(57)【要約】      （修正有）【課題】自然発火性を有する等、取り扱いに厳重な注意を要する材料を充填した容器を安全に交換できる材料供給装置を提供する。【解決手段】材料を収容するとともに材料を導出するための導出ポート２０を有した内容器２と、内容器を外気と隔離して収納する外容器３と、外容器の外側にある所定の装置に材料を供給する供給配管６ｂを導出ポート２０に接続するための接続継手４ｂと、外容器の外側から不活性ガスを接続継手４ａ及び第２管状体２ｂを介して内容器の内部に圧送する圧送配管６ａと、外容器の外側から、外気と隔離した状態を維持したままで、外容器内に配置される接続継手を操作することが可能な継手操作機構５とを具備していることを特徴とする、材料供給装置。【選択図】図１
2014226610.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
材料を収容するとともに該材料を導出するための導出ポートを有した内容器を外気と隔離して収納するための外容器と、
前記外容器の外側にある所定の装置に材料を供給する供給配管を前記導出ポートに接続するための接続継手と、
前記外容器の外側から、外気と隔離した状態を維持したままで、前記外容器内に配置される前記接続継手を操作することが可能な継手操作機構とを具備していることを特徴とする材料供給装置。
【請求項２】
前記外容器の内部空間における材料の漏洩を監視する漏洩モニタと、
前記内容器を出し入れするための前記外容器の扉に設けたロック機構と、
前記漏洩モニタで検知された材料漏洩量が所定の閾値を超えている場合には、前記ロック機構１６を作動させて扉の開成を禁止する制御部とをさらに具備している請求項１記載の材料供給装置。
【請求項３】
前記漏洩モニタが、前記外容器の内部空間における材料の漏洩を検知する少なくとも２つ以上の検知器を備える請求項２記載の材料供給装置。
【請求項４】
前記外容器の内部空間を不活性ガスで充満させる不活性ガス充満機構をさらに備える請求項１、２又は３記載の材料供給装置。
【請求項５】
使用済み内容器を新しい内容器に交換するために、使用済み内容器の導出ポートを前記接続継手から外すと、前記供給配管から前記外容器の内部空間に不活性ガスが導入される請求項１、２、３又は４記載の材料供給装置。
【請求項６】
材料を収容するとともに該材料を導出するための導出ポートを有した内容器と、該内容器を外気と隔離して収納するための外容器と、前記外容器内に配置されて前記導出ポートを前記外容器の外側にある所定の装置に材料を供給する供給配管に接続するための接続継手とを具備した材料供給装置であって、
前記外容器の外側から、外気と隔離した状態を維持したままで、前記接続継手を操作することが可能な継手操作機構とをさらに具備していることを特徴とする材料供給装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば半導体製造等に用いる材料を供給するための材料供給装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の材料供給装置として特許文献１記載の装置がある。
【０００３】
この装置は、材料が充填される充填容器と、充填容器内に加圧ガスを導入する加圧ガス導入配管と、充填容器内の材料を外部へ供給する供給配管とを具備しており、加圧ガス導入配管から加圧ガスを導入して、充填容器内の気層を加圧することで、材料が供給配管に押し出されて充填容器の外部に供給されるものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１１−２５１０４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、材料が自然発火性を有する等、その取扱いに厳重な注意を払わなくてはならないものの場合、充填容器を交換するときに、加圧ガス導入配管や供給配管等から材料が漏れないように慎重に作業する必要がある。
【０００６】
