(57)【要約】【課題】設定された流量でフラックスが基板に塗布されているか否かを簡易かつ低コストに確認する。【解決手段】フラックス塗布装置１００は、操作表示部により設定された流量でフラックスが塗布されているかを確認する流量確認動作や塗布補正動作時に、設定された流量によりフラックスが塗布されるフラックス空吹き部２０を備える。フラックス空吹き部２０は、逆Ｌ字状に折り曲げられた平板部材から構成され、ノズル部３０との対向側がフラックスＦｘが塗布される被塗布面２０ｄとなっている。被塗布面２０ｄには、塗布されたフラックスが垂れないようにするためのフィルタ部材２４が取り付けられている。ノズル部３０と加圧タンクとの間には流量計が設置され、フラックス空吹き部２０にフラックスを塗布しているときの流量が測定され、この流量に基づいてタンク加圧のフィードバック制御等が行われる。【選択図】図２
2014197630.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板にフラックスを塗布するフラックス塗布装置であって、
前記基板の平面方向および当該平面方向に直交する方向の少なくも一方に移動可能に設けられたノズル部と、
前記ノズル部から塗布される前記フラックスの流量を設定するための設定部と、
前記設定部により設定された前記流量で前記フラックスが塗布されているかを確認するときに、前記設定された流量により前記フラックスが塗布されるフラックス流量確認部と
を備えることを特徴とするフラックス塗布装置。
【請求項２】
前記フラックス流量確認部は、前記基板の搬送方向に直交する方向に延びる平板部材を有し、当該平板部材が前記ノズル部の上方に所定間隔を隔てて設けられた
ことを特徴とする請求項１に記載のフラックス塗布装置。
【請求項３】
前記平板部材の前記ノズル部と対向する被塗布面には、前記ノズル部から塗布された前記フラックスが垂れないようにするためのフィルタ部材が取り付けられた
ことを特徴とする請求項２に記載のフラックス塗布装置。
【請求項４】
前記フラックスが収容されるタンク内に加圧空気を供給することで前記フラックスを前記ノズル部に搬送する加圧空気供給部と、
前記設定部で設定された前記流量により前記ノズル部に供給される前記フラックスの流量を測定する測定部と、
前記測定部により測定された前記フラックスの現在流量を予め設定された基準流量に調整するための加圧補正量を算出する制御部と、
前記加圧空気部からの前記加圧空気を前記制御部から供給される加圧補正量に応じて調整して前記タンクに供給する圧力調整部と
を備えることを特徴とする請求項１から請求項３の何れか一項に記載のフラックス塗布装置。
【請求項５】
基板にフラックスを塗布するフラックス塗布装置であって、
前記基板の平面方向および当該平面方向に直交する方向の少なくも一方に移動可能に設けられたノズル部と、
前記ノズル部から塗布される前記フラックスの流量を設定するための設定部と、
前記フラックスが収容されるタンク内に加圧空気を供給することで前記フラックスを前記ノズル部に搬送する加圧空気供給部と、
前記設定部で設定された前記流量により前記ノズル部に供給される前記フラックスの流量を測定する測定部と、
前記測定部により測定された前記フラックスの現在流量を予め設定された基準流量に調整するための加圧補正量を算出する制御部と、
前記加圧空気部からの前記加圧空気を前記制御部から供給される加圧補正量に応じて調整して前記タンクに供給する圧力調整部と
を備えることを特徴とするフラックス塗布装置。
【請求項６】
基板にフラックスを塗布するフラックス塗布装置であって、
前記基板の平面方向および当該平面方向に直交する方向の少なくも一方に移動可能に設けられたノズル部と、
前記フラックスが収容されるタンク内に加圧空気を供給することで前記フラックスを前記ノズル部に搬送する加圧空気供給部と、
前記ノズル部からのフッラクス塗布幅を設定するための塗布幅設定部と、
前記ノズル部から塗布される前記フラックスの流量を設定するための流量設定部と、
前記設定部で設定された前記流量により前記ノズル部に供給される前記フラックスの流量を測定する流量測定部と、
前記測定部により測定された前記フラックスの現在流量を予め設定された基準流量に調整するための加圧補正量を算出する制御部と、
前記加圧空気部からの前記加圧空気を前記制御部から供給される加圧補正量に応じて調整して前記タンクに供給する圧力調整部と
を備えることを特徴とするフラックス塗布装置。
【請求項７】
設定された流量でフラックスが塗布されているかを確認するときに、前記設定された流量で前記フラックスが塗布されるフラックス流量確認部を備えたフラックス塗布装置におけるフラックス塗布方法であって、
前記基板の平面方向および当該平面方向に直交する方向の少なくも一方に移動可能なノズル部から塗布する前記フラックスの流量を設定する第１のステップと、
前記第１のステップにより設定された前記流量で前記フラックス流量確認部に前記フラックスを塗布する第２のステップと
