(57)【要約】【課題】製造が容易なインダクタ装置を提供する。【解決手段】インダクタ装置１は、貫通孔１２を有する電気絶縁性のシート１１と、貫通孔１２の周囲を捲回するように１１シート上に配置されたコイル１４と、を有する複数の単位基板１０ａ〜１０ｃと、磁性材料により形成され、単位基板１０ａ〜１０ｃそれぞれの貫通孔１２に挿通されるコア２０と、を備え、複数の単位基板１０ａ〜１０ｃは、隣接する単位基板のコイル１４が、コア２０を介して重なるように配置され、且つ、複数の単位基板１０ａ〜１０ｃのコイル１４は、電気的に直列に接続される。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
貫通孔を有する電気絶縁性のシートと、
前記貫通孔の周囲を捲回するように前記シート上に配置されたコイルと、
を有する複数の単位基板と、
磁性材料により形成され、複数の前記単位基板それぞれの前記貫通孔に挿通されるコアと、
を備え、
複数の前記単位基板は、隣接する前記単位基板の前記コイルが、前記コアを介して重なるように配置され、且つ、複数の前記単位基板の前記コイルは、電気的に直列に接続されるインダクタ装置。
【請求項２】
前記単位基板の前記コイルは、前記シートの第１面上に配置された第１コイルと、第２面上に配置された第２コイルとを有し、
前記第１コイルと前記第２コイルは、前記シートを貫通する導電部により電気的に並列に接続される請求項１に記載のインダクタ装置。
【請求項３】
前記コイルは、前記貫通孔側に位置する第１端部と、該第１端部とは反対側の第２端部とを有し、
隣接する２つの前記単位基板では、一方の前記単位基板の前記コイルの前記第１端部が、他方の前記単位基板の前記コイルの前記第２端部と電気的に接続する請求項１又は２に記載のインダクタ装置。
【請求項４】
前記コアは、磁歪係数の絶対値が５ｐｐｍ以上の磁性材料により形成される請求項１〜３の何れか一項に記載のインダクタ装置。
【請求項５】
貫通孔を有する電気絶縁性のシートと、
前記貫通孔の周囲を捲回するように前記シート上に配置されたコイルと、
を有する複数の単位基板に対して、
複数の前記単位基板それぞれの前記貫通孔に磁性材料により形成されるコアを挿通し、且つ、複数の前記単位基板を、隣接する前記単位基板の前記コイルが、前記コアを介して重なるように配置し、且つ、複数の前記単位基板のコイルを、電気的に直列に接続するインダクタ装置の製造方法。
【請求項６】
前記単位基板の前記コイルは、前記シートの第１面上に配置された第１コイルと、第２面上に配置された第２コイルとを有し、
前記第１コイルと前記第２コイルは、前記シートを貫通する導電部により電気的に並列に接続されており、
前記第１コイルと前記第２コイルとが電気的に接続されていることが検査された複数の前記単位基板を用いる請求項４に記載のインダクタ装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インダクタ装置及びインダクタ装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、インダクタ装置が用いられている。インダクタ装置は、コイル内に磁性材料により形成されるコアが挿通された構造を有する。
【０００３】
最近では、インダクタ装置が用いられる電子装置の小型化に伴って、薄型のインダクタ装置が開発されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平６−１５２１４５号公報
【特許文献２】特開２００９−９４６３１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
薄型のインダクタ装置の製造工程として、例えば、以下の例がある。
【０００６】
