(57)【要約】【課題】送信素子と受信素子との間のクロストークを低減することができる処理装置、超音波プローブ、電子機器及び超音波診断装置等を提供すること。【解決手段】処理装置２００は、複数の超音波トランスデューサー素子と、複数の開口がアレイ状に配置された基板とを有する超音波トランスデューサーデバイス１００の処理装置であって、超音波トランスデューサーデバイス１００に対して駆動信号ＶＴ、ＶＳを出力する送信回路２１０と、超音波トランスデューサーデバイス１００からの受信信号ＶＲ１〜ＶＲｎの信号処理を行う受信回路２２０と、送信回路２１０及び受信回路２２０を制御する制御部２３０とを含む。送信回路２１０は、第１の期間において、一部の超音波トランスデューサー素子ＵＴに対して第１の駆動信号ＶＴを出力し、第１の期間に連続する期間である第２の期間において、第１の駆動信号ＶＴが出力されなかった超音波トランスデューサー素子ＵＲに対して第２の駆動信号ＶＳを出力する。【選択図】図４
2014054356.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の超音波トランスデューサー素子と、複数の開口がアレイ状に配置された基板とを有する超音波トランスデューサーデバイスの処理装置であって、
前記超音波トランスデューサーデバイスに対して駆動信号を出力する送信回路と、
前記超音波トランスデューサーデバイスからの受信信号の信号処理を行う受信回路と、
前記送信回路及び前記受信回路を制御する制御部とを含み、
前記複数の超音波トランスデューサー素子の各超音波トランスデューサー素子は、
前記複数の開口の各開口を塞ぐ振動膜と、
前記振動膜の上に設けられた下部電極、上部電極及び圧電体膜を備える圧電素子部とを有し、
前記送信回路は、
第１の期間において、前記駆動信号として、交番電圧の１周期以上で、且つ、前記交番電圧の半周期の整数倍の信号である第１の駆動信号を、前記複数の超音波トランスデューサー素子のうちの一部の超音波トランスデューサー素子に対して出力し、
前記送信回路は、
前記第１の期間に連続する第２の期間において、前記駆動信号として、前記第１の駆動信号の交番電圧と周期が同じであり、前記第１の駆動信号の交番電圧と逆位相であり、且つ前記第１の駆動信号の交番電圧より小さく時間と共に減少する振幅を有する第２の駆動信号を、前記複数の超音波トランスデューサー素子のうちの前記第１の駆動信号が出力されなかった超音波トランスデューサー素子に対して出力し、
前記受信回路は、
前記第２の駆動信号の出力が終了した後に、前記複数の超音波トランスデューサー素子のうちの前記第２の駆動信号が出力された超音波トランスデューサー素子からの受信信号の信号処理を行うことを特徴とする処理装置。
【請求項２】
請求項１において、
前記送信回路及び前記受信回路に接続される選択回路を有し、
前記選択回路は、
前記第１の期間において、前記送信回路からの前記第１の駆動信号を前記一部の超音波トランスデューサー素子に出力し、
前記第２の期間において、前記送信回路からの前記第２の駆動信号を前記第１の駆動信号が出力されなかった超音波トランスデューサー素子に出力し、
前記第２の期間の後の第３の期間において、前記第２の駆動信号が出力された超音波トランスデューサー素子からの前記受信信号を前記受信回路に出力するように選択することを特徴とする処理装置。
【請求項３】
請求項１又は２において、
前記制御部は、
第１の制御信号及び第２の制御信号を前記送信回路に対して出力し、
前記送信回路は、
前記第１の制御信号がアクティブのときは正極性の電圧となる前記第１の駆動信号又は前記第２の駆動信号を出力し、
前記第２の制御信号がアクティブのときは負極性の電圧となる前記第１の駆動信号又は前記第２の駆動信号を出力することを特徴とする処理装置。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれかにおいて、
前記送信回路は、
前記第１の駆動信号を出力する第１の送信部と、
前記第２の駆動信号を出力する第２の送信部とを有し、
前記制御部は、
第１の制御信号及び第２の制御信号を前記第１の送信部に対して出力し、
第３の制御信号及び第４の制御信号を前記第２の送信部に対して出力し、
前記制御部は、
前記第１の期間において、前記第１の制御信号及び前記第２の制御信号を前記交番電圧の周期で交互にアクティブにし、
前記第２の期間において、前記第３の制御信号及び前記第４の制御信号を前記交番電圧の周期で交互にアクティブにし、
前記第１の送信部は、
前記第１の制御信号がアクティブのときは正極性の電圧となる前記第１の駆動信号を出力し、
前記第２の制御信号がアクティブのときは負極性の電圧となる前記第１の駆動信号を出力し、
前記第２の送信部は、
前記第３の制御信号がアクティブのときは正極性の電圧となる前記第２の駆動信号を出力し、
前記第４の制御信号がアクティブのときは負極性の電圧となる前記第２の駆動信号を出力することを特徴とする処理装置。
【請求項５】
請求項４において、
前記制御部は、
前記第２の期間において、前記第２の制御信号と前記第４の制御信号とを同じタイミングでアクティブにし、前記第１の制御信号と前記第３の制御信号とを同じタイミングでアクティブにすることを特徴とする処理装置。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれかにおいて、
前記制御部は、
第１のモードでは、前記送信回路に対して、前記第１の駆動信号及び前記第２の駆動信号を出力させる制御を行い、
第２のモードでは、前記送信回路に対して、前記第１の駆動信号を出力させ、前記第２の駆動信号を非出力にする制御を行うことを特徴とする処理装置。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれかに記載の処理装置を含むことを特徴とする超音波プローブ。
【請求項８】
請求項７において、
前記第１の駆動信号が出力される超音波トランスデューサー素子を有する第１の超音波トランスデューサー素子列及び前記第２の駆動信号が出力される超音波トランスデューサー素子を有する第２の超音波トランスデューサー素子列が交互に配置される前記超音波トランスデューサーデバイスをさらに含むことを特徴とする超音波プローブ。
【請求項９】
請求項１乃至６のいずれかに記載の処理装置を含むことを特徴とする電子機器。
【請求項１０】
請求項１乃至６のいずれかに記載の処理装置と、
表示用画像データを表示する表示部とを含むことを特徴とする超音波診断装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、処理装置、超音波プローブ、電子機器及び超音波診断装置等に関する。
【背景技術】
【０００２】
対象物に向けて超音波を出射し、対象物内部における音響インピーダンスの異なる界面からの反射波を受信するための装置として、例えば人体の内部を検査するための超音波診断装置が知られている。超音波診断装置の応用例として、内臓脂肪の測定や血流量の測定など、被験体の表層の画像診断を用いたヘルスケア分野への展開が期待されている。しかし、送信素子の振動が受信素子に伝播する現象（クロストーク）があるために、超音波の出射後短時間で戻ってくる被験体の表層からのエコーを分離・検出することが難しいという問題がある。
【０００３】
この課題に対して、例えば特許文献１には、クロストークによる受信素子の振動を打ち消すような駆動信号を受信素子に対して出力する手法が開示されている。しかしながらこの手法では、薄膜圧電型超音波素子などの場合には、クロストークによる受信素子の振動を適切に抑制することができないという問題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−１７５１１９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の幾つかの態様によれば、送信素子と受信素子との間のクロストークを低減することができる処理装置、超音波プローブ、電子機器及び超音波診断装置等を提供できる。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一態様は、複数の超音波トランスデューサー素子と、複数の開口がアレイ状に配置された基板とを有する超音波トランスデューサーデバイスの処理装置であって、前記超音波トランスデューサーデバイスに対して駆動信号を出力する送信回路と、前記超音波トランスデューサーデバイスからの受信信号の信号処理を行う受信回路と、前記送信回路及び前記受信回路を制御する制御部とを含み、前記複数の超音波トランスデューサー素子の各超音波トランスデューサー素子は、前記複数の開口の各開口を塞ぐ振動膜と、前記振動膜の上に設けられた下部電極、上部電極及び圧電体膜を備える圧電素子部とを有し、前記送信回路は、第１の期間において、前記駆動信号として、交番電圧の１周期以上で、且つ、前記交番電圧の半周期の整数倍の信号である第１の駆動信号を、前記複数の超音波トランスデューサー素子のうちの一部の超音波トランスデューサー素子に対して出力し、前記送信回路は、前記第１の期間に連続する第２の期間において、前記駆動信号として、前記第１の駆動信号の交番電圧と周期が同じであり、前記第１の駆動信号の交番電圧と逆位相であり、且つ前記第１の駆動信号の交番電圧より小さく時間と共に減少する振幅を有する第２の駆動信号を、前記複数の超音波トランスデューサー素子のうちの前記第１の駆動信号が出力されなかった超音波トランスデューサー素子に対して出力し、前記受信回路は、前記第２の駆動信号の出力が終了した後に、前記複数の超音波トランスデューサー素子のうちの前記第２の駆動信号が出力された超音波トランスデューサー素子からの受信信号の信号処理を行う処理装置に関係する。
