(57)【要約】  本発明のピンチ型バルブ（Ｖ）は、駆動源（１）によって駆動される回転軸（２）と、回転軸（２）に固定される第１のカム（３）と、第１のカム（３）のカム面（３ｍ）に２つの方向から当接して移動する第１可動部材（４）および第２可動部材（５）と、第１可動部材（４）により押圧されて閉塞されるとともに第１可動部材（４）の押圧が解除されて開放され流体が通過する第１の柔軟な管（６）と、第２可動部材（５）により押圧されて閉塞されるとともに第２可動部材（５）の押圧が解除されて開放され流体が通過する第２の柔軟な管（７）とを備えている。
2017090649.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
駆動源によって駆動される回転軸と、
前記回転軸に固定される第１のカムと、
前記第１のカムのカム面に２つの方向から当接して移動する第１可動部材および第２可動部材と、
前記第１可動部材により押圧されて閉塞されるとともに前記第１可動部材の押圧が解除されて開放され流体が通過する第１の柔軟な管と、
前記第２可動部材により押圧されて閉塞されるとともに前記第２可動部材の押圧が解除されて開放され流体が通過する第２の柔軟な管とを
備えることを特徴とするピンチ型バルブ。
【請求項２】
駆動源によって駆動される回転軸と、
前記回転軸と一体に形成される第１のカムと、
前記第１のカムのカム面に２つの方向から当接して移動する第１可動部材および第２可動部材と、
前記第１可動部材により押圧されて閉塞されるとともに前記第１可動部材の押圧が解除されて開放され流体が通過する第１の柔軟な管と、
前記第２可動部材により押圧されて閉塞されるとともに前記第２可動部材の押圧が解除されて開放され流体が通過する第２の柔軟な管とを
備えることを特徴とするピンチ型バルブ。
【請求項３】
駆動源によって駆動される回転軸と、
前記回転軸と連動する第１のカムと、
前記第１のカムのカム面に２つの方向から当接して移動する第１可動部材および第２可動部材と、
前記第１可動部材により押圧されて閉塞されるとともに前記第１可動部材の押圧が解除されて開放され流体が通過する第１の柔軟な管と、
前記第２可動部材により押圧されて閉塞されるとともに前記第２可動部材の押圧が解除されて開放され流体が通過する第２の柔軟な管とを
備えることを特徴とするピンチ型バルブ。
【請求項４】
駆動源によって駆動される回転軸と、
前記回転軸と連動する第１のカムと、
前記第１のカムのカム面に２つの方向から当接して移動する第１可動部材および第２可動部材と、
前記第１可動部材により押圧されて閉塞されるとともに前記第１可動部材の押圧が解除されて開放され流体が通過する第１の流路と、
前記第２可動部材により押圧されて閉塞されるとともに前記第２可動部材の押圧が解除されて開放され流体が通過する第２の流路とを
備えることを特徴とするピンチ型バルブ。
【請求項５】
請求項３または請求項４に記載のピンチ型バルブにおいて、
前記回転軸と前記第１のカムとの間にあそびがある
ことを特徴とするピンチ型バルブ。
【請求項６】
請求項１から請求項４のうちの何れか一項に記載のピンチ型バルブにおいて、
前記カム面は前記回転軸を中心として左右非対称に形成されている
ことを特徴とするピンチ型バルブ。
【請求項７】
請求項１から請求項４のうちの何れか一項に記載のピンチ型バルブにおいて、
前記カム面は前記回転軸を中心として左右対称であり、
前記第１のカムの外周面を形成する前記カム面に、前記第１可動部材と前記第２可動部材とが、それぞれ一方向とその反対方向から対向して配置される
ことを特徴とするピンチ型バルブ。
【請求項８】
請求項１から請求項４のうちの何れか一項に記載のピンチ型バルブにおいて、
前記第１のカムの前記カム面を形成するカム曲線は、微分可能である
ことを特徴とするピンチ型バルブ。
【請求項９】
請求項１から請求項４のうちの何れか一項に記載のピンチ型バルブにおいて、
前記第１のカムの前記カム面は、少なくとも半円の断面形状をもつ外周面のカム面と、当該半円の中心から当該半円の半径より短い寸法の偏芯半径の断面形状をもつ外周面のカム面とを有する
ことを特徴とするピンチ型バルブ。
【請求項１０】
請求項９に記載のピンチ型バルブにおいて、
前記偏芯半径ｒは、前記半円の半径をＲ、偏移量ａとすると、
ｒ＝Ｒ−ａθ／（π／２）
の関係がある
ことを特徴とするピンチ型バルブ。
【請求項１１】
請求項１から請求項３のうちの何れか一項に記載のピンチ型バルブにおいて、
前記第１の柔軟な管の変形量を調整する第１調整手段または前記第２の柔軟な管の変形量を調整する第２調整手段のうちの少なくとも何れかを備える
ことを特徴とするピンチ型バルブ。
【請求項１２】
請求項１から請求項３のうちの何れか一項に記載のピンチ型バルブにおいて、
前記第１の柔軟な管の変形量を調整する第１調整手段または前記第２の柔軟な管の変形量を調整する第２調整手段のうちの少なくとも何れかを備え、
前記第１調整手段は、ねじを用いており、
前記第２調整手段は、ねじを用いている
ことを特徴とするピンチ型バルブ。
【請求項１３】
請求項１から請求項３のうちの何れか一項に記載のピンチ型バルブにおいて、
前記第１の柔軟な管の変形量を調整する第１調整手段または前記第２の柔軟な管の変形量を調整する第２調整手段のうちの少なくとも何れかを備え、
前記第１の柔軟な管の変形量を固定する第１の固定手段または前記第２の柔軟な管の変形量を固定する第２の固定手段のうちの少なくとも何れかを備える
ことを特徴とするピンチ型バルブ。
【請求項１４】
請求項１から請求項４のうちの何れか一項に記載のピンチ型バルブにおいて、
弾性部材の弾性力が低下する過程を用いて前記ピンチ型バルブを定常状態にさせる定常状態安定化手段を備える
ことを特徴とするピンチ型バルブ。
【請求項１５】
請求項１４に記載のピンチ型バルブにおいて、
前記定常状態安定化手段は、
前記回転軸に固定され、回転中心からの径寸法が他の箇所より短い寸法の箇所を有する復帰用カムと、
前記復帰用カムのカム面に両側からそれぞれ当接して移動する第３可動部材および第４可動部材と、
前記第３可動部材を前記復帰用カムの前記カム面に向けて押圧する前記弾性部材である第１の弾性部材と、
前記第４可動部材を前記復帰用カムの前記カム面に向けて押圧する前記弾性部材である第２の弾性部材とを有する
ことを特徴とするピンチ型バルブ。
【請求項１６】
請求項１５に記載のピンチ型バルブにおいて、
前記復帰用カムの前記カム面は、前記回転軸を中心として左右非対称に形成されている
ことを特徴とするピンチ型バルブ。
【請求項１７】
請求項１５に記載のピンチ型バルブにおいて、
前記復帰用カムの前記カム面は、曲率をもつ対称な形状に形成されている
ことを特徴とするピンチ型バルブ。
【請求項１８】
請求項１７に記載のピンチ型バルブにおいて、
前記復帰用カムの前記カム面は、楕円形状に形成されている
ことを特徴とするピンチ型バルブ。
【請求項１９】
請求項１５に記載のピンチ型バルブにおいて、
前記第１の弾性部材の変形量を調整する第３調整手段または前記第２の弾性部材の変形量を調整する第４調整手段のうちの少なくとも何れかを備える
ことを特徴とするピンチ型バルブ。
【請求項２０】
請求項１から請求項４のうちの何れか一項に記載のピンチ型バルブにおいて、
前記第１可動部材は、前記第１のカムの前記カム面に接触する第１軸受を有し、
前記第２可動部材は、前記第１のカムの前記カム面に接触する第２軸受を有する
ことを特徴とするピンチ型バルブ。
【請求項２１】
請求項１５に記載のピンチ型バルブにおいて、
前記第３可動部材は、前記復帰用カムの前記カム面に接触する第３軸受を有し、
前記第４可動部材は、前記復帰用カムの前記カム面に接触する第４軸受を有する
ことを特徴とするピンチ型バルブ。
【請求項２２】
請求項１から請求項３のうちの何れか一項に記載のピンチ型バルブにおいて、
前記第１の柔軟な管は、前記第１可動部材の押圧が解除された場合、自身の弾性力により当該押圧前の形状に復帰し、
前記第２の柔軟な管は、前記第２可動部材の押圧が解除された場合、自身の弾性力により当該押圧前の形状に復帰する
ことを特徴とするピンチ型バルブ。
【請求項２３】
請求項１から請求項３のうちの何れか一項に記載のピンチ型バルブにおいて、
前記第１の柔軟な管または前記第２の柔軟な管の少なくとも何れかは、扁平な横断面をもつ管である
ことを特徴とするピンチ型バルブ。
【請求項２４】
請求項１から請求項４のうちの何れか一項に記載のピンチ型バルブにおいて、
前記回転軸に固定される第２のカムと、
前記第２のカムのカム面に２方向からそれぞれ当接して移動する第５可動部材および第６可動部材と、
前記第５可動部材により押圧されて閉塞されるとともに前記第５可動部材の押圧が解除されて開放され流体が通過する第３の柔軟な管と、
前記第６可動部材により押圧されて閉塞されるとともに前記第６可動部材の押圧が解除されて開放されて流体が通過する第４の柔軟な管とを備える
ことを特徴とするピンチ型バルブ。
【請求項２５】
請求項２４に記載のピンチ型バルブにおいて、
前記第２のカムの前記カム面を形成するカム曲線は、微分可能である
ことを特徴とするピンチ型バルブ。
【請求項２６】
請求項２４に記載のピンチ型バルブにおいて、
前記第１のカムのカム面と前記第２のカムのカム面とは位相が１８０度異なる
ことを特徴とするピンチ型バルブ。
【請求項２７】
請求項１から請求項３のうちの何れか一項に記載のピンチ型バルブにおいて、
前記第１のカムと前記第１可動部材および前記第２可動部材と前記第１の柔軟な管と前記第２の柔軟な管との構成を複数備える
ことを特徴とするピンチ型バルブ。
【請求項２８】
請求項２７に記載のピンチ型バルブにおいて、
弾性部材の弾性力が低下する過程を用いて前記ピンチ型バルブを定常状態にさせる定常状態安定化手段を複数備える
ことを特徴とするピンチ型バルブ。
【請求項２９】
請求項１から請求項４のうちの何れか一項に記載のピンチ型バルブを具備する
ことを特徴とするマニフォールド。
【請求項３０】
請求項２９に記載のマニフォールドにおいて、
制御対象に接続される制御ポートと前記流体が供給される供給ポートとが同じ側または同じ面側に配置されている
ことを特徴とするマニフォールド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、チューブを押圧または押圧を解除して開閉するピンチ型バルブおよびこれを備えたマニフォールドに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、管路内の流体の供給方向や流量、圧力を制御するサーボバルブが用いられている。サーボバルブには、供給口及び排出口等の複数のポートが備えられる。例えば圧力制御をサーボバルブを用いて行う場合、供給口および排出口に加えて、圧力が制御される制御対象に接続される接続口が備えられる。当該サーボバルブは、所謂３ポートバルブと称される。【０００３】
特許文献１には、下記の３ポートバルブのサーボバルブが記載されている。
サーボバルブは、供給ポート、負荷ポート及び排気ポートの３つのポートを備えている。該サーボバルブは、第１の弁体と第２の弁体を有するスプールと、該スプールを軸方向に移動可能に収容し、第１の弁体と第２の弁体との間にエアを供給する供給ポートを有するスリーブとを備えている。また、スプールは、第１・第２の弁体とは異なる第３の弁体も有している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−０１９６８４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、特許文献１に記載のサーボバルブは、サーボバルブ内でのラップ領域（内蔵される弁体とスリーブとが対向する領域）での流量特性が非線形となる。そのため、流体の流量の制御が難しい。さらに、流体の流量と圧力との関係を把握しにくく、圧力の制御が難しい。【０００６】
また、特許文献１に記載のサーボバルブは、構造上、流体が内部で漏出する構成である。具体的には、弁体がサーボバルブの内壁を摺動する構成であることから、内壁と弁体との間の隙間から、流体が漏出する場合がある。特に、液体を用いる場合、サーボバルブには、密閉性が特に要求される。しかし、特許文献１に記載のサーボバルブにおいては、流体が漏出する可能性が高い隙間があるため、液体の流量制御用バルブとして用いるには困難が伴う。【０００７】
上述の如く、特許文献１に記載のサーボバルブは、様々な流体を用いて正確な制御を行うことができない場合がある。すなわち、制御可能な流体の種類が制限される。【０００８】
