(57)【要約】      （修正有）【課題】加工や部品交換や部品管理などの各種作業工数、部品点数、作業スペースなどを削減でき、比較的安価で小型化が図れる洗浄機構を提供する。【解決手段】一端Ｃは端部が開口された筒状体１０１、他端Ｄは前記筒状体の他端を支持するベース１０２として形成され、前記筒状体１０１の開口端近傍の側壁には外部と連通する穴１０３が設けられ、前記ベース１０２の底面１０４および側面１０６には前記筒状体と連通するポート用の穴１０５，１０７が設けられた本体１０と、両端が開口されてその外周面と前記本体の筒状体およびベースの内壁との間にポート用の穴１０７に連通する隙間Ｇが形成されるようにしたパイプ１１とで構成され、前記本体の筒状体１０１端部が洗浄対象容器内部に挿抜され、前記一方のポート１０７から洗浄用気体が導入され、他方のポート１０５から洗浄用気体を排出する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一端は端部が開口された筒状体として形成され、他端は前記筒状体の他端を支持するベースとして形成され、前記筒状体の開口端近傍の側壁には外部と連通する穴が設けられ、前記筒状体の長手方向と直交する前記ベースの底面および前記筒状体の長手方向と平行な前記ベースの側面には前記筒状体と連通するポート用の穴が設けられた本体と、
両端が開口されてその外周面と前記本体の筒状体およびベースの内壁との間に前記ベースの側面に設けられたポート用の穴に連通する隙間が形成されるようにして前記本体の筒状体およびベースの内部に収納され、一端は前記ベースの底面に設けられたポート用の穴に固着されて他端は前記筒状体の開口端近傍に固着されたパイプとで構成され、
前記本体の筒状体端部が洗浄対象容器内部に挿抜され、前記一方のポートから洗浄用気体が導入され、他方のポートから洗浄用気体が排出されることを特徴とする洗浄機構。
【請求項２】
前記洗浄対象容器は、圧力計を構成する圧力容器であることを特徴とする請求項１に記載の洗浄機構。
【請求項３】
前記洗浄用の気体は、空気であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の洗浄機構。
【請求項４】
前記洗浄用の気体は、不活性ガスであることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の洗浄機構。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、洗浄機構に関し、詳しくは、ノズルによる容器の洗浄に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
たとえば圧力計の一種に、圧力計の圧力容器に被測定圧力を伝達する圧力媒体が、気体と液体のいずれであっても安定に動作するように構成されたものがある。
【０００３】
このような圧力計において、圧力媒体が気体と液体のいずれであっても安定に動作するように構成されているとはいうものの、圧力容器内部に液体が残留している状態で内部に被測定圧力としての気体を加えた場合には、残留液体は気体の圧力測定に対する誤差要因となり、気体の圧力を正しく測定できない。
【０００４】
図４は残留液体を洗浄できるように構成された従来の圧力容器の一例を示す構成説明図であり、（Ａ）斜視図、（Ｂ）は（Ａ）の断面図である。図４において、圧力容器１の内部には受圧体１１が内包され、平面Ａには圧力容器１の内部に連通するポート用の第１の取付穴１２が設けられた突起部１３が形成され、側面Ｂには圧力容器１の内部に連通するポート用の第２の取付穴１４が設けられている。これら第１の取付穴１２および第２の取付穴１４の開口端の内周には、それぞれネジ溝が設けられている。
【０００５】
第１の取付穴１２の内周に設けられたネジ溝には、継手２が、その一端２１の外周に設けられたネジ溝を螺合することにより取り付けられている。
【０００６】
継手２の他端２２の内周にもネジ溝が設けられていて、このネジ溝には、パイプ３が、その一端３１の外周に設けられたネジ溝を螺合することにより取り付けられている。
【０００７】
パイプ３の他端３２の外周にもネジ溝が設けられていて、このネジ溝には、継手４が、その一端４１の内周に設けられたネジ溝を螺合することにより取り付けられている。
【０００８】
継手４の他端４２の外周にもネジ溝が設けられていて、このネジ溝には、第１のポート５が、その一端５１の内周に設けられたネジ溝を螺合することで取り付けられている。
【０００９】
第２の取付穴１４の内周に設けられたネジ溝には、継手６が、その一端６１の外周に設けられたネジ溝を螺合することにより取り付けられている。
【００１０】
継手６の他端６２の内周にもネジ溝が設けられていて、このネジ溝には、パイプ７が、その一端７１の外周に設けられたネジ溝を螺合することにより取り付けられている。
【００１１】
パイプ７の他端７２の外周にもネジ溝が設けられていて、このネジ溝には、継手８が、その一端８１の内周に設けられたネジ溝を螺合することにより取り付けられている。
【００１２】
