(57)【要約】【課題】振動腕の根元側の熱弾性損失を低減し、Ｑ値の低下を抑制するとともに小型の振動片、及びこの振動片を備えた振動子、発振器、電子機器、移動体を提供する。【解決手段】水晶振動片１は、基部１０からＹ軸方向に延びる振動腕１１ａ，１１ｂ，１１ｃと、振動腕の先端部に設けられている幅広部１６ａ，１６ｂ，１６ｃと、を備え、振動腕は、平面視において、Ｙ軸方向と直交するＸ軸方向に腕幅Ｗを有し、且つ、Ｙ軸方向とＸ軸方向とで特定される平面（ＸＹ平面）に対向した振動腕の主面１０ａ，１０ｂに、Ｙ軸方向及びＸ軸方向と直交するＺ軸方向に振動腕を振動させる励振電極１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１４ａ，１４ｂ，１４ｃが設けられ、振動腕は、Ｘ軸方向の腕幅Ｗが、振動腕の根元側から先端側に向かうに連れて細くなっている。【選択図】図１
2014045306.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基部と、
前記基部から第１方向に延設されている振動腕と、
前記振動腕の先端部に設けられている幅広部と、を備え、
前記振動腕は、平面視において、前記第１方向と直交する第２方向に腕幅を有し、且つ、前記第１方向と前記第２方向とで特定される前記振動腕の主面の少なくとも一方に、前記第１方向及び前記第２方向と直交する第３方向に前記振動腕を振動させる励振部が設けられ、
前記振動腕は、前記第２方向の前記腕幅が、前記振動腕の前記基部側から前記先端部側に向かうに連れて細くなっている部分を有していることを特徴とする振動片。
【請求項２】
請求項１に記載の振動片において、
前記腕幅が前記振動腕の前記基部側から前記先端部側に向かうに連れて細くなっている部分は、
前記幅広部を除く前記振動腕の前記第１方向の中央部よりも前記基部側に設けられていることを特徴とする振動片。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の振動片において、
前記幅広部は、前記振動腕の前記第１方向の中央部よりも前記先端部側に設けられていることを特徴とする振動片。
【請求項４】
請求項１ないし請求項３のいずれか一項に記載の振動片において、
前記基部には、前記第１の方向にて前記振動腕が存在する位置に対応して、貫通孔、凹部、および切り欠きのいずれかが、前記振動腕の根元に沿って設けられていることを特徴とする振動片。
【請求項５】
請求項１ないし請求項４のいずれか一項に記載の振動片において、
前記励振部は、前記主面側に設けられた第１電極と、
前記第１電極に対向して設けられた第２電極と、
前記第１電極と前記第２電極との間に配置された圧電体と、
を備えていることを特徴とする振動片。
【請求項６】
請求項１ないし請求項５のいずれか一項に記載の振動片において、
前記振動腕を複数備え、隣り合う前記振動腕同士が、互いに逆方向に振動することを特徴とする振動片。
【請求項７】
請求項１ないし請求項６のいずれか一項に記載の振動片と、
前記振動片を収容したパッケージと、
を備えていることを特徴とする振動子。
【請求項８】
請求項１ないし請求項６のいずれか一項に記載の振動片と、
前記振動片を発振させる発振回路と、
を備えていることを特徴とする発振器。
【請求項９】
請求項１ないし請求項６のいずれか一項に記載の振動片を備えていることを特徴とする電子機器。
【請求項１０】
請求項１ないし請求項６のいずれか一項に記載の振動片を備えていることを特徴とする移動体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動片、この振動片を備えた、振動子、発振器、電子機器、および移動体に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、振動片としては、第１方向へ向けて配置された第１面を有し、第１方向と交差する第２方向に沿って配列された３個の腕部（以下、振動腕という）と、この振動腕の各々の第１面上に１個ずつ設けられた励振部としての圧電体素子（励振電極）と、振動腕の一端を連結する基部と、を備えた音叉型振動子（以下、振動片という）が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−５０２２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
近年、振動片は、小型化の進展に伴う熱弾性損失の増大による、Ｑ値（振動の状態を現す無次元数であって、この値が大きいほど振動が安定であることを意味する）の低下の抑制が課題となっている。なお、上記熱弾性損失とは、屈曲振動する振動片の圧縮部（温度が高くなる）と伸張部（温度が低くなる）との間で発生する熱伝導（温度平衡化現象）により生じる振動エネルギーの損失をいう。
【０００５】
上記特許文献１の振動片は、実施の形態において、振動腕が上記第１面と直交する方向に屈曲振動する振動形態（面外振動モード）であって、振動腕の腕厚を薄くすることによって屈曲振動時に発生する、上記第１面と直交する方向に発生する熱伝導に要する時間を短縮することで、屈曲振動周波数（機械的屈曲振動周波数）ｆが熱緩和周波数ｆ０より小さな領域（ｆ＜ｆ０）である等温的領域において、熱弾性損失を低減し、Ｑ値の低下を抑制しようとしているものと考えられる。
【０００６】
しかしながら、上記振動片は、各振動腕の平面形状及び各振動腕の長手方向に沿って厚さ方向に切断された断面形状が、共に矩形状となっている。これにより、上記振動片は、屈曲振動の際に振動腕の根元部（基部との境界部分）で曲げ応力が最大になる。この結果、上記振動片は、曲げ応力に伴って生じる熱エネルギーによって、根元部における熱弾性損失が大きくなるという問題がある。特に、振動片を小型化するに当たっては、この熱弾性損失の影響を強く受けるため、振動片の小型化の阻害要因となっていた。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００８】
