(57)【要約】本発明の装着機では、測定ノズル（１２０）が装着ヘッドに装着されている。測定ノズルは、胴体筒（６２）と、胴体筒によって保持される吸着管（６６）とを備えており、胴体筒と吸着管とを設定荷重以上の力で相対移動させることで伸縮する。この装着機において、装着ヘッドに装着された測定ノズルの吸着管の先端位置が測定される。次に、吸着管の先端が対象部（電子部品（１２４））に接触するように、測定ノズルが下降される。そして、測定ノズルの下降により、吸着管の先端が対象部に接触した後に、再度、吸着管の先端位置が測定され、それら２回の測定により得られた吸着管の先端位置の差に基づいて、対象部の高さが演算される。これにより、対象部の高さを適切に測定することが可能となる。
2017002230.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
保持部と、前記保持部により先端部を突出させた状態で保持される可動部とを有し、前記保持部と前記可動部とに設定荷重以上の力で相対移動させることで伸縮する伸縮部材と、  前記伸縮部材が着脱可能に装着される作業ヘッドと、  前記作業ヘッドに装着された前記伸縮部材を昇降させる昇降装置と、  前記作業ヘッドに装着された前記伸縮部材の伸縮方向での前記可動部の先端位置を取得する取得装置と、  （Ａ）前記作業ヘッドに装着された前記伸縮部材の前記可動部の先端を対象部に接触させるように、前記伸縮部材を前記昇降装置によって下降させる下降部と、（Ｂ）前記下降部により前記伸縮部材が下降されることで、前記可動部の先端が前記対象部に接触した後に、前記作業ヘッドに装着された前記伸縮部材の前記可動部の先端位置を前記取得装置によって取得する第１取得部と、（Ｃ）前記第１取得部によって取得された前記可動部の先端位置に基づいて、前記対象部の高さを演算する演算部とを有する制御装置と  を備えることを特徴とする作業機。
【請求項２】
前記制御装置が、  前記下降部により前記伸縮部材が下降される前に、前記作業ヘッドに装着された前記伸縮部材の前記可動部の先端位置を前記取得装置によって取得する第２取得部を有し、  前記演算部が、  前記第１取得部によって取得された前記可動部の先端位置と、前記第２取得部によって取得された前記可動部の先端位置との差に基づいて、前記対象部の高さを演算することを特徴とする請求項１に記載の作業機。
【請求項３】
前記作業ヘッドが、  部品をエアの吸引により保持し、エアの吹出により保持した部品を離脱する吸着ノズルを装着可能であり、  前記第２取得部が、  前記作業ヘッドに前記伸縮部材が装着されている際に、エアの吹出により前記伸縮部材を伸長させた状態で、前記伸縮部材の前記可動部の先端位置を前記取得装置によって取得することを特徴とする請求項２に記載の作業機。
【請求項４】
前記吸着ノズルが、  部品を保持する吸着管と、前記吸着管の先端部を突出させた状態で前記吸着管を保持する保持筒とを有し、  前記吸着管を前記可動部として機能させ、前記保持筒を前記保持部として機能させることで、前記吸着ノズルを前記伸縮部材として代用することを特徴とする請求項３に記載の作業機。
【請求項５】
前記作業機が、  前記作業ヘッドに装着された前記伸縮部材の前記可動部の先端を撮像可能な撮像装置を、前記取得装置として備え、  前記第１取得部および前記第２取得部が、  前記撮像装置による前記可動部の先端の撮像データに基づいて、前記伸縮部材の前記可動部の先端位置を取得することを特徴とする請求項２ないし請求項４のいずれか１つに記載の作業機。
【請求項６】
前記対象部が、対象部材の一部であり、  前記演算部が、  前記対象部の高さと、前記対象部材の前記対象部と異なる部分である第２対象部の高さとを演算し、  前記制御装置が、  前記演算部により演算された前記対象部と前記第２対象部の高さとに基づいて、前記対象部材の傾斜角度を推定する推定部を有することを特徴とする請求項１ないし請求項５のいずれか１つに記載の作業機。
【請求項７】