継手８の他端８２の外周にもネジ溝が設けられていて、このネジ溝には、第２のポート９が、その一端９１の内周に設けられたネジ溝を螺合することで取り付けられている。
【００１３】
このような構成において、通常の圧力測定にあたっては、圧力容器１のいずれか一方の取付穴（たとえば第１の取付穴１２）に被測定圧力によって加圧されている気体や液体などの圧力媒体が流れる圧力系統を接続して受圧体１１に被測定圧力を導入し、他方の取付穴（たとえば第２の取付穴１４）は栓ネジを螺合して圧力媒体が漏出しないように密封する。
【００１４】
圧力容器１の内部を洗浄する場合には、図４に示すように、圧力容器１の第１の取付穴１２に継手２と４およびパイプ３を介してポート５を取り付け、第２の取付穴１４に継手６と８およびパイプ７を介してポート９を取り付ける。
【００１５】
そして、いずれか一方のポート（たとえばポート５）から洗浄用の空気を導入して圧力容器１の内部を洗浄し、圧力容器１の内部の洗浄対象物を含む空気を他方のポート（たとえばポート９）から排出する。
【００１６】
特許文献１には、半導体製造工程のレジスト塗布装置に用いられる二重管構造を有するノズル洗浄機能付きレジスト吐出ノズルの技術が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１７】
【特許文献１】特開平６−２６０４０５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１８】
しかし、このような従来の構成によれば、圧力容器１の内部洗浄に備えて、圧力容器１に２個の取付穴１２、１４を設けてそれぞれの内周にネジ溝を設けなければならないことから、加工工数が増えるという問題がある。
【００１９】
また、圧力容器１の内部洗浄時には、圧力測定時に圧力媒体が漏出しないようにいずれか一方の取付穴に螺合密封している栓ネジを取り外して継手およびパイプを介して排気用のポートを取り付けなければならないことから部品点数が多くなる。
【００２０】
また、排気用のポートは洗浄用の空気を導入するポートと直交する方向に取り付けられることから、２方向にこれらポートが取り付けられた圧力容器１を作業性よく取り扱うためには圧力容器１の周辺に圧力容器１単体に比べてかなり広い作業用スペースを確保しなければならず、圧力容器１の内部洗浄を行える場所は必要な作業用スペースの有無によって制限されることになる。
【００２１】
さらに、動作モードを圧力測定と内部洗浄を切り替えるたびに栓ネジとポートも着脱交換しなければならないことからこれらを交換するための作業工数が発生し、動作モードによっては使わない部品を保管するスペースと工数も必要になる。
【００２２】
本発明は、これらの問題を解決するものであり、その目的は、加工や部品交換や部品管理などの各種作業工数、部品点数、作業スペースなどを削減でき、比較的安価で小型化が図れる洗浄機構を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２３】
このような課題を達成するために、本発明のうち請求項１記載の発明は、
一端は端部が開口された筒状体として形成され、他端は前記筒状体の他端を支持するベースとして形成され、前記筒状体の開口端近傍の側壁には外部と連通する穴が設けられ、前記筒状体の長手方向と直交する前記ベースの底面および前記筒状体の長手方向と平行な前記ベースの側面には前記筒状体と連通するポート用の穴が設けられた本体と、
両端が開口されてその外周面と前記本体の筒状体およびベースの内壁との間に前記ベースの側面に設けられたポート用の穴に連通する隙間が形成されるようにして前記本体の筒状体およびベースの内部に収納され、一端は前記ベースの底面に設けられたポート用の穴に固着されて他端は前記筒状体の開口端近傍に固着されたパイプとで構成され、
前記本体の筒状体端部が洗浄対象容器内部に挿抜され、前記一方のポートから洗浄用気体が導入され、他方のポートから洗浄用気体が排出されることを特徴とする洗浄機構である。
【００２４】
請求項２記載の発明は、請求項１に記載の洗浄機構において、
前記洗浄対象容器は、圧力計を構成する圧力容器であることを特徴とする。
【００２５】
請求項３記載の発明は、請求項１または請求項２に記載の洗浄機構において、
前記洗浄用の気体は、空気であることを特徴とする。
【００２６】
請求項４記載の発明は、請求項１または請求項２に記載の洗浄機構において、
前記洗浄用の気体は、不活性ガスであることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２７】
これらにより、洗浄対象容器の内部に連通するポート用の穴を１個にすることができるとともに洗浄機構全体の部品点数を削減でき、比較的安価で小型化が図れる洗浄機構を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明の一実施例を示す構成説明図である。
【図２】本発明に基づく洗浄機構の使用例を示す説明図である。
【図３】図２の使用例における洗浄用気体の循環経路の説明図である。
