(57)【要約】【課題】可動電極と固定電極との当接による破損を抑制した物理量センサーを提供する。【解決手段】可動錘と、可動錘から並んで延設されている複数の可動電極と、複数の可動電極の間の各々に挿入されている固定電極とを備え、固定電極の少なくとも一つは、両側に配置されている可動電極の各々に向かって延設されているストッパー部を含み、ストッパー部の端部と可動電極との間隔は、可動電極と固定電極との間隔と比べて狭いことを特徴とする。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
可動錘と、
前記可動錘から並んで延設されている複数の可動電極と、
前記複数の可動電極の間の各々に挿入されている固定電極と、を備え、
前記固定電極の少なくとも一つは、両側に配置されている前記可動電極の各々に向かって延設されているストッパー部を含み、
前記ストッパー部の端部と可動電極との間隔は、前記可動電極と前記固定電極との間隔と比べて狭いこと、を特徴とする物理量センサー。
【請求項２】
請求項１に記載の物理量センサーにおいて、
前記複数の可動電極の間の各々には、前記固定電極が２本ずつ挿入されていること、を特徴とする物理量センサー。
【請求項３】
請求項１または２に記載の物理量センサーにおいて、
前記複数の可動電極は、前記可動錘の両側から互いに反対方向に伸長し、且つ、前記可動錘の変位方向に沿って並んで設けられ、
前記ストッパー部が設けられている前記固定電極は、前記可動錘の両側に各々配置されていること、を特徴とする物理量センサー。
【請求項４】
請求項３に記載の物理量センサーにおいて、
平面視で前記可動錘の中心に対し点対称の位置に、前記ストッパー部を備えた前記固定電極が設けられていること、を特徴とする物理量センサー。
【請求項５】
請求項１ないし請求項４のいずれか一項に記載の物理量センサーにおいて、
前記ストッパー部の前記端部には、電気的に絶縁されている絶縁部を有すること、を特徴とする物理量センサー。
【請求項６】
請求項１ないし請求項５のいずれか一項に記載の物理量センサーを搭載する電子機器。
【請求項７】
請求項１ないし請求項５のいずれか一項に記載の物理量センサーを搭載する移動体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、物理量センサー、電子機器、及び移動体に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、加速度や角速度等の物理量を検出する物理量センサーとして、固定電極と、固定電極に対して間隔をもって並んで設けられるとともに、一定方向に変位可能な可動錘に設けられた可動電極と、を有する構造が知られている。
この様な物理量センサーは、可動錘の変位に伴い、固定電極と、可動錘に設けられた可動電極との間隔が変化し、その間隔の変化によって、固定電極と、可動電極との間に生じる静電容量の変化を検出することで、加速度、角速度等の物理量の変化を検出している。
例えば、特許文献１には、固定電極に複数の突起が設けられ、可動電極が変位した際に、可動電極と、固定電極と、の付着を防止する構造の物理量センサーが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００１−３３０６２３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、固定電極に多数の突起が設けられているため、加速度検出時に可動電極と固定電極との電極間に生じる静電容量が低下し、検出感度が弱まる虞があった。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上述した課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態、又は適用例として実現することが可能である。
【０００６】
［適用例１］
本適用例に係る物理量センサーは、可動錘と、可動錘から並んで延設されている複数の可動電極と、複数の可動電極の間の各々に挿入されている固定電極とを備え、固定電極の少なくとも一つは、両側に配置されている可動電極の各々に向かって延設されているストッパー部を含み、ストッパー部の端部と可動電極との間隔は、可動電極と固定電極との間隔と比べて狭いことを特徴とする。
【０００７】
この様な物理量センサーによれば、可動錘と、可動錘から並んで延設されている複数の可動電極と、複数の可動電極の間に固定電極と、が設けられている。また、少なくとも一つの固定電極には、その固定電極の両側に設けられている可動電極に向かってストッパー部が延設され、ストッパー部の端部と可動電極との間隔（空隙）が、可動電極と固定電極との間隔と比べて狭く設けられている。また、可動電極と固定電極との間に生じる静電容量の低下を抑制することができる。
これにより、物理量センサーは、加速度等によって可動錘が過度に変位した場合に、可動電極と、固定電極とが当接する前に、可動電極と、ストッパー部とを当接させることができる。
従って、可動電極と、固定電極との当接による、それぞれの電極の破損を抑止することができる。
【０００８】
［適用例２］
上記適用例に係る物理量センサーは、複数の可動電極の間の各々には、固定電極が２本ずつ挿入されていることが好ましい。
【０００９】
この様な物理量センサーによれば、固定電極が２本ずつ、複数の可動電極の間の各々に挿入され設けられている。これにより、物理量センサーは、加速度等によって一方の方向に可動錘が変位した時に、一方の固定電極と可動電極との間に生じる静電容量と、他方の固定電極と可動電極との間に生じる静電容量とは、それぞれ逆の静電容量変化となる。換言すると、可動電極を基準に、可動電極と、２つの固定電極との間には、逆位相（逆極性）の静電容量が生じる。また、一方方向に可動錘が変位した時に、第１の可動電極と固定電極との間隔と、第２の可動電極と第２の固定電極との間隔は、差動の関係となる。
従って、加速度等による可動錘の変位に伴う静電容量の変化を２本の固定電極によって検出するため、加速度等の検出精度を高めることができる。
【００１０】
［適用例３］
上記適用例に係る物理量センサーは、複数の可動電極は、可動錘の両側から互いに反対方向に伸長し、且つ、可動錘の変位方向に沿って並んで設けられ、ストッパー部が設けられている固定電極は、可動錘の両側に各々配置されていることが好ましい。
【００１１】
この様な物理量センサーは、可動錘の変位する方向に沿って複数の可動電極が並んで設けられている。また、物理量センサーは、可動電極が可動錘の両側から互いに反対方向に伸長して設けられている。また、ストッパー部が設けられた固定電極は、可動錘の両側に各々設けられている。
