(57)【要約】  検査装置において、電気的特性の測定後の部品(ｓ)を分別回収する。  検査装置は、保持台(３２)と、その保持台(３２)に保持された部品(ｓ)を把持して電気的特性を測定可能な一対の測定子(３４，３６)と、保持台(３２)と一対の測定子(３４，３６)とを互いに相対移動させる相対移動装置とを含む。部品(ｓ)の電気的特性の測定結果に基づいて、可動子(３６)と保持台(３２)との相対位置関係を変えることにより、部品(ｓ)を分別して回収する
2017037887.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
部品供給装置によって供給された部品をピックアップして回路基板に装着する装着機に設けられ、  部品を保持可能な保持台と、  互いに接近・離間可能とされ、前記部品を挟んだり、放したりする一対の測定子を備え、前記一対の測定子により前記部品の電気的特性を測定する測定部と、  前記一対の測定子と前記保持台とを相対移動させる相対移動装置と、  前記測定部による前記部品の前記電気的特性の測定結果に基づいて前記相対移動装置を制御することにより、前記一対の測定子と前記保持台との相対位置を変えて、前記一対の測定子から放された部品を分別回収する分別回収装置とを含むことを特徴とする検査装置。
【請求項２】
当該検査装置が、前記相対移動装置による前記一対の測定子と前記保持台との相対移動の方向に沿って、互いに隔てて形成された第１貫通穴および第２貫通穴を有する本体を含む請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
当該検査装置が、前記本体の、前記第１貫通穴および前記第２貫通穴の間に設けられた分離壁を含む請求項２に記載の検査装置。
【請求項４】
当該検査装置が、(a)前記一対の測定子から放された部品をそれぞれ収容する第１収容部および第２収容部と、(b)前記第１収容部と前記第１貫通穴とを接続する第１回収通路と、(c)前記第２収容部と前記第２貫通穴とを接続する第２回収通路とを含み、  前記第１貫通穴および前記第２貫通穴の各々の開口面積が、それぞれ、下方へ行くにつれて小さくされた請求項２または３に記載の検査装置。
【請求項５】
前記相対移動装置が、前記保持台を移動させる保持台移動装置を含み、  前記分別回収装置が、前記測定結果に基づいて前記保持台移動装置を制御して、前記互いに離間させられた一対の測定子と前記保持台との相対位置を変える保持台移動制御部を含む請求項１ないし４のいずれか１つに記載の検査装置。
【請求項６】
当該検査装置が、互いに隔てて形成された第１貫通穴および第２貫通穴を有する本体を含み、  前記保持台移動装置が、前記保持台を、前記本体の前記第１貫通穴および前記第２貫通穴の上方において移動させるものであり、  前記保持台移動制御部が、前記保持台を、前記第１貫通穴の上方から離れ前記第２貫通穴の上方に位置する第１位置と、前記第２貫通穴の上方から離れ前記第１貫通穴の上方に位置する第２位置とに移動させる収容部選択部を含む請求項５に記載の検査装置。
【請求項７】
前記一対の測定子が、前記本体に固定された固定子と、前記固定子に対して接近、離間可能な可動子とを含むとともに、前記固定子と前記可動子とが、それぞれ、前記部品を把持可能な対向面を含み、  当該検査装置が、前記保持台移動装置による前記一対の測定子と前記保持台との相対移動の方向に沿って、互いに隔てて形成された第１貫通穴および第２貫通穴を有する本体を含み、  前記分別回収装置が、前記測定結果に基づいて前記相対移動装置を制御することにより、前記保持台が前記第２貫通穴の上方に位置し、前記可動子の前記対向面が前記保持台より前記第１貫通穴側に位置する第１回収状態と、前記保持台が前記第１貫通穴の上方に位置し、前記可動子の前記対向面が前記保持台より前記第２貫通穴側に位置する第２回収状態とに変える相対位置変更部を含む請求項１ないし６のいずれか１つに記載の検査装置。
【請求項８】
前記一対の測定子が、前記本体に固定された固定子と、前記固定子に対して接近、離間可能な可動子とを含むとともに、前記固定子と前記可動子とが、それぞれ、前記部品を把持可能な対向面を含み、  当該検査装置が、前記一対の測定子が離間させられる場合に、前記可動子の前記対向面にエアを供給するエア供給装置を含む請求項１ないし７のいずれか１つに記載の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、回路基板に装着される部品の検査を行う検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】  特許文献１には、保持台に載置させられた部品を両端から挟んで電気的特性を測定する検査装置が記載されている。この検査装置において、送風口部２８から保持台のＶ溝に沿ってエアが供給され、そのＶ溝上にある測定後の部品が導入口部７´へ送られる。また、複数の受容器３２ｉ（ｉ＝１，２，３・・・）が設けられ、導入口部７´が部品の測定結果に基づいて決まる受容器３２ｉに対応する位置まで回転させられ、その受容器３２ｉにその部品が回収される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特公昭５２−３０７０３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】  本発明の課題は、部品の電気的特性を自動で測定可能な検査装置において、特許文献１に記載の検査装置における場合とは異なる態様で、測定後の部品を分別回収することである。
【課題を解決するための手段、作用および効果】
【０００５】  本発明に係る検査装置は、(1)保持台と、(2)その保持台に保持された部品を把持可能な一対の測定子を備え、部品の電気的特性を測定する測定部と、(3)保持台と一対の測定子とを互いに相対移動させる相対移動装置と、(4)一対の測定子と保持台との相対位置を変えることにより、一対の測定子から放された部品を分別回収する分別回収装置とを含むものである。  部品が分別回収されるため、部品が廃棄される場合に比較して、部品を有効に利用することができる。例えば、測定結果に基づき、部品が適正である場合と不適正である場合とで分別回収されるようにした場合において、適正である部品は回路基板への装着に用いることができる。また、不適正である部品に基づけば、不適正である原因を明らかにすることができる。  本発明に係る検査装置においては、保持台と一対の測定子との相対位置を変えることにより部品が分別回収されるのに対して、特許文献１に記載の検査装置においては、部品が保持台から導入口部７´に送られた後に、その導入口部７の回動角度を変えることにより分別回収されるのであり、本発明に係る検査装置における分別の態様と特許文献１に記載の検査装置における態様とは互いに異なる。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
