(57)【要約】  【課題】原盤をＣＬＶ方式で回転制御しつつ、ＣＡＶ方式またはその他の方式に準拠した原盤カッティングを可能とする制御装置を提供する。  【解決手段】制御装置は、原盤の露光に用いる信号を遅延させる遅延部と、ＣＬＶ方式で回転する原盤に対して情報記録媒体フォーマットを満たす露光パターンが形成されるように、信号の遅延量を調整する制御部とを備える。【選択図】図４
2014142978.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
原盤の露光に用いる信号を遅延させる遅延部と、
ＣＬＶ方式で回転する原盤に対して情報記録媒体フォーマットを満たす露光パターンが形成されるように、上記信号の遅延量を調整する制御部と、
を備える制御装置。
【請求項２】
上記信号は、単一周波数を有するウォブル信号である請求項１に記載の制御装置。
【請求項３】
上記制御部は、ＦＧ信号を用いて求められた参照時間を基準にして、上記信号の遅延量を調整する請求項１に記載の制御装置。
【請求項４】
上記制御部は、上記フォーマットに準拠した一周あたりのウォブル数を満たすように、上記信号の遅延量を調整する請求項１に記載の制御装置。
【請求項５】
上記制御部は、上記ウォブル数を満たすための参照時間を基準にして、上記信号の遅延量を調整する請求項４に記載の制御装置。
【請求項６】
上記フォーマットは、ＺＣＡＶフォーマットである請求項１に記載の制御装置。
【請求項７】
上記制御部は、一周のうちの一部の領域でウォブル数が増加するように、上記信号の遅延量を調整する請求項１に記載の制御装置。
【請求項８】
上記制御部は、一周のうちのその他の領域で一方の側の隣接ウォブルと位相が一致するように、上記信号の遅延量を調整する請求項７に記載の制御装置。
【請求項９】
上記一部の範囲は、エラー訂正ブロックよりも小さい請求項７に記載の制御装置。
【請求項１０】
上記制御部は、上記遅延部の遅延量が閾値を超えると、一周のうちの一部の領域でウォブル数が増加するように、上記信号の遅延量を調整する請求項７に記載の制御装置。
【請求項１１】
上記一部の領域は、放射状に分割された複数の分割領域のうちの一つであり、
上記制御部は、上記複数の分割領域のウォブル数を順番に増加させる請求項７に記載の制御装置。
【請求項１２】
上記制御部は、上記複数の分割領域のすべてでウォブル数を増加させたら、上記遅延量の基準となる参照時間を更新する請求項１１に記載の制御装置。
【請求項１３】
ＣＬＶ方式で回転する原盤に対して情報記録媒体フォーマットを満たす露光パターンが形成されるように、上記原盤の露光に用いる信号の遅延量を調整する
ことを含む制御方法。
【請求項１４】
信号を生成する信号生成装置と、
上記信号に基づき、原盤を露光する露光装置と、
上記信号生成装置から上記露光装置に供給する上記信号の遅延量を調整する制御装置と、
を備え、
上記制御装置は、
原盤の露光に用いる信号を遅延させる遅延部と、
ＣＬＶ方式で回転する原盤に対して情報記録媒体フォーマットを満たす露光パターンが形成されるように、上記信号の遅延量を調整する制御部と、
を備える原盤作製装置。
【請求項１５】
上記信号生成装置は、固定クロックを用いて上記信号を生成する請求項１４に記載の原盤作製装置。
【請求項１６】
上記露光装置は、原盤を回転させる駆動部を含み、
上記制御装置は、上記駆動部の回転により生成されるＦＧ信号を用いて参照時間を求め、該参照時間に基づき上記信号の遅延量を調整する請求項１４に記載の原盤作製装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本技術は、制御装置および制御方法、ならびに原盤作製装置に関する。詳しくは、情報記録媒体の原盤作製に用いる制御装置および制御方法、ならびに原盤作製装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
現行の最高密度光ディスクフォーマットであるブルーレイディスク（ＢＤ：Blu-ray Disc（登録商標））をカッティングする方式として、熱記録を行うＰＴＭ（Phase Transition Mastering）方式が主流となっている。熱記録であることから、線速一定（Constant Linear Velocity：ＣＬＶ）のフォーマット準拠の光ディスクを作製するのに適している。さらなる光ディスクの高密度化を目指し、ランド／グルーブ方式を採用する場合には、ＺＣＡＶ（Zone Constant Angular Velocity）フォーマットのディスクカッティングが必要になる。
【０００３】
従来、ＺＣＡＶフォーマットを採用した光ディスク原盤作製においては、ディスク原盤をＣＡＶ（Constant Angular Velocity）で回転させてカッティングを行う方式が用いられている。図１２は、このようなカッティング方式を採用した原盤作製装置の概略構成を示すブロック図である。この原盤露光装置は、図１２に示すように、フォーマッタ１０１およびカッター１０２を備える。フォーマッタ１０１は、クロックスイッチャ１１１、ウォブル信号ジェネレータ１１２、ＰＬＬ（Phase Locked Loop）、およびディバイダ１１４、１１５を備える。フォーマッタ１０１にてウォブル信号が生成され、カッター１０２に供給される。カッター１０２にてＦＧ（Frequency Generator）信号が生成され、フォーマッタ１０１に供給される。このような構成を有する原盤作製装置では、ディスク回転同期信号であるＦＧ信号にＰＬＬをかけ、クロックの逓倍切替えをすることによって、ＺＣＡＶフォーマットのゾーンの切り替えを実現している。
【０００４】
しかし、上述の従来の方式を用いて、ＺＣＡＶフォーマットのディスク原盤カッティングをＰＴＭ方式で行うには、問題がある。図１２に示した構成を有する原盤露光装置では、ディスク原盤をＣＡＶ方式で回転させるため、半径によって局所的な線速が変化し、一定のグルーブ形状を形成することが困難になってしまう。半径によってレーザーパワーを変更するやり方も考えられるが、ＢＤ以上の記録密度を持つ光ディスクに求められるカッティング精度を満たすように、ＣＡＶフォーマットに適したレーザーパワーを設定することは、非常に困難である。よって、ディスク原盤をＣＬＶ方式で回転維持したまま、ＺＣＡＶフォーマットのディスク原盤カッティングを行えることが望ましい。
