(57)【要約】  本発明のＩＣデバイス４は、ＩＣデバイスを試験するテストヘッド２にＩＣデバイスＤを搬送するロボットアーム６を備える。テストヘッド２は、ＩＣデバイスＤが載置される載置面３ａを有していて載置面に載置されたＩＣデバイスをテストヘッドに取り付けるソケット３を備える。ロボットアーム６は、ＩＣデバイスＤを搬送する際、ＩＣデバイスＤを把持し、試験の際、テストヘッドにＩＣデバイスを押圧するコンタクトヘッド６１と、コンタクトヘッド６１の移動と連携して移動する非接触変位計７１と、を備え、非接触変位計７１は、載置面３ａに対し垂直方向にビームを発射して距離を測定するようロボットアーム６に設置されている。
2017037844.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＩＣデバイスを試験するテストヘッドに前記ＩＣデバイスを搬送するロボットアームを備えるＩＣ試験システムであって、
前記テストヘッドは、前記ＩＣデバイスが載置される載置面を備えたソケットが設けられており、
前記ロボットアームは、前記ＩＣデバイスを搬送する際、前記ＩＣデバイスを把持し、試験の際、前記テストヘッドに前記ＩＣデバイスを押圧するコンタクトヘッドと、前記コンタクトヘッドの移動と連携して移動する非接触変位計と、を備えており、
前記非接触変位計は、前記載置面に対し垂直方向の距離を測定するよう前記ロボットアームに設置されている、ＩＣ試験システム。
【請求項２】
前記非接触変位計は、前記非接触変位計から前記ソケットの前記載置面までの距離を測定するよう前記ロボットアームに設置されている、請求項１に記載のＩＣ試験システム。
【請求項３】
前記非接触変位計は、前記ロボットアームが前記ＩＣデバイスを搬送している間に、前記非接触変位計から前記ソケットの前記載置面までの距離を測定する、請求項２に記載のＩＣ試験システム。
【請求項４】
前記コンタクトヘッドは、前記ＩＣデバイスを把持する把持部を備え、
前記非接触変位計は、前記コンタクトヘッドにおいて前記把持部の上方に設置され、前記非接触変位計から前記把持部までの距離を測定する、請求項１に記載のＩＣ試験システム。
【請求項５】
前記非接触変位計によって測定された距離に基づいて、前記載置面に２つ以上の前記ＩＣデバイスが重ねて載置される可能性があるかどうかを判定する判定部をさらに備える、請求項１に記載のＩＣ試験システム。
【請求項６】
前記非接触変位計がレーザビームを発射するレーザ変位計である、請求項１に記載のＩＣ試験システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＩＣデバイスを試験するＩＣ試験システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
ＩＣデバイスの製造工程においてＩＣデバイスの通電試験を行う試験装置をＩＣテスタ又はＩＣ試験システムと称する。また、ＩＣテスタによる通電試験のためにＩＣデバイスを搬送する搬送装置をＩＣハンドラと称する。ＩＣテスタは、試験用のソケットを介してテストヘッドに取り付けられたＩＣデバイスをテストヘッドに対して押圧することによってＩＣデバイスに通電するようになっている。このようにしてソケット内のＩＣデバイスを押圧する装置をコンタクトヘッドと称する。近年のＩＣハンドラにおいて、コンタクトヘッドは、ＩＣデバイスをソケットに装填するように動作するロボットアームに取り付けられる。【０００３】
