(57)【要約】【課題】測定対象に対する測定を行う際の接触端子の数を低減する。【解決手段】第１切替部（２１ａ〜２１ｄ）および第２切替部（２２ａ〜２２ｄ）を有するスキャナユニット１５と制御部１６とを備え、各第１切替部は、第１のスイッチ（３１ａ〜３１ｄ）と第２のスイッチ（３２ａ〜３２ｄ）とを備え、各第２切替部は、第３のスイッチ（３３ａ〜３３ｄ）と第４のスイッチ（３４ａ〜３４ｄ）とを備え、制御部１６は、第１のスイッチおよび第２のスイッチを制御して測定対象（１０１ａ〜１０１ｃ）に接触している接触端子（１１ａ〜１１ｄ）を電源部１３の高電位側出力部１３１ａおよび低電位側出力部１３１ｂのうちの一方の出力部に接続させると共に、第３のスイッチおよび第４のスイッチを制御して測定対象に接触している接触端子（１２ａ〜１２ｄ）を電圧検出部１４の高電位側入力部１４１ａおよび低電位側入力部１４１ｂのうちの一方の入力部に接続させる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定対象の被接触部に電流を供給するための複数の第１接触端子と、当該電流の供給によって当該被接触部に生じる電圧を入力するための複数の第２接触端子と、前記電流を出力する電源部と前記第１接触端子との接続および非接続の切り替えを当該第１接触端子毎に個別に行う複数の第１切替部および前記電圧を検出する電圧検出部と前記第２接触端子との接続および非接続の切り替えを当該第２接触端子毎に個別に行う複数の第２切替部を有する切替装置と、当該切替装置を制御する制御部とを備えて、前記電圧の値に基づく第１物理量を測定可能に構成された測定装置であって、
前記各第１切替部は、前記電源部の高電位側出力部と前記第１接触端子との接続および非接続を切り替える第１のスイッチと、当該電源部の低電位側出力部と当該第１接触端子との接続および非接続を切り替える第２のスイッチとを備えて構成され、
前記各第２切替部は、前記電圧検出部の高電位側入力部と前記第２接触端子との接続および非接続を切り替える第３のスイッチと、当該電圧検出部の低電位側入力部と当該第２接触端子との接続および非接続を切り替える第４のスイッチとを備えて構成され、
前記制御部は、前記第１のスイッチおよび前記第２のスイッチを制御して前記第１物理量の測定を行う前記測定対象に接触している前記第１接触端子を前記電源部の前記高電位側出力部および前記低電位側出力部のうちの予め決められた出力部に接続させると共に、前記第３のスイッチおよび前記第４のスイッチを制御して当該測定対象に接触している前記第２接触端子を前記電圧検出部の前記高電位側入力部および前記低電位側入力部のうちの予め決められた入力部に接続させる接続処理を実行する測定装置。
【請求項２】
前記第１物理量を４端子法で測定する第１測定モードと前記第１物理量を２端子法で測定する第２測定モードとを選択可能に構成され、
前記切替装置は、前記第１接触端子を前記電源部に接続させると共に前記第２接触端子を前記電圧検出部に接続させる第１測定モード用の接続形態と前記第１接触端子および前記第２接触端子のいずれか一方のみを前記電源部および前記電圧検出部の双方に接続させる第２測定モード用の接続形態とを切り替えるモード切替スイッチを備え、
前記制御部は、前記第１測定モードが選択されたときには、前記接続処理において前記モード切替スイッチを制御して前記第１測定モード用の接続形態に切り替えさせ、前記第２測定モードが選択されたときには、前記接続処理において前記モード切替スイッチを制御して前記第２測定モード用の接続形態に切り替えさせる請求項１記載の測定装置。
【請求項３】
前記各スイッチの良否を判定する判定処理を実行する判定部を備え、
前記制御部は、前記各スイッチのうちの判定対象の当該スイッチを制御して、前記電源部の前記高電位側出力部と前記低電位側出力部とが短絡するように当該スイッチを動作させる第１短絡処理を実行し、
前記判定部は、前記判定処理において、前記第１接触端子および前記第２接触端子が短絡していない状態において前記第１短絡処理が実行されているときに検出された第２物理量と予め決められた当該第２物理量の基準値とを比較して前記各スイッチの良否を判定する請求項１または２記載の測定装置。
【請求項４】
前記各スイッチの良否を判定する判定処理を実行する判定部を備え、
前記制御部は、前記各スイッチのうちの判定対象の当該スイッチを制御して、前記電圧検出部の前記高電位側入力部と前記低電位側入力部とが短絡するように当該スイッチを動作させる第２短絡処理を実行し、
前記判定部は、前記判定処理において、前記第１接触端子および前記第２接触端子が短絡していない状態において前記第２短絡処理が実行されているときに検出された第３物理量と予め決められた当該第３物理量の基準値とを比較して前記各スイッチの良否を判定する請求項１から３のいずれかに記載の測定装置。
【請求項５】
複数の第１切替部を用いて測定対象の被接触部に電流を供給するための複数の第１接触端子と当該電流を出力する電源部との接続および非接続の切り替えを当該第１接触端子毎に個別に行うと共に、複数の第２切替部を用いて前記電流の供給によって前記被接触部に生じる電圧を入力するための複数の第２接触端子と当該電圧を検出する電圧検出部との接続および非接続の切り替えを当該第２接触端子毎に個別に行って当該電圧の値に基づく第１物理量を測定する測定方法であって、
前記電源部の高電位側出力部と前記第１接触端子との接続および非接続を切り替える第１のスイッチ、並びに当該電源部の低電位側出力部と当該第１接触端子との接続および非接続を切り替える第２のスイッチを備えた前記各第１切替部を用いると共に、前記電圧検出部の高電位側入力部と前記第２接触端子との接続および非接続を切り替える第３のスイッチ、並びに当該電圧検出部の低電位側入力部と当該第２接触端子との接続および非接続を切り替える第４のスイッチを備えた前記各第２切替部を用いて、
