(57)【要約】  ＩＤＴ電極がプラズマ雰囲気下に曝された場合においても、特性の劣化が生じ難い、弾性波装置を提供する。  圧電基板２と、圧電基板２上に設けられたＩＤＴ電極３と、を備え、ＩＤＴ電極３が、最表層の電極層３Ａを有する少なくとも１以上の電極層と、最表層の電極層３Ａを保護する保護電極層３Ｂと、を有しており、保護電極層３Ｂは、最表層の電極層３Ａより電気抵抗率が大きく、最表層の電極層３Ａが、圧電基板２側とは反対側に位置している第１の主面３ａと、第１の主面３ａに連なる側面３ｃとを有し、最表層の電極層３Ａにおける第１の主面３ａと、第１の主面３ａから側面３ｃの少なくとも一部に至る領域とが、保護電極層３Ｂにより覆われており、保護電極層３Ｂが、最表層の電極層３Ａの側面３ｃの下端Ｐを越えていない、弾性波装置１。
2017002513.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電基板と、
前記圧電基板上に設けられたＩＤＴ電極と、
を備え、
前記ＩＤＴ電極が、最表層の電極層を有する少なくとも１以上の電極層と、前記最表層の電極層を保護する保護電極層と、を有しており、
前記保護電極層は、前記最表層の電極層より電気抵抗率が大きく、
前記最表層の電極層が、前記圧電基板側とは反対側に位置している第１の主面と、該第１の主面に連なる側面とを有し、
前記最表層の電極層における前記第１の主面と、前記第１の主面から前記側面の少なくとも一部に至る領域とが、前記保護電極層により覆われており、
前記保護電極層が、前記最表層の電極層の前記側面の下端を越えていない、弾性波装置。
【請求項２】
前記最表層の電極層において、前記第１の主面と前記側面とのなす稜線が、前記保護電極層により覆われている、請求項１に記載の弾性波装置。
【請求項３】
前記最表層の電極層における前記側面が、前記保護電極層により覆われている、請求項１又は２に記載の弾性波装置。
【請求項４】
前記最表層の電極層が、前記第１の主面と対向している第２の主面を有し、
前記最表層の電極層における前記第２の主面が、前記保護電極層により覆われている、請求項１〜３のいずれか１項に記載の弾性波装置。
【請求項５】
前記最表層の電極層が、Ａｌ及びＣｕのうち少なくとも一方により構成されている、請求項１〜４のいずれか１項に記載の弾性波装置。
【請求項６】
前記保護電極層が、Ｔｉ及びＭｏのうち少なくとも一方により構成されている、請求項１〜５のいずれか１項に記載の弾性波装置。
【請求項７】
前記ＩＤＴ電極が、前記最表層の電極層を有する複数の電極層と、前記最表層の電極層を保護する前記保護電極層と、を有する、請求項１〜６のいずれか１項に記載の弾性波装置。
【請求項８】
前記複数の電極層が、前記最表層の電極層の下に形成されている２層目の電極層を有し、
前記２層目の電極層が、前記最表層の電極層を構成している金属よりも密度の大きい金属により構成されている、請求項７に記載の弾性波装置。
【請求項９】
前記２層目の電極層が、Ｐｔ及びＡｕのうち少なくとも一方により構成されている、請求項８に記載の弾性波装置。
【請求項１０】
前記側面が対向し合う一対の側面部分を有し、
前記第２の主面から前記第１の主面に向かうにつれて、前記対向し合う一対の側面部分間が狭くなるように、各側面部分が傾斜されている、請求項１〜９のいずれか１項に記載の弾性波装置。
【請求項１１】
前記ＩＤＴ電極が、ＮｉＣｒ層、前記２層目の電極層、Ｔｉ層、前記最表層の電極層及び前記保護電極層がこの順に積層された積層金属膜である、請求項８又は９に記載の弾性波装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、共振子や帯域フィルタなどに用いられる弾性波装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、共振子や帯域フィルタとして弾性波装置が広く用いられている。【０００３】
