(57)【要約】【課題】振動ミラー素子および補強板の歪みの発生の抑制と、振動ミラー素子の位置精度の確保との両方の要求を満たすことが可能な振動ミラー装置を提供する。【解決手段】この発明によるＭＥＭＳミラー装置２ａおよび２ｂは、レーザ光を反射する反射面を有するミラー部２４と、ミラー部２４を回動可能に支持し、ミラー部２４の反射面側の表面２５ａに端子２５ｄが形成されているミラー支持部２５とを含むＭＥＭＳミラー素子２３ａおよび２３ｂと、ミラー支持部２５のミラー部２４の反射面とは反対側の裏面２５ｃにダイボンド材を介して接着される補強板２７とを備え、ダイボンド材は、平面視において、ミラー部２４に対応する位置に配置されている硬質ダイボンド材３ａと、端子２５ｄに対応する位置に配置されている軟質ダイボンド材３ｂとを含んでいる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光を反射する反射面を有するミラー部と、前記ミラー部を回動可能に支持し、前記ミラー部の反射面側の表面に端子が形成されているミラー支持部とを含む振動ミラー素子と、
前記ミラー支持部の前記ミラー部の反射面とは反対側の裏面にダイボンド材を介して接着される補強板とを備え、
前記ダイボンド材は、平面視において、前記ミラー部に対応する位置に配置されている硬質ダイボンド材と、前記端子に対応する位置に配置されている軟質ダイボンド材とを含む、振動ミラー装置。
【請求項２】
前記硬質ダイボンド材および前記軟質ダイボンド材は、それぞれ複数箇所に分散して配置されている、請求項１に記載の振動ミラー装置。
【請求項３】
前記ミラー部は、前記ミラー支持部の中央部近傍に配置されているとともに、前記端子は、前記ミラー支持部の端部近傍に配置されており、
前記硬質ダイボンド材は、前記ミラー支持部の中央部近傍の前記ミラー部に対応する位置に配置されているとともに、前記軟質ダイボンド材は、前記ミラー支持部の端部近傍の前記端子に対応する位置に配置されている、請求項１または２に記載の振動ミラー装置。
【請求項４】
前記ミラー部は、矩形形状に形成され、
前記硬質ダイボンド材は、前記ミラー部の４隅に対応する位置に配置されている、請求項１〜３のいずれか１項に記載の振動ミラー装置。
【請求項５】
前記端子は、前記ミラー支持部の４隅に形成され、
前記軟質ダイボンド材は、前記ミラー支持部の４隅に対応する位置に配置されている、請求項１〜４のいずれか１項に記載の振動ミラー装置。
【請求項６】
光を発生する光発生部と、
前記光発生部により発生された光を反射する反射面を有するミラー部と、前記ミラー部を回動可能に支持し、前記ミラー部の反射面側の表面に端子が形成されているミラー支持部とを備えた光走査部としての振動ミラー素子と、
前記ミラー支持部の前記ミラー部の反射面とは反対側の裏面にダイボンド材を介して接着されている補強板とを備え、
前記ダイボンド材は、平面視において、前記ミラー部に対応する位置に配置されている硬質ダイボンド材と、前記端子に対応する位置に配置されている軟質ダイボンド材とを含む、プロジェクタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、振動ミラー装置およびプロジェクタに関し、特に、振動ミラー素子と振動ミラー素子にダイボンド材を介して接着される補強板とを備えた振動ミラー装置およびプロジェクタに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ＬＥＤアレイとＬＥＤアレイにダイボンド材を介して接着される基板とを備えたＬＥＤプリントヘッドが知られている（たとえば、特許文献１参照）。
【０００３】
上記特許文献１には、ＬＥＤアレイと基板とがＬＥＤアレイの基板側の全面に塗布された硬質ダイボンド材を介して接着されたＬＥＤプリントヘッドと、ＬＥＤアレイと基板とがＬＥＤアレイの基板側の全面に塗布された軟質ダイボンド材を介して接着されたＬＥＤプリントヘッドとが開示されている。
【０００４】
