(57)【要約】【課題】ディフューザ通路におけるデポジットの付着を防止することができるターボチャージャを提供すること。【解決手段】ターボチャージャ１はコンプレッサハウジング２と軸受ハウジング３とを備えている。コンプレッサハウジング２は、シュラウド面２２１とディフューザ面２２２とを有する。軸受ハウジング３は、ディフューザ面２２２に対向する対向面３１１を有する。ディフューザ面２２２及び対向面３１１の少なくともいずれか一方には、付着防止部４が設けてある。付着防止部４は、ディフューザ通路１５側の表面に微細な開口部を多数形成してなる微細開口形成体４１と、微細開口形成体４１のディフューザ通路１５側の表面に塗布されてデポジットとの分子間力を低減するコーティング層４２とを有する。付着防止部４におけるディフューザ通路１５側の表面は微細な凹凸表面となっている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
インペラが配された空気流路を内側に有するコンプレッサハウジングと、
上記インペラを一端に固定したロータシャフトを回転自在に支持する軸受ハウジングとを備え、
上記空気流路は、上記インペラに向けて空気を吸い込む吸気口と、上記インペラの外周側において周方向に形成され、上記インペラから吐出される圧縮空気を外部へ導く吐出スクロール室とを有し、
上記コンプレッサハウジングは、上記インペラに対向するシュラウド面と、該シュラウド面から上記吐出スクロール室に向かって延びるディフューザ面とを有し、
上記軸受ハウジングは、上記コンプレッサハウジングの上記ディフューザ面に対向すると共に該ディフューザ面との間にディフューザ通路を形成する対向面を有し、
上記コンプレッサハウジングの上記ディフューザ面及び上記軸受ハウジングの上記対向面の少なくともいずれか一方には、デポジットの付着を防止するための付着防止部が設けてあり、
該付着防止部は、上記ディフューザ通路側の表面に微細な開口部を多数形成してなる微細開口形成体と、該微細開口形成体の上記ディフューザ通路側の表面に塗布されて上記デポジットとの分子間力を低減するコーティング層とを有し、
上記付着防止部における上記ディフューザ通路側の表面は、微細な凹凸表面となっていることを特徴とするターボチャージャ。
【請求項２】
請求項１に記載のターボチャージャにおいて、上記微細開口形成体は、多孔質体からなることを特徴とするターボチャージャ。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のターボチャージャにおいて、上記コーティング層は、水との接触角が１５０°以上の超撥水性材料からなることを特徴とするターボチャージャ。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか一項に記載のターボチャージャにおいて、上記微細開口形成体の上記開口部によって形成される、上記付着防止部の上記凹凸表面における凹部の平均直径は、１００ｎｍ〜１０μｍであることを特徴とするターボチャージャ。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一項に記載のターボチャージャにおいて、上記付着防止部は、上記コンプレッサハウジングの上記ディフューザ面及び上記軸受ハウジングの上記対向面の双方に設けられていることを特徴とするターボチャージャ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、コンプレッサハウジングと軸受ハウジングとを備えたターボチャージャに関する。
【背景技術】
【０００２】
自動車等に搭載されるターボチャージャは、コンプレッサにおいて吸入した空気を圧縮して内燃機関へ向かって吐出するよう構成されている（特許文献１参照）。
すなわち、ターボチャージャは、インペラが配された空気流路を内側に有するコンプレッサハウジングと、インペラを一端に固定したロータシャフトを回転自在に支持する軸受ハウジングとを備えている。空気流路は、インペラに向けて空気を吸い込む吸気口と、インペラから吐出された圧縮空気が流れ込む吐出スクロール室とを有する。
【０００３】
また、コンプレッサハウジングは、インペラに対向するシュラウド面と、該シュラウド面から吐出スクロール室に向かって延びるディフューザ面とを有する。軸受ハウジングは、コンプレッサハウジングのディフューザ面との間にディフューザ通路を形成する。