さらに、特許文献１に記載のサーボバルブは、部品点数が多い。具体的には、特許文献１に記載のサーボバルブは、大きさの異なる３つの弁体（第１の弁体、第２の弁体及び第３の弁体）、スプール、スリーブ等を備えている。そのため、装置の構造が複雑であり、製造、メンテナンス等が煩雑である。また、直線運動で弁の開閉を行うため、占有スペースが大きく、かつ、様々な種類の部品によって構成されるため、装置の小型化が困難である。【０００９】
本発明は上記実状に鑑み創案されたものであり、管路内の流体の漏出がなく、制御性が良好なピンチ型サーボバルブおよびこれを備えたマニフォールドの提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
前記課題を解決するため、第１の本発明のピンチ型バルブは、駆動源によって駆動される回転軸と、前記回転軸に固定される第１のカムと、前記第１のカムのカム面に２つの方向から当接して移動する第１可動部材および第２可動部材と、前記第１可動部材により押圧されて閉塞されるとともに前記第１可動部材の押圧が解除されて開放され流体が通過する第１の柔軟な管と、前記第２可動部材により押圧されて閉塞されるとともに前記第２可動部材の押圧が解除されて開放され流体が通過する第２の柔軟な管とを備えている。【００１１】
第１の本発明によれば、管内の流体の漏れがなく確実に閉塞できるピンチ型バルブを得られる。【００１２】
第２の本発明のピンチ型バルブは、駆動源によって駆動される回転軸と、前記回転軸と一体に形成される第１のカムと、前記第１のカムのカム面に２つの方向から当接して移動する第１可動部材および第２可動部材と、前記第１可動部材により押圧されて閉塞されるとともに前記第１可動部材の押圧が解除されて開放され流体が通過する第１の柔軟な管と、前記第２可動部材により押圧されて閉塞されるとともに前記第２可動部材の押圧が解除されて開放され流体が通過する第２の柔軟な管とを備えている。
この発明によれば、第１の本発明の効果に加え、回転軸と第１のカムとが一体に形成されるので、生産性が高い。【００１３】
第３の本発明のピンチ型バルブは、駆動源によって駆動される回転軸と、前記回転軸と連動する第１のカムと、前記第１のカムのカム面に２つの方向から当接して移動する第１可動部材および第２可動部材と、前記第１可動部材により押圧されて閉塞されるとともに前記第１可動部材の押圧が解除されて開放され流体が通過する第１の柔軟な管と、前記第２可動部材により押圧されて閉塞されるとともに前記第２可動部材の押圧が解除されて開放され流体が通過する第２の柔軟な管とを備えている。
第３の本発明によれば、第１の本発明の効果に加え、回転軸と第１のカムとが連動するので制御に柔軟性がある。【００１４】
第４の本発明のピンチ型バルブは、駆動源によって駆動される回転軸と、前記回転軸と連動する第１のカムと、前記第１のカムのカム面に２つの方向から当接して移動する第１可動部材および第２可動部材と、前記第１可動部材により押圧されて閉塞されるとともに前記第１可動部材の押圧が解除されて開放され流体が通過する第１の流路と、前記第２可動部材により押圧されて閉塞されるとともに前記第２可動部材の押圧が解除されて開放され流体が通過する第２の流路とを備えている。
第４の本発明によれば、第１の本発明の効果に加え、第１の流路と第２の流路とを様々に構成できるので設計、生産に自由度がでる。【００１５】
望ましくは、第３または第４の本発明のピンチ型バルブにおいて、前記回転軸と前記第１のカムとの間にあそびがある。
この本発明によれば、回転軸と第１のカムとの間にあそびがあるので、カムが動作するタイミングを変えられる。【００１６】
望ましくは、第１から第４のうちの何れかの本発明のピンチ型バルブにおいて、前記カム面は前記回転軸を中心として左右非対称に形成されている。
この本発明によれば、カム面が回転軸を中心として左右非対称に形成されるので、様々なタイミングで働く第１のカムを得られる。【００１７】
望ましくは、第１から第４のうちの何れかの本発明のピンチ型バルブにおいて、前記カム面は前記回転軸を中心として左右対称であり、前記第１のカムの外周面を形成する前記カム面に、前記第１可動部材と前記第２可動部材とが、それぞれ一方向とその反対方向から対向して配置されている。
この本発明によれば、回転軸への負荷少なく、第１の柔軟な管と第２の柔軟な管との開閉を行える。【００１８】
望ましくは、第１から第４のうちの何れかの本発明のピンチ型バルブにおいて、前記第１のカムの前記カム面を形成するカム曲線は、微分可能である。
この本発明によれば、第１のカムのカム面を形成するカム曲線は微分可能であるので、第１のカムが円滑に動作できる。【００１９】
望ましくは、第１から第４のうちの何れかの第２の本発明のピンチ型バルブにおいて、前記第１のカムの前記カム面は、少なくとも半円の断面形状をもつ外周面のカム面と、当該半円の中心から当該半円の半径より短い寸法の偏芯半径の断面形状をもつ外周面のカム面とを有している。
この本発明によれば、第１・第２の柔軟な管のノーマルクローズと、第１の柔軟な管と第２の柔軟な管との交互の開閉を行える。【００２０】
望ましくは、第９の本発明のピンチ型バルブにおいて、前記偏芯半径ｒは、前記半円の半径をＲ、偏移量ａとすると、ｒ＝Ｒ−ａθ／（π／２）の関係がある。
この本発明によれば、第１・第２の柔軟な管のノーマルクローズと、第１の柔軟な管と第２の柔軟な管との交互の開閉を円滑に行える。【００２１】
望ましくは、第１から第３のうちの何れかの本発明のピンチ型バルブにおいて、前記第１の柔軟な管の変形量を調整する第１調整手段または前記第２の柔軟な管の変形量を調整する第２調整手段のうちの少なくとも何れかを備えている。
この本発明によれば、第１調整手段または第２調整手段によりそれぞれ第１の柔軟な管の変形量、第２の柔軟な管の変形量を調整することができる。【００２２】
望ましくは、第１から第３のうちの何れかの本発明のピンチ型バルブにおいて、前記第１の柔軟な管の変形量を調整する第１調整手段または前記第２の柔軟な管の変形量を調整する第２調整手段のうちの少なくとも何れかを備え、前記第１調整手段は、ねじを用いており、前記第２調整手段は、ねじを用いている。
この本発明によれば、第１の柔軟な管の変形量と第２の柔軟な管の変形量とをそれぞれねじで調整できる。【００２３】
望ましくは、第１から第３のうちの何れかの本発明のピンチ型バルブにおいて、前記第１の柔軟な管の変形量を調整する第１調整手段または前記第２の柔軟な管の変形量を調整する第２調整手段のうちの少なくとも何れかを備え、前記第１の柔軟な管の変形量を固定する第１の固定手段または前記第２の柔軟な管の変形量を固定する第２の固定手段のうちの少なくとも何れかを備えている。
この本発明によれば、第１の固定手段または第２の固定手段のうちの少なくとも何れかを備えるので、第１の柔軟な管の変形量または第２の柔軟な管の変形量のうちの少なくとも何れかを固定できる。【００２４】
望ましくは、第１から第４のうちの何れかの本発明のピンチ型バルブにおいて、弾性部材の弾性力の変化のうち弾性力が低下する過程を用いて前記ピンチ型バルブを定常状態にさせる定常状態安定化手段を備えている。
この本発明によれば、弾性部材の弾性力の変化のうち弾性力が低下する過程を用いてピンチ型バルブを定常状態にするので、弾性エネルギが解放された安定状態で定常状態を安定化することができる。【００２５】
望ましくは、第１４の本発明のピンチ型バルブにおいて、前記定常状態安定化手段は、前記回転軸に固定され、回転中心からの径寸法が他の箇所より短い寸法の箇所を有する復帰用カムと、前記復帰用カムのカム面に両側からそれぞれ当接して移動する第３可動部材および第４可動部材と、前記第３可動部材を前記復帰用カムの前記カム面に向けて押圧する前記弾性部材である第１の弾性部材と、前記第４可動部材を前記復帰用カムの前記カム面に向けて押圧する前記弾性部材である第２の弾性部材とを有している。
この本発明によれば、復帰用カムの径寸法が他の箇所より短い寸法の箇所を第１の弾性部材と第２の弾性部材とで押圧することで、ピンチ型バルブの定常状態を安定化することができる。【００２６】
望ましくは、第１５の本発明のピンチ型バルブにおいて、前記復帰用カムの前記カム面は、前記回転軸を中心として左右非対称に形成されている。
この本発明によれば、復帰用カムのカム面は、回転軸を中心として左右非対称に形成されているので、復帰用カムの戻り位置を変えることができる。【００２７】
望ましくは、第１５の本発明のピンチ型バルブにおいて、前記復帰用カムの前記カム面は、曲率をもつ対称な形状に形成されている。
この本発明によれば、復帰用カムのカム面が曲率をもつ対称な形状に形成されるので、ピンチ型バルブの定常状態を回転軸に印加される負荷少なく得ることができる。【００２８】
望ましくは、第１７の本発明のピンチ型バルブにおいて、前記復帰用カムの前記カム面は、楕円形状に形成されている。
この本発明によれば、復帰用カムの前記カム面が楕円形状に形成されるので、第３可動部材と第４可動部材とが楕円形状のカム面に当接することで、ピンチ型バルブの定常状態を安定化することができる。【００２９】
望ましくは、第１５の本発明のピンチ型バルブにおいて、前記第１の弾性部材の変形量を調整する第３調整手段または前記第２の弾性部材の変形量を調整する第４調整手段のうちの少なくとも何れかを備えている。
この本発明によれば、第３調整手段または第４調整手段でそれぞれ第１の弾性部材の変形量、第２の弾性部材変形量を調整することができる。【００３０】
望ましくは、第１から第４の何れかの本発明のピンチ型バルブにおいて、前記第１可動部材は、前記第１のカムの前記カム面に接触する第１軸受を有し、前記第２可動部材は、前記第１のカムの前記カム面に接触する第２軸受を有している。
この本発明によれば、第１可動部材と第２可動部材のカム面との摩擦力を低減することができる。そのため、駆動源のトルクを低下させることができる。【００３１】
望ましくは、第１５の本発明のピンチ型バルブにおいて、前記第３可動部材は、前記復帰用カムの前記カム面に接触する第３軸受を有し、前記第４可動部材は、前記復帰用カムの前記カム面に接触する第４軸受を有している。
この本発明によれば、第３可動部材と第４可動部材のカム面との摩擦力を低減することができる。そのため、駆動源のトルクを低下させることができる。【００３２】
望ましくは、第１から第３の何れかの本発明のピンチ型バルブにおいて、前記第１の柔軟な管は、前記第１可動部材の押圧が解除された場合、自身の弾性力により当該押圧前の形状に復帰し、前記第２の柔軟な管は、前記第２可動部材の押圧が解除された場合、自身の弾性力により当該押圧前の形状に復帰している。
この本発明によれば、第１の柔軟な管、第２の柔軟な管はそれぞれ押圧が解除された場合に元の形状に復元することができる。【００３３】
望ましくは、第１から第３の何れかの本発明のピンチ型バルブにおいて、前記第１の柔軟な管または前記第２の柔軟な管の少なくとも何れかは、扁平な横断面をもつ管である。
この本発明によれば、第１の柔軟な管または前記第２の柔軟な管の少なくとも何れかは、扁平な横断面をもつ管であるので、反力が少なくモータトルクを低減できる。また、第１の柔軟な管または第２の柔軟な管の少なくとも何れかの耐久性を向上できる。【００３４】
望ましくは、第１から第４の何れかの本発明のピンチ型バルブにおいて、前記回転軸に固定される第２のカムと、前記第２のカムのカム面に２方向からそれぞれ当接して移動する第５可動部材および第６可動部材と、前記第５可動部材により押圧されて閉塞されるとともに前記第５可動部材の押圧が解除されて開放され流体が通過する第３の柔軟な管と、前記第６可動部材により押圧されて閉塞されるとともに前記第６可動部材の押圧が解除されて開放され流体が通過する第４の柔軟な管とを備えている。
この本発明によれば、４ポートバルブ（排出ポートを分離した場合は５ポートバルブ）を得られる。【００３５】
望ましくは、第２４の本発明のピンチ型バルブにおいて、前記第２のカムの前記カム面を形成するカム曲線は、微分可能である。
この本発明によれば、第２のカムが円滑に動作できる。【００３６】
望ましくは、第２４の本発明のピンチ型バルブにおいて、前記第１のカムのカム面と前記第２のカムのカム面とは位相が１８０度異なっている。
この本発明によれば、管路の長さ短く、制御ポートと供給ポートとを同じ側に配置できる。【００３７】
望ましくは、第１から第３の何れかの本発明のピンチ型バルブにおいて、前記第１のカムと前記第１可動部材および前記第２可動部材と前記第１の柔軟な管と前記第２の柔軟な管との構成を複数備えている。
この本発明によれば、複数の第１の柔軟な管と複数の第２の柔軟な管とを開閉制御できる。【００３８】
望ましくは、第２７の本発明のピンチ型バルブにおいて、弾性部材の弾性力が低下する過程を用いて前記ピンチ型バルブを定常状態にさせる定常状態安定化手段を複数備えている。