を有することを特徴とするフラックス塗布方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品が実装された基板にフラックスを塗布するフラックス塗布装置およびフラックス塗布方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のはんだ付けには自動はんだ付け装置が使用されている。自動はんだ付け装置では、先ず、電子部品が実装されたプリント基板の全面または所定の部分に、フラックス塗布装置によりフラックスが塗布される。フラックスが塗布された基板は、プリヒート装置により予備加熱された後、噴流はんだ槽においてプリント基板のはんだ付け部に溶融はんだが付着されることではんだ付けが行われる。
【０００３】
ところで、上記フラックス塗布装置において使用されるフラックスは、周囲環境の温度変化に伴ってフラックスの温度も変化する。フラックスの温度が変化すると、フラックスの粘度が変化し、これに伴ってフラックスの流量の変化を引き起こしてしまう場合があった。フラックスの流量が変化してしまうと、プリント基板へのフラックスの「塗布量」に影響が生じてしまい、安定した均一なフラックスの塗布が行えないという問題があった。
【０００４】
このような問題を解決するために、特許文献１には、フラックス供給タンク内のフラックスを所定温度に保つ温度制御装置を設けると共に、フラックス供給容器と噴霧ノズルとの間でフラックスを循環させるフラックスの流路およびポンプを備えたフラックス塗布装置が開示されている。また、特許文献２および３には、制御部によって噴出速度、噴出間隔、基板搬送、はんだの温度等の制御を行うことによりフラックスを最適な塗布量とするフラックス塗布装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００１−３００３５８号公報
【特許文献２】特開平９−８３１２０号公報
【特許文献３】特開平１１−１３５９３１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記特許文献１〜３に開示されるフラックス塗布装置では以下のような問題がある。すなわち、引用文献１〜３に開示されるフラックス塗布装置によれば、フラックスの温度等を制御することはできるが、フラックスの塗布は電子部品が搭載された実際の生産ラインのプリント基板に対して行われるので、フラックスが設定した流量でプリント基板に塗布されたか否かを確認することが困難であるという問題があった。
【０００７】
そこで、本発明は、上記課題を解決するものであって、電子部品が搭載された実際の生産ラインのプリント基板に対してフラックスを塗布するに際して、事前にフラックスの塗布量が設定できると共に、この設定された一定のフラックス塗布量で、フラックスが基板に塗布され、最終工程であるはんだ付け工程で安定した品質のはんだ付けを行うことが可能なフラックス塗布装置およびフラックス塗布方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上述した課題を解決するために、本発明に係るフラックス塗布装置は、基板にフラックスを塗布するフラックス塗布装置であって、基板の平面方向および当該平面方向に直交する方向の少なくも一方に移動可能に設けられたノズル部と、ノズル部から塗布されるフラックスの流量を設定するための設定部と、設定部により設定された流量でフラックスが塗布されているかを確認するときに、設定された流量によりフラックスが塗布されるフラックス流量確認部とを備えるものである。
【０００９】
また本発明に係るフラックス塗布装置は、基板にフラックスを塗布するフラックス塗布装置であって、前記基板の平面方向および当該平面方向に直交する方向の少なくも一方に移動可能に設けられたノズル部と、前記ノズル部から塗布される前記フラックスの流量を設定するための設定部と、前記フラックスが収容されるタンク内に加圧空気を供給することで前記フラックスを前記ノズル部に搬送する加圧空気供給部と、前記設定部で設定された前記流量により前記ノズル部に供給される前記フラックスの流量を測定する測定部と、前記測定部により測定された前記フラックスの現在流量を予め設定された基準流量に調整するための加圧補正量を算出する制御部と、前記加圧空気部からの前記加圧空気を前記制御部から供給される加圧補正量に応じて調整して前記タンクに供給する圧力調整部とを備えるものである。
【００１０】
また本発明に係るフラックス塗布装置は、基板にフラックスを塗布するフラックス塗布装置であって、前記基板の平面方向および当該平面方向に直交する方向の少なくも一方に移動可能に設けられたノズル部と、前記フラックスが収容されるタンク内に加圧空気を供給することで前記フラックスを前記ノズル部に搬送する加圧空気供給部と、前記ノズル部からのフッラクス塗布幅を設定するための塗布幅設定部と、前記ノズル部から塗布される前記フラックスの流量を設定するための流量設定部と、前記設定部で設定された前記流量により前記ノズル部に供給される前記フラックスの流量を測定する流量測定部と、前記測定部により測定された前記フラックスの現在流量を予め設定された基準流量に調整するための加圧補正量を算出する制御部と、前記加圧空気部からの前記加圧空気を前記制御部から供給される加圧補正量に応じて調整して前記タンクに供給する圧力調整部とを備えるものである。
