(57)【要約】  検査対象を破壊することなく、該検査対象の状態を正しく判定可能な検査装置等が提供される。検査装置１０１は、検査対象２０１に生じた振動を測定可能な複数の振動測定装置によって測定された振動を表す振動情報の特徴を表す振動特徴量を作成する特徴量作成部１０３と、作成された該振動特徴量が、該振動測定装置によって測定された該振動間にて、ばらついている程度を表す散らばり度を算出する散らばり度計算部１０４と、算出された該散らばり度の大きさに基づき、検査対象２０１の状態を判定する判定部１０５とを有する。
2017145850.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象に生じた振動を測定可能な複数の振動測定装置によって測定された振動を表す振動情報の特徴を表す振動特徴量を作成する特徴量作成手段と、
作成された前記振動特徴量が、前記振動測定装置によって測定された前記振動間にて、ばらついている程度を表す散らばり度を算出する散らばり度計算手段と、
算出された前記散らばり度の大きさに基づき、前記検査対象の状態を判定する判定手段と
を備える検査装置。
【請求項２】
前記特徴量作成手段は、前記振動特徴量を、測定された前記振動に含まれている振動モードに関して作成し、
前記判定手段は、前記振動モードに関する前記散らばり度の加重平均に基づき、前記検査対象に関する損傷を判定する
請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
前記振動情報に関する前記振動における振幅値の大きさに応じて、前記振動情報を分類する分類手段
をさらに備え、
前記散らばり度計算手段は、分類された前記振動情報について、前記散らばり度を算出する
請求項１、または、請求項２に記載の検査装置。
【請求項４】
前記特徴量作成手段は、前記振動情報に関する減衰比、または、前記振動情報に関する共振周波数を、前記振動特徴量として作成する
請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の検査装置。
【請求項５】
前記振幅値の大きさは、前記振動情報に関する前記振動を表す時刻歴波形において、最大振幅値、または、略最大振幅値である
請求項３に記載の検査装置。
【請求項６】
前記複数の振動測定装置
をさらに備える請求項１乃至請求項５のいずれかに記載の検査装置。
【請求項７】
前記複数の振動測定装置は、前記検査対象に関して、異なる位置の振動を測定する
請求項６に記載の検査装置。
【請求項８】
前記検査対象に加えられる加振力の強さを計測する計測手段
をさらに備え、
前記特徴量作成手段は、前記加振力に応じて生じた自由振動が前記振動測定装置によって測定された場合に、前記自由振動の特徴を表す前記振動特徴量を作成し、
前記分類手段は、前記加振力の強さに基づき、前記振動情報を分類する
請求項３に記載の検査装置。
【請求項９】
検査対象に生じた振動を測定可能な複数の振動測定装置によって測定された振動を表す振動情報の特徴を表す振動特徴量を作成し、作成された前記振動特徴量が、前記振動測定装置によって測定された前記振動間にて、ばらついている程度を表す散らばり度を算出し、算出された前記散らばり度の大きさに基づき、前記検査対象の状態を判定する検査方法。
【請求項１０】
検査対象に生じた振動を測定可能な複数の振動測定装置によって測定された振動を表す振動情報の特徴を表す振動特徴量を作成する特徴量作成機能と、
作成された前記振動特徴量が、前記振動測定装置によって測定された前記振動間にて、ばらついている程度を表す散らばり度を算出する散らばり度計算機能と、
算出された前記散らばり度の大きさに基づき、前記検査対象の状態を判定する判定機能と
をコンピュータに実現させる検査プログラムが記録された記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査対象を破壊することなく、該検査対象の状態を検査することが可能な検査装置等に関する。
【背景技術】
【０００２】
材料や構造物等の検査対象（被測定物）に関する損傷を判定する場合には、該検査対象に関する振動特性を解析することが有効である。該振動特性は、たとえば、減衰比、共振周波数等のように、振動に基づき算出される物理的な量（以降、「振動特徴量」と表す）を表す。言い換えれば、該検査対象に関して測定される減衰比、共振周波数等の振動特徴量に基づき、該検査対象に関する損傷を判定することができる。たとえば、検査対象に亀裂や変形等の損傷が生じた場合において、該検査対象の弾性率が低下したり、該検査対象に与えた（生じた）振動に対するエネルギーが散逸してしまう量が増加したりする。この結果、該検査対象に対する減衰比が増加したり、該検査対象に関する共振周波数が低下したりする。【０００３】
検査対象に関する振動を解析し、解析した結果に基づき該検査対象の状態を検査する検査装置の例は、特許文献１、及び、特許文献２に開示されている。【０００４】
特許文献１は、振動に基づき損傷の有無を検査する検査装置の一例として、検査対象である機械部品結合部に関する打音に基づき、該機械部品結合部に関する損傷を判定する検査装置を開示する。該検査装置は、ハンマを用いて該機械部品結合部に打撃を加える。該機械部品結合部は、打撃（加振力）が加えられることによって、機械部品結合部に固有な自由振動にて励起する。該検査装置は、単点に設置されたマイクロフォンを用いて、打撃により生じた衝撃音を集音し、集音した衝撃音に基づき該機械部品結合部に関する自由振動を解析する。すなわち、該検査装置は、集音した衝撃音に基づき、該機械部品結合部に関する周波数や減衰比等の振動特徴量を作成する。検査装置は、算出した振動特徴量に基づき、該機械部品結合部に関する損傷の状態を判定する。【０００５】
特許文献２は、検査対象に対する打撃に応じて生じた振動を解析することによって、該検査対象の状態を評価する振動検査装置を開示する。該振動検査装置は、検査対象に対する打撃に応じて生じた振動を受信し、受信した振動をサンプリングする。該振動検査装置は、サンプリングした値の散らばり度の大小に基づき、該検査対象の状態を評価する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】実用新案登録第３０８８５７７号公報
【特許文献２】特開２００５−００３５０８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、検査対象に関する振動における減衰比や共振周波数等の振動特徴量には、該検査対象に生じた損傷の位置や、損傷の種類に依存して大きなばらつきが生じることがある。たとえば、特許文献１、及び、特許文献２に開示された検査装置は、単点に設置されたマイクロフォンによって集音した振動に基づき検査対象の状態を判定するので、振動特徴量にばらつきが生じている場合において該検査対象の状態を正しく判定することができない可能性がある。【０００８】
