(57)【要約】【課題】１回の解除操作で、基板収容器の蓋のロック係合をロック解除することができる蓋ロック解除用治具およびそれを備えた蓋開放装置を提供すること。【解決手段】ロック係合片を複数個有する基板収容器の蓋を開放するための蓋ロック解除用治具１は、本体枠３と、略四角環状のピン枠４と、本体枠３およびピン枠４の相対位置を互いに離反する位置に向けて弾性的に押圧する押圧部材５とを含む。ピン枠４において、ロック係合片の押圧部位を押圧するための第１ピン７が、複数のロック係合片の数と同数設けられている。複数の第１ピン７は、複数の押圧部位６７と同じ位置関係を有している。【選択図】図４
2014197593.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
収容器本体にロック係合するロック係合片を複数個有する、基板収容器の蓋を開放するための蓋ロック解除用治具であって、
各ロック係合片は、所定の押圧部位を押圧することによりロック係合が解除されるようになっており、
前記ロック係合片の前記押圧部位を押圧するための第１ピンを、複数の前記ロック係合片の数と同数、かつ複数の前記押圧部位と同じ位置関係をなして有するピン部材を含み、
各第１ピンが、対応するロック係合片の押圧部位に位置合わせされた状態で、前記ピン部材を前記蓋に向けて押し付けることにより、全ての前記第１ピンに関し、当該第１ピンが、対応する前記ロック係合片の前記押圧部位を押圧する、蓋ロック解除用治具。
【請求項２】
前記ピン部材の前記蓋に対する押付け動作に伴って、前記蓋に係合して、当該蓋を掴む蓋掴み手段をさらに含む、請求項１に記載の蓋ロック解除用治具。
【請求項３】
前記蓋掴み手段は、前記蓋に係合可能な係合片と、前記ピン部材に設けられ、当該ピン部材の前記蓋に対する押付け動作に伴って前記係合片と係合する第２ピンとを有し、
前記係合片は、前記第２ピンとの係合によって姿勢変更して前記蓋に係合する、請求項２に記載の蓋ロック解除用治具。
【請求項４】
前記蓋掴み手段を、前記蓋に係合した状態にロックする係合ロック手段をさらに含む、請求項２または３に記載の蓋ロック解除用治具。
【請求項５】
前記蓋および前記収容器本体の少なくとも一方と当接して、各第１ピンを、対応する前記ロック係合片の前記押圧部位を押圧可能に位置合わせする位置合わせ部をさらに含む、請求項１〜４のいずれか一項に記載の蓋ロック解除用治具。
【請求項６】
前記ピン部材および前記蓋掴み手段の相対位置が、前記ピン部材と前記蓋掴み手段とが離反する第１位置と、前記ピン部材と前記蓋掴み手段とが接近する第２位置とに変位可能に設けられており、
前記ピン部材を、前記第１の位置に向けて弾性的に押圧する押圧手段をさらに含む、請求項１〜５のいずれか一項に記載の蓋ロック解除用治具。
【請求項７】
収容器本体にロック係合するロック係合片を複数個有する、基板収容器の蓋を開放するための蓋開放装置であって、
各ロック係合片は、所定の押圧部位を押圧することによりロック係合が解除されるようになっており、
請求項２〜６のいずれか一項に記載の前記蓋ロック解除用治具と、
前記蓋ロック解除用治具を移動させるための移動手段と、
前記移動手段を制御して、全ての前記第１ピンに関し、当該第１ピンが対応する前記ロック係合片の前記押圧部位を押圧するように、前記ピン部材を前記蓋に向けて押し付ける押し付け制御手段とを含む、蓋開放装置。
【請求項８】
前記基板収容器を載置するための載置面を有する収容器載置テーブルをさらに含む、請求項７に記載の蓋開放装置。
【請求項９】
前記載置面は、所定の鉛直軸線まわりに回転自在に設けられている、請求項８に記載の蓋開放装置。
【請求項１０】
前記載置面の回転可能な範囲を、所定の角度範囲に規制する回転範囲規制手段をさらに含む、請求項８または９に記載の蓋開放装置。
【請求項１１】
前記載置面は、載置される前記基板収容器を、鉛直方向に対し傾斜する傾斜線に垂直な傾斜姿勢に支持するものであり、
前記治具移動手段は、前記蓋ロック解除用治具を、前記傾斜線に沿う方向に移動させる、請求項８〜１０のいずれか一項に記載の蓋開放装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、基板収容器の蓋をロック開放するための蓋ロック解除用治具、およびそれを備えた蓋開放装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体基板等の基板を搬送するために、基板を密閉した状態で収容するＦＯＳＢ（Front Opening Shipping Box）が用いられる。ＦＯＳＢには、未処理の基板が積層状態で収容される。ＦＯＳＢは、前面に基板出口を有する略正方形状の収容器本体と、基板出口を開閉するための蓋とを含む。
ＦＯＳＢの蓋の前面には、収容器本体とロック係合するためのロック係合片が複数個設けられている。これら複数のロック係合片が収容器本体にロック係合することにより、収容器本体に対する蓋の固定が達成される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−２８０４４５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ロードポートのソータは、ＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）の蓋を開放するためのものである。ロードポートのソータを用いてＦＯＳＢの蓋を開けることはできないので、ＦＯＳＢ内から基板を取り出すために、別途、ＦＯＳＢの蓋を開放させる必要がある。
ＦＯＳＢの蓋の開放は、作業者の手作業によって行われる。この場合、作業者は、手作業で蓋をロック解除させ、かつロック解除後の蓋を取り外す。
【０００５】
蓋をロック解除させるためには、全てのロック係合片のロック係合を解除させなければならない。そのため、ロック係合片が互いに離反した位置に配置されていると、全てのロック係合片のロック係合を一回の解除操作で解除することができず、ロック係合の解除操作が複数回に分けて順次に行われる。
しかしながら、手作業によるロック解除では、ロック係合の解除操作を複数回に分ける必要があるため、当該解除操作中においてロック状態にあるロック係合片とロック解除状態にあるロック係合片とが混在する。そのため、ロック解除操作に習熟していない者が操作すると、誤って蓋が開き、その結果、基板収容器に収容されている基板が破損するおそれがある。
【０００６】
そこで、この発明の目的は、１回の解除操作で、基板収容器の蓋のロック係合をロック解除することができる蓋ロック解除用治具およびそれを備えた蓋開放装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記の目的を達成するための請求項１に記載の発明は、収容器本体（５３）にロック係合するロック係合片（５９）を複数個有する、基板収容器（Ｃ）の蓋（５４）を開放するための蓋ロック解除用治具（１）であって、各ロック係合片は、所定の押圧部位（６７）が押圧されることによりロック係合を解除されるようになっており、前記ロック係合片の前記押圧部位を押圧するための第１ピン（７）を、複数の前記ロック係合片の数と同数、かつ複数の前記押圧部位と同じ位置関係をなして有するピン部材（４）を含み、各第１ピンが、対応するロック係合片の押圧部位に位置合わせされた状態で、前記ピン部材を前記蓋に向けて押し付けることにより、全ての前記第１ピンに関し、当該第１ピンが、対応する前記ロック係合片の前記押圧部位を押圧する、蓋ロック解除用治具である。
【０００８】
なお、この項において、括弧内の英数字等は、後述の実施形態における対応構成要素の参照符合を表すものであるが、これらの参照符号により特許請求の範囲を実施形態に限定する趣旨ではない。
この構成によれば、蓋ロック解除用治具のピン部材は、ロック係合片と同数の第１ピンを有している。これら複数の第１ピンは、複数のロック係合片と同じ位置関係を有している。各第１ピンが、対応するロック係合片の押圧部位に位置合わせされた状態で、蓋ロック解除用治具のピン部材を蓋に向けて押し付けることにより、全ての第１ピンに関し、各第１ピンが、対応するロック係合片の押圧部位を押圧する。その結果、全てのロック係合片のロック係合が一括して解除される。このような蓋ロック解除用治具を用いることにより、１回の解除操作で、基板収容器の蓋をロック解除することができる。
【０００９】
請求項２に記載の発明は、前記ピン部材の前記蓋に対する押付け動作に伴って、前記蓋に係合して、当該蓋を掴む蓋掴み手段（８，１５）をさらに含む、請求項１に記載の蓋ロック解除用治具である。
この構成によれば、ピン部材の蓋に対する押付けに伴って、蓋掴み手段が蓋に係合し、当該蓋を掴む。すなわち、ロック係合の解除操作に伴って、蓋ロック解除用治具に蓋を保持させることができる。その結果、ロック解除後の蓋を持ち上げることも可能であり、この場合、蓋ロック解除用治具を用いて蓋を開けることができる。
【００１０】
請求項３に記載の発明は、前記蓋掴み手段は、前記蓋に係合可能な係合片（１５）と、前記ピン部材に設けられ、当該ピン部材の前記蓋に対する押付け動作に伴って前記係合片と係合する第２ピン（８）とを有し、前記係合片は、前記第２ピンとの係合によって姿勢変更して前記蓋に係合する、請求項２に記載の蓋ロック解除用治具である。
