(57)【要約】【課題】  ワークの吸着パッドに対する位置ずれとワークの吸着不良とを抑制する吸着パッドを提供する。【解決手段】吸着パッド１はシール部２０と保持部３０とを備える。シール部はガラス板２００との間に気密空間Ｓを形成する。保持部は気密空間内が減圧された状態でガラス板を保持する。保持部の硬度はシール部の硬度よりも大きい。シール部及び保持部はゴムによって形成されている。シール部の硬度は７５度以下であり、保持部の硬度は９０度以上である。【選択図】  図１
2014184502.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークを吸着する吸着パッドであって、
前記ワークとの間に気密空間を形成するシール部と、
前記気密空間内が減圧された状態で前記ワークを保持する保持部と
を備え、
前記保持部の硬度は前記シール部の硬度よりも大きい、吸着パッド。
【請求項２】
前記シール部と前記保持部とは別部材である、請求項１に記載の吸着パッド。
【請求項３】
前記保持部は前記気密空間内に配置されている、請求項１又は請求項２に記載の吸着パッド。
【請求項４】
前記保持部は粘着剤付きのシート材を打ち抜き加工して形成されている、請求項１から請求項３のうちの１項に記載の吸着パッド。
【請求項５】
前記シール部及び前記保持部はゴムによって形成されており、
前記シール部の硬度は７５度以下であり、前記保持部の硬度は９０度以上である、請求項１から請求項４のうちの１項に記載の吸着パッド。
【請求項６】
加工ステーションと、
ワークを吸着するとともに、前記ワークを前記加工ステーションにローディング及びアンローディングする吸着手段と
を備え、
前記吸着手段は請求項１から請求項５のうちの１項に記載の吸着パッドを含む、ワーク加工装置。
【請求項７】
前記加工ステーションは前記ワークを固定する固定手段を備えており、
前記固定手段は請求項１から請求項５うちの１項に記載の吸着パッドを含む、請求項６に記載のワーク加工装置。
【請求項８】
所定距離をおいて配置された複数の前記加工ステーションと、
前記複数の加工ステーションを前記吸着手段に対して前記所定距離相対移動させる移動手段と
を備える、請求項６又は請求項７に記載のワーク加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、吸着パッド及びワーク加工装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ガラス板等のワークを加工する際やワークを搬送する際等において、ワークを吸着する吸着パッドが使用されている。特許文献１には、斯かる吸着パッドの一例が開示されている。特許文献１の吸着パッドは、弾性材料で形成された円錐状のシール部と、シール部の内側に設けられた環状のリップ部とを備える。リップ部はシール部と一体成形されている。この吸着パッドをワークの被吸着面に当接させると、吸着パッドとワークの被吸着面との間に気密空間が形成される。この気密空間内を減圧すると、ワークが吸着パッドに吸着される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平１０−２４９７７０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１の吸着パッドには、以下に述べるような課題があった。
【０００５】
すなわち、特許文献１の吸着パッドでは、吸着パッドとワークとの間の気密性を確保するために、シール部の硬度を低くしてシール部を弾性変形しやすくしている。リップ部はシール部と一体成形されているため、リップ部も弾性変形しやすい。リップ部が弾性変形しやすいと、ワークが吸着パッドに吸着される際にリップ部によってワークの移動が規制されにくく、ワークが吸着パッドに対して位置ずれしやすい。ワークが吸着パッドに対して位置ずれすると、ワークに加工を行う際に寸法精度の不良や加工むら等の不具合が生じる。
【０００６】
一方、吸着パッドのシール部の硬度を大きくすると、シール部が弾性変形しにくくなり、吸着パッドとワークとの間に隙間が生じ易くなる。その結果、吸着パッドとワークとの間の気密性が保てなくなり、吸着パッドがワークを吸着できなくなる虞がある。
【０００７】
本発明は上記事情に鑑みて創案されたものであり、ワークの吸着パッドに対する位置ずれとワークの吸着不良とを抑制する吸着パッドを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係る第１の態様は、ワークを吸着する吸着パッドであって、前記ワークとの間に気密空間を形成するシール部と、前記気密空間内が減圧された状態で前記ワークを保持する保持部とを備え、前記保持部の硬度は前記シール部の硬度よりも大きい吸着パッドである。
【０００９】
