(57)【要約】撮像装置１は、受光面１０ＳＡと対向面１０ＳＢと第１の角度θ１で傾斜している傾斜面１０ＳＳとを有し、受光面１０ＳＡに複数の受光面電極１２が形成されている撮像素子１０と、カバーガラス３０と、複数の受光面電極１２のそれぞれと、それぞれが接続されている複数の配線４１Ｗを有する配線板４０と、を具備し、カバーガラス３０および複数の受光面電極１２が傾斜面１０ＳＳの端辺の外側まで延設されており受光面電極１２の裏面が対向面側に露出しており、配線４１Ｗの先端部が、第１の角度θ１に対して補角の関係にある第２の角度θ２に曲がった、受光面電極１２と電気的に接続されているフライングリードであり、配線板４０の先端部が撮像素子１０の対向面１０ＳＢに固定されている。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
受光部が形成されている受光面と、前記受光面と対向している対向面と、前記受光面に対して鋭角の第１の角度で傾斜している傾斜面と、を有し、前記受光面に前記受光部と電気的に接続された複数の受光面電極が形成されている、撮像素子と、
前記受光面を覆うように接着されている透明部材と、
前記撮像素子の前記複数の受光面電極のそれぞれと、それぞれが接続されている複数の配線を有する配線板と、を具備し、
前記透明部材および前記複数の受光面電極が前記傾斜面の端辺の外側まで延設されており、
前記受光面電極の裏面が前記対向面側に露出している撮像装置であって、
前記複数の配線のそれぞれの先端部が、前記第１の角度に対して補角の関係にある第２の角度に曲がった、前記受光面電極のそれぞれと電気的に接続されているフライングリードであり、
前記配線板の先端部が、前記撮像素子の前記対向面に固定されていることを特徴とする撮像装置。
【請求項２】
前記撮像素子が、前記複数の受光面電極から前記傾斜面まで、それぞれが延設されている複数の傾斜面電極を有し、
それぞれの前記フライングリードが、それぞれの前記傾斜面電極と接合されていることを特徴とする請求項１に記載の撮像装置。
【請求項３】
前記撮像素子が、前記複数の受光面電極から前記傾斜面まで、それぞれが延設されている複数の傾斜面電極を有し、
前記複数のフライングリードが、交互に配置されている第１のフライングリードと第２のフライングリードとからなり、
前記第１のフライングリードが、前記傾斜面電極と接合されており、
前記第２のフライングリードが、前記受光面電極と接合されていることを特徴とする請求項１に記載の撮像装置。
【請求項４】
それぞれの前記フライングリードが、それぞれの前記受光面電極と接合されていることを特徴とする請求項１に記載の撮像装置。
【請求項５】
前記撮像素子が、前記複数の受光面電極から前記傾斜面まで、それぞれが延設されている複数の傾斜面電極を有し、
フライングリードが、前記傾斜面電極および前記受光面電極と接合されていることを特徴とする請求項１に記載の撮像装置。
【請求項６】
前記複数の傾斜面電極にそれぞれ半田層が形成されており、
フライングリードが、前記半田層により、前記傾斜面電極および前記受光面電極と接合されていることを特徴とする請求項５に記載の撮像装置。
【請求項７】
前記撮像素子の前記対向面に、複数の第１の接合電極が配設されており、
前記配線板の前記先端面に、複数の第２の接合電極が配設されており、
複数の第１の接合電極のそれぞれが、複数の第２の接合電極のそれぞれと半田接合されていることを特徴とする請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の撮像装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、受光部と電気的に接続されている複数の電極が列設されている撮像素子と、前記撮像素子の前記複数の電極のそれぞれと接合されている複数の配線が列設されている配線板と、を具備する撮像装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ウエハレベルＣＳＰ技術により作製される撮像装置は小型であるため、内視鏡の細径化に大きく寄与している。【０００３】
