(57)【要約】【課題】インダクタンス成分を有する検査対象の実装の有無を正確かつ容易に検査する。【解決手段】インダクタンス成分を有する検査対象のインダクタンス値Ｌｍを測定する測定部３と、測定部３によって測定されたインダクタンス値Ｌｍに基づいて検査対象を検査する処理部５とを備え、検査対象が実装される実装位置に磁界を印加可能に構成された磁界印加部４を備え、測定部３は、実装位置に磁界が印加されていない状態および磁界が印加されている状態の両状態においてインダクタンス値Ｌｍを測定し、処理部５は、両状態において測定部３によってそれぞれ測定されたインダクタンス値Ｌｍに基づいて検査対象の実装の有無を判別する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
インダクタンス成分を有する検査対象の物理量を測定する測定部と、当該測定部によって測定された前記物理量に基づいて前記検査対象を検査する検査部とを備えた検査装置であって、
前記検査対象が実装される実装位置に磁界を印加可能に構成された磁界印加部を備え、
前記測定部は、前記実装位置に前記磁界が印加されていない状態および当該磁界が印加されている状態の両状態において前記物理量を測定し、
前記検査部は、前記両状態において前記測定部によってそれぞれ測定された前記物理量の各値に基づいて前記検査対象の実装の有無を判別する検査装置。
【請求項２】
前記検査部は、前記磁界が印加されていない状態において測定された前記物理量の値と当該磁界が印加されている状態において測定された当該物理量の値との比率が予め規定された規定率以上のときに、前記検査対象が実装されていると判別する請求項１記載の検査装置。
【請求項３】
前記磁界印加部は、永久磁石と、当該永久磁石を移動させる移動機構とを備えて構成されている請求項１または２記載の検査装置。
【請求項４】
前記磁界印加部は、前記実装位置に近接して配設される電磁石と、当該電磁石に電流を供給する電流供給部とを備えて構成されている請求項１または２記載の検査装置。
【請求項５】
インダクタンス成分を有する検査対象の物理量を測定し、当該測定した前記物理量に基づいて前記検査対象を検査する検査方法であって、
前記検査対象が実装される実装位置に磁界を印加していない状態および当該磁界を印加している状態の両状態において前記物理量を測定し、当該両状態においてそれぞれ測定した前記物理量の各値に基づいて前記検査対象の実装の有無を判別する検査方法。
【請求項６】
前記磁界を印加していない状態において測定した前記物理量の値と当該磁界を印加している状態において測定した当該物理量の値との比率が予め規定された規定率以上のときに、前記検査対象が実装されていると判別する請求項５記載の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インダクタンス成分を有する検査対象を検査する検査装置および検査方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種の検査装置に関連する装置として、出願人は、特開２００８−２９８５５５号公報において回路基板検査装置（以下、「基板検査装置」ともいう）を開示している。この基板検査装置は、プローブユニットと、検査対象としての回路基板を保持する基板支持部と、プローブユニットを移動させる移動機構と、移動機構を制御する制御部と、プローブユニットを介して入力した電気信号に基づいて回路基板に対する電気的検査を実行する検査部とを備えている。この検査装置では、制御部による制御指示によって移動機構を制御して、プローブユニットを検査対象に接触させ、その状態において、検査部が、プローブユニットを介して入力した電気信号に基づいて検査対象を検査する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−２９８５５５号公報（第３−７頁、第１図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、出願人が開示している基板検査装置には、改善すべき以下の課題が存在する。すなわち、コイル等のインダクタンス成分を有する検査対象が基板に実装されているか否か（実装の有無）をこの基板検査装置を用いて検査する際には、検査対象が実装されているときに測定されるべきインダクタンス値をしきい値として予め規定しておき、実際に測定されたインダクタンス値（測定値）としきい値とを比較して、測定値がしきい値以上のときには検査対象が実装されていると判別し、測定値がしきい値未満のときには検査対象が実装されていないと判別する。しかしながら、検査対象のインダクタンス値（実装されているときに測定されるべきインダクタンス値）が基板検査装置の測定可能範囲を下回るとき（または、測定可能範囲の下限値に近いとき）には、インダクタンス値の正確な測定が困難となるため、検査対象の実装の有無を正確に検査することが困難となることがあるという課題が存在する。また、この基板検査装置を用いて検査対象の実装の有無を検査する際には、検査対象毎にしきい値を予め規定しておく必要があるため、検査が煩雑であるという課題も存在する。