これにより、物理量センサーは、可動錘の変位する方向沿った両側に固定電極と可動電極とが設けられているため、ストッパー部と可動電極と当接した際に、可動錘に生じる回転軸方向の過度な変位を抑制することができる。従って、可動錘の回転軸方向の変位による可動電極と固定電極との損傷を抑制することができる。
【００１２】
［適用例４］
上記適用例に係る物理量センサーは、平面視で可動錘の中心に対し点対称の位置に、ストッパー部を備えた固定電極が設けられていることが好ましい。
を特徴とする。
【００１３】
この様な物理量センサーは、可動錘の中心に対し点対称のそれぞれの位置に、可動電極部と、固定電極部及びストッパー部が設けられている。
これにより、物理量センサーは、ストッパー部が可動錘の中心に対して点対称の位置に複数設けられているため、ストッパー部と可動電極と当接した際に、可動錘に生じる回転軸方向の過度な変位をさらに抑制することができる。従って、可動錘の回転軸方向の変位による可動電極と固定電極との損傷を抑制することができる。
【００１４】
［適用例５］
上記適用例に係る物理量センサーは、ストッパー部の端部には、電気的に絶縁されている絶縁部を有することが好ましい。
【００１５】
この様な物理量センサーによれば、ストッパー部の端部で、可動電極と当接する部分に絶縁部が設けられている。これにより、ストッパー部と可動電極とが当接して可動錘の変位を規制する場合に、ストッパー部が設けられた固定電極と可動電極とが電気的接続されること抑制することができる。即ち、可動電極と固定電極との短絡を抑制することができる。
従って、可動電極と、ストッパー部とが当接した場合でも、可動電極と、ストッパー部が設けられた固定電極との間に生じる静電容量に影響を及ぼすことを抑制することができる。
【００１６】
［適用例６］
本適用例に係る電子機器は、上述したいずれかの物理量センサーを搭載している。
【００１７】
この様な電子機器によれば、上述したいずれかの物理量センサーを搭載することで、電子機器に衝撃が与えられた場合でも、物理量センサーの破損を抑制し、継続して物理量を検出できるため、信頼度の高い電子機器を得ることができる。
【００１８】
［適用例７］
本適用例に係る移動体は、上述したいずれかの物理量センサーを搭載している。
【００１９】
この様な移動体によれば、上述したいずれかの物理量センサーを搭載することで、移動体からの衝撃による物理量センサーの破損を抑制し、継続して物理量を検出できるため、信頼度の高い移動体を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】第１実施形態に係る物理量センサーを模式的に示す斜視図。
【図２】第１実施形態に係る物理量センサーを模式的に示す平面図。
【図３】第１実施形態に係る物理量センサーを模式的に示す断面図。
【図４】第１実施形態に係る物理量センサーの一部を拡大して示す拡大図。
【図５】第２実施形態に係る物理量センサーを模式的に示す平面図。
【図６】第３実施形態に係る物理量センサーを模式的に示す平面図。
【図７】第３実施形態に係る物理量センサーを模式的に示す平面図。
【図８】実施例に係る電子機器を模式的に示す図。
【図９】実施例に係る電子機器を模式的に示す図。
【図１０】実施例に係る電子機器を模式的に示す図。
【図１１】実施例に係る移動体を模式的に示す図。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明の実施形態について図面を用いて説明する。なお、以下に示す各図においては、各構成要素を図面上で認識され得る程度の大きさとするため、各構成要素の寸法や比率を実際の構成要素とは適宜に異ならせて記載する場合がある。
【００２２】
（第１実施形態）
第１実施形態に係る物理量センサーについて、図１から図４を用いて説明する。
図１は、第１実施形態に係る物理量センサーの概略を示す斜視図である。図２は、図１に示す物理量センサーの概略を示す平面図である。図３は、図２中の線分Ａ−Ａ’で示す部分の断面を模式的に示す断面図である。図４は、図２の符号Ｂで示す部分の拡大図である。説明の便宜のため、図２では、蓋体５の図示を省略している。また、図１から図４では、互いに直交する３つの軸として、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸を図示し、Ｚ軸は、重力が作用する方向を示す軸である。
【００２３】
（物理量センサーの構造）
図１に示す物理量センサー１ａは、基板２と、当該基板２に接続（接合）して支持された素子片３と、素子片３に電気的に接続された導体パターン４と、素子片３を覆うように設けられた蓋体５と、を有する。以下、物理量センサー１ａを構成する各部を順次詳細に説明する。
【００２４】
（基板）
基板２は、素子片３を支持するために設けられている。基板２は、板状をなし、その第１面２ａには、空洞部２１が設けられている。この空洞部２１は、基板２を第１面２ａ側から平面視したときに、後述する素子片３の可動錘３３、可動電極部３６，３７、及び連結部３４，３５を内包する様に設けられている。また、空洞部２１は、内底２１ａを有する。この様な空洞部２１は、素子片３の可動錘３３、可動電極部３６，３７、及び連結部３４，３５が基板２に接触することを抑制する空間、換言すると、逃げ部を構成する。これにより、素子片３の可動錘３３の変位を許容することができる。
なお、この空間は、空洞部２１（凹部）に代えて、基板２をその厚さ方向（Ｚ軸方向）に貫通する開口部として設けても良い。また、本実施形態おいて、空洞部２１を第１面２ａ側から平面視したときの形状は、矩形をなしているが、これに限定されるものではない。
【００２５】
また、基板２の第１面２ａには、前述した空洞部２１の外側に、その外周に沿って、配線溝部２２，２３，２４が設けられている。この配線溝部２２，２３，２４は、第１面２ａ側から平面視した場合に、導体パターン４に対応した形状をなしている。具体的には、配線溝部２２は、後述する導体パターン４の配線４１及び電極４４に対応した形状をなしている。また、配線溝部２３は、後述する導体パターン４の配線４２及び電極４５に対応した形状をなしている。また、配線溝部２４は、後述する導体パターン４の配線４３及び電極４６に対応した形状をなしているものである。
【００２６】
この様な基板２を構成する材料としては、例えば、シリコン、ガラス等の材料を用いることが好ましい。また、素子片３がシリコン材料を主材料として構成されている場合、基板２は、例えば、ホウ珪酸ガラスを用いるとより好ましい。
