(57)【要約】【課題】薄い基板を使用して、より確実に集積回路をパッケージングすること。【解決手段】パッケージングされた集積回路を製造するための裏面モールド構成（ＢＳＭＣ）プロセスは、取り付けられたダイの反対側のパッケージング基板の側面にモールド材料を塗布することを含む。モールド材料は、誘電体（たとえばフォトレジスト）上に堆積される。モールド材料および誘電体は、パッケージング基板のコンタクトパッドを露出させるために、ダイをパッケージング基板に結合した後、パターン化される。モールド材料および誘電体をパターン化した後、パッケージング接続部がモールド材料および誘電体を介してコンタクトパッドに結合される。パッケージング接続部を囲むモールド材料は、処理中、パッケージング基板の反りを低減する。さらに、ダイを取り付けた後、誘電体をパターン化することは、パッケージング接続部の信頼性を向上させる。【選択図】図３Ｈ
2014187399.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
集積回路パッケージング方法であって、
基板の第１の側面にダイを取り付けるステップと、
前記基板の前記第１の側面に前記ダイを取り付ける前に、前記基板の第２の側面上にモールド材料を堆積させるステップと、
前記基板の前記第２の側面上のコンタクトパッドに結合するパッケージング接続部を前記基板の前記第２の側面上に堆積させるステップであって、前記モールド材料および誘電材料が前記パッケージング接続部を囲む、ステップと
を含む方法。
【請求項２】
前記モールド材料が誘電体上にあるように前記誘電体を前記基板の前記第２の側面上に堆積させるステップと、
前記パッケージング接続部を堆積させる前に前記基板の前記コンタクトパッドに対応する開口を前記モールド材料に形成するステップと、
前記パッケージング接続部を堆積させる前に前記モールド材料の開口に対応する開口を前記誘電体に形成するステップと
をさらに含む請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記誘電体がはんだレジストを含む、請求項２に記載の方法。
【請求項４】
前記モールド材料の開口および誘電体の開口を単一のプロセスで形成する、請求項２に記載の方法。
【請求項５】
前記モールド材料の開口を形成するステップが、前記モールド材料の開口をレーザー穴あけするステップを含み、前記誘電体の開口を形成するステップが、前記誘電体の開口をレーザー穴あけするステップを含む、請求項２に記載の方法。
【請求項６】
前記パッケージング接続部を堆積させるステップが、前記モールド材料の開口および前記誘電体の開口を介してボールグリッドアレイのボールを前記コンタクトパッドに取り付けるステップを含む、請求項２に記載の方法。
【請求項７】
前記基板の前記第１の側面に前記ダイを取り付けた後、第２のモールド材料を前記ダイ上に堆積させるステップをさらに含む請求項１に記載の方法。
【請求項８】
前記モールド材料が堆積される前に、前記パッケージング接続部が堆積され、前記ダイを取り付けた後、前記パッケージング接続部を露出させるために、前記モールド材料を裏面研磨するステップをさらに含む、請求項１に記載の方法。
【請求項９】
携帯電話、セットトップボックス、音楽プレーヤ、ビデオプレーヤ、エンターテインメントユニット、ナビゲーションデバイス、コンピュータ、ハンドヘルドパーソナル通信システム（ＰＣＳ）ユニット、ポータブルデータユニット、および固定ロケーションデータユニットのうちの少なくとも１つに、前記基板を組み込むステップをさらに含む、請求項１に記載の方法。
【請求項１０】
基板と、
前記基板の第１の側面上の誘電体と、
前記誘電体上のモールド材料と、
前記モールド材料および前記誘電体を介して前記基板の前記第１の側面上のコンタクトパッドに結合されるパッケージング接続部と
を含む装置。
【請求項１１】
前記モールド材料が前記パッケージング接続部を囲む、請求項１０に記載の装置。
【請求項１２】
前記誘電体がはんだレジストを含む、請求項１０に記載の装置。
【請求項１３】
前記基板の前記第１の側面の反対側の前記基板の第２の側面に取り付けられたダイをさらに含む、請求項１０に記載の装置。
【請求項１４】
前記ダイおよび前記基板の前記第２の側面上に第２のモールド材料をさらに含む、請求項１３に記載の装置。
【請求項１５】
前記ダイがベアダイを含む、請求項１３に記載の装置。
【請求項１６】
前記パッケージング接続部に電気的に結合されたパッケージングされた集積回路をさらに含む、請求項１０に記載の装置。
【請求項１７】
携帯電話、セットトップボックス、音楽プレーヤ、ビデオプレーヤ、エンターテインメントユニット、ナビゲーションデバイス、コンピュータ、ハンドヘルドパーソナル通信システム（ＰＣＳ）ユニット、ポータブルデータユニット、および固定ロケーションデータユニットのうちの少なくとも１つに組み込まれる、請求項１０に記載の装置。
【請求項１８】
基板と、
前記基板の第１の側面上の誘電体と、
前記誘電体を介して前記基板の前記第１の側面のコンタクトパッドに結合されるパッケージング接続部と、
