(57)【要約】  本発明に係る超音波洗浄器は、ＢＬＴ１００の超音波振動を拡大するための振動部２２２を洗浄槽２１１内の側面側に備え、ＢＬＴ１００を駆動することで洗浄槽２１１内に供給された洗浄液に対して超音波振動によるキャビテーションをノズルの周囲にムラなく発生させ、効果的なノズル洗浄を可能とする。
2017002740.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料又は試薬を吸引するノズルと、
前記ノズルを洗浄する洗浄槽と、
超音波を発生させる超音波洗浄器と、
前記超音波洗浄器の駆動制御を行う制御部と、を備え、
前記超音波洗浄器は、
前記洗浄槽内の洗浄液に挿入され、超音波振動を洗浄液に伝搬させる振動部と、
圧電素子を２つ以上の金属ブロックをボルトで締結して固定した構成であり、かつ、前記振動部に超音波振動を発生させる超音波振動子と、を備え、
前記制御部は、前記振動部に超音波振動を発生させることにより、前記ノズルの洗浄を行うことを特徴とする自動分析装置。
【請求項２】
請求項１記載の自動分析装置において、
前記振動部は、前記ノズルを挿入する中空部を有し、
前記制御部は、前記中空部に前記ノズルを挿入した状態で前記振動部に超音波振動を発生させることにより、前記ノズルの洗浄を行うことを特徴とする自動分析装置。
【請求項３】
請求項２記載の自動分析装置において、
前記振動部は、前記中空部を介して対向する２つの面を備えることを特徴とする自動分析装置。
【請求項４】
請求項３記載の自動分析装置において、
前記振動部の前記２つの面は前記振動部の振動方向で対向することを特徴とする自動分析装置。
【請求項５】
請求項４記載の自動分析装置において、
前記振動部は前記中空部の周囲を全て囲む形状を有し、前記２つの面は前記形状の内壁面であることを特徴とする自動分析装置。
【請求項６】
請求項１記載の自動分析装置において、
前記振動部は、前記金属ブロックの側面と前記洗浄槽の上方で固定され、
前記洗浄槽内の洗浄液に挿入させる前記振動部の先端は、前記側面の水平方向の振動に伴い自由端として振動することを特徴とする自動分析装置。
【請求項７】
請求項１記載の自動分析装置において、
さらに、前記圧電素子と前記振動部の間に放熱部を備えることを特徴とする自動分析装置。
【請求項８】
請求項７記載の自動分析装置において、
さらに、前記超音波振動子と前記振動部の間に配置された金属製の板ばねと、前記洗浄槽を含む洗浄器ベースとが固定され、前記放熱部は、前記板ばね及び前記洗浄器ベースであることを特徴とする自動分析装置。
【請求項９】
請求項７記載の自動分析装置において、
さらに、前記振動部よりも前記圧電素子に近い側に配置された金属部材と、振動子ベースとが固定され、前記放熱部は、前記金属部材及び前記振動子ベースであることを特徴とする自動分析装置。
【請求項１０】
請求項７記載の自動分析装置において、
さらに、前記超音波振動子内に流体を流すための流路を備え、
前記放熱部は、前記流路であることを特徴とする自動分析装置。
【請求項１１】
請求項１記載の自動分析装置において、
さらに、前記洗浄槽に接続された、洗浄液および水を供給する配管を備え、
前記制御部は、前記配管を介して、前記洗浄槽に洗浄液および水を供給する制御を行い、
前記制御部は、前記超音波洗浄器の駆動制御を行っていないタイミングで、前記洗浄槽に水を供給する制御を行い、前記洗浄槽の開口部から当該水をオーバーフローで排出することを特徴とする自動分析装置。
【請求項１２】
請求項１記載の自動分析装置において、
さらに、前記超音波振動子の共振周波数を測定する共振周波数測定手段を備え、
前記共振周波数測定手段が測定した共振周波数に応じて、前記制御部は、前記洗浄槽へ挿入予定であった前記ノズルの制御を、中断することを特徴とする自動分析装置。
【請求項１３】
請求項１記載の自動分析装置において、
さらに、前記ノズルの温度を測定する温度測定手段を備え、
前記温度測定手段が測定した温度に応じて、前記制御部は、次に予定していた試料吸引動作の制御を、中断することを特徴とする自動分析装置。
【請求項１４】
請求項１記載の自動分析装置において、
さらに、前記超音波振動子の共振周波数を測定する共振周波数測定手段又は前記ノズルの温度を測定する測定手段のいずれかの測定手段を備え、
前記測定手段の測定結果に応じて、前記ノズルに内洗水と外洗水とを接触させることで前記ノズルの熱を放熱させることを特徴とする自動分析装置。
【請求項１５】
請求項１記載の自動分析装置において、
前記振動部は、前記超音波振動子が振動した際に、洗浄槽内に挿入された前記振動部が共振振動する共振点を２０〜１００ｋＨｚの範囲内に有し、
前記制御部は、前記中空部に前記ノズルを挿入した状態で前記振動部を２０〜１００ｋＨｚで振動させることにより、前記ノズルの洗浄を行うことを特徴とする自動分析装置。
【請求項１６】
請求項１５記載の自動分析装置において、
前記超音波振動子は共振点を２０〜１００ｋＨｚの範囲内に有し、
前記超音波振動子の共振点と前記振動部の共振点との差の絶対値は１０ｋＨｚ以下であることを特徴とする自動分析装置。
【請求項１７】
請求項１６記載の自動分析装置において、
前記振動部は、前記振動部が２次振動モードで共振振動する共振点を２０〜１００ｋＨｚの範囲内に有し、
前記制御部は、前記振動部が２次振動モードで振動する周波数で前記超音波振動子を振動させることで、前記ノズルの洗浄を行うことを特徴とする自動分析装置。
【請求項１８】
請求項１記載の自動分析装置において、
前記ノズルを前記洗浄槽内の洗浄液に挿入する前に、前記超音波洗浄器を駆動することで前記洗浄槽内の洗浄液の温度を常温よりも高い温度とし、当該常温よりも高い温度の洗浄液に前記ノズルを挿入して超音波洗浄を行うことを特徴とする自動分析装置。
【請求項１９】
請求項１８記載の自動分析装置において、
前記制御部は、前記ノズルの駆動を制御し、
前記制御部は、前記超音波洗浄器の駆動タイミング若しくは前記ノズルの前記洗浄槽内の洗浄液に対する挿抜タイミングを制御することで、前記常温よりも高い温度のうち一定範囲の温度内で前記ノズルの超音波洗浄を行うことを特徴とする自動分析装置。
【請求項２０】
請求項１９記載の自動分析装置において、
前記制御部は、前記自動分析装置のメンテナンス動作やリセット動作の際に、前記超音波洗浄器の駆動時間と洗浄液の温度上昇との関係を記憶し、前記関係に基づき前記駆動タイミング若しくは前記挿抜タイミングを制御することで、前記一定範囲の温度内で前記ノズルの超音波洗浄を行うことを特徴とする自動分析装置。
【請求項２１】
請求項１８記載の自動分析装置において、
前記制御部は、前記洗浄槽内の洗浄液を置換する制御を行い、
さらに、前記洗浄槽内の洗浄液の液温を測定する計測部を備え、
前記制御部は、前記計測部の測定温度が正常範囲を超えたと判断したときに、前記洗浄槽内の洗浄液を置換することを特徴とする自動分析装置。
【請求項２２】
請求項２１記載の自動分析装置において、
前記制御部は、前記計測部の測定温度が正常範囲を超えたと判断したときに、前記超音波洗浄器の異常を報知することを特徴とする自動分析装置。
【請求項２３】
請求項１記載の自動分析装置において、
前記制御部は、前記洗浄槽内の洗浄液を前記洗浄槽外にオーバーフローさせ、新たな洗浄液を前記洗浄槽内に導入する第１の制御を行い、
前記制御部は、前記第１の制御を行う間に、前記ノズルの超音波洗浄を行うことを特徴とする自動分析装置。
【請求項２４】
請求項１記載の自動分析装置において、
前記振動部は、前記金属ブロックの１つに固定され、
前記振動部が固定された金属ブロックは、前記振動部に向かって径が連続的に小さくなるホーン形状を備えることを特徴とする自動分析装置。
【請求項２５】
請求項１記載の自動分析装置において、
さらに、試料および試薬との混合液を収容する反応セルを有する反応ディスクと、該混合液を測定する測定部と、を備えることを特徴とする自動分析装置。
【請求項２６】
請求項１記載の自動分析装置において、
さらに、前記洗浄槽に洗浄液を供給する管を有し、
前記管の前記洗浄槽側の出口は前記振動部の底の真下に配置されていることを特徴とする自動分析装置。
【請求項２７】
洗浄槽内の洗浄液に挿入され、超音波振動を洗浄液に伝搬させる振動部と、
圧電素子を２つ以上の金属ブロックをボルトで締結して固定した構成であり、かつ、前記振動部に超音波振動を発生させる超音波振動子と、
前記超音波振動子の駆動制御を行う制御部と、を備え、
前記制御部は、前記振動部に超音波振動を発生させることにより、試料又は試薬を吸引するノズルの洗浄を行うことを特徴とする超音波洗浄器。
【請求項２８】
請求項２７記載の超音波洗浄器において、
前記振動部は、前記ノズルを挿入する中空部を有し、
前記制御部は、前記中空部に前記ノズルを挿入した状態で前記振動部に超音波振動を発生させることにより、前記ノズルの洗浄を行うことを特徴とする超音波洗浄器。
【請求項２９】
請求項２８記載の超音波洗浄器において、
前記振動部は、前記中空部を介して対向する２つの面を備えることを特徴とする超音波洗浄器。
【請求項３０】
請求項２８記載の超音波洗浄器において、
前記振動部は、前記超音波振動子が振動した際に、洗浄槽内に挿入された前記振動部が共振振動する共振点を２０〜１００ｋＨｚの範囲内に有し、
前記制御部は、前記中空部に前記ノズルを挿入した状態で前記振動部を２０〜１００ｋＨｚで振動させることにより、前記ノズルの洗浄を行うことを特徴とする超音波洗浄器。
【請求項３１】
請求項３０記載の超音波洗浄器において、
前記振動部は、前記振動部が２次振動モードで共振振動する共振点を２０〜１００ｋＨｚの範囲内に有し、
前記制御部は、前記振動部が２次振動モードで振動する周波数で前記超音波振動子を振動させることで、前記ノズルの洗浄を行うことを特徴とする超音波洗浄器。
【請求項３２】
請求項２８記載の超音波洗浄器において、
前記振動部は、前記金属ブロックの１つに固定され、
前記振動部が固定された金属ブロックは、前記振動部に向かって径が小さくなるホーン形状を備えることを特徴とする超音波洗浄器。
【請求項３３】
上部にノズルの挿入口を有し内部に液体を貯めることが可能な洗浄槽と、
前記洗浄槽内の側面側に設けられた振動部と、
前記振動部に接続された超音波振動子と、を有し、
前記超音波振動子は前記振動部を水平方向に振動させ、
前記ノズルは前記振動部の振動に基づき洗浄されることを特徴とする超音波洗浄器。 
【請求項３４】
請求項３３記載の超音波洗浄器において、
前記振動部は、前記ノズルに沿って延在する形状であり、前記洗浄槽に挿入される第１部位を有し、
前記超音波振動子は、前記第１部位の上方の第２部位を介して、前記第１部位を水平方向に振動させることを特徴とする超音波洗浄器。
【請求項３５】
請求項３３記載の超音波洗浄器において、
前記振動部は、前記洗浄槽の側面に備えられたダイアフラムであって、
前記洗浄槽の中の液体の液位は前記ダイアフラムの中心線の高さに前記ノズルの洗浄範囲の長さを足し合わせた位置より低く、
前記洗浄槽に前記ノズルを挿入した時の前記ノズルの先端は前記ダイアフラムの中心線以下となるように挿入し洗浄を行なうことを特徴とする超音波洗浄器。
【請求項３６】
請求項３３記載の超音波洗浄器において、
前記振動部は、前記洗浄槽の側面に備えられ、上部がカットされた形状のダイアフラムであって、
前記カットされたダイアフラムの少なくとも１辺は自由端であることを特徴とする超音波洗浄器。
【請求項３７】
請求項３３記載の超音波洗浄器において、
前記洗浄槽の液体が貯水される部分を円錐型としたことを特徴とする超音波洗浄器。
【請求項３８】
請求項３３記載の超音波洗浄器は、
前記洗浄槽の下部に洗浄液や水を供給する配管と、前記洗浄槽の上部に洗浄槽内の液体をオーバーフローするための受け皿と、を有し、
液体が前記洗浄槽内に供給されることで洗浄槽内の液体をオーバーフローによって交換することができることを特徴とする超音波洗浄器。
【請求項３９】
請求項３８記載の超音波洗浄器において、
超音波洗浄を利用するときのみ洗浄するための液体を前記洗浄槽に供給し、超音波洗浄を利用しないときには水を供給し前記洗浄槽内に貯めておくことを特徴とする超音波洗浄器。
【請求項４０】
請求項３３記載の超音波洗浄器を備えた自動分析装置において、
オペレーション中は次に扱うサンプルが同一であるかを判断し、
次に扱うサンプルが同一サンプルのときには水洗浄のみを行い、次に扱うサンプルが別サンプルのときには前記超音波洗浄器を使った洗浄と水洗浄を行うことを特徴とする自動分析装置。
【請求項４１】
請求項４０記載の自動分析装置において、
オペレーション状態とメンテナンス状態で、前記超音波洗浄器の洗浄時間や前記ノズルの挿入深さが異なるパラメータを有することを特徴とする自動分析装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、血清や尿などの試料と試薬を混ぜ合わせることで成分分析等を行う自動分析装置において、試料や試薬を吸引するノズルを洗浄するための超音波洗浄器に関する。
【背景技術】
【０００２】
自動分析装置では、同一ノズルを繰り返し使用してサンプルを分注するため、別の試料を吸引する前にはノズル先端の洗浄を行う。ノズル先端の洗浄が不十分であると、前の試料成分を次の試料に持ち込んでしまい、測定精度が悪化する（キャリーオーバ）。この一方で、高スループット性能の自動分析装置では高速に分注処理を行うため、ノズル洗浄に十分な時間を使えない。より効果的にノズルを洗浄する方法として特許文献１には、ボルト締めランジュバン振動子（以後、ＢＬＴ（Bolt-clamped Langevin Type Transducer）とも呼ぶ）を洗浄槽の底部に備えた超音波洗浄器を用いて、液中に発生したキャビテーションでノズルに付着した汚れ（前サンプルの残留物）を除去する方法が開示されている。【０００３】
また、特許文献２では、ノズル用の超音波洗浄器として、圧電素子（振動子アレイ）を円筒状の洗浄槽内に複数配置することでノズルに超音波を収束させる構成が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平４−１６９８５０号公報
【特許文献２】特開２０１０−１３３７２７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
超音波を用いた洗浄においては、一般的に超音波振動子の駆動に使用する周波数帯域（低周波、中周波、高周波）によって得られる洗浄作用が異なり、取れにくい汚れに対しては低周波（２０〜１００ｋＨｚ）が用いられる。低周波では、液中に発生するキャビテーション（液中に生じた圧力差で泡の発生と消滅が起きる現象）を利用している。キャビテーションの発生条件には、駆動周波数によって異なる超音波強度の閾値があり、超音波強度が高いほど強いキャビテーションが得られ洗浄効果が高くなる。また、キャビテーション発生のための超音波強度の閾値は、駆動周波数が高いほど強い超音波の発生が必要であるため、高周波を用いた方法ではほとんどキャビテーションは発生しない。さらに、キャビテーションは、液中に一様に発生するわけではなく、超音波強度の強弱によってキャビテーションの強度も変化する。超音波強度が強くなる領域は、駆動する周波数によって発生する間隔が異なり、液の音速（水では約１５００ｍ／ｓ）を超音波振動子の駆動周波数で割った距離ごとにキャビテーションが強い領域ができる。例えば、５０ｋＨｚで駆動したときには、１波長が３０ｍｍの定在波が生じ、その半波長である１５ｍｍ間隔でキャビテーション強度が強い領域が生じる。【０００６】
例えば、特許文献１のようにＢＬＴを洗浄槽の下部に備えた超音波洗浄器では、キャビテーションの効果を得るため２０〜１００ｋＨｚで駆動するが、キャビテーションが強くなる領域は７．５ｍｍ（１００ｋＨｚ駆動）〜３７．５ｍｍ（２０ｋＨｚ駆動）間隔で生じる。キャビテーション強度は、駆動源であるＢＬＴに近いほど強い。また、キャビテーションが強くなる領域の範囲は狭い。これらの要因から、ノズルの洗浄範囲は限定的となり洗浄ムラが発生しやすい。【０００７】
また、特許文献２には、超音波を発生させる超音波アレイを洗浄槽内部の分注ノズルの周方向および軸方向に複数個並べて配置する洗浄機構が開示されている。この構成によれば、洗浄ムラについては比較的解消できる。しかしながら、超音波アレイでは高い洗浄効果を得るのが困難である。【０００８】
キャビテーションの強度は、主に、振動部材の振幅に依存する。つまり、振動部材の振幅が大きい程、キャビテーションの強度が高まる。先の超音波アレイは、例えば圧電素子を用いていると考えられるが、前述のように、圧電素子そのものが振動部材となる場合には、圧電素子の変形自体を利用するためあまり大きな振幅は期待できない。【０００９】
また、キャビテーションは前述の通り、低周波（２０〜１００ｋＨｚ）で効果的に発生することができるが、圧電素子単体の共振周波数は数ＭＨｚであり、低周波（２０〜１００ｋＨｚ）で駆動した場合は効果的に変形量を得ることができない。一方、変形量を大きくしようとして圧電素子に大きな電圧を印加し過ぎると素子自体が壊れてしまう。従い、高い洗浄効果を得るために圧電素子自体を振動部材とすることは向いていない。【００１０】
上記のように、これまでのノズル洗浄用の超音波洗浄器では洗浄ムラを抑制しつつ高い洗浄効果を得ることが困難であった。【００１１】
そこで、本発明は、洗浄ムラを抑制しつつ高い洗浄効果を得られるノズル用の超音波洗浄器を備えた自動分析装置等を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
代表的な発明を挙げると以下のとおりである。【００１３】
