(57)【要約】  磁性体でない移動体の移動検出が可能な磁気検出装置及び移動体検出装置を提供する。  移動体検出装置１は、磁気検出装置１０と、磁気検出装置１０に対して相対移動する回転体２０と、を備える。磁気検出装置１０は、交番磁界を発生するコイル１２と、コイル１２の発生する磁界が印加される磁気センサ１３と、を有する。回転体２０の回転により、磁気センサ１３に印加される磁界が変化する。磁気センサ１３の出力信号は、交番磁界を発生させるためにコイル１２に印加された信号により同期検波される。
2017073280.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
移動体の相対移動による磁界変化を検出する磁気検出装置であって、磁界発生導体と、前記磁界発生導体に交番磁界を発生させるための信号を印加する信号印加部と、前記磁界発生導体の発生する磁界が印加される磁気センサと、を備える、磁気検出装置。
【請求項２】
前記磁界発生導体がコイルである、請求項１に記載の磁気検出装置。
【請求項３】
前記磁気センサの出力信号を前記信号印加部の前記信号により同期検波する同期検波部を備える、請求項１又は２に記載の磁気検出装置。
【請求項４】
磁気検出装置と、前記磁気検出装置に対して相対移動する移動体と、を備え、前記磁気検出装置は、磁界発生導体と、前記磁界発生導体に交番磁界を発生させるための信号を印加する信号印加部と、前記磁界発生導体の発生する磁界が印加される磁気センサと、を有する、移動体検出装置。
【請求項５】
前記移動体は、相互に導電率又は透磁率が異なる第１及び第２の部分を有し、前記磁気検出装置と対面する部分の導電率又は透磁率が自身の相対移動によって変化する、請求項４に記載の移動体検出装置。
【請求項６】
前記信号印加部の前記信号の周波数は、前記移動体の前記磁気検出装置と対面する部分の導電率又は透磁率の変動周波数以上の周波数である、請求項５に記載の移動体検出装置。
【請求項７】
前記移動体は、少なくとも１つの凸部又は凹部を有し、前記磁気検出装置との対向距離が自身の相対移動によって変化する、請求項４に記載の移動体検出装置。
【請求項８】
前記信号印加部の前記信号の周波数は、前記移動体と前記磁気検出装置との対向距離の変動周波数以上の周波数である、請求項７に記載の移動体検出装置。
【請求項９】
前記磁界発生導体が、前記磁気センサの周囲を周回するコイルである、請求項４から８のいずれか一項に記載の移動体検出装置。
【請求項１０】
前記磁気検出装置は、前記磁気センサの出力信号を前記信号印加部の前記信号により同期検波する同期検波部を有する、請求項４から９のいずれか一項に記載の移動体検出装置。
【請求項１１】
磁気検出装置と、前記磁気検出装置に対して相対移動する移動体と、を備え、前記磁気検出装置は、磁界発生手段と、前記磁界発生手段の発生する磁界が印加される磁気センサと、を有し、前記移動体の相対移動により前記移動体に渦電流が発生し、前記渦電流の変化による磁界変化を前記磁気センサで検出する、移動体検出装置。
【請求項１２】
前記移動体が回転体であり、前記相対移動が回転である、請求項４から１１のいずれか一項に記載の移動体検出装置。
【請求項１３】
前記移動体が直線移動体であり、前記相対移動が直線移動である、請求項４から１１のいずれか一項に記載の移動体検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、移動体の相対移動による磁界変化を検出する磁気検出装置及びそれを備える移動体検出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、軟磁性体歯車等の移動体の位置検出（回転検出）に、磁気検出装置が用いられている。