【０００５】
さらに、近年では、ディスク原盤のフォーマットとしては、ＺＣＡＶ方式以外にも種々のフォーマットが提案されており、これらのフォーマットの原盤もＰＴＭ方式で作製することが望まれている。これらのフォーマットの原盤作製においても、上述のＺＣＡＶフォーマットのディスク原盤と同様に、ディスク原盤をＣＬＶ方式で回転維持したまま、ディスク原盤のカッティングを行えることが望ましい。
【０００６】
上述の問題点を扱う従来の技術として、ＣＬＶ方式でディスク原盤を回転させ、フォーマッタ駆動クロックをディスク半径に応じて変化させる方式が提案されている（例えば特許文献１〜４参照）。しかし、この方式を用いて実際にディスク原盤をカッティングすることは、以下に説明するように困難である。
【０００７】
特許文献１の段落［００５４］の記載に基づき、分周器で必要なクロックを生成するために必要な基準クロック周波数をＢＤのパラメータで計算してみると、約１０19Ｈｚという値となり（Ｐ＝０．３２μｍ，Ｎｆ＝２０２４１１３，ＶＬ＝４．９１７ｍ／ｓ）、現在の技術では実現が非常に困難であることがわかる。特許文献２に記載の技術も、分周器を用いて必要なフォーマッタ駆動クロックを生成する点で共通しており、特許文献１と同様の問題がある。
【０００８】
特許文献３には、ＤＤＳ（ダイレクトデジタルシンセサイザ）を用いる技術が記載されている。ＤＤＳは、基準クロックで動作する同期回路の出力で、デジタル的に様々な出力波形を生成するものである。基準クロック周波数と出力可能な信号の周波数の関係に注目すれば、ＤＤＳも一種の分周器と見ることができる。特許文献３の段落［００２５］には、１００ＭＨｚ、３２ｂｉｔのＤＤＳは略０．０２３Ｈｚの周波数分解能を持つ、との記載があるが、これは出力可能な最も低い周波数における分解能である。光ディスクのフォーマットに必要な基準クロック、ＢＤの例でいえば１倍速のチャネルクロックである６６ＭＨｚ付近の周波数で、必要な周波数分解能を実現するためには、やはり非常に高い基準クロック周波数が必要になる。
【０００９】
特許文献４に記載の技術は、電圧制御発振器（Voltage Controlled Oscillator：ＶＣＯ）を用いて必要なフォーマッタ駆動クロックを生成する方式である。しかし、ＶＣＯは、ＰＬＬのフィードバックループ内で使用することで十分な精度のクロック出力が得られるものである。特許文献４では、図１に示されたＶＣＯ５は、フィードバック制御されず、単体で使われている。ＢＤ１トラックごとの周波数の違いは、内周でも０．００１％程度であり、必要なクロック精度はこれよりさらに高い。Ｄ／Ａ出力値に応じ、フィードバック制御なしでこのような精度のクロックを安定して出力するＶＣＯを現在の技術で実現するのは、やはり非常に困難である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開２００７−１３４０４５号公報
【特許文献２】特開平６−３６３５７号公報
【特許文献３】特開２００６−１１９４８４号公報
【特許文献４】特開平７−２８７８７５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
したがって、本技術の目的は、原盤をＣＬＶ方式で回転制御しつつ、ＣＡＶ方式またはその他の方式に準拠した原盤カッティングを可能とする制御装置および制御方法、ならびに原盤作製装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上述の課題を解決するために、第１の技術は、
原盤の露光に用いる信号を遅延させる遅延部と、
ＣＬＶ方式で回転する原盤に対して情報記録媒体フォーマットを満たす露光パターンが形成されるように、信号の遅延量を調整する制御部と、
を備える制御装置である。
【００１３】
第２の技術は、
ＣＬＶ方式で回転する原盤に対して情報記録媒体フォーマットを満たす露光パターンが形成されるように、原盤の露光に用いる信号の遅延量を調整する
ことを含む制御方法である。
【００１４】
第３の発明は、
信号を生成する信号生成装置と、
信号に基づき、原盤を露光する露光装置と、
信号生成装置から露光装置に供給する信号の遅延量を調整する制御装置と、
を備え、
制御装置は、
原盤の露光に用いる信号を遅延させる遅延部と、
ＣＬＶ方式で回転する原盤に対して情報記録媒体フォーマットを満たす露光パターンが形成されるように、信号の遅延量を調整する制御部と、
を備える原盤作製装置である。
【発明の効果】
【００１５】
以上説明したように、本技術によれば、原盤をＣＬＶ方式で回転制御しつつ、ＣＡＶ方式またはその他の方式に準拠した原盤カッティングを行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】図１は、本技術の第１の実施形態に係る原盤作製装置により作製される原盤の一構成例を示す平面図である。
【図２】図２Ａは、図１に示した原盤の成形面の一部を拡大して表す平面図である。図２Ｂは、図１に示した原盤の断面の一部を拡大して表す断面図である。
【図３】図３は、本技術の第１の実施形態に係る原盤作製装置の一構成例を示す概略図である。
【図４】図４は、本技術の第１の実施形態に係るタイミングフィッタの一構成例を示すブロック図である。
【図５】図５Ａ〜図５Ｃは、本技術の第１の実施形態に係る原盤の製造方法を説明するための工程図である。
【図６】図６Ａ、図６Ｂは、本技術の第１の実施形態に係る原盤の製造方法を説明するための工程図である。
【図７】図７は、ゾーンのフォーマットを説明するための略線図である。
【図８】図８は、角度領域のフォーマットを説明するための略線図である。
【図９】図９Ａは、内周側および外周側の両隣接ウォブルと同位相である領域を示す概略図である。図９Ｂは、内周側の隣接ウォブルと非同位相であるのに対して、外周側の隣接ウォブルと同位相である領域を示す概略図である。図９Ｃは、内周側の隣接ウォブルと同位相であるのに対して、外周側の隣接ウォブルと非同位相である領域を示す概略図である。
