(57)【要約】【課題】  上部保護層を液体に溶解させて上部保護層上のコゲを除去する場合に、上部保護層の位置による溶解量の差を小さくし、上部保護層の膜厚が不均一になることを抑制する。【解決手段】  キャップ５１は、キャップ５１が吐出口面１２２を覆った状態で吐出口１２１を介して上部保護層１０７と対向する位置に吐出口面１２２に沿って配置され、上部保護層１０７との間に電圧を印加可能な電極５２を備える。【選択図】  図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出する吐出口が形成された吐出口面と、前記吐出口から液体を吐出するためのエネルギーを発生する電気熱変換素子と、前記電気熱変換素子を覆う絶縁保護層と、前記絶縁保護層の上の、前記電気熱変換素子に対応する位置に設けられ、少なくともイリジウム及びルテニウムのいずれかを含む上部保護層と、を備える液体吐出ヘッドと、
前記吐出口面を覆うためのキャップと、
を有する液体吐出装置において、
前記キャップは、前記キャップが前記吐出口面を覆った状態で前記吐出口を介して前記上部保護層と対向する位置に前記吐出口面に沿って配置され、前記上部保護層との間に電圧を印加可能な電極を備えることを特徴とする液体吐出装置。
【請求項２】
液体を吐出する吐出口が形成された吐出口面と、前記吐出口から液体を吐出するためのエネルギーを発生する電気熱変換素子と、前記電気熱変換素子を覆う絶縁保護層と、前記絶縁保護層の上の、前記電気熱変換素子に対応する位置に設けられ、液体との電気化学反応により溶出する金属を含む上部保護層と、を備える液体吐出ヘッドと、
前記吐出口面を覆うためのキャップと、
を有する液体吐出装置において、
前記キャップは、前記キャップが前記吐出口面を覆った状態で前記吐出口を介して前記上部保護層と対向する位置に前記吐出口面に沿って配置され、前記上部保護層との間に電圧を印加可能な電極を備えることを特徴とする液体吐出装置。
【請求項３】
前記キャップは内部に多孔質の吸収体を備え、
前記電極は、前記キャップが前記吐出口面を覆った状態における前記吸収体の前記吐出口面の側の面に設けられていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の液体吐出装置。
【請求項４】
前記キャップは前記電極として導電性の多孔質体からなる吸収体を内部に備えることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の液体吐出装置。
【請求項５】
前記キャップは、前記キャップが前記吐出口面を覆った状態で前記電極が前記吐出口面を付勢するための弾性力を生じさせる弾性体を備えることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか一項に記載の液体吐出装置。
【請求項６】
前記上部保護層と前記電極との間に電圧を印加する電圧印加手段を有することを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか一項に記載の液体吐出装置。
【請求項７】
前記キャップを介して前記液体吐出ヘッドから液体を吸引する吸引手段を有することを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれか一項に記載の液体吐出装置。
【請求項８】
請求項１乃至請求項７のいずれか一項に記載の液体吐出装置の液体吐出ヘッドのクリーニング方法であって、
前記吐出口面が前記キャップで覆われ、前記上部保護層と前記電極とが液体を介して導通された状態で、前記上部保護層と前記電極との間に電圧を印加し、前記上部保護層を液体に溶出させることを特徴とする液体吐出ヘッドのクリーニング方法。
【請求項９】
請求項１乃至請求項７のいずれか一項に記載の液体吐出装置の液体吐出ヘッドのクリーニング方法であって、
前記吐出口面が前記キャップで覆われ、前記上部保護層と前記電極とが液体を介して導通された状態で、前記上部保護層をアノード、前記電極をカソードとして電圧を印加することを特徴とする液体吐出ヘッドのクリーニング方法。
【請求項１０】