第１の態様の吸着パッドによれば、保持部の硬度をシール部の硬度よりも大きくすることにより、ワークの吸着パッドに対する位置ずれの抑制とワークの吸着不良の抑制とを両立できる。
【００１０】
なお、前記シール部と前記保持部とは別部材であることが好ましい。この場合、シール部に要求される性能（気密性）に合わせてシール部の材質を選択でき、保持部に要求される性能（ワークの保持）に合わせて保持部の材質を選択できるため、ワークの吸着パッドに対する位置ずれとワークの吸着不良とをより確実に抑制できる。
【００１１】
なお、前記保持部は、前記気密空間内に配置されていることが好ましい。この場合、吸着パッドのコンパクト化を図ることができる。
【００１２】
また、前記保持部は粘着剤付きのシート材を打ち抜き加工して形成されていることが好ましい。この場合、保持部の製造コストや金型費が安価となる。また、保持部をワンタッチで吸着パッドに取り付けることができるため、生産性が向上する。
【００１３】
なお、前記シール部及び前記保持部がゴムによって形成されている場合には、前記シール部の硬度が７５度以下であり、前記保持部の硬度が９０度以上であることが好ましい。
【００１４】
また、本発明の第２の態様は、加工ステーションと、ワークを吸着するとともに、前記ワークを前記加工ステーションにローディング及びアンローディングする吸着手段とを備え、前記吸着手段が第１の態様の吸着パッドを含むワーク加工装置である。
【００１５】
第２の態様のワーク加工装置によれば、ワークが吸着パッドに対して位置ずれしにくいため、ワークを加工ステーションにローディングする際にワークの加工ステーションに対する位置ずれを抑制できる。したがって、ワークの加工むらを抑制できる。
【００１６】
なお、前記加工ステーションが前記ワークを固定する固定手段を備えている場合、前記固定手段は第１の態様の吸着パッドを含むことが好ましい。この場合、加工ステーションに対するワークの位置ずれがさらに抑制されるので、ワークの加工むらをさらに抑制できる。
【００１７】
なお、前記ワーク加工装置が、所定距離をおいて配置された複数の前記加工ステーションと、前記複数の加工ステーションを前記吸着手段に対して前記所定距離相対移動させる移動手段とを備える場合には、ワークを複数の加工ステーションに順次ローディングすることによって生じるワークと加工ステーションとの位置ずれを抑制できる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、ワークの吸着パッドに対する位置ずれとワークの吸着不良とを抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の実施形態１に係る吸着パッドの斜視図である。
【図２】図１に示される吸着パッドの断面図であり、（ａ）はガラス板を吸着する前の状態を示す図であり、（ｂ）はガラス板を吸着した状態を示す図である。
【図３】本発明の実施形態２に係るワーク加工装置を示す図である。
【図４】図３をＩＶ−ＩＶ方向に見た図である。
【図５】本発明の実施形態２に係るワーク加工装置を用いたガラス板の加工方法の説明図である。
【図６】本発明の実施形態２に係るワーク加工装置を用いたガラス板の加工方法の説明図である。
【図７】本発明の実施形態２に係るワーク加工装置を用いたガラス板の加工方法を示すフローチャートである。
【図８】本発明の実施形態２に係るワーク加工装置を用いたガラス板の加工方法を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
（実施形態１：吸着パッド）
以下、図面を参照して本発明による実施形態を説明する。図１は本発明の実施形態１に係る吸着パッド１の斜視図である。図２は図１に示される吸着パッド１の断面図であって、図２（ａ）はガラス板を吸着する前の状態を示す図であり、図２（ｂ）はガラス板を吸着した状態を示す図である。
【００２１】
図１に示される吸着パッド１は、ワークとしてのガラス板２００（図２（ｂ）参照）を吸着するために使用される。本実施形態１のガラス板２００は、加熱調理器に用いられるトッププレートの素材として用いられる。ガラス板２００に穴あけ加工や穴の内周研磨加工等の加工が施されてトッププレートが製造される。
【００２２】
吸着パッド１は、後述するワーク加工装置において、複数の加工ステーションの各々においてガラス板２００を固定する際に用いられたり、複数の加工ステーションの各々にガラス板２００を順次ローディングする際に用いられたりする。
【００２３】
図１に示すように、吸着パッド１は、段付円柱状のパッド本体１０と、環状のシール部２０と、Ｃ字状の保持部３０と、接続管４０とを備える。
【００２４】