【図１０】図１０は、ゾーン間の境界部のフォーマットを説明するための略線図である。
【図１１】図１１は、本技術の第２の実施形態に係るタイミングフィッタの一構成例を示すブロック図である。
【図１２】図１２は、ディスク原盤をＣＡＶ方式で回転制御しながら、ＺＣＡＶフォーマットに準拠した光ディスク原盤カッティングを可能にする従来の原盤作製装置の概略構成を示すブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
本技術の実施形態について図面を参照しながら以下の順序で説明する。
１．第１の実施形態（ＺＣＡＶ方式のフォーマットに準拠したカッティングが可能な原盤作製装置の例）
１−１．概要
１−２．原盤の構成
１−３．原盤のフォーマット
１−４．原盤作製装置の構成
１−５．タイミングフィッタの構成
１−６．原盤の製造方法
１−７．効果
２．第２の実施形態（ディスク角度領域分割方式のフォーマットに準拠したカッティングが可能な原盤作製装置の例）
２−１．概要
２−２．原盤のフォーマット
２−３．タイミングフィッタの構成
２−４．効果
３．変形例
【００１８】
＜１．第１の実施形態＞
［１−１．概要］
第１の実施形態では、フォーマッタを固定クロックで動作するデジタル回路で構成しつつ、完全なＣＬＶ動作で原盤を回転制御しながら、ＺＣＡＶフォーマットの原盤カッティングを可能にする技術について説明する。
【００１９】
［１−２．原盤の構成］
図１は、本技術の第１の実施形態に係る原盤作製装置により作製される原盤の一構成例を示す平面図である。図２Ａは、図１に示した原盤の成形面の一部を拡大して表す平面図である。図２Ｂは、図１に示した原盤の断面の一部を拡大して表す断面図である。原盤１は、光情報記録媒体作製用の原盤であり、この原盤を用いて複製原盤（スタンパなど）または基板が作製される。原盤１により作製される光情報記録媒体としては、例えば、ＤＶＤ（Digital Versatile Disc）、ＢＤ、またはＢＤ以上の記録密度を有する次世代の光ディスクなどが挙げられる。
【００２０】
原盤１は、所謂マスター原盤であり、図１に示すように、円盤形状を有し、その一主面が成形面Ｓとなる。成形面Ｓは、図２Ａおよび図２Ｂに示すように、グルーブＧおよびランドＬにより構成された凹凸面である。なお、本明細書では、原盤作製時にレーザー光などにより露光される部分をグルーブＧと称し、隣接するグルーブ間に挟まれる部分をランドＬと称する。図１Ｂでは、凹凸面のうち凹部をグルーブＧ、凸部をランドＬとする例が示されている。
【００２１】
このグルーブＧおよびランドＬの形状としては、例えば、スパイラル状、同心円状などの各種形状が挙げられる。また、グルーブＧおよび／またはランドＬは、例えば、線速度の安定化やアドレス情報付加などのためにウォブル（蛇行）されている。グルーブＧおよびランドＬのうちの一方が情報信号を記録するためのトラックとして用いられる。以下では、グルーブＧをトラックとして用いた例について説明する。
【００２２】
原盤１は、図２Ｂに示すように、基板２と、基板２の表面に設けられた形状層３とを備える。基板２としては、例えばシリコン基板またはガラス基板などを用いることができる。形状層３の材料としては、無機レジストを用いることが好ましい。無機レジストとしては、例えば、遷移金属などの金属の酸化物を用いることができる。形状層３によりグルーブＧおよびランドＬが構成されている。
【００２３】
［１−３．原盤のフォーマット］
原盤１は、ＺＣＡＶフォーマットに準拠した原盤である。具体的には、原盤１は、図１Ａに示すように、円環形状の記録領域Ａを有し、その記録領域Ａには、その内周から外周の方向（すなわち半径方向）に向かって複数のゾーンａが順次設定されている。ここで、記録領域Ａは、この原盤１を用いて作製される光情報記録媒体のデータ記録領域に対応している。
【００２４】
［１−４．原盤作製装置の構成］
図３は、本技術の第１の実施形態に係る原盤作製装置の一構成例を示す概略図である。原盤作製装置は、固定クロックで動作するデジタル回路で構成され、完全なＣＬＶ動作で原盤１を回転制御しながら、ＺＣＡＶフォーマットの原盤カッティングを可能にするシステムである。原盤作製装置は、図３に示すように、信号生成装置であるフォーマッタ（Formatter）１１と、制御装置であるタイミングフィッタ（Timing Fitter）１２と、露光装置であるカッター（Cutter）１３とを備える。タイミングフィッタ１２は、フォーマッタ１１とカッター１３との間に設けられる。
【００２５】
（フォーマッタ）
フォーマッタ１１は、固定クロックで動作するデジタル回路で構成され、原盤１の露光に用いる情報信号を固定クロックを用いて生成する。この情報信号は、例えば、所定の光ディスクフォーマットに準拠した単一周波数のウォブル信号である。以下では、情報信号が単一周波数のウォブル信号である場合について説明するが、情報信号はこの例に限定されるものではない。
【００２６】
より具体的には、フォーマッタ１１は、ウォブル信号ジェネレータ（Wobble Signal Generator）１１ａを備え、このウォブル信号ジェネレータ１１ａにより、記録信号として単一周波数のウォブル信号を固定クロックを用いて生成し、生成したウォブル信号をタイミングフィッタ１２に供給する。フォーマッタ１１としては、従来、光ディスクの原盤作製に使用されている既存のフォーマッタを用いることができる。
【００２７】
（カッター）
カッター１３は、レーザー光などの照射により原盤１を露光する露光装置である。カッター１３は、ＣＬＶ方式で光ディスク用の原盤１を回転制御する。カッター１３は、タイミングフィッタ１２から供給されるウォブル信号に基づき、原盤１に照射されるレーザー光の照射パターンを制御し、所定の露光パターンを原盤１のレジスト層表面に形成する。この露光パターンは、光ディスクのＺＣＡＶフォーマットに準拠したものである。カッター１３は、ＦＧ（Frequency Generator）が設けられたスピンドルモータ（図示せず）を備える。ＦＧから出力されたＦＧ信号（回転情報信号）は、タイミングフィッタ１２に供給される。カッター１３としては、従来、光ディスクの原盤作製に使用されている既存のカッターを用いることができる。