【図１】本発明の一実施形態である検査装置を含む装着機の斜視図である。
【図２】上記検査装置の要部の斜視図である。
【図３】上記検査装置の要部の図２とは別の方向から見た斜視図である。
【図４】上記検査装置の要部の一部断面図である。
【図５】上記検査装置に含まれるエア回路図である。
【図６】上記装着機の制御装置を概念的に示す図である。
【図７】上記制御装置の記憶部に記憶されたLCR測定プログラムを表すフローチャートである。
【図８】上記検査装置においてLCRが測定される場合のタイムチャートである。(a)部品が適正であると判断された場合。(b)部品が不適正であると判断された場合。
【図９】上記記憶部に記憶された部品適正判定プログラムを表すフローチャートである。
【図１０】上記検査装置の作動を示す平面図であり、部品が適正であると判断された場合の作動を示す図である。(1)初期状態を示す図であり、(2)クランプ状態を示す図であり、(3)測定状態を示す図であり、(4)第１回収状態を示す図である。
【図１１】上記検査装置の作動を示す平面図であり、部品が不適正であると判断された場合の作動を示す図である。(1)初期状態を示す図であり、(2)クランプ状態を示す図であり、(3)測定状態を示す図であり、(4´)回収部選択状態を示す図である。(5´)第２回収状態を示す図である。
【図１２】(a)上記検査装置の第１回収状態における断面図である。(b)第２回収状態における断面図である。
【発明の実施形態】
【０００７】  以下、本発明の一実施形態である検査装置を含む装着機について図面に基づいて詳細に説明する。  図１に示す装着機は、部品を回路基板に装着するものであり、装置本体２，回路基板搬送保持装置４，部品供給装置６，ヘッド移動装置８等を含む。  回路基板搬送保持装置４は、回路基板Ｐ（以下、基板Ｐと略称する）を水平な姿勢で搬送して保持するものであり、図１において、基板Ｐの搬送方向をｘ方向、基板Ｐの幅方向をｙ方向、基板Ｐの厚み方向をｚ方向とする。ｙ方向、ｚ方向は、それぞれ、装着機の前後方向、上下方向である。これら、ｘ方向、ｙ方向、ｚ方向は互いに直交する。部品供給装置６は、基板Ｐに装着される電子部品（以下、部品と略称する）ｓを供給するものであり、複数のテープフィーダ１４等を含む。ヘッド移動装置８は、装着ヘッド１６を保持してｘ、ｙ、ｚ方向へ移動させるものであり、装着ヘッド１６は、部品を吸着して保持する吸着ノズル１８を有する。
【０００８】  また、符号２０はカメラを示す。カメラ２０は、吸着ノズル１８によって保持された部品ｓを撮像するものであり、カメラ２０によって撮像された画像に基づいて、部品ｓが回路基板Ｐに装着される予定のものであるか否かが判定される。符号２２は検査装置を示す。検査装置２２は、部品ｓの電気的特性を測定して、検査するものである。部品ｓの電気的特性が測定され、測定された電気的特性が、JOB情報に含まれる部品ｓに関する情報（電気的特性）と一致するか否か、すなわち、次の作業に用いられる予定の部品ｓが備えた電気的特性と一致するか否かが判定されるのである。  部品ｓの電気的特性としては、Ｌ（インダクタンス）、Ｃ（キャパシタンス）、Ｒ（レジスタンス）、Ｚ′（インピーダンス）等が該当し、検査装置２２によってこれらのうちの１つ以上が測定される。
【０００９】  検査装置２２は、回収箱２６を介して回路基板搬送保持装置４の本体に設けられる。回収箱２６と検査装置２２とは回収通路２８によって接続されるが、電気的特性が測定された部品ｓが、回収通路２８を経て回収箱２６に収容される。検査装置２２は、回収箱２６に高さ調整可能に設けられる。図２，３に示すように、回収箱２６には、昇降可能にベース部３０が係合させられ、ベース部３０に本体部２９がボルトおよびナットを含む締結部３１（図４参照）によって固定され、これらベース部３０および本体部２９が一体的に昇降可能に保持される。  検査装置２２は、図２〜４に示すように、(i)上記本体部２９およびベース部３０、(ii)部品ｓを保持可能な保持台３２、(iii)固定子３４および可動子３６から成る一対の測定子３７、(iv)保持台３２を移動させる保持台移動装置４０、(v)可動子３６を固定子３４に対して接近・離間させる可動子移動装置４１、(vi)電気的特性を測定する測定部としてのLCR測定部４２等を含む。本実施例において、部品ｓは、両端部に電極を有し、一対の測定子３７によって把持可能なものとすることができる。部品ｓとしては、例えば、角チップと称するものが該当する。
【００１０】  保持台３２は、部品載置部４４と、部品載置部４４を保持する載置部保持体４６とを含む。部品載置部４４は概してｘ方向に伸びたものであり、中間部の上面にはV溝４４ｃが形成され、Ｖ溝４４ｃの両側において、それぞれ、締結部４７によって載置部保持体４６に固定される。このように、部品ｓが載せられる部分がＶ形状とされているため、部品ｓの位置が精度よく決まる。  部品載置部４４は、導電性、耐摩耗性を有し、かつ、酸化が進み難い材料で製造されたものとすることができる。部品載置部４４は、複数の導電性を有する部材を介してベース部３０に電気的に接続されるが、ベース部３０が接地されることにより、部品載置部４４も接地される。本実施例においては、部品載置部４４が載置部保持体４６に当接し、かつ、締結部４７によって固定されるとともに、載置部保持体４６が本体部２９にストッパ８０（図４参照）を介して当接し、本体部２９がベース部３０に締結部３１によって固定される。そして、載置部保持体４６、ストッパ８０、本体部２９、ベース部３０、締結部３１、４７等は導電性を有するものである。したがって、部品載置部４４は接地（アース）されるのである。  このように、部品載置部４４が導電性を有する材料で製造され、かつ、接地されることにより、部品載置部４４に載置させられた部品ｓの除電を行うことができる。また、部品載置部４４が、耐摩耗性を有する材料で製造されることにより、部品載置部４４の摩耗を抑制し、耐久性を向上させることができる。さらに、酸化が進み難い材料、すなわち、金属の酸化被膜である不動態皮膜が形成され得る材料で製造されることにより、部品載置部４４が錆び難くすることができる。錆が部品ｓに付き難くすること等ができ、部品ｓの電気的特性の測定精度の低下を抑制することができる。例えば、部品載置部４４は、アルミニウム合金またはステンレス材料等によって製造されたものとすることができる。  載置部保持体４６は、概して直方体状を成したものであり、ｘ方向およびｚ方向に伸びたものである。載置部保持体４６の下面４６ｆは本体部２９の上面２９ｆ付近に達する。