ウエハレベルＣＳＰ型の撮像装置の製造方法では、最初に、半導体ウエハの受光面に、複数の受光部と、それぞれの受光部と電気的に接続された複数の受光面電極が形成される。受光部は、ＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）イメージセンサ、または、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）等からなる画素エリアである。半導体ウエハの受光面にガラスウエハが接着されて接合ウエハが作製される。そして、接合ウエハの受光面から対向する対向面まで到達する複数の貫通配線が形成される。【０００４】
接合ウエハの切断により得られた撮像素子の受光面はカバーガラスで覆われている。しかし、受光部は貫通配線を介して対向面の電極と接続されているため、電気信号を送受信できる。【０００５】
日本国特開２０１４−７５７６４号公報には、図１に示す撮像装置１０１が開示されている。撮像装置１０１は、複数の貫通配線に替えて、１つの貫通トレンチ１１０Ｔに複数の接続配線を配置している。【０００６】
撮像装置１０１は、カバーガラス１３０が接着層１２０により接着されている撮像素子１１０と、配線板１４０と、信号ケーブル１５０と、を有する。撮像素子１１０には壁面が傾斜している貫通トレンチ１１０Ｔが形成されている。カバーガラス１３０および接着層１２０は、前記傾斜面の端辺の外側、すなわち、貫通トレンチ１１０Ｔの底面まで延設されている。受光面１１０ＳＡの受光面電極１１２は貫通トレンチ１１０Ｔの底面まで延設されているため、受光面電極１１２の裏面が貫通トレンチ１１０Ｔの底面に露出している。貫通トレンチ１１０Ｔの傾斜している壁面（傾斜面）１１０ＳＳには、それぞれが貫通トレンチ１１０Ｔの底面（受光面電極１１２の直上）から延設された複数の接合電極１１４が列設されている。接合電極１１４にはバンプ１１５が配設されている。なお、傾斜面１１０ＳＳは撮像素子１１０の受光面１０ＳＡに対して鋭角の第１の傾斜角度θ１で傾斜している。【０００７】
複数の接合電極１１４のそれぞれは、バンプ１１５を介して配線板１４０の主面１４０ＳＡの端部に列設された複数の接合電極１４１と接合されている。すなわち、配線板１４０は主面１４０ＳＡが、撮像素子１１０の対向面１１０ＳＢに対して第１の傾斜角度θ１で傾斜している。そして、配線板１４０のもう一方の端部の第２の接合電極（不図示）には信号ケーブル１５０が接合されている。【０００８】
なお、可撓性を有する配線板１４０および信号ケーブル１５０は、撮像素子１１０の投影面内に配置されているため、撮像装置１０１の外寸（平面視寸法）は、撮像素子１１０の外寸と同じである。【０００９】
しかし、撮像装置１０１では、撮像素子１１０と配線板１４０とが、接合電極１１４と接合電極１４１との接合部だけで固定されている。このため、撮像装置１０１は、機械的強度が十分ではなく取り扱うときに破損しやすく、歩留まりが高くはないおそれがあった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開２０１４−０７５７６４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明は、歩留まりの高い撮像装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の実施形態の撮像装置は、受光部が形成されている受光面と、前記受光面と対向している対向面と、前記受光面に対して鋭角の第１の角度で傾斜している傾斜面と、を有し、前記受光面に前記受光部と電気的に接続された複数の受光面電極が形成されている、撮像素子と、前記受光面を覆うように接着されている透明部材と、前記撮像素子の前記複数の受光面電極のそれぞれと、それぞれが接続されている複数の配線を有する配線板と、を具備し、前記透明部材および前記複数の受光面電極が前記傾斜面の端辺の外側まで延設されており、前記受光面電極の裏面が前記対向面側に露出している撮像装置であって、前記複数の配線のそれぞれの先端部が、前記第１の角度に対して補角の関係にある第２の角度に曲がった、前記受光面電極のそれぞれと電気的に接続されているフライングリードであり、前記配線板の先端部が、前記撮像素子の前記対向面に固定されている。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、歩留まりの高い撮像装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】従来の撮像装置の斜視図である。
