(57)【要約】【課題】様々な反射率の被検面を計測するために有利な技術を提供する。【解決手段】被検面で反射した被検光と参照面で反射した参照光とによって得られる干渉信号に基づいて前記被検面の形状を計測する、フィゾー型干渉計により構成される計測装置は、前記参照光と合波される前の前記被検光の光路上に配置され、かつ前記被検光の透過率を連続的または段階的に変更可能な調光素子を有し、当該調光素子における前記被検光の透過率を変更することにより前記被検光の強度を調整する調光部を含む。【選択図】図１
2014092522.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検面で反射した被検光と参照面で反射した参照光とによって得られる干渉信号に基づいて前記被検面の形状を計測する、フィゾー型干渉計により構成される計測装置であって、
前記参照光と合波される前の前記被検光の光路上に配置され、かつ前記被検光の透過率を連続的または段階的に変更可能な調光素子を有し、当該調光素子における前記被検光の透過率を変更することにより前記被検光の強度を調整する調光部を含む、ことを特徴とする計測装置。
【請求項２】
前記調光素子は、前記被検光の光路上に配置された複数の板部材を含み、
各板部材には、前記被検光を透過させる複数の穴が形成され、
前記調光部は、前記複数の板部材を前記被検光の光軸方向と異なる方向に相対的にずらすことにより前記調光素子における前記被検光の透過率を変更する、ことを特徴とする請求項１に記載の計測装置。
【請求項３】
前記調光部は、前記複数の板部材のうち少なくとも１つを駆動するアクチュエータを含む、ことを特徴とする請求項２に記載の計測装置。
【請求項４】
前記調光素子は、前記被検光の光路上に配置された複数の偏光板を含み、
前記調光部は、前記複数の偏光板のうち少なくとも１つを前記被検光の光軸と平行な軸を中心にして回転させることにより前記調光素子における前記被検光の透過率を変更する、ことを特徴とする請求項１に記載の計測装置。
【請求項５】
前記調光部は、前記複数の偏光板のうち少なくとも１つを回転させるアクチュエータを含む、ことを特徴とする請求項４に記載の計測装置。
【請求項６】
前記干渉信号のコントラストが目標範囲に収まるように前記調光部を制御する制御部を更に含む、ことを特徴とする請求項１乃至５のうちいずれか１項に記載の計測装置。
【請求項７】
出射する光の周波数を走査することができる光源を含むことを特徴とする請求項１乃至６のうちいずれか１項に記載の計測装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被検面の形状を計測する計測装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
被検面の形状を非接触で計測する装置として、測定環境の変化に強いフィゾー型干渉計などを用いたアブソリュート型の計測装置がある。このような計測装置において、被検面の形状を高精度に計測するためには、被検面で反射した被検光と参照面で反射した参照光との強度差を小さくし、被検光と参照光とによって得られる干渉信号を良好なコントラストにすることが重要である。そこで、被検光と参照光との強度差を小さくするように構成された計測装置が、特許文献１および２に提案されている。
【０００３】
特許文献１では、参照面の反射率が被検面の反射率に近づくように参照面にコーティングを施し、被検光と参照光との強度差を小さくした計測装置が提案されている。また、特許文献２では、被検光の光路上に、被検光と参照光との強度差が小さくなるようにフィルターを配置した計測装置が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特表２００６−５１５９２５号公報
【特許文献２】特許第４３１１７３９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
