(57)【要約】【課題】ガラス基板の吸着によるダメージを抑制できる、吸着具を提供すること。【解決手段】ガラス基板を吸着して運ぶことに用いられる吸着具であって、ガラス基板をファンデルワールス力で吸着可能な吸着部と、前記吸着部を設けた本体部とを備えたことを特徴とする、吸着具。前記本体部は、前記吸着部からガラス基板を剥離させる剥離機構を有する。前記剥離機構は、前記吸着部からガラス基板を剥離させる流体を放出する開口部を有する。前記開口部は、前記吸着部にガラス基板が吸着することで閉塞され、前記空気によって閉塞状態が解消される。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス基板を吸着して運ぶことに用いられる吸着具であって、
ガラス基板をファンデルワールス力で吸着可能な吸着部と、
前記吸着部を設けた本体部とを備えたことを特徴とする、吸着具。
【請求項２】
ガラス基板の研磨工程においてガラス基板を吸着して運ぶことに用いられる請求項１に記載の吸着具。
【請求項３】
前記ガラス基板は、磁気記録媒体用ガラス基板である請求項１又は２に記載の吸着具。
【請求項４】
前記吸着部は、磁気記録媒体用ガラス基板の主平面のうち中心角が１８０°以下の領域内のみを吸着する、請求項３に記載の吸着具。
【請求項５】
前記本体部は、前記吸着部からガラス基板を剥離させる剥離機構を有する、請求項１から４のいずれか一項に記載の吸着具。
【請求項６】
前記剥離機構は、前記吸着部からガラス基板を剥離させる流体を放出する開口部を有する、請求項５に記載の吸着具。
【請求項７】
前記開口部は、前記吸着部にガラス基板を吸着することで閉塞され、前記流体によって閉塞状態が解消される、請求項６に記載の吸着具。
【請求項８】
前記吸着部は、前記開口部を囲むように設けられた、請求項７に記載の吸着具。
【請求項９】
前記剥離機構は、前記流体を前記開口部から放出させる圧力発生部を有する、請求項６から８のいずれか一項に記載の吸着具。
【請求項１０】
前記圧力発生部は、前記本体部に設けられる、請求項９に記載の吸着具。
【請求項１１】
前記圧力発生部は、前記吸着部とは反対側に設けられた、請求項１０に記載の吸着具。
【請求項１２】
前記圧力発生部は、弾性の押部を有し、前記押部が押されることで前記流体を前記開口部から放出させる、請求項９〜１１のいずれか一項に記載の吸着具。
【請求項１３】
前記押部は、流体溜めを有する、請求項１２に記載の吸着具。
【請求項１４】
ガラス基板を研磨する工程と、ガラス基板を洗浄する工程と、ガラス基板を検査する工程と、を有するガラス基板の製造方法において、
請求項１から１３のいずれか一項に記載の吸着具を使用してガラス基板を運ぶことを特徴とする、ガラス基板の製造方法。
【請求項１５】
ガラス基板を研磨装置によって研磨する工程を有するガラス基板の製造方法であって、
請求項１から１３のいずれか一項に記載の吸着具を使用して、前記研磨装置からガラス基板を取り出すことを特徴とする、ガラス基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス基板を吸着して運ぶことに用いられる吸着具及びガラス基板の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ガラス基板の製造工程におけるガラス基板の取り扱い（例えば、研磨装置へのガラス基板のセット作業、研磨が終了したガラス基板の研磨装置からの取り出し作業など）は、従来、下記の手法１〜手法３のような方法で実施されていた。
〔手法１〕：作業員が１枚ずつ手作業でガラス基板を取り扱う。
〔手法２〕：メカニカルチャックを用いて、内径または外径を把持する方法。
〔手法３〕：負圧により物品を吸着する真空吸着方式のガラス基板吸着具を用いて、ガラス基板を取り扱う（例えば、特許文献１，２，３参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−２１６３１１号公報
