(57)【要約】【課題】硝子板を分断して基板を製造し、得られた基板を搬出先に搬出する作業を効率良く行うことができる硝子板分断装置及び分断方法を提供すること。【解決手段】スクライブラインＬｘ，Ｌｙが形成された硝子板Ｍをベルトコンベア２０ａ上の搬入位置に搬入する硝子板搬入動作と、搬入された硝子板Ｍのスクライブラインに沿って押圧力を付与して当該硝子板Ｍを分断する分断動作と、分断硝子板Ｓを搬出先に搬出する分断硝子板搬出動作と、を有しており、分断動作は、押圧部材３０をスクライブラインに沿って移動させて分断する工程と、分断動作終了後の押圧部材３０を次の位置に移動させる移動工程とを有するものであり、押圧部材移動工程中に、分断硝子板Ｓに対する分断硝子板搬出動作を同時実行可能である硝子板分断方法である。【選択図】図１
2014210699.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
分断対象であるスクライブラインが形成された硝子板を、搬送ユニットのベルトコンベア上の搬入位置に搬入する硝子板搬入動作と、
搬入位置に搬入された前記硝子板のスクライブラインに沿って押圧力を付与して当該硝子板を分断する分断動作と、
分断により得られたベルトコンベア上の分断硝子板を搬出先に搬出する分断硝子板搬出動作と、を有しており、
前記分断動作は、前記押圧力を付与する押圧部材をスクライブラインに沿って移動させて、当該硝子板を分断する分断工程と、当該分断動作終了後の前記押圧部材を、次の押圧対象のスクライブラインの位置に移動させる押圧部材移動工程とを有するものであり、
任意のスクライブラインに対する前記分断工程に続いて実行される、次のスクライブラインへの押圧部材移動工程中に、分断硝子板に対する分断硝子板搬出動作を同時実行可能であることを特徴とする硝子板分断方法。
【請求項２】
前記分断硝子板搬出動作は、前記分断硝子板を搬出先に搬出する搬出ユニットの保持部材によって前記ベルトコンベア上の前記分断硝子板を保持する分断硝子板保持工程を含むものであり、
任意の前記スクライブラインに対する前記分断動作の分断工程中に、分断中の当該硝子板に対する前記分断硝子板搬出動作の分断硝子板保持工程が行われる、請求項１に記載の硝子板分断方法。
【請求項３】
前記ベルトコンベア上の搬入位置に搬入された硝子板をコンベア搬送方向に移動させる硝子板搬送動作を、さらに有しており、
前記分断硝子板搬出動作は、さらに、前記保持部材に保持された分断硝子板を搬出先に搬出する分断硝子板搬出工程を含むものであり、
前記押圧部材移動工程、前記分断硝子板搬出工程及び前記硝子板搬送動作が、作業時間を重複させて同時に行われる、請求項２に記載の硝子板分断方法。
【請求項４】
前記硝子板搬入動作は、一つ前の分断対象の硝子板に対して行われる硝子板搬送動作と同時に行われるものである、請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の硝子板分断方法。
【請求項５】
前記搬入位置に搬入された前記硝子板の位置を検出する硝子板位置の検出動作と、
予め記憶された前記スクライブラインのライン位置情報と、前記検出動作で検出された前記硝子板の位置情報とに基づいて、搬入された実際の硝子基板におけるライン位置情報を更新する更新動作と、をさらに備える、請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の硝子板分断方法。
【請求項６】
前記分断工程は、前記押圧部材により前記硝子板を押圧する際、前記押圧部材の