【図２】第１実施形態の撮像装置の斜視図である。
【図３】第１実施形態の撮像装置の図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿った断面図である。
【図４】第２実施形態の撮像装置の斜視図である。
【図５】第２実施形態の撮像装置の図４のＶ−Ｖ線に沿った断面図である。
【図６】第３実施形態の撮像装置の斜視図である。
【図７】第３実施形態の撮像装置の図６のＶＩＩ−ＶＩＩ線に沿った断面図である。
【図８】第４実施形態の撮像装置の断面図である。
【図９】第５実施形態の撮像装置の斜視図である。
【図１０】第５実施形態の撮像装置の図９のＸ−Ｘ線に沿った断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
＜第１実施形態＞
以下、図面を参照して本発明の第１実施形態の撮像装置１を説明する。尚、図面は模式的なものであり、各部材の厚みと幅との関係、それぞれの部材の厚みの比率、接合電極の数、配列ピットなどは現実のものとは異なる。また、図面の相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれている。さらに、一部の構成、例えば、シリコン基板の表面の酸化シリコン層および配線等は図示を省略している、また、電子部品等の図示を省略する場合がある。
【００１６】
図２および図３に示すように、撮像装置１は、シリコン基板からなる撮像素子１０と、透明部材であるカバーガラス３０と、配線板４０と、信号ケーブル５０と、を具備する。撮像素子１０の受光面１０ＳＡは接着層２０を介してカバーガラス３０に覆われている。
【００１７】
撮像素子１０は、すでに説明した従来の撮像装置１０１の撮像素子１１０と略同じ構成である。すなわち、シリコンからなる撮像素子１０は、受光部１１が形成されている受光面１０ＳＡと、受光面１０ＳＡと対向している対向面１０ＳＢと、受光面１０ＳＡに対して鋭角の第１の角度θ１で傾斜している傾斜面１０ＳＳと、を有する。受光面１０ＳＡには、受光部１１と電気的に接続された複数の受光面電極１２が形成されている。
【００１８】
ただし、撮像素子１１０と異なり、撮像素子１０では、受光面１０ＳＡに対して第１の角度θ１に傾斜している傾斜面１０ＳＳを壁面とするのは、貫通トレンチ（１０Ｔ）ではなく、切り欠き１０ＴＴである。すなわち、接合ウエハを切断するときの切断線が貫通トレンチの底面にある場合には、切断により貫通トレンチは切り欠き１０ＴＴとなる。
【００１９】
傾斜面１０ＳＳを有する貫通トレンチの形成には、異方性エッチングを好ましく用いることができる。異方性エッチングとしては、水酸化テトラメチルアンモニウム（ＴＭＡＨ）水溶液、水酸化カリウム（ＫＯＨ）水溶液などを用いるウエットエッチング法が望ましいが、反応性イオンエッチング（ＲＩＥ）、ケミカルドライエッチング（ＣＤＥ）などのドライエッチング法も用いることができる。
【００２０】
たとえば、撮像素子１０として受光面１０ＳＡが（１００）面のシリコン基板を用いた場合には、（１１１）面のエッチング速度が（１００）面に比べて遅い異方性エッチングとなるため、貫通トレンチの壁面は（１１１）面となり、受光面１０ＳＡである（１００）面との角度θ１が５４．７４度の傾斜面となる。
【００２１】
撮像素子１０のカバーガラス３０、接着層２０および受光面電極１２は、切り欠き１０ＴＴの傾斜面１０ＳＳの端辺の外側（貫通トレンチ１１０Ｔの底面）まで延設されている。製造時には、撮像素子１０となるシリコンウエハの受光面に受光面電極１２が配設され、受光面電極１２上に接着層２０を介してカバーガラス３０が接着される。接着層２０は、例えば、透明な紫外線硬化型樹脂からなる。なお、受光部１１の上にマイクロレンズアレイを配設し、受光部１１の周囲を接着層により接着してもよい。
【００２２】
カバーガラス３０となるガラスウエハが接合されたシリコンウエハが、対向面１０ＳＢ側からエッチングされて除去されている。このため、切り欠き１０ＴＴの底面、言い替えれば傾斜面１０ＳＳの端辺の外側には受光面電極１２の裏面が露出している。
【００２３】
そして、傾斜面１０ＳＳには、それぞれが受光面電極１２と電気的に接続された複数の傾斜面電極１３のバンプ１５が列設されている。受光面電極１２の裏面上に一部が配設されている傾斜面電極１３は、受光部１１と電気的に接続されている。
【００２４】
