(57)【要約】【課題】Ｘ線透過膜をたわみ、しわ、及び折れ等が生じないように展張した状態で試料載置台に容易に固定することができ、良好な分析精度が得られるＸ線検出装置、及び試料載置体を提供する。【解決手段】Ｘ線検出装置の試料載置台１は、基板１１、押止体１２、及び装着体１３を備える。基板１１は矩形板状をなし、周縁側部分に押止体１２及び装着体１３を収納する収納部１１１が突設され、中央部に丸筒状の突出部１１２が設けられている。押止体１２は円環状をなす。装着体１３は円板状をなし、中央部に貫通孔が設けられ、裏側に凹部１３３が設けられている。基板１１の収納部１１１に、中央部が突出部１１２に当接した状態でＸ線透過膜１４が載置され、該Ｘ線透過膜１４の周縁を押さえるように押止体１２が嵌め込まれた後、突出部１１２に凹部１３３が嵌合される。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を有し、Ｘ線透過膜を介して試料を載置する試料載置体と、該試料載置体に載置された試料へＸ線を照射するＸ線照射部と、前記試料から発生するＸ線を検出するＸ線検出器とを備えるＸ線検出装置において、
前記試料載置体は、
基板に嵌合部を有し、
前記基板の前記嵌合部より外側で、前記Ｘ線透過膜を押さえて止める押止体と、
前記嵌合部に嵌合される被嵌合部を有し、該被嵌合部と前記嵌合部との間に前記Ｘ線透過膜を挟み込んだ状態で、前記基板に装着される装着体と
を備えることを特徴とするＸ線検出装置。
【請求項２】
前記嵌合部は、筒状をなす突出部であり、
前記装着体は平板状をなし、前記被嵌合部は、前記突出部に嵌合される凹部であることを特徴とする請求項１に記載のＸ線検出装置。
【請求項３】
前記基板は、周縁の内側に周壁部を有し、
前記押止体はリング状をなし、前記装着体に外嵌され、かつ前記周壁部に内嵌されることを特徴とする請求項２に記載のＸ線検出装置。
【請求項４】
前記押止体は、前記装着体に隙間を有する状態で嵌められ、該装着体と前記押止体との間に、試料セルに設けてある脚部を差し込み可能に構成されていることを特徴とする請求項３に記載のＸ線検出装置。
【請求項５】
前記装着体と押止体とは一体化してあることを特徴とする請求項３に記載のＸ線検出装置。
【請求項６】
基板を有し、Ｘ線透過膜を介して試料を載置する試料載置体と、該試料載置体に載置された試料へＸ線を照射するＸ線照射部と、前記試料から発生するＸ線を検出するＸ線検出器とを備えるＸ線検出装置において、
前記試料載置体は、
基板に第１嵌合部が設けられ、該第１嵌合部の外側に第２嵌合部が設けられており、
平板状をなし、前記第１嵌合部に嵌合される第１被嵌合部と、該第１被嵌合部の外側に設けられ、前記第２嵌合部に嵌合される第２被嵌合部とを有し、前記第１嵌合部と前記第１被嵌合部との間に前記Ｘ線透過膜を挟み込んだ状態で、前記基板に装着される装着体を備えることを特徴とするＸ線検出装置。
【請求項７】
基板を有し、Ｘ線透過膜を介して試料を載置し、該試料にＸ線を照射して発生する蛍光Ｘ線を検出するために用いられる試料載置体において、
基板に嵌合部を有し、
前記基板の周縁側部分上で、前記Ｘ線透過膜を押さえて止める押止体と、
前記嵌合部に嵌合される被嵌合部を有し、該被嵌合部と前記嵌合部との間に前記Ｘ線透過膜を挟み込んだ状態で、前記基板の、前記押止体の内側に装着される装着体と
を備えることを特徴とする試料載置体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、Ｘ線を試料へ照射し、試料から発生する蛍光Ｘ線を検出するＸ線検出装置、及び基板を有し、Ｘ線透過膜を介して試料を載置し、該試料にＸ線を照射して発生する蛍光Ｘ線を検出するために用いられる試料載置体に関する。
【背景技術】
【０００２】
蛍光Ｘ線分析は、Ｘ線を試料へ照射し、試料から発生する蛍光Ｘ線を検出し、蛍光Ｘ線のスペクトルから、試料に含有される元素の定性分析又は定量分析を行う分析手法である。Ｘ線検出装置は一般的に、円状をなすＸ線透過膜を介し試料を載置する試料載置台と、該試料載置台に載置された試料へＸ線を照射するＸ線照射部と、試料から発生するＸ線を検出するＸ線検出器と、Ｘ線照射部が試料へ照射するＸ線を絞るコリメータとを備える（例えば特許文献１等）。Ｘ線透過膜は、腐食性を有する大気環境下で曇り等が生じ、検出感度が低下するのを防止する目的で、装置の試料載置部分の開口をシールするために用いられる。Ｘ線透過膜としては、例えばポリエチレンテレフタレート又はポリプロピレン等のＸ線を透過しやすい合成樹脂からなり、シート状をなす有機薄膜が用いられる。
【０００３】
試料載置台は、基板と、基板に対して着脱が可能な装着体とを有する。基板及び装着体は共に貫通孔を有する。貫通孔を塞ぐようにＸ線透過膜が張られ、Ｘ線透過膜が基板と装着体とで挟まれた状態で固定される。即ち、装着体を外した状態で、基板の貫通孔にＸ線透過膜が張られ、装着体を基板に装着することで、Ｘ線透過膜が固定される。試料はＸ線透過膜の上側に載置される。
