(57)【要約】  軸方向に形成されるシール膜を、簡易に温度環境を決め得る構造として、シール膜を長寿命とする磁性流体シールを提供する。  流体機械のハウジングから延びる回転軸２を内部に収容し、ハウジングに取付けられる取付け部３ａを有する外筒部材３と、外筒部材３に収容される回転軸２の周りに配置され、磁気回路を形成する磁極部材６Ａ，６Ｂと、磁気回路上に磁気的に接続され、磁極部材６Ａ，６Ｂと回転軸２の間に配置され、磁性流体１０Ａ，１０Ｂから成り軸方向に形成されるシール膜Ｍと、を有する磁性流体シール１であって、外筒部材３は、その軸方向に伝わる熱を遮熱する遮熱手段３ｃと、外筒部材３を冷却する冷却手段３ｄとを有し、外筒部材３には、その軸方向に、取付け部３ａ、遮熱手段３ｃ、シール膜Ｍ、冷却手段３ｄがこれらの順に配設されている。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体機械のハウジングから延びる回転軸を内部に収容し、前記ハウジングに取付けられる取付け部を有する外筒部材と、
前記外筒部材に収容される前記回転軸の周りに配置され、磁気回路を形成する磁極部材と、
前記磁気回路上に磁気的に接続され、前記磁極部材と前記回転軸の間に配置され、磁性流体から成り軸方向に形成されるシール膜と、
を有する磁性流体シールであって、
前記外筒部材は、その軸方向に伝わる熱を遮熱する遮熱手段と、該外筒部材を冷却する冷却手段とを有し、
前記外筒部材には、その軸方向に、前記取付け部、前記遮熱手段、前記シール膜、前記冷却手段がこれらの順に配設されていることを特徴とする磁性流体シール。
【請求項２】
前記回転軸には、前記回転軸と前記外筒部材を相対回転可能に保持する軸受部材が配置されており、前記取付け部、前記遮熱手段、前記シール膜、前記冷却手段、前記軸受部材の順に配設されていることを特徴とする請求項１に記載の磁性流体シール。
【請求項３】
前記遮熱手段は、伝熱抑制手段であることを特徴とする請求項１または２に記載の磁性流体シール。
【請求項４】
前記遮熱手段は、前記外筒部材の外周面に設けられている放熱フィンであることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の磁性流体シール。
【請求項５】
前記遮熱手段は、前記外筒部材よりも熱伝導率の低い異なる別部材として構成されていることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の磁性流体シール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば高温環境下で使用される磁性流体シールに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、長寿命かつクリーンな高性能シールとして磁性流体シールが知られている。この磁性流体シールは、省メンテナンスで清浄な雰囲気が必要とされる半導体や液晶の製造工程や、これらの各種コーティング・エッチング工程において、広く使用されている。
磁性流体シールは、流体機械のハウジングに固定される外筒部材の内部に保持された磁極部材と、回転軸との間に形成される磁性流体から成るシール膜により、流体機械のハウジングと回転軸間の隙間をシールするものである。【０００３】
これらの磁性流体シールにはシール膜が形成されているが、流体機械に密封される流体が例えば高温ガスである場合には、高温ガスから外筒部材に熱が伝わり、外筒部材の内部の磁極部材の温度が次第に上昇することで、磁性流体のシール膜の温度が上昇し、この温度上昇が過度となると磁性流体のベース液が蒸発し、シール膜のシール性を保てなくなることがある。このような熱の影響を考慮し、軸方向に並んで配置される二つの磁極部材の軸方向の略中央で、磁極部材を保持する外筒部材の外周面に冷却流路を形成する構造が提案されている。（特許文献１参照）。
この冷却流路に冷却水を流入させることで、冷却流路の左右に位置する磁極部材が冷却される。この磁極部材の冷却により高温ガスから外筒部材に伝わった熱は、磁極部材を介してシール膜に伝わる前に奪われるため、シール膜の温度上昇を抑えることができ、磁性流体のベース液の蒸発を抑えシール膜の長寿命化を図ることができる。【０００４】