保持部と、前記保持部により第１形態で保持される被保持部とを有し、前記保持部と前記被保持部との少なくとも一方に設定荷重以上の力を与えることで前記被保持部が第２形態に変形する変形部材と、  前記変形部材が装着される作業ユニットと、  前記変形部材の前記被保持部と対象部とを接触させるように、前記作業ユニットに装着された前記変形部材と前記対象部とを相対的に移動させる移動装置と、  前記移動装置により前記変形部材と前記対象部とが相対的に移動し、前記変形部材の前記被保持部と前記対象部とが接触することで、前記第２形態に変形した前記被保持部の少なくとも一部の位置を取得する取得装置と、  前記取得装置によって取得された前記被保持部の少なくとも一部の位置に基づいて、前記対象部の少なくとも一部の位置を演算する演算部を有する制御装置と  を備えることを特徴とする作業機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、作業ヘッドを備え、その作業ヘッドにより作業を実行する作業機に関する。
【背景技術】
【０００２】  作業ヘッドによって作業が実行される作業機では、適切な作業を担保するために、種々の測定が行われる。下記特許文献には、作業ヘッドに装着された保持具の位置を測定するための技術が記載されている。【０００３】
【特許文献１】特開平６−１３４１６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】  上記特許文献に記載の技術によれば、作業ヘッドに装着された保持具の位置を測定することは可能となる。しかしながら、例えば、作業ヘッドにより対象部に種々の作業を行うためには、対象部の高さ等の対象部の種々の部位を測定する必要がある。本発明は、そのような実情に鑑みてなされたものであり、本発明の課題は、作業機において、対象部の種々の部位を適切に測定することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】  上記課題を解決するために、本願に記載の作業機は、保持部と、前記保持部により先端部を突出させた状態で保持される可動部とを有し、前記保持部と前記可動部とに設定荷重以上の力で相対移動させることで伸縮する伸縮部材と、前記伸縮部材が着脱可能に装着される作業ヘッドと、前記作業ヘッドに装着された前記伸縮部材を昇降させる昇降装置と、前記作業ヘッドに装着された前記伸縮部材の伸縮方向での前記可動部の先端位置を取得する取得装置と、（Ａ）前記作業ヘッドに装着された前記伸縮部材の前記可動部の先端を対象部に接触させるように、前記伸縮部材を前記昇降装置によって下降させる下降部と、（Ｂ）前記下降部により前記伸縮部材が下降されることで、前記可動部の先端が前記対象部に接触した後に、前記作業ヘッドに装着された前記伸縮部材の前記可動部の先端位置を前記取得装置によって取得する第１取得部と、（Ｃ）前記第１取得部によって取得された前記可動部の先端位置に基づいて、前記対象部の高さを演算する演算部とを有する制御装置とを備えることを特徴とする。【０００６】  また、上記課題を解決するために、本願に記載の作業機は、保持部と、前記保持部により第１形態で保持される被保持部とを有し、前記保持部と前記被保持部との少なくとも一方に設定荷重以上の力を与えることで前記被保持部が第２形態に変形する変形部材と、前記変形部材が装着される作業ユニットと、前記変形部材の前記被保持部と対象部とを接触させるように、前記作業ユニットに装着された前記変形部材と前記対象部とを相対的に移動させる移動装置と、前記移動装置により前記変形部材と前記対象部とが相対的に移動し、前記変形部材の前記被保持部と前記対象部とが接触することで、前記第２形態に変形した前記被保持部の少なくとも一部の位置を取得する取得装置と、前記取得装置によって取得された前記被保持部の少なくとも一部の位置に基づいて、前記対象部の少なくとも一部の位置を演算する演算部を有する制御装置とを備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】  本願に記載の作業機では、伸縮部材が作業ヘッドに装着されている。伸縮部材は、保持部と、保持部によって保持される可動部とを有しており、保持部と可動部とを設定荷重以上の力で相対移動させることで伸縮する。その作業機において、伸縮部材が下降され、伸縮部材の下降により、可動部の先端が対象部に接触した後に、作業ヘッドに装着された伸縮部材の可動部の先端位置が測定される。そして、測定により得られた可動部の先端位置に基づいて、対象部の高さが演算される。これにより、対象部の高さを適切に測定することが可能となる。【０００８】  また、本願に記載の作業機では、変形部材が作業ユニットに装着されている。変形部材は、保持部と、保持部により第１形態で保持される被保持部とを有しており、保持部と被保持部との少なくとも一方に設定荷重以上の力を与えることで被保持部が第２形態に変形する。その作業機において、変形部材と対象部とが相対的に移動され、被保持部が対象部に接触することで、被保持部が第２形態に変形した後に、作業ユニットに装着された変形部材の被保持部の少なくとも一部の位置が測定される。そして、測定により得られた位置に基づいて、対象部の少なくとも一部の位置が演算される。これにより、対象部の種々の部位を適切に測定することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】電子部品装着装置を示す斜視図である。
