(57)【要約】  本発明の課題は、搬送時のフィルムの伸び又はたるみによるフィルムの欠陥が少ないフィルム搬送装置、フィルム搬送方法及び成膜装置を提供することである。  本発明のフィルム搬送装置は、複数のクリップ（２）と前記複数のクリップが取り付けられたローラーチェーン（３）と前記ローラーチェーンを巻き回す複数のスプロケット（４）と、を備え、各クリップの前記フィルムの把持位置とローラーチェーンの移動中心線との距離が０．５ｍｍの範囲内にあり、各クリップのフィルムの把持幅の長さをＬ１（ｍｍ）、各クリップの配置間隔の長さをＬ２（ｍｍ）、スプロケットにより回転するときの各クリップがなす角度をθ（°）と表すとき、長さＬ１に対する長さＬ２の比の値Ｌ２／Ｌ１が、下記式（１）に示す範囲内にあることを特徴とする。  （１） （５．４×θ／３６０＋１．５）≦Ｌ２／Ｌ１≦２０．０
2016190274.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フィルムを把持する複数のクリップと、前記複数のクリップが取り付けられたローラーチェーンと、フィルムの搬送経路に沿って配置され、前記ローラーチェーンを巻き回す複数のスプロケットと、を備えるフィルム搬送装置であって、  前記各クリップの前記フィルムの把持位置と前記ローラーチェーンの移動中心線との距離が、０．５ｍｍの範囲内にあり、  前記各クリップのフィルムの把持幅の長さをＬ１（ｍｍ）、前記各クリップの配置間隔の長さをＬ２（ｍｍ）、前記スプロケットにより回転するときの各クリップがなす角度をθ（°）と表すとき、前記長さＬ１に対する前記長さＬ２の比の値Ｌ２／Ｌ１が、下記式（１）に示す範囲内にあることを特徴とするフィルム搬送装置。  （１）  （５．４×θ／３６０＋１．５）≦Ｌ２／Ｌ１≦２０．０
【請求項２】
前記長さＬ１に対する前記長さＬ２の比の値Ｌ２／Ｌ１が、下記式（２）に示す範囲内にあり、かつ前記角度θが１５〜６０°の範囲内にあることを特徴とする請求項１に記載のフィルム搬送装置。  （２）  ３．０≦Ｌ２／Ｌ１≦２０．０
【請求項３】
前記ローラーチェーンの各チェーンの間隔の長さをＬ３（ｍｍ）と表すとき、前記長さＬ１（ｍｍ）が下記式（３）に示す範囲内にあることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のフィルム搬送装置。  （３）  ５．０ｍｍ≦Ｌ１≦Ｌ３
【請求項４】
フィルムを把持する複数のクリップを取り付けたローラーチェーンを、フィルムの搬送経路に沿って配置された複数のスプロケットによって巻き回すことにより、前記フィルムを搬送するフィルム搬送方法であって、  前記各クリップの前記フィルムの把持位置と前記ローラーチェーンの移動中心線との距離を、０．５ｍｍの範囲内に調整し、  前記各クリップのフィルムの把持幅の長さをＬ１（ｍｍ）、前記各クリップの配置間隔の長さをＬ２（ｍｍ）、前記スプロケットにより回転するときの各クリップがなす角度をθ（°）と表すとき、前記長さＬ１に対する前記長さＬ２の比の値Ｌ２／Ｌ１を、下記式（１）に示す範囲内に調整することを特徴とするフィルム搬送方法。  （１）  （５．４×θ／３６０＋１．５）≦Ｌ２／Ｌ１≦２０．０
【請求項５】
前記長さＬ１に対する前記長さＬ２の比の値Ｌ２／Ｌ１を、下記式（２）に示す範囲内に調整し、かつ前記角度θを１５〜６０°の範囲内に調整することを特徴とする請求項４に記載のフィルム搬送方法。  （２）  ３．０≦Ｌ２／Ｌ１≦２０．０
【請求項６】
前記ローラーチェーンの各チェーンの間隔の長さをＬ３（ｍｍ）と表すとき、前記長さＬ１を下記式（３）に示す範囲内に調整することを特徴とする請求項４又は請求項５に記載のフィルム搬送方法。  （３）  ５．０ｍｍ≦Ｌ１≦Ｌ３
【請求項７】
ベースフィルム上に膜を形成する成膜装置であって、  前記ベースフィルムのロール体の巻き出し装置と、  前記巻き出し装置により巻き出された前記ベースフィルムを搬送するフィルム搬送装置と、  前記フィルム搬送装置により搬送される前記ベースフィルム上に膜を形成する成膜室と、  前記成膜室において膜が形成された前記ベースフィルムを巻き取ってロール体を形成する巻き取り装置と、を備え、  前記フィルム搬送装置として、請求項１から請求項３までのいずれか一項に記載のフィルム搬送装置を備えることを特徴とする成膜装置。
【請求項８】
前記成膜部が、原子層堆積法により、前記膜を形成することを特徴とする請求項７に記載の成膜装置。
【請求項９】
前記フィルム搬送装置が、前記巻き出し装置により巻き出された前記ベースフィルムを把持して前記成膜室に搬送し、前記成膜室において膜が形成された後、前記巻き取り装置により巻き取られる前に前記ベースフィルムを解放することを特徴とする請求項７又は請求項８に記載の成膜装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、フィルム搬送装置、フィルム搬送方法及び成膜装置に関する。
【背景技術】