また、装置とは別体の取付部品にＸ線透過膜を展張した状態でセットし、該取付部品を試料載置台に嵌めて試料載置台に固定した後、該取付部品を取り外すように構成されているＸ線検出装置も存在する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１２−０８８１９６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
Ｘ線透過膜がたわみ、しわ、及び折れ等がある状態で試料載置台に固定された場合、散乱等により蛍光Ｘ線分析の精度が低下するという問題がある。また、影が生じるので、Ｘ線透過膜を通して試料を撮影する場合、良好な撮像が得られないという問題がある。
従って、装着体を基板に装着する場合等において、たわみ、しわ、及び折れ等が発生しないように、Ｘ線透過膜の周縁部を手で引っ張りながら装着体を基板に嵌め込んでいた。このため、作業が煩雑になり、また、Ｘ線透過膜の全周に亘って均等に展張させるのは困難であり、固定後にたわみ等が残るおそれがあるという問題があった。
そして、基板を装置本体に取り付けた後に装着体を基板に取り付けるように構成されている場合、上述の取付部品を基板に取り付けるのが困難であるという問題があった。
【０００６】
本発明は斯かる事情に鑑みてなされたものであり、Ｘ線透過膜をたわみ、しわ、及び折れ等が生じないように展張した状態で容易に固定することができ、良好な分析精度が得られるＸ線検出装置、及び試料載置体を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係るＸ線検出装置は、基板を有し、Ｘ線透過膜を介して試料を載置する試料載置体と、該試料載置体に載置された試料へＸ線を照射するＸ線照射部と、前記試料から発生するＸ線を検出するＸ線検出器とを備えるＸ線検出装置において、前記試料載置体は、基板に嵌合部を有し、前記基板の前記嵌合部より外側で、前記Ｘ線透過膜を押さえて止める押止体と、前記嵌合部に嵌合される被嵌合部を有し、該被嵌合部と前記嵌合部との間に前記Ｘ線透過膜を挟み込んだ状態で、前記基板に装着される装着体とを備えることを特徴とする。
【０００８】
ここで、「嵌合」とは、被嵌合部が嵌合部に隙間のない状態（密接した状態）で嵌められる場合と、被嵌合部が嵌合部に隙間のある状態で嵌められる（遊嵌される）場合とをいう。
本発明においては、予め、基板の周縁側部分（外寄り部分）上に、押止体をＸ線透過膜を挟んだ状態で押圧し、これにより張力が生じた状態で、装着体の被嵌合部を基板の嵌合部に嵌めるので、容易に、確実に、Ｘ線透過膜が展張した状態で基板に固定される。従って、Ｘ線透過膜にたわみ、しわ、及び折れ等が生じるのが抑制される。よって、散乱することなく、Ｘ線を試料へ良好に照射することができ、また、試料を撮影する場合には良好に撮影することができ、良好な分析精度が得られる。
そして、押止体は従来のＸ線検出装置のＸ線透過膜のための取付部品と異なり、試料載置体の構成部品であり、装着体と略同一平面上にあるように構成することで、凹凸なく試料を試料載置体に載置することができる。
【０００９】
本発明に係るＸ線検出装置は、前記嵌合部は、筒状をなす突出部であり、前記装着体は平板状をなし、前記被嵌合部は、前記突出部に嵌合される凹部であることを特徴とする。
【００１０】
本発明においては、嵌合時に、Ｘ線透過膜が外周部に向けて、良好に放射状に引っ張られた状態で固定される。
【００１１】
本発明に係るＸ線検出装置は、前記基板は、周縁の内側に周壁部を有し、前記押止体はリング状をなし、前記装着体に外嵌され、かつ前記周壁部に内嵌されることを特徴とする。
【００１２】
ここで、「外嵌」とは外側に嵌めることをいい、「内嵌」とは内側に嵌めることをいう。装着体と押止体との間、及び押止体と周壁部との間に隙間はあってもなくてもよい。
本発明においては、容易に、周方向に均一に、Ｘ線透過膜に張力を付与することができる。
また、基板を装置本体の筐体に取り付けた後であっても、容易に押止体及び装着体を基板の周壁部に嵌め込むことができ、作業性が良好である。
【００１３】
本発明に係るＸ線検出装置は、前記押止体は、前記装着体に隙間を有する状態で嵌められ、該装着体と前記押止体との間に、試料セルに設けてある脚部を差し込み可能に構成されていることを特徴とする。
【００１４】
本発明においては、脚部を有する試料セルを容易に確実に試料載置台に固定することができる。
【００１５】
本発明に係るＸ線検出装置は、前記装着体と押止体とは一体化してあることを特徴とする。
【００１６】
本発明においては、装着体の基板への装着作業が簡単になる。
【００１７】
