(57)【要約】  吸着ノズル（５６）と、軸方向に沿って移動することで吸着ノズル（５６）に供給される圧力を負圧と正圧との間で切り替える軸状部材（９２と、駆動源（１０２）と可動部（１０４）とを有する駆動装置（１００）と、位置保持部（１２６、１３６）と、を備える実装ヘッド（５０）であって、軸状部材（９２）は、軸方向の一方における移動端が吸着ノズル（５６）に負圧を供給する負圧供給位置とされ、軸方向の他方における移動端が吸着ノズル（５６）に正圧を供給する正圧供給位置とされ、位置保持部（１２６、１３６）は、前記駆動源（１０２）が停止した状態で、前記軸状部材（９２が前記負圧供給位置又は前記正圧供給位置のどちらの位置にあっても、前記可動部（１０４）が前記軸状部材（９２）に対して非干渉となるように、前記可動部（１０４）を位置保持する。
2017056293.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
負圧によってその先端部に部品を吸着して保持するとともに、正圧によって前記先端部に保持した部品を解放する吸着ノズルと、  軸状をなし、その軸方向に沿って移動することで前記吸着ノズルに供給される圧力を負圧と正圧との間で切り替える軸状部材であって、前記軸方向の一方側の移動端が前記吸着ノズルに負圧を供給する負圧供給位置とされ、前記軸方向の他方側の移動端が前記吸着ノズルに正圧を供給する正圧供給位置とされた軸状部材と、  駆動源と、前記駆動源から動力を得て前記軸方向に移動する可動部とを有し、前記軸方向への移動に伴って前記可動部の一部が前記軸状部材に当接することにより、前記軸状部材を前記負圧供給位置と前記正圧供給位置との間で変位させる駆動装置と、  前記駆動源が停止した状態で、前記軸状部材が前記負圧供給位置又は前記正圧供給位置のどちらの位置にあっても、前記可動部が前記軸状部材に対して非干渉となるように、前記可動部を位置保持する位置保持部と、を備える実装ヘッド。
【請求項２】
前記可動部は、前記軸状部材の当接部に対して当接するピンを有し、  前記位置保持部は、前記負圧供給位置に位置する前記軸状部材の前記当接部と、前記正圧供給位置に位置する前記軸状部材の前記当接部との間に、前記ピンが位置するように前記可動部を位置保持する、請求項１に記載の実装ヘッド。
【請求項３】
前記位置保持部は、磁性体と磁石とを有する磁気ばねにより構成される、請求項１または請求項２に記載の実装ヘッド。
【請求項４】
前記駆動源は固定子を有し、前記可動部が可動子を有し、前記可動部が前記固定子と前記可動子とによるリニアモータ駆動によって駆動され、  前記可動子は、等間隔で直線状に配置された複数の磁石を有し、  前記位置保持部が有する磁石と前記可動子が有する磁石との間の間隔が、前記可動子が有する複数の磁石の間隔よりも大きくされている、請求項３に記載の実装ヘッド。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の実装ヘッドを有し、基板上に前記部品を実装する部品実装装置と、  前記部品実装装置に前記部品を供給する部品供給装置と、  前記基板を前記部品実装装置による前記部品の実装範囲内まで搬送する基板搬送装置と、  を備える表面実装機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本明細書で開示される技術は、実装ヘッド、及び表面実装機に関する。
【背景技術】
【０００２】  従来、電子部品をプリント基板上に実装する表面実装機において、負圧によって先端部に部品を吸着して保持するとともに、正圧によって先端部に保持した部品を解放する複数の吸着ノズルを備えた実装ヘッドが知られている。この種の実装ヘッドでは、吸着ノズルの近傍に、当該吸着ノズルに供給される圧力を負圧と正圧との間で切り替えるためのメカニカルバルブ構造が設けられることがある。このようなメカニカルバルブ構造を備えた実装ヘッドとしての装着ヘッドが、例えば下記特許文献１に開示されている。【０００３】  下記特許文献１に開示される装着ヘッドは、メカニカルバルブ構造として、軸状のバルブスプールと、特定の位置にあるバルブスプールをその軸方向に沿って上下方向に移動させるための切替部材駆動装置と、を有している。この装着ヘッドでは、バルブスプールがその軸方向に沿って上下方向に移動されることで、そのバルブスプールに対応する吸着ノズルに供給される圧力が負圧と正圧との間で切り替えられる。この装着ヘッドでは、バルブスプールの上昇端位置が吸着ノズルに負圧が供給される負圧供給位置とされ、バルブスプールの下降端位置が吸着ノズルに負圧が供給される正圧供給位置とされる。【０００４】  上記切替部材駆動装置は、回転モータ駆動によって駆動され、その出力軸から延びる切替部材が特定の位置にあるバルブスプールの一部に当接されて弧状に移動することで、切替部材がバルブスプールを押し上げて又は押し下げて、当該バルブスプールを上下方向に移動させる。この装着ヘッドは、ロータリー型とされ、その軸周りに回転されることで複数のバルブスプール及び複数の吸着ノズルが旋回され、切替部材駆動装置によって上下方向に移動されるバルブスプールが入れ替えられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１３−６９７９８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】  しかしながら、上記特許文献１に開示される装着ヘッドでは、切替部材駆動装置の電源が停止された場合、切替部材の推進力が失われ、切替部材がその自重によって落下し、切替部材の一部がバルブスプールと干渉する虞がある。その結果、実装ヘッドのメンテナンスを行う際、装着ヘッドを回転させることができず、メンテナンス作業の邪魔となる部材を手動で動かす必要があり、メンテナンス性が損なわれる虞がある。【０００７】  また、切替部材駆動装置の電源がオフされて切替部材が落下することで、切替部材駆動装置によってバルブスプールが上記負圧供給位置から上記正圧供給位置まで移動される虞がある。このため、そのバルブスプールと対応する吸着ノズルに部品が吸着されている場合、当該吸着ノズルに正圧が供給されて当該吸着ノズルから部品が落下し、装置の信頼性が損なわれる虞がある。