(57)【要約】  本発明のノズル乾燥装置（１００）では、保持チャック（１２８）に保持された吸着ノズル（６０）が、ハウジング（１６０）の内部に挿入され、エアブロー装置（１６４）の作動により吸着ノズルに向かってエアが吹き付けられる。また、保持チャックに保持された吸着ノズルの吸着管（６８）が当接テーブル（１６２）に当接されることで、吸着管が胴体筒（６４）の内部に押し込まれる。つまり、吸着管の胴体筒の内部への押し込みによって、吸着管と胴体筒とを摺動させることで、胴体筒の内部から水部を排出させ、その排出された水分をエアの吹き付けにより除去することが可能となる。これにより、吸着管と胴体筒との間に侵入した水分を適切に除去することが可能となる。
2016189682.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
部品を保持するための保持部と、前記保持部を保持する本体部とを備え、前記保持部と前記本体部とが相対移動可能な部品保持体に付着した付着物を除去する付着物除去方法であって、  当該付着物除去方法が、  保持具に保持された前記部品保持体に向かって気体を吹き付ける第１気体ブロー工程と、  前記保持部と前記本体部とを相対移動させる移動工程と  を含むことを特徴とする付着物除去方法。
【請求項２】
前記部品保持体が、  エアの吸引により部品を吸着保持するための吸着管と、前記吸着管の先端部を突出させた状態で内部において前記吸着管を保持する保持筒とを備えた吸着ノズルであって、  前記吸着管が、前記保持部として機能し、  前記部品保持体が、前記本体部として機能することを特徴とする請求項１に記載の付着物除去方法。
【請求項３】
前記移動工程が、  前記保持具に保持された前記吸着ノズルの吸着管を当接部に当接させることで、前記吸着管を前記保持筒の内部に向かって移動させる工程であることを特徴とする請求項２に記載の付着物除去方法。
【請求項４】
前記保持具が、  保持している前記吸着ノズルの吸着管の内部に向かって気体を吹き出す第１気体ブロー装置を備え、  当該付着物除去方法が、  前記保持具に保持された前記吸着ノズルの吸着管の内部に、前記第１気体ブロー装置によって気体を吹き出す第２気体ブロー工程を、さらに含むことを特徴とする請求項２または請求項３に記載の付着物除去方法。
【請求項５】
前記第２気体ブロー工程が、  前記保持具に保持された前記吸着ノズルの吸着管の内部に、前記第１気体ブロー装置によって気体を吹き出すことで、前記吸着管を前記保持筒の外部に向かって移動させる工程であることを特徴とする請求項４に記載の付着物除去方法。
【請求項６】
エアの吸引により部品を吸着保持するための吸着管と、前記吸着管の先端部を突出させた状態で内部において前記吸着管を保持する保持筒とを備え、前記吸着管と前記保持筒とが相対移動可能な吸着ノズルに付着した付着物を除去する付着物除去装置であって、  当該付着物除去装置が、  筒状のハウジングと、  保持具に保持された前記吸着ノズルの吸着管の内部に向かって気体を吹き出す第１気体ブロー装置と、  前記ハウジングの内部に向かって気体を吹き出す第２気体ブロー装置と、  前記ハウジングに設けられ、前記吸着ノズルの吸着管を当接させるための当接部と  を備え、  前記第１気体ブロー装置により前記吸着管の内部に気体を吹き出すことで、前記吸着管を前記保持筒の外部に向かって移動させ、前記保持具に保持された前記吸着ノズルの吸着管を前記当接部に当接させることで、前記吸着管を前記保持筒の内部に向かって移動させるとともに、前記保持具によって保持された前記吸着ノズルを前記ハウジングの内部に移動させた状態で、前記第２気体ブロー装置により前記ハウジングの内部に向かって気体を吹き出すことで、前記吸着ノズルに付着した付着物を除去することを特徴とする付着物除去装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、部品を保持するための部品保持体に付着した付着物を除去するための付着物除去方法、および、付着物除去装置に関する。
【背景技術】
【０００２】  吸着ノズル、メカチャック等の部品保持体では、部品の適切な保持を担保するべく、部品保持体に付着している付着物の除去が行われる。下記特許文献には、部品保持体に付着している付着物を除去するための技術の一例が記載されている。【０００３】
【特許文献１】特開２０１１−３６７９号公報