また、軸方向に並んで配置される二つの磁極部材の軸方向の略中央で、磁極部材を保持する外筒部材の外周面に、複数の凹状溝により構成される放熱板を形成する構造が提案されている。（特許文献２参照）。
これにより、表面積の大きな放熱板により、外筒部材の内部に配置された磁極部材やシール膜の熱を、外筒部材を介して放熱することでシール膜の温度上昇を抑えることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平１０−１６９７８９号（７頁、図１）
【特許文献２】特開２００３−３１４７０６号公報（５頁、図１）
【０００６】
しかしながら、特許文献１に記載されるように軸方向に並んで配置される磁極部材の軸方向の中央に冷却流路を設けると、高温ガスと冷却流路に挟まれて配置された軸方向機内側の磁極部材の温度環境と、冷却流路と大気に挟まれて配置された軸方向大気側の磁極部材の温度環境が異なることとなる。このため、冷却流路に流す冷却液の流量を一方の高温ガス側の磁極部材に合わせて温度設定をすると、大気側の磁極部材のシール膜の温度が低くなりすぎ、高温ガスが冷却されてシール膜の周辺に副生成物が生成され、この副生成物がシール膜に入り込むことで、シール膜のシール性が悪くなる虞がある。また、他方の大気側の磁極部材に合わせて温度設定をすると、高温ガス側の磁極部材のシール膜の温度が高くなりすぎ、シール膜を形成する磁性流体のベース液が蒸発してシール膜のシール性が悪くなる虞がある。またこのようなシール性の悪化によりシール膜の寿命が短くなることがあった。また、特許文献２に記載される放熱板を用いた磁性流体シールについても同様の問題点があった。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は上記課題に鑑みてなされたものであり、軸方向に形成されるシール膜を、簡易に温度環境を決め得る構造として、シール膜を長寿命とする磁性流体シールを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の磁性流体シールは、
流体機械のハウジングから延びる回転軸を内部に収容し、前記ハウジングに取付けられる取付け部を有する外筒部材と、
前記外筒部材に収容される前記回転軸の周りに配置され、磁気回路を形成する磁極部材と、
前記磁気回路上に磁気的に接続され、前記磁極部材と前記回転軸の間に配置され、磁性流体から成り軸方向に形成されるシール膜と、
を有する磁性流体シールであって、
前記外筒部材は、その軸方向に伝わる熱を遮熱する遮熱手段と、該外筒部材を冷却する冷却手段とを有し、
前記外筒部材には、その軸方向に、前記取付け部、前記遮熱手段、前記シール膜、前記冷却手段がこれらの順に配設されていることを特徴としている。
この特徴によれば、遮熱手段により流体機械のハウジングから磁極部材、シール膜に伝達される熱を抑えられ、シール膜を熱的に影響の少ない領域に配置することができるため、軸方向に形成されるシール膜の温度環境を簡易に決め得ることができ、このシール膜の寿命を長くできる。【０００９】
前記回転軸には、前記回転軸と前記外筒部材を相対回転可能に保持する軸受部材が配置されており、前記取付け部、前記遮熱手段、前記シール膜、前記冷却手段、前記軸受部材の順に配設されていることを特徴としている。
この特徴によれば、冷却手段の冷却作用を軸受部材にも及ぼすことができ、磁性流体シール全体の熱の影響による不具合を抑えることができる。具体的には、軸受に熱が加わることで重量や回転による力により変形が起こる可能性を減らすことができ、回転精度を求められる流体機器に用いることが出来る構造とすることができる。【００１０】
前記遮熱手段は、伝熱抑制手段であることを特徴としている。
この特徴によれば、伝熱抑制手段により熱的な影響を抑え、簡易な構成で遮熱手段を構成することができる。【００１１】
前記遮熱手段は、前記外筒部材の外周面に設けられている放熱フィンであることを特徴としている。
