(57)【要約】  接着剤層（３）と、接着剤層（３）の両面に設けられた第１シート（１）および第２シート（２）と、を備える長尺状の接着シート（１００）である。第１シート（１）の平面視における幅方向の両端部の近傍に、前記両端部に沿って第１切れ目（４１）が設けられており、第１シート１の接着剤層（３）からの剥離力をＦ１とし、第２シート（２）の接着剤層（３）からの剥離力をＦ２とした場合に、下記数式（Ｆ１）の条件を満たすことを特徴とする。Ｆ２＜Ｆ１  ・・・（Ｆ１）
2017145735.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
接着剤層と、前記接着剤層の両面に設けられた第１シートおよび第２シートと、を備える長尺状の接着シートであり、
前記第１シートの平面視における幅方向の両端部の近傍に、前記両端部に沿って第１切れ目が設けられており、
前記第１シートの前記接着剤層からの剥離力をＦ１とし、
前記第２シートの前記接着剤層からの剥離力をＦ２とした場合に、下記数式（Ｆ１）の条件を満たす
ことを特徴とする接着シート。
Ｆ２＜Ｆ１  ・・・（Ｆ１）
【請求項２】
請求項１に記載の接着シートにおいて、
前記第１シートには、第１剥離層が設けられ、
前記接着剤層と前記第１シートとは、前記第１剥離層を介して積層され、
前記第２シートには、第２剥離層が設けられ、
前記接着剤層と前記第２シートとは、前記第２剥離層を介して積層される
ことを特徴とする接着シート。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の接着シートにおいて、
前記第１切れ目は、前記接着シートの前記第１シート側から、前記第１シートを通り、前記接着剤層まで到達している
ことを特徴とする接着シート。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の接着シートにおいて、
前記第１切れ目は、前記第１シートの平面視における長さ方向にわたり連続的に設けられている
ことを特徴とする接着シート。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の接着シートにおいて、
前記接着剤層には、平面視において、接着剤が存在しない空間部が形成されている
ことを特徴とする接着シート。
【請求項６】
請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の接着シートを使用する方法であって、
前記接着シートにおける前記接着剤層および前記第２シートに第２切れ目を入れるハーフカットを施して、前記接着剤層を、抜き加工部と、前記抜き加工部以外の連続状カス部とに分ける工程と、
前記接着シートから前記連続状カス部を取り除く工程と、を備える
ことを特徴とする接着シートの使用方法。
【請求項７】
接着剤層と、前記接着剤層の両面に設けられた第１シートおよび第２シートと、を備える長尺状の接着シートの使用方法であり、
前記接着シートにおける前記第１シートに第１切れ目を入れるハーフカットを施して、前記第１シートの平面視における幅方向の両端部の近傍に、前記両端部に沿って前記第１切れ目を設けて、請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の接着シートを得る工程と、
前記接着シートにおける前記接着剤層および前記第２シートに第２切れ目を入れるハーフカットを施して、前記接着剤層を、抜き加工部と、前記抜き加工部以外の連続状カス部とに分ける工程と、
前記接着シートから前記連続状カス部を取り除く工程と、を備える
ことを特徴とする接着シートの使用方法。
【請求項８】
請求項６または請求項７に記載の接着シートの使用方法であって、
前記抜き加工部は、平面視において、前記第１切れ目よりも内側に設けられる
ことを特徴とする接着シートの使用方法。
【請求項９】
請求項６から請求項８のいずれか１項に記載の接着シートの使用方法であって、
前記接着剤層に接着剤が存在しない空間部が形成されている場合には、平面視において、前記空間部が前記連続状カス部に重なるようにして、前記抜き加工部を設ける
ことを特徴とする接着シートの使用方法。
【請求項１０】
