(57)【要約】  低湿度空間において、静電気除去装置を使用して効率よく静電気の除去を行うことができるようにした低湿度空間における静電気除去構造を提供するため、低湿度空間４を、低湿度空間の一方側から低湿度空間に向けて、通気細孔を形成した吹出し面材２２ｂを通して除湿された空気を供給し、吹出し面材２２ｂと対向する低湿度空間４の他方側から排気を行うように構成し、かつ、吹出し面材２２ｂの下流側に、静電気除去装置１０を配設する。
2017138356.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
除湿された空気が供給される低湿度空間における静電気除去構造であって、
前記低湿度空間を、該低湿度空間の一方側から低湿度空間に向けて、吹出口を通して除湿された空気を層流の状態で供給し、該吹出口と対向する低湿度空間の他方側から排気を行うように構成し、
かつ、吹出口の下流側に、静電気除去装置を配設するようにしてなる
ことを特徴とする低湿度空間における静電気除去構造。
【請求項２】
前記吹出口を通して供給される除湿された空気の露点温度が、−３０℃以下であることを特徴とする請求項１に記載の低湿度空間における静電気除去構造。
【請求項３】
前記吹出口に、通気細孔を形成した吹出し面材を設けてなることを特徴とする請求項１又は２に記載の低湿度空間における静電気除去構造。
【請求項４】
前記通気細孔を形成した吹出し面材が、合成樹脂製の部材からなることを特徴とする請求項３に記載の低湿度空間における静電気除去構造。
【請求項５】
前記静電気除去装置を、対をなすように並べて配設し、各静電気除去装置が、各静電気除去装置のプラスイオンとマイナスイオンの発生のタイミングをずらせて、プラスイオン及びマイナスイオンを交互に発生するようにしたことを特徴とする請求項１、２、３又は４に記載の低湿度空間における静電気除去構造。
【請求項６】
前記静電気除去装置を、吹出口に対して空隙をあけて配設するようにしてなることを特徴とする請求項１、２、３、４又は５に記載の低湿度空間における静電気除去構造。
【請求項７】
前記低湿度空間が、２重構造のカーテンによって覆われてなり、該２重構造のカーテン間に形成された空間から強制的に排気を行うようにしてなることを特徴とする請求項１、２、３、４、５又は６に記載の低湿度空間における静電気除去構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、電子部品の組立、二次電池（部品を含む。）の製造、実験等の各種作業を行う、限られた必要箇所の雰囲気のみを所定の低湿度状態に保持した空間（本明細書において、「低湿度空間」という。）における静電気除去構造に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、電子部品の組立、二次電池（部品を含む。）の製造、実験等の各種作業を行う、限られた必要箇所の雰囲気のみを所定の状態に保持するために、ブース空間を合成樹脂製のシートで外部空間と仕切るようにしたブースが汎用されている。
さらに、ブース空間の気密性や断熱性を高めるために、シートを２重構造としたものも提案されている（例えば、特許文献１〜３参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平１１−８３１０４号公報
【特許文献２】特開２００８−２７５２３３号公報
【特許文献３】特開２０１４−１６９８１６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、近年、電子部品の組立、二次電池（部品を含む。）の製造、実験等の各種作業を行う場合に、限られた必要箇所の雰囲気のみを所定の低湿度状態に保持する要請が高まってきている。
一方、これらの作業は、静電気を嫌う場合が多いため、静電気を除去する要請も併せてなされてきた。【０００５】
ところで、各種作業を行う空間の静電気を除去するためには、通常、針状の放電電極に電界を集中させることによりコロナ放電を起こさせ、イオン化した空気で静電気の除去を行う静電気除去装置（イオナイザとも呼ばれ、本明細書において、単に、「静電気除去装置」という。）が用いられる。【０００６】
しかしながら、「湿度の低下」と「静電気の除去」とは、トレードオフの関係にあるため、低湿度空間（本明細書において、露点温度が０℃以下の空間をいう。）に静電気除去装置を適用しても、低湿度空間においては、気中の水分量が少ないことから、イオン化した空気による静電気の除去を効率よく行いにくいという問題があった。
特に、従来の低湿度空間（ブース空間）を形成する設備においては、低湿度を維持するために、当該空間に除湿された空気を大量に高い風速で供給するようにしているため、空気が乱流の状態で供給されることとなり、静電気除去装置を適用しても、プラスイオンとマイナスイオンが衝突してイオンが消滅し、静電気の除去効果がなくなってしまうという問題があった。
このため、「湿度の低下」と「静電気の除去」とを両立させることが困難であった。【０００７】
本発明は、上記従来の問題点に鑑み、低湿度空間において、静電気除去装置を使用して効率よく静電気の除去を行うことができるようにした低湿度空間における静電気除去構造を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するため、本発明の低湿度空間における静電気除去構造は、除湿された空気が供給される低湿度空間における静電気除去構造であって、前記低湿度空間を、該低湿度空間の一方側から低湿度空間に向けて、吹出口を通して除湿された空気を層流の状態で供給し、該吹出口と対向する低湿度空間の他方側から排気を行うように構成し、かつ、吹出口の下流側に、静電気除去装置を配設するようにしてなることを特徴とする。【０００９】
