(57)【要約】      （修正有）【課題】基板を保持するための基板保持具をそのまま基板収納ケース内に位置固定で収納することにより、基板が破損してしまうことを防止することができ、また、基板収納ケースに対する基板の出し入れの際の作業性を向上させることができる基板収納ケースを提供する。【解決手段】基板収納ケース２０は、筐体（第１の筐体部分２１および第２の筐体部分２２）と、筐体内に設けられ、基板Ｗを保持した基板保持具１０を位置固定で支持する支持部（位置固定部２６、押さえ部材２８）と、を備えている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
筐体と、
前記筐体内に設けられ、基板を保持した基板保持具を位置固定で支持する支持部と、
を備えた、基板収納ケース。
【請求項２】
前記筐体は、蝶番により連結された第１の筐体部分および第２の筐体部分を有しており、
前記支持部は、前記第１の筐体部分および前記第２の筐体部分にそれぞれ設けられており、前記基板保持具は、前記筐体内に収納される際に、前記第１の筐体部分および前記第２の筐体部分にそれぞれ設けられた前記各支持部により挟持されるようになっている、請求項１記載の基板収納ケース。
【請求項３】
前記筐体内に、基板を保持した基板保持具を複数収納することができるようになっている、請求項１記載の基板収納ケース。
【請求項４】
前記筐体内に、基板を保持した基板保持具が積層状態で複数収納される、請求項３記載の基板収納ケース。
【請求項５】
前記筐体は、蝶番により連結された第１の筐体部分および第２の筐体部分を有しており、
前記支持部は、基板を保持した基板保持具と前記第１の筐体部分との間、基板を保持した基板保持具と前記第２の筐体部分との間、ならびに基板を保持した基板保持具間にそれぞれ挟まれるようになっている、請求項４記載の基板収納ケース。
【請求項６】
前記支持部は前記各基板保持具に取り付けられている、請求項５記載の基板収納ケース。
【請求項７】
前記各基板保持具には、前記支持部がそれぞれ挿入される溝部が設けられている、請求項５記載の基板収納ケース。
【請求項８】
前記支持部により支持されるべき前記基板保持具は、基板の側縁部を保持するようになっている、請求項１乃至７のいずれか一項に記載の基板収納ケース。
【請求項９】
前記支持部は弾性部材を含む、請求項１乃至８のいずれか一項に記載の基板収納ケース。
【請求項１０】
筐体と、
前記筐体内で支持部により位置固定で支持された、基板を保持した基板保持具と、
を備えた、基板収納ケース。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フォトマスク製造分野等で用いられる基板を収納するための基板収納ケースに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、半導体素子、フラットパネルディスプレイ、プリント基板等の電子部品の製造工程において、配線層や部品層といった異なる画像を写すために、数枚から数十枚のフォトマスクが使用されている。フォトマスクは、電子部品の製造工程で使用されるパターン原版をガラスや石英等に形成した透明な板であり、「フォトリソグラフィ」と呼ばれる転写技術によって電子部品の回路パターン等を被転写材料に転写する際の原版となるものである。このようなフォトマスクを露光装置へ運搬する際に、フォトマスクを収納するための収納ケースが用いられている。収納ケースは、概してプラスチック樹脂により形成されている。
【０００３】
しかしながら、従来の収納ケースを用いてフォトマスクを運搬する場合、収納ケースに収納されたフォトマスクの表面にパーティクルが付着するおそれがあった。とりわけ近年では半導体集積回路装置の高集積化に伴って、フォトマスクの表面に付着するパーティクルが原因で、製品の品質および歩留まりの低下等の問題が生じている。具体的には、フォトマスクの表面にパーティクルが付着してしまうと、集積回路を形成しようとする半導体ウエハ上にこのパーティクルパターンが転写されてしまい、ウエハ上のＩＣパターンに欠陥が形成されてしまう。このようなパーティクルは、フォトマスクを収納ケースに収納して運搬する際に収納ケースの内面とフォトマスクの表面との間で生じる摩擦により発生する。
【０００４】
