(57)【要約】  本発明は、配線基板を個片化してパッケージ用基板を作製する際に、コア基板の切断面に破壊が生じることを抑制可能なパッケージ用基板及びその製造方法を提供する。本発明に係るパッケージ用基板は、コア基板と、前記コア基板の片面又は両面上に形成された絶縁層と、前記絶縁層上及び／又は前記絶縁層に埋め込まれるように形成された１又は複数の配線層と、を含むパッケージ用基板であって、前記パッケージ用基板は、前記絶縁層の外周部分に、前記絶縁層が部分的に薄くなった薄層部分を有する。
2017126606.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
コア基板と、
前記コア基板の片面又は両面上に形成された絶縁層と、
前記絶縁層上及び／又は前記絶縁層に埋め込まれるように形成された１又は複数の配線層と、
を含むパッケージ用基板であって、
前記パッケージ用基板は、前記絶縁層の外周部分に、前記絶縁層が部分的に薄くなった薄層部分を有する、パッケージ用基板。
【請求項２】
前記コア基板はガラスで構成されている、請求項１に記載のパッケージ用基板。
【請求項３】
前記薄層部分は、前記薄層部分の端部から前記絶縁層の段差面までの間の幅ｗ３［ｍ］を有し、
前記配線層及び前記絶縁層の線膨張係数をα［ｐｐｍ／Ｋ］、前記配線層及び前記絶縁層のヤング率をＥ［Ｐａ］、所定の温度差を△Ｔ［Ｋ］、前記配線層及び前記絶縁層の合成厚みをｄ［ｍ］、および前記薄層部分の端部から反対側の薄層部分の端部までの長さをＬ［ｍ］とすると、
前記ｗ３は、以下の式：
【数１】
2017126606.tif 000011
から求まる値である、請求項２に記載のパッケージ用基板。
【請求項４】
前記ｗ３は、１２０μｍ以上である、請求項２に記載のパッケージ用基板。
【請求項５】
パッケージ用基板の製造方法であって、
コア基板の片面又は両面に配線層及び絶縁層を形成して、配線基板を形成する工程と、
前記絶縁層の所定の位置に、第１のダイシングブレードを用いてダイシングすることにより、前記絶縁層が部分的に薄くなるように分離溝を形成する工程と、
前記分離溝の底面の溝幅の中央部分において、前記第１のダイシングブレードよりも先端の幅が狭い第２のダイシングブレードを用いてダイシングして前記絶縁層及び前記コア基板を切断することにより、前記絶縁層が部分的に薄くなった薄層部分を有する複数のパッケージ用基板を得る工程と、
を含む、パッケージ用基板の製造方法。
【請求項６】
前記コア基板はガラスで構成されている、請求項５に記載のパッケージ用基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はパッケージ用基板、およびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子部品等のパッケージ用基板は、コア基板に配線層と絶縁層とを積層して多数の配線パターンを備えた大判の配線基板を形成した後、配線基板を所要寸法にダイシングしてパッケージ用基板に個片化することにより製造される。また、配線基板を作成する際に、コア基板上にコア基板とは線膨張係数の異なる樹脂層（絶縁層）と配線層とを複数積層するため、温度変化があると、線膨張係数の差により樹脂層、配線層、コア基板で膨張差が大きくなり、コア基板外周部に応力が発生することが知られている。【０００３】
また、近年のパッケージ用基板で用いられるコア基板には、電気的特性には優れるものの脆弱な材料により形成されたものがある。コア基板が割れの起きやすい脆性材料で構成されている場合、ダイシングによってコア基板を切断する際に発生する衝撃によりコア基板の切断面に微小なクラックが生じることがある。このコア基板断面の微小なクラックにより、ダイシング直後またはその後の工程での温度変化により、クラック部分からコア基板内部に蓄積された温度変化による内部応力が開放されるため、コア基板が裂ける方向に割れが広がる可能性がある。コア基板をガラス基板とする積層体の場合、数十μｍより厚いガラス基板では、その端面から裂ける問題が起き易い。【０００４】
