(57)【要約】【課題】流路を被覆する被覆層の端部の剥離を防ぐ。【解決手段】第一の流路を有する第一流路部材と、上記第一の流路と連通する第二の流路を有する第二流路部材と、上記第一の流路の壁面を被覆する被覆層と、上記第一流路部材と上記第二流路部材とを接着し、上記被覆層の端部の少なくとも一部を覆う接着層と、を備える流路部品を提供する。また、上記第一流路部材は、上記第一の流路の少なくとも一部を、供給される液体に圧力を与える圧力室として構成する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第一の流路を有する第一流路部材と、
上記第一の流路と連通する第二の流路を有する第二流路部材と、
上記第一の流路の壁面を被覆する被覆層と、
上記第一流路部材と上記第二流路部材とを接着し、上記被覆層の端部の少なくとも一部を覆う接着層と、を備えることを特徴とする流路部品。
【請求項２】
上記第一流路部材は、上記第一の流路の少なくとも一部を、供給される液体に圧力を与える圧力室とすることを特徴とする請求項１に記載の流路部品。
【請求項３】
上記第二流路部材は、上記第二の流路として、上記第一の流路と上記第一の流路を通過した液体を噴射するノズルとを連通する流路を有することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の流路部品。
【請求項４】
上記第二流路部材は、上記第二の流路として、上記第一の流路を通過した液体を噴射するノズルを有することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の流路部品。
【請求項５】
上記接着層は、上記被覆層の端部における上記第一の流路の壁面から剥離した剥離部を覆うことを特徴とする請求項１〜請求項４のいずれかに記載の流路部品。
【請求項６】
上記被覆層は、パラキシリレン系のポリマーによる保護膜であることを特徴とする請求項１〜請求項５のいずれかに記載の流路部品。
【請求項７】
請求項１〜請求項６のいずれかに記載の流路部品を搭載した液体噴射装置。
【請求項８】
第一の流路を有する第一流路部材と、当該第一の流路と連通する第二の流路を有し、当該第一流路部材に対して接着される第二流路部材と、を有する流路部品の製造方法であって、
上記第一の流路の壁面を被覆する被覆層を成膜する工程と、
上記第一流路部材の上記第二流路部材と接着する側の面および上記第二流路部材の上記第一流路部材と接着する側の面との少なくとも一方に接着剤を塗布あるいは付着させる工程と、
上記接着剤を介して上記第二流路部材と上記第一流路部材とを接着させることにより、上記接着剤の一部を上記第一の流路の開口から上記第一の流路へ進入させ、当該進入させた接着剤により上記被覆層の端部の少なくとも一部を覆う工程と、を有することを特徴とする流路部品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流路部品、液体噴射装置および流路部品の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体が通過する液体流路を内部に形成してなるセラミックスから構成された流路部品であって液体流路の一つの端部であり液体流路内の液体を流路部品の外部に流出させる流出開口が形成されている流路部品において、液体流路を構成する流路壁面がパラキシリレン系のポリマーの保護膜により覆われた構成が知られている（特許文献１参照）。この流路部品の流出開口が形成されている外壁面には、当該流路部品とは別の部材であって、当該流出開口と連通する連通孔を備えた部材が接合される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１２‐２０１０２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記保護膜は、流路壁面の耐水性、耐薬品性、絶縁性、耐熱性および強度等（まとめて耐久性と表現する。）の向上を目的として設けられている。ここで、上記流出開口の近傍における保護膜の末端は、液体流路内の液体の流れに晒されることにより、その一部が流路壁面から剥離するおそれがあった。このように剥離した保護膜の一部は、液体や液体中の気泡の流れを阻害し得る。また、剥離した保護膜の一部が脱落して（千切れて）液体流路内や上記連通孔内で浮遊し、異物化すると、液体や液体中の気泡の流れはさらに阻害され、安定した液体噴射の妨げにもなる。
