(57)【要約】  主振動板（１１）および主振動板（１１）の一端に固定されたブレード部（１５）を有するブレード腕（１０）と、１つ以上の副振動板（２１）を備えてなる対向質量腕（２０）と、ブレード腕（１０）および対向質量腕（２０）の振動端がそれぞれ接続されてブレード腕（１０）と対向質量腕（２０）とを並列に保持する保持部材（４０）と、主振動板（１１）および副振動板（２１）の少なくとも一方に超音波振動を与える圧電アクチュエータからなる駆動部（３０）とを備え、ブレード腕（１０）および対向質量腕（２０）が撓み振動子として、互いに逆位相で振動する共振モードで各々主面方向に屈曲振動を行う超音波切断素子（１）とする。
2017150444.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
主振動板および該主振動板の一端に固定されたブレード部を有するブレード腕と、１つ以上の副振動板を備えてなる対向質量腕と、前記主振動板の振動端および前記副振動板の振動端が接続され、前記ブレード腕と前記対向質量腕とを並列に保持する保持部材と、前記主振動板および前記副振動板の少なくとも一方に超音波振動を与える駆動部とを備えた超音波切断素子であって、  前記駆動部が、前記主振動板の主面および前記副振動板の主面のうちの少なくとも一つの主面上に、該主面側から下部電極、圧電体膜および上部電極がこの順に積層されてなる圧電アクチュエータであり、  前記ブレード腕および前記対向質量腕が撓み振動子として、互いに逆位相で振動する共振モードで主面方向にそれぞれ屈曲振動を行う超音波切断素子。
【請求項２】
一端が前記保持部材に接続され、切断対象に前記ブレード部を導くための可撓性ワイヤを備えている請求項１に記載の超音波切断素子。
【請求項３】
前記主振動板、前記副振動板および前記保持部材が一枚板から形成されてなる請求項１または２記載の超音波切断素子。
【請求項４】
前記ブレード腕と前記対向質量腕は、  前記主振動板の前記振動端から前記ブレード部の先端に向かう軸をｘ軸、該振動端の位置をｘ＝０、前記ブレード腕の材料密度をρb、幅をｗｂ（ｘ）、厚みをｔｂ（ｘ）、前記対向質量腕の材料密度をρｃｍ、幅をｗｃｍ（ｘ）、厚みをｔｃｍ（ｘ）、【数１】
2017150444.tif 000011
としたとき、Ｉratio≧０．１４を満たすものである請求項１から３いずれか１項に記載の超音波切断素子。
【請求項５】
前記ブレード腕と前記対向質量腕は、Ｉratio≧０．２を満たす請求項４に記載の超音波切断素子。
【請求項６】
前記ブレード腕の振動を検出する振動検出部を備えている請求項１から５のいずれか１項に記載の超音波切断素子。
【請求項７】
前記対向質量腕が、被対象に接触する押当部と、該押当部を介して前記被対象に圧力を加える圧力印加部と、該圧力の印加により生じた応力を検出する応力検出部とを備えている請求項１から６いずれか１項に記載の超音波切断素子。
【請求項８】
前記駆動部に用いられる圧電体膜が、正方晶ｃ軸に優先配向した、Ｐｂ（Ｚｒｙ，Ｔｉｚ，Ｎｂ1−ｙ−ｚ）Ｏ３，０＜ｙ＜１，０＜ｚ＜１で表されるペロブスカイト型酸化物からなる請求項１から７いずれか１項に記載の超音波切断素子。
【請求項９】
前記主振動板および前記副振動板が前記圧電体膜の熱膨張係数よりも大きい熱膨張係数を有する材料からなる請求項８記載の超音波切断素子。
【請求項１０】
請求項１から９いずれか１項に記載の超音波切断素子と、  前記駆動部の前記上部電極と前記下部電極との間に、前記ブレード腕および前記対向質量腕に前記屈曲振動を生じさせる共振モードの駆動電圧信号を付与する信号制御部とを備えた超音波処置具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、刃先を超音波振動させて被対象を切断する超音波切断素子および超音波処置具に関し、特に、軟性内視鏡の鉗子口に収納可能な小型サイズを実現可能な構造とした超音波切断素子および超音波処置具に関する。
【背景技術】
【０００２】  内視鏡処置具として利用される超音波メスは、従来のレーザーメス、高周波ナイフ等に対し、組織選択性がある、および止血が可能である等の点で優れているため、硬性内視鏡の分野で広く用いられている。【０００３】  従来の超音波メスおよび超音波カッターなどの超音波切断素子は、圧電セラミックスのランジュバン素子を用いて縦振動を発生させる振動発生源（駆動部）と、発生した縦振動の速度を増幅するホーンとを機械的に組み合わせた構成となっている。しかしながら、ランジュバン素子とホーンとを組み合わせた大型の構成であるため、経口内視鏡や大腸内視鏡など、軟性内視鏡の鉗子口に収納可能なサイズのものは存在しない。【０００４】  超音波切断素子の小型化の試みとして、非特許文献１では、水熱合成法によって成膜したＰＺＴ薄膜を備えた駆動部を有する超音波メスが提案されている。このデバイスは、上述のランジュバン素子を備えた従来品と同様にホーンを備え、ホーンにより増幅された縦振動を利用して切断するものであるが、圧電体を薄膜化することによりデバイスとして大幅な小型化を実現している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１２−１７９１０２号公報
【非特許文献】
【０００６】
【非特許文献１】黒澤実ら、”ＰＺＴ膜を用いたマイクロ超音波メス用振動子の振動速度向上”,信学技報IEICE THECHNICAL REPORT US2009- (2009- )
