(57)【要約】【課題】空間符号化パターン判定の不安定性を低減して、空間符号化の精度を向上させる。【解決手段】三次元形状計測装置であって、複数のパターンをそれぞれ被検物へ投影する投影部と、複数のパターンがそれぞれ投影された被検物を各々撮像し、複数のパターン画像データとして取得する撮像部と、複数のパターン画像データのうち、特定のパターン画像データの着目領域の明暗を、他のパターン画像データの対応領域の明暗に基づいて決定する決定部と、決定部により決定された特定のパターン画像データの明暗と、他のパターン画像データの明暗とに基づいて、被検物の三次元座標を算出する算出部とを備える。【選択図】  図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のパターンをそれぞれ被検物へ投影する投影手段と、
前記複数のパターンがそれぞれ投影された前記被検物を各々撮像し、複数のパターン画像データとして取得する撮像手段と、
前記複数のパターン画像データのうち、特定のパターン画像データの着目領域の明暗を、他のパターン画像データの対応領域の明暗に基づいて決定する決定手段と、
前記決定手段により決定された前記特定のパターン画像データの明暗と、前記他のパターン画像データの明暗とに基づいて、前記被検物の三次元座標を算出する算出手段と、
を備えることを特徴とする三次元形状計測装置。
【請求項２】
前記決定手段は、前記複数のパターン画像データのうち、明暗を決定すべき前記特定のパターン画像データを、パターン画像データ上での着目位置に応じて特定することを特徴とする請求項１に記載の三次元形状計測装置。
【請求項３】
前記決定手段は、前記特定のパターン画像データの明暗を、前記他のパターン画像データの明暗と、前記着目位置に対応するパリティーの値とに基づいて決定することを特徴とする請求項２に記載の三次元形状計測装置。
【請求項４】
前記複数のパターンは、グレイコードパターンであることを特徴とする請求項１乃至３の何れか１項に記載の三次元形状計測装置。
【請求項５】
投影手段と、撮像手段と、決定手段と、算出手段とを備える三次元形状計測装置の制御方法であって、
前記投影手段が、複数のパターンをそれぞれ被検物へ投影する投影工程と、
前記撮像手段が、前記複数のパターンがそれぞれ投影された前記被検物を各々撮像し、複数のパターン画像データとして取得する撮像工程と、
前記決定手段が、前記複数のパターン画像データのうち、特定のパターン画像データの着目領域の明暗を、他のパターン画像データの対応領域の明暗に基づいて決定する決定工程と、
前記算出手段が、前記決定工程で決定された前記特定のパターン画像データの明暗と、前記他のパターン画像データの明暗とに基づいて、前記被検物の三次元座標を算出する算出工程と、
を有することを特徴とする三次元形状計測装置の制御方法。
【請求項６】
請求項５に記載の三次元形状計測装置の制御方法の各工程をコンピュータに実行させるためのプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被検物にパターンを投影しこれを撮像することで被検物の三次元形状データを取得する三次元形状計測装置、三次元形状計測装置の制御方法、およびプログラムに関し、特に、複数のパターンを被検物に投影、撮像し、その明暗境界の位置を算出する手法を用いる三次元形状計測装置、三次元形状計測装置の制御方法、およびプログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
被検物にパターンを投影しこれを撮像することで被検物の三次元形状データを取得する三次元形状計測技術が広く知られている。
【０００３】
この技術において重要な要素は、投影したパターンを撮像し、パターンの特徴点をマーカーとして認識し、このマーカーの位置を正確に算出すること、及び複数のマーカーを個々に識別するために識別コードを与えること、撮像画像上のマーカー位置とこの識別コードとからマーカーの３次元座標を特定することである。
【０００４】
投影パターンとしてストライプ状の二値的な明暗分布を用い、その明暗の境界線をマーカーとして用いることが一般に行われている。