代表的な発明は、試料又は試薬を吸引するノズルと、前記ノズルを洗浄する洗浄槽と、  超音波を発生させる超音波洗浄器と、前記超音波洗浄器の駆動制御を行う制御部と、を備え、前記超音波洗浄器は、前記洗浄槽内の洗浄液に挿入され、超音波振動を洗浄液に伝搬させる振動部と、圧電素子を２つ以上の金属ブロックをボルトで締結して固定した構成であり、かつ、前記振動部に超音波振動を発生させる超音波振動子と、を備え、前記制御部は、前記振動部に超音波振動を発生させることにより、前記ノズルの洗浄を行う自動分析装置である。【００１４】
また、別の代表的な発明は、洗浄槽内の洗浄液に挿入され、超音波振動を洗浄液に伝搬させる振動部と、圧電素子を２つ以上の金属ブロックをボルトで締結して固定した構成であり、かつ、前記振動部に超音波振動を発生させる超音波振動子と、前記超音波振動子の駆動制御を行う制御部と、を備え、前記制御部は、前記振動部に超音波振動を発生させることにより、試料又は試薬を吸引するノズルの洗浄を行う超音波洗浄器である。【００１５】
また、別の代表的な発明は、上部にノズルの挿入口を有し内部に液体を貯めることが可能な洗浄槽と、前記洗浄槽内の側面側に設けられた振動部と、前記振動部に接続された超音波振動子と、を有し、前記超音波振動子は前記振動部を水平方向に振動させ、前記ノズルは前記振動部の振動に基づき洗浄される超音波洗浄器である。【００１６】
本発明の超音波洗浄器では、前記振動部によって拡大される超音波振動によって洗浄槽内の液体に対して強力なキャビテーションを発生でき、さらに前記振動部を側面側に備えることで、洗浄槽の上部の開口部から挿入したノズルに対して横から超音波振動を与えることができる。【００１７】
ここで洗浄槽内の側面側に設けられた振動部とは、洗浄槽の側面自体に設けられたという意味ではなく、挿入口に挿入された分注ノズルを基準として側面側という意味である。すなわち、洗浄槽の側面自体に振動部が設けられている場合と洗浄槽内に振動部が挿入されている場合の両方が含まれる。なお、側面は底面と区別するために用いる用語であり、本明細書で側面という場合には、側面と底面のうちの側面という意味であり底面は含まない用語である。また、側面側という場合も底面側と区別するために用いる用語である。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、高い洗浄効果が得られ洗浄ムラがないノズル用の超音波洗浄器を備えた自動分析装置等を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】実施例１の超音波洗浄器を備えた自動分析装置の上面図である。
【図２】実施例１の超音波洗浄器の一例の外観図である。
【図３】実施例１の超音波洗浄器の一例の外観図である。
【図４】実施例１の超音波振動手段の一例である。
【図５】超音波を液中に加えたときに生じる定在波を示す図である。
【図６】実施例１の超音波洗浄器における洗浄液とノズル位置の関係を示す図である。
【図７】実施例１の超音波洗浄器における配管構成の一例を示す図である。
【図８】実施例１の超音波洗浄器を用いたノズル洗浄の処理フローの一例である。
【図９】実施例１の超音波洗浄器の一例の外観図である。
【図１０】実施例２の超音波洗浄器の一例の外観図である。
【図１１】実施例３の超音波洗浄器の一例の外観図である。
【図１２】実施例４の超音波洗浄器の一例の外観図である。
【図１３】実施例４の超音波洗浄器の一例の外観図である。
【図１４】実施例４の超音波洗浄器における液オーバーフロー構造と配管接続の一例である。
【図１５】実施例４の超音波洗浄器を用いた洗浄フローとタイムチャートの一例である。
【図１６】実施例４の超音波洗浄器における温度異常検出フローの一例である。
【図１７】実施例５の超音波洗浄器の構成例である。
【図１８】実施例５の超音波洗浄器の振動部（洗浄ヘッド）の構造の例である。
【図１９】実施例５の洗浄ヘッドの振動モードと洗浄液の温度勾配の例を示す図である。
【図２０】実施例５の超音波洗浄器を用いたノズル洗浄のタイムチャートの一例である。
【図２１】実施例５の自動分析装置の分注機構および洗浄器の制御ブロックの構成例である。
【図２２】実施例５の超音波洗浄器を用いた洗浄フローの例である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、図１から図２２を参照し、本発明の実施形態について詳細に説明する。
【実施例１】
【００２１】
図１は本発明の自動分析装置の構成を示す図である。自動分析装置１０は、試薬容器１１を複数搭載する試薬ディスク１２と、試薬と試料（以下、サンプルとも言う）との混合液を収容する反応セルを有する反応ディスク１３と、試薬の吸引や吐出を行う試薬分注機構１４と、サンプルの吸引や吐出を行うサンプル分注機構１５から構成される。【００２２】
試薬分注機構１４は試薬を分注するための試薬用ノズル２１を備え、サンプル分注機構１５はサンプルを分注するためのサンプル用ノズル２２（以下、ノズル２２と称す）を備える。装置に投入されたサンプルは、サンプル容器（試験管）２３に入れた状態で、ラック２４に搭載されて搬送される。ラック２４には複数のサンプル容器２３が搭載される。なお、サンプルは血清や全血などの血液由来のサンプル又は尿などである。【００２３】
サンプル分注機構１５は、ノズル２２を、サンプル容器２３からサンプル吸引を行う吸引位置、反応セル２５に吐出を行う吐出位置、本発明の超音波洗浄器２６でノズル２２の先端を洗浄する洗浄位置、および、ノズル２２の先端を水で洗い流す洗浄槽２７がある洗浄位置へ移動させる。さらに、サンプル分注機構１５は、吸引位置、吐出位置、および、洗浄位置ではサンプル容器２３、反応セル２５、超音波洗浄器２６、洗浄槽２７の高さの夫々合わせて、ノズル２２を下降させる。このような動作を行うため、サンプル分注機構１５はノズル２２を各停止位置に回転し上下移動できる構成となっている。【００２４】
自動分析装置は、測定部２９を有し、反応セル２５内に収容されたサンプルと試薬との混合液を測光することで、サンプル内の所定成分の濃度などを分析する。測定部２９は例えば光源と光度計を有し、光度計は、例えば吸光光度計又は散乱光度計である。【００２５】
なお、ノズル２２の移動やサンプルの吸引吐出制御、洗浄槽２７への液供給の制御、超音波洗浄器２６の駆動制御、その他各種機構の制御は制御部２８により行われる。また、自動分析装置には、装置を操作するための操作部（ＰＣや制御基板など）および検査技師がラック２４を投入や回収するユニットを備える装置があるが、図１では省略する。【００２６】
次に、自動分析装置の分析動作について説明する。サンプル容器２３を収容したラック２４は、サンプルの吸引位置まで移動する。この位置でサンプル容器２３からサンプルがノズル２２により吸引される。吸引されたサンプルは反応セル２５に吐出される。試薬ディスク１２は回転することで試薬用ノズル２１がアクセスできる位置まで所望の試薬容器１１を移動させる。この位置で試薬容器１１から試薬が試薬用ノズル２１により吸引される。吸引された試薬は反応セル２５に吐出される。同一の反応セル２５に収容されたサンプルと試薬の混合液は、撹拌され、反応ディスク１３が回転停止を繰り返しながら、サンプルと試薬との反応が進む。【００２７】
反応ディスクは回転停止を繰り返しながら駆動し、測定対象の反応セル２５は、測光部２９の前を定期的に通過する。通過する際に、光源から照射された光は、反応セル２５内の混合液を透過又は混合液に散乱され、光度計で吸光度又は散乱強度を測定する。この光度計が得た光の情報から、試薬の種類に応じた、サンプル内の所定成分の濃度算出等が行われる。【００２８】
次に、超音波洗浄器２６について説明する。ノズル２２は１つのサンプルを分注したあとで洗浄して繰り返し分注に使用する。１つのサンプルで多項目の検査を行う場合には同じサンプルを複数の反応セル２５に分注する。同じサンプルからの分注になるため、このような場合にはサンプルを分注したあとであっても強力な洗浄は基本的には不要である。従い、同じサンプルの分注間は超音波洗浄器２６による洗浄は基本的には不要である。一方、分注するサンプルが切り換わるタイミング等、強力な洗浄が要求される場合に、この超音波洗浄器２６を用いた洗浄を行う。【００２９】
次に超音波洗浄器について説明する。上部に分注ノズルの挿入口を有し内部に液体を貯めることが可能な洗浄槽と、洗浄槽内の側面側に設けられた振動部と、振動部に接続された超音波振動子と、を有し、超音波振動子は振動部を水平方向に振動させる超音波洗浄器について以下説明する。【００３０】
図２は本発明に係る超音波洗浄器の一例の外観図である。各々、超音波洗浄器の斜視図（ａ）、超音波洗浄器の上面図（ｂ）、超音波洗浄器の断面図（ｃ）、超音波洗浄器の斜視図（カバー付き）（ｄ）が示されている。図２は、振動部としてダイアフラム２０２を用いた例である。【００３１】
本実施形態の超音波洗浄器２６は、周期的に変化する電圧を印加（例えば正弦波入力）することで振動するＢＬＴ２０１と、ＢＬＴ２０１を取り付けたダイアフラム２０２と、ダイアフラム２０２を挟み込み固定することができる洗浄ポート２０３と、フランジ２０４と、洗浄ポート２０３とダイアフラム２０２の間からの液漏れを防ぐためのシール材２０５から構成される。ダイアフラム２０２は周端部が洗浄ポート２０３とフランジ２０４で押さえられて固定され、シール材２０５はドーナツ状になっており、ダイアフラム２０２の周端部のみを塞ぐ構成である。洗浄ポート２０３には、後述する洗浄液の供給口と排出口があるが、図２中では図示を省略する。【００３２】
また、洗浄ポート２０３は、上部にノズル２２を挿入するための開口部２１０（挿入口）があり、洗浄液を貯水する洗浄槽２１１の側面には大きな開口部があり、この開口部をダイアフラム２０２で塞ぐことで、洗浄ポート２０３内には洗浄液を貯めることができる。ＢＬＴ１００で発生した振動は直結したダイアフラム２０２に伝わり、ダイアフラム２０２が接する洗浄槽２１１内の洗浄液に伝播する。以上の構成によって、ＢＬＴに２０ｋＨｚ以上の周期的に変化する電圧を印加すれば、洗浄槽２１１内の洗浄液中に超音波を発生することができる。【００３３】
さらに、本発明の超音波洗浄器２６は、超音波振動を発生するダイアフラム２０２が洗浄槽２１１の側面にあり、開口部２１０から挿入したノズル２２に対して横方向から超音波を発生することができる。また、ノズル２２を挿入する開口部２１０は、ダイアフラム２０２のできるだけ近い位置にノズル２２を挿入できる形状が好ましい（理由は後述する）。このため、図２（ａ）で示すように開口部の一部はダイアフラム２０２側へ突出しており、開口部２１０のこの一部とダイアフラム２０２は洗浄ポート２１０の一部を介して隣接している。すなわち、洗浄ポート２１０にはノズル２２が挿入される切り欠きが設けられており、洗浄ポートの部材の厚さは他の箇所に比べて薄くなっている。このような構成とすることでノズル２２をダイアフラム２０２に近づけて洗浄することができる。また、例えば、先に述べた洗浄ポートが薄くなっている箇所を完全に除去し、開口部２１０の一部がダイアフラムに接する構成とすることで、ノズル２２をダイアフラム２０２により近づけて洗浄することができる。つまり、ダイアフラム２１０を挟み込む洗浄ポート２０３の開口部２１０には、一部が開放されておりダイアフラムの周端部の一部を押さえていない状態（自由端）となる。【００３４】
超音波洗浄器２６にはＢＬＴ１００を保護するためのカバー２２０を取り付けてもよい。【００３５】
図３は本実施形態の超音波洗浄器の別の一例の外観図である。各々、超音波洗浄器の斜視図（ａ）、超音波洗浄器の断面図（ｂ）が示されている。超音波洗浄器２００（図１中の２６）は、超音波洗浄器２６に対して洗浄ポート２０３と、フランジ２０４と、ダイアフラム２０２の上部がカットされている形状である点のみが異なり、使用方法や設置位置などは超音波洗浄器２６と変わらない。【００３６】
超音波洗浄器２００は、上部がカットされているダイアフラム２０２を洗浄ポート２０３とフランジ２０４で挟み込み固定するが、上部の一辺は拘束されず自由端となる。前述の通りダイアフラム２０２は中央部の変形量が大きくなる構成であったが、超音波洗浄器２００のダイアフラム２０２においてもダイアフラム２０２と同じ付近で変形量が大きくなる。しかし、ダイアフラム２０２の一辺が自由端となっていることで、ダイアフラム２０２の軸（中央）付近での変形量は、上部がカットされていないダイアフラム２０２の変形量よりも拡大できる。高い洗浄効果を得るためには、図３の超音波洗浄器２００のように少なくとも一辺が自由端であるダイアフラム２０２を使う方が好ましい。【００３７】
なお、超音波洗浄器２００には、洗浄液の供給・排出の部品（配管接続、受け皿など）を図示していないが、超音波洗浄器２６と同じくシリンジポンプの圧力で洗浄槽２１１の洗浄液をオーバーフローして交換する。また、洗浄槽２１１の上部には洗浄液の飛び散りを防ぐフタを設置して、フタにはノズル２２の挿入できる穴を設けてもよい。【００３８】
図４は本実施形態の超音波振動手段の一例である。図４には、図２の上部がカットされていなダイアフラムをＢＬＴに取り付けた外観図（ａ）、ダイアフラムの側面図（ｂ）、ダイアフラムの斜視図（ｃ）が示されている。本発明の超音波洗浄器２６の超音波振動手段は、前述のダイアフラム２０２とＢＬＴ２０１から構成される。ＢＬＴ２０１は、１つ以上のピエゾ素子３１１を、金属製の押さえ部材（ダイアフラム側）３１２と金属製の押さえ部材（自由端側）３１３で挟み込む。押さえ部材３１２と押さえ部材３１３にはネジが切ってある。ピエゾ素子３１１は中空であり、ボルト（図示せず）で押さえ部材３１２と押さえ部材３１３を締め付けることで、ピエゾ素子３１１を固定する。ＢＬＴ２０１は公知であるため、使用方法や製造方法に関する詳細説明を省く。【００３９】
ダイアフラム２０２は、ＢＬＴ２０１と接続するためのネジ部３２１と、ＢＬＴ２０１からの振動を伝搬するための金属板３２２と、洗浄槽に振動を伝搬するための振動部３２３と、ＢＬＴ２０１からの変位を増幅するための首３２４から構成される。ダイアフラム２０２とＢＬＴ２０１の接続は、ダイアフラム２０２のネジ部（オス）３２１と金属製の押さえ部材３１２のネジ部（メス）で締結する。金属板３２２は、ＢＬＴ２０１からの振動を伝播するため金属部３１２と接する。振動部３２３は前述の通り、洗浄ポート２０３とフランジ２０４とで振動部３２３の周端部を挟み込み固定され、ＢＬＴ１００はダイアフラム２０２に片持ち梁状態で固定（ダイアフラム２０２と反対側はフリー）される。ダイアフラム２０２は周端部で固定されており、周端部の固定辺に対して中央にある片側フリーのＢＬＴ２０１の変位が作用する。そのため、図４に示す例では、首３２４の端部からダイアフラム２０２は固定辺までの距離が長いほど変形量が大きくなる。つまり、首３２４の部分が細いほど変形量は大きくなる。例えば、ＢＬＴ２０１の金属部３１２が振動部３２３に直接接触するような構成とした場合、ＢＬＴ２０１の端部からダイアフラム２０２の固定辺まで距離は短くなるため、図４に示す構成に比べ変位量が得られない。【００４０】
ＢＬＴ２０１はピエゾ素子３１１の前後にある電極（図示せず）に周期的に変化する電圧を印加することで振動するため、専用の電源アンプ（図示せず）が必要である。自動分析装置では、装置を制御するＣＰＵ基板（図示せず）から電源アンプへの指令で超音波洗浄器２６を駆動することができる。【００４１】
図５は超音波を液中に加えたときに生じる定在波を示す図である。各々、超音波振動の周波数が低いときの定在波（ａ）と周波数が高いときの定在波（ｂ）が示されている。超音波振動部４００で超音波振動を発生したとき、液中には超音波の定在波４０１が発生する。定在波の波長は超音波振動の周波数によって異なり、周波数が低いほど波長は長くなる。そのため、定在波の半波長４０２は、４０２ａの方が４０２ｂよりも長い。前述の通り洗浄に効果があるキャビテーションは、超音波の強度が高くなる部分で発生し、超音波振動部４００の面付近の領域４０３ａと超音波振動部４００から半波長４０２離れた領域４０４ａで超音波強度は強くなる。周波数を変えることで領域４０３と領域４０４の距離は短くすることはできるが、キャビテーションを発生させやすい周波数（およそ１００ｋＨｚ以下）では距離を０にすることはできない。ノズル２２を図５の上方より超音波振動部４００に向けて挿入して洗浄した場合、キャビテーションが発生する領域（４０３や４０４）と発生しない領域で洗浄ムラが発生する。また、超音波強度は超音波振動部４００に近い領域４０３の方が強く洗浄に適している。【００４２】
本実施形態では、前述の通り、超音波振動部４００であるダイアフラム２０２の振動部３２３を洗浄槽内の側面に配置したことで、キャビテーション強度が強い領域に対してノズル２２先端を挿入することができる。従い、ノズル２２の先端側面の広い面積を効果的に洗浄することができる。【００４３】
図６は、本実施形態の超音波洗浄器における洗浄液とノズル位置の関係を示す図である。各々、洗浄範囲の概略図（ａ）と洗浄器断面におけるノズル２２と洗浄液およびダイアフラムの中心との位置関係を示す図（ｂ）が示されている。ノズル２２はサンプルを分注するときに洗浄範囲を限定するために、ノズル２２先端の限られた位置までしかサンプルに挿入しないようにサンプルの液面を検出し、ノズル２２の下降する位置がコントロールされている。ノズル２２におけるサンプルの液面検出や下降コントロール方法は、公知さの技術のため詳細説明を省く。ノズル２２は前述の通り既定の深さまでサンプルに挿入されるため、サンプルを吸引した後にサンプルが付着する範囲５０１は、一定の範囲に限られる。そのため、超音波洗浄器２６で洗浄する範囲５０２は、サンプル付着範囲５０１よりも広い範囲であれば洗い残しが発生しにくい。超音波洗浄器２６で洗浄液を使用する場合は、さらに水で洗い流しサンプルに持ち越さないようにする必要があり、水で洗浄する範囲５０３は超音波洗浄器２６で洗浄した範囲より広い範囲が必要となる。しかしながら、水洗浄の範囲５０３が広くなると、水洗浄に掛かる時間が増加してしまう。そのため、水洗浄の範囲５０３および洗浄範囲５０２はできるだけ狭くなるように設定することが望ましい。【００４４】