［適用例１］本適用例に係る振動片は、基部と、前記基部から第１方向に延設されている振動腕と、前記振動腕の先端部に設けられている幅広部と、を備え、前記振動腕は、平面視において、前記第１方向と直交する第２方向に腕幅を有し、且つ、前記第１方向と前記第２方向とで特定される前記振動腕の主面の少なくとも一方に、前記第１方向及び前記第２方向と直交する第３方向に前記振動腕を振動させる励振部が設けられ、前記振動腕は、前記第２方向の前記腕幅が、前記振動腕の前記基部側から前記先端部側に向かうに連れて細くなっている部分を有していることを特徴とする。
【０００９】
本適用例の振動片によれば、振動腕の第２方向の腕幅が、振動腕の基部側（根元側）から先端側に向かうに連れて細くなっていることから、第３方向に振動（屈曲振動）する際の曲げ応力の分布が等応力分布に近くなる。この結果、振動片は、振動腕の根元側における曲げ応力が緩和されて小さくなることから、根元側の熱弾性損失が低減され、Ｑ値の低下を抑制することができる。加えて、振動腕の先端部に幅広部が設けられていることから、励振領域と歪みの発生する領域を集中して重ね合わせることができ、結果として駆動電極による静電容量を無駄に大きくすることなく、抵抗値ＣＩを小さくすることができること、および幅広部の錘効果による振動腕の短縮が可能となり、上記の効果と合わせて更なる振動片の小型化を実現することができる。
【００１０】
［適用例２］上記適用例に記載の振動片において、前記腕幅が前記振動腕の前記基部側から前記先端部側に向かうに連れて細くなっている部分は、前記幅広部を除く前記振動腕の前記第１方向の中央部よりも前記基部側に設けられていることを特徴とする。
【００１１】
本適用例によれば、第３方向に振動（屈曲振動）する際の曲げ応力による熱弾性損失に対する影響は、幅広部を除く振動腕の第１方向の中央部よりも基部側において大きく（支配的）なるため、より効果的に熱弾性損失を低減させることが可能となり、Ｑ値の低下を抑制することができる。
【００１２】
［適用例３］上記適用例に記載の振動片において、前記幅広部は、前記振動腕の前記第１方向の中央部よりも前記先端部側に設けられていることを特徴とする。
【００１３】
本適用例によれば、錘（幅広部）の付加効果は、振動腕の第１方向の中央部よりも先端部側に設けられていることで、その効果が顕著になるため、より効果的に錘効果を生じさせることが可能となり、振動片の小型化を実現することができる。
【００１４】
［適用例４］上記適用例に記載の振動片において、前記基部には、前記第１の方向にて前記振動腕が存在する位置に対応して、貫通孔、凹部、および切り欠きのいずれかが、前記振動腕の根元に沿って設けられていることを特徴とする。
【００１５】
本適用例によれば、貫通孔、凹部、および切り欠きのいずれかにより、振動腕の屈曲振動が、振動腕の延設されている基部の端から、その端と反対側の端に向かって伝わることを阻止することができる。
【００１６】
［適用例５］上記適用例に記載の振動片において、前記励振部は、前記主面側に設けられた第１電極と、前記第１電極に対向して設けられた第２電極と、前記第１電極と前記第２電極との間に配置された圧電体と、を備えていることを特徴とする。
【００１７】
本適用例によれば、振動片は、励振部が第１電極と、第１電極に対向して設けられた第２電極と、両電極間に配置された圧電体と、を備えたことから、励振部自体の伸縮によって振動腕を振動させることができる。したがって、振動片は、基材（構成の基本となる材料）に必ずしも圧電材料を用いる必要がないことから、基材の選択肢が広がり、例えば、シリコンなどの半導体材料を基材として用いることができる。
【００１８】
［適用例６］上記適用例に記載の振動片において、前記振動腕を複数備え、隣り合う前記振動腕同士が、互いに逆方向に振動することを特徴とする。
【００１９】
本適用例によれば、振動片は、振動腕を複数備え、隣り合う振動腕同士が、互いに逆方向に振動することから、力学的にバランスのとれた振動とすることができる。このことから、振動片は、振動腕から基部への振動漏れが低減され、Ｑ値を向上させることができる。
【００２０】
［適用例７］本適用例に係る振動子は、上記適用例のいずれか一例に記載の振動片と、前記振動片を収容したパッケージと、を備えていることを特徴とする。
【００２１】
本適用例によれば、上記適用例のいずれかに記載の振動片と、振動片を収容したパッケージと、を備えたことから、上記適用例のいずれかに記載の効果を奏する振動子を提供することができる。
【００２２】
［適用例８］本適用例に係る発振器は、上記適用例のいずれか一例に記載の振動片と、前記振動片を発振させる発振回路と、を備えていることを特徴とする。
【００２３】
本適用例によれば、上記適用例のいずれかに記載の振動片と、振動片を発振させる発振回路と、を備えたことから、上記適用例のいずれかに記載の効果を奏する発振器を提供することができる。
【００２４】
［適用例９］本適用例に係る電子機器は、上記適用例のいずれか一例に記載の振動片を備えていることを特徴とする。
【００２５】
本適用例によれば、上記適用例のいずれかに記載の振動片を備えたことから、上記適用例のいずれかに記載の効果を奏する電子機器を提供することができる。
【００２６】
［適用例１０］本適用例に係る移動体は、上記適用例のいずれか一例に記載の振動片を備えていることを特徴とする。
【００２７】
本適用例によれば、上記適用例のいずれかに記載の振動片を備えたことから、上記適用例のいずれかに記載の効果を奏する移動体を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】第１実施形態の水晶振動片の概略構成を示す模式図であり、（ａ）は、平面図、（ｂ）は、図１（ａ）のＡ−Ａ線での断面図。
【図２】図１（ａ）のＢ−Ｂ線での断面図及び各励振部の配線図。
【図３】水晶振動片の振動腕に加わるモーメントについて説明するグラフ。
【図４】水晶振動片の振動腕に生じる歪み（応力）を説明する部分平面図。
【図５】第２実施形態の水晶振動片の概略構成を示す模式図であり、（ａ）は、平面図、（ｂ）は、図５（ａ）のＡ−Ａ線での断面図。
【図６】第３実施形態の水晶振動片の概略構成を示す模式図であり、（ａ）は、平面図、（ｂ）は、図６（ａ）のＡ−Ａ線での断面図。
