(57)【要約】【課題】発光素子から出射された光の反射によるノイズを抑制すること。【解決手段】光軸Ｘ上に発光部が位置する発光素子１０と、この発光素子１０から出射された光を透過する材料からなるホルダ２０と、先端面で端部が露出するように光ファイバ３１を保持し、この光ファイバ３１が光軸Ｘに沿うようにホルダ２０に取り付けられたフェルール３０と、を備え、ホルダ２０には、フェルール３０の先端面における露出した光ファイバ３１端部を含む部分に面する空間２５が形成されており、光軸Ｘに交差するホルダ２０を構成する材料と空間２５との界面は、光軸Ｘに直交する平面でない。【選択図】図１
2014137527.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光軸上に発光部が位置する発光素子と、
この発光素子から出射された光を透過する材料からなるホルダと、
先端面で端部が露出するように光ファイバを保持し、この光ファイバが光軸に沿うように前記ホルダに取り付けられたフェルールと、
を備え、
前記ホルダには、前記フェルールの先端面における露出した光ファイバ端部を含む部分に面する空間が形成されており、
光軸に交差する前記ホルダを構成する材料と前記空間との界面は、光軸に直交する平面でないことを特徴とする光モジュール。
【請求項２】
前記界面は、前記発光素子から出射された光軸に沿う光線の当該界面における反射光線が、前記発光部に戻らない方向に向かう光線となる形状であることを特徴とする請求項１に記載の光モジュール。
【請求項３】
前記ホルダには、前記発光素子から出射された発散光を光ファイバ端部に向けて集束させるレンズ部が形成されており、
前記界面は、前記発光素子から出射された光軸に沿う光線の当該界面における反射光線が、前記レンズ部に進入しない方向に向かう光線となる形状であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の光モジュール。
【請求項４】
請求項２または請求項３に記載の光モジュールと、それに並ぶ別の光学的装置が設けられる光モジュールユニットであって、
前記界面は、前記発光素子から出射された光軸に沿う光線の当該界面における反射光線が、前記別の光学的装置側の反対側に向かう光線となる形状であることを特徴とする光モジュールユニット。
【請求項５】
前記界面は、光軸に交差する点に向かって先細かつ前記発光素子側に凸となる面であることを特徴とする請求項１に記載の光モジュール。
【請求項６】
前記界面は、光軸に交差する点を頂点とする曲面または錐面であることを特徴とする請求項５に記載の光モジュール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光信号を伝送するために用いられる光モジュール、およびこの光モジュールが用いられた光モジュールユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、下記特許文献１には、フェルールが挿入される筒状部分（スリーブ部）の底面に、光ファイバ端面との接触を防ぐ空間（凹部）が形成されたホルダを有する光モジュールが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１２−２３７８１９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このような空間が形成されている場合、ホルダを構成する材料と空間内の空気との界面（凹部の底面）で、発光素子から出射された光が反射してしまうという問題があった。このような反射光はノイズとなり、発光素子から出射された光と干渉してしまったり、発光素子の隣に受光素子が設けられている場合（発光素子と受光素子がパッケージングされた素子を用いる場合など）にはその受光素子が受信してしまう（クロストークの発生）、などといった問題を招く。
【０００５】