【００１１】
さらに本発明に係るフラックス塗布方法は、設定された流量でフラックスが塗布されているかを確認するときに、設定された流量でフラックスが塗布されるフラックス流量確認部を備えたフラックス塗布装置におけるフラックス塗布方法であって、基板の平面方向および当該平面方向に直交する方向の少なくも一方に移動可能なノズル部から塗布するフラックスの流量を設定する第１のステップと、第１のステップにより設定された流量でフラックス流量確認部にフラックスを塗布する第２のステップとを有するものである。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、電子部品が搭載された実際の生産ラインのプリント基板に対してフラックスを塗布するに際して、事前にフラックスの塗布量を設定できると共に、この設定された一定のフラックス塗布量で、フラックスが基板に塗布されるので、最終工程であるはんだ付け工程で安定した品質のはんだ付けを行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の一実施形態に係るフラックス塗布装置の構成例を示す正面図である。
【図２】フラックス塗布装置のＡ−Ａ線に沿った断面図の構成例を示す図である。
【図３】フラックス塗布装置の構成例を示す斜視図である。
【図４】フラックス塗布装置のフラックス塗布幅を確認するための構成例を示す図である。
【図５】フラックス塗布装置の構成例を示す機能ブロック図である。
【図６】フラックスの流量と圧力との関係例を示すグラフである。
【図７】フラクサ塗布補正画面の構成例を示す図である。
【図８】フラックス塗布装置におけるフラックスの基準流量を設定する一例を示すフローチャートである。
【図９】フラックス塗布装置における塗布補正動作の一例を示すフローチャートである。
【図１０】フラックス塗布装置における流量確認動作の一例を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、発明を実施するための最良の形態（以下実施の形態とする）について説明する。  ［フラックス塗布装置の構成例］
図１はフラックス塗布装置１００の構成例を示す平面図であり、図２は図１に示すフラックス塗布装置１００のＡ−Ａ線に沿った断面図である。図３、フラックス塗布装置１００の構成例を示す斜視図である。なお、図１〜図３において、移動部１４等の詳細な説明は便宜上省略している。
【００１５】
図１〜図３に示すように、フラックス塗布装置１００は、フラクサタンク１０とノズル部３０と搬送部１８とフラックス空吹き部２０とを備えている。フラクサタンク１０は、自動はんだ付け装置の入口付近に設置され、その内部には後述するフラックスＦｘが収容された加圧タンク６２や制御装置５０等が配設されると共に、その上面部にはノズル部３０等が配設される開口部１２が形成されている。
【００１６】
ノズル部３０は、フラクサタンク１０の開口部１２に、移動部１４（図５参照）によりＸ−Ｙ−Ｚ方向に移動可能に支持されている。本例では、２個のノズル部３０が設置されており、搬送方向Ｄ１に１個のパレット上にプリント基板が２枚載置されて搬送されてきたときに、パレットに保持されている各基板に対して同時にそれぞれ予め設定された所定の正規位置（ホームポジション）からフラックスＦｘの塗布動作が行えるように構成されている。もちろん、１個のパレット上にプリント基板が１枚載置される場合には、ノズル部３０を１個で構成することもできる。このように生産の形態によってノズルの個数、配置の変更は種々自由自在に行うことができる。
【００１７】
搬送部１８は、基板の搬送方向Ｄ１に沿って延在した一対のレールから構成され、自動はんだ付け装置の入口から搬入される基板をフラックスＦｘの塗布位置まで搬送し、フラックスＦｘの塗布が終了したらその基板を次工程のプリヒータ部に搬送する。
【００１８】
フラックス空吹き部２０は、フラックス流量確認部の一例であり、上述した所定の正規位置（ホームポジション）とは異なる位置に設置されており、一例としてパレットが搬送されてきたときに、パレットに保持されている基板の位置から外れた位置に設けられており、後述する操作表示部７０で設定された流量によりフラックスＦｘが基板に塗布されているか否かを確認する流量確認動作や塗布補正動作時に使用されるものである。ここで、流量確認動作とは、フラックス空吹き部２０にフラックスＦｘを塗布することでフラックスＦｘの現在流量を確認するときや、塗布補正動作時の加圧補正量を算出する際に使用される係数を取得するときに実行する制御動作である。塗布補正動作とは、フラックス空吹き部２０にフラックスＦｘを塗布して現在流量を取得し、この現在流量と予め設定された基準流量とに基づいて流量が正常範囲となるような加圧補正量を算出し、この算出した加圧補正量にタンク加圧を変更した後、再度フラックスＦｘをフラックス空吹き部２０に塗布してこのときのフラックスＦｘの流量を確認するための制御動作である。
