(57)【要約】【課題】白色干渉計を用いてカラーフィルタに形成されている着色層の色を認識するためのカラーフィルタの色認識方法を提供する。【解決手段】カラーフィルタ（対象物８）の表面形状を測定するための白色光源７を有する白色干渉計１を用い、カラーフィルタの表面形状を測定する場合には白色光源７を点灯して測定し、カラーフィルタの着色層の色を認識する場合には、白色光源７を消灯するとともに、カラーフィルタの裏面側に設けられている色検査用光源１１から着色層に対応した色の光を照射して二次元濃淡画像を撮像し、撮像した二次元濃淡画像において着色層に対応する領域のうち最も階調の高い領域を照射された光の色に対応する着色層として特定することで、着色層の色を認識する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
透光性の基材に所定の配列パターンに従って周期的に着色層が形成されているカラーフィルタの着色層の色を認識する色認識方法であって、
前記カラーフィルタの表面形状を測定するための白色光源を有するミラウ型白色干渉計を用い、前記カラーフィルタの表面形状を測定する場合には、前記白色光源を点灯して測定し、前記カラーフィルタの着色層の色を認識する場合には、前記白色光源を消灯するとともに、前記カラーフィルタの裏面側に設けられている色検査用光源から着色層に対応した色の光を照射して二次元濃淡画像を撮像し、撮像した二次元濃淡画像において着色層に対応する領域のうち最も階調の高い領域を照射された光の色に対応する着色層として特定することで、着色層の色を認識することを特徴とするカラーフィルタの色認識方法。
【請求項２】
前記カラーフィルタの裏面側に設けられている前記色検査用光源で、白色光から着色層のうち特定の色成分を除去した光を照射して二次元濃淡画像を撮像し、撮像した二次元濃淡画像において、着色層に対応する領域のうち最も諧調の低い領域を照射された光で除去した光源の色に対応する着色層として特定することで、着色層の色を認識することを特徴とする請求項１記載のカラーフィルタの色認識方法。
【請求項３】
透光性の基材に所定の配列パターンに従って複数の着色層が形成されているカラーフィルタの着色層の色を認識する色認識方法であって、
前記カラーフィルタの表面形状を測定するための白色光源を有する白色干渉計を用い、白色光源からの光に含まれる色のうちいずれかの着色層の色に対応する１色の光源波長強度を低減させる一方、光源分布が正規分布を保ちながら広い光源波長帯域を確保するような光学フィルタを設けた状態で前記カラーフィルタの表面形状を測定し、取得した表面形状データに基づいて二次元濃淡画像を生成し、各着色層に対応する領域のうち最も階調の低い領域を、光源波長強度を低減させた１色に対応する着色層として特定することで、着色層の色を認識することを特徴とするカラーフィルタの色認識方法。
【請求項４】
色を特定した着色層と他の着色層との位置関係を前記配列パターンに基づいて特定することで、各着色層の色を認識することを特徴とする請求項１から３のいずれか一項記載のカラーフィルタの色認識方法。
【請求項５】
前記二次元濃淡画像における階調分布を各着色層の開口比に基づいて着色層の数の領域に区分けし、区分けした領域を、各着色層に対応する色および前記配列パターンにおいて隣接する着色層の色の混色が連続的に並べられた色相スケールに対応付けることで、前記二次元濃淡画像を着色層に対応する色で色付けして表示することを特徴とする請求項１から４のいずれか一項記載のカラーフィルタの色認識方法。
【請求項６】