上記実情に鑑み、本発明が解決しようとする課題は、光ファイバ端部に面する空間が形成されたホルダを備えた光モジュール、およびこの光モジュールを用いた光モジュールユニットにおいて、発光素子から出射された光の反射によるノイズを抑制することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するため、本発明にかかる光モジュールは、光軸上に発光部が位置する発光素子と、この発光素子から出射された光を透過する材料からなるホルダと、先端面で端部が露出するように光ファイバを保持し、この光ファイバが光軸に沿うように前記ホルダに取り付けられたフェルールと、を備え、前記ホルダには、前記フェルールの先端面における露出した光ファイバ端部を含む部分に面する空間が形成されており、光軸に交差する前記ホルダを構成する材料と前記空間との界面は、光軸に直交する平面でないことを特徴とする。なお、ここでいう「光軸に直交する平面」とは、面の一部が直交するものを含まず、段差や曲面のない全体が平坦な面であって光軸に直交するものをいう。
【０００７】
また、前記界面は、前記発光素子から出射された光軸に沿う光線の当該界面における反射光線が、前記発光部に戻らない方向に向かう光線となる形状であるとよい。
【０００８】
また、前記ホルダには、前記発光素子から出射された発散光を光ファイバ端部に向けて集束させるレンズ部が形成されており、前記界面は、前記発光素子から出射された光軸に沿う光線の当該界面における反射光線が、前記レンズ部に進入しない方向に向かう光線となる形状であるとよい。
【０００９】
上記課題を解決するため、本発明にかかる光モジュールユニットは、上記光モジュールと、それに並ぶ別の光学的装置が設けられる光モジュールユニットであって、前記界面は、前記発光素子から出射された光軸に沿う光線の当該界面における反射光線が、前記別の光学的装置側の反対側に向かう光線となる形状であることを特徴とする。
【００１０】
また、前記界面は、光軸に交差する点に向かって先細かつ前記発光素子側に凸となる面であってもよい。
【００１１】
この場合、前記界面は、光軸に交差する点を頂点とする曲面または錐面であるとよい。
【発明の効果】
【００１２】
本発明にかかる光モジュールでは、ホルダにおけるホルダを構成する材料と前記空間との界面は、光軸に直交する平面でない。したがって、上記本発明にかかる光モジュールにおいて界面で反射された反射光は、従来のような界面が光軸に直交する平面である場合と比較して、発光素子に向かう成分（光線）が少なくなる。つまり、界面で光が反射されることによって生ずるノイズを低減することができる。
【００１３】
上記の場合において、発光素子から出射された光軸に沿う光線の界面における反射光線が、発光部に戻らない方向に向かう光線となるように界面が形成されていれば、ノイズ低減効果がさらに高まる。
【００１４】
また、発光素子から出射された発散光を光ファイバ端部に向けて集束させるレンズ部が設けられている場合には、発光素子から出射された光軸に沿う光線の界面における反射光線が、レンズ部に進入しない方向に向かう光線となる形状とすれば、レンズで屈曲して発光素子に向かう成分（光線）が少なくなるため、ノイズ低減効果が大きい。
【００１５】
本発明にかかる光モジュールユニットによれば、発光素子から出射された光軸に沿う光線の界面における反射光線が、別の光学的装置側の反対側に向かう光線となるから、発光素子（光モジュール）と別の光学的装置のクロストークを低減することができる。
【００１６】
上記界面が、光軸に交差する点に向かって先細かつ発光素子側に凸となる面であっても、界面で反射されて発光素子に向かう成分（光線）を従来よりも少なくすることができる。特に、界面を曲面や錐面にする場合には、当該界面が形成しやすいという利点がある。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の一実施形態にかかる光モジュール（界面が傾斜面であるもの）の模式図であり、（ａ）は発光素子から出射された光軸に沿う光線が界面に到達するまでの光路を示したものであり、（ｂ）は当該光軸に沿う光線の界面における反射光線の光路を示したものである。
【図２】発光素子から出射された光軸に沿う光線の反射光線が発光部に戻るように界面の傾斜が設定された光モジュールの模式図であり、（ａ）は発光素子から出射された光軸に沿う光線が界面に到達するまでの光路を示したものであり、（ｂ）は当該光軸に沿う光線の界面における反射光線の光路を示したものである。
