(57)【要約】【課題】チューブへの方向記号や識別表示などの表示に関連し、マーカーの装着の手間を省くとともに、チューブに捩れが発生しても識別表示などの情報表示が確実に判別可能なチューブを提供する。【解決手段】チューブであって、チューブには、螺旋状に情報表示が設けられる、チューブが提供される。これにより、チューブに捩れが発生しても識別表示などの情報表示が確実に判別可能となる。また、好ましくは、情報表示は、チューブを識別するための識別表示を含むこととする。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
チューブであって、
該チューブには、螺旋状に情報表示が設けられる、チューブ。
【請求項２】
前記情報表示は、前記チューブを識別するための識別表示を含む、
ことを特徴とする請求項１に記載のチューブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は流体が流れるチューブに関する。
【背景技術】
【０００２】
産業機械や製造装置には水やエアといった各種の流体を用いるものが多い。例えば、半導体デバイスの製造工程において、半導体ウェーハを研削して薄化するグラインダと呼ばれる研削装置や、薄化された半導体ウェーハをチップ状に分割するダイサーと呼ばれる切削装置においては、装置の所要箇所にエアや加工液、吸引力等を伝達する配管が張り巡らされることが知られている（例えば、特許文献１、２参照。）。
【０００３】
より具体的には、切削装置は、少なくとも半導体ウェーハを吸引保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された半導体ウェーハを切削する切削ブレードを含むエアベアリング式のスピンドルユニットと、切削された半導体ウェーハを洗浄する洗浄装置とを備えている。
【０００４】
また、研削装置は、少なくとも半導体ウェーハを吸引保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された半導体ウェーハを研削する研削ホイールを含むエアベアリング式のスピンドルユニットと、研削された半導体ウェーハを洗浄する洗浄装置とを備えている。
【０００５】
更に、これらの切削装置や研削装置では、チャックテーブルに半導体ウェーハを吸引するための負圧を発生させるエア吸引源や、エアベアリングに高圧エアを供給するエア供給源、洗浄装置に洗浄液を供給する洗浄液供給源等を備えるとともに、流体の吸引源や供給源からそれぞれの作用箇所へ流体を導くための配管が設けられている。
【０００６】
このような切削装置や研削装置における各種流体の配管としては、直径数ｍｍ〜数十ｍｍ程度の柔軟性を有するチューブが一般的に用いられており、適切な長さに切断されたチューブが装置内の適所に接続されている。
【０００７】
そして、長さや太さが異なる複数のチューブを適正に接続するためには、チューブの種類を識別する必要がある。そこで、従来では、チューブ番号を示す数字等の識別情報が印字された短い筒状のマーカーをチューブの両端部に装着してチューブの識別を可能にするとともに、流れる流体の向きが印字された短い筒状のマーカーをチューブの両端部に装着して装置内での流体の流れを確認できるようにしていた。
【０００８】
一方、このような流体を流すためのチューブは、通常リールに巻かれた状態で蓄積されており、リールから引き出したチューブを目的の長さに切断した後、手作業で両端部に方向記号や識別表示を示す短い筒状のマーカーを装着することが行われていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開平１０−３２１５６２号公報
【特許文献２】特開昭５５−１１２７６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
ところが従来技術のように流体の流動方向を示す方向記号やチューブの種別を示す識別表示が印字された筒状のマーカーをチューブの両端部に装着する方法では、作業者が誤ったマーカーをチューブに装着してしまうことや、チューブに装着したマーカーが外れてチューブの識別ができず、装置内にチューブを適正に接続する作業が滞るという問題が発生していた。また、マーカーを装着する作業自体に手間がかかるという問題があった。
【００１１】
さらに、装置内にチューブが接続された後、チューブやマーカーが捩れることがあると、マーカーに表示された識別表示が見え難くなるなどして、識別表示を直ぐに判別することが不可能な状況となる。
【００１２】
このような状況が生じた場合には、チューブやマーカーを回転などさせることで識別表示を確認する必要があり、非常に手間がかかるものとなる。
【００１３】
また、この確認の際にチューブやマーカーが回転や引っ張られるなどされると、チューブが接続先から外れるといった不具合を誘発してしまうことにもなる。
