(57)【要約】【課題】表面の凹凸を好適に検査することが可能な検査装置及び検査方法を提供すること。【解決手段】検査装置１０は、搬送方向Ｔに搬送される検査対象物Ｅの表面Ｅ１に対して線状の検査光Ｌ１を照射する照射部１１と、表面Ｅ１からの検査光Ｌ１の反射光Ｌ２を受光可能な受光部１２とを備えている。ここで、表面Ｅ１における検査光Ｌ１の反射箇所Ｅ１１から受光部１２に向かう反射光Ｌ２の光路上には、反射箇所Ｅ１１が平坦な場合における反射光Ｌ２の外郭に沿った形状を有する遮光部２１が設けられており、受光部１２はその遮光部２１の搬送方向Ｔ側及び搬送方向Ｔとは反対側から漏れる反射光Ｌ２を受光する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査装置に対し、予め定められた方向に相対移動される検査対象物の表面の凹凸を検査する検査装置において、
前記表面に対して所定の形状の検査光を照射する照射部と、
前記表面からの前記検査光の反射光を受光可能な受光部と、
前記表面における前記検査光の反射箇所から前記受光部に向かう前記反射光の光路上に設けられ、前記反射箇所が平坦な場合における前記反射光の外郭に沿った形状を有する遮光部と、
を備え、
前記受光部は、前記遮光部において前記検査対象物の相対移動方向側及び前記相対移動方向とは反対側から漏れる前記反射光を受光するものであることを特徴とする検査装置。
【請求項２】
前記遮光部において前記相対移動方向側及び前記相対移動方向とは反対側から漏れる前記反射光を拡散させる拡散部を備えていることを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
検査装置に対し、予め定められた方向に相対移動される検査対象物の表面の凹凸を検査する検査装置において、
前記表面に対して所定の形状の検査光を照射する照射部と、
前記表面からの前記検査光の反射光を受光可能な受光部と、
前記表面における前記検査光の反射箇所から前記受光部に向かう前記反射光の光路に対して前記検査対象物の相対移動方向側及び前記相対移動方向とは反対側に設けられた拡散部と、
を備え、
前記拡散部は、前記反射箇所から前記受光部に向かう方向から見て、前記反射箇所が平坦な場合における前記反射光の外郭に沿ったエッジを有しており、
前記受光部は、前記拡散部により拡散された前記反射光を受光するものであることを特徴とする検査装置。
【請求項４】
前記照射部は、前記相対移動方向に交差する方向に延びた線状の検査光を少なくとも２種類照射するものであり、
前記受光部は、前記表面からの各前記検査光の反射光を識別可能に構成されており、
各前記検査光は、前記表面と直交する方向から見て互いに前記相対移動方向にずれた位置に照射されるものであって、前記検査対象物の幅方向の位置によって互いの距離が変化することを特徴とする請求項１〜３のうちいずれか一項に記載の検査装置。
【請求項５】
各前記検査光は、前記表面と直交する方向から見てＶ字状であることを特徴とする請求項４に記載の検査装置。
【請求項６】
各前記検査光は、前記表面と直交する方向から見てＸ字状であることを特徴とする請求項４に記載の検査装置。
【請求項７】
前記照射部は、前記表面と直交する方向から見て、Ｘ字状の検査光が前記相対移動方向と直交する方向に並んだ態様で照射することを特徴とする請求項４に記載の検査装置。
【請求項８】
前記検査対象物は、電極であることを特徴とする請求項１〜７のうちいずれか一項に記載の検査装置。
【請求項９】
検査装置に対し、予め定められた方向に相対移動される検査対象物の表面の凹凸を検査する検査方法において、
前記表面に対して所定の形状の検査光を照射する照射部と、
前記表面からの前記検査光の反射光を受光可能な受光部と、
前記表面における前記検査光の反射箇所から前記受光部に向かう前記反射光の光路上に、前記反射箇所が平坦な場合における前記反射光の外郭に沿った形状を有する遮光部と、
を設け、
前記受光部を用いて、前記遮光部において前記検査対象物の相対移動方向側及び前記相対移動方向側とは反対側から漏れる前記反射光を受光することを特徴とする検査方法。
【請求項１０】
検査装置に対し、予め定められた方向に相対移動される検査対象物の表面の凹凸を検査する検査方法において、
前記表面に対して所定の形状の検査光を照射する照射部と、
前記表面からの前記検査光の反射光を受光可能な受光部と、
前記表面における前記検査光の反射箇所から前記受光部に向かう前記反射光の光路に対して前記検査対象物の相対移動方向側及び前記相対移動方向とは反対側に、前記反射箇所から前記受光部に向かう方向から見て、前記反射箇所が平坦な場合における前記反射光の外郭に沿ったエッジを有する拡散部と、
を設け、
前記受光部を用いて、前記拡散部により拡散された前記反射光を受光することを特徴とする検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査対象物の表面の凹凸を検査する検査装置及び検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、表面に生じた異物の有無を検査する方法として、異物がない場合の表面からの反射光を遮光し、異物がある場合の反射光が投影される受影器を設ける構成が知られている（例えば特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−８５８７０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ここで、特許文献１に記載の技術は、異物検査が前提となっている関係上、表面の凸部については検査可能に構成されているが、凹部の検査については考慮されておらず、凹部を検査することができないものとなっている。このため、特許文献１に記載の異物検査に係る技術を、表面の凹凸の検査にそのまま適用したとしても表面の凹凸を検査することができない。
【０００５】