そして、ターボチャージャは、インペラから吐出された圧縮空気がディフューザ通路を通過して吐出スクロール室に流れ込み、さらに吐出スクロール室から内燃機関側へ吐出されるよう構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−１８０８４１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、空気に混じって流入するオイルに起因してディフューザ通路にデポジットが付着すると、ターボチャージャの性能低下を招くおそれが考えられる。
例えば、内燃機関には、クランクケース内に発生したブローバイガス（主に未燃焼ガス）を吸気通路に還流させ、クランクケース内やヘッドカバー内を清浄化するブローバイガス還流装置（以下、ＰＣＶという）を備えたものがある。この場合、ブローバイガスに含まれるオイル（オイルミスト）がＰＣＶからターボチャージャにおけるコンプレッサの上流側の吸気通路に流出することがある。
【０００６】
このとき、コンプレッサの出口空気圧力が高いとその出口空気温度も高くなるため、ＰＣＶから流出したオイルが蒸発を起因とする濃縮・高粘度化によってコンプレッサハウジングのディフューザ面やそれに対向する軸受ハウジングの表面等にデポジットとなって堆積することがある。そして、堆積したデポジットによってディフューザ通路が狭められ、ターボチャージャの性能低下を招き、さらには内燃機関の出力低下を招くおそれがある。
【０００７】
本発明は、かかる背景に鑑みてなされたもので、ディフューザ通路におけるデポジットの付着を防止することができるターボチャージャを提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一態様は、インペラが配された空気流路を内側に有するコンプレッサハウジングと、
上記インペラを一端に固定したロータシャフトを回転自在に支持する軸受ハウジングとを備え、
上記空気流路は、上記インペラに向けて空気を吸い込む吸気口と、上記インペラの外周側において周方向に形成され、上記インペラから吐出される圧縮空気を外部へ導く吐出スクロール室とを有し、
上記コンプレッサハウジングは、上記インペラに対向するシュラウド面と、該シュラウド面から上記吐出スクロール室に向かって延びるディフューザ面とを有し、
上記軸受ハウジングは、上記コンプレッサハウジングの上記ディフューザ面に対向すると共に該ディフューザ面との間にディフューザ通路を形成する対向面を有し、
上記コンプレッサハウジングの上記ディフューザ面及び上記軸受ハウジングの上記対向面の少なくともいずれか一方には、デポジットの付着を防止するための付着防止部が設けてあり、
該付着防止部は、上記ディフューザ通路側の表面に微細な開口部を多数形成してなる微細開口形成体と、該微細開口形成体の上記ディフューザ通路側の表面に塗布されて上記デポジットとの分子間力を低減するコーティング層とを有し、
上記付着防止部における上記ディフューザ通路側の表面は、微細な凹凸表面となっていることを特徴とするターボチャージャにある（請求項１）。
【発明の効果】
【０００９】
上記ターボチャージャにおいて、コンプレッサハウジングのディフューザ面及び軸受ハウジングの対向面の少なくともいずれか一方には、上記付着防止部が設けられている。付着防止部は、微細な開口部を多数形成してなる微細開口形成体と、デポジットとの分子間力を低減するコーティング層とを有する。しかも、付着防止部におけるディフューザ通路側の表面は、微細な凹凸表面となっている。それゆえ、ディフューザ面及び対向面の少なくとも一方に設けられた付着防止部に接触したデポジットは、付着防止部に付着し難い。
【００１０】
すなわち、付着防止部は、微細な凹凸表面を有するため、デポジットとの接触面積を小さくすることができる。デポジットは、上述のごとく、粘度が高いため、微細な凹凸表面における凹部（開口部）には入り込むことなく、凹凸表面の凸部にのみ接触する状態となると考えられるためである。そして、付着防止部におけるコーティング層は、デポジットとの間の分子間力を低減する材料からなる。それゆえ、単位面積当たりの付着防止部に対するデポジットの接着力も小さい。
【００１１】
つまり、付着防止部は、デポジットが接触したとしても、その接触面積を小さくできるうえに単位面積当たりの接着力も小さくできる。それゆえ、付着防止部に対するデポジットの接着力は小さくなり、ディフューザ通路を流れる吸気によってデポジットを吹き飛ばすことができる。その結果、付着防止部へのデポジットの付着を防ぐことができ、ディフューザ通路におけるデポジットの付着を抑制することができる。