この場合において、前記吹出口を通して供給される除湿された空気の露点温度を、−３０℃以下に設定することができる。【００１０】
この場合において、前記吹出口に、通気細孔を形成した吹出し面材を設けてなるようにすることができる。【００１１】
また、前記通気細孔を形成した吹出し面材が、合成樹脂製の部材からなるようにすることができる。【００１２】
また、前記静電気除去装置を、対をなすように並べて配設し、各静電気除去装置が、各静電気除去装置のプラスイオンとマイナスイオンの発生のタイミングをずらせて、プラスイオン及びマイナスイオンを交互に発生するようにすることができる。【００１３】
また、前記静電気除去装置を、吹出口に対して空隙をあけて配設するようにすることができる。【００１４】
また、前記低湿度空間が、２重構造のカーテンによって覆われてなり、該２重構造のカーテン間に形成された空間から強制的に排気を行うようにしてなるようにすることができる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の低湿度空間における静電気除去構造によれば、低湿度空間を、該低湿度空間の一方側から低湿度空間に向けて、吹出口を通して除湿された空気を層流の状態で供給し、該吹出口と対向する低湿度空間の他方側から排気を行うように構成し、かつ、吹出口の下流側に、静電気除去装置を配設するようにすることにより、気中の水分量が著しく少ない低湿度空間、特に、露点温度が−３０℃以下といった超低湿度空間においても、空気の流動による静電気の発生及びプラスイオンとマイナスイオンの衝突によるイオンの消滅を防止しながら、イオン化した空気を低湿度空間の全域に分散させて供給することができ、静電気除去装置を使用して効率よく静電気の除去を行うことができる。【００１６】
また、前記吹出口に、通気細孔を形成した吹出し面材を設けることにより、簡易な構造によって、除湿された空気を低湿度空間に層流の状態で供給することができる。【００１７】
また、前記通気細孔を形成した吹出し面材が、合成樹脂製の部材からなるようにすることにより、イオン化した空気に含まれるプラスイオンとマイナスイオンが、吹出し面材に吸着されて、静電気の除去効果がなくなることを防止することができる。【００１８】
また、前記静電気除去装置を、対をなすように並べて配設し、各静電気除去装置が、各静電気除去装置のプラスイオンとマイナスイオンの発生のタイミングをずらせて、プラスイオン及びマイナスイオンを交互に発生するようにすることにより、プラスイオンとマイナスイオンの衝突によるイオンの消滅を防止しながら、イオン化した空気を低湿度空間の全域に分散させて確実に供給することができる。【００１９】
また、前記静電気除去装置を、吹出口に対して空隙をあけて配設することにより、イオン化した空気に含まれるプラスイオンとマイナスイオンが、吹出口に衝突してイオンが消滅し、静電気の除去効果がなくなることを防止することができる。【００２０】
また、前記低湿度空間が、２重構造のカーテンによって覆われてなり、該２重構造のカーテン間に形成された空間から強制的に排気を行うようにしてなるようにすることにより、外部空間の雰囲気や人の出入りの影響を受けにくくなり、低湿度空間に供給する除湿された空気量を低減することができ、エネルギコストを低廉にできるだけでなく、空気の流動による静電気の発生を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の低湿度空間における静電気除去構造を適用するドライブースの一例を示し、（ａ）は正面断面図、（ｂ）は（ａ）のＸ−Ｘ断面図である。
【図２】本発明の低湿度空間における静電気除去構造を適用したドライブースの一実施例を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面断面図である。
【図３】風速の変化の測定結果を示すグラフである。
【図４】放電時間の測定結果を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、本発明の低湿度空間における静電気除去構造の実施の形態を、図面に基づいて説明する。
【００２３】
本発明の低湿度空間における静電気除去構造は、除湿された空気が供給される低湿度空間における静電気除去構造であって、前記低湿度空間を、該低湿度空間の一方側から低湿度空間に向けて、吹出口を通して除湿された空気を層流の状態で供給し、該吹出口と対向する低湿度空間の他方側から排気を行うように構成し、かつ、吹出口の下流側に、静電気除去装置を配設するようにしてなることを特徴とするものである。
【００２４】
図１に、本発明の低湿度空間における静電気除去構造を適用する、すなわち、低湿度空間を形成するためのドライブースの一例を示す。
【００２５】
このドライブース１は、ブース本体２の周壁を構成するカーテン３を内側カーテン３ａと外側カーテン３ｂの２重構造とし、この２重構造のカーテン３ａ、３ｂ間に形成された空間５から強制的に排気を行うとともに、排気された空気を除湿ユニット６を介して、内側カーテン３ａで仕切られたブース空間（低湿度空間）４と、２重構造のカーテン３ａ、３ｂ間に形成された空間５とに、２重構造のカーテン３ａ、３ｂ間に形成された空間５が少なくともブース空間４（場合によっては、さらに、外部空間９）に対して陰圧に保持されるように供給するようにしたものである。
【００２６】