【０００５】
特許文献１および非特許文献１においては、相補パターン投影という方法でマーカー位置を算出することが述べられている。相補パターン投影法とは、濃淡の変化が交番する二種類のパターンを被検面に投影、撮像し、撮像素子上でのパターンの明暗の交差点をマーカーとして利用するものである。当該マーカーのことを、特許文献１においては「明暗の境界」と表現しており、非特許文献１においては「しま模様エッジ位置」と表現している。
【０００６】
上述したようにパターンとしてはストライプ状の明暗分布が多く用いられており、その結果、明暗の交点軌跡は線状に分布する為、本発明の説明においては以降マーカーのことを計測線と称する。
【０００７】
このような方法で、撮像素子上での計測線の位置が計測されたのちに、個々の計測線を識別する為のパターンが投影される。このパターンは複数枚のパターンで構成されており、撮像素子上で計測線と同等位置にパターン毎に明暗の輝度分布が形成され、これを２値信号の列としてとらえて識別番号とする。このような方法は、いわゆる空間符号化、空間コード化と呼ばれる手法である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００９−０４２０１５号公報
【非特許文献】
【０００９】
【非特許文献１】電子情報通信学会論文誌  Ｄ  Ｖｏｌ．Ｊ７１−Ｄ  Ｎｏ．７  ｐｐ．１２４９−１２５７
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、特許文献１および非特許文献１の技術では、この方法を用いると計測線位置に空間符号化パターンの明暗境界が一致するような場合、明暗の値が確定されず、識別コード付けが不安定になるという課題がある。
【００１１】
上記の課題に鑑み、本発明は、空間符号化パターン判定の不安定性を低減して、空間符号化の精度を向上させることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記の目的を達成する本発明に係る三次元形状計測装置は、
複数のパターンをそれぞれ被検物へ投影する投影手段と、
前記複数のパターンがそれぞれ投影された前記被検物を各々撮像し、複数のパターン画像データとして取得する撮像手段と、
前記複数のパターン画像データのうち、特定のパターン画像データの着目領域の明暗を、他のパターン画像データの対応領域の明暗に基づいて決定する決定手段と、
前記決定手段により決定された前記特定のパターン画像データの明暗と、前記他のパターン画像データの明暗とに基づいて、前記被検物の三次元座標を算出する算出手段と、
を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、空間符号化パターン判定の不安定性を低減して、空間符号化の精度を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】第１実施形態に係る三次元形状計測装置の構成例を示す図。
【図２】第１実施形態に係る計測線設定パターン群Ａを示す図。
【図３】第１実施形態に係る投影画像の撮像イメージ図。
【図４】第１実施形態に係る空間符号化パターン群を示す図。
【図５】第１実施形態に係る計測線設定パターン群Ａの撮像データを示す図。
【図６】第１実施形態に係る相補パターン差分信号Ｓａを示す図。
【図７】第１実施形態に係る偶数番号の計測線に対応するグレイコードパターンを示す図。
【図８】第１実施形態に係る奇数番号の計測線に対応するグレイコードパターンを示す図。
【図９】第２実施形態に係る計測線設定パターン群ＢおよびＣを示す図。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、添付の図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。
【００１６】
（第１実施形態）
図１を参照して、第１実施形態に係る三次元形状計測装置の構成例を説明する。図１において、投影部１は、液晶パネル３と、液晶パネル３を照明する照明部２と、液晶パネル３の像を被検面６近傍に配置された被検物７へ投影する投影光学系４とを有している。 投影部１は、後述する投影撮像制御部２０からの指令によってストライプ構造を有する所定パターンを被検物７へ投影する。
