(57)【要約】      （修正有）【課題】ヘッド構成部材の接合精度を向上した液滴吐出ヘッド及び画像形成装置を提供する。【解決手段】複数のノズルを形成したノズル板２と、ノズル４が連通する液室を構成する流路基板１と、液室の少なくとも１つの壁面を形成する振動板６と、振動板６に変位を与えるアクチュエータ８と、が積層されて構成される液滴吐出ヘッドにおいて、ノズル板２には、流路基板１と振動板６とアクチュエータ８の少なくとも１つと、ノズル板２とを位置する位置合わせ用の貫通穴が形成され、位置合わせ用の貫通穴の開口部がノズル板２とは異なる材料である光透過性材料１３で覆われている。【選択図】図２
2014054820.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のノズルを形成したノズル板と、
前記ノズルが連通する液室を構成する流路基板と、
前記液室の少なくとも１つの壁面を形成する振動板と、
前記振動板に変位を与えるアクチュエータと、が積層されて構成される液滴吐出ヘッドにおいて、
前記ノズル板には、前記流路基板と振動板とアクチュエータの少なくとも１つと、該ノズル板とを位置する位置合わせ用の貫通穴が形成され、
前記位置合わせ用の貫通穴の開口部が前記ノズル板とは異なる材料である光透過性材料で覆われていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項２】
前記光透過性材料が、前記ノズル板と前記流路基板とを接合する接着剤の下地層であることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項３】
アライメントマークの開口部に存在する光透過性材料の膜厚が、その他の部分の膜厚よりも厚いことを特徴とする請求項１又は２に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項４】
前記光透過性部材がポリイミド樹脂を含むことを特徴とする請求項１から３の何れか一項に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項５】
請求項１から４の何れか一項に記載の液滴吐出ヘッドを搭載したことを特徴とする画像形成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出ヘッド及び画像形成装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
プリンタ、ファックス、コピア（登録商標）、プロッタ、或いはこれらの内の複数の機能を複合した画像形成装置が開発されている。この種の画像形成装置としては、例えば、インクの液滴を吐出する液体吐出ヘッドで構成した記録ヘッドを備え、媒体を搬送しながら、インク滴を用紙に付着させて画像形成を行なうものがある。
ここで、媒体は、以下「用紙」ともいうが、材質を限定するものではなく、被記録媒体、記録媒体、転写材、記録紙等も同義で使用する。また、画像形成は、記録、印刷、印写、印字と同義語で用いる。
【０００３】
尚、「画像形成装置」は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックス等の媒体に液体を吐出して画像形成を行う装置を意味する。「画像形成」とは、文字や図形等の意味を持つ画像を媒体に対して付与することだけでなく、パターン等の意味を持たない画像を媒体に付与することを意味し、単に液滴を吐出する液体吐出装置を含む。また、「インク」とは、狭義のインクに限るものではなく、吐出されるときに液体となるものであれば特に限定されるものではなく、例えば、ＤＮＡ(Deoxyribo Nucleic Acid：遺伝子)、処理液、試料、レジスト、パターン材料等も含まれる。
【０００４】
液体吐出ヘッドとしては、
（ａ）個別流路（以下「加圧液室」という。）内の液体であるインクを加圧する圧力発生手段（以下「アクチュエータ」という。）として圧電素子等で構成される圧電アクチュエータを用いたもの、
（ｂ）発熱抵抗体等で構成されるサーマルアクチュエータを用いたもの、