まず、電気絶縁性の基板上に、コイルの一部を形成する下層配線層がパターニングして形成され、下層配線層上に電気絶縁層が形成される。
【０００７】
次に、電気絶縁層上に、磁性材料による磁性層がパターニングして配置されてコアが形成される。
【０００８】
次に、コア上に、コイルの一部を形成する上層配線層がパターニングして形成される。
【０００９】
そして、上層配線層と下層配線層とを貫通する貫通孔が形成された後、貫通孔に導電体が充填されて、コアを捲回するコイルが形成される。コイルは、上層配線層と下層配線層と、両層を電気的に接続する導電体とにより形成される。
【００１０】
このように、薄型のインダクタ装置は、製造工程の数が多いという問題がある。また、製造工程の数に起因して、歩留まりが悪いという問題がある。
【００１１】
本明細書では、製造が容易なインダクタ装置を提供することを目的とする。
【００１２】
また、本明細書では、製造が容易なインダクタ装置の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本明細書に開示するインダクタ装置の一形態によれば、貫通孔を有する電気絶縁性のシートと、上記貫通孔の周囲を捲回するように上記シート上に配置されたコイルと、を有する複数の単位基板と、磁性材料により形成され、複数の上記単位基板それぞれの上記貫通孔に挿通されるコアと、を備え、複数の上記単位基板は、隣接する上記単位基板の上記コイルが、上記コアを介して重なるように配置され、且つ、複数の上記単位基板の上記コイルは、電気的に直列に接続される。
【００１４】
また、本明細書に開示するインダクタ装置の製造方法の一形態によれば、貫通孔を有する電気絶縁性のシートと、上記貫通孔の周囲を捲回するように上記シート上に配置されたコイルと、を有する複数の単位基板に対して、複数の上記単位基板それぞれの上記貫通孔に磁性材料により形成されるコアを挿通し、且つ、複数の上記単位基板を、隣接する上記単位基板の上記コイルが、上記コアを介して重なるように配置し、且つ、複数の上記単位基板のコイルを、電気的に直列に接続する。
【発明の効果】
【００１５】
上述した本明細書に開示するインダクタ装置によれば、製造が容易である。
【００１６】
また、上述した本明細書に開示するインダクタ装置の製造方法によれば、製造が容易である。
【００１７】
本発明の目的及び効果は、特に請求項において指摘される構成要素及び組み合わせを用いることによって認識され且つ得られるだろう。
【００１８】
前述の一般的な説明及び後述の詳細な説明の両方は、例示的及び説明的なものであり、特許請求の範囲に記載されている本発明を制限するものではない。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本明細書に開示するインダクタ装置の一実施形態の平面図である。
【図２】（Ａ）は、図１のＸ１−Ｘ１線端面図であり、（Ｂ）は、図１のＸ２−Ｘ２線端面図である。
【図３】（Ａ）は、単位基板の第１面の平面図であり、（Ｂ）は、単位基板の第２面の図である。
【図４】本実施形態のインダクタ装置を用いた発電装置を示す図である。
【図５】本実施形態のインダクタ装置の変型例を示す図である。
【図６】本明細書に開示するインダクタ装置の製造方法の一実施形態の工程（その１）を示す図である。
【図７】本明細書に開示するインダクタ装置の製造方法の一実施形態の工程（その２）を示す図である。
【図８】本明細書に開示するインダクタ装置の製造方法の一実施形態の工程（その３）を示す図である。
【図９】本明細書に開示するインダクタ装置の製造方法の一実施形態の工程（その４）を示す図である。
【図１０】本明細書に開示するインダクタ装置の製造方法の一実施形態の工程（その５）を示す図である。
