(57)【要約】【課題】制御電圧の最大値が低減されたミラー装置を提供する。【解決手段】ミラー装置１００は、ミラー１１２と１対の弾性部材１１４と固定部１１６と電極基板１４０を備えている。電極基板１４０は、ミラー１１２を傾斜軸１２２の回りに傾斜させるための１対の傾斜角制御用電極１４２Ａ，１４２Ｂと、バイアス電圧が印加される１対の駆動バイアス用高電圧電極１５２Ａ，１５２Ｂが設けられている。ミラー１１２は、電極基板１４０に対向して電極基板１４０から離間して配置され、電極基板１４０に対して傾斜可能に支持されている。駆動バイアス用高電圧電極１５２Ａ，１５２Ｂも、ミラー１１２に対向しており、ミラー１１２の傾斜軸に対して対称的に配置されている。【選択図】図３
2014038163.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、
前記基板に対向して前記基板から離間して配置されたミラーと、
前記基板に対して前記ミラーを傾斜軸の回りに傾斜可能に支持している弾性部材と、
前記ミラーに対向して前記基板上に設けられた１対の傾斜角制御用電極と、
前記ミラーに対向して前記基板上に設けられた少なくとも１つの駆動バイアス用高電圧電極を備えている、ミラー装置。
【請求項２】
前記駆動バイアス用高電圧電極は、前記駆動バイアス用高電圧電極と前記ミラーの間に発生する静電引力に起因して前記ミラーに作用する時計回りおよび反時計回りの力のモーメントが互いに等しくなるように設けられている、請求項１に記載のミラー装置。
【請求項３】
前記駆動バイアス用高電圧電極の少なくとも一部は前記傾斜角制御用電極よりも前記傾斜軸から遠くに配置されている、請求項２に記載のミラー装置。
【請求項４】
前記駆動バイアス用高電圧電極は、前記ミラーの傾斜軸に垂直な軸に沿って配置された２つの電極を含んでいる、請求項１に記載のミラー装置。
【請求項５】
前記駆動バイアス用高電圧電極の前記２つの電極は前記傾斜角制御用電極よりも前記傾斜軸から遠くに配置されている、請求項４に記載のミラー装置。
【請求項６】
前記駆動バイアス用高電圧電極の前記２つの電極にはそれぞれ独立の定電圧が印加される、請求項５に記載のミラー装置。
【請求項７】
基板と、
前記基板に対向して前記基板から離間して配置された複数のミラーと、
前記基板に対して各ミラーを傾斜軸の回りに傾斜可能に支持している弾性部材と、
各対の傾斜角制御用電極が各ミラーに対向して前記基板上に設けられた複数対の傾斜角制御用電極と、
前記基板上に設けられた駆動バイアス用高電圧電極を備えており、
前記駆動バイアス用高電圧電極は前記複数のミラーに対向している、ミラーアレイ装置。
【請求項８】
前記駆動バイアス用高電圧電極は、前記駆動バイアス用高電圧電極と前記ミラーの間に発生する静電引力に起因して前記ミラーに作用する時計回りおよび反時計回りの力のモーメントが互いに等しくなるように設けられている、請求項７に記載のミラーアレイ装置。
【請求項９】
前記駆動バイアス用高電圧電極の少なくとも一部は、各ミラーに対応する傾斜角制御用電極よりもそのミラーの傾斜軸から遠くに配置されている、請求項８に記載のミラーアレイ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ミラー装置およびミラーアレイ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１は、静電駆動タイプのミラー装置の一つを開示している。
【０００３】
このミラー装置は、電極基板と、電極基板に対向して傾斜可能に支持されたミラーを有しており、電極基板は、ミラーに対向する１対の電極を有している。電極は、くさび形の断面形状を有しており、ミラーの傾斜軸に近い側の端ではミラーまでの距離が短く、ミラーの傾斜軸から遠い側の端ではミラーまでの距離が長くなっている。
【０００４】
このミラー装置では、一方の電極に電圧を印加してその電極とミラーの間に静電引力を発生させることによりミラーを傾斜させる。静電引力は、ミラーと電極の間の距離（ギャップ）の２乗に反比例するため、同じ電圧値でもギャップが小さいほど大きな静電引力を得ることができる。
【０００５】
このミラー装置はくさび形の断面形状の電極を有しているため、通常の平らな電極を有している従来例と比較して、ミラーの傾斜軸に比較的近い部分においてミラーまでの距離が低減されており、これにより、同じ大きさの電圧の印加に対して、大きな静電引力が発生し、ミラーを大きく傾斜させることができる。したがって、このミラー装置は、従来例に比べて、ミラーの同じ傾斜角度を得るために必要な電圧値が低減することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】米国特許第６４８７００１号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献１のミラー装置は、その従来例と比較しておよそ３０％程度の電圧低減が見込まれる。しかし、例えば、その従来例においてミラーの希望の傾斜角を得るために１５０Ｖの電圧の印加を必要としていた場合には、特許文献１のミラー装置であっても１００Ｖ程度の高電圧の印加が必要である。従って、ミラーの傾斜角を制御するためには「０〜１００Ｖという広範囲にわたって電圧を制御する」必要がある。一般的にこのように広範囲にわたって電圧を制御できるＩＣや電気回路は高価であり、また回路規模も大きい。このため、ミラー装置の制御電圧の最大値はより低い電圧であることが求められる。
【０００８】
特許文献１は、この「制御電圧の最大値の低減」については教授も示唆もしていない。
【０００９】
本発明の目的は、制御電圧の最大値が低減されたミラー装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明によるミラー装置は、基板と、前記基板に対向して前記基板から離間して配置されたミラーと、前記基板に対して前記ミラーを傾斜軸の回りに傾斜可能に支持している弾性部材と、前記ミラーに対向して前記基板上に設けられた１対の傾斜角制御用電極と、前記ミラーに対向して前記基板上に設けられた少なくとも１つの駆動バイアス用高電圧電極を備えている。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、制御電圧の最大値が低減されたミラー装置が提供される。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】第１実施形態のミラー装置の上面図を示している。
