(57)【要約】【課題】医薬品の包装材や、フレキシブル封止材として使用することができる柔軟性とハイバリア性を兼ね備えたハイバリアフイルムを提供する。【解決手段】本発明の透明ハイバリアフイルムは、プラスチックフイルム上に、少なくともバリア層が積層されている透明バリアフイルムであって、（Ａ）バリア層が、バリア層Ａ、バリア層Ｂ、及びバリア層Ａをこの順で積層されたユニットが２回以上積層されている層。（Ｂ）バリア層Ａが、ＸＰＳで炭素の定量分析をしたときの炭素の含有割合が０％よりも大きく１５％未満の範囲であるＳｉＯＣからなる層。（Ｃ）バリア層Ｂが、ＸＰＳで炭素の定量分析をしたときの炭素の含有割合が、バリア層Ａの炭素の含有割合の１．１〜４．０倍の範囲であるＳｉＯＣからなる層であり、（Ａ）〜（Ｃ）すべてを満足することを特徴とする。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
プラスチックフイルムの片面または両面に、少なくともバリア層が積層されている透明バリアフイルムであって、以下（Ａ）〜（Ｃ）の条件をすべて満足することを特徴とする透明ハイバリアフイルム。
（Ａ）バリア層が、バリア層Ａ、バリア層Ｂ、及びバリア層Ａをこの順で積層されたものをユニットとし、該ユニットが２回以上積層されている層である。
（Ｂ）バリア層Ａが、バリア層ＡをＸ線光電子分光分析法（ＸＰＳ）で炭素の定量分析をしたときの炭素の含有割合が０％よりも大きく１５％未満の範囲であるＳｉＯＣからなる層である。
（Ｃ）バリア層Ｂが、バリア層ＢをＸ線光電子分光分析法（ＸＰＳ）で炭素の定量分析をしたときの炭素の含有割合が、バリア層Ａの炭素の含有割合の１．１〜４．０倍の範囲であるＳｉＯＣからなる層である。
【請求項２】
バリア層Ａ、及びバリア層Ｂの厚さが、それぞれ５〜３０ｎｍの範囲である請求項１記載の透明ハイバリアフイルム。
【請求項３】
請求項１、または２記載の透明ハイバリアフイルムと機能性フイルムとが、粘着剤層または接着剤層を介して貼り合わされたことを特徴とするハイバリア積層体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、食品、日用品の包装材や、太陽電池、電子ペーパー、有機ＥＬ等の封止材として使用されているバリアフイルムに関し、水蒸気を遮断する水蒸気バリア性（以下、単にバリア性ということがある）に優れ、特に優れた水蒸気バリア性を必要とする医薬品の包装材や太陽電池、電子ペーパー、有機ＥＬ等の封止材として使用することができる、ハイバリア性を有する透明ハイバリアフイルムに関する。
尚、本明細書でいうハイバリア性とは、水蒸気透過率が、５×１０−５ｇ／ｍ２・ｄａｙ以下のことをいう。
【背景技術】
【０００２】
一般的なバリアフイルムは、収容物の変質を抑制して、その機能や品質を保持する為、包装材や封止材を透過する酸素、水蒸気等、収容物を変質させる気体による影響を防止する必要があり、少なくとも水蒸気バリア性を備えていることが求められている。【０００３】
そして、医薬品の包装材として使用するバリアフイルムは、収容物である医薬品が水蒸気等によって品質が劣化することを防ぐ為に水蒸気を遮断するハイバリア性が特に必要とされており、また収容物である医薬品を目視で確認することができる透明性も兼ね備えたハイバリアフイルムが要望されている。【０００４】