【０００７】
本発明の一態様によれば、送信回路は、第１の期間において、第１の駆動信号を、一部の超音波トランスデューサー素子に対して出力し、第１の期間に連続する期間である第２の期間において、第１の駆動信号が出力されなかった超音波トランスデューサー素子に対して第２の駆動信号を出力することができる。こうすることで、第１の駆動信号が供給された素子と第１の駆動信号が出力されなかった素子との間のクロストークによる第１の駆動信号が出力されなかった素子の振動を低減することができる。その結果、対象物との距離が短い場合であってもエコー信号を確実に受信することができる。
【０００８】
また本発明の一態様では、前記送信回路及び前記受信回路に接続される選択回路を有し、前記選択回路は、前記第１の期間において、前記送信回路からの前記第１の駆動信号を前記一部の超音波トランスデューサー素子に出力し、前記第２の期間において、前記送信回路からの前記第２の駆動信号を前記第１の駆動信号が出力されなかった超音波トランスデューサー素子に出力し、前記第２の期間の後の第３の期間において、前記第２の駆動信号が出力された超音波トランスデューサー素子からの前記受信信号を前記受信回路に出力するように選択してもよい。
【０００９】
このようにすれば、第２の期間において、送信回路からの第２の駆動信号を第１の駆動信号が出力されなかった素子に出力することができるから、クロストークによる第１の駆動信号が出力されなかった素子の振動を低減することができる。さらに、第２の期間の後の第３の期間においては、第２の駆動信号が出力された素子からの受信信号を受信回路に出力することができるから、エコー信号を確実に受信することができる。
【００１０】
また本発明の一態様では、前記制御部は、第１の制御信号及び第２の制御信号を前記送信回路に対して出力し、前記送信回路は、前記第１の制御信号がアクティブのときは正極性の電圧となる前記第１の駆動信号又は前記第２の駆動信号を出力し、前記第２の制御信号がアクティブのときは負極性の電圧となる前記第１の駆動信号又は前記第２の駆動信号を出力してもよい。
【００１１】
このようにすれば、送信回路は、制御部からの第１及び第２の制御信号に基づいて、正極性及び負極性の電圧の第１の駆動信号又は第２の駆動信号を出力することができる。
【００１２】
また本発明の一態様では、前記送信回路は、前記第１の駆動信号を出力する第１の送信部と、前記第２の駆動信号を出力する第２の送信部とを有し、前記制御部は、第１の制御信号及び第２の制御信号を前記第１の送信部に対して出力し、第３の制御信号及び第４の制御信号を前記第２の送信部に対して出力し、前記制御部は、前記第１の期間において、前記第１の制御信号及び前記第２の制御信号を前記交番電圧の周期で交互にアクティブにし、前記第２の期間において、前記第３の制御信号及び前記第４の制御信号を前記交番電圧の周期で交互にアクティブにし、前記第１の送信部は、前記第１の制御信号がアクティブのときは正極性の電圧となる前記第１の駆動信号を出力し、前記第２の制御信号がアクティブのときは負極性の電圧となる前記第１の駆動信号を出力し、前記第２の送信部は、前記第３の制御信号がアクティブのときは正極性の電圧となる前記第２の駆動信号を出力し、前記第４の制御信号がアクティブのときは負極性の電圧となる前記第２の駆動信号を出力してもよい。
【００１３】
このようにすれば、第１の期間においては、第１の送信部が、交番電圧の周期で正極性の電圧と負極性の電圧とに交互に設定される第１の駆動信号を出力することができる。また、第２の期間においては、第２の送信部が、第１の駆動信号の交番電圧と逆位相となる第２の駆動信号を出力することができる。
【００１４】
また本発明の一態様では、前記制御部は、前記第２の期間において、前記第２の制御信号と前記第４の制御信号とを同じタイミングでアクティブにし、前記第１の制御信号と前記第３の制御信号とを同じタイミングでアクティブにしてもよい。
【００１５】
このようにすれば、第２の期間において、第１の送信部が第１の期間の第１の駆動信号と逆位相の第１の駆動信号を第１の期間に第１の駆動信号が出力された素子に対して出力し、第２の送信部がクロストークによって生じる振動と逆位相となる第２の駆動信号を第１の駆動信号が出力されなかった素子に対して出力することができる。その結果、第２の期間において、第１の駆動信号が出力された素子の残響振動を低減し、且つ、第１の駆動信号が出力されなかった素子のクロストークによる振動を低減することができるから、より効果的にクロストークを抑制することが可能になる。
【００１６】
また本発明の一態様では、前記制御部は、第１のモードでは、前記送信回路に対して、前記第１の駆動信号及び前記第２の駆動信号を出力させる制御を行い、第２のモードでは、前記送信回路に対して、前記第１の駆動信号を出力させ、前記第２の駆動信号を非出力にする制御を行ってもよい。
【００１７】
このようにすれば、クロストークによる振動が問題となる場合、例えば超音波診断装置などで被検体の表層部分の画像を取得したい場合などには、第１のモードによりクロストークによる振動を低減させることができる。一方、クロストークが問題にならない場合には、第２のモードを用いることで消費電力を低減することができる。
【００１８】
本発明の他の態様は、上記いずれかに記載の処理装置を含む超音波プローブに関係する。
【００１９】
また本発明の他の態様では、前記第１の駆動信号が出力される超音波トランスデューサー素子を有する第１の超音波トランスデューサー素子列及び前記第２の駆動信号が出力される超音波トランスデューサー素子を有する第２の超音波トランスデューサー素子列が交互に配置される前記超音波トランスデューサーデバイスをさらに含んでもよい。
【００２０】
このようにすれば、隣接する第１の超音波トランスデューサー素子列と第２の超音波トランスデューサー素子列との間のクロストークを低減することができる。
【００２１】
本発明の他の態様は、上記いずれかに記載の処理装置を含む電子機器に関係する。
【００２２】
本発明の他の態様は、上記いずれかに記載の処理装置と、表示用画像データを表示する表示部とを含む超音波診断装置に関係する。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】図１（Ａ）、図１（Ｂ）は、超音波トランスデューサー素子の基本的な構成例。
【図２】超音波トランスデューサーデバイスの構成例。
【図３】送信素子と受信素子との間のクロストークを説明する図。
【図４】処理装置の第１の構成例。
【図５】図５（Ａ）、図５（Ｂ）、図５（Ｃ）は、選択回路の第１の構成例。
【図６】送信回路の第１の構成例。
【図７】図７（Ａ）、図７（Ｂ）は、制御部による制御信号の生成を説明する図。
【図８】処理装置の第１の構成例による第１の駆動信号、第２の駆動信号及び送信素子と受信素子の振動等の波形例。
【図９】処理装置の第２の構成例。
【図１０】図１０（Ａ）、図１０（Ｂ）、図１０（Ｃ）は、選択回路の第２の構成例。
【図１１】送信回路の第２の構成例。
【図１２】処理装置の第２の構成例による第１の駆動信号、第２の駆動信号及び受信素子の振動等の第１の波形例。
【図１３】処理装置の第２の構成例による第１の駆動信号、第２の駆動信号及び受信素子の振動等の第２の波形例。
【図１４】図１４（Ａ）、図１４（Ｂ）は、制御信号の変形例。
【図１５】制御部による制御信号の生成の変形例。
【図１６】超音波プローブ及び電子機器（超音波診断装置）の基本的な構成例。
【図１７】図１７（Ａ）、図１７（Ｂ）は、超音波診断装置の具体的な構成例。図１７（Ｃ）は、超音波プローブの具体的な構成例。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。なお以下に説明する本実施形態は特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではなく、本実施形態で説明される構成の全てが本発明の解決手段として必須であるとは限らない。
【００２５】
１．超音波トランスデューサー素子
図１（Ａ）、図１（Ｂ）に本実施形態の処理装置と共に用いられる超音波トランスデューサー素子（薄膜圧電型超音波トランスデューサー素子）ＵＥの基本的な構成例を示す。本実施形態の超音波トランスデューサー素子ＵＥは、振動膜（メンブレン、支持部材）ＭＢと、圧電素子部とを有する。圧電素子部は、下部電極（第１電極層）ＥＬ１、圧電体膜（圧電体層）ＰＥ、上部電極（第２電極層）ＥＬ２を有する。なお、本実施形態の超音波トランスデューサー素子ＵＥは図１の構成に限定されず、その構成要素の一部を省略したり、他の構成要素に置き換えたり、他の構成要素を追加するなどの種々の変形実施が可能である。
【００２６】
なお、以下の説明では、超音波トランスデューサー素子ＵＥを「超音波素子ＵＥ」とも呼ぶ。
【００２７】
図１（Ａ）は、基板（シリコン基板）ＳＵＢに形成された超音波素子ＵＥの、素子形成面側の基板に垂直な方向から見た平面図である。図１（Ｂ）は、図１（Ａ）のＡ−Ａ’に沿った断面を示す断面図である。
【００２８】
第１電極層ＥＬ１は、振動膜ＭＢの上層に例えば金属薄膜で形成される。この第１電極層ＥＬ１は、図１（Ａ）に示すように素子形成領域の外側へ延長され、隣接する超音波素子ＵＥに接続される配線であってもよい。
【００２９】
圧電体膜ＰＥは、例えばＰＺＴ（ジルコン酸チタン酸鉛）薄膜により形成され、第１電極層ＥＬ１の少なくとも一部を覆うように設けられる。なお、圧電体膜ＰＥの材料は、ＰＺＴに限定されるものではなく、例えばチタン酸鉛（ＰｂＴｉＯ３）、ジルコン酸鉛（ＰｂＺｒＯ３）、チタン酸鉛ランタン（（Ｐｂ、Ｌａ）ＴｉＯ３）などを用いてもよい。
【００３０】