【００１１】  固定子３４、可動子３６は、それぞれ、互いに対向する対向面３４ｆ、３６ｆを有し、これら一対の対向面３４ｆ、３６ｆによって部品ｓが把持される。固定子３４は固定子保持体５５を介して本体部２９に固定される。可動子３６は、可動子保持体５６に一体的に移動可能に保持されたものであり、固定子３４に対して接近・離間可能とされる。本実施例において、対向面３６ｆは、断面が三角形状を成し、Ｖ溝４４ｃに沿って移動可能とされる。換言すれば、可動子３６の対向面３６ｆの形状は、ほぼＶ溝４４ｃに対応する形状とされ、可動子３６の対向面３６ｆ、固定子３４の対向面３４ｆおよび保持台３２のＶ溝４４ｃは、ほぼ同一高さに位置する。そのため、部品ｓがＶ溝４４ｃ内のいずれにあっても、一対の対向面３４ｆ、３６ｆによって部品ｓが把持可能とされる。  また、可動子３６は、本実施例において、ｙ方向（移動方向）に伸びた長手部材であり、後退端において可動子保持体５６に保持される。さらに、対向面３６ｆを含む先端部の後部は、先端部よりｘ方向にはみ出す部分を有さない形状を成す。その結果、保持台３２と可動子３６とは互いに相対移動可能とされ、保持台３２は、Ｖ溝４４の底部が可動子３６の下方に位置する状態で、対向面３６ｆの前方へ移動したり後方へ移動したりすることが可能である。  さらに、可動子３６と固定子３４とから成る一対の測定子３７、LCR測定部４２、図示を省略する電源装置等を含む電気回路５８が形成される。これら固定子３４と可動子３６との間に電流が供給されるとともに流れた電流が検出され、これらの関係に基づいて部品ｓの電気的特性がLCR測定部４２によって測定される。LCR測定部４２は、Ｌ，Ｃ，Ｒを測定する測定部に限らず、Ｌ，Ｃ，Ｒ，Ｚ´等の電気的特性を表す物理量の１つ以上を測定するものとすることができる。なお、図２の符号５８ａ、ｂは、一対の測定子３７の電気回路５８への接続部である。
【００１２】  保持台３２にはカバー部５０が取り付けられる。カバー部５０は、エアの拡散を抑制するものであり、互いにｘ方向に隔たって、Ｖ溝４４ｃの両側にそれぞれ設けられた一対のカバー用板部５２，５４を含む。カバー用板部５２，５４は、それぞれ、保持台３２の固定子３４側に設けられ、ｙ方向およびｚ方向、すなわち、保持台３２、可動子３６の移動方向および上下方向に伸びたものであり、板状部材が曲げられた形状を成す。カバー用板部５２は、平面視において溝形を成し、底板部５２ａと、それの両側に、ｘ方向に隔たって設けられた側板部５２ｂ、５２ｃとを含む。底板部５２ａは、下部が曲げられた形状を成し、側面視においてＬ字形を成し、上部において部品載置部４４の固定子３４側の側面に取り付けられる。また、保持台３２の前進端位置において、底板部５２の下部が固定子保持体５５の上方に位置し、側板部５２ｂが固定子３４の外側、かつ、固定子保持体５５の上方に位置し、側板部５２ｃが側板部５２ｂより外側であって、固定子保持体５５の外側に位置する。側板部５２ｃは、側板部５２ｂより上下方向の寸法が大きいものであり、下端部が本体部２９の貫通穴２９ａ付近まで伸びる。カバー用板部５４は、Ｖ溝４４ｃに対してカバー用板部５２とは反対側の載置部保持体４６に取り付けられる。カバー用板部５４は、保持台３２の前進端位置において、固定子保持体５５の外側に位置する。カバー用板部５４は、上下方向に対して交差する方向に曲げられた形状を成し、下端部が本体部２９の貫通穴２９ａ付近まで伸びたものである。  また、側板部５２ｃ、カバー用板部５４のｙ方向の寸法は、後述する第１回収状態において、一対の対向面３４ｆ、３６ｆの間の空間の大部分をｘ方向から覆い得る大きさとされる。
【００１３】  保持台移動装置４０は、本体部２９またはベース部３０に固定的に設けられた駆動源としてのエアシリンダ６４を含む。エアシリンダ６４のピストンロッド６６（図５参照）には載置部保持体４６が連結される。ピストンロッド６６は概してｙ方向に伸びたものであり、載置部保持体４６はｙ方向に移動可能とされる。エアシリンダ６４は、シリンダハウジングの内部にピストンによって仕切られた２つのエア室６４ａ、６４ｂを含み、２つのエア室６４ａ、６４ｂとエア源６８、後述するエア通路６０（図４参照）、フィルタ（大気）との間に電磁弁装置６９が設けられる。電磁弁装置６９は、１つ以上の電磁弁、例えば、図５に示すように、方向切換弁、可変絞りを含むものとすることができる。方向切換弁により、載置部保持体４６の移動方向が制御され、可変絞りにより載置部保持体４６の移動・停止が制御される。電磁弁装置６９によって、エア室６４ｂがエア源６８に連通させられエア室６４ａがエア通路６０に連通させられることにより、保持台３２が前進（図４の矢印Ｆ方向の移動）させられ、エア室６４ｂが大気に開放されエア室６４ａがエア源６８に連通させられることにより、保持台３２が後退（図４の矢印Ｂ方向の移動）させられる。
【００１４】  可動子移動装置４１は、本体部２９に固定的に設けられた駆動源としてのエアシリンダ７０を含む。エアシリンダ７０のピストンロッド７１には可動子と一体的に移動可能な可動子保持体５６が連結される。ピストンロッド７１もｙ方向に伸びたものであり、可動子３６もｙ方向に移動可能とされる。エアシリンダ７０のハウジングの内部においてピストンによって仕切られた２つのエア室７０ａ、７０ｂには、電磁弁装置７２を介して、エア源６８、エア通路６０、フィルタ（大気）が接続される。電磁弁装置７２は、１つ以上の電磁弁を含むものであり、例えば、方向切換弁、可変絞り等を含むものとすることができる。電磁弁装置７２により、エア室７０ｂがエア通路６０に連通させられエア室７０ａがエア源６８に連通させられることにより、可動子３６が後退させられ、エア室７０ａが大気に開放されエア室７０ｂがエア源６８に連通させられることにより、可動子３６が前進させられる。