下記の特許文献１，２には、圧電基板上に、ＩＤＴ電極が設けられた弾性波装置が開示されている。特許文献１には、上記ＩＤＴ電極として、ＮｉＣｒ、Ｐｔ、Ｔｉ、ＡｌＣｕ及びＴｉがこの順に積層された積層金属膜が記載されている。他方、特許文献２には、上記ＩＤＴ電極として、Ｔｉ上にＡｌが積層された積層金属膜が記載されている。特許文献２では、上記積層金属膜が、被覆電極膜により覆われている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第５１３１１１７号公報
【特許文献２】特開２００１−２１７６７２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
弾性波装置を構成しているＩＤＴ電極は、誘電体膜を形成する場合や、表面の有機残渣を除去する場合などに、しばしばプラズマ雰囲気中に曝されることがある。【０００６】
ここで、特許文献１のような積層構造を有するＩＤＴ電極が、プラズマ雰囲気下に曝されると、ＩＤＴ電極の最表層に存在しているＡｌ膜やＣｕ膜等の電極膜がダメージを受けることがあった。その結果、電気特性が劣化することがあった。【０００７】
他方、特許文献２のように積層金属膜が被覆金属膜によって完全に覆われている場合、電極の特性が劣化することがあった。【０００８】
本発明の目的は、ＩＤＴ電極がプラズマ雰囲気下に曝された場合においても、特性の劣化が生じ難い、弾性波装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に係る弾性波装置は、圧電基板と、前記圧電基板上に設けられたＩＤＴ電極と、を備え、前記ＩＤＴ電極が、最表層の電極層を有する少なくとも１以上の電極層と、前記最表層の電極層を保護する保護電極層と、を有しており、前記保護電極層は、前記最表層の電極層より電気抵抗率が大きく、前記最表層の電極層が、前記圧電基板側とは反対側に位置している第１の主面と、該第１の主面に連なる側面とを有し、前記最表層の電極層における前記第１の主面と、前記第１の主面から前記側面の少なくとも一部に至る領域とが、前記保護電極層により覆われており、前記保護電極層が、前記最表層の電極層の前記側面の下端を越えていない。【００１０】
本発明に係る弾性波装置のある特定の局面では、前記最表層の電極層において、前記第１の主面と前記側面とのなす稜線が、前記保護電極層により覆われている。この場合、最表層の電極層を効果的に保護することができ、特性の劣化がより一層生じ難い。【００１１】
本発明に係る弾性波装置の他の特定の局面では、前記最表層の電極層における前記側面が、前記保護電極層により覆われている。この場合、最表層の電極層をより一層確実に保護することができる。【００１２】
本発明に係る弾性波装置の別の特定の局面では、前記最表層の電極層が、前記第１の主面と対向している第２の主面を有し、前記最表層の電極層における前記第２の主面が、前記保護電極層により覆われている。この場合、最表層の電極層をより一層確実に保護することができる。【００１３】
本発明に係る弾性波装置のさらに他の特定の局面では、前記最表層の電極層が、Ａｌ及びＣｕのうち少なくとも一方により構成されている。この場合、電極の抵抗を低くすることができ、低損失とすることができる。【００１４】
本発明に係る弾性波装置のさらに他の特定の局面では、前記保護電極層が、Ｔｉ及びＭｏのうち少なくとも一方により構成されている。この場合、最表層の電極層をより一層確実に保護することができる。【００１５】
本発明に係る弾性波装置のさらに他の特定の局面では、前記ＩＤＴ電極が、前記最表層の電極層を有する複数の電極層と、前記最表層の電極層を保護する前記保護電極層と、を有する。【００１６】
本発明に係る弾性波装置のさらに他の特定の局面では、前記複数の電極層が、前記最表層の電極層の下に形成されている２層目の電極層を有し、前記２層目の電極層が、前記最表層の電極層を構成している金属よりも密度の大きい金属により構成されている。【００１７】
