(57)【要約】【課題】振動漏れを抑制できる振動片、この振動片を備えている振動子、発振器、電子機器及び移動体の提供。【解決手段】水晶振動片１は、第１基部１０と、第１基部１０の第１端部１０ａからＹ軸方向に沿って延びる一対の振動腕１１と、平面視で第１基部１０の第１端部１０ａとは反対側の第２端部１０ｂに接続され、Ｙ軸方向と平面視で直交するＸ軸方向に沿う距離が第１基部１０より短い引き出し部１２と、引き出し部１２に接続され、Ｘ軸方向に沿う距離が引き出し部１２より長い第２基部１３と、を備え、第１基部１０は、第１端部１０ａ側の少なくとも一部に、第１端部１０ａの両端１０ａ１，１０ａ２側から中心部に向かうに従い、第１端部１０ａと第２端部１０ｂとの間を通りＸ軸方向に沿うＸ軸方向仮想線Ｘ１から、第１端部１０ａまでのＹ軸方向に沿う距離Ｌ１が、長くなるように設けられている拡幅部１０ｃを含んでいる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１基部と、
前記第１基部の第１端部から第１方向に沿って延びる一対の振動腕と、
平面視で前記第１基部の前記第１端部とは反対側の第２端部に接続され、前記第１方向と平面視で直交する第２方向に沿う距離が前記第１基部より短い引き出し部と、
前記引き出し部に接続され、前記第２方向に沿う距離が前記引き出し部より長い第２基部と、を備え、
前記第１基部は、前記第１端部側の少なくとも一部に、前記第１端部の両端側から中心部に向かうに従い、
前記第１端部と前記第２端部との間を通り前記第２方向に沿う第２方向仮想線から、前記第１端部までの前記第１方向に沿う距離が、
長くなるように設けられている拡幅部を含むことを特徴とする振動片。
【請求項２】
請求項１において、
前記引き出し部は、前記一対の振動腕のそれぞれの前記第１方向に沿う仮想中心線間に設けられていることを特徴とする振動片。
【請求項３】
請求項１または請求項２において、
前記一対の振動腕のそれぞれは、前記第１基部に接続されている腕部と、
前記腕部に接続され、前記第２方向に沿う幅が前記腕部より広い質量部と、
を備えていることを特徴とする振動片。
【請求項４】
請求項１ないし請求項３のいずれか一項において、
前記拡幅部の外縁は、曲線状であることを特徴とする振動片。
【請求項５】
請求項１ないし請求項４のいずれか一項において、
前記第２基部から延びる支持腕を含むことを特徴とする振動片。
【請求項６】
請求項５において、
前記支持腕は、前記第２基部の前記第２方向における両側に延び、前記一対の振動腕の延びる方向に屈曲して設けられていることを特徴とする振動片。
【請求項７】
請求項５または請求項６において、
前記支持腕は、前記引き出し部の前記第１方向に沿う仮想中心線を対称軸としたときに、前記対称軸を挟んだ一方側と他方側とが、非対称形状であることを特徴とする振動片。
【請求項８】
請求項１ないし請求項７のいずれか一項に記載の振動片と、
前記振動片を収容する容器と、
を備えていることを特徴とする振動子。
【請求項９】
請求項１ないし請求項７のいずれか一項に記載の振動片と、
前記振動片を発振させる発振回路と、
を備えていることを特徴とする発振器。
【請求項１０】
請求項１ないし請求項７のいずれか一項に記載の振動片を備えていることを特徴とする電子機器。
【請求項１１】
請求項１ないし請求項７のいずれか一項に記載の振動片を備えていることを特徴とする移動体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動片、この振動片を備えている振動子、発振器、電子機器及び移動体に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、振動片の一例である圧電振動片の構成として、基部と、基部から平行に延びる一対の振動腕とを備え、一対の振動腕の屈曲振動により、基部の各振動腕の基端付近の領域にて、振動腕の幅中心を通る仮想の中心線上に生じる変位渦の外周に対する接線に沿って、溝またはスリットを設けた構成が知られている（例えば、特許文献１参照）。
この圧電振動片の構成によれば、溝またはスリットによって変位渦に基づく基部の変形もしくは変位を容易にすることから、振動腕から基部への振動漏れ（振動の伝播）が溝またはスリットで解消（遮断）され、基部におけるパッケージなどとの接合箇所へ伝わるのを妨げる効果があるとされている。
これにより、上記圧電振動片は、ＣＩ（クリスタルインピーダンス）値の上昇やスプリアス（不要振動）の発生が抑制されることから、例えば温度特性などの悪化を防止できるとされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−２０１９３６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記圧電振動片は、発明者らのシミュレーションを用いた解析によれば、溝またはスリットを設けることによって、一対の振動腕の屈曲振動のうち、互いに離れる方向の振動に対しては、振動腕から基部への振動漏れを抑制する効果を有するが、互いに近付く方向の振動に対しては、振動漏れを抑制する効果が不十分となる虞があることが判明した。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００６】
［適用例１］本適用例にかかる振動片は、第１基部と、前記第１基部の第１端部から第１方向に沿って延びる一対の振動腕と、平面視で前記第１基部の前記第１端部とは反対側の第２端部に接続され、前記第１方向と平面視で直交する第２方向に沿う距離が前記第１基部より短い引き出し部と、前記引き出し部に接続され、前記第２方向に沿う距離が前記引き出し部より長い第２基部と、を備え、前記第１基部は、前記第１端部側の少なくとも一部に、前記第１端部の両端側から中心部に向かうに従い、前記第１端部と前記第２端部との間を通り前記第２方向に沿う第２方向仮想線から、前記第１端部までの前記第１方向に沿う距離が、長くなるように設けられている拡幅部を含むことを特徴とする。
【０００７】
これによれば、振動片は、第１基部の第２端部に接続され、第１方向と平面視で直交する第２方向に沿う距離が第１基部より短い引き出し部と、引き出し部に接続され第２方向に沿う距離が引き出し部より長い第２基部と、を備えている。且つ、振動片は、第１基部が第１端部側の少なくとも一部に、第１端部の両端側から中心部に向かうに従い、第２方向仮想線から第１端部までの第１方向に沿う距離が、長くなるように設けられている拡幅部を含んでいる。
これにより、振動片は、換言すれば引き出し部が第１基部及び第２基部に対して括れていることになり、前述した従来技術の溝またはスリットに相当することから、一対の振動腕の屈曲振動のうち、互いに離れる方向の振動に対して第１基部内で振動を吸収し（減衰させ）、第２基部への振動漏れを抑制する効果を奏することになる。
加えて、振動片は、第１基部の第１端部側（振動腕側）に拡幅部を含んでいることから、その第１端部の両端側から中心部に向かうに従い、第２方向仮想線から第１端部までの第１方向に沿う距離が長くなる（拡幅される）形状によって、第１基部には、一対の振動腕の屈曲振動のうち、互いに近付く方向の振動に対して振動の伝播を打ち消そうとする反力（振動相殺力）が生じる。
これらにより、振動片は、一対の振動腕の屈曲振動の第２基部への振動漏れを、従来技術（例えば先行文献１）より抑制することができる。
この結果、振動片は、例えばＣＩ値の上昇（Ｑ値の低下）やスプリアスの発生を抑制し、温度特性などの性能を向上させることができる。
なお、上記構成の拡幅部による第１基部の振動相殺力については、発明者らのシミュレーションを用いた解析により得られた知見に基づいている。