【００１４】
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、チューブへの方向記号や識別表示などの表示に関連し、マーカーの装着の手間を省くとともに、チューブに捩れが発生しても識別表示などの情報表示が確実に判別可能なチューブを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
請求項１に記載の発明によると、チューブであって、チューブには、螺旋状に情報表示が設けられる、チューブが提供される。
とする。
【００１６】
請求項２に記載の発明によると、情報表示は、チューブを識別するための識別表示を含む、請求項１に記載のチューブが提供される。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によると、マーカーに代わって螺旋状に情報表示が表示されるため、チューブにマーカーを装着する手間を省くことが可能となる。また、チューブに捩れが発生してもチューブに表示される情報表示を確実に判別することができる。
【００１８】
さらに、請求項２に記載の発明によれば、作業者は、識別記号に基づいて、使用機種や使用部位を容易に判別することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】切削装置の外観斜視図である。
【図２】ダイシングテープを介して環状フレームで支持された半導体ウェーハの斜視図である。
【図３】本発明のチューブの原理を説明する図である。
【図４】（Ａ）は本発明の効果について説明する図である。（Ｂ）は比較例について説明する図である。
【図５】本発明のチューブの他の実施形態について示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図１は配管に本発明のチューブを利用した切削装置２の外観斜視図を示している。切削装置２の前面側には、オペレータが加工条件等の装置に対する指示を入力するための操作手段４が設けられている。装置上部には、オペレータに対する案内画面や後述する撮像手段によって撮像された画像が表示されるＣＲＴ等の表示手段６が設けられている。
【００２１】
図２に示すように、ダイシング対象の発光デバイスウェーハＷ（以下、単に「ウェーハＷ」とも称する）の表面においては、第１のストリート（分割予定ライン）Ｓ１と第２のストリートＳ２とが直交して形成されており、第１のストリートＳ１と第２のストリートＳ２とによって区画されてＬＥＤ等の多数のデバイスＤがウェーハＷ上に形成されている。
【００２２】
ウェーハＷは粘着テープであるダイシングテープＴに貼着され、ダイシングテープＴの外周縁部は環状フレームＦに貼着されている。これにより、ウェーハＷはダイシングテープＴを介してフレームＦに支持された状態となり、図１に示したウェーハカセット８中にウェーハが複数枚（例えば２５枚）収容される。ウェーハカセット８は上下動可能なカセットエレベータ９上に載置される。
【００２３】
ウェーハカセット８の後方には、ウェーハカセット８から切削前のウェーハＷを搬出するとともに、切削後のウェーハをウェーハカセット８に搬入する搬出入手段１０が配設されている。ウェーハカセット８と搬出入手段１０との間には、搬出入対象のウェーハが一時的に載置される領域である仮置き領域１２が設けられており、仮置き領域１２には、ウェーハＷを一定の位置に位置合わせする位置合わせ手段１４が配設されている。
【００２４】
仮置き領域１２の近傍には、ウェーハＷと一体となったフレームＦを吸着して搬送する旋回アームを有する搬送手段１６が配設されており、仮置き領域１２に搬出されたウェーハＷは、搬送手段１６により吸着されてチャックテーブル１８上に搬送され、このチャックテーブル１８に吸引されるとともに、複数の固定手段（クランプ）１９によりフレームＦが固定されることでチャックテーブル１８上に保持される。
【００２５】
チャックテーブル１８は、回転可能且つＸ軸方向に往復動可能に構成されており、チャックテーブル１８のＸ軸方向の移動経路の上方には、ウェーハＷの切削すべきストリートを検出するアライメント手段２０が配設されている。
【００２６】
アライメント手段２０は、ウェーハＷの表面を撮像する撮像手段２２を備えており、撮像により取得した画像に基づき、パターンマッチング等の処理によって切削すべきストリートを検出することができる。撮像手段２２によって取得された画像は、表示手段６に表示される。
【００２７】
アライメント手段２０の左側には、チャックテーブル１８に保持されたウェーハＷに対して切削加工を施す切削手段（切削ユニット）２４が配設されている。切削手段２４はアライメント手段２０と一体的に構成されており、両者が連動してＹ軸方向及びＺ軸方向に移動する。