【０００８】  本明細書で開示される技術は、上記の課題に鑑みて創作されたものであって、メンテナンス性及び装置の信頼性を向上させることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】  本明細書で開示される技術は、負圧によってその先端部に部品を吸着して保持するとともに、正圧によって前記先端部に保持した部品を解放する吸着ノズルと、軸状をなし、その軸方向に沿って移動することで前記吸着ノズルに供給される圧力を負圧と正圧との間で切り替える軸状部材であって、前記軸方向の一方側の移動端が前記吸着ノズルに負圧を供給する負圧供給位置とされ、前記軸方向の他方側の移動端が前記吸着ノズルに正圧を供給する正圧供給位置とされた軸状部材と、駆動源と、前記駆動源から動力を得て前記軸方向に移動する可動部とを有し、前記軸方向への移動に伴って前記可動部の一部が前記軸状部材に当接することにより、前記軸状部材を前記負圧供給位置と前記正圧供給位置との間で変位させる駆動装置と、前記駆動源が停止した状態で、前記軸状部材が前記負圧供給位置又は前記正圧供給位置のどちらの位置にあっても、前記可動部が前記軸状部材に対して非干渉となるように、前記可動部を位置保持する位置保持部と、を備える実装ヘッドに関する。【００１０】  本構成の実装ヘッドでは、電源停止など駆動源が停止した状態でも、負圧供給位置や正圧供給位置にある軸状部材と非干渉となるように、位置保持部が可動部を位置保持する。そのため、メンテナンスに際して、実装ヘッドを回転させた時に、可動部が、負圧供給位置や正圧供給位置にある軸状部材に干渉することを回避できる。そのため、実装ヘッドのメンテナンス性を向上させることができる。【００１１】  さらに上記の実装ヘッドでは、上記したように、負圧供給位置や正圧供給位置にある軸状部材と非干渉となるように位置保持部が可動部を位置保持する。そのため、吸着ノズルに部品が吸着された状態で、電源が停止するなどして、実装ヘッドが非常停止となった場合に、軸状部材に可動部材が当接して、軸状部材の位置が負圧供給位置から正圧供給位置に切り換わることを抑制できる。そのため、吸着ノズルから部品が落下することを抑制することができる。その結果、装置の信頼性を向上させることができる。以上のように上記の実装ヘッドでは、メンテナンス性及び装置の信頼性を向上させることができる。【００１２】  上記の実装ヘッドにおいて、前記可動部は、前記軸状部材の当接部に対して当接するピンを有し、前記位置保持部は、前記負圧供給位置にある前記軸状部材の前記当接部と、前記正圧供給位置にある前記軸状部材の前記当接部との間の位置に、前記ピンが位置するように前記可動部を位置保持する。【００１３】  この構成によると、負圧供給位置にある軸状部材の当接部と正圧供給位置にある軸状部材の当接部の間の位置にピンが保持されるので、ピンが当接部に干渉することを回避することが出来る。尚、ピンを当接部間の中間の位置に保持することが好ましい。そのようにすることで、負圧供給位置側、正圧供給位置側のどちらの当接部に対しても、ピンが干渉し難くなる。【００１４】  上記の実装ヘッドにおいて、前記位置保持部は、磁性体と磁石とを有する磁気ばねにより構成されてもよい。【００１５】  例えば、位置保持部を、コイルばね等の巻きばねで構成する場合、可動部の保持位置を調整することは難く、また、巻ばねの弾性劣化により、位置保持力が低下する���がある。これに対し磁気ばねは、鉄片など磁性体の位置調整により、可動部の保持位置を調整することが可能である。そのため、可動部を高い位置精度で位置保持することが出来、かつ巻ばねに比べて劣化が少なく耐久性もよい。【００１６】  上記の実装ヘッドにおいて、前記駆動源は固定子を有し、前記可動部が可動子を有し、前記可動部が前記固定子と前記可動子とによるリニアモータ駆動によって駆動され、前記可動子は、等間隔で並列配置された複数の磁石を有し、前記位置保持部が有する磁石と前記可動子が有する磁石との間の間隔が、前記可動子が有する複数の磁石の間隔よりも大きくされていてもよい。【００１７】  この構成によると、位置保持部が有する磁石と可動子が有する磁石との間の間隔が、可動子が有する複数の磁石の間隔よりも小さくされている場合又は等しくされている場合と比べて、位置保持部が有する磁性体の影響が、可動子が有する複数の磁石に及び難い。このため、可動子が有する複数の磁石が、位置保持部が有する磁性体に引き寄せられることを抑制することができる。その結果、位置保持部を磁気ばねによるものとしながら、リニアモータ駆動による可動部の推進機能を好適に維持することができる。【００１８】  本明細書で開示される他の技術は、上記の実装ヘッドを有し、基板上に前記部品を実装する部品実装装置と、前記部品実装装置に前記部品を供給する部品供給装置と、前記基板を前記部品実装装置による前記部品の実装範囲内まで搬送する基板搬送装置と、を備える表面実装機に関する。
【発明の効果】
【００１９】  本明細書で開示される技術によれば、メンテナンス性及び装置の信頼性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】表面実装機の平面図
【図２】実装ヘッドの斜視図
【図３】実装ヘッドの一部を拡大した斜視図
【図４】図３において各吸着ノズルの先端部を露出させた状態を示す斜視図
【図５】実装ヘッドの要部断面図
【図６】実装ヘッドの先端部（下端部）の一部を示す断面図であって、バルブスプールが正圧供給位置にある状態における断面図
【図７】表面実装機の電気的構成を示すブロック図
【図８】バルブスプールの移動態様を示す正面図
【図９】Ｖ軸駆動装置の正面図
【図１０】Ｖ軸駆動装置の内部を示す側面図
【発明を実施するための形態】
【００２１】  （表面実装機の全体構成）  図面を参照して実施形態を説明する。本実施形態では、図１に示す表面実装機１について例示する。表面実装機１は、基台１０と、プリント基板（基板の一例）Ｂ１を搬送するための搬送コンベア（基板搬送装置の一例）２０と、プリント基板Ｂ１上に電子部品（部品の一例）Ｅ１を実装するための部品実装装置３０と、部品実装装置３０に電子部品Ｅ１を供給するための部品供給装置４０等とを備えている。