前記キャップを介して前記液体吐出ヘッドから液体を吸引し、前記上部保護層と前記電極とを液体を介して導通させることを特徴とする請求項８または請求項９に記載の液体吐出ヘッドのクリーニング方法。
【請求項１１】
前記キャップを介して前記液体吐出ヘッドから液体を吸引し、前記液体吐出ヘッドから前記溶出された前記上部保護層を含む液体を排出することを特徴とする請求項８乃至請求項１０のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドのクリーニング方法。
【請求項１２】
前記上部保護層と前記電極との間に電圧を印加しながら、前記液体の排出を行うことを特徴とする請求項１１に記載の液体吐出ヘッドのクリーニング方法。
【請求項１３】
前記上部保護層と前記電極との極性を反転させて電圧を印加することを特徴とする請求項８乃至請求項１２のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドのクリーニング方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体を吐出して記録媒体に記録を行うための液体吐出装置、及び液体を吐出する液体吐出ヘッドのクリーニング方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液体吐出ヘッドとして代表的なインクジェットヘッドは、インクを吐出する複数の吐出口と、吐出口に連通する流路と、インクを吐出するために利用される熱エネルギーを発生する電気熱変換素子とを有している。電気熱変換素子は、発熱抵抗体およびこれに電力を供給するための電極とで構成される。この電気熱変換素子が電気的絶縁性を有する絶縁保護層により被覆されることで、インクと電気熱変換素子との間の絶縁性が確保される。電気熱変換素子は駆動されることで熱エネルギーを発生し、電気熱変換素子の上方のインクとの接触部分（熱作用部）でインクが急激に加熱されて発泡が生じ、インクが吐出される。
【０００３】
インクジェットヘッドの熱作用部は、発熱抵抗体の加熱により高温になると共に、インクの発泡、収縮に伴うキャビテーションによる衝撃などの物理的作用や、インクによる化学的作用を受ける。これらの影響から電気熱変換素子を保護するために、キャビテーションによる衝撃やインクによる化学的作用に対して比較的強いＴａや白金族系（Ｉｒ、Ｒｕなど）などの金属材料からなる上部保護層を電気熱変換素子の上に設けている。
【０００４】
ここで、インクとの接触部分である熱作用部では、インクに含まれる色材等の添加物が高温加熱されることにより分解されて難溶解性の物質に変化し、熱作用部を構成する上部保護層の表面に物理吸着される現象が起こる。この現象は「コゲ」と称されているが、このように上部保護層の熱作用部にコゲが付着すると、熱作用部からインクへの熱伝導が不均一になり、発泡が不安定となることによりインクの吐出特性に影響を及ぼす場合がある。
【０００５】
この課題を解決するための手法として、特許文献１には、インクとの電気化学反応を生じさせるための電極となるように上部保護層を設けて、電気化学反応により上部保護層の表面をインクに溶出させて熱作用部のコゲを除去する方法が記載されている。
【０００６】
特許文献１に記載の構成の模式図を図６（ａ）に示す。インクジェットヘッド用基板１１００に設けられた電気熱変換素子１１１７の上には上部保護層１１０７ａが形成されており、この上部保護層１１０７ａはインク流路１１１０内に露出されている。上部保護層１１０７ａがアノード電極、上部保護層１１０７ａが設けられた面と同じ面上に設けられた１１０７ｂがカソード電極となるように電圧を印加し、上部保護層１１０７ａとインクとの電気化学反応を生じさせて上部保護層１１０７ａのコゲを除去する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００８−１０５３６４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
図６（ｂ）は、図６（ａ）でコゲの除去を繰り返し行った後の状態を示す図である。