ブース本体２は、ブース本体２の頂部に配されるチャンバ２０と、床面ＦＬ上に立設される４本の支柱２３とを有し、チャンバ２０の四隅が４本の支柱２３の上端部に連結されて構成されている。
【００２７】
チャンバ２０は、除湿ユニット６からダクト７を介して接続される上流側チャンバ２１と、その下流側に配される下流側チャンバ２２とが組み合わされてなる。
上流側チャンバ２１は、必要に応じて、エアフィルタユニット２１ａを備え、除湿ユニット６からダクト７を介して送られてくる空気を清浄化して、下流側チャンバ２２に供給するようにしている。
下流側チャンバ２２は、除湿された空気の吹出口を構成するもので、拡散板２２ａ及びスクリーンメッシュ、パンチング材、細孔を形成したシート等の通気細孔を形成した吹出し面材２２ｂ及び通気孔を形成した吹出し面材２２ｃを備え、除湿ユニット６から送られる乾燥した空気を、内側カーテン３ａで仕切られたブース空間４と、２重構造のカーテン３ａ、３ｂ間に形成された空間５とに、それぞれ均一に供給するようにしている。
これにより、下流側チャンバ２２を通った除湿された空気は、層流の状態でブース空間４に供給される。
【００２８】
ここで、下流側チャンバ２２の構造は、除湿された空気を層流の状態でブース空間４に供給できるものであれば、特に限定されるものではない。
また、通気孔を形成した吹出し面材２２ｃは、必ずしも設ける必要はなく、これを省略し、吹出し面材２２ｂがブース空間４に直接に面するようにすることもできる。
【００２９】
また、通気細孔を形成した吹出し面材２２ｂ及び通気孔を形成した吹出し面材２２ｃは、ポリエステル樹脂、ポリオレフィン樹脂、塩化ビニル樹脂等の合成樹脂製の部材を用いることが好ましい。
これにより、イオン化した空気に含まれるプラスイオンとマイナスイオンが、吹出し面材２２ｂ、２２ｃに吸着されて、静電気の除去効果がなくなることを防止することができる。
【００３０】
なお、両空間４、５に供給する空気の割合は、吹出し面材２２ｂ及び吹出し面材２２ｃに形成された通気細孔や通気孔の開口面積を閉鎖板（図示省略）等によって調節することによって、任意に調整することができる。
【００３１】
除湿ユニット６は、２重構造のカーテン３ａ、３ｂ間に形成された空間５から外側カーテン３ｂに配設された排気部８から強制的に排気された空気を導入し、乾燥した空気を放出できるものであれば、その方式は特に限定されず、従来公知の除湿ユニットを使用することができる。
なお、 除湿ユニット６には、必要に応じて、温調ユニットを併設したり、除湿機能と温調機能を有するユニットを用いることもできる。
【００３２】
ところで、本実施例において、２重構造のカーテン３ａ、３ｂ間に形成された空間５内の空気を排気するために排気部８を、ブース本体２の対角位置の外側カーテン３ｂの下部の位置に配設するようにしている。
このように、２重構造のカーテン３ａ、３ｂ間に形成された空間５の下部の複数箇所から排気を行うようにすることにより、カーテン３ａ、３ｂ間に形成された空間５の気圧の偏りを少なくすることができ、ブース空間４に外部空間９の空気が流入することを確実に防止してブース空間４の雰囲気を所定の状態に安定して保持することができる。
なお、排気部８を設ける位置や個数は、任意に設定することができる。
【００３３】
カーテン３ａ、３ｂは、それぞれ上端を上流側チャンバ２１に接続するとともに、下端を床面ＦＬにほぼ接する程度の長さに設定することにより、内側カーテン３ａで仕切られたブース空間４及び２重構造のカーテン３ａ、３ｂ間に形成された空間５の気密性が、２重構造のカーテン３ａ、３ｂ間に形成された空間５及び外部空間９に対して、ある程度保持されるようにする。
【００３４】
内側カーテン３ａと外側カーテン３ｂの間隔は、数ｃｍ〜数十ｃｍの範囲で任意に設定することができるが、人が出入りする箇所の間隔は、出入りする人が２重構造のカーテン３ａ、３ｂ間に形成された空間５内に一旦留まれる寸法、具体的には、５０ｃｍ以上に設定することが好ましい。
これにより、人が出入りする際に、内側カーテン３ａと外側カーテン３ｂを同時に開かなくてもよくなり、かつ、２重構造のカーテン３ａ、３ｂ間に形成された空間５の雰囲気が安定した状態で内側カーテン３ａを開くようにすることができるため、人の出入りの影響を極力排除することができる。
【００３５】
カーテン３ａ、３ｂは、ポリオレフィン樹脂、塩化ビニル樹脂、ポリエステル樹脂等の合成樹脂製のシートから構成するほか、合成樹脂製のフィルムをラミネートした布等、通気性のない任意の素材で構成することができる。
【００３６】
ブース空間４の気圧は、外部空間９の気圧（通常は大気圧）より若干高い、具体的には、外部空間９の気圧＋数Ｐａ程度、より具体的には、＋２〜＋３Ｐａ程度の陽圧に保持されるようにすることが好ましい。
このため、各空間の気圧条件は、２重構造のカーテン３ａ、３ｂ間に形成された空間５の気圧＜外部空間９の気圧＜ブース空間４（又は外部空間９の気圧＜空間５の気圧＜ブース空間４）の気圧の条件を満たすように、除湿ユニット６を含む空気の循環経路を構成する機器を運転するようにする。
これにより、ブース空間４及び外部空間９から、カーテン３ａ、３ｂの下端と床面ＦＬの隙間を通って、２重構造のカーテン３ａ、３ｂ間に形成された空間５に空気が流入することとなる。
【００３７】
このドライブース１によれば、２重構造のカーテン３ａ、３ｂ間に形成された空間５がブース空間４及び外部空間９に対して陰圧に保持されるようにすることにより、単にブース空間４を陽圧や陰圧に保持する場合と比較して、外部空間９の雰囲気や人の出入りの影響を受けにくくなり、例えば、ブース空間４内の空気の露点温度を低く保持するためにブース空間４に供給する空調した空気量を低減することができ、エネルギコストを低廉にできるとともに、ブース空間４及び外部空間９に対して陰圧に保持される２重構造のカーテン３ａ、３ｂ間に形成された空間５を介在することによって、ブース空間４内の物質が空気に乗って外部空間９に流出することを抑制でき、安全かつ低コストでブースの使用を行うことができる。