【００２２】  基台１０は、平面視長方形状をなすとともに上面が平坦とされる。また、基台１０における搬送コンベア２０の下方には、プリント基板Ｂ１上に電子部品Ｅ１を実装する際にそのプリント基板Ｂ１をバックアップするための図示しないバックアッププレート等が設けられている。以下の説明では、基台１０の長辺方向（図１の左右方向）及び搬送コンベア２０の搬送方向をＸ軸方向とし、基台１０の短辺方向（図１の上下方向）をＹ軸方向とし、基台１０の上下方向（図２の上下方向）をＺ軸方向とする。
【００２３】  搬送コンベア２０は、Ｙ軸方向における基台１０の略中央位置に配置され、プリント基板Ｂ１を搬送方向（Ｘ軸方向）に沿って搬送する。搬送コンベア２０は、搬送方向に循環駆動する一対のコンベアベルト２２を備えている。プリント基板Ｂ１は、両コンベアベルト２２に架設する形でセットされる。プリント基板Ｂ１は、搬送方向の一方側（図１で示す右側）からコンベアベルト２２に沿って基台１０上の作業位置（図１の二点鎖線で囲まれる位置）に搬入され、作業位置で停止して電子部品Ｅ１の実装作業がされた後、コンベアベルト２２に沿って他方側（図１で示す左側）に搬出される。
【００２４】  部品供給装置４０は、フィーダ型とされ、搬送コンベア２０の両側（図１の上下両側）においてＸ軸方向に並んで２箇所ずつ、計４箇所に配されている。これらの部品供給装置４０には、複数のフィーダ４２が横並び状に整列して取り付けられている。各フィーダ４２は、複数の電子部品Ｅ１が収容された部品供給テープ（不図示）が巻回されたリール（不図示）、及びリールから部品供給テープを引き出す電動式の送出装置（不図示）等を備えており、搬送コンベア側に位置する端部に設けられた部品供給位置から電子部品Ｅ１が一つずつ供給されるようになっている。
【００２５】  部品実装装置３０は、基台１０及び後述する部品供給装置４０等の上方に設けられる一対の支持フレーム３２と、ロータリー型の実装ヘッド５０と、実装ヘッド５０を駆動する実装ヘッド駆動機構とから構成される。各支持フレーム３２は、それぞれＸ軸方向における基台１０の両側に位置しており、Ｙ軸方向に延びている。支持フレーム３２には、実装ヘッド駆動機構を構成するＸ軸サーボ機構及びＹ軸サーボ機構が設けられている。実装ヘッド５０は、Ｘ軸サーボ機構及びＹ軸サーボ機構によって、一定の可動領域内でＸ軸方向及びＹ軸方向に移動可能とされている。
【００２６】  Ｙ軸サーボ機構は、Ｙ軸ガイドレール３３Ｙと、図示しないボールナットが螺合されたＹ軸ボールねじ３４Ｙと、Ｙ軸サーボモータ３５Ｙとを有している。各Ｙ軸ガイドレール３３Ｙには、ボールナットに固定されたヘッド支持体３６が取り付けられている。Ｙ軸サーボモータ３５Ｙが通電制御されると、Ｙ軸ボールねじ３４Ｙに沿ってボールナットが進退し、その結果、ボールナットに固定されたヘッド支持体３６、及び後述する実装ヘッド５０がＹ軸ガイドレール３３Ｙに沿ってＹ軸方向に移動する。
【００２７】  Ｘ軸サーボ機構は、Ｘ軸ガイドレール（不図示）と、図示しないボールナットが螺合されたＸ軸ボールねじ３４Ｘと、Ｘ軸サーボモータ３５Ｘとを有している。Ｘ軸ガイドレールには、その軸方向に沿って実装ヘッド５０が移動自在に取り付けられている。Ｘ軸サーボモータ３５Ｘが通電制御されると、Ｘ軸ボールねじ３４Ｘに沿ってボールナットが進退し、その結果、ボールナットに固定された実装ヘッド５０がＸ軸ガイドレール３３Ｘに沿ってＸ軸方向に移動する。
【００２８】  （実装ヘッドの構成）  続いて実装ヘッド５０の構成について詳しく説明する。実装ヘッド５０は、図２に示すように、本体であるヘッド本体部５２がカバー５３、５４によって覆われたアーム状をなしており、部品供給装置４０によって供給される電子部品Ｅ１を吸着してプリント基板Ｂ１上に実装する。本実施形態の実装ヘッド５０は、ロータリー型であり、計１８本のノズルシャフト５５が回転体６０によってＺ軸方向（上下方向）に移動可能に保持されている（図４参照）。
【００２９】  回転体６０は、図４に示すように、Ｚ軸方向に沿って軸状をなす軸部６２と、実装ヘッド５０の下端部において軸部６２の周りに設けられ、軸部６２より大径な略円柱状をなすシャフト保持部６４と、を有している。回転体６０の軸部６２は、ヘッド本体部５２によって当該軸部６２の軸線周りに回転可能に支持されている。軸部６２は二重構造となっており、内側の軸部６２の上部には当該軸部６２の軸線周りにＮ軸被駆動ギヤ６２Ｎが設けられ、外側の軸部６２の上部には当該軸部６２の軸線周りにＲ軸被駆動ギヤ６２Ｒが設けられている（図４参照）。
【００３０】  実装ヘッド５０のＺ軸方向における略中央部には、回転体６０を回転駆動するための図示しないＮ軸駆動装置が配されている。Ｎ軸駆動装置は、Ｎ軸サーボモータ３５Ｎ（図７参照）と、Ｎ軸サーボモータ３５Ｎの出力軸周りに設けられたＮ軸駆動ギヤ（不図示）と、を有している。Ｎ軸駆動ギヤはＮ軸被駆動ギヤ６２Ｎと噛み合わされており、Ｎ軸サーボモータ３５Ｎが通電制御されると、Ｎ軸駆動ギヤ及びＮ軸被駆動ギヤ６２Ｎの回転駆動を介して、回転体６０がＺ軸方向に沿った軸線周りに任意の角度で回転される。
【００３１】  回転体６０のシャフト保持部６４には、周方向に等間隔で、貫通孔が１８個形成されている。そして、各貫通孔には、筒状のシャフトホルダ５７を介して、軸状をなすノズルシャフト５５が、シャフト保持部６４を貫通しつつＺ軸方向に沿って延びる形で保持されている。そして、各ノズルシャフト５５のうちシャフト保持部６４から下方に突出する下端部には、図４及び図５に示すように、電子部品Ｅ１を吸着する吸着ノズル５６がそれぞれ設けられている。
【００３２】  各吸着ノズル５６には、負圧又は正圧が供給されるようになっている。各吸着ノズル５６は、負圧によってその先端部に電子部品Ｅ１を吸着して保持するとともに、正圧によってその先端部に保持した電子部品Ｅ１を解放する。Ｎ軸駆動装置によって回転体６０が回転されると、各ノズルシャフト５５と共に各ノズルシャフト５５に設けられた各吸着ノズル５６が回転体６０の軸線周りに旋回させられる。