【特許文献２】国際公開第２０１２／００１９１２号
【特許文献３】国際公開第２０１２／００１９１３号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、〔手法１〕では、誤って作業員の指先がガラス基板の主平面に触れると、ガラス基板の主平面に指先の痕跡が残るため、ガラス基板が不良品となるおそれがある。また、例えば、研磨が終了したガラス基板は、研磨パッドの研磨面に強く貼り付いており、人手で剥がすのは大変困難である。このため、例えば、研磨面に強く貼り付いたガラス基板を無理に剥がす際に、指先が滑って基板表面を爪でひっかいたり、取り損ねて基板を他のものに接触させたりするおそれがある。また、作業員が１枚ずつ手作業で剥がす作業は時間を要する為、設備稼働率を低下させるおそれもある。
【０００５】
また、〔手法２〕では、メカニカルチャックにより、ガラス基板がキズやカケなどのダメージを受けるおそれがある。また、ガラス基板を研磨装置にセット又はガラス基板を研磨装置から取り出す際、メカニカルチャックが研磨パッド（研磨面）にキズや剥がれなどのダメージを与えるおそれがある。また、その際、メカニカルチェックの位置を高精度に制御する必要があるため、装置が大掛かり・複雑になり、コストも上昇しやすい。さらに、メカニカルチャックからの発埃も考えられる。
【０００６】
また、〔手法３〕では、ガラス基板を真空吸着する際、ガラス基板の表面に付着した水分が吸引されてガラス基板が乾燥し、砥粒などの異物がガラス基板の表面に強固に付着しやすい。その結果、例えば、その後の洗浄工程で異物を除去することが難しくなり、ガラス基板製品の欠陥の原因となるおそれがある。
【０００７】
本発明は、ガラス基板の吸着によるダメージを抑制できる、吸着具及びガラス基板の製造方法の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するため、本発明は、
ガラス基板を吸着して運ぶことに用いられる吸着具であって、
ガラス基板をファンデルワールス力で吸着可能な吸着部と、
前記吸着部を設けた本体部とを備えたことを特徴とする、吸着具を提供するものである。
【０００９】
また、上記目的を達成するため、本発明は、
ガラス基板を研磨する工程と、ガラス基板を洗浄する工程と、ガラス基板を検査する工程と、を有するガラス基板の製造方法において、
請求項１から１３のいずれか一項に記載の吸着具を使用してガラス基板を運ぶことを特徴とする、ガラス基板の製造方法を提供するものである。
【００１０】
また、上記目的を達成するため、本発明は、
ガラス基板を研磨装置によって研磨する工程を有するガラス基板の製造方法であって、
該吸着具を使用して、前記研磨装置からガラス基板を取り出すことを特徴とする、ガラス基板の製造方法を提供するものである。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、ガラス基板の吸着によるダメージを抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】吸着具を使用して研磨装置からガラス基板を取り出す作業の一例を模式的に示した図である。
【図２】吸着具の構成を示した図である。
【図３】吸着具でガラス基板を吸着して持ち上げる場合を示した図である。
【図４】吸着具からガラス基板を剥離させる場合を示した図である。
【図５】吸着具の構成を示した図である。
【図６】吸着具の構成を示した図である。
【図７】吸着具の圧力発生部の組み付け例を示した図である。
【図８】吸着具の構成を示した図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の実施形態を図面に従って説明する。
