(57)【要約】  洗浄・乾燥機構（１５０）では、配管（１８４）内に液体が流れていることを示すセンサ値であるＯＮセンサ値と、配管（１８４）内に液体が流れていないことを示すセンサ値であるＯＦＦセンサ値との何れかのセンサ値を出力するフロースイッチ（１８６）が、排水路（１８４）に設けられている。このセンサは、所謂、フロースイッチ（１８６）であり、構造が簡便なため、比較的安価である。そして、加圧ポンプ（１９０）の作動開始から設定時間内に、フロースイッチ（１８６）によりＯＮセンサ値が出力されるか否かが判定される。この際、設定時間内にＯＮセンサ値が出力された場合に、配管（１８４）内に液体が流れていると判断され、設定時間内にＯＮセンサ値が出力されない場合に、配管（１８４）内に液体が流れていないと判断される。これにより、比較的安価なセンサを１つ設けるだけで、配管内（１８４）の液体の流れを監視することが可能となる。
2016189681.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を貯留する貯留漕と、  前記貯留漕に繋がれ、前記貯留漕から液体を排出するための配管と、  前記配管に設けられ、前記貯留漕から前記配管内に液体を送り出すポンプと、  前記配管に設けられ、前記配管内に所定量の液体が流れていることを示す検出値を出力する検出装置と、  前記ポンプの作動を制御する作動制御部と、前記作動制御部により前記ポンプの作動が開始されてから設定時間内に、前記検出装置により前記配管内に所定量の液体が流れていることを示す検出値が出力されるか否かを判定する判定部とを有する制御装置と  を備える配管装置。
【請求項２】
前記検出装置が、前記配管の前記貯留漕と前記ポンプとの間に設けられることを特徴とする請求項１に記載の配管装置。
【請求項３】
前記検出装置が、  前記配管内に液体が流れていることを示す検出値と、前記配管内に液体が流れていないことを示す検出値との何れかを出力することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の配管装置。
【請求項４】
作業機で用いられる器具を洗浄するための洗浄装置であって、  当該洗浄装置が、  請求項１ないし請求項３のいずれか１つに記載された配管装置を備え、  前記ポンプにより前記配管から送り出された液体により前記器具を洗浄することを特徴とする洗浄装置。
【請求項５】
洗浄に使用した液体を前記貯留漕に戻すことを特徴とする請求項４に記載の洗浄装置。
【請求項６】
前記作業機は、実装機であり、  前記器具は、前記実装機に備えられる部品保持具であり、  前記洗浄装置は、さらにフィルタを備えることを特徴とする請求項４または請求項５に記載の洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、ポンプの作動により配管内に液体を流通させる配管装置、および、その配管装置を備えた洗浄装置に関する。
【背景技術】
【０００２】  液体を貯留する貯留槽と、貯留槽から液体を排出するための配管と、貯留槽から配管内に液体を送り出すポンプとを備えた配管装置は、ポンプにより液体を加圧することで、洗浄装置として用いられる。下記特許文献には、作業機で用いられる吸着ノズル等の器具を洗浄するための洗浄装置の一例が記載されている。【０００３】
【特許文献１】特開２０１１−７８８８１号公報
【特許文献２】特開２０１４−１６８７４５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】  上記特許文献に記載の技術によれば、配管内に適切に液体を流すことが可能となる。しかしながら、ポンプのサーマルトリップ、液体の不足、配管の詰まり等により、配管内に適切に液体を流すことができない場合がある。このため、配管内の液体の流れを監視するべく、貯留槽に液体の液面センサ，ポンプにサーマルセンサ，配管に圧力センサ等を配設する必要があるが、それらのセンサは、比較的高価であり、多くのセンサを配設すると、コスト的に問題がある。