本発明に係るＸ線検出装置は、基板を有し、Ｘ線透過膜を介して試料を載置する試料載置体と、該試料載置体に載置された試料へＸ線を照射するＸ線照射部と、前記試料から発生するＸ線を検出するＸ線検出器とを備えるＸ線検出装置において、前記試料載置体は、基板に第１嵌合部が設けられ、該第１嵌合部の外側に第２嵌合部が設けられており、平板状をなし、前記第１嵌合部に嵌合される第１被嵌合部と、該第１被嵌合部の外側に設けられ、前記第２嵌合部に嵌合される第２被嵌合部とを有し、前記第１嵌合部と前記第１被嵌合部との間に前記Ｘ線透過膜を挟み込んだ状態で、前記基板に装着される装着体を備えることを特徴とする。
【００１８】
本発明においては、簡単な構成で、Ｘ線透過膜の周縁側部分を押さえ、張力が生じた状態で、装着体の第１被嵌合部を基板の第１嵌合部に嵌めることができ、容易に、確実に、Ｘ線透過膜を展張した状態で基板に固定することができる。従って、Ｘ線透過膜にたわみ、しわ、及び折れ等が生じるのが抑制され、散乱することなく、Ｘ線を試料へ良好に照射することができ、また、試料を撮影する場合には良好に撮影することができる。
【００１９】
本発明に係る試料載置体は、基板を有し、Ｘ線透過膜を介して試料を載置し、該試料にＸ線を照射して発生する蛍光Ｘ線を検出するために用いられる試料載置体において、基板に嵌合部を有し、前記基板の周縁側部分上で、前記Ｘ線透過膜を押さえて止める押止体と、前記嵌合部に嵌合される被嵌合部を有し、該被嵌合部と前記嵌合部との間に前記Ｘ線透過膜を挟み込んだ状態で、前記基板の、前記押止体の内側に装着される装着体とを備えることを特徴とする。
【００２０】
本発明においては、予め、基板の周縁側部分（外寄り部分）上に、押止体をＸ線透過膜を挟んだ状態で押圧し、これにより張力が生じた状態で、装着体の被嵌合部を基板の嵌合部に嵌めるので、容易に、確実に、Ｘ線透過膜が展張した状態で基板に固定される。従って、Ｘ線透過膜にたわみ、しわ、及び折れ等が生じるのが抑制される。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、押止体によりＸ線透過膜の周縁側部分を押さえ、張力が生じた状態で、装着体の被嵌合部を基板の嵌合部に嵌めるので、容易に、確実に、Ｘ線透過膜が展張した状態で基板に固定され得る。従って、Ｘ線透過膜にたわみ、しわ、及び折れ等が生じるのが抑制され、散乱することなく、Ｘ線を試料へ良好に照射することができ、また、試料を撮影する場合には良好に撮影することができ、良好な分析精度が得られる。
そして、押止体は従来の取付部品と異なり、試料載置体の構成部品であり、装着体と略同一平面上にあるように構成することで、凹凸なく試料を試料載置体に載置することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の実施の形態１に係るＸ線検出装置の要部の構成を示す模式的斜視図である。
【図２】図１のII-II線断面図である。
【図３】試料載置台を示す分解斜視図である。
【図４】図４Ａは試料載置台の押止体を示す裏面図、図４Ｂは試料載置台の装着体を示す裏面図である。
【図５】試料載置台を示す断面図である。
【図６】Ｘ線検出装置の外観を示す斜視図である。
【図７】装着体の他の例を示す断面図である。
【図８】図８Ａは本発明の実施の形態２に係る試料載置台を示す断面図、図８Ｂは装着体を基板に装着した場合を示す一部拡大図である。
【図９】本発明の実施の形態３に係る試料載置台を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、本発明をその実施の形態を示す図面に基づき具体的に説明する。
実施の形態１．
図１は本発明の実施の形態１に係るＸ線検出装置１０の要部の構成を示す模式的斜視図、図２は図１のII-II線断面図である。
Ｘ線検出装置１０は、Ｘ線を試料Ｓ１へ照射して発生する蛍光Ｘ線を検出し、蛍光Ｘ線スペクトルの測定又は試料に含有される元素を分析する蛍光Ｘ線分析を行うための装置である。
Ｘ線検出装置１０は、試料載置台（試料載置体）１、コリメータ２、Ｘ線照射部４、Ｘ線検出器５、撮像素子６１、及び直線駆動モータ７を備えている。試料載置台１は水平板状であり、試料Ｓ１が載置されることによって試料Ｓ１を支持する。試料載置台１の中央部には、貫通孔１３１が設けられている。試料Ｓ１は、Ｘ線透過膜１４上に、貫通孔１３１を塞ぐように載置される。
また、Ｘ線透過膜１４上には、試料セルＳ２（図２中破線で示す）を載置することにしてもよい。試料セルＳ２は円筒状の本体Ｓ２ａを有し、本体Ｓ２ａの下側開口部から所定の高さの位置には板部Ｓ２ｂが設けられている。試料セルＳ２には、液状の試料が本体Ｓ２ａの上側開口部から注入されて貯液される。試料セルＳ２は、本体Ｓ２ａの板部Ｓ２ｂより下側の部分である脚部を、後述する押止体１２と装着体１３との間隙に挿入するように構成されている。
【００２４】
以下、試料Ｓ１を例に挙げて説明する。