そして、太陽電池、電子ペーパー、有機ＥＬ等などの開発が進むなかで、これらのフレキシブル化の研究開発が行われており、従来、太陽電池、電子ペーパー、有機ＥＬ等で封止材として使用していたガラス基板は、ハイバリア性は備わっているものの柔軟性が低く割れやすく、フレキシブルな太陽電池、電子ペーパー、有機ＥＬ等の封止材（以下、フレキシブル封止材という）として使用することができなかった。【０００５】
また、食品や日用品の包装材に使用されている一般的なバリアフイルムは、前記のような、医薬品の包装材やフレキシブル封止材に必要とされているハイバリア性を有していない為、医薬品の包装材や、フレキシブル封止材として使用することができなかった。【０００６】
そして、特許文献１には、食品、日用品、医薬品等の包装分野や、電子機器関連部材などの分野において、包装材やＦＰＤ（フラットパネルディスプレイ）向けとして好適に使用することができる透明なガスバリア性積層フィルムとして、プラスチックフィルム上に重合可能なアクリル系のモノマーまたはモノマーとオリゴマーとの混合物を含むアンカー層、及びＳｉＯｘＣｙ（ｘは１．５以上２．０以下、ｙは０以上０．５以下）で表される酸化珪素からなるガスバリア層が順次積層されているガスバリア性積層フィルムが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２０１０−２０１８８８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、特許文献１記載のガスバリア性積層フィルムは、前記のように、プラスチックフィルム上に、アンカーコート層、及びＳｉＯｘＣｙ（ｘは１．５以上２．０以下、ｙは０以上０．５以下）で表される酸化珪素からなるガスバリア層（バリア層）が積層されたものであり、バリア層として積層されている層が単層である為、一般的なバリアフイルムと比較すると水蒸気バリア性は向上しているものの、医薬品の梱包材や、フレキシブル封止材として使用するバリアフイルムに求められるハイバリア性（水蒸気透過度が、５×１０−５ｇ／ｍ２・ｄａｙ以下）を満足するものではなく当該用途で使用することができない欠点があった。【０００９】
さらに、特許文献１記載のガスバリア性積層フィルムには、ガスバリア層（バリア層）が単層である為、ガスバリア層にバリア性を低下させる原因となるピンホール等の欠点が発生した場合に、該欠点を補修することができずハイバリア性を確実に発揮することができない欠点もあった。【００１０】
本発明の課題は、上記の欠点を除去し、ハイバリア性が求められる用途であっても問題なく使用することができる透明なハイバリアフイルムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
［１］本発明は、プラスチックフイルムの片面または両面に、少なくともバリア層が積層されている透明バリアフイルムであって、以下（Ａ）〜（Ｃ）の条件をすべて満足することを特徴とする透明ハイバリアフイルム。
（Ａ）バリア層が、バリア層Ａ、バリア層Ｂ、及びバリア層Ａをこの順で積層されたものをユニットとし、該ユニットが２回以上積層されている層である。
（Ｂ）バリア層Ａが、バリア層ＡをＸ線光電子分光分析法（ＸＰＳ）で炭素の定量分析をしたときの炭素の含有割合が０％よりも大きく１５％未満の範囲であるＳｉＯＣからなる層である。
（Ｃ）バリア層Ｂが、バリア層ＢをＸ線光電子分光分析法（ＸＰＳ）で炭素の定量分析をしたときの炭素の含有割合が、バリア層Ａの炭素の含有割合の１．１〜４．０倍の範囲であるＳｉＯＣからなる層である。
［２］本発明は、バリア層Ａ、及びバリア層Ｂの厚さが、それぞれ５〜３０ｎｍの範囲である上記［１］記載の透明ハイバリアフイルムである。