【図７】第４実施形態の水晶振動子の概略構成を示す模式図であり、（ａ）は、リッド（蓋体）側から俯瞰した平面図、（ｂ）は、図７（ａ）のＣ−Ｃ線での断面図。
【図８】第５実施形態の水晶発振器の概略構成を示す模式図であり、（ａ）は、リッド側から俯瞰した平面図、（ｂ）は、図８（ａ）のＣ−Ｃ線での断面図。
【図９】電子機器の一例としてのモバイル型のパーソナルコンピューターの構成を示す斜視図。
【図１０】電子機器の一例としての携帯電話機の構成を示す斜視図。
【図１１】電子機器の一例としてのデジタルスチールカメラの構成を示す斜視図。
【図１２】移動体の一例としての自動車の構成を示す斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
以下、本発明を具体化した実施形態について図面を参照して説明する。
【００３０】
（第１実施形態）
先ず、振動片の一例として、基材に水晶を用いた水晶振動片について説明する。図１は、第１実施形態の水晶振動片の概略構成を示す模式図である。図１（ａ）は、平面図、図１（ｂ）は、図１（ａ）のＡ−Ａ線での断面図である。なお、各配線は省略してあり、各構成要素の寸法比率は実際と異なる。図２は、図１（ａ）のＢ−Ｂ線での断面図及び各励振部の配線図である。
【００３１】
図１に示すように、水晶振動片１は、基部１０と、基部１０から第１方向としての水晶結晶軸のＹ軸方向に延びる３本の振動腕１１ａ，１１ｂ，１１ｃと、を備えている。
【００３２】
基部１０は、振動腕１１ａ，１１ｂ，１１ｃ側に振動腕１１ａ，１１ｂ，１１ｃと厚さが同じ連結部１２を備えている。振動腕１１ａ，１１ｂ，１１ｃは、基部１０の連結部１２から延設されている。なお、図１（ｂ）に示すように、連結部１２を除いた基部１０の厚さは、パッケージなどの外部部材に固定されることを想定して、所定の剛性（強度）を確保するために、振動腕１１ａ，１１ｂ，１１ｃの厚さ（腕厚）よりも厚く形成されている。
【００３３】
振動腕１１ａ，１１ｂ，１１ｃは、平面視において、Ｙ軸方向と直交する第２方向としての水晶結晶軸のＸ軸方向に腕幅Ｗを有し、且つ、Ｙ軸方向とＸ軸方向とで特定される平面（ＸＹ平面）に対向した主面１０ａ，１０ｂの少なくとも一方に（ここでは主面１０ａ，１０ｂの両方に）、励振部１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１４ａ，１４ｂ，１４ｃを有している。
【００３４】
また、振動腕１１ａ，１１ｂ，１１ｃは、その先端部に幅広部１６ａ，１６ｂ，１６ｃが設けられている。幅広部１６ａ，１６ｂ，１６ｃは、腕幅ＷよりもＹ軸方向の幅寸法が大きくなるように形成され、Ｙ軸方向の長さＬ２が、振動腕１１ａ，１１ｂ，１１ｃの長さＬ１の１／２以内の領域、換言すれば、振動腕１１ａ，１１ｂ，１１ｃのＹ軸方向の中央部よりも先端部側に設けられている。幅広部１６ａ，１６ｂ，１６ｃは、振動腕１１ａ，１１ｂ，１１ｃに質量を加える効果、所謂錘効果を有しており、これを設けることにより振動腕１１ａ，１１ｂ，１１ｃの長さを短くすることが可能となる。即ち、振動腕１１ａ，１１ｂ，１１ｃのＹ軸方向の長さＬ１を短くすることによる水晶振動片１の小型化の実現が可能となる。なお、ここで振動腕１１ａ，１１ｂ，１１ｃの長さＬ１とは、振動腕１１ａ，１１ｂ，１１ｃが延びている基部１０の一方端から幅広部１６ａ，１６ｂ，１６ｃの先端１６ａ’，１６ｂ’，１６ｃ’までの長さをいう。
【００３５】
励振部１３ａ〜１３ｃ，１４ａ〜１４ｃは、振動腕１１ａ，１１ｂ，１１ｃの基部１０と幅広部１６ａ，１６ｂ，１６ｃとの間に設けられている。振動腕１１ａ，１１ｂ，１１ｃは、励振部１３ａ〜１３ｃ，１４ａ〜１４ｃによって、Ｙ軸方向及びＸ軸方向と直交する第３方向としての水晶結晶軸のＺ軸方向（図１（ｂ）の矢印方向）に屈曲振動（面外振動：主面１０ａに沿わない方向の振動）する。
【００３６】
ここで、振動腕１１ａ，１１ｂ，１１ｃの幅広部１６ａ，１６ｂ，１６ｃまでの間は、Ｘ軸方向の腕幅Ｗが、振動腕１１ａ，１１ｂ，１１ｃの根元側から先端側に向かうに連れて連続的に細くなっており、平面視において、基部１０側を底辺とする（基部１０（連結部１２）との仮想の境界線を底辺とする）台形形状に形成されている。なお、水晶振動片１の外形形状は、フォトリソグラフィー、ウエットエッチングなどの技術を用いて形成される。
【００３７】
励振部１３ａ〜１３ｃ，１４ａ〜１４ｃは、Ｘ軸方向の電極幅Ｗ１が振動腕１１ａ，１１ｂ，１１ｃの根元側から先端側に向かうに連れて細くなるように形成されている。
主面１０ａ側の励振部１３ａ，１３ｂ，１３ｃは、主面１０ａに設けられた第１電極１３ａ１，１３ｂ１，１３ｃ１と、第１電極１３ａ１，１３ｂ１，１３ｃ１に対向するように設けられた第２電極１３ａ２，１３ｂ２，１３ｃ２と、第１電極１３ａ１，１３ｂ１，１３ｃ１と第２電極１３ａ２，１３ｂ２，１３ｃ２との間に配置された圧電体１５と、を備えた積層構造となっている。
【００３８】
同様に、主面１０ｂ側の励振部１４ａ，１４ｂ，１４ｃは、主面１０ｂに設けられた第１電極１４ａ１，１４ｂ１，１４ｃ１と、第１電極１４ａ１，１４ｂ１，１４ｃ１に対向するように設けられた第２電極１４ａ２，１４ｂ２，１４ｃ２と、第１電極１４ａ１，１４ｂ１，１４ｃ１と第２電極１４ａ２，１４ｂ２，１４ｃ２との間に配置された圧電体１５と、を備えた積層構造となっている。
【００３９】
各第１電極、各第２電極には、例えば、Ｃｒ、Ａｕなどの比較的に導電性の高い金属の膜が用いられ、圧電体１５には、ＺｎＯ、ＡｌＮ、ＰＺＴなどの比較的に圧電性の高い圧電材料の膜が用いられている。
【００４０】
ここで、水晶振動片１の動作について説明する。
図２に示すように、水晶振動片１の各励振部は、各第１電極と各第２電極とが交差配線によって交流電源に接続され、駆動電圧としての交番電圧が印加されるようになっている。
【００４１】