本発明は、そのような実情に鑑みてなされたものであり、本発明の課題は、低コストで配管内の液体の流れを監視することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】  上記課題を解決するために、本願に記載の配管装置は、液体を貯留する貯留漕と、前記貯留漕に繋がれ、前記貯留漕から液体を排出するための配管と、前記配管に設けられ、前記貯留漕から前記配管内に液体を送り出すポンプと、前記配管に設けられ、前記配管内に所定量の液体が流れていることを示す検出値を出力する検出装置と、前記ポンプの作動を制御する作動制御部と、前記作動制御部により前記ポンプの作動が開始されてから設定時間内に、前記検出装置により前記配管内に所定量の液体が流れていることを示す検出値が出力されるか否かを判定する判定部とを有する制御装置とを備えることを特徴とする。【０００６】  また、上記課題を解決するために、本願に記載の洗浄装置は、作業機で用いられる器具を洗浄するための洗浄装置であって、当該洗浄装置が、上記配管装置を備え、前記ポンプにより前記配管から送り出された液体により前記器具を洗浄することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】  本願に記載の配管装置では、配管内に所定量の液体が流れていることを示す検出値を出力する検出装置が、配管に設けられている。そして、ポンプの作動が開始されてから設定時間内に、検出装置により配管内に所定量の液体が流れていることを示す検出値が出力されるか否かが判定される。この際、ポンプの作動が開始されてから設定時間内に検出値が出力された場合に、配管内に液体が流れていると判断され、ポンプの作動が開始されてから設定時間内に検出値が出力されない場合に、配管内に液体が流れていないと判断される。このように、本願に記載の配管装置では、検出装置を１つ設けるだけで、配管内の液体の流れを監視することが可能となり、低コストで配管内の液体の流れを監視することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】電子部品装着装置を示す斜視図である。
【図２】ノズル管理装置の外観を示す斜視図である。
【図３】ノズル管理装置の内部構造を示す斜視図である。
【図４】洗浄・乾燥機構を示す概略図である。
【図５】ポンプの作動状態とフロースイッチにより出力されるセンサ値との関係を示す図である。
【図６】ノズル管理装置の備える制御装置を示すブロック図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】  以下、本発明を実施するための形態として、本発明の実施例を、図を参照しつつ詳しく説明する。【００１０】  ＜電子部品装着装置の構成＞  図１に、電子部品装着装置１０を示す。電子部品装着装置１０は、１つのシステムベース１２と、そのシステムベース１２の上に隣接された２台の電子部品装着機（以下、「装着機」と略す場合がある）１４とを有している。なお、装着機１４の並ぶ方向をＸ軸方向と称し、その方向に直角な水平の方向をＹ軸方向と称する。【００１１】  各装着機１４は、主に、装着機本体２０、搬送装置２２、装着ヘッド移動装置（以下、「移動装置」と略す場合がある）２４、装着ヘッド２６、供給装置２８、ノズルステーション３０を備えている。装着機本体２０は、フレーム部３２と、そのフレーム部３２に上架されたビーム部３４とによって構成されている。【００１２】  搬送装置２２は、２つのコンベア装置４０，４２を備えている。それら２つのコンベア装置４０，４２は、互いに平行、かつ、Ｘ軸方向に延びるようにフレーム部３２に配設されている。２つのコンベア装置４０，４２の各々は、電磁モータ（図示省略）によって各コンベア装置４０，４２に支持される回路基板をＸ軸方向に搬送する。また、回路基板は、所定の位置において、基板保持装置（図示省略）によって保持される。【００１３】  移動装置２４は、ＸＹロボット型の移動装置である。移動装置２４は、スライダ５０をＸ軸方向にスライドさせる電磁モータ（図示省略）と、Ｙ軸方向にスライドさせる電磁モータ（図示省略）とを備えている。スライダ５０には、装着ヘッド２６が取り付けられており、その装着ヘッド２６は、２つの電磁モータの作動によって、フレーム部３２上の任意の位置に移動させられる。