(57)【要約】【課題】ターゲットに含まれるＣｏの含有量を減少させずに、マグネトロンスパッタリング時の漏洩磁束量を高く保った上で、さらにノジュールやパーティクル等の不具合の発生もしにくいマグネトロンスパッタリング用ターゲットおよびその製造方法を提供する。【解決手段】金属Ｃｏおよび金属Ｃｒを含有し、残部が不可避的不純物であり、該金属Ｃｏと該金属Ｃｒとの合計に対する該金属Ｃｒの原子数比が２５ａｔ％以上である非磁性金属相と、金属Ｃｏを含有する磁性金属相１２と、を備え、前記非磁性金属相に対する前記酸化物の体積比が１．２以下であり、前記非磁性金属相と前記酸化物とはお互いに分散し合っており、かつ、長径が５μｍ以上の凝集した酸化物が存在しない。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属Ｃｏ、金属Ｃｒ、および酸化物を含有し、残部が不可避的不純物であり、該金属Ｃｏと該金属Ｃｒとの合計に対する該金属Ｃｒの原子数比が２５ａｔ％未満であるマグネトロンスパッタリング用ターゲットであって、
金属Ｃｏおよび金属Ｃｒを含有し、残部が不可避的不純物であり、該金属Ｃｏと該金属Ｃｒとの合計に対する該金属Ｃｒの原子数比が２５ａｔ％以上である非磁性金属相と、
金属Ｃｏを含有する磁性金属相と、
を備え、
前記非磁性金属相に対する前記酸化物の体積比が１．２以下であり、前記非磁性金属相と前記酸化物とはお互いに分散し合っており、かつ、長径が５μｍ以上の凝集した酸化物が存在しないことを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲット。
【請求項２】
金属Ｃｏ、金属Ｃｒ、金属Ｐｔ、および酸化物を含有し、残部が不可避的不純物であり、該金属Ｃｏと該金属Ｃｒとの合計に対する該金属Ｃｒの原子数比が２５ａｔ％未満であるマグネトロンスパッタリング用ターゲットであって、
金属Ｃｏ、金属Ｃｒ、および金属Ｐｔを含有し、残部が不可避的不純物であり、該金属Ｃｏと該金属Ｃｒとの合計に対する該金属Ｃｒの原子数比が２５ａｔ％以上である非磁性金属相と、
金属Ｃｏを含有する磁性金属相と、
を備え、
前記非磁性金属相に対する前記酸化物の体積比が１．２以下であり、前記非磁性金属相と前記酸化物とはお互いに分散し合っており、かつ、長径が５μｍ以上の凝集した酸化物が存在しないことを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲット。
【請求項３】
金属Ｃｏ、金属Ｃｒ、および酸化物を含有し、残部が不可避的不純物であり、該金属Ｃｏと該金属Ｃｒとの合計に対する該金属Ｃｒの原子数比が２５ａｔ％未満であるマグネトロンスパッタリング用ターゲットであって、
金属Ｃｏおよび金属Ｃｒを含有し、残部が不可避的不純物であり、該金属Ｃｏと該金属Ｃｒとの合計に対する該金属Ｃｒの原子数比が２５ａｔ％以上であり、かつ、該金属Ｃｏとそれ以外の金属との合計に対する該金属Ｃｏの原子数比が７０ａｔ％以下である非磁性金属相と、
金属Ｃｏを含有する磁性金属相と、
を備え、
前記非磁性金属相に対する前記酸化物の体積比が１．２以下であり、前記非磁性金属相と前記酸化物とはお互いに分散し合っていることを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲット。
【請求項４】
金属Ｃｏ、金属Ｃｒ、金属Ｐｔ、および酸化物を含有し、残部が不可避的不純物であり、該金属Ｃｏと該金属Ｃｒとの合計に対する該金属Ｃｒの原子数比が２５ａｔ％未満であるマグネトロンスパッタリング用ターゲットであって、
金属Ｃｏ、金属Ｃｒ、および金属Ｐｔを含有し、残部が不可避的不純物であり、該金属Ｃｏと該金属Ｃｒとの合計に対する該金属Ｃｒの原子数比が２５ａｔ％以上であり、かつ、該金属Ｃｏとそれ以外の金属との合計に対する該金属Ｃｏの原子数比が７０ａｔ％以下である非磁性金属相と、
金属Ｃｏを含有する磁性金属相と、
を備え、
前記非磁性金属相に対する前記酸化物の体積比が１．２以下であり、前記非磁性金属相と前記酸化物とはお互いに分散し合っていることを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲット。
【請求項５】
請求項１−４のいずれかにおいて、
前記磁性金属相のうちアスペクト比が２以上の磁性金属相の体積比は、前記磁性金属相全体に対して０．５以下であることを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲット。
【請求項６】
請求項１−５のいずれかにおいて、
前記非磁性金属相は、含有する金属Ｃｏと金属Ｃｒとの合計に対する該金属Ｃｒの原子数比が３０ａｔ％以上であることを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲット。
【請求項７】
請求項１−６のいずれかにおいて、
前記磁性金属相は、金属Ｃｏおよび金属Ｃｒを含有し、残部が不可避的不純物であり、該金属Ｃｏと該金属Ｃｒとの合計に対する該金属Ｃｏの原子数比が８５ａｔ％以上であることを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲット。
【請求項８】
請求項１−６のいずれかにおいて、
前記磁性金属相は、金属Ｃｏおよび不可避的不純物からなることを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲット。
【請求項９】
請求項１−８のいずれかにおいて、
前記酸化物は、ＳｉＯ2、ＴｉＯ2、Ｔｉ2Ｏ3、Ｔａ2Ｏ5、Ｃｒ2Ｏ3、ＣｏＯ、Ｃｏ3Ｏ4、Ｂ2Ｏ3、Ｆｅ2Ｏ3、ＣｕＯ、Ｙ2Ｏ3、ＭｇＯ、Ａｌ2Ｏ3、ＺｒＯ2、Ｎｂ2Ｏ5、ＭｏＯ3、ＣｅＯ2、Ｓｍ2Ｏ3、Ｇｄ2Ｏ3、ＷＯ2、ＷＯ3、ＨｆＯ2、ＮｉＯ2のうちの少なくとも１種を含むことを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲット。
【請求項１０】
請求項１−９のいずれかにおいて、
前記ターゲットは、磁気記録層の形成に使用可能なことを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲット。
【請求項１１】
金属Ｃｏおよび金属Ｃｒを含有し残部が不可避的不純物であり、該金属Ｃｏと該金属Ｃｒとの合計に対する該金属Ｃｒの原子数比が２５ａｔ％以上である非磁性金属粉末と、該非磁性金属粉末に対する体積比が１．２以下である酸化物粉末とを混合分散して、非磁性混合粉末を得る工程と、
前記得られた非磁性混合粉末と、金属Ｃｏを含有する磁性金属粉末とを混合分散して加圧焼結用混合粉末を得る工程と、
前記得られた加圧焼結用混合粉末を加圧焼結する工程と、
を有し、得られる焼結体中には長径が５μｍ以上の凝集した酸化物が存在しないことを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲットの製造方法。
【請求項１２】
金属Ｃｏ、金属Ｃｒおよび金属Ｐｔを含有し残部が不可避的不純物であり、該金属Ｃｏと該金属Ｃｒとの合計に対する該金属Ｃｒの原子数比が２５ａｔ％以上である非磁性金属粉末と、該非磁性金属粉末に対する体積比が１．２以下である酸化物粉末とを混合分散して、非磁性混合粉末を得る工程と、
前記得られた非磁性混合粉末と、金属Ｃｏを含有する磁性金属粉末とを混合分散して加圧焼結用混合粉末を得る工程と、
前記得られた加圧焼結用混合粉末を加圧焼結する工程と、
を有し、得られる焼結体中には長径が５μｍ以上の凝集した酸化物が存在しないことを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲットの製造方法。
【請求項１３】
金属Ｃｏおよび金属Ｃｒを含有し残部が不可避的不純物であり、該金属Ｃｏと該金属Ｃｒとの合計に対する該金属Ｃｒの原子数比が２５ａｔ％以上であり、該金属Ｃｏと該金属Ｃｒとの合計に対する該金属Ｃｏの原子数比が７０ａｔ％以下である非磁性金属粉末と、該非磁性金属粉末に対する体積比が１．２以下である酸化物粉末とを混合分散して、非磁性混合粉末を得る工程と、
前記得られた非磁性混合粉末と、金属Ｃｏを含有する磁性金属粉末とを混合分散して加圧焼結用混合粉末を得る工程と、
前記得られた加圧焼結用混合粉末を加圧焼結する工程と、
を有することを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲットの製造方法。
【請求項１４】
金属Ｃｏ、金属Ｃｒおよび金属Ｐｔを含有し残部が不可避的不純物であり、該金属Ｃｏと該金属Ｃｒとの合計に対する該金属Ｃｒの原子数比が２５ａｔ％以上であり、該金属Ｃｏと該金属Ｃｒとの合計に対する該金属Ｃｏの原子数比が７０ａｔ％以下である非磁性金属粉末と、該非磁性金属粉末に対する体積比が１．２以下である酸化物粉末とを混合分散して、非磁性混合粉末を得る工程と、
前記得られた非磁性混合粉末と、金属Ｃｏを含有する磁性金属粉末とを混合分散して加圧焼結用混合粉末を得る工程と、
前記得られた加圧焼結用混合粉末を加圧焼結する工程と、
を有することを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲットの製造方法。
【請求項１５】
請求項１１−１４のいずれかにおいて、
前記磁性金属粉末をボールミルで混合分散する工程を有しないことを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲットの製造方法。
【請求項１６】
請求項１１−１５のいずれかにおいて、
前記非磁性金属粉末は、含有する金属Ｃｏと金属Ｃｒとの合計に対する該金属Ｃｒの原子数比が３０ａｔ％以上であることを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲットの製造方法。
【請求項１７】
請求項１１−１６のいずれかにおいて、
前記磁性金属粉末は、金属Ｃｏおよび金属Ｃｒを含有し残部が不可避的不純物であり、該金属Ｃｏと該金属Ｃｒとの合計に対する該金属Ｃｏの原子数比が８５ａｔ％以上であることを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲットの製造方法。
【請求項１８】
請求項１１−１６のいずれかにおいて、
前記磁性金属粉末は、金属Ｃｏおよび不可避的不純物からなることを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲットの製造方法。
【請求項１９】
請求項１１−１８のいずれかにおいて、
前記酸化物は、ＳｉＯ2、ＴｉＯ2、Ｔｉ2Ｏ3、Ｔａ2Ｏ5、Ｃｒ2Ｏ3、ＣｏＯ、Ｃｏ3Ｏ4、Ｂ2Ｏ3、Ｆｅ2Ｏ3、ＣｕＯ、Ｙ2Ｏ3、ＭｇＯ、Ａｌ2Ｏ3、ＺｒＯ2、Ｎｂ2Ｏ5、ＭｏＯ3、ＣｅＯ2、Ｓｍ2Ｏ3、Ｇｄ2Ｏ3、ＷＯ2、ＷＯ3、ＨｆＯ2、ＮｉＯ2のうちの少なくとも１種を含むことを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲットの製造方法。
【請求項２０】
請求項１１−１９のいずれかに記載の製造方法により得られたマグネトロンスパッタリング用ターゲット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マグネトロンスパッタリング用ターゲットおよびその製造方法に関し、特にＣｏ、Ｃｒ、酸化物を含有するマグネトロンスパッタリング用ターゲットおよびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
マグネトロンスパッタリングでは、ターゲットの裏面に磁石を配置し、ターゲットの表面側に漏れ出る漏洩磁束によりプラズマを高密度に集中させる。これにより、安定した高速スパッタリングを可能としている。
【０００３】
このため、マグネトロンスパッタリングに用いられるターゲットには、ターゲットの表面側に漏れ出る漏洩磁束の量を多くすることが求められる。
【０００４】
例えば、特許文献１には、Ｃｏを有するマグネトロンスパッタリング用ターゲットであって、Ｃｏを含む磁性相と、Ｃｏを含む非磁性相と、酸化物相と、を有し、該磁性相と該非磁性相と該酸化物相とが互いに分散しており、該磁性相はＣｏおよびＣｒを主成分として含み、該磁性相におけるＣｏの含有割合は、７６ａｔ％以上８０ａｔ％以下であることを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲットや、Ｃｏを有するマグネトロンスパッタリング用ターゲットであって、Ｃｏを含む磁性相と、Ｃｏを含む非磁性相と、を有し、該磁性相と該非磁性相とが互いに分散しており、該非磁性相はＰｔを主成分として含むＰｔ−Ｃｏ合金相であり、該Ｐｔ−Ｃｏ合金相におけるＣｏの含有割合は、０ａｔ％より大きく１３ａｔ％以下であることを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲットが記載されている。
【０００５】
また、例えば、特許文献２には、強磁性金属元素を有するマグネトロンスパッタリング用ターゲットであって、前記強磁性金属元素を含む磁性相と、前記強磁性金属元素を含み、かつ、構成元素またはその含有割合の異なる複数の非磁性相と、酸化物相とを有しており、前記磁性相と前記非磁性相とはお互いに前記酸化物相により仕切られ、前記磁性相同士はお互いに前記酸化物相により仕切られ、さらに、前記非磁性相同士はお互いに前記酸化物相により仕切られていることを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲットが記載されている。
【０００６】
これらのマグネトロンスパッタリング用ターゲットは、ターゲットに含まれる強磁性金属元素であるＣｏの含有量を減少させずに、マグネトロンスパッタリング時に、ターゲット表面からの漏洩磁束の量を増加させることができ、マグネトロンスパッタリングを良好に行うことができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特許第４４２２２０３号公報
【特許文献２】特許第４８７１４０６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
一方、スパッタリング全般に言えることであるが、スパッタリング時にはノジュールやパーティクル等の不具合の発生を極力少なくすることが求められており、この要請はマグネトロンスパッタリングを行う際でも同様である。
【０００９】
