(57)【要約】【課題】  簡単かつ迅速に、手で、工具を使用することなく確実で安全な真空密の接続部が真空装置の２つの構成要素の間に得られる接続装置を提供する。【解決手段】  本発明は、一方の構成要素と連結するための第１の連結要素と、他方の構成要素と連結するための第２の連結要素を有する、真空装置の少なくとも２つの構成要素の間に真空密の接続部、特にフランジ接続部を形成するための接続装置に関する。第１の連結要素と第２の連結要素は、旋回可能な操作レバーを介して互いに連結され、接続装置が、操作レバーの旋回によって、両連結要素が互いに大きい間隔を備える第１の位置から、両連結要素が互いに小さい間隔を備える第２の位置に調整可能である。【選択図】        図１
2014137142.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空装置の少なくとも２つの構成要素（１０，１２）の間に真空密の接続部、特にフランジ接続部を形成するための接続装置において、
この連結装置が、一方の構成要素（１０）と連結するための第１の連結要素（１８）と、他方の構成要素（２０）と連結するための第２の連結要素（２０）を有し、第１の連結要素（１８）と第２の連結要素（２０）が、旋回可能な操作レバー（２２）を介して互いに連結され、接続装置が、操作レバー（２２）の旋回によって、両連結要素（１８，２０）が互いに大きい間隔を備える第１の位置から、両連結要素（１８，２０）が互いに小さい間隔を備える第２の位置に調整可能であること、を特徴とする接続装置。
【請求項２】
第１の連結要素（１８）と第２の連結要素（２０）が、操作レバー（２２）の旋回によって、真空密の接続部の形成時、それぞれの構成要素（１０，１２）が他方の構成要素（１０，１２）に又は両構成要素（１０，１２）の間に配置されたシール要素（７６）に封止当接するために使用される両構成要素（１０，１２）の少なくとも一方の接触面に対して横で、特に本質的に垂直な方向に、互いに向かって移動可能及び／又は押進め可能であること、を特徴とする請求項１に記載の接続装置。
【請求項３】
第１の連結要素（１８）及び／又は第２の連結要素（２０）が、連結部分（２６，２８）を備え、この連結部分が、一方の構成要素（１０，１２）のフランジ（１４，１６）の後面（３０，３２）に当接してこの構成要素（１０，１２）のフランジ平面に対して横で、特に垂直に整向されたクランプ力をこの構成要素（１０，１２）のフランジ（１４，１６）の後面（３０，３２）に加えるために形成されていること、を特徴とする請求項１又は２に記載の接続装置。
【請求項４】
第１の連結要素（１８）及び／又は第２の連結要素（２０）が、突出部（３４，３６）を備え、この突出部は、それぞれの連結要素（１８，２０）が他方の連結要素（１８，２０）に向かって移動可能な方向に突出し、一方の構成要素（１０，１２）の切欠き（３８，４０）に係合するために形成され、この切欠きは、それぞれの構成要素（１０，１２）のフランジ（１４，１６）の後面（３０，３２）に設けられ、フランジ（１４，１６）のフランジ平面に対して横で、特に垂直にへこんでいること、を特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の接続装置。
【請求項５】
第１の位置から第２の位置に接続装置を変位させるための操作レバー（２２）の旋回時に、死点が超えられ、この死点を超えると、旋回方向が逆転し、連結要素（１８，２０）に、連結要素（１８，２０）をその更に互いに間隔を置いた位置に押し進める偶力が作用した時に、この旋回方向に操作レバー（２２）が押し進められ、特に、接続装置の第２の位置で、死点から離間する方向の操作レバー（２２）の旋回をブロックするストッパ（４２）が設けられていること、を特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の接続装置。
【請求項６】
２つの連結要素（１８，２０）のためにガイドが設けられ、このガイドによって、連結要素（１８，２０）が、特に少なくともほぼ直線的な運動軌道に沿って互いに相対的にガイドされ、ガイドが、特にガイド部分（４４）を備え、このガイド部分が、少なくとも部分的に、運動軌道に沿って延在する、一方の連結要素（１８，２０）の空所内に配置され、他方の連結要素（１８，２０）と不動に結合又は少なくとも部分的に他方の連結要素（１８，２０）の空所内に配置されていること、を特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の接続装置。
【請求項７】
２つの連結要素（１８，２０）のためにトグルレバー式テンショニングメカニズムが設けられ、このトグルレバー式テンショニングメカニズムが、操作レバー（２２）を有し、操作レバー（２２）によって、第１の位置から第２の位置に接続装置を調整するために操作可能であること、を特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の接続装置。
【請求項８】
操作レバー（２２）との第２の連結要素（２０）の駆動有効な連結のために伝達要素（４６）が設けられ、この伝達要素が、操作レバー（２２）と回転可能に連結され、第２の連結要素（２０）と、特に回転可能に連結されていること、を特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載の接続装置。
【請求項９】
第１の連結要素（１８）が、第１の回転軸（４８）を中心として回転可能に操作レバー（２２）と連結され、伝達要素（４６）が、第２の回転軸（５０）を中心として回転可能に操作レバー（２２）と、また第３の回転軸（５２）を中心として回転可能に第２の連結要素（２０）と連結され、好ましくは第１の回転軸（４８）、第２の回転軸（５０）及び第３の回転軸（５２）が、少なくともほぼ互いに平行であること、を特徴とする請求項８に記載の接続装置。
【請求項１０】
