(57)【要約】  本開示は、キャピラリアレイにおける光ファイバの出口に、予め作製したファイバガイドを装着することで、高精度かつ組立容易の光ファイバアレイを提供することを目的とする。  本開示に係る光ファイバアレイは、複数の光ファイバ２０と、整列配置された複数の貫通孔を有し、各光ファイバ２０をそれぞれの貫通孔に突き出すように挿入したキャピラリアレイ２１と、光ファイバ２０を導入する導入口２５から光ファイバ２０を保持する保持口２６に向かって徐々に狭まる直径を有する複数の光ファイバガイド孔が、各貫通孔の配置位置に対応するように形成された位置決めアレイ２２と、を備える。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の光ファイバと、
整列配置された複数の貫通孔を有し、前記各光ファイバをそれぞれの前記貫通孔に突き出すように挿入したキャピラリアレイと、
前記光ファイバを導入する導入口から前記光ファイバを保持する保持口に向かって徐々に狭まる直径を有する複数の光ファイバガイド孔が、前記各貫通孔の配置位置に対応するように形成された位置決めアレイと、
を備えることを特徴とする光ファイバアレイ。
【請求項２】
前記複数の貫通孔が整列配置されている面における前記キャピラリアレイの外形は、前記位置決めアレイよりも大きな直径の円形を有することを特徴とする、
請求項１に記載の光ファイバアレイ。
【請求項３】
前記キャピラリアレイの外形は、前記複数の貫通孔のうちの外縁に直線上に配置された貫通孔からの距離が等しい切欠き部を備えることを特徴とする、
請求項２に記載の光ファイバアレイ。
【請求項４】
前記複数の光ファイバガイド孔に保持された各光ファイバから出射された光をそれぞれ平行光に変換するようなマイクロレンズが、前記各光ファイバガイド孔の配置位置に対応するように形成されたマイクロレンズアレイをさらに備える
ことを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の光ファイバアレイ。
【請求項５】
請求項４に記載の光ファイバアレイを用いて、前記複数の光ファイバからの光を平行光に変換する第１の光ファイバアレイと、
前記第１の光ファイバアレイが有する前記マイクロレンズアレイから送出された前記各平行光に対応するように配置された回転可能な複数の反射部を有する第１のＭＥＭＳミラーと、
前記第１のＭＥＭＳミラーの前記各反射部から反射された前記各平行光に対応するように配置された回転可能な複数の反射部を有する第２のＭＥＭＳミラーと、
請求項４に記載の光ファイバアレイを用いて、前記第２のＭＥＭＳミラーの前記各反射部から反射されたそれぞれの平行光を光ファイバに入射する第２の光ファイバアレイと、
を備えることを特徴とする光スイッチ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、光ファイバアレイ及び光スイッチに関する。
【背景技術】
【０００２】
信号光の伝送手段として、関連技術では、光ファイバアレイ及びチルトミラーアレイで構成された光スイッチが用いられている。光スイッチにおける光ファイバアレイは、キャピラリアレイ及びマイクロレンズアレイで構成される。【０００３】
関連技術に係る光スイッチの光ファイバアレイ及びチルトミラーアレイの構成を図１に示す。関連技術に係る光スイッチでは、信号光入射側の光ファイバアレイと、第１のチルトミラーアレイ１４と、第２のチルトミラーアレイ１５と、信号光出射側の光ファイバアレイと、を備える（例えば、特許文献１参照。）。【０００４】
信号光入射側の光ファイバアレイは、複数の光ファイバ１０−１と、第１のキャピラリアレイ１１−１と、第１のマイクロレンズアレイ１３−１と、を備える。信号光出射側の光ファイバアレイは、第２のキャピラリアレイ１１−２と、第２のマイクロレンズアレイ１３−２と、複数の光ファイバ１０−２と、を備える。第１のマイクロレンズアレイ１３−１及び第２のマイクロレンズアレイ１３−２は、規則的に配列された複数のマイクロレンズを有する。【０００５】