【０００２】  食品、医薬品、電子デバイス等の包装材として、ベースフィルム上に無機膜が形成されたガスバリアー性フィルムが用いられている。ガスバリアー性フィルムは、無機膜によって大気中の水、酸素等のガスを遮蔽することにより、内容物の劣化を防いでいる。  無機膜を緻密な薄膜として形成できる方法の１つとして、原子層堆積（ＡＬＤ：AtomicLayer Deposition）法が知られている。ＡＬＤ法は、異なる原料を交互に供給し、それぞれの原料を反応させる成膜処理を複数サイクル繰り返し、１サイクルごとに原子（分子）層を１層ずつ堆積させて薄膜を形成する方法である。【０００３】  ＡＬＤ法により成膜する場合、ロール・トゥ・ロール（roll to roll）方式によって、それぞれ異なる原料が供給される成膜室内を行き来するようにベースフィルムを搬送し、複数サイクルの成膜処理を行うことが可能である。ベースフィルムの搬送にローラーを用いることもできるが、ベースフィルム上の膜の損傷を避けるため、クリップによりベースフィルムの両端を把持する搬送機構を用いることもできる（例えば、特許文献１参照）。【０００４】  クリップはスプロケットに巻き回されたローラーチェーンによって移動させるが、クリップにより把持するフィルム面とローラーチェーンの移動中心線が略一致するように、クリップはローラーチェーンに取り付けられている（例えば、特許文献１〜３参照。）。これは、フィルム面がローラーチェーンの移動中心線からずれていると、折り返し地点等においてローラーチェーンが回転するとき、ローラーチェーンの移動中心線が描く円よりも大きい又は小さい径でフィルム面が回転し、フィルムの伸びやたるみが生じるためである。【０００５】  しかしながら、フィルム面とローラーチェーンの移動中心線を略一致させても、フィルムはクリップにより一定の幅で把持された平面のフィルム部分があるため、円を描く移動中心線との乖離が少なからず生じる。また、直線上に位置する場合と曲線上に位置する場合とでは隣接するクリップ間の距離が異なるため、この距離の差によってもフィルムの伸び又はたるみが生じる。フィルムの伸びやたるみが大きいと、フィルムの折れ、しわ等の欠陥が生じてしまう。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００１−２３３５１５号公報
【特許文献２】特開２００１−３１７８７３号公報
【特許文献３】特開２００４−９１２０１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】  本発明は上記問題及び状況に鑑みてなされ、その解決課題は、搬送時のフィルムの伸び又はたるみによるフィルムの欠陥が少ないフィルム搬送装置、フィルム搬送方法及び成膜装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】  本発明者は、上記課題を解決すべく、上記問題の原因等について検討する過程において、各クリップのフィルムの把持位置とローラーチェーンの移動中心線とを略一致させ、各クリップのフィルムの把持幅の長さ（Ｌ１）に対する各クリップの配置間隔の長さ（Ｌ２）の比の値（Ｌ２／Ｌ１）を一定範囲内に調整することにより、フィルムの伸び又はたるみを抑え、フィルムの欠陥を効果的に減らせることを見いだし、本発明に至った。【０００９】  すなわち、本発明に係る課題は、以下の手段によって解決される。  １．フィルムを把持する複数のクリップと、前記複数のクリップが取り付けられたローラーチェーンと、フィルムの搬送経路に沿って配置され、前記ローラーチェーンを巻き回す複数のスプロケットと、を備えるフィルム搬送装置であって、  前記各クリップの前記フィルムの把持位置と前記ローラーチェーンの移動中心線との距離が、０．５ｍｍの範囲内にあり、  前記各クリップのフィルムの把持幅の長さをＬ１（ｍｍ）、前記各クリップの配置間隔の長さをＬ２（ｍｍ）、前記スプロケットにより回転するときの各クリップがなす角度をθ（°）と表すとき、前記長さＬ１に対する前記長さＬ２の比の値Ｌ２／Ｌ１が、下記式（１）に示す範囲内にあることを特徴とするフィルム搬送装置。  （１）  （５．４×θ／３６０＋１．５）≦Ｌ２／Ｌ１≦２０．０【００１０】  ２．前記長さＬ１に対する前記長さＬ２の比の値Ｌ２／Ｌ１が、下記式（２）に示す範囲内にあり、かつ前記角度θが１５〜６０°の範囲内にあることを特徴とする第１項に記載のフィルム搬送装置。  （２）  ３．０≦Ｌ２／Ｌ１≦２０．０【００１１】  ３．前記ローラーチェーンの各チェーンの間隔の長さをＬ３（ｍｍ）と表すとき、前記長さＬ１（ｍｍ）が下記式（３）に示す範囲内にあることを特徴とする第１項又は第２項に記載のフィルム搬送装置。  （３）  ５．０ｍｍ≦Ｌ１≦Ｌ３【００１２】  ４．フィルムを把持する複数のクリップを取り付けたローラーチェーンを、フィルムの搬送経路に沿って配置された複数のスプロケットによって巻き回すことにより、前記フィルムを搬送するフィルム搬送方法であって、  前記各クリップの前記フィルムの把持位置と前記ローラーチェーンの移動中心線との距離を、０．５ｍｍの範囲内に調整し、  前記各クリップのフィルムの把持幅の長さをＬ１（ｍｍ）、前記各クリップの配置間隔の長さをＬ２（ｍｍ）、前記スプロケットにより回転するときの各クリップがなす角度をθ（°）と表すとき、前記長さＬ１に対する前記長さＬ２の比の値Ｌ２／Ｌ１を、下記式（１）に示す範囲内に調整することを特徴とするフィルム搬送方法。  （１）  （５．４×θ／３６０＋１．５）≦Ｌ２／Ｌ１≦２０．０【００１３】  ５．前記長さＬ１に対する前記長さＬ２の比の値Ｌ２／Ｌ１を、下記式（２）に示す範囲内に調整し、かつ前記角度θを１５〜６０°の範囲内に調整することを特徴とする第４項に記載のフィルム搬送方法。  （２）  ３．０≦Ｌ２／Ｌ１≦２０．０【００１４】  ６．前記ローラーチェーンの各チェーンの間隔の長さをＬ３（ｍｍ）と表すとき、前記長さＬ１を下記式（３）に示す範囲内に調整することを特徴とする第４項又は第５項に記載のフィルム搬送方法���  （３）  ５．０ｍｍ≦Ｌ１≦Ｌ３【００１５】  ７．ベースフィルム上に膜を形成する成膜装置であって、  前記ベースフィルムのロール体の巻き出し装置と、  前記巻き出し装置により巻き出された前記ベースフィルムを搬送するフィルム搬送装置と、  前記フィルム搬送装置により搬送される前記ベースフィルム上に膜を形成する成膜室と、  前記成膜室において膜が形成された前記ベースフィルムを巻き取ってロール体を形成する巻き取り装置と、を備え、  前記フィルム搬送装置として、第１項から第３項までのいずれか一項に記載のフィルム搬送装置を備えることを特徴とする成膜装置。【００１６】  ８．前記成膜部が、原子層堆積法により、前記膜を形成することを特徴とする第７項に記載の成膜装置。【００１７】  ９．前記フィルム搬送装置が、前記巻き出し装置により巻き出された前記ベースフィルムを把持して前記成膜室に搬送し、前記成膜室において膜が形成された後、前記巻き取り装置により巻き取られる前に前記ベースフィルムを解放することを特徴とする第７項又は第８項に記載の成膜装置。