【００２８】
切削手段２４は、回転可能なスピンドル２６の先端に切削ブレード２８が装着されて構成され、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に移動可能となっている。切削ブレード２８は撮像手段２２のＸ軸方向の延長線上に位置している。
【００２９】
２５は切削が終了したウェーハＷを洗浄装置２７まで搬送する搬送手段であり、洗浄装置２７では、ウェーハＷを洗浄するとともにエアノズルからエアを噴出させてウェーハＷを乾燥する。
【００３０】
次に図３を参照して、本発明のチューブの原理を説明する。チューブ１１は、例えば、柔軟性を呈する樹脂から形成されており、チューブ１１上にはチューブ１１内を流動する流体の流れる方向を示す方向記号１３や、チューブ１１の属性情報を示す識別表示１５を含む情報表示３０がなされている。
【００３１】
方向記号１３は２以上の直線、または、曲線の組み合わせから形成されることが好ましい。２以上とすることで、１とする場合にも、流体が流れる方向Ａが視認しやすくなる。また、線で表示することにより、印字で表示する場合に使用するインクの量を抑えることが可能となる。
【００３２】
本実施形態では、２本の折れ線からなる略「く」字状の方向記号１３を、２箇所に配置することで、チューブ１１の長さ方向であって方向記号１３の尖端が向かう向き（方向Ａ）に流体が流動することを一目で視認できるようにしている。
【００３３】
このような方向記号１３の実施形態によれば、例えば、長方形状の一端を尖らせ、他端を窪ませた形態の帯状の矢印記号の場合と比較すると、方向を示すという機能を確保しながらも、印字で表示する場合に使用するインクの量を効果的に抑えることが可能となる。
【００３４】
識別表示１５は、例えば、使用機種や、使用部位を表示するものである。例えば、本実施形態の「Ｄ  ＳＰ１」では、「Ｄ」は、切削装置（ダイサー）に使用されることを示し、「ＳＰ」は、スピンドル２６（図１参照）に関連する配管系統に使用されることを示し、「１」は、スピンドル２６（図１参照）に関連する差込口のうち差込口１番に差し込まれることが示される。作業者は、この識別記号１５に基づいて、使用機種や使用部位を容易に判別することができる。
【００３５】
加えて、方向記号１３と識別表示１５が、例えば、インクジェット方式で印字される場合には、同一色を有することが好ましい。つまり、同一色のインクによって印字されることが好ましい。
【００３６】
これにより、複数色のインク管理の手間が省けるとともに、同一色のインクを大量購入することなどによるコスト削減が可能となる。
【００３７】
以上の各種記号１３，１５は、例えば、インクジェット方式によりチューブ１１の表面に印字することが可能である。インクジェット方式とすることにより、各チューブについてそれぞれ個別に付与されることが想定される種類の異なる情報表示を、各チューブに容易に付与することが可能となる。また、既成のチューブに対しても情報表示を容易に付与することが可能となる。
【００３８】
そして、本実施形態においては、方向記号１３と識別表示１５を含んでなる情報表示３０が螺旋状に設けられることとしている。より具体的には、情報表示３０を繰り返しなる一連の帯状の記号列を形成し、この帯状の記号列がチューブ１１の長さ方向において螺旋状に取り巻くように表示されるようになっている。
【００３９】
このように情報表示３０が螺旋状に設けられることにより、図４（Ａ）に示すように、作業者がいずれの方向からチューブ１１を見た場合であっても、必ず情報表示３０が作業者に向かって現れることになるため、仮にチューブ１１に捩れが発生しても、方向記号１３や識別表示１５を判別することができる。
【００４０】
これに対し、図４（Ｂ）に示すように、仮に識別表示１５Ｂが螺旋状に設けられない場合には、チューブ１１Ｂが捩れることによって識別表示１５Ｂが作業者の裏側に回ってしまい、識別表示１５Ｂを判別できないことになってしまう。
【００４１】
さらに、図４（Ｂ）のような状況において、識別表示１５Ｂを確認しようとしてチューブ１１Ｂを回転させたり、引っ張ったりしてしまうと、チューブ１１Ｂが接続先から外れてしまうなどの不具合が発生してしまうことになる。
【００４２】
以上のように、図３、図４（Ａ）に示す実施形態によれば、マーカーに代わって螺旋状に情報表示３０が設けられるため、チューブ１１にマーカーを装着する手間を省くことが可能となる。また、チューブ１１に捩れが発生してもチューブ１１に表示される情報表示３０を確実に判別することができる。
【００４３】
また、以上の実施形態において、図４（Ａ）に示すように、チューブ１１の範囲Ｗ１について螺旋状の情報表示３０が設けられ、範囲Ｗ２については情報表示３０が設けられないこととしてもよい。つまり、チューブ１１の長さ方向の全範囲について情報表示３０を設けるものではなく、例えば、範囲Ｗ１と範囲Ｗ２が繰り返される実施形態なども考えられる。このような実施形態によれば、インクジェット方式による印字を行う場合のインク量を少なく抑えることができる。