［３］本発明は、上記［１］、または［２］記載の透明ハイバリアフイルムと機能性フイルムとが、粘着剤層または接着剤層を介して貼り合わされたことを特徴とするハイバリア積層体である。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の透明ハイバリアフイルムは、本発明の透明ハイバリアフイルムに積層されているバリア層が、いずれもＳｉＯＣからなり炭素の含有割合が異なるバリア層Ａとバリア層Ｂの多層構造である為、透明性が高くハイバリア性を発揮することができる。
具体的には、本発明の透明ハイバリアフイルムは、Ｘ線光電子分光分析法（ＸＰＳ）で炭素の定量分析をしたときの炭素の含有割合が０％よりも大きく１５％未満であるＳｉＯＣからなるバリア層Ａ、及びＸ線光電子分光分析法（ＸＰＳ）で炭素の定量分析をしたときの炭素の含有割合が、バリア層Ａの炭素の含有割合の１．１〜４．０倍の範囲であるＳｉＯＣからなるバリア層Ｂが、バリア層Ａ、バリア層Ｂ、及びバリア層Ａをこの順で積層されたものをユニットとし、プラスチックフイルムの片面または両面に、該ユニットが２回以上積層されていることを特徴としている。【００１３】
その結果、本発明の透明ハイバリアフイルムは、ハイバリア性（水蒸気透過度が、５×１０−５ｇ／ｍ２・ｄａｙ以下）を発揮するものとなり、ハイバリア性が必要とされる医薬品の包装材やフレキシブル封止材であっても問題なく使用することができる。【００１４】
また、本発明の透明ハイバリアフイルムは、ハイバリア性を発揮する為に、上記バリア層Ａ、及びバリア層Ｂの厚さをそれぞれ５〜３０ｎｍの範囲とするとより好ましい。【００１５】
尚、本明細書でいうＳｉＯＣとは、珪素（Ｓｉ）、酸素（Ｏ）、及び炭素（Ｃ）の含有割合が、Ｓｉ：Ｏ：Ｃ＝１：１：１である状態を表しているものではなく、前記の炭素（Ｃ）の含有割合に応じて、珪素（Ｓｉ）、及び酸素（Ｏ）の含有割合が変化するものである。【００１６】
また、本発明の透明ハイバリアフイルムの全光線透過率が８０％以上であれば、本発明の透明ハイバリアを包装材として使用した場合に、内容物を確認することができ実用上問題ない。【００１７】
本発明のハイバリア積層体は、本発明の透明ハイバリアフイルムと機能性フイルムとが、粘着剤層、または接着剤層を介して貼り合わせされたものであり、本発明の透明ハイバリアフイルムのハイバリア性を維持したまま、機能性フイルムが有している機能が付与されたものである。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
（プラスチックフイルム）
本発明の透明ハイバリアフイルムに使用するプラスチックフイルムは、特に制限はなく、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリカーボネートフイルム、ポリエチレンフイルム、ポリプロピレンフイルム、ポリアミドフイルム等、各種従来公知のプラスチックフイルムが使用できる。
プラスチックフイルムは、無延伸、一軸延伸、二軸延伸のいずれでもよく、また、帯電防止剤、着色剤、熱安定剤等の各種添加剤を含んでいても構わない。
また、プラスチックフイルムの種類や厚さは、所望の用途、目的に応じて適宜選択すればよい。
【００１９】