この特徴によれば、放熱フィンを設けることで、広い表面積により大気との熱交換が行われるため、冷却効果を奏するとともに、外筒部材が冷却手段による過冷却となる場合やハウジングからの熱により過加熱となる場合にも、放熱フィンにより外筒部材は略一定の温度に保持され、シール膜の温度環境を略一定に保つことができる。【００１２】
前記遮熱手段は、前記外筒部材よりも熱伝導率の低い異なる別部材として構成されていることを特徴としている。
この特徴によれば、断熱材のような熱伝導性の低い別部材を遮熱手段とすることで、遮熱効果をより顕著に発揮させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】実施例１における本発明に係る磁性流体シールの正面断面図である。
【図２】実施例２における本発明に係る磁性流体シールの正面断面図である。
【図３】実施例３における本発明に係る磁性流体シールの正面断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
本発明に係る磁性流体シールを実施するための形態を実施例に基づいて以下に説明する。なお、以下の説明において、図１における左右方向を磁性流体シールの軸方向、上下方向を磁性流体シールの径方向と定義し、更に軸方向左側を軸方向機内側、軸方向右側を軸方向大気側と定義する。
【実施例１】
【００１５】
まず、実施例１に係る磁性流体シールの構造について説明する。
図１に示されるように、本発明に係る磁性流体シール１は、主な機能を発揮するための部材として、流体機械の回転軸２に取付けられる磁極部材６Ａ，６Ｂ、この磁極部材６Ａ，６Ｂ間に設けられ、磁極部材６Ａ，６Ｂに磁極を形成させる磁力発生手段７、及び磁極部材６Ａ，６Ｂと回転軸２間に形成される磁気回路に沿ってシール膜Ｍ，Ｍを形成する磁性流体１０Ａ，１０Ｂによりシール部１３が構成されている。このように、回転軸２に沿って形成されるシール膜Ｍ，Ｍにより、流体機器のハウジング（図示せず）に取付けられ、磁性流体シール１の外筒部材３と回転軸２との間の隙間をシールすることで、流体機器内に密封されたガス等（真空を含む）を密封できる構造となっている。【００１６】
また、シール部１３の構造としては、外筒部材３（詳細は後述する）の外筒部３ｂの内部の軸方向端面に当たる突き当て面３ｄｓに磁極部材６Ａが突き当てられ、磁極部材６Ａ，６Ｂが、その外周にＯリング１１Ｂが介挿された状態で、外筒部３ｂの内部に嵌入されており、シール部１３の軸方向大気側に位置する磁極部材６Ｂと当接してスペーサ８が嵌入されており、更にスペーサ８の軸方向大気側に一組のベアリング５が嵌入されている。また、ベアリング５の内輪は回転軸２の拡径部であるベアリングフランジ２ａとも軸方向に当接しており、外筒部材３と回転軸２の径方向に外輪、転動体とともに介在し、回転軸２が外筒部材３に対して円滑に相対回転可能に保持している。【００１７】
また、ベアリング５の軸方向大気側には、ロックナット１４が回転軸２の端末に螺合により固定され、これによりベアリング５の内輪を軸方向機内側に押圧した状態でシール部１３を外筒部材３の外筒部３ｂの内部に固定している。また、ベアリング５の外輪の軸方向大気側には、エンドキャップ４が嵌められ、六角ボルト１２Ｂにより外筒部３ｂに固定されている。なお、回転軸２の端面には、回転軸２の回転状態を検出するエンコーダ部材１５が六角ボルト１２Ｃにより固定され、エンドキャップ４に設けられた電気機器２０（フォトセンサ等）により、回転の位置や回転中心などの位置検出を行っている。尚、この電気機器２０は一般的に熱に弱い部品からなる。【００１８】
次に、外筒部材３は金属製であり、流体機器のハウジングに取付けられる取付け部としてのフランジ部３ａと、シール部１３、スペーサ８及びベアリング５が内部に設けられる外筒部３ｂと、フランジ部３ａと外筒部３ｂの間に形成される径方向に小径の小径部３ｃにより構成されている。フランジ部３ａは、径方向に大径の円盤状であり、流体機器のハウジングに固定される取付け面３ａｓ側にＯリング１１Ｃが設けられ、複数の取付け穴３ｅが周方向に設けられている。また、外筒部３ｂの外周には、断面凹状の冷却溝３ｄが磁極部材６Ｂとベアリング５の軸方向略中央の位置に周方向に沿って設けられ、冷却溝３ｄはＯリング１１Ａが介挿された状態で外筒カバー９により液密に保持されている。【００１９】
