(57)【要約】【課題】コリオリ力を利用した速度センサにおいて、回転機構を不要にすることにより、小型化、軽量化、高信頼性化などを達成できる速度センサを提供する。【解決手段】速度センサ１０は、圧電効果を有する検出腕部１１と、検出腕部１１から互いに反対方向に延設され圧電効果を有する少なくとも一対の振動腕部１２，１３と、振動腕部１２，１３が同じ方向に同じ位相で屈曲振動をするように、振動腕部１２，１３に交流電圧を印加する励振電極２１ａ，２１ｂと、振動腕部１２，１３の屈曲振動による速度及び移動体の速度に基づくコリオリ力によって検出腕部１１から発生した電圧を出力する検出電極３１ａ，３１ｂと、を備えている。【選択図】図２
2014089107.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
移動体に取り付けられ当該移動体の速度を検出する速度センサにおいて、
圧電効果を有する検出腕部と、
この検出腕部から互いに反対方向に延設され圧電効果を有する少なくとも一対の振動腕部と、
これらの振動腕部が同じ方向に同じ位相で屈曲振動をするように、前記振動腕部に交流電圧を印加する励振電極と、
前記屈曲振動による速度及び前記移動体の速度に基づくコリオリ力によって前記検出腕部から発生した電圧を出力する検出電極と、
を備えたことを特徴とする速度センサ。
【請求項２】
前記一対の振動腕部のそれぞれの先端に重りが設けられた、
請求項１記載の速度センサ。
【請求項３】
前記励振電極は、互いに電気的に絶縁された第一の励振電極と第二の励振電極とからなり、
前記検出電極は、互いに電気的に絶縁された第一の検出電極と第二の検出電極とからなり、
前記検出腕部は、直方体状であり、その長手方向において、対向する二面の一方に前記第一の検出電極が配設され、当該二面の他方に前記第二の検出電極が配設され、
前記一対の振動腕部は、どちらも同じ直方体状であり、前記検出腕部の長手方向の中央から互いに反対方向に延設され、それぞれの長手方向において、対向する二面にそれぞれ前記第一の励振電極が配設され、残りの対向する二面にそれぞれ前記第二の励振電極が配設された、
請求項１又は２記載の速度センサ。
【請求項４】
前記検出腕部及び前記振動腕部が一つの水晶片からなる、
請求項３記載の速度センサ。
【請求項５】
前記コリオリ力は地球の自転によるコリオリ力である、
請求項１乃至４のいずれか一つに記載の速度センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、コリオリ力を利用した速度センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
図１０は、地球の自転によるコリオリ力を示す概念図である。図１１は、非特許文献１に記載された速度センサを示す概念図である。以下、図１０及び図１１に基づき説明する。
【０００３】
地球の中心から北極点へ向かう地軸をＺ軸とするＸＹＺ軸からなる直交座標系（右手系）を考えたとき、北半球ではＺ軸方向から見て反時計回りに地球が自転している。この場合、移動体８０が例えばＸ軸方向に速度Ｖで移動しているとき、移動体８０には−Ｙ軸方向にコリオリ力Ｆが働く。この地球の自転によるコリオリ力Ｆを利用した速度センサ９０が、非特許文献１に記載されている。速度センサ９０は、移動体８０に取り付けられ、移動体８０の速度Ｖに応じたコリオリ力ｆａ，ｆｂを圧電素子９１ａ，９１ｂに加え、圧電素子９１ａ，９１ｂから発生する直流電圧を検出するものである。ただし、圧電素子９１ａ，９１ｂから直流電圧をそのまま得ることは困難であるので、圧電素子９１ａ，９１ｂ及びこれに付随する部品を回転させることにより交流電圧に直流電圧を重畳させている。
【０００４】
速度センサ９０について更に詳しく説明する。速度センサ９０は、圧電素子９１ａ，９１ｂと、圧電素子９１ａ，９１ｂを押圧可能に設置された支持腕９２ａ，９２ｂと、支持腕９２ａ，９２ｂの先端に設けられた付加質量９３ａ，９３ｂと、圧電素子９１ａ，９１ｂ、支持腕９２ａ，９２ｂ及び付加質量９３ａ，９３ｂを−Ｙ軸を中心に時計回りに回転させる回転機構（図示せず）と、を備えている。
