(57)【要約】【課題】蓄積するデータ量を低減できる、はんだ付け装置の履歴情報管理システムおよびはんだ付け装置の履歴情報管理方法、並びにはんだ付け装置を提供する。【解決手段】はんだ付け装置の履歴情報管理システムは、基板の識別情報、基板装置内搬入時間および基板装置外搬出時間を含む基板個別情報と、はんだ付け装置を管理するためのはんだ付け装置稼働履歴情報とを記録手段に記録し、はんだ付け装置稼働履歴情報から基板個別情報に対応する履歴情報を切り出して、基板単位の履歴情報を生成する生成する一の情報処理装置を備えるものである。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の識別情報、基板装置内搬入時間および基板装置外搬出時間を含む基板個別情報と、はんだ付け装置を管理するためのはんだ付け装置稼働履歴情報とを記録手段に記録し、
前記はんだ付け装置稼働履歴情報から前記基板個別情報に対応する履歴情報を切り出して、基板単位の履歴情報を生成する一の情報処理装置
を備えたはんだ付け装置の履歴情報管理システム。
【請求項２】
前記一の情報処理装置は、前記はんだ付け装置稼働履歴情報から前記基板個別情報の前記基板装置内搬入時間および前記基板装置外搬出時間の間に対応する前記履歴情報を切り出す請求項１に記載の履歴情報管理システム。
【請求項３】
前記基板個別情報は、基板が前記はんだ付け装置の所定位置を通過した時の所定位置の設定温度および実測温度の情報をさらに含む請求項１〜２の何れかに記載のはんだ付け装置の履歴情報管理システム。
【請求項４】
前記はんだ付け装置稼働履歴情報は、はんだ付け装置の装置内の温度情報を少なくとも含む請求項１〜３の何れかに記載のはんだ付け装置の履歴情報管理システム。
【請求項５】
前記一の情報処理装置は、前記はんだ付け装置稼働履歴情報を日付単位のファイル形式で記録する請求項１〜４の何れかに記載のはんだ付け装置の履歴情報管理システム。
【請求項６】
前記一の情報処理装置は、前記基板個別情報を基板単位のファイル形式で記録する請求項１〜５の何れかに記載のはんだ付け装置の履歴情報管理システム。
【請求項７】
前記はんだ付け装置稼働履歴情報を所定の時間間隔で更新する他の情報処理装置をさらに備え、
前記一の情報処理装置は、前記他の情報処理装置から前記はんだ付け装置稼働履歴情報を所定の時間間隔で読み出して記録する請求項１〜６の何れかに記載のはんだ付け装置の履歴情報管理システム。
【請求項８】
一の情報処理装置が、基板の識別情報、基板装置内搬入時間および基板装置外搬出時間を含む基板個別情報と、はんだ付け装置を管理するためのはんだ付け装置稼働履歴情報とを記録手段に記録し、
前記はんだ付け装置稼働履歴情報から前記基板個別情報に対応する履歴情報を切り出して、基板単位の履歴情報を生成するはんだ付け装置の履歴情報管理方法。
【請求項９】
基板の識別情報、基板装置内搬入時間および基板装置外搬出時間を含む基板個別情報と、はんだ付け装置を管理するためのはんだ付け装置稼働履歴情報とを記録手段に記録し、
前記はんだ付け装置稼働履歴情報から前記基板個別情報に対応する履歴情報を切り出して、基板単位の履歴情報を生成する一の情報処理装置を備えたはんだ付け装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、はんだ付け装置の履歴情報管理システムおよびはんだ付け装置の履歴情報管理方法、並びにはんだ付け装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子部品またはプリント配線基板に対して、予めはんだ組成物を供給しておき、リフロー炉の中に基板を搬送コンベアで搬送し、はんだ付けを行ったり、熱硬化性接着剤によって電子部品を基板上に固定したりするために、リフロー装置が使用されている。
【０００３】
リフロー装置では、温度測定用の熱電対をリフロー装置に取り付け温度データを一定間隔で取得するソフトウェアを用いて、リフロー装置を流れる基板の温度プロファイルを計算してリアルタイムに表示することが行われている。
【０００４】
しかしながら、リフロー装置を流れる基板単位の詳細な温度履歴（例えば、リフロー炉を通過した時間、各ゾーン通過時の印加温度等）等を残すことは行われていない。基板単位の履歴として残している情報としては、リフロー装置を通過したか通過していないかの通過履歴のみを残しているのが現状である。