このような割れを発生させない個片化法としては、例えばコア基板のパッケージ用基板外周部にあたる部分に金属層を形成し、個片化後に露出した金属層をエッチング処理により取り除き、コア基板と絶縁層で確定される溝部を作製する方法がある。この溝部により、コア基板の外周付近に応力が加わることを抑制することができるため、コア基板に破壊が生じることを、簡易な構成によって効果的に抑制することができる。（例えば、特許文献１参照）。【０００５】
しかしながら、この方法では、コア基板上の金属層をダイシングブレードで切断するため、ダイシングブレードの目詰まりによる切削力の低下から、コア基板断面にかえって多くのクラックを発生させてしまう懸念がある。そのため、ダイシング工程により個片化した直後にコア基板の破壊が発生する懸念があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１５−２３１００５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
そこで、本願発明は、コア基板上に絶縁層と配線層とを積層した配線基板を個片化してパッケージ用基板を作製する際または作製後に、温度変化によって、コア基板の切断面に破壊が生じることを抑制可能なパッケージ用基板及びその製造方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一態様は、コア基板と、前記コア基板の片面又は両面上に形成された絶縁層と、前記絶縁層上及び／又は前記絶縁層に埋め込まれるように形成された１又は複数の配線層と、を含むパッケージ用基板であって、前記パッケージ用基板は、前記絶縁層の外周部分に、前記絶縁層が部分的に薄くなった薄層部分を有する、パッケージ用基板である。【０００９】
本発明の他の態様では、前記コア基板はガラスで構成されている。【００１０】
本発明の他の態様では、前記薄層部分は、前記薄層部分の端部から前記絶縁層の段差面までの間の幅ｗ３［ｍ］を有し、
前記配線層及び前記絶縁層の線膨張係数をα［ｐｐｍ／Ｋ］、前記配線層及び前記絶縁層のヤング率をＥ［Ｐａ］、所定の温度差を△Ｔ［Ｋ］、前記配線層及び前記絶縁層の合成厚みをｄ［ｍ］、および前記薄層部分の端部から反対側の薄層部分の端部までの長さをＬ［ｍ］とすると、
前記ｗ３は、以下の式：
【数１】
2017126606.tif 000003
から求まる値である。【００１１】
本発明の他の態様では、前記ｗ３は、１２０μｍ以上である。【００１２】
本発明のさらに他の態様では、当該パッケージ用基板の製造方法を提供する。
【発明の効果】
【００１３】
本発明に係るパッケージ用基板及びその製造方法によれば、配線基板を個片化することにより作製されたパッケージ用基板に対し、作製時や実装時において大きな温度変化がかかっても、コア基板断面の割れが発生することを抑制可能な信頼性の高いパッケージ用基板を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明に係るパッケージ用基板を示す断面図である。
【図２】本発明に係るパッケージ用基板を示す上面図である。
【図３】本発明に係る配線基板の断面を示す模式図である。
【図４】本発明に係るパッケージ用基板を製造する工程を説明するための模式図である。
【図５】本発明に係るパッケージ用基板を製造する工程を説明するための模式図である。
【図６】本発明に係るパッケージ用基板を製造する工程を説明するための模式図である。
【図７】本発明に係るパッケージ用基板を製造する工程を説明するための模式図である。
【図８】本発明に係るパッケージ用基板を製造する工程を説明するための模式図である。