図６（ａ）に示すように同一面上に両電極が設けられていると、両電極間の内側では電界強度が大きくなり、外側は電界強度が小さくなる。これにより、上部保護層１１０７ａの溶解量は、上部保護層１１０７ａの電極１１０７ｂに近い側では多く、遠い側では少なくなるため、図６（ｂ）に示すように上部保護層１１０７ａの膜厚が不均一になってしまう。そのため、電気熱変換素子１１１７で発生した熱がインクに伝わる際、その位置によって熱伝導が不均一となってしまい、インクの発泡や吐出特性に影響を及ぼす恐れがある。
【０００９】
そこで、本発明は、上部保護層を液体に溶出させて上部保護層上のコゲを除去する場合に、上部保護層の位置による溶解量の差を小さくし、上部保護層の膜厚が不均一になることを抑制することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の液体吐出装置は、液体を吐出する吐出口が形成された吐出口面と、前記吐出口から液体を吐出するためのエネルギーを発生する電気熱変換素子と、前記電気熱変換素子を覆う絶縁保護層と、前記絶縁保護層の上の、前記電気熱変換素子に対応する位置に設けられ、少なくともイリジウム及びルテニウムのいずれかを含む上部保護層と、を備える液体吐出ヘッドと、前記吐出口面を覆うためのキャップと、を有する液体吐出装置において、前記キャップは、前記キャップが前記吐出口面を覆った状態で前記吐出口を介して前記上部保護層と対向する位置に前記吐出口面に沿って配置され、前記上部保護層との間に電圧を印加可能な電極を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によると、上部保護層を液体に溶解させて上部保護層上のコゲを除去する場合に、上部保護層の位置による溶解量の差を小さくし、上部保護層の膜厚が不均一になることを抑制することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の実施形態に係るインクジェット記録装置の斜視図である。
【図２】本発明の実施形態に係るインクジェットヘッドユニットの斜視図である。
【図３】本発明の実施形態に係るインクジェットヘッドの斜視図である。
【図４】本発明の実施形態に係るインクジェットヘッドの熱作用部付近の説明図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は模式的断面図である。
【図５】本発明の実施形態に係るインクジェット記録装置の本体のクリーニング機構を示す斜視図である。
【図６】（ａ）は従来のコゲ除去処理の為の電極配置を説明するための模式図であり、（ｂ）はコゲ除去処理後の状態を説明するための模式図である。
【図７】（ａ）〜（ｃ）本発明の実施形態に係るインクジェット記録装置の電極配置の例を示す模式的断面図である。
【図８】（ａ）〜（ｃ）はコゲ除去処理手順の一例を示すフローチャートである。
【図９】（ａ）〜（ｃ）はそれぞれ図８（ａ）〜（ｃ）に対応しており、上部保護層に対する電圧印加とインク吸引動作のタイミングを示す図である。
【図１０】（ａ）は熱作用部に堆積したコゲの状態を示す図であり、（ｂ）はコゲが除去された状態を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、図面を参照して本発明の実施形態を説明する。
【００１４】
（液体吐出装置）
本発明の実施形態に係る液体吐出装置としてのインクジェット記録装置の模式的斜視図を図１に示す。キャリッジ５００はインクジェットヘッドユニット４１０を取り付けて印字を行うために、ガイド５０２によって支持されている。ガイド５０２はシャーシに取り付けられており、記録媒体の搬送方向に対して直角方向にキャリッジ５００を往復走査させるように案内支持している。ガイド５０２は、シャーシに一体に形成されており、キャリッジ５００の後端を保持してインクジェットヘッドユニット４１０と記録媒体との隙間を維持する役割を果たしている。
【００１５】
キャリッジ５００は、シャーシに取り付けられたキャリッジモータ５０４によりタイミングベルト５０１を介して駆動される。また、タイミングベルト５０１は、アイドルプーリ５０３によって張設、支持されている。