前記第１のスイッチおよび前記第２のスイッチを制御して前記第１物理量の測定を行う前記測定対象に接触している前記第１接触端子を前記電源部の前記高電位側出力部および前記低電位側出力部のうちの予め決められた出力部に接続させると共に、前記第３のスイッチおよび前記第４のスイッチを制御して当該測定対象に接触している前記第２接触端子を前記電圧検出部の前記高電位側入力部および前記低電位側入力部のうちの予め決められた入力部に接続させる接続処理を実行する測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の測定対象の被接触部に接触端子を接触させて物理量を測定する測定装置および測定方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種の測定装置として、特開２００８−４６０６０号公報において出願人が開示した測定装置が知られている。この測定装置は、プローブユニットおよび本体部等を備えて回路基板における各素子の抵抗を測定可能に構成されている。この場合、プローブユニットは、２つの接触端子を対にしたプローブを複数備えて、各プローブが素子の各端子（端部）にそれぞれ接触するように構成されている。また、本体部は、測定用電流を生成する電源部、電圧を検出する電圧検出部、電源部の各出力端子に接続される２本の導線、電圧検出部の各入力端子に接続される２本の導線、各プローブの各接触端子と各導線との接続を切り替える第１切り替え部、各導線と電圧検出部の各入力端子との接続を切り替える第２切り替え部、および各部を制御する制御部を備えて構成されている。この測定装置では、各素子の各端子に接触している２つのプローブの各々における一方の接触端子を介して素子に測定用電流が供給され、その測定用電流の供給によって素子の各端子間に生じる電圧を電圧検出部が検出し、その検出値に基づいて素子の抵抗が測定される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−４６０６０号公報（第４−５頁、第１図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、上記の測定装置には、改善すべき以下の課題がある。すなわち、この測定装置では、各素子の各端子にプローブをそれぞれ接触させて測定を行っている。この場合、抵抗を正確に測定するには、測定用電流を予め決められた向きに素子に流す必要がある。このため、上記の測定装置を含むこの種の測定装置では、電源部における高電位側の出力端子および低電位側の出力端子のどちらに各接触端子を接続すべきか、並びに電圧検出部における高電位側の入力端子および低電位側の入力端子のどちらに各接触端子を接続すべきかが予め決められている。したがって、各素子の各端子にプローブが１つずつ（つまり、１つの素子の各端子に対して２つの接触端子を）接触させる必要がある。この結果、この種の測定装置には、例えば、２つの素子の端子同士が近接しているときには、その部分に接触させるべき２つのプローブ（４つの接触端子）の接触が困難となるという課題が存在する。また、測定対象の素子の数が多いときにはプローブ（接触端子）の数も多くなり、その分コストが上昇するという課題も存在する。
【０００５】
本発明は、かかる改善すべき課題に鑑みてなされたものであり、複数の測定対象に対する測定を行う際の接触端子の数を低減し得る測定装置および測定方法を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成すべく請求項１記載の測定装置は、測定対象の被接触部に電流を供給するための複数の第１接触端子と、当該電流の供給によって当該被接触部に生じる電圧を入力するための複数の第２接触端子と、前記電流を出力する電源部と前記第１接触端子との接続および非接続の切り替えを当該第１接触端子毎に個別に行う複数の第１切替部および前記電圧を検出する電圧検出部と前記第２接触端子との接続および非接続の切り替えを当該第２接触端子毎に個別に行う複数の第２切替部を有する切替装置と、当該切替装置を制御する制御部とを備えて、前記電圧の値に基づく第１物理量を測定可能に構成された測定装置であって、前記各第１切替部は、前記電源部の高電位側出力部と前記第１接触端子との接続および非接続を切り替える第１のスイッチと、当該電源部の低電位側出力部と当該第１接触端子との接続および非接続を切り替える第２のスイッチとを備えて構成され、前記各第２切替部は、前記電圧検出部の高電位側入力部と前記第２接触端子との接続および非接続を切り替える第３のスイッチと、当該電圧検出部の低電位側入力部と当該第２接触端子との接続および非接続を切り替える第４のスイッチとを備えて構成され、前記制御部は、前記第１のスイッチおよび前記第２のスイッチを制御して前記第１物理量の測定を行う前記測定対象に接触している前記第１接触端子を前記電源部の前記高電位側出力部および前記低電位側出力部のうちの予め決められた出力部に接続させると共に、前記第３のスイッチおよび前記第４のスイッチを制御して当該測定対象に接触している前記第２接触端子を前記電圧検出部の前記高電位側入力部および前記低電位側入力部のうちの予め決められた入力部に接続させる接続処理を実行する。
【０００７】
また、請求項２記載の測定装置は、請求項１記載の測定装置において、前記第１物理量を４端子法で測定する第１測定モードと前記第１物理量を２端子法で測定する第２測定モードとを選択可能に構成され、前記切替装置は、前記第１接触端子を前記電源部に接続させると共に前記第２接触端子を前記電圧検出部に接続させる第１測定モード用の接続形態と前記第１接触端子および前記第２接触端子のいずれか一方のみを前記電源部および前記電圧検出部の双方に接続させる第２測定モード用の接続形態とを切り替えるモード切替スイッチを備え、前記制御部は、前記第１測定モードが選択されたときには、前記接続処理において前記モード切替スイッチを制御して前記第１測定モード用の接続形態に切り替えさせ、前記第２測定モードが選択されたときには、前記接続処理において前記モード切替スイッチを制御して前記第２測定モード用の接続形態に切り替えさせる。
【０００８】
また、請求項３記載の測定装置は、請求項１または２記載の測定装置において、前記各スイッチの良否を判定する判定処理を実行する判定部を備え、前記制御部は、前記各スイッチのうちの判定対象の当該スイッチを制御して、前記電源部の前記高電位側出力部と前記低電位側出力部とが短絡するように当該スイッチを動作させる第１短絡処理を実行し、前記判定部は、前記判定処理において、前記第１接触端子および前記第２接触端子が短絡していない状態において前記第１短絡処理が実行されているときに検出された第２物理量と予め決められた当該第２物理量の基準値とを比較して前記各スイッチの良否を判定する。
【０００９】
また、請求項４記載の測定装置は、請求項１から３のいずれかに記載の測定装置において、前記各スイッチの良否を判定する判定処理を実行する判定部を備え、前記制御部は、前記各スイッチのうちの判定対象の当該スイッチを制御して、前記電圧検出部の前記高電位側入力部と前記低電位側入力部とが短絡するように当該スイッチを動作させる第２短絡処理を実行し、前記判定部は、前記判定処理において、前記第１接触端子および前記第２接触端子が短絡していない状態において前記第２短絡処理が実行されているときに検出された第３物理量と予め決められた当該第３物理量の基準値とを比較して前記各スイッチの良否を判定する。
【００１０】