第２電極層ＥＬ２は、例えば金属薄膜で形成され、圧電体膜ＰＥの少なくとも一部を覆うように設けられる。この第２電極層ＥＬ２は、図１（Ａ）に示すように素子形成領域の外側へ延長され、隣接する超音波素子ＵＥに接続される配線であってもよい。
【００３１】
振動膜（メンブレン）ＭＢは、例えばＳｉＯ２薄膜とＺｒＯ２薄膜との２層構造により開口ＯＰを塞ぐように設けられる。この振動膜ＭＢは、圧電体膜ＰＥ及び第１、第２電極層ＥＬ１、ＥＬ２を支持すると共に、圧電体膜ＰＥの伸縮に従って振動し、超音波を発生させることができる。
【００３２】
開口ＯＰは、例えば後述する図２に示すように、基板ＳＵＢにアレイ状に配置される。空洞領域ＣＡＶは、シリコン基板ＳＵＢの裏面（素子が形成されない面）側から反応性イオンエッチング（ＲＩＥ）等によりエッチングすることで形成される。
【００３３】
超音波素子ＵＥの下部電極は、第１電極層ＥＬ１により形成され、上部電極は、第２電極層ＥＬ２により形成される。具体的には、第１電極層ＥＬ１のうちの圧電体膜ＰＥに覆われた部分が下部電極を形成し、第２電極層ＥＬ２のうちの圧電体膜ＰＥを覆う部分が上部電極を形成する。即ち、圧電体膜ＰＥは、下部電極と上部電極に挟まれて設けられる。
【００３４】
圧電体膜ＰＥは、下部電極と上部電極との間、即ち第１電極層ＥＬ１と第２電極層ＥＬ２との間に電圧が印加されることで、面内方向に伸縮する。圧電体膜ＰＥの一方の面は第１電極層ＥＬ１を介して振動膜ＭＢに接合されているが、他方の面には第２電極層ＥＬ２が形成されるものの、第２電極層ＥＬ２上には他の層が形成されない。そのため圧電体膜ＰＥの振動膜ＭＢ側が伸縮しにくく、第２電極層ＥＬ２側が伸縮し易くなる。従って、圧電体膜ＰＥに電圧を印加すると、空洞領域ＣＡＶ側に凸となる撓みが生じ、振動膜ＭＢを撓ませる。圧電体膜ＰＥに交流電圧を印加することで、振動膜ＭＢが膜厚方向に対して振動し、この振動膜ＭＢの振動により超音波が放射される。圧電体膜ＰＥに印加される電圧は、例えば１０〜３０Ｖであり、周波数は例えば１〜１０ＭＨｚである。
【００３５】
バルクの超音波素子の駆動電圧がピークからピークで１００Ｖ程度であるのに対して、図１（Ａ）、図１（Ｂ）に示すような薄膜による超音波素子ＵＥでは、駆動電圧をピークからピークで１０〜３０Ｖ程度に小さくすることができる。
【００３６】
超音波素子ＵＥは、出射された超音波が対象物で反射されて戻ってくる超音波エコーを受信する受信素子としても動作する。超音波エコーにより振動膜ＭＢが振動し、この振動によって圧電体膜ＰＥに圧力が加わり、下部電極と上部電極との間に電圧が発生する。この電圧を受信信号として取り出すことができる。
【００３７】
２．超音波トランスデューサーデバイス
図２に、本実施形態の超音波トランスデューサーデバイス１００の構成例を示す。本構成例の超音波トランスデューサーデバイス１００は、基板ＳＵＢ、基板ＳＵＢにアレイ状に配置された複数の送信素子ＵＴ（広義には超音波トランスデューサー素子ＵＥ）及び複数の受信素子ＵＲ（広義には超音波トランスデューサー素子ＵＥ）、第１〜第ｎ（ｎは２以上の整数）の送信信号線ＴＬ１〜ＴＬｎ、第１〜第ｎの受信信号線ＲＬ１〜ＲＬｎ、第１〜第ｍ（ｍは２以上の整数）のコモン電極線ＣＬ１〜ＣＬｍを含む。図２では、例としてｍ＝８、ｎ＝６の場合を示すが、これ以外の値であってもよい。なお、本実施形態の超音波トランスデューサーデバイス１００は図２の構成に限定されず、その構成要素の一部を省略したり、他の構成要素に置き換えたり、他の構成要素を追加するなどの種々の変形実施が可能である。
【００３８】
基板ＳＵＢは、例えばシリコン基板であって、アレイ状に配置された複数の開口ＯＰを有する。複数の開口ＯＰの各々に対応して、超音波トランスデューサー素子ＵＥが設けられる。具体的には、複数の開口ＯＰの各々に対応して、送信素子ＵＴ又は受信素子ＵＲが設けられる。
【００３９】
複数の送信素子ＵＴ及び複数の受信素子ＵＲは、ｍ行ｎ列のマトリックス状にそれぞれ配置される。例えば図２に示すように、複数の送信素子ＵＴは第１の方向Ｄ１に沿って８行、そして第１の方向Ｄ１に交差する第２の方向Ｄ２に沿って６列に配置される。また、複数の受信素子ＵＲも同様に、第１の方向Ｄ１に沿って８行、そして第１の方向Ｄ１に交差する第２の方向Ｄ２に沿って６列に配置される。送信素子ＵＴの列（広義には第１の超音波トランスデューサー素子列）と受信素子ＵＲの列（広義には第２の超音波トランスデューサー素子列）とは交互に配置される。
【００４０】
送信素子ＵＴ及び受信素子ＵＲは、薄膜圧電型超音波トランスデューサー素子であって、例えば図１（Ａ）、図１（Ｂ）に示した構成とすることができる。但し、素子の各部のサイズ、例えば圧電体膜ＰＥや空洞領域ＣＡＶのサイズなどは、送信素子ＵＴと受信素子ＵＲとで異なってもよい。
【００４１】
以下の説明において、送信素子ＵＴ及び受信素子ＵＲのアレイ内での位置を特定する場合には、例えば第４行第３列に位置する送信素子ＵＴをＵＴ４−３と表記し、同様に第４行第３列に位置する受信素子ＵＲをＵＲ４−３と表記する。例えば送信素子ＵＴのアレイの第３列には、ＵＴ１−３、ＵＴ２−３、・・・ＵＴ７−３、ＵＴ８−３の８個の送信素子ＵＴが配置される。また、例えば受信素子ＵＲのアレイの第３列には、ＵＲ１−３、ＵＲ２−３、・・・ＵＲ７−３、ＵＲ８−３の８個の受信素子ＵＲが配置される。
【００４２】
第１〜第６（広義には第ｎ）の送信信号線ＴＬ１〜ＴＬ６は、第１の方向Ｄ１に沿って配線される。第１〜第６の送信信号線ＴＬ１〜ＴＬ６のうちの第ｊ（ｊは１≦ｊ≦６である整数）の送信信号線ＴＬｊは、第ｊ列に配置される各送信素子ＵＴが有する第１の電極に接続される。
【００４３】
第１〜第６（広義には第ｎ）の受信信号線ＲＬ１〜ＲＬ６は、第１の方向Ｄ１に沿って配線される。第１〜第６の受信信号線ＲＬ１〜ＲＬ６のうちの第ｊの受信信号線ＲＬｊは、第ｊ列に配置される各受信素子ＵＲが有する第１の電極に接続される。
【００４４】
送信素子ＵＴは、複数の超音波トランスデューサー素子ＵＥのうちの一部の超音波トランスデューサー素子ＵＥであって、第１の駆動信号ＶＴが供給される素子である。また、受信素子ＵＲは、複数の超音波トランスデューサー素子ＵＥのうちの第１の駆動信号ＶＴが供給されない素子、或いは第２の駆動信号ＶＳが供給される素子である。
【００４５】
超音波を出射する第１の期間（送信期間）には、後述する処理装置２００が出力する第１の駆動信号ＶＴ（ＶＴ１〜ＶＴ６）が送信信号線ＴＬ１〜ＴＬ６を介して各送信素子ＵＴに供給される。また、超音波エコー信号を受信する第３の期間（受信期間）には、受信素子ＵＲからの受信信号ＶＲ１〜ＶＲ６が受信信号線ＲＬ１〜ＲＬ６を介して処理装置２００に出力される。
【００４６】
後述するように、本実施形態の処理装置２００によれば、第１の期間に連続する第２の期間（制振期間）において、各受信素子ＵＲに対して第２の駆動信号ＶＳ（ＶＳ１〜ＶＳ６）を供給することで、受信素子ＵＲと隣接する送信素子ＵＴとの間のクロストークによって生じる受信素子ＵＲの振動膜ＭＢの振動を低減することができる。第１の駆動信号ＶＴ及び第２の駆動信号ＶＳの詳細については、後述する。
【００４７】
第１〜第８（広義には第ｍ）のコモン電極線ＣＬ１〜ＣＬ８は、第２の方向Ｄ２に沿って配線される。送信素子ＵＴ及び受信素子ＵＲが有する第２の電極は、第１〜第ｍのコモン電極線ＣＬ１〜ＣＬｍのうちのいずれかに接続される。具体的には、例えば図２に示すように、第１〜第８のコモン電極線ＣＬ１〜ＣＬ８のうちの第ｉ（ｉは１≦ｉ≦８である整数）のコモン電極線ＣＬｉは、第ｉ列に配置される送信素子ＵＴの第２の電極及び第ｉ列に配置される受信素子ＵＲが有する第２の電極に接続される。
【００４８】
第１〜第８のコモン電極線ＣＬ１〜ＣＬ８には、コモン電圧ＶＣＯＭが供給される。このコモン電圧は一定の直流電圧であればよく、０Ｖ即ちグランド電位（接地電位）でなくてもよい。
【００４９】
例えば図２に示す送信素子ＵＴ１−１については、第１の電極が送信信号線ＴＬ１に接続され、第２の電極が第１のコモン電極線ＣＬ１に接続される。また、例えば図２に示す受信素子ＵＲ４−３については、第１の電極が第３の受信信号線ＲＬ３に接続され、第２の電極が第４のコモン電極線ＣＬ４に接続される。
【００５０】
なお、送信素子ＵＴ及び受信素子ＵＲの配置は、図２に示すｍ行ｎ列のマトリックス配置に限定されない。例えば奇数番目の送信素子列にｍ個の送信素子ＵＴが配置され、偶数番目の送信素子列にｍ−１個の送信素子ＵＴが配置される、いわゆる千鳥配置であってもよい。また、送信素子ＵＴの列と受信素子ＵＲの列とが交互に配置されることは、必須ではない。例えば複数の送信素子ＵＴから成るアレイと複数の受信素子ＵＲから成るアレイとが離れて配置されてもよい。また、送信素子ＵＴの個数と受信素子ＵＲの個数は異なってもよい。
【００５１】
送信素子ＵＴには、第１の駆動信号電圧ＶＴとコモン電圧との差の電圧が印加され、所定の周波数の超音波が放射される。例えば、図２の第１列の送信素子ＵＴ１−１〜ＵＴ８−１には、送信信号線ＴＬ１に供給される第１の駆動信号電圧ＶＴ１とコモン電圧ＶＣＯＭとの差ＶＴ１−ＶＣＯＭが印加される。同様に、第３列の送信素子ＵＴ１−３〜ＵＴ８−３には、送信信号線ＴＬ３に供給される第１の駆動信号電圧ＶＴ３とコモン電圧ＶＣＯＭとの差ＶＴ３−ＶＣＯＭが印加される。
【００５２】
受信素子ＵＲには、第２の駆動信号電圧ＶＳとコモン電圧との差の電圧が印加されて、クロストークによる振動が低減される。例えば、図２の第１列の受信素子ＵＲ１−１〜ＵＲ８−１には、受信信号線ＲＬ１に供給される第２の駆動信号電圧ＶＳ１とコモン電圧ＶＣＯＭとの差ＶＳ１−ＶＣＯＭが印加される。同様に、第３列の受信素子ＵＲ１−３〜ＵＲ８−３には、受信信号線ＲＬ３に供給される第２の駆動信号電圧ＶＳ３とコモン電圧ＶＣＯＭとの差ＶＳ３−ＶＣＯＭが印加される。
【００５３】
