(57)【要約】【課題】パッド構造を提供する。【解決手段】半導体のパッドなどのパッドに関連する剥離を軽減する一つ以上の技術またはシステムが提供される。ある具体例において、剥離を軽減するパッド構造は、第一領域上の接着領域を含む。ある具体例において、第一領域に関連する第一層間誘電体領域が、パッド下の層間領域中に形成される。加えて、第一領域に関連する第一金属間誘電体領域が、層間領域下の金属間領域中に形成される。ある具体例において、第一金属間領域は第一層間領域下に形成される。このように、少なくとも、第一金属間誘電体領域は誘電体材料を含み、第一層間誘電体領域は誘電体材料を含むことにより、第一金属間誘電体領域と層間誘電体領域間に誘電体-誘電体インターフェースを形成することができるので、パッド構造に関連する剥離が軽減される。【選択図】図１
2014072519.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
剥離を軽減するパッド構造であって、
第一領域上に位置する接着領域と、
前記接着領域下にあり、前記第一領域または第二領域のうちの少なくとも一つの上に位置するパッドと、
前記パッド下にあり、前記第一領域に関連する第一層間誘電体領域、および、一つ以上のパッド接続を含む層間領域、および、
前記第一領域に関連する第一金属間誘電体領域、および、前記第二領域に関連する第二金属間領域を含む前記層間領域下にあり、前記第一金属間誘電体領域は、前記パッド構造に関連する剥離を軽減するように構成される金属間領域、
を含むことを特徴とするパッド構造。
【請求項２】
前記層間領域は、前記第二領域に関連する前記一つ以上のパッド接続の第一パッド接続、前記パッドの少なくとも一部の下に位置する第三領域に関連する前記一つ以上のパッド接続の第二パッド接続、第四領域に関連する第二層間誘電領域、および、第五領域に関連する第三層間誘電領域を含み、
前記層間領域下の前記金属間領域は、前記第三領域に関連する第三金属間領域、前記第四領域に関連する第二金属間誘電体領域、および、前記第五領域に関連する第三金属間誘電体領域を含むことを特徴とする請求項１に記載のパッド構造。
【請求項３】
前記金属間領域は、前記第二金属間領域上に位置する第一ビアを含むことを特徴とする請求項１または２に記載のパッド構造。
【請求項４】
前記金属間領域下の一つ以上の追加金属間領域を含み、前記一つ以上の追加金属間領域の追加の金属間領域は、前記第一領域に関連する第一追加金属間誘電体領域、および、前記第二領域に関連する第二追加金属間領域を含むことを特徴とする請求項１から請求項３のうちのいずれか一項に記載のパッド構造。
【請求項５】
前記追加金属間領域は、前記第二追加金属間領域上に位置する第一追加ビアを含むことを特徴とする請求項４に記載のパッド構造。
【請求項６】
前記追加金属間領域は、第三領域に関連する第三追加金属間領域を含むことを特徴とする請求項４に記載のパッド構造。
【請求項７】
前記追加金属間領域は、第四領域に関連する第二追加金属間誘電体領域、および、前記第五領域に関連する第三追加金属間誘電体領域を含むことを特徴とする請求項４に記載のパッド構造。
【請求項８】
パッド構造に関連する剥離を軽減する方法であって、
第一領域に関連する第一層間誘電体領域を形成し、前記第一領域が接着領域の下にある工程、および、一つ以上のパッド接続を形成する工程を含むパッド下の層間領域を形成する工程と、
前記第一領域に関連する第一金属間誘電体領域を形成する工程、および、前記第二領域に関連する第二金属間領域を形成し、前記第一金属間誘電体領域が、前記パッド構造に関連する剥離を軽減するように形成される工程を含む前記層間領域下の金属間領域を形成する工程と、を含むことを特徴とする方法。
【請求項９】
前記パッド下の層間領域を形成する工程は、
前記第二領域に関連する第一パッド接続を形成する工程、および
第三領域に関連する第二パッド接続を形成する工程、
を含むことを特徴とする請求項８に記載の方法。
【請求項１０】
パッド剥離を軽減するパッド構造であって、
第一領域上に位置する接着領域と、
