(57)【要約】  【課題】  試料保持具について試料保持面の均熱性を向上させる。  【解決手段】  試料保持具１は、セラミックスからなり外表面に試料保持面１０ａを有するとともに内部に熱媒体の流路１１を有しており、熱媒体の進行方向に直交する断面で見たときに、流路１１は、内表面に互いに対向する凸部３０および凹部３１を有する。そのため、熱媒体の流れを乱流にすることができることから、上述したように摩耗によって生じる粉末が流路１１の内部に堆積することを抑制できる。これにより、熱媒体と試料保持具１０ａとの間の熱伝導が低下することを抑制できる【選択図】  図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
セラミックスからなり外表面に試料保持面を有するとともに内部に熱媒体の流路を有する試料保持具であって、前記熱媒体の進行方向に直交する断面で見たときに、前記流路は、内表面に互いに対向する凸部および凹部を有することを特徴とする試料保持具。
【請求項２】
前記凸部および前記凹部が前記熱媒体の前記進行方向に沿って長いことを特徴とする請求項１に記載の試料保持具。
【請求項３】
前記熱媒体の進行方向に平行な断面で見たときに、前記凸部の先端が曲線状であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の試料保持具。
【請求項４】
前記試料保持面側から透視したときに、前記流路が弧状に形成されている部位を有しており、この弧状に形成されている部位において、外側の前記内表面に前記凸部を有するとともに内側の前記内表面に前記凹部を有することを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の試料保持具。
【請求項５】
前記熱媒体の進行方向に平行な断面で見たときに、前記流路の前記内表面に対する前記凸部の角度が４５°以上９０°未満であることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれかに記載の試料保持具。
【請求項６】
前記熱媒体の進行方向に平行な断面で見たときに、前記流路の前記内表面に対する前記凸部の角°が９０°以上１３５°未満であることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれかに記載の試料保持具。
【請求項７】
内部に発熱抵抗体をさらに有するとともに、前記流路は、前記発熱抵抗体の近傍において前記凸部および前記凹部を有することを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれかに記載の試料保持具。
【請求項８】
前記発熱抵抗体が、前記試料保持面と前記流路との間に位置していることを特徴とする請求項７に記載の試料保持具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体集積回路の製造工程または液晶表示装置の製造工程等において用いられる、半導体ウエハ等の各試料を保持する際に用いられる試料保持具に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体集積回路の製造に用いられるシリコンウエハを始めとする半導体ウエハまたは液晶表示装置の製造に用いられるガラス基板等の板状の試料は、それらの製造工程において製造装置または検査装置の支持台の上に保持されて、加工処理または検査等が行なわれる。製造工程では、複数の製造装置および検査装置を使用することが一般的であり、シリコンウエハ等の試料を支持台に保持するための手段は、製造工程中の製造装置および検査装置の種類ならびに次の装置にまで搬送するための搬送装置の種類に応じて様々な形態のものが提案されている。
【０００３】
半導体集積回路を例にとると、半導体集積回路の微細化および高密度化の要求は、近年さらに高まっている。これに伴って、試料保持具は、試料を保持する面における均熱性がさらに求められている。
【０００４】
