(57)【要約】【課題】ユーザ負荷及び操作ミスを低減することができる群管理システムを提供する。【解決手段】群管理システムのクライアント装置７０は、ユーザからの入力を受け付ける入力受付部７３と、接続されているサーバ装置を特定するとともに、該サーバ装置から送信されたプロセス情報を受信するプロセス情報受信部７１と、クライアント装置７０用の入力画面に関する情報を記憶し、当該情報にプロセス情報受信部７１が受信したサーバ装置に関するプロセス情報を登録して、クライアント装置７０用の入力画面を作成する入力画面作成部７２と、作成されたクライアント装置７０用の入力画面を表示する表示部７５と、表示されたクライアント装置７０用の入力画面に入力受付部７３から処理内容が受け付けられて処理要求情報が作成されると、作成された処理要求情報をサーバ装置に送信する処理要求情報送信部７４と、を備えている。【選択図】図４
2014165269.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理体に所定のプロセスを実行する１以上の製造装置と、当該１以上の製造装置と接続されているサーバ装置と、当該サーバ装置と接続されている１以上のクライアント装置とを有する群管理システムであって、
前記サーバ装置は、当該サーバ装置からの指示により前記製造装置が実行可能なプロセスに関するプロセス情報を前記クライアント装置に送信するプロセス情報送信部を備え、
前記クライアント装置は、
ユーザからの入力を受け付ける入力受付部と、
当該クライアント装置に接続されているサーバ装置を特定するとともに、前記接続されているサーバ装置から送信されたプロセス情報を受信するプロセス情報受信部と、
クライアント装置用の入力画面に関する情報を記憶し、当該情報に前記プロセス情報受信部が受信したサーバ装置に関するプロセス情報を登録して、クライアント装置用の入力画面を作成する入力画面作成部と、
前記入力画面作成部により作成されたクライアント装置用の入力画面を表示する表示部と、
前記表示部に表示されたクライアント装置用の入力画面に前記入力受付部から処理内容が受け付けられて処理要求情報が作成されると、前記作成された処理要求情報を前記サーバ装置に送信する処理要求情報送信部と、を備え、
前記サーバ装置は、
前記処理要求情報送信部から送信された処理要求情報を受け付ける処理要求情報受付部と、
前記処理要求情報受付部で受け付けた処理要求情報に応じて対応する製造装置に命令する命令情報を作成する命令実行部と、
前記命令実行部により作成された命令情報を前記対応する製造装置に送信する命令情報送信部と、をさらに備え、
前記対応する製造装置は、当該装置の各部を制御して、前記命令情報に従ったプロセスを実行する、
ことを特徴とする群管理システム。
【請求項２】
前記入力画面作成部は、前記クライアント装置用の入力画面を起動するアイコンを前記表示部のデスクトップに配置する、ことを特徴とする請求項１に記載の群管理システム。
【請求項３】
前記入力画面作成部は、前記サーバ装置毎に区分けられたクライアント装置用の入力画面を作成する、ことを特徴とする請求項１または２に記載の群管理システム。
【請求項４】
前記入力画面作成部は、前記表示部の一画面中に表示可能なクライアント装置用の入力画面を作成する、ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の群管理システム。
【請求項５】
被処理体に所定のプロセスを実行する１以上の製造装置と、当該１以上の製造装置と接続されているサーバ装置と、当該サーバ装置と接続されている１以上のクライアント装置とを有する群管理システムとして機能させるためのプログラムであって、
コンピュータに、
前記サーバ装置が、当該サーバ装置からの指示により前記製造装置が実行可能なプロセスに関するプロセス情報を前記クライアント装置に送信するプロセス情報送信ステップを実行させ、
前記クライアント装置が、
ユーザからの入力を受け付ける入力受付ステップと、
当該クライアント装置に接続されているサーバ装置を特定するとともに、前記接続されているサーバ装置から送信されたプロセス情報を受信するプロセス情報受信ステップと、
クライアント装置用の入力画面に関する情報を記憶し、当該情報に前記プロセス情報受信ステップで受信したサーバ装置に関するプロセス情報を登録して、クライアント装置用の入力画面を作成する入力画面作成ステップと、
前記入力画面作成ステップで作成されたクライアント装置用の入力画面を表示する表示ステップと、