前記接着領域下にあり、前記第一領域、第二領域、または第三領域のうちの少なくとも一つの上に位置するパッドと、
前記パッド下にあり、前記第一領域に関連する第一層間誘電体領域、前記第二領域に関連する第一パッド接続、および、前記第三領域に関連する第二パッド接続を含む層間領域、および、
前記層間領域下にあり、前記第一領域に関連する第一金属間誘電体領域、前記第二領域に関連する第二金属間領域、前記第三領域に関連する第三金属間領域を含み、前記第一金属間誘電体領域は、前記パッド構造に関連する剥離を軽減するように構成される金属間領域、
を含むことを特徴とするパッド構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、パッド構造に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、スタックの接着領域下の領域は、たとえば、結合力などの力に関連する。加えて、力がスタックに加えられる時、第一タイプの材料を含む第一領域と第二タイプの材料を含む第二領域間のインターフェースは、しばしば、ばらばらに剥離する。例えば、接着領域に関連する力の影響下にあるとき、誘電体領域と金属間のインターフェースは、それぞれの領域間のインターフェースで、ばらばらに剥離する。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
本発明は、剥離を軽減するパッド構造を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
パッド構造に関連する剥離を軽減する一つ以上の技術またはシステムが、この中に提供される。ある具体例(some embodiments)において、剥離を軽減するパッド構造は、第一領域上に(above)位置する(located)接着領域を含む。一般に、第一領域は、接着領域からの力に関連する。例えば、このような力は、たとえば誘電体などの第一材料、たとえば金属などの第二材料間のインターフェースをばらばらに剥離する。したがって、パッド構造は、たとえば、誘電体-金属インターフェースなどの異なる材料のインターフェースが、第一領域または接着領域下の(under)領域に設置されないように設計される。例えば、パッド構造は、接着領域下のパッドを含む。加えて、パッドは、第一領域、第二領域または第三領域のうちの少なくとも一つの上に位置する。ある具体例において、パッド構造は、パッド下の層間領域を含む。例えば、層間領域は、第一領域に関連する第一層間誘電体領域、第二領域に関連する第一パッド接続、および、第三領域に関連する第二パッド接続を含む。第一領域に関連する第一層間誘電体領域は、誘電体材料から構成されることが理解できる。ある具体例において、パッド構造は、層間領域下の金属間領域を含む。例えば、金属間領域は、第一領域に関連する第一金属間誘電体領域、第二領域に関連する第二金属間領域、および、第三領域に関連する第三金属間領域を含む。層間領域の第一層間誘電体領域と同様に、金属間領域の第一金属間誘電体領域は、誘電体材料から構成される。このように、少なくとも、第一層間誘電体領域および第一金属間誘電体領域が、誘電体-金属インターフェースではなく、誘電体-誘電体インターフェースを含むので、第一金属間誘電体領域が、パッド構造に関連する剥離を軽減するように構成される。つまり、パッド構造は、接着領域下の第一領域のインターフェースが、たとえば、誘電体-金属などの異なる材料のタイプを含まないように設計される。
【発明の効果】
【０００５】
パッド構造に関連する剥離を軽減する。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
【図１】具体例による剥離を軽減するパッド構造の断面図である。
【図２】具体例による剥離を軽減するパッド構造の断面図である。
【図３】具体例による剥離を軽減するパッド構造の断面図である。
【図４】具体例による剥離を軽減するパッド構造の断面図である。
【図５】具体例によるパッド構造に関連する剥離を軽減する方法を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