【００１２】
また、付着防止部は、微細な開口部を多数形成してなる微細開口形成体の表面に、コーティング層を形成してある。それゆえ、適切な大きさの開口部を備えた微細開口形成体を用いることにより、適切な大きさの凹凸表面を容易に形成することができる。
【００１３】
なお、コンプレッサの出口温度が比較的低い場合においては、液状のオイルミストがディフューザ通路に飛来することがあるが、液状のオイルミストはコーティング層にはじかれると共に吸気によって吹き飛ばされる。そのため、オイルミストがデポジットとしてディフューザ通路に堆積することを防ぐことができる。
【００１４】
以上のごとく、本発明によれば、ディフューザ通路におけるデポジットの付着を防止することができるターボチャージャを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】実施例１における、ターボチャージャを示す断面説明図。
【図２】実施例１における、ターボチャージャの断面拡大説明図。
【図３】実施例１における、付着防止部を示す断面拡大説明図。
【図４】実施例１における、微細開口形成体を示す断面拡大説明図。
【図５】実施例１における、開口部にもコーティング層が形成された状態を表す付着防止部の断面拡大説明図。
【図６】実施例１における、デポジットが付着防止部の表面に接触した状態を示す断面拡大説明図。
【図７】実施例２における、ターボチャージャを示す断面説明図。
【図８】実施例２における、ターボチャージャの断面拡大説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
上記付着防止部は、コンプレッサハウジングのディフューザ面および軸受ハウジングの対向面の少なくとも一方において、周方向全体にわたって環状に設けられていることが好ましい。この場合には、ディフューザ通路におけるデポジットの付着の防止効果が、周方向全体にわたってばらつくことを防ぐことができる。
【００１７】
また、上記付着防止部は、コンプレッサハウジングのディフューザ面および軸受ハウジングの対向面の少なくとも一方において、径方向におけるディフューザ通路の全長の半分以上の長さ領域に形成されていることが好ましい。この場合には、ディフューザ通路へのデポジットの付着を効果的に防ぐことができる。ここで、ディフューザ通路の全長は、ディフューザ面と対向面とが互いに平行に配された領域の径方向の長さである。
なお、径方向におけるディフューザ通路の全長にわたって上記付着防止部を形成することもできる。
また、微細開口形成体における開口部は、微細開口形成体を貫通する貫通孔が表面に開口した部分であってもよいし、貫通しない凹状部が表面に開口した部分であってもよい。
【００１８】
また、上記微細開口形成体は、多孔質体からなるものとすることができる（請求項２）。この場合には、上記微細開口形成体を容易に構成することができる。また、多孔質体を用いることにより、微細開口形成体を安価に得ることができる。
なお、上記多孔質体としては、例えば、多孔質の樹脂、金属、セラミックス、グラスファイバ、カーボングラファイト等、またはこれらに準ずる物（例えば、樹脂フィルムを巻いた物、樹脂紙を重ねた物、樹脂糸を編んだ物等）等を用いることができる。
【００１９】
また、上記コーティング層は、水との接触角が１５０°以上の超撥水性材料からなることが好ましい（請求項３）。この場合には、付着防止部へのデポジットの付着力をより低減することができる。すなわち、コーティング層が超撥水性を備えていれば撥油性も充分に備え、デポジット付着の抑制効果も高い。その結果、ディフューザ面及び対向面の少なくとも一方へのデポジットの付着をより効果的に抑制することができる。
なお、コーティング層を構成する超撥水性材料としては、例えば、飽和フルオロアルキル基、アルキルシリル基、フルオロシリル基、長鎖アルキル基の少なくとも一つの官能基を含む材料とすることができる。すなわち、コーティング層は、例えば、フッ素樹脂、シリコーン樹脂等からなるものとすることができる。
【００２０】