前記表示ステップで表示されたクライアント装置用の入力画面に前記入力受付ステップから処理内容が受け付けられて処理要求情報が作成されると、前記作成された処理要求情報を前記サーバ装置に送信する処理要求情報送信ステップと、を実行させ、
前記サーバ装置が、
前記処理要求情報送信ステップで送信された処理要求情報を受け付ける処理要求情報受付ステップと、
前記処理要求情報受付ステップで受け付けた処理要求情報に応じて対応する製造装置に命令する命令情報を作成する命令実行ステップと、
前記命令実行ステップで作成された命令情報を前記対応する製造装置に送信する命令情報送信ステップと、をさらに実行させ、
前記対応する製造装置が、当該装置の各部を制御して、前記命令情報に従ったプロセスを実行するステップをさらに実行させるためのプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、群管理システム及びプログラムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
群管理システムは、被処理体に所定の半導体プロセスを実行する１以上の製造装置と、この製造装置と接続されている１以上のサーバ装置と、サーバ装置と接続されている１以上のクライアント装置とを具備している。このような群管理システムは、半導体製造装置や、液晶パネル製造装置等の製造装置を管理するシステムであり、製造装置を効率的に管理するように、種々な提案がなされている。例えば、特許文献１には、ユーザが設定した検査対象群（期間、装置群、レシピ群および、またはパラメータ群）において異常検知した後、当該検査対象群の全検査データを取り込み、ユーザが異常分析を行う群管理システムが提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平１１−３５４３９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このような群管理システムでは、対象となるサーバを選択した後、アプリケーションを選択することにより、選択したアプリケーションを起動することができる。しかし、群管理システムの操作端末に複数台のサーバが登録されていると、システムの使用者が起動したいアプリケーションを選択する操作が困難になってしまう。このため、ユーザ負荷が増大したり、操作ミスが発生してしまうという問題がある。
【０００５】
本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、ユーザ負荷及び操作ミスを低減することができる群管理システム及びプログラムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するため、本発明の第１の観点に係る群管理システムは、
被処理体に所定のプロセスを実行する１以上の製造装置と、当該１以上の製造装置と接続されているサーバ装置と、当該サーバ装置と接続されている１以上のクライアント装置とを有する群管理システムであって、
前記サーバ装置は、当該サーバ装置からの指示により前記製造装置が実行可能なプロセスに関するプロセス情報を前記クライアント装置に送信するプロセス情報送信部を備え、
前記クライアント装置は、
ユーザからの入力を受け付ける入力受付部と、
当該クライアント装置に接続されているサーバ装置を特定するとともに、前記接続されているサーバ装置から送信されたプロセス情報を受信するプロセス情報受信部と、
クライアント装置用の入力画面に関する情報を記憶し、当該情報に前記プロセス情報受信部が受信したサーバ装置に関するプロセス情報を登録して、クライアント装置用の入力画面を作成する入力画面作成部と、
前記入力画面作成部により作成されたクライアント装置用の入力画面を表示する表示部と、
前記表示部に表示されたクライアント装置用の入力画面に前記入力受付部から処理内容が受け付けられて処理要求情報が作成されると、前記作成された処理要求情報を前記サーバ装置に送信する処理要求情報送信部と、を備え、
前記サーバ装置は、
前記処理要求情報送信部から送信された処理要求情報を受け付ける処理要求情報受付部と、
前記処理要求情報受付部で受け付けた処理要求情報に応じて対応する製造装置に命令する命令情報を作成する命令実行部と、
前記命令実行部により作成された命令情報を前記対応する製造装置に送信する命令情報送信部と、をさらに備え、
前記対応する製造装置は、当該装置の各部を制御して、前記命令情報に従ったプロセスを実行する、