この構成によれば、ピン部材の蓋に対する押付けに伴って、第２ピンが係合片に係合する。第２ピンと係合片との係合により、当該係合片が姿勢変形し、姿勢変形後の係合片が蓋に係合する。これにより、蓋掴み手段を、簡単な構造で実現することができる。
【００１１】
請求項４に記載の発明は、前記蓋掴み手段を、前記蓋に係合した状態にロックする係合ロック手段（２０）をさらに含む、請求項２または３に記載の蓋ロック解除用治具である。
この構成によれば、係合ロック手段により、蓋掴み手段が蓋に係合された状態にロックされる。そのため、蓋ロック解除用治具を蓋から取り外した後も、蓋掴み手段と蓋との係合を維持することができる。これにより、ロック解除後の蓋を持ち上げることができる。
【００１２】
この構成によれば、蓋掴み手段が蓋に係合された状態にロックされるので、蓋ロック解除用治具を、蓋から離反するように移動させた後も、係合片と蓋との係合が維持される。これにより、蓋ロック解除用治具を蓋から離反するように移動させることにより、ロック解除後の蓋を持ち上げることができ、ゆえに、蓋ロック解除用治具を用いて蓋を開けることができる。
【００１３】
請求項５に記載の発明は、前記蓋および前記収容器本体の少なくとも一方と当接して、各第１ピンを、対応する前記ロック係合片の前記押圧部位を押圧可能に位置合わせする位置合わせ部（１２）をさらに含む、請求項１〜４のいずれか一項に記載の蓋ロック解除用治具である。
この構成によれば、蓋ロック解除用治具の位置合わせ部を、蓋および収容器本体の少なくとも一方と当接させるだけで、各第１ピンを、対応するロック係合片の押圧部位に位置合わせすることができる。そのため、このような位置合わせを容易に行うことができる。
【００１４】
請求項５に記載の発明が請求項２に記載の発明と組み合わされる場合には、前記蓋掴み手段と前記位置合わせ部とは、一体移動可能に設けられていることが望ましい。
請求項６に記載の発明は、前記ピン部材および前記蓋掴み手段の相対位置が、前記ピン部材と前記蓋掴み手段とが離反する第１位置と、前記ピン部材と前記蓋掴み手段とが接近する第２位置とに変位可能に設けられており、前記ピン部材を、前記第１の位置に向けて弾性的に押圧する押圧手段（５）をさらに含む、請求項１〜５のいずれか一項に記載の蓋ロック解除用治具である。
【００１５】
この構成によれば、蓋ロック解除用治具の非使用時には、ピン部材および蓋掴み手段が、互いに離反する第１位置に位置している。そして、また、蓋のロック状態を解除するためにピン部材を蓋に押し付けると、ピン部材および蓋掴み手段が、押圧手段の弾性押圧力に抗って接近して、ピン部材および蓋掴み手段が、互いに接近する第１位置に位置するようになる。
【００１６】
前記の目的を達成するための請求項７に記載の発明は、収容器本体（５３）にロック係合するロック係合片（５９）を複数個有する、基板収容器（Ｃ）の蓋（５４）を開放するための蓋開放装置（２０１；３０１；４０１）であって、各ロック係合片は、所定の押圧部位を押圧することによりロック係合が解除されるようになっており、請求項２〜６のいずれか一項に記載の前記蓋ロック解除用治具（１）と、前記蓋ロック解除用治具を移動させるための移動手段（２０５；３０５；４０５）と、前記移動手段を制御して、全ての前記第１ピンに関し、当該第１ピンが対応する前記ロック係合片の前記押圧部位を押圧するように、前記ピン部材を前記蓋に向けて押し付ける押し付け制御手段（２０７；３０７；４０７）とを含む、蓋開放装置である。
【００１７】
この構成によれば、ピン部材が蓋に向けて押し付けられる。このような押し付けにより、全ての第１ピンに関し、各第１ピンを、対応するロック係合片の押圧部位を押圧させることができる。ゆえに、複数のロック係合片の全てのロック係合を、一括して解除することができる。
また、ピン部材の蓋に対する押付けに伴って、蓋掴み手段が蓋に係合し、当該蓋を掴む。すなわち、ロック係合の解除操作に伴って、蓋ロック解除用治具に蓋を保持させることができる。この場合、蓋ロック解除用治具の基板収容器からの離反に伴って、ロック解除後の蓋が持ち上がり、その結果、蓋を開けることができる。
【００１８】
以上のように、蓋のロックを解除し、かつロック解除された蓋を持ち上げることにより、蓋を開放させることができる。これにより、蓋の開放動作を自動化することができる。
請求項８に記載のように、前記基板収容器を載置するための載置面（２０９；３０９；１０７）を有する収容器載置テーブル（２０２；３０２；１０１）をさらに含んでいてもよい。
【００１９】
また、請求項９に記載のように、前記載置面（１０７）は、所定の鉛直軸線（Ａ１）まわりに回転自在に設けられていてもよい。この構成によれば、載置面上に載置されている基板収容器を、鉛直軸線まわりに回転させることができる。基板収容器を鉛直軸線まわりに回転させることにより、平面視における、基板収容器の開口の態様を変化させることができる。たとえば、基板収容器を鉛直軸線まわりに１８０°回転させる場合には、基板収容器の開口の態様を反転させることができる。
【００２０】
そして、基板収容器に収容されている基板を表裏反転させる場合において、基板収容器の開口の態様を反転させれば、真空ピンセットなどの治具の向きを変えることなく、基板の表裏反転作業を行うことができる。したがって、作業者の技能によらずに、基板の表裏反転作業を良好に行うことができる。
この場合、請求項１０のように、前記載置面の回転可能な範囲を、所定の角度範囲に規制する回転範囲規制手段（１０６）をさらに含んでいてもよい。
【００２１】
また、請求項１１に示すように、前記載置面（１０７）は、載置される前記基板収容器を、鉛直方向に対し傾斜する傾斜線（Ｔ）に垂直な傾斜姿勢に支持するものであり、前記治具移動手段は、前記蓋ロック解除用治具を、前記傾斜線に沿う方向に移動させてもよい。この構成によれば、蓋ロック解除用治具を傾斜線に沿って移動させることにより、傾斜姿勢に支持された基板収容器の蓋を、良好に開放することができる。
【００２２】
基板収容器が傾斜姿勢に支持されているので、基板収容器に収容されている各基板に対し、横向きの力が作用し、各基板が当該横向きに寄る。そのため、基板収容器に積層状態で収容されている複数枚の基板が等間隔に揃う。その結果、真空ピンセットなどの治具を用いて基板収容器の基板を掴み易い。これにより、作業者が容易に、基板収容器から基板を取り出すことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の第１実施形態に係る蓋ロック解除用治具が適用された蓋開放用治具による開放される蓋を有する基板収容器の構成を、模式的に示す図である。
【図２】図１を矢視Ａから見た図である。
【図３Ａ】図１を切断面線Ｂ−Ｂから見た図である（その１）。
【図３Ｂ】図１を切断面線Ｂ−Ｂから見た図である（その２）
【図４】本発明の第１実施形態に係る蓋ロック解除用治具が適用された蓋開放用治具の構成を模式的に示す斜視図である。
【図５】本発明の第１実施形態に係る蓋ロック解除用治具が適用された蓋開放用治具の構成を模式的に示す平面図である。
【図６】本発明の第１実施形態に係る蓋ロック解除用治具が適用された蓋開放用治具の要部の構成を示す断面図である。
【図７Ａ】本発明の第１実施形態に係る蓋ロック解除用治具が適用された蓋開放用治具を用いて行う蓋の開放動作を示す図である（その１）。
【図７Ｂ】本発明の第１実施形態に係る蓋ロック解除用治具が適用された蓋開放用治具を用いて行う蓋の開放動作を示す図である（その２）。
【図７Ｃ】本発明の第１実施形態に係る蓋ロック解除用治具が適用された蓋開放用治具を用いて行う蓋の開放動作を示す図である（その３）。
【図８】基板収容器を載置するための収容器載置テーブルの構成を示す図である。
【図９】図８に示す収容器載置テーブルに基板収容器を載置させた状態を示す模式的な断面図である。
【図１０Ａ】収容器載置テーブルを用いた、基板の反転作業を説明するための図である（その１）。
【図１０Ｂ】収容器載置テーブルを用いた、基板の反転作業を説明するための図である（その２）。
【図１０Ｃ】収容器載置テーブルを用いた、基板の反転作業を説明するための図である（その３）。
【図１０Ｄ】収容器載置テーブルを用いた、基板の反転作業を説明するための図である（その４）。
【図１１Ａ】本発明の第２実施形態に係る蓋開放装置の構成を示す図である（その１）。
【図１１Ｂ】本発明の第２実施形態に係る蓋開放装置の構成を示す図である（その２）。
【図１１Ｃ】本発明の第２実施形態に係る蓋開放装置の構成を示す図である（その３）。
【図１１Ｄ】本発明の第２実施形態に係る蓋開放装置の構成を示す図である（その４）。
【図１２Ａ】本発明の第３実施形態に係る蓋開放装置の構成を示す図である（その１）。
【図１２Ｂ】本発明の第３実施形態に係る蓋開放装置の構成を示す図である（その２）。
【図１２Ｃ】本発明の第３実施形態に係る蓋開放装置の構成を示す図である（その３）。
【図１２Ｄ】本発明の第３実施形態に係る蓋開放装置の構成を示す図である（その４）。