特許文献１には、複数のセラミック層からなる静電チャックが開示されており、この静電チャックには、中間のセラミック層に冷媒を流すための流路が形成されている。これによって、各部における加熱と冷却とのバランスを調整することで、静電チャックの表面における均熱性を高めることができるというものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平３−１０８７３７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１に記載された静電チャックのように、基体がセラミック層の積層体で構成される場合には、流路に冷媒等の熱媒体を流したときに、熱媒体との接触によってセラミック層が劣化することがあり、流路の内表面が熱媒体によって磨耗する場合があった。そして、この磨耗によって生じた粉末が流路の内部に堆積することによって、部分的に熱媒体と基体との間の熱伝導が低下する場合があった。その結果、静電チャックの表面において均熱性が低下してしまう場合があった。
【０００７】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、静電チャックの表面の均熱性を向上させることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一態様の試料保持具は、セラミックスからなり上面に試料保持面を有するとともに内部に熱媒体の流路を有する試料保持具であって、前記熱媒体の進行方向に直交する断面で見たときに、前記流路は、内表面に互いに対向する凸部および凹部を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の一態様の試料保持具によれば、流路が、内表面に互いに対向する凸部および凹
部を有していることによって、凸部および凹部において熱媒体の渦をそれぞれ発生させることができる。さらに、凸部および凹部が対向するように位置していることによって、これらの熱媒体の渦を重ね合わせることができ、大きな渦を起こすことができる。そのため、熱媒体の流れを乱流にすることができることから、上述したように摩耗によって生じる粉末が流路の内部に堆積することを抑制できる。これにより、熱媒体と試料保持具との間の熱伝導が低下することを抑制できる。その結果、試料保持面において均熱性が低下することを抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の実施形態の一例である試料保持具の外観を示す図である。
【図２】試料保持具の内部の流路の配置を平面的に示す模式図である。
【図３】図２に示した試料保持具のＡ−Ａ’断面の断面図である。
【図４】図３に示した断面図における１つの流路断面を拡大した部分拡大断面図である。
【図５】図４に示した試料保持具のＢ−Ｂ’断面の部分拡大断面図である。
【図６】本発明の試料保持具の変形例１を示す部分拡大断面図である。
【図７】本発明の試料保持具の変形例２を示す部分拡大断面図である。
【図８】本発明の試料保持具の変形例３を示す部分拡大断面図である。
【図９】本発明の試料保持具の変形例４を示す部分拡大断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
図１は、本発明の実施形態の一例である試料保持具１の外観を示す図である。図１（ａ）は、試料保持具１の斜視図であり、図１（ｂ）は、試料保持具１の平面図である。
【００１２】
試料保持具１は、外表面（ここでは上面）に試料保持面１０ａを有するとともに内部に流路１１を有する基体１０と、基体１０の内部に設けられた電極層２０とを有する。試料保持具１は、基体１０に設けられた電極層２０に電圧を印加することによって、例えば、シリコンウエハ等の試料を静電気力によって基体１０の試料保持面１０ａに保持するようにして用いられる。
【００１３】
本実施形態では、基体１０は、セラミック層が複数積層された積層体からなる。基体１０の内部には、熱媒体を流すための流路１１が設けられている。この試料保持具１は、流路１１に熱媒体を流すことにより、試料保持面１０ａに保持した試料を加熱、冷却または保温することができる。流路１１に流す熱媒体としては、基体１０の流路１１から試料保持面１０ａとなる一方主面までのセラミック層と電極層２０とを介して、保持した試料と熱交換可能な物質であれば、どのような熱媒体を用いてもよい。そのような熱媒体としては、各種の流体、例えば温水、冷水またはスチーム等の水系媒体、エチレングリコール等の有機系媒体、あるいは空気を含む気体等を用いることができる。
【００１４】