関連技術に係る光ファイバアレイでは、高密度に配列した光ファイバ１０−１及び１０−２をそれぞれマイクロレンズアレイ１３−１及び１３−２に近接させることで信号光の伝送を行うことができる。第１のキャピラリアレイ１１−１及び第２のキャピラリアレイ１１−２は、マトリックス状に孔が開いた空孔部を有し、光ファイバ１０−１及び光ファイバ１０−２が空孔部にそれぞれ挿入される。【０００６】
第１のマイクロレンズアレイ１３−１及び第２のマイクロレンズアレイ１３−２は、それぞれ第１のキャピラリアレイ１１−１及び第２のキャピラリアレイ１１−２の空孔部に挿入された各光ファイバ１０−１及び１０−２の対応する位置に、配列形成されたマイクロレンズを有する。各光ファイバの出力する信号光と各マイクロレンズとを光学的に結合するように接着剤で第１のキャピラリアレイ１１−１及び第１のマイクロレンズアレイ１３−１を接合する。第２のキャピラリアレイ１１−２及び光ファイバ１０−２を介して入射された信号光と、各マイクロレンズと、を光学的に結合するように接着剤で第２のキャピラリアレイ１１−２及び第２のマイクロレンズアレイ１３−２を接合する。【０００７】
第１のチルトミラーアレイ１４及び第２のチルトミラーアレイ１５は、光ファイバを伝送される信号光の集光位置に配設された複数のミラーを有する。各ミラーは、ＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ  Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｓｙｓｔｅｍｓ）技術を用いて製作されたＭＥＭＳミラーである。第１のチルトミラーアレイ１４に到達した各信号光は、対応する第２のチルトミラーアレイ１５に向かってそれぞれ反射される。【０００８】
ここで、チルトミラーアレイは、回転可能に支持され、各信号光の出力先として設定された出力ポートの位置に対応する角度に制御される。これにより、各チルトミラーアレイで反射された信号光は、所望の出力先に出力することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２０１１−２８２３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかし、上述した関連技術に係る光ファイバアレイでは、各モジュール同士の精度のバラツキが大きく、例えば、キャピラリアレイは±２μｍの比較的低い加工精度を有し、マイクロレンズアレイは±０．１μｍの比較的高い加工精度を有する。このため、当該モジュールを組立品としてアセンブリする場合、キャピラリアレイが有する低い精度により、信号光の焦点位置の位置ズレや光学特性の損失を抑えることが困難であり、安定した光強度で信号光を伝達するのが困難となる。また、他の関連技術としてキャピラリアレイではなく、１次元のＶ溝アレイを使用しこれを重層構造に積み上げてマトリックス状のファイバアレイにする場合もあったが、各ファイバ間の位置は±２〜５μｍとバラツキが大きく信号光の焦点位置がずれて正確な信号光のスイッチングや伝達を行うことが困難であった。【００１１】
前記課題を解決するために、本開示は、キャピラリアレイにおける光ファイバの出口に、予め作製したファイバガイドを装着することで、高精度かつ組立容易の光ファイバアレイを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成するため、本開示では、キャピラリアレイで各光ファイバを整列させて、キャピラリアレイ及びマイクロレンズアレイ間に予め作製したファイバガイドとしての位置決めアレイを配置し、整列した光ファイバを位置決めアレイに挿入する。【００１３】
具体的には、本開示に係る光ファイバアレイは、
複数の光ファイバと、
整列配置された複数の貫通孔を有し、前記各光ファイバをそれぞれの前記貫通孔に突き出すように挿入したキャピラリアレイと、
前記光ファイバを導入する導入口から前記光ファイバを保持する保持口に向かって徐々に狭まる直径を有する複数の光ファイバガイド孔が、前記各貫通孔の配置位置に対応するように形成された位置決めアレイと、を備える。【００１４】
本開示に係る光ファイバアレイでは、