受信素子ＵＲは、受信期間には超音波エコーを受信して受信信号ＶＲを出力する。例えば、図２の第１列の受信素子ＵＲ１−１〜ＵＲ８−１は、受信信号ＶＲ１を受信信号線ＲＬ１を介して出力する。同様に、第３列の受信素子ＵＲ１−３〜ＵＲ８−３は、受信信号ＶＲ３を受信信号線ＲＬ３を介して出力する。
【００５４】
図２に示す構成例では、１つの第１の駆動信号（例えばＶＴ１）が１つの送信素子列（例えばＵＴ１−１〜ＵＴ８−１）を駆動し、１つの第２の駆動信号（例えばＶＳ１）が１つの受信素子列（例えばＵＲ１−１〜ＵＲ８−１）を駆動するが、本実施形態の超音波トランスデューサーデバイス１００はこれに限定されるものではない。例えば、１つの第１の駆動信号が複数の送信素子列を駆動してもよいし、１つの第２の駆動信号が複数の受信素子列を駆動してもよい。即ち、複数本の送信信号線又は複数本の受信信号線を束ねたものを１チャンネルとし、各々のチャンネルに対して第１の駆動信号又は第２の駆動信号が供給されてもよい。
【００５５】
３．処理装置
図３は、送信素子ＵＴと受信素子ＵＲとの間のクロストークを説明する図である。図３に示すように、送信期間では駆動信号が送信素子ＵＴに入力されて送信素子ＵＴの振動膜ＭＢが振動する。この振動が振動膜ＭＢを形成する層を伝わって、隣接する受信素子ＵＲの振動膜ＭＢが振動する。これがクロストーク（機械的クロストーク）である。
【００５６】
図１（Ａ）、図１（Ｂ）に示した薄膜圧電型超音波素子ＵＥでは、送信素子ＵＴと受信素子ＵＲとの距離が短く、振動膜ＭＢを形成する層が薄いために、バルク型超音波素子に比べて機械的クロストークが大きくなる。なお、以下の説明では、機械的クロストークを単に「クロストーク」とも呼ぶ。
【００５７】
また、送信期間後においても送信素子ＵＴの振動膜ＭＢの振動が残る。これは残響振動（尾引き）といわれる現象である。残響振動は徐々に振幅が減少するが、残響振動の持続時間は例えば２０〜３０μｓに及ぶことがある。この送信素子ＵＴの残響振動によってもクロストークが生じるし、さらに受信素子ＵＲ自身の残響振動も加わる。
【００５８】
このように、送信期間後においても受信素子ＵＲの振動が残るから、図３に示すようにクロストークによる振動が続いている期間にエコーが受信される場合には、クロストークによる振動とエコーによる振動との重なりが生ずる。このために、エコーが短時間（例えば１０μｓ程度）で戻ってくる場合にはエコーによる信号（エコー信号）を分離して受信することが困難になる。例えば超音波診断装置を用いて内臓脂肪の測定や血流量の測定など被検体の表層部分の画像を取得する場合には、クロストークが特に問題となる。
【００５９】
このような課題に対して、例えば特許文献１には、クロストークによる受信素子の振動を打ち消すような駆動信号を受信素子に対して出力する手法が開示されている。しかしながら、この手法では、例えば図１（Ａ）、図１（Ｂ）に示した薄膜圧電型超音波素子ＵＥなどの場合には、クロストークによる振動を適切に抑制することができないという問題がある。例えば、薄膜圧電型超音波素子ＵＥでは、振動のエネルギーが基板ＳＵＢや配線層ＥＬ１、ＥＬ２などを介して散逸するため、クロストークによる振動が徐々に減衰する。従って、クロストークによる受信素子ＵＲの振動を適切に抑制するためには、制振信号もそれに対応して徐々に減衰させる必要がある。
【００６０】
以下に説明する本実施形態の処理装置２００によれば、第１の期間に連続する第２の期間において、受信素子ＵＲに対して、第１の駆動信号ＶＴ（送信信号）の交番電圧と周期が同じであり、第１の駆動信号ＶＴの交番電圧と逆位相であり、且つ第１の駆動信号ＶＴの交番電圧より小さく時間と共に減少する振幅を有する第２の駆動信号ＶＳ（制振信号）を出力することで、受信素子ＵＲのクロストークによる振動を効果的に抑えることができる。その結果、対象物との距離が短い場合であってもエコー信号を確実に受信することができる。
【００６１】
図４に、本実施形態の処理装置２００の第１の構成例を示す。第１の構成例の処理装置２００は、送信回路２１０、受信回路２２０、制御部２３０、振幅電圧生成回路２４０及び選択回路ＭＵＸを含む。なお、本実施形態の処理装置２００は図４の構成に限定されず、その構成要素の一部を省略したり、他の構成要素に置き換えたり、他の構成要素を追加するなどの種々の変形実施が可能である。
【００６２】
送信回路２１０は、選択回路ＭＵＸを介して、超音波トランスデューサーデバイス１００に対して第１の駆動信号ＶＴ及び第２の駆動信号ＶＳを出力する。具体的には、送信回路２１０は、第１の期間において、駆動信号として、交番電圧の１周期以上で、且つ、交番電圧の半周期の整数倍の信号である第１の駆動信号ＶＴを、複数の超音波トランスデューサー素子ＵＥのうちの一部の超音波トランスデューサー素子（送信素子ＵＴ）に対して出力する。そして第１の期間に連続する第２の期間において、駆動信号として、第１の駆動信号ＶＴの交番電圧と周期が同じであり、第１の駆動信号ＶＴの交番電圧と逆位相であり、且つ第１の駆動信号ＶＴの交番電圧より小さく時間と共に減少する振幅を有する第２の駆動信号ＶＳを、複数の超音波トランスデューサー素子ＵＥのうちの第１の駆動信号ＶＴが出力されなかった超音波トランスデューサー素子（受信素子ＵＲ）に対して出力する。
【００６３】
なお、第１の期間を「送信期間」、第２の期間を「制振期間」と呼ぶこともできる。また、送信素子ＵＴに対して出力される第１の駆動信号ＶＴを「送信信号」、受信素子ＵＲに対して出力される第２の駆動信号ＶＳを「制振信号」と呼ぶこともできる。
【００６４】
送信回路２１０は、制御部２３０からの第１、第２の制御信号ＳＰ、ＳＮに基づいて、第１の駆動信号ＶＴ又は第２の駆動信号ＶＳを出力する。具体的には、第１の制御信号ＳＰがアクティブのときは正極性の電圧となる第１の駆動信号ＶＴ又は第２の駆動信号ＶＳを出力する。一方、第２の制御信号ＳＮがアクティブのときは負極性の電圧となる第１の駆動信号ＶＴ又は第２の駆動信号ＶＳを出力する。
【００６５】
ここで正極性の電圧及び負極性の電圧とは、０Ｖ（接地電位）に対する正（プラス）の電圧、負（マイナス）の電圧に限定されない。ある基準電圧に対してそれより高い電圧又は低い電圧であってもよい。例えば基準電圧を１０Ｖとして、正極性の電圧を２０Ｖ、負極性の電圧を０Ｖとしてもよい。なお、第１の駆動信号ＶＴ及び第２の駆動信号ＶＳについては、後で具体的に説明する。
【００６６】
受信回路２２０は、受信素子ＵＲからの受信信号ＶＲ１〜ＶＲｎの信号処理を行う。具体的には、受信回路２２０は、受信期間において、選択回路ＭＵＸを介して受信素子ＵＲからの受信信号ＶＲ１〜ＶＲｎを受け取り、受信信号の増幅、ゲイン設定、周波数設定、Ａ／Ｄ変換（アナログ／デジタル変換）などの信号処理を行う。信号処理の結果は、検出データ（検出情報）として例えば図１４に示す電子機器本体４１０の処理部３２０に出力する。受信回路２２０は、例えば低雑音増幅器、電圧制御アッテネーター、プログラマブルゲインアンプ、ローパスフィルター、Ａ／Ｄコンバーターなどで構成することができる。
【００６７】
制御部２３０は、送信回路２１０及び受信回路２２０を制御する。具体的には、制御部２３０は、第１の制御信号ＳＰ及び第２の制御信号ＳＮを送信回路２１０に対して出力する。制御部２３０は、第１の期間において、第１の制御信号ＳＰ及び第２の制御信号ＳＮを所定の周期（交番電圧の周期）で交互にアクティブにする。そして第２の期間において、第１の制御信号ＳＰ及び第２の制御信号ＳＮを、第１の期間における交番電圧と逆位相になるように、交互にアクティブにする。また、制御部２３０は、受信回路２２０に対して受信信号の周波数設定やゲインなどの制御を行う。制御部２３０は、例えばＦＰＧＡ（Field-Programmable Gate Array）で実現することができる。なお、第１、第２の制御信号ＳＰ、ＳＮについては、後で詳細に説明する。
【００６８】
また、制御部２３０は、第１のモードでは、送信回路２１０に対して、第１の駆動信号ＶＴ及び第２の駆動信号ＶＳを出力させる制御を行い、第２のモードでは、送信回路２１０に対して、第１の駆動信号ＶＴを出力させ、第２の駆動信号ＶＳを非出力にする制御を行うことができる。このようにすれば、例えば超音波診断装置などにおいて、クロストークが問題となる場合、即ち内臓脂肪の測定や血流量の測定など被検体の表層部分の画像を取得したい場合には、第１のモードによりクロストークを低減させることができる。一方、クロストークが問題にならない場合には、第２のモードを用いることで消費電力を低減することができる。
【００６９】
振幅電圧生成回路２４０は、制御部２３０の制御に基づいて、電圧値が可変に設定される第１、第２の振幅設定電圧ＶＰＰ、ＶＮＮを生成し、送信回路２１０に出力する。後述する図６に示すように、第１の駆動信号ＶＴ及び第２の駆動信号ＶＳの振幅は、第１、第２の振幅設定電圧ＶＰＰ、ＶＮＮにより設定される。従って、制御部２３０の制御に基づいて、振幅電圧生成回路２４０が第１、第２の振幅設定電圧ＶＰＰ、ＶＮＮを可変に設定することで、第２の駆動信号ＶＳの振幅を可変に設定することができる。即ち、第２の駆動信号ＶＳの振幅を第１の駆動信号ＶＴの振幅より小さく、且つ時間と共に減少させることができる。このようにすることで、振幅が徐々に減少する受信素子ＵＲの振動に対応して第２の駆動信号ＶＳの振幅を徐々に小さくすることができるから、より効果的にクロストークによる振動を低減することができる。
【００７０】
振幅電圧生成回路２４０は、例えばＤ／Ａ変換器及び演算増幅器などで実現することができる。或いは、抵抗ラダー回路、スイッチ素子、演算増幅器などで実現することもできる。
【００７１】
