(57)【要約】【課題】素早く接着シートの剥離きっかけを形成し、しかも、接着シートの剥離不良の発生を抑制できるシート剥離装置を提供する。【解決手段】シート剥離装置１０は、帯状の剥離シートＲＬの一方の面に接着シートＡＳが仮着された原反ＲＳを繰り出す繰出手段２と、前記繰り出しによって所定の剥離方向に搬送される接着シートＡＳが仮着されている剥離シート部分を剥離媒体４１Ａ、４１Ｂを介して折り曲げることで、当該接着シートＡＳを剥離シートＲＬから剥離する剥離手段４と、剥離手段４で接着シートＡＳが剥離されたことを検知可能な検知手段５とを備え、剥離手段４は、剥離媒体４１Ａ、４１Ｂによって接着シートＡＳが剥離されなかったことが検知手段５を介して判断された際に、剥離媒体４１Ｂを剥離方向に沿う方向に移動させる剥離媒体移動手段４８Ｂを有する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
帯状の剥離シートの一方の面に接着シートが仮着された原反を繰り出す繰出手段と、
前記繰り出しによって所定の剥離方向に搬送される前記接着シートが仮着されている剥離シート部分を剥離媒体を介して折り曲げることで、当該接着シートを前記剥離シートから剥離する剥離手段と、
前記剥離手段で前記接着シートが剥離されたことを検知可能な検知手段とを備え、
前記剥離手段は、前記剥離媒体によって前記接着シートが剥離されなかったことが前記検知手段を介して判断された際に、前記剥離媒体を前記剥離方向に沿う方向に移動させる剥離媒体移動手段を有することを特徴とするシート剥離装置。
【請求項２】
前記剥離手段は、複数の剥離媒体を有し、
前記剥離媒体移動手段は、前記複数の剥離媒体のうちの少なくとも１を前記剥離方向に沿う方向に移動させることを特徴とする請求項１に記載のシート剥離装置。
【請求項３】
帯状の剥離シートの一方の面に接着シートが仮着された原反を繰り出す繰出工程と、
前記繰り出しによって所定の剥離方向に搬送される前記接着シートが仮着されている剥離シート部分を剥離媒体を介して折り曲げることで、当該接着シートを前記剥離シートから剥離する剥離工程とを備え、
前記剥離工程において前記接着シートが剥離されなかった際に、前記剥離媒体を前記剥離方向に沿う方向に移動させる工程を行うことを特徴とするシート剥離方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート剥離装置および剥離方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、帯状台紙（剥離シート）に仮着されたラベル（接着シート）を当該帯状台紙から剥離するラベル剥離方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１に記載のラベル剥離方法では、帯状台紙を剥離板（剥離媒体）の先端位置である剥離位置で急激に転向搬送させ、当該ラベルを帯状台紙から剥離する方法において、ラベル先端部が剥離位置を通過した時点で帯状台紙の搬送を一旦停止させ、ラベルが帯状台紙から剥離しようとする力（剛性）によって剥離きっかけを形成するようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−３２６６１６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載されたような従来のラベル剥離方法では、ラベルが帯状台紙から剥離しようとする剛性のみに頼って接着シートが剥離シートから剥離されるのを待つので、剥離きっかけが形成されるのに長い時間を要する他、剥離きっかけが形成できずに接着シートの剥離不良を発祥するという不都合がある。
【０００５】