本発明は、上述した事情を鑑みてなされたものであり、表面の凹凸を好適に検査することが可能な検査装置及び検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、請求項１に係る発明は、検査装置に対し、予め定められた方向に相対移動される検査対象物の表面の凹凸を検査する検査装置において、前記表面に対して所定の形状の検査光を照射する照射部と、前記表面からの前記検査光の反射光を受光可能な受光部と、前記表面における前記検査光の反射箇所から前記受光部に向かう前記反射光の光路上に設けられ、前記反射箇所が平坦な場合における前記反射光の外郭に沿った形状を有する遮光部と、を備え、前記受光部は、前記遮光部において前記検査対象物の相対移動方向側及び前記相対移動方向とは反対側から漏れる前記反射光を受光するものであることを特徴とする。
【０００７】
かかる発明によれば、検査対象物の表面に検査対象の凹凸が生じていない場合、表面からの反射光は遮光部によって遮光され、反射光は受光部にて受光されない。一方、検査対象物の表面に検査対象の凹凸がある場合には、当該凹凸によって、反射光の一部が歪む。この歪んだ光は、遮光部の相対移動方向側又は相対移動方向とは反対側から漏れる。例えば、表面に凸部がある場合には、当該凸部によって歪んだ光が、遮光部の相対移動方向側から漏れ、表面に凹部がある場合には、当該凹部によって歪んだ光が、遮光部の相対移動方向とは反対側から漏れる。そして、遮光部から漏れた光は、受光部にて受光される。これにより、受光部にて受光される光強度の変化を検出することにより、表面の凹凸を好適に検査することができる。
【０００８】
「検査装置に対し、予め定められた方向に相対移動される検査対象物」とは、検査装置に対して相対的に移動していればよく、例えば検査装置の位置が固定されている状況において検査対象物が予め定められた搬送方向に搬送される構成や、検査対象物の位置が固定されている状況において検査装置が移動することによって、相対的に検査対象物が移動される構成を含む。
【０００９】
また、本明細書において検査対象の凹凸とは、予め定められた許容範囲外の凹凸のことを言い、許容範囲内の凹凸、例えば表面の特性上生じ得る程度の凹凸やうねりは除外する。なお、本明細書において凹凸とは、特に断りがない限り、検査対象の凹凸のことを言う。また、「前記反射光の外郭に沿った形状」とは、外郭と一致している構成に限られず、外郭よりも若干大きくてもよい。
【００１０】
請求項２に係る発明は、前記遮光部において前記相対移動方向側及び前記相対移動方向とは反対側から漏れる前記反射光を拡散させる拡散部を備えていることを特徴とする。かかる発明によれば、遮光部に対して相対移動方向側及び相対移動方向とは反対側から漏れる反射光は拡散部によって拡散される。これにより、拡散部により拡散された光が受光部にて受光されることとなる。この場合、拡散部による拡散が行われる分だけ、受光部の位置の自由度を高めることができる。
【００１１】
なお、「拡散部」の具体的な構成としては、例えば「前記遮光部に対して前記相対移動方向側及び前記相対移動方向とは反対側から漏れる前記反射光を散乱させる散乱部」や、「前記遮光部に対して前記相対移動方向側及び前記相対移動方向とは反対側から漏れる前記反射光を反射させる反射部」等が考えられる。
【００１２】
請求項３に係る発明は、検査装置に対し、予め定められた方向に相対移動される検査対象物の表面の凹凸を検査する検査装置において、前記表面に対して所定の形状の検査光を照射する照射部と、前記表面からの前記検査光の反射光を受光可能な受光部と、前記表面における前記検査光の反射箇所から前記受光部に向かう前記反射光の光路に対して前記検査対象物の相対移動方向側及び前記相対移動方向とは反対側に設けられた拡散部と、を備え、前記拡散部は、前記反射箇所から前記受光部に向かう方向から見て、前記反射箇所が平坦な場合における前記反射光の外郭に沿ったエッジを有しており、前記受光部は、前記拡散部により拡散された前記反射光を受光するものであることを特徴とする。
【００１３】
かかる発明によれば、検査対象物の表面に凹凸が生じていない場合、表面からの反射光は拡散部により拡散されることがないため、反射光は受光部にて受光されない。一方、検査対象物の表面に凹凸がある場合には、当該凹凸によって、反射光の一部が歪む。この歪んだ光は、拡散部によって拡散され、受光部にて受光される。これにより、受光部にて受光される光強度の変化を検出することにより、表面の凹凸を好適に検査することができる。
【００１４】
請求項４に係る発明は、前記照射部は、前記相対移動方向に交差する方向に延びた線状の検査光を少なくとも２種類照射するものであり、前記受光部は、前記表面からの各前記検査光の反射光を識別可能に構成されており、各前記検査光は、前記表面と直交する方向から見て互いに前記相対移動方向にずれた位置に照射されるものであって、前記検査対象物の幅方向の位置によって互いの距離が変化することを特徴とする。かかる発明によれば、受光部にて受光される各検査光の反射光の光強度が変化した順番やその時間差等に基づいて、検査対象物の表面において相対移動方向と直交する方向における凹凸箇所を特定することができる。
【００１５】
請求項５に係る発明は、各前記検査光は、前記表面と直交する方向から見てＶ字状であることを特徴とする。かかる発明によれば、光強度の変化の時間差に基づいて、検査対象物の表面において相対移動方向と直交する方向における凹凸箇所を容易に特定することができる。
【００１６】
請求項６に係る発明は、各前記検査光は、前記表面と直交する方向から見てＸ字状であることを特徴とする。かかる発明によれば、各検査光がＸ字状に照射されるため、Ｖ字状に照射する構成と比較して、検査に要するスペースを小さくすることができる。
【００１７】
請求項７に係る発明は、前記照射部は、前記表面と直交する方向から見て、Ｘ字状の検査光が前記相対移動方向と直交する方向に並んだ態様で照射することを特徴とする。仮に検査対象物の表面に２つの凸部が相対移動方向に沿う方向にずれてある場合、この２つの凸部に対して同一タイミングで検査光が照射される場合がある。この場合、凸部が２つあるにも関わらず、１つの凸部があると誤認するおそれがある。
【００１８】