【０００５】
回転中の付加質量９３ａ等がＸＺ平面の第二象限又は第一象限にあるとき、付加質量９３ａ等はＸ軸方向の速度成分を有するので、圧電素子９１ａには−Ｙ軸方向のコリオリ力ｆａが加えられる。一方、回転中の付加質量９３ａ等がＸＺ平面の第四象限又は第三象限にあるとき、付加質量９３ａ等は−Ｘ軸方向の速度成分を有するので、圧電素子９１ａにはＹ軸方向のコリオリ力ｆａが加えられる。圧電素子９１ｂについても、圧電素子９１ａとは逆の位相で、Ｙ軸方向のコリオリ力ｆｂと−Ｙ軸方向のコリオリ力ｆｂとが交互に加えられる。したがって、圧電素子９１ａ，９１ｂからは、付加質量９３ａ，９３ｂ等が一回転するごとに、一サイクル分の交流信号が得られる。この交流信号から速度センサ９０の回転速度による交流成分を取り除いた直流成分が、移動体８０の速度Ｖに相当する。
【先行技術文献】
【非特許文献】
【０００６】
【非特許文献１】蓮池、富川、「地球の自転によるコリオリ力を利用した圧電振動・速度センサの基礎的検討」、信学技報、社団法人電子情報通信学会、２００２年９月、ＵＳ２０２−５８、ｐ．２３−３０
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、非特許文献１の速度センサは、回転機構を必要とするため、複雑で大型になる、軸受やスリップリング等の回転用の部品の摩耗により故障が生じやすい、などの問題があった。
【０００８】
そこで、本発明の目的は、コリオリ力を利用した速度センサにおいて、回転機構を不要にすることにより、小型化、軽量化、高信頼性化などを達成できる速度センサを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に係る速度センサは、
移動体に取り付けられ当該移動体の速度を検出する速度センサにおいて、
圧電効果を有する検出腕部と、
この検出腕部から互いに反対方向に延設され圧電効果を有する少なくとも一対の振動腕部と、
これらの振動腕部が同じ方向に同じ位相で屈曲振動をするように、前記振動腕部に交流電圧を印加する励振電極と、
前記屈曲振動による速度及び前記移動体の速度に基づくコリオリ力によって前記検出腕部から発生した電圧を出力する検出電極と、
を備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、圧電効果を有する検出腕部及び振動腕部を備え、振動腕部に屈曲振動をさせて検出腕部から交流信号を取り出すことにより、回転機構を用いることなく、コリオリ力を利用して移動体の速度を検出できる。そのため、簡素な構成になるので小型化又は軽量化を実現できるとともに、回転用の部品が無いすなわち摩耗する部分が無いので信頼性を向上できる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】実施形態１の速度センサを示す平面図である。
【図２】実施形態１の速度センサを示す斜視図（その１）である。
【図３】実施形態１の速度センサを示す斜視図（その２）である。
【図４】実施形態１の速度センサを示す斜視図（その３）である。
【図５】実施形態１の速度センサを示す回路図である。
【図６】移動体が停止している場合における実施形態１の速度センサの動作を示す概念図であり、図６［Ａ］は振動腕部がＸ軸方向の速度となるときを示し、図６［Ｂ］は振動腕部が−Ｘ軸方向の速度となるときを示す。
【図７】移動体が移動している場合における実施形態１の速度センサの動作を示す概念図であり、図７［Ａ］は振動腕部がＸ軸方向の速度となるときを示し、図７［Ｂ］は振動腕部が−Ｘ軸方向の速度となるときを示す。
【図８】実施形態１の速度センサにおいて検出腕部から発生する電圧を示す波形図である。
【図９】実施形態２の速度センサを示す平面図である。
【図１０】地球の自転によるコリオリ力を示す概念図である。