この本発明によれば、弾性部材の弾性力が低下する過程を用いてピンチ型バルブを定常状態にするので、定常状態を安定化することができる。【００３９】
望ましくは、マニフォールドが第１から第４の何れかの本発明のピンチ型バルブを具備している。
この本発明によれば、第１から第４の何れかの本発明の効果を奏するマニフォールドを得られる。【００４０】
望ましくは、第２９の本発明のマニフォールドにおいて、制御対象に接続される制御ポートと前記流体が供給される供給ポートとが同じ側または同じ面側に配置されている。
この本発明によれば、制御ポートと供給ポートとが同じ側または同じ面側に配置されるので、マニフォールドの取扱性、メンテナンス性が良好である。
【発明の効果】
【００４１】
本発明によれば、管路内の流体の漏出がなく、制御性が良好なピンチ型サーボバルブおよびこれを備えたマニフォールドを実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本発明に係る実施形態１のピンチ型サーボバルブを斜め上方から見た斜視図。
【図２】（ａ）は２つのチューブが閉状態のモード（Neutral  position（中立位置）モード）のピンチ型サーボバルブの動作を示す概念図、（ｂ）は一方のチューブが開状態であるとともに他方のチューブが閉状態のモード（Open  left-port（左ポート開）モード）のピンチ型サーボバルブの動作を示す概念図、（ｃ）は一方のチューブが閉状態であるとともに他方のチューブが開状態のモード（Open  right-port（右ポート開））のピンチ型サーボバルブの動作を示す概念図。
【図３】偏芯カムを図１のＡ方向矢視の回転軸に垂直な面で切断した断面図。
【図４】第１可動子を示す斜視図。
【図５】復帰用カムを示す斜視図。
【図６】第１復帰用可動子を示す斜視図。
【図７】（ａ）は第１動作部がNeutral  position（中立位置）の中立位置復帰部の動作を示す概念図、（ｂ）は第１動作部がOpen  left-port（左ポート開）の中立位置復帰部の動作を示す概念図、（ｃ）は第１動作部がOpen  right-port（右ポート開）の中立位置復帰部の動作を示す概念図。
【図８】（ａ）は制御周波数（Ｈｚ）とゲイン（ｄＢ）を示す図、（ｂ）は制御周波数（Ｈｚ）と位相（degrees）を示す図。
【図９】実施形態２のピンチ型サーボバルブを斜め上方から見た斜視図。
【図１０】第２偏芯カムを図９のＢ方向矢視の回転軸に垂直な面で切断した断面図。
【図１１】第３可動子を示す斜視図。
【図１２】（ａ）は第３・第４チューブが閉状態のモード（Neutral  position（中立位置）モード）のピンチ型サーボバルブの第２動作部の動作を示す概念図、（ｂ）は第３チューブが閉状態であるとともに第４チューブが開状態のモード（Open  right-port（右ポート開））のピンチ型サーボバルブの第２動作部の動作を示す概念図、（ｃ）は第３チューブが開状態であるとともに第４チューブが閉状態のモード（Open  left-port（左ポート開）モード）のピンチ型サーボバルブの第２動作部の動作を示す概念図。
【図１３】（ａ）はピンチ型サーボバルブが適用された空気圧シリンダの伸長モードの状態を示す概念的断面図、（ｂ）はピンチ型サーボバルブが適用された空気圧シリンダの圧縮モードの状態を示す概念的断面図。
【図１４】図１３（ａ）の空気圧シリンダの伸長モードの際のマニフォールドの流体の流れを示す図。
【図１５】図１３（ｂ）の空気圧シリンダの圧縮モードの際のマニフォールドの流体の流れを示す図。
【図１６】変形例のマニフォールドを示す斜視図。
【図１７】（ａ）、（ｂ）はそれぞれ変形例のチューブの開閉状態を示す断面図。
【図１８】（ａ）はピンチ型サーボバルブにおける偏芯カムの回転角と第１チューブの流路の有効断面積との関係の一例を示す図、（ｂ）は偏芯カムの回転角と第１チューブの流路の有効断面積とのオーバーラップ、アンダーラップとの例を示す図。
【図１９】（ａ）は本発明に係る実施形態３のピンチ型サーボバルブのモータの回転軸に設けられる第１動作部の偏芯カムと、第２動作部の偏芯カムとを斜め上方から見た斜視図、（ｂ）は実施形態３の偏芯カムの斜視図。
【図２０】（ａ）は偏芯カムの輪郭を構成する曲線の半分を示した図、（ｂ）は偏芯カムのカム曲線の角度θと偏芯半径ｒとの関係を示したグラフ。
【図２１】（ａ）は本発明に係る実施形態４のピンチ型サーボバルブの偏芯カムを回転軸の方向から見た図、（ｂ）は左右非対称な輪郭をもつ復帰用カムの斜視図。
【図２２】実施形態４の変形例の偏芯カムと復帰用カムの斜視図。
【図２３】（ａ）は本発明に係る実施形態５の偏芯カムと回転軸とを一体に形成した場合を示す斜視図、（ｂ）は偏芯カムを回転軸にキーを用いて固定した場合を示す斜視図、（ｃ）は偏芯カムを回転軸にあそびをもたせてキーで固定した場合を示す斜視図。
【図２４】実施形態１、２で示したチューブの一部切り欠き斜視図。
【図２５】実施形態６の例１の扁平形状をもつチューブを示す一部切り欠き斜視図。
【図２６】実施形態６の例２の扁平形状かつ端部を合わせた形状のチューブを示す一部切り欠き斜視図。
【図２７】（ａ）は実施形態７のピンチ型サーボバルブを斜め上方から見た斜視図、（ｂ）はピンチ型サーボバルブをＣ方向から見た矢視図、（ｃ）はマイクロメータの正面図。
【発明を実施するための形態】
【００４３】
以下、本発明の実施形態について、適宜図面を参照しながら詳細に説明する。
＜＜実施形態１＞＞
図１は、本発明に係る実施形態１のピンチ型サーボバルブを斜め上方から見た斜視図である。
図２は、実施形態１のピンチ型サーボバルブの動作を示す概念図である。図２（ａ）は２つのチューブが閉状態のモード（Neutral  position（中立位置）モード）を示し、図２（ｂ）は一方のチューブが開状態であり、他方のチューブが閉状態のモード（Open  left-port（左ポート開）モード）を示し、図２（ｃ）は一方のチューブが閉状態であり、他方のチューブが開状態のモード（Open  right-port（右ポート開））を示している。
【００４４】
実施形態１のピンチ型サーボバルブＶは、供給ポート、制御ポート、および排気ポートを有する３ポートバルブである。
ピンチ型サーボバルブＶは、第１動作部Ｖａとして、回転軸２に固定される偏芯カム３と第１・第２可動子４、５と第１・第２チューブ６、７と第１・第２チューブ変位調整部８、９とを備えている。回転軸２はモータ１により回転駆動される。
【００４５】
第１動作部Ｖａは、第１・第２チューブ６、７の各開閉動作を担っている。第１・第２チューブ６、７には、流体、例えば空気が流れる。
また、ピンチ型サーボバルブＶは、中立位置復帰部Ｖｂとして、回転軸２に固定される復帰用カム１０と第１・第２復帰用可動子１１、１２と第１・第２復帰用ばね１３、１４と第１・第２ばね調整部１５、１６とを備えている。中立位置復帰部Ｖｂは、ピンチ型サーボバルブＶを、図２（ａ）に示すNeutral  position（中立位置）に安定的に保つ機能を担っている。
第１・第２復帰用ばね１３、１４はそれぞれ圧縮コイルバネである。
【００４６】
モータ１に駆動される回転軸２の回動により、偏芯カム３と復帰用カム１０とが回動する。
モータ１は、サーボモータ、直流モータ、ステッピングモータ等が使用される。ここでは、モータ１に直流モータを用いる場合を説明する。モータ１には、その回転角度を測定するエンコーダが設けられている。
回転軸２は枠体１７に軸受（図示せず）を介して回転自在に支持されている。
【００４７】
＜偏芯カム３＞
図３は、偏芯カムを図１のＡ方向矢視の回転軸に垂直な面で切断した断面図である。
偏芯カム３は、一方側（図３では上側）の半分が軸線Ｃを中心として半円形状をもつ半円部３ａ、他方側（図３では下側）の半分が軸線Ｃからの半径（ｒ）が当該半円部３ａの半径（Ｒ）より短い偏芯部３ｈをもつカム面３ｍを有している。
【００４８】
偏芯カム３において、半円部３ａの半径をＲ、他方側（図３では下側）の偏芯部３ｈの軸線Ｃからの半径の偏芯半径をｒ、Ｒからの偏移量をａ、一方側（図３では上側）の半円形状の境界からの角度をθとすると、
【００４９】
角度θでの偏芯半径ｒは、半径Ｒ、偏移量ａを用いて次式（１）の関係で表される。
ｒ＝Ｒ−ａθ／（π／２）                （１）
なお、図２（ａ）〜（ｃ）では、理解を容易にするため、偏芯カム３の偏芯を強調（誇張）して示しており、第１・第２チューブ６、７を手前側に９０度回転させた状態で示している。
【００５０】
第１・第２可動子４、５は、左右方向（図２（ａ）の左右方向、図１の回転軸２の垂直方向（図１のほぼ左右方向））に直線運動する。
ピンチ型サーボバルブＶは、図２（ａ）に示すNeutral  position（中立位置）では、偏芯カム３の偏芯部３ｈが下方に位置するので、第１・第２可動子４、５は偏芯カム３の半円部３ａにそれぞれ左右外方に押圧され、左右外方に移動する。
第１・第２可動子４、５の左右外方への移動により、第１チューブ６は第１可動子４で押圧され閉塞され、第２チューブ７は第２可動子５で押圧され閉塞される。
【００５１】
図２（ｂ）に示すOpen  left-port（左ポート開）では、  図２（ａ）の中立位置から、偏芯カム３は時計周り（図２（ａ）の矢印α１）に回転する。すると、第１可動子４は、第１チューブ６の弾性変形状態から元の形状に復元しようとする弾性力（復帰力）により、偏芯カム３の偏芯部３ｈに当接し、回転軸２側に移動する（図２（ｂ）の矢印β１）。第１可動子４の回転軸２側への移動により、第１チューブ６は弾性変形から元の形状に復元しようとする弾性力により、閉塞状態から開状態に遷移する。一方、第２可動子５は、偏芯カム３の半円部３ａの押圧力により、偏芯カム３の半円部３ａへの当接を継続し、第２可動子５の押圧により第２チューブ７は閉塞状態を継続する。
【００５２】
図２（ｃ）に示すOpen  right-port（右ポート開）では、偏芯カム３は反時計周り（図２（ａ）の矢印α２）に回転する。すると、第１可動子４は、偏芯カム３の半円部３ａの押圧力により、偏芯カム３の半円部３ａへの当接を継続する。一方、第２可動子５は、第２チューブ７の弾性変形状態から元の形状に復元しようとする弾性力（復帰力）により偏芯カム３の偏芯部３ｈに当接し、回転軸２側に移動する（図２（ｂ）の矢印β２）。第２可動子５の回転軸２側への移動により、第２チューブ７は弾性変形状態から元の形状に復元しようとする弾性力により、閉塞状態から開状態に遷移する。
【００５３】
＜第１・第２可動子４、５＞
図４は、第１可動子４を示す斜視図である。
第１・第２可動子４、５は、回転軸２の軸心を通る鉛直面に対して面対称の構成であるから、第１可動子４について説明する。
【００５４】
第１可動子４は、軸受４ａと支持体４ｂと押圧部４ｃとを有している。支持体４ｂは軸受４ａを挟む略コ字状の形状を有し、ＰＯＭ（Polyoxymethylene）等の樹脂で形成されている。支持体４ｂは、耐摩耗性、強度特性等所定の機械特性が得られれば、他の材料を用いてもよい。支持体４ｂは、上左右端部と下左右端部とが枠体１７に形成される案内溝（図示せず）に嵌入される。これにより、第１可動子４は、偏芯カム３に近づいたり、偏芯カム３から遠ざかる直線方向に移動するように案内される。
【００５５】
軸受４ａは例えば、玉軸受が使用される。
押圧部４ｃは、扁平な直方体形状を有して、アルミニウム等で形成される。押圧部４ｃは支持体４ｂに圧入、接着等で固定される。なお、押圧部４ｃと支持体４ｂを樹脂の射出成形やアルミダイカストで一体に成形してもよい。
【００５６】
軸受４ａは、第１可動子４における一方側の偏芯カム３のカム面３ｍに当接して配設されている。一方、押圧部４ｃは第１可動子４における他方側の第１チューブ６に対向して配設される。
【００５７】
軸受４ａは支持体４ｂに支持される軸４ｂ１に内輪４ａ１が固定されている。軸受４ａの外輪４ａ２は、偏芯カム３のカム面３ｍに当接して回動する。偏芯カム３のカム面３ｍに、軸受４ａの外輪４ａ２が当接することで、偏芯カム３と第１可動子４との間の摩擦力を低下させることができる。これにより、偏芯カム３の回動に伴うモータ１のトルクを低下させることができる。
【００５８】
第１可動子４は、偏芯カム３の半円部３ａに当接することで第１チューブ６側へ移動し、押圧部４ｃが第１チューブ６を押圧して、第１チューブ６を閉塞させる（図２（ａ）参照）。一方、第１可動子４は、偏芯カム３の偏芯部３ｈに当接することで回転軸２側へ移動し、押圧部４ｃの第１チューブ６への押圧が解除され、第１チューブ６を開放させる（図２（ｂ）参照）。これにより、第１チューブ６の内部を流体が通過することができる。
【００５９】
第２可動子５は、上記したように、第１可動子４と対称な同様な構成を有している。