本発明に係る弾性波装置のさらに他の特定の局面では、前記２層目の電極層が、Ｐｔ及びＡｕのうち少なくとも一方により構成されている。【００１８】
本発明に係る弾性波装置のさらに他の特定の局面では、前記側面が対向し合う一対の側面部分を有し、前記第２の主面から前記第１の主面に向かうにつれて、前記対向し合う一対の側面部分間が狭くなるように、各側面部分が傾斜されている。【００１９】
本発明に係る弾性波装置のさらに他の特定の局面では、前記ＩＤＴ電極が、ＮｉＣｒ層、前記２層目の電極層、Ｔｉ層、前記最表層の電極層及び前記保護電極層がこの順に積層された積層金属膜である。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、ＩＤＴ電極がプラズマ雰囲気下に曝された場合においても、特性の劣化が生じ難い、弾性波装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】図１（ａ）は、本発明の一実施形態に係る弾性波装置の模式的正面断面図であり、図１（ｂ）は、その電極構造を示す模式的平面図である。
【図２】図２は、本発明の第１の実施形態に係る弾性波装置のＩＤＴ電極部を拡大した模式的正面断面図である。
【図３】図３は、本発明の第２の実施形態に係る弾性波装置のＩＤＴ電極部を拡大した模式的断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。
【００２３】
なお、本明細書に記載の各実施形態は、例示的なものであり、異なる実施形態間において、構成の部分的な置換または組み合わせが可能であることを指摘しておく。
【００２４】
（第１の実施形態）
図１（ａ）は、本発明の第１の実施形態に係る弾性波装置の模式的正面断面図であり、図１（ｂ）は、その電極構造を示す模式的平面図である。図２は、本発明の第１の実施形態に係る弾性波装置のＩＤＴ電極部を拡大した模式的正面断面図である。
【００２５】
弾性波装置１は、圧電基板２を有する。圧電基板２の主面上に、ＩＤＴ電極３が設けられている。
【００２６】
圧電基板２は、ＬｉＮｂＯ３からなる基板である。もっとも、圧電基板２としては、ＬｉＴａＯ３などの他の圧電単結晶からなる基板を用いてもよいし、圧電セラミックスからなる基板を用いてもよい。
【００２７】
図１（ａ）では略図的に示しているが、圧電基板２上には、図１（ｂ）に示す電極構造が形成されている。すなわち、ＩＤＴ電極３と、ＩＤＴ電極３の弾性波伝搬方向両側に配置された反射器４，５が形成されている。それによって、１ポート型弾性波共振子が構成されている。もっとも、本発明におけるＩＤＴ電極を含む電極構造は特に限定されない。複数の共振子を組み合わせて、フィルタが構成されていてもよい。このようなフィルタとしては、ラダー型フィルタ、縦結合共振子型フィルタ、ラチス型フィルタ等が挙げられる。
【００２８】
ＩＤＴ電極３は、第１，第２のバスバーと、複数本の第１，第２の電極指とを有する。上記複数本の第１，第２の電極指は、弾性波伝搬方向と直交する方向に延びている。上記複数本の第１の電極指と、上記複数本の第２の電極指とは、互いに間挿し合っている。また、複数本の第１の電極指は、第１のバスバーに接続されており、複数本の第２の電極指は、第２のバスバーに接続されている。
【００２９】
図２に拡大して示すように、ＩＤＴ電極３は、ＮｉＣｒ層３Ｅ、第３の電極層３Ｃ、Ｔｉ層３Ｄ、第１の電極層３Ａ及び第２の電極層３Ｂがこの順に積層された積層金属膜である。
【００３０】
第２の電極層３Ｂは、保護電極層である。第１の電極層３Ａは、保護電極層である第２の電極層３Ｂ及びＴｉ層３Ｄを除く積層金属膜において、最表層の電極層である。また、第３の電極層３Ｃは、保護電極層である第２の電極層３Ｂ及びＴｉ層３Ｄを除く積層金属膜において、２層目の電極層である。なお、第３の電極層３Ｃは、第１の電極層３Ａの下に形成されている。