【図１１】非特許文献１に記載された速度センサを示す概念図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、添付図面を参照しながら、本発明を実施するための形態（以下「実施形態」という。）について説明する。なお、図面に描かれた形状は、当業者が理解しやすいように描かれているため、実際の寸法及び比率とは必ずしも一致していない。
【００１３】
図１は、実施形態１の速度センサを示す平面図である。図２及び図３は実施形態１の速度センサの一方の面（表面）をそれぞれ異なる角度から見た斜視図であり、図４は実施形態１の速度センサの他方の面（裏面）を見た斜視図である。図５は、実施形態１の速度センサを示す回路図である。以下、これらの図面及び図１０に基づき説明する。
【００１４】
本実施形態１の速度センサ１０は、移動体８０に取り付けられ、移動体８０の速度Ｖを検出する。そして、速度センサ１０は、圧電効果を有する検出腕部１１と、検出腕部１１から互いに反対方向に延設され圧電効果を有する少なくとも一対の振動腕部１２，１３と、振動腕部１２，１３が同じ方向に同じ位相で屈曲振動をするように、振動腕部１２，１３に交流電圧Vacを印加する励振電極２１ａ，２１ｂと、振動腕部１２，１３の屈曲振動による速度ｖ及び移動体８０の速度Ｖに基づくコリオリ力２ｆ（図６及び図７参照）によって検出腕部１１から発生した電圧（出力電圧Vout）を出力する検出電極３１ａ，３１ｂと、を備えている。コリオリ力２ｆは、地球の自転によるコリオリ力である。
【００１５】
励振電極２１ａ（第一の励振電極）と励振電極２１ｂ（第二の励振電極）とは、互いに電気的に絶縁されている。検出電極３１ａ（第一の検出電極）と検出電極３１ｂ（第二の励振電極）とは、互いに電気的に絶縁されている。検出腕部１１は、直方体状であり、その長手方向において、コリオリ力２ｆによって変位する対向する二面の一方に検出電極３１ａが配設され、当該二面の他方に検出電極３１ｂが配設されている。振動腕部１２，１３は、どちらも同じ直方体状であり、検出腕部１１の長手方向の中央から互いに反対方向に延設されている。振動腕部１２，１３のそれぞれの長手方向において、対向する二面にそれぞれ励振電極２１ａが配設され、残りの対向する二面にそれぞれ励振電極２１ｂが配設されている。
【００１６】
速度センサ１０は、一対の固定部１４、１５を更に備えている。検出腕部１１は、棒状であり、その両端が一対の固定部１４、１５のそれぞれで固定されている。検出腕部１１、振動腕部１２，１３及び固定部１４，１５は、一つの水晶片１６からなる。励振電極２１ａ，２１ｂは、交流電圧Vacを供給する励振回路２３に接続されている。検出電極３１ａ，３１ｂは、出力電圧Voutに含まれる直流成分Vdcに基づいて速度Ｖを検出する検出回路３３に接続されている。励振電極２１ａ，２１ｂの一部は電極パッド２２ａ，２２ｂとなっていて、検出電極３１ａ，３１ｂの一部は電極パッド３２ａ，３２ｂとなっている。
【００１７】
速度センサ１０の構成について、更に詳しく説明する。
【００１８】
水晶の結晶は三方晶系である。水晶の頂点を通る結晶軸をＺ軸、Ｚ軸に垂直な平面内の三つの結晶軸をＸ軸、Ｘ軸及びＺ軸に直交する座標軸をＹ軸とする。水晶片１６は、パッケージ（図示せず）に導電性接着剤などで固定される固定部１４，１５と、両端が固定部１４，１５に至る検出腕部１１と、検出腕部１１の中央付近から検出腕部１１に交差するように突出した振動腕部１２，１３とからなる。例えば、水晶片１６は、フォトリソグラフィ技術及びエッチング技術によりＺカット基板から一体に形成する。このとき、基板の厚み方向をＺ軸とし、検出腕部１１をＸ軸に平行となるように形成し、振動腕部１２，１３をＸ軸に垂直（Ｙ軸）となるように形成する。なお、基板材料としては、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウムなどの他の圧電単結晶基板を用いることもできる。水晶基板のカット角も、励振や検出に好適な角度を任意に選択できる。また、基板としてシリコンなど非圧電基板を用い、これに振動腕部及び検出腕部となる圧電薄膜などを形成した構成としてもよい。