【００３８】
次に、このドライブース１を用いた、本発明の低湿度空間における静電気除去構造の一実施例を図２に示す。
【００３９】
図２において、チャンバ２０から、通気細孔を形成した吹出し面材２２ｂを介して、ブース空間（低湿度空間）４に除湿された空気を供給する場合（実施例（「層流」と表示。））と、ドライブースにおいて汎用されている方式である、ブース空間（低湿度空間）４に除湿された空気をピンポイントに、例えば、横方向から供給する場合（比較例（「乱流」と表示。））とについて、比較試験を行った。
【００４０】
静電気除去装置１０には、汎用の静電気除去装置を使用することができるが、本実施例においては、静電気除去装置１０を２台、対をなすように並べて配設し、各静電気除去装置１０が、各静電気除去装置１０のプラスイオンとマイナスイオンの発生のタイミングをずらせて、プラスイオン及びマイナスイオンを交互に発生するように、具体的には、静電気除去装置１０の一方がプラスイオンを発生しているときは、他方がマイナスイオンを発生し、一方がマイナスイオンを発生しているときは、他方がプラスイオンを発生するように制御するようにした。
【００４１】
ここで、本実施例において使用する上記の静電気除去装置１０は、棒状のもので、略正方形のブース空間４の１辺の長さの４０％以上、好ましくは、５０％以上（本実施例においては、約７０％）の長さのものを使用し、２本の静電気除去装置１０を、その長さと同程度の間隔をあけて平行に、吹出し面材２２ｂの下流側に配設し、静電気除去装置１０によってイオン化された空気を、ブース空間４の全域に分散して供給することができるようにしている。
【００４２】
また、静電気除去装置１０を、吹出し面材２２ｂに対して空隙Ｄ（３０ｍｍ〜２００ｍｍ程度。本実施例においては、５０ｍｍ程度。）をあけて配設し、静電気除去装置１０によってイオン化された空気に含まれるプラスイオンとマイナスイオンが、吹出し面材２２ｂに衝突してイオンが消滅し、静電気の除去効果がなくなることを防止するようにしている。
【００４３】
図３に、実施例と比較例の風速の変化を５分間に亘って測定した結果を示す。
ここで、風速の測定は、図２（ａ）の丸付き数字の１〜５で示す位置（図２（ｂ）に示す帯電プレートモニターの設置箇所）で行った。
実施例は、風速及び分散とも、比較例より低い値を示しており、プラスイオンとマイナスイオンが衝突してイオンが消滅し、静電気の除去効果がなくなることを防止できるとともに、空気の流動による静電気の発生が防止できると考えられる。
【００４４】
ブース空間４に供給される除湿された空気は、露点温度が０℃以下の低湿度の空気、特に、露点温度が−３０℃以下（本実施例では、−６０℃）といった超低湿度の空気とし、この低湿度の空気（超低湿度の空気）が供給することによって形成される低湿度空間（超低湿度の空間）を対象として静電気の除去を行うようにした。
なお、本発明の低湿度空間における静電気除去構造が対象とする低湿度空間の露点温度の下限値は、例えば、−１００℃より低い露点温度は、除湿ユニット６の負荷が大きくなるが、特に制限はない。
【００４５】
図４に、帯電プレートモニターを使用し、−５０００Ｖに帯電させた帯電プレートの帯電電圧が、−５００Ｖになる時間（放電時間）を測定した結果を示す。
【００４６】
この結果からも明らかなように、実施例は、放電時間が、比較例より低い値を示しており、ブース空間４の全域で均一に静電気の除去を行うことができることを確認した。
また、測定結果から、除湿された空気を、層流の状態でブース空間４に供給する場合、風速を、０．００５〜０．１ｍ／ｓ、好ましくは、０．００８〜０．０５ｍ／ｓ、より好ましくは、０．０１〜０．０２ｍ／ｓ程度に低く設定することが有効であることを確認した。
【００４７】
このように、本発明の低湿度空間における静電気除去構造によれば、気中の水分量が著しく少ない低湿度空間、特に、露点温度が−３０℃以下（本実施例では、−６０℃）といった超低湿度空間においても、空気の流動による静電気の発生及びプラスイオンとマイナスイオンの衝突によるイオンの消滅を防止しながら、イオン化した空気を低湿度空間の全域に分散させて供給することができ、静電気除去装置を使用して効率よく静電気の除去を行うことができる。
【００４８】
以上、本発明の低湿度空間における静電気除去構造について、その実施例に基づいて説明したが、本発明は上記実施例に記載した構成に限定されるものではなく、例えば、低湿度空間に対して除湿された空気を供給する方向を、実施例の下向き以外の横向き又は上向きに設定する等、その趣旨を逸脱しない範囲において適宜その構成を変更することができるものである。
【産業上の利用可能性】
【００４９】
本発明の低湿度空間における静電気除去構造は、低湿度空間において、低湿度空間において、静電気除去装置を使用して効率よく静電気の除去を行うことができることから、例えば、電子部品の組立、二次電池（部品を含む。）の製造、実験等の各種作業を行う、限られた必要箇所の雰囲気のみを所定の低湿度状態に保持した空間、より具体的には、ブース空間における静電気の除去の用途に好適に用いることができる。
【符号の説明】
【００５０】
１  ドライブース
２  ブース本体
２０  チャンバ
２１  上流側チャンバ