【００１５】  可動子保持体５６と本体部２９との間には、ｙ方向に伸びた一対のガイドロッド７４，７５が設けられ、保持台３２と可動子保持体５６との間には、ｙ方向に伸びた一対のガイドロッド７６，７７が設けられる。ガイドロッド７４，７５の一端部は、可動子保持体５６に連結され、他端部は、本体部２９に摺動可能に係合させられる。ガイドロッド７６，７７は、一端部において載置部保持体４６に連結されるとともに、可動子保持体５６に摺動可能に係合させられる。これらガイドロッド７４，７５、７６，７７により保持台３２と可動子３６とは本体部２９に対して、ｙ方向に互いに相対移動可能とされるとともに、保持台３２と可動子３６とは互いにｙ方向に相対移動可能とされる。  また、図４に示すように、可動子保持体５６の固定子側にはストッパ８２が設けられ、本体部２９の固定子保持体５５を保持する部分にはストッパ８０が設けられる。ストッパ８２は、可動子保持体５６と保持台３２（載置部保持体４６）との接近限度を規定するものであり、ストッパ８０は、固定子３４（本体部２９）と保持台３２（載置部保持体４６）との接近限度を規定するものである。  なお、図４に示すように、載置部保持体４６の可動子３６側の中間部には、ｙ方向に凹んだ凹部４６ｂが形成され、凹部４６ｂの底部においてストッパ８０と当接可能とされている。その結果、保持台３２と可動子３６との相対移動可能な距離が大きくされる。  本実施例において、ガイドロッド７４〜７７は、保持台移動装置４０、可動子移動装置４１に共有され、ストッパ８０，８２は保持台移動装置４０の構成要素であると考えることができる。
【００１６】  本検査装置には、可動子３６の対向面３６ｆにエアを供給可能なエア供給装置８４が設けられる。エア供給装置８４は、前述のカバー部５０、エア通路６０、イオナイザ６２、エアシリンダ６４，７０等を含む。エア通路６０は、図４に示すように、本体部２９に設けられ概して上下方向に伸びた部分通路６０ｈ、固定子側の部材｛例えば、固定子３４の上部または固定子保持体５５の固定子３４の上方の部分または本体部２９｝に設けられ、概してｙ方向に伸びた部分通路６０ｓ等を含む。ｙ方向に伸びた部分通路６０ｓは、可動子３６に近づくにつれて下方へいく向きに傾斜して伸び、可動子３６が固定子３４から離間した位置にある場合に、延長線ｋが可動子３６の対向面３６ｆの部分Ｒの上方または部分Ｒ内に達する状態で伸びたものである。部分Ｒは、可動子３６の対向面３６ｆの部品ｓを把持する頻度が高い部分であり、把持部と称することができる。また、部分通路６０ｓの端部は、可動子３６の対向面３６ｆに対向する開口６０ａとされる。そのため、部分６０通路ｓはエア噴出通路と称することができる。  エア通路６０には、エアシリンダ６４，７０が接続される。また、エア通路６０のエアシリンダ６４，７０の下流側の部分にはイオナイザ６２が設けられる。イオナイザ６２は、コロナ放電を生起させて空気をイオン化するものであり、対向面３６ｆにイオン化された空気が供給され得る。  なお、電磁弁装置６９，７２の構造は、本実施例のそれに限らない。例えば、１つの３位置弁を含むものとしたり、複数の開閉弁を含むものとしたりすること等ができる。また、イオナイザ６２を設けることは不可欠ではない。
【００１７】  図４(a)、図１０(1)に示すように、本体部２９には、平面視において概して四角形を成した貫通穴２９ａが設けられ、ベース部３０には、それぞれ、第１、第２の２つの貫通穴３０ａ、３０ｂが設けられる。これら第１、第２の２つの貫通穴３０ａ、３０ｂは、保持台３２および可動子３６の移動方向に沿って、すなわち、ｙ方向に隔てて並んで形成される。また、本体２９に形成された貫通穴２９ａ、ベース部３０に形成された第１、第２の２つの貫通穴３０ａ、３０ｂは、それぞれ、本体部２９、ベース部３０を上下方向に貫通するものであり、これらは平面視において重なった部分に位置する。そのため、これら貫通穴２９ａおよび第１、第２の２つの貫通穴３０ａ、３０ｂによって本体２９およびベース部３０が上下方向に貫通される。
【００１８】  回収箱２６の内部は、仕切り部材９０によってｘ方向に２つに仕切られ、それぞれ、第１収容部２６ａ、第２収容部２６ｂとされる。また、回収箱２６の検査装置２２側の側壁９２には、ｘ方向に隔たって、すなわち、仕切り部材９０の両側に、それぞれ、第１回収口９３ａ、第２回収口９３ｂが設けられる。前述の第１、第２の回収通路２８ａ、２８ｂは、それぞれ、一端部が、ベース部３０の第１、第２の貫通穴３０ａ、３０ｂに接続され、他端部が、回収箱２６の第１、第２の回収口９３ａ、９３ｂに相対移動可能に挿入される。その結果、第１貫通穴３０ａに入った部品ｓは第１回収通路２８ａを経て第１収容部２６ａに回収され、第２貫通穴３０ｂに入った部品ｓは第２回収通路２８ｂを経て第２収容部２６ｂに回収されるのであり、部品ｓを第１収容部２６ａと第２収容部２６ｂとに分別して回収することができる。  なお、ベース部３０、回収箱２６、第１、第２の２つの回収通路２８ａ、ｂは、ベース部３０の回収箱２６に対する上下方向の相対移動が許容される構造とされるのであり、例えば、上述のように、第１、第２の回収通路２８ａ、ｂが回収箱２６に対して相対移動可能に係合させられるようにしたり、第１、第２の回収通路２８ａ、ｂを伸縮可能なものとしたりすること等ができる。
【００１９】  また、第１貫通穴３０ａ、第２貫通穴３０ｂの各々の開口面積は、下方に向かって小さくなる形状、すなわち、第１、第２貫通穴３０ａ、３０ｂの側面は傾斜した形状を成す。そのため、第１、第２の回収通路２８ａ、ｂの断面積を小さくしつつ、部品ｓの入口側の開口を大きくすることができるのであり、一対の測定子３７から放された部品ｓを良好に第１、第２回収通路２８ａ、ｂに回収することができる。  一方、ベース部３０の第１貫通穴３０ａと第２貫通穴３０ｂとの間の部分には、保持台３２、可動子３６の移動方向と直交する方向、すなわち、ｘ方向に伸びた分離壁９４が設けられる。分離壁９４は、上方へいくにつれて厚み（ｙ方向）が漸減させられるものであり、頂部９４ｐは本体部２９の上面２９ｆと、載置部保持体４６の下面４６ｆとの間に達する。  また、分離壁９４の前側面９４ｆは、下方へ向かうにつれて第１貫通穴３０ａに近づく向きに傾斜し、後側面９４ｒは、下方へ向かうにつれて第２貫通穴３０ｂに近づく向きに傾斜する。そのため、分離壁９４の前側面９４ｆに落ちた部品ｓは第１貫通穴３０ａ、第１回収通路２８ａを経て良好に第１収容部２６ａに収容され、分離壁９４の後側面９４ｒに落ちた部品ｓは第２貫通穴３０ｂ、第２回収通路２８ｂを経て良好に第２収容部２６ｂに収容される。  なお、本実施例において、分離壁９４のｘ方向の長さは、本体部２９の貫通穴２９ａとほぼ同じとされているが、少なくとも、第１、第２貫通穴３０ａ、ｂより長ければよい。