【０００５】
下記特許文献１には、プリント回線基板毎に、フラックス塗布工程、予熱工程及びはんだ層浸漬工程での処理を行った時点に対応する状態（フラックスの水分量と比重、予熱温度、はんだ層の温度、波高等）を記録する自動はんだ付け装置の制御システムが、記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平５−６７８７３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
基板のトレーサビリディにおいて、はんだ付け装置を通過する基板に対して、基板単位ではんだ付け装置の履歴情報を残すことが求められている。
【０００８】
しかしながら、基板単位ではんだ付け装置の履歴情報を全て保存すると、蓄積するデータ量が膨大な量になってしまう。
【０００９】
したがって、本発明の目的は、はんだ付け装置の履歴情報管理において、蓄積するデータ量を低減できる、はんだ付け装置の履歴情報管理システムおよびはんだ付け装置の履歴情報管理方法、並びにはんだ付け装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上述した課題を解決するために、本発明は、基板の識別情報、基板装置内搬入時間および基板装置外搬出時間を含む基板個別情報と、はんだ付け装置を管理するためのはんだ付け装置稼働履歴情報とを記録手段に記録し、はんだ付け装置稼働履歴情報から基板個別情報に対応する履歴情報を切り出して、基板単位の履歴情報を生成する一の情報処理装置を備えたはんだ付け装置の履歴情報管理システムである。
【００１１】
本発明は、一の情報処理装置が、基板の識別情報、基板装置内搬入時間および基板装置外搬出時間を含む基板個別情報と、はんだ付け装置を管理するためのはんだ付け装置稼働履歴情報とを記録手段に記録し、はんだ付け装置稼働履歴情報から基板個別情報に対応する履歴情報を切り出して、基板単位の履歴情報を生成するはんだ付け装置の履歴情報管理方法である。
【００１２】
本発明は、基板の識別情報、基板装置内搬入時間および基板装置外搬出時間を含む基板個別情報と、はんだ付け装置を管理するためのはんだ付け装置稼働履歴情報とを記録手段に記録し、はんだ付け装置稼働履歴情報から基板個別情報に対応する履歴情報を切り出して、基板単位の履歴情報を生成する一の情報処理装置を備えたはんだ付け装置である。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、はんだ付け装置の履歴情報管理において、蓄積するデータ量を低減できる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】図１は、本発明の履歴情報管理システムが適用されるリフロー装置の断面の概略を示す断面図である。
【図２】図２は、リフロー装置の履歴情報管理システムの全体構成例を示す略線図である。
【図３】図３は、履歴情報管理ＰＣの構成を模式的に示す略線図である。
【図４】図４は、履歴情報管理ＰＣが実行する基板ファイルの作成および保存作業のフローチャートである。
【図５】図５は、履歴情報管理ＰＣに記録されたデータ構造を模式的に示す略線図である。
【図６】図６Ａは、Ａ方式を採用した場合のデータの蓄積量を説明するための略線図である。図６Ｂは、Ｂ方式を採用した場合のデータの蓄積量を説明するための略線図である。
【図７】図７は、基板単位のログファイルの生成作業を説明するためのフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明するなお、説明は、以下の順序で行う。
１．一の実施の形態（はんだ付け装置の履歴情報管理システムの例）
２．他の実施の形態（変形例）
【００１６】
＜はんだ付け装置＞
まず、本発明の一の実施の形態によるはんだ付け装置の履歴情報管理システムの理解を容易にするため、本発明の履歴情報管理システムが適用されるはんだ付け装置の一例であるリフロー装置の構成例について説明する。図１は、本発明の履歴情報管理システムが適用されるリフロー装置の断面の概略を示す断面図である。
【００１７】