【００１７】
また、撮像部８は、撮像素子１０と、被検物７上へ投影されたパターンを撮像素子１０上に輝度分布として結像し撮像させる撮像光学系９とを有している。 撮像部８は、後述する投影撮像制御部２０からの指令によって撮像動作を行い、撮像素子１０上の輝度分布を撮像素子１０で離散的にサンプリングされた階調分布として、後述する階調交点算出部２１へ出力する。 
投影撮像制御部２０は  投影部１を制御して所定のタイミングで所定パターンを被検物７へ投影するとともに、撮像部８を制御して被検物７のパターンを撮像させる。階調交点算出部２１は、撮像部８から出力された情報に基づいて空間符号化法により被検物７の三次元座標を算出し、三次元形状を計測する。
【００１８】
図２は、計測線を規定する為の投影パターンである計測線設定パターン群Ａのストライプ構造を示すものであり、投影撮像制御部２０が指令し投影部１によって被検物７上に投影する所定パターンの一部である。
【００１９】
図２において、白が明部、黒が暗部を示しており  パターンＡ＿ｒｅｆ及び  Ａ＿ｉｎｖは交互に明部と暗部とが繰り返し、且つ両パターンで明暗が反転しており、これにより被検面６上に相補的な照度分布を形成することができる。また図２における番号はパターン番号であり、Ａ＿ｒｅｆでは偶数のときに明、Ａ＿ｉｎｖでは奇数の場合に明となるように設定している。
【００２０】
図３は、被検物７が平面形状である場合に当該被検物へ投影されたパターンを撮像部１で撮像した場合の二次元の撮像イメージを模式的に示したものである。
【００２１】
ここで撮像素子１０上でパターンの明暗交番する方向をＸ方向、変化の少ない方向をＹ方向としている。また、以降Ｘ方向の画素番号をｉ、Ｙ方向の画素番号をｊと表記することとする。
【００２２】
図４は、計測線に番号を設定する為の、グレイコードを用いた空間符号化用パターンであり、投影撮像制御部２０が指令し投影部１によって被検物７上に投影する所定パターンの一部である。
【００２３】
図４において、ｎはグレイコードのビット番号に対応しており、ｎ＝１は最下位ビットｎ＝２は２ビット目、以下同様に上位ビットに対応したパターンが示されている。空間符号化法においてはこれらのパターンを順次投影し、それぞれ撮像する。以下、ビット番号ｎに対応したパターンをＧｎと称し、これに対応した撮像画像をＩＧｎと表現する。
【００２４】
以下に説明する本実施形態に係る各処理は、主として三次元形状計測装置が備える階調交点算出部２１が実施する。
【００２５】
＜計測線の取得＞
投影撮像制御部２０は、計測線の取得のために図２に示した計測線設定パターン群Ａの二種類のパターンＡ＿ｒｅｆ及びＡ＿ｉｎｖを投影部１を用いて被検物７上に投影し、撮像部８を用いてそれぞれに対する撮像画像ＩＡ＿ｒｅｆ（ｉ,ｊ）及びＩＡ＿ｉｎｖ（ｉ,ｊ）を順次取得する。
【００２６】
図５は、被検物７上に投影した計測線設定パターン群Ａを撮像部で撮像した場合の輝度データを表したものであり、実線はＩＡ＿ｒｅｆ、破線はＩＡ＿ｉｎｖに対応している。
【００２７】
図５における横軸は、座標Ｘ方向の撮像データ画素番号である。縦軸は、各画素における輝度を表しており、パターン撮像輝度の最大値で正規化している。また輝度は暗部が０に明部が正になるようにしている。相補的パターン法ではＩＡ＿ｒｅｆ、ＩＡ＿ｉｎｖの輝度が等しい部分、即ち図５における実線と破線の交点のＸ座標を計測線位置として算出するが、これは二つの信号の差分をとり、その値が０となる位置を計測線位置として算出してもよい。
【００２８】
図６は、ＩＡ＿ｒｅｆからＩＡ＿ｉｎｖを減じた相補パターン差分信号Ｓａである。図６においては  画素番号４と５の間、９と１０の間、１４と１５の間、１９と２０の間に  値が０となる位置があり、これらの位置をもって計測線位置とする。
【００２９】
