(57)【要約】      （修正有）【課題】内皮細胞の健全性の診断に於ける信頼性を向上させる角膜内皮細胞撮影装置を提供する。【解決手段】被検眼Ｅの角膜Ｃに向けて斜めからスリット光を照射する照明光学系４と、撮像素子３６を有し、前記角膜Ｃの角膜内皮細胞からの反射光を前記撮像素子３６で受光して角膜内皮細胞を撮影する撮影光学系５と、前記被検眼Ｅの視軸を誘導させ、固視をさせる為の固視投影系９とを具備し、前記スリット光と前記視軸との傾斜角θ１は略３０゜であり、前記撮像素子３６は撮影光学系の光軸に対して０゜より大きく前記傾斜角θ１未満の角度で傾斜させた。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検眼の角膜に向けて斜めからスリット光を照射する照明光学系と、撮像素子を有し、前記角膜の角膜内皮細胞からの反射光を前記撮像素子で受光して角膜内皮細胞を撮影する撮影光学系と、前記被検眼の視軸を誘導させ、固視をさせる為の固視投影系とを具備し、前記スリット光と前記視軸との傾斜角は略３０゜であり、前記撮像素子は撮影光学系の光軸に対して０゜より大きく前記傾斜角未満の角度で傾斜させたことを特徴とする角膜内皮細胞撮影装置。
【請求項２】
前記撮像素子は撮影光学系の光軸に対して１５゜の角度で傾斜させた請求項１の角膜内皮細胞撮影装置。
【請求項３】
前記スリット光と前記視軸との傾斜角がθ１であり、前記撮像素子は撮影光学系の光軸との傾斜角がθ２である場合に、前記撮像素子で得られる画像を（ｃｏｓθ２／ｃｏｓθ１）により補正をする請求項１又は請求項２の角膜内皮細胞撮影装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は角膜の健全性を診断する為の角膜の内皮細胞を撮影する角膜内皮細胞撮影装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
角膜内皮細胞撮影は照明光を角膜に対して斜め方向から照射し、角膜内皮で反射した光をＣＣＤ等の受光素子で捉えて撮影される。更に、内皮細胞の健全性は撮影された内皮細胞の画像に基づき判断されている。
【０００３】
角膜内皮は再生不能な内皮細胞によって形成されており、内皮細胞の健全性は、内皮細胞の大きさ、形状によって診断される。即ち、健全な内皮細胞では、形状が略６角形の均一な大きさとなっているが、内皮細胞が損傷を受けると、隣接する内皮細胞が損傷部分を補う為、内細胞が巨大化し、大きさ、形状が不均一となる。内皮細胞の健全性は内皮細胞の密度又は、内皮細胞の大きさのばらつきを表す変動係数の値を用いることによって判定することができる。又、内皮細胞の数は、撮影された画像内の内皮細胞の個数を数えることで得られている。
【０００４】
角膜に撮影用の照明光を照射した場合、照明光の一部は角膜表面で反射され、角膜を透過した一部の光が角膜内皮で反射される。
【０００５】
内皮細胞の撮影を行うには、角膜表面で反射された光と角膜内皮で反射された光とを分離し、分離した角膜内皮で反射された光をＣＣＤ等の受光素子で捉えて撮影する必要がある。
【０００６】
この為、撮影の際に使用される照明光は、スリット光とされ、角膜表面からの反射光と角膜内皮からの反射光とを分離する為、照明光を角膜に対して斜め方向から照射している。
【０００７】
図５は、照明光を角膜に対して斜め方向から照射した場合の、角膜表面で反射した光と角膜内皮で反射した光の状態を示している。
【０００８】
図５中、Ｅは被検眼であり、スリット光Ｌを所定の入射角度で角膜Ｃに照射すると、スリット光Ｌの一部は前記角膜Ｃの表面で反射光Ｌ１として反射され、一部は前記角膜Ｃを透過し、角膜内皮Ｎで反射光Ｌ２として反射される。
【０００９】
反射光Ｌ１と反射光Ｌ２とは、前記角膜Ｃの厚み分だけ反射位置がずれるので、反射光路も反射位置のずれに応じてずれ、反射光Ｌ１と反射光Ｌ２とが分離される。尚、図示では、反射光Ｌ１と反射光Ｌ２との間に間隙Ｇが形成されているが、入射角が小さく、或は前記角膜Ｃの厚みが小さい場合には、反射光Ｌ１と反射光Ｌ２とがオーバラップする。反射光Ｌ１と反射光Ｌ２との光の強さは、前記角膜Ｃの表面で反射された反射光Ｌ１の方が格段に大きいので、反射光Ｌ１と反射光Ｌ２とがオーバラップすると内皮細胞の撮影に支障が生じる。