ことを特徴とする。
【０００７】
前記入力画面作成部は、例えば、前記クライアント装置用の入力画面を起動するアイコンを前記表示部のデスクトップに配置する。
前記入力画面作成部は、例えば、前記サーバ装置毎に区分けられたクライアント装置用の入力画面を作成する。
前記入力画面作成部は、例えば、前記表示部の一画面中に表示可能なクライアント装置用の入力画面を作成する。
【０００８】
本発明の第２の観点に係るプログラムは、
被処理体に所定のプロセスを実行する１以上の製造装置と、当該１以上の製造装置と接続されているサーバ装置と、当該サーバ装置と接続されている１以上のクライアント装置とを有する群管理システムとして機能させるためのプログラムであって、
コンピュータに、
前記サーバ装置が、当該サーバ装置からの指示により前記製造装置が実行可能なプロセスに関するプロセス情報を前記クライアント装置に送信するプロセス情報送信ステップを実行させ、
前記クライアント装置が、
ユーザからの入力を受け付ける入力受付ステップと、
当該クライアント装置に接続されているサーバ装置を特定するとともに、前記接続されているサーバ装置から送信されたプロセス情報を受信するプロセス情報受信ステップと、
クライアント装置用の入力画面に関する情報を記憶し、当該情報に前記プロセス情報受信ステップで受信したサーバ装置に関するプロセス情報を登録して、クライアント装置用の入力画面を作成する入力画面作成ステップと、
前記入力画面作成ステップで作成されたクライアント装置用の入力画面を表示する表示ステップと、
前記表示ステップで表示されたクライアント装置用の入力画面に前記入力受付ステップから処理内容が受け付けられて処理要求情報が作成されると、前記作成された処理要求情報を前記サーバ装置に送信する処理要求情報送信ステップと、を実行させ、
前記サーバ装置が、
前記処理要求情報送信ステップで送信された処理要求情報を受け付ける処理要求情報受付ステップと、
前記処理要求情報受付ステップで受け付けた処理要求情報に応じて対応する製造装置に命令する命令情報を作成する命令実行ステップと、
前記命令実行ステップで作成された命令情報を前記対応する製造装置に送信する命令情報送信ステップと、をさらに実行させ、
前記対応する製造装置が、当該装置の各部を制御して、前記命令情報に従ったプロセスを実行するステップをさらに実行させることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、ユーザ負荷及び操作ミスを低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の実施の形態における群管理システムの構成を示すブロック図である。
【図２】図１の製造装置の一例を示す図である。
【図３】図１のサーバ装置の構成を示す図である。
【図４】図１のクライアント装置の構成を示す図である。
【図５】クライアント装置用の入力画面の一例を示す図である。
【図６】クライアント装置用の入力画面の作成処理を説明するためのフローチャートである。
【図７】従来の入力画面の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の群管理システム及びプログラムについて、図面を参照しながら説明する。図１は、本実施の形態の群管理システムの構成を示すブロック図である。
【００１２】
図１に示すように、本実施の形態の群管理システム１は、Ｌ個の製造装置３０と、Ｍ個のサーバ装置６０と、Ｎ個のクライアント装置７０と、を備える。ここで、Ｌ、Ｍ、Ｎは、１または２以上の整数である。Ｌ個の製造装置３０と、Ｍ個のサーバ装置６０と、Ｎ個のクライアント装置７０とは、有線または無線の通信ネットワーク８０を介して互いに通信可能なように接続されている。通信ネットワークとしては、例えば、インターネットやイントラネット、公衆電話回線網等が挙げられる。
【００１３】
製造装置３０は、被処理体に所定の半導体プロセスを行う装置である。製造装置３０は、例えば、半導体製造装置や、液晶パネル製造装置、有機ＥＬ（Electroluminescence）ディスプレイ製造装置、プラズマ表示パネル製造装置等である。被処理体は、例えば、半導体ウエハやＦＰＤ（Flat Panel Display）基板等である。ＦＰＤ基板は、例えば、ガラス基板等である。なお、製造装置３０が実行する被処理体に所定の半導体プロセスは、少なくとも半導体に関するプロセスを含むものであれば、その前工程や後工程等を含んでいてもよく、あるいは、含んでいなくてもよい。製造装置３０が被処理体に対して行う処理としては、例えば、成膜処理、エッチング処理、熱酸化処理等が挙げられる。