【０００５】
本発明は上述の課題を解決するためになされたものであり、流路内の所定層（膜）の剥離や脱落を防止し、結果、液体の安定した流れを実現することが可能な流路部品、液体噴射装置、およびそのような流路部品の製造方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の態様の一つは、流路部品は、第一の流路を有する第一流路部材と、上記第一の流路と連通する第二の流路を有する第二流路部材と、上記第一の流路の壁面を被覆する被覆層と、上記第一流路部材と上記第二流路部材とを接着し、上記被覆層の端部の少なくとも一部を覆う接着層と、を備える構成としてある。
当該構成によれば、第一の流路の壁面を被覆する被覆層の端部は、第一流路部材と第二流路部材とを接着する接着層によって覆われる。そのため、従来のような当該端部が剥離し易い状態が解消され、流路部品における液体の安定した流れを実現することができる。
【０００７】
本発明の態様の一つは、上記第一流路部材は、上記第一の流路の少なくとも一部を、供給される液体に圧力を与える圧力室としてもよい。
圧力室は、その壁面に耐久性が求められるため、被覆層によって保護することが望ましい。当該構成によれば、圧力室を含む流路（第一の流路）を被覆する被覆層の端部の剥離を防止することができる。
【０００８】
なお、本発明の態様の一つとして、上記第二流路部材は上記第二の流路として、上記第一の流路を通過した液体を噴射するノズルを有するとしてもよいし、上記第一の流路と上記ノズルとを連通する流路を有するとしてもよい。
このような構成によれば、第一の流路からノズルへと続く液体の流れや、ノズルからの液体の噴射を安定させることができる。
【０００９】
本発明の態様の一つは、上記接着層は、上記被覆層の端部における上記第一の流路の壁面から剥離した剥離部を覆うとしてもよい。
流路部品の製造工程内において、被覆層の端部の一部が裂けたり破断する等して、当該端部の一部が第一の流路の壁面から剥離することがある。このような剥離した剥離部が存在する場合であっても、上記構成によれば、剥離部が接着層によって覆われるため、当該剥離部が第一の流路内で揺れたり脱落したりすることが防止され、流路部品における液体の安定した流れが実現される。
【００１０】
なお上記被覆層の素材は種々考えられるが、例えば、上記被覆層は、パラキシリレン系のポリマーによる保護膜であるとしてもよい。
【００１１】
本発明にかかる技術的思想は流路部品という形態のみで実現されるものではなく、他の物によって具現化されてもよい。例えば、流路部品を搭載した装置（液体噴射ヘッドや液体噴射装置）を一つの発明として捉えたり、流路部品の一部を一つの発明として捉えたりすることも可能である。また、上述した流路部品を製造する製造方法の発明を捉えることも可能であり、例えば、第一の流路を有する第一流路部材と、当該第一の流路と連通する第二の流路を有し、当該第一流路部材に対して接着される第二流路部材と、を有する流路部品の製造方法であって、上記第一の流路の壁面を被覆する被覆層を成膜する工程と、上記第一流路部材の上記第二流路部材と接着する側の面および上記第二流路部材の上記第一流路部材と接着する側の面との少なくとも一方に接着剤を塗布あるいは付着させる工程と、上記接着剤を介して上記第二流路部材と上記第一流路部材とを接着させることにより、上記接着剤の一部を上記第一の流路の開口から上記第一の流路へ進入させ、当該進入させた接着剤により上記被覆層の端部の少なくとも一部を覆う工程と、を有する方法が考えられる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】液体噴射ヘッドの主要構成の一部を例示する分解斜視図である。
【図２】ノズルを通過する断面を示す断面図である。
【図３】連通孔近傍の斜視断面図である。
【図４】液体噴射ヘッドの製造方法の一部を例示する図である。
【図５】液体噴射ヘッドの製造方法の一部を例示する図である。
【図６】インクジェットプリンターの一例を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、図面を参照しながら本発明の実施形態を説明する。