【図１１】本明細書に開示するインダクタ装置の製造方法の一実施形態の工程（その６）を示す図である。
【図１２】本明細書に開示するインダクタ装置の製造方法の一実施形態の工程（その７）を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本明細書で開示するインダクタ装置の好ましい一実施形態を、図を参照して説明する。但し、本発明の技術範囲はそれらの実施形態に限定されず、特許請求の範囲に記載された発明とその均等物に及ぶものである。
【００２１】
図１は、本明細書に開示するインダクタ装置の一実施形態の平面図である。図２（Ａ）は、図１のＸ１−Ｘ１線端面図であり、図２（Ｂ）は、図１のＸ２−Ｘ２線端面図である。図３（Ａ）は、単位基板の第１面の平面図であり、図３（Ｂ）は、単位基板の第２面の図である。
【００２２】
本実施形態のインダクタ装置１は、平面状のコイルを有し、厚さが薄い薄型の装置である。
【００２３】
インダクタ装置１は、例えば、電子回路内で電圧を変換する薄型のトランス装置、又は電子デバイスにおいて磁気を発生させる薄型の電磁石装置、又は薄型の磁歪式振動発電装置として用いられ得る。
【００２４】
インダクタ装置１は、貫通孔１２及び貫通孔１２の周囲を捲回するコイル１４、１５を有する複数の単位基板１０ａ〜１０ｃと、磁性材料により形成され、複数の単位基板それぞれの貫通孔１２に挿通されるコア２０を備える。
【００２５】
単位基板１０ａ〜１０ｃは、可撓性を有し、中央に貫通孔１２を有する電気絶縁性のシート１１を備える。
【００２６】
シート１１の第１面１１ａ上には、貫通孔１２の周囲を捲回するように第１コイル１４が配置される。また、シート１１の第２面１１ｂ上には、貫通孔１２の周囲を捲回するように第２コイル１５が配置される。
【００２７】
第１コイル１４及び第２コイル１５は、薄膜の電気導電性の材料により形成され得る。第１コイル１４及び第２コイル１５は、可撓性を有するシート１１の変形に対応して変形可能であることが好ましい。
【００２８】
第１コイル１４及び第２コイル１５は、同じ形状を有しており、シート１１を挟んで対向するように配置される。
【００２９】
第１コイル１４は、貫通孔１２側に位置する第１端部１４ａと、該第１端部１４ａとは反対側の第２端部１４ｂとを有する。第２端部１４ｂは、シート１１の周囲側に位置する。第１コイル１４を形成する線材は、第１端部１４ａから、捲回する径を大きくしながら第２端部１４ｂに延びている。
【００３０】
第２コイル１５は、貫通孔１２側に位置する第１端部１５ａと、該第１端部１５ａとは反対側の第２端部１５ｂとを有する。第２端部１５ｂは、シート１１の周囲側に位置する。第２コイル１５を形成する線材は、第１端部１５ａから、捲回する径を大きくしながら第２端部１５ｂに延びている。
【００３１】
第１コイル１４の第１端部１４ａと、第２コイル１５の第１端部１５ａとは、シート１１を貫通する第１導電部１６により電気的に接続され、第１コイル１４の第２端部１４ｂと、第２コイル１５の第２端部１５ｂとは、シート１１を貫通する第２導電部１７により電気的に接続される。即ち、第１コイル１４と第２コイル１５は、第１導電部１６及び第２導電部１７により電気的に並列に接続される。
【００３２】
コア２０は、横長の薄膜又は板状に形成され得る。コア２０の長手方向の第１端部２０ａは、単位基板１０ａの貫通孔１２を通り抜けて、単位基板１０ａの外部に延びている。また、コア２０の長手方向の第２端部２０ｂは、単位基板１０ｃの貫通孔１２を通り抜けて、単位基板１０ｃの外部に延びている。
【００３３】
コア２０は、磁性材料により形成されるコア本体（図示せず）が、図示しない電気絶縁層によって覆われて形成される。
【００３４】
単位基板１０ａ〜１０ｃは、撓み部Ｌにおいて撓まされて、貫通孔１２にコア２０が挿通されている。