【特許文献２】特開２０１１−７８８８１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】  上記特許文献に記載の技術によれば、部品保持体から付着物を、ある程度、除去することが可能となる。ただし、部品保持体では、部品を保持するための保持部と、保持部を保持する本体部とが相対移動可能となっているため、それら保持部と本体部との間の付着物は、除去し難い場合がある。本発明は、そのような実情に鑑みてなされたものであり、本発明の課題は、保持部と本体部との間の付着物を適切に除去することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】  上記課題を解決するために、本願に記載の付着物除去方法は、部品を保持するための保持部と、前記保持部を保持する本体部とを備え、前記保持部と前記本体部とが相対移動可能な部品保持体に付着した付着物を除去する付着物除去方法であって、当該付着物除去方法が、保持具に保持された前記部品保持体に向かって気体を吹き付ける第１気体ブロー工程と、前記保持部と前記本体部とを相対移動させる移動工程とを含むことを特徴とする。【０００６】  また、上記課題を解決するために、本願に記載の付着物除去装置は、エアの吸引により部品を吸着保持するための吸着管と、前記吸着管の先端部を突出させた状態で内部において前記吸着管を保持する保持筒とを備え、前記吸着管と前記保持筒とが相対移動可能な吸着ノズルに付着した付着物を除去する付着物除去装置であって、当該付着物除去装置が、筒状のハウジングと、保持具に保持された前記吸着ノズルの吸着管の内部に向かって気体を吹き出す第１気体ブロー装置と、前記ハウジングの内部に向かって気体を吹き出す第２気体ブロー装置と、前記ハウジングに設けられ、前記吸着ノズルの吸着管を当接させるための当接部とを備え、前記第１気体ブロー装置により前記吸着管の内部に気体を吹き出すことで、前記吸着管を前記保持筒の外部に向かって移動させ、前記保持具に保持された前記吸着ノズルの吸着管を前記当接部に当接させることで、前記吸着管を前記保持筒の内部に向かって移動させるとともに、前記保持具によって保持された前記吸着ノズルを前記ハウジングの内部に移動させた状態で、前記第２気体ブロー装置により前記ハウジングの内部に向かって気体を吹き出すことで、前記吸着ノズルに付着した付着物を除去することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】  本願に記載の付着物除去方法では、保持具に保持された部品保持体に向かって気体が吹き付けられる。また、部品保持体に気体が吹き付けられる際に、保持部と本体部とが相対移動する。つまり、保持部と本体部との相対移動をさせながら、付着物を気体の吹き付けにより除去することが可能となる。これにより、保持部と本体部との間の付着物を適切に除去することが可能となる。【０００８】  また、本願に記載の付着物除去装置では、保持具に保持された吸着ノズルに向かって気体が吹き付けられる。また、吸着ノズルに気体が吹き付けられる際に、吸着管の当接部への当接、および、第１気体ブロー装置による気体の吹き付けにより、吸着管と保持筒とが相対移動する。つまり、吸着管が保持筒の内部で進退する。これによって、吸着管の保持筒の進退をさせながら、付着物を気体の吹き付けにより除去することが可能となる。これにより、吸着管と保持筒との間の付着物を適切に除去することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】電子部品装着装置を示す斜視図である。
【図２】吸着ノズルを示す斜視図である。
【図３】ノズル管理装置の外観を示す斜視図である。
【図４】ノズル管理装置の内部構造を示す斜視図である。
【図５】第１実施例のノズル乾燥装置を示す断面図である。
【図６】第１実施例のノズル乾燥装置を示す断面図である。
【図７】ノズル管理装置の備える制御装置を示すブロック図である。
【図８】第２実施例のノズル乾燥装置を示す断面図である。