【００３３】  また、実装ヘッド５０のＺ軸方向における略中央部には、図２に示すように、各ノズルシャフト５５をその軸線周りに回転駆動するためのＲ軸駆動装置７０が配されている。Ｒ軸駆動装置７０は、Ｒ軸サーボモータ３５Ｒと、Ｒ軸サーボモータ３５Ｒの出力軸周りに設けられ、Ｒ軸被駆動ギヤ６２Ｒと噛み合わされたＲ軸駆動ギヤ７２Ｒ（図３参照）と、を有している。Ｒ軸被駆動ギヤ６２Ｒが設けられた外側の軸部６２において、Ｒ軸被駆動ギヤ６２Ｒよりも下部には、図示しない共通ギヤが設けられている。
【００３４】  一方、図４に示すように、各シャフトホルダ５７の外周部にはそれぞれノズルギヤ５７Ｒが設けられている。各シャフトホルダ５７に設けられたノズルギヤ５７Ｒは、上記共通ギヤと噛み合わされている。Ｒ軸サーボモータ３５Ｒが通電制御されると、Ｒ軸駆動ギヤ７２Ｒ及びＲ軸被駆動ギヤ６２Ｒの回転駆動を介して、共通ギヤが回転する。共通ギヤが回転すると、ノズルギヤ５７Ｒとの噛み合いにより、各シャフトホルダ５７が回転する。そして、各シャフトホルダ５７と各ノズルシャフト５５は、ボールスプライン結合していることから、共通ギヤの回転に伴って、１８本のノズルシャフト５５がその軸線周りにおいて同方向及び同角度に一斉に回転する。
【００３５】  また、各ノズルシャフト５５の上端部には、ばね止めボルト５８が螺合されている。各ノズルシャフト５５の外面側には、巻ばね５９が配されている。巻ばね５９は、ばね止めボルト５８とシャフトホルダ５７との間にて圧縮された状態で配されており、各ノズルシャフト５５は、この巻ばね５９の弾性力によって上方に付勢されている。
【００３６】  また、実装ヘッド５０は、図２から図４に示すように、１８本のノズルシャフト５５のうち特定の位置にあるノズルシャフト５５を、回転体６０に対して当該回転体６０の軸部６２に沿った方向（Ｚ軸方向、上下方向）に昇降させるための２つのＺ軸駆動装置８０を備えている。両Ｚ軸駆動装置８０は、各ノズルシャフト５５の上方において、回転体６０の軸部６２を挟んで実装ヘッド５０の左右両側に対称配置されている（図５参照）。
【００３７】  Ｚ軸駆動装置８０は、図３から図５に示すように、箱状をなすＺ軸駆動源８２と、Ｚ軸駆動源８２から動力を得てＺ軸方向（上下方向）に移動するＺ軸可動部８４と、を有している。Ｚ軸駆動源８２の内部には、Ｚ軸可動部８４をリニアモータ駆動するためのＺ軸リニアモータ３５Ｚ（図７参照）が設けられている。
【００３８】  Ｚ軸駆動装置８０におけるＺ軸可動部８４の下端部には、図４及び図５に示すように、カムフォロア８６（以下、「Ｚ軸カムフォロア８６」と称する）がＸ軸方向に沿った軸周りに回転可能に取り付けられている。Ｚ軸可動部８４は、その上昇端位置においてＺ軸カムフォロア８６が特定の位置にあるノズルシャフト５５の上端部（ばね止めボルト５８）と近接するような配置で、Ｚ軸駆動源８２により位置保持されている（図５参照）。このため、Ｚ軸可動部８４が上昇端位置にある状態では、各ノズルシャフト５５の軸部６２周りの旋回が許容される。
【００３９】  Ｚ軸駆動源８２によってＺ軸可動部８４が上昇端位置から下降されると、Ｚ軸カムフォロア８６が特定の位置にあるノズルシャフト５５の上端部に当接し、当該ノズルシャフト５５が巻ばね５９の弾性力に抗って下降される。ノズルシャフト５５が下降されると、そのノズルシャフト５５に設けられた吸着ノズル５６が下降され、吸着ノズル５６の先端部が部品供給装置４０の部品供給位置や作業位置にあるプリント基板Ｂ１に近接する。この状態からＺ軸可動部８４が上昇されると、巻ばね５９の弾性力復帰力によってノズルシャフト５５及び吸着ノズル５６が上昇する。
【００４０】  さらに、実装ヘッド５０は、図４及び図５に示すように、各吸着ノズル５６に供給される圧力を負圧と正圧との間で切り替えるための切替装置９０を備えている。切替装置９０は、各吸着ノズル５６（各ノズルシャフト５５）に対応する形で計１８個設けられている。各切替装置９０は、円周状に配された各ノズルシャフト５５の外側において、隣接する２つのノズルシャフト５５の間に位置する形で、各ノズルシャフト５５と同様に、シャフト保持部６４の外周に沿って円周状に等間隔でそれぞれ設けられている（図４参照）。
【００４１】  各切替装置９０は、図４及び図５に示すように、軸状をなすバルブスプール（軸状部材の一例）９２と、バルブスプール９２の下側部分が収容される筒状のスリーブ（収容部材の一例）９４と、を有している。
【００４２】  各スリーブ９４は、シャフト保持部６４に設けられた各取り付け孔に取り付けられている。具体的には、上端に設けられた大径部９８を除く、スリーブ９４の全体を、取り付け孔の内部に挿入するようにして取り付けられている。スリーブ９４には、シャフト保持部６４から露出する上端部の開口からバルブスプール９２の下側部分（バルブスプール９２の当接部９３を除く大部分）がその軸方向に沿って移動可能に収容される。
【００４３】  各バルブスプール９２は、その軸方向がＺ軸方向（上下方向）に沿った形で配されており、その軸方向に沿って移動することで、各吸着ノズル５６に供給される圧力を負圧と正圧との間で切り替える。
【００４４】  各バルブスプール９２は、図５及び図６に示すように、その上側部分に、横向きの略Ｕ字状をなす当接部９３を有している。当接部９３は、バルブスプール９２の軸方向（Ｚ軸方向）と直交する方向に延びるとともに互いに対向する形で軸方向（Ｚ軸方向）に離間して設けられた一対の対向部９３Ａと、一対の対向部９３Ａを連結する連結部９３Ｂを有する（図６参照）。当接部９３は、スリーブ９４から露出して上方に突出している。各バルブスプール９２は、略Ｕ字状をなす当接部９３について、その開いた側を外側（軸部６２側とは反対側）に向けた形でそれぞれ配されている（図４参照）。
【００４５】  各切替装置９０は、スリーブ９４に収容されたバルブスプール９２が、図８にて二点鎖線で示す上昇端位置（以下、「負圧供給位置」と称する）に移動することで、スリーブ９４内に負圧が供給される。また、バルブスプール９２が、図８にて実線で示す下降端位置（以下、「正圧供給位置」と称する）に移動することで、スリーブ９４内に正圧が供給される。各スリーブ９４内に供給された負圧又は正圧は、図示しない供給路を経て、当該スリーブ９４と対応する吸着ノズル５６に供給される。
