(57)【要約】【課題】ミラー部の歪みを十分に抑制することが可能な振動ミラー素子を提供する。【解決手段】このレーザ走査部１（振動ミラー素子）は、回転軸線Ａ周りに傾斜可能なように形成されたミラー部１１と、直交中心線Ｂ上に位置するミラー部１１の端部１１ａおよび１１ｂとそれぞれ接続され、傾斜可能なフレーム部１２および１３と、電圧印加により変形する圧電体３ｂを含む駆動部１６および１７と、フレーム部１２および１３と駆動部１６および１７とを連結し、駆動部１６および１７の圧電体３ｂが変形することによって傾斜可能な連結梁１４および１５とを備え、フレーム部１２および１３は、連結梁１４および１５が傾斜することによって傾斜するように構成されており、ミラー部１１は、フレーム部１２および１３が傾斜することによって傾斜するように構成されている。【選択図】図２
2014137470.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転軸線周りに傾斜可能なように形成され、光を反射させるためのミラー部と、
前記回転軸線と交差する交差線上に位置する前記ミラー部のミラー端部に接続され、傾斜可能なフレーム部と、
電圧印加により変形する圧電体を含む駆動部と、
前記フレーム部と前記駆動部とを連結し、前記駆動部の圧電体が変形することによって傾斜可能な連結部とを備え、
前記フレーム部は、前記連結部が傾斜することによって傾斜するように構成されており、
前記ミラー部は、前記フレーム部が傾斜することによって傾斜するように構成されている、振動ミラー素子。
【請求項２】
前記フレーム部は、前記ミラー部の前記回転軸線と直交する直交中心線近傍に位置する前記ミラー端部に接続されている、請求項１に記載の振動ミラー素子。
【請求項３】
前記連結部は、前記回転軸線近傍において前記フレーム部に接続されている、請求項１または２に記載の振動ミラー素子。
【請求項４】
前記フレーム部は、前記ミラー部の周囲を囲むように形成されている、請求項１〜３のいずれか１項に記載の振動ミラー素子。
【請求項５】
前記ミラー部は、平面視において円形状に形成されており、
前記フレーム部は、前記ミラー部の周囲を囲むように、平面視において環状に形成されている、請求項４に記載の振動ミラー素子。
【請求項６】
前記駆動部は、前記ミラー部を挟み込むように一対形成され、
前記連結部は、前記一対の駆動部の一方端部同士および他方端部同士をそれぞれ接続するように形成され、前記一対の駆動部が変形することによって傾斜可能な一対の連結梁を含み、
前記フレーム部は、前記ミラー部の前記回転軸線と直交する直交中心線上に位置する前記ミラー部の一対の前記ミラー端部の各々に接続されているとともに、前記一対の連結部が傾斜することによって傾斜するように構成されており、
前記ミラー部は、前記フレーム部が傾斜することによって傾斜するように構成されている、請求項１〜５のいずれか１項に記載の振動ミラー素子。
【請求項７】
前記連結部は、前記ミラー部を挟み込むように形成され、前記一対の連結梁が傾斜することによってねじり変形可能な一対のねじり梁をさらに含み、
前記一対のねじり梁は、前記回転軸線上で延びるように形成されており、
前記フレーム部は、前記一対のねじり梁がねじり変形することによって傾斜するように構成されている、請求項６に記載の振動ミラー素子。
【請求項８】
前記駆動部は、平面視において、前記ミラー部側が窪むように湾曲または屈曲している、請求項１〜７のいずれか１項に記載の振動ミラー素子。
【請求項９】
レーザ光を発するレーザ光発生部と、
入力された映像を解析して、画素情報を認識する制御部と、
レーザ光を走査する振動ミラー素子とを備え、
前記振動ミラー素子は、
回転軸線周りに傾斜可能なように形成され、光を反射させるためのミラー部と、
前記回転軸線と交差する交差線上に位置する前記ミラー部のミラー端部に接続され、傾斜可能なフレーム部と、
電圧印加により変形する圧電体を含む駆動部と、
前記フレーム部と前記駆動部とを連結し、前記駆動部の圧電体が変形することによって傾斜可能な連結部とを含み、
前記フレーム部は、前記連結部が傾斜することによって傾斜するように構成されており、
前記ミラー部は、前記フレーム部が傾斜することによって傾斜するように構成されている、プロジェクタ機能を有する電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、振動ミラー素子およびプロジェクタ機能を有する電子機器に関し、特に、光を反射させるためのミラー部を備える振動ミラー素子およびその振動ミラー素子を備えるプロジェクタ機能を有する電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、光を反射させるためのミラー部を備える振動ミラー素子が知られている（たとえば、特許文献１参照）。
【０００３】
上記特許文献１には、光を反射させる反射面を有する可動板（ミラー部）と、可動板の回転軸として可動板を回転可能に軸支する一対のトーション梁と、一対のトーション梁にねじり方向の駆動力（トルク）を作用させるための駆動部とを備える光走査装置が開示されている。この光走査装置の可動板には、一対のトーション梁から可動板に加えられるねじり方向の駆動力に起因して可動板が歪むのを抑制するためのリブが形成されている。なお、可動板と一対のトーション梁とは、可動板の回転軸線上で直接接続されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１０−１２８１１６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記特許文献１の光走査装置では、可動板と一対のトーション梁とが可動板の回転軸線上で直接接続されているため、一対のトーション梁のねじり方向の駆動力（トルク）が可動板に直接的に加えられてしまう。このため、可動部にリブを設けたとしても、比較的大きなトルクが可動板に加えられることに起因して、可動板（ミラー部）の歪みを十分に抑制することができない場合があるという問題点がある。
【０００６】
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の１つの目的は、ミラー部の歪みを十分に抑制することが可能な振動ミラー素子およびその振動ミラー素子を備えるプロジェクタ機能を有する電子機器を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この発明の第１の局面による振動ミラー素子は、回転軸線周りに傾斜可能なように形成され、光を反射させるためのミラー部と、回転軸線と交差する交差線上に位置するミラー部のミラー端部に接続され、傾斜可能なフレーム部と、電圧印加により変形する圧電体を含む駆動部と、フレーム部と駆動部とを連結し、駆動部の圧電体が変形することによって傾斜可能な連結部とを備え、フレーム部は、連結部が傾斜することによって傾斜するように構成されており、ミラー部は、フレーム部が傾斜することによって傾斜するように構成されている。
