正量ｐとの関係は、次式（４）のような近似式で記述されてもよい。
ｐ＝ｆ（ｖ）                                          …式（４）
ノイズ補償部８１は、式（４）のような近似式を予め保持してもよい。そして、ノイズ補償部８１は、上述の式（３）を用いて計算された速度補正量ｖを、式（４）に代入することによって、圧力補正量ｐを計算してもよい。
なお、速度補正量ｖと圧力補正量ｐとの関係を記述した式（４）は、ノズル孔２６２ａの直径及びターゲット２７の物性を考慮して導出されてもよいし、実験等によって予め定められていてもよい。
【００８６】
図１２は、ドロップレット２７１の速度補正量ｖと、タンク２６１内のターゲット２７に加わる圧力の圧力補正量ｐとを対応付けたテーブルを示す図である。
ノイズ補償部８１は、式（４）のような近似式の代りに、図１２に示されるような、速度補正量ｖと圧力補正量ｐとを対応付けたテーブルを予め保持してもよい。そして、ノイズ補償部８１は、図１２に示されたテーブルを参照し、上述の式（３）を用いて計算された速度補正量ｖに対応付けられた圧力補正量ｐを特定してもよい。
なお、速度補正量ｖと圧力補正量ｐとを対応付けたテーブルは、ノズル孔２６２ａの直径及びターゲット２７の物性を考慮して定められていてもよいし、実験等によって予め定められていてもよい。
【００８７】
ノイズ補償部８１は、タンク２６１内のターゲット２７に加わる圧力が、求めた圧力補正量ｐだけ減算されるよう、圧力調節器２６４ａの目標圧力を変更してもよい。
【００８８】
このように、ノイズ補償部８１は、タンク２６１内のターゲット２７に加わる圧力を補正することによって、ドロップレット２７１の速度を補正し得る。そして、ノイズ補償部８１は、ドロップレット２７１の速度を補正することによって、上述のシフト時間ｄを確保し得る。
それにより、ノイズ補償部８１は、ノイズと通過タイミング信号のドロップレット通過部分とノイズとを分離し、ノイズの重畳タイミングを検出期間外に分離し得る。
【００８９】
［４．１．３  ノイズマスク機能］
図１３は、第１実施形態に係るノイズ補償部８１に含まれるノイズマスク機能及び遅延時間補正機能を説明するための図を示す。
ノイズ補償部８１は、検出期間外に分離されたタイミングで通過タイミング信号に重畳するノイズをマスクしてもよい。
具体的には、ノイズ補償部８１は、通過タイミング信号のドロップレット通過部分からノイズを分離し、検出期間外に分離されたタイミングで通過タイミング信号に重畳するノイズをマスクしてもよい。
【００９０】
ノイズ補償部８１は、ノイズマスク機能を実現するために、マスク期間を設定する機能を含んでもよい。
マスク期間は、その期間以内に通過タイミング信号に重畳するノイズがマスクされる期間であってもよい。マスク期間は、ドロップレット検出信号及びトリガ信号が生成されない期間であってもよい。
ノイズ補償部８１は、通過タイミング信号のドロップレット通過部分が含まれない部分に相当する期間をマスク期間に設定してもよい。ノイズ補償部８１は、検出期間外の期間をマスク期間に設定してもよい。
ノイズ補償部８１は、ドロップレット２７１が検出領域Ｒを通過したタイミングに基づいてマスク期間を設定してもよい。ノイズ補償部８１は、ドロップレット２７１が検出領域Ｒを通過したタイミングから、後続するドロップレット２７１の検出が期待されるタイミングより前までの期間を、マスク期間に設定してもよい。
例えば、ドロップレット２７１が生成される周波数が２０ｋＨｚである場合、ノイズ補償部８１は、ドロップレット検出信号が生成されたタイミングから５μｓ以上５０μｓ未満の間をマスク期間に設定してもよい。例えば、ドロップレット２７１が生成される周波数が５０ｋＨｚである場合、ノイズ補償部８１は、ドロップレット検出信号が生成されたタイミングから２μｓ以上２０μｓ未満の間をマスク期間に設定してもよい。例えば、ドロップレット２７１が生成される周波数が１００ｋＨｚである場合、ノイズ補償部８１は、ドロップレット検出信号が生成されたタイミングから１μｓ以上１０μｓ未満の間をマスク期間に設定してもよい。
【００９１】
［４．１．４  遅延時間補正機能］
上述のように、遅延時間Ｄは、パルスレーザ光３３がプラズマ生成領域２５に到達するタイミングを、ドロップレット２７１がプラズマ生成領域２５に到達するタイミングに略一致させるための時間であってもよい。
ドロップレット２７１の速度が変化すると、ドロップレット２７１がプラズマ生成領域２５に到達するタイミングは変化し得る。ドロップレット２７１の速度が速度補正量ｖだけ補正されると、ドロップレット２７１がプラズマ生成領域２５に到達するタイミングは、速度補正量ｖに対応する上述のシフト時間ｄだけシフトし得る。
よって、ノイズ補償部８１は、図１３に示されるように、ドロップレット２７１の速度が速度補正量ｖだけ補正されると、トリガ信号が制御部８から送信されるタイミングを規定する遅延時間Ｄを上述のシフト時間ｄだけ補正してもよい。図１３では、補正後の遅延時間ＤはＤ’として示されている。
それにより、ノイズ補償部８１は、速度が補正されたドロップレット２７１がプラズマ生成領域２５に到達するタイミングにパルスレーザ光３３がプラズマ生成領域２５に到達するよう、トリガ信号が制御部８から送信されるタイミングを補正し得る。
【００９２】
なお、上述のシフト時間ｄは、トリガ信号が送信されるタイミングに与えられる遅延時間Ｄの補正量に相当し得ることから、遅延時間補正量ｄともいう。
ノイズ補償部８１は、ドロップレット２７１の速度及び直径並びに検出領域Ｒの幅が大きく変化しない場合、遅延時間補正量ｄを一定値として予め保持してもよい。一定値として保持された遅延時間補正量ｄは、例えば３μｓであってもよい。
或いは、ノイズ補償部８１は、一定値として保持された遅延時間補正量ｄを、ドロップレット２７１の速度及び直径の変化等に応じて、適宜修正してもよい。
【００９３】
第１実施形態のＥＵＶ光生成装置１の他の構成については、比較例のＥＵＶ光生成装置１と同様であってもよい。
【００９４】
［４．２  動作］
第１実施形態のＥＵＶ光生成装置１の動作について説明する。具体的には、制御部８に含まれるノイズ補償部８１の処理について説明する。
第１実施形態のＥＵＶ光生成装置１の動作において、比較例のＥＵＶ光生成装置１と同様の動作については説明を省略する。
【００９５】
図１４は、第１実施形態に係るノイズ補償部８１の処理を説明するための図を示す。
ステップＳ１において、ノイズ補償部８１は、予め保持された遅延時間補正量ｄを読み込んでもよい。
【００９６】
ステップＳ２において、ノイズ補償部８１は、ドロップレット検出器４１からの通過タイミング信号を受信したか否かを判定してもよい。
ノイズ補償部８１は、通過タイミング信号を受信していなければ、受信するまで待機してもよい。一方、ノイズ補償部８１は、通過タイミング信号を受信していれば、ステップＳ３に移行してもよい。
【００９７】
ステップＳ３において、ノイズ補償部８１は、ノイズの重畳タイミングが検出期間以内に含まれるか否かを判定してもよい。
ノイズ補償部８１は、ノイズの重畳タイミングが検出期間以内に含まれていなければ、ノイズはノイズマスク機能によってマスクされ得るため、本処理を終了してもよい。
一方、ノイズ補償部８１は、ノイズの重畳タイミングが検出期間以内に含まれていれば、ステップＳ４に移行してもよい。
【００９８】
ステップＳ４において、ノイズ補償部８１は、速度補正量ｖを計算してもよい。
ノイズ補償部８１は、速度補正量ｖを、上述のように次式を用いて計算してもよい。