また、上記微細開口形成体の上記開口部によって形成される、上記付着防止部の上記凹凸表面における凹部の平均直径を、１００ｎｍ〜１０μｍとすることができる（請求項４）。この場合には、付着防止部へのデポジットの付着を効果的に防ぎやすくなるとともに、ディフューザ通路における正常な空気の流れを確保することができる。すなわち、凹部の平均直径を１００ｎｍ以上とすることにより、付着防止部の凹凸表面の凹凸を充分に大きくして、デポジットとの接触面積を小さくしやすい。その結果、デポジットの付着を効果的に防ぎやすくなる。一方、凹部の平均直径を１０μｍ以下とすることにより、付着防止部の凹凸表面の凹凸を充分に小さくして、ディフューザ通路を流れる空気の流れを阻害することを防ぐことができる。また、凹凸表面における凹部にデポジットが入り込むことも抑制しやすく、デポジットの付着防止効果を確保することができる。
【００２１】
凹部の平均直径は、例えば、付着防止部の表面における０．１ｍｍ四方の領域を電子顕微鏡によって観察し、その観察領域にある凹部の直径の平均値をとることにより、得ることができる。なお、凹部の直径とは、凹部と同一面積の円の直径を意味する。
【００２２】
また、上記付着防止部は、上記コンプレッサハウジングの上記ディフューザ面及び上記軸受ハウジングの上記対向面の双方に設けられていることが好ましい（請求項５）。この場合には、コンプレッサハウジングのディフューザ面及び軸受ハウジングの対向面のいずれにおいてもデポジットの付着を効果的に防ぐことができる。
【００２３】
また、上記軸受ハウジングは、軸受本体部と、該軸受本体部と上記コンプレッサハウジングとの間に配設されて上記空気流路の一部に面するバックプレートとを別体で有し、該バックプレートに、上記対向面が設けられていてもよい。かかる構成の場合でも、ディフューザ通路におけるデポジットの付着を防止するという上述の効果を充分に得ることができる。なお、上記構成の場合、軸受ハウジングの一部である別体のバックプレートに付着防止部を設けることもできる。
【実施例】
【００２４】
（実施例１）
上記ターボチャージャにかかる実施例について、図１〜図６を用いて説明する。
本例のターボチャージャ１は、図１、図２に示すごとく、インペラ１３が配された空気流路１０を内側に有するコンプレッサハウジング２と、インペラ１３を一端に固定したロータシャフト１４を回転自在に支持する軸受ハウジング３とを備えている。
空気流路１０は、インペラ１３に向けて空気を吸い込む吸気口１１と、インペラ１３の外周側において周方向に形成され、インペラ１３から吐出される圧縮空気を外部へ導く吐出スクロール室１２とを有する。
【００２５】
同図に示すごとく、コンプレッサハウジング２は、インペラ１３に対向するシュラウド面２２１と、シュラウド面２２１から吐出スクロール室１２に向かって延びるディフューザ面２２２とを有する。
軸受ハウジング３は、コンプレッサハウジング２のディフューザ面２２２に対向すると共にディフューザ面２２２との間にディフューザ通路１５を形成する対向面３１１を有する。
【００２６】
コンプレッサハウジング２のディフューザ面２２２及び軸受ハウジング３の対向面３１１には、デポジットの付着を防止するための付着防止部４が設けてある。図２、図３に示すごとく、付着防止部４は、ディフューザ通路１５側の表面に微細な開口部４１１を多数形成してなる微細開口形成体４１（図４）と、微細開口形成体４１のディフューザ通路１５側の表面に塗布されてデポジットとの分子間力を低減するコーティング層４２とを有する。
【００２７】
付着防止部４におけるディフューザ通路１５側の表面は、微細な凹凸表面４３となっている。つまり、図４に示すように微細開口形成体４１の表面に開口した多数の微細な開口部４１１による凹凸が、図３に示すように微細開口形成体４１の表面にコーティング層４２を形成した状態においても残っている。
【００２８】
微細開口形成体４１は多数の細孔４１２を有する多孔質体からなる。多孔質体としては、例えば、多孔質の樹脂、金属、セラミックス、グラスファイバ、カーボングラファイト等、またはこれらに準ずる物（例えば、樹脂フィルムを巻いた物、樹脂紙を重ねた物、樹脂糸を編んだ物等）等を用いることができる。多孔質体はその表面に細孔４１２が現れるため、この細孔４１２が現れた部分が、微細開口形成体４１における上述の微細な開口部４１１となっている。
【００２９】
この多孔質体からなる微細開口形成体４１の一つの表面に、コーティング層４２が形成されている。コーティング層４２は、図５に示すごとく、微細開口形成体４１の開口部４１１にもコーティング剤が塗布された状態となっている。
【００３０】