ここで、外筒カバー９の周方向の所定の位置には、流入口９ｂを備えた固定部材９ａが設けられている。この固定部材９ａに挿入される六角ボルト１２Ａにより、フランジ部３ａに固定部材９ａが固定されることにより、外筒部３ｂの外周部に外筒カバー９が固定されることになる。
また、固定部材９ａの流入口９ｂから冷却溝３ｄに冷却液を流入させることで、後述の冷却作用を発揮できる構造となっている。【００２０】
次に、磁性流体シール１の温度状態について説明する。
流体機械は内部に高温ガスを密封して使用されていることがあり、このような高温ガスは、機内の温度が一定の温度以下になると気体から固体となり、副生成物が生成される。この副生成物の生成により、シール膜Ｍ，Ｍの周辺に副生成物が付着することで、シール膜Ｍ，Ｍに入り込むことがあり、シール膜Ｍ，Ｍのシール性が悪くなるとともに、流体機械が製造設備である場合は、製造設備により製造された製造物の品質の劣化につながるため、一定の温度Ｔｇより高く保つ必要がある。この一定の温度Ｔｇは、流体機械が密封するガスの種類により異なるが、本説明ではＴｇ＞１５０℃と設定する。【００２１】
ここで、図１に示されるように、磁性流体シール１の軸方向機内側に設けられるフランジ部３ａは、流体機械のハウジングと当接して固定されている。また、回転軸２は流体機械の内部から連続して延設されている。更に、流体機械の内部と磁性流体シール１のシール膜Ｍ，Ｍとの間には、密封流体が充満している。磁性流体シール１に流体機械の内部の熱が伝わり、この熱により磁性流体シール１に悪影響を与えることがある。【００２２】
ここで、磁性流体シール１においてシール膜Ｍ，Ｍを形成する磁性流体１０Ａ，１０Ｂは、磁性を有する強磁性微粒子と、その表面を覆う界面活性剤、及び水や油から成るベース液の３つで構成される溶液である。
そして、磁性流体１０Ａ，１０Ｂは、高温環境下ではベース液である水や油が蒸発し、液体としての状態を保てずに流動性を失ってしまうことにより、回転軸２の外周面との摩擦によりシール膜Ｍ，Ｍが分断され、磁性流体１０のシール膜Ｍ，Ｍのシール性を維持できない状態となる。これを防ぐためには、磁性流体１０を常に耐熱温度Ｔｓより低く保つ必要がある。この耐熱温度Ｔｓは、磁性流体の種類によっても異なるが、本説明ではＴｓ＜１５０℃と設定する。【００２３】
また、回転軸２と外筒部３ｂを径方向に保持するベアリング５も、熱により耐久性が悪くなるという悪影響や、熱により変形し、回転精度を欠くという悪影響を受けることがある。これを防ぐためには、ベアリング５を常に耐熱温度Ｔｂより低く保つ必要がある。この耐熱温度Ｔｂは、ベアリングに使用される構成部品の材質により異なるが、本説明ではＴｂ＜１００℃と設定する。また、回転検出の精度の点では、回転位置や回転中心などの位置検出を行う電気機器部品も同様で、電気機器２０の耐熱温度以上の熱を受けると回転検出の精度を欠き、流体機器として用いることが出来なくなる恐れがある。【００２４】
次に、流体機械から磁性流体シール１への熱の伝達作用について詳述すると、熱伝達の主なルートとしては、一つ目のルートとして、フランジ部３ａから外筒部３ｂへ熱が伝わり、外筒部３ｂから磁極部材６に熱が伝わり、磁極部材６から磁性流体１０に熱が伝わるという外筒部材３を経由する固体熱伝導がある。次に、二つ目のルートとして、回転軸２から磁性流体１０に熱が伝わるという回転軸２を経由する固体熱伝導がある。更に、三つ目のルートとして、回転軸２と外筒部材３の間の隙間から高温ガスＶを介して磁性流体１０に熱が伝わるという密封流体を経由する気体熱伝導がある。また、これらは同時に起こる現象となっている。なお、厳密には熱輻射による熱伝達のルートも存在しているが、影響が少ないために説明を省略する。
ここで、比較的影響の大きな熱伝達のルートとして、一つ目のルートである外筒部材３を経由する固体熱伝導が挙げられる。その理由としては、外筒部材３のフランジ部３ａが拡径された形状であり、伝熱面積が回転軸２よりも大きく、固体の方が気体よりも熱伝導率が高いからである。【００２５】