【０００８】
この発明の第１の局面による振動ミラー素子では、上記のように、回転軸線と交差する交差線上に位置するミラー部のミラー端部に接続されたフレーム部を設けることによって、ミラー端部とフレーム部とが回転軸線上とは異なる位置で接続されるので、ミラー端部とフレーム部とが回転軸線上で接続されている場合と比べて、ミラー端部に働くねじり方向の駆動力（トルク）を小さくすることができる。また、連結部を駆動部の圧電体が変形することによって傾斜可能に構成し、フレーム部を連結部が傾斜することによって傾斜するように構成し、ミラー部をフレーム部が傾斜することによって傾斜するように構成することによって、ミラー端部と連結部とが直接接続される場合と異なり、連結部のトルクがミラー端部にフレーム部を介して間接的に加えられるので、これによっても、ミラー端部に働くトルクを小さくすることができる。これにより、ミラー部の歪みを十分に抑制することができる。また、ミラー部にリブを形成する場合と異なり、ミラー部の厚みを一定にすることができるので、ミラー部を有する振動ミラー素子を容易に形成することができる。
【０００９】
上記第１の局面による振動ミラー素子において、好ましくは、フレーム部は、ミラー部の回転軸線と直交する直交中心線近傍に位置するミラー端部に接続されている。このように構成すれば、ミラー端部とフレーム部とをミラー部の回転軸線から十分に離間した位置で接続することができるので、ミラー端部に働くトルクをさらに小さくすることができる。これにより、ミラー部の歪みを効果的に抑制することができる。
【００１０】
上記第１の局面による振動ミラー素子において、好ましくは、連結部は、回転軸線近傍においてフレーム部に接続されている。このように構成すれば、回転軸線周りの駆動力を連結部からフレーム部に容易に伝えることができるので、フレーム部を回転軸線周りに大きく傾斜させることができる。これにより、ミラー部を回転軸線周りに大きく傾斜させることができる。
【００１１】
上記第１の局面による振動ミラー素子において、好ましくは、フレーム部は、ミラー部の周囲を囲むように形成されている。このように構成すれば、容易に、ミラー部のミラー端部とフレーム部とを接続することができる。
【００１２】
この場合、好ましくは、ミラー部は、平面視において円形状に形成されており、フレーム部は、ミラー部の周囲を囲むように、平面視において環状に形成されている。このように構成すれば、容易に、円形状のミラー部のミラー端部とフレーム部とを接続することができる。
【００１３】
上記第１の局面による振動ミラー素子において、好ましくは、駆動部は、ミラー部を挟み込むように一対形成され、連結部は、一対の駆動部の一方端部同士および他方端部同士をそれぞれ接続するように形成され、一対の駆動部が変形することによって傾斜可能な一対の連結梁を含み、フレーム部は、ミラー部の回転軸線と直交する直交中心線上に位置するミラー部の一対のミラー端部の各々に接続されているとともに、一対の連結部が傾斜することによって傾斜するように構成されており、ミラー部は、フレーム部が傾斜することによって傾斜するように構成されている。このように構成すれば、ミラー部を挟み込むように形成された一対の駆動部を用いることによって、駆動部が１つしか設けられていない場合よりも、より安定的に、ミラー部を傾斜させることができる。また、直交中心線上に位置する一対のミラー端部をフレーム部に接続することによって、ミラー部を回転軸線周りに確実に傾斜させることができる。
【００１４】
この場合、好ましくは、連結部は、ミラー部を挟み込むように形成され、一対の連結梁が傾斜することによってねじり変形可能な一対のねじり梁をさらに含み、一対のねじり梁は、回転軸線上で延びるように形成されており、フレーム部は、一対のねじり梁がねじり変形することによって傾斜するように構成されている。このように構成すれば、一対のねじり梁をねじり変形させることにより、フレーム部を回転軸線周りに大きく傾斜させることができるので、ミラー部を回転軸線周りに大きく傾斜させることができる。
【００１５】
上記第１の局面による振動ミラー素子において、好ましくは、駆動部は、平面視において、ミラー部側が窪むように湾曲または屈曲している。このように構成すれば、駆動部をミラー部側に近づけて形成することができるので、振動ミラー素子が大型化するのを抑制することができる。また、駆動部が直線状に形成されている場合と比べて、駆動部が湾曲または屈曲している分、駆動部の長さをより大きくすることができるので、駆動部の面積をより大きくすることができる。これにより、駆動部に生じる駆動力を容易に大きくすることができる。
【００１６】
この発明の第２の局面によるプロジェクタ機能を有する電子機器は、レーザ光を発するレーザ光発生部と、入力された映像を解析して、画素情報を認識する制御部と、レーザ光を走査する振動ミラー素子とを備え、振動ミラー素子は、回転軸線周りに傾斜可能なように形成され、光を反射させるためのミラー部と、回転軸線と交差する交差線上に位置するミラー部のミラー端部に接続され、傾斜可能なフレーム部と、電圧印加により変形する圧電体を含む駆動部と、フレーム部と駆動部とを連結し、駆動部の圧電体が変形することによって傾斜可能な連結部とを含み、フレーム部は、連結部が傾斜することによって傾斜するように構成されており、ミラー部は、フレーム部が傾斜することによって傾斜するように構成されている。
【００１７】