流路１１は、図１（ａ）に示すように、基体１０の端面に、外部空間に開口する開口部１１ａを有している。また、図１（ａ）には図示していないが、開口部１１ａの反対側の端面にも外部空間に通じる開口部を有している。流路１１内を流れる熱媒体は、例えば、供給口となる開口部１１ａから流路１１へと流入し、開口部１１ａの反対側の開口部から排出される。試料保持具１を半導体の製造装置または検査装置等に用いる場合は、熱媒体を供給するための供給装置から延びる供給管を開口部１１ａに接続し、供給装置から所定の流量および流速で流路１１内に熱媒体を供給する。開口部１１ａと反対側の排出口には排管を接続し、流路１１を流れて試料と熱交換を行なった熱媒体を流路１１から排出する。または、排出口に戻り管を接続し、流路１１を流れて試料と熱交換を行なった熱媒体を流路１１から排出するとともに、供給装置に戻して熱媒体を循環させるようにしてもよい。
【００１５】
図２は、基体１０の内部における流路１１の配置を平面的に示す模式図である。流路１１を流れる熱媒体が試料保持面１０ａに保持される試料と効率よく熱交換するためには、流路１１が試料保持面１０ａに対応して広範囲に形成されていることが好ましい。また、試料保持面１０ａの全体にわたる均熱性の観点からも、流路１１は広範囲に形成されていることが重要である。そこで、本実施形態の試料保持具１においては、図２に示すように、開口部１１ａから開口部１１ａの反対側に位置する開口部１１ｂまでの流路１１が試料保持面１０ａの全体に行き渡るように蛇行形状となっている。このように流路１１を配置しておいて、流路１１の幅を大きくしたり、流路１１を蛇行させるときの湾曲部の曲率半径を小さくしたりすることで、保持される試料との熱交換をより効率的に行なうことができる。なお、蛇行させた場合の直線部分と直線部分との間の折返し部分の距離を短くし過ぎると、流路１１の側壁となる部分が細くなり、機械的強度が低下するので、強度を考慮しつつ流路１１を形成することが好ましい。
【００１６】
図２に示す例では、流路１１を蛇行形状としているが、流路の配置形状はこれに限られない。例えば、流路１１は渦巻き状であってもよく、また、複数の同心円とこの円同士を繋ぐ径方向に延びる直線とを組み合せた形状等であってもよい。
【００１７】
流路１１を基体１０の主面に垂直な断面で見たときの形状は、四角形状または円形状等にすることができる。特に、製造のしやすさからは四角形状が好ましい。
【００１８】
基体１０は、例えば、炭化珪素、窒化珪素、窒化アルミニウムまたは酸化アルミニウム等を主成分とするセラミックス（セラミック焼結体）からなる。これらの中でも特に、窒化アルミニウム質焼結体からなることが好ましい。
【００１９】
窒化アルミニウム質焼結体は、室温における熱伝導率を１５０Ｗ／（ｍ・Ｋ）以上にすることができ、他のセラミック材料に比べて熱伝導率が高い。そのため、保持した試料に局所的に熱が加わった場合でも試料の熱を基体１０によって伝導させて放熱させることができるので、熱膨張に伴う試料の歪みが生じにくい。これによって、半導体製造工程のうち、例えば露光工程において、発熱による試料の歪みに起因する露光精度の劣化を低減することができる。
【００２０】
なお、室温における熱伝導率とは、測定雰囲気温度を２２℃から２４℃の室温の範囲内として測定した熱伝導率の値であり、この温度範囲内のうちいずれかの設定温度で測定した熱伝導率が１５０Ｗ／（ｍ・Ｋ）以上であることを示す。さらに、窒化アルミニウム質焼結体は、室温を超える環境においても、熱伝導率を高い値で保持することができる。具体的には、例えば６００℃以上での雰囲気温度における熱伝導率を、６０Ｗ／（ｍ・Ｋ）以上にすることができる。
【００２１】
この窒化アルミニウム質焼結体は、平均結晶粒径が３〜１０μｍの範囲内であることが好ましい。平均結晶粒径が３μｍ以上であると、窒化アルミニウム質焼結体中の結晶粒子が比較的十分に充填され、焼結体の機械的特性が比較的良好にされる。また、平均結晶粒径が１０μｍ以下のサイズの結晶とすることで、結晶間に存在するボイド（空孔）の残留を少なくすることができる。したがって、平均結晶粒径は３〜１０μｍの範囲が好ましい。より好ましい平均結晶粒径の範囲は３〜７μｍである。
【００２２】
図１に戻って、電極層２０は、基体１０の内部に設けられ、１つもしくは２つの分離された電極２１と電極２２とから構成される。電極層２０は、静電吸着のために設けられている。電極２１および電極２２は、一方が電源の正極に接続され、他方が負極に接続される。一例として、正極に接続される側の電極を電極２１（以下では「正電極２１」という