前記基板の前記第１の側面上のパッケージング接続部の信頼性を向上させるための手段であって、前記パッケージング接続部を囲む、手段と
を含む装置。
【請求項１９】
前記基板の前記第１の側面の反対側の前記基板の第２の側面に取り付けられたダイをさらに含む、請求項１８に記載の装置。
【請求項２０】
前記ダイ上のモールド材料をさらに含む、請求項１９に記載の装置。
【請求項２１】
前記誘電体がはんだレジストを含む、請求項１８に記載の装置。
【請求項２２】
携帯電話、セットトップボックス、音楽プレーヤ、ビデオプレーヤ、エンターテインメントユニット、ナビゲーションデバイス、コンピュータ、ハンドヘルドパーソナル通信システム（ＰＣＳ）ユニット、ポータブルデータユニット、および固定ロケーションデータユニットのうちの少なくとも１つに組み込まれる、請求項１８に記載の装置。
【請求項２３】
集積回路パッケージング方法であって、
基板の第１の側面にダイを取り付けるステップと、
前記基板の前記第１の側面に前記ダイを取り付ける前に、前記基板の第２の側面上にモールド材料を堆積させるステップと、
前記基板の前記第２の側面上のコンタクトパッドに結合するパッケージング接続部を前記基板の前記第２の側面上に堆積させるステップであって、前記モールド材料および誘電材料が前記パッケージング接続部を囲む、ステップと
を含む方法。
【請求項２４】
携帯電話、セットトップボックス、音楽プレーヤ、ビデオプレーヤ、エンターテインメントユニット、ナビゲーションデバイス、コンピュータ、ハンドヘルドパーソナル通信システム（ＰＣＳ）ユニット、ポータブルデータユニット、および固定ロケーションデータユニットのうちの少なくとも１つに、前記基板を組み込むステップをさらに含む、請求項２３に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
関連出願の相互参照
本出願は、２０１０年５月２０日に出願されたＢＣＨＩＲらによる「Ｐｒｏｃｅｓｓ  ｆｏｒ  Ｉｍｐｒｏｖｉｎｇ  Ｐａｃｋａｇｅ  Ｗａｒｐａｇｅ  ａｎｄ  Ｃｏｎｎｅｃｔｉｏｎ  Ｒｅｌｉａｂｉｌｉｔｙ  ｔｈｒｏｕｇｈ  Ｕｓｅ  ｏｆ  ａ  Ｂａｃｋｓｉｄｅ  Ｍｏｌｄ  Ｃｏｎｆｉｇｕｒａｔｉｏｎ  （ＢＳＭＣ）」という名称の米国仮特許出願第６１／３４６，７２５号の利益を主張する。
【０００２】
本開示は一般に、集積回路に関する。より詳細には、本開示は集積回路のパッケージングに関する。
【背景技術】
【０００３】
パッケージングされた集積回路は、より小さいフォームファクタの電子デバイスに収まるように、厚さが絶えず低減されている。その結果、パッケージング基板は厚さが低減し、これによってパッケージング基板の剛性が低減する。たとえばはんだリフローなど、熱を基板に加える製造工程中、基板が反る可能性がある。反りは、パッケージング基板における材料間の熱膨張の係数の差からパッケージング基板に加えられる応力に起因し得る。パッケージング基板が反るとき、パッケージング基板と取り付けられたダイとの間が接続されない可能性があり、パッケージングされた集積回路の電気的故障につながり得る。
【０００４】
図１は、従来のパッケージングされた集積回路における基板の反りから生じるダイの非接続を示す断面図である。パッケージングされた集積回路は、パッケージング接続部１０４を有するパッケージング基板１０２を含む。ダイ１１２は、パッケージング接続部１１４を介してパッケージング接続部１０４に結合されている。製造中にパッケージング基板１０２が反ると、パッケージング接続部１０４は、パッケージング集積回路のいくつかの部分においてパッケージング接続部１１４から分離されるようになる場合がある。
【０００５】
さらに、集積回路のパッケージング中、パッケージング基板は、はんだレジスト層に開口を有しており、パッケージング基板のコンタクトパッドを露出させる。開口は、パッケージング基板にダイを取り付ける以前にパッケージング基板に存在する。その結果、パッケージング基板のコンタクトパッドは、加熱、リフロー、デフラックスなどの製造工程中、大気にさらされる。これらの製造工程中の高温は、酸化によってコンタクトパッドを劣化させ、これによってコンタクトパッドになされる電子接続の信頼性が低減する。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
したがって、薄い基板を使用して、より確実に集積回路をパッケージングする必要がある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本開示の一実施形態によれば、集積回路（ＩＣ）パッケージング方法は、基板の第１の側面にダイを取り付けるステップを含む。また、この方法は、基板の第１の側面にダイを取り付ける前に、基板の第２の側面にモールド材料を堆積させるステップを含む。この方法は、基板の第２の側面上のコンタクトパッドに結合するパッケージング接続部を基板の第２の側面上に堆積させるステップをさらに含む。
【０００８】
本開示の別の実施形態によれば、装置は、基板を含む。装置は、基板の第１の側面上の誘電体も含む。装置は、誘電体上のモールド材料をさらに含む。装置は、モールド材料および誘電体を介して基板の第１の側面のコンタクトパッドに結合されるパッケージング接続部も含む。