この発明の第２の局面によるプロジェクタ機能を有する電子機器では、上記のように、振動ミラー素子に、回転軸線と交差する交差線上に位置するミラー部のミラー端部に接続されたフレーム部を設けることによって、ミラー端部とフレーム部とが回転軸線上とは異なる位置で接続されるので、ミラー端部とフレーム部とが回転軸線上で接続されている場合と比べて、ミラー端部に働くねじり方向の駆動力（トルク）を小さくすることができる。また、振動ミラー素子において、連結部を駆動部の圧電体が変形することによって傾斜可能に構成し、フレーム部を連結部が傾斜することによって傾斜するように構成し、ミラー部をフレーム部が傾斜することによって傾斜するように構成することによって、ミラー端部と連結部とが直接接続される場合と異なり、連結部のトルクがミラー端部にフレーム部を介して間接的に加えられるので、これによっても、ミラー端部に働くトルクを小さくすることができる。これにより、ミラー部の歪みを十分に抑制することができるので、ミラー部により反射されたレーザ光の幅が変化する（レーザ光が収束したり広がったりする）のを十分に抑制することができる。この結果、振動ミラー素子により幅の変化が抑制されたレーザ光を走査させることができるので、電子機器により、鮮明な投影画像を投影することができる。また、振動ミラー素子のミラー部にリブを形成する場合と異なり、ミラー部の厚みを一定にすることができるので、ミラー部を有する振動ミラー素子を容易に形成することができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、上記のように、ミラー部の歪みを十分に抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の第１実施形態による携帯型電子機器の構成を示したブロック図である。
【図２】本発明の第１実施形態によるレーザ走査部を示した平面図である。
【図３】図２の６００−６００線に沿った断面図である。
【図４】本発明の第１実施形態によるレーザ走査部の駆動部の構造を説明するための拡大断面図である。
【図５】本発明の第１実施形態によるレーザ走査部のミラー部が回転軸線周りに傾斜している状態を示した斜視図である。
【図６】本発明の第２実施形態によるレーザ走査部を示した平面図である。
【図７】本発明の第２実施形態によるレーザ走査部のミラー部が回転軸線周りに傾斜している状態を示した斜視図である。
【図８】本発明の第２実施形態の変形例によるレーザ走査部を示した平面図である。
【図９】本発明の第２実施形態の変形例によるレーザ走査部のミラー部が回転軸線周りに傾斜している状態を示した斜視図である。
【図１０】本発明の第３実施形態によるレーザ走査部を示した平面図である。
【図１１】本発明の変形例によるレーザ走査部を示した平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
（第１実施形態）
まず、図１〜図４を参照して、本発明の第１実施形態による携帯型電子機器１００の構成について説明する。なお、携帯型電子機器１００は、本発明の「プロジェクタ機能を有する電子機器」の一例である。
【００２１】
本発明の第１実施形態による携帯型電子機器１００は、図１に示すように、外部から映像信号が入力される入力端子１０１と、入力端子１０１から入力された映像信号を解析して、画素情報を認識する制御部１０２と、画素情報を映像として出力するためのレーザ制御部１０３、赤色レーザダイオード１０４、緑色レーザダイオード１０５、青色レーザダイオード１０６およびレーザ走査部１とを備えている。つまり、携帯型電子機器１００は、入力された映像情報を映像として出力可能なプロジェクタ機能を有している。なお、赤色レーザダイオード１０４、緑色レーザダイオード１０５および青色レーザダイオード１０６は、本発明の「レーザ光発生部」の一例であり、レーザ走査部１は、本発明の「振動ミラー素子」の一例である。
【００２２】
また、レーザ制御部１０３は、制御部１０２によって認識された画素情報に基づいて、赤色レーザダイオード１０４、緑色レーザダイオード１０５および青色レーザダイオード１０６の発光を制御するように構成されている。また、赤色レーザダイオード１０４は、赤色のレーザ光を発することが可能に構成されており、緑色レーザダイオード１０５は、緑色のレーザ光を発することが可能に構成されており、青色レーザダイオード１０６は、青色のレーザ光を発することが可能に構成されている。また、レーザ走査部１は、赤色レーザダイオード１０４、緑色レーザダイオード１０５および青色レーザダイオード１０６からのレーザ光を反射することによって、所定の投影位置に映像を投影するように構成されている。
【００２３】
レーザ走査部１は、図２に示すように、ミラー部１１と、ミラー部１１の端部１１ａおよび１１ｂとそれぞれ接続されるフレーム部１２および１３と、フレーム部１２および１３に接続される連結梁１４および１５と、連結梁１４および１５に接続される駆動部１６および１７と、固定部１８および１９とを含んでいる。なお、連結梁１４および１５は、本発明の「連結部」の一例である。
【００２４】
また、レーザ走査部１は、ミラー部１１の回転軸線Ａおよび回転軸線Ａと直交する直交中心線Ｂのそれぞれに対して、略鏡像対称になるように形成されている。なお、直交中心線Ｂは、ミラー部１１の中心を通るように延びている。また、図３に示すように、ミラー部１１と、フレーム部１２および１３と、連結梁１４および１５（図２参照）と、駆動部１６および１７と、固定部１８および１９とは、Ｓｉ、ＳＵＳおよびＴｉのいずれか１つ、または、それらの複合材からなる基材２により一体的に形成されている。なお、図３では、レーザ走査部１の厚み方向（Ｚ方向）の長さが誇張された状態で図示されている。なお、直交中心線Ｂは、本発明の「交差線」の一例である。
【００２５】
ミラー部１１は、図２に示すように、レーザ走査部１の略中央部に中心が位置するように平面視において円状に形成されているとともに、回転軸線Ａ周りに傾斜可能なように形成されている。また、ミラー部１１では、直交中心線Ｂ上に位置する端部１１ａとフレーム部１２とが、ミラー部１１の回転軸線方向（Ｘ方向）と直交する直交線方向（Ｙ方向）の一方側（Ｙ１側）において接続されているとともに、直交中心線Ｂ上に位置する端部１１ｂとフレーム部１３とが、Ｙ方向の他方側（Ｙ２側）において接続されている。また、ミラー部１１は、赤色レーザダイオード１０４、緑色レーザダイオード１０５および青色レーザダイオード１０６（図１参照）からのレーザ光を反射する機能を有している。なお、端部１１ａおよび１１ｂは、本発明の「ミラー端部」の一例である。
【００２６】
フレーム部１２および１３は、それぞれ、Ｙ１側およびＹ２側にそれぞれ形成されていることにより、ミラー部１１を挟み込むように形成されている。また、フレーム部１２および１３は、傾斜可能で、かつ、ねじり変形可能なように構成されている。
【００２７】
また、Ｙ１側のフレーム部１２は、ミラー部１１のＹ１側の端部１１ａに接続される接続部１２ａと、接続部１２ａに接続される梁部１２ｂとを有している。また、Ｙ２側のフレーム部１３は、ミラー部１１のＹ２側の端部１１ｂに接続される接続部１３ａと、接続部１３ａに接続される梁部１３ｂとを有している。接続部１２ａおよび１３ａは、共に、回転軸線Ａと直交する直交中心線Ｂ上に形成されており、それぞれ、ミラー部１１の端部１１ａおよび１１ｂと直交中心線Ｂ上で接続されている。