【図１３Ａ】本発明の第４実施形態に係る蓋開放装置の構成を示す図である（その１）。
【図１３Ｂ】本発明の第４実施形態に係る蓋開放装置の構成を示す図である（その２）。
【図１３Ｃ】本発明の第４実施形態に係る蓋開放装置の構成を示す図である（その３）。
【図１３Ｄ】本発明の第４実施形態に係る蓋開放装置の構成を示す図である（その４）。
【図１３Ｅ】本発明の第４実施形態に係る蓋開放装置の構成を示す図である（その５）。
【図１３Ｆ】本発明の第４実施形態に係る蓋開放装置の構成を示す図である（その６）。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下では、この発明の実施の形態を、添付図面を参照して詳細に説明する。
図１は、本発明の第１実施形態に係る蓋ロック解除用治具が適用された蓋開放用治具１（図４等参照）によって、蓋５４が開放される基板収容器Ｃの構成を模式的に示す図である。図２は、図１を矢視Ａから見た図である。
基板収容器Ｃは、半導体ウエハ等の基板Ｗを密閉した状態で収容する容器である。基板収容器Ｃは、その内部空間に複数枚の基板Ｗを、多段に並置された支持棚５０（図１では、１つの段の支持棚５０のみを図示）を用いて、所定の積層間隔を隔てて積層状態で収容する。
【００２５】
基板収容器Ｃの一例として、ＦＯＳＢ（Front Opening Shipping Box）を挙げることができる。ＦＯＳＢは、専ら、半導体ウエハメーカから半導体装置メーカに、基板Ｗを納入するために用いられる。ＦＯＳＢは、未処理の複数枚の基板Ｗを収容し、これらの基板Ｗの清浄度を維持しつつ、基板Ｗへの損傷を防止する。
また、基板収容器Ｃの他の例として、ＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）を挙げることができる。ＦＯＵＰは専ら、半導体ウエハメーカの工場内で基板Ｗを搬送するために用いられる。そのため、基板収容器Ｃには、未処理の基板Ｗだけでなく、処理済みの基板Ｗも収容される。
【００２６】
基板収容器Ｃは、前面５１Ａに開口５２を有する有底箱状の収容器本体５３と、収容器本体５３の開口５２を開閉するための蓋５４（図１では、蓋５４の閉状態を示している）と、蓋５４を閉じ状態にロックするロック機構５５とを含む。開口５２を介して収容器本体５３の内部に対し、基板Ｗの出し入れが行われる。収容器本体５３および蓋５４は、それぞれ、たとえば塩ビ等の樹脂材料を用いて形成されている。収容器本体５３の外郭形状は、略正方形状である。収容器本体５３は、図１に示すように、前面５１Ａ側が底面５１Ｂ側に比べてやや大径を有していてもよい。
【００２７】
開口５２は、収容器本体５３の前面５１Ａに配置された四角環状の開口部５６によって区画されている。開口部５６の内周は、収容器本体５３の底面５１Ｂと垂直な方向に延びる平坦壁からなる開口壁５７を４つ有している。４つの開口壁５７は、平面視で正方形の各辺をなしており、それぞれ隣接する開口壁５７と直交している。開口部５６の内周の大きさおよび形状は、蓋５４の外周とほぼ整合するように設定されている。
【００２８】
蓋５４は略矩形板状をなしている。蓋５４の閉状態（開口５２を蓋５４によって閉じた状態）において、蓋５４の外周面５８が開口部５６内に嵌っており、換言すると、蓋５４の外周面５８が各開口壁５７に対向している。
図３Ａおよび図３Ｂは、図１を切断面線Ｂ−Ｂから見た図であり、ロック機構５５の構成を示す。図３Ａは、次に述べるロック係合片５９がロック係合している状態を示し、図３Ｂは、ロック係合片５９のロック係合が解除されている状態を示す。なお、図３Ａおよび図３Ｂでは、図示の関係上、蓋５４は、その一部分のみが描かれている（図７Ａ〜図７Ｃにおいて同じ）。
【００２９】
図３Ａおよび図３Ｂに示すように、収容器本体５３の開口部５６には、蓋５４（の少なくとも一部）と当接して、蓋５４を受け止め支持するための受け部６４が設けられている。図３Ａおよび図３に示すように、受け部６４は、開口部５６の全周にわたって設けられて、蓋５４の外端部の後面を接触支持する蓋支持部６８と、開口部５６において、蓋支持部６８よりも内方の複数位置に配置された受け側係合部６０とを含む。
【００３０】
ロック機構５５は複数設けられている。図２〜図３Ｂに示すように、この実施形態においては、複数のロック機構５５は、蓋５４の４つの側辺５４Ａ（図２参照）の両端部にそれぞれ１つずつ、合計８つ配置されている。換言すると、ロック機構５５は、蓋５４の四隅のそれぞれに一対（２つ）ずつ配置されている。
各ロック機構５５は、前述の受け側係合部６０と、受け側係合部６０にロック係合するロック係合片５９とを含む。ロック係合片５９は蓋５４の前面５４Ｂ（図１に示す上面）に配置されている。各ロック係合片５９は、蓋５４の対応する側辺５４Ａに平面視で直交姿勢に配置されており、対応する側辺側辺５４Ａに沿う回動軸６１まわりに回動可能に設けられている。
【００３１】
各ロック係合片５９の先端部（外端部）は、ロック係合片５９の先端から後方に向けて垂下し、蓋支持部６８の内側に入り込んだ折曲り部６２と、折曲り部６２の先端から内方に向けて折り曲げられて構成されたロック爪６３とを含む。
各受け側係合部６０は、受け部６４の内端縁から前方に向けて立ち上がる立上り部６５と、立上り部６５の先端縁（上端縁）から外方に向けて折り曲げられて構成された受け側爪６６とを含む。立上り部６５および受け側爪６６は、前述のように樹脂材料を用いて形成される収容器本体５３と一体的に形成されている。
【００３２】
ロック係合片５９において、先端側を後方（すなわち蓋５４側）に向けて押し込むことにより、ロック爪６３が受け側爪６６に当接した後、弾性変形して受け側爪６６よりも後方に入り込み、ロック爪６３と受け側爪６６とが抜止め状態で係合する。これにより、ロック係合片５９が蓋５４にロック係合される（図３Ａに示す状態）。
ロック係合片５９のロック係合の解除は、図３Ｂに示すように、ロック係合片５９の基端側に設定された押圧部位６７を、後方（すなわち蓋５４側）に向けて押し込むことで実現される。このような押圧により、ロック係合片５９の基端側に、後方に向かう押圧力が作用して、回動軸６１を中心としてロック係合片５９の先端側に、前方に向かう荷重が作用する。このような荷重により、受け側爪６６とロック係合するロック係合片５９が弾性変形し、ロック爪６３と受け側爪６６との係合が外れる。その結果、ロック係合片５９の蓋に対するロック係合が解除される（図３Ｂに示す状態）。換言すると、押圧部位６７が押圧されることにより、ロック係合片５９のロック係合が解除される。一旦ロック係合が解除されると、ロック係合片５９は、その解除状態のまま維持される。
【００３３】
蓋５４のロック解除は、作業者の手作業によって行うことができる。作業者は、基板収容器Ｃを、前面５１Ａが上方に向き、かつ前面５１Ａや底面５１Ｂ（前面５１Ａに対向する面）が水平になる姿勢（図１参照。以下、このような基板収容器Ｃの姿勢を、「上姿勢」という。）に載置する。そして、ロック係合片５９の押圧部位６７を、作業者の指で蓋５４側に向けて押し込む。ロック係合片５９の基端側に、後方に向かう押圧力が作用することにより、回動軸６１を中心としてロック係合片５９の先端側に、前方に向かう荷重が作用し、これにより、蓋５４のロック解除が実現される。全てのロック係合片５９が解除状態にされることにより、蓋５４がロック解除される。
【００３４】
蓋５４の四隅にそれぞれ一対のロック係合片５９が配置されているので、手作業による複数（たとえば８個）のロック係合片５９のロック解除操作は、一度には行えず、複数回に分けて順次に行う必要がある。ロック解除操作後には、作業者が収容器本体５３から蓋５４を手作業で外す。作業者は、開放された開口５２を介して収容器本体５３の内部に対し、基板Ｗを出し入れすることができる。
【００３５】
しかしながら、手作業によるロック解除操作では複数回に操作を分ける必要があるので、当該操作中においてロック状態にあるロック係合片５９とロック解除状態にあるロック係合片５９とが混在する。そのためロック解除操作に習熟していない者が操作すると、誤って蓋５４が開き、その結果、基板収容器Ｃに収容されている基板Ｗが破損するおそれがある。
【００３６】
そこで、本願発明の第１実施形態では、蓋５４のロックを解除し、かつロック解除された蓋５４を開放させることができる蓋開放用治具１を提供する。
図４は、蓋開放用治具１の構成を模式的に示す斜視図である。図５は、蓋開放用治具１の構成を模式的に示す平面図である。図６は、蓋開放用治具１の要部の構成を示す断面図である。図６は、図５を、切断面線Ｄ−Ｄで切断している。
【００３７】
蓋開放用治具１は、ロック機構５５（図２等参照）の個数と同数（この実施形態では、８つ）のロック解除／蓋掴み機構２を含む。次に述べる第１ピン７、第２ピン８、ガイド筒９および係合片１５はそれぞれ１対１対応されており、対応する第１ピン７、第２ピン８、ガイド筒９および係合片１５が、１組の解除／蓋掴み機構２を構成している。