【０００９】
本開示のさらに別の実施形態によれば、装置は、基板を含む。装置は、基板の第１の側面上の誘電体も含む。装置は、誘電体を介して基板の第１の側面上のコンタクトパッドに結合されるパッケージング接続部をさらに含む。装置は、基板の第１の側面のパッケージング接続部の信頼性を向上させるための手段も含み、向上させる手段がパッケージング接続部を囲む。
【００１０】
上記は、以下の詳細な説明がより理解され得るように、本開示の特徴および技術的な利点を、かなり大まかに概略を述べたものである。本開示のさらなる特徴および利点は、以下で説明される。本開示と同じ目的を実行するための他の構造を修正または設計するための基礎として、本開示が容易に利用され得ることが、当業者には理解されよう。また、そのような等価の構成は、添付の特許請求の範囲で述べられるような本開示の教示から逸脱しないことが、当業者には認識されよう。機構と動作の方法との両方に関する、本開示の特性であると考えられる新規の特徴は、添付の図面とともに考慮されることで、さらなる目的および利点とともに、以下の説明からより理解されるだろう。しかしながら、図面の各々は例示および説明のみを目的に与えられ、本開示の範囲を定めることを目的とはしないことを、明確に理解されたい。
【００１１】
本開示のより完全な理解のために、ここで、添付の図面と併せて以下の説明を参照する。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】従来のパッケージングされた集積回路における基板の反りから生じるダイの非接続を示す断面図である。
【図２】一実施形態による、パッケージングされた集積回路におけるパッケージング接続の信頼性を向上させるための例示的なプロセスを示すフローチャートである。
【図３Ａ】一実施形態による、パッケージングされた集積回路におけるパッケージング接続の信頼性を向上させるための例示的なプロセスを示す断面図である。
【図３Ｂ】一実施形態による、パッケージングされた集積回路におけるパッケージング接続の信頼性を向上させるための例示的なプロセスを示す断面図である。
【図３Ｃ】一実施形態による、パッケージングされた集積回路におけるパッケージング接続の信頼性を向上させるための例示的なプロセスを示す断面図である。
【図３Ｄ】一実施形態による、パッケージングされた集積回路におけるパッケージング接続の信頼性を向上させるための例示的なプロセスを示す断面図である。
【図３Ｅ】一実施形態による、パッケージングされた集積回路におけるパッケージング接続の信頼性を向上させるための例示的なプロセスを示す断面図である。
【図３Ｆ】一実施形態による、パッケージングされた集積回路におけるパッケージング接続の信頼性を向上させるための例示的なプロセスを示す断面図である。
【図３Ｇ】一実施形態による、パッケージングされた集積回路におけるパッケージング接続の信頼性を向上させるための例示的なプロセスを示す断面図である。
【図３Ｈ】一実施形態による、パッケージングされた集積回路におけるパッケージング接続の信頼性を向上させるための例示的なプロセスを示す断面図である。
【図４】第２の実施形態による、パッケージングされた集積回路におけるパッケージング接続の信頼性を向上させるための例示的なプロセスを示すフローチャートである。
【図５Ａ】第２の実施形態による、パッケージングされた集積回路におけるパッケージング接続の信頼性を向上させるための例示的なプロセスを示す断面図である。
【図５Ｂ】第２の実施形態による、パッケージングされた集積回路におけるパッケージング接続の信頼性を向上させるための例示的なプロセスを示す断面図である。
【図５Ｃ】第２の実施形態による、パッケージングされた集積回路におけるパッケージング接続部の信頼性を向上させるための例示的なプロセスを示す断面図である。
【図５Ｄ】第２の実施形態による、パッケージングされた集積回路におけるパッケージング接続の信頼性を向上させるための例示的なプロセスを示す断面図である。
【図５Ｅ】第２の実施形態による、パッケージングされた集積回路におけるパッケージング接続の信頼性を向上させるための例示的なプロセスを示す断面図である。
【図６】本開示の実施形態を有利に使用できる例示的なワイヤレス通信システムを示すブロック図である。
【図７】一実施形態による、半導体コンポーネントの回路設計、レイアウト設計、および論理設計のために用いられる、設計用ワークステーションを示すブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
パッケージング中の反りを低減し、ダイの接続の生産量を向上させることは、ダイに取り付けられる側面の反対側のパッケージング基板の側面にモールド材料を堆積させることによって、裏面モールド材料（ＢＳＭＣ）の使用によって達成され得る。モールド材料は、反りを低減するために、パッケージング基板に剛性を追加する。さらに、モールド材料は、パッケージング基板とのパッケージング接続部をサポートし、パッケージング接続部における亀裂の形成を抑止する。電子接続のためのパッケージング基板のコンタクトパッドを露出させるために、誘電体（たとえばはんだレジスト）とともに、ダイの取り付け後、モールド材料がパターン化される。ダイの取り付け後コンタクトパッドを露出させることは、酸化など、製造工程中のコンタクトパッドへの損傷を低減する。