【００１４】  装着ヘッド２６は、回路基板に対して電子部品を装着するものである。装着ヘッド２６は、下端面に設けられた吸着ノズル６０を有している。吸着ノズル６０は、負圧エア，正圧エア通路を介して、正負圧供給装置（図示省略）に通じている。吸着ノズル６０は、負圧によって電子部品を吸着保持し、保持した電子部品を正圧によって離脱する。また、装着ヘッド２６は、吸着ノズル６０を昇降させる昇降装置（図示省略）を有している。その昇降装置によって、装着ヘッド２６は、保持する電子部品の上下方向の位置を変更する。なお、吸着ノズル６０は、装着ヘッド２６に着脱可能とされており、保持対象の電子部品に応じた吸着ノズルに交換可能とされている。【００１５】  供給装置２８は、フィーダ型の供給装置であり、複数のテープフィーダ７０を有している。テープフィーダ７０は、テープ化部品を巻回させた状態で収容している。テープ化部品は、電子部品がテーピング化されたものである。そして、テープフィーダ７０は、送り装置（図示省略）によって、テープ化部品を送り出す。これにより、フィーダ型の供給装置２８は、テープ化部品の送り出しによって、電子部品を供給位置において供給する。【００１６】  ノズルステーション３０は、ノズルトレイ７６を有している。ノズルトレイ７６には、複数の吸着ノズル６０が収容されている。このノズルステーション３０では、装着ヘッド２６に取り付けられている吸着ノズル６０と、ノズルトレイ７６に収容されている吸着ノズル６０との交換等が、必要に応じて行われる。また、ノズルトレイ７６は、ノズルステーション３０に着脱可能であり、ノズルトレイ７６に収容された吸着ノズル６０の回収，ノズルトレイ７６への吸着ノズル６０の補給等を装着機１４の外部において行うことが可能である。【００１７】  ＜装着機による装着作業＞  装着機１４では、上述した構成によって、搬送装置２２に保持された回路基板に対して、装着ヘッド２６によって装着作業を行うことが可能である。具体的には、装着機１４の制御装置（図示省略）の指令により、回路基板が作業位置まで搬送され、その位置において、基板保持装置によって保持される。また、テープフィーダ７０は、制御装置の指令により、テープ化部品を送り出し、電子部品を供給位置において供給する。そして、装着ヘッド２６が、電子部品の供給位置の上方に移動し、吸着ノズル６０によって電子部品を吸着保持する。続いて、装着ヘッド２６は、回路基板の上方に移動し、保持している電子部品を回路基板上に装着する。【００１８】  装着機１４では、上述したように、テープフィーダ７０によって供給された電子部品を、吸着ノズル６０によって吸着保持し、その電子部品が回路基板上に装着される。このため、吸着ノズル６０に不具合が生じている場合には、装着作業を適切に行うことができない虞があるため、吸着ノズル６０を適切に管理する必要がある。そこで、以下に説明するノズル管理装置により、吸着ノズル６０の管理が行われる。【００１９】  ＜ノズル管理装置の構成＞  ノズル管理装置８０は、図２に示すように、概して直方体形状をなしており、正面に、ノズルトレイ７６をノズル管理装置８０内に収納、若しくは、ノズル管理装置８０からノズルトレイ７６を取り出すための扉８２が設けられている。その扉８２の上方には、各種情報を表示するパネル８６等が配設されている。【００２０】  ノズル管理装置８０は、図３に示すように、管理装置本体９０、パレット収容装置９２、ノズル移載装置９４、ノズル検査装置９６、ノズル洗浄装置９８を有している。なお、図３は、ノズル管理装置８０の外殻部材を取り外した状態を示す斜視図であり、ノズル管理装置８０の内部構造を示している。【００２１】  管理装置本体９０は、フレーム部１００と、そのフレーム部１００に上架されたビーム部１０２とによって構成されている。フレーム部１００は、中空構造とされており、フレーム部１００内にパレット収容装置９２が配設され、パレット収容装置９２の上端部が、フレーム部１００の上面に露出している。【００２２】  パレット収容装置９２は、複数のパレット載置棚１０６と、支持アーム１０８とを含む。