なお、基板２の構成材料は、素子片３の構成材料との線膨張率ができるだけ小さいことが好ましい。これにより、基板２にホウ珪酸ガラスを、素子片３にシリコンを用いることで、基板２と、素子片３との線膨張率の差が少なくなり、熱膨張による歪みを抑制することができる。
【００２７】
（素子片）
素子片３は、固定部３１，３２と、可動錘３３と、連結部３４，３５と、可動電極部３６，３７と、固定電極部３８，３９とで構成されている。
このような素子片３は、例えば、加速度や角速度等の物理量の変化に応じて、可動錘３３及び可動電極部３６，３７が、連結部３４，３５を弾性変形させながら、Ｘ軸方向（＋Ｘ軸方向、又は−Ｘ軸方向）に変位する。このような変位に伴って、可動電極部３６と、固定電極部３８との間の間隔及び可動電極部３７と、固定電極部３９との間の間隔がそれぞれ変化する。即ち、このような変位に伴って、可動電極部３６と、固定電極部３８との間の静電容量及び可動電極部３７と、固定電極部３９との間の静電容量の大きさがそれぞれ変化する。従って、これらの静電容量に基づいて、加速度や角速度等の物理量を検出することできる。
【００２８】
この固定部３１，３２、可動錘３３、連結部３４，３５、及び可動電極部３６，３７は、一体的に形成して設けられている。固定部３１，３２は、それぞれ、前述した基板２の第１面２ａに接続されている。具体的には、固定部３１は、基板２の第１面２ａの空洞部２１に対して−Ｘ軸方向側の部分に接続され、また、固定部３２は、基板２の第１面２ａの空洞部２１に対して＋Ｘ軸方向側の部分に接続されている。また、固定部３１，３２は、第１面２ａ側から平面視した場合に、それぞれ、空洞部２１の外周縁を跨ぐように設けられている。
【００２９】
なお、固定部３１，３２の位置及び形状等は、連結部３４，３５や導体パターン４等の位置及び形状等に応じて決められるものであり、上述したものに限定されない。
【００３０】
この様な２つの固定部３１，３２の間には、可動錘３３が設けられている。本実施形態において可動錘３３は、Ｘ軸方向に延びる長手形状をなしている。なお、可動錘３３の形状は、素子片３を構成する各部の形状、大きさ等に応じて決められるものであり、上述したものに限定されない。
【００３１】
（可動錘）
この様な可動錘３３は、固定部３１に対して連結部３４を介して連結されるとともに、固定部３２に対して連結部３５を介して連結されている。より具体的には、可動錘３３の−Ｘ軸方向側の端部が連結部３４を介して固定部３１に連結されるとともに、可動錘３３の＋Ｘ軸方向の端部が連結部３５を介して固定部３２に連結されている。
この連結部３４，３５は、固定部３１，３２に対して可動錘３３が可動できる様に連結されている。本実施形態において連結部３４，３５は、図２において矢印ａで示すように、＋Ｘ軸方向及び−Ｘ軸方向に可動錘３３が変位（可動）し得る様に構成されている。
【００３２】
具体的に説明すると、連結部３４は、複数の梁３４１，３４２で構成されている。梁３４１、３４２は、それぞれ、Ｙ軸方向に蛇行しながらＸ軸方向に延びる形状をなしている。
同様に、連結部３５は、Ｙ軸方向に蛇行しながらＸ軸方向に延びる形状をなす複数の梁３５１，３５２で構成されている。
なお、連結部３４，３５は、可動錘３３を基板２に対して変位し得る様に支持するものであれば、上述したものに限定されず、例えば、可動錘３３の両端部から＋Ｙ方向及び−Ｙ方向にそれぞれ延出する１対の梁で構成されていても良い。
【００３３】
（可動電極）
基板２に対してＸ軸方向に変位し得る様に支持された可動錘３３の幅方向である＋Ｙ軸方向側には、可動電極部３６が設けられ、反対側となる−Ｙ軸方向側には、可動電極部３７が設けられている。可動電極部３６は、可動錘３３から＋Ｙ方向に突出し、櫛歯状をなす様に並ぶ複数の可動電極３６１，３６２，３６３，３６４，３６５を備えている。この可動電極３６１，３６２，３６３，３６４，３６５は、−Ｘ軸方向側から＋Ｘ軸方向側へ、この順に並んで設けられている。換言すると、可動電極３６１，３６２，３６３，３６４，３６５は、固定部３１側から固定部３２側へ、この順に並んで設けられている。
【００３４】
同様に、可動電極部３７は、可動錘３３から−Ｙ軸方向に突出し、櫛歯状をなすように並ぶ可動電極３７１，３７２，３７３，３７４，３７５を備ええている。この可動電極３７１，３７２，３７３，３７４，３７５は、−Ｘ軸方向側から＋Ｘ軸方向側へ、この順に並んで設けられている。換言すると、可動電極３７１，３７２，３７３，３７４，３７５は、固定部３１側から固定部３２側へ、この順に並んで設けられている。
【００３５】
このように複数の可動電極３６１〜３６５及び複数の可動電極３７１〜３７５は、それぞれ、可動錘３３が可動するＹ軸方向（図２において示す矢印ａの方向）に並んで設けられている。換言すると、可動錘３３変位すする方向となるＸ軸方向に沿って並んで、かつ、変位する方向と交差するＹ軸方向の両側に伸長する様に可動電極部３６，３７が設けられている。
これにより、後述する固定電極３８２，３８４，３８６，３８８と、可動電極部３６と、の間の静電容量及び固定電極３８１，３８３，３８５，３８７と、可動電極部３６との静電容量を可動錘３３の変位に応じて変化させることができる。
【００３６】
（固定電極）
固定電極部３８は、前述した可動電極部３６の複数の可動電極３６１〜３６５に対して間隔を有し、噛み合う櫛歯状をなすように並ぶ複数の固定電極３８１〜３８８を備える。
このような複数の固定電極３８１〜３８８の可動錘３３とは反対側の端部は、それぞれ、基板２の第１面２ａの空洞部２１に対して＋Ｙ軸方向側の部分に接続されている。複数の固定電極３８１〜３８８は、その固定された側の一端を固定端とし、自由端が−Ｙ軸方向へ延設されている。
【００３７】
この複数の固定電極３８１〜３８８は、−Ｘ軸方向側から＋Ｘ軸方向側へ、この順に並んで設けられている。換言すると、複数の固定電極３８１〜３８８は、固定部３１側から固定部３２側へ、この順に並んで設けられている。
そして、固定電極３８１，３８２、固定電極３８３，３８４、固定電極３８５，３８６、固定電極３８７，３８８は、それぞれ１対として、前述した可動電極３６１，３６２、可動電極３６２，３６３、可動電極３６３，３６４、可動電極３６４，３６５の間に、それぞれ設けられている。
【００３８】
ここで、固定電極３８２，３８４，３８６，３８８は、それぞれ、第１固定電極として設けられている。また、固定電極３８１，３８３，３８５，３８７は、それぞれ第２固定電極として設けられている。