図１は、本実施形態にかかる液体噴射ヘッド１０の主要構成の一部を、分解斜視図により例示している。ここでは、液体噴射ヘッド１０は、インクを噴射（吐出）するインクジェット式記録ヘッドであるとして説明を行う。液体噴射ヘッド１０は、振動板２０、流路基板３０、封止プレート４０、リザーバープレート５０、ノズルプレート６０といった各部材を含んで構成される。流路基板３０は、特許請求の範囲における第一流路部材の一例に該当する。これら各部材は、それぞれが個別に生成されて積層されるものであってもよいし、それら（あるいはそれらの一部）が一体的に生成されるものであってもよい。また、液体噴射ヘッド１０は、図１に図示した部材以外の部材を含む構成であってもよいし、図１に図示した部材の一部を有さない構成であってもよい。
【００１４】
振動板２０は、流路基板３０の一方の面を封止するものであり、流路基板３０と接する面と逆側の面に、圧電素子７０（図２参照）を搭載する。振動板２０は、例えば、セラミックスで生成される。あるいは振動板２０は、例えば、流路基板３０に接する酸化膜からなる弾性膜と、当該弾性膜とは異なる材料の酸化膜からなり当該弾性膜に積層される絶縁体膜とを含む。なお本願において、物と物とが「接する」とは、物と物との間に接着剤等が介在する状態と、介在する物が無い状態とのどちらをも含む意味である。
【００１５】
流路基板３０は、液体の流路３１を複数有する。流路３１は、特許請求の範囲における第一の流路の一例に該当する。流路３１は、その長手方向を第一方向と平行とした状態で、第一方向に直交する第二方向に並設されている。流路３１と流路３１との間には、隔壁３６が設けられている。なお、本明細書において、液体噴射ヘッド１０の各構成の方向や位置等について、平行、直交あるいは同一、等と表現した場合、それらは厳密な平行、直交あるいは同一のみを意味するのではなく、製品性能上許容される程度の誤差や製品製造時に生じ得る程度の誤差も含む意味である。
【００１６】
それぞれの流路３１は、供給孔３２と、圧力室３３と、連通孔３４とを含んで構成される。圧力室３３は、流路基板３０の上記一方の面において開口しており、供給孔３２および連通孔３４は、流路基板３０の他方の面において開口している。供給孔３２は、圧力室３３の長手方向における一端側近傍で圧力室３３と連通している。連通孔３４は、圧力室３３の長手方向における他端側近傍で圧力室３３と連通している。
【００１７】
ノズルプレート６０は、インクを噴射するための貫通穴としてのノズル６１を複数有する。図１の例では、ノズルプレート６０は、ノズル６１が第二方向に沿って所定間隔で複数形成されたノズル列６２を有している。なお、ノズルプレート６０は、複数のノズル６１が第二方向に沿って形成された複数のノズル列を第一方向に並設し、一方のノズル列と他方のノズル列とを第二方向においてずらして配置する（いわゆる千鳥配置とする）構成を採用してもよい。
【００１８】
流路３１毎の各連通孔３４は、各圧力室３３と各ノズル６１とを一対一で連通させる。ただし図１の例では、流路基板３０の上記他方の面と、ノズルプレート６０との間には、封止プレート４０とリザーバープレート５０とが介在する。封止プレート４０は、一方の面を、流路基板３０の上記他方の面に対して接する。リザーバープレート５０は、一方の面を、封止プレート４０の他方の面に対して接する。また、リザーバープレート５０は、他方の面を、ノズルプレート６０の外部に露出する面（ノズル開口面）と逆側の面に対して接する。流路基板３０、封止プレート４０、リザーバープレート５０およびノズルプレート６０のそれぞれは、例えば、セラミックスや、シリコン単結晶基板や、ステンレス鋼等により生成される。
【００１９】
リザーバープレート５０は、複数の第二連通孔５１と、リザーバー５２とを有する。リザーバー５２は、共通インク室とも呼ぶ。第二連通孔５１とリザーバー５２とは、いずれもリザーバープレート５０を貫通する。各第二連通孔５１は、各ノズル６１に一対一で対応する位置に配置されている。リザーバー５２は、ノズル列６２の第二方向における長さに略対応して、第二方向における長さが確保されている。封止プレート４０は、複数の第一連通孔４１と、共通供給孔４２とを有する。第一連通孔４１と共通供給孔４２とは、いずれも封止プレート４０を貫通する。各第一連通孔４１は、各第二連通孔５１と同様に各ノズル６１に一対一で対応する位置に配置されている。また、各第一連通孔４１は、各連通孔３４とも一対一で連通する。共通供給孔４２は、リザーバー５２と同様にノズル列６２の第二方向における長さに略対応して、第二方向における長さが確保されている。また、共通供給孔４２は、各供給孔３２と連通する。リザーバー５２は、（後述する外部からのインク供給経路を除いて、）ノズルプレート６０と接する側でノズルプレート６０により封止され、封止プレート４０と接する側で共通供給孔４２と相対する箇所を除いて封止プレート４０により封止されている。