前記カラーフィルタの裏面側に設けた色検査用光源からの透過光を利用して各着色層の色を認識し、認識した色と前記二次元濃淡画像の階調とを対応付けることで、前記二次元濃淡画像の階調と前記色相スケールとの対応付けを自動で行うことを特徴とする請求項５記載のカラーフィルタの色認識方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ディスプレイ装置に用いられるカラーフィルタに形成されている着色層の色を認識するカラーフィルタの色認識方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ディスプレイ装置に用いられるカラーフィルタには、例えば赤色、青色、緑色の着色層が形成されている。これらの着色層は、ディスプレイ装置の発色に大きく影響するため、例えば特許文献１のように、着色層の色を認識して欠陥を検査することが行われている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−２５６１１３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ディスプレイ検査装置において、着色層の色を認識するというニーズは、特許文献１に限らず、表面形状を認識するためのミラウ型白色干渉計においても必要とされる。実体顕微鏡で使用する対物レンズをミラウ型白色干渉対物レンズにそのまま交換し色認識を試みても、撮像される画像にはディスプレイ基板像上に干渉縞があらわれ、ディスプレイ基板の色は認識されずに、ミラウ型白色干渉対物レンズの構造に起因する干渉色が観察されてしまうという問題がある。
【０００５】
また、特許文献１のように色認識用のカメラを別途設けた構成では、色認識用のカメラを移動させる必要があり、装置組み立て精度、可動部位置決め精度、環境温度等の影響を受け、両カメラの座標系を完全に一致させることは困難である。
【０００６】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、白色干渉計を用いてカラーフィルタに形成されている着色層の色を認識するためのカラーフィルタの色認識方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１に記載した発明は、透光性の基材に所定の配列パターンに従って周期的に着色層が形成されているカラーフィルタの着色層の色を認識する色認識方法であって、表面形状を測定するためのミラウ型白色干渉計を用い、カラーフィルタの表面形状を測定する場合には、白色光源を点灯して測定し、カラーフィルタの着色層の色を認識する場合には、白色光源を消灯するとともに、カラーフィルタの裏面側に設けられている色検査用光源から着色層に対応した色の光を照射して二次元濃淡画像を撮像し、撮像した二次元濃淡画像において着色層に対応する領域のうち最も階調の高い領域を照射された光の色に対応する着色層として特定することで、着色層の色を認識する。これにより、一般的な利用形態では反射光を用いることから着色層の色を認識することが困難な白色干渉計を用いて、ＣＦ基板の各着色層の色を認識することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の第１実施形態による白色干渉計の構成を模式的に示す図
【図２】反射光を用いる場合の対物レンズにおける光の経路を模式的に示す図
【図３】色検査用光源を設けた状態を模式的に示す図
【図４】透過光を用いる場合の対物レンズにおける光の経路を模式的に示す図
【図５】ＣＦ基板を撮像した二次元濃淡画像を模式的に示す図
【図６】第２実施形態による白色干渉計の内部構成を模式的に示す図
【図７】光学フィルタの特性を模式的に示す図
【図８】ＣＦ基板を撮像した二次元濃淡画像を模式的に示す図
【図９】色認識の結果をモニタに表示した態様を模式的に示す図その１
【図１０】色相環を模式的に示す図
【図１１】二次元濃淡画像のヒストグラムの一例を示す図
【図１２】色認識の結果をモニタに表示した態様を模式的に示す図その２
【図１３】その他の実施形態における二次元濃淡画像のヒストグラムの一例を示す図
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明の複数の実施形態について、図面を参照しながら説明する。なお、各実施形態において実質的に共通する部位には同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。