第２固定電極は、第１固定電極に対して間隔を有して並んで配置されている。この様に、複数の固定電極３８１〜３８８は、交互に並ぶ第１固定電極（固定電極３８２，３８４，３８６，３８８）及び第２固定電極（固定電極３８１，３８３，３８５，３８７）で構成されている。換言すると、可動電極部３６の一方の側に第１固定電極（固定電極３８２，３８４，３８６，３８８）が配置され、他方の側に第２固定電極（固定電極３８１，３８３，３８５，３８７）が配置されている。
【００３９】
このような第１固定電極としての固定電極３８２，３８４，３８６，３８８と、第２固定電極としての固定電極３８１，３８３，３８５，３８７とは、基板２の第１面２ａ上で互いに分離している。換言すると、固定電極３８２，３８４，３８６，３８８及び固定電極３８１，３８３，３８５，３８７は、基板２の第１面２ａ上において、互いに連結されておらず、島状に孤立している。
これにより、第１固定電極としての固定電極３８２，３８４，３８６，３８８と、第２固定電極としての固定電極３８１，３８３，３８５，３８７とを電気的に絶縁することができる。そのため、固定電極３８２，３８４，３８６，３８８と、可動電極部３６との間の静電容量及び固定電極３８１，３８３，３８５，３８７と、可動電極部３６と、の間の静電容量を別個に測定し、それらの測定結果に基づいて、物理量を検出することができる。
【００４０】
固定電極部３９は、前述した固定電極部３８と同様に、可動電極部３７の複数の可動電極３７１〜３７５に対して間隔を有して噛み合う櫛歯状をなすように並ぶ複数の固定電極３９１〜３９８を備える。このような複数の固定電極３９１〜３９８の可動錘３３とは反対側の端部は、それぞれ、基板２の第１面２ａ上の空洞部２１に対して−Ｙ軸方向側の部分に接続されている。そして、複数の固定電極３９１〜３９８は、その固定された側の端を固定端とし、自由端が＋Ｙ軸方向へ延設されている。
【００４１】
この複数の固定電極３９１〜３９８は、−Ｘ軸方向側から＋Ｘ軸方向側へ、この順に並んでいる。換言すると、複数の固定電極３９１〜３９８は、固定部３１側から固定部３２側へ、この順に並んで設けられている。
そして、固定電極３９１，３９２、固定電極３９３，３９４、固定電極３９５，３９６、固定電極３９７，３９８は、それぞれ１対として、前述した可動電極３７１，３７２、可動電極３７２，３７３、可動電極３７３，３７４、可動電極３７４，３７５の間に、それぞれ設けられている。
【００４２】
ここで、固定電極３９２，３９４，３９６，３９８は、それぞれ、第３固定電極として設けられている。固定電極３９１，３９３，３９５，３９７は、それぞれ、第４固定電極として設けられている。
第４固定電極は、第３固定電極に対して間隔を有して並んで配置されている。この様に、複数の固定電極３９１〜３９８は、交互に並ぶ第３固定電極（固定電極３９２，３９４，３９６，３９８）及び第４固定電極（固定電極３９１，３９３，３９５，３９７）で構成されている。換言すると、可動電極部３７の一方の側に第３固定電極（固定電極３９２，３９４，３９６，３９８）が配置され、他方の側に第４固定電極（固定電極３９１，３９３，３９５，３９７）が配置されている。
【００４３】
ところで、図１から図３に示す様に固定電極３９１の自由端側（可動錘３３側で＋Ｙ軸方向側）には、ストッパー部６０が設けられている。図２において破線で囲み符号Ｂを付した部分を図４に模式的に拡大して示し、ストッパー部６０について説明する。
本実施形態の物理量センサー１ａにおいて、ストッパー部６０は、ストッパー基部６１１が設けられ、当該ストッパー基部６１１は、固定電極３９１の自由端側で可動錘３３の変位（可動）方向（図２に示す矢印ａの方向でＸ軸方向）に延設されている。
換言すると、ストッパー部６０は、固定電極３９１と交わる方向に延設されているストッパー基部６１１が固定電極３９１の自由端側に設けられている。
また、ストッパー基部６１１は、第１の可動電極としての可動電極３７１と、第２の可動電極としての可動電極３７２との間の空間に、固定電極３９１の自由端から−Ｘ軸方向側及び＋Ｘ軸方向側の両側に延設され、その先端部６１１ａ，６１１ｂが可動電極３７１，３７２と空隙Ｄ，Ｄ’をもって設けられている。
【００４４】
詳しくは、ストッパー基部６１１には、可動錘３３の変位方向に延設されている−Ｘ軸方向側の端部に先端部６１１ａを有する。ストッパー基部６１１は、先端部６１１ａと、可動電極３７１との間に空隙Ｄを有している。また、ストッパー基部６１１には、可動錘３３の変位方向に延設されている＋Ｘ軸方向側の端部に先端部６１１ｂ有する。ストッパー基部６１１は、先端部６１１ｂと、可動電極３７１との間に空隙Ｄ’を有している。
【００４５】
ストッパー部６０のストッパー基部６１１は、可動錘３３が過度に変位した場合に、可動電極部３６，３７と、固定電極部３８，３９が接触して、これらが破損することを抑制するために設けられている。換言すると、可動錘３３が過度に変位した場合に、その変位（可動）を規制するために設けられている。
【００４６】
よって、可動錘３３が過度に変位した場合に、ストッパー基部６１１を可動電極部３７と当接させ、可動電極部３７と、固定電極部３８，３９との当接（接触）を抑制することが求められる。
そこで、可動電極３７１（３７）と、固定電極３９１（３９）との間隔（空隙）Ｃと比べて、可動電極３７１（３７）と、先端部６１１ａとの空隙Ｄが狭くなる様にストッパー基部６１１が設けられている。また、可動電極３７２（３７）と、固定電極３９２（３９）との間隔（空隙）Ｃ’と比べて、可動電極３７２（３７）と、先端部６１１ａとの空隙Ｄが狭くなる様にストッパー基部６１１が設けられている。
これらの間隔Ｃ，Ｃ’、空隙Ｄ，Ｄ’の距離（広さ）関係を換言すると、それぞれの距離（広さ）は、Ｃ，Ｃ’＞Ｄ，Ｄ’（Ｃ＞Ｄ、Ｃ’＞Ｄ’）の関係となる様に設けられている。
【００４７】
図２に戻り、固定電極部３９の説明を続ける。
このような第３固定電極（固定電極３９２，３９４，３９６，３９８）と、第４固定電極（固定電極３９１，３９３，３９５，３９７）とは、前述した固定電極部３８と同様に、基板の第１面２ａ上で互いに分離している。これにより、第３固定電極（固定電極３９２，３９４，３９６，３９８）と、可動電極部３７との間の静電容量及び第４固定電極（固定電極３９１，３９３，３９５，３９７）と可動電極部３７との間の静電容量を別個に測定し、それらの測定結果に基づいて、物理量を検出することができる。
【００４８】
上述した、素子片３（固定部３１，３２、可動錘３３、連結部３４、３５、複数の固定電極３８１〜３８８、複数の固定電極３９１〜３９８、及び複数の可動電極３６１〜３６５、複数の可動電極３７１〜３７５、ストッパー部６０）は、１つの基板をエッチングすることより一体として設けられたものである。