具体的には、主面１０ａ側において、振動腕１１ａの第１電極１３ａ１と、振動腕１１ｂの第２電極１３ｂ２と、振動腕１１ｃの第１電極１３ｃ１とが同電位になるように接続され、振動腕１１ａの第２電極１３ａ２と、振動腕１１ｂの第１電極１３ｂ１と、振動腕１１ｃの第２電極１３ｃ２とが同電位になるように接続されている。また、主面１０ｂ側において、振動腕１１ａの第１電極１４ａ１と、振動腕１１ｂの第２電極１４ｂ２と、振動腕１１ｃの第１電極１４ｃ１とが同電位になるように接続され、振動腕１１ａの第２電極１４ａ２と、振動腕１１ｂの第１電極１４ｂ１と、振動腕１１ｃの第２電極１４ｃ２とが同電位になるように接続されている。
【００４２】
この状態で、各第１電極と各第２電極との間に交番電圧を印加すると、各第１電極と各第２電極との間に電界が発生し、逆圧電効果により、圧電体１５に歪みが生じ、圧電体１５がＹ軸方向に伸縮する。水晶振動片１は、この圧電体１５の伸縮が、主面１０ａ側と主面１０ｂ側とで逆になる。具体的には、主面１０ａ側が伸張したとき、主面１０ｂ側が収縮し、主面１０ａ側が収縮したとき、主面１０ｂ側が伸張する。さらに、水晶振動片１は、圧電体１５の伸縮が、振動腕１１ａ，１１ｃと振動腕１１ｂとの間でも逆になる。具体的には、振動腕１１ａ，１１ｃの主面１０ａ側が伸張したとき、振動腕１１ｂの主面１０ａ側は収縮し、振動腕１１ａ，１１ｃの主面１０ａ側が収縮したとき、振動腕１１ｂの主面１０ａ側は伸張する。
【００４３】
このような圧電体１５の伸縮によって、水晶振動片１は、交番電圧が一方の電位のときに振動腕１１ａ，１１ｂ，１１ｃが実線矢印の方向に屈曲し、交番電圧が他方の電位のときに振動腕１１ａ，１１ｂ，１１ｃが破線矢印の方向に屈曲する。これを繰り返すことで、水晶振動片１は、各振動腕１１ａ，１１ｂ，１１ｃがＺ軸方向に屈曲振動（面外振動）をすることになる。この際、隣り合う振動腕（ここでは、１１ａと１１ｂ、１１ｂと１１ｃ）は、互いに逆方向に（逆相で）屈曲振動する。
【００４４】
このときの水晶振動片１の振動腕１１ａ，１１ｂ，１１ｃに加わるモーメント（曲げ応力に比例する）について、図３を用いて説明する。図３は、水晶振動片の振動腕に加わるモーメントについて説明するグラフである。グラフの実線は、本実施形態品を示し、破線は、振動腕の平面形状が矩形状の従来品を示す。図３の縦軸は、モーメント／（ρｗｈ）を示し、横軸は、振動腕の根元部を０、先端部を１としたときのＹ軸方向における位置を示す。
【００４５】
振動腕に加わるモーメントは、下記の数式で求められる。数式（１）は、本実施形態品の場合の計算式であり、数式（２）は、振動腕の平面形状が矩形状の従来品の場合の計算式である。
なお、下記の数式で、ρ…密度、ｌ…Ｙ軸方向の長さ、ｗ…Ｘ軸方向の腕幅、ｈ…Ｚ軸方向の腕厚、ｙ…Ｙ軸方向における位置（根元部を０、先端部を１とする）である。
【００４６】
本実施形態品の場合、腕幅ｗは根元部から連続的に細くなり先端部で０になるので、各位置におけるモーメントは、下記式（１）となる。なお、下記式（１）は、幅広部１６ａ，１６ｂ，１６ｃが設けられていないと仮定した場合を示している。
【００４７】
【数１】
2014045306.tif 000003
【００４８】
一方、従来品の場合、腕幅ｗは根元部から先端部まで同じなので、各位置におけるモーメントは、下記式（２）となる。
【００４９】
【数２】
2014045306.tif 000004
【００５０】
なお、両者のモーメントは、ρ、ｌ、根元部のｗ、ｈが同じで、振動腕の平面形状（台形形状、矩形状）のみ異なる条件で算出した。
【００５１】
図３に示すように、上記算出結果によれば、本実施形態品は、従来品と比較して、根元側から先端側まで全域に亘って、曲げ応力に比例するモーメントが大幅に低下している。
また、本実施形態品は、従来品と比較して、折れ線の傾斜が緩やかであり、モーメントの各位置間における差が小さくなっていることが分かる。
【００５２】
上述したように、第１実施形態の水晶振動片１は、振動腕１１ａ，１１ｂ，１１ｃのＸ軸方向の腕幅Ｗが、振動腕１１ａ，１１ｂ，１１ｃの根元側から先端側に向かうに連れて細くなっている。即ち、振動腕１１ａ，１１ｂ，１１ｃの平面形状が基部１０側を底辺とした台形形状になっていることから、図４（ａ）に示す振動腕１１ｂ’のように、Ｚ軸方向に屈曲振動する際の曲げ応力（モーメント）の分布が振動腕１１ｂ’の腕の両脇に広がるようにはなるが、等応力分布に近くなる。これにより、例えば、根元側から先端側に向かうに連れて階段状に細くなるような形状よりも、振動腕における曲げ応力の分布が等応力分布に近づくことになる。
この結果、水晶振動片１は、振動腕１１ａ，１１ｂ，１１ｃの根元側における曲げ応力が緩和されて小さくなることから、根元側における主面１０ａ側と主面１０ｂ側との温度差が小さくなることで、根元側の熱弾性損失が低減され、Ｑ値の低下を抑制することができる。
【００５３】
また、第１実施形態の水晶振動片１には、振動腕１１ａ，１１ｂ，１１ｃの先端部に幅広部１６ａ，１６ｂ，１６ｃが設けられている。この幅広部１６ａ，１６ｂ，１６ｃの剛性によって、図４（ｂ）の振動腕１１ｂに示すように、Ｚ軸方向に屈曲振動する際の曲げ応力（モーメント）の分布が更に集中し、ほぼ等応力分布（歪みが集中する）となる。このように、振動腕１１ａ，１１ｂ，１１ｃの曲げ応力（モーメント）の分布を等応力分布とすることで、励振部１３ａ〜１３ｃ，１４ａ〜１４ｃの面積を小さくすることが可能となる。
【００５４】
振動腕１１ａ，１１ｂ，１１ｃの曲げ応力（モーメント）の分布が広がってしまうと、振動抵抗が大きくなるため、この振動抵抗を小さくするために励振部１３ａ〜１３ｃ，１４ａ〜１４ｃの面積を大きくすることが必要となる。しかしながら、励振部１３ａ〜１３ｃ，１４ａ〜１４ｃの面積を大きくすると、並列容量（Ｃ0）が大きくなり、これによって実効抵抗が大きくなってしまう。実効抵抗が大きくなると、発振回路側から見た抵抗値が大きくなり、水晶振動片１が発振し難くなってしまう。
【００５５】
従って、上述したように、励振部１３ａ〜１３ｃ，１４ａ〜１４ｃの面積を小さくすることにより、発振回路側から見た抵抗値を小さくすることができるため、発振し易い、換言すれば、発振の安定した水晶振動片１を提供することができる。
【００５６】
また、水晶振動片１は、振動腕１１ａ，１１ｂ，１１ｃにおけるＺ軸方向の寸法（腕厚）が一様であることから、振動腕１１ａ，１１ｂ，１１ｃの平面形状が台形形状であっても、フォトリソグラフィー、ウエットエッチングなどの技術を用いて従来と同様に容易に外形形状を形成することができる。