【００１９】
フラックス空吹き部２０は、水平部２０ａと垂直部２０ｂとを有する逆Ｌ字状に折り曲げられた平板部材により構成され、垂直部２０ｂの下端に連設された取り付け部２０ｃを介してフラクサタンク１０に着脱可能に取り付けられている。フラックス空吹き部２０には、例えば樹脂材料や金属材料が用いられる。フラックス空吹き部２０は、その長手方向が開口部１２の端縁１２ａ，１２ｂのそれぞれに沿うようにして設置され、フラックスＦｘの塗布位置に搬送される基板とは重ならない外側の領域に設けられる。
【００２０】
フラックス空吹き部２０の水平部２０ａは、開口部１２を臨むようにして開口部１２の上方に延出しており、水平部２０ａのノズル部３０との対向側が流量確認動作時や塗布補正動作時にフラックスＦｘが塗布される被塗布面２０ｄとなっている。この被塗布面２０ｄには、塗布されたフラックスＦｘが容易に垂れないようにするための例えばメッシュ構造のフィルタ部材２４が貼り付けられている。フィルタ部材２４には例えばフラックスにより腐食したり容易に劣化しにくいニッケル等の金属材料が用いられ、被塗布面２０ｄに対して交換可能に取り付けられている。フラックス空吹き部２０の構造や材質は本例に限定されるものではない。
【００２１】
フラックス空吹き部２０の長手方向の長さＬ１は、ノズル部３０を走査しながらフラックスＦｘの塗布が安定して開始される距離を有するように選定され、短手方向の長さＬ２は、理想とされるフラックスＦｘの塗布幅よりも若干広くなるように選定される。本例の場合、長手方向の長さＬ１は２００ｍｍに設定され、また、短手方向の長さＬ２は２０ｍｍに設定されている。ノズル部３０の先端とフラックス空吹き部２０の被塗布面２０ｄとの間隔Ｗ１は例えば１０ｍｍに選定される。このように構成することで、ノズル部３０が塗布位置ＰＡ，ＰＢに移動したときに丁度上方にフラックス空吹き部２０の被塗布面２０ｄが位置して塗布できるようになる。
【００２２】
また、フラックスＦｘの塗布幅は、本例の場合、８ｍｍ〜１０ｍｍに設定される。この塗布幅の設定は、実際の基板と同じサイズのダミーのガラス板Ｇ（図３及び図４参照）を使用して行われる。具体的には、基準となる所定の塗布幅確認マーク（Ｍ１＝８ｍｍ、Ｍ２＝１０ｍｍ）が印刷されたガラス板Ｇの下方の正規位置（ホームポジション）に位置しているノズル部３０からフラックスＦｘを予め設定された加圧値で塗布し、所定の塗布幅となるように、ノズル部３０の先端部分に設けられ図示しないフラックスＦｘの塗布幅を設定するための塗布幅設定部として機能する調整部を調整することによって塗布幅の設定がなされる。このときの予め設定された加圧値が基準加圧値となり、設定された塗布幅が基準塗布幅となる。本例の場合、基準加圧値は０．０８Ｐａ、基準塗布幅は８ｍｍ〜１０ｍｍに設定される。この予め設定された基準加圧値および基準塗布幅の状態でフラックスＦｘの塗布を行った場合におけるフラックスＦｘの流量が、以下で説明するフラックスの流量を制御するための基準流量（正常流量）となる。上記のフラックス空吹き部２０の長手方向の長さＬ１、短手方向の長さＬ２、フラックスＦｘの塗布幅基準加圧値、基準塗布幅等のパラメータの数値は適宜決定され得る値である。
【００２３】
［ラックス塗布装置のブロック構成例］
図５は、本発明の一実施形態に係るフラックス塗布装置１００の機能構成の一例を示している。図５に示すように、フラックス塗布装置１００は、ノズル部３０と移動部１４と駆動部５２と流量計６０と加圧タンク６２と電空レギュレータ６６とエア供給部６８と電磁弁６４と操作表示部７０とを備えている。
【００２４】
制御装置５０は、例えばプログラマブルロジックコントローラから構成され、ＲＯＭやＲＡＭ等のメモリ５０ａを有している。制御装置５０は、操作表示部７０等の入力機器からの指令信号に基づいてどの出力機器を動作・停止させるか等のプログラムをメモリ５０ａに記憶し、各入力機器から指令信号が入力されたときにプログラムをメモリ５０ａから読み出して出力機器の動作を制御する。また、制御装置５０は、塗布補正動作時において、流量計６０により測定されたフラックスＦｘの現在流量と予め設定されている上述した塗布幅の設定時の流量を基準とした基準流量（正常流量）との差分から、フラックスＦｘの流量を正常流量に補正するための加圧補正量（加圧タンク６２の加圧量）を算出し、算出した加圧補正量を電空レギュレータ６６に供給する。なお、加圧補正量の算出方法については後述する。
【００２５】
エア供給部６８は、加圧空気供給の一例であり、例えばコンプレッサ等から構成されている。エア供給部６８は、制御装置５０からの指令信号Ｓａに基づいて空気を圧縮した加圧エアを生成し、生成した加圧エアを配管Ｈ１を介して一定の加圧値にて、電空レギュレータ６６に供給する。本例の場合、エア供給部６８から基準加圧値の０．０８Ｐａが、供給されている。
【００２６】
電空レギュレータ６６は、電磁弁６４とエア供給部６８との間に設置され、制御装置５０から出力される指令信号Ｓｒに基づいて内部に設けられた弁等を制御することで、エア供給部６８から供給される加圧エアを指令信号Ｓｒに応じた圧力に調整して加圧タンク６２に出力する。指令信号Ｓｒは、流量計６０により測定された現在流量測定値Ｄｆに基づいてフラックスＦｘの温度変化により変化した流量を正常流量に補正するために、流量計６０の測定結果に基づいて制御装置５０で算出された加圧タンク６２の加圧補正量である。