【００１６】
上記構成において記録媒体に画像形成する場合、行位置に対しては、不図示の搬送ローラおよびピンチローラからなるローラ対が、記録媒体を搬送して位置決めする。また、列位置に対しては、キャリッジモータ５０４によりキャリッジ５００を上記搬送方向と垂直な方向に移動させて、インクジェットヘッドユニット４１０を目的の画像形成位置に配置させる。位置決めされたインクジェットヘッドユニット４１０が記録媒体に対してインクを吐出する。前者の記録主走査においては、インクジェットヘッドユニット４１０により記録を行いながらキャリッジ５００が列方向に走査し、後者の副走査においては、搬送ローラ５１１により記録媒体が行方向に搬送される。本実施形態の記録装置は、記録主走査と副走査とを交互に繰り返すことにより、記録媒体上に画像を形成する構成となっている。
【００１７】
（液体吐出ヘッドユニット及び液体吐出ヘッド）
図２は本発明の実施形態に係る液体吐出ヘッドユニットとしてのインクジェットヘッドユニット４１０の斜視図である。インクジェットヘッドユニット４１０は、インクジェットヘッド１と、電気配線テープ４０２、及びインクジェット記録装置（記録装置本体）と電気的に接続するためのコンタクト部４０３を備えている。
【００１８】
図３は本発明の実施形態に係る液体吐出ヘッドとしてのインクジェットヘッド１の斜視図である。インクジェットヘッド１は、液体吐出ヘッド用基板としてのインクジェットヘッド用基板１００と吐出口形成部材１２０とで構成されている。
【００１９】
インクジェットヘッド用基板１００には、インクを発泡させるエネルギーを発生する電気熱変換素子１１７とそれを駆動させる駆動回路などが形成されている。また、電気熱変換素子１１７上のインクとの接触部分である熱作用部１０８（図４（ｂ））にインクを供給するインク供給口１１６が形成されている。
【００２０】
樹脂材料からなる吐出口形成部材１２０には、インク供給口１１６から供給されたインクを吐出するためのインク吐出口１２１が形成されている。吐出口形成部材１２０は、各インク吐出口１２１が電気熱変換素子１１７に対応するようにインクジェットヘッド用基板１００上に設けられている。電気熱変換素子１１７を選択的に駆動させてインクを発泡することによりその圧力を利用してインクを吐出させて記録が行われる。
【００２１】
図４は、本発明の実施形態に係るインクジェットヘッド１の熱作用部１０８付近の説明図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のIVＢ−IVＢの断面を示す模式断面図である。
【００２２】
１０１はシリコンの基体である。１０２は熱酸化膜，ＳｉＯ膜，ＳｉＮ膜等からなる蓄熱層である。１０４はＴａＳｉＮ等からなる発熱抵抗体層、１０５はＡｌ，Ａｌ−Ｓｉ，Ａｌ−Ｃｕ等の金属材料からなる配線としての電極配線層である。電気熱変換素子１１７は、電極配線層１０５の一部を除去してギャップを形成し、その部分の発熱抵抗体層１０４を露出することで形成される。１０６は、電気熱変換素子１１７および電極配線層１０５の上層として設けられた絶縁保護層である。この絶縁保護層１０６は、ＳｉＯ膜，ＳｉＮ膜等からなる。
【００２３】
１０７は、インクの発泡・収縮に伴うキャビテーションによる衝撃などの物理的作用や、インクによる化学的作用から電気熱変換素子１１７を守るための上部保護層である。電気熱変換素子１１７の上に位置する上部保護層１０７の部分はインク流路１１２に露出しており、この部分が電気熱変換素子１１７が発生した熱をインクに伝達する熱作用部１０８となる。
【００２４】
本実施形態では、インクと接する上部保護層１０７としてインク中での電気化学反応により溶出する金属、具体的にはイリジウム（Ｉｒ）を用いる。なお、Ｉｒで形成された上部保護層１０７は絶縁保護層１０６との密着性が低い。このため、絶縁保護層１０６と上部保護層１０７の間に中間層としてＴａ等からなる密着層１０９を形成することで、絶縁保護層１０６と上部保護層１０７との密着性を向上させている。
【００２５】