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】  しかしながら、非特許文献１に記載の構成の超音波切断素子を用いた場合、十分な振動速度が得られない。そのため、十分な切断性能が得られないという問題があった。【０００８】  本発明は、上記事情に鑑み、軟性内視鏡に適用できるレベルの小型サイズを実現でき、かつ十分大きい振動速度が得られる超音波切断素子および超音波処置具を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】  本発明者は、鋭意検討の結果、縦振動を用いた非特許文献１に記載のデバイスの振動速度不足の主原因は、隣接モードとの周波数差（＝離調度）が小さいためであることを突き止め、この知見に基づいて本発明を想到した。【００１０】  本発明の超音波切断素子は、主振動板および主振動板の一端に固定されたブレード部を有するブレード腕と、１つ以上の副振動板を備えてなる対向質量腕と、主振動板の振動端および副振動板の振動端がそれぞれ接続された、ブレード腕と対向質量腕を並列に保持する保持部材と、主振動板および副振動板の少なくとも一方に超音波振動を与える駆動部とを備えた超音波切断素子であって、  駆動部が、主振動板の主面および副振動板の主面のうちの少なくとも一つの主面上に、主面側から下部電極、圧電体膜および上部電極がこの順に積層されてなる圧電アクチュエータであり、  ブレード腕および対向質量腕が撓み振動子として、互いに逆位相で振動する共振モードで主面方向にそれぞれ屈曲振動を行うものである。  【００１１】  「ブレード腕と対向質量腕とを並列に」とは、主振動板の主面と副振動板の主面との主面方向を一致させた状態で、かつ主面方向から見たときに、両主面が重ならないようにブレード腕と対向質量腕とが横並びに配置されている状態をいう。主振動板の主面および副振動板の主面とは、それぞれの最大面積を有する面である。主振動板および副振動板は板状であり、主面は表裏に存在する。なお、主面方向とは、静止状態（駆動されていな状態）の主面に垂直な軸方向を意味する。  本明細書において、圧電体膜とは１０μｍ以下の厚みの膜状の圧電体をいうものとする。【００１２】  本発明の超音波切断素子は、一端が保持部材に接続され、切断対象にブレード部を導くための可撓性ワイヤを備えていることが好ましい。【００１３】  本発明の超音波切断素子は、主振動板、副振動板および保持部材が一枚板から形成されてなることが好ましい。【００１４】  本発明の超音波切断素子は、ブレード腕と対向質量腕とが、主振動板の振動端からブレード部先端に向かう軸をｘ軸とし、振動端の位置をｘ＝０、ブレード腕の材料密度をρb、幅をｗｂ（ｘ）、厚みをｔｂ（ｘ）、対向質量腕の材料密度をρｃｍ、幅をｗｃｍ（ｘ）、厚みをｔｃｍ（ｘ）、【数１】
2017150444.tif 000003
としたとき、Ｉratio≧０．１４を満たすものであることが好ましい。Ｉratio≧０．２であることがより好ましく、Ｉratio≧０．４であることがさらに好ましい。
【００１５】  本発明の超音波切断素子は、さらに、ブレード腕の振動を検出する振動検出部を備えていることが好ましい。【００１６】  本発明の超音波切断素子においては、対向質量腕が、被対象に接触する押当部と、押当部を介して被対象に圧力を加える圧力印加部と、圧力の印加により生じた応力を検出する応力検出部とを備えていてもよい。【００１７】  本発明の超音波切断素子においては、駆動部に用いられる圧電体膜が、正方晶ｃ軸に優先配向した、Ｐｂ（Ｚｒｙ，Ｔｉｚ，Ｎｂ1−ｙ−ｚ）Ｏ３，０＜ｙ＜１，０＜ｚ＜１で表されるペロブスカイト型酸化物からなることが好ましい。【００１８】  ここで、Ｐｂは一般にＡＢＯ３で表されるペロブスカイト構造におけるＡサイト元素であり、Ｚｒ，Ｔｉ，ＮｂはＢサイト元素である。Ｐｂ：（Ｚｒｙ，Ｔｉｚ，Ｎｂ1−ｙ−ｚ）：Ｏのモル比は１：１：３が標準であるが、ペロブスカイト構造を取りうる範囲でずれていてもよい。【００１９】  本発明の超音波切断素子は、主振動板および副振動板が、圧電体膜の熱膨張係数よりも大きい熱膨張係数を有する材料からなることが好ましい。【００２０】  本発明の超音波処置具は、本発明の超音波切断素子と、超音波切断素子の駆動部の上部電極と下部電極との間に、ブレード腕および対向質量腕に互いに逆位相の屈曲振動を生じさせる共振モードの駆動電圧信号を付与する信号制御部とを備えている。
【発明の効果】
【００２１】  本発明の超音波切断素子は、ブレード部を備えたブレード腕と対向質量腕を備え、ブレード腕と対向質量腕とは互いに逆位相の共振モードで振動する撓み振動子であり、撓み振動子を用いているため、縦振動子を用いる場合と比較して小型にしても低次モードの共振周波数を用いることができる。低次モードのとき、離調を広く取ることができるため、大振幅での振動時も安定した振動が得られる。また、ブレード腕と対向質量腕とは互いに逆位相で振動するため、振動エネルギーを閉じ込めることができ、フレキシブルなカテーテルワイヤなどが接続された際でも共振周波数が低下したり、振動速度が落ちたりすることがなく、安定した振動を得ることができる。【００２２】  したがって、本発明の超音波切断素子は、小型化しても十分大きい振動速度を得ることができ、軟性内視鏡にも適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】第１の実施形態における超音波切断素子および超音波切断素子を備えた超音波処置具の概略構成を示す図である。
【図２】図１に示した超音波切断素子のII-II'断面図である。
【図３】第１の実施形態の超音波切断素子駆動部の設計変形例の断面図である。
【図４】有限要素法による共振解析結果に基づく超音波切断素子の変位形状を示すシミュレーション図である。
【図５】第２の実施形態における超音波切断素子の概略構成を示す平面図である。
【図６】対向質量腕の寸法設計を説明するための座標系を示す図である。
【図７】超音波切断素子の設計変更例を示す平面図である。
【図８Ａ】比較例１の超音波切断素子の構造Ａを示す平面図である。
【図８Ｂ】比較例２の超音波切断素子の構造Ｂを示す平面図である。
【図８Ｃ】実施例１の超音波切断素子の構造Ｃを示す平面図である。
【図９Ａ】比較例１の超音波切断素子の変位状態を示すシミュレーションによる模式図である。
【図９Ｂ】比較例２の超音波切断素子の変位状態を示すシミュレーションによる模式図である。
【図９Ｃ】実施例１の超音波切断素子の変位状態を示すシミュレーションによる模式図である。