選択回路ＭＵＸは、送信回路２１０及び受信回路２２０に接続され、制御部２３０の制御に基づいて、送信信号線ＴＬ１〜ＴＬｎ及び受信信号線ＲＬ１〜ＲＬｎのうちの少なくとも１つを選択する。具体的には、選択回路ＭＵＸは、第１の期間において、送信信号線ＴＬ１〜ＴＬｎのうちの少なくとも１つを選択し、選択された送信信号線を介して送信回路２１０からの第１の駆動信号ＶＴを送信素子ＵＴに出力する。そして第２の期間において、受信信号線ＲＬ１〜ＲＬｎのうちの少なくとも１つを選択し、選択された受信信号線を介して送信回路２１０からの第２の駆動信号ＶＳを受信素子ＵＲに出力する。また第２の期間の後の受信期間において、受信信号線ＲＬ１〜ＲＬｎを選択し、受信素子ＵＲからの受信信号ＶＲ１〜ＶＲｎを受信回路２２０に出力する。
【００７２】
図５（Ａ）、図５（Ｂ）、図５（Ｃ）に、選択回路ＭＵＸの第１の構成例を示す。第１の構成例の選択回路ＭＵＸは、スイッチ素子ＳＷＴ１〜ＳＷＴｎ、スイッチ素子ＳＷＳ１〜ＳＷＳｎ、スイッチ素子ＳＷＲ１〜ＳＷＲｎを含む。なお、本実施形態の選択回路ＭＵＸは図５（Ａ）、図５（Ｂ）、図５（Ｃ）の構成に限定されず、その構成要素の一部を省略したり、他の構成要素に置き換えたり、他の構成要素を追加するなどの種々の変形実施が可能である。
【００７３】
スイッチ素子ＳＷＴ１〜ＳＷＴｎは、第１の期間において送信信号線ＴＬ１〜ＴＬｎを選択する。スイッチ素子ＳＷＳ１〜ＳＷＳｎは、第２の期間において受信信号線ＲＬ１〜ＲＬｎを選択する。スイッチ素子ＳＷＲ１〜ＳＷＲｎは、受信期間において受信信号線ＲＬ１〜ＲＬｎを選択する。
【００７４】
図５（Ａ）は、第１の期間（送信期間）における各スイッチ素子の状態を示す。スイッチ素子ＳＷＴ１〜ＳＷＴｎがオン状態であり、他のスイッチ素子はオフ状態である。この場合には、選択された送信信号線ＴＬ１〜ＴＬｎに対して、送信回路２１０からの第１の駆動信号ＶＴ（送信信号）がＶＴ１〜ＶＴｎとして出力される。
【００７５】
図５（Ｂ）は、第２の期間（制振期間）における各スイッチ素子の状態を示す。スイッチ素子ＳＷＳ１〜ＳＷＳｎがオン状態であり、他のスイッチ素子はオフ状態である。この場合には、選択された受信信号線ＲＬ１〜ＲＬｎに対して、送信回路２１０からの第２の駆動信号ＶＳ（制振信号）がＶＳ１〜ＶＳｎとして出力される。
【００７６】
図５（Ｃ）は、受信期間における各スイッチ素子の状態を示す。スイッチ素子ＳＷＲ１〜ＳＷＲｎがオン状態であり、他のスイッチ素子はオフ状態である。この場合には、選択された受信信号線ＲＬ１〜ＲＬｎを介して、受信素子ＵＲからの受信信号ＶＲ１〜ＶＲｎが受信回路２２０に出力される。
【００７７】
なお、選択回路ＭＵＸは、第１の期間において送信信号線ＴＬ１〜ＴＬｎの全てを同じタイミングで選択してもよいし、例えばＴＬ１、ＴＬ２、ＴＬ３、・・・のように順番に１本ずつ選択してもよい。同様に、第２の期間において受信信号線ＲＬ１〜ＲＬｎの全てを同じタイミングで選択してもよいし、例えばＲＬ１、ＲＬ２、ＲＬ３、・・・のように順番に１本ずつ選択してもよい。
【００７８】
図６に、本実施形態の送信回路２１０の第１の構成例を示す。第１の構成例の送信回路２１０は、第１、第２のレベル変換回路ＬＴ＿Ｐ、ＬＴ＿Ｎ、第１、第２のドライバー回路ＤＲ＿Ｐ、ＤＲ＿Ｎ、Ｐ型トランジスターＱＰ、Ｎ型トランジスターＱＮ、第１、第２の抵抗素子ＲＰ、ＲＮ及び第１、第２のダイオードＤＰ、ＤＮを含む。なお、本実施形態の送信回路２１０は図６の構成に限定されず、その構成要素の一部を省略したり、他の構成要素に置き換えたり、他の構成要素を追加するなどの種々の変形実施が可能である。
【００７９】
第１、第２のレベル変換回路ＬＴ＿Ｐ、ＬＴ＿Ｎは、第１、第２の制御信号ＳＰ、ＳＮを受けて、レベル変換した信号を第１、第２のドライバー回路ＤＲ＿Ｐ、ＤＲ＿Ｎに対して出力する。制御信号ＳＰ、ＳＮは、例えば低電位レベル（Ｌレベル、ＶＳＳレベル）が０Ｖで高電位レベル（Ｈレベル）が１．５Ｖのロジック信号であるが、レベル変換回路ＬＴ＿Ｐ、ＬＴ＿Ｎによってドライバー回路ＤＲ＿Ｐ、ＤＲ＿Ｎを駆動するのに必要な電圧レベルに変換される。
【００８０】
第１、第２のドライバー回路ＤＲ＿Ｐ、ＤＲ＿Ｎは、第１、第２のドライバー回路ＤＲ＿Ｐ、ＤＲ＿Ｎからの信号に基づいて、Ｐ型トランジスターＱＰ及びＮ型トランジスターＱＮをそれぞれ駆動する。具体的には、第１のドライバー回路ＤＲ＿Ｐは、第１の制御信号ＳＰがアクティブ（例えば１．５Ｖ）のときはＰ型トランジスターＱＰをオン状態にするゲート電圧（例えば２Ｖ）を出力し、ＳＰが非アクティブ（例えば０Ｖ）のときはＱＰをオフ状態にするゲート電圧（例えば１０Ｖ）を出力する。また、第２のドライバー回路ＤＲ＿Ｎは、第２の制御信号ＳＮがアクティブ（例えば１．５Ｖ）のときはＮ型トランジスターＱＮをオン状態にするゲート電圧（例えば−２Ｖ）を出力し、ＳＰが非アクティブ（例えば０Ｖ）のときはＱＰをオフ状態にするゲート電圧（例えば−１０Ｖ）を出力する。
【００８１】
Ｐ型トランジスターＱＰは、例えば数１０Ｖ程度のドレイン・ソース間耐圧を有するＰ型トランジスターである。Ｐ型トランジスターＱＰのソースには第１の振幅設定電圧ＶＰＰ（例えば１０Ｖ）が印加され、ゲートには第１のドライバー回路ＤＲ＿Ｐの出力信号が入力され、ドレインは抵抗素子ＲＰを介してＶＳＳノード（例えば０Ｖ）に接続されると共にダイオードＤＰを介して第１の駆動信号ＶＴ又は第２の駆動信号ＶＳを出力する。
【００８２】
Ｎ型トランジスターＱＮは、例えば数１０Ｖ程度のドレイン・ソース間耐圧を有するＮ型トランジスターである。Ｎ型トランジスターＱＮのソースには第２の振幅設定電圧ＶＮＮ（例えば−１０Ｖ）が印加され、ゲートには第２のドライバー回路ＤＲ＿Ｎの出力信号が入力され、ドレインは抵抗素子ＲＮを介してＶＳＳノード（例えば０Ｖ）に接続されると共にダイオードＤＮを介して第１の駆動信号ＶＴ又は第２の駆動信号ＶＳを出力する。
【００８３】
第１の制御信号ＳＰがアクティブで、第２の制御信号ＳＮが非アクティブであるときは、ＱＰがオン状態でＱＮがオフ状態になるから、正極性の電圧（例えば１０Ｖ）の第１の駆動信号ＶＴ又は第２の駆動信号ＶＳが出力される。一方、第１の制御信号ＳＰが非アクティブで、第２の制御信号ＳＮがアクティブであるときは、ＱＰがオフ状態でＱＮがオン状態になるから、負極性の電圧（例えば−１０Ｖ）の第１の駆動信号ＶＴ又は第２の駆動信号ＶＳが出力される。また、第１及び第２の制御信号ＳＰ、ＳＮが共に非アクティブであるときは、ＱＰ及びＱＮが共にオフ状態になるから、第１の駆動信号ＶＴ又は第２の駆動信号ＶＳはＶＳＳレベル（例えば０Ｖ）に設定される。第１の駆動信号ＶＴ及び第２の駆動信号ＶＳの振幅は、第１、第２の振幅設定電圧ＶＰＰ、ＶＮＮにより設定される。
【００８４】
図７（Ａ）、図７（Ｂ）は、制御部２３０による制御信号ＳＰ、ＳＮの生成を説明する図である。図７（Ａ）に示すように、制御部２３０は、クロック信号ＣＬＫに基づいて、所定の周期の長さのカウント処理を行うカウンター部ＣＮＴと、カウント処理の結果（カウント値）ＣＮに基づいて、第１の制御信号ＳＰ及び第２の制御信号ＳＮの生成処理を行う信号生成部ＳＧＥＮとを有する。
【００８５】
図７（Ｂ）には、クロック信号ＣＬＫ、カウント値ＣＮ、制御信号ＳＰ、ＳＮの一例を示す。カウンター部ＣＮＴは、クロック信号ＣＬＫをカウントしてカウント値ＣＮ（１〜１２）を出力する。信号生成部ＳＧＥＮは、カウント値ＣＮが１、２、５、６、７、８、１１、１２であるときに、第１の制御信号ＳＰをＨレベルに設定し、第２の制御信号ＳＮをＬレベルに設定する。また、カウント値ＣＮが３、４、９、１０であるときに、第１の制御信号ＳＰをＬレベルに設定し、第２の制御信号ＳＮをＨレベルに設定する。
【００８６】
このようにすることで、制御部２３０は、第１の期間では、第１の制御信号ＳＰ及び第２の制御信号ＳＮを所定の周期で交互にアクティブにすることができる。例えば図７（Ｂ）に示すように、第１の期間（送信期間）の最初の期間Ｔ１では第１の制御信号ＳＰがアクティブになり、次の期間Ｔ２では第２の制御信号ＳＮがアクティブになり、次の期間Ｔ３では第１の制御信号ＳＰがアクティブになる。
【００８７】
制御部２３０は、第２の期間においては、例えば図７（Ｂ）に示すように、第２の期間の最初の期間Ｔ４では第１の制御信号ＳＰがアクティブになり、次の期間Ｔ５では第２の制御信号ＳＮがアクティブになり、次の期間Ｔ６では第１の制御信号ＳＰがアクティブになる。
【００８８】
図７（Ｂ）では例として各期間Ｔ１〜Ｔ６の長さがクロック信号ＣＬＫの２周期分になっているが、これに限定されるものではない。また、第１の期間と第２の期間の長さは同一でなくてもよい。
【００８９】
図８に、処理装置２００の第１の構成例（図４）による第１の駆動信号ＶＴ、第２の駆動信号ＶＳ及び送信素子ＵＴと受信素子ＵＲの振動等の波形例を示す。制御信号ＳＰ、ＳＮは、図７（Ｂ）に示したものである。送信回路２１０は、上述したように、第１の制御信号ＳＰがアクティブのときは正極性の電圧となる第１の駆動信号ＶＴ又は第２の駆動信号ＶＳを出力し、第２の制御信号ＳＮがアクティブのときは負極性の電圧となる第１の駆動信号ＶＴ又は第２の駆動信号ＶＳを出力する。
【００９０】
図８では、第１の期間は、出力される交番電圧の周期の１．５倍の期間であり、第２の期間も、出力される交番電圧の周期の１．５倍の期間である。また、図８に示す期間Ｔ１〜Ｔ６は、それぞれ交番電圧の半周期の期間である。
【００９１】
第１の期間においては、図８のＡ１に示す電圧レベル（例えば０Ｖ）を基準電圧として、期間Ｔ１、Ｔ３にはには正極性の電圧（例えば１０Ｖ）の第１の駆動信号ＶＴが出力され（図８のＡ２、Ａ４）、期間Ｔ２には負極性の電圧（例えば−１０Ｖ）の第１の駆動信号ＶＴが出力される（図８のＡ３）。
【００９２】