また、従来、振動ミラー素子と振動ミラー素子にダイボンド材を介して接着される補強板とを備えた振動ミラー装置が知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平１０−２５０１４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、従来の振動ミラー装置において、上記特許文献１のＬＥＤプリントヘッドのように、振動ミラー素子と補強板とを振動ミラー素子の裏面の全面に塗布された硬質ダイボンド材により接着した場合には、硬質ダイボンド材のガラス転移温度が高いことにより、高温環境で接着工程を行う必要があるので、振動ミラー素子および補強板の線膨張係数の違いに起因して、振動ミラー素子および補強板に歪みが発生するという不都合がある。また、振動ミラー素子と補強板とを振動ミラー素子の裏面の全面に塗布された軟質ダイボンド材により接着した場合、軟質ダイボンド材は、軟質であることから歪みを緩和可能である一方、軟質ダイボンド材には、高温で弾性率が極端に低くなる特性があるため、補強板に対する振動ミラー素子の位置精度を確保することが困難であるという不都合がある。すなわち、上記のように振動ミラー装置を構成した場合には、振動ミラー素子および補強板の歪みの発生の抑制と、振動ミラー素子の位置精度の確保との両方の要求を満たすことができないという問題点がある。
【０００７】
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の１つの目的は、振動ミラー素子および補強板の歪みの発生の抑制と、振動ミラー素子の位置精度の確保との両方の要求を満たすことが可能な振動ミラー装置およびプロジェクタを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この発明の第１の局面による振動ミラー装置は、光を反射する反射面を有するミラー部と、ミラー部を回動可能に支持し、ミラー部の反射面側の表面に端子が形成されているミラー支持部とを含む振動ミラー素子と、ミラー支持部のミラー部の反射面とは反対側の裏面にダイボンド材を介して接着される補強板とを備え、ダイボンド材は、平面視において、ミラー部に対応する位置に配置されている硬質ダイボンド材と、端子に対応する位置に配置されている軟質ダイボンド材とを含む。
【０００９】
この発明の第１の局面による振動ミラー装置では、上記のように、ダイボンド材が、平面視において、ミラー部に対応する位置に配置（塗布）される硬質ダイボンド材を含むことによって、硬質ダイボンド材が振動ミラー素子の裏面の全面に配置（塗布）される場合と異なり、硬質ダイボンド材がミラー部に対応する位置にのみ配置（塗布）されるので、高温環境で接着工程を行う場合でも、振動ミラー素子および補強板に歪みが発生するのを抑制することができる。また、平面視において、ミラー部に対応する位置において硬質ダイボンド材を介して振動ミラー素子と補強板とを接着することによって、軟質ダイボンド材のみにより接着される場合と異なり、接着強度を大きくすることができるので、振動ミラー素子の位置精度を確保することができる。したがって、この振動ミラー装置では、振動ミラー素子および補強板の歪みの発生の抑制と、振動ミラー素子の位置精度の確保との両方の要求を満たすことができる。また、端子に対応する位置に配置（塗布）される軟質ダイボンド材を設けることによって、軟質ダイボンド材により、端子に対応する位置における振動ミラー素子の裏面と補強板との間の隙間が埋められるので、端子に配線を接続する際のワイヤボンディングにより、振動ミラー素子の異常共振が発生するのを抑制することができる。
【００１０】
上記第１の局面による振動ミラー装置において、好ましくは、硬質ダイボンド材および軟質ダイボンド材は、それぞれ複数箇所に分散して配置されている。このように構成すれば、全面にダイボンド材が配置（塗布）されているよりも、振動ミラー素子および補強板の歪みに起因する反りを抑制することができる。
【００１１】