【図１０】実施例１の超音波切断素子の形状寸法を示すための平面模式図である。
【図１１】実施例６〜８の超音波切断素子の形状寸法を示すための平面模式図である。
【図１２】実施例９〜１３の超音波切断素子の形状寸法を示すための平面模式図である。
【図１３】シミュレーション用いた物理モデルを説明するための斜視図である。
【図１４】シミュレーション結果に基づくＩratioと共振周波数シフト|(f1-f2)/f1|との関係を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】  以下、図面を参照して本発明の超音波切断素子および超音波切断素子を備えた超音波処置具の実施の形態について説明する。  図１は、本発明の第１の実施形態の超音波切断素子を備えた超音波切断処置具の構成を模式的に示す概略構成図である。図２は、図１に示す超音波切断素子のII−II’断面図であり、図３は設計変更例の超音波切断素子の断面図である。
【００２５】  超音波切断素子１は、図１に示すように、主振動板１１および主振動板１１の一端に固定されたブレード部１５を有するブレード腕１０と、副振動板２１を備えてなる対向質量腕２０と、ブレード腕１０と対向質量腕２０とのそれぞれの振動端が接続され、ブレード腕１０および対向質量腕２０を並列に保持する保持部材４０と、主振動板１１および副振動板２１の主面に設けられた駆動部３０とを備えた素子部１Ａを有する。また、超音波切断素子１は一端が素子部１Ａの保持部材４０の端部に接続され、切断対象にブレード部１５を導くための可撓性ワイヤ４５を備えている。
【００２６】  そして、本超音波切断素子１を備えた超音波処置具１００は、超音波切断素子１に加え、超音波切断素子１の駆動部３０に対して後述する共振モードの駆動電圧信号を入力する信号制御部５０を備えている。信号制御部５０は端子３８を介して素子部１Ａに設けられている電極と接続されている。
【００２７】  ブレード腕１０および対向質量腕２０は、駆動部３０により互いに逆位相となる共振モードで駆動されてそれぞれ主面方向に屈曲振動する撓み振動子である。ブレード腕１０および対向質量腕２０は、保持部材４０との接続部を振動端８として撓み振動する。ブレード腕１０と対向質量腕２０とが逆位相で屈曲振動する共振モードの振動形状および共振周波数は、構造の形状、材料の密度、弾性特性から有限要素法（Finite Element Method：FEM）の共振解析により求めることができる。なお、駆動部３０はブレード腕１０および対向質量腕２０のいずれか一方にのみ設けられている場合であっても、この両腕１０、２０が逆位相で振動する共振モードで駆動すれば、駆動部３０が設けられている一方が駆動されるのに伴って他方が逆位相で屈曲振動を生じる。
【００２８】  保持部材４０は、主振動板１１の主面と副振動板２１の主面との主面方向を一致させた状態で、かつ主面方向から見たときに、両主面が重ならないようにブレード腕１０と対向質量腕２０とが横並びになるようにして両腕を保持している。本例においては、保持部材４０および主振動板１１および副振動板２１は一枚板から切り出されたものである。
【００２９】  駆動部３０は、主振動板１１、副振動板２１にそれぞれ超音波振動を生じさせるものである。図２に示すように、駆動部３０は圧電アクチュエータであり、主振動板１１の一方の主面１２上および副振動板２１の一方の主面２２上のそれぞれに、下部電極３２、圧電体膜３３および上部電極３４がこの順に積層されてなる。ここで、「下部」および「上部」は天地を意味するものではない。圧電体膜を挟んで設けられる一対の電極に関し、それぞれ駆動部３０が備えられている主振動板１１または副振動板２１を基準として主振動板１１または副振動板２１側に配置される一方の電極を下部電極、他方の電極を上部電極と称しているに過ぎない。
【００３０】  なお、図３に示すように、駆動部３０は主振動板１１の２つの主面１２、１３のそれぞれに、副振動板２１の主面２２、２３のそれぞれに設けられていてもよい。図３に示すように圧電体膜３３を二層にすることで、一層のみの場合に比べて力を発生させる部分の面積を２倍にできる。そのため、単位電圧あたりの発生力を２倍にすることができる。つまり、切断素子としての切断性が向上する。
【００３１】  上部電極３４−下部電極３２間に駆動電圧が印加されることにより、圧電体膜３３に伸縮が生じて駆動部３０が形成されている主振動板１１を備えたブレード腕１０、副振動板２１を備えた対向質量腕２０に超音波振動を生じさせることができる。なお、本例において駆動部３０は、ブレード腕１０および対向質量腕２０にそれぞれ設けられているが、ブレード腕１０および対向質量腕２０のいずれか一方に設けられていればよい。
【００３２】  下部電極３２は必要に応じて設ければよい。例えば、主振動板１１および副振動板２１が金属などの導電性を有する材料で形成されている場合は、下部電極３２を設けず、主振動板１１および副振動板２１上に直接圧電体膜３３を成膜してもよい。下部電極３２の主成分としては、特に制限はなく、Ａｕ、Ｐｔ、Ｉｒ、ＩｒＯ２、ＲｕＯ２、ＬａＮｉＯ３、およびＳｒＲｕＯ３等の金属または金属酸化物、および、これらの組合せが挙げられる。上部電極３４の主成分としては特に制限なく、下部電極３２で例示した材料、Ａｌ、Ｔｉ、Ｔａ、Ｃｒ、およびＣｕ等の一般的に半導体プロセスで用いられている電極材料、およびこれらの組合せが挙げられる。
【００３３】  圧電体膜３３としては、下記一般式（Ｐ）で表される１種または複数種のペロブスカイト型酸化物を用いることができる。
【００３４】  一般式ＡＢＯ３・・・（Ｐ）（式中、Ａ：Ａサイト元素であり、Ｐｂを含む少なくとも１種の元素、Ｂ：Ｂサイトの元素であり、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｍｎ、Ｓｃ、Ｃｏ、Ｃｕ、Ｉｎ、Ｓｎ、Ｇａ、Ｚｎ、Ｃｄ、Ｆｅ、Ｎｉ、およびランタニド元素からなる群より選ばれた少なくとも１種の元素、Ｏ：酸素原子。Ａ：Ｂ：Ｏのモル比は１：１：３が標準であるが、このモル比はペロブスカイト構造を取り得る範囲内でずれてもよい。）