試料載置台１の下側に、載置された試料Ｓ１へＸ線を照射する上述のＸ線照射部４、Ｘ線照射部４からのＸ線を絞るコリメータ２、試料Ｓ１から発生する蛍光Ｘ線を検出するＸ線検出器５が配置されている。図２中には、Ｘ線照射部４及びＸ線検出器５を簡略化して断面で示しているが、実際には、Ｘ線照射部４及びＸ線検出器５は複数の部品で構成され内部には空洞も含まれている。
【００２５】
試料載置台１は、基板１１、押止体１２、及び装着体１３を備える。基板１１の中央部に装着体１３が嵌められ、装着体１３の外側に押止体１２が嵌められている。基板１１と、押止体１２及び装着体１３との間にＸ線透過膜１４が挟み込まれる。Ｘ線透過膜１４は例えばポリエチレンテレフタレート又はポリプロピレン等のＸ線を透過しやすい合成樹脂からなる、円状のシートである。Ｘ線透過膜１４は多角形状であってもよい。試料載置台１の構成については後述する。
【００２６】
Ｘ線照射部４は、試料載置台１上に載置された試料Ｓ１の下面に対して斜め下側からＸ線を照射する位置に配置されている。Ｘ線照射部４は、Ｘ線管を用いて構成されており、Ｘ線の出射端を試料載置台１の貫通孔１３１へ向けて配置されている。Ｘ線検出器５は、試料載置台１上に載置された試料Ｓ１の下面から斜め下方向へ放射された蛍光Ｘ線を検出することができる位置に配置されている。Ｘ線検出器５は、Ｓｉ素子等のＸ線検出素子を用いて構成されており、蛍光Ｘ線の入射端を試料載置台１の貫通孔１３１へ向けて配置されている。即ち、Ｘ線照射部４及びＸ線検出器５は、平板状の試料載置台１に対して同一の面側に配置され、Ｘ線の出射口と蛍光Ｘ線の入射口とを、試料載置台１の共通する所定の部分に向けて配置されている。なお、Ｘ線照射部４の照射軸とＸ線検出器５の入射軸とが試料載置台１の一点で重なる必要はなく、試料載置台１上へのＸ線照射部４からのＸ線の照射範囲と試料載置台１上からのＸ線検出器５へのＸ線の入射範囲とが重なっていればよい。また、Ｘ線照射部４及びＸ線検出器５は、平板状の試料載置台１に直交して貫通孔１３１の中心を通る仮想的な中心軸に対して対称な位置に、試料載置台１に近づけて配置されている。図２中には、仮想的な中心軸を一点鎖線で示している。Ｘ線照射部４から試料Ｓ１へＸ線が照射され、試料Ｓ１で蛍光Ｘ線が発生し、蛍光Ｘ線がＸ線検出器５に検出される。図２中には、Ｘ線照射部４から試料Ｓ１へ照射されるＸ線、及び試料Ｓ１で発生してＸ線検出器５に検出される蛍光Ｘ線を破線で示している。
【００２７】
コリメータ２は、試料載置台１の直下で、Ｘ線照射部４から試料載置台１までのＸ線の経路上に配置されている。コリメータ２は、金属を材料として板状に形成されており、絞り孔が形成されている。絞り孔がＸ線の経路上に位置した場合、絞り孔を通過してＸ線がＸ線照射部４から試料Ｓ１へ照射される。絞り孔を通過しないＸ線はコリメータ２で遮蔽される。コリメータ２には、光を通過させる窓部（不図示）が連結している。窓部は、アクリル板等の透明部材を用いて構成されている。貫通孔１３１の直下には、ＣＣＤ（Charge Coupled Device ）イメージセンサ又はＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor ）イメージセンサ等の撮像素子６１が備えられている。また、Ｘ線検出装置１０は、発光ダイオード等の発光素子（不図示）を備えている。窓部が貫通孔１３１の直下に位置した状態で、発光素子が発光し、光は窓部を通過して試料Ｓ１で反射し、窓部を通過して撮像素子６１へ入射する。以上のようにして、試料Ｓ１の撮影が行われる。コリメータ２は、直線駆動モータ７により試料載置台１の下面に沿って移動される。
【００２８】
Ｘ線検出装置１０は、Ｘ線照射部４等の動作を制御する制御部（不図示）を備えている。前記窓部が貫通孔１３１の直下にある場合は、制御部は、Ｘ線照射部４にＸ線を照射させない。なお、Ｘ線検出器装置は、撮像素子６１、前記窓部及び発光素子を備えていない形態であってもよい。
また、Ｘ線検出装置１０は、蛍光Ｘ線測定のための信号処理を実行する信号処理部（不図示）を備えている。Ｘ線検出器４は、検出した蛍光Ｘ線のエネルギーに比例した信号を信号処理部へ出力し、信号処理部は、各値の信号をカウントし、Ｘ線検出器５が検出した蛍光Ｘ線のエネルギーとカウント数との関係、即ち蛍光Ｘ線のスペクトルを取得する処理を行う。なお、Ｘ線検出器５は、蛍光Ｘ線を波長別に分離して検出する形態であってもよい。また、信号処理部は、蛍光Ｘ線のスペクトルに基づいて試料に含有される元素の定性分析又は定量分析を行う蛍光Ｘ線分析の処理をも実行する形態であってもよい。
【００２９】
以下、試料載置台１について詳述する。
図３は試料載置台１を示す分解斜視図、図４Ａは試料載置台１の押止体１２を示す裏面図、図４Ｂは試料載置台１の装着体１３を示す裏面図、図５は試料載置台１を示す断面図である。