【００２７】
電磁弁６４は、加圧タンク６２と電空レギュレータ６６との間に設置され、制御装置５０から供給される指令信号Ｓｂに基づいて開閉することで加圧タンク６２への加圧エアの供給を制御する。例えば、塗布補正動作時に電磁弁６４が開くと、電空レギュレータ６６によって圧力補正された加圧エアが配管Ｈ２を介して加圧タンク６２に供給される。
【００２８】
加圧タンク６２は密閉型の容器であって、内部には所定量のフラックスＦｘが収容されている。フラックスＦｘには、有機溶剤が使用され、例えば、ＩＰＡ（イソプロピルアルコール）等が使用される。このフラックスＦｘは、加圧タンク６２内に設置された図示しないフラックスＦｘの量を検知するセンサの出力に応じて図示しないフラックス缶から供給される。エア供給部６８から配管Ｈ２を介して加圧タンク６２に加圧エアが供給されると、内部のフラックスＦｘが加圧エアの圧力によりノズル部３０に搬送される。
【００２９】
流量計６０は、計測部の一例であり、加圧タンク６２とノズル部３０との間の配管Ｈ３に設置されている。流量計６０は、加圧タンク６２とノズル部３０との間の配管Ｈ３に流れるフラックスＦｘの現在流量を測定し、測定により得られた現在流量測定値Ｄｆ（アナログ電圧）を制御装置５０に供給する。
【００３０】
ノズル部３０は、配管Ｈ３を介して加圧タンク６２に接続され、加圧タンク６２から供給されるフラックスＦｘをノズル部３０から塗布する。駆動部５２は、例えばステッピングモータやサーボモータ等から構成され、制御装置５０から出力される指令信号Ｓｋに基づいて駆動して移動部１４をＸ方向、Ｙ方向またはＺ方向に移動させる。本例では、Ｘ方向は基板の搬送方向Ｄ１に相当し、Ｙ方向は搬送方向Ｄ１に直交する直交方向Ｄ２に相当している。移動部１４は、例えば３次元に移動可能なＸＹＺステージから構成され、駆動部５２の駆動によりノズル部３０をＸ方向、Ｙ方向またはＺ方向に移動させる。もちろん、２次元に移動可能なＸＹステージを用いても良い。
【００３１】
操作表示部７０は、例えば抵抗膜方式や静電容量方式等のタッチパネルから構成され、例えば自動はんだ付け装置の正面部に設置されている。操作表示部７０は、ユーザの入力操作に基づく入力情報を検知して操作信号Ｓｏを制御装置５０に供給すると共に、種々の情報の入力機能の他に入力された情報等の表示も行う。例えば、操作表示部７０は、塗布補正動作の開始情報や、予め設定される係数（式（１），式（２）参照）等の入力を受け付けたり、上述した基準加圧値および基準塗布幅の状態で得られたフラックスＦｘの基準流量の設定を受け付ける流量設定部（設定部）としても機能し、この受け付けた設定に基づく操作信号を制御装置５０に供給する。なお、この基準流量は、制御装置５０によって自動的に設定するようにしても良い。
【００３２】
［加圧補正量の算出例］
次に、塗布補正動作時に算出される加圧補正量について説明する。加圧補正量は、エア供給部６８から供給される加圧エアの基準加力値を電空レギュレータ６６で調整することで、温度変化により変化したフラックスＦｘの流量を正常な基準流量範囲に戻すための加圧値であり、塗布補正動作において下記式（１）および式（２）により算出される。
【００３３】
流量差＝基準流量−現在流量          ・・・（１）
加圧補正量＝流量差×係数            ・・・（２）
上記式（１）において、基準流量とは、上述のように予め設定された基準加圧値および基準塗布幅の状態でフラックスＦｘの塗布を行った場合におけるフラックスＦｘの流量で
ある。本例では、基準加圧値が０．０８Ｐａ、基準塗布幅が８ｍｍ〜１０ｍｍの範囲で塗布を行った場合の基準流量７５０μｌ／min.を示している。基準流量、基準加圧値および基準塗布幅の情報は、制御装置５０のメモリ５０ａに予め記憶される。現在流量とは、流量計６０によって測定された配管Ｈ３を通過する現在のフラックスＦｘの流量である。
【００３４】
続けて、上記式（２）の係数の算出方法の一例について説明する。図６は、フラックスＦｘの流量と加圧エアとの関係の一例を示すグラフである。本例において係数は、流量計６０により取得したフラックスＦｘの現在流量測定値Ｄｆを加圧値に変換する際に用いられる変換係数であり、例えば流量確認動作時に算出される。係数の算出では、図６に示すように、加圧Ｐ１を０．０５ＭＰａとしたときのフラックスＦｘの流量Ｆ１を流量計６０により測定する。このときのフラックスＦｘの流量Ｆ１を５００μｌ／ｍｉｎとする。さらに、加圧Ｐ２を０．１ＭＰａとしたときのフラックスＦｘの流量Ｆ２を流量計６０により測定する。このときの流量Ｆ２を１０００μｌ／ｍｉｎとする。係数は、このような流量確認動作を行って得た、２点の加圧Ｐ１，Ｐ２と、これらの加圧Ｐ１，Ｐ２におけるフラックスＦｘの各流量Ｆ１，Ｆ２とを下記の式（３）に代入することにより算出される。
係数＝（加圧Ｐ２−加圧Ｐ１）／（流量Ｆ２−流量Ｆ１）    ・・・（３）