２２  下流側チャンバ
２２ａ  拡散板
２２ｂ  吹出し面材
２２ｃ  吹出し面材
２３  支柱
３  カーテン
３ａ  内側カーテン
３ｂ  外側カーテン
４  ブース空間（低湿度空間）
５  ２重構造のカーテン間に形成された空間
６  除湿ユニット
７  ダクト
８  排気部
９  外部空間
１０  静電気除去装置
【図１】
2017138356.tif 000003
【図２】
2017138356.tif 000004
【図３】
2017138356.tif 000005
【図４】
2017138356.tif 000006
【手続補正書】
【提出日】平成29年8月25日(2017.8.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、電子部品の組立、二次電池（部品を含む。）の製造、実験等の各種作業を行う、限られた必要箇所の雰囲気のみを所定の低湿度状態に保持した空間（本明細書において、「低湿度空間」という。）における静電気除去構造に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、電子部品の組立、二次電池（部品を含む。）の製造、実験等の各種作業を行う、限られた必要箇所の雰囲気のみを所定の状態に保持するために、ブース空間を合成樹脂製のシートで外部空間と仕切るようにしたブースが汎用されている。
さらに、ブース空間の気密性や断熱性を高めるために、シートを２重構造としたものも提案されている（例えば、特許文献１〜３参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平１１−８３１０４号公報
【特許文献２】特開２００８−２７５２３３号公報
【特許文献３】特開２０１４−１６９８１６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、近年、電子部品の組立、二次電池（部品を含む。）の製造、実験等の各種作業を行う場合に、限られた必要箇所の雰囲気のみを所定の低湿度状態に保持する要請が高まってきている。
一方、これらの作業は、静電気を嫌う場合が多いため、静電気を除去する要請も併せてなされてきた。
【０００５】
ところで、各種作業を行う空間の静電気を除去するためには、通常、針状の放電電極に電界を集中させることによりコロナ放電を起こさせ、イオン化した空気で静電気の除去を行う静電気除去装置（イオナイザとも呼ばれ、本明細書において、単に、「静電気除去装置」という。）が用いられる。
【０００６】
しかしながら、「湿度の低下」と「静電気の除去」とは、トレードオフの関係にあるため、低湿度空間（本明細書において、露点温度が０℃以下の空間をいう。）に静電気除去装置を適用しても、低湿度空間においては、気中の水分量が少ないことから、イオン化した空気による静電気の除去を効率よく行いにくいという問題があった。
特に、従来の低湿度空間（ブース空間）を形成する設備においては、低湿度を維持するために、当該空間に除湿された空気を大量に高い風速で供給するようにしているため、空気が乱流の状態で供給されることとなり、静電気除去装置を適用しても、プラスイオンとマイナスイオンが衝突してイオンが消滅し、静電気の除去効果がなくなってしまうという問題があった。
このため、「湿度の低下」と「静電気の除去」とを両立させることが困難であった。
【０００７】
本発明は、上記従来の問題点に鑑み、低湿度空間において、静電気除去装置を使用して効率よく静電気の除去を行うことができるようにした低湿度空間における静電気除去構造を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するため、本発明の低湿度空間における静電気除去構造は、除湿された空気が供給される低湿度空間における静電気除去構造であって、前記低湿度空間を、該低湿度空間の一方側から低湿度空間に向けて、吹出口を通して除湿された空気を層流の状態で供給し、低湿度空間の他方側から排気を行うように構成し、かつ、前記吹出口に、通気細孔を形成した合成樹脂製の吹出し面材を設けるとともに、吹出口の下流側に、静電気除去装置を配設するようにしてなることを特徴とする。
【０００９】
この場合において、前記吹出口を通して供給される除湿された空気の露点温度を、−３０℃以下に設定することができる。
【００１０】
また、前記静電気除去装置を、対をなすように並べて配設し、各静電気除去装置が、各静電気除去装置のプラスイオンとマイナスイオンの発生のタイミングをずらせて、プラスイオン及びマイナスイオンを交互に発生するようにすることができる。
【００１１】
また、前記静電気除去装置を、吹出口に対して空隙をあけて配設するようにすることができる。
【００１２】
また、前記低湿度空間が、２重構造のカーテンによって覆われてなり、該２重構造のカーテン間に形成された空間から強制的に排気を行うようにしてなるようにすることができる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の低湿度空間における静電気除去構造によれば、気中の水分量が著しく少ない低湿度空間、特に、露点温度が−３０℃以下といった超低湿度空間においても、空気の流動による静電気の発生及びプラスイオンとマイナスイオンの衝突によるイオンの消滅を防止しながら、イオン化した空気を低湿度空間の全域に分散させて供給することができ、静電気除去装置を使用して効率よく静電気の除去を行うことができる。
【００１４】
そして、前記吹出口に、通気細孔を形成した吹出し面材を設けることにより、簡易な構造によって、除湿された空気を低湿度空間に層流の状態で供給することができる。