下記特許文献１は、外周面にＮ極とＳ極が交互に配置された着磁ロータの回転数や回転角度を検出する磁気検出装置において、着磁ロータの外周面と間隔を有して配置された２個の磁気抵抗素子により着磁ロータの発生する磁界を検出する構成を開示している。下記特許文献２は、歯車形状のギアの回転状態を検出するための回転検出装置において、ギアに向かうバイアス磁界を電磁石により発生させ、ギアの歯の回転によって発生するバイアス磁界の変化を磁気素子により電気信号に変換する構成を開示している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１５−８７１３７号公報
【特許文献２】特開２００３−２８７４３９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来の磁気検出装置は、検出対象が磁性体であることが前提となっていて、検出対象が例えば銅やアルミ等の非磁性体であると移動検出ができなかった。【０００５】
本発明はこうした状況を認識してなされたものであり、その目的は、磁性体でない移動体の移動検出が可能な磁気検出装置及び移動体検出装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のある態様は、移動体の相対移動による磁界変化を検出する磁気検出装置であって、磁界発生導体と、前記磁界発生導体に交番磁界を発生させるための信号を印加する信号印加部と、前記磁界発生導体の発生する磁界が印加される磁気センサと、を備える。【０００７】
前記磁界発生導体がコイルであってもよい。【０００８】
前記磁気センサの出力信号を前記信号印加部の前記信号により同期検波する同期検波部を備えてもよい。【０００９】
本発明のもう１つの態様は、移動体検出装置である。この移動体検出装置は、磁気検出装置と、前記磁気検出装置に対して相対移動する移動体と、を備え、前記磁気検出装置は、磁界発生導体と、前記磁界発生導体に交番磁界を発生させるための信号を印加する信号印加部と、前記磁界発生導体の発生する磁界が印加される磁気センサと、を有する。【００１０】
前記移動体は、相互に導電率又は透磁率が異なる第１及び第２の部分を有し、前記磁気検出装置と対面する部分の導電率又は透磁率が自身の相対移動によって変化してもよい。【００１１】
前記信号印加部の前記信号の周波数は、前記移動体の前記磁気検出装置と対面する部分の導電率又は透磁率の変動周波数以上の周波数であってもよい。【００１２】
前記移動体は、少なくとも１つの凸部又は凹部を有し、前記磁気検出装置との対向距離が自身の相対移動によって変化してもよい。【００１３】
前記信号印加部の前記信号の周波数は、前記移動体と前記磁気検出装置との対向距離の変動周波数以上の周波数であってもよい。【００１４】
前記磁界発生導体が、前記磁気センサの周囲を周回するコイルであってもよい。【００１５】
前記磁気検出装置は、前記磁気センサの出力信号を前記信号印加部の前記信号により同期検波する同期検波部を有してもよい。【００１６】
本発明のもう１つの態様は、移動体検出装置である。この移動体検出装置は、磁気検出装置と、前記磁気検出装置に対して相対移動する移動体と、を備え、前記磁気検出装置は、磁界発生手段と、前記磁界発生手段の発生する磁界が印加される磁気センサと、を有し、前記移動体の相対移動により前記移動体に渦電流が発生し、前記渦電流の変化による磁界変化を前記磁気センサで検出する。【００１７】
前記移動体が回転体であり、前記相対移動が回転であってもよい。【００１８】
前記移動体が直線移動体であり、前記相対移動が直線移動であってもよい。【００１９】