実施の形態１．
図１は、具体例(some embodiments)による剥離を軽減するパッド構造１００の断面図である。例えば、図１のパッド構造１００は、接着領域１１０、パッド１２０、層間領域１３０および金属間領域１４０を含む。ある具体例において、接着領域１１０は第一領域１０２上に位置し、パッド１２０は、接着領域１１０下、および、第一領域１０２または第二領域１０４のうちの少なくとも一つの上に位置し、層間領域１３０はパッド１２０下に位置し、金属間領域１４０は層間領域１３０下に位置する。ある具体例において、パッド構造１００は、一つ以上の追加金属間領域を含む。ある具体例において、層間領域１３０は、第一層間誘電体領域１３２および第一パッド接続１２２を含む。例えば、第一層間誘電体領域１３２は第一領域１０２に関連し、第一パッド接続１２２は、一般に、第二領域１０４に関連する。ある具体例において、金属間領域１４０は、第一金属間誘電体領域１４２および第二金属間領域１４４を含む。例えば、第一金属間誘電体領域１４２は第一領域１０２に関連し、第二金属間領域１４４は第二領域１０４に関連する。ある具体例において、第二金属間領域１４４は第一パッド接続１２２下に位置する。ある具体例において、第一領域１０２は、少なくとも一つの接着領域１１０またはパッド１２０下に位置する。例えば、少なくとも、接着領域１１０がパッド１２０と同一平面にはないので、第一領域１０２は力１９０に関連する。例えば、接着領域１１０が回路板と接触している時、力１９０は、接着領域１１０から、パッド１２０を経て、層間領域１３０または金属間領域１４０のうちの少なくとも一つに加えられる。ある具体例において、力１９０はパッケージ結合力である。ある具体例において、第二領域１０４は、パッド１２０下、且つ、接着領域１１０下ではない箇所に位置する。力１９０は、第一層間誘電体領域１３２または第一金属間誘電体領域１４２のうちの少なくとも一つに加えられることが理解できる。少なくとも、それぞれの領域は、第一領域１０２に関連するか、または、接着領域１１０下に位置するかの少なくとも一方だからである。
【０００８】
ある具体例において、層間領域１３０は、誘電体または金属のうちの少なくとも一つを含む。例えば、層間領域１３０の第一層間誘電体領域１３２は誘電体材料を含む。加えて、層間領域１３０の第一パッド接続１２２は金属を含む。第一パッド接続１２２は、実質上、第二領域１０４に関連するが、ある具体例では、たとえば、第一領域１０２の一部などの隣接領域の一部と関連することが理解できる。同様に、金属間領域１４０は、誘電体または金属のうちの少なくとも一つを含む。例えば、金属間領域１４０の第一金属間誘電体領域１４２は誘電体材料を含む。このように、誘電体-誘電体インターフェース１９２が、第一層間誘電体領域１３２と第一金属間誘電体領域１４２間に形成される。誘電体-誘電体インターフェース１９２は、例えば、第一層間誘電体領域１３２と第一金属間誘電体領域１４２に関連する剥離を軽減することが理解できる。このように、第一金属間誘電体領域１４２は、パッド構造１００に関連する剥離を軽減するように構成される。加えて、金属間領域１４０の第二金属間領域１４４は金属を含む。ある具体例において、第一領域１０２または第二領域１０４のうちの少なくとも一つは、必ずしも拡大縮小して(to scale)描かれず、フレキシブルな尺寸(size)を有することが理解できる。例えば、第一領域１０２は、たとえば、パッケージ結合力などの力１９０に関連し、且つ、力１９０が材料インターフェースに関連する範囲まで延伸する。
【０００９】