近年、計測装置では、被検面の反射率が低いものから高いものまでの広い範囲にわたって、様々な反射率の被検面を計測対象にすることが要求されている。しかしながら、特許文献１および２の計測装置では、コーティングが施された参照面の反射率やフィルターの透過率は変えることができず一定である。そのため、当該参照面や当該フィルターを用いて被検光と参照光との強度差を小さくできる被検面の反射率の範囲は限定的になってしまいうる。
【０００６】
そこで、本発明は、様々な反射率の被検面を計測するために有利な技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明の一側面としての計測装置は、被検面で反射した被検光と参照面で反射した参照光とによって得られる干渉信号に基づいて前記被検面の形状を計測する、フィゾー型干渉計により構成される計測装置であって、前記参照光と合波される前の前記被検光の光路上に配置され、かつ前記被検光の透過率を連続的または段階的に変更可能な調光素子を有し、当該調光素子における前記被検光の透過率を変更することにより前記被検光の強度を調整する調光部を含む、ことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、例えば、様々な反射率の被検面を計測するために有利な技術を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の第１実施形態における計測装置を示す図である。
【図２】調光素子の透過率と被検面の反射率との関係を示す図である。
【図３】第１実施形態の調光部を構成する板部材を示す図である。
【図４】第１実施形態の調光部の断面図を示す図である。
【図５】干渉信号のコントラストが目標範囲内になるように調光素子の透過率を設定する方法を示すフローチャートである。
【図６】干渉信号のコントラストが最大になるように調光素子の透過率を設定する方法を示すフローチャートである。
【図７】第３実施形態の調光部の断面図を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、添付図面を参照して、本発明の好適な実施の形態について説明する。なお、各図において、同一の部材ないし要素については同一の参照番号を付し、重複する説明は省略する。また、各図において、参照光と合波する前における被検光の光軸方向をｚ方向とし、当該光軸方向と直交する面上において互いに直交する方向をそれぞれｘ方向およびｙ方向とする。
【００１１】
＜第１実施形態＞
本発明の第１実施形態における計測装置１００について、図１を参照して説明する。第１実施形態の計測装置１００は、光源１０１と、偏向ビームスプリッタ（ＰＢＳ）１０４と、参照面１０９を有する透明基板１０８と、撮像素子１１４とを含むフィゾー型干渉計によって構成されている。そして、計測装置１００は、被検面１１０ａで反射した被検光と参照面１０９で反射した参照光とによって得られる干渉信号に基づいて、被検面１１０ａと参照面１０９との間の光路長に対応する位相を検出し、被検面１１０ａの形状を計測する。また、計測装置１００は、光源１０１を制御する制御部１１２と、撮像素子１１４を制御する制御部１１５と、調光部１１８を制御する制御部１１９と、各制御部を制御する主制御部１１７とを含む。
【００１２】
光源１０１は、制御部１１２の制御により、光源１０１から出射する光の周波数を走査することができる。光源１０１から出射した直線偏光の光束は、コリメータレンズ１０２により平行光束となり１／２波長板１０３に入射する。１／２波長板は、直線偏光の偏光方位が偏向ビームスプリッタ（ＰＢＳ）１０４を透過する方位になるように配置されている。１／２波長板１０３を透過した光束は、偏向ビームスプリッタ（ＰＢＳ）１０４を透過し、１／４波長板１０５に入射する。１／４波長板１０５を通過した光束は、円偏光となり、集光レンズ１０６に入射する。集光レンズ１０６を通過した光束は、球面波となり、コリメータレンズ１０７に入射し、光束径が拡大された平行光束としてコリメータレンズ１０７から出射する。