【００１９】
振動腕部１２，１３には励振電極２１ａ，２１ｂが形成され、検出腕部１１には検出電極３１ａ，３１ｂが形成され、固定部１４には電極パッド２２ａ，３２ｂが形成され、固定部１５には電極パッド２２ｂ，３２ａが形成されている。励振電極２１ａ，２１ｂ、検出電極３１ａ，３１ｂ及び電極パッド２２ａ，３２ｂは、例えば、水晶片１６の全体に金属膜を形成し、この金属膜からフォトリソグラフィ技術及びエッチング技術を用いて同時に形成する。
【００２０】
振動腕部１２は直方体状であり、振動腕部１２の長手方向において、対向する二面にそれぞれ励振電極２１ａが形成され、残りの対向する二面にそれぞれ励振電極２１ｂが形成されている。同様に、振動腕部１３は直方体状であり、振動腕部１３の長手方向において、対向する二面にそれぞれ励振電極２１ａが形成され、残りの対向する二面にそれぞれ励振電極２１ｂが形成されている。つまり、励振電極２１ａ，２１ｂはそれぞれ四つに分割されている。四つに分割された励振電極２１ａは電極パッド２２ａに電気的に接続され、四つに分割された励振電極２１ｂは電極パッド２２ｂに電気的に接続され、電極パッド２２ａ，２２ｂは励振回路２３に電気的に接続されている。励振回路２３は、例えば一般的な交流電圧発生回路からなる。
【００２１】
検出腕部１１は直方体状であり、検出腕部１１の長手方向において、対向する二面の一方に検出電極３１ａが形成され、対向する二面の他方に検出電極３１ｂが形成されている。ただし、検出電極３１ａ，３１ｂは振動腕部１２，１３の根元によってそれぞれ二つに分割されている。二つに分割された検出電極３１ａは電極パッド３２ａに電気的に接続され、二つに分割された検出電極３１ｂは電極パッド３２ｂに電気的に接続され、電極パッド３２ａ，３２ｂは検出回路３３に電気的に接続されている。検出回路３３、例えば一般的なフィルタ回路及び増幅回路、又は、Ａ／Ｄ変換器及びマイクロコンピュータなどからなる。
【００２２】
次に、速度センサ１０の動作について説明する。
【００２３】
振動腕部１２，１３のそれぞれの動作原理は、音叉型水晶振動素子の一本の振動腕部と同じである。振動腕部１２，１３は、検出腕部１１との交点を中心として、ＸＹ面内で屈曲振動する。このとき、振動腕部１２，１３は、双方の振動位相が同じになるように屈曲振動するので、地球の自転によるコリオリカを同じ方向及び同じ大きさで受ける。例えば、振動腕部１２，１３がＸ軸方向の速度になるときは振動腕部１２，１３に−Ｙ軸方向のコリオリ力が働き、逆に振動腕部１２，１３が−Ｘ軸方向の速度になるときは振動腕部１２，１３にＹ軸方向のコリオリ力が働く。そのため、振動腕部１２，１３の屈曲振動に伴い、振動腕部１２，１３に働くコリオリカに変動が生じることにより、振動腕部１２，１３に連なる検出腕部１１にも屈曲振動が生じる。これらの屈曲振動は移動体の速度の影響を受けるので、検出腕部１１の圧電効果によって発生する電圧を検出することにより、移動体の速度を検出できる。
【００２４】
図６及び図７は、実施形態１の速度センサの動作を示す概念図である。図８は、実施形態１の速度センサにおいて検出腕部から発生する電圧を示す波形図である。以下、図１乃至図８及び図１０に基づき、速度センサ１０の動作について更に詳しく説明する。
【００２５】
地球の中心から北極点へ向かう地軸をＺ軸とするＸＹＺ軸からなる直交座標系（右手系）を考えたとき、北半球ではＺ軸方向から見て反時計回りに地球が自転している。このとき、水晶の結晶軸であるＸＹＺ軸を、そのまま直交座標系のＸＹＺ軸として利用する。速度センサ１０は、移動体８０に取り付けられ、移動体８０とともに移動する。移動体８０は、一定の速度ＶでＸ軸方向へ移動する。振動腕部１２，１３は、屈曲振動により±Ｘ軸方向に往復する。振動腕部１２，１３の屈曲振動による速度は、正弦波状に変化し、Ｘ軸方向であるときをｖで表し、−Ｘ軸方向であるときを−ｖで表す。振動腕部１２，１３に働くコリオリ力をｆとし、ｆ＞０であるときコリオリ力ｆはＹ軸方向であり、ｆ＜０であるときコリオリ力ｆは−Ｙ軸方向である。振動腕部１２，１３は、同じ構造かつ同じ位相で動作するので、双方の速度±ｖ及びコリオリ力ｆは常に等しい。また、速度とコリオリ力との関係を定める諸係数を簡略化して定数Ｃとする。このような条件下で、速度センサ１０の動作について説明する。