一方、第１の期間に連続する第２の期間においては、図８のＢ１に示す電圧レベル（例えば０Ｖ）を基準電圧として、最初の期間Ｔ４には正極性の電圧が出力され（図８のＢ２）、次の期間Ｔ５には負極性の電圧が出力され（図８のＢ３）、次の期間Ｔ６には正極性の電圧が出力される（図８のＢ４）。第２の期間に出力される第２の駆動信号ＶＳは、第１の期間に出力される第１の駆動信号ＶＴと逆位相であって、振幅が第１の駆動信号ＶＴより小さく且つ時間と共に減少する。このようにすることで、振幅が徐々に減少する残響振動に対応して第２の駆動信号ＶＳの振幅を徐々に小さくすることができるから、より効果的にクロストークによる振動を低減することができる。
【００９３】
図８に示すように、第１の期間（送信期間）において、第１の駆動信号ＶＴにより送信素子ＵＴが振動し、クロストークによって隣接する受信素子ＵＲも振動する。そして第２の期間（制振期間）においては、クロストークによる振動と逆位相の第２の駆動信号ＶＳが受信素子ＵＲに印加されることで、受信素子ＵＲの振動が抑えられる。その結果、受信回路２２０は、第３の期間（受信期間）において、超音波エコーによる受信信号ＶＲを確実に受け取ることができる。一方、第２の駆動信号ＶＳがない場合には、破線に示すように受信信号ＶＲはクロストークによる振動と重なってしまう。
【００９４】
なお、第１の駆動信号ＶＴ及び第２の駆動信号ＶＳは、図８に示すような矩形波に限定されず、例えば正弦波や三角波などであってもよい。
【００９５】
図８では、第１の駆動信号ＶＴ及び第２の駆動信号ＶＳは、共に交番電圧の１．５周期分の信号であるが、これに限定されるものではない。例えば、第１の駆動信号ＶＴが交番電圧の２周期分の信号であってもよいし、第２の駆動信号ＶＳが交番電圧の１周期分の信号であってもよい。
【００９６】
図９に、本実施形態の処理装置２００の第２の構成例を示す。第２の構成例の処理装置２００は、送信回路２１０、受信回路２２０、制御部２３０、振幅電圧生成回路２４０及び選択回路ＭＵＸを含む。送信回路２１０は、第１の送信部ＴＸ１及び第２の送信部ＴＸ２を含む。なお、本実施形態の処理装置２００は図９の構成に限定されず、その構成要素の一部を省略したり、他の構成要素に置き換えたり、他の構成要素を追加するなどの種々の変形実施が可能である。
【００９７】
第２の構成例の送信回路２１０は、第１の駆動信号ＶＴを出力する第１の送信部ＴＸ１と、第２の駆動信号ＶＳを出力する第２の送信部ＴＸ２とを有する。第１の送信部ＴＸ１は、第１の期間において、制御部２３０からの第１、第２の制御信号ＳＰ１、ＳＮ１に基づいて、第１の駆動信号ＶＴを出力する。また、第２の送信部ＴＸ２は、第２の期間において、制御部２３０からの第３、第４の制御信号ＳＰ２、ＳＮ２に基づいて、第２の駆動信号ＶＳを出力する。具体的には、第１の送信部ＴＸ１は、第１の制御信号ＳＰ１がアクティブのときは正極性の電圧となる第１の駆動信号ＶＴを出力し、第２の制御信号ＳＮ１がアクティブのときは負極性の電圧となる第１の駆動信号ＶＴを出力する。そして第２の送信部ＴＸ２は、第３の制御信号ＳＰ２がアクティブのときは正極性の電圧となる第２の駆動信号ＶＳを出力し、第４の制御信号ＳＮ２がアクティブのときは負極性の電圧となる第２の駆動信号ＶＳを出力する。
【００９８】
第２の構成例の制御部２３０は、第１の制御信号ＳＰ１及び第２の制御信号ＳＮ１を第１の送信部ＴＸ１に対して出力し、第３の制御信号ＳＰ２及び第４の制御信号ＳＮ２を第２の送信部ＴＸ２に対して出力する。具体的には、制御部２３０は、第１の期間において、第１の制御信号ＳＰ１及び第２の制御信号ＳＮ１を所定の周期（交番電圧の周期）で交互にアクティブにする。そして第２の期間において、第３の制御信号ＳＰ２及び第４の制御信号ＳＮ２を、第２の駆動信号ＶＳが第１の駆動信号ＶＴと逆位相になるように、交互にアクティブにする。
【００９９】
また、制御部２３０は、第１のモードでは、送信回路２１０に対して、第１の駆動信号ＶＴ及び第２の駆動信号ＶＳを出力させる制御を行い、第２のモードでは、送信回路２１０に対して、第１の駆動信号ＶＴを出力させ、第２の駆動信号ＶＳを非出力にする制御を行うことができる。
【０１００】
振幅電圧生成回路２４０は、制御部２３０の制御に基づいて、電圧値が可変に設定される第３、第４の振幅設定電圧ＶＰＰ２、ＶＮＮ２を生成し、送信回路２１０に出力する。後述する図１１に示すように、第２の駆動信号ＶＳの振幅は、第３、第４の振幅設定電圧ＶＰＰ２、ＶＮＮ２により設定される。従って、制御部２３０の制御に基づいて、振幅電圧生成回路２４０が第３、第４の振幅設定電圧ＶＰＰ２、ＶＮＮ２を可変に設定することで、第２の駆動信号ＶＳの振幅を可変に設定することができる。即ち、第２の駆動信号ＶＳの振幅を第１の駆動信号ＶＴの振幅より小さく、且つ時間と共に減少させることができる。このようにすることで、振幅が徐々に減少する受信素子ＵＲの振動に対応して第２の駆動信号ＶＳの振幅を徐々に小さくすることができるから、より効果的にクロストークによる振動を低減することができる。
【０１０１】
振幅電圧生成回路２４０は、例えばＤ／Ａ変換器及び演算増幅器などで実現することができる。或いは、抵抗ラダー回路、スイッチ素子、演算増幅器などで実現することもできる。
【０１０２】
第２の構成例の選択回路ＭＵＸは、送信回路２１０及び受信回路２２０に接続され、制御部２３０の制御に基づいて、送信信号線ＴＬ１〜ＴＬｎ及び受信信号線ＲＬ１〜ＲＬｎのうちの少なくとも１つを選択する。
【０１０３】
具体的には、選択回路ＭＵＸは、第１の期間において、送信信号線ＴＬ１〜ＴＬｎのうちの少なくとも１つを選択し、選択された送信信号線を介して第１の送信部ＴＸ１からの第１の駆動信号ＶＴを送信素子ＵＴに出力する。そして第２の期間において、受信信号線ＲＬ１〜ＲＬｎのうちの少なくとも１つを選択し、選択された受信信号線を介して第２の送信部ＴＸ２からの第２の駆動信号ＶＳを受信素子ＵＲに出力する。また第２の期間の後の受信期間において、受信信号線ＲＬ１〜ＲＬｎを選択し、受信素子ＵＲからの受信信号ＶＲ１〜ＶＲｎを受信回路２２０に出力する。
【０１０４】
受信回路２２０については、既に説明した第１の構成例（図４）と同じであるから、ここでは詳細な説明を省略する。
【０１０５】
図１０（Ａ）、図１０（Ｂ）、図１０（Ｃ）に、選択回路ＭＵＸの第２の構成例を示す。第２の構成例の選択回路ＭＵＸは、スイッチ素子ＳＷＴ１〜ＳＷＴｎ、スイッチ素子ＳＷＳ１〜ＳＷＳｎ、スイッチ素子ＳＷＲ１〜ＳＷＲｎを含む。なお、本実施形態の選択回路ＭＵＸは図１０（Ａ）、図１０（Ｂ）、図１０（Ｃ）の構成に限定されず、その構成要素の一部を省略したり、他の構成要素に置き換えたり、他の構成要素を追加するなどの種々の変形実施が可能である。
【０１０６】
スイッチ素子ＳＷＴ１〜ＳＷＴｎは、第１の期間において送信信号線ＴＬ１〜ＴＬｎを選択する。スイッチ素子ＳＷＳ１〜ＳＷＳｎは、第２の期間において、受信信号線ＲＬ１〜ＲＬｎを選択する。スイッチ素子ＳＷＲ１〜ＳＷＲｎは、受信期間において受信信号線ＲＬ１〜ＲＬｎを選択する。
【０１０７】
図１０（Ａ）は、第１の期間（送信期間）における各スイッチ素子の状態を示す。スイッチ素子ＳＷＴ１〜ＳＷＴｎがオン状態である。スイッチ素子ＳＷＳ１〜ＳＷＳｎはオフ状態である。スイッチ素子ＳＷＲ１〜ＳＷＲｎはオフ状態である。この場合には、選択された送信信号線ＴＬ１〜ＴＬｎに対して、第１の送信部ＴＸ１からの第１の駆動信号ＶＴがＶＴ１〜ＶＴｎとして出力される。
【０１０８】
図１０（Ｂ）は、第２の期間（制振期間）における各スイッチ素子の状態を示す。スイッチ素子ＳＷＳ１〜ＳＷＳｎがオン状態であり、他のスイッチ素子はオフ状態である。この場合には、選択された受信信号線ＲＬ１〜ＲＬｎに対して、第２の送信部ＴＸ２からの第２の駆動信号ＶＳがＶＳ１〜ＶＳｎとして出力される。
【０１０９】
図１０（Ｃ）は、第３の期間（受信期間）における各スイッチ素子の状態を示す。スイッチ素子ＳＷＲ１〜ＳＷＲｎがオン状態であり、他のスイッチ素子はオフ状態である。この場合には、選択された受信信号線ＲＬ１〜ＲＬｎを介して、受信素子ＵＲからの受信信号ＶＲ１〜ＶＲｎが受信回路２２０に出力される。
【０１１０】
なお、選択回路ＭＵＸは、第１の期間において送信信号線ＴＬ１〜ＴＬｎの全てを同じタイミングで選択してもよいし、例えばＴＬ１、ＴＬ２、ＴＬ３、・・・のように順番に１本ずつ選択してもよい。同様に、第２の期間において受信信号線ＲＬ１〜ＲＬｎの全てを同じタイミングで選択してもよいし、例えばＲＬ１、ＲＬ２、ＲＬ３、・・・のように順番に１本ずつ選択してもよい。
【０１１１】
図１１に、本実施形態の送信回路２１０の第２の構成例を示す。第２の構成例の送信回路２１０は、第１の送信部ＴＸ１及び第２の送信部ＴＸ２を含む。第１の送信部ＴＸ１は、第１、第２のレベル変換回路ＬＴ＿Ｐ１、ＬＴ＿Ｎ１、第１、第２のドライバー回路ＤＲ＿Ｐ１、ＤＲ＿Ｎ１、Ｐ型トランジスターＱＰ１、Ｎ型トランジスターＱＮ１、抵抗素子ＲＰ１、ＲＮ１及びダイオードＤＰ１、ＤＮ１を含む。また、第２の送信部ＴＸ２は、第３、第４のレベル変換回路ＬＴ＿Ｐ２、ＬＴ＿Ｎ２、第３、第４のドライバー回路ＤＲ＿Ｐ２、ＤＲ＿Ｎ２、Ｐ型トランジスターＱＰ２、Ｎ型トランジスターＱＮ２、抵抗素子ＲＰ２、ＲＮ２及びダイオードＤＰ２、ＤＮ２を含む。なお、本実施形態の送信回路２１０は図１１の構成に限定されず、その構成要素の一部を省略したり、他の構成要素に置き換えたり、他の構成要素を追加するなどの種々の変形実施が可能である。
【０１１２】
第１の送信部ＴＸ１の第１、第２のレベル変換回路ＬＴ＿Ｐ１、ＬＴ＿Ｎ１は、第１、第２の制御信号ＳＰ１、ＳＮ１を受けて、レベル変換した信号を第１、第２のドライバー回路ＤＲ＿Ｐ１、ＤＲ＿Ｎ１に対して出力する。制御信号ＳＰ１、ＳＮ１は、例えば低電位レベル（Ｌレベル、ＶＳＳレベル）が０Ｖで高電位レベル（Ｈレベル）が１．５Ｖのロジック信号であるが、レベル変換回路ＬＴ＿Ｐ１、ＬＴ＿Ｎ１によってドライバー回路ＤＲ＿Ｐ１、ＤＲ＿Ｎ１を駆動するのに必要な電圧レベルに変換される。