【００１５】
さらに、前記通気細孔を形成した吹出し面材が、合成樹脂製の部材からなるようにすることにより、イオン化した空気に含まれるプラスイオンとマイナスイオンが、吹出し面材に吸着されて、静電気の除去効果がなくなることを防止することができる。
【００１６】
また、前記静電気除去装置を、対をなすように並べて配設し、各静電気除去装置が、各静電気除去装置のプラスイオンとマイナスイオンの発生のタイミングをずらせて、プラスイオン及びマイナスイオンを交互に発生するようにすることにより、プラスイオンとマイナスイオンの衝突によるイオンの消滅を防止しながら、イオン化した空気を低湿度空間の全域に分散させて確実に供給することができる。
【００１７】
また、前記静電気除去装置を、吹出口に対して空隙をあけて配設することにより、イオン化した空気に含まれるプラスイオンとマイナスイオンが、吹出口に衝突してイオンが消滅し、静電気の除去効果がなくなることを防止することができる。
【００１８】
また、前記低湿度空間が、２重構造のカーテンによって覆われてなり、該２重構造のカーテン間に形成された空間から強制的に排気を行うようにしてなるようにすることにより、外部空間の雰囲気や人の出入りの影響を受けにくくなり、低湿度空間に供給する除湿された空気量を低減することができ、エネルギコストを低廉にできるだけでなく、空気の流動による静電気の発生を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の低湿度空間における静電気除去構造を適用するドライブースの一例を示し、（ａ）は正面断面図、（ｂ）は（ａ）のＸ−Ｘ断面図である。
【図２】本発明の低湿度空間における静電気除去構造を適用したドライブースの一実施例を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面断面図である。
【図３】風速の変化の測定結果を示すグラフである。
【図４】放電時間の測定結果を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明の低湿度空間における静電気除去構造の実施の形態を、図面に基づいて説明する。
【００２１】
本発明の低湿度空間における静電気除去構造は、除湿された空気が供給される低湿度空間における静電気除去構造であって、前記低湿度空間を、該低湿度空間の一方側から低湿度空間に向けて、吹出口を通して除湿された空気を層流の状態で供給し、該吹出口と対向する低湿度空間の他方側から排気を行うように構成し、かつ、吹出口の下流側に、静電気除去装置を配設するようにしてなることを特徴とするものである。
【００２２】
図１に、本発明の低湿度空間における静電気除去構造を適用する、すなわち、低湿度空間を形成するためのドライブースの一例を示す。
【００２３】
このドライブース１は、ブース本体２の周壁を構成するカーテン３を内側カーテン３ａと外側カーテン３ｂの２重構造とし、この２重構造のカーテン３ａ、３ｂ間に形成された空間５から強制的に排気を行うとともに、排気された空気を除湿ユニット６を介して、内側カーテン３ａで仕切られたブース空間（低湿度空間）４と、２重構造のカーテン３ａ、３ｂ間に形成された空間５とに、２重構造のカーテン３ａ、３ｂ間に形成された空間５が少なくともブース空間４（場合によっては、さらに、外部空間９）に対して陰圧に保持されるように供給するようにしたものである。
【００２４】
ブース本体２は、ブース本体２の頂部に配されるチャンバ２０と、床面ＦＬ上に立設される４本の支柱２３とを有し、チャンバ２０の四隅が４本の支柱２３の上端部に連結されて構成されている。
【００２５】
チャンバ２０は、除湿ユニット６からダクト７を介して接続される上流側チャンバ２１と、その下流側に配される下流側チャンバ２２とが組み合わされてなる。
上流側チャンバ２１は、必要に応じて、エアフィルタユニット２１ａを備え、除湿ユニット６からダクト７を介して送られてくる空気を清浄化して、下流側チャンバ２２に供給するようにしている。
下流側チャンバ２２は、除湿された空気の吹出口を構成するもので、拡散板２２ａ及びスクリーンメッシュ、パンチング材、細孔を形成したシート等の通気細孔を形成した吹出し面材２２ｂ及び通気孔を形成した吹出し面材２２ｃを備え、除湿ユニット６から送られる乾燥した空気を、内側カーテン３ａで仕切られたブース空間４と、２重構造のカーテン３ａ、３ｂ間に形成された空間５とに、それぞれ均一に供給するようにしている。
これにより、下流側チャンバ２２を通った除湿された空気は、層流の状態でブース空間４に供給される。
【００２６】
ここで、下流側チャンバ２２の構造は、除湿された空気を層流の状態でブース空間４に供給できるものであれば、特に限定されるものではない。
また、通気孔を形成した吹出し面材２２ｃは、必ずしも設ける必要はなく、これを省略し、吹出し面材２２ｂがブース空間４に直接に面するようにすることもできる。
【００２７】
また、通気細孔を形成した吹出し面材２２ｂ及び通気孔を形成した吹出し面材２２ｃは、ポリエステル樹脂、ポリオレフィン樹脂、塩化ビニル樹脂等の合成樹脂製の部材を用いることが好ましい。
これにより、イオン化した空気に含まれるプラスイオンとマイナスイオンが、吹出し面材２２ｂ、２２ｃに吸着されて、静電気の除去効果がなくなることを防止することができる。
【００２８】
なお、両空間４、５に供給する空気の割合は、吹出し面材２２ｂ及び吹出し面材２２ｃに形成された通気細孔や通気孔の開口面積を閉鎖板（図示省略）等によって調節することによって、任意に調整することができる。
【００２９】