【図３】発光素子から出射された光軸に沿う光線の反射光線がレンズ部の外縁を通るように界面の傾斜が設定された光モジュールの模式図であり、（ａ）は発光素子から出射された光軸に沿う光線が界面に到達するまでの光路を示したものであり、（ｂ）は当該光軸に沿う光線の界面における反射光線の光路を示したものである。
【図４】本発明の一実施形態にかかる光モジュール（界面が曲面であるもの）の模式図であり、（ａ）は発光素子から出射された光軸に沿う光線が界面に到達するまでの光路を示したものであり、（ｂ）は当該光軸に沿う光線の界面における反射光線の光路を示したものである。
【図５】本発明の一実施形態にかかる光モジュール（界面が錐面であるもの）の模式図であり、（ａ）は発光素子から出射された光軸に沿う光線が界面に到達するまでの光路を示したものであり、（ｂ）は当該光軸に沿う光線の界面における反射光線の光路を示したものである。
【図６】本発明の一実施形態にかかる光モジュールユニットの模式図である。
【図７】従来型の光モジュールの模式図であり、（ａ）は発光素子から出射された光軸に沿う光線が界面に到達するまでの光路を示したものであり、（ｂ）は当該光軸に沿う光線の界面における反射光線の光路を示したものである。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の各実施形態について図面を参照して詳細に説明する。なお、各図は光モジュール１または光モジュールユニット１ｕの断面を模式的に示したものであるが、図を分かりやすくするためハッチングは省略してある。図１に示す本発明の一実施形態にかかる光モジュール１（１ａ）は、発光素子１０、ホルダ２０、およびフェルール３０を備える。
【００１９】
発光素子１０は、伝送すべき信号を構成する光を出射する部材である。具体的には、伝送すべき信号を電気信号から光信号に変換して出射する光電変換素子である。本実施形態では、発光素子１０は、電気信号を生成する（信号を発光素子１０に伝える）回路が形成された基板Ｂに実装されている。
【００２０】
ホルダ２０は、発光素子１０から出射された光（信号を伝送するレーザ光）を透過する材料で形成された部材である。ホルダ２０は、筒状に形成された筒状部２１（本実施形態は段差のある筒状である）および同じく筒状に形成されたスリーブ部２２を有する。筒状部２１は上記基板Ｂに実装された発光素子１０を囲む部分である。具体的には、筒状部２１の先端が基板Ｂにおける発光素子１０が実装された箇所の周囲にハンダ付け等により固定されている。筒状部２１の内底面（図１では上側の面）には、レンズ部２３が形成されている。レンズ部２３は、筒状部２１の内側に位置する上記発光素子１０から出射された発散光（所定の広がり角（発散角）をもつレーザ光）が透過する凸レンズであって、当該レンズ部２３に進入する発散光が後述する光ファイバ３１端部に向かう集束光（所定の集束角をもつレーザ光）となるように屈折させる。このレンズ部２３の光軸Ｘは、発光素子１０（発光素子１０から出射される光）の光軸Ｘと一致している。
【００２１】
スリーブ部２２は、内側に光ファイバ３１が固定されたフェルール３０が挿入される部分である。その内径はフェルール３０の外径と略同じに設定（両者の間にできるだけ隙間が生じないように設定）されている。スリーブ部２２の内底面（図１では下側の面）には、発光素子１０側（レンズ部２３側）に向かって窪んだ凹部２４が形成されている。凹部２４の内径は、スリーブ部２２の内径よりも小さい。したがって、凹部２４とスリーブ部２２の内壁面との間には段差が存在する。スリーブ部２２の内側にフェルール３０を挿入すると、フェルール３０の周縁が当該段差（スリーブ部２２の内底面）に突き当たる。当該突き当たる位置までフェルール３０を挿入することにより、ホルダ２０に対するフェルール３０が位置決めされる。光ファイバ３１は、フェルール３０の中央に固定されている。ホルダ２０に対して位置決めされたフェルール３０に固定されている光ファイバ３１の軸線は、上記レンズ部２３や発光素子１０（発光素子１０から出射される光）の光軸Ｘと一致する。つまり、光ファイバ３１は光軸Ｘに沿って設けられる。
【００２２】