請求項６から請求項８のいずれか１項に記載の接着シートの使用方法であって、
前記接着剤層に、平面視において、接着剤が存在しない空間部を形成する工程を、さらに備え、
平面視において、前記空間部が前記連続状カス部に重なるようにして、前記抜き加工部を設ける
ことを特徴とする接着シートの使用方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、接着シートおよびその使用方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
接着シートとしては、抜き加工工程が安定して行えること（作業安定性）が要求される。特に、接着剤層を抜き加工した後、抜き加工した接着剤層以外の部分（カス部）を取り除く工程（カス上げ工程）の作業安定性が求められている。より具体的には、接着シートの抜き加工工程、カス上げ工程、さらには被着体への貼付工程までのプロセスを、インライン式の装置で行う際に、接着剤層を抜き加工した後、カス上げの際に、接着剤層が途中で切れてしまうという問題（以下、カス上げ不良ともいう）が無いことが求められている。
上記の課題を解決するために、例えば特許文献１には、表面基材、粘着剤、剥離シートから構成される粘着シートが提案されている。特許文献１の粘着シートでは、表面基材および粘着剤と剥離シートとの剥離力（１８０度）をそれぞれ所定範囲に調整している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平１１−１８１３６４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１の粘着シートは、カス上げ不良を十分に抑制できるものではなかった。
そこで、本発明の目的は、カス上げ不良を十分に抑制できる接着シートおよびその使用方法を提供することである。より具体的には、インライン式の装置で、接着シートの抜き加工工程、カス上げ工程、さらには被着体への貼付工程までのプロセスを行う際にカス上げ不良を十分に抑制できる接着シートおよびその使用方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の一態様によれば、接着剤層と、前記接着剤層の両面に設けられた第１シートおよび第２シートと、を備える長尺状の接着シートであり、前記第１シートの平面視における幅方向の両端部の近傍に、前記両端部に沿って第１切れ目が設けられており、前記第１シートの前記接着剤層からの剥離力をＦ１とし、前記第２シートの前記接着剤層からの剥離力をＦ２とした場合に、下記数式（Ｆ１）の条件を満たす接着シートが提供される。
Ｆ２＜Ｆ１  ・・・（Ｆ１）【０００６】
本発明の一態様に係る接着シートにおいて、前記第１シートには、第１剥離層が設けられ、前記接着剤層と前記第１シートとは、前記第１剥離層を介して積層され、前記第２シートには、第２剥離層が設けられ、前記接着剤層と前記第２シートとは、前記第２剥離層を介して積層されることが好ましい。
本発明の一態様に係る接着シートにおいて、前記第１切れ目は、前記接着シートの前記第１シート側から、前記第１シートを通り、前記接着剤層まで到達していることが好ましい。
本発明の一態様に係る接着シートにおいて、前記第１切れ目は、前記第１シートの平面視における長さ方向にわたり連続的に設けられていることが好ましい。
本発明の一態様に係る接着シートにおいて、前記接着剤層には、平面視において、接着剤が存在しない空間部が形成されていることが好ましい。【０００７】
本発明の一態様によれば、本発明の一態様に係る接着シートを使用する方法であって、前記接着シートにおける前記接着剤層および前記第２シートに第２切れ目を入れるハーフカットを施して、前記接着剤層を、抜き加工部と、前記抜き加工部以外の連続状カス部とに分ける工程と、前記接着シートから前記連続状カス部を取り除く工程と、を備える接着シートの使用方法が提供される。【０００８】