【０００５】
また、複数の検査対象が並列または直列に接続されている基板における各検査対象の実装の有無を検査するときには、合成インダクタンスのしきい値を予め規定しておき、測定した合成インダクタンスの測定値としきい値とを比較して、測定値としきい値とが異なるときにいずれかの検査対象が実装されていないと判別する。しかしながら、接続されている検査対象の数が多い場合には、各検査対象の全てが実装されているときと、各検査対象のうちの１つだけが実装されていないときとでは、測定値に大きな差が生じないことがある。このため、このような場合においても、各検査対象の実装の有無を正確に検査することが困難となるという課題が存在する。また、接続されている複数の検査対象のいずれかが実装されていないとの判別ができたとしても、その検査対象が各検査対象のうちのどれであるのかを特定することが困難であるという課題も存在する。
【０００６】
本発明は、かかる改善すべき課題に鑑みてなされたものであり、インダクタンス成分を有する検査対象の実装の有無を正確かつ容易に検査し得る検査装置および検査方法を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成すべく、請求項１記載の検査装置は、インダクタンス成分を有する検査対象の物理量を測定する測定部と、当該測定部によって測定された前記物理量に基づいて前記検査対象を検査する検査部とを備えた検査装置であって、前記検査対象が実装される実装位置に磁界を印加可能に構成された磁界印加部を備え、前記測定部は、前記実装位置に前記磁界が印加されていない状態および当該磁界が印加されている状態の両状態において前記物理量を測定し、前記検査部は、前記両状態において前記測定部によってそれぞれ測定された前記物理量の各値に基づいて前記検査対象の実装の有無を判別する。
【０００８】
また、請求項２記載の検査装置は、請求項１記載の検査装置において、前記検査部は、前記磁界が印加されていない状態において測定された前記物理量の値と当該磁界が印加されている状態において測定された当該物理量の値との比率が予め規定された規定率以上のときに、前記検査対象が実装されていると判別する。
【０００９】
また、請求項３記載の検査装置は、請求項１または２記載の検査装置において、前記磁界印加部は、永久磁石と、当該永久磁石を移動させる移動機構とを備えて構成されている。
【００１０】
また、請求項４記載の検査装置は、請求項１または２記載の検査装置において、前記磁界印加部は、前記実装位置に近接して配設される電磁石と、当該電磁石に電流を供給する電流供給部とを備えて構成されている。
【００１１】
また、請求項５記載の検査方法は、インダクタンス成分を有する検査対象の物理量を測定し、当該測定した前記物理量に基づいて前記検査対象を検査する検査方法であって、前記検査対象が実装される実装位置に磁界を印加していない状態および当該磁界を印加している状態の両状態において前記物理量を測定し、当該両状態においてそれぞれ測定した前記物理量の各値に基づいて前記検査対象の実装の有無を判別する。
【００１２】
また、請求項６記載の検査方法は、請求項５記載の検査方法において、前記磁界を印加していない状態において測定した前記物理量の値と当該磁界を印加している状態において測定した当該物理量の値との比率が予め規定された規定率以上のときに、前記検査対象が実装されていると判別する。
【発明の効果】
【００１３】
請求項１記載の検査装置および請求項５記載の検査方法では、インダクタンス成分を有する検査対象が実装される実装位置に磁界を印加していない状態および磁界を印加している状態の両状態において物理量を測定し、測定した物理量の各値に基づいて検査対象の実装の有無を判別する。この場合、磁界を印加することで、検査対象のインダクタンスを増加させることができる。このため、この検査装置および検査方法では、磁界を印加していない状態における検査対象のインダクタンスが測定可能範囲を下回る小さい場合であっても、検査対象が実装されているときには、磁界の印加によってそのインダクタンスが測定可能範囲内となるように増加して、これによってインダクタンスを確実に測定することができる。また、検査対象が実装されていないときには、磁界を印加したとしてもインダクタンスに変化はなく、測定可能範囲を下回る小さい状態に維持される。したがって、この検査装置および検査方法によれば、検査対象のインダクタンスが小さい場合においても、その検査対象が実装されているときには、磁界を印加している状態および印加していない状態の両状態におけるインダクタンスの各測定値が異なり、検査対象が実装されていないときには各測定値が等しい（または、ほぼ等しい）結果、各測定値に基づいて（例えば、各測定値の大きさを比較することで）検査対象の実装の有無を正確に検査することができる。