【００３５】
隣接する単位基板１０ａ及び単位基板１０ｂでは、単位基板１０ａの第１コイル１４及び第２コイル１５と、単位基板１０ｂの第１コイル１４及び第２コイル１５が、コア２０を介して重なるように配置される。
【００３６】
単位基板１０ａにおける貫通孔１２から単位基板１０ｂ側の部分は、コア２０を介して、単位基板１０ｂにおける貫通孔１２から単位基板１０ａ側の部分と対向している。
【００３７】
同様に、隣接する単位基板１０ｂ及び単位基板１０ｃでは、単位基板１０ｂの第１コイル１４及び第２コイル１５と、単位基板１０ｃの第１コイル１４及び第２コイル１５が、コア２０を介して重なるように配置される。
【００３８】
単位基板１０ｂにおける貫通孔１２から単位基板１０ｃ側の部分は、コア２０を介して、単位基板１０ｃにおける貫通孔１２から単位基板１０ｂ側の部分と対向している。
【００３９】
また、隣接する単位基板１０ａ及び単位基板１０ｂでは、単位基板１０ａの第１コイル１４及び単位基板１０ｂの第２コイル１５は、各コイルを形成する線材が、互い違いに位置して、コア２０を介して対向している。各コイルを形成する線材が、互い違いに位置することにより、磁束密度ベクトルの漏れを低減することができる。
【００４０】
同様に、隣接する単位基板１０ｂ及び単位基板１０ｃでは、単位基板１０ｂの第１コイル１４及び単位基板１０ｃの第２コイル１５は、各コイルを形成する線材が、互い違いに位置して、コア２０を介して対向している。
【００４１】
隣接する単位基板１０ａ及び単位基板１０ｂでは、単位基板１０ａの第１導電部１６と、単位基板１０ｂの第２導電部１７とが、電気導電性の接続部１９を介して、電気的に接続する。
【００４２】
従って、単位基板１０ａの第１及び第２コイル１４，１５の第１端部１４ａ、１５ａは、単位基板１０ｂの第１及び第２コイル１４，１５の第２端部１４ｂ、１５ｂと電気的に接続する。
【００４３】
同様に、隣接する単位基板１０ｂ及び単位基板１０ｃでは、単位基板１０ｂの第１導電部１６と、単位基板１０ｃの第２導電部１７とが、電気導電性の接続部１９を介して、電気的に接続する。
【００４４】
従って、単位基板１０ｂの第１及び第２コイル１４，１５の第１端部１４ａ、１５ａは、単位基板１０ｃの第１及び第２コイル１４，１５の第２端部１４ｂ、１５ｂと電気的に接続する。
【００４５】
このように、インダクタ装置１では、複数の単位基板１０ａ〜１０ｃの第１及び第２コイル１４，１５が電気的に直列に接続されて、単位基板１０ａの第２導電部１７と、単位基板１０ｃの第１導電部１６とが電気的に接続する。
【００４６】
単位基板１０ａの第１コイル１４と、単位基板１０ｂの第２コイル１５との間には、電気絶縁性の絶縁シート１８が配置されており、両コイルが電気的に接続することが防止される。
【００４７】
同様に、単位基板１０ｂの第１コイル１４と、単位基板１０ｃの第２コイル１５との間には、電気絶縁性の絶縁シート１８が配置されており、両コイルが電気的に接続することが防止される。
【００４８】
インダクタ装置１の第１コイル１４及び第２コイル１５に電流を流す場合には、単位基板１０ａの第２導電部１７と、単位基板１０ｃの第１導電部１６とを電流源に接続すれば良い。
【００４９】
インダクタ装置１において、例えば、図２（Ｂ）に示すように、第１コイル１４に対して、クロスの向き（紙面の手前から奥に向かう方向）に電流を流すと、コア２０の長手方向に沿って、第１端部２０ａに向かう磁束密度ベクトルＢが生成される。また、第１コイル１４に対して、クロスの向きに電流を流すと、第２コイル１５では、ドットの向き（紙面の奥から手前に向かう方向）に電流が流れる（図２（Ｂ）参照）。このように、第２コイル１５に対して、ドットの向きに電流を流すと、コア２０の長手方向に沿って、第１端部２０ａに向かう磁束密度ベクトルＢが生成される。従って、第１コイル１４及び第２コイル１５に電流を流すと、それぞれのコイルにより生成された磁束密度ベクトルが合成された磁束密度ベクトルが、コア２０内に生じる。