第１の位置から第２の位置に接続装置を調整するための操作レバー（２２）の旋回時、死点が超えられ、この死点において、第１の回転軸（４８）、第２の回転軸（５０）及び第３の回転軸（５２）が、少なくともほぼ一直線に位置し、第２の回転軸（５０）が、特に直線の一端に配置されていること、を特徴とする請求項９に記載の接続装置。
【請求項１１】
少なくとも１つの弾性要素（５６，５８）、特にバネ要素が設けられ、この弾性要素は、接続装置の第２の位置において、弾性的な復元力によって、その更に互いに間隔を置いた位置の方向の連結要素（１８，２０）の運動に反作用するために形成されていること、を特徴とする請求項１〜１０のいずれか１項に記載の接続装置。
【請求項１２】
接続装置の所定の位置において弾性要素（５６，５８）から加えられる弾性的な復元力を調整するために調整装置が設けられていること、を特徴とする請求項１１に記載の接続装置。
【請求項１３】
第２の位置において作動可能な安全装置が設けられ、作動された安全装置が、第１の位置への接続装置の調整に反作用し、安全装置が、特に、第２の位置への接続装置の調整時に掛かる係止要素（６４）を有し、特に、安全装置が、操作レバー（２２）と、操作レバー（２２）を連結要素（１８，２０）の一方と駆動有効に連結する伝達要素（４６）との間で有効であること、を特徴とする請求項１〜１２のいずれか１項に記載の接続装置。
【請求項１４】
特にそれぞれフランジ（１４，１６）を備える少なくとも２つの構成要素（１０，１２）と、請求項１〜１３のいずれか１項に記載の、２つの構成要素（１０，１２）の間に真空密の接続部、特にフランジ接続部を形成するための少なくとも１つの接続装置とを有する真空装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空装置の少なくとも２つの構成要素の間に真空密の接続部、特にフランジ接続部を形成するための接続装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
真空装置の構成要素の間、特にガス導管と、真空配管の接続部材又は補正部材として使用可能なバネ体又はベローズとの間の真空密の接続部は、典型的に１つ又は複数の接続装置を有し、この接続装置によって、接続すべき構成要素は、構成要素の間に真空密の接続部が得られるように、機械的に互いに固定される。
【０００３】
公知の接続装置は、例えばクランプであり、これらクランプは、２つのクランピングジョーを備え、これらクランピングジョーの間に、接続すべき構成要素がクランプ可能である。クランピングジョーは、典型的にネジ継手によって互いに結合され、このネジ継手を介して、クランプは、クランプがフランジに装着可能な解離位置と、クランプが両構成要素を互いに固定する締付け位置との間で調整可能である。更に、接続すべき構成要素の一方と連結するためのクローを備え、真空密の接続部を形成するために他方の構成要素とネジ固定される爪固定装置が公知である。
【０００４】
公知の接続装置における欠点は、接続装置が、ネジの解離及び締付けをするための工具を使用してしか、解離位置と締付け位置の間で調整可能でなく、これにより、接続部の形成及び解離のために必要な時間的及び作業的費用が高くなることにある。加えて、確実で安全な接続部の形成は、ユーザの相当の技能と高い注意を要求する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】独国特許第８９４  ６４１号明細書
【特許文献２】独国特許出願公開第２０  ４７  ８１２号明細書
【特許文献３】独国特許第９４７  ０３５号明細書
【特許文献４】英国特許第３８２  ０６９号明細書
【特許文献５】米国特許第３  ３７９  ４６０号明細書
【特許文献６】欧州特許出願公開第０  ９２２  ８９８号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の課題は、簡単かつ迅速に、特に手で、工具を使用することなく確実で安全な真空密の接続部が真空装置の２つの構成要素の間に得られる、冒頭で述べた形式の接続装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この課題は、請求項１の特徴を有する接続装置によって解決される。
【０００８】
接続装置は、真空装置の少なくとも２つの構成要素の間に真空密の接続部、特にフランジ接続部を形成するために使用され、一方の構成要素と連結するための第１の連結要素と、他方の構成要素と連結するための第２の連結要素を有する。第１の連結要素と第２の連結要素は、旋回可能な操作レバーを介して互いに連結され、接続装置は、操作レバーの旋回によって、両連結要素が互いに大きい間隔を備える第１の位置から、両連結要素が互いに小さい間隔を備える第２の位置に調整可能である。
【０００９】
操作レバーを介した調整は、手で工具を使用することなく行なうことができるので、接続装置による真空密の接続部の形成は、著しく簡素化されている。操作レバーによる調整は、簡単で、同時に最も正確で安定した第１の位置と第２の位置の間の調整を可能にするので、真空密の接続部は、最も簡単で、同時に安全、確実、迅速に形成可能である。
【００１０】
この場合、連結要素が大きい間隔を備える第１の位置は、接続装置を構成要素に装着する又は構成要素から取外すことができる装置の解離位置に相当し、連結要素が小さい間隔を備える第２の位置は、接続装置が第２の構成要素を真空密の接続部を形成するために保持する、特に構成要素の接触面が互いに又は構成要素の間に配置された複数のシール要素の１つを圧縮するテンションを与えられたもしくは引き締められた接続装置の位置に相当すると言える。接続装置は、何度も手で第１の位置から第２の位置及びその逆に容易に調整可能であるので、真空密の迅速接続部の繰り返し形成すること及び再び解離させることができる。
【００１１】
本発明の有利な実施形態は、従属請求項、明細書、及び図に記載されている。
【００１２】