超音波洗浄器２６では洗浄液を洗浄槽２１１内に貯水する。洗浄液は水を用いても良いが、化学作用で汚れを落とすことができる洗浄液を用いることが好ましい。洗浄液は洗浄槽の底５１１から洗浄槽の淵５１２に液面があり、洗浄槽の底５１１から洗浄槽の淵５１２までの高さが液位５１３となる。ノズル２２を洗浄槽２１１に挿入したとき、ノズル先端位置５１４から液面のある洗浄槽淵５１２までの範囲が、超音波洗浄器２６のノズル洗浄範囲５０２である。【００４５】
本実施形態の超音波洗浄器２６のダイアフラム２０２は、前述の通りダイアフラムの中央部で変形量が拡大される構成であり、洗浄液中の超音波強度もダイアフラム中央付近で強くなる。ノズル２２を効果的に洗浄するには、ダイアフラムの中心線５１５をノズルが通過し、ノズル洗浄範囲５０２内にこの中心線５１５が含まれるようにノズルを停止させることが好ましい。つまり、洗浄液を使った超音波洗浄器２６では洗浄範囲５０２を狭くし、かつ洗浄効果が高いダイアフラム中心線５１５以下にノズル先端を挿入することが好ましい。言い換えると、ノズル先端位置５１４は中心線５１５よりも下方となることが望ましい。そのため、洗浄液の液位５１３は、ダイアフラム２０２の固定端から固定端までの長さ５１６をＤと、ノズルの洗浄範囲５０２をｈと、液位５１３をＨと定義したとき、洗浄液の液位は次式を満たすようにすることが好ましい。つまり、この式１を満たすようにノズルを停止させて洗浄することが望ましい。言い換えると、洗浄槽の中の液体の液位はダイアフラムの中心線の高さに分注ノズルの洗浄範囲の長さを足し合わせた位置より低く、洗浄槽に分注ノズルを挿入した時の分注ノズルの先端はダイアフラムの中心線以下となるように挿入し洗浄を行なうことが望ましい。【００４６】
（数１）
Ｄ／２  ≦  Ｈ  ≦  Ｄ／２  ＋  ｈ    ・・・（式１）
図７は本実施形態の超音波洗浄器における配管構成の一例を示す図である。超音波洗浄器２６に洗浄液や水を供給するため、洗浄槽２１１の下部には配管６０１が接続される。配管６０１には、液を圧力で押し出すためのシリンジポンプ６０２と、洗浄液が貯水されている洗浄液タンク６０３と、上水道と接続され水を供給するための配管６０４と、配管の接続を切り替えるための切り替え弁６０５が接続される。さらに、洗浄ポート２０３の淵５１２には溢れた洗浄液を受けるための受け皿（オーバーフロー用受け皿６０６）と、下水道に接続する配管（図示せず）とがある。つまり、洗浄槽の上部には洗浄槽内の液体をオーバーフローするための受け皿を有する。【００４７】
洗浄槽２１１内には、常に水もしくは洗浄液が貯水されており、シリンジポンプ６０２の圧力で新たな液を供給し、溢れた液を受け皿６０６に排出し、その後排出された液は下水へと流れる。シリンジポンプ６０２と、切り替え弁６０５は、装置を制御するＣＰＵ基板（図示せず）からの指示で動作し、ノズル２２の超音波洗浄を行うときには洗浄液を供給し、長時間洗浄しないときは水を供給して貯水しておくことができる。洗浄槽２１１内の洗浄液は、キャリーオーバ低減のため洗浄後の洗浄液を全て交換することが好ましい。本実施形態の構成では、シリンジポンプ６０２を動作させることで、新たな洗浄液を洗浄槽２１１に供給し、洗浄に使用した洗浄液をオーバーフローによって下水に排出し、洗浄槽２１１内の洗浄液を交換することができる。なお、超音波洗浄を利用するときのみ洗浄するための液体を洗浄槽に供給し、超音波洗浄を利用しないときには水を供給し洗浄槽内に貯めておくことが望ましい。洗浄するための液体（洗浄液）の無駄な消費を抑えることができるためである。【００４８】
図８は本発明の超音波洗浄器を用いたノズル洗浄の処理フローの一例である。装置がオペレーション状態Ｓ７０１のとき、サンプル分注機構１５はサンプリング処理Ｓ７１１を繰り返す。サンプリング処理Ｓ７１１では、分注（サンプルの吸引とサンプルの吐出）Ｓ７１２を行ない、その後に洗浄処理を行うが、次に分注するサンプルが同一サンプルか判断Ｓ７１３を行う。その結果、次に扱うサンプルが同一サンプルであれば、洗浄槽２７で水洗浄Ｓ７１４のみを行い、別のサンプルを扱う場合は超音波洗浄器２６で超音波洗浄（通常処理用）Ｓ７１５によりノズル２２に付着したサンプルを洗浄し、その後に洗浄槽２７での水洗浄Ｓ７１６で洗浄液を洗い流す。このように、オペレーション中は次に扱うサンプルが同一であるかを判断し、次に扱うサンプルが同一サンプルのときには水洗浄のみを行い、次に扱うサンプルが別サンプルのときには超音波洗浄器を使った洗浄と水洗浄を行うことが望ましい。【００４９】
上記の説明ではサンプル判定処理Ｓ７１３での結果により、水洗浄処理Ｓ７１４のみの場合と超音波洗浄Ｓ７１５と水洗浄Ｓ７１６の場合に分けたが、サンプリングのたびに超音波洗浄処理Ｓ７１５を使用しても良い。但し、この場合、洗浄液の使用量は増え洗浄コストは増加する。【００５０】
装置がメンテナンス状態Ｓ７０２に入ると、ノズル２２に蓄積した微量の汚れを洗浄するメンテナンス処理Ｓ７２１を実行することができる。オペレーション状態Ｓ７０１では、サンプリング処理のスループットを落とさないために、短時間で洗浄することが求められるが、メンテナンス状態Ｓ７０２では時間をかけてノズル２２を洗浄することができる。メンテナンス処理Ｓ７２１中の超音波洗浄（メンテナンス用）Ｓ７２２ではノズル洗浄範囲５０２を広げて洗浄（つまり洗浄槽２１１に深く挿入）することが可能である。超音波洗浄（メンテナンス用）Ｓ７２２は、超音波洗浄（通常用）より長い時間を使って洗浄する。その後、水洗浄処理Ｓ７２３では、通常より広い範囲を水で洗い流す。【００５１】
メンテナンス処理Ｓ７２１は、定期的に行うことが好ましく、例えば１日に１回行うことでノズル２２への汚れの蓄積を防ぐことができる。【００５２】
このように、オペレーション状態とメンテナンス状態で、超音波洗浄器の洗浄時間や分注ノズルの挿入深さが異なるパラメータを有することで自動分析装置は上記のような制御ができる。【００５３】
なお、本発明の洗浄フローでは、水洗浄後に真空吸引などで水滴を落とす動作を追加しても良い。【００５４】
図９は本発明の超音波洗浄器の洗浄槽の形状を変えた一例の外観図である。各々、洗浄ポート（ａ）と超音波洗浄器の断面図（ｂ）が示されている。超音波洗浄器９００は超音波洗浄器２６に対して洗浄ポート９０１の洗浄槽９０２部分が円錐形状である点のみが異なり、使用方法や設置位置などは超音波洗浄器２６と変わらない。【００５５】
洗浄槽９０２の液体が貯水される部分を円錐型に変更することで、使用する洗浄液の量を減らすことができ、さらにダイアフラム２０２から発生する超音波は洗浄ポート９０１の洗浄槽側の面９０３で反射でき、洗浄槽９０２に挿入したノズル２２の周囲にキャビテーションの発生を集中することができ効果的に洗浄することができる。【００５６】
以上の構成の超音波洗浄器によれば、サンプルを分注するノズル２２の洗浄範囲にキャビテーションを効果的に発生でき、ノズルを効果的に洗浄することができる。
【実施例２】
【００５７】
図１０は本実施形態の超音波洗浄器の一例の外観図である。本実施形態は、これまでのダイアフラムに換え振動部２２２を用いた例である。各々、超音波洗浄器の斜視図（ａ）、超音波洗浄器の上面図（ｂ）、超音波洗浄器の断面図（ｃ）が示されている。断面図（ｃ）はＡで示した箇所の破線箇所の断面図である。本発明の超音波洗浄器２００（２６）の超音波振動手段は、ＢＬＴ１００である。【００５８】
超音波洗浄器２００は、ＢＬＴ１００に板ばね２２１と振動部２２２をボルト２２４で固定し、板ばね２２１の両端は洗浄器ベース２２３に固定する構成である。【００５９】
洗浄器ベース２２３には、洗浄液を貯めることができる洗浄槽２１１と洗浄槽２１１に洗浄液を送液する管を接続する送液ポート２２５があり、洗浄槽２０５に洗浄液を送液することで周囲にある溝に洗浄液があふれ、洗浄液を交換することができる。また、洗浄槽２０５の周囲にあふれた洗浄液は、排出用の穴２２６に入り、排出管と接続する排出ポート２０８を通って排出される。洗浄液が貯められた洗浄槽２１１には、洗浄槽２１１の上部からノズル２２を挿入できる。【００６０】
超音波洗浄器２００は、ＢＬＴ１００の振動が振動部２２２に伝えられ、さらに振動部２２２の先端（最下端）は洗浄槽２０５内にまで延びており、洗浄槽２１１内の洗浄液に振動を伝達できる。つまり、ＢＬＴ１００の駆動によって、洗浄液中の振動部２２２はノズル２２の側面から超音波を発生できる。言い換えると、振動部２２２は、分注ノズルに沿って延在する形状であり、洗浄槽に挿入される第１部位を有し、超音波振動子は、第１部位の上方の第２部位を介して、第１部位を水平方向に振動させることができる。また、超音波洗浄器２００は、ノズル２２の洗浄を行ったあとに、オーバーフローによって洗浄液の交換ができる。【００６１】
ノズル２２先端を効率よく洗浄するためには、振動部２２２はノズル２２と平行になるように配置することが望ましく、また振動部２２２の近い位置にノズルを挿入することが望ましい。ダイアフラムの例と異なり一部が突出した開口部２１０を設けることなく振動部２２２に近い位置にノズルを挿入することができる。また、ダイアフラムの例と異なり洗浄槽２１１の側面にダイアフラムや液漏れを防ぐためのシール材を設けることなく高い洗浄効果を得ることができる。板ばね２２１は振動部２２２が平行な変位を発生するようにねじれない形状とし、板厚は振動部２２２の変位を大きくするため薄くすることが望ましい。【００６２】
振動部２２２には、図１０（ｃ）のように板状のものの他、ある程度厚みがある棒状のもの等も含まれる。振動部２２２は、洗浄槽２１１に挿入でき水平方向に振動する部材であれば特に形状は問わない。また、振動部２２２は、単一部材からではなく複数部材から構成されてもよい。【００６３】
なお、図６〜９については、振動部２２２の例においても同様に適用できるものである。
【実施例３】
【００６４】
次に、他の超音波洗浄器２６の構造について説明する。超音波洗浄器２６は洗浄槽内で超音波を発生させる。後述するように、超音波洗浄器２６は、洗浄槽内の洗浄液に挿入され、超音波振動を洗浄液に伝搬させる振動部と、圧電素子を２つ以上の金属ブロックをボルトで締結して固定した構成であり、かつ、振動部に超音波振動を発生させる超音波振動子と、を備える。主に振動部が中空部１２０９を備えている点が実施例２と相違する。【００６５】
図１１は超音波洗浄器の一例の外観図である。各（ａ）〜（ｄ）は、超音波洗浄器の上面図（ａ）と正面図（ｂ）と断面図（ｃ）（上面図（ａ）のＡ−Ａ断面）と斜視図（ｄ）である。超音波洗浄器１２００は、超音波振動子１２０１、振動部１２０２、板ばね１２０３を有する。超音波洗浄器１２００は、超音波振動子１２０１と振動部１２０２との間に板ばね１２０３を挟み込み、ボルト１２０４で固定された構造となっている。さらに、自動分析装置の一部である洗浄器ベース（金属製）１２０５は２本の柱が上方に突出しており、板ばね１２０３の両端部は洗浄器ベース１２０５の２本の柱に固定されている。振動部１２０２の先端は洗浄器ベース１２０５にある洗浄槽１２０６内に位置し、特に振動部１２０２は洗浄槽１２０６とは接触しておらず、この先端は自由端となっている。つまり、振動部１２０２は、後述する金属ブロック１２１１の側面と洗浄槽１２０６の上方で固定され、洗浄槽内の洗浄液に挿入させる振動部１２０２の先端は、この側面の水平方向の振動に伴い自由端として振動する。【００６６】
振動部１２０２の先端は、円筒形の孔が設けられ、この孔は振動部１２０２の底まで貫通している（図（ａ）、（ｃ）参照）。このため、振動部２０２は中空部１２０９を有し、ノズル２２が中空部１２０９に挿入でき、中空部１２０９は洗浄液で満たされることとなる。【００６７】
また、洗浄槽１２０６には供給口１２０７から洗浄液や水が供給でき、一定量以上の液を供給することで洗浄槽１２０６に入っていた液をあふれさせ、排出口１２０８から超音波洗浄器１２００外に排出（オーバーフローによる液置換）ができる。また、洗浄液を供給したあとの振動部１２０２の先端は、洗浄槽１２０６内に貯めた洗浄液に浸漬させることもできる。【００６８】
超音波洗浄器１２００でノズル２２を洗浄するときは、振動部１２０２の先端にある中空部１２０９にノズル２２を挿入することで、ノズル２２の先端部（サンプルに接触する範囲）は洗浄液に浸漬する。超音波振動子１２０１に例えば２０ｋＨｚ以上の正弦波電圧を入力することで、超音波振動子１２０２は矢印方向に超音波振動する。これにより、振動部１２０２の先端部も超音波振動し、中空部１２０９の洗浄液にキャビテーションを発生させノズル２２を強力に洗浄できる。【００６９】
特に、超音波洗浄器１２００の構成では、ノズル２２の側面に対し異なる方向からキャビテーションを生じさせることができるので、先端の洗浄したい範囲に対してムラなく洗浄することができる。また、振動部１２０２の先端が自由端となっているため、振動部１２０２の先端では、超音波振動子１２０１の振幅が増幅され、多くのキャビテーションを発生させることができる。加えて、超音波振動する振動面（カップの内周。ここで円筒のことを便宜上カップと称す）とノズル２２との距離が近づけられるため、ノズル２２先端の洗浄したい範囲に対して高密度のキャビテーションを発生させることができる。これら２つの作用により強力な洗浄効果が実現できる。なお、洗浄力の調整は、振動部１２０２の垂直方向の長さを調整したり、中空部１２０９の径を調整したりすることで適宜調整することができる。例えば、前者の調整で言えば、長さを長くすることで振動面の振幅を大きくすることができ、後者の調整で言えば、径を小さくすることで振動面とノズル２２との距離を近づけることができる。【００７０】
洗浄槽１２０６内の洗浄液は、ノズル２２を洗浄することでノズル２２に付着していた汚れが混入するため、ノズル２２を洗浄した後には洗浄液を交換することが望ましい。但し、ノズル２２を洗浄するたびに洗浄液を交換すると、装置にストックする洗浄液量が多く必要となるため、ノズル２２を洗浄するために必要となる洗浄液量を少なくすることが望まれる。超音波洗浄器１２００では、洗浄液をオーバーフローすることで洗浄液の置換ができ、振動部１２０２の先端カップ内に洗浄液があればノズル２２を洗浄できる。つまり、振動部１２０２の外側が接触しない範囲で洗浄槽１２０６の形状を小型化することができ、洗浄槽１２０６の小型化により使用する洗浄液量を低減できる。【００７１】
超音波洗浄器１２００の超音波振動子１２０１はＢＬＴを想定しており、ＢＬＴは２つの金属ブロック（１２１１と１２１２）でピエゾ素子（以後、圧電素子とも呼ぶ）１２１３を挟み込み、内部のボルト（図示せず）で締め付けて固定する構造が一般的である。ＢＬＴでは圧電素子を比較的質量の大きい金属ブロックで挟み込み、ボルトで締め付けて固定するため、圧電素子の振動周波数を金属ブロック側で低くすることができる。本実施形態の圧電素子の周波数帯はキャビテーションが比較的発生し難い周波数帯で発振する素子であるが、ＢＬＴとすることで、キャビテーションが発生し易い周波数帯（２０ｋＨｚ〜１００ｋＨｚ）で振動する超音波洗浄器を構成することができる。【００７２】
超音波洗浄器１２００は、超音波振動子１２０１の振動振幅が大きくなる（振動の腹）部分に板ばね１２０３を介して、洗浄器ベース１２０５で固定している。板ばね１２０３の剛性が高い形状であると、振動部１２０２の振幅が十分得られなくなりノズル２２の洗浄効果が低下する。このため、板ばね１２０３は板厚が薄く、幅が細い形状が望ましい。【００７３】
超音波洗浄器１２００は、超音波振動子１２０１と振動部１２０２の距離が短くすることで、洗浄器のサイズを小型化できるので、設置スペースに限りがある自動分析装置にも実装できる。【００７４】
本実施形態では、振動部１２０２の先端に、中空部として円筒形の孔を設けた構造で説明した。しかしながら、高い洗浄効果が得られ洗浄ムラがない効果に着目すると必ずしもこの構成に限るものではない。例えば、この孔は楕円柱や多角柱の孔であっても良い。又は、柱状でなくとも円錐の一部や多角錐の一部のように深さ方向に不均一な幅の孔であっても良い。このように、振動部１２０２は、ノズル２２の円周方向を全て覆う形状の他、一部が欠けている形状であっても良い。【００７５】
一部が欠けている形状の場合は、一部が欠けている位置は、水平断面においてノズル２２の位置から振動部１２０２の振動方向に直線を引いたときに、この直線と交差しない位置とすることが望ましい。【００７６】
例えば、ノズル２２の円周方向の全てを覆う形状を基準として一部を欠ける形状とする場合には、ノズル２２の位置から振動部１２０２の振動方向と垂直な方向に直線を引いたときに交差する位置に一部が欠けている位置を設けるのが望ましい。【００７７】
例えば、一部が欠けている形状として平行平板などでノズル２２を挟み込む形状であっても良い。この場合も一部が欠けている位置の配置は同様である。すなわち、振動部１２０２の振動方向に対向する平板とすることが望ましい。【００７８】
ここで、洗浄ムラが生じる要因について説明する。ノズル２２の一方向の側面から超音波を発生させた場合には、ノズル２２の反対側では、超音波が回り込み難くなる陰の領域が生じ、ノズル２２の正面方向と背面方向ではキャビテーションの発生量にムラが生じる。このため、振動部１２０２からノズル２２に対して複数方向から超音波を発生させることで、この陰の領域を無くすことができる。従い、振動部１２０２の振動と同期して振動する部位がノズル２２から見て複数方向に配置されるような振動部の構成とすることで洗浄ムラは抑制できる。従い、この実施形態においては実施例２の振動部よりも洗浄ムラをさらに抑制することができる。【００７９】