【００１４】
〔吸着具の使用方法〕
図１は、本発明の一実施形態である吸着具１０を使用して、研磨装置２０からガラス基板Ｗを取り出す作業の一例を模式的に示した図である。研磨装置２０による研磨工程が終了すると、上定盤３０が上方に移動し、下定盤４０の研磨パッド４２上に研磨されたガラス基板Ｗ（被研磨体）が残される。作業員Ｐは、ガラス基板Ｗを吸着して持ち運ぶことに用いられる吸着具１０を用いて、研磨が終了した各ガラス基板Ｗを一枚ずつ吸着して取り出し、ガラス基板Ｗの表面を手で触らないように注意しながら、取り出したガラス基板Ｗを収納容器５０に運び入れる。
【００１５】
収納容器５０は、一又は複数のガラス基板Ｗを収容できるものである。収容容器５０は、ガラス基板Ｗを図示のように立てた状態で収容するものでもよいし、ガラス基板Ｗを横に寝かせた状態で収容するものでもよい。
【００１６】
ガラス基板Ｗの研磨は、樹脂シートから形成されたキャリアに設けられた各保持孔にガラス基板を挿入保持して行われる。吸着具１０を用いてガラス基板Ｗを取り出す作業は、キャリアを取り除いてから行われてもよいし、キャリアを残したまま行われてもよい。
【００１７】
作業員Ｐは、吸着具１０を把持して、吸着具１０の本体下部に設けられた後述の吸着部をガラス基板Ｗの主平面に密着させ、吸着具１０を持ち上げることでガラス基板Ｗを下定盤４０から取り上げる。
【００１８】
なお、吸着具１０は、研磨パッド４２上のキャリアに設けられた各保持孔にガラス基板Ｗをセットするためのツールとして使用されてもよい。
【００１９】
また、吸着具１０は、ガラス基板を検査するとき、検査装置にガラス基板をセットするためのツールとして使用されてもよい。
【００２０】
〔吸着具の構成〕
図２は、吸着具１０の構成を示した図である。図２（ａ）は、上方斜視図、図２（ｂ）は、下方斜視図、図２（ｃ）は、吸着部１０の下部の断面図、図２（ｄ）は、底面図を表す。吸着具１０は、例えば、吸着部６０と、吸着部６０を設けた本体部７０とを備えたハンドリングツールである。吸着部６０は、ガラス基板をファンデルワールス力で吸着可能な吸着部材である。
【００２１】
吸着具１０は、ファンデルワールス力でガラス基板を吸着するので、ガラス基板の吸着によるダメージを容易に抑制できる。また、真空発生装置や電源などが無くてもガラス基板を吸着できるため、作業性や生産性が向上し、コストも抑えることができる。また、研磨剤や水などで濡れているガラス基板を乾燥させることなくガラス基板を吸着できるため、砥粒などの異物がガラス基板の表面に強固に付着することを防止でき、乾燥によるガラス基板のダメージも低減できる。
【００２２】
吸着部６０は、吸着具１０でガラス基板を持ち運びやすいように、本体部７０の下部に設けられている。図２の場合、吸着部１０は、本体部７０を構成する把持部７１の下部に設けられている。把持部７１は、作業者に握られる柱状部分であって、作業者が握りやすいように、例えば円柱状に形成されている。ただし、把持部７１の形状は、本形状に限られるものではなく、作業者が握りやすい形状であればよく、例えば角柱などの他の柱形状でもよい。
【００２３】
吸着部６０は、把持部７１の下面７４よりも下方に突き出るように下面７４に取り付けられた吸着部材である。吸着部６０の材料として、例えば、シリコーン樹脂、ポリアミド、スチレンブタジエンゴム、クロロスルホン化ポリエチレンゴム、アクリルニトリルブタジエンゴム、エチレンプロピレンゴム、クロロプレンゴム，ブタジエンゴム、フッ素ゴム、イソブチレンイソプレンゴム、ウレタンゴムなどが挙げられる。
【００２４】