（第１実施形態）
以下、第１実施形態によるカラーフィルタの色認識方法について、図１から図５を参照しながら説明する。
【００１０】
まず、図１および図２を参照しながら、白色干渉計１の構成および白色干渉計１の一般的な利用形態について説明する。白色干渉計１は、胴部２にカメラ部３、光源ユニット４、ピエゾスキャナ５および対物レンズ６が設けられている。光源ユニット４には、例えばＬＥＤなどにより構成された白色光源７が設けられており、この白色光源７は、対象物８の表面形状を計測する際に点灯される。本実施形態の場合、対象物８として、液晶ディスプレイ装置に用いられるカラーフィルタ基板（以下、ＣＦ（Color Filter）基板と称する）を想定している。このＣＦ基板は、周知のように、透光性の例えばガラス基材に所定の配列パターンに従って周期的に着色層が形成されている。
【００１１】
図２は、いわゆるミラウ型の対物レンズ６の構成を示している。白色光源７から照射された光Ｌ１は、ビームスプリッタ９でその一部が反射することにより、参照ミラー１０側と対象物８側とに分離される。このとき、参照ミラー１０で反射した光Ｌ２と対象物８の表面で反射した光Ｌ３との間には光路差が発生し、その光路差によってカメラ部３に向かう光Ｌ４に干渉が生じる。そのため、カメラ部３では、干渉パターンが生じた画像が撮像される。このような構成において、ピエゾスキャナ５を駆動して対物レンズ６と対象物８の表面までの距離を変化させることにより、その距離の変化に伴う干渉パターンに変化が生じ、その変化に基づいて対象物８の表面形状が測定される。
【００１２】
さて、白色干渉計１の場合、ＣＦ基板に光を照射することから、観測される光はＣＦ基板の表面で反射した反射光となる。しかし、透過型ディスプレイデバイスの場合、着色層は透過光により本来の色を発色するように（つまり、各着色層では光の波長によって透過率が異なるように）設計されていることから、反射光で基板表面を観察した際には、着色層の色が本来の色とは異なって見えてしまう。また、例えば同じ赤色の着色層であっても、ＣＦ基板の種類によっては反射光で観察された際の色が異なることがある。つまり、白色干渉計１を用いて色を認識することは、従来の利用形態では困難であった。
【００１３】
また、上述したように干渉パターンが生じた画像が撮像されることから、実体顕微鏡で観察したときのような可視画像が撮像されることはなく、撮像した画像に基づいて対象物８の表面構造を把握することはできない。換言すると、撮像された画像から対象物８の部位を把握し、ＣＦ基板上に形成されている構造物１２の位置関係から着色層を特定して色を認識することは困難である。この場合、白色干渉計１以外に専用のカメラを設けることも考えられるが、表面形状を測定した位置と色を認識する位置との間にずれが生じるおそれもある。
【００１４】
そこで、本実施形態では、以下のような色認識方法を採用して、白色干渉計１を用いて対象物８の色を認識している。
ＣＦ基板は、省エネの観点から開口部（各着色層の１絵素の面積）が大きく形成されており、反射光および透過光にて着色層を観察することができる。そのため、本実施形態では、図３に示すように、対象物８であるＣＦ基板の裏面側、つまり、ＣＦ基板を挟んで白色干渉計１と反対側に、色を認識するための色検査用光源１１が設けられている。この色検査用光源１１は、着色層の色に対応した光を照射可能な構成となっている。例えばＣＦ基板に赤色（以下、Ｒ層と称する）、青色（以下、Ｂ層と称する）、緑色（以下、Ｇ層と称する）の３色の着色層が形成されている場合には、色検査用光源１１は、赤色、緑色、青色の３色の光を照射可能となっている（または赤色の補色、緑色の補色、青色の補色。すなわち、着色層の色に対応して特定の色成分を除去した光）。すなわち、本実施形態では、着色層の色に対応した光として、着色層と同じ色（或いは類似する色）の光を照射している。
【００１５】