上記式（３）により算出された係数は、制御装置５０のメモリ５０ａに保存され、塗布補正時に制御装置５０によって読み出されて使用される。
【００３５】
［操作表示部の画面の構成例］
図７は、操作表示部７０に表示されるフラクサ塗布補正画面７０ａの一例を示している。図７に示すように、フラクサ塗布補正画面７０ａの中央部右側には、塗布補正動作を開始する場合に押下する補正ボタン７００が表示される。補正ボタン７００が押下されると塗布補正動作が開始される。塗布補正動作は、タイマ設定によって自動的に開始するようにしても良い。
【００３６】
フラクサ塗布補正画面７０ａの中央部左側には、上記式（１）の数式＋数値を示す式情報７０２が表示され、その上方には上記式（２）の数式＋数値を示す式情報７０４が表示される。塗布補正動作が開始されると、流量計６０により取得された現在流量が式情報７０２に表示されると共に、制御装置５０により算出された加圧補正量等の数値が式情報７０２，７０４のそれぞれに表示される。自動運転中に塗布補正動作が行われる場合にはフラクサ補正中のアイコン７０６が点滅表示される。フラクサ塗布補正画面７０ａの下部右側には、塗布補正動作により得られる加圧量の補正結果７０８が表示されると共にその下方に流量の補正結果７１０に表示される。補正結果７０８、７１０の数値が目標値に対して例えば±１０％を越える値となった場合には、「ＥＲＲＯＲ」が表示される。「ＥＲＲＯＲ」が表示された場合には、補正ボタン７００を押下し、再度、塗布補正動作を開始する。
【００３７】
フラクサ塗布補正画面７０ａの下部右側には、流量確認動作を行う場合に加圧の設定を入力するための加圧入力欄７１２と、入力を確定するための変更ボタン７１４とが表示される。加圧入力欄７１２で圧力を入力し、変更ボタン７１４を押下することで、加圧が確定される。フラクサ塗布補正画面７０ａの上部右側には、現在の加圧を示す現在加圧値７１６が表示される。変更ボタン７１４の右側には、確認流量７２０が表示され、その上方には確認流量７２０を確定するための確認ボタン７１８が表示される。さらに、フラックスＦｘの塗布を開始してから流量が安定するまでは所定の時間を要するため遅延時間を設定・表示する開始遅延時間ボタン７２２が設けられている。
【００３８】
[基準流量の設定例]
図８は、後述するフラックス塗布装置１００の塗布補正動作を行うに際して、事前に基準加圧値、基準塗布幅、及び、基準流量を設定する動作の一例を示すフローチャートである。基準流量の設定について説明する。このフローにおいては、先ず、ノズル部３０は正規位置（ホームポジション）に位置している（ステップＳ１０）と共にノズル部３０の上方にはダミーのガラス板Ｇが位置している。この状態でガラス板Ｇの下方からノズル部３０によってフラックスを正規位置（ホームポジション）から予め設定された加圧値（基準加圧値）でガラス板Ｇに塗布する（ステップＳ２０）。
【００３９】
ガラス板Ｇの塗布幅確認マークＭ１、Ｍ２で基準塗布幅の範囲でフラックスが塗布されているかどうかを確認する（ステップＳ３０）。基準塗布幅の範囲内で塗布されている場合には、その時に計測された（ステップＳ４０）フラックスの流量が基準流量として設定される（ステップＳ５０）。また、ステップＳ３０でフラックスの塗布幅が基準塗布幅の範囲にない場合には、ノズル部３０の図示しない塗布幅設定部としての調整部を周知の方法で調整する（ステップＳ６０）。調整後は、再度、ステップＳ２０、Ｓ３０でフラックスの塗布幅が基準塗布幅の範囲にあるかどうかを確認する。
【００４０】
このようなステップを経て、予め設定された基準加圧値および基準塗布幅の状態でフラックスＦｘの塗布を行った場合におけるフラックスＦｘの流量が、以下で説明するフラックスの流量を制御するための基準流量（正常流量）として操作表示部７０により設定される。本例の場合、基準加圧値０．０８Ｐａ、基準塗布幅８ｍｍ〜１０ｍｍ、基準流量７５０μｌ／min.がそれぞれ基準として設定される。
【００４１】
［フラックス塗布装置の塗布補正動作例］
図９は、フラックス塗布装置１００の塗布補正動作を行う場合における制御装置５０の動作の一例を示すフローチャートである。なお、以下の説明では、図１中の一方のフラックス空吹き部２０を用いてフラックス塗布補正動作を行う場合について説明する。
【００４２】
このフローでは、図８で示すフローで設定された基準加圧値、基準塗布幅を基に設定された基準流量を一定値に維持する制御がなされる。
【００４３】
先ず、図９に示すように、ステップＳ１００で制御装置５０は、塗布補正動作を開始するか否かを判断する。塗布補正動作を開始するかは、例えば３０分に１回、塗布補正動作を行うタイマ設定となっている場合には前回の塗布補正動作から３０分が経過したか否かにより判断し、タイマ設定となっていない場合にはフラクサ塗布補正画面７０ａの補正ボタン７００が押されたか否かを判断する。このとき、基板へのフラックスＦｘの塗布動作を実際に行っている場合には、パレットが次工程のプリヒータに移動するまで待機状態とすると共に、フラックス塗布装置１００にパレットを搬送しないよう制御を行う。一方、塗布補正動作が開始されないと判断した場合には待機状態となる。