（ｃ）静電力を発生する静電アクチュエータを用いたもの等が知られている。
【０００５】
ところで、画像形成装置においては、より高品位な画像を、より速い印刷速度で出力できることが求められるようになっている。
前者の要求に対しては、ノズルの数、密度共に増加する傾向にある。それらの増加に伴って、各加圧液室間隔は狭くなり、また、吐出エネルギー印加の駆動周波数も高くなる傾向にある。
後者の要求に対しては、ヘッドの長尺化が試みられており、媒体の幅全領域を覆うことのできるフルライン型ヘッドも実用化されつつある。
【０００６】
このような高密度化された多数のノズルを備えることが要求される液体吐出ヘッドにあっては、一般的なヘッドよりも各加圧液室が小さくなるとともに、精度良く部品配置されていなければならず、ノズル部品や個別液室構成部材と液室部材とは、接合精度を高くする必要がある。
【０００７】
また各加圧液室が小さくなることにより異物の進入もできる限り抑える必要があり、全体を一括で組み立てできる構成が必要となる。
一般的な技術として、特許文献１、２を挙げることができる。
特許文献１に記載の発明は、「インクジェットヘッドの組み立て方法」に関するものであり、具体的には「ノズル及びそれに対応した圧力室を有するキャビティユニットと、その背面に積層され、圧力室を選択的に駆動可能なアクチュエータとが備えられるインクジェットヘッドにおいて、キャビティユニットには、アクチュエータとの位置合わせ用に、圧力室を形成したキャビティプレートに検出部としての開口部が設けられている。この検出部は、キャビティユニットをその積層方向に貫通した貫通孔の上端開口部として設けられている。ノズルプレート側から照射した光が貫通孔を透過し、受像装置で開口部が撮像される。その撮像に基づいてキャビティユニットの重心位置が求められ、アクチュエータと正確に重ねられる。
【０００８】
特許文献２に記載の発明は、「液滴吐出ヘッド及び画像形成装置」に関するものであり、具体的には「流路板には流路ユニットとアクチュエータユニットとを接着剤接合するときに、接着面と平行な方向から見ることができる３個のアライメントマークを形成し、一方、複数の圧電素子を形成した２つの圧電素子部材間には隙間を設けるとともに、各圧電素子部材には溝を形成して、これらの隙間の両側開口及び溝の開口を流路ユニットと接合するときに、接着面と平行な方向から見ることができる３個の切り欠きとして使用したものである。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、特許文献１に記載の発明では、ノズル部品自体を光透過性材料、具体的にはポリイミドにて形成しているため、液室の剛性が弱くなるために、特に個別加圧液室が小型化するほど厳しくなる。またワイピング等での耐久性に問題がある。
【００１０】
また、特許文献２に記載の発明では、部品外周部にアライメント構造を設けることにより、製造工程中でのハンドリングにて損傷する問題がある。
【００１１】
そこで、本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、ヘッド構成部材の接合精度を向上した液滴吐出ヘッド及び画像形成装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記課題を解決するため、請求項１に係る発明は、複数のノズルを形成したノズル板と、前記ノズルが連通する液室を構成する流路基板と、前記液室の少なくとも１つの壁面を形成する振動板と、前記振動板に変位を与えるアクチュエータと、が積層されて構成される液滴吐出ヘッドにおいて、前記ノズル板には、前記流路基板と振動板とアクチュエータの少なくとも１つと、該ノズル板とを位置する位置合わせ用の貫通穴が形成され、前記位置合わせ用の貫通穴の開口部が前記ノズル板とは異なる材料である光透過性材料で覆われていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、ヘッド構成部材の接合精度を向上した液滴吐出ヘッド及び画像形成装置の提供を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】液体吐出ヘッドの外観斜視図である。