また、請求項５記載の測定方法は、複数の第１切替部を用いて測定対象の被接触部に電流を供給するための複数の第１接触端子と当該電流を出力する電源部との接続および非接続の切り替えを当該第１接触端子毎に個別に行うと共に、複数の第２切替部を用いて前記電流の供給によって前記被接触部に生じる電圧を入力するための複数の第２接触端子と当該電圧を検出する電圧検出部との接続および非接続の切り替えを当該第２接触端子毎に個別に行って当該電圧の値に基づく第１物理量を測定する測定方法であって、前記電源部の高電位側出力部と前記第１接触端子との接続および非接続を切り替える第１のスイッチ、並びに当該電源部の低電位側出力部と当該第１接触端子との接続および非接続を切り替える第２のスイッチを備えた前記各第１切替部を用いると共に、前記電圧検出部の高電位側入力部と前記第２接触端子との接続および非接続を切り替える第３のスイッチ、並びに当該電圧検出部の低電位側入力部と当該第２接触端子との接続および非接続を切り替える第４のスイッチを備えた前記各第２切替部を用いて、前記第１のスイッチおよび前記第２のスイッチを制御して前記第１物理量の測定を行う前記測定対象に接触している前記第１接触端子を前記電源部の前記高電位側出力部および前記低電位側出力部のうちの予め決められた出力部に接続させると共に、前記第３のスイッチおよび前記第４のスイッチを制御して当該測定対象に接触している前記第２接触端子を前記電圧検出部の前記高電位側入力部および前記低電位側入力部のうちの予め決められた入力部に接続させる接続処理を実行する。
【発明の効果】
【００１１】
請求項１記載の測定装置、および請求項５記載の測定方法では、第１のスイッチおよび第２のスイッチを備えて電源部と第１接触端子との接続および非接続を切り替える第１切替部と、第３のスイッチおよび第４のスイッチを備えて電圧検出部と第２接触端子との接続および非接続を切り替える第２切替部とを用いて接続処理を実行する。このため、この測定装置および測定方法によれば、測定用の電流を流す向きが予め決められている場合において、１つの測定対象を測定する際に低電位側出力部に接続させた第１接触端子を、隣接する他の測定対象を測定する際に高電位側出力部に接続させたり、１つの測定対象を測定する際に低電位側入力部に接続させた第２接触端子を、隣接する他の測定対象を測定する際に高電位側入力部に接続させたりすることができる。したがって、この測定装置および測定方法によれば、２つの測定対象における互いに接続された隣接する２つの被接触部に対して１つの第１接触端子および１つの第２接触端子を接触させて（１つの第１接触端子および１つの第２接触端子を兼用して用いて）測定を行うことができるため、複数の測定対象に対する測定を行う際に用いる接触端子の数を十分に低減することができる。この結果、この測定装置および測定方法によれば、複数の測定対象の被接触部同士が近接している場合においても、各接触端子を容易に接触させることができる。また、接触端子の数を十分に低減することができるため、その分コストを低減させることができる。
【００１２】
また、請求項２記載の測定装置では、制御部がモード切替スイッチを制御して、第１接触端子を電源部に接続させると共に第２接触端子を電圧検出部に接続させる第１測定モード用の接続形態と、第１接触端子および第２接触端子のいずれか一方のみを電源部および電圧検出部の双方に接続させる第２測定モード用の接続形態とを切り替えさせる。このため、この測定装置によれば、第１測定モードおよび第２測定モードのいずれの測定モードにおいても、少ない数の接触端子で数多くの測定対象に対する測定を行うことができる。
【００１３】
また、請求項３記載の測定装置では、第１接触端子および第２接触端子が短絡していない状態において第１短絡処理が実行されているときに検出された第２物理量と予め決められた第２物理量の基準値とを比較して各スイッチの良否を判定する。このため、この測定装置によれば、測定対象の測定開始に先立って判定処理を行うことで、各スイッチのうちの電源部の各出力部を短絡させる際に用いるいずれかのスイッチが正常に作動していないときには、事前にその旨を知ることができるため、そのスイッチが正常に作動していないことに起因して誤った（不正確な）測定がされる事態を確実に回避することができる。また、この測定装置では、第１のスイッチおよび第２のスイッチを備えて第１切替部を構成し、第３のスイッチおよび第４のスイッチを備えて第２切替部を構成したことにより、短絡専用のスイッチを用いることなく、これらの各スイッチをオン／オフさせることで第１短絡処理を実行することができる。このため、短絡専用のスイッチを用いる構成および方法と比較して、切替装置の構成を簡略化することができる。
【００１４】
また、請求項４記載の測定装置では、第１接触端子および第２接触端子が短絡していない状態において第２短絡処理が実行されているときに検出された第３物理量と予め決められた第３物理量の基準値とを比較して各スイッチの良否を判定する。このため、この測定装置によれば、測定対象の測定開始に先立って判定処理を行うことで、各スイッチのうちの電圧検出部の各入力部を短絡させる際に用いるいずれかのスイッチが正常に作動していないときには、事前にその旨を知ることができるため、そのスイッチが正常に作動していないことに起因して誤った（不正確な）測定がされる事態を確実に回避することができる。また、この測定装置では、第１のスイッチおよび第２のスイッチを備えて第１切替部を構成し、第３のスイッチおよび第４のスイッチを備えて第２切替部を構成したことにより、短絡専用のスイッチを用いることなく、これらの各スイッチをオン／オフさせることで第２短絡処理を実行することができる。このため、短絡専用のスイッチを用いる構成および方法と比較して、切替装置の構成を簡略化することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】測定装置１の構成を示す構成図である。
【図２】各スイッチの良否判定方法を説明する第１の説明図である。
【図３】各スイッチの良否判定方法を説明する第２の説明図である。
【図４】各スイッチの良否判定方法を説明する第３の説明図である。
【図５】各スイッチの良否判定方法を説明する第４の説明図である。
【図６】測定装置１を用いた測定方法を説明する第１の説明図である。
【図７】測定装置１を用いた測定方法を説明する第２の説明図である。
【図８】測定装置１を用いた測定方法を説明する第３の説明図である。
【図９】測定装置１を用いた測定方法を説明する第４の説明図である。
【図１０】測定装置１を用いた測定方法を説明する第５の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、測定装置および測定方法の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。
【００１７】
最初に、測定装置１の構成について、図面を参照して説明する。
【００１８】