【００１４】
図２は、一実施形態による、パッケージングされた集積回路におけるパッケージング接続の信頼性を向上させるための例示的なプロセスを示すフローチャートである。プロセスは、ブロック２０５で、パッケージング基板を受け取ることから始まる。図３Ａは、一実施形態による、例示的なパッケージング基板を示す断面図である。パッケージング基板３００は、たとえばラミネートなどの基材３３０において絶縁体３０８によって分離される導電ライン３０２を含む。パッケージング接続部３０４は、導電ライン３０２のコンタクトパッドに結合される。誘電体３２０は、パッケージング基板の、パッケージング接続部３０４の反対側に位置する。一実施形態によれば、誘電体３２０は、はんだレジストである。
【００１５】
ブロック２１０で、モールド材料は、パッケージング接続部の反対側に堆積される。図３Ｂは、一実施形態による、モールド材料を堆積させた後の例示的なパッケージング基板を示す断面図である。パッケージング基板３００は、パッケージング接続部３０４の反対側のパッケージング基板３００の側面に誘電体３２０に堆積されるモールド材料３０６を含む。
【００１６】
モールド材料３０６は、パッケージング基板３００の剛性を向上させる。したがって、パッケージング基板３００の反りは低減され得る。図３Ｈにおいて後で示すように、モールド材料３０６は、パッケージングされた集積回路にほとんどまたはまったく厚みを追加しない可能性がある。
【００１７】
ブロック２１５で、ダイがパッケージング基板に取り付けられる。図３Ｃは、一実施形態による、例示的なパッケージングされた集積回路を示す断面図である。パッケージング接続部３１４を有するダイ３１２は、パッケージング基板３００のパッケージング接続部３０４に結合される。ダイ３１２およびパッケージング基板３００は、パッケージングされた集積回路３９０を形成する。
【００１８】
ブロック２２０で、ダイとパッケージング基板との間のパッケージング接続部の周りにアンダーフィルが堆積される。図３Ｄは、一実施形態による、アンダーフィルを有する例示的なパッケージングされた集積回路を示す断面図である。アンダーフィル３１６は、パッケージング接続部３０４、３１４の追加のサポートを提供する。
【００１９】
ブロック２２５で、ダイおよびパッケージング基板にモールド材料が堆積される。図３Ｅは、一実施形態による、ダイおよびパッケージング基板に堆積されたモールド材料を有する例示的なパッケージングされた集積回路を示す断面図である。モールド材料３１８は、ダイ３１２を囲み、パッケージング接続部３０４とパッケージング接続部３１４との間の接続をさらに強化する。モールド材料３１８は、モールド材料３０６とは異なる材料でもよい。
【００２０】
一実施形態によれば、プロセスがウエハレベルで適用されると、モールド材料３１８は、反りを最小限に抑えるまたは低減するために、ダイのグループにダイスカットされ得る。たとえば、４つのダイの各モジュラクラスタをパッケージング基板に配置した後、モールド材料３１８にわたるダイスカットを行うことができる。一実施形態によれば、ダイ３１２にはモールド材料３１８は堆積されず、結果的にベアダイまたは露出したダイが得られる。たとえば、パッケージオンパッケージ（ＰｏＰ）集積回路の製造中に、露出したダイが使用され得る。
【００２１】
ブロック２３０で、取り付けられたダイの反対側のパッケージング基板の側面のモールド材料がパターン化される。図３Ｆは、一実施形態による、パターン化されたモールド材料を有する例示的なパッケージングされた集積回路を示す断面図である。開口３４０がモールド材料３０６においてパターン化される。開口３４０は、パッケージング中、後で付着されるボールグリッドアレイ（ＢＧＡ）のためのものであり得る。
【００２２】
ブロック２３５で、取り付けられたダイの反対側のパッケージング基板の側面上の誘電体がパターン化される。図３Ｇは、一実施形態による、パターン化された誘電体を有する例示的なパッケージングされた回路を示す断面図である。開口３４０は、導電ライン３０２を露出させるために、誘電体３２０にパターン化される。一実施形態によれば、単一のプロセスは、紫外（ＵＶ）線レーザーによる穴あけを使用してモールド材料３０６および誘電体３２０に開口３４０を形成する。
【００２３】
ブロック２１５でダイ３１２を取り付けた後、ブロック２３５で誘電体３２０をパターン化することは、高温および環境に対するパッケージング基板３００のコンタクトパッドの露出を低減する。その結果、誘電体３２０は、パッケージング基板３００のコンタクトパッドを、酸化などの損傷から保護する。
【００２４】
ブロック２４０で、パッケージングされた集積回路における回路を外部デバイスに結合するために、モールド材料および誘電体に形成された開口に、パッケージング接続部を堆積させることができる。パッケージング接続部の周りに位置するモールド材料は、パッケージング接続部における亀裂を防止するためのパッケージング接続部の周りのカラーとして働く。たとえば、モールド材料は、亀裂伝搬面を、パッケージング接続部におけるコンタクトパッドから遠くに移動させる。