本発明の一態様によれば、接着剤層と、前記接着剤層の両面に設けられた第１シートおよび第２シートと、を備える長尺状の接着シートの使用方法であり、前記接着シートにおける前記第１シートに第１切れ目を入れるハーフカットを施して、前記第１シートの平面視における幅方向の両端部の近傍に、前記両端部に沿って前記第１切れ目を設けて、本発明の一態様に係る接着シートを得る工程と、前記接着シートにおける前記接着剤層および前記第２シートに第２切れ目を入れるハーフカットを施して、前記接着剤層を、抜き加工部と、前記抜き加工部以外の連続状カス部とに分ける工程と、前記接着シートから前記連続状カス部を取り除く工程と、を備える接着シートの使用方法が提供される。【０００９】
本発明の一態様に係る接着シートの使用方法において、前記抜き加工部は、平面視において、前記第１切れ目よりも内側に設けられることが好ましい。
本発明の一態様に係る接着シートの使用方法において、前記接着剤層に接着剤が存在しない空間部が形成されている場合には、平面視において、前記空間部が前記連続状カス部に重なるようにして、前記抜き加工部を設けることが好ましい。
本発明の一態様に係る接着シートの使用方法において、前記接着剤層に、平面視において、接着剤が存在しない空間部を形成する工程を、さらに備え、平面視において、前記空間部が前記連続状カス部に重なるようにして、前記抜き加工部を設けることが好ましい。【００１０】
本発明によれば、カス上げ不良を十分に抑制できる接着シートおよびその使用方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の第一実施形態に係る接着シートを示す概略図である。
【図２】図１のII−II断面を示す断面図である。
【図３】本発明の第一実施形態に係る接着シートに抜き加工部を設け、補助テープを貼付した状態を示す概略図である。
【図４】図３のIV−IV断面を示す断面図である。
【図５】本発明の第一実施形態に係る接着シートから連続状カス部を取り除いている状態を示す概略図である。
【図６】図５のVI−VI断面を示す断面図である。
【図７】本発明の第二実施形態に係る接着シートを示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
［第一実施形態］
以下、本発明について実施形態を例に挙げて、図面に基づいて説明する。本発明は実施形態の内容に限定されない。なお、図面においては、説明を容易にするために拡大または縮小をして図示した部分がある。
【００１３】
（接着シート）
まず、本実施形態に係る接着シートについて説明する。
本実施形態に係る接着シート１００は、図１に示すように、長尺状（帯状）であり、第１シート１と、第２シート２と、接着剤層３と、を備えている。第１シート１および第２シート２は、接着剤層３の両面に設けられている。
第１シート１は、第１基材シート１１と、第１剥離層１２とを備えている。第１シート１と接着剤層３とは第１剥離層１２を介して積層されている。第２シート２は、第２基材シート２１と、第２剥離層２２とを備えている。第２シート２と接着剤層３とは第２剥離層２２を介して積層されている。
第１シート１には、図１および図２に示すように、平面視における幅方向の両端部の近傍に、この両端部に沿って第１切れ目４１が設けられている。第１切れ目４１は、第１シート１の平面視における長さ方向にわたり連続的に設けられている。なお、第１切れ目４１は、接着シート１００の第１シート１側から、第１シート１を通り、接着剤層３まで到達している。第１切れ目４１は、少なくとも、第１シート１と接着剤層３との界面まで到達していればよい。
【００１４】
本実施形態に係る接着シート１００においては、第１シート１の接着剤層３からの剥離力をＦ１とし、第２シート２の接着剤層３からの剥離力をＦ２とした場合に、下記数式（Ｆ１）の条件を満たす。
Ｆ２＜Ｆ１  ・・・（Ｆ１）
前記数式（Ｆ１）の条件を満たさない場合には、カス上げ工程において、抜き加工部３１が第１シート１から剥離しやすく、第１シート１上に抜き加工部３１を残すことが困難となる。
【００１５】
剥離力Ｆ１および剥離力Ｆ２は、例えば、剥離対象のシート（第１シート１または第２シート２）および接着剤層３を含む、試料（幅：１００ｍｍ、長さ：１００ｍｍ）を固定し、引っ張り試験機を用いて、剥離対象のシートを、３００ｍｍ／分の速度で１８０°方向に引っ張ることにより、剥離対象のシートと接着剤層３との界面の剥離力を測定できる（単位：ｍＮ／１００ｍｍ）。