上記第１の局面による振動ミラー装置において、好ましくは、ミラー部は、ミラー支持部の中央部近傍に配置されているとともに、端子は、ミラー支持部の端部近傍に配置されており、硬質ダイボンド材は、ミラー支持部の中央部近傍のミラー部に対応する位置に配置されているとともに、軟質ダイボンド材は、ミラー支持部の端部近傍の端子に対応する位置に配置されている。このように構成すれば、硬質ダイボンド材がミラー支持部の中央部近傍のミラー部に対応する部分にのみ配置（塗布）されるので、硬質ダイボンド材が広い範囲にわたって塗布されるのを抑制することができる。その結果、この振動ミラー素子では、振動ミラー素子および補強板の歪みの発生を抑制し、かつ、振動ミラー素子の位置精度を確保することができる。また、端子と配線との接続作業をし易い振動ミラー素子の端部近傍に端子が配置されるので、軟質ダイボンド材によりワイヤボンディングによる振動ミラー素子の異常共振を抑制しながら、端子と配線との接続作業の作業性を向上させることができる。
【００１２】
上記第１の局面による振動ミラー装置において、好ましくは、ミラー部は、矩形形状に形成され、硬質ダイボンド材は、ミラー部の４隅に対応する位置に配置されている。このように構成すれば、ミラー部に対して硬質ダイボンド材がバランスよく配置（塗布）されるので、より効果的にミラー部の位置精度を確保することができる。
【００１３】
上記第１の局面による振動ミラー装置において、好ましくは、端子は、ミラー支持部の４隅に形成され、軟質ダイボンド材は、ミラー支持部の４隅に対応する位置に配置されている。このように構成すれば、各端子に対して軟質ダイボンド材がバランスよく配置（塗布）されるので、より効果的に振動ミラー素子および補強板の歪みを低減させることができるとともに、ワイヤボンディングによる振動ミラー素子の異常共振の発生を抑制することができる。
【００１４】
この発明の第２の局面によるプロジェクタは、光を発生する光発生部と、光発生部により発生された光を反射する反射面を有するミラー部と、ミラー部を回動可能に支持し、ミラー部の反射面側の表面に端子が形成されているミラー支持部とを備えた光走査部としての振動ミラー素子と、ミラー支持部のミラー部の反射面とは反対側の裏面にダイボンド材を介して接着されている補強板とを備え、ダイボンド材は、平面視において、ミラー部に対応する位置に配置されている硬質ダイボンド材と、端子に対応する位置に配置されている軟質ダイボンド材とを含む。
【００１５】
この発明の第２の局面によるプロジェクタでは、上記のように、ダイボンド材が、平面視において、ミラー部に対応する位置に配置されている硬質ダイボンド材を含むことによって、硬質ダイボンド材が振動ミラー素子の裏面の全面に配置（塗布）される場合と異なり、硬質ダイボンド材がミラー部に対応する位置にのみ配置（塗布）されるので、高温環境で接着構成を行う場合でも、振動ミラー素子および補強板に歪みが発生するのを抑制することができる。また、平面視において、ミラー部に対応する位置において硬質ダイボンド材を介して振動ミラー素子と補強板とを接着することによって、軟質ダイボンド材のみにより接着される場合と異なり、接着強度を大きくすることができるので、振動ミラー素子の位置精度を確保することができる。したがって、このプロジェクタでは、振動ミラー素子および補強板の歪みの発生の抑制と、振動ミラー素子の位置精度の確保との両方の要求を満たすことができる。また、端子に対応する位置に配置（塗布）される軟質ダイボンド材を設けることによって、軟質ダイボンド材により、端子に対応する位置における振動ミラー素子の裏面と補強板との間の隙間が埋められるので、端子に配線を接続する際のワイヤボンディングにより振動ミラー素子の異常共振が発生するのを抑制することができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、上記のように、振動ミラー素子および補強板の歪みの発生の抑制と、振動ミラー素子の位置精度の確保との両方の要求を満たすことが可能な振動ミラー装置およびプロジェクタを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の一実施形態によるプロジェクタの構成を示したブロック図である。
【図２】本発明の一実施形態によるプロジェクタのＭＥＭＳミラー装置を示した平面図である。
【図３】図２の２００−２００線に沿った断面図である。
【図４】図２の３００−３００線に沿った断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明を具体化した実施形態を図面に基づいて説明する。