また、吸着部６０は、ガラス基板を吸着する面（吸着面６１）に、複数の細い毛を植毛したような微小毛構造を有するものとしてもよい。吸着面６１の微小毛構造は、例えば、シリコーン樹脂、ポリアミド、ポリイミド、スチレンブタジエンゴム、クロロスルホン化ポリエチレンゴム、アクリルニトリルブタジエンゴム、エチレンプロピレンゴム、クロロプレンゴム，ブタジエンゴム、フッ素ゴム、イソブチレンイソプレンゴム、ウレタンゴムなどの高分子、カーボンナノチューブ、金属の少なくともひとつを用いて形成できる。
【００２５】
このように、吸着面６１に複数の細い毛を植毛したような微小毛構造を形成することによって、吸着部６０をガラス基板と接触させた際に、ガラス基板の吸着される部分と吸着面６１との分子間距離が小さくなり（例えば、分子間距離が１〜５Åになり）、ガラス基板を吸着可能な大きさのファンデルワールス力を発現できる。なお、その吸着力は、吸着部６０および吸着面６１の材質、吸着面６１に形成された微小毛構造の形状（例えば、微小毛構造を構成する複数の細い毛の断面積、長さ及び密度等）、吸着面６１の接触面積などによって管理・調整できる。
【００２６】
例えば、ガラス基板の吸着される部分と吸着面６１との分子間距離を小さくし、ファンデルワールス力を効果的に発現するためには、吸着面６１の微小毛構造の細い毛は、その長さが０．１ｎｍ〜２０００ｎｍであると好ましく、１ｎｍ〜３００ｎｍがより好ましくは、１０ｎｍ〜２００ｎｍがさらに好ましい。吸着面６１の細い毛の直径は、４００ｎｍ以下が好ましく、２ｎｍ〜５０ｎｍがより好ましく、２ｎｍ〜３０ｎｍがさらに好ましく、３ｎｍ〜２０ｎｍが特に好ましい。そして、吸着面６１の細い毛のアスペクト比（細い毛の直径と長さとの比）は、２．５以上が好ましく、５〜５０がより好ましく、１０〜３０がさらに好ましい。
【００２７】
また、本体部７０は、吸着部６０の下面に形成された吸着面６１からガラス基板を剥離させる剥離機構８０を把持部７１に有している。剥離機構８０を本体部７０に設けることによって、作業者は吸着具１０を把持したまま、ガラス基板を吸着具１０から容易に剥離させることができる。剥離機構８０は、吸着部６０からガラス基板を流体圧（例えば、気体圧または液体圧）で剥離させる流体（気体または液体）を放出する開口部８２と、開口部８２に連通する流路８１とを有している。
【００２８】
例えば、吸着部６０からガラス基板を気体圧で剥離させる場合、その気体は、空気でもよいし、窒素、アルゴン等のその他の気体媒体でもよい。この気体が空気である場合、剥離機構８０は、吸着部６０に吸着したガラス基板を空気圧で剥離させる。吸着部６０からガラス基板を液体圧で剥離させる場合、その液体は、水でもよいし、水溶液等のその他の液体媒体でもよい。
【００２９】
開口部８２は、流路８１から押し出された流体をガラス基板の主平面に向けて放出し、放出後に流路８１に大気を導入できるように、把持部７１の下面７４に露出して形成されている。流路８１は、吸着部６０からガラス基板を剥離させる流体圧を伝える通流部である。流路８１は、把持部７１の内部を上下に貫通するように形成され、把持部７１の下面７４に形成された開口部８２に連通する。
【００３０】
開口部８２は、吸着部６０の吸着面６１にガラス基板が吸着することで閉塞される位置に形成されるとよい。これにより、吸着面６１に吸着したガラス基板の主平面と吸着部６０の内周壁６２とにより囲まれた閉空間が形成され、流路８１が密閉される。そして、吸着面６１からガラス基板を剥離させる流体が開口部８２から放出されることにより、ガラス基板が吸着面６１から離れる。これにより、ガラス基板によって開口部８２が閉塞された状態が解消されると同時に、流路８１の密閉状態も解消される。このように、開口部８２がガラス基板によって閉塞されることで、流路８１から開口部８２に押し出された流体を逃がさずにガラス基板の主平面に当てることができるので、ガラス基板を傷つけることなく、吸着部６０からガラス基板を容易に剥離できる。
【００３１】