但し、振動方向と垂直な面が最もキャビテーションの発生に寄与する面であることから、水平断面においてノズル２２の位置を起点として振動部１２０２の振動方向に直線を引いたときに交差する２つの位置に部位が配置される振動部１２０２の形状とすることで最も効率的に高い洗浄力を得ることができる。【００８０】
ここで、中空部１２０９について説明する。上述のように振動部１２０２は様々な形状であっても良く、ノズル２２から見て複数方向に部位が配置されていれば良いため、中空部１２０９は、必ずしもノズル２２の円周方向を全て覆う形状の内側だけを意味する言葉ではない。つまり、部位の連続性に係わらず、複数の部位で囲われる内側は本明細書では、中空部１２０９に該当する。【００８１】
上述のように、単に複数方向に部位が配置されているよりも、効率を考慮するとこれらの部位は中空部１２０９を介して対向する部位を備えた振動部１２０２であることが望ましい。つまり、振動部１２０２は、中空部１２０９を介して対向する２つの面を備えることが望ましい。一方の面で生じる陰の領域を他方の面により無くすことができるためである。ここで対向するとは、平行面ということのみならず、ある程度の面同士の傾斜は許容される。例えば、面同士の傾斜角が３０°であっても良く、９０°未満の傾斜であれば対向すると考えられる。【００８２】
但し、２つの面は振動部の振動方向で対向することが望ましい。つまり、中空部１２０９を挟み込む、振動方向に対し垂直な２つの面であることが望ましい。なお、垂直な面には、平面のみならず本実施形態のように曲面であってもこの面に含まれる。本実施形態においては、振動部１２０２は中空部１２０９の周囲を全て囲む形状を有し、この２つの面はこの形状の内壁面である。【００８３】
次に、効果について説明する。前述のように、ＢＬＴの超音波振動子と中空部を有する振動部とを備えた超音波洗浄器を用いて、中空部に分注ノズルを挿入した状態で振動部に超音波振動を発生させることにより分注ノズルの洗浄を行うことで、分注ノズルに対し、洗浄ムラがない高い洗浄効果が得られる自動分析装置等を提供することができる。【００８４】
また、振動部を洗浄槽内に挿入するタイプの超音波洗浄器であることから、超音波振動子の振幅よりも大きな振幅で超音波を発生させることができる他、分注ノズルに対し、振動部を近づけることができ、より高い洗浄力で分注ノズルを洗浄することができる。【００８５】
また、振動部が中空部を介して対向する２つの面を備えることで、対向しない２つの面の場合よりも効率的に洗浄ムラを無くすことができる。【００８６】
また、この２つの面を振動部の振動方向で対向する面とすることで、さらに効率的に洗浄ムラを無くすことができる。加えてこの形状の場合には、夫々の面はノズルを中心に逆位相で振動する。この逆位相の振動によって、この間に挟まれた洗浄液は大きく波打つ。この波打つ作用によって、ノズル洗浄により汚染された洗浄液は、この面を乗り越えて中空部の外側へ移動する。これにより中空部の下側から汚染されていない洗浄液が中空部内に流入する。従い、この洗浄液の流れの作用によって、ノズルへの汚染源の再付着を抑制することができる。【００８７】
また、振動部が中空部の周囲を全て囲む形状を有し、２つの面をこの形状の内壁面とすることで、振動部に孔を開けるシンプルな加工方法で製造することができる。このため、比較的安いコストで高性能な振動部を製造することができる。なお、前述のように多角柱などでも同様であるが、加工コストの面から言えば、円柱形が最適である。【００８８】
また、引用文献２のような複数の超音波アレイを洗浄槽の内側に配置させる構成では、超音波アレイの各素子を取り付けることの困難性が予想され、また複数の超音波アレイの制御が複雑となる。一方、本実施形態では、振動部を挿入する構成であるため簡便な構成であると共に、超音波発生源が事実上１つであるため駆動制御が容易である。【００８９】
また、引用文献２のような構成とすると、一部の超音波アレイが破損した場合であっても、他の超音波アレイは駆動するため、その異変に気づくことが困難であり、期待した洗浄効果を得られていないことに気付けない場合が考えられる。一方、本実施形態では、超音波振動子が破損した場合には、全くキャビテーションが発生しないため、容易にこの異変に気付くことができる。【００９０】
また、引用文献２のような複数の超音波アレイを洗浄槽の内側に配置させると、洗浄槽の内側に複雑な凹凸が生じる一方、本実施形態では、洗浄槽の内側は凹凸のない曲面形状である。このため、洗浄槽内を拭き取るようなメンテナンスをする場合には、メンテナンスし易い。また、本実施形態では、振動部を超音波振動子から取り外せる構成としているため、振動部の拭き取りメンテナンスや交換も容易にできる。
【実施例４】
【００９１】
実施例３では、主に洗浄ムラがない高い洗浄効果が得られる構成ついて述べた。しかしながら、繰り返し超音波での洗浄を行うと超音波振動子１２０１は発熱（駆動条件にもよるが５０度以上となることがある）し、振動部１２０２に熱が移動する。特に、超音波洗浄器１２００のように超音波振動子２０１と振動部１２０２の距離が短い場合、振動部１２０２は超音波振動子１２０１と同程度に高温となる。振動部１２０２の先端周囲には、洗浄液を供給するが、少量であるため振動部２０２の熱は短時間で移動し、さらに洗浄のため洗浄槽１２０６に挿入したノズル２２を温めてしまう。一般的に自動分析装置内の水温は常温（２５度前後）であり、ノズル２２の温度と常温との差が大きくなると分注性能に影響する。ノズル２２と水温との差は高くても低くても影響するため、ノズル２２と常温との差が小さくすることが望ましい。この差を小さくするためには、超音波振動子１２０１からの熱が振動部へ移動する前に放熱することが望ましい。【００９２】
図１１の例でも超音波振動子１２０１と振動部１２０２との間に金属製の板ばね１２０３が配置されているため、放熱効果が全くないわけではないが、前述のように薄い板であるため、この放熱効果は比較的小さい。このため以下の実施形態では、放熱効果を高めるための構成について説明する。なお、振動部１２０２の先端形状については実施例３と同様であるため構成および効果の説明は省略する。【００９３】
図１２は実施例３より高い放熱効果が得られる構造を持つ超音波洗浄器（振動部分のみ）の一例の外観図である。各（ａ）〜（ｅ）は、超音波洗浄器の上面図（ａ）と側面図（ｂ）と斜視図（ｃ）と洗浄部の模式図（ｄ）、（ｅ）である。ただし、洗浄液を貯水する洗浄槽は図１１と同様であり図示を省略している。超音波洗浄器１３００は、超音波洗浄器１２００と同様に、ＢＬＴタイプの超音波振動子１３０１を使用するが、板ばね１２０３に替え、金属ブロック１３１１、１３１２の間にピエゾ素子１３１３と金属部材１３１４を挟み込み、超音波振動子１３０１内のボルト（図示せず）で締め付けて固定する。金属部材１３１４は超音波振動子ベース１３０２に固定でき、振動部１３０３は超音波振動子１３０１にボルトなどで固定する。振動部１３０３の先端は、超音波洗浄器１２００と同じく、洗浄槽１２０６（図１２中には図示せず）内の洗浄液に漬かる。ノズル２２を洗浄槽１２０６内に挿入し、振動部１３０３に近づけた状態で、超音波振動子１３０１を駆動することで、ノズル２２の先端を洗浄できる。【００９４】
超音波洗浄器１３００は、超音波振動子１３０１の振動振幅が大きくならない（振動の節）部分に金属部材１３１４を介して、超音波振動子ベース（金属製）１３０２に固定する。超音波洗浄器１２００と異なり、板ばね１２０３が必要なく、金属部材１３１４の板厚を板ばね１２０３のように薄くしなくても、振動部１２０２の振幅は十分に発生できる。金属部材１３１４は発熱源であるピエゾ素子１３１３に隣接しており、超音波振動子１３０１を駆動したときの熱は、ピエゾ素子から金属部材１３１４へと移動する。その後金属ブロック１３１１、振動部１３０３の順で移動し、振動部１３０３が加熱されると、ノズル２２を洗浄するときに洗浄液を介してノズル２２が温められてしまう。しかし、金属部材１３１４は板ばね１２０３と比べ板厚を厚く（体積が大きく）できるので熱容量が大きく、振動部１３０３への熱の移動は超音波洗浄器１２００と比べ小さくすることができる。従い、金属部材１３１４と超音波振動子ベース（金属製）１３０２を設けることで、効率的に放熱でき、振動部１３０３への熱移動を抑制することができる。【００９５】
特に、放熱性を高めるためには、金属部材１３１４および超音波振動子ベース１３０２の材質は金属ブロック１３１１や振動部１３０３よりも熱伝導率が高い材質が望ましく、金属部材１３１４から放熱あるいは超音波振動子ベース１３０２へ積極的に熱を移動することで、ピエゾ素子１３１３からの熱は振動部１３０３に移動しにくくなる。【００９６】
さらに、金属部材１３１４からの放熱効率を上げる手段としては、金属部材１３１４あるいは超音波振動子ベース１３０２にフィン構造を設け、表面積を大きくすることやヒートシンクを金属部材１３１４に貼り付ける方法がある。また、超音波洗浄器１３００の構造において、超音波振動子ベース１３０２を冷却することで金属部材１３１４は冷却され、振動部１３０３への熱の移動を抑えることが可能である。冷却手段としては、超音波振動子ベース１３０２に空冷用のファンを取り付ける方法や同じく水冷チューブを取り付ける方法、ペルチェ素子を取り付ける方法がある。【００９７】
前述の通り、振動部１３０３は超音波洗浄器１２００と同様に先端部が洗浄槽１２０６内に配置して使用するが、先端部の形状は平面状であっても、曲面状であってもノズル２２の洗浄は可能である。しかしながら、前述のように、振動部１３０３の先端部にノズル２２を囲むような中空部１３２０を設けてカップ状とすることで、ノズル２２の全周を効果的に洗浄できる。さらに、カップ状とした場合でも、中空部１３２０を貫通孔とすることで、中空部１３２０内の洗浄液も置換可能であり、超音波洗浄器１３００は超音波洗浄器１２００と同じく、液のオーバーフロー構造に対応できる。特に、カップ状とすることで、振動部１３０３の液と接する面の表面積を大きくできるため、後述の液のオーバーフローによる冷却効果を高めることができる。【００９８】
図１３は本実施形態の放熱構造（冷却構造）を持つ超音波洗浄器の一例の外観図である。各（ａ）〜（ｄ）は、超音波洗浄器の上面図（ａ）と背面図（ｂ）と断面図（ｃ）（背面図（ｂ）のＡ−Ａ断面）と斜視図（ｄ）である。超音波洗浄器１４００は超音波洗浄器１２００と同様の構造であり、異なるのは超音波振動子１４０１内に放熱用（冷却用）のチューブ１４０２が設けられていることである。ＢＬＴは前述の通り、２つの金属ブロックでピエゾ素子を挟み込み内部のボルトで締結しており、超音波洗浄器１４００では内部のボルト１４０３に孔を開け、２本のチューブ１４０２を通している。図１３では、チューブ１４０２は超音波振動子１４０１の側面から入り、背面から抜けてまた背面から超音波振動子１４０１に入り、最後に超音波振動子１４０１の側面から出ている。また、チューブ１４０２内には流体（例えば水）を充填でき、ポンプ（図示せず）で循環できる構造である。超音波洗浄器１４００の外部にあるチューブ１４０２の一部は、チューブ１４０２内の流体は冷却器などの冷却手段を通りピエゾ素子の熱を放熱（冷却）できる。冷却手段として、自動分析装置１０内にある試薬を保冷するための保冷庫（試薬ディスク１２の一部）の冷却機能を用いて良い。以上のような構成によれば、ピエゾ素子１２１３の発生する熱は、チューブ１４０２内を通る流体の循環によって、超音波洗浄器１４００の外部に放熱でき、振動部１２０２への熱の移動を抑制することができる。【００９９】
図１３では、チューブ１４０２の配置を超音波振動子１４０１の側面から入り、背面から一度出る構成で示したが、チューブ１４０２の出入りする面や位置は、図１３と異なっても放熱（冷却）できる。また、チューブ１４０２を用いず超音波振動子１４０１内に流路を直接形成し、流路にチューブを接続しても良い。チューブ１４０２は、ピエゾ素子１２１３の高温に耐えられる材質で、超音波振動子１４０１の振動に影響しない剛性の低いものが望ましい。【０１００】
超音波洗浄器１４００も超音波洗浄器１２００と同じく液のオーバーフロー構造であるため、後述の液のオーバーフローによる放熱（冷却）が可能である。【０１０１】
また、冷却手段では冷却器を用いない方法として、前述したヒートシンクや空冷ファン、ペルチェ素子を使う方法もある。【０１０２】
図１４は本実施形態の超音波洗浄器における液オーバーフロー構造と配管接続の一例である。超音波洗浄器２６に洗浄液や水を供給するため、洗浄槽１２０６の下部には配管１５０１が接続される。配管１５０１には、液を圧力で押し出すためのシリンジポンプ１５０２と、洗浄液が貯水されている洗浄液タンク１５０３と、上水道から水を供給するための上水と接続する配管１５０４と、配管の接続を切り替えるための切り替え弁１５０５が接続される。さらに、洗浄槽１２０６からあふれた液は排出口１２０８を通って下水道へ排水する下水に接続する配管１５０６がある。以上のような構成で、シリンジポンプ１５０２と切り替え弁１５０５を制御することで、洗浄液もしくは水を洗浄槽１２０６に供給することができる。また、オーバーフロー時の液の流路１５０７に示すように、液を供給することで洗浄槽１２０６内にあった液はあふれ、オーバーフローによって下水に排出することができる。シリンジポンプ１５０２や切り替え弁１５０５は、装置を制御する制御部２８からの指示によって動作し、オーバーフローの回数や液の種類（水か洗浄液）を制御できる。【０１０３】
以上のような液のオーバーフローは、超音波振動子（１２０１〜１４０１のいずれか）からの熱が振動部（１２０２や１３０３）の先端部に移動した場合に、振動部（１２０２や１３０３）の先端部から熱を放熱することに利用できる。特に、液のオーバーフローを複数回繰り返すことで、振動部から液への放熱、熱された液の排出、常温の液の供給を繰り返す（上水は常温のため加熱された振動部より温度が低い）。このため、オーバーフローを複数回繰り返すことで、振動部（１２０２や１３０３）の先端部から排熱できる。なお、オーバーフローを複数回繰り返すことに換え、長い時間連続して液をオーバーフローさせ続けてもよい。また、洗浄液の使用量を抑えるため、オーバーフローする液は水に切り替えることが望ましい。【０１０４】
また、ノズル２２の超音波洗浄を行うときには洗浄液を供給し、長時間洗浄しないときは水を供給して貯水しておくこともできる。【０１０５】
なお、洗浄槽１２０６に供給する洗浄液は、洗浄液タンク１５０３にある原液を水で希釈してから供給することもできる。【０１０６】
図１５は本発明の超音波洗浄器を用いたノズル洗浄の処理フローの一例である。各（ａ）〜（ｃ）は、超音波洗浄を含んだサンプルのサンプリング処理フロー（ａ）、超音波洗浄の処理フロー（ｂ）、洗浄液の交換タイミング（ｃ）である。【０１０７】
装置がオペレーション状態Ｓ１６０１のとき、サンプル分注機構１５はサンプルのサンプリング処理Ｓ１６１１を繰り返す。サンプリング処理Ｓ１６１１では、分注（サンプルの吸引とサンプルの吐出）Ｓ１６１２を行ない、分注したサンプルが超音波洗浄を必要ないサンプルの場合（判断処理Ｓ１６１３）、ノズル２２を水で洗い流す水洗浄Ｓ１６１４を行い、超音波洗浄が必要なサンプルの場合（判断処理Ｓ１６１３）、超音波洗浄Ｓ１６１５（処理フローの詳細は後述）を行った後で水洗浄を行う。以上の処理を繰り返す。【０１０８】
上記の説明ではサンプル判定Ｓ１６１３の結果により、水洗浄Ｓ１６１４のみの場合と超音波洗浄Ｓ１６１５と水洗浄Ｓ１６１６の場合に分けたが、サンプリングのたびに超音波洗浄Ｓ１６１５を実施しても良い。【０１０９】
超音波洗浄Ｓ１６１５では、超音波振動子（１２０１、１３０１、１４０１）の駆動を開始Ｓ１６２１（例えば既定電圧の正弦波を印加）し、ノズル２２を洗浄槽１２０６に挿入Ｓ１６２２し、一定時間経過後にノズル２２を洗浄槽１２０６から引き抜きＳ１６２３、超音波振動子（１２０１、１３０１、１４０１）の駆動を停止Ｓ１６２４する。その後、洗浄に使った洗浄槽１２０６内の洗浄液をオーバーフローして交換Ｓ１６２５する。【０１１０】
ノズル挿入Ｓ１６２２からノズル引き抜きＳ１６２３までの時間は、オペレーション中は短いが、汚れの程度を分注回数から推定し、洗浄時間を長く制御することも可能である。また、装置状態が分注処理を必要としないメンテナンス状態のときに超音波洗浄する場合には洗浄時間は長くしても良い。【０１１１】
前述した液のオーバーフローによる振動部（１２０２や１３０３）の放熱の実行タイミングは、超音波洗浄Ｓ１６１５が動作しない時間１６３１が長くなるタイミングで行えば良いので、例えば自動分析装置１０内で管理する検査項目やサンプルの種類から超音波洗浄Ｓ１６１５が動作しないスケジュールを自動的に判断し、水をオーバーフローＳ１６２６して振動部（１２０２や１３０３）の放熱を行っても良い。水のオーバーフローＳ１６２６はオペレーション中に既定の洗浄回数に達したタイミングで行う方法や一定のタイミングで行う方法、あるいは温度検出手段で一定温度以上になったときに行う方法がある。温度検出手段については後述する。【０１１２】
振動部（１２０２や１３０３）の放熱（冷却）のため、水をオーバーフローＳ１６２６したあとは、洗浄液に置換し直す処理Ｓ１６２７を行い、超音波洗浄Ｓ１６１５を行う。【０１１３】
図１６は本発明における超音波洗浄器の温度変化に対応する洗浄フローである。超音波洗浄１７００の実行タイミングは、超音波洗浄Ｓ１６１５と同様である。超音波洗浄Ｓ１７００は、超音波振動子（１２０１、１３０１、１４０１）を駆動開始Ｓ１７０１後に、超音波振動子（１２０１、１３０１、１４０１）の共振周波数が事前に測定した値と比べて差が既定の閾値を超えていないかをチェックＳ１７０２する。【０１１４】