【００４６】  ここで、実装ヘッド５０において、各スリーブ９４内に負圧又は正圧を供給するための供給経路、及び負圧又は正圧の供給態様について説明する。各スリーブ９４には、図６に示すように、負圧が入力される負圧入力ポート９４Ａと、正圧が入力される正圧入力ポート９４Ｂと、負圧入力ポート９４Ａ又は正圧入力ポート９４Ｂから入力された負圧又は正圧が出力される出力ポート（不図示）とが設けられている。出力ポートは、対応する吸着ノズル５６と連通している。
【００４７】  また、内側の軸部６２の内部には、負圧が供給される第１負圧供給路６２Ａが設けられており、回転体６０の外側には、正圧が供給される第１正圧供給路６２Ｂが設けられている（図２参照）。そして、シャフト保持部６４内には、各スリーブ９４に対応して負圧が供給される複数の第２負圧供給路６４Ａが設けられている。また、シャフト保持部６４の外周側に設けられた外環部材６５には、第１正圧供給路６２Ｂと連通され、正圧が供給される２つの第２正圧供給路６５Ａとが設けられている。
【００４８】  第１負圧供給路６２Ａは、軸部６２の回転の有無に拘わらず、その下端部において全ての第２負圧供給路６４Ａと常時連通する構成とされている。また、各第２負圧供給路６４Ａは、バルブスプール９２が負圧供給位置にある状態において、そのバルブスプール９２が収容されるスリーブ９２の負圧入力ポート９４Ａと連通する。従って、バルブスプール９２が負圧供給位置にある状態では、各吸着ノズル５６が回転体６０の軸線周りに旋回中であるか否かに拘わらず、そのバルブスプール９２（切替装置９０）と対応する吸着ノズル５６に常時負圧が供給される。
【００４９】  ２つの第２正圧供給路６５Ａは、シャフト保持部６４の外周側に設けられた外環部材６５うち、各Ｚ軸駆動装置８０によってノズルシャフト５５がＺ軸方向に昇降される上記特定の位置と対応する位置にそれぞれ設けられている。そして、両第２正圧供給路６５Ａは、上記特定の位置にある吸着ノズル５６と対応するバルブスプール９２が正圧供給位置にある状態において、そのバルブスプール９２が収容されるスリーブ９４の正圧入力ポート９４Ｂと連通する。従って、バルブスプール９２が正圧供給位置にある状態では、そのバルブスプール９２と対応する吸着ノズル５６が上記特定の位置にある場合にのみ、出力ポートから当該吸着ノズル５６に正圧が供給される。
【００５０】  実装ヘッド５０では、上述したように、負圧供給位置にあるバルブスプール９２と対応する吸着ノズル５６に常時負圧が供給されることで、複数の吸着ノズル５６に吸着された電子部品Ｅ１が実装ヘッド５０の移動時等に落下することが抑制される。また、上述したように、正圧供給位置にあるバルブスプール９２と対応する吸着ノズル５６に所定の場合にのみ正圧が供給されることで、実装対象となる電子部品Ｅ１のみを正圧によってプリント基板Ｂ１上に実装することができる。
【００５１】  なお、図８に示すように、各スリーブ９４の外周面側には、外側シール部材９６がＺ軸方向に間隔を空けて複数配されている。外側シール部材９６は、ゴムなどの弾性体からなる環状のリングであり、シャフト保持部６４の取り付け孔との間をシールする機能を果たしている。また、スリーブ９４の内周側には、内側シール部材９７が軸方向に沿って複数箇所（図中では下部の１か所だけを示す）に配置されている。内側シール部材９７は、ゴムなどの弾性体からなる環状のリングであり、図８に示すように、バルブスプール９２の外面に取り付けられている。内側シール部材９７は、スリーブ９４の内周面とバルブスプール９２との間をシールする機能を果たしている。その結果、負圧入力ポート９４Ａ、正圧入力ポート９４Ｂ、及び出力ポートの間での負圧、正圧の漏れが抑制されている。また、内側シール部材９７は、その摩擦力によって、負圧供給位置又は正圧供給位置に移動されたバルブスプール９２がその位置において保持されるようになっている。
【００５２】  また、実装ヘッド５０は、図２から図４に示すように、各切替装置９０のバルブスプール９２をＺ軸方向（上下方向）に沿って負圧供給位置と正圧供給位置との間で移動させるための２つのＶ軸駆動装置（駆動装置の一例）１００を備えている。２つのＶ軸駆動装置１００は、２つのＺ軸駆動装置８０とＺ軸方向において対応する位置にそれぞれ設けられており（図５参照）、上記特定の位置にある吸着ノズル５６と対応する切替装置９０のバルブスプール９２を移動させる。従って、２つのＶ軸駆動装置１００についても、２つのＺ軸駆動装置８０と同様に、回転体６０の軸部６２を挟んで実装ヘッド５０の左右両側に対称配置されている。
【００５３】  Ｖ軸駆動装置１００は、図３から図５、図９、図１０に示すように、箱状をなすＶ軸駆動源（駆動源の一例）１０２と、Ｖ軸駆動源１０２から動力を得てＺ軸方向（上下方向）に移動するＶ軸可動部（可動部の一例）１０４と、を有している。Ｖ軸駆動源１０２の内部には、Ｖ軸可動部１０４をリニアモータ駆動によって駆動するためのＶ軸リニアモータ３５Ｖ（図７参照）が設けられている。
【００５４】  また、Ｖ軸可動部１０４には、図４及び図５に示すように、カムフォロア支持部１３９を介して、カムフォロア１０６（以下、「Ｖ軸カムフォロア１０６」と称する）がＸ軸方向に沿った軸周りに回転可能に取り付けられている。Ｖ軸カムフォロア（ピンの一例）１０６は、Ｖ軸駆動装置１００が通電されている状態では、上記特定の位置にあるノズルシャフト５５と対応するバルブスプール９２に対して、そのバルブスプール９２に設けられた一対の対向部９３Ａの間に位置するように、Ｖ軸可動部１０４により位置保持される（図５参照）。
【００５５】  そのため、Ｖ軸駆動源１０２によってＶ軸可動部１０４が上方に移動されると、Ｖ軸カムフォロア１０６がその両側に位置する一対の対向部９３Ａのうち、上側の対向部９３Ａに当接してバルブスプール９２を押し上げ、バルブスプール９２が負圧供給位置に移動する。一方、Ｖ軸駆動源１０２によってＶ軸可動部１０４が下方に移動されると、Ｖ軸カムフォロア１０６がその両側に位置する一対の対向部９３Ａのうち、下側の対向部９３Ａに当接してバルブスプール９２を押し下げ、バルブスプール９２が正圧供給位置に移動する。なお、Ｖ軸駆動装置１００におけるリニアモータ駆動の駆動機構については、後で詳しく説明する。