第２可動子５の支持体５ｂは、上左右端部と下左右端部とが枠体１７に形成される案内溝（図示せず）に嵌入される。これにより、第２可動子５は、偏芯カム３に近づいたり、偏芯カム３から遠ざかる方向の直線方向に移動するように案内される（図１のほぼ左右方向）。
【００６０】
第２可動子５は、偏芯カム３の半円部３ａに軸受５ａの外輪５ａ２が当接することで第２チューブ７側へ移動し、押圧部５ｃが第２チューブ７を押圧して、第２チューブ７を閉塞させる（図２（ｂ）参照）。一方、第２可動子５は、図２（ｃ）に示すように、偏芯カム３の偏芯部３ｈに当接することで回転軸２側へ移動し、第２チューブ７への押圧が解除され、第２チューブ７が開放される。これにより、第２チューブ７の内部を流体が通過することができる。
【００６１】
＜第１・第２チューブ６、７＞
第１・第２チューブ６、７は、それぞれ弾性的性質をもつシリコーン、ポリウレタン、ナイロン等の樹脂製チューブ、ゴム製チューブ等が使用される。第１・第２チューブ６、７は、その他の材料を用いて構成してもよい。
なお、第１・第２チューブ６、７を、それぞれ第１・第２可動子４、５に接着剤を用いて固着してもよい。これにより、第１・第２可動子４、５による第１・第２チューブ６、７の開閉がより確実に行える。
【００６２】
＜第１・第２チューブ変位調整部８、９＞
図１に示すように、第１チューブ変位調整部８は、枠体１７に形成される雌ねじに螺着されるイモネジ（止めねじ）８ａと、該イモネジ８ａに押圧されて第１チューブ６の変形量を調整する調整板８ｂとを有している。調整板８ｂはイモネジ８ａの移動により、回転軸２に近づいたり、遠ざかったりする。調整板８ｂの移動により、第１チューブ６の変形量が調整される。
【００６３】
同様に、第２チューブ変位調整部９は、枠体１７に形成される雌ねじに螺着されるイモネジ（止めねじ）９ａと、該イモネジ９ａに押圧されて第２チューブ７の変形量を調整する調整板９ｂとを有している。調整板９ｂはイモネジ９ａの移動により、回転軸２に近づいたり、遠ざかったりする。調整板９ｂの移動により、第２チューブ７の変形量が調整される。
【００６４】
図１８（ａ）に、ピンチ型サーボバルブＶにおける偏芯カム３の回転角と第１チューブ６の流路の有効断面積との関係の一例を示し、図１８（ｂ）に、偏芯カム３の回転角と第１チューブ６の流路の有効断面積とのオーバーラップ、アンダーラップとの例を示す。偏芯カム３の回転角０度とは、図２（ａ）の中立位置である。図１８（ａ）において実線（○印）は有効断面積を増加させていったときの計測結果であり、破線（×印）が減少させたときの結果である。
【００６５】
ピンチ型サーボバルブＶは、制御性の面から偏芯カム３の回転角と第１チューブ６の流路の有効断面積は線形な関係性であることが望ましい。また、中立点において漏れをなくするために第１チューブ６を閉塞させる場合、不感帯が生じやすい。
図１８（ａ）より、不感帯は、回転角−５°から０°であった。そのため、従来より、不感帯域を縮小させることができた。また、第１チューブ６の有効断面積が０．１５ｍｍ２以下の流量帯で線形な関係性が得られた。
【００６６】
図１８（ｂ）に示すように、ピンチ型サーボバルブＶにおいて、理想的には、図１８（ｂ）の実線に示すような偏芯カム３の回転角と第１チューブ６の流路の有効断面積との関係になる。しかし、実際には、加工誤差等よりアンダーラップ（図１８（ｂ）の破線で示す）や、オーバーラップ（図１８（ｂ）の一点鎖線で示す）が発生する場合がある。
【００６７】
例えば、アンダーラップでは、偏芯カム３の回転角０°でも第１チューブ６の有効断面積が“０”でないので、流体が流れる。一方、オーバーラップでは、偏芯カム３の回転角０°の近くでも第１チューブ６の有効断面積が“０”になるので、偏芯カム３の回転角が０°に至る前に流体の流れが停止する。
そこで、図１に示すイモネジ（止めねじ）８ａで調整板８ｂの位置を調整することで、第１チューブ６のアンダーラップやオーバーラップの調整ができる。同様に、イモネジ（止めねじ）９ａで調整板９ｂの位置を調整することで、第２チューブ７のアンダーラップやオーバーラップの調整ができる。
【００６８】
詳細には、イモネジ８ａで調整板８ｂの位置を調整することで、第１チューブ６の有効断面積を“０”に調整できる。同様に、イモネジ９ａで調整板９ｂの位置を調整することで、第２チューブ７の有効断面積を“０”に調整できる。
また、イモネジ８ａで調整板８ｂの位置を調整することで、第１チューブ６の不感帯を広げたり、狭めたり調整できる。同様に、イモネジ９ａで調整板９ｂの位置を調整することで、第２チューブ７の不感帯を広げたり、狭めたり調整できる。
【００６９】
また、イモネジ８ａで調整板８ｂの位置を調整することで、偏芯カム３による第１チューブ６の押し付け力や押し付け量を調整できる。同様に、イモネジ９ａで調整板９ｂの位置を調整することで、偏芯カム３による第２チューブ７の押し付け力や押し付け量を調整できる。
以上のように、イモネジ８ａとイモネジ９ａとで左右の第１チューブ６と第２チューブ７との開閉を独立して、調整が可能である。
【００７０】
＜中立位置復帰部Ｖｂ＞
図２（ａ）に示すNeutral  position（中立位置）である場合、偏芯カム３の半円部３ａに、第１可動子４と第２可動子５とが当接するので、第１可動子４と第２可動子５とは、最も外方の位置にある。この場合、第１・第２チューブ６、７は、それぞれ最も大きく変形しているので該変形に起因する弾性力（弾性エネルギ）が最大となる。そのため、第１・第２チューブ６、７それぞれからの第１可動子４と第２可動子５とを偏芯カム３に押し付ける押し付け力がそれぞれ最も大きくなる。従って、Neutral  position（中立位置）では、ピンチ型サーボバルブＶの状態が不安定となる。
【００７１】
そこで、ピンチ型サーボバルブＶでは、中立位置復帰部Ｖｂ（図１参照）を設けている。
中立位置復帰部Ｖｂの復帰用カム１０は、ピンチ型サーボバルブＶを、図２（ａ）に示すNeutral  position（中立位置）に安定的に保つためのカムである。
【００７２】
図５は、復帰用カムを示す斜視図である。
復帰用カム１０は、例えば対称な楕円形状を有するカム面１０ｍを有している。復帰用カム１０は、中心からの径が短い短径部１０ａと中心からの径が長い長径部１０ｂとを有している。
なお、カム面１０ｍは左右対称な形状を有しており短径部と長径部とを有していれば、その形状は楕円形状以外の形状でもよい。
【００７３】
図１に示すように、復帰用カム１０に左右に隣接して、第１・第２復帰用可動子１１、１２がそれぞれ配置されている。
図６は、第１復帰用可動子を示す斜視図である。
第１・第２復帰用可動子１１、１２は、回転軸２（図１参照）の軸心を通る鉛直面に対して面対称の構成であるから、第１復帰用可動子１１について説明する。
【００７４】
第１復帰用可動子１１は、軸受１１ａと支持体１１ｂとを有している。支持体１１ｂは軸受１１ａを挟む略コ字状の形状を有し、ＰＯＭ（Polyoxymethylene）等の樹脂で形成されている。支持体１１ｂは、耐摩耗性、強度特性等所定の機械特性が得られれば、他の材料を用いてもよい。
【００７５】
第１復帰用可動子１１の支持体１１ｂは、上左右端部と下左右端部とが枠体１７に形成される案内溝（図示せず）に嵌入される。これにより、第１復帰用可動子１１は、復帰用カム１０に近づいたり、復帰用カム１０から遠ざかる直線方向に移動するように案内される。
【００７６】
軸受１１ａは例えば、玉軸受が使用される。
軸受１１ａは、第１復帰用可動子１１における一方側の復帰用カム１０のカム面１０ｍに当接して配置される。これに対して、支持体１１ｂの押圧面１１ｂ１は、第１復帰用ばね１３の一方側の座巻部に配置される。
【００７７】
軸受１１ａは支持体１１ｂに支持される軸１１ｂ１に内輪１１ａ１が固定されている。軸受１１ａの外輪１１ａ２は、復帰用カム１０のカム面１０ｍに当接して回動する。復帰用カム１０のカム面１０ｍに、軸受１１ａの外輪１１ａ２が当接することで、復帰用カム１０と第１復帰用可動子１１との間の摩擦力を低下させることができる。これにより、復帰用カム１０の回動に伴うモータ１のトルクを低下させることができる。
【００７８】
図７（ａ）に示すように、第１復帰用可動子１１は、第１復帰用ばね１３の弾性力で復帰用カム１０のカム面１０ｍに当接する。そのため、第１復帰用可動子１１の軸受１１ａの外輪１１ａ２が復帰用カム１０の短径部１０ａに当接する場合が第１復帰用ばね１３が伸長するので変形量が少なく弾性力が弱くなり（弾性エネルギが低下し）、安定となる。
【００７９】
第２復帰用可動子１２は、第１復帰用可動子１１と対称な同様な構成を有している。
第２復帰用可動子１２の支持体１２ｂは、上左右端部と下左右端部とが枠体１７に形成される案内溝（図示せず）に嵌入される。これにより、第２復帰用可動子１２は、復帰用カム１０に近づいたり、復帰用カム１０から遠ざかる直線方向に移動するように案内される。
【００８０】
第２復帰用可動子１２は、第２復帰用ばね１４の弾性力で復帰用カム１０のカム面１０ｍに軸受１２ａの外輪１２ａ２が当接する。そのため、第２復帰用可動子１２の軸受１２ａの外輪１２ａ２が復帰用カム１０の短径部１０ａに当接する場合が第２復帰用ばね１４が伸長するので変形量が少なく弾性力が弱くなり（弾性エネルギが低下し）、安定となる。
【００８１】
＜第１・第２復帰用ばね変位調整部１５、１６＞
図１に示すように、第１復帰用ばね変位調整部１５は、枠体１７に形成される雌ねじに螺着されるイモネジ１５ａと、該イモネジに押圧されて第１復帰用ばね１３の変形量を調整する調整板１５ｂとを有している。調整板１５ｂには第１復帰用ばね１３の外方側が当接する。そのため、調整板１５ｂはイモネジ１５ａの移動により、回転軸２に近づいたり、遠ざかったりして、第１復帰用ばね１３の変形量が調整される。
【００８２】
同様に、第２復帰用ばね変位調整部１６は、枠体１７に形成される雌ねじに螺着されるイモネジ１６ａと、該イモネジ１６ａに押圧されて第２復帰用ばね１４の変形量を調整する調整板１６ｂとを有している。調整板１６ｂには第２復帰用ばね１４の外方側が当接する。そのため、調整板１６ｂはイモネジ１６ａの移動により、回転軸２に近づいたり、遠ざかったりして、第２復帰用ばね１４の変形量が調整される。
なお、第１・第２復帰用ばね変位調整部１５、１６の何れかを備える構成としてもよい。
【００８３】
＜中立位置復帰部Ｖｂの作用＞
図７（ａ）に示す中立位置復帰部Ｖｂの構成により、楕円形状を有するカム面１０ｍを、左右から、第１復帰用ばね１３の弾性力により第１復帰用可動子１１で押圧するとともに第２復帰用ばね１４の弾性力により第２復帰用可動子１２で押圧する。
復帰用カム１０の短径部１０ａが第１復帰用可動子１１の軸受１１ａの外輪１１ａ２および第２復帰用可動子１２の軸受１２ａの外輪１２ａ２に当接する場合、第１復帰用ばね１３の変形量が小さく弾性力が最も少なり、第２復帰用ばね１４の変形量が小さく弾性力が最も少なる（第１復帰用ばね１３と第２復帰用ばね１４の各弾性エネルギが最も低下する）。
【００８４】
そのため、第１・第２復帰用ばね１３、１４に押圧される復帰用カム１０が最も安定化する位置であり、復帰用カム１０はこの位置で回転動作が停止する。
そこで、復帰用カム１０の上述の位置が、図７（ａ）に示すNeutral  position（中立位置）になるように、偏芯カム３と復帰用カム１０とを、回転軸２に固定している。この構成により、図２（ａ）に示すNeutral  position（中立位置）でピンチ型サーボバルブＶが安定化される。
【００８５】
＜ピンチ型サーボバルブＶの動作＞
次に、上述の構成のピンチ型サーボバルブＶの動作について詳細に説明する。
＜Nuetral  position（中立位置）＞
図２（ａ）に示すNuetral  position（中立位置）では、モータ１が停止状態となっている。この場合、第１可動子４の軸受４ａの外輪４ａ２は、偏芯カム３の半円部３ａに当接し外方に移動することで、第１可動子４の押圧部４ｃが第１チューブ６を外方に押圧して、第１チューブ６を閉塞状態とする。一方、第２可動子５の軸受５ａの外輪５ａ２は、偏芯カム３の半円部３ａに当接し外方に移動することで、第２可動子５の押圧部５ｃが第２チューブ７を外方に押圧して、第２チューブ７を閉塞状態とする。
【００８６】
この場合、第１チューブ６、第２チューブ７はそれぞれ閉塞状態に変形して元の形状に復元しようとする弾性力は最大化する。そのため、Neutral  position（中立位置）の平衡状態を保つことが困難となる。しかしながら、中立位置復帰部Ｖｂにおいて、図７（ａ）に示すように、第１復帰用ばね１３の弾性力に押圧される第１復帰用可動子１１の軸受１１ａの外輪１１ａ２が、復帰用カム１０の短径部１０ａのカム面１０ｍに押圧される。また、第２復帰用ばね１４の弾性力に押圧される第２復帰用可動子１２の軸受１２ａの外輪１２ａ２が、復帰用カム１０の短径部１０ａのカム面１０ｍに押圧される。