パッド本体１０は、金属等の剛性の高い材料によって形成され、大径部１１と小径部１２とを有する。図２（ａ）に示すように、大径部１１の外周部には段部１３が全周に亘って形成されている。段部１３にはシール部２０が接着等によって固定されている。大径部１０の中心部には有底の吸引孔１４が設けられている。吸引孔１４は、大径部１１の端面１１ａから、軸方向（図２のＹ軸方向に沿う方向）に延びている。吸引孔１４の他端は小径部１２に達している。
【００２５】
小径部１２には、小径部１２の径方向（図２のＸ軸方向に沿う方向）に延びる負圧導入孔１５が設けられている。負圧導入孔１５の一端は吸引孔１４に連通し、負圧導入孔１５の他端は、小径部２０の側面１２ａに達している。負圧導入孔１５には接続管４０（図１参照）を介して真空ポンプ５０が接続されている。
【００２６】
シール部２０はゴム等の弾性材料によって形成される。シール部２０は段部１３から大径部１１の軸方向（図２のＹ軸方向に沿う方向）に延びており、大径部１１の端面１１ａに対して突出している。シール部２０がガラス板２００の被吸着面２０１に圧接されると、シール部２０が圧縮されてシール部２０とガラス板２００の被吸着面２０１と大径部１１の端面１１ａとの間に気密空間Ｓが形成される。シール部２０の硬度は、シール部２０に圧接されるガラス板２００によってシール部２０が容易に弾性変形するように設定される。例えば、シール部２０がゴムで形成される場合には、シール部２０の硬度は７５度以下であることが好ましい。シール部２０の硬度が７５度よりも大きい場合には、ガラス板２００の被吸着面２０１とシール部２０との間に隙間が生じ易くなる。
【００２７】
保持部３０はゴム等のシート材によって形成される。保持部３０は粘着剤付きのシート材を打ち抜き加工することにより形成されている。保持部３０を粘着剤付きのシート材で形成すると、保持部３０の製造コストや金型費が安価になるとともに、保持部３０のパッド本体１０への取り付けが容易となる。保持部３０の厚みｄは、シール部２０におけるパッド本体１０の大径部１１の端面１１ａからの突出長Ｄよりも小さい。気密空間Ｓが減圧されると、ガラス板２００がシール部２０に圧接されてシール部２０が弾性変形し、保持部３０がガラス板２００の被吸着面２０１に圧接される。
【００２８】
保持部３０の硬度は、ガラス板２００が保持部３０に圧接されても保持部３０が殆んど変形しないとともに、ガラス板２００の被吸着面２０１を傷つける虞が少ない大きさに設定される。例えば、保持部３０がゴムで形成される場合には、保持部３０の硬度は９０度以上であることが好ましい。保持部３０の硬度が９０度よりも小さい場合には、保持部３０がガラス板２００に当接する際に、保持部３０が変形することがあり、その変形に伴い、ガラス板２００の位置がずれることがある。その結果、ガラス板２００の移動を抑制しにくくなり、ガラス板２００が吸着パッド１に対して位置ずれし易くなる。保持部３０には切欠部３０ａが設けられている。切欠部３０ａによって、保持部３０の内周側の気密空間Ｓａ（図２参照）と保持部３０の外周側の気密空間Ｓｂ（図２参照）とが連通する。
【００２９】
次に、図２を参照して、吸着パッド１の作用及び効果を説明する。ガラス板２００の被吸着面２０１がシール部２０に当接した状態で真空ポンプ５０を駆動すると、接続管４０（図１参照）、負圧導入孔１５及び吸引孔１４を介してガラス板２００の被吸着面２０１に、真空ポンプ５０を駆動した影響が及び、被吸着面２０１とパッド本体１０との間の空間が負圧となる。その結果、ガラス板２００が保持部３０に接近する方向に吸引されてシール部２０が圧縮される。そして、ガラス板２００の被吸着面２０１が保持部３０に圧接する。
【００３０】
真空ポンプ５０を駆動した際に発生するガラス板２００の吸引力によって、シール部２０が容易に弾性変形するようにシール部２０の硬度が設定されている。また、真空ポンプ５０を駆動することで、保持部３０の内周側の気密空間Ｓａ及び保持部３０の外周側の環状の気密空間Ｓｂの圧力が負圧となる。したがって、真空ポンプ５０によるガラス板２００の吸引力がシール部２０の全周に亘って略均一に作用し、シール部２０が全周に亘って略均一に弾性変形する。よって、シール部２００とガラス板２００の被吸着面２０１との間に隙間が生じにくく、吸着パッド１によるガラス板２００の吸着不良の発生を抑制できる。
【００３１】
保持部３０の硬度はシール部２０の硬度よりも大きいため、ガラス板２００が保持部３０に圧接されても保持部３０は殆んど変形しない。また、保持部３０からガラス板２００に与えられる反力が大きいため、保持部３０とガラス板２００との間に生じる摩擦力が大きい。したがって、ガラス板２００が保持部３０によって保持され、ガラス板２００が吸着パッド１に対して位置ずれしにくい。
【００３２】
（実施形態２：ワーク加工装置）
次に、図３を参照して、吸着パッド１を備えたワーク加工装置１００について説明する。図３は本発明の実施形態２に係るワーク加工装置１００を示す図である。
