(57)【要約】      （修正有）【課題】共通電極に流れる電流密度の増加を抑制ないし低下できるインクジェットヘッドを提供する。【解決手段】一対の電極間に形成される静電容量を利用して、インクに吐出エネルギーを付与する複数の吐出エネルギー付与手段Ａと、複数の吐出エネルギー付与手段Aのそれぞれが有する一対の電極のうちの一方の電極が間隔をおいて複数接続されている共通電極Ｂと、共通電極Bを介して吐出エネルギー付与手段Ａの一対の電極間に印加される駆動電圧を生成するための駆動回路Ｃと、を有し、共通電極Ｂの両端が、互いに独立した配線Ｄ１、Ｄ２を介して、駆動回路Cの同一端子に電気的に接続されている。【選択図】図１
2014226788.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対の電極間に形成される静電容量を利用して、インクに吐出エネルギーを付与する複数の吐出エネルギー付与手段と、
前記複数の吐出エネルギー付与手段のそれぞれが有する前記一対の電極のうちの一方の電極が間隔をおいて複数接続されている共通電極と、
前記共通電極を介して前記吐出エネルギー付与手段の前記一対の電極間に印加される駆動電圧を生成するための駆動回路と、を有し、前記共通電極の両端が、互いに独立した配線を介して、前記駆動回路の同一端子に電気的に接続されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】
チャネルと圧電素子からなる駆動壁が交互に並設されると共に、前面及び後面にそれぞれ前記チャネルの開口部が配置され、前記チャネル内に駆動電極が形成され、前記チャネルが、インク吐出を行うインクチャネルとインク吐出を行わないダミーチャネルとが交互に配置されてチャネル列を構成してなるヘッドチップを有し、
前記複数の吐出エネルギー付与手段のそれぞれは、前記インクチャネル内の前記駆動電極と、該インクチャネルに隣接する前記ダミーチャネル内の前記駆動電極とからなる前記一対の電極間に形成される静電容量を利用して前記駆動壁をせん断変形させ、前記インクチャネル内のインクにノズルから吐出させるための吐出エネルギーを付与するように構成され、
前記ヘッドチップの前面又は後面に前記チャネル列方向に沿って延びる前記共通電極に、前記複数の吐出エネルギー付与手段のそれぞれが有する前記ダミーチャネル内の前記駆動電極が間隔をおいて複数接続されていることを特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッド。
【請求項３】
一対の電極間に形成される静電容量を利用して、インクに吐出エネルギーを付与する複数の吐出エネルギー付与手段と、
前記複数の吐出エネルギー付与手段のそれぞれが有する前記一対の電極のうちの一方の電極が間隔をおいて複数接続されている共通電極と、
前記共通電極を介して前記吐出エネルギー付与手段の前記一対の電極間に印加される駆動電圧を生成するための駆動回路と、を有し、
前記一対の電極間のすべてに前記駆動電圧を同時に印加する際の抵抗Ｒ（Ω）と、前記複数の吐出エネルギー付与手段の静電容量の合計Ｃ（Ｆ）との積ＲＣが、３．０×１０−７以下であることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項４】
チャネルと圧電素子からなる駆動壁が交互に並設されると共に、前面及び後面にそれぞれ前記チャネルの開口部が配置され、前記チャネル内に駆動電極が形成され、前記チャネルが、インク吐出を行うインクチャネルとインク吐出を行わないダミーチャネルとが交互に配置されてチャネル列を構成してなるヘッドチップを有し、
前記複数の吐出エネルギー付与手段のそれぞれは、前記インクチャネル内の前記駆動電極と、該インクチャネルに隣接する前記ダミーチャネル内の前記駆動電極とからなる前記一対の電極間に形成される静電容量を利用して前記駆動壁をせん断変形させ、前記インクチャネル内のインクにノズルから吐出させるための吐出エネルギーを付与するように構成され、