好ましくは、第１の連結要素と第２の連結要素が、操作レバーの旋回によって、真空密の接続部の形成時、それぞれの構成要素が他方の構成要素に又は両構成要素の間に配置されたシール要素に封止当接するために使用される両構成要素の少なくとも一方の接触面に対して横で、特に本質的に垂直な方向に、互いに向かって移動可能及び／又は押進め可能である。連結要素の運動は、少なくとも部分的に直線的にこの方向に延在する又はこの方向に向いた方向成分を有する他の延在を備えることができる。連結要素が前記方向に対して互いに小さい間隔を備える位置に連結要素を押し進めることにより、連結要素の間に配置された構成要素に対する押圧力が発生され、この押圧力は、構成要素の接触面に対して横で、特に垂直に整向され、構成要素の接触面を真空密に互いに押し付ける。接触面は、それぞれの構成要素のフランジの端面によって構成することができ、連結要素が互いに向かって移動可能な方向は、構成要素の端面もしくはフランジ平面に対して横で、例えば本質的に垂直に整向することができる。
【００１３】
接続装置は、クランプとして形成することができ、両連結要素は、クランプのクランピングジョーとして形成することができ、クランピングジョーの間で、両構成要素は、真空密の接続部を形成するためにクランプ可能もしくは挟持可能である。
【００１４】
特に、接続装置は、真空密のフランジ接続部を形成するために形成され、少なくとも一方の構成要素がフランジを備え、フランジの端面は、接続装置によって共に真空密に他方の構成要素の接触面もしくはシール要素に押付け可能である。２つのフランジの間のフランジ接続部の場合、フランジの端面は、特に真空密に互いに又はフランジの間に配置された１つ又は複数のシール要素に押し付けられる。接続装置は、２つの連結要素もしくはクランピングジョーを有するクランプとして形成することができ、これら連結要素もしくはクランピングジョーの間に、両フランジを、真空密の接続部を形成するためにクランプ可能である。両フランジは、本質的に相補的に形成すること及び／又は本質的に合致した端面を備えることができる。フランジは、接続部の形成時、互いに同軸とすることができ、フランジの端面は、本質的に互いに合致して正面で向かい合うようにすることができる。場合によっては、フランジの間に、シール要素に対して付加的に、例えばフランジの同軸の配置を保証する挿入リング及び／又は調心リングを配置することができる。
【００１５】
フランジは、例えば、特にＤＩＮ２８４０３によるスモールフランジ、又は、特にＤＩＮ２８４０４によるＩＳＯ−Ｋ型フランジ又はクランプフランジとすることができる。ＩＳＯ−Ｋ型フランジもしくはクランプフランジは、フランジの後面に設けられ、かつフランジのフランジ平面に対して横で、特に垂直にへこんだ切欠きを有することができる。接続装置は、特に一方の構成要素のＩＳＯ−Ｋ型フランジと他方の構成要素のＩＳＯ−Ｋ型フランジの間にフランジ接続部を形成するために形成することができ、これらフランジは、それぞれ突出するように形成することができる。
【００１６】
接続装置の連結要素は、特に構成要素のフランジとの連結のために形成されている。有利な実施形態によれば、第１の連結要素及び／又は第２の連結要素が、連結部分を備え、この連結部分が、一方の構成要素のフランジの後面に当接してこの構成要素のフランジ平面に対して横で、特に垂直に整向されたクランプ力をこの構成要素のフランジの後面に加えるために形成されている。これにより、フランジは、他方の構成要素の相応の接続部分、特にそのフランジ又はシール要素に押し付けることができ、これにより真空密の接続部を形成することができる。
【００１７】
特に、第１の連結要素及び／又は第２の連結要素が、突出部を備え、この突出部は、それぞれの連結要素が他方の連結要素に向かって移動可能な方向に突出する。この場合、突出部が突出する方向は、本質的に運動方向に対して平行であるか、少なくとも運動方向に対して平行な方向成分を備えることができる。突出部は、好ましくは、構成要素の一方の切欠きに係合するために形成され、この切欠きは、特に、それぞれの構成要素のフランジの、フランジの端面とは反対側の後面に設けられ、フランジのフランジ平面に対して横で、特に垂直にへこんでいる。突出部とその切欠きへの係合により、連結要素の運動方向に対して横で、特に垂直に有効な、連結要素とフランジの間のアンダーカットが得られ、これにより、接続装置は、有効にフランジに固定される。
【００１８】
真空密の接続部を形成するため、連結要素は、特に操作レバーの調整によって、連結要素の間に配置された構成要素から加えられる反偶力とは反対に互いに向かって移動されるので、構成要素は、連結要素の間にクランプもしくは挟持され、互いに押し付けられる。接続部が操作レバーの解放に応じて再び解離されることを回避するため、接続装置は、連結要素をその更に互いに間隔を置いた位置の方向に押し進める外からの偶力が連結要素に作用した時に、更に互いに間隔を置いた位置への連結要素の運動が防止されるように、特に第２の位置で、特に自動的にロック可能であるので、クランプ作用もしくは挟持作用が、従って真空密の接続部が維持される。
【００１９】
有利な実施形態によれば、接続装置は、第１の位置から第２の位置に接続装置を変位させるための操作レバーの旋回時に、死点が超えられ、この死点を超えると、旋回方向が逆転し、両連結要素に、連結要素をその更に互いに間隔を置いた位置に押し進める外からの偶力が作用した時に、この旋回方向に操作レバーが押し進められる。操作レバーは、例えば、死点の両側で、それぞれ、死点から離間する方向の旋回方向に押し進めることができる。
【００２０】
この形成は、特に有効で、簡単に実施すべき自動的な第２の位置へのロック性を可能にする。例えば、接続装置の第２の位置で、死点から離間する方向の操作レバーの旋回をブロックするストッパを設けることができる。その場合、接続装置のクランプ作用とは反対に整向された、外から連結要素に作用する反偶力は、操作レバーを死点からストッパに向かって押し進めるために使用されるので、自己増幅的な、従って安全で効果的な接続装置のロックが、ストッパによって定義される第２の位置で得られる。ストッパは、接続装置の部品、例えば連結要素の部分によって構成することができ、直接的に操作レバー又は駆動有効にこの操作レバーと連結された要素に作用することができる。