プラスチックフイルムは、プラスチックフイルムとプラスチックフイルム上に積層される層（バリア層Ａや後述するアンカーコート層）との密着力を強くする目的で、プラスチックフイルム上に、易接着コート、コロナ処理等の表面処理がされたものでも構わず、これら表面処理がされたプラスチックフイルムも、本明細書のプラスチックフイルムに含まれる。
【００２０】
プラスチックフイルムの厚さは、特に限定されないが、１２〜２５０μｍの範囲が好ましい。
プラスチックフイルムの厚さが１２μｍよりも薄いと、本発明の透明ハイバリアフイルムを製造する場合に、カールやシワ等が発生しやすくなるおそれがある為、好ましくなく、２５０μｍよりも厚いと、本発明の透明ハイバリアフイルムを製造する際に製造コストも上がる為、好ましくない。
【００２１】
（バリア層）
本発明の透明ハイバリアフイルムに積層されているバリア層は、ハイバリア性を付与する目的で積層される層であり、炭素の含有割合の異なるＳｉＯＣからなるバリア層Ａ、及びバリア層Ｂの多層構造の層である。
【００２２】
そして、本発明の透明ハイバリアフイルムは、バリア層を、バリア層Ａ、バリア層Ｂ、及びバリア層Ａをこの順で積層されたものをユニットとし、プラスチックフイルムの片面または両面に、該ユニットが２回以上積層された多層構造の層とすることによって、ハイバリア性を発揮するものとなる。
【００２３】
本発明の透明ハイバリアフイルムのバリア層Ａ、及びバリア層Ｂは、本発明の透明ハイバリアフイルムが確実にハイバリア性を発揮する為に、バリア層Ａを、Ｘ線光電子分光分析法（ＸＰＳ）で炭素の定量分析をしたときの炭素の含有割合が０％よりも大きく１５％未満であるＳｉＯＣからなる層とし、かつバリア層Ｂを、Ｘ線光電子分光分析法（ＸＰＳ）で炭素の定量分析をしたときの炭素の含有割合が、バリア層Ａの炭素の含有割合の１．１〜４．０倍の範囲であるＳｉＯＣからなる層とする必要がある。
【００２４】
また、本発明の透明ハイバリアフイルムは、バリア層を積層する際等に発生する、バリア性を低下させる原因となるピンホール等の欠点が仮に発生していた場合であっても、バリア層を多層構造とすることによって、該欠点を被覆して補修することでき、バリア性を劣化させることなく確実にハイバリア性を発揮することができる。
【００２５】
本発明の透明ハイバリアフイルムのバリア層の厚さ（バリア層Ａの厚さとバリア層Ｂの厚さの総厚）は、使用する用途、所望の透過性やバリア性等の目的に応じて適宜選択すればよいが、１５０〜４５０ｎｍの範囲とすることが好ましい。
バリア層の厚さ（総厚）が、１５０ｎｍよりも薄いと、水蒸気を遮断する機能を十分に発揮することができず所望のハイバリア性が発揮できないおそれがある為、好ましくなく、バリア層の厚さ（総厚）が、４５０ｎｍよりも厚いと、製造時でロール状とした場合等、折り曲げや引っ張り等の外部応力が加わるとバリア層にクラックが発生しやくなり、所望のハイバリア性を発揮できないおそれがある為、好ましくない。
【００２６】
バリア層Ａ、及びバリア層Ｂの厚さ（単層）は、所望の目的に応じて、適宜すればよいが、バリア層Ａ、及びバリア層Ｂのそれぞれ厚さ（単層）は、５〜３０ｎｍの範囲とすることが好ましい。
そして、本発明の透明ハイバリアフイルムは、バリア層を、バリア層を、バリア層Ａ、バリア層Ｂ、及びバリア層Ａをこの順で積層されたものをユニットとし、該ユニットが２回以上された層とし、バリア層Ａ、及びバリア層Ｂが合計６〜９０層の多層構造の層とすることによって、ハイバリア性を確実に発揮することができるものとなる。
【００２７】