【図２】第１実施形態のミラー装置の電極基板の上面図を示している。
【図３】第１実施形態のミラー装置の上面図とＡ−Ａ断面図を示している。
【図４】第１実施形態のミラー装置のＡ−Ａ断面図であり、ミラーが傾斜していない様子を左側に示し、ミラーが傾斜している様子を右側に示している。
【図５】第１実施形態のミラー装置においてミラーを傾斜させるフローを示している。
【図６】第１実施形態のミラー装置の変形例を示している。
【図７】第２実施形態のミラー装置の上面図とＡ−Ａ断面図を示している。
【図８】第３実施形態のミラー装置の電極基板上面図を示している。
【図９】第３実施形態のミラー装置の上面図とＡ−Ａ断面図を示している。
【図１０】第３実施形態のミラー装置において反時計回りおよび時計回りの力のモーメントの差が無くなった状態を示している。
【図１１】第４実施形態のミラー装置の上面図とＡ−Ａ断面図を示している。
【図１２】第５実施形態のミラーアレイ装置の上面図を示している。
【図１３】第５実施形態のミラーアレイ装置の電極基板の上面図を示している。
【図１４】第５実施形態のミラーアレイ装置の上面図とＡ−Ａ断面図を示している。
【図１５】図１４中の円内エリアＣの裏面拡大図と円内エリアＤの拡大図を示している。
【図１６】第５実施形態のミラーアレイ装置の変形例の上面図を示している。
【図１７】第５実施形態のミラーアレイ装置の別の変形例の上面図を示している。
【図１８】第５実施形態のミラーアレイ装置のまた別の変形例の上面図を示している。
【図１９】第６実施形態のミラーアレイ装置の上面図を示している。
【図２０】第６実施形態のミラーアレイ装置の電極基板の上面図を示している。
【図２１】第５実施形態のミラーアレイ装置の上面図とＢ−Ｂ断面図を示している。
【図２２】第６実施形態のミラーアレイ装置の上面図とＢ−Ｂ断面図を示している。
【図２３】第６実施形態のミラーアレイ装置の変形例の上面図を示している。
【図２４】第６実施形態のミラーアレイ装置の別の変形例の上面図を示している。
【図２５】各実施形態のミラー装置またはミラーアレイ装置に適用可能な変形例を示している。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
［第１実施形態］
第１実施形態について図１ないし図６を用いて説明する。
【００１４】
〔構成〕
図１ないし図３を用いて第１実施形態のミラー装置の構成を説明する。図１は、本実施形態のミラー装置の上面図を示し、図２は、図１の電極基板の上面図を示し、図３は、図１のミラー装置の上面図とＡ−Ａ断面図を示している。
【００１５】
ミラー装置１００は、ミラー基板１１０と電極基板１４０を備えている。
【００１６】
ミラー基板１１０は、ミラー１１２と１対の弾性部材１１４と固定部１１６を備えている。固定部１１６は、間隔をおいてミラー１１２を取り囲んでいる。１対の弾性部材１１４は、ミラー１１２と固定部１１６の間に、またミラー１１２の両側に位置している。１対の弾性部材１１４は、ミラー１１２と固定部１１６を機械的に接続しており、固定部１１６に対してミラー１１２を傾斜軸１２２の回りに傾斜可能に支持している。ミラー１１２は、電極基板１４０に対向する面の反対側の面に反射面を有している。ミラー１１２と弾性部材１１４と固定部１１６は、導電性の材料たとえばシリコンで構成され、一体的に形成されている。
【００１７】
電極基板１４０は、上面すなわちミラー１１２に対向する面に、ミラー１１２を傾斜軸１２２の回りに傾斜させるための１対の傾斜角制御用電極１４２Ａ，１４２Ｂと、バイアス電圧が印加される１対の駆動バイアス用高電圧電極１５２Ａ，１５２Ｂと、ミラー基板１１０の固定部１１６が固定される複数たとえば四つの接続部１６２Ａ，１６２Ｂが設けられている。傾斜角制御用電極１４２Ａ，１４２Ｂと駆動バイアス用高電圧電極１５２Ａ，１５２Ｂは一列に整列しており、駆動バイアス用高電圧電極１５２Ａ，１５２Ｂは傾斜角制御用電極１４２Ａ，１４２Ｂの間に配置されている。傾斜角制御用電極１４２Ａ，１４２Ｂは、それぞれ、配線１４４Ａ，１４４Ｂを介して電圧入力電極パッド１４６Ａ，１４６Ｂと電気的に接続されている。また駆動バイアス用高電圧電極１５２Ａ，１５２Ｂは共に、配線１５４を介して電圧入力電極パッド１５６と電気的に接続されている。接続部１６２Ａ，１６２Ｂは、これらに固定部１１６が固定された際にミラー基板１１０と電極基板１４０の間にミラー１１２の傾斜動作に必要なギャップを提供するような同一の高さを有している。また接続部１６２Ａは導電性を有しており、配線１６４を介してＧＮＤパッド１６６と電気的に接続されている。例えば、電極基板１４０の基板材料には、ガラスなどの絶縁性の材料が使用される。基板材料に導体または半導体を使用することも可能であるが、その場合には基板材料と電極の間に絶縁膜が形成される。電極の材料には、導体または半導体が使用される。例えば、電極や配線、接続部、電圧入力電極パッド、ＧＮＤパッドの材料にはアルミや銅などが使用される。
【００１８】
ミラー基板１１０の固定部１１６は電極基板１４０の接続部１６２Ａ，１６２Ｂに固定されている。これにより、ミラー１１２は、電極基板１４０に対向して電極基板１４０から離間して配置され、電極基板１４０に対して傾斜可能に支持されている。また、ミラー１１２は、傾斜角制御用電極１４２Ａ，１４２Ｂと駆動バイアス用高電圧電極１５２Ａ，１５２Ｂから一定の距離に支持されている。固定部１１６と接続部１６２Ａ，１６２Ｂの固定は、たとえば導電性の接着剤や常温接合などによっておこなわれる。ミラー１１２は、弾性部材１１４と固定部１１６と接続部１６２Ａと配線１６４を介してＧＮＤパッド１６６と電気的に接続されている。
【００１９】
傾斜角制御用電極１４２Ａ，１４２Ｂと駆動バイアス用高電圧電極１５２Ａ，１５２Ｂは対称性良くミラー１１２に対向している。具体的には、傾斜角制御用電極１４２Ａ，１４２Ｂは、ミラー１１２に対向しており、ミラー１１２の傾斜軸１２２に対して対称的に配置されている。また駆動バイアス用高電圧電極１５２Ａ，１５２Ｂも、ミラー１１２に対向しており、ミラー１１２の傾斜軸に対して対称的に配置されている。さらに、傾斜角制御用電極１４２Ａ，１４２Ｂと駆動バイアス用高電圧電極１５２Ａ，１５２Ｂは、電極基板１４０の上面に平行で、ミラー１１２の中心を通り、ミラー１１２の傾斜軸１２２に垂直な軸１２４に沿って整列されている。従って、駆動バイアス用高電圧電極１５２Ａ，１５２Ｂは、ミラー１１２の傾斜軸１２２に垂直な軸１２４に沿って整列されている。