【００２１】
外から偶力が連結要素に作用する時の操作レバーの旋回方向の逆転と同様に、死点において、特に、連結要素を操作レバーの旋回時に所定の旋回方向に移動もしくは押し進める方向も逆転する。第１の位置から第２の位置に操作レバーを旋回させる時、連結要素は、これに応じて、まずは互いに向かって、死点を超えた後は互いに離間するように移動もしくは押し進めることができるので、死点において、連結要素の最小の間隔が得られる。接続装置の第２の位置は、死点の比較的近くに設けることができるので、第２の位置での連結要素の間隔は、ほぼ、死点での連結要素の間隔に一致する。
【００２２】
特に、連結要素は、操作レバーの旋回時、少なくともほぼ直線的な運動軌道に沿って互いに向かって移動可能であり、連結要素の整向は、特に本質的に等しいままである。特に、２つの連結要素のためにガイドが設けられている。ガイドによって、両連結要素は、第１の位置と第２の位置の間で所定の運動軌道上を互いに相対的にガイドされるので、正確に定義された連結要素の相対運動が得られる。連結要素は、ガイドによって、特に少なくともほぼ直線的な運動軌道に沿って、特に整向が本質的に等しいままである時に、互いに相対的にガイドすることができる。ガイドは、ガイドによって設定される運動方向に対して横に連結要素に作用する力を吸収し、接続装置によって形成可能な真空密の接続部の安定性を改善するために形成することができる。
【００２３】
ガイドは、特に、連結要素を調整するための、操作レバーを有する駆動メカニズムに依存せずに実現されている。ガイドは、ガイド部分を備えることができ、このガイド部分は、少なくとも部分的に、運動軌道に沿って延在する、一方の連結要素の空所内に配置され、他方の連結要素と不動に結合又は少なくとも部分的に他方の連結要素の空所内に配置されている。これにより、確実なガイドも、運動方向に対して横に連結要素に作用する力の有効で負荷可能な吸収も得られる。
【００２４】
有利な実施形態によれば、第１の連結要素と第２の連結要素のためにトグルレバー式テンショニングメカニズムが設けられ、このトグルレバー式テンショニングメカニズムが、操作レバーを有し、操作レバーによって、第１の位置から第２の位置に接続装置を調整するために操作可能である。このようなメカニズムは、特に、両連結要素の間に挟持力もしくはクランプ力を発生させるために適している。操作レバーは、特に、メカニズムのトグルレバーアームであり、このトグルレバーアームによって、連結要素は、連結要素を離間するように押し進める反偶力に抗して互いに向かって引き寄せることができる。トグルレバー式テンショニングメカニズムは、簡単かつ容易な操作時の高い挟持力もしくはクランプ力の発生を可能にし、加えて最も正確で、強靭で、摩耗の少ない確実なメカニズムである。
【００２５】
好ましくは、少なくとも第１の連結要素と、特に同様の第２の連結要素が、操作レバーとそれぞれ回転可能に連結されている。この場合、第２の連結要素は、原理的に直接回転可能に操作レバーと連結することができる。操作レバーとの第２の連結要素の駆動有効な連結のために伝達要素を設けることができ、この伝達要素が、操作レバーと回転可能に連結され、第２の連結要素と、特に同様に回転可能に連結されている。この場合、第２の連結要素への伝達要素の枢着部もしくは相応の回転軸は、操作レバーへの伝達要素の枢着部もしくは相応の回転軸から間隔を置いている。
【００２６】
特に、第１の連結要素が、第１の回転軸を中心として回転可能に操作レバーと連結され、第２の連結要素もしくはこれと駆動有効に連結された伝達要素が、第２の回転軸を中心として回転可能に操作レバーと連結され、第１の回転軸と第２の回転軸もしくは相応の枢着部が、互いに間隔を置いており、これら回転軸は、特に本質的に互いに平行であるので、これら回転軸の間にレバー作用が得られる。この場合、第１の回転軸もしくは相応の枢着部からの操作レバーの外側の端部の間隔は、少なくとも、第１の回転軸からの第２の回転軸の間隔もしくは相応の枢着部の間の間隔の１．５倍とすることができ、これにより、延長されたレバーアームと装置の容易な操作が保証される。
【００２７】
伝達要素は、操作レバーを有するトグルレバー式テンショニングメカニズムの第２のトグルレバーアームとすることができる。更に、伝達要素の使用は、特に前記のように説明した連結要素のためのガイドが設けられている場合に、第１及び第２の位置とその間での第１及び第２の連結要素の所望の位置決め及び整向を保証できるとの利点を有する。
【００２８】
有利な発展形では、第１の連結要素が、第１の回転軸を中心として回転可能に操作レバーと連結され、伝達要素が、第２の回転軸を中心として回転可能に操作レバーと連結され、伝達要素が、第３の回転軸を中心として回転可能に第２の連結要素と連結されている。この場合特に、第１の回転軸、第２の回転軸及び第３の回転軸は、特に少なくともほぼ互いに平行である。以下で説明するように、この実施形態は、特に第２の位置に変位させた時に死点が越えられる接続装置を実現するために適している。この場合、回転可能な連結部は、それぞれ、それぞれの回転軸を中心とした回転だけが許容され、これに対して横に整向された回転軸を中心とした回転が防止され、これにより、安定性が高められるように形成することができる。連結部は、それぞれ、少なくとも回転軸に対して横の、連結された部品の移動が防止されるように形成することができる。
【００２９】
一実施形態によれば、第１の位置から第２の位置に接続装置を調整するための操作レバーの旋回時、死点が超えられ、この死点において、第１の回転軸、第２の回転軸及び第３の回転軸が、少なくともほぼ一直線に位置し、第２の回転軸が、直線の一端を構成し、第１の回転軸が、特に第２の回転軸と第３の回転軸の間に位置する。この場合、直線は、特に、少なくともほぼ、連結要素が接続装置の調整時に移動される方向に対して平行に整向されている。死点位置において、連結要素の運動方向に対して平行に移行された外力による連結要素への負荷時に、特に、所定の方向への操作レバーの旋回が行なわれるのではなく、操作レバーと伝達要素が、不安定なつりあいに保たれている。