【図９】本発明に係るパッケージ用基板を製造する工程を説明するための模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明に係るパッケージ用基板及びその製造方法の実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、以下に示す実施形態は、本発明の単なる一例であって、当業者であれば、適宜設計変更可能である。
【００１６】
本明細書において、「パッケージ用基板」とは、配線基板を個片化した積層体をいう。また、「配線基板」とは、ダイシングにより個片化される前のパッケージ用基板が連結された状態のものをいう。
【００１７】
上述のように、コア基板上に絶縁層及び配線層を形成し、ダイシングを行った場合、ダイシングの際に発生する衝撃によりコア基板の切断面に微小なクラックが発生し易いことが知られている。絶縁層及び配線層の熱応力がコア基板に引っ張り応力を発生させ、この引っ張り応力がコア基板のクラックを拡大させることでコア基板の割れにつながる。
【００１８】
そこで、本発明者は、コア基板の切断面付近においてコア基板上に形成された絶縁層を部分的に除去することでコア基板の表面上に薄層部分を設けることにより、コア基板に加わる引っ張り応力を軽減してコア基板に割れが発生することを抑制できることを見出し、本発明に至った。
【００１９】
（パッケージ用基板）
図１は、本発明に係るパッケージ用基板の断面図である。図１に示されるように、パッケージ用基板２００は、コア基板１０と、絶縁層２０と、コア基板１０の厚さ方向の両面に積層された１又は複数の配線層３０と、を含む。パッケージ用基板２００は、絶縁層２０において絶縁層２０の厚さが部分的に薄くなるように構成された薄層部分２１を有する。
【００２０】
図２は、本発明に係るパッケージ用基板２００の上面図である。図２に示すように、薄層部分２１は、絶縁層２０の外周部分に設けられている。なお、図２では、配線層３０は簡略化のため省略している。
【００２１】
図３は、本発明に係る配線基板の断面図である。図３に示す配線基板１００を、後述の方法によって個片化することにより、パッケージ用基板２００を作製することができる。
【００２２】
（コア基板）
コア基板１０は、配線基板１００およびパッケージ用基板２００の電気特性を向上させる材料で構成することができる。例えば、コア基板１０としては、ガラス基板、シリコン基板、セラミック基板、プラスチック板、プラスチックテープ等の脆性材料を用いることができる。コア基板１０は、例えば、ソーダライムガラスやアルミノ珪酸塩ガラスなどで構成されたガラス基板とすることが好ましい。本発明のコア基板１０に用いるガラス基板は、表面を当分野で一般的に行われている方法により処理されたものであってもよく、例えば、表面に粗化処理を行ったもの、フッ酸で処理したもの、または、ガラス基板表面にシリコン処理を施したものであってもよい。本発明の一態様において、コア基板１０に用いるガラス基板は表面に下地層（図示せず）を形成してもよい。コア基板１０の厚さは、特に限定されないが、好ましくは５０μｍ〜７００μｍである。
【００２３】
（配線層）
配線層３０は、コア基板１０の厚さ方向の表面上並びに／または絶縁層２０の表面上及び／若しくは内部に形成される。本発明の一態様において、少なくとも一部の配線層３０はコア基板１０に接するように形成される。また、本発明の他の態様において、配線層３０はコア基板と接しなくてもよい。配線層３０は一層であってもよく、また複数の層であってもよい。
【００２４】
配線層３０は、当分野で通常用いられる導電性材料を用いて形成することができる。具体的には、配線層３０は、銅、銀、すず、金、タングステン、導電性樹脂などを用いて形成することができる。配線層３０としては、好ましくは銅が用いられる。また、配線層３０は、当分野で一般的に行われている方法により形成することができる。例えば、配線層３０の形成方法は、これらに限定されないが、サブトラクティブ法、セミアディティブ法、インクジェット法、スクリーン印刷、グラビアオフセット印刷を用いることができる。配線層３０の形成方法は、好ましくはセミアディティブ法とすることができる。配線層３０の厚さは、コア基板１０および絶縁層２０に比べ、基本的に小さい。配線層３０の厚さの合計は、形成方法によるが、例えば、１μｍ〜１００μｍである。