【００１４】
また、この検査装置および検査方法によれば、複数の検査対象が並列接続されている場合においても、磁界を印加している状態および印加していない状態を検査対象毎に個別に切り替えて、各状態において測定したインダクタンスの測定値を比較することで、各検査対象の実装の有無を検査対象毎に確実に判別することができる。
【００１５】
また、請求項２記載の検査装置および請求項６記載の検査方法では、磁界が印加されていない状態および印加されている状態の両状態においてそれぞれ測定された物理量の値の比率が予め規定された規定率以上のときに検査対象が実装されていると判別する。このため、この検査装置および検査方法によれば、測定誤差やノイズ等の影響を考慮した適切な値に規定率を予め規定しておくことで、比率と規定率とを比較するだけで正確かつ容易に検査対象の実装の有無を判別することができる。
【００１６】
また、請求項３記載の検査装置では、永久磁石と永久磁石を移動させる移動機構とを備えて磁界印加部が構成されている。このため、この検査装置によれば、簡易な構成でありながら、移動機構によって永久磁石を検査対象の実装位置に接近させたり実装位置から離反させたりすることで、実装位置に対する磁界の印加状態と非印加状態とを確実かつ容易に切り替えることができる。また、この検査装置によれば、移動機構を制御することで永久磁石を任意の位置に移動させることができるため、検査対象の実装位置に拘わらず、実装位置に対して磁界を確実に印加することができる。
【００１７】
また、請求項４記載の検査装置では、実装位置に近接して配設される電磁石と電磁石に電流を供給する電流供給部とを備えて磁界印加部が構成したことにより、簡易な構成でありながら、電磁石に対する電流の供給および供給停止を切り替えるだけで、実装位置に対する磁界の印加状態と非印加状態とを確実かつ容易に切り替えることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】検査装置１の構成を示す構成図である。
【図２】検査装置１を用いた検査方法を説明する第１の説明図である。
【図３】検査装置１を用いた検査方法を説明する第２の説明図である。
【図４】導体パターン１３とインダクタ１４ａ，１４ｂとによって構成される回路Ｃ１を等価的に表す等価回路図である。
【図５】検査装置１０１の構成を示す構成図である。
【図６】検査装置１０１を用いた検査方法を説明する説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、添付図面を参照して、検査装置および検査方法の実施の形態について説明する。
【００２０】
最初に、検査装置の一例としての検査装置１の構成について説明する。
【００２１】
検査装置１は、図１に示すように、測定部３、磁界印加部４、処理部５、記憶部６、表示部７を備え、インダクタンス成分を有する検査対象が実装されるプリント回路基板（以下、「回路基板１１」ともいう）を検査可能に構成されている。具体的には、検査装置１は、図２に示す回路基板１１において、ランド１２を介して導体パターン１３によって互いに並列接続されるべき複数（本例では、一例として２個）のインダクタ１４ａ，１４ｂ（インダクタンス成分を有する検査対象の一例であって、以下、区別しないときには、「インダクタ１４」ともいう）が実装状態であるか、非実装状態であるか（実装の有無）を検査可能に構成されている。
【００２２】
測定部３は、図１，２に示すように一対のプローブ２ａ，２ｂを介して、回路基板１１上の導体パターン１３に接続されたランド１２上に規定された一対の測定点Ｐ１，Ｐ２に接続されて、処理部５の制御に従って測定処理を実行する。測定部３は、この測定処理において、導体パターン１３とインダクタ１４ａ，１４ｂとによって構成される回路Ｃ１に対してプローブ２ａ，２ｂを介して測定用信号Ｓ１（本例では、交流電圧）を供給すると共に、これに伴って導体パターン１３に発生する検出信号Ｓ２（本例では、交流信号）をプローブ２ａ，２ｂを介して入力する。また、測定部３は、供給した測定用信号Ｓ１の値（具体的には電圧値）、入力した検出信号Ｓ２の値（具体的には電流値）、および両信号Ｓ１，Ｓ２の位相差に基づいて測定点Ｐ１，Ｐ２間のインダクタンス（物理量の一例）の値（インダクタ１４ａ，１４ｂの合成インダクタンスの値であって、以下「インダクタンス値Ｌｍ」ともいう）を測定して、処理部５に出力する。