【００３０】
死点の超過は、旋回方向が逆転するとの効果を有するが、この旋回方向に、連結要素をその互いに間隔を置いた位置に押し進める連結要素に作用する偶力によって操作レバーが押し進められる。第２の位置への操作レバーの、特に死点から離間する方向の相応の旋回を防止するストッパは、第２の位置でのロックを生じさせるために設けることができる。
【００３１】
有利な実施形態によれば、少なくとも１つの弾性要素、特にバネ要素が設けられ、この弾性要素は、接続装置の第２の位置において、弾性的な復元力によって、その更に互いに間隔を置いた位置の方向の連結要素の運動に反作用するために形成されている。弾性要素は、特に、真空密の接続部の形成時に第２の位置において連結要素に必要なクランプ力を作用させるために使用される。弾性要素の使用により、正確に設定可能なクランプ力を得ることができる。更に、弾性要素は、形成された接続部の緩みに反作用することができる。例えば、弾性要素は、接続された構成要素に後から近づく時に、例えば真空引きの結果、その弾性的な復元力によって連結要素を相応に互いに向かって移動させ、その結果、連結要素を更に互いに向かって押し進めるために形成することができるので、連結要素は、接続された構成要素の相対運動に従い、その結果、不変に十分なクランプ力を構成要素に加える。
【００３２】
少なくとも１つの弾性要素は、操作レバーと連結要素の間に配置された、連結要素の調整のために形成された駆動メカニズムの一部として形成することができるので、操作レバーに加えられる操作レバーの力は、弾性要素を介して連結要素に及びその逆に伝達される。その場合、第１の位置から第２の位置に装置を調整するための操作レバーの旋回は、装置が負荷を受けない間、即ち外からの反力が連結要素に作用しない間、連結要素に相応の運動を生じさせる。装置が負荷を受けると、即ち、例えば連結要素が、接続すべき構成要素にぶつかった時に、連結要素の自由運動とは反対に整向された外からの反力が連結要素に作用すると、操作レバーの旋回は、特に弾性要素の弾性変形を生じさせる。これにより惹起される弾性要素の復元力は、連結要素をその自由運動の方向に押し進め、これにより、特に、連結要素の間に配置された構成要素に加えられるクランプ力が発生される。
【００３３】
操作レバーと連結要素の間に、この形成の場合、厳しい強制ガイドは存在しない。その代り、連結要素が既に接続すべき構成要素にぶつかり、その際好ましくは弾性要素の挟持を生じさせた時にはまた、操作レバーの更なる旋回が可能にされる。これにより、本質的に、接続すべき構成要素もしくはその間に配置されるシール要素の寸法設定及び相対的な位置決めの僅かな偏差に依存せずに、安全かつ確実に、構成要素に作用する所定の挟持力もしくはクランプ力を、従って安全な接続を保証することができる。操作レバーは、このようなバリエーションに依存せずに、例えば装置の死点の向こう側に配置でき、そこでは例えばストッパによって実現される装置のロックを保証できる第２の位置に旋回することができる。
【００３４】
図の説明と関係して詳細に説明する模範的な実施形態では、伝達要素が移動可能に軸受要素に支承され、この軸受要素が回転可能に操作レバーと結合されている。従って、伝達要素と操作レバーの間には、回転可能で、同時に移動可能な連結部が設けられている。このため、例えば、伝達要素は、軸受要素の貫通した開口を経て延在することができる。伝達要素と軸受要素の間には、特に少なくとも１つの弾性要素が配置され、この弾性要素は、互いに離間する連結要素の運動に相当する方向の伝達要素の移動に反作用するために形成されている。
【００３５】
弾性要素は、第２の位置において所定の挟持力が接続すべき構成要素に加えられることを保証する。具体的には、弾性要素として、少なくとも２つの皿バネを設けることができ、これら皿バネは、開口を備え、この開口を経て、伝達要素が延在し、皿バネは、軸受要素と伝達要素のストッパの間に配置され、特に挟持されている。
【００３６】
有利な実施形態によれば、接続装置の所定の位置において弾性要素から加えられる弾性的な復元力を調整するために調整装置が設けられている。これにより、操作レバーの旋回のために必要な力と、接続装置の第２の位置で接続すべき構成要素に加えられる力を調整することができる。調整装置は、例えば弾性要素のための調整可能なストッパを備えることができる。
【００３７】
有利な実施形態によれば、第２の位置において作動可能な安全装置が設けられ、作動された安全装置が、第１の位置への接続装置の調整に反作用する。安全装置は、連結要素に依存せずに、第１の位置の方向の操作レバーの旋回を防止もしくは阻止することができる。これにより、真空密の接続部の意図しない解離を、更に有効に回避することができる。
【００３８】
安全装置は、第２の位置への接続装置の調整時に自動的に作動されるように形成することができる。例えば、安全装置は、第２の位置への接続装置の調整時に掛かる係止要素を有することができる。例えば、係止要素は、操作レバーと、操作レバーと第２の連結要素の間に配置された伝達要素との間の係合を保証することができ、この係合は、操作レバーと伝達要素を相互の角度位置に固定し、第１の位置への操作レバーの旋回を防止もしくは阻止する。
【００３９】
特に、安全装置は、操作レバーと、操作レバーを連結要素の一方と駆動有効に連結する伝達要素との間で有効である。これにより、意図しない旋回を有効に防止することができる。特に、安全装置は、操作レバーが旋回可能に連結要素の一方に支承される中心とする回転軸とは反対側の、操作レバーの端部の領域において有効であると言えるので、特に高いレバー作用が、従って旋回防止の高い確実性が実現される。
【００４０】