コーティング層４２を構成するコーティング剤は、水との接触角が１５０°以上の超撥水性材料からなる。この超撥水性材料としては、例えば、飽和フルオロアルキル基、アルキルシリル基、フルオロシリル基、長鎖アルキル基の少なくとも一つの官能基を含む材料とすることができる。すなわち、コーティング層４２は、例えば、フッ素樹脂、シリコーン樹脂等からなるものとすることができる。
【００３１】
微細開口形成体４１の開口部４１１によって形成される、付着防止部４の凹凸表面４３における凹部４３１は、平均直径を１００ｎｍ〜１０μｍとしている。さらに好ましくは、凹部４３１の平均直径は１μｍ前後とする。
また、微細開口形成体４１の表面における開口部４１１の形成密度は、例えば、２０〜５０％とすることができる。ここで、開口部４１１の形成密度は、単位面積当たりの開口部の総面積である。
【００３２】
本例のターボチャージャ１は、ＰＣＶを備えた内燃機関に接続して用いることができる。
図１に示すごとく、ターボチャージャ１は、自動車等の内燃機関から排出される排ガスによってタービンを回転させ、その回転力を利用してコンプレッサにおいて吸入空気を圧縮し、その圧縮空気を内燃機関に送り込むよう構成されている。したがって、ターボチャージャ１は、軸方向において、コンプレッサの外殻を構成するコンプレッサハウジング２と反対側にタービンハウジング（図示略）を備えている。
【００３３】
タービンハウジングの内側には、タービンインペラが配された排ガス流路が形成されている。タービンインペラは、ロータシャフト１４に固定されている。すなわち、ロータシャフト１４によって、コンプレッサのインペラ１３とタービンインペラとが連結されている。これにより、タービンインペラの回転に伴い、コンプレッサのインペラ１３が回転するよう構成されている。
【００３４】
同図に示すごとく、コンプレッサハウジング２は、吸気口１１を形成する筒状の吸気口形成部２１と、シュラウド面２２１及びディフューザ面２２２を形成するシュラウド部２２と、吐出スクロール室１２を形成する吐出スクロール室形成部２３とを有する。シュラウド面２２１は、軸受ハウジング３の対向面３１１に対向するように円環状に形成されている。また、シュラウド面２２１は、軸受ハウジング３の対向面３１１との間にディフューザ通路１５を形成している。
【００３５】
また、コンプレッサハウジング２のシュラウド部２２の内周側には、インペラ１３が配置されている。インペラ１３は、軸端ナット１４１によってロータシャフト１４に固定されるハブ１３１と、ハブ１３１の外周面から突出してなると共に周方向に並んで配置された複数のブレード１３２とを有する。複数のブレード１３２は、コンプレッサハウジング２のシュラウド面２２１に対向して配置されている。
【００３６】
また、コンプレッサハウジング２とタービンハウジングとの間には、ロータシャフト１４を回転自在に軸支する軸受ハウジング３が配置されている。軸受ハウジング３の軸方向の一端側には、略円板状のフランジ部３３が設けられている。フランジ部３３におけるコンプレッサ側の面には、コンプレッサハウジング２のディフューザ面２２２に対向する対向面３１１が円環状に形成されている。
【００３７】
図１、図２に示すごとく、コンプレッサハウジング２と軸受ハウジング３には、それぞれ付着防止部４が設けられている。各付着防止部４は、それぞれ、コンプレッサハウジング２のディフューザ面２２２および軸受ハウジング３の対向面３１１において、周方向全体にわたって環状に設けられている。また、付着防止部４は、ディフューザ面２２２および対向面３１１において、径方向におけるディフューザ通路１５の全長の半分以上の長さ領域に形成されている。付着防止部４は、コンプレッサハウジング２のディフューザ面２２２および軸受ハウジング３の対向面３１１に設けられた円環状の溝部内に、コーティング層４２を一つの面に形成した微細開口形成体４１を配置することにより構成されている。
【００３８】
次に、本例の作用効果につき説明する。
ターボチャージャ１において、コンプレッサハウジング２のディフューザ面２２２及び軸受ハウジング３の対向面３１１には、付着防止部４が設けられている。付着防止部４は、微細な開口部４１１を多数形成してなる微細開口形成体４１と、デポジットとの分子間力を低減するコーティング層４２とを有する。しかも、付着防止部４におけるディフューザ通路１５側の表面は、微細な凹凸表面４３となっている。それゆえ、ディフューザ面２２２及び対向面３１１に設けられた付着防止部４に接触したデポジットは、付着防止部に付着し難い。
【００３９】