【００３３】
なお、図３において、説明の便宜上、４枚のガラス板２００を区別するために、ガラス板２００の符号（２００）の末尾にハイフン付きの数字を付してある。ガラス板２００−１は最初に加工されるガラス板を表し、ガラス板２００−２は２番目に加工されるガラス板を表し、ガラス板２００−３は３番目に加工されるガラス板を表し、ガラス板２００−４は４番目に加工されるガラス板を表す。
【００３４】
図３に示すように、ワーク加工装置１００は、吸着機構１１０と、移動手段としての移動テーブル１２０とを備える。吸着機構１１０は、搬入部１１１と、第１吸着部１１２Ａと、第２吸着部１１２Ｂと、第３吸着部１１２Ｃと、搬出部１１３とを有する。第１吸着部１１２Ａ、第２吸着部１１２Ｂ、及び第３吸着部１１２Ｃの各々は、本発明の吸着手段として機能する。
【００３５】
搬入部１１１は、支持体１１１ａと吸着パッド１とを備える。吸着パッド１は支持体１１１ａに移動可能に支持されており、駆動機構（図示せず）によって、図３のＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸の各々に沿って往復移動する。
【００３６】
第１吸着部１１２Ａは、支持体１１２ａと、吸着パッド１と、研磨具１１４とを備える。吸着パッド１は支持体１１２ａに移動可能に支持されており、駆動機構（図示せず）によって、図３のＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸の各々に沿って往復移動する。
【００３７】
研磨具１１４は、ガラス板２００に形成された貫通穴（後述）の内周面を研磨する。研磨具１１４は支持体１１２ａに移動可能に支持されており、駆動機構（図示せず）によって、図３のＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸の各々に沿って往復移動する。研磨具１１４は円柱状で、軸線周りに回転しながらガラス板２００の貫通穴の内周面に沿って移動して貫通穴の内周面を研磨する。第２吸着部１１２Ｂ及び第３吸着部１１２Ｃの構成は第１吸着部１１２Ａと同様であるので、第２吸着部１１２Ｂ及び第２吸着部１１２Ｃの構成に関する説明は省略する。
【００３８】
搬出部１１３は、支持体１１３ａと吸着パッド１とを備える。吸着パッド１は支持体１１３ａに移動可能に支持されており、駆動機構（図示せず）によって、図３のＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸の各々に沿って往復移動する。
【００３９】
次に、図４を参照して移動テーブル１２０について説明する。図４は図３をＩＶ−ＩＶ方向に見た図である。図４に示すように、移動テーブル１２０の上面には、第１加工ステーションＰ１、第２加工ステーションＰ２、第３加工ステーションＰ３及び第４加工ステーションＰ４が形成されている。第１加工ステーションＰ１、第２加工ステーションＰ２、第３加工ステーションＰ３及び第４加工ステーションＰ４は、図４のＸ軸に沿って所定距離αをおいて形成されている。移動テーブル１２０は、駆動機構（図示せず）によって、Ｘ軸に沿って所定距離αをおいて配置された搬入位置（後述）と搬出位置（後述）との間を往復移動する。
【００４０】
第１加工ステーションＰ１において、ガラス板２００に第１貫通穴２０２、第２貫通穴２０３、及び第３貫通穴２０４を形成する工程が実行される。
【００４１】
第２加工ステーションＰ２において、ガラス板２００の第１貫通穴２０２の内周面を研磨する工程が実行される。
【００４２】
第３加工ステーションＰ３において、ガラス板２００の第２貫通穴２０３の内周面を研磨する工程が実行される。
【００４３】
第４加工ステーションＰ４において、ガラス板２００の第３貫通穴２０４の内周面を研磨する工程が実行される。
【００４４】
第１加工ステーションＰ１には、３つの吸着パッド１'と、第１貫通穴２０２、第２貫通穴２０３及び貫通穴２０４を形成する穴あけ機構（図示せず）とが設置されている。３つの吸着パッド１'は図４に示す通り、第１加工ステーションＰ１の図４における左上、左下、及び右側中央部に配置されており、本発明の固定手段として機能する。なお、吸着パッド１'は吸着機構１１０の吸着パッド１と同じ構成を有するが、移動テーブル１２０の吸着パッドと吸着機構１１０の吸着パッドとを区別するため、移動テーブル１２０の吸着パッドには１'の符号を付す。
【００４５】
第２加工ステーションＰ２には３つの吸着パッド１'が設置されている。３つの吸着パッド１'は図４に示す通り、第２加工ステーションＰ２の図４における左上、左下、及び右側中央部に配置されており、本発明の固定手段として機能する。
【００４６】