この密着層１０９は、上部保護層１０７と外部端子とを電気的に接続するための配線部を構成しており、導電性を有する材料を用いて形成される。また、密着層１０９は、絶縁保護層１０６に形成されたスルーホールに挿通されて電極配線層１０５に接続されている。さらに、電極配線層１０５は基体１０１の端部にまで延在しており、この電極配線層１０５の先端は外部端子との電気的接続を行うための外部電極１１１をなしている。これにより、上部保護層１０７と外部端子が電気的に接続されることになる。
【００２６】
なお、本明細書においてはインクジェットヘッド用基板１００における「上」とは、インクジェットヘッド用基板１００のインクとの接触部分である熱作用部１０８側を意味する。
【００２７】
（液体吐出装置のクリーニング機構）
図５は本発明の実施形態に係るインクジェット記録装置の本体に設けられたクリーニング機構を示す斜視図である。
【００２８】
クリーニング機構はインクジェットヘッド１のクリーニングを行うための機構であり、インクジェットヘッド１からインクを吸引する吸引手段としてのポンプ５０、インクジェットヘッド１の乾燥を抑えるためのキャップ５１などから構成されている。キャップ５１は不図示の昇降機構を介して昇降可能に駆動され、上昇位置ではインクジェットヘッド１の吐出口面１２２を覆い、非記録動作時等においてその保護や行うこと、あるいは吸引回復を行うことが可能である。また、記録動作時にはインクジェットヘッド１との干渉を避ける下降位置に設定され、またインクジェットヘッド１と対向する位置において予備吐出を受けることが可能である。
【００２９】
図示の例ではキャップ５１は２つ設けられている。吸引ポンプ５０は、キャップ５１を吐出口面１２２に接触させてその内部に密閉空間を形成した状態で負圧を発生させることが可能である。これにより、インクタンクからインクジェットヘッド１の内部にインクを充填させたり、インク吐出口１２１やインク流路１１２に存在する塵埃、固着物、気泡等を吸引除去したりすることができる。
【００３０】
（コゲ除去操作及びキャップ内の電極の構成）
図７（ａ）〜（ｃ）は本発明の実施形態に係るインクジェット記録装置の電極構成例を示す模式的断面図である。
【００３１】
本実施形態では、熱作用部１０８上のコゲ除去のために電気化学反応を行う際に用いる、上部保護層１０７との間に電圧を印加可能な電極５２となる金属層がクリーニング機構のキャップ５１内に形成されている。
【００３２】
この電極５２は、キャップ５１がインクジェットヘッド１の吐出口面１２２を覆った状態で、インク吐出口１２１を介して上部保護層１０７と対向する位置に設けられている。また、キャップ５１がインクジェットヘッド１の吐出口面１２２を覆った状態で、電極５２は吐出口面１２２に沿って配置されている。
【００３３】
これにより、上部保護層１０７と電極５２との間をインクで満たして電圧を印加した際に、両者の間の電界強度は一様な分布となり、電界強度のばらつきが抑えられる。したがって、コゲ除去の処理を行った際の上部保護層１０７の位置による溶解量の差が小さくなり、上部保護層１０７の膜厚が不均一になることを抑制することができる。
【００３４】
上部保護層１０７は電極配線層１０５を介し、キャップ５１内に設けられた電極５２は別の配線層を介して、インクジェット記録装置本体に設けられた電圧印加手段３００に接続されている。
【００３５】
インクジェットヘッド用基板１００の上部保護層１０７と、キャップ５１内の電極５２とは電気的に接続されていない。インクジェットヘッド１に電解質を含むインク１５０が充填された状態において、電圧印加手段３００によって上部保護層１０７と電極５２との間に電圧を印加すると、上部保護層１０７とインク１５０とで電気化学反応が発生する。
【００３６】
この際、上部保護層１０７がアノードとなっているときに上部保護層１０７であるＩｒがインクに溶出する。従って、電圧印加手段３００によって上部保護層１０７がアノード、電極５２がカソードとなるように電圧を印加して、上部保護層１０７をインクに溶出させて熱作用部１０８上のコゲを除去する。
【００３７】
図１０（ａ）は、熱作用部１０８に堆積したコゲＫの状態を示す図であり、図１０（ｂ）はコゲが除去された状態を示す図である。