【０００８】
［適用例２］上記適用例にかかる振動片において、前記引き出し部は、前記一対の振動腕のそれぞれの前記第１方向に沿う仮想中心線間に設けられていることが好ましい。
【０００９】
これによれば、振動片は、引き出し部が一対の振動腕のそれぞれの第１方向に沿う仮想中心線間に設けられていることから、引き出し部の括れを大きくすることが可能となり、第１基部における引き出し部に接続されていない領域が変形しやすくなる。
これにより、振動片は、一対の振動腕の屈曲振動のうち、互いに離れる方向の振動に対して第１基部内で振動を更に吸収し（減衰させ）、第２基部への振動漏れを更に抑制することができる。
【００１０】
［適用例３］上記適用例にかかる振動片において、前記一対の振動腕のそれぞれは、前記第１基部に接続されている腕部と、前記腕部に接続され、前記第２方向に沿う幅が前記腕部より広い質量部と、を備えていることが好ましい。
【００１１】
これによれば、振動片は、一対の振動腕のそれぞれが第１基部に接続されている腕部と、腕部に接続され、第２方向に沿う幅が腕部より広い質量部と、を備えていることから、慣性質量の増加による屈曲振動周波数の低下分を補うように、一対の振動腕の第２方向に沿う幅を広くすることで、屈曲振動で発生する温度差が拡散するのに要する経路が長くなる。
このことから、振動片は、屈曲振動周波数（機械的屈曲振動周波数）ｆが熱緩和周波数ｆ０より大きな領域（ｆ＞ｆ０）である断熱的領域では、熱弾性損失が抑制されてＱ値が向上する。振動片は、このＱ値の向上効果により、例えば、Ｑ値を維持しながら振動腕を短くすることができる。つまり、振動片は、質量部によってＱ値を維持しつつ、小型化を図ることができる。
また、振動片は、一対の振動腕が質量部を備えていることにより、互いの間隔が広がることから、第１基部の拡幅部の振動漏れに対する抑制効果が更に顕著となる。
【００１２】
［適用例４］上記適用例にかかる振動片において、前記拡幅部の外縁は、曲線状であることが好ましい。
【００１３】
これによれば、振動片は、拡幅部の外縁が曲線状であることから、その形状によって第１基部には、一対の振動腕の屈曲振動のうち、互いに近付く方向の振動に対して振動の伝播を打ち消そうとする反力（振動相殺力）がより強く生じる。
これにより、振動片は、一対の振動腕の屈曲振動の第２基部への振動漏れを、従来技術（例えば先行文献１）より更に抑制することができる。
【００１４】
［適用例５］上記適用例にかかる振動片において、前記第２基部から延びる支持腕を含むことが好ましい。
【００１５】
これによれば、振動片は、第２基部から延びる支持腕を含むことから、振動腕からの振動が第２基部より減衰している支持腕が、パッケージなどに固定されることにより、パッケージなどへの振動漏れを更に抑制することができる。
【００１６】
［適用例６］上記適用例にかかる振動片において、前記支持腕は、前記第２基部の前記第２方向における両側に延び、前記一対の振動腕の延びる方向に屈曲して設けられていることが好ましい。
【００１７】
これによれば、振動片は、支持腕が第２基部の第２方向における両側に延び、一対の振動腕の延びる方向に屈曲して設けられていることから、例えば、第２基部から相当離れ、振動腕からの振動が大幅に減衰している支持腕の先端側をパッケージなどに固定することにより、パッケージなどへの振動漏れを更に抑制することができる。
【００１８】
［適用例７］上記適用例にかかる振動片において、前記支持腕は、前記引き出し部の前記第１方向に沿う仮想中心線を対称軸としたときに、前記対称軸を挟んだ一方側と他方側とが、非対称形状であることが好ましい。
【００１９】
これによれば、振動片は、支持腕が引き出し部の第１方向に沿う仮想中心線を対称軸としたときに、対称軸を挟んだ一方側と他方側とが非対称形状であることから、例えば、音響リークに対する悪影響を低減することができる。
これにより、振動片は、支持腕がパッケージなどに固定されることによる共振周波数（発振周波数）のずれなどを抑制することができる。
【００２０】
［適用例８］本適用例にかかる振動子は、上記適用例のいずれか一例に記載の振動片と、前記振動片を収容する容器と、を備えていることを特徴とする。
【００２１】
これによれば、本構成の振動子は、上記適用例に記載の振動片と、振動片を収容する容器と、を備えていることから、上記適用例に記載の効果が反映された優れた性能の振動子を提供することができる。
【００２２】
［適用例９］本適用例にかかる発振器は、上記適用例のいずれか一例に記載の振動片と、前記振動片を発振させる発振回路と、を備えていることを特徴とする。
【００２３】
これによれば、本構成の発振器は、上記適用例に記載の振動片と、振動片を発振させる発振回路と、を備えていることから、上記適用例に記載の効果が反映された優れた性能の発振器を提供することができる。
【００２４】
［適用例１０］本適用例にかかる電子機器は、上記適用例のいずれか一例に記載の振動片を備えていることを特徴とする。
【００２５】
これによれば、本構成の電子機器は、上記適用例に記載の振動片を備えていることから、上記適用例に記載の効果が反映された優れた性能の電子機器を提供することができる。
【００２６】
［適用例１１］本適用例にかかる移動体は、上記適用例のいずれか一例に記載の振動片を備えていることを特徴とする。
【００２７】
これによれば、本構成の移動体は、上記適用例に記載の振動片を備えていることから、上記適用例に記載の効果が反映された優れた性能の移動体を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】第１実施形態の水晶振動片の概略構成を示す模式図であり、（ａ）は模式平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線での模式断面図。
【図２】図１（ｂ）のＢ部の模式拡大図。
【図３】第１実施形態の変形例１の水晶振動片の概略構成を示す模式図であり、（ａ）は模式平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線での模式断面図。
【図４】第１実施形態の変形例２の水晶振動片の概略構成を示す模式図であり、（ａ）は模式平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線での模式断面図。
【図５】第１実施形態の変形例３の水晶振動片の概略構成を示す模式図であり、（ａ）は模式平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線での模式断面図。
【図６】第１実施形態の変形例４の水晶振動片の概略構成を示す模式図であり、（ａ）は模式平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線での模式断面図。
【図７】第２実施形態の水晶振動片の概略構成を示す模式平面図。
【図８】第２実施形態の変形例１の水晶振動片の概略構成を示す模式平面図。
【図９】第２実施形態の変形例２の水晶振動片の概略構成を示す模式平面図。
【図１０】第２実施形態の変形例３の水晶振動片の概略構成を示す模式平面図。
【図１１】第２実施形態の変形例４の水晶振動片の概略構成を示す模式平面図。
【図１２】第３実施形態の水晶振動片の概略構成を示す模式平面図。
【図１３】第４実施形態の水晶振動子の概略構成を示す模式図であり、（ａ）はリッド側から見た模式平面図、（ｂ）は（ａ）のＥ−Ｅ線での模式断面図。
【図１４】第５実施形態の水晶振動子の概略構成を示す模式展開斜視図。
【図１５】図１４のＦ−Ｆ線での模式断面図。