この場合、色検査用光源１１からは白色光を照射し、ＣＦ基板との間にＲ、Ｇ、Ｂに対応する光学フィルタを設け、その光学フィルタを回転式リール等により切り替える構成としてもよい。また、色検査用光源１１そのものを、例えば３色ＬＥＤ等で構成し、赤色、緑色、青色に対応する光（または補色）を照射する構成としてもよい。
【００１６】
白色干渉計１は、着色層の色を認識する場合、白色光源７を消灯し、色検査用光源１１を点灯する。この場合、図４に示すように、対物レンズ６には色検査用光源１１からの光Ｌ３のみが入射することから、ビームスプリッタ９は機能せず、参照ミラー１０に入射する光はない。つまり、透過光を用いる場合には、カメラ部３に向かう光に干渉が生じることがない。このため、カメラ部３では、干渉パターンが観察されない画像、つまり、ＣＦ基板を透過光で目視したのと同じ画像（二次元濃淡画像）が撮像される。すなわち、透過光にてＣＦ基板を観察する場合には、白色干渉計１を実体顕微鏡として利用することができる。
【００１７】
ところで、カメラ部３は白黒カメラで構成されているため、透過光を用いてＣＦ基板を撮像したとしても、色を直接的に特定することはできない。そこで、本実施形態では、上記したように着色層の色に対応した光を照射することで、色を特定している。
【００１８】
具体的には、色検査用光源１１から赤色の光を照射する。例えば図５（ａ）に示すようにＲ層（領域Ａ１）、Ｂ層（領域Ａ２）、Ｇ層（領域Ａ３）の着色層が形成されたＣＦ基板に赤色の光を照射した場合、Ｒ層は赤色の光の透過率が相対的に高く形成されている一方、Ｇ層、Ｂ層は赤色の光の透過率が相対的に低く形成されていることから、領域Ａ１の階調が領域Ａ２、Ａ３に比べて高くなる。つまり、赤色の光を照射した際に撮像された図５（ａ）の画像において、最も赤色の光を透過して階調が高くなった領域Ａ１が、Ｒ層であることを把握することができる。なお、図５では、ハッチングにより階調の違いを示している。また、図５の場合、説明の簡略化のために構造物１２へのハッチングは省略しているものの、構造物１２が遮光層である場合には、階調が低くなる。
【００１９】
続いて、色検査用光源１１から青色の光を照射して画像を撮像する。この場合、Ｂ層が最も青色の光を透過することから、領域Ａ２の階調が最も高くなる。つまり、青色の光を照射した際に撮像された図５（ｂ）の画像において、最も青色の光を透過して階調が高くなった領域Ａ２が、Ｂ層であることを把握することができる。
【００２０】
その後、色検査用光源１１から緑色の光を照射して画像を撮像する。この場合、図５（ｂ）に示すように、Ｇ層が最も緑色の光を透過することから、領域Ａ３の階調が最も高くなる。つまり、緑色の光を照射した際に撮像された図５（ｂ）の画像において、最も緑色の光を透過して階調が高くなった領域Ａ３が、Ｇ層であることを把握することができる。
【００２１】
このような方法により、色検査用光源１１から各着色層の色に対応する光を照射することで、図５（ｄ）に示すように、Ｒ層、Ｂ層、Ｇ層の着色層をそれぞれ把握することが可能となる。この、図５（ｄ）は、色認識の結果を白色干渉計１の制御装置のモニタに表示した表示例を示しており、ユーザが各着色層の色を把握し易いように、赤色（図５（ｄ）のＲ）、青色（図５（ｄ）のＧ）、緑色（図５（ｄ）のＢ）にて各着色層を塗りつぶしてカラー表示されている。
【００２２】
以上説明した本実施形態によれば、次のような効果を得ることができる。
本実施形態の色認識方法では、ＣＦ基板の着色層の色を認識する際、白色光源７を消灯するとともに、ＣＦ基板の裏面側に設けられている色検査用光源１１から着色層に対応した色の光を照射して画像（二次元濃淡画像）を撮像し、撮像した画像において着色層に対応する領域のうち最も階調の高い領域を照射された光の色に対応する着色層として特定する。これにより、一般的な利用形態では反射光を用いることから着色層の色を認識することが困難な白色干渉計１を用いて、ＣＦ基板の各着色層の色を認識することができる。
【００２３】