【００３５】  特には、Ｐｂ（Ｚｒｙ，Ｔｉｚ，Ｎｂ1−ｙ−ｚ）Ｏ３，０＜ｙ＜１，０＜ｚ＜１で表される、所謂ＰＺＴ（lead zirconate titanate）、あるいはＮｂ−ＰＺＴ(Nb doped lead zirconate titanate)と称される、ペロブスカイト型酸化物であることが好ましい。特には、Ｎｂ／（Ｚｒ＋Ｔｉ＋Ｎｂ）モル比が０．０６以上０．２０以下であるＮｂ−ＰＺＴが好ましい。また、圧電体膜が、ＰＺＴもしくはＮｂ−ＰＺＴであるとき、正方晶ｃ軸に優先配向した膜であることが好ましい。このＰＺＴもしくはＮｂ−ＰＺＴからなる圧電体膜はｃ軸優先配向の場合、誘電率が小さくなり、駆動時の発熱を抑え、耐久性を向上することができるからである。  なお、ここで、「ｃ軸配向」とは、ペロブスカイト構造の正方晶におけるｃ軸が、膜厚方向に平行な向きを持つことを意味する。ｃ軸優先配向であるか否かは、圧電体膜についてＸ線構造解析を行って判断することができる。ｃ軸配向を示す（００１）のピークがａ軸配向を示す（１００）のピークよりも大きいとき、「ｃ軸優先配向」と看做すことができる。
【００３６】  下部電極３２と上部電極３４の厚みは特に制限なく、例えば２００ｎｍ程度である。圧電体膜３３の膜厚は１０μｍ以下であれば特に制限なく、通常１μｍ以上であり、例えば、１〜５μｍである。駆動部に厚み１０μｍ以下である圧電体膜を用いているので、従来のランジュバン振動子を用いた構造に比べて、特に厚み方向でのサイズダウンが可能であり、軟性内視鏡に組み込めるサイズでの設計が可能となる。
【００３７】  本実施形態の超音波切断素子１は、さらに、ブレード部１５の振動状態を検出する振動検出部３５を備えている。振動検出部３５は圧電センサであり、駆動部３０と同様の下部電極３２、圧電体膜３３および上部電極３４の積層構造を有する。振動検出部３５は、駆動部３０と同時に形成することができる。振動検出部３５の上部電極３４および下部電極３２間を電気的に開放状態とすることで、応力が印加された際に正圧電効果によって応力量に応じた電圧が両電極間に発生する。この応力発生時に生じる電圧を検出信号として利用して、ブレード腕１０および対向質量腕２０が共振状態にあるかどうかをモニタすることができる。本例では、振動検出部３５は保持部材４０のブレード腕１０および対向質量腕２０近傍に設けられている。なお、振動検出部３５は、ブレード腕１０および対向質量腕２０の撓み振動により応力を受ける箇所に備える必要がある。
【００３８】  共振状態にあるか否かの判断方法には、駆動電圧信号と検出信号の位相差を利用する方法と、検出信号の大きさを利用する方法とがある。前者の場合、駆動用電圧信号と検出信号の位相差が９０°であれば共振状態にあると判断できる。また、後者の場合、共振状態において検出信号の振幅が最大値を示すことを利用する。
【００３９】  信号制御部５０は駆動部３０に対して、ブレード腕１０と対向質量腕２０とが互いに逆位相の共振モードで撓み振動をする共振周波数の駆動電圧信号を入力する。ブレード部１５による切断処理はこの共振状態で行う。ところで、切断対象を切断する際にブレード部１５の先端部に負荷がかかると、共振周波数が変化する。本実施形態の超音波切断素子１においては、振動検出部３５からの検出信号が信号制御部５０にフィードバックされる構成を備える。信号制御部５０は検出信号と駆動電圧信号との位相差もしくは検出信号の振幅に基づいて、共振状態からのずれを算出する。さらに、算出された共振状態からのずれを常に共振状態となるように補正された駆動電圧信号を生成する。この補正された駆動電圧信号を駆動部３０に付与する。すなわち、振動検出部３５を備えた構成により、常に共振状態を保った状態で動作させることが容易に可能となる。
【００４０】  なお、振動検出部３５は、上記実施形態のように保持部材の一部に設けられる形態の他、駆動部３０が形成されていない主面側に別途に設けられていてもよい。  すなわち、図３に示す断面図のように、主振動板１１の両方の主面１２、１３にそれぞれ下部電極、圧電体膜および上部電極の圧電素子構造を備え、一方の主面側の圧電素子を駆動部として、かつ、他方の主面側の圧電素子を振動検出部として利用してもよい。
【００４１】  なお、主振動板１１および副振動板２１の構成材料についても特に制限はないが、Ｔｉ、Ａｌあるいはそれらの合金、ステンレス鋼、アルミナ、タングステン、シリコンなどを挙げることができる。ＰＺＴあるいはＮｂドープＰＺＴを圧電体膜とする場合、チタン、チタン合金、ステンレス鋼あるいはアルミナなどの圧電体膜の熱膨張係数より大きい熱膨張係数を有する材料を用いるのが好ましい。これにより、圧電体膜の配向を容易にｃ軸方向への優先配向とすることができる。
【００４２】  図４は、ＦＥＭによる共振解析結果に基づく変位形状を示す斜視模式図である。図４において、実線が最大変位状態を示し、破線が静止状態を示す。なお、主振動板１１および副振動板２１はそれぞれ振動端８にて保持部材４０に接続されている。
【００４３】  上記の通り、本発明の超音波切断素子は撓み振動子を備えている。よって、縦振動に比べて共振周波数が低次モードで実現できる。そのため、隣接モードとの離調度を広く取ることができ、かつ、大振幅での振動時も安定した振動を得ることができる。離調度が小さい場合、目的の振動モードでの駆動時に、隣接した振動モードが混入する。この場合、互いの振動による寸法変化が影響して非線形性が発生する。そのため、振動速度が伸び悩む主要因となる。さらに、この現象は振動速度が大きくなるほど顕著となる。このような観点から、離調度の大きい撓み振動は、高い振動速度を容易に得ることができる。十分な振動速度を得るためには、離調度を５％以上とすることが好ましい。