図１に示すように、リフロー装置は、基板Ｗを搬送する搬送コンベア１０と、この搬送コンベア１０によって基板Ｗが供給されるリフロー炉２とを備えている。基板Ｗは、例えば、プリント配線基板の両面に表面実装用電子部品が搭載されたもの等の被加熱物である。
【００１８】
リフロー炉２は、例えば、入口３（搬入口）から出口４（搬出口）に至る搬送経路に沿って、複数の炉体が直線的に配列された構成となっている。複数の炉体は、その機能によって、プリヒート部およびリフロー部からなる加熱部と、冷却部とに分けられる。プリヒート部は基板を予熱する部分であり、リフロー部ははんだを溶融させる加熱部である。
【００１９】
プリヒート部およびリフロー部に含まれる炉体の一例は、例えば、上部炉体および下部炉体を有する。例えば上部炉体から基板Ｗに対して熱風が吹きつけられ、下部炉体から基板Ｗに対して熱風が吹きつけられることによって、はんだ組成物内のはんだを溶融させて基板Ｗの電極と電子部品とがはんだ付けされる。
【００２０】
基板Ｗが、搬送コンベア１０の上に置かれ、入口３からリフロー装置の炉体内に搬入される。搬送コンベア１０が所定速度で矢印方向（図１に向かって左から右方向）へ基板Ｗを搬送し、基板Ｗが出口４から取り出される。
【００２１】
入口３から出口４に至る搬送経路に沿って、リフロー炉２が例えば９個のゾーンＺ１からゾーンＺ９に順次分割され、これらのゾーンＺ１〜Ｚ９がインライン状に配列されている。入り口３側から８個のゾーンＺ１〜Ｚ８が加熱ゾーンであり、出口４側の１個のゾーンＺ９が冷却ゾーンである。図示は省略するが、ゾーンＺ９に関連して強制冷却ユニットが設けられている。
【００２２】
上述した複数のゾーンＺ１〜Ｚ９がリフロー時の温度プロファイルにしたがって基板Ｗの温度を制御する。例えば、ゾーンＺ１〜ゾーンＺ８が基板Ｗの加熱の温度制御を受け持ち、ゾーンＺ９が基板Ｗの冷却の温度制御を受け持つ。
【００２３】
リフロー装置には、入口３側に入口センサ１１、出口４側に出口センサ１２が設けられている。入口センサ１１は、炉内に搬入する時間を取得するために、入口センサ１１の下方を通過する基板Ｗを検出するものである。出口センサ１２は、基板Ｗが炉外に搬出する時間を取得するために、基板Ｗが出口センサ１２の下方を通過する基板Ｗを検出するものである。
【００２４】
また、図示は省略するが、リフロー装置には、シリアル番号等の基板の識別情報が格納された、基板Ｗの識別素子を読み取る識別情報読み取り手段、各ゾーンの雰囲気温度を測定する温度センサ（熱電対など）、酸素濃度を測定する酸素濃度センサ等が設けられている。識別素子としては、例えばバーコード、２次元コード、ＩＣ（Integrates Circuit）タグ等が挙げられる。識別情報読み取り手段としては、例えば、バーコードリーダ、ＩＣタグ用リーダ等が挙げられる。
【００２５】
上述のリフロー装置を通過する基板Ｗに関するリフロー装置の履歴情報を、基板単位で管理するために、本発明の履歴情報管理システムが適用される。なお、本発明の履歴情報管理システムが適用されるものは、リフロー装置に限定されるものではない。例えば、フロー装置等の他のはんだ付け装置にも適用して、他のはんだ付け装置の履歴情報も基板単位で管理することができる。
【００２６】
＜履歴情報管理システムの構成＞
本発明の一実施の形態によるはんだ付け装置の履歴情報管理システムの構成の一例として、上述のリフロー装置に適用される履歴情報管理システムについて説明する。図２は、リフロー装置の履歴情報管理システムの全体構成例を示す略線図である。
【００２７】
図２に示すように、複数のリフロー装置１ａ〜１ｅには、各リフロー装置の履歴情報等の表示等を行う情報処理装置（例えば、ＰＣ（Personal Computer）等のコンピュータ等）であるリフロー装置用のリフローＰＣ２０ａ〜２０ｅが設けられている。なお、以下では、リフロー装置１ａ〜１ｅを区別しない場合には、リフロー装置１と称する。リフローＰＣ２０ａ〜２０ｅを区別しない場合にはリフローＰＣ２０と称する。
【００２８】