配線板４０は、例えばポリイミドを絶縁層とするフレキシブル配線板である。そして、配線板４０の第２の主面４０ＳＢの先端部は、例えば熱硬化型樹脂からなる接着層１８を介して、撮像素子１０の対向面１０ＳＢに固定されている。
【００２５】
第１の主面４０ＳＡにはチップコンデンサ等の電子部品６９が実装されている。なお、第２の主面４０ＳＢにも電子部品６９が実装されていてもよい。
【００２６】
配線板４０は、端面にフライングリード４１が列設されている。フライングリード４１は、リードフレームではアウターリードとよばれており、配線板４０の絶縁性基体が選択的に除去された導体配線４１Ｗの先端部である。フライングリード４１は容易に折り曲げることができる。フライングリード４１は、第１の角度θ１に対して補角の関係にある第２の角度θ２で折り曲げられている。すなわち、第１の角度θ１と第２の角度θ２とは加算すると１８０度である。このため、フライングリード４１は、基端部は、対向面１０ＳＢに平行であるが、先端部は傾斜面１０ＳＳと略平行になっている。そして、フライングリード４１の先端部は、バンプ１５を介して、撮像素子１０の傾斜面１０ＳＳの傾斜面電極１３と接合されている。バンプ１５は、例えば、フレームめっき法により配設されたＳｎ合金からなる半田バンプ、または、金スタッドバンプ等である。
【００２７】
なお、配線板４０は、先端部がフライングリード４１となっている中間層の配線４１Ｗだけでなく、第１の主面４０ＳＡと第２の主面４０ＳＢとにも、それぞれ導体配線（不図示）を有し、第１の主面４０ＳＡと中間層との間、および第２の主面４０ＳＢと中間層との間に、それぞれ絶縁層を有する多層配線板である。しかし、単層配線板または両面配線板であっても、配線４１Ｗの先端部がフライングリード４１であれば配線板４０として用いることができる。
【００２８】
また、フライングリード４１と傾斜面電極１３との接合箇所は封止樹脂により封止されていてもよい。
【００２９】
配線板４０の第２の主面４０ＳＢの後端部側に列設された接合電極４２に、信号ケーブル５０の導線５１が接合されている。信号ケーブル５０も撮像素子１０の投影面内に収容されている。なお、複数の接合電極４２は、配線板４０の第１の主面４０ＳＡに配設されていてもよいし、第１の主面４０ＳＡおよび第２の主面４０ＳＢに配設されていてもよい。
【００３０】
撮像装置１は、配線板４０と撮像素子１０とが、フライングリード４１と傾斜面電極１３との接合箇所だけでなく、平行に配置された配線板４０の先端部の第２の主面４０ＳＢと、撮像素子１０の対向面１０ＳＢとが、接着層１８により固定されている。このため、撮像装置１は取り扱うときに破損するおそれが小さく、製造が容易で、かつ、歩留まりが高いため安価である。
【００３１】
また、配線板４０は、撮像素子１０と接着されていない後端部は折り曲げられている。このため、配線板４０は、撮像素子１０の厚み方向から平面視すると、撮像素子１０の内側の領域、すなわち撮像素子１０の投影面内に、全体が配置されている。配線板４０は、ガラスエポキシ樹脂等からなる非可撓性基板であってもよいが、長さが長い場合には、撮像素子１０の投影面内に収容するためには、少なくとも折り曲げ領域だけは可撓性でなければならない。
【００３２】
撮像装置１は、配線板４０および信号ケーブル５０が撮像素子１０の外形よりも外側にはみ出していないため、細径である。
【００３３】
なお、配線板４０の長さが短い場合には、非可撓性配線板であっても撮像素子１０の投影面内に収容できることは言うまでも無い。
【００３４】
また、配線板４０は先端部が撮像素子１０の対向面１０ＳＢの略全面と接着されていてもよいし、撮像素子１０の投影面内に収容することができれば、折り曲げ角度は鈍角でもよい。さらに、配線板４０は撮像素子１０との接合端部が折り曲げられているだけでなく、後端部がさらに折り曲げられていてもよい。
【００３５】
＜第２実施形態＞
次に第２実施形態の変形例の撮像装置１Ａについて説明する。撮像装置１Ａは、撮像装置１と類似し、同じ効果を有しているため、同じ機能の構成要素には同じ符号を付し説明は省略する。また、以下の図においては、電子部品の図示は省略する。
【００３６】
図４および図５に示すように、撮像装置１Ａの配線板４０Ａでは、複数のフライングリード４１が複数の第１のフライングリード４１Ａと複数の第２のフライングリード４１Ｂとからなる。第１のフライングリード４１Ａと第２のフライングリード４１Ｂとは、交互に配置されている。