撮像素子１０上で計測線をはさむ二つの画素を本発明では「隣接画素」と呼び、このうち画素番号の小さいものを便宜上「左側隣接画素」、大きいものを「右側隣接画素」と呼ぶものとする。計測線が画素位置と一致した場合はこの画素の番号を「左側隣接画素」と呼び  画素番号が１つ大となる画素を「右側隣接画素」と呼ぶ。
【００３０】
Ａ＿ｒｅｆパターンは偶数番号において点灯、奇数番号において消灯であり、Ａ＿ｉｎｖパターンはその逆であるから、ＩＡ＿ｒｅｆ輝度値からＩＡ＿ｉｎｖ輝度値を減じた相補パターン差分信号Ｓａは正の部分が偶数、負の部分が奇数のパターンにそれぞれ対応している。計測線位置はこれらのパターン明暗の境界に存在しており、それぞれに与える番号は隣接するパターン番号の絶対値の小さい方と規定すれば、図６において計測線Ａは偶数（４）、計測線Ｂは奇数（９）であることが判明する。即ち、計測線位置において差分データが正から負に変化する場合は偶数計測線、負から正に変化する場合は奇数計測線と判定すればよい。
【００３１】
＜計測線への番号付け＞
次に、投影撮像制御部２０は、図４に示した空間符号化パターン群Ｇｎ（ｎ＝１〜５）を、投影部１を用いて被検物７上に順次投影し、撮像部８を用いてそれぞれに対する撮像画像ＩＧｎ（ｉ,ｊ）を順次取得する。計測線への番号付けは、従来はその計測線の隣接画素の値が各ＩＧｎでどのように変化するかを検査し、これをよく知られたグレイコードとしてとらえ、通常これを２進数や１０進数に変換することによって行われている。
【００３２】
例えば、計測線番号７に対応する隣接画素は、図４のパターン群において番号７と８の境界近辺に存在しており、グレイコードは、ｎ＝１であるＩＧ１は暗部であるから０、ｎ＝２であるＩＧ２も暗部であるから０、ｎ＝３であるＩＧ３は明部であるから１、ｎ＝５であるＩＧ５は暗部であるから０となる。そしてｎ＝４であるＩＧ４は境界部分で明暗が変化しているが、隣接するパターン番号の小さい投影画素は暗部であるから０として、グレイコードを設定する。この場合、上位ビットから順に「００１００」 となり、これにグレイコードの変換手法を用いれば、番号７を得ることができる。
【００３３】
しかしながら、ＩＧ４では隣接画素部分で明暗が変化しているためその値を特定することが困難であり、誤判定が発生する可能性がある。仮に０であるはずのＩＧ４を１と判定した場合、グレイコードは「０１１００」となり、これを変換すると番号８が得られてしまう。このように隣接画素位置で空間符号化パターンの明暗が変化して値の取得が困難となることを、本発明においては「不定」であると表現する。
【００３４】
そこで、本実施形態では、計測線への符号付けに際し、その計測線の隣接画素の値が不定となる符号化パターン番号を予測し、この画像に対応するビットの判定を行わずに他の画像の情報からその値を決定する。
【００３５】
＜偶数コードを有する計測線の符号付け＞
図７は、偶数の計測線番号に対するグレイコードパターンの変化の様子を示している。偶数番号を与えるべき計測線においては、最下位ビット（ｎ＝１）に対応するパターンのみ、計測線の隣接画素近辺で明暗が反転しており、それ以上の高位ビット（ｎ＝２〜５）では  隣接画素間で明暗の反転は無い。
【００３６】
これは、そもそもグレイコードがそのコードの変化においてただひとつのビットのみ  ０、１が変化するという特性を持たせたものであり、且つ最下位ビット（ｎ＝１）は２画素ごとに明暗が切り替わる特性があるからである。
【００３７】
本実施形態では、計測線隣接画素で明暗反転が起こるパターンについては、そのパターンの評価を省略することにより計測精度を向上させるものである。すなわち偶数番号の計測線に関しては最下位ビット（ｎ＝１）のパターンの評価を無視し、その他のビットのパターンを計測する。  例えば、計測線コード６に対応する隣接画素の値は、ｎ＝１を不定とし、ｎ＝２からｎ＝５までの上位が暗、明、暗、暗であるから、グレイコードは不定なビットをＸとして、上位ビットから順に「００１０Ｘ」となる。
【００３８】
グレイコードは、それが対応する数値とコードのパリティー（コード中の１の個数）の偶奇が一致するという特性を有している。「００１０Ｘ」で判明しているパリティーは１であり奇数となるが、表す数値は偶数となるはずであるからＸは１でなければならない。そこで対応するグレイコードは「００１０１」となり、これは番号６を表す。