【図１６】第６実施形態の水晶発振器の概略構成を示す模式図であり、（ａ）はリッド側から見た模式平面図、（ｂ）は（ａ）のＧ−Ｇ線での模式断面図。
【図１７】第７実施形態の携帯電話を示す模式斜視図。
【図１８】第８実施形態の自動車を示す模式斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
以下、本発明を具体化した実施形態について図面を参照して説明する。
【００３０】
（第１実施形態）
最初に、振動片の一例としての水晶振動片について説明する。
図１は、第１実施形態の水晶振動片の概略構成を示す模式図である。図１（ａ）は、模式平面図であり、図１（ｂ）は、図１（ａ）のＡ−Ａ線での模式断面図である。図２は、図１（ｂ）のＢ部の模式拡大図である。なお、図１、図２を含む以下の各図において、分かり易くするために、各構成要素の寸法比率は実際と異なる。また、各図中のＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、互いに直交する座標軸である。
【００３１】
図１に示すように、水晶振動片１は、第１基部１０と、第１基部１０の＋Ｙ側の第１端部１０ａから、第１方向としてのＹ軸方向に沿って並んで延びる一対の振動腕１１と、第１基部１０に接続されている引き出し部１２と、引き出し部１２に接続されている第２基部１３と、を一体的に備えている。
水晶振動片１は、水晶の原石（ランバード）などから所定の角度で切り出された（例えば、水晶のＺ軸（光軸）を厚さ方向とするＺカットなど）一枚の水晶ウエハーから、フォトリソグラフィー、エッチングなどの技術を用いて、複数個取りされている。
【００３２】
第１基部１０は、平面視で第１端部１０ａとは反対側（−Ｙ側）に第２端部１０ｂを有している。この第２端部１０ｂには、Ｙ軸方向と平面視で直交する第２方向としてのＸ軸方向に沿う距離が第１基部１０より短い略矩形状の引き出し部１２が接続されている。この引き出し部１２には、Ｘ軸方向に沿う距離が引き出し部１２より長い略矩形状の第２基部１３が接続されている。第２基部１３のＸ軸方向における両端部には、パッケージなどへの固定部１３ａ，１３ｂが設けられている。
水晶振動片１は、換言すれば、引き出し部１２が第１基部１０及び第２基部１３に対して括れていることになる。
【００３３】
第１基部１０は、第１端部１０ａ側の少なくとも一部に（ここでは全部に）、第１端部１０ａの両端１０ａ１，１０ａ２側から中心部に向かうに従い、平面視で第１端部１０ａと第２端部１０ｂとの間を通りＸ軸方向に沿う第２方向仮想線としてのＸ軸方向仮想線Ｘ１から、第１端部１０ａまでのＹ軸方向に沿う距離Ｌ１が、長くなるように設けられている拡幅部１０ｃ（図１（ａ）のハッチングが施されている領域）を含んでいる。
【００３４】
拡幅部１０ｃの外縁（第１端部１０ａの輪郭）は、曲線状に形成されていることが好ましい。具体的には、拡幅部１０ｃの外縁は、一対の振動腕１１間の中心を通り、Ｙ軸方向に沿うＹ軸方向仮想線Ｙ１上に中心が設定され、第１端部１０ａの両端１０ａ１，１０ａ２を通る曲率が一定の円弧状に形成されていることが好ましい。なお、水晶のエッチング加工時には、微視的に上記外縁が短い直線の連続した形状に見えるが、このような場合も曲線状に形成されているものとする。
【００３５】
また、水晶振動片１の厚さが２０μｍ以上である場合には、振動腕１１の外形形状の対称性を向上させるためにウェットエッチングを長時間行う（例えば、厚み方向に貫通する時間よりも長い時間）には、拡幅部１０ｃの外縁には結晶面が現れて曲線状にならないが、この結晶面が現れた外縁の内側を比較的短時間の追加エッチング（例えば、厚み方向に貫通する時間よりも少ない時間）を行うことで、拡幅部１０ｃの表裏面近傍の外縁に曲線形状を形成する場合も含むものとする。
引き出し部１２は、一対の振動腕１１のそれぞれのＹ軸方向に沿う仮想中心線Ｏ１，Ｏ２間に収まるように設けられていることが好ましい。こうすることで、振動腕１１の屈曲振動に起因するＹ軸方向への応力が、第１基部１０のＸ軸方向端部から直接的に第２基部１３のＸ軸方向端部に作用することを防ぐことができ、振動漏れを抑制することができる。
【００３６】
水晶振動片１の一対の振動腕１１のそれぞれは、第１基部１０に接続されている略角柱状の腕部１４と、腕部１４に接続され、Ｘ軸方向に沿う幅が腕部１４より広い略矩形平板状の質量部１５と、を備えている。
腕部１４のＺ軸方向と直交する両主面１４ａ，１４ｂのそれぞれには、Ｙ軸方向に沿って延びる有底の溝部１６が形成されている。
図１（ｂ）、図２に示すように、腕部１４の溝部１６を含むＸ軸方向に沿う断面形状は、略Ｈ字状となっている。
【００３７】
ここで、水晶振動片１の動作について説明する。
水晶振動片１の一対の振動腕１１のそれぞれには、図示しない一対の励振電極が形成され、第２基部１３には、この励振電極から引き出された図示しない一対の端子電極がパッケージなどへの固定部１３ａ，１３ｂの範囲内にそれぞれ形成されている。
水晶振動片１は、外部から端子電極を介して励振電極に印加される駆動信号（交番電圧）により電界が生じ、水晶の圧電効果によって、一対の振動腕１１の根元部を支点として矢印Ｃ方向（一対の振動腕１１が互いに離れる方向）と矢印Ｄ方向（一対の振動腕１１が互いに近付く方向）とに交互に撓むように変位する屈曲振動が発生する。
【００３８】
ここで、水晶振動片１には、引き出し部１２と拡幅部１０ｃとが設けられている。
このことから、水晶振動片１は、一対の振動腕１１が互いに離れる方向である矢印Ｃ方向の振動に対しては、引き出し部１２によって第１基部１０のＸ軸方向の両端側が−Ｙ方向に変形しやすくなることにより、第１基部１０内でこの振動を吸収し（減衰させ）、第２基部１３への振動漏れを抑制することができる。
一方、水晶振動片１は、一対の振動腕１１が互いに近付く方向である矢印Ｄ方向の振動に対しては、拡幅部１０ｃの上述した形状によって、第１基部１０には、一対の振動腕１１からの上記振動の伝播を打ち消そうとする反力（振動相殺力）が生じる。これにより、水晶振動片１は、第２基部１３への振動漏れを抑制することができる。
これらにより、水晶振動片１は、一対の振動腕１１の矢印Ｃ方向及び矢印Ｄ方向への屈曲振動の第２基部１３への振動漏れを、従来技術（例えば先行文献１）より抑制することができることになる。
なお、上記構成の拡幅部１０ｃによる第１基部１０の振動相殺力については、発明者らのシミュレーションを用いた解析により得られた知見に基づいている。
【００３９】
ここで、水晶振動片１の拡幅部１０ｃの有無によるＱ値の違いのシミュレーション解析結果について説明する。なお、ここでのＱ値は、第２基部１３の固定部１３ａ，１３ｂを経由した振動漏れ分のみを考慮した値であり、数値が大きいほど振動漏れが少ないことになる。
なお、水晶振動片１の主要部の寸法などは、一例として以下の通りに設定してシミュレーションを行った。
全長Ｌ２：８２１μｍ
全幅Ｗ１：４３３μｍ
腕部１４長さＬ３：４４２μｍ
腕部１４幅Ｗ２：４０μｍ
腕部１４（第１基部１０、第２基部１３、引き出し部１２）厚さｔ１：１３０μｍ
溝部１６幅Ｗ４：３０μｍ
溝部１６深さｔ２：６０μｍ
質量部１５長さＬ４：２０７μｍ
質量部１５幅Ｗ３：１９８μｍ
第１基部１０長さＬ５：３９μｍ
第１基部１０（第２基部１３）幅Ｗ５：３２７μｍ
引き出し部１２長さＬ６：２０μｍ
引き出し部１２幅Ｗ６：２３５μｍ
第２基部１３長さＬ７：１１３μｍ
固定部１３ａ，１３ｂ長さＬ８：１００μｍ
固定部１３ａ，１３ｂ幅Ｗ７：１００μｍ
固定方法：第２基部１３の固定部１３ａ，１３ｂを、縦弾性係数（ヤング率）Ｅ＝０．２ＧＰａ、厚さ２０μｍのシリコーン系接着剤でパッケージに固定したものとする。
屈曲振動周波数（共振周波数）：一対の振動腕１１を約３２ｋＨｚで屈曲振動させたものとする。