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであって、ターゲットに含まれるＣｏの含有量を減少させずに、マグネトロンスパッタリング時の漏洩磁束量を高く保った上で、さらにノジュールやパーティクル等の不具合の発生もしにくいマグネトロンスパッタリング用ターゲットおよびその製造方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明に係るマグネトロンスパッタリング用ターゲットの第１の態様は、金属Ｃｏ、金属Ｃｒ、および酸化物を含有し、残部が不可避的不純物であり、該金属Ｃｏと該金属Ｃｒとの合計に対する該金属Ｃｒの原子数比が２５ａｔ％未満であるマグネトロンスパッタリング用ターゲットであって、金属Ｃｏおよび金属Ｃｒを含有し、残部が不可避的不純物であり、該金属Ｃｏと該金属Ｃｒとの合計に対する該金属Ｃｒの原子数比が２５ａｔ％以上である非磁性金属相と、金属Ｃｏを含有する磁性金属相と、を備え、前記非磁性金属相に対する前記酸化物の体積比が１．２以下であり、前記非磁性金属相と前記酸化物とはお互いに分散し合っており、かつ、長径が５μｍ以上の凝集した酸化物が存在しないことを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲットである。
【００１１】
本発明に係るマグネトロンスパッタリング用ターゲットの第２の態様は、金属Ｃｏ、金属Ｃｒ、金属Ｐｔ、および酸化物を含有し、残部が不可避的不純物であり、該金属Ｃｏと該金属Ｃｒとの合計に対する該金属Ｃｒの原子数比が２５ａｔ％未満であるマグネトロンスパッタリング用ターゲットであって、金属Ｃｏ、金属Ｃｒ、および金属Ｐｔを含有し、残部が不可避的不純物であり、該金属Ｃｏと該金属Ｃｒとの合計に対する該金属Ｃｒの原子数比が２５ａｔ％以上である非磁性金属相と、金属Ｃｏを含有する磁性金属相と、を備え、前記非磁性金属相に対する前記酸化物の体積比が１．２以下であり、前記非磁性金属相と前記酸化物とはお互いに分散し合っており、かつ、長径が５μｍ以上の凝集した酸化物が存在しないことを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲットである。
【００１２】
本発明に係るマグネトロンスパッタリング用ターゲットの第３の態様は、金属Ｃｏ、金属Ｃｒ、および酸化物を含有し、残部が不可避的不純物であり、該金属Ｃｏと該金属Ｃｒとの合計に対する該金属Ｃｒの原子数比が２５ａｔ％未満であるマグネトロンスパッタリング用ターゲットであって、金属Ｃｏおよび金属Ｃｒを含有し、残部が不可避的不純物であり、該金属Ｃｏと該金属Ｃｒとの合計に対する該金属Ｃｒの原子数比が２５ａｔ％以上であり、かつ、該金属Ｃｏとそれ以外の金属との合計に対する該金属Ｃｏの原子数比が７０ａｔ％以下である非磁性金属相と、金属Ｃｏを含有する磁性金属相と、を備え、前記非磁性金属相に対する前記酸化物の体積比が１．２以下であり、前記非磁性金属相と前記酸化物とはお互いに分散し合っていることを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲットである。
【００１３】
本発明に係るマグネトロンスパッタリング用ターゲットの第４の態様は、金属Ｃｏ、金属Ｃｒ、金属Ｐｔ、および酸化物を含有し、残部が不可避的不純物であり、該金属Ｃｏと該金属Ｃｒとの合計に対する該金属Ｃｒの原子数比が２５ａｔ％未満であるマグネトロンスパッタリング用ターゲットであって、金属Ｃｏ、金属Ｃｒ、および金属Ｐｔを含有し、残部が不可避的不純物であり、該金属Ｃｏと該金属Ｃｒとの合計に対する該金属Ｃｒの原子数比が２５ａｔ％以上であり、かつ、該金属Ｃｏとそれ以外の金属との合計に対する該金属Ｃｏの原子数比が７０ａｔ％以下である非磁性金属相と、金属Ｃｏを含有する磁性金属相と、を備え、前記非磁性金属相に対する前記酸化物の体積比が１．２以下であり、前記非磁性金属相と前記酸化物とはお互いに分散し合っていることを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲットである。
【００１４】
ここで、「磁性金属相」とは、磁性を有している金属相（通常の磁性体と比べて磁性が十分に小さい相を除く）のことであり、「非磁性金属相」とは、磁性がゼロの相だけでなく、通常の磁性体と比べて磁性が十分に小さい金属相も含む概念である。
【００１５】
また、「前記非磁性金属相と前記酸化物とはお互いに分散し合っている」とは、非磁性金属相が分散媒、酸化物が分散質となっている状態、および酸化物が分散媒、非磁性金属相が分散質となっている状態を含み、さらに非磁性金属相と酸化物とが混ざり合っているがどちらが分散媒で、どちらが分散質とは言えない状態も含む概念である。
【００１６】
また、凝集した酸化物の「長径」とは、当該凝集した酸化物の径（当該酸化物が凝集してなる粒子状物の径）を方向を変えて全方向にわたって測定したときに最大となる径のことである。
【００１７】
前記磁性金属相のうちアスペクト比が２以上の磁性金属相の体積比は、漏洩磁束の量をより増加させる点で、前記磁性金属相全体に対して０．５以下であることが好ましい。
【００１８】
ここで、本明細書において、磁性金属相のアスペクト比とは、磁性金属相の長径（磁性金属相の径を方向を変えて全方向にわたって測定したときに最大となる径）を短径（磁性金属相の径を方向を変えて全方向にわたって測定したときに最小となる径）で除して得られる値のことである。
【００１９】
ターゲット全体としての磁性を低減させてターゲット表面からの漏洩磁束の量をより増加させることができる点で、前記非磁性金属相は、含有する金属Ｃｏと金属Ｃｒとの合計に対する該金属Ｃｒの原子数比が３０ａｔ％以上であることが好ましい。
【００２０】
また、ターゲット全体としての磁性を低減させてターゲット表面からの漏洩磁束の量をより増加させることができる点で、前記磁性金属相を、金属Ｃｏおよび金属Ｃｒを含有し、残部が不可避的不純物であるようにし、該金属Ｃｏと該金属Ｃｒとの合計に対する該金属Ｃｏの原子数比を８５ａｔ％以上であるようにすることが好ましい。
【００２１】
さらに、ターゲット全体としての磁性を低減させてターゲット表面からの漏洩磁束の量をより増加させることができる点で、前記磁性金属相にはＣｒを含有させず、前記磁性金属相を、金属Ｃｏおよび不可避的不純物からなる磁性金属相とすることがより好ましい。
【００２２】
前記酸化物は、例えば、ＳｉＯ2、ＴｉＯ2、Ｔｉ2Ｏ3、Ｔａ2Ｏ5、Ｃｒ2Ｏ3、ＣｏＯ、Ｃｏ3Ｏ4、Ｂ2Ｏ3、Ｆｅ2Ｏ3、ＣｕＯ、Ｙ2Ｏ3、ＭｇＯ、Ａｌ2Ｏ3、ＺｒＯ2、Ｎｂ2Ｏ5、ＭｏＯ3、ＣｅＯ2、Ｓｍ2Ｏ3、Ｇｄ2Ｏ3、ＷＯ2、ＷＯ3、ＨｆＯ2、ＮｉＯ2のうちの少なくとも１種を含むものとすることができる。
【００２３】
前記ターゲットは、いずれも強磁性金属元素であるＣｏを含有しているので、前記ターゲットの中には、磁気記録特性に優れた磁気記録層の形成に好適に用いることができるものがある。
【００２４】
本発明に係るマグネトロンスパッタリング用ターゲットの第１の態様は、例えば、金属Ｃｏおよび金属Ｃｒを含有し残部が不可避的不純物であり、該金属Ｃｏと該金属Ｃｒとの合計に対する該金属Ｃｒの原子数比が２５ａｔ％以上である非磁性金属粉末と、該非磁性金属粉末に対する体積比が１．２以下である酸化物粉末とを混合分散して、非磁性混合粉末を得る工程と、前記得られた非磁性混合粉末と、金属Ｃｏを含有する磁性金属粉末とを混合分散して加圧焼結用混合粉末を得る工程と、前記得られた加圧焼結用混合粉末を加圧焼結する工程と、を有し、得られる焼結体中には長径が５μｍ以上の凝集した酸化物が存在しないことを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲットの製造方法により製造することができる。
【００２５】
また、本発明に係るマグネトロンスパッタリング用ターゲットの第２の態様は、例えば、金属Ｃｏ、金属Ｃｒおよび金属Ｐｔを含有し残部が不可避的不純物であり、該金属Ｃｏと該金属Ｃｒとの合計に対する該金属Ｃｒの原子数比が２５ａｔ％以上である非磁性金属粉末と、該非磁性金属粉末に対する体積比が１．２以下である酸化物粉末とを混合分散して、非磁性混合粉末を得る工程と、前記得られた非磁性混合粉末と、金属Ｃｏを含有する磁性金属粉末とを混合分散して加圧焼結用混合粉末を得る工程と、前記得られた加圧焼結用混合粉末を加圧焼結する工程と、を有し、得られる焼結体中には長径が５μｍ以上の凝集した酸化物が存在しないことを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲットの製造方法により製造することができる。
【００２６】
また、本発明に係るマグネトロンスパッタリング用ターゲットの第３の態様は、例えば、金属Ｃｏおよび金属Ｃｒを含有し残部が不可避的不純物であり、該金属Ｃｏと該金属Ｃｒとの合計に対する該金属Ｃｒの原子数比が２５ａｔ％以上であり、該金属Ｃｏと該金属Ｃｒとの合計に対する該金属Ｃｏの原子数比が７０ａｔ％以下である非磁性金属粉末と、該非磁性金属粉末に対する体積比が１．２以下である酸化物粉末とを混合分散して、非磁性混合粉末を得る工程と、前記得られた非磁性混合粉末と、金属Ｃｏを含有する磁性金属粉末とを混合分散して加圧焼結用混合粉末を得る工程と、前記得られた加圧焼結用混合粉末を加圧焼結する工程と、を有することを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲットの製造方法により製造することができる。
【００２７】
また、本発明に係るマグネトロンスパッタリング用ターゲットの第４の態様は、例えば、金属Ｃｏ、金属Ｃｒおよび金属Ｐｔを含有し残部が不可避的不純物であり、該金属Ｃｏと該金属Ｃｒとの合計に対する該金属Ｃｒの原子数比が２５ａｔ％以上であり、該金属Ｃｏと該金属Ｃｒとの合計に対する該金属Ｃｏの原子数比が７０ａｔ％以下である非磁性金属粉末と、該非磁性金属粉末に対する体積比が１．２以下である酸化物粉末とを混合分散して、非磁性混合粉末を得る工程と、前記得られた非磁性混合粉末と、金属Ｃｏを含有する磁性金属粉末とを混合分散して加圧焼結用混合粉末を得る工程と、前記得られた加圧焼結用混合粉末を加圧焼結する工程と、を有することを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲットの製造方法により製造することができる。
【００２８】
ここで、磁性金属粉末とは、磁性を有している粉末（通常の磁性体と比べて磁性が十分に小さい粉末を除く）のことであり、非磁性金属粉末とは、磁性がゼロの粉末だけでなく、通常の磁性体と比べて磁性が十分に小さい粉末も含む概念である。
【００２９】
得られるターゲットの漏洩磁束の量をより増加させる点で、前記磁性金属粉末をボールミルで混合分散する工程は設けないことが好ましい。
【００３０】
また、製造するターゲット全体としての磁性を低減させてターゲット表面からの漏洩磁束の量をより増加させることができる点で、前記磁性金属粉末を、金属Ｃｏおよび金属Ｃｒを含有し残部が不可避的不純物であるようにし、さらに、該金属Ｃｏと該金属Ｃｒとの合計に対する該金属Ｃｒの原子数比を３０ａｔ％以上であるようにすることが好ましい。
【００３１】
また、製造するターゲット全体としての磁性を低減させてターゲット表面からの漏洩磁束の量をより増加させることができる点で、前記磁性金属粉末を、金属Ｃｏおよび金属Ｃｒを含有し残部が不可避的不純物であるようにし、さらに、該金属Ｃｏと該金属Ｃｒとの合計に対する該金属Ｃｏの原子数比を８５ａｔ％以上であるようにすることが好ましい。
【００３２】
さらにまた、製造するターゲット全体としての磁性をより低減させてターゲット表面からの漏洩磁束の量をより増加させることができる点で、前記磁性金属粉末を、金属Ｃｏおよび不可避的不純物からなるようにすることがより好ましい。
【００３３】
前記製造方法において、前記酸化物を、例えば、ＳｉＯ2、ＴｉＯ2、Ｔｉ2Ｏ3、Ｔａ2Ｏ5、Ｃｒ2Ｏ3、ＣｏＯ、Ｃｏ3Ｏ4、Ｂ2Ｏ3、Ｆｅ2Ｏ3、ＣｕＯ、Ｙ2Ｏ3、ＭｇＯ、Ａｌ2Ｏ3、ＺｒＯ2、Ｎｂ2Ｏ5、ＭｏＯ3、ＣｅＯ2、Ｓｍ2Ｏ3、Ｇｄ2Ｏ3、ＷＯ2、ＷＯ3、ＨｆＯ2、ＮｉＯ2のうちの少なくとも１種を含むものとしてもよい。
【００３４】
本発明に係るマグネトロンスパッタリング用ターゲットの第５の態様は、前記製造方法により製造されたターゲットである。
【発明の効果】
【００３５】
本発明によれば、ターゲットに含まれるＣｏの含有量を減少させずに、マグネトロンスパッタリング時の漏洩磁束量を高く保った上で、さらにノジュールやパーティクル等の不具合の発生もしにくいマグネトロンスパッタリング用ターゲットおよびその製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】Ｃｏ−Ｃｒ合金において、Ｃｏの含有割合と磁性との関係を示すグラフ図
【図２】本実施形態に係るターゲットのミクロ構造を示す一例の金属顕微鏡写真
【図３】実施例１の焼結体テストピースの厚さ方向断面の低倍率（撮影時の写真倍率１００倍、写真中の縮尺目盛りは５００μｍ）の金属顕微鏡写真
【図４】実施例１の焼結体テストピースの厚さ方向断面の高倍率（撮影時の写真倍率５００倍、写真中の縮尺目盛りは１００μｍ）の金属顕微鏡写真
【図５】実施例２の焼結体テストピースの厚さ方向断面の低倍率（撮影時の写真倍率１００倍、写真中の縮尺目盛りは５００μｍ）の金属顕微鏡写真
【図６】実施例２の焼結体テストピースの厚さ方向断面の高倍率（撮影時の写真倍率５００倍、写真中の縮尺目盛りは１００μｍ）の金属顕微鏡写真
【図７】実施例３の焼結体テストピースの厚さ方向断面の低倍率（撮影時の写真倍率１００倍、写真中の縮尺目盛りは５００μｍ）の金属顕微鏡写真
【図８】実施例３の焼結体テストピースの厚さ方向断面の高倍率（撮影時の写真倍率５００倍、写真中の縮尺目盛りは１００μｍ）の金属顕微鏡写真
【図９】実施例４の焼結体テストピースの厚さ方向断面の低倍率（撮影時の写真倍率１００倍、写真中の縮尺目盛りは５００μｍ）の金属顕微鏡写真
【図１０】実施例４の焼結体テストピースの厚さ方向断面の高倍率（撮影時の写真倍率５００倍、写真中の縮尺目盛りは１００μｍ）の金属顕微鏡写真
【図１１】実施例５の焼結体テストピースの厚さ方向断面の低倍率（撮影時の写真倍率１００倍、写真中の縮尺目盛りは５００μｍ）の金属顕微鏡写真
【図１２】実施例５の焼結体テストピースの厚さ方向断面の高倍率（撮影時の写真倍率５００倍、写真中の縮尺目盛りは１００μｍ）の金属顕微鏡写真
【図１３】実施例６の焼結体テストピースの厚さ方向断面の低倍率（撮影時の写真倍率１００倍、写真中の縮尺目盛りは５００μｍ）の金属顕微鏡写真
【図１４】実施例６の焼結体テストピースの厚さ方向断面の高倍率（撮影時の写真倍率５００倍、写真中の縮尺目盛りは１００μｍ）の金属顕微鏡写真
【図１５】比較例１の焼結体テストピースの厚さ方向断面の低倍率（撮影時の写真倍率１００倍、写真中の縮尺目盛りは５００μｍ）の金属顕微鏡写真
【図１６】比較例１の焼結体テストピースの厚さ方向断面の高倍率（撮影時の写真倍率５００倍、写真中の縮尺目盛りは１００μｍ）の金属顕微鏡写真