そこで、本発明の目的の１つは、検査対象を破壊することなく、該検査対象の状態を正しく判定可能な検査装置等を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の一態様において、検査装置は、
検査対象に生じた振動を測定可能な複数の振動測定装置によって測定された振動を表す振動情報の特徴を表す振動特徴量を作成する特徴量作成手段と、
作成された前記振動特徴量が、前記振動測定装置によって測定された前記振動間にて、ばらついている程度を表す散らばり度を算出する散らばり度計算手段と、
算出された前記散らばり度の大きさに基づき、前記検査対象の状態を判定する判定手段と
を備える。【００１０】
また、本発明の他の見地として、検査方法は、
検査対象に生じた振動を測定可能な複数の振動測定装置によって測定された振動を表す振動情報の特徴を表す振動特徴量を作成し、作成された前記振動特徴量が、前記振動測定装置によって測定された前記振動間にて、ばらついている程度を表す散らばり度を算出し、算出された前記散らばり度の大きさに基づき、前記検査対象の状態を判定する。【００１１】
また、本発明の他の見地として、検査プログラムは、
検査対象に生じた振動を測定可能な複数の振動測定装置によって測定された振動を表す振動情報の特徴を表す振動特徴量を作成する特徴量作成機能と、
作成された前記振動特徴量が、前記振動測定装置によって測定された前記振動間にて、ばらついている程度を表す散らばり度を算出する散らばり度計算機能と、
算出された前記散らばり度の大きさに基づき、前記検査対象の状態を判定する判定機能と
をコンピュータに実現させる。【００１２】
さらに、同目的は、係る検査プログラムを記録するコンピュータが読み取り可能な記録媒体によっても実現される。
【発明の効果】
【００１３】
本発明に係る検査装置等によれば、検査対象を破壊することなく、該検査対象の状態をより正しく判定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る検査装置が有する構成を示すブロック図である。
【図２】第１の実施形態に係る検査装置における処理の流れを示すフローチャートである。
【図３】本発明の第２の実施形態に係る検査装置が有する構成を示すブロック図である。
【図４】第２の実施形態に係る検査装置における処理の流れを示すフローチャートである。
【図５】自由振動を含む波形の一例を概念的に表す図である。
【図６】自由振動を含む波形の一例を概念的に表す図である。
【図７】検査対象である金属板表面の中心付近にて測定された振動情報に基づき算出された減衰比を表す図である。
【図８】検査対象である金属板に関して、２４個の測定箇所にて測定された振動情報に基づき算出された減衰比を表す図である。
【図９】曲げ回数に対して、減衰比の散らばり度が変化する様子を表す図である。
【図１０】１個の測定箇所（単点）にて測定された振動情報に基づき検査対象に生じている損傷の程度を判定した結果と、本発明の各実施形態に係る検査装置によって、２４個の測定箇所にて測定された振動情報に基づき検査対象の状態を判定した結果とを表す図である。
【図１１】１個の測定箇所にて測定された振動情報に基づき検査対象の状態を判定した結果と、本発明の各実施形態に係る検査装置によって、２４個の測定箇所にて測定された振動情報に基づき検査対象の状態を判定した結果とを表す図である。
【図１２】散らばり度に関して、性能テストにて用いた振動モードと、各振動モードに対する重みの一例を示す図である。
【図１３】３０枚の金属板に関する損傷判定にて正しく判定された枚数を、１個の測定箇所にて測定された振動情報に基づき判定した場合と、本発明の各実施形態に係る検査装置によって判定した場合とに関して示す図である。
【図１４】１個の測定箇所にて測定された振動情報に基づき検査対象の状態を判定した結果と、本発明の各実施形態に係る検査装置によって、２４個の測定箇所にて測定された振動情報に基づき検査対象の状態を判定した結果とを表す図である。
【図１５】本発明の各実施形態に係る検査対象を実現可能な計算処理装置のハードウェア構成例を、概略的に示すブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
次に、本発明を実施する実施形態について図面を参照しながら詳細に説明する。
【００１６】
＜第１の実施形態＞
図１、及び、図２を参照しながら、本発明の第１の実施形態に係る検査装置１０１が有する構成について詳細に説明する。図１は、本発明の第１の実施形態に係る検査装置１０１が有する構成を示すブロック図である。図２は、第１の実施形態に係る検査装置１０１における処理の流れを示すフローチャートである。
【００１７】
第１の実施形態に係る検査装置１０１は、特徴量作成部１０３と、散らばり度計算部１０４と、判定部１０５とを有する。検査装置１０１は、さらに、振動測定部１０２を有してもよい。また、振動測定部１０２は、検査対象２０１に生じた振動を測定する装置として、検査装置１０１に接続されていてもよい。
【００１８】
振動測定部１０２は、検査対象２０１に生じた振動を、異なる複数の測定箇所にて測定し、各測定箇所にて測定した振動を表す振動情報を作成する（ステップＳ１０１）。振動測定部１０２は、たとえば、接着剤や永久磁石を用いた機械的接合法等に従い、検査対象２０１の表面上の複数の測定箇所に設置された振動センサであってもよい。また、振動測定部１０２は、検査対象２０１に生じた振動によって生じた音を集音するマイクロフォンであって、複数の測定箇所に設置されているマイクロフォンであってもよい。すなわち、振動測定部１０２は、上述した例に限定されず、検査対象２０１に関して、異なる位置の振動を測定する装置であればよい。
【００１９】
特徴量作成部１０３は、振動測定部１０２が作成した振動情報に基づき、該振動情報の特徴を表す振動特徴量を作成する（ステップＳ１０２）。振動特徴量は、たとえば、該振動情報に含まれている振動する態様を表す振動モード（振動成分）に関する減衰比、または、振動モードに関する共振周波数（後述する）であってもよい。
【００２０】
振動モードは、たとえば、曲げ振動、ねじり振動、縦振動等の振動形態を表し、さらに、検査対象２０１に固有な振動形態を表す。曲げ振動は、検査対象２０１が曲がる方向（形態）に関する振動モードを表す。ねじり振動は、検査対象２０１がねじれる方向（形態）に関する振動モードを表す。縦振動は、検査対象２０１に圧縮と引張とが生じる方向（形態）に関する振動モードを表す。
【００２１】
また、ステップＳ１０２において、振動モードは、必ずしも１つの振動モードである必要はなく、後述する第３の例のように複数であってもよい。
【００２２】