ところで、試験用のソケットに装填されたＩＣデバイスが何らかの事情によってソケットから排出されずに放置された場合には、新たに装填されるＩＣデバイスがソケット内に残存するＩＣデバイスの上に積み重ねられることになる。このような事態は、例えば、作業者が抵抗測定用のダミーデバイスをソケットに装填してテストヘッドの点検を行った後に、ダミーデバイスをソケットから排出し忘れた場合に発生しうる。２つのＩＣデバイスがソケット内に積み重ねられると、ソケット内に残存するＩＣデバイスがテストヘッドと電気的に接触し続けるので、新たに装填されたＩＣデバイスの正確な試験結果を得ることができなくなる。また、ソケット内に重ねて装填されたＩＣデバイスがコンタクトヘッドによって押圧されると、それらＩＣデバイス又はコンタクトヘッドが破損する場合もある。そのため、２つのＩＣデバイスが試験用のソケット内に重ねて装填された状態を適切に防止する技術が必要とされている。このような状態を以下ではＩＣデバイスの２個重ね状態と称する。【０００４】
これに関連して、特許文献１には、ソケットを横断する光線を照射するファイバセンサをソケットに設置しておき、ファイバセンサの光線が遮断されるか否かに応じてＩＣデバイスがソケット内に残存するかどうかを判定する技術が開示されている。また、特許文献２には、ラインセンサ又はエリアセンサ等の撮像装置をソケットの上方に設置しておき、撮像装置において取得したソケットの画像データを解析することによってＩＣデバイスがソケット内に残存するかどうかを判定する技術が開示されている。より具体的に、特許文献２では、ソケットの種類ごとに予め準備された基準データと、撮像装置において取得した画像データとを比較することによって、ＩＣデバイスがソケット内に残存するかどうかを判定している。【０００５】
しかしながら、特許文献１のようなファイバセンサを使用した簡易な手法によると、試験対象のＩＣデバイスが薄型であるときに（例えば、ＩＣデバイスの厚さが０．５ｍｍ以下であるときに）ソケット内に残存するＩＣデバイスを正確に検知できないことがある。さらに、特許文献１の手法によると、ＩＣデバイスの寸法が変更される都度、ファイバセンサの光軸をソケットに対して精密に位置決めする必要があるので、作業者による準備作業の負担が大きかった。また、特許文献２の手法によると、ＩＣデバイス又はソケットの色や形状等が変更される都度、ソケットを照らす照明の位置又は光量等を調節したり、新たな基準データを生成したりする必要があるので、やはり作業者による準備作業の負担が大きかった。【０００６】
また、従来は残存するＩＣデバイスの検知を、一旦試験を中断して実施していたが、その中断により生産数が落ちてしまうという課題があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平６−５８９８６号公報
【特許文献２】特開２００９−１４５１５３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
テストヘッドのソケット又は試験対象のＩＣデバイスの種類が変更されたとしても大掛かりな準備作業を必要とせず、また生産や試験を中断することなく検知を可能とし、ＩＣデバイスの２個重ね状態を防止できるＩＣ試験システムが求められている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の一態様によれば、ＩＣデバイスを試験するテストヘッドに前記ＩＣデバイスを搬送するロボットアームを備えるＩＣ試験システムであって、前記テストヘッドは、前記ＩＣデバイスが載置される載置面を備えたソケットが設けられており、前記ロボットアームは、前記ＩＣデバイスを搬送する際、前記ＩＣデバイスを把持し、試験の際、前記テストヘッドに前記ＩＣデバイスを押圧するコンタクトヘッドと、前記コンタクトヘッドの移動と連携して移動する非接触変位計と、を備えており、前記非接触変位計は、前記載置面に対し垂直方向の距離を測定するよう前記ロボットアームに設置されている、ＩＣ試験システムが提供される。