【図２】図１のII−II線断面図である。
【図３】図１のIII−III線断面図である。
【図４】（ａ）〜（ｃ）は、プロセスフローの一例である。
【図５】本実施形態の液体吐出ヘッドの構成におけるアライメントマークのノズル面からの模式図である。
【図６】他の実施形態に係る液体吐出ヘッドの模式図である。
【図７】他の実施形態に係る画像形成装置の機構部の全体構成を説明する概略構成図である。
【図８】図７に示した機構部の要部平面説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。
＜実施形態１＞
図１は、液体吐出ヘッドの外観斜視図である。図２は、図１のII−II線断面図である。図３は、図１のIII−III線断面図である。
【００１６】
この液体吐出ヘッドは、個別液室構成部材（以降、流路基板と表記）１と、この流路基板１の上面に接合したノズル板２と、流路基板１の下面に振動板６を接合し、振動板６にハウジング２０を接合している。液体吐出ヘッドは、これらによってインク滴を吐出する複数のノズル孔４が個別流路である各加圧液室（以下、液室と表記）５を介してインクが供給される。液室５におけるノズル板２と反対側の壁面は振動板６で構成される。ノズル孔４と液室５とは、流路基板１に設けられた連通管３により、連通されている。
【００１７】
ここで、流路基板１は、例えば単結晶シリコン基板をエッチングして各液室５等をそれぞれ形成している。ノズル板２は、各液室５に対応して例えば直径１０〜３０μｍのノズル孔４を形成する。このノズル板２としては、Ｎｉ電鋳で形成しているが、その他のステンレス等の金属、シリコン、及びそれらの組み合わせからなるもの等を用いることができる。また、吐出方向に垂直なノズル面（吐出面ともいう）には、インクとの撥水性を確保するため、メッキ被膜、あるいは撥水剤コーティング等の周知の方法で撥水膜を形成している。
【００１８】
ノズル板２、流路基板１、振動板６、ハウジング２０は積層されて、接着剤で接合されている。
ノズル板２と、流路基板１との接合面には、接着剤の接着力を向上させるため、接着下地層１３を形成する。接着下地層１３としては光透過性材料の一例としてのポリイミド樹脂が挙げられ、希釈したポリイミド樹脂をフレキソ印刷にてノズル板２の流路基板接合面に全面印刷する。この際ノズル孔４を埋めないようにエアをノズル孔４より吹き付けることによって、アライメントマークの部分のみにポリイミド樹脂をコートすることができる。
ポリイミド樹脂のコート後オーブンにて焼成することにより、ノズルアライメントマーク部はポリイミド樹脂にて覆われた形状を構成することになる。
ハウジング２０は、例えば成型で形成される樹脂部材や、ステンレスにて構成されるハウジング部材が挙げられる。
流路基板１の内部には、振動板６を変形変位させる、アクチュエータの一例としての圧電アクチュエータ７を構成する駆動圧電素子柱８を接合している。
【００１９】
駆動圧電素子の形成方法としては、ダイシング加工することにより個別の柱形状の素子を形成することが挙げられる。ダイシング加工以外にもワイヤソーによる加工も可能である。
【００２０】
このように構成したインクジェットヘッドにおいては、例えば駆動圧電素子柱８に印加する電圧を基準電位から下げることによって駆動圧電素子柱８が収縮し、振動板６の駆動圧電素子柱８との接触部が下降して液室５の容積が膨張する。この結果、液室５内にインクが流入し、その後駆動圧電素子柱８に印加する電圧を上げて駆動圧電素子柱８を伸長させ、振動板６の駆動圧電素子柱８との接触部をノズル孔４の方向に変形させて液室５の容積を収縮させることにより、液室５内のインクが加圧され、ノズル孔４からインク滴が吐出される。
【００２１】
駆動圧電素子柱８に印加する電圧を基準電位に戻すことによって振動板６が初期位置に復元し、液室５が膨張して負圧が発生するので、この負圧により液室５内にインクが充填される。
ノズル孔４のメニスカス面の振動が減衰して安定した後、次の液滴吐出のための動作に移行する。