前記ヘッドチップの前面又は後面に前記チャネル列方向に沿って延びる前記共通電極に、前記複数の吐出エネルギー付与手段のそれぞれが有する前記ダミーチャネル内の前記駆動電極が間隔をおいて複数接続されていることを特徴とする請求項３記載のインクジェットヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェットヘッドに関し、より詳しくは、共通電極に流れる電流密度の増加を抑制ないし低下できるインクジェットヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、チャネルを区画する駆動壁に形成した一対の電極間に電圧を印加することにより駆動壁をせん断変形させ、そのとき発生する圧力を利用してチャネル内のインクをノズルから吐出させるようにしたシェアモード型のインクジェットヘッド、前面及び後面にそれぞれチャネルの開口部が配置された所謂ハーモニカ型のヘッドチップを備えたインクジェットヘッドが開示されている（特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−１４３１６７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
図５は、従来技術に係るインクジェットヘッドにおける回路構成を説明する概念図である。
【０００５】
図５において、Ａ’は、インクに吐出圧力を付与する吐出圧力付与手段であり、駆動壁とこれを挟持する一対の電極から構成されている。
【０００６】
複数の吐出圧力付与手段Ａ’において駆動壁を挟持する一対の電極のうちの一方の電極は、共通電極Ｂ’に接続され、該共通電極Ｂ’の末端は、配線Ｄ’によって駆動回路Ｃ’に電気的に接続される。
【０００７】
一対の電極のうちの他方の電極は、配線Ｅ’を介して、それぞれ個別に駆動回路Ｃ’に電気的に接続され、これにより複数の駆動壁を個別に駆動できるようにしている。
【０００８】
共通電極Ｂ’は、ヘッドチップの後面のチャネル列間のスペースに、チャネル列方向に沿って延びるように設けられるが、チャネル密度の高密度化に伴い、チャネル列間距離が狭くなることで、共通電極Ｂ’が細くなり、また、１チャネル列あたりのチャネル数が増加すると、共通電極Ｂ’に流れる電流量が増加する。共通電極Ｂ’での電流密度の増加は、吐出圧力付与手段Ａ’を構成する上記一方の電極への駆動電圧印加時において、駆動電圧の立ち上がり時間に遅れを生じる。
【０００９】
共通電極Ｂ’に流れる電流密度の増加を抑制ないし低下することにより、駆動電圧の立ち上がり時間の遅れを防止し、吐出液滴速度のばらつきを好適に防止する等の効果がもたらされる。
【００１０】
そこで、本発明の課題は、共通電極に流れる電流密度の増加を抑制ないし低下できるインクジェットヘッドを提供することにある。
【００１１】
また本発明の他の課題は、以下の記載によって明らかとなる。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記課題は、以下の各発明によって解決される。
【００１３】
１．一対の電極間に形成される静電容量を利用して、インクに吐出エネルギーを付与する複数の吐出エネルギー付与手段と、前記複数の吐出エネルギー付与手段のそれぞれが有する前記一対の電極のうちの一方の電極が間隔をおいて複数接続されている共通電極と、前記共通電極を介して前記吐出エネルギー付与手段の前記一対の電極間に印加される駆動電圧を生成するための駆動回路と、を有し、前記共通電極の両端が、互いに独立した配線を介して、前記駆動回路の同一端子に電気的に接続されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
【００１４】
２．チャネルと圧電素子からなる駆動壁が交互に並設されると共に、前面及び後面にそれぞれ前記チャネルの開口部が配置され、前記チャネル内に駆動電極が形成され、前記チャネルが、インク吐出を行うインクチャネルとインク吐出を行わないダミーチャネルとが交互に配置されてチャネル列を構成してなるヘッドチップを有し、前記複数の吐出エネルギー付与手段のそれぞれは、前記インクチャネル内の前記駆動電極と、該インクチャネルに隣接する前記ダミーチャネル内の前記駆動電極とからなる前記一対の電極間に形成される静電容量を利用して前記駆動壁をせん断変形させ、前記インクチャネル内のインクにノズルから吐出させるための吐出エネルギーを付与するように構成され、前記ヘッドチップの前面又は後面に前記チャネル列方向に沿って延びる前記共通電極に、前記複数の吐出エネルギー付与手段のそれぞれが有する前記ダミーチャネル内の前記駆動電極が間隔をおいて複数接続されていることを特徴とする前記１記載のインクジェットヘッド。