このとき、透過光を照射することで白色干渉計１を実体顕微鏡として撮像していることから、また、白色光源７と色検査用光源１１の点灯を切り替えることだけで着色層の色を認識することができることから、白色干渉計１を移動させる必要が無い。つまり、白色干渉計１で表面形状を測定した部位に対して、視野がずれること無く、その色を認識することができる。
【００２４】
色認識の結果をモニタにカラー表示するので、ユーザは、着色層の色を容易に把握することができ、例えば検査レシピの作成等を行うことができる。
また、白色干渉計１のカメラ部３を用いて色認識を行っているので、装置組み立て精度、可動部位置決め精度、環境温度等の影響を受けることなく、表面形状を測定する際のカメラの座標系と色認識用のカメラの座標系とを完全に一致させることができる。
【００２５】
（第２実施形態）
以下、第２実施形態によるカラーフィルタの色認識方法について、図６から図１２を参照しながら説明する。
図６は、本実施形態の白色干渉計２０の内部構成を模式的に示している。白色光源７からの光は、反射ミラー２１で反射した後、ハーフミラー２２によって対物レンズ６側に向けられる。そして、第１実施形態で説明したように、対象物８の表面に照射される。なお、本実施形態でも対象物８としてＣＦ基板を想定している。
【００２６】
この白色干渉計２０には、白色光源７と反射ミラー２１との間に光学フィルタ２３が設けられている。この光学フィルタ２３は、白色光源７から照射される光に含まれる色のうち、ＣＦ基板に形成されているいずれかの着色層の色に対応する１色の光源波長強度を低減させる狭帯域フィルタで形成されている。本実施形態では、光学フィルタ２３により青色の光源波長強度を低減させている。このため、光学フィルタ２３を設けた状態では、図７に示すように、白色光源７から照射される光のうち青色に対応する波長の強度が低減される。なお、緑色および赤色の光は、ほぼ同じ強度となっている。
また、光学フィルタ２３は、白色光源７から照射される光の光源分布が、正規分布を保ち光源波長帯域が必要以上に狭くならないように光源波長強度を低減させている。
【００２７】
本実施形態の色認識方法の場合、白色干渉計２０は、光学フィルタ２３を設けた状態で、白色光源７からの光を利用して反射光にてＣＦ基板の表面形状を測定する。このとき、白色干渉計２０は、ＣＦ基板の表面形状を示す表面形状データとして、高さ方向、横方向および縦方向の３つのパラメータと、カメラ部３で受光した光の強度に依存する濃淡を示す１つのパラメータの合計４つのパラメータを取得する。そして、光干渉計は、それら４つのパラメータに基づいて、ＣＦ基板の表面を模式的に二次元で示す二次元濃淡画像を生成する。この二次元濃淡画像は、濃淡のパラメータを利用したことにより、図８に示すように、ＣＦ基板の表面に形成されている各着色層に対応した領域Ａ１１、Ａ１２、Ａ１３に擬似的な階調が含まれた状態となっている。なお、領域Ａ１１、Ａ１２、Ａ１３は、それぞれ着色層の１絵素に対応している。なお、図８では、階調が異なっている態様をハッチングの種別にて模式的に示しており、領域Ａ１１〜Ａ１３のうち領域Ａ１２が最も階調が低くなっている状態が示されている。
【００２８】
続いて、白色干渉計２０は、各着色層に対応する領域Ａ１１〜Ａ１３のうち最も階調が低い領域Ａ１２を、光源波長強度を低減させた色に対応する着色層であると判定する。これは、青色の光源波長強度を低減させた光の反射光を撮像していることから、生成した二次元濃淡画像において最も階調が低くなる領域が、光源波長強度が低減された色に対応すると判断されるためである。このため、図８において最も階調の低い領域Ａ１２が青色の着色層であると特定すること、すなわち、１色の着色層の色を認識することができる。
【００２９】
ところで、ＣＦ基板には、上記したように所定の配列パターンに従って周期的に着色層が形成されている。このため、例えばＲ層、Ｒ層の右側に隣接してＢ層、Ｂ層のさらに右側に隣接してＧ層が形成されている配列パターンの場合、いずれか１色の着色層の位置が特定できれば、隣接する着色層の色を特定することができる。つまり、図８において領域Ａ１２がＢ層であることが特定されれば、Ｂ層の左に隣接する着色層はＲ層であり、Ｂ層の右側に隣接する着色層はＧ層であることを特定できる。