図１に示す測定装置１は、複数の素子１０１（測定対象の一例であって、同図では３つの素子１０１ａ〜１０１ｃを図示している）の抵抗値Ｒｓ（第１物理量の一例）を後述する測定方法に従って測定可能に構成されている。また、この測定装置１では、４端子法で抵抗値Ｒｓを測定する第１測定モードと２端子法で抵抗値Ｒｓを測定する第２測定モードとを選択することが可能に構成されている。具体的には、測定装置１は、同図に示すように、複数の第１プローブ１１（第１接触端子に相当し、同図では４つの第１プローブ１１ａ〜１１ｄを図示している）、複数の第２プローブ１２（第２接触端子に相当し、同図では４つの第２プローブ１２ａ〜１２ｄを図示している）、電源部１３、電圧検出部１４、スキャナユニット１５および制御部１６を備えて構成されている。
【００１９】
第１プローブ１１は、後述する測定用の電流Ｉｍを各素子１０１の端子１１１（被接触部）に供給するために用いられる。第２プローブ１２は、電流Ｉｍの出力によって素子１０１の端子１１１に生じる電圧Ｖｍを入力するために用いられる。この測定装置１では、図１に示すように、各素子１０１の各端子１１１に第１プローブ１１および第２プローブ１２を１つずつ接触（プロービング）させた状態で測定を行うように構成されている。この場合、同図に示すように、例えば、２つの素子１０１における隣接する２つの端子１１１が互いに接続されているときには、この２つの端子１１１に対して１つの第１プローブ１１および１つの第２プローブ１２を接触させる。つまり、この測定装置１では、互いに接続された２つの端子１１１に対して１つの第１プローブ１１および１つの第２プローブ１２が兼用して用いられる（接触させられる）。
【００２０】
電源部１３は、制御部１６の制御に従い、後述する測定処理および判定処理に用いる電流Ｉｍ（測定用および判定用の電流Ｉｍ：一例として、直流定電流）を出力する。また、電源部１３は、図１に示すように、高電位側出力部１３１ａおよび低電位側出力部１３１ｂ（以下、高電位側出力部１３１ａおよび低電位側出力部１３１ｂを区別しないときには「出力部１３１」ともいう）を備えており、素子１０１の端子１１１に接触している第１プローブ１１にスキャナユニット１５を介して各出力部１３１が接続されているときには、第１プローブ１１を介して素子１０１の端子１１１に測定用の電流Ｉｍを供給する。また、電源部１３は、過電圧を検出して電流Ｉｍの出力を停止する図外の遮断回路（過電圧保護回路）を備えている。さらに、電源部１３は、電流Ｉｍの電流値を検出可能に構成されている。なお、測定用の電流Ｉｍの電流値と判定用の電流Ｉｍの電流値とは同じ値であってもよいし、異なる値であってもよい。
【００２１】
電圧検出部１４は、制御部１６の制御に従って電圧を検出する。また、電圧検出部１４は、図１に示すように、高電位側入力部１４１ａおよび低電位側入力部１４１ｂ（以下、高電位側入力部１４１ａおよび低電位側入力部１４１ｂを区別しないときには「入力部１４１」ともいう）を備えており、素子１０１の端子１１１に接触している第２プローブ１２にスキャナユニット１５を介して各入力部１４１が接続されているときには、電流Ｉｍの供給によって素子１０１の端子１１１間に生じる電圧Ｖｍを第２プローブ１２を介して入力して検出する。
【００２２】
スキャナユニット１５は、切替装置に相当し、図１に示すように、複数（第１プローブ１１の数と同数）の第１切替部２１（同図では、４つの第１切替部２１ａ〜２１ｄを図示している）、複数（第２プローブ１２の数と同数）の第２切替部２２（同図では、４つの第２切替部２２ａ〜２２ｄを図示している）、およびモード切替スイッチ２３ａ，２３ｂ（以下、区別しないときには「モード切替スイッチ２３」ともいう）を備えて構成されている。
【００２３】
第１切替部２１ａ〜２１ｄは、図１に示すように、スイッチ３１ａ〜３１ｄ（以下、区別しないときには「スイッチ３１」ともいう）およびスイッチ３２ａ〜３２ｄ（以下、区別しないときには「スイッチ３２」ともいう）をそれぞれ備えて構成されている。この場合、スイッチ３１は、第１のスイッチに相当し、制御部１６の制御に従い、電源部１３の高電位側出力部１３１ａと第１プローブ１１との接続および非接続を切り替える。また、スイッチ３２は、第２のスイッチに相当し、制御部１６の制御に従い、電源部１３の低電位側出力部１３１ｂと第１プローブ１１との接続および非接続を切り替える。このように構成することで、この測定装置１では、電源部１３と各第１プローブ１１との接続および非接続の切り替えを第１プローブ１１毎に個別に実行可能なことに加えて、第１プローブ１１を電源部１３に接続する際に接続対象とする出力部１３１を高電位側出力部１３１ａおよび低電位側出力部１３１ｂのいずれにするかを選択することが可能となっている。
【００２４】
第２切替部２２ａ〜２２ｄは、図１に示すように、スイッチ３３ａ〜３３ｄ（以下、区別しないときには「スイッチ３３」ともいう）およびスイッチ３４ａ〜３４ｄ（以下、区別しないときには「スイッチ３４」ともいう）をそれぞれ備えて構成されている。この場合、スイッチ３３は、第３のスイッチに相当し、制御部１６の制御に従い、電圧検出部１４の高電位側入力部１４１ａと第２プローブ１２との接続および非接続を切り替える。また、スイッチ３４は、第４のスイッチに相当し、制御部１６の制御に従い、電圧検出部１４の低電位側入力部１４１ｂと第２プローブ１２との接続および非接続を切り替える。このように構成することで、この測定装置１では、電圧検出部１４と各第２プローブ１２との接続および非接続の切り替えを第２プローブ１２毎に個別に実行可能なことに加えて、第２プローブ１２を電圧検出部１４に接続する際に接続対象とする入力部１４１を高電位側入力部１４１ａおよび低電位側入力部１４１ｂのいずれにするかを選択することが可能となっている。
【００２５】
モード切替スイッチ２３ａ，２３ｂは、上記した第１測定モード（４端子法で抵抗値Ｒｓを測定するモード）が選択されたときに、制御部１６の制御に従い、第１プローブ１１を電源部１３（電源部１３におけるいずれかの出力部１３１）に接続させると共に、第２プローブ１２と電源部１３（電源部１３の各出力部１３１）とを非接続状態とさせることで第２プローブ１２を電圧検出部１４（電圧検出部１４におけるいずれかの入力部１４１）に接続させる（つまり、第１プローブ１１を電源部１３にのみ接続させ、第２プローブ１２を電圧検出部１４にのみ接続させる）。
【００２６】
また、モード切替スイッチ２３ａ，２３ｂは、上記した第２測定モード（２端子法で抵抗値Ｒｓを測定するモード）が選択されたときに、制御部１６の制御に従い、第２プローブ１２を電源部１３に接続させて、第２プローブ１２（第１プローブ１１および第２プローブ１２のいずれか一方の一例）のみを電源部１３および電圧検出部１４の双方に接続させる。つまり、モード切替スイッチ２３ａ，２３ｂは、第１測定モード用の接続形態（以下、「第１接続形態」ともいう）と第２測定モード用の接続形態（以下、「第２接続形態」ともいう）とを切り替える機能を有している。