前記複数の光ファイバガイド孔に保持された各光ファイバから出射された光をそれぞれ平行光に変換するようなマイクロレンズが、前記各光ファイバガイド孔の配置位置に対応するように形成されたマイクロレンズアレイをさらに備えてもよい。【００１５】
本開示に係る光ファイバアレイでは、前記複数の貫通孔が整列配置されている面における前記キャピラリアレイの外形は、前記位置決めアレイよりも大きな直径の円形を有していてもよい。
ここで、前記キャピラリアレイの外形は、前記複数の貫通孔のうちの外縁に直線上に配置された貫通孔からの距離が等しい切欠き部を備えていてもよい。【００１６】
具体的には、本開示に係る光スイッチは、
上述に記載の光ファイバアレイを用いて、複数の光ファイバからの光を平行光に変換する第１の光ファイバアレイと、
前記第１の光ファイバアレイが有するマイクロレンズアレイから送出された各平行光に対応するように配置された回転可能な複数の反射部を有する第１のＭＥＭＳミラーと、
前記第１のＭＥＭＳミラーの前記各反射部から反射された各平行光に対応するように配置された回転可能な複数の反射部を有する第２のＭＥＭＳミラーと、
上述に記載の光ファイバアレイを用いて、前記第２のＭＥＭＳミラーの前記各反射部から反射されたそれぞれの平行光を光ファイバに入射する第２の光ファイバアレイと、を備える。【００１７】
なお、上記各開示は、可能な限り組み合わせることができる。
【発明の効果】
【００１８】
本開示によれば、キャピラリアレイにおける光ファイバの出口に、予め作製したファイバガイドを装着することで、高精度かつ組立容易の光ファイバアレイを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】関連技術に係る光ファイバアレイの構成の一例を示す。
【図２】本実施形態に係る光ファイバアレイの構成の一例を示す。
【図３】本実施形態に係る位置決めアレイのファイバガイド孔の形状の一例を示す。
【図４】本実施形態に係る位置決めアレイのファイバガイド孔の形状の一例を示す。
【図５】キャピラリアレイの断面形状の第１例を示す。
【図６】キャピラリアレイの断面形状の第２例を示す。
【図７】本実施形態に係る光ファイバアレイの構成の一例を示す。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本開示の実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、本開示は、以下に示す実施形態に限定されるものではない。これらの実施の例は例示に過ぎず、本開示は当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した形態で実施することができる。なお、本明細書及び図面において符号が同じ構成要素は、相互に同一のものを示すものとする。
【００２１】
（実施形態１）
本実施形態に係る光ファイバアレイを図２に示す。光ファイバアレイは、複数の光ファイバ２０と、キャピラリアレイ２１と、位置決めアレイ２２と、を備える。また、光ファイバアレイは、マイクロレンズアレイ２３をさらに備えてもよい。キャピラリアレイ２１の材料としては、シリカガラス又はプラスチックで構成されていてもよい。キャピラリアレイ２１は、各光ファイバ２０をそれぞれ挿入できるよう並列配置された複数の貫通孔を有する。
【００２２】
キャピラリアレイ２１の有する複数の貫通孔は、キャピラリアレイ２１を形成する主面に対し垂直方向に貫通され、かつ、貫通された貫通孔に挿入する光ファイバ２０の挿入方向に平行に形成され、各貫通孔同士の平行度が精度誤差に収まる程度の範囲内であってもよい。ここで、キャピラリアレイ２１の主面とは、複数の貫通孔に挿入する光ファイバ２０の挿入側の１面を示す。
【００２３】
各貫通孔は、挿入する光ファイバ２０及び貫通孔の間にクリアランスを設けるように形成されているため、光ファイバ２０の挿入時に際し、光ファイバ２０の挿入作業を容易に行うことができ、光ファイバ２０及び貫通孔の挿入口との接触による光ファイバ２０の破損を防ぐことができる。また、各貫通孔は、挿入する光ファイバ２０及び貫通孔の間にクリアランスを設けるように形成されているため、光ファイバ２０の挿入過程に際し、光ファイバ２０及び貫通孔の干渉を低減することができる。