これにより、ストッパー部６０は、素子片３を構成する他の構成部と一体に、かつ簡便に形成することができる。
【００４９】
また、素子片３の構成材料としては、可動電極部３６，３７と、固定電極部３８，３９との間隔（空隙）の変化に基づいて静電容量が変化する材料であれば特に限定されないが、半導体材料が好ましく、具体的には、例えば、単結晶シリコン、ポリシリコン等のシリコン材料を用いるのが好ましい。即ち、素子片３を構成する固定部３１，３２、可動錘３３、連結部３４，３５、複数の固定電極３８１〜３８８、３９１〜３９８、及び複数の可動電極３６１〜３６５、３７１〜３７５は、それぞれ、シリコンを主材料として構成されているのが好ましい。
【００５０】
また、素子片３は、前述したように、基板２の上面に固定部３１、３２および固定電極部３８、３９が接続されることにより、基板２に支持されている。
【００５１】
（導体パターン）
導体パターン４は、前述した基板２の第１面２ａ上に設けられている。
導体パターン４は、配線４１，４２，４３と、電極４４，４５，４６とで構成されている。
【００５２】
配線４１は、前述した基板２の空洞部２１の外側に設けられ、空洞部２１の外周に沿うように形成されている。そして、配線４１の一端は、基板２の第１面２ａの外周縁（基板２の第１面２ａ上の蓋体５の外側の部分）上において、電極４４に接続されている。
このような配線４１は、前述した素子片３の第１固定電極としての固定電極３８２，３８４，３８６，３８８、及び第３固定電極としての固定電極３９２，３９４，３９６，３９８に電気的に接続されている。
【００５３】
配線４２は、前述した配線４１の内側、かつ、前述した基板２の空洞部２１の外側でその外周縁に沿って設けられている。そして、配線４２の一端は、基板２の第１面２ａの外周縁（基板２の第１面２ａ上の蓋体５の外側の部分）上において、電極４５に接続されている。
このような配線４２は、前述した素子片３の第２固定電極としての固定電極３８１，３８３，３８５，３８７及び第４固定電極としての固定電極３９１，３９３，３９５，３９７に電気的に接続されている。
【００５４】
配線４３は、基板２上の固定部３１から、基板２の第１面２ａ上の外周部（基板２上の蓋体５の外側の部分）に延設されている。そして、固定部３１とは反対側の配線４３の一端は、基板２の第１面２ａ（基板２上の蓋体５の外側の部分）上において電極４６に接続されている。
【００５５】
また、配線４１及び電極４４は、前述した基板２の配線溝部２２（凹部）内に設けられている。また、配線４２及び電極４５は、前述した基板２の配線溝部２３（凹部）内に設けられている。また、配線４３及び電極４６は、前述した基板２の配線溝部２４（凹部）内に設けられている。
【００５６】
このような配線４１〜４３を構成する材料としては、導電性を有するものであれば、特に限定されることはない。例えば、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ）、ＩＺＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｚｉｎｃ  Ｏｘｉｄｅ）、金（Ａｕ）、白金（Ｐｔ）、銀（Ａｇ）、銅（Ｃｕ）、アルミニウム（Ａｌ）、又はこれらを含む合金等が挙げられ、これらのうちの１種、又は複数を組み合わせて用いることができる。
【００５７】
また、電極４４〜４６を構成する材料としては、前述した配線４１〜４３と同様に、導電性を有するものであれば、特に限定されることはない。
本実施形態では、電極４４〜４６を構成する材料として、後述する突起４７１，４７２，４８１，４８２の構成材料と同じものが用いられている。
このような配線４１，４２が基板２の第１面２ａに設けられていることにより、配線４１を介して第１固定電極（固定電極３８２，３８４，３８６，３８８）と、可動電極部３６との間の静電容量及び第３固定電極（固定電極３９２，３９４，３９６，３９８）と、可動電極部３７との間の静電容量を測定することができる。
配線４２を介して第２固定電極（固定電極３８１，３８３，３８５，３８７）と、可動電極部３６との間の静電容量及び第４固定電極（固定電極３９１，３９３，３９５，３９７）と、可動電極部３７との間の静電容量を測定することができる。
【００５８】
本実施形態では、電極４４及び電極４６を用いることにより、第１固定電極（固定電極３８２，３８４，３８６，３８８）と、可動電極部３６との間の静電容量及び第３固定電極（固定電極３９２，３９４，３９６，３９８）と、可動電極部３７との間の静電容量を物理量センサー１ａの外部に出力することができる。
また、電極４５及び電極４６を用いることにより、第２固定電極（固定電極３８１，３８３，３８５，３８７）と、可動電極部３６との間の静電容量及び第４固定電極（固定電極３９１，３９３，３９５，３９７）と、可動電極部３７との間の静電容量を物理量センサー１ａの外部に出力することができる。
【００５９】
配線４１上には、導電性を有する複数の突起４８１及び複数の突起４８２が設けられている。複数の突起４８１は、第１固定電極としての固定電極３８２，３８４，３８６，３８８に対応して設けられ、複数の突起４８２は、第３固定電極としての固定電極３９２，３９４，３９６，３９８に対応して設けられている。
【００６０】
そして、複数の突起４８１を介して第１固定電極（固定電極３８２，３８４，３８６，３８８）と、配線４１と、が電気的に接続されている、また、複数の突起４８２を介して第３固定電極（固定電極３９２，３９４，３９６，３９８）と、配線４１とが電気的に接続されている。
これにより、配線４１と、固定電極３８２，３８４，３８６，３８８，３９２，３９４，３９６，３９８とを電気的に接続することができる。
【００６１】
配線４１と同様に、配線４２上には、導電性を有する複数の突起４７１及び複数の突起４７２が設けられている。複数の突起４７１は、第２固定電極としての固定電極３８１，３８３，３８５，３８７に対応して設けられ、複数の突起４７２は、第４固定電極としての固定電極３９１，３９３，３９５，３９７に対応して設けられている。
【００６２】
そして、複数の突起４７１を介して第３固定電極（固定電極３８１，３８３，３８５，３８７）と、配線４２とが電気的に接続されるとともに、複数の突起４７２を介して第４固定電極（固定電極３９１，３９３，３９５，３９７）と、配線４２とが電気的に接続されている。
これにより、配線４２と、固定電極３８１，３８３，３８５，３８７，３９１，３９３，３９５，３９７とを電気的に接続を行うことができる。
【００６３】