【００２８】
（タイミングフィッタ）
タイミングフィッタ１２は、フォーマッタ１１からカッター１３に対するウォブル信号の供給タイミングを微調整する信号処理回路である。具体的には、タイミングフィッタ１２は、ＣＬＶ方式で回転動作する原盤１に対してＺＣＡＶフォーマットを満たす露光パターンが形成されるように、フォーマッタ１１からカッター１３に供給される単一周波数のウォブル信号の遅延量を調整する。
【００２９】
タイミングフィッタ１２は、カッター１３から供給されるＦＧ信号を用いて参照時間を求める。上述のウォブル信号の遅延量は、この参照時間を基準にして調整される。
【００３０】
［１−５．タイミングフィッタの構成］
図４は、タイミングフィッタの一構成例を示すブロック図である。タイミングフィッタ１２は、図４に示すように、制御部２１と、ＡＤ変換部（Analog to Digital Converter）２２と、補間機能付きディレイライン２３とを備える。
【００３１】
ここでは、ＢＤを例にとり、このタイミングフィッタ１２内の回路のクロックは、「１×」の１Ｔ周期で動作しているものとする。ウォブル信号一周期は６９Ｔであるので、ウォブル信号一周期は６９クロック分となる。
【００３２】
（制御部）
制御部２１は、ＺＣＡＶフォーマットに準拠した一周あたりのウォブル数を満たすように、補間機能付きディレイライン２３におけるウォブル信号の遅延量を調整する。より具体的には、制御部２１は、カッター１３から供給されるＦＧ信号を用いて、ＺＣＡＶフォーマットに準拠した一周あたりのウォブル数を満たすための参照時間を求める。そして、この参照時間を基準にして、補間機能付きディレイライン２３におけるウォブル信号の遅延量を調整する。
【００３３】
制御部２１は、図４に示すように、ゾーン切替処理部３１と、参照時間生成部３２と、ゾーン内経過時間カウント部３３と、演算器３４と、サーボフィルタ（Servo Filter）３５と、補正クロック生成部３６とを備える。
【００３４】
（ゾーン切替処理部）
ゾーン切替処理部３１は、原盤１の露光開始時には、ＺＣＡＶのゾーン構成規格（具体的には、図１に示したゾーンａの構成規格）のうち最内周のゾーンａの原盤一周あたりのウォブル数を参照時間生成部３２に指定する。
【００３５】
ゾーン切替処理部３１は、原盤１の露光開始時から、カッター１３からタイミングフィッタ１２に入力されるＦＧ信号をカウントする。そして、ＺＣＡＶのゾーン構成規格（具体的には、図１に示したゾーンａの構成規格）に対応したタイミング（すなわち、各ゾーンａの境界位置に対応したタイミング）で、参照時間生成部３２に対する原盤一周あたりのウォブル数指定を変更して、ゾーン切替処理を行う。なお、入力ＦＧ信号のカウント数は、ＺＣＡＶのゾーンａの切替毎にカウント数をリセットして、入力ＦＧ信号のカウントを再度開始するようにしてもよい。
【００３６】
具体的には、ゾーン切替処理部３１は、タイミングフィッタ１２に入力される入力ＦＧ信号をカウントし、このカウント数に基づき、カッティング位置（露光位置）がＺＣＡＶのゾーン切替位置（具体的には、図１に示したゾーンａの境界位置）に到達したか否かを判別する。カッティング位置がＺＣＡＶのゾーン切替位置に到達したと判別した場合には、ゾーン切替処理部３１は、参照時間生成部３２に対する原盤一周あたりのウォブル数の指定を変更する。一方、カッティング位置がＺＣＡＶのゾーン切替位置に到達していないと判別した場合には、ゾーン切替処理部３１は、参照時間生成部３２に対する原盤一周あたりのウォブル数を現状の数に維持する。
【００３７】
タイミングフィッタ１２は、例えば、図示を省略した記憶部を有し、この記憶部に、ＺＣＡＶの各ゾーンの境界位置に対応する入力ＦＧ信号のカウント数を記憶している。この記憶部に記憶された入力ＦＧ信号のカウント数に基づき、上述したゾーン切替位置の判別を行うことができる。
【００３８】
ゾーン切替処理部３１は、ゾーン内ＦＧ信号のカウント数を参照時間生成部３２に供給する。ゾーン切替処理部３１は、サーボフィルタ３５の積分器設定値を、速度変化を考慮した値に設定することが好ましい。これにより、フィードフォワードによる速度変化分の補正を行うことが可能になり、ゾーン境界部でも高精度に参照時間追従を維持できる。
【００３９】
（参照時間生成部）
参照時間生成部３２には、カッター１３からＦＧ信号が供給される。また、参照時間生成部３２には、ゾーン切替処理部３１から一周あたりのウォブル数が指定されと共に、ゾーン切替処理部３１からゾーン内ＦＧ信号のカウント数が供給される。
【００４０】
参照時間生成部３２は、カッター１３からＦＧ信号（ＦＧ信号のパルス）が入力される度に、タイミングフィッタ１２内のクロックを基準にして、指定された一周あたりのウォブル数を正確に満たすための、望ましい経過時間（各ゾーンａにて露光を開始してからの経過時間）を参照時間として算出する。参照時間（クロック単位）は、例えば、以下の式（１）により算出される。
参照時間（クロック単位）＝［（一周あたりの指定ウォブル数）×（１ウォブル相当のクロック数）］×［（ゾーン内ＦＧ信号のカウント数）÷（一周あたりのＦＧ歯数）］  ・・・（１）
但し、式（１）において、「一周あたりの指定ウォブル数」、「１ウォブル相当のクロック数」、「ゾーン内ＦＧ信号のカウント数」、および「一周あたりのＦＧ歯数」は、以下のように定義される。
一周あたりの指定ウォブル数：原盤１の各ゾーンａに対応する１トラックあたりの指定ウォブル数
１ウォブル相当のクロック数：タイミングフィッタ内のクロックにおける１ウォブル相当のクロック数（ここでは、ＢＤを例にとり、６９クロック）
ゾーン内ＦＧ信号のカウント数：ＺＣＡＶの各ゾーンａ毎に、タイミングフィッタ１２にてカウントされる入力ＦＧ信号数
一周あたりのＦＧ歯数：カッター１３のスピンドルモータ一周あたりのＦＧ歯数
【００４１】
なお、上述した記憶部には、例えば、「１ウォブル相当のクロック数」（例えば６９クロック）、および「一周あたりのＦＧ歯数」が更に記憶されている。これらの値を用いて、例えば、上記の式（１）により参照時間が算出される。