【００２０】
加えて、傾斜角制御用電極１４２Ａ，１４２Ｂの面積は互いに等しく、また駆動バイアス用高電圧電極１５２Ａ，１５２Ｂの面積は互いに等しい。従って、同じ大きさの電圧印加に対してミラー１１２と各傾斜角制御用電極１４２Ａ，１４２Ｂの間には同じ大きさの静電引力が発生する。同様に、同じ大きさの電圧印加に対してミラー１１２と各駆動バイアス用高電圧電極１５２Ａ，１５２Ｂの間には同じ大きさの静電引力が発生する。すなわち、駆動バイアス用高電圧電極１５２Ａ，１５２Ｂは、駆動バイアス用高電圧電極１５２Ａ，１５２Ｂとミラー１１２の間に発生する静電引力に起因してミラー１１２に作用する時計回りおよび反時計回りの力のモーメントが互いに等しくなるように設けられている。
【００２１】
ミラー装置１００はまた、ミラー１１２の傾斜を制御する制御部１８０を備えている。制御部１８０は、傾斜角制御用電極１４２Ａ，１４２ＢにＤＡコンバータなどを用いて０〜数Ｖ程度の可変電圧を印加することができ、また駆動バイアス用高電圧電極１５２Ａ，１５２Ｂに高電圧電源などを用いて一定の高電圧を印加することができる。
【００２２】
〔作用〕
図４を用いて第１実施形態の作用について説明する。図４は、図１のミラー装置の断面図であり、ミラーが傾斜していない様子を左側に示し、ミラーが傾斜している様子を右側に示している。
【００２３】
説明の便宜上、駆動バイアス用高電圧電極１５２Ａ，１５２Ｂに印加するバイアス電圧をＨＶ（High Voltage）、傾斜角制御用電極１４２Ａ，１４２Ｂに印加する制御電圧をＬＶ（Low Voltage）とする。また図４に示すように２つの駆動バイアス用高電圧電極１５２Ａ，１５２Ｂには同じ電圧値を印加し、２つの傾斜角制御用電極１４２Ａ，１４２Ｂにはそれぞれ可変可能な制御電圧ＬＶ１，ＬＶ２を印加する。
【００２４】
まず駆動バイアス用高電圧電極１５２Ａ，１５２Ｂにバイアス電圧ＨＶ（例えば２００Ｖ程度）を印加し、傾斜角制御用電極１４２Ａ，１４２Ｂにそれぞれ制御電圧ＬＶ１，ＬＶ２（ＬＶ１＝ＬＶ２）を印加する。駆動バイアス用高電圧電極１５２Ａ，１５２Ｂの電位は常に等しく、また、この時点では、傾斜角制御用電極１４２Ａ，１４２Ｂの電位に差がなく、さらにミラー１１２と傾斜角制御用電極１４２Ａ，１４２Ｂの間のギャップもミラー１１２と駆動バイアス用高電圧電極１５２Ａ，１５２Ｂの間のギャップも同じであるため、ミラー１１２に作用する時計回りおよび反時計回りの力のモーメントは互いに等しい。従って、ミラー１１２は、バランスが取れた状態にあり、傾斜しない。図中の矢印は、傾斜角制御用電極１４２Ａ，１４２Ｂおよび駆動バイアス用高電圧電極１５２Ａ，１５２Ｂとミラー１１２の間に発生する静電引力を示し、矢印の長さおよび太さが力の大きさを示している。
【００２５】
次に、図４の右側に示すように、ＬＶ１＜ＬＶ２となるように傾斜角制御用電極１４２Ａ，１４２Ｂの電圧値を制御する。その結果、傾斜角制御用電極１４２Ｂとミラー１１２の間に発生する静電引力が傾斜角制御用電極１４２Ａとミラー１１２の間に発生する静電引力よりも大きくなるため、その静電引力の差がミラー１１２を傾斜軸１２２の回りに回動させる力のモーメントとなり、ミラー１１２は傾斜軸１２２を中心に時計回りに傾斜する。ここで傾斜角θは理想的には以下の（１）式で示すことができる。
【００２６】
θ＝Ｆ／α
＝ε×Ｖ２×Ｓ／（α×ｄ２）・・・（１）
ここで、αは、弾性部材１１４のばね定数であり、Ｆは静電引力、εは、ミラー１１２と電極の間の誘電率、Ｖは電位、Ｓは電極面積、ｄは、ミラー１１２と電極の間のギャップである。
【００２７】
ここでＶ，ε，Ｓが一定とすれば、傾斜角θは、βを定数として、以下の（２）式で表される。
【００２８】
θ＝β／ｄ２・・・（２）
図４に示すように、ミラー１１２が時計回りに傾斜すると同時に、駆動バイアス用高電圧電極１５２Ｂとミラー１１２の間のギャップは小さくなり、反対に駆動バイアス用高電圧電極１５２Ａとミラー１１２の間のギャップは大きくなる。各駆動バイアス用高電圧電極１５２Ａ，１５２Ｂとミラー１１２の間のギャップが異なることにより、各駆動バイアス用高電圧電極１５２Ａ，１５２Ｂとミラー１１２の間の静電引力に差が生じ、傾斜軸に対する力のバランスが崩れ、上記（１）式の通りギャップの小さい駆動バイアス用高電圧電極１５２Ｂの側の静電引力が大きくなり、ミラー１１２を時計回りに傾斜させる力のモーメントがミラー１１２に働く。これによりミラー１１２は、傾斜軸１２２を中心に時計回りにさらに傾斜する。
【００２９】
すなわち、制御電圧ＬＶで発生する力のモーメント＋バイアス電圧ＨＶで発生する力のモーメントの総和が得られることにより、実際の制御電圧ＬＶ２によって制御可能な傾斜角よりも大きな傾斜角を制御することが可能である。
【００３０】
図５に、これまで説明してきた駆動バイアス用高電圧電極１５２Ｂの側にミラー１１２を傾斜させるフローを示す。
【００３１】
例えば、駆動バイアス用高電圧電極１５２Ａ，１５２Ｂに３００Ｖ程度を印加することによって、理論的には０〜１５０Ｖで制御していたミラー１１２の傾斜角を０〜１０Ｖで制御することも可能である。
【００３２】
〔効果〕
本実施形態によれば、図５に示す作用により従来のミラー装置と同等の傾斜角を得るために必要な制御電圧の最大値を低くすることが可能である。
【００３３】
〔変形例〕
ここに説明したミラー装置１００では、説明の便宜上、電極基板１４０は、２つの駆動バイアス用高電圧電極１５２Ａ，１５２Ｂを有しているが、これらの２つの駆動バイアス用高電圧電極１５２Ａ，１５２Ｂに代えて、図６に示すようにただ１つの駆動バイアス用高電圧電極１５２を有していてもよい。駆動バイアス用高電圧電極１５２もまた傾斜軸１２２に対して対称的に配置されている。この構成においても同様の作用効果が得られる。
【００３４】
［第２実施形態］
第２実施形態について図７を用いて説明する。図７において、第１実施形態の部材と同一の参照符号で示した部材は同様の部材であり、その説明は省略する。
【００３５】
〔構成〕