【００５６】  ここで、Ｖ軸カムフォロア１０６の回転軸がＸ軸方向に沿っていることから、Ｖ軸カムフォロア１０６の回転方向は、回転体６０によって旋回される各ノズルシャフト５５の円周状をなす軌跡の接線方向とほぼ一致する。このため、Ｖ軸カムフォロア１０６によるバルブスプール９２の昇降動作中に回転体６０が回転された場合、Ｖ軸カムフォロア１０６が一対の対向部９３Ａに当接された状態が維持されながらＶ軸カムフォロア１０６が一対の対向部９３Ａとの間の摩擦力によって回転するので、各ノズルシャフト５５を旋回させながらバルブスプール９２の昇降動作を実行することができる。
【００５７】  また、バルブスプール９２が負圧供給位置と正圧供給位置の中間の高さ位置近傍に位置する状態では、Ｖ軸カムフォロア１０６はバルブスプール９２の両対向部９３Ａに当接しないようになっている。このため、Ｖ軸カムフォロア１０６が、バルブスプール９２が負圧供給位置とされる位置と正圧供給位置とされる位置の中間の高さとなるように、Ｖ軸可動体１０４を位置保持すると、Ｖ軸カムフォロア１０６がバルブスプール９２に干渉せず、回転体６０を回転させることができる。
【００５８】  なお、実装ヘッド５０には、基板認識カメラＣ１（図７参照）が設けられている。基板認識カメラＣ１は、実装ヘッド５０とともに一体的に移動することで、作業位置に停止したプリント基板Ｂ１上の任意の位置の画像を撮像する。また、基台１０上における作業位置の近傍には、部品認識カメラＣ２（図１参照）が固定されている。部品認識カメラＣ２は、吸着ノズル５６によって部品供給装置４０の部品供給位置から吸着された電子部品Ｅ１の画像を撮像する。
【００５９】  （表面実装機の電気的構成）  次に、表面実装機１の電気的構成について、図７を参照して説明する。表面実装機１の本体は、制御部１１０によってその全体が制御統括されている。制御部１１０は、ＣＰＵ等により構成される演算制御部１１１を備えている。演算制御部１１１には、モータ制御部１１２と、記憶部１１３と、画像処理部１１４と、外部入出力部１１５と、フィーダ通信部１１６と、表示部１１７と、入力部１１８と、がそれぞれ接続されている。
【００６０】  モータ制御部１１２は、後述する実装プログラム１１３Ａに従って部品実装装置３０のＸ軸サーボモータ３５Ｘ及びＹ軸サーボモータ３５Ｙを駆動させるとともに、実装ヘッド５０のＮ軸サーボモータ３５Ｎ、Ｒ軸サーボモータ３５Ｒ、Ｚ軸リニアモータ３５Ｚ、及びＶ軸リニアモータ３５Ｖをそれぞれ駆動させる。また、モータ制御部１１２は、実装プログラム１１３Ａに従って搬送コンベア２０を駆動させる。
【００６１】  記憶部１１３は、ＣＰＵを制御するプログラム等を記憶するＲＯＭ（Read Only Memory）や装置の動作中に種々のデータを一時的に記憶するＲＡＭ（Random Access Memory）等から構成されている。記憶部１１３には、次述する実装プログラム１１３Ａと各種データ１１３Ｂとが記憶されている。
【００６２】  記憶部１１３に記憶される実装プログラム１１３Ａには、具体的には、実装対象となるプリント基板Ｂ１の生産台数に関する基板情報、プリント基板Ｂ１に実装される電子部品Ｅ１の個数や種類等を含む部品情報、プリント基板Ｂ１上の電子部品Ｅ１の実装位置に関する実装情報等が含まれている。記憶部１１３に記憶される各種データ１１３Ｂには、部品供給装置４０の各フィーダ４２に保持された電子部品Ｅ１の数や種類に関するデータ等が含まれている。
【００６３】  画像処理部１１４には、基板認識カメラＣ１及び部品認識カメラＣ２から出力される撮像信号がそれぞれ取り込まれるようになっている。画像処理部１１４では、取り込まれた各カメラＣ１，Ｃ２からの撮像信号に基づいて、部品画像の解析並びに基板画像の解析がそれぞれ行われるようになっている。
【００６４】  外部入出力部１１５は、いわゆるインターフェースであって、表面実装機１の本体に設けられる各種センサ類１１５Ａから出力される検出信号が取り込まれるように構成されている。また、外部入出力部１１５は、演算処理部１１１から出力される制御信号に基づいて、各種アクチュエータ類１１５Ｂに対する動作制御を行うように構成されている。
【００６５】  フィーダ通信部１１６は、部品供給装置４０に取り付けられた各フィーダ４２の制御部と接続されており、各フィーダ４２を統括して制御する。各フィーダ４２の制御部は、部品供給テープを送出するためのモータの駆動を制御する。
【００６６】  表示部１１７は、表示画面を有する液晶表示装置等から構成され、表面実装機１の状態等を表示画面上に表示する。入力部１１８は、キーボード等から構成され、手動による操作によって外部からの入力を受け付けるようになっている。
【００６７】  以上のような構成とされた表面実装機１では、自動運転中において、搬送コンベア２０によるプリント基板Ｂ１の搬送作業を行う搬送状態と、基台１０上の作業位置に搬入されたプリント基板Ｂ１上への電子部品Ｅ１の実装作業を行う実装状態と、が交互に実行される。
【００６８】  （Ｖ軸駆動装置におけるリニアモータ駆動の駆動機構）  次に、Ｖ軸駆動装置１００におけるリニアモータ駆動の駆動機構について、図９及び図１０を参照して説明する。図９に示すように、箱状のＶ軸駆動源１０２は、リニアモータ駆動による駆動機構が設けられた板状のＶ軸本体部１１２と、Ｖ軸本体部１１２に取り付けられて上記駆動機構を外部から保護するＶ軸カバー１１４と、を備えている。Ｖ軸カバー１１４はＶ軸本体部１１２を完全には覆っておらず、Ｖ軸カバー１１４の前方には、Ｖ軸駆動源１０２の内部に熱が籠らないようにするための冷却開口１１４Ａが設けられている。
【００６９】  Ｖ軸駆動装置１００では、Ｖ軸駆動源１０２にリニアモータの固定子１２０が設けられ、Ｖ軸可動部１０４にリニアモータの可動子１３０が設けられている。Ｖ軸駆動源１０２では、図１０に示すように、Ｖ軸本体部１１２の板面上に、Ｖ軸可動部１０４の移動方向（Ｚ軸方向、上下方向）に沿って並列配置された３つの電機子コイル１２２からなる固定子１２０と、Ｖ軸可動部１０４の移動方向に沿って延びるレール１２４と、鉄片（磁性体の一例）１２６と、がそれぞれ設けられている。