【発明の効果】
【００１８】  本発明の上記手段により、搬送時のフィルムの伸び又はたるみによるフィルムの欠陥が少ないフィルム搬送装置、フィルム搬送方法及び成膜装置を提供できる。【００１９】  本発明の効果の発現機構又は作用機構は明確になっていないが、以下のように推察される。  フィルムの把持位置とローラーチェーンの移動中心線との距離が０．５ｍｍの範囲内にあれば、回転時のフィルムの面とローラーチェーンの移動中心線との乖離幅を縮小することができ、乖離によるフィルムの伸び又はたるみを減らすことができる。  さらに、長さの比の値Ｌ２／Ｌ１を上記式（１）の範囲内に調整することにより、直線上に位置する場合と回転時に曲線上に位置する場合の各クリップ間の距離の差を小さくすることができ、距離の差によるフィルムの伸び又はたるみを減らすことができる。  このように、フィルムの伸び又はたるみをできるだけ抑えることにより、フィルムの欠陥を効果的に減らすことができたと推察される。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の実施の形態のフィルム搬送装置の構成を示す斜視図
【図２】直線上に位置するローラーチェーンを、スプロケットの回転軸方向から表す上面図
【図３】１対のクリップをフィルムの搬送方向から表す正面図
【図４】直線上に位置する各クリップと、曲線上に位置する各クリップを示す上面図
【図５】本発明の実施の形態の成膜装置の構成を示す正面図
【図６】フィルム搬送例７〜２７のＬ２／Ｌ１と角度θの関係を示すグラフ
【発明を実施するための形態】
【００２１】  本発明のフィルム搬送装置及びフィルム搬送方法は、フィルムを把持する複数のクリップと、前記複数のクリップが取り付けられたローラーチェーンと、フィルムの搬送経路に沿って配置され、前記ローラーチェーンを巻き回す複数のスプロケットと、を備え、前記各クリップの前記フィルムの把持位置と前記ローラーチェーンの移動中心線との距離が、０．５ｍｍの範囲内にあり、前記各クリップのフィルムの把持幅の長さをＬ１（ｍｍ）、前記各クリップの配置間隔の長さをＬ２（ｍｍ）、前記スプロケットにより回転するときの各クリップがなす角度をθ（°）と表すとき、前記長さＬ１に対する前記長さＬ２の比の値Ｌ２／Ｌ１が、上記式（１）に示す範囲内にあることを特徴とする。この特徴は各請求項に係る発明に共通の技術的特徴である。
【００２２】  本発明の実施態様としては、よりフィルムの伸び又はたるみを減らす観点から、前記長さＬ１に対する前記長さＬ２の比の値Ｌ２／Ｌ１が、上記式（２）に示す範囲内にあり、かつ前記角度θが１５〜６０°の範囲内にあることが好ましい。  同様の観点から、前記ローラーチェーンの各チェーンの間隔の長さをＬ３（ｍｍ）と表すとき、前記長さＬ１（ｍｍ）が上記式（３）に示す範囲内にあることが好ましい。
【００２３】  本発明の成膜装置は、ベースフィルムの搬送に起因するベースフィルム上の膜の欠陥を減らすため、上記フィルム搬送装置を好適に具備する。
【００２４】  以下、本発明とその構成要素及び本発明を実施するための形態について詳細な説明をする。  なお、本願において、「〜」は、その前後に記載される数値を下限値及び上限値として含む意味で使用する。
【００２５】〔フィルム搬送装置及びフィルム搬送方法〕  図１は、本発明の実施の形態であるフィルム搬送装置１の概略構成を示している。  図１に示すように、フィルム搬送装置１は、フィルムＦの両端を把持する複数対のクリップ２と、複数対のクリップ２が取り付けられた無端状の１対のローラーチェーン３と、フィルムＦの搬送経路に沿って配置され、１対のローラーチェーン３を巻き回す複数のスプロケット４と、を備えている。
【００２６】  なお、１対のローラーチェーン３によりフィルムＦの両端を把持するフィルム搬送装置の構成例を示したが、複数のクリップ２が取り付けられた一つのローラーチェーン３により、フィルムＦの一端のみを把持して、フィルムＦを垂下させて搬送する構成であってもよい。
【００２７】  図２は、直線上に位置するローラーチェーン３を、スプロケット４の回転軸方向から表す上面図である。  図２に示すように、ローラーチェーン３は、外リンクと内リンクを形成する複数のチェーン３１からなり、各クリップ２は、ローラーチェーン３の各チェーン３１のピン間に、一定の間隔で取り付けられている。図２において、各クリップ２のフィルムＦの把持幅の長さをＬ１（ｍｍ）、各クリップ２が直線上に位置するときの各クリップ２の配置間隔の長さをＬ２（ｍｍ）、ローラーチェーン３の各チェーン３１の間隔の長さをＬ３（ｍｍ）と表している。長さＬ３は、各チェーン３１のピンの芯間距離に等しい。
【００２８】  図３は、１対のクリップ２をフィルムＦの搬送方向から表す正面図である。  図３に示すように、各クリップ２は、取り付け器具３２を介してチェーン３１に取り付けられている。なお、取り付け器具３２を使用せずに、チェーン３１とクリップ２が一体に形成されていてもよい。