【図１７】比較例２の焼結体テストピース（ボールミルの累計回転回数が２，９８８，０００回である磁性混合粉末を使用）の厚さ方向断面の低倍率（撮影時の写真倍率４００倍、写真中の縮尺目盛りは１００μｍ）の金属顕微鏡写真
【図１８】比較例２の焼結体テストピース（ボールミルの累計回転回数が３，９０６，０００回である磁性混合粉末を使用）の厚さ方向断面の高倍率（撮影時の写真倍率４００倍、写真中の縮尺目盛りは１００μｍ）の金属顕微鏡写真
【発明を実施するための形態】
【００３７】
本発明に係るマグネトロンスパッタリング用ターゲットの第１の態様は、金属Ｃｏ、金属Ｃｒ、および酸化物を含有し、残部が不可避的不純物であり、該金属Ｃｏと該金属Ｃｒとの合計に対する該金属Ｃｒの原子数比が２５ａｔ％未満であるマグネトロンスパッタリング用ターゲットであって、金属Ｃｏおよび金属Ｃｒを含有し、残部が不可避的不純物であり、該金属Ｃｏと該金属Ｃｒとの合計に対する該金属Ｃｒの原子数比が２５ａｔ％以上である非磁性金属相と、金属Ｃｏを含有する磁性金属相と、を備え、前記非磁性金属相に対する前記酸化物の体積比が１．２以下であり、前記非磁性金属相と前記酸化物とはお互いに分散し合っており、かつ、長径が５μｍ以上の凝集した酸化物が存在しないことを特徴とする。
【００３８】
本発明に係るマグネトロンスパッタリング用ターゲットの第２の態様は、金属Ｃｏ、金属Ｃｒ、金属Ｐｔ、および酸化物を含有し、残部が不可避的不純物であり、該金属Ｃｏと該金属Ｃｒとの合計に対する該金属Ｃｒの原子数比が２５ａｔ％未満であるマグネトロンスパッタリング用ターゲットであって、金属Ｃｏ、金属Ｃｒ、および金属Ｐｔを含有し、残部が不可避的不純物であり、該金属Ｃｏと該金属Ｃｒとの合計に対する該金属Ｃｒの原子数比が２５ａｔ％以上である非磁性金属相と、金属Ｃｏを含有する磁性金属相と、を備え、前記非磁性金属相に対する前記酸化物の体積比が１．２以下であり、前記非磁性金属相と前記酸化物とはお互いに分散し合っており、かつ、長径が５μｍ以上の凝集した酸化物が存在しないことを特徴とする。
【００３９】
本発明に係るマグネトロンスパッタリング用ターゲットの第１および第２の態様のどちらも、ターゲット全体の組成において、金属Ｃｏと金属Ｃｒとの合計に対する金属Ｃｒの原子数比は２５ａｔ％未満である。したがって、ターゲット中の金属相が１種類であれば、当然のことながら、該金属相中においても金属Ｃｏと金属Ｃｒとの合計に対する金属Ｃｒの原子数比は２５ａｔ％未満（金属Ｃｏと金属Ｃｒとの合計に対する金属Ｃｏの原子数比は７５ａｔ％以上）となり、後述するように、ターゲット中の金属相は磁性相となってしまい、マグネトロンスパッタリング時のターゲット表面からの漏洩磁束量は少なくなってしまう。
【００４０】
そこで、本発明に係るマグネトロンスパッタリング用ターゲットの第１および第２の態様ではどちらも、金属Ｃｏと金属Ｃｒとの合計に対する該金属Ｃｒの原子数比が２５ａｔ％以上である非磁性金属相と、金属Ｃｏを含有する磁性金属相と、を備えさせており、磁性金属相に多くのＣｏを含有させることにより、他の金属相中のＣｏの含有量を減少させて、当該他の金属相中においては金属Ｃｏと金属Ｃｒとの合計に対する該金属Ｃｒの原子数比が２５ａｔ％以上となるようにして、当該他の金属相の磁性をほとんどゼロにしている（磁性がほとんどゼロになる理由は後述する。）。
【００４１】
換言すれば、本発明に係るマグネトロンスパッタリング用ターゲットの第１および第２の態様では、ターゲット全体の組成においては金属Ｃｏと金属Ｃｒとの合計に対する金属Ｃｒの原子数比が２５ａｔ％未満である一方、非磁性金属相の組成においては、金属Ｃｏと金属Ｃｒとの合計に対する金属Ｃｒの原子数比が２５ａｔ％以上となっている。これにより、非磁性金属相の磁性はほとんどゼロとなり、ターゲット全体における金属Ｃｏの含有量を一定に保ったままターゲット全体としての磁性を弱めることができる。
【００４２】
これにより、本発明に係るマグネトロンスパッタリング用ターゲットの第１および第２の態様のどちらにおいても、マグネトロンスパッタリング時のターゲット表面からの漏洩磁束量が多くなり、マグネトロンスパッタリングを良好に行うことができる。
【００４３】
また、本発明に係るマグネトロンスパッタリング用ターゲットの第１および第２の態様のどちらにおいても、非磁性金属相に対する酸化物の体積比を１．２以下にしている。このため、ターゲット製造用の混合粉末を構成する非磁性金属粉末と酸化物粉末において非磁性金属粉末に対する酸化物粉末の量が体積比で１．２以下に抑えられており、ターゲット製造用の混合粉末作製時に非磁性金属粉末と酸化物粉末とが良好に混合されやすくなる（これに対し、非磁性金属粉末に対する酸化物粉末の量が多すぎると、非磁性金属粉末と酸化物粉末との混合が不十分になりやすい。）。その結果、本発明に係るマグネトロンスパッタリング用ターゲットの第１および第２の態様のどちらにおいても、前記非磁性金属相と前記酸化物とをお互いに分散し合うようにすることができる。また、非磁性金属相と酸化物とは互いに緻密に分散した組織となりやすくなる。
【００４４】
しかしながら、［実施例］の欄で後述する比較例２では、ターゲット製造用の混合粉末を構成する非磁性金属粉末と酸化物粉末において非磁性金属粉末に対する酸化物粉末の量が体積比で１．２以下であったが、得られたターゲット中には長径が５μｍ以上の凝集した酸化物が存在していた。したがって、ターゲット製造用の混合粉末を構成する非磁性金属粉末と酸化物粉末において非磁性金属粉末に対する酸化物粉末の量が体積比で１．２以下であっても、ターゲット製造用の混合粉末を構成する金属粉末の組成によっては、酸化物との混合が良好に行われず、得られるターゲット中に長径が５μｍ以上の凝集した酸化物が存在してしまうこともあると考えられるので、本発明に係るマグネトロンスパッタリング用ターゲットの第１および第２の態様においては、長径が５μｍ以上の凝集した酸化物が存在しないという構成要件も加え、長径が５μｍ以上の凝集した酸化物が存在するターゲットを、本発明に係るマグネトロンスパッタリング用ターゲットの第１および第２の態様から除外している。
【００４５】
次に、本発明に係るマグネトロンスパッタリング用ターゲットの第１および第２の態様の非磁性金属相において、金属Ｃｏと金属Ｃｒの合計に対する金属Ｃｒの原子数比を２５ａｔ％以上としている理由について説明する。
【００４６】
下記の表１は、Ｃｏ−Ｃｒ合金において、Ｃｏの含有割合を振って測定した磁性の評価尺度の引張応力（後述するように引張応力の値が大きいほど磁性が強くなる）についての実験結果であり、図１は、下記の表１をグラフにしたもので、Ｃｏ−Ｃｒ合金において、Ｃｏの含有割合と磁性との関係を示すグラフ図であり、横軸がＣｏの含有割合、縦軸が磁性の評価尺度の引張応力である。
【００４７】
【表１】
2014074219.tif 000003
【００４８】
表１、図１に示すように、Ｃｏ−Ｃｒ合金において、Ｃｒの含有割合が２５ａｔ％以上（Ｃｏの含有割合が７５ａｔ％以下）では、Ｃｏ−Ｃｒ合金の磁性はほとんどゼロとなる。そこで、本発明に係るマグネトロンスパッタリング用ターゲットの第１および第２の態様の非磁性金属相において、金属Ｃｏと金属Ｃｒの合計に対する金属Ｃｒの原子数比を２５ａｔ％以上にして非磁性金属相の磁性をほとんどゼロにしている。
【００４９】
また、表１、図１に示すように、Ｃｒの含有割合が２５ａｔ％を下回ると（Ｃｏの含有割合が７５ａｔ％を上回ると）、磁性は急激に大きくなり始め、Ｃｒの含有割合が１７ａｔ％以下（Ｃｏの含有割合が８３ａｔ％以上）になると、それ以上Ｃｒの含有割合を減らしても（Ｃｏの含有割合を増加させても）磁性の増加は穏やかになりほぼ一定値となる。したがって、ＣｏおよびＣｒを含む磁性金属相においては、Ｃｏの含有割合を８３ａｔ％より増やしても、Ｃｏの含有割合が８３ａｔ％以上のときと比べて磁性はほとんど大きくならない。
【００５０】
そのため、ＣｏおよびＣｒを含む磁性金属相においては、ＣｏとＣｒの合計に対するＣｏの含有割合を大きくすることが好ましい。ＣｏおよびＣｒを含む磁性金属相中のＣｏの含有割合が大きいほど、他の金属相中のＣｏの含有割合を低減させて当該他の金属相を非磁性にすることができ、ターゲット全体におけるＣｏ量を一定に保ちつつ（ターゲットに含まれる各構成元素の含有割合を変えずに）、磁性金属相の体積分率を小さく、非磁性金属相の体積分率を大きくすることができ、ターゲット全体の磁性を小さくすることができる。
【００５１】
具体的にはＣｏおよびＣｒを含む磁性金属相において、ＣｏとＣｒの合計に対するＣｏの含有割合を８５ａｔ％以上とすることが好ましい。磁性金属相においてＣｏとＣｒの合計に対するＣｏの含有割合を８５ａｔ％以上とする場合、磁性金属相におけるＣｏの含有割合が大きいほど（Ｃｏの含有割合を１００ａｔ％に近づけるほど）、ターゲット全体におけるＣｏ量を一定に保ちつつ（ターゲットに含まれる各構成元素の含有割合を変えずに）、他の金属相中のＣｏの含有割合を低減させて当該他の金属相を非磁性にすることができる。このため、磁性金属相におけるＣｏの含有割合を１００ａｔ％に近づけるほど、ＣｏおよびＣｒを含む磁性金属相の体積分率をより小さく、非磁性金属相の体積分率をより大きくすることができ、ターゲット全体の磁性をより小さくすることができる。
【００５２】
以上説明したように、本発明では、ターゲット全体におけるＣｏ量を一定に保ちつつ（ターゲットに含まれる各構成元素の含有割合を変えずに）、磁性金属相の体積分率を小さく、非磁性金属相の体積分率を大きくすることができ、ターゲット全体の磁性を小さくすることができるので、ターゲット全体における金属Ｃｏの含有量が多い（金属Ｃｒの含有量が少ない）ターゲット（例えば、金属Ｃｏと該金属Ｃｒとの合計に対する該金属Ｃｒの原子数比が２０ａｔ％未満であるマグネトロンスパッタリング用ターゲット）に対して本発明を用いると特に効果が大きくなる。
【００５３】
また、表１、図１からわかるように、金属Ｃｏと金属Ｃｒの合計に対する金属Ｃｒの原子数比を３０ａｔ％以上にすることにより非磁性金属相の磁性をほぼ完全にゼロにすることができるので、本発明に係るマグネトロンスパッタリング用ターゲットの第１および第２の態様の非磁性金属相において、金属Ｃｏと金属Ｃｒの合計に対する金属Ｃｒの原子数比を３０ａｔ％以上にすることがより好ましい。
【００５４】
なお、表１、図１のデータは、具体的には次のようにして測定した。まず、ＣｏとＣｒを体積が１ｃｍ3になるように配材してアーク溶解し、底面積が０．７８５ｃｍ2である円盤状のサンプルを組成比を変えて作製した。そして、この円盤状のサンプルの底面を、残留磁束密度が５００ガウスの磁石（材質フェライト）に付着させた後、底面と垂直な方向に引っ張り、磁石から離れたときの力を測定した。この力を底面積０．７８５ｃｍ2で除して求めた引張応力はサンプルの磁性と正の相関があるので、これを磁性の評価尺度とし、表１の数値、図１の縦軸とした。
【００５５】
次に、本発明に係るマグネトロンスパッタリング用ターゲットの第３および第４の態様について説明する。
【００５６】
本発明に係るマグネトロンスパッタリング用ターゲットの第３の態様は、金属Ｃｏ、金属Ｃｒ、および酸化物を含有し、残部が不可避的不純物であり、該金属Ｃｏと該金属Ｃｒとの合計に対する該金属Ｃｒの原子数比が２５ａｔ％未満であるマグネトロンスパッタリング用ターゲットであって、金属Ｃｏおよび金属Ｃｒを含有し、残部が不可避的不純物であり、該金属Ｃｏと該金属Ｃｒとの合計に対する該金属Ｃｒの原子数比が２５ａｔ％以上であり、かつ、該金属Ｃｏとそれ以外の金属との合計に対する該金属Ｃｏの原子数比が７０ａｔ％以下である非磁性金属相と、金属Ｃｏを含有する磁性金属相と、を備え、前記非磁性金属相に対する前記酸化物の体積比が１．２以下であり、前記非磁性金属相と前記酸化物とはお互いに分散し合っていることを特徴とする。
【００５７】
本発明に係るマグネトロンスパッタリング用ターゲットの第４の態様は、金属Ｃｏ、金属Ｃｒ、金属Ｐｔ、および酸化物を含有し、残部が不可避的不純物であり、該金属Ｃｏと該金属Ｃｒとの合計に対する該金属Ｃｒの原子数比が２５ａｔ％未満であるマグネトロンスパッタリング用ターゲットであって、金属Ｃｏ、金属Ｃｒ、および金属Ｐｔを含有し、残部が不可避的不純物であり、該金属Ｃｏと該金属Ｃｒとの合計に対する該金属Ｃｒの原子数比が２５ａｔ％以上であり、かつ、該金属Ｃｏとそれ以外の金属との合計に対する該金属Ｃｏの原子数比が７０ａｔ％以下である非磁性金属相と、金属Ｃｏを含有する磁性金属相と、を備え、前記非磁性金属相に対する前記酸化物の体積比が１．２以下であり、前記非磁性金属相と前記酸化物とはお互いに分散し合っていることを特徴とする。
【００５８】
本発明に係るマグネトロンスパッタリング用ターゲットの第３および第４の態様の非磁性金属相において、金属Ｃｏと金属Ｃｒとの合計に対する金属Ｃｒの原子数比が２５ａｔ％以上である点は第１および第２の態様と同様であるが、第３および第４の態様の非磁性金属相においては金属Ｃｏとそれ以外の金属との合計に対する該金属Ｃｏの原子数比が７０ａｔ％以下であるという構成要件も備えている。後述する［実施例］で実証しているように、ターゲット製造用の混合粉末を構成する非磁性金属粉末において金属Ｃｏとそれ以外の金属との合計に対する該金属Ｃｏの原子数比を７０ａｔ％以下にすると、酸化物粉末と良好に混合されやすくなり、得られるターゲット中において凝集した酸化物はほとんどなくなる。
【００５９】
ただし、得られるターゲット中において凝集した酸化物が存在する可能性をさらに小さくするとともに、凝集した酸化物が存在したとしてもその数と大きさをさらに小さくする点で、ターゲット製造用の混合粉末を構成する非磁性金属粉末において金属Ｃｏとそれ以外の金属との合計に対する該金属Ｃｏの原子数比を５０ａｔ％以下にすることがより好ましい。
【００６０】
また、本発明に係るマグネトロンスパッタリング用ターゲットの第３および第４の態様においては、さらに、第１および第２の態様と同様に、非磁性金属相に対する酸化物の体積比を１．２以下にするという構成要件も有している。このため、ターゲット製造用の混合粉末を構成する非磁性金属粉末と酸化物粉末において非磁性金属粉末に対する酸化物粉末の量が体積比で１．２以下に抑えられており、ターゲット製造用の混合粉末作製時に非磁性金属粉末と酸化物粉末とが良好に混合されやすくなる（非磁性金属粉末に対する酸化物粉末の量が多すぎると非磁性金属粉末と酸化物粉末との混合が不十分になりやすい。）。
【００６１】
以上のことから、本発明に係るマグネトロンスパッタリング用ターゲットの第３および第４の態様のどちらにおいても、非磁性金属相と酸化物とをお互いに分散し合うようにすることができ、また、非磁性金属相と酸化物とは互いに緻密に分散した組織となりやすくなる。つまり、ターゲット中の酸化物の凝集をほとんどなくすことができる。
【００６２】