【０１１３】
第１、第２のドライバー回路ＤＲ＿Ｐ１、ＤＲ＿Ｎ１は、第１、第２のドライバー回路ＤＲ＿Ｐ１、ＤＲ＿Ｎ１からの信号に基づいて、Ｐ型トランジスターＱＰ１及びＮ型トランジスターＱＮ１をそれぞれ駆動する。具体的には、第１のドライバー回路ＤＲ＿Ｐ１は、第１の制御信号ＳＰ１がアクティブ（例えば１．５Ｖ）のときはＰ型トランジスターＱＰ１をオン状態にするゲート電圧（例えば２Ｖ）を出力し、ＳＰ１が非アクティブ（例えば０Ｖ）のときはＱＰ１をオフ状態にするゲート電圧（例えば１０Ｖ）を出力する。また、第２のドライバー回路ＤＲ＿Ｎ１は、第２の制御信号ＳＮ１がアクティブ（例えば１．５Ｖ）のときはＮ型トランジスターＱＮ１をオン状態にするゲート電圧（例えば−２Ｖ）を出力し、ＳＰ１が非アクティブ（例えば０Ｖ）のときはＱＰ１をオフ状態にするゲート電圧（例えば−１０Ｖ）を出力する。
【０１１４】
Ｐ型トランジスターＱＰ１は、例えば数１０Ｖ程度のドレイン・ソース間耐圧を有するＰ型トランジスターである。Ｐ型トランジスターＱＰ１のソースには第１の振幅設定電圧ＶＰＰ１（例えば１０Ｖ）が印加され、ゲートには第１のドライバー回路ＤＲ＿Ｐ１の出力信号が入力され、ドレインは抵抗素子ＲＰ１を介してＶＳＳノード（例えば０Ｖ）に接続されると共にダイオードＤＰ１を介して第１の駆動信号ＶＴを出力する。
【０１１５】
Ｎ型トランジスターＱＮ１は、例えば数１０Ｖ程度のドレイン・ソース間耐圧を有するＮ型トランジスターである。Ｎ型トランジスターＱＮ１のソースには第２の振幅設定電圧ＶＮＮ１（例えば−１０Ｖ）が印加され、ゲートには第２のドライバー回路ＤＲ＿Ｎ１の出力信号が入力され、ドレインは抵抗素子ＲＮ１を介してＶＳＳノード（例えば０Ｖ）に接続されると共にダイオードＤＮ１を介して第１の駆動信号ＶＴを出力する。
【０１１６】
第１の制御信号ＳＰ１がアクティブで、第２の制御信号ＳＮ１が非アクティブであるときは、ＱＰ１がオン状態でＱＮ１がオフ状態になるから、正極性の電圧（例えば１０Ｖ）の第１の駆動信号ＶＴが出力される。一方、第１の制御信号ＳＰ１が非アクティブで、第２の制御信号ＳＮ１がアクティブであるときは、ＱＰ１がオフ状態でＱＮ１がオン状態になるから、負極性の電圧（例えば−１０Ｖ）の第１の駆動信号ＶＴが出力される。また、第１及び第２の制御信号ＳＰ１、ＳＮ１が共に非アクティブであるときは、ＱＰ１及びＱＮ１が共にオフ状態になるから、第１の駆動信号ＶＴはＶＳＳレベル（例えば０Ｖ）に設定される。第１の駆動信号ＶＴの振幅は、第１の振幅設定電圧ＶＰＰ１及び第２の振幅設定電圧ＶＮＮ１により設定される。
【０１１７】
第２の送信部ＴＸ２の構成と動作は、第１の送信部ＴＸ１と同様であるから、詳細な説明を省略する。第３の制御信号ＳＰ２がアクティブで、第４の制御信号ＳＮ２が非アクティブであるときは、ＱＰ２がオン状態でＱＮ２がオフ状態になるから、正極性の電圧（例えば１０Ｖ）の第２の駆動信号ＶＳが出力される。一方、第３の制御信号ＳＰ２が非アクティブで、第４の制御信号ＳＮ２がアクティブであるときは、ＱＰ２がオフ状態でＱＮ２がオン状態になるから、負極性の電圧（例えば−１０Ｖ）の第２の駆動信号ＶＳが出力される。また、第３及び第４の制御信号ＳＰ２、ＳＮ２が共に非アクティブであるときは、ＱＰ２及びＱＮ２が共にオフ状態になるから、第２の駆動信号ＶＳはＶＳＳレベル（例えば０Ｖ）に設定される。第２の駆動信号ＶＳの振幅は、第３の振幅設定電圧ＶＰＰ２及び第４の振幅設定電圧ＶＮＮ２により設定される。
【０１１８】
制御部２３０による制御信号ＳＰ１、ＳＮ１、ＳＰ２、ＳＮ２の生成は、第１の構成例の場合と同様に行うことができる。信号生成部ＳＧＥＮは、例えば図７（Ｂ）において、カウント値ＣＮが１、２、５、６であるときに、第１の制御信号ＳＰ１をＨレベルに設定し、第２の制御信号ＳＮ１をＬレベルに設定する。また、カウント値ＣＮが３、４であるときに、第１の制御信号ＳＰ１をＬレベルに設定し、第２の制御信号ＳＮ１をＨレベルに設定する。そしてカウント値ＣＮが７、８、１１、１２であるときに、第３の制御信号ＳＰ２をＨレベルに設定し、第４の制御信号ＳＮ２をＬレベルに設定する。また、カウント値ＣＮが９、１０であるときに、第３の制御信号ＳＰ２をＬレベルに設定し、第４の制御信号ＳＮ２をＨレベルに設定する。
【０１１９】
図１２に、処理装置２００の第２の構成例（図９）による第１の駆動信号ＶＴ、第２の駆動信号ＶＳ及び受信素子ＵＲの振動等の第１の波形例を示す。第２の構成例の送信回路２１０は、上述したように、第１の制御信号ＳＰ１がアクティブのときは正極性の電圧となる第１の駆動信号ＶＴを出力し、第２の制御信号ＳＮ１がアクティブのときは負極性の電圧となる第１の駆動信号ＶＴを出力する。また第３の制御信号ＳＰ２がアクティブのときは正極性の電圧となる第２の駆動信号ＶＳを出力し、第４の制御信号ＳＮ２がアクティブのときは負極性の電圧となる第２の駆動信号ＶＳを出力する。
【０１２０】
図１２では、第１の期間は、出力される交番電圧の周期の１．５倍の期間であり、第２の期間も、出力される交番電圧の周期の１．５倍の期間である。また、図１２に示す期間Ｔ１〜Ｔ６は、それぞれ交番電圧の半周期の期間である。
【０１２１】
第１の送信部ＴＸ１は、第１の期間において、図１２のＣ１に示す電圧レベル（例えば０Ｖ）を基準電圧として、期間Ｔ１、Ｔ３には正極性の電圧（例えば１０Ｖ）の第１の駆動信号ＶＴを出力し（図１２のＣ２、Ｃ４）、期間Ｔ２には負極性の電圧（例えば−１０Ｖ）の第１の駆動信号ＶＴを出力する（図１２のＣ３）。
【０１２２】
第２の送信部ＴＸ２は、第２の期間において、図１２のＥ１に示す電圧レベル（例えば０Ｖ）を基準電圧として、最初の期間Ｔ４には正極性の電圧の第２の駆動信号ＶＳを出力し（図１２のＥ２）、次の期間Ｔ５には負極性の電圧の第２の駆動信号ＶＳを出力し（図１２のＥ３）、次の期間Ｔ６には正極性の電圧の第２の駆動信号ＶＳを出力する（図１２のＥ４）。第２の駆動信号ＶＳは、第１の駆動信号ＶＴと逆位相であって、振幅が第１の駆動信号ＶＴより小さく且つ時間と共に減少する。このようにすることで、振幅が徐々に減少する受信素子ＵＲの振動に対応して第２の駆動信号ＶＳの振幅を徐々に小さくすることができるから、より効果的にクロストークによる振動を低減することができる。
【０１２３】
第１の期間（送信期間）において、第１の駆動信号ＶＴにより送信素子ＵＴが振動し、クロストークによって隣接する受信素子ＵＲも振動する。そして第２の期間（制振期間）において、クロストークによる振動と逆位相の第２の駆動信号ＶＳが印加されることで、受信素子ＵＲの振動が抑えられる。その結果、受信回路２２０は、第３の期間（受信期間）において、超音波エコーによる受信信号ＶＲを確実に受け取ることができる。一方、第２の駆動信号ＶＳがない場合には、破線に示すように受信信号ＶＲはクロストークによる振動と重なってしまう。
【０１２４】
このように本実施形態の処理装置２００の第２の構成例によれば、送信回路２１０が第２の期間において、第２の駆動信号ＶＳを受信素子ＵＲに対して出力することができるから、より効果的にクロストークを低減することができる。
【０１２５】
送信回路２１０は、図１２に示すように、第１の期間の最後の期間Ｔ３に出力された第１の駆動信号ＶＴが正極性の電圧である場合には、第２の期間の最初の期間Ｔ４には正極性の電圧となる第２の駆動信号ＶＳを出力する。また、第１の期間の最後の期間Ｔ３に出力された第１の駆動信号ＶＴが負極性の電圧である場合には、第２の期間の最初の期間Ｔ４には負極性の電圧となる第２の駆動信号ＶＳを出力する。
【０１２６】
図１２では、第１の期間の最後の期間Ｔ３に続く期間Ｔ４において第３の制御信号ＳＰ２がアクティブになるが、第１の期間の終了後に所与の設定期間だけ遅れて、第３の制御信号ＳＰ２又は第４の制御信号ＳＮ２がアクティブになってもよい。具体的には、制御部２３０は、第１の制御信号ＳＰ１又は第２の制御信号ＳＮ１をアクティブにすることで第１の送信部ＴＸ１に対して第１の駆動信号ＶＴの出力指示を行った後、所与の設定期間遅れて第３の制御信号ＳＰ２又は第４の制御信号ＳＮ２をアクティブにすることで、第２の送信部ＴＸ２に対して第２の駆動信号ＶＳの出力指示を行ってもよい。さらに制御部２３０は、上記の設定期間を可変に設定してもよい。このようにすることで、受信信号が受信されるタイミングに応じて第２の駆動信号ＶＳを出力することができる。また、クロストークによる振動の抑制に適したタイミングで第２の駆動信号ＶＳを出力することができるから、より効果的にクロストークを低減することができる。
【０１２７】
上記の設定期間は、例えば制御部２３０に設けられたレジスターに１つ又は複数の設定期間を設定するためのレジスター値を格納しておき、このレジスター値に基づいて設定期間を設定、又は可変に設定することができる。
【０１２８】
処理装置２００の第２の構成例（図９）によれば、第２の送信部ＴＸ２が、第２の期間だけでなく第１の期間においても、第２の駆動信号ＶＳ（制振信号）を受信素子ＵＲに対して出力することが可能であり、こうすることで受信素子ＵＲのクロストークによる振動をより効果的に低減することができるとも考えられる。しかし、第１の期間において受信素子ＵＲに第２の駆動信号ＶＳを印加することにより、隣接する送信素子ＵＴの振動が抑制されるおそれがある。その結果、送信素子ＵＴから出射される超音波の強度が減少するなどの問題が生じるおそれがあるから、第１の期間において第２の駆動信号ＶＳを受信素子ＵＲに対して出力することは望ましくない。
【０１２９】
図１３に、処理装置２００の第２の構成例（図９）による第１の駆動信号ＶＴ、第２の駆動信号ＶＳ及び受信素子ＵＲの振動等の第２の波形例を示す。
【０１３０】