本発明の目的は、素早く接着シートの剥離きっかけを形成し、しかも、接着シートの剥離不良の発生を抑制できるシート剥離装置および剥離方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するために、本発明のシート剥離装置は、帯状の剥離シートの一方の面に接着シートが仮着された原反を繰り出す繰出手段と、前記繰り出しによって所定の剥離方向に搬送される前記接着シートが仮着されている剥離シート部分を剥離媒体を介して折り曲げることで、当該接着シートを前記剥離シートから剥離する剥離手段と、前記剥離手段で前記接着シートが剥離されたことを検知可能な検知手段とを備え、前記剥離手段は、前記剥離媒体によって前記接着シートが剥離されなかったことが前記検知手段を介して判断された際に、前記剥離媒体を前記剥離方向に沿う方向に移動させる剥離媒体移動手段を有する、という構成を採用している。
【０００７】
この際、本発明のシート剥離装置では、前記剥離手段は、複数の剥離媒体を有し、前記剥離媒体移動手段は、前記複数の剥離媒体のうちの少なくとも１を前記剥離方向に沿う方向に移動させる、ことが好ましい。
【０００８】
一方、本発明のシート剥離方法は、帯状の剥離シートの一方の面に接着シートが仮着された原反を繰り出す繰出工程と、前記繰り出しによって所定の剥離方向に搬送される前記接着シートが仮着されている剥離シート部分を剥離媒体を介して折り曲げることで、当該接着シートを前記剥離シートから剥離する剥離工程とを備え、前記剥離工程において前記接着シートが剥離されなかった際に、前記剥離媒体を前記剥離方向に沿う方向に移動させる工程を行う、という構成を採用している。
【発明の効果】
【０００９】
以上のような本発明によれば、接着シートが剥離されなかったことが検知手段を介して判断れた際に、剥離媒体を剥離方向に沿う方向に移動させるため、従来のように接着シートの剛性のみに頼って接着シートが剥離シートから剥離されるのを待つのではなく、積極的に剥離シートの折り曲げの機会を増やすことができ、素早く接着シートの剥離きっかけを形成し、しかも、接着シートの剥離不良の発生を抑制できるシート剥離装置および剥離方法を提供することができる。
【００１０】
この際、複数の剥離媒体を用い、複数の剥離媒体の少なくとも１を剥離方向に沿う方向に移動させるようにすれば、効率よく剥離シートの折り曲げの機会を増やすことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一実施形態に係るシート貼付装置の側面図。
【図２】（Ａ）、（Ｂ）は、折り曲げ角度を変更するときの動作説明図。
【図３】（Ａ）〜（Ｃ）は、接着シートが剥離されなかったときの動作説明図。
【図４】（Ａ）〜（Ｃ）は、本発明の変形例に係るシート貼付装置の動作説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態において基準となる図を挙げることなく、例えば、上、下、左、右、または、前、後といった方向を示した場合は、全て図１を正規の方向（付した番号が適切な向きとなる方向）から観た場合を基準とし、上、下、左、右方向が紙面に平行な方向であり、前が紙面に直交する手前方向、後が紙面に直交する奥側方向とする。
【００１３】
図１において、シート貼付装置１は、帯状の剥離シートＲＬの一方の面に接着面ＡＤを備えた接着シートＡＳが仮着された原反ＲＳから接着シートＡＳを剥離するシート剥離装置１０と、接着シートＡＳを被着体としての半導体ウェハ（以下、単に「ウェハ」という場合がある）ＷＦに押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ６と、ウェハＷＦを支持して当該ウェハＷＦと押圧ローラ６とを相対移動させる支持手段７とを備えている。
【００１４】
シート剥離装置１０は、原反ＲＳを繰り出す繰出手段２と、原反ＲＳの剥離角度を調整する剥離角度調整手段３と、繰り出しによって所定の剥離方向ＤＡに搬送される接着シートＡＳが仮着されている剥離シートＲＬ部分を剥離媒体としての第１、第２剥離板４１Ａ、４１Ｂを介して折り曲げることで、当該接着シートＡＳを剥離シートＲＬから剥離する剥離手段４と、剥離手段４で接着シートＡＳが剥離されたことを検知可能な光学センサや撮像装置等で構成された検知手段５とを備えている。