第３加工ステーションＰ３には３つの吸着パッド１'が設置されている。３つの吸着パッド１'は図４に示す通り、第３加工ステーションＰ３の図４における左上、左下、及び右側中央部に配置されており、本発明の固定手段として機能する。
【００４７】
第４加工ステーションＰ４には３つの吸着パッド１'が設置されている。３つの吸着パッド１'は図４に示す通り、第４加工ステーションＰ４の図４における左上、左下、及び右中央部に配置されており、本発明の固定手段として機能する。
【００４８】
次に、図４〜図８を参照して本実施形態のワーク加工装置を用いたワーク加工方法を説明する。図５及び図６は本発明の実施形態２に係るワーク加工装置を用いたガラス板の加工方法の説明図である。図７及び図８は本発明の実施形態２に係るワーク加工装置を用いたガラス板の加工方法を示すフローチャートである。
【００４９】
図７に示すように、まず、ステップＳ１０において、移動テーブル１２０が、図５（ａ）に示す搬入位置（搬入部１１１が移動テーブル１２０上にガラス板を搬入する位置）にある状態で、移動テーブル１２０の第１加工ステーションＰ１にガラス板２００−１がローディングされる。すなわち、予めガラス板２００−１を吸着している搬入部１１１の吸着パッド１が第１加工ステーションＰ１にガラス板２００−１を載置すると、第１加工ステーションＰ１の３つの吸着パッド１'がガラス板２００−１を吸着する。そして、搬入部１１１の吸着パッド１がガラス板２００−１の吸着を解除して上昇する。
【００５０】
次に、ステップＳ２０において、第１加工ステーションＰ１のガラス板２０１が加工される。すなわち、第１加工ステーションＰ１において、穴あけ機構がガラス板２００−１に第１貫通穴２０２、第２貫通穴２０３及び第３貫通穴２０４を形成する。
【００５１】
次に、ステップＳ３０において、移動テーブル１２０が、図５（ｂ）に示す搬出位置（搬出部１１３が移動テーブル１２０上のガラス板を搬出する位置）に移動する。そして、ステップＳ４０において、第１加工ステーションＰ１のガラス板２００−１がアンローディングされる。すなわち、第１吸着部１１２Ａの吸着パッド１が下降して第１加工ステーションＰ１のガラス板２００−１を吸着する。そして、第１加工ステーションＰ１の３つの吸着パッド１'がガラス板２００−１の吸着を解除し、次に第１吸着部１１２Ａの吸着パッド１が上昇する。
【００５２】
次に、ステップＳ５０において、移動テーブル１２０が搬入位置に移動する。そして、ステップＳ６０において、第１加工ステーションＰ１にガラス板２００−２がローディングされ、第２加工ステーションＰ２にガラス板２００−１がローディングされる（図５（ｃ）参照）。
【００５３】
すなわち、予めガラス板２００−２を吸着している搬入部１１１の吸着パッド１が第１加工ステーションＰ１にガラス板２００−２を載置すると、第１加工ステーションＰ１の３つの吸着パッド１'がガラス板２００−２を吸着する。そして、搬入部１１１の吸着パッド１がガラス板２００−２の吸着を解除して上昇する。また、第１吸着部１１２Ａの吸着パッド１が下降してガラス板２００−１を第２加工ステーションＰ２に載置すると、第２加工ステーションＰ２の３つの吸着パッド１'がガラス板２００−１を吸着する。そして、第１吸着部１１２Ａの吸着パッド１がガラス板２００−１の吸着を解除して上昇する。
【００５４】
次に、ステップＳ７０において、第１加工ステーションＰ１のガラス板２００−２及び第２加工ステーションＰ２のガラス板２００−１が加工される。すなわち、第１加工ステーションＰ１において、穴あけ機構がガラス板２００−２に第１貫通穴２０２、第２貫通穴２０３及び第３貫通穴２０４を形成する。また、第２加工ステーションＰ２において、第１吸着部１１２Ａの研磨具１１４が下降してガラス板２００−１の第１貫通穴２０２の内周を研磨した後、研磨具１１４が上昇する。
【００５５】
次に、ステップＳ８０において、移動テーブル１２０が搬出位置に移動する。そして、ステップＳ９０において、第１加工ステーションＰ１のガラス板２００−２及び第２加工ステーションＰ２のガラス板２００−１がアンローディングされる（図５（ｄ）参照）。
【００５６】
すなわち、第１吸着部１１２Ａの吸着パッド１が下降して第１加工ステーションＰ１のガラス板２００−２を吸着する。そして、第１加工ステーションＰ１の３つの吸着パッド１'がガラス板２００−２の吸着を解除し、次に第１吸着部１１２Ａの吸着パッド１が上昇する。また、第２吸着部１１２Ｂの吸着パッド１が下降して第２加工ステーションＰ２のガラス板２００−１を吸着する。そして、第２加工ステーション１Ｐ２の３つの吸着パッド１'がガラス板２００−１の吸着を解除し、次に第２吸着部１１２Ｂの吸着パッド１が上昇する。
【００５７】