ＨＵＢ２１は、ＬＡＮ（Local Area Network）ケーブル２２をまとめる集線装置である。リフローＰＣ２０は、ＨＵＢ２１を経由するＬＡＮケーブル２２を介して、履歴情報管理用の情報処理装置（例えば、ＰＣ等のコンピュータ等）であるＰＣ２３（以下では履歴情報管理ＰＣ２３と適宜称する）に接続される。図２の例では、１台の履歴情報管理ＰＣ２３に対して、５台のリフローＰＣ２０が接続され、５台のリフロー装置１の履歴情報が、１台の履歴情報管理ＰＣ２３によって管理される。なお、１台の履歴情報管理ＰＣによって、履歴情報が管理されるリフロー装置１の数は５台に限定されるものではない。
【００２９】
この履歴情報管理システムでは、履歴情報管理ＰＣ２３に対して、リフロー装置１の稼働履歴情報の保存およびリフロー装置１を通過する基板Ｗの基板個別情報の保存が行われる。基板単位の履歴情報を取り出すときには、基板個別情報に基づいて、基板Ｗに対応するリフロー装置１の稼働履歴情報の一部を切り出し、再構築して、基板単位の履歴情報を生成する。これにより、履歴情報管理システムで管理するデータ量を、大幅に低減することができる。
【００３０】
以下、リフロー装置１の稼働履歴情報の保存、基板個別情報の保存および基板単位のログデータの生成について、順次、詳細に説明する。
【００３１】
［リフロー装置の稼働履歴情報の保存］
リフロー装置１には、各種制御のためのセンサ等が組み込まれている。リフロー装置１に搭載したリフローＰＣ２０では、リフロー装置１の稼働中にセンサ等により検出等された各種の情報を集め、画面上に表示している。検出された各種情報は、リフローＰＣ２０に接続された履歴情報管理ＰＣ２３に取り込まれ、履歴情報管理ＰＣ２３の記録手段（例えば、ＰＣ内部のＨＤＤ（Hard Disk Drive）等）に、リフロー装置１の稼働履歴情報として、例えば、所定の時間単位または所定の日にち単位（例えば、１日単位等の所定の日にち単位等）で蓄積される。なお、記録手段は、履歴情報管理ＰＣ２３の内部のＨＤＤに限定されるものではなく、ＰＣ外部に取り付けた外付けＨＤＤであってもよい。また、記録手段は、ＨＤＤに限定されるものではない。
【００３２】
履歴情報管理ＰＣ２３に、リフロー装置１の稼働履歴情報を保存する作業について説明する。リフローＰＣ２０は、例えば、リフロー装置１の装置状態情報ファイル（「temp.dat」）を所定の時間間隔で更新する。リフローＰＣ２０では、例えば、センサ等で検出等されるリフロー装置１の下記に内容の一例を示す、装置状態情報ファイル（「temp.dat」）の項目の現在値の更新が、所定の時間間隔（例えば１秒毎等）で行われている。
【００３３】
「temp.dat」の内容の例
１．各ゾーン上下の温度設定値（冷却部含む）
２．各ゾーン上下の検出温度値（冷却部含む）
３．ブロワー上下の設定値
４．コンベアスピード設定値
５．コンベアスピード検出値
６．Ｏ2濃度設定値
７．Ｏ2濃度検出値
８．電力
９．流量
１０．レシピのファイル
１１．装置内基板枚数
１２．基板生産枚数
１３．入口基板センサー検出フラグ
１４．出口基板センサー検出フラグ
１５．警報データ
１６．各ゾーン上下ヒーター出力
１７．・・・・・・等
【００３４】
なお、上記のファイル「temp.dat」の内容は、あくまでも一例である。リフロー装置１を管理するための情報が、ファイル「temp.dat」に格納される。例えば、リフロー装置１を管理するための、２００〜３００種類等の項目についての情報が、ファイル「temp.dat」に格納される。
【００３５】
図３は、履歴情報管理ＰＣの構成を模式的に示す略線図である。履歴情報管理ＰＣ２３には、例えば、ログ処理ＡＰ（application）およびＩＩＳ（Internet Information Services）が導入されている。ログ処理ＡＰは、装置状態情報ファイル（temp.dat）を一定間隔で読み出し、タイムスタンプを付け履歴情報管理ＰＣ２３の記録手段にログデータとして保存する作業を実行するソフトウェアである。ＩＩＳは、ｈｔｍｌ（Hypertext Markup Language）、ｊａｖａｓｃｒｉｐｔ、ａｓｐ（Application Service Provider）で、クライアントのブラウザ経由で入力された指示に従い、履歴情報管理ＰＣ２３の記録手段に保存されたログデータを加工して、グラフ表示などの作業を実行するＷｅｂサーバー用のソフトウェアである。
【００３６】