【００４２】
（ゾーン内経過時間カウント部）
ゾーン内経過時間カウント部３３は、ゾーン内経過時間をタイミングフィッタ１２内のクロックでカウントする。そして、ゾーン内経過時間カウント部３３は、カッター１３からＦＧ信号（ＦＧ信号のパルス）が入力されたタイミングで、カウントした経過時間を演算器３４に供給する。ＦＧ信号（ＦＧ信号のパルス）が入力されたタイミングで、前述の参照時間から、測定した経過時間を差し引くことにより、時間の誤差を求めることができる。ここで、「ゾーン内経過時間」とは、各ゾーンａにて露光を開始してからの経過時間、具体的にはゾーン切替処理部３１から参照時間生成部３２に対する原盤一周あたりのウォブル数の指定またはその変更の処理からの経過時間を意味する。
【００４３】
（ＡＤ変換部）
ＡＤ変換部２２は、フォーマッタ１１から供給されるウォブル信号をＡＤ変換し、補正クロック生成部３６および補間機能付きディレイライン２３に供給する。
【００４４】
（補正ブロック生成部）
補正クロック生成部３６は、フォーマッタ１１から供給されるウォブル信号を用いて、補正クロックを生成する。ここで、「補正クロック」は、フォーマッタ１１とタイミングフィッタ１２との間のクロックずれ分を補正する信号である。
【００４５】
本実施形態では、タイミングフィッタ１２とフォーマッタ１１とはそれぞれ別のクロックで動作している。それらのクロックの周期誤差が仮に１０×１０-6程度であったとしても、ディスク一周あたりのウォブル数が外周で１０万を超えることを考慮すると、一周あたり１ウォブルを超えるような時間の誤差が生じてしまう。そのため、タイミングフィッタ１２に補正クロック生成部３６を設けて、クロックずれを補正することが好ましい。
【００４６】
補正クロック生成部３６は、２値化部４１、ＭＳＫ（Minimum Shift Keying）除去部４２、およびＰＬＬ（Phase Locked Loop）部４３を備える。２値化部４１は、ＡＤ変換部２２から供給されるウォブル信号を２値化し、ＭＳＫ除去部４２に供給する。ＭＳＫ除去部４２は、２値化部４１から供給されるウォブル信号からＭＳＫマークを除去し、ＰＬＬ部４３に供給する。ＰＬＬ部４３は、ＭＳＫ除去部４２から供給される入力信号と、タイミングフィッタ１２内のクロックで生成したウォブル周期信号を位相比較し、位相ずれを補正するための補正クロックを演算器３４に供給する。
【００４７】
（演算器）
演算器３４には、参照時間生成部３２、ゾーン内経過時間カウント部３３、補正クロック生成部３６、および補間機能付きディレイライン２３からそれぞれ、「参照時間」、「ゾーン内経過時間」、「補正クロック」および「遅延量」が供給される。
なお、「参照時間」、「ゾーン内経過時間」、「補正クロック」および「遅延量」についての説明を、以下にまとめて記載する。
「参照時間」：指定された一周あたりのウォブル数を正確に満たすための、望ましい経過時間（各ゾーンａにて露光を開始してからの経過時間）
「ゾーン内経過時間」：各ゾーンａにて露光を開始してからの経過時間
「補正クロック」：フォーマッタ１１とタイミングフィッタ１２との間のクロックずれ分を補正する信号
「遅延量」：補間機能付きディレイライン２３の遅延量
【００４８】
ＦＧ信号（ＦＧ信号のパルス）が入力されたタイミングで、「参照時間」から「経過時間」を差し引くことにより、「時間誤差（誤差信号）」を求めることができる。この「誤差信号」から、「補正クロック」をさらに差し引くことで、フォーマッタ１１とタイミングフィッタ１２とのクロックずれ分を補正することができる。「誤差信号」から補間機能付きディレイライン２３の「遅延量」をさらに差し引くことで、フィードバックループが形成される。
【００４９】
（サーボフィルタ）
サーボフィルタ３５は、例えばＰＩ制御（Proportional-Integral Control）のフィルタを用いて、補間機能付きディレイライン２３のフィードバック制御の位相補償を行いながら、必要なサーボ性能を達成する。
【００５０】
（補間機能付きディレイライン）
補間機能付きディレイライン２３は、ＡＤ変換部２２から供給されるウォブル信号をバッファし、サーボフィルタ３５の出力に応じて出力更新速度を変化させると共に、線形補間を行って、カッター１３に出力する。これにより、カッター１３に対するウォブル信号の入力タイミングが微調整される。一定量の遅延を補間機能付きディレイライン２３の原点とすることで、出力更新速度は、入力信号より遅くすることも速くすることも可能である。補間機能付きディレイライン２３の遅延量出力は、サーボフィルタ３５の出力で指定された更新速度を積分したものとなる。そのため、このフィードバックループ全体は、積分特性を持つプラントのフィードバックループ制御と見ることができる。
【００５１】
この補間機能付きディレイライン２３の動作により、固定クロックで動作するフォーマッタ１１で生成されたウォブル信号を、カッター１３のスピンドル回転に同期させつつ、なめらかに出力することが可能になる。
【００５２】
［１−６．原盤の製造方法］
次に、図５および図６を参照して、上述した原盤作製装置を用いた原盤の製造方法の一例について説明する。この原盤の製造方法は、Blu-ray Disc（登録商標）などの高密度光ディスク用原盤の製造方法などに好適なものである。
【００５３】
図５Ａに示すように、例えばシリコンなどからなる平滑な基板２を作製する。次に、図１Ｂに示すように、例えばスパッタリング法によりレジスト層３ａを基板２上に製膜する。これにより、レジスト層３ａ付きの原盤１が得られる。レジスト層３ａの材料としては、例えば、無機レジストを用いることができる。
【００５４】
次に、上述した原盤作製装置のカッター１３のターンテーブル（図示せず）に原盤１を載置する。次に、図５Ｃに示すように、原盤１をＣＬＶ方式で回転駆動させると共に、露光ビーム４をレジスト層３ａに照射して、レジスト層３ａを全面にわたって露光する。この際、ＣＬＶ方式で回転する原盤１のレジスト層３ａに対してＺＣＡＶフォーマットを満たす露光パターンが形成されるように、原盤１の露光に用いるウォブル信号の遅延量を調整する。これにより、ＺＣＡＶフォーマットに準拠したウォブルグルーブなどに応じた潜像３ｂが、レジスト層３ａの全面にわたって形成される。