【００２６】
励振電極２１ａ，２１ｂに所定の交流電圧Vacを印加すると、振動腕部１２，１３はＸＹ平面内で屈曲振動をする。このとき、振動腕部１２，１３の振動方向が同位相となるように、交流電圧Vacを印加する。
【００２７】
図６に基づき、移動体８０が停止している場合（Ｖ＝０）について説明する。図６［Ａ］に示すように、振動腕部１２，１３がＸ軸方向へ振れるとき、振動腕部１２，１３の速度はｖ（Ｘ軸方向）となる。そのため、振動腕部１２，１３が受けるコリオリ力ｆはそれぞれｆ＝−Ｃｖ（−Ｙ軸方向）となるので、検出腕部１１に加わる力は２ｆ＝−２Ｃｖ（−Ｙ軸方向）となる。逆に、図６［Ｂ］に示すように、振動腕部１２，１３が−Ｘ軸方向へ振れるとき、振動腕部１２，１３の速度は−ｖ（−Ｘ軸方向）となる。そのため、振動腕部１２，１３が受けるコリオリ力ｆはそれぞれｆ＝Ｃｖ（Ｙ軸方向）となるので、検出腕部１１に加わる力は２ｆ＝２Ｃｖ（Ｙ軸方向）となる。したがって、振動腕部１２，１３が屈曲振動によって一往復するたびに、検出腕部１１に−Ｙ軸方向の力とＹ軸方向の力とが交互に一回ずつ加わることにより、検出腕部１１から一サイクル分の交流信号が得られる（図８「Ｖ＝０」）。
【００２８】
図７に基づき、移動体８０がＸ軸方向へ移動している場合（Ｖ＞０）について説明する。図７［Ａ］に示すように、振動腕部１２，１３がＸ軸方向へ振れるとき、振動腕部１２，１３の速度はＶ＋ｖ（Ｘ軸方向）となる。そのため、振動腕部１２，１３が受けるコリオリ力はそれぞれｆ＝−Ｃ（Ｖ＋ｖ）（−Ｙ軸方向）となるので、検出腕部１１に加わる力は２ｆ＝−２Ｃ（Ｖ＋ｖ）（−Ｙ軸方向）となりＶ＝０の場合よりも大きくなる。逆に、図７［Ｂ］に示すように、振動腕部１２，１３が−Ｘ軸方向へ振れるとき、振動腕部１２，１３の速度はＶ−ｖ（±Ｘ軸方向）となる。±Ｘ軸方向とは、Ｖ−ｖ＞０であればＸ軸方向、Ｖ−ｖ＜０であれば−Ｘ軸方向という意味である。したがって、振動腕部１２，１３が受けるコリオリ力はそれぞれｆ＝Ｃ（Ｖ−ｖ）（±Ｙ軸方向）となるので、検出腕部１１に加わる力は２ｆ＝２Ｃ（Ｖ−ｖ）（±Ｙ軸方向）となりＶ＝０の場合よりも小さくなる。したがって、振動腕部１２，１３が屈曲振動によって一往復するたびに、検出腕部１１に−Ｙ軸方向の力とＹ軸方向の力とが交互に一回ずつ加わることにより、検出腕部１１から一サイクル分の交流信号が得られる（図８「Ｖ＞０」）。
【００２９】
この交流信号から屈曲振動の速度±ｖによる交流成分を取り除いた直流成分が、移動体８０の速度Ｖに相当する。図８で説明すれば、「Ｖ＞０」における出力電圧Voutの平均値と「Ｖ＝０」における出力電圧Voutの平均値との差「Vdc」が、移動体８０の速度Ｖに相当する。
【００３０】
次に、本実施形態１の速度センサ１０の効果について説明する。
【００３１】
本実施形態１の速度センサ１０によれば、圧電効果を有する検出腕部１１及び振動腕部１２，１３を備え、振動腕部１２，１３に屈曲振動をさせて検出腕部１１から交流信号を取り出すことにより、回転機構を用いることなく、コリオリ力を利用して移動体８０の速度Ｖを検出できる。そのため、簡素な構成になるので小型化又は軽量化を実現できるとともに、回転用の部品が無いすなわち摩耗する部分が無いので信頼性を向上できる。更に、ＸＹ面内での屈曲振動という平面内の振動モードを利用することから、薄型化も容易である。
【００３２】