【００１５】
３．一対の電極間に形成される静電容量を利用して、インクに吐出エネルギーを付与する複数の吐出エネルギー付与手段と、前記複数の吐出エネルギー付与手段のそれぞれが有する前記一対の電極のうちの一方の電極が間隔をおいて複数接続されている共通電極と、前記共通電極を介して前記吐出エネルギー付与手段の前記一対の電極間に印加される駆動電圧を生成するための駆動回路と、を有し、前記一対の電極間のすべてに前記駆動電圧を同時に印加する際の抵抗Ｒ（Ω）と、前記複数の吐出エネルギー付与手段の静電容量の合計Ｃ（Ｆ）との積ＲＣが、３．０×１０−７以下であることを特徴とするインクジェットヘッド。
【００１６】
４．チャネルと圧電素子からなる駆動壁が交互に並設されると共に、前面及び後面にそれぞれ前記チャネルの開口部が配置され、前記チャネル内に駆動電極が形成され、前記チャネルが、インク吐出を行うインクチャネルとインク吐出を行わないダミーチャネルとが交互に配置されてチャネル列を構成してなるヘッドチップを有し、前記複数の吐出エネルギー付与手段のそれぞれは、前記インクチャネル内の前記駆動電極と、該インクチャネルに隣接する前記ダミーチャネル内の前記駆動電極とからなる前記一対の電極間に形成される静電容量を利用して前記駆動壁をせん断変形させ、前記インクチャネル内のインクにノズルから吐出させるための吐出エネルギーを付与するように構成され、前記ヘッドチップの前面又は後面に前記チャネル列方向に沿って延びる前記共通電極に、前記複数の吐出エネルギー付与手段のそれぞれが有する前記ダミーチャネル内の前記駆動電極が間隔をおいて複数接続されていることを特徴とする前記３記載のインクジェットヘッド。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、共通電極に流れる電流密度の増加を抑制ないし低下できるインクジェットヘッドを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の第１態様に係るインクジェットヘッドの一例における回路構成を説明する概念図
【図２】本発明の第１態様に係るインクジェットヘッドの一例におけるヘッドチップ部分を後面側から見た分解斜視図
【図３】実施例の結果を示す図
【図４】実施例の結果を示す図
【図５】従来技術に係るインクジェットヘッドにおける回路構成を説明する概念図
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下に、図面を参照して本発明を実施するための形態について説明する。
【００２０】
＜第１態様＞
図１は、本発明の第１態様に係るインクジェットヘッドの一例における回路構成を説明する概念図である。
【００２１】
Ａは、吐出エネルギー付与手段であり、一対の電極間に形成される静電容量を利用してインクに吐出エネルギーを付与する機能を有する。吐出エネルギー付与手段Ａとしては、一対の電極間に圧電素子を備えたもの等を好ましく例示できる。インクジェットヘッドは、インクを吐出するためのノズルを複数有しており、これら複数のノズルに対応して、複数の吐出エネルギー付与手段Ａが設けられている。より具体的には、吐出エネルギー付与手段Ａは、各々のノズルに対して個別に設けられたインク室内に貯留されているインクに対して、吐出エネルギーを付与する機能を有している。
【００２２】
Ｂは、共通電極であり、複数の吐出エネルギー付与手段Ａのそれぞれが有する一対の電極のうちの一方の電極が、間隔をおいて複数接続されている。Ｂ１及びＢ２は、共通電極Ｂの一端及び他端である。共通電極Ｂの両端Ｂ１、Ｂ２間において、複数の上記一方の電極が、当該共通電極Ｂに接続されている。
【００２３】
Ｃは、駆動回路（波形生成回路ともいう）であり、共通電極Ｂを介して、複数の吐出エネルギー付与手段Ａの一対の電極間に駆動電圧（駆動パルスともいう）を印加し、静電容量を充電ないし放電する機能を有する。これにより、吐出エネルギー付与手段Ａによるインクへの吐出エネルギーの付与がなされる。