【００２０】
このような構成においては、封止プレート４０は、特許請求の範囲における、第一の流路（流路３１）と連通する第二の流路を有する第二流路部材の一例に該当する。封止プレート４０が第二流路部材である場合、第一連通孔４１は特許請求の範囲における第二の流路に該当する。また、封止プレート４０が第二流路部材である場合、流路基板３０と封止プレート４０を含む構成が、特許請求の範囲における「流路部品」の一例に該当する。つまり、液体噴射ヘッド１０は、その構成に流路部品を含む物である。
【００２１】
図２は、液体噴射ヘッド１０の図１に示した断面を、第二方向を向いた視点により示している。図２が示す断面は、ノズル列６２に属するノズル６１を通過する断面である。図２に示すように、圧力室３３は、連通孔３４、第一連通孔４１および第二連通孔５１を介して、ノズル６１に連通している。振動板２０の流路基板３０と接する面と逆側の面には、圧電素子７０が搭載される。圧電素子７０は、公知のように圧力室３３の位置に対応して圧力室３３毎に設けられる。圧電素子７０には、図示しない個別電極および共通電極が接続され、これら電極に対して、液体噴射ヘッド１０を駆動するための回路基板１００から供給された電圧が、ケーブル類（フレキシブル基板等）９０を介して印加されることにより、圧電素子７０が変形する。なお、圧電素子７０や上記各電極を搭載した振動板２０と流路基板３０とをまとめて、アクチュエーター基板１１と呼ぶこともできる。
【００２２】
リザーバー５２へは、図示しないインク供給経路を介して、外部からインクが供給される。リザーバー５２へ供給されたインクは、共通供給孔４２を通過して、各供給孔３２から各圧力室３３へ供給される。上述のような圧電素子７０の変形に伴い振動板２０が撓むことにより、圧力室３３内で圧力が高まり、かかる圧力の高まりに応じて圧力室３３内のインクがノズル６１から噴射される。
【００２３】
ここで、流路基板３０は、振動板２０の上記撓みに伴う圧力変化を受ける部材であるため、流路３１の壁面にクラック等の損傷が生じやすい部材であると言える。また、流路３１の壁面に損傷が生じると、インクが外部に漏れる等の弊害が発生し得る。そこで本実施形態では、図２に示すように、流路３１の壁面（供給孔３２、圧力室３３、連通孔３４および、圧力室３３内に臨む振動板２０の面）について、保護膜３５（被覆層）で被覆することにより、それら壁面の耐久性を向上させている。保護膜３５としては、有機膜や金属膜等を採用することができるが、本実施形態では、パラキシリレン系のポリマーを採用する。また、流路３１の壁面を保護膜３５で覆った場合、保護膜３５の端部は、流路内のインクの流れに晒されることにより、その一部が壁面から剥離するおそれがある。また、流路３１の壁面に保護膜３５を成膜する過程で、かかる端部が壁面から剥離する場合もある。そこで、本実施形態では、第一流路部材（流路基板３０）と第二流路部材（例えば、封止プレート４０）とを接着する接着剤の層（接着層８０）により、保護膜３５の端部の少なくとも一部を覆う構成としている。
【００２４】
図３は、保護膜３５の端部３５ａが接着層８０により覆われた様子を詳しく示すための斜視断面図である。図３は、流路基板３０が有する流路３１の一部としての連通孔３４近傍を図示している。上述したように、流路３１（図３では圧力室３３および連通孔３４を図示）は、その壁面が保護膜３５によって被覆されている。また、連通孔３４は、ノズル６１側（封止プレート４０側）に連通する開口３４ａ（図２も適宜参照）を有しており、開口３４ａ付近の壁面を被覆する保護膜３５の部分が、保護膜３５の端部３５ａに該当する。端部３５ａは、開口３４ａから連通孔３４内へ一部進入した接着層８０によって覆われている。
【００２５】