【００５７】
また、水晶振動片１は、各励振部のＸ軸方向の電極幅Ｗ１が振動腕１１ａ，１１ｂ，１１ｃの根元側から先端側に向かうに連れて細くなっていることから、振動腕１１ａ，１１ｂ，１１ｃを振動させる電界強度が、根元側から先端側に向かうに連れて弱くなる。
この結果、水晶振動片１は、振動腕１１ａ，１１ｂ，１１ｃの振動に必要な電界を、振動腕１１ａ，１１ｂ，１１ｃの先端側に過剰に印加することなく、効率的に印加することができる。
【００５８】
また、水晶振動片１は、各励振部が各第１電極と、各第１電極に対向して設けられた各第２電極と、両電極間に配置された圧電体１５と、を備えたことから、励振部自体の伸縮によって振動腕１１ａ，１１ｂ，１１ｃを振動させることができる。従って、水晶振動片１は、基材（構成の基本となる材料）に必ずしも圧電材料を用いる必要がないことから、基材の選択肢が広がり、例えば、シリコンなどの半導体材料を基材として用いることができる。
【００５９】
また、水晶振動片１は、振動腕１１ａ，１１ｂ，１１ｃを３本備え、隣り合う振動腕同士（１１ａと１１ｂ、１１ｂと１１ｃ）が、互いに逆方向に屈曲振動することから、力学的にバランスのとれた屈曲振動とすることができる。このことから、水晶振動片１は、振動腕１１ａ，１１ｂ，１１ｃから基部１０への振動漏れが低減され、Ｑ値を向上させることができる。
【００６０】
また、水晶振動片１は、連結部１２を除いたＺ軸方向における基部１０の厚さが、Ｚ軸方向における振動腕１１ａ，１１ｂ，１１ｃの厚さよりも厚いことから、基部１０の質量の増加によって、基部１０の質量と振動腕１１ａ，１１ｂ，１１ｃの質量との差が大きくなっている。これにより、水晶振動片１は、振動腕１１ａ，１１ｂ，１１ｃの振動エネルギーが基部１０へ伝わり難くなることから、基部１０を介して外部部材へ漏れる振動エネルギーが、より減少することによって、Ｑ値の低下をより抑制することができる。
【００６１】
また、振動腕１１ａ，１１ｂ，１１ｃに幅広部１６ａ，１６ｂ，１６ｃが設けられていることから、幅広部１６ａ，１６ｂ，１６ｃの錘効果により振動腕１１ａ，１１ｂ，１１ｃの長さを短くすることが可能となる。従って、振動腕１１ａ，１１ｂ，１１ｃのＹ軸方向の長さを短くすることによる水晶振動片１の小型化の実現が可能となる。
【００６２】
（第２実施形態）
次に、振動片の他の例として、第１実施形態と同様に基材に水晶を用いた水晶振動片について説明する。図５は、第２実施形態の水晶振動片の概略構成を示す模式図である。図５（ａ）は、平面図、図５（ｂ）は、図５（ａ）のＡ−Ａ線での断面図である。なお、各配線は省略してあり、各構成要素の寸法比率は実際と異なる。また、上記第１実施形態との共通部分には同一符号を付して詳細な説明を省略し、上記実施形態と異なる部分を中心に説明する。
【００６３】
図５に示すように、水晶振動片２は、Ｙ軸方向と直交する水晶結晶軸である、第２方向としてのＸ軸方向の腕幅が、根元側から先端側に向かうに連れて連続的に細くなっている第１部分１１ａ１と、第１部分１１ａ１から先端側に同じ腕幅で延設されている第２部分１１ａ２と、第２部分１１ａ２の先端側に設けられた第２部分１１ａ２の腕幅より幅広の幅広部１６ａ，１６ｂ，１６ｃと、を含む振動腕１１ａ，１１ｂ，１１ｃを有している。
【００６４】
第１部分１１ａ１は、第１部分１１ａ１と第２部分１１ａ２とを加えた部分の中央部より基部１０側に設けられており、平面視において、基部１０側を底辺とする（基部１０（連結部１２）との仮想の境界線を底辺とする）台形形状に形成されている。換言すれば、第１部分１１ａ１のＹ軸方向の長さＬ４は、第１部分１１ａ１と、第２部分１１ａ２とを加えた長さ、換言すれば、振動腕１１ａ，１１ｂ，１１ｃから、幅広部１６ａ，１６ｂ，１６ｃを除いた部分のＹ軸方向の長さＬ３の半分以下の領域に設けられる。
【００６５】
振動腕１１ａ，１１ｂ，１１ｃは、平面視において、Ｘ軸方向に腕幅を有し、且つ、Ｙ軸方向とＸ軸方向とで特定される平面（ＸＹ平面）に対向した主面１０ａ，１０ｂの少なくとも一方に（ここでは主面１０ａ，１０ｂの両方に）、励振部１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１４ａ，１４ｂ，１４ｃを有している。励振部１３ａ〜１３ｃ，１４ａ〜１４ｃは、振動腕１１ａ，１１ｂ，１１ｃの基部１０と幅広部１６ａ，１６ｂ，１６ｃとの間に設けられている。振動腕１１ａ，１１ｂ，１１ｃは、励振部１３ａ〜１３ｃ，１４ａ〜１４ｃによって、Ｙ軸方向及びＸ軸方向と直交する第３方向としての水晶結晶軸のＺ軸方向（図５（ｂ）の矢印方向）に屈曲振動（面外振動：主面１０ａに沿わない方向の振動）する。
【００６６】
上記第２実施形態のように、根元側から先端側に向かうに連れて連続的に細くなっている第１部分１１ａ１を設けることにより、水晶振動片２のＱ値の低下を抑制することができる。詳述すると、第３方向に振動（屈曲振動）する際の曲げ応力による熱弾性損失に対する影響は、振動腕１１ａ，１１ｂ，１１ｃから幅広部１６ａ，１６ｂ，１６ｃを除いた部分の、第１方向の中央部よりも基部１０側において大きく（支配的）なるため、より効果的に熱弾性損失を低減させることが可能となり、Ｑ値の低下を抑制することができる。
【００６７】
（第３実施形態）
次に、振動片の他の例として、第１実施形態と同様に基材に水晶を用いた水晶振動片について説明する。図６は、第３実施形態の水晶振動片の概略構成を示す模式図である。図６（ａ）は、平面図、図６（ｂ）は、図６（ａ）のＡ−Ａ線での断面図である。なお、各配線は省略してあり、各構成要素の寸法比率は実際と異なる。また、上記第１実施形態との共通部分には同一符号を付して詳細な説明を省略し、上記実施形態と異なる部分を中心に説明する。
【００６８】