【００２４】
また、複数の吐出エネルギー付与手段Ａのそれぞれが有する一対の電極のうちの他方の電極は、個別の配線Ｅによって駆動回路Ｃと接続されており、複数の吐出エネルギー付与手段Ａを個別に駆動することを可能にしている。即ち、インクジェットヘッドが備える各々のノズルから個別にインクを吐出することを可能にしている。
【００２５】
本発明のインクジェットヘッドにおいて、共通電極Ｂの両端Ｂ１、Ｂ２は、互いに独立した配線Ｄ１、Ｄ２を介して、駆動回路Ｃに電気的に接続されている。
【００２６】
これにより、共通電極Ｂに流れる電流密度の増加を抑制ないし低下できる効果が得られる。例えば、インクジェットヘッドにおけるチャネル密度の高密度化に伴い、チャネル列間距離が狭くなることで、共通電極Ｂを細く形成したり、あるいは、１チャネル列あたりのチャネル数を増加させたりしても、共通電極Ｂでの電流密度の増加が抑制されることにより、吐出エネルギー付与手段Ａが有する一対の電極間に駆動電圧を印加する際の駆動電圧の立ち上がりの時間の遅れを防止できる効果が得られる。その結果、本発明によれば、チャネル密度を高密度化しても、吐出されるインクの液滴速度の乱れを防止できる効果が得られる。
【００２７】
一般に、インクジェットヘッドが下記条件（ａ）〜（ｄ）の１又は２以上に該当するような場合は、吐出されるインクの液滴速度の乱れが発生し易くなる場合があるが、本発明の第１態様によれば、このような場合においても、吐出されるインクの液滴速度の乱れを防止でき、本発明の意義が顕著となる。これは、後述する第２態様にも共通することである。
【００２８】
条件（ａ）：共通電極Ｂの両端Ｂ１、Ｂ２間の抵抗が１Ω以上、更には５Ω以上であること
【００２９】
条件（ｂ）：駆動回路ＣのＯＮ抵抗及び該駆動回路Ｃから共通電極Ｂに接続されるまでの配線抵抗の合計が０．１Ω以上、更には０．５Ω以上であること
【００３０】
条件（ｃ）：共通電極Ｂに接続される吐出エネルギー付与手段Ａの数が１００個以上、更には３００個以上であること
【００３１】
条件（ｄ）：１つの吐出エネルギー付与手段Ａが有する静電容量が５００ｐＦ以上、更には１５００ｐＦ以上であること
【００３２】
本発明において、互いに独立した配線Ｄ１、Ｄ２の抵抗率は、共通電極Ｂの両端Ｂ１、Ｂ２間の抵抗率よりも低いことが好ましい。更に、本発明において、互いに独立した配線Ｄ１、Ｄ２の抵抗は、実質的に同一であることが好ましい。
【００３３】
以下に、本発明の第１態様に係るインクジェットヘッドの一例として、チャネルを区画する駆動壁に形成した一対の電極間に電圧を印加することにより駆動壁をせん断変形させ、そのとき発生する圧力を利用してチャネル内のインクをノズルから吐出させるようにしたシェアモード型のインクジェットヘッド、より具体的には、前面及び後面にそれぞれチャネルの開口部が配置された所謂ハーモニカ型のヘッドチップを備えたインクジェットヘッドを例に、本発明を更に詳しく説明する。
【００３４】
図２は、本発明の第１態様に係るインクジェットヘッドの一例におけるヘッドチップ部分を後面側から見た分解斜視図であり、ヘッドチップ１と配線基板３との間で左右に展開した状態を示している。
【００３５】
図中、１はヘッドチップ、２はヘッドチップ１の前面に接合されたノズルプレート、３はヘッドチップ１の後面１ｂに接合される配線基板、４は配線基板３の背面側に接合され、配線基板３を介してヘッドチップ１に対して供給するインクを貯留するマニホールド部材、５は配線基板３に接続されるＦＰＣである。
【００３６】
なお、本明細書においては、ヘッドチップからインクが吐出される側の面を「前面」といい、その反対側の面を「後面」という。また、ヘッドチップにおいて並設されるチャネルを挟んで図示上下に位置する外側面をそれぞれ「上面」及び「下面」という。
【００３７】
ヘッドチップ１には、圧電素子からなる駆動壁１１とチャネル１２、１３とが交互に並設されたチャネル列が設けられている。ここではチャネル列が７つのチャネル１２、１３を有するものを例示しているが、チャネル列のチャネル数は何ら限定されない。
【００３８】