【００２４】
位置決めアレイ２２は、キャピラリアレイ２１の貫通孔に挿入された各光ファイバ２０が突き出る開口部の位置に対しそれぞれ対応するように並列配置された複数のファイバガイド孔を有する。ここで、ファイバガイド孔の具体的な形状を図３に示す。位置決めアレイ２２の有する各ファイバガイド孔は、キャピラリアレイ２１の貫通孔の開口部から突き出たそれぞれの光ファイバ２０を導入するとともに位置決めする。図３に示すように、ファイバガイド孔において、光ファイバ２０を導入する導入口２５と光ファイバ２０を保持する保持口２６は、ほぼ同心軸状に形成され、それぞれ異なる直径で開口形状が形成されている。ファイバガイド孔の形状の具体例を図４に示す。ファイバガイド孔の形状は、ドリルを用いた機械加工で加工した漏斗形状であってもよく、断面形状が一点鎖線Ａに示すように直線的であり又は不連続点の無い単調曲線Ｂのように曲線的な壁面形状であってもよい。これらのファイバガイド孔の形状は、エッチング加工で形成してもよい。
【００２５】
位置決めアレイ２２の導入口２５及び保持口２６のそれぞれの直径の大きさは、保持口２６の直径に対し導入口２５の直径が大きく形成されている。導入口２５側から保持口２６側に向かうにつれて直径が小さくなる。
【００２６】
キャピラリアレイ２１の貫通孔を通過した光ファイバ２０は、図３に示すように導入口２５及び保持口２６の順に通過する際、導入口２５側から保持口２６側に向かうにつれて直径が小さくなる通過経路の形状により、保持口２６側での光ファイバ２０の位置決めを正確に行うことができ、光ファイバ２０端面の角部と、導入口２５の角部との接触による欠けや破損を抑制することができる。
【００２７】
加工速度の短縮のためには、母材ガラスの熱延伸を用いることが好ましい。そのため、キャピラリアレイ２１は、母材ガラスの熱延伸を用いて形成することが好ましい。例えば、キャピラリアレイ２１と断面形状が相似形の母材ガラスを熱延伸で細径化し、予め定めた長さに切断する。母材ガラスは、例えば、ホウケイ酸ガラスを用いる。
【００２８】
図２では、キャピラリアレイ２１の外形の第１例として、キャピラリアレイ２１の外形が方形を有する例を示した。しかし、熱延伸を用いる場合、キャピラリアレイ２１の外形は、円形を有することが好ましい。これにより、熱延伸の条件によって起こりうる、貫通孔の形状の変形や、位置ずれを防ぐことができる。さらには、ガラスの表面や内部での結晶化が起きにくくなるため、微小領域での寸法の変動やひび割れを防ぐことができる。
【００２９】
図５に、キャピラリアレイ２１の断面形状の第２例を示す。キャピラリアレイ２１の断面形状の第２例は、キャピラリアレイ２１の外周が円形である。キャピラリアレイ２１の直径φ２１は、位置決めアレイ２２の外形の対角線の長さＬ２２よりも長い。
【００３０】
図６に、キャピラリアレイ２１の断面形状の第３例を示す。キャピラリアレイ２１の断面形状の第３例は、切欠き部３１を備えるＤカット形状を有する。切欠き部３１は、貫通孔のうちの外縁に直線上に配置された貫通孔Ｈ４１，Ｈ４２，Ｈ４３，Ｈ４４からの距離が等しくなるように配置されている。このように、キャピラリアレイ２１の断面形状の第３例は、切欠き部３１を備えるため、貫通孔の配列方向を特定可能にするとともに、母材ガラスの形成を容易にし、かつ延伸時の変形を防ぐことができる。
【００３１】
ここで、キャピラリアレイ２１の直径φ２１が５ｍｍの場合、切欠き部３１の配置されている部分の長さＬＳは、４．７ｍｍであることが好ましい。キャピラリアレイ２１の直径φ２１が３．３ｍｍの場合、切欠き部３１の配置されている部分の長さＬＳは、３．１ｍｍであることが好ましい。このように、切欠き部３１の配置されている部分の長さＬＳは、キャピラリアレイ２１の直径φ２１の０．９４倍程度であることが好ましい。
【００３２】
なお、切欠き部３１は１つに限定されない。例えば、貫通孔Ｈ４１，Ｈ４２，Ｈ４３，Ｈ４４と対向して整列配置された貫通孔Ｈ１１，Ｈ１２，Ｈ１３，Ｈ１４からの距離が等しくなるように配置された切欠き部をさらに備えていてもよい。
【００３３】