また、蓋開放用治具１は、四角環状の本体枠３と、略四角環状のピン枠（ピン部材）４とを含む。本体枠３とピン枠４とは、上下方向の相対位置が、互いに離反する第１位置（図７Ａおよび図７Ｃに示す位置）と、互いに接近する第２位置（図７Ｂに示す位置）との間が変位可能に設けられている。また、本体枠３とピン枠４との間には、本体枠３およびピン枠４の相対位置を第１位置（互いに離反する位置）に向けて弾性的に押圧する押圧部材（押圧手段）５が介装されている。図６に示すように、押圧部材５として圧縮ねじりコイル等のばね部材が採用される。
【００３８】
蓋開放用治具１は、次に述べるピン枠本体６を水平姿勢にした状態で使用される。なお、以下の説明では、蓋開放用治具１の各部材の説明は、蓋開放用治具１の使用状態を基準とする。
ピン枠４は、水平に沿う略四角環板状のピン枠本体６と、ピン枠本体６の下面から鉛直下方に垂下する複数の第１ピン７と、ピン枠本体６の下面から鉛直下方に垂下する複数の第２ピン８と有している。ピン枠本体６、第１ピン７および第２ピン８は、樹脂材料を用いて一体に形成されている。
【００３９】
図５に示すように、第１ピン７および第２ピン８の本数は、それぞれロック機構５５の個数と同数（この実施形態では、８本）である。また、８個の第１ピン７の平面視の配置位置は、前面５４Ｂ（図１参照）に垂直な方向（図１に示す矢視Ａ方向）から見たときの８個の押圧部位６７の配置位置と同じ位置関係を有している（図２を併せて参照）。また、鉛直方向に関して、複数の第１ピン７の下端は互いに揃っている。
【００４０】
ピン枠本体６は、四角環状部６Ａと、四角環状部６Ａの外周の複数箇所からそれぞれ外方に向けて突出する複数の突出部６Ｂとを含む。四角環状部６Ａの平面視の外郭形状は、前面５４Ｂ（図１参照）に垂直な方向（図１に示す矢視Ａ方向）から見たときの蓋５４の形状のほぼ相似形である。四角環状部６Ａの平面視の外周の方が、蓋５４の外周よりも一回り小さい。各突出部６Ｂは第２ピン８を支持するために設けられており、第２ピン８と同数設けられている。
【００４１】
各第２ピン８は、対応する第１ピン７よりも水平方向の外方寄りに配置されている。互いに対応する第１および第２ピン７，８を結ぶ直線（たとえば切断面線Ｄ−Ｄ）は、当該第１ピン７が配置される四角環状部６Ａの直線部分の延びる方向と直交している。複数の第２ピン８の下端は互いに揃っている。
なお、第１および第２ピン７，８として、図５に示すように、断面矩形のピンを採用できるが、これに代えて、断面丸型のピンを採用してもよい。
【００４２】
本体枠３は、複数のガイド筒９と、ピン枠本体６の下面と対向しつつ、ピン枠本体６に水平姿勢な四角環板状の上壁部１０と、ピン枠本体６の外周端から鉛直下方に向けて垂下する四角板状の側壁部１１と、側壁部１１の下端から内方に向けて突出する位置合わせ壁部１２とを含む。
ガイド筒９は、第２ピン８の上下動をガイドするための筒状体であり、上壁部１０から上方に向けて立ち上がっている。複数のガイド筒９の個数は、第２ピン８の本数と同数（この実施形態では、８個）である。各ガイド筒９は、その内部を、第２ピン８が上下動可能に挿通している。ガイド筒９の形状は、第２ピン８の形状に応じて円筒状または四角状が採用されている。
【００４３】
図６に示す実施形態では、ガイド筒９の外周を取り囲むように、押圧部材５が配置されている。この実施形態では、押圧部材５が、本体枠３およびピン枠４を離反する方向に弾性的に押圧する役割だけでなく、本体枠３とピン枠４とを相互に連結する役割も担っている。なお、押圧部材５は、全てのガイド筒９に対応して設けてもよいし、全てではなく予め定めるガイド筒９のみに設けることもできる。
【００４４】
位置合わせ壁部１２の内端壁１３は、互いに直交する２対の鉛直面（合計４つの鉛直面）状をなしている。蓋開放用治具１が蓋５４（図１等参照）に被せられると、位置合わせ壁部１２の内端壁１３が、収容部本体５３の開口部５６の外周面５６Ａに当接する。
図６に示すように、本体枠３において、上壁部１０、側壁部１１、および位置合わせ壁部１２によって区画される空間１４には、各第２ピン８と係合するための係合片１５が配置されている。第２ピン８と係合片１５とによって、蓋５４（図１等参照）を掴むための蓋掴み手段が構成されている。係合片１５は、対応する第１ピン７が配置される四角環状部６Ａ（図４参照）の直線部分に沿う水平方向に延びる回動軸１９に回転自在に取り付けられている。第２回動軸１９は、回転軸支持部（図示しない）を介して上壁部１０または側壁部１１に取り付けられている。
【００４５】
係合片１５は、回動軸１９に直交する断面形状がクランク状をなしており、互いに平行な第１片１６および第２片１７と、第１片１６の内端と第２片１７の外端とを接続する第３片１８とを有している。第３片１８の一部が、第２回動軸１９によって支持されている。係合片１５の通常の状態において、第１片１６が、ガイド筒９を挿通する第２ピン８の下端と当接可能な位置に配置されている。
【００４６】
図７Ａ〜図７Ｃは、蓋開放用治具１を用いて行う蓋５４の開放動作を示す図である。
蓋開放用治具１を用いて行う蓋５４を開放する場合、まず、基板収容器Ｃを、水へ平坦面を有する収容器載置テーブル（図示しない）の上面に、図１に示すような上姿勢で載置する。
次いで、図７Ａに示すように、蓋開放用治具１を、蓋５４に上方から被せながら、本体枠３を蓋５４に当接させる。
【００４７】
具体的には、四角環状の本体枠３の内周に蓋５４を内嵌させる。蓋開放用治具１が蓋５４に被せられた状態では、位置合わせ壁部１２の内端壁１３が、収容部本体５３の開口部５６の外周面５６Ａに当接し、これにより、蓋開放用治具１の蓋５４に対する水平方向の位置合わせが行われる。その結果、各第１ピン７の対応する押圧部位６７に対する水平方向の位置合わせが行われ、具体的にはこの状態で、第１ピン７の下端がロック係合片５９の押圧部位６７に当接している。複数の第１ピン７が複数の押圧部位６７と同じ位置関係を有し、かつ複数の第１ピン７の下端が鉛直方向に関し互いに揃っているので、全ての第１ピン７に関し、各第１ピン７の下端が、対応するロック係合片５９の押圧部位６７に当接している。
【００４８】
次いで、作業者は、ピン枠４を掴みながら蓋開放用治具１を下方に向けて押し下げる。このとき、本体枠３が蓋５４に当接しているので、ピン枠４のみが押圧部材５の弾性押圧力（ばね力）に抗して下降する。ピン枠４の下降は、本体枠３とピン枠４との相対位置が第２位置（互いに接近する位置）になるまで続行される。
図７Ｂに示すように、ピン枠４の下降に伴って第１ピン７が下降する。下降する第１ピン７は、押圧部位６７を下方に向けて押圧する。これにより、ロック係合片５９のロック係合が解除される。複数の第１ピン７の下端が鉛直方向に関し互いに揃っているので、全ての第１ピン７に関し、各第１ピン７の下端が、対応するロック係合片５９の押圧部位６７を下方に向けて押圧する。その結果、全てのロック係合片５９のロック係合を、一括して解除することができる。
【００４９】
また、ピン枠４の下降に伴って、第１ピン７だけでなく、第２ピン８も下降する。下降する第２ピン８が係合片１５の第１片１６と係合し、これにより、第２片１７が上昇するように係合片１５が姿勢変更する。姿勢変形後の係合片１５の第２片１７は、蓋５４の外周面５８に形成された蓋側係合部（係合ロック手段）２０に係合する。すなわち、第２片１７が係合爪として機能する。これにより、ロック係合の解除操作に伴って、蓋開放用治具１に蓋５４を保持させることができる。
【００５０】
また、蓋５４の外周面５８には、係合片１５と係合可能なたとえば２箇所に、係合片１５の第２片１７と係合する蓋側係合部２０が形成されている。図７Ａ〜図７Ｃでは、蓋側係合部２０として、係合片１５の第２片１７が嵌る係合溝を設ける場合を例に挙げる。第２片１７は弾性変形しつつ蓋側係合部２０に嵌る。そのため、係合片１５と蓋側係合部２０との係合状態（嵌合）においては、作業者が手作業で解除しない限り、その係合状態が維持される。すなわち、係合片１５と蓋側係合部２０とはロック係合する。換言すると、蓋側係合部２０は、係合片１５を蓋に係合した状態にロックさせる。なお、蓋側係合部２０の構成は係合溝に限られず、係合段部や係合突起を、蓋側係合部２０として採用することもできる。
【００５１】
次いで、作業者は、蓋開放用治具１のピン枠４を掴んで、蓋開放用治具１を上方に持ち上げる。
ピン枠４の上昇に伴って、ピン枠４が本体枠３に対し離反する。そして、本体枠３とピン枠４との相対位置が第１位置に戻った状態で、第２ピン８と係合片１５との係合が解除される。しかしながら、係合片１５と蓋側係合部２０との係合は維持されており、そのため、蓋５４の蓋開放用治具１への保持が維持されている。
【００５２】
本体枠３およびピン枠４の相対位置が第１位置（互いに離反する位置）に戻った後は、ピン枠４の上昇に伴って、本体枠３も一体的に上昇させられる。すなわち、蓋開放用治具１が上昇させられる。ロック解除後の蓋５４が蓋開放用治具１に保持されているため、蓋開放用治具１の上昇に伴ってロック解除後の蓋５４が持ち上げられる。蓋５４の持ち上げにより、蓋５４が開けられ、収容器本体５３の開口５２が開放される。
【００５３】