本発明の透明ハイバリアフイルムのバリア層を、バリア層Ａ、バリア層Ｂ、及びバリア層Ａをこの順で積層されたユニッが２回積層された層とした場合を例にして説明すると、本発明の透明ハイバリアフイルムは、プラスチックフイルム／バリア層Ａ１／バリア層Ｂ１／バリア層Ａ２／バリア層Ａ３／バリア層Ｂ２／バリア層Ａ４となる。
そして、上記バリア層Ａ１〜Ａ４の厚さや炭素の含有割合は、使用する用途、所望の透過性やバリア性等の目的に応じて、それぞれ適宜選択すればよく、同じであっても異なっていても構わない。また、バリア層Ｂ１、及びバリア層Ｂ２の厚さや炭素の含有割合についても同様である。
【００２８】
バリア層Ａ、及びバリア層Ｂを積層する方法は、化学気相成長法（ＣＶＤ法）を使用する方法が好ましく、特に、シラン系化合物を気化させて酸素と混合したものを電極間に導入しプラズマ発生装置にて電力を印加してプラズマ化して形成するプラズマ化学気相成長法（プラズマＣＶＤ法）を使用して積層することが好ましい。
【００２９】
プラズマＣＶＤ法を使用すれば、使用するシラン系化合物の種類、シラン系化合物と酸素の混合比、印加電力の強弱、ＣＶＤ装置内の真空度等の加工条件を比較的容易に変更することができる為、これらの加工条件をそれぞれ適宜調整することにより、炭素の含有割合が異なるバリア層Ａとバリア層Ｂを容易に多層構造とすることが可能である。
【００３０】
使用するシラン系化合物は、特に制限なく使用することができ、テトラエトキシシラン（ＴＥＯＳ）、テトラメトキシシラン（ＴＭＯＳ）、テトラメチルシラン（ＴＭＳ）、テトラメチルジシラザン（ＴＭＤＳ）、テトラメチルジシロキサン、ヘキサメチルジシロキサン（ＨＭＤＳＯ）、メチルトリメトキシシラン（ＭＴＭＳ）等の従来公知のシラン系化合物が使用でき所望の目的に応じて適宜選択すればよい。
【００３１】
また、本発明の透明ハイバリアフイルムは、本発明の効果を損なわない範囲で、プラスチックフイルムとバリア層Ａとの密着力を強くする等の目的で、プラスチックフイルムとバリア層Ａとの間に樹脂からなるアンカーコート層が積層されていても構わない。
また、本発明の透明ハイバリアフイルムは、バリア層のキズ付きを防止する等の目的で、本発明の透明ハイバリアフイルムの最表層に、樹脂からなるトップコート層が積層されていても構わない。
【００３２】
本発明の透明ハイバリアフイルムは、上記アンカーコート層とトップコート層のいずれか、もしくは両方が積層されていても構わない。
【００３３】
アンカーコート層、及びトップコート層に使用する樹脂は、ポリエチレン系樹脂、ポリプロピレン系樹脂、ポリスチレン系樹脂、塩化ビニル系樹脂、ポリエステル系樹脂、アクリル系樹脂、ウレタン系樹脂、メラミン系樹脂、エポキシ系樹脂等、各種公知の樹脂１種、または２種以上の混合樹脂としてもよく、目的に応じて適宜選択すればよい。
また、アンカーコート層、及びトップコート層には、必要に応じて、帯電防止剤、紫外線吸収剤、着色剤、熱安定剤等の各種添加剤が添加されていても構わない。
【００３４】
アンカーコート層、及びトップコート層を積層する方法は、グラビアコート法、リバースコート法、ダイコート法、マイクログラビアコート（リバースグラビアコート）法、バーコート法等、従来公知のコーティング方法を使用することができ、目的に応じて適宜選択すればよく、アンカーコート層、及びトップコート層の厚さは、アンカーコート層、及びトップコート層を積層する目的に応じて適宜選択すればよい。
【００３５】
（ハイバリア積層体）
本発明のハイバリア積層体は、本発明の透明ハイバリアフイルムと機能性フイルムとが、粘着剤層、または接着剤層を介して貼り合わせされたものであり、本発明の透明ハイバリアフイルムのハイバリア性を維持したまま、機能性フイルムが有している機能が付与されたもである。