フェルール３０の先端面（上記段差に突き当てられる面）の中央には、光ファイバ３１の端部が露出している。この光ファイバ３１が露出した箇所は、上記凹部２４の内側の空間２５に面する。さらに詳しく言えば、フェルール３０の先端面における露出した光ファイバ３１の端部を含む部分（中央側の一部）が、上記凹部２４の内側の空間２５に面する。このような空間２５が形成されていると、フェルール３０が上記スリーブ部２２に挿入される際、光ファイバ３１の端部がホルダ２０に接触することはない。つまり、光ファイバ３１端部の損傷が防止される。
【００２３】
このような構成の光モジュール１ａにおいて、上記発光素子１０から出射された発散光は、レンズ部２３によって集束されて光ファイバ３１に進入する。すなわち、発光素子１０から出力された光信号が、光ファイバ３１を通じて図示されない受光素子に伝達される。このとき、レンズ部２３によって集束された光は、光軸Ｘに交差するホルダ２０と上記空間２５との界面２６（２６ａ）、すなわち屈折率の異なる「ホルダ２０を構成する光透過性材料」と「空間２５内に存在する空気」の界面２６ａを通過する。そのため、当該界面２６ａで出射光の一部が反射する。本実施形態では、当該反射光ができるだけ発光素子１０に向かう光とならないよう、上記光軸Ｘに交差する界面２６（別の見方をすれば凹部２４の底面）を、光軸Ｘに直交する平面とならないように形成している。その理由を以下説明する。なお、以下の図１〜図３、図７を用いた説明では、発光素子１０が出射する発散光（所定の広がり角（発散角）をもつレーザ光）における最も強度が高い箇所である光軸Ｘに沿う（光軸Ｘと一致する）光線およびその反射光線を基準に説明する。図１においても当該光軸Ｘに沿う光線およびその反射光線を図示している。
【００２４】
図７に示す光モジュール１ｚのように、界面２６ｚが光軸Ｘに直交する平面である従来構成の場合、光軸Ｘに沿う光線が界面２６ｚで反射されると、当該反射光線は入射光の１８０度反対向きの光線、すなわち光軸Ｘに沿って発光素子１０に向かう光線となる。つまり、最も強度が高い箇所である光軸Ｘに沿う光線がそのまま真っ直ぐ返ってくる反射態様となるため、反射光を要因とするノイズが大きくなる。
【００２５】
これに対し、図１に示す光モジュール１ａのように、界面２６ａを光軸Ｘに対して傾斜する傾斜面とすると、光軸Ｘに沿う光線が上記界面２６ａで反射されると、当該反射光線は発光素子１０に向かわない光線となる。具体的には、傾斜角を大きくすればするほど当該反射光線は外側に向かう光線となる。つまり、最も強度が高い箇所である光軸Ｘに沿う光線がそのまま真っ直ぐ返ってくることはなく、外側に向かう反射態様となるため、反射光を要因とするノイズは従来よりも小さくなる。
【００２６】
また、ホルダ２０がレンズ部２３を有する場合、光軸Ｘに沿う光線の界面２６ａにおける反射光線がレンズ部２３で屈折してそのまま発光素子１０の発光部に返ってくることがある。例えば、図２および図３に示す形状に形成されたホルダ２０（材料の屈折率＝１．６４、ｄ１＝２．３７ｍｍ、ｄ２＝３．３７ｍｍ、レンズ部２３；径１．４ｍｍ厚み２．６ｍｍ曲率半径０．８ｍｍ）を用いた光モジュール１の場合、界面２６ａの傾斜角（光軸Ｘに直交する面との角度差）が０．３度であると光軸Ｘに沿う光線の反射光線がそのまま発光素子１０の発光部（発光部を点と仮定した場合）に返ってくることとなる（図２参照）。そのため、光軸Ｘに沿う光線の界面２６ａにおける反射光線が発光素子１０の発光部にそのまま返ってこないように界面２６ａの傾斜角を０．３度超とすれば、ノイズ低減効果が高まる。
【００２７】
さらに好ましくは、光軸Ｘに沿う光線の界面２６ａにおける反射光線がレンズ部２３に進入しない方向に向かう光線となるように設定するとよい。当該反射光線がレンズ部２３に進入しないように設定すれば、レンズ部２３で屈曲して発光素子１０に向かう光の成分（光量）が少なくなるからである。上記ホルダ２０を用いた場合、界面２６ａの傾斜角を６．５度超とすることによって、光軸Ｘに沿う光線の反射光線がレンズ部２３より外側を通る光線となる（図３参照）。つまり、界面２６ａの傾斜角を６．５度超とすれば、さらにノイズを低減することができる。
【００２８】