【００５０】
一方、コア２０の長手方向に沿って磁束密度ベクトルの大きさを変動させると、第１コイル１４及び第２コイル１５それぞれに起電力が生じる。第１コイル１４及び第２コイル１５に生じた起電力は、単位基板１０ａの第２導電部１７と、単位基板１０ｃの第１導電部１６とから取り出される。
【００５１】
次に、インダクタ装置１の各構成要素の寸法について、以下に説明する。
【００５２】
本実施形態では、第１コイル１４及び第２コイル１５は、同じ寸法を有し得る。
【００５３】
第１コイル１４及び第２コイル１５を形成する線材の幅としては、例えば０．０５ｍｍとすることができる。また、線材と線材との間隔は、例えば０．０５ｍｍとすることができる。また、線材の厚さは、例えば。０．０１０ｍｍとすることができる。第１コイル１４及び第２コイル１５を形成する線材の縦方向の数は、例えば４００本（貫通孔１２の両側に各２００本）とすることができ、線材の横方向の数は、例えば４００本（貫通孔１２の両側に各２００本）とすることができる。
【００５４】
貫通孔１２の寸法としては、例えば、一辺の長さが４ｍｍの正方形とすることができる。
【００５５】
コア２０の寸法として、例えば、幅４ｍｍ、長さ１６０ｍｍとすることができる。
【００５６】
次に、インダクタ装置１の各構成要素の形成材料について、以下に説明する。
【００５７】
コア２０の形成材料として、例えば、以下に挙げる材料を用いることができる。以下に挙げる材料は、特にインダクタ装置１を磁歪式振動発電装置として用いる場合に好ましい。
【００５８】
（１）超磁歪材料と呼ばれ、磁歪係数の絶対値が５ｐｐｍ以上である磁性材料
このような材料として、例えば、ＴｂＤｙＦｅ系合金（例えば、Ｔｅｒｆｅｎｏｌ−Ｄ）、ＦｅＧａ系合金（例えば、Ｇａｌｆｅｎｏｌ）等を用いることができる。正磁歪を示す材料としては、磁歪係数が＋５ｐｐｍ以上、特に＋３０ｐｐｍ以上、更に＋１００ｐｐｍ以上であることが好ましい。負磁歪を示す材料としては、−５ｐｐｍ以下、特に−３０ｐｐｍ以下、更に−１００ｐｐｍ以下であることが好ましい。
【００５９】
（２）通常磁化しておらず、磁場にさらしたときに磁化する軟磁性体材料（例えば、常磁性体）
このような材料として、例えば、フェライト、アモルファスＦｅ、Ｆｅ系金属ガラス等を用いることができる。
【００６０】
（３）双晶変形に伴い磁化の向きが変わる強磁性形状記憶合金
このような材料として、例えば、ＮｉＭｎＡｌ合金、ＮｉＣｏＭｎＳｎ合金、ＮｉＦｅＧａＣｏ合金、ＣｏＮｉＡｌ合金等を用いることができる。
【００６１】
（４）応力起因によりマルテンサイト転位点が変化してオーステナイト相が強磁性となるメタ強磁性形状記憶合金
このような材料として、例えば、ＮｉＣｏＭｎＩｎ合金等を用いることができる。
【００６２】
（５）振動を含む応力を減衰する制振材料であって、応力による変位エネルギーの一部を磁壁、双晶又は粒界等の移動により免散する材料
このような材料として、例えば、ＳＵＳ４３０、Ｆｅ−Ａｌ系合金、ＦｅＣｒＡｌ合金（サイレンタロイ）等を用いることができる。
【００６３】
磁性材料の内、機械的強度の低い材料を用いる場合には、磁性材料を粉砕した粒子と、エポキシ樹脂等の樹脂とを混合して成型し、コア２０を形成しても良い。
【００６４】
シート１１の形成材料は、電気絶縁性を有していれば、特に制限なく用いることができるが、可撓性を有していることが、インダクタ装置１の製造を容易にし、また、磁歪式振動発電に用いる際に大きな起電力を得る観点から好ましい。