除湿ユニット６は、２重構造のカーテン３ａ、３ｂ間に形成された空間５から外側カーテン３ｂに配設された排気部８から強制的に排気された空気を導入し、乾燥した空気を放出できるものであれば、その方式は特に限定されず、従来公知の除湿ユニットを使用することができる。
なお、 除湿ユニット６には、必要に応じて、温調ユニットを併設したり、除湿機能と温調機能を有するユニットを用いることもできる。
【００３０】
ところで、本実施例において、２重構造のカーテン３ａ、３ｂ間に形成された空間５内の空気を排気するために排気部８を、ブース本体２の対角位置の外側カーテン３ｂの下部の位置に配設するようにしている。
このように、２重構造のカーテン３ａ、３ｂ間に形成された空間５の下部の複数箇所から排気を行うようにすることにより、カーテン３ａ、３ｂ間に形成された空間５の気圧の偏りを少なくすることができ、ブース空間４に外部空間９の空気が流入することを確実に防止してブース空間４の雰囲気を所定の状態に安定して保持することができる。
なお、排気部８を設ける位置や個数は、任意に設定することができる。
【００３１】
カーテン３ａ、３ｂは、それぞれ上端を上流側チャンバ２１に接続するとともに、下端を床面ＦＬにほぼ接する程度の長さに設定することにより、内側カーテン３ａで仕切られたブース空間４及び２重構造のカーテン３ａ、３ｂ間に形成された空間５の気密性が、２重構造のカーテン３ａ、３ｂ間に形成された空間５及び外部空間９に対して、ある程度保持されるようにする。
【００３２】
内側カーテン３ａと外側カーテン３ｂの間隔は、数ｃｍ〜数十ｃｍの範囲で任意に設定することができるが、人が出入りする箇所の間隔は、出入りする人が２重構造のカーテン３ａ、３ｂ間に形成された空間５内に一旦留まれる寸法、具体的には、５０ｃｍ以上に設定することが好ましい。
これにより、人が出入りする際に、内側カーテン３ａと外側カーテン３ｂを同時に開かなくてもよくなり、かつ、２重構造のカーテン３ａ、３ｂ間に形成された空間５の雰囲気が安定した状態で内側カーテン３ａを開くようにすることができるため、人の出入りの影響を極力排除することができる。
【００３３】
カーテン３ａ、３ｂは、ポリオレフィン樹脂、塩化ビニル樹脂、ポリエステル樹脂等の合成樹脂製のシートから構成するほか、合成樹脂製のフィルムをラミネートした布等、通気性のない任意の素材で構成することができる。
【００３４】
ブース空間４の気圧は、外部空間９の気圧（通常は大気圧）より若干高い、具体的には、外部空間９の気圧＋数Ｐａ程度、より具体的には、＋２〜＋３Ｐａ程度の陽圧に保持されるようにすることが好ましい。
このため、各空間の気圧条件は、２重構造のカーテン３ａ、３ｂ間に形成された空間５の気圧＜外部空間９の気圧＜ブース空間４（又は外部空間９の気圧＜空間５の気圧＜ブース空間４）の気圧の条件を満たすように、除湿ユニット６を含む空気の循環経路を構成する機器を運転するようにする。
これにより、ブース空間４及び外部空間９から、カーテン３ａ、３ｂの下端と床面ＦＬの隙間を通って、２重構造のカーテン３ａ、３ｂ間に形成された空間５に空気が流入することとなる。
【００３５】
このドライブース１によれば、２重構造のカーテン３ａ、３ｂ間に形成された空間５がブース空間４及び外部空間９に対して陰圧に保持されるようにすることにより、単にブース空間４を陽圧や陰圧に保持する場合と比較して、外部空間９の雰囲気や人の出入りの影響を受けにくくなり、例えば、ブース空間４内の空気の露点温度を低く保持するためにブース空間４に供給する空調した空気量を低減することができ、エネルギコストを低廉にできるとともに、ブース空間４及び外部空間９に対して陰圧に保持される２重構造のカーテン３ａ、３ｂ間に形成された空間５を介在することによって、ブース空間４内の物質が空気に乗って外部空間９に流出することを抑制でき、安全かつ低コストでブースの使用を行うことができる。
【００３６】
次に、このドライブース１を用いた、本発明の低湿度空間における静電気除去構造の一実施例を図２に示す。
【００３７】
図２において、チャンバ２０から、通気細孔を形成した吹出し面材２２ｂを介して、ブース空間（低湿度空間）４に除湿された空気を供給する場合（実施例（「層流」と表示。））と、ドライブースにおいて汎用されている方式である、ブース空間（低湿度空間）４に除湿された空気をピンポイントに、例えば、横方向から供給する場合（比較例（「乱流」と表示。））とについて、比較試験を行った。
【００３８】
静電気除去装置１０には、汎用の静電気除去装置を使用することができるが、本実施例においては、静電気除去装置１０を２台、対をなすように並べて配設し、各静電気除去装置１０が、各静電気除去装置１０のプラスイオンとマイナスイオンの発生のタイミングをずらせて、プラスイオン及びマイナスイオンを交互に発生するように、具体的には、静電気除去装置１０の一方がプラスイオンを発生しているときは、他方がマイナスイオンを発生し、一方がマイナスイオンを発生しているときは、他方がプラスイオンを発生するように制御するようにした。
【００３９】
ここで、本実施例において使用する上記の静電気除去装置１０は、棒状のもので、略正方形のブース空間４の１辺の長さの４０％以上、好ましくは、５０％以上（本実施例においては、約７０％）の長さのものを使用し、２本の静電気除去装置１０を、その長さと同程度の間隔をあけて平行に、吹出し面材２２ｂの下流側に配設し、静電気除去装置１０によってイオン化された空気を、ブース空間４の全域に分散して供給することができるようにしている。
【００４０】