そこで、本発明は、充填容器の交換時に材料が漏れにくく、安全に作業できる材料供給装置を提供することをその主たる所期課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の材料供給装置は、材料を収容するとともに該材料を導出するための導出ポートを有した内容器を外気と隔離して収納するための外容器と、前記外容器の外側にある所定の装置に材料を供給する供給配管を前記導出ポートに接続するための接続継手と、前記外容器の外側から、外気と隔離した状態を維持したままで、前記外容器内に配置される前記接続継手を操作することが可能な継手操作機構とを具備していることを特徴とする。
【０００８】
このような構成であれば、継手操作機構によって、使用者は内容器が外気と隔離して収納されている状態で、外容器の外側から内容器の交換作業を行うことができる。そのため、万が一交換作業中に内容器の導出ポートから材料が漏洩したとしても、漏れた材料は外容器の内側に留まるので、安全性を確保することができる。
【０００９】
前記外容器の内部空間における材料の漏洩を監視する漏洩モニタと、前記内容器を出し入れするための前記外容器の扉に設けたロック機構と、前記漏洩モニタで検知された材料漏洩量が所定の閾値を超えている場合には、前記ロック機構を作動させて扉の開成を禁止する制御部とをさらに具備しているものであれば、不測の事態が生じて、万が一材料が外容器内に漏洩した場合でも、その漏洩が漏洩モニタによって検知され、外容器に設けられた扉はロック機構によりロックされて開かなくなるので、材料漏洩時に使用者が誤って扉を開けるといった事態を確実に防ぐことができる。
【００１０】
前記漏洩モニタが、前記外容器の内部空間における材料の漏洩を検知する少なくとも２つ以上の検知器を備えれば、一方の検知器にエラーが発生している場合、他方の検知器で一方の検知器のエラーを調べることができる。また、一方の検知器がエラーを起こしていても、他方の検知器で材料の漏洩を検知することができるので、外容器の内部空間における材料の漏洩を確実に監視することができる。
【００１１】
前記外容器の内部空間を不活性ガスで充満させる不活性ガス充満機構をさらに具備しているものであれば、材料が自然発火性等の反応性を有する場合、外容器内に不活性ガスを充満させておくことで、万が一材料が外容器内に漏洩しても、材料が反応すること（例えば、発火等）を防ぐことができる。
【００１２】
好ましい実施態様としては、使用済み内容器を新しい内容器に交換するために、該使用済み内容器の導出ポートを前記接続継手から外すと、前記供給配管から前記外容器の内部空間に不活性ガスが導入されるようにしたものを挙げることができる。
【００１３】
このようなものであれば、供給配管に残留した材料をパージすることができるとともに、漏洩モニタによってパージの終了を確認することができる。
また、所定時間が経過しても、漏洩モニタが検知した材料漏洩量が所定の閾値を超えている場合には、外容器内に材料が漏洩している可能性があることが分かる。
さらに、パージ中は、漏洩モニタが外容器の内部空間を監視するとともに、外容器に設けた扉がロック機構によってロックされるので、パージ時に使用者が誤って扉を開ける事態を防ぐことができる。
【発明の効果】
【００１４】
このように本発明の材料供給装置によれば、充填容器の交換時に材料が漏れにくく、安全に作業することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の材料供給装置を示す概略図。
【図２】本発明の外容器を表す斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下に本発明の材料供給装置の一実施形態について説明する。
【００１７】
本実施形態の材料供給装置１は、半導体製造装置の一部を構成するものであって、図１及び図２に示すように、半導体材料（例えばトリメチルアルミニウム等の発火性を有する液体材料）を収容する内容器２と、内容器２を外気と隔離して収納する外容器３と、この外容器３を貫通して前記内容器２に接続され、前記液体材料を半導体製造チャンバ等の所定の装置に供給する供給配管６ｂとを具備している。