基板１１は矩形板状をなす。基板１１の４つの角部にはネジ挿通孔１１４が設けられている。基板１１のネジ挿通孔１１４が設けられている部分の少し内側には、押止体１２及び装着体１３を収納する筒状の収納部（周壁部）１１１が突設されている。収納部１１１の外縁は角部を丸めた四角形状をなし、内縁は円状をなしている。
また、基板１１は、中央部に丸筒状をなす突出部（嵌合部）１１２を有する。突出部１１２の内壁面に相当する開口部１１３は、収納部１１１の底面を貫通し、即ち基板１１を貫通している。
【００３０】
押止体１２は円環状をなす。図４Ａ及び図５に示すように、押止体１２は裏側の内縁にテーパ面１２１を有し、着脱しやすいように構成されている。押止体１２は円環状をなす場合に限定されるものではなく、四角環状をなすものであってもよい。
【００３１】
装着体１３は円板状をなす。図４Ｂ及び図５に示すように、装着体１３の中央部に前記貫通孔１３１が設けられており、１つの径方向の両端部に半円状の切欠き１３２が設けられている。切欠き１３２により装着体１３は容易に着脱される。
装着体１３の裏側には、平面視で直径が貫通孔１３１の直径より大きい円状をなす凹部１３３（被嵌合部）が設けられている。
装着体１３の外径は押止体１２の内径より少し小さい。
【００３２】
以上のように構成された試料載置台１においては、まず、後述する装置本体の筐体８３に基板１１が、ネジ挿通孔１１４にネジが挿通されてネジ止めされる。
そして、この基板１１の収納部１１１に、中央部が突出部１１２に当接した状態でＸ線透過膜１４が載置され、該Ｘ線透過膜１４の周縁側部分を押さえるように押止体１２が嵌め込まれる。Ｘ線透過膜１４を挟んだ状態で、押止体１２の底面が収納部１１１の内側の基板平面（底面）に当接するように押止体１２を押圧することで、Ｘ線透過膜１４に放射状に張力が付与される。
【００３３】
そして、基板１１の突出部１１２に装着体１３の凹部１３３を嵌合し、装着体１３を基板１１に装着する（図２参照）。
予め押止体１２によりＸ線透過膜１４に張力を持たせた状態にしてあるので、突出部１１２に凹部１３３を嵌合したときに、Ｘ線透過膜１４にたわみ、しわ、折れが生じるのが抑制されている。即ち、従来のように取付部品を用いることなく、押止体１２を収納部１１１に内嵌するのみで、容易にＸ線透過膜１４に、中央部から斜め下方の外縁へ向けて張力を付与することができ、しかも押止体１２はリング状であるので、Ｘ線透過膜１４を周方向に均等に展張することができ、この展張状態が緩むことなく、装着体１３を突出部１１２に嵌めることができる。そして、押止体１２及び装着体１３は基板１１に嵌め込んだときに略同一平面上にあるように構成することで、押止体１２は試料Ｓ１の載置ステージの一部となり、試料Ｓ１を凹凸のない面に載置することができ、試料Ｓ１が傾いたり、動いたりするのを抑制することができる。
試料セルＳ２を用いる場合、装着体１３と押止体１２との間の間隙に、試料セルＳ２の本体Ｓ２ａの脚部を挿入し、板部Ｓ２ｂを装着体１３及びＸ線透過膜１４に当接させることにより、試料セルＳ２を良好に試料載置台１に固定することができる。
Ｘ線透過膜１４を外す場合、装着体１３及び押止体１２のいずれか一方を先に外した後、他方を外し、Ｘ線透過膜１４を収納部１１１から取り出す。
【００３４】
図６は、Ｘ線検出装置１０の外観を示す斜視図である。Ｘ線検出装置１０の要部は、電源部等の図示しない他の部分と共に筐体８３内に納められており、筐体８３の一部は樹脂部材８２で形成されている。筐体８３には、金属製の蓋部８１が被さっている。図６は、蓋部８１を開放した状態を示している。蓋部８１は、平板の一端部を屈曲させた形状をしており、屈曲させた端部が可動端になっている。屈曲させた端部とは逆の端部は、ヒンジによって筐体８３に連結した連結端になっており、蓋部８１は、ヒンジの動作によって筐体８３に対して開閉可能になっている。蓋部８１が閉じた状態では、蓋部８１の可動端はストッパによって筐体８３に固定され、筐体８３の上側が蓋部８１に覆われる。蓋部８１を開放した状態では筐体８３の上側が開放される。筐体８３の上面の中央部には開口部が形成されており、該開口部に上述の試料載置台１が配置されている。装着体１３の上面と、筐体８３の上面とは略同一平面上にある。Ｘ線検出装置１０の要部の試料載置台１以外の部分は、筐体８３の内部に配置されている。
【００３５】
以上のように構成されたＸ線検出装置１０においては、Ｘ線透過膜１４が、たわみ等が生じるのが抑制された状態で、貫通孔１３１を塞ぐように設けられるので、Ｘ線照射部４からＸ線を照射する場合にＸ線が散乱することがなく、良好に試料Ｓ１にＸ線を照射することができる。そして、Ｘ線透過膜１４が、たわみ等が生じるのが抑制されているので、影が生じず、撮像素子６１により良好に試料Ｓ１を撮影することができる。従って、良好な分析精度が得られる。