このように、界面２６ａを光軸Ｘに直交する平面ではない傾斜面とすれば、一定のノイズ低減効果が得られる。すなわち、界面２６ａにおける光軸Ｘと交差する部分が直交するものではなければ、発光素子１０が出射する発散光が含む光軸Ｘに沿う光線（最も強度が高い光線）の界面２６ａにおける反射光線が、光軸Ｘに沿って発光素子１０に向かう光線とはならないから、所定のノイズ低減効果が得られるものである。ノイズ低減効果をより高めるのであれば、光軸Ｘに沿う光線の界面２６ａにおける反射光線が発光素子１０の発光部に戻らないように設定することが好ましい。さらに好ましくは、光軸Ｘに沿う光線の界面２６ａにおける反射光線がレンズ部２３に進入しない方向に向かう光線となるように設定するとよい。
【００２９】
なお、図１に示した構成は、界面２６ａを一定の角度をもつ傾斜面としたものであるが、一部分のみが傾斜した傾斜面であってもよい。その場合であっても、当該一部の傾斜面で反射された光線は、従来構成（界面２６ｚの全部が光軸Ｘに直交する平面である構成）とした場合よりもホルダ２０の外側に向かう光線となるから、当該従来構成よりもノイズを低減することができる。ただし、このように界面２６を一部分のみが傾斜した傾斜面とする場合において、ノイズ低減効果を大きくするためであれば、少なくとも光軸Ｘに交差する部分を傾斜面とすることが好ましい。
【００３０】
一方、上記界面２６を、光軸Ｘに交差する点（頂点）に向かって先細であり、かつ発光素子１０側に向かって凸となる面としても一定のノイズ低減効果が得られる。このような形状とした場合、発光素子１０が出射する発散光が含む光軸Ｘに沿う光線は、界面２６で反射するとそのまま発光素子１０に真っ直ぐ返ってくる光線となるものの、発光素子１０が出射する発散光が含むその他の光線（光軸Ｘに沿う光線以外の光線）、すなわち光軸Ｘから離れるにつれて徐々に広がっていく光線は、先細形状の界面２６で反射されると大きく外側に向かう光線となる（図４および図５参照）。具体的には、当該その他の光線が界面２６で反射した光線は、界面２６が光軸Ｘに直交する平面である場合（従来構成）よりも外側に向かう光線となる。つまり、発光素子１０が出射する発散光が界面２６で反射した光は、従来よりも大きく外側に広がる発散光となる。よって、従来よりも発光素子１０に向かう成分が少なくなることによるノイズ低減効果が奏される。
【００３１】
このような先細の界面２６の形状としては、図４に示す光モジュール１ｂのような光軸Ｘに交差する点を頂点とする曲面２６ｂや、図５に示す光モジュール１ｃのような錐面２６ｃが例示できる。曲面２６ｂや錐面２６ｃであれば、凹部２４を形成する切削工具（回転しているときの先端形状が曲面や錐面となる切削工具）で当該界面２６ｂ、２６ｃの形状も容易に形成することができるという利点がある。
【００３２】
また、図１に示した構成のように、界面２６ａと光軸Ｘが交差する部分において両者が直交しないような形状に界面２６ａを形成する場合、その界面２６ａの形状は光モジュールとは別の光学的装置Ｍの位置を考慮して次のように設定するとよい。複数の機器間で光信号の送受信を行うシステムを構築する場合、一の機器に発光素子１０と受光素子の両方が設けられること（発光素子１０と受光素子が一纏めにパッケージングされた素子が用いられるような場合も含む）がある。この受光素子のような別の光学的装置Ｍが設けられる場合、発光素子１０を有する光モジュール１ａのホルダ２０における界面２６ａは、光軸Ｘに沿う光線の界面２６ａにおける反射光線が、別の光学的装置Ｍである受光素子側（受光素子を有する光モジュール側）の反対側に向かう光線となるように設定する。なお、ここでいう「反対側に向かう光線」には、光が進行するに従い、別の光学的装置Ｍからの距離が大きくなっていくもの全てが含まれる。すなわち、光線のベクトルが、別の光学的装置から離れる方向に向かうもの全てが含まれる。
【００３３】
具体的には、受光素子などの別の光学的装置Ｍが図６のように光モジュール１ａの左側に位置する場合には、界面２６ａと光軸Ｘが交差する部分における界面２６ａの傾斜は、右から左にかけて徐々に下方に向かう傾斜とする。一方、これとは逆に、別の光学的装置Ｍが光モジュール１ａの右側に位置する場合には、界面２６ａと光軸Ｘが交差する部分における界面２６ａの傾斜は、左から右にかけて徐々に下方に向かう傾斜とする。このようにして光モジュール１ａと別の光学的装置Ｍから構成される光モジュールユニット１ｕを設計すれば、最も強度が高い光軸Ｘに沿う光線の界面２６ａにおける反射光線が、別の光学的装置Ｍから離れる方向に向かう光線となるから、発光素子１０を有する光モジュール１ａと、受光素子などの別の光学的装置Ｍとの間に生ずるクロストーク（別の光学的装置Ｍに対するノイズ）を低減することができる。