【図９】第２実施例のノズル乾燥装置を示す断面図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】  以下、本発明を実施するための形態として、本発明の実施例を、図を参照しつつ詳しく説明する。【００１１】  ＜電子部品装着装置の構成＞  図１に、電子部品装着装置１０を示す。電子部品装着装置１０は、１つのシステムベース１２と、そのシステムベース１２の上に隣接された２台の電子部品装着機（以下、「装着機」と略す場合がある）１４とを有している。なお、装着機１４の並ぶ方向をＸ軸方向と称し、その方向に直角な水平の方向をＹ軸方向と称する。【００１２】  各装着機１４は、主に、装着機本体２０、搬送装置２２、装着ヘッド移動装置（以下、「移動装置」と略す場合がある）２４、装着ヘッド２６、供給装置２８、ノズルステーション３０を備えている。装着機本体２０は、フレーム部３２と、そのフレーム部３２に上架されたビーム部３４とによって構成されている。【００１３】  搬送装置２２は、２つのコンベア装置４０，４２を備えている。それら２つのコンベア装置４０，４２は、互いに平行、かつ、Ｘ軸方向に延びるようにフレーム部３２に配設されている。２つのコンベア装置４０，４２の各々は、電磁モータ（図示省略）によって各コンベア装置４０，４２に支持される回路基板をＸ軸方向に搬送する。また、回路基板は、所定の位置において、基板保持装置（図示省略）によって保持される。【００１４】  移動装置２４は、ＸＹロボット型の移動装置である。移動装置２４は、スライダ５０をＸ軸方向にスライドさせる電磁モータ（図示省略）と、Ｙ軸方向にスライドさせる電磁モータ（図示省略）とを備えている。スライダ５０には、装着ヘッド２６が取り付けられており、その装着ヘッド２６は、２つの電磁モータの作動によって、フレーム部３２上の任意の位置に移動させられる。【００１５】  装着ヘッド２６は、回路基板に対して電子部品を装着するものである。装着ヘッド２６の下端面には、吸着ノズル６０が設けられている。吸着ノズル６０は、図２に示すように、胴体筒６４とフランジ部６６と吸着管６８と掛止ピン７０とによって構成されている。胴体筒６４は、円筒状をなし、フランジ部６６は、胴体筒６４の外周面に張り出すようにして固定されている。吸着管６８は、細いパイプ状をなし、胴体筒６４の下端部から下方に向かって延び出した状態で、胴体筒６４に軸線方向に移動可能に保持されている。掛止ピン７０は、胴体筒６４の径方向に延びるように、胴体筒６４の上端部に設けられている。吸着ノズル６０は、掛止ピン７０を利用して、装着ヘッド２６にワンタッチで着脱可能に取り付けられる。また、装着ヘッド２６には、バネ（図示省略）が内蔵されており、そのバネは、装着ヘッド２６に取り付けられる吸着ノズル６０の吸着管６８に、弾性力を付与する。これにより、その吸着管６８は、装着ヘッド２６に内蔵されたバネの弾性力によって、胴体筒６４の下端部から下方に延び出す方向に付勢されている。【００１６】  また、吸着ノズル６０は、負圧エア，正圧エア通路を介して、正負圧供給装置（図示省略）に通じている。各吸着ノズル６０は、負圧によって電子部品を吸着保持し、保持した電子部品を正圧によって離脱する。また、装着ヘッド２６は、吸着ノズル６０を昇降させるノズル昇降装置（図示省略）を有して��る。そのノズル昇降装置によって、装着ヘッド２６は、保持する電子部品の上下方向の位置を変更する。【００１７】  供給装置２８は、フィーダ型の供給装置であり、図１に示すように、複数のテープフィーダ７２を有している。テープフィーダ７２は、テープ化部品を巻回させた状態で収容している。テープ化部品は、電子部品がテーピング化されたものである。そして、テープフィーダ７２は、送り装置（図示省略）によって、テープ化部品を送り出す。これにより、フィーダ型の供給装置２８は、テープ化部品の送り出しによって、電子部品を供給位置において供給する。【００１８】  ノズルステーション３０は、ノズルトレイ７６を有している。ノズルトレイ７６には、複数の吸着ノズル６０が収容されている。このノズルステーション３０では、装着ヘッド２６に取り付けられている吸着ノズル６０と、ノズルトレイ７６に収容されている吸着ノズル６０との交換等が、必要に応じて行われる。また、ノズルトレイ７６は、ノズルステーション３０に着脱可能であり、ノズルトレイ７６に収容された吸着ノズル６０の回収，ノズルトレイ７６への吸着ノズル６０の補給等を装着機１４の外部において行うことが可能である。【００１９】  ＜装着機による装着作業＞  装着機１４では、上述した構成によって、搬送装置２２に保持された回路基板に対して、装着ヘッド２６によって装着作業を行うことが可能である。具体的には、装着機１４の制御装置（図示省略）の指令により、回路基板が作業位置まで搬送され、その位置において、基板保持装置によって保持される。また、テープフィーダ７２は、制御装置の指令により、テープ化部品を送り出し、電子部品を供給位置において供給する。そして、装着ヘッド２６が、電子部品の供給位置の上方に移動し、吸着ノズル６０によって電子部品を吸着保持する。