【００２８】
梁部１２ｂおよび１３ｂは、それぞれ、ミラー部１１のＹ１側およびＹ２側で、Ｘ方向に延びるように形成されている。この際、梁部１２ｂは、ミラー部１１の外側面に沿って、ミラー部１１側（Ｙ２側）が窪むように湾曲して形成されているとともに、梁部１３ｂは、ミラー部１１の外側面に沿って、ミラー部１１側（Ｙ１側）が窪むように湾曲して形成されている。
【００２９】
また、梁部１２ｂおよび１３ｂは、ミラー部１１の回転軸線方向（Ｘ方向）の一方側（Ｘ１側）の端部においてＸ１側の連結梁１４に接続されるとともに、Ｘ方向の他方側（Ｘ２側）の端部においてＸ２側の連結梁１５に接続されている。つまり、梁部１２ｂは、ミラー部１１のＹ１側で、連結梁１４と連結梁１５とを接続しており、梁部１３ｂは、ミラー部１１のＹ２側で、連結梁１４と連結梁１５とを接続している。また、梁部１２ｂおよび１３ｂは、それぞれ、Ｘ方向の中央部において接続部１２ａおよび１３ａに接続されている。また、梁部１２ｂおよび１３ｂは、Ｘ方向の両端部からＸ方向の中央部に向かって幅が小さくなるように形成されている。
【００３０】
連結梁１４および１５は、Ｘ１側およびＸ２側にそれぞれ形成されていることにより、ミラー部１１を挟み込むように形成されている。また、連結梁１４および１５は、Ｙ方向に沿って直線状に延びるように形成されているとともに、傾斜可能なように構成されている。
【００３１】
また、連結梁１４および１５は、それぞれ、回転軸線Ａ上に位置するＹ方向の中央部近傍においてフレーム部１２および１３と接続されている。具体的には、連結梁１４は、中央部よりもＹ１側寄りに位置する接続部分１４ａにおいて、梁部１２ｂに接続されているとともに、中央部よりもＹ２側寄りに位置する接続部分１４ｂにおいて、梁部１３ｂに接続されている。なお、接続部分１４ａおよび１４ｂは、連結梁１４のミラー部１１側（Ｘ２側）の側面に形成されている。また、連結梁１５は、中央部よりもＹ１側寄りに位置する接続部分１５ａにおいて、梁部１２ｂに接続されているとともに、中央部よりもＹ２側寄りに位置する接続部分１５ｂにおいて、梁部１３ｂに接続されている。なお、接続部分１５ａおよび１５ｂは、連結梁１５のミラー部１１側（Ｘ１側）の側面に形成されている。
【００３２】
また、Ｘ１側の連結梁１４は、Ｙ１側の端部１４ｃ近傍において、Ｙ１側の駆動部１６の端部１６ａに接続されているとともに、Ｙ２側の端部１４ｄ近傍において、Ｙ２側の駆動部１７の端部１７ａに接続されている。また、Ｘ２側の連結梁１５は、Ｙ１側の端部１５ｃ近傍において、駆動部１６の端部１６ｂに接続されているとともに、Ｙ２側の端部１５ｄ近傍において、駆動部１７の端部１７ｂに接続されている。また、連結梁１４は、駆動部１６および１７側（Ｘ２側）の側面において、駆動部１６および１７に接続されているとともに、連結梁１５は、駆動部１６および１７側（Ｘ１側）の側面において、駆動部１６および１７に接続されている。これにより、駆動部１６および１７は、Ｘ１側において連結梁１４によって互いに接続されているとともに、Ｘ２側において連結梁１５によって互いに接続されている。なお、端部１６ａおよび１７ａは、本発明の「一方端部」の一例であり、端部１６ｂおよび１７ｂは、本発明の「他方端部」の一例である。
【００３３】
駆動部１６および１７は、直交線方向（Ｙ方向）のＹ１側およびＹ２側にそれぞれ形成されていることにより、ミラー部１１を挟み込むように形成されている。また、駆動部１６および１７は、Ｘ方向に連結梁１４および１５に挟み込まれるように形成されている。また、Ｙ１側の駆動部１６は、Ｙ１側のフレーム部１２よりもミラー部１１の反対側（Ｙ１側）に形成されているとともに、Ｙ２側の駆動部１７は、Ｙ２側のフレーム部１３よりもミラー部１１の反対側（Ｙ２側）に形成されている。
【００３４】
また、駆動部１６は、端部１６ａおよび１６ｂにおいて、駆動部１６の幅が最も小さくなるように形成されているとともに、駆動部１７は、端部１７ａおよび１７ｂにおいて、駆動部１７の幅が最も小さくなるように形成されている。
【００３５】
また、駆動部１６のＸ方向の中央部には、ミラー部１１とは反対側（Ｙ１側）に窪んだ凹部１６ｃが形成されているとともに、駆動部１７のＸ方向の中央部には、ミラー部１１とは反対側（Ｙ２側）に窪んだ凹部１７ｃが形成されている。これにより、ミラー部１１と駆動部１６および１７とを近接して配置することができるので、レーザ走査部１が大型化するのを抑制することが可能である。
【００３６】
また、駆動部１６および１７は、図３および図４に示すように、基板２の上面（Ｚ１側の面）上に形成された駆動機構部３を有している。この駆動機構部３は、図４に示すように、下方（Ｚ２側）から順に、下部電極３ａ、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）からなる圧電体３ｂおよび上部電極３ｃが積層された構造を有している。そして、駆動機構部３では、下部電極３ａと上部電極３ｃとの間に電位差を生じさせることにより圧電体３ｂに電圧が印加されることによって、圧電体３ｂを上下方向（Ｚ方向）に凸状または凹状に曲げ（撓み）変形させるように構成されている。この結果、駆動部１６および１７は、Ｘ方向の中央部を固定端、Ｘ方向の両端部（端部１６ａ、１６ｂ、１７ａおよび１７ｂ）を自由端として、Ｚ方向に凸状または凹状に曲げ変形可能に構成されている。
【００３７】
また、駆動部１６と駆動部１７とには逆位相の正弦波電圧が印加されるように構成されている。つまり、駆動部１６および１７の一方が凸状に曲げ変形した場合には、他方が凹状に曲げ変形するように構成されている。また、駆動部１６および１７は、例えば約３０ｋＨｚの駆動周波数で、凸状への曲げ変形と凹状への曲げ変形とを交互に繰り返すように構成されており、この駆動周波数に合うように、レーザ走査部１のミラー部１１の大きさなどが設計されている。これにより、駆動部１６および１７によりミラー部１１を共振させることによって、ミラー部１１を通常の傾斜における振れ角よりも大きな振れ角で回転軸線Ａ（図２参照）周りに揺動させる（連続的に傾斜させる）ことが可能である。なお、ミラー部１１の具体的な揺動動作に関しては後述する。
【００３８】