図２は、具体例による剥離を軽減する実例パッド構造２００の断面図である。例えば、図２のパッド構造２００は、接着領域１１０、パッド１２０、層間領域１３０、金属間領域１４０、および、金属間領域１４０下に位置する第一追加金属間領域１４０Ａを含む。ある具体例において、この中で記載されるように、パッド構造２００は、一つ以上の追加金属間領域を含むことが理解できる。ある具体例において、層間領域１３０は、第一層間誘電体領域１３２、第一パッド接続１２２および第二パッド接続１２４を含む。例えば、第一層間誘電体領域１３２は第一領域１０２に関連し、第一パッド接続１２２は、一般に、第二領域１０４に関連し、第二パッド接続は、一般に、第三領域１０６に関連する。ある具体例において、金属間領域１４０は、第一金属間誘電体領域１４２、第二金属間領域１４４、および第三金属間領域１４６を含む。例えば、第一金属間誘電体領域１４２は第一領域１０２に関連し、第二金属間領域１４４は第二領域１０４に関連し、第三金属間領域１４６は、第三領域１０６に関連する。ある具体例において、第一追加金属間領域１４０Ａは、第一追加金属間誘電体領域１４２Ａ、第二追加金属層領域１４４Ａ、および第三追加金属間領域１４６Ａを含む。また、第一追加金属間領域１４０Ａは、第二領域１０４に関連する第一ビア１６２Ａ、および、第三領域１０６に関連する第二ビア１６４Ａを含む。第一追加金属間誘電体領域１４２Ａは第一領域１０２に関連し、第二追加金属層領域１４４Ａは第二領域１０４に関連し、第三追加金属間領域１４６Ａは第三領域１０４に関連する。
【００１０】
ある具体例において、第一領域１０２は、接着領域１１０またはパッド１２０のうちの少なくとも一つの下に位置する。少なくとも、接着領域１１０がパッド１２０から突出するように、接着領域１１０が設置されるので、第一領域１０２は力１９０に関連する。ある筋書き(scenarios)において、接着領域１１０が、例えば、ソケットと接触している時、力１９０は、接着領域１１０から、パッド１２０を経て、層間領域１３０、金属間領域１４０、または追加金属間領域１４０Ａのうちの少なくとも一つに加えられる。ある具体例において、第二領域１０４および第三領域１０６は、パッド１２０下、且つ、接着領域１１０下ではない箇所に位置する。したがって、力１９０は、第一層間誘電体領域１３２、第一金属間誘電体領域１４２、または第一追加金属間誘電体領域１４２Ａのうちの少なくとも一つに加えられる。少なくとも、それぞれの領域は、第一領域１０２に関連するか、または、接着領域１１０下に位置するかの少なくとも一方だからである。
【００１１】
ある具体例において、層間領域１３０は、誘電体または金属のうちの少なくとも一つを含む。例えば、層間領域１３０の第一層間誘電体領域１３２は誘電体材料を含む。加えて、層間領域１３０の第一パッド接続１２２または第二パッド接続１２４のうちの少なくとも一つは、金属を含む。ある具体例において、第一パッド接続１２２は、実質上、第二領域１０４に関連するが、たとえば、第一領域１０２の一部などの隣接領域の少なくとも一部に関連することが理解できる。ある具体例において、同様に、第二パッド接続１２４は、実質上、第三領域１０６に関連するが、たとえば、第一領域１０２の部分などの隣接領域の少なくとも一部に関連する。ある具体例において、第二領域１０４または第三領域１０６のうちの少なくとも一つは、第二金属間領域１４４または第三金属間領域１４６のうちの少なくとも一つの幅に基づく。
【００１２】
ある具体例において、金属間領域１４０または第一追加金属間領域１４０Ａのうちの少なくとも一つは、誘電体または金属のうちの少なくとも一つを含む。例えば、金属間領域１４０の第一金属間誘電体領域１４２、または、第一追加金属間領域１４０Ａの第一追加金属間誘電体領域１４２Ａのうちの少なくとも一つは、誘電体材料を含む。ある具体例において、金属間領域１４０の第二金属間領域１４４または第三金属間領域１４６のうちの少なくとも一つは、金属を含む。同様に、第一追加金属間領域１４０Ａの第二追加金属層領域１４４Ａまたは第三追加金属間領域１４６Ａのうちの少なくとも一つは、金属を含む。ある具体例において、第一追加金属間領域１４０Ａの第一ビア１６２Ａまたは第二ビア１６４Ａのうちの少なくとも一つは、金属を含む。
【００１３】