【００５５】
次に、図６Ａに示すように、基板２を回転させながら、レジスト層３ａ上に現像液５を滴下して、レジスト層３ａを現像処理する。これにより、図６Ｂに示すように、ＺＣＡＶフォーマットに準拠したウォブルグルーブＧが、レジスト層３ａの全面にわたって形成される。以上により、目的とする原盤１が得られる。
【００５６】
［１−７．効果］
第１の実施形態によれば、固定クロックデジタル回路を用いた構成で、原盤１を完全にＣＬＶ方式で回転させたまま、ＺＣＡＶフォーマットの原盤カッティングを容易に行うことができる。
【００５７】
＜２．第２の実施形態＞
［２−１．概要］
グルーブ記録方式で高密度化を行う場合、従来のＣＬＶフォーマットディスクでは、隣接トラックとのウォブル位相差が連続的に変化し、この変化により記録再生品質とアドレス再生品質のばらつきが発生することが知られている。光情報記録媒体の高密度化を進めると、狭トラックピッチ化と高線密度化の２つの要因で、隣接ウォブル位相不一致による信号劣化が顕著となる。そこで、本発明者は、この問題を解決すべく、鋭意検討した結果、ＣＬＶフォーマットに準拠しながら光情報記録媒体の大部分の領域で隣接ウォブル位相を一致させる方式を見出すに至った。この方式は、具体的には、光情報記録媒体の中心から放射状に分割した角度領域を設定し、隣接するウォブルの位相不一致範囲を１トラックのうちの１つの角度領域の範囲に限定する方式である。本明細書では、この方式を「ディスク角度領域分割方式」と称する。
【００５８】
しかし、本発明者の知見によれば、従来の原盤作製の技術では、ＰＴＭ方式でＺＣＡＶ方式の原盤カッティングが困難であるのと同様な理由で、ＰＴＭ方式でディスク角度領域分割方式の原盤カッティングが困難である。そこで、第２の実施形態では、ＰＴＭ方式でディスク角度領域分割方式の原盤カッティングを可能とする技術について説明する。
【００５９】
［２−２．原盤のフォーマット］
（ゾーン）
図７は、ゾーンのフォーマットを説明するための略線図である。第２の実施形態に係る原盤１は、図７に示すように、各ゾーンａが原盤１の中心から放射状に分割された複数の分割領域（以下「角度領域」という。）を有している。なお、図７では、図示を容易にするために、各ゾーンａを矩形状に変換して示している。また、図７では、ゾーンａの分割数が「３」の例を示しているが、分割数はこの例に限定されるものではない。
【００６０】
角度領域の分割数はゾーンａ毎に異なっており、その分割数は外周側の角度領域ほど大きくなっている。例えば原盤１の記録領域Ａを第１から第３のゾーンａに３分割した場合には、第１から第３のゾーンａの分割数はそれぞれ、「１０」、「１５」、「３０」に選ばれる。
【００６１】
（角度領域）
図８は、角度領域のフォーマットを説明するための略線図である。図８では、原盤１の記録領域Ａを中心から放射状に１０等分に分割した例が示されている。ここでは、説明を容易にするため、１番目のトラックには３８０００個のウォブルが存在し、１トラックあたりおよそ２．５ＲＵＢ存在する条件としている。ＲＵＢは、メインデータ（記録再生データ）を記録する単位であり、所定の長さ例えば６４ｋバイトとされる。また、ＲＵＢはエラー訂正ブロックの単位でもある。
【００６２】
原盤１の記録領域Ａには、隣接ウォブルの位相にずれがある位相不一致範囲と、隣接ウォブルの位相が一致する位相一致範囲とがある。位相不一致範囲が１トラックのうちの一部の範囲であり、位相一致範囲が１トラックのうちのその残りの範囲である。位相不一致範囲は、例えば角度領域の単位で設けられている。
【００６３】
図９Ａは、内周側および外周側の両隣接ウォブルと同位相である領域を示す概略図である。例えば、トラック（ＴＲＫ）番号「２」の角度領域番号「２〜４」および「６〜１０」に示した角度領域では、図９Ａに示すように、内周側および外周側の両隣接ウォブルが同位相の状態にある。
【００６４】
図９Ｂは、内周側の隣接ウォブルが非同位相であるのに対して、外周側の隣接ウォブルが同位相である領域を示す概略図である。例えば、トラック（ＴＲＫ）番号「２」の角度領域番号「１」に示した角度領域では、図９Ｂに示すように、内周側の隣接ウォブルが非同位相であるのに対して、外周側の隣接ウォブルが同位相である状態にある。
【００６５】
図９Ｃは、内周側の隣接ウォブルが同位相であるのに対して、外周側の隣接ウォブルが非同位相である領域を示す概略図である。例えば、トラック（ＴＲＫ）番号「２」の角度領域番号「５」に示した角度領域では、図９Ｃに示すように、内周側の隣接ウォブルが同位相であるのに対して、外周側の隣接ウォブルが非同位相である状態にある。
【００６６】
１トラック内のウォブル総数は、中心から外周の方向に向かうに従って、例えば１トラックまたは２トラックに１回の割合で１ウォブル増加している。ＢＤＸＬのパラメータを例にとると、規格通り正確にカッティングされた原盤１では、１トラック外周に行くごとに、１トラックの長さは約０．５ウォブル分増加していく。そのため、基本的には２トラックに１ウォブルの割合でウォブルを増やしていけばよい。積み重なった誤差を補正するため、時々１トラックに１ウォブル増やす場所もあるものとする。増加分のウォブルは、例えば、角度領域に順番に割り当てられている。
【００６７】
ウォブル増加は、１トラックのうちの一部の範囲、好ましくは１トラックあたり１ＲＵＢ（すなわちエラー訂正ブロック）よりも小さい範囲、より好ましくは１トラックあたり１つの角度領域のみで行われることが好ましい。これにより、連続する隣接ウォブルの位相不一致範囲を１トラックのうちの一部の範囲、好ましくは１ＲＵＢよりも小さい範囲、より好ましくは１つの角度領域に限定することができる。図８では、隣接ウォブルの位相不一致範囲は、エラー訂正ブロックの単位である１ＲＵＢの１／４程度に限定される例が示されている。また、１ウォブル増やした角度領域でのウォブル長変化は０．０３％以下であり、既存ＢＤフォーマットにおけるウォブル長誤差規定を十分に満たすことができる。
【００６８】