【００１９】
図１〜図４を参照して、本発明の一実施形態によるプロジェクタ１の構成を説明する。なお、図３および図４では、説明の便宜上、各構成物品のＺ方向（厚み方向）の長さが誇張された状態で図示されている。
【００２０】
本発明の一実施形態によるプロジェクタ１は、図１に示すように、レーザ光を走査することにより、画像１００を投影面１０１に投影するＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ  Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｓｙｓｔｅｍ）ミラー装置２ａおよび２ｂを備えている。ＭＥＭＳミラー装置２ａは、レーザ光を水平方向に走査するように構成されており、ミラー装置２ｂは、レーザ光を垂直方向に走査するように構成されている。また、ＭＥＭＳミラー装置２ａおよび２ｂは、図２に示すように、照射されたレーザ光を反射して走査するミラー部２４を有するＭＥＭＳミラー素子２３ａおよび２３ｂと、ＭＥＭＳミラー素子２３ａおよび２３ｂを補強する補強板２７とを含んでいる。また、ＭＥＭＳミラー装置２ａおよび２ｂは、フレキシブルプリント基板２２を介してミラードライバ５５からの信号をＭＥＭＳミラー装置２ａおよび２ｂに伝達するように構成されている。また、ＭＥＭＳミラー素子２３ａおよび２３ｂと、補強板２７とは、硬質ダイボンド材３ａおよび軟質ダイボンド材３ｂにより、互いに接着されるように構成されている。なお、ＭＥＭＳミラー装置２ａおよび２ｂは、本発明の「振動ミラー装置」の一例である。また、ＭＥＭＳミラー素子２３ａおよび２３ｂは、本発明の「振動ミラー素子」の一例である。
【００２１】
また、プロジェクタ１は、図１に示すように、ＭＥＭＳミラー装置２ａおよび２ｂの他に、メインＣＰＵ４と、表示制御部５と、操作部６と、３つ（青（Ｂ）、緑（Ｇ）、赤（Ｒ））のレーザ光源７ａ〜７ｃと、２つの偏光ビームスプリッタ７１および７２と、レンズ７３と、反射ミラー７４とを備えている。
【００２２】
また、表示制御部５は、映像処理部５１と、光源制御部５２と、ＬＤ（レーザダイオード）ドライバ５３と、ミラー制御部５４と、ミラードライバ５５とを含む。また、プロジェクタ１は、映像処理部５１に入力された映像信号に基づいて画像１００を出力するように構成されている。
【００２３】
メインＣＰＵ４はプロジェクタ１の各部を制御するように構成されている。操作部６は、プロジェクタ１の電源を入れる操作、画像１００の投影角度を変更する操作および画像１００の解像度を変更する操作などを受け付けるために設けられている。また、レーザ光源７ａは、青色のレーザ光をビームスプリッタ７１とレンズ７３とを通過させてＭＥＭＳミラー素子２３ａおよび２３ｂに照射するように構成されている。また、レーザ光源７ｂおよび７ｃは、それぞれ、緑色のレーザ光および赤色のレーザ光を偏光ビームスプリッタ７１および７２とレンズ７３とを通過させてＭＥＭＳミラー装置２ａおよび２ｂに照射するように構成されている。
【００２４】
ＭＥＭＳミラー装置２ａおよび２ｂは、上記のようにレーザ光を投影面１０１に投影するように構成されている。具体的には、ＭＥＭＳミラー装置２ａおよび２ｂのＭＥＭＳミラー素子２３ａおよび２３ｂが、レーザ光源７ａ〜７ｃから照射されたレーザ光を走査して、画像１００を投影面１０１に投影するように構成されている。
【００２５】
映像処理部５１は、外部から入力される映像信号に基づいて、画像１００の投影を制御するように構成されている。具体的には、映像処理部５１は、外部から入力される映像信号に基づいて、ミラー制御部５４を介して、ＭＥＭＳミラー素子２３ａおよび２３ｂの駆動を制御するとともに、光源制御部５２を介して、レーザ光源７ａ〜７ｃによるレーザ光の照射を制御するように構成されている。
【００２６】
光源制御部５２は、映像処理部５１による制御に基づいて、ＬＤドライバ５３を制御して、レーザ光源７ａ〜７ｃによるレーザ光の照射を制御するように構成されている。具体的には、光源制御部５２は、ＭＥＭＳミラー素子２３ａおよび２３ｂが走査するタイミングに合わせて各画像１００の画素に対応する色のレーザ光をレーザ光源７ａ〜７ｃから照射させる制御を行うように構成されている。