尚、このヘッドの駆動方法については上記の例である、引き−押し打ちに限るものではなく、駆動波形の与えた方によって引き打ちや押し打ち等を行うこともできる。
液体吐出ヘッドとして、高密度の液室及びノズル孔を精度良く接合するには、個別の接合が良好に形成できていることが要求される。本構造では、ノズル孔４、流路基板１、振動板６、ハウジング２０を精度良く接合することが可能となり、アライメントマーク部にて全接合精度を容易に確認することができる。
【００２２】
実現方法として図４（ａ）〜（ｃ）にプロセスフローの一例を示している。
接着剤フレキソ印刷にて流路基板１に塗布して接着層１４を形成した後、ノズル板２を貼り付け、外周部に紫外線硬化樹脂を設けてノズル板２と流路基板１とを仮固定する（図４（ａ））。
【００２３】
さらに仮固定した流路基板の振動板接合面側に同様にフレキソ印刷にて接着剤を塗布し、振動板６を仮接合する（図４（ｂ））。
【００２４】
その次に圧電アクチュエータ７に接着剤をフレキソ印刷にて塗布し、両面仮固定している流路基板１を貼り付ける。その後ハウジング２０に対してディスペンサにて接着剤を印刷し、上記流路基板の振動板側に張り付け、紫外線硬化樹脂にて仮固定する。
その後個々に仮接合された液室構成部材を加圧治具にて加圧しながらオーブンにて接着剤を硬化して吐出ヘッドが完成する（図４（ｃ））。
【００２５】
ここでは組立手順としてはノズル板２を最初に流路基板１に接合しているが、振動板６を流路基板１に接合した後にノズル板２を接合することも考えられる。
【００２６】
また振動板に個別液室につながる部分に対してフィルタを設けることにより、加圧液室５に異物が混入しにくくなるため、ノズル板２、流路基板１、振動板６を貼り付けた後に加圧治具とオーブンにて接着剤を硬化した後に、圧電アクチュエータ７やハウジング２０を貼り付けて再度熱硬化させることも可能である。
【００２７】
本実施形態の液体吐出ヘッドの構成におけるアライメントマークについて図５，６を用いて説明する。図５は、本実施形態の液体吐出ヘッドのノズル板２側から見た各部材のアライメントマークの重なりを示す模式図である。図６は、本実施形態の液体吐出ヘッドのノズル配列方向に沿う断面説明図である。
ノズル面からは液室部品の全接合状態を確認することができる。
ここで圧電アクチュエータ７のアライメントマーク９としては、図３の正面図に示すように圧電アクチュエータ７を２列配置することでその間のギャップがマークとなり、さらに圧電アクチュエータ７に図２で示すように加工溝を設けることにより実現している。この加工溝形成方法としては、前述のように駆動圧電素子柱８を形成するのと同じようにダイシングにて形成することができる。
【００２８】
振動板アライメントマーク１０は、駆動圧電素子アライメントマーク９を認識するように長円形状にて形成している。
振動板アライメントマーク１０の形成方法としては、Ｎｉ電鋳にて形成し、アライメントマーク部はレジストにて保護することにより、形状精度に優れたアライメントマーク１０を形成することができる。
【００２９】
流路基板アライメントマーク１１は前述の２つのアライメントマークを認識できる大きさであり、矩形でのパターン形成を行っている。基本的にはウェットエッチングにて形成するため、Si基板の配向によるエッチングレートの違いに基づいた矩形状に形成されることになる。例えば面方位（１１０）のシリコン基板から形成された場合には、＜１１２＞方向あるいは＜１１１＞方向に長い平行四辺形又は六角形を含むパターンの組み合わせによるアライメントマークの形状と認識される。ドライプロセスにて形成する場合はこの限りではないが、アライメントマークの形状精度の観点からは円形状が望ましい。
【００３０】
ノズルアライメントマーク１２は振動板アライメントマーク１０と同様に形成される。
ノズルアライメントマーク１２の形成方法としては、Ｎｉ電鋳による形成する。