パレット載置棚１０６は、ノズルパレット１１０を載置するための棚であり、複数のパレット載置棚１０６が、フレーム部１００の内部において、上下方向に並んで配設されている。なお、ノズルパレット１１０には、複数の吸着ノズル６０が収容される。また、支持アーム１０８は、アーム移動装置（図示省略）の作動により、複数のパレット載置棚１０６の前方において、上下方向に移動するとともに、パレット載置棚１０６に接近・離間する。これにより、パレット載置棚１０６へのノズルパレッ��１１０の収納、パレット載置棚１０６からのノズルパレット１１０の取出しが、支持アーム１０８によって行われる。なお、パレット載置棚１０６から取り出されたノズルパレット１１０は、支持アーム１０８が上方に移動することで、フレーム部１００の上面側に移動する。【００２３】  ノズル移載装置９４は、ノズルトレイ７６とノズルパレット１１０との間で吸着ノズル６０を移載するための装置であり、ビーム部１０２に配設されている。ノズル移載装置９４は、移載ヘッド１２０とヘッド移動装置１２２とを有している。移載ヘッド１２０の下端面には、下方を向いた状態のカメラ１２６と、吸着ノズル６０を保持するための保持チャック１２８とが取り付けられている。【００２４】  また、ヘッド移動装置１２２は、移載ヘッド１２０をフレーム部１００の上において前後方向、左右方向、上下方向に移動させるＸＹＺ型の移動装置である。なお、フレーム部１００の前方側の上面には、ノズルトレイ７６をセットするための固定ステージ１３０が設けられており、固定ステージ１３０にセットされたノズルトレイ７６と、パレット収容装置９２の支持アーム１０８に支持されたノズルパレット１１０との間で、吸着ノズル６０が移載される。【００２５】  ノズル検査装置９６は、カメラ１４０とロードセル１４２とエア供給装置１４４とを有している。カメラ１４０は、上方を向いた状態でフレーム部１００の上面に配設されており、カメラ１４０を用いて、吸着ノズル６０の先端部が検査される。詳しくは、検査対象の吸着ノズル６０が保持チャック１２８によって保持され、その保持チャック１２８に保持された吸着ノズル６０が、下方からカメラ１４０によって撮像される。これにより、吸着ノズル６０の先端部の撮像データが得られ、その撮像データに基づいて、吸着ノズル６０の先端部の状態が検査される。【００２６】  また、ロードセル１４２は、カメラ１４０の隣に配設されており、ロードセル１４２を用いて、吸着ノズル６０の先端部の伸縮状態が検査される。詳しくは、検査対象の吸着ノズル６０が保持チャック１２８によって保持され、その保持チャック１２８に保持された吸着ノズル６０の先端部がロードセル１４２に当接される。吸着ノズル６０の先端部は、伸縮可能とされており、ロードセル１４２により測定された荷重に基づいて、吸着ノズル６０の先端部の伸縮状態が検査される。【００２７】  また、エア供給装置１４４は、ノズル移載装置９４の移載ヘッド１２０に装着されており、エア供給装置１４４を用いて、吸着ノズル６０のエア流量検査が行われる。詳しくは、エア供給装置１４４が、ヘッド移動装置１２２の作動により、ノズルトレイ７６とノズルパレット１１０との何れかに載置された吸着ノズル６０の上方に移動する。そして、エア供給装置１４４のジョイント１４６が、検査対象の吸着ノズル６０に接続され、エア供給装置１４４からエアが供給される。この際にエア圧が測定され、そのエア圧に基づいて、吸着ノズル６０のエア流量検査が行われる。【００２８】  なお、フレーム部１００の上面には、複数の廃棄ボックス１４８が配設されており、上記検査により不良ノズルと判定された吸着ノズル６０は、廃棄ボックス１４８に廃棄される。また、上��検査により正常なノズルと判定された吸着ノズル６０は、ノズルトレイ７６若しくは、ノズルパレット１１０に戻される。【００２９】  ノズル洗浄装置９８は、吸着ノズル６０の洗浄および乾燥を行う装置であり、パレット収容装置９２の隣に配設されている。ノズル洗浄装置９８は、洗浄・乾燥機構１５０と洗浄パレット移動機構１５２とを備えている。洗浄・乾燥機構１５０は、内部において吸着ノズル６０の洗浄および乾燥を行う機構である。