図２の場合、吸着部６０は、開口部８２が閉塞されて流路８１が確実に密閉されるようにするため、開口部８２の周囲を囲むように下面７４に円環状に設けられている。円環状にすることで、ガラス基板上の研磨剤が吸着部６０に溜まって固着することを防止できる。吸着面６１の形状は、図示のような円環状に限らず、多角形や楕円形などの他の環形状でもよい。
【００３２】
また、剥離機構８０は、吸着部６０からガラス基板を剥離させる流体を開口部８２から放出させる圧力発生部８３を有している。圧力発生部８３によって発生した流体の圧力によって、流路８１内の流体が開口部８２から押し出される。圧力発生部８３は、吸着部６０及び開口部８２が設けられている下面７４とは反対側の本体部７０の上面７２に設けられ、上面７２に形成された開口部８５に連通する流路８１に接続されている。開口部８５は、圧力発生部８３で閉塞されている。
【００３３】
圧力発生部８３は、例えば図２に示されるように、ドーム状に形成された弾性の押部８４を有し、押部８４を作業者の指等によって上方から押操作することで、ガラス基板を吸着部６０から剥離させる流体を開口部８２から放出させる。押部８４は、開口部８５を塞いだ状態で上面７２から上方に向けて突出するように、フランジ部８６を有している。フランジ部８６は、例えば、開口部８５を塞いだ状態で上面７２から上方に向けて突出するように、上面７２の内側の裏面に取り付けられている。
【００３４】
また、フランジ部８６は、例えば図７に示されるように、上カバー７２ｃで挟み込むことで固定されてもよい。押部８４は、開口部８５の周囲の環状面７２ａに取り付けられたフランジ部８６を上カバー７２ｃで挟み込むことで固定される。上カバー７２ｃは、例えば、上カバー７２ｃに形成された穴７２ｄに押部８４が挿通した状態で、上カバー７２ｃの接続部７２ｄと環状面７２ａの接続部７２ｂとが接続されることで、上面７２ａに固定される。なお、上カバー７２ｃと上面７２ａとの固定手段は、特定の手段に限られず、具体例として、ねじ、スナップフィット、接着剤などが挙げられる。
【００３５】
図２において、押部８４は、その内側の空間に流体溜め８７を有している。押部８４が押されることで流体溜め８７に溜まった流体を流路８１に押し出す流体圧が発生する。この流体圧によって流路８１内の流体も開口部８２から押し出されるため、開口部８２から押し出された流体の力で吸着部６０からガラス基板を剥離できる。
【００３６】
また、押部８４は、外部から加えられる押圧力を開放すると、元の形状に戻るような弾性体であると好適である。これにより、吸着部６０からガラス基板を剥離させてから、流体溜め８７及び流路８１内の流体を押し出す流体圧を発生させることが可能な初期状態に速やかに復帰できる。また、流体溜め８７が空気を溜める空気溜めである場合には、大気を開口部８２から流路８１を介して流体溜め８７に容易に流入させることができる。
【００３７】
〔吸着具の操作方法〕
図３は、吸着具１０でガラス基板Ｗを吸着して持ち上げる場合を示した図である。ガラス基板Ｗは、中央部に円孔Ｃが形成されたドーナツ状の円盤状基板である。ガラス基板Ｗの一例として、磁気記録媒体用ガラス基板が挙げられる。主平面Ｓは、ガラス基板Ｗの外周端面Ｃ２と円孔Ｃの内周端面Ｃ１とに挟まれた平面状の環状面である。吸着部６０を主平面Ｓに密着させると、吸着面６１と主平面Ｓとの間にファンデルワールス力が発生するので、そのファンデルワールス力でガラス基板Ｗを持ち上げることができる。
【００３８】
吸着部６０の吸着面６１は、ガラス基板Ｗの主平面Ｓのうち中心角θが１８０°以下（好ましくは、１２０°以下、さらに好ましくは９０°以下）の領域Ｓ１内を吸着可能なサイズであると好適である。これにより、ガラス基板Ｗを吸着して持ち上げるだけの十分なファンデルワールス力を確保しつつ、ガラス基板Ｗを吸着部６０から剥離させやすくなる。また、把持部７１のガラス基板Ｗへの投影面積が図示のように領域Ｓ１の面積以下であると、吸着具１０をコンパクトにでき扱いやすく、作業性に優れる。なお、中心角θは、外周端面Ｃ１を形成する外周円上の点Ｐ１，Ｐ２を通る２つの半径線に挟まれた角である。点Ｏは、外周端面Ｃ１を形成する外周円の中心であればよい。