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の一態様によれば、ＩＣデバイスを把持するコンタクトヘッドの移動と連携して移動する非接触変位計を備えている。そのため、例えばコンタクトヘッドによりＩＣデバイスをテストヘッドまで搬送している間に測定を行うことが可能となる。搬送中の測定によりＩＣデバイスが２個重ね状態になる危険性を判定できるので、ＩＣデバイスの試験や生産を中断することがなく、生産数が向上する。また、本発明によれば、載置面に対し垂直方向の距離を測定しているため、従来と比較してソケット又はＩＣデバイスの種類が変更されたときの大掛かりな準備作業を必要とすることがない。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一実施形態のＩＣ試験システムの平面図である。
【図２】図１のＩＩ−ＩＩ線に沿った断面図であり、ＩＣ試験システムの構成を示す図である。
【図３】変位測定ユニットを示す斜視図である。
【図４】（ａ）〜（ｄ）は、ロボットアームによるＩＣデバイスの装着排出工程を示すと共に非接触変位計によるソケットのスキャン動作を示す図である。
【図５】非接触変位計により測定した波形イメージを示す図である。
【図６】本実施形態のＩＣハンドラによる２個重ね判定処理について説明するための図である。
【図７】本発明の別の実施形態のＩＣ試験システムのコンタクトヘッドを示す図であり、（ａ）は正常にＩＣデバイスを把持した状態を示す図、（ｂ）は異常が発生した状態を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の実施形態を、図面を参照して詳細に説明する。それら図面において、同様の構成要素には同様の符号が付与されている。なお、以下の記載は、特許請求の範囲に記載される発明の技術的範囲や用語の意義等を限定するものではない。
【００１３】
図１〜図６を参照して、本発明の一実施形態によるＩＣ試験システムについて説明する。図１は、本実施形態による例示的なＩＣハンドラ４を含むＩＣ試験システム１の平面図である。図１のように、ＩＣ試験システム１は、テーブル状の基台１０と、基台１０に実装されるテストヘッド２と、テストヘッド２に配列される複数のソケット３と、を備えている。テストヘッド２は、ソケット３に装填されたＩＣデバイスの通電試験を行う。個々のソケット３は、ＩＣデバイスが載置される載置面３ａを有していて、載置面３ａに載置されたＩＣデバイスをテストヘッド２に取り付けるようになっている。
【００１４】
本実施形態のＩＣハンドラ４は、ＩＣ試験システム１のテストヘッド２による通電試験のためにＩＣデバイスを搬送する搬送装置である。図１の例によるＩＣ試験システム１は、一対のＩＣハンドラ４，４を備えており、それらＩＣハンドラ４，４は、基台１０の上面に沿って矢印Ａ１０の方向に移動可能な一対のシフトプレート５，５と、基台１０の上方に配置されるロボットアーム６と、を備えている。なお、図１の例では、シフトプレート５の移動方向と平行な方向をＸ方向としており、基台１０の上面においてＸ方向に直交する方向をＹ方向としている（他の図面においても同様である）。本例によるテストヘッド２は、Ｙ方向に並べられた２列のソケット３を有しており、各列には、Ｘ方向に並べられた４個のソケット３が含まれている。すなわち、本例によるテストヘッド２には、合計８個のソケットが配列されている。これらソケット３の載置面３ａは、Ｘ方向及びＹ方向の双方と平行になるように方向付けされている。なお、テストヘッド２とソケット３との間には、パフォーマンスボードと呼ばれるプリント基板が配置されている。一般に、テストヘッド２におけるソケット３の個数及び配列は、パフォーマンスボードの回路パターンに応じて決定される。
【００１５】