このような突起４７１，４７２，４８１，４８２を構成する材料としては、それぞれ、導電性を有するものであれば、特に限定されることはない。例えば、金（Ａｕ）、白金（Ｐｔ）、銀（Ａｇ）、銅（Ｃｕ）、アルミニウム（Ａｌ）、又はこれらを含む合金等が挙げられ、これらのうちの１種、又は複数を組み合わせて用いることができる。この様な金属を用いて突起４７１，４７２，４８１，４８２を構成することにより、配線４１，４２と、固定電極部３８，３９と、の間の接点抵抗を小さくすることができる。
【００６４】
（蓋体）
蓋体５は、前述した素子片３を保護するために設けられている。
蓋体５は、板状をなし、その一方の面（下面）に凹部５１が設けられている。この凹部５１は、素子片３の可動錘３３及び可動電極部３６，３７等の変位を許容するように形成されている。
【００６５】
そして、蓋体５の下面の凹部５１よりも外側の部分は、前述した基板２の第１面２ａに接続されている。
蓋体５と基板２との接続方法としては、特に限定されず、例えば、接着剤を用いた接続方法、陽極接合（接続）法等を用いることができる。
また、蓋体５を構成する材料としては、接続方法に適した材料であれば特に限定されないが、例えば、接着材による接続の場合にはシリコン材料、陽極接合法による接続の場合にはガラス材料等を用いることができる。
【００６６】
上述した第１実施形態によれば、以下の効果が得られる。
物理量センサー１ａに加えられた加速度等によって可動錘３３が過度に変位した場合に、可動電極部３６，３７と固定電極部３８，３９とが当接する前に、可動電極３７１と、ストッパー部６０とを当接させることができる。従って、可動電極部３６，３７と固定電極部３８，３９との当接によって、それぞれの電極の破損を抑止することができる。
【００６７】
また、加えられた加速度等によって一方向に可動錘３３が変位した時に、固定電極３９１と可動電極３７１との間に生じる静電容量と、固定電極３９２と可動電極３７２との間に生じる静電容量とは、それぞれ逆の静電容量変化となる。換言すると、可動電極部３７を基準に、可動電極部３７と、２つの可動電極３７１，３７２との間に逆位相（逆電荷）の静電容量が生じる。また、一方方向に可動錘３３が変位した時に、可動電極３７１と固定電極３９１との間隔と、可動電極３７２と固定電極３９２との間隔は、差動の関係となる。
従って、加速度等による可動錘３３の変位に伴う静電容量の変化を２つの固定電極３９１，３９２によって検出するため、加速度等の検出精度及び検出感度を高めることができる。
【００６８】
なお、上述した実施形態において物理量センサー１は、可動錘３３の変位する方向に沿った両側（両面）に可動電極部３６，３７と固定電極部３８，３９とが設けられているがこれに限定されること無く、例えば、変位する方向の片側に可動電極部３７と固定電極部３９を設け、いずれかの固定電極部３９にストッパー部６０を設けることができる。
【００６９】
（第２実施形態）
図５は、第２実施形態に係る物理量センサーを模式的に示す平面図である。
図５では、蓋体５の図示を省略している。また、図５では、互いに直交する３つの軸として、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸を図示し、Ｚ軸は、重力が作用する方向を示す軸である。
第２実施形態に係る物理量センサーは、ストッパー部が第２固定電極、第４固定電極側にも設けられている点が第１実施形態の物理量センサーとは異なる。換言すると、ストッパー部は、可動錘を中心に点対称に複数設けられている。その他の構成は、第１実施形態と同様のため、相違点を説明し、同様の部分の説明は簡略、若しくは省略する。
【００７０】
本実施形態の物理量センサー１ｂは、図５に示す様に、ストッパー部６０が可動電極３７１，３７２の間に設けられた固定電極３９１と、可動電極３６４，３６５の間に設けられた固定電極３８７に設けられている。換言すると、可動錘３３の変位する方向（Ｘ軸方向）に可動錘３３の中心を通る仮想線（不図示）上の点を中心とする点対称に設けられている固定電極３９１，３８７のそれぞれにストッパー部６０が設けられている。
【００７１】
本実施形態の物理量センサー１ｂにおいて、ストッパー部６０は、ストッパー基部６２１が設けられ、当該ストッパー基部６２１は、固定電極３８７の自由端側で可動錘３３の変位する方向（図５に示す矢印ａの方向でＸ軸方向）に延設されている。
換言すると、ストッパー部６０は、固定電極３８７と交わる方向に延設されているストッパー基部６２１が固定電極３８７の自由端側に設けられている。
また、ストッパー基部６２１は、可動電極３６４と、可動電極３６５との間の空間に、固定電極３８７の自由端から−Ｘ軸方向側及び＋Ｘ軸方向側に延設され、その先端部６２１ａ，６２１ｂとが可動電極３６４，３６５と空隙をもって設けられている。
【００７２】
詳しくは、ストッパー基部６２１には、可動錘３３の変位方向に延設されている−Ｘ軸方向側の端部に先端部６２１ａを有する。ストッパー基部６２１は、先端部６２１ａと、可動電極３７１との間に空隙Ｄ（図示省略）を有している。また、ストッパー基部６２１には、可動錘３３の変位方向に延設されている＋Ｘ軸方向側の端部に先端部６２１ｂを有する。ストッパー基部６２１は、先端部６２１ｂと、可動電極３６５との間に空隙Ｄ’（図示省略）を有している。
【００７３】
ストッパー部６０のストッパー基部６２１は、可動錘３３が過度に変位した場合に、可動電極部３６，３７と、固定電極部３８，３９が接触して、これらが破損することを抑制するために設けられている。換言すると、可動錘３３が過度に可動した場合に、その変位を規制するために設けられている。
【００７４】
よって、可動錘３３が過度に変位した場合に、ストッパー基部６２１を可動電極部３７と当接させ、可動電極部３７と、固定電極部３８との当接（接触）を抑制することが求められる。
そこで、可動電極３６４（３６）と、固定電極３８７（３８）との間隔（空隙）Ｃ（図示省略）と比べて、可動電極３６４（３６）と、先端部６２１ａとの空隙Ｄ（図示省略）が狭くなる様にストッパー基部６２１が設けられている。また、可動電極３６５（３６）と、固定電極３８８（３８）との間隔（空隙）Ｃ’（図示省略）と比べて、可動電極３６５（３６）と、先端部６２１ｂとの空隙Ｄ（図示省略）が狭くなる様にストッパー基部６２１が設けられている。
これらの間隔Ｃ，Ｃ’、空隙Ｄ，Ｄ’の関係を換言すると、それぞれの距離（広さ）は、Ｃ，Ｃ’＞Ｄ，Ｄ’（Ｃ＞Ｄ、Ｃ’＞Ｄ’）の関係となる様に設けられている。なお、第１実施形態で説明した可動電極３７１，３７２間に設けられたストッパー部６０（ストッパー基部６１１）と同様である。
【００７５】