洗浄パレット移動機構１５２は、洗浄パレット１５８が露出する露出位置（図３で洗浄パレット１５８が図示されている位置）と、洗浄・乾燥機構１５０の内部との間で、洗浄パレット１５８を移動させる機構である。【００３０】  ノズル洗浄装置９８により、吸着ノズル６０の洗浄が行われる際には、洗浄対象の吸着ノズル６０が、ノズル移載装置９４によって、ノズルトレイ７６若しくは、ノズルパレット１１０から、露出位置に移動している洗浄パレット１５８に移載される。そして、洗浄パレット１５８が、洗浄パレット移動機構１５２の作動により、洗浄・乾燥機構１５０の内部に移動する。洗浄・乾燥機構１５０は、図４に示すように、上部洗浄ユニット１７０と下部洗浄ユニット１７２とハウジング１７４と配管装置１７６とを含む。【００３１】  上部洗浄ユニット１７０と下部洗浄ユニット１７２とは、ハウジング１７４内の上下方向において、互いに向かい合うように配置されている。そして、上部洗浄ユニット１７０と下部洗浄ユニット１７２との間を、洗浄パレット１５８が、洗浄パレット移動機構１５２の作動により移動する。上部洗浄ユニット１７０は、上部噴射ノズル１７８を有しており、上部洗浄ユニット１７０の下面において、上部噴射ノズル１７８をスライド可能に保持している。なお、上部噴射ノズル１７８の下面には、複数の噴射穴（図示省略）が形成されている。また、下部洗浄ユニット１７２は、下部噴射ノズル１８０を有しており、下部洗浄ユニット１７２の上面において、下部噴射ノズル１８０をスライド可能に保持している。なお、下部噴射ノズル１８０の上面には、複数の噴射穴（図示省略）が形成されている。【００３２】  また、ハウジング１７４の底面は、貯水タンクとして機能しており、ハウジング１７４の底面に貯留された洗浄水１８２が、配管装置１７６によって循環され、上部洗浄ユニット１７０と下部洗浄ユニット１７２の各噴射ノズル１７８，１８０に供給される。詳しくは、配管装置１７６は、排水路１８４とフロースイッチ１８６とフィルタ１８８と加圧ポンプ１９０と給水路１９２とを含む。ハウジング１７４の底面には、洗浄水１８２が貯留されており、その底面には、排水路１８４の一端が開口している。排水路１８４は、下方に向かって延設されており、排水路１８４には、フロースイッチ１８６が配設されている。【００３３】  フロースイッチ１８６は、排水路１８４内に洗浄水１８２が流れていることを示すＯＮセンサ値と、排水路１８４内に洗浄水１８２が流れていないことを示すＯＦＦセンサ値との何れかのセンサ値を出力するセンサである。フロースイッチ１８６としては、例えば、排水路１８４内に弁が配設されたものがある。このようなフロースイッチでは、排水路１８４内���洗浄水１８２が流れた場合に、弁が開くことで、リードスイッチがＯＮとなり、ＯＮセンサ値を出力し、排水路１８４内を洗浄水１８２が流れていない場合には、弁が閉じることで、リードスイッチがＯＦＦとなり、ＯＦＦセンサ値を出力する。また、フロースイッチ１８６としては、例えば、排水路１８４内の洗浄水１８２の増減により上下動するフロートが配設され、そのフロートにマグネットが封入されているものがある。このようなフロースイッチでは、排水路１８４内を洗浄水１８２が流れた場合に、フロートが上方に移動し、そのフロートに封入されたマグネットによりリードスイッチがＯＮとなり、ＯＮセンサ値を出力し、排水路１８４内を洗浄水１８２が流れていない場合には、フロートが下方に移動し、そのフロートに封入されたマグネットによりリードスイッチがＯＦＦとなり、ＯＦＦセンサ値を出力する。なお、フロースイッチ１８６は、上述したような簡便な構造であることから、比較的安価なセンサである。【００３４】  また、排水路１８４には、フロースイッチ１８６の下流側に、フィルタ１８８が配設されている。これにより、ハウジング１７４の底面に貯留されている洗浄水１８２が、排水路１８４に流れ込み、フィルタ１８８によって、不純物が取り除かれる。さらに、排水路１８４には、フィルタ１８８の下流側に、加圧ポンプ１９０が配設されている。その加圧ポンプ１９０には、給水路１９２が接続されており、加圧ポンプ１９０によって加圧された洗浄水１８２が、給水路１９２に送り出される。