拡幅部１０ｃ無しの場合の第１基部１０の第１端部１０ａの形状：両端１０ａ１，１０ａ２を互いに直線で結んだ形状とする。
【００４０】
上記設定によるシミュレーション解析結果は、以下の通りであり、拡幅部１０ｃ有りの場合の方が、拡幅部１０ｃ無しの場合よりＱ値が高い（約１．３倍）ことから、拡幅部１０ｃの振動漏れに対する抑制効果が裏付けられたといえる。
拡幅部１０ｃ有りの場合（本実施形態）のＱ値：約６５万
拡幅部１０ｃ無しの場合（従来技術）のＱ値：約４９万
【００４１】
上述したように、本実施形態の水晶振動片１は、第１基部１０の第２端部１０ｂに接続され、Ｙ軸方向と平面視で直交するＸ軸方向に沿う距離（Ｗ６）が第１基部１０の同距離（Ｗ５）より短い引き出し部１２と、引き出し部１２に接続されＸ軸方向に沿う距離（Ｗ５）が引き出し部１２より長い第２基部１３と、を備えている。且つ、水晶振動片１は、第１基部１０が第１端部１０ａ側に、第１端部１０ａの両端１０ａ１，１０ａ２側から中心部に向かうに従い、Ｘ軸方向仮想線Ｘ１から第１端部１０ａまでのＹ軸方向に沿う距離Ｌ１が、長くなるように設けられている拡幅部１０ｃを含んでいる。
これにより、水晶振動片１は、換言すれば、引き出し部１２が第１基部１０及び第２基部１３に対して括れていることになり、前述した従来技術の溝またはスリットに相当することから、一対の振動腕１１の屈曲振動のうち、互いに離れる方向（矢印Ｃ方向）の振動に対して第１基部１０内で振動を吸収し（減衰させ）、第２基部１３への振動漏れを抑制する効果を奏することになる。
【００４２】
更に、水晶振動片１は、第１基部１０の第１端部１０ａ側（振動腕１１側）に拡幅部１０ｃを含んでいることから、その外縁形状によって、第１基部１０には、一対の振動腕１１の屈曲振動のうち、互いに近付く方向（矢印Ｄ方向）の振動に対して振動の伝播を打ち消そうとする反力（振動相殺力）が生じる。
これらにより、水晶振動片１は、一対の振動腕１１の屈曲振動の第２基部１３への振動漏れを、従来技術（例えば先行文献１）より抑制することができる。
この結果、水晶振動片１は、例えば、ＣＩ値の上昇（Ｑ値の低下）やスプリアスの発生を抑制し、温度特性などの性能を向上させることができる。
【００４３】
また、水晶振動片１は、引き出し部１２が一対の振動腕１１のそれぞれのＹ軸方向に沿う仮想中心線Ｏ１，Ｏ２間に収まるように設けられている場合には、そうでない場合と比較して、引き出し部１２の括れが大きくなり、第１基部１０における引き出し部１２に接続されていない領域が変形しやすくなる。
これにより、水晶振動片１は、一対の振動腕１１の屈曲振動のうち、互いに離れる方向（矢印Ｃ方向）の振動に対して第１基部１０内で振動を更に吸収し（減衰させ）、第２基部１３への振動漏れを更に抑制することができる。なお、振動漏れを更に抑制する上で、引き出し部１２の幅Ｗ６は、仮想中心線Ｏ１，Ｏ２間の距離の半分程度がより好ましい。
なお、水晶振動片１は、引き出し部１２が一対の振動腕１１のそれぞれのＹ軸方向に沿う仮想中心線Ｏ１，Ｏ２間から、はみ出して設けられていても、第２基部１３への振動漏れを抑制する効果を奏することができる。
【００４４】
また、水晶振動片１は、一対の振動腕１１のそれぞれが第１基部１０に接続されている腕部１４と、腕部１４に接続され、Ｘ軸方向に沿う幅（Ｗ３）が腕部１４の同幅（Ｗ２）より広い質量部１５と、を備えていることから、慣性質量の増加による屈曲振動周波数の低下分を補うように、一対の振動腕１１のＸ軸方向に沿う幅（Ｗ３）を広くすることで、屈曲振動で発生する温度差が拡散するのに要する経路が長くなる。
このことから、水晶振動片１は、屈曲振動周波数（機械的屈曲振動周波数）ｆが熱緩和周波数ｆ０より大きな領域（ｆ＞ｆ０）である断熱的領域では、熱弾性損失が抑制されてＱ値が向上する。水晶振動片１は、このＱ値の向上効果により、例えば、Ｑ値を維持しながら振動腕１１を短くすることができる。つまり、水晶振動片１は、質量部１５によってＱ値を維持しつつ、小型化を図ることができる。
また、水晶振動片１は、一対の振動腕１１が質量部１５を備えていることにより、互いの間隔が広がることから、質量部１５がない場合と比較して、第１基部１０の拡幅部１０ｃの振動漏れに対する抑制効果が更に顕著となる。
【００４５】
また、水晶振動片１は、拡幅部１０ｃの外縁（第１端部１０ａの輪郭）が曲線状であることから、その形状によって第１基部１０には、一対の振動腕１１の屈曲振動のうち、互いに近付く方向（矢印Ｄ方向）の振動に対して振動の伝播を打ち消そうとする反力（振動相殺力）がより強く生じる。
これにより、水晶振動片１は、一対の振動腕１１の屈曲振動の第２基部１３への振動漏れを、従来技術（例えば先行文献１）より更に抑制することができる。
なお、拡幅部１０ｃの外縁は、第１端部１０ａの両端１０ａ１，１０ａ２の−Ｙ側を通る円弧であってもよく、＋Ｙ側を通る円弧であってもよい（換言すれば、Ｌ１が図示の形状より短くなっても長くなってもよい）。
【００４６】
次に、第１実施形態の変形例について説明する。
（変形例１）
図３は、第１実施形態の変形例１の水晶振動片の概略構成を示す模式図である。図３（ａ）は、模式平面図であり、図３（ｂ）は、図３（ａ）のＡ−Ａ線での模式断面図である。なお、第１実施形態との共通部分には、同一符号を付して詳細な説明を省略し、第１実施形態と異なる部分を中心に説明する。
【００４７】
図３に示すように、変形例１の水晶振動片２は、第１実施形態と比較して、第１基部１０の拡幅部１０ｃの構成が異なる。
水晶振動片２は、拡幅部１０ｃの外縁が第１実施形態におけるＹ軸方向仮想線Ｙ１との交点と、第１端部１０ａの両端１０ａ１，１０ａ２とをそれぞれ直線で結んだ形状となっている。
これによれば、水晶振動片２は、拡幅部１０ｃの外縁が上記形状であっても、水晶振動片１と同程度の振動漏れ抑制効果があることが、シミュレーションを用いた解析によって確認されている。
なお、拡幅部１０ｃの外縁を構成する直線は、図示の形状より＋Ｙ側に平行移動した形状であってもよく、−Ｙ側に平行移動した形状であってもよく、Ｘ軸方向仮想線Ｘ１に対する傾斜の度合いが、図示の状態より急峻であってもよく、なだらかであってもよい。
【００４８】
（変形例２）
図４は、第１実施形態の変形例２の水晶振動片の概略構成を示す模式図である。図４（ａ）は、模式平面図であり、図４（ｂ）は、図４（ａ）のＡ−Ａ線での模式断面図である。なお、第１実施形態との共通部分には、同一符号を付して詳細な説明を省略し、第１実施形態と異なる部分を中心に説明する。
【００４９】
図４に示すように、変形例２の水晶振動片３は、第１実施形態と比較して、第１基部１０の拡幅部１０ｃの構成が異なる。
水晶振動片３は、拡幅部１０ｃの、第１実施形態のように円弧状に形成されている外縁におけるＹ軸方向仮想線Ｙ１の近傍部分（中央部分）を、Ｘ軸方向仮想線Ｘ１に平行な直線でカットした形状となっている。
これによれば、水晶振動片３は、拡幅部１０ｃの外縁が上記形状であっても、水晶振動片１と同程度の振動漏れ抑制効果があることが、シミュレーションを用いた解析によって確認されている。
なお、拡幅部１０ｃの外縁の残された円弧部分は、Ｘ軸方向仮想線Ｘ１に対して傾斜した直線としてもよい。
【００５０】
（変形例３）
図５は、第１実施形態の変形例３の水晶振動片の概略構成を示す模式図である。図５（ａ）は、模式平面図であり、図５（ｂ）は、図５（ａ）のＡ−Ａ線での模式断面図である。なお、第１実施形態との共通部分には、同一符号を付して詳細な説明を省略し、第１実施形態と異なる部分を中心に説明する。
【００５１】
図５に示すように、変形例３の水晶振動片４は、第１実施形態と比較して、第１基部１０の拡幅部１０ｃの構成が異なる。