【００３９】
計測線コード８については、同様に不定ビットをＸとしてグレイコードは「０１１０Ｘ」であり、パリティーを偶数にするためＸ＝０、即ち「０１１００」とすればよく、これは番号８を表す。
【００４０】
このように、複数のパターン画像データ（ＩＧｎ）のうち、明暗を決定すべき特定のパターン画像データ（ＩＧ１）を、パターン画像データ上での着目位置（偶数コードを有する計測線位置）に応じて特定する。また特定のパターン画像データ（ＩＧ１）の明暗を、他のパターン画像データ（ＩＧ２〜ＩＧ５）の明暗と、着目位置（偶数コードを有する計測線位置）に対応するパリティーの値（偶数）とに基づいて決定する。
【００４１】
なお、偶数番号を付ける場合はｎ＝１でのみ不定になるのであるから、別法としてＸを予測するのではなくｎ＝１を除いたグレイコードで数値を求めて、最後にこれを二倍することによっても正しい値を求められる。例えば「００１０Ｘ」に関してはＸを除いたグレイコード「００１０」は番号３であり、これを２倍して番号６となり、「０１１０Ｘ」に関してはＸを除いたグレイコード「０１１０」は番号４であり、これを２倍して番号８となる。
【００４２】
＜奇数コードを有する計測線の符号付け＞
図８は、奇数の計測線番号に対するグレイコードパターンの変化の様子を示している。奇数番号を与えるべき計測線に関しては、ｎ＝２以上の高位ビットで計測線の隣接画素で明暗が反転するが、その位置は計測線コードにより変化する。
【００４３】
しかしながら、反転するビットの１つだけ下位のビットは必ず１であり、それがｎ＝１であるか、或いはそのビットよりさらに下位のビットは必ず０であるという特性がある。
【００４４】
図８において不定となるビットをＸとすると、計測線コード１では上位ビットから順に  「０００Ｘ１」、計測線コード３では「００Ｘ１０」、計測線コード５では「００１Ｘ１」、計測線コード７では「０Ｘ１００」、計測線コード９では「０１１Ｘ１」、計測線コード１１では「０１Ｘ１０」、計測線コード１３では「０１０Ｘ１」、そして計測線コード１５では「Ｘ１０００」となり、上記特性を有することがわかる。
【００４５】
即ち、奇数のコードをもつ計測線においては、下位ビットから０、１の評価を行い、初めて１となった部分の上位ビットを不定として特定し、残りのビットの評価を行えばよい。
【００４６】
最後に不定ビットを除いたパリティーの検査を行い、全体のパリティーが奇数となるように不定ビットの０、１を確定してコードを算出する。
【００４７】
例えば、計測線コード７の位置では「０Ｘ１００」 であり、パリティーが１であるからパリティーを奇数にするためにＸを０として「００１００」とし、これからコード７を得る。また計測線コード１３の位置では「０１０Ｘ１」であり、パリティーが２であるから  パリティーを奇数にするためにＸを１として「０１０１１」とし、これからコード１３を得ることができる。
【００４８】
このように、複数のパターン画像データ（ＩＧｎ）のうち、明暗を決定すべき特定のパターン画像データ（下位ビットから０、１の評価を行い、初めて１となった部分の上位ビットに対応するＩＧｋ）を、パターン画像データ上での着目位置（奇数コードを有する計測線位置）に応じて特定する。また特定のパターン画像データ（ＩＧｋ）の明暗を、他のパターン画像データ（ＩＧ１、…、ＩＧｋ−１、ＩＧｋ＋１、…）の明暗と、着目位置（奇数コードを有する計測線位置）に対応するパリティーの値（奇数）とに基づいて決定する。
【００４９】
以上説明したように、本実施形態では、複数のパターン画像データ（ＩＧｎ）のうち、特定のパターン画像データの着目領域（例えば、偶数コードを有する計測線の例ではＩＧ１（ｎ＝１）、奇数コードを有する計測線の例ではｎ＝１の下位ビットから順に０、１の評価を行い、最初に１となったビットに対応するｎ＝ｋの上位ビットであるＩＧｋ＋１）の明暗を、他のパターン画像データの対応領域（例えば、偶数コードを有する計測線の例ではＩＧ２〜ＩＧ５（ｎ＝２〜５）、奇数コードを有する計測線の例ではＩＧｋ＋１以外のＩＧｎ）の明暗に基づいて決定する。そして、決定された特定のパターン画像データの明暗と、他のパターン画像データの明暗とに基づいて、空間符号化法により被検物の三次元座標を算出する。