固定部１８および１９は、それぞれ、駆動部１６および１７をそれぞれ図示しない固定枠に固定するために設けられている。また、固定部１８は、図２に示すように、駆動部１６のＸ方向の中央部で、かつ、ミラー部１１とは反対側（Ｙ１側）の側面に接続されているとともに、固定部１９は、駆動部１７のＸ方向の中央部で、かつ、ミラー部１１とは反対側（Ｙ２側）の側面に接続されている。また、固定部１８および１９により、駆動部１６および１７のＸ方向の中央部が固定端となるように構成されている。
【００３９】
次に、図１、図２、図４および図５を参照して、本発明の第１実施形態によるレーザ走査部１におけるミラー部１１の揺動動作、および、レーザ走査部１によるレーザ光の走査動作について説明する。
【００４０】
図５に示すように、Ｙ１側の駆動部１６の圧電体３ｂ（図４参照）が凹状に曲げ変形し、Ｙ２側の駆動部１７の圧電体３ｂが凸状に曲げ変形した際には、Ｙ１側の駆動部１６において、端部１６ａおよび１６ｂが共に上方（Ｚ１側）に移動されるとともに、Ｙ２側の駆動部１７において、端部１７ａおよび１７ｂが共に下方（Ｚ２側）に移動される。これにより、端部１６ａおよび１６ｂが端部１７ａおよび１７ｂよりも上方に位置することによって、駆動部１６および１７に接続された連結梁１４および１５は、共に、Ｙ１側からＹ２側に向かって下方に傾斜される。この結果、駆動部１６および１７の圧電体３ｂが曲げ変形することにより連結梁１４および１５が傾斜される。
【００４１】
そして、連結梁１４および１５がＹ１側からＹ２側に向かって下方に傾斜されることによって、回転軸線Ａの近傍で接続されたフレーム部１２の梁部１２ｂおよびフレーム部１３の梁部１３ｂには、連結梁１４および１５によりねじり方向のトルクＣが加えられる。これにより、Ｙ１側の梁部１２ｂは、Ｘ方向の中央部がＸ方向の両端部よりも上方に位置するように傾斜されるとともに、ねじり変形される。また、Ｙ２側の梁部１３ｂは、Ｘ方向の中央部がＸ方向の両端部よりも下方に位置するように傾斜されるとともに、ねじり変形される。この結果、連結梁１４および１５が傾斜することによりフレーム部１２および１３が傾斜される。
【００４２】
ここで、第１実施形態では、連結梁１４および１５近傍の梁部１２ｂおよび１３ｂでは、連結梁１４および１５からのトルクにより大きくねじり変形される一方、回転軸線Ａ上から最も離間した位置のフレーム部１２の接続部１２ａおよびフレーム部１３の接続部１３ａ（図２参照）では、ほとんどねじり変形されない。これにより、ミラー部１１のＹ１側の端部１１ａおよびＹ２側の端部１１ｂは、ほとんどねじり変形されず、この結果、ミラー部１１を歪ませるようなトルクはほとんど発生しない。
【００４３】
また、梁部１２ｂおよび１３ｂの傾斜により、Ｙ１側に位置する接続部１２ａおよびミラー部１１の端部１１ａが上方に位置されるとともに、Ｙ２側に位置する接続部１３ａおよびミラー部１１の端部１１ｂが下方に位置される。この結果、直交中心線Ｂ上に位置する端部１１ａ側から端部１１ｂ側に向かって下方に傾斜するように、回転軸線Ａ周りにミラー部１１が傾斜される。つまり、フレーム部１２および１３が傾斜されることによりミラー部１１が傾斜される。
【００４４】
また、Ｙ１側の駆動部１６が凸状に曲げ変形し、Ｙ２側の駆動部１７が凹状に曲げ変形した際においても、ミラー部１１を歪ませるようなトルクをほとんど発生させることなく、直交中心線Ｂ上に位置する端部１１ａ側から端部１１ｂ側に向かって上方に傾斜するように、回転軸線Ａ周りにミラー部１１が傾斜される。
【００４５】
そして、駆動部１６および１７において、凸状への曲げ変形と凹状への曲げ変形とが、レーザ走査部１全体の固有振動数と略等しい約３０ｋＨｚの駆動周波数で交互に繰り返される。これにより、ミラー部１１は、共振した状態で、直交中心線Ｂ上に位置する端部１１ａ側から端部１１ｂ側に向かって上方または下方に交互に繰り返すように傾斜される。この結果、ミラー部１１は、通常の傾斜における振れ角よりも大きな振れ角で回転軸線Ａ周りに揺動される（連続的に傾斜される）。
【００４６】
これにより、揺動するミラー部１１において、赤色レーザダイオード１０４、緑色レーザダイオード１０５および青色レーザダイオード１０６（図１参照）からのレーザ光が反射されることによって、携帯型電子機器１００（図１参照）において、レーザ光が約３０ｋＨｚの駆動周波数で１軸方向に走査される。この際、ミラー部１１に歪みがほとんど発生していないので、ミラー部１１により反射されたレーザ光の幅はほとんど変化しない（レーザ光が収束したり広がったりしない）。これにより、レーザ走査部１により略均一な幅を有するレーザ光が走査されるので、携帯型電子機器１００により、鮮明な投影画像が投影される。
【００４７】
第１実施形態では、上記のように、フレーム部１２の接続部１２ａおよびフレーム部１３の接続部１３ａを、共に、直交中心線Ｂ上に形成するとともに、それぞれ、ミラー部１１の端部１１ａおよび１１ｂと直交中心線Ｂ上で接続する。このように構成することによって、端部１１ａおよび１１ｂとフレーム部１２および１３とを、それぞれ、回転軸線Ａ上から最も離間した位置の直交中心線Ｂ上で接続することができるので、端部１１ａおよび１１ｂとフレーム部１２および１３とが、それぞれ、回転軸線Ａ上で接続されている場合と比べて、端部１１ａおよび１１ｂにトルクをほとんど発生させないようにすることができる。これにより、ミラー部１１の歪みを効果的に抑制することができる。
【００４８】
また、第１実施形態では、連結梁１４および１５を駆動部１６および１７の圧電体３ｂが曲げ変形することにより傾斜するように構成し、フレーム部１２および１３を連結梁１４および１５が傾斜することにより傾斜するように構成し、ミラー部１１をフレーム部１２および１３が傾斜することにより、端部１１ａ側から端部１１ｂ側、または、端部１１ｂ側から端部１１ａ側に向かって傾斜するように構成する。このように構成することによって、ミラー部１１の端部１１ａおよび１１ｂと連結梁１４および１５とが直接接続される場合と異なり、連結梁１４および１５のトルクが端部１１ａおよび１１ｂにフレーム部１２および１３を介して間接的に加えられるので、端部１１ａおよび１１ｂにトルクをほとんど発生させないようにすることができる。これにより、ミラー部１１の歪みを効果的に抑制することができるので、ミラー部１１により反射されたレーザ光の幅はほとんど変化しない（レーザ光が収束したり広がったりしない）。この結果、レーザ走査部１により略均一な幅を有するレーザ光を走査させることができるので、携帯型電子機器１００により、鮮明な投影画像を投影することができる。
【００４９】
また、第１実施形態では、ミラー部１１にリブを形成する場合と異なり、ミラー部１１の厚みを一定にすることができるので、ミラー部１１を有するレーザ走査部１を容易に形成することができる。