【００３１】
第１の電極層３Ａは、互いに対向している第１及び第２の主面３ａ，３ｂを有する。また、第１の電極層３Ａは、第１及び第２の主面３ａ，３ｂを結ぶ側面３ｃを有する。側面３ｃは、互いに対向している第１及び第２の側面部分３ｃ１，３ｃ２を有する。
【００３２】
第１及び第２の側面部分３ｃ１，３ｃ２は、それぞれ、第２の主面３ｂから第１の主面３ａに向かうにつれて、第１及び第２の側面部分３ｃ１，３ｃ２間が狭くなるように、傾斜されている。なお、図２に示すように、ＮｉＣｒ層３Ｅ、第３の電極層３Ｃ及びＴｉ層３Ｄも、第１の電極層３Ａと同様の形状とされている。
【００３３】
第１の電極層３Ａは、Ａｌにより構成されている。第１の電極層３Ａは、Ｃｕなどの他の金属若しくはこれらの合金により構成されていてもよい。なかでも、第１の電極層３Ａは、電気抵抗率の小さい金属により構成されていることが好ましい。この場合、ＩＤＴ電極３の電気抵抗率をより一層低めることができ、より一層低損失とすることができる。なお、上記電気抵抗率の小さい金属としては、Ａｌ、Ｃｕ又はこれらの合金などが挙げられる。
【００３４】
第１の電極層３Ａの第１の主面３ａ上に、第２の電極層３Ｂが積層されている。第２の電極層３Ｂは、第１の電極層３Ａの第１の主面３ａと、第１の主面３ａから側面３ｃの一部に至る領域とを覆っている。特に、弾性波装置１では、図２に示す稜線Ｒ１，Ｒ２についても、第２の電極層３Ｂにより覆われている。なお、上記稜線Ｒ１とは、第１の主面３ａと、第１の側面部分３ｃ１とのなす稜線である。また、上記稜線Ｒ２とは、第１の主面３ａと、第２の側面部分３ｃ２とのなす稜線である。
【００３５】
第２の電極層３Ｂは、第３の主面３ｄを有する。第３の主面３ｄは、第２の電極層３Ｂにおいて、第１の主面３ａと接する側の主面とは、反対側の主面である。ここで、第３の主面３ｄと、第２の電極層３Ｂの最も圧電基板２側の部分との間の距離をｄ１とする。また、第３の主面３ｄと、第１の主面３ａとの間の距離をｄ２とする。本発明においては、上記ｄ１とｄ２との比ｄ１/ｄ２が、１．０より大きく、７．０以下であることが好ましい。上記比ｄ１/ｄ２が、上記範囲内にある場合、第１の電極層３Ａのプラズマによるダメージをより一層効果的に抑制することができる。しかも、後述するようにＩＤＴ電極３がさほど重たくならないので、特性の劣化がより一層生じ難い。ｄ１及びｄ２は、例えば、ｄ２が１０ｎｍのとき、ｄ１は１０ｎｍ〜７０ｎｍとすることができる。
【００３６】
第２の電極層３Ｂは、Ｔｉにより構成されている。第２の電極層３Ｂは、Ｍｏなどの他の金属若しくはこれらの合金により構成されていてもよい。なかでも、第２の電極層３Ｂは、第１の電極層３Ａより電気抵抗率の大きい金属により構成されていることが好ましい。上記第１の電極層３Ａより電気抵抗率の大きい金属としては、例えば、Ｔｉ、Ｍｏ又はこれらの合金などが挙げられる。
【００３７】
第１の電極層３Ａの第２の主面３ｂと圧電基板２との間には、第３の電極層３Ｃが配置されている。第３の電極層３Ｃは、Ｐｔにより構成されている。もっとも、第３の電極層３Ｃは、Ａｕなどの他の金属若しくはこれらの合金により構成されていてもよい。また、第３の電極層３Ｃは、第１の電極層３Ａより密度の大きい金属により構成されていることが好ましい。上記第１の電極層３Ａより密度の大きい金属としては、ＰｔやＡｕなどの貴金属若しくはこれらの合金などが挙げられる。なお、第３の電極層３Ｃは設けなくともよい。
【００３８】
弾性波装置１のように、第１の電極層３Ａの下に、第１の電極層３Ａよりも密度の大きい金属を主成分とする第３の電極層３Ｃが設けられている場合、第３の電極層３Ｃの密度が高くなるため、弾性波の反射係数を高めることができ、弾性波装置の電気的特性を高めることができる。なお、本明細書において、主成分とは、５０重量％以上含まれている成分のことをいうものとする。
【００３９】