）とし、負極に接続される側の電極を電極２２（以下では「負電極２２」という）とする。また、電極層２０は、電極２１が負極に接続され、電極２２が正極に接続されていてもよい。
【００２３】
正電極２１および負電極２２は、それぞれ略半円板状に形成され、半円の弦同士が対向するように基体１０の内部に配置される。正電極２１および負電極２２の２つの電極が合わさって、電極層２０全体の外形が略円形状となっている。この電極層２０全体の外形である略円形の中心は、基体１０の外形である円形の中心と同一に設定される。
【００２４】
正電極２１および負電極２２には、それぞれ外部電源と電気的に接続するための接続端子２１ａおよび接続端子２２ａが設けられる。本実施形態では、正電極２１および負電極２２のいずれも、円弧と弦とが交差する部分に弦に沿って延びるように接続端子２１ａおよび接続端子２２ａが設けられている。正電極２１に設けられた接続端子２１ａと、負電極２２に設けられた接続端子２２ａとは、正電極２１の半円の弦および負電極２２の半円の弦同士の間隔と同じ間隔を空けて隣り合うように設けられるとともに、これらの半円の弦の延長線に沿って基体１０の外周面にまで延びている。また、接続端子２１ａおよび接続端子２２ａは、基体１０の端面にその一部が露出するように設けられる。正電極２１および負電極２２は、この接続端子２１ａおよび接続端子２２ａが露出した部分を介して外部電源と接続される。
【００２５】
電極層２０は、例えばタングステンまたはモリブデン等の導電性材料からなり、これら導電性材料を含むペーストのスクリーン印刷等によって、基体１０のセラミック層の層間に位置するように形成される。本実施形態の電極層２０の厚みは、例えば１〜１００μｍ程度である。
【００２６】
図３は、図２に示す切断面線Ａ−Ａ’における試料保持具１の断面図である。図４は、図３に示す断面図における１つの流路１１の断面を拡大した部分拡大断面図である。基体１０は、４つのセラミック層１２，１３，１４，１５を積層した積層体からなり、内部に電極層２０が設けられている。なお、ここでいうセラミック層１２，１３，１４，１５は、必ずしも１枚のグリーンシートからなる必要はない。具体的には、セラミック層１２，１３，１４，１５がそれぞれ複数のグリーンシートの積層体であってもよい。本実施形態では、電極層２０は流路１１よりも試料を保持する一方主面（試料保持面１０ａ）側に設けられる。
【００２７】
以下では、最外層のセラミック層１５を最外層１５、最外層１５との間に電極層２０が設けられるセラミック層１２を上層１２、上層１２とはセラミック層１３を挟んで反対側に設けられるセラミック層１４を下層１４、上層１２と下層１４とに挟持されるセラミック層１３を中間層１３という。これら各層の名称は説明をわかり易くするために便宜上付したものであって、必ずしも上層１２が鉛直方向上側に位置するものではなく、下層１４が鉛直方向下側に位置するものではない。また、図２に示したように、熱媒体は供給口となる開口１１ａから排出口となる開口１１ｂまで流れるので、図３および図４において、熱媒体の流れ方向は紙面に垂直な方向となる。
【００２８】
ここで、図４に示すように、流路１１は、熱媒体の進行方向に直交する断面で見たときに、内表面に互いに対向する凸部３０および凹部３１を有している。流路１１が、内表面に互いに対向する凸３０部および凹部３１を有していることによって、凸部３０および凹部３１において熱媒体の渦をそれぞれ発生させることができる。さらに、凸部３０および凹部３１が対向するように位置していることによって、これらの熱媒体の渦を重ね合わせることができ、大きな渦を起こすことができる。そのため、熱媒体の流れを乱流にすることができることから、基体１０の摩耗によって生じる粉末が流路１１の内部に堆積するこ
とを抑制できる。これにより、熱媒体と試料保持具１との間の熱伝導が低下することを抑制できる。その結果、試料保持面１０ａにおいて均熱性が低下することを抑制できる。
【００２９】
さらに、図５に示すように、凸部３０および凹部３１が熱媒体の進行方向に沿って長いことが好ましい。ここでいう「長い」とは、少なくとも凸部３０および凹部３１のそれぞれの厚みおよび幅よりも熱媒体の進行方向における長さの値が大きいことを意味している。これにより、凸部３０と凹部３１との間で連続的に熱媒体の乱流を生じさせることができる。これにより、熱媒体と試料保持具１との間の熱伝導を良好に行なうことができる。その結果、試料保持面１０ａにおいて均熱性が低下することを抑制できる。