ウォブルを増やしていく角度領域の順番については、特定のＲＵＢの内周および外周に同時に非同位相部分が発生することを回避するための工夫を行うことが好ましい。ＢＤの例では、最内周でも１トラックあたり２．７ＲＵＢ程度以上存在する。このため、ウォブルを増やしていく領域を、１ＲＵＢの長さに相当する距離より大きく離すことで、特定のＲＵＢの内周および外周に同時に非同位相部分が発生することを回避できる。例えば原盤１のゾーンａが１０分割されている場合、非同位相部分が発生する角度領域の順番を以下のように設定することが考えられる。
１→５→９→２→７→３→８→４→１０→６→１・・・（以下繰り返し）
このような順番に設定することで、非同位相部分が一周の４／１０以上離れていることを保証できる。
【００６９】
したがって、円周方向に隣接する位相不一致範囲同士は、少なくとも１ＲＵＢ（すなわちエラー訂正ブロック）に相当する距離離して設けることが好ましい。具体的には、円周方向に隣接する一方の位相不一致範囲の先端から他方の位相不一致範囲の先端まで、あるいは円周方向に隣接する一方の位相不一致範囲の末端から他方の位相不一致範囲の末端まで、少なくとも１ＲＵＢ（すなわちエラー訂正ブロック）に相当する距離離して設けることが好ましい。これにより、特定のＲＵＢ内に２つの位相不一致範囲が存在することを回避することができる。
【００７０】
（ゾーン間の境界部）
図１０は、ゾーン間の境界部のフォーマットを説明するための略線図である。外周のトラック長は、内周に対して２．４倍程度の長さである。原盤１の記録領域Ａの角度分割数を、半径によって変更することにより、ウォブル増加によるウォブル長変化のばらつきを、一定以下に抑えることができる。この分割数変更は、図１０に示すように、すべての角度領域のウォブル数が等しいトラックの次のトラックで行うことが好ましい。すなわち、ゾーンａの境界は、全ての角度領域のウォブル数が等しいトラックと、このトラックの次のトラックとの間に設けられていることが好ましい。これにより、異なる角度領域が混在することを回避して、角度分割数を変更することができる。
【００７１】
［２−３．タイミングフィッタの構成］
第２の実施形態に係る原盤作製装置は、ＣＬＶフォーマットに準拠しながら原盤１の大部分の領域で隣接ウォブル位相を一致させる方式、すなわち、ディスク角度領域分割方式の原盤１をカッティングするシステムである。第２の実施形態に係る原盤作製装置は、タイミングフィッタ１２以外は上述の第１の実施形態と同様であるので、以下では、タイミングフィッタ１２の構成についてのみ説明する。
【００７２】
図１１は、本技術の第２の実施形態に係るタイミングフィッタの一構成例を示すブロック図である。第２の実施形態において、第１の実施形態と対応する箇所には同一の符号を付す。第２の実施形態に係るタイミングフィッタ１２は、角度領域増分管理部３７をさらに備えている。
【００７３】
制御部２１は、一周のうちの一部の領域でウォブル数が増加するように、信号の遅延量を調整するのに対して、その他の領域で内周側の隣接ウォブルと位相が一致するように、ウォブル信号の遅延量を調整する。上述の一周のうちの一部の領域は、１トラックのうちの一部の範囲、好ましくは１トラックあたり１ＲＵＢ（すなわちエラー訂正ブロック）よりも小さい範囲、より好ましくは１トラックあたり１つの角度領域のみで行われることが好ましい。これにより、連続する隣接ウォブルの位相不一致範囲を１トラックのうちの一部の範囲、好ましくは１ＲＵＢよりも小さい範囲、より好ましくは１つの角度領域に限定することができる。
【００７４】
制御部２１は、補間機能付きディレイライン２３の遅延量が閾値を超えると、一周のうちの一部の領域でウォブル数が例えば１ウォブル増加するように、信号の遅延量を調整する。上述の一部の範囲は、放射状に分割された複数の角度領域のうちの一つであり、制御部２１は、複数の角度領域のウォブル数を順番に例えば１ウォブル増加させる。そして、制御部２１は、複数の角度領域のすべてでウォブル数を例えば１ウォブル増加させたら、遅延量の基準となる参照時間を更新する。
【００７５】
この角度領域増分管理部３７は、角度領域のうち１ウォブル増加する角度領域（以下「ウォブル増加領域」と適宜称する。）において、クロック数を１ウォブル分に相当するクロック数（例えば６９Ｔクロック）増加させるブロックである。例えば、原盤１をその中心から放射状に１０分割する場合、ディスク中心角で３６°分の一つの角度領域全体でウォブル数が１ウォブル増加するように、補間機能付きディレイライン２３の更新速度を増加させる。この際、サーボフィルタ３５の積分器設定値を、速度変化を考慮した値に設定することにより、フィードフォワードによる速度変化分の補正を行うことが可能になり、ウォブル増加領域境界でも、高精度に参照時間追従を維持できる。
【００７６】
ゾーン切替処理部３１は、以下のような動作を行う。補間機能付きディレイライン２３の遅延量をチェックし、遅延量が閾値を超えたら一周あたりのウォブル数を一つ増加させる。この際、角度領域のうちウォブル数を１ウォブル増加させていない角度領域が残っている場合には、角度領域増分管理部３７にクロック数を１ウォブル増加させる指定をすることで、トラックあたりのウォブル数の増加を行う。角度領域のすべてで１ウォブル増加を行っている場合には、参照時間生成部３２に対して一周あたりのウォブル数を角度領域数分増加させる指定と、角度領域増分管理部３７に対してウォブル増加領域を０とする指定とを同時に行った後、再び角度領域増分管理部３７に対して１ウォブル分ずつの増加を行う指定をする。なお、遅延量の閾値は、例えばｎ個のウォブル（ｎは１以上の整数）に相当するクロック数、より具体的にはｎ×６９Ｔクロックである。
【００７７】
［２−４．効果］
第２の実施形態によれば、ＣＬＶフォーマットディスクの隣接ウォブル位相を大部分の記録領域Ａで一致させることが可能な原盤カッティングを行える。
【００７８】
＜３．変形例＞
以上、本技術の実施形態について具体的に説明したが、本技術は、上述の実施形態に限定されるものではなく、本技術の技術的思想に基づく各種の変形が可能である。
【００７９】