第２実施形態のミラー装置は第１実施形態のミラー装置と比較して傾斜角制御用電極と駆動バイアス用高電圧電極の位置関係のみが異なっている。図７に示すように、本実施形態のミラー装置２００では、電極基板２４０は、１対の傾斜角制御用電極２４２Ａ，２４２Ｂと、一つの駆動バイアス用高電圧電極２５２を有している。傾斜角制御用電極２４２Ａ，２４２Ｂは、ミラー１１２の傾斜軸１２２に垂直な軸１２４に沿って整列され、傾斜軸１２２に対して対称的に配置されている。傾斜角制御用電極２４２Ａ，２４２Ｂはまた、軸１２４に対して対称的に配置されている。駆動バイアス用高電圧電極２５２は、傾斜角制御用電極２４２Ａ，２４２Ｂを取り囲んでおり、傾斜軸１２２に対して対称的に配置されている。駆動バイアス用高電圧電極２５２はまた、軸１２４に対して対称的に配置されている。駆動バイアス用高電圧電極２５２の一部は、ミラー１１２の長手方向に対して傾斜軸１２２を内側とすれば、傾斜角制御用電極２４２Ａ，２４２Ｂよりも外側の位置に形成されている。つまり、駆動バイアス用高電圧電極２５２の一部は傾斜角制御用電極２４２Ａ，２４２Ｂよりも傾斜軸１２２から遠くに配置されている。第１実施形態と同様に、傾斜角制御用電極２４２Ａ，２４２Ｂには制御電圧が独立に印加可能になっている。
【００３６】
〔作用〕
駆動バイアス用高電圧電極２５２の一部がミラー１１２の傾斜軸に対して傾斜角制御用電極２４２Ａ，２４２Ｂよりも外側に配置されることにより、ミラー１１２と駆動バイアス用高電圧電極２５２の間に発生する静電引力によるミラー１１２を傾斜させる力のモーメントが大きくなる。すなわち第１実施形態と同じ電圧値でより大きな力のモーメントが得られるため、第１実施形態と比較してより制御電圧を低減することができる。
【００３７】
〔効果〕
本実施形態のミラー装置では、第１実施形態よりもさらに制御電圧を低減することができる。
【００３８】
〔変形例〕
図７では、駆動バイアス用高電圧電極２５２は単一の部材であるが、必ずしも単一の部材である必要はなく、例えば電極基板２４０は単一の駆動バイアス用高電圧電極２５２に代えて第１実施形態と同様に２つの駆動バイアス用高電圧電極を備え、それら２つの駆動バイアス用高電圧電極が傾斜角制御用電極２４２Ａ，２４２Ｂよりも外側に配置された構成であってもよく、この場合も同様の作用効果が得られる。
【００３９】
［第３実施形態］
第３実施形態について図８ないし図１０を用いて説明する。これらの図において、第１実施形態の部材と同一の参照符号で示した部材は同様の部材であり、その説明は省略する。
【００４０】
〔構成〕
第３実施形態の構成は第１実施形態と比較して２つの駆動バイアス用高電圧電極それぞれに異なる定電圧の印加が可能な構成となっている。図８は第３実施形態の電極基板上面図を示している。第３実施形態のミラー装置３００では、電極基板３４０は、第１実施形態の駆動バイアス用高電圧電極１５２Ａ，１５２Ｂと配線１５４と電圧入力電極パッド１５６に代えて、駆動バイアス用高電圧電極３５２Ａ，３５２Ｂと配線３５４Ａ，３５４Ｂと電圧入力電極パッド３５６Ａ，３５６Ｂを備えている。駆動バイアス用高電圧電極３５２Ａ，３５２Ｂは、それぞれ、配線３５４Ａ，３５４Ｂを介して電圧入力電極パッド３５６Ａ，３５６Ｂと電気的に接続されている。また制御部３８０は、２つの駆動バイアス用高電圧電極３５２Ａ，３５２Ｂにそれぞれ独立に電圧入力電極パッド３５６Ａ，３５６Ｂを介してバイアス電圧を印加することができる。
【００４１】
〔作用〕
第３実施形態の作用について説明する。図９はミラー１１２と電極基板３４０の実装ズレにより図中のＹ方向に位置ズレΔＹが生じている様子を示している。この場合、傾斜軸１２２から駆動バイアス用高電圧電極３５２Ａの代表点たとえば中心までの距離はＹ１に、傾斜軸１２２から駆動バイアス用高電圧電極３５２Ｂの中心までの距離はＹ２になり、Ｙ１＞Ｙ２である。駆動バイアス用高電圧電極３５２Ａと駆動バイアス用高電圧電極３５２Ｂに同じバイアス電圧を印加した場合、すなわち第１実施形態の場合、ミラー１１２と各駆動バイアス用高電圧電極３５２Ａ，３５２Ｂの間に発生する静電引力は同じであるが、傾斜軸１２２に対する力点が異なるため、駆動バイアス用高電圧電極３５２Ａによって引き起こされる力のモーメントと駆動バイアス用高電圧電極３５２Ｂによって引き起こされる力のモーメントに差が生じる。これによりミラー１１２は駆動バイアス用高電圧電極３５２Ａ，３５２Ｂにバイアス電圧を印加した時点で傾斜してしまう。さらにミラー１１２と駆動バイアス用高電圧電極３５２Ａ，３５２Ｂの間には２００Ｖ以上の高電圧を印加しているためその傾斜角度は大きく、ΔＹのズレ量によっては傾斜角制御用電極１４２Ａ，１４２Ｂの電圧制御範囲（０ないし１０Ｖ程度）で制御可能なミラー傾斜角度を超えてミラー１１２が傾斜してしまう場合がある。すると、例えば図９に示される方向にずれた場合には、傾斜角制御用電極１４２Ａの側にのみに傾斜が可能なミラーとなってしまい、傾斜角制御用電極１４２Ａの側と傾斜角制御用電極１４２Ｂの側の両方に傾斜させるというミラー本来の機能を損なってしまう。
【００４２】
このような不具合を解消するため、制御部３８０は、駆動バイアス用高電圧電極３５２Ａによって引き起こされる反時計回りの力のモーメントと駆動バイアス用高電圧電極３５２Ｂによって引き起こされる時計回りの力のモーメントの差が無くなるように駆動バイアス用高電圧電極３５２Ａ，３５２Ｂにそれぞれ印加するバイアス電圧ＨＶ１，ＨＶ２を調整する。図１０は、ＨＶ１＜ＨＶ２とすることにより、これらの力のモーメントの差が無くなった状態を示している。このように、駆動バイアス用高電圧電極３５２Ａ，３５２Ｂにそれぞれ印加するバイアス電圧ＨＶ１，ＨＶ２を独立に制御することにより、ミラー１１２と駆動バイアス用高電圧電極３５２Ａ，３５２Ｂの間にそれぞれ発生する静電引力に差を持たすことができるので、駆動バイアス用高電圧電極３５２Ａによって引き起こされる力のモーメントと駆動バイアス用高電圧電極３５２Ｂによって引き起こされる力のモーメントの差をキャンセルすることができる。
【００４３】
〔効果〕
本実施形態のミラー装置３００では、ミラー１１２と電極基板３４０の実装ズレが生じた場合でも、第１実施形態と同様の効果が得られる。
【００４４】
［第４実施形態］
第４実施形態について図１１を用いて説明する。図１１において、第１実施形態と同一の参照符号で示した部材は同様の部材であり、その説明は省略する。