【００５０】
また、第１実施形態では、連結梁１４を、回転軸線Ａ上に位置するＹ方向の中央部よりもＹ１側寄りに位置する接続部分１４ａにおいて、梁部１２ｂに接続するとともに、中央部よりもＹ２側寄りに位置する接続部分１４ｂにおいて、梁部１３ｂに接続する。また、連結梁１５を、回転軸線Ａ上に位置するＹ方向の中央部よりもＹ１側寄りに位置する接続部分１５ａにおいて、梁部１２ｂに接続するとともに、中央部よりもＹ２側寄りに位置する接続部分１５ｂにおいて、梁部１３ｂに接続する。このように構成することによって、回転軸線Ａ周りの駆動力を連結梁１４および１５からフレーム部１２および１３に容易に伝えることができるので、フレーム部１２および１３を回転軸線Ａ周りに大きく傾斜させることができる。これにより、ミラー部１１を回転軸線Ａ周りに大きく傾斜させることができる。
【００５１】
また、第１実施形態では、駆動部１６および１７を、ミラー部１１を挟み込むように形成することによって、駆動部が１つしか設けられていない場合よりも、より安定的に、ミラー部１１を傾斜させることができる。
【００５２】
また、第１実施形態では、直交中心線Ｂ上に位置する端部１１ａおよび１１ｂをフレーム部１２および１３にそれぞれ接続することによって、ミラー部１１を回転軸線Ａ周りに確実に傾斜させることができる。
【００５３】
（第２実施形態）
次に、図６および図７を参照して、本発明の第２実施形態について説明する。この第２実施形態では、フレーム部１２および１３がＸ方向に延びる上記第１実施形態とは異なり、レーザ走査部２０１のフレーム部２１２がミラー部１１を囲むように円環状に形成されている場合について説明する。なお、レーザ走査部２０１は、本発明の「振動ミラー素子」の一例である。
【００５４】
本発明の第２実施形態によるレーザ走査部２０１は、図６に示すように、ミラー部１１と、ミラー部１１の端部１１ａおよび１１ｂに接続されるフレーム部２１２と、フレーム部２１２に接続される連結梁２１４および２１５と、連結梁２１４および２１５の端部に接続される駆動部２１６および２１７と、固定部１８および１９とを含んでいる。なお、連結梁２１４および２１５は、本発明の「連結部」の一例である。
【００５５】
フレーム部２１２は、傾斜可能で、かつ、ねじり変形可能なように構成されている。また、フレーム部２１２は、ミラー部１１のＹ１側の端部１１ａに接続される接続部２１２ａと、ミラー部１１のＹ２側の端部１１ｂに接続される接続部２１２ｂと、フレーム部本体２１２ｃとを有している。接続部２１２ａおよび２１２ｂは、共に、回転軸線Ａと直交する直交中心線Ｂ上に形成されており、それぞれ、ミラー部１１の端部１１ａおよび１１ｂと直交中心線Ｂ上で接続されている。また、フレーム部本体２１２ｃは、平面視において、円形状のミラー部１１の周囲を囲むように円環状に形成されているとともに、一様の幅を有するように形成されている。
【００５６】
連結梁２１４および２１５は、ミラー部１１のＸ１側およびＸ２側にそれぞれに形成されていることにより、ミラー部１１を挟み込むように形成されている。また、連結梁２１４および２１５は、それぞれ、平面視において、ミラー部１１とは反対側（Ｘ１側およびＸ２側）に開口を有するＵ字形状に形成されている。
【００５７】
また、連結梁２１４は、Ｙ方向に沿って直線状に延びる第１梁部２１４ａと、第１梁部２１４ａのＹ１側の端部に接続され、ミラー部１１とは反対側（Ｘ１側）に向かって直線状に延びる第２梁部２１４ｂと、第１梁部２１４ａのＹ２側の端部に接続され、Ｘ１側に向かって直線状に延びる第３梁部２１４ｃとを有している。また、連結梁２１５は、Ｙ方向に沿って直線状に延びる第１梁部２１５ａと、第１梁部２１５ａのＹ１側の端部に接続され、ミラー部１１とは反対側（Ｘ２側）に向かって直線状に延びる第２梁部２１５ｂと、第１梁部２１５ａのＹ２側の端部に接続され、Ｘ２側に向かって直線状に延びる第３梁部２１５ｃとを有している。
【００５８】
また、連結梁２１４の第１梁部２１４ａは、回転軸線Ａ上に位置する接続部分２１４ｄにおいて、フレーム部２１２のＸ１側の端部に接続されているとともに、連結梁２１５の第１梁部２１５ａは、回転軸線Ａ上に位置する接続部分２１５ｄにおいて、フレーム部２１２のＸ２側の端部に接続されている。なお、接続部分２１４ｄは、連結梁２１４のミラー部１１側（Ｘ２側）の側面に形成されているとともに、接続部分２１５ｄは、連結梁２１５のミラー部１１側（Ｘ１側）の側面に形成されている。
【００５９】
また、Ｘ１側の連結梁２１４は、第２梁部２１４ｂのＸ１側の端部において、Ｙ１側の駆動部２１６の端部２１６ａ近傍の側面に接続されているとともに、第３梁部２１４ｃのＸ１側の端部において、Ｙ２側の駆動部２１７の端部２１７ａ近傍の側面に接続されている。また、Ｘ２側の連結梁２１５は、第２梁部２１５ｂのＸ２側の端部において、駆動部２１６の端部２１６ｂ近傍の側面に接続されているとともに、第３梁部２１５ｃのＸ２側の端部において、駆動部２１７の端部２１７ｂ近傍の側面に接続されている。これにより、駆動部２１６および２１７は、Ｘ１側において連結梁２１４によって互いに接続されているとともに、Ｘ２側において連結梁２１５によって互いに接続されている。なお、端部２１６ａおよび２１７ａは、本発明の「一方端部」の一例であり、端部２１６ｂおよび２１７ｂは、本発明の「他方端部」の一例である。
【００６０】
また、Ｙ１側の駆動部２１６は、平面視において、ミラー部１１側（Ｙ２側）が窪むように湾曲または屈曲するように形成されているとともに、Ｙ２側の駆動部２１７は、平面視において、ミラー部１１側（Ｙ１側）が窪むように湾曲または屈曲するように形成されている。なお、本発明の第２実施形態のその他の構造は、上記第１実施形態と同様である。
【００６１】
また、第２実施形態におけるレーザ走査部２０１でのミラー部１１の揺動動作は、図７に示すように、Ｙ１側の駆動部２１６が凹状に曲げ変形し、Ｙ２側の駆動部２１７が凸状に曲げ変形した際には、Ｙ１側の駆動部２１６において、端部２１６ａおよび２１６ｂが共に上方（Ｚ１側）に移動されるとともに、Ｙ２側の駆動部２１７において、端部２１７ａおよび２１７ｂが共に下方（Ｚ２側）に移動される。これにより、Ｘ１側の連結梁２１４では、第２梁部２１４ｂが第３梁部２１４ｃよりも上方に位置するように、第１梁部２１４ａがＹ１側からＹ２側に向かって下方に傾斜される。同様に、Ｘ２側の連結梁２１５では、第２梁部２１５ｂが第３梁部２１５ｃよりも上方に位置するように、第１梁部２１５ａがＹ１側からＹ２側に向かって下方に傾斜される。
【００６２】