履歴情報管理ＰＣ２３は、稼働履歴情報を記録手段に記録することにより、稼働履歴情報の保存を行う。履歴情報管理ＰＣ２３では、例えば、ログ処理ＡＰにより、リフローＰＣ２０から「temp.dat」を所定の時間間隔（例えば、５秒間隔等）で読み出すと共にタイムスタンプを付加して稼働履歴情報として、履歴情報管理ＰＣ２３の記録手段に記録する作業を実行する。稼働履歴情報は、例えば、日付単位で一つのファイルにまとめられて、履歴情報管理ＰＣ２３の記録手段に記録される。なお、履歴情報管理ＰＣ２３では、例えば、ＩＩＳにより、履歴情報管理ＰＣ２３の記録手段に記録された稼働履歴情報を加工して、グラフ表示等の作業を実行することができる。
【００３７】
［基板個別情報の保存］
本発明の履歴情報管理システムでは、リフロー装置１の稼働履歴情報を保存する作業と並行して、履歴情報管理ＰＣ２３に対して、基板単位の基板個別情報の保存が行われる。履歴情報管理ＰＣ２３は、基板個別情報を記録手段に記録することにより、基板単位の基板個別情報の保存を行う。基板個別情報の保存は、リフロー装置１を通過する複数の基板Ｗそれぞれについて行われる。
【００３８】
例えば、基板個別情報は、リフロー装置１の入口センサ１１で基板Ｗを検出してから出口センサ１２で基板Ｗを検出するまでの基板単位の履歴情報である。この基板単位の履歴情報は、少なくとも、基板識別情報と、基板装置内搬入時間と、基板装置外搬出時間とを含む情報である。
【００３９】
基板識別情報は、個々の基板を識別するための情報であり、例えば、基板シリアル番号等が挙げられる。基板シリアル番号は、個々の基板に対して与えられる番号である。基板装置内搬入時間は、基板がはんだ付け装置内に搬入された時間である。基板装置外搬出時間は、基板がはんだ付け装置外に搬出された時間である。リフロー装置１の例では、基板装置内搬入時間として、基板炉内搬入時間が検出され、基板装置外搬出時間として、基板炉外搬出時間が検出される。基板炉内搬入時間は、入口センサ１１により基板Ｗが検出された時間であり、基板Ｗがリフロー炉２内に搬入された時間を示す。基板炉外搬出時間は、出口センサ１２により基板Ｗが検出された時間であり、基板Ｗがリフロー炉２から搬出された時間を示す。
【００４０】
なお、基板個別情報は、例えば、基板Ｗの各ゾーン通過時の各ゾーンの設定温度および実測温度、基板Ｗが通過したリフロー炉２の酸素濃度等のその他の情報が含まれていてもよい。
【００４１】
以下では、基板個別情報が、（１）基板シリアル番号（以下、シリアル番号と略称する場合もある）、（２）基板炉内搬入時間、（３）基板炉外搬出時間（４）各ゾーン通過時の各ゾーンの設定温度および実測温度を含む場合について説明する。
【００４２】
［基板ファイルの作成］
基板個別情報の保存の作業では、履歴情報管理ＰＣ２３は、上述の基板個別情報（１）〜（４）を取得し、これらの情報が格納された基板ファイルを作成し、この基板ファイルを履歴情報管理ＰＣ２３の記録手段に記録し保存する。以下、基板個別情報が格納される基板ファイルの作成および保存作業について説明する。
【００４３】
図４は、履歴情報管理ＰＣが実行する基板ファイルの作成および保存作業のフローチャートを示す。なお、基板ファイルの作成および保存作業は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＯＭ(Read Only Memory)、ＲＡＭ(Random Access Memory)などを備えた履歴情報管理ＰＣ２３において、ＣＰＵ（Central Processing Unit）の制御の下で実行される。ステップＳ１において、履歴情報管理ＰＣ２３は、リフローＰＣ２０からはんだ付け装置であるリフロー装置１のデータ（「temp.dat」）を読み取る。ステップＳ２において、履歴情報管理ＰＣ２３は、バーコードの読み取り値（シリアル番号）が、有るか否かを判定する。バーコードの読み取り値があると判定された場合、ステップＳ３において、履歴情報管理ＰＣ２３は、入口センサ１１で基板Ｗが検出されたか否かを判定する。例えば、入口センサ１１で基板Ｗが検出されたか否かを、履歴情報管理ＰＣ２３が読み取った「temp.dat」の入口基板センサ検出フラグによって判定する。入口センサ１１で基板Ｗが検出されたと判定された場合、ステップＳ４において、履歴情報管理ＰＣ２３は、ステップＳ２で読み取ったバーコード値および基板Ｗがリフロー炉に搬入された基板炉内搬入時間（基板ｉｎ日時）をＲＡＭに記録する。