以上によりこの実施形態によれば、蓋開放用治具１のピン枠４は、ロック機構５５と同数の第１ピン７を有している。これら複数の第１ピン７は、複数の押圧部位６７と同じ位置関係を有している。各第１ピン７が、対応するロック係合片５９の押圧部位６７に位置合わせされた状態で、蓋開放用治具１を下方に押し下げることにより、全ての第１ピン７に関し、各第１ピン７が、対応するロック係合片５９の押圧部位６７を押圧し、これにより、全てのロック係合片５９のロック係合を、一括して解除することができる。蓋開放用治具１を用いることにより、１回の解除操作で基板収容器Ｃの蓋５４をロック解除することができる。
【００５４】
また、ピン枠４（蓋開放用治具１）の押下げに伴って第２ピン８が下降する。下降する第２ピン８は、係合片１５に係合する。第２ピン８と係合片１５との係合により、係合片１５が姿勢変形し、姿勢変形後の係合片１５が蓋５４に係合する。これにより、ロック係合の解除操作に伴って、蓋開放用治具１に蓋５４を保持させることができる。
また、姿勢変形後の係合片１５が蓋側係合部２０とロック係合されるので、蓋開放用治具１を蓋５４から離反するように上昇させた後も、係合片１５と蓋５４との係合が維持され、その結果、蓋開放用治具１に蓋５４を保持させ続けることができる。これにより、蓋開放用治具１を上昇させることにより、ロック解除後の蓋５４を持ち上げることができ、ゆえに、蓋開放用治具１を用いて蓋５４を開けることができる。
【００５５】
なお、第１実施形態において、押圧部材５によって本体枠３とピン枠４とを相互に結合させる構成を例に挙げたが、他の部材を用いて、本体枠３とピン枠４との結合を達成してもよい。
また、蓋５４におけるロック係合片５９の本数および配置位置は種々設定されており、これらのロック係合片５９の本数および配置位置に併せて、第１ピン７や第２ピン８を含む解除／蓋掴み機構２の数および配置位置を適宜変更することができる。
【００５６】
また、第１実施形態において、蓋開放用治具１の押下げ動作後に、本体枠３およびピン枠４の相対位置が第２位置（互いに接近する位置）のまま保持（ロック）されるようにされていてもよい。本体枠３およびピン枠４の相対位置が第２位置（互いに接近する位置）にあると、係合片１５と蓋５４との係合が維持されるから、係合片１５を係合状態にロックさせる構成を採用することなく、蓋開放用治具１に蓋５４を保持させ続けることができる。
【００５７】
また、第１実施形態において、本体枠３とピン枠４との相対変化を、作業者の手作業によって行う場合を例に挙げて説明したが、少なくともピン枠４にシリンダ等のアクチュエータを結合しておき、このアクチュエータを駆動することにより、本体枠３とピン枠４とを相対変化させてもよい。
また、第１実施形態において、収容器本体５３（開口部５６）を、位置合わせ壁部１２と当接させることにより、蓋開放用治具１の蓋５４に対する水平方向の位置合わせを行うこととしたが、蓋５４の外周面５８を位置合わせ壁部１２と当接させることにより、蓋開放用治具１の蓋５４に対する水平方向の位置合わせを行ってもよい。
【００５８】
図８は、収容器載置テーブル１０１の構成を示す図である。図９は、収容器載置テーブル１０１に基板収容器Ｃを載置させた状態を示す模式的な断面図である。
収容器載置テーブル１０１は、複数の基板Ｗ（図９参照）が積層配置された状態の基板収容器Ｃを載置するためのものである。収容器載置テーブル１０１は、所定の台等の上に載置される平面視矩形のベースプレート１０２と、ベースプレート１０２の上面において、所定の鉛直軸線Ａ１まわりに回転自在に支持された円プレート１０３と、円プレート１０３の上面に配置されて、基板収容器Ｃを円プレート１０３の上面で所定の傾斜姿勢に規制する傾斜姿勢規制部材１０４と、傾斜姿勢規制部材１０４によって傾斜姿勢とされた基板収容器Ｃを、円プレート１０３の上面に位置決めするための位置決め部材１０５と、円プレート１０３の周方向位置を規制するための回転範囲規制機構１０６とを含む。
【００５９】
傾斜姿勢規制部材１０４の上面には、基板収容器Ｃ（収容器本体５３）を載置するための載置面１０７が形成されている。載置面１０７は、基板収容器Ｃの底面５１Ｂと接触して、基板収容器Ｃを、その前面５１Ａおよび底面５１Ｂが水平方向に対して傾斜するような傾斜姿勢に支持する。
基板収容器Ｃの内部には、基板Ｗを載置する支持棚５０が、底面５１Ｂに沿う方向に沿って多段に並置されている。基板Ｗは対応する支持棚５０に載置されて、基板収容器Ｃに収容保持される。各支持棚５０は、当該支持棚５０に載置されている基板Ｗを、底面５１Ｂに沿う方向に遊びをもって支持する。
【００６０】
基板収容器Ｃが前述のような傾斜姿勢をなすときには、基板収容器Ｃに収容されている各基板Ｗに対し、横向きの力（底面５１Ｂに沿う横向き向きの力）が作用し、各基板Ｗが当該横向きに寄る。そのため、基板収容器Ｃに積層状態で収容されている複数枚の基板Ｗが、等間隔に揃う。その結果、真空ピンセットなどの治具を用いて基板収容器Ｃの基板Ｗを掴み易い。これにより、作業者が容易に、基板収容器Ｃから基板Ｗを取り出すことができる。
【００６１】
載置面１０７は、基板収容器Ｃの底面の形状に整合するような形状に形成されている。すなわち、基板収容器Ｃが矩形体形状である場合には、載置面１０７が水平方向に対して傾斜する平坦面に形成され、また、基板収容器Ｃが円筒形状である場合には、載置面１０７は水平方向に対して傾斜する円周面に形成される。
基板収容器Ｃの傾斜姿勢において、水平方向に対する傾斜角度αは、基板Ｗが前記の横向きに寄るのに十分な大きさであるが、基板収容器Ｃの形状や大きさに応じて種々設定される。
【００６２】
回転範囲規制機構１０６は、円プレート１０３の外周端面から、円プレート１０３の半径方向外方に向けて突出する回り止めピン１０８と、回り止めピン１０８と当接して、円プレート１０３の回転を規制するための一対のストッパ１０９とを含む。各ストッパ１０９は回り止めピン１０８と当接する。一対のストッパ１０９は、ベースプレート１０２の上面において鉛直軸線Ａ１を挟んだ二位置に配置されており、円プレート１０３の回転角度範囲を１８０°に規制する。
【００６３】
円プレート１０３が鉛直軸線Ａ１まわりに回転自在に設けられているので、円プレート１０３上に載置されている基板収容器Ｃを、鉛直軸線Ａ１まわりに回転させることができる。円プレート１０３を、回り止めピン１０８が一方のストッパ１０９と当接する姿勢から、回り止めピン１０８が他方のストッパ１０９と当接する姿勢まで、基板収容器Ｃごと１８０°回転させることにより、基板収容器Ｃの前面５１Ａに垂直な方向から見た、基板収容器Ｃの開口５２の態様を丁度反転させることができる。
【００６４】
ところで、種々の試験を実施する、基板収容器Ｃに収容されている基板Ｗを、表裏反転させる必要が生じることがある。作業者は、真空ピンセットなどの治具を用いて、基板Ｗの表裏反転作業を行う。
具体的には、このような表裏反転作業は次のように行う。すなわち、真空ピンセット（図示しない）に基板Ｗを吸着させて、基板収容器Ｃ外に基板Ｗを取り出すとともに、取り出した基板Ｗを真空ピンセットごと１８０°向きを変える。その後、真空ピンセットによって基板Ｗを基板収容器Ｃ内に戻す。
【００６５】
しかしながら、基板Ｗを真空ピンセットに吸着させつつ、その真空ピンセットの向きを変えるのは非常に困難な作業である。すなわち、真空ピンセットの吸引を実行するためには操作スイッチ（図示しない）を押し続ける必要があり、基板Ｗを真空ピンセットに吸着させながら真空ピンセットの向きを変えるには、操作スイッチを押し続けながら真空ピンセットの向きを変える必要がある。そのため、この作業を無事に遂行するには極めて高度な技能が必要であり、高い技能を有さない作業者がこのような作業を行うと、真空ピンセットから基板Ｗが脱落し、破損するおそれがある。また、経時劣化により真空ピンセットの吸引力が弱まっている場合には、作業者の技能に拘らず、基板Ｗが脱落して、破損するおそれがある。
【００６６】
図１０Ａ〜図１０Ｄは、収容器載置テーブル１０１を用いた、基板Ｗの反転作業を説明するための図である。図１０Ａ〜図１０Ｄは、円プレート１０３上に載置されている基板収容器Ｃを、開口５２に対向する位置から、基板収容器Ｃの前面５１Ａに垂直な方向に沿って見た図である。
図８〜図１０Ｄに示すように、図１０Ａに示す３枚の基板Ｗのうち、真ん中の基板Ｗを反転させる場合を例に挙げて説明する。図１０Ａに示す状態から、作業者は、真空ピンセット（図示しない）を用いて真ん中の基板Ｗを取り出す。具体的には、作業者は、操作スイッチを押操作しながら、真空ピンセットの先端部を基板Ｗに接近させることにより、真空ピンセットの先端部に基板Ｗを吸着させる。そして、操作スイッチ（図示しない）を押しながら真空ピンセットを基板Ｗごと取り出す。基板Ｗを取り出した状態を図１０Ｂに示す。
【００６７】
次いで、作業者は、手作業により、円プレート１０３を基板収容器Ｃごと、鉛直軸線Ａ１まわりに１８０°回転させる。これにより、基板収容器Ｃの前面５１Ａに垂直な方向から見た、基板収容器Ｃの開口５２の態様が、図１０Ｃに示すように丁度反転する。
次いで、作業者は、基板収容器Ｃから取り出した基板Ｗを、そのまま元の（真ん中の）基板保持位置（隣接する支持棚５０の間に設定）に戻す。基板Ｗを戻した状態を図１０Ｄに示す。
【００６８】