【００１８】
内容器２は、前記液体材料を収容する中空のケーシング２ａと、ケーシング２ａの上壁を貫通するように設けた第１管状体２ｃと、ケーシング２ａの上壁から突出させた第２管状体２ｂとを有するものである。
【００１９】
第１管状体２ｃは、その下端をケーシング２ａの底面近傍にまで延ばして、液体材料内に浸漬するようにしたものであり、その上端が、請求項でいう導出ポート２０に相当する。なお、この導出ポート２０は、外容器３の内部空間に配置されている。
【００２０】
第２管状体２ｂは、ケーシング２ａの内部空間に連通するものであり、この第２管状体２ｂを介して不活性ガスをケーシング２ａ内部に圧送すると、その圧力で液体材料が第１管状体２ｃを通って導出ポート２０から導出されるように構成してある。
【００２１】
外容器３は、内容器２を外気と隔離して収納するものであって、図１及び図２に示すように、その内部を視認するためのガラス等がはめ込まれた透明窓３ａ及び内容器２を出し入れするための扉３ｂを具備する。
【００２２】
供給配管６ｂは、一端が外容器３の上壁を貫通して第１管状体２ｃの導出ポート２０に接続され、他端が半導体製造チャンバ等に接続されている。そして圧送された不活性ガスの圧力によってケーシング２ａの内部から導出ポート２０へ導出された液体材料が、この供給配管６ｂを通って半導体製造チャンバ等に供給される。また、供給配管６ｂの上端側にはバルブが設けられており、このバルブは材料の供給状態に応じて適宜開閉される。
【００２３】
なお、本実施形態では供給配管６ｂの他に内容器２に不活性ガスを送り込んで内部圧を高め供給配管６ｂから液体材料を導出させるための圧送配管６ａを設けている。
【００２４】
この圧送配管６ａは、一端が不活性ガスの貯留されたガスボンベ等に接続され、他端が第２管状体２ｂに接続されて、不活性ガスを第２管状体２ｂを介してケーシング２ａ内部へ圧送するものである。
【００２５】
ここで、圧送配管６ａおよび供給配管６ｂの下端は、それぞれ接続継手４ａ、４ｂを介して第２管状体２ｂ又は第１管状体２ｃに接続されている。
【００２６】
前記接続継手４ａ、４ｂは、例えば一端部が供給配管６ｂ及び圧送配管６ａに取り付けられ、他端部がナットを回すことによって第２管状体２ｂ又は第１管状体２ｃの上端部に接離可能に取り付けることができるようにしたものである。
【００２７】
上記構成に加え、本実施形態の材料供給装置１では、外容器３の外側から、外気と隔離した状態を維持したままで、接続継手４（４ａ、４ｂ）を操作する継手操作機構５を設けている。
【００２８】
継手操作機構５は、外容器３の側壁に設けられた一対の貫通孔を塞ぐように取り付けられて、外容器３の内部空間に向かって突出するグローブで構成される。
そして、使用者がこのグローブを嵌めて、接続継手４ａ、４ｂの一端部に設けられたナットを回すことで第２管状体２ｂの上端部を接続するとともに、第１管状体２ｃの上端部を接続するものである。なお、継手操作機構５と接続継手４ａ、４ｂとはその外容器３の底面からの距離が同じになるように設けられていることが好ましい。このように構成されていることで、継手操作機構５は接続継手４ａ、４ｂをより操作しやすくなるからである。
【００２９】
このグローブは、材料に耐性を有する例えばゴム手袋等が用いられ、使用者がグローブの中に手を入れたときに接続継手４（４ａ、４ｂ）まで届くような長さを備えるものである。
【００３０】
さらに本実施形態の材料供給装置１は、万が一外容器３の内部空間に液体材料が漏洩した場合に備えて、外容器３の内部空間に不活性ガスを充満させる不活性ガス充満機構９と、外容器３の内部空間において液体材料の漏洩を監視する漏洩モニタ１３と、外容器３に設けられた扉３ｂの開成を禁止するロック機構１６と、外容器３の上壁に設けられて外容器３の内部空間に材料の漏洩があることを使用者に報知するアラーム７と、ロック機構１６を作動させて扉の開成を禁止するとともにアラーム７を作動させる制御部とを備える。