【００２７】
制御部１６は、スキャナユニット１５を制御する。具体的には、制御部１６は、スイッチ３１，３２を制御して抵抗値Ｒｓの測定を行う素子１０１の端子１１１に接触している第１プローブ１１を電源部１３の高電位側出力部１３１ａおよび低電位側出力部１３１ｂのうちの予め決められた出力部１３１に接続させると共にスイッチ３３，３４を制御してその素子１０１の端子１１１に接触している第２プローブ１２を電圧検出部１４の高電位側入力部１４１ａおよび低電位側入力部１４１ｂのうちの予め決められた入力部１４１に接続させる接続処理を実行する。
【００２８】
また、制御部１６は、図外の操作部に対する測定モードの選択操作（第１測定モードおよび第２測定モードのいずれかを選択する操作）に応じてモード切替スイッチ２３ａ，２３ｂを制御して、第１接続形態と第２接続形態定モードとを切り替えさせる。また、制御部１６は、電源部１３から出力される電流Ｉｍの値と、電圧検出部１４によって検出された電圧Ｖｍの値とに基づいて素子１０１の抵抗値Ｒｓを測定する測定処理を実行する。
【００２９】
さらに、制御部１６は、判定部として機能し、各スイッチ（スイッチ３１〜３４およびモード切替スイッチ２３）の良否を判定する判定処理を実行する。この場合、制御部１６は、この判定処理において、各スイッチのうちの判定対象のスイッチを制御して、電源部１３の高電位側出力部１３１ａと低電位側出力部１３１ｂとを短絡させる第１短絡処理を実行すると共に、電圧検出部１４の高電位側入力部１４１ａと低電位側入力部１４１ｂとを短絡させる第２短絡処理を実行する。なお、第１短絡処理と第２短絡処理とを区別しないときには、以下、単に「短絡処理」ともいう。また、制御部１６は、この判定処理において、第１プローブ１１および第２プローブ１２が短絡していない状態において短絡処理を実行しているときに検出される物理量（第２物理量および第３物理量）と、予め決められた基準値とを比較して、各スイッチの良否を判定する。具体的には、制御部１６は、第１短絡処理を実行しているときに電源部１３によって検出された電流値（第２物理量の一例）と、予め決められた電流の基準値（例えば、判定用の電流Ｉｍとして出力すべき電流値）とを比較して各スイッチの良否を判定する。また、制御部１６は、第２短絡処理を実行しているときに電圧検出部１４によって検出された電圧値（第３物理量の一例）と、予め決められた電圧の基準値（例えば、数Ｖの電圧値）とを比較して、各スイッチの良否を判定する。
【００３０】
次に、測定装置１を用いて、測定対象としての３つの素子１０１ａ〜１０１ｃの抵抗値Ｒｓ（第１物理量）を測定する測定方法について、図面を参照して説明する。なお、図１〜図１０に示すように、各素子１０１ａ〜１０１ｃが直列接続されているものとする。また、この素子１０１ａ〜１０１ｃは、各図における上側から下側に向けて電流Ｉｍを流して測定を行うように予め決められているものとする。
【００３１】
各素子１０１の測定に先立ち、スキャナユニット１５を構成する各スイッチ（スイッチ３１〜３４およびモード切替スイッチ２３）の良否（正常に動作するか否か）を判定する。具体的には、各第１プローブ１１および各第２プローブ１２を非接触状態（例えば、導体等を介して接触させない状態）に維持し、次いで、図外の操作部を操作して、判定処理の実行を指示する。これに応じて、制御部１６が判定処理を実行する。
【００３２】
この判定処理では、制御部１６は、各スイッチ３１〜３４，２３の中から、判定対象のスイッチとして、例えば図２に示すスイッチ３１ａ，３２ａ，３３ａ，３４ａおよびモード切替スイッチ２３ａ，２３ｂを選択する。続いて、制御部１６は、短絡処理を実行する。この短絡処理では、制御部１６は、スイッチ３１ａ，３２ａおよびモード切替スイッチ２３ａ，２３ｂを制御して、同図に破線で示すように、電源部１３の高電位側出力部１３１ａと低電位側出力部１３１ｂとが短絡するように各スイッチ３１ａ，３２ａ，２３ａ，２３ｂを動作させる（第１短絡処理）。また、制御部１６は、スイッチ３３ａ，３４ａを制御して、同図に一点鎖線で示すように、電圧検出部１４の高電位側入力部１４１ａと低電位側入力部１４１ｂとが短絡するように各スイッチ３３ａ，３４ａを動作させる（第２短絡処理）。
【００３３】
次いで、制御部１６は、この状態（非接触状態において短絡処理を実行しているとき）において、電源部１３を制御して判定用の電流Ｉｍを出力させると共にその電流値を検出させると共に、電圧検出部１４を制御して電圧を検出させる。続いて、制御部１６は、電源部１３によって検出された電流値と予め決められた基準値とを比較すると共に、電圧検出部１４によって検出された電圧値と予め決められた基準値とを比較して各スイッチの良否を判定する。
【００３４】
ここで、各スイッチが正常に作動して、電源部１３の高電位側出力部１３１ａと低電位側出力部１３１ｂとが短絡しているときには、予め決められた基準値（または、基準値とほぼ同じ電流値）の電流Ｉｍ（直流定電流）が正常に流れる。また、電圧検出部１４の高電位側入力部１４１ａと低電位側入力部１４１ｂとが短絡しているときには、電圧値が０Ｖ（または、ほぼ０Ｖ）となる。
【００３５】
一方、各スイッチが正常に作動せずに、各出力部１３１同士が短絡していないとき（各出力部１３１がオープン状態のとき）には、各出力部１３１間の電圧が上昇するため、電源部１３の遮断回路が過電圧を検出して電流Ｉｍの出力を停止する結果、基準値よりも小さい（または、０Ａの）電流値が電源部１３の電流検出部によって検出される。また、各スイッチが正常に作動せずに、各入力部１４１同士が短絡していないとき（各入力部１４１がオープン状態のとき）には、周囲のノイズ等の影響を受けて、例えば、数Ｖ程度の電圧が電圧検出部１４によって検出される。
【００３６】
このため、第１プローブ１１および第２プローブ１２が短絡していない状態において第１短絡処理を実行しているときに検出された電流値と基準値とを比較して検出された電流値が基準値よりも小さいときには各スイッチが正常に作動しておらず、検出された電流値が基準値以上のときには、各スイッチが正常に作動しているとの判定をすることができる。また、非接触状態において第２短絡処理を実行しているときに検出された電圧値と基準値とを比較して検出された電圧値が基準値よりも大きいときには各スイッチが正常に作動しておらず、検出された電圧値が基準値以下のときには、各スイッチが正常に作動しているとの判定をすることができる。なお、制御部１６は、第１短絡処理を実行しているときに、各出力部１３１がオープン状態のときには各出力部１３１間の電圧が上昇することに基づいて、各出力部１３１間の電圧を監視して、予め決められた電圧の基準値以上の電圧値を検出したときに各スイッチが正常に作動しておらず、検出された電圧値が基準値以下のときには、各スイッチが正常に作動しているとの判定をすることもできる。