【００１４】
製造装置３０は、例えば、バッチ式縦型熱処理装置である。図２に製造装置３０の一例を示す。図２に示すように、製造装置３０の処理室３１は、隔壁３２によって、作業エリアＳ１と、ローディングエリアＳ２とに区画されている。作業エリアＳ１は、半導体ウエハＷが多数枚、例えば、２５枚収容された密閉型の搬送容器であるフープ（ＦＯＵＰ：Front Opening Unified Pod）Ｆの搬送と、フープＦの保管とを行うための領域であり、例えば、大気雰囲気に保たれている。一方、ローディングエリアＳ２は、半導体ウエハＷに対して熱処理、例えば、成膜処理や酸化処理を行うための領域であり、不活性ガス、例えば、窒素ガス（Ｎ２）雰囲気に保たれている。
【００１５】
作業エリアＳ１には、ロードポート３３と、フープ搬送機３４と、トランスファーステージ３５と、保管部３６と、が設けられている。
【００１６】
ロードポート３３は、処理室３１の側方位置に設けられた搬送口３７から、外部の図示しない搬送機構により搬入されたフープＦを載置する。この搬送口３７に対応する位置の処理室３１の外側には、例えば、ドアＤが設けられており、ドアＤにより搬送口３７が開閉自在に構成されている。
【００１７】
フープ搬送機３４は、ロードポート３３とトランスファーステージ３５との間に設けられ、作業エリアＳ１においてフープＦを搬送する。フープ搬送機３４は、ロードポート３３上のフープＦを作業エリアＳ１内の上方側に設けられた保管部３６に搬送し、保管部３６に保管されたフープＦをトランスファーステージ３５に搬送する。
【００１８】
トランスファーステージ３５は、隔壁３２の作業エリアＳ１側に設けられ、フープ搬送機３４により搬送されたフープＦを載置する。また、トランスファーステージ３５では、後述する移載機構４１により、載置されたフープＦ内から半導体ウエハＷがローディングエリアＳ２に取り出される。トランスファーステージ３５の側方位置の隔壁３２は開口しており、この開口を塞ぐように、隔壁３２のローディングエリアＳ２側にはシャッター３８が設けられている。
【００１９】
ローディングエリアＳ２内には、移載機構４１と、ボート載置台４５（４５ａ、４５ｂ）と、ボート移載機構５１と、が設けられている。
【００２０】
移載機構４１は、シャッター３８とボート載置台４５ａとの間に設けられている。移載機構４１は、トランスファーステージ３５に載置されたフープＦと、ボート載置台４５ａに載置されたウエハボート４２との間で半導体ウエハＷの受け渡しを行う。
【００２１】
ボート載置台４５ａ、４５ｂは、ウエハボート４２を載置する台であり、例えば、移載機構４１により半導体ウエハＷの受け渡しを行うウエハボート４２を載置する移載用ボート載置台４５ａと、待機用のウエハボート４２を載置する待機用ボート載置台４５ｂと、の２つのボート載置台が設けられている。また、ウエハボート４２についても複数台、例えば、２台のウエハボート４２ａ、４２ｂが設けられており、この２台が交互に用いられる。
【００２２】
熱処理炉４６は、その底部に開口を有すると共に有天井に形成された石英製の円筒体よりなる処理容器４７を有する。処理容器４７の周囲には円筒状の加熱ヒータ４８が設けられて、処理容器４７内の半導体ウエハＷを加熱し得るように構成されている。処理容器４７の下方には、昇降機構４９により昇降可能になされたキャップ５０が配置されている。そして、このキャップ５０上に半導体ウエハＷが収容されたウエハボート４２を載置して上昇させることにより、半導体ウエハＷが処理容器４７内にロードされる。このロードにより、処理容器４７の下端開口部は、キャップ５０により気密に閉鎖される。
【００２３】
ボート移載機構５１は、ボート載置台４５ａ、４５ｂの近傍に設けられている。ボート移載機構５１は、進退可能なアーム５１ａが設けられ、ボート載置台４５ａ、４５ｂ及びキャップ５０間でのウエハボート４２の移載を行う。
なお、本実施の形態では、サーバ装置６０に半導体プロセスに関するプロセス関連情報（レシピ等）が記憶されているが、製造装置３０内にレシピ等を記憶し、そのレシピを用いてプロセス制御等を実行してもよい。
【００２４】
サーバ装置６０（６０１〜６０ｍ）は、いわゆる群管理システムを構成するサーバ装置であり、１以上の製造装置３０から送信される各種の情報を格納可能である。また、サーバ装置６０は、クライアント装置７０や製造装置３０からの要求に応じて処理を実行し、その処理結果を適宜、クライアント装置７０や製造装置３０に送信してもよい。