【００３１】
不活性ガス充満機構９は、外容器３の内部空間に不活性ガスを充満させるものであり、外容器３の側壁を貫通するように挿入した不活性ガス導入配管９ａと、不活性ガス導入配管９ａに設けられたマスフロコントローラ１２とを備える。
【００３２】
不活性ガス導入配管９ａは、一端が外容器３の内側に延出してあり、他端が外容器３の外側にある例えば窒素ガス等の不活性ガスが貯留されたボンベに接続されている。そして、この不活性ガス導入配管９ａを通ってボンベから放出された不活性ガスが外容器３内へ導入される。
【００３３】
マスフロコントローラ１２は、不活性ガス導入配管９ａを流れる不活性ガスの流量を調整するものであり、例えば熱式のものが用いられる。
【００３４】
本実施形態の不活性ガス充満機構９は、さらに外容器３内から溢れた不活性ガスが導出される不活性ガス導出配管９ｂを備える。
【００３５】
この不活性ガス導出配管９ｂは、一端が外容器３の内側に延出してあり、他端が外容器３の外側に配置されている。そして、不活性ガス導出配管９ｂから外容器３に導入された不活性ガスが外容器３内に充満すると、溢れた不活性ガスがこの不活性ガス導出配管９ｂを通って外容器３の外部へ導出される。また、不活性ガス導出配管９ｂには、漏洩モニタ１３が設けられている。
【００３６】
この漏洩モニタ１３は、不活性ガス導出配管９ｂを流れる不活性ガスに含まれる材料を検知することで、外容器３の内部空間に材料が漏洩したか否かを監視するものである。そして、漏洩モニタ１３は、ガス濃度モニタ１４ａとガス検知器１４ｂとを有する。
【００３７】
ガス濃度モニタ１４ａは、例えば不活性ガス導出配管９ｂを流れる不活性ガスに赤外光を照射して不活性ガスに含まれる材料を検知する赤外分光法を用いて、不活性ガス導出配管９ｂを流れる不活性ガスに含まれる材料を検知するものである。
【００３８】
ガス検知器１４ｂは、例えば不活性ガス導出配管９ｂを流れる不活性ガスを一部サンプリングして、このサンプリングしたガスを半導体センサ、触媒センサ、光センサ等を用いて不活性ガス導出配管９ｂを流れる不活性ガスに含まれる材料を検知するものである。
【００３９】
そして、ガス濃度モニタ１４ａが検知した材料漏洩量およびガス検知器１４ｂが検知した材料漏洩量は制御部へと送られる。
【００４０】
制御部は、構造的には、ＣＰＵ、内部メモリ、Ｉ／Ｏバッファ回路、ＡＤコンバータ等を有した所謂コンピュータ回路である。そして、内部メモリの所定領域に格納したプログラムに従って動作することで情報処理を行い、ロック機構１６及びアラーム７を作動させるものである。
【００４１】
具体的にこのものは、ガス濃度モニタ１４ａおよびガス検知器１４ｂから送信された材料漏洩量を受信して、これら材料漏洩量のいずれか一方が予め定めた所定の閾値（正常濃度値）を超えた場合に、ロック機構１６を作動させて扉３ｂの開成を禁止するとともに、アラーム７を作動させるものである。
【００４２】
次に本実施形態における材料供給装置１の使用方法について説明する。
【００４３】
＜材料供給装置１の使用時について＞
使用者は、内容器２に収容した材料を取り出す場合、不活性ガス導入配管９ａから外容器３内に不活性ガスを送り、外容器３の内部空間を不活性ガスで充満させる。なお、このとき外容器３の扉３ｂに設けたロック機構１６が作動しており、扉３ｂの開成は禁止されている。
【００４４】
次に使用者は外容器３の内部空間の圧力を検知する微差圧計１１ａ、１１ｂを見て、外容器３の内部空間が外容器３の外部よりも加圧状態となっていることを確認すると、不活性ガスが外容器３の内部空間に充満したと判断して、圧送配管６ａに不活性ガスを導入する。圧送配管６ａに導入された不活性ガスは、接続継手４ａ及び第２管状体２ｂをこの順で通過して内容器２へ圧送される。すると、この圧力で内容器２に収容された液体材料が第１管状体２ｃを通って導出ポート２０から接続継手４ｂを介して供給配管６ｂへ導出する。そして、使用者は供給配管６ｂの上端に設けたバルブを開いて、供給配管６ｂを流れる材料を半導体製造チャンバ等へと供給する。