【００１０】
図６は、反射光Ｌ１と反射光Ｌ２とがオーバラップした状態で内皮細胞の撮影をした結果を示している。
【００１１】
尚、反射光Ｌ１と反射光Ｌ２とのオーバラップを避ける為に、スリット光の幅をより小さくすることも考えられるが、撮影範囲が狭くなり、画像内で完全に捉えられる内皮細胞の数が減少し、診断の信頼性が低下する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１２】
【特許文献１】特開２００４−２３６９８２号公報
【特許文献２】特開平６−２０５７４３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
本発明は斯かる実情に鑑み、内皮細胞の健全性の診断に於ける信頼性を向上させる角膜内皮細胞撮影装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明は、被検眼の角膜に向けて斜めからスリット光を照射する照明光学系と、撮像素子を有し、前記角膜の角膜内皮細胞からの反射光を前記撮像素子で受光して角膜内皮細胞を撮影する撮影光学系と、前記被検眼の視軸を誘導させ、固視をさせる為の固視投影系とを具備し、前記スリット光と前記視軸との傾斜角は略３０゜であり、前記撮像素子は撮影光学系の光軸に対して０゜より大きく前記傾斜角未満の角度で傾斜させた角膜内皮細胞撮影装置に係るものである。
【００１５】
又本発明は、前記撮像素子は撮影光学系の光軸に対して１５゜の角度で傾斜させた角膜内皮細胞撮影装置に係るものである。
【００１６】
又本発明は、前記スリット光と前記視軸との傾斜角がθ１であり、前記撮像素子は撮影光学系の光軸との傾斜角がθ２である場合に、前記撮像素子で得られる画像を（ｃｏｓθ２／ｃｏｓθ１）により補正をする角膜内皮細胞撮影装置に係るものである。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、被検眼の角膜に向けて斜めからスリット光を照射する照明光学系と、撮像素子を有し、前記角膜の角膜内皮細胞からの反射光を前記撮像素子で受光して角膜内皮細胞を撮影する撮影光学系と、前記被検眼の視軸を誘導させ、固視をさせる為の固視投影系とを具備し、前記スリット光と前記視軸との傾斜角は略３０゜であり、前記撮像素子は撮影光学系の光軸に対して０゜より大きく前記傾斜角未満の角度で傾斜させたので、角膜内皮からの反射光を充分に分離し得ると共にスリット幅の大きいスリット光の使用を可能にし、広範囲の角膜内皮細胞の撮影が可能となる。
【００１８】
又本発明によれば、前記撮像素子は撮影光学系の光軸に対して１５゜の角度で傾斜させたので、充分な受光感度、解像度を保持して角膜内皮細胞の撮影が可能となる。
【００１９】
更に又本発明によれば、前記スリット光と前記視軸との傾斜角がθ１であり、前記撮像素子は撮影光学系の光軸との傾斜角がθ２である場合に、前記撮像素子で得られる画像を（ｃｏｓθ２／ｃｏｓθ１）により補正をするので、歪み変形のない角膜内皮細胞の撮影が可能となるという優れた効果を発揮する。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の実施例に係る角膜内皮細胞撮影装置の概略構成図である。
【図２】該角膜内皮細胞撮影装置に於けるスリット光の幅、スリット光の角膜への入射角度、写り込み量の関係を示すグラフである。
【図３】Ｚアライメント誤差と写り込み量との関係を示すグラフである。
【図４】スリット光の角膜への入射角度が３０゜である場合の、撮影光軸に対する撮像素子の角度と、受光感度、解像度との関係を示すグラフである。
【図５】角膜にスリット光が入射した場合の、角膜表面での反射と角膜内皮での反射との関係を示す説明図である。