なお、以上の構成要素の任意の組合せ、本発明の表現を方法やシステムなどの間で変換したものもまた、本発明の態様として有効である。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、磁性体でない移動体の移動検出が可能な磁気検出装置及び移動体検出装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の実施の形態１に係る移動体検出装置１の概略斜視図。
【図２】図１の磁気検出装置１０の正断面図。
【図３】磁気検出装置１０の平面図。
【図４】検出対象の回転体２０が導電性を有する場合の、移動体検出装置１における検出原理説明図（その１）。
【図５】同検出原理説明図（その２）。
【図６】磁気検出装置１０の回路図。
【図７】本発明の実施の形態２に係る移動体検出装置２の概略斜視図。
【図８】本発明の実施の形態３に係る移動体検出装置３の概略斜視図。
【図９】本発明の実施の形態４に係る移動体検出装置４の概略斜視図。
【図１０】本発明の実施の形態５に係る移動体検出装置５の概略斜視図。
【図１１】本発明の実施の形態６に係る移動体検出装置６の概略斜視図。
【図１２】本発明の実施の形態７に係る移動体検出装置７の概略斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、図面を参照しながら本発明の好適な実施の形態を詳述する。なお、各図面に示される同一または同等の構成要素、部材等には同一の符号を付し、適宜重複した説明は省略する。また、実施の形態は発明を限定するものではなく例示であり、実施の形態に記述されるすべての特徴やその組み合わせは必ずしも発明の本質的なものであるとは限らない。
【００２３】
実施の形態１
図１〜図６を参照し、本発明の実施の形態１を説明する。図２〜図５により、直交三軸であるＸＹＺ軸を定義する。図１に示すように、本実施の形態の移動体検出装置１は、磁気検出装置１０と、移動体としての回転体２０と、を備える。磁気検出装置１０は、回転体２０の径方向外側において回転体２０の外周面（外周部）と対向する位置に設けられ、回転体２０の回転による磁界変化を検出する。回転体２０は、歯車形状であって、外周面（外周部）に第１の部分としての凸部２１及び第２の部分としての凹部２２を有する。本実施の形態の例では、凸部２１及び凹部２２は、回転体２０の外周面に交互に同じピッチで全周に渡って設けられる。回転体２０は、軟磁性体である場合と、導電性を有する場合（好ましくは金属製ないし導体である場合）がある。各々の場合の検出原理は後述する。
【００２４】
図２及び図３に示すように、磁気検出装置１０は、基板１１と、磁界発生導体としてのコイル１２と、磁気センサ１３と、を有する。コイル１２は、基板１１上に設けられ（固定され）、磁気センサ１３の周囲を螺旋状に周回する。コイル１２の軸方向は、回転体２０の軸方向と好ましくは垂直である。コイル１２は、後述の信号印加部１９からの供給信号により、回転体２０に向かう交番磁界を発生する。磁気センサ１３には、コイル１２の発生する磁界であって回転体２０の回転に伴って変化する磁界が印加される。磁気センサ１３は、磁気感応素子チップ１４と、軟磁性体１６と、を有する。磁気感応素子チップ１４は基板１１上に設けられ（固定され）、軟磁性体１６は磁気感応素子チップ１４上に設けられる（固定される）。磁気感応素子チップ１４は、磁気感応素子としてのＧＭＲ素子１５（ＧＭＲ：Giant Magneto Resistive effect）を所定数（ここでは４つ）有する。図３に示すように、ＧＭＲ素子１５は、軟磁性体１６（コイル１２の中心軸）を挟んでＸ方向両側に分けて配置される。図３において各ＧＭＲ素子１５内に示した矢印は、ＧＭＲ素子１５のピン層（固定層）の磁化方向であり、いずれのＧＭＲ素子１５もピン層磁化方向は−Ｘ方向となっている。図６に示すように、ＧＭＲ素子１５はフルブリッジ接続される。軟磁性体１６は、コイル１２の中心軸部に位置し、ＧＭＲ素子１５の出力（抵抗変化）に寄与する方向（ここではＧＭＲ素子１５の位置におけるＸＹ方向）の磁界成分を強める役割を持つ。