【００４４】  一方で、撓み振動子を備えた超音波切断素子を軟性内視鏡に適用する場合、撓み振動子は振動振幅が大きいため、支持方法を適切に行わないと、柔らかいカテーテルワイヤに振動エネルギーが漏れ、共振周波数が大幅に低下して駆動不可能となってしまうという課題が発生する。本発明者はその課題を見出した。これは、軟性内視鏡に適用する際に初めて発生する課題であり、軟性内視鏡への適用を検討しなければ生じ得ない。本発明の超音波振動子は、ブレード腕と対向質量腕とを備え、ブレード腕の慣性力を対向質量腕の慣性力で相殺できるので振動エネルギーを閉じ込めることができる。よって、可撓性のあるカテーテルワイヤなどが保持部材に接続された際でも共振周波数が低下したり、振動速度が落ちたりすることがない。つまり、共振周波数や振動速度等の切断特性を保つことができる。
【００４５】  なお、本発明の超音波切断素子は可撓性のワイヤを備えているものに限らず、保持部材が強固な固定部材に接続されていてもよい。しかし、既述の通り、振動エネルギーを外部に逃がさないという効果は、可撓性ワイヤに接続されているときに特に顕著である。
【００４６】  なお、本発明の超音波切断素子は、上記実施形態のように、主振動板１１、副振動板２１および保持部材４０が一枚板から形成されてなることが好ましい。例えば、レーザー加工により、一枚の基板から保持部材４０、主振動板１１および副振動板２１の外形を切り出すことにより作製することができる。このように、一体構造として作製することにより、複雑な組み上げプロセスを無くし、低コストで製造することができる。
【００４７】  図５は、第２の実施形態の超音波切断素子２の構成を模式的に示す平面図である。図５において、第１の実施形態の超音波切断素子１と同一構成要素には同一符号を付し、詳細な説明は省略する。
【００４８】  本実施形態の超音波切断素子２は素子部２Ａにおける対向質量腕２０側の構成が第１の実施形態の超音波切断素子１とは異なる。対向質量腕２０Ａは駆動部を備えず、硬さ検出部６０を備えている。硬さ検出部６０は、物体の硬さを検出する機能を有するものである。硬さ検出部６０は、例えば、切断対象の硬さを検出するために用いることができる。
【００４９】硬さ検出部６０は、硬さを調べる被対象に接触する押当部６２と、押当部６２を介して対象に所定の圧力を加えるための硬さ圧力印加部６４と、圧力を加えた際に生じる応力を検出する応力検出部６６とを備えている。圧力印加部６４および応力検出部６６は、いずれも駆動部３０と共通の下部電極３２および圧電体膜３３を備えており、それぞれ独立に設けられた圧力印加部用電極６５および応力検出用電極６７を備えている。すなわち、圧力印加部６４は、下部電極３２、圧電体膜３３および圧力印加部用電極６５が積層されてなる圧電アクチュエータであり、応力検出部６６は、下部電極３２、圧電体膜３３および応力検出用電極６７が積層されてなる圧電センサである。
【００５０】  押当部６２を被対象に触れさせた状態で圧力印加部６４に所定の駆動電圧信号を加えることで、押当部６２を介して被対象に所定の圧力を加える。このとき、上下電極間が電気的に開放状態に設定された応力検出部６６の圧電体膜に生じる応力に応じた電気信号を検出する。印加する圧力と生じる応力（歪）との関係を調べ、その傾きを求めることにより、対象の硬さ（＝バネ定数）を算出することができる。
【００５１】  以下に、本発明の超音波切断素子における対向質量腕の寸法設計について説明する。
【００５２】  対向質量腕を備えることによる振動閉じ込め効果を得るには、振動時においてブレード腕と対向質量腕の慣性力が相殺するように、両者の慣性力の比を１に近づけることが有効である。第１の実施形態においては、ブレード腕と同一形状の対向質量腕が対称に設けられた構成の超音波切断素子を示したが、対向質量腕はブレード腕の慣性力を相殺することができ、保持部材のブレード腕とは反対の端部に設けられる可撓性ワイヤに振動エネルギーが漏れないようにできるものであればよく、種々の形状を取ることが可能である。
【００５３】  次に、第２の実施形態の超音波切断素子の形状を例に説明する。  第２の実施形態の超音波切断素子の形状に対し、図６に示すように、主振動板１１の長手方向をｘ軸とする座標系を定義し、ブレード腕および対向質量腕の固定端（振動端）を座標０と定義する。さらに、ブレード腕の材料密度をρb、幅をｗｂ（ｘ）、厚みをｔｂ（ｘ）とし、対向質量腕の材料密度をρｃｍ、幅をｗｃｍ（ｘ）、厚みをｔｃｍ（ｘ）とした場合、ブレード腕と対向質量腕の慣性力Ｉb、Ｉcmはそれぞれ以下のように表すことができる。【数２】
2017150444.tif 000004
ここで、ｕ(x)は、両腕の振動による各位置ｘにおける変位量であり、一次関数で近似し、
【数３】
2017150444.tif 000005
とする。
【００５４】  上記のブレード腕の慣性力Ｉｂと、対向質量腕の慣性力Ｉｃｍとの比Ｉratioを以下のように定義する。【数４】
2017150444.tif 000006
この場合、Ｉratio≧０．１４を満たすように、対向質量腕の形状を設計すればよい。なお、Ｉratioは０．２以上が好ましく、０．３以上であることがより好ましい。
【００５５】  なお、質量対向腕の副振動板は１つとは限らず、式(４)を満たせば２つ以上でも良い。例えば、図７に示すように、超音波切断素子はブレード腕１０Ｂの両脇にそれぞれ配置された２つの副振動板２１ａ、２１ｂからなる対向質量腕２０Ｂを備えていてもよい。この場合、対向質量腕２０Ｂの副振動板２１ａ、２１ｂは同位相で振動し、かつ、ブレード腕１０Ｂとは逆位相の関係で振動する。
【００５６】  対向質量腕が２つ以上の副振動板を備えている場合、副振動板毎の慣性力Ｉｃｍ１、Ｉｃｍ２、Ｉｃｍ３…を式（２）に基づいて計算し、これらの和を取ることで対向質量腕のＩｃｍ＝Ｉｃｍ１＋Ｉｃｍ２＋Ｉｃｍ３＋…を算出する。この場合も式（４）を満たせば振動エネルギーを外部に漏えいさせないように超音波切断部を構成することができる。  なお、上述した好ましい比率の範囲の導出については後記実施例において説明する。
【実施例】