【００３０】
このように、本実施形態の色認識方法では、着色層のうちいずれか１色の着色層を特定することで、他の着色層の色を特定している。そして、色認識の結果は、図９に示すように、例えば白色干渉計２０の制御装置のモニタにて赤色（図９のＲ）、緑色（図９のＢ）、青色（図９のＧ）のように各着色層に対応する配列パターンを塗りつぶしてカラー表示されている。
【００３１】
この場合、配列パターンを塗りつぶすのではなく、二次元濃淡画像の階調を例えば図１０に示すような色相環（色相スケールに相当する）に対応付けてカラー表示してもよい。この色相環は、各着色層に対応する色（青色、緑色、赤色）と、配列パターンにおいて隣接する着色層の色の混色が連続的に並べられている。このため、例えば青色を基準（０°）とした場合、１２０°の位置に緑色が配置され、２４０°の位置に赤色が配置されている。また、例えば青色から緑色に向かう範囲では、青色と緑色とが角度に応じて混ぜ合わされた混色が連続的に配置され、６０°の位置には中間色であるシアンが配置されている。同様に、緑色から赤色に向かう範囲には、それらの混色が角度に応じて混ぜ合わされた混色が連続的に配置され、１８０°の位置には黄色が配置されている。
【００３２】
このような色相環と二次元濃淡画像の階調とは、二次元濃淡画像のヒストグラムに基づいて対応付けられている。ＣＦ基板の場合、上記したように各着色層の開口が大きく形成されており、また、図８等に示すように、各着色層の開口比がほぼ１：１：１の割合で形成されていることから、ＣＦ基板の表面のうち約１／３がＲ層の領域となり、約１／３がＢ層の領域となり、約１／３がＧ層の領域となるとともに、二次元濃淡画像では、それぞれの領域内でほぼ同じ階調となっていると考えられる。
【００３３】
そこで、図１１に示すように二次元濃淡画像のヒストグラム（階調の度数分布）を求め、累積度数がほぼ１：１：１となる範囲Ｎ１、Ｎ２、Ｎ３に区分けし、上記したように階調が最も低くなる範囲Ｎ１が本実施形態では青色であると判定し、図１０に示す色相環とヒストグラムとを対応付ける。具体的には、範囲Ｎ１の左端側を色相環の０°に対応付け、範囲Ｎ３の右端側を色相環の２４０°に対応付けることにより、階調と色とを対応付けている。なお、ヒストグラムの両端側に設けられている範囲Ｍ１、Ｍ２は、対応付ける色を微調整するための余白、つまり、例えば０°の位置を範囲Ｎ１の左端よりも図示左方に移動させる等のために設けられている。これにより、モニタに表示した際の色合いをユーザの見た目に合わせて微調整することができる等、ロバスト性を持たせることが可能となる。
【００３４】
以上説明した本実施形態によれば、次のような効果を得ることができる。
本実施形態の色認識方法では、白色光源７からの光に含まれる色のうちいずれかの着色層の色に対応する１色の光源波長強度を低減させる一方、光源分布が正規分布となる光学フィルタ２３を設けた状態でＣＦ基板の表面形状を測定し、その際に取得された表面形状データに基づいて二次元濃淡画像を生成し、その二次元濃淡画像において各着色層に対応する領域のうち最も階調の低い領域を、光源波長強度を低減させた１色に対応する着色層として特定する。これにより、白色干渉計２０を用いて、ＣＦ基板の各着色層の色を認識することができる。
【００３５】
白色干渉計１は、光源波長帯域が広い光を用いる方が、光源波長帯域が狭い光を用いる場合よりも表面形状を測定する際の精度が高くなる。そのため、本実施形態のように光学フィルタ２３により青色の光源波長強度を低減させることにより、すなわち、検査用光源７から照射する光を隣り合う赤色および緑色の光が連続した波長帯域の広い光とすることにより、表面形状を測定する際の精度を犠牲とすることなく、色認識を行うことができる。
このとき、１つの着色層の色を特定できれば、他の着色層の色は配列パターンに基づく位置関係から特定できる。