コリメータレンズ１０７から出射した平行光束は、参照面１０９を有する透明基板１０８に入射する。透明基板１０８に入射した光束の一部は、参照面１０９で反射し、参照光としてもと来た光路を戻る。一方で、透明基板１０８を通過した光束は調光部１１８における調光素子１１８ａを通過し、搭載台１１１に搭載された被検体１１０の被検面１１０ａを照射する。被検面１１０ａで反射した光束は、被検光として、再度、調光部１１８における調光素子１１８ａと透明基板１０８の参照面１０９とを通過し、参照面１０９で反射した参照光と合波される。合波された光束は、コリメータレンズ１０７と集光レンズ１０６とを通過し、１／４波長板１０５に入射する。１／４波長板１０５を透過した光束は、偏向ビームスプリッタ（ＰＢＳ）１０４で反射する偏光方位の直線偏光となり、光源１０１への方向とは異なる方向（ｘ方向）へと進む。偏光ビームスプリッタ（ＰＢＳ）１０４からｘ方向に出射した光束は、結像レンズ１１３を通過して撮像素子１１４上に結像する。撮像素子１１４では、参照光と被検光との合波によって干渉信号が得られる。モニタ１１６は、撮像素子１１４と接続されており、撮像素子１１４で得られた干渉信号を表示する。
【００１３】
制御部１１２は、光源１０１における光の周波数の走査を制御するとともに、光源１０１における周波数情報を取得する。制御部１１５は、撮像素子１１４を制御するとともに、撮像素子１１４から干渉信号を取得する。制御部１１９は、調光部１１８を制御する。また、主制御部１１７は、各制御部を制御するとともに、制御部１１５を介して撮像素子１１４から取得した干渉信号に基づいて、干渉信号のコントラストと被検面１１０ａの形状とを算出する。
【００１４】
ここで、主制御部１１７が、撮像素子１１４から取得した干渉信号に基づいて、干渉信号のコントラストと被検面１１０ａの形状とを算出する方法について説明する。光源１０１から出射される光の周波数がνのとき、被検面１１０ａの位置座標（ｘ，ｙ）に対応する撮像素子１１４の画素によって得られる干渉信号Ｉ（ｘ，ｙ；ν）は、式（１）によって表される。
【００１５】
【数１】
2014092522.tif 000003
【００１６】
式（１）においてφ（ｘ，ｙ；ν）は、光源１０１から出射される光の周波数がνのとき、被検面１１０ａの位置座標（ｘ，ｙ）に対応する撮像素子１１４の画素によって検出された参照光と被検光との位相差である。光源１０１から出射される光の周波数νをΔνだけ走査したとき、参照光と被検光との位相差φ（ｘ，ｙ；ν）の変化Δφ（ｘ，ｙ）は、式（２）によって表される。式（２）において、ｃは光速であり、Ｈ（ｘ，ｙ）は位置座標（ｘ，ｙ）における被検面１１０ａの形状である。
【００１７】
【数２】
2014092522.tif 000004
【００１８】
式（２）より、被検面１１０ａの形状Ｈ（ｘ，ｙ）を、光源１０１から出射した光の周波数νの走査量Δν、および光の周波数νをΔνだけ走査したときにおける参照光と被検光との位相差の変化Δφ（ｘ，ｙ）に基づいて算出することができる。
【００１９】
また、式（１）においてＣ（ｘ，ｙ）は、被検面１１０ａの位置座標（ｘ，ｙ）に対応する撮像素子１１４の画素のコントラストである。コントラストＣ（ｘ，ｙ）は、参照面１０９の透過率をＴ１、調光部１１８の透過率をＴ２、参照面１０９の反射率をＲ１、位置座標（ｘ，ｙ）における被検面１１０ａの反射率をＲ２（ｘ，ｙ）とすると、式（３）によって表される。
【００２０】
【数３】
2014092522.tif 000005
【００２１】