以下に光ファイバ２０、キャピラリアレイ２１及び位置決めアレイ２２の配置及び固定手順を具体的に説明する。キャピラリアレイ２１の貫通孔に予め挿入されたたわみ状態の光ファイバ２０は、キャピラリアレイ２１の開口部から光ファイバ２０を突き出した状態で貫通孔の挿入口又は開口部に接着剤を注入し、毛細管現象によりキャピラリアレイ２１及び光ファイバ２０間の間隙に接着剤を供給することで接着固定してもよい。接着固定した光ファイバ２０は、キャピラリアレイ２１の貫通孔の開口部から突き出た状態のまま、位置決めアレイ２２をキャピラリアレイ２１の主面に対抗する対抗面に接着固定する。
【００３４】
位置決めアレイ２２は、各光ファイバ２０が貫通孔に挿入されたキャピラリアレイ２１に対し、予め接着剤で固定されていてもよい。ここで、キャピラリアレイ２１及び位置決めアレイ２２を予め接着固定された後、光ファイバ２０を、キャピラリアレイ２１の貫通孔及び位置決めアレイ２２のファイバガイド孔が連結した空孔部に挿入してもよい。光ファイバ２０を空孔部に挿入し、キャピラリアレイ２１の貫通孔の挿入口又は位置決めアレイ２２のファイバガイド孔の保持口２６に接着剤を注入し、毛細管現象により空孔部及び光ファイバ２０間の間隙に接着剤を供給することで光ファイバ２０を空孔部に接着固定してもよい。
【００３５】
上述した、光ファイバ２０、キャピラリアレイ２１及び位置決めアレイ２２の配置及び一方の固定手順では、キャピラリアレイ２１及び位置決めアレイ２２を仮突合せし、位置決めアレイ２２の保持口２６側端面に平板を設置しておき、予め研磨した光ファイバ２０の端面を当該平板に突き当てるように各光ファイバ２０を挿入することで、位置決めアレイ２２の保持口２６側端面で面一にし、接着剤で接着固定する。
【００３６】
または、光ファイバ２０、キャピラリアレイ２１及び位置決めアレイ２２の配置及び他方の固定手順では、キャピラリアレイ２１を介して挿入した光ファイバ２０が位置決めアレイ２２から突き出た状態で接着剤を用いて接着固定する。接着固定した際、位置決めアレイ２２及び光ファイバ２０を面一にするように位置決めアレイ２２のファイバガイド孔の保持口２６側の表面を研磨してもよい。
【００３７】
各構成部を接着固定する際は、紫外線を照射して同接着剤を硬化させる紫外線硬化型接着剤を用いてもよいし、可視光を照射して同接着剤を硬化させる可視光硬化型接着剤を用いてもよい。また、各構成部を接着固定する際は、熱硬化の接着剤を用いてもよい。
【００３８】
位置決めアレイ２２は、リソグラフィーを用いてエッチング加工で精密に加工する場合は、シリコン、ガラス又は金属を材料とする。ドリル加工する場合は、さらにセラミック又はプラスチックを材料として追加できる。
【００３９】
位置決めアレイ２２の後段に位置するマイクロレンズアレイ２３は、位置決めアレイ２２の各ファイバガイド孔の保持口の位置に対しそれぞれ対応するように並列配置された複数のマイクロレンズを有する。各ファイバガイド孔の保持口から出射される光ファイバ２０の信号光をそれぞれのマイクロレンズで平行光に変換する。又は、入射された光ファイバ２０の信号光をそれぞれのマイクロレンズで集光する。
【００４０】
位置決めアレイ２２とマイクロレンズアレイ２３との位置合わせは、画像認識装置で自動的に位置出しするとともに接着剤で接着固定するか、接着面を画像モニタ上で観測しながら位置出しするとともに接着剤で接着固定してもよい。
【００４１】
ＭＥＭＳミラーとしてのチルトミラーアレイ及び本実施形態に係る光ファイバアレイを備える光スイッチを図７で説明する。図７における本実施形態に係る光スイッチにおいて、基本的機能は、図１に示す関連技術に係る光スイッチと同じである。
【００４２】
しかし、本実施形態に係る光スイッチにおける構成では、信号光入射側の光ファイバアレイと、第１のチルトミラーアレイ２４と、第２のチルトミラーアレイ２５と、信号光出射側の光ファイバアレイと、を備える。ここで、各光ファイバアレイの構成は、本実施形態に係る光ファイバアレイにおいて、それぞれキャピラリアレイとマイクロレンズアレイ間に位置決めアレイ２２を備える点で関連技術に係る光スイッチと異なる。なお、本実施形態に係る光ファイバアレイ及び光スイッチで用いられる伝搬光は、信号を重畳した信号光に限定されず、信号の重畳されていない光であってもよい。