ここで、前述した光透過材料の一例であるポリイミド樹脂を光透過層１３として、ノズルアライメントマーク１２を形成するＮｉ電鋳開口部を光透過層１３が覆っている。このように形成することにより、ノズルアライメントマーク１２を介して流路基板アライメントマーク１１、振動板アライメントマーク１０、アライメントマーク９の位置合わせ調整を行うことができると共に、ノズル面からのワイピング等にアライメントマークへのインクの浸入を防止できるので、高精度な位置合わせを行うことができ、接合精度を向上した液滴吐出ヘッドが得られる。また、光透過層１３は接着剤下地層として兼ねることができる。
【００３１】
＜実施形態２＞
次に、他の実施形態に係る液体吐出ヘッドの模式図を図６に示す。
前述でのノズルアライメントマーク１２での開口部に対して、光透過層１３が入り込むことにより厚膜化された構造となっている。液体吐出ヘッドを厚膜化することによりインクの浸入に対する耐久性を向上させることができる。
【００３２】
液体吐出ヘッドの製造方法としては、前述によるフレキソ印刷による供給方法の他、光透過層１３が形成された後に、ノズルアライメントマーク１２の開口部にディスペンサ等にてノズル吐出面より供給することによる厚膜化が挙げられる。
【００３３】
＜実施形態３＞
次に、他の実施形態に係る液体吐出ヘッドを備えた画像形成装置の一例について図７及び図８を参照して説明する。
尚、図７は、他の実施形態に係る画像形成装置の機構部の全体構成を説明する概略構成図であり、図８は、図７に示した機構部の要部平面説明図である。
この画像形成装置はシリアル型画像形成装置であり、左右の側板２２１Ａ、２２１Ｂに横架したガイド部材である主従のガイドロッド２３１、２３２でキャリッジ２３３を主走査方向に摺動自在に保持し、図示しない主走査モータによってタイミングベルトを介して矢印方向（キャリッジ主走査方向ともいう）に移動走査する。
【００３４】
このキャリッジ２３３には、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｋ）の各色のインク滴を吐出するための本実施形態の液体吐出ヘッドからなる記録ヘッド２３４ａ、２３４ｂを複数のノズル孔４からなるノズル列を主走査方向と直交する副走査方向に配列し、インク滴吐出方向を下方に向けて装着している。尚、記録ヘッド２３４ａ、２３４ｂを区別しないときは「記録ヘッド２３４」という。
【００３５】
記録ヘッド２３４は、それぞれ２つのノズル列を有し、記録ヘッド２３４ａの一方のノズル列はブラック（Ｋ）の液滴を、他方のノズル列はシアン（Ｃ）の液滴を吐出する。記録ヘッド２３４ｂの一方のノズル列はマゼンタ（Ｍ）の液滴を、他方のノズル列はイエロー（Ｙ）の液滴を、それぞれ吐出する。
また、キャリッジ２３３には、記録ヘッド２３４のノズル列に対応して各色のインクを供給するためのヘッドタンク２３５ａ、２３５ｂを搭載している。尚、ヘッドタンク２３５ａ、２３５ｂを区別しないときは「ヘッドタンク２３５」という。このサブタンク２３５には各色の供給チューブ２３６を介して、各色のインクカートリッジ２１０から各色のインクが補充供給される。
【００３６】
一方、給紙トレイ２０２の用紙積載部（圧板とも言う。）２４１上に積載した用紙２４２を給紙するための給紙部がある。給紙部は、半月コロ（給紙コロとも言う。）２４３、給紙コロ２４３、分離パッド２４４を備える。
給紙コロ２４３は、用紙積載部２４１から用紙２４２を１枚ずつ分離給送する。
分離パッド２４４は、給紙コロ２４３及び給紙コロ２４３に対向し、摩擦係数の大きな材質からなり、給紙コロ２４３側に付勢されている。
【００３７】
画像形成装置は、この給紙部から給紙された用紙２４２を記録ヘッド２３４の下方側に送り込むために、ガイド部材２４５と、カウンタローラ２４６と、搬送ガイド部材２４７と、押さえ部材２４８と、搬送手段の一例である搬送ベルト２５１と、を備える。
【００３８】
ガイド部材２４５は、用紙２４２を案内する機能を有し、押さえ部材２４８は、先端加圧コロ２４９を有するとともに、搬送ベルト２５１は、給送された用紙２４２を静電吸着して記録ヘッド２３４に対向する位置で搬送する機能を有する。
【００３９】
この搬送ベルト２５１は、無端状ベルトであり、搬送ローラ２５２とテンションローラ２５３との間に掛け渡されて、副走査方向であるベルト搬送方向に周回するように構成されている。