また、本発明のハイバリア積層体は、本発明の透明ハイバリアフイルムのプラスチックフイルム面と機能性フイルムとを貼り合わせされたものであっても、本発明の透明ハイバリアフイルムのバリア層側の面と機能性フイルムとを貼り合せされたものであっても構わない。
【００３６】
機能性フイルムは、プラスチックフイルムのみであってもよく、プラスチックフイルム上に機能層が積層されたものであっても構わない。
【００３７】
機能性フイルムに使用するプラスチックフイルムは、本発明の透明ハイバリアフイルムで使用したプラスチックフイルムと同じものを使用することができ、使用するプラスチックフイルムの種類、厚さ等は目的に応じて適宜選択すればよい。
【００３８】
本発明のハイバリア積層体を、機能性フイルムとしてプラスチックフイルムのみを使用した場合の機能は、本発明の透明ハイバリアフイルムを比較的薄い厚さのプラスチックフイルムを使用して効率よく製造した本発明の透明ハイバリアフイルムのハイバリア性を維持したまま、本発明のハイバリア積層体のいわゆるコシを強くすることができ、本発明のハイバリア積層体の総厚を容易に所望の厚さとすることができる。
【００３９】
機能層は、意匠性、ハードコート性、導電性、防汚性、反射防止性、耐候性、防曇性等の各種機能を付与する目的で、プラスチックフイルム上に積層される層である。
前記機能層は、着色層、印刷層、ハードコート層、導電層、防汚層、反射防止層、耐候性樹脂層、防曇層等のいずれかまたはこれら層の組み合わせからなる層であり、機能層を構成するすべての層が、全面もしくは部分的にプラスチックフイルム上に積層されていてもよく、機能層を構成するいずれかの層が、全面もしくは部分的にプラスチックフイルム上に、積層されていてもよい。
【００４０】
前記機能層の厚さは、所望する機能層の効果が得られる厚さであればよく、１〜５０μｍの厚さであるのが好ましく、所望の機能に応じて、適宜選択すればよい。
また、機能層を積層する方法は、積層する機能層に応じて適宜選択すればよい。
【００４１】
本発明のハイバリア積層体に使用する粘着剤層、または接着剤層は、樹脂からなる層でありアクリル系樹脂、ポリエーテル系樹脂等、プラスチックフイルム同士を貼り合せる目的で使用される従来公知の樹脂からなる粘着剤や接着剤を使用することができる。
粘着剤や接着剤に使用する樹脂の種類、及び厚さは、上記効果が得られる厚さであればよく、３〜３０μｍの厚さであるのが好ましく、目的に応じて適宜選択すればよい。
本発明のハイバリア積層体に使用する粘着剤層、または接着剤層は、透明であってもよく、不透明であっても構わない。
【００４２】
以上のとおり、本発明の透明ハイバリアフイルムは、バリア層を、Ｘ線光電子分光分析法（ＸＰＳ）で炭素の定量分析をしたときの炭素の含有割合が０％よりも大きく１５％未満の範囲であるＳｉＯＣからなるバリア層Ａ、及びＸ線光電子分光分析法（ＸＰＳ）で炭素の定量分析をしたときの炭素の含有割合が、バリア層Ａの炭素の含有割合の１．１〜４．０倍の範囲であるＳｉＯＣからなるバリア層Ｂが、バリア層Ａ、バリア層Ｂ、及びバリア層Ａの順で積層されたものをユニットとし、プラスチックフイルムの片面または両面に、該ユニットが２回以上積層された層であることを特徴としている。
その結果、本発明の透明ハイバリアフイルムは、水蒸気透過度が、５×１０−５ｇ／ｍ２・ｄａｙ以下のハイバリア性を有しており、医薬品の包装材、フレキシブル封止材等、柔軟性とハイバリア性が必要とされる用途で問題なく使用することができるものとなる。