【００２０】  当該装着機は制御装置１００を含む。制御装置１００は、図６に示すように、コンピュータを主体とするコントローラ１０２と、複数の駆動回路１０４とを含む。コントローラ１０２は、実行部１１０、記憶部１１２、入出力部１１４等を含み、入出力部１１４には、基板搬送保持装置４、部品供給装置６、ヘッド移動装置８が、それぞれ、駆動回路１０４を介して接続されるとともに、保持台移動装置４０、可動子移動装置４１の電磁弁装置６９，７２等が接続される。また、LCR測定部４２、ディスプレイ１１６、可動子位置センサ１１８、保持台位置センサ１２０、ノズル１８の高さを検出するノズル高さセンサ１２２等が接続される。記憶部１１２には、図７のフローチャートで表されるLCR測定プログラム等の複数のプログラム、テーブルが記憶されている。また、コントローラ１０２に設けられたタイマ１２４によって時間の計測が行われる。  なお、本実施例においては、制御装置１００によって装着機全体が制御される場合について説明したが、基板搬送保持装置４、部品供給装置６、ヘッド移動装置８等がそれぞれ互いに個別の制御装置によって制御されるようにすることもできる。
【００２１】  以下、装着機の作動について説明する。  段取り替えが行われる場合等、新たなテープフィーダ１４のセット、テープフィーダ１４の交換等が行われた場合等に、そのテープフィーダ１４に保持された部品ｓの電気的特性が測定され、そのテープフィーダ１４（または部品ｓ）が適正なものであるか否かが検査される。また、その検査結果がディスプレイ１１６に表示される。不適正である場合には、テープフィーダ１４が取り替えられる。また、適正であると判定された部品ｓは第１収容部２６ａに回収され、不適正であると判定された部品ｓは第２収容部２６ｂに回収されるのであり、電気的特性が測定された後の部品ｓは、適正である場合と不適正である場合とで分別回収される。
【００２２】  部品ｓの電気的特性は、図７のフローチャートで表されるLCR測定プログラムの実行により測定される。また、LCR測定プログラムが実行される場合のタイムチャートを図８(a)、(b)に示す。  検査装置２２は、常には、図１０(1)に示す初期状態にある。可動子３６は可動子位置センサ１１８がＯＮ状態にあるスタート位置にあり、保持台３２は保持台位置センサ１２０がＯＮ状態にある位置、すなわち、ストッパ８０に当接した前進端位置にある。この状態において、保持台３２の部品載置部４４はアースされた状態にある。保持台３２のＶ溝４４ｃの上方に可動子３６が存在せず、部品ｓを載置可能な状態にある。また、カバー部５０は固定子３４の両側（ｘ方向に隔たって）に位置する。  ステップ１（以下、Ｓ１と略称する。他のステップについても同様とする）において、部品ｓの電気的特性の測定指令が出されたか否かが判定される。段取り替えが行われる場合等には電気的特性の測定指令が出される。測定指令が出されると、Ｓ２において、装着ヘッド１６が移動させられ、例えば、新たに取り付けられたテープフィーダ１４に保持された部品ｓが吸着ノズル１８によってピックアップされて、保持台３２のＶ溝４４ｃ上に載せられる。例えば、吸着ノズル１８が下降させられ、部品ｓが開放されることにより、部品ｓがＶ溝４４ｃ上に載置させられたことがわかる。
【００２３】  そして、吸着ノズル１８が部品ｓをＶ溝４４ｃ上に載置させて上昇端に達したことがノズル高さセンサ１２２によって検出されると、Ｓ３において、電磁弁装置７２の制御により可動子３６が前進させられ、可動子位置センサ１１８がＯＮからＯＦＦに切り換えられる。可動子３６の先端の対向面３６ｆは、部品載置部４４のＶ溝４４ｃに沿って前進させられ、対向面３６ｆと固定子３４の対向面３４ｆとによって部品ｓがクランプされる｛図１０(2)｝。本実施例においては、スタート位置から部品ｓをクランプするまでの可動子３６のストロークＬ１（図４参照）は、クランプされる部品ｓの大きさ等で決まり、予め決められている。可動子３６の前進開始時から、可動子３６がストロークＬ１前進するまでに要する時間である前進時間が経過した後に、可変絞りの制御等により、可動子３６の前進が停止させられる。前進時間は、タイマ１２４によって計測される。この保持台３２が前進端位置にあり、一対の対向面３４ｆ、３６ｆにより部品ｓがクランプされた状態がクランプ状態である。
【００２４】  Ｓ４において、電磁弁装置６９の制御により保持台３２が後退させられ、保持台位置センサ１２０がＯＮからＯＦＦに切り換えられる。保持台３２は、ストッパ８２に当接するまで後退させられ｛図１０(3)、１１(3)｝、その位置で保持される。その間の保持台３２のストロークはＬ２（図４参照）である。  Ｌ２＝Ｌｄ−Ｌ１ 本実施例においては、ストロークＬ２は設定値Ｌｘ以上の大きさとされていて（Ｌ２≧Ｌｘ）、部品載置部４４が部品ｓから設定値Ｌｘ以上離間させられる。導電性を有する部材（部品載置部４４）が電気的特性の測定時に部品ｓの近傍に位置すると静電誘導が起きたり、渦電流が生じたりする等、電気的特性を正確に検出することができない。それに対して、部品載置部４４を部品ｓから設定値Ｌｘ以上離間させれば（部品載置部４４と部品ｓとの最短距離が設定値Ｌｘ以上とすれば）、部品載置部４４が部品ｓの近傍に位置することに起因して生じる電気的特性の測定誤差を小さくすることができる。このように、設定値Ｌｘは、部品載置部４４が部品ｓの電気的特性の測定に影響を及ぼし難い距離であり、予め実験等により取得された値である。この状態が測定状態である。  なお、保持台３２の後退開始時から、保持台３２がストロークＬ２後退するのに要する時間である後退時間Taが経過した後に、電磁弁装置６９の制御により保持台３２の位置が保持される。後退時間Taは、タイマ１２４によって計測される。
【００２５】  Ｓ５において、吸着ノズル１８により部品ｓが開放され、Ｖ溝４４ｃ上に載せられた時点から、設定時間である除電時間が経過するのが待たれる。テープフィーダ１４に保持された部品ｓの各々は、テープフィーダ１４の運搬に伴う振動、物との接触等に起因して生じた静電気により帯電した状態にある。この帯電された部品ｓが、導電性を有する材料で製造され、かつ、アースされた部品載置部４４に載置されることにより除電されたり、空気中への放電により除電されたりする。除電時間は、部品ｓが有していると推定される容量の静電気を除去するのに要する時間であり、予め実験等により求めたり、部品ｓの大きさ、特性等に基づいて理論的に求めたりすること等ができる。部品ｓが部品載置部４４に載せられてからの経過時間が除電時間に達すると、Ｓ５の判定がＹＥＳとなり、Ｓ６において部品ｓの電気的特性が測定される。  そして、電気的特性の測定に要する時間である測定時間が経過すると、Ｓ７が実行されるのであるが、測定時間は部品ｓの種類等によって決まる時間としても、一定の時間としてもよい。いずれにしても予め取得されて記憶されている。