ところで、弾性波装置を製造する際には、スパッタリング法により温度調整膜としてのＳｉＯ２膜を形成したり、表面の有機残渣を除去したりすることがある。このような場合、弾性波装置を構成するＩＤＴ電極がプラズマ雰囲気下に曝されることがある。そのため、従来の弾性波装置においては、ＩＤＴ電極の上部に位置している電極層がプラズマによりダメージを受け、特性が劣化することがあった。
【００４０】
これに対して、本実施形態の弾性波装置１では、第１の電極層３Ａの第１の主面３ａと、第１の主面３ａから側面３ｃの一部に至る領域とが、第２の電極層３Ｂにより覆われている。そのため、弾性波装置１では、プラズマ雰囲気下に曝された場合においても、上部に位置している第１の電極層３Ａがダメージを受け難い。そのため、弾性波装置１では、プラズマ雰囲気下に曝されても、特性の劣化が生じ難い。
【００４１】
また、第２の電極層３Ｂは、第１の電極層３Ａの側面３ｃの下端Ｐを越えていない。すなわち、第２の電極層３Ｂは、ＮｉＣｒ層３Ｅ、第３の電極層３Ｃ及びＴｉ層３Ｄを覆うようには設けられていない。そのため、第２の電極層３Ｂを設けてもＩＤＴ電極３はさほど重たくならず、エネルギー分布の状態や周波数が変化し難い。よって、この点からも、弾性波装置１は、特性の劣化が生じ難い。
【００４２】
加えて、本実施形態においては、プラズマにより損傷を受けやすい稜線Ｒ１，Ｒ２が、第２の電極層３Ｂにより覆われている。そのため、弾性波装置１では、プラズマ雰囲気下に曝された場合における特性の劣化がより一層生じ難い。このように、本発明においては、稜線Ｒ１，Ｒ２が、第２の電極層３Ｂにより覆われていることが好ましい。
【００４３】
なお、本発明において、第３の電極層３Ｃは設けなくともよい。ＩＤＴ電極３は、例えば、Ｔｉ層３Ｄ、第１の電極層３Ａ、第２の電極層３Ｂがこの順に積層された積層金属膜であってもよい。この場合、第１の電極層３Ａとしては、例えば、Ａｌ、Ｃｕ又はＡｌＣｕなどを用いることができる。第２の電極層３Ｂとしては、ＴｉやＭｏなどを用いることができる。
【００４４】
また、ＩＤＴ電極３は、第１の電極層３Ａと、第１の電極層３Ａ上に積層された第２の電極層３Ｂとからなる積層金属膜であってもよい。この場合においても、第１の電極層３Ａとしては、例えば、Ａｌ、Ｃｕ又はＡｌＣｕなどを用いることができる。第２の電極層３Ｂとしては、ＴｉやＭｏなどを用いることができる。
【００４５】
このように、ＩＤＴ電極３は、上記の第１及び第２の電極層３Ａ及び３Ｂを有している限り、さまざまな積層構造を採ることができる。
【００４６】
（製造方法）
弾性波装置１の製造方法は、特に限定されないが、例えば以下に示す方法により製造することができる。
【００４７】
まず、圧電基板２としてのＬｉＮｂＯ３基板を用意する。次に、フォトリソグラフィー法により、レジストのパターンを圧電基板２上に形成する。続いて、真空蒸着法によりＮｉＣｒ、Ｐｔ、Ｔｉ、Ａｌ及びＴｉがこの順に積層された積層金属膜を形成する。しかる後、リフトオフ法により不要な部分の積層金属膜をレジストごと除去する。それによって、圧電基板２上にＩＤＴ電極３及び図示しない配線電極を形成する。なお、本製造方法では、ＩＤＴ電極３を構成する積層金属膜として、Ｔｉ／Ａｌ／Ｔｉ／Ｐｔ／ＮｉＣｒ＝１０ｎｍ／１５０ｎｍ／１０ｎｍ／８０ｎｍ／１０ｎｍを作製した。
【００４８】
また、真空蒸着で積層金属膜を形成するに際しては、最上層のＴｉ層（第２の電極層３Ｂ）を成膜するときに、チャンバー内にガスを導入して真空度を悪化させる。それによって、蒸着粒子の垂直入射性を悪化させ、Ａｌ層（第１の電極層３Ａ）の側面３ｃに蒸着粒子を回り込んで付着させる。これにより、第１の電極層３Ａの第１の主面３ａと、第１の主面３ａから側面３ｃの一部に至る領域とを被覆するように、第２の電極層３Ｂを形成することができる。なお、チャンバー内に導入するガスとしては、例えば、Ａｒガスを用いることができる。
【００４９】