このヘッドチップ１は、チャネル列が、チャネル一つおきにインクを吐出するインクチャネル１２とインクを吐出しないダミーチャネル１３とが並設されることにより構成された独立チャネルタイプのヘッドチップである。チャネル１２、１３の形状は、両側壁がヘッドチップ１の上面及び下面に対してほぼ垂直方向に延びており、そして互いに平行である。
【００３９】
ヘッドチップ１の前面及び後面１ｂには、それぞれ各チャネル１２、１３の前面側の開口部（不図示）と後面１ｂ側の開口部１２１、１３１とが対向している。各チャネル１２、１３は、その後面１ｂ側の開口部１２１、１３１から前面側の開口部に亘る長さ方向で大きさと形状がほぼ変わらないストレートタイプである。ダミーチャネル１３の後面１ｂ側の開口部１３１は、配線基板３によって塞がれている。
【００４０】
各チャネル１２、１３の内面全面には、それぞれＮｉ、Ａｕ、Ｃｕ、Ａｌ等の金属膜からなる駆動電極１４が密着形成されている。
【００４１】
また、ヘッドチップ１の後面１ｂには、チャネル列の全てのダミーチャネル１３内の駆動電極１４が所定の間隔をおいて電気的に接続された線状の共通電極１５が、チャネル列と直交する方向（図示上下方向）のうちの図示上方に向けて引き出し形成され、チャネル列方向（図示左右方向）に沿うように延びている。
【００４２】
更に、ヘッドチップ１の後面１ｂには、チャネル列の各インクチャネル１２内の駆動電極１４と電気的に接続する接続電極１６が、共通電極１５の引き出し方向とは反対方向である図示下方のヘッドチップ１の後面１ｂの下端部に向けてそれぞれ個別に引き出し形成され、該下端部側において並列している。
【００４３】
ヘッドチップ１の前面には、ノズルプレート２が接合されている。ノズルプレート２には、インクチャネル１２に対応する位置にのみノズル２１が開設されている。従って、インクを吐出しない各ダミーチャネル１３の前面側の開口部（不図示）はノズルプレート２によって閉塞されている。
【００４４】
配線基板３は、ヘッドチップ１の後面１ｂよりも大判な平板状の基板からなり、ヘッドチップ１の後面１ｂに接着剤によって接合されている。ここではヘッドチップ１よりも図示下側方に大きく張り出す大きさを有し、この張り出した部位によってＦＰＣ５との接続部３１を形成している。
【００４５】
配線基板３に使用される基板材料は特に制限はないが、ガラス、シリコン、セラミックス、プラスチック等が挙げられる。中でも熱による寸法変化が少なく、比較的安価で、加工も容易である点でガラス製基板を用いることが好ましい。
【００４６】
配線基板３には、ヘッドチップ１の後面１ｂのインクチャネル１２の開口部１２２にそれぞれ対応する位置に、マニホールド部材４内の共通インク室４１のインクを、チャネル列の各インクチャネル１２に供給するためのインク供給口３２が、インクチャネル１２毎に個別に貫通形成されている。各インク供給口３２は、インクチャネル１２の開口部１２１と同一形状、同一サイズで形成されている。
【００４７】
マニホールド部材４は、一面がヘッドチップ１の後面１ｂに開口するインクチャネルチャネル１２の全ての開口部１２１を取り囲む大きさを有する箱型に形成され、配線基板３の背面に接着剤によって接合されている。マニホールド部材４の内部は、インクチャネル１３に共通に供給するインクが貯留される共通インク室４１となっており、この共通インク室４１のインクが、配線基板３の各インク供給口３２を介して各インクチャネル１２に供給されるようになっている。
【００４８】
配線基板３において、ヘッドチップ１が接合される側の表面には、一端がヘッドチップ１のチャネル列のインクチャネル１２毎に設けられた接続電極１６と電気的に接続される個別電極用配線３３が、蒸着、スパッタリング又はめっき等によって個別に形成されている。個別電極用配線３３の一端は、インク供給口３２の近傍に配置され、その他端は配線基板３の図示下側の端部まで延び、ＦＰＣ５との接続部３１に配列されている。
【００４９】
また、配線基板３の表面には、ヘッドチップ１の後面１ｂに接合された際に、共通電極１５の一端１５ａに接続される共通電極用配線３５ａと、共通電極１５の他端１５ｂに電気的に接続される共通電極用配線３５ｂとが個別に形成されている。
【００５０】