【００５０】
本実施形態によれば、空間符号化パターン判定の不安定性を低減して空間符号化の精度を向上させるとともに、不要なパターンの判定を省略することで処理時間の短縮を行うことが可能となる。
【００５１】
（第２実施形態）
第１実施形態では、相補パターンとして、コード毎に明暗を繰り返すパターンを用いたが、他のパターンを使用してもよい。第２実施形態では、二画素ごとに明暗を繰り返すパターン４枚を用いる場合について説明する。
【００５２】
図９は、第２実施形態に係る計測線設定パターン群Ｂ及びＣを示している。第２実施形態に係るパターンは、第１実施形態に比べて周期が粗く、空間周波数が低いため、投影系、撮像系の解像度の影響を受けにくいというメリットがある。
【００５３】
第１実施形態と同様にグレイコードの境界に計測線を設定し、隣接グレイコードのうち小さい方をその計測線のコードに対応させる。計測線の位置は、第１実施形態と同様に相補パターンの差分を求め、それが０となる位置として特定する。
【００５４】
相補パターンＢの差分データをＳｂ＝Ｂ＿ｒｅｆ−Ｂｉｎｖとすると、その０点位置は計測線コードの偶数に対応するように構成されている。相補パターンＣの差分データをＳｃ＝Ｃ＿ｒｅｆ−Ｃ＿ｉｎｖとするとその０点位置は計測線コードの奇数に対応するように構成されている。
【００５５】
さらに、Ｓｃが正から負に変化する位置の計測線は１、５、９、…、すなわち｛４×（ｋ−１）＋１；ｋ＝１、２、…｝に対応し、Ｓｃが負から正に変化する位置の計測線は３、７、１１、…、すなわち｛４×（ｋ−１)＋３｝となる。
【００５６】
相補パターンＢによって規定される計測線をＢ列と呼び、相補パターンＣによって規定され、さらに上述したように１、５、９、…、すなわち｛４×（ｋ−１）＋１；ｋ＝１、２、…｝となる計測線群をＣ１列と呼び、３、７、１１、…、すなわち｛４×（ｋ−１)＋３｝となる計測線群をＣ３列と呼ぶ。
【００５７】
Ｂ列はすべての計測線が偶数であるから、第１実施形態で説明した偶数計測線のコード化手法を用いればよい。Ｃ１列はすべての計測線が奇数であり、図８に示されるようにｎ＝１のパターンが必ず１であり、ｎ＝２に不定ビットが存在する。Ｃ３列はすべての計測線が奇数であり、ｎ＝１のパターンが必ず０であり、ｎ＝３以上に不定ビットが存在する。
【００５８】
そこで、Ｃ１列と判定された計測線では隣接画素におけるｎ＝３以上のパターンの明暗を判定してパリティーを計測し、全ビットのパリティーが奇数となるように不定ビットの値を決定する。またＣ３列と判定された計測線では、第１実施形態で説明した奇数計測線と同様の不定ビット探索、決定を行えばよい。
【００５９】
このようにすればＢ列、Ｃ１列においては不定ビットの位置を探索する必要はなくなり、またすべての列についてｎ＝１のパターン判定を行う必要がないので、これに対応するパターン画像を参照する必要もなくなる。
【００６０】
このため、本実施形態によれば、画像の明暗判定に要する時間や、不定ビット探索時間が削減でき、さらに明暗判定、探索エラー確率の低減等のメリットがある。
【００６１】
以上説明したように、本発明によれば、個々の計測線について空間符号化パターン群のうち  対応する位置に明暗の境界が存在するパターンを予測し、このパターンに対応する値を他のパターン群から予測することで、明暗判定の不安定なパターンの識別を行わずに正確にコードを特定することが可能となる。
【００６２】
（その他の実施形態）
また、本発明は、以下の処理を実行することによっても実現される。即ち、上述した実施形態の機能を実現するソフトウェア（プログラム）を、ネットワーク又は各種記憶媒体を介してシステム或いは装置に供給し、そのシステム或いは装置のコンピュータ（またはＣＰＵやＭＰＵ等）がプログラムを読み出して実行する処理である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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