なお、剥離力Ｆ１および剥離力Ｆ２の測定方法は、上記の方法に限定されない。剥離力が大き過ぎる場合または小さ過ぎる場合には、上記の方法では測定できないためである。そのような場合には、剥離力の測定条件（試料の大きさおよび速度など）を適宜変更して、剥離力Ｆ１および剥離力Ｆ２の大小関係を調べることができる。また、例えば、剥離力が大き過ぎて剥離力を測定できない場合には、この試料の剥離力は、剥離力が測定できた試料よりも剥離力が大きいといえる。
【００１６】
剥離力Ｆ１および剥離力Ｆ２は、例えば、第１シート１および第２シート２に設ける剥離層の処方または厚みを変更すること、或いは、第１シート１および第２シート２の種類または厚みを変更することにより、調整できる。
【００１７】
（第１シートおよび第２シート）
本実施形態に用いる第１シート１は、第１基材シート１１と、第１剥離層１２とを備えている。また、本実施形態に用いる第２シート２は、第２基材シート２１と、第２剥離層２２とを備えている。
第１シート１の厚みは、特に制限されないが、通常、２０μｍ以上２５０μｍ以下であり、３８μｍ以上１００μｍ以下であることが好ましい。
第２シート２の厚みは、特に制限されないが、通常、２０μｍ以上２５０μｍ以下であり、２５μｍ以上７５μｍ以下であることが好ましく、２５μｍ以上５０μｍ以下であることがより好ましい。
【００１８】
第１基材シート１１および第２基材シート２１としては、樹脂フィルムおよび紙などが挙げられる。樹脂フィルムの樹脂としては、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリブデン、ポリブタジエン、ポリメチルペンテン、ポリ塩化ビニル、塩化ビニル共重合体、ポリブチレンテレフタレート、ポリウレタン、エチレン−酢酸ビニル共重合体、アイオノマー樹脂、エチレン（メタ）アクリル酸共重合体、ポリスチレン、ポリカーボネート、フッ素樹脂、低密度ポリエチレン、直鎖低密度ポリエチレン、およびトリアセチルセルロースなどが挙げられる。紙としては、上質紙、コート紙、グラシン紙、およびラミネート紙などが挙げられる。これらは１種を単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。これらの中でも、安価でコシもあるという観点から、ポリエチレンテレフタレートフィルムが好ましい。
【００１９】
第１剥離層１２および第２剥離層２２は、剥離剤を用いて形成できる。
このような剥離剤としては、例えば、シリコーン系樹脂、フッ素系樹脂、および長鎖アルキル基系樹脂などが挙げられる。これらは１種を単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。これらの中でも、安価で安定した性能が得られる観点から、シリコーン系樹脂が好ましい。
第１剥離層１２または第２剥離層２２の厚みは、それぞれ、０．０１μｍ以上２．０μｍ以下であることが好ましく、０．０５μｍ以上０．５μｍ以下であることがより好ましい。
【００２０】
（接着剤層）
本実施形態に用いる接着剤層３は、公知の接着剤を用いて形成することができる。このような接着剤としては、特に限定されないが、アクリル系接着剤、ゴム系接着剤、シリコーン系接着剤、ポリウレタン系接着剤、ポリエステル系接着剤、エポキシ系接着剤、およびポリイミド系接着剤などが挙げられる。これらは１種を単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。このような接着剤は、接着シートの用途に応じて、適宜選択できる。また、このような接着剤は、必要に応じて、硬化助剤、エネルギー線硬化性成分、および他の樹脂成分を含有していてもよい。
例えば、接着シートの用途がチップのダイボンド工程に用いられるフィルム状接着剤またはフリップチップ実装に用いられるアンダーフィルシートなどの場合、接着剤としては、好ましくはエポキシ系接着剤またはポリイミド系接着剤を用いることができる。
接着シートの用途がダイシング時のウエハ固定機能とダイボンド時のダイ接着機能とを同時に兼ね備えた、ダイシングダイボンディングフィルムの場合、接着剤としては、好ましくはアクリル系重合体などのバインダー成分およびエポキシ系接着剤を含み、また必要に応じて、エネルギー線硬化性化合物、エネルギー線硬化型重合体および硬化助剤などを含むものを用いることができる。