共振周波数は超音波振動子に電圧を印加する回路（インピーダンスが低い周波数に自動調整し電圧を増幅して出力する回路）を介して出力することができる。従い、制御部２８はこの回路から出力される共振周波数によりこの差を知ることができ、既定の閾値との判定が可能である。超音波振動子（１２０１、１３０１、１４０１）の共振周波数は、温度に依存して変化し、共振周波数が事前に測定した値よりも大きく変化したときは、超音波振動子（１２０１、１３０１、１４０１）が高温となっていると判定できる。比較に用いる超音波振動子（１２０１、１３０１、１４０１）の共振周波数は、例えば自動分析装置１０起動時のプレ動作などで予め記憶しておく。超音波振動子（１２０１、１３０１、１４０１）が高温となったときは、前述の通りノズル２２を加熱しないためには振動部（１２０２や１３０３）の放熱処理が必要である。そこで、共振周波数のチェックＳ１７０２で閾値値より大きな値が検出された場合は、洗浄前の異常検出状態Ｓ１７０３に遷移し、制御部は、洗浄槽へ挿入予定であった分注ノズルの制御を中断する。加えて、自動分析装置１０の操作画面に異常を表示するなどアラームをユーザに通知する。さらに、前述の液をオーバーフローによるオーバーフロー冷却Ｓ１７０４を実行する。一定時間のオーバーフロー冷却（放熱動作）Ｓ１７０４を実行して十分な放熱を行うことが望ましい。【０１１５】
振動子の共振周波数の変化をチェックする処理Ｓ１７０２で閾値より変化が小さい場合は、それほど超音波振動子が高温となっていないと判定できるため、ノズル２２を洗浄槽１２０６に挿入Ｓ１７０５する。一定時間ノズル２２を洗浄槽１２０６に入れ超音波洗浄Ｓ７０６した後に、ノズル２２を洗浄槽１２０６から引き抜きＳ１７０７、振動子の駆動停止Ｓ１７０８、洗浄液の交換Ｓ１７０９を行い、ノズルの温度チェックＳ１７１０を行う。なお、振動子の駆動停止Ｓ１７０８とノズルの温度チェックＳ１７１０は同時に行っても問題ない。【０１１６】
ノズルの温度チェックＳ１７１０はノズルに貼り付けた温度センサなどの温度測定手段を用いることができる。なお、温度センサとして熱電対が考えられる。また、温度センサとして赤外線センサでもよく、赤外線センサでノズルの温度を非接触で得ることもできる。また、ノズル２２を洗い流した水の温度からノズル２２の温度を間接的に予測しても良い。ノズルの温度の検知（又は予測）は、様々な手段が考えられ以上の手段に限定されるものではない。【０１１７】
ノズル２２の温度（又は予測温度）が常温と比べ閾値以上の差が発生している場合、ノズルの洗浄後異常状態Ｓ１７１１に遷移し、制御部は、次に予定していた試料吸引動作の制御を中断する。加えて、前述の通り分注精度に影響するため、ノズルの内外洗処理Ｓ１７１２を行うことでノズル２２自体を冷却（放熱）する。洗浄後異常状態Ｓ１７１１では、自動分析装置１０の操作画面に異常を表示するなどアラームをユーザに通知しても良い。一定時間ノズルの内外洗処理Ｓ１７１２を行うことで、ノズル２２の温度は常温へと戻る。ノズルの温度チェックＳ１７１０で異常がない場合は、ノズル２２の水洗浄Ｓ１７１３後に通常通りサンプリング処理（Ｓ１６１１）を継続Ｓ１７１４する。【０１１８】
超音波振動子の共振周波数の変化をチェックする処理Ｓ１７０２は、温度センサなどでチェックする手段に置き換えることが可能である。【０１１９】
以上の構成の超音波洗浄器によれば、繰り返しノズル２２を洗浄することで高温となる超音波振動子の温度の影響をノズル２２に伝え難くし、ノズルを洗浄することができる。【０１２０】
本発明の配管接続（図１４）において、水を供給する系統に冷却器（例えば試薬保冷庫）を通るチューブを設け、洗浄槽１２０６内の温度を検出してから、冷却器で冷やした水と洗浄液を混ぜ合せて希釈することで、任意の液温にコントロールできる。洗浄槽１２０６内の温度の測定値から洗浄槽１２０６に入れた後の液温の変化を推定し、事前に洗浄液の温度を低くコントロールし、洗浄槽１２０６内で常温となるように供給することが可能である。【０１２１】
なお、図１５、１６の処理、各種センサのチェックや制御は制御部２８によって行われる。【０１２２】
次に、実施例４の効果について説明する。実施例３の振動部による効果に加え以下の効果を有する。まず、圧電素子（ピエゾ素子）と振動部の間に放熱部を備えることで、繰り返しノズル２２を洗浄することで高温となる圧電素子の温度の影響をノズル２２に伝え難くし、ノズルを洗浄することができる。【０１２３】
また、実施例３では、放熱に関し、超音波振動子と振動部の間に配置された金属製の板ばねと、洗浄槽を含む洗浄器ベースとが固定され、放熱部は板ばね及び洗浄器ベースとなる。この放熱効果を大きくするためには、実施例４のように、振動部よりも圧電素子に近い側に配置された金属部材と、振動子ベースとが固定され、放熱部は金属部材及び振動子ベースとすることが望ましい。金属部材が板ばねよりも熱容量が大きくできるためである。【０１２４】
また、超音波振動子内に流体を流すための流路を備え、放熱部は流路であるとすることが望ましい。流路に流体を流すことで圧電素子の熱を放熱することができる。【０１２５】
また、洗浄槽に接続された、洗浄液および水を供給する配管を備え、制御部は、配管を介して、洗浄槽に洗浄液および水を供給する制御を行い、制御部は、超音波洗浄器の駆動制御を行っていないタイミングで、洗浄槽に水を供給する制御を行い、洗浄槽の開口部から当該水をオーバーフローで排出することが望ましい。これにより、振動部の先端の熱を水のオーバーフローにより効率的に排熱することができる。また、洗浄液ではなく水であるため洗浄液の消費量を少なく排熱することができる。洗浄液が洗剤の場合には、洗浄液の消費量を少なくする効果はコスト面で大きいメリットとなる。【０１２６】
また、超音波振動子の共振周波数を測定する共振周波数測定手段を備え、共振周波数測定手段が測定した共振周波数に応じて、制御部は、洗浄槽へ挿入予定であった分注ノズルの制御を、中断することが望ましい。これにより、共振周波数により超音波振動子の熱を見積もることができ、加熱された洗浄液へのノズル挿入を抑制できる。共振周波数測定手段は例えば超音波振動子に電圧を印加する回路自体であって、例えば共振周波数が事前に測定した値よりも大きく変化したときは、超音波振動子が高温となっていると判定できる。【０１２７】
また、分注ノズルの温度を測定する温度測定手段を備え、温度測定手段が測定した温度に応じて、制御部は、次に予定していた試料吸引動作の制御を、中断することが望ましい。これにより、温度測定手段により分注ノズルの温度を直接又は間接的に検知することができ、加熱された分注ノズルでの試料吸引動作を抑制することができる。温度測定手段は例えばノズルに貼り付けた熱電対、赤外線センサなどであって、ノズルを洗い流した水の温度を検知するセンサであって、このセンサの検出値からノズルの温度を間接的に予測するものであってもよい。例えば温度センサが常温と比べ閾値以上の差が発生している場合にこの中断を行う。これにより、圧電素子の熱起因による、分注精度への悪影響を抑制することができる。【０１２８】
また、超音波振動子の共振周波数を測定する共振周波数測定手段又は分注ノズルの温度を測定する測定手段のいずれかの測定手段を備え、測定手段の測定結果に応じて、分注ノズルに内洗水と外洗水とを接触させることで分注ノズルの熱を放熱させることが望ましい。これにより、分注ノズルの熱放熱が行え、圧電素子の熱起因による、分注精度への悪影響を抑制することができる。
【実施例５】
【０１２９】
次に、他の超音波洗浄器２６の構造について説明する。超音波洗浄器２６は洗浄槽内で超音波を発生させる。後述するように、超音波洗浄器２６は、洗浄槽内の洗浄液に挿入され、超音波振動を洗浄液に伝搬させる振動部と、圧電素子を２つ以上の金属ブロックをボルトで締結して固定した構成であり、かつ、振動部に超音波振動を発生させる超音波振動子と、を備える。【０１３０】
実施例５では、ＢＬＴを用いた超音波洗浄器の構成で、駆動周波数を２０〜１００ｋＨｚの範囲で、ノズル先端（特に外周）をムラなく洗浄できる強力なキャビテーションを発生する構成に加えて、洗浄液の液温を高くし高い洗浄効果が得られる超音波洗浄器について説明する。【０１３１】
ところで、洗浄効果には、大きく分けて洗浄液の化学効果を利用する洗浄と、キャビテーションや直進流のような物理効果を利用する洗浄があり、強力な洗浄効果を得るためには両方を効果的に利用することが求められる。洗浄の物理効果に関しては、大変位を発生させることで強力なキャビテーションを発生できる。洗浄の化学効果に関しては、適切な洗浄液の種類を選ぶとともに、液温を制御することが有効である。特に、血液のようなタンパク質を含んだ汚れに対しては、液温を高くすることで高い洗浄効果が得られる。【０１３２】
図１７は本発明の超音波洗浄器の構成の一例を示す図である。各（ａ）〜（ｄ）は、超音波洗浄器の上面図（ａ）と側面図（ｂ）と断面図（ｃ）（上面図（ａ）のＡ−Ａ断面）と斜視図（ｄ）である。超音波洗浄器２６は、超音波振動子（ＢＬＴ）２２０５と振動部（洗浄ヘッド）２２０９を有する。超音波振動子（ＢＬＴ）２２０５は、フロントマス２２０１とバックマス２２０２の間に１つ以上の圧電素子２０３を挟み、フロントマス２２０１とバックマス２２０２をボルト２２０４で締結することで構成される。自動分析装置の一部であるベース部２２０７は、洗浄液を貯水する洗浄槽２２０６を有し、超音波振動子２２０５を支持する。超音波振動子２２０５はフランジ部２２０８を備え、フランジ部２２０８を介してベース部２２０７により支持される。さらに、超音波振動子２２０５は、洗浄槽２２０６に延びる振動部（洗浄ヘッド）２２０９と接続される。【０１３３】
振動部（洗浄ヘッド）２２０９の先端部２２１０は円筒形状であり、洗浄液に挿入された状態であって、円筒形状の一部又は全部が浸かっている。つまり、振動部（洗浄ヘッド）２２０９は、円筒形状のようにノズルを囲む形状をしている。先端部２２１０は、洗浄槽２２０６とは接しない。先端部２２１０の円筒部は、ノズル２２の先端外径よりも大きい孔が開いている。このため、振動部（洗浄ヘッド）２２０９は中空部（後述のノズル挿入口３０３）を有し、ノズル２２が中空部に挿入でき、中空部は洗浄液で満たされることになる。制御部２８は、中空部にノズル２２を挿入した状態で振動部（洗浄ヘッド）を振動させることにより、ノズル２２の洗浄を行う。【０１３４】
また、洗浄槽２２０６には洗浄液を供給する洗浄液供給管２２１１があり、一定量の洗浄液を供給することで洗浄槽２２０６内にある洗浄液をオーバーフローで置換することができる。洗浄槽２２０６からあふれた洗浄液は、洗浄槽２２０６の外周にある液受け２２１２に流れ、排水路２２１３から排出される。ここで、洗浄液供給管２２２１の洗浄槽２２０６側の出口は図示するように振動部の底の真下に配置されていることが望ましい。洗浄液を勢い良く供給する場合に振動部の底に洗浄液を当てることで洗浄槽の外に洗浄液が飛び出るのを防ぐことができるためである。これにより洗浄槽の外に洗浄液が飛び出るのを防ぎつつ勢いよく洗浄槽内に洗浄液を供給でき洗浄液を短時間で置換することができる。なお、図１０の振動部においても同様にこの真下に送液ポートの出口を配置することが望ましい。【０１３５】
なお、図中ではフランジ部２２０８の下側のみをベース部２２０７で支持する図を記載したが、フランジ部２２０８の上側はベース部２２０７と接続できる部材などで上から押さえて、フランジ部２２０８の全周を均等に固定することが望ましい。また、フランジ部２２０８とベース部が接する部分にはフランジ部２２０８やベース部２２０７の磨耗や騒音を防止するためにゴムやシリコンなどの弾性力のある干渉部材を入れても良い。【０１３６】
また、フロントマス２２０１とバックマス２２０２は金属ブロックであって、金属ブロック（２２０１や２２０２）と圧電素子２２０３の間と、複数の圧電素子２２０３の間には、電極板（例えば銅板）が挟まれており、電極に対して任意の周波数の正弦波電圧を印加することで、ボルト２２０４の軸方向に超音波振動子２２０５は駆動する。なお、これは一例であって、圧電素子２２０３は１つでも良い。超音波振動子２２０５は、圧電素子を２つ以上の金属ブロックをボルトで締結して固定した構造であれば圧電素子の数は問わない。ボルト２２０４の軸方向に超音波振動子２０５が駆動することで、振動部（洗浄ヘッド）２２０９に超音波振動を発生させることができる。【０１３７】
特に、フロントマス２２０１の形状を図示するようにホーン形状（圧電素子２２０３側と先端側で径を変化させる形状）とすることで、圧電素子２２０３の発生する振幅を増幅させることができる。ホーンの長さや形状を駆動したい周波数に合わせて設計することで、少ない電力で大振幅が得られる。図１７ではコニカルホーン形状を示しているが、他の形状（エクスポネンシャルホーンなど）でも問題ない。つまり、振動部が固定された金属ブロックは振動部に向かって径が連続的に小さくなっている。なお、ホーン形状の断面形状は円でなくとも良く多角形でもよい。この場合には、径は外接円又は内接円が連続的に小さくなっている。なお、振動部の固定については、振動部がフロントマス２２０１と一体化していれば良いので、ボルト等で固定されていても良いし、フロントマス２２０１と一つの部品として形成されていても良い。【０１３８】
さらに、本実施例ではホーン形状のフロンマス２２０１の先端に洗浄槽２２０６に延びる細長い振動部（洗浄ヘッド）２２０９を有しており、この下方に延びる部材が撓ることでホーン先端の振動をさらに拡大し、先端部２２１０に大変位を発生させることができる。【０１３９】
以上の構成の超音波洗浄器２６は、２０〜１００ｋＨｚの周波数で圧電素子２２０３を駆動（超音波振動を発生）することで、洗浄槽２２０６内の振動部（洗浄ヘッド）２２０９が大変位で振動（周波数は駆動周波数と同じ）し、洗浄液に浸かる先端部２２１０の周囲を中心にキャビテーションが発生する。【０１４０】
超音波洗浄器２６でノズル２２を洗浄するときは、圧電素子２２０３を２０〜１００ｋＨｚの周波数で駆動させておき、先端部２２１０の円筒形状の内側の孔（中空部）にノズル２２を洗浄範囲（ノズル先端から５ミリ程度の範囲）が洗浄液に浸かるように挿入し、一定時間洗浄水に接触させておくことでノズル外周部に付いた汚れをキャビテーションによって除去する。本発明の超音波洗浄器２６は、振動部（洗浄ヘッド）２２０９の変位拡大効果によって、強力なキャビテーションを発生できる。【０１４１】
加えて、振動部（洗浄ヘッド）２２０９は、超音波振動子２２０５が振動した際に、洗浄槽２２０６内に挿入された振動部（洗浄ヘッド）２２０９が共振振動する共振点を２０〜１００ｋＨｚの範囲内に有する。そして、制御部２８は、中空部にノズルを挿入した状態で振動部（洗浄ヘッド）２２０９を２０〜１００ｋＨｚで振動させることにより、ノズル２２を洗浄する。このため、先端部２２１０は超音波振動子２２０５の振動に同期して共振し、超音波振動子２２０５に印加する電気エネルギーを効率的に先端部２２１０の大きな振幅に変換することができる。通常の機械設計では、部品同士が共振することで撓みが増幅されるため、部品の破壊を避けるため共振点を離して設計することが行われるが、振動部（洗浄ヘッド）２２０９は、長時間の連続駆動を行わないことを想定しているため敢えて積極的に共振現象を利用することで、短時間で高い洗浄効果を得ることができる。【０１４２】
洗浄後は、ノズル２２を引き抜き、洗浄液をオーバーフローで自動交換することで、次にノズル２２を洗浄するときには新しい洗浄液で洗浄することができ、キャリーオーバを抑えることができる。【０１４３】
また、先端部２２１０の円筒形状の孔とその周囲に洗浄液があれば洗浄できるため、使用する洗浄液量を減らすことができる。例えば外径１．０ミリ以下の細いノズルであれば０．５ｍＬ以下の液量でも洗浄可能であり、洗浄器のサイズも小型化できる。【０１４４】
さらに、後述する液温制御を利用することで、洗浄液の化学作用の効果が高い液温（常温より高い温度）にすることが可能であり、強力なキャビテーションによる物理作用と化学作用による汚れ除去作用によって、短時間で高い洗浄効果を得ることができる。【０１４５】
本実施例では、洗浄槽２２０６に洗浄液を入れた使用方法を記載しているが、洗浄液は洗剤に限らず水でも良い。水を使用してもキャビテーションによる高い洗浄効果が得られることに変わりなく、洗剤でなくても温水もタンパク質などの汚れに対して有効であり、目標とする洗浄効果によって水を使用してもよい。【０１４６】
図１８は本実施例の超音波洗浄器２６の振動部（洗浄ヘッド）２２０９の構造の例である。以下、振動部を洗浄ヘッド２２０９と称する。洗浄ヘッド２２０９の正面図（ａ）と側面図（ｂ）と斜視図（ｃ）と先端形状の他の形状例（ｄ）、（ｅ）、（ｆ）と首に加工を加えた例（ｇ）と先端と根元の間にラウンド部（Ｒ部）を設けた例（ｈ）である。なお、洗浄ヘッド２２０９には先端部以外にも首２３０４が含まれる。【０１４７】
洗浄ヘッド２２０９は超音波振動子２２０５の先端に取り付ける、あるいはフロンマス２２０１と一体構造で作る必要があるため、洗浄ヘッド２２０９の上部にある固定部２３０１は円柱形状である（フロントマス２２０１のホーン形状に合わせて、側面に傾斜を持たせても良い。）。洗浄ヘッド２２０９の下部の先端部には洗浄部２３０２がある。洗浄部２３０２には、前述の円筒形状があり、円筒形状の内側には洗浄対象であるノズル２２の外形よりも大きい、中空部に相当するノズル挿入口（貫通孔）２３０３がある。固定部２３０１と洗浄部２３０２の間には、洗浄部２３０２の変位を拡大するための首２３０４と、首２３０４を固定部２３０１につなぎ、根元部分の強度を増すための補強部２３０５がある。首２３０４は垂直方向に延びており、ノズル２２は垂直方向に下降し中空部に挿入されることから、首２３０４とノズル２２との干渉を避けるため、洗浄部２３０２は首２３０４に対して水平方向に突出している（図示の如く側面はＬ字となっている）。【０１４８】