【００２５】
図４及び図５に示すように、回転体２０は、磁気検出装置１０との対向距離が自身の相対移動によって変化する。すなわち、図４に示すように回転体２０の凸部２１が磁気検出装置１０と対向するときは回転体２０と磁気検出装置１０との対向距離が小さくなり（近くなり）、図５に示すように回転体２０の凹部２２が磁気検出装置１０と対向するときは回転体２０と磁気検出装置１０との対向距離が大きくなる（遠くなる）。
【００２６】
図４及び図５は、回転体２０が導電性を有する場合の検出原理を示している。図４に示すように回転体２０の凸部２１が磁気検出装置１０と対向するときは、磁気検出装置１０の正面に位置する凸部２１に相対的な大きな渦電流が発生し、相対的な大きな反磁界が磁気検出装置１０のＧＭＲ素子１５にフィードバックされ、後述の同期検波によって得られるセンサ出力は相対的に小さくなる。一方、図５に示すように回転体２０の凹部２２が磁気検出装置１０と対向するときは、磁気検出装置１０の正面に位置する凹部２２に相対的な小さな渦電流が発生し、相対的な小さな反磁界が磁気検出装置１０のＧＭＲ素子１５にフィードバックされ、後述の同期検波によって得られるセンサ出力は相対的に大きくなる。
【００２７】
なお、図示は省略したが、回転体２０が軟磁性体である場合、回転体２０の凸部２１が磁気検出装置１０と対向するときは、凹部２２が磁気検出装置１０と対向する場合と比較して、コイル１２の発生する磁界が強められ（ＧＭＲ素子１５に印加される磁界が強められ）、センサ出力が大きくなる。回転体２０が軟磁性体である場合と導電性を有する場合のいずれにおいても、磁気検出装置１０が回転体２０の凸部２１と対向しているか凹部２２と対向しているかによって異なるレベルのセンサ出力が得られ、回転体２０の回転数等の回転状態を検出することができる。なお、回転体２０が軟磁性体であって導電性も有する場合、軟磁性体である凸部２１がＧＭＲ素子１５への印加磁界を強めることによりセンサ出力を相対的に大きくする影響と、導電性を有する凸部２１が反磁界によりセンサ出力を相対的に小さくする影響とが併存し、より大きい方の影響がセンサ出力の相対的な大小に強く表れることになる。
【００２８】
図６に示すように、フルブリッジ接続された４つのＧＭＲ素子１５（ＧＭＲ素子ブリッジ）の出力は、オペアンプ等の差動増幅器１７によって増幅され、演算部（同期検波部）１８に入力される。一方、信号印加部１９は、コイル１２に交番磁界を発生させるための信号を印加すると共に、同信号を演算部１８にも入力する。演算部１８は、乗算器、ローパスフィルタ、及び増幅器を含み、差動増幅器１７の出力信号を信号印加部１９からの前記信号により同期検波し、センサ出力として外部に出力する。信号印加部１９の前記信号の周波数Ｆｓは、回転体２０の回転速度と回転体２０の凸部２１又は凹部２２の配置ピッチとから決まる、回転体２０と磁気検出装置１０との対向距離の変動周波数Ｆｃ［Ｈｚ］以上の周波数とする（Ｆｓ≧Ｆｃ）。好ましくはＦｓ≧２×Ｆｃであり、Ｆｓは、磁気検出装置１０の各素子の特性上許容される範囲で高いほど検出精度の向上に寄与する。ここで、Ｆｃは、回転体２０の回転速度をＦｔ［Ｈｚ］、回転体２０の１周当たりの凸部２１又は凹部２２の数をＫ［個］としたとき、Ｆｃ≧Ｆｔ×Ｋと表される。
【００２９】
本実施の形態によれば、下記の効果を奏することができる。
【００３０】
(1) 回転体２０が導電性を有する材質である場合、回転体２０に交番磁界を印加することで回転体２０に渦電流が発生し、この渦電流の大きさ（振幅）が回転体２０の回転によって変化することでＧＭＲ素子１５の位置における反磁界の大きさが変化することを利用して回転体２０の回転検出を行える。このため、従来は回転検出の対象にできなかった非磁性体も、銅やアルミ等の導電性を有するものであれば回転検出の対象にすることが可能となる。回転体２０が軟磁性体である場合も回転検出が可能であり、検出対象にできる回転体２０の材質の範囲を拡張することができる。