以上により、基板Ｗの表裏反転作業を行う場合において、基板収容器Ｃの開口５２の態様を反転させることにより、真空ピンセットなどの治具の向きを変えることなく、基板Ｗの表裏反転作業を行うことができる。これにより、作業者の技能によらずに、基板Ｗの表裏反転作業を良好に行うことができる。
図１１Ａ〜図１１Ｄは、本発明の第２実施形態に係る蓋開放装置２０１の構成を示す図である。
【００６９】
蓋開放装置２０１は、基板収容器Ｃの蓋５４を開放するための装置である。蓋開放装置２０１は、基板収容器Ｃを載置するための収容器載置テーブル２０２と、収容器載置テーブル２０２に載置された基板収容器Ｃの蓋５４を開放するための蓋開放用治具１と、蓋開放用治具１を上方から保持する治具ホルダ２０３と、蓋開放用治具１および治具ホルダ２０３を治具ホルダ２０３の上方から支持する治具支持アーム２０４と、蓋開放用治具１を治具支持アーム２０４ごと、鉛直方向に沿って昇降させるためのアーム昇降機構（移動手段）２０５と、蓋開放用治具１の姿勢を変更するための姿勢変更機構２０６と、アーム昇降機構２０５や姿勢変更機構２０６の動作を制御する制御装置（押し付け制御手段）２０７とを含む。
【００７０】
収容器載置テーブル２０２は、所定の台等の上に載置されるベースプレート２０８を含む。ベースプレート２０８の上面は、水平な平坦面からなる載置面２０９を有している。そのため、基板収容器Ｃは、収容器載置テーブル２０２の載置面２０９に載置された状態で水平姿勢をなす。
蓋開放用治具１の構成は、第１実施形態に係る蓋開放用治具１と同等である。
【００７１】
治具ホルダ２０３は、蓋開放用治具１に水平な矩形板であり、蓋開放用治具１のピン枠４を、その上方から固定的に支持している。
治具支持アーム２０４は、蓋開放用治具１および治具ホルダ２０３を支持している。治具支持アーム２０４は、蓋開放用治具１に延びる方向に長手を有する長尺状のアームである。
【００７２】
アーム昇降機構２０５は、治具支持アーム２０４を支持する支持ナット２１１と、支持ナット２１１にねじ係合しながら、当該支持ナット２１１を挿通し、鉛直方向に延びるねじ軸２１２と、ねじ軸２１２の下端２１２Ａを支持しつつ、ねじ軸２１２の軸まわりの回転駆動力を生起させるための昇降用モータ２１３とを含む。ねじ軸２１２を支持ナット２１１に対して相対回転させることにより、支持ナット２１１がねじ軸２１２上をその軸方向に移動し、支持ナット２１１と昇降用モータ２１３との間隔が変化する。昇降用モータ２１３は、ベースプレート２０８の上に固定的に載置されている。したがって、制御装置２０７が、昇降用モータ２１３を制御してねじ軸２１２を回転させることにより支持ナット２１１が昇降する。
【００７３】
姿勢変更機構２０６は、治具支持アーム２０４の基端２０４Ａを、支持ナット２１１の内部に設定された揺動軸２１５まわりに回転可能に支持ナット２１１に支持させるヒンジ（図示しない）と、治具支持アーム２０４が揺動軸２１５まわりに揺動するための回転駆動力を生起する姿勢変更用モータ２１６を含む。制御装置２０７は、姿勢変更用モータ２１６を制御して治具支持アーム２０４を揺動軸２１５まわりに揺動させることにより、蓋開放用治具１の姿勢を、水平姿勢（図１１Ａ〜図１１Ｃ参照）と鉛直上姿勢（図１１Ｄ参照）との間で変更させる。なお、支持ナット２１１の前面には、治具支持アーム２０４と当接可能な当接部２１７が固定配置されており、当接部２１７が治具支持アーム２０４に当接することにより、治具支持アーム２０４が水平姿勢に規制される。
【００７４】
ベースプレート２０８の上には、鉛直方向に延びるガイド柱２１８が立設されている。ガイド柱２１８は、その側壁が支持ナット２１１と係合することにより、支持ナット２１１のねじ軸２１２まわりの回転を阻止しながら、支持ナット２１１を、支持ナット２１１がねじ軸２１２上を移動するようにガイドする。
図１１Ａ〜図１１Ｄを参照して、本発明の第２実施形態に係る蓋開放装置２０１を用いた蓋５４の開放動作を説明する。
【００７５】
作業者は、蓋５４が閉状態にロックされている基板収容器Ｃを、収容器載置テーブル２０２に、図１１Ａに示すような上姿勢で載置する。収容器載置テーブル２０２に基板収容器Ｃを載置する際には、支持ナット２１１が上位置（図１１Ａ参照）にあり、かつ蓋開放用治具１が鉛直上姿勢（図１１Ｄ参照）にある。そのため、蓋開放用治具１は収容器載置テーブル２０２の上方から退避している。
【００７６】
基板収容器Ｃが収容器載置テーブル２０２に載置された後、制御装置２０７は姿勢変更用モータ２１６を制御して、図１１Ａに示すように、蓋開放用治具１を水平姿勢にさせる。
次いで、制御装置２０７は、昇降用モータ２１３を制御して、支持ナット２１１を下降させる。これにより、蓋開放用治具１が下降させられる。下降する蓋開放用治具１は、やがて蓋５４に上方から被さる。このとき、本体枠３およびピン枠４が蓋５４の前面５４Ｂに当接する。具体的には、各第１ピン７の下端が、対応するロック係合片５９（図２を併せて参照）の押圧部位６７（図２を併せて参照）に当接する。
【００７７】
本体枠３およびピン枠４が蓋５４に当接した後も、支持ナット２１１の下降（蓋開放用治具１の下降）は続行させられる。これにより、ピン枠４のみが押圧部材５（図３Ａおよび図３Ｂを併せて参照）の弾性押圧力（ばね力）に抗して下降する。ピン枠４の下降は、支持ナット２１１が下位置（図１１Ｂ参照）となるまで続行される。支持ナット２１１の下位置は、本体枠３とピン枠４との相対位置が前記の第２位置（互いに接近する位置）になる位置である。図１１Ｂに示すように、支持ナット２１１が下位置まで下降されることにより、全てのロック係合片５９のロック係合が一括解除させられて蓋５４のロックが解除されるとともに、ロック解除後の蓋５４が蓋開放用治具１に保持される。
【００７８】
次いで、制御装置２０７は、昇降用モータ２１３を制御して、支持ナット２１１を上昇させる。これにより、蓋開放用治具１が上昇させられる。具体的には、支持ナット２１１の上昇に伴って、治具支持アーム２０４が上昇させられ、治具支持アーム２０４の上昇に伴って、治具ホルダ２０３が上昇させられる。治具ホルダ２０３の上昇に伴って、蓋開放用治具１のピン枠４が上昇させられる。ピン枠４の上昇に伴い本体枠３およびピン枠４の相対位置が第１位置（互いに離反する位置）に戻った後は、本体枠３およびピン枠４の双方が一体的に上昇させられる。蓋開放用治具１の上昇に伴って、ロック解除後の蓋５４が持ち上げられる。蓋５４の持ち上げにより、図１１Ｃに示すように蓋５４が開けられ、収容器本体５３の開口５２が開放される。
【００７９】
次いで、制御装置２０７は、姿勢変更用モータ２１６を制御して、図１１Ｄに示すように、蓋開放用治具１が鉛直上姿勢になるように治具支持アーム２０４を姿勢変更させる。これにより、蓋開放用治具１および蓋５４を、基板収容器Ｃの収容器本体５３の上方から退避させることができ、作業者は、開放された開口５２を介して収容器本体５３の内部に対し、基板Ｗを出し入れすることができる。
【００８０】
以上により、第２実施形態によれば、ピン枠４が蓋５４に向けて押し付けられる。このような押し付けにより、全ての第１ピン７に関し、各第１ピン７を、対応するロック係合片５９（図２参照）の押圧部位６７（図２参照）を押圧させることができる。ゆえに、複数のロック係合片５９の全てのロック係合を、一括して解除することができる。
また、ピン枠４の蓋５４に対する押付けに伴って、蓋開放用治具１に蓋を保持させることができる。そのため、蓋開放用治具１の基板収容器Ｃからの離反に伴って、ロック解除後の蓋５４が持ち上がる。これにより、蓋５４を開けることができる。
【００８１】
以上のように、蓋５４のロックを解除でき、かつロック解除後の蓋５４が開けられる。これにより、蓋５４の開放動作を自動化することができる。
図１２Ａ〜図１２Ｄは、本発明の第３実施形態に係る蓋開放装置３０１の構成を示す図である。
蓋開放装置３０１は、基板収容器Ｃを載置するための収容器載置テーブル３０２と、収容器載置テーブル３０２に載置された基板収容器Ｃの蓋５４を開放するための蓋開放用治具１と、蓋開放用治具１を上方から保持する治具ホルダ３０３と、蓋開放用治具１および治具ホルダ３０３を治具ホルダ３０３の上方から支持する治具支持アーム３０４と、蓋開放用治具１を治具支持アーム３０４ごと、鉛直方向に沿って昇降させるためのアーム昇降機構（移動手段）３０５と、蓋開放用治具１の姿勢を変更するための姿勢変更機構３０６と、蓋開放用治具１、アーム昇降機構３０５および姿勢変更機構３０６を水平方向にスライド移動させるための水平移動機構３０８と、アーム昇降機構３０５や姿勢変更機構３０６、水平移動機構３０８の動作を制御する制御装置（押し付け制御手段）３０７とを含む。
【００８２】
収容器載置テーブル３０２は、所定の台等の上に載置されるベースプレート３０８を含む。ベースプレート３０８の上面は、水平な平坦面からなる載置面３０９を有している。そのため、基板収容器Ｃは、収容器載置テーブル３０２の載置面３０９に載置された状態で水平姿勢をなす。
蓋開放用治具１の構成は、第１実施形態に係る蓋開放用治具１と同等である。
【００８３】