【００６５】
シート１１の形成材料として、例えば、液晶ポリマ（ＬＣＰ）又はポリイミド樹脂等を用いることができる。
【００６６】
第１コイル１４又は第２コイル１５の形成材料としては、薄膜又は板状に形成できる電気導電性の材料であれば特に制限なく用いることができる。具体的には、第１コイル１４又は第２コイル１５の形成材料として、例えば、銅等の金属を用いることができる。
【００６７】
次に、上述したインダクタ装置１を発電装置として用いる例を、図４を参照して、以下に説明する。
【００６８】
図４は、本実施形態のインダクタ装置１を用いた発電装置を示す図である。
【００６９】
コア２０の形成材料として、磁歪係数が数１００ｐｐｍ以上を有する材料を用いている。
【００７０】
コア２０の長手方向に沿って、外部から磁場Ｈが印加される。ここで、コア２０が正の磁歪材料を用いて形成されているので、コア２０は、磁場Ｈの方向に延びている。
【００７１】
コア２０の第１端部２０ａを固定して、コア２０の第２端部２０ｂに対して、コア２０の長手方向の寸法が縮む向きに外力Ｆ１を加えると、インダクタ装置１には、逆磁歪現象（ビラリ効果）によって、第１コイル１４及び第２コイル１５に起電力が生じる。
【００７２】
また、コア２０の第１端部２０ａを固定して、コア２０の第２端部２０ｂに対して、コア２０の長手方向と交差又は直交する向きに外力Ｆ２を加えても、インダクタ装置１には、逆磁歪現象（ビラリ効果）によって、第１コイル１４及び第２コイル１５に起電力が生じる。コア２０に対して、長手方向と交差する向きに外力を加えることにより、コア２０を大きく変形できるので、より大きな起電力を発生させることができる。また、コア２０が変形することを妨げないように、シート１１は可撓性を有していることが好ましい。外力Ｆ１又はＦ２として、振動する外力を、コア２０の第２端部２０ｂに加えても良い。
【００７３】
第１コイル１４及び第２コイル１５に生じた起電力は、単位基板１０ａの第２導電部１７と、単位基板１０ｃの第１導電部１６とから取り出される。
【００７４】
図５は、本実施形態のインダクタ装置の変型例を示す図である。
【００７５】
上述した実施形態では、隣接する単位基板において、コア２０を介して重なる一方の単位基板の第１コイル１４及び他方の単位基板の第２コイル１５は、各コイルを形成する線材が、互い違いに位置していた。
【００７６】
本変型例のインダクタ装置１における隣接する単位基板では、コア２０を介して重なる一方の単位基板の第１コイル１４及び他方の単位基板の第２コイル１５は、各コイルを形成する線材が、対向するように位置している。
【００７７】
次に、上述したインダクタ装置の好ましい製造方法の一実施形態を、図面を参照して以下に説明する。
【００７８】
まず、図６（Ａ）及び図６（Ｂ）に示すように、シート１１の第１面に第１導電層３１が積層され、第２面に第２導電層３２が積層されたシート積層体３０が用意される。ここで、図６（Ｂ）は、図６（Ａ）のＹ１−Ｙ１線端面図である。
【００７９】
次に、図７（Ａ）及び図７（Ｂ）に示すように、シート積層体３０を貫通する第１貫通孔３３及び第２貫通孔３４が形成される。第１貫通孔３３は、将来第１導電部１６が形成されるシート１１の部分に形成され、第２貫通孔３４は、将来第２導電部１７が形成されるシート１１の部分に形成される。ここで、図７（Ｂ）は、図７（Ａ）のＹ２−Ｙ２線端面図である。
【００８０】
第１貫通孔３３及び第２貫通孔３４の形成方法としては、例えば、ドリル等による機械式加工又はレーザ式加工等を用いることができる。
【００８１】
次に、図８（Ａ）及び図８（Ｂ）に示すように、第１貫通孔３３及び第２貫通孔３４に導電体が充填されて、シート積層体３０に第１導電部１６及び第２導電部１７が形成される。ここで、図８（Ｂ）は、図８（Ａ）のＹ３−Ｙ３線端面図である。第１貫通孔３３及び第２貫通孔３４に導電体を充填する方法としては、例えば、メッキ法又は半田付け法等を用いることができる。