【００５７】  以下、実施例および比較例を挙げて本発明をより詳細に説明する。  本発明の超音波切断素子の具体的な比較例１、比較例２および実施例１の小型超音波メスの構造Ａ〜Ｃを図８Ａ、図８Ｂおよび図８Ｃにそれぞれ示す。  図８Ａ、８Ｂおよび８Ｃには、各素子の各部の寸法を併せて示している。各図中ｔはそれぞれの基板の板厚である。いずれも単位は[ｍｍ]である。【００５８】  また、図９Ａ、９Ｂおよび９Ｃは、それぞれ図８Ａ、図８Ｂおよび図８Ｃの各振動子の振動モードにおける変位状態を示す模式的な斜視図である。図９Ａ、９Ｂおよび９Ｃにおいては色が薄いほど静止状態（図中細実線）からの変位量が大きいことを示している。  図８Ａおよび図９Ａに示す比較例１の超音波切断素子（構造Ａ）は、先端にホーン部を備えた従来型縦振動の超音波メスである。図９Ａに両矢印で示す振動方向、すなわちブレードの長手方向に振動する縦振動によって、ブレード先端を対象に突き刺して切断する。【００５９】  一方、比較例２の超音波切断素子（構造Ｂ）および比較例３の超音波切断素子（構造Ｃ）は、本体の厚み方向（主面方向）に屈曲する振動、つまり撓み振動を利用する超音波メスである。図９Ｂおよび図９Ｃにおいて矢印で示す振動方向、即ちブレードを本体の厚み方向に振動させて対象を切断する。【００６０】  比較例１、２および実施例１の素子の作製手順について説明する。  本体および保持部材を構成する基板として、０．４ｍｍ厚（比較例１、実施例１）、１．０ｍｍ厚（比較例２）の２種類の６４チタン合金板材（規格：ASTM Gr.5，ASTM F136）を用いた。  まず、基板表面にスパッタ法で基板温度３５０℃にて密着層としてＴｉを３０ｎｍ成膜し、引き続きＴｉ膜上にＩｒからなる下部電極を１５０ｎｍ形成した。得られた下部電極上に、Ｒｆ（radio frequency）スパッタ法によって圧電体膜を約３μｍ成膜した。成膜ガスは９７．５％Ａｒ＋２．５％Ｏ２の混合ガスを用い、ターゲット材料としてＰｂ1.3（Ｚｒ0.52Ｔｉ0.48）0.88Ｎｂ0.12）Ｏ3の組成のものを用いた。得られた圧電体膜（以下においてＮｂ−ＰＺＴ膜という。）上に、リフトオフ法によってＡｕ(３００ｎｍ)／Ｔｉ(３０ｎｍ)の二層構造の上部電極をパターニング形成した。最後に、レーザー加工によって基板を外形加工して図８Ａ、８Ｂおよび８Ｃに示す形状とした。【００６１】  まず、図８Ａ、８Ｂおよび８Ｃに示した構造Ａ，Ｂ，Ｃの超音波切断素子について、共振モード周波数、モード次数およびその際の離調度を有限要素法（Finite Element Method：FEM）シミュレーションによって計算した。  下記表１に、各構造における切断に用いる振動モードの共振周波数、離調度をＦＥＭシミュレーションによって計算した結果を示す。【００６２】  表１に示すように、構造Ａの縦振動モードは３６次モードと高次であり、その離調度は０．４％と非常に小さい。一方、構造Ｂおよび構造Ｃの曲げ振動はそれぞれ１次、２次モードであり、離調度はそれぞれ１７％、６１％と十分大きな値が得られているため、高い振動速度を得るのに有利と言える。【００６３】
【表１】
2017150444.tif 000007
【００６４】  上記表１には、各素子についてのブレード先端の振動速度についての実験結果を併せて示した。振動速度の測定方法は以下の通り行った。  構造Ａ，Ｂ，Ｃの各超音波切断素子について、駆動部の上部電極および下部電極からワイヤボンディングによって配線を引き出し、信号制御部であるファンクションジェネレータに接続した。上部電極および下部電極間にファンクションジェネレータによってそれぞれの共振周波数に該当する周波数の正弦電圧波形を印加することで振動子を加振し、レーザードップラー計によってブレード部先端の最大振動速度を測定した。なお、加振はそれぞれ、表１に示す共振モードの共振周波数で行った。【００６５】  各例の超音波切断素子について、図８Ａ、８Ｂおよび８Ｃにおける保持部材のブレードとは反対の端部を「強固定」および「ワイヤ経由固定」の２種類の方法にて固定する形として、それぞれの場合のブレード部先端の最大駆動速度を測定した。  ここで、強固定としては、各超音波切断素子に対して十分に大きい重量を持つ物体によって重力固定した。また、ワイヤ経由固定としては、カテーテルを想定し、直径１ｍｍのチタン製ワイヤの一端と保持部材の端部とを接着剤によって接合した上でワイヤの他端を強固定した。【００６６】  表１に示す実駆動結果に関し、まず、強固定の場合について言及する。比較例１の素子については、駆動電圧の上昇とともに振動速度は上昇したが、１．７ｍ／ｓ以上の速度は振動が不安定になって得られなかった。離調度が小さいため、振動振幅が大きくなるにつれて隣接振動モードが混入し、振動が不安定になったと考えられる。これに対し、比較例２および実施例１の素子ではいずれも３ｍ／ｓ以上の振動速度が得られた。比較例２および実施例１の素子では、振動速度の上限は振動の不安定性ではなく、圧電体の絶縁破壊によって引き起こされた。つまり、離調度の大きい撓み振動を用いることで、振動振幅が大きくなっても安定して振動させることができるため、大きい振動速度が得られた。【００６７】  次に、カテーテルへの組み込みを想定したワイヤ経由固定の場合について言及する。比較例２に示す構造Ｂのような片持ち梁振動子は、振動する際に保持部材固定端から反力を受ける。つまり、振動エネルギーが振動子の外に漏れるため、ワイヤ経由固定で振動させた際に振動速度が著しく低下する結果となった。これに対して実施例１の素子は、ブレード腕と、それと線対称の位置にある対向質量腕が互いに逆位相の関係で振動するため、互いの慣性力が相殺し合う。つまり、支持部に反力はほとんど発生しない。よって、切断素子部にエネルギーを閉じ込めることができる。このとき、ワイヤ経由固定で振動させても、振動速度の低下は確認されなかった。【００６８】  一般的に、ブレード部先端の最大振動速度が３ｍ/ｓを上回れば、超音波メスとして良好な切断特性が得られる。本発明の実施例１の素子は、強固定の場合およびワイヤ経由固定の場合ともに３．