水晶振動片４は、拡幅部１０ｃの外縁が、振動腕１１からＹ軸方向仮想線Ｙ１に向かうに従い、＋Ｙ方向に昇る階段状に形成されている。
これによれば、水晶振動片４は、拡幅部１０ｃの外縁が上記形状であっても、水晶振動片１と同程度の振動漏れ抑制効果があることが、シミュレーションを用いた解析によって確認されている。
なお、階段の段数は、サイズ、効果の程度、加工上の都合などにより適宜設定される。
【００５２】
（変形例４）
図６は、第１実施形態の変形例４の水晶振動片の概略構成を示す模式図である。図６（ａ）は、模式平面図であり、図６（ｂ）は、図６（ａ）のＡ−Ａ線での模式断面図である。なお、第１実施形態との共通部分には、同一符号を付して詳細な説明を省略し、第１実施形態と異なる部分を中心に説明する。
【００５３】
図６に示すように、変形例４の水晶振動片５は、第１実施形態と比較して、第１基部１０、引き出し部１２、第２基部１３の構成が異なる。
水晶振動片５は、第１基部１０の第２端部１０ｂのＸ軸方向における両端側が、＋Ｙ方向に傾斜した形状となっている。これと同様に、水晶振動片５は、第２基部１３の第１基部１０側の外縁のＸ軸方向における両端側が、第２端部１０ｂに沿うように＋Ｙ方向に傾斜した形状となっている。
これらにより、水晶振動片５は、引き出し部１２のＸ軸方向における両端部が、第１基部１０の傾斜した第２端部１０ｂ及び第２基部１３の傾斜した外縁と略直角を成すように傾斜して形成されている。
【００５４】
これによれば、水晶振動片５は、第１基部１０、引き出し部１２、第２基部１３が上記構成であっても、水晶振動片１以上の振動漏れ抑制効果があることが、シミュレーションを用いた解析によって確認されている。
なお、この変形例４の構成は、上記各変形例に適用できる。また、変形例４を含む上記各変形例の構成は、以下の各実施形態にも適用できる。
【００５５】
（第２実施形態）
次に、第２実施形態の水晶振動片について説明する。
図７は、第２実施形態の水晶振動片の概略構成を示す模式平面図である。なお、第１実施形態との共通部分には、同一符号を付して詳細な説明を省略し、第１実施形態と異なる部分を中心に説明する。
【００５６】
図７に示すように、第２実施形態の水晶振動片６は、第１実施形態と比較して、第２基部１３から延びる一対の支持腕１７を含むことが異なる。
水晶振動片６は、一対の支持腕１７が、第２基部１３のＸ軸方向における両側からＸ軸方向に沿って、一方が＋Ｘ側に延び、他方が−Ｘ側に延びるとともに、一対の振動腕１１の延びる方向である＋Ｙ方向に屈曲して更に延びるようにして設けられている。
一対の支持腕１７は、先端がＹ軸方向における一対の振動腕１１の腕部１４の略中間から質量部１５の近傍までの範囲で延びている。
一対の支持腕１７の先端部には、パッケージなどへの固定部１７ａ，１７ｂが設けられている。
【００５７】
上述したように、水晶振動片６は、第２基部１３から延びる一対の支持腕１７を含むことから、第２基部１３から相当離れている一対の支持腕１７の先端部では、一対の振動腕１１からの振動が大幅に減衰していることになる。
これによれば、水晶振動片６は、一対の支持腕１７の先端部にある固定部１７ａ，１７ｂが、パッケージなどに固定されることによって、パッケージなどへの振動漏れを第１実施形態より更に抑制することができる。
なお、水晶振動片６は、固定部１７ａ，１７ｂが一対の支持腕１７の先端部以外の場所へ設けられても、パッケージなどへの振動漏れを第１実施形態より更に抑制することができる。
【００５８】
次に、第２実施形態の変形例について説明する。
（変形例１）
図８は、第２実施形態の変形例１の水晶振動片の概略構成を示す模式平面図である。なお、第１実施形態及び第２実施形態との共通部分には、同一符号を付して詳細な説明を省略し、第２実施形態と異なる部分を中心に説明する。
【００５９】
図８に示すように、変形例１の水晶振動片７は、第２実施形態と比較して、一対の支持腕１７の構成が異なる。
水晶振動片７は、第２基部１３のＸ軸方向における両側からＸ軸方向に沿って延びる一対の支持腕１７が、引き出し部１２のＹ軸方向に沿う仮想中心線（ここでは、Ｙ軸方向仮想線Ｙ１）を対称軸としたときに、対称軸を挟んだ一方側としての＋Ｘ側と、他方側としての−Ｘ側とが非対称形状となるように設けられている。具体的には、＋Ｘ側の支持腕１７が、−Ｘ側の支持腕１７より長くなるように形成されている。
【００６０】
これによれば、水晶振動片７は、一対の支持腕１７が引き出し部１２の仮想中心線（Ｙ軸方向仮想線Ｙ１）を対称軸としたときに、対称軸を挟んだ＋Ｘ側と−Ｘ側とが非対称形状であることから、例えば、音響リークに対する悪影響を低減することができる。
これにより、水晶振動片７は、一対の支持腕１７がパッケージなどに固定されることによる共振周波数（発振周波数）のずれなどを抑制することができる。
なお、水晶振動片７は、第２基部１３から−Ｘ方向に延びる支持腕１７がなくても上記効果を奏することができる。また、第２基部１３は、Ｙ軸方向仮想線Ｙ１を対称軸としたときに、＋Ｘ側と−Ｘ側とが非対称形状であってもよい。例えば、第２基部１３は、−Ｘ側の端部が引き出し部１２の−Ｘ側の端部とＸ軸方向の位置（Ｘ座標）が一致していてもよい。
【００６１】
（変形例２）
図９は、第２実施形態の変形例２の水晶振動片の概略構成を示す模式平面図である。なお、第１実施形態及び第２実施形態との共通部分には、同一符号を付して詳細な説明を省略し、第２実施形態と異なる部分を中心に説明する。
【００６２】
図９に示すように、変形例２の水晶振動片８は、第２実施形態と比較して、支持腕１７の構成が異なる。
水晶振動片８は、第２基部１３から延びる支持腕１７が、平面視で第１基部１０、一対の振動腕１１、引き出し部１２を囲む枠状に設けられている。
【００６３】
これによれば、水晶振動片８は、第２基部１３から延びる支持腕１７が、平面視で第１基部１０、一対の振動腕１１、引き出し部１２を囲む枠状に設けられていることから、支持腕１７をパッケージの一部とすることができる。
これにより、水晶振動片８は、パッケージに水晶振動片８を収容する、例えば、水晶振動子などの小型化を図ることができる。
なお、水晶振動片８は、第１基部１０の第２端部１０ｂのＸ軸方向における両端側を、図示のように＋Ｙ方向に傾斜させずに、Ｘ軸方向仮想線Ｘ１に沿わせてもよい。
【００６４】
（変形例３）
図１０は、第２実施形態の変形例３の水晶振動片の概略構成を示す模式平面図である。なお、第１実施形態及び第２実施形態との共通部分には、同一符号を付して詳細な説明を省略し、第２実施形態と異なる部分を中心に説明する。
【００６５】
図１０に示すように、変形例３の水晶振動片９は、第２実施形態と比較して、支持腕１７の構成が異なる。
水晶振動片９は、第２基部１３から延びる一対の支持腕１７が、それぞれ２つに分岐して、一方が互いに結合して平面視で第１基部１０、一対の振動腕１１、引き出し部１２を囲む枠状に設けられ、他方が互いに結合して平面視で第２基部１３の−Ｙ側に空間Ｓを形成するように枠状に設けられている。
換言すれば、水晶振動片９は、変形例２の水晶振動片８の−Ｙ側に、小さい枠部を追加した形状に形成されている。
【００６６】
これによれば、水晶振動片９は、第２基部１３から延びる支持腕１７が、平面視で第１基部１０、一対の振動腕１１、引き出し部１２を囲む枠状に設けられていることから、支持腕１７をパッケージの一部とすることができる。
これにより、水晶振動片９は、パッケージに水晶振動片９を収容する、例えば、水晶振動子などの小型化を図ることができる。
この際、水晶振動片９は、支持腕１７のうち、第２基部１３の両側の２つに分岐する手前の部分（梁部１７ｃ）を除いた大きい枠状の部分を、パッケージの一部とすることにより、パッケージなどへの振動漏れを変形例２より抑制することができる。