【００２５】
（絶縁層）
本発明の一態様において、絶縁層２０は配線層３０を埋め込むようにコア基板１０及び配線層３０上に形成される。絶縁層２０は一層であってもよく、また複数の層であってもよい。
【００２６】
絶縁層２０は、当分野で通常用いられる絶縁性材料を用いて形成することができる。具体的には、絶縁層２０は、エポキシ樹脂系材料、エポキシアクリレート系樹脂、ポリイミド系樹脂などを用いて形成することができる。これらの絶縁性材料は、充填剤を含んでもよい。絶縁層２０を形成する絶縁性材料としては、線膨張係数が７〜１３０ｐｐｍ／Ｋのエポキシ配合樹脂が一般的に入手し易く好ましい。
【００２７】
また、絶縁層２０を形成する絶縁性材料は、液状であっても、フィルム状であってもよい。絶縁性材料が液状の場合、絶縁層２０は、スピンコート法、ダイコータ法、カーテンコータ法、ロールコータ法、ドクターブレード法、スクリーン印刷などの当分野で一般的に行われている方法により形成することができる。絶縁性材料がフィルム状の場合、例えば真空ラミネート法により絶縁層２０を形成することができる。上記のように形成された絶縁層２０は、加熱または光照射により硬化させてもよい。絶縁層２０の厚さｄ１は、形成方法によるが、例えば、１μｍ〜２００μｍである。
【００２８】
（パッケージ用基板の形成）
本発明の一態様のパッケージ用基板２００は、これらに限定されるものではないが、図３〜図９に示す工程にしたがって形成することができる。まず、図３に示すように、コア基板１０の厚さ方向の表面に、上述した方法を用いて配線層３０と絶縁層２０を形成して、配線基板１００を形成する。
【００２９】
次いで、図４及び図５に示すように、配線基板１００における絶縁層２０の所定の位置に、先端の幅ｗ１を有する第１のダイシングブレード５０を用いて片側面から、深さｄｍの分離溝４０を形成する。先端の幅ｗ１を有する第１のダイシングブレード５０を用いることにより、底面の幅ｗ１の分離溝４０を形成することができる。第１のダイシングブレード５０の先端付近がテーパー状になっている場合、最も幅が広い箇所の幅をダイシングブレードの先端の幅とみなすことにする。これは後述の第２のダイシングブレード６０においても同様である。
【００３０】
第１のダイシングブレード５０は、一般的なダイシング方法に用いられる物であればよく、例えば樹脂などにダイヤモンド砥粒を埋没させたダイヤモンドブレードである。コア基板１０に残った絶縁層２０の薄層部分２１の厚みｄｓは、例えば０＜ｄｓ≦４５μｍである。厚みｄｓ分、絶縁層２０をコア基板１０上に残すことで、コア基板１０の表面を保護し、ダイシングによるコア基板材料のチッピングを抑制することができる。図１に示すように、ｄｍとｄｓの和は、絶縁層２０の厚みｄ１と等しい。
【００３１】
次に、図６に示すように、裏面も同様にして、分離溝４０を形成する。
【００３２】
その後、図７及び図８に示すように分離溝４０の底面の溝幅内の中央部分の位置で、第２のダイシングブレード６０によって絶縁層２０及びコア基板１０をダイシングして配線基板１００を個片化する。第２のダイシングブレード６０の先端の幅ｗ２は、第１のダイシングブレード５０の先端の幅ｗ１、すなわち分離溝４０の底面の幅ｗ１よりも小さい。
【００３３】
分離溝４０の底面部分では絶縁層２０が薄くなっているため、分離溝４０の中央部分で配線基板１００を切断することにより作製されたパッケージ用基板２００は、絶縁層２０の外周部分の表面上に絶縁層２０が部分的に薄くなった薄層部分２１を有する。薄層部分２１における絶縁層２０の端部から、絶縁層２０における厚層部分の表面と薄層部分２１の表面との間の段差面２０ａまでの幅ｗ３は、絶縁層２０及び配線層３０の厚みや材質によって変わるが、後述するように１２０μｍ以上が好ましいことが分かった。ここで、表裏面で、薄層部分２１の幅ｗ３が異なるように構成してもよい。