【００４４】
次に、ステップＳ５において、履歴情報管理ＰＣ２３は、基板炉内搬入時間およびコンベア速度から、基板ＷがゾーンＺ１の温度センサ設置位置に到達する時間（時刻）を計算する。ステップＳ６において、ゾーンＺ１の到達時間が算出された場合、ステップＳ７において、履歴情報管理ＰＣ２３は、その到達時間におけるゾーンＺ１の雰囲気温度（設定温度および実測温度）をＲＡＭに記録する。
【００４５】
次に、ステップＳ８において、ステップＳ６およびステップＳ７と同様の処理を、ゾーンＺ１の次以降の各加熱ゾーン（上述の例ではゾーンＺ２〜ゾーンＺ８）について順次行う。
【００４６】
次に、ステップＳ９において、履歴情報管理ＰＣ２３は、加熱ゾーンの次の冷却ゾーン（上述の例ではゾーンＺ９）の到達時間が算出されたか判定する。冷却ゾーンの到達時間が算出された場合、履歴情報管理ＰＣ２３は、ステップＳ１０において算出されたゾーンＺ９の到達時間における冷却温度（設定温度および実測温度）をＲＡＭに記録する。なお、冷却ゾーンが複数ある場合、最初の冷却ゾーンの次以降の各冷却ゾーンについて、ステップＳ９およびステップＳ１０と同様の処理が行われる。
【００４７】
次に、ステップＳ１１において、履歴情報管理ＰＣ２３は、出口センサ１２で基板Ｗが検出されたか否かを判定する。例えば、出口センサ１２で基板Ｗが検出されたか否かを、履歴情報管理ＰＣ２３が読み取った「temp.dat」の出口基板センサ検出フラグによって判定する。出口センサ１２で基板Ｗが検出されたと判定された場合、ステップＳ１２において、履歴情報管理ＰＣ２３は、出口センサ１２で基板Ｗが検出された基板炉外搬出時間（基板ｏｕｔ日時）をＲＡＭに記録する。そして、ステップＳ１３に移行し、履歴情報管理ＰＣ２３は、上述のステップにおいてＲＡＭに記録された情報を、基板単位のファイル（以下、基板ファイルと称する場合もある）としてまとめ、これを履歴情報管理ＰＣ２３の記録手段に記録する。これにより、基板ファイルの作成および基板ファイルの保存がなされる。
【００４８】
上述のようにして、リフロー装置の稼働履歴情報の保存作業、および基板個別情報の保存作業が実行される。これらの作業を、例えば複数毎の基板、複数日行うことにより、図５に示すように、履歴情報管理ＰＣ２３の記録手段３０には、基板個別情報をまとめた基板ファイルの群３１（基板ファイル群３１）と、リフロー装置の稼働履歴情報を日付単位で一つのファイルにまとめたファイルの群３２（ログデータファイル群３２）とが、記録される。
【００４９】
このように基板個別情報とリフロー装置の稼働履歴情報とを分けて履歴保存する方式（以下、Ａ方式と称する）を採用することにより、基板単位でリフロー装置の稼働履歴情報を保存する方式（以下、Ｂ方式と称する）を採用した場合よりも、履歴管理に必要な蓄積データ量を大幅に低減することができる。
【００５０】
以下では、図面を参照しながら、Ａ方式を採用した場合のデータの蓄積量と、Ｂ方式を採用した場合のデータの蓄積量との比較を行う。図６Ａおよび図６Ｂは、Ａ方式、Ｂ方式を採用した場合のデータの蓄積量の差を説明するための略線図である。図６Ａは、Ａ方式を採用した場合のデータの蓄積量を説明するための略線図であり、図６Ｂは、Ｂ方式を採用した場合のデータの蓄積量を説明するための略線図である。
【００５１】
図６Ａおよび図６Ｂの例では、例えば、時間ｔ１〜ｔ６の間にリフロー装置を流れる以下の４枚の基板の履歴管理に必要な蓄積データ量を比較する。
基板ａ：基板炉内搬入時間ｔ１、基板炉外搬出時間ｔ３
基板ｂ：基板炉内搬入時間ｔ２、基板炉外搬出時間ｔ４
基板ｃ：基板炉内搬入時間ｔ３、基板炉外搬出時間ｔ５
基板ｄ：基板炉内搬入時間ｔ４、基板炉外搬出時間ｔ６
【００５２】
図６Ａおよび図６Ｂにおいて、データｄ1〜ｄNは、所定の時間間隔で更新されるファイル（「temp.dat」）データを示す。例えば、ファイルデータは、所定の時間間隔でｄ1、ｄ2、ｄ3・・・・ｄNに順次更新される。
【００５３】