繰出手段２は、原反ＲＳを支持する支持ローラ２１と、原反ＲＳを案内するガイドローラ２２と、駆動機器としての回動モータ２３によって駆動する駆動ローラ２４との間に剥離シートＲＬを挟み込むピンチローラ２５と、図示しない駆動機器によって駆動し、剥離シートＲＬを回収する回収ローラ２６とを備え、その全体がフレーム２７に支持されている。
【００１５】
剥離角度調整手段３は、駆動機器としての直動モータ３１と、直動モータ３１の出力軸３１Ａに支持されたブラケット３２に回転可能に支持された剥離角度調整ローラ３３とを備えている。
【００１６】
剥離手段４は、第１、第２剥離板４１Ａ、４１Ｂと、第１、第２剥離板４１Ａ、４１Ｂのうちの少なくとも１を接着シートの剥離方向ＤＡに沿う方向に移動させる剥離媒体移動手段である駆動機器としての直動モータ４８Ａ、４８Ｂとを備え、直動モータ４８Ａ、４８Ｂの出力軸４９Ａ、４９Ｂにそれぞれ第１、第２剥離板４１Ａ、４１Ｂが支持されている。
第１剥離板４１Ａは、第１剥離縁４２Ａで交差する第１面４３Ａと第２面４４Ａとを備え、第２剥離板４１Ｂは、第２剥離縁４２Ｂで交差する第３面４３Ｂと第４面４４Ｂとを備え、第２面４４Ａと第４面４４Ｂとが接触しあうことで相互に補強し合う補強材として機能する。
【００１７】
支持手段７は、図示しない減圧ポンプや真空エジェクタ等の吸引手段によってウェハＷＦを吸着保持可能な支持面７１を有するテーブル７２と、テーブル７２をスライダ７３で支持する駆動機器としてのリニアモータ７４とを備えている。
【００１８】
以上のシート貼付装置１において、ウェハＷＦに接着シートＡＳを貼付する手順を説明する。
先ず、オペレータが図示しない操作パネル等を介して使用する剥離媒体として第１剥離板４１Ａを選択すると、剥離手段４が直動モータ４８Ａ、４８Ｂを駆動し、図１に示すように、第１剥離縁４２Ａが剥離位置ＰＰに位置するように第１剥離板４１Ａを移動するとともに、図１中実線で示す退避位置に第２剥離板４１Ｂを移動する。その後、オペレータが原反ＲＳを図１に示すようにセットし、図示しない操作パネル等を介して運転開始信号が入力されると、剥離角度調整手段３が直動モータ３１を駆動し、第１面４３Ａに剥離シートＲＬが接触するように、剥離角度調整ローラ３３を下降させる。これにより、剥離シートＲＬの折り曲げ角度は、角度θｍｉｎとなる。次いで、繰出手段２が回動モータ２３および図示しない駆動機器を駆動して原反ＲＳを繰り出し、接着シートＡＳの剥離先端部が第１剥離縁４２Ａによって所定長さ剥離され、当該先端部が検知手段５に検知されると、回動モータ２３および図示しない駆動機器の駆動を停止してスタンバイ状態となる。
【００１９】
ここで、例えば、接着シートＡＳが剥離シートＲＬから剥離しにくいものの場合、オペレータは、剥離シートＲＬの折り曲げ角度がなるべく小さくなるように、上述のようにして第１剥離板４１Ａを選択することができる。
また、例えば、剥離シートＲＬが切断されやすい材質のものであったり、脆い材質のものであったりした場合には、オペレータは、剥離シートＲＬの折り曲げ角度がなるべく大きくなるように、図示しない操作パネル等を介して使用する剥離媒体として第１剥離板４１Ａと第２剥離板４１Ｂとの両方を選択することができる。この場合、剥離手段４が直動モータ４８Ａ、４８Ｂを駆動し、図２（Ａ）に示すように、第１、第２剥離縁４２Ａ、４２Ｂが剥離位置ＰＰに位置するように第１、第２剥離板４１Ａ、４１Ｂを移動する。これにより、剥離シートＲＬの折り曲げ角度は、角度θｍｉｎよりも大きな角度θｍａｘとなる。
さらに、例えば、上述の中間的なもの、つまり、接着シートＡＳが剥離シートＲＬから剥離しにくい傾向があり、剥離シートＲＬが切断されやすい傾向があるような場合には、オペレータは、剥離シートＲＬの折り曲げ角度が上述の中間となるように、図示しない操作パネル等を介して使用する剥離媒体として第２剥離板４１Ｂを選択することができる。この場合、剥離手段４が直動モータ４８Ａ、４８Ｂを駆動し、図２（Ｂ）に示すように、第２剥離縁４２Ｂが剥離位置ＰＰに位置するように第２剥離板４１Ｂを移動するとともに、同図中実線で示す退避位置に第１剥離板４１Ａを移動する。次いで、剥離角度調整手段３が直動モータ３１を駆動し、第４面４４Ｂに剥離シートＲＬが接触するように、剥離角度調整ローラ３３を下降させる。これにより、剥離シートＲＬの折り曲げ角度は、角度θｍｉｎよりも大きく、かつ、角度θｍａｘよりも小さい角度θｍｉｄとなる。