【００３８】
記録の際に高温となる電気熱変換素子１１７上の上部保護層１０７表面には、インクの成分がコゲとして付着し易いため、電気熱変換素子１１７の駆動に伴って熱作用部１０８の表面にコゲが堆積していく。このように付着したコゲは、上述のように上部保護層１０７を電気化学反応によりインクに溶出させることにより除去することが可能となる。
【００３９】
また、本実施形態では、大気中でも８００℃まで酸化膜を形成しないＩｒを用いて上部保護層１０７を形成しているため、熱作用部１０８に均一に電圧を印加することが可能となる。
【００４０】
なお、本実施形態では、上部保護層１０７としてｐＨが比較的低い電解液にも溶出する特性をもつＩｒを用いている。しかし、上部保護層１０７の材料はＩｒに限定されず、電気化学反応により溶出する金属を含み、かつ加熱により溶出を妨げる酸化膜を形成しない材料であれば、ルテニウム（Ｒｕ）などの他の材料を用いてもよい。なお、加熱により溶出を妨げる酸化膜を形成しない材料とは、酸化膜を全く形成しない材料を意味するのではなく、加熱によって酸化膜を形成したとしても、その酸化膜が溶出を妨げない程度しか形成されない材料を意味する。
【００４１】
次に、図７（ａ）〜（ｃ）を用いて、電極５２の構成について具体的に説明する。
【００４２】
図７（ａ）では、キャップ５１内に設けられた多孔質ポリオレフィンからなる吸収体５３上の表面にＩｒ等からなる多孔質の電極５２が形成されている。なお、電極５２の膜厚は非常に薄く、インクの浸透性、透過性に影響を与えるレベルではないため、インク吸引によってキャップ５１内をインクで満たすことができる。そのため、インクジェットヘッド１の上部保護層１０７と、吸収体５３の表面に設けられた電極５２との間に電圧を印加することにより、インクと上部保護層１０７との電気化学反応を起こす事が出来る。
【００４３】
図７（ｂ）では、キャップ５１内に設けられた吸収体５３を炭化物、ホウ化物、窒化物などの非酸化物系の導電性セラミックス多孔質体を用いて形成し、吸収体５３自体を電極５２として用いる構成である。
【００４４】
図７（ｃ）では、吸収体５３、電極５２の構成は図７（ａ）と同様であるが、吸収体５３の下側にばね等の弾性体５４を設けている。この弾性体５４によって、インクジェットヘッド１の吐出口面１２２がキャップ５１で覆われた状態で、電極５２が吐出口面１２２を付勢するように弾性力が働く。これにより上部保護層１０７と電極５２との距離が近い状態を維持することができるので、効果的に電気化学反応を行うことが出来る。
【００４５】
なお、図７（ａ）〜（ｃ）に示した構成は、電極５２が吸収体５３の吐出口面１２２の側の面に設けられた構成である。このような構成とすることで、電極５２を上部保護層１０７に近い位置に配置することができる。なお、電極５２が吸収体５３の吐出口面１２２とは反対側の面に設けられた構成であってもよく、この場合、電極５２は多孔質体でなくてもよい。
【００４６】
（コゲ除去処理のフロー）
図８、図９を用いてコゲ除去処理の手順の例について説明する。図８（ａ）〜（ｃ）は、本発明の実施形態に係るインクジェット記録装置によって実施されるコゲ除去処理手順の例を示すフローチャートである。また、図９（ａ）〜（ｃ）は、上部保護層１０７に対する電圧印加とインク吸引回復動作を示すタイミング図であり、それぞれ図８（ａ）〜（ｃ）に対応している。
【００４７】
図８（ａ）、図９（ａ）で示す例では、インクジェットヘッド１の熱作用部１０８上に堆積したコゲを除去するために、先ずステップ１においてインクジェットヘッド１をキャップ５１で覆うキャッピングを行う。その状態のまま、ステップ２において吸引ポンプ５０を作動してインクを吸引することにより、インクジェットヘッド１の上部保護層１０７とキャップ５１内に配置した電極５２との間をインクで満たして電気的に導通可能な状態とする（ｔ＝ｔ０〜ｔ１）。
【００４８】
その後、インクの吸引を停止し、ステップ３で上部保護層１０７がアノード、電極５２がカソードとなるように電圧印加手段３００で電圧を印加し（ｔ＝ｔ２〜ｔ３）、上部保護層１０７をインクに溶出させて蓄積したコゲを表面から浮かす。