【図６】角膜表面での反射光と角膜内皮での反射光とが完全に分離せずオーバラップした状態の内皮細胞撮影画像である。
【図７】角膜表面での反射光と角膜内皮での反射光とが完全に分離した状態の内皮細胞撮影画像である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、図面を参照しつつ本発明の実施例を説明する。
【００２２】
先ず、本発明の実施例に係る角膜内皮細胞撮影装置の概略構成を説明する。
【００２３】
図１は、角膜内皮細胞撮影装置の基本的な光学系を示す概略構成図である。
【００２４】
図１中、Ｅは被検眼、２はＸＹＺの三軸方向に移動可能な装置本体を示している。該装置本体２の内部に、前眼部観察光学系３と、撮影用照明光学系４と、撮影光学系５と、Ｚアライメント投影系６と、Ｚアライメント検出系７と、ＸＹアライメント投影系８と、固視投影系９と、ＸＹアライメント検出系１０とを有している。
【００２５】
更に、構成を説明する。
【００２６】
図１に於いて、前記前眼部観察光学系３は左右の被検眼Ｅに対応してそれぞれ配設され、前記前眼部観察光学系３の主光軸Ｏ１はそれぞれ前記被検眼Ｅの光軸と合致する様に設けられ、前記主光軸Ｏ１は前記被検眼Ｅの前記角膜Ｃの頂点Ｐを通過する様に設定される。
【００２７】
前記主光軸Ｏ１上に前記被検眼Ｅ側からハーフミラー１５、対物レンズ１６、受光素子１７が設けられている。前記受光素子１７には、ＣＣＤ素子が用いられ、又、該受光素子１７は前記対物レンズ１６に関して前記ＸＹアライメント投影系８によって角膜Ｃに投影された光が、角膜Ｃで反射することによってできる虚像と共役の位置に配置されている。尚、前記主光軸Ｏ１、前記対物レンズ１６、前記受光素子１７は前記ＸＹアライメント検出系１０も構成する。
【００２８】
前記撮影用照明光学系４は、前記頂点Ｐを通過する投光光軸Ｏ２を有し、該投光光軸Ｏ２は前記主光軸Ｏ１に対してθ１（＝略３０゜）傾斜している。ここで、θ１＝略３０°は２０°≦θ１≦４０°の範囲を含むものとする。尚、以下の説明ではθ１＝３０°としている。
【００２９】
前記投光光軸Ｏ２上に前記被検眼Ｅから離反する位置から該被検眼Ｅに向って、撮影用照明光源２１、集光レンズ２２、スリット板２３、ダイクロイックミラー２４、対物レンズ２５が設けられている。
【００３０】
前記撮影用照明光源２１としては、可視光、例えば、緑色光を発する発光ダイオード（ＬＥＤ）が用いられる。前記スリット板２３はスリット孔が穿設されており、前記撮影用照明光源２１から発せられた可視光がスリット光として、照射される。前記スリット板２３と前記角膜Ｃとは前記対物レンズ２５に関して共役となっている。
【００３１】
又、前記スリット板２３で形成されるスリット幅は、前記角膜Ｃの表面で反射された反射光と角膜内皮からの反射光とが分離できる幅に制限される。ここで、本実施例では、スリット幅を透過したスリット光が前記角膜Ｃ上に投影された状態で、スリットの幅が０．２５ｍｍとなる様に制限されている。
【００３２】
前記Ｚアライメント投影系６は前記ダイクロイックミラー２４によって分岐される光軸Ｏ３上に光源２６、集光レンズ２７、スリット板２８が設けられている。前記光源２６としては、赤外光を出射する発光ダイオード（ＬＥＤ）が用いられる。前記スリット板２８と前記角膜Ｃとは前記対物レンズ２５に関して共役の位置となっている。前記ダイクロイックミラー２４は緑色光を透過し、赤外光を反射する様になっている。
【００３３】
前記撮影光学系５は、前記主光軸Ｏ１に関して前記投光光軸Ｏ２と対称となっている撮影光軸Ｏ４を有し、該撮影光軸Ｏ４は前記頂点Ｐを透過する。従って、前記投光光軸Ｏ２と前記撮影光軸Ｏ４とは前記頂点Ｐに関し、入射光軸と反射光軸の関係にあり、前記撮影光軸Ｏ４は前記主光軸Ｏ１に対してθ１（＝３０゜）傾斜している。尚、実際には前記投光光軸Ｏ２と前記撮影光軸Ｏ４は角膜内皮に相当する位置で交差する様構成されている。
【００３４】