本実施形態において、２つのストッパー部６０は、第１固定電極，第２固定電極側の可動電極３６４，３６５の間と、第３固定電極，第４固定電極側の可動電極３７１、３７２の間と、に設けられている。しかし、これに限定されること無く２つのストッパー部６０は、点対称の位置に設けると良い。ストッパー部６０を点対称の位置に設けることによって、ストッパー部６０が、可動電極部３７と当接した際に可動錘３３に生じるＺ軸を中心とする回転軸方向の運動を抑制することができ、回転軸方向の運動による可動電極部３６，３７と、固定電極部３８，３９との当接による損傷を抑制することができる。
【００７６】
その他の構成は、第１実施形態で説明した物理量センサー１ａと同様のため、説明を省略する。
【００７７】
上述した第２実施形態によれば、以下の効果が得られる。
この様な物理量センサー１ｂは、可動錘３３から延設されている可動電極３６４，３６５の間にストッパー基部６２１を有するストッパー部６０が設けられている。また、可動錘３３を介して点対称の位置の可動錘３３から延設されている可動電極３７１，３７２の間にストッパー基部６１１を有するストッパー部６０が設けられている。
これにより、ストッパー部６０は、可動錘３３を介して点対称の位置に複数設けられているため、可動電極部３６，３７と当接した際に可動錘３３に生じる回転軸（Ｚ軸）方向の運動を抑制することができる。従って、回転軸方向の運動による可動電極部３６，３７と、固定電極部３８，３９との当接によるそれぞれの電極の損傷を抑制することができる。
【００７８】
（第３実施形態）
図６は、第３実施形態に係る物理量センサーを模式的に示す平面図である。また、図７は、図６の符号Ｅで示す部分の物理量センサーの拡大図である。
説明の便宜のため、図６では、蓋体５の図示を省略している。また、図６及び図７では、互いに直交する３つの軸として、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸を図示し、Ｚ軸は、重力が作用する方向を示す軸である。
【００７９】
図６及び図７に示す第３実施形態に係る物理量センサー１ｃは、第１実施形態及び第２実施形態で前述した物理量センサー１ａ，１ｂと比較して、固定電極部３８の内で、第１固定電極としての固定電極３８２，３８４，３８６，３８８及び固定電極部３９の内、第３固定電極としての固定電極３９２，３９４，３９６，３９８と、が設けられていない点が異なる。
換言すると、本実施形態の物理量センサー１ｃは、固定電極部３８，３９の内で、固定電極３８１，３８３，３８５，３８７，３９１，３９３，３９５，３９７が設けられている。
その他の物理量センサー１ｃの構成は、第１実施形態及び第２実施形態で説明をした物理量センサー１ａ，１ｂと同様のため、相違点を説明し、同様の部分の説明は簡略、若しくは省略する。
【００８０】
本実施形態の物理量センサー１ｃには、第１実施形態で説明した物理量センサー１ａと同様に、可動電極部３７の可動電極３７１，３７２間にストッパー部６０が設けられている。物理量センサー１ｃにおいてストッパー部６０は、可動電極３７１，３７２間に設けられた、固定電極３９１の自由端側（可動錘３３側で＋Ｙ軸方向側）にストッパー部６０が設けられている。本実施形態の物理量センサー１ｃにおいて、ストッパー部６０は、ストッパー基部６１１が設けられ、当該ストッパー基部６１１は、固定電極３９１の自由端側で可動錘３３の変位する方向（図６に示す矢印ａの方向でＸ軸方向）に延設されている。図６において破線で囲み符号Ｅを付した部分を図７に模式的に拡大して示し、ストッパー部６０について説明する。
【００８１】
物理量センサー１ｃにおいてストッパー部６０は、物理量センサー１ａと同様に固定電極３９１と交わる方向に延設されているストッパー基部６１１が固定電極３８７の自由端側に設けられている。また、ストッパー基部６１１は、可動電極３７１と、可動電極３７２との間の空間に、固定電極３９１の自由端から−Ｘ軸方向側及び＋Ｘ軸方向側に延設され、その先端部６１１ａ，６１１ｂが可動電極３７１，３７２と空隙Ｄ，Ｄ’をもって設けられている。
【００８２】
物理量センサー１ｃにおいてストッパー部６０は、物理量センサー１ａと同様に可動錘３３が過度に変位した場合に、可動電極部３６，３７と、固定電極部３８，３９が当接（接触）して、これらが破損することを抑制するために設けられている。
そこで、可動電極３７１と、固定電極３９１との間隔（空隙）Ｃと比べて、可動電極３７１（３７）と、先端部６２１ａとの空隙Ｄ及び可動電極３７２（３７）と、先端部６１１ｂとの空隙Ｄ’が狭くなる様にストッパー基部６１１が設けられている。
これらの間隔Ｃ、空隙Ｄ，Ｄ’の距離（広さ）関係を換言すると、それぞれの距離（広さ）は、Ｃ，＞Ｄ，Ｄ’（Ｃ＞Ｄ、Ｃ＞Ｄ’）の関係となる様に設けられている。
【００８３】
なお、物理量センサー１ｃにおいてストッパー部６０は、第２実施形態で述べたように点対称に設けても良い。例えば、可動電極３７１，３７２と点対称の位置となる可動電極３６４，３６５の間にもストッパー部６０を設けることができる。点対称の位置にストッパー部６０を設けることによって、ストッパー部６０が、可動電極部３７と当接した際に可動錘３３に生じるＺ軸を中心とする回転軸方向の運動を抑制することができ、回転軸方向の運動による可動電極部３６，３７と、固定電極部３８，３９との当接による損傷を抑制することができる。
【００８４】
その他の構成は、第１実施形態で説明した物理量センサー１ａ及び第２実施形態で説明をした物理量センサー１ｂと同様のため、説明を省略する。
【００８５】
上述した第３実施形態によれば、以下の効果が得られる。
加速度等によって可動錘３３が過度に変位した場合に、可動電極部３６，３７と固定電極部３８，３９とが当接する前に、可動電極３７１とストッパー部６０とを当接させることができる。従って、可動電極部３６，３７と固定電極部３８，３９との当接によるそれぞれの電極の破損を抑止することができる。
【００８６】
なお、第１から第３実施形態で説明した物理量センサー１ａ，１ｂ，１ｃにおいて、ストッパー部６０のストッパー基部６１１，６２１の先端部６１１ａ，６１１ｂ，６２１ａ，６２１ｂには、可動電極部３６，３７と対向する部分に電気的絶縁部（図示省略）を設けても良い。
【００８７】
絶縁部を設けることで、ストッパー部６０と可動電極部３６，３７とが当接して可動錘３３の変位を規制する場合に、ストッパー部６０が設けられた固定電極部３８，３９と、可動電極部３６，３７との短絡を抑制することができる。
従って、ストッパー部６０と、可動電極部３６，３７とが当接した場合でも、可動電極部３６，３７と、ストッパー部６０が設けられた固定電極部３８，３９との間に生じる静電容量の喪失を抑制することができる。
【００８８】