これに対して、本発明によれば、Ｘ字状の検査光が相対移動方向と直交する方向に並んでいることにより、１つの検査光が相対移動方向と直交する方向に占める範囲が短くなる。これにより、１つの検査光の照射範囲内に複数の凹凸が短い間隔で存在する確率が低くなる。よって、上記のような不都合を回避することができる。
【００１９】
請求項８に係る発明は、前記検査対象物は、電極であることを特徴とする。
請求項９に係る発明は、検査装置に対し、予め定められた方向に相対移動される検査対象物の表面の凹凸を検査する検査方法において、前記表面に対して所定の形状の検査光を照射する照射部と、前記表面からの前記検査光の反射光を受光可能な受光部と、前記表面における前記検査光の反射箇所から前記受光部に向かう前記反射光の光路上に、前記反射箇所が平坦な場合における前記反射光の外郭に沿った形状を有する遮光部と、を設け、前記受光部を用いて、前記遮光部において前記検査対象物の相対移動方向側及び前記相対移動方向側とは反対側から漏れる前記反射光を受光することを特徴とする。
【００２０】
かかる発明によれば、検査対象物の表面に凹凸が生じていない場合、表面からの反射光は遮光部によって遮光され、反射光は受光部にて受光されない。一方、検査対象物の表面に凹凸がある場合には、当該凹凸によって、反射光の一部が歪む。この歪んだ光は、遮光部の相対移動方向側又は相対移動方向とは反対側から漏れる。例えば、表面に凸部がある場合には、当該凸部によって歪んだ光が、遮光部の相対移動方向側から漏れ、表面に凹部がある場合には、当該凹部によって歪んだ光が、遮光部の相対移動方向とは反対側から漏れる。そして、遮光部から漏れた光は、受光部にて受光される。これにより、受光部にて受光される光強度の変化を検出することにより、表面の凹凸を好適に検査することができる。
【００２１】
請求項１０に係る発明は、検査装置に対し、予め定められた方向に相対移動される検査対象物の表面の凹凸を検査する検査方法において、前記表面に対して所定の形状の検査光を照射する照射部と、前記表面からの前記検査光の反射光を受光可能な受光部と、前記表面における前記検査光の反射箇所から前記受光部に向かう前記反射光の光路に対して前記検査対象物の相対移動方向側及び前記相対移動方向とは反対側に、前記反射箇所から前記受光部に向かう方向から見て、前記反射箇所が平坦な場合における前記反射光の外郭に沿ったエッジを有する拡散部と、を設け、前記受光部を用いて、前記拡散部により拡散された前記反射光を受光することを特徴とする。
【００２２】
かかる発明によれば、検査対象物の表面に凹凸が生じていない場合、表面からの反射光は拡散部により拡散されることがないため、反射光は受光部にて受光されない。一方、検査対象物の表面に凹凸がある場合には、当該凹凸によって、反射光の一部が歪む。この歪んだ光は、拡散部によって拡散され、受光部にて受光される。これにより、受光部にて受光される光強度の変化を検出することにより、表面の凹凸を好適に検査することができる。
【発明の効果】
【００２３】
この発明によれば、表面の凹凸を好適に検査することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】第１実施形態の検査装置を模式的に示す斜視図。
【図２】検査装置を模式的に示す側面図。
【図３】遮光部及び散乱部の正面図。
【図４】検出部の電気的構成を示す回路図。
【図５】第２実施形態の検査装置を模式的に示す斜視図。
【図６】（ａ）は検査態様を説明するための検査対象物の正面図であり、（ｂ）は光強度の時間変化を示すグラフ。
【図７】（ａ）は第３実施形態の検査態様を説明するための検査対象物の正面図であり、（ｂ）は光強度の時間変化を示すグラフ。
【図８】第４実施形態の検査態様を説明するための検査対象物の正面図。
【図９】別例の検査装置を模式的に示す側面図。
【図１０】別例の検査装置を模式的に示す側面図。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
（第１実施形態）
以下、本発明に係る検査装置の第１実施形態について説明する。
図１及び図２に示すように、検査装置１０は、予め定められた搬送方向Ｔに向けて搬送される検査対象物Ｅの表面Ｅ１に対して所定の入射角θ１で検査光Ｌ１を照射する照射部１１と、反射角θ２が入射角θ１と等しい光路上に設けられ、表面Ｅ１からの検査光Ｌ１の反射光Ｌ２を受光可能な受光部１２とを備えている。なお、検査対象物Ｅは、帯状であり、所定の反射率を有する非透明な材料で構成されている。
【００２６】
照射部１１は、線状の検査光Ｌ１を、検査対象物Ｅの幅方向（換言すれば、検査対象物Ｅの表面Ｅ１で搬送方向Ｔと直交する方向）に沿った態様で表面Ｅ１に対して照射する。表面Ｅ１に照射される検査光Ｌ１の長さは、検査対象物Ｅの幅方向の長さと同一となっている。つまり、照射部１１は、検査対象物Ｅの幅全体に亘って検査光Ｌ１を照射する。なお、本明細書において「線状」とは、搬送方向Ｔと交差する方向に延びた形状であれば、ある程度の幅を有するものを含むものとする。なお、図１においては、照射部１１は点光源で示したが、これに限られず、平行光を照射する線光源であってもよい。
【００２７】
図１及び図２に示すように、検査装置１０は、検査対象物Ｅの表面Ｅ１において検査光Ｌ１が照射される反射箇所Ｅ１１から受光部１２に向かう反射光Ｌ２の光路上に設けられた遮光部２１を備えている。遮光部２１は、検査光Ｌ１の形状に対応させて形成されており、反射箇所Ｅ１１が平坦な場合における反射光Ｌ２の外郭に沿った形状となっている。具体的には、検査光Ｌ１が線状であることに対応させて、遮光部２１は線状であり、その長さは検査光Ｌ１の長さと同一又はそれよりも長く設定されている。詳細には、検査光Ｌ１が検査対象物Ｅの幅方向に拡がる光線においては、遮光部２１の長さは、検査対象物Ｅの幅方向における検査光Ｌ１の拡がり角及び反射箇所Ｅ１１と遮光部２１との距離を考慮して、検査光Ｌ１全体を遮光できるように検査光Ｌ１の長さよりも長く設定される。なお、これに限られず、仮に検査光Ｌ１を平行光とみなすことができる場合には、遮光部２１の長さは検査光Ｌ１の長さと同一に設定するとよい。
【００２８】