なお、水晶振動片９は、第１基部１０の第２端部１０ｂのＸ軸方向における両端側を図示のように＋Ｙ方向に傾斜させずに、Ｘ軸方向仮想線Ｘ１に沿わせてもよい。
【００６７】
（変形例４）
図１１は、第２実施形態の変形例４の水晶振動片の概略構成を示す模式平面図である。なお、第１実施形態及び第２実施形態との共通部分には、同一符号を付して詳細な説明を省略し、第２実施形態と異なる部分を中心に説明する。
【００６８】
図１１に示すように、変形例４の水晶振動片９Ａは、第２実施形態と比較して、支持腕１７の構成が異なる。
水晶振動片９Ａは、第２実施形態の水晶振動片６の一対の支持腕１７の先端部がそれぞれ２つに分岐して延び、平面視で第１基部１０、一対の振動腕１１、引き出し部１２、第２基部１３を囲む枠状になるように設けられている。
【００６９】
これによれば、水晶振動片９Ａは、第２基部１３から延びる支持腕１７が、平面視で第１基部１０、一対の振動腕１１、引き出し部１２、第２基部１３を囲む枠状に設けられていることから、支持腕１７をパッケージの一部とすることができる。
これにより、水晶振動片９Ａは、パッケージに水晶振動片９Ａを収容する、例えば、水晶振動子などの小型化を図ることができる。
この際、水晶振動片９Ａは、支持腕１７のうち、第２基部１３の両側の２つに分岐する手前の部分（梁部１７ｃ）が、変形例３より長いことから、一対の振動腕１１からの振動が更に減衰し、パッケージなどへの振動漏れを変形例３より抑制することができる。
なお、水晶振動片９Ａは、第１基部１０の第２端部１０ｂのＸ軸方向における両端側を図示のように＋Ｙ方向に傾斜させずに、Ｘ軸方向仮想線Ｘ１に沿わせてもよい。
【００７０】
（第３実施形態）
次に、第３実施形態の水晶振動片について説明する。
図１２は、第３実施形態の水晶振動片の概略構成を示す模式平面図である。なお、第１実施形態との共通部分には、同一符号を付して詳細な説明を省略し、第１実施形態と異なる部分を中心に説明する。
【００７１】
図１２に示すように、第３実施形態の水晶振動片９Ｂは、第１実施形態と比較して、一対の振動腕１１の構成が異なる。
水晶振動片９Ｂは、一対の振動腕１１に第１実施形態のような質量部１５（図１参照）が設けられておらず、腕部１４を備えた構成となっている。
これによれば、水晶振動片９Ｂは、一対の振動腕１１にＸ軸方向に沿う幅が腕部１４より広い質量部１５が設けられていないことから、一対の振動腕１１の間隔を第１実施形態より狭くすることができる。
この結果、水晶振動片９Ｂは、Ｘ軸方向のサイズを第１実施形態より小型化できる。
なお、第３実施形態の一対の振動腕１１の構成は、各変形例を含む上記各実施形態にも適用できる。
【００７２】
（第４実施形態）
次に、上述した振動片と、振動片を収容する容器と、を備えている振動子の一例としての水晶振動子について説明する。
【００７３】
図１３は、第４実施形態の水晶振動子の概略構成を示す模式図である。図１３（ａ）は、リッド側から見た模式平面図であり、図１３（ｂ）は、図１３（ａ）のＥ−Ｅ線での模式断面図である。なお、平面図では、リッドを省略してある。また、上記各実施形態との共通部分には、同一符号を付して詳細な説明を省略し、上記各実施形態と異なる部分を中心に説明する。
【００７４】
図１３に示すように、水晶振動子１０１は、上記各実施形態及び各変形例で述べた振動片としての水晶振動片（１〜７，９Ｂ）のいずれか（ここでは、水晶振動片１とする）と、水晶振動片１を収容する容器としてのパッケージ２０と、を備えている。
パッケージ２０は、平面形状が略矩形で凹部２２が設けられたパッケージベース２１と、パッケージベース２１の凹部２２を覆う平板状のリッド（蓋体）２３と、を備え、略直方体形状に形成されている。
【００７５】
パッケージベース２１には、セラミックグリーンシートを成形して積層し焼成した酸化アルミニウム質焼結体、ムライト質焼結体、窒化アルミニウム質焼結体、炭化珪素質焼結体、ガラスセラミックス焼結体などのセラミックス系の絶縁性材料、水晶、ガラス、シリコン（高抵抗シリコン）などが用いられている。
リッド２３には、パッケージベース２１と同材料、または、コバール、４２アロイなどの金属が用いられている。
【００７６】
パッケージベース２１の凹部２２の内底面２２ａ（内側の底面）には、水晶振動片１の図示しない励振電極から第２基部１３の両主面１３ｃ，１３ｄの固定部１３ａ，１３ｂに引き出されている端子電極としてのマウント電極１８ａ，１８ｂに対向する位置に、内部端子２４ａ，２４ｂが設けられている。
水晶振動片１は、マウント電極１８ａ，１８ｂが、金属フィラーなどの導電性物質が混合された、エポキシ系、シリコーン系、ポリイミド系、アクリル系、ビスマレイミド系などの導電性接着剤や、Ａｕ（金）、Ａｌ（アルミニウム）、半田バンプなどの金属バンプや、樹脂製のコア上に金属配線を形成した樹脂バンプなどを用いた導電性接合部材３０を介して内部端子２４ａ，２４ｂに接合されている。
【００７７】
なお、接合方法の一例としては、第２基部１３の固定部１３ａ，１３ｂに、純度が９９．９重量％以上であり、平均粒径が０．００５μｍ〜１．０μｍである金粉、銀粉、白金粉、又はパラジウム粉から選択される一種以上の金属粉末と、有機溶剤とからなる金属ペーストを塗布する。次に、金属ペーストを乾燥し、８０〜３００℃の温度で焼結させて金属粉末焼結体とする。そして、金属粉末焼結体を介して第２基部１３の固定部１３ａ，１３ｂとパッケージベース２１の凹部２２の内底面２２ａの内部端子２４ａ，２４ｂとを配置し、少なくとも金属粉末焼結体を加熱しながら一方向又は双方向から加圧して両者を接合する。
なお、水晶振動片１の励振電極及びマウント電極１８ａ，１８ｂの構成や材料は、特に限定されないが、例えば、Ｃｒ（クロム）、Ｎｉ（ニッケル）を下地層とし、その上にＡｕ（金）、Ａｇ（銀）が積層された構成の金属被膜からなることが好ましい。
【００７８】
パッケージベース２１の凹部２２とは反対側の外底面２５（外側の底面）には、矩形状の電極端子２６ａ，２６ｂが設けられている。
電極端子２６ａ，２６ｂは、図示しない内部配線により内部端子２４ａ，２４ｂと電気的に接続されている。詳述すると、電極端子２６ａは、内部端子２４ａと電気的に接続され、電極端子２６ｂは、内部端子２４ｂと電気的に接続されている。
なお、内部端子２４ａ，２４ｂ、電極端子２６ａ，２６ｂは、例えば、Ｗ（タングステン）、Ｍｏ（モリブデン）などのメタライズ層にＮｉ（ニッケル）、Ａｕ（金）などの各被膜がメッキなどにより積層された構成の金属被膜からなる。
【００７９】
水晶振動子１０１は、水晶振動片１がパッケージベース２１の内部端子２４ａ，２４ｂに接合された状態で、パッケージベース２１の凹部２２がリッド２３により覆われ、パッケージベース２１とリッド２３とがシームリング、低融点ガラス、接着剤などの接合部材２７で接合されることにより、パッケージベース２１の凹部２２が気密に封止されている。
なお、パッケージベース２１の気密に封止された凹部２２内は、水晶振動片１の屈曲振動を阻害しないように、減圧された真空状態（真空度の高い状態）となっている。
【００８０】
なお、パッケージ２０は、平板状のパッケージベース２１と凹部を有するリッド２３などから構成されていてもよい。また、パッケージ２０は、パッケージベース２１及びリッド２３の両方に凹部を有していてもよい。
【００８１】
水晶振動子１０１は、例えば、電子機器のＩＣチップ内に集積化された発振回路から、電極端子２６ａ，２６ｂを経由して印加される駆動信号によって、水晶振動片１が屈曲振動を励振されて所定の周波数で共振（発振）し、電極端子２６ａ，２６ｂから共振信号（発振信号）を出力する。