また、振動腕部１２が単独で屈曲振動をした場合、例えば振動腕部１２と検出腕部１１との交点を中心とする振動腕部１２の自重による回転力成分などの、検出腕部１１に対してコリオリ力とは無関係のＹ軸方向の力が働く。振動腕部１３についても同様である。これに対し、本実施形態１では、振動腕部１２，１３が検出腕部１１から互いに反対方向に延設され、かつ振動腕部１２，１３が同じ方向に同じ位相で屈曲振動をするので、コリオリ力とは無関係のＹ軸方向の力は互いに相殺される。そのため、検出腕部１１にはコリオリ力のみが作用するので、検出精度の高い速度センサ１０が得られる。
【００３３】
検出腕部１１、振動腕部１２，１３及び固定部１４，１５が一つの水晶片からなる場合は、これらを一つの部品で一体的に構成できるので、更なる小型化又は軽量化を実現できる。また、この場合は、一般的な音叉型水晶振動素子と同じ工程を用いて製造できるので、製造コストの低減及び製造時間の短縮を達成できる。
【００３４】
地球の自転によるコリオリ力を利用した場合は、自然界にある力をそのまま利用することにより、速度センサ１０への余分なエネルギを供給する必要がないので、構成を簡素化できる。
【００３５】
地球の自転とは別に速度センサ１０にＺ軸周りの回転が加わっても、検出腕部１１から発生する交流信号の振幅が大きくなるだけであるので、移動体８０の速度Ｖに応じた直流成分には影響がない。
【００３６】
本実施形態１の速度センサ１０は、Ｘ軸方向の速度成分を検出するものである。そこで、速度センサ１０の向きを変えて他の方向の速度成分を検出するようにしたものを複数用意し、これらを移動体８０に搭載すれば、多軸の速度センサを容易に実現できる。
【００３７】
図９は、実施形態２の速度センサを示す平面図である。以下、この図面に基づき説明する。
【００３８】
本実施形態２の速度センサ４０は、一対の振動腕部１２，１３のそれぞれの先端に重り４１，４２が設けられている点で、実施形態１と異なる。検出腕部１１、振動腕部１２，１３、固定部１４，１５及び重り４１，４２は、一つの水晶片４６からなる。本実施形態２によれば、振動腕部１２，１３の各先端に重り４１，４２を設けたことにより、振動腕部１２，１３の実質的な質量を増加できるので、コリオリ力を増加でき、これにより検出精度を向上できる。なお、本実施形態２の速度センサ４０のその他の構成、作用及び効果は、実施形態１のそれらと同様である。
【００３９】
以上、上記各実施形態を参照して本発明を説明したが、本発明は上記各実施形態に限定されるものではない。本発明の構成や詳細については、当業者が理解し得るさまざまな変更を加えることができる。例えば、振動腕部は、一対に限らず、二対以上にしてもよい。また、本発明には、上記各実施形態の構成の一部又は全部を相互に適宜組み合わせたものも含まれる。
【産業上の利用可能性】
【００４０】
本発明は、コリオリ力を利用した速度センサに利用することができ、特に地球の自転によるコリオリ力を利用した速度センサに好適に利用することができる。
【符号の説明】
【００４１】
１０  速度センサ
１１  検出腕部
１２，１３  振動腕部
１４、１５  固定部
１６  水晶片
２１ａ，２１ｂ  励振電極
２２ａ，２２ｂ  電極パッド
２３  励振回路
３１ａ，３１ｂ  検出電極
３２ａ，３２ｂ  電極パッド
３３  検出回路
４０  速度センサ
４１，４２  重り
４６  水晶片
８０  移動体
９０  速度センサ
９１ａ，９１ｂ  圧電素子
９２ａ，９２ｂ  支持腕
９３ａ，９３ｂ  付加質量
Vac  交流電圧
Vout  出力電圧
Vdc  直流成分
【図１】
2014089107.tif 000003
【図２】
2014089107.tif 000004
【図３】
2014089107.tif 000005
【図４】
2014089107.tif 000006
【図５】
2014089107.tif 000007
【図６】
2014089107.tif 000008
【図７】
2014089107.tif 000009
【図８】
2014089107.tif 000010
【図９】
2014089107.tif 000011
【図１０】
2014089107.tif 000012
【図１１】
2014089107.tif 000013