続いて、装着ヘッド２６は、回路基板の上方に移動し、保持している電子部品を回路基板上に装着する。【００２０】  装着機１４では、上述したように、テープフィーダ７２によって供給された電子部品を、吸着ノズル６０によって吸着保持し、その電子部品が回路基板上に装着される。このため、吸着ノズル６０に不具合が生じている場合には、装着作業を適切に行うことができない虞があるため、吸着ノズル６０を適切に管理する必要がある。そこで、以下に説明するノズル管理装置により、吸着ノズル６０の管理が行われる。【００２１】  ＜ノズル管理装置の構成＞  ノズル管理装置８０は、図３に示すように、概して直方体形状をなしており、正面に、ノズルトレイ７６をノズル管理装置８０内に収納、若しくは、ノズル管理装置８０からノズルトレイ７６を取り出すための扉８２が設けられている。その扉８２の上方には、各種情報を表示するパネル８６等が配設されている。【００２２】  ノズル管理装置８０は、図４に示すように、管理装置本体９０、パレット収容装置９２、ノズル移載装置９４、ノズル検査装置９６、ノズル洗浄装置９８、ノズル乾燥装置１００を有している。なお、図４は、ノズル管理装置８０の外殻部材を取り外した状態を示す斜視図であり、ノズル管理装置８０の内部構造を示している。【００２３】  （ａ）管理装置本体  管理装置本体９０は、フレーム部１０２と、そのフレーム部１０２に上架されたビーム部１０４とによって構成されている。フレーム部１０２は、中空構造とされており、フレーム部１０２内にパレット収容装置９２が配設され、パレット収容装置９２の上端部が、フレーム部１０２の上面に露出している。【００２４】  （ｂ）パレット収容装置  パレット収容装置９２は、複数のパレット載置棚１０６と、支持アーム１０８とを含む。パレット載置棚１０６は、ノズルパレット１１０を載置するための棚であり、複数のパレット載置棚１０６が、フレーム部１０２の内部において、上下方向に並んで配設されている。なお、ノズルパレット１１０には、複数の吸着ノズル６０が収容される。また、支持アーム１０８は、アーム移動装置（図示省略）の作動により、複数のパレット載置棚１０６の前方において、上下方向に移動するとともに、パレット載置棚１０６に接近・離間する。これにより、パレット載置棚１０６へのノズルパレット１１０の収納、パレット載置棚１０６からのノズルパレット１１０の取出しが、支持アーム１０８によって行われる。なお、パレット載置棚１０６から取り出されたノズルパレット１１０は、支持アーム１０８が上方に移動することで、フレーム部１０２の上面側に移動する。【００２５】  （ｃ）ノズル移載装置  ノズル移載装置９４は、ノズルトレイ７６とノズルパレット１１０との間で吸着ノズル６０を移載するための装置であり、ビーム部１０４に配設されている。ノズル移載装置９４は、移載ヘッド１２０とヘッド移動装置１２２とを有している。移載ヘッド１２０の下端面には、下方を向いた状態のカメラ１２６と、吸着ノズル６０を保持するための保持チャック１２８と、エア供給装置１３０とが取り付けられている。【００２６】  保持チャック１２８は、図５に示すように、２本の保持爪１３２を有しており、それら２本の保持爪１３２を接近させることで、吸着ノズル６０を胴体筒６４において保持し、２本の保持爪１３２を離間させることで、保持した吸着ノズル６０を離脱する。また、保持チャック１２８の本体部１３４には、エア流路１３６が形成されている。そのエア流路１３６の一端部は、２本の保持爪１３２の間に開口しており、他端部は、エア供給装置１３０に接続されている。このため、保持チャック１２８が吸着ノズル６０を保持した状態において、エア供給装置１３０によってエア流路１３６にエアを供給することで、吸着ノズル６０の内部に向かってエアが吹き出される。これにより、吸着ノズル６０の胴体筒６４から、エアが吹きこまれ、吸着管６８の先端部からエアが吹き出される。さらに、保持チャック１２８は、自身を自転させる自転装置（図７参照）１３８を有している。これにより、保持チャック１２８に保持された吸着ノズル６０が自転する。【００２７】  また、ヘッド移動装置１２２は、図４に示すように、移載ヘッド１２０をフレーム部１０２の上において前後方向、左右方向、上下方向に移動させるＸＹＺ型の移動装置である。なお、フレーム部１０２の前方側の上面には、ノズルトレイ７６をセットするための固定ステージ１３１が設けられており、固定ステージ１３１にセットされたノズルトレイ７６と、パレット収容装置９２の支持アーム１０８に支持されたノズルパレット１１０との間で、吸着ノズル６０が移載される。