【００２７】
ミラー制御部５４は、映像処理部５１による制御に基づいて、ミラードライバ５５を制御して、ＭＥＭＳミラー素子２３ａおよび２３ｂの駆動を制御するように構成されている。
【００２８】
次に、図２〜図４を参照して、水平方向（Ｘ方向）を走査するＭＥＭＳミラー装置２ａの詳細について説明する。ＭＥＭＳミラー装置２ａおよび２ｂは、同様の構成を有するため、以下では、ＭＥＭＳミラー装置２ａについてのみ説明する。
【００２９】
ＭＥＭＳミラー装置２ａは、矩形の平板状に形成されているＭＥＭＳミラー素子２３ａと、ＭＥＭＳミラー素子２３ａが接着されるとともに、フレキシブルプリント基板２２が取り付けられる補強板２７とを有している。
【００３０】
フレキシブルプリント基板２２には、図２に示すように、表面に複数の固定配線２２ａが設けられている。また、フレキシブルプリント基板２２は、先端部が二股に分かれており、各先端部の近傍に固定配線２２ａに接続されている複数の端子２２ｂを有している。また、フレキシブルプリント基板２２は、二股に分かれている先端部の間にＭＥＭＳミラー素子２３ａが配置されるように補強板２７に対して取り付けられている。
【００３１】
補強板２７は、約１ｍｍの厚みを有するように形成されている。また、補強板２７は、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）樹脂により形成されている。
【００３２】
ＭＥＭＳミラー素子２３ａは、図２〜図４に示すように、ミラー部２４と、ミラー部２４を支持するミラー支持部２５と、ミラー部２４とミラー支持部２５とを接続するねじり振動可能な棒状の一対の連結部２６とを含んでいる。また、ＭＥＭＳミラー素子２３ａは、図２に示すように、ミラー部２４の回転軸線Ａに対して、鏡像対称（線対称）になるように形成されている。また、ＭＥＭＳミラー素子２３ａは、シリコンにより形成されている。また、ＭＥＭＳミラー素子２３ａは、図示しない、静電アクチュエーターを含み、フレキシブルプリント基板２２を介して伝達される信号に基づいて静電アクチュエーターに電圧を印加することにより、ミラー部２４を振動させるとともに、ミラー部２４に照射されたレーザ光を水平方向に走査するように構成されている。
【００３３】
ミラー部２４は、矩形の平板状に形成されるとともに、ＭＥＭＳミラー素子２３ａの中央部に位置するように配置されている。
【００３４】
ミラー支持部２５は、Ｙ方向に延びる矩形（長方形）の平板状に形成されるとともに、ミラー部２４の反射面側の表面２５ａの中央部に所定深さに形成されている矩形状の凹部からなる開口部２５ｂを有している。また、この開口部２５ｂは、矩形の平板状に形成されたミラー部２４により、塞がれるように構成されている。また、ミラー支持部２５は、裏面２５ｃの後述する所定箇所に配置された硬質ダイボンド材３ａおよび軟質ダイボンド材３ｂにより、補強板２７に対して接着されるように構成されている。また、ミラー支持部２５は、表面２５ａの４隅にそれぞれ端子２５ｄを有する。この４つの端子２５ｄは、上記のフレキシブルプリント基板２２の先端部に形成された端子２２ｂに対して、ワイヤボンディングにより電気的に接続されるように構成されている。
【００３５】
また、ねじり振動可能な連結部２６は、ミラー部２４の回転軸線Ａに沿ってＹ方向（走査方向に直交する方向）に延びるように構成されている。また、一対の連結部２６は、それぞれ、ミラー支持部２５の中央部側の一方端部においてミラー部２４に接続されるとともに、ミラー部３５とは反対側の他方端部においてミラー支持部２５に接続されている。また、連結部２６は、図示しない静電アクチュエーターに電圧を印加することにより周期的にねじれを伴って回動（振動）するように構成されている。この連結部２６の回動により、ミラー部２４は、図４に示すように、連結部２６を中心として所定角度範囲内を揺動（振動）可能に構成されている。この際、ＭＥＭＳミラー素子２３ａは、ミラー支持部２５にミラー部２４の揺動を妨げないようにするための所定の深さを有する上記の開口部２５ｂが形成されているため、ミラー部２４とミラー支持部２５とが互いに接触することがないように構成されている。