その給水路１９２は、上部洗浄ユニット１７０と下部洗浄ユニット１７２の各噴射ノズル１７８，１８０に接続されており、各噴射ノズル１７８，１８０から洗浄水１８２が洗浄パレット１５８に向かって噴出される。なお、各噴射ノズル１７８，１８０から洗浄水１８２が噴出される際には、各噴射ノズル１７８，１８０は、電磁モータ（図示省略）の作動によりスライドする。これにより、洗浄パレット１５８に載置されている複数の吸着ノズル６０が洗浄される。【００３５】  また、下部洗浄ユニット１７２とハウジング１７４の底面に貯留されている洗浄水１８２との間には、仕切板１９６が配設されている。仕切板１９６は、傾斜した状態で配設されており、その仕切板１９６の上面には、シート状のスポンジ１９８が固着されている。このため、各噴射ノズル１７８，１８０から噴出された洗浄水１８２は、仕切板１９６上に落ちる。この際、仕切板１９６上面に配設されたスポンジ１９８によって、洗浄水１８２の跳ね返りが防止される。そして、洗浄水１８２は、傾斜した状態で配設された仕切板１９６上を流れ、ハウジング１７４の底面に再貯留される。このように、洗浄・乾燥機構１５０では、洗浄水１８２の循環が行われている。【００３６】  また、洗浄・乾燥機構１５０では、加圧ポンプ１９０のサーマルトリップ、洗浄水１８２の不足、フィルタ１８８，噴射穴等の目詰まり等により、洗浄水１８２の循環が適切に行われず、吸着ノズル６０の洗浄が適切に行われない虞がある。このようなことに鑑みて、洗浄・乾燥機構１５０では、洗浄水１８２の循環が適切に行われているか否かが監視されている。詳しくは、加圧ポンプ１９０が作動されると、加圧ポ���プ１９０の作動が開始したタイミングから設定時間内に、フロースイッチ１８６によってＯＮセンサ値が出力されたか否かが判断される。つまり、図５に示すように、加圧ポンプ１９０の作動状態が停止から作動に切り替えられたタイミングにおいて、経過時間の計測が開始され、計測された経過時間が設定時間を超える前に、フロースイッチ１８６によるセンサ値が、ＯＦＦセンサ値からＯＮセンサ値に切り替えられたか否かが判断される。【００３７】  そして、加圧ポンプ１９０の作動が開始してから設定時間内に、フロースイッチ１８６によってＯＮセンサ値が出力された場合に、洗浄水１８２の循環が適切に行われていると判断される。一方、加圧ポンプ１９０の作動が開始してから設定時間内に、フロースイッチ１８６によってＯＮセンサ値が出力されない場合に、洗浄水１８２の循環が適切に行われていないと判断される。なお、設定時間は、加圧ポンプ１９０の作動により排水路１８４の内部を所定量の洗浄水１８２が流れる迄のタイムラグを考慮して設定される。【００３８】  また、洗浄・乾燥機構１５０では、加圧ポンプ１９０の作動が開始したタイミングだけでなく、洗浄・乾燥機構１５０が作動している最中も、常時、洗浄水１８２の循環が監視されている。洗浄・乾燥機構１５０の作動中での洗浄水１８２の循環の監視では、加圧ポンプ１９０が作動している最中に、フロースイッチ１８６によってＯＦＦセンサ値が出力された場合に、洗浄水１８２の循環が適切に行われていないと判断される。つまり、加圧ポンプ１９０が作動している最中に、フロースイッチ１８６によってＯＦＦセンサ値が出力されない限り、洗浄水１８２の循環が適切に行われていると判断される。これにより、洗浄水１８２の循環を、常時、監視することが可能となる。【００３９】  このように、洗浄・乾燥機構１５０では、比較的安価なフロースイッチ１８６を排水路１８４に配設するだけで、洗浄水１８２の循環を適切に監視することが可能となる。特に、洗浄・乾燥機構１５０では、フロースイッチ１８６が、加圧ポンプ１９０の上流側、つまり、排水路１８４のハウジング１７４と加圧ポンプ１９０との間に配設されている。このため、比較的高価な高圧水対応のフロースイッチではなく、安価な高圧水非対応のフロースイッチを採用することが可能となる。【００４０】  また、洗浄・乾燥機構１５０には、上部洗浄ユニット１７０および、下部洗浄ユニット１７２の隣に、複数の送風管（図示省略）が配設されている。複数の送風管は、洗浄パレット移動機構１５２により移動される洗浄パレット１５８の上方及び下方に配設されている。