収納ケース内でのパーティクルの発生を抑制するために、例えば特許文献１に開示されるような収納ケースが提案されている。特許文献１に開示される収納ケースでは、収納ケースの内面と基板（レチクル）の表面との間で生じる摩擦によりパーティクルが発生することを抑制するため、収納ケース内に設けられたシリコンゴム製の押圧体で基板を固定するようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００７−５７６２４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１に開示されるような、収納ケース内に設けられた押圧体により基板を固定する収納ケースでは、基板に対して押圧体を強く押し付けると基板が破損してしまうおそれがある。とりわけ、特許文献１に開示される収納ケースのように押圧体によって基板を上方から押し付ける場合は、力の加減が難しくなり、押圧力を所望の大きさより少しでも強くすると基板が破損してしまうという問題がある。また、収納ケース内で押圧体によって基板を上方から押しつけた場合には、基板における押圧部により押し付けられた部分が汚れてしまうという問題がある。
【０００７】
また、従来の収納ケースでは、基板に直接手で触れることによる基板の汚染を防ぐため、収納ケースに対する基板の出し入れの際に治具等を用いて基板を掴んだり離したりする作業が必要となる。しかしながら、収納ケースに対して基板を出し入れする度に治具等を用いて基板を掴んだり離したりするのは手間がかかり、作業効率が悪くなってしまうという問題がある。
【０００８】
本発明は、このような点を考慮してなされたものであり、基板を保持した基板保持具をそのまま基板収納ケース内に位置固定で収納することにより、基板が破損してしまうことを防止することができ、また、基板収納ケースに対する基板の出し入れの際の作業性を向上させることができる基板収納ケースを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の基板収納ケースは、筐体と、前記筐体内に設けられ、基板を保持した基板保持具を位置固定で支持する支持部と、を備えたことを特徴とする。
【００１０】
このような基板収納ケースによれば、基板を保持した基板保持具を基板収納ケース内に位置固定で収納することができるようになり、このため基板をそのまま基板収納ケースに収納させるような従来技術と比較して基板が破損してしまうことを防止することができる。また、基板を保持した基板保持具をそのまま基板収納ケース内に位置固定で収納することにより、基板収納ケースに対する基板の出し入れの際の作業性を向上させることができる。
【００１１】
本発明の基板収納ケースにおいては、前記筐体は、蝶番により連結された第１の筐体部分および第２の筐体部分を有しており、前記支持部は、前記第１の筐体部分および前記第２の筐体部分にそれぞれ設けられており、前記基板保持具は、前記筐体内に収納される際に、前記第１の筐体部分および前記第２の筐体部分にそれぞれ設けられた前記各支持部により挟持されるようになっていてもよい。
【００１２】
本発明の基板収納ケースにおいては、前記筐体内に、基板を保持した基板保持具を複数収納することができるようになっていてもよい。
【００１３】
この際に、前記筐体内に、基板を保持した基板保持具が積層状態で複数収納されるようになっていてもよい。
【００１４】
また、前記筐体は、蝶番により連結された第１の筐体部分および第２の筐体部分を有しており、前記支持部は、基板を保持した基板保持具と前記第１の筐体部分との間、基板を保持した基板保持具と前記第２の筐体部分との間、ならびに基板を保持した基板保持具間にそれぞれ挟まれるようになっていてもよい。
【００１５】
この場合、前記支持部は前記各基板保持具に取り付けられていてもよい。
【００１６】
あるいは、前記各基板保持具には、前記支持部がそれぞれ挿入される溝部が設けられていてもよい。
【００１７】
本発明の基板収納ケースにおいては、前記支持部により支持されるべき前記基板保持具は、基板の側縁部を保持するようになっていてもよい。
【００１８】
本発明の基板収納ケースにおいては、前記支持部は弾性部材を含んでいてもよい。
【００１９】
本発明の基板収納ケースは、筐体と、前記筐体内で支持部により位置固定で支持された、基板を保持した基板保持具と、を備えたことを特徴とする。
【００２０】