図６に示すように、水晶振動片３は、基部１０から第１方向としての水晶結晶軸のＹ軸方向に延びる３本の振動腕１１ａ，１１ｂ，１１ｃと、を備えている。そして、振動腕１１ａ，１１ｂ，１１ｃの先端部には、幅広部１６ａ，１６ｂ，１６ｃが設けられている。振動腕１１ａ，１１ｂ，１１ｃの根元から幅広部１６ａ，１６ｂ，１６ｃまでの間は、Ｙ軸方向と直交する水晶結晶軸である、第２方向としてのＸ軸方向の腕幅Ｗが、振動腕１１ａ，１１ｂ，１１ｃの根元側から先端側に向かうに連れて連続的に細くなっており、平面視において、基部１０側を底辺とする（基部１０（連結部１２）との仮想の境界線を底辺とする）台形形状に形成されている。
【００６９】
振動腕１１ａ，１１ｂ，１１ｃは、平面視において、Ｘ軸方向に腕幅Ｗを有し、且つ、Ｙ軸方向とＸ軸方向とで特定される平面（ＸＹ平面）に対向した主面１０ａ，１０ｂの少なくとも一方に（ここでは主面１０ａ，１０ｂの両方に）、励振部１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１４ａ，１４ｂ，１４ｃを有している。励振部１３ａ〜１３ｃ，１４ａ〜１４ｃは、振動腕１１ａ，１１ｂ，１１ｃの基部１０と幅広部１６ａ，１６ｂ，１６ｃとの間に設けられている。振動腕１１ａ，１１ｂ，１１ｃは、励振部１３ａ〜１３ｃ，１４ａ〜１４ｃによって、Ｙ軸方向及びＸ軸方向と直交する第３方向としての水晶結晶軸のＺ軸方向（図６（ｂ）の矢印方向）に屈曲振動（面外振動：主面１０ａに沿わない方向の振動）する。
【００７０】
また、基部１０の内の、振動腕１１ａ，１１ｂ，１１ｃと厚さが同じ連結部１２には、Ｙ軸方向にて、少なくとも振動腕１１ａ，１１ｂ，１１ｃの存在する部分に対向して、Ｘ軸方向に振動腕１１ａ，１１ｂ，１１ｃの根元に沿って設けられた貫通孔、凹部、および切り欠きのいずれかが設けられる。本第３実施形態では、２つの切り欠き１７ａ，１７ｃと貫通孔１７ｂとが設けられている。なお、貫通孔、および切り欠きは、有底の凹部であっても良い。
【００７１】
上記第３実施形態のように、貫通孔、凹部、および切り欠きのいずれかが連結部１２に設けられていることにより、振動腕１１ａ，１１ｂ，１１ｃの屈曲振動が、連結部１２から厚肉の支持部に伝わることを阻止することができる。換言すれば、振動腕１１ａ，１１ｂ，１１ｃの屈曲振動が、振動腕１１ａ，１１ｂ，１１ｃの延設されている基部１０の端側から、その端と反対側の端側に向かっての伝播を防ぐことができる。
【００７２】
（第４実施形態）
次に、上記各実施形態で述べた水晶振動片（振動片）を備えた振動子としての水晶振動子について第１実施形態の水晶振動片１を用いた例で説明する。図７は、第４実施形態の水晶振動子の概略構成を示す模式図である。図７（ａ）は、リッド（蓋体）側から俯瞰した平面図であり、図７（ｂ）は、図７（ａ）のＣ−Ｃ線での断面図である。なお、平面図では、リッドを省略してある。また、各配線は省略してある。なお、上記第１実施形態との共通部分には、同一符号を付して詳細な説明を省略し、上記第１実施形態と異なる部分を中心に説明する。
【００７３】
図７に示すように、水晶振動子５は、上記第１実施形態で述べた水晶振動片１と、水晶振動片１を収容したパッケージ２０と、を備えている。
【００７４】
パッケージ２０は、平面形状が略矩形で凹部を有したパッケージベース２１と、パッケージベース２１の凹部を覆う平面形状が略矩形で平板状のリッド２２と、を有し、略直方体形状に形成されている。パッケージベース２１には、セラミックグリーンシートを成形して積層し焼成した酸化アルミニウム質焼結体、水晶、ガラス、シリコンなどが用いられている。リッド２２には、パッケージベース２１と同材料、または、コバール、４２アロイ、ステンレス鋼などの金属が用いられている。
【００７５】
パッケージベース２１には、内底面（凹部の内側の底面）２３に、内部端子２４，２５が設けられている。内部端子２４，２５は、水晶振動片１の基部１０に設けられた接続電極１８ａ，１８ｂの近傍となる位置に略矩形状に形成されている。接続電極１８ａ，１８ｂは、図示しない配線により、水晶振動片１の各励振部（１３ｂなど）の第１電極（１３ｂ１など）及び第２電極（１３ｂ２など）に接続されている。例えば、図２の配線において、交流電源の一方側の配線が接続電極１８ａに接続され、他方側の配線が接続電極１８ｂに接続されている。
【００７６】
パッケージベース２１の外底面（内底面２３の反対側の面、外側の底面）２６には、電子機器などの外部部材に実装される際に用いられる一対の外部端子２７，２８が形成されている。外部端子２７，２８は、図示しない内部配線によって内部端子２４，２５と接続されている。例えば、外部端子２７は、内部端子２４と接続され、外部端子２８は、内部端子２５と接続されている。内部端子２４，２５及び外部端子２７，２８は、Ｗ（タングステン）などのメタライズ層にＮｉ、Ａｕなどの各被膜をメッキなどの方法により積層した金属膜からなる。
【００７７】
水晶振動子５は、水晶振動片１の基部１０の固定部分（連結部１２より厚い部分）が、エポキシ系、シリコーン系、ポリイミド系などの接着剤３０を介して、パッケージベース２１の内底面２３に固定されている。そして、水晶振動子５は、水晶振動片１の接続電極１８ａ，１８ｂが、Ａｕ、Ａｌなどの金属ワイヤー３１により内部端子２４，２５と接続されている。
水晶振動子５は、水晶振動片１がパッケージベース２１の内部端子２４，２５と接続された状態で、パッケージベース２１の凹部がリッド２２により覆われ、パッケージベース２１とリッド２２とがシームリング、低融点ガラス、接着剤などの接合部材２９で接合されることにより、パッケージ２０の内部が気密に封止されている。なお、パッケージ２０の内部は、減圧状態（真空度の高い状態）または窒素、ヘリウム、アルゴンなどの不活性ガスが充填された状態となっている。
【００７８】
なお、パッケージは、平板状のパッケージベースと凹部を有するリッドなどから構成されていてもよい。また、パッケージは、パッケージベース及びリッドの両方に凹部を有していてもよい。
【００７９】
水晶振動子５は、外部端子２７，２８、内部端子２４，２５、金属ワイヤー３１、接続電極１８ａ，１８ｂを経由して励振部（１３ｂなど）に印加される駆動信号（交番電圧）によって、水晶振動片１の各振動腕（１１ｂなど）が所定の周波数（例えば、約３２ｋＨｚ）で、厚さ方向（図７（ｂ）の矢印方向）に発振（共振）する。
【００８０】