【００３７】
そして、第１のフライングリード４１Ａが、傾斜面１０ＳＳの傾斜面電極１３とバンプ１５Ａを介して接合されており、第２のフライングリード４１Ｂが、受光面電極１２とバンプ１５Ｂを介して接合されている。バンプ１５Ａとバンプ１５Ｂは、同じ種類のバンプでもよいし、一方が半田バンプで他方がスタッドバンプでもよい。
【００３８】
撮像装置１Ａは、複数のフライングリード４１の配設間隔が狭くても、接合部において隣り合うフライングリード４１Ａ、４１Ｂが短絡するおそれがない。
【００３９】
なお、撮像装置１Ａでは、従来の撮像装置１０１の撮像素子１１０と同じように、第１の角度θ１に傾斜している傾斜面１０ＳＳを壁面とするのは、貫通トレンチ（１０Ｔ）である。そして、撮像装置１Ａでは、撮像素子１０Ａよりも後方側（カバーガラス３０と反対側）に位置する配線板４０Ａおよび信号ケーブル５０は、撮像素子１０の厚み方向から平面視すると、撮像素子１０の内側の領域、すなわち撮像素子１０Ａの投影面内に、全体が配置されている。
【００４０】
＜第３実施形態＞
次に第３実施形態の変形例の撮像装置１Ｂについて説明する。撮像装置１Ｂは、撮像装置１、１Ａと類似し、同じ効果を有しているため、同じ機能の構成要素には同じ符号を付し説明は省略する。
【００４１】
図６および図７に示すように、撮像装置１Ｂの配線板４０Ｂのフライングリード４１Ｂは、バンプ１５Ｂを介して受光面電極１２の裏面と接合されている。
【００４２】
撮像素子１０Ｂの受光面電極１２の裏面のバンプ１５Ｂは、例えば、フレームめっき法により配設されたＳｎ合金からなる半田バンプ等である。
【００４３】
撮像装置１Ｂは、傾斜面電極を配設する必要がないので、撮像装置１よりも製造が容易である。
【００４４】
＜第４実施形態＞
次に第４実施形態の変形例の撮像装置１Ｃについて説明する。撮像装置１Ｃは、撮像装置１、１Ａ、１Ｂと類似し、同じ効果を有しているため、同じ機能の構成要素には同じ符号を付し説明は省略する。
【００４５】
図８に示すように、撮像装置１Ｃの配線板４０Ｃのフライングリード４１Ｂは、撮像素子１０Ｃの傾斜面電極１３とバンプ１５Ａを介して接合されており、さらにバンプ１５Ｂを介して受光面電極１２と接合されている。
【００４６】
撮像装置１Ｃは、フライングリードが２箇所で接合されているので、接合信頼性が高い。なお、バンプ１５Ａとバンプ１５Ｂは、同じ種類のバンプでもよいが、一方が半田バンプで他方がスタッドバンプであることが好ましい。異なる接合方法により２箇所で接合されている撮像装置は、より接合信頼性が高い。
【００４７】
＜第５実施形態＞
次に第５実施形態の変形例の撮像装置１Ｄについて説明する。撮像装置１Ｄは、撮像装置１、１Ａ〜１Ｃと類似し、同じ効果を有しているため、同じ機能の構成要素には同じ符号を付し説明は省略する。
【００４８】
図９および図１０に示すように、撮像装置１Ｃの撮像素子１０Ｄの傾斜面電極１３および受光面電極１２に厚付けの半田層１５Ｄが形成されている。そして、配線板４０Ｄのフライングリード４１Ｄが、半田層１５Ｄにより、半田層１５Ｄを介して傾斜面電極１３および受光面電極１２と接合されている。半田層１５Ｄは、例えば、フレームめっき法により配設されたＳｎ合金からなる。
【００４９】
また、撮像装置１Ｄでは、撮像素子１０Ｄの対向面１０ＳＢに、複数の第１の接合電極１９が配設されており、配線板４０Ｄの第１の主面４０ＳＡの先端部（先端面）に、複数の第２の接合電極４９が配設されている。第１の接合電極１９は、第２の接合電極４９と半田接合されている。
【００５０】
すなわち、複数の第１の接合電極１９と複数の第２の接合電極４９とは、同じようにマトリックス配置されている。第１の接合電極１９にはバンプ（不図示）が配設されている。バンプは、例えば、フレームめっき法により配設されたＳｎ合金からなる。
【００５１】
撮像装置１Ｄは、フライングリード４１Ｄと傾斜面電極１３との接合部が長い（広い）ために、接合信頼性が高い。また、撮像素子１０Ｄは発生した熱が、対向面１０ＳＢから第１の接合電極１９および第２の接合電極４９を介して配線板４０Ｄに伝熱されるため、高温になりにくい。このため、撮像装置１Ｄは、動作が安定している。
【００５２】
本発明は上述した実施形態、または変形例等に限定されるものではなく、本発明の要旨を変えない範囲において、種々の変更、改変、組み合わせ等ができる。