被検面の形状を非接触で計測する計測装置では、被検面の反射率が低いものから高いものまでの広い範囲にわたって、様々な反射率の被検面を計測対象にすることが要求されている。そして、様々な反射率の被検面を高精度に計測するためには、被検光と参照光との強度差を小さくし、被検光と参照光とによって得られる干渉信号を良好なコントラストにすることが重要である。そこで、第１実施形態の計測装置１００では、被検光の透過率を連続的に変更可能な調光素子１１８ａを有し、調光素子１１８ａにおける被検光の透過率を変更することにより被検光の強度を調整する調光部１１８を含んでいる。そして、調光部１１８は、調光素子１１８ａが参照光と合波される前の被検光の光路上に配置されるように、参照面１０９と被検面１１０ａとの間に設けられている。このように調光部１１８を設けることにより、式（３）における調光素子１１８ａの透過率Ｔ２を変更することができるため、コントラストＣ（ｘ，ｙ）を変更することができ、干渉信号を良好な（高い）コントラストにすることができる。ここで、被検光と参照光との干渉信号を高いコントラストにする例について、図２を参照して説明する。
【００２２】
図２は、調光素子１１８ａの透過率Ｔ２と被検面１１０ａの反射率Ｒ２との関係を示す図である。図２では、例えば、参照面１０９の反射率Ｒ１が０．０４、参照面１０９の透過率Ｔ１が０．９６、および式（３）によって得られる干渉信号のコントラストＣの目標範囲が０．７以上と設定されている。この場合、調光素子１１８ａの透過率Ｔ２と被検面１１０ａの反射率Ｒ２との関係が図２の実線で囲まれた領域１２０内にあるときに、干渉信号のコントラストＣが目標範囲である０．７以上となる。また、調光素子１１８ａの透過率Ｔ２と被検面１１０ａの反射率Ｒ２との関係が図２の破線１２１上にあるときに、干渉信号のコントラストＣが最大値となる。例えば、調光素子１１８ａの透過率Ｔ２が０．４である場合、干渉信号のコントラストＣが目標範囲である０．７以上となるときの被検面１１０ａの反射率Ｒ２の範囲は、図２の矢印１２２で示された範囲（０．１１から０．６６）となる。即ち、第１実施形態の計測装置１００は、調光素子１１８ａの透過率Ｔ２を０．４に設定した場合、被検面１１０ａの反射率が０．１１から０．６６までの範囲にある被検体１１０を計測することができる。そして、計測装置１００は、調光素子１１８ａの透過率Ｔ２を０．１４から１．０までの範囲で変更することにより、被検面１１０ａの反射率が０．０２から１．０までの広い範囲において、干渉信号のコントラストＣを０．７以上として計測することができる。
【００２３】
このように被検光の透過率を連続的に変更可能な調光素子１１８ａを有し、被検光の強度を調整することができる調光部１１８について、図３および図４を参照して説明する。第１実施形態の計測装置１００において、調光部１１８の調光素子１１８ａは、図３に示すような板部材４０１を、図４に示すように光軸方向（ｚ軸方向）に沿って２枚配置することにより構成されている。図３は、第１実施形態の調光素子１１８ａを構成する板部材４０１を示す図であり、図３（ａ）は板部材４０１の一部を拡大した図、および図３（ｂ）は板部材４０１の全体図である。板部材４０１には、穴がマトリクス状に複数形成されており、当該穴は光を透過させる透過部３０１として機能する。そして、透過部３０１と、透過部３０１が形成されていない部分である不透過部３０２との割合によって、その板部材４０１の透過率が決定される。また、図４は、第１実施形態の調光部１１８の断面図を示す図である。第１実施形態の調光部１１８は、図３に示す板部材４０１を光軸方向（ｚ軸方向）に沿って２枚配置することによって構成された調光素子１１８ａを含む。また、調光部１１８は、２枚の板部材４０１のうち板部材４０１ｂを光軸方向と異なる方向（例えばｘ方向）に駆動するアクチュエータ４０３を含む。アクチュエータ４０３が板部材４０１ｂをｘ方向に駆動することにより、板部材４０１ａと板部材４０１ｂとがｘ方向に相対的にずれる。これにより、板部材４０１ａにおける透過部３０１と板部材４０１ｂにおける透過部３０１とが重なり合う面積を連続的に変更することができる。即ち、調光素子１１８ａにおける被検光の透過率Ｔ２を連続的に変更することができる。ここで、第１実施形態の調光部１１８では、アクチュエータ４０３により板部材４０１ｂのみをｘ方向に駆動したが、板部材４０１ａを駆動するアクチュエータを更に含み、板部材４０１ａと板部材４０１ｂとを双方移動させてもよい。また、第１実施形態の調光素子１１８ａは、２枚の板部材４０１によって構成されているが、３枚以上の複数の板部材４０１によって構成されてもよい。更に、第１実施形態の調光素子１１８ａは、アクチュエータ４０３の駆動により、被検光の透過率Ｔ２を連続的に変更できるように構成されているが、段階的（例えば３段階以上）に透過率Ｔ２を変更できるように構成されてもよい。