また、この搬送ベルト２５１の表面を帯電させるための帯電手段である帯電ローラ２５６を備えている。この帯電ローラ２５６は、搬送ベルト２５１の表層に接触し、搬送ベルト２５１の回動に従動して回転するように配置されている。この搬送ベルト２５１は、図示しない副走査モータによってタイミングを介して搬送ローラ２５２が回転駆動されることによってベルト搬送方向に周回移動する。
【００４０】
画像形成装置は、記録ヘッド２３４で記録された用紙２４２を排紙するための排紙部として、搬送ベルト２５１から用紙２４２を分離するための分離爪２６１と、排紙ローラ２６２及び排紙コロ２６３と、排紙ローラ２６２の下方に排紙トレイ２０３と、を備える。
【００４１】
また、装置本体１の背面部には両面ユニット２７１が着脱自在に装着されている。この両面ユニット２７１は搬送ベルト２５１の逆方向回転で戻される用紙２４２を取り込んで反転させて再度カウンタローラ２４６と搬送ベルト２５１との間に給紙する。また、この両面ユニット２７１の上面は手差しトレイ２７２としている。
【００４２】
さらに、キャリッジ２３３の走査方向の一方側の非印字領域には、記録ヘッド２３４のノズル孔の状態を維持し、回復するための回復手段を含むヘッドの維持回復装置である維持回復機構２８１を配置している。この維持回復機構２８１は、各キャップ部材（以下「キャップ」という。）２８２ａ、２８２ｂと、ブレード部材であるワイパーブレード２８３と、空吐出受け２８４と、を備える。キャップ部材２８２ａ、２８２ｂは、区別しないときは「キャップ２８２」という。
【００４３】
キャップ２８２は、記録ヘッド２３４の各ノズル面をキャピングする。ワイパーブレード２８３は、ノズル面をワイピングするためのブレード部材である。空吐出受け２８４は、増粘した記録液を排出するために記録に寄与しない液滴を吐出させる空吐出を行うときの液滴を受ける機能を有する。
【００４４】
キャリッジ２３３の走査方向他方側の非印字領域には、インク回収ユニット２８８を配置し、このインク回収ユニット２８８には記録ヘッド２３４のノズル列方向に沿った開口部２８９等を備えている。
インク回収ユニット２８８は、記録中等に増粘した記録液を排出するために記録に寄与しない液滴を吐出させる空吐出を行うときの液滴を受ける液体回収容器である。このインク回収ユニット２８８は記録ヘッド２３４のノズル列方向に沿った開口部２８９を備える。
【００４５】
このように構成した画像形成装置において、給紙トレイ２０２から用紙２４２が１枚ずつ分離給紙され、略鉛直上方に給紙された用紙２４２はガイド２４５で案内される。用紙２４２は、搬送ベルト２５１とカウンタローラ２４６との間に挟まれて搬送される。用紙２４２は、さらに先端を搬送ガイド２４７で案内されて先端加圧コロ２４９で搬送ベルト２５１に押し付けられ、略９０°搬送方向を転換される。
【００４６】
このとき、帯電ローラ２５６に対してプラス出力とマイナス出力とが交互に繰り返すように電圧が印加される。つまり交番する電圧が帯電ローラ２５６に印加される。搬送ベルト２５１が交番する帯電電圧パターン、すなわち、周回方向である副走査方向に、プラスとマイナスとが所定の幅で帯状に交互に帯電されたものとなる。このプラス、マイナス交互に帯電した搬送ベルト２５１上に用紙２４２が給送されると、用紙２４２が搬送ベルト２５１に吸着され、搬送ベルト２５１の周回移動によって用紙２４２が副走査方向に搬送される。
【００４７】
画像形成装置は、キャリッジ２３３を移動させながら画像信号に応じて記録ヘッド２３４を駆動することにより、停止している用紙２４２にインク滴を吐出して１行分を記録し、用紙２４２を所定量搬送後、次の行の記録を行う。記録終了信号又は用紙２４２の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了して、用紙２４２を排紙トレイ２０３に排紙する。
【００４８】
この画像形成装置は一実施形態に係る液体吐出ヘッドを搭載しているので、異物耐性が強く、安定した画質を有する印刷が実現可能である。
【００４９】