【００２８】  （ｄ）ノズル検査装置  ノズル検査装置９６は、カメラ１４０とロードセル１４２とジョイント１４６とを有している。カメラ１４０は、上方を向いた状態でフレーム部１０２の上面に配設されており、カメラ１４０を用いて、吸着ノズル６０の先端部が検査される。詳しくは、検査対象の吸着ノズル６０が保持チャック１２８によって保持され、その保持チャック１２８に保持された吸着ノズル６０が、下方からカメラ１４０によって撮像される。これにより、吸着ノズル６０の先端部の撮像データが得られ、その撮像データに基づいて、吸着ノズル６０の先端部の状態が検査される。【００２９】  また、ロードセル１４２は、カメラ１４０の隣に配設されており、ロードセル１４２を用いて、吸着ノズル６０の先端部の伸縮状態が検査される。詳しくは、検査対象の吸着ノズル６０が保持チャック１２８によって保持され、その保持チャック１２８に保持された吸着ノズル６０の先端部がロードセル１４２に当接される。吸着ノズル６０の先端部は、伸縮可能とされており、ロードセル１４２により測定された荷重に基づいて、吸着ノズル６０の先端部の伸縮状態が検査される。【００３０】  また、ジョイント１４６は、エア供給装置１３０の下面に配設され、そのエア供給装置１３０からエアが供給される。そして、エア供給装置１３０からジョイント１４６に供給されるエアを用いて、吸着ノズル６０のエア流量検査が行われる。詳しくは、ジョイント１４６が、ヘッド移動装置１２２の作動により、ノズルトレイ７６とノズルパレット１１０との何れかに載置された吸着ノズル６０の上方に移動する。そして、ジョイント１４６が、検査対象の吸着ノズル６０に接続され、エア供給装置１３０からエアが供給される。この際にエア圧が測定され、そのエア圧に基づいて、吸着ノズル６０のエア流量検査が行われる。【００３１】  なお、フレーム部１０２の上面には、複数の廃棄ボックス１４８が配設されており、上記検査により不良ノズルと判定された吸着ノズル６０は、廃棄ボックス１４８に廃棄される。また、上記検査により正常なノズルと判定された吸着ノズル６０は、ノズルトレイ７６若しくは、ノズルパレット１１０に戻される。【００３２】  （ｅ）ノズル洗浄装置  ノズル洗浄装置９８は、吸着ノズル６０の洗浄および乾燥を行う装置であり、パレット収容装置９２の隣に配設されている。ノズル洗浄装置９８は、洗浄・乾燥機構１５０と洗浄パレット移動機構１５２とを備えている。洗浄・乾燥機構１５０は、内部において吸着ノズル６０の洗浄および乾燥を行う機構である。また、洗浄パレット移動機構１５２は、洗浄パレット１５８が露出する露出位置（図４で洗浄パレット１５８が図示されている位置）と、洗浄・乾燥機構１５０の内部との間で、洗浄パレット１５８を移動させる機構である。【００３３】  （ｆ）ノズル乾燥装置  ノズル乾燥装置１００は、吸着ノズル６０の乾燥を行う装置であり、露出位置に位置する洗浄パレット１５８の隣に配設されている。ノズル乾燥装置１００は、図５に示すように、ハウジング１６０と当接テーブル１６２とエアブロー装置１６４とを有している。ハウジング１６０は、概して有底円筒状をなしている。当接テーブル１６２は、支柱部１６６と当接部１６８とを含む。支柱部１６６は、概して棒状をなし、ハウジング１６０の底部の略中央に立設されている。当接部１６８は、概して円板状をなし、支柱部１６６の上端部に固定されている。【００３４】  エアブロー装置１６４は、ハウジング１６０の内部に向かってエアを吹き出す装置である。詳しくは、ハウジング１６０の側壁には、２つの貫通穴１７０，１７２が形成されている。第１の貫通穴１７０は、当接テーブル１６２の上端と略同じ高さにおいて、ハウジング１６０の径方向に延びるように、ハウジング１６０の側壁を貫通している。なお、第１の貫通穴１７０は、ハウジング１６０の外壁面から内壁面に向かって斜め上方に貫通している。一方、第２の貫通穴１７２は、第１の貫通穴１７０の上方において、ハウジング１６０の径方向、かつ水平方向に延びるように、ハウジング１６０の側壁を貫通している。そして、第１の貫通穴１７０および、第２の貫通穴１７２に、配管１７６，１７８を介して、エアブロー装置１６４が接続されている。これにより、エアブロー装置１６４は、貫通穴１７０，１７２を介して、ハウジング１６０の内部に向かってエアを吹き出す。【００３５】  （ｇ）吸着ノズルの洗浄および乾燥  ノズル洗浄装置９８により、吸着ノズル６０の洗浄が行われる際には、洗浄対象の吸着ノズル６０が、ノズル移載装置９４によって、ノズルトレイ７６若しくは、ノズルパレット１１０から、洗浄パレット１５８に移載される。