互いに独立した共通電極用配線３５ａ及び３５ｂの一端は、ヘッドチップ１の後面１ｂの共通電極１５と電気的に接続するべくヘッドチップ１との接合領域３０内に配置され、他端側は、それぞれ配線基板３の図示下側の端部に向かった後、これら共通電極用配線３５ａ及び３５ｂが１つの配線３５ｃに合流された状態で、接続部３１に配置されている。
【００５１】
図示の例では、共通電極用配線３５ａが、配線基板３に設けられた貫通孔３６ａを介して裏面（ヘッドチップ１が接合される側の表面）に引き回され、配線基板３に設けられた他の貫通孔３６ｂを介して再び配線基板３の表面に引き戻されて、共通電極用配線３５ｂに接続された後、１つの配線３５ｃを形成している。このように、共通電極用配線３５ａを配線基板３の裏面側に引き回すことにより、表面側に設けられた個別電極用配線３３を跨いで、共通電極用配線３５ｂと合流させることができる。各貫通孔３６ａ、３６ｂを介して配線基板３を貫通する配線を形成する際には、例えば蒸着法、スパッタリング法又はめっき法等を用いることができる。特に、蒸着法と電解めっき法との併用、又は、スパッタリング法と電解めっき法との併用が、各貫通孔３６ａ、３６ｂの全長に亘って、その内周面に均一厚みの金属膜を形成することができるために特に好ましい。
【００５２】
ＦＰＣ５は、配線基板３の接続部３１に異方性導電フィルム等によって接続され、不図示の駆動回路からの所定電圧の駆動信号を、該接続部３１に配列された個別電極用配線３３のそれぞれと、共通電極用配線３５ａ及び３５ｂを合流してなる配線３５ｃとの間に印加する。駆動信号は、ヘッドチップ１の共通電極１５、接続電極１６の各々を介して、ダミーチャネル１３内の駆動電極１４と、インクチャネル１２内の駆動電極１４との間に印加され、駆動壁１１を変形させる。ＦＰＣ５には駆動回路（駆動ＩＣ）が実装されていてもよい。
【００５３】
本発明によれば、このように共通電極１５の両端１５ａ、１５ｂが、互いに独立した共通電極用配線３５ａ及び３５ｂを介して、駆動回路の同一端子に接続されることにより、共通電極１５に流れる電流密度の増加を抑制ないし低下できる効果が得られる。これにより、インクジェットヘッドにおけるチャネル密度の高密度化に伴い、チャネル列間距離が狭くなることで、共通電極１５を細く形成したり、あるいは、１チャネル列あたりのチャネル数を増加させたりしても、共通電極１５での電流密度の増加が抑制される。そのため、圧電素子からなる駆動壁１２を挟んだ一対の駆動電極１４、１４間に、駆動電圧を印加する際の駆動電圧の立ち上がりの時間の遅れを防止できる効果が得られる。その結果、本発明によれば、チャネル密度を高密度化しても、吐出されるインクの液滴速度の乱れを防止できる効果が得られる。
【００５４】
以上の例では、共通電極１５の両端１５ａ、１５ｂを、互いに独立した配線を介して、駆動回路の同一端子と電気的に接続するに際して、配線基板３において、互いに独立した共通電極用配線３５ａ及び３５ｂを合流する場合について示したが、これに限定されず、何れの方法を用いてもよい。
【００５５】
例えば、共通電極１５の両端１５ａ、１５ｂに接続された互いに独立した配線を、ヘッドチップ１の後面１ｂ等において合流させてもよいし、上述したように配線基板３において合流させてもよいし、ＦＰＣ５において合流させてもよい。これらの場合、合流後の配線を駆動回路の同一端子と接続させればよい。あるいは、共通電極１５の両端１５ａ、１５ｂに接続された互いに独立した配線を、直接、駆動回路の同一端子と接続してもよい。
【００５６】
共通電極１５の両端１５ａ、１５ｂに接続された互いに独立した配線を、ＦＰＣ５において合流させる場合は、上述した配線基板３での場合と同様に、ＦＰＣ５に貫通孔を設けて、ＦＰＣ５の両面を用いて、個別電極用配線を跨いで合流させることも好ましいことである。
【００５７】
＜第２態様＞
次に、本発明の第２態様に係るインクジェットヘッドについて説明する。
【００５８】
本発明の第２態様に係るインクジェットヘッドは、一対の電極間に形成される静電容量を利用して、インクに吐出エネルギーを付与する複数の吐出エネルギー付与手段と、前記複数の吐出エネルギー付与手段のそれぞれが有する前記一対の電極のうちの一方の電極が間隔をおいて複数接続されている共通電極と、前記共通電極を介して前記吐出エネルギー付与手段の前記一対の電極間に印加される駆動電圧を生成するための駆動回路と、を有する。