次に、以下では、磁気記録層の作製に好適に用いることができるＣｏ−Ｃｒ−Ｐｔ−ＳｉＯ2−Ｃｒ2Ｏ3ターゲットを本発明の実施形態の一例として取り上げ、具体的に説明する。なお、本実施形態のターゲットの非磁性金属相にはＰｔが含まれているが、非磁性金属相にＰｔが含まれることは必須ではなく、Ｐｔは非磁性金属相に含まれていなくてもよい。
【００６３】
また、本実施形態に係るマグネトロンスパッタリング用ターゲット１０（以下、ターゲット１０と記すことがある。）の構成成分をＣｏ−Ｃｒ−Ｐｔ−ＳｉＯ2−Ｃｒ2Ｏ3としたが、磁気記録層を形成する支障とならなければさらに他の金属（例えば、Ｃｒ、Ｐｔ、Ａｕ、Ａｇ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｐｄ、Ｉｒ、Ｗ、Ｔａ、Ｃｕ、Ｂ、Ｍｏ等）を含んでいてもよい。
【００６４】
図２は、本発明の実施形態に係るマグネトロンスパッタリング用ターゲットの一例についての断面の金属顕微鏡写真である。図２は実施例１で作製した焼結体断面の金属顕微鏡写真であるが、ここでは本実施形態に係るターゲット１０の組織の説明のために便宜的に取り上げただけであり、本実施形態のターゲットが実施例１に限定されるわけではなく、また、ここで説明する組成が、符号で指し示す相の実施例１における実際の組成と一致していない場合もある。
【００６５】
１．ターゲットの構成成分
本実施形態に係るターゲットの構成成分は、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ−ＳｉＯ2−Ｃｒ2Ｏ3である。Ｃｏ、Ｃｒ、Ｐｔは、スパッタリングによって形成される磁気記録層のグラニュラ構造において、磁性粒子（微小な磁石）の構成成分となる。酸化物（ＳｉＯ2、Ｃｒ2Ｏ3）は、グラニュラ構造において、磁性粒子（微小な磁石）を仕切る非磁性マトリックスとなる。
【００６６】
ターゲット全体に対する金属（Ｃｏ、Ｃｒ、Ｐｔ）の含有割合および酸化物（ＳｉＯ2、Ｃｒ2Ｏ3）の含有割合は、目的とする磁気記録層の成分組成によって決まり、ターゲット全体に対する金属（Ｃｏ、Ｃｒ、Ｐｔ）の含有割合は例えば８８〜９４ｍｏｌ％であり、ターゲット全体に対する酸化物（ＳｉＯ2、ＴｉＯ2、Ｃｒ2Ｏ3）の含有割合は例えば６〜１２ｍｏｌ％である。
【００６７】
Ｃｏは強磁性金属元素であり、磁気記録層のグラニュラ構造の磁性粒子（微小な磁石）の形成において中心的な役割を果たす。ターゲット中のＣｏの含有割合は金属（Ｃｏ、Ｃｒ、Ｐｔ）全体に対して例えば６０〜８０ａｔ％である。
【００６８】
本実施形態に係るマグネトロンスパッタリング用ターゲットは、強磁性金属元素であるＣｏを有するので、磁気記録媒体の作製に用いることができるだけでなく、保磁力の大きい記録層（磁性層）を形成しやすいという特徴も有し、ハードディスクの作製に好適なターゲットとなりやすい。
【００６９】
Ｃｒは、所定の組成範囲でＣｏと合金化することによりＣｏの磁気モーメントを低下させる機能を有し、磁性粒子の磁性の強さを調整する役割を有する。ターゲット中のＣｒの含有割合は金属（Ｃｏ、Ｃｒ、Ｐｔ）全体に対して例えば４ａｔ％以上２５ａｔ％未満である。
【００７０】
Ｐｔは、所定の組成範囲でＣｏと合金化することによりＣｏの磁気モーメントを増加させる機能を有し、磁性粒子の磁性の強さを調整する役割を有する。ターゲット中のＰｔの含有割合は金属（Ｃｏ、Ｃｒ、Ｐｔ）全体に対して例えば１〜２２ａｔ％である。
【００７１】
なお、本実施形態では酸化物としてＳｉＯ2、Ｃｒ2Ｏ3を用いたが、用いる酸化物はＳｉＯ2、Ｃｒ2Ｏ3に限定されず、例えば、ＳｉＯ2、ＴｉＯ2、Ｔｉ2Ｏ3、Ｔａ2Ｏ5、Ｃｒ2Ｏ3、ＣｏＯ、Ｃｏ3Ｏ4、Ｂ2Ｏ3、Ｆｅ2Ｏ3、ＣｕＯ、Ｙ2Ｏ3、ＭｇＯ、Ａｌ2Ｏ3、ＺｒＯ2、Ｎｂ2Ｏ5、ＭｏＯ3、ＣｅＯ2、Ｓｍ2Ｏ3、Ｇｄ2Ｏ3、ＷＯ2、ＷＯ3、ＨｆＯ2、ＮｉＯ2のうちの少なくとも１種を含む酸化物を用いることもできる。
【００７２】
２．ターゲットのミクロ構造
図１（実施例１のターゲットの厚さ方向断面の金属顕微鏡写真）を例にとって示すように、本実施形態に係るターゲット１０のミクロ構造は、金属Ｃｏを含有する磁性金属相１２と、マトリックス相１４（非磁性金属相（金属Ｃｏと金属Ｃｒとの合計に対する金属Ｃｒの原子数比が２５ａｔ％以上）と酸化物とが微細に分散し合った相）とがお互いに分散した構造である。なお、本実施形態では、金属Ｃｏを含有する磁性金属相１２をＣｏの含有割合が１００ａｔ％のＣｏ単体相としてもよく、金属Ｃｏを含有する磁性金属相１２には、Ｃｏの含有割合が１００ａｔ％のＣｏ単体相も含まれるものとする。
【００７３】
図２において、磁性金属相１２は大きな略円形の白色の相であり、マトリックス相１４は灰色の相である。
【００７４】
ここで、ターゲット１０全体の組成においては金属Ｃｏと金属Ｃｒの合計に対する金属Ｃｒの原子数比が２５ａｔ％未満であり、かつ、マトリックス相１４中の非磁性金属相の組成においては、金属Ｃｏと金属Ｃｒの合計に対する金属Ｃｒの原子数比が２５ａｔ％以上であるようにするためには、金属Ｃｏの含有割合がターゲット１０全体の組成における金属Ｃｏの含有割合よりも一定以上大きい磁性金属相１２を設ければよい。つまり、磁性金属相１２に金属Ｃｏを多く含有させることによりマトリックス相１４中の非磁性金属相における金属Ｃｏの含有割合を小さくする（金属Ｃｏと金属Ｃｒの合計に対する金属Ｃｒの原子数比が２５ａｔ％以上であるようにする）という考え方を採用すればよい。この考え方を採用することにより、ターゲット１０全体における金属Ｃｏの含有量を一定に保ったまま、マトリックス相１４中の非磁性金属相の磁性をほとんどゼロにすることができ、ターゲット１０全体における磁性を小さくしてターゲット１０表面からの漏洩磁束量を大きくすることができる。
【００７５】
なお、ターゲット１０全体の組成を一定に保ったまま、ターゲット１０全体に対する非磁性金属相の体積分率を大きくすると、磁性金属相１２の体積分率が小さくなり、磁性金属相１２中のＣｏの含有割合が大きくなるが、前述したように、Ｃｏ−Ｃｒ合金ではＣｏの含有割合が例えば８５ａｔ％以上となるとその磁性はＣｏ単体の磁性と同程度となり、それ以上Ｃｏの含有割合が増えても磁性は同程度を保つ。したがって、磁性金属相１２のＣｏの含有割合が一定の値以上となると、磁性金属相１２のＣｏの含有割合がそれ以上大きくなっても、磁性金属相１２の磁性は大きくは上昇しないと考えられる。このため、磁性金属相１２のＣｏの含有割合が大きくなっても、ターゲット１０全体に対する非磁性金属相の体積分率を大きくして、ターゲット１０全体に対する磁性金属相１２の体積分率を小さくすることにより、ターゲット１０全体としての磁性を弱めることができる。
【００７６】
また、本実施形態に係るマグネトロンスパッタリング用ターゲット１０においては、マトリックス相１４中の非磁性金属相に対するマトリックス相１４中の酸化物の体積比が１．２以下であり、マトリックス相１４中の非磁性金属相に対するマトリックス相１４中の酸化物の体積比は一定以下になっている。このため、本発明に係るマグネトロンスパッタリング用ターゲット１０のマトリックス相１４においては、酸化物と非磁性金属相とを緻密に分散させることができ、ターゲット１０中に長径が５μｍ以上の凝集した酸化物が存在しないようにすることができ、本実施形態に係るマグネトロンスパッタリング用ターゲット１０を用いてのスパッタリングの際、ノジュールやパーティクル等の不具合は発生しにくくなる。マトリックス相１４中の非磁性金属相に対するマトリックス相１４中の酸化物の体積比が１．２を上回ると、ターゲットを作製するための焼結用混合粉末中の酸化物粉末の量が金属粉末の量に対して多くなりすぎ、酸化物粉末と金属粉末とを十分に混合させることが困難になるおそれ（即ち、得られるターゲットにおいて酸化物と非磁性金属相とを緻密に分散させることが困難になるおそれ）があり、得られるターゲットにおいて酸化物の大きな凝集等の不具合が発生するおそれがある。
【００７７】
さらに、本実施形態に係るマグネトロンスパッタリング用ターゲット１０においては、金属Ｃｏとそれ以外の金属との合計（マトリックス相１４中の金属全体）に対する該金属Ｃｏの原子数比は７０ａｔ％以下である。後述する［実施例］で実証しているように、ターゲット製造用の混合粉末を構成する非磁性金属粉末において金属Ｃｏとそれ以外の金属との合計に対する該金属Ｃｏの原子数比を７０ａｔ％以下にすると、該非磁性金属粉末と酸化物粉末とが良好に混合されやすくなり、得られるターゲット中の酸化物の凝集はほとんどなくなる。この理由は現時点では明確ではないが、実施例１−６で実証しているように、ターゲット製造用の混合粉末を構成する非磁性金属粉末において金属Ｃｏとそれ以外の金属との合計に対する該金属Ｃｏの原子数比を７０ａｔ％以下にすると、該非磁性金属粉末と酸化物粉末とが良好に混合されやすくなり、得られるターゲット中の酸化物の凝集はほとんどなくなる。
【００７８】
ただし、該非磁性金属粉末と酸化物粉末とがより良好に混合されやすくするために、ターゲット製造用の混合粉末を構成する非磁性金属粉末において金属Ｃｏとそれ以外の金属との合計に対する該金属Ｃｏの原子数比を５０ａｔ％以下にすることがより好ましい。
【００７９】
なお、Ｃｏを含む磁性金属相１２が細長くなる（磁性金属相１２のアスペクト比が大きくなる）と、理由は現段階では明確ではないが、ターゲット１０の平均漏洩磁束率が低下する傾向があるので、ターゲット１０の平均漏洩磁束率をより大きくする点で、アスペクト比が２以上の磁性金属相１２の磁性金属相１２全体に対する体積比を０．５以下にすることが好ましい。
【００８０】
３．ターゲットの製造方法
本実施形態に係るターゲット１０は、例えば、以下のようにして製造することができる。ここでは、磁性金属相１２がＣｏ単体相である場合についての製造方法について説明する。
【００８１】
（１）非磁性金属粉末の作製
所定の組成（金属Ｃｏと金属Ｃｒとの合計に対する該金属Ｃｒの原子数比が２５ａｔ％以上）となるようにＣｏ、Ｃｒを秤量するとともに、添加する所定量のＰｔも秤量して合金溶湯を作製する。そして、ガスアトマイズを行い、所定の組成（金属Ｃｏと金属Ｃｒとの合計に対する該金属Ｃｒの原子数比が２５ａｔ％以上）のＣｏ−Ｃｒ−Ｐｔ合金アトマイズ非磁性粉末を作製する。作製したＣｏ−Ｃｒ−Ｐｔ合金アトマイズ非磁性粉末は分級して、粒径が所定の粒径以下（例えば１０６μｍ以下）となるようにする。
【００８２】
なお、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ合金アトマイズ非磁性粉末の磁性をほぼ完全にゼロにする点で、含有する金属Ｃｏと該金属Ｃｒとの合計に対する該金属Ｃｒの原子数比を３０ａｔ％以上にすることがより好ましい。
【００８３】
（２）非磁性混合粉末の作製
作製した分級後のＣｏ−Ｃｒ−Ｐｔ合金アトマイズ非磁性粉末と酸化物粉末（ＳｉＯ2粉末、Ｃｒ2Ｏ3粉末）とを、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ合金アトマイズ非磁性金属粉末に対する酸化物粉末（ＳｉＯ2粉末、Ｃｒ2Ｏ3粉末）の体積比が１．２以下となるように秤量して混合分散し、非磁性混合粉末を作製する。酸化物粉末（ＳｉＯ2粉末、Ｃｒ2Ｏ3粉末）は、微細な１次粒子が凝集して２次粒子を形成しているが、混合分散は、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ合金アトマイズ非磁性粉末と酸化物粉末（ＳｉＯ2粉末、Ｃｒ2Ｏ3粉末）とが十分に細かく分散し合うまで行う（例えば、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ合金アトマイズ非磁性粉末と酸化物粉末とのボールミルによる累計回転回数が２００万回以上になるまで混合分散を行う）。
【００８４】
Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ合金アトマイズ非磁性金属粉末に対する酸化物粉末（ＳｉＯ2粉末、Ｃｒ2Ｏ3粉末）の体積比を１．２以下に制限することにより、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ合金アトマイズ非磁性金属粉末と酸化物粉末（ＳｉＯ2粉末、Ｃｒ2Ｏ3粉末）とが良好に混ざりやすくなる。
【００８５】
（３）加圧焼結用混合粉末の作製
（２）で作製した非磁性混合粉末と、Ｃｏ単体粉末とを概ね均一になるまで混合分散して、加圧焼結用混合粉末を作製する。なお、この工程での混合分散は、Ｃｏ単体粉末の粒子径が小さくならない程度に止める。Ｃｏ単体粉末の粒子径が小さくなる程度まで混合分散を行うと、理由は現段階では明確ではないが、得られるターゲットの漏洩磁束量が小さくなることがあるからである。
【００８６】
したがって、Ｃｏ単体粉末（磁性金属粉末）をボールミルで酸化物粉末と混合分散する工程は設けない方が好ましい。
【００８７】
（４）成形
（３）で作製した加圧焼結用混合粉末を、例えば真空ホットプレス法により加圧焼結して成形し、ターゲットを作製する。
【００８８】
（５）製造方法の特徴
本実施形態に係る製造方法の特徴は、（１）で作製した非磁性金属粉末と酸化物粉末とを、（２）で記載したように、非磁性金属粉末に対する酸化物粉末の体積比が１．２以下となるように秤量し、十分に細かく分散し合うまで混合分散を行って、非磁性混合粉末を得ていることである。非磁性金属粉末に対する酸化物粉末の体積比が１．２以下となるように秤量して混合分散を行っているので、非磁性金属粉末と酸化物粉末とが良好に混ざり合った非磁性混合粉末が得られる。
【００８９】
非磁性金属粉末と酸化物粉末とが良好に混ざり合った非磁性混合粉末を用いて加圧焼結を行ってターゲットを作製するので、（２）で作製した非磁性混合粉末とＣｏ単体粉末とを混合分散して加圧焼結用混合粉末を作製する際の混合の程度を、Ｃｏ単体粉末の粒子径が小さくならない程度に止めても、得られるターゲット中のマトリックス相１４においては非磁性金属相と酸化物とが微細に分散し合った組織となる。そのため、本実施形態に係るマグネトロンスパッタリング用ターゲット１０においては、非磁性金属相と酸化物とが微細に分散し合ってなるマトリックス相１４中に、磁性金属相１２が分散した構造となり、ターゲット中には酸化物の凝集は発生しにくい。
【００９０】
このため、本製造方法により得られたターゲットを用いてのスパッタリング時に、ノジュールやパーティクルの発生等の不具合は発生しにくい。
【実施例】
【００９１】
（実施例１）
実施例１として作製したターゲット全体の組成は、９０（７１Ｃｏ−１０Ｃｒ−１４Ｐｔ−５Ｒｕ）−７ＳｉＯ2−３Ｃｒ2Ｏ3であり、以下のようにしてターゲットの作製を行うとともに評価を行った。
【００９２】
合金組成がＣｏ：４４．５８６ａｔ％、Ｃｒ：１９．１０８ａｔ％、Ｐｔ：２６．７５２ａｔ％、Ｒｕ：９．５５４ａｔ％となるように各金属を秤量し、１７００℃まで加熱して合金溶湯とし、ガスアトマイズを行って４４．５８６Ｃｏ−１９．１０８Ｃｒ−２６．７５２Ｐｔ−９．５５４Ｒｕ合金粉末（非磁性金属粉末）を作製した。この４４．５８６Ｃｏ−１９．１０８Ｃｒ−２６．７５２Ｐｔ−９．５５４Ｒｕ合金粉末（非磁性金属粉末）に含有される金属Ｃｏと金属Ｃｒの合計に対する金属Ｃｒの原子数比は３０ａｔ％である。