図１の例において、一対のＩＣハンドラ４，４はソケット３を挟むようにＹ方向において互いに対称に配置されており、各々のＩＣハンドラ４は互いに同様の構成を有している。そのため、以下では一方のＩＣハンドラ４のみについて説明する。図１の例において、ＩＣハンドラ４のシフトプレート５は、Ｘ方向に並べて配置された搬入領域５ａと搬出領域５ｂとを有しており、図示しない駆動機構によってＸ方向に移動される。ここで、搬入領域５ａは、ソケット３に装填されるべき試験前のＩＣデバイスが載置される領域である。試験前のＩＣデバイスは図示しない搬入ロボットによって搬入領域５ａに載置される。また、搬出領域５ｂは、ソケット３から排出された試験後のＩＣデバイスが載置される領域である。搬出領域５ｂに載置されたＩＣデバイスは、図示しない搬出ロボットによって通電試験の結果に応じたトレイに搬出される。
【００１６】
図１の矢印Ａ１０によって示されるように、シフトプレート５は、搬入領域５ａがソケット３に隣接する搬入位置と、搬出領域５ｂがソケット３に隣接する搬出位置との間をＸ方向に移動可能である。図１の例では、搬出位置に在るシフトプレート５が実線で示されており、搬入位置に在るシフトプレート５が一点鎖線で示されている。本例によるシフトプレート５は、搬出位置から搬入位置まで移動することによって、搬入領域５ａに載置された試験前のＩＣデバイスをソケット３の近傍まで搬送する。そして、試験前のＩＣデバイスは、ＩＣ試験システム１のロボットアーム６によってソケット３内に装填される。
【００１７】
図１の例において、ロボットアーム６は、試験前のＩＣデバイスをソケット３に装填する動作と、試験後のＩＣデバイスをソケット３から排出する動作を連続的に実行する。図２は、図１のＩＩ−ＩＩ線に沿った断面図であり、ロボットアーム６が試験前のＩＣデバイスをソケット３に装填する際の動作を示している。なお、図２のＺ方向は、図１のＸ方向及びＹ方向の双方に垂直な方向、すなわち、ソケット３の載置面に垂直な方向である（他の図面においても同様である）。
【００１８】
図２の例において、ロボットアーム６は、ＩＣデバイスＤの通電試験の際にＩＣデバイスＤをテストヘッド２に対して押圧するコンタクトヘッド６１を二つ備えており、（以下、図に向かって右側のコンタクトヘッド６１を第一コンタクトヘッド６１ａ、図に向かって左側のコンタクトヘッド６１を第二コンタクトヘッド６１ｂと称する）、各コンタクトヘッド６１は、ＩＣデバイスＤを吸着して把持する吸着ノズル６２を備えている。各コンタクトヘッド６１における吸着ノズル６２の個数及び配列は、テストヘッド２におけるソケット３の個数及び配列に対応している。
【００１９】
第一コンタクトヘッド６１ａ及び第二コンタクトヘッド６１ｂは、Ｙ軸ボールネジ６４及びリニアガイド６７により連結され左右の方向（Ｙ軸方向）に連動して移動することができる。また、第一コンタクトヘッド６１ａ及び第二コンタクトヘッド６１ｂは、Ｚ軸スライダ６３ａ、６３ｂにより上下方向（Ｚ軸方向）にそれぞれ別個に移動可能になっている。
【００２０】
本実施形態のロボットアーム６は、第一コンタクトヘッド６１ａ及び第二コンタクトヘッド６１ｂの間に変位測定ユニット７を備える。図３に示すように、変位測定ユニット７は、支持ロッド７２、支持ロッド７２の下端に設けられた上下シリンダ７３、上下シリンダ７３によって上下移動する上下プレート７４、上下プレート７４の下端に設けられた複数の非接触変位計７１ａ〜７１ｄを備える。非接触変位計７１は列方向のソケット３の数量に併せて設けられ、本実施形態では図３に示すように４つの非接触変位計７１ａ〜７１ｄが設けられている（以下まとめて非接触変位計７１と称する場合がある）。
【００２１】
非接触変位計７１は測定対象物に向かってビームを発射することによって非接触変位計から測定対象物までの距離を測定する。非接触変位計７１は、例えば、レーザビームを発射するレーザ変位計、又は超音波ビームを発射する超音波変位計等でありうる。