【００２９】  各クリップ２は、図３に示すように、凹形状のフレーム２１と、フレーム２１の一端に設けられた回転軸２３と、回転軸２３を中心に回動自在にフレーム２１に取り付けられたフラッパー２２と、フラッパー２２を付勢するスプリング２４と、を備えて構成されている。
【００３０】  フラッパー２２は、回転軸２３を中心に回動して開閉する。図３において、閉状態にあるときのフラッパー２２を実線で表し、開状態にあるときのフラッパー２２を二点破線で表している。  フラッパー２２は、通常はスプリング２４により付勢されて、端部２２ａがフレーム２１に当接する閉状態にあるが、フィルムオープナーにより端部２２ｂがフレーム２１の外側へ倒されると、端部２２ａがフレーム２１の内側に倒れ、開状態になる。フラッパー２２が閉状態にあるときの端部２２ａとフレーム２１の当接部分の長さが、フィルムＦの把持幅の長さＬ１である。
【００３１】  各クリップ２は、フィルムＦの把持の開始地点に設置されたフィルムオープナーによって開状態にあったフラッパー２２が閉状態へ遷移することにより、フラッパー２２の端部２２ａとフレーム２１の間にフィルムＦを挟み込み、把持する。また、各クリップ２は、フィルムＦの解放地点に設置されたフィルムオープナーによって閉状態にあったフラッパー２２が開状態へ遷移することにより、把持していたフィルムＦを解放する。  図３において、各クリップ２のフィルムＦの把持位置とローラーチェーン３の移動中心線Ｚ０との距離をｄと表している。  移動中心線Ｚ０は、ローラーチェーン３の幅方向中心が移動する軌跡を表す線である。
【００３２】  なお、クリップ２のフィルムＦの把持形態は特に限定されず、他の把持形態、例えば針やピン等の突起物をフィルムＦに貫通させて把持する形態等であってもよい。
【００３３】  図４は、スプロケット４の回転軸を中心に回転するクリップ２を回転軸方向から表す上面図である。  図４に示すように、長さＬ２の間隔でローラーチェーン３に取り付けられた各クリップ２は、回転時に隣接するクリップ２と一定の角度をなす。図４において、隣接する各クリップ２がなす角度をθ（°）と表している。
【００３４】  回転するローラーチェーン３の移動中心線Ｚ０は、スプロケット４のピッチ円直径（ＰＣＤ：Pitch Circle Diameter）を直径とする円の円周と一致している。フィルムＦもこの移動中心線Ｚ０と同じ円周上に位置するように、すなわちフィルムＦの面がＰＣＤを直径とする円筒の周面と一致するように、フィルムＦを搬送できれば、フィルムＦの伸びやたるみがなく、理想的である。しかし、フィルムＦは長さＬ１の把持幅で把持され、平面のフィルム部分があるため、図４に示すように曲線上に位置するフィルムＦの面と移動中心線Ｚ０との乖離が生じ、乖離によるフィルムＦの伸び又はたるみが少なからず生じる。また、直線上に位置する場合の各クリップ２間の距離Ａ１−Ｂ１は、曲線上に位置する場合の各クリップ２間の距離Ａ２−Ｂ２や距離Ａ３−Ｂ３とは異なるため、フィルムＦの伸び又はたるみが生じる。フィルムＦの伸び又はたるみの程度が大きいとシワ、折れ等のフィルムＦの欠陥を生じさせ、フィルムＦ上に膜が形成されている場合は、フィルムＦの伸びやたるみが膜の亀裂等の膜欠陥を生じさせる原因にもなる。
【００３５】  このようなフィルムＦの伸び又はたるみの程度を、フィルムＦの欠陥が生じない範囲内にするため、フィルム搬送装置１においては、図３に示す各クリップ２のフィルムＦの把持位置とローラーチェーン３の移動中心線Ｚ０との距離ｄが０．５ｍｍの範囲内にあるように、各クリップ２のローラーチェーン３への取り付け位置、クリップ２の構造等が調整されている。  距離ｄを０．５ｍｍの範囲内にすることにより、フィルムＦの面とローラーチェーン３の移動中心線Ｚ０の乖離幅を縮小して略一致させることができ、乖離によるフィルムＦの伸び又はたるみを減らすことができる。  フィルムＦの伸び又はたるみをより減らす観点からは、距離ｄが０．３ｍｍの範囲内にあることが好ましく、０．１ｍｍの範囲内にあることがより好ましく、０であることが最も好ましい。
【００３６】  さらに、フィルム搬送装置１においては、各クリップ２のフィルムＦの把持幅の長さＬ１（ｍｍ）に対する、各クリップ２の間隔の長さＬ２（ｍｍ）の比の値Ｌ２／Ｌ１が、下記式（１）に示す範囲内にあるように、長さＬ１及びＬ２が調整されている。（１）  （５．４×θ／３６０＋１．５）≦Ｌ２／Ｌ１≦２０．０  上記の範囲内にＬ２／Ｌ１を調整することにより、直線上のクリップ２間の距離Ａ１−Ｂ１と、曲線上のクリップ２間の距離Ａ２−Ｂ２又はＡ３−Ｂ３との差を減らして、距離差によるフィルムＦの伸び又はたるみを減らすことができる。
【００３７】  各クリップ２の把持幅の長さＬ１が長いほど、移動中心線Ｚ０とフィルムＦの面との乖離幅が大きくなる。その結果、直線上に位置するときの各クリップ２間の距離Ａ１−Ｂ１（長さＬ２）よりも、曲線上に位置するときの各クリップ２間の距離Ａ２−Ｂ２又はＡ３−Ｂ３の方が長くなり、フィルムＦの伸びが生じる。各クリップ２の把持幅の長さＬ１を短くすれば乖離幅は小さくなるが、短すぎると、直線上に位置するときの各クリップ２間の距離Ａ１−Ｂ１よりも曲線上に位置するときの各クリップ２間の距離Ａ２−Ｂ２又はＡ３−Ｂ３の方が短くなり、フィルムＦのたるみが生じる。  一方、各クリップ２の配置間隔の長さＬ２が長いほど、直線上に位置するときの各クリップ２間の距離Ａ１−Ｂ１よりも曲線上に位置するときの各クリップ２間の距離Ａ２−Ｂ２又はＡ３−Ｂ３の方が短くなり、フィルムＦのたるみが生じる。各クリップ２の把持幅の長さＬ１が短い場合、各クリップ２の配置間隔の長さＬ２が長い場合のいずれの場合においても、たるみが極端に大きいと、フィルムＦがフィルム搬送装置１の部材に接触し、損傷する可能性がある。