特徴量作成部１０３は、異なる複数の測定箇所に設置された振動センサ等を用いて測定された各振動情報に関して、所定の特徴量作成手順に従い、該振動情報の特徴を表す振動特徴量を作成する。所定の特徴量作成手順は、たとえば、インパルスハンマを用いて検査対象２０１に打撃が加えられ（すなわち、検査対象２０１に加振力が加えられ）、加えられた打撃と、該打撃に応じて生じた振動とに基づき、振動モードに関する振動特徴量を作成する手順（「実験モード解析法」とも呼ばれる）がある。実験モード解析法においては、インパルスハンマ等を用いて検査対象２０１に打撃（入力振動）が加えられ（加振され）、加えられた打撃と、該打撃に応じて検査対象２０１に生じた応答振動とが振動センサ等を用いて測定され、測定された振動を表す振動情報が作成される。振動に関する実験モード解析法は、一般的な方法であるので、本実施形態においては、該実験モード解析法に関する詳細な説明を省略する。
【００２３】
次に、該実験モード解析法においては、作成された２つの振動情報（入力振動、及び、応答振動）に高速フーリエ変換（ＦＦＴ）等の信号処理法が適用されることによって、検査対象２０１に生じた振動モードが同定される。加えられた入力振動に関する振動情報は、たとえば、該入力振動を測定した結果に基づき作成される。
【００２４】
特徴量作成部１０３は、検査対象２０１に関して作成された振動情報に含まれている振動モードを同定し、同定した振動モードに関する減衰比、または、同定した振動モードに関する共振周波数等の振動特徴量を作成する。特徴量作成部１０３は、たとえば、入力振動と応答振動との関係を表す周波数応答関数に基づき、減衰比や共振周波数等の振動特徴量を作成する。より具体的に、特徴量作成部１０３は、たとえば、半値幅法に従い、減衰比や共振周波数等の振動特徴量を作成する。後述する第１の例においては、振動特徴量として減衰比を作成する例が示されている。後述する第２の例においては、振動特徴量として共振周波数を作成する例が示されている。
【００２５】
特徴量作成部１０３は、該周波数応答関数に関する周波数のうち、卓越している（ｄｏｍｉｎａｎｔ）周波数に基づき共振周波数を算出する。また、特徴量作成部１０３は、該周波数応答関数に逆フーリエ変換を適用することによって、時間領域における波形（すなわち、「時間波形」）を算出し、算出した時間波形に対して、バンドパスフィルタ等の信号処理手順を適用する。この処理によって、特徴量作成部１０３は、検査対象２０１に関して作成された振動情報に基づき、該振動情報に関する減衰比や共振周波数等の振動特徴量を作成する。より具体的に、特徴量作成部１０３は、作成した時間波形に関して対数減衰率を算出し、算出した対数減衰率に基づき減衰比を算出する。また、特徴量作成部１０３は、作成した時間波形に関して周期を算出し、算出した周期に基づき共振周波数を算出する。
【００２６】
特徴量作成部１０３は、さらに、検査対象２０１に加えられた加振力に応じて生じた自由振動に基づき、該自由振動の特徴を表す振動特徴量を作成する。自由振動は、検査対象２０１に固有な振動であり、たとえば、検査対象２０１に固有な固有振動数にて運動する振動を表す。特徴量作成部１０３は、測定された自由振動を表す振動情報に基づき、検査対象２０１に関する振動特徴量を作成し、作成した振動特徴量に応じて、検査対象２０１の状態（たとえば、損傷が生じているのか否か、または、損傷の程度）を判定する。
【００２７】
特徴量作成部１０３は、検査対象２０１に関して、空間的に異なる複数の測定箇所にて測定された振動を表す振動情報に対して、上述したような振動特徴量を作成する処理を実行する。したがって、特徴量作成部１０３によって作成される振動特徴量は、空間的に分布している測定箇所にて測定された振動の特徴を表す。
【００２８】
散らばり度計算部１０４は、検査対象２０１に関して、複数の測定箇所にて測定された振動情報に基づき算出された振動特徴量に対して、該振動特徴量がばらついている程度を表す散らばり度（たとえば、分散値）を算出する（ステップＳ１０３）。すなわち、散らばり度計算部１０４は、空間的に分布している測定箇所にて測定された振動に関する振動特徴量の散らばり度を算出する。尚、散らばり度は、必ずしも、分散値である必要はなく、情報エントロピー等の指標であってもよい。散らばり度は、上述した例に限定されない。
【００２９】
判定部１０５は、散らばり度計算部１０４が算出した散らばり度に基づき、検査対象２０１の状態（たとえば、損傷が生じているのか否か、または、損傷の程度）を判定する（ステップＳ１０４）。損傷は、き裂、塑性変形等を表す。塑性変形は、検査対象２０１に対して、たとえば、半永久的に生じた変形、または、残留たわみを表す。判定部１０５は、たとえば、損傷が生じている検査対象２０１に関して算出された散らばり度（以降、「損傷散らばり度」と表す）、及び、損傷が生じていない検査対象２０１に関して算出された散らばり度（以降、「非損傷散らばり度」と表す）と、算出した散らばり度との大小を比較する。判定部１０５は、検査対象２０１に関して算出した散らばり度が損傷散らばり度に近い場合に、検査対象２０１に損傷が生じている（または、生じている損傷が重度である）と判定する。判定部１０５は、検査対象２０１に関して算出した散らばり度が非損傷散らばり度に近い場合に、検査対象２０１に損傷が生じていない（または、生じている損傷が軽度である）と判定する。
【００３０】
判定部１０５は、検査対象２０１の状態を判定する場合に、第１タイミングにて測定された振動情報に基づき算出された散らばり度と、第２タイミングにて測定された振動情報に基づき算出された散らばり度との差異を算出してもよい。たとえば、判定部１０５は、算出した差異と、損傷散らばり度、及び、非損傷散らばり度の差異との比に基づき、検査対象２０１が経年変化することによって生じた損傷の程度を算出してもよい。
【００３１】
次に、第１の実施形態に係る検査装置１０１に関する効果について説明する。
【００３２】
本実施形態に係る検査装置１０１によれば、検査対象の状態を正しく判定することができる。この理由は、材料、構造物等の検査対象２０１に生じた損傷の程度（位置、種類）に応じて、異なる複数の測定箇所にて測定された振動に関する振動特徴量の散らばり度が異なっており、本実施形態に係る検査装置１０１が、該散らばり度に基づき検査対象２０１の状態を判定するからである。この理由については、図８、及び、図９を参照しながら詳細に後述する。しかし、簡略的に説明すると、本願発明者は、検査対象２０１に関する振動を、たとえば、異なる複数の測定箇所に配置された振動センサ等を用いて測定し、測定した振動間の散らばり度と、検査対象２０１における状態とに規則性があることを見出した。より具体的に、本願発明者は、該散らばり度が大きな値であるほど検査対象２０１に生じている損傷の程度が重く、該散らばり度が小さな値であるほど検査対象２０１に生じている損傷の程度が軽いという規則性を見出した。したがって、検査装置１０１は、本願発明者が見出した規則性に従い、検査対象２０１の状態（たとえば、損傷が生じているのか否か、または、損傷の程度）を判定するので、該検査対象の状態を正しく判定することができる。
【００３３】
＜第２の実施形態＞
次に、上述した第１の実施形態を基本とする本発明の第２の実施形態について説明する。
【００３４】
以降の説明においては、本実施形態に係る特徴的な部分を中心に説明すると共に、上述した第１の実施形態と同様な構成については、同一の参照番号を付すことにより、重複する説明を省略する。