【００２５】
次に図３Ｈを参照すると、一実施形態による、より信頼性が高いパッケージング接続部を有する例示的なパッケージングされた集積回路を示す断面図が示される。パッケージング接続部３５０、たとえばボールグリッドアレイ（ＢＧＡ）のボールなどを、モールド材料３０６および誘電体３２０の開口に堆積させることができる。パッケージング接続部３５０は、パッケージング基板３００の導電ライン３０２のコンタクトパッドに結合される。ダイ３１２と外部回路との間の通信は、パッケージング接続部３１４、パッケージング接続部３０４、導電ライン３０２、およびパッケージング接続部３５０を介して送信され得る。
【００２６】
図３Ｈにおいて、パッケージングされた集積回路３９０の高さは、モールド材料３１８からパッケージング接続部３５０まで測定される。モールド材料３０６が誘電体３２０とパッケージング接続部３５０との間のスペースを占有するので、モールド材料３０６の高さは、パッケージングされた集積回路３９０にほとんどまたはまったく高さを追加しない。
【００２７】
取り付けられたダイの反対側のパッケージング基板の側面上にモールド材料を堆積させることは、チップ取付の成功率を向上させ、全体的なパッケージの成功率を向上させ、パッケージングされた集積回路を堅くする。モールド材料は、パッケージング基板の剛性を向上させ、基板の反りを低減する。すなわち、余分な剛性は、たとえば焼き締め、リフロー、およびデフラックスなどの製造工程中、パッケージング基板の層において生じる応力の反力を提供する。さらに、剛性の向上によって、パッケージングされた集積回路におけるより薄いパッケージング基板の使用を可能にし、これによって、パッケージングされた集積回路の全体的な厚さを低減することができる。
【００２８】
パッケージング基板の反りを低減することによって、チップ取付の成功率を向上させる。パッケージング基板の反りは、結果として、パッケージング基板とダイとの間の境界面における非接続をもたらす。反りの低減は、パッケージング中に生じる非接続の数を低減する。さらに、パッケージング基板の反りの低減は、製造ラインの終端における共平面性を向上させ、結果的に全体的なパッケージの成功率の向上をもたらす。
【００２９】
ダイ取付後の誘電体のパターニングは、環境に対するパッケージング基板のコンタクトパッドの露出を低減し、このことはコンタクトパッドへの損傷を低減する。たとえば、パッケージング基板を伴う高温プロセス中、コンタクトパッドが環境にさらされた場合、コンタクトパッドの酸化が生じる場合がある。酸化は、コンタクトパッドの導電率を低下させ、さらにコンタクトパッドのはんだ付性を減少させる。高温プロセス中にコンタクトパッド上に誘電体を置いておくことによって、酸化が低減し、したがって、ボールグリッドアレイ（ＢＧＡ）のボールをコンタクトパッドに付着させる際のボール取付の成功率が向上する。
【００３０】
図４は、第２の実施形態による、パッケージングされた集積回路におけるパッケージング接続の信頼性を向上させるための例示的なプロセスを示すフローチャートである。プロセスは、ブロック４０５で、パッケージング基板を受け取ることから始まる。図５Ａは、一実施形態による、例示的なパッケージング基板を示す断面図である。パッケージング基板５００は、たとえばラミネートなどの基材５３０において絶縁体５０８によって分離される導電ライン５０２を含む。パッケージング接続部５０４は、導電ライン５０２のコンタクトパッドに結合される。誘電体５２０は、パッケージング基板の、パッケージング接続部５０４の反対側に位置する。一実施形態によれば、誘電体５２０は、はんだレジストである。誘電体５２０は、パッケージング基板５００のコンタクトパッドの近くに位置する開口５６０を有することができる。
【００３１】
ブロック４１０で、パッケージング接続部は、誘電体の開口に堆積され、ブロック４１５で、モールド材料は、パッケージング接続部の周りに堆積される。図５Ｂは、一実施形態による、モールド材料を堆積させた後の例示的なパッケージング基板を示す断面図である。パッケージング接続部５５０は、開口５６０に堆積される。パッケージング接続部５５０は、たとえば、ボールグリッドアレイ（ＢＧＡ）のボールでもよい。モールド材料５０６は、パッケージング接続部５５０の周りに堆積される。モールド材料５０６の堆積は、モールド材料５０６の硬化、せき止め、充填、およびアンダーフィルを含み得る。
【００３２】
ブロック４２０で、ダイは、パッケージング基板に取り付けられ、ブロック４２５で、ダイにアンダーフィルが適用される。図５Ｃは、一実施形態による、取り付けられたダイにアンダーフィルを適用した後の例示的なパッケージング基板を示す断面図である。パッケージング接続部５１４を有するダイ５１２は、パッケージング接続部５０４によりパッケージング基板５００に結合される。アンダーフィル５１６は、ダイ５１２とパッケージング基板５００との間に適用される。