【００４５】
〔構成〕
第４実施形態のミラー装置は第３実施形態のミラー装置と比較して傾斜角制御用電極と駆動バイアス用高電圧電極との位置関係のみが異なっている。図１１に示すように、本実施形態のミラー装置４００では、電極基板４４０は、１対の傾斜角制御用電極４４２Ａ，４４２Ｂと、１対の駆動バイアス用高電圧電極４５２Ａ，４５２Ｂを有している。傾斜角制御用電極４４２Ａ，４４２Ｂと駆動バイアス用高電圧電極４５２Ａ，４５２Ｂは、ミラー１１２の傾斜軸１２２に垂直な軸１２４に沿って整列されている。傾斜角制御用電極４４２Ａ，４４２Ｂは、傾斜軸１２２に対して対称的に配置されており、また軸１２４に対しても対称的に配置されている。駆動バイアス用高電圧電極４５２Ａ，４５２Ｂは、傾斜軸１２２に対して対称的に配置されており、また軸１２４に対しても対称的に配置されている。駆動バイアス用高電圧電極４５２Ａ，４５２Ｂはミラー１１２の長手方向に対して傾斜軸１２２を内側とすれば、傾斜角制御用電極４４２Ａ，４４２Ｂよりも外側の位置に形成されている。つまり、駆動バイアス用高電圧電極４５２Ａ，４５２Ｂは傾斜角制御用電極４４２Ａ，４４２Ｂよりも傾斜軸から遠くに配置されている。第３実施形態と同様に、傾斜角制御用電極４４２Ａ，４４２Ｂには制御電圧が独立に印加可能になっており、駆動バイアス用高電圧電極４５２Ａ，４５２Ｂにはバイアス電圧が独立に印加可能になっている。
【００４６】
〔作用〕
駆動バイアス用高電圧電極４５２Ａ，４５２Ｂがミラー１１２の傾斜軸１２２に対して傾斜角制御用電極４４２Ａ，４４２Ｂよりも外側に配置されることにより、ミラー１１２と各駆動バイアス用高電圧電極４５２Ａ，４５２Ｂの間に発生する静電引力によるミラー１１２を傾斜させるための力のモーメントが大きくなる。すなわち第３実施形態と同じ電圧値でより大きな力のモーメントが得られるため、第３実施形態と比較してより制御電圧を低減することができる。
【００４７】
〔効果〕
本実施形態のミラー装置４００では、第３実施形態と同様の効果に加えて、第３実施形態よりもさらに制御電圧を低減することができる。
【００４８】
［第５実施形態］
第５実施形態について図１２ないし図１８を用いて説明する。
【００４９】
〔構成〕
図１２ないし図１５を用いて第５実施形態のミラーアレイ装置の構成を説明する。図１２は、本実施形態のミラーアレイ装置の上面図を示し、図１３は、図１２のミラーアレイ装置の電極基板の上面図を示し、図１４は、図１２のミラーアレイ装置の上面図とＡ−Ａ断面図を示し、図１５は、図１４中の円内エリアＣの裏面拡大図と円内エリアＤの拡大図を示している。
【００５０】
ミラーアレイ装置５００は、ミラー基板５１０と電極基板５４０を備えている。
【００５１】
ミラー基板５１０は、複数のミラー５１２と複数対の弾性部材５１４と複数の固定部５１６とミラー枠５２６を備えている。ミラー枠５２６は、間隔をおいて複数のミラー５１２を取り囲んでいる。図１５に示すように、各ミラー５１２の中央部の裏面には凹部５２８が設けられている。各対の弾性部材５１４は、凹部５２８内において、各ミラー５１２と各固定部５１６を機械的に接続しており、各固定部５１６に対して各ミラー５１２を傾斜軸５２２の回りに傾斜可能に支持している。複数のミラー５１２の傾斜軸は互いに一致している。各固定部５１６は、これが電極基板５４０固定された際にミラー基板５１０と電極基板５４０の間にミラー５１２の傾斜動作に必要な空間を提供するような同一の高さを有している。各ミラー５１２は、電極基板５４０に対向する面の反対側の面に反射面を有している。
【００５２】
弾性部材５１４と固定部５１６がこのように構成されている理由は、ミラーアレイ装置５００の利用用途によっては、しばしば複数のミラー５１２が狭ピッチで配置された構造が求められるためである。各ミラー５１２の間に弾性部材５１４と固定部５１６が存在しないことにより複数のミラー５１２が狭ピッチで配置されている。
【００５３】
電極基板５４０は、上面すなわちミラー５１２に対向する面に、ミラー５１２を傾斜軸５２２の回りに傾斜させるための複数対の傾斜角制御用電極５４２Ａ，５４２Ｂと、バイアス電圧が印加される１対の駆動バイアス用高電圧電極５５２Ａ，５５２Ｂと、複数の固定部５１６がそれぞれ固定される複数の接続部５６２と、ミラー枠５２６が固定される複数たとえば四つの接続部５７２が設けられている。駆動バイアス用高電圧電極５５２Ａ，５５２Ｂは、複数の傾斜角制御用電極５４２Ａと複数の傾斜角制御用電極５４２Ｂの間に配置されており、互いに平行に延びている。複数の傾斜角制御用電極５４２Ａは、駆動バイアス用高電圧電極５５２Ａに沿って配置一列に整列している。複数の傾斜角制御用電極５４２Ｂは、駆動バイアス用高電圧電極５５２Ｂに沿って配置一列に整列している。複数の傾斜角制御用電極５４２Ａ，５４２Ｂは、それぞれ、複数の配線５４４Ａ，５４４Ｂを介して複数の電圧入力電極パッド５４６Ａ，５４６Ｂと電気的に接続されている。また駆動バイアス用高電圧電極５５２Ａ，５５２Ｂは、それぞれ、配線５５４Ａ，５５４Ｂを介して電圧入力電極パッド５５６Ａ，５５６Ｂと電気的に接続されている。複数の接続部５６２は、導電性を有しており、配線５６４を介してＧＮＤパッド５６６と電気的に接続されている。電極基板５４０の基板材料は第１実施形態と同様のものを用いることができる。電極や配線、接続部、電圧入力電極パッド、ＧＮＤパッドなどの材料は第１実施形態と同様のものを用いることができる。
【００５４】
ミラー基板５１０の複数の固定部５１６は、それぞれ、電極基板５４０の複数の接続部５６２に固定されており、またミラー枠５２６は、電極基板５４０の複数の接続部５７２に固定されている。これにより、各ミラー５１２は、電極基板５４０に対向して電極基板５４０から離間して配置され、電極基板５４０に対して傾斜可能に支持されている。また、各ミラー５１２は、傾斜角制御用電極５４２Ａ，５４２Ｂと駆動バイアス用高電圧電極５５２Ａ，５５２Ｂから一定の距離に支持されている。各ミラー５１２は、各対の弾性部材５１４と各固定部５１６と各接続部５６２と配線５６４を介してＧＮＤパッド５６６と電気的に接続されている。固定部５１６と電極基板５４０の連結方法や材質は第１実施形態と同様の方法や材質を用いることができる。
【００５５】