次に、ステップＳ１００において、移動テーブル１２０が搬入位置に移動する。そして、図８のステップＳ１１０において、第１加工ステーションＰ１にガラス板２００−３がローディングされ、第２加工ステーションＰ２にガラス板２００−２がローディングされ、第３加工ステーションＰ３にガラス板２００−１がローディングされる（図６（ａ）参照）。
【００５８】
すなわち、予めガラス板２００−３を吸着している搬入部１１の吸着パッド１が第１加工ステーションＰ１にガラス板２００−３を載置すると、第１加工ステーションＰ１の３つの吸着パッド１'がガラス板２００−３を吸着する。そして、搬入部１１１の吸着パッド１がガラス板２００−３の吸着を解除して上昇する。また、第１吸着部１１２Ａの吸着パッド１が下降してガラス板２００−２を第２加工ステーションＰ２に載置すると、第２加工ステーションＰ２の３つの吸着パッド１'がガラス板２００−２を吸着する。そして、第１吸着部１１２Ａの吸着パッド１がガラス板２００−２の吸着を解除して上昇する。また、第２吸着部１１２Ｂの吸着パッド１が下降してガラス板２００−１を第３加工ステーションＰ３に載置すると、第３加工ステーションＰ３の３つの吸着パッド１'がガラス板２００−１を吸着する。そして、第２吸着部１１２Ｂの吸着パッド１がガラス板２００−１の吸着を解除して上昇する。
【００５９】
次に、ステップＳ１２０において、第１加工ステーションＰ１のガラス板２００−３、第２加工ステーションＰ２のガラス板２００−２及び第３加工ステーションＰ３のガラス板２００−１が加工される。すなわち、第１加工ステーションＰ１において、穴あけ機構がガラス板２００−３に第１貫通穴２０２、第２貫通穴２０３及び第３貫通穴２０４を形成する。また、第２加工ステーションＰ２において、第１吸着部１１２Ａの研磨具１１４が下降してガラス板２００−２の第１貫通穴２０２の内周を研磨した後、研磨具１１４が上昇する。また、第３加工ステーションＰ３において、第２吸着部１１２Ｂの研磨具１１４が下降してガラス板２００−１の第２貫通穴２０３の内周を研磨した後、研磨具１１４が上昇する。
【００６０】
次に、ステップＳ１３０において、移動テーブル１２０が搬出位置に移動する。そして、ステップＳ１４０において、第１加工ステーションＰ１のガラス板２００−３、第２加工ステーションＰ２のガラス板２００−２及び第３加工ステーションＰ３のガラス板２００−１がアンローディングされる（図６（ｂ）参照）。
【００６１】
すなわち、第１吸着部１１２Ａの吸着パッド１が下降して第１加工ステーションＰ１のガラス板２００−３を吸着する。そして、第１加工ステーションＰ１の３つの吸着パッド１'がガラス板２００−３の吸着を解除し、次に第１吸着部１１２Ａの吸着パッド１が上昇する。また、第２吸着部１１２Ｂの吸着パッド１が下降して第２加工ステーションＰ２のガラス板２００−２を吸着する。そして、第２加工ステーションＰ２の３つの吸着パッド１'がガラス板２００−２の吸着を解除し、次に第２吸着部１１２Ｂの吸着パッド１が上昇する。さらに、第３吸着部１１２Ｃの吸着パッド１が下降して第３加工ステーションＰ３のガラス板２００−１を吸着する。そして、第３加工ステーションＰ３の３つの吸着パッド１'がガラス板２００−１の吸着を解除し、次に第３吸着部１１２Ｃの吸着パッド１が上昇する。
【００６２】
次に、ステップＳ１５０において、移動テーブル１２０が搬入位置に移動する。そして、ステップＳ１６０において、第１加工ステーションＰ１にガラス板２００−４がローディングされ、第２加工ステーションＰ２にガラス板２００−３がローディングされ、第３加工ステーションＰ３にガラス板２００−２がローディングされ、第４加工ステーションＰ４にガラス板２００−１がローディングされる（図６（ｃ）参照）。
【００６３】
すなわち、予めガラス板２００−４を吸着している搬入部１１１の吸着パッド１が第１加工ステーションＰ１にガラス板２００−４を載置すると、第１加工ステーションＰ１の３つの吸着パッド１'がガラス板２００−４を吸着する。そして、搬入部１１１の吸着パッド１がガラス板２００−４の吸着を解除して上昇する。また、第１吸着部１１２Ａの吸着パッド１が下降してガラス板２００−３を第２加工ステーションＰ２に載置すると、第２加工ステーションＰ２の３つの吸着パッド１'がガラス板２００−３を吸着する。そして、第１吸着部１１２Ａの吸着パッド１がガラス板２００−３の吸着を解除して上昇する。また、第２吸着部１１２Ｂの吸着パッド１が下降してガラス板２００−２を第３加工ステーションＰ３に載置すると、第３加工ステーションＰ３の３つの吸着パッド１'がガラス板２００−２を吸着する。そして、第２吸着部１１２Ｂの吸着パッド１がガラス板２００−２の吸着を解除して上昇する。さらに、第３吸着部１１２Ｃの吸着パッド１が下降してガラス板２００−１を第４加工ステーションＰ４に載置すると、第４加工ステーションＰ４の３つの吸着パッド１'がガラス板２００−１を吸着する。そして、第３吸着部１１２ｃの吸着パッド１がガラス板２００−１の吸着を解除して上昇する。