本発明の別の対象は、特にそれぞれフランジを備える少なくとも２つの構成要素と、これまでに説明した、２つの構成要素の間に真空密の接続部、特にフランジ接続部を形成するための少なくとも１つの接続装置とを有する真空装置である。真空密の接続部を形成するための接続装置とこの装置の使用に関して前段で説明した有利な実施形態と利点が、相応に本発明による真空装置に対して当て嵌まる。
【００４１】
少なくとも２つの構成要素は、原理的に、真空密の容積を少なくとも部分的に制限するために形成され、別の構成要素の容積とガス導接続するための接続部もしくはフランジを備える任意の部品であり得る。例えば、一方の構成要素は、チューブもしくは真空配管の一部であり、他方の構成要素は、べローズであり得る。同様に、一方の構成要素は、真空ポンプであり得る。接続装置は、特に、構成要素の間の解離可能な真空密のクランプ接続部を実現するが、このクランプ接続部は、構成要素の間の接触面の真空にシールする押付けに基づき、特に、真空装置によって画成される内部容積の周りの閉じたリング状の環体を構成する。
【００４２】
以下で、添付図に関係させた有利な実施形態に基づいて本発明を模範的に説明する。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】本発明の一実施形態による接続装置の斜視図
【図２】図１に示した接続装置の第１の位置の縦断面図
【図３】図１に示した接続装置の第２の位置の縦断面図
【図４】図１〜３に示した接続装置の平面図
【図５】図１〜４に示した接続装置の図４の切断線Ｉ−Ｉに沿った断面図
【図６】図１〜５に示した接続装置の図４の切断線ＩＩ−ＩＩに沿った断面図
【図７】図３のＡ部の拡大図
【図８】本発明の別の実施形態による接続装置の斜視図
【図９】本発明の一実施形態による真空装置と図８に示した接続装置の第１の位置の縦断面図
【図１０】本発明の一実施形態による真空装置と図８に示した接続装置の第２の位置の縦断面図
【図１１】図１０のＡ部の拡大図
【図１２】図８〜１１に示した接続装置の図１３の切断線ＩＩＩ−ＩＩＩに沿った断面図
【図１３】図８〜１２に示した接続装置の平面図
【図１４】図８〜１３に示した接続装置の図１３の切断線Ｉ−Ｉに沿った断面図
【図１５】図８〜１４に示した接続装置の図１３の切断線ＩＩ−ＩＩに沿った断面図
【図１６】本発明の一実施形態による真空装置の斜視図
【図１７】図１６に示した真空装置の側面図
【発明を実施するための形態】
【００４４】
図１〜７は、本発明の第１の実施形態による接続装置を示す。接続装置は、クランプとして形成され、このクランプは、それぞれクランプフランジもしくはＩＳＯ−Ｋ型フランジを備える２つの構成要素の間に解離可能な真空密のフランジ接続部を形成するために適している。
【００４５】
図１は、装置を斜視図で示す。装置は、第１の構成要素のフランジと連結するための第１の連結要素１８と、第２の構成要素のフランジと連結するための第２の連結要素２０を有する。連結要素１８，２０は、それぞれ、それぞれのフランジと連結するための突出部３４，３６を有する連結部分２６，２８を備える。連結要素１８，２０は、シリンダボルト状のガイド要素４４を介して矢印２４に対して平行に長手方向に移動可能に互いにガイドされている。ガイド要素４４は、連結要素１８と不動に結合され、連結要素２０のシリンダ状の開口を経て延在する（図２も参照のこと）。
【００４６】
接続装置は、操作レバー２２を介して手操作で第１の位置と第２の位置の間を調整可能である。このため、操作レバー２２は、回転軸４８を中心として回転可能に連結要素１８と結合され、伝達要素４６は、回転軸５０を中心として回転可能に操作レバー２２と、また回転軸５２を中心として回転可能に連結要素２０と結合され、回転軸４８，５０，５２は、互いに平行である。操作レバー２２と伝達要素４６は、連結要素１８，２０のためのトグルレバー式テンショニングメカニズムを構成し、このトグルレバー式テンショニングメカニズムによって、接続装置が無負荷の時には連結要素が矢印２４の方向に互いに向かって移動する、もしくは、接続装置が接続すべき構成要素と連結されている時には連結要素がこの方向に作用する挟持力を接続すべき構成要素に加えるように、真空密の接続部を形成するための連結要素１８，２０に作用を加えることができる。装置の機能方式を、以下で図２及び３に関係させて詳細に説明する。
【００４７】
図２は、第１の位置にある装置を縦断面図で示す。操作レバーは、この位置で、回転軸４８，５２の間の接続線に対して、約６０°の角度だけ旋回されている。操作レバー２２と伝達要素４６によって構成されるトグルレバーシャーは、この位置で、開放されている、即ち、回転軸４８，５０，５２によって構成される三角形が、回転軸５０において、ここでは約３０°の開放角を備え、これは、回転軸４８，５２の間の間隔が大きい間隔であることに相当し、従って連結要素１８，２０の互いの間隔ｄ１が大きい間隔であることに相当するが、この間隔ｄ１は、連結要素１８，２０の連結部分２６，２８の間に内側の幅によって与えられている。
【００４８】
図２に示した第１の位置から出発して、接続装置は、操作レバー２２の手での旋回によって時計回り方向に第２の位置に調整可能である。この場合、まず、操作レバー２２と伝達要素４６によって構成されるトグルレバーシャーが閉じる、即ち、回転軸４８，５０，５２によって構成される三角形の、回転軸５０において存在する開放角が、減少させられ、回転軸４８，５０，５２が、この実施例では連結要素１８，２０の移動方向２４に対して平行な共通の直線上に位置するようになるまで、連結要素１８，２０が矢印２４の方向に互いに向かって移動される。
【００４９】
回転軸４８，５０，５２が一直線上に位置するこの位置は、装置の死点位置であり、この死点位置を超えると、旋回方向が逆転し、連結要素１８，２０に、連結要素１８，２０を矢印２４とは反対にその更に互いに間隔を置いた位置に押し進める外からの偶力が作用した時に、この旋回方向に操作レバー２２が押し進められる。死点を超えて時計回り方向に操作レバー２２を更に旋回させると、連結要素１８，２０は、極僅か離間するように移動され、トグルレバーシャーが、再び約１０°以下の開放角まで開放する。