【００４５】
このとき使用者は、外容器３の内部空間の液体を検知する液体検知器１０を確認して、外容器３の内部空間に材料が漏洩しているか否かを確認する。
さらに外容器３の内部空間は、ガス濃度モニタ１４ａ及びガス検知器１４ｂによって監視されており、これらガス濃度モニタ１４ａ及びガス検知器１４ｂが検知した材料漏洩量は制御部に送信される。
【００４６】
制御部は、ガス濃度モニタ１４ａ又はガス検知器１４ｂから受信した材料漏洩量のいずれか一方が予め定めた閾値（正常濃度値）を超える場合、ロック機構１６を作動させた状態を維持するとともに、アラーム７を作動させる。
【００４７】
使用者はアラーム７が作動した場合、外容器３内に材料が漏れていると判断して材料供給装置１の使用を中止する。
【００４８】
＜材料供給装置１の内容器２の交換時について＞
使用者は、内容器２の交換を行う場合、圧送配管６ａおよび供給配管６ｂの上端から不活性ガスを導入して、圧送配管６ａおよび供給配管６ｂに残留している材料を内容器２へパージする。なお、このとき外容器３の扉３ｂに設けたロック機構１６が作動しており、扉３ｂの開成は禁止されている。
【００４９】
使用者は、圧送配管６ａおよび供給配管６ｂをパージしている間、液体検知器１０を確認して、外容器３の内部空間に材料が漏洩しているか否かを確認する。
さらに外容器３の内部空間は、ガス濃度モニタ１４ａ及びガス検知器１４ｂによって監視されており、これらガス濃度モニタ１４ａ及びガス検知器１４ｂが検知した材料漏洩量は制御部に送信される。
【００５０】
制御部は、ガス濃度モニタ１４ａ又はガス検知器１４ｂが送信した材料漏洩量のいずれか一方が閾値を超えている場合、ロック機構１６が作動した状態を保つとともに、アラーム７を作動させる。
【００５１】
使用者はアラーム７が作動すると、外容器３に材料が漏洩していると判断して、パージを中止するとともに、交換作業を中断する。
【００５２】
一方、使用者はアラーム７が作動していない場合、パージが完了するまで圧送配管６ａおよび供給配管６ｂへ不活性ガスを導入し続ける。そして、接続継手４ａに接続されている圧送配管６ａに設けられた圧力センサ１５が減圧となってパージが完了したときに、液体検知器１０が液体を検知していないこと及びアラーム７が作動していないことを確認すると、外容器３の内部空間に材料の漏洩がないと判断して、接続継手４（４ａ、４ｂ）を加圧する。
【００５３】
そして、使用者は圧送配管６ａおよび供給配管６ｂと内容器２との接続を解除するために、継手操作機構５のグローブを両手に嵌めて、透明窓３ａを覗きながら外容器３内に配置された工具等を用いて、接続継手４ａ、４ｂに設けられたナットを回して第２管状体２の上端を接続継手４ａの一端部から取り外すとともに、第１管状体２ｃの上端（導出ポート２０）を接続継手４ｂの一端部から取り外す。
【００５４】
このとき、接続継手４ａにかかる圧力は、圧力センサ１５で検知されて制御部へと送信される。
【００５５】
制御部は、圧力センサ１５から受信した圧力が、予め設定された設定圧力以下になった時点から所定時間をカウントして、この間にガス濃度モニタ１４ａ又はガス検知器１４ｂが送信した材料漏洩量のいずれもが閾値を超えない場合、ロック機構１６を解除して外容器３の扉３ｂを開ける。
【００５６】
そして、使用者は、内容器２を交換するために、外容器３に収納された使用済みの内容器２を取り除くとともに、新しい内容器２を外容器３内の底面に設けられたロードセル８に載置して、外容器３に設けられた扉３ｂを閉める。ロードセル８は内容器２の荷重を受けるとそれを検知して制御部へ送信する。
【００５７】
制御部は、ロードセル８が荷重を感知したことを知らせる電気信号を受信すると、外容器３に設けられた扉３ｂのロック機構１６を作動させる。
【００５８】