治具ホルダ３０３は、蓋開放用治具１に水平な矩形板であり、蓋開放用治具１のピン枠４を、その上方から固定的に支持している。治具支持アーム３０４は、蓋開放用治具１および治具ホルダ３０３を支持している。治具支持アーム３０４は、蓋開放用治具１に延びる方向に長手を有する長尺状のアームである。後述するように、この第３実施形態では、治具ホルダ３０３は、治具支持アーム３０４に対する姿勢が変更可能な構成である。
【００８４】
アーム昇降機構３０５は、治具支持アーム３０４を支持する支持ナット３１１と、支持ナット３１１にねじ係合しながら、当該支持ナット３１１を挿通し、鉛直方向に延びるねじ軸３１２と、ねじ軸３１２の下端３１２Ａを支持しつつ、ねじ軸３１２の軸まわりの回転駆動力を生起させるための昇降用モータ３１３とを含む。ねじ軸３１２を支持ナット３１１に対して相対回転させることにより、支持ナット３１１がねじ軸３１２上をその軸方向に移動し、支持ナット３１１と昇降用モータ３１３との間隔が変化する。昇降用モータ３１３は、移動ナット３１４の上に、水平方向にスライド移動可能に設けられたスライドプレート３１４上に固定的に載置されている。したがって、制御装置３０７が、昇降用モータ３１３を制御してねじ軸３１２を回転させることにより支持ナット３１１が昇降する。
【００８５】
移動ナット３１４の上には、鉛直方向に延びるガイド柱３１９が立設されている。ガイド柱３１９は、その側壁が支持ナット３１１と係合することにより、支持ナット３１１のねじ軸３１２まわりの回転を阻止しながら、支持ナット３１１を、支持ナット３１１がねじ軸３１２上を移動するようにガイドする。
姿勢変更機構３０６は、治具支持アーム３０４の先端部に、当該先端部に設定された揺動軸３１５まわりに回転可能に治具ホルダ３０３を支持させるヒンジ（図示しない）と、治具ホルダ３０３が揺動軸３１５まわりに揺動するための回転駆動力を生起する姿勢変更用モータ３１６を含む。制御装置３０７は、姿勢変更用モータ３１６を制御して治具ホルダ３０３を揺動軸３１５まわりに揺動させることにより、蓋開放用治具１の姿勢を、水平姿勢（図１２Ａ〜図１２Ｃ参照）と鉛直上姿勢（図１２Ｄ参照）との間で変更させる。
【００８６】
水平移動機構３０８は、移動ナット３１４と、移動ナット３１４にねじ係合しながら、当該移動ナット３１４を挿通し、鉛直方向に延びるねじ軸３１７と、ねじ軸３１７の一旦を支持しつつ、ねじ軸３１７の軸まわりの回転駆動力を生起させるための水平移動用モータ３１８とを含む。ねじ軸３１７を移動ナット３１４に対して相対回転させることにより、移動ナット３１４がねじ軸３１７上をその軸方向に移動し、移動ナット３１４と水平移動用モータ３１８との間隔が変化する。水平移動用モータ３１８は、ベースプレート３２０上に固定的に載置されている。したがって、制御装置３０７が、水平移動用モータ３１８を制御してねじ軸３１２を回転させることにより、支持ナット３１１を、手前位置（図１２Ａ〜図１２Ｃ参照）と、奥位置（図１２Ｄ参照）との間でスライド移動させる。水平移動用モータ３１８の制御により、蓋開放用治具１、アーム昇降機構３０５および姿勢変更機構３０６が、水平方向にスライド移動させられる。
【００８７】
図１２Ａ〜図１２Ｄを参照して、本発明の第３実施形態に係る蓋開放装置３０１を用いた蓋５４の開放動作を説明する。
作業者は、蓋５４が閉状態にロックされている基板収容器Ｃを、収容器載置テーブル３０２に、図１２Ａに示すような上姿勢で載置する。収容器載置テーブル３０２に基板収容器Ｃを載置する際には、支持ナット３１１が上位置（図１２Ａ参照）かつ奥位置（図１２Ｄ参照）にあり、かつ蓋開放用治具１が鉛直上姿勢（図１２Ｄ参照）にある。そのため、蓋開放用治具１は収容器載置テーブル３０２の上方から退避している。
【００８８】
基板収容器Ｃが収容器載置テーブル３０２に載置された後、制御装置３０７は、姿勢変更用モータ３１６を制御して、図１２Ａに示すように、蓋開放用治具１を水平姿勢にさせるとともに、水平移動用モータ３１８を制御して、図１２Ａに示すように、支持ナット３１１を手前位置に配置させる。
次いで、制御装置３０７は、昇降用モータ３１３を制御して、支持ナット３１１を下降させる。これにより、蓋開放用治具１が下降させられる。下降する蓋開放用治具１は、やがて蓋５４に上方から被さる。このとき、本体枠３およびピン枠４が蓋５４の前面５４Ｂに当接する。具体的には、各第１ピン７の下端が、対応するロック係合片５９（図２を併せて参照）の押圧部位６７（図２を併せて参照）に当接する。
【００８９】
本体枠３およびピン枠４が蓋５４に当接した後も、支持ナット３１１の下降（蓋開放用治具１の下降）は続行させられる。これにより、ピン枠４のみが押圧部材５（図３Ａおよび図３Ｂを併せて参照）の弾性押圧力（ばね力）に抗して下降する。ピン枠４の下降は、支持ナット３１１が下位置（図１２Ｂ参照）となるまで続行される。支持ナット２１１の下位置は、本体枠３とピン枠４との相対位置が前記の第２位置（互いに接近する位置）になる位置である。図１２Ｂに示すように、支持ナット３１１が下位置まで下降されることにより、全てのロック係合片５９のロック係合が一括解除させられて蓋５４のロックが解除されるとともに、ロック解除後の蓋５４が蓋開放用治具１に保持される。
【００９０】
次いで、制御装置３０７は、昇降用モータ３１３を制御して、支持ナット３１１を上昇させる。これにより、蓋開放用治具１が上昇させられる。具体的には、支持ナット３１１の上昇に伴って、治具支持アーム３０４が上昇させられ、治具支持アーム３０４の上昇に伴って、治具ホルダ３０３が上昇させられる。治具ホルダ３０３の上昇に伴って、蓋開放用治具１のピン枠４が上昇させられる。ピン枠４の上昇に伴い本体枠３およびピン枠４の相対位置が第１位置（互いに離反する位置）に戻った後は、本体枠３およびピン枠４の双方が一体的に上昇させられる。蓋開放用治具１の上昇に伴って、ロック解除後の蓋５４が持ち上げられる。蓋５４の持ち上げにより、図１２Ｃに示すように蓋５４が開けられ、収容器本体５３の開口５２が開放される。
【００９１】
次いで、制御装置３０７は、図１２Ｄに示すように、姿勢変更用モータ３１６を制御して、蓋開放用治具１が鉛直上姿勢になるように治具ホルダ３０３を姿勢変更させるとともに、水平移動用モータ３１８を制御して、支持ナット３１１を奥位置に配置させる。これにより、蓋開放用治具１および蓋５４を、基板収容器Ｃの収容器本体５３の上方から退避させることができ、作業者は、開放された開口５２を介して収容器本体５３の内部に対し、基板Ｗを出し入れすることができる。
【００９２】
以上により、第３実施形態によれば、第２実施形態で述べた作用効果と同等の作用効果を奏する。
図１３Ａ〜図１３Ｆは、本発明の第４実施形態に係る蓋開放装置４０１の構成を示す図である。
蓋開放装置４０１は、基板収容器Ｃを載置するための収容器載置テーブル１０１と、収容器載置テーブル１０１に載置された基板収容器Ｃの蓋５４を開放するための蓋開放用治具１と、蓋開放用治具１を上方から保持する治具ホルダ４０３と、蓋開放用治具１および治具ホルダ４０３を治具ホルダ４０３の上方から支持する治具支持アーム（図示しない）と、蓋開放用治具１を治具支持アームごと、所定の傾斜線Ｔに沿って昇降させるためのアーム昇降機構（移動手段）４０５と、蓋開放用治具１の姿勢を変更するための姿勢変更機構４０６と、アーム昇降機構４０５や姿勢変更機構４０６の動作を制御する制御装置（押し付け制御手段）４０７とを含む。
【００９３】
収容器載置テーブル１０１の構成は、図８〜図１０Ｄを用いて述べた収容器載置テーブル１０１と同等である。すなわち、収容器載置テーブル１０１は、ベースプレート１０２と、円プレート１０３と、傾斜姿勢規制部材１０４と、位置決め部材１０５と、回転範囲規制機構（回転範囲規制手段）１０６とを含む。収容器載置テーブル１０１は、収容器載置テーブル２０２に代えて、載置される基板収容器Ｃを、鉛直方向に対し傾斜する傾斜線Ｔ（図１３Ａ参照）に垂直な傾斜姿勢に支持する。傾斜線Ｔは、鉛直方向に対し傾斜角度α（図１３Ａ参照）傾斜し、かつ基板収容器Ｃの積層方向に平行な直線である。
【００９４】
蓋開放用治具１の構成は、第１実施形態に係る蓋開放用治具１と同等である。
治具ホルダ４０３は、蓋開放用治具１に平行な矩形板であり、蓋開放用治具１のピン枠４を、その上方から固定的に支持している。
治具支持アーム（図示しない）は、蓋開放用治具１および治具ホルダ（図示しない）を支持している。治具支持アーム（図示しない）は、蓋開放用治具１に延びる方向に長手を有する長尺状のアームである。
【００９５】
アーム昇降機構４０５は、治具支持アーム（図示しない）を支持する支持ナット（図示しない）と、支持ナットにねじ係合しながら、当該支持ナットを挿通し、所定の傾斜線Ｔに沿って延びるねじ軸（図示しない）と、ねじ軸の下端を支持しつつ、ねじ軸の軸まわりの回転駆動力を生起させるための昇降用モータ（図示しない）とを含む。ねじ軸を支持ナットに対して相対回転させることにより、支持ナットがねじ軸上をその軸方向に移動し、支持ナットと昇降用モータとの間隔が変化する。昇降用モータは、ベースプレート１０２の上に固定的に載置されている。したがって、制御装置４０７が、昇降用モータを制御してねじ軸を回転させることにより、支持ナットが傾斜線Ｔに沿って昇降する。アーム昇降機構４０５は、第２実施形態のアーム昇降機構２０５と同等の構成であるが、支持ナットを、鉛直線ではなく傾斜線Ｔに沿って昇降させる構成である。