【００３３】
ブロック４３０で、モールド材料は、取り付けられたダイに堆積される。図５Ｄは、一実施形態による、取り付けられたダイの周りにモールド材料を堆積させた後の例示的なパッケージング基板を示す断面図である。モールド材料５１８は、パッケージング基板５００のダイ５１２の周りに堆積される。
【００３４】
ブロック４３５で、取り付けられたダイの反対側のモールド材料およびパッケージング接続部は、パッケージング接続部を露出させるために裏面研磨される。図５Ｅは、一実施形態による、モールド材料の裏面研磨後の例示的なパッケージング基板を示す断面図である。モールド材料５０６は、パッケージング接続部５５０を露出するために裏面研磨される。パッケージング基板５００の強度を増加させるために、ダイの取付などのパッケージングプロセス中、モールド材料５０６は、パッケージング基板５００に厚さを追加する。しかしながら、パッケージング接続部５５０を露出するために、モールド材料５０６を裏面研磨した後、モールド材料５０６は、結果的に、パッケージング基板５００とアセンブルされた最終的な製品において厚さが増すことはない。
【００３５】
一実施形態によれば、ブロック４３０を省略し、取り付けられたダイ５１２の周りにモールド材料５１８を堆積させないことによって、ベアダイが作製される。ベアダイは、一実施形態によれば、パッケージオンパッケージ（ＰｏＰ）デバイスにおいて使用するために製造され得る。
【００３６】
図６は、本開示の実施形態を有利に使用できる例示的なワイヤレス通信システム６００を示すブロック図である。例示のために、図６は、３つの遠隔ユニット６２０、６３０および６５０ならびに２つの基地局６４０を示している。ワイヤレス通信システムがこれよりも多くの遠隔ユニットおよび基地局を有してもよいことが、認識されよう。遠隔ユニット６２０、６３０および６５０は、ＩＣデバイス６２５Ａ、６２５Ｃおよび６２５Ｂを含み、これらは開示済みのパッケージング構造を含む。ＩＣを含む任意のデバイスは、基地局、スイッチングデバイスおよびネットワーク機器を含む、本明細書で開示されたパッケージング構造も含み得ることが認識されよう。図６は、基地局６４０から遠隔ユニット６２０、６３０および６５０への順方向リンク信号６８０、ならびに遠隔ユニット６２０、６３０および６５０から基地局６４０への逆方向リンク信号６９０を示す。
【００３７】
図６では、遠隔ユニット６２０は携帯電話として示され、遠隔ユニット６３０はポータブルコンピュータとして示され、遠隔ユニット６５０はワイヤレスローカルループシステム内の固定ロケーション遠隔ユニットとして示されている。たとえば、遠隔ユニットは、携帯電話、ハンドヘルドパーソナル通信システム（ＰＣＳ）ユニット、個人情報端末のようなポータブルデータユニット、ＧＰＳ対応デバイス、ナビゲーションデバイス、セットトップボックス、音楽プレーヤ、ビデオプレーヤ、エンターテインメントユニット、メータ読取り機器のような固定ロケーションデータユニット、またはデータもしくはコンピュータ命令の記憶もしくは取り出しを行う任意の他のデバイス、またはそれらの任意の組合せであってよい。図６は、本開示の教示に従った遠隔ユニットを示すが、本開示は、これらの例示的な示されたユニットには限定されない。本開示の実施形態は、パッケージングされた集積回路を含む任意のデバイスにおいて適切に利用され得る。
【００３８】
図７は、上記で開示したパッケージングされた集積回路など、半導体コンポーネントの回路設計、レイアウト設計、および論理設計のために用いられる、設計用ワークステーションを示すブロック図である。設計用ワークステーション７００は、オペレーティングシステムソフトウェア、支援ファイル、および、ＣａｄｅｎｃｅまたはＯｒＣＡＤのような設計用ソフトウェアを格納する、ハードディスク７０１を含む。設計用ワークステーション７００はまた、回路７１０の設計または、パッケージングされた集積回路のような半導体コンポーネント７１２の設計を容易にするために、ディスプレイを含む。記憶媒体７０４が、回路設計７１０または半導体コンポーネント７１２を有形に記憶するために提供される。回路設計７１０または半導体コンポーネント７１２は、ＧＤＳＩＩまたはＧＥＲＢＥＲのようなファイルフォーマットで、記憶媒体７０４に記憶され得る。記憶媒体７０４は、ＣＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ、ハードディスク、フラッシュメモリ、または他の適切なデバイスであってよい。さらに、設計用ワークステーション７００は、記憶媒体７０４からの入力を受け入れ、または記憶媒体７０４へ出力を書き込むための、ドライブ装置７０３を含む。
【００３９】
記憶媒体７０４に記録されるデータは、論理回路構成、フォトリソグラフィマスクのためのパターンデータ、または、電子ビームリソグラフィのような連続書込ツールのためのマスクパターンデータを、特定することができる。データはさらに、論理シミュレーションと関連付けられたタイミングダイヤグラムまたはネット回路のような、論理検証データを含み得る。記憶媒体７０４にデータを提供すると、半導体ウェハを設計するためのプロセスの数が減少することで、回路設計７１０または半導体コンポーネント７１２の設計が容易になる。