上述したように、第４実施形態の水晶振動子５は、水晶振動片１を備えたことから、上記第１実施形態に記載された効果を奏する振動子（例えば、各振動腕（１１ｂなど）の根元側の熱弾性損失が低減され、Ｑ値の低下を抑制することができ、且つ小型の振動子）を提供することができる。
【００８１】
なお、水晶振動子５は、水晶振動片１に代えて他の水晶振動片２，３を備えた場合においても、上記と同様の効果及び各水晶振動片の特有の効果を奏する振動子を提供することができる。
【００８２】
（第５実施形態）
次に、上記各実施形態で述べた水晶振動片（振動片）を備えた発振器としての水晶発振器について第１実施形態の水晶振動片１を用いた例で説明する。図８は、第５実施形態の水晶発振器の概略構成を示す模式図である。図８（ａ）は、リッド側から俯瞰した平面図であり、図８（ｂ）は、図８（ａ）のＣ−Ｃ線での断面図である。なお、平面図では、リッド及び一部の構成要素を省略してある。また、各配線は省略してある。なお、上記第１実施形態との共通部分には、同一符号を付して詳細な説明を省略し、上記第１実施形態と異なる部分を中心に説明する。
【００８３】
図８に示すように、水晶発振器６は、上記第１実施形態で述べた水晶振動片１と、水晶振動片１を発振させる発振回路としてのＩＣチップ４０と、水晶振動片１及びＩＣチップ４０を収容したパッケージ２０と、を備えている。
【００８４】
パッケージベース２１の内底面２３には、内部接続端子２３ａが設けられている。発振回路を内蔵するＩＣチップ４０は、パッケージベース２１の内底面２３に、図示しない接着剤などを用いて固定されている。ＩＣチップ４０は、図示しない接続パッドが、Ａｕ、Ａｌなどの金属ワイヤー４１により内部接続端子２３ａと接続されている。
【００８５】
内部接続端子２３ａは、Ｗ（タングステン）などのメタライズ層にＮｉ、Ａｕなどの各被膜をメッキなどにより積層した金属膜からなり、図示しない内部配線を経由して、パッケージ２０の外部端子２７，２８、内部端子２４，２５などに接続されている。
なお、ＩＣチップ４０の接続パッドと内部接続端子２３ａとの接続には、金属ワイヤー４１を用いたワイヤーボンディングによる接続方法以外に、ＩＣチップ４０を反転させてのフリップチップ実装による接続方法などを用いてもよい。
【００８６】
水晶発振器６は、ＩＣチップ４０から内部接続端子２３ａ、内部端子２４，２５、金属ワイヤー３１、接続電極１８ａ，１８ｂを経由して励振部（１３ｂなど）に印加される駆動信号によって、水晶振動片１の各振動腕（１１ｂなど）が所定の周波数（例えば、約３２ｋＨｚ）で発振（共振）する。そして、水晶発振器６は、この発振に伴って生じる発振信号をＩＣチップ４０、内部接続端子２３ａ、外部端子２７，２８などを経由して外部に出力する。
【００８７】
上述したように、第４実施形態の水晶発振器６は、水晶振動片１を備えたことから、上記第１実施形態に記載された効果を奏する発振器（例えば、各振動腕（１１ｂなど）の根元側の熱弾性損失が低減され、Ｑ値の低下を抑制することができ、且つ小型の発振器）を提供することができる。
【００８８】
なお、水晶発振器６は、水晶振動片１に代えて他の水晶振動片２，３を備えた場合においても、上記と同様の効果及び各水晶振動片の特有の効果を奏する発振器を提供することができる。
【００８９】
また、水晶発振器６は、ＩＣチップ４０をパッケージ２０に内蔵ではなく、外付けした構成のモジュール構造（例えば、１つの基板上に水晶振動子及びＩＣチップが個別に搭載されている構造）としてもよい。
【００９０】
なお、水晶振動片１，２，３の振動腕１１ａ，１１ｂ，１１ｃの平面形状は、台形形状に限定するものではなく、根元側から先端側に向かうに連れて段階的（例えば、小さな階段状であって直線に近い形状）に腕幅Ｗが細くなる形状であってもよい。また、上記平面形状は、直線ではなく曲線で形成されていてもよく、直線と曲線とが組み合わされて形成されていてもよい。また、振動腕１１ａ，１１ｂ，１１ｃの側面と基部１０の端部側面との接続部分（コーナー部分）、および振動腕１１ａ，１１ｂ，１１ｃの側面と幅広部１６ａ，１６ｂ，１６ｃの側面地の接続部分（コーナー部分）は、曲線（アール形状）もしくは直線を用いた面取り形状であってもよい。
【００９１】
また、水晶振動片１，２，３の励振部１３ａ〜１３ｃ，１４ａ〜１４ｃの平面形状は、矩形状であってもよい。また、励振部１３ａ〜１３ｃ，１４ａ〜１４ｃは、一方の主面のみに設けられていてもよい。
【００９２】
また、水晶振動片１，２，３の振動腕の数は、３本に限定するものではなく、１本または２本でもよく、ｎ本（ｎは４以上の自然数）であってもよい。
なお、水晶振動片１，２，３の基部１０の厚さは、全域に亘って振動腕１１ａ，１１ｂ，１１ｃと同じ厚さにしてもよい。これによれば、水晶振動片１，２，３は、平板状となることから、製造が容易となる。
【００９３】
なお、振動片の基材としての水晶には、水晶の原石などから所定の角度で切り出された、例えば、Ｚカット板、Ｘカット板などを用いることができる。なお、Ｚカット板を用いた場合には、その特性によってエッチング加工が容易となり、Ｘカット板を用いた場合には、その特性によって温度−周波数特性が良好となる。
【００９４】
また、振動片の基材は、水晶に限定するものではなく、タンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ3）、四ホウ酸リチウム（Ｌｉ2Ｂ4Ｏ7）、ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ3）、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）などの圧電材料、またはシリコンなどの半導体材料であってもよい。
【００９５】
［電子機器］
次いで、本発明の一実施形態に係る振動片としての水晶振動片１、水晶振動片１を用いた水晶振動子５、あるいは水晶振動片１を用いた水晶発振器６を適用した電子機器について、図９〜図１１に基づき、詳細に説明する。なお、説明では、水晶振動片１を用いた水晶振動子５を適用した例を示している。
【００９６】