【００３８】  このように、長さＬ１及びＬ２によって、直線上に位置する場合と曲線上に位置する場合の各クリップ２間の距離が変動する。いずれの場合も各クリップ２間の距離が等しくなるように、上記式（１）に示す範囲内において長さＬ１と長さＬ２を相対的に調整することにより、距離の変動によるフィルムＦの伸び又はたるみを抑えることができる。
【００３９】  なお、曲線上に位置する場合の各クリップ２間の距離は、次のようにして求めることができる。  図４に示すように、スプロケット４の回転軸中心を原点とするｘｙ座標において、直線上にあるクリップ２が角度α（°）だけ回転したときのクリップ２の把持幅中心の地点Ｃの位置座標をＣ（ｐ，ｑ）と表し、スプロケット４のＰＣＤをＲ（ｍｍ）と表すと、地点Ｃの位置座標を次のように表すことができる。  Ｃ（ｐ，ｑ）＝（（Ｒ／２）・ｓｉｎα，（Ｒ／２）・ｃｏｓα）
【００４０】  また、このクリップ２の把持幅の両端の地点Ｂ２及びＡ３の位置座標をそれぞれＢ２（ｓ０，ｔ０）及びＡ３（ｓ１，ｔ１）、このクリップ２と角度θをなす隣のクリップ２の把持幅の一端の地点Ｂ３の位置座標をＢ３（ｓ２、ｔ２）と表すと、各地点Ｂ２、Ａ３及びＢ３の位置座標を次のように表すことができる。なお、地点Ｂ２から地点Ａ３までの距離は、各クリップ２のフィルムＦの把持幅の長さＬ１に等しい。  Ｂ２（ｓ０，ｔ０）    ＝(p-(L1/2)・cosα，q+(L1/2)・sinα)    ＝((R/2)・sinα-(L1/2)・cosα,(R/2)・cosα+(L1/2)・sinα)  Ａ３（ｓ１，ｔ１）    ＝((R/2)・sinα+(L1/2)・cosα,(R/2)・cosα-(L1/2)・sinα)  Ｂ３（ｓ２，ｔ２）    ＝((R/2)・sin(α+θ)-(L1/2)・cos(α+θ),(R/2)・cos(α+θ)+(L1/2)・sin(α+θ))
【００４１】  地点Ａ３から地点Ｂ３までの距離をＤ（ｍｍ）と表すと、それぞれの位置座標Ａ３（ｓ１，ｔ１）及びＢ３（ｓ２，ｔ２）により、距離Ｄを次のようにして表すことができる。  Ｄ＝｛（ｓ２−ｓ１）２＋（ｔ２−ｔ１）２｝１／２  直線上に位置する各クリップ２間の距離Ａ１−Ｂ１は、各クリップ２の配置間隔の長さＬ２に等しいため、直線上に位置する場合と曲線上に位置する場合の各クリップ２間の距離の差Ｌ２−Ｄを、フィルムＦの伸び量（又はたるみ量）として表すことができる。
【００４２】  フィルムＦの伸び量をより減らす観点からは、長さＬ１に対する長さＬ２の比の値Ｌ２／Ｌ１が、下記式（２）に示す範囲内にあり、かつ角度θが１５〜６０°の範囲内にあることが好ましい。  （２）  ３．０≦Ｌ２／Ｌ１≦２０．０
【００４３】  同様にフィルムＦの伸び量をより減らす観点から、ローラーチェーン３の各チェーン３１の間隔の長さＬ３（ｍｍ）が、下記式（３）を満たしていることが好ましい。  （３）  ５．０ｍｍ≦Ｌ１≦Ｌ３
【００４４】  メンテナンスを容易化し、フィルム搬送装置１の大型化を防ぐ観点からは、長さＬ１は、５〜５０ｍｍの範囲内にあることが好ましく、５〜１５ｍｍの範囲内にあることがより好ましい。  同様の観点から、長さＬ２は、１５〜１５０ｍｍの範囲内にあることが好ましく、１５〜４５ｍｍの範囲内にあることがより好ましい。  
【００４５】  回転時に曲線上に位置する各クリップ２がなす角度θは、通常は１８０°未満であるが、フィルムＦの大きなばたつき、たるみ等の搬送不良を防ぐ観点からは、角度θは２０〜９０°の範囲内にあることが好ましく、３０〜８０°の範囲内にあることがより好ましい。角度θがこの範囲内にあれば、クリップ２の数も減らすことができ、コストを低減できる。
【００４６】  スプロケット４のＰＣＤの長さＲは、５０〜２００ｍｍの範囲内にあることが好ましい。  この範囲内であれば、フィルム搬送装置の拡大を抑えることができるとともに、メンテナンスが容易になる。
【００４７】〔成膜装置〕  上述した本発明のフィルム搬送装置は、ベースフィルム上に無機膜、有機膜等の膜を形成する成膜装置の搬送手段として好適に使用することができる。  特に、成膜法が原子層堆積（ＡＬＤ：Atomic layer deposition）法であり、複数の成膜室間を繰り返し行き来するように、ロール・トゥ・ロール方式によりベースフィルムを折り返して搬送する成膜装置においては、折り返し時のフィルムの伸び又はたるみが少なく、ベースフィルムの欠陥が少ないフィルム搬送装置は有効である。また、ＡＬＤ法によれば、膜の材料を１原子（又は１分子）層単位で堆積させて緻密な膜を形成することができるが、このような膜は非常に薄く、ベースフィルムの折れ等の欠陥によってダメージを受けやすい。よって、搬送時のベースフィルムの欠陥が少ない上記フィルム搬送装置は、ベースフィルム上の膜欠陥を効果的に減らし、膜の高い機能性が得られる点でも有効である。
【００４８】  図５は、ＡＬＤ法の１種であるＰＥ（Plasma Enhanced）ＡＬＤ法により、無機膜を形成する成膜装置１００の構成を示している。  ＡＬＤ法は、ベースフィルム上に２種以上の原料を交互に供給し、各原料を反応させる成膜処理を複数サイクル繰り返し、１サイクルごとに原子層（実際には化合物の分子層であり得る。）を１層ずつ堆積させて薄膜を形成する方法である。  ＰＥＡＬＤ法は、ＡＬＤ法の１種であり、プラズマ反応により原料の改質処理を行う方法である。
【００４９】  成膜装置１００は、図５に示すように、不活性ガスが供給されたチャンバーＣ４内に、三つの成膜室Ｃ１〜Ｃ３を備えている。各成膜室Ｃ１〜Ｃ３内は、真空ポンプ等によって真空圧下に調整されている。また、各成膜室Ｃ１〜Ｃ３の壁には、ベースフィルムＦｂが通過できるように、ベースフィルムＦｂの搬送経路上に開口が設けられている。