【００４０】
ファームウェアおよび／またはソフトウェアで実装される場合、これらの方法は、本明細書で説明する機能を実行するモジュール（たとえば、プロシージャ、関数など）によって実装されてもよい。本明細書で説明する方法を実施する際に、命令を有形に具現化する任意の機械可読媒体を使用してもよい。たとえば、ソフトウェアコードはメモリに記憶され、プロセッサユニットにより実行されてもよい。メモリは、プロセッサユニット内で実現されてもまたはプロセッサユニットの外部で実現されてもよい。本明細書では、「メモリ」という用語は、長期メモリ、短期メモリ、揮発性メモリ、不揮発性メモリ、または他のメモリのいずれかの種類を指し、メモリのいかなる特定の種類もしくはメモリの数、またはメモリが記憶される媒体の種類に限定されない。
【００４１】
ファームウェアおよび／またはソフトウェアで実装する場合、関数をコンピュータ可読媒体上に１つまたは複数の命令またはコードとして記憶してもよい。この例には、データ構造によって符号化されたコンピュータ可読媒体およびコンピュータプログラムによって符号化されたコンピュータ可読媒体が含まれる。コンピュータ可読媒体は、物理的なコンピュータ記憶媒体を含む。記憶媒体は、コンピュータによってアクセスされ得る任意の使用可能な媒体であってもよい。限定ではなく、一例として、そのようなコンピュータ可読媒体は、ＲＡＭ、ＲＯＭ、ＥＥＰＲＯＭ、ＣＤ−ＲＯＭ、もしくは他の光ディスクストレージ、磁気ディスクストレージもしくは他の磁気記憶デバイス、または所望のプログラムコードを命令もしくはデータ構造の形で記憶するのに使用することができ、かつコンピュータからアクセスすることのできる任意の他の媒体を備えてよく、本明細書で使用するディスク（ｄｉｓｋおよびｄｉｓｃ）には、コンパクトディスク（ＣＤ）、レーザーディスク（登録商標）、光ディスク、デジタル多用途ディスク（ＤＶＤ）、フロッピィディスク、およびブルーレイディスクが含まれ、ディスク（ｄｉｓｋ）は通常、データを磁気的に再生し、一方、ディスク（ｄｉｓｃ）はデータをレーザーによって光学的に再生する。上記の組合せも、コンピュータ可読媒体の範囲内に含めるべきである。
【００４２】
命令および／またはデータは、コンピュータ可読媒体上に記憶されるだけでなく、通信装置に含まれる伝送媒体上の信号として与えられてもよい。たとえば、通信装置には、命令およびデータを示す信号を有する送受信機を含めてもよい。命令およびデータは、１つまたは複数のプロセッサに特許請求の範囲において概説する機能を実施させるように構成される。
【００４３】
特定の回路について説明したが、当業者には、本開示を実施するうえで開示された回路のすべてが必要とされるわけではないことが理解されよう。さらに、本開示に対する注目を維持するためにある公知の回路については説明していない。
【００４４】
本開示およびその利点について詳しく説明したが、添付の特許請求の範囲によって規定される本開示の技術から逸脱することなく、本明細書において様々な変更、代用および改変を施せることを理解されたい。たとえば、「上」および「下」などの関係語が、基板または電子デバイスに関して使用される。もちろん、基板または電子デバイスが逆転した場合には、上は下に、下は上になる。さらに、横向き、上および下は、基板または電子デバイスの側面を指すことがある。さらに、本出願の範囲は、本明細書において説明したプロセス、機械、製造、物質組成、手段、方法、およびステップの特定の実施形態に限定されるものではない。当業者には本開示から容易に理解されるように、本明細書で説明した対応する実施形態と実質的に同じ機能を実行するかまたは実質的に同じ結果を実現する、現存するかまたは後に開発されるプロセス、機械、製造、物質組成、手段、方法、またはステップを本開示に従って利用してもよい。したがって、添付の特許請求の範囲は、そのようなプロセス、機械、製造、物質組成、手段、方法、またはステップを範囲内に含むものである。
【符号の説明】
【００４５】
１０２  パッケージング基板
１０４  パッケージング接続部
１１２  ダイ
１１４  パッケージング接続部
３００  パッケージング基板
３０２  導電ライン
３０４  パッケージング接続部
３０６  モールド材料
３０８  絶縁体
３１２  ダイ
３１４  パッケージング接続部
３１６  アンダーフィル
３１８  モールド材料
３２０  誘電体
３３０  基材
３４０  開口
３５０  パッケージング接続部
３９０  パッケージングされた集積回路
５００  パッケージング基板
５０２  導電ライン
５０４  パッケージング接続部
５０６  モールド材料
５０８  絶縁体
５１２  ダイ
５１４  パッケージング接続部
５１６  アンダーフィル
５１８  モールド材料
５２０  誘電体
５３０  基材
５５０  パッケージング接続部
５６０  開口
６００  ワイヤレス通信システム
６２０  遠隔ユニット
６２５Ａ  ＩＣデバイス
６２５Ｂ  ＩＣデバイス
６２５Ｃ  ＩＣデバイス
６３０  遠隔ユニット
６４０  基地局
６５０  遠隔ユニット