【００４４】
以上の実施形態の他、図５に示すように、チューブ１１に取付手順情報表示１３Ａ（１３ｆ，１３ｈ，１３ｋ）を付与することとし、この取付手順情報表示１３Ａが螺旋状に設けられることとしてもよい。なお、本実施形態では、取付手順情報表示１３Ａとして、接続先表示１３ｆ、誘導表示１３ｈ、固定先表示１３ｋが付与されていることとしている。
【００４５】
図５に示す実施形態では、チューブ１１の一端１１ａに「スピンドル  アウトポート２  差込位置」の文字からなる接続先表示１３ｆ（取付手順情報表示１３Ａ）が螺旋状に表示され、このチューブ１１の一端１１ａが、「スピンドル  アウトポート２」に接続されることが表示されている。なお、本実施形態のように、接続先表示１３ｆについての同一表示を複数列表示することによって、より判別し易い構成となるようにしている。
【００４６】
また、接続先表示１３ｆよりも更にチューブ１１の端部に近い側には、「横線」からなる接続位置表示１３ｇが表示されている。この接続位置表示１３ｇは、「横線」の位置までチューブ１１が図示せぬ「スピンドル  アウトポート２」に接続されることを意味するものであり、作業者は、「横線」が「スピンドル  アウトポート２」にしっかりと入り込むまでチューブ１１を差し込むことを認識可能となり、これにより、チューブ１１の脱落などの不具合発生を防止できることになる。
【００４７】
また、図５の例において、チューブ１１の長さ方向の中途部には、「次はフレーム３の第２ポイントへ固定」の文字からなる誘導表示１３ｈ（取付手順情報表示１３Ａ）が表示されている。作業者は、この誘導表示１３ｈを視認することによって、例えば、チューブ１１の一端１１ａの接続から引き回しを開始した場合に、チューブ１１に対して次に行われるべき作業を事前に知ることが可能となる。例えば、次の作業を見越してチューブ１１の引き回しの方法（他の部材のかわしかたや、回り込む方向など）を検討し、実施することが可能となる。
【００４８】
さらに、図５の例において、チューブ１１の長さ方向の中途部には、「フレーム３の第２ポイント固定位置」の文字からなる固定先表示１３ｋ（取付手順情報表示１３Ａ）と、「横線」からなる固定位置表示１３ｍが表示されている。ここで、「横線」は、この線の部分においてチューブ１１が固定されることを意味する表示である。
【００４９】
そして、この図５の例の場合、チューブ１１の一端１１ａを「スピンドル  アウトポート２」に対し、接続位置表示１３ｇまで差し込むことから作業が開始されることとする。次にチューブ１１を辿ると、「次はフレーム３の第２ポイントへ固定」の文字からなる誘導表示１３ｈを発見することになり、作業者は、チューブ１１を辿ればフレーム３の第２ポイントの固定位置の表示を発見できることを予期できる（先読みできる）。
【００５０】
作業者がチューブ１１を更に辿ると、作業者は予期したとおり、「フレーム３の第２ポイント固定位置」の文字からなる固定先表示１３ｋと、「横線」からなる固定位置表示１３ｍを発見することになり、当該固定位置表示１３ｍにてチューブ１１の固定を行うことができる。
【００５１】
なお、以上に説明した実施形態とするほか、チューブ１１に表示される情報については、直線、破線、鎖線、数字、英文字、漢字、片仮名、平仮名、図形等で構成することができ、これらを組み合わせてなるものであってもよい。
【００５２】
また、チューブ１１への各種の表示は、特に限定されるものではないが、インクジェット方式による印字や、レーザーによる印字などが考えられる。また、各種情報を表示したシールを自動テープ貼り機などによってチューブ１１の所定の箇所に貼付する構成などであってもよい。なお、インクジェット方式による印字を行う場合には、各種表示を同一の色で印字することによれば、印字コスト削減を図ることが可能となる。また、チューブ１１の色については、特に限定されるものではないが、各種表示を視認しやすくするために、各種表示の色とコントラストの強い色が採用されることが好ましい。
【００５３】
また、上述した実施形態では、本発明のチューブを切削装置の配管に適用した例について説明したが、本発明のチューブの使用はこれに限定されるものではなく、例えば研削装置、研磨装置等の他の加工装置の配管にも同様に適用である。
【符号の説明】
【００５４】
１１    チューブ
１３    方向記号
１５    識別表示
３０    情報表示
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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