【図２】装着ヘッドを示す斜視図である。
【図３】装着ヘッドを示す側面図である。
【図４】吸着ノズルを示す斜視図である。
【図５】制御装置を示すブロック図である。
【図６】伸長した状態の吸着ノズルを示す断面図である。
【図７】電子部品に接触した状態の吸着ノズルを示す断面図である。
【図８】吸着管が胴体筒の内部に後退した状態の吸着ノズルを示す断面図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】  以下、本発明を実施するための形態として、本発明の実施例を、図を参照しつつ詳しく説明する。【００１１】  ＜電子部品装着装置の構成＞  図１に、電子部品装着装置１０を示す。電子部品装着装置１０は、１つのシステムベース１２と、そのシステムベース１２の上に隣接された２台の電子部品装着機（以下、「装着機」と略す場合がある）１４とを有している。なお、装着機１４の並ぶ方向をＸ軸方向と称し、その方向に直角な水平の方向をＹ軸方向と称する。【００１２】  各装着機１４は、主に、装着機本体２０、搬送装置２２、装着ヘッド移動装置（以下、「移動装置」と略す場合がある）２４、装着ヘッド２６、供給装置２８、ノズルステーション３０を備えている。装着機本体２０は、フレーム部３２と、そのフレーム部３２に上架されたビーム部３４とによって構成されている。【００１３】  搬送装置２２は、２つのコンベア装置４０，４２を備えている。それら２つのコンベア装置４０，４２は、互いに平行、かつ、Ｘ軸方向に延びるようにフレーム部３２に配設されている。２つのコンベア装置４０，４２の各々は、電磁モータ（図５参照）４６によって各コンベア装置４０，４２に支持される回路基板をＸ軸方向に搬送する。また、回路基板は、所定の位置において、基板保持装置（図５参照）４８によって固定的に保持される。【００１４】  移動装置２４は、ＸＹロボット型の移動装置である。移動装置２４は、スライダ５０をＸ軸方向にスライドさせる電磁モータ（図５参照）５２と、Ｙ軸方向にスライドさせる電磁モータ（図５参照）５４とを備えている。スライダ５０には、装着ヘッド２６が取り付けられており、その装着ヘッド２６は、２つの電磁モータ５２，５４の作動によって、フレーム部３２上の任意の位置に移動させられる。【００１５】  装着ヘッド２６は、回路基板に対して電子部品を装着するものである。装着ヘッド２６は、図２および、図３に示すように、複数の棒状の装着ユニット５８を備えており、複数の装着ユニット５８の各々の先端部には、吸着ノズル６０が装着される。吸着ノズル６０は、図４に示すように、胴体筒６２とフランジ部６４と吸着管６６と掛止ピン６８とによって構成されている。胴体筒６２は、円筒状をなし、フランジ部６４は、胴体筒６２の外周面に張り出すようにして固定されている。吸着管６６は、細いパイプ状をなし、胴体筒６２の下端部から下方に向かって延び出した状態で、胴体筒６２に軸線方向に移動可能に保持されている。掛止ピン６８は、胴体筒６２の径方向に延びるように、胴体筒６２の上端部に設けられている。吸着ノズル６０は、掛止ピン６８を利用して、装着ユニット５８にワンタッチで着脱可能に取り付けられる。【００１６】  また、胴体筒６２には、図６に示すように、１対の長穴７０が、吸着ノズル６０の軸線方向に延びるように形成されている。一方、吸着管６６の外周部には、径方向に延びるように棒状のストッパ７２が設けられている。そして、ストッパ７２が長穴７０内に挿入されることで、吸着管６６の胴体筒６２内部での移動範囲が規制されている。【００１７】  吸着ノズル６０が装着される装着ユニット５８には、バネ（図３参照）７６が内蔵されており、そのバネ７６は、装着ユニット５８に取り付けられた吸着ノズル６０の吸着管６６に、弾性力を付与する。これにより、その吸着管６６は、そのバネ７６の弾性力によって、胴体筒６２の下端部から下方に延び出す方向に付勢されている。