【００２６】  測定時間が経過し、部品ｓの電気的特性の測定が終了すると、Ｓ７において後述するように、部品ｓが適正である(OK)か、不適正である(NG)かの判定結果が読み込まれる。  適正である場合には、Ｓ８，９において、可動子３６が後退させられ、保持台３２が後退させられる。可動子３６は、電磁弁装置７２の制御により、スタート位置よりΔＬｆ前方の位置｛図１２(a)参照｝まで後退させられる。可動子３６は、（測定状態における位置、すなわち、部品ｓを把持する位置）から（スタート位置よりΔＬｆ前方の位置）まで後退するのに要する時間である後退時間Tfが経過した後に、停止させられる。保持台３２は、電磁弁装置６９の制御により、測定状態における位置から可動子３６のストッパ８２に当接する位置まで後退させられる。保持台の３２のストロークは、（Ｌ１−ΔＬｆ）であるため、保持台３２がストローク（Ｌ１−ΔＬｆ）後退するのに要する時間である後退時間Tbが経過した後に、ストッパ８２に当接したとされて、停止させられる。なお、図１２(a)において、スタート位置にある可動子３６の対向面３６ｆの位置を二点鎖線で示す。  可動子３６の対向面３６ｆが固定子３４の対向面３４ｆから離間することにより、これらの間に把持されていた部品ｓが開放される。また、可動子３６の後退時には、エアシリンダ７０のエア室７０ｂがエア通路６０に連通させられ、カバー用板部５２，５４は、それぞれ、一対の対向面３４ｆ、３６ｆの間の空間のｘ方向の両側に位置する。さらに、図１０(4)、図１２(a)に示すように、保持台３２は可動子３６の対向面３６ｆの後方に位置し、一対の対向面３４ｆ、３６ｆの間は、第１貫通穴３０ａに連通させられる。  可動子３６の後退に伴って、エア室７０ａから流出させられたエアが開口６０ａから噴出し、可動子３６の対向面３６ｆに斜め上方から供給される。エアは、主として対向面３６ｆに当たった後、対向面３６ｆに沿って下方へ流れる。そのため、仮に、対向面３６ｆから部品ｓが落下せず、部分Ｒに付着していても、それを良好に落下させ、第１収容部２６ａに回収されるようにすることができる。また、対向面３４ｆ、３６ｆから落下して保持台３２の上に載った部品ｓは、保持台３２の後退に伴う可動子３６の対向面３６ｆの前進により、第１貫通穴３０ａに落下させることができる。さらに、開口６０ａと対向面３６ｆとの間がｘ方向からカバー部５０によって覆われているため、エアの拡散を良好に抑制することができる。
【００２７】  また、図１２(a)に示すように、保持台３２が第１貫通穴３０ａの上方から離れ、第２貫通穴３０ｂのほぼ上方、換言すれば、分離壁９４の頂部９４ｐより後方の第１位置に位置する。そのため、一対の測定子３７から放された部品ｓは、第２貫通穴３０ｂに落ち難くされる。  可動子３６の対向面３６ｆは、分離壁９４の頂部９４ｐの前方に位置し、保持台３２の載置部保持体４６の前面４６ａが分離壁９４の頂部９４ｐの後方に位置する。そのため、対向面３６ｆにエアが供給されることにより部品ｓが下方へ落とされても、その部品ｓが、分離壁９４、載置部保持体４６により対向面３６ｆより後方の第２貫通穴３０ｂに落ち難くされる。  可動子の対向面３６ｆは、分離壁９４の前側傾斜面９４ｆの上方に位置する。そのため、下方へ落下した部品ｓは、分離壁９４の前側傾斜面９４ｆ、第１貫通穴３０ａの傾斜した側面に沿って良好に第１収容部２６ａに収容されるようにすることができる。  この状態が第１回収状態であり、第１収容部選択状態でもある。本実施例においては、LCR測定プログラムのＳ８，９の実行により、第１回収状態とされるとともに第１収容部選択状態とされるのである。
【００２８】  その後、Ｓ１０において、可動子３６がスタート位置まで後退させられる。可動子３６は、電磁弁装置７２の制御により、可動子位置センサ１１８がＯＦＦからＯＮに切り換えられるまで後退させられる。Ｓ１１において、電磁弁装置６９の制御により、エアシリンダ６４においてエア室６４ｂがエア源６８に連通させられ、エア室６４ａがエア通路６０に連通させられる。保持台３２が前進させられ、ストッパ８０に当たると保持台位置センサ１２０がＯＮとなる。保持台３２は、一対の対向面３４ｆ、３６ｆの間に位置し（Ｖ溝４４ｃが対向面３４ｆ、３６ｆの間の下方に位置し）、Ｖ溝４４ｃの上方が空間とされている。そのため、部品ｓが載置可能とされる。この状態が初期状態である。
【００２９】  それに対して、測定した部品ｓが不適正である場合には、Ｓ１２において、図１１(4´)に示すように、保持台３２が、保持台位置センサ１２０がＯＮになるまで、すなわち、ストッパ８０に当接するまで前進させられる。この状態において、保持台３２は第２貫通穴３０ｂの上方から離れ、第１貫通穴３０ａの上方の第２位置に位置する。この状態を第２収容部選択状態と称する。  次に、Ｓ１３において、図１１(5´)、図１２(b)に示すように、可動子３６が可動子位置センサ１１８がＯＮになってから予め定められた後退時間Ｔｃが経過するまで後退させられる。換言すれば、可動子３６は、スタート位置よりΔＬｃ後方まで後退させられ、対向面３６ｆは、保持台３２の後方の第２貫通穴３０ｂの上方、すなわち、分離壁９４の後方に位置する。そのため、一対の測定子３７から放された部品ｓは、エアによりほぼ下方へ落下し、第２貫通穴３０ｂ、第２回収通路２８ｂを経て第２収容部２６ｂに収容される。  この場合において、保持台３２は第１貫通穴３０ａの上方に位置するため、部品ｓが第１貫通穴３０ａに回収されることを良好に防止することができる。また、保持台３２の載置部保持体４６の下面４６ｆは第１貫通穴３０ａのやや上方まで伸びたものである。そのため、対向面３６ｆに当たったエアは載置部保持体４６、分離壁９４により前方へ流れ難くされる。載置部保持体４６、分離壁９４に当たったエアは後方へ流れ、部品ｓが第２収容部２８ｂに良好に回収され得る。  この状態が第２回収状態である。本実施例においては、第２収容部選択状態とされた後に、第２回収状態とされる。  その後、Ｓ１４において、可動子３６が可動子位置センサ１１８がＯＮになる（スタート位置）まで前進させられ、初期状態とされる。