そして、本発明の透明ハイバリアフイルムは、ハイバリア性を発揮する為に、上記バリア層Ａ、及びバリア層Ｂの厚さをそれぞれ５〜３０ｎｍの範囲とするとより好ましい。
【実施例】
【００４３】
［バリア層Ａ、又はバリア層Ｂ中の炭素の含有割合の算出方法］
バリア層Ａ、又はバリア層Ｂ中のＸ線光電子分光分析法（ＸＰＳ）で炭素の定量分析をした時の炭素の含有割合は、以下の装置、及び測定条件でバリア層Ａ、又はバリア層Ｂを分析し、バックグラウンドをＳｈｉｒｌｅｙ法で求め、得られたピーク面積の比率から算出して求めた。
測定装置：日本電子株式会社製 ＪＰＳ−９０１０ＭＣ
測定光源：Ｍｇ−Ｋａ線
測定出力：１００Ｗ【００４４】
［実施例１］
以下の（工程１）〜（工程３）を順に行い、プラスチックフイルムの片面に、アンカーコート層、バリア層、及びトップコート層が順次積層された実施例１の本発明の透明ハイバリアフイルム（バリア層Ａ、バリア層Ｂ、及びバリア層Ａをユニットとして２４回積層したもの）を得た。【００４５】
（工程１）長尺の厚さ５０μｍのポリエチレンテレフタレートフイルム（東レ株式会社製  商品名：ルミラーＵ４８３）の片面に、アクリル系紫外線硬化型樹脂をグラビアコート法でコーティングし厚さ１．５μｍのアンカーコート層を積層した。
（工程２）アンカーコート層上に、シラン系化合物としてヘキサメチルジシロキサン（ＨＭＤＳＯ）を使用し、プラズマＣＶＤ法で、厚さ４ｎｍのＳｉＯＣからなるバリア層Ａ、厚さ４ｎｍのＳｉＯＣからなるバリア層Ｂ、及び厚さ４ｎｍのＳｉＯＣからなるバリア層Ａをこの順で積層されたものをユニットとし、該ユニットを２４回積層して、総厚２８８ｎｍのバリア層を積層した。
尚、上記バリア層Ａ、及びバリア層Ｂの炭素の含有割合は、バリア層Ａはすべて４．０％であり、バリア層Ｂはすべて７．２％であり、バリア層Ｂの炭素の含有割合は、バリア層Ａの炭素の含有割合の１．８倍であった。
（工程３）バリア層Ａ上に、ポリエステル系樹脂をグラビアコート法で厚さ０．１μｍのトップコート層を積層した。【００４６】
［実施例２］
以下の（工程１）〜（工程３）を順に行い、プラスチックフイルムの片面に、アンカーコート層、バリア層、及びトップコート層が順次積層された実施例１の本発明の透明ハイバリアフイルム（バリア層Ａ、バリア層Ｂ、及びバリア層Ａをユニットとして１２回積層したもの）を得た。【００４７】
（工程１）長尺の厚さ３８μｍのポリエチレンテレフタレートフイルム（東洋紡株式会社製  商品名：コスモシャインＡ４３００）の片面に、アクリル系紫外線硬化型樹脂をグラビアコート法でコーティングし厚さ１．５μｍのアンカーコート層を積層した。
（工程２）アンカーコート層上に、シラン系化合物としてヘキサメチルジシロキサン（ＨＭＤＳＯ）を使用し、プラズマＣＶＤ法で、厚さ５ｎｍのＳｉＯＣからなるバリア層Ａ、厚さ５ｎｍのＳｉＯＣからなるバリア層Ｂ、及び厚さ５ｎｍのＳｉＯＣからなるバリア層Ａをこの順で積層されたものをユニットとし、該ユニットを１２回積層して、総厚１８０ｎｍのバリア層を積層した。
尚、上記バリア層Ａ、及びバリア層Ｂの炭素の含有割合は、バリア層Ａはすべて５．０％であり、バリア層Ｂはすべて８．０％であり、バリア層Ｂの炭素の含有割合は、バリア層Ａの炭素の含有割合の１．６倍であった。
（工程３）バリア層Ａ上に、ポリエステル系樹脂をグラビアコート法で厚さ０．１μｍのトップコート層を積層した。【００４８】