例えば、上述の実施形態において挙げた構成、方法、工程、形状、材料および数値などはあくまでも例に過ぎず、必要に応じてこれと異なる構成、方法、工程、形状、材料および数値などを用いてもよい。
【００８０】
上述の実施形態の構成、方法、工程、形状、材料および数値などは、本技術の主旨を逸脱しない限り、互いに組み合わせることが可能である。
【００８１】
上述の実施形態では、原盤作製装置が、フォーマッタ１１とカッター１３とは別にタイミングフィッタ１２をさらに備える構成について説明したが、原盤作製装置の構成はこの例に限定されるものではない。
【００８２】
例えば、フォーマッタ１１がその内部にタイミングフィッタ１２を備え、フォーマッタ１１とタイミングフィッタ１２とを一体化した構成を採用することも可能である。この構成を採用する場合、フォーマッタ１１とタイミングフィッタ１２とが同じクロックで動作するときには、タイミングフィッタ１２の補正クロック生成部３６を省略することができる。
【００８３】
例えば、カッター１３がその内部にタイミングフィッタ１２を備え、カッター１３とタイミングフィッタ１２とを一体化した構成を採用することも可能である。この構成を採用する場合、タイミングフィッタ１２の内部ブロック構成は上述の実施形態と同様のもので問題なく動作可能である。
【００８４】
ＺＣＡＶカッティングを行う際、ゾーン内トラック数が多いため、ゾーン内での線速変動が大きくなり、補間機能付きディレイライン２３内の遅延バッファが大量に必要になる場合には、例えば、以下の構成を採用すればよい。すなわち、タイミングフィッタ１２が、補間機能付きディレイライン２３の遅延量が一定量を超えた場合に、タイミングフィッタ１２からフォーマッタ１１に対してウォブル信号出力の一時中断を要求する信号を出力し、その間遅延バッファの更新を注視する構成をさらに備える。これにより、遅延バッファの消費を抑制できる。但し、この場合、フォーマッタ１１側にも、タイミングフィッタ１２からの要求により、ウォブル信号の出力を中断する構成をさらに備える必要がある。
【００８５】
上述の実施形態では、基板２の表面に形状層３が設けられた構成を有する原盤１について説明したが、原盤１の構成はこれに限定されるものではない。例えば、基板２の表面に直接凹凸形状が設けられた構成を採用するようにしてもよい。
【００８６】
また、本技術は以下の構成を採用することもできる。
（１）
原盤の露光に用いる信号を遅延させる遅延部と、
ＣＬＶ方式で回転する原盤に対して情報記録媒体フォーマットを満たす露光パターンが形成されるように、上記信号の遅延量を調整する制御部と、
を備える制御装置。
（２）
上記信号は、単一周波数を有するウォブル信号である（１）に記載の制御装置。
（３）
上記制御部は、ＦＧ信号を用いて求められた参照時間を基準にして、上記信号の遅延量を調整する（１）から（２）のいずれかに記載の制御装置。
（４）
上記制御部は、上記フォーマットに準拠した一周あたりのウォブル数を満たすように、上記信号の遅延量を調整する（１）から（３）のいずれかに記載の制御装置。
（５）
上記制御部は、上記ウォブル数を満たすための参照時間を基準にして、上記信号の遅延量を調整する（４）に記載の制御装置。
（６）
上記フォーマットは、ＺＣＡＶフォーマットである（１）から（５）のいずれかに記載の制御装置。
（７）
上記制御部は、一周のうちの一部の領域でウォブル数が増加するように、上記信号の遅延量を調整する（１）に記載の制御装置。
（８）
上記制御部は、一周のうちのその他の領域で一方の側の隣接ウォブルと位相が一致するように、上記信号の遅延量を調整する（７）に記載の制御装置。
（９）
上記一部の範囲は、エラー訂正ブロックよりも小さい（７）から（８）のいずれかに記載の制御装置。
（１０）
上記制御部は、上記遅延部の遅延量が閾値を超えると、一周のうちの一部の領域でウォブル数が増加するように、上記信号の遅延量を調整する（７）から（９）のいずれかに記載の制御装置。
（１１）
上記一部の領域は、放射状に分割された複数の分割領域のうちの一つであり、
上記制御部は、上記複数の分割領域のウォブル数を順番に増加させる（７）から（１０）のいずれかに記載の制御装置。
（１２）
上記制御部は、上記複数の分割領域のすべてでウォブル数を増加させたら、上記遅延量の基準となる参照時間を更新する（１１）に記載の制御装置。
（１３）
ＣＬＶ方式で回転する原盤に対して情報記録媒体フォーマットを満たす露光パターンが形成されるように、上記原盤の露光に用いる信号の遅延量を調整する
ことを含む制御方法。
（１４）
信号を生成する信号生成装置と、
上記信号に基づき、原盤を露光する露光装置と、
上記信号生成装置から上記露光装置に供給する上記信号の遅延量を調整する制御装置と、
を備え、
上記制御装置は、
原盤の露光に用いる信号を遅延させる遅延部と、
ＣＬＶ方式で回転する原盤に対して情報記録媒体フォーマットを満たす露光パターンが形成されるように、上記信号の遅延量を調整する制御部と、
を備える原盤作製装置。
（１５）
上記信号生成装置は、固定クロックを用いて上記信号を生成する（１４）に記載の原盤作製装置。
（１６）
上記露光装置は、原盤を回転させる駆動部を含み、
上記制御装置は、上記駆動部の回転により生成されるＦＧ信号を用いて参照時間を求め、該参照時間に基づき上記信号の遅延量を調整する（１４）から（１５）のいずれかに記載の原盤作製装置。
【符号の説明】
【００８７】
１    原盤
２    基板
３    形状層
１１    フォーマッタ
１２    タイミングフィッタ
１３    カッター
２１    制御部
２２    ＡＤ変換部
２３    補間機能付きディレイライン
３１    ゾーン切替処理部
３２    参照時間生成部
３３    ゾーン内時間経過カウント部
３４    加算器
３５    サーボフィルタ
３６    補正クロック生成部
３７    角度領域増分管理部
４１    ２値化部
４２    ＭＳＫ除去部４２
４３    ＰＬＬ部
【図１】
2014142978.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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