なお、複数の装着ユニット５８のうちの１の装着ユニット５８には、バネ７６が内蔵されておらず、そのバネ７６が内蔵されていない装着ユニット（以下、「測定ノズル装着ユニット」と記載する場合がある）５８には、吸着ノズル６０が装着されていない。【００１８】  また、吸着ノズル６０は、負圧エア，正圧エア通路を介して、正負圧供給装置（図５参照）７８に通じている。吸着ノズル６０は、負圧によって電子部品を吸着保持し、保持した電子部品を正圧によって離脱する。また、複数の棒状の装着ユニット５８は、図２に示すように、ユニット保持体８０の外周部に、等角度ピッチで、軸方向が垂直となる状態に保持されており、吸着ノズル６０は、ユニット保持体８０の下面から下方に向かって延び出している。【００１９】  また、ユニット保持体８０は、ヘッド本体部８２に回転可能に保持されており、保持体回転装置８４の電磁モータ（図５参照）８６によって、装着ユニット５８の配設角度毎に間欠回転する。これにより、複数の装着ユニット５８の停止位置のうちの１つの停止位置である昇降ステーション（スライダ５０から最も離れているステーション）に、装着ユニット５８が順次停止する。そして、その昇降ステーションに位置する装着ユニット５８は、ユニット昇降装置８８の電磁モータ（図５参照）９０によって昇降する。これにより、吸着ノズル６０に吸着保持された電子部品の上下方向の位置が変更される。また、装着ユニット５８は、自転装置９６の電磁モータ（図５参照）９８によって自転する。これにより、吸着ノズル６０によって吸着保持された電子部品の保持姿勢が変更される。【００２０】  また、ヘッド本体部８２の下端面のスライダ５０側には、パーツカメラ１００が、装着ユニット５８に装着された吸着ノズル６０を向いた状態で配設されている。これにより、パーツカメラ１００は、複数の装着ユニット５８の停止位置のうちの１つの停止位置である撮像ステーション（スライダ５０に最も近いステーション）に位置する吸着ノズル６０を撮像する。また、スライダ５０の下端面には、マークカメラ１０２が、下を向いた状態で配設されており、移動装置２４の作動により任意の位置に移動する。これにより、マークカメラ１０２は、フレーム部３２上の任意の位置を撮像する。【００２１】  供給装置２８は、フィーダ型の供給装置であり、図１に示すように、複数のテープフィーダ１０６を有している。テープフィーダ１０６は、テープ化部品を巻回させた状態で収容している。テープ化部品は、電子部品がテーピング化されたものである。そして、テープフィーダ１０６は、送り装置（図５参照）１０８によって、テープ化部品を送り出す。これにより、フィーダ型の供給装置２８は、テープ化部品の送り出しによって、電子部品を供給位置において供給する。【００２２】  ノズルステーション３０は、ノズルトレイ１１０を有している。ノズルトレイ１１０には、複数の吸着ノズル６０が収容されている。このノズルステーション３０では、装��ヘッド２６に取り付けられている吸着ノズル６０と、ノズルトレイ１１０に収容されている吸着ノズル６０との交換等が、必要に応じて行われる。【００２３】  また、装着機１４は、図５に示すように、制御装置１３０を備えている。制御装置１３０は、コントローラ１３２と、複数の駆動回路１３４とを備えている。複数の駆動回路１３４は、上記電磁モータ４６，５２，５４，８６，９０，９８、基板保持装置４８、正負圧供給装置７８、送り装置１０８に接続されている。コントローラ１３２は、ＣＰＵ，ＲＯＭ，ＲＡＭ等を備え、コンピュータを主体とするものであり、複数の駆動回路１３４に接続されている。これにより、搬送装置２２、移動装置２４等の作動が、コントローラ１３２によって制御される。また、コントローラ１３２は、画像処理装置１３６にも接続されている。画像処理装置１３６は、パーツカメラ１００およびマークカメラ１０２により撮像された撮像データを処理するための装置である。これにより、コントローラ１３２は、撮像データから各種情報を取得する。【００２４】  ＜装着機による装着作業＞  装着機１４では、上述した構成によって、搬送装置２２に保持された回路基板に対して、装着ヘッド２６によって装着作業を行うことが可能である。具体的には、コントローラ１３２の指令により、回路基板が作業位置まで搬送され、その位置において、回路基板が、基板保持装置４８によって固定的に保持される。次に、マークカメラ１０２が、コントローラ１３２の指令により、回路基板の上方に移動し、回路基板を撮像する。