【００３０】  一方、測定された電気的特性とJOB情報に含まれる電気的特性とが比較され、当該部品ｓが、これから行われる作業（JOB）に用いられるべきものであるかどうか、換言すれば、これから行われる作業に対して適正なものであるか不適正なものであるかが判定され、その判定結果がディスプレイ１１６に表示される。  Ｓ２１において、当該部品ｓの電気的特性の測定値が取得され、Ｓ２２において、次のJOBのJOB情報から対応する情報が読み込まれる。Ｓ２３において、これらが比較され、一致するかどうかが判定される。一致する場合には部品ｓは適正なものであると判断され、不一致の場合には不適正なものであると判断される。いずれであっても、判定結果はディスプレイ１１６に表示される。仮に、不一致の場合には、適正なテープフィーダと交換される等の作業が行われる。
【００３１】  以上のように、本実施例においては、測定後の部品ｓを適正なものと不適正なものとで、分別して回収することができる。そのため、適正な部品ｓは、回路基板に装着させる等電子部品ｓの組立に利用することができる。この場合に、イオン化されたエアが供給される場合には、部品ｓの除電を図ることも可能となり、部品ｓを再度装着する場合に効果的である。また、不適正である部品ｓによれば、不適正な部品ｓが取り付けられた原因を明らかにすることができる。
【００３２】  以上のように、本実施例においては、保持台移動装置４０、可動子移動装置４１等により相対移動装置が構成される。また、コントローラ１０２のLCR測定プログラムのＳ８，９，１２，１３を記憶する部分、実行する部分、可動子位置センサ１１８、保持台位置センサ１２０、タイマ１２４等により分別回収装置が構成される。そのうちの、Ｓ９，１２を記憶する部分、実行する部分等により保持台移動制御部が構成され、Ｓ８，１３を記憶する部分、実行する部分等により可動子位置制御部が構成され、Ｓ９，１２を記憶する部分、実行する部分等により収容部選択部が構成され、保持台移動制御部および可動子位置制御部等により相対位置変更部が構成される。さらに、本体部２９およびベース部３０等により本体が構成されると考えたり、ベース部３０等により本体が構成されると考えたりすることができる。また、保持台３２は、第１、第２の貫通穴３０ａ、ｂのいずれか一方へ部品ｓが入るのを防止するシャッタと称することもできる。
【００３３】  なお、一対の測定子の両方を移動可能とし、保持台を本体に固定とすることもできる。その場合であっても、保持台と可動子との相対位置関係を変えることができ、部品ｓを第１収容部２６ａと第２収容部２６ｂとに選択的に回収することができる。  また、上記実施例においては、適否に基づいて部品ｓが分別回収されるようにしたが、部品ｓの電気的特性の測定値に基づいて分別回収されるようにすることができる。さらに、適否と測定値（例えば、抵抗値）との両方に基づいて分別回収されるようにすることもできる。  また、上記実施例においては、エア供給装置がエアシリンダ６４，７０の作動と連動してエアを供給するものであったが、エアシリンダ６４，７０の作動とは関係なく、エア源６８から直接、対向面３６ｆにエアが供給するものとすることができる。その場合には、第１回収状態、第２回収状態に達した時点で対向面３６ｆにエアが供給されるようにすることもできる。  さらに、第１貫通穴３０ａ、第２貫通穴３０ｂのいずれか一方から選択的に吸引して部品ｓを吸い込むことができる。  また、部品ｓが不適正であると判断された場合と、適正であると判断された場合とで、初期状態を同じ状態とすることは不可欠ではなく、それぞれ、異なる状態から測定プログラムが実行されるようにすることもできる。初期状態における可動子、保持台の位置に応じて、ストロークが適宜決定されるようにすることができる。その場合には、Ｓ１４のステップは不要となる。  さらに、適正である場合において、第１回収状態における可動子の位置を初期状態における可動子の位置とすることもできる。その場合には、Ｓ１０のステップは不要となる。  また、Ｓ８，９を並行して実行したり、Ｓ１０、１１を並行して実行したりすること等もできる。  さらに、部品ｓが適正である場合に第１収容部２６ａに収容し、不適正である場合に第２収容部２６ｂに収容されるようにすることは不可欠ではない。適正である場合に第２収容部２６ｂに収容され、不適正である場合に第１収容部２６ａに収容されるようにすることもできる。  また、可動子位置センサ１１８、保持台位置センサ１２０は不可欠ではない。例えば、タイマ１２４による計測により電磁弁装置６９，７２を制御することもできる。また、エア供給装置も不可欠ではない等、本発明は、前記実施形態に記載の態様の他、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した形態で実施することができる。
【符号の説明】
【００３４】  ２２：検査装置  ２６：回収箱  ２８：回収通路  ２９：本体部  ３０：ベース部  ３０：貫通穴  ３１：締結部  ３２：保持台  ３４：固定子  ３６：可動子  ３４ｆ，３６ｆ：対向面  ４０：保持台移動装置  ４１：可動子移動装置  ４２：LCR測定部  ４４：部品載置部  ４４ｃ：Ｖ溝  ５０：カバー部  ８４：エア供給装置  １００：制御装置  １１８：可動子位置センサ  １２０：保持台位置センサ  １２４：タイマ
【特許請求可能な発明】
【００３５】（１）部品供給装置によって供給された部品をピックアップして回路基板に装着する装着機に設けられ、  部品を保持可能な保持台と、  互いに接近・離間可能とされ、前記部品を挟んだり、放したりする一対の測定子を備え、前記一対の測定子により前記部品の電気的特性を測定する測定部と、  前記一対の測定子と前記保持台とを相対移動させる相対移動装置と、  前記測定部による前記部品の前記電気的特性の測定結果に基づいて前記相対移動装置を制御することにより、前記一対の測定子と前記保持台との相対位置を変えて、前記一対の測定子から放された部品を分別回収する分別回収装置とを含むことを特徴とする検査装置。  部品は、例えば、電気的特性の測定値に基づいて分別回収されるようにしたり、測定結果に基づく適否の判断に基づいて分別回収されるようにしたりすること等ができる。（２）当該検査装置が、前記相対移動装置による前記保持台と前記一対の測定子との相対移動の方向に沿って、互いに隔てて形成された第１貫通穴および第２貫通穴を有する本体を含む(1)項に記載の検査装置。  本体は、第１貫通穴および第２貫通穴の少なくとも２つの貫通穴を含むものであり、３つ以上の貫通穴を含むものとすることもできる。（３）当該検査装置が、前記本体の、前記第１貫通穴および前記第２貫通穴の間に設けられた分離壁を含む(2)項に記載の検査装置。（４）当該検査装置が、前記一対の測定子から放された部品をそれぞれ収容する第１収容部および第２収容部と、前記第１収容部と前記第１貫通穴とを接続する第１回収通路と、前記第２収容部と前記第２貫通穴とを接続する第２回収通路とを含む(2)項または(3)項に記載の検査装置。（５）前記第１貫通穴および第２貫通穴の各々の開口面積が、それぞれ、下方へ向かうにつれて小さくされた(2)項ないし(4)項のいずれか１つに記載の検査装置。  第１貫通穴、第２貫通穴の側面は傾斜面とされる。