【００５０】
図３は、第２の位置にある接続装置を示すが、この位置では、接続装置が、極僅か死点を超えて調整されている。連結要素１８，２０の間の間隔ｄ２は、この位置では、死点位置で得られる最小の間隔よりも若干大きいが、トグルレバーシャーの開放角が僅かであることに基づいて、図２に示した第１の位置におけるよりも明らかに小さい。
【００５１】
２つの連結要素１８，２０が図３に示した第２の位置で矢印２４とは反対に整向された外からの偶力によって離間するように押されると、操作レバー２２と伝達要素４６は、時計回り方向に整向された旋回方向に押し進められる。連結要素１８は、伝達要素４６のためのストッパ面４２を構成し、このストッパ面がこのような旋回をブロックするので、連結要素１８，２０の離間運動が防止され、第２の位置にある装置がロックされる。従って、接続部は、ユーザによる時計回り方向とは反対の操作レバー２２の手操作の旋回によってのみ解離させることができる。
【００５２】
死点を超えた第２の位置への調整は、連結要素１８，２０の極僅かな離間運動を生じさせる。それにもかかわらず高いクランプ力による不動の接続部を可能にするために、本発明によれば、皿バネとして形成された２つのバネ要素５６，５８が設けられ、これらバネ要素を介して、伝達要素４６が操作レバー２２と連結されている。伝達要素４６は、軸受要素５４の、伝達要素４６の軸方向に整向された開口を経て延在し、この軸受要素は、回転軸５０を中心として回転可能で、移動不能に操作レバー２２に支承されているので、伝達要素４６は、回転軸５０を中心として回転可能で、その長手方向軸の方向に移動可能に操作レバー２２に支承されている。
【００５３】
伝達要素４６の移動の可能性は、操作レバー２２の運動を可能にし、連結要素が例えば既に接続すべき構成要素にぶつかっている時には、同時に連結要素１８，２０が移動する必要がない。このような運動は、皿バネ５６，５８の圧縮作用を生じさせるが、皿バネは、軸受要素５４と、伝達要素４６と結合された調整要素６０との間で挟持されており、その弾性的な復元力が、連結要素１８，２０を互いに向かって押し進める。
【００５４】
従って、連結要素１８，２０は、第２の位置への調整時に、死点に達する前に既に、接続すべき構成要素のフランジにぶつかることができ、その後、皿バネ５６，５８の復元力に抗した操作レバー２２の更なる調整が可能であり、装置は、第２の位置に変位させることができる。真空密の接続部の形成時、皿バネ５６，５８は、バネ負荷を受け、連結要素１８，２０によってフランジに加えられるクランプ力を決定する。
【００５５】
このクランプ力の調整を可能にするため、調整要素６０が設けられ、この調整要素が、皿バネ５８のためのストッパを構成し、伝達要素４６において異なった軸方向の位置に固定可能である。これにより、皿バネ５６，５８の挟持と、装置によって第２の位置において惹起されるクランプ力を調整することができる。この実施例では、調整要素６０が、ネジ結合部を介して伝達要素４６と結合され、これにより伝達要素４６に対して相対的な調整要素６０の軸方向の位置の調整が可能にされる。所望の位置に調整要素６０をロックするため、固定要素６２が設けられ、この固定要素が、調整要素６０とネジ固定され、これにより軸方向に調整要素６０に対して相対的に調整可能である。固定要素６２は、調整要素６０と伝達要素４６のためのストッパを構成し、調整要素６０を、伝達要素４６に対して相対的な所望の軸方向の位置にロックする。
【００５６】
図４は、第２の位置にある図１〜３に示した接続装置を、部分的に透かして見た平面図で示す。図５及び６は、接続装置を、図４に示した切断線Ｉ−ＩもしくはＩＩ−ＩＩに沿った、連結要素２０から見た断面図で示す。特に、回転ジョイントによって構成された純粋な回転結合部が認められ、これら回転結合部は、連結要素１８，２０を、それぞれ回転軸４８もしくは５２を中心として回転可能で、移動不能に操作レバー２２もしくは伝達要素４６と連結する、もしくは、伝達要素を長手方向に移動可能に連結するために使用される軸受要素５４を、回転軸５０を中心として回転可能で移動不能に操作レバー２２と連結する。
【００５７】
回転軸４８及び５０を構成する回転ジョイントは、それぞれ、操作レバー２２とそれぞれの回転軸４８，５０を中心として回転可能に連結された２つのボルト状要素８２を有し（図５及び６も参照のこと）、これらボルト状要素は、連結要素１８もしくは軸受要素５４と不動に結合、特にネジ固定され、不動の結合部を保証するために、一方では要素８２の、他方では連結要素１８もしくは軸受要素５４の、互いに接触する接触面が、特に、ロックタイトのような接着剤によって接着されている。
【００５８】
図７は、皿バネ５６，５８を含む図３のＡ部の拡大図を示す。伝達要素４６によっては貫通把持された皿バネ５６，５８は、それぞれ一方の側が、内側に向かって湾曲させられ、バネ作用をえるために、その内側に向かって湾曲させられた側をもって互いに当接する。
【００５９】
図８〜１５は、本発明の第２の実施形態による接続装置を示すが、この接続装置は、本質的に図１〜７に示した接続装置と一致するので、以下では、これら接続装置の間の相違点だけに立ち入る。加えて、図９及び１０には、真空密に接続すべき２つの構成要素１０，１２を有する真空装置での接続装置の使用が示されている。
【００６０】
図８〜１５に示した接続装置は、付加的に安全装置を有し、この安全装置によって、第２の位置にある接続装置は、操作レバー２２の意図しない旋回に対して保護可能である。安全装置は、ピン状の係止要素６４を有し、この係止要素は、特に図１０と図１１の拡大図からわかるように、本質的に第２の位置にある伝達要素４６の整向に一致する方向に、長手方向に移動可能に操作レバー２２に移動可能に支承されている。ばね要素６６は、係止要素６４を、図９〜１１に示した係止位置に押し進める。操作要素７２が、係止要素６４と連結され、係止要素６４の移動方向に対して横に延在し、その両外端において、それぞれ操作レバー２２の長穴７４内に移動可能に支承され、ユーザによる操作のために外に向かって突出する。操作要素７２を介して、係止要素６４は、安全装置が解除される係脱位置に戻すことができる。