【００３５】
図３、及び、図４を参照しながら、本発明の第２の実施形態に係る検査装置１２６が有する構成について詳細に説明する。図３は、本発明の第２の実施形態に係る検査装置１２６が有する構成を示すブロック図である。図４は、第２の実施形態に係る検査装置１２６における処理の流れを示すフローチャートである。
【００３６】
第２の実施形態に係る検査装置１２６は、外力情報作成部１２１と、振動測定部１０２と、特徴量作成部１０３と、散らばり度計算部１０４と、判定部１２５とを有する。
【００３７】
振動測定部１０２は、検査対象２０１に生じた振動を、異なる複数の測定箇所にて測定し、各測定箇所にて測定した振動を表す振動情報を作成する（ステップＳ１０１）。振動情報は、たとえば、図５、または、図６に例示されているような、時間の経過に対して、どのような振幅にて振動したのかを表す時刻歴波形である。
【００３８】
外力情報作成部１２１は、作成された振動情報に基づき、検査対象２０１に加えられた外力の強さに関係している値を表す情報（説明の便宜上、「外力情報」と表す、図５、または、図６を参照しながら後述する）を作成する（ステップＳ２０１）。
【００３９】
特徴量作成部１０３は、振動測定部１０２が作成した振動情報に基づき、第１の実施形態に示された手順と同様の手順によって、該振動情報の特徴を表す振動特徴量を作成する（ステップＳ１０２）。尚、ステップＳ１０２と、ステップＳ２０１とに関しては、いずれの処理が先に実行されてもよい。
【００４０】
判定部１２５は、作成された外力情報における値の大きさに応じて、測定された自由振動に関する振動情報を複数のカテゴリに分類する（ステップＳ２０２）。カテゴリは、たとえば、外力情報（図５、または、図６を参照しながら後述する）における値に関する範囲を表す。この場合に、複数のカテゴリは、それぞれ、外力情報における値に関する異なる範囲を表す。言い換えれば、あるカテゴリは、外力情報における値が、ある範囲内である振動情報を含んでいる。次に、判定部１２５は、ステップＳ１０２にて振動情報に関して作成された振動特徴量の散らばり度を、該カテゴリごとに算出する（ステップＳ１０３）。
【００４１】
判定部１２５は、カテゴリごとに算出された散らばり度に基づき、第１の実施形態に示されたステップＳ１０４と同様の手順によって、該カテゴリごとに、検査対象２０１の状態（たとえば、損傷が生じているのか否か、または、損傷の程度）を判定する（ステップＳ２０３）。判定部１２５は、たとえば、カテゴリごとに算出された損傷散らばり度、及び、カテゴリごとに算出された非損傷散らばり度に基づき、検査対象２０１の状態（損傷が生じているのか否か、または、損傷の程度等）を判定する。判定部１２５は、たとえば、作成された外力情報の値の大きさに応じたカテゴリを選択し、選択したカテゴリに関する損傷散らばり度、及び、選択したカテゴリに関する非損傷散らばり度と、算出した散らばり度とを比較した結果に基づき、検査対象２０１の状態を判定する。
【００４２】
尚、後述する第４の例においては、振動情報が複数のカテゴリに分類する例が示されている。
【００４３】
次に、図５、及び、図６を参照しながら外力情報について説明する。図５、及び、図６は、自由振動を含む波形の一例を概念的に表す図である。外力情報は、たとえば、外力に応じて生じた自由振動を、時間の経過に対する振幅値が表された波形における最大振幅値（または、略最大振幅値）である。以降、説明の便宜上、最大と、略最大とを含めて、「最大」と表す。
【００４４】
図５に例示された波形が測定された場合に加えられた外力と、図６に例示された波形が測定された場合に加えられた外力とを比べた場合に、該外力（加振力）の強さは異なっている。外力の強さが異なっている場合には、該外力の強さに応じて、自由振動を表す波形における最大振幅値は異なる。たとえば、図５に例示された自由振動における最大振幅値１は、図６に例示された自由振動における最大振幅値２よりも大きい。これに対して、自由振動が生じた際に加えられた外力の強さは、図５に例示された自由振動１の場合の方が、図６に例示された自由振動２の場合よりも強い。したがって、最大振幅値は、外力の強さに関係しているので、外力情報の一例である。
【００４５】
外力情報は、自由振動に関する最大振幅値と、該自由振動に関する最大振幅値と逆方向の変動値（最小振幅値、または、略最小振幅値）との差分であってもよい。図５に例示された自由振動１において、当該差分（すなわち、外力情報）は、Δａである。図６に例示された自由振動２において、当該差分（すなわち、外力情報）は、Δｂである。この場合であっても、図５に例示された自由振動１の場合と、図６に例示された自由振動２の場合とを比較すると、差分は、図５に例示された自由振動１の方が、図６に例示された自由振動２よりも大きい。したがって、該差分は、外力の強さに関係しているので、外力情報の一例である。
【００４６】
次に、第２の実施形態に係る検査装置１２６に関する効果について説明する。
【００４７】
本実施形態に係る検査装置１２６によれば、検査対象２０１の状態を正しく判定することができる。この理由は、第１の実施形態にて説明した理由と同様である。
【００４８】
さらに、本実施形態に係る検査装置１２６によれば、外力の強さがばらついている場合であっても、検査対象２０１の状態（たとえば、損傷が生じているのか否か、または、損傷の程度）を、より正しく判定することができるという効果を奏する。この理由は、検査装置１２６が、外力に応じて生じた自由振動を、外力情報に基づき、同一の（または、類似した）外力の強さを表すカテゴリに分類し、該カテゴリごとに散らばり度を算出するからである。したがって、たとえ、外力の強さがばらついている場合であっても、本実施形態に係る検査装置１２６によれば、検査対象２０１の状態（たとえば、損傷が生じているのか否か、または、損傷の程度）を、より正しく判定することができるという効果を奏する。
【００４９】
さらに、本実施形態に係る検査装置１２６によれば、検査対象２０１に加えられた外力の代わりに、該外力の強さと関係している自由振動の最大振幅値等に基づき、該自由振動に関する振動情報を複数のカテゴリに分類するので、該外力の強さを測定する装置が不要であるという効果を奏する。言い換えれば、本実施形態に係る検査装置１２６によれば、検査装置１２６が、軽量化されるという効果を奏する。
【００５０】
次に、第１の例、乃至、第４の例に示された例を参照しながら、本実施形態に係る検査装置１２６における処理、及び、検査装置１２６によって奏される効果について説明する。
【００５１】
（第１の例）
検査対象２０１である金属板に曲げ疲労試験が適用された場合に、該金属板の状態（たとえば、損傷が生じているのか否か、または、損傷の程度）を判定する検査装置１２６の一例について説明する。該曲げ疲労試験においては、金属板が断続的に曲げ伸ばしされることによって、該金属板に物理的な疲労が生じる負荷（以降、「疲労負荷」と表す）が外部から断続的に加えられる。金属板に対する疲労負荷が外部から断続的に加えられるのにつれ、金属板に生じた損傷は悪化していく。言い換えれば、該曲げ疲労試験においては、曲げ回数が増大するにつれ、損傷は悪化していく。