次に、圧電基板２及びＩＤＴ電極３に酸素プラズマを照射するアッシング処理を施す。それによって、圧電基板２及びＩＤＴ電極３上に残ったレジストやレジスト剥離液の残渣を除去する。
【００５０】
また、ＩＤＴ電極３を異物などから保護することを目的として、圧電基板２及びＩＤＴ電極３上にＲＦスパッタリング法を用いて、ＳｉＯ２膜からなる保護膜を設けてもよい。
【００５１】
このように、本製造方法においては、アッシング処理や、スパッタリングに際して、ＩＤＴ電極３がプラズマ雰囲気下に曝されることがある。しかしながら、弾性波装置１では、上記のように第１の電極層３Ａの第１の主面３ａと、第１の主面３ａから側面３ｃの一部に至る領域とが、第２の電極層３Ｂにより覆われている。そのため、弾性波装置１では、プラズマ雰囲気下に曝された場合においても、特性の劣化が生じ難い。
【００５２】
また、本製造方法においてＩＤＴ電極３は、上記のように、同一の蒸着設備で製造されるため、製造工程を簡略化することができる。
【００５３】
（第２の実施形態）
図３は、本発明の第２の実施形態に係る弾性波装置のＩＤＴ電極部を拡大した模式的断面図である。図３に示すように、第２の実施形態に係る弾性波装置では、第１の電極層３Ａにおいて、第１の主面３ａと第１の主面３ａから第２の主面３ｂに至る領域とが、第２の電極層３Ｂにより覆われている。すなわち、第２の実施形態に係る弾性波装置においては、第１の電極層３Ａの側面３ｃ全体が、第２の電極層３Ｂに覆われている。その他の点は、第１の実施形態と同様である。
【００５４】
第２の実施形態に係る弾性波装置では、第１の電極層３Ａの第１の主面３ａと、側面３ｃとが、第２の電極層３Ｂにより覆われている。そのため、プラズマ雰囲気下に曝されても、ＩＤＴ電極３の上部に位置している第１の電極層３Ａがダメージを受け難い。従って、第２の実施形態に係る弾性波装置においても、プラズマ雰囲気下に曝された場合に、特性の劣化が生じ難い。
【００５５】
また、第２の電極層３Ｂは、第１の電極層３Ａの側面３ｃの下端Ｐを越えていない。すなわち、第２の電極層３Ｂは、ＮｉＣｒ層３Ｅ、第３の電極層３Ｃ及びＴｉ層３Ｄを覆うようには設けられていない。そのため、第２の電極層３Ｂを設けてもＩＤＴ電極３はさほど重たくならず、エネルギー分布の状態や周波数が変化し難い。よって、この点からも、第２の実施形態に係る弾性波装置は、特性の劣化が生じ難い。
【００５６】
加えて、第２の実施形態においても、プラズマにより損傷を受けやすい稜線Ｒ１，Ｒ２が、第２の電極層３Ｂにより覆われている。そのため、プラズマ雰囲気下に曝された場合における特性の劣化がより一層生じ難い。
【００５７】
また、第２の実施形態では、第１の電極層３Ａの第１の主面３ａと、側面３ｃ全体とが、第２の電極層３Ｂにより覆われているため、第１の電極層３Ａの腐食を抑制することができる。
【００５８】
なお、第２の実施形態では、第１の電極層３Ａの第２の主面３ｂについても、第２の電極層３Ｂと同じＴｉ層により覆われている。すなわち、第２の実施形態では、第１の電極層３ＡがＴｉ層により完全に覆われている。このように、第１の電極層３ＡがＴｉ層により完全に覆われている場合、第１の電極層３Ａの腐食をより一層確実に抑制することができる。
【符号の説明】
【００５９】
１…弾性波装置
２…圧電基板
３…ＩＤＴ電極
３ａ，３ｂ…第１，第２の主面
３ｃ…側面
３ｄ…第３の主面
３ｃ１，３ｃ２…第１，第２の側面部分
３Ａ〜３Ｃ…第１〜第３の電極層
３Ｄ…Ｔｉ層
３Ｅ…ＮｉＣｒ層
４，５…反射器
【図１】
2017002513.tif 000003
【図２】
2017002513.tif 000004
【図３】
2017002513.tif 000005
【国際調査報告】
2017002513.tif 000006
2017002513.tif 000007
2017002513.tif 000008
2017002513.tif 000009