【００２０】
なお、繰出手段２が回動モータ２３および図示しない駆動機器を駆動して原反ＲＳを所定長さ（接着シートＡＳの１ピッチ分）または、所定時間（接着シートＡＳを１枚繰り出すのに要する時間）繰り出したにも関わらず、検知手段５が接着シートＡＳを検知しなかった場合、当該接着シートＡＳは、図３（Ａ）に示すように、剥離シートＲＬとともに折り曲げられ、第１剥離板４１Ａによって接着シートＡＳが剥離されなかったと判断できるので、繰出手段２が回動モータ２３および図示しない駆動機器の駆動を停止した後、剥離手段４が先端部剥離動作を行う。すなわち、図３（Ａ）の状態から剥離手段４が直動モータ４８Ｂを駆動し、第２剥離板４１Ｂを剥離方向ＤＡに沿って移動させ、図３（Ｂ）に示すように、剥離位置ＰＰ（第１剥離縁４２Ａ）よりも先方の前方位置ＰＱに第２剥離縁４２Ｂを位置させ、接着シートＡＳおよび剥離シートＲＬの折り曲げられた部分を一旦伸ばす（接着シートＡＳを一旦まっすぐにする）。このとき、繰出手段２が回動モータ２３および図示しない駆動機器を駆動し、剥離シートＲＬを回収する方向の反対方向に搬送してもよいし、回動モータ２３および図示しない駆動機器を駆動することなく剥離シートＲＬを引き伸ばしてもよい。次いで、剥離手段４が直動モータ４８Ｂを駆動し、図３（Ｃ）に示すように、第２剥離板４１Ｂを退避位置に戻すことで、剥離シートＲＬが再度第１剥離縁４２Ａで曲げられ、当該折り曲げの機会が増えることで、接着シートＡＳの剥離先端部が剥離シートＲＬから剥離されやすくなり、接着シートＡＳの剥離先端部が検知手段５に検知されると、スタンバイ状態となる。
【００２１】
そして、図示しない搬送手段がテーブル７２の支持面７１上にウェハＷＦを載置すると、支持手段７が図示しない吸引手段を駆動し、ウェハＷＦを吸着保持して、リニアモータ７４を駆動してテーブル７２を左方向に搬送する。そして、このテーブル７２の搬送に合わせ、繰出手段２が回動モータ２３および図示しない駆動機器を駆動して、テーブル７２の搬送に同期させて原反ＲＳを繰り出し、第１剥離板４１Ａで剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離し、押圧ローラ６が接着シートＡＳをウェハＷＦに押圧して貼付する。その後、接着シートＡＳが貼付されたウェハＷＦは、図示しない搬送手段等によって次工程へ搬送され、テーブル７２が図１に示す位置に復帰し、以降上述と同様の動作が繰り返される。
【００２２】
以上のような実施形態によれば、接着シートＡＳが剥離されなかったことが検知手段５を介して判断れた際に、第１、第２剥離板４１Ａ、４１Ｂを剥離方向ＤＡに沿う方向に移動させるため、積極的に剥離シートＲＬの折り曲げの機会を増やすことができ、素早く接着シートＡＳの剥離きっかけを形成し、しかも、接着シートＡＳの剥離不良の発生を抑制できるシート剥離装置１０を提供することができる。
【００２３】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【００２４】
例えば、図４に示すように、第１剥離板４１Ａと、直動モータ４８Ａとのみで構成された剥離手段４Ｇを剥離手段４の代わりに設けたシート剥離装置１０Ｇを採用してもよい。このような構成において、図４（Ａ）に示すように、第１剥離板４１Ａによって接着シートＡＳが剥離されなかったことが検知手段５を介して判断されると、剥離手段４Ｇが直動モータ４８Ａを駆動し、第１剥離板４１Ａを接着シートＡＳの剥離方向ＤＡに沿う方向に移動させ、図４（Ｂ）に示すように、前方位置ＰＱに第１剥離縁４２Ａを位置させ、上述度同様にして接着シートＡＳおよび剥離シートＲＬの折り曲げられた部分を一旦伸ばす。次いで、剥離手段４Ｇが直動モータ４８Ａを駆動し、図４（Ｃ）に示すように、第１剥離板４１Ａを剥離位置ＰＰに戻す。このような構成とすることでも、剥離シートＲＬの折り曲げの機会を増やすことができ、素早く接着シートＡＳの剥離きっかけを形成し、しかも、接着シートＡＳの剥離不良の発生を抑制できる。