また、遮光部２１の幅は、反射箇所Ｅ１１に凹凸が生じていない場合（換言すれば反射箇所Ｅ１１が平坦である場合）には反射光Ｌ２全体が遮光される一方、反射箇所Ｅ１１に凹凸が生じている場合には反射光Ｌ２の一部が漏れるよう設定されている。詳細には、遮光部２１の幅は、検査光Ｌ１の幅に対応させて、検査光Ｌ１の幅と同一又はそれよりも若干広く設定されている。
【００２９】
図１及び図２に示すように、検査装置１０は、遮光部２１において搬送方向Ｔ側及び搬送方向Ｔとは反対側から漏れる反射光Ｌ２を散乱させる散乱部２２を備えている。散乱部２２が拡散部に対応する。散乱部２２は、例えばすりガラスで構成されており、矩形板状に構成されている。散乱部２２の長手方向の長さは、遮光部２１の長さよりも長い。散乱部２２は、反射箇所Ｅ１１から受光部１２に向かう反射光Ｌ２の進行方向と、板厚方向と直交する面とが直交するように配置されている。
【００３０】
ここで、遮光部２１と散乱部２２とはユニット化されている。詳細には、遮光部２１は、散乱部２２の板厚方向と直交し且つ反射箇所Ｅ１１側にある面２２ａに遮光性の塗料を塗装、又は、遮光性のテープを貼り付けることによって形成されている。この場合、遮光部２１の周囲には散乱部２２が配置されている。換言すれば、図１及び図３に示すように、散乱部２２は、反射箇所Ｅ１１から受光部１２へ向かう方向から見て、反射箇所Ｅ１１が平坦な場合における反射光Ｌ２の外郭に沿ったエッジ２２ｂを有しているとも言える。
【００３１】
散乱部２２は、遮光部２１に対して当該遮光部２１と直交する方向の両側から漏れる反射光Ｌ２を散乱させる。遮光部２１が反射箇所Ｅ１１から受光部１２に向かう反射光Ｌ２の光路上にあることに着目すれば、散乱部２２は、反射箇所Ｅ１１から受光部１２に向かう反射光Ｌ２の光路に対して遮光部２１と直交する方向の両側に設けられている。散乱部２２によって散乱された反射光Ｌ２は、散乱部２２よりも反射光Ｌ２の進行方向の後側に配置されている受光部１２にて受光される。
【００３２】
ちなみに、図３に示すように、遮光部２１は、散乱部２２の面２２ａにおいて散乱部２２の短手方向の中央に配置されている。そして、散乱部２２の短手方向の長さは、遮光部２１と直交する方向において遮光部２１から漏れる反射光Ｌ２の最大長さの２倍よりも長く設定されている。なお、上記最大長さは、想定される検査対象物Ｅの表面Ｅ１の凹凸寸法の最大値によって決まる。
【００３３】
次に、受光部１２の電気的構成について説明する。
受光部１２は、その受光された反射光Ｌ２の光強度に基づいて、表面Ｅ１の凹凸を検査する。詳細には、図４に示すように、受光部１２は、受光された反射光Ｌ２の光強度に応じた信号を出力する検出部３０を備えている。検出部３０は、フォトトランジスタ３１と、当該フォトトランジスタ３１に対して直列に接続された抵抗３２と、微分回路３３とを備えている。フォトトランジスタ３１と抵抗３２とによって分圧された電圧が、微分回路３３を通じて出力されるようになっている。フォトトランジスタ３１には、受光部１２にて受光された光が入射されるようになっている。検出部３０の出力電圧は、フォトトランジスタ３１に入力される光の強度に依存する。なお、検出部３０の具体的な回路構成については、これに限られず、任意である。
【００３４】
また、受光部１２は、検出部３０の検出結果が入力され、当該検出結果に基づいて凹凸を検査する検査部３４を備えている。検査部３４は、検出部３０からの出力電圧に基づいて、光強度の変化を把握し、その把握結果に基づいて表面Ｅ１の凹凸を検査する。例えば、検査部３４は、光強度が「０」の状態、すなわち受光部１２が光を受光していない状態から、光強度が「０」でない状態、すなわち受光部１２が光を受光している状態に移行した場合に、表面Ｅ１に凹凸が生じているとみなす。
【００３５】
次に、本実施形態の作用について説明する。
表面Ｅ１に凹凸が生じていない場合、検査光Ｌ１は表面Ｅ１にて全反射され、その反射光Ｌ２は全て遮光部２１によって遮光される。これにより、反射光Ｌ２は受光部１２にて受光されない。一方、表面Ｅ１に凹凸が生じている場合、当該凹凸によって反射光Ｌ２の一部が歪む。詳細には、図３に示すように、例えば表面Ｅ１に凸部が生じている場合には、遮光部２１に対して遮光部２１の直交する方向の一方側から反射光Ｌ２の一部である第１歪み光Ｌａが漏れる。一方、例えば表面Ｅ１に凹部が生じている場合には、遮光部２１に対して第１歪み光Ｌａとは反対側から反射光Ｌ２の一部である第２歪み光Ｌｂが漏れる。これら各歪み光Ｌａ，Ｌｂは、散乱部２２によって散乱され、受光部１２にて受光される。これにより、受光部１２にて受光される光強度に変化が生じ、その変化に基づいて検査部３４による検査が行われる。換言すれば、遮光部２１は、表面Ｅ１にて全反射された正常光を遮光する一方、表面Ｅ１にて歪んだ各歪み光Ｌａ，Ｌｂの漏れを許容するものである。この場合、散乱部２２のエッジ２２ｂは、反射箇所Ｅ１１から受光部１２へ向かう反射光Ｌ２の光路上にある領域、すなわち正常光が照射される領域と、その領域に対して搬送方向Ｔ側及び搬送方向Ｔとは反対側にある領域、すなわち各歪み光Ｌａ，Ｌｂが照射される領域との境界であるとも言える。
【００３６】
次に、本検査装置１０を用いた検査工程について、検査対象物Ｅの説明と合わせて詳細に説明する。
本実施形態における検査対象物Ｅは、蓄電装置としての二次電池に用いられる電極である。電極は、帯状の金属箔Ｅ２を備えているとともに、その金属箔Ｅ２の表面に活物質層Ｅ３を備えている（図１参照）。金属箔Ｅ２及び活物質層Ｅ３は、所定の反射率を有する非透明な材料である。
【００３７】
なお、電極には、正極活物質層を有する正極電極と、負極活物質層を有する負極電極とがある。両者がセパレータを間に挟んだ状態で積層されることによって電極組立体を構成する。
【００３８】
ここで、電極の製造方法には、搬送方向Ｔに向けて搬送される金属箔Ｅ２に対して活物質が含まれたスラリーを塗布する塗布工程と、塗布されたスラリーを乾燥させる乾燥工程と、乾燥したスラリーをプレスするプレス工程とが含まれている。検査工程は、例えば塗布工程の前、乾燥工程とプレス工程の間、プレス工程の後等に実行される。この場合、塗布工程の前に行う検査工程では、検査対象物Ｅの表面Ｅ１の凹凸として、金属箔Ｅ２の表面の凹凸を検査し、塗布工程以降の検査工程では、検査対象物Ｅの表面Ｅ１の凹凸として、活物質層Ｅ３の表面の凹凸を検査することとなる。