【００３６】（６）前記相対移動装置が、前記保持台を移動させる保持台移動装置を含み、  前記相対移動制御装置が、前記測定結果に基づいて前記保持台移動装置を制御して、前記互いに離間させられた一対の測定子と前記保持台との相対位置を変える保持台移動制御部を含む(1)項ないし(5)項のいずれか１つに記載の検査装置。（７）当該検査装置が、前記相対移動装置による前記保持台と前記一対の測定子との相対移動の方向に沿って、互いに隔てて形成された第１貫通穴および第２貫通穴を有する本体を含み、  前記保持台移動装置が、前記保持台を、前記本体の前記第１貫通穴および前記第２貫通穴の上方において移動させるものであり、  前記保持台移動制御部が、前記保持台移動装置を制御することにより、前記保持台を、前記第１貫通穴の上方から離れ前記第２貫通穴の上方に位置する第１位置と、前記第２貫通穴の上方から離れ前記第１貫通穴の上方に位置する第２位置とに変える第１収容部選択部を含む(6)項に記載の検査装置。  保持台１の第１位置において、第１貫通穴から部品が回収可能とされ、保持台の第２位置において、第２貫通穴から部品が回収可能とされる。  保持台が、第１貫通穴、第２貫通穴の各々の上方に位置するとは、ほぼ上方に位置するという意味であり、保持台の下面が第１貫通穴、第２貫通穴の各々の開口面のすべてを覆う位置に位置するとは限らない。例えば、第１貫通穴、第２貫通穴の各々の開口面の一部が保持台の下面から外れる場合があるのである。（８）前記一対の測定子が、前記本体に固定された固定子と、前記固定子に対して接近、離間可能な可動子とを含むとともに、前記固定子と前記可動子とが、それぞれ、前記部品を把持可能な対向面を含み、  当該検査装置が、前記相対移動装置による前記一対の測定子と前記保持台との相対移動の方向に沿って互いに隔たって形成された第１貫通穴および第２貫通穴を有する本体を含み、  前記分別回収装置が、前記測定結果に基づいて前記相対移動装置を制御することにより、前記保持台が前記第２貫通穴の上方に位置し、前記可動子の前記対向面が前記保持台より前記第１貫通穴側に位置する第１回収状態と、前記保持台が前記第１貫通穴の上方に位置し、前記可動子の前記対向面が前記保持台より前記第２貫通穴側に位置する第２回収状態とに変える第１相対位置変更部を含む(1)項ないし(7)項のいずれか１つに記載の検査装置。（９）当該検査装置が、互いに隔てて形成された第１貫通穴および第２貫通穴を有する本体と、前記本体の、前記第１貫通穴と前記第２貫通穴との間に設けられた分離壁とを含み、  前記保持台移動装置が、前記保持台を、前記本体の前記第１貫通穴、前記第２貫通穴および前記分離壁の上方において移動させるものであり、  前記保持台移動制御部が、前記保持台移動装置を制御することにより、前記保持台を、前記分離壁の前記第２貫通穴側に位置する第３位置と、前記分離壁の前記第１貫通穴側に位置する第４位置とに変える第２収容部選択部を含む(6)項に記載の検査装置。  第１位置と第３位置とは同じ位置であっても異なる位置であってもよく、同様に、第２位置と第４位置とは同じ位置であっても異なる位置であってもよい。（１０）前記一対の測定子が、前記本体に固定された固定子���、前記固定子に対して接近、離間可能な可動子とを含むとともに、前記固定子と前記可動子とが、それぞれ、前記部品を把持可能な対向面を含み、  当該検査装置が、前記相対移動装置による前記一対の測定子と前記保持台との相対移動の方向に沿って互いに隔たって形成された第１貫通穴および第２貫通穴を有する本体と、前記本体の、前記第１貫通穴と前記第２貫通穴との間に設けられた分離壁とを含み、  前記分別回収装置が、前記測定結果に基づいて前記相対移動装置を制御することにより、前記保持台が前記分離壁より第２貫通穴側に位置し、前記可動子の前記対向面が前記分離壁より前記第１貫通穴側に位置する第３回収状態と、前記保持台が前記分離壁より前記第１貫通穴側に位置し、前記可動子の前記対向面が前記分離壁より前記第２貫通穴側に位置する第４回収状態とに変える第２相対位置変更部を含む(1)項ないし(7)項のいずれか１つに記載の検査装置。  第１回収状態および第３回収状態、第２回収状態および第４回収状態は、それぞれ、同じ状態であっても異なる状態であってもよい。（１１）前記相対移動装置が、前記可動子を移動させる可動子移動装置を含み、  前記相対位置変更部が、前記第２回収状態における前記可動子の位置を、前記第１回収状態における位置とは異なる位置とする可動子位置制御部を含む(8)項に記載の検査装置。
【００３７】（１２）前記一対の測定子が、前記本体に固定された固定子と、前記固定子に対して接近、離間可能な可動子とを含むとともに、前記固定子と前記可動子とが、それぞれ、前記部品を把持可能な対向面を含み、  当該検査装置が、前記一対の測定子が離間させられる場合に、前記可動子の対向面にエアを供給するエア供給装置を含む(1)項ないし(11)項のいずれか１つに記載の検査装置。（１３）当該検査装置が、可動子用シリンダを備え、その可動子用シリンダの作動により前記可動子を前記固定子に対して接近・離間させる可動子移動装置を含み、  前記エア供給装置が、前記可動子の前記固定子からの離間に伴って前記可動子用シリンダから流出させられるエアを前記可動子の対向面に供給する駆動源連動型供給部を含む(12)項に記載の検査装置。
【図１】
2017037887.tif 000003
【図２】
2017037887.tif 000004
【図３】
2017037887.tif 000005
【図４】
2017037887.tif 000006
【図５】
2017037887.tif 000007
【図６】
2017037887.tif 000008
【図７】
2017037887.tif 000009
【図８】
2017037887.tif 000010
【図９】
2017037887.tif 000011
【図１０】
2017037887.tif 000012
【図１１】
2017037887.tif 000013
【図１２】
2017037887.tif 000014
【国際調査報告】
2017037887.tif 000015
2017037887.tif 000016
2017037887.tif 000017
2017037887.tif 000018