【００４４】
ステップＳ１１０で制御装置５０は、運転モードが塗布補正動作に移行すると、駆動部５２を駆動してノズル部３０を塗布位置ＰＡに移動させる（図１参照）。塗布位置ＰＡとは、フラックス空吹き部２０の長手方向の一端部（図１中手前側）の位置を意味している。
【００４５】
ステップＳ１２０で制御装置５０は、電磁弁６４を開状態として加圧エアを加圧タンク６２に供給することでノズル部３０からフラックスＦｘをフラックス空吹き部２０に塗布させる。このとき、加圧は例えば基準加圧値の０．０８ＭＰａに設定されている。なお、このステップＳ１２０では、ノズル部３０からフラックスを吐出させたフラックス塗布開始状態となるが、ノズル部３０の塗布位置ＰＡからＰＢへの移動（走査）は、ステップＳ１３０の遅延時間経過後に開始される。これは、フラックスＦｘの塗布を開始してから流量が安定するまでは所定の時間を要するからである。制御装置５０は、ステップＳ１３０で遅延時間が経過したか否かを判断する。遅延時間が経過したと判断した場合にはステップＳ１４０に進み、遅延時間が経過していないと判断した場合には遅延時間が経過するまで待機する。遅延時間経過後は、ステップＳ１４０で、ノズル部３０を塗布位置ＰＡから塗布位置ＰＢへ移動（走査）させる。なお、塗布位置ＰＢとは、フラックス空吹き部２０の長手方向の他端部（図１中奥側）の位置を意味している。
【００４６】
ステップＳ１５０で制御装置５０は、ノズル部３０が塗布位置ＰＡから塗布位置ＰＢへ移動（走査）する際のフラックス流量を取得する。具体的には、流量計６０により測定された加圧タンク６２からノズル部３０に供給されたフラックスＦｘの現在流量を取得して図７で示す操作表示部７０のフラクサ塗布補正画面７０ａに表示させる。この現在流量の取得はステップＳ１１０〜ステップＳ１４０を複数回行い、平均流量を現在流量としても良い。
【００４７】
ステップＳ１６０で制御装置５０は、取得したフラックスＦｘの現在流量に基づいて加圧補正量を算出する。制御装置５０は、上記式（１）を用いて基準流量から現在流量を減算して流量差を算出し、上記式（２）を用いて流量差に係数を乗算することで加圧補正量を算出する。  
ステップＳ１７０で制御装置５０は、ノズル部３０が塗布位置ＰＢに到達したら、電磁弁６４を閉状態としてノズル部３０からのフラックスＦｘの塗布を停止させる。
【００４８】
ステップＳ１８０で制御装置５０は、基準加圧値に算出した加圧補正量を加味してタンク加圧を変更する。制御装置５０は、変更した加圧補正量に基づく指令信号Ｓｒを電空レギュレータ６６に供給する。これにより、電空レギュレータ６６は、フラックスＦｘの温度変化等により変化したフラックスＦｘの流量を基準流量に戻すような圧力に、エア供給部６８から供給される圧力を調整して加圧タンク６２に供給する。
【００４９】
ステップＳ１９０で制御装置５０は、加圧を変更したら、電磁弁６４を開状態として加圧エアを加圧タンク６２に供給することでノズル部３０からフラックスＦｘをフラックス空吹き部２０に塗布させる。このときの加圧は、制御装置５０によってフィードバックされた加圧補正量に応じた加圧値である。なお、このステップＳ１９０では、ノズル部３０からフラックスを吐出させたフラックス塗布開始状態となるが、ノズル部３０の塗布位置ＰＢからＰＡへの移動（走査）は、ステップＳ２００の遅延時間経過後に開始される。これは、フラックスＦｘの塗布を開始してから流量が安定するまでは所定の時間を要するからである。
【００５０】
制御装置５０は、ステップＳ２００で遅延時間が経過したか否かを判断する。遅延時間が経過したと判断した場合にはステップＳ２１０に進み、遅延時間が経過していないと判断した場合には遅延時間が経過するまで待機する。遅延時間経過後は、ステップＳ２１０で、ノズル部３０を塗布位置ＰＢから塗布位置ＰＡへ移動させながら、ノズル部３０からフラックスＦｘをフラックス空吹き部２０に塗布させる。
【００５１】
ステップＳ２２０で制御装置５０は、ノズル部３０が塗布位置ＰＢから塗布位置ＰＡへ移動（走査）する際のフラックス流量を取得する。具体的には流量計６０により測定された加圧タンク６２からノズル部３０に供給されたフラックスＦｘの現在流量を取得する。取得した現在流量は、フラクサ塗布補正画面７０ａの流量の補正結果７１０に補正後流量として表示されるので、ユーザはフラックスＦｘの流量が塗布補正動作により正常範囲に戻ったか否かを容易に確認することができる。
【００５２】
ステップＳ２３０で制御装置５０は、ノズル部３０が塗布位置ＰＡに到達したら、駆動部５２を駆動してノズル部３０をホームポジションに移動させる。このような一連の動作によりフラックス塗布補正動作が行われ、所定時間毎やユーザの入力開始操作に繰り返し実行される。
【００５３】
［フラックス塗布装置の流量確認動作例］
図１０は、フラックス塗布装置１００の流量確認動作を行う場合における制御装置５０の動作の一例を示すフローチャートである。なお、上述した塗布補正動作と共通する動作については説明を簡略化する。この流量確認動作は図７で示すフラクサ塗布補正画面７０ａの確認ボタン７１８の操作により実行される。