また、静電気除去装置１０を、吹出し面材２２ｂに対して空隙Ｄ（３０ｍｍ〜２００ｍｍ程度。本実施例においては、５０ｍｍ程度。）をあけて配設し、静電気除去装置１０によってイオン化された空気に含まれるプラスイオンとマイナスイオンが、吹出し面材２２ｂに衝突してイオンが消滅し、静電気の除去効果がなくなることを防止するようにしている。
【００４１】
図３に、実施例と比較例の風速の変化を５分間に亘って測定した結果を示す。
ここで、風速の測定は、図２（ａ）の丸付き数字の１〜５で示す位置（図２（ｂ）に示す帯電プレートモニターの設置箇所）で行った。
実施例は、風速及び分散とも、比較例より低い値を示しており、プラスイオンとマイナスイオンが衝突してイオンが消滅し、静電気の除去効果がなくなることを防止できるとともに、空気の流動による静電気の発生が防止できると考えられる。
【００４２】
ブース空間４に供給される除湿された空気は、露点温度が０℃以下の低湿度の空気、特に、露点温度が−３０℃以下（本実施例では、−６０℃）といった超低湿度の空気とし、この低湿度の空気（超低湿度の空気）が供給することによって形成される低湿度空間（超低湿度の空間）を対象として静電気の除去を行うようにした。
なお、本発明の低湿度空間における静電気除去構造が対象とする低湿度空間の露点温度の下限値は、例えば、−１００℃より低い露点温度は、除湿ユニット６の負荷が大きくなるが、特に制限はない。
【００４３】
図４に、帯電プレートモニターを使用し、−５０００Ｖに帯電させた帯電プレートの帯電電圧が、−５００Ｖになる時間（放電時間）を測定した結果を示す。
【００４４】
この結果からも明らかなように、実施例は、放電時間が、比較例より低い値を示しており、ブース空間４の全域で均一に静電気の除去を行うことができることを確認した。
また、測定結果から、除湿された空気を、層流の状態でブース空間４に供給する場合、風速を、０．００５〜０．１ｍ／ｓ、好ましくは、０．００８〜０．０５ｍ／ｓ、より好ましくは、０．０１〜０．０２ｍ／ｓ程度に低く設定することが有効であることを確認した。
【００４５】
このように、本発明の低湿度空間における静電気除去構造によれば、気中の水分量が著しく少ない低湿度空間、特に、露点温度が−３０℃以下（本実施例では、−６０℃）といった超低湿度空間においても、空気の流動による静電気の発生及びプラスイオンとマイナスイオンの衝突によるイオンの消滅を防止しながら、イオン化した空気を低湿度空間の全域に分散させて供給することができ、静電気除去装置を使用して効率よく静電気の除去を行うことができる。
【００４６】
以上、本発明の低湿度空間における静電気除去構造について、その実施例に基づいて説明したが、本発明は上記実施例に記載した構成に限定されるものではなく、例えば、低湿度空間に対して除湿された空気を供給する方向を、実施例の下向き以外の横向き又は上向きに設定する等、その趣旨を逸脱しない範囲において適宜その構成を変更することができるものである。
【産業上の利用可能性】
【００４７】
本発明の低湿度空間における静電気除去構造は、低湿度空間において、静電気除去装置を使用して効率よく静電気の除去を行うことができることから、例えば、電子部品の組立、二次電池（部品を含む。）の製造、実験等の各種作業を行う、限られた必要箇所の雰囲気のみを所定の低湿度状態に保持した空間、より具体的には、ブース空間における静電気の除去の用途に好適に用いることができる。
【符号の説明】
【００４８】
１  ドライブース
２  ブース本体
２０  チャンバ
２１  上流側チャンバ
２２  下流側チャンバ
２２ａ  拡散板
２２ｂ  吹出し面材
２２ｃ  吹出し面材
２３  支柱
３  カーテン
３ａ  内側カーテン
３ｂ  外側カーテン
４  ブース空間（低湿度空間）
５  ２重構造のカーテン間に形成された空間
６  除湿ユニット
７  ダクト
８  排気部
９  外部空間
１０  静電気除去装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
除湿された空気が供給される低湿度空間における静電気除去構造であって、
前記低湿度空間を、該低湿度空間の一方側から低湿度空間に向けて、吹出口を通して除湿された空気を層流の状態で供給し、低湿度空間の他方側から排気を行うように構成し、
かつ、前記吹出口に、通気細孔を形成した合成樹脂製の吹出し面材を設けるとともに、吹出口の下流側に、静電気除去装置を配設するようにしてなる
ことを特徴とする低湿度空間における静電気除去構造。
【請求項２】
前記吹出口を通して供給される除湿された空気の露点温度が、−３０℃以下であることを特徴とする請求項１に記載の低湿度空間における静電気除去構造。
【請求項３】
前記静電気除去装置を、対をなすように並べて配設し、各静電気除去装置が、各静電気除去装置のプラスイオンとマイナスイオンの発生のタイミングをずらせて、プラスイオン及びマイナスイオンを交互に発生するようにしたことを特徴とする請求項１又は２に記載の低湿度空間における静電気除去構造。
【請求項４】
前記静電気除去装置を、吹出口に対して空隙をあけて配設するようにしてなることを特徴とする請求項１、２又は３に記載の低湿度空間における静電気除去構造。
【請求項５】
前記低湿度空間が、２重構造のカーテンによって覆われてなり、該２重構造のカーテン間に形成された空間から強制的に排気を行うようにしてなることを特徴とする請求項１、２、３又は４に記載の低湿度空間における静電気除去構造。
【国際調査報告】
2017138356.tif 000007
2017138356.tif 000008
2017138356.tif 000009
2017138356.tif 000010