【００２５】
図３にサーバ装置６０の構成を示す。図３に示すように、サーバ装置６０は、製造装置情報記憶部６１と、プロセス関連情報記憶部６２と、処理要求情報受付部６３と、命令実行部６４と、プロセス情報送信部６５と、命令情報送信部６６と、を備えている。なお、本実施の形態では、本発明の群管理システム１の特徴的な部分のみを明記し、その他の部分は省略している。例えば、サーバ装置６０は、被処理体に対する所定の半導体プロセスに関する処理を実行する構成である、製造装置３０における製造工程での温度や圧力等を製造装置３０から受信する構成等を有していてもよい。
【００２６】
製造装置情報記憶部６１には、サーバ装置６０に通信ネットワーク８０を介して接続されている製造装置３０に関する製造装置情報が記憶されている。製造装置情報としては、製造装置３０の識別情報などが挙げられる。また、製造装置情報記憶部６１には、その製造装置３０により使用可能な半導体プロセスが記憶されている。
【００２７】
プロセス関連情報記憶部６２には、通信ネットワーク８０を介して接続されている製造装置３０で用いられるレシピ、製造パラメータのような半導体プロセスに関連するプロセス関連情報が記憶されている。プロセス関連情報記憶部６２は、１または２以上のプロセス関連情報が記憶されている。なお、レシピは、例えば、半導体プロセスの条件（例えば、処理時間やプロセスガスの種類等）の条件を決めるためなどに用いられる情報である。パラメータは、例えば、製造装置３０の動作のために必要な数値（例えば、設定温度の設定下限や設定上限を示す数値等）等を示す情報である。
【００２８】
プロセス関連情報記憶部６２での記憶は、ＲＡＭ（Random Access Memory）等における一時的な記憶でもよく、あるいは、長期的な記憶でもよい。プロセス関連情報記憶部６２は、所定の記録媒体（例えば、半導体メモリや磁気ディスク、光ディスクなど）によって実現されうる。なお、プロセス関連情報記憶部６２へのプロセス関連情報の記憶は、例えば、記録媒体を介してプロセス関連情報がプロセス関連情報記憶部６２で記憶されたり、通信ネットワーク８０等を介して送信されたプロセス関連情報がプロセス関連情報記憶部６２で記憶されたり、入力デバイスを介して入力されたプロセス関連情報がプロセス関連情報記憶部６２で記憶されたりする。
【００２９】
処理要求情報受付部６３は、プロセス関連情報に関する所望の処理を要求する処理要求情報を受け付ける。処理要求情報受付部６３は、例えば、入力デバイス（例えば、キーボードやマウス、タッチパネルなど）から入力された処理要求情報を受け付けてもよく、有線もしくは無線の通信回線を介して送信された処理要求情報を受信してもよく、所定の記録媒体（例えば、光ディスクや磁気ディスク、半導体メモリなど）から読み出された処理要求情報を受け付けてもよい。本実施の形態では、クライアント装置７０から送信された処理要求情報が受信される。
【００３０】
命令実行部６４は、受信した処理要求情報に応じて製造装置３０に命令する命令情報を構成し、この命令情報をその製造装置３０に対して送信させる。具体的には、処理要求情報受付部６３が受信した処理要求情報に含まれる命令に対応し命令情報を構成する。そして処理要求情報受付部６３が受信した処理要求情報に含まれる製造装置３０に対して、構成した命令情報を送信する指示を、後述する命令情報送信部６６に与える。
【００３１】
ここで、命令情報が含む命令は、処理要求情報受付部６３が受信した処理要求情報を含む命令に対応した命令であって、製造装置３０が実行可能な命令であればよい。例えば、命令実行部６４は、この命令情報にその処理に関するレシピを含ませてもよい。命令実行部６４は、通常、メモリ等から実現され得る。命令実行部６４の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＨＤＤ（Hard Disk Drive）、ＲＯＭ（Read Only Memory）等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現してもよい。
【００３２】
プロセス情報送信部６５は、サーバ装置６０からの指示により製造装置３０が実行可能なプロセス（処理）に関する情報をクライアント装置７０に送信する。プロセス情報送信部６５では、製造装置３０により処理対象となるプロセス関連情報（アプリケーション）に関する情報が送信される。
【００３３】