図１３に示す第２の波形例では、制御部２３０は、第１の期間において、第１の制御信号ＳＰ１及び第２の制御信号ＳＮ１を所定の周期で交互にアクティブにする。そして第２の期間において、第２の制御信号ＳＮ１と第４の制御信号ＳＮ２とを同じタイミングでアクティブにし、第１の制御信号ＳＰ１と第３の制御信号ＳＰ２とを同じタイミングでアクティブにする。具体的には、期間Ｔ４、Ｔ６では第１の制御信号ＳＰ１と第３の制御信号ＳＰ２とをアクティブにし、期間Ｔ５では第２の制御信号ＳＮ１と第４の制御信号ＳＮ２とをアクティブにする。即ち、上述した第１の波形例（図１２）と異なる点は、第２の期間において第１の制御信号ＳＰ１及び第２の制御信号ＳＮ１がアクティブになることである。その結果、第１の送信部ＴＸ１は、第２の期間においても正極性又は負極性の電圧となる第１の駆動信号ＶＴを出力する。
【０１３１】
具体的には、第１の送信部ＴＸ１は、第２の期間の最初の期間Ｔ４では正極性の電圧となる第１の駆動信号ＶＴを出力し（図１３のＦ１）、次の期間Ｔ５では負極性の電圧となる第１の駆動信号ＶＴを出力し（図１３のＦ２）、次の期間Ｔ６では正極性の電圧となる第１の駆動信号ＶＴを出力する（図１３のＦ３）。第２の期間の第１の駆動信号ＶＴは、第１の期間の第１の駆動信号ＶＴと逆位相であって、振幅が第１の期間の第１の駆動信号ＶＴより小さく且つ時間と共に減少する。このようにすることで、送信素子ＵＴに対して残響振動と逆位相で振幅が徐々に小さくなる駆動信号を印加することができるから、送信素子ＵＴの残響振動を効果的に低減することができる。送信素子ＵＴの残響振動を低減することで、より効果的に受信素子ＵＲのクロストークによる振動を低減することができる。
【０１３２】
なお、図１３に示す第２の波形例の場合では、例えば図１０（Ｂ）において、選択回路ＭＵＸのスイッチ素子ＳＷＴ１〜ＳＷＴｎはオン状態に設定される。こうすることで、第２の期間において、第１の送信部ＴＸ１からの第１の駆動信号ＶＴがＶＴ１〜ＶＴｎとして各送信素子ＵＴに対して出力される。
【０１３３】
図１４（Ａ）、図１４（Ｂ）に、制御信号ＳＰ、ＳＮの変形例を示す。図１４（Ａ）の変形例では、第１の期間の最初の期間Ｔ１では第１の制御信号ＳＰがアクティブ（Ｈレベル）になり、次の期間Ｔ２では第２の制御信号ＳＮがアクティブになる。第２の期間の最初の期間Ｔ３では第２の制御信号ＳＮがアクティブになり、次の期間Ｔ４では第１の制御信号ＳＰがアクティブになる。こうすることで、第２の期間の最初の期間Ｔ３では負極性の電圧の第２の駆動信号ＶＳが出力され、次の期間Ｔ４では正極性の電圧の第２の駆動信号ＶＳが出力される。
【０１３４】
図１４（Ｂ）の変形例では、第１の期間の最初の期間Ｔ１では第１の制御信号ＳＰがアクティブ（Ｈレベル）になり、次の期間Ｔ２では第２の制御信号ＳＮがアクティブになる。第２の期間の最初の期間Ｔ３では第１及び第２の制御信号ＳＰ、ＳＮが共に非アクティブ（Ｌレベル）になり、次の期間Ｔ４では第１の制御信号ＳＰがアクティブになり、次の期間Ｔ５では第２の制御信号ＳＮがアクティブになる。こうすることで、第２の期間の最初の期間Ｔ３では基準電圧（例えば０Ｖ）の第２の駆動信号ＶＳが出力され、次の期間Ｔ４では正極性の電圧の第２の駆動信号ＶＳが出力され、次の期間Ｔ５では負極性の電圧の第２の駆動信号ＶＳが出力される。このように、第１の期間に続いて第１及び第２の制御信号ＳＰ、ＳＮが共に非アクティブになる期間、即ち第２の駆動信号ＶＳの信号レベルが基準電圧となる期間を設けてもよい。
【０１３５】
図１５に、制御部２３０による制御信号ＳＰ、ＳＮの生成の変形例を示す。図１５の変形例は、図７（Ａ）、図７（Ｂ）の変形例であって、クロック信号ＣＬＫに基づいて生成された基準信号ＳＲＦにより第１の期間の期間Ｔ１、Ｔ２、Ｔ３、及び第２の期間の期間Ｔ４、Ｔ５、Ｔ６が規定される。第１の期間において、期間Ｔ１、Ｔ３は基準信号ＳＲＦがＨレベルになる期間であり、期間Ｔ２は基準信号ＳＲＦがＬレベルになる期間である。第２の期間において、期間Ｔ４、Ｔ６は基準信号ＳＲＦがＬレベルになる期間であり、期間Ｔ５は基準信号ＳＲＦがＨレベルになる期間である。このように、クロック信号ＣＬＫに基づいて生成された基準信号ＳＲＦにより制御信号ＳＰ、ＳＮを生成してもよい。
【０１３６】
以上説明したように、本実施形態の処理装置２００によれば、第１の期間（送信期間）に続く第２の期間（制振期間）において、受信素子ＵＲに対して第２の駆動信号ＶＳ（制振信号）を出力して、クロストークによる受信素子ＵＲの振動を抑えることができるから、対象物との距離が短い場合であってもエコー信号を確実に受信することができる。その結果、例えば薄膜圧電型超音波素子を用いた携帯型の超音波診断装置において、被検体の表層部分の鮮明な画像を取得することなどが可能になる。
【０１３７】
４．超音波プローブ、電子機器及び超音波診断装置
図１６に、本実施形態の超音波プローブ３００及び電子機器（超音波診断装置）４００の基本的な構成例を示す。超音波プローブ３００は、超音波トランスデューサーデバイス１００、処理装置２００を含む。電子機器（超音波診断装置）４００は、超音波プローブ３００及び電子機器本体（超音波診断装置本体）４１０を含む。電子機器本体（超音波診断装置本体）４１０は、主制御部３１０、処理部３２０、ＵＩ（ユーザーインターフェース）部３３０、表示部３４０を含む。
【０１３８】
主制御部３１０は、超音波プローブ３００に対して超音波の送受信制御を行い、処理部３２０に対して検出データの画像処理等の制御を行う。処理部３２０は、受信回路２２０からの検出データを受けて、必要な画像処理や表示用画像データの生成などを行う。ＵＩ（ユーザーインターフェース）部３３０は、ユーザーの行う操作（例えばタッチパネル操作など）に基づいて主制御部３１０に必要な命令（コマンド）を出力する。表示部３４０は、例えば液晶ディスプレイ等であって、処理部３２０からの表示用画像データを表示する。なお、主制御部３１０が行う制御の一部を処理装置２００の制御部２３０が行ってもよいし、制御部２３０が行う制御の一部を主制御部３１０が行ってもよい。
【０１３９】
図１７（Ａ）、図１７（Ｂ）に、本実施形態の超音波診断装置４００の具体的な構成例を示す。図１７（Ａ）は携帯型の超音波診断装置４００を示し、図１７（Ｂ）は据置型の超音波診断装置４００を示す。
【０１４０】
携帯型及び据置型の超音波診断装置４００は共に、超音波プローブ３００、ケーブルＣＢ及び超音波診断装置本体４１０を含む。超音波プローブ３００は、ケーブルＣＢにより超音波診断装置本体４１０に接続される。超音波診断装置本体４１０は表示用画像データを表示する表示部３４０を含む。
【０１４１】
図１７（Ａ）に示す携帯型の超音波診断装置４００では、装置を小型化してバッテリーを電源とする必要がある。本実施形態の超音波診断装置４００によれば、クロストークによる受信素子の振動を抑えることができるから、対象物との距離が短い場合であってもエコー信号を確実に受信することができる。その結果、例えば薄膜圧電型超音波素子を用いた携帯型の超音波診断装置において、被検体の表層部分の鮮明な画像を取得することなどが可能になる。
【０１４２】
図１７（Ｃ）に、本実施形態の超音波プローブ３００の具体的な構成例を示す。超音波プローブ３００はプローブヘッド３０１及びプローブ本体３０２を含み、図１７（Ｃ）に示すように、プローブヘッド３０１はプローブ本体３０２と脱着可能である。
【０１４３】
プローブヘッド３０１は、超音波トランスデューサーデバイス１００、支持部材ＳＵＰ、被検体と接触する接触部材１３０、超音波トランスデューサーデバイス１００を保護する保護部材（保護膜）ＰＦ、コネクターＣＮａ及びプローブ筐体１４０を含む。超音波トランスデューサーデバイス１００は、接触部材１３０と支持部材ＳＵＰとの間に設けられる。
【０１４４】
プローブ本体３０２は、処理装置２００及びプローブ本体側コネクターＣＮｂを含む。プローブ本体側コネクターＣＮｂは、プローブヘッド側コネクターＣＮａと接続される。プローブ本体３０２は、ケーブルＣＢにより超音波診断装置本体４１０に接続される。
【０１４５】
なお、以上のように本実施形態について詳細に説明したが、本発明の新規事項および効果から実体的に逸脱しない多くの変形が可能であることは当業者には容易に理解できるであろう。従って、このような変形例はすべて本発明の範囲に含まれるものとする。例えば、明細書又は図面において、少なくとも一度、より広義または同義な異なる用語と共に記載された用語は、明細書又は図面のいかなる箇所においても、その異なる用語に置き換えることができる。また処理装置、超音波プローブ、電子機器及び超音波診断装置の構成、動作も本実施形態で説明したものに限定されず、種々の変形実施が可能である。
【符号の説明】
【０１４６】
１００  超音波トランスデューサーデバイス、１３０  接触部材、
１４０  プローブ筐体、２００  処理装置、２１０  送信回路、２２０  受信回路、
２３０  制御部、２４０  振幅電圧生成回路、３００  超音波プローブ、
３０１  プローブヘッド、３０２  プローブ本体、３１０  主制御部、
３２０  処理部、３３０  ＵＩ部、３４０  表示部、
４００  超音波診断装置（電子機器）、
４１０  超音波診断装置本体（電子機器本体）、
ＵＴ  送信素子、ＵＲ  受信素子、ＭＵＸ  選択回路、ＴＬ１〜ＴＬｎ  送信信号線、
ＲＬ１〜ＲＬｎ  受信信号線、ＣＬ１〜ＣＬｍ  コモン電極線、
ＳＰ、ＳＮ  制御信号、
ＶＴ１〜ＶＴｎ  第１の駆動信号、ＶＳ１〜ＶＳｎ  第２の駆動信号、
ＶＲ１〜ＶＲｎ  受信信号、ＶＣＯＭ  コモン電圧
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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