そして、洗浄パレット１５８が、洗浄パレット移動機構１５２の作動により、洗浄・乾燥機構１５０の内部に移動し、洗浄・乾燥機構１５０の内部において、吸着ノズル６０の洗浄および乾燥が行われる。洗浄・乾燥機構１５０による吸着ノズル６０の洗浄および乾燥が完了すると、洗浄パレット１５８が、洗浄パレット移動機構１５２の作動により、露出位置に移動する。【００３６】  この際、吸着ノズル６０は、ある程度乾燥しているが、洗浄・乾燥機構１５０内では、洗浄パレット１５８に搭載された状態で吸着ノズル６０の乾燥が行われるため、吸着ノズル６０に水分が残存している虞がある。特に、吸着ノズル６０では、上述したように、胴体筒６４と吸着管６８とが相対移動可能となっており、胴体筒６４と吸着管６８との間に水が浸入するため、胴体筒６４と吸着管６８との間に浸入した水が残存している場合がある。このように胴体筒６４と吸着管６８との間に水分が残存した吸着ノズル６０は、上記ロードセル１４２を用いた検査において、不良ノズルと判定される虞がある。詳しくは、ロードセル１４２を用いた検査は、上述したように、吸着ノズル６０の先端部の伸縮状態の検査であり、胴体筒６４と吸着管６８との間に水分が残存した吸着ノズル６０では、水分によって胴体筒６４と吸着管６８との摺動抵抗が大きくなり、ロードセル１４２により測定される荷重が高くなる。このため、吸着ノズル６０の先端部の伸縮状態が適切でないと判定され、その吸着ノズル６０は、不良ノズルと判定される虞がある。【００３７】  このようなことに鑑みて、ノズル管理装置８０では、洗浄・乾燥機構１５０による吸着ノズル６０の洗浄および乾燥が完了すると、ノ��ル乾燥装置１００を用いて、吸着ノズル６０の再乾燥が行われる。詳しくは、洗浄・乾燥機構１５０により洗浄・乾燥された吸着ノズル６０が、洗浄パレット１５８から保持チャック１２８によって保持される。次に、保持チャック１２８が、ヘッド移動装置１２２の作動により、ノズル乾燥装置１００の上方に移動し、下降する。これにより、保持チャック１２８に保持された吸着ノズル６０が、図５に示すように、ノズル乾燥装置１００のハウジング１６０の内部に挿入される。なお、吸着ノズル６０の吸着管６８が、当接テーブル１６２の当接部１６８に当接しない箇所まで、保持チャック１２８は下降する。【００３８】  そして、エアブロー装置１６４が作動され、貫通穴１７０，１７２からハウジング１６０の内部に向かってエアが吹き出される。この際、保持チャック１２８は自転装置１３８の作動により自転する。これにより、保持チャック１２８に保持された吸着ノズル６０も自転し、吸着ノズル６０の周囲全体にエアが吹き付けられる。また、保持チャック１２８が自転している際に、エア供給装置１３０の作動によりエア流路１３６にエアが供給され、吸着ノズル６０の内部に向かってエアが吹き出される。このため、吸着ノズル６０内部へのエアの吹き出しによって、吸着管６８が胴体筒６４に対して下方に向かって相対移動し、下方に延び出す。これにより、吸着管６８の胴体筒６４に対する摺動面が露出し、その摺動面の全周に渡ってエアが吹き付けられる。このように、ハウジング１６０の内部に挿入された状態の吸着ノズル６０の内部にエアが吹き出されるとともに、吸着ノズル６０が自転されることで、胴体筒６４と吸着管６８との間に残存している水分を好適に除去することが可能となる。【００３９】  また、吸着ノズル６０の自転、および、エア供給装置１３０の作動によるエアの吹き出しが所定時間、行われると、吸着ノズル６０の自転、および、エア供給装置１３０の作動によるエアの吹き出しが停止され、保持チャック１２８がヘッド移動装置１２２の作動により下降される。これにより、図６に示すように、保持チャック１２８に保持された吸着ノズル６０の吸着管６８の先端部が、当接テーブル１６２の当接部１６８に当接し、吸着管６８が胴体筒６４の内部に向かって押し込まれる。【００４０】  そして、吸着管６８が胴体筒６４の内部に押し込まれた後に、保持チャック１２８がヘッド移動装置１２２の作動により上昇され、吸着管６８と当接部１６８とが離間する。次に、再度、吸着ノズル６０の自転、および、エア供給装置１３０の作動による吸着ノズル６０内部へのエアの吹き出しが行われる。つまり、吸着管６８が胴体筒６４の内部に押し込こまれることで、胴体筒６４内部に水分が残存している場合に、その水分が吸着管６８の摺動面に付着する。そして、吸着ノズル６０の内部に向かってエアが吹き出されることで、吸着管６８が胴体筒６４から突出し、水分が付着した摺動面が露出する。