このような構成を採用することにより、流路３１や流路３１に接続するノズル６１側の流路（第一連通孔４１等）をインクが流れる際に、当該流れに端部３５ａが直接晒されることが防止される。その結果、端部３５ａが流路３１の壁面から剥離したり剥離が進行して脱落したりすることが回避され、また、剥離あるいは脱落した端部３５ａによってインクやインク中の気泡の流れが阻害されたり、異物化した端部３５ａがノズル６１に詰まるといった各種弊害も無くなる。つまり本実施形態によれば、保護膜３５の端部３５ａを接着層８０にて覆うことにより、安定した液体噴射が実現される。なお、流路基板３０が有する供給孔３２の封止プレート４０側に連通する開口３２ａ（図２参照）近傍においても同様に、開口３２ａに臨む保護膜３５の端部が、接着層８０によって覆われている。
次に、本実施形態にかかる流路部品を含む液体噴射ヘッド１０の製造方法について説明する。
【００２６】
図４および図５は、液体噴射ヘッド１０の製造方法に含まれる一部工程を、図２と同様の断面により例示している。図４の上段では、第一流路部材（流路基板３０）の第二流路部材（例えば、封止プレート４０）と接着する側の面（以下、対象面）に、シール１１０が貼られる工程を示している。シール１１０は、流路基板３０内の流路３１に保護膜３５を成膜するための準備工程において対象面に貼り付けられる。対象面に保護膜３５の成分が付着すると、対象面と第二流路部材とを接着する際の接着力を低下させるおそれがあるため、対象面に保護膜３５の成分が付着することを防ぐべく、シール１１０を貼る。シール１１０は、対象面に形成された各開口３２ａ，３４ａのうち、各開口３２ａに対面する各位置に、成膜ガス注入用の穴１１０ａを有している。穴１１０ａの開口面積は、開口３２ａの開口面積よりも小さい。
【００２７】
図４の中段では、流路基板３０内の流路３１の壁面を被覆する保護膜３５を成膜する工程を示している。具体的には、シール１１０の穴１１０ａから保護膜３５の成分を有する成膜ガスを注入することにより、流路３１の壁面に保護膜３５を形成する。本実施形態では上述したようにシール１１０の穴１１０ａを、開口３４ａに対応する位置ではなく開口３２ａに対応する位置に形成しているが、それは以下に述べる理由による。第二方向（図１参照）における連通孔３４のピッチは、第二方向におけるノズル６１のピッチと等しいため、今日のノズル６１の高密度化に伴って、高密度化が進んでいる。このように狭い間隔で第二方向に並ぶ連通孔３４の開口３４ａ一つ一つに対して穴１１０ａを位置合わせするには精度の高い作業が要求され、仮に各開口３４ａと各穴１１０ａとの位置にずれが在ると、流路３１内に成膜ガスを十分に行き渡らせられないばかりでなく、対象面の一部に成膜ガスが触れる可能性もある。
【００２８】
一方、供給孔３２は、リザーバー５２側からのインクを圧力室３３に供給するための経路である。そのため、供給孔３２は、結果的に各圧力室３３にインクを平等に供給できるものであればよく、図１に例示した一つの圧力室３３に対応して一つ存在する構成に限らず、例えば、複数の圧力室３３に対して一つの供給孔３２によってインクを供給することも可能である。言い換えると、第二方向において供給孔３２は、必ずしも連通孔３４やノズル６１ほどの高密度化は要求されておらず、そのためシール１１０の各穴１１０ａを各開口３２ａへ位置合わせする作業も、各開口３４ａへ位置合わせする作業よりは困難性が低い場合があると言える。このような理由により、シール１１０の穴１１０ａを開口３２ａに対応する位置に形成している。
【００２９】
図４の下段では、保護膜３５の成膜後において、シール１１０を対象面から剥がした状態を示している。シール１１０を対象面から剥がすとき、開口３２ａ，３４ａ近傍で流路３１の壁面を被覆する保護膜３５が、シール１１０の流路３１内を向く面に付着している保護膜３５に引張られて、一部破損したり剥がれたりする場合がある。図４の下段では一例として、鎖線で示す大きい円の中に、開口３４ａ近傍の保護膜３５の端部３５ａ等を抜き出して拡大表示している。この拡大表示では、シール１１０を剥がす作業に伴って流路３１の壁面から剥離した状態の端部３５ａ（剥離部３５ａ１）を示している。このような、流路部品の製造工程で形成された剥離部３５ａ１は、これを放置しておくとインクの流れ等を阻害してインクの安定した噴射を妨げる要因となり得る。そのため本実施形態では、後述するように当該剥離部３５ａ１も含めて保護膜３５の端部３５ａを接着層８０で覆うようにしている。