【００６４】
次に、ステップＳ１７０において、第１加工ステーションＰ１のガラス板２００−４、第２加工ステーションＰ２のガラス板２００−３、第３加工ステーションＰ３のガラス板２００−２及び第４加工ステーションＰ４のガラス板２００−１が加工される。すなわち、第１加工ステーションＰ１において、穴あけ機構がガラス板２００−４に第１貫通穴２０２、第２貫通穴２０３及び第３貫通穴２０４を形成する。また、第２加工ステーションＰ２において、第１吸着部１１２Ａの研磨具１１４が下降してガラス板２００−３の第１貫通穴２０２の内周を研磨した後、研磨具１１４が上昇する。また、第３加工ステーションＰ３において、第２吸着部１１２Ｂの研磨具１１４が下降してガラス板２００−２の第２貫通穴２０３の内周を研磨した後、研磨具１１４が上昇する。さらに、第３加工ステーションＰ４において、第３吸着部１１２Ｃの研磨具１１４が下降してガラス板２００−１の第３貫通穴２０４の内周を研磨した後、研磨具１１４が上昇する。
【００６５】
次に、ステップＳ１８０において、移動テーブル１２０が搬出位置に移動する。そして、ステップＳ１９０において、第１加工ステーションＰ１のガラス板２００−４、第２加工ステーションＰ２のガラス板２００−３、第３加工ステーションＰ３のガラス板２００−２及び第４加工ステーションＰ４のガラス板２００−１がアンローディングされる（図６（ｄ）参照）。
【００６６】
すなわち、第１吸着部１１２Ａの吸着パッド１が下降して第１加工ステーションＰ１のガラス板２００−４を吸着する。そして、第１加工ステーションＰ１の３つの吸着パッド１'がガラス板２００−４の吸着を解除し、次に第１吸着部１１２Ａの吸着パッド１が上昇する。また、第２吸着部１１２Ｂの吸着パッド１が下降して第２加工ステーションＰ２のガラス板２００−３を吸着する。そして、第２加工ステーションＰ２の３つの吸着パッド１'がガラス板２００−３の吸着を解除し、次に第２吸着部１１２Ｂの吸着パッド１が上昇する。また、第３吸着部１１２Ｃの吸着パッド１が下降して第３加工ステーションＰ３のガラス板２００−２を吸着する。そして、第３加工ステーションＰ３の３つの吸着パッド１'がガラス板２００−２の吸着を解除し、次に第３吸着部１１２Ｃの吸着パッド１が上昇する。さらに、搬出部１１３の吸着パッド１が下降して第４加工ステーションＰ４のガラス板２００−１を吸着する。そして、第４加工ステーションＰ４の３つの吸着パッド１'がガラス板２００−１の吸着を解除し、次に搬出部１１３の吸着パッド１が上昇する。その後、搬出部１１３の吸着パッド１はガラス板２００−１を、図示しない次の工程に搬送する。
【００６７】
次に、ステップＳ２００において、移動動テーブル１２０が搬出位置に移動する。そして、ステップＳ１６０〜ステップＳ２００の工程が繰り返される。
【００６８】
図４に示すように、ワーク加工装置１００は、第１加工ステーションＰ１、第２加工ステーションＰ２、第３加工ステーションＰ３及び第４加工ステーションＰ４の各々において、ガラス板２００を吸着パッド１'で固定してガラス板２００を加工する。
【００６９】
ガラス板２００を加工する際に、ガラス板２００が第１加工ステーションＰ１、第２加工ステーションＰ２、第３加工ステーションＰ３及び第４加工ステーションＰ４に対して位置ずれしていると、図４に示される第１貫通穴２０２、第２貫通穴２０３及び第３貫通穴２０４の位置ずれや内周面の研磨むら等が生じる。本発明の吸着パッド１及び吸着パッド１'は、図２に示される保持部３０でガラス板２００を保持するため、ガラス板２００が吸着パッド１及び吸着パッド１'に対して位置ずれしにくい。したがって、第１貫通穴２０２、第２貫通穴２０３及び第３貫通穴２０４の位置ずれや内周面の研磨むらの発生を抑制でき、歩留まり率が向上する。
【００７０】
また、ワーク加工装置１００は、図３に示される第１吸着部１１２Ａ、第２吸着部１１２Ｂ、及び第３吸着部１１２Ｃの吸着パッド１でガラス板２００を吸着し、移動テーブル１２０を移動させて、ガラス板２００を第１加工ステーションＰ１、第２加工ステーションＰ２、第３加工ステーションＰ３及び第４加工ステーションＰ４に順次ローディングする。ガラス板２００と吸着パッド１との間に位置ずれが生じる場合、後の加工ステーションになるほど、ガラス板２００の加工ステーションに対する位置ずれが大きくなり、第１貫通穴２０２、第２貫通穴２０３及び第３貫通穴２０４の位置ずれや内周面の研磨むらが発生し易くなる。
【００７１】