また、基板１１を筐体８３に取り付けた後であっても、容易に押止体１２及び装着体１３を基板１１の収納部１１１に嵌め込むことができ、作業性が良好である。
【００３６】
なお、本実施の形態においては、装着体１３が押止体１２に遊嵌される場合につき説明しているがこれに限定されるものではない。上述の試料セルＳ２を試料載置台１に固定することを考慮しない場合等においては、装着体１３と押止体１２との間に隙間が生じないように嵌合することにしてもよい。
また、押止体１２と収納部１１１との間に隙間があるように構成することにしてもよい。
【００３７】
また、押止体１２と装着体１３とが別体である場合に限定されるものではない。図７に示すように、押止体１２と装着体１３とを一体化して装着体２３を構成することにしてもよい。図７中、図５と同一部分は同一符号を付している。装着体２３は、貫通孔２３１と、基板１１の突出部１１２に外嵌する凹部２３３とを備える。この場合においても、Ｘ線透過膜１４を挟んだ状態で装着体２３の側面が収納部１１１の内壁に押圧され、Ｘ線透過膜１４に張力が生じた状態で、凹部２３３が突出部１１２に嵌合される。この場合、装着体１３の基板１１への装着作業が簡単になる。
【００３８】
さらに、上述した本実施の形態においては、基板１１が突出部１１２を有し、装着体１３が凹部１３３を有し、突出部１１２に装着体１３を嵌合する場合につき説明しているがこれに限定されるものではない。基板１１に凹部（嵌合部）が設けられ、装着体１３に凸部（被嵌合部）が設けられており、該凸部を凹部に嵌合して装着体１３を基板１１に装着することにしてもよい、この場合においても、予め押止体１２によりＸ線透過膜１４の周縁側部分を押止するようにする。
【００３９】
実施の形態２．
本発明の実施の形態２に係るＸ線検出装置は、試料載置台３０の構成が異なること以外は、実施の形態１に係るＸ線検出装置１０と同様の構成を有する。
図８Ａは本発明の実施の形態２に係る試料載置台３０を示す断面図、図８Ｂは装着体３３を基板３１に装着した場合の一部拡大図である。
試料載置台３０は、基板３１と装着体３３とを備える。試料載置台３０は、実施の形態１に係る試料載置台１と異なり、押止体は装着体３３と一体化されている。
基板３１は、矩形板状をなす。基板３１の少し内側には、装着体３３を収納する筒状の収納部３１１が突設されている。収納部３１１の外縁は角部を丸めた四角形状をなし、内縁は円状をなしている。
また、基板３１は、中央部に丸筒状をなす突出部（第１嵌合部）３１２を有する。突出部３１２の内壁面に相当する開口部３１３は、収納部３１１の底面を貫通し、即ち基板３１を貫通している。
基板３１の平面の、収納部３１１の周壁部と突出部３１２との間には、平面視がリング状をなす凸部（第２嵌合部）３１５が突設されている。
【００４０】
装着体３３は円板状をなす。装着体３３の中央部に貫通孔３３１が設けられており、装着体３３の裏側には、平面視で、直径が貫通孔３３１の直径より大きい円状をなす凹部（第１被嵌合部）３３３が設けられている。
装着体３３の裏面の周縁部には、凸部３１５に嵌合される凹部（第２被嵌合部）３３５が設けられている。
【００４１】
本実施の形態においては、Ｘ線透過膜１４を、中央部が突出部３１２に当接された状態で収納部３１１に載置し、Ｘ線透過膜１４の周縁側部分を挟んだ状態で凹部３３５を凸部３１５に押圧するように嵌合し、Ｘ線透過膜１４に張力が生じた後、凹部３３３を突出部３１２に嵌合して、装着体３３を基板３１に装着する。本実施の形態においては、凹部３３５によりＸ線透過膜１４が基板３１側に押止され、凹部３３５は、実施の形態１に係る押止体として機能する。
【００４２】
凹部３３３、凹部３３５それぞれの、装着体３３の底面からの高さをａ、ｂとし、凸部３１５、突出部３１２、収納部３１１それぞれの、収納部３１１の底面からの高さをｃ、ｄ、ｅとする。
Ｘ線透過膜１４を挟んだ状態で凹部３３５を凸部３１５に押圧するように嵌合した後、凹部３３３を突出部３１２に嵌合して、装着体３３を基板３１に装着するためには、ａ、ｂ、ｃ、ｄは以下の式（１）、式（２）を満たす必要がある。
ａ≦ｄ                                      ・・・（１）
ａ＋ｃ＜ｂ＋ｄ                              ・・・（２）
図８Ｂに示すように、凹部３３３と突出部３１２との間にＸ線透過膜１４が展張した状態で挟まれるためには、上記式（１）を満たす必要がある。ａ＞ｄである場合、凹部３３３と突出部３１２との間に隙間が生じ、Ｘ線透過膜１４を展張した状態で挟むことができず、凹みが生じる。この場合、Ｘ線の照射時に散乱したり、試料Ｓ１を撮像する場合、影が生じて良好な撮像が得られないことになり、分析精度が低下する。
【００４３】