これにより、回路基板の保持位置等に関する情報が得られる。また、テープフィーダ１０６は、コントローラ１３２の指令により、テープ化部品を送り出し、電子部品を供給位置において供給する。そして、装着ヘッド２６が、コントローラ１３２の指令により、電子部品の供給位置の上方に移動し、吸着ノズル６０によって電子部品を吸着保持する。続いて、吸着ノズル６０によって保持された電子部品が、パーツカメラ１００によって撮像される。これにより、部品の保持姿勢等に関する情報が得られる。そして、装着ヘッド２６が、コントローラ１３２の指令により、回路基板の上方に移動し、保持している電子部品を、回路基板の保持位置，電子部品の保持姿勢等を補正し、回路基板上に装着する。【００２５】  ＜装着位置の高さの測定＞  装着機１４では、上述したように、テープフィーダ１０６によって供給された電子部品を、吸着ノズル６０によって吸着保持し、その電子部品が回路基板上に装着される。このため、適切な装着作業を担保するべく、装着位置の高さが測定される。具体的には、例えば、ＰＯＰ（Package On Packageの略）実装時には、回路基板に装着された電子部品の上に電子部品を装着するべく、回路基板に装着された電子部品の高さが測定される。【００２６】  装着位置の高さを測定するための手法としては、例えば、変位センサを用いて、装着位置の高さを測定することが可能である。具体的には、スライダ５０等に変位センサを設け、変位センサから装着位置に向かってレーザ光を照射する。そして、装着位置において反射した反射光に基づいて、装着位置の高さを測定することが可能である。しかしながら、変位センサ��配設位置と、吸着ノズル６０の配設位置とが異なるため、吸着ノズル６０の可動範囲と変位センサの可動範囲とが異なり、吸着ノズル６０による装着位置に、変位センサを移動させることができない場合がある。つまり、変位センサによって、装着位置の高さを測定できない場合がある。また、変位センサの配設スペースの確保、変位センサの配設によるコストアップ等の問題もある。【００２７】  このようなことに鑑みて、電子部品装着装置１０では、測定ノズル（図３参照）１２０を利用して、装着位置の高さが測定される。詳しくは、測定ノズル１２０は、吸着ノズル６０を転用したものであり、測定ノズル１２０の構造は、吸着ノズル６０と略同じである。つまり、測定ノズル１２０は、吸着ノズル６０の胴体筒６２，吸着管６６等と同じ構成要素を有している。このため、測定ノズルの構成要素を記載する際に、吸着ノズル６０の構成要素と同じ符号を用いる。【００２８】  なお、測定ノズル１２０では、吸着ノズル６０と異なり、胴体筒６２の内周面と吸着管６６の外周面との間に、粘着剤が塗布されており、吸着管６６に設定荷重以上の力を付与しなければ、吸着管６６は、胴体筒６２の内部において移動しない。ちなみに、設定荷重は、吸着管６６の重量に設定されている。このため、吸着ノズル６０では、吸着管６６は、自重によって胴体筒６２の内部において移動するが、測定ノズル１２０では、吸着管６６は、自重によって胴体筒６２の内部において移動しない。【００２９】  上記構造の測定ノズル１２０は、ノズルステーション３０のノズルトレイ１１０に収納されている。そして、装着位置の測定が行われる際に、装着ヘッド２６がノズルステーション３０の上方に移動され、ノズルトレイ１１０に収納されている測定ノズル１２０が、図３に示すように、装着ヘッド２６の複数の装着ユニット５８のうちのバネ７６が内蔵されていない装着ユニット５８、つまり、測定ノズル装着ユニット５８に装着される。このため、測定ノズル装着ユニット５８に装着された測定ノズル１２０では、吸着管６６は、バネ７６の弾性力によって下方に向かって付勢されていない。また、測定ノズル１２０では、胴体筒６２と吸着管６６との間に粘着剤が塗布されているため、吸着管６６は、自重によって下方に向かって移動していない。【００３０】  測定ノズル装着ユニット５８に測定ノズル１２０が装着されると、正負圧供給装置７８によって、測定ノズル１２０に正圧が供給される。つまり、測定ノズル１２０の内部に向かって、エアが吹き出される。これにより、図６に示すように、吸着管６６が、エアの吹出しによって、吸着管６６の移動範囲のうちの最も下方に移動する。つまり、吸着管６６の先端が最下端に移動し、吸着管６６が第１形態となる。そして、測定ノズル装着ユニット５８が撮像ステーションに移動され、測定ノズル１２０がパーツカメラ１００によって撮像される。