ある具体例において、第一誘電体-誘電体インターフェース１９２は、層間領域１３０の第一層間誘電体領域１３２と金属間領域１４０の第一金属間誘電体領域１４２間に形成される。少なくとも、第一層間誘電体領域１３２は、第一金属間誘電体領域１４２に隣接するか、または、その上に位置するかの少なくとも一方だからである。同様に、第二誘電体-誘電体インターフェース１９４は、金属間領域１４０の第一金属間誘電体領域１４２と第一追加金属間領域１４０Ａの第一追加金属間誘電体領域１４２Ａ間に形成される。少なくとも、第一金属間誘電体領域１４２は、第一追加金属間誘電体領域１４２Ａに隣接するか、または、その上に位置するかの少なくとも一方だからである。ある具体例において、第一誘電体-誘電体インターフェース１９２または第二誘電体-誘電体インターフェース１９４のうちの少なくとも一つは、パッド構造２００に関連する剥離を軽減するように構成される。例えば、第一誘電体-誘電体インターフェース１９２または第二誘電体-誘電体インターフェース１９４のうちの少なくとも一つは、第一領域１０２に関連する。少なくとも、それぞれのインターフェースは接着領域１１０下に位置するからである。加えて、第一誘電体-誘電体インターフェース１９２または第二誘電体-誘電体インターフェース１９４のうちの少なくとも一つは、剥離する力１９０に対する誘電体-金属インターフェースを含まない。このように、パッド構造２００に関連する剥離が軽減される。
【００１４】
図３は、具体例による剥離を軽減する実例パッド構造３００の断面図である。例えば、パッド構造３００が頂部金属領域１４０Ｃを含むことを除いて、図３のパッド構造３００は図２のパッド構造２００と同じである。パッド構造３００は、任意の数の追加金属間領域を含むことが理解できる。加えて、ある具体例において、パッド構造３００は、パッシベーション酸化物領域１５０およびキャリアウェハ１６０を含む。ある具体例において、パッド構造３００は、第一領域１０２、第二領域１０４、第三領域１０６、第四領域１１２、および第五領域１１４に関連する。
【００１５】
ある具体例において、図３のパッド構造３００は、第一領域１０２上に位置する接着領域１１０、接着領域１１０の下、および、第一領域１０２、第二領域１０４、または第三領域１０６のうちの少なくとも一つの上に位置するパッド１２０を含む。加えて、パッド構造３００は、パッド１２０下に位置する層間領域１３０、層間領域１３０下の金属間領域１４０、第一金属間領域１４０下に位置する第一追加金属間領域１４０Ａ、一つ以上の追加金属間領域(図示しない)、頂部金属領域１４０Ｃ、頂部金属領域１４０Ｃ下に位置するパッシベーション酸化物領域１５０、および、パッシベーション酸化物領域１５０下に位置するキャリアウェハ１６０を含む。
【００１６】
ある具体例において、層間領域１３０は、第一領域１０２に関連する第一層間誘電体領域１３２、第二領域１０４に関連する第一パッド接続１２２、第三領域１０６に関連する第二パッド接続１２４、第四領域１１２に関連する第二層間誘電体領域１３４、および第五領域１１４に関連する第三層間誘電体領域１３６を含む。ある具体例において、第一層間誘電体領域１３２、第二層間誘電体領域１３４、または第三層間誘電体領域１３６のうちの少なくとも一つは、隣接領域に関連する。例えば、第一層間誘電体領域１３２は、主として、第一領域１０２に関連するが、第二領域１０４または第三領域１０６のうちの少なくとも一つの少なくとも一部にも関連する。第二層間誘電体領域１３４は、主として、第四領域１１２に関連するが、第二領域１０４にも関連する。同様に、第三層間誘電体領域１３６は、主として、第五領域１１４に関連するが、第三領域１０６にも関連する。したがって、ある具体例において、パッド構造３００のいかなる部分、層、領域等は、たとえば、第一領域１０２、第二領域１０４、第三領域１０６、第四領域１１２、または第五領域１１４のうちの少なくとも一つなどの一つ以上の領域に関連することが理解できる。
【００１７】
ある具体例において、金属間領域１４０は、第一領域１０２に関連する第一金属間誘電体領域１４２、第二領域１０４に関連する第二金属間領域１４４、第三領域１０６に関連する第三金属間領域１４６、第四領域１１２に関連する第二金属間誘電体領域１４８、および第五領域１１４に関連する第三金属間誘電体領域１５２を含む。
【００１８】