このような基板収納ケースによれば、基板を保持した基板保持具を基板収納ケース内に位置固定で収納しているため、基板をそのまま基板収納ケースに収納させるような従来技術と比較して基板が破損してしまうことを防止することができる。また、基板を保持した基板保持具をそのまま基板収納ケース内に位置固定で収納することにより、基板収納ケースに対する基板の出し入れの際の作業性を向上させることができる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明の基板収納ケースによれば、基板を保持するための基板保持具をそのまま基板収納ケース内に位置固定で収納することにより、基板が破損してしまうことを防止することができ、また、基板収納ケースに対する基板の出し入れの際の作業性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の実施の形態による基板収納ケースおよびこの基板収納ケースに収納された基板保持具の構成を示す縦断面図である。
【図２】図１に示す基板収納ケースおよび基板保持具のＡ−Ａ矢視による縦断面図である。
【図３】図１に示す基板収納ケースおよび基板保持具のＢ−Ｂ矢視による横断面図である。
【図４】（ａ）〜（ｄ）は、図１等に示す基板保持具により基板を保持させる動作を順に示す図である。
【図５】本発明の実施の形態による他の種類の基板収納ケースおよびこの基板収納ケースに収納された基板保持具の構成を示す縦断面図である。
【図６】図５に示す基板収納ケースおよび基板保持具のＣ−Ｃ矢視による縦断面図である。
【図７】図５に示す基板収納ケースおよび基板保持具のＤ−Ｄ矢視による横断面図である。
【図８】本発明の実施の形態による更に他の種類の基板収納ケースおよびこの基板収納ケースに収納された基板保持具の構成を示す縦断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１乃至図８は、本実施の形態による様々なタイプの基板収納ケースを示す図である。このうち、図１乃至図３は、本実施の形態による、あるタイプの基板収納ケースおよびこの基板収納ケースに収納された基板保持具の構成を示す図である。また、図４（ａ）〜（ｄ）は、図１等に示す基板保持具により基板を保持させる動作を順に示す図である。また、図５乃至図７は、本実施の形態による他の種類の基板収納ケースおよびこの基板収納ケースに収納された基板保持具の構成を示す図である。また、図８は、本実施の形態による更に他の種類の基板収納ケースおよびこの基板収納ケースに収納された基板保持具の構成を示す図である。
【００２４】
本実施の形態では、ガラス基板等からなる正方形形状のフォトマスク基板Ｗ（以下、基板Ｗともいう）を保持するための基板保持具１０がそのまま様々なタイプの基板収納ケース２０、４０、６０内に位置固定で収納されるようになっている。ここで、図１乃至図３に示すような基板収納ケース２０では、基板Ｗを保持した１つの基板保持具１０が収納されるようになっている。一方、図５乃至図７に示すような基板収納ケース４０や、図８に示すような基板収納ケース６０では、各々が基板Ｗを保持した複数の基板保持具１０が積層状態で収納されるようになっている。
【００２５】
本実施の形態による様々なタイプの基板収納ケース２０、４０、６０の構成を説明するにあたり、最初に、これらの基板収納ケース２０、４０、６０に収納されるべき基板保持具１０の構成について図１乃至図４、とりわけ図４を用いて以下に説明する。
【００２６】
図１や図４（ａ）に示すように、基板保持具１０は、第１のアーム１２と、第２のアーム１３と、第１のアーム１２の先端に設けられた第１の基板保持部１４と、第２のアーム１３の先端に設けられた第２の基板保持部１５とを有しており、第１の基板保持部１４と第２の基板保持部１５との間で基板Ｗが挟持されるようになっている。ここで、基板保持具１０は、各基板保持部１４、１５により基板Ｗの側縁部を保持するようになっている。また、第１のアーム１２および第２のアーム１３の基端部分にはグリップ１６が連結されており、このグリップ１６にはレバー１８が設けられている。これらのグリップ１６やレバー１８は、基板保持部１０を操作する操作者により把持されるようになっている。また、操作者がレバー１８を引くと、基板保持具１０により保持された基板Ｗから第２の基板保持部１５が離れる方向に移動するよう、第２のアーム１３が移動するようになっている。すなわち、基板保持具１０により基板Ｗが保持されているときに、操作者がレバー１８を引くことにより、基板保持具１０から基板Ｗを解放することができるようになっている。