【００２２】
変位測定ユニット７は、第一コンタクトヘッド６１ａ及び第二コンタクトヘッド６１ｂの間に設けられたＹ軸スライダ６６に、支持ロッド７２が取り付けられることによって設置される。変位測定ユニット７は、第一コンタクトヘッド６１ａ及び第二コンタクトヘッド６１ｂがＹ軸方向に移動するとその移動と連携してＹ軸方向に移動する。そのため、変位測定ユニット７は、第一コンタクトヘッド６１ａ、第二コンタクトヘッド６１ｂと干渉することはない。変位測定ユニット７は、支持ロッド７２に設けられた上下シリンダ７３により上下プレート７４を上下方向に移動させることで、非接触変位計７１ａ〜７１ｄを上下させることができる。
【００２３】
測定位置に在る非接触変位計７１は、ソケット３の載置面３ａに対して垂直方向にレーザビームＢを発射することによって、ビームの進行方向に存在する測定対象物までの距離を測定する。本実施形態の非接触変位計７１は、載置面３ａに対して垂直方向にビームを発射して距離を測定するように、ロボットアーム６に設置されており、各非接触変位計から、ソケット３の載置面３ａまでの距離を測定する。このようにして測定した距離を以下では測定距離ｄと称する。また、測定位置に在る非接触変位計７１は、コンタクトヘッドと一緒にＹ方向に移動することによってソケット３内の複数の測定点において測定距離ｄを測定できる。
【００２４】
本実施形態のロボットアーム６は、図２及び図４に示す以下の手順に従ってコンタクトヘッド６１ａ、６１ｂを移動させ、試験前のＩＣデバイスＤをソケット３に装填し、さらに変位測定ユニット７を用いて、非接触変位計７１からソケット３の載置面３ａまでの距離を測定する。
【００２５】
図２は、第一コンタクトヘッド６１ａがＩＣデバイスＤを把持し、第二コンタクトヘッド６１ｂがＩＣデバイスＤをテストヘッド２に載置した状態を示している。
【００２６】
第一コンタクトヘッド６１ａは、シフトプレート５が搬入位置に在るときに、Ｙ方向及びＺ方向に移動されることによって、吸着ノズル６２が搬入領域５ａ上のＩＣデバイスＤに当接させられる。次いで、吸着ノズル６２がＩＣデバイスＤを吸着して把持したら、図２の矢印Ａ２１で示されるように、コンタクトヘッド６１ａがＺ方向に移動されることによって、ＩＣデバイスＤが搬入領域５ａから持ち上げられる。また、図２に示す第二コンタクトヘッド６１ｂも、テストヘッド２に載置されたＩＣデバイスＤを吸着した状態である。
【００２７】
次に、図４（ａ）に示すように、第二コンタクトヘッド６１ｂがＺ軸スライダ６５ｂにより矢印Ａ２２方向（Ｚ軸方向上向き）に移動し、テストヘッド３に載置されたＩＣデバイスＤを持ち上げる。所定距離移動した後、次にロボットアーム６は、第一コンタクトヘッド、第二コンタクトヘッド及び変位測定ユニット７をＹ軸方向、図の矢印Ａ２３方向に移動させる。Ｙ軸方向に移動する際、変位測定ユニット７は、載置面３ａの方向にビームＢを発射して距離の測定を開始する。
【００２８】
ロボットアーム６は、図４（ｂ）、図４（ｃ）に示すように第一コンタクトヘッド６１ａが、テストヘッド３の上方に位置するまで、第一コンタクトヘッド６１、第二コンタクトヘッド６１ｂ及び変位測定ユニット７をＹ軸方向（矢印Ａ２３方向）に移動させる。この際、変位測定ユニット７は、テストヘッド３までの距離を測位し続ける。距離を測定した結果、載置面において通常の距離と異なる距離が計測された場合、後述する判定方法によりテストデバイス３上に何かしら異常が発生した、例えばＩＣデバイスがコンタクトヘッド６１に吸着されず残留し２個重ねデバイスが発生したと判断し、アラーム等を発生させロボットアームの動作を停止させる。
【００２９】