【００３９】
図４は、吸着具１０からガラス基板Ｗを剥離させる場合を示した図である。押部８４を押圧する接触操作を行うことによって、押部８４はその頂点から下方に向けて潰れる。押部８４が潰れることにより発生した流体の圧力によって、流路８１内の流体が開口部８２から放出される。これにより、ガラス基板Ｗを吸着部６０の吸着面６１から簡単に離脱させることができる。
【００４０】
〔ガラス基板の製造方法〕
次に、ガラス基板製造方法における、吸着具１０の使用方法を、磁気記録媒体用ガラス基板及び磁気ディスクの製造工程を例に挙げて説明する。
【００４１】
一般に、磁気記録媒体用ガラス基板及び磁気ディスクの製造工程は、以下の工程を含む。
〔工程１〕フロート法、フュージョン法、リドロー法またはプレス成形法で成形されたガラス素基板を、中央部に円孔を有する円盤形状に加工した後、内周側面と外周側面に面取り加工する。
〔工程２〕ガラス基板の側面部と面取り部を端面研磨する。
〔工程３〕ガラス基板の主平面を研磨する。研磨工程は、１次研磨のみでもよく、１次研磨と２次研磨を行ってもよく、２次研磨の後に３次研磨を行ってもよい。
〔工程４〕ガラス基板を洗浄し、磁気記録媒体用ガラス基板を得る。
〔工程５〕磁気記録媒体用ガラス基板の上に磁性層などの薄膜を形成し、磁気ディスク（磁気記録媒体）を製造する。
【００４２】
上記磁気記録媒体用ガラス基板及び磁気ディスクの製造工程において、〔工程１〕または〔工程２〕の工程の前後のうち少なくとも一方で主平面のラップ（例えば、遊離砥粒ラップ、固定砥粒ラップなど）を実施してもよく、各工程間にガラス基板の洗浄（工程間洗浄）やガラス基板表面のエッチング（工程間エッチング）を実施してもよい。なお、主平面のラップ（例えば、遊離砥粒ラップ、固定砥粒ラップなど）は広義の主平面の研磨である。
【００４３】
さらに、磁気記録媒体用ガラス基板に高い機械的強度が求められる場合、ガラス基板の表層に強化層を形成する強化工程（例えば、化学強化工程）を研磨工程前、または研磨工程後、あるいは研磨工程間で実施してもよい。
【００４４】
また、磁気記録媒体用ガラス基板は、アモルファスガラスでもよく、結晶化ガラスでもよく、ガラス基板の表層に強化層を有する強化ガラス（例えば、化学強化ガラス）でもよい。また、ガラス基板のガラス素基板は、フロート法で造られたものでもよく、フュージョン法で造られたものでもよく、リドロー法で造られたものでもよく、プレス成形法で造られたものでもよい。
【００４５】
ここで、図１，図３，図４を参照して、〔工程３〕の研磨工程が終了したガラス基板Ｗを研磨装置２０から取り出す際の操作手順について説明する。
（手順１）先ず、作業員Ｐが吸着具１０を把持して吸着部６０の吸着面６１をガラス基板Ｗの上面（主平面Ｓ）に密着させる。吸着面６１がファンデルワールス力で主平面Ｓに吸着することによって、ガラス基板Ｗの主平面Ｓに生ずるキズや局所的な粗さ欠陥などを最小限に抑えることができる。
（手順２）この密着状態において、作業員Ｐは、把持部７１を持って吸着具１０を持ち上げることで、研磨終了済みのガラス基板Ｗを研磨装置２０の下定盤４０の研磨パッド４２から取り上げる。
（手順３）作業者Ｐは、吸着具１０に吸着させたガラス基板Ｗを収納容器５０の上方まで持ってきてから、押部８４を指で押す。これにより、ガラス基板Ｗは、流体圧で押されることにより、吸着部６０から分離して、収納容器５０に鉛直状態で収容される。なお、ガラス基板Ｗは、水平状態で収納容器５０に収容されるようにしてもよい。
【００４６】