また、送風管は、送風装置（図示省略）に加温器（図示省略）を介して接続されており、送風管には、温風が吹き込まれる。これにより、各洗浄ユニット１７０，１７２によって洗浄された洗浄パレット１５８に向かって温風が吹きこまれ、洗浄パレット１５８に載置されている吸着ノズル６０が乾燥される。そして、洗浄・乾燥機構１５０において、吸着ノズル６０の洗浄および乾燥が完了すると、洗浄パレット１５８が、洗浄パレット移動機構１５２の作動により、露出位置に移動され、洗浄パレット１５８から、ノズルトレイ７６若しくは、ノズルパレット１１０に��吸着ノズル６０が戻される。【００４１】  さらに、ノズル管理装置８０は、図６に示すように、制御装置２００を備えている。制御装置２００は、コントローラ２０２と複数の駆動回路２０６とを備えている。複数の駆動回路２０６は、パレット収容装置９２、ノズル移載装置９４、ノズル検査装置９６、加圧ポンプ１９０に接続されている。コントローラ２０２は、ＣＰＵ，ＲＯＭ，ＲＡＭ等を備え、コンピュータを主体とするものであり、複数の駆動回路２０６に接続されている。これにより、パレット収容装置９２、ノズル移載装置９４等の作動が、コントローラ２０２によって制御される。また、コントローラ２０２は、ノズル洗浄装置９８のフロースイッチ１８６に接続されており、フロースイッチ１８６によって検出されたセンサ値が、コントローラ２０２に入力される。これにより、コントローラ２０２が、上述した洗浄水１８２の循環を監視する。なお、コントローラ２０２は、加圧ポンプ１９０の作動を制御する作動制御部２１０と、加圧ポンプ１９０の作動開始から設定時間内に、フロースイッチ１８６によってＯＮセンサ値が検出されたか否かを判定する判定部２１２とを有している。【００４２】  ちなみに、上記実施例において、装着機１４は、作業機および、実装機の一例である。吸着ノズル６０は、器具および、部品保持具の一例である。洗浄・乾燥機構１５０は、洗浄装置の一例である。ハウジング１７４は、貯留槽の一例である。配管装置１７６は、配管装置の一例である。排水路１８４および給水路１９２によって構成されるものは、配管の一例である。フロースイッチ１８６は、検出装置の一例である。フィルタ１８８は、フィルタの一例である。加圧ポンプ１９０は、ポンプの一例である。制御装置２００は、制御装置の一例である。作動制御部２１０は、作動制御部の一例である。判定部２１２は、判定部の一例である。【００４３】  なお、本発明は、上記実施例に限定されるものではなく、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した種々の態様で実施することが可能である。具体的には、例えば、上記実施例では、本発明が吸着ノズル６０の洗浄に適用されているが、装着機１４で用いられる器具、具体的には、例えば、フィーダ，ノズルトレイ７６等の洗浄に本発明を適用することが可能である。また、装着機１４で用いられる器具だけでなく、種々の器具の洗浄に本発明を適用することが可能である。さらに言えば、上記実施例では、本発明が器具の洗浄に適用されているが、洗浄以外の用途、例えば、散水、液体の濾過等の種々の用途に本発明を適用することが可能である。【００４４】  また、上記実施例では、配管内の洗浄水１８２の流れを検出する検出装置として、フロースイッチ１８６が採用されているが、配管内を流れる洗浄水１８２の流量を検出可能な流量センサ等を採用することが可能である。
【符号の説明】
【００４５】  １４：装着機（作業機）（実装機）    ６０：吸着ノズル（器具）（部品保持部）    １５０：洗浄・乾燥機構（洗浄装置）    １７４：ハウジング（貯留槽）    １７６：配管装置    １８４：排水路（配管）    １８６：フロースイッチ（検出装置）    １８８：フィルタ    １９０：加圧ポンプ（ポンプ）    １９２：給水路（配管）    ２００：制御装置    ２１０：作動制御部    ２１２：判定部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【国際調査報告】
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