【００３１】
(2) 演算部１８において、ＧＭＲ素子ブリッジの出力を、信号印加部１９からの信号（交番磁界発生用の信号）により同期検波するため、外乱磁界による出力変動を抑制でき、回転体２０の回転（移動）を高精度に検出できる。
【００３２】
実施の形態２
図７を参照し、本発明の実施の形態２を説明する。本実施の形態の移動体検出装置２は、実施の形態１のものと比較して、回転体２０が回転体３０に変わった点で相違し、その他の点で一致する。回転体３０は、円板形状ないし正多角板形状であって、外周面（外周部）に第１の部分としての高導電率又は高透磁率部分３１及び第２の部分としての低導電率又は低透磁率部分３２を有する。本実施の形態の例では、高導電率又は高透磁率部分３１及び低導電率又は低透磁率部分３２は、回転体３０の外周面に交互に同じピッチで全周に渡って設けられる。回転体３０の構成例としては、プラスチック製の歯車の凹部を銅やアルミ等の金属のメッキ等で埋めたもの（プラスチック部が低導電率部分、金属部が高導電率部分）や、プラスチックやアルミ等の非磁性体からなる歯車の凹部をパーマロイのメッキやフェライト粉のプリントによって軟磁性体で埋めたもの（非磁性体部が低透磁率部分、軟磁性体部分が高透磁率部分）が挙げられる。なお、高導電率又は高透磁率部分３１と低導電率又は低透磁率部分３２が凹凸関係になっていてもよい。
【００３３】
本実施の形態における回転体３０の回転検出の原理は実施の形態１と同様である。具体的には、回転体３０の高導電率又は高透磁率部分３１が磁気検出装置１０と対向するときは、実施の形態１において回転体２０の凸部２１が磁気検出装置１０と対向するときに対応する。回転体３０の低導電率又は低透磁率部分３２が磁気検出装置１０と対向するときは、実施の形態１において回転体２０の凹部２２が磁気検出装置１０と対向するときに対応する。本実施の形態も、実施の形態１と同様の効果を奏することができる。また、本実施の形態によれば、回転体３０は、高導電率又は高透磁率部分３１以外の部分（本体部）をプラスチック等の非磁性体かつ絶縁体で構成することもできる。
【００３４】
実施の形態３
図８を参照し、本発明の実施の形態３を説明する。本実施の形態の移動体検出装置３は、実施の形態２のものと異なり、磁気検出装置１０が回転体４０の軸方向一方側において回転体４０の非中心部、好ましくは外周縁近傍部（外周部）と対向する位置に設けられている。コイル１２の軸方向は、回転体４０の軸方向と好ましくは平行である。また、回転体４０は、軸方向一方側の面の、自身の回転によって磁気検出装置１０と対向し得る位置に、第１の部分としての高導電率又は高透磁率部分４１及び第２の部分としての低導電率又は低透磁率部分４２を有する。高導電率又は高透磁率部分４１及び低導電率又は低透磁率部分４２は、回転体４０の軸回りを一周するように交互に同じピッチで全周に渡って設けられる。なお、高導電率又は高透磁率部分４１は、低導電率又は低透磁率部分４２と比較して磁気検出装置１０側に突出するように設けられているが、低導電率又は低透磁率部分４２と面一であってもよい。本実施の形態のその他の点は実施の形態２と同様である。本実施の形態も、実施の形態２と同様の効果を奏することができる。
【００３５】
実施の形態４