そして、第１梁部２１４ａおよび２１５ａがＹ１側からＹ２側に向かって下方に傾斜されることによって、回転軸線Ａ上で接続されたフレーム部２１２のフレーム部本体２１２ｃには、第１梁部２１４ａおよび２１５ａによりねじり方向のトルクが加えられる。これにより、フレーム部本体２１２ｃは、直交軸Ｂ上のＹ１側がＹ２側よりも上方に位置するように傾斜されるとともに、ねじり変形される。
【００６３】
ここで、第２実施形態では、第１梁部２１４ａおよび２１５ａ近傍のフレーム部本体２１２ｃでは、第１梁部２１４ａおよび２１５ａからのトルクにより大きくねじり変形される一方、回転軸線Ａ上から最も離間した位置のフレーム部２１２の接続部２１２ａおよび２１２ｂ（図６参照）では、ほとんどねじり変形されない。これにより、ミラー部１１を歪ませるようなトルクはほとんど発生しない。また、フレーム部２１２が傾斜することによって、ミラー部１１の直交中心線Ｂ上に位置する端部１１ａ側から端部１１ｂ側に向かって下方に傾斜するように、回転軸線Ａ周りにミラー部１１が傾斜される。なお、本発明の第２実施形態のその他の揺動動作は、上記第１実施形態と同様である。
【００６４】
第２実施形態では、上記のように、フレーム部２１２の接続部２１２ａおよび２１２ｂを、共に、直交中心線Ｂ上に形成するとともに、それぞれ、ミラー部１１の端部１１ａおよび１１ｂと直交中心線Ｂ上で接続することによって、端部１１ａおよび１１ｂにトルクをほとんど発生させないようにすることができるので、ミラー部１１の歪みを効果的に抑制することができる。
【００６５】
また、第２実施形態では、連結梁２１４の第１梁部２１４ａを、回転軸線Ａ上に位置する接続部分２１４ｄにおいて、フレーム部２１２のＸ１側の端部に接続するとともに、連結梁２１５の第１梁部２１５ａを、回転軸線Ａ上に位置する接続部分２１５ｄにおいて、フレーム部２１２のＸ２側の端部に接続する。このように構成することによって、回転軸線Ａ周りの駆動力を連結梁２１４および２１５からフレーム部２１２に容易に伝えることができるので、フレーム部２１２を回転軸線Ａ周りに大きく傾斜させることができる。これにより、ミラー部１１を回転軸線Ａ周りに大きく傾斜させることができる。
【００６６】
また、第２実施形態では、フレーム部２１２を、平面視において、円形状のミラー部１１の周囲を囲むように円環状に形成することによって、容易に、円形状のミラー部１１の端部１１ａおよび１１ｂとフレーム部２１２とを接続することができる。
【００６７】
また、第２実施形態では、平面視において、駆動部２１６を、ミラー部１１側（Ｙ２側）が窪むように湾曲または屈曲するように形成するとともに、駆動部２１７を、ミラー部１１側（Ｙ１側）が窪むように湾曲または屈曲するように形成することによって、駆動部２１６および２１７をミラー部１１側に近づけて形成することができるので、レーザ走査部２０１が大型化するのを抑制することができる。
【００６８】
また、第２実施形態では、駆動部２１６および２１７を湾曲または屈曲させることによって、駆動部２１６および２１７が直線状に形成されている場合と比べて、駆動部２１６および２１７が湾曲または屈曲している分、駆動部２１６および２１７の長さをより大きくすることができるので、駆動部２１６および２１７の面積をより大きくすることができる。これにより、駆動部２１６および２１７に生じる駆動力を容易に大きくすることができる。なお、本発明の第２実施形態のその他の効果は、上記第１実施形態と同様である。
【００６９】
（第２実施形態の変形例）
次に、図８および図９を参照して、本発明の第２実施形態の変形例について説明する。この第２実施形態の変形例では、Ｕ字形状に形成された上記第２実施形態の連結梁２１４および２１５とは異なり、連結梁３１４および３１５がＶ字形状に形成されている場合について説明する。なお、連結梁３１４および３１５は、本発明の「連結部」の一例である。
【００７０】
本発明の第２実施形態の変形例によるレーザ走査部３０１では、図８に示すように、連結梁３１４および３１５は、それぞれ、平面視において、ミラー部１１とは反対側（Ｘ１側およびＸ２側）に開口を有するＶ字形状に形成されている。なお、レーザ走査部３０１は、本発明の「振動ミラー素子」の一例である。
【００７１】
また、連結梁３１４は、回転軸線Ａ上に位置する接続部分３１４ａにおいて、フレーム部２１２のＸ１側の端部に接続されているとともに、連結梁３１５は、回転軸線Ａ上に位置する接続部分３１５ａにおいて、フレーム部２１２のＸ２側の端部に接続されている。
【００７２】
また、連結梁３１４は、接続部分３１４ａとＹ１側の駆動部２１６の端部２１６ａ近傍とを接続するように斜め方向に延びる第１梁部３１４ｂと、接続部分３１４ａとＹ２側の駆動部２１７の端部２１７ａ近傍とを接続するように斜め方向に延びる第２梁部３１４ｃとを有している。また、連結梁３１５は、接続部分３１５ａとＹ１側の駆動部２１６の端部２１６ｂ近傍とを接続するように斜め方向に延びる第１梁部３１５ｂと、接続部分３１５ａとＹ２側の駆動部２１７の端部２１７ｂ近傍とを接続するように斜め方向に延びる第２梁部３１５ｃとを有している。これにより、駆動部２１６および２１７は、Ｘ１側において連結梁３１４によって互いに接続されているとともに、Ｘ２側において連結梁３１５によって互いに接続されている。なお、本発明の第２実施形態の変形例のその他の構造は、上記第２実施形態と同様である。
【００７３】
また、第２実施形態の変形例におけるレーザ走査部２０１でのミラー部１１の揺動動作は、図９に示すように、Ｙ１側の駆動部２１６が凹状に曲げ変形し、Ｙ２側の駆動部２１７が凸状に曲げ変形した際には、Ｘ１側の連結梁３１４は、第１梁部３１４ｂが第２梁部３１４ｃよりも上方に位置するように、Ｙ１側からＹ２側に向かって下方に傾斜される。同様に、Ｘ２側の連結梁３１５は、第１梁部３１５ｂが第２梁部３１５ｃよりも上方に位置するように、Ｙ１側からＹ２側に向かって下方に傾斜される。なお、本発明の第２実施形態の変形例のその他の揺動動作および効果は、上記第２実施形態と同様である。
【００７４】
（第３実施形態）
次に、図１０を参照して、本発明の第３実施形態について説明する。この第３実施形態では、上記第１実施形態とは異なり、フレーム部２１２と連結梁１４との間にねじり梁４１４を設けるとともに、フレーム部２１２と連結梁１５との間にねじり梁４１５を設ける場合について説明する。なお、ねじり梁４１４および４１５は、本発明の「連結部」の一例である。
【００７５】