【００４９】
その後、ステップ４において再度吸引ポンプ５０を作動させることにより、熱作用部１０８上から浮き出たコゲをインクと共に吸引してインクジェットヘッド１から排出する（ｔ＝ｔ４〜ｔ５）。最後に、ステップ５においてキャップ５１内のインクを吸引すること（図９（ａ）では不図示）により一連のコゲ除去処理が完了する。
【００５０】
この方法では、電圧印加中にはインクの吸引を行わないため、インクの消耗を抑えることが出来る。
【００５１】
図８（ｂ）、図９（ｂ）で示す例は、先ずステップ１においてキャッピングを行い、ステップ２においてインク吸引を開始し（ｔ＝ｔ０）、上部保護層１０７と電極５２との間をインクで満たして電気的に導通可能な状態とする。この操作は図８（ａ）、図９（ａ）で示す例と同様である。
【００５２】
その後、両電極間をインクで満たした後もインク吸引を続けたまま、ステップ３で上部保護層１０７がアノード、電極５２がカソードとなるように電圧を印加する（ｔ＝ｔ１〜ｔ２）。これにより、上部保護層１０７をインクに溶出させて熱作用部１０８に蓄積したコゲをその表面から浮かし、インクと共に吸引してインクジェットヘッド１から排出する。その後、ステップ４においてインクジェットヘッド１からのインク吸引を停止し（ｔ＝ｔ３）、ステップ５においてキャップ５１内に満たされたインクを吸引すること（図９（ｂ）では不図示）により一連のコゲ除去処理が完了する。
【００５３】
電気化学反応時にインクが分解してアノード側から発生する気泡によって電気化学反応が阻害されて上部保護層１０７の溶出が進みにくくなる可能性がある。そこで、上述のようにインクを吸引しながら電気化学反応を進めることにより、気泡が発生した場合でもその気泡を強制的に除去することで新たなインクが両電極の間に導入され、電気化学反応を進めることができる。
【００５４】
図８（ｃ）、図９（ｃ）で示す例は、インクジェットヘッド１をキャッピングした後、インク吸引を継続しながら電圧を印加して電気化学反応させる点は図８（ｂ）、図９（ｂ）と同様である。電圧を印加する際に、ステップ３でインクジェットヘッド１の上部保護層１０７をアノード、キャップ５１内の電極５２をカソードとし、その後、ステップ４で両電極の極性を反転させて上部保護層１０７をカソード、電極５２をアノードとする。さらに、ステップ３とステップ４とを繰り返し行う。
【００５５】
インクに樹脂分散型の顔料インクを用い、上部保護層１０７をアノード、電極５２をカソードとしたまま電気化学反応を進めると、アノード側である上部保護層１０７の表面に徐々にインク成分が付着していく。これが上部保護層１０７の全面を覆うことによりインクとの電気化学反応が停止してしまう恐れがある。
【００５６】
そこで、上述のように、両電極の極性を電圧反転回路によって反転させることで、電極表面に付着したインク成分が除去あるいは分散されて、上部保護層１０７の全面がインク成分によって覆われることを抑制できる。再び上部保護層１０７がアノードとなるように電圧を印加すると上部保護層１０７の溶出が生じ、熱作用部１０８上のコゲを継続的に除去することができる。以上の動作を繰り返し行うことによって、上部保護層１０７上に蓄積したコゲを除去することが可能となる。
【００５７】
なお、上述の実施形態ではインクを充填してコゲ除去処理を行う方法について説明したが、インクの代わりに電解質を含むコゲ除去専用の液体を用いてもよい。
【符号の説明】
【００５８】
１  インクジェットヘッド（液体吐出ヘッド）
１００  インクジェットヘッド用基板
１２１  インク吐出口（吐出口）
１２２  吐出口面
１０６  絶縁保護層
１０７  上部保護層
１１７  電気熱変換素子
５１  キャップ
５２  電極
【図１】
2014148112.tif 000003
【図２】
2014148112.tif 000004
【図３】
2014148112.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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