命令情報送信部６６は、処理要求情報受付部６３が受信した処理要求情報を用いて命令実行部６４により構成された命令情報を、製造装置３０に送信する。命令情報送信部６６は、複数の製造装置３０の送信先の情報を受け付けた場合、この複数の送信先に対して、命令情報を送信する。
【００３４】
クライアント装置７０は、サーバ装置６０あるいは製造装置３０に対する各種の処理を要求する。また、クライアント装置７０は、それらの処理の要求に対する処理結果を受け付ける。
【００３５】
図４にクライアント装置７０の構成を示す。図４に示すように、クライアント装置７０は、プロセス情報受信部７１と、入力画面作成部７２と、入力受付部７３と、処理要求情報送信部７４と、表示部７５と、を備えている。なお、本実施の形態では、サーバ装置６０での説明と同様に、本発明の群管理システム１の特徴的な部分のみを明記し、その他の部分は省略している。
【００３６】
プロセス情報受信部７１は、クライアント装置７０に接続されているサーバ装置６０を特定するとともに、接続されているサーバ装置６０（プロセス情報送信部６５）から送信されたプロセス情報を受信する。なお、プロセス情報受信部７１は、受信を行うための有線または無線の受信デバイス（例えば、モデムやネットワークカードなど）を含んでもよい。また、プロセス情報受信部７１は、ハードウェアによって実現されてもよく、受信デバイスを駆動するドライバ等のソフトウェアによって実現されてもよい。
【００３７】
入力画面作成部７２は、クライアント装置７０用の入力画面を作成する。入力画面作成部７２は、後述する処理で表示される画像を構成する情報を記憶する画像情報ファイルを備えており、これらの画像を生成するための様々な素材の画像、各種フォームなどを記憶する。入力画面作成部７２は、例えば、入力画面に関する画像、及び、アプリケーションの実行ファイルのファイルパス、アプリケーションの詳細な説明を記憶する。入力画面作成部７２は、プロセス情報受信部７１が受信したプロセス情報と、画像情報データベースに記憶されている画像（入力用画面）とに基づいて、クライアント装置７０用の入力画面を作成する。なお、入力画面作成部７２によるクライアント装置７０用の入力画面の作成処理については後述する。
【００３８】
図５にクライアント装置７０用の入力画面の一例を示す。図５に示すように、クライアント装置７０用の入力画面は、サーバ装置６０毎に、処理対象となるプロセス関連情報（アプリケーション）の一覧が表示されるように作成されている。このため、アプリケーションを容易に選択可能であり、少ない操作でアプリケーションを起動することができる。従って、ユーザ負荷を低減できるとともに操作ミスを低減することができる。また、クライアント装置７０用の入力画面を起動するアイコンを表示部７５のデスクトップに配置することが好ましい。これにより、ユーザ負荷をより低減することができる。
【００３９】
入力受付部７３は、クライアント装置７０を操作するユーザからの入力を受け付ける。入力受付部７３は、例えば、入力デバイス（例えば、キーボードやマウス、タッチパネルなど）から入力された情報を受け付けてもよく、有線もしくは無線の通信回線を介して送信された情報を受信してもよく、所定の記録媒体（例えば、光ディスクや磁気ディスク、半導体メモリなど）から読み出された情報を受け付けてもよい。本実施の形態では、入力デバイスからの入力が受け付けられる。
【００４０】
処理要求情報送信部７４は、入力受付部７３が受け付けた処理要求情報をサーバ装置６０に送信する。処理要求情報送信部７４は、送信を行うための送信デバイス（例えば、モデムやネットワークカードなど）を含んでもよい。また、処理要求情報送信部７４は、ハードウェアによって実現されてもよく、あるいは送信デバイスを駆動するドライバ等のソフトウェアによって実現されてもよい。
【００４１】
表示部７５は、各種の画像、例えば、入力画面作成部７２が作成したクライアント装置７０用の入力画面を表示する。また、前述のように、クライアント装置７０用の入力画面を起動するアイコンを表示部７５のデスクトップに配置することが好ましい。なお、表示部７５は、それらの表示を行う表示デバイス（例えば、ＣＲＴ(Cathode Ray Tube）や液晶ディスプレイなど）を含んでもよく、あるいは含まなくてもよい。また、表示部７５は、ハードウェアによって実現されてもよく、あるいは表示デバイスを駆動するドライバ等のソフトウェアによって実現されてもよい。
【００４２】