【００３９】
検査工程では、先ず照射部１１を用いて検査対象物Ｅの表面Ｅ１に検査光Ｌ１を照射する。そして、受光部１２における反射光Ｌ２の受光結果に基づいて、表面Ｅ１の凹凸を検査する。
【００４０】
以上詳述した本実施形態によれば以下の優れた効果を奏する。
（１）反射箇所Ｅ１１から受光部１２に向かう反射光Ｌ２の光路上に、反射箇所Ｅ１１が平坦な場合における反射光Ｌ２の外郭に沿った形状を有する遮光部２１を設けた。そして、遮光部２１において搬送方向Ｔ側及び搬送方向Ｔとは反対側から漏れる反射光Ｌ２を受光部１２にて受光する構成とした。詳細には、遮光部２１に対して遮光部２１の直交方向の両側から漏れる各歪み光Ｌａ，Ｌｂを受光部１２にて受光する構成とした。これにより、表面Ｅ１の凹凸有無を好適に検査することができる。
【００４１】
ここで、反射光Ｌ２のうち、凹凸が生じておらず表面Ｅ１にて全反射した光の透過を許容し、各歪み光Ｌａ，Ｌｂの透過を規制するスリットを設け、スリットを透過した光を受光部１２にて受光し、その光強度の変化に基づいて表面Ｅ１の凹凸を検査する構成も考えられる。しかしながら、この場合、照射部１１及び受光部１２の汚れ・劣化等によって光強度が変化し易い。
【００４２】
これに対して、本実施形態によれば、各歪み光Ｌａ，Ｌｂに基づいて検査を行う構成とした。この場合、各歪み光Ｌａ，Ｌｂが検出された場合には、表面Ｅ１に凹凸が生じているとみなすことができる。すなわち、光強度の値を厳密に測定する必要はなく、光強度の変化の有無、詳細には光強度が「０」か否かの判定で凹凸の検査を行うことができる。よって、検査精度の向上を図ることができる。
【００４３】
また、本構成によれば、ＣＣＤカメラ等を用いて表面Ｅ１の画像を取得し、さらにその画像処理を行うことなく、表面Ｅ１の凹凸の検査を行うことができる。これにより、受光部１２の簡素化を図ることができる。
【００４４】
（２）各歪み光Ｌａ，Ｌｂを散乱させる散乱部２２を設けた。これにより、各歪み光Ｌａ，Ｌｂが散乱されることにより、各歪み光Ｌａ，Ｌｂを受光可能な範囲が広がるため、各歪み光Ｌａ，Ｌｂが受光部１２にて受光され易くなる。これにより、受光部１２と遮光部２１との位置合わせ精度を低くすることができる。よって、両者の位置合わせを容易なものとすることができる。
【００４５】
（第２実施形態）
本実施形態では、検査光等が第１実施形態と異なっている。その異なる点について図５及び図６を用いて説明する。なお、第１実施形態と同一の構成については、同一の符号を付すとともに、その詳細な説明を省略する。また、第１検査光Ｌ１１及び第１反射光Ｌ２１を実線で示し、第２検査光Ｌ１２及び第２反射光Ｌ２２を一点鎖線で示す。また、図示の都合上、図６（ａ）においては、遮光部４３及び散乱部４４を２点鎖線で示す。
【００４６】
図５に示すように、本実施形態の検査装置１０は、２種類の検査光Ｌ１１，Ｌ１２を照射する照射部４１を備えている。各検査光Ｌ１１，Ｌ１２は、搬送方向Ｔに交差する方向に延びた線状である。図５及び図６（ａ）に示すように、各検査光Ｌ１１，Ｌ１２は、表面Ｅ１と直交する方向から見て交差している。詳細には、各検査光Ｌ１１，Ｌ１２は、表面Ｅ１と直交する方向から見てＶ字状となっている。換言すれば、各検査光Ｌ１１，Ｌ１２は、表面Ｅ１と直交する方向から見て互いに搬送方向Ｔにずれた位置に照射される。この場合、図６（ａ）に示すように、検査対象物Ｅの幅方向の位置によって互い（各検査光Ｌ１１，Ｌ１２間）の距離Ｘ１が変化する。なお、各検査光Ｌ１１，Ｌ１２は、波長が相違する。
【００４７】
本実施形態の受光部４２は、各検査光Ｌ１１，Ｌ１２の反射光Ｌ２１，Ｌ２２を識別可能に構成されている。詳細には、受光部４２は、第１検査光Ｌ１１の反射光である第１反射光Ｌ２１に反応する第１検出部と、第２検査光Ｌ１２の反射光である第２反射光Ｌ２２に反応する第２検出部とを備えている。これにより、受光部４２は、各反射光Ｌ２１，Ｌ２２の光強度を区別して検出可能となっている。
【００４８】
図５に示すように、本実施形態の遮光部４３は、反射箇所Ｅ１１から受光部４２に向かう方向から見て反射箇所Ｅ１１が平坦な場合における各反射光Ｌ２１，Ｌ２２の外郭に沿った形状であり、詳細には反射箇所Ｅ１１から受光部４２に向かう方向から見てＶ字状になっている。遮光部４３は、正常光、詳細には反射箇所Ｅ１１に凹凸が生じていない場合の各反射光Ｌ２１，Ｌ２２を遮光し、反射箇所Ｅ１１に到達した凹凸によって歪んだ光の漏れを許容する形状となっている。
【００４９】
また、本実施形態の散乱部４４は、遮光部４３の形状に対応した形状であり、詳細には、散乱部４４は、反射箇所Ｅ１１から受光部４２に向かう方向から見て、遮光部４３の投影領域全体が含まれる大きさよりも大きくなっている。なお、本実施形態における反射光は全反射による反射光である。
【００５０】
受光部４２は、遮光部４３から漏れた各反射光Ｌ２１，Ｌ２２の光強度の変化と、その変化が発生した時間差とに基づいて、表面Ｅ１の凹凸の有無及び検査対象物Ｅの幅方向における凹凸の位置を特定する。
【００５１】
詳細には、例えば図６（ａ）に示すように、検査対象物Ｅの表面Ｅ１上に凸部Ｃ０がある状況において検査対象物Ｅが搬送方向Ｔに搬送されると、先に第１検査光Ｌ１１が凸部Ｃ０に照射され、その後第２検査光Ｌ１２が凸部Ｃ０に照射される。すると、図６（ｂ）に示すように、凸部Ｃ０に起因する光強度の変化が、時間差δｔだけずれて検出される。当該時間差δｔは、搬送方向Ｔの各検査光Ｌ１１，Ｌ１２間の距離Ｘ１に応じたものである。受光部４２は、当該受光部４２にて受光される各反射光Ｌ２１，Ｌ２２の光強度が変化した場合、時間差δｔを算出し、その時間差δｔに基づいて、検査対象物Ｅの幅方向における凸部Ｃ０の位置を算出する。
【００５２】
なお、各検査光Ｌ１１，Ｌ１２の角度θａは、受光部４２が検出可能な時間差δｔとなるように検査対象物Ｅの搬送速度等を考慮して決定されている。角度θａによって距離Ｘ１の変動範囲が決定され、且つ、距離Ｘ１の変動範囲が検査対象物Ｅの幅方向における位置特定に係る精度を決定するものであることに着目すれば、角度θａは、検査対象物Ｅの幅方向における凹凸の位置特定に係る精度を規定するものであるとも言える。