接着シートの用途が半導体ウエハの裏面保護膜の場合、接着剤としては、好ましくはアクリル系重合体などのバインダー成分、エポキシ系接着剤および硬化助剤を含み、また必要に応じて、エネルギー線硬化性化合物、エネルギー線硬化型重合体、フィラー、および着色剤などを含むものを用いることができる。
【００２１】
接着剤層３の厚みは、用途により様々であるが、抜き加工をする際の加工性の観点から、１μｍ以上３００μｍ以下であることが好ましく、５μｍ以上２００μｍ以下であることがより好ましく、１０〜１００μｍであることがさらに好ましい。
【００２２】
（接着シートの製造方法）
本実施形態に係る接着シート１００は、例えば、以下説明する切り込み工程を備える方法で製造できる。
切り込み工程においては、第１切れ目４１の設けられていない接着シート（図示なし）に対し、第１シート１に第１切れ目４１を入れるハーフカットを施す。このようにして、第１シート１の平面視における幅方向の両端部の近傍に、前記両端部に沿って第１切れ目４１を設けて、接着シート１００を製造できる。
切り込み工程におけるハーフカットは、接着シート１００が切断されないような第１切れ目４１を入れることをいう。第１切れ目４１により、第１シート１は切断されるが、接着剤層３および第２シート２は切断されない。
このようなハーフカットにおいては、公知の切り込み刃を適宜用いることができる。
【００２３】
（接着シートの使用方法）
まず、本実施形態に係る接着シートの使用方法について説明する。
本実施形態に係る接着シートの使用方法は、本実施形態に係る接着シート１００を使用する方法であって、以下説明する抜き加工工程およびカス上げ工程を備える方法である。
【００２４】
抜き加工工程においては、図３および図４に示すように、接着シート１００における接着剤層３および第２シート２に第２切れ目４２を入れるハーフカットを施して、接着剤層３を、抜き加工部３１と、抜き加工部３１以外の連続状カス部３２とに分ける。
抜き加工部３１は、図３に示すように、平面視において、第１切れ目４１よりも内側に設けられることが好ましい。また、抜き加工部３１は、接着シート１００の長さ方向にわたって、複数個所に設けられている。
抜き加工工程におけるハーフカットは、接着シート１００が切断されないような第２切れ目４２を入れることをいう。第２切れ目４２により、接着剤層３および第２シート２は切断されるが、第１シート１は切断されない。なお、第２切れ目４２は、接着シート１００の第２シート２側から、第２シート２および接着剤層３を通り、第１シート１まで到達している。第２切れ目４２は、少なくとも、接着剤層３と第１シート１との界面まで到達していればよいが、接着剤層３を完全に切り込み、第１シート１の表面に、切込が形成されることが好ましい。
このようなハーフカットにおいては、公知の抜き刃を適宜用いることができる。
抜き加工工程におけるハーフカットは、抜き加工部３１の全周にわたって施され、抜き加工部３１が設けられる。
抜き加工部３１以外の部分は、接着シート１００から第２シート２を剥離する際に、一緒に剥離される連続状カス部３２となる。
【００２５】
抜き加工工程の後には、図３および図４に示すように、接着シート１００における第２シート２の表面に補助テープ５を設ける補助テープ貼付工程を行ってもよい。
この補助テープ５を長さ方向にわたって貼付することにより、第２切れ目４２を入れられている第２シート２を一体化することができる。そのため、後述するカス上げ工程において、接着剤層３の表面の第２シート２を剥離することができる。
補助テープ５としては、公知の粘着テープを用いることができる。
【００２６】
カス上げ工程においては、図５および図６に示すように、第１シート１から連続状カス部３２を剥離し、接着シート１００から連続状カス部３２を取り除く。
連続状カス部３２は、第２シート２と、第１シート１の一部１ａ（第１切れ目４１より外側の両端部）と、補助テープ５とともに取り除かれる。この連続状カス部３２を接着シート１００から取り除くことにより、図５に示すように、抜き加工部３１の形状に切り抜かれた接着剤膜が得られる。
ここで、抜き加工部３１の平面視における形状は、特に限定されず、使用目的に応じて適宜変更できる。抜き加工部３１の平面視における形状としては、多角形（三角形、四角形および五角形など）、円形、楕円形および星型などが挙げられる。