【００９３】
また、Ｃｏ単体を１７００℃まで加熱してＣｏ単体の溶湯とし、ガスアトマイズを行ってＣｏ粉末（磁性金属粉末）を作製した。
【００９４】
作製した２種類のアトマイズ金属粉末（４４．５８６Ｃｏ−１９．１０８Ｃｒ−２６．７５２Ｐｔ−９．５５４Ｒｕ合金粉末、Ｃｏ粉末）をそれぞれ１５０メッシュのふるいで分級して、粒径が１０６μｍ以下の２種類のアトマイズ金属粉末（４４．５８６Ｃｏ−１９．１０８Ｃｒ−２６．７５２Ｐｔ−９．５５４Ｒｕ合金粉末、Ｃｏ粉末）を得た。
【００９５】
Ｃｏ粉末については、さらに３２５メッシュのふるいで分級して、粒径が４５〜１０６μｍのアトマイズ金属粉末とした。
【００９６】
分級後の４４．５８６Ｃｏ−１９．１０８Ｃｒ−２６．７５２Ｐｔ−９．５５４Ｒｕ合金粉末６３０．３６ｇに、ＳｉＯ2粉末５７.４０ｇ、Ｃｒ2Ｏ3粉末６２．２４ｇを添加してボールミルで混合分散を行い、非磁性混合粉末を得た。ボールミルの累計回転回数は２,９８８,０００回であった。
【００９７】
次に、得られた非磁性混合粉末６５０．６４ｇと、分級後の金属Ｃｏ粉末（磁性金属粉末）２９９．３６ｇとを、ターブラーシェイカーで６７ｒｐｍ、３０ｍｉｎの条件で混合して、加圧焼結用混合粉末を得た。
【００９８】
得られた加圧焼結用混合粉末全体に対する４４．５８６Ｃｏ−１９．１０８Ｃｒ−２６．７５２Ｐｔ−９．５５４Ｒｕ合金粉末（非磁性金属粉末）の体積比は３８．７ｖｏｌ％であり、酸化物粉末（ＳｉＯ2粉末とＣｒ2Ｏ3粉末の合計）の体積比は３０．４ｖｏｌ％であり、金属Ｃｏ粉末（磁性金属粉末）の体積比は３０．９ｖｏｌ％である。したがって、４４．５８６Ｃｏ−１９．１０８Ｃｒ−２６．７５２Ｐｔ−９．５５４Ｒｕ合金粉末（非磁性金属粉末）に対する酸化物粉末（ＳｉＯ2粉末とＣｒ2Ｏ3粉末の合計）の体積比は０．７８６と小さい。このため、４４．５８６Ｃｏ−１９．１０８Ｃｒ−２６．７５２Ｐｔ−９．５５４Ｒｕ合金粉末（非磁性金属粉末）と酸化物粉末との混合は良好に行われやすいと考えられる。
【００９９】
得られた加圧焼結用混合粉末３０ｇを、焼結温度：１１９０℃、圧力：３１ＭＰａ、時間：３０ｍｉｎ、雰囲気：５×１０-2Ｐａ以下の条件でホットプレスを行い、焼結体テストピース（φ３０ｍｍ）を作製した。作製した焼結体テストピースの相対密度は９６．８０１％であった。なお、計算密度は８．７４ｇ／ｃｍ3である。
【０１００】
図３および図４は、得られた焼結体テストピースの厚さ方向断面の金属顕微鏡写真であり、図３は撮影時の倍率が１００倍の写真（写真中の縮尺目盛りは５００μｍ）で、図４は撮影時の倍率が５００倍の写真（写真中の縮尺目盛りは１００μｍ）である。
【０１０１】
図３および図４において、灰色の相は４４．５８６Ｃｏ−１９．１０８Ｃｒ−２６．７５２Ｐｔ−９．５５４Ｒｕ合金相（非磁性金属相）と酸化物（ＳｉＯ2、Ｃｒ2Ｏ3）とが細かく分散し合った非磁性相であり、この非磁性相中に分散している略円形の白色の相はＣｏ相（磁性金属相）である。４４．５８６Ｃｏ−１９．１０８Ｃｒ−２６．７５２Ｐｔ−９．５５４Ｒｕ合金粉末は酸化物粉末とボールミルで累計回転回数２,９８８,０００回まで混合を行っているので、４４．５８６Ｃｏ−１９．１０８Ｃｒ−２６．７５２Ｐｔ−９．５５４Ｒｕ合金相と酸化物相とは細かく分散し合って、図３および図４の金属顕微鏡写真では灰色の単一の相のように観察されるものと考えられる。一方、Ｃｏ粉末はボールミルによる混合がなされていないので略球状の形状を保っていると考えられる。
【０１０２】
また、仮に焼結体テストピース中に凝集した酸化物が存在していたとすると、黒色の相として観察されるが、図３、図４には黒色の相は観察されていない。したがって、本実施例１で得られた焼結体テストピース中には長径が５μｍ以上の凝集した酸化物は存在していないと考えられる。
【０１０３】
次に、作製した加圧焼結用混合粉末を用いて、焼結温度：１１９０℃、圧力：３１ＭＰａ、時間：６０ｍｉｎ、雰囲気：５×１０-2Ｐａ以下の条件でホットプレスを行い、φ１５２．４ｍｍ×厚さ５．０ｍｍのターゲットを１つ作製した。作製したターゲットの相対密度は９８．４３０％であった。
【０１０４】
作製したターゲットについて、ＡＳＴＭ  Ｆ２０８６−０１に基づき、漏洩磁束についての評価を行った。磁束を発生させるための磁石には馬蹄形磁石（材質：アルニコ）を用いた。この磁石を漏洩磁束の測定装置に取り付けるとともに、ホールプローブにガウスメータを接続した。ホールプローブは、前記馬蹄形磁石の磁極間の中心の真上に位置するように配置した。
【０１０５】
まず、測定装置のテーブルにターゲットを置かずに、テーブルの表面における水平方向の磁束密度を測定し、ＡＳＴＭで定義されるＳｏｕｒｃｅ  Ｆｉｅｌｄを測定したところ８９１（Ｇ）であった。
【０１０６】
次に、ホールプローブの先端を、ターゲットの漏洩磁束測定時の位置（テーブル表面からターゲットの厚さ＋２ｍｍの高さ位置）に上昇させ、テーブル面にターゲットを置かない状態で、テーブル面に水平な方向の漏洩磁束密度を測定し、ＡＳＴＭで定義されるＲｅｆｅｒｅｎｃｅ  ｆｉｅｌｄを測定したところ６１４（Ｇ）であった。
【０１０７】
次に、ターゲット表面の中心と、ターゲット表面のホールプローブ直下の点の間の距離が４３．７ｍｍになるようにターゲットをテーブル面に配置した。そして、中心位置を移動させずにターゲットを反時計回りに５回転させた後、中心位置を移動させずにターゲットを０度、３０度、６０度、９０度、１２０度回転させ、それぞれの位置で、テーブル面に水平な方向の漏洩磁束密度を測定した。得られた５つの漏洩磁束密度の値をＲｅｆｅｒｅｎｎｃｅ  ｆｉｅｌｄの値で割って１００を掛けて漏洩磁束率（％）とした。５点の漏洩磁束率（％）の平均をとり、その平均値をそのターゲットの平均漏洩磁束率（％）とした。下記の表２に示すように、作製したターゲットの平均漏洩磁束率は７０．０％であった。
【０１０８】
【表２】
2014074219.tif 000004
【０１０９】
（実施例２）
実施例２として作製したターゲット全体の組成は、９０（７１Ｃｏ−１０Ｃｒ−１４Ｐｔ−５Ｒｕ）−７ＳｉＯ2−３Ｃｒ2Ｏ3であり、実施例１と同様である。一方、作製した２種類のアトマイズ金属粉末（Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ−Ｒｕ合金粉末、Ｃｏ粉末）のうち、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ−Ｒｕ合金粉末は、組成が３９．０３８Ｃｏ−２１．０２１Ｃｒ−２９．４３０Ｐｔ−１０．５１１Ｒｕであって非磁性であり、Ｃｏの含有割合が実施例１よりも小さくなっている。この３９．０３８Ｃｏ−２１．０２１Ｃｒ−２９．４３０Ｐｔ−１０．５１１Ｒｕ合金粉末（非磁性金属粉末）に含有される金属Ｃｏと金属Ｃｒの合計に対する金属Ｃｒの原子数比は３５ａｔ％である。
【０１１０】
本実施例２では、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ−Ｒｕ合金粉末のＣｏの含有割合が実施例１よりも小さくなっている分、用いるＣｏ粉末の量（Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ−Ｒｕ合金粉末に対するＣｏ粉末の質量割合）が多くなっており、ターゲット全体の組成は実施例１と同様になっている。
【０１１１】
本実施例２のターゲットを以下のようにして作製するとともに評価を行った。
【０１１２】
作製したＣｏ−Ｃｒ−Ｐｔ−Ｒｕ合金粉末の組成を３９．０３８Ｃｏ−２１．０２１Ｃｒ−２９．４３０Ｐｔ−１０．５１１Ｒｕとした以外は、実施例１と同様にアトマイズおよび分級を行って、３９．０３８Ｃｏ−２１．０２１Ｃｒ−２９．４３０Ｐｔ−１０．５１１Ｒｕ合金粉末（粒径１０６μｍ以下）、Ｃｏ粉末（粒径４５〜１０６μｍ）を得た。
【０１１３】
得られた３９．０３８Ｃｏ−２１．０２１Ｃｒ−２９．４３０Ｐｔ−１０．５１１Ｒｕ合金粉末５９９．６２ｇに、ＳｉＯ2粉末５７．７６ｇ、Ｃｒ2Ｏ3粉末６２．６２ｇを添加してボールミルで混合分散（ボールミルの累計回転回数は２,９８８,０００回）を行い、非磁性混合粉末を得た。
【０１１４】
次に、得られた非磁性混合粉末６２０．７３ｇと、分級後のＣｏ粉末（磁性金属粉末）３２９．２７ｇとを、ターブラーシェイカーで６７ｒｐｍ、３０ｍｉｎの条件で混合して、加圧焼結用混合粉末を得た。
【０１１５】
得られた加圧焼結用混合粉末全体に対する３９．０３８Ｃｏ−２１．０２１Ｃｒ−２９．４３０Ｐｔ−１０．５１１Ｒｕ合金粉末（非磁性金属粉末）の体積比は３５．６ｖｏｌ％であり、酸化物粉末（ＳｉＯ2粉末とＣｒ2Ｏ3粉末の合計）の体積比は３０．４ｖｏｌ％であり、金属Ｃｏ粉末（磁性金属粉末）の体積比は３４．０ｖｏｌ％である。したがって、３９．０３８Ｃｏ−２１．０２１Ｃｒ−２９．４３０Ｐｔ−１０．５１１Ｒｕ合金粉末（非磁性金属粉末）に対する酸化物粉末（ＳｉＯ2粉末とＣｒ2Ｏ3粉末の合計）の体積比は０．８５４と小さい。このため、３９．０３８Ｃｏ−２１．０２１Ｃｒ−２９．４３０Ｐｔ−１０．５１１Ｒｕ合金粉末（非磁性金属粉末）と酸化物粉末との混合は良好に行われやすい。
【０１１６】
得られた加圧焼結用混合粉末３０ｇを、焼結温度：１１９０℃、圧力：３１ＭＰａ、時間：３０ｍｉｎ、雰囲気：５×１０-2Ｐａ以下の条件でホットプレスを行い、焼結体テストピース（φ３０ｍｍ）を作製した。作製した焼結体テストピースの相対密度は９６．６７２％であった。なお、計算密度は８．７４ｇ／ｃｍ3である。
【０１１７】
図５および図６は、得られた焼結体テストピースの厚さ方向断面の金属顕微鏡写真であり、図５は撮影時の倍率が１００倍の写真（写真中の縮尺目盛りは５００μｍ）で、図６は撮影時の倍率が５００倍の写真（写真中の縮尺目盛りは１００μｍ）である。
【０１１８】
図５および図６において、灰色の相は３９．０３８Ｃｏ−２１．０２１Ｃｒ−２９．４３０Ｐｔ−１０．５１１Ｒｕ合金相（非磁性金属相）と酸化物（ＳｉＯ2、Ｃｒ2Ｏ3）とが細かく分散し合った非磁性相であり、この非磁性相中に分散している略円形の白色の相はＣｏ相（磁性金属相）である。３９．０３８Ｃｏ−２１．０２１Ｃｒ−２９．４３０Ｐｔ−１０．５１１Ｒｕ合金粉末は酸化物粉末とボールミルで累計回転回数２,９８８,０００回まで混合を行っているので、３９．０３８Ｃｏ−２１．０２１Ｃｒ−２９．４３０Ｐｔ−１０．５１１Ｒｕ合金相と酸化物相とは細かく分散し合って、図５および図６の金属顕微鏡写真では灰色の単一の相のように観察されるものと考えられる。一方、Ｃｏ粉末はボールミルによる混合がなされていないので略球状の形状を保っていると考えられる。
【０１１９】
また、仮に焼結体テストピース中に凝集した酸化物が存在していたとすると、黒色の相として観察されるが、図５、図６にはほとんど黒色の相は観察されず、図６の左端付近に小さな黒色の点が観察されるのみである。図６の右下の縮尺から見て、図６の左端付近にある小さな黒色の点の長径は５μｍ未満であると判断できる。したがって、本実施例２で得られた焼結体テストピース中には長径が５μｍ以上の凝集した酸化物は存在していないと考えられる。
【０１２０】
次に、作製した加圧焼結用混合粉末を用いて、焼結温度：１１９０℃、圧力：３１ＭＰａ、時間：６０ｍｉｎ、雰囲気：５×１０-2Ｐａ以下の条件でホットプレスを行い、φ１５２．４ｍｍ×厚さ５．０ｍｍのターゲットを１つ作製した。作製したターゲットの相対密度は９８．３９９％であった。
【０１２１】
作製したターゲットについて、実施例１と同様にして、漏洩磁束についての評価を行った。下記の表３に示すように、平均漏洩磁束率は７２．２％であった。
【０１２２】
【表３】
2014074219.tif 000005
【０１２３】
（実施例３）
実施例３として作製したターゲット全体の組成は、９０（７１Ｃｏ−１０Ｃｒ−１４Ｐｔ−５Ｒｕ）−７ＳｉＯ2−３Ｃｒ2Ｏ3であり、実施例１、２と同様である。一方、作製した２種類のアトマイズ金属粉末（Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ−Ｒｕ合金粉末、Ｃｏ粉末）のうち、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ−Ｒｕ合金粉末は、組成が３４．０９１Ｃｏ−２２．７２７Ｃｒ−３１．８１８Ｐｔ−１１．３６４Ｒｕであって非磁性であり、Ｃｏの含有割合が実施例１、２よりも小さくなっている。この３４．０９１Ｃｏ−２２．７２７Ｃｒ−３１．８１８Ｐｔ−１１．３６４Ｒｕ合金粉末（非磁性金属粉末）に含有される金属Ｃｏと金属Ｃｒの合計に対する金属Ｃｒの原子数比は４０ａｔ％である。
【０１２４】
本実施例３では、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ−Ｒｕ合金粉末のＣｏの含有割合が実施例１、２よりも小さくなっている分、用いるＣｏ粉末の量（Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ−Ｒｕ合金粉末に対するＣｏ粉末の質量割合）が多くなっており、ターゲット全体の組成は実施例１、２と同様になっている。
【０１２５】
本実施例３のターゲットを以下のようにして作製するとともに評価を行った。
【０１２６】
Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ−Ｒｕ合金粉末の組成を３４．０９１Ｃｏ−２２．７２７Ｃｒ−３１．８１８Ｐｔ−１１．３６４Ｒｕとした以外は、実施例１、２と同様にアトマイズおよび分級を行って、３４．０９１Ｃｏ−２２．７２７Ｃｒ−３１．８１８Ｐｔ−１１．３６４Ｒｕ合金粉末（粒径１０６μｍ以下）、Ｃｏ粉末（粒径４５〜１０６μｍ）を作製した。
【０１２７】
作製した３４．０９１Ｃｏ−２２．７２７Ｃｒ−３１．８１８Ｐｔ−１１．３６４Ｒｕ合金粉末５７８．５７ｇに、ＳｉＯ2粉末５８．２６ｇ、Ｃｒ2Ｏ3粉末６３．１７ｇを添加してボールミルで混合分散（ボールミルの累計回転回数は２,９８８,０００回）を行い、非磁性混合粉末を得た。
【０１２８】
次に、得られた非磁性混合粉末５９８．３０ｇと、分級後のＣｏ粉末（磁性金属粉末）３５１．７０ｇとを、ターブラーシェイカーで６７ｒｐｍ、３０ｍｉｎの条件で混合して、加圧焼結用混合粉末を得た。
【０１２９】