【００２７】
次に、このような構成からなる基板保持具１０により基板Ｗを保持させる動作について図４（ｂ）〜（ｄ）を用いて説明する。基板保持具１０により基板Ｗを保持させようとするときに、図４（ｂ）に示すように、操作者はグリップ１６およびレバー１８を把持してこのレバー１８を図４（ｂ）における矢印方向に引く。このことにより、第１の基板保持具１４と第２の基板保持部１５との間の間隔が大きくなるよう第２のアーム１３が移動する。そして、図４（ｃ）に示すように、第１の基板保持部１４と第２の基板保持部１５との間に基板Ｗを置く。その後、操作者がレバー１８を離すと、図４（ｄ）に示すように、第２のアーム１３およびこの第２のアーム１３の先端に設けられた第２の基板保持部１５が元の位置に戻り、基板Ｗが第１の基板保持部１４と第２の基板保持部１５との間で挟持されるようになる。このようにして基板Ｗが基板保持具１０により保持された後、基板Ｗを保持した基板保持具１０が様々なタイプの基板収納ケース２０、４０、６０に収納されるようになる。
【００２８】
次に、図１乃至図３に示すようなタイプの基板収納ケース２０について説明する。図２等に示すように、基板収納ケース２０は、蝶番（ヒンジ）３０により連結された第１の筐体部分２１および第２の筐体部分２２を有している。ここで、第１の筐体部分２１および第２の筐体部分２２により、基板Ｗを保持した１つの基板保持具１０を収納する筐体が構成されている。なお、第１の筐体部分２１および第２の筐体部分２２はそれぞれ例えばプラスチック樹脂等から形成されている。また、図１に示すように、第１の筐体部分２１および第２の筐体部分２２からなる筐体には開口２３が設けられており、基板保持具１０が基板収納ケース２０内に収納される際にこの基板保持具１０の第１のアーム１２や第２のアーム１３の基端部分がこの開口２３を貫通するようになっている。このような開口２３が設けられていることにより、基板Ｗを保持している第１のアーム１２や第２のアーム１３を基板収納ケース２０内に位置させたときにグリップ１６やレバー１８を基板収納ケース２０の外部に位置させることができるようになる。
【００２９】
また、第１の筐体部分２１と第２の筐体部分２２との間に蝶番３０が設けられていることにより、第１の筐体部分２１は第２の筐体部分２２に対して図２における実線位置と二点鎖線位置との間で当該蝶番３０を中心として揺動するようになる。また、第１の筐体部分２１および第２の筐体部分２２が接合して基板収納ケース２０が閉じた状態にあるときに、第１の筐体部分２１や第２の筐体部分２２の底面でケース固定部２４によりこれらの第１の筐体部分２１および第２の筐体部分２２を固定することができるようになっており、このことにより基板収納ケース２０の運搬中に第２の筐体部分２２に対して第１の筐体部分２１が開いてしまい基板保持具１０が基板収納ケース２０から落下してしまうことを防止することができる。
【００３０】
図１乃至図３に示すように、第２の筐体部分２２の内面には複数（具体的には例えば４つ）の位置固定部２６が設けられており、これらの位置固定部２６により、基板収納ケース２０に収納された基板保持具１０の位置が固定されるようになっている。より詳細には、図１等に示すように、各位置固定部２６は、基板収納ケース２０に収納された基板保持具１０の四隅にそれぞれ位置するようになっており、この基板保持具１０の四隅の位置が各位置固定部２６により固定されるようになっている。
【００３１】
また、図１乃至図３に示すように、第１の筐体部分２１および第２の筐体部分２２の各々の内面にはそれぞれ２つの押さえ部材２８が取り付けられている。そして、図２や図３に示すように、基板保持具１０が基板収納ケース２０内に収納されたときに基板保持具１０の第１のアーム１２が各押さえ部材２８により挟持されるようになっている。このようにして、基板収納ケース２０に収納された基板保持具１０の位置が固定されるようになる。ここで、各押さえ部材２８は例えばゴム等の硬度の小さい弾性部材から構成されている。このことにより、第１のアーム１２と各押さえ部材２８との間の密着度が高まり、また、第１のアーム１２に対する各押さえ部材２８の押圧力により当該第１のアーム１２が破損してしまうことを防止することができる。