【００６１】
図９に示した第１の位置から図１０に示した第２の位置に操作レバー２２を旋回させる時、係止要素６４は、スロープ６８によって、調整要素６０に乗り上がり、操作レバー２２の更なる旋回時、バネ６６の復元力と反対に戻し移動される。更なる旋回時、係止要素６４は、バネ６６の復元力に基づいて調整要素６０の切欠きに入り、この調整要素と係合する。この場合、係止要素６４は、調整要素６０と共にアンダーカットを構成し、このアンダーカットは、第１の位置に戻る旋回方向に有効であり、これにより、この方向への操作レバー２２の旋回が防止される又は少なくとも阻止される。
【００６２】
係止要素６４の移動方向に対して相対的に平坦な傾斜角を備える係止要素６４のスロープ７０によってアンダーカットが構成されているので、接続部の解離は、操作レバー２２の単独の戻し旋回によって確かに原理的に可能であるが、明らかに高い力の投入によってしか可能でないので、第２の位置における安全装置が得られる。原理的に、安全装置は、接続部の解離が、操作レバー２２の単独の旋回によって全く可能でないように形成することもできる。
【００６３】
従って、接続部の意図しない解離は、防止もしくは少なくとも困難にされる。接続部の意図的な解離のため、安全装置７２の操作要素７２を引き戻し、これにより、係止要素６４を、調整要素６０との係合解除にもたらすことができるので、操作レバー２２の戻し旋回が、従って、第１の位置への装置の変位が妨害されることなく可能である。
【００６４】
図９及び１０は、２つの構成要素１０，１２の間に真空密の接続部を形成するための接続装置の使用を示す。構成要素１０，１２は、それぞれチューブ部分であり、クランプフランジ１４，１６を有し、このクランプフランジは、チューブ部分から突出し、フランジ長手方向軸に対して回転対称であり、このフランジ長手方向軸は、フランジ平面に対して垂直で、図９において水平線に一致する。フランジ１４，１６の後面３０，３２に、それぞれ１つの切欠き３８，４０が形成され、この切欠きは、フランジ平面に対して平行で半径方向外に向かってフランジ１４，１６の突出部によって画成されている。フランジの互いに面した端面の間に、真空密の接続部を形成するためのシール７６と、フランジを調心するための調心リング７８，８０が配置されている。
【００６５】
図１０に示したように、連結要素１８，２０は、第２の位置において、その連結部分２６，２８によってフランジ１４，１６の後面３０，３２に当接し、これら後面を、自身の間に、フランジ１４，１６の間に真空密のクランプ接続部が周囲に提供されるようにクランプする。突出部３４，３６は、フランジ１４，１６の、切欠き３８，４０を画成する突出部によって、フランジ平面に対して平行に半径方向外に向かって有効なアンダーカットを構成し、これにより、接続装置が、付加的に固定されている。
【００６６】
図１６及び１７は、別の真空装置を示し、この真空装置は、図１〜７に示した真空装置と、チューブ部分によって構成された第１の構成要素１０と、柔軟なベローズによって構成された別の構成要素１２を有し、これら構成要素は、接続装置によって真空密に接続されている。図１６に示したように、接続装置は、フランジ１４，１６の周囲の一部にわたって延在する。フランジ１４，１６の全周にわたり真空密の接続部を形成するため、フランジ周囲にわたって分配して、説明した形式の複数の接続装置を設けることができる。
【符号の説明】
【００６７】
１０，１２          構成要素
１４，１６          フランジ
１８，２０          連結要素
２２                操作レバー
２４                矢印（移動方向）
２６，２８          連結部分
３０，３２          後面
３４，３６          突出部
３８，４０          切欠き
４２                ストッパ面
４４                ガイド要素
４６                伝達要素
４８，５０，５２    回転軸
５４                軸受要素
５６，５８          皿バネ
６０                調整要素
６２                固定要素
６４                係止要素
６６                バネ要素
６８，７０          スロープ
７２                操作要素
７４                長穴
７６                シール
７８，８０          調心リング
８２                ボルト状要素
ｄ１，ｄ２          間隔
【図１】
2014137142.tif 000003
【図２】
2014137142.tif 000004
【図３】
2014137142.tif 000005
【図４】
2014137142.tif 000006
【図５】
2014137142.tif 000007
【図６】
2014137142.tif 000008
【図７】
2014137142.tif 000009
【図８】
2014137142.tif 000010
【図９】
2014137142.tif 000011
【図１０】
2014137142.tif 000012
【図１１】
2014137142.tif 000013
【図１２】
2014137142.tif 000014
【図１３】
2014137142.tif 000015
【図１４】
2014137142.tif 000016
【図１５】
2014137142.tif 000017
【図１６】
2014137142.tif 000018
【図１７】
2014137142.tif 000019