得られた加圧焼結用混合粉末全体に対する３４．０９１Ｃｏ−２２．７２７Ｃｒ−３１．８１８Ｐｔ−１１．３６４Ｒｕ合金粉末（非磁性金属粉末）の体積比は３３．３ｖｏｌ％であり、酸化物粉末（ＳｉＯ2粉末とＣｒ2Ｏ3粉末の合計）の体積比は３０．４ｖｏｌ％であり、金属Ｃｏ粉末（磁性金属粉末）の体積比は３６．３ｖｏｌ％である。したがって、３４．０９１Ｃｏ−２２．７２７Ｃｒ−３１．８１８Ｐｔ−１１．３６４Ｒｕ合金粉末（非磁性金属粉末）に対する酸化物粉末（ＳｉＯ2粉末とＣｒ2Ｏ3粉末の合計）の体積比は０．９１３と小さい。このため、３４．０９１Ｃｏ−２２．７２７Ｃｒ−３１．８１８Ｐｔ−１１．３６４Ｒｕ合金粉末（非磁性金属粉末）と酸化物粉末との混合は良好に行われやすい。
【０１３０】
得られた加圧焼結用混合粉末３０ｇを、焼結温度：１１９０℃、圧力：３１ＭＰａ、時間：３０ｍｉｎ、雰囲気：５×１０-2Ｐａ以下の条件でホットプレスを行い、焼結体テストピース（φ３０ｍｍ）を作製した。作製した焼結体テストピースの相対密度は９７．４３０％であった。なお、計算密度は８．７４ｇ／ｃｍ3である。
【０１３１】
図７および図８は、得られた焼結体テストピースの厚さ方向断面の金属顕微鏡写真であり、図７は撮影時の倍率が１００倍の写真（写真中の縮尺目盛りは５００μｍ）で、図８は撮影時の倍率が５００倍の写真（写真中の縮尺目盛りは１００μｍ）である。
【０１３２】
図７および図８において、灰色の相は３４．０９１Ｃｏ−２２．７２７Ｃｒ−３１．８１８Ｐｔ−１１．３６４Ｒｕ合金相（非磁性金属相）と酸化物（ＳｉＯ2、Ｃｒ2Ｏ3）とが細かく分散し合った非磁性相であり、この非磁性相中に分散している略円形の白色の相はＣｏ相（磁性金属相）である。３４．０９１Ｃｏ−２２．７２７Ｃｒ−３１．８１８Ｐｔ−１１．３６４Ｒｕ合金粉末は酸化物粉末とボールミルで累計回転回数２,９８８,０００回まで混合を行っているので、３４．０９１Ｃｏ−２２．７２７Ｃｒ−３１．８１８Ｐｔ−１１．３６４Ｒｕ合金相と酸化物相とは細かく分散し合って、図７および図８の金属顕微鏡写真では灰色の単一の相のように観察されるものと考えられる。一方、Ｃｏ粉末はボールミルによる混合がなされていないので略球状の形状を保っていると考えられる。
【０１３３】
また、仮に焼結体テストピース中に凝集した酸化物が存在していたとすると、黒色の相として観察されるが、図７、図８には黒色の相は観察されていない。したがって、本実施例３で得られた焼結体テストピース中には長径が５μｍ以上の凝集した酸化物は存在していないと考えられる。
【０１３４】
次に、作製した加圧焼結用混合粉末を用いて、焼結温度：１１９０℃、圧力：３１ＭＰａ、時間：６０ｍｉｎ、雰囲気：５×１０-2Ｐａ以下の条件でホットプレスを行い、φ１５２．４ｍｍ×厚さ５．０ｍｍのターゲットを１つ作製した。作製したターゲットの相対密度は９８．５７３％であった。
【０１３５】
作製したターゲットについて、実施例１と同様にして、漏洩磁束についての評価を行った。下記の表４に示すように、平均漏洩磁束率は７３．４％であった。
【０１３６】
【表４】
2014074219.tif 000006
【０１３７】
（実施例４）
実施例４として作製したターゲット全体の組成は、９０（７１Ｃｏ−１０Ｃｒ−１４Ｐｔ−５Ｒｕ）−７ＳｉＯ2−３Ｃｒ2Ｏ3であり、実施例１−３と同様である。一方、作製した２種類のアトマイズ金属粉末（Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ−Ｒｕ合金粉末、Ｃｏ粉末）のうち、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ−Ｒｕ合金粉末は、組成が１８．６９２Ｃｏ−２８．０３７Ｃｒ−３９．２５２Ｐｔ−１４．０１９Ｒｕであって非磁性であり、Ｃｏの含有割合が実施例１−３よりも小さくなっている。この１８．６９２Ｃｏ−２８．０３７Ｃｒ−３９．２５２Ｐｔ−１４．０１９Ｒｕ合金粉末（非磁性金属粉末）に含有される金属Ｃｏと金属Ｃｒの合計に対する金属Ｃｒの原子数比は６０ａｔ％である。
【０１３８】
本実施例４では、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ−Ｒｕ合金粉末のＣｏの含有割合が実施例１−３よりも小さくなっている分、用いるＣｏ粉末の量（Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ−Ｒｕ合金粉末に対するＣｏ粉末の質量割合）が多くなっており、ターゲット全体の組成は実施例１−３と同様になっている。
【０１３９】
本実施例４のターゲットを以下のようにして作製するとともに評価を行った。
【０１４０】
Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ−Ｒｕ合金粉末の組成を１８．６９２Ｃｏ−２８．０３７Ｃｒ−３９．２５２Ｐｔ−１４．０１９Ｒｕとした以外は、実施例１、２と同様にアトマイズおよび分級を行って、１８．６９２Ｃｏ−２８．０３７Ｃｒ−３９．２５２Ｐｔ−１４．０１９Ｒｕ合金粉末（粒径１０６μｍ以下）、Ｃｏ粉末（粒径４５〜１０６μｍ）を作製した。
【０１４１】
作製した１８．６９２Ｃｏ−２８．０３７Ｃｒ−３９．２５２Ｐｔ−１４．０１９Ｒｕ合金粉末５２２．３９ｇに、ＳｉＯ2粉末５８．８３ｇ、Ｃｒ2Ｏ3粉末６３．７８ｇを添加してボールミルで混合分散（ボールミルの累計回転回数は２,９８８,０００回）を行い、非磁性混合粉末を得た。
【０１４２】
次に、得られた非磁性混合粉末５４５．９７ｇと、分級後のＣｏ粉末（磁性金属粉末）４０４．０３ｇとを、ターブラーシェイカーで６７ｒｐｍ、３０ｍｉｎの条件で混合して、加圧焼結用混合粉末を得た。
【０１４３】
得られた加圧焼結用混合粉末全体に対する１８．６９２Ｃｏ−２８．０３７Ｃｒ−３９．２５２Ｐｔ−１４．０１９Ｒｕ合金粉末（非磁性金属粉末）の体積比は２７．９ｖｏｌ％であり、酸化物粉末（ＳｉＯ2粉末とＣｒ2Ｏ3粉末の合計）の体積比は３０．３ｖｏｌ％であり、金属Ｃｏ粉末（磁性金属粉末）の体積比は４１．８ｖｏｌ％である。したがって、１８．６９２Ｃｏ−２８．０３７Ｃｒ−３９．２５２Ｐｔ−１４．０１９Ｒｕ合金粉末（非磁性金属粉末）に対する酸化物粉末（ＳｉＯ2粉末とＣｒ2Ｏ3粉末の合計）の体積比は１．０８６と小さい。このため、１８．６９２Ｃｏ−２８．０３７Ｃｒ−３９．２５２Ｐｔ−１４．０１９Ｒｕ合金粉末（非磁性金属粉末）と酸化物粉末との混合は良好に行われやすい。
【０１４４】
得られた加圧焼結用混合粉末３０ｇを、焼結温度：１１９０℃、圧力：３１ＭＰａ、時間：３０ｍｉｎ、雰囲気：５×１０-2Ｐａ以下の条件でホットプレスを行い、焼結体テストピース（φ３０ｍｍ）を作製した。作製した焼結体テストピースの相対密度は９７．５２８％であった。なお、計算密度は８．７４ｇ／ｃｍ3である。
【０１４５】
図９および図１０は、得られた焼結体テストピースの厚さ方向断面の金属顕微鏡写真であり、図９は撮影時の倍率が１００倍の写真（写真中の縮尺目盛りは５００μｍ）で、図１０は撮影時の倍率が５００倍の写真（写真中の縮尺目盛りは１００μｍ）である。
【０１４６】
図９および図１０において、灰色の相は１８．６９２Ｃｏ−２８．０３７Ｃｒ−３９．２５２Ｐｔ−１４．０１９Ｒｕ合金相（非磁性金属相）と酸化物（ＳｉＯ2、Ｃｒ2Ｏ3）とが細かく分散し合った非磁性相であり、この非磁性相中に分散している略円形の白色の相はＣｏ相（磁性金属相）である。１８．６９２Ｃｏ−２８．０３７Ｃｒ−３９．２５２Ｐｔ−１４．０１９Ｒｕ合金粉末は酸化物粉末とボールミルで累計回転回数２,９８８,０００回まで混合を行っているので、１８．６９２Ｃｏ−２８．０３７Ｃｒ−３９．２５２Ｐｔ−１４．０１９Ｒｕ合金相と酸化物相とは細かく分散し合って、図９および図１０の金属顕微鏡写真では灰色の単一の相のように観察されるものと考えられる。一方、Ｃｏ粉末はボールミルによる混合がなされていないので略球状の形状を保っていると考えられる。
【０１４７】
また、仮に焼結体テストピース中に凝集した酸化物が存在していたとすると、黒色の相として観察されるが、図９、図１０にはほとんど黒色の相は観察されず、図１０の上端付近に小さな黒色の点が観察されるのみである。図１０の右下の縮尺から見て、図１０の上端付近にある小さな黒色の点の長径は５μｍ未満であると判断できる。したがって、本実施例４で得られた焼結体テストピース中には長径が５μｍ以上の凝集した酸化物は存在していないと考えられる。
【０１４８】
次に、作製した加圧焼結用混合粉末を用いて、焼結温度：１１９０℃、圧力：３１ＭＰａ、時間：６０ｍｉｎ、雰囲気：５×１０-2Ｐａ以下の条件でホットプレスを行い、φ１５２．４ｍｍ×厚さ５．０ｍｍのターゲットを１つ作製した。作製したターゲットの相対密度は９９．２４３％であった。
【０１４９】
作製したターゲットについて、実施例１と同様にして、漏洩磁束についての評価を行った。下記の表５に示すように、平均漏洩磁束率は７４．７％であった。
【０１５０】
【表５】
2014074219.tif 000007
【０１５１】
（実施例５）
実施例５として作製したターゲット全体の組成は、９０（７１Ｃｏ−１０Ｃｒ−１４Ｐｔ−５Ｒｕ）−７ＳｉＯ2−３Ｃｒ2Ｏ3であり、実施例１−４と同様である。一方、作製した２種類のアトマイズ金属粉末（Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ−Ｒｕ合金粉末、Ｃｏ粉末）のうち、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ−Ｒｕ合金粉末の組成は実施例３と同様に３４．０９１Ｃｏ−２２．７２７Ｃｒ−３１．８１８Ｐｔ−１１．３６４Ｒｕである。この３４．０９１Ｃｏ−２２．７２７Ｃｒ−３１．８１８Ｐｔ−１１．３６４Ｒｕ合金粉末（非磁性金属粉末）に含有される金属Ｃｏと金属Ｃｒの合計に対する金属Ｃｒの原子数比は４０ａｔ％である。
【０１５２】
実施例１−４では、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ−Ｒｕ合金粉末についてはボールミルで酸化物粉末と混合分散を行っているが、Ｃｏ粉末についてはボールミルによる混合分散を行っていないのに対し、一方、本実施例５では、Ｃｏ粉末についてもボールミルで酸化物粉末と混合分散を行っている。
【０１５３】
本実施例５のターゲットを以下のようにして作製するとともに評価を行った。
【０１５４】
Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ−Ｒｕ合金粉末の組成を３４．０９１Ｃｏ−２２．７２７Ｃｒ−３１．８１８Ｐｔ−１１．３６４Ｒｕとした以外は、実施例１−４と同様にアトマイズおよび分級を行って、３４．０９１Ｃｏ−２２．７２７Ｃｒ−３１．８１８Ｐｔ−１１．３６４Ｒｕ合金粉末（粒径１０６μｍ以下）、Ｃｏ粉末（粒径４５〜１０６μｍ）を作製した。
【０１５５】
作製した３４．０９１Ｃｏ−２２．７２７Ｃｒ−３１．８１８Ｐｔ−１１．３６４Ｒｕ合金粉末１０５５．８７ｇに、ＳｉＯ2粉末９９．２８ｇ、Ｃｒ2Ｏ3粉末１０７．６０ｇを添加してボールミルで混合分散（ボールミルの累計回転回数は２,９８８,０００回）を行い、非磁性混合粉末を得た。
【０１５６】
得られた非磁性混合粉末全体に対する３４．０９１Ｃｏ−２２．７２７Ｃｒ−３１．８１８Ｐｔ−１１．３６４Ｒｕ合金粉末（非磁性金属粉末）の体積比は５４．０ｖｏｌ％であり、酸化物粉末（ＳｉＯ2粉末とＣｒ2Ｏ3粉末の合計）の体積比は４６．０ｖｏｌ％である。したがって、３４．０９１Ｃｏ−２２．７２７Ｃｒ−３１．８１８Ｐｔ−１１．３６４Ｒｕ合金粉末（非磁性金属粉末）に対する酸化物粉末（ＳｉＯ2粉末とＣｒ2Ｏ3粉末の合計）の体積比は０．８５２と小さい。このため、３４．０９１Ｃｏ−２２．７２７Ｃｒ−３１．８１８Ｐｔ−１１．３６４Ｒｕ合金粉末（非磁性金属粉末）と酸化物粉末との混合は良好に行われやすい。
【０１５７】
また、作製したＣｏ粉末８８２．５７ｇに、ＳｉＯ2粉末８．２０ｇ、Ｃｒ2Ｏ3粉末８．８９ｇを添加してボールミルで混合分散（ボールミルの累計回転回数は１,１４２,６４０回）を行い、磁性混合粉末を得た。
【０１５８】
次に、得られた非磁性混合粉末５９１．４５ｇと、磁性混合粉末３５８．５６ｇとを、ターブラーシェイカーで６７ｒｐｍ、３０ｍｉｎの条件で混合して、加圧焼結用混合粉末を得た。得られた加圧焼結用混合粉末全体に対する金属Ｃｏ粉末（磁性金属粉末）の体積比は３６．３ｖｏｌ％である。
【０１５９】
得られた加圧焼結用混合粉末３０ｇを、焼結温度：１１９０℃、圧力：３１ＭＰａ、時間：３０ｍｉｎ、雰囲気：５×１０-2Ｐａ以下の条件でホットプレスを行い、焼結体テストピース（φ３０ｍｍ）を作製した。作製した焼結体テストピースの相対密度は９７．５９３％であった。なお、計算密度は８．７４ｇ／ｃｍ3である。
【０１６０】
図１１および図１２は、得られた焼結体テストピースの厚さ方向断面の金属顕微鏡写真であり、図１１は撮影時の倍率が１００倍の写真（写真中の縮尺目盛りは５００μｍ）で、図１２は撮影時の倍率が５００倍の写真（写真中の縮尺目盛りは１００μｍ）である。
【０１６１】
図１１および図１２において、灰色の相は３４．０９１Ｃｏ−２２．７２７Ｃｒ−３１．８１８Ｐｔ−１１．３６４Ｒｕ合金相（非磁性金属相）と酸化物（ＳｉＯ2、Ｃｒ2Ｏ3）とが細かく分散し合った非磁性相であり、この非磁性相中に分散している細長い白色の相はＣｏ相（磁性金属相）である。
【０１６２】
３４．０９１Ｃｏ−２２．７２７Ｃｒ−３１．８１８Ｐｔ−１１．３６４Ｒｕ合金粉末は酸化物粉末とボールミルで累計回転回数２,９８８,０００回まで混合を行っているので、３４．０９１Ｃｏ−２２．７２７Ｃｒ−３１．８１８Ｐｔ−１１．３６４Ｒｕ合金相と酸化物とは細かく分散し合って、図１１および図１２の金属顕微鏡写真では灰色の単一の相のように観察されたものと考えられる。一方、Ｃｏ粉末はボールミルで酸化物粉末と混合分散させているが、ボールミルの累計回転回数は１，１４２，６４０回であり、３４．０９１Ｃｏ−２２．７２７Ｃｒ−３１．８１８Ｐｔ−１１．３６４Ｒｕ合金粉末と酸化物粉末とを混合分散させる際のボールミルの累計回転回数の半分以下である。このため、ボールミルによる混合分散を行っても、Ｃｏ粉末と酸化物粉末とは細かく分散し合わず、図１１および図１２の金属顕微鏡写真において、Ｃｏ相は白色の相として観察されたものと考えられる。
【０１６３】
ただし、本実施例５では、Ｃｏ粉末に対してボールミルによる混合を行っているので、Ｃｏ粉末に対してボールミルによる混合を行っていない実施例１−４と比べて、焼結体テストピース中のＣｏ相は総じて細長くなっている（アスペクト比が大きくなっている）と考えられる。実際に図１２の金属顕微鏡写真を見てみると、アスペクト比が２以上の白色のＣｏ相の体積比は、Ｃｏ相全体に対して明らかに０．５以上であることが読み取れる。
【０１６４】
また、仮に焼結体テストピース中に凝集した酸化物が存在していたとすると、黒色の相として観察されるが、図１１、図１２には黒色の相は観察されない。したがって、本実施例４で得られた焼結体テストピース中には長径が５μｍ以上の凝集した酸化物は存在していないと考えられる。
【０１６５】