【００５２】
第１の例において、金属板の大きさは、幅方向に５０ミリメートル（ｍｍ）、長さ方向に１００ｍｍ、厚さ方向に０．１ｍｍである。金属板の枚数は、３０枚である。検査装置１２６は、検査対象２０１である各金属板の状態（たとえば、損傷が生じているのか否か、または、損傷の程度）を判定する。
【００５３】
検査装置１２６において、振動測定部１０２は、曲げ疲労試験が適用された各金属板に関して、所定の曲げ回数ごとに、複数の異なる測定箇所における振動情報を作成する。
【００５４】
特徴量作成部１０３は、実験モード解析法に従い、該振動情報の特徴を表す振動特徴量として減衰比を算出する。特徴量作成部１０３は、各測定箇所において測定された振動情報に関して、該減衰比の散らばり度を算出する。ここで、減衰比を算出する手順について詳細に説明する。
【００５５】
該曲げ疲労試験においては、金属板に所定の曲げ回数の曲げ伸ばしが加えられた後に、インパルスハンマを用いて、該金属板に衝撃力（外力、加振力）が加えられる。
【００５６】
検査装置１２６は、金属板の表面上にて、異なる２４個の測定箇所に設置された振動センサを含む振動測定部１０２を有する。振動センサは、インパルスハンマによって加えられた衝撃力に応じて生じた振動（応答振動）を、自振動センサが設置された測定箇所にて測定し、測定した振動を表す振動情報を作成する。
【００５７】
特徴量作成部１０３は、加えられた衝撃力と、作成された振動情報との関係を表す伝達関数（周波数応答関数）を算出することによって、該伝達関数にて振動が減衰する程度を表す減衰比を算出する。特徴量作成部１０３は、たとえば、曲げ１次モードを表す振動特徴量に関する伝達関数を算出することによって、該伝達関数に含まれている減衰比を算出する。より具体的に説明すると、特徴量作成部１０３は、２４個の測定箇所にて振動センサを用いて作成された振動情報に関して、それぞれ、減衰比を算出し、該測定箇所にて測定された振動情報に関する該減衰比の散らばり度を算出する。
【００５８】
ここで、該振動特徴量と、検査対象２０１の状態との関係について説明する。検査対象２０１に関して損傷が進行した場合に、検査対象２０１に生じた亀裂や塑性域が発生、または、進展するのに応じて、検査対象２０１の弾性率は低下し、検査対象２０１に関するエネルギー散逸量は増加する。この結果、検査対象２０１に生じた損傷が進行するにつれ、振動特徴量は、たとえば、単調に増加（または、単調に減少）する。たとえば、検査対象２０１に生じた損傷が進行するにつれ、減衰比は、単調に増加する。
【００５９】
次に、この例において行った性能テスト、及び、該性能テストの結果について説明する。
【００６０】
第１の例においては、３０枚の金属板のうち、正しく判定された金属板の枚数に基づき、１個の測定箇所（単点）にて測定された振動情報に基づき判定した場合の性能と、検査装置１２６を用いて（すなわち、複数の測定箇所）にて測定された振動情報に基づき判定した場合の性能とを比較する。第１の例においては、振動特徴量が、曲げ回数の増加による損傷の進行に対して、単調に増加した場合、または、単調に減少した場合を、金属板の状態を正しく判定することができる場合とした。
【００６１】
まず、金属板に関して１個の測定箇所（単点）にて測定された振動情報に基づき、該金属板に損傷が生じている程度を判定する性能テストを行った。該性能テストの結果を、図７に示す。図７は、検査対象２０１である金属板表面の中心付近にて測定された振動情報に基づき算出された減衰比を表す図である。図７において、横軸は、金属板に与えられた曲げ回数を表し、右側であるほど曲げ回数が多い（すなわち、損傷が悪化する）ことを表す。図７において、縦軸は、金属板に該曲げ回数が与えられた後に算出された減衰比を表し、上側であるほど減衰比が大きいことを表す。減衰比は、曲げ回数０回にて測定された振動情報に基づき算出された減衰比に基づき規格化された値（以降、「規格化減衰比」と表す）を表す。
【００６２】
図７を参照すると、曲げ回数が増えた場合であっても、減衰比は、不規則に変化している。たとえば、曲げ回数が１０００回である場合において、規格化減衰比は、１．０２である。曲げ回数が５００００回である場合において、規格化減衰比は、０．６２である。したがって、曲げ回数が増えた場合であっても、必ずしも、減衰比は、単調に減少するとは限らないので、振動情報に生じた、わずかな変化に応じて、値が大きく異なるパラメタである。この結果、単点に設置された振動センサにて測定された振動情報に基づき算出された減衰比に応じて、検査対象２０１に損傷が生じているのか否かが判定された場合に、該判定結果は、誤っている可能性がある。
【００６３】
これに対して、本実施形態に係る検査装置１２６のように、複数の測定箇所にて測定された振動情報に基づき、算出された減衰比を図８に示す。図８は、検査対象２０１である金属板に関して、２４個の測定箇所にて測定された振動情報に基づき算出された減衰比を表す図である。図８において、横軸は、金属板に与えられた曲げ回数を表し、右側であるほど曲げ回数が多い（すなわち、損傷が悪化する）ことを表す。図８において、縦軸は、金属板に該曲げ回数が与えられた後に算出された減衰比を表し、上側であるほど減衰比が大きいことを表す。減衰比は、曲げ回数０回にて、金属板表面の中央の付近の点にて測定された振動情報に基づき算出された減衰比に基づき規格化された値を表す。図８において、規格化減衰比の方向には、２４個の測定箇所にて測定された振動情報に基づき算出された減衰比の最大値と、最小値とがエラーバー（図８において、５００００回付近等に示された縦長の実線）にて示されている。
【００６４】
図８を参照すると、特に、曲げ回数が５００００回以上である場合においては、１０００回等と比較して、上下に広い幅のエラーバーが出現している。これは、２４個の測定箇所にて測定された振動情報に関する減衰比に、ばらつきがあることを示す。また、図８においては、曲げ回数が増えるのにつれて、エラーバーの範囲が広がっている。これは、金属板に生じた損傷が悪化するのにつれ、減衰比に関して、空間的な散らばり度が増加していることを表す。曲げ回数が増えるのにつれ減衰比の散らばり度が増大する原因は、金属板の内部にき裂等の損傷が発生し、発生した損傷が悪化するのにつれ、該金属板に関して、弾性率、エネルギー散逸量等の指標が、測定箇所によって大きく変化したことが主な原因であると考えられる。
【００６５】
図８に示された減衰比に関する散らばり度を図９に示す。図９は、曲げ回数に対して、減衰比の散らばり度が変化する様子を表す図である。図９において、横軸は、金属板に与えられた曲げ回数を表し、右側であるほど曲げ回数が多い（すなわち、損傷が悪化する）ことを表す。図９において、縦軸は、金属板に該曲げ回数が与えられた後に算出された減衰比の散らばり度を表し、上側であるほど、散らばり度が大きいことを表す。
【００６６】