【００５９】
本発明の第２態様は、上記構成を備えたインクジェットヘッドにおいて、前記一対の電極間のすべてに前記駆動電圧を同時に印加する際の抵抗Ｒ（Ω）と、前記複数の吐出エネルギー付与手段の静電容量の合計Ｃ（Ｆ）との積ＲＣが、３．０×１０−７以下、好ましくは１．５×１０−７以下、より好ましくは１．０×１０−７以下であることを特徴とする。
【００６０】
これにより、共通電極に流れる電流密度の増加が抑制され、吐出液滴速度の変化が防止できる。
【００６１】
上記抵抗Ｒ（Ω）は、回路のＯＮ抵抗、駆動回路と共通電極とを結ぶ配線抵抗、及び、共通電極の抵抗に基づいて算出できる。
【００６２】
本発明の第２態様に係るインクジェットヘッドは、上述した第１態様の構成を備えるものに限定されない。なお、便宜上、回路のＯＮ抵抗、及び、駆動回路と共通電極とを結ぶ配線抵抗を無視して、比較的抵抗値が増大し易い共通電極の抵抗のみを考慮した場合で比較すると、第１態様のように、共通電極の両端が、互いに独立した配線を介して、駆動回路の同一端子に電気的に接続されていることにより、共通電極の片端のみを駆動回路と配線接続したときよりも、ＲＣを大幅に（通常１／４程度に）低減することができるため、上記第２態様に係るＲＣ条件を好適に達成することが可能になる。
【００６３】
以上、本発明の第１態様及び第２態様に係る説明では、便宜上、主にヘッドチップが１つのチャネル列を有する場合について説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、特にヘッドチップが複数のチャネル列、好ましくは４列以上、より好ましくは６列以上のチャネル列を有する場合に、発明の意義がより顕著となる。ヘッドチップが複数列のチャネル列を有する場合は、共通電極の形成のために十分なスペースを確保することが困難となり、特にチャネル列間に共通電極を形成する場合にスペースの制約は大きくなる。本発明によれば、共通電極における電流密度の増加を抑制ないし低下できるため、上記のような場合において、限られたスペース内に細幅の共通電極を設けざるを得ないようなときに、特に好適である。
【００６４】
以上の説明では、主に、ヘッドチップの後面１ｂにチャネル列方向に沿って延びる共通電極を有するシェアモード型のインクジェットヘッドを例にしたが、本発明の第１態様及び第２態様は、これに限定されるものではなく、例えばヘッドチップの前面にチャネル列方向に沿って延びる共通電極を有するシェアモード型のインクジェットヘッドにも好適に用いることができる。
【００６５】
また、本発明の第１態様及び第２態様は、シェアモード型のインクジェットヘッドに限定されるものではなく、一対の電極間に形成される静電容量を利用して、インクに吐出エネルギーを付与する複数の吐出エネルギー付与手段と、前記複数の吐出エネルギー付与手段のそれぞれが有する前記一対の電極のうちの一方の電極が間隔をおいて複数接続されている共通電極と、前記共通電極を介して前記吐出エネルギー付与手段の前記一対の電極間に印加される駆動電圧を生成するための駆動回路とを有するインクジェットヘッドであれば、好適に適用できる。
【００６６】
また、以上の説明において、１つの態様について説明された構成は、他の態様においても適宜適用することができる。
【実施例】
【００６７】
以下に、本発明の実施例について説明するが、本発明はかかる実施例により限定されない。
【００６８】
（試験１）
図２に示したように、共通電極の両端を、互いに独立した配線を介して、駆動回路の同一端子に電気的に接続した下記仕様のインクジェットヘッドを用意し、同時に駆動される駆動チャネル数による吐出液滴速度の変化を測定した。吐出液滴速度は、チャネル列の中央に位置するインクチャネル（末端から１２０個目のインクチャネル）のノズルについて測定した。
【００６９】
＜インクジェットヘッドの仕様＞
・静電容量：９００ｐＦ／１インクチャネル
・インクチャネル数：２５６個／１チャネル列
・ダミーチャネル数：２５７個／１チャネル列
・駆動回路のＯＮ抵抗及び駆動回路から共通電極に接続されるまでの配線抵抗の合計：０．１Ω
・ヘッドチップにおける共通電極の両端間の抵抗：３Ω
【００７０】
結果を図３に示す。