【００５３】
次に本実施形態の作用について説明する。
上述したとおり、各検査光Ｌ１１，Ｌ１２がＶ字状に照射されている状況において表面Ｅ１に凹凸が生じている場合、当該受光部４２にて受光される各反射光Ｌ２１，Ｌ２２の光強度の変化に時間差δｔが生じる。当該時間差δｔは、搬送方向Ｔにおける各検査光Ｌ１１，Ｌ１２間の距離Ｘ１に依存し、当該距離Ｘ１は検査対象物Ｅの幅方向の位置に変動している。このため、時間差δｔに基づいて、検査対象物Ｅの幅方向における凹凸の位置が一義的に特定される。
【００５４】
以上詳述した本実施形態によれば、上記（１）及び（２）の効果に加えて以下の優れた効果を奏する。
（３）検査対象物Ｅの表面Ｅ１で搬送方向Ｔに交差する方向に延びた線状の検査光Ｌ１１，Ｌ１２を、互いに交差させて照射する構成とした。これにより、仮に表面Ｅ１に凹凸が生じている場合には、受光部４２にて受光される光強度の変化が、搬送方向Ｔにおける各検査光Ｌ１１，Ｌ１２間の距離Ｘ１に応じた時間差δｔで発生する。よって、その時間差δｔに基づいて、検査対象物Ｅの幅方向における凹凸の位置を特定することができる。
【００５５】
（４）各検査光Ｌ１１，Ｌ１２は表面Ｅ１と直交する方向から見てＶ字状となっている。各検査光Ｌ１１，Ｌ１２は角度が異なる直線状であるため、搬送方向Ｔにおける各検査光Ｌ１１，Ｌ１２の距離Ｘ１は、検査対象物Ｅの幅方向の位置に比例して変動する。よって、光強度の変化が発生した順番等を考慮することなく、時間差δｔに基づいて、検査対象物Ｅの幅方向の位置を容易に特定することができる。
【００５６】
（第３実施形態）
本実施形態では、検査光等が第２実施形態と異なっている。その異なる点について図７を用いて説明する。なお、第１実施形態と同一の構成については、同一の符号を付すとともに、その詳細な説明を省略する。なお、図７においては、遮光部５１、散乱部５２及び受光部４２を２点鎖線にて示し、さらに各検査光Ｌ１３，Ｌ１４及び遮光部５１の形状を、簡略化して一本の線で示す。
【００５７】
図７（ａ）に示すように、本実施形態の照射部は、各検査光Ｌ１３，Ｌ１４を、表面Ｅ１と直交する方向から見てＸ字状に照射する。この場合、各検査光Ｌ１３，Ｌ１４の角度θｂは、第２実施形態の角度θａと同じとなっている。換言すれば、Ｘ字状は縦横寸法が半分である２つのＶ字を縦に並べ、上に位置するＶ字を上下反転した形状とも言える。そのため、角度θｂが第２実施形態の角度θａと同じでも、Ｘ字状はＶ字状よりも照射範囲が半分になる。詳細には、各検査光Ｌ１３，Ｌ１４が照射されるスペースの横寸法が半分となっている。なお、各検査光Ｌ１３，Ｌ１４が照射されるスペースの横寸法とは、搬送方向Ｔに沿う方向において各検査光Ｌ１３，Ｌ１４の最大離間距離とも言える。
【００５８】
各検査光Ｌ１３，Ｌ１４に対応させて、本実施形態の遮光部５１は、反射箇所Ｅ１１から受光部４２に向かう方向から見て反射箇所Ｅ１１が平坦な場合における各検査光Ｌ１３，Ｌ１４の反射光Ｌ２３，Ｌ２４の外郭に沿った形状であり、詳細には反射箇所Ｅ１１から受光部４２に向かう方向から見てＸ字状にとなっている。そして、本実施形態の散乱部５２は、反射箇所Ｅ１１から受光部４２に向かう方向から見た遮光部５１の投影領域全体が含まれる大きさよりも大きい。
【００５９】
受光部４２は、遮光部５１から漏れた各検査光Ｌ１３，Ｌ１４の反射光Ｌ２３，Ｌ２４の光強度の変化を検出する。そして、受光部４２は、光強度の変化の順番及び時間差δｔに基づいて、表面Ｅ１の凹凸の有無及び検査対象物Ｅの幅方向の位置を特定する。
【００６０】
本実施形態の作用について説明する。
仮に図７（ａ）に示すように、検査対象物Ｅの幅方向において各検査光Ｌ１３，Ｌ１４の交点Ｐと同一位置に第１凸部Ｃ１がある場合、図７（ｂ）に示すように、光強度の変化が同時に発生する。一方、図７（ａ）に示すように、検査対象物Ｅの幅方向において交点Ｐとは異なる位置に第２凸部Ｃ２がある場合、図７（ｂ）に示すように、光強度の変化に時間差δｔが生じる。なお、第３凸部Ｃ３の場合には、光強度の変化の順番が第２凸部Ｃ２の場合と逆になる。詳細には、先に第１反射光Ｌ２３の光強度が変化し、その後第２反射光Ｌ２４の光強度が変化する。
【００６１】
ここで、各検査光Ｌ１３，Ｌ１４は、交点Ｐを通り搬送方向Ｔに延びる中心線を介して対称となっている。このため、検査対象物Ｅの幅方向において、距離Ｘ１が同一となる位置が２箇所存在する。
【００６２】
これに対して、検査対象物Ｅの幅方向の位置を特定する要素として、受光部４２にて受光される各反射光Ｌ２３，Ｌ２４の光強度の変化の順番が含まれている。これにより、検査対象物Ｅの幅方向の位置が一義的に特定される。
【００６３】
詳細には、図７（ａ）に示すように、検査対象物Ｅの幅方向において、交点Ｐよりも検査対象物Ｅの一方の長辺部Ｅａ側においては、第１検査光Ｌ１３が第２検査光Ｌ１４よりも搬送方向Ｔの上流側にある。このため、交点Ｐよりも一方の長辺部Ｅａ側においては、第１反射光Ｌ２３の光強度の変化が生じた後に、第２反射光Ｌ２４の光強度の変化が生じる。
【００６４】
一方、検査対象物Ｅの幅方向において、交点Ｐよりも検査対象物Ｅの他方の長辺部Ｅｂ側においては、第２検査光Ｌ１４が第１検査光Ｌ１３よりも搬送方向Ｔの上流側にある。このため、交点Ｐよりも他方の長辺部Ｅｂ側においては、第２反射光Ｌ２４の光強度の変化が生じた後に、第１反射光Ｌ２３の光強度の変化が生じる。
【００６５】
以上の通り、交点Ｐを境界として、光強度の変化の順番が入れ替わる。このため、時間差δｔに加えて、光強度の変化の順番を考慮することにより、検査対象物Ｅの幅方向における凹凸の位置が一義的に特定される。
【００６６】
以上詳述した本実施形態によれば、上述した（１）〜（４）の効果の他に以下の優れた効果を奏する。