【００８２】
次に、図９（Ａ）〜図９（Ｃ）に示すように、シート積層体３０の第１導電層３１及び第２導電層３２それぞれがパターニングされて、第１コイル１４及び第２コイル１５が形成される。ここで、図９（Ｂ）は、図９（Ａ）のＹ４−Ｙ４線端面図であり、図９（Ｃ）は、図９（Ａ）のＹ５−Ｙ５線端面図である。具体的には、シート１１の第１面１１ａ上には、第１導電層３１がパターニングされ、シート１１の中央を捲回するように第１コイル１４が形成されて、第１導電部１６と第２導電部１７とが電気的に接続される。また、シート１１の第２面１１ｂ上には、第２導電層３２がパターニングされ、シート１１の中央を捲回するように第２コイル１５が形成されて、第１導電部１６と第２導電部１７とが電気的に接続される。
【００８３】
第１コイル１４及び第２コイル１５を形成する方法としては、例えば、両面露光装置を用いる等、公知のプリント基板のパターニング技術を用いることができる。
【００８４】
次に、図１０（Ａ）〜図１０（Ｃ）に示すように、シート１１の中央にシートを貫通する貫通孔１２が形成されて、単位基板１０ａが形成される。ここで、図１０（Ｂ）は、図１０（Ａ）のＹ６−Ｙ６線端面図であり、図１０（Ｃ）は、図１０（Ａ）のＹ７−Ｙ７線端面図である。単位基板１０ａと同様にして、単位基板１０ｂ、１０ｃが形成される。
【００８５】
そして、単位基板１０ａ〜１０ｃに対して、第１コイル１４と第２コイル１５とが第１導電部１６により電気的に接続されており、且つ第１コイル１４と第２コイル１５とが第２導電部１７により電気的に接続されていることが検査される。インダクタ装置１の製造には、電気的接続が確認された単位基板が用いられる。
【００８６】
次に、図１１に示すように、第１導電部１６又は第２導電部１７に半田ペースト３５が塗布された単位基板１０ａ〜１０ｃを撓ませて、単位基板１０ａ〜１０ｃが、隣接する単位基板の第１及び第２コイル１４，１５が将来貫通孔１２に挿通されるコア２０を介して重なるように配置される。
【００８７】
次に、図１２に示すように、単位基板１０ａ〜１０ｃに対して、単位基板１０ａ〜１０ｃそれぞれの貫通孔１２にコア２０を挿通する。貫通孔１２にコア２０が挿通された単位基板１０ａ〜１０ｃでは、隣接する単位基板の第１及び第２コイル１４，１５が、コア２０を介して重なるように配置される。コア２０は、磁性材料により形成されるコア本体（図示せず）が、図示しない電気絶縁層により覆われており、この電気絶縁層は、ポリイミド樹脂又は酸化膜等の耐熱性を有する材料により形成される。
【００８８】
そして、コア２０が貫通孔１２に挿通された単位基板１０ａ〜１０ｃを、リフロー炉等を用いて加熱して、半田ペースト３５内の半田粒子を溶解し溶着させた後、半田を冷却して第１導電部１６と第２導電部１７とを電気的に接続する接続部１９が形成される。このようにして、図１〜図３に示すインダクタ装置１が得られる。なお、接続部１９は、導電性の接着剤を用いて形成しても良い。
【００８９】
上述したインダクタ装置の製造方法の実施形態では、隣接する単位基板のコイルを電気的に接続した後に貫通孔にコアを挿通していたが、貫通孔にコアを挿通した後に隣接する単位基板のコイルを電気的に接続しても良い。
【００９０】
上述した本実施形態のインダクタ装置１によれば、製造が容易である。具体的には、単位基板１０ａ〜１０ｃは、公知のプリント基板の製造技術を用いて大量に製造することができる。また、インダクタ装置１を形成する単位基板の数は、コア２０に挿通される単位基板の数を変更すればよいので、設計に応じて適宜変更することが可能である。
【００９１】