【００２３】
磁界印加部４は、検査対象としてのインダクタ１４（インダクタ１４が実装される実装位置）に磁界を印加可能に構成されている。また、磁界印加部４は、インダクタ１４に対して磁界を印加している状態と印加していない状態とを切り替えることが可能に構成されている。具体的には、磁界印加部４は、永久磁石４１と移動機構４２とを備えて構成されている。
【００２４】
永久磁石４１は、一例として、予め決められた強度の磁界を発生させるフェライト磁石やネオジム磁石で構成されている。また、永久磁石４１は、一方のインダクタ１４に対して磁界を印加している状態において他方のインダクタ１４に対する磁界の印加が少ない形状、つまり、１つのインダクタ１４に対して磁界を集中的に印加することが可能な形状（大きさ）に形成されている。一例として、永久磁石４１は、図２，３に示すように、回路基板１１に実装されている状態におけるインダクタ１４の平面視形状よりもやや大きい矩形に形成されている。
【００２５】
移動機構４２は、処理部５からの制御指示に従ってＸ，Ｙ，Ｚ方向に永久磁石４１を移動させて、回路基板１１に沿った（この例では、回路基板１１の下面に沿った）任意の位置に永久磁石４１を位置させることが可能に構成されている。このように構成することで、永久磁石４１から発せられる磁界を各インダクタ１４に対して個別的に（集中的に）印加している状態と印加していない状態とを切り替えることが可能となっている。
【００２６】
処理部５は、検査部の一例であって、ＣＰＵを備えたデジタル回路で構成されて、検査装置１を構成する各部を制御する処理を実行する。具体的には、処理部５は、測定部３に制御指示を与えて測定処理を実行させることで、上記したインダクタンス値Ｌｍを測定させる。また、処理部５は、移動機構４２に制御指示を与えて、永久磁石４１をＸ，Ｙ，Ｚ方向における任意の位置に移動させる。
【００２７】
また、処理部５は、測定部３によって測定されたインダクタンス値Ｌｍに基づいてインダクタ１４が回路基板１１に実装されているか否か（実装の有無）を判別する判別処理を実行する。この判別処理では、処理部５は、インダクタ１４に磁界を印加していない状態で測定されたインダクタンス値Ｌｍと、インダクタ１４に磁界を印加している状態で測定されたインダクタンス値Ｌｍとの比率Ｒｍ、および各インダクタ１４にそれぞれ対応付けられて予め規定された規定率Ｒｓを比較して、比率Ｒｍが規定率Ｒｓ以上のときには、磁界を印加したインダクタ１４が実装されていると判別し、比率Ｒｍが規定率Ｒｓ未満のときには、磁界を印加したインダクタ１４が実装されていないと判別する。なお、以下の説明において、インダクタ１４に磁界を印加していない状態で測定されたインダクタンス値Ｌｍを「インダクタンス値Ｌｍｒ」ともいう。また、インダクタ１４ａに磁界を集中的に印加している状態で測定されたインダクタンス値Ｌｍを「インダクタンス値Ｌｍａ」ともいい、インダクタ１４ｂに磁界を集中的に印加している状態で測定されたインダクタンス値Ｌｍを「インダクタンス値Ｌｍｂ」ともいう。また、インダクタンス値Ｌｍｒとインダクタンス値Ｌｍａとの比率Ｒｍを「比率Ｒｍａ」ともいい、インダクタンス値Ｌｍｒとインダクタンス値Ｌｍｂとの比率Ｒｍを「比率Ｒｍｂ」ともいう。さらに、インダクタ１４ａに対応付けられた規定率Ｒｓを「規定率Ｒｓａ」ともいい、インダクタ１４ｂに対応付けられた規定率Ｒｓを「規定率Ｒｓｂ」ともいう。
【００２８】
また、処理部５は、記憶部６を制御して、測定部３によって測定された（測定部３から出力された）インダクタンス値Ｌｍを一時的に記憶させる。さらに、処理部５は、上記した判別処理の結果を表示部７に表示させる。
【００２９】
記憶部６は、一例として、半導体メモリで構成されており、処理部５の動作プログラムや各インダクタ１４にそれぞれ対応付けられた上記の規定率Ｒｓを記憶する。また、記憶部６は、処理部５の制御に従い、測定部３によって測定されたインダクタンス値Ｌｍを一時的に記憶する。
【００３０】
表示部７は、一例として、液晶ディスプレイなどの表示装置を用いて構成されており、処理部５の制御に従って上記した判別処理の結果や、各種の情報を表示する。
【００３１】
次に、検査装置１を用いた検査方法、およびその際の検査装置１の動作について図面を参照して説明する。一例として、図２，３に示す回路基板１１において、検査対象としてのインダクタ１４ａ，１４ｂが実装されているか否か（実装の有無）を検査する検査方法について説明する。
【００３２】