これにより、撮像データに基づいて、測定ノズル１２０の吸着管６６の最下端の先端位置（以下、「最下端先端位置」と記載する場合がある）が測定される。【００３１】  吸着管６６の最下端先端位置が測定されると、装着位置の上方、例えば、図７に示すように、回路基板１２２に装着された電子部品１２４の上方���、装着ヘッド２６が移動される。そして、測定ノズル装着ユニット５８が昇降ステーションに移動され、測定ノズル１２０が、電子部品１２４に向かって下降される。この際、測定ノズル１２０の吸着管６６の先端が回路基板１２２の表面と同じ高さとなるように、測定ノズル１２０は下降される。これにより、測定ノズル１２０の吸着管６６は、図７に示すように、電子部品１２４に接触し、胴体筒６２の内部に向かって後退することで、第２形態となる。この際、吸着管６６は、電子部品１２４の高さ方向の寸法に相当する量、胴体筒６２の内部に向かって後退する。【００３２】  次に、測定ノズル１２０は、上昇され、測定ノズル装着ユニット５８が撮像ステーションに移動される。なお、測定ノズル装着ユニット５８には、バネ７６が内蔵されておらず、吸着管６６は自重によって移動しないため、吸着管６６は、図８に示すように、胴体筒６２の内部に向かって後退した状態で維持されている。そして、吸着管６６が胴体筒６２の内部に後退している状態の測定ノズル１２０が、パーツカメラ１００によって撮像される。これにより、撮像データに基づいて、胴体筒６２の内部に向かって後退している状態の吸着管６６の先端位置（以下、「後退先端位置」と記載する場合がある）が測定される。【００３３】  そして、最下端先端位置と後退先端位置とが測定されると、それらの差分が演算される。演算された差分は、吸着管６６が電子部品１２４への接触によって胴体筒６２の内部に向かって押し込まれた移動量に相当し、その移動量は、上述したように、電子部品１２４の高さ方向の寸法に相当する。このため、最下端先端位置と後退先端位置との差分が、電子部品１２４の高さ方向の寸法、つまり、装着位置の高さとなる。【００３４】  このように、装着機１４では、測定ノズル１２０を利用して、装着位置の高さが測定される。これにより、変位センサ等を設けることなく、装着位置の高さを測定することが可能となり、配設スペース，コストアップ等の問題が解消される。特に、測定ノズル１２０は、吸着ノズル６０を転用したものであり、測定ノズル１２０は、ノズルトレイ１１０に収納されていることから、配設スペース，コストアップ等の問題は殆ど生じない。また、高さ測定時の測定ノズル１２０の配設位置と、部品装着時の吸着ノズル６０の配設位置とは同じであり、測定ノズル１２０の可動範囲と、吸着ノズル６０の可動範囲とは同じである。これにより、吸着ノズル６０による装着位置の全ての範囲に、測定ノズル１２０を移動させることが可能となり、吸着ノズル６０による何れの装着位置においても、高さを測定すること可能となる。【００３５】  また、装着機１４では、装着位置の高さを測定することで、回路基板の反りの程度を推定することが可能である。具体的には、回路基板の複数の箇所の高さを上記手順に従って測定する。そして、それら複数の箇所の高さおよび、測定箇所の座標に基づいて、回路基板の反りの程度を推定することが可能である。さらに、装着位置の高さを測定することで、回路基板の傾斜角度を推定することが可能である。具体的には、例えば、回路基板の４隅のうちの対角に位置する２隅の高さを上記手順に従って測定する。そして、回路基板の２隅��高さおよび、測定箇所の座標に基づいて、回路基板の傾斜角度を推定することが可能である。なお、回路基板の２隅だけでなく、３若しくは、４隅の高さを測定することで、回路基板の傾斜角度をさらに精度よく推定することが可能である。また、回路基板の傾斜角度だけでなく、装着機１４の傾斜角度も推定することが可能である。具体的には、フレーム部３２のベースとなる平面の複数の箇所の高さを測定し、それら複数の箇所の高さおよび、測定箇所の座標に基づいて、フレーム部３２の傾斜角度を推定することが可能である。【００３６】  なお、コントローラ１３２は、図５に示すように、第１測定部１５０、下降部１５２、第２測定部１５４、演算部１５６、推定部１５８を有している。第１測定部１５０は、後退先端位置を測定するための機能部である。下降部１５２は、測定ノズル１２０の吸着管６６が測定対象部に接触するように、測定ノズル１２０を下降させるための機能部である。