【００３４】
以上のようにして、配線基板１００を分離溝４０の中央部分でダイシングして個片化することにより、図９に示すようなパッケージ用基板２００が複数形成されることになる。
【００３５】
ｗ３を厳密に推定することは難しいが、配線層３０と絶縁層２０の積層体を一体の材料とみなした場合の線膨張係数α［ｐｐｍ／Ｋ］およびそのヤング率Ｅ［Ｐａ］、温度変化を与える温度サイクル試験（ＴＣＴ）において絶縁層２０に最も高温をかけるラミネート時の絶縁層２０の温度と当該試験における絶縁層２０の最低温度との温度差△Ｔ［Ｋ］、薄層部分２１の端部から反対側の薄層部分２１の端部までのパッケージ用基板２００の一辺の長さＬ［ｍ］、コア基板１０に積層された配線層３０と絶縁層２０の厚みを合計した合成厚みｄ［ｍ］、コア基板１０の強度に基づくコア基板１０が耐え得る応力の代表値Ｆ［Ｐａ］の影響を受けることが予想される。本発明では、実験結果に合うように、ｗ３［ｍ］の下限値は、無次元量であるα・Ｅ・△Ｔ／Ｆの平方根に比例し、かつＬ・ｄの平方根にそれぞれ比例するとみなした。つまり、以下の（式１）が近似的に成り立つとした。
【数２】
2017126606.tif 000004
【００３６】
ここで、ΔＴは、例えば、後述の温度サイクル試験（ＴＣＴ）における規格として定められた１２５℃から−５５℃の温度変化を適用して、ΔＴ＝１８０Ｋとすることができる。また、Ｆは、パッケージ用基板についての温度サイクル試験（ＴＣＴ）の評価結果から求めたｗ３の下限値から、（式１）を用いて逆算的に求めることができる。
【００３７】
幅ｗ３を算出するためのαとＥの計算方法は以下の表１に示す条件と、以下の（式２）から（式４）を用いた。
【００３８】
【表１】
2017126606.tif 000005
【００３９】
絶縁層２０と配線層３０の合成物性値α、Ｅ、ｄを以下の（式２）から（式４）を用いて計算すればよい。配線層３０は絶縁層２０内に埋め込まれているため、ｄは以下の（式２）で表される。
ｄ＝ｄ１      （式２）
【００４０】
（式２）に示されるように、絶縁層２０の厚みｄ１を絶縁層２０及び配線層３０の厚みを合計した合成厚みｄとみなすことができる。
【００４１】
ここで、配線層３０は配線パターンに従って形成されているため、実際には表面の全面には形成されていないが、一般化のため計算では表面の全面に形成されているものとすると（全面にあると仮定したほうがコア基板の割れの発生に対してはより厳しい条件となる）、厚みｄ１及びｄ２の比率は絶縁層２０及び配線層３０の体積比と等しいため、合成ヤング率Ｅは、以下の（式３）を用いて求めることができる。
【数３】
2017126606.tif 000006
【００４２】
各層が表面の全面に形成されているものと仮定した場合の絶縁層２０及び配線層３０のそれぞれの体積Ｖ１、Ｖ２とし、絶縁層２０及び配線層３０のそれぞれのポアソン比をν１、ν２とすると、合成線膨張係数（ＣＴＥ）αは、以下の（式４）で表される。
【数４】
2017126606.tif 000007
【００４３】
Ｆを実験的に求めた後、（式１）において上記の（式２）から（式４）を用いることにより、配線層３０及び絶縁層２０の線膨張係数、ヤング率、厚み、ポアソン比及び体積に応じた幅ｗ３を求めることができる。
【００４４】
このようなパッケージ用基板２００とすることにより、コア基板１０と、絶縁層２０と、配線層３０の熱応力差による、コア基板１０の端面に対する引っ張り応力を低減し、応力によるコア基板１０の割れの発生を低減することができる。また、絶縁層２０の外周部分をコア基板１０上に厚みｄｓで残した薄層部分２１を設けることで、コア基板１０の表裏面を保護し、コア基板１０のチッピングを抑制することができる。
【００４５】