まず、回路基板１１の導体パターン１３に接続されているランド１２上に規定された一対の測定点Ｐ１，Ｐ２にプローブ２ａ，２ｂをそれぞれ接続させ、次いで、図外の操作部を操作して検査の開始を指示する。これに応じて、処理部５は、磁界印加部４の移動機構４２に制御指示を与えて、永久磁石４１から発せられている磁界が各インダクタ１４に直接的に印加されない位置（磁界による影響（インダクタ１４のインダクタンスの上昇）が少ない位置）に永久磁石４１を移動させる。
【００３３】
続いて、処理部５は、測定部３に制御指示を与えて、測定処理を実行させる。この測定処理では、測定部３は、プローブ２ａ，２ｂを介して回路Ｃ１に測定用信号Ｓ１を供給すると共に、これに伴って生じる検出信号Ｓ２をプローブ２ａ，２ｂを介して入力して検出する。次いで、測定部３は、測定用信号Ｓ１の値、検出信号Ｓ２の値、および両信号Ｓ１，Ｓ２の位相差に基づいて測定点Ｐ１，Ｐ２間のインダクタンス値Ｌｍｒを測定して、処理部５に出力する。続いて、処理部５は、インダクタンス値Ｌｍｒを記憶部６に記憶させる。
【００３４】
この場合、導体パターン１３とインダクタ１４ａ，１４ｂとによって構成される回路Ｃ１（図２，３参照）は、図４に示す等価回路として等価的に表される。この等価回路から明らかなように、測定部３によって測定される測定点Ｐ１，Ｐ２間のインダクタンス値Ｌｍｒは、並列接続されたインダクタ１４ａ，１４ｂの合成インダクタンスの値となる。
【００３５】
次いで、処理部５は、移動機構４２に制御指示を与えて、図２に示すように、永久磁石４１をインダクタ１４ａ（インダクタ１４ａが実装されるべき実装位置）に近接させる。この際に、永久磁石４１から発せられている磁界がインダクタ１４ａに対して集中的に印加される。続いて、処理部５は、測定部３に制御指示を与えて測定処理を実行させ、測定部３がインダクタンス値Ｌｍａを測定して処理部５に出力する。次いで、処理部５は、インダクタンス値Ｌｍａを記憶部６に記憶させる。
【００３６】
続いて、処理部５は、移動機構４２に制御指示を与えて、図３に示すように、永久磁石４１をインダクタ１４ｂ（インダクタ１４ｂが実装されるべき実装位置）に近接させる。この際に、永久磁石４１から発せられている磁界がインダクタ１４ｂに対して集中的に印加される。次いで、処理部５は、測定部３に制御指示を与えて測定処理を実行させ、測定部３がインダクタンス値Ｌｍｂを測定して処理部５に出力する。続いて、処理部５は、インダクタンス値Ｌｍｂを記憶部６に記憶させる。
【００３７】
次いで、処理部５は、判別処理を実行する。この判別処理では、処理部５は、記憶部６から規定率Ｒｓａ，Ｒｓｂおよびインダクタンス値Ｌｍｒ，Ｌｍａ，Ｌｍｂを読み出す。続いて、処理部５は、インダクタンス値Ｌｍｒとインダクタンス値Ｌｍａとの比率Ｒｍａ（一例として、Ｒｍａ＝Ｌｍａ／Ｌｍｒ）を求める。次いで、処理部５は、求めた比率Ｒｍａと規定率Ｒｓａとを比較する。
【００３８】
ここで、一般的に、インダクタンス成分を有する素子に対して磁界が印加されている状態におけるその素子のインダクタンスは、磁界が印加されていない状態におけるその素子のインダクタンスよりも大きくなる（増加する）。このため、図２に示すように、インダクタ１４ａが回路基板１１に実装されているときには、インダクタ１４ａに対する磁界の印加によってインダクタ１４ａのインダクタンスが増加する結果、この状態で測定される測定点Ｐ１，Ｐ２間のインダクタンス値Ｌｍａ（インダクタ１４ａ，１４ｂの合成インダクタンスの値）は、上記したインダクタンス値Ｌｍｒよりも大きい値となる。つまり、インダクタ１４ａが実装されているときには、上記したインダクタンス値Ｌｍｒとインダクタンス値Ｌｍａとの比率Ｒｍａが「１」を超える値となる。このことから、測定誤差やノイズ等の影響を考慮して「１」よりも大きい適切な値（磁界を印加されるインダクタ１４ａのインダクタンスおよびインダクタンス値Ｌｍに応じて、インダクタ１４ａに対応付けて規定される値であって、例えば１．２など）に規定率Ｒｓａの値を規定することで、インダクタ１４ａが実装されているときには、比率Ｒｍａが規定率Ｒｓａ以上となることが理解される。言い換えると、比率Ｒｍａが規定率Ｒｓａ以上のときには、インダクタ１４ａが実装されていると判別することができることが理解される。
【００３９】
一方、インダクタ１４ａが回路基板１１に実装されていないときには、磁界を印加していない状態で測定されたインダクタンス値Ｌｍｒは、インダクタ１４ｂ単独のインダクタンスの値と同じ値（または、ほぼ同じ値）となる。また、インダクタ１４ａが回路基板１１に実装されていないときには、インダクタ１４ａが配設されるべき位置に磁界が印加している状態で測定したインダクタンス値Ｌｍａも、インダクタ１４ｂ単独のインダクタンスの値と同じ値（または、ほぼ同じ値）となる。つまり、このときには、上記したインダクタンス値Ｌｍｒとインダクタンス値Ｌｍａとの比率Ｒｍａが「１」（または、ほぼ１）となる。このことから、インダクタ１４ａが実装されていないときには、比率Ｒｍａが規定率Ｒｓａ（「１」よりも大きい値）未満となることが理解される。言い換えると、比率Ｒｍａが規定率Ｒｓａ未満のときには、インダクタ１４ａが実装されていないと判別できることが理解される。