ｖ＝ｄＶ２／（ｄＶ＋Ｌ）                                …式（３）
【００９９】
ステップＳ５において、ノイズ補償部８１は、圧力補正量ｐを計算してもよい。
ノイズ補償部８１は、圧力補正量ｐを、上述のように次式を用いて計算してもよい。
ｐ＝ｆ（ｖ）                                          …式（４）
【０１００】
ステップＳ６において、ノイズ補償部８１は、タンク２６１内のターゲット２７に加わる圧力が圧力補正量ｐだけ補正されるよう、圧力調節器２６４ａに設定される目標圧力を変更してもよい。
制御部８は、圧力補正量ｐに応じて変更された目標圧力を圧力調節器２６４ａに設定してもよい。
圧力調節器２６４ａは、タンク２６１内のターゲット２７に加わる圧力を圧力補正量ｐだけ調節し、ターゲット２７に加わる圧力を変更された目標圧力に近付け得る。
ドロップレット２７１の速度は、圧力補正量ｐに対応する速度補正量ｖだけ補正され得る。
【０１０１】
ステップＳ７において、ノイズ補償部８１は、予め定められた遅延時間Ｄを補正してもよい。
ノイズ補償部８１は、遅延時間Ｄを、次式を用いて補正してもよい。
Ｄ＝Ｄ−ｄ                                            …式（５）
トリガ信号が制御部８から送信されるタイミングは、遅延時間補正量ｄだけ補正され得る。
【０１０２】
ステップＳ８において、ノイズ補償部８１は、ノイズの重畳タイミングが検出期間以内に含まれるか否かを判定してもよい。
ノイズ補償部８１は、ノイズの重畳タイミングが検出期間以内に含まれていなければ、本処理を終了してもよい。
一方、ノイズ補償部８１は、ノイズの重畳タイミングが検出期間以内に含まれていれば、ステップＳ９に移行してもよい。
【０１０３】
ステップＳ９において、ノイズ補償部８１は、遅延時間補正量ｄを修正してもよい。
ノイズ補償部８１は、遅延時間補正量ｄを、次式を用いて修正してもよい。
ｄ＝ｄ＋Δｄ                                          …式（６）
右辺のΔｄは、遅延時間補正量ｄの修正量であり得る。修正量Δｄ（μｓ）は、次式を用いて計算されてもよい。
Δｄ＝｛Ｔｒ−（Ｔｓ＋Ｔｎ）｝／１０                  …式（７）
右辺の｛Ｔｒ−（Ｔｓ＋Ｔｎ）｝は、式（１）に示された上述のシフト時間ｄの許容範囲の大きさを示し得る。｛Ｔｒ−（Ｔｓ＋Ｔｎ）｝を１０で除算した値を修正量Δｄとすることで、遅延時間補正量ｄはより正確に修正され得る。
ノイズ補償部８１は、遅延時間補正量ｄを修正後、ステップＳ４に移行してもよい。
【０１０４】
第１実施形態のＥＵＶ光生成装置１の他の動作については、比較例のＥＵＶ光生成装置１と同様であってもよい。
【０１０５】
［４．３  作用効果］
第１実施形態に係るノイズ補償部８１は、タンク２６１内のターゲット２７に加わる圧力を補正することによってドロップレット２７１の速度を補正し得る。それにより、第１実施形態に係るノイズ補償部８１は、ノイズの重畳タイミングを検出期間外に分離し得る。
そして、第１実施形態に係るノイズ補償部８１は、検出期間外に分離されたタイミングで通過タイミング信号に重畳するノイズをマスクし得る。
また、第１実施形態に係るノイズ補償部８１は、速度が補正されたドロップレット２７１がプラズマ生成領域２５に到達するタイミングにパルスレーザ光３３がプラズマ生成領域２５に到達するよう、トリガ信号が制御部８から送信されるタイミングを補正し得る。
よって、第１実施形態に係るノイズ補償部８１は、プラズマから放射された電磁波に起因するノイズが通過タイミング信号に重畳しても、通過タイミング信号に重畳したノイズを補償し得る。
【０１０６】
それにより、第１実施形態に係る制御部８は、ノイズ補償部８１によってノイズが補償された通過タイミング信号に基づいて、ドロップレット検出信号を適切なタイミングで生成し、適切なタイミングでトリガ信号をレーザ装置３に送信し得る。
その結果、第１実施形態のＥＵＶ光生成装置１は、ＥＵＶ光２５２のパルスエネルギがパルス毎でばらつくことを抑制し、ＥＵＶ光２５２のエネルギ安定性を向上させ得る。
【０１０７】
［５．第２実施形態］
図１５を用いて、第２実施形態のＥＵＶ光生成装置１について説明する。
第２実施形態のＥＵＶ光生成装置１は、第１実施形態のＥＵＶ光生成装置１に対して、ノイズ補償部８１に含まれるノイズ分離機能が主に異なってもよい。
第２実施形態のＥＵＶ光生成装置１の構成において、第１実施形態のＥＵＶ光生成装置１と同様の構成については説明を省略する。
【０１０８】
［５．１  構成及び動作］
図１５は、第２実施形態に係るノイズ補償部８１に含まれるノイズ分離機能を説明するための図を示す。
第２実施形態にノイズ補償部８１は、ノイズ分離機能の一態様として、チャンバ２内に順次出力された隣接する複数のドロップレット２７１の時間間隔を補正する機能を含んでもよい。
複数のドロップレット２７１の時間間隔が変化すると、ドロップレット２７１が検出領域Ｒに到達するタイミングも変化し得るため、通過タイミング信号のドロップレット通過部分の時間的な位置が変化し得る。
すなわち、複数のドロップレット２７１の時間間隔が変化すると、検出期間の開始タイミングが変化し得る。
そのため、ノイズ補償部８１は、複数のドロップレット２７１の時間間隔を補正することによって、プラズマから放射された電磁波に起因するノイズが通過タイミング信号に重畳するタイミングを検出期間外に分離し得る。
【０１０９】
複数のドロップレット２７１の時間間隔は、ノズル２６２からチャンバ２内へジェット状に噴出するターゲット２７からドロップレット２７１が生成される周期に相当し得る。ドロップレット２７１が生成される周期は、このノズル２６２から噴出するターゲット２７に加わる振動の周波数と関係し得る。
ノイズ補償部８１は、複数のドロップレット２７１の時間間隔を補正するために、ノズル２６２から噴出するターゲット２７に加わる振動の周波数を補正してもよい。
【０１１０】
ノイズ補償部８１は、ノズル２６２から噴出するターゲット２７に加わる振動の周波数を補正するために、ピエゾ素子２６５ａがタンク２６１のネック部２６１ａに加える振動の周波数を補正してもよい。具体的には、ノイズ補償部８１は、ピエゾ電源２６５ｂからピエゾ素子２６５ａに供給される電力の周波数を補正してもよい。
図１５では、ピエゾ電源２６５ｂからピエゾ素子２６５ａに供給される補正前の電力の周波数をｆ（ｋＨｚ）とし、ピエゾ電源２６５ｂからピエゾ素子２６５ａに供給される補正後の電力の周波数をｆ’（ｋＨｚ）として示されている。
ピエゾ電源２６５ｂからピエゾ素子２６５ａに供給される電力の周波数の補正量は、上述のシフト時間ｄに応じた補正量であればよい。例えば、当該周波数の補正量（ｆ’−ｆ）は、上述のシフト時間ｄの逆数であってもよい。
【０１１１】
ところで、ノズル２６２から噴出するターゲット２７は、検出領域Ｒに進入する前の段階で、ピエゾ素子２６５ａの振動で複数の微細な液滴に一旦分離された後にこれらが合体することによって、１つのドロップレット２７１を形成することがあり得る。
このとき、ピエゾ素子２６５ａに供給される補正後の電力の周波数によっては、分離された複数の微細な液滴が、検出領域Ｒに進入する前の段階で適切に合体せず、十分な質量を有する１つのドロップレット２７１が形成されない場合があり得る。この場合、パルスレーザ光３３が不十分な質量のドロップレット２７１を照射してしまい、ＥＵＶ光２５２のパルスエネルギは低下し得る。