ある具体例において、第一追加金属間領域１４０Ａは、第一領域１０２に関連する第一追加金属間誘電体領域１４２Ａ、第二領域１０４に関連する第二追加金属層領域１４４Ａ、第三領域１０６に関連する第三追加金属間領域１４６Ａ、第四領域１１２に関連する第二追加金属間誘電体領域１４８Ａ、および、第五領域１１４に関連する第三追加金属間誘電体領域１５２Ａを含む。加えて、第一追加金属間領域１４０Ａは、第二領域１０４に関連する第一ビア１６２Ａ、および、第三領域１０６に関連する第二ビア１６４Ａを含む。例えば、第一ビア１６２Ａは第二追加金属層領域１４４Ａ上に位置し、第二ビア１６４Ａは第三追加金属間領域１４６Ａ上に位置する。
【００１９】
同様に、頂部金属領域１４０Ｃは、第一領域１０２に関連する第一頂部金属誘電体領域１４２Ｃ、第二領域１０４に関連する第二頂部金属領域１４４Ｃ、第三領域１０６に関連する第三頂部金属領域１４６Ｃ、第四領域１１２に関連する第二頂部金属誘電体領域１４８Ｃ、および、第五領域１１４に関連する第三頂部金属誘電体領域１５２Ｃを含む。加えて、頂部金属領域１４０Ｃは、第二領域１０４に関連する第一ビア１６２Ｃおよび第三領域１０６に関連する第二ビア１６４Ｃを含む。例えば、第一ビア１６２Ｃは第二頂部金属領域１４４Ｃ上に位置し、第二ビア１６４Ｃは第三頂部金属領域１４６Ｃ上に位置する。
【００２０】
ある具体例において、パッシベーション酸化物層１５０は、頂部金属層１４０Ｃ下に位置する。加えて、キャリアウェハ１６０がパッシベーション酸化物層１５０下に位置する。ある具体例において、１２０、１２２、１２４、１４４、１４６、１６２Ａ、１６４Ａ、１４４Ａ、１４６Ａ、１６２Ｃ、１６４Ｃ、１４４Ｃ、１４６Ｃなどのうちの少なくとも一つは、金属を含む。領域１３２、１３４、１３６、１４２、１４８、１５２、１４２Ａ、１４８Ａ、１５２Ａ、１４２Ｃ、１４８Ｃ、１５２Ｃなどのうちの少なくとも一つは、誘電体材料を含むことが理解できる。このように、一つ以上の誘電体-誘電体インターフェースが、第一領域１０２の異なる領域間に形成される。例えば、少なくとも、層間領域１３０の第一層間誘電体領域１３２は、金属間領域１４０の第一金属間誘電体領域１４２に隣接するので、第一誘電体-誘電体インターフェース１９２が、層間領域１３０と金属間領域１４０間に形成される。加えて、少なくとも金属間領域１４０の第一金属間誘電体領域１４２が、第一追加金属間領域１４０Ａの第一追加金属間誘電体領域１４２Ａに隣接するので、第二誘電体-誘電体インターフェース１９４が、金属間領域１４０と第一追加金属間領域１４０Ａ間に形成される。第一領域が、誘電体-金属インターフェースを含まないように、一つ以上の誘電体-誘電体インターフェースが第一領域１０２内に形成されることが理解できる。
【００２１】
図４は、具体例による剥離を軽減する実例パッド構造４００の断面図である。ある具体例において、パッド構造４００は、図３のパッド構造３００の３次元バージョンである。例えば、パッド構造４００は、図３のパッド構造３００の二次元(2-d)アーキテクチャ(architecture)ではなくて、３次元アーキテクチャに関連する。例えば、パッド構造４００は、パッド１２０上の接着領域１１０、層間領域１３０上のパッド１２０、金属間領域１４０上の層間領域１３０、第一追加金属間領域１４０Ａ上の金属間領域１４０、頂部金属領域１４０Ｂ上の第一追加金属間領域１４０Ａ、パッシベーション酸化物領域１５０上の頂部金属領域１４０Ｂ、第二頂部金属領域２４０Ｂ上のパッシベーション酸化物領域１５０、第二追加金属間領域２４０Ａ上の第二頂部金属領域２４０Ｂ、第二金属間領域２４０上の第二追加金属間領域２４０Ａ、第二層間領域２３０上の第二金属間領域２４０、ＡＳＩＣウェハ１６０上の第二層間領域２３０を含む。ある具体例において、パッシベーション酸化物領域１５０は、第一再分配層１７２および第二再分配層１７４を含む。ある具体例において、第一領域１０２は、ただ、誘電体-誘電体インターフェースが、第一領域１０２内に存在するように、誘電体材料に関連するにすぎない。
【００２２】