【００４３】
なお、光スイッチにおいて、複数の光ファイバ２０と、整列配置された複数の貫通孔を有し、各光ファイバ２０をそれぞれの貫通孔に突き出すように挿入したキャピラリアレイ２１と、光ファイバ２０を導入する導入口２５から光ファイバ２０を保持する保持口２６に向かって徐々に狭まる直径を有する複数の光ファイバガイド孔が、各貫通孔の配置位置に対応するように形成された位置決めアレイ２２と、を備える本実施形態に係る光ファイバアレイを用いる。
【００４４】
信号光入射側の光ファイバアレイは、予め挿入された光ファイバ２０から入射された信号光である平行光を、第１のチルトミラーアレイ及び第２のチルトミラーアレイを介して信号光出射側の光ファイバアレイに出射することができる。なお、本実施形態に係る第１のチルトミラーアレイ２４及び第２のチルトミラーアレイ２５は、各ミラーごとに回転運動が可能なモジュールである。
【００４５】
このため、それぞれのチルトミラーアレイを回転させることで信号光を偏向させることができる。例えば、第１のチルトミラーアレイ２４を縦方向に回転させることで信号光を偏向し、第１のチルトミラーアレイ２４で偏向した信号光を第２のチルトミラーアレイ２５は横方向に回転させることで信号光の行光を制御することができる。
【００４６】
また、第１のチルトミラーアレイ２４を横方向に回転させることで信号光を偏向し、第１のチルトミラーアレイ２４で偏向した信号光を第２のチルトミラーアレイ２５は縦方向に回転させることで信号光の行光を制御してもよい。さらに、信号光の偏向方法では、第１のチルトミラーアレイ２４を縦及び横方向に回転させることで信号光を偏向し、第１のチルトミラーアレイ２４で偏向した信号光を第２のチルトミラーアレイ２５は縦及び横方向に回転させることで信号光の行光を制御することもできる。
【００４７】
ここで、本実施形態に係る光ファイバアレイが備えるキャピラリアレイ２１、位置決めアレイ２２及びマイクロレンズアレイ２３は、それぞれ１×８又は１×４８などの１次元配列のアレイ形状であってもよいし、それぞれ４×４又は８×８などの２次元配列のアレイ形状であってもよい。
【００４８】
以上の構成により本実施形態に係る光ファイバアレイは、各ミラーの信号光は互いに影響を与えることなく、それぞれ独立に偏向が可能である。したがって、第１のチルトミラーアレイ２４において任意のミラーに入射された信号光を、第２のチルトミラーアレイ２５における任意のミラーに独立に偏向することが可能であり、極めて自由度の高い１×Ｎ又はＭ×Ｎ波長クロスコネクト装置として提供することができる。
【産業上の利用可能性】
【００４９】
本開示は情報通信産業に適用することができる。
【符号の説明】
【００５０】
１０−１、１０−２、２０、２０−１、２０−２：光ファイバ
１１−１、２１−１：第１のキャピラリアレイ
１３−１、２３−１：第１のマイクロレンズアレイ
１４、２４：第１のチルトミラーアレイ
１５、２５：第２のチルトミラーアレイ
１３−２、２３−２：第２のマイクロレンズアレイ
１１−２、２１−２：第２のキャピラリアレイ
２１：キャピラリアレイ
２２、２２−１、２２−２：位置決めアレイ
２３、２３−１、２３−２：マイクロレンズアレイ
２５：導入口
２６：保持口
【図１】
2016181778.tif 000003
【図２】
2016181778.tif 000004
【図３】
2016181778.tif 000005
【図４】
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【図５】
2016181778.tif 000007
【図６】
2016181778.tif 000008
【図７】
2016181778.tif 000009
【国際調査報告】
2016181778.tif 000010
2016181778.tif 000011
2016181778.tif 000012
2016181778.tif 000013
2016181778.tif 000014