図６Ａにおいて、基板ファイルｆ１は、基板ａの基板ファイルデータを示す。基板ファイルｆ１には、例えば、基板ａを識別する識別情報、基板炉内搬入時間ｔ１および基板炉外搬出時間ｔ３が含まれている。基板ファイルｆ２は、基板ｂの基板ファイルデータを示す。基板ファイルｆ２には、例えば、基板ｂを識別する識別情報、基板炉内搬入時間ｔ２および基板炉外搬出時間ｔ４が含まれている。基板ファイルｆ３は、基板ｃの基板ファイルデータを示す。基板ファイルｆ３には、例えば、基板ｃを識別する識別情報、基板炉内搬入時間ｔ３および基板炉外搬出時間ｔ５が含まれている。基板ファイルｆ４は、基板ｄの基板ファイルデータを示す。基板ファイルｆ４には、例えば、基板ｄを識別する識別情報、基板炉内搬入時間ｔ４および基板炉外搬出時間ｔ６が含まれている。
【００５４】
Ａ方式では、４枚の基板ａ〜基板ｄの履歴管理に必要な蓄積データは、斜線の部分で示す、時間ｔ１〜ｔ６の間のデータｄ1〜データｄ30および基板ａ〜基板ｄの基板ファイルデータ（基板ファイルｆ１〜基板ファイルｆ４）である。
【００５５】
一方、図６Ｂにおいて、データＤ１は、基板単位でリフロー装置の稼働情報を保存した場合における、基板ａの基板単位のログデータを示す。データＤ１として、時間ｔ１〜時間ｔ３の間のデータｄ1〜データｄ12が保存される。データＤ２は、基板単位でリフロー装置の稼働情報を保存した場合における、基板ｂの基板単位のログデータを示す。データＤ２として、時間ｔ２〜時間ｔ４の間のデータｄ7〜データｄ18が保存される。データＤ３は、基板単位でリフロー装置の稼働情報を保存した場合における、基板ｃの基板単位のログデータを示す。データＤ３として、時間ｔ３〜時間ｔ５の間のデータｄ13〜データｄ24が保存される。データＤ４は、基板単位でリフロー装置の稼働情報を保存した場合における、基板ｄの基板単位のログデータを示す。データＤ４として、時間ｔ４〜時間ｔ６の間のデータｄ19〜データｄ30が保存される。
【００５６】
Ｂ方式では、４枚の基板ａ〜基板ｄの履歴管理に必要な蓄積データは、斜線の部分で示す、基板ａ〜基板ｄの基板単位のログデータ（データＤ１〜データＤ４）である。
【００５７】
斜線部分の合計面積で示されるＡ方式における４枚の基板ａ〜基板ｄの履歴管理に必要な蓄積データ量と、斜線部分の合計面積で示されるＢ方式における４枚の基板ａ〜基板ｄの履歴管理に必要な蓄積データ量とを比較すると、Ａ方式における蓄積データ量の方がＢ方式における蓄積データ量より少ないことは明らかである。したがって、Ａ方式は、Ｂ方式よりも、履歴管理に必要な蓄積データ量を低減できることが分かる。
【００５８】
また、例えば、基板ファイルのデータ量を、１ファイル当たり約１キロバイト、リフロー装置が毎秒更新するログデータファイル（「temp.dat」）のデータ量を、１ファイル当たり約６キロバイトと仮定した場合、１年間で蓄積するデータ量は、Ａ方式およびＢ方式のそれぞれで以下のように算出される。
【００５９】
（Ａ方式）
５秒毎に６キロバイトのログデータファイルのデータ保存をした場合、１年間のログデータファイルのデータ量は、例えば以下のように算出される。
［１年間のログデータファイルのデータ量］
１分間のデータ保存量：６０÷５×６（キロバイト）＝７２（キロバイト／分）
１年＝６０（分）×２４（時間）×（３６５日）＝５２５６００（分）
「１年間のログデータファイルのデータ量」＝５２５６００（分）×７２（キロバイト／分）＝約３８ギガバイト
【００６０】
基板生産数を１日当たり１万枚と仮定した場合、１年間の基板ファイルのデータ量は、例えば以下のように算出される。
［１年間の基板ファイルのデータ量］
１００００（枚／日）×３６５（日）×１（キロバイト／枚）＝約４ギガバイト
【００６１】
Ａ方式による１年間の履歴管理に必要なデータ量は、以下のように算出される。
［Ａ方式による１年間の履歴管理に必要なデータ量］
「１年間のログデータファイルのデータ量」＋「１年間の基板ファイルのデータ量」＝
約３８ギガバイト＋約４ギガバイト＝約４２ギガバイト
【００６２】
（Ｂ方式）
５秒毎に基板がリフロー装置を通過し、リフロー装置内に合計１０枚の基板がはんだ付け処理されていると仮定した場合において、５秒間隔で６キロバイトのログデータファイルの保存が行われる。この場合、１年間のログデータファイルのデータ量は、例えば以下のように算出される。
［１年間のログデータファイルのデータ量］
１分間のデータ保存量：６０÷５×６（キロバイト）＝７２（キロバイト／分）