また、本実施形態のインダクタ装置１によれば、電気的接続が良好な単位基板を用いて製造されるので、インダクタ装置の製造の歩留まりが向上する。
【００９２】
例えば、従来のインダクタ装置の製造方法では、上述したように、上層配線層と下層配線層とを貫通する貫通孔が形成された後、貫通孔に導電体が充填されて、コアを捲回するコイルが形成されていた。ここで、貫通孔の数が多数ある場合には、いずれか１つの貫通孔に充填される導電体において、上層配線層と下層配線層との接触不良が生じた場合には、インダクタ装置自体が不良となってしまう問題があった。
【００９３】
一方、本実施形態のインダクタ装置の製造方法では、電気的接続が良好であることが検査された単位基板を用いるので、このような問題を解決することができる。
【００９４】
本発明では、上述した実施形態のインダクタ装置及びインダクタ装置の製造方法は、本発明の趣旨を逸脱しない限り適宜変更が可能である。また、一の実施形態が有する構成要件は、他の実施形態にも適宜適用することができる。
【００９５】
例えば、上述した実施形態では、インダクタ装置１は、３枚の単位基板１０ａ〜１０ｃを有していたが、インダクタ装置は、２枚又は４枚以上の単位基板を有していても良い。
【００９６】
また、上述した実施形態では、シート１１は、可撓性を有していたが、シート１１は可撓性を有していなくても良い。
【００９７】
また、上述した実施形態では、第１コイル１４及び第２コイル１５は、矩形に捲回されていたが、第１コイル１４又は第２コイル１５を捲回する形状には特に制限はない。例えば、第１コイル１４又は第２コイル１５は、円形又は多角形に捲回されていても良い。
【００９８】
また、上述した実施形態では、単位基板１０ａ〜１０ｃにおいて、第１コイル１４を形成する線材と、第２コイル１５を形成する線材とは、シート１１を介して対向するように配置されていた。しかし、第１コイル１４を形成する線材と、第２コイル１５を形成する線材とは、互い違いになるように配置されていても良い。
【００９９】
更に、上述した実施形態では、単位基板１０ａ〜１０ｃは、第１コイル１４及び第２コイル１５を有していたが、どちらか一方を有していれば良い。
【０１００】
ここで述べられた全ての例及び条件付きの言葉は、読者が、発明者によって寄与された発明及び概念を技術を深めて理解することを助けるための教育的な目的を意図する。ここで述べられた全ての例及び条件付きの言葉は、そのような具体的に述べられた例及び条件に限定されることなく解釈されるべきである。また、明細書のそのような例示の機構は、本発明の優越性及び劣等性を示すこととは関係しない。本発明の実施形態は詳細に説明されているが、その様々な変更、置き換え又は修正が本発明の精神及び範囲を逸脱しない限り行われ得ることが理解されるべきである。
【符号の説明】
【０１０１】
１    インダクタ装置
１０ａ、１０ｂ、１０ｃ    単位基板
１１    シート
１１ａ    第１面
１１ｂ    第２面
１２    貫通孔
１４    第１コイル
１４ａ    第１端部
１４ｂ    第２端部
１５    第２コイル
１５ａ    第１端部
１５ｂ    第２端部
１６    第１導電部
１７    第２導電部
１８    絶縁シート
１９    接続部
Ｌ    撓み部
２０    コア
２０ａ    第１端部
２０ｂ    第２端部
３０    シート積層体
３１    第１導電層
３２    第２導電層
３３    第１貫通孔
３４    第２貫通孔
３５    半田ペースト
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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