【０１１２】
そこで、ノイズ補償部８１は、ピエゾ素子２６５ａに供給される電力の周波数であって、分離された複数の微細な液滴が検出領域Ｒに進入する前の段階で適切に合体しない周波数を、禁止周波数として予め保持してもよい。禁止周波数は、実験等によって予め定められていればよい。そして、ノイズ補償部８１は、ピエゾ素子２６５ａに供給される電力の周波数を補正する場合、補正後の当該周波数が禁止周波数とならないよう補正すればよい。
或いは、ノイズ補償部８１は、ピエゾ素子２６５ａに供給される電力の周波数であって、分離された複数の微細な液滴が検出領域Ｒに進入する前の段階で適切に合体し得る周波数を、利用可能周波数として予め保持してもよい。利用可能周波数は、実験等によって予め定められていればよい。そして、ノイズ補償部８１は、ピエゾ素子２６５ａに供給される電力の周波数を補正する場合、補正後の当該周波数が利用可能周波数となるよう補正すればよい。
【０１１３】
また、ノイズ補償部８１は、ピエゾ素子２６５ａに供給される電力の周波数を補正することでドロップレット２７１の速度が変化する場合、遅延時間補正機能を用いて遅延時間Ｄを補正すればよい。それにより、ノイズ補償部８１は、トリガ信号が制御部８から送信されるタイミングを補正してもよい。
【０１１４】
第２実施形態に係るノイズ補償部８１の他の構成については、第１実施形態に係るノイズ補償部８１と同様であってもよい。
第２実施形態のＥＵＶ光生成装置１の他の構成については、第１実施形態のＥＵＶ光生成装置１と同様であってもよい。
【０１１５】
［５．２  作用効果］
第２実施形態に係るノイズ補償部８１は、ノズル２６２から噴出するターゲット２７に加わる振動の周波数を補正することによって、複数のドロップレット２７１の時間間隔を補正し得る。それにより、第２実施形態に係るノイズ補償部８１は、第１実施形態と同様に、ノイズの重畳タイミングを検出期間外に分離し得る。
そして、第２実施形態に係るノイズ補償部８１は、第１実施形態と同様に、検出期間外に分離されたタイミングで通過タイミング信号に重畳するノイズをマスクし得る。
また、第２実施形態に係るノイズ補償部８１は、ドロップレット２７１の速度が変化する場合、第１実施形態と同様に、トリガ信号が制御部８から送信されるタイミングを補正し得る。
よって、第２実施形態に係るノイズ補償部８１は、プラズマから放射された電磁波に起因するノイズが通過タイミング信号に重畳しても、第１実施形態と同様に、通過タイミング信号に重畳したノイズを補償し得る。
【０１１６】
［６．第３実施形態］
図１６〜図１９を用いて、第３実施形態のＥＵＶ光生成装置１について説明する。
第３実施形態のＥＵＶ光生成装置１は、第１実施形態のＥＵＶ光生成装置１に対して、移動機構４５が追加された構成を備えてもよい。
第３実施形態のＥＵＶ光生成装置１は、第１実施形態のＥＵＶ光生成装置１に対して、ノイズ補償部８１に含まれるノイズ判定機能、ノイズ分離機能及びノイズマスク機能が異なってもよい。
第３実施形態のＥＵＶ光生成装置１の構成において、第１実施形態のＥＵＶ光生成装置１と同様の構成については説明を省略する。
【０１１７】
［６．１  構成］
図１６は、第３実施形態のＥＵＶ光生成装置１の構成を説明するための図を示す。
第３実施形態に係る移動機構４５は、検出領域Ｒの位置をドロップレット軌道Ｆに沿って移動させる機構であってもよい。
移動機構４５は、ドロップレット検出器４１の位置をドロップレット軌道Ｆに沿って移動させるステージであってもよい。
移動機構４５は、光源部４１０の位置をドロップレット軌道Ｆに沿って移動させるステージと、受光部４２０の位置をドロップレット軌道Ｆに沿って移動させるステージとから構成されてもよい。
移動機構４５は、光源部４１０及び受光部４２０のそれぞれの位置をドロップレット軌道Ｆと略平行に移動させてもよい。移動機構４５は、光源部４１０及び受光部４２０のそれぞれの位置を、互いに略同一の距離だけ同一方向に移動させてもよい。
ドロップレット軌道Ｆ上での検出領域Ｒの位置は、移動機構４５がドロップレット検出器４１の位置を移動させることに応じて移動し得る。
移動機構４５の動作は、制御部８によって制御されてもよい。
【０１１８】
図１７は、第３実施形態に係るノイズ補償部８１に含まれるノイズ判定機能を説明するための図を示す。
第３実施形態に係るノイズ補償部８１は、ノイズの重畳タイミングが、検出期間以内ではなくノイズ禁止期間Ｔｆ以内に含まれるか否かを判定してもよい。
具体的には、第３実施形態に係るノイズ補償部８１は、通過タイミング信号のノイズ禁止期間Ｔｆに対応する部分に対してノイズが重畳しているか否かを判定してもよい。それにより、第３実施形態に係るノイズ補償部８１は、ノイズの重畳タイミングがノイズ禁止期間Ｔｆ以内に含まれるか否かを判定してもよい。
【０１１９】
ノイズ禁止期間Ｔｆは、検出期間を含む期間であってもよい。ノイズ禁止期間Ｔｆは、検出期間に相当する通過タイミング信号のドロップレット通過部分の時間幅Ｔｓと、ノイズの時間幅Ｔｎとの合計時間よりも長くてもよい。ノイズ禁止期間Ｔｆは、検出期間に相当する通過タイミング信号のドロップレット通過部分の時間幅Ｔｓと、ノイズの時間幅Ｔｎと、マージンとの合計時間であってもよい。
マージンは、ノイズ補償部８１の処理能力及びドロップレット検出器４１の時間分解能に基づいて予め定められてもよい。マージンは、複数のドロップレット２７１の時間間隔のばらつきに基づいて予め定められてもよい。
【０１２０】
ノイズ禁止期間Ｔｆは、第１期間Ｔａと、第２期間Ｔｂとを含んでもよい。
第１期間Ｔａは、ノイズ禁止期間Ｔｆの開始タイミングから通過タイミング信号の極値を示すタイミングまでの期間であってもよい。第２期間Ｔｂは、通過タイミング信号の極値を示すタイミングからノイズ禁止期間Ｔｆの終了タイミングまでの期間であってもよい。
ノイズ禁止期間Ｔｆの第１期間Ｔａと第２期間Ｔｂとは、略同じ長さであってもよい。すなわち、ノイズ禁止期間Ｔｆは、通過タイミング信号の極値が示すタイミングを基準としてその前後に略同じ時間だけ定められてもよい。
例えば、ノイズ禁止期間Ｔｆは、通過タイミング信号の極値が示すタイミングからその前後に１μｓずつ定められてもよい。
ノイズ補償部８１は、ノイズ禁止期間Ｔｆを予め保持してもよい。
【０１２１】
ノイズ補償部８１は、通過タイミング信号のノイズ禁止期間Ｔｆに対応する部分に対してノイズが重畳している場合、ノイズの重畳タイミングがノイズ禁止期間Ｔｆ以内に含まれると判定してもよい。
ノイズ補償部８１は、通過タイミング信号のノイズ禁止期間Ｔｆに対応する部分に対してノイズが重畳していない場合、ノイズの重畳タイミングがノイズ禁止期間Ｔｆ外に含まれると判定してもよい。
【０１２２】
図１８は、第３実施形態に係るノイズ補償部８１に含まれるノイズ分離機能を説明するための図を示す。
第３実施形態に係るノイズ補償部８１は、ノイズの重畳タイミングをノイズ禁止期間Ｔｆ外に分離してもよい。
具体的には、第３実施形態に係るノイズ補償部８１は、通過タイミング信号のノイズ禁止期間Ｔｆに対応する部分からノイズを分離することによって、ノイズの重畳タイミングをノイズ禁止期間Ｔｆ外に分離してもよい。
ノイズ禁止期間Ｔｆは検出期間を含み得る。ノイズの重畳タイミングがノイズ禁止期間Ｔｆ外に分離されることは、ノイズの重畳タイミングが検出期間外に分離されることを意味し得る。
ノイズの重畳タイミングがノイズ禁止期間Ｔｆ外に分離されるためには、上述のシフト時間ｄは、少なくともノイズ禁止期間Ｔｆ以上であればよい。