【００３０】
さらに、図６に示すように、熱媒体の進行方向に平行な断面で見たときに、凸部３０の先端（上流側の端部）が曲線状であることが好ましい。これにより、凸部３０の先端が熱媒体によって削り取られてしまい、セラミックスの粉末が流路１１の内部に堆積することを抑制できる。そのため、熱媒体と試料保持具１との間の熱伝導が低下することを抑制できる。その結果、試料保持面１０ａにおいて均熱性が低下することを抑制できる。
【００３１】
さらに、図７に示すように、上面側（試料保持面１０ａ側）から透視したときに、流路１１が弧状に形成されている部位を有しており、この弧状に形成されている部位において、外側の内表面に凸部３０を有するとともに内側の内表面に凹部３１を有することが好ましい。弧状に形成されている部位の外側は熱媒体の流速が速くなる傾向にあるが、この部位に凸部３０を設けることによって、流速をさらに速めることができる。また、弧状に形成されている部位の内側は熱媒体の流速が遅くなる傾向にあるが、この部位に凹部３１を設けることによって、流速をさらに遅くすることができる。これらの結果、弧状に形成されている部位において、流速が早い部分と遅い部分とが生じることになることから、大きな渦の流れを生じさせることができる。
【００３２】
また、図８に示すように、熱媒体の進行方向に平行な断面で見たときに、流路１１の内表面に対する凸部３０の角度を４５°以上９０°未満にしてもよい。これにより、凸部３０が熱媒体の流れを大きく阻害することになるために、熱媒体の流れを乱流にすることができる。このため、基体１０の摩耗によって生じる粉末が流路１１の内部に堆積することを抑制できる。これにより、熱媒体と試料保持具１との間の熱伝導が低下することを抑制できる。その結果、試料保持面１０ａにおいて均熱性が低下することを抑制できる。
【００３３】
また、図９に示すように、熱媒体の進行方向に平行な断面で見たときに、流路１１の内表面に対する凸部３０の角度を９０°以上１３５℃未満にしてもよい。このように、凸部３０を緩やかな傾斜にすることによって、凸部３０が熱媒体によって削り取られてしまい、セラミックスの粉末が流路１１の内部に堆積することを抑制できる。そのため、熱媒体と試料保持具１との間の熱伝導が低下することを抑制できる。その結果、試料保持面１０ａにおいて均熱性が低下することを抑制できる。
【００３４】
また、試料保持具１は、さらに発熱抵抗体（図示せず）を有していてもよい。発熱抵抗体は、凸部３０および凹部３１の近傍に設けることが好ましい。これにより、発熱抵抗体と熱媒体との間の熱伝導を良好に行なうことができる。その結果、発熱抵抗体の温度を調整しやすくすることができる。その結果、試料保持面１０ａを所望の温度に調整しやすくすることができる。このとき、発熱抵抗体は、試料保持面１０ａと流路１１との間に位置していることが好ましい。これにより、発熱抵抗体から試料保持面１０ａに良好に熱を伝えるとともに、流路１１によって発熱抵抗体の温度を容易に調整できる。
【００３５】
基体１０を構成するセラミックスは、流路１１に流れる熱媒体に対して安定なセラミックスであることが好ましい。これにより、熱媒体との化学反応による腐食を抑制すること
ができる。その結果、腐食粉の堆積による試料保持面１０ａの均熱性の劣化を低減することができる。
【００３６】
ここで、流路１１の内表面における凸部３０および凹部３１を説明するために、基体１０の製造方法について簡単に述べる。
【００３７】
本実施形態の試料保持具１の基体１０は、前述のように複数のセラミック層が積層された積層体であり、所定の形状に予め成形した複数のグリーンシートを積層し、焼成して得られるものである。中間層１３となるグリーンシートは、流路１１に対応した形状に形成されている。具体的には、上下方向に貫通した貫通孔が設けられている。上層１２となるグリーンシートにおける中間層１３に接する側の表面のうち、中間層１３となるグリーンシートに設けられた貫通孔に臨む面１２１と、下層１４となるグリーンシートにおける中間層１３に接する側の表面のうち、中間層１３となるグリーンシートに設けられた貫通孔に臨む面１４１と、中間層１３となるグリーンシートにおける貫通孔の内側面１３１とが、焼成後に流路１１の内表面となる。ここで、内表面の大きさおよび形状は特に限定されず、流路１１に流す熱媒体の量あるいは必要な冷却速度等によって決められる。
【００３８】