【図４】残留液体を洗浄するように構成された従来の圧力容器の一例を示す構成説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
以下、本発明について、図面を用いて詳細に説明する。図１は本発明に基づく洗浄機構の一実施例を示す構成説明図であり、（Ａ）は斜視図、（Ｂ）は（Ａ）の拡大断面図である。図１において、本体１０の一端Ｃは端部が開口された筒状体１０１として形成され、他端Ｄは筒状体１０１の他端を支持する断面形状が６角形のベース１０２として形成されている。
【００３０】
筒状体１０１の開口端近傍の側壁には外部と連通する複数の穴１０３が設けられ、筒状体１０１の長手方向と直交するベース１０２の底面１０４には筒状体１０１と連通するポート用の穴１０５が設けられ、筒状体１０１の長手方向と平行なベース１０２の側面１０６には筒状体１０１と連通するポート用の穴１０７が設けられている。
【００３１】
本体１０の筒状体１０１およびベース１０２の内部には、両端が開口されたパイプ１１が取り付けられている。
【００３２】
パイプ１１の外径は、その外周面と本体１０の筒状体１０１およびベース１０２の内壁との間にベース１０２の側面に設けられたポート用の穴１０７に連通する隙間Ｇが形成されるように、筒状体１０１の内径よりもやや小さく形成されている。このパイプ１１の一端１１１はベース１０２の底面に設けられたポート用の穴１０６に固着され、他端１１２は筒状体１０１の開口端近傍の内壁に固着されている。
【００３３】
図２はこのように構成される本発明に基づく洗浄機構の使用例の説明図であり、（Ａ）は斜視図、（Ｂ）は（Ａ）の拡大断面図である。図２において、圧力容器２０の平面Ｅには突起部２１が形成されていて、この突起部２１には圧力容器２０の内部に連通する唯一のポート用の穴２２が設けられている。なお、ポート用の穴２２の開口端の内周にはネジ溝が設けられている。
【００３４】
洗浄機構の本体１０の筒状体１０１の端部は、図２（Ｂ）に示すように、開口端近傍の側壁に設けられている複数の穴１０３が洗浄対象となる圧力容器２０の内部に連通する状態になるまで圧力容器２０の内部に挿入される。
【００３５】
図３は図２（Ｂ）の破線で示した円部分Ｆの拡大図であって、本発明に基づく洗浄機構における洗浄用気体の循環経路説明図である。筒状体１０１の開口端近傍の側壁に設けられている複数の穴１０３が洗浄対象となる圧力容器２０の内部に連通した状態でポート１０７から洗浄用気体が導入されと、洗浄用気体は筒状体１０１の開口端近傍の側壁に設けられている複数の穴１０３から圧力容器２０の内部に噴射されて圧力容器２０の内部を還流しながら洗浄し、圧力容器２０の内部を還流しながら洗浄した洗浄用気体はポート１０５から排出される。
【００３６】
ここで、洗浄機構の本体１０の筒状体１０１およびベース１０２の内部には両端が開口されたパイプ１１が取り付けられてベース１０２にはポート用の穴１０５と１０７が設けられ、ポート用の穴１０５はパイプ１１の内部に連通してポート用の穴１０７は筒状体１０１の内壁とパイプ１１の外側との間の間隙に連通した二重管構造として形成されているので、洗浄対象となる圧力容器２０の突起部２１にその内部に連通する唯一のポート用の穴２２を設けるだけでよく、図４に示す従来の構造と比較して加工工数を削減できる。
【００３７】
圧力容器１の内部洗浄時にはその内部に連通する唯一のポート用の穴２２に洗浄機構を挿入し、圧力測定時にはこの洗浄機構に代えて図示しない圧力測定用機構を挿入すればよく、従来のような栓ネジの着脱は不要であり、栓ネジに伴う管理工数も削減できる。
【００３８】
また、圧力容器１の内部を洗浄するための空気の導入路と洗浄した空気の排気路を平行な同一方向に設けているので、洗浄作業に必要な作業用スペースを従来に比べて大幅に削減でき、圧力容器１の内部洗浄が行える場所選択の自由度を大幅に改善できる。
【００３９】
なお、上記実施例では、圧力容器１の内部を洗浄する例について説明したが、これに限るものではなく、その他種々のサイズや形状の密閉容器の洗浄についても、基本構成を踏襲したうえで洗浄機構のサイズを変更することにより対応できる。
【００４０】
また、上記実施例では、本体１０のベース１０２の断面形状が６角形の例を示しているが、断面形状はこれに限るものではなく、円形や円形の円弧の少なくとも一部を軸方向に沿って平行に切除した形状や三角形を含む多角形であってもよい。
【００４１】
以上説明したように、本発明に基づく洗浄機構によれば、加工や部品交換や部品管理などの各種作業工数、部品点数、作業スペースなどを削減でき、比較的安価で小型化が図れる洗浄機構を実現できる。
【符号の説明】
【００４２】
１０  本体
１０１  筒状体
１０２  ベース
１０３、１０５、１０７  穴
１０４  底面
１０６  側面
１１  パイプ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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