【００２４】
ここで、上述したように構成された調光部１１８を含む第１実施形態の計測装置１００において、被検光と参照光とによる干渉信号のコントラストＣが目標範囲内になるように調光素子１１８ａの透過率Ｔ２を設定する方法について、図５を参照して説明する。図５は、第１実施形態の計測装置１００において、干渉信号のコントラストＣが目標範囲内になるように調光素子１１８ａの透過率Ｔ２を設定する方法を示すフローチャートである。
【００２５】
Ｓ２０１では、主制御部１１７は、調光部１１８が初期状態になるように制御部１１９を制御する。初期状態とは、調光素子１１８ａの透過率Ｔ２が最大になる調光部１１８の状態のことである。即ち、初期状態とは、調光素子１１８ａを構成する板部材４０１ａにおける透過部３０１と、板部材４０１ｂにおける透過部３０１との重なり合う面積が最大になる状態のことである。Ｓ２０２では、主制御部１１７は、光源１０１から出射した光の周波数νを走査するように制御部１１２を制御する。Ｓ２０３では、主制御部１１７は、光源１０１から出射した光の各周波数νにおける干渉信号Ｉ（ｘ，ｙ；ν）を撮像素子１１４から制御部１１５を介して取得する。Ｓ２０４では、主制御部１１７は、Ｓ２０３で取得した干渉信号Ｉ（ｘ，ｙ；ν）のコントラストＣ（ｘ，ｙ）を算出する。Ｓ２０５では、主制御部１１７は、Ｓ２０４において算出した干渉信号のコントラストＣ（ｘ、ｙ）が目標範囲内にあるか否かを判定する。目標範囲は、例えば、上述したように、干渉信号のコントラストが０．７以上となるように設定される。そして、干渉信号のコントラストＣ（ｘ，ｙ）が目標範囲内にある場合には、主制御部１１７は、そのときの調光素子１１８ａの透過率を被検面の形状を計測する際の透過率として設定し、調光素子１１８ａの透過率を設定するフローを終了する。一方で、干渉信号のコントラストＣ（ｘ，ｙ）が目標範囲内にない場合には、Ｓ２０６に進む。
【００２６】
Ｓ２０６では、主制御部１１７は、調光部１１８が最終状態であるか否かを判定する。最終状態とは、調光素子１１８ａの透過率Ｔ２が最小になる調光部１１８の状態のことである。即ち、最終状態とは、調光素子１１８ａを構成する板部材４０１ａにおける透過部３０１と、板部材４０１ｂにおける透過部３０１との重なり合う面積が最小になる状態のことである。調光部１１８が最終状態である場合には、調光素子１１８ａの透過率を設定するフローを終了する。一方で、調光部１１８が最終状態でない場合には、Ｓ２０７に進む。Ｓ２０７では、主制御部１１７は、調光部１１８が次の状態となるように制御部１１９を制御する。次の状態とは、調光素子１１８ａの透過率が、Ｓ２０６において用いられた調光素子１１８ａの透過率より小さくなる調光部１１８の状態のことである。例えば、Ｓ２０７では、Ｓ２０６において用いられた調光素子１１８ａの透過率が第１値である場合、調光素子１１８ａの透過率が第１値より小さい第２値になるように制御部１１９が制御される。Ｓ２０７において調光部１１８を次の状態にした後、Ｓ２０２に戻り、主制御部１１７は、光源１０１から出射した光の周波数νを走査するように制御部１１２を制御する。このようなフローにより、第１実施形態の計測装置は、被検光と参照光とによって得られる干渉信号のコントラストが目標範囲内になるように調光素子１１８ａの透過率Ｔ２を設定することができる。ここで、調光部１１８を次の状態にする際の調光素子１１８ａの透過率の減少量、即ち、第１値と第２値との差は、任意に決めることができる。また、第１実施形態の計測装置１００では、調光素子１１８ａの透過率が最大になる調光部１１８の状態を初期状態、および最小になる調光部１１８の状態を最終状態とし、透過率を徐々に小さくして調光素子１１８ａの透過率Ｔ２を設定した。しかし、それに限られるものではなく、例えば、調光素子１１８ａの透過率が最小になる調光部１１８状態を初期状態、および最大になる調光部１１８の状態を最終状態とし、透過率を徐々に大きくして調光素子１１８ａの透過率Ｔ２を設定してもよい。