また、第１から第３実施形態で説明した物理量センサー１ａ，１ｂ，１ｃは、可動電極部３６，３７、固定電極部３８，３９は、設けられる数に限定されること無く、検出する加速度等の条件に応じて設けても良い。また、第１から第３実施形態で説明した物理量センサー１ａ，１ｂ，１ｃでは、ストッパー部を１つまたは２つ設けられていたが、これに限定されることなく、設けられる数はこれ以上としてもよい。
【００８９】
（実施例）
次いで、本発明の一実施形態に係る物理量センサー１ａ，１ｂ，１ｃ（以下、総括して物理量センサー１と称する。）のいずれかを適用した実施例について、図８から図１１を参照しながら説明する。
【００９０】
［電子機器］
先ず、本発明の一実施形態に係る物理量センサー１を適用した電子機器について、図８から図１０を参照しながら説明する。
【００９１】
図８は、本発明の一実施形態に係る物理量センサーを備える電子機器としてのノート型（又はモバイル型）のパーソナルコンピューターの構成の概略を示す斜視図である。この図において、ノート型パーソナルコンピューター１１００は、キーボード１１０２を備えた本体部１１０４と、表示部１００８を備えた表示ユニット１１０６とにより構成され、表示ユニット１１０６は、本体部１１０４に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。このようなノート型パーソナルコンピューター１１００には、そのノート型パーソナルコンピューター１１００に加えられる加速度等を検知して表示ユニット１１０６に加速度等を表示するための加速度センサー等として機能する物理量センサー１が内蔵されている。
【００９２】
図１０は、本発明の一実施形態に係る物理量センサーを備える電子機器としての携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成の概略を示す斜視図である。この図において、携帯電話機１２００は、複数の操作ボタン１２０２、受話口１２０４および送話口１２０６を備え、操作ボタン１２０２と受話口１２０４との間には、表示部１２０８が配置されている。このような携帯電話機１２００には、携帯電話機１２００に加えられる加速度等を検知して、当該携帯電話機１２００の操作を補助するための加速度センサー等として機能する物理量センサー１が内蔵されている。
【００９３】
図１０は、本発明の一実施形態に係る物理量センサー１を備える電子機器としてのデジタルスチールカメラの構成の概略を示す斜視図である。なお、この図には、外部機器との接続についても簡易的に示されている。ここで、通常のカメラは、被写体の光像により銀塩写真フィルムを感光するのに対し、デジタルスチールカメラ１３００は、被写体の光像をＣＣＤ（Charge  Coupled  Device）等の撮像素子により光電変換して撮像信号（画像信号）を生成する。
デジタルスチールカメラ１３００におけるケース（ボディー）１３０２の背面には、表示部１３０８が設けられ、ＣＣＤによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、表示部１３０８は、被写体を電子画像として表示するファインダーとして機能する。また、ケース１３０２の正面側（図中裏面側）には、光学レンズ（撮像光学系）やＣＣＤ等を含む受光ユニット１３０４が設けられている。
撮影者が表示部１３０８に表示された被写体像を確認し、シャッターボタン１３０６を押下すると、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、メモリー１３１０に転送・格納される。また、このデジタルスチールカメラ１３００においては、ケース１３０２の側面に、ビデオ信号出力端子１３１２と、データ通信用の入出力端子１３１４とが設けられている。そして、図示されるように、ビデオ信号出力端子１３１２には液晶ディスプレイ１４３０が、データ通信用の入出力端子１３１４にはパーソナルコンピューター１４４０が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、メモリー１３１０に格納された撮像信号が、液晶ディスプレイ１４３０や、パーソナルコンピューター１４４０に出力される構成になっている。このようなデジタルスチールカメラ１３００には、その落下からデジタルスチールカメラ１３００を保護する機能を動作させるため、落下による加速度を検知する加速度センサーとして機能する物理量センサー１が内蔵されている。
【００９４】
なお、本発明の一実施形態に係る物理量センサー１は、図８のパーソナルコンピューター（モバイル型パーソナルコンピューター）、図９の携帯電話機、図１０のデジタルスチールカメラの他にも、例えば、インクジェット式吐出装置（例えばインクジェットプリンター）、テレビ、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダー、カーナビゲーション装置、ページャー、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシミュレーター等の電子機器に適用することができる。
【００９５】
［移動体］
図１１は移動体の一例としての自動車を概略的に示す斜視図である。自動車１５００には本発明に係る物理量センサー１を備える。例えば、同図に示すように、移動体としての自動車１５００には、当該自動車１５００の加速度を検知する物理量センサー１を内蔵してエンジンの出力を制御する電子制御ユニット（ＥＣＵ：electronic  Control  Unit）  が車体１５０７に搭載されている。また、物理量センサー１は、他にも、車体姿勢制御ユニット、アンチロックブレーキシステム（ＡＢＳ）、エアバック、タイヤ・プレッシャー・モニタリング・システム（ＴＰＭＳ：Tire  Pressure  Monitoring  System）、に広く適用できる。
【符号の説明】
【００９６】
１ａ，１ｂ，１ｃ…物理量センサー、２…基板、２ａ…第１面、３…素子片、４…導体パターン、５…蓋体、２１…空洞部、２２，２３，２４…配線溝部、３１，３２…固定部、３３…可動錘、３４、３５…連結部、３６，３７…可動電極部、３８、３９…固定電極部、４１，４２，４３…配線、４４，４５，４６…電極、５１…凹部、６０…ストッパー部、６１１，６２１…ストッパー基部、１１００…ノート型パーソナルコンピューター、１３００…デジタルスチールカメラ、１５００…自動車。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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