（５）各検査光Ｌ１３，Ｌ１４を表面Ｅ１と直交する方向から見てＸ字状に照射し、各反射光Ｌ２３，Ｌ２４に係る光強度の変化の時間差δｔと、当該変化が発生した順番とに基づいて、検査対象物Ｅの幅方向における凹凸の位置を特定する構成とした。この場合、各検査光Ｌ１３，Ｌ１４がＶ字状となっている構成と比較して、同一の精度を確保するのに要する各検査光Ｌ１３，Ｌ１４の照射範囲（搬送方向Ｔに沿う方向における各検査光Ｌ１３，Ｌ１４の最大離間距離）を小さくすることができ、それを通じて検査スペースを小さくすることができる。
【００６７】
（第４実施形態）
図８に示すように、本実施形態の照射部は、表面Ｅ１と直交する方向から見て、Ｘ字状の検査光群ＧＬ１〜ＧＬ４が検査対象物Ｅの幅方向に並んだ態様で照射する。検査光群ＧＬ１〜ＧＬ４は、第１検査光Ｌ３１〜Ｌ３４と第２検査光Ｌ４１〜Ｌ４４とから構成されており、各検査光Ｌ３１〜Ｌ３４，Ｌ４１〜Ｌ４４の波長はそれぞれ異なっている。
【００６８】
本実施形態の遮光部６１は、検査光群ＧＬ１〜ＧＬ４の反射光の外郭に沿った形状であり、具体的にはＸ字状のものが検査対象物Ｅの幅方向に複数並んだ形状となっている。また、本実施形態の受光部は、各検査光Ｌ３１〜Ｌ３４，Ｌ４１〜Ｌ４４を識別可能に構成されている。なお、本実施形態の散乱部６２は、反射箇所Ｅ１１から受光部に向かう方向から見た遮光部６１の投影領域全体が含まれる大きさよりも大きい。
【００６９】
次に本実施形態の作用について説明する。
検査光群ＧＬ１〜ＧＬ４が検査対象物Ｅの幅方向に複数並んでいるため、検査対象物Ｅの幅方向において１の検査光が占める範囲が狭くなっている。例えば、検査対象物Ｅの幅方向において、第１検査光群ＧＬ１の第１検査光Ｌ３１の占める範囲Ｙ１は検査対象物Ｅの長さＹ０よりも狭い。このため、１の検査光当たりにおいて凹凸が同時に到達する確率が低くなっている。
【００７０】
以上詳述した本実施形態によれば以下の優れた効果を奏する。
（６）表面Ｅ１と直交する方向から見て、Ｘ字状の検査光群ＧＬ１〜ＧＬ４が検査対象物Ｅの幅方向に並んだ態様で照射する構成とした。これにより、１の検査光当たりにおいて凹凸が同時に検出される確率が低いため、複数の凹凸が１の凹凸として誤認する事態を回避することができる。
【００７１】
詳述すると、例えば複数の凹凸が搬送方向Ｔにずれてある場合、そのずれ寸法によっては、上記複数の凹凸に対して同時に検査光が照射される場合がある。この場合、受光部にて受光される光強度は、複数の凹凸があるにも関わらず１つの凹凸があるように変化する。
【００７２】
これに対して、本実施形態によれば、１の検査光当たりにおける凹凸の検出確率が低くなっているため、上記のような事態が発生しにくい。これにより、複数の凹凸があるにも関わらず１の凹凸として認識することを回避することができる。
【００７３】
また、各検査光群ＧＬ１〜ＧＬ４のうち、光強度が変化したものを確認することにより、時間差δｔを参照することなく、凹凸が生じている箇所の範囲をある程度特定することができる。
【００７４】
さらに、例えば図８に示すように、第４凸部Ｃ４及び第５凸部Ｃ５が搬送方向Ｔに並んで生じているとする。この場合、第４凸部Ｃ４と第５凸部Ｃ５とは幅方向にずれているため、異なる検査光群にて検出される。すなわち、第４凸部Ｃ４は第４検査光群ＧＬ４にて検出され、第５凸部Ｃ５は第３検査光群ＧＬ３にて検出される。これにより、第４凸部Ｃ４に起因する光強度の変化と、第５凸部Ｃ５に起因する光強度の変化とを区別して検出することができるため、複数の凹凸が搬送方向Ｔに近接して生じている場合であっても、光強度の変化がどの凹凸に対応したものであるか特定することができる。よって、凹凸の誤検出又は凹凸の位置の誤認を回避することができる。
【００７５】
なお、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
○  各実施形態では、検査装置１０の位置が固定されている状況において検査対象物Ｅが搬送方向Ｔに搬送されていたが、これに限られず、検査対象物Ｅの位置が固定されている状況において検査装置１０が移動する構成としてもよい。この場合であっても、検査対象物Ｅは、検査装置１０に対して予め定められた方向に移動されると言える。要は、検査対象物Ｅが検査装置１０に対して相対的に予め定められた方向に移動される構成であれば、移動対象は検査対象物Ｅ及び検査装置１０のどちらでもよい。ちなみに、搬送方向Ｔが検査対象物Ｅの移動方向に対応する。
【００７６】
○  各実施形態では、検査装置１０は、検査対象物Ｅに凹凸が生じているか否かを検査する構成であったが、これに限られず、例えば受光部１２等で受光される光の強度に基づいて、表面Ｅ１の凹凸具合、表面粗さを検査する構成としてもよい。
【００７７】
○  第１実施形態では、遮光部２１が設けられていたが、これに限られない。例えば、遮光部２１に代えて、散乱部２２に、反射箇所Ｅ１１が平坦な場合における反射光Ｌ２の外郭に沿った形状、具体的には遮光部２１と同一形状のスリットを設けてもよい。この場合、スリットの周縁部が、反射箇所Ｅ１１が平坦な場合における反射光Ｌ２の外郭に沿ったエッジを構成している。そして、散乱部２２が拡散部に対応する。かかる構成においては、スリットを透過する光が入射されにくい一方、散乱部２２により散乱された光が入射され易い位置に受光部１２を配置するとよい。換言すれば、第１実施形態は遮光部２１により正常時の反射光Ｌ２が受光部１２に到達するのを規制する構成に対して、本形態は散乱部２２がない箇所であるスリットを正常時の反射光Ｌ２が通過することにより、正常時の反射光Ｌ２が受光部１２に到達するのを規制する構成である。
【００７８】
○  また、遮光部２１は、表面Ｅ１に凹凸が生じていない場合の反射光Ｌ２の全体を遮光する構成であったが、これに限られず、表面Ｅ１に凹凸が生じていない場合の反射光Ｌ２の一部を遮光する構成であってもよい。この場合、受光部１２としては、光強度の変化量に基づいて、凹凸を検査する。また、遮光部２１は、検査対象物Ｅの幅方向に亘って一部を遮光する構成であってもよい。
【００７９】
○  各実施形態では、散乱部２２，４４，５２，６２が設けられていたが、これに限られない。例えば、図９に示すように、遮光部２１から漏れた光を反射させる反射部７１を設けてもよい。この場合、反射部７１によって反射された光を受光できるように、反射部７１よりも反射箇所Ｅ１１寄りに受光部１２を配置するとよい。なお、反射部７１は、乱反射するように表面に凹凸があってもよいし、全反射するように表面が平滑な光沢面であってもよい。