使用者は、外容器３の扉３ｂのロック機構１６が作動したことを確認すると、交換した新しい内容器２を圧送配管６ａおよび供給配管６ｂに接続するため、継手操作機構５のグローブを再度両手に嵌め、透明窓３ａを覗きながら工具等を用いて、接続継手４ａ、４ｂのナットを締めて第２管状体２の上端を接続継手４ａに接続するとともに、第１管状体２ｃの上端（導出ポート２０）を接続継手４ｂに接続する。そして、不活性ガス導入配管９ａから外容器３の内部空間に不活性ガスを流して、扉３ｂの開閉により外容器３の内部空間に混入した空気を不活性ガスとともに不活性ガス導出配管９ｂから外容器３の外部へ導出させる。その後、微差圧計１１ａ、１１ｂを見て、外容器３の内部空間が外容器３の外部よりも加圧状態となっていることを確認すると、空気が取り除かれたと判断して不活性ガス導入配管９ａからの不活性ガスの導入を停止する。
【００５９】
なお、制御部は、内容器２交換のためにロック機構１６を解除するときに、接続継手４ａに接続されている圧送配管６ａに設けられた圧力センサ１５が減圧となってパージが完了した時点から所定時間をカウントしてもよい。この場合、使用者は接続継手４ａ、４ｂを加圧せずに、圧送配管６ａおよび供給配管６ｂと内容器２との接続を解除する。
【００６０】
＜材料が外容器３の内部空間に漏れた場合について＞
万が一、材料が外容器３の内部空間に漏洩してしまい、アラーム７が作動した場合には、使用者はガス濃度モニタ１４ａ、ガス検知器１４ｂ、及び、液体検知器１０等を確認して材料が漏れているか否かを確認する。
【００６１】
そして、不活性ガス導入配管９ａから外容器３の内部空間に不活性ガスを流して、外容器３の内部空間に漏洩した材料を気化させて、不活性ガス導出配管９ｂからこの材料ガスを不活性ガスとともに外容器３の外部へ導出させる。
【００６２】
そして、使用者は、ガス濃度モニタ１４ａ及びガス検知器１４ｂの検知した値が閾値以下に下がるまで待機する。
【００６３】
ガス濃度モニタ１４ａ及びガス検知器１４ｂの検知した値が閾値以下に下がると、制御部はアラーム７を止めるとともに、ロック機構１６を解除する。
なお、このとき制御部は、ガス濃度モニタ１４ａ及びガス検知器１４ｂの検知した値が閾値以下に下がるとともに、閾値以下に下がってから所定時間が経過するとアラーム７を止めるとともに、ロック機構１６を解除するように構成してもよい。
【００６４】
以上のように構成した本実施形態の材料供給装置１によれば、以下のような効果を有する。
【００６５】
外容器３の外側から、その外気と隔離した状態を維持したままで、接続継手４（４ａ、４ｂ）を操作することが可能な継手操作機構５を具備しているので、使用者は内容器２が外気と隔離して収納されている状態で、外容器３の外側から内容器２の交換作業を行うことができる。そのため、万が一交換作業中に内容器２の導出ポート２０から材料が漏洩したとしても、漏れた材料は外容器３の内側に留まるので、安全性を確保することができる。
【００６６】
また、万が一材料が外容器３内に漏洩した場合でも、その漏洩が漏洩モニタ１３によって検知され、外容器３に設けられた扉３ｂはロック機構１６によりロックされて開かなくなるので、材料漏洩時に使用者が誤って扉３ｂを開けるといった事態を確実に防ぐことができる。
【００６７】
漏洩モニタ１３が、外容器３の内部空間における材料の漏洩を検知するガス濃度モニタ１４ａとガス検知器１４ｂを備えるので、一方の検知器にエラーが発生している場合、他方の検知器で一方の検知器のエラーを調べることができる。また、一方の検知器がエラーを起こしていても、他方の検知器で材料の漏洩を検知することができるので、外容器の内部空間における材料の漏洩を確実に監視することができる。
【００６８】
継手操作機構５に、外容器３の外壁に設けた貫通孔を塞ぐように取り付けられて、該外容器３の内部空間に向かって突出するグローブを用いているので、使用者はグローブに手を入れるだけで外容器３の外側から接続継手４を操作することができ、また、グローブは五指を自由に動かすことができるので、簡便な構成で使い勝手のよい装置を提供することができる。
【００６９】