【００２７】
このようにして得られた接着剤膜は、様々な用途に用いることができ、例えば、チップのダイボンド工程に用いられるフィルム状接着剤、ダイシングダイボンディングフィルム、アンダーフィルシート、半導体ウエハの裏面保護膜などに用いることができる。
なお、本実施形態に係る接着シートの使用方法においては、カス上げ工程の後に、抜き加工部３１を被着体に貼付する貼付工程を備えていてもよい。この貼付工程においては、第１シート１を剥離し、抜き加工部３１を被着体に貼付する。
また、本実施形態に係る接着シートの使用方法においては、前記抜き加工工程、前記カス上げ工程および前記貼付工程が、インライン式の装置によって、連続して行われることが好ましい。
【００２８】
（第一実施形態の作用効果）
本実施形態によれば、次のような作用効果を奏することができる。
（１）連続状カス部３２は、第２シート２と、第１シート１の一部１ａ（第１切れ目４１より外側の両端部）とともに取り除かれるので、カス上げ工程において、第１シート１を接着剤層３から剥離する面積が少なくなる。そのため、カス上げ工程において、連続状カス部３２を構成する接着剤層３が第１シート１側に残ることを抑制できる。また、連続状カス部３２は、第２シート２と、第１シート１の一部１ａとの間に挟まれている。そのため、連続状カス部３２が第２シート２および第１シート１の一部１ａによって保持されている状態でカス上げ工程を行うことができる。このようにして、カス上げ不良を十分に抑制できる。
（２）第２シート２の接着剤層３からの剥離力Ｆ２よりも、第１シート１の接着剤層３からの剥離力Ｆ１の方が大きい。カス上げ工程において、第１シート１上に、抜き加工部３１を残すことができる。
（３）本実施形態においては、抜き加工工程、カス上げ工程および貼付工程が、インライン式の装置によって、連続して行われることが好ましい。このように一連の工程が連続して行われることにより、接着シート１００を効率よく使用でき、作業性および生産性を向上できる。
【００２９】
［第二実施形態］
次に、本発明の第二実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態では、接着シート１００に代えて接着シート１００Ａを用いた以外は第一実施形態と同様の構成であるので、接着シート１００Ａ並びにその製造方法および使用方法について説明し、それ以外の説明を省略する。
本実施形態に係る接着シート１００Ａは、図７に示すように、長尺状であり、第１シート１と、第２シート２と、接着剤層３と、を備えている。第１シート１および第２シート２は、接着剤層３の両面に設けられている。
接着剤層３には、図７に示すように、平面視において、接着剤が存在しない空間部３ａが形成されている。より具体的には、複数の抜き加工部３１の間の部分に空間部３ａが形成されている。
また、第１シート１には、第一実施形態と同様に、平面視における幅方向の両端部の近傍に、この両端部に沿って第１切れ目４１が設けられている。
【００３０】
本実施形態に係る接着シート１００Ａを製造する方法としては、例えば、次のような方法（i）および（ii）などを採用できる。
方法（i）：第１シート１または第２シート２上に、空間部３ａができるように接着剤を
塗工して、接着剤層３を形成する。次に、接着剤層３上に第１シート１または第２シート２を積層して、第１切れ目４１の設けられていない接着シートを作製する。次いで、前記切り込み工程により、第１切れ目４１を設けて、接着シート１００Ａを製造できる。
方法（ii）：第１シート１または第２シート２上に、接着剤を塗工して接着剤層３を形成する。次に、接着剤層３に空間部３ａができるように抜き加工などを行い、その後、接着剤層３上に第１シート１または第２シート２を積層して、第１切れ目４１の設けられていない接着シートを作製する。次いで、前記切り込み工程により、第１切れ目４１を設けて、接着シート１００Ａを製造できる。
【００３１】
本実施形態に係る接着シートの使用方法の抜き加工工程においては、平面視において、空間部３ａが連続状カス部３２に重なるようにして、抜き加工部３１を設ける。このようにすれば、抜き加工部３１に接着剤の存在しない部分ができることはないので、カス上げ工程により、抜き加工部３１の形状に切り抜かれた接着剤膜を得ることができる。また、抜き加工工程においては、平面視において、空間部３ａの境界に第２切れ目４２を入れることがより好ましい。