このため、光学フィルタ２３は１つ設ければよい。そのため、白色干渉計２０の構成が複雑化したり大型化したりすることがない。
【００３６】
色認識の結果をモニタにカラー表示するので、ユーザは、着色層の色を容易に把握することができ、例えば検査レシピの作成等を行うことができる。
また、二次元濃淡画像のヒストグラムを各着色層の開口比に基づいて着色層の数の領域に区分けし、区分けした領域を色相環のような色相スケールに対応付けることで、二次元濃淡画像を着色層に対応する色で色付けして表示するので、ＣＦ基板の表面をあたかも目視したような態様にて表示することができる。
この場合、二次元濃淡画像のヒストグラムの両端側に微調整用の範囲Ｍ１、Ｍ２を設けることでロバスト性を持たせているので、ユーザの感覚に合わせて色相を調整することができる。
【００３７】
（その他の実施形態）
本発明は、上記した各実施形態に限定されることなく、その要旨を逸脱しない範囲において変形あるいは拡張することができる。
【００３８】
第１実施形態では着色層の色に対応する光を照射する構成を示したが、着色層のうち特定の色成分を除去した光を照射して二次元濃淡画像を撮像し、撮像した二次元濃淡画像において、着色層に対応する領域のうち最も諧調の低い領域を照射された光で除去した光源の色に対応する着色層として特定することで、着色層の色を認識する構成としてもよい。このような構成においても、第１実施形態と同様に、一般的な利用形態では反射光を用いることから着色層の色を認識することが困難な白色干渉計１を用いて、ＣＦ基板の各着色層の色を認識することができる。また、カメラの座標系を完全に一致させることができる。
【００３９】
第２実施形態では二次元濃淡画像のヒストグラムに基づいて階調と色相スケールとを対応付けたが、着色層に対応する階調を求めておき、色相スケールと自動で対応付ける構成としてもよい。具体的には、第１実施形態のように色検査用光源１１をＣＦ基板の背側の少なくとも一部に設けてその部位にて各着色層を特定し、特定した着色層が、第２実施形態のように表面形状データから求めた二次元濃淡画像においてどの階調に対応するかを求める。そして、図１３に示すように、例えばＢ層として特定された階調に色相スケールの０°を対応付け、Ｇ層として特定された階調に色相スケールの１２０°を対応付け、Ｒ層として特定された階調に色相スケールの２４０°を対応付けることにより、カラー表示することができる。この場合、色検査用光源１１が設けられていない部位については、第２実施形態と同様に色を認識すればよい。このように色検査用光源１１を設けてリファレンスとなる階調を特定することにより、より正確な表示をすることができる。
【００４０】
第２実施形態では青色の光源波長強度を低減させた構成を示したが、他の色の光源波長強度を低減させてもよい。この場合、青色の光の代わりに赤色の光の光源波長強度を低減させる構成とすれば、上記したように表面形状を測定する際の精度を犠牲とすることなく色認識を行うことができる。
また、階調と色相スケールに対応付けるのではなく、色検査用光源１１を用いて特定した着色層の階調（あるいは、特定した階調±数階調の範囲）を直接的に色に対応付けてもよい。
【００４１】
第１実施形態ではＲ層、Ｇ層、Ｂ層の全ての色を認識する構成を例示したが、例えばＢ層だけを認識し、他の着色層については第２実施形態のように配列パターンに基づいて認識する構成としてもよい。
第１実施形態のように白色干渉計２０を実体顕微鏡として用いて撮像した二次元濃淡画像に、第２実施形態のように色相スケールを対応付けてカラー表示してもよい。
【符号の説明】
【００４２】
図面中、１、２０はミラウ型白色干渉計、７は白色光源、８は対象物（カラーフィルタ）、１１は色検査用光源、２３は光学フィルタ、Ａ１、Ａ２、Ａ３、Ａ１１、Ａ１２、Ａ１３は着色層に対応する領域、を示す。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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