【００３７】
次いで、制御部１６は、次の判定対象のスイッチとして、図３に示すスイッチ３１ｂ，３２ｂ，３３ｂ，３４ｂおよびモード切替スイッチ２３ａ，２３ｂを選択して、短絡処理を実行する。この場合、制御部１６は、同図に破線で示すように、電源部１３の高電位側出力部１３１ａと低電位側出力部１３１ｂとが短絡するように各スイッチ３１ｂ，３２ｂ，２３ａ，２３ｂを動作させ、同図に一点鎖線で示すように、電圧検出部１４の高電位側入力部１４１ａと低電位側入力部１４１ｂとが短絡するように各スイッチ３３ｂ，３４ｂを動作させる。続いて、制御部１６は、この状態において検出された電流値と基準値とを比較すると共に検出された電圧値と基準値とを比較して、各スイッチの良否を判定する。
【００３８】
次いで、制御部１６は、次の判定対象のスイッチとして、図４に示すスイッチ３１ｃ，３２ｃ，３３ｃ，３４ｃおよびモード切替スイッチ２３ａ，２３ｂを選択して、上記した短絡処理と同様にして短絡処理を実行し、同図に破線および一点鎖線で示すように、電源部１３の各出力部１３１を短絡させると共に電圧検出部１４の各入力部１４１を短絡させる。続いて、制御部１６は、この状態において検出された電流値と基準値とを比較すると共に検出された電圧値と基準値とを比較して、各スイッチの良否を判定する。次いで、制御部１６は、次の判定対象のスイッチとして、図５に示すスイッチ３１ｄ，３２ｄ，３３ｄ，３４ｄおよびモード切替スイッチ２３ａ，２３ｂを選択して、上記した短絡処理と同様にして短絡処理を実行し、同図に破線および一点鎖線で示すように、電源部１３の各出力部１３１を短絡させると共に電圧検出部１４の各入力部１４１を短絡させる。続いて、制御部１６は、この状態において検出された電流値と基準値とを比較すると共に検出された電圧値と基準値とを比較して、各スイッチの良否を判定する。
【００３９】
以上により、各スイッチ３１〜３４，２３についての良否判定が終了する。次いで、制御部１６は、判定結果を図外の表示部に表示させて、判定処理を終了する。この場合、いずれかのスイッチが正常に作動していないときには、測定者は、素子１０１の測定開始に先立って判定処理を行うことで、事前にその旨を知ることができるため、スイッチが正常に作動していないことに起因して誤った（不正確な）測定がされる事態を確実に回避することが可能となる。
【００４０】
続いて、判定処理の結果、各スイッチが正常に作動しているときには、各素子１０１の測定を実行する。具体的には、図６に示すように、素子１０１ａ〜１０１ｃの各端子１１１に第１プローブ１１および第２プローブ１２を１つずつ接触させる。この場合、同図に示すように、素子１０１ａ，１０１ｂにおける互いに接続された隣接する２つの端子１１１および素子１０１ｂ，１０１ｃにおける互いに接続された隣接する２つの端子１１１については、接続された２つの端子１１１に対して１つの第１プローブ１１および１つの第２プローブ１２をそれぞれ接触させる。
【００４１】
次いで、図外の操作部を操作して、測定モードとして、例えば第１測定モード（４端子法で抵抗値Ｒｓを測定するモード）を選択し、続いて、操作部を操作して、測定処理の開始を指示する。これに応じて、制御部１６が測定処理を実行する。この測定処理では、制御部１６は、各素子１０１ａ〜１０１ｃの中から、抵抗値Ｒｓの測定を行う１つの素子１０１として、例えば図６に示す素子１０１ａを選択する。次いで、制御部１６は、接続処理を実行する。この接続処理では、制御部１６は、スイッチ３１，３２を制御して、素子１０１ａの各端子１１１に接触している第１プローブ１１を電源部１３における予め決められた出力部１３１に接続させると共に、スイッチ３３，３４を制御して、素子１０１ａの各端子１１１に接触している第２プローブ１２を電圧検出部１４における予め決められた入力部１４１に接続させる。
【００４２】
ここで、この例では、上記したように、図６における上側から下側に向けて各素子１０１に電流Ｉｍを流して測定を行うように予め決められている。つまり、各素子１０１における上側の端子１１１に接触している第１プローブ１１を電源部１３の高電位側出力部１３１ａに接続させ、各素子１０１における下側の端子１１１に接触している第１プローブ１１を電源部１３の低電位側出力部１３１ｂに接続するように予め決められている。このため、制御部１６は、同図に破線で示すように、スイッチ３１ａ，３２ａを制御して第１プローブ１１ａを高電位側出力部１３１ａに接続させると共に、スイッチ３１ｂ，３２ｂを制御して第１プローブ１１ｂを低電位側出力部１３１ｂに接続させる。
【００４３】
また、この例では、電流Ｉｍを流す向きが上記のように予め決められているため、各素子１０１における上側の端子１１１に接触している第２プローブ１２を電圧検出部１４の高電位側入力部１４１ａに接続させ、各素子１０１における下側の端子１１１に接触している第２プローブ１２を電圧検出部１４の低電位側入力部１４１ｂに接続するように予め決められている。このため、制御部１６は、図６に一点鎖線で示すように、スイッチ３３ａ，３４ａを制御して第２プローブ１２ａを高電位側入力部１４１ａに接続させると共に、スイッチ３３ｂ，３４ｂを制御して第２プローブ１２ｂを低電位側入力部１４１ｂに接続させる。
【００４４】
また、この例では、測定モードとして第１測定モードが選択されている。このため、制御部１６は、モード切替スイッチ２３ａ，２３ｂを制御して、第１接続形態（第１測定モード用の接続形態）に切り替えさせる。具体的には、図６に示すように、第１プローブ１１ａ，１１ｂを電源部１３の高電位側出力部１３１ａおよび低電位側出力部１３１ｂにそれぞれ接続させると共に、第２プローブ１２ａ，１２ｂと電源部１３（電源部１３の各出力部１３１）とを非接続状態とさせることで第２プローブ１２ａ，１２ｂを電圧検出部１４の高電位側入力部１４１ａおよび低電位側入力部１４１ｂにそれぞれ接続させる。
【００４５】
続いて、電源部１３から出力される電流Ｉｍが、第１プローブ１１ａ，１１ｂを介して素子１０１ａの各端子１１１に供給される。また、電圧検出部１４が、電流Ｉｍの供給によって素子１０１ａの各端子１１１間に生じる電圧Ｖｍを第２プローブ１２ａ，１２ｂを介して入力して検出する。
【００４６】
次いで、制御部１６は、電源部１３から出力される電流Ｉｍの値と、電圧検出部１４によって検出された電圧Ｖｍの値とに基づいて素子１０１ａの抵抗値Ｒｓを測定する。続いて、制御部１６は、測定した抵抗値Ｒｓを図外の表示部に表示させる。
【００４７】
次いで、制御部１６は、抵抗値Ｒｓの測定を行う次の１つの素子１０１として、例えば図７に示す素子１０１ｂを選択して、接続処理を実行する。この場合、電流Ｉｍを流す向きが上記のように予め決められているため、制御部１６は、同図に破線で示すように、スイッチ３１ｂ，３２ｂを制御して第１プローブ１１ｂを高電位側出力部１３１ａに接続させると共に、スイッチ３１ｃ，３２ｃを制御して第１プローブ１１ｃを低電位側出力部１３１ｂに接続させる。