【００８７】
この際、第１復帰用ばね１３、第２復帰用ばね１４はそれぞれ最も伸長した状態となるので、変形量が最も少なく弾性力が最小となる。そのため、中立位置復帰部Ｖｂのこの状態（Neutral  position（中立位置））が最も安定となり、Neutral  position（中立位置）の平衡状態を安定に保つことができる。なお、図７（ａ）は、第１動作部がNeutral  position（中立位置）の中立位置復帰部の動作を示す概念図であり、図７（ｂ）は、第１動作部がOpen  left-port（左ポート開）の中立位置復帰部の動作を示す概念図であり、図７（ｃ）は、第１動作部がOpen  right-port（右ポート開）の中立位置復帰部の動作を示す概念図である。
【００８８】
＜Open  left-port（左ポート開）＞
図２（ｂ）に示すOpen  left-port（左ポート開）のモードは、第１チューブ６は“開”、第２チューブ７は“閉”のモードである。
モータ１の駆動により回転軸２に固定される偏芯カム３が時計周り（図２（ｂ）の矢印α１）に回転すると、Open  left-port（左ポート開）のモードに移行する。Open  left-port（左ポート開）のモードでは、第１可動子４の軸受４ａの外輪４ａ２は、偏芯カム３の偏芯部３ｈに当接して第１可動子４の押圧部４ｃが第１チューブ６を押圧する位置が回転軸２側に移動する。これにより、第１チューブ６は元の形状に復元しようとする弾性力により、閉塞状態から開放状態に移行する。一方、第２可動子５の軸受５ａの外輪５ａ２は、偏芯カム３の半円部３ａに当接して第２可動子５の押圧部５ｃが第２チューブ７を外方に押圧して閉塞状態を維持する。
【００８９】
一方、モータ１の駆動により回転軸２に固定される復帰用カム１０は、図７（ｂ）に示すように、回転軸２の回動により復帰用カム１０は時計周り（図７（ｂ）の矢印γ１）に回動する。この際、復帰用カム１０のカム面１０ｍに当接する第１復帰用可動子１１を介して第１復帰用ばね１３は圧縮され、復帰用カム１０のカム面１０ｍに当接する第２復帰用可動子１２を介して第２復帰用ばね１４は圧縮される。
【００９０】
＜Open  right-port（右ポート開）＞
図２（ｃ）に示すOpen  right-port（右ポート開）のモードは、第１チューブ６は“閉”、第２チューブ７は“開”のモードである。
モータ１の駆動により回転軸２に固定される偏芯カム３が反時計周り（図２（ｃ）の矢印α２）に回転すると、Open  right-port（右ポート開）のモードに移行する。Open  right-port（右ポート開）のモードでは、第１可動子４の軸受４ａの外輪４ａ２は、偏芯カム３の半円部３ａに当接して第１可動子４の押圧部４ｃが第１チューブ６を外方に押圧する位置に移動する。これにより、第１チューブ６は閉塞状態となる。
【００９１】
一方、第２可動子５の軸受５ａの外輪５ａ２は、偏芯カム３の偏芯部３ｈに当接して第２可動子５の押圧部５ｃが第２チューブ７を押圧する位置が回転軸２側に移動する。これにより、第２チューブ７は元の状態に復元しようとする弾性力により、閉塞状態から開放状態に移行する（図２（ｃ）の矢印β２）。
【００９２】
一方、モータ１の駆動により回転軸２に固定される復帰用カム１０は、図７（ｃ）に示すように、回転軸２の回動により復帰用カム１０は反時計周り（図７（ｃ）の矢印γ２）に回動し、復帰用カム１０のカム面１０ｍに当接する第１復帰用可動子１１を介して第１復帰用ばね１３は圧縮され、復帰用カム１０のカム面１０ｍに当接する第２復帰用可動子１２を介して第２復帰用ばね１４は圧縮される。
その後、Nuetral  position（中立位置）のモードになると、図２（ａ）、図７（ａ）に示す状態となる。
【００９３】
以上のNuetral  position（中立位置）、Open  left-port（左ポート開）、Open  right-port（右ポート開）の各モードが円滑に行われるように、第１・第２チューブ変位調整部８、９を用いて、第１・第２チューブ６、７の各変位量が調整される。特に、第１・第２チューブ６、７の閉塞が確実に行われるように調整される。
【００９４】
また、中立位置復帰部Ｖｂにおいて、第１・第２復帰用ばね変位調整部１５、１６を用いて、第１・第２復帰用ばね１３、１４の各変位量の調整を行う。これにより、復帰用カム１０への第１復帰用可動子１１、第２復帰用可動子１２の各押圧力を調整して、Nuetral  position（中立位置）の保持がより安定に確実になるように調整される。
【００９５】
以上の構成のピンチ型サーボバルブＶの性能を図８（ａ）、（ｂ）のボード線図で示す。
図８（ａ）は、制御周波数（Ｈｚ）とゲイン（ｄＢ）を示し、図８（ｂ）は、制御周波数（Ｈｚ）と位相（degrees）を示す。
図８（ａ）、（ｂ）より、ピンチ型サーボバルブＶは４０Ｈｚ位までゲインと位相を良好に保持できることが分る。
【００９６】
上記ピンチ型サーボバルブＶの構成によれば、下記の効果を奏する。
１．一般にスプールバルブは管路内の漏れが問題になるが、ピンチ型サーボバルブＶは管路内に摺動部がなく第１チューブ６、第２チューブ７をそれぞれ外側から押圧して閉塞したり、外側からの押圧を解除して開放するので、管路を流れる流体の漏れがない。
【００９７】
２．第１チューブ６、第２チューブ７等のチューブは、偏芯カム３から第１可動子４、第２可動子５を介して押圧されるので、確実に密着状態に閉塞することができる。
【００９８】
３．第１チューブ６、第２チューブ７等の管路を確実に閉塞したノーマルクローズのモードにすることができる。
【００９９】
４．復帰用カム１０、第１・第２復帰用可動子１１、１２、第１・第２復帰用ばね１３、１４で成る中立位置復帰部Ｖｂを有するので、第１チューブ６、第２チューブ７をそれぞれ閉塞するNeutral  position（中立位置）の保持を安定化することができる。
【０１００】
５．第１・第２チューブ変位調整部８、９を有するので、第１・第２チューブ６、７の全閉状態を調整して、確実に閉塞できる。
【０１０１】
６．また、第１・第２復帰用ばね変位調整部１５、１６を有するので、復帰用カム１０への第１復帰用可動子１１、第２復帰用可動子１２の各押圧力を調整して、Nuetral  position（中立位置）の保持をより安定化できる。
【０１０２】
７．第１・第２可動子４、５を一方向とその反対方向から偏芯カム３に当接する構成としたので、回転軸２に印加される負荷が均衡して回転軸２に掛かる負荷を低減することができる。そのため、ピンチ型サーボバルブＶの摩耗耐久性が向上し、長寿命化が図れる。
【０１０３】
８．図８（ａ）、（ｂ）に示すように、高速な動作な可能ピンチ型サーボバルブＶを得られる。
【０１０４】
＜＜実施形態２＞＞
図９は、実施形態２のピンチ型サーボバルブを斜め上方から見た斜視図である。
実施形態２のピンチ型サーボバルブ２Ｖは、実施形態１のピンチ型サーボバルブＶに、第１動作部Ｖａと偏芯カム３の位相が１８０度異なる第２動作部Ｖｃを設けたものである。
その他の構成は、実施形態１と同様であるから、同様な構成要素には同一の符号を付して示し、詳細な説明は省略する。
【０１０５】
実施形態２のピンチ型サーボバルブ２Ｖは、供給ポートｓｐ１（図１３（ａ）、（ｂ）参照）、第１制御ポートｃｐ１、第２制御ポートｃｐ２、および排気ポートｅｐ１を有する４ポートバルブである。該４ポートバルブの排気ポートｅｐ１を第１・第２排気ポートの２つに分けると５ポートバルブである。
【０１０６】
実施形態２のピンチ型サーボバルブ２Ｖは、上述したように、ピンチ型サーボバルブＶに、第１動作部Ｖａの偏芯カム３の位相が１８０度異なる第２偏芯カム２３を有する第２動作部Ｖｃを設けた構成である。
【０１０７】
第２動作部Ｖｃは、回転軸２に固定される第２偏芯カム２３と第３・第４可動子２４、２５と第３・第４チューブ２６、２７と第３・第４チューブ変位調整部２８、２９とを備えている。第２動作部Ｖｃは、第３・第４チューブ２６、２７の各開閉動作を行う。第３・第４チューブ２６、２７には、流体、例えば空気が流れる。
【０１０８】
＜第２偏芯カム２３＞
図１０は、第２偏芯カムを図９のＢ方向矢視の回転軸に垂直な面で切断した断面図である。
第２偏芯カム２３は、一方側（図１０では下側）の半分が軸線Ｃを中心として半円形状をもつ半円部２３ａ、他方側（図１０では上側）の半分が当該半円部２３ａの半径Ｒより短い半径ｒ１の偏芯部２３ｈをもつカム面２３ｍを有している。
【０１０９】
第２偏芯カム２３において、半円部２３ａの半径をＲ、他方側（図１０では上側）の偏芯部２３ｈの軸線Ｃからの偏芯半径をｒ１、Ｒからの偏移量をａ、一方側（図１０では下側）の半円形状の境界からの角度をθとすると、
角度θでの偏移量は、偏移量ａと半径Ｒを用いて、次式（２）で表される。
ｒ１＝Ｒ−ａθ／（π／２）                （２）
なお、図１２（ａ）〜（ｃ）では、理解を容易にするため、第２偏芯カム２３の偏芯を強調（誇張）して示しており、第３・第４チューブ２６、２７を手前側に９０度回転させた状態で示している。
【０１１０】
＜第３・第４可動子２４、２５＞
図１１は、第３可動子を示す斜視図である。
第３・第４可動子２４、２５は、回転軸２の中心を通る鉛直面に対して面対称の構成であるから、第３可動子２４について説明する。
第３可動子２４は、実施形態１の第１可動子４と同様な構成である。そこで、第１可動子４に２０番台の符号を付して示し、詳細な説明は省略する。
【０１１１】
第３可動子２４の支持体２４ｂは、上左右端部と下左右端部とが枠体１７Ａに形成される案内溝（図示せず）に嵌入される。これにより、第３可動子２４は、偏芯カム２３に近づいたり、偏芯カム２３から遠ざかる直線方向に移動するように案内される。
図９に示すように、第３可動子２４の軸受２４ａは、第３可動子２４における一方側の偏芯カム２３のカム面２３ｍに当接して配設されている。一方、第３可動子２４の押圧部２４ｃは第３可動子２４における他方側の第３チューブ２６に対向して配設されている。
【０１１２】
軸受２４ａは支持体２４ｂに支持される軸２４ｂ１に内輪２４ａ１が固定されている。軸受２４ａの外輪２４ａ２は、偏芯カム２３のカム面２３ｍに当接して回動する。偏芯カム２３のカム面２３ｍに、軸受２４ａの外輪２４ａ２が当接することで、摩擦力が低い軸受２４ａの働きにより、偏芯カム２３と第３可動子２４との間の摩擦力を低下させることができる。これにより、偏芯カム２３の回動に伴うモータ１のトルクを低減できる。
【０１１３】
図１２は実施形態２のピンチ型サーボバルブの第２動作部の動作を示す概念図である。図１２（ａ）は第３・第４チューブが閉状態のモード（Neutral  position（中立位置）モード）を示し、図１２（ｂ）は第３チューブが閉状態であり、第４チューブが開状態のモード（Open  right-port（右ポート開））を示し、図１２（ｃ）は第３チューブが開状態であり、第４チューブが閉状態のモード（Open  left-port（左ポート開）モード）を示す。
【０１１４】
図１２（ａ）に示すNeutral  position（中立位置）では、偏芯カム２３の偏芯部２３ｈは上方に位置するので、第３・第４可動子２４、２５は偏芯カム２３の半円部２３ａにそれぞれ左右外方に押圧され、第３・第４可動子２４、２５はそれぞれ左右外方に移動する。
【０１１５】
第３可動子２４は、図１２（ｂ）に示すように、第２偏芯カム２３の半円部２３ａに当接することで第３チューブ２６側へ移動し、押圧部２４ｃが第３チューブ２６を押圧して、第３チューブ２６を閉塞させる。一方、図１２（ｃ）に示すように、第３可動子２４は、偏芯カム２３の偏芯部２３ｈに当接することで回転軸２側へ移動し、押圧部２４ｃが第３チューブ２６への押圧を解除して、第３チューブ２６が開放される。
【０１１６】
第４可動子２５は、第３可動子２４と対称な同様な構成を有している。また、第４可動子２５は、実施形態１の第２可動子５と同様な構成である。そこで、第４可動子２５を、実施形態１の第２可動子５に２０番台の符号を付して示し、詳細な説明は省略する。
第４可動子２５の支持体２５ｂは、上左右端部と下左右端部とが枠体１７Ａに形成される案内溝（図示せず）に嵌入される。これにより、第４可動子２５は、第２偏芯カム２３に近づいたり、第２偏芯カム２３から遠ざかる直線方向に移動するように案内される。
【０１１７】