該撮影光軸Ｏ４上には、前記被検眼Ｅ側から対物レンズ３１、ダイクロイックミラー３２、ミラー３４を有し、前記撮影光軸Ｏ４は前記ミラー３４で偏向され、偏向された撮影光軸Ｏ４上には焦点調整用のリレーレンズ３５、ミラー３７が設けられ、該ミラー３７で反射された光束は撮像素子３６に結像される様になっている。
【００３５】
該撮像素子３６は前記撮影光軸Ｏ４に対してθ２傾斜して設けられており、θ２の角度は０＜θ２＜θ１となっている。又、前記撮像素子３６の傾斜方向は、撮影する内皮面の前記撮影光軸Ｏ４に対する傾斜方向と同一となっている。尚、前記θ２は、ＣＣＤの受光感度、光学系の解像度の特性等で許容設置角度が決定される。
【００３６】
前記リレーレンズ３５は前記撮影光軸Ｏ４に沿って変位可能となっており、前記リレーレンズ３５は焦点合せ機構３９によって前記撮影光軸Ｏ４に位置が調整される様になっている。前記角膜Ｃと前記撮像素子３６とは前記対物レンズ３１に関して共役の位置となっている。
【００３７】
前記ダイクロイックミラー３２で反射され偏向される光軸Ｏ５上にはリレーレンズ４０、受光センサ３８が設けられている。該受光センサ３８と前記角膜Ｃとは前記対物レンズ３１に関し共役となっている。前記ダイクロイックミラー３２は赤外光を反射し、緑色光を透過する光学特性を有しており、前記光源２６で射出され、前記角膜Ｃで反射された赤外光は前記受光センサ３８に導かれる。前記ダイクロイックミラー３２、前記リレーレンズ４０、前記受光センサ３８は前記Ｚアライメント検出系７を構成する。
【００３８】
前記ＸＹアライメント投影系８について説明する。
【００３９】
前記ハーフミラー１５で分岐された光軸Ｏ６上にはリレーレンズ４１、ダイクロイックミラー４２が設けられ、更に該ダイクロイックミラー４２の反射光軸上にはリレーレンズ４７、ＸＹアライメント用光源４６が設けられている。該ＸＹアライメント用光源４６は赤外光を射出し、前記ダイクロイックミラー４２は赤外光を反射し、可視光を透過する特性を有している。
【００４０】
該ダイクロイックミラー４２の通過光軸上には固視標４３が設けられている。該固視標４３は可視光で照明された、図形パターンであってもよく、或は可視光を発する光源であってもよい。前記固視標４３は前記リレーレンズ４１によって、正視の被検眼が固視できる様に無限遠光として投影される。又は、近視の被検眼が固視できる様に発散光で投影してもよい。前記ハーフミラー１５、前記リレーレンズ４１、前記固視標４３等は、前記固視投影系９を構成する。
【００４１】
前記受光素子１７が受光した結果、及び前記受光センサ３８が受光した結果は、アライメント検出部４８で検出され、検出結果は制御部４９に出力される。該制御部４９は検出結果に基づき本体駆動部５２を制御し、前記装置本体２を、ＸＹＺの所要の方向に移動させ、前記被検眼Ｅと前記装置本体２とのアライメントを実行する。
【００４２】
以下、角膜内皮細胞撮影装置の作用について説明する。
【００４３】
先ず、前記光源２６を点灯し、前記角膜Ｃでの反射光を前記受光センサ３８により受光し、該受光センサ３８上での受光位置と基準位置との偏差を求め、該偏差が０になる様にＺ方向に前記装置本体２を変位させる。尚、前記Ｚアライメント投影系６から射出される検出光は、スリット状であるので、前記受光センサ３８はスリット光の幅方向に延びるラインセンサとしてもよい。
【００４４】
Ｚアライメントが完了した後、或はＺアライメントと並行してＸＹアライメントが実行される。前記ＸＹアライメント用光源４６から点状の検出光が射出され、前記角膜Ｃで反射され、反射された検出光は前記受光素子１７で受光され、該受光素子１７上での受光位置と基準位置との偏差が求められる。該偏差が０になる様にＸ方向又はＹ方向に前記装置本体２を変位させ、アライメントを実行する。
【００４５】
アライメント完了後、角膜内皮撮影が開始される。
【００４６】
前記撮影用照明光源２１が点灯され、前記スリット板２３を経てスリット光となった照明光が前記角膜Ｃに照射される。
【００４７】
被検者の視線が前記固視標４３に固視された状態で、前記被検眼Ｅの内皮撮影が行われる。