各対の傾斜角制御用電極５４２Ａ，５４２Ｂと駆動バイアス用高電圧電極５５２Ａ，５５２Ｂは対称性良く各ミラー５１２に対向している。具体的には、各対の傾斜角制御用電極５４２Ａ，５４２Ｂは、各ミラー５１２に対向しており、各ミラー５１２の傾斜軸５２２に対して対称的に配置されている。また駆動バイアス用高電圧電極５５２Ａ，５５２Ｂは、複数のミラー５１２を横断して延びており、複数のミラー５１２のすべてに対向しており、互いに一致する複数のミラー５１２の傾斜軸５２２に対して対称的に配置されている。さらに、各対の傾斜角制御用電極５４２Ａ，５４２Ｂは、電極基板５４０の上面に平行で、各ミラー５１２の中心を通り、各ミラー５１２の傾斜軸５２２に垂直な軸５２４に沿って整列されている。
【００５６】
加えて、各対の傾斜角制御用電極５４２Ａ，５４２Ｂの面積は互いに等しく、また駆動バイアス用高電圧電極５５２Ａ，５５２Ｂの面積は互いに等しい。従って、同じ大きさの電圧印加に対して各ミラー５１２と各対の各傾斜角制御用電極５４２Ａ，５４２Ｂの間には同じ大きさの静電引力が発生する。同様に、同じ大きさの電圧印加に対して各ミラー５１２と各駆動バイアス用高電圧電極５５２Ａ，５５２Ｂの間には同じ大きさの静電引力が発生する。すなわち、駆動バイアス用高電圧電極５５２Ａ，５５２Ｂは、駆動バイアス用高電圧電極５５２Ａ，５５２Ｂと各ミラー５１２の間に発生する静電引力に起因してミラー５１２に作用する時計回りおよび反時計回りの力のモーメントが互いに等しくなるように設けられている。
【００５７】
ミラーアレイ装置５００はまた、各ミラー５１２の傾斜を制御する制御部５８０を備えている。制御部５８０は、各対の傾斜角制御用電極５４２Ａ，５４２ＢにＤＡコンバータなどを用いて０〜数Ｖ程度の可変電圧を印加することができ、また１対の駆動バイアス用高電圧電極５５２Ａ，５５２Ｂに高電圧電源などを用いて一定の高電圧を独立に印加することができる。
【００５８】
ミラーアレイ装置５００の作製にはＭＥＭＳ作製技術が適用できる。以下、ミラーアレイ装置５００の作製方法の一例を簡単に示す。まず、電極基板５４０とミラー基板５１０を別々に作製する。電極基板５４０とミラー基板５１０の加工には例えばエッチング法を用い、材料の積層には例えばスパッタ法や蒸着法などを用いる。次に、加工後の電極基板５４０とミラー基板５１０を常温接合や接着剤などを用い連結させる。電極基板５４０とミラー基板５１０の連結後、各ミラー５１２とミラー枠５２６をエッチング法などにより形成する。これによりミラーアレイ装置５００が作製される。
【００５９】
本実施形態では、弾性部材５１４と固定部５１６はミラー５１２の中央部に形成されているが、これは一つの例であって一般的に考えられるミラーの支持手法、例えば図１のように、各ミラーが傾斜軸に沿ってミラーの両側に配置された１対の弾性部材によって支持された構成としてもよく、この構成においても同様の作用効果を得ることができる。さらに、複数のミラーが１次元に配列されたミラーアレイ装置の例について説明しているが、複数のミラーが２次元に配列されたミラーアレイ装置に対しても同様の作用効果が得られる。
【００６０】
〔作用〕
本実施形態のミラーアレイ装置において、１つのミラーとこれに対応する電極等の要素から構成される構造体を１つのミラー装置と見なした場合、各ミラー装置は、例えば、第１実施形態のミラー装置や第３実施形態のミラー装置と同様に制御される。一例では、制御部５８０は、第１実施形態と同様に、駆動バイアス用高電圧電極５５２Ａ，５５２Ｂに一定の高電圧のバイアス電圧を印加する。別の例では、制御部５８０は、第３実施形態と同様に、ミラー５１２と電極基板５４０の実装ズレを考慮に入れて、駆動バイアス用高電圧電極５５２Ａ，５５２Ｂに異なるバイアス電圧を印加する。すなわち、駆動バイアス用高電圧電極５５２Ａ，５５２Ｂの少なくとも一方に共通のバイアス電圧が印加されるように制御される。
【００６１】
ここで、本実施形態のミラーアレイ装置を、第１実施形態のミラー装置を単純に並べてアレイ化して得られるミラーアレイ装置と比較する。第１実施形態のミラー装置をアレイ化した場合、電極への配線数は１つのミラー装置につき少なくとも３本必要となることから、例えば１００台のミラー装置をアレイ化すれば３００本の配線数が必要となるため、電極基板上の配線が複雑化する。
【００６２】
第５実施形態のミラーアレイ装置５００では、駆動バイアス用高電圧電極５５２Ａ，５５２Ｂは、複数のミラー５１２を横断するように延びているため、ミラー装置ごとに駆動バイアス用高電圧電極への配線の必要がなく、各駆動バイアス用高電圧電極５５２Ａ，５５２Ｂにただ１本の配線が接続されている。
【００６３】
これにより、例えば、１００台の第１実施形態ミラー装置をアレイ化した構成では３００本の配線が必要であるが、第５実施形態のミラーアレイ装置では、２０２本の配線が必要なだけである。
【００６４】
〔効果〕
本実施形態のミラーアレイ装置では、各ミラー装置において第１実施形態と同様の効果が得られることに加えて、第１実施形態のミラー装置をアレイ化したときよりも少ない配線数のミラーアレイ装置を得ることができる。
【００６５】
〔変形例〕
図１３に示す駆動バイアス用高電圧電極５５２Ａ，５５２Ｂは、以下のように変形されてもよい。例えば、図１６に示すように、電極基板５４０が複数対の駆動バイアス用高電圧電極５５２Ａ，５５２Ｂを有し、各対の駆動バイアス用高電圧電極５５２Ａ，５５２Ｂが各ミラー５１２に対向して配置され、複数の駆動バイアス用高電圧電極５５２Ａ，５５２Ｂがそれぞれ互いに電極基板５４０上で電気的に接続されている構成としてもよい。また、これまで記載してきた第１実施形態ないし第４実施形態を応用して、図１７に示すように、電極基板５４０は、２つの駆動バイアス用高電圧電極５５２Ａ，５５２Ｂに代えて、ただ１つの駆動バイアス用高電圧電極５５２を有していてもよい。さらに、図１８に示すように、２つの駆動バイアス用高電圧電極５５２Ａ，５５２Ｂの間に傾斜角制御用電極５４２Ａ，５４２Ｂを配置してもよい。この場合、第２実施形態や第４実施形態と同様の作用効果を得る、すなわち制御電圧のさらに低減することもできる。
【００６６】
［第６実施形態］
第６実施形態について図１９ないし図２４を用いて説明する。
【００６７】
〔構成〕
図１９と図２０を用いて第６実施形態のミラーアレイ装置の構成を説明する。これらの図において、第５実施形態の部材と同一の参照符号で示した部材は同様の部材であり、その説明は省略する。
【００６８】