【００４０】
この検査装置１では、処理部５は、上記の判別手法を用いて、比率Ｒｍａが規定率Ｒｓａ以上のときにはインダクタ１４ａが実装されていると判別し、比率Ｒｍａが規定率Ｒｓａ未満のときにはインダクタ１４ａが実装されていないと判別する。また、処理部５は、同様にして、インダクタンス値Ｌｍｒとインダクタンス値Ｌｍｂとの比率Ｒｍｂ（この例では、Ｒｍｂ＝Ｌｍｂ／Ｌｍｒ）を求める。続いて、処理部５は、比率Ｒｍｂと規定率Ｒｓｂ（磁界を印加されるインダクタ１４ｂのインダクタンスおよびインダクタンス値Ｌｍに応じて、インダクタ１４ｂに対応付けて規定される値であって、例えば、インダクタ１４ｂのインダクタンスがインダクタ１４ａのインダクタンスよりも大きいときには、１．５など）とを比較する。この場合においても、処理部５は、上記の判別手法と同様にして、比率Ｒｍｂが規定率Ｒｓｂ以上のときにはインダクタ１４ｂが実装されていると判別し、比率Ｒｍｂが規定率Ｒｓｂ未満のときにはインダクタ１４ｂが実装されていないと判別する。次いで、処理部５は、判別結果を表示部７に表示させて、判別処理を終了する。
【００４１】
このように、この検査装置１および検査方法では、インダクタ１４が実装される実装位置に磁界を印加していない状態および印加している状態の両状態において物理量としてのインダクタンスを測定し、両状態における各々の物理量に基づいてインダクタ１４の実装の有無を判別する。この場合、磁界を印加することで、インダクタ１４のインダクタンスを増加させることができる。このため、この検査装置１および検査方法では、磁界を印加していない状態におけるインダクタ１４のインダクタンスが測定可能範囲を下回る小さい場合であっても、インダクタ１４が実装されているときには、磁界の印加によってそのインダクタンスが測定可能範囲内となるように増加して、これによってインダクタンスを確実に測定することができる。また、インダクタ１４が実装されていないときには、磁界を印加したとしてもインダクタンスに変化はなく、測定可能範囲を下回る小さい状態に維持される。したがって、この検査装置１および検査方法によれば、インダクタ１４のインダクタンスが小さい場合においても、そのインダクタ１４が実装されているときには、磁界を印加していない状態および印加している状態の両状態におけるインダクタンスの各測定値が異なり、インダクタ１４が実装されていないときには各測定値が等しい（または、ほぼ等しい）結果、各測定値に基づいて（各測定値の大きさを比較することで）インダクタ１４の実装の有無を正確に検査することができる。
【００４２】
また、この検査装置１および検査方法によれば、複数のインダクタ１４が並列接続されている場合においても、磁界を印加していない状態および印加している状態をインダクタ１４毎に個別に切り替えて、各状態において測定したインダクタンスの測定値を比較することで、各インダクタ１４の実装の有無をインダクタ１４毎に確実に判別することができる。
【００４３】
また、この検査装置１および検査方法では、磁界を印加していない状態および印加している状態の両状態においてそれぞれ測定したインダクタンスの比率Ｒｍが規定率Ｒｓ以上のときにインダクタ１４が実装されていると判別する。このため、この検査装置１および検査方法によれば、測定誤差やノイズ等の影響を考慮した適切な値に規定率Ｒｓを予め規定しておくことで、比率Ｒｍと規定率Ｒｓとを比較するだけで正確かつ容易にインダクタ１４の実装の有無を判別することができる。
【００４４】
また、この検査装置１では、永久磁石４１と永久磁石４１を移動させる移動機構４２とを備えて磁界印加部４が構成されている。このため、この検査装置１によれば、簡易な構成でありながら、移動機構４２によって永久磁石４１をインダクタ１４の実装位置に接近させたり実装位置から離反させたりすることで、実装位置に対する磁界の印加状態と非印加状態とを確実かつ容易に切り替えることができる。また、この検査装置１によれば、移動機構４２を制御することで永久磁石４１を任意の位置に移動させることができるため、インダクタ１４の実装位置に拘わらず、インダクタ１４（インダクタ１４の実装位置）に対して磁界を確実に印加することができる。
【００４５】