【００３２】
（第二実施形態の作用効果）
本実施形態によれば、前記第一実施形態における作用効果（１）〜（３）と同様の作用効果、並びに、下記作用効果（４）を奏することができる。
（４）空間部３ａには接着剤が存在しないため、この空間部３ａの面積の分だけ、第１シート１を接着剤層３から剥離する面積が少なくなる。また、複数の抜き加工部３１の間の部分に空間部３ａがあるため、カス上げ工程では端部における連続状カス部３２のみが巻き取られることになる。そのため、カス上げ工程において、連続状カス部３２を構成する接着剤層３が第１シート１側に残ることをより確実に抑制できる。
【００３３】
［第三実施形態］
次に、本発明の第三実施形態について説明する。
本実施形態の接着シートの使用方法は、長尺状の接着シートの使用方法であり、第１切れ目４１の設けられていない接着シート（図示なし）における第１シート１に第１切れ目４１を入れるハーフカットを施して、第１シート１の平面視における幅方向の両端部の近傍に、両端部に沿って第１切れ目４１を設けて、第一実施形態に係る接着シート１００を得る工程（図１および図２参照）、並びに、第一実施形態における抜き加工工程およびカス上げ工程、を備える方法である。
第三実施形態に係る接着シート１００を得る工程としては、第一実施形態に係る接着シートの製造方法と同様の方法を採用できる。
【００３４】
（第三実施形態の作用効果）
本実施形態によれば、前記第一実施形態における作用効果（１）〜（３）と同様の作用効果、並びに、下記作用効果（５）を奏することができる。
（５）接着シート１００を得る工程を、抜き加工工程およびカス上げ工程と、一連の工程で行うことができる。そのため、第１切れ目４１の設けられていない接着シートを用いた接着シートの使用方法においても、第一実施形態における作用効果（１）〜（３）と同様の作用効果を奏することができる。
【００３５】
［第四実施形態］
次に、本発明の第四実施形態について説明する。
本実施形態の接着シートの使用方法は、前記第一実施形態の接着シートの使用方法において、接着剤層３に平面視において接着剤が存在しない空間部３ａを形成する空間部形成工程をさらに備え、平面視において、空間部３ａが連続状カス部３２に重なるようにして、抜き加工部３１を設ける方法である。
空間部形成工程において、空間部３ａを形成する方法としては、例えば、接着シート１００における接着剤層３および第２シート２に第３切れ目（図示なし）を入れるハーフカットを施し、その後、接着剤層３および第２シート２の一部を取り除いて、接着剤層３に空間部３ａを形成する方法を採用できる。
本実施形態に係る接着シートの使用方法の抜き加工工程においては、前記第二実施形態の抜き加工工程と同様に、平面視において、空間部３ａが連続状カス部３２に重なるようにして、抜き加工部３１を設ける。
【００３６】
（第四実施形態の作用効果）
本実施形態によれば、前記第一実施形態における作用効果（１）〜（３）と同様の作用効果、並びに、下記作用効果（６）を奏することができる。
（６）空間部形成工程により、接着剤層３に空間部３ａが形成されている接着シートを形成できる。そのため、接着剤層３に空間部３ａが形成されていない接着シートを用いた接着シートの使用方法においても、第二実施形態における作用効果（４）と同様の作用効果を奏することができる。
【００３７】
［実施形態の変形］
本発明は前述の実施形態に限定されず、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良などは本発明に含まれる。
例えば、前述の実施形態では、所定形状に切り抜かれた接着剤膜を、チップのダイボンド工程に用いられるフィルム状接着剤、ダイシングダイボンディングフィルム、アンダーフィルシート、半導体ウエハの裏面保護膜などに用いられる接着剤膜として用いたが、これに限定されない。所定形状に切り抜かれた接着剤膜の用途としては、ラベル、ステッカーおよびワッペンなどが挙げられる。
【符号の説明】
【００３８】