【００８２】
上述したように、第４実施形態の水晶振動子１０１は、水晶振動片１と、水晶振動片１を収容するパッケージ２０と、を備えていることから、第１実施形態に記載の効果が反映された振動子としての水晶振動子を提供することができる。具体的には、小型で振動漏れの少ない優れた性能の水晶振動子を提供することができる。
なお、水晶振動子１０１は、水晶振動片１に代えて、上述した他の水晶振動片（２など）を用いても、上記と同様の効果、及び他の水晶振動片（２など）特有の効果が反映された水晶振動子を提供することができる。
【００８３】
（第５実施形態）
次に、上述した振動片と、振動片を収容する容器と、を備えている振動子の他の一例としての水晶振動子について説明する。
【００８４】
図１４は、第５実施形態の水晶振動子の概略構成を示す模式展開斜視図である。図１５は、図１４のＦ−Ｆ線での模式断面図である。なお、上記各実施形態との共通部分には、同一符号を付して詳細な説明を省略し、上記各実施形態と異なる部分を中心に説明する。
【００８５】
図１４、図１５に示すように、水晶振動子１０２は、上記第２実施形態の各変形例で述べた振動片としての水晶振動片（８，９，９Ａ）のいずれか（ここでは、水晶振動片８とする）と、水晶振動片８を収容する容器としてのパッケージ１２０と、を備えている。
パッケージ１２０は、平面形状が略矩形で凹部１２２が設けられたパッケージベース１２１と、パッケージベース１２１とともに水晶振動片８をＺ軸方向から挟持するリッド（蓋体）１２３と、を備え、略直方体形状に形成されている。
【００８６】
水晶振動子１０２は、水晶振動片８の第２基部１３及び支持腕１７が、パッケージベース１２１とリッド１２３との間に挟まれた状態で両者に固定され、パッケージ１２０の一部をなす構成となっている。本実施形態では、この構成であっても、水晶振動子１０２は、振動片と、振動片を収容する容器と、を備えている振動子に含まれるものとする。
水晶振動子１０２は、リッド１２３の内側（水晶振動片８側）にパッケージベース１２１と同様に凹部１２３ａが設けられていることにより、水晶振動片８の一対の振動腕１１の屈曲振動が阻害されない内部空間Ｓ１が形成されている。
【００８７】
パッケージベース１２１及びリッド１２３には、水晶振動片８と同材料の水晶が用いられていることが好ましい。
水晶振動子１０２は、水晶振動片８の第２基部１３及び支持腕１７と、パッケージベース１２１との間、水晶振動片８の第２基部１３及び支持腕１７と、リッド１２３との間の接合（固定）に、（１）低融点ガラスによる接合方法、（２）互いの接合面をプラズマ照射などにより親水化処理して表面を活性化させ、接合面同士を貼り合わせることで水素結合させるなどの直接接合方法、（３）アルコキシド、オルガノシロキシ基などを含む接合部材を用い、紫外線やプラズマ照射により接合する接合方法などを用いることができる。
【００８８】
パッケージベース１２１の外底面１２５の＋Ｙ側、−Ｙ側の端部に設けられている電極端子１２６ａ，１２６ｂは、パッケージベース１２１の外周枠部１２１ａの水晶振動片８側に設けられている内部端子１２４ａ，１２４ｂと、外周枠部１２１ａをＺ軸方向に貫通するスルーホール１２８ａ，１２８ｂを介して電気的に接続されている。
スルーホール１２８ａ，１２８ｂは、外底面１２５側の径が水晶振動片８側の径より大きい、すり鉢状に形成されている。
水晶振動片８の第２基部１３及び支持腕１７におけるパッケージベース１２１の内部端子１２４ａ，１２４ｂと対向する位置には、図示しない励振電極から引き出されている端子電極としてのマウント電極１１８ａ，１１８ｂが設けられている。
【００８９】
水晶振動子１０２は、パッケージベース１２１のスルーホール１２８ａ，１２８ｂ内に、Ａｕ（金）／Ｇｅ（ゲルマニウム）合金、Ａｕ（金）／Ｓｎ（錫）合金、Ａｕ（金）／Ｓｉ（シリコン）合金などの導電性を有する充填材１３０が充填されることにより、マウント電極１１８ａ，１１８ｂと電極端子１２６ａ，１２６ｂとが電気的に接続されることになる。
また、水晶振動子１０２は、スルーホール１２８ａ，１２８ｂ内に充填材１３０が充填されることにより、内部空間Ｓ１が気密に封止されることになる。
【００９０】
水晶振動子１０２は、例えば、電子機器のＩＣチップ内に集積化された発振回路から、電極端子１２６ａ，１２６ｂを経由して印加される駆動信号によって、水晶振動片８が屈曲振動を励振されて所定の周波数で共振（発振）し、電極端子１２６ａ，１２６ｂから共振信号（発振信号）を出力する。
【００９１】
上述したように、第５実施形態の水晶振動子１０２は、水晶振動片８と、水晶振動片８を収容するパッケージ１２０と、を備えていることから、第２実施形態の変形例２に記載の効果が反映された振動子としての水晶振動子を提供することができる。具体的には、より小型で振動漏れの少ない優れた性能の水晶振動子を提供することができる。
なお、水晶振動子１０２は、水晶振動片８に代えて、上述した他の水晶振動片（９または９Ａ）を用いても、上記と同様の効果、及び他の水晶振動片（９または９Ａ）特有の効果が反映された水晶振動子を提供することができる。
【００９２】
（第６実施形態）
次に、上述した振動片と、振動片を発振させる発振回路と、を備えている発振器の一例としての水晶発振器について説明する。
【００９３】
図１６は、第６実施形態の水晶発振器の概略構成を示す模式図である。図１６（ａ）は、リッド側から見た模式平面図であり、図１６（ｂ）は、図１６（ａ）のＧ−Ｇ線での模式断面図である。なお、平面図では、リッドを省略してある。また、上記各実施形態との共通部分には、同一符号を付して詳細な説明を省略し、上記各実施形態と異なる部分を中心に説明する。
【００９４】
図１６に示すように、水晶発振器１０３は、上記各実施形態及び各変形例で述べた振動片としての水晶振動片（１〜７，９Ｂ）のいずれか（ここでは、水晶振動片１とする）と、水晶振動片１を発振させる（駆動する）発振回路としてのＩＣチップ４０と、水晶振動片１及びＩＣチップ４０を収容するパッケージ２０と、を備えている。
【００９５】
パッケージベース２１の凹部２２の内底面２２ａには、凹状に形成されたＩＣチップ４０の収容部２２ｂが設けられている。発振回路を内蔵するＩＣチップ４０は、パッケージベース２１の収容部２２ｂの底面に、図示しない接着剤などを用いて固定されている。
ＩＣチップ４０は、図示しない接続パッドが、Ａｕ（金）、Ａｌ（アルミニウム）などの金属ワイヤー４１により収容部２２ｂ内の内部接続端子２２ｃと電気的に接続されている。
【００９６】
内部接続端子２２ｃは、Ｗ（タングステン）、Ｍｏ（モリブデン）などのメタライズ層に、Ｎｉ（ニッケル）、Ａｕ（金）などの各被膜がメッキなどにより積層された金属被膜からなり、図示しない内部配線を経由して、パッケージ２０の外底面２５の四隅に設けられた電極端子２６ａ，２６ｂ，２６ｃ，２６ｄ、内部端子２４ａ，２４ｂなどと電気的に接続されている。
なお、ＩＣチップ４０の接続パッドと内部接続端子２２ｃとの接続には、金属ワイヤー４１を用いたワイヤーボンディングによる接続方法以外に、ＩＣチップ４０を反転させてのフリップチップ実装による接続方法などを用いてもよい。
また、ＩＣチップ４０は、パッケージ２０の外底面２５に設けられた凹部内に実装され、モールド材により封止されている構成としてもよい。
【００９７】
水晶発振器１０３は、ＩＣチップ４０から内部接続端子２２ｃ、内部端子２４ａ，２４ｂ、などを経由して印加される駆動信号によって、水晶振動片１が屈曲振動を励振されて所定の周波数で共振（発振）する。
そして、水晶発振器１０３は、この発振に伴って生じる発振信号をＩＣチップ４０、電極端子２６ａ，２６ｂ（２６ｃ，２６ｄ）などを経由して外部に出力する。