変位測定ユニット７が異常を検知しない場合は、第一コンタクトヘッド６１を、図４（ｄ）の矢印Ａ２４方向（Ｚ軸方向の下方）に移動させ、ＩＣデバイスＤをソケット３上に載置する。そして第一コンタクトヘッド６１ａによりソケット３内のＩＣデバイスＤがテストヘッド２に対して押圧される。これにより、ソケット３内のＩＣデバイスＤがテストヘッド２と電気的に接続されて、ＩＣデバイスＤの通電試験が開始される。このように、本例によるロボットアーム６は、ソケット３内のＩＣデバイスＤをテストヘッド２に対して押圧する動作をさらに実行する。ＩＣデバイスＤの通電試験が開始されると、シフトプレート５が搬入位置から搬出位置まで移動される。
【００３０】
ソケット３内のＩＣデバイスＤの通電試験が終了したら、吸着ノズル６２がソケット３内のＩＣデバイスを再び吸着して把持する。次いで、第一コンタクトヘッド６１ａがＺ方向上方に移動されることによって、ＩＣデバイスＤがソケット３の載置面３ａから持ち上げられる。そして、第一コンタクトヘッド６１ａを移動させることで、再度、変位測定ユニット７は、非接触変位計７１から載置面３ａまでの距離を計測し、ソケット３上の２個重ねデバイスの有無を検知する。ロボットアーム６は、これら一連の動作を繰り返し行うことにより、コンタクトヘッド６１によりＩＣデバイスＤの装填排出を繰り返しつつ、変位測定ユニット７によりソケット３の検知を行う。装填排出を行う度に検知を行うので、従来のように検知を行うために、ＩＣデバイスの通電試験や装填排出工程を止める必要がなくなり、テストヘッド２の稼働率が向上し、延いてはＩＣデバイスの生産性が向上する。
【００３１】
本実施形態によるＩＣ試験システム１は、非接触変位計７１の測定距離ｄに基づいて、ＩＣデバイスＤが２個重ね状態になる危険性を判定する処理を実行する。この処理のことを以下では２個重ね判定処理と称する。ここで、再び図１を参照すると、本実施形態のＩＣ試験システム１は、ロボットアーム６やＩＣハンドラ４等の各部の動作を制御するとともに、種々の演算処理を実行する制御ユニット８を備えている。特に、本例による制御ユニット８は、種々のデータを格納する記憶部８１と、上記の２個重ね判定処理を実行する判定部８２と、種々のメッセージを作業者に通知する通知部８３と、を備えている。
【００３２】
図６に示すように、２個重ね判定処理において、判定部８２は、先ず、複数の非接触変位計７１から、非接触変位計のＹ軸方向の移動に伴い、上方を通過するソケット３内の測定点についての測定距離ｄを取得する。次いで、判定部８２は、非接触変位計毎に、予め正常な状態で測定され記憶部８１に格納されている、非接触変位計から設置面３ａまでの距離を計測した基準距離ｄ0を記憶部８１から取得する。基準距離ｄ0も測定距離ｄと同様に複数の測定点について測定されている。次いで、判定部８２は、各非接触変位計の基準距離ｄ0と測定距離ｄの間の差分δ（δ＝ｄ0−ｄ）を各測定点について計算する。ソケット３内にＩＣデバイスＤ等の測定対象物が存在する場合、この差分δは測定対象物のＺ方向の厚さを表すことになる。
【００３３】
次いで、判定部８２は、２個重ね判定処理用の閾値ｔを記憶部８１から取得する。この閾値ｔは、作業者によって予め設定されて記憶部８１に格納されうる。本例による閾値ｔは、測定位置に在る非接触変位計７１から載置面３ａまでの距離の変動量の最大許容値を表している。このような距離の変動は、例えば、ＩＣハンドラ４の各部の繰り返し動作、及び高温試験に伴う各部の熱変形等に起因して発生しうる。従って、本例による閾値ｔは、シフトプレート５及び変位測定ユニット７の可動部の繰り返し精度、並びに高温試験に伴うソケット３、シフトプレート５、及び変位測定ユニット７の変形量等に基づいて決定されうる。
【００３４】