６８０  順方向リンク信号
６９０  逆方向リンク信号
７００  設計用ワークステーション
７０１  ハードディスク
７０３  ドライブ装置
７０４  記憶媒体
７１０  回路
７１２  半導体コンポーネント
【図１】
2014187399.tif 000003
【図２】
2014187399.tif 000004
【図３Ａ】
2014187399.tif 000005
【図３Ｂ】
2014187399.tif 000006
【図３Ｃ】
2014187399.tif 000007
【図３Ｄ】
2014187399.tif 000008
【図３Ｅ】
2014187399.tif 000009
【図３Ｆ】
2014187399.tif 000010
【図３Ｇ】
2014187399.tif 000011
【図３Ｈ】
2014187399.tif 000012
【図４】
2014187399.tif 000013
【図５Ａ】
2014187399.tif 000014
【図５Ｂ】
2014187399.tif 000015
【図５Ｃ】
2014187399.tif 000016
【図５Ｄ】
2014187399.tif 000017
【図５Ｅ】
2014187399.tif 000018
【図６】
2014187399.tif 000019
【図７】
2014187399.tif 000020
【手続補正書】
【提出日】平成26年7月15日(2014.7.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
パッケージング基板と、
前記パッケージング基板の第１の側面上の誘電体と、
前記誘電体上の第１のモールド材料と、
前記第１のモールド材料および前記誘電体を介して前記パッケージング基板の前記第１の側面上のコンタクトパッドに結合される第１のパッケージング接続部と、
前記パッケージング基板の前記第１の側面の反対側の前記パッケージング基板の第２の側面上に配置される第２のモールド材料と、
前記第２のモールド材料によって囲まれ、前記パッケージング基板に結合されるダイと、
を含む装置。
【請求項２】
前記第１のモールド材料が前記第１のパッケージング接続部を囲む、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記誘電体がはんだレジストを含む、請求項１に記載の装置。
【請求項４】
前記ダイがベアダイを含む、請求項１に記載の装置。
【請求項５】
前記第１のパッケージング接続部に電気的に結合されたパッケージングされた集積回路をさらに含む、請求項１に記載の装置。
【請求項６】
携帯電話、セットトップボックス、音楽プレーヤ、ビデオプレーヤ、エンターテインメントユニット、ナビゲーションデバイス、コンピュータ、ハンドヘルドパーソナル通信システム（ＰＣＳ）ユニット、ポータブルデータユニット、および／または固定ロケーションデータユニットに組み込まれる、請求項１に記載の装置。
【請求項７】
前記第１のパッケージング接続部は、前記第１のパッケージング接続部に沿った中心線が、前記ダイを通って伸びるように配置される、請求項１に記載の装置。
【請求項８】
第２のパッケージング接続部をさらに含み、前記第１のモールド材料および前記誘電体が、前記第１のパッケージング接続部と前記第２のパッケージング接続部との間に配置され、前記第１のパッケージング接続部と前記第２のパッケージング接続部とを囲む、請求項１に記載の装置。
【請求項９】
パッケージング基板と、
前記パッケージング基板の第１の側面上の誘電体と、
前記誘電体を介して前記パッケージング基板の前記第１の側面上のコンタクトパッドに結合される第１のパッケージング接続部と、
前記パッケージング基板の前記第１の側面上のパッケージング接続部の信頼性のための手段であって、前記第１のパッケージング接続部を囲む、前記パッケージング接続部の信頼性の手段と、
ダイと前記パッケージング基板との間の接続の信頼性のための手段であって、前記ダイが前記パッケージング基板の前記第１の側面の反対側の前記パッケージング基板の第２の側面上の接続の信頼性の手段によって囲まれる、手段と、
を含む装置。
【請求項１０】
前記誘電体がはんだレジストを含む、請求項９に記載の装置。
【請求項１１】
携帯電話、セットトップボックス、音楽プレーヤ、ビデオプレーヤ、エンターテインメントユニット、ナビゲーションデバイス、コンピュータ、ハンドヘルドパーソナル通信システム（ＰＣＳ）ユニット、ポータブルデータユニット、および／または固定ロケーションデータユニットに組み込まれる、請求項９に記載の装置。
【請求項１２】
前記第１のパッケージング接続部は、前記第１のパッケージング接続部に沿った中心線が、前記ダイを通って伸びるように配置される、請求項９に記載の装置。
【請求項１３】
第２のパッケージング接続部をさらに含み、前記パッケージング接続部の信頼性の手段および前記誘電体が、前記第１のパッケージング接続部と前記第２のパッケージング接続部との間に配置され、前記第１のパッケージング接続部と前記第２のパッケージング接続部とを囲む、請求項９に記載の装置。
【外国語明細書】
2014187399000001.pdf