図１２（ｃ）に示すように、第４可動子２５は、第２偏芯カム２３の半円部２３ａに当接することで第４チューブ２７（図９参照）側へ移動し、押圧部２５ｃが第４チューブ２７を押圧して、第４チューブ２７を閉塞させる。一方、図１２（ｂ）に示すように、第４可動子２５は、偏芯カム２３の偏芯部２３ｈに当接することで回転軸２側へ移動し、押圧部２５ｃが第４チューブ２７への押圧を解除して、第４チューブ２７を開放させる。
【０１１８】
＜第３・第４チューブ２６、２７＞
第３・第４チューブ２６、２７は、それぞれ弾性的性質をもつシリコーン、ポリウレタン、ナイロン等の樹脂製チューブ、ゴム製チューブが使用される。第３・第４チューブ２６、２７は、その他の材質を用いて構成してもよい。
【０１１９】
＜第３・第４チューブ変位調整部２８、２９＞
図９に示す第３チューブ変位調整部２８は、枠体１７Ａに形成される雌ねじに螺着されるイモネジ２８ａと、該イモネジ２８ａに押圧されて第３チューブ２６の変形量を調整する調整板２８ｂとを有している。調整板２８ｂはイモネジ２８ａの移動により、回転軸２に近づいたり、遠ざかったりして、第３チューブ２６の変形量が調整される。
【０１２０】
同様に、第４チューブ変位調整部２９は、枠体１７Ａに形成される雌ねじに螺着されるイモネジ２９ａと、該イモネジ２９ａに押圧されて第４チューブ２７の変形量を調整する調整板２９ｂとを有している。調整板２９ｂはイモネジ２９ａの移動により、回転軸２に近づいたり、遠ざかったりして、第４チューブ２７の変形量が調整される。
なお、第３・第４チューブ変位調整部２８、２９の何れかを備える構成としてもよい。
【０１２１】
＜ピンチ型サーボバルブ２Ｖの動作＞
次に、上述の構成のピンチ型サーボバルブ２Ｖの動作について詳細に説明する。
＜第２動作部ＶｃのNuetral  position（中立位置）＞
図１２（ａ）に示す第２動作部ＶｃのNeutral  position（中立位置）では、第１動作部Ｖａは、実施形態１で前記した図２（ａ）に示すNeutral  position（中立位置）の状態にあり、第１・第２チューブ６、７は閉塞状態にある。中立位置復帰部Ｖｂは、実施形態１で前記した図７（ａ）に示す状態にある。
【０１２２】
第２動作部Ｖｃは、図１２（ａ）に示すNuetral  position（中立位置）では、第３可動子２４の軸受２４ａの外輪２４ａ２は、偏芯カム２３の半円部２３ａに当接し外方に移動することで、第３可動子２４の押圧部２４ｃが第３チューブ２６を外方に押圧して、第３チューブ２６を閉塞状態とする。一方、第４可動子２５の軸受２５ａの外輪２５ａ２は、偏芯カム２３の半円部２３ａに当接し外方に移動することで、第４可動子２５の押圧部２５ｃが第４チューブ２７を外方に押圧して、第４チューブ２７を閉塞状態とする。
【０１２３】
この場合、第３チューブ２６、第４チューブ２７はそれぞれ閉塞状態に変形して元の形状に復元しよとする弾性力は最大化する。そのため、Neutral  position（中立位置）の平衡状態を保つことが困難となるが、前記した図７（ａ）に示す中立位置復帰部Ｖｂの作用により、Neutral  position（中立位置）の平衡状態を安定して保つことができる。
【０１２４】
＜Open  right-port（右ポート開）＞
図１２（ｂ）に示す第２動作部ＶｃのOpen  right-port（右ポート開）のモードは、第３チューブ２６は“閉”、第４チューブ２７は“開”のモードである。
第２動作部ＶｃのOpen  right-port（右ポート開）では、第１動作部Ｖａは、実施形態１で前記した図２（ｂ）に示すOpen  left-port（左ポート開）の状態にあり、第１チューブ６は開放状態にあり、第２チューブ７は閉塞状態にある。中立位置復帰部Ｖｂは、前記した図７（ｂ）に示す状態にある。
【０１２５】
図１２（ｂ）に示すOpen  right-port（右ポート開）では、第２動作部Ｖｃは、モータ１の駆動により回転軸２に固定される偏芯カム２３が時計周り（図１２（ｂ）の矢印α１）に回転し、Open  right-port（右ポート開）のモードとなる。第２動作部ＶｃのOpen  right-port（右ポート開）のモードでは、第３可動子２４の軸受２４ａの外輪２４ａ２は、偏芯カム２３の半円部２３ａに当接して第３可動子２４の押圧部２４ｃが第３チューブ２６を外方に押圧する位置にあり、第３チューブ２６は閉塞状態となる。
【０１２６】
一方、第４可動子２５の軸受２５ａの外輪２５ａ２は、偏芯カム２３の偏芯部２３ｈに当接して第２可動子２５の押圧部２５ｃが回転軸２側に移動する。これにより、第４チューブ２７は元の形状に復元しようとする弾性力により、閉塞状態から開放状態に移行する。
中立位置復帰部Ｖｂは、実施形態１で前記した図７（ｂ）に示す状態になる。
【０１２７】
＜Open  left-port（左ポート開）＞
図１２（ｃ）に示す第２動作部ＶｃのOpen  left-port（左ポート開）のモードは、第３チューブ２６は“開”、第４チューブ２７は“閉”のモードである。
Open  left-port（左ポート開）では、第１動作部Ｖａは、実施形態１で前記した図２（ｃ）に示すOpen  right-port（右ポート開）の状態にあり、第１チューブ６は閉塞状態であり、第２チューブ７は開放状態である。
【０１２８】
第２動作部Ｖｃは、図１２（ｃ）に示すOpen  left-port（左ポート開）では、モータ１の駆動により回転軸２に固定される偏芯カム３が反時計周り（図２（ｂ）の矢印α２）に回転し、Open  left-port（左ポート開）のモードに移行する。Open  left-port（左ポート開）のモードでは、第３可動子２４の軸受２４ａの外輪２４ａ２は、偏芯カム２３の偏芯部２３ｈに当接して第３可動子２４の押圧部２４ｃが第３チューブ２６を押圧する位置が回転軸２側に移動する。これにより、第３チューブ２６は元の状態に復元しようとする弾性力により、閉塞状態（図１２（ａ）参照）から開放状態に移行する。
【０１２９】
一方、第４可動子２５の軸受２５ａの外輪２５ａ２は、偏芯カム２３の半円部２３ａに当接して第４可動子２５の押圧部２５ｃが第４チューブ２７を外方に押圧し、第４チューブ２７は閉塞状態を維持する。
中立位置復帰部Ｖｂは、実施形態１で前記した図７（ｃ）に示す状態になる。
【０１３０】
その後、第２動作部ＶｃのNuetral  position（中立位置）のモードになると、第２動作部Ｖｃは図１２（ａ）に示す状態となり、第１動作部Ｖａは図２（ａ）に示す状態となり、中立位置復帰部Ｖｂは図７（ａ）に示す状態となる。
【０１３１】
以上の第２動作部ＶｃのNuetral  position（中立位置）、Open  right-port（右ポート開）、Open  left-port（左ポート開）の各モードが円滑に行われるように、第３・第４チューブ変位調整部２８、２９を用いて、第３・第４チューブ２６、２７の各変位量の調整が行われる。
【０１３２】
次に、上記構成のピンチ型サーボバルブ２Ｖを、空気圧シリンダＳの制御に適用した例のマニフォールドＭについて説明する。
図１３（ａ）は、ピンチ型サーボバルブが適用された空気圧シリンダの伸長モードの状態を示す概念的断面図であり、図１３（ｂ）は、ピンチ型サーボバルブが適用された空気圧シリンダの圧縮モードの状態を示す概念的断面図である。
【０１３３】
図１４は、図１３（ａ）の空気圧シリンダの伸長モードの際のマニフォールドの流体の流れを示す。図１５は、図１３（ｂ）の空気圧シリンダの圧縮モードの際のマニフォールドの流体の流れを示す。図１４、図１５では、供給（給気）の流体の流れを実線で示し、排出（排気）の流体の流れを破線で示す。
【０１３４】
空気圧シリンダＳ（図１３（ａ）、（ｂ）参照）においては、第１チューブ６は、第１制御ポートｃｐ１および排出ポートｅｐ１に接続され、第２チューブ７は、第２制御ポートｃｐ２および排出ポートｅｐ１に接続されている。
第３チューブ２６は、マニフォールドＭ（図１４参照）の供給ポートｓｐ１および第１制御ポートｃｐ１に接続され、第４チューブ２７は、マニフォールドＭ（図１５参照）の供給ポートｓｐ１および第２制御ポートｃｐ２に接続されている。
【０１３５】
図１３（ａ）、図１４に示す空気圧シリンダＳの伸長モードにおいては、第１・第２チューブ６、７を開閉する第１動作部Ｖａは、第１チューブ６は“開”、第２チューブ７は“閉”のOpen  left-port（左ポート開）のモードにある。一方、第３・第４チューブ２６、２７を開閉する第２動作部Ｖｃは、第３チューブ２６は“閉”であり、第４チューブ２７は“開”のOpen  right-port（右ポート開）のモードにある。
【０１３６】
図１３（ｂ）、図１５に示す空気圧シリンダＳの圧縮モードにおいては、第１・第２チューブ６、７を開閉する第１動作部Ｖａは、第１チューブ６は“閉”、第２チューブ７は“開”のOpen  right-port（右ポート開））のモードにある。一方、第３・第４チューブ２６、２７を開閉する第２動作部Ｖｃは、第３チューブ２６は“開”であり、第４チューブ２７は“閉”のOpen  left-port（左ポート開）のモードにある。
【０１３７】
図１６は、変形例のマニフォールドＭｎである。
図１６に示すように、第１動作部Ｖａ、第２動作部Ｖｃ、中立位置復帰部Ｖｂの構成を複数備えるマニフォールドＭｎとすることで、複数の制御対象（例えば空気圧シリンダＳ）を制御することができる。これにより、供給ポートｓｐ１および第１・第２制御ポートｃｐ１、ｃｐ２が同じ側または同じ面側にあり、複数の制御対象を制御できるマニフォールドを得られる。
また、前記実施形態１の第１動作部Ｖａ、中立位置復帰部Ｖｂを単数または複数の組として備えるマニフォールドとしてもよい。
【０１３８】
上記ピンチ型サーボバルブ２Ｖの構成によれば、下記の効果を奏する。
１．管路内の漏れがなく、応答性が良好な４ポートバルブ（または５ポートバルブ）が得られる。
【０１３９】
２．第１動作部Ｖａの偏芯カム３と第２動作部Ｖｃの第２偏芯カム２３との位相を１８０度異ならせることで、第１制御ポートｃｐ１、第２制御ポートｃｐ２、供給ポートｓｐ１と第１・第２・第３・第４チューブ６、７、２６、２７とを接続する管路の長さを短くすることができる。
【０１４０】
３．また、第１動作部Ｖａの偏芯カム３と第２動作部Ｖｃの第２偏芯カム２３との位相を１８０度異ならせることで、制御ポート（ｃｐ１、ｃｐ２）と供給ポートｓｐ１とを同じ側に配置することができる。
【０１４１】
４．図１６に示す第１動作部Ｖａ、第２動作部Ｖｃ、中立位置復帰部Ｖｂの構成を複数備えるマニフォールドＭｎとすることで、複数の制御対象（例えば、空気圧シリンダ）を制御することができる。
【０１４２】
５．動作部Ｖｃの偏芯カム３と第２動作部Ｖｃの偏芯カム２３との位相を１８０度異ならせた第１動作部Ｖａ、第２動作部Ｖｃ、中立位置復帰部Ｖｂの構成を複数備えるマニフォールドＭｎとすることで、制御ポート（ｃｐ１、ｃｐ２）と供給ポートｓｐ１とを同じ側に配置して複数の制御対象（例えば、空気圧シリンダ）を制御できる。そのため、組立て、メンテナンス等が同じ側から行え、作業性、取扱性が良好なマニフォールドＭｎを実現できる。
【０１４３】
＜＜その他の実施形態＞＞    
１．前記実施形態１、２では、偏芯カム３のカム面３ｍを式（１）で表される図３に示す形状としたが、その他の形状としてもよい。例えば、式（１）、（２）の偏芯半径ｒ、ｒ１を偏移量ａの２次関数や３次関数以上の多次関数の軌跡としてもよい。例えば、ｒをａの２次関数とした場合、ラップ域での第１・第２チューブ６、７開口領域の立ち上がりを大きくすることができる。
【０１４４】
２．前記実施形態１、２では、ノーマルクローズ時に、ピンチ型サーボバルブが平衡状態時としたがノーマルクローズ以外のノーマルオープン、片側オープン、片側クローズ等を定常状態として、この定常状態の平衡状態を保つように構成してもよい。
【０１４５】
３．また、変形例の図１７（ａ）に示すように、チューブ３７の開閉される箇所に凸部３７ａと、凹部３７ｂとを設け、図１７（ｂ）に示すように、チューブ３７の閉塞が、凸部３７ａの凹部３７ｂに嵌入することで、より確実にチューブ（６、７、２６、２７）の閉塞が行える構成としてもよい。なお、図１７（ａ）、（ｂ）は、それぞれ変形例のチューブの開閉状態を示す縦断面図である。
【０１４６】
４．なお、前記実施形態１、２では、単数のチューブ（６、７、２６、２７）をそれぞれ開閉制御する構成を説明したが、偏芯カム（３、２３）でそれぞれ複数本のチューブを押圧または押圧解除する構成とし、複数本のチューブを開閉制御する構成としてもよい。
【０１４７】
５．前記実施形態１、２では、第１・第２可動子４、５、第３・第４可動子２４、２５を各々一方向とその反対方向から偏芯カム（３、２３）に当接する構成としたが、任意の２つの方向から偏芯カム（３、２３）に当接する構成としてもよい。
【０１４８】