【００５４】
図８に示すように、ステップＳ３００で制御装置５０は、流量確認動作を開始するか否かを判断する。制御装置５０は、流量確認動作を開始すると判断した場合にはステップＳ３１０に進み、流量確認動作を開始しないと判断した場合には流量確認動作が開始されるまで待機する。
【００５５】
ステップＳ３１０で制御装置５０は、運転モードが流量確認動作に移行すると、駆動部５２を駆動してノズル部３０を塗布位置ＰＡに移動させる。
ステップＳ３２０で制御装置５０は、ノズル部３０からフラックスＦｘをフラックス空吹き部２０に塗布させる。このステップＳ３２０では、ノズル部３０からフラックスを吐出させたフラックス塗布開始状態となるが、ノズル部３０の塗布位置ＰＡからＰＢへの移動（走査）は、ステップＳ３３０の遅延時間経過後に開始される。ステップＳ３３０で制御装置５０は、遅延時間が経過したか否かを判断する。制御装置５０は、遅延時間が経過したと判断した場合にはステップＳ３４０に進み、遅延時間が経過していないと判断した場合には遅延時間が経過するまで待機する。
【００５６】
遅延時間経過後は、ステップＳ３４０で、ノズル部３０を塗布位置Ｐから塗布位置ＰＢへ移動（走査）させる。
【００５７】
ステップＳ３５０で制御装置５０は、ノズル部３０が塗布位置ＰＡから塗布位置ＰＢへ移動（走査）する際のフラックス流量を取得する。具体的には流量計６０により測定された加圧タンク６２からノズル部３０に供給されたフラックスＦｘの現在流量を取得して図７で示す操作表示部７０のフラクサ塗布補正画面７０ａの確認流量７２０に表示させる。
【００５８】
ステップＳ３６０で制御装置５０は、ノズル部３０が塗布位置ＰＢに到達したら、ノズル部３０からのフラックスＦｘの塗布を停止させる。そして、駆動部５２を駆動してノズル部３０をホームポジションに移動させる。このような一連の動作により流量確認動作が実行される。
【００５９】
以上説明したように、本実施の形態によれば、フラックスＦｘを塗布するための専用のフラックス空吹き部２０を、通常のフラクサ塗布工程で塗布される基板とは別に設けている。そのため、流量確認動作や塗布補正動作時において、設定した流量でフラックスＦｘが塗布されているか否かを、フラックス空吹き部２０への塗布中に取得したフラックスＦｘの流量や、被塗布面２０ｄに塗布された実際のフラックスＦｘの塗布幅等により確認することができる。また、この確認をフラックス空吹き部２０で行うので、塗布確認用の基板を使用することなくフラックスＦｘの流量を確認できる。これにより、設定した流量が正常範囲であるか否かを簡易かつ低コストに確認することができ、環境温度等の変化によりフラックスＦｘの流量が変化した場合でも、より高精度にフラックスＦｘの流量を制御することができる。
【００６０】
また、フラックス空吹き部２０の被塗布面２０ｄにフィルタ部材２４を取り付けているので、フラックスＦｘの基板やフラクサタンク１０への垂れを防止できる。また、フラックス空吹き部２０は、フラクサタンク１０から取り外すことができるので、一定期間が経過したらフラックス空吹き部２０を取り外して新しいフィルタ部材２４に交換することで、フラックスＦｘの垂れを確実に回避することができる。
【００６１】
また、本実施の形態によれば、フラックスＦｘの温度変化等により生じた流量の変化をフラックスＦｘの現在流量を流量計６０により測定し、この現在流量と基準流量との差分から加圧補正量を算出し、この算出した加圧補正量を電空レギュレータ６６にフィードバックするので、使用環境の変化によりフラックスＦｘの温度が変化した場合でも、フラックスＦｘの流量を一定に保つことができる。
【００６２】
さらに、本実施の形態に係る塗布補正動作によれば、フラックス空吹き部２０の塗布位置ＰＡから塗布位置ＰＢへの行きの経路でフラックスＦｘの流量変化に応じた加圧補正量を算出し、塗布位置ＰＢから塗布位置ＰＡへの帰りの経路でフィードバックした加圧補正量に基づくフラックスＦｘの流量を確認することができる。これにより、効率的に流量の補正と確認とを行うことができる。
【００６３】
なお、本発明の技術範囲は、上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において、上述した実施形態に種々の変更を加えたものを含む。上記実施の形態では、フラックス空吹き部２０をフラクサタンク１０の両端部のそれぞれに設けたが、一方の端部にのみ設けても良い。
【符号の説明】
【００６４】
２０・・・フラックス空吹き部（フラックス流量確認部）、２０ｄ・・・被塗布面、３０・・・ノズル部、５０・・・制御装置（制御部）、６０・・・流量計（測定部）、６２・・・加圧タンク、６６・・・電空レギュレータ（圧力調整部）、６８・・・エア供給部（加圧空気供給部）、１００・・・フラックス塗布装置、Ｆｘ・・・フラックス
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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