すなわち、付着防止部４は、微細な凹凸表面４３を有するため、図６に示すごとく、デポジットＤとの接触面積を小さくすることができる。デポジットＤは、上述のごとく、粘度が高いため、微細な凹凸表面における凹部４３１（開口部４１１）には入り込むことなく、凹凸表面の凸部にのみ接触する状態となると考えられるためである。そして、付着防止部４におけるコーティング層４２は、デポジットＤとの間の分子間力を低減する材料からなる。それゆえ、単位面積当たりの付着防止部４に対するデポジットＤの接着力も小さい。
【００４０】
つまり、付着防止部４は、デポジットＤが接触したとしても、その接触面積を小さくできるうえに単位面積当たりの接着力も小さくできる。それゆえ、付着防止部４に対するデポジットＤの接着力は小さくなり、ディフューザ通路１５を流れる吸気によってデポジットＤを吹き飛ばすことができる。その結果、付着防止部４へのデポジットＤの付着を防ぐことができ、ディフューザ面２２２及び対向面３１１へのデポジットの付着を抑制することができる。
【００４１】
また、付着防止部４は、微細な開口部４１１を多数形成してなる微細開口形成体４１の表面に、コーティング層４２を形成してある。それゆえ、適切な大きさの開口部４１１を備えた微細開口形成体４１を用いることにより、適切な大きさの凹凸表面４３を容易に形成することができる。
【００４２】
なお、コンプレッサの出口温度が比較的低い場合においては、液状のオイルミストがディフューザ通路１５に飛来することがあるが、液状のオイルミストはコーティング層４２にはじかれると共に吸気によって吹き飛ばされる。そのため、オイルミストがデポジットとしてディフューザ通路１５に堆積することを防ぐことができる。
【００４３】
また、コーティング層４２は超撥水性材料からなるため、付着防止部４へのデポジットの付着力をより低減することができる。その結果、ディフューザ面２２２及び対向面３１１へのデポジットの付着をより効果的に抑制することができる。
また、付着防止部４の凹凸表面４３における凹部４３１は、平均直径を１００ｎｍ〜１０μｍとしているため、付着防止部４へのデポジットの付着を効果的に防ぎやすくなるとともに、ディフューザ通路１５における正常な空気の流れを確保することができる。
【００４４】
以上のごとく、本例によれば、ディフューザ通路におけるデポジットの付着を防止することができるターボチャージャを提供することができる。
【００４５】
（実施例２）
本例は、図７、図８に示すごとく、軸受ハウジング３の構成を変更した例である。
図７に示すごとく、軸受ハウジング３は、軸受本体部３２と、軸受本体部３２とコンプレッサハウジング２との間に配設されて空気流路１０の一部に面するバックプレート３１とを別体で有する。バックプレート３１におけるコンプレッサ側の面には、対向面３１１が形成されている。
【００４６】
図７、図８に示すごとく、軸受ハウジング３のバックプレート３１には、付着防止部４が設けられている。すなわち、微細開口形成体４１及びコーティング層４２は、バックプレート３１の対向面３１１に設けられた円環状の溝部内に配置されている。また、コンプレッサハウジング２のディフューザ面２２２にも実施例１と同様に、付着防止部４が設けてある。
その他の基本的な構成は、実施例１と同様である。
【００４７】
本例の場合にも、ディフューザ通路１５におけるデポジットの付着を防止するという効果を充分に得ることができる。
その他、実施例１と同様の作用効果を有する。
【符号の説明】
【００４８】
１  ターボチャージャ
１０  空気流路
１１  吸気口
１２  吐出スクロール室
１３  インペラ
１４  ロータシャフト
２  コンプレッサハウジング
２２１  シュラウド面
２２２  ディフューザ面
３  軸受ハウジング
３１１  対向面
４  付着防止部
４１  微細開口形成体
４２  コーティング層
【図１】
2014190304.tif 000003
【図２】
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【図３】
2014190304.tif 000005
【図４】
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【図５】
2014190304.tif 000007
【図６】
2014190304.tif 000008
【図７】
2014190304.tif 000009
【図８】
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