【０１２３】
ノイズ補償部８１は、上述のシフト時間ｄを確保するために、ドロップレット軌道Ｆ上の検出領域Ｒからプラズマ生成領域２５までの距離を補正してもよい。すなわち、ノイズ補償部８１は、ノイズ分離機能の一態様として、検出領域Ｒからプラズマ生成領域２５までの距離を補正する機能を含んでもよい。
ノイズ補償部８１は、検出領域Ｒからプラズマ生成領域２５までの距離を補正するために、検出領域Ｒの位置を補正してもよい。ノイズ補償部８１は、検出領域Ｒの位置を補正するために、移動機構４５を用いてドロップレット検出器４１の位置を移動させてもよい。
【０１２４】
ここで、図１８に示されるように、補正前の検出領域Ｒの位置をＲ１とする。補正後の検出領域Ｒの位置をＲ２とする。検出領域Ｒからプラズマ生成領域２５までの距離Ｌの補正量を、距離補正量Ｌｓ（μｍ）とする。
この場合、距離補正量Ｌｓは、上述のシフト時間ｄに応じた量であってもよい。距離補正量Ｌｓは、上述のシフト時間ｄとドロップレット２７１の速度Ｖとを用いて、次の式（８）のように記述され得る。
Ｌｓ＝ｄＶ                                            …式（８）
【０１２５】
また、検出領域Ｒからプラズマ生成領域２５までの距離Ｌを変化させた場合、パルスレーザ光３３をプラズマ生成領域２５に出力する契機となるトリガ信号をレーザ装置３に送信するタイミングも補正が必要となり得る。
当該距離Ｌが距離補正量Ｌｓだけ補正されると、トリガ信号をレーザ装置３に送信する適切なタイミングは、距離補正量Ｌｓに対応する上述のシフト時間ｄだけシフトし得る。
よって、ノイズ補償部８１は、当該距離Ｌが距離補正量Ｌｓだけ補正されると、遅延時間補正機能を用いて、トリガ信号が制御部８から送信されるタイミングを規定する遅延時間Ｄを、上述のシフト時間ｄだけ補正してもよい。
それにより、ノイズ補償部８１は、トリガ信号が制御部８から送信されるタイミングを補正してもよい。
【０１２６】
また、ノイズ補償部８１は、ノイズ禁止期間Ｔｆ外に分離されたタイミングで通過タイミング信号に重畳するノイズをマスクしてもよい。
具体的には、ノイズ補償部８１は、通過タイミング信号のノイズ禁止期間Ｔｆに対応する部分からノイズを分離し、ノイズ禁止期間Ｔｆ外に分離されたタイミングで通過タイミング信号に重畳するノイズをマスクしてもよい。
ノイズ補償部８１は、ノイズ禁止期間Ｔｆ外の期間をマスク期間に設定してもよい。
【０１２７】
第３実施形態に係るノイズ補償部８１の他の構成については、第１実施形態に係るノイズ補償部８１と同様であってもよい。
第３実施形態のＥＵＶ光生成装置１の他の構成については、第１実施形態のＥＵＶ光生成装置１と同様であってもよい。
【０１２８】
［６．２  動作］
第３実施形態のＥＵＶ光生成装置１の動作について説明する。具体的には、制御部８に含まれるノイズ補償部８１の処理について説明する。
第３実施形態のＥＵＶ光生成装置１の動作において、第１実施形態のＥＵＶ光生成装置１と同様の動作については説明を省略する。
【０１２９】
図１９は、第３実施形態に係るノイズ補償部８１の処理を説明するための図を示す。
ステップＳ１１及びステップＳ１２において、ノイズ補償部８１は、図１４のステップＳ１及びステップＳ２と同様の処理を行ってもよい。
【０１３０】
ステップＳ１３において、ノイズ補償部８１は、ノイズの重畳タイミングがノイズ禁止期間Ｔｆ以内に含まれるか否かを判定してもよい。
ノイズ補償部８１は、ノイズの重畳タイミングがノイズ禁止期間Ｔｆ以内に含まれていなければ、ノイズはノイズマスク機能によってマスクされ得るため、本処理を終了してもよい。
一方、ノイズ補償部８１は、ノイズの重畳タイミングがノイズ禁止期間Ｔｆ以内に含まれていれば、ステップＳ１４に移行してもよい。
【０１３１】
ステップＳ１４において、ノイズ補償部８１は、検出領域Ｒからプラズマ生成領域２５までの距離Ｌの距離補正量Ｌｓを計算してもよい。
ノイズ補償部８１は、距離補正量Ｌｓを、上述のように次式を用いて計算してもよい。
Ｌｓ＝ｄＶ                                            …式（８）
【０１３２】
ステップＳ１５において、ノイズ補償部８１は、検出領域Ｒからプラズマ生成領域２５までの距離Ｌが距離補正量Ｌｓだけ補正されるよう、移動機構４５を用いて、ドロップレット検出器４１の位置を移動させてもよい。
移動機構４５は、ドロップレット検出器４１の位置を距離補正量Ｌｓだけ移動させ得る。
検出領域Ｒからプラズマ生成領域２５までの距離Ｌは、距離補正量Ｌｓだけ補正され得る。
【０１３３】
ステップＳ１６において、ノイズ補償部８１は、図１４のステップＳ７と同様の処理を行ってもよい。
【０１３４】
ステップＳ１７において、ノイズ補償部８１は、ノイズの重畳タイミングがノイズ禁止期間Ｔｆ以内に含まれるか否かを判定してもよい。
ノイズ補償部８１は、ノイズの重畳タイミングがノイズ禁止期間Ｔｆ以内に含まれていなければ、本処理を終了してもよい。
一方、ノイズ補償部８１は、ノイズの重畳タイミングがノイズ禁止期間Ｔｆ以内に含まれていれば、ステップＳ１８に移行してもよい。
【０１３５】
ステップＳ１８において、ノイズ補償部８１は、図１４のステップＳ９と同様の処理を行ってもよい。
ノイズ補償部８１は、ステップＳ１８の後、ステップＳ１４に移行してもよい。
【０１３６】
第３実施形態のＥＵＶ光生成装置１の他の動作については、第１実施形態のＥＵＶ光生成装置１と同様であってもよい。
【０１３７】
［６．３  作用効果］
第３実施形態に係るノイズ補償部８１は、移動機構４５を用いて検出領域Ｒの位置を補正することによって、検出領域Ｒからプラズマ生成領域２５までの距離を補正し得る。それにより、第３実施形態に係るノイズ補償部８１は、ノイズの重畳タイミングをノイズ禁止期間Ｔｆ外に分離し得る。このとき、ノイズ禁止期間Ｔｆは検出期間を含み得ることから、第３実施形態に係るノイズ補償部８１は、ノイズの重畳タイミングを第１実施形態よりも確実に検出期間外に分離し得る。
そして、第３実施形態に係るノイズ補償部８１は、ノイズ禁止期間Ｔｆ外に分離されたタイミングで通過タイミング信号に重畳するノイズをマスクし得る。
また、第３実施形態に係るノイズ補償部８１は、トリガ信号が制御部８から送信されるタイミングを補正し得る。具体的には、第３実施形態に係るノイズ補償部８１は、距離Ｌが補正された検出領域Ｒを通過するドロップレット２７１がプラズマ生成領域２５に到達するタイミングにパルスレーザ光３３がプラズマ生成領域２５に到達するよう、補正し得る。
よって、第３実施形態に係るノイズ補償部８１は、プラズマから放射された電磁波に起因するノイズが通過タイミング信号に重畳しても、第１実施形態よりも確実に、通過タイミング信号に重畳したノイズを補償し得る。
【０１３８】
［７．第４実施形態］
図２０〜図２２を用いて、第４実施形態のＥＵＶ光生成装置１について説明する。
第４実施形態のＥＵＶ光生成装置１は、第３実施形態のＥＵＶ光生成装置１に対して、ノイズ補償部８１に含まれるノイズ判定機能が異なってもよい。
第４実施形態のＥＵＶ光生成装置１の構成において、第３実施形態のＥＵＶ光生成装置１と同様の構成については説明を省略する。
【０１３９】
［７．１  構成及び動作］
図２０は、第４実施形態に係るノイズ禁止期間Ｔｆを説明するための図を示す。
第４実施形態に係るノイズ補償部８１は、ノイズ禁止期間Ｔｆを次のように設定してもよい。