【００９６】
姿勢変更機構４０６は、治具支持アーム（図示しない）の基端を、支持ナットの内部に設定された揺動軸（図示しない）まわりに回転可能に支持ナットに支持させるヒンジ（図示しない）と、治具支持アームが揺動軸まわりに揺動するための回転駆動力を生起する姿勢変更用モータ（図示しない）を含む。制御装置４０７は、姿勢変更用モータを制御して治具支持アームを揺動軸まわりに揺動させることにより、蓋開放用治具１の姿勢を、下姿勢（図１３Ｂ〜図１３Ｄ参照）と鉛直上姿勢（図１３Ａ、図１３Ｅ、図１３Ｆ参照）との間で変更させる。姿勢変更機構４０６は、第２実施形態のアーム昇降機構２０６と同等の構成であるが、蓋開放用治具１の姿勢を、水平姿勢と鉛直上姿勢との間でなく、下姿勢（図１３Ｂ〜図１３Ｄ参照）と鉛直上姿勢（図１３Ａ、図１３Ｅ、図１３Ｆ参照）との間で変更させる構成である。
【００９７】
ベースプレート１０２の上には、傾斜線Ｔに沿って延びるガイド柱４１６が立設されている。ガイド柱４１６は、その側壁が支持ナットと係合することにより、支持ナットのねじ軸まわりの回転を阻止しながら、支持ナットを、支持ナットがねじ軸上を移動するようにガイドする。
図１３Ａ〜図１３Ｆを参照して、本発明の第４実施形態に係る蓋開放装置４０１を用いた蓋５４の開放動作を説明する。
【００９８】
作業者は、蓋５４が閉状態にロックされている基板収容器Ｃを、収容器載置テーブル１０１に載置する。収容器載置テーブル１０１に基板収容器Ｃを載置する際には、図１３Ａに示すように、支持ナットが上位置にあり、かつ蓋開放用治具１が鉛直上姿勢にある。そのため、蓋開放用治具１は収容器載置テーブル１０１の上方から退避している。
基板収容器Ｃが収容器載置テーブル１０１に載置された後、制御装置４０７は姿勢変更用モータを制御して、図１３Ｂに示すように、蓋開放用治具１を下姿勢にさせる。
【００９９】
次いで、制御装置４０７は、昇降用モータを制御して、支持ナットを下降させる。これにより、蓋開放用治具１が傾斜線Ｔに沿って下降させられる。下降する蓋開放用治具１は、やがて蓋５４に上方から被さる。このとき、本体枠３およびピン枠４が蓋５４の前面５４Ｂに当接する。具体的には、各第１ピン７の下端が、対応するロック係合片５９（図２を併せて参照）の押圧部位６７（図２を併せて参照）に当接する。
【０１００】
本体枠３およびピン枠４が蓋５４に当接した後も、支持ナットの下降（蓋開放用治具１の下降）は続行させられる。これにより、ピン枠４のみが押圧部材５（図３Ａおよび図３Ｂを併せて参照）の弾性押圧力（ばね力）に抗して下降する。ピン枠４の下降は、支持ナットが下位置（図１３Ｃ参照）となるまで続行される。支持ナットの下位置は、本体枠３とピン枠４との相対位置が前記の第２位置（互いに接近する位置）になる位置である。図１３Ｃに示すように、支持ナットが下位置まで下降されることにより、全てのロック係合片５９のロック係合が一括解除させられて蓋５４のロックが解除されるとともに、ロック解除後の蓋５４が蓋開放用治具１に保持される。
【０１０１】
次いで、制御装置４０７は、昇降用モータを制御して、支持ナットを上昇させる。これにより、蓋開放用治具１が傾斜線Ｔに沿って上昇させられる。具体的には、支持ナットの傾斜線Ｔに沿う上昇に伴って、治具支持アームが上昇させられ、治具支持アームの上昇に伴って、治具ホルダ４０３が上昇させられる。治具ホルダ４０３の上昇に伴って、蓋開放用治具１のピン枠４が上昇させられる。ピン枠４の上昇に伴い本体枠３およびピン枠４の相対位置が第１位置（互いに離反する位置）に戻った後は、本体枠３およびピン枠４の双方が一体的に上昇させられる。蓋開放用治具１の上昇に伴って、ロック解除後の蓋５４が持ち上げられる。蓋５４の持ち上げにより、図１３Ｄに示すように蓋５４が開けられ、収容器本体５３の開口５２が開放される。
【０１０２】
次いで、制御装置４０７は、姿勢変更用モータを制御して、図１３Ｅに示すように、蓋開放用治具１が鉛直上姿勢になるように治具支持アームを姿勢変更させる。これにより、蓋開放用治具１および蓋５４を、基板収容器Ｃの収容器本体５３の上方から退避させることができる。
そして、載置面１０７上に載置されている基板収容器Ｃを、図１３Ｆに示すように、  円プレート１０３を、回り止めピン１０８が一方のストッパ１０９と当接する姿勢から、回り止めピン１０８が他方のストッパ１０９と当接する姿勢まで、基板収容器Ｃごと鉛直軸線Ａ１まわりに１８０°回転させることにより、基板収容器Ｃの前面５１Ａから見たときの、基板収容器Ｃの開口５２の態様を反転させることができる。この場合、第２実施形態において説明したように説明したように、真空ピンセットなどの治具の向きを変えることなく、基板Ｗの表裏反転作業を行うことができる。したがって、作業者の技能によらずに、基板Ｗの表裏反転作業を良好に行うことができる。
【０１０３】
また、基板収容器Ｃが傾斜姿勢に支持されているので、基板収容器Ｃに収容されている各基板Ｗに対し、横向きの力が作用し、各基板Ｗが当該横向きに寄っている。そのため、基板収容器Ｃに積層状態で収容されている複数枚の基板Ｗが、等間隔に揃う。その結果、真空ピンセットなどの治具を用いて基板収容器Ｃの基板Ｗを掴み易い。これにより、作業者が容易に、基板収容器Ｃから基板Ｗを取り出すことができる。
【０１０４】
以上、この発明の４つの実施形態について説明したが、この発明は他の形態で実施することもできる。
たとえば、第２〜第４実施形態において、少なくともピン枠４にシリンダ等のアクチュエータを結合しておき、このアクチュエータを駆動することにより、本体枠３とピン枠４とを相対変化させる場合には、ピン枠４を本体枠３に対して移動させることにより、ピン枠４を基板収容器Ｃに対して接近／離反させてもよい。
【０１０５】
また、第４実施形態において、円プレート１０３を鉛直軸線Ａ１に回転させるためのフレート回転機構を設けるようにしてもよい。この場合、蓋５４の開放後における、基板収容器Ｃの回転も自動化させることができる。
また、前述の実施形態では、基板収容器Ｃに収容される基板Ｗが、半導体ウエハなどの円板状の基板を処理する装置である場合について説明したが、開放対象になる基板収容器Ｃが、液晶表示装置用ガラス基板などの多角形の基板を収容する容器であってもよい。
【０１０６】
その他、特許請求の範囲に記載された事項の範囲で種々の設計変更を施すことが可能である。
【符号の説明】
【０１０７】
１  蓋開放用治具
４  ピン枠（ピン部材）
５  押圧部材（押圧手段）
７  第１ピン
８  第２ピン
１５  係合片
２０  蓋側係合部（係合ロック手段）
５３  収容器本体
５４  蓋
５９  ロック係合片
６７  押圧部位
１０１  収容器載置テーブル
１０６  回転範囲規制機構（回転範囲規制手段）
１０７  載置面
２０１  蓋開放装置
２０２  収容器載置テーブル
２０９  載置面
３０１  蓋開放装置
３０２  収容器載置テーブル
３０５  アーム昇降機構（移動手段）
３０７  制御装置（押し付け制御手段）
３０９  載置面
４０１  蓋開放装置
４０５  アーム昇降機構（移動手段）
４０７  制御装置（押し付け制御手段）
Ａ１  鉛直軸線
Ｔ  傾斜線
Ｗ  基板
【図１】
2014197593.tif 000003
【図２】
2014197593.tif 000004
【図３Ａ】
2014197593.tif 000005
【図３Ｂ】
2014197593.tif 000006
【図４】
2014197593.tif 000007
【図５】
2014197593.tif 000008
【図６】
2014197593.tif 000009
【図７Ａ】
2014197593.tif 000010
【図７Ｂ】
2014197593.tif 000011
【図７Ｃ】
2014197593.tif 000012
【図８】
2014197593.tif 000013
【図９】
2014197593.tif 000014
【図１０Ａ】
2014197593.tif 000015
【図１０Ｂ】
2014197593.tif 000016
【図１０Ｃ】
2014197593.tif 000017
【図１０Ｄ】
2014197593.tif 000018
【図１１Ａ】
2014197593.tif 000019
【図１１Ｂ】
2014197593.tif 000020
【図１１Ｃ】
2014197593.tif 000021
【図１１Ｄ】
2014197593.tif 000022
【図１２Ａ】
2014197593.tif 000023
【図１２Ｂ】
2014197593.tif 000024
【図１２Ｃ】
2014197593.tif 000025
【図１２Ｄ】
2014197593.tif 000026
【図１３Ａ】
2014197593.tif 000027
【図１３Ｂ】
2014197593.tif 000028
【図１３Ｃ】
2014197593.tif 000029
【図１３Ｄ】
2014197593.tif 000030
【図１３Ｅ】
2014197593.tif 000031
【図１３Ｆ】
2014197593.tif 000032