この点において、本発明の磁性流体シール１においては、外筒部材３のフランジ部３ａと、シール部１３が内部に設けられている外筒部３ｂのシール収容部３ｂｓとの間に、小径部３ｃが設けられている。これにより、フランジ部３ａから、シール部１３が嵌入される外筒部３ｂのシール収容部３ｂｓに伝わる熱が、伝熱面積の狭い領域である小径部３ｃにより遮熱される。
その結果、小径部３ｃよりも軸方向大気側の外筒部３ｂに伝導する熱量を少なくすることができる。このため、小径部３ｃよりも軸方向大気側に位置するシール部１３が流体機械から受ける熱の影響を抑えることができるため、小径部３ｃよりも軸方向機内側に位置する流体機械及びフランジ部３ａに対して、熱的に影響の少ない領域にすることができる。すなわち、小径部３ｃが本発明の遮熱手段として、更に伝熱抑制手段として作用する。【００２６】
このため、シール部１３を構成する磁極部材６Ａ，６Ｂを流体機械からの熱の影響を小さくすることができ、左右の磁極部材６Ａ，６Ｂの温度状態を近いものとすることができる。その結果、左右の磁極部材６Ａ，６Ｂの磁性流体１０Ａ，１０Ｂの温度環境に極端な違いが起こらないため、それぞれのシール膜Ｍ，Ｍが所定のシール性を維持することができ、長時間の使用においても磁性流体シール１のシール性を確保することができる。
なお、二つ目及び三つ目の熱伝達のルートにおいては、シール膜Ｍ，Ｍに直接的に熱が作用するため、小径部３ｃを設けることで完全に熱の伝達を遮熱できるわけではないが、影響の大きなルートの熱伝達を抑えることで、顕著な効果を得ることができる。【００２７】
また、本発明の磁性流体シール１は、外筒部材３の外筒部３ｂであって、軸方向における磁極部材６Ｂとベアリング５の間に、冷却手段としての冷却溝３ｄが設けられている。このため、高温側からの熱が小径部３ｃにより遮熱されたシール部１３及びベアリング５を冷却溝３ｄにより冷却することができることとなり、高温側の影響が少なく、左右の磁性流体１０Ａ，１０Ｂの温度環境を近い状態に維持し、適度に冷却することが容易となる。すわなち、冷却溝３ｄにより過度な冷却を行わなくとも、充分に冷却効果を得ることが可能となっている。
また、シール部１３の軸方向機内側に遮熱手段である小径部３ｃが位置し、軸方向大気側に冷却溝３ｄが位置していることにより、冷却による左右の磁性流体１０Ａ，１０Ｂの軸方向の大きな温度勾配をおさえることができるため、局所的な温度状態の差異による熱変形等の不具合を抑えることができる。【００２８】
また、その耐熱温度Ｔｂが磁性流体１０の耐熱温度Ｔｓよりも低いベアリング５が冷却溝３ｄの軸方向大気側に位置することで、ベアリング５の温度上昇を防ぎやすい構成となっている。【００２９】
次に、小径部３ｃにおいては、前述の遮熱手段としての作用効果の他、凹状溝として形成されているため、表面積が大きくなっており、これによりフランジ部３ａから伝達された熱を外部に放熱しやすい構成となっている。すなわち、小径部３ｃは熱の伝達を抑える遮熱作用とともに、その表面より放熱する冷却作用も備えている。【００３０】
ここで、密封流体に冷却手段が与える影響について考えると、冷却手段による冷却効果により、磁性流体１０Ａよりも軸方向機内側に充満している密封流体である高温ガスの温度が１５０℃よりも下がり、これにより副生成物が生成されることを防ぐ必要がある。このような点を考慮し、冷却溝３ｄの軸方向の位置や冷却水の流量を決めることが望ましい。より具体的には、Ｔｇが１５０℃以上となるように高温ガスの温度が決められ、Ｔｓ＜１５０℃、Ｔｂ＜１００℃となるように、冷却溝３ｄの軸方向の位置や冷却水の流量を設定する必要がある。
【実施例２】
【００３１】
次に、実施例２に係る磁性流体シールの構造について説明する。なお、実施例１と同一の構成については、その説明を省略する。