【００３２】
次に、基板Ｗを保持した基板保持具１０をこのような基板収納ケース２０内に収納させる動作について説明する。
【００３３】
まず、基板収納ケース２０の第２の筐体部分２２に対して第１の筐体部分２１を開き、この第１の筐体部分２１を図２における二点鎖線位置に移動させる。次に、基板Ｗを保持した基板保持具１０を基板収納ケース２０内に入れる。このときに、基板保持具１０の四隅を各位置固定部２６により固定する。また、基板保持具１０の第１のアーム１２を、第２の筐体部分２２に設けられた各押さえ部材２８に接触させるようにする。
【００３４】
その後、第１の筐体部分２１を図２における二点鎖線位置から実線位置に移動させ、第１の筐体部分２１および第２の筐体部分２２を接合させる。そして、第１の筐体部分２１や第２の筐体部分２２の底面でケース固定部２４によりこれらの第１の筐体部分２１および第２の筐体部分２２を固定する。このようにして、基板収納ケース２０が閉じた状態となる。この際に、図２や図３に示すように、基板保持具１０の第１のアーム１２は、第１の筐体部分２１に設けられた各押さえ部材２８にも接触し、当該第１のアーム１２は、第１の筐体部分２１および第２の筐体部分２２にそれぞれ設けられた各押さえ部材２８により挟圧されるようになる。このようにして、基板収納ケース２０に収納された基板保持具１０の位置が固定される。
【００３５】
以上のように本実施の形態の基板収納ケース２０によれば、当該基板収納ケース２０の筐体内に、基板Ｗを保持した基板保持具１０を位置固定で支持する支持部として位置固定部２６や押さえ部材２８が設けられている。このことにより、基板Ｗを保持した基板保持具１０を基板収納ケース２０内に位置固定で収納することができるようになり、このため基板Ｗをそのまま基板収納ケースに収納させるような従来技術と比較して基板Ｗが破損してしまうことを防止することができる。また、基板Ｗを保持した基板保持具１０をそのまま基板収納ケース２０内に位置固定で収納することにより、基板収納ケース２０に対する基板Ｗの出し入れの際の作業性を向上させることができる。
【００３６】
また、本実施の形態の基板収納ケース２０においては、前述したように、蝶番３０により連結された第１の筐体部分２１および第２の筐体部分２２により筐体が構成されており、各押さえ部材２８は第１の筐体部分２１および第２の筐体部分２２にそれぞれ設けられており、基板保持具１０は、基板収納ケース２０の筐体内に収納される際に、第１の筐体部分２１および第２の筐体部分２２にそれぞれ設けられた各押さえ部材２８により挟持されるようになっている（図２および図３参照）。
【００３７】
なお、図１乃至図３に示すような例では、基板Ｗを保持した基板保持具１０を位置固定で支持する支持部として位置固定部２６や押さえ部材２８が設けられているが、各位置固定部２６の設置が省略され、各押さえ部材２８のみによって、基板Ｗを保持した基板保持具１０が基板収納ケース２０の筐体内において位置固定で支持されるようになっていてもよい。また、更に他の態様として、図１乃至図３に示すような例に対して各押さえ部材２８の設置が省略され、各位置固定部２６のみによって、基板Ｗを保持した基板保持具１０が基板収納ケース２０の筐体内において位置固定で支持されるようになっていてもよい。
【００３８】
次に、図５乃至図７に示すようなタイプの基板収納ケース４０について説明する。前述したように、図５乃至図７に示すような基板収納ケース４０では、各々が基板Ｗを保持した複数の基板保持具１０が積層状態で収納されるようになっている。
【００３９】
図６等に示すように、基板収納ケース４０は、蝶番（ヒンジ）５０により連結された第１の筐体部分４１および第２の筐体部分４２を有している。ここで、第１の筐体部分４１および第２の筐体部分４２により、各々が基板Ｗを保持した複数の基板保持具１０を収納する筐体が構成されている。なお、第１の筐体部分４１および第２の筐体部分４２はそれぞれ例えばプラスチック樹脂等から形成されている。また、図５に示すように、第１の筐体部分４１および第２の筐体部分４２からなる筐体には開口４３が設けられており、各基板保持具１０が基板収納ケース４０内に収納される際にこれらの基板保持具１０の第１のアーム１２や第２のアーム１３の基端部分がそれぞれこの開口４３を貫通するようになっている。このような開口４３が設けられていることにより、基板Ｗを保持している第１のアーム１２や第２のアーム１３を基板収納ケース４０内に位置させたときにグリップ１６やレバー１８を基板収納ケース４０の外部に位置させることができるようになる。