次に、検査装置および検査方法の他の実施例として、図５に示す検査装置１０１、およびこの検査装置１０１を用いた検査方法について図面を参照して説明する。なお、以下の説明において、上記した検査装置１および検査方法と同じ構成要素については、同じ符号を付して、重複する説明を省略する。
【００４６】
検査装置１０１は、図５に示すように、上記した検査装置１の磁界印加部４に代えて磁界印加部８を備えて構成されている。磁界印加部８は、検査対象としてのインダクタ１４（インダクタ１４の実装位置）に磁界を印加可能に構成されている。また、磁界印加部８は、インダクタ１４に対して磁界を印加していない状態と印加している状態とを切り替えることが可能に構成されている。具体的には、磁界印加部８は、電流供給部８１、および１以上（本例では２つ）の複数電磁石８２ａ，８２ｂ（以下、区別しないときには「電磁石８２」ともいう）を備えて構成されている。
【００４７】
電磁石８２ａ，８２ｂは、図外の励磁コイルを備えて構成され、電流供給部８１から励磁電流が供給されたときに磁界を発生させる。この場合、図６に示すように、電磁石８２ａは、回路基板１１の下面側におけるインダクタ１４ａの近傍に配置され、電磁石８２ｂは、回路基板１１の下面側におけるインダクタ１４ｂの近傍に配置される。また、電磁石８２ａは、磁界を発生させている状態において、インダクタ１４ａに対して磁界を集中的に印加させインダクタ１４ｂに対する磁界の印加が少なくなるようにその形状や大きさが規定されている。同様にして、電磁石８２ｂは、磁界を発生させている状態において、インダクタ１４ｂに対して磁界を集中的に印加させインダクタ１４ａに対する磁界の印加が少なくなるようにその形状や大きさが規定されている。
【００４８】
電流供給部８１は、処理部５からの制御指示に従って電磁石８２ａ，８２ｂの各励磁コイルに対する励磁電流の供給および供給停止を個別に（電磁石８２ａ，８２ｂ毎に）行う。このように構成することで、電磁石８２ａ，８２ｂからそれぞれ発せられる磁界を各インダクタ１４に対して個別的に（集中的に）印加していない状態と印加している状態とを切り替えることが可能となっている。
【００４９】
この検査装置１０１を用いて、回路基板１１（図６参照）におけるインダクタ１４ａ，１４ｂの実装の有無を検査する際には、回路基板１１のランド１２上に規定された測定点Ｐ１，Ｐ２にプローブ２ａ，２ｂを接続させ、続いて、検査の開始を指示する。これに応じて、処理部５は、測定部３に制御指示を与えて測定処理を実行させる。なお、この時点では、磁界印加部８の電流供給部８１が励磁電流の供給を停止しているため、インダクタ１４ａ，１４ｂに磁界が印加されていない状態となっている。
【００５０】
次いで、測定部３が、測定処理を実行して、測定点Ｐ１，Ｐ２間のインダクタンス値Ｌｍｒを測定して処理部５に出力し、処理部５が、インダクタンス値Ｌｍｒを記憶部６に記憶させる。続いて、処理部５は、磁界印加部８の電流供給部８１に制御指示を与えて、電磁石８２ａに対する励磁電流の供給を開始させる。これによって電磁石８２ａから磁界が発せられ、この磁界がインダクタ１４ａに対して集中的に印加される。次いで、処理部５は、測定部３に制御指示を与えて測定処理を実行させ、測定部３がインダクタンス値Ｌｍａを測定して処理部５に出力する。続いて、処理部５は、インダクタンス値Ｌｍａを記憶部６に記憶させる。
【００５１】
次いで、処理部５は、電流供給部８１に制御指示を与えて、電磁石８２ａに対する励磁電流の供給を停止させると共に、電磁石８２ｂに対する励磁電流の供給を開始させる。これによって電磁石８２ｂから磁界が発せられ、この磁界がインダクタ１４ｂに対して集中的に印加される。続いて、処理部５は、測定部３に制御指示を与えて測定処理を実行させ、測定部３がインダクタンス値Ｌｍｂを測定して処理部５に出力する。次いで、処理部５は、インダクタンス値Ｌｍｂを記憶部６に記憶させる。
【００５２】
続いて、処理部５は、上記した判別処理を実行する。この検査装置１０１においても、処理部５は、上記の判別手法を用いて、比率Ｒｍａが規定率Ｒｓａ以上のときにはインダクタ１４ａが実装されていると判別し、比率Ｒｍａが規定率Ｒｓａ未満のときにはインダクタ１４ａが実装されていないと判別する。また、処理部５は、同様にして、比率Ｒｍｂが規定率Ｒｓｂ以上のときにはインダクタ１４ｂが実装されていると判別し、比率Ｒｍｂが規定率Ｒｓｂ未満のときにはインダクタ１４ｂが実装されていないと判別する。次いで、処理部５は、判別結果を表示部７に表示させて、判別処理を終了する。
【００５３】