【００５０】  成膜装置１００は、各成膜室Ｃ１及びＣ２において、形成する無機膜の原料ガスを供給する。  また、成膜装置１００は、成膜室Ｃ３において改質処理用の原料ガスを供給するとともにプラズマＰを生成し、各成膜室Ｃ１及びＣ２においてベースフィルムＦｂ上に吸着した原料の酸化、窒化等の改質処理を行う。
【００５１】  各成膜室Ｃ１及びＣ２において供給する原料は、前駆体とも呼ばれる。  金属酸化物、金属窒化物等の金属化合物を主成分とする無機膜を形成する場合、各成膜室Ｃ１及びＣ２に供給できる原料としては、アルミニウム（Ａｌ）、チタン（Ｔｉ）、ケイ素（Ｓｉ）、ジルコニウム（Ｚｒ）、ハフニウム（Ｈｆ）、ランタン（Ｌａ）、ニオブ（Ｎｂ）、タンタル（Ｔａ）、マグネシウム（Ｍｇ）、亜鉛（Ｚｎ）等の金属元素を含有する金属化合物を用いることができる。
【００５２】  例えば、改質処理により酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）、窒化アルミニウム等の金属化合物を含有する無機膜を形成する場合、各成膜室Ｃ１及びＣ２に供給する原料ガスとしてはアルミニウムを含み、気化できるアルミニウム化合物であれば特に制限はない。そのようなアルミニウム化合物としては、例えば塩化アルミニウム（Ａｌ２Ｃｌ６）、トリメチルアルミニウム（Ａｌ（ＣＨ３）３）、トリエチルアルミニウム（略称ＴＥＡ）、トリクロロアルミニウム等が挙げられる。
【００５３】  改質処理により酸化ケイ素（ＳｉＯ２）、窒化ケイ素（ＳｉＮ）等の金属化合物を含有する無機膜を形成する場合、各成膜室Ｃ１及びＣ２に供給する原料ガスとしては、トリシラン（Ｓｉ３Ｈ８）、ジシラン（Ｓｉ２Ｈ６）、モノシラン（ＳｉＨ４）の他、モノクロロシラン（ＳｉＨ３Ｃｌ）、ジクロロシラン（ＳｉＨ２Ｃｌ２）、ヘキサクロロジシラン（Ｓｉ２Ｃｌ６）、テトラクロロシラン（ＳｉＣｌ４）、トリクロロシラン（ＳｉＨＣｌ３）等のクロロシラン系、テトラキスジメチルアミノシラン（Ｓｉ［Ｎ（ＣＨ３）２］４）、トリスジメチルアミノシラン（Ｓｉ［Ｎ（ＣＨ３）２］３Ｈ）、ビスジエチルアミノシラン（Ｓｉ［Ｎ（Ｃ２Ｈ５）２］２Ｈ２）、ビスターシャリーブチルアミノシラン（ＳｉＨ２［ＮＨ（Ｃ４Ｈ９）］２）等のアミノシラン系、Ｓｉ（ＯＣ２Ｈ５）４、ＳｉＨ２Ｃｌ２、Ｓｉ（ＮＯ３）４等が挙げられる。
【００５４】  改質処理により酸化チタン（ＴｉＯ２）、窒化チタン、炭窒化チタン等の金属化合物を含有する無機膜を形成する場合、各成膜室Ｃ１及びＣ２に供給する原料としてはＴｉＦ４、四塩化チタン（ＴｉＣｌ４）、ＴｉＢｒ４、ＴｉＩ４、テトラキスジメチルアミノチタン（［（ＣＨ３）２Ｎ］４Ｔｉ）、テトラキスジエチルアミノチタンＴｉ［Ｎ（Ｃ２Ｈ５）２］４、Ｔｉ［Ｎ（Ｃ２Ｈ５ＣＨ３）］４、チタン（ＩＶ）イソプロポキシド（Ｔｉ［（ＯＣＨ）（ＣＨ３）２］４）等が挙げられる。
【００５５】  成膜室Ｃ３に供給する改質処理用の原料ガスとしては、各成膜室Ｃ１及びＣ２において吸着させた原料を酸化する場合は水（Ｈ２Ｏ）、酸素、オゾン（Ｏ３）、メタノール、エタノール等を用いることができる。窒化する場合は、窒素、アンモニア（ＮＨ３）等を用いることができる。これらのガスに、水素（Ｈ２）ガスを併用してもよい。
【００５６】  無機膜をガスバリアー層として形成する場合には、ガスバリアー性を高める観点から、無機膜が、酸化アルミニウム、酸化チタン、酸化ケイ素、酸化ジルコニウム、酸化亜鉛、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）、酸化ハフニウム（ＨｆＯ２）、酸化ランタン（Ｌａ２Ｏ３）等の金属酸化物を含有することが好ましい。なかでも、トリメチルアルミニウム、四塩化チタン等を原料とする酸化アルミニウム、酸化チタンは、分子量の大きさが膜の凹凸の補修に適しており、カバレッジ性が高まることから、好ましい。
【００５７】  成膜時、成膜装置１００は、ベースフィルムＦｂを成膜室Ｃ１に搬送して原料を吸着させた後、成膜室Ｃ３へ搬送して吸着させた原料を改質処理する。これにより、１原子（分子）層の無機膜を形成することができる。さらに、成膜装置１００は、ベースフィルムＦｂを成膜室Ｃ２へ搬送して原料を吸着させると、折り返して成膜室Ｃ３へ搬送し、吸着させた原料を改質処理する。これにより、さらに１原子（分子）層の無機膜を積層することができる。  上記手順により、成膜室Ｃ１及びＣ２において同じ原料ガスを供給する場合は同じ種類の２層の無機膜を積層することができ、異なる原料ガスを供給する場合は異なる種類の無機膜を積層することができる。
【００５８】  各成膜室Ｃ１又はＣ２においてベースフィルムＦｂ上に吸着しきれなかった余剰の原料ガスは、成膜室Ｃ１又はＣ２から成膜室Ｃ３へ移動する間に通過するチャンバーＣ４において、チャンバーＣ４内に供給された不活性ガスにより除去（パージ）することができる。不活性ガスは、例えば希ガス等を使用することができ、原料との反応性が低ければ、窒素ガス等も使用することができる。
【００５９】  成膜装置１００は、目的の膜厚が得られるまで複数サイクルの成膜処理を行うため、ベースフィルムＦｂを折り返して、成膜室Ｃ１→成膜室Ｃ３→成膜室Ｃ２→成膜室Ｃ３の順に、繰り返し搬送する。  成膜装置１００は、このようなベースフィルムＦｂの搬送手段として、上述したフィルム搬送装置１を備えている。具体的には、成膜装置１００は、図５に示すように、ベースフィルムＦｂのロール体の巻き出し装置１１と、成膜室Ｃ１〜Ｃ３間を行き来するようにベースフィルムＦｂを折り返して搬送するフィルム搬送装置１と、無機膜が形成されたベースフィルムＦｂの巻き取り装置１５と、を備えている。