第２測定部１５４は、最下端先端位置を測定するための機能部である。演算部１５６は、最下端先端位置と後退先端位置とに基づいて、測定対象部の高さを演算するための機能部である。推定部１５８は、複数の箇所の高さに基づいて、測定対象の部材の傾斜角度を推定するための機能部である。【００３７】  ちなみに、上記実施例において、装着機１４は、作業機の一例である。装着ヘッド２６は、作業ヘッドおよび、作業ユニットの一例である。吸着ノズル６０は、吸着ノズルの一例である。胴体筒６２は、保持筒の一例である。吸着管６６は、吸着管の一例である。保持体回転装置８４および、ユニット昇降装置８８は、昇降装置の一例である。パーツカメラ１００は、取得装置および、撮像装置の一例である。測定ノズル１２０は、伸縮部材および、変形部材の一例である。測定ノズル１２０の胴体筒６２は、保持部の一例である。測定ノズル１２０の吸着管６６は、可動部および、被保持部の一例である。回路基板１２２は、対象部材の一例である。電子部品１２４は、対象部の一例である。制御装置１３０は、制御装置の一例である。第１測定部１５０は、第１取得部の一例である。下降部１５２は、下降部の一例である。第２測定部１５４は、第２取得部の一例である。演算部１５６は、演算部の一例である。推定部１５８は、推定部の一例である。【００３８】  なお、本発明は、上記実施例に限定されるものではなく、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した種々の態様で実施することが可能である。具体的には、例えば、上記実施例では、本発明が回路基板に対する作業を実行する装着機１４に適用されているが、種々の作業を実行する作業機に本発明を適用することが可能である。具体的には、例えば、所定の器具の収納作業，プラズマ処理等の処理作業，製品の組立作業等の作業を実行する作業機に、本発明を適用することが可能である。【００３９】  また、上記実施例では、最下端先端位置と後退先端位置とが測定され、それら２つの位置の差に基づいて、対象部の高さが演算されているが、最下端先端位置を測定することなく、対象部の高さを演算することが可能である。詳しくは、最下端先端位置は、測定ノズル１２０の寸法に応じた位置となるため、測定ノズル１２０に応じた最下端先端位置を、基準位置としてコントローラ１３２に記憶させておく。そして、測定された後退先端位置と、コントローラ１３２に記憶されている基準位置との差に基づいて、対象部の高さを演算することが可能である。【００４０】  また、上記実施例では、バネが内蔵されていない吸着ノズル６０が、バネ７６の内蔵されている装着ユニット５８に装着されることで、吸着ノズル６０の吸着管６６が、バネ７６の弾性力によって下方に向かって付勢されている。一方、バネが内蔵されている吸着ノズルも存在し、その吸着ノズルでは、装着ユニット５８にバネが内蔵されていなくても、自身に内蔵されているバネの弾性力によって、吸着管が下方に向かって付勢される。このようなバネが内蔵されている吸着ノズルを、測定ノズルに転用することも可能であるが、そのような場合には、内蔵されているバネを取り除く必要がある。【００４１】  上記実施例では、測定ノズル１２０の吸着管６６の先端位置が、パーツカメラ１００によって撮像され、その撮像データに基づいて、吸着管６６の先端位置が測定されるが、センサ等により吸着管６６の先端位置を測定することが可能である。つまり、取得装置として、吸着管６６の先端位置を検出するセンサを採用することが可能である。
【符号の説明】
【００４２】  １４：装着機（作業機）    ２６：装着ヘッド（作業ヘッド）（作業ユニット）    ６０：吸着ノズル    ６２：胴体筒（保持筒）（保持部）    ６６：吸着管（可動部）（被保持部）    ８８：ユニット昇降装置（昇降装置）    １００：パーツカメラ（取得装置）（撮像装置）    １２０：測定ノズル（伸縮部材）（変形部材）    １２２：回路基板（対象部材）    １２４：電子部品（対象部）    １３０：制御装置    １５０：第１測定部    １５２：下降部    １５４：第２測定部    １５６：演算部    １５８：推定部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【国際調査報告】
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