［比較例１］
実施例１の（工程２）を、アンカーコート層上に、シラン系化合物としてヘキサメチルジシロキサン（ＨＭＤＳＯ）を使用し、プラズマＣＶＤ法で、厚さ３１０ｎｍのバリア層Ａを１層のみ積層する工程としたこと以外は実施例１と同様にして、比較例１のバリアフイルムを得た。
尚、上記バリア層Ａの炭素の含有割合は、８．８％であった。【００４９】
［試験試料］
実施例１、及び実施例２で得た本発明の透明ハイバリアフイルム、及び比較例１得たバリアフイルムを、それぞれ５ｃｍ角に切り出し試験試料とした。【００５０】
［水蒸気透過度測定］
（測定内容）
各試験試料を使用し、水蒸気透過測定装置（ＭＯＣＯＮ社製  ＡＱＵＡＴＲＡＮ２）を使用して測定した。【００５１】
［全光線透過率測定］
（測定内容）
各試験試料を使用し、ＪＩＳ  Ｋ  ７３６１法に準拠して、ＨａｚｅＭｅｔｅｒ（日本電色工業社製  ＮＤＨ２０００）を使用して測定した。【００５２】
［測定結果］
上記各試験の測定結果は表１に示す。【００５３】
【表１】
2018047208.tif 000002
【００５４】
以上のとおり、実施例１、及び実施例２で得た本発明の透明ハイバリアフイルムは、水蒸気透過度も５×１０−５ｇ／ｍ２・ｄａｙ以下であり、いずれもハイバリア性を発揮していたが、比較例１で得たバリアフイルムは、水蒸気透過度は５×１０−３ｇ／ｍ２・ｄａｙでありハイバリア性を発揮するものではなかった。【００５５】
また、実施例１、及び実施例２で得た本発明の透明ハイバリアフイルムは、全光線透過率が８０％以上であり透過性が高いものであった。【００５６】
［ハイバリア積層体の作成］
［実施例３］
機能性フイルムとして、厚さ２５μｍのポリエチレンテレフタレートフイルムを使用し、上記ポリエチレンテレフタレートフイルムと、実施例１で得た本発明の透明ハイバリアフイルムのポリエチレンテレフタレートフイルム面とを、厚さ２５μｍのアクリル系透明粘着剤層を介して貼り合せして、実施例３の本発明のハイバリア積層体を作成した。透明粘着剤層は、２枚のプラスチックフイルム間に均一にアクリル系透明粘着剤層が積層された高透明粘着性転写テープ（株式会社サンエー化研製  品番：ＤＨ４２５Ａ）を使用し、本発明の透明ハイバリアフイルムのポリエチレンテレフタレートフイルムに転写することによって積層した。【００５７】
［実施例４］
実施例３で使用した厚さ２５μｍのポリエチレンテレフタレートフイルムにかえて、厚さ５０μｍのポリエチレンテレフタレートフイルム上に、厚さ３６ｎｍの錫がドープされた酸化インジウム層（ＩＴＯ層）を機能層（導電層）として積層された透明導電フイルム使用し、実施例１で得た本発明の透明ハイバリアフイルムのポリエチレンテレフタレートフイルム面と透明導電フイルムのポリエチレンテレフタレートフイルム面とを貼り合せしたこと以外は実施例３と同様にして、実施例４の本発明のハイバリア積層体を作成した。【００５８】
実施例３で得た本発明のハイバリア積層体は、実施例１で得た本発明の透明ハイバリアフイルムのハイバリア性を維持したまま、本発明のハイバリア積層体の総厚を厚くすることができ本発明のハイバリア積層体のコシを強くすることができた。
また、実施例４で得た本発明のハイバリア積層体は、実施例１で得た本発明の透明ハイバリアフイルムのハイバリア性を維持したまま、導電性の機能を付与することができた。
【国際調査報告】
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