再び図６を参照すると、判定部８２は、各測定点について計算した差分δと閾値ｔを比較する。次いで、判定部８２は、差分δが閾値ｔよりも大きい測定点（すなわちδ＞ｔである測定点）の全測定点に占める割合を算出する。差分δが閾値ｔよりも大きい測定点を以下では異常測定点と称する。次いで、判定部８２は、異常測定点の割合が一定水準を超えるかどうかを判定する。ここでいう一定水準とは、例えば、全測定点の７５％である。そして、異常測定点の割合が一定水準を超える場合、判定部８２は、ソケット３内の状態が異常であると判定する。すなわち、判定部８２は、ソケット３内に少なくとも１つのＩＣデバイスＤが既に装填されているので、ソケット３内に２つ以上のＩＣデバイスＤが重ねて装填される可能性があると判定する。この場合、制御ユニット８の通知部８３が作業者に警告メッセージを通知する。他方、異常測定点の割合が一定水準を超えない場合、判定部８２は、ソケット３内の状態が正常であると判定する。すなわち、判定部８２は、ソケット３内にＩＣデバイスＤが存在しないので、ソケット３内に２つ以上のＩＣデバイスＤが重ねて装填される可能性はないと判定する。これにより、ＩＣデバイスＤの２個重ね状態の危険性を判定できるので、ＩＣデバイスＤの２個重ね状態を確実に防止できる。なお、ＩＣデバイスの装填排出工程は、ＩＣ試験システム１の各部に設けられたセンサが何らかの異常を検知したときに自動的に停止されうるし、テストヘッド２又はソケット３等の点検のために作業者によって手動で停止されうる。
【００３５】
以上のように、本実施形態のＩＣ試験システムによれば、通電試験を実施しつつ、ソケット３の載置面３ａに向かって計測された非接触変位計７１の測定距離ｄに基づいてＩＣデバイスの２個重ね判定処理が実行される。したがって、本実施形態のＩＣ試験システム１によれば、ソケット３又はＩＣデバイスＤの種類が変更されたとしても、新たな基準距離ｄ0又は閾値ｔを記憶部８１に格納するだけで、ＩＣデバイスＤの２個重ね状態の危険性を判定できるようになる。その結果、本実施形態のＩＣ試験システム１によれば、ソケット３又はＩＣデバイスＤの種類が変更されたときの大掛かりな準備作業が不要になる。また、非接触変位計としてレーザ変位計を用いれば、一般にレーザ変位計はミクロン単位の分解能を有するので、本実施形態のＩＣ試験システム１によると、厚さが０．５ｍｍ未満である薄型のＩＣデバイスＤが試験される場合であっても、ＩＣデバイスＤの２個重ね状態の危険性を正確に判定できるようになる。これによりＩＣデバイスＤの２個重ね状態が確実に防止される。
【００３６】
変位測定ユニット７の計測は、コンタクトヘッド６１の装填排出工程の動作を停止して行っても構わない。装填排出工程の実施中よりも、変位測定ユニット７をゆっくりと動作させることが可能になり、より精度の高い測定を実施することができる。これにより、図５に示すように、予め記憶部に記憶したソケット３の表面を示す測定基準となる波形９ａと実際に測定した波形９ｂとを操作画面に表示して比較する。例えばソケット３に傾きが生じている場合はそれ発見し適正な状態に修正することが可能になる。なお、この場合、特にアラームを設定する必要はない。
【００３７】
また、ＩＣ試験システム１は、ロボットアーム６が原点に復帰する位置に、非接触変位計７１を較正するためのマスターゲージ１１を設けてもよい（図１参照）。マスターゲージは金属製のブロックで形成されており、ロボットアームの原点復帰が完了したと同時に、変位測定ユニット７は非接触変位計７１からマスターゲージ１１までの距離を計測し、予め記録されている基準距離に対して所定の閾値を超える値を計測した場合はアラームを出す。
【００３８】
また、ロボットアーム６は、変位測定ユニット７を上下に移動させるＺ軸スライダ７５を備えてもよい。変位測定ユニット７を、Ｚ軸スライダ７５により上昇させロボットアーム６内に格納することにより、メンテナンススペースを確保することができ、変位測定ユニット７がＩＣデバイスやソケットを交換する際の妨げとなることがなくなる。
【００３９】