【００７０】  固定子１２０は、Ｖ軸駆動源１０２の前方側（図１０における左側）に設けられている。レール１２４は、固定子１２０との間にＶ軸可動部１０４が配される形でＶ軸可動部１０４の後方側（図１０における右側）に設けられている。レール１２４は、その内側にレール１２４の延在方向に沿って延びるレール溝（不図示）が設けられている。鉄片１２６は、固定子１２０との間に所定の間隔を空けて固定子１２０の下方に設けられている。鉄片１２６は、Ｖ軸本体部１１２に対してボルト締めされており、ボルトを緩めることで、Ｚ軸方向やＹ軸方向の位置を調整することが出来る。
【００７１】  一方、Ｖ軸可動部１０４は、図１０に示すように、両板面を前後方向に向けた形でＶ軸可動部１０４の移動方向に延びる厚板状のヨーク１３２と、ヨーク１３２の前面に設けられ、複数の永久磁石１３４からなる可動子１３０と、ヨーク１３２の前面に設けられ、１つの永久磁石からなる位置保持磁石１３６と、ヨーク１３２の後面に設けられたレールガイド１３８と、ヨーク１３２の上端部に取り付けられたカムフォロア支持部１３９と、を有している。なお、上記鉄片１２６と位置保持磁石１３６は、位置保持部の一例である。
【００７２】  ヨーク１３２は、その下端部が後方側に屈曲され、その先端部がレール１２４の下端部の後方に至るまで伸びている。可動子１３０を構成する複数の永久磁石１３４は、異なる磁極が交互に並ぶように等間隔で直線状に配置されている。位置保持磁石１３６は、ヨーク１３２の下端部の前面であって可動子１３０を構成する複数の永久磁石１３４の下側に設けられている。複数の永久磁石１３４の表面と位置保持磁石１３６の表面は、同一平面上に位置している。
【００７３】  レールガイド１３８は、ヨーク１３２の延伸方向に沿って溝状に設けられ、レール１２４に対してヨーク１３２の延伸方向（Ｖ軸可動部１０４の移動方向、Ｚ軸方向、上下方向）に沿って移動可能に嵌合されている。カムフォロア支持部１３９は、ヨーク１３２の上端部に設けられ、Ｖ軸カムフォロア１０６が回転可能に支持されている。ヨーク１３２が移動すると、ヨーク１３２と共にカムフォロア支持部１３９及びＶ軸カムフォロア１０６が移動する。
【００７４】  Ｖ軸駆動装置１００では、複数の永久磁石１３４と固定子１２０、及び位置保持磁石１３６と鉄片１２６がいずれも近接した状態でＶ軸可動部１０４のレール１２４がレールガイド１３８に嵌合されており、複数の永久磁石１３４と固定子１２０との間の距離、及び位置保持磁石１３６と鉄片１２６との間の距離は略等しくされている。一方、図１０に示すように、位置保持磁石１３６と、可動子１３０を構成する複数の永久磁石１３４との間の間隔Ｄ１は、可動子１３０が有する複数の永久磁石１３４の間隔Ｄ２よりも大きくされている。尚、間隔Ｄ１は、位置保持磁石１３６から見て最も近くにある永久磁石１３４（図１０では最下端に位置する永久磁石１３４）と、位置保持磁石１３６と、の間隔である。
【００７５】  Ｖ軸駆動装置１００では、Ｖ軸駆動源１０２とＶ軸可動部１０４が上記のような構成とされていることで、固定子１２０の電機子コイル１２２が通電されると、固定子１２０と可動子１３０との間にＶ軸可動部１０４をＺ軸方向（上下方向）に移動させるリニアモータ駆動の推進力が働く。このような推進力を付与する固定子１２０及び可動子１３０は、Ｖ軸リニアモータ３５Ｖとされ、上記制御部１１０によって制御される。
【００７６】  そして、Ｖ軸駆動装置１００では、位置保持磁石１３６と鉄片１２６が磁気ばねを構成しており、電機子コイル１２２への通電が遮断された時（Ｖ軸駆動源１０２が停止した時）に、磁気ばねの磁気吸引力により、位置保持磁石１３６が鉄片１２６の正面の位置に引き寄せられる。これにて、バルブスプール９２が負圧供給位置及び正圧供給位置のどちらの位置にあっても、Ｖ軸可動部１０４がバルブスプール９２に対して干渉しない非干渉位置に、磁気ばね（位置保持磁石１３６、鉄片１２６）が、Ｖ軸可動部１０４を位置保持する構造になっている。
【００７７】  より具体的に説明すると、Ｖ軸可動部１０４のＶ軸カムフォロア１０６が、図８に示すＦ範囲、すなわち正圧供給位置にあるバルブスプール９２の上側の対向部９３Ａ１と、負圧供給位置にあるバルブスプール９２の下側の対向部９３Ａ２の間に位置するように、磁気ばね（位置保持磁石１３６、鉄片１２６）がＶ軸可動部１０４を位置保持する。また、図８では、上下の対向部９３Ａを区別するため、上側の対向部に対して９３Ａ１の符合を付し、下側の対向部に対して９３Ａ２の符合を付している。
【００７８】  また、可動子１３０を構成する複数の永久磁石１３４の磁力は、位置保持磁石１３６の磁力よりも大きくされており、リニアモータ駆動によるＶ軸駆動源１０２の移動は、位置保持磁石１３６の影響を受けないようになっている。
【００７９】  （実施形態の効果）  本実施形態に係る実装ヘッド５０は、位置保持磁石１３６と鉄片１２６からなる磁気ばねが、負圧供給位置及び正圧供給位置にあるバルブスプール９２に対してＶ軸可動部１０４が干渉しない非干渉位置にＶ軸可動部１０４を位置保持する。具体的には、負圧供給位置や正圧供給位置に位置するバルブスプール９２の対向部９３Ａに対して、Ｖ軸カムフォロア１０６が干渉しない位置に、Ｖ軸可動部１０４を位置保持する。
【００８０】  そのため、Ｖ軸駆動装置１００を含む各装置の電源を落として、実装ヘッド５０のメンテナンスのため実装ヘッド５０の回転体６０を回転させた時に、負圧供給位置や正圧供給位置に位置するバルブスプール９２の対向部９３Ａに対して、Ｖ軸カムフォロア１０６が干渉することを避けることが出来る。そのため、実装ヘッド５０のメンテナンス性を向上させることができる。
【００８１】  さらに上記の実装ヘッド５０では、上記のように位置保持磁石１３６と鉄片１２６からなる磁気ばねが、負圧供給位置及び正圧供給位置にあるバルブスプール９２と干渉しない位置に、Ｖ軸可動部１０４を位置保持する。そのため、吸着ノズル５６が部品を吸着した状態で電源が停止するなどして実装ヘッド５０が非常停止となった場合に、Ｖ軸カムフォロア１０６が、負圧供給位置にある下側の当接部９３Ａ２を下方に押して、バルブスプール９２を負圧供給位置から正圧供給位置に切り換えることを抑制できる。そのため、吸着ノズル５６から部品が落下することを抑制することができる。その結果、装置の信頼性を向上させることができる。