【００３６】
次に、ＭＥＭＳミラー素子２３ａと補強板２７との接着に使用される硬質ダイボンド材３ａおよび軟質ダイボンド材３ｂについて説明する。硬質ダイボンド材３ａは、ガラス移転温度が高く、高温環境下でも高い弾性率を確保できる特性を有している。一方、軟質ダイボンド材３ｂは、ガラス移転温度が低く、高温環境下では弾性率が極端に低下する特性を有している。具体的には、硬質ダイボンド材３ａは、主材料がエポキシ系樹脂から構成されており、ガラス転移温度が約９５℃となる特性を有している。また、軟質ダイボンド材３ｂは、主材料が硬質ダイボンド材３ａと同じエポキシ系樹脂から構成されており、ガラス転移温度が約２５℃となる特性を有している。
【００３７】
次に、図２〜図４を参照して、硬質ダイボンド材３ａおよび軟質ダイボンド材３ｂの配置について説明する。
【００３８】
硬質ダイボンド材３ａおよび軟質ダイボンド材３ｂは、平面視において、それぞれ４箇所に分散して配置されている。具体的には、４つの硬質ダイボンド材３ａは、平面視において、ミラー支持部２５の中央部に配置されている矩形形状のミラー部２４の４隅に対応する位置にそれぞれ配置されている。また、４つの軟質ダイボンド材３ｂは、平面視において、矩形形状のミラー支持部２５の４隅に形成されている各端子２５ｄに対応する位置にそれぞれ配置されている。
【００３９】
なお、レーザ光を垂直方向に走査するＭＥＭＳミラー装置２ｂは、レーザ光を水平方向に走査するＭＥＭＳミラー装置２ａと同様に、ＭＥＭＳミラー素子２３ｂと補強板２７との間の所定位置に配置された硬質ダイボンド材３ａおよび軟質ダイボンド材３ｂにより、接着されるように構成されている。
【００４０】
本実施形態では、上記のように、ダイボンド材が、平面視において、ミラー部２４に対応する位置に配置される硬質ダイボンド材３ａを含むことによって、硬質ダイボンド材３ａがＭＥＭＳミラー素子２３ａおよび２３ｂの裏面２５ｃの全面に配置（塗布）される場合と異なり、硬質ダイボンド材３ａがミラー部２４に対応する位置にのみ配置（塗布）されるので、高温環境で接着工程を行う場合でも、ＭＥＭＳミラー素子２３ａおよび２３ｂ、および、補強板２７に歪みが発生するのを抑制することができる。また、平面視において、ミラー部２４に対応する位置において硬質ダイボンド材３ａを介してＭＥＭＳミラー素子２３ａおよび２３ｂと補強板とを接着することによって、軟質ダイボンド材３ｂのみにより接着される場合と異なり、接着強度を大きくすることができるので、ＭＥＭＳミラー素子２３ａおよび２３ｂの位置精度を確保することができる。したがって、このＭＥＭＳミラー装置２ａおよび２ｂでは、ＭＥＭＳミラー素子２３ａおよび２３ｂ、および、補強板２７の歪みの発生の抑制と、ＭＥＭＳミラー素子２３ａおよび２３ｂの位置精度の確保との両方の要求を満たすことができる。また、軟質ダイボンド材３ｂにより、端子２５ｄに対応する位置における、ＭＥＭＳミラー素子２３ａおよび２３ｂの裏面と補強板２７との間の隙間が埋められるので、端子２５ｄに配線２２ａを接続する際のワイヤボンディングにより、ＭＥＭＳミラー素子２３ａおよび２３ｂの異常共振が発生するのを抑制することができる。
【００４１】
また、本実施形態では、上記のように、硬質ダイボンド材３ａおよび軟質ダイボンド材３ｂが、それぞれ複数箇所に分散して配置される。これにより、全面にダイボンド材が配置（塗布）されているよりも、ＭＥＭＳミラー素子２３ａおよび２３ｂおよび補強板２７の歪みに起因する反りを抑制することができる。
【００４２】