図５は、具体例によるパッド構造に関連する剥離を軽減する実例方法５００を示す図である。例えば、方法５００は、工程５０２で、パッド下の層間領域を形成する工程を含む。ある具体例において、層間領域５０２の形成工程は、第一領域に関連する第一層間誘電体領域の形成工程を含み、第一領域は接着領域下にある。加えて、層間領域５０２の形成工程は、一つ以上のパッド接続の形成工程を含む。ある具体例において、方法５００は、工程５０４で、層間領域下の金属間領域の形成工程を含む。例えば、金属間領域５０４の形成工程は、第一領域に関連する第一金属間誘電体領域の形成、および、第二領域に関連する第二金属間領域の形成工程を含む。このように、少なくとも、誘電体-誘電体インターフェースがそれぞれの領域間に形成されるように、第一金属間誘電体領域が第一層間誘電体領域下に形成されるので、第一金属間誘電体領域は、パッド構造に関連する剥離を軽減するように形成される。
【００２３】
ある具体例において、層間領域５０２の形成工程は、第二領域に関連する第一パッド接続の形成と第三領域に関連する第二パッド接続の形成工程を含む。ある具体例において、層間領域５０２の形成工程は、第四領域に関連する第二層間誘電体領域の形成、および、第五領域に関連する第三層間誘電体領域の形成工程を含む。
【００２４】
ある具体例において、金属間領域５０４の形成工程は、第三領域に関連する第三金属間領域の形成工程を含む。ある具体例において、金属間領域５０４の形成工程は、第四領域に関連する第四金属間誘電体領域の形成、および、第五領域に関連する第五金属間誘電体領域の形成工程を含む。
【００２５】
ある態様によると、剥離を軽減するパッド構造が提供され、第一領域上に位置する接着領域を含む。ある具体例において、パッド構造は、接着領域下のパッドを含み、パッドは、第一領域または第二領域のうちの少なくとも一つの上に位置する。ある具体例において、パッド構造は、パッド下の層間領域を含み、層間領域は、第一領域に関連する第一層間誘電体領域および一つ以上のパッド接続を含む。ある具体例において、パッド構造は、第一領域に関連する第一金属間誘電体領域、および、第二領域に関連する第二金属間領域を含む層間領域下の金属間領域を含む。加えて、第一金属間誘電体領域が、パッド構造に関連する剥離を軽減するように構成される。
【００２６】
ある態様によると、パッド構造に関連する剥離の軽減方法が提供され、パッド下に、層間領域を形成する工程を含む。例えば、層間領域の形成工程は、接着領域下の第一領域に関連する第一層間誘電体領域の形成工程、および、一つ以上のパッド接続を形成する工程を含む。ある具体例において、本方法は、層間領域下に、金属間領域を形成する工程を含む。例えば、金属間領域形成工程は、第一領域に関連する第一金属間誘電体領域の形成、および、第二領域に関連する第二金属間領域の形成工程を含む。加えて、第一金属間誘電体領域が、パッド構造に関連する剥離を軽減するように形成される。
【００２７】
ある態様によると、パッド剥離を軽減するパッド構造が提供され、第一領域上に位置する接着領域を含む。ある具体例において、パッド構造は、接着領域下のパッドを含む。例えば、パッドは、第一領域、第二領域、または第三領域のうちの少なくとも一つの上に位置する。ある具体例において、パッド構造は、パッド下に層間領域を有する。例えば、層間領域は、第一領域に関連する第一層間誘電体領域、第二領域に関連する第一パッド接続、および、第三領域に関連する第二パッド接続を含む。ある具体例において、パッド構造は、層間領域下の金属間領域を含む。例えば、金属間領域は、第一領域に関連する第一金属間誘電体領域、第二領域に関連する第二金属間領域、および、第三領域に関連する第三金属間領域を含む。加えて、第一金属間誘電体領域が、パッド構造に関連する剥離を軽減するように構成される。
【００２８】
主題項目は、構造的特徴または方法論的行為に特有な用語で記載されているが、添付の請求項の主題項目は、上記の具体的な特徴または行為に限定される必要はないことは理解すべきである。むしろ、上記の具体的な特徴または行為は、請求項を実施する実例形式として開示される。
【００２９】