【００４８】
また、制御部１６は、図７に一点鎖線で示すように、スイッチ３３ｂ，３４ｂを制御して第２プローブ１２ｂを高電位側入力部１４１ａに接続させると共に、スイッチ３３ｃをオフ状態とし、スイッチ３４ｃをオン状態とするようにスイッチ３３ｃ，３４ｃを制御して第２プローブ１２ｃを低電位側入力部１４１ｂに接続させる。また、制御部１６は、第１測定モードが選択されているため、モード切替スイッチ２３ａ，２３ｂに対して第１接続形態を維持させる。
【００４９】
続いて、制御部１６は、電源部１３から出力される電流Ｉｍの値と、電圧検出部１４によって検出された電圧Ｖｍの値とに基づいて素子１０１ｂの抵抗値Ｒｓを測定する。次いで、制御部１６は、測定した抵抗値Ｒｓを図外の表示部に表示させる。
【００５０】
ここで、この測定装置１および測定方法では、電源部１３と第１プローブ１１との接続および非接続を切り替える第１切替部２１が２つのスイッチ３１，３２を備えて構成され、電圧検出部１４と第２プローブ１２との接続および非接続を切り替える第２切替部２２が２つのスイッチ３３，３４を備えて構成されている。このため、この測定装置１および測定方法では、上記した例のように、測定用の電流Ｉｍを流す向きが予め決められている場合において、素子１０１ａを測定する際に低電位側出力部１３１ｂに接続させた第１プローブ１１ｂを（図６参照）、素子１０１ｂを測定する際に高電位側出力部１３１ａに接続させたり（図７参照）、素子１０１ａを測定する際に低電位側入力部１４１ｂに接続させた第２プローブ１２ｂを（図６参照）、素子１０１ｂを測定する際に高電位側入力部１４１ａに接続させたりすることができる（図７参照）。この場合、従来の構成および方法では、測定用の電流Ｉｍを流す向きが予め決められているときには、各素子１０１の端子１１１毎に１つの第１プローブ１１と１つの第２プローブ１２を必要とするため、２つの素子１０１における隣接する２つの端子１１１が接続されているときには、２つの第１プローブ１１と２つの第２プローブ１２とをこの部分に接触させる必要がある。これに対して、この測定装置１および測定方法では、上記の第１切替部２１および第２切替部２２を用いることにより、２つの素子１０１における互いに接続された隣接する２つの端子１１１に対して１つの第１プローブ１１および１つの第２プローブ１２を接触させて（つまり、１つの第１プローブ１１および１つの第２プローブ１２を兼用して用いて）測定を行うことが可能となっている。
【００５１】
続いて、制御部１６は、抵抗値Ｒｓの測定を行う次の１つの素子１０１として、図８に示す素子１０１ｃを選択して、接続処理を実行する。この場合、電流Ｉｍを流す向きが上記のように予め決められているため、制御部１６は、同図に破線で示すように、スイッチ３１ｃ，３２ｃを制御して第１プローブ１１ｃを高電位側出力部１３１ａに接続させると共に、スイッチ３１ｄ，３２ｄを制御して第１プローブ１１ｄを低電位側出力部１３１ｂに接続させる。
【００５２】
また、制御部１６は、図８に一点鎖線で示すように、スイッチ３３ｃ，３４ｃを制御して第２プローブ１２ｃを高電位側入力部１４１ａに接続させると共に、スイッチ３３ｄ，３４ｄを制御して第２プローブ１２ｄを低電位側入力部１４１ｂに接続させる。また、制御部１６は、第１測定モードが選択されているため、モード切替スイッチ２３ａ，２３ｂに対して第１接続形態を維持させる。
【００５３】
次いで、制御部１６は、電源部１３から出力される電流Ｉｍの値と、電圧検出部１４によって検出された電圧Ｖｍの値とに基づいて素子１０１ｃの抵抗値Ｒｓを測定する。続いて、制御部１６は、測定した抵抗値Ｒｓを図外の表示部に表示させる。以上により、測定処理が終了する。
【００５４】
一方、測定モードとして、第２測定モード（２端子法で抵抗値Ｒｓを測定するモード）を選択したときには、制御部１６が、接続処理においてモード切替スイッチ２３ａ，２３ｂを制御して、第２接続形態（第２測定モード用の接続形態）に切り替えさせる。具体的には、素子１０１ａの抵抗値Ｒｓを測定する際には、制御部１６は、モード切替スイッチ２３ａ，２３ｂを制御して、図９に破線および一点鎖線で示すように、第２プローブ１２ａを電源部１３の高電位側出力部１３１ａおよび電圧検出部１４の高電位側入力部１４１ａの双方に接続させ、第２プローブ１２ｂを電源部１３の高電位側出力部１３１ａおよび電圧検出部１４の高電位側入力部１４１ａの双方に接続させる。また、２つの第１プローブ１１ａ，１１ｂは、電源部１３および電圧検出部１４のいずれにも接続しない状態とする。つまり、第１プローブ１１および第２プローブ１２の一方のみ（この例では、第２プローブ１２のみ）を電源部１３および電圧検出部１４の双方に接続させる。
【００５５】
次いで、素子１０１ｂの抵抗値Ｒｓを測定する際には、制御部１６は、モード切替スイッチ２３ａ，２３ｂを制御して第２接続形態を維持させると共に、接続処理を実行して、図１０に破線および一点鎖線で示すように、第２プローブ１２ｂを電源部１３の高電位側出力部１３１ａおよび電圧検出部１４の高電位側入力部１４１ａの双方に接続させ、第２プローブ１２ｃを電源部１３の高電位側出力部１３１ａおよび電圧検出部１４の高電位側入力部１４１ａの双方に接続させる。
【００５６】
上記したように、この第２接続形態においても、第１切替部２１が２つのスイッチ３１，３２を備えて構成され、第２切替部２２が２つのスイッチ３３，３４を備えて構成されているため、測定用の電流Ｉｍを流す向きが予め決められている場合において、素子１０１ａの測定の際に低電位側出力部１３１ｂおよび低電位側入力部１４１ｂに接続させた第２プローブ１２ｂを（図９参照）、素子１０１ｂの測定の際には、高電位側出力部１３１ａおよび高電位側入力部１４１ａに接続させることができる（図１０参照）。このため、この場合においても、２つの素子１０１における互いに接続された隣接する２つの端子１１１に対して１つの第２プローブ１２を接触させて（つまり、１つの第２プローブ１２を兼用して用いて）測定を行うことが可能となっている。
【００５７】
続いて、素子１０１ｃの抵抗値Ｒｓを測定する際には、制御部１６は、同様にして、モード切替スイッチ２３ａ，２３ｂを制御して第２接続形態を維持させると共に、接続処理を実行して、第２プローブ１２ｃを電源部１３の高電位側出力部１３１ａおよび電圧検出部１４の高電位側入力部１４１ａの双方に接続させ、第２プローブ１２ｄを電源部１３の高電位側出力部１３１ａおよび電圧検出部１４の高電位側入力部１４１ａの双方に接続させる。
【００５８】