【００８０】
○  第１実施形態では、検査光Ｌ１は、表面Ｅ１に対して全反射する構成としたが、これに限られず、乱反射する構成であってもよい。この場合、図１０に示すように、散乱部２２に代えて、遮光部２１と受光部１２との間に、遮光部２１から漏れた反射光Ｌ２を集光させるレンズ８１と半透過スクリーン８２とを設けてもよい。
【００８１】
○  なお、上記構成においては、遮光部２１は、棒状であってもよいし、光を透過する透明部材に遮光パターンがある構成としてもよい。
○  第１実施形態では、遮光部２１の長さは、検査光Ｌ１の長さと同一又はそれよりも長く設定されていたが、これに限られず、検査光Ｌ１の長さよりも短くしてもよい。これにより、遮光部２１及び散乱部２２の小型化を図ることができる。この場合、反射箇所Ｅ１１と遮光部２１との間に集光するレンズを設け、反射光Ｌ２全体が遮光部２１に照射されるようにするとよい。
【００８２】
○  第２実施形態等において、光強度の変化の波形に基づいて、光強度の変化の起因となった凹凸を特定する構成としてもよい。詳述すると、光強度の変化の波形は、凹凸の形状に起因する。このため、同一の凹凸であれば、各反射光Ｌ２１，Ｌ２２の光強度の変化の波形が同一になる。よって、光強度の変化の波形を参照することによって、各反射光Ｌ２１，Ｌ２２の光強度の変化が、どの凹凸に基づくものであるのかを特定することができる。したがって、凹凸が複数ある場合に、光強度の変化と凹凸との対応関係を誤認することを回避することができる。
【００８３】
○  第２実施形態において、各反射光Ｌ２１，Ｌ２２の光強度差の時間依存性を把握し、その光強度差の時間依存性に基づいて、検査対象物Ｅの幅方向の所定位置における歪み量を規定してもよい。例えば各反射光Ｌ２１，Ｌ２２の光強度差を時間の関数で規定するとともに、時間と検査対象物Ｅの幅方向の位置とを対応付けて規定する。そして、所定の時間に対応する光強度差を、当該所定の時間に対応する位置の歪み量、換言すれば表面粗さとして規定してもよい。
【００８４】
○  第３実施形態では、各検査光Ｌ１３，Ｌ１４は、表面Ｅ１の直交する方向から見てＸ字状であったが、これに限られず、例えば一方の検査光が検査対象物Ｅの幅方向に沿って延び、他方の検査光がそれとは交差して延びたものであってもよい。
【００８５】
○  また、第３実施形態では、表面Ｅ１上に各検査光Ｌ１３，Ｌ１４の交点Ｐが配置されていたが、これに限られず、表面Ｅ１上に交点Ｐがなくてもよい。要は、幅方向の位置によって各検査光Ｌ１３，Ｌ１４が変化する直線状の光であればよい。換言すれば、表面Ｅ１に平行でない２種類の検査光を照射する構成であればよい。また、曲線の検査光を照射する構成としてもよく、例えば全体としてＵ字状となる検査光を照射する構成としてもよい。
【００８６】
○  第２実施形態では、各検査光Ｌ１１，Ｌ１２は受光部４２が識別可能となるように波長が違っていたが、これに限られず、同一波長であってもよい。
○  第２実施形態では、各検査光Ｌ１１，Ｌ１２は、波長が異なっていたが、これに限られず、例えば検査光として、互いに異なる所定の周波数やパターンの信号を重畳させたものを用いてもよい。この場合、検出部３０には、両者を区別するフィルタ回路やパターン識別回路を設けるとよい。
【００８７】
○  第１実施形態では、遮光部２１と散乱部２２とはユニット化されていたが、これに限られず、反射光Ｌ２の光路に対する位置関係が規定されていれば、両者を個別に配置する構成としてもよい。
【００８８】
○  検査光Ｌ１等は線状であったが、これに限られず、検査対象物Ｅの幅方向の全体を照射することができれば、その具体的な形状は任意である。例えば円状であってもよい。
○  散乱部２２，４４，５２，６２は矩形板状であったが、これに限られず、反射箇所Ｅ１１から受光部に向かう方向から見て、少なくとも遮光部の搬送方向Ｔ側及び搬送方向Ｔとは反対側にあれば、その具体的な形状は任意である。また、散乱部２２等を省略してもよい。
【００８９】
○  各実施形態では、検査対象は検査対象物Ｅの表面Ｅ１であったが、これに限られず、任意である。例えば、織物の表面や、太陽電池セルの表面等であってもよい。
○  例えば電極の製造方法において、スラリーを間欠的に塗布する場合には、金属箔Ｅ２と活物質層Ｅ３との境界にて反射光Ｌ２が歪む場合が生じ得る。この場合、受光部１２にて受光される光強度が搬送にともなって変化することが想定される。これに対して、上記のような変化する箇所については、検査から除外する構成としてもよい。
【００９０】
次に、上記実施形態及び別例から把握できる技術的思想について以下に記載する。
（イ）前記エッジは、前記拡散部において、前記反射箇所から前記受光部に向かう反射光の光路上にある領域と、その領域に対して前記相対移動方向側及び前記相対移動方向とは反対側にある領域との境界であることを特徴とする請求項３に記載の検査装置。
【００９１】
（ロ）検査装置に対し、予め定められた方向に相対移動される検査対象物の表面の凹凸を検査する検査装置において、前記表面に対して検査光を照射する照射部と、前記表面からの前記検査光の反射光を受光可能な受光部と、を備え、前記受光部は、前記反射光のうち、前記表面における前記検査光の反射箇所から前記受光部に向かう反射光の受光が規制される一方、前記反射箇所から前記受光部に向かう反射光に対して前記検査対象物の相対移動方向側及び前記相対移動方向とは反対側の反射光の受光が許容されていることを特徴とする検査装置。
【符号の説明】
【００９２】
１０…検査装置、１１…照射部、１２…受光部、２１…遮光部、２２…散乱部、４３…第２実施形態の遮光部、５１…第３実施形態の遮光部、６１…第４実施形態の遮光部、７１…反射部、８１…レンズ、８２…半透過スクリーン、Ｅ…検査対象物、Ｅ１…検査対象物の表面、Ｅ１１…反射箇所。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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