この検査装置１０１およびこの検査方法においても、上記した検査装置１および検査装置１を用いた検査方法と同様にして、インダクタ１４の実装の有無を正確に検査することができる。また、この検査装置１０１およびこの検査方法によれば、インダクタ１４の実装位置に近接して配設された電磁石８２と、電磁石８２に励磁電流を供給する電流供給部８１とを備えて磁界印加部８を構成したことにより、簡易な構成でありながら、電磁石８２に対する励磁電流の供給および供給停止を切り替えるだけで、実装位置に対する磁界の印加状態と非印加状態とを確実かつ容易に切り替えることができる。
【００５４】
なお、検査装置および検査方法の構成および方法は、上記の構成および方法に限定されない。例えば、インダクタンス値Ｌｍｒとインダクタンス値Ｌｍａ，Ｌｍｂとの比率Ｒｍを求めて、比率Ｒｍと規定率Ｒｓとを比較してインダクタ１４の実装の有無を判別する例について上記したが、インダクタンス値Ｌｍｒとインダクタンス値Ｌｍａ，Ｌｍｂとが異なるか否かを特定して、インダクタンス値Ｌｍｒとインダクタンス値Ｌｍａ，Ｌｍｂとが異なるとき、つまり両者に差があるとき（両者の差分値の絶対値が０以上のとき）にはインダクタ１４が実装されていると判別し、両者が異ならないとき、つまり両者に差がないとき（両者の差分値が０のとき）にはインダクタ１４が実装されていないと判別する構成および方法を採用することもできる。
【００５５】
この構成および方法によれば、測定したインダクタンス値Ｌｍと予め規定したしきい値（インダクタ１４が実装されているときに測定されるべきインダクタンス値）とを比較してインダクタ１４の実装の有無を検査する従来の構成および方法とは異なり、インダクタ１４毎にインダクタンス値のしきい値を予め規定しておく必要がないため、その分、検査を容易に行うことができる。なお、インダクタンス値Ｌｍｒとインダクタンス値Ｌｍａ，Ｌｍｂとの差分値を求めて、その差分値が規定値（インダクタ１４毎に予め規定された規定値）以上のときにはインダクタ１４が実装されていると判別し、差分値が規定値未満のときにはインダクタ１４が実装されていないと判別する構成および方法を採用することもできる。
【００５６】
また、２つのインダクタ１４ａ，１４ｂが並列接続されて実装される回路基板１１に対する検査を行う例について上記したが、インダクタ１４が１つだけ実装される回路基板や、３つ以上のインダクタ１４が並列接続されて実装される回路基板に対する検査を行うこともでき、この場合においても、上記した効果を実現することができる。また、２つ以上のインダクタ１４が直列接続される回路基板に対する検査を行う際にも上記した効果を実現することができる。
【００５７】
また、物理量としてのインダクタンスの測定値に基づいて検査を行う構成および方法について上記したが、物理量としてのインピーダンスの測定値に基づいて検査を行う構成および方法を採用することもできる。具体的には、検査対象が、抵抗成分とインダクタンス成分とを有するインダクタや、インダクタおよび抵抗の複合素子などの場合において、実装位置に磁界が印加されていない状態および磁界が印加されている状態の両状態において物理量としてのインピーダンスを測定し、両状態において測定部３によってそれぞれ測定されたインピーダンスの各値に基づいて上記したように検査することで検査対象の実装の有無を判別することができる。
【００５８】
また、導体パターンに接続されたコンデンサを有する回路において、導体パターンがインダクタとして作用するときには、この回路全体をインダクタンス成分を有する検査対象とみなすことができる。この場合、コンデンサとインダクタ成分としての導体パターンとによって共振回路が構成される。この共振回路の共振周波数は、インダクタンス成分のインダクタンス値によって変化する。また、上記したように、インダクタンス成分のインダクタンス値は、磁界の印加状態と非印加状態とで異なる。このため、共振回路に供給する交流信号の周波数を変化させつつインピーダンスを測定してインピーダンスの測定値が急激に変化する転換点の周波数（共振周波数に近い周波数）を物理量として求める処理を、磁界の印加状態と非印加状態とで実行し、両状態における転換点の周波数の変化（比率や差分値）に基づいて検査対象（この例では、コンデンサを有する回路）の実装の有無を判別することができる。
【符号の説明】
【００５９】
１，１０１  検査装置
３  測定部
４，８  磁界印加部
５  処理部
１４ａ，１４ｂ  インダクタ
４１  永久磁石
４２  移動機構
８１  電流供給部
８２ａ，８２ｂ  電磁石
Ｌｍ，Ｌｍａ，Ｌｍｂ，Ｌｍｒ  インダクタンス値
Ｒｍ，Ｒｍａ，Ｒｍｂ  比率
Ｒｓ，Ｒｓａ，Ｒｓｂ  規定率
Ｓ１  測定用信号
Ｓ２  検出信号
【図１】
2014089070.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2014089070.tif 000007
【図６】
2014089070.tif 000008