このように、作業者Ｐは、吸着具１０を用いることで、ガラス基板Ｗの吸着と分離の繰り返し作業を手際よく行うことができる。つまり、作業者Ｐは、吸着部６０をガラス基板Ｗに接触させるだけでガラス基板Ｗを吸着部６０に吸着させることができ、押部８４を押すだけでガラス基板Ｗを吸着部６０から分離させることができる。特に、図３、図４に示されるように、押部８４が把持部７１の上部に設けられている。このため、作業者Ｐは、小指がガラス基板Ｗ側になるように把持部７１を握った状態で、押部８４を親指で簡単に押すことができるため、ガラス基板Ｗの吸着と分離の繰り返し作業を効率よくできる。
【００４７】
以上、吸着具及びガラス基板の製造方法を実施形態例により説明したが、本発明は上記の実施形態例に限定されるものではない。他の実施形態例の一部又は全部との組み合わせや置換などの種々の変形及び改良が、本発明の範囲内で可能である。
【００４８】
例えば、図２において、圧力発生部８３は本体部７０の上部に設けた例を示したが、本体部７０の側部（例えば、把持部７１の側面７３）に設けてもよい。この場合、圧力発生部８３の押部８４は、流路８１に連通し側面７３に形成された開口部を塞ぐように、側面７３に設けられるとよい。
【００４９】
また、例えば、図２（ｄ）において、吸着部６０の外周壁６３の直径Ｄ２が、円柱状の把持部７１の直径Ｄ１よりも小さい例が示されているが、直径Ｄ２は直径Ｄ１と等しくてもよい。また、吸着部６０の内周壁６２の直径Ｄ３が、開口部８２の直径Ｄ４よりも大きい例が示されているが、直径Ｄ３は直径Ｄ４と等しくてもよい。なお、開口部８２が設けられている場合、開口部８２が塞がれない限り、直径Ｄ３は直径Ｄ４よりも小さくてもよい。
【００５０】
図５は、他の実施形態例である吸着具１１の下部の構成を示した部分断面図である。上述の吸着具１０と同様の構成についての説明は省略する。図５のように、吸着部９０は、把持部７１の側面７３の下部の周囲を覆うように側面７３に取り付けられてもよい。吸着部９０は、円環状の吸着面９１を有している。吸着面９１は、把持部７１の下面７４よりも下方に突き出ていることで、ガラス基板が下面７４に直接ぶつかることを防止できる。
【００５１】
図６は、他の実施形態例である吸着具１２，１３の構成を示した図である。上述の吸着具１０と同様の構成についての説明は省略する。図６（ａ）は、吸着具１２の下方斜視図を表し、図６（ｂ）は、吸着具１２の底面図を表す。図６（ｃ）は、吸着具１３の下方斜視図を表し、図６（ｄ）は、吸着具１３の底面図を表す。図６に例示されるように、吸着部の吸着面の形状や面積は、吸着対象のガラス基板の大きさや重さに応じて、任意に変更してよい。
【００５２】
図６（ａ）（ｂ）の吸着具１２の場合、円弧形状の吸着面１０１を有する吸着部１００が、把持部７１の下面７４に配置されている。円柱状の把持部７１の直径Ｄ２１は、図３のガラス基板Ｗの主平面Ｓに吸着面１０１が接するように、ガラス基板Ｗの内周径Ｄ１２よりも大きく外周径Ｄ１１よりも小さくてもよい。ただし、この場合でも、吸着面１０１は、ガラス基板Ｗの主平面Ｓのうち中心角θが１８０°以下（好ましくは、１２０°以下、さらに好ましくは９０°以下）の領域Ｓ１内を吸着可能なサイズであると好適である。これにより、ガラス基板Ｗを吸着して持ち上げるだけの十分なファンデルワールス力を確保しつつ、ガラス基板Ｗを吸着部６０から剥離させやすい。
【００５３】
図６（ｃ）（ｄ）の吸着具１３の場合、円形の吸着面１１１を有する吸着部１１０が、把持部７１の下面７４に配置されている。この場合も、円柱状の把持部７１の直径Ｄ２１は、図３のガラス基板Ｗの主平面Ｓに吸着面１１１が接するように、ガラス基板Ｗの内周径Ｄ１２よりも大きく外周径Ｄ１１よりも小さくてもよい。吸着部１１０は、ガラス基板Ｗの主平面Ｓを全体的に均等に吸着する吸着面１１１を有している。図示の場合、吸着部１１０は、４つ設けられているが、４つ以外の個数でもよい。また、円形以外の他の形状（例えば、楕円形や多角形など）でもよい。
【００５４】