（実施例）
以下、本発明の実施例について説明するが、以下の実施例は本発明の適用範囲を限定するものではない。
【００４６】
（実施例１）
コア基板１０をアルミノ珪酸塩ガラスで構成し、コア基板１０の板厚寸法を３００μｍとした。セミアディティブ法を使用してコア基板１０の厚さ方向の両面に銅めっきにより５μｍの厚みの配線層３０を形成した。コア基板１０に配線層３０を積層した後は、コア基板１０の両面からエポキシ配合樹脂である絶縁性材料を１９０℃で真空ラミネートすることにより積層し、絶縁層２０を形成した。さらに、配線層３０の形成と絶縁層２０の形成を繰り返すことで、コア基板１０の両面に、４層の配線層３０と３層の絶縁層２０を積層することにより図３に示す配線基板１００を得た。コア基板１０の両面ともに、絶縁層２０の厚みｄ１は６０μｍであった。
【００４７】
次に、図４及び図５に示すように、配線基板１００を個片化するための絶縁層２０の所定の位置で、先端の幅ｗ１が３９０μｍの第１のダイシングブレード５０を用いて、片面側から、底面の溝幅ｗ１が３９０μｍ、深さが４５μｍの分離溝４０を絶縁層２０に設けた。また、図６に示すように、裏面側からも、幅ｗ１が３９０μｍ、深さが４５μｍの分離溝４０を絶縁層２０に設けた。
【００４８】
分離溝４０の作製後、図７及び図８に示すように分離溝４０の溝幅内の中央部分の位置で、先端の幅ｗ２が１５０μｍの第２のダイシングブレード６０を用いて絶縁層２０及びコア基板１０をダイシングして配線基板１００を個片化することにより、パッケージ用基板２００を得た。パッケージ用基板２００の大きさは１０ｍｍ×１０ｍｍ（Ｌ＝１０ｍｍ）とした。その結果、薄層部分２１の幅ｗ３は１２０μｍ、薄層部分２１の厚みｄｓは１５μｍだった。
【００４９】
実施例１では、線膨張係数、ヤング率、厚み、ポアソン比及び体積について、以下の表２の値を用いた。
【００５０】
【表２】
2017126606.tif 000008
【００５１】
ΔＴは、後述の温度サイクル試験（ＴＣＴ）における規格として定められた１２５℃から−５５℃の温度変化を適用して、ΔＴ＝１８０Ｋとし、薄層部分２１の幅ｗ３は１２０μｍとした。
【００５２】
実施例１において作製した１０個のパッケージ用基板２００に対し、１２５℃から−５５℃の温度変化を与える温度サイクル試験（ＴＣＴ）ＭＩＬ−ＳＴＤ−８８３Ｈを１０００サイクル行った。その結果、作製したパッケージ用基板２００においてコア基板１０の割れなど信頼性の低下は起きなかった。
【００５３】
（実施例２）
実施例２では、実施例１で用いた配線基板と同じ条件の配線基板１００に対して、第１のダイシングブレード５０の先端の幅ｗ１を４５０μｍに変更し、第２のダイシングブレード６０の先端の幅等の条件を含めその他の条件は実施例１と同じにした。その結果、実施例２では、両面の分離溝４０の幅ｗ１が４５０μｍ、薄層部分２１の幅ｗ３が１５０μｍのパッケージ用基板２００を得た。
【００５４】
実施例２において作製した１０個のパッケージ用基板２００に対し、１２５℃から−５５℃の温度変化を与える温度サイクル試験ＭＩＬ−ＳＴＤ−８８３Ｈを１０００サイクル行った。その結果、作製したパッケージ用基板２００においてコア基板１０の割れなど信頼性の低下は起きなかった。
【００５５】
（実施例３）
実施例３では、実施例１で用いた配線基板と同じ条件の配線基板１００に対して、第１のダイシングブレード５０の先端の幅ｗ１を７５０μｍに変更し、第２のダイシングブレード６０の先端の幅等の条件を含めその他の条件は実施例１と同じにした。その結果、実施例３では、分離溝４０の幅ｗ１が７５０μｍ、薄層部分２１の幅ｗ３が３００μｍのパッケージ用基板２００を得た。
【００５６】
実施例３において作製した１０個のパッケージ用基板２００に対し、１２５℃から−５５℃の温度変化を与える温度サイクル試験ＭＩＬ−ＳＴＤ−８８３Ｈを１０００サイクル行った。その結果、作製したパッケージ用基板２００においてコア基板１０の割れなど信頼性の低下は起きなかった。