図９を参照すると、曲げ回数が増えるにつれ、減衰比の散らばり度は急激に増大している。これは、金属板に生じた損傷が悪化するにつれ、該金属板に関して算出された減衰比の散らばり度が急激に増加することを表す。
【００６７】
検査対象２０１に生じた損傷が悪化するにつれ、該散らばり度が大きくなる規則性に基づき、本実施形態に係る検査装置１２６は、検査対象２０１の状態（たとえば、損傷が生じているのか否か、または、損傷の程度）を判定する。
【００６８】
図１０を参照しながら、本実施形態に係る検査装置１２６によって奏される効果の一例について説明する。図１０は、１個の測定箇所（単点）にて測定された振動情報に基づき検査対象２０１に生じている損傷の程度を判定した結果と、本発明の各実施形態に係る検査装置によって、２４個の測定箇所にて測定された振動情報に基づき検査対象２０１の状態を判定した結果とを表す図である。
【００６９】
１個の測定箇所にて測定された振動情報に基づき検査対象２０１に生じている損傷の程度を判定した結果は、たとえば、特許文献１等に開示された検査装置によって判定された結果を表す。２４個の測定箇所にて測定された振動情報に基づき検査対象２０１に生じている損傷の程度を判定した結果は、本実施形態に係る検査装置１２６によって判定された結果を表す。
【００７０】
図１０を参照すると、１個の測定箇所にて測定された振動情報の場合において正しく判定された金属の枚数は２０枚であり、２４個の測定箇所にて測定された振動情報（本実施形態に係る検査装置１２６）の場合において正しく判定された金属の枚数は２６枚である。したがって、本実施形態に係る検査装置１２６によれば、検査対象２０１の状態（たとえば、損傷が生じているのか否か、または、損傷の程度）を、正しく判定することができる。この理由は、検査対象２０１に関して振動情報を測定する測定箇所の位置に対して減衰比等の振動特徴量が変化しやすく、この結果、該振動特徴量に基づき検査対象２０１の状態を判定する場合には、判定結果が該振動特徴量の変化の影響を受けてしまうからである。これに対して、本実施形態に係る検査装置１２６によれば、検査対象２０１に生じた損傷が悪化するにつれ、該振動特徴量のばらつき度が大きくなる規則性に基づき、検査対象２０１の状態を判定するので、振動特徴量が測定箇所に対して変化してしまう影響を受けにくい。
【００７１】
（第２の例）
次に、検査装置１２６が、検査対象２０１に関する共振周波数に基づき、検査対象２０１の状態（たとえば、損傷が生じているのか否か、または、損傷の程度）を判定する一例について説明する。
【００７２】
検査装置１２６において、振動測定部１０２は、曲げ疲労試験が適用された各金属板に関して、所定の曲げ回数ごとに、複数の異なる測定箇所における振動情報を作成する。
【００７３】
特徴量作成部１０３は、実験モード解析法に従い、該振動情報の特徴を表す振動特徴量として共振周波数を算出し、さらに、算出した共振周波数について、複数の異なる測定箇所に関する散らばり度を算出する。
【００７４】
金属板に関して１個の測定箇所（単点）にて測定された振動情報に基づき、該金属板に損傷が生じている程度を判定する性能テストを行った。該性能テストにおいては、１個の測定箇所（単点）にて測定された振動情報に基づき共振周波数が算出され、算出された共振周波数に基づき該金属板に損傷が生じている程度が判定されている。これに対して、本実施形態に係る検査装置１２６は、２４個の測定箇所ごとに、各測定箇所にて測定された振動情報に基づき共振周波数を算出し、算出した共振周波数について測定箇所に関する散らばり度を算出し、算出した散らばり度に基づき、検査対象２０１に生じている損傷の程度を判定した。これらの結果を、図１１に示す。図１１は、１個の測定箇所にて測定された振動情報に基づき検査対象の状態を判定した結果と、本発明の各実施形態に係る検査装置によって、２４個の測定箇所にて測定された振動情報に基づき検査対象２０１の状態を判定した結果とを表す図である。
【００７５】
図１１を参照すると、１個の測定箇所にて測定された振動情報の場合において正しく判定された金属の枚数は２０枚であり、２４個の測定箇所にて（すなわち、検査装置１２６を用いて）測定された振動情報の場合において正しく判定された金属の枚数は２７枚である。したがって、本実施形態に係る検査装置１２６によれば、検査対象２０１の状態（たとえば、損傷が生じているのか否か、または、損傷の程度）を、正しく判定することができる。この理由は、減衰比に関して説明した理由と同様の理由が、共振周波数に関しても共通しているからである。
【００７６】
（第３の例）
第３の例において、検査装置１２６は、測定された振動情報に含まれている振動モードごとに、減衰比の散らばり度を算出し、算出した散らばり度に関する加重平均に基づき、検査対象２０１（金属板）の状態（たとえば、損傷が生じているのか否か、または、損傷の程度）を判定する。
【００７７】
第１の例に示したような金属板の曲げ疲労試験に関して、検査装置１２６は、金属板に所定の曲げ回数の曲げ伸ばしが加えられた後に計測された振動情報に関して、実験モード解析法に従い、該振動情報に含まれている振動モードを算出する。検査装置１２６は、算出した振動モードごとに、減衰比を振動特徴量として算出する。次に、検査装置１２６は、複数の測定箇所にて測定された振動情報に関して、振動モードごとに、該減衰比の散らばり度を算出する。検査装置１２６は、各振動モードに関して、該振動モードに関して算出された散らばり度と、該振動モードに関する重みとを掛け算し、算出された値の総和（すなわち、加重平均）を算出する。以降、算出された総和を「重み付き合算値」と表す。検査装置１２６は、算出した重み付き合算値に基づき、検査対象２０１（金属板）の状態（たとえば、損傷が生じているのか否か、または、損傷の程度）を判定する。
【００７８】
言い換えれば、判定部１２５は、複数の振動モードごとに、振動特徴量に関して算出された散らばり度が所定の重み付けに従い重み付けされた値に基づき、検査対象２０１の状態（たとえば、損傷が生じているのか否か、または、損傷の程度）を判定する。判定部１２５は、たとえば、複数の振動モードごとに減衰比の散らばり度を算出し、算出した散らばり度が振動モードごとに重み付けされた値の合計値（すなわち、散らばり度に関する加重平均）を算出し、算出した合計値に基づき、検査対象２０１に損傷が生じているのか否かを判定する。散らばり度へ与える重み付けは、検査対象２０１に応じて異なっていてもよい。
【００７９】
図１２を参照しながら、散らばり度に対する重み付けについて説明する。図１２は、散らばり度に関して、性能テストで用いた振動モードと、各振動モードに対する重みの一例を示す図である。第３の例においては、図１２に例示されているように、振動情報に含まれている振動モードのうち、４個の異なる振動モードに関して、所定の重みが設定されている。所定の重みにおいては、振動モードのうち、注目している事象に主として関係している振動モードに関する重みが、他の振動モードに関する重みよりも大きな値に設定される。各振動モードが該事象に同等に関係している場合に、各振動モードに関する重みは、同じ値に設定される。