本発明の第３実施形態によるレーザ走査部４０１では、上記第１実施形態のフレーム部１２および１３とは異なり、上記第２実施形態における円環状のフレーム部２１２が形成されている。なお、レーザ走査部４０１は、本発明の「振動ミラー素子」の一例である。
【００７６】
ここで、第３実施形態では、レーザ走査部４０１には、ねじり変形可能なねじり梁４１４および４１５が設けられている。ねじり梁４１４および４１５は、Ｘ１側およびＸ２側にそれぞれ形成されていることにより、ミラー部１１を挟み込むように形成されている。また、Ｘ１側のねじり梁４１４は、フレーム部２１２とＸ１側の連結梁１４とを接続するように、回転軸線Ａ上でＸ方向に延びるように形成されている。また、Ｘ２側のねじり梁４１５は、フレーム部２１２とＸ２側の連結梁１５とを接続するように、回転軸線Ａ上でＸ方向に延びるように形成されている。これにより、ねじり梁４１４および４１５は、共に回転軸線Ａ上においてフレーム部２１２に接続されるとともに、それぞれ、連結梁１４および１５に接続されるように構成されている。
【００７７】
また、第３実施形態におけるレーザ走査部４０１でのミラー部１１の揺動動作は、Ｙ１側の駆動部１６とＹ２側の駆動部１７とが曲げ変形した際に、上記第１実施形態と同様に、連結梁１４および１５が傾斜される。これにより、ねじり梁４１４および４１５には、それぞれ、連結梁１４および１５によりねじり方向のトルクが加えられる。この結果、ねじり梁４１４および４１５がねじり変形されて、フレーム部２１２のフレーム部本体２１２ｃは、傾斜されるとともにねじり変形される。なお、本発明の第３実施形態のその他の揺動動作は、上記第２実施形態と同様である。
【００７８】
第３実施形態では、上記のように、フレーム部２１２の接続部２１２ａおよび２１２ｂを、共に、直交中心線Ｂ上に形成するとともに、それぞれ、ミラー部１１の端部１１ａおよび１１ｂと直交中心線Ｂ上で接続することによって、端部１１ａおよび１１ｂにトルクをほとんど発生させないようにすることができるので、ミラー部１１の歪みを効果的に抑制することができる。
【００７９】
また、第３実施形態では、ねじり変形可能なねじり梁４１４および４１５を、ミラー部１１を挟み込むように形成するとともに、回転軸線Ａ上でＸ方向に延びるように形成する。また、ねじり梁４１４および４１５を連結梁１４および１５が傾斜することによりねじり変形するように構成し、フレーム部２１２をねじり梁４１４および４１５がねじり変形することにより傾斜するとともにねじり変形するように構成する。このように構成することによって、ねじり梁４１４および４１５をねじり変形させることにより、フレーム部２１２を回転軸線Ａ周りに大きく傾斜させることができるので、ミラー部１１を回転軸線Ａ周りに大きく傾斜させることができる。なお、本発明の第３実施形態のその他の効果は、上記第１実施形態と同様である。
【００８０】
なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。
【００８１】
たとえば、上記第１〜第３実施形態では、ミラー部とフレーム部とを直交中心線Ｂ上で接続させた例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、図１１に示す第１実施形態の変形例におけるレーザ走査部５０１のように、ミラー部５１１の交差線Ｄ上の端部５１１ｃとフレーム部５１２の接続部５１２ｃとを接続させるとともに、ミラー部５１１の交差線Ｅ上の端部５１１ｄとフレーム部５１２の接続部５１２ｄとを接続させてもよい。また、ミラー部５１１の交差線Ｅ上の端部５１１ｅとフレーム部５１３の接続部５１３ｃとを接続させるとともに、ミラー部５１１の交差線Ｄ上の端部５１１ｆとフレーム部５１３の接続部５１３ｄとを接続させてもよい。なお、交差線ＤおよびＥは、共に、回転軸線Ａおよび直交中心線Ｂと交差する方向に延びている。また、接続部５１２ｃと接続部５１２ｄとは、直交中心線Ｂに対して略鏡像対称になるように形成されているとともに、接続部５１３ｃと接続部５１３ｄとは、直交中心線Ｂに対して略鏡像対称になるように形成されている。これにより、安定的にミラー部５１１を傾斜させることが可能である。なお、レーザ走査部５０１は、本発明の「振動ミラー素子」の一例であり、端部５１１ｃ、５１１ｄ、５１１ｅおよび５１１ｆは、本発明の「ミラー端部」の一例である。また、本発明では、回転軸線と交差する交差線上の位置の少なくとも１箇所において、ミラー部のミラー端部とフレーム部とが接続されていればよい。
【００８２】
また、上記第１〜第３実施形態では、連結梁（連結部）および駆動部を、共に、ミラー部１１を挟み込むように一対設けた例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、連結部および駆動部を１つのみ設けてもよい。
【００８３】
また、上記第１実施形態では、レーザ光が１軸方向に走査される例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、レーザ走査部の外側に、回転軸線と直交する直交軸線周りにレーザ走査部を傾斜させるための外側駆動部を設けることによって、レーザ光が２軸方向に走査されるように構成してもよい。
【００８４】
また、上記第１〜第３実施形態では、ミラー部１１が平面視において円形状である例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、ミラー部は、平面視において楕円形状や四角形状であってもよい。
【符号の説明】
【００８５】
１、２０１、３０１、４０１、５０１  レーザ走査部（振動ミラー素子）
３ｂ  圧電体
１１、５１１  ミラー部
１１ａ、１１ｂ、５１１ｃ、５１１ｄ、５１１ｅ、５１１ｆ  端部（ミラー端部）
１２、１３、２１２、５１２、５１３  フレーム部
１４、１５、２１４、２１５、３１４、３１５  連結梁（連結部）
１６、１７、２１６、２１７  駆動部
１６ａ、１７ａ、２１６ａ、２１７ａ  端部（一方端部）
１６ｂ、１７ｂ、２１６ｂ、２１７ｂ  端部（他方端部）
１００  携帯型電子機器（プロジェクタ機能を有する電子機器）
１０２  制御部
１０４  赤色レーザダイオード（レーザ光発生部）
１０５  緑色レーザダイオード（レーザ光発生部）
１０６  青色レーザダイオード（レーザ光発生部）
４１４、４１５  ねじり梁（連結部）
Ａ  回転軸線
Ｂ  直交中心線（交差線）
Ｄ、Ｅ  交差線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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