外容器３の内部空間を不活性ガスで充満させる不活性ガス充満機構９をさらに備えるので、外容器３内に不活性ガスを充満させておくことで、材料が自然発火性等の反応性を有する場合に、万が一材料が外容器内に漏洩しても、材料が反応すること（例えば、発火等）を防ぐことができる。
【００７０】
使用済み内容器２を新しい内容器２に交換するときに、圧送配管６ａおよび供給配管６ｂから内容器２へ不活性ガスを導入するので、圧送配管６ａおよび供給配管６ｂに残留した材料をパージすることができるとともに、漏洩モニタ１３によってパージの終了を確認することができる。
また、所定時間が経過しても、漏洩モニタ１３が検知した材料漏洩量が所定の閾値を超えている場合には、外容器３内に材料が漏洩している可能性があることが分かる。
加えて、パージ中は、漏洩モニタ１３が外容器３の内部空間を監視するとともに、外容器３に設けた扉３ｂがロック機構１６によってロックされるので、パージ時に使用者が誤って扉３ｂを開ける事態を防ぐことができる。
【００７１】
なお、本発明は上記実施形態に限られたものではない。
【００７２】
本実施形態では材料に液体材料を用いているが、例えば気体材料や固体材料等を用いることもできる。
【００７３】
内容器は、材料に合わせて適宜変更することができる。つまり、例えば第１管状体及び第２管状体がともにケーシングから突出するように構成してもよいし、第１管状体及び第２管状体がともにケーシングを貫通するように構成してもよい。
【００７４】
また、本実施形態の継手操作機構は、使用者が自ら作業を行うことが可能なグローブで構成されているが、使用者が遠隔操作する例えばマニピュレータ等の装置で構成してもよい。このように構成すれば、使用者は確実に自らの安全を確保しながら、内容器の交換作業を行うことができる。
【００７５】
外容器は、内容器や継手操作機構の構成に応じて適宜変更することができる。つまり、例えば継手操作機構が遠隔操作するものの場合、外容器に透明窓を設けずに、別途外容器内を撮像する撮像装置を設けることもできる。
【００７６】
前記実施形態では、制御部が、ガス濃度モニタ又はガス検知器が送信した材料漏洩量のいずれか一方が閾値を超えている場合に、ロック機構及びアラームを作動させるが、ガス濃度モニタ及びガス検知器が送信した材料漏洩量の両方が閾値を超えている場合にロック機構及びアラームを作動してもよいし、液体検知器が液体を検知した検知信号や微差圧計が検知した検知信号を用いて作動するように構成してもよい。
【００７７】
前記実施形態では、不活性ガスが充満したことを判断するために、微差圧計を確認していたが、これは前記実施形態のガス濃度モニタとガス検知器がトリメチルアルミニウム等の液体材料のみを検知する仕様となっていたためである。そのため、ガス濃度モニタとガス検知器とが例えば酸素等を検知可能である場合は、ガス濃度モニタ及びガス検知器を確認することで不活性ガスが充満したか否かを確認してもよい。この場合は微差圧計を配置する必要がないので、装置構成を簡便なものとすることができる。
【００７８】
なお、ガス濃度モニタ及びガス検知器のゼロ点補正を行うために、不活性ガス導入配管９ａと不活性ガス導出配管９ｂとを直接接続した管路を設けておいてもよい。
【００７９】
前記実施形態では、外容器の内部空間にロードセルを配置していたが、ロードセルが配置されていなくてもよい。この場合、制御部は、使用者が外容器に設けられた扉を閉めたことを検知してロック機構を作動することができる。
【００８０】
前記実施形態では、不活性ガス導入流路にマスフロコントローラが配置されていたが、マスフロコントローラに代えて、マスフロメータを用いてもよいし、手動で不活性ガスの流量を調整するニードルバルブ等を用いることもできる。
【００８１】
本発明は、その趣旨に反しない範囲で様々な変形が可能である。
【符号の説明】
【００８２】
１・・・材料供給装置
２・・・内容器
２０・・導出ポート
３・・・外容器
４・・・接続継手
５・・・継手操作機構
６ａ・・圧送配管
６ｂ・・供給配管
【図１】
2014226610.tif 000003
【図２】
2014226610.tif 000004