第４実施形態に係るノイズ禁止期間Ｔｆは、第１期間Ｔａが第２期間Ｔｂより長くてもよい。第４実施形態に係るノイズ禁止期間Ｔｆは、第１期間Ｔａがノイズの時間幅Ｔｎだけ第２期間Ｔｂより長くてもよい。
第４実施形態に係る第１期間Ｔａ及び第２期間Ｔｂは、次の式（９）及び式（１０）のようにそれぞれ記述されてもよい。
Ｔａ＞Ｔｎ＋Ｔｓ／２                                  …式（９）
Ｔｂ＞Ｔｓ／２                                      …式（１０）
【０１４０】
図２１は、第４実施形態に係るノイズ補償部８１に含まれるノイズ判定機能を説明するための図を示す。図２２は、第４実施形態に係るノイズ補償部８１に含まれるノイズ判定機能を説明するための図であって、ノイズ禁止期間Ｔｆと複数のドロップレット２７１の空間的な間隔ｓとの関係を示す。
図２１及び図２２は、プラズマ生成領域２５に到達したドロップレット２７１にパルスレーザ光３３が照射されるタイミングにおいて、検出領域Ｒの位置が複数のドロップレット２７１の間にある場合を示している。
プラズマ生成領域２５に到達したドロップレット２７１にパルスレーザ光３３が照射されるタイミングを、パルスレーザ光３３の照射タイミングともいう。
パルスレーザ光３３の照射タイミングは、ノイズの重畳タイミングと略同一とみなされてもよい。
パルスレーザ光３３の照射タイミングにおいて検出領域Ｒの位置が複数のドロップレット２７１の間にある場合、ノイズの重畳タイミングは、少なくとも検出期間外に分離され得る。
【０１４１】
第４実施形態に係るノイズ補償部８１は、通過タイミング信号及びノイズの信号波形に基づいて、ノイズの重畳タイミングがノイズ禁止期間Ｔｆ以内に含まれるか否かを判定しなくてもよい。
第４実施形態に係るノイズ補償部８１は、ドロップレット検出器４１及びドロップレット２７１の各種パラメータに基づいて、ノイズの重畳タイミングがノイズ禁止期間Ｔｆ以内に含まれるか否かを判定してもよい。
ドロップレット検出器４１及びドロップレット２７１の各種パラメータは、検出領域Ｒからプラズマ生成領域２５までの距離Ｌ、複数のドロップレット２７１の空間的な間隔ｓ及びこれらの速度Ｖであってもよい。
【０１４２】
ここで、図２１及び図２２に示されるように、検出領域Ｒに対して直上に位置するドロップレット２７１と、検出領域Ｒとの距離をΔｓ１とする。検出領域Ｒに対して直下に位置するドロップレット２７１と、検出領域Ｒとの距離をΔｓ２とする。複数のドロップレット２７１の空間的な間隔ｓは、Δｓ１とΔｓ２との合計値になり得る。
また、検出領域Ｒからプラズマ生成領域２５までの間にあるドロップレット２７１の個数をＮとする。ドロップレット２７１の個数Ｎは、次式（１１）のように記述されてもよい。
Ｎ＝ｉｎｔ（Ｌ／ｓ）                                …式（１１）
右辺のｉｎｔ（）は、ＩＮＴ関数を表し、（）内の計算結果について小数点以下を切り捨て、整数を解として得る関数であり得る。
Δｓ１及びΔｓ２は、次の式（１２）及び式（１３）のようにそれぞれ記述されてもよい。
Δｓ１＝（Ｎ＋１）ｓ−Ｌ                            …式（１２）
Δｓ２＝Ｌ−Ｎｓ                                    …式（１３）
【０１４３】
この場合、第４実施形態に係るノイズ補償部８１は、Δｓ１又はΔｓ２が、次の式（１４）又は式（１５）の関係を満たせば、ノイズの重畳タイミングがノイズ禁止期間Ｔｆ以内に含まれると判定してもよい。
Δｓ１／Ｖ≦Ｔａ                                    …式（１４）
Δｓ２／Ｖ≦Ｔｂ                                    …式（１５）
式（１４）は、パルスレーザ光３３の照射タイミングにおいて、Δｓ１がＶＴａ以下であれば、ノイズの重畳タイミングが、ノイズ禁止期間Ｔｆの第１期間Ｔａ以内に含まれることを意味し得る。
式（１５）は、パルスレーザ光３３の照射タイミングにおいて、Δｓ２がＶＴｂ以下であれば、ノイズの重畳タイミングが、ノイズ禁止期間Ｔｆの第２期間Ｔｂ以内に含まれることを意味し得る。
【０１４４】
すなわち、パルスレーザ光３３の照射タイミングにおいて、検出領域Ｒに対して直上に位置するドロップレット２７１からＶＴａを超えて離間した位置に検出領域Ｒがあれば、ノイズの重畳タイミングは、第１期間Ｔａ外に分離され得る。
そして、パルスレーザ光３３の照射タイミングにおいて、検出領域Ｒに対して直下に位置するドロップレット２７１からＶＴｂを超えて離間した位置に検出領域Ｒがあれば、ノイズの重畳タイミングは、第２期間Ｔｂ外に分離され得る。
よって、パルスレーザ光３３の照射タイミングにおいて、検出領域Ｒの直上及び直下の各ドロップレット２７１からそれぞれＶＴａ及びＶＴｂを超えて離間する位置に検出領域Ｒがあれば、ノイズの重畳タイミングはノイズ禁止期間Ｔｆ外に分離され得る。
【０１４５】
第４実施形態に係るノイズ補償部８１は、パルスレーザ光３３の照射タイミングにおいて、検出領域Ｒの位置がこのような位置になるよう、検出領域Ｒからプラズマ生成領域２５までの距離Ｌを補正してもよい。具体的には、ノイズ補償部８１は、パルスレーザ光３３の照射タイミングにおいて、検出領域Ｒの位置がこのような位置になるよう、移動機構４５を用いてドロップレット検出器４１の位置を移動させてもよい。
このとき、ノイズ補償部８１は、検出領域Ｒからプラズマ生成領域２５までの距離Ｌが、例えば２ｍｍ以上６ｍｍ以下となるよう、ドロップレット検出器４１の位置を移動させてもよい。ノイズ補償部８１は、検出領域Ｒからプラズマ生成領域２５までの距離Ｌが、例えば２ｍｍ、４ｍｍ及び６ｍｍの少なくとも１つになるよう、ドロップレット検出器４１の位置を移動させてもよい。
【０１４６】
第４実施形態に係るノイズ補償部８１の他の構成については、第３実施形態に係るノイズ補償部８１と同様であってもよい。
第４実施形態のＥＵＶ光生成装置１の他の構成については、第３実施形態のＥＵＶ光生成装置１と同様であってもよい。
【０１４７】
［７．２  作用効果］
第４実施形態に係るノイズ補償部８１は、ドロップレット検出器４１及びドロップレット２７１の各種パラメータに基づいて、ノイズの重畳タイミングがノイズ禁止期間Ｔｆ以内に含まれるか否かを判定し得る。それにより、第４実施形態に係るノイズ補償部８１は、信号波形の解析機器を備えなくても比較的簡易な構成で、ノイズの重畳タイミングがノイズ禁止期間Ｔｆ以内に含まれるか否かを判定し得る。
そして、第４実施形態に係るノイズ補償部８１は、第３実施形態と同様に、移動機構４５を用いて検出領域Ｒの位置を補正することによって、検出領域Ｒからプラズマ生成領域２５までの距離を補正し得る。それにより、第４実施形態に係るノイズ補償部８１は、ノイズの重畳タイミングをノイズ禁止期間Ｔｆ外に分離し得る。
そして、第４実施形態に係るノイズ補償部８１は、第３実施形態と同様に、ノイズ禁止期間Ｔｆ外に分離されたタイミングで通過タイミング信号に重畳するノイズをマスクし得る。
また、第４実施形態に係るノイズ補償部８１は、第３実施形態と同様に、トリガ信号が制御部８から送信されるタイミングを補正し得る。
よって、第４実施形態に係るノイズ補償部８１は、プラズマから放射された電磁波に起因するノイズが通過タイミング信号に重畳しても、第３実施形態と同様に、通過タイミング信号に重畳したノイズを補償し得る。
【０１４８】
［８．第５実施形態］
図２３を用いて、第５実施形態のＥＵＶ光生成装置１について説明する。