【００４８】
スリット光を前記角膜Ｃに斜めに入射させることで、前記角膜Ｃの表面で反射される反射光Ｌ１と角膜内皮Ｎで反射される反射光Ｌ２とが分離される（図５参照）。
【００４９】
分離された反射光Ｌ２は、前記撮影光軸Ｏ４を経て前記撮像素子３６に受光され、内皮細胞が撮像される。図７は、反射光Ｌ１から完全に分離された反射光Ｌ２で撮像した内皮細胞の画像を示している。
【００５０】
次に、前記角膜Ｃへの入射角度θ１、スリット光の幅、前記撮像素子３６への入射角度θ２の関係について説明する。
【００５１】
図５を参照することで明らかな様に、前記角膜Ｃの表面での反射と角膜内皮Ｎでの反射とは前記角膜Ｃの厚み分だけ位置がずれる。この反射位置ずれによって反射光Ｌ１と反射光Ｌ２とが分離される。又、分離の状態は、前記角膜Ｃへの入射角だけではなく、スリット光の幅、前記角膜Ｃの厚みにも影響される。即ち、スリット光の幅が大きくなると、又前記角膜Ｃの厚みが薄くなると、反射光Ｌ１と反射光Ｌ２とがオーバラップし易くなり、反射光Ｌ１と反射光Ｌ２とは分離し難くなる。
【００５２】
図２は前記角膜Ｃの厚みを４００μｍとした場合の、スリット光の幅と入射角とオーバラップ量（写り込み量）の関係を示している。尚、図２中、写り込み量が負の値となっているのは反射光Ｌ１と反射光Ｌ２とが分離していることを示している。
【００５３】
例えば、スリット光の幅が０．２ｍｍであった場合は、入射角が２２．５゜の時にオーバラップ量が０となり、反射光Ｌ１と反射光Ｌ２とが分離し、スリット幅が０．３ｍｍの時には、入射角が３０゜の時にオーバラップ量が０となる。
【００５４】
ここで、通常では角膜の厚みは、４８０μｍ〜５８０μｍとなっており、入射角θ１を３０゜とすれば、スリット幅を０．３ｍｍと広幅としても、通常の角膜の厚みの変動に対し、充分に角膜内皮からの反射光Ｌ２を分離できることが分る。尚、角膜の実質層を削る術式（ＬＡＳＩＫ）が広く行われており、この様な場合には、角膜の厚みが４００μｍ程度であることも十分想定されるが、スリット幅を０．２５ｍｍとした場合、写り込み量は負の値となり、充分に分離できることが分る。
【００５５】
尚、従来の角膜内皮細胞撮影装置では、θ１＝２２．５゜となっており、図２から判断すると、スリット幅は０．２ｍｍに制限される。この為、角膜内皮細胞の撮影範囲も０．２ｍｍに制限されることになる。上記した様に、内皮細胞の健全性の診断の信頼性を向上させる為には、数多くの内皮細胞を含む様に撮影する必要がある。
【００５６】
更に、反射光Ｌ１と反射光Ｌ２がオーバラップに関係する要因として、Ｚ軸のアライメント誤差がある。
【００５７】
図３は、角膜厚み４００μｍ、入射角θ１＝３０゜、スリット幅０．２５ｍｍに於けるＺアライメント誤差とオーバラップ量を示している。Ｚアライメント誤差が−０．０５ｍｍ〜０．０５ｍｍの範囲で、オーバラップ量が負の値（即ちオーバラップしていない）を示しており、通常のアライメント誤差では、反射光Ｌ１と反射光Ｌ２との分離には影響がないことが示されている。
【００５８】
次に、前記撮像素子３６に入射するθ２と画像との関係について説明する。
【００５９】
撮像対象物（本実施例では内皮細胞）に、撮影光を斜めから入射させ、その反射光から撮像対象を撮影すると、画像は傾斜させた方向に縮小した状態で取得される。即ち、入射角θ１だけ傾斜させると、像は傾斜方向にｃｏｓθ１縮小した画像となる。
【００６０】
この為、本実施例では、前記撮像素子３６を反射光Ｌ２の光軸Ｏ４に対してθ２だけ傾斜させている。前記撮像素子３６を光軸Ｏ４に対して傾斜させることで、前記撮像素子３６に投影される画像は傾斜方向に引延された状態となる。即ち、傾斜方向に縮小された画像は投影時に１／ｃｏｓθ２引延される。従って、前記撮像素子３６を撮影光軸Ｏ４に対して傾斜させることで、１／ｃｏｓθ２だけ修正されることになり、ｃｏｓθ１／ｃｏｓθ２だけ光軸の傾斜方向に縮小した画像が取得できる。
【００６１】
従って、θ１＝θ２とすると、歪み、変形のない画像が取得できる。