【００７１】
（試験２）
試験１において、共通電極の片端のみを駆動回路の端子に電気的に接続したこと以外は、試験１と同様にして、同時に駆動される駆動チャネル数による吐出液滴速度の変化を測定した。
【００７２】
結果を図３に示す。
【００７３】
（試験３；参考例）
試験２において、共通電極の形成幅（線幅）が太い下記仕様のインクジェットヘッドを用いたこと以外は、試験２と同様にして、同時に駆動される駆動チャネル数による吐出液滴速度の変化を測定した。
【００７４】
＜インクジェットヘッドの仕様＞
・静電容量：９００ｐＦ／１インクチャネル
【００７５】
・インクチャネル数：２５６個／１チャネル列
・ダミーチャネル数：２５７個／１チャネル列
・駆動回路のＯＮ抵抗及び駆動回路から共通電極に接続されるまでの配線抵抗の合計：０．１Ω
・ヘッドチップにおける共通電極の両端間の抵抗：０．４５Ω
【００７６】
結果を図３に示す。
【００７７】
＜評価＞
共通電極の形成幅（線幅）を太く形成した場合（試験３）は、駆動チャネル数による吐出液滴速度の変化は比較的小さいが、共通電極の形成幅（線幅）が太いため、チャネル密度の高密度化等の観点で問題がある。
【００７８】
一方、共通電極の形成幅を細くする場合（試験２）は、チャネル密度の高密度化の観点ではよいが、駆動チャネル数による吐出液滴速度の変化が大きくなってしまう問題が発生する。
【００７９】
これに対して、本発明の第１態様に係る試験１、即ち、共通電極の両端を、独立した配線を介して、駆動回路の同一端子に電気的に接続した場合は、共通電極の形成幅が同じである試験２と比較して、駆動チャネル数による吐出液滴速度の変化が防止されることがわかる。即ち、チャネル密度を高密度化しても、共通電極に流れる電流密度の増加が抑制され、駆動電圧の立ち上がり時間の遅れを防止し、吐出されるインクの液滴速度の乱れを防止できることがわかる。
【００８０】
更に、試験１〜３の測定データに基づいてシュミレートを行い、ＲＣと液滴速度の関係を導いた（図４）。図４に示すグラフにおいて、横軸はＲＣの対数に対応する。
【００８１】
図４に示される通り、試験１〜３の測定データについて、ＲＣと吐出液滴速度との間に、共通の相関関係（曲線で示した）が見出された。この相関関係より、ＲＣを、３．０×１０−７以下、好ましくは１．５×１０−７以下、より好ましくは１．０×１０−７以下となる条件でインク吐出を行う場合は、共通電極に流れる電流密度の増加が抑制され、駆動電圧の立ち上がり時間の遅れを防止（速度比率９０％以上を好適に達成）し、吐出液滴速度の変化が防止できることがわかる。
【００８２】
従って、上述した本発明の第２態様に係る条件、即ち、一対の電極間のすべてに駆動電圧を同時に印加する際の抵抗Ｒ（Ω）と、複数の吐出エネルギー付与手段の静電容量の合計Ｃ（Ｆ）との積ＲＣが、３．０×１０−７以下、好ましくは１．５×１０−７以下、より好ましくは１．０×１０−７以下の条件を満たすインクジェットヘッドであれば、駆動電圧の立ち上がり時間の遅れを防止し、吐出液滴速度の乱れを防止できることがわかる。
【００８３】
また、以上の結果より、共通電極の両端を、互いに独立した配線を介して、駆動回路の同一端子に接続すること（試験１）により、片端接続の場合（試験２）と比較してＲＣを低下でき、上記条件を好適に達成できるようになることがわかる。
【符号の説明】
【００８４】
Ａ：吐出エネルギー付与手段
Ｂ：共通電極
Ｂ１：共通電極の一端
Ｂ２：共通電極の他端
Ｃ：駆動回路
Ｄ１、Ｄ２：配線
Ｅ：配線
１：ヘッドチップ
１１：駆動壁（圧電素子）
１２：インクチャネル
１３：ダミーチャネル
１４：駆動電極
１５：共通電極
１５ａ：共通電極の一端
１５ｂ：共通電極の他端
１６：接続電極
２：ノズルプレート
２１：ノズル
３：配線基板
３０：接合領域
３１：接続部
３２：インク供給口
３３：個別電極用配線
３５ａ、３５ｂ：共通電極用配線
３５ｃ：配線
３６ａ、３５ｂ：貫通穴
４：マニホールド部材
４１：共通インク室
５：ＦＰＣ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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