１…第１シート、１２…第１剥離層、２…第２シート、２２…第２剥離層、３…接着剤層、３１…抜き加工部、３２…連続状カス部、３ａ…空間部、４１…第１切れ目、４２…第２切れ目、１００，１００Ａ…接着シート。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【手続補正書】
【提出日】平成30年4月9日(2018.4.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
接着剤層と、前記接着剤層の両面に設けられた第１シートおよび第２シートと、を備える長尺状の接着シートであり、
前記第１シートには、第１剥離層が設けられ、
前記接着剤層と前記第１シートとは、前記第１剥離層を介して積層され、
前記第２シートには、第２剥離層が設けられ、
前記接着剤層と前記第２シートとは、前記第２剥離層を介して積層され、
前記第１シートの平面視における幅方向の両端部の近傍に、前記両端部に沿って第１切れ目が設けられており、
前記第１シートの前記接着剤層からの剥離力をＦ１とし、
前記第２シートの前記接着剤層からの剥離力をＦ２とした場合に、下記数式（Ｆ１）の条件を満たす
ことを特徴とする接着シート。
Ｆ２＜Ｆ１  ・・・（Ｆ１）
【請求項２】
請求項１に記載の接着シートにおいて、
前記第１切れ目は、前記接着シートの前記第１シート側から、前記第１シートを通り、前記接着剤層まで到達している
ことを特徴とする接着シート。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の接着シートにおいて、
前記第１切れ目は、前記第１シートの平面視における長さ方向にわたり連続的に設けられている
ことを特徴とする接着シート。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の接着シートにおいて、
前記接着剤層には、平面視において、接着剤が存在しない空間部が形成されている
ことを特徴とする接着シート。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の接着シートを使用する方法であって、
前記接着シートにおける前記接着剤層および前記第２シートに第２切れ目を入れるハーフカットを施して、前記接着剤層を、抜き加工部と、前記抜き加工部以外の連続状カス部とに分ける工程と、
前記接着シートから前記連続状カス部を取り除く工程と、を備える
ことを特徴とする接着シートの使用方法。
【請求項６】
接着剤層と、前記接着剤層の両面に設けられた第１シートおよび第２シートと、を備える長尺状の接着シートの使用方法であり、
前記接着シートにおける前記第１シートに第１切れ目を入れるハーフカットを施して、前記第１シートの平面視における幅方向の両端部の近傍に、前記両端部に沿って前記第１切れ目を設けて、請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の接着シートを得る工程と、
前記接着シートにおける前記接着剤層および前記第２シートに第２切れ目を入れるハーフカットを施して、前記接着剤層を、抜き加工部と、前記抜き加工部以外の連続状カス部とに分ける工程と、
前記接着シートから前記連続状カス部を取り除く工程と、を備える
ことを特徴とする接着シートの使用方法。
【請求項７】
請求項５または請求項６に記載の接着シートの使用方法であって、
前記抜き加工部は、平面視において、前記第１切れ目よりも内側に設けられる
ことを特徴とする接着シートの使用方法。
【請求項８】
請求項５から請求項７のいずれか１項に記載の接着シートの使用方法であって、
前記接着剤層に接着剤が存在しない空間部が形成されている場合には、平面視において、前記空間部が前記連続状カス部に重なるようにして、前記抜き加工部を設ける
ことを特徴とする接着シートの使用方法。
【請求項９】
請求項５から請求項７のいずれか１項に記載の接着シートの使用方法であって、
前記接着剤層に、平面視において、接着剤が存在しない空間部を形成する工程を、さらに備え、
平面視において、前記空間部が前記連続状カス部に重なるようにして、前記抜き加工部を設ける
ことを特徴とする接着シートの使用方法。
【国際調査報告】
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