【００３０】
図５の上段では、流路３１の開口３２ａ，３４ａの少なくとも一部範囲を除いて対象面に接着剤を塗布あるいは付着させる工程を示している。具体的には、対象面にシート状の熱圧着用接着剤（接着シート）を貼り付ける。接着シートは、接着層８０の一例である。
接着シート（８０）には、予め各開口３２ａおよび各開口３４ａの位置に対応した略円形の穴８１がくり抜かれて形成されている。穴８１の開口面積は、開口３２ａ，３４ａのいずれの開口面積よりも小さい。従って、図５の上段に示した構成を接着シート（８０）側から見たとき、各穴８１は、対応する各開口３２ａ，３４ａの内側に収まった状態で配置されている。
【００３１】
上記のように対象面に接着シート（８０）が貼り付けられたら、次に、図５の下段の工程で示すように、アクチュエーター基板１１を対象面が鉛直方向上側を向くように配置し、接着シート（８０）に対して対象面に接する部材（図１，２，５の例では封止プレート４０）を押し当て、かつ接着シート（８０）に熱を与える。これにより、対象面と当該部材とを熱圧着する。このとき、熱により一時的に軟化した接着シート（８０）の一部であって上記穴８１の縁部分は、当該部材が押し当てられることによる圧力および重力によって、開口３２ａ，３４ａから流路３１（共通孔３２、連通孔３４）内へ進入する。当該進入した接着シート（８０）の一部は、既に成膜されている保護膜３５の端部３５ａを覆いながら保護膜３５の外側に沿って進行しつつ冷えて硬化する。この結果、図５の下段や図２，３に例示するように、保護膜３５の端部３５ａが固まった接着層８０によって覆われる。なお、接着剤が熱圧着用の接着剤でない場合には、熱を加えなくてもよく、その接着剤に応じた方法で接着する。
【００３２】
図５の下段では一例として、鎖線で示す大きい円の中に、開口３４ａ近傍の保護膜３５の端部３５ａ等を抜き出して（上下方向を逆にして）拡大表示している。この拡大表示にあるように、剥離部３５ａ１である端部３５ａも接着層８０によって覆われるため、以後、剥離部３５ａ１がインクの流れに晒されることはなく、剥離部３５ａ１がインクの流れ等を阻害してインクの安定した噴射を妨げることもない。なお、アクチュエーター基板１１を対象面が鉛直方向上側を向くように配置するタイミングは、対象面に接着シート（８０）を貼り付ける工程よりも早いタイミングであってもよい。また、接着シート（８０）を対象面に貼り付けるのではなく、対象面に接する部材（図１，２，５の例では封止プレート４０）の流路基板３０側の面（以下、第２対象面）に貼り付けるようにしてもよい。さらには、対象面と第２対象面との双方に接着シート（８０）を貼り付けるようにしてもよい。このような場合であっても、アクチュエーター基板１１を対象面が鉛直方向上側を向くように配置することで接着を行うことが望ましい。以後は、リザーバープレート５０やノズルプレート６０を取り付け、さらに回路基板１００との接続等をすることにより、液体噴射ヘッド１０が製造される。このような製造方法によれば、接着剤という元々必要な素材によって保護膜３５の端部３５ａを容易かつ確実に覆うことができる。
【００３３】
他の実施形態：
本発明は上述の実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の態様において実施することが可能であり、例えば以下のような実施形態も可能である。
【００３４】
液体噴射ヘッド１０は、必ずしも封止プレート４０およびリザーバープレート５０を備える必要は無く、いわゆるコンプライアンスプレートなどの他のプレートを備えていてもよい。さらにこれらのプレートが複数のプレートで構成されていてもよいし、複数のプレートの機能を一枚のプレートが備えていてもよい。また、上記対象面に対して、ノズルプレート６０や、いわゆるコンプライアンスプレートが接着層８０により接着されるとしてもよい。例えば、対象面に対してノズルプレート６０を接着層８０を介して接着する構成においては、ノズルプレート６０が第二流路部材に該当し、ノズル６１が第二の流路に該当する。また、ノズルプレート６０が第二流路部材である場合、流路基板３０とノズルプレート６０を含む構成が、特許請求の範囲における「流路部品」の一例に該当する。このような場合、例えば、流路基板３０が、各圧力室３３にインクを供給するためのリザーバーの一部を包含するような構成を採用すればよい。