なお、水平方向で首２３０４の端面から洗浄部２３０２先端までを洗浄部長さ２３０２ａと、垂直方向で補強部２３０５下端から洗浄部２３０２下端までを首部の長さ２３０４ａと定義する。また、洗浄部２３０２の形状により洗浄部高さ２３０２ｂが定義される。【０１４９】
洗浄部２３０２は、前述の通り洗浄槽２２０６に貯められた洗浄液に浸かるため、圧電素子２２０３を駆動することで洗浄部２３０２での拡大した振動によりノズル挿入口２３０３内の洗浄液にキャビテーションが発生する。特に、圧電素子２２０３で発生する変位は、前述のホーン形状のフロントマス２２０１で拡大され、さらに首２３０４でも拡大されるため、洗浄部２３０２では大変位の振動となる。キャビテーションは超音波が集中する領域に発生し、超音波強度が強いほど強力なキャビテーションとなるので、狭い範囲に大きな変位を発生することがキャビテーションの発生に有効である。本発明の洗浄ヘッド２２０９は、大変位の発生が可能であり、さらにノズル２２のサイズに合わせたノズル挿入口２３０３は孔径が数ミリ以下にでき狭い領域であり、キャビテーションの強度が強い振動発生面とノズル２２の全周との距離が近く、強力なキャビテーションを照射可能である。なお、キャビテーションは、ノズル挿入口２３０３が小さいほど強力となるが、前述の通り、ノズル２２は高速で移動させるため残留振動の問題があり、ノズル挿入口２３０３は、ノズル２２の下降動作で生じる残留振動でノズル２２が接触しない範囲で裕度を持たせた設計とする必要がある。  加えて、洗浄部２３０２は、超音波振動子２２０５が振動した際の共振点を２０〜１００ｋＨｚの範囲内に有する。超音波振動子２２０５が２０〜１００ｋＨｚで振動するため、洗浄ヘッド２２０９の構造自体が共振し易い構造としている。この共振効果により強力なキャビテーションを短時間で照射可能である。【０１５０】
次に、洗浄部２３０２の他の形状例を説明する。洗浄部２３０２の形状には、切れ目のある角型ブロック形状２３１１や、切れ目のある円筒形状２３１２や、角柱状の孔を開けた形状２３１３でも洗浄効果を得ることは可能である。洗浄部の各形状（２３０２、２３１１、２３１２、２３１３）の取り付け方向は問わない。例えばボルト２２０４の軸方向と９０度ずらして洗浄部（２３０２、２３１１、２３１２、２３１３）を取り付けても洗浄できる。また、他の形状例のノズル挿入口２３０３も中空部と考えることができる。このように、洗浄部２３０２の形状として、切れ目のある形状であってもノズルを完全に囲む形状であってもいずれでも良い。すなわち、ノズル２２から見て複数方向に洗浄部２３０２の部位が配置されていれば中空部と考えることができる。洗浄部２３０２をこのような構成とすることで洗浄ムラが抑制できる。【０１５１】
首２３０４には、洗浄部２３０２の振幅を拡大しやすくするため（後述の歪を発生させるため）に首の径を細くする加工２３２０を加えても良い。【０１５２】
洗浄ヘッド２３１４は、洗浄ヘッド２２０９と別の構造の例である。洗浄ヘッド２３１４には、洗浄ヘッド２２０９と同じく固定部２３０１と洗浄部２３０２と首２３０４がある（補強部２３０５はない）。洗浄部２２０９と異なる点は、洗浄部２３０２と首２３０４の間に接続部２３２１があることで、ノズル挿入口２３０３は首２３０４から比較的離れた位置にある。洗浄ヘッド２３１４の利点は、接続部２３２１にラウンド部（Ｒ部）を設けることができ、洗浄部２３０２の大振幅で発生する応力を分散することができる。応力を分散化することで耐久性が増し使用期間を延ばすことができる。また、ノズル挿入口３０３２が首２３０４から離れることで、ノズル２２と洗浄ヘッド２３１４の接触リスクをさらに低減することができる。以上のような構成の洗浄ヘッド２２０９を前述の超音波振動子２２０５に取り付ける、あるいはフロントマス２２０１と一体構造とすることで、ノズル挿入口２３０３に挿入し洗浄液に浸かったノズル２２の外周に対して、ノズル挿入口２３０３内に発生するキャビテーションを効果的にあてることができる。【０１５３】
図１９は洗浄ヘッド２２０９の振動モードと洗浄液の温度勾配の例を示す図である。各（ａ）〜（ｄ）は、１次振動モードの変形（ａ）、２次振動モードの変形（ｂ）、洗浄液の温度勾配（ｃ）、（ｄ）洗浄ヘッド（２２０９、２３１４）を取り付けた超音波振動子のインピーダンス波形である。【０１５４】
前述の通り、洗浄ヘッド２２０９には、細長い首２３０４があり、先端の洗浄部２３０２の振動が拡大される。洗浄ヘッド２２０９の共振周波数は、洗浄ヘッド２２０９の材質（ヤング率）首２３０４の長さと断面形状、洗浄部２３０２の質量などで決まり、共振周波数で駆動することで洗浄部２３０２の振動は大振幅となる。また、先端に洗浄部２３０２のような質量を付加した形状には共振周波数が複数あり、例えば洗浄ヘッド２２０９には、１次振動モード（ａ）と２次振動モード（ｂ）のような変形が発生する共振周波数が存在する。なお、（ａ）と（ｂ）は、振動モードの違いを分かり易くするため首２３０４の変形を極端に大きくして示している。【０１５５】
１次振動モードは、洗浄部２３０２がボルト２２０４の軸方向に大きく振れる振動モードである。２次振動モードは、洗浄部２３０２がボルト２２０４の軸方向に振れるとともに洗浄部２３０２の中間に振動の節（振幅が小さい部分）ができて上部と下部が大きく振れる振動モードである。洗浄性能に関しては、どちらの振動モードも、洗浄部２３０２の振幅が得られてキャビテーションを発生できるが、２次振動モードは洗浄部２３０２の上下部分が節を中心に逆位相で左右に振動する。そのため、洗浄部２３０２が洗浄液をシェイクするように動きが洗浄槽２２０６内に水流を発生させ、キャビテーションで落としたノズル２２の汚れを洗浄槽２２０６内で循環し、ノズル２２への再付着を抑制できる。一方、１次振動モードは２次振動モードよりも振幅を大きくすることができる。【０１５６】
１次振動モードは洗浄部２３０２が大きく振動するため、首２３０４が変形し歪が発生する。２次振動モードは洗浄部２３０２の上面と下面で逆位相となる振動で動くため、首２３０４と洗浄部２３０２のつなぎ目付近で歪が発生する。金属材は歪が発生すると発熱するため、１次モードでは首２３０４の洗浄部２３０２に近い部分が発熱し、２次モードでは洗浄部２３０２のつなぎ目付近が発熱する。どちらの発熱も洗浄槽２２０６に近い部分であるので、洗浄ヘッド２２０９の熱は洗浄部２３０２から洗浄液に移動する。特に、洗浄部２３０２には、前述の通り孔が開けられているため、洗浄液との接触面積が大きく、効果的に熱を移動できる。逆に、洗浄ヘッド２２０９の上部には体積が大きい補強部２３０５や固定部２３０１があり、熱が拡散されるため洗浄液よりも圧電素子２２０３までは熱が伝わりにくい。また、洗浄液のオーバーフローを行うことで洗浄部２３０２から排熱が可能であり、連続した洗浄動作を行っても超音波洗浄器２６も一定温度以上の発熱を防ぐことができ、高温過ぎない高い液温の洗浄液を、ノズル２２を洗浄する時間帯だけ使用することができる。【０１５７】
なお、歪は段差部分で生じやすいため、発熱させたくない場合には、段差部にラウンド加工（Ｒ加工）を行うことで歪を抑えることができる（洗浄ヘッド２３１４のＲ部参照）。特に、首２３０４の根元部分で歪が発生すると、洗浄槽２２０６から遠く、洗浄部２３０２で発熱した場合と比べ洗浄液への伝達効率が悪い。そのため、補強２部３０５と首２３０４の接続部分は、ラウンド加工（Ｒ加工）を行い急激な形状の変化を発生させない形状とすることが望ましい。【０１５８】
洗浄ヘッド２２０９を動作させたとき（超音波振動子２２０５を駆動したとき）の洗浄槽２２０６内の洗浄液の温度勾配２４０１は、一定時間まで線形に上昇し、一定時間後に飽和し始める（（ｃ）参照）。そのため、駆動開始から一定時間後までの液温上昇は線形近似線２４０２で表すことができる。前述の通り、洗浄液をオーバーフローすることで液温は下がるが、前記の温度勾配２４０１は、オーバーフロー前と変わらず同じ勾配で液温を上昇できる。つまり、あらかじめ洗浄ヘッド２２０９動作時の洗浄槽２２０６内の液温の温度勾配を調べておき、さらに洗浄ヘッド２２０９動作前の液温が分かれば、一定時間動作後の液温を予測することができる。【０１５９】
ところで、洗浄ヘッド２２０９の１次振動モードを利用すると、振動振幅は洗浄部２３０２の下部付近で最大となり、ノズル２２の先端部が最も洗浄できる状態が作れる。一方、洗浄ヘッド２２０９の２次振動モードを利用すると、振動振幅は洗浄部２３０２の上部と下部付近で振幅が最大となるので、ノズル２２の洗浄したいポイントによって振動モードを使い分けることで、高い洗浄効果を得ることができる。例えば、ノズル２２で液体の入った容器から吸引するときには、液体の表面張力によってノズル２２の液面と同じ位置に汚れが蓄積しやすい。そこで、前述の洗浄ヘッド２２０９の２次振動モードで駆動した場合、ノズル２２の汚れが蓄積した位置（液を吸引した時の液面と同じ位置）を洗浄ヘッド２２０９の上部の高さに合わせることで、汚れが取れやすくできる。すなわち、ノズル２２の先端のみならずこの上方においても強い洗浄力で洗浄することができる。【０１６０】
図１９（ｄ）は、横軸に周波数、縦軸にインピーダンスを示した図である。振動ヘッドの共振点２４１０と超音波振動子２２０５の共振点２４１１（ボルト２０４２の軸方向に伸縮するモード）とが示されている。【０１６１】
洗浄ヘッド２２０９（３１４）は、超音波振動子２２０５の駆動周波数２０〜１００ｋＨｚに共振点を有する構造とすることで１次振動モードの駆動であれ２次振動モードの駆動であれ洗浄力を高めることができる。【０１６２】
特に図１９（ｄ）のように洗浄ヘッドの共振点２４１０（図１９（ａ）や（ｂ）のように先端が大きく振れるモード）と超音波振動子２２０５の共振点２４１１が、接近し、これらの差の絶対値は１０ｋＨｚ以下となるように設計することが望ましい。共振点２４１０は１次振動モードの共振点であっても２次振動モードの共振点いずれであっても良い。【０１６３】
１次振動モードで駆動するか２次振動モードで駆動するかは、洗浄ヘッド２２０９（２３１４）の構造により決まる。特に、洗浄部２２０９（２３０２）は中空部を形成する都合上、首の先端に重りが付いた洗浄ヘッド２２０９（２３１４）の構造となっている。首を長くしたり先端に重りを設けたりすると１次振動モードの共振点は低周波数となる傾向となる。このため、１次振動モードを使用したい場合には、首の長さや重りの重さを考慮する必要がある。これを考慮しないと洗浄ヘッドの１次振動モードの共振点が２０ｋＨｚ未満となるためである。また、逆に適度な首の長さや適度な重りの重さとすることで、１次振動モードや２次振動モードの共振点を２０〜１００ｋＨｚの範囲内に収めることができる。なお、共振点に影響を与えるパラメータは後述のように様々あるためここでは代表的な首の長さと先端の重さに着目した。【０１６４】
以上のように、洗浄部２３０２が振れる振動モードで駆動することで、洗浄ヘッド２２０９の洗浄槽２２０６に近い部分で発熱し、洗浄槽２２０６内の洗浄液の液温を上昇させることができる。すなわち、ノズル２２を洗浄槽２２０６内の洗浄液に挿入する前に、超音波洗浄器を駆動することで洗浄槽２２０６内の洗浄液の温度を常温よりも高い温度とし、常温よりも高い温度の洗浄液にノズル２２を挿入して超音波洗浄を行う。また、事前に単位時間当たりの上昇温度の勾配が分かれば一定時間後の液温を予測することができる。【０１６５】
なお、洗浄ヘッド２２０９（２３１４）で２次振動モードを２０〜１００ｋＨｚで利用するには、首の長さ２３０４ａと幅（洗浄ヘッド２２０９では首の直径）と奥行き（洗浄ヘッド２２０９では首の直径）によって決まる首の剛性と、洗浄部の長さ２３０２ａとノズル挿入口２３０３の内径と洗浄部２３０２の外径によって決まる洗浄部２３０２の質量を適切に設計する必要がある。【０１６６】
本実施例が対象とするノズル２２の先端外径は０．５〜１．５ｍｍと細く、ノズル洗浄口２３０３をノズル外径に合わせて設計が必要である。例えば、ノズル挿入口２３０３の内径を２．０〜４．０ｍｍで、洗浄範囲がノズル２２の先端４．０ｍｍとすると洗浄部の高さ２３０２ｂは４．０ｍｍとなり、洗浄ヘッド２３１４は、首の太さと奥行きを３．０〜５．０ｍｍ、長さを１５〜２０ｍｍ、洗浄部の長さ２３０２ａを７〜１０ｍｍの範囲で設計することで、おおむね２０〜１００ｋＨｚに２次振動モードの共振点を有する設計となる。洗浄ヘッド２２０９では、前述の首の太さ、奥行きの部分を径に置き換え３．０〜５．０ｍｍとする。【０１６７】
前述の寸法を基準に、有限要素法などの解析を用いることで、より詳細に共振周波数の設計が行える。また、洗浄部２３０２と首２３０４の間のＲ部２３２１の有無やラウンド部（Ｒ部）の形状によって首２３０４の剛性が変わるため、共振周波数の設計条件は前述の基準寸法から±１ｍｍ程度ずれる場合もある。本実施例では、ノズル挿入口２３０３を洗浄部２３０２の先端側に寄せる例を示したが、ノズル挿入口２３０３を首２３０４側に寄せた場合、重心位置が異なるため、多少共振周波数がずれることになる。【０１６８】
なお、ノズル２２の外径によっては、前述の寸法から外れた範囲で洗浄ヘッド（２２０９、２３１４）を設計することになるが、２０〜１００ｋＨｚに２次振動モードの共振を設計するには、前述の首剛性と洗浄部の比率から同様に設計可能である。【０１６９】
洗浄ヘッド（２２０９、２３１４）の材質は、フロンマス２２０１の材質と同様のものが望ましく、ＳＵＳやチタンが望ましい。【０１７０】
このように、上記では、２０〜１００ｋＨｚに２次振動モードの共振点を有する形状例を示したが、上記の数値範囲に限らず２次振動モードの共振点を前述の範囲内とすることは可能であるため具体的形状における個々の数値自体は重要ではなく様々な数値で２次振動モードを実現することができる。制御部２８は、洗浄ヘッド（２２０９、２３１４）が２次振動モードで振動する周波数で超音波振動子を振動させノズルの洗浄を行うことで上記の２次洗浄モードで得られる効果を得ることができる。【０１７１】
図２０は本実施例の超音波洗浄器を用いたオペ―レーション時のノズル洗浄のタイムチャートの一例である。図では、ノズル動作、超音波振動子動作、洗浄液入替のタイムチャートを示し、併せて洗浄液の温度の時間変化も示している。オペレーション時には、サンプル検査のために高スループットで装置が動作することから、ノズル２２の洗浄は短時間で行う必要がある。例えば３．６秒以内でノズル２２の洗浄が行われる。なお、これらの動作は制御部２８によって制御される。【０１７２】
まず、洗浄槽２２０６内の洗浄液を入れ替えするため、一定量の洗浄液を押し出しオーバーフロー（２５０１）する。洗浄液の押し出しには、洗浄液供給管２２１１に接続したポンプで行う。洗浄液が入れ替わり、液面の揺れが収まったあとで、超音波振動子を駆動し洗浄槽２２０６内の洗浄液に対して超音波振動を発生させる（２５０２）。超音波振動を発生させることで、前述の通り洗浄槽２２０６内の洗浄液にはキャビテーションが発生する。【０１７３】
次に、ノズル２２は超音波発生後に洗浄槽２２０６内の洗浄液に挿入（２５０３）し、一定時間経過後に洗浄槽２２０６から引き抜く（２５０４）。洗浄槽２２０６内の洗浄液へのノズル２２を挿入する動作（２５０３）と洗浄液から引き抜く動作（２５０４）は、前述の通りサンプル分注機構１５の上下動作で行い、ノズル２２が洗浄槽２０６内の洗浄液に浸かっている時間が超音波洗浄器２６を使った洗浄時間となる。【０１７４】
そして、ノズル２２の引き抜き後は、超音波振動を停止（２５０５）し、次の洗浄のため再び洗浄液をオーバーフロー（２５０６）することで、次の洗浄を新しい洗浄液で行うことができ、超音波洗浄器２６で落としたノズル２２の汚れは排水として装置から排出される。【０１７５】
なお、洗浄液の交換タイミングは、次に超音波洗浄器２６を使う直前のタイミングとしても良いし、超音波洗浄器２６を使用した直後としても良い。【０１７６】
図２０のようなタイミングで洗浄動作を行うと、洗浄槽２２０６内の洗浄液の温度（２５２０）は図示されたように推移する。洗浄液のオーバーフロー（２５０１）後は液温が低下し、ノズル２２を洗浄するために超音波振動を開始するタイミング（２５１０）で、液温は一定の勾配で上昇を始め、超音波振動子を停止するタイミング（２５１３）まで上昇を続ける。このタイミング後は液温が下がり、洗浄液のオーバーフロー（２５０６）をすることで液温はさらに下がる。【０１７７】
本実施例の超音波洗浄器２６は、ノズル２２を洗浄するタイミングに液温を洗浄に適した温度にコントロールすることができる。前述の通り、超音波洗浄器２６の洗浄ヘッド２２０９（２３１４）は振動させることで洗浄ヘッドの首で発熱し、液温の温度上昇は一定時間までは線形に変化することが分かっている。このため、超音波振動を開始するタイミング（２５１０）と、ノズル２２を洗浄槽内の洗浄液に挿入するタイミング（２５１１）の間隔（時間）を調節することで、超音波振動を開始するタイミング（２５１０）の洗浄槽２０６内の洗浄液の液温から任意の液温に制御可能である。【０１７８】
超音波振動を開始するタイミング（２５１０）を早くすれば、基準のタイミングで動作するときに比べ洗浄時の液温を高くでき、逆に超音波振動を開始するタイミング（２５１０）を遅くすれば、基準のタイミングで動作するときに比べ洗浄時の液温を低くできる。このように、図２０で示す温度変化とは異なる温度変化を、超音波振動の開始タイミングの調節により実現することができる。【０１７９】
ここで、ノズル２２は高温の液に浸かると熱膨張し、分注精度に悪影響を与えることがあるため、洗浄槽２２０６内の液温は際限なく高温にすればよいというわけではなく、分注精度に影響しない範囲の液温でかつ常温（２５℃前後）より高く洗浄効果を向上できる液温としなくてはならない。つまり、超音波振動を開始するタイミング（２５１０）が単に早いだけでは、ノズル２２の洗浄効果は得られても分注精度を悪化し、分析装置として十分な性能を実現できなくなる。【０１８０】