具体例の各種動作がこの中に提供される。動作のうちのいくつか、または、全てが記載される順序は、これらの動作は必ず順序依存があることを意味すると解釈すべきではない。この記載に基づくと、代わりの順序づけが理解できる。さらに、全ての動作が、この中に提供される各具体例に存在するは限らないことが理解できる。
【００３０】
この中に記述される層、特徴、たとえば、接着領域、パッド、層間領域、金属間領域、ビア、追加金属間領域、頂部金属領域、パッシベーション酸化物領域、再分配層(ＲＤＬ)などの素子は、例えば、簡潔さと理解の容易さのため、たとえば、構造上の寸法または方向などの互いに関連する特定寸法を用いて説明され、ある具体例において、同じものの実際の寸法がこの中に説明されるものとは実質的に異なることが理解できる。加えて、この中に述べられる層、特徴、素子等を形成する各種技術が存在するが、例えば、注入技術、ドープ技術、スピンオン技術、たとえば、マグネトロン、または、イオンビームスパタリングなどのスパッタリング技術、熱成長などの成長技術、または、化学気相堆積 (ＣＶＤ)等の堆積技術がある。
【００３１】
さらに又、"代表的な(exemplary)"がこの中に用いられ、模範(example)、実例(instance)、図解などになることを意味するが、必ずしも利点とはならない。本願にて用いられる"または(or)"は、包括的な"または"を意味し、排他的な"または"ではない。加えて、本願にて用いられる"一(a)"および"一(an)"は、特に指定されない限り、または、内容から単数形に向けられることが明らかでない限り、通常は、"一つ以上"を意味する。また、ＡおよびＢのうちの少なくとも一つおよび／または類似の叙述(and/or the like)は、通常、ＡまたはＢ、または、ＡおよびＢを意味する。さらに又、"含む(includes)"、"具備する(having)"、"有する(has)"、"ある(with)"、またはそれらの変形が、発明の詳細な説明または請求項のいずれかに用いられる範囲で、このような用語は、用語"含む(comprising)"と類似した手法で包括的となるように意図される。
【００３２】
本発明では好ましい実施例を前述の通り開示したが、これらは決して本発明に限定するものではなく、当該技術を熟知する者なら誰でも、本発明の精神と領域を脱しない範囲内で各種の変動や潤色を加えることができ、従って本発明の保護範囲は、特許請求の範囲で指定した内容を基準とする。
【符号の説明】
【００３３】
１００  パッド構造
１０２  第一領域
１０４  第二領域
１０６  第三領域
１１０  接着領域
１１２  第四領域
１１４  第五領域
１２０  パッド
１２２  第一パッド接続
１２４  第二パッド接続
１３０  層間領域
１３２  第一層間誘電体領域
１３４  第二層間誘電体領域
１３６  第三層間誘電体領域
１４０  金属間領域
１４０Ａ  第一追加金属間領域
１４０Ｃ  頂部金属領域
１４２  第一金属間誘電体領域
１４２Ａ  第一追加金属間誘電体領域
１４２Ｃ  第一頂部金属誘電体領域
１４４  第二金属間領域
１４４Ａ  第二追加金属層領域
１４４Ｃ  第二頂部金属領域
１４６  第三金属間領域
１４６Ａ  第三追加金属間領域
１４６Ｃ  第三頂部金属領域
１４８Ａ  第二追加金属間誘電体領域
１４８Ｃ  第二頂部金属誘電体領域
１５０  パッシベーション酸化物領域
１５２Ａ  第三追加金属間誘電体領域
１５２Ｃ  第三頂部金属誘電体領域
１６０  キャリアウェハ
１６２Ａ  第一ビア
１６２Ｃ  第一ビア
１６４Ａ  第二ビア
１６４Ｃ  第二ビア
１７２  第一再分配層
１７４  第二再分配層
１９０  力
１９２  誘電体-誘電体インターフェース
１９４  第二誘電体-誘電体インターフェース
２００  パッド構造
３００  パッド構造
４００  パッド構造
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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