また、吸着具を複数用いてガラス基板を吸着してもよい。例えば、図１において、下定盤４０上のキャリアの保持孔で保持された複数のガラス基板Ｗそれぞれに吸着具１０を吸着させて、それらのガラス基板Ｗを一度に持ち上げてもよい。各吸着具は、例えば、空気や水等の流体を伝える配管を介して、共通の圧力発生装置に接続されてもよい。この圧力発生装置から各吸着具に供給される流体圧によって、各吸着具の吸着部からガラス基板を一度に分離させることができる。
【００５５】
図８は、圧力発生部の他の形態例を有する吸着具１４の構成を模式的に示した断面図である。吸着具１４の圧力発生部は、圧力発生装置８３ａと、配管８３ｂと、開閉装置８３ｃとを有している。圧力発生装置８３ａは、配管８３ｂ及び開閉装置８３ｃを介して、流路８１に連結されている。配管８３ｂには、圧力発生装置８３ａから供給される圧縮流体（圧縮流体は、気体または液体。）が流れ、開閉装置８３ｃは、流路８１と配管８３ｂとの間を開放又は遮断する。
【００５６】
開閉装置８３ｂによって流路８１と配管８３ｂとの間が遮断された状態で、吸着具１４の吸着部によるファンデルワールス力でガラス基板を吸着できる。一方、開閉装置８３ｃによって流路８１と配管８３ｂとの間が開放された状態で、ガラス基板を吸着具１４の吸着部から剥離させる流体（すなわち、配管８３ｂから供給された流体。）が流路８１を伝達する。
【００５７】
圧縮流体を開放又は遮断してガラス基板の吸着又は剥離をするこのような吸着具は、複数のガラス基板を同時に取り扱う場合（例えば、複数のガラス基板を、同時に研磨装置に設置又は同時に研磨装置から取り上げることを自動で行う場合）、特に好適に用いられる。例えば、吸着具の流路８１及び開閉装置８３ｃが、複数のガラス基板それぞれに対して設けられ、共通の圧力発生装置８３ａに接続されるとよい。
【００５８】
なお、圧縮流体の開放又は遮断を制御する開閉装置８３ｃの具体例として、ハンドバルブや電磁バルブなどが挙げられるが、開閉装置８３ｃはそれら以外の手段であってもよい。また、圧縮流体は流路８１を囲む側面７３から供給されているが、上面７１から供給されてもよい。気体の圧縮流体としては、例えば、空気、窒素、アルゴンなどが挙げられる。液体の圧縮流体としては、例えば、水などが挙げられる。
【００５９】
また、吸着具に吸着したガラス基板Ｗを、収納容器５０の縁や仕切り等の物体に引っかけることで、ガラス基板Ｗを吸着具から分離させてもよい。この場合、上述の剥離機構８０のような構成を吸着具に設けなくてもよい。
【００６０】
また、ガラス基板の種類は、磁気記録媒体用に限られず、フォトマスク用、液晶や有機ＥＬ等のディスプレイ用、光ピックアップ素子や光学フィルタ、光学レンズ等の光学部品用などでもよい。
【００６１】
また、吸着具は、ガラス基板以外の基板を取り扱うときに使用されてもよい。ガラス基板以外の基板として、例えば、例えば、磁気記録媒体用アルミニウム基板、半導体用シリコン基板などが挙げられる。
【符号の説明】
【００６２】
１０，１１，１２，１３，１４  吸着具
２０  研磨装置
３０  上定盤
４０  下定盤
４２  研磨パッド
５０  収納容器
５１  仕切り
６０，９０，１００，１１０  吸着部
６１，９１，１０１，１１１  吸着面
６２  内壁
６３  外壁
７０  本体部
７１  把持部
７２  上面
７３  側面
７４  下面
８０  剥離機構
８１  流路
８２  下側開口部
８３  圧力発生部
８４  押部
８５  上側開口部
８６  フランジ部
８７  空気溜め
Ｃ１  外周端面
Ｃ２  内周端面
Ｃ  円孔
Ｓ  主平面
Ｗ  ガラス基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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