【００９８】
上述したように、第６実施形態の水晶発振器１０３は、水晶振動片１と、水晶振動片１を発振させるＩＣチップ４０と、水晶振動片１及びＩＣチップ４０を収容するパッケージ２０と、を備えていることから、第１実施形態に記載の効果が反映された発振器としての水晶発振器を提供することができる。具体的には、小型で振動漏れの少ない周波数特性に優れた水晶発振器を提供することができる。
なお、水晶発振器１０３は、水晶振動片１に代えて、上述した他の水晶振動片（２など）を用いても、上記と同様の効果、及び他の水晶振動片（２など）特有の効果が反映された水晶発振器を提供することができる。
なお、水晶発振器１０３は、ＩＣチップ４０をパッケージ２０に内蔵ではなく、外付けした構成のモジュール構造（例えば、１つの基板上に水晶振動子（１０１）及びＩＣチップ（４０）が個別に搭載されている構造）としてもよい。
また、水晶発振器１０３は、第５実施形態の水晶振動子１０２にＩＣチップ４０が付加されている構成としてもよい。
【００９９】
（第７実施形態）
次に、上述した振動片を備えている電子機器として、携帯電話を一例に挙げて説明する。
図１７は、第７実施形態の携帯電話を示す模式斜視図である。
携帯電話７００は、上記各実施形態及び各変形例で述べた振動片としての水晶振動片（１〜９，９Ａ，９Ｂ）のいずれかを備えている携帯電話である。
図１７に示す携帯電話７００は、上述した水晶振動片（１など）を、例えば、基準クロック発振源などのタイミングデバイスの構成要素として用い、更に液晶表示装置７０１、複数の操作ボタン７０２、受話口７０３、及び送話口７０４を備えて構成されている。
これによれば、携帯電話７００は、水晶振動片（１など）を備えていることから、上記各実施形態及び各変形例で説明した効果が反映され、優れた性能を発揮することができる。
なお、携帯電話７００の形態は、図示のタイプに限定されるものではなく、いわゆるスマートフォンタイプでもよい。
【０１００】
上述した水晶振動片は、上記携帯電話７００のような携帯電話に限らず、電子ブック、パーソナルコンピューター、テレビ、デジタルスチールカメラ、ビデオカメラ、ビデオレコーダー、ナビゲーション装置、ページャー、電子手帳、電卓、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、ＰＯＳ端末、タッチパネルを備えた機器などのタイミングデバイスの構成要素として好適に用いることができ、いずれの場合にも上記各実施形態及び各変形例で説明した効果が反映された優れた電子機器を提供することができる。
【０１０１】
（第８実施形態）
次に、上述した振動片を備えている移動体として、自動車を一例に挙げて説明する。
図１８は、第８実施形態の自動車を示す模式斜視図である。
自動車８００は、上記各実施形態及び各変形例で述べた振動片としての水晶振動片（１〜９，９Ａ，９Ｂ）のいずれかを備えている自動車である。
自動車８００は、上述した水晶振動片（１など）を、例えば、搭載されている各種電子制御式装置（例えば、電子制御式燃料噴射装置、電子制御式ＡＢＳ装置、電子制御式一定速度走行装置など）の基準クロックを発生するタイミングデバイスの構成要素として用いている。
これによれば、自動車８００は、水晶振動片（１など）を備えていることから、上記各実施形態及び各変形例で説明した効果が反映され、優れた性能を発揮することができる。
【０１０２】
上述した水晶振動片は、上記自動車８００に限らず、自走式ロボット、自走式搬送機器、列車、船舶、飛行機、人工衛星などを含む移動体のタイミングデバイスの構成要素として好適に用いることができ、いずれの場合にも上記各実施形態及び各変形例で説明した効果が反映された優れた移動体を提供することができる。
【０１０３】
以上、本発明の振動片、振動子、発振器、電子機器及び移動体について、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に他の任意の構成物が付加されていてもよい。
【０１０４】
また、上記のように、本実施形態について詳細に説明したが、本発明の新規事項及び効果から実体的に逸脱しない多くの変形が可能であることは、いうまでもない。従って、このような変形例は、すべて本発明の範囲に含まれる。
例えば、上記各実施形態及び各変形例では、振動片の主要材料として水晶を用いて説明したが、水晶以外の材料を用いることができる。
例えば、タンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ3）、四ホウ酸リチウム（Ｌｉ2Ｂ4Ｏ7）、ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ3）、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）、ランガサイト（Ｌａ3Ｇａ5ＳｉＯ14）、ニオブ酸カリウム（ＫＮｂＯ3）、リン酸ガリウム（ＧａＰＯ4）、ガリウム砒素（ＧａＡｓ）、チタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ3）、チタン酸鉛（ＰｂＰＯ3）、ニオブ酸ナトリウムカリウム（（Ｋ、Ｎａ）ＮｂＯ3）、ビスマスフェライト（ＢｉＦｅＯ3）、ニオブ酸ナトリウム（ＮａＮｂＯ3）、チタン酸ビスマス（Ｂｉ4Ｔｉ3Ｏ12）、チタン酸ビスマスナトリウム（Ｎａ0.5Ｂｉ0.5ＴｉＯ3）などの酸化物基板（圧電体材料）や、ガラス基板上に窒化アルミニウム（ＡｌＮ）や五酸化タンタル（Ｔａ2Ｏ5）などの圧電体材料を積層させて構成された積層圧電基板、圧電セラミック、またはシリコン（Ｓｉ）などの半導体材料を用いることができる。
【０１０５】
また、振動片の駆動方式は、上述した圧電体の圧電効果による圧電駆動方式の他に、クーロン力による静電駆動方式や、磁力を利用したローレンツ駆動方式であってもよい。
更に、本発明にかかる振動片は、例えば、角速度、加速度、圧力などの物理量の作用により周波数を変化させ得る特性を利用して、ジャイロセンサー、加速度センサー、圧力センサー、傾斜センサーなどの各種センサーに適用することができる。
【符号の説明】
【０１０６】
１，２，３，４，５，６，７，８，９，９Ａ，９Ｂ…振動片としての水晶振動片、１０…第１基部、１０ａ…第１端部、１０ａ１，１０ａ２…端、１０ｂ…第２端部、１１…振動腕、１２…引き出し部、１３…第２基部、１３ａ，１３ｂ…固定部、１３ｃ，１３ｄ…主面、１４…腕部、１４ａ，１４ｂ…主面、１５…質量部、１６…溝部、１７…支持腕、１７ａ，１７ｂ…固定部、１７ｃ…梁部、２０…容器としてのパッケージ、２１…パッケージベース、２２…凹部、２２ａ…内底面、２２ｂ…収容部、２２ｃ…内部接続端子、２３…リッド、２４ａ，２４ｂ…内部端子、２５…外底面、２６ａ，２６ｂ，２６ｃ，２６ｄ…電極端子、２７…接合部材、３０…導電性接合部材、４０…発振回路としてのＩＣチップ、４１…金属ワイヤー、１０１，１０２…振動子としての水晶振動子、１０３…発振器としての水晶発振器、１２０…容器としてのパッケージ、１２１…パッケージベース、１２１ａ…外周枠部、１２２…凹部、１２３…リッド、１２３ａ…凹部、１２４ａ，１２４ｂ…内部端子、１２５…外底面、１２６ａ，１２６ｂ…電極端子、１２８ａ，１２８ｂ…スルーホール、１３０…充填材、７００…電子機器としての携帯電話、７０１…液晶表示装置、７０２…操作ボタン、７０３…受話口、７０４…送話口、８００…移動体としての自動車。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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