【００３４】
以上説明した本実施形態にかかる光モジュール１およびこの光モジュールを用いた光モジュールユニット１ｕによれば、次のような作用効果が奏される。
【００３５】
本実施形態にかかる光モジュール１では、ホルダ２０における当該ホルダ２０を構成する材料と空間２５との界面２６は、光軸Ｘに直交する平面でない。したがって、当該界面２６で反射された反射光は、従来のような界面２６が光軸Ｘに直交する平面である場合と比較して、発光素子１０に向かう成分（光線）が少なくなる。つまり、界面２６で光が反射されることによって生ずるノイズを低減することができる。
【００３６】
そして、発光素子１０から出射された光軸Ｘに沿う光線の界面２６における反射光線が、発光部に戻らない方向に向かう光線となるように界面２６が形成されていれば、ノイズ低減効果がさらに高まる。
【００３７】
また、発光素子１０から出射された発散光を光ファイバ３１端部に向けて集束させるレンズ部２３が設けられている場合には、発光素子１０から出射された光軸Ｘに沿う光線の界面２６における反射光線が、レンズ部２３に進入しない方向に向かう光線となる形状とすれば、レンズで屈曲して発光素子１０に向かう成分（光線）が少なくなるため、ノイズ低減効果が大きい。
【００３８】
また、光モジュール１ｂ、１ｃのように、界面２６ｂ、２６ｃが光軸Ｘに交差する点に向かって先細かつ発光素子１０側に凸となる面であっても、界面２６ｂ、２６ｃで反射されて発光素子１０に向かう成分（光線）を従来よりも少なくすることができる。特に、界面を曲面（２６ｂ）や錐面（２６ｃ）にする場合には、当該界面が形成しやすいという利点がある。
【００３９】
上記光モジュール１ａを用いた光モジュールユニット１ｕによれば、発光素子１０から出射された光軸Ｘに沿う光線の界面２６ｚにおける反射光線が、別の光学的装置Ｍ側の反対側に向かう光線となるから、発光素子１０（光モジュール１ａ）と別の光学的装置Ｍのクロストークを低減することができる。
【００４０】
以上、本発明の実施の形態について詳細に説明したが、本発明は上記実施の形態に何ら限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の改変が可能である。
【００４１】
例えば、図示したホルダ２０の形状や、発光素子１０の仕様は、本発明の要旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。
【００４２】
また、ホルダ２０に形成される凹部２４は、光ファイバ３１の端部とホルダ２０が接触することによる光ファイバ３１端部の損傷を防止するために形成されるものであることを説明したが、凹部２４が形成される目的はこれに限定されない。すなわち、発光素子１０から光ファイバ３１に至るまでの光路に、ホルダ２０を構成する材料と空気の界面２６が存在する構成であれば、本発明の技術思想は適用可能である。さらには凹部２４内に空気以外の物質（ホルダ２０を構成する材料を除く）が存在している場合であっても、本発明の技術思想は適用可能である。すなわち、ホルダ２０に形成される凹部２４によって、発光素子１０から光ファイバ３１に至るまでの光路に、反射が生ずる界面２６が形成される構成であればどのような構成であってもよい。
【符号の説明】
【００４３】
１  光モジュール
１ｕ  光モジュールユニット
１０  発光素子
２０  ホルダ
２１  筒状部
２２  スリーブ部
２３  レンズ部
２４  凹部
２５  空間
２６  界面
３０  フェルール
３１  光ファイバ
Ｘ  光軸
Ｍ  別の光学的装置
【図１】
2014137527.tif 000003
【図２】
2014137527.tif 000004
【図３】
2014137527.tif 000005
【図４】
2014137527.tif 000006
【図５】
2014137527.tif 000007
【図６】
2014137527.tif 000008
【図７】
2014137527.tif 000009