第５実施形態のＥＵＶ光生成装置１は、第３実施形態のＥＵＶ光生成装置１に対して、ドロップレット検出器４１及び移動機構４５の構成が異なってもよい。
第５実施形態のＥＵＶ光生成装置１の構成において、第３実施形態のＥＵＶ光生成装置１と同様の構成については説明を省略する。
【０１４９】
［８．１  構成及び動作］
図２３は、第５実施形態に係るドロップレット検出器４１及び移動機構４５を説明するための図を示す。
第５実施形態に係るドロップレット検出器４１には、光源部４１０から検出領域Ｒに出力される照明光の光路上に、複数の伝送光学素子が設けられてもよい。
複数の伝送光学素子は、例えば、ミラー４１４、ミラー４１５、ミラー４２４及びミラー４２５であってもよい。
ミラー４１４とミラー４１５とは、光源部４１０に含まれてもよい。
ミラー４２４とミラー４２５とは、受光部４２０に含まれてもよい。
【０１５０】
ミラー４１４は、照明光学系４１２を透過した照明光の光路上に配置されてもよい。
ミラー４１４は、照明光学系４１２及びミラー４１５とそれぞれ対向するように配置されてもよい。
ミラー４１４は、照明光学系４１２を透過した照明光を反射し、ミラー４１５に導いてもよい。
【０１５１】
ミラー４１５は、ミラー４１４によって反射された照明光の光路上に配置されてもよい。
ミラー４１５は、ミラー４１４及びウインドウ４１３とそれぞれ対向するように配置されてもよい。
ミラー４１５は、ミラー４１４によって反射された照明光を反射し、ウインドウ４１３を介して検出領域Ｒに導いてもよい。
ミラー４１５は、移動機構４５に載置されてもよい。
【０１５２】
ミラー４２５は、ウインドウ４２３を透過した照明光の光路上に配置されてもよい。
ミラー４２５は、ウインドウ４２３及びミラー４２４とそれぞれ対向するように配置されてもよい。
ミラー４２５は、ウインドウ４２３を透過した照明光を反射し、ミラー４２４に導いてもよい。
ミラー４２５は、移動機構４５に載置されてもよい。
ミラー４２５は、ドロップレット軌道Ｆ上の検出領域Ｒを挟んでミラー４１５と対向するように配置されてもよい。
【０１５３】
ミラー４２４は、ミラー４２５によって反射された照明光の光路上に配置されてもよい。
ミラー４２４は、ミラー４２５及び受光光学系４２２とそれぞれ対向するように配置されてもよい。
ミラー４２４は、ミラー４２５によって反射された照明光を反射し、受光光学系４２２に導いてもよい。
【０１５４】
第５実施形態に係るドロップレット検出器４１の他の構成については、第３実施形態に係るドロップレット検出器４１と同様であってもよい。
【０１５５】
第５実施形態に係る移動機構４５は、ミラー４１５の位置をドロップレット軌道Ｆに沿って移動させるステージと、ミラー４２５の位置をドロップレット軌道Ｆに沿って移動させるステージとから構成されてもよい。
移動機構４５は、ミラー４１５及びミラー４２５のそれぞれの位置をドロップレット軌道Ｆと略平行に移動させてもよい。移動機構４５は、ミラー４１５及びミラー４２５のそれぞれの位置を、互いに略同一の距離だけ同一方向に移動させてもよい。
ドロップレット軌道Ｆ上での検出領域Ｒの位置は、移動機構４５がミラー４１５及びミラー４２５のそれぞれの位置を移動させることに応じて移動し得る。
移動機構４５の動作は、制御部８によって制御されてもよい。
【０１５６】
第５実施形態に係る移動機構４５の他の構成については、第３実施形態に係る移動機構４５と同様であってもよい。
第５実施形態のＥＵＶ光生成装置１の他の構成については、第３実施形態のＥＵＶ光生成装置１と同様であってもよい。
【０１５７】
［８．２  作用効果］
第５実施形態に係る移動機構４５は、検出領域Ｒからプラズマ生成領域２５までの距離Ｌが補正される場合、光源４１１、照明光学系４１２、受光光学系４２２及び光センサ４２１を固定した状態で、検出領域Ｒの位置を移動させ得る。
このため、第５実施形態に係る移動機構４５は、ドロップレット検出器４１全体を移動させることに伴って、光源４１１及び照明光学系４１２の移動距離と光センサ４２１及び受光光学系４２２の移動距離との間で誤差が生じることを抑制し得る。
それにより、第５実施形態に係る移動機構４５は、これらの移動距離に関する誤差が生じることに伴って、実際に移動された検出領域Ｒの位置が、ノイズ補償部８１によって計算された距離補正量Ｌｓを反映した検出領域Ｒの位置からずれることを抑制し得る。
よって、第５実施形態に係るノイズ補償部８１は、プラズマから放射された電磁波に起因するノイズが通過タイミング信号に重畳しても、第３実施形態よりも確実に、通過タイミング信号に重畳したノイズを補償し得る。
【０１５８】
［９．第６実施形態］
図２４を用いて、第６実施形態のＥＵＶ光生成装置１について説明する。
第６実施形態のＥＵＶ光生成装置１は、第３実施形態のＥＵＶ光生成装置１に対して、ドロップレット検出器４１及び移動機構４５の構成が異なってもよい。
第６実施形態のＥＵＶ光生成装置１の構成において、第３実施形態のＥＵＶ光生成装置１と同様の構成については説明を省略する。
【０１５９】
［９．１  構成及び動作］
図２４は、第６実施形態に係るドロップレット検出器４１及び移動機構４５を説明するための図を示す。
第６実施形態に係るドロップレット検出器４１は、光源部４１０及び受光部４２０が、ドロップレット軌道Ｆ上の検出領域Ｒを挟んで互いに対向するように配置されていなくてもよい。
第６実施形態に係るドロップレット検出器４１は、光源部４１０及び受光部４２０が、１つの筐体４３１内に配置されてもよい。
【０１６０】
第６実施形態に係るドロップレット検出器４１は、光源４１１と、照明光学系４１２と、光センサ４２１と、受光光学系４２２と、筐体４３１と、部分反射ミラー４３２と、ウインドウ４３３とを含んでもよい。
【０１６１】
第６実施形態に係るドロップレット検出器４１に含まれる各構成要素は、検出領域Ｒに出力された照明光の光路軸とドロップレット２７１からの反射光の光路軸とが、部分反射ミラー４３２から検出領域Ｒまでの間で略一致するように配置されてもよい。
ドロップレット２７１からの反射光は、検出領域Ｒに出力された照明光が検出領域Ｒを通過するドロップレット２７１を照射した際に、検出領域Ｒを通過するドロップレット２７１によって反射された照明光であってもよい。
【０１６２】
筐体４３１は、光源４１１、照明光学系４１２、光センサ４２１、受光光学系４２２及び部分反射ミラー４３２を収容してもよい。筐体４３１は、光源４１１、照明光学系４１２、光センサ４２１、受光光学系４２２及び部分反射ミラー４３２のそれぞれの位置を固定した状態で、これらを収容してもよい。
筐体４３１は、移動機構４５に載置されてもよい。
【０１６３】
部分反射ミラー４３２は、照明光学系４１２を透過した照明光の光路上に配置されてもよい。
部分反射ミラー４３２は、照明光学系４１２及びウインドウ４３３とそれぞれ対向するように配置されてもよい。部分反射ミラー４３２は、照明光学系４１２を透過した照明光が略４５°の入射角で入射するように配置されてもよい。
部分反射ミラー４３２は、照明光学系４１２を透過し略４５°の入射角で入射した照明光の一部を反射し、ウインドウ４３３を介して検出領域Ｒに導いてもよい。部分反射ミラー４３２は、略４５°の入射角で入射した照明光の波長に対して略５０％の反射率を有するように構成されてもよい。
【０１６４】
部分反射ミラー４３２は、ウインドウ４３３を透過したドロップレット２７１からの反射光の光路上に配置されてもよい。
部分反射ミラー４３２は、ウインドウ４３３を透過したドロップレット２７１からの反射光が、略４５°の入射角で入射するように配置されてもよい。