例えば、ガラス板２００−１が第１吸着部１１２Ａの吸着パッド１に吸着される際にガラス板２００−１が第１吸着部１１２Ａの吸着パッド１に対してＸ軸の方向に距離ａ位置ずれすると、ガラス板２００−１は加工ステーションＰ２に対してＸ軸の方向に距離ａ位置ずれした状態でローディングされる。そして、ガラス板２００−１が第２吸着部１１２Ｂの吸着パッド１に吸着される際にガラス板２００−１が第２吸着部１１２Ｂの吸着パッド１に対してＸ軸の方向に距離ｂ位置ずれすると、ガラス板２００−１は加工ステーションＰ３に対してＸ軸の方向に距離（ａ＋ｂ）位置ずれした状態でローディングされる。したがって、後の加工ステーションになるほどガラス板２００−１の加工ステーションに対する位置ずれが大きくなる。本発明の吸着パッド１及び吸着パッド１'によれば、ガラス板２００が吸着パッド１及び吸着パッド１'に対して位置ずれしにくいため、第１貫通穴２０２、第２貫通穴２０３及び第３貫通穴２０４の位置ずれや内周面の研磨むらを抑制できる。
【００７２】
なお、背景技術の説明において記載した特許文献１の吸着パッドでは、ガラス板の被吸着面の凹凸やガラス板の反りが大きいと、ガラス板の吸着パッドに対する位置ずれが生じ易い。すなわち、特許文献１の吸着パッドのリップ部は柔らかいため、リップ部がガラス板の凹凸や反りに沿って変形するからである。一方、本発明の吸着パッド１及び吸着パッド１'では、保持部３０がガラス板の凹凸や反りに沿って変形しにくい。したがって、被吸着面に大きな凹凸があるガラス板や反りが大きいガラス板でも吸着パッド１及び吸着パッド１'に対して位置ずれしにくい。
【００７３】
本実施形態のワーク加工装置１００によれば、ガラス板２００の被吸着面２０１に高さ０．５ｍｍ以下の凹凸がある場合、あるいはガラス板２００の反りが０．１ｍｍ〜１．０ｍｍの場合において、ガラス板２００をある加工ステーションから隣接する他の加工ステーションに搬送する際にガラス板２００の位置ずれを０．１ｍｍ以下に抑制できる。
【００７４】
以上、本発明の具体的な実施形態を説明したが、本発明は図１〜図８に示される実施形態に限定されるものではなく、本実施形態に種々の改変を施すことができる。
【００７５】
例えば、本実施形態では、シール部と保持部とが別部材であるが、シール部と保持部とが一体であってもよい。
【００７６】
また、本実施形態では、粘着剤付きのシート材を打ち抜き加工することによって保持部を形成しているが、粘着剤付きのシート材以外の材料で保持部を形成してもよく、保持部を打ち抜き加工以外の方法で形成してもよい。例えば、保持部を合成樹脂の射出成形によって形成してもよい。
【００７７】
また、本実施形態では、ワーク加工装置が４つの加工ステーションを備えているが、ワーク加工装置の加工ステーションは２つ以下、もしくは５つ以上であってもよい。
【００７８】
また、本実施形態では、ワーク加工装置が３つの吸着手段を備えているが、吸着手段は２つ以下、もしくは４つ以上であってもよい。
【００７９】
また、本実施形態では、吸着手段を固定して複数の加工ステーションを移動させているが、複数の加工ステーションを固定して吸着手段を移動させてもよい。
【００８０】
また、本実施形態では、加工ステーションにワークを固定する固定手段の全てが本発明の吸着パッドを含んでいるが、固定手段のうちの一部が本発明の吸着パッドを含んでいてもよい。また、固定手段は本発明の吸着パッド以外のものでもよい。
【００８１】
また、本実施形態では、ガラス板を吸着する吸着パッド及びガラス板を加工するワーク加工装置に本発明を適用した例について説明したが、ガラス板以外のワーク（例えば、セラミック製の板部材）を吸着する吸着パッドやガラス板以外のワークを加工するワーク加工装置に本発明を適用することもできる。
【００８２】
その他にも、本発明の要旨を逸脱しない範囲で上記実施形態に種々の改変を施すことができる。
【符号の説明】
【００８３】
１、１’  吸着パッド（固定手段）
１０      パッド本体
１１      大径部
１２      小径部
１３      段部
２０      シール部
３０      保持部
４０      接続管
Ｓ        気密空間
１００    ワーク加工装置
１１０    搬送装置
１２０    移動テーブル(移動手段)
１１１    搬入部
１１２Ａ  第１吸着部（吸着手段）
１１２Ｂ  第２吸着部（吸着手段）
１１２Ｃ  第３吸着部（吸着手段）
１１３    搬出部
１１４    研磨具（加工手段）
２００    ガラス板（ワーク）
２０１    被吸着面
２０２    第１貫通穴
２０３    第２貫通穴
２０４    第３貫通穴
Ｐ１      第１加工ステーション
Ｐ２      第２加工ステーション
Ｐ３      第３加工ステーション
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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