１年＝６０（分）×２４（時間）×（３６５日）＝５２５６００（分）
「１年間のログデータファイルのデータ量」＝５２５６００（分）×７２（キロバイト／分）＝約３８ギガバイト
【００６３】
そして、上記データ量に同時に流れる基板枚数（１０枚）を掛け合わせたものが、Ｂ方式による１年間の履歴管理に必要なデータ量となる。
【００６４】
「Ｂ方式による１年間の履歴管理に必要なデータ量」
「１年間のログデータファイルのデータ量」×「同時に流れる基板枚数」＝約３８（ギガバイト／枚）×１０（枚）＝約３８０ギガバイト
【００６５】
以上の１年間の履歴管理に必要なデータ量の算出結果（Ａ方式：約４２ギガバイト、Ｂ方式：約３８０ギガバイト）からも、Ａ方式は、Ｂ方式より、履歴管理に必要な蓄積データ量を大幅に低減できることが分かる。
【００６６】
［基板単位の履歴情報の生成］
基板単位の履歴情報を取り出す場合、履歴情報管理ＰＣ２３は、履歴情報管理ＰＣ２３の記録手段に記録されたファイル群から必要なデータを取り出し、基板単位のログファイルを生成する。基板単位のログファイルの生成作業は、例えば、以下のように実行される。
【００６７】
図７は、基板単位のログファイルの生成作業を説明するためのフローチャートである。なお、基板ログファイルの生成作業は、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭなどを備えた履歴情報管理ＰＣ２３において、ＣＰＵの制御の下で実行される。ステップＳ２１において、履歴情報管理ＰＣ２３に対して、基板シリアル番号が入力される。次に、ステップＳ２２において、履歴情報管理ＰＣ２３は、記録手段に記録されたデータ（基板ファイル群）の中から、基板シリアル番号に合致した基板ファイルを検索する。
【００６８】
次に、ステップＳ２３において、履歴情報管理ＰＣ２３は、検索された基板ファイルから、基板炉内搬入時間（基板ｉｎ日時）および基板炉外搬出時間（基板ｏｕｔ日時）を読み出す。次に、ステップＳ２４において、履歴情報管理ＰＣ２３は、基板ファイルに格納された日付データと合致する日付のリフロー装置のログデータファイルを検索する。
【００６９】
次に、ステップＳ２５において、履歴情報管理ＰＣ２３は、検索されたリフロー装置のログデータファイルから、基板Ｗの基板炉内搬入時間および基板炉外搬出時間の間のログデータの切り出しを行う。
【００７０】
次に、ステップＳ２６において、履歴情報管理ＰＣ２３は、切り出したログデータから基板単位のログファイルを生成する。例えば、切り出したログデータをＣＳＶファイルにまとめることで、基板単位のログファイルを生成する。なお、ＣＳＶファイルとは、数値やテキスト等のデータをカンマで区切った形式のファイルである。
【００７１】
履歴情報管理ＰＣ２３では、この基板単位のログファイルおよび基板ファイルのうちの少なくとも基板単位のログファイルから必要な情報を選別し、グラフ表示などを実行することができる。これにより、履歴情報管理ＰＣ２３では、基板単位の履歴情報の取り出しを実行することができる。
【００７２】
２．他の実施の形態
本発明は、上述した本発明の実施の形態に限定されるものでは無く、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で様々な変形や応用が可能である。
【００７３】
例えば、上述の実施の形態において挙げた数値、構造、形状、材料、原料、製造プロセス等はあくまでも例に過ぎず、必要に応じてこれらと異なる数値、構造、形状、材料、原料、製造プロセス等を用いてもよい。
【００７４】
また、上述の実施の形態の構成、方法、工程、形状、材料および数値等は、本発明の主旨を逸脱しない限り、互いに組み合わせることが可能である。
【符号の説明】
【００７５】
１、１ａ〜１ｅ・・・・リフロー装置
２・・・・リフロー炉
３・・・入口
４・・・出口
１０・・・搬送コンベア
１１・・・入口センサ
１２・・・出口センサ
２３・・・履歴情報管理ＰＣ
２０、２０ａ〜２０ｅ・・・リフローＰＣ
３０・・・記録手段
Ｗ・・・基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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