【００３５】
また、圧力室３３に圧力変化を生じさせる圧力発生手段は、図２，４，５に示したような薄膜型の圧電素子に限られず、例えば、圧電材料と電極材料とを交互に積層させてなる積層型の圧電アクチュエーターや、縦振動させて各圧力室３３に圧力変化を与える縦振動型の圧力発生手段を採用してもよい。また、圧力発生手段として、圧力室内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズルから液滴を噴射するものや、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気によって振動板を変形させてノズルから液滴を噴射させるいわゆる静電式アクチュエーター等を使用することができる。
【００３６】
また、液体噴射ヘッド１０は、インクカートリッジ等と連通するインク供給経路を具備するインクジェット式記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェットプリンター２００に搭載される。インクジェットプリンター２００は液体噴射装置の一例である。
【００３７】
図６は、インクジェットプリンター２００の一例を示す概略図である。図６において、符号１は、液体噴射ヘッド１０をそのノズル開口面を外部に露出させつつ収めた筺体（ヘッドカバー）の一部を示している。インクジェットプリンター２００において、複数の液体噴射ヘッド１０を有するインクジェット式記録ヘッドユニット（以下、ヘッドユニット２０２）には、例えば、インクカートリッジ２０２Ａ，２０２Ｂ等が着脱可能に設けられる。ヘッドユニット２０２を搭載したキャリッジ２０３は、装置本体２０４に取り付けられたキャリッジ軸２０５に軸方向移動自在に設けられている。そして、駆動モーター２０６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト２０７を介してキャリッジ２０３に伝達されることで、キャリッジ２０３はキャリッジ軸２０５に沿って移動する。
【００３８】
装置本体２０４にはキャリッジ軸２０５に沿ってプラテン２０８が設けられており、図示しないローラー等により供給された印刷媒体Ｓがプラテン２０８上を搬送される。そして、搬送される印刷媒体Ｓに対して、液体噴射ヘッド１０のノズル６１からインクが噴射され任意の画像が印刷媒体Ｓに印刷される。なお、インクジェットプリンター２００は、ヘッドユニット２０２が上記のように移動するものだけでなく、例えば、液体噴射ヘッド１０が固定されて、印刷媒体Ｓを移動させるだけで印刷を行ういわゆるラインヘッド型のプリンターであってもよい。
【００３９】
また本発明は、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドや液体噴射装置にも適用することができる。例えば、液体噴射ヘッドとしては、液晶ディスプレー等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレーやＦＥＤ（電解放出ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオチップ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられ、かかる液体噴射ヘッドを搭載した液体噴射装置にも本発明を適用することができる。
【符号の説明】
【００４０】
１０…液体噴射ヘッド、１１…アクチュエーター基板、２０…振動板、３０…流路基板、３１…流路、３２…供給孔、３２ａ，３４ａ…開口、３３…圧力室、３４…連通孔、３５…保護膜、３５ａ…端部、３５ａ１…剥離部、４０…封止プレート、５０…リザーバープレート、６０…ノズルプレート、６１…ノズル、６２…ノズル列、７０…圧電素子、８０…接着層（接着シート）、８１…穴、１００…回路基板、１１０…シール、１１０ａ…穴、２００…インクジェットプリンター
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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