尚、上記実施形態ではプリンタ構成の画像形成装置で説明しているが、本発明はこれに限るものではなく、例えば、プリンタ／ファックス／コピア複合機等の画像形成装置にも適用することができる。また、ライン型液体吐出ヘッドやライン型画像形成装置にも同様に適用することができる。さらに、ＤＮＡ試料、レジスト、パターン材料等を吐出する液体吐出ヘッドや画像形成装置にも適用することができる。また、液体吐出ヘッドは、圧電型ヘッドに限らず、サーマル型ヘッドや静電型ヘッド等他の液体吐出ヘッドにも同様に適用できる。
【００５０】
尚、上述した実施の形態は、本発明の好適な実施の形態の一例を示すものであり、本発明はそれに限定されることなく、その要旨を逸脱しない範囲内において、種々変形実施が可能である。
【００５１】
すなわち、本実施形態に係る液体吐出ヘッドによれば、ノズル板と液室構成部材を精度良く接合することから、個別液室の小型化に対応可能であるとともに、一括で液室を組み立てることができるため、異物の混入を抑制することができる。
【００５２】
＜作用効果＞
本実施形態によれば、アライメント開口部において、アライメントマークがふさがった構造となるため、ノズル面からワイピング等によりアライメントマーク部にインクが入り込んでも、流路基板等の中に入り込むことがない。また、蓋をした状態と同様になるため、流路基板等へのインクの混入防止が図れる。さらにノズル面からの各液室構成部材の接合精度が容易に計測でき、製造工程での異物の混入を防止することができる。
【００５３】
本実施形態によれば、開口部の光透過性膜を接着下地層として用いることにより、新たに接合に必要な下地層を設ける必要がなくなるため、安価にヘッドを構成することができる。
【００５４】
本実施形態によれば、開口部の光透過性膜の膜厚を大きくすることにより、ワイピングや搬送紙の接触に対して耐久性ある構造とすることができる。
【００５５】
本実施形態によれば、光透過性材料としてポリイミド膜を用いることで、インクに対する耐久性や接着剤の接着力の確保を図ることができる。
【００５６】
本実施形態によれば、上記ヘッドを用いることで、高精度に部品が接合された吐出ヘッドを形成することができ、良好な画像品質を得ることができる。
【符号の説明】
【００５７】
１    流路基板
２    ノズル板
３    連通管
４    ノズル孔
５    液室
６    振動板
７    圧電アクチュエータ
８    駆動圧電素子柱
９    アライメントマーク
１０    振動板アライメントマーク
１１    流路基板アライメントマーク
１２    ノズル板アライメントマーク
１３    光透過性層
１４    接着下地層
２０    ハウジング
２０２    給紙トレイ
２０３    排紙トレイ
２１０（２１０ｋ、２１０ｃ、２１０ｍ、２１０ｙ）    カートリッジ
２３２    ガイドロッド
２３３    キャリッジ
２３４    記録ヘッド
２３５    ヘッドタンク
２４１    用紙積載部
２４２    用紙
２４３    半月コロ
２４４    分離パッド
２４５    ガイド部材
２４６    カウンタローラ
２４７    搬送ガイド部材
２４８    押さえ部材
２４９    先端加圧コロ
２５１    搬送ベルト
２５２    搬送ローラ
２５３    テンションローラ
２５６    帯電ローラ
２６２    排紙ローラ
２６３    排紙コロ
２７１    両面ユニット
２７２    手差トレイ
２８１    維持回復機構
２８２（２８２ａ、２８２ｂ）    キャップ（キャップ部材ともいう）
２８３    ワイパーブレード
２８４    空吐出受け
２８８    インク回収ユニット
２８９    開口部
【先行技術文献】
【特許文献】
【００５８】
【特許文献１】特許第４８８２０８３号公報
【特許文献２】特許第４５０８６８３号公報
【図１】
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【図２】
2014054820.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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