【００６０】  図５に示すように、フィルム搬送装置１は、ベースフィルムＦｂの搬送経路の折り返し地点及び進路変更地点にそれぞれ配置されたスプロケット４により１対のローラーチェーン３を巻き回し、各ローラーチェーン３に取り付けられた複数対のクリップ２によりベースフィルムＦｂの幅方向両端を把持して搬送する。ベースフィルムＦｂの幅方向とは、ベースフィルムＦｂの長さ方向と直交する方向である。
【００６１】  ベースフィルムＦｂの搬送の開始位置Ｓｐと終了位置Ｅｐには、図５に示すようにクリップオープナー１６が配置されている。各クリップ２は、開始位置Ｓｐに設置されたクリップオープナー１６によって、巻き出し装置１１により巻き出されたベースフィルムＦｂを挟み込んで把持し、終了位置Ｅｐに設置されたクリップオープナー１６によって把持していたベースフィルムＦｂを解放する。その後、ベースフィルムＦｂは巻き取り装置１５により巻き取られる。終了位置ＥｐにおいてベースフィルムＦｂを解放後、ローラーチェーン３は周回経路上を移動して、再び開始位置Ｓｐに至る。
【実施例】
【００６２】  以下、実施例をあげて本発明を具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。なお、実施例において「部」又は「％」の表示が用いられるが、特に断りが無い限り「質量部」又は「質量％」を表す。【００６３】〔実施例Ｉ〕〔フィルム搬送例１〕  図５に示すフィルム搬送装置１と同様にしてフィルムを折り返すフィルム搬送装置を試作した。フィルムの折り返し回数は１０回とした。フィルム搬送装置の詳細な構成は、次のとおりである。  （フィルム搬送装置の構成）  各クリップのフィルムの把持位置とローラーチェーンの移動中心線と                                                      の距離ｄ：０．６ｍｍ  回転する各クリップがなす角度θ：７２°  各クリップのフィルムの把持幅の長さＬ１：２５．０ｍｍ  各クリップの配置間隔の長さＬ２：７６．６ｍｍ  ローラーチェーンの各チェーンの間隔の長さＬ３：５０．８ｍｍ  スプロケットのピッチ円直径（ＰＣＤ）の長さＲ：１６４．４ｍｍ【００６４】  評価用のフィルムとして、厚さ５０μｍ、長さ２００ｍ、幅１．３ｍのテイジン（登録商標）テトロン（登録商標）フィルムＫＤＬ８Ｗ（テイジンデュポンフィルム社製）を用意し、試作したフィルム搬送装置により搬送した。【００６５】〔フィルム搬送例２〜６〕  各フィルム搬送例２〜６においては、フィルム搬送装置の構成を、下記表１に示すように変更したこと以外は、フィルム搬送例１と同様にしてフィルムを搬送した。【００６６】〔フィルム搬送例７〜２７〕  各フィルム搬送例７〜２７においては、フィルム搬送装置の構成を、下記表２に示すように変更したこと以外は、フィルム搬送例１と同様にしてフィルムを搬送した。【００６７】〔評価〕  各フィルム搬送例１〜２７により搬送した後のフィルムを撮影して得られた撮影画像を画像処理し、フィルムの幅方向における折れを検出した。撮影時には、入射角度４５度の入射光の正反射光を検出した。撮影装置にはラインスキャナカメラＴＬ−２０４８ＣＬ（竹中システム機器社製）を用い、光源には白色ＬＥＤ  ＴＬＡ−４（アイ・テックシステム社製）を用いた。【００６８】  撮影画像から、フィルムの幅方向において各クリップの把持位置よりも内側の中央部分から２０ｃｍ四方の領域を抽出し、抽出した領域の全面積から折れが検出された領域の面積を引いて、折れがない領域の面積を求めた。抽出した領域のうち、折れがない領域の面積の割合（％）を、フィルムの欠陥の程度として下記のようにしてランク評価した。ランク３以上が許容できる欠陥の程度である。  ４：１００％  ３：８０％以上１００％未満  ２：５０％以上８０％未満  １：５０％未満【００６９】  下記表１及び表２は、評価結果を示している。下記表１及び表２中の式（１）のＬ２／Ｌ１の下限値は、各フィルム搬送例１〜２７の角度θから算出した式（１）のＬ２／Ｌ１の下限値を示している。また、回転時の各クリップ間の距離Ｄ（ｍｍ）は、図４に示す地点Ａ３から地点Ｂ３までの距離であり、上述した位置座標によって、回転時の各クリップがなす角度θ（°）、スプロケットのＰＣＤの長さＲ（ｍｍ）から、角度αを０°として算出した距離である。フィルムの伸び量（ｍｍ）は、直線上に位置する各クリップ間の距離である長���Ｌ２から、回転時の各クリップ間の距離の長さＤ（ｍｍ）を引いた差である。符号が正の伸び量はフィルムの伸びが生じたことを示し、符号が負の伸び量はフィルムのたるみが生じたことを示している。【００７０】
【表１】
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【００７１】
【表２】
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【００７２】  上記表１及び表２に示すように、距離ｄが０．５ｍｍの範囲内にあり、かつ長さの比Ｌ２／Ｌ１が式（１）に示す範囲内にあれば、フィルムの欠陥が少ないことが分かる。【００７３】  図６は、表２に記載のフィルム搬送例７〜２７のＬ２／Ｌ１（０〜３．５の範囲内のＬ２／Ｌ１のみ）と角度θの関係を示している。図６において、□、○、△及び×の各プロット点は、欠陥の評価ランクがそれぞれ４、３、２及び１のフィルム搬送例を表す。  図６に示すように、Ｌ２／Ｌ１が３．０〜２０．０の範囲内にあり、角度θが１５〜６０°の範囲内にあるフィルム搬送例はフィルムの欠陥が非常に少ないことが分かる。【００７４】〔実施例II〕〔成膜例１〕  図５に示す成膜装置１００と同様に、ベースフィルムを折り返して搬送し、ベースフィルム上に酸化アルミニウム膜をＡＬＤ法により形成する成膜装置を試作した。この成膜装置に使用したフィルム搬送装置の詳細な構成は、次のとおりである。  （フィルム搬送装置の構成）  各クリップのフィルムの把持位置とローラーチェーンの移動中心線と                                                      の距離ｄ：０．１ｍｍ  回転移動時の各クリップがなす角度θ：８０°  各クリップのフィルムの把持幅の長さＬ１：１２．０ｍｍ  各クリップの配置間隔の長さＬ２：３８．８ｍｍ  ローラーチェーンの各チェーンの間隔の長さＬ３：２５．４ｍｍ  スプロケットのＰＣＤ：７４．３ｍｍ【００７５】  ベースフィルムとして、厚さ５０μｍ、長さ２００ｍ、幅１．３ｍのテイジン（登録商標）テトロン（登録商標）フィルムＫＤＬ８Ｗ（テイジンデュポンフィルム社製）を用意した。  試作した成膜装置により、用意したベースフィルム上に厚さ１０ｎｍの酸化アルミニウム膜を形成した。【００７６】  具体的な成膜条件は、次のとおりである。（成膜条件）  原料：トリメチルアルミニウム  原料の吸着時間：２．０秒  原料が供給された成膜室内の圧力：９０Ｐａ  改質処理用の原料ガス：酸素ガス  改質処理の処理時間：０．５秒  改質処理用の原料ガスが供給された成膜室内の圧力：９０Ｐａ  パージに使用した不活性ガス：窒素ガス  パージ時間：４．０秒  不活性ガスが供給されたチャンバー内の圧力：１００Ｐａ  酸化アルミニウム膜の堆積速度：０．１ｎｍ／サイクル  ベースフィルムの温度：１００℃【００７７】〔成膜例２〜１２〕  各成膜例２〜１２においては、成膜装置に使用したフィルム搬送装置の構成を、下記表３に示すように変更したこと以外は、成膜例１と同様にしてベースフィルムを搬送し、厚さ１０ｎｍの酸化アルミニウム膜を形成した。【００７８】〔評価〕  各成膜例１〜１２により酸化アルミニウム膜を形成したベースフィルムを３０ｍｍ四方の範囲で切り出して試料を作製した。試料は、ベースフィルムの幅方向において各クリップにより把持されたフィルム部分を除く中央部分から、ベースフィルムの幅方向に５０ｍｍ間隔で切り出して作製した。各試料の酸化アルミニウム膜上の９か所に、マスクを用いてカルシウム（Ｃａ）を蒸着させ、１２ｍｍ四方のカルシウム膜を形成した。次に、カルシウム膜を被覆するようにガスバリアー層上の全面にアルミニウムを蒸着させ、アルミニウム膜によりカルシウム膜を封止した。カルシウム膜��びアルミニウム膜は、真空蒸着装置ＪＥＥ−４００（日本電子社製）を用いて、真空状態を保って連続して形成した。【００７９】  次に、真空状態を解除し、速やかに乾燥窒素ガス雰囲気下へ移し、アルミニウム膜上に紫外線硬化型樹脂Ｔ４７０／ＵＲ７１３４（ナガセケムテックス製）を塗布し、その上に厚さ０．２ｍｍの石英ガラスを配置した。石英ガラス越しに紫外線を照射し、紫外線硬化型樹脂を硬化させて、評価用セルを作製した。  得られた評価用セルを、温度６０℃・相対湿度９０％ＲＨに調整した恒温恒湿オーブンYamato Humidic ChamberＩＧ４７Ｍ内に１２０時間連続で保存した。【００８０】  保存時間Ｔ（ｈ）がＴ＝０及びＴ＝１２０である場合の評価用セルを撮影して得られた各画像から、カルシウムの腐食領域を画像処理により抽出した。  カルシウム膜の全面積からカルシウムの腐食領域を引いて、カルシウムの腐食がない領域の面積を求め、カルシウム膜の全面積におけるカルシウムの腐食がない面積の割合（％）を有効幅として求めた。【００８１】  求めた有効幅から、酸化アルミニウム膜の膜欠陥の程度を、下記のようにしてランク評価した。ランク３以上が、許容できる膜欠陥の範囲である。  ４：有効幅が、９０％以上  ３：有効幅が、８０％以上９０％未満  ２：有効幅が、５０％以上８０％未満  １：有効幅が、５０％未満【００８２】  下記表３は、評価結果を示している。下記表３中の式（１）のＬ２／Ｌ１の下限値は、各成膜例１〜２７の角度θから算出した式（１）のＬ２／Ｌ１の下限値を示している。また、回転時の各クリップ間の距離Ｄ（ｍｍ）は、図４に示す地点Ａ３から地点Ｂ３までの距離であり、上述した位置座標によって、回転時の各クリップがなす角度θ（°）、スプロケットのＰＣＤの長さＲ（ｍｍ）から、角度αを０°として算出した距離である。フィルムの伸び量（ｍｍ）は、直線上に位置する各クリップ間の距離である長さＬ２から、回転時の各クリップ間の距離の長さＤ（ｍｍ）を引いた差である。符号が正の伸び量はベースフィルムの伸びが生じたことを示し、符号が負の伸び量はベースフィルムのたるみが生じたことを示している。【００８３】
【表３】
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【００８４】  上記表３に示すように、距離ｄが０．５ｍｍの範囲内にあり、かつ長さの比Ｌ２／Ｌ１が式（１）に示す範囲内にあれば、膜欠陥が少ないことが分かる。これは、搬送によるベースフィルムの欠陥が少なく、ベースフィルムの欠陥に起因する亀裂等の膜欠陥が減ったことによるものと推察できる。
【産業上の利用可能性】
【００８５】  搬送時のフィルムの伸び又はたるみによるフィルムの欠陥を減らす用途に利用できる。
【符号の説明】
【００８６】１    フィルム搬送装置２    クリップ２１    フレーム２２    フラッパー２３    回転軸３    ローラーチェーン３１    チェーン４    スプロケット１００    成膜装置Ｃ１〜Ｃ３    成膜室Ｃ４    チャンバー１１    巻き出し装置１５    巻き取り装置１６    フィルムオープナーＦ    フィルムＦｂ    ベースフィルム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【国際調査報告】
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