【００２７】
上述したように、第１実施形態の計測装置１００は、被検光の透過率を連続的に変更可能な調光素子１１８ａを有し、調光素子１１８ａにおける被検光の透過率を変更することにより被検光の強度を調整する調光部１１８を含む。そして、調光部１１８は、調光素子１１８ａが参照光と合波される前の被検光の光路上に配置されるように、参照面１０９と被検面１１０ａとの間に設けられている。このように調光部１１８を設け、図５に示すフローチャートに従って調光素子１１８ａの透過率Ｔ２を設定することにより、参照光と被検光とによって得られる干渉信号のコントラストＣ（ｘ，ｙ）を、良好な（高い）コントラストにすることができる。
【００２８】
＜第２実施形態＞
本発明の第２実施形態の計測装置について、図６を参照して説明する。第２実施形態の計測装置は、第１実施形態の計測装置１００と比較して、調光素子１１８ａの透過率Ｔ２を設定する方法が異なる。第２実施形態の計測装置では、被検光と参照光によって得られる干渉信号のコントラストが最大となるように調光素子１１８ａの透過率Ｔ２が設定される。図７は、干渉信号のコントラストＣが最大になるように調光素子１１８ａの透過率Ｔ２を設定する方法を示すフローチャートである。
【００２９】
Ｓ３０１では、主制御部１１７は、調光部１１８の状態Ｓｎが第１状態Ｓ１（初期状態（ｎ＝１））になるように制御部１１９を制御する。第１状態Ｓ１（初期状態）とは、調光素子１１８ａの透過率Ｔ２が最大となる調光部１１８の状態のことである。即ち、第１状態Ｓ１（初期状態）とは、調光素子１１８ａを構成する板部材４０１ａにおける透過部３０１と、板部材４０１ｂにおける透過部３０１との重なり合う面積が最大になる状態のことである。Ｓ３０２では、主制御部１１７は、光源１０１から出射した光の周波数νを走査するように制御部１１２を制御する。Ｓ３０３では、主制御部１１７は、光源１０１から出射した光の各周波数νにおける干渉信号Ｉｎ（ｘ，ｙ；ν）を撮像素子１１４から制御部１１５を介して取得する。Ｓ３０４では、主制御部１１７は、Ｓ３０３で取得した干渉信号Ｉｎ（ｘ，ｙ；ν）のコントラストＣｎ（ｘ，ｙ）を算出する。ここで、ｎは、調光部１１８の状態Ｓｎが何段階目の状態であるかを示す番号である。即ち、ｎが大きくなるほど、調光素子１１８ａを構成する板部材４０１ａにおける透過部３０１と、板部材４０１ｂにおける透過部３０１との重なり合う面積が小さくなり、調光素子１１８ａの透過率Ｔ２が小さくなる。
【００３０】
Ｓ３０５では、主制御部１１７は、Ｓ３０４において算出した干渉信号のコントラストＣｎ（ｘ，ｙ）が、調光部１１８の状態がＳｎ−１のときにＳ３０４において算出した干渉信号のコントラストＣｎ−１（ｘ，ｙ）より小さいか否かを判定する。そして、コントラストＣｎ（ｘ，ｙ）がコントラストＣｎ−１（ｘ，ｙ）より小さい場合はＳ３０６に進む。Ｓ３０６では、主制御部１１７は、調光部１１８の状態がＳｎ−１のときの調光素子１１８ａの透過率を被検面の形状を計測する際の透過率として決定し、調光素子１１８ａの透過率を設定するフローを終了する。一方で、Ｓ３０５において、コントラストＣｎ（ｘ，ｙ）がコントラストＣｎ−１（ｘ，ｙ）より大きい場合はＳ３０７に進む。Ｓ３０７では、主制御部１１７は、調光部１１８が最終状態であるか否かを判定する。最終状態とは、調光素子１１８ａの透過率Ｔ２が最小となる調光部１１８の状態のことである。即ち、最終状態とは、調光素子１１８ａを構成する板部材４０１ａにおける透過部３０１と、板部材４０１ｂにおける透過部３０１との重なり合う面積が最小になる状態のことである。調光部１１８が最終状態である場合には、調光素子１１８ａの透過率を設定するフローを終了する。