１ｍ/ｓの最大振動速度を達成しており、比較例１および比較例２の素子に比べて切断特性も良好であった。すなわち、ブレード腕と逆位相で振動する対向質量腕を備えることにより、カテーテル先端においても高い振動速度を得ることが可能で��ることが明らかになった。したがって、本発明の超音波切断素子は、例えば、軟性内視鏡下での腫瘍などの切除に適用可能である。【００６９】  ところで、超音波切断素子は、物体を切断している最中は、駆動部に強い応力と駆動電圧が組み合わさって印加される上に、誘電損失による発熱が発生する。そのため、超音波切断素子は、繰り返し駆動を行うと絶縁破壊が起きやすくなる。超音波切断素子の実用性を高めるには、絶縁破壊を抑制し、駆動寿命を伸ばすことが課題となる。【００７０】  そこで、実施例１の超音波切断素子の構造Ｃにおいて、基板を変えて実施例２〜５の素子を作製し、駆動耐久性を比較する実験を行った。  実施例２〜５の素子は、基板を下記表２に示す通りとした以外は、上記の実施例１と同様の製造方法にて作製した。表２には、各基板の材料（以下において、基板材料）とその熱膨張係数およびＮｂ−ＰＺＴ膜の配向性、誘電率並びに駆動耐久性の評価を併せて示す。  【００７１】  各基板材料の熱膨張係数は、電子材料ハンドブック（朝倉書店）、ステンレス協会ホームページ(http://www.jssa.gr.jp/contents/faq-article/q6/)、株式会社神戸製鋼所ホームページ(http://www.kobelco.co.jp/titan/characteristic/)、株式会社アライドマテリアルホームページ(http://www.allied-material.co.jp/products/tungsten/processed/)、京セラ株式会社ホームページ(http://www.kyocera.co.jp/fcworld/charact/heat/thermaexpan.html)を参照した。  Ｎｂ−ＰＺＴ膜の配向性はＸ線構造解析を行い、（００１）ピークと（１００）ピークとを比較してピーク強度が大きかった方の面を示した。  Ｎｂ−ＰＺＴ膜の誘電率は、インピーダンスアナライザを用いて周波数１ｋＨｚに対するキャパシタンスを測定した値から算出した。【００７２】
【表２】
2017150444.tif 000008
【００７３】  表２に示す通り、基板材料が異なるとＮｂ−ＰＺＴ膜の結晶配向性が変化する。一般的に、圧電体膜よりも小さい熱膨張係数を持つ材料からなる基板を用いると、高温成膜後の冷却過程において圧電体膜に引っ張り方向の残留応力が印加され、結晶格子の長軸が面内方向を向く(１００)方向（＝ａ軸配向）となる。例えば、圧電膜を熱膨張係数が６．７ｐｐｍ／℃であるＮｂ−ＰＺＴ膜とし、基板材料をシリコンやタングステンとした場合である。一方、アルミナ、ステンレス鋼（ここではＳＵＳ４３０）、チタン合金のように圧電体膜よりも大きい熱膨張係数を持つ材料からなる基板を用いると、圧電体膜に圧縮方向の残留応力が印加され、結晶格子の長軸が垂直方向を向く（００１）方向（＝ｃ軸配向）となる。【００７４】  ＜駆動耐久性＞  実施例１〜５の素子についての駆動耐久性の試験を行った。具体的には、駆動開始から機能停止までの時間Ｔ[時間（ｈ）]を計測し、以下の基準で駆動耐久性を評価した。Ａ：１２０ｈ＜ＴＢ：２４ｈ＜Ｔ≦１２０ｈＣ：Ｔ≦２４ｈこのとき、ブレード部先端に切断負荷としてゴムを接触させ、共振周波数を維持しながら３０Ｖｐｐの正弦波を駆動部に印加して長期駆動させた。機能停止の時間の定義は、圧電膜の絶縁破壊により振動速度が１０％以下に落ち込んだ時点である。【００７５】  表２に示す通り、ｃ軸方向に配向したＮｂ−ＰＺＴを備えた実施例１〜３はａ軸配向したＮｂ−ＰＺＴを備えた実施例４および５に比べて耐久性がよいという結果が得られた。Ｎｂ−ＰＺＴがｃ軸配向することにより、誘電率が低くなる。そのため、駆動時の発熱が小さくなる。その駆動時の発熱が小さくなる効果により、耐久性が改善したと考えられる。  上記の通り、本発明の超音波切断素子において、ＰＺＴ膜を圧電体膜に用いる場合には、ｃ軸方向に優先配向した膜を用いることが、耐久性の観点から好ましいことが明らかになった。【００７６】  最後に、対向質量腕の好ましい条件についての検討を行った結果を説明する。図１０、図１１および図１２は以下の実施例において用いた超音波切断素子の形状を模式的に示している。図１０は実施例１の超音波切断素子部、図１１は実施例６〜８の超音波切断素子部、図１２は実施例９〜１３の超音波切断素子部のそれぞれ平面模式図である。各実施例の各部の寸法は表３に示す通りとした。なお、図１１においては長さＬ３が対向質量腕の長さＬｃｍ、図１２においては長さＬ４が対向質量腕の長さＬｃｍに相当する。なお、保持部材の長さＬｓはいずれもＬｂの２/３として計算したが、ＬｓはＬｂの半分以上であればシミュレーション結果にほとんど影響を及ぼさない。【００７７】
【表３】
2017150444.tif 000009
【００７８】  表３に示すように各部の寸法を変化させ、ＩbおよびＩcmを変化させたときの振動閉じ込め効果をＦＥＭシミュレーションによって計算した。計算に用いた物理モデルとして、図１３に示すように、素子の保持部材のブレードと反対の短側面に、長さ３ｍｍ、直径２．７ｍｍの円柱形状のタングステンシリンダ７０と、直径０．２ｍｍのポリエチレンワイヤ７２をこの順で接続したモデルを使った。ポリエチレンワイヤ７２の長さを０．１ｍｍ、３００ｍｍのそれぞれについて共振周波数を算出し、これらのシフト量を計算することで、超音波切断素子部への振動エネルギー閉じ込め効果を見積もった。【００７９】  表４および図１４にシミュレーション結果を示す。【表４】
2017150444.tif 000010