【００４０】
また、第１の筐体部分４１と第２の筐体部分４２との間に蝶番５０が設けられていることにより、第１の筐体部分４１は第２の筐体部分４２に対して図６における実線位置と二点鎖線位置との間で当該蝶番５０を中心として揺動するようになる。また、第１の筐体部分４１および第２の筐体部分４２が接合して基板収納ケース４０が閉じた状態にあるときに、第１の筐体部分４１や第２の筐体部分４２の底面でケース固定部４４によりこれらの第１の筐体部分４１および第２の筐体部分４２を固定することができるようになっており、このことにより基板収納ケース４０の運搬中に第２の筐体部分４２に対して第１の筐体部分４１が開いてしまい各基板保持具１０が基板収納ケース４０から落下してしまうことを防止することができる。
【００４１】
図５乃至図７に示すように、第２の筐体部分４２の内面には複数（具体的には例えば４つ）の位置固定部４６がこの第２の筐体部分４２から内側に延びるよう設けられており、これらの位置固定部４６により、基板収納ケース４０に収納された複数の基板保持具１０の位置がそれぞれ固定されるようになっている。より詳細には、図５等に示すように、各位置固定部４６は、基板収納ケース４０に収納された各基板保持具１０の四隅にそれぞれ位置するようになっており、各々の基板保持具１０の四隅の位置が各位置固定部４６により固定されるようになっている。
【００４２】
また、図５乃至図７に示すように、基板Ｗを保持した基板保持具１０と第１の筐体部分４１との間、基板Ｗを保持した基板保持具１０と第２の筐体部分４２との間、ならびに基板Ｗを保持した基板保持具１０間にそれぞれ押さえ部材４８が設けられている。そして、複数の基板保持具１０が基板収納ケース４０に収納されたときに、各々の基板保持具１０の第１のアーム１２が各押さえ部材４８により挟持されるようになっている。このようにして、基板収納ケース４０に収納された各基板保持具１０の位置が固定されるようになる。ここで、各押さえ部材４８は例えばゴム等の硬度の小さい弾性部材から構成されている。このことにより、第１のアーム１２と各押さえ部材４８との間の密着度が高まり、また、第１のアーム１２に対する各押さえ部材４８の押圧力により当該第１のアーム１２が破損してしまうことを防止することができる。
【００４３】
このような押さえ部材４８は、各々の基板保持具１０の第１のアーム１２の一方の表面に例えば２つずつそれぞれ取り付けられていてもよい。この場合には、基板収納ケース４０内で複数の基板保持具１０を重ね合わせる際に、基板収納ケース４０内に既に置かれている基板保持具１０の押さえ部材４８に、新たな基板保持具１０の第１のアーム１２を接触させるよう、各基板保持具１０を基板収納ケース４０内で積層させる。他の態様としては、各々の基板保持具１０の第１のアーム１２に、各押さえ部材４８が挿入されるべき溝部（図示せず）が設けられていてもよい。なお、このような溝部は、第１のアーム１２の片面に設けられていてもよく、あるいは第１のアーム１２の両面にそれぞれ設けられていてもよい。各々の基板保持具１０の第１のアーム１２に溝部が設けられている場合には、基板収納ケース４０内で複数の基板保持具１０を重ね合わせる際に、基板収納ケース４０内に既に置かれている基板保持具１０の第１のアーム１２の溝に操作者が押さえ部材４８を挿入し、この挿入された押さえ部材４８に、新たな基板保持具１０の第１のアーム１２を接触させるよう、各基板保持具１０を基板収納ケース４０内で積層させる。
【００４４】
次に、各々が基板Ｗを保持した複数の基板保持具１０をこのような基板収納ケース４０内に収納させる動作について説明する。
【００４５】