例えば、洗浄効果が高い液温（例えば４０℃以上）に対して、分注精度に影響する液温（例えば６０℃以上）であったとすると、ノズル２２を洗浄槽２２０６内の洗浄液から引き抜くタイミング（２５１２）までに６０℃以上とならなければ、分注精度に影響せず、またノズル２２を洗浄槽２２０６内の洗浄液に挿入するタイミング（２５１１）までに液温が４０℃以上であれば、常温（２５℃前後）の洗浄液よりも高い洗浄効果が得られる。そのため、超音波振動を開始するタイミング（２５１０）の液温が例えば２５℃で、事前に確認しておいた洗浄液の温度勾配が例えば３℃／秒であったとするなら、５秒後の液温は４０℃になり、１２秒後の液温は６１℃なるので、ノズル２２を洗浄槽内の洗浄液に挿入する２５０３の５秒以上前から超音波振動子を駆動させ、超音波振動を発生させればよい（５０２）。自動分析装置は前述の通り、高スループットで動作する装置であり、ノズル２２の洗浄時間は数秒程度しか確保できないため、ノズル２２を洗浄槽に挿入する（２５０３）で液温が４０℃〜５０℃であれば、洗浄中の液温上昇があっても６０℃以上にはならず分注精度への影響はなくなる。【０１８１】
あらゆる条件を考慮した上で動作パターンを設定すれば１つの動作パターンでも分注精度への影響をなくしつつ洗浄効果が高い液温での洗浄を実現することができるが、洗浄槽内の洗浄液の容積が小さくなると、装置の設置環境温度や機差の影響を受け、１つの動作パターンではノズル２２の洗浄中の液温の制御が難しくなる場合がある。このため、ノズル２２を洗浄液に挿入するタイミングと超音波振動を開始するタイミングを調節することで、ノズル２２の洗浄中の液温を所望の範囲に収める制御を容易に行うことができる。すなわち、制御部２８は、超音波洗浄器の駆動タイミング若しくはノズル２２の洗浄槽内の洗浄液に対する挿抜タイミングを制御することで、常温よりも高い温度のうち一定範囲の温度内でノズル２２の超音波洗浄を行うことができる。【０１８２】
なお、本実施例の超音波洗浄器２６は、数秒程度の洗浄時間で高い洗浄効果が得られるため、超音波振動を与える時間は短く、さらに洗浄するたびに洗浄液をオーバーフローして交換するため、超音波洗浄器２６を繰り返し使用しても、超音波洗浄器２６自体は、分注精度に影響を与える温度や超音波振動子２２０５が故障するような高温にはならない。【０１８３】
液温の検出には、洗浄槽２２０６に温度センサ（例えば熱電対）を配置する方法や、洗浄液供給管２２１１に温度センサ（例えば熱電対）を貼りつける方法や、洗浄槽２２０６の外部に赤外線方式（非接触）のセンサを配置する方法などがあるが、温度検出方法はノズル洗浄中の液温制御方法には影響しない。【０１８４】
このように、センサなどで超音波洗浄器を駆動する前の液温を検出することができれば、例えば単位時間当たりの上昇温度の勾配に代表される、超音波洗浄器の駆動時間と洗浄液の温度上昇との関係が事前に分かればノズル洗浄中の液温制御は容易にできる。装置自身は超音波洗浄器を駆動してから何秒後にノズルが洗浄液に接触するかをノズルの下降量から把握できるため、ノズルが洗浄液に接触している間の液温を正確に予測できるためである。【０１８５】
超音波振動を開始するタイミング（２５１０）もしくはノズルを洗浄槽内の洗浄液に挿入するタイミング（２５１１）のどちらかを、事前に調べておいた洗浄液の温度勾配など関係および超音波洗浄器を駆動する前の液温に基づき調整することで、ノズル２２を洗浄槽内の洗浄液に挿入するタイミング（２５１１）に所望の液温とすることができる。但し、自動分析装置では、ノズル２２のタイミングは他のユニット（他の分注機構や反応ディスク）と同期した制御を行っており、ノズルの駆動のタイミング調整は他のユニットに影響を与える可能性があり制御が複雑化する可能性がある。このため、洗浄中の液温制御は超音波振動を開始するタイミング（２５１０）の方で行うことが望ましい。【０１８６】
なお、分注精度に影響する液温は、ノズル２２の材質や体積によって異なるが、本発明のタイミング調整は、事前に影響温度を知っておくことで対応可能である。【０１８７】
本実施例では、オペレーション時の動作について説明を行ったが、装置の起動時に状態を初期化するリセット動作や分析の終了時や装置の立ち下げ時に行う自動メンテナンス動作においても、洗浄液の温度を昇温し、効果的な洗浄を行うことが可能である。その場合、洗浄液の入れ替えのためのオーバーフロー（２５０１）と超音波振動子の駆動（２５０２）とを交互に行うことや、超音波振動子の駆動（２５０２）を行っている最中に洗浄液の入れ替え（２５０１）を行うことで液温を過度に上昇させない温度制御を行い、長時間超音波洗浄器２６を動作させることが可能である。後者の如く、洗浄槽内の洗浄液を洗浄槽外にオーバーフローさせ、新たな洗浄液を洗浄槽内に導入する制御を行う間に、制御部２８がノズルの超音波洗浄を行うことで、前者の如く交互に行うよりも短い時間で同等の洗浄効果が得られる。【０１８８】
また、自動分析装置のメンテナンス動作やリセット動作の際に、超音波洗浄器の駆動時間と洗浄液の温度上昇との関係を記憶し、この関係に基づき、オペレーション時の超音波洗浄器の駆動タイミング若しくはノズルの洗浄槽内の洗浄液に対する挿抜タイミングを制御することで、一定範囲の温度内でノズルの超音波洗浄を行うことができる。【０１８９】
なお、リセット動作やメンテナンス動作の場合には、オペレーション中と異なり分注精度への影響を考慮する必要がないため、前述のセンサなどで実際に超音波振動子が駆動している間の温度を把握し、これに基づき温度制御を行っても良い。【０１９０】
図２１は本発明の自動分析装置の分注機構および洗浄器の制御ブロックの構成例である。自動分析装置１０の操作画面には、装置操作・表示部２６００があり、検査を実行するための分析実行操作部２６０１や超音波洗浄器２６の状態を表示するための洗浄器状態表示部２６０２を有する。装置の制御を行う装置制御部２６１０（制御部２８に相当）は、装置操作・表示部２６００からの指令を上位通信処理部２６１１から受け、装置シーケンス処理部２６１２はシーケンスデータ２６１３を基に分注機構１５や超音波洗浄器２６の制御を実行する。【０１９１】
分注機構制御部２６１４はモータ制御部２６１５とモータ駆動部２６１６を介して、分注機構１５の回転や上下動作を行い、ノズル２２を移動する。洗浄器制御部２６１７は超音波制御部２６１８を介して、超音波駆動部（圧電素子用アンプ）２６１９を制御し、超音波洗浄器２６に備えた超音波振動子２２０５を駆動（超音波をＯＮ／ＯＦＦ）する。【０１９２】
超音波振動子２２０５の共振特性は、発熱によって変化するため、洗浄ヘッド２２０９に発生する振幅を維持するためには、共振周波数のずれを補正する必要がある。そのため、超音波駆動部２６１９は周波数調整部（調整回路）２６２０を使い、共振周波数の変化に合わせて駆動周波数を変化させる。【０１９３】
さらに、洗浄制御部２６１７は、ポンプ制御部２６２１に指示を送り、ポンプ駆動部２６２２が洗浄液供給管２２１１の配管につながったポンプ２６３０を駆動する。ポンプの上流側には純水と洗浄液を混ぜる流路やタンクがあるが、本実施例中では省略する。ポンプ２６３０の駆動で洗浄液を送り出すことで、洗浄槽２２０６の洗浄液を押し出し（オーバーフロー）洗浄液の交換を行うことができる。【０１９４】
また、洗浄槽２２０６付近に配置された温度センサ２６４０は、温度計測部（温度センサ値記録器）２６２３で記録した値を計測処理部２６２４で集計し、超音波駆動時温度データ２６２５に蓄積するとともに、温度勾配などの超音波洗浄器の駆動時間と洗浄液の温度上昇との関係に関する情報の記録を行う。洗浄器制御部２６１７では、超音波駆動時温度データ２６２５を基に、超音波振動子２２０５を駆動するタイミングを計算し、超音波振動を開始のタイミング（２５１０）を調整することができる。また、液温が既定より高い場合は、ポンプ制御部を使い洗浄液のオーバーフローで液温を下げることもできる。【０１９５】
超音波駆動時温度データ２６２５は、正常動作時のデータも記録してあり、液温状態管理部２６２６で超音波洗浄器２６の異常状態を判断し、洗浄器状態表示部２６０２に異常を表示することができる。そして、装置制御部２６１０に含まれる洗浄器制御部２６１４は、洗浄槽内の洗浄液を置換する制御を行い、装置制御部２６１０に含まれる液温状態管理部２６２６は、温度計測部２６２３の測定温度が正常範囲を超えたと判断したときに、洗浄槽内の洗浄液を置換することができる。洗浄液の置換により冷却効果があるため熱による装置ダメージを抑制することができる。また、前述のように、液温状態管理部２６２６は、温度計測部２６２３の測定温度が正常範囲を超えたと判断したときに、併せて超音波洗浄器の異常を報知しても良い。【０１９６】
温度センサ２６４０は、前述の方法以外でもノズル２２の挿抜動作を阻害したり、超音波振動子２２０５の振動に影響したり、洗浄液の液温に影響するような検出手段でなければ、どのような検出手段を用いても良い。【０１９７】
図２２は本実施例の超音波洗浄器を用いた洗浄フローの例である。ノズル２２の洗浄動作では、まず洗浄液の交換動作（Ｓ２７０１）を行い（事前に洗浄液が交換されている場合は不要）、交換完了を判断（Ｓ２７０２）し液面の揺れが安定するまで待つ（Ｓ２７０３）。その後、洗浄槽２２０６内の洗浄液の液温を前述の検出方法のいずれかを使い、液温を確認（Ｓ２７０４）し、事前に調べておいた洗浄液の温度勾配などの超音波洗浄器の駆動時間と洗浄液の温度上昇との関係に関する情報から、超音波振動子を駆動開始する時間（タイミング）を計算（Ｓ２７０５）する。その後、計算した時間になるまで、超音波振動せずに待ち（Ｓ２７０６）、計算した時刻となると同時に洗浄槽２２０６内の液温の測定（Ｓ２７０７）と、超音波振動子２２０５の駆動（Ｓ２７０８）を開始し、前述の通り、ノズル２２を下降し洗浄槽２２０６内の洗浄液に挿入する処理（Ｓ２７０９）を行い、一定時間（既定の洗浄時間）経過にノズル２２を洗浄槽２２０６内の洗浄液から引き抜く（Ｓ７１１）。【０１９８】
超音波振動子２２０５の駆動（Ｓ２７０８）では、洗浄ヘッド２２０９の１次の振動モード、もしくは２次の振動モードの共振周波数を使って駆動することで、前述のように洗浄ヘッド２２０９の首２３０４から発熱が始まり、洗浄槽２２０６内の洗浄液を昇温できる。超音波振動子２２０５の駆動開始タイミング（２５１０）を超音波振動開始チェック（Ｓ２７０６）で適切なタイミングとすることで、ノズル挿入処理（Ｓ２７０９）前に洗浄槽２２０６内の洗浄液の液温は常温よりも高い値（洗浄効果が高い温度）で、ノズル引き抜き処理（Ｓ２７１１）までは分注に影響しない液温以下となっている。【０１９９】
ノズル２２が洗浄槽２２０６内の洗浄液から引き抜かれてから、超音波振動子２２０５の駆動を止め（Ｓ２７１２）、超音波振動子２２０５が駆動していた間の液温の変化を記録（Ｓ２７１３）する。【０２００】
オペレーション動作で使う温度勾配などのデータは、超音波洗浄器２６を使用するたびに更新しても良いし、起動時のリセット動作やメンテナンス動作時もしくは定期的にＳ２７０７からＳ２７１３（ノズル動作Ｓ２７０９とＳ２７１１は不要）の動作を実行して得ても良い。また、一定サイクルで超音波洗浄器２６を使う場合など、毎回洗浄するタイミングの液温に変化がない場合は、リセット動作やメンテナンス動作などでタイミングを調整しておくことで、オペレーション時の超音波振動子２２０５の駆動開始タイミングを固定としても良い。なお、リセット動作やメンテナンス動作などのタイミングでタイミングを調整しない場合には、出荷時に固定した超音波振動子の駆動開始タイミングで駆動させても良い。この場合には、Ｓ２７０５、Ｓ２７０７、Ｓ２７１３のステップは省略することもできる。【０２０１】
洗浄液確認処理（Ｓ２７０４）の段階で、分注精度に影響する温度を確認する処理や、超音波振動子を駆動（Ｓ２７０８）することでノズル２２を引き抜き（Ｓ２７１１）前に、液温が分注精度に影響する温度になるかを予測する処理を加えて、超音波振動子を駆動（Ｓ２７０８）する前に洗浄液をオーバーフローすることで液温を下げる処理を加えても良い。ただし、前述の通り、超音波洗浄器２６が高温となって、分注精度に与えるような液温には通常の動作では至らないため、洗浄液確認処理（Ｓ２７０４）で通常より高い温度を検出した場合に、装置の操作部にエラー表示するなどの処理を加えても良い。【０２０２】
以上のような構成の超音波洗浄器２６と洗浄槽２２０６の液温を制御し洗浄液にキャビテーションを発生するための制御方法によれば、ノズル２２を洗浄槽２２０６に挿入する前に液温を常温より高く分注精度に影響しない温度範囲に制御し、さらに洗浄ヘッド２２０９の先端にキャビテーションを集中することで、短時間にノズル２２の外周を洗浄でき、ノズル２２に付着した別サンプルをキャリーオーバすることなく高い検査精度の検査装置を提供することができる。【０２０３】
圧電素子で洗浄槽の底を振動させる市販の洗浄器には、圧電素子を数ＭＨｚで駆動することで液中に直進流と呼ばれる液の流れを発生して洗浄するものがあり、キャビテーションの発生によって傷の発生を嫌う繊細な対象物（例えば半導体ウェハなど）の洗浄に利用されているが、ノズルに付着する汚れは取れにくいため適さない。一方、ＢＬＴは、圧電素子を２つの金属ブロックで挟み込み共振周波数を２０〜１００ｋＨｚに落としており、振幅拡大とキャビテーション発生に有利である。洗浄効果を高めるために長い時間洗浄すると高速な分注処理を実現するのが困難であるが、ＢＬＴを用いることで高速な処理が要求される分析装置に用いるノズルを短時間で洗浄可能である。【０２０４】
実施例１〜５の超音波洗浄器では、ＢＬＴにより水平方向の振動を洗浄槽内に発生させる構成であり、水平方向に振動する振動部が洗浄槽内の側面側に備えられている点で共通する。特に実施例２〜５の超音波洗浄器は、振動部の支点を洗浄槽の上方に設けて、一部を洗浄液に浸す構成であり、実施例１のダイアフラムを振動部に用いた場合よりも大きな振幅が得られる点で有利である。【０２０５】
本実施例では、生化学自動分析装置のサンプル分注を例に説明したが、本発明の超音波洗浄器は試薬分注ノズルや免疫自動分析装置や凝固自動分析装置の分注ノズルなど、他の臨床検査装置の分注ノズルにおいても同様に洗浄可能である。また、分注ノズルに限らず、吸引および吐出を行わずに吸引のみを行うノズルにおいても洗浄可能である。ノズルの材料は特に限定されるものではないが例えば金属ノズルである。【０２０６】
また、上記実施形態では、反応セル内の混合液を測光する測定部を備えた分析装置を例にして説明したが、分析手法はこのような形態以外にも、反応セル等から混合液を吸引した配管内で測光するタイプの測定部を備えた分析装置においても本発明の超音波洗浄器は実装可能である。また、光を使った測定以外にも混合液や試料の電圧測定を利用した分析についても実装可能である。従い、測定部は測光に限られるものではない。試料の電圧測定を利用した分析装置として電解質測定装置が挙げられ、電解質測定装置においても本発明の超音波洗浄器は実装可能である。【０２０７】
すなわち、生化学自動分析装置以外の他の臨床検査装置に本発明の超音波洗浄器を実装した構成も本発明の特許請求の範囲に含まれる。【０２０８】
また、実施例５ではノズルを洗浄槽内の洗浄液に挿入する前に超音波振動子を駆動させる例を示したが、場合によってはノズルを洗浄液に入れた後に超音波振動子を駆動させても良い。【０２０９】
なお、超音波洗浄器の構成に洗浄槽を含んでも含まなくともいずれでも良い。【０２１０】
また、２つ以上の超音波洗浄器で同様の振動部の形状を実現してもよい。但し、上記実施形態のように１つの超音波洗浄器で実現することでコスト低減を図ることができる。【０２１１】
また、本実施形態で説明した超音波洗浄器は、自動分析装置には組み込まずに分注ノズル又は液体を吸引するノズルを洗浄する超音波洗浄器単体としても有益なものである。【０２１２】
上記実施形態は一例であって実施例間で様々な組み合わせが可能である。例えば、図１０から１４の構成の超音波洗浄器に対して図２２のフローを適用しても良いし、図１７や１８の構成の超音波洗浄器に対して図８、１５、１６のフローを適用しても良い。【０２１３】
すなわち、上記実施形態は一例であって、様々な組み合わせや様々な変形例が考えられ、本発明の趣旨を逸脱しない限りにおいて様々な組み合わせや様々な変形例は特許請求の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【０２１４】
１０      自動分析装置
１１      試薬容器
１２      試薬ディスク
１３      反応ディスク
１４      試薬分注機構
１５      サンプル分注機構
２１      試薬用ノズル
２２      サンプル用ノズル
２３      サンプル容器
２４      ラック
２５      反応セル
２６      超音波洗浄器
２７      洗浄槽
２８      制御部
２９      測定部
１００    ＢＬＴ
２００    超音波洗浄器
２０１    ＢＬＴ
２０２    ダイアフラム
２０３    洗浄ポート
２０４    フランジ
２０５    シール材
２０８    排出ポート
２１０    開口部
２１１    洗浄槽
２２０    カバー
２２１    板ばね
２２２    振動部
２２３    洗浄器ベース
２２４    ボルト
２２５    送液ポート
２２６    排出用の穴
３１１    ピエゾ素子
３１２    押さえ部材
３１３    押さえ部材
３２１    ネジ部
３２２    金属板
３２３    振動部
３２４    首
４００    振動部
４０１    定在波
４０２    定在波の半波長
４０３    超音波強度が強い領域（振動部側）
４０４    超音波強度が強い領域（液面側）
５０１    サンプルが付着する範囲
５０２    超音波洗浄器の洗浄範囲
５０３    水洗浄の洗浄範囲
５１１    洗浄槽の底
５１２    洗浄槽の淵