６．また、第１・第２可動子４、５と枠体１７、１７Ａとの間または第３・第４可動子２４、２５と枠体１７Ａとの間に、リニアベアリングを設ける構成としてもよい。これにより、第１・第２可動子４、５、第３・第４可動子２４、２５の動作が円滑化し、機械的信頼性が向上する。そのため、ピンチ型サーボバルブＶ、２Ｖの信頼性が向上し、長寿命化が図れる。
７．なお、前記実施形態１、２では、チューブ（６、７、２６、２７）を、弾性を有する管を例示して説明したが、柔軟であれば必ずしも弾性を有していなくともよい。
【０１４９】
８．前記実施形態２では、第１動作部Ｖａの偏芯カム３と第２動作部Ｖｃの第２偏芯カム２３との位相を１８０度異ならせる場合を説明したが、カム（３、２３）の位相をずらさずにマニホールド側の回路構成を変える構成としてもよい。この構成によれば、管路内の漏れがなく、応答性が良好な４ポートバルブ（または５ポートバルブ）および４ポートバルブ（または５ポートバルブ）を有するマニホールドが得られる。
【０１５０】
９．なお、前記実施形態１、２では、ピンチ型サーボバルブＶ、２Ｖは空気の流れを制御する場合を例示して説明したが、空気以外の気体、液体の流れを制御する構成としてもよい。
【０１５１】
１０．なお、前記実施形態１、２では、第１・第２チューブ変位調整部８、９として、イモネジ８ａ、９ａを例示して説明したが、イモネジ８ａ、９ａに代えて、ボルト、例えば六角穴付きボルト、六角頭付きボルト等でもよく、第１・第２チューブ変位調整部８、９に任意のねじを適用できる。
【０１５２】
１１．なお、前記実施形態１、２は、本願の特許請求の範囲に記載した構成の一例を示したものであり、特許請求の範囲に記載の範囲内で様々な変形形態、具体的形態が可能である。
【０１５３】
＜＜実施形態３＞＞
図１９（ａ）は、本発明に係る実施形態３のピンチ型サーボバルブのモータ１の回転軸２に設けられる第１動作部Ｖｄの偏芯カム３３と、第２動作部Ｖｅの偏芯カム３４とを斜め上方から見た斜視図であり、図１９（ｂ）は、実施形態３の偏芯カム３３の斜視図である。
【０１５４】
実施形態３のピンチ型サーボバルブは、第１動作部Ｖｄの偏芯カム３３と、第２動作部Ｖｅの偏芯カム３４との各カム曲線を微分可能な線で形成したものである。さらに、偏芯カム３３、３４の閉塞時の偏芯半径ｒをそれぞれ外方に若干膨らませて形成したものである。例えば、偏芯半径ｒを半円形状よりも外方に若干膨らませて形成している。
その他の構成は、実施形態1と同様であるから、同様な構成要素には同一の符号を付して示し、詳細な説明は省略する。
【０１５５】
実施形態３のピンチ型サーボバルブは、モータ１の回転軸２に第１動作部Ｖｄの偏芯カム３３と第２動作部Ｖｅの偏芯カム３４とが固定されている。
第１動作部Ｖｄの偏芯カム３３と第２動作部Ｖｅの偏芯カム３４とはそれぞれキーｋ１１、ｋ１２を用いて回転軸２に固定されている。偏芯カム３３と偏芯カム３４との間には、復帰用カム１０が回転軸２と一体に形成されている。
第１動作部Ｖｄの偏芯カム３３と、第２動作部Ｖｅの偏芯カム３４とのカム曲線は同じであり、位相を１８０°ずらしただけである。そこで、第１動作部Ｖｄの偏芯カム３３についてのみ説明する。
【０１５６】
図２０（ａ）は、偏芯カム３３の輪郭３３ｒを構成する曲線の半分を示した図であり、図２０（ｂ）は、偏芯カム３３のカム曲線３３ｃの角度θと偏芯半径ｒとの関係を示したグラフである。
偏芯カム３３の輪郭３３ｒを構成する曲線は左右対称に形成されている。図２０（ａ）はその一方側を示している。なお、本例では、偏芯カム３３の輪郭３３ｒを構成する曲線が左右対称の場合を例示するが、偏芯カム３３、３４の輪郭３３ｒ、３４ｒを構成する曲線は必ずしも左右対称でなくともよい。
【０１５７】
図２０（ｂ）に示すように、偏芯カム３３の一方側のカム曲線３３ｃは、第１領域３３ｃ１（図２０（ａ）、（ｂ）中、実線で示す）と第２領域３３ｃ２（図２０（ａ）、（ｂ）中、破線で示す）と第３領域３３ｃ３（図２０（ａ）、（ｂ）中、一点鎖線で示す）とが接続されている。
【０１５８】
第１領域３３ｃ１のカム曲線の軌跡は式（２）で表される。
【数１】
2017090649.tif 000003
【０１５９】
第２領域３３ｃ２のカム曲線の軌跡は式（３）で表される。
【数２】
2017090649.tif 000004
【０１６０】
第３領域３３ｃ３のカム曲線の軌跡は式（４）で表される。
【数３】
2017090649.tif 000005
【０１６１】
偏芯カム３３のカム曲線３３ｃは、連続しており、傾きが滑らかに変わる。すなわち、偏芯カム３３のカム曲線３３ｃは、微分可能な線で形成されている。
換言すれば、偏芯カム３３のカム曲線３３ｃは、連続して滑らかな線で形成されている。
【０１６２】
例えば、第１領域３３ｃ１と第２領域３３ｃ２との境界点ｐ１１は微分可能であり、第２領域３３ｃ２と第３領域３３ｃ３との境界点ｐ１２は微分可能である。これに対し、第２領域３３ｃ２の境界点ｐ１２で直線ｃ９と繋がると境界点ｐ１２の傾きが一意定まらず、微分不可能である。
偏芯カム３３のカム曲線３３ｃを微分可能にすることで 、偏芯カム３３が円滑に回転することができる。そのため、偏芯カム３３の制御の安定性が向上する。 
【０１６３】
換言すれば、偏芯カム３３のカム曲線３３ｃが滑らかな線であることで、偏芯カム３３が円滑に回転し、制御の安定性が向上する。 
これに対して、偏芯カム３３のカム曲線３３ｃは、連続しているが傾きが急に変わると（微分不可能な場合）偏芯カム３３の動作が円滑にならない。
【０１６４】
同様に、偏芯カム３４のカム曲線３４ｃ（図２０（ｂ）参照）を微分可能とすることで、偏芯カム３４が円滑に回転し、制御の安定性が向上する。
また、偏芯カム３３が第１チューブ６または第２チューブ７を閉塞させるカム曲線３３ｃの第３領域３３ｃ３は、偏芯半径ｒを外方に膨らむように増大させている。例えば、偏芯半径ｒを半円ではなく少し膨らませた形状とするとよい。
【０１６５】
ここで、偏芯半径ｒの値を大きくすることで漏れを減らすことができるが、同時に偏芯カム３３の回転負荷が大きくなる。負荷が大きくなりすぎない範囲で偏芯半径ｒの長さを決定する。
同様に、偏芯カム３４が第３チューブ２６または第４チューブ２７を閉塞させるカム曲線の第３領域は、偏芯半径ｒを外方に膨らむように増大させている。
【０１６６】
偏芯カム３３、３４の偏芯半径ｒを増大させることで、閉塞時のチューブ（６、７、２６、２７）を密閉する力を強くできる 。そのため、チューブ（６、７）の密閉度合いが高まり、閉塞時の流体の漏れを防ぐことができる。或いは、閉塞時の流体の漏れをより抑制できる。例えば、加工誤差、組立誤差等で、閉塞時にチューブ（６、７、２６、２７）を閉塞しきれない場合等に、偏芯半径ｒを外方に膨らむようにすることでチューブ（６、７、２６、２７）を確実に閉塞できる。
【０１６７】
＜＜実施形態４＞＞
図２１（ａ）は、本発明に係る実施形態４のピンチ型サーボバルブの偏芯カム５３を回転軸２の方向から見た図であり、図２１（ｂ）は左右非対称な輪郭をもつ復帰用カム５０の斜視図である。
【０１６８】
実施形態４のピンチ型サーボバルブは、実施形態１の偏芯カム３、実施形態２の偏芯カム３、２３に変えて、図２１（ａ）に示すように、偏芯カム５３を左右非対称の形状としたものである。
実施形態４の偏芯カム５３は、図２１に示すように、右半分側の輪郭を構成する曲線５３ｃ１の偏芯半径ｒを同じ円形の軌跡とし、左半分側の輪郭を構成する曲線５３ｃ２の偏芯半径ｒを下側を短く右半分側の偏芯半径ｒと連続させ、上側にいくに従って長くなるように形成している。
なお、偏芯カム５３の下方はチューブ（６、７）の開放側であり、偏芯カム５３の上方はチューブ（６、７）の閉塞側としている。
【０１６９】
このように、チューブ（６、７）の閉塞用の偏芯カム５３は左右対称でなくてもよい。このように、実施形態１の偏芯カム３、実施形態２の偏芯カム３、２３の輪郭を構成する曲線はそれぞれ左右対称でなくてもよい。
偏芯カム５３の輪郭を構成する曲線を左右非対称とすることで、充填側（閉塞時）と放出側（開放時）で流量特性を独立に設計できる。また、偏芯カム５３を左右非対称とすることで、偏芯カム５３を複数用いる場合、様々な条件に応じた充填側と放出側の設計が可能になる。
そのため、ピンチ型サーボバルブの設計自由度が向上する。
【０１７０】
なお、図２１（ｂ）に示すように、復帰用カム５０（図９の復帰用カム１０に相当）の輪郭（カム面５０ｍ）を構成する曲線も左右非対称の形状として形成してもよい。これにより、ピンチ型サーボバルブの電源が切断された際に、偏芯カム３、２３（図９参照）を中立位置から偏って止めたり、或いは、偏芯カム３、２３を、角度を自由にずらして止めることができる。
また、偏芯カム３、２３をどこで止めるかを変えられる。
【０１７１】
＜実施形態４の変形例＞
図２２は、実施形態４の変形例の偏芯カム３、２３と復帰用カム２０の斜視図である。図２２中、ｏ１は偏芯カム３、２３の中立線を示しており、ｏ２０は復帰用カム２０の中立線を示している。
【０１７２】
実施形態４の変形例は、復帰用カム２０を偏芯カム３、２３に対してオフセット角度θ１をもった位置に構成したものである。
このように、復帰用カム２０は第１の偏芯カム３と第２の偏芯カム２３（図９参照）に対してオフセット角度θ１を持った位置にあってもよい。
【０１７３】
復帰用カム２０を第１の偏芯カム３と第２の偏芯カム２３に対してオフセット角度θ１をもった位置にすることで、偏芯カム３と偏芯カム２３とを任意の位置に復帰するようにできる。例えば、チューブ（６、７、２６、２７）をノーマルオープンにできる。
或いは、偏芯カム３と偏芯カム２３とをオフセット角度をもたせることで、チューブ（６、７）と、チューブ（２６、２７）との開閉のタイミングを様々に変えることができる。
【０１７４】
＜＜実施形態５＞
図２３（ａ）は、本発明に係る実施形態５の偏芯カム３と回転軸２とを一体に形成した場合を示す斜視図である。図２３（ｂ）は、偏芯カム３を回転軸２にキーｋ１３を用いて固定した場合を示す斜視図である。図２３（ｃ）は、偏芯カム３を回転軸２にあそび３ｐをもたせてキーで固定した場合を示す斜視図である。
【０１７５】
実施形態５は、実施形態１、２の偏芯カム３、２３の固定方法の例を、複数示すものである。
図２３（ａ）は、偏芯カム３を回転軸２と一体に形成したものである。つまり、偏芯カム３を回転軸２と一体化したものである。偏芯カム３と回転軸２とは削り出しで形成してもよいし、型成形してもよい。例えば、偏芯カム３と回転軸２とをアルミダイカストで成型してもよいし、強度、耐久性等の必要な条件を満たせば、樹脂を用いて射出成型で形成してもよい。
【０１７６】
偏芯カム３と回転軸２とを一体に形成すれば、偏芯カム３と回転軸２との組立て作業が解消するので、生産性が向上する。また、偏芯カム３と回転軸２との寸法精度が高まる。なお、偏芯カム３、２３と回転軸２を一体に形成すれば、回転軸２に対する偏芯カム３と偏芯カム２３との相対的な位置精度が高まる。また、回転軸２と偏芯カム３、２３との組立て作業が解消するため、生産性が向上する。
【０１７７】
図２３（ｂ）は、偏芯カム３を回転軸２にキーｋ１３を用いて固定した場合である。回転軸２にはキー溝（図示せず）が形成されており、偏芯カム３と回転軸２との間のキー溝にキーｋ１３を嵌入することで、偏芯カム３を固定軸に堅固に固定できる。
図２３（ｃ）は、偏芯カム３を回転軸２にあそび３ｐをもたせてキーｋ１４で固定した場合である。
【０１７８】
偏芯カム３には、キーｋ１４との隙間の空間であるあそび３ｐとキーｋ１４が入るキー溝３ｏが形成されている。回転軸２にはキー溝（図示せず）が形成されており、偏芯カム３と回転軸２との間のキー溝およびキー溝３ｏにキーｋ１４を嵌入することで、偏芯カム３が固定軸２にあそびが３ｐある状態で嵌められる。つまり、偏芯カム３は回転軸２に隙間嵌めされる。
【０１７９】
これにより、偏芯カム３は、回転軸２との間にガタ（あそび３ｐ）をもっている。そのため、回転軸２が回転を開始してある箇所まで回転してから、偏芯カム３が回転軸２とともに回転を開始する。つまり、偏芯カム３は、回転軸２に連動する構成とできる。
偏芯カム３と回転軸２との間にあそび３ｐをもつ構成は、図２３（ｃ）の構成以外の構成でもよい。
【０１８０】
＜＜実施形態６＞
図２４は実施形態１、２で示したチューブ（６、７、２６、２７）の一部切り欠き斜視図である。
図２５は、実施形態６の例１の扁平形状をもつチューブ３６を示す一部切り欠き斜視図である。
実施形態６は、チューブ（６、７、２６、２７）の形状の例を示すものである。
【０１８１】
実施形態１、２で示したチューブ（６、７、２６、２７）（図２４参照）の形状は、管状に形成されれば断面が必ずしも円形でなくともよい。
例えば、実施形態１、２に示すチューブ（６、７、２６、２７）の形状を、図２５に示すように、断面が扁平なチューブ３６としてもよい。