【００８２】  また、Ｖ軸カムフォロア１０６は、正圧供給位置にあるバルブスプール９２の上側の対向部９３Ａ２と負圧供給位置にあるバルブスプール９２の対向部９３Ａ１の中間位置に保持することが好ましい。そのようにすることで、負圧供給位置側、正圧供給位置側のどちらに位置するバルブスプール９２の対向部９３Ａに対しても、Ｖ軸カムフォロア１０６が干渉し難くなる。
【００８３】  また、本実施形態の実装ヘッド５０では、Ｖ軸可動部１０４を位置保持する位置保持部を、磁気ばねにより構成している。
【００８４】  例えば、位置保持部を、コイルばねなどの巻ばねで構成する場合、Ｖ軸可動部１４０の保持位置を調整することは難く、また、巻ばねの弾性劣化により、位置保持力が低下する虞がある。磁気ばねは、鉄片１２６の位置調整により、Ｖ軸可動部１４０の保持位置（Ｚ軸方向の保持位置）を調整することが可能である。そのため、Ｖ軸可動部１４０を高い位置精度で位置保持することが出来、かつ劣化が少なく耐久性もよい。
【００８５】  また、本実施形態の実装ヘッド５０では、上述したように、位置保持磁石１３６と可動子１３０を構成する複数の永久磁石１３４との間の間隔Ｄ１は、可動子１３０が有する複数の永久磁石１３４の間隔Ｄ２よりも大きくされている。このような構成とされていることで、上記間隔Ｄ１が上記間隔Ｄ２よりも小さくされている場合又は上記間隔Ｄ１と上記間隔Ｄ２が等しくされている場合と比べて、鉄片１２６の影響が可動子１３０を構成する複数の永久磁石１３４に及び難い。このため、可動子１３０を構成する複数の永久磁石１３４が、鉄片１２６に引き寄せられることを抑制することができる。その結果、磁気ばねによるＶ軸可動部１０４の位置保持機能を有しながら、リニアモータ駆動によるＶ軸可動部１０４の駆動機能を好適に維持することができる。
【００８６】  ＜他の実施形態＞  本明細書で開示される技術は上記既述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も技術的範囲に含まれる。（１）上記の実施形態では、Ｖ軸可動部１０４を位置保持する位置保持部の一例として、位置保持磁石１３６と鉄片１２６からなる磁気ばねを例示したが、例えば、Ｖ軸本体部１１２の板面上に取り付けられた巻ばねによってＶ軸可動部１０４の位置が保持される構成であってもよい。
【００８７】（２）上記の実施形態では、磁気ばねが鉄片１２６と位置保持磁石１３６によって構成される例を示したが、鉄片１２６に限定されず、他の磁性体であってもよい。
【００８８】（３）上記の実施形態では、位置保持部を構成する鉄片１２６と位置保持磁石１３６が固定子１２０の下側及び可動子１３０の下側に設けられた構成を例示したが、鉄片１２６と位置保持磁石１３６は、Ｖ軸駆動源１０２が停止した状態で、Ｖ軸可動部１０４の位置が保持されるような場所に設けられていればよく、鉄片１２６と位置保持磁石１３６が配置される場所については限定されない。
【００８９】（４）上記の実施形態では、ロータリー型の実装ヘッド５０を例示したが、複数のノズルシャフト５０が直線状に配置されたインライン型の実装ヘッドであってもよい。この場合、各ノズルシャフト５０と対応する形でバルブスプール９２が設けられ、特定の位置にあるバルブスプール９２がその軸方向に移動されるものであってもよい。
【００９０】（５）上記の実施形態では、Ｖ軸カムフォロア１０６がバルブスプール９２の各対向部９３Ａに当接することでバルブスプール９２がその軸方向に移動される構成を例示したが、バルブスプール９２に当接する部材はカムフォロア１０６に限定されず、例えば、非回転の固定ピンでもよい。
【００９１】（６）上記の実施形態では、Ｖ軸カムフォロア１０６が、バルブスプール９２が負圧供給位置とされる位置と正圧供給位置とされる位置の中間の高さ位置で保持される構成を例示したが、中間近傍の高さ位置で保持されればよく、中間からわずかにずれた位置に保持される構成であってもよい。
【００９２】（７）上記の実施形態では、実装ヘッド５０を備える表面実装機１について例示したが、上記の実施形態で例示される実装ヘッド５０は、表面実装機以外の装置についても適用可能である。
【００９３】  以上、実施形態について詳細に説明したが、これらは例示に過ぎず、特許請求の範囲を限定するものではない。特許請求の範囲に記載の技術には、以上に例示した具体例を様々に変形、変更したものが含まれる。
【符号の説明】
【００９４】  １...表面実装機  １０...基台  ２０...搬送コンベア（搬送装置）  ３０...部品実装装置  ４０...部品供給装置  ４２...フィーダ  ５０...実装ヘッド  ５５...ノズルシャフト  ５６...吸着ノズル  ６０...回転体  ６２...軸部  ６４...シャフト保持部  ７０...Ｒ軸駆動装置  ８０...Ｚ軸駆動装置  ８２...Ｚ軸駆動源  ８４...Ｚ軸可動部  ８６...Ｚ軸カムフォロア  ９０...切替装置  ９２...バルブスプール（軸状部材）  ９３...当接部  ９３Ａ...対向部  ９４...スリーブ  ９６...外側シール部材  ９７...内側シール部材  １００...Ｖ軸駆動装置（駆動装置）  １０２...Ｖ軸駆動源（駆動源）  １０４...Ｖ軸可動部（可動部）  １０６...Ｖ軸カムフォロア（ピン）  １２４...レール  １２０...固定子  １２２...電機子コイル  １２６...鉄片（位置保持部）  １３０...可動子  １３２...ヨーク  １３４...永久磁石  １３６...位置保持磁石（位置保持部）  １３８...レールガイド  １３９...カムフォロア支持部  Ｂ１...プリント基板（基板）  Ｃ１...基板認識カメラ  Ｃ２...部品認識カメラ  Ｄ１...位置保持磁石と可動子を構成する複数の永久磁石との間の間隔  Ｄ２...複数の永久磁石の間隔  Ｅ１...電子部品（部品）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【国際調査報告】
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