この際、吸着ノズル６０が自転され、エアブロー装置１６４の作動により吸着ノズル６０に向かってエアが吹き付けられることで、吸着管６８の摺動面の水分が除去される。このように、吸着管６８が胴体筒６４の内部に押し込まれた後に、再度、吸着ノズル６０の自転��および、エア供給装置１３０の作動による吸着ノズル６０内部へのエアの吹き出しが行われることで、胴体筒６４の内部の水分を確実に除去することが可能となる。なお、吸着管６８の胴体筒６４内部への押し込みと、吸着ノズル６０の自転、および、エア供給装置１３０の作動による吸着ノズル６０内部へのエアの吹き出しとは、予め設定された回数、繰り返して実行される。【００４１】  このように、ノズル乾燥装置１００では、吸着管６８の胴体筒６４内部への押し込みと、吸着ノズル６０の自転、および、エア供給装置１３０の作動による吸着ノズル６０内部へのエアの吹き出しとが複数回、繰り返されることで、胴体筒６４と吸着管６８との間に侵入した水分が好適に除去される。そして、ノズル乾燥装置１００による乾燥が完了した吸着ノズル６０は、ヘッド移動装置１２２の作動により、ノズルトレイ７６とノズルパレット１１０との何れかに戻される。【００４２】  さらに、ノズル管理装置８０は、図７に示すように、制御装置２００を備えている。制御装置２００は、コントローラ２０２と複数の駆動回路２０６とを備えている。複数の駆動回路２０６は、パレット収容装置９２、ノズル検査装置９６、ノズル洗浄装置９８、エア供給装置１３０、エアブロー装置１６４に接続されている。コントローラ２０２は、ＣＰＵ，ＲＯＭ，ＲＡＭ等を備え、コンピュータを主体とするものであり、複数の駆動回路２０６に接続されている。これにより、パレット収容装置９２、ノズル移載装置９４等の作動が、コントローラ２０２によって制御される。また、コントローラ２０２は、第１エアブロー部２１０と第２エアブロー部２１２と吸着管当接部２１４とを有している。第１エアブロー部２１０は、エアブロー装置１６４の作動により吸着ノズル６０に向かってエアを吹き出すための機能部である。第２エアブロー部２１２は、エア供給装置１３０の作動により吸着ノズル６０の内部に向かってエアを吹き出すための機能部である。吸着管当接部２１４は、保持チャック１２８を下降させ、吸着管６８を当接テーブル１６２に当接させるための機能部である。【００４３】  ＜第２実施例＞  第１実施例のノズル乾燥装置１００には、図５に示すように、当接テーブル１６２が設けられているが、第２実施例のノズル乾燥装置２２０には、図８に示すように、当接テーブル１６２が設けられていない。このようなノズル乾燥装置２２０での吸着ノズル６０の乾燥手法について、以下に説明する。なお、第２実施例のノズル乾燥装置２２０は、当接テーブル１６２が無いことを除いて、第１実施例のノズル乾燥装置１００と同じ構成である。このため、ノズル乾燥装置１００と同じ機能の構成要素については、同じ符号を用い、それらの説明は省略する。【００４４】  第２実施例のノズル乾燥装置２２０により吸着ノズル６０の乾燥が行われる場合には、まず、第１実施例のノズル乾燥装置１００と同様に、保持チャック１２８に保持された吸着ノズル６０がハウジング１６０の内部に挿入され、エアブロー装置１６４の作動により、ハウジング１６０の内部に向かってエアが吹き出される。この際、吸着ノズル６０の自転、および、エア供給装置１３０の作動による吸着ノズル６０内部へのエアの吹き出しが行わ���る。【００４５】  吸着ノズル６０の自転、および、エア供給装置１３０の作動による吸着ノズル６０内部へのエアの吹き出しが、所定時間、行われると、保持チャック１２８が上昇される。これにより、保持チャック１２８に保持された吸着ノズル６０がハウジング１６０の上方に移動する。そして、保持チャック１２８が、ハウジング１６０の側壁の上方に移動され、下降される。これにより、保持チャック１２８に保持された吸着ノズル６０の吸着管６８が、図９に示すように、ハウジング１６０の側壁の上端に当接し、吸着管６８が胴体筒６４の内部に押し込まれる。【００４６】  そして、吸着管６８が胴体筒６４の内部に押し込まれると、保持チャック１２８が移動され、保持チャック１２８に保持された吸着ノズル６０が、ハウジング１６０内に挿入される。この際、吸着ノズル６０の自転、および、エア供給装置１３０の作動による吸着ノズル６０内部へのエアの吹き出しが、行われる。