部分反射ミラー４３２は、ウインドウ４３３を透過したドロップレット２７１からの反射光の一部を透過させ、受光光学系４２２にも導いてもよい。
【０１６５】
ウインドウ４３３は、チャンバ２の一部であるターゲット供給路２ｂの壁２ａに設けられてもよい。
ウインドウ４３３は、部分反射ミラー４３２によって反射された照明光の光路上に配置されてもよい。
ウインドウ４３３は、部分反射ミラー４３２によって反射された照明光を検出領域Ｒに向けて透過させてもよい。
ウインドウ４３３は、ドロップレット２７１からの反射光を受光光学系４２２に向けて透過させてもよい。
【０１６６】
受光光学系４２２は、部分反射ミラー４３２を透過したドロップレット２７１からの反射光の光路上に配置されてもよい。
【０１６７】
第６実施形態に係るドロップレット検出器４１の他の構成については、第３実施形態に係るドロップレット検出器４１と同様であってもよい。
【０１６８】
第６実施形態に係る移動機構４５は、筐体４３１の位置をドロップレット軌道Ｆに沿って移動させるステージから構成されてもよい。
移動機構４５は、筐体４３１の位置をドロップレット軌道Ｆと略平行に移動させてもよい。
ドロップレット軌道Ｆ上での検出領域Ｒの位置は、移動機構４５が筐体４３１の位置を移動させることに応じて移動し得る。
移動機構４５の動作は、制御部８によって制御されてもよい。
【０１６９】
第６実施形態に係る移動機構４５の他の構成については、第３実施形態に係る移動機構４５と同様であってもよい。
第６実施形態のＥＵＶ光生成装置１の他の構成については、第３実施形態のＥＵＶ光生成装置１と同様であってもよい。
【０１７０】
［９．２  作用効果］
第６実施形態に係る移動機構４５は、筐体４３１の位置を移動させる１つのステージから構成され得る。
すなわち、第６実施形態に係る移動機構４５は、検出領域Ｒからプラズマ生成領域２５までの距離Ｌが補正される場合、光源４１１、照明光学系４１２、光センサ４２１及び受光光学系４２２の相対位置を筐体４３１に対して固定した状態で、検出領域Ｒを移動させ得る。
このため、第６実施形態に係る移動機構４５は、ドロップレット検出器４１全体を移動させることに伴って、光源４１１及び照明光学系４１２の移動距離と光センサ４２１及び受光光学系４２２の移動距離との間で誤差が生じることを抑制し得る。
それにより、第６実施形態に係る移動機構４５は、これらの移動距離に関する誤差が生じることに伴って、実際に移動された検出領域Ｒの位置が、ノイズ補償部８１によって計算された距離補正量Ｌｓを反映した検出領域Ｒの位置からずれることを抑制し得る。
よって、第６実施形態に係るノイズ補償部８１は、プラズマから放射された電磁波に起因するノイズが通過タイミング信号に重畳しても、第３実施形態よりも確実に、通過タイミング信号に重畳したノイズを補償し得る。
【０１７１】
［１０．その他］
［１０．１  各制御部のハードウェア環境］
当業者は、汎用コンピュータまたはプログラマブルコントローラにプログラムモジュールまたはソフトウェアアプリケーションを組み合わせて、ここに述べられる主題が実行されることを理解するだろう。一般的に、プログラムモジュールは、本開示に記載されるプロセスを実行できるルーチン、プログラム、コンポーネント、データストラクチャー等を含む。
【０１７２】
図２５は、開示される主題の様々な側面が実行され得る例示的なハードウェア環境を示すブロック図である。図２５の例示的なハードウェア環境１００は、処理ユニット１０００と、ストレージユニット１００５と、ユーザインターフェイス１０１０と、パラレルＩ／Ｏコントローラ１０２０と、シリアルＩ／Ｏコントローラ１０３０と、Ａ／Ｄ、Ｄ／Ａコンバータ１０４０とを含んでもよいが、ハードウェア環境１００の構成は、これに限定されない。
【０１７３】
処理ユニット１０００は、中央処理ユニット（ＣＰＵ）１００１と、メモリ１００２と、タイマ１００３と、画像処理ユニット（ＧＰＵ）１００４とを含んでもよい。メモリ１００２は、ランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）とリードオンリーメモリ（ＲＯＭ）とを含んでもよい。ＣＰＵ１００１は、市販のプロセッサのいずれでもよい。デュアルマイクロプロセッサや他のマルチプロセッサアーキテクチャが、ＣＰＵ１００１として使用されてもよい。
【０１７４】
図２５におけるこれらの構成物は、本開示において記載されるプロセスを実行するために、相互に接続されてもよい。
【０１７５】
動作において、処理ユニット１０００は、ストレージユニット１００５に保存されたプログラムを読み込んで、実行してもよい、また、処理ユニット１０００は、ストレージユニット１００５からプログラムと一緒にデータを読み込んでもよい、また、処理ユニット１０００は、ストレージユニット１００５にデータを書き込んでもよい。ＣＰＵ１００１は、ストレージユニット１００５から読み込んだプログラムを実行してもよい。メモリ１００２は、ＣＰＵ１００１によって実行されるプログラムおよびＣＰＵ１００１の動作に使用されるデータを、一時的に保管する作業領域であってもよい。タイマ１００３は、時間間隔を計測して、プログラムの実行に従ってＣＰＵ１００１に計測結果を出力してもよい。ＧＰＵ１００４は、ストレージユニット１００５から読み込まれるプログラムに従って、画像データを処理し、処理結果をＣＰＵ１００１に出力してもよい。
【０１７６】
パラレルＩ／Ｏコントローラ１０２０は、露光装置制御部６１、ＥＵＶ光生成制御部５、温度制御部２６３ｄ及び制御部８等の、処理ユニット１０００と通信可能なパラレルＩ／Ｏデバイスに接続されてもよく、処理ユニット１０００とそれらパラレルＩ／Ｏデバイスとの間の通信を制御してもよい。シリアルＩ／Ｏコントローラ１０３０は、レーザ光進行方向制御部３４、ヒータ２６３ａ、ヒータ電源２６３ｂ、圧力調節器２６４ａ、ピエゾ電源２６５ｂ、光源４１１及び移動機構４５等の、処理ユニット１０００と通信可能なシリアルＩ／Ｏデバイスに接続されてもよく、処理ユニット１０００とそれらシリアルＩ／Ｏデバイスとの間の通信を制御してもよい。Ａ／Ｄ、Ｄ／Ａコンバータ１０４０は、アナログポートを介して、ターゲットセンサ４、温度センサ２６３ｃ、ピエゾ素子２６５ａ及び光センサ４２１等のアナログデバイスに接続されてもよく、処理ユニット１０００とそれらアナログデバイスとの間の通信を制御したり、通信内容のＡ／Ｄ、Ｄ／Ａ変換を行ってもよい。
【０１７７】
ユーザインターフェイス１０１０は、操作者が処理ユニット１０００にプログラムの停止や、割込みルーチンの実行を指示できるように、処理ユニット１０００によって実行されるプログラムの進捗を操作者に表示してもよい。
【０１７８】
例示的なハードウェア環境１００は、本開示における露光装置制御部６１、ＥＵＶ光生成制御部５、温度制御部２６３ｄ及び制御部８等の構成に適用されてもよい。当業者は、それらのコントローラが分散コンピューティング環境、すなわち、通信ネットワークを介して繋がっている処理ユニットによってタスクが実行される環境において実現されてもよいことを理解するだろう。本開示において、露光装置制御部６１、ＥＵＶ光生成制御部５、温度制御部２６３ｄ及び制御部８等は、イーサネットやインターネットといった通信ネットワークを介して互いに接続されてもよい。分散コンピューティング環境において、プログラムモジュールは、ローカルおよびリモート両方のメモリストレージデバイスに保存されてもよい。
【０１７９】
［１０．２  その他の変形例等］