図９を参照し、本発明の実施の形態４を説明する。本実施の形態の移動体検出装置４は、実施の形態１のものと異なり、磁気検出装置１０が回転体５０の軸方向一方側において回転体５０の非中心部、好ましくは外周縁近傍部（外周部）と対向する位置に設けられている。コイル１２の軸方向は、回転体５０の軸方向と好ましくは平行である。また、回転体５０は、軸方向一方側の面の、自身の回転によって磁気検出装置１０と対向し得る位置に、第１の部分としての凸部５１及び第２の部分としての凹部５２を有する。凸部５１及び凹部５２は、回転体５０の軸回りを一周するように交互に同じピッチで全周に渡って設けられる。本実施の形態のその他の点は実施の形態１と同様である。本実施の形態も、実施の形態１と同様の効果を奏することができる。
【００３６】
実施の形態５
図１０を参照し、本発明の実施の形態５を説明する。本実施の形態の移動体検出装置５は、実施の形態４の凹部５２が貫通孔６２に替わり、凸部５１が境界部６１に替わった点で相違し、その他の点で一致する。すなわち、回転体６０は、軸方向一方側の面の、自身の回転によって磁気検出装置１０と対向し得る位置に、第２の部分としての貫通孔６２を有する。貫通孔６２は、回転体６０の軸回りを一周するように同じピッチで全周に渡って設けられる。隣り合う貫通孔６２の間の境界部６１が第１の部分に対応する。本実施の形態における回転体６０の回転検出の原理は実施の形態１と同様である。具体的には、回転体６０の境界部６１が磁気検出装置１０と対向するときは、実施の形態１において回転体２０の凸部２１が磁気検出装置１０と対向するときに対応する。回転体６０の貫通孔６２が磁気検出装置１０と対向するときは、実施の形態１において回転体２０の凹部２２が磁気検出装置１０と対向するときに対応する。本実施の形態も、実施の形態４と同様の効果を奏することができる。
【００３７】
実施の形態６
図１１は、本発明の実施の形態６に係る移動体検出装置６の概略斜視図である。本実施の形態の移動体検出装置６は、図７に示した実施の形態２の回転体３０を直線移動体７０に替えたものであり、磁気検出装置１０の構成は実施の形態２と同様である。直線移動体７０は、平面形状であって、磁気検出装置１０と対向する側の面（以下「対向面」とも表記）に第１の部分としての高導電率又は高透磁率部分７１及び第２の部分としての低導電率又は低透磁率部分７２を有する。本実施の形態の例では、高導電率又は高透磁率部分７１及び低導電率又は低透磁率部分７２は、直線移動体７０の対向面に、直線移動体７０の移動方向に沿って交互に同じピッチで設けられる。直線移動体７０の構成例としては、プラスチック製の平板の凹部を銅やアルミ等の金属のメッキ等で埋めたもの（プラスチック部が低導電率部分、金属部が高導電率部分）や、プラスチックやアルミ等の非磁性体からなる平板の凹部をパーマロイのメッキやフェライト粉のプリントによって軟磁性体で埋めたもの（非磁性体部が低透磁率部分、軟磁性体部分が高透磁率部分）が挙げられる。なお、高導電率又は高透磁率部分７１と低導電率又は低透磁率部分７２が凹凸関係になっていてもよい。本実施の形態における直線移動体７０の移動検出の原理は、実施の形態２における回転検出の原理と同様である。本実施の形態も、実施の形態２と同様の効果を奏することができる。
【００３８】
実施の形態７
図１２は、本発明の実施の形態７に係る移動体検出装置７の概略斜視図である。本実施の形態の移動体検出装置７は、図１０に示した実施の形態５の回転体６０を直線移動体８０に替えたものであり、磁気検出装置１０の構成は実施の形態５と同様である。直線移動体８０は、自身の移動によって磁気検出装置１０と対向し得る位置に、第２の部分としての貫通孔８２を有する。貫通孔８２は、直線移動体８０の移動方向に沿って同じピッチで設けられる。隣り合う貫通孔８２の間の境界部８１が第１の部分に対応する。本実施の形態における直線移動体８０の移動検出の原理は、実施の形態５における回転検出の原理と同様である。本実施の形態も、実施の形態５と同様の効果を奏することができる。なお、貫通孔８２に替えて、磁気検出装置１０側に臨む凹部（非貫通孔）を設けても、同様の効果を奏することができる。
【００３９】