次に、作製した加圧焼結用混合粉末を用いて、焼結温度：１１９０℃、圧力：３１ＭＰａ、時間：６０ｍｉｎ、雰囲気：５×１０-2Ｐａ以下の条件でホットプレスを行い、φ１５２．４ｍｍ×厚さ５．０ｍｍのターゲットを１つ作製した。作製したターゲットの相対密度は９９．１７４％であった。
【０１６６】
作製したターゲットについて、実施例１と同様にして、漏洩磁束についての評価を行った。下記の表６に示すように、平均漏洩磁束率は６９．２％であった。
【０１６７】
【表６】
2014074219.tif 000008
【０１６８】
（実施例６）
実施例６として作製したターゲット全体の組成は、９０（７１Ｃｏ−１０Ｃｒ−１４Ｐｔ−５Ｒｕ）−７ＳｉＯ2−３Ｃｒ2Ｏ3であり、実施例１−５と同様である。一方、作製した２種類のアトマイズ金属粉末（Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ−Ｒｕ合金粉末、Ｃｏ粉末）のうち、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ−Ｒｕ合金粉末の組成は実施例３、５と同様に３４．０９１Ｃｏ−２２．７２７Ｃｒ−３１．８１８Ｐｔ−１１．３６４Ｒｕである。この３４．０９１Ｃｏ−２２．７２７Ｃｒ−３１．８１８Ｐｔ−１１．３６４Ｒｕ合金粉末（非磁性金属粉末）に含有される金属Ｃｏと金属Ｃｒの合計に対する金属Ｃｒの原子数比は４０ａｔ％である。
【０１６９】
実施例１−４では、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ−Ｒｕ合金粉末についてはボールミルで酸化物粉末と混合分散を行っているが、Ｃｏ粉末についてはボールミルによる混合分散を行っていないのに対し、一方、本実施例６では、実施例５と同様に、Ｃｏ粉末についてもボールミルで酸化物粉末と混合分散を行っている。
【０１７０】
本実施例６のターゲットを以下のようにして作製するとともに評価を行った。
【０１７１】
Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ−Ｒｕ合金粉末の組成を実施例５と同様に３４．０９１Ｃｏ−２２．７２７Ｃｒ−３１．８１８Ｐｔ−１１．３６４Ｒｕとした以外は、実施例１−４と同様にアトマイズおよび分級を行って、３４．０９１Ｃｏ−２２．７２７Ｃｒ−３１．８１８Ｐｔ−１１．３６４Ｒｕ合金粉末（粒径１０６μｍ以下）、Ｃｏ粉末（粒径４５〜１０６μｍ）を作製した。
【０１７２】
作製した３４．０９１Ｃｏ−２２．７２７Ｃｒ−３１．８１８Ｐｔ−１１．３６４Ｒｕ合金粉末１０５５．８７ｇに、ＳｉＯ2粉末９９．２８ｇ、Ｃｒ2Ｏ3粉末１０７．６０ｇを添加してボールミルで混合分散（ボールミルの累計回転回数は２,９８８,０００回であり実施例５と同様である。）を行い、非磁性混合粉末を得た。
【０１７３】
得られた非磁性混合粉末全体に対する３４．０９１Ｃｏ−２２．７２７Ｃｒ−３１．８１８Ｐｔ−１１．３６４Ｒｕ合金粉末（非磁性金属粉末）の体積比は５４．０ｖｏｌ％であり、酸化物粉末（ＳｉＯ2粉末とＣｒ2Ｏ3粉末の合計）の体積比は４６．０ｖｏｌ％である。したがって、３４．０９１Ｃｏ−２２．７２７Ｃｒ−３１．８１８Ｐｔ−１１．３６４Ｒｕ合金粉末（非磁性金属粉末）に対する酸化物粉末（ＳｉＯ2粉末とＣｒ2Ｏ3粉末の合計）の体積比は０．８５２と小さい。このため、３４．０９１Ｃｏ−２２．７２７Ｃｒ−３１．８１８Ｐｔ−１１．３６４Ｒｕ合金粉末（非磁性金属粉末）と酸化物粉末との混合は良好に行われやすい。
【０１７４】
また、作製したＣｏ粉末８８２．５７ｇに、ＳｉＯ2粉末８．２０ｇ、Ｃｒ2Ｏ3粉末８．８９ｇを添加してボールミルで混合分散（ボールミルの累計回転回数は１,５７８,９６０回であり、実施例５の累計回転回数１,１４２,６４０回よりも３８％程度多くなっている。）を行い、磁性混合粉末を得た。
【０１７５】
次に、得られた非磁性混合粉末５９１．４５ｇと、磁性混合粉末３５８．５６ｇとを、ターブラーシェイカーで６７ｒｐｍ、３０ｍｉｎの条件で混合して、加圧焼結用混合粉末を得た。得られた加圧焼結用混合粉末全体に対する金属Ｃｏ粉末（磁性金属粉末）の体積比は３６．３ｖｏｌ％である。
【０１７６】
得られた加圧焼結用混合粉末３０ｇを、焼結温度：１１９０℃、圧力：３１ＭＰａ、時間：３０ｍｉｎ、雰囲気：５×１０-2Ｐａ以下の条件でホットプレスを行い、焼結体テストピース（φ３０ｍｍ）を作製した。作製した焼結体テストピースの相対密度は９８．０５３％であった。なお、計算密度は８．７４ｇ／ｃｍ3である。
【０１７７】
図１３および図１４は、得られた焼結体テストピースの厚さ方向断面の金属顕微鏡写真であり、図１３は撮影時の倍率が１００倍の写真（写真中の縮尺目盛りは５００μｍ）で、図１４は撮影時の倍率が５００倍の写真（写真中の縮尺目盛りは１００μｍ）である。
【０１７８】
図１３および図１４において、灰色の相は３４．０９１Ｃｏ−２２．７２７Ｃｒ−３１．８１８Ｐｔ−１１．３６４Ｒｕ合金相（非磁性金属相）と酸化物（ＳｉＯ2、Ｃｒ2Ｏ3）とが細かく分散し合った非磁性相であり、この非磁性相中に分散している細長い白色の相はＣｏ相（磁性金属相）である。
【０１７９】
３４．０９１Ｃｏ−２２．７２７Ｃｒ−３１．８１８Ｐｔ−１１．３６４Ｒｕ合金粉末は酸化物粉末とボールミルで累計回転回数２,９８８,０００回まで混合を行っているので、３４．０９１Ｃｏ−２２．７２７Ｃｒ−３１．８１８Ｐｔ−１１．３６４Ｒｕ合金相と酸化物とは細かく分散し合って、図１３および図１４の金属顕微鏡写真では灰色の単一の相のように観察されたものと考えられる。一方、Ｃｏ粉末はボールミルで酸化物粉末と混合分散させているが、ボールミルの累計回転回数は１，５７８，９６０回であり、３４．０９１Ｃｏ−２２．７２７Ｃｒ−３１．８１８Ｐｔ−１１．３６４Ｒｕ合金粉末と酸化物粉末とを混合分散させる際のボールミルの累計回転回数の半分程度である。このため、ボールミルによる混合分散を行っても、Ｃｏ粉末と酸化物粉末とは細かく分散し合わず、図１３および図１４の金属顕微鏡写真において、Ｃｏ相は白色の相として観察されたものと考えられる。
【０１８０】
ただし、本実施例６では、Ｃｏ粉末に対してボールミルによる混合を行っているので、Ｃｏ粉末に対してボールミルによる混合を行っていない実施例１−４と比べて、焼結体テストピース中のＣｏ相は総じて細長くなっている（アスペクト比が大きくなっている）と考えられる。実際に図１４の金属顕微鏡写真を見てみると、アスペクト比が２以上の白色のＣｏ相の体積比は、Ｃｏ相全体に対して明らかに０．５以上であることが読み取れる。
【０１８１】
また、仮に焼結体テストピース中に凝集した酸化物が存在していたとすると、黒色の相として観察されるが、図１３、図１４には黒色の相は観察されない。したがって、本実施例４で得られた焼結体テストピース中には長径が５μｍ以上の凝集した酸化物は存在していないと考えられる。
【０１８２】
次に、作製した加圧焼結用混合粉末を用いて、焼結温度：１１９０℃、圧力：３１ＭＰａ、時間：６０ｍｉｎ、雰囲気：５×１０-2Ｐａ以下の条件でホットプレスを行い、φ１５２．４ｍｍ×厚さ５．０ｍｍのターゲットを１つ作製した。作製したターゲットの相対密度は９８．９６２％であった。
【０１８３】
作製したターゲットについて、実施例１と同様にして、漏洩磁束についての評価を行った。下記の表７に示すように、平均漏洩磁束率は６６．５％であった。
【０１８４】
【表７】
2014074219.tif 000009
【０１８５】
（比較例１）
比較例１として作製したターゲット全体の組成は、９０（７１Ｃｏ−１０Ｃｒ−１４Ｐｔ−５Ｒｕ）−７ＳｉＯ2−３Ｃｒ2Ｏ3であり、実施例１−６と同様である。一方、作製した２種類のアトマイズ金属粉末（Ｃｒ−Ｐｔ−Ｒｕ合金粉末、Ｃｏ粉末）のうち、合金粉末の組成は３４．４８３Ｃｒ−４８．２７６Ｐｔ−１７．２４１Ｒｕであり、合金粉末中にはＣｏは含有されておらず、Ｃｏの含有割合はゼロ（この３４．４８３Ｃｒ−４８．２７６Ｐｔ−１７．２４１Ｒｕ合金粉末（非磁性金属粉末）に含有される金属Ｃｏと金属Ｃｒの合計に対する金属Ｃｒの原子数比は１００ａｔ％である。）であり、合金粉末中にＣｏが含有されている実施例１−６とはこの点で相違する。合金粉末にＣｏが含有されていない分、用いるＣｏ粉末の量（Ｃｒ−Ｐｔ−Ｒｕ合金粉末に対するＣｏ粉末の質量割合）が本比較例１では多くなっており、ターゲット全体の組成は実施例１−６と同様になっている。
【０１８６】
本比較例１のターゲットを以下のようにして作製するとともに評価を行った。
【０１８７】
合金粉末の組成を３４．４８３Ｃｒ−４８．２７６Ｐｔ−１７．２４１Ｒｕとした以外は、実施例１−６と同様にアトマイズおよび分級を行って、３４．４８３Ｃｒ−４８．２７６Ｐｔ−１７．２４１Ｒｕ合金粉末（粒径１０６μｍ以下）、Ｃｏ粉末（粒径４５〜１０６μｍ）を作製した。
【０１８８】
作製した３４．４８３Ｃｒ−４８．２７６Ｐｔ−１７．２４１Ｒｕ合金粉末４７６．４７ｇに、ＳｉＯ2粉末５９．２７ｇ、Ｃｒ2Ｏ3粉末６４．２６ｇを添加してボールミルで混合分散（ボールミルの累計回転回数は２,９８８,０００回）を行い、非磁性混合粉末を得た。
【０１８９】
次に、得られた非磁性混合粉末５０４．１０ｇと、分級後のＣｏ粉末（磁性金属粉末）４４５．９０ｇとを、ターブラーシェイカーで６７ｒｐｍ、３０ｍｉｎの条件で混合して、加圧焼結用混合粉末を得た。
【０１９０】
得られた加圧焼結用混合粉末全体に対する３４．４８３Ｃｒ−４８．２７６Ｐｔ−１７．２４１Ｒｕ合金粉末（非磁性金属粉末）の体積比は２３．６ｖｏｌ％であり、酸化物粉末（ＳｉＯ2粉末とＣｒ2Ｏ3粉末の合計）の体積比は３０．３ｖｏｌ％であり、金属Ｃｏ粉末（磁性金属粉末）の体積比は４６．１ｖｏｌ％である。したがって、３４．４８３Ｃｒ−４８．２７６Ｐｔ−１７．２４１Ｒｕ合金粉末（非磁性金属粉末）に対する酸化物粉末（ＳｉＯ2粉末とＣｒ2Ｏ3粉末の合計）の体積比は１．２８４であり、その値は実施例１−６と比べて大きくなっている。このため、３４．４８３Ｃｒ−４８．２７６Ｐｔ−１７．２４１Ｒｕ合金粉末（非磁性金属粉末）と酸化物粉末との混合は、実施例１−６と比較して良好に行われにくいと考えられる。
【０１９１】
得られた加圧焼結用混合粉末３０ｇを、焼結温度：１１９０℃、圧力：３１ＭＰａ、時間：３０ｍｉｎ、雰囲気：５×１０-2Ｐａ以下の条件でホットプレスを行い、焼結体テストピース（φ３０ｍｍ）を作製した。作製した焼結体テストピースの相対密度は９７．７４１％であった。なお、計算密度は８．７４ｇ／ｃｍ3である。
【０１９２】
図１５および図１６は、得られた焼結体テストピースの厚さ方向断面の金属顕微鏡写真であり、図１５は撮影時の倍率が１００倍の写真（写真中の縮尺目盛りは５００μｍ）で、図１６は撮影時の倍率が５００倍の写真（写真中の縮尺目盛りは１００μｍ）である。
【０１９３】
図１５および図１６において、灰色の相は３４．４８３Ｃｒ−４８．２７６Ｐｔ−１７．２４１Ｒｕ合金相（非磁性金属相）と酸化物（ＳｉＯ2、Ｃｒ2Ｏ3）とが細かく分散し合った非磁性相であり、この非磁性相中に分散している略円形の白色の相はＣｏ相（磁性金属相）である。３４．４８３Ｃｒ−４８．２７６Ｐｔ−１７．２４１Ｒｕ合金粉末は酸化物粉末とボールミルで累計回転回数２,９８８,０００回まで混合を行っているので、３４．４８３Ｃｒ−４８．２７６Ｐｔ−１７．２４１Ｒｕ合金相と酸化物相とは細かく分散し合って、図１５および図１６の金属顕微鏡写真では灰色の単一の相のように観察されるものと考えられる。一方、Ｃｏ粉末はボールミルによる混合がなされていないので略球状の形状を保っていると考えられる。
【０１９４】
また、仮に焼結体テストピース中に凝集した酸化物が存在していたとすると、黒色の相として観察されるところ、数は多くないが図１５、図１６に小さな黒色の相が観察される。図１６の左端付近および右端付近に比較的多く小さな黒色の相が観察されるところ、その中でも大きいものは、図１６の右下の縮尺から見て、長径が５μｍ程度である。したがって、本比較例１で得られた焼結体テストピース中には長径が５μｍ以上の凝集した酸化物が存在していると考えられる。
【０１９５】
このため、本比較例１で得られるターゲットを用いてスパッタリングを行うと、ノジュールやパーティクル等の不具合の発生頻度が大きくなるおそれがある。
【０１９６】
次に、作製した加圧焼結用混合粉末を用いて、焼結温度：１１９０℃、圧力：３１ＭＰａ、時間：６０ｍｉｎ、雰囲気：５×１０-2Ｐａ以下の条件でホットプレスを行い、φ１５２．４ｍｍ×厚さ５．０ｍｍのターゲットを１つ作製した。作製したターゲットの相対密度は９９．１１３％であった。
【０１９７】
作製したターゲットについて、実施例１と同様にして、漏洩磁束についての評価を行った。下記の表８に示すように、平均漏洩磁束率は７５．２％であった。
【０１９８】
【表８】
2014074219.tif 000010
【０１９９】
（比較例２）
比較例２として作製したターゲット全体の組成は、９０（７１Ｃｏ−１０Ｃｒ−１４Ｐｔ−５Ｒｕ）−７ＳｉＯ2−３Ｃｒ2Ｏ3であり、実施例１−６、比較例１と同じである。
【０２００】
しかしながら、本比較例２では、作製したアトマイズ金属粉末は７１Ｃｏ−１０Ｃｒ−１４Ｐｔ−５Ｒｕ合金粉末の１種類であり、この１種類のアトマイズ金属粉末を酸化物粉末（ＳｉＯ2粉末、Ｃｒ2Ｏ3粉末）と混合して加圧焼結用混合粉末を作製しており、実施例１−６、比較例１のように２種類のアトマイズ金属粉末（実施例１−６ではＣｏ−Ｃｒ−Ｐｔ−Ｒｕ合金粉末とＣｏ粉末、比較例１ではＣｒ−Ｐｔ−Ｒｕ合金粉末とＣｏ粉末）と酸化物粉末（ＳｉＯ2粉末、Ｃｒ2Ｏ3粉末）とを用いて加圧焼結用混合粉末を作製しているわけではない点が相違する。このため、本比較例２において作製するターゲットにおいては、金属相はＣｏ−Ｃｒ−Ｐｔ−Ｒｕ合金相のみであり、Ｃｏ相は存在しない。
【０２０１】
また、７１Ｃｏ−１０Ｃｒ−１４Ｐｔ−５Ｒｕ合金相において、ＣｏとＣｒの合計に対するＣｒの原子数比は１２．３ａｔ％であり、表１、図１から、７１Ｃｏ−１０Ｃｒ−１４Ｐｔ−５Ｒｕ合金相は磁性合金相となっていると考えられる。さらに、７１Ｃｏ−１０Ｃｒ−１４Ｐｔ−５Ｒｕ合金相において、ＣｏとＰｔの合計に対するＰｔの原子数比は１６．５ａｔ％であるところ、この成分組成ではＰｔはＣｏの磁気モーメントを増加させる機能を有していると考えられることから、Ｐｔが存在しない合金よりも磁性が強くなっていると考えられる。
【０２０２】
これに対して、実施例１−６では、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ−Ｒｕ合金相において、ＣｏとＣｒの合計に対するＣｒの原子数比は３０ａｔ％以上であるので、表１、図１から、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ−Ｒｕ合金相は非磁性合金相となっていると考えられる。また、比較例１では、Ｃｒ−Ｐｔ−Ｒｕ合金相はＣｏを含まないので非磁性合金相となっていると考えられる。