【符号の説明】
【００５３】
１、１Ａ〜１Ｄ…撮像装置
１０…撮像素子
１０ＳＡ…受光面
１０ＳＢ…対向面
１０ＳＳ…傾斜面
１１…受光部
１２…受光面電極
１３…傾斜面電極
１５…バンプ
１８…接着層
１９…第１の接合電極
２０…接着層
３０…カバーガラス
４０…配線板
４０Ｗ…配線
４１…フライングリード
４２…接合電極
４９…第２の接合電極
５０…信号ケーブル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2016166888.tif 000007
【図６】
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【図７】
2016166888.tif 000009
【図８】
2016166888.tif 000010
【図９】
2016166888.tif 000011
【図１０】
2016166888.tif 000012
【手続補正書】
【提出日】平成28年7月14日(2016.7.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
受光部が形成されている受光面と、前記受光面と対向している対向面と、前記受光面に対して鋭角の第１の角度で傾斜している傾斜面と、を有し、前記受光面に前記受光部と電気的に接続された複数の受光面電極が形成されている、撮像素子と、
前記受光面を覆うように接着されている透明部材と、
第１の主面と第２の主面とを有し、前記撮像素子の前記複数の受光面電極のそれぞれと、それぞれが接続されている複数の配線を有する配線板と、を具備し、
前記透明部材および前記複数の受光面電極が前記傾斜面の端辺の外側まで延設されており、
前記受光面電極の裏面が前記対向面側に露出している撮像装置であって、
前記複数の配線のそれぞれの先端部が、前記第１の角度に対して補角の関係にある第２の角度に曲がった、前記受光面電極のそれぞれと電気的に接続されているフライングリードであり、
前記配線板の先端部の前記第２の主面が、前記第２の主面と平行に配置された前記撮像素子の前記対向面に、直接固定されていることを特徴とする撮像装置。
【請求項２】
前記撮像素子が、前記複数の受光面電極から前記傾斜面まで、それぞれが延設されている複数の傾斜面電極を有し、
それぞれの前記フライングリードが、それぞれの前記傾斜面電極と接合されていることを特徴とする請求項１に記載の撮像装置。
【請求項３】
前記撮像素子が、前記複数の受光面電極から前記傾斜面まで、それぞれが延設されている複数の傾斜面電極を有し、
前記複数のフライングリードが、交互に配置されている第１のフライングリードと第２のフライングリードとからなり、
前記第１のフライングリードが、前記傾斜面電極と接合されており
前記第２のフライングリードが、前記受光面電極と接合されていることを特徴とする請求項１に記載の撮像装置。
【請求項４】
それぞれの前記フライングリードが、それぞれの前記受光面電極と接合されていることを特徴とする請求項１に記載の撮像装置。
【請求項５】
前記撮像素子が、前記複数の受光面電極から前記傾斜面まで、それぞれが延設されている複数の傾斜面電極を有し、
フライングリードが、前記傾斜面電極および前記受光面電極と接合されていることを特徴とする請求項１に記載の撮像装置。
【請求項６】
前記複数の傾斜面電極にそれぞれ半田層が形成されており、
フライングリードが、前記半田層により、前記傾斜面電極および前記受光面電極と接合されていることを特徴とする請求項５に記載の撮像装置。
【請求項７】
前記撮像素子の前記対向面に、複数の第１の接合電極が配設されており、
前記配線板の前記先端面に、複数の第２の接合電極が配設されており、
複数の第１の接合電極のそれぞれが、複数の第２の接合電極のそれぞれと半田接合されていることを特徴とする請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の撮像装置。
【請求項８】
前記配線板の先端部の前記第２の主面が、その先端まで前記撮像素子の前記対向面に、直接固定されていることを特徴とする請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の撮像装置。
【国際調査報告】
2016166888.tif 000013
2016166888.tif 000014