以上、実施の形態を例に本発明を説明したが、実施の形態の各構成要素や各処理プロセスには請求項に記載の範囲で種々の変形が可能であることは当業者に理解されるところである。以下、変形例について触れる。
【００４０】
実施の形態では磁気検出装置１０の位置が固定で移動体（回転体又は直線移動体）が移動（回転）する例を説明したが、移動体が固定で磁気検出装置１０が移動する構成であってもよい。すなわち、移動体の移動は、磁気検出装置１０に対する相対移動であり、自身の絶対位置が移動するかは問わない。実施の形態１〜５における移動体は、例えばラック等の直線移動体であってもよい。
【００４１】
実施の形態では、磁気検出装置１０と移動体との対向距離、又は移動体のうち磁気検出装置１０と対向する部分の導電率若しくは透磁率が、移動体の移動に伴い、相互に異なる２水準の値を交互に取る構成を説明したが、３水準以上の値を交互に取る構成であってもよい。また、移動体の移動に伴う各パラメータの変化は連続的であってもよい。例えば凹凸が正弦波状の移動体の場合、磁気検出装置１０との対向距離は、移動体の移動に伴い連続的に変化する。
【００４２】
実施の形態では４つのＧＭＲ素子１５をフルブリッジ接続したが、２つのＧＭＲ素子１５をハーフブリッジ接続してもよいし、１つのＧＭＲ素子１５と固定抵抗器をハーフブリッジ接続してもよい。磁気感応素子は、ＧＭＲ素子等の磁気抵抗効果素子に限定されず、ホール素子等の他の種類のものであってもよい。なお、ホール素子の場合、コイル１２の中心軸上に配置しても検出に必要なセンサ出力が得られる。
【００４３】
実施の形態ではセンサ出力を高めるために軟磁性体１６を設けたが、必要な大きさのセンサ出力が得られるのであれば、軟磁性体１６を省略してもよい。移動体の凹部、凸部、高導電率又は高透磁率部分、低導電率又は低透磁率部分は、少なくとも１つあれば足り、また複数設ける場合の配置ピッチは互いに異なってもよい。
【００４４】
磁界発生導体は、コイルに限定されず、例えば直線状の電流路であってもよい。また、磁界発生手段は磁界発生導体に限定されず、永久磁石であってもよい。永久磁石の場合、交番磁界にはならないが、移動体が導電性を有するものであれば、移動体の移動により移動体に渦電流が発生する。そして、磁気検出装置１０と移動体との対向距離、又は移動体のうち磁気検出装置１０と対向する部分の導電率が、移動体の移動によって変化すれば、渦電流の大きさも変化し、移動体の検出が可能となる。
【符号の説明】
【００４５】
１〜７  移動体検出装置
１０  磁気検出装置  １１  基板、１２  コイル（磁界発生導体）、１３  磁気センサ、１４  磁気感応素子チップ、１５  ＧＭＲ素子（磁気抵抗効果素子）、１６  軟磁性体、１７  差動増幅器、１８  演算部（同期検波部）、１９  信号印加部、
２０  回転体（移動体）、２１  凸部（第１の部分）、２２  凹部（第２の部分）、
３０  回転体、３１  高導電率又は高透磁率部分（第１の部分）、３２  低導電率又は低透磁率部分（第２の部分）、
４０  回転体、４１  高導電率又は高透磁率部分（第１の部分）、４２  低導電率又は低透磁率部分（第２の部分）
５０  回転体（移動体）、５１  凸部（第１の部分）、５２  凹部（第２の部分）、
６０  回転体（移動体）、６１  境界部（第１の部分）、６２  貫通孔（第２の部分）、
７０  直線移動体、７１  高導電率又は高透磁率部分（第１の部分）、７２  低導電率又は低透磁率部分（第２の部分）、
８０  直線移動体、８１  境界部（第１の部分）、８２  貫通孔（第２の部分）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【国際調査報告】
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