このように、この測定装置１および測定方法では、２つのスイッチ３１，３２を備えて電源部１３と第１プローブ１１との接続および非接続を切り替える第１切替部２１と、２つのスイッチ３３，３４を備えて電圧検出部１４と第２プローブ１２との接続および非接続を切り替える第２切替部２２とを用いて接続処理を実行する。このため、この測定装置１および測定方法によれば、測定用の電流Ｉｍを流す向きが予め決められている場合において、１つの素子１０１を測定する際に低電位側出力部１３１ｂに接続させた第１プローブ１１ｂを、隣接する他の素子１０１を測定する際に高電位側出力部１３１ａに接続させたり、１つの素子１０１を測定する際に低電位側入力部１４１ｂに接続させた第２プローブ１２ｂを、隣接する他の素子１０１を測定する際に高電位側入力部１４１ａに接続させたりすることができる。したがって、この測定装置１および測定方法によれば、２つの素子１０１における互いに接続された隣接する２つの端子１１１に対して１つの第１プローブ１１および１つの第２プローブ１２を接触させて（１つの第１プローブ１１および１つの第２プローブ１２を兼用して用いて）測定を行うことができるため、複数の素子１０１に対する測定を行う際に用いるプローブ１１，１２の数を十分に低減することができる。この結果、この測定装置１および測定方法によれば、複数の素子１０１の端子１１１同士が近接している場合においても、各プローブ１１，１２を容易に接触させることができる。また、プローブ１１，１２の数を十分に低減することができるため、その分コストを低減させることができる。
【００５９】
また、この測定装置１および測定方法では、モード切替スイッチ２３ａ，２３ｂを制御して、第１プローブ１１を電源部１３（出力部１３１）に接続させると共に第２プローブ１２を電圧検出部１４（入力部１４１）に接続させる第１測定モード用（４端子法による測定用）の接続形態と、第１プローブ１１および第２プローブ１２のいずれか一方のみを電源部１３および電圧検出部１４の双方に接続させる第２測定モード用（２端子法による測定用）の接続形態とを切り替える。このため、この測定装置１および測定方法によれば、第１測定モードおよび第２測定モードのいずれの測定モードにおいても、少ない数のプローブ１１，１２で数多くの素子１０１に対する測定を行うことができる。
【００６０】
また、この測定装置１および測定方法では、第１プローブ１１および第２プローブ１２が短絡していない状態において電源部１３の２つの出力部１３１が短絡するように各スイッチを動作させる第１短絡処理を実行しているときに検出された第２物理量（電流値および電圧値の少なくとも一方、本例では電流値）と予め決められた第２物理量の基準値とを比較して各スイッチの良否を判定する。このため、この測定装置１および測定方法によれば、測定対象の測定開始に先立って判定処理を行うことで、各スイッチのうちの電源部１３の２つの出力部１３１を短絡させる際に用いるいずれかのスイッチが正常に作動していないときには、事前にその旨を知ることができるため、そのスイッチが正常に作動していないことに起因して誤った（不正確な）測定がされる事態を確実に回避することができる。また、この測定装置１では、２つのスイッチ３１，３２を備えて第１切替部２１を構成し、２つのスイッチ３３，３４を備えて第２切替部２２を構成したことにより、短絡専用のスイッチを用いることなく、これらの各スイッチ３１〜３４をオン／オフさせることで第１短絡処理を実行することができる。このため、短絡専用のスイッチを用いる構成および方法と比較して、スキャナユニット１５の構成を簡略化することができる。
【００６１】
また、この測定装置１および測定方法では、第１プローブ１１および第２プローブ１２が短絡していない状態において電圧検出部１４の２つの入力部１４１が短絡するように各スイッチを動作させる第２短絡処理を実行しているときに検出された第３物理量（電圧値）と予め決められた第３物理量の基準値とを比較して各スイッチの良否を判定する判定処理を実行する。このため、この測定装置１および測定方法によれば、測定対象の測定開始に先立って判定処理を行うことで、各スイッチのうちの電圧検出部１４の２つの入力部１４１を短絡させる際に用いるいずれかのスイッチが正常に作動していないときには、事前にその旨を知ることができるため、そのスイッチが正常に作動していないことに起因して誤った（不正確な）測定がされる事態を確実に回避することができる。また、また、この測定装置１では、２つのスイッチ３１，３２を備えて第１切替部２１を構成し、２つのスイッチ３３，３４を備えて第２切替部２２を構成したことにより、短絡専用のスイッチを用いることなく、これらの各スイッチ３１〜３４をオン／オフさせることで第２短絡処理を実行することができる。このため、短絡専用のスイッチを用いる構成および方法と比較して、スキャナユニット１５の構成を簡略化することができる。
【００６２】
なお、測定装置および測定方法は、上記の構成および方法に限定されない。例えば、第１プローブ１１、第２プローブ１２、第１切替部２１および第２切替部２２をそれぞれ４つ用いる構成および方法について上記したが、これらの数は一例であって、測定対象の数に応じて任意に増減することができる。
【００６３】
また、第２接続形態において、第２プローブ１２のみを電源部１３および電圧検出部１４の双方に接続させる構成および方法について上記したが、第２接続形態において、第１プローブ１１のみを電源部１３および電圧検出部１４の双方に接続させる構成および方法を採用することもできる。
【００６４】
また、第１測定モード（４端子法で第１物理量を測定するモード）と第２測定モード（２端子法で第１物理量を測定する）とを切り替えて選択可能な構成および方法について上記したが、これらのモードのいずれか一方のみでの測定が可能な構成および方法を採用することもできる。この場合、この構成および方法では、モード切替スイッチ２３ａ，２３ｂを省略することができる。
【００６５】
また、第１物理量として抵抗値Ｒｓを測定する例について上記したが、他の第１物理量（例えば、電圧値）を測定する構成および方法に適用することができるのは勿論である。
【符号の説明】
【００６６】
１  測定装置
１１ａ〜１１ｄ  第１プローブ
１２ａ〜１２ｄ  第２プローブ
１３  電源部
１４  電圧検出部
１５  スキャナユニット
１６  制御部
２１ａ〜２１ｃ  第１切替部
２２ａ〜２２ｃ  第２切替部
２３ａ，２３ｂ  モード切替スイッチ
３１ａ〜３１ｃ，３２ａ〜３２ｃ，３３ａ〜３３ｃ，３４ａ〜３４ｃ  スイッチ
１０１ａ〜１０１ｃ  素子
１１１  端子
１３１ａ  高電位側出力部
１３１ｂ  低電位側出力部
１４１ａ  高電位側入力部
１４１ｂ  低電位側入力部
Ｉｍ  電流
Ｖｍ  電圧
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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