【００８０】
たとえば、図１２においては、モード番号「２」と、振動モード「ねじり１次」と、重み「０．１」とが関連付けされている。これは、モード番号「２」が表す振動モード「ねじり１次」の散らばり度が、重み「０．１」に従い重み付けされることを表す。また、たとえば、図１２においては、たとえｐば、モード番号「３」と、振動モード「曲げ２次」と、重み「０．３」とが関連付けされている。これは、モード番号「３」が表す振動モード「曲げ２次」の散らばり度が、重み「０．３」に従い重み付けされることを表す。この例のように、注目している事象が金属板の曲げ疲労である場合に、該事象に主として関係している振動モードは、たとえば、振動モード「曲げ１次」である。この場合に、図１２に例示されているように、所定の重みにおいて、振動モード「曲げ１次」に関する重みには、他の振動モードに関する重みよりも大きな値が設定される。
【００８１】
評価テストとして、１個の測定箇所（該金属板の中央）にて測定された振動情報に関する減衰比に基づき、金属板の疲労に伴う損傷の進行を判定した。この評価テストの結果を図１３に示す。図１３は、３０枚の金属板に関する損傷判定にて正しく判定された枚数を、１個の測定箇所にて測定された振動情報に基づき判定した場合と、本実施形態に係る検査装置１２６によって判定した場合とに関して示す図である。
【００８２】
図１３を参照すると、１個の測定箇所にて測定された振動情報に基づき判定した場合には、２０枚の金属板が正しく判定されたのに対し、本発明の各実施形態に係る検査装置によって判定した場合には、２９枚の金属板が正しく判定される。したがって、本実施形態に係る検査装置１２６によれば、１個の測定箇所にて測定された振動情報に基づき判定した場合よりも、金属板の状態（たとえば、損傷が生じているのか否か、または、損傷の程度）を正しく判定することができる。
【００８３】
また、図１０に示された値（検査装置１２６に関する２６）と、図１３に示された値（検査装置１２６に関する２９）とを比較すると、正しく判定された枚数は後者の方が多い。したがって、第３の例に示されているように、散らばり度が振動モードごとに重み付けされた指標を用いた方が、重み付けされていない指標を用いるよりも、検査対象２０１の状態をより正しく判定することができるという効果を奏する。
【００８４】
（第４の例）
第４の例において、検査装置１２６は、検査対象２０１に外力（加振力）が加えられるのに応じて生じる自由振動（外力に対する応答振動）に基づき、振動特徴量として減衰比を算出する。
【００８５】
第１の例に示されたような金属板の曲げ疲労試験において、検査装置１２６は、所定の曲げ回数ごとに、インパルスハンマを用いて金属板に加振力が加えられるのに応じて生じる自由振動を、異なる複数の測定箇所にて測定し、測定した自由振動を表す振動情報を作成する。検査装置１２６は、作成した振動情報に関する減衰比を測定箇所ごとに算出し、算出した減衰比に対する散らばり度を算出する。言い換えれば、第４の例において、検査装置１２６は、外力情報を参照することなく、測定された自由振動のみに基づき減衰比を算出する。
【００８６】
第４の例において、インパルスハンマを用いて加えられた加振力の強さは、ばらついている。この結果、該加振力に応じて生じた自由振動に関して、該自由振動における振幅は、加振力の強さに応じて相互に異なる。
【００８７】
検査装置１２６は、上述した処理に加え、さらに、外力情報として、自由振動を表す時刻歴波形において、振幅の最大値を測定箇所ごとに算出する。検査装置１２６は、測定箇所ごとに算出した最大値に応じて、測定された自由振動を３つのカテゴリに分類する。検査装置１２６は、測定された自由振動のうち、同じカテゴリに分類された自由振動に関して減衰比の散らばり度を、異なる曲げ回数ごとに算出し、算出した散らばり度に基づき、検査対象２０１の状態（たとえば、損傷が生じているのか否か、または、損傷の程度）を判定する。
【００８８】
図１４を参照しながら、第４の例に関する判定結果について説明する。図１４は、１個の測定箇所にて測定された振動情報に基づき検査対象の状態を判定した結果と、本発明の各実施形態に係る検査装置によって、２４個の測定箇所にて測定された振動情報に基づき検査対象２０１の状態を判定した結果とを表す図である。
【００８９】
第４の例においては、１個の測定箇所にて測定された振動情報に基づき該金属板に関する損傷を判定した場合には、３０枚の金属板のうち、２０枚の金属板に関する損傷が正しく判定された。これに対して、本実施形態に係る検査装置１２６によれば、３０枚の金属板のうち、２７枚の金属板に関する損傷が正しく判定される。この結果は、図１１に示された結果と同様の結果である。したがって、本実施形態に係る検査装置１２６によって正しく判定された金属板の枚数が、１個の測定箇所にて測定された振動情報に基づき判定された金属板の枚数よりも多いので、本実施形態に係る検査装置１２６によれば、検査装置１２６の状態（たとえば、損傷が生じているのか否か、または、損傷の程度）を正しく判定することができる。
【００９０】
さらに、検査装置１２６は、加振力の強さを測定するのではなく、測定された自由振動における最大振幅値に基づき外力情報を算出する。したがって、本実施形態に係る検査装置１２６によれば、加振力の強さを計測する構成要素が必要ないので、検査装置１２６自体を簡素化することができるという効果を奏する。
【００９１】
尚、検査装置１２６は、加振力の強さを測定する計測部（不図示）を有していてもよい。この場合にも、本実施形態に係る検査装置１２６によれば、検査装置１２６の状態（たとえば、損傷が生じているのか否か、または、損傷の程度）を正しく判定することができる。
【００９２】
（ハードウェア構成例）
上述した本発明の各実施形態における検査装置を、１つの計算処理装置（情報処理装置、コンピュータ）を用いて実現するハードウェア資源の構成例について説明する。但し、係る検査装置は、物理的または機能的に少なくとも２つの計算処理装置を用いて実現してもよい。また、係る検査装置は、専用の装置として実現してもよい。
【００９３】
図１５は、第１の実施形態乃至第２の実施形態に係る検査装置を実現可能な計算処理装置のハードウェア構成例を概略的に示す図である。計算処理装置２０は、中央処理演算装置（Ｃｅｎｔｒａｌ＿Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ＿Ｕｎｉｔ、以降「ＣＰＵ」と表す）２１、メモリ２２、ディスク２３、不揮発性記録媒体２４、通信インターフェース（以降、「通信ＩＦ」と表す）２７、及び、ディスプレー２８を有する。計算処理装置２０は、入力装置２５、出力装置２６に接続可能であってもよい。計算処理装置２０は、通信ＩＦ２７を介して、他の計算処理装置、及び、通信装置と情報を送受信することができる。
【００９４】