上記で説明した実施形態は、変形例を含めて各実施形態同士で互いの技術を適用し得ることは、当業者には明らかであろう。
【０１８０】
上記の説明は、制限ではなく単なる例示を意図したものである。従って、添付の特許請求の範囲を逸脱することなく本開示の実施形態に変更を加えることができることは、当業者には明らかであろう。
【０１８１】
本明細書及び添付の特許請求の範囲全体で使用される用語は、「限定的でない」用語と解釈されるべきである。例えば、「含む」又は「含まれる」という用語は、「含まれるものとして記載されたものに限定されない」と解釈されるべきである。「有する」という用語は、「有するものとして記載されたものに限定されない」と解釈されるべきである。また、本明細書、及び添付の特許請求の範囲に記載される修飾語「１つの」は、「少なくとも１つ」又は「１又はそれ以上」を意味すると解釈されるべきである。
【符号の説明】
【０１８２】
１                  …ＥＵＶ光生成装置
１１                …ＥＵＶ光生成システム
２                  …チャンバ
２ａ                …壁
２ｂ                …ターゲット供給路
２１                …ウインドウ
２２                …レーザ光集光ミラー
２２ａ              …レーザ光集光光学系
２２１              …軸外放物面ミラー
２２２              …平面ミラー
２２３              …ホルダ
２２４              …ホルダ
２３                …ＥＵＶ集光ミラー
２３ａ              …ＥＵＶ集光光学系
２３１              …ホルダ
２３５              …プレート
２３５ａ            …孔
２４                …貫通孔
２５                …プラズマ生成領域
２５１              …ＥＵＶ光
２５２              …ＥＵＶ光
２６                …ターゲット供給器
２６１              …タンク
２６１ａ            …ネック部
２６２              …ノズル
２６２ａ            …ノズル孔
２６３ａ            …ヒータ
２６３ｂ            …ヒータ電源
２６３ｃ            …温度センサ
２６３ｄ            …温度制御部
２６４ａ            …圧力調節器
２６４ｂ            …ガスボンベ
２６５ａ            …ピエゾ素子
２６５ｂ            …ピエゾ電源
２７                …ターゲット
２７１              …ドロップレット
２８                …ターゲット回収器
２９                …接続部
２９１              …壁
２９２              …中間集光点
２９３              …アパーチャ
３                  …レーザ装置
３１〜３３          …パルスレーザ光
３４                …レーザ光進行方向制御部
３４１              …高反射ミラー
３４２              …高反射ミラー
３４３              …ホルダ
３４４              …ホルダ
３４５              …高反射ミラー
３４６              …ホルダ
４                  …ターゲットセンサ
４１                …ドロップレット検出器
４１０              …光源部
４１１              …光源
４１２              …照明光学系
４１３              …ウインドウ
４１４              …ミラー
４１５              …ミラー
４２０              …受光部
４２１              …光センサ
４２２              …受光光学系
４２３              …ウインドウ
４２４              …ミラー
４２５              …ミラー
４３１              …筐体
４３２              …部分反射ミラー
４３３              …ウインドウ
４５                …移動機構
５                  …ＥＵＶ光生成制御部
６                  …露光装置
６１                …露光装置制御部
８                  …制御部
８１                …ノイズ補償部
１００              …ハードウェア環境
１０００            …処理ユニット
１００１            …ＣＰＵ
１００２            …メモリ
１００３            …タイマ
１００４            …ＧＰＵ
１００５            …ストレージユニット
１０１０            …ユーザインターフェイス
１０２０            …パラレルＩ／Ｏコントローラ
１０３０            …シリアルＩ／Ｏコントローラ
１０４０            …Ａ／Ｄ、Ｄ／Ａコンバータ
Ｆ                  …ドロップレット軌道
Ｒ                  …検出領域
【図１】
2017051454.tif 000003
【図２】
2017051454.tif 000004
【図３】
2017051454.tif 000005
【図４】
2017051454.tif 000006
【図５】
2017051454.tif 000007
【図６】
2017051454.tif 000008
【図７】
2017051454.tif 000009
【図８】
2017051454.tif 000010
【図９】
2017051454.tif 000011
【図１０】
2017051454.tif 000012
【図１１】
2017051454.tif 000013
【図１２】
2017051454.tif 000014
【図１３】
2017051454.tif 000015
【図１４】
2017051454.tif 000016
【図１５】
2017051454.tif 000017
【図１６】
2017051454.tif 000018
【図１７】
2017051454.tif 000019
【図１８】
2017051454.tif 000020
【図１９】
2017051454.tif 000021
【図２０】
2017051454.tif 000022
【図２１】
2017051454.tif 000023
【図２２】
2017051454.tif 000024
【図２３】
2017051454.tif 000025
【図２４】
2017051454.tif 000026
【図２５】
2017051454.tif 000027
【国際調査報告】
2017051454.tif 000028
2017051454.tif 000029
2017051454.tif 000030
2017051454.tif 000031