【００５７】
（実施例４）
実施例４では、ｄｓを３０μｍとした以外は、実施例１と同様にすることにより、パッケージ用基板２００を得た。
【００５８】
実施例４において作製した１０個のパッケージ用基板２００に対し、１２５℃から−５５℃の温度変化を与える温度サイクル試験ＭＩＬ−ＳＴＤ−８８３Ｈを１０００サイクル行った。その結果、作製したパッケージ用基板２００においてコア基板１０の割れなど信頼性の低下は起きなかった。
【００５９】
（実施例５）
実施例５では、ｄｓを４５μｍとした以外は、実施例１と同様にすることにより、パッケージ用基板２００を得た。
【００６０】
実施例５において作製した１０個のパッケージ用基板２００に対し、１２５℃から−５５℃の温度変化を与える温度サイクル試験ＭＩＬ−ＳＴＤ−８８３Ｈを１０００サイクル行った。その結果、作製したパッケージ用基板２００においてコア基板１０の割れなど信頼性の低下は起きなかった。
【００６１】
（比較例）
（比較例１）
分離溝４０を形成しない、すなわち薄層部分２１を形成しない以外は、実施例１と同様にして、１０ｍｍ×１０ｍｍのパッケージ用基板を得た。比較例１において作製したパッケージ用基板を３日常温で放置したところ、１０個の内７個コア基板の割れが起きた。
【００６２】
（比較例２）
比較例２では、薄層部分２１の幅ｗ３を６０μｍ、ｄｍを５５μｍ、ｄｓを５μｍとした以外は、実施例１と同様にして、１０ｍｍ×１０ｍｍのパッケージ用基板を得た。
【００６３】
比較例２において作製したパッケージ用基板を３日常温で放置したところ、１０個の内７個コア基板の割れが起きた。
【００６４】
（評価結果）
以下の表３は各実施例及び比較例の評価結果をまとめたものである。
【００６５】
【表３】
2017126606.tif 000009
【００６６】
表３に示されるように、実施例１乃至５のようなコア基板１０、絶縁層２０及び配線層３０の条件では、薄層部分２１の幅ｗ３を１２０μｍ以上とすることにより、コア基板の切断面に破壊が生じることを抑制可能なパッケージ用基板を提供することができると考えられる。
【００６７】
ここで、上記評価結果から薄層部分２１の幅ｗ３の下限値を１２０μｍとし、上記（式１）を用いてｗ３＝１２０μｍを代入してＦを逆算すると、Ｆ＝６３７×１０７［Ｐａ］となった。従って、コア基板１０がガラスで構成されている場合、上記（式１）にＦ＝６３７×１０７［Ｐａ］を代入することにより、薄層部分２１の幅ｗ３を以下の（式５）に従って求めることができる。
【数５】
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【００６８】
コア基板１０がガラスで構成されている場合、上記（式５）を利用することで、絶縁層２０及び配線層３０の積層体の条件が変わっても、薄層部分２１の幅ｗ３を見積もることが可能であると考えられる。
【００６９】
以上のように、パッケージ用基板２００において、絶縁層２０の外周部分を部分的に除去することにより薄層部分２１を形成した本発明のパッケージ用基板２００は、コア基板１０の割れにつながる微小なクラックの、熱応力による拡大を抑制させることができたと考えられる。
【００７０】
なお、図２では、パッケージ用基板２００は、上面側から見た場合に正方形となるように示したが、これに限定されず、上面側から見た場合に例えば長方形となるように構成してもよい。
【符号の説明】
【００７１】
１０  コア基板
２０  絶縁層
２１  薄層部分
３０  配線層
４０  分離溝
５０  第１のダイシングブレード
６０  第２のダイシングブレード
１００  配線基板
２００  パッケージ用基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【国際調査報告】
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