【００６２】
尚、θ１≠θ２の場合に、前記撮像素子３６により取得した画像について（ｃｏｓθ２／ｃｏｓθ１）の補正をすることにより、（ｃｏｓθ１／ｃｏｓθ２）×（ｃｏｓθ２／ｃｏｓθ１）＝１となり、歪み、変形のない画像が取得できる。
【００６３】
次に、撮影光軸Ｏ４に対して前記撮像素子３６を傾斜させた場合の、受光感度、周辺部の画像のぼけについて説明する。
【００６４】
図４は、前記撮像素子３６の受光感度とθ２、解像度（ＭＴＦ）とθ２との関係を示している。尚、前記被検眼Ｅへのスリット光の入射角θ１は３０゜と設定されている。
【００６５】
前記撮像素子３６の受光感度は、入射角が０゜即ち反射光Ｌ２が前記撮像素子３６に垂直に入射した場合に、最大となり、入射角が大きくなるにつれて受光感度は低下する。
【００６６】
次に、画像の解像度については、前記撮像素子３６に入射する反射光Ｌ２の入射角θ２が、３０゜の場合（即ち、前記被検眼Ｅへの入射角θ１と同じ場合）で最大となり、入射角が減少するにつれて解像度は低下する。従って、反射光Ｌ２の入射角の増減に対して、受光感度の低下、解像度の低下は相反する状態となる。
【００６７】
解像度を考慮すると、前記撮像素子３６の前記撮影光軸Ｏ４に対する傾斜角θ２の角度は０≦θ２≦θ１（＝３０゜）である。尚、θ２＝３０゜とし、解像度を最大とすると、受光感度は０．１迄低下し、内皮細胞の撮影は困難となる。
【００６８】
又、前記撮像素子３６の受光感度を考慮し、受光感度の低下を実用上から０．５迄に制限すると、０≦θ２≦１７゜（受光感度が最大値の０．５）となる。
【００６９】
更に、θ１＝３０゜とした場合の、前記撮像素子３６の撮影光軸Ｏ４に対する傾斜角は、解像度の低下を考慮すると、１０゜≦θ２と設定されるのが好ましい。更に、本実施例では、θ２＝１５゜と設定している。尚、θ２＝１５゜場合は、受光感度は、０．６となる。
【００７０】
而して、前記角膜Ｃへのスリット光の入射角を略３０゜と大きく設定し、角膜内皮での反射光Ｌ２を反射光Ｌ１から確実に分離しつつ、広範囲の内皮細胞の撮影を可能とし、更に前記撮像素子３６の受光感度、解像度の低下を実用上支障ない程度とした角膜内皮細胞撮影装置が実施できる。
【符号の説明】
【００７１】
２              装置本体
３              前眼部観察光学系
４              撮影用照明光学系
５              撮影光学系
６              Ｚアライメント投影系
７              Ｚアライメント検出系
８              ＸＹアライメント投影系
９              固視投影系
１０            ＸＹアライメント検出系
１５            ハーフミラー
１６            対物レンズ
１７            受光素子
２１            撮影用照明光源
２３            スリット板
２４            ダイクロイックミラー
２６            光源
２８            スリット板
３６            撮像素子
３９            焦点合せ機構
４２            ダイクロイックミラー
４３            固視標
４６            ＸＹアライメント用光源
４８            アライメント検出部
４９            制御部
【図１】
2014140484.tif 000003
【図２】
2014140484.tif 000004
【図３】
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【図４】
2014140484.tif 000006
【図５】
2014140484.tif 000007
【図６】
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【図７】
2014140484.tif 000009