つまり、第２実施例のノズル乾燥装置２２０では、ハウジング１６０の側壁の上端が、第１実施例の当接テーブル１６２として機能しており、吸着管６８の胴体筒６４内部への押し込みと、吸着ノズル６０の自転、および、エア供給装置１３０の作動による吸着ノズル６０内部へのエアの吹き出しとが行われる。これにより、第２実施例のノズル乾燥装置２２０においても、第１実施例のノズル乾燥装置１００と同様の効果を奏することが可能となる。【００４７】  ちなみに、上記実施例において、吸着ノズル６０は、部品保持体および、吸着ノズルの一例である。胴体筒６４は、本体部および、保持筒の一例である。吸着管６８は、保持部および、吸着管の一例である。ノズル乾燥装置１００は、付着物除去装置の一例である。保持チャック１２８は、保持具の一例である。エア供給装置１３０は、第２気体ブロー装置の一例である。ハウジング１６０は、ハウジングの一例である。当接テーブル１６２は、当接部の一例である。エアブロー装置１６４は、第１気体ブロー装置の一例である。ノズル乾燥装置２２０は、付着物除去装置の一例である。第１エアブロー部２１０は、第１気体ブロー工程を実行するための一例である。第２エアブロー部２１２は、第２気体ブロー工程を実行するための一例である。吸着管当接部２１４は、移動工程を実行するための一例である。【００４８】  なお、本発明は、上記実施例に限定されるものではなく、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した種々の態様で実施することが可能である。具体的には、例えば、上記実施例では、本発明が吸着ノズル６０に付着した水分を除去する方法および、装置に適用されているが、メカチャックに付着した水分を除去する方法および、装置に、本発明を適用することが可能である。詳しくは、メカチャックは、通常、複数の爪部と、それら複数の爪部を接近・離間可能に保持する本体部とから構成されており、複数の爪部が接近することで、部品を保持し、それら複数の爪部が離間することで、保持された部品を離脱する。そして、メカチャックにエアが吹き付けられる際に、爪部を当接部に当接させることで、爪部と本体部とを相対移動させ、爪部と本体部との間に侵入した水分を除去することが可能となる。また、爪部を当接部に��接させることなく、エア，電磁モータ等により、爪部と本体部とを相対移動させることも可能である。【００４９】  また、上記実施例では、除去する付着物として、水分が採用されているが、他の種々の付着物、具体的には、例えば、油分、埃、電子部品又はその一部、半田、接着剤等を採用することが可能である。さらに言えば、上記実施例では、エアの吹き付けにより付着物が除去されているが、他の気体、具体的には、例えば、窒素等のガスの吹き付けにより、付着物を除去することが可能である。【００５０】  また、例えば、上記実施例では、吸着ノズル６０の吸着管６８が、当接テーブル１６２若しくは、ハウジング１６０の側壁の上端に当接されているが、吸着管６８を胴体筒６４の内部に押し込むことが可能な個所であれば、種々の箇所に吸着管６８を当接させることが可能である。【００５１】  また、上記実施例では、胴体筒６４と吸着管６８との間に残存している水分を好適に除去する方法および、装置に適用されているが、その周辺に存在する種々の付着物の除去にも適用することが可能である。例えば、胴体筒６４と吸着管６８を相対移動させれば、その間に存在する付着物の付着力を弱くさせることができ、エア等の吹き付けにより除去しやすくなるからである。
【符号の説明】
【００５２】  ６０：吸着ノズル（部品保持体）    ６４：胴体筒（本体部）（保持筒）    ６８：吸着管（保持部）    １００：ノズル乾燥装置（付着物除去装置）    １２８：保持チャック（保持具）    １３０：エア供給装置（第２気体ブロー装置）    １６０：ハウジング    １６２：当接テーブル（当接部）    １６４：エアブロー装置（第１気体ブロー装置）    ２２０：ノズル乾燥装置（付着物除去装置）
【図１】
2016189682.tif 000003
【図２】
2016189682.tif 000004
【図３】
2016189682.tif 000005
【図４】
2016189682.tif 000006
【図５】
2016189682.tif 000007
【図６】
2016189682.tif 000008
【図７】
2016189682.tif 000009
【図８】
2016189682.tif 000010
【図９】
2016189682.tif 000011
【国際調査報告】
2016189682.tif 000012
2016189682.tif 000013