そして、図８Ｂに示すように、収納部３１１の底面を基準面とした場合、（ｄ−ａ）にｂを加えた高さをｃより高くすることにより、凹部３３５と凸部３１５との間に隙間が生じ、先に凹部３３５と凸部３１５との間にＸ線透過膜１４を挟んだ後、凹部３３３を突出部３１２に嵌めることが可能になる。即ち、凹部３３５と凸部３１５との間に隙間がない場合、先に凹部３３３が突出部３１２に嵌合し、Ｘ線透過膜１４を展張することができなくなる。
上述の関係式（ｄ−ａ＋ｂ＞ｃ）より上記式（２）が導かれる。
また、装着体３３を基板３１に嵌めたときに上面が面一になるように下記の式（３）を満たす必要がある。
ｄ＜ｅ                                      ・・・（３）
【００４４】
本実施の形態においては、従来の取付部品を用いることなく、凹部３３５を凸部３１５に押圧するように嵌合するのみで、容易にＸ線透過膜１４に、中央部から斜め下方の外縁へ向けて張力を付与することができ、しかも凸部３１５はリング状をなすので、Ｘ線透過膜１４を周方向に均等に展張することができ、この展張状態が緩むことなく、凹部３３３を突出部３１２に嵌めることができる。従って、Ｘ線透過膜１４はたわみ、しわ、折れが生じるのが抑制された状態で基板３１に固定され、Ｘ線照射部４からＸ線を照射する場合にＸ線が散乱することがなく、良好に試料Ｓ１にＸ線を照射することができる。そして、Ｘ線透過膜１４が、たわみ等が生じるのが抑制されているので、影が生じず、撮像素子６１により良好に試料Ｓ１を撮影することができる。従って、良好な分析精度が得られる。
【００４５】
実施の形態３．
本発明の実施の形態３に係るＸ線検出装置は、試料載置台３０の構成が異なること以外は、実施の形態２に係るＸ線検出装置と同様の構成を有する。図中、図８と同一部分は同一符号を付して詳細な説明を省略する。
図９は、本発明の実施の形態３に係る試料載置台３０を示す断面図である。
本実施の形態においては、基板３１の平面の、収納部３１１の周壁部と突出部（第１嵌合部）３１２との間には、平面視が円状をなす溝部（第２嵌合部）３１４が設けられている。
そして、装着体３３の裏面の周縁側部分には、溝部３１４に嵌合される挿入部（第２被嵌合部）３３４が突設されている。
【００４６】
本実施の形態においては、Ｘ線透過膜１４を、中央部が突出部３１２に当接された状態で収納部３１１に載置し、Ｘ線透過膜１４の周縁側部分を挟んだ状態で、挿入部３３４を溝部３１４に押圧するように嵌合し、Ｘ線透過膜１４に張力が生じた後、凹部（第１被嵌合部）３３３を突出部３１２に嵌合して、装着体３３を基板３１に装着する。
【００４７】
凹部３３３、挿入部３３４それぞれの、装着体３３の底面からの高さ、突出長をａ、ｂとし、溝部３１４の収納部３１１の底面からの深さをｃとし、突出部３１２、収納部３１１それぞれの、収納部３１１の底面からの高さをｄ、ｅとする。
Ｘ線透過膜１４を挟んだ状態で挿入部３３４を溝部３１４に押圧するように嵌合した後、凹部３３３を突出部３１２に嵌合して、装着体３３を基板３１に装着するためには、ａ、ｂ、ｃ、ｄは以下の式（１）、式（４）を満たす必要がある。
ａ≦ｄ                                      ・・・（１）
ａ＋ｂ＜ｃ＋ｄ                              ・・・（４）
装着体３３の底面を基準面とした場合、（ｄ−ａ）にｃを加えた、前記基準面からの突出長をｂより長くすることにより、挿入部３３４と溝部３１４との間に隙間が生じ、先に挿入部３３４と溝部３１４との間にＸ線透過膜１４を挟んだ後、凹部３３３を突出部３１２に嵌めることが可能になる。即ち、挿入部３３４と溝部３１４との間に隙間がない場合、先に凹部３３３が突出部３１２に嵌合し、Ｘ線透過膜１４を展張することができなくなる。
上述の関係式（ｄ−ａ＋ｃ＞ｂ）より上記式（４）が導かれる。
また、装着体３３を基板３１に嵌めたときに上面が面一になるように上記式（３）を満たす必要がある。
【００４８】
本実施の形態においては、従来の取付部品を用いることなく、Ｘ線透過膜１４の周縁側部分を挟んだ状態で、挿入部３３４を溝部３１４に押圧するように嵌合するのみで、容易にＸ線透過膜１４に、中央部から斜め下方の外縁へ向けて張力を付与することができ、しかも挿入部３３４はリング状をなすので、Ｘ線透過膜１４を周方向に均等に展張することができ、この展張状態が緩むことなく、凹部３３３を突出部３１２に嵌めることができる。従って、Ｘ線透過膜１４はたわみ、しわ、折れが生じるのが抑制された状態で基板３１に固定され、Ｘ線照射部４からＸ線を照射する場合にＸ線が散乱することがなく、良好に試料Ｓ１にＸ線を照射することができる。そして、Ｘ線透過膜１４が、たわみ等が生じるのが抑制されているので、影が生じず、撮像素子６１により良好に試料Ｓ１を撮影することができる。従って、良好な分析精度が得られる。
【００４９】