まず、基板収納ケース４０の第２の筐体部分４２に対して第１の筐体部分４１を開き、この第１の筐体部分４１を図６における二点鎖線位置に移動させる。次に、各々が基板Ｗを保持した複数の基板保持具１０を積層状態で基板収納ケース４０内に入れる。このときに、基板保持具１０の四隅を各位置固定部４６により固定する。また、各々の基板保持具１０の第１のアーム１２の一方の表面に押さえ部材４８が取り付けられている場合には、基板収納ケース４０内で複数の基板保持具１０を重ね合わせる際に、基板収納ケース４０内に既に置かれている基板保持具１０の押さえ部材４８に、新たな基板保持具１０の第１のアーム１２を接触させるよう、各基板保持具１０を基板収納ケース４０内で積層させる。あるいは、各々の基板保持具１０の第１のアーム１２に、各押さえ部材４８が挿入されるべき溝部が設けられている場合には、基板収納ケース４０内で複数の基板保持具１０を重ね合わせる際に、基板収納ケース４０内に既に置かれている基板保持具１０の第１のアーム１２の溝に操作者が押さえ部材４８を挿入し、この挿入された押さえ部材４８に、新たな基板保持具１０の第１のアーム１２を接触させるよう、各基板保持具１０を基板収納ケース４０内で積層させる。
【００４６】
その後、第１の筐体部分４１を図６における二点鎖線位置から実線位置に移動させ、第１の筐体部分４１および第２の筐体部分４２を接合させる。そして、第１の筐体部分４１や第２の筐体部分４２の底面でケース固定部４４によりこれらの第１の筐体部分４１および第２の筐体部分４２を固定する。このようにして、基板収納ケース４０が閉じた状態となる。この際に、図６や図７に示すように、各々の基板保持具１０の第１のアーム１２は各押さえ部材４８により挟圧されるようになる。このようにして、基板収納ケース４０に収納された基板保持具１０の位置が固定される。
【００４７】
以上のように図５乃至図７に示すような基板収納ケース４０によれば、当該基板収納ケース４０の筐体内に、各々が基板Ｗを保持した複数の基板保持具１０を位置固定で支持する支持部として位置固定部４６や押さえ部材４８が設けられている。このことにより、各々が基板Ｗを保持した複数の基板保持具１０を基板収納ケース４０内に位置固定で収納することができるようになり、このため基板Ｗをそのまま基板収納ケースに収納させるような従来技術と比較して基板Ｗが破損してしまうことを防止することができる。また、各々が基板Ｗを保持した複数の基板保持具１０をそのまま基板収納ケース４０内に位置固定で収納することにより、基板収納ケース４０に対する基板Ｗの出し入れの際の作業性を向上させることができる。
【００４８】
また、本実施の形態の基板収納ケース４０においては、前述したように、蝶番５０により連結された第１の筐体部分４１および第２の筐体部分４２により筐体が構成されており、押さえ部材４８は、基板Ｗを保持した基板保持具１０と第１の筐体部分４１との間、基板Ｗを保持した基板保持具１０と第２の筐体部分４２との間、ならびに基板Ｗを保持した基板保持具１０間にそれぞれ挟まれるようになっている。ここで、ある態様では、各押さえ部材４８は、それぞれの基板保持具１０の第１のアーム１２に取り付けられている。また、他の態様では、それぞれの基板保持具１０の第１のアーム１２には、押さえ部材４８が挿入される溝部が設けられている。
【００４９】
なお、図５乃至図７に示すような例では、基板Ｗを保持した基板保持具１０を位置固定で支持する支持部として位置固定部４６や押さえ部材４８が設けられているが、各位置固定部４６の設置が省略され、各押さえ部材４８のみによって、各々が基板Ｗを保持した複数の基板保持具１０が基板収納ケース４０の筐体内において位置固定で支持されるようになっていてもよい。また、更に他の態様として、図５乃至図７に示すような例に対して各押さえ部材４８の設置が省略され、各位置固定部４６のみによって、各々が基板Ｗを保持した複数の基板保持具１０が基板収納ケース４０の筐体内において位置固定で支持されるようになっていてもよい。
【００５０】
次に、各々が基板Ｗを保持した複数の基板保持具１０を積層状態で収納する基板収納ケースの更に他の態様について図８を用いて説明する。なお、図８に示す基板収納ケース６０は、図５乃至図７に示す基板収納ケース４０に対して押圧板７２およびバネ７４が追加的に設けられた点が異なるのみであり、他の構成は図５乃至図７に示す基板収納ケース４０と類似するものとなっている。このため、以下に示すような基板収納ケース６０の説明において、図５乃至図７に示す基板収納ケース４０と類似する部分についてはその説明を省略する。
【００５１】