本実施の形態では、サーバ装置６０から処理要求情報入力画面が送信され、クライアント装置７０から処理要求情報を送信する場合について説明するが、それらの情報の送受信は、製造装置３０によってなされてもよい。このような場合、製造装置３０は、例えば、図４に示すクライアント装置７０と同様の構成を有する。なお、本実施の形態では、製造装置３０の詳細な説明は省略する。
【００４３】
次に、入力画面作成部７２が作成するクライアント装置７０用の入力画面の作成処理について説明する。図６は、クライアント装置７０用の入力画面の作成処理を説明するためのフローチャートである。なお、本例では、クライアント装置７０１にサーバ装置６０１、６０２が接続されている場合を例に説明する。
【００４４】
まず、入力画面作成部７２は、クライアント装置７０用の入力画面の情報を画像情報データベースから読み出す（ステップＳ１）。次に、入力画面作成部７２は、読み出したクライアント装置７０用の入力画面の情報に、プロセス情報受信部７１が受信した一つのサーバ装置６０１に関するプロセス情報を登録する（ステップＳ２）。これにより、一つのサーバ装置６０１に関する入力画面が作成される。続いて、入力画面作成部７２は、このクライアント装置７０に他のサーバ装置６０が接続されているか否かを判別する（ステップＳ３）。例えば、入力画面作成部７２は、プロセス情報受信部７１により特定されたクライアント装置７０に接続されている全てのサーバ装置６０に関する入力画面が作成されているか否かを判別する。
【００４５】
クライアント装置７０１には他のサーバ装置６０２が接続されていることから（ステップＳ３：Ｙｅｓ）、入力画面作成部７２は、ステップＳ１に戻り、他のサーバ装置６０２に関する入力画面を作成する（ステップＳ１、Ｓ２）。そして、入力画面作成部７２は、このクライアント装置７０に他のサーバ装置６０が接続されているか否かを判別する（ステップＳ３）。本例では他のサーバ装置６０が接続されていないことから（ステップＳ３：Ｎｏ）、入力画面作成部７２は、この処理を終了する。これにより、クライアント、かつ、そのクライアントにログインしているユーザ毎に入力画面が作成された、図５に示すような、クライアント装置７０１用の入力画面が作成される。
【００４６】
図７に従来の入力画面の一例を示す。図５及び図７に示すように、作成されたクライアント装置７０用の入力画面は、サーバ装置６０毎に、処理対象となるプロセス関連情報（アプリケーション）の一覧が表示されている。このため、クライアント装置７０を使用するユーザは、従来の入力画面に比べて、アプリケーションを容易に選択可能であり、より少ない操作でアプリケーションを起動することができる。従って、ユーザ負荷を低減できるとともに操作ミスを低減することができる。
【００４７】
また、作成されたクライアント装置７０用の入力画面を起動するアイコンを表示部７５のデスクトップに配置することが好ましい。これにより、ユーザ負荷をより低減することができる。
【００４８】
次に、本実施の形態による群管理システム１の動作について説明する。
まず、ユーザは、クライアント装置７０を起動し、例えば、入力受付部７３を操作して表示部７５のデスクトップに表示されたアイコンを選択することにより、表示部７５にクライアント装置７０用の入力画面を表示させる。次に、ユーザは、入力受付部７３を操作してクライアント装置７０用の入力画面を希望する処理内容を入力することにより、処理要求情報を作成する。そして、作成された処理要求情報を通信ネットワーク８０を介して対応するサーバ装置６０に送信する。
【００４９】
処理要求情報がサーバ装置６０に送信されると、処理要求情報受付部６３は、送信された処理要求情報を受け付ける。そして、命令実行部６４が、受信した処理要求情報に応じて製造装置３０に命令する命令情報を作成する。また、命令実行部６４は、この命令情報にその処理に関するレシピを含ませる。そして、命令情報送信部６６は、命令実行部６４により作成された命令情報を通信ネットワーク８０を介して対応する製造装置３０に送信する。
【００５０】
命令情報が製造装置３０に送信されると、製造装置３０の制御部は、装置の各部を制御して、レシピに従った処理を実行する。
【００５１】
以上説明したように、本実施の形態によれば、クライアント装置７０用の入力画面が、サーバ装置６０毎に、アプリケーションの一覧がアイコンで表示されているので、クライアント装置７０を使用するユーザは、従来の入力画面に比べて、アプリケーションを容易に選択可能であり、より少ない操作でアプリケーションを起動することができる。このため、ユーザ負荷を低減できるとともに操作ミスを低減することができる。