５１３    液位
５１４    ノズル先端位置
５１５    ダイアフラムの中心線
５１６    ダイアフラムの固定端から固定端までの長さ
６０１    配管
６０２    シリンジポンプ
６０３    洗浄液タンク
６０４    配管（上水道用）
６０５    切り替え弁
６０６    オーバーフロー用受け皿
９００    超音波洗浄器
９０１    洗浄ポート
９０２    洗浄槽
９０３    洗浄ポートの洗浄槽側の面
１２００    超音波洗浄器
１２０１    超音波振動子
１２０２    振動部
１２０３    板ばね
１２０４    ボルト
１２０５    洗浄器ベース
１２０６    洗浄槽
１２０７    供給口
１２０８    排出口
１２０９    中空部
１２１１    金属ブロック（振動部側）
１２１２    金属ブロック
１２１３    ピエゾ素子（圧電素子）
１３００    超音波洗浄器
１３０１    超音波振動子
１３０２    振動子ベース
１３０３    振動部
１３１１    金属ブロック（振動部側）
１３１２    金属ブロック
１３１３    ピエゾ素子（圧電素子）
１３１４    金属部材
１３２０    中空部
１４００    超音波洗浄器
１４０１    超音波振動子
１４０２    チューブ
１４０３    ボルト（内部にチューブを通す穴）
１５０１    配管
１５０２    シリンジポンプ
１５０３    洗浄液タンク
１５０４    上水と接続する配管
１５０５    切り替え弁
１５０６    下水と接続する配管
１５０７    オーバーフロー時の液の流路
２２０１    フロントマス
２２０２    バックマス
２２０３    圧電素子
２２０４    ボルト
２２０５    超音波振動子
２２０６    洗浄槽
２２０７    ベース部
２２０８    フランジ部
２２０９    振動部（洗浄ヘッド）
２２１０    先端部
２２１１    洗浄液供給管
２２１２    液受け
２２１３    排出路
２３０１    固定部
２３０２    洗浄部
２３０３    中空部（ノズル挿入口）
２３０４    首
２３０５    補強部
２３１１    角型ブロック形状
２３１２    円筒形状
２３１３    角柱状の孔を開けた形状
２３１４    洗浄ヘッド
２４０１    温度勾配
２４０２    線形近似線
２５０１    オーバーフロー動作
２５０２    超音波振動子の駆動動作
２５０３    ノズルを洗浄槽内の洗浄液に挿入する動作
２５０４    ノズルを洗浄槽内の洗浄液から引き抜く動作
２５０５    超音波振動子の駆動の停止動作
２５０６    オーバーフロー動作
２５１０    超音波振動子の駆動開始タイミング
２５１１    ノズルを洗浄槽内の洗浄液に挿入するタイミング
２５１２    ノズルを洗浄槽内の洗浄液から引き抜くタイミング
２５１３    超音波振動子を停止するタイミング
２５２０    洗浄液の温度
２６００    装置操作・表示部
２６０１    分析実行操作部
２６０２    洗浄器状態表示部
２６１０    装置制御部
２６１１    上位通信処理部
２６１２    装置シーケンス処理部
２６１３    シーケンスデータ
２６１４    分注機構制御部
２６１５    モータ制御部
２６１６    モータ駆動部
２６１７    洗浄器制御部
２６１８    超音波制御部
２６１９    超音波駆動部
２６２０    周波数調整部
２６２１    ポンプ制御部
２６２２    ポンプ駆動部
２６２３    温度計測部
２６２４    計測処理部
２６２５    超音波駆動時温度データ
２６２６    液温状態管理部
２６３０    ポンプ
２６４０    温度センサ
【図１】
2017002740.tif 000003
【図２】
2017002740.tif 000004
【図３】
2017002740.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2017002740.tif 000009
【図８】
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【図９】
2017002740.tif 000011
【図１０】
2017002740.tif 000012
【図１１】
2017002740.tif 000013
【図１２】
2017002740.tif 000014
【図１３】
2017002740.tif 000015
【図１４】
2017002740.tif 000016
【図１５】
2017002740.tif 000017
【図１６】
2017002740.tif 000018
【図１７】
2017002740.tif 000019
【図１８】
2017002740.tif 000020
【図１９】
2017002740.tif 000021
【図２０】
2017002740.tif 000022
【図２１】
2017002740.tif 000023
【図２２】
2017002740.tif 000024
【手続補正書】
【提出日】平成29年4月24日(2017.4.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料又は試薬を吸引するノズルと、
前記ノズルを洗浄する洗浄槽と、
超音波を発生させる超音波洗浄器と、
前記超音波洗浄器の駆動制御を行う制御部と、を備え、
前記超音波洗浄器は、
前記洗浄槽内の洗浄液に挿入され、かつ、前記ノズルを挿入する中空部を備えた洗浄部を有し、超音波振動を洗浄液に伝搬させる振動部と、
圧電素子を２つ以上の金属ブロックをボルトで締結して固定した構成であり、かつ、前記振動部に水平方向の超音波振動を発生させる超音波振動子と、を備え、
前記振動部の一方端側は、前記金属ブロックと前記洗浄槽の上方で接続され、
前記振動部の他方端側に設けられた前記洗浄部は、前記超音波振動子の水平方向の振動に伴い自由端として振動し、
前記制御部は、前記中空部に前記ノズルが挿入された状態で前記振動部に超音波振動を発生させることにより、前記ノズルの洗浄を行うことを特徴とする自動分析装置。
【請求項２】
（削除）
【請求項３】
請求項１記載の自動分析装置において、
前記振動部は、前記中空部を介して対向する２つの面を備えることを特徴とする自動分析装置。
【請求項４】
請求項３記載の自動分析装置において、
前記振動部の前記２つの面は前記振動部の振動方向で対向することを特徴とする自動分析装置。
【請求項５】
請求項４記載の自動分析装置において、
前記振動部は前記中空部の周囲を全て囲む形状を有し、前記２つの面は前記形状の内壁面であることを特徴とする自動分析装置。
【請求項６】
（削除）
【請求項７】
請求項１記載の自動分析装置において、
さらに、前記圧電素子と前記振動部の間に放熱部を備えることを特徴とする自動分析装置。
【請求項８】
請求項７記載の自動分析装置において、
さらに、前記超音波振動子と前記振動部の間に配置された金属製の板ばねと、前記洗浄槽を含む洗浄器ベースとが固定され、前記放熱部は、前記板ばね及び前記洗浄器ベースであることを特徴とする自動分析装置。
【請求項９】
請求項７記載の自動分析装置において、
さらに、前記振動部よりも前記圧電素子に近い側に配置された金属部材と、振動子ベースとが固定され、前記放熱部は、前記金属部材及び前記振動子ベースであることを特徴とする自動分析装置。
【請求項１０】
請求項７記載の自動分析装置において、
さらに、前記超音波振動子内に流体を流すための流路を備え、
前記放熱部は、前記流路であることを特徴とする自動分析装置。
【請求項１１】
請求項１記載の自動分析装置において、
さらに、前記洗浄槽に接続された、洗浄液および水を供給する配管を備え、
前記制御部は、前記配管を介して、前記洗浄槽に洗浄液および水を供給する制御を行い、
前記制御部は、前記超音波洗浄器の駆動制御を行っていないタイミングで、前記洗浄槽に水を供給する制御を行い、前記洗浄槽の開口部から当該水をオーバーフローで排出することを特徴とする自動分析装置。
【請求項１２】
請求項１記載の自動分析装置において、
さらに、前記超音波振動子の共振周波数を測定する共振周波数測定手段を備え、
前記共振周波数測定手段が測定した共振周波数に応じて、前記制御部は、前記洗浄槽へ挿入予定であった前記ノズルの制御を、中断することを特徴とする自動分析装置。
【請求項１３】
請求項１記載の自動分析装置において、
さらに、前記ノズルの温度を測定する温度測定手段を備え、
前記温度測定手段が測定した温度に応じて、前記制御部は、次に予定していた試料吸引動作の制御を、中断することを特徴とする自動分析装置。
【請求項１４】
請求項１記載の自動分析装置において、
さらに、前記超音波振動子の共振周波数を測定する共振周波数測定手段又は前記ノズルの温度を測定する測定手段のいずれかの測定手段を備え、
前記測定手段の測定結果に応じて、前記ノズルに内洗水と外洗水とを接触させることで前記ノズルの熱を放熱させることを特徴とする自動分析装置。
【請求項１５】
請求項１記載の自動分析装置において、
前記振動部は、前記超音波振動子が振動した際に、洗浄槽内に挿入された前記振動部が共振振動する共振点を２０〜１００ｋＨｚの範囲内に有し、
前記制御部は、前記中空部に前記ノズルが挿入された状態で前記振動部を２０〜１００ｋＨｚで振動させることにより、前記ノズルの洗浄を行うことを特徴とする自動分析装置。
【請求項１６】
請求項１５記載の自動分析装置において、
前記超音波振動子は共振点を２０〜１００ｋＨｚの範囲内に有し、
前記超音波振動子の共振点と前記振動部の共振点との差の絶対値は１０ｋＨｚ以下であることを特徴とする自動分析装置。
【請求項１７】
請求項１６記載の自動分析装置において、
前記振動部は、前記振動部が２次振動モードで共振振動する共振点を２０〜１００ｋＨｚの範囲内に有し、
前記制御部は、前記振動部が２次振動モードで振動する周波数で前記超音波振動子を振動させることで、前記ノズルの洗浄を行うことを特徴とする自動分析装置。
【請求項１８】
請求項１記載の自動分析装置において、
前記ノズルを前記洗浄槽内の洗浄液に挿入する前に、前記超音波洗浄器が駆動されることで前記洗浄槽内の洗浄液の温度を常温よりも高い温度とし、当該常温よりも高い温度の洗浄液に前記ノズルを挿入して超音波洗浄を行うことを特徴とする自動分析装置。
【請求項１９】
請求項１８記載の自動分析装置において、
さらに、前記ノズルを備えた分注機構を備え、
前記制御部は、前記分注機構を制御し、
前記制御部は、前記超音波洗浄器の駆動タイミング若しくは前記ノズルの前記洗浄槽内の洗浄液に対する挿抜タイミングを制御することで、前記常温よりも高い温度のうち一定範囲の温度内で前記ノズルの超音波洗浄を行うことを特徴とする自動分析装置。
【請求項２０】
請求項１９記載の自動分析装置において、
前記制御部は、前記自動分析装置のメンテナンス動作やリセット動作の際に、前記超音波洗浄器の駆動時間と洗浄液の温度上昇との関係を記憶し、前記関係に基づき前記駆動タイミング若しくは前記挿抜タイミングを制御することで、前記一定範囲の温度内で前記ノズルの超音波洗浄を行うことを特徴とする自動分析装置。
【請求項２１】
請求項１８記載の自動分析装置において、
前記制御部は、前記洗浄槽内の洗浄液を置換する制御を行い、
さらに、前記洗浄槽内の洗浄液の液温を測定する計測部を備え、
前記制御部は、前記計測部の測定温度が正常範囲を超えたと判断したときに、前記洗浄槽内の洗浄液を置換することを特徴とする自動分析装置。
【請求項２２】
請求項２１記載の自動分析装置において、
前記制御部は、前記計測部の測定温度が正常範囲を超えたと判断したときに、前記超音波洗浄器の異常を報知することを特徴とする自動分析装置。
【請求項２３】
請求項１記載の自動分析装置において、
前記制御部は、前記洗浄槽内の洗浄液を前記洗浄槽外にオーバーフローさせ、新たな洗浄液を前記洗浄槽内に導入する第１の制御を行い、
前記制御部は、前記第１の制御を行う間に、前記ノズルの超音波洗浄を行うことを特徴とする自動分析装置。
【請求項２４】
請求項１記載の自動分析装置において、
前記振動部は、前記金属ブロックの１つと接続され、
前記振動部が接続された金属ブロックは、前記振動部に向かって径が連続的に小さくなるホーン形状を備えることを特徴とする自動分析装置。
【請求項２５】
請求項１記載の自動分析装置において、
さらに、試料および試薬との混合液を収容する反応セルを有する反応ディスクと、該混合液を測定する測定部と、を備えることを特徴とする自動分析装置。
【請求項２６】
請求項１記載の自動分析装置において、
さらに、前記洗浄槽に洗浄液を供給する管を有し、
前記管の前記洗浄槽側の出口は前記振動部の底の真下に配置されていることを特徴とする自動分析装置。
【請求項２７】
洗浄槽内の洗浄液に挿入され、かつ、試料又は試薬を吸引するノズルを挿入する中空部を備えた洗浄部を有し、超音波振動を洗浄液に伝搬させる振動部と、
圧電素子を２つ以上の金属ブロックをボルトで締結して固定した構成であり、かつ、前記振動部に水平方向の超音波振動を発生させる超音波振動子と、
前記超音波振動子の駆動制御を行う制御部と、を備え、
前記振動部の一方端側は、前記金属ブロックと前記洗浄槽の上方で接続され、
前記振動部の他方端側に設けられた前記洗浄部は、前記超音波振動子の水平方向の振動に伴い自由端として振動し、
前記制御部は、前記中空部に前記ノズルが挿入された状態で前記振動部に超音波振動を発生させることにより、前記ノズルの洗浄を行うことを特徴とする超音波洗浄器。
【請求項２８】
（削除）
【請求項２９】
請求項２７記載の超音波洗浄器において、
前記振動部は、前記中空部を介して対向する２つの面を備えることを特徴とする超音波洗浄器。
【請求項３０】
請求項２７記載の超音波洗浄器において、
前記振動部は、前記超音波振動子が振動した際に、洗浄槽内に挿入された前記振動部が共振振動する共振点を２０〜１００ｋＨｚの範囲内に有し、
前記制御部は、前記中空部に前記ノズルが挿入された状態で前記振動部を２０〜１００ｋＨｚで振動させることにより、前記ノズルの洗浄を行うことを特徴とする超音波洗浄器。
【請求項３１】
請求項３０記載の超音波洗浄器において、
前記振動部は、前記振動部が２次振動モードで共振振動する共振点を２０〜１００ｋＨｚの範囲内に有し、
前記制御部は、前記振動部が２次振動モードで振動する周波数で前記超音波振動子を振動させることで、前記ノズルの洗浄を行うことを特徴とする超音波洗浄器。
【請求項３２】
請求項２８記載の超音波洗浄器において、
前記振動部は、前記金属ブロックの１つに接続され、
前記振動部が接続された金属ブロックは、前記振動部に向かって径が小さくなるホーン形状を備えることを特徴とする超音波洗浄器。
【請求項３３】
上部にノズルの挿入口を有し内部に液体を貯めることが可能な洗浄槽と、
前記洗浄槽内に設けられた中空部を備えた洗浄部を有する振動部と、
前記洗浄槽の上方で前記振動部の一方端側で接続された水平方向の超音波振動を発生させる超音波振動子と、を有し、
前記超音波振動子は水平方向の超音波振動に伴い前記振動部の他方端側に設けられた前記洗浄部を自由端として水平方向に振動させ、
前記ノズルは前記中空部に挿入された状態で前記洗浄部の振動に基づき洗浄されることを特徴とする超音波洗浄器。
【請求項３４】
（削除）
【請求項３５】
（削除）
【請求項３６】
（削除）
【請求項３７】
（削除）
【請求項３８】
請求項３３記載の超音波洗浄器は、
前記洗浄槽の下部に洗浄液や水を供給する配管と、前記洗浄槽の上部に洗浄槽内の液体をオーバーフローするための受け皿と、を有し、
液体が前記洗浄槽内に供給されることで洗浄槽内の液体をオーバーフローによって交換することができることを特徴とする超音波洗浄器。
【請求項３９】
請求項３８記載の超音波洗浄器において、
超音波洗浄を利用するときのみ洗浄するための液体を前記洗浄槽に供給し、超音波洗浄を利用しないときには水を供給し前記洗浄槽内に貯めておくことを特徴とする超音波洗浄器。
【請求項４０】
請求項３３記載の超音波洗浄器を備えた自動分析装置において、オペレーション中は次に扱うサンプルが同一であるかを判断し、
次に扱うサンプルが同一サンプルのときには水洗浄のみを行い、次に扱うサンプルが別サンプルのときには前記超音波洗浄器を使った洗浄と水洗浄を行うことを特徴とする自動分析装置。
【請求項４１】
請求項４０記載の自動分析装置において、
オペレーション状態とメンテナンス状態で、前記超音波洗浄器の洗浄時間や前記ノズルの挿入深さが異なるパラメータを有することを特徴とする自動分析装置。
【請求項４２】
請求項１、３〜５、７〜２６、４０、４１のいずれか記載の自動分析装置において、
前記振動部は垂直方向に延存する部材を備え、
前記洗浄部は前記部材の先端に備えられ、
前記洗浄部と前記部材との間に前記中空部と前記部材とを離れた位置とする接続部を有することを特徴とする自動分析装置。
【請求項４３】
請求項４２のいずれか記載の自動分析装置において、
前記接続部にラウンド部を有することを特徴とする自動分析装置。
【請求項４４】
請求項２７〜３３、３８、３９のいずれか記載の超音波洗浄器において、
前記振動部は垂直方向に延存する部材を備え、
前記洗浄部は前記部材の先端に備えられ、
前記洗浄部と前記部材との間に前記中空部と前記部材とを離れた位置とする接続部を有することを特徴とする超音波洗浄器。
【請求項４５】
請求項４４記載の超音波洗浄器において、
前記接続部にラウンド部を有することを特徴とする超音波洗浄器。
【国際調査報告】
2017002740.tif 000025
2017002740.tif 000026
2017002740.tif 000027
2017002740.tif 000028