図８に示す基板収納ケース６０は、蝶番（ヒンジ）７０により連結された第１の筐体部分６１および第２の筐体部分６２を有している。ここで、第１の筐体部分６１および第２の筐体部分６２により、各々が基板Ｗを保持した複数の基板保持具１０を収納する筐体が構成されている。また、第１の筐体部分６１および第２の筐体部分６２からなる筐体には開口（図示せず）が設けられており、各基板保持具１０が基板収納ケース６０内に収納される際にこれらの基板保持具１０の第１のアーム１２や第２のアーム１３の基端部分がそれぞれこの開口を貫通するようになっている。また、第１の筐体部分６１および第２の筐体部分６２が接合して基板収納ケース６０が閉じた状態にあるときに、第１の筐体部分６１や第２の筐体部分６２の底面でケース固定部６４によりこれらの第１の筐体部分６１および第２の筐体部分６２を固定することができるようになっている。
【００５２】
図８に示すように、第２の筐体部分６２の内面には複数（具体的には例えば４つ、図８では２つのみを図示）の位置固定部６６がこの第２の筐体部分６２から内側に延びるよう設けられており、これらの位置固定部６６により、基板収納ケース６０に収納された複数の基板保持具１０の位置がそれぞれ固定されるようになっている。より詳細には、各位置固定部６６は、基板収納ケース６０に収納された各基板保持具１０の四隅にそれぞれ位置するようになっており、各々の基板保持具１０の四隅の位置が各位置固定部６６により固定されるようになっている。
【００５３】
また、図８に示すように、基板Ｗを保持した基板保持具１０と第１の筐体部分６１との間、基板Ｗを保持した基板保持具１０と第２の筐体部分６２との間、ならびに基板Ｗを保持した基板保持具１０間にそれぞれ押さえ部材６８が設けられている。そして、複数の基板保持具１０が基板収納ケース６０に収納されたときに、各々の基板保持具１０の第１のアーム１２が各押さえ部材６８により挟持されるようになっている。このようにして、基板収納ケース６０に収納された各基板保持具１０の位置が固定されるようになる。
【００５４】
また、図８に示す基板収納ケース６０では、バネ７４および当該バネ７４の先端に取り付けられた押圧板７２が設けられている。ここで、バネ７４の基端は第１の筐体部分６１の内面に取り付けられており、第１の筐体部分６１が図８における実線位置にあるときに、このバネ７４は、圧縮状態からの反発力により、押圧板７２を図８における左方向に付勢するようになっている。また、積層状態で収納された複数の基板保持具１０のうち、第１の筐体部分６１に最も近い基板保持具１０（すなわち、図８における最も右側にある基板保持具１０）に設けられた押さえ部材６８は、押圧板７２により図８における左方向に付勢されるようになっている。
【００５５】
図８に示す基板収納ケース６０では、このような押圧板７２およびバネ７４が設けられていることにより、基板収納ケース６０内に所定の数の基板保持具１０が全て収納されておらず（すなわち、基板収納ケース６０内で基板保持具１０が満杯状態となっておらず）、基板収納ケース６０内で基板保持具１０の空きがある状態でも、基板収納ケース６０内に収納された複数の基板保持具１０のうち図８における最も右側にある基板保持具１０に設けられた押さえ部材６８が押圧板７２により図８における左方向に付勢されるようになる。このことにより、基板収納ケース６０内で基板保持具１０の空きがある状態でも、各々の基板保持具１０の第１のアーム１２が各押さえ部材６８により挟持され、よって基板収納ケース６０に収納された各基板保持具１０の位置が固定されるようになる。
【符号の説明】
【００５６】
１０  基板保持具
１２  第１のアーム
１３  第２のアーム
１４  第１の基板保持部
１５  第２の基板保持部
１６  グリップ
１８  レバー
２０  基板収納ケース
２１  第１の筐体部分
２２  第２の筐体部分
２３  開口
２４  ケース固定部
２６  位置固定部
２８  押さえ部材
３０  蝶番
４０  基板収納ケース
４１  第１の筐体部分
４２  第２の筐体部分
４３  開口
４４  ケース固定部
４６  位置固定部
４８  押さえ部材
５０  蝶番
６０  基板収納ケース
６１  第１の筐体部分
６２  第２の筐体部分
６４  ケース固定部
６６  位置固定部
６８  押さえ部材
７０  蝶番
７２  押圧板
７４  バネ
Ｗ  基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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