また、本実施形態では、上記のように、ミラー部２４は、ミラー支持部２５の中央部近傍に配置されているとともに、端子２５ｄは、ミラー支持部２５の端部近傍に配置されており、硬質ダイボンド材３ａは、ミラー支持部２５の中央部近傍のミラー部２４に対応する位置に配置（塗布）されているとともに、軟質ダイボンド材３ｂは、ミラー支持部２５の端部近傍の端子２５ｄに対応する位置に配置（塗布）されている。このように構成すれば、硬質ダイボンド材３ａがミラー支持部２５の中央部近傍のミラー部２４に対応する部分にのみ配置（塗布）されるので、硬質ダイボンド材３ａが広い範囲にわたって塗布されるのを抑制することができる。その結果、このＭＥＭＳミラー素子２３ａおよび２３ｂでは、ＭＥＭＳミラー素子２３ａおよび２３ｂ、および、補強板２７の歪みの発生を抑制し、かつ、ＭＥＭＳミラー素子２３ａおよび２３ｂの位置精度を確保することができる。また、端子２５ｄと配線２２ａとの接続作業をし易いＭＥＭＳミラー素子２３ａおよび２３ｂの端部近傍に端子２５ｄが配置されるので、軟質ダイボンド材３ｂによりワイヤボンディングによるＭＥＭＳミラー素子２３ａおよび２３ｂの異常共振を抑制しながら、端子２５ｄと配線２２ａとの接続作業の作業性を向上させることができる。
【００４３】
また、本実施形態では、上記のように、ミラー部２４を矩形形状に形成し、硬質ダイボンド材３ａをミラー部２４の４隅に対応する位置に配置する。これにより、ミラー部２４に対して硬質ダイボンド材３ａがバランスよく配置（塗布）されるので、より効果的にミラー部２４の位置精度を確保することができる。
【００４４】
また、本実施形態では、上記のように、端子２５ｄを、ミラー支持部２５の４隅に形成し、軟質ダイボンド材３ｂをミラー支持部２５の４隅に対応する位置に配置する。これにより、各端子２５ｄに対して軟質ダイボンド材３ｂがバランスよく配置（塗布）されるので、より効果的にＭＥＭＳミラー素子２３ａおよび２３ｂおよび補強板２７の歪みを低減させることができるとともに、ワイヤボンディングによるＭＥＭＳミラー素子２３ａおよび２３ｂの異常共振を抑制することができる。
【００４５】
なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。
【００４６】
たとえば、本実施形態では、上記のように、ミラー部がＭＥＭＳミラー素子の中央部に配置される例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、たとえば、ミラー部は、ＭＥＭＳミラー素子の端部近傍など、振動ミラー素子の央部以外に設けてもよい。
【００４７】
また、上記実施形態では、硬質ダイボンド材および軟質ダイボンド材が、それぞれ４箇所に配置される例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、硬質ダイボンド材がミラー部に対応する位置に配置されているのであれば、４箇所以外の数で配置されてもよい。また、軟質ダイボンド材が端子に対応する位置に配置されているのであれば、４箇所以外の数で配置されてもよい。
【００４８】
また、上記実施形態では、２つのＭＥＭＳミラー装置が、それぞれ水平方向および垂直方向を別々に走査する例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、１つのＭＥＭＳミラー装置が、水平方向および垂直方向の２軸を走査するように構成してもよい。
【００４９】
また、上記実施形態では、レーザ光を走査するプロジェクタの例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、レーザ光以外の光を走査するプロジェクタであってもよい。
【００５０】
また、上記実施形態では、軟質ダイボンド材が、ミラー支持部の裏面の端子に対応する位置のみに配置されるが例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、軟質ダイボンド材が、ミラー支持部の裏面の端子に対応する位置に加えて、ミラー支持部の裏面の端子に対応しない位置にも配置されてもよい。
【符号の説明】
【００５１】
１  プロジェクタ
２ａ、２ｂ  ＭＥＭＳミラー装置（光走査部、振動ミラー装置）
３ａ  硬質ダイボンド材
３ｂ  軟質ダイボンド材
２３ａ、２３ｂ  ＭＥＭＳミラー素子（振動ミラー素子）
２４  ミラー部
２５  ミラー支持部
２５ａ  表面
２５ｃ  裏面
２５ｄ  端子
２７  補強板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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