一方で、調光部１１８が最終状態でない場合には、Ｓ３０８に進む。Ｓ３０８では、主制御部１１７は、調光部１１８が次の状態Ｓｎ＋１になるように制御部１１９を制御する。次の状態Ｓｎ＋１とは、調光素子１１８ａの透過率が、Ｓ３０６において用いられた調光素子１１８ａの透過率より小さくなる調光部１１８の状態のことである。例えば、Ｓ３０８では、Ｓ３０６において用いられた調光素子１１８ａの透過率が第１値である場合、調光素子１１８ａの透過率が第１値より小さい第２値になるように制御部１１９が制御される。これにより、第２実施形態の計測装置は、被検光と参照光とによって得られる干渉信号のコントラストが最大になるように調光素子１１８ａの透過率Ｔ２を設定することができる。ここで、次の状態にするときにおける透過率の減少量、即ち、第１値と第２値との差は、任意に決めることができる。また、第２実施形態の計測装置では、調光素子１１８ａの透過率が最大になる調光部１１８の状態を初期状態、および最小になる調光部１１８の状態を最終状態とし、透過率を徐々に小さくして調光素子１１８ａの透過率Ｔ２を設定した。しかし、それに限られるものではなく、例えば、調光素子１１８ａの透過率が最小になる調光部１１８の状態を初期状態、および最大になる調光部１１８の状態を最終状態とし、透過率を徐々に大きくして調光素子１１８ａの透過率Ｔ２を設定してもよい。
【００３１】
上述したように、第２実施形態の計測装置は、被検面１１０ａの光路上に配置された調光素子１１８ａの透過率Ｔ２を、図６に示すフローチャートに従って設定している。これにより、参照光と被検光とによって得られる干渉信号のコントラストＣ（ｘ，ｙ）を最大にすることができる。
【００３２】
＜第３実施形態＞
本発明の第３実施形態の計測装置について説明する。第３実施形態の計測装置は、第１実施形態の計測装置と比較して、調光部１１８における調光素子１１８ａの構成が異なる。第３実施形態の調光素子１１８ａでは、透過部３０１（穴）が形成された板部材４０１を用いるのではなく、２枚の偏光板５０１ａおよび５０１ｂを用いて、調光素子１１８ａの透過率Ｔ２が連続的に変更される。
【００３３】
図７は、第３実施形態の調光部１１８の断面図を示す図である。第３実施形態の調光部１１８は、上述したように、偏光板５０１を光軸方向（ｚ軸方向）に沿って２枚配置することによって構成された調光素子１１８ａを含む。また、調光部１１８は、２枚の偏光板５０１のうち偏光板５０１ｂを光軸と平行な軸を中心にして回転させるアクチュエータ５０３を含む。そして、アクチュエータ５０３が偏光板５０１ｂを回転させることにより、調光素子１１８ａにおける被検光の透過率Ｔ２を連続的に調整することができる。ここで、第３実施形態の調光部１１８では、アクチュエータ５０３により偏光板５０１ｂのみを回転させたが、偏光板５０１ａを回転させるアクチュエータを更に含み、偏光板５０１ａと偏光板５０１ｂとを双方回転させてもよい。また、第３実施形態の調光部１１８は、２枚の偏光板５０１によって構成されているが、３枚以上の複数の偏光板５０１によって構成されてもよい。更に、第３実施形態の調光素子１１８ａは、アクチュエータ５０３の駆動により、被検光の透過率Ｔ２を連続的に変更できるように構成されているが、段階的（例えば３段階以上）に透過率Ｔ２を変更できるように構成されてもよい。
【００３４】
以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明はこれらの実施形態に限定されないことはいうまでもなく、その要旨の範囲内で種々の変形および変更が可能である。
【図１】
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【図２】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図３】
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