図２に示されるように、実施例２に係る磁性流体シール１’は、フランジ部３ａと外筒部３ｂの間に小径部３ｃ１，３ｃ２，３ｃ３，３ｃ４と、その間に外径方向に延びる円平板３ｆ１，３ｆ２，３ｆ３がいわゆるフィンとして設けられている。このように複数の小径部３ｃ１，３ｃ２，３ｃ３，３ｃ４と複数の円平板３ｆ１，３ｆ２，３ｆ３であるフィンが設けられていることにより、フランジ部３ａと外筒部３ｂとの間の表面積を広くすることができ、より顕著に放熱効果を奏することができる。すわなち、小径部３ｃ１，３ｃ２，３ｃ３，３ｃ４が本発明の遮熱手段として作用し、円平板３ｆ１，３ｆ２，３ｆ３は遮熱手段としての放熱フィンとして作用することになる。このように放熱フィンを設けることで、高温ガスからの熱を放熱するだけでなく、仮に冷却溝３ｄの冷却作用が過剰に働いた場合には、放熱フィンによる大気との熱交換により、ハウジングが冷却され過ぎないようにすることができ、機内の高温ガスの温度の低下を防ぐことができる。
【実施例３】
【００３２】
次に、実施例３に係る磁性流体シールの構造について説明する。なお、実施例１と同一の構成については、その説明を省略する。
図３に示されるように、実施例３に係る磁性流体シール１’’は、外筒部材２３が別部材のフランジ部材２３Ａ及び外筒部材２３Ｂという別部材により構成されている。これらのフランジ部材２３Ａ及び外筒部材２３Ｂは、その間に径方向に外筒部材２３Ｂよりも小径の小径部材１６が介挿された状態で、フランジ部材２３Ａの取付け面３ａｓから挿入された六角ボルト１２Ｄにより固定されている。【００３３】
ここで、小径部材１６は外筒部材２３Ｂよりも径方向に小径のリング状部材であり、材質としては、例えばポリエーテルエーテルケトン材のような耐熱性と機械的強度に優れた樹脂の成形品を採用することができる。このように、金属よりも熱伝達率の低い部材をフランジ部材２３Ａと外筒部材２３Ｂの間に配置することで、熱の伝達を顕著に抑えることができる。すわなち、小径部材１６が本発明の遮熱手段として作用することになる。
なお、小径部材１６の材質としては、上述以外の樹脂材料でもよく熱伝達率が外筒部材２３よりも低ければ金属やその他の材質であってもよいし、小径部材１６の形状については、外筒部材２３Ｂと同径又は外筒部材２３Ｂよりも大径であってもよい。【００３４】
以上、本発明の実施例を図面により説明してきたが、具体的な構成はこれら実施例に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲における変更や追加があっても本発明に含まれる。【００３５】
例えば、上記実施例においては遮熱手段としての小径部３ｃは、凹状溝を例に説明したが、その形状は問わず、Ｕ字溝やＶ字溝であってもよい。また、軸方向に更に複数設けても良い。【００３６】
また、上記実施例においては、冷却手段としての冷却溝３ｄは、液体が流入されるものについて説明したが、気体が冷却溝３ｄに流入される空冷の構成であってもよい。また、その形状は周方向溝に限定されることはなく、任意に冷却溝３ｄの形状を選択することができる。【００３７】
また、上記実施例においては、二つの磁極部材６Ａ，６Ｂによりシール部１３を構成していたが、一つの磁極部材又は三つ以上の磁極部材によりシール部１３を構成してもよい。
【符号の説明】
【００３８】
１              磁性流体シール
２              回転軸
３              外筒部材
３ａ            フランジ部（取付け部）
３ｂ            外筒部
３ｃ            小径部（遮熱手段）（伝熱抑制手段）
３ｄ            冷却溝（冷却手段）
３ｆ            円平板（遮熱手段）（放熱フィン）
５              ベアリング（軸受部材）
６              磁極部材
７              磁力発生手段
１０            磁性流体
１６            小径部材（遮熱手段）
２３            外筒部
２３Ａ          フランジ部材
２３ｂ          外筒部材
Ｍ              シール膜
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【国際調査報告】
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