次に、図７（ａ）、（ｂ）を用いて、別の実施形態のＩＣ試験システム１０１ついて説明する。図７（ａ）、（ｂ）は別の実施形態におけるロボットアーム１０６のコンタクトヘッド１６１を拡大して示す図であり、（ａ）はロボットアーム１０６がＩＣデバイスＤを搬送している状態を示し、（ｂ）はロボットアーム１０６がＩＣデバイスＤをテストヘッド２のソケット３に押圧している状態を示す。本実施形態のＩＣ試験システム１０１は、図２に示すＩＣ試験システム１と異なり、非接触変位計１７１が各コンタクトヘッド１６１に直接設けられている。また、コンタクトヘッド１６１は、ＩＣデバイスＤを把持する把持部１６５を備え、把持部１６５は、コンタクトヘッド１６１の中央に位置するピン１６９等により水平方向に支持されており、上下方向に可動且つ回動可能となっている。
【００４０】
図示実施形態のコンタクトヘッド１６１は、コンタクトヘッド１６１の両端に非接触変位計１７１ａ、１７１ｂを備える。そして、それらはＩＣデバイスＤを把持する把持部１６５より上方に設置される。また、把持部１６５はその両端に、把持部１６５の連動するフランジ部１６６ａ、１６６ｂが設けられており、非接触変位計１７１ａ、１７１ｂは、非接触変位計１７１から各フランジ部の上面１６７ａ、１６７ｂまでの距離を計測可能になっている。計測はＩＣデバイスの装着排出工程の間、常に実施され。正常な場合は、図７（ａ）に示すように非接触変位計１７１ａ、１７１ｂが測定する距離ｄ２ａ、ｄ２ｂはほぼ同一の値を示す。
【００４１】
しかしながら、例えば図７（ｂ）に示すように、何らかの理由でテストヘッド２のソケット３の何れかに２個重ねが発生した場合、コンタクトヘッド１６１の把持部１６５が例えば図のＦ方向に回転し傾斜が発生する。そして、非接触変位計１７１ａ、１７１ｂが測定する距離ｄ２ａ、ｄ２ｂに差異が発生する。その差異が所定の閾値より大きいか否かを判定することで、すなわち２個重ねを検知することができる。図２に示すＩＣ試験システム１では、非接触変位計７１がソケット３上を通過するときにのみ計測するため計測時間が限定されるが、本実施形態の場合は、テストデバイスＤをソケットに載置してコンタクトヘッド１６１が押圧したときに計測することが可能であるため、計測時間は装着排出する速度に限定されることがない。
【００４２】
以上、図を用いて本発明の実施形態について説明した。本発明は、上記の実施形態のみに限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された範囲内で種々改変されうる。また、上述した各部の寸法、形状、材質等は一例にすぎず、本発明の効果を達成するために多様な寸法、形状、材質等が採用されうる。
【符号の説明】
【００４３】
１、１０１    ＩＣ試験システム
１０    基台
１１    マスターゲージ
２    テストヘッド
３    ソケット
３ａ    載置面
４    ＩＣハンドラ
５    シフトプレート
５ａ    搬入領域
５ｂ    搬出領域
６、１０６    ロボットアーム
６１、６１ａ、６１ｂ、１６１    コンタクトヘッド
６２、１６２    吸着ノズル
７    変位測定ユニット
７１、７１ａ〜７１ｅ、１７１、１７１ａ、１７１ｂ    非接触変位計
７２    支持ロッド
７３    上下シリンダ
７４    上下プレート
８    制御ユニット
８１    記憶部
８２    判定部
８３    通知部
ｄ、ｄ２    測定距離
ｄ0    基準距離
Ｄ    ＩＣデバイス
δ    差分
ｔ    閾値
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【国際調査報告】
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