図９は、本発明の一実施形態に係る水晶振動子５を備える電子機器としてのモバイル型（又はノート型）のパーソナルコンピューターの構成の概略を示す斜視図である。この図において、パーソナルコンピューター１１００は、キーボード１１０２を備えた本体部１１０４と、表示部１００を備えた表示ユニット１１０６とにより構成され、表示ユニット１１０６は、本体部１１０４に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。このようなパーソナルコンピューター１１００には、基準信号源などとして水晶振動子５が内蔵されている。
【００９７】
図１０は、本発明の一実施形態に係る水晶振動子５を備える電子機器としての携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成の概略を示す斜視図である。この図において、携帯電話機１２００は、複数の操作ボタン１２０２、受話口１２０４および送話口１２０６を備え、操作ボタン１２０２と受話口１２０４との間には、表示部１００が配置されている。このような携帯電話機１２００には、基準信号源などとして水晶振動子５が内蔵されている。
【００９８】
図１１は、本発明の一実施形態に係る水晶振動子５を備える電子機器としてのデジタルスチールカメラの構成の概略を示す斜視図である。なお、この図には、外部機器との接続についても簡易的に示されている。ここで、通常のカメラは、被写体の光像により銀塩写真フィルムを感光するのに対し、デジタルスチールカメラ１３００は、被写体の光像をＣＣＤ（Charge Coupled Device）等の撮像素子により光電変換して撮像信号（画像信号）を生成する。
デジタルスチールカメラ１３００におけるケース（ボディー）１３０２の背面には、表示部１００が設けられ、ＣＣＤによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、表示部１００は、被写体を電子画像として表示するファインダーとして機能する。また、ケース１３０２の正面側（図中裏面側）には、光学レンズ（撮像光学系）やＣＣＤ等を含む受光ユニット１３０４が設けられている。
撮影者が表示部１００に表示された被写体像を確認し、シャッターボタン１３０６を押下すると、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、メモリー１３０８に転送・格納される。また、このデジタルスチールカメラ１３００においては、ケース１３０２の側面に、ビデオ信号出力端子１３１２と、データ通信用の入出力端子１３１４とが設けられている。そして、図示されるように、ビデオ信号出力端子１３１２にはテレビモニター１４３０が、データ通信用の入出力端子１３１４にはパーソナルコンピューター１４４０が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、メモリー１３０８に格納された撮像信号が、テレビモニター１４３０や、パーソナルコンピューター１４４０に出力される構成になっている。このようなデジタルスチールカメラ１３００には、基準信号源などとして水晶振動子５が内蔵されている。
【００９９】
なお、本発明の一実施形態に係る水晶振動子５は、図９のパーソナルコンピューター（モバイル型パーソナルコンピューター）、図１０の携帯電話機、図１１のデジタルスチールカメラの他にも、例えば、インクジェット式吐出装置（例えばインクジェットプリンター）、ラップトップ型パーソナルコンピューター、テレビ、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダー、カーナビゲーション装置、ページャー、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシミュレーター等の電子機器に適用することができる。
【０１００】
［移動体］
図１２は移動体の一例としての自動車を概略的に示す斜視図である。自動車１０６には本発明に係る水晶振動片１を用いた水晶振動子５が搭載されている。例えば、同図に示すように、移動体としての自動車１０６には、水晶振動子５を内蔵してタイヤ１０９などを制御する電子制御ユニット１０８が車体１０７に搭載されている。また、水晶振動子５は、他にもキーレスエントリー、イモビライザー、カーナビゲーションシステム、カーエアコン、アンチロックブレーキシステム（ＡＢＳ）、エアバック、タイヤ・プレッシャー・モニタリング・システム(ＴＰＭＳ：Tire Pressure Monitoring System)、エンジンコントロール、ハイブリッド自動車や電気自動車の電池モニター、車体姿勢制御システム、等の電子制御ユニット（ＥＣＵ：electronic control unit）に広く適用できる。
【符号の説明】
【０１０１】
１，２，３…振動片としての水晶振動片、５…振動子としての水晶振動子、６…発振器としての水晶発振器、１０…基部、１０ａ，１０ｂ…主面、１１ａ，１１ｂ，１１ｃ…振動腕、１１ａ１…第１部分、１１ａ２…第２部分、１２…連結部（基部の一部）、１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１４ａ，１４ｂ，１４ｃ…励振部、１３ａ１，１３ｂ１，１３ｃ１，１４ａ１，１４ｂ１，１４ｃ１…第１電極、１３ａ２，１３ｂ２，１３ｃ２，１４ａ２，１４ｂ２，１４ｃ２…第２電極、１５…圧電体、１６ａ，１６ｂ，１６ｃ…幅広部、１６ａ’，１６ｂ’，１６ｃ’…幅広部の先端、１７ａ，１７ｃ…切り欠き、１７ｂ…貫通孔、１８ａ，１８ｂ…接続電極、２０…パッケージ、２１…パッケージベース、２２…リッド、２３…内底面、２３ａ…内部接続端子、２４，２５…内部端子、２６…外底面、２７，２８…外部端子、２９…接合部材、３０…接着剤、３１…金属ワイヤー、４０…発振回路としてのＩＣチップ、４１…金属ワイヤー、１０６…移動体としての自動車、１１００…電子機器としてのパーソナルコンピューター、１２００…電子機器としての携帯電話機、１３００…電子機器としてのデジタルスチールカメラ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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