【００５２】
なお、本発明は、上記の実施の形態に限られず、種々の変形、応用が可能である。以下、本発明に適用可能な他の実施の形態について説明する。
【００５３】
上記実施の形態では、クライアント装置７０用の入力画面が、サーバ装置６０毎に、アプリケーションの一覧がアイコンで表示されている場合を例に本発明を説明したが、例えば、サーバ装置６０毎に、アプリケーションの一覧が一画面中に表示されていてもよい。また、アイコンで表示されていなくてもよい。
【００５４】
群管理システム１を構成する製造装置３０、サーバ装置６０、クライアント装置７０の構成は、上記実施の形態の構成に限定されるものではなく、上記実施の形態で説明した以外の構成要素を有していてもよいことは言うまでもない。例えば、上記実施の形態において、サーバ装置６０や製造装置３０に含まれる２以上の構成要素が通信デバイスや入力デバイス等を有する場合、２以上の構成要素が物理的に単一のデバイスを有してもよく、あるいは、別々のデバイスを有してもよい。
【００５５】
また、上記実施の形態において、各処理または各機能は、単一の装置または単一のシステムによって集中処理されることによって実現されてもよく、複数の装置または複数のシステムによって分散処理されることによって実現されてもよい。
【００５６】
また、上記実施の形態では、プロセス関連情報が製造装置３０で用いられるレシピやパラメータである場合について主に説明したが、プロセス関連情報は、製造装置３０における半導体プロセスに関連するその他の情報であってもよい。
【００５７】
本発明の実施の形態にかかる制御は、専用のシステムによらず、通常のコンピュータシステムを用いて実現可能である。例えば、汎用コンピュータに、上述の処理を実行するためのプログラムを格納した記録媒体、例えば、ＦＤ（フレキシブルディスク）、ＣＤ−ＲＯＭ（Compact Disc Read Only Memory）などから当該プログラムをインストールすることにより、上述の処理を実行する制御部を構成することができる。
【００５８】
そして、これらのプログラムを供給するための手段は任意である。上述のように所定の記録媒体を介して供給できる他、例えば、通信回線、通信ネットワーク、通信システムなどを介して供給してもよい。この場合、例えば、通信ネットワークの掲示板（ＢＢＳ：Bulletin Board System）に当該プログラムを掲示し、これをネットワークを介して提供してもよい。そして、このように提供されたプログラムを起動し、ＯＳ（Operating System）の制御下で、他のアプリケーションプログラムと同様に実行することにより、上述の処理を実行することができる。
【産業上の利用可能性】
【００５９】
本発明は、被処理体に所定の半導体プロセスを実行する１以上の製造装置と、この製造装置と接続されている１以上のサーバ装置と、サーバ装置と接続されている１以上のクライアント装置とを具備している群管理システムに好適である。
【符号の説明】
【００６０】
１  群管理システム
３０  製造装置
３１  処理室
３２  隔壁
３３  ロードポート
３４  フープ搬送機
３５  トランスファーステージ
３６  保管部
３７  搬送口
３８  シャッター
４１  移載機構
４２  ウエハボート
４５  ボート載置台
４６  熱処理炉
４７  処理容器
４８  加熱ヒータ
４９  昇降機構
５０  キャップ
５１  ボート移載機構
５１ａ  アーム
６０  サーバ装置
６１  製造装置情報記憶部
６２  プロセス関連情報記憶部
６３  処理要求情報受付部
６４  命令実行部
６５  プロセス情報送信部
６６  命令情報送信部
７０  クライアント装置
７１  プロセス情報受信部
７２  入力画面作成部
７３  入力受付部
７４  処理要求情報送信部
７５  表示部
８０  通信ネットワーク
Ｄ  ドア
Ｆ  フープ
Ｓ１  作業エリア
Ｓ２  ローディングエリア
Ｗ  半導体ウエハ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図６】
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【図５】
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【図７】
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