【０２０３】
本比較例２のターゲットを以下のようにして作製するとともに評価を行った。
【０２０４】
作製する合金粉末の組成を７１Ｃｏ−１０Ｃｒ−１４Ｐｔ−５ＲｕとするとともにＣｏ粉末は作製しない点以外は、実施例１−４、比較例１と同様にアトマイズおよび分級を行って、７１Ｃｏ−１０Ｃｒ−１４Ｐｔ−５Ｒｕ合金粉末（粒径１０６μｍ以下）を作製した。
【０２０５】
作製した７１Ｃｏ−１０Ｃｒ−１４Ｐｔ−５Ｒｕ合金粉末１７８０．００ｇに、ＳｉＯ2粉末１０４．７５ｇ、Ｃｒ2Ｏ3粉末１１３．５６ｇを添加してボールミルで混合分散を行ったが、ボールミルの累計回転回数を変えた２種類の磁性混合粉末（ボールミルの累計回転回数を２，９８８，０００回とした磁性混合粉末と、ボールミルの累計回転回数を３,９０６,０００回とした磁性混合粉末）を得た。
【０２０６】
本比較例２においては、実施例１−４、比較例１のように、Ｃｏ粉末をさらに混合することはせず、ここで得られた磁性混合粉末を加圧焼結用混合粉末とした。
【０２０７】
得られた磁性混合粉末（加圧焼結用混合粉末）全体に対する７１Ｃｏ−１０Ｃｒ−１４Ｐｔ−５Ｒｕ合金粉末（非磁性金属粉末）の体積比は６９．６ｖｏｌ％であり、酸化物粉末（ＳｉＯ2粉末とＣｒ2Ｏ3粉末の合計）の体積比は３０．４ｖｏｌ％であり、金属Ｃｏ粉末（磁性金属粉末）の体積比は０ｖｏｌ％である。したがって、７１Ｃｏ−１０Ｃｒ−１４Ｐｔ−５Ｒｕ合金粉末（磁性金属粉末）に対する酸化物粉末（ＳｉＯ2粉末とＣｒ2Ｏ3粉末の合計）の体積比は０．４３７である。
【０２０８】
ボールミルの累計回転回数が２，９８８，０００回である磁性混合粉末３０ｇを、焼結温度：１２００℃、圧力：２４．５ＭＰａ、時間：３０ｍｉｎ、雰囲気：５×１０-2Ｐａ以下の条件でホットプレスを行い、焼結体テストピース（φ３０ｍｍ）を作製した。作製した焼結体テストピースの相対密度は９６．３０５％であった。また、ボールミルの累計回転回数が３，９０６，０００回である磁性混合粉末３０ｇについても同様のホットプレス条件で、焼結体テストピース（φ３０ｍｍ）を作製した。作製した焼結体テストピースの相対密度は９６．６７５％であった。なお、計算密度は８．７４ｇ／ｃｍ3である。
【０２０９】
図１７は、ボールミルの累計回転回数が２，９８８，０００回である磁性混合粉末を用いて作製した焼結体テストピースの厚さ方向断面の金属顕微鏡写真であり、図１８は、ボールミルの累計回転回数が３，９０６，０００回である磁性混合粉末を用いて作製した焼結体テストピースの厚さ方向断面の金属顕微鏡写真であり、どちらも撮影時の倍率が４００倍の写真（写真中の縮尺目盛りは１００μｍ）である。
【０２１０】
図１７および図１８において、白色のやや細長い相は７１Ｃｏ−１０Ｃｒ−１４Ｐｔ−５Ｒｕ合金相（磁性金属相）であり、また、灰色の相は７１Ｃｏ−１０Ｃｒ−１４Ｐｔ−５Ｒｕ合金相（磁性金属相）と酸化物（ＳｉＯ2、Ｃｒ2Ｏ3）とが細かく分散し合った磁性相である。
【０２１１】
また、仮に焼結体テストピース中に凝集した酸化物が存在していたとすると、黒色の相として観察されるところ、図１７、図１８にはほぼ全面にわたって比較的大きな黒色の相が観察される。図１７、図１８の右下の縮尺から見て、黒色の相のうち大きなものは長径が１０〜１５μｍ程度である。したがって、本比較例２で得られた焼結体テストピース中には長径が５μｍ以上の凝集した酸化物が存在していると考えられる。
【０２１２】
理由は明確ではないが、本比較例２で作製した７１Ｃｏ−１０Ｃｒ−１４Ｐｔ−５Ｒｕアトマイズ合金粉末は、実施例１−４および比較例１で作製したアトマイズ合金粉末よりも硬さが硬かった、このため、アトマイズ合金粉末と酸化物粉末との混合が十分になされなかったと考えられる。このため、焼結体テストピース中に、酸化物と分散し合っていない７１Ｃｏ−１０Ｃｒ−１４Ｐｔ−５Ｒｕ合金相（磁性金属相）や凝集した酸化物が生じたものと思われる。
【０２１３】
このため、本比較例２で得られるターゲットを用いてスパッタリングを行うと、ノジュールやパーティクル等の不具合の発生頻度が大きくなるおそれがある。
【０２１４】
次に、作製した加圧焼結用混合粉末（ボールミルの累計回転回数は３，９０６，０００回）を用いて、焼結温度：１２００℃、圧力：２４．５ＭＰａ、時間：６０ｍｉｎ、雰囲気：５×１０-2Ｐａ以下の条件でホットプレスを行い、φ１５２．４ｍｍ×厚さ５．０ｍｍのターゲットを４つ作製した。作製した４つのターゲットの相対密度は９８．４％、９８．４％、９８．４％、９８．５％であった。
【０２１５】
作製したターゲットについて、実施例１と同様にして、漏洩磁束についての評価を行った。作製した４つのターゲットの平均漏洩磁束率は４９．３％、４９．２％、４９．３％、４９．２％（前記相対密度の並び順に合わせて記載している）であり、実施例１−６、比較例１と比べてかなり小さくなっていた。
【０２１６】
（考察）
平均漏洩磁束率を測定した実施例１−４、比較例１、２についての測定結果を下記の表９にまとめて示す。なお、ターゲットの平均漏洩磁束率が７０．０％以上であり、かつ、長径５μｍ以上の凝集した酸化物が存在していない場合を総合評価◎とし、ターゲットの平均漏洩磁束率が６５．０％以上であり、かつ、長径５μｍ以上の凝集した酸化物が存在していない場合を総合評価○とし、ターゲットの平均漏洩磁束率が７０．０％以上であるが、長径５μｍ以上の凝集した酸化物が存在している場合を総合評価△とし、ターゲットの平均漏洩磁束率が７０．０％未満であり、かつ、長径５μｍ以上の凝集した酸化物が存在している場合を総合評価×とした。
【０２１７】
【表９】
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【０２１８】
実施例１−６（ターゲット全体の組成はいずれも、９０（７１Ｃｏ−１０Ｃｒ−１４Ｐｔ−５Ｒｕ）−７ＳｉＯ2−３Ｃｒ2Ｏ3）は、金属Ｃｏ、金属Ｃｒ、および酸化物を含有し、残部が不可避的不純物であり、該金属Ｃｏと該金属Ｃｒとの合計に対する該金属Ｃｒの原子数比が２５ａｔ％未満であるターゲットであって、金属Ｃｏおよび金属Ｃｒを含有し、残部が不可避的不純物であり、該金属Ｃｏと該金属Ｃｒとの合計に対する該金属Ｃｒの原子数比が２５ａｔ％以上である非磁性金属相と、金属Ｃｏを含有する磁性金属相と、を備え、前記非磁性金属相に対する前記酸化物の体積比が１．２以下であり、かつ、長径が５μｍ以上の凝集した酸化物が存在しないので、本発明の範囲に含まれる。
【０２１９】
実施例１−６では、分散相が金属Ｃｏ単体相でありターゲット中の金属Ｃｏの多くが分散相に含まれており、一方、その分だけマトリックス相中の金属Ｃｏ量が少なくなっており、マトリックス相中の金属Ｃｏと金属Ｃｒの合計に対する金属Ｃｒの原子数比は２５ａｔ％以上となってマトリックス相は非磁性相となっている。このため、ターゲット全体におけるＣｏ量を一定に保ちつつ磁性相（金属Ｃｏ単体相）の体積分率を減少させることができ、ターゲットの平均漏洩磁束率を大きくすることができる。実際に、実施例１−６の平均漏洩磁束率はそれぞれ７０．０％、７２．２％、７３．４％、７４．７％、６９．２％、６６．５％と大きく、いずれも６５％以上であった。
【０２２０】
また、実施例１−６では、非磁性混合粉末を作製する際、非磁性のＣｏ−Ｃｒ−Ｐｔ−Ｒｕ合金粉末に対する酸化物粉末（ＳｉＯ2粉末とＣｒ2Ｏ3粉末の合計）の体積比を１．２以下にしており、非磁性のＣｏ−Ｃｒ−Ｐｔ−Ｒｕ合金粉末に対する酸化物粉末の体積比を小さくしているので、非磁性のＣｏ−Ｃｒ−Ｐｔ−Ｒｕ合金粉末と酸化物粉末との混合が良好に行われやすい。実際に、実施例１−６では、得られたターゲット中には長径が５μｍ以上の凝集した酸化物は観察されなかった。
【０２２１】
以上のように、本発明の範囲に含まれる実施例１−６のターゲットは、平均漏洩磁束率がいずれも６５．０％以上であり、かつ、ターゲット中には長径が５μｍ以上の凝集した酸化物は観察されなかった。このため、本発明の範囲に含まれる実施例１−６のターゲットを用いることによりマグネトロンスパッタリングを良好に行うことができ、かつ、スパッタリングの際にノジュールやパーティクル等の不具合の発生もしにくい。
【０２２２】
次に実施例５、６と実施例１−４との差異について考察する。実施例１−４では、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ−Ｒｕ合金粉末についてはボールミルで酸化物粉末と混合分散を行っているが、Ｃｏ粉末についてはボールミルによる混合分散を行っていないのに対し、実施例５、６では、Ｃｏ粉末についてもボールミルで酸化物粉末と混合分散を行っている。
【０２２３】
このため、図３−図１４に示すように、実施例１−４ではターゲット中のＣｏ相は略球状の形状を保っているが、実施例５、６ではターゲット中のＣｏ相は総じて細長い形状となり、アスペクト比が２以上のＣｏ相の体積比がＣｏ相全体に対して０．５を上回っている。
【０２２４】
このため、実施例５、６では平均漏洩磁束率は６５％を上回ったものの７０％未満の範囲に止まり、実施例１−４のように７０％以上にはならなかったものと思われる。
【０２２５】
また、実施例５、６の違いは、作製したＣｏ粉末に、酸化物粉末を添加してボールミルで混合分散する際のボールミルの累計回転回数が、実施例５では１,１４２,６４０回であり、実施例６では１,５７８,９６０回であり、実施例６の累計回転回数が実施例５の累計回転回数よりも３８％程度多くなっていることである。この違いのため、ターゲット中のＣｏ相は実施例６の方が実施例５よりも総じて細長くなっている（アスペクト比が２以上のＣｏ相のＣｏ相全体に対する体積比が大きくなっている）と考えられ、このため、実施例６の平均漏洩磁束率は実施例５の平均漏洩磁束率よりも小さくなったものと思われる。
【０２２６】
現時点では、Ｃｏ相（磁性金属相）が総じて細長くなる（Ｃｏ相（磁性金属相）のアスペクト比が大きくなる）とターゲットの平均漏洩磁束率が小さくなるメカニズムについてははっきりしていないが、実施例１−４と実施例５、６とを比較した結果から、平均漏洩磁束率を大きくするためには、Ｃｏ粉末（磁性金属粉末）をボールミルで混合分散する工程は設けない方がよいと考えられる。Ｃｏ粉末（磁性金属粉末）をボールミルで混合分散する工程を設けないことにより、Ｃｏ相（磁性金属相）が総じて細長くなる（Ｃｏ相（磁性金属相）のアスペクト比が大きくなる）ことを防止することができ、アスペクト比が２以上のＣｏ相のＣｏ相全体に対する体積比を０．５以下にすることができ、ターゲットの平均漏洩磁束率をより大きくすることができる。
【０２２７】
一方、ターゲット中に酸化物の凝集が生じないようにするためには、酸化物粉末と金属粉末とがよく混合分散された加圧焼結用混合粉末を得る必要があるので、酸化物粉末は非磁性金属粉末とボールミルで十分に混合分散するようにすればよいと考えられる。
【０２２８】
比較例１は、ターゲット全体の組成は９０（７１Ｃｏ−１０Ｃｒ−１４Ｐｔ−５Ｒｕ）−７ＳｉＯ2−３Ｃｒ2Ｏ3であり、実施例１−６と同一であるが、作製した２種類のアトマイズ金属粉末（Ｃｒ−Ｐｔ−Ｒｕ合金粉末、Ｃｏ粉末）のうち、合金粉末の組成は３４．４８３Ｃｒ−４８．２７６Ｐｔ−１７．２４１Ｒｕであり、合金粉末中にはＣｏは含有されておらず、Ｃｏの含有割合はゼロである。そのため、非磁性混合粉末を作製する際に用いる非磁性のＣｒ−Ｐｔ−Ｒｕ合金粉末の体積量が、Ｃｏの含有割合がゼロである分だけ小さくなっており、非磁性のＣｒ−Ｐｔ−Ｒｕ合金粉末に対する酸化物粉末（ＳｉＯ2粉末とＣｒ2Ｏ3粉末の合計）の体積比が１．２８８と比較的大きくなっており、１．２を上回っている。このため、非磁性のＣｒ−Ｐｔ−Ｒｕ合金粉末と酸化物粉末との混合が良好に行われず、その結果、得られた焼結体テストピース中に長径が５μｍ以上の凝集した酸化物が存在したものと思われる。
【０２２９】
ただし、ターゲットの平均漏洩磁束率は７５．２％と大きく、良好である。
【０２３０】
比較例２は、ターゲット全体の組成は９０（７１Ｃｏ−１０Ｃｒ−１４Ｐｔ−５Ｒｕ）−７ＳｉＯ2−３Ｃｒ2Ｏ3であり、実施例１−６、比較例１と同一であるが、作製したアトマイズ金属粉末は１種類（７１Ｃｏ−１０Ｃｒ−１４Ｐｔ−５Ｒｕ）だけであり、得られた焼結体中には金属Ｃｏ単体相は存在しておらず、金属相は７１Ｃｏ−１０Ｃｒ−１４Ｐｔ−５Ｒｕ合金相のみである。この合金相においては、金属Ｃｏと金属Ｃｒの合計に対する金属Ｃｒの原子数比が１２．３ａｔ％であり、表１および図１からわかるようにこの合金相は磁性相である。したがって、比較例２のターゲット中の金属相は全て磁性相であり、非磁性金属相は存在していない。このため、比較例２のターゲットの平均漏洩磁束率は４９．３％と小さくなったものと考えられる。
【０２３１】
一方、比較例２では、加圧焼結用混合粉末中において、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ−Ｒｕ合金粉末に対する酸化物粉末（ＳｉＯ2粉末とＣｒ2Ｏ3粉末の合計）の体積比は０．４３６と小さくなっており、１．２を下回っている。この点では、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ−Ｒｕ合金粉末と酸化物粉末との混合は良好になると考えられる。しかしながら、理由は明確ではないが、用いたＣｏ−Ｃｒ−Ｐｔ−Ｒｕ合金粉末（７１Ｃｏ−１０Ｃｒ−１４Ｐｔ−５Ｒｕ合金粉末）は、実施例１−４、比較例１で用いた合金粉末と比較して硬さが硬くなっており、このため酸化物粉末との混合を良好に行うことができなかった。このため、得られた焼結体テストピース中に長径が５μｍ以上の凝集した酸化物が存在してしまったものと思われる。
【符号の説明】
【０２３２】
１０…ターゲット
１２…磁性金属相
１４…マトリックス相
【図１】
2014074219.tif 000012
【図２】
2014074219.tif 000013
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
2014074219.tif 000019
【図９】
2014074219.tif 000020
【図１０】
2014074219.tif 000021
【図１１】
2014074219.tif 000022
【図１２】
2014074219.tif 000023
【図１３】
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【図１４】
2014074219.tif 000025
【図１５】
2014074219.tif 000026
【図１６】
2014074219.tif 000027
【図１７】
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【図１８】
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