ここで、凸部３０および凹部３１を形成するためには、以下の方法を用いることができる。具体的には中間層１３を複数のセラミック層で形成するとともに、このうち少なくとも１つのセラミック層に設ける貫通孔の位置または形状を中間層１３となる他のセラミック層に設ける貫通孔の位置または形状と変えればよい。これにより、流路１１の内表面に凸部３０および凹部３１を形成することができる。
【００３９】
上記では、本発明の実施形態として電極層２０を有する試料保持具１、いわゆる静電チャックについて説明したが、これに限られない。具体的には、電極層２０を設けず、真空吸着による真空チャックにも本発明を適用することができる。真空チャックに適用する態様では、流路１１以外に他の流路を基体１０の内部に設けるとともに、基体１０の一方主面に臨んで開口するとともに他の流路に繋がる吸着孔を複数設け、他の流路を真空ポンプに接続して他の流路を真空状態とすればよい。流路１１は、試料保持具１，１Ａの態様と同様に、試料保持面１０ａに真空吸着保持される試料を冷却または加熱するために、試料と熱交換する熱媒体を流すように構成される。
【００４０】
＜実施例＞
本発明の実施例として、基体１０が窒化アルミニウムからなる試料保持具１を作製した。主面の形状を直径３００ｍｍの円形状に設定して、厚みを１２ｍｍに設定した。試料保持具１の内部に、熱媒体を流すための流路１１を形成した。流路１１の寸法は、熱媒体の進行方向に対して垂直な断面で切ったときに、幅を４ｍｍとして、高さを３．５ｍｍとした。中間層１３を構成するセラミック層のうち、１つのセラミック層に他のセラミック層と比較して流路１１側に０．５ｍｍ程度飛び出した部位を備えさせることによって、流路１１の内表面に凸部３０を形成した。また、中間層１３を構成するセラミック層のうち、１つのセラミック層に他のセラミック層と比較して流路１１側から０．５ｍｍ程度引っ込んだ部位を備えさせることによって、流路１１の内表面に凹部３１を形成した。凸部３０および凹部３１の熱媒体の進行方向における長さは５０ｍｍ程度とした。
【００４１】
また、本発明の比較例として、凸部３０と凹部３１とを備えておらず、他の構成が上述の本発明の実施例と同様である試料保持具を作製した。
【００４２】
実施例においては、凸部３０および凹部３１の近傍において熱媒体の流速が速くなっていることが確認できた。流速の確認には、以下の方法を用いた。具体的には、横河電機社製の超音波流量計ＵＳ３００ＰＭを用いて、流速を一定にして、流速試験を行なった。そ
の結果、凸部３０および凹部３１の近傍において、他の領域と比較して、流速が約１〜５％程度早くなっていることが確認できた。
【００４３】
さらに、試料保持面の均熱性を評価するために、以下の評価を行なった。具体的には、日本電気株式社製のサーモグラフィＴＨ３１００ＭＲ（装置名）を用いて、周囲の空気の対流および装置内の放熱または輻射熱の影響を受けないような環境で、熱分布測定の耐久試験を行なった。その結果、試料保持面１０ａにおける、耐久試験５００時間の断続動作後の温度分布における最高温度と最低温度との温度差は、試験前における最高温度と最低温度との温度差と比較して、０．１度以下しか変化しなかった。
【００４４】
これに対して、比較例においても同様の試験を行なったところ、耐久試験後の温度分布における最高温度と最低温度との温度差が、試験前における最高温度と最低温度との温度差と比較して、０．１~０．２度の範囲で変化していた。
【００４５】
これらの結果から、凸部３０および凹部３１を設けることによって、試料保持面の均熱性を向上できることが確認できた。
【符号の説明】
【００４６】
１，１Ａ  試料保持具
１０  基体
１０ａ  試料保持面
１１  流路
１１ａ，１１ｂ  開口部
１２  上層
１３  中間層
１４  下層
１５  最上層
２０  電極層
２１  正電極
２２  負電極
３０  凸部
３１  凹部
【図１】
2014187214.tif 000003
【図２】
2014187214.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
2014187214.tif 000007
【図６】
2014187214.tif 000008
【図７】
2014187214.tif 000009
【図８】
2014187214.tif 000010
【図９】
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