ミラーアレイ装置６００は、ミラー基板５１０と電極基板６４０を備えている。ミラー基板５１０の構成は、第５実施形態で説明した通りである。
【００６９】
電極基板６４０は、上面すなわちミラー５１２に対向する面に、複数のミラー５１２をそれぞれ傾斜軸５２２の回りに傾斜させるための複数対の傾斜角制御用電極６４２Ａ，６４２Ｂと、バイアス電圧が印加される１対の駆動バイアス用高電圧電極６５２と、ミラー基板５１０の複数の固定部５１６がそれぞれ固定される複数の接続部６６２が設けられている。複数の傾斜角制御用電極６４２Ａ，６４２Ｂは、それぞれ、複数の配線６４４Ａ，６４４Ｂを介して複数の電圧入力電極パッド６４６Ａ，６４６Ｂと電気的に接続されている。また駆動バイアス用高電圧電極６５２は、配線６５４を介して電圧入力電極パッド６５６と電気的に接続されている。複数の接続部６６２は、配線６６４を介してＧＮＤパッド６６６と電気的に接続されている。配線６４４Ａ，６４４Ｂと配線６６４は、駆動バイアス用高電圧電極６５２とは別の層に形成されており、駆動バイアス用高電圧電極６５２から電気的に絶縁されている。
【００７０】
各対の傾斜角制御用電極６４２Ａ，６４２Ｂと駆動バイアス用高電圧電極６５２は対称性良く各ミラー５１２に対向している。具体的には、各対の傾斜角制御用電極６４２Ａ，６４２Ｂは、各ミラー５１２に対向しており、各ミラー５１２の傾斜軸５２２に対して対称的に配置されている。また駆動バイアス用高電圧電極６５２は、各対の傾斜角制御用電極６４２Ａ，６４２Ｂを取り囲んでおり、複数のミラー５１２のすべてに対向しており、ミラー５１２の傾斜軸５２２に対して対称的に配置されている。つまり、駆動バイアス用高電圧電極６５２の一部は傾斜角制御用電極６４２Ａ，６４２Ｂよりも傾斜軸５２２から遠くに配置されている。さらに、各対の傾斜角制御用電極６４２Ａ，６４２Ｂは、電極基板６４０の上面に平行で、各ミラー５１２の中心を通り、各ミラー５１２の傾斜軸５２２に垂直な軸５２４に沿って整列されている。
【００７１】
駆動バイアス用高電圧電極６５２は、駆動バイアス用高電圧電極６５２と各ミラー５１２の間に発生する静電引力に起因してミラー５１２に作用する時計回りおよび反時計回りの力のモーメントが互いに等しくなるように設けられている。
【００７２】
ミラーアレイ装置６００はまた、各ミラー５１２の傾斜を制御する制御部６８０を備えている。制御部６８０は、各対の傾斜角制御用電極６４２Ａ，６４２Ｂに０〜数Ｖ程度の可変電圧を印加することができ、また駆動バイアス用高電圧電極６５２に一定の高電圧を独立に印加することができる。
【００７３】
〔作用〕
本実施形態のミラーアレイ装置において、１つのミラーとこれに対応する電極等の要素から構成される構造体を１つのミラー装置と見なした場合、各ミラー装置は、例えば、第２実施形態のミラー装置と同様に制御される。
【００７４】
以下、ミラーアレイ装置において、隣接するミラー装置の間の電気干渉について、第５実施形態のミラーアレイ装置５００と本実施形態のミラーアレイ装置６００と比較する。
【００７５】
第５実施形態のミラーアレイ装置では、傾斜制御対象のミラー５１２に対応する傾斜角制御用電極６４２Ａ，６４２Ｂへの制御電圧の印加により生じる静電引力が、傾斜制御対象のミラー５１２に隣接している別のミラー５１２にも作用してしまう、いわゆる電気干渉が発生してしまう問題がある。この電気干渉を抑止するためには、例えば、隣接ミラー間の距離を広げること、制御電圧の最大値を低くすること、電場シールドなどの遮蔽技術を利用すること、などの対策が一般的に考えられている。
【００７６】
第６実施形態のミラーアレイ装置では、各対の傾斜角制御用電極６４２Ａ，６４２Ｂは、駆動バイアス用高電圧電極６５２によって取り囲まれており、各ミラー５１２の中心を通りミラー５１２の傾斜軸５２２に垂直な軸５２４の近くに配置されているため、傾斜制御の対象であるミラー５１２に対応する傾斜角制御用電極６４２Ａ，６４２Ｂとそのミラー５１２に隣接しているミラー５１２の間の距離は、第５実施形態のミラーアレイ装置５００に比べて広くなっている。これにより、隣接しているミラー５１２への電気干渉が低減される。
【００７７】
以下、図２１と図２２を用いて具体的に説明する。図２１に第５実施形態のミラーアレイ装置の断面図を、図２２に第６実施形態のミラーアレイ装置の断面図を示す。以下の説明では、傾斜制御の対象であるミラー５１２を対象ミラー５１２Ａと呼び、対象ミラー５１２Ａに隣接している傾斜制御の対象でないミラー５１２を隣接ミラー５１２Ｂと呼ぶ。
【００７８】
図２１において、例えば、対象ミラー５１２Ａに対応する傾斜角制御用電極５４２Ｂに制御電圧を印加すると、この傾斜角制御用電極５４２Ｂと隣接ミラー５１２Ｂの間にも静電引力が生じる。これが電気干渉となり、隣接ミラー５１２Ｂも傾斜してしまう。この電気干渉は、対象ミラー５１２Ａに対応する傾斜角制御用電極５４２Ｂと隣接ミラー５１２Ｂの間の距離Ｇ１の２乗に反比例するため、距離が広がれば電気干渉は低減する。
【００７９】
第６実施形態では、図２２に示すように、傾斜角制御用電極６４２Ａ，６４２Ｂは、傾斜軸方向の幅寸法が低減されており、またミラー５１２の中心の近くに配置されている。このため、対象ミラー５１２Ａに対応する傾斜角制御用電極６４２Ｂと隣接ミラー５１２Ｂの間の距離Ｇ２がＧ１と比較して長くなっている（Ｇ１＜Ｇ２）。しかし、この場合、傾斜角制御用電極６４２Ａ，６４２Ｂの面積が小さくなることにより、傾斜角制御用電極６４２Ａ，６４２Ｂとミラー５１２の間に発生する静電引力は小さくなり、ミラー５１２を傾斜させる駆動力が低下する。この駆動力の低下を補うため、駆動バイアス用高電圧電極６５２が、傾斜角制御用電極６４２Ａ，６４２Ｂの面積が小さくなることにより空いた空間に配置されている。これにより第６実施形態のミラーアレイ装置６００では、対象ミラー５１２Ａに対応する傾斜角制御用電極６４２Ｂから隣接ミラー５１２Ｂへの電気干渉の影響が第５実施形態より小さくなり、第５実施例と同等の制御電圧で同等の傾斜角度も得られる。
【００８０】