【０１８２】
実施形態６の例１のチューブ３６は、対向する平板状の管壁３６ａ、３６ｂと対向する半筒状の管壁３６ｃ、３６ｄとを有している。
偏芯カム３、２３によって押圧される側を平板状の管壁３６ａ、３６ｂとすれば、円形のチューブ（６、７、２６、２７）に比べて、チューブ３６の閉塞変形時の反力（弾性力）が低下する。そのため、偏芯カム３、２３がチューブ３６に加える押圧力は小さく済み、モータ１のトルクを低下させることができる。
【０１８３】
また、チューブ３６の閉塞時の弾性変形量が小さいので発生する応力は小さく、チューブ３６の耐久性が向上する。
図２６は、実施形態６の例２の扁平形状かつ端部を合わせた形状のチューブ３７を示す一部切り欠き斜視図である。
実施形態６の例２のチューブ３７は、対向する平板状の管壁３７ａ、３７ｂと平板を合わせた形状の合わせ端部３７ｃ、３７ｄとを有している。
【０１８４】
偏芯カム３、２３によって押圧される側を平板状の管壁３７ａ、３７ｂとすれば、チューブ（６、７、２６、２７）に比べて、チューブ３７の閉塞変形時の反力（弾性力）は小さい。そのため、偏芯カム３、２３がチューブ３６に加える押圧力は小さく済み、モータ１のトルクを低下させることができる。また、チューブ３７の耐久性も向上する。
【０１８５】
加えて、チューブ３７は平板を合わせた形状の合わせ端部３７ｃ、３７ｄをもつので、チューブ３７の閉塞時の変形量が実施形態６の例１のチューブ３６よりも、端部で小さい。
そのため、チューブ３７の開閉変形時に合わせ端部３７ｃ、３７ｄに発生する応力の変動は小さいので、チューブ３７の耐久性がより向上し、疲労寿命を延伸できる。
【０１８６】
＜実施形態６の変形例＞
実施形態６では、チューブ（６、７、２６、２７）の形状の例を示したが、偏芯カム３、２３で開閉する箇所が流路を形成し、開閉可能であるとともに水密であれば、開閉する箇所は必ずしも管形状でなくともよい。
例えば、２枚のフィルムにより水密でかつ開閉する箇所を形成し、開閉する箇所の上流側と下流側にそれぞれチューブが水密に連続する構成としてもよい。
【０１８７】
或いは、開閉する箇所は開閉し易く水密に形成し、開閉する箇所の両端部にチューブが水密に連続する構成としてもよい。
或いは、開閉する箇所は開閉可能な水密なマニフォールドで構成し、該マニフォールドにチューブを水密に接続する構成としてもよい。
【０１８８】
＜＜実施形態７＞
図２７（ａ）は、実施形態７のピンチ型サーボバルブ７Ｖを斜め上方から見た斜視図である。図２７（ｂ）は、ピンチ型サーボバルブ７ＶをＣ方向から見た矢視図である。図２７（ｃ）は、マイクロメータ３８ａの正面図である。
実施形態７は、ねじによるラップ量調整の例を示すものである。
【０１８９】
実施形態７のピンチ型サーボバルブ７Ｖは、実施形態２のピンチ型サーボバルブ２Ｖに設ける第１動作部Ｖａと第２動作部Ｖｃとの間に、復帰用カム１０を配置する。そして、第１動作部Ｖａをマイクロメータ３８ａで調整する第１チューブ変位調整部３８と、マイクロメータ３９ａで調整する第２チューブ変位調整部３９を設けている。また、第２動作部Ｖｃをマイクロメータ４８ａで調整する第３チューブ変位調整部４８と、マイクロメータ４９ａで調整する第２チューブ変位調整部４９を設けている。
その他の構成は、実施形態２と同様であるから、同様な構成要素には、同一の符号を付して示し、詳細な説明は省略する。
【０１９０】
＜マイクロメータ３８ａ、３９ａ、４８ａ、４９ａ＞
マイクロメータ３８ａ、３９ａ、４８ａ、４９ａは、同様な構成であるから、図２７（ｃ）に示すマイクロメータ３８ａの構成を説明し、マイクロメータ３９ａ、４８ａ、４９ａの説明は省略する。
【０１９１】
図２７（ｃ）に示すように、マイクロメータ３８ａはスピンドル３８ａ１とナット３８ａ２とねじ部３８ａ３とグリップ部３８ａ４とを有している。スピンドル３８ａ１の先端は略球面形状を有している。
スピンドル３８ａ１とねじ部３８ａ３とグリップ部３８ａ４とは一体である。
【０１９２】
ねじ部３８ａ３の雄ねじはナット３８ａ２の雌ねじに螺合している。そのため、グリップ部３８ａ４を廻すことで、ナット３８ａ２に対して、スピンドル３８ａ１、ねじ部３８ａ３、およびグリップ部３８ａ４が進退する。
【０１９３】
上記構成から、ナット３８ａ２を枠体２７Ａに固定することで、スピンドル３８ａ１の位置を調整板３８ｂに対して進退させることができる。
【０１９４】
＜調整板３８ｂ、３８ｂ、４８ｂ、４９ｂの位置調整＞
実施形態７のピンチ型サーボバルブ７Ｖの第１動作部Ｖａにおいては、第１チューブ６の開閉度と第２チューブ７の開閉度とが次のように調整される。
マイクロメータ３８ａのグリップ部３８ａ４を廻すことで、スピンドル３８ａ１が調整板３８ｂに当接して第１チューブ６の開閉度が調整される。また、マイクロメータ３９ａのグリップ部３９ａ４を廻すことで、スピンドル３９ａ１が調整板３９ｂに当接して第２チューブ７の開閉度が調整される。
【０１９５】
同様に、ピンチ型サーボバルブ７Ｖの第２動作部Ｖｃおいては、第３チューブ２６の開閉度と第４チューブ２７の開閉度とが下記のように調整される。
マイクロメータ４８ａのグリップ部４８ａ４を廻すことで、スピンドル４８ａ１が調整板４８ｂに当接して第３チューブ２６の開閉度が調整される。また、マイクロメータ４９ａのグリップ部４９ａ４を廻すことで、スピンドル４９ａ１が調整板４９ｂに当接して第４チューブ２７の開閉度が調整される。
【０１９６】
第１動作部Ｖａの調整板３８ｂの側方には、側方から調整板３８ｂに当接する位置決め用ねじ３８ｃが枠体２７Ａに螺合して配設されている。また、第１動作部Ｖａの調整板３９ｂの側方には、側方から調整板３９ｂに当接する位置決め用ねじ３９ｃが枠体２７Ａに螺合して配設されている
【０１９７】
同様に、第２動作部Ｖｃの調整板４８ｂの側方には、側方から調整板４８ｂに当接する位置決め用ねじ４８ｃが枠体２７Ａに螺合して配設されている。また、調整板４９ｂの側方には、側方から調整板４９ｂに当接する位置決め用ねじ４９ｃが枠体２７Ａに螺合して配設されている。
【０１９８】
＜調整板３８ｂ、３８ｂ、４８ｂ、４９ｂの位置決めと不感帯の調整＞
第１動作部Ｖａにおいては、第１チューブ６の開閉度をマイクロメータ３８ａで調整する。この際、第１チューブ６の不感帯を調整する。その後、位置決め用ねじ３８ｃを調整板３８ｂの側方に強く当接させ、調整板３８ｂの位置決めを行う。調整板３８ｂの位置決め調整後、マイクロメータ３８ａは取り外す。
【０１９９】
また、第２チューブ７の開閉度をマイクロメータ３９ａで調整する。この際、第２チューブ７の不感帯を調整する。その後、位置決め用ねじ３９ｃを調整板３９ｂの側方に強く当接させ、調整板３９ｂの位置決めを行う。調整板３９ｂの位置決め調整後、マイクロメータ３９ａは取り外す。
【０２００】
同様に、第２動作部Ｖｃにおいて、第３チューブ２６の開閉度をマイクロメータ４８ａで調整する。この際、第３チューブ２６の不感帯を調整する。その後、位置決め用ねじ４８ｃを調整板４８ｂの側方に強く当接させ、調整板４８ｂの位置決めを行う。調整板４８ｂの位置決め調整後、マイクロメータ４８ａは取り外す。
【０２０１】
また、第４チューブ２７の開閉度をマイクロメータ４９ａで調整する。この際、第４チューブ２７の不感帯を調整する。その後、位置決め用ねじ４９ｃを調整板４９ｂの側方に強く当接させ、調整板４９ｂの位置決めを行う。調整板４９ｂの位置決め調整後、マイクロメータ４９ａは取り外す。
【０２０２】
＜チューブ（６、７、２６、２７）の有効断面積の“０”調整、および、押し付け力、押し付け量の調整＞
第１動作部Ｖａにおいて、マイクロメータ３８ａで調整板３８ｂの位置を調整することで、図１８（ｂ）に示すような第１チューブ６のアンダーラップやオーバーラップの調整ができる。同様に、マイクロメータ３９ａで調整板９ｂの位置を調整することで、第２チューブ７のアンダーラップやオーバーラップの調整ができる。
【０２０３】
第２動作部Ｖｃにおいて、マイクロメータ４８ａで調整板４８ｂの位置を調整することで、第３チューブ２６のアンダーラップやオーバーラップの調整ができる。同様に、マイクロメータ４９ａで調整板４９ｂの位置を調整することで、第４チューブ２７のアンダーラップやオーバーラップの調整ができる。
【０２０４】
具体的には、第１動作部Ｖａにおいて、マイクロメータ３８ａで調整板３８ｂの位置を調整することで、第１チューブ６の有効断面積を“０”に調整できる。この際、偏芯カム３による第１チューブ６の押し付け力や押し付け量を調整できる。同様に、マイクロメータ３９ａで調整板３９ｂの位置を調整することで、第２チューブ７の有効断面積を“０”に調整できる。この際、偏芯カム３による第２チューブ７の押し付け力や押し付け量を調整できる。
【０２０５】
同様に、第２動作部Ｖｃにおいて、マイクロメータ４８ａで調整板４８ｂの位置を調整することで、第３チューブ２６の有効断面積を“０”に調整できる。この際、偏芯カム２３による第３チューブ２６の押し付け力や押し付け量を調整できる。同様に、マイクロメータ４９ａで調整板４９ｂの位置を調整することで、第４チューブ２７の有効断面積を“０”に調整できる。この際、偏芯カム２３による第４チューブ２７の押し付け力や押し付け量を調整できる。
【０２０６】
実施形態７によれば、マイクロメータ３８ａ、３９ａ、４８ａ、４９ａで左右の第１チューブ６、２６と第２チューブ７、２７との開閉を独立して調整が可能である。具体的には、有効断面積の“０”調整（アンダーラップやオーバーラップの調整）やチューブ（６、７、２６、２７）の押し付け力、押し付け量の調整が行える。特に、マイクロメータ３８ａ、３９ａ、４８ａ、４９ａを用いることで、微調整が可能である。
【０２０７】
＜＜その他の実施形態＞＞
１．なお、前記実施形態１〜実施形態７、変形例等では、様々な構成を説明したが、各構成を適宜組み合わせて構成してもよい。
【０２０８】
２．また、前記実施形態３〜７、変形例等は、本願の特許請求の範囲に記載した構成の一例を示したものであり、特許請求の範囲に記載の範囲内で様々な変形形態、具体的形態が可能である。
【符号の説明】
【０２０９】
１      モータ（駆動源）
２      回転軸
３      偏芯カム（第１のカム）
３ａ    半円部（半円の断面形状をもつ外周面のカム面）
３ｈ    偏芯部（半円の半径より短い寸法の断面形状をもつ外周面のカム面）
３ｍ    第１のカムのカム面
３ｐ    あそび
４      第１可動子（第１可動部材）
４ａ    軸受（第１軸受）
５      第２可動子（第２可動部材）
５ａ    軸受（第２軸受）
６      第１チューブ（第１の柔軟な管、第１の流路）
７      第２チューブ（第２の柔軟な管、第２の流路）
８      第１調整手段（第１チューブ変位調整部）
８ａ    イモネジ（ねじ）
９      第２調整手段（第２チューブ変位調整部）
９ａ    イモネジ（ねじ）
１０    復帰用カム
１１    第１復帰用可動子（第３可動部材、定常状態安定化手段）
１１ａ  軸受（第３軸受）
１２    第２復帰用可動子（第４可動部材、定常状態安定化手段）
１２ａ  軸受（第４軸受）
１３    第１復帰用ばね（弾性部材、第１の弾性部材、定常状態安定化手段）
１４    第２復帰用ばね（弾性部材、第２の弾性部材、定常状態安定化手段）
２８    第３チューブ変位調整部（第３調整手段）
２９    第４チューブ変位調整部（第４調整手段）
２３    第２偏芯カム（第２のカム）
２３ｍ  カム面
２４    第３可動子（第５可動部材）
２５    第４可動子（第６可動部材）
２６    第３チューブ（第３の柔軟な管、第１の流路）
２７    第４チューブ（第４の柔軟な管、第２の流路）
３３    偏芯カム（第１のカム）
３３ｃ  カム曲線
３４    偏芯カム（第２のカム）
３４ｃ  カム曲線 
３６、３７  チューブ（扁平な横断面をもつ管）
３８ｃ  位置決め用ねじ（第１の固定手段）
３９ｃ  位置決め用ねじ（第２の固定手段）
５０    復帰用カム（左右非対称な復帰カム）
５０ｍ  カム面
５３    偏芯カム（左右非対称な第１のカム）
ｃｐ１  第１制御ポート（制御ポート）
ｃｐ２  第２制御ポート（制御ポート）
Ｍ、Ｍｎ  マニフォールド
ｓｐ１  供給ポート
Ｓ      空気圧シリンダ（制御対象）
Ｖ、２Ｖ  ピンチ型サーボバルブ（ピンチ型バルブ）
Ｖｂ    中立位置復帰部（定常状態安定化手段）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【国際調査報告】
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