【００２５】
また、先端部剥離動作は、接着シートＡＳが検知手段５で検知されるまで複数回繰り返して行ってもよい。
さらに、先端部剥離動作は、図３（Ｂ）に示す状態から、所定のストローク、例えば、剥離位置ＰＰから前方位置ＰＱまでの距離（以下「位相距離」という）の２倍に相当するストロークで第２剥離板４１Ｂを１往復以上進退させてから、当該第２剥離板４１Ｂを退避位置に戻してもよい。
また、先端部剥離動作は、図３（Ｂ）に示す状態から、第２剥離縁４２Ｂを剥離位置ＰＰに移動させた後、例えば、位相距離に相当するストロークで第１剥離板４１Ａを１往復以上進退させてから、第２剥離板４１Ｂを退避位置に戻してもよい。
さらに、先端部剥離動作は、図３（Ａ）に示す状態から、第２剥離縁４２Ｂを剥離位置ＰＰ位置させた後、例えば、位相距離に相当するストロークで第１剥離板４１Ａを１往復進退させ、さらに、例えば、位相距離に相当するストロークで第２剥離板４１Ｂを１往復進退させる相互往復動作を１回以上行ってから、第２剥離板４１Ｂを退避位置に戻してもよい。
また、先端部剥離動作は、第１剥離板４１Ａで接着シートＡＳを剥離するときのみならず、第２剥離板４１Ｂで剥離するときや、第１剥離板４１Ａと第２剥離板４１Ｂとで剥離するときにも、上述と同様にして行うことができる。
さらに、先端部剥離動作における第１、第２剥離板４１Ａ、４１Ｂそれぞれのストローク距離は、位相距離に関係なく任意の距離に設定できる。
【００２６】
また、剥離媒体は、板状でなく線状の線状部材やローラで構成してもよい。
さらに、剥離媒体である剥離板、線状部材、ローラをそれぞれ３個以上設けて構成してもよい。
また、剥離板、線状部材、ローラを任意に組み合わせて、本発明の剥離媒体を構成してもよい。
さらに、複数の剥離媒体を設ける場合、少なくとも２個の剥離媒体によって先端部剥離動作を行うことができる。
【００２７】
また、第１剥離縁４２Ａの角度と第２剥離縁４２Ｂの角度は、同じ角度でもよいし異なる角度でもよい。
また、第１剥離板４１Ａと第２剥離板４１Ｂとのうち１をフレーム２７に固定し、移動しないようにしてもよい。
【００２８】
また、本発明における接着シートＡＳおよび被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳは、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態に限定されることはなく、感熱接着性のものが採用された場合は、当該接着シートＡＳを加熱する適宜な加熱手段を設ければよい。また、このような接着シートＡＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するもの、基材シートの上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材シートを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウェハや化合物半導体ウェハ等の半導体ウェハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体に貼付することができる。
また、シート剥離装置１０は、シート貼付装置１以外に接着シートとしてのラベルを剥離シートから剥離して発行するラベル発行装置等の他の装置に採用してもよい。
【００２９】
前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
【符号の説明】
【００３０】
２…繰出手段
４、４Ｇ…剥離手段
５…検知手段
１０、１０Ｇ…シート剥離装置
４１Ａ、４１Ｂ…第１、第２剥離板（剥離媒体）
４８Ａ、４８Ｂ…直動モータ（剥離媒体移動手段）
ＡＳ…接着シート
ＤＡ…剥離方向
ＲＬ…剥離シート
ＲＳ…原反
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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