【００８０】  ワイヤを接続しても共振周波数が変化しないことは、振動子の寸法および材料定数のみで共振周波数が決定されており、ワイヤの寸法および材料定数は関与していないことを意味する。これはワイヤが振動していないこと、つまり振動子に完全に振動エネルギーが閉じ込められていることに他ならない。すなわち、ワイヤ長が変化したときの共振周波数シフト|(f1-f2)/f1|が小さいほど、ワイヤへの振動エネルギーの伝達量が小さく、切断素子部に振動エネルギーがより閉じ込められていることを意味する。【００８１】  図１４は、Ｉratioと共振周波数シフト|(f1-f2)/f1|との関係を示すグラフである。図１４から、Ｉratioが０．１４以上のとき、長尺ワイヤを用いたときの共振周波数シフトを５％以内にできることが分かった。また、Ｉratioが０．２以上のとき共振周波数シフトを３％以下にすることができた。さらには、Ｉratioが０．４以上にすれば、共振周波数シフトはほとんど生じないことが分かった。すなわち、ブレード腕と対向質量腕の慣性力の比Ｉratioは０．１４以上が好ましく、０．２以上がより好ましく、０．４以上がさらに好ましい。なお、定義によりＩratioの最大値は１である。
【符号の説明】
【００８２】  １、２    超音波切断素子  １Ａ、２Ａ    素子部  ８    振動端  １０、１０Ｂ    ブレード腕  １１    主振動板  １２、１３    主振動板の主面  １５    ブレード部  ２０、２０Ａ、２０Ｂ    対向質量腕  ２１、２１ａ、２１ｂ    副振動板  ２２、２３  副振動板の主面  ３０    駆動部  ３２    下部電極  ３３    圧電体膜  ３４    上部電極  ３５    振動検出部  ４０    保持部材  ４５    可撓性ワイヤ  ５０    信号制御部  ６０    硬さ検出部  ６２    押当部  ６４    応力印加部  ６５    応力印加部用電極  ６６    応力検出部  ６７    応力検出用電極  ７０    タングステンシリンダ  ７２    ポリエチレンワイヤ  １００    超音波処置具
【図１】
2017150444.tif 000012
【図２】
2017150444.tif 000013
【図３】
2017150444.tif 000014
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８Ａ】
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【図８Ｂ】
2017150444.tif 000020
【図８Ｃ】
2017150444.tif 000021
【図９Ａ】
2017150444.tif 000022
【図９Ｂ】
2017150444.tif 000023
【図９Ｃ】
2017150444.tif 000024
【図１０】
2017150444.tif 000025
【図１１】
2017150444.tif 000026
【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【手続補正書】
【提出日】平成29年9月25日(2017.9.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
主振動板および該主振動板の一端に固定されたブレード部を有するブレード腕と、１つ以上の副振動板を備えてなる対向質量腕と、前記主振動板の振動端および前記副振動板の振動端が接続され、前記ブレード腕と前記対向質量腕とを並列に保持する保持部材と、前記主振動板および前記副振動板の少なくとも一方に超音波振動を与える駆動部とを備えた超音波切断素子であって、
前記駆動部が、前記主振動板の主面および前記副振動板の主面のうちの少なくとも一つの主面上に、該主面側から下部電極、圧電体膜および上部電極がこの順に積層されてなる圧電アクチュエータであり、
前記ブレード腕および前記対向質量腕が撓み振動子として、互いに逆位相で振動する共振モードで主面方向にそれぞれ屈曲振動を行い、
前記ブレード腕と前記対向質量腕は、前記主振動板の前記振動端から前記ブレード部の先端に向かう軸をｘ軸、該振動端の位置をｘ＝０、前記ブレード腕の材料密度をρｂ、幅をｗｂ（ｘ）、厚みをｔｂ（ｘ）、前記対向質量腕の材料密度をρｃｍ、幅をｗｃｍ（ｘ）、厚みをｔｃｍ（ｘ）、
【数１】
2017150444.tif 000030
としたとき、
Ｉｒａｔｉｏ≧０．１４を満たす超音波切断素子。
【請求項２】
一端が前記保持部材に接続され、切断対象に前記ブレード部を導くための可撓性ワイヤを備えている請求項１に記載の超音波切断素子。
【請求項３】
前記主振動板、前記副振動板および前記保持部材が一枚板から形成されてなる請求項１または２記載の超音波切断素子。
【請求項４】
（削除）
【請求項５】
前記ブレード腕と前記対向質量腕は、Ｉｒａｔｉｏ≧０．２を満たす請求項１から３に記載の超音波切断素子。
【請求項６】
前記ブレード腕の振動を検出する振動検出部を備えている請求項１から３および５いずれか１項に記載の超音波切断素子。
【請求項７】
前記対向質量腕が、被対象に接触する押当部と、該押当部を介して前記被対象に圧力を加える圧力印加部と、該圧力の印加により生じた応力を検出する応力検出部とを備えている請求項１から３、５および６いずれか１項に記載の超音波切断素子。
【請求項８】
前記駆動部に用いられる圧電体膜が、正方晶ｃ軸に優先配向した、Ｐｂ（Ｚｒｙ，Ｔｉｚ，Ｎｂ１−ｙ−ｚ）Ｏ３，０＜ｙ＜１，０＜ｚ＜１で表されるペロブスカイト型酸化物からなる請求項１から３および５から７いずれか１項に記載の超音波切断素子。
【請求項９】
前記主振動板および前記副振動板が前記圧電体膜の熱膨張係数よりも大きい熱膨張係数を有する材料からなる請求項８記載の超音波切断素子。
【請求項１０】
請求項１から３および５から９いずれか１項に記載の超音波切断素子と、
前記駆動部の前記上部電極と前記下部電極との間に、前記ブレード腕および前記対向質量腕に前記屈曲振動を生じさせる共振モードの駆動電圧信号を付与する信号制御部とを備えた超音波処置具。
【国際調査報告】
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