ここで駆動バイアス用高電圧電極６５２の電気干渉については無視することができる。なぜなら駆動バイアス用高電圧電極６５２は電圧の制御を行わない一定の電圧が印加されているためである。駆動バイアス用高電圧電極６５２の電圧が一定であれば、対象ミラー５１２Ａと駆動バイアス用高電圧電極６５２の間の静電引力と、隣接ミラー５１２Ｂの駆動バイアス用高電圧電極６５２の間の静電引力は同じである。従って電気干渉が生じることはない。すなわち、この構成で生じる電気干渉は、対象ミラー５１２Ａに対応する傾斜角制御用電極６４２Ａ，６４２Ｂと隣接ミラー５１２Ｂの間の電気干渉のみとなる。繰り返しとなるが、本実施形態では、各ミラー５１２に対応する傾斜角制御用電極６４２Ａ，６４２Ｂと、そのミラー５１２に隣接しているミラー５１２との間の距離が第５実施形態と比較して広げられているため、第５実施形態よりも電気干渉の影響が小さくなる。
【００８１】
〔効果〕
本実施形態のミラーアレイ装置６００では、第５実施形態と同様の効果が得られることに加えて、隣接するミラー装置の間の電気干渉が低減されている。
【００８２】
〔変形例〕
図２０に示す駆動バイアス用高電圧電極６５２は、以下のように変形されてもよい。
【００８３】
例えば、図２３に示すように、電極基板６４０は、ミラー５１２の傾斜軸５２２に沿って整列された複数対の駆動バイアス用高電圧電極６５２Ａ，６５２Ｂを有し、各ミラー５１２には２対の駆動バイアス用高電圧電極６５２Ａ，６５２Ｂが対向しており、各対の傾斜角制御用電極６４２Ａ，６４２Ｂはそれぞれ各ミラー５１２に対向する２対の駆動バイアス用高電圧電極６５２Ａ，６５２Ｂの間に配置されており、複数対の駆動バイアス用高電圧電極６５２Ａ，６５２Ｂは互いに電気的に接続されている構成としてもよい
また、図２４に示すように、電極基板６４０は、ミラー５１２の傾斜軸５２２に沿って整列された複数の駆動バイアス用高電圧電極６５２を有し、各駆動バイアス用高電圧電極６５２は、隣接する２つのミラー５１２にまたがって延びていて、これらの隣接する２つのミラー５１２の両方に対向しており、隣接する２つの駆動バイアス用高電圧電極６５２の間に各対の傾斜角制御用電極６４２Ａ，６４２Ｂが配置されており、複数の駆動バイアス用高電圧電極６５２が互いに電気的に接続されている構成としてもよい。
【００８４】
これらの変形例においても、本実施形態と同様の作用効果を得ることができる。
【００８５】
［各実施形態に適用可能な変形例］
第１実施形態ないし第６実施形態のミラー装置およびミラーアレイ装置では、電極基板の断面形状が平らな例、すなわち傾斜角制御用電極および駆動バイアス用高電圧電極とミラーの間のギャップが等しい例について説明したが、その例に限定されず、第１実施形態において述べたように「駆動バイアス用高電圧電極とミラーの間に発生する静電引力に起因してミラーに作用する時計回りおよび反時計回りの力のモーメントが互いに等しくなるように設けられている」ならば、例えば傾斜角制御用電極および駆動バイアス用高電圧電極それぞれのミラー間のギャップに差ができるような電極の形状および電極基板の形状にしてもよい。このような構成においても、少なくとも第１実施形態と同様の作用効果を得ることができる。
【００８６】
また、各実施形態では、傾斜角制御用電極と駆動バイアス用高電圧電極は同一電極基板上に配置されている例について説明しているが、図２５に示すように、傾斜角制御用電極７４２Ａ，７４２Ｂが電極基板７４０Ａ上に配置され、駆動バイアス用高電圧電極７５２Ａ，７５２Ｂが別の電極基板７４０Ｂ上に配置されていてもよく、駆動バイアス用高電圧電極７５２Ａ，７５２Ｂとミラー７１２の間に発生する静電引力に起因してミラー７１２に作用する時計回りおよび反時計回りの力のモーメントが互いに等しくなるように設けられていれば、少なくとも第１実施形態と同様の作用効果が得られる。
【００８７】
これまで、図面を参照しながら本発明の実施形態を述べたが、本発明は、これらの実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において様々な変形や変更が施されてもよい。ここにいう様々な変形や変更は、上述した実施形態を適当に組み合わせた実施も含む。
【符号の説明】
【００８８】
１００…ミラー装置、１１０…ミラー基板、１１２…ミラー、１１４…弾性部材、１１６…固定部、１２２…傾斜軸、１２４…軸、１４０…電極基板、１４２Ａ，１４２Ｂ…傾斜角制御用電極、１４４Ａ，１４４Ｂ…配線、１４６Ａ，１４６Ｂ…電圧入力電極パッド、１５２，１５２Ａ，１５２Ｂ…駆動バイアス用高電圧電極、１５４…配線、１５６…電圧入力電極パッド、１６２Ａ，１６２Ｂ…接続部、１６４…配線、１６６…ＧＮＤパッド、１８０…制御部、２００…ミラー装置、２４０…電極基板、２４２Ａ，２４２Ｂ…傾斜角制御用電極、２５２…駆動バイアス用高電圧電極、３００…ミラー装置、３４０…電極基板、３５２Ａ，３５２Ｂ…駆動バイアス用高電圧電極、３５４Ａ，３５４Ｂ…配線、３５６Ａ，３５６Ｂ…電圧入力電極パッド、３８０…制御部、４００…ミラー装置、４４０…電極基板、４４２Ａ，４４２Ｂ…傾斜角制御用電極、４５２Ａ，４５２Ｂ…駆動バイアス用高電圧電極、５００…ミラーアレイ装置、５１０…ミラー基板、５１２…ミラー、５１２Ａ…対象ミラー、５１２Ｂ…隣接ミラー、５１４…弾性部材、５１６…固定部、５２２…傾斜軸、５２４…軸、５２６…ミラー枠、５２８…凹部、５４０…電極基板、５４２Ａ，５４２Ｂ…傾斜角制御用電極、５４４Ａ，５４４Ｂ…配線、５４６Ａ，５４６Ｂ…電圧入力電極パッド、５５２…駆動バイアス用高電圧電極、５５２Ａ，５５２Ｂ…駆動バイアス用高電圧電極、５５４Ａ，５５４Ｂ…配線、５５６Ａ，５５６Ｂ…電圧入力電極パッド、５６２…接続部、５６４…配線、５６６…ＧＮＤパッド、５７２…接続部、５８０…制御部、６００…ミラーアレイ装置、６４０…電極基板、６４２Ａ，６４２Ｂ…傾斜角制御用電極、６４４Ａ，６４４Ｂ…配線、６４６Ａ，６４６Ｂ…電圧入力電極パッド、６５２，６５２Ａ，６５２Ｂ…駆動バイアス用高電圧電極、６５４…配線、６５６…電圧入力電極パッド、６６２…接続部、６６４…配線、６６６…ＧＮＤパッド、６８０…制御部、７１２…ミラー、７４０Ａ，７４０Ｂ…電極基板、７４２Ａ，７４２Ｂ…傾斜角制御用電極、７５２Ａ，７５２Ｂ…駆動バイアス用高電圧電極、Ｇ１，Ｇ２…距離、ＨＶ，ＨＶ１，ＨＶ２…バイアス電圧、ＬＶ１，ＬＶ２…制御電圧。
【図１】
2014038163.tif 000003
【図２】
2014038163.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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