不揮発性記録媒体２４は、コンピュータが読み取り可能な、たとえば、コンパクトディスク（Ｃｏｍｐａｃｔ＿Ｄｉｓｃ）、デジタルバーサタイルディスク（Ｄｉｇｉｔａｌ＿Ｖｅｒｓａｔｉｌｅ＿Ｄｉｓｃ）である。また、不揮発性記録媒体２４は、ユニバーサルシリアルバスメモリ（ＵＳＢメモリ）、ソリッドステートドライブ（Ｓｏｌｉｄ＿Ｓｔａｔｅ＿Ｄｒｉｖｅ）等であってもよい。不揮発性記録媒体２４は、電源を供給しなくても係るプログラムを保持し、持ち運びを可能にする。不揮発性記録媒体２４は、上述した媒体に限定されない。また、不揮発性記録媒体２４の代わりに、通信ＩＦ２７、及び、通信ネットワークを介して係るプログラムを持ち運びしてもよい。
【００９５】
すなわち、ＣＰＵ２１は、ディスク２３に記憶されているソフトウェア・プログラム（コンピュータ・プログラム：以下、単に「プログラム」と称する）を、実行する際にメモリ２２にコピーし、演算処理を実行する。ＣＰＵ２１は、プログラム実行に必要なデータをメモリ２２から読み取る。表示が必要な場合には、ＣＰＵ２１は、ディスプレー２８に出力結果を表示する。外部への出力が必要な場合には、ＣＰＵ２１は、出力装置２６に出力結果を出力する。外部からプログラムを入力する場合、ＣＰＵ２１は、入力装置２５からプログラムを読み取る。ＣＰＵ２１は、上述した図１、または、図３に示す各部が表す機能（処理）に対応するところのメモリ２２にある検査プログラム（図２、または、図４）を解釈し実行する。ＣＰＵ２１は、上述した本発明の各実施形態において説明した処理を順次実行する。
【００９６】
すなわち、このような場合、本発明の各実施形態は、係る検査プログラムによっても成し得ると捉えることができる。さらに、係る検査プログラムが記録されたコンピュータが読み取り可能な不揮発性の記録媒体によっても、本発明の各実施形態は成し得ると捉えることができる。
【００９７】
以上、上述した実施形態を模範的な例として本発明を説明した。しかし、本発明は、上述した実施形態には限定されない。すなわち、本発明は、本発明のスコープ内において、当業者が理解し得る様々な態様を適用することができる。
【００９８】
この出願は、２０１６年２月２２日に出願された日本出願特願２０１６−０３０６９６を基礎とする優先権を主張し、その開示の全てをここに取り込む。
【符号の説明】
【００９９】
１０１    検査装置
１０２    振動測定部
１０３    特徴量作成部
１０４    散らばり度計算部
１０５    判定部
２０１    検査対象
１２１    外力情報作成部
１２５    判定部
１２６    検査装置
２０    計算処理装置
２１    ＣＰＵ
２２    メモリ
２３    ディスク
２４    不揮発性記録媒体
２５    入力装置
２６    出力装置
２７    通信ＩＦ
２８    ディスプレー
【図１】
2017145850.tif 000003
【図２】
2017145850.tif 000004
【図３】
2017145850.tif 000005
【図４】
2017145850.tif 000006
【図５】
2017145850.tif 000007
【図６】
2017145850.tif 000008
【図７】
2017145850.tif 000009
【図８】
2017145850.tif 000010
【図９】
2017145850.tif 000011
【図１０】
2017145850.tif 000012
【図１１】
2017145850.tif 000013
【図１２】
2017145850.tif 000014
【図１３】
2017145850.tif 000015
【図１４】
2017145850.tif 000016
【図１５】
2017145850.tif 000017
【手続補正書】
【提出日】平成30年7月9日(2018.7.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象に生じた振動を測定可能な複数の振動測定装置によって測定された振動を表す振動情報の特徴を表す振動特徴量を作成する特徴量作成手段と、
作成された前記振動特徴量が、前記振動測定装置によって測定された前記振動間にて、ばらついている程度を表す散らばり度を算出する散らばり度計算手段と、
算出された前記散らばり度の大きさに基づき、前記検査対象の状態を判定する判定手段と
を備える検査装置。
【請求項２】
前記特徴量作成手段は、前記振動特徴量を、測定された前記振動に含まれている振動モードに関して作成し、
前記判定手段は、前記振動モードに関する前記散らばり度の加重平均に基づき、前記検査対象に関する損傷を判定する
請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
前記振動情報に関する前記振動における振幅値の大きさに応じて、前記振動情報を分類する分類手段
をさらに備え、
前記散らばり度計算手段は、分類された前記振動情報について、前記散らばり度を算出する
請求項１、または、請求項２に記載の検査装置。
【請求項４】
前記特徴量作成手段は、前記振動情報に関する減衰比、または、前記振動情報に関する共振周波数を、前記振動特徴量として作成する
請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の検査装置。
【請求項５】
前記振幅値の大きさは、前記振動情報に関する前記振動を表す時刻歴波形において、最大振幅値、または、略最大振幅値である
請求項３に記載の検査装置。
【請求項６】
前記複数の振動測定装置
をさらに備える請求項１乃至請求項５のいずれかに記載の検査装置。
【請求項７】
前記複数の振動測定装置は、前記検査対象に関して、異なる位置の振動を測定する
請求項６に記載の検査装置。
【請求項８】
前記検査対象に加えられる加振力の強さを計測する計測手段
をさらに備え、
前記特徴量作成手段は、前記加振力に応じて生じた自由振動が前記振動測定装置によって測定された場合に、前記自由振動の特徴を表す前記振動特徴量を作成し、
前記分類手段は、前記加振力の強さに基づき、前記振動情報を分類する
請求項３に記載の検査装置。
【請求項９】
情報処理装置によって、検査対象に生じた振動を測定可能な複数の振動測定装置によって測定された振動を表す振動情報の特徴を表す振動特徴量を作成し、作成された前記振動特徴量が、前記振動測定装置によって測定された前記振動間にて、ばらついている程度を表す散らばり度を算出し、算出された前記散らばり度の大きさに基づき、前記検査対象の状態を判定する検査方法。
【請求項１０】
検査対象に生じた振動を測定可能な複数の振動測定装置によって測定された振動を表す振動情報の特徴を表す振動特徴量を作成する特徴量作成機能と、
作成された前記振動特徴量が、前記振動測定装置によって測定された前記振動間にて、ばらついている程度を表す散らばり度を算出する散らばり度計算機能と、
算出された前記散らばり度の大きさに基づき、前記検査対象の状態を判定する判定機能と
をコンピュータに実現させる検査プログラム。
【国際調査報告】
2017145850.tif 000018
2017145850.tif 000019
2017145850.tif 000020
2017145850.tif 000021