なお、実施の形態２の凹部３３５は上側に凹んでいるのに対し、本実施の形態の挿入部３３４は下側に突出しており、実施の形態２のように上側に凹んでいる方向をプラスの方向とした場合、本実施の形態では挿入部３３４はプラスの方向に（−ｂ）だけ凹んでいることになる。
また、実施の形態２の凸部３１５が上側に突出しているのに対し、溝部３１４は下側に凹んでおり、実施の形態２のように上側に突出している方向をプラスの方向とした場合、本実施の形態では、溝部３１４はプラスの方向に（−ｃ）だけ突出していることになる。即ち、上記式（２）において、凹凸の向きを考慮して、［ａ＋（−ｃ）＜（−ｂ）＋ｄ］とすることで、上記式（４）が導かれる。
【００５０】
同様に、実施の形態２の図８の試料載置台３０の構成において、基板３１の中央部に凹部を、装着体３３の中央部に該凹部に嵌合する突出部を設ける場合、前記凹部は前記プラスの方向に（−ｄ）だけ突出し、前記突出部は前記プラスの方向に（−ａ）だけ凹んでいるので、上記式（１）において、凹凸の向きを考慮して、［（−ａ）≦（−ｄ）］とすることで、（ａ≧ｄ）の式が導かれるとともに、上記式（２）において、凹凸の向きを考慮して、［（−ａ）＋ｃ＜ｂ＋（−ｄ）］とすることで、（ｃ＋ｄ＜ａ＋ｂ）の式が導かれる。これらの式を満たす場合、凹部３３５と凸部３１５との間に隙間が生じ、先に凹部３３５と凸部３１５との間にＸ線透過膜１４を挟んだ後、装着体３３の突出部を基板３１の凹部に嵌めることが可能になる。
【００５１】
同様に、実施の形態２の図８の試料載置台３０の構成において、基板３１の中央部に凹部を、装着体３３の中央部に該凹部に嵌合する突出部を、基板３１の周縁部に溝部を、装着体３３の周縁部に該溝部に嵌合する挿入部を設ける場合、前記凹部は前記プラスの方向に（−ｄ）だけ突出し、前記突出部は前記プラスの方向に（−ａ）だけ凹み、前記溝部は前記プラスの方向に（−ｃ）だけ突出し、前記挿入部は前記プラスの方向に（−ｂ）だけ凹むことになるので、上記式（１）において、凹凸の向きを考慮して、［（−ａ）≦（−ｄ）］とすることで、（ａ≧ｄ）の式が導かれるとともに、上記式（２）において、凹凸の向きを考慮して、［（−ａ）＋（−ｃ）＜（−ｂ）＋（−ｄ）］とすることで、（ｂ＋ｄ＜ａ＋ｃ）の式が導かれる。これらの式を満たす場合、挿入部と溝部との間に隙間が生じ、先に挿入部と溝部との間にＸ線透過膜１４を挟んだ後、装着体の突出部を基板の凹部に嵌めることが可能になる。
【００５２】
以上のように、第１嵌合部、第２嵌合部、第１被嵌合部、第２被嵌合部の凹凸の向きにつき、前記プラスの方向を基準としてプラス、マイナスを定義することで、上記式（１）及び式（２）が一般化される。即ち、第１嵌合部、第２嵌合部、第１被嵌合部、第２被嵌合部の凹凸の向きがいずれの場合であっても上記式（１）及び（２）を用いて、前記凹凸の大小関係を設定することができる。これにより、第２嵌合部と第２被嵌合部との嵌合時に嵌合方向に隙間が生じることになり、先に第２嵌合部と第２被嵌合部との間にＸ線透過膜１４を挟んだ後、第１被嵌合部を第１嵌合部に嵌めることが可能になり、Ｘ線透過膜１４を良好に展張することが可能になる。
【００５３】
以上のように、本発明は、基板の外寄り部分にＸ線透過膜１４の外寄り部分を押圧した状態で、基板の内寄り部分に装着体を嵌めるので、内寄り部分が良好に展張した状態でＸ線透過膜を基板に固定することができる。
なお、今回開示した実施の形態は、全ての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、特許請求の範囲内での全ての変更及び特許請求の範囲と均等の範囲が含まれることが意図される。
【符号の説明】
【００５４】
１  試料載置台（試料載置体）
１１、３１  基板
１１１、３１１  収納部
１１２、３１２  突出部
１１３、３１３  開口部
３１４  溝部
３１５  凸部
１２  押止体
１２１  テーパ面
１３、２３、３３  装着体
１３１、２３１、３３１  貫通孔
１３２  切欠き
１３３、２３３、３３３  凹部
３３４  挿入部
３３５  凹部
１４  Ｘ線透過膜
２  コリメータ
４  Ｘ線照射部
５  Ｘ線検出器
６１  撮像素子
７  直線駆動モータ
８１  蓋部
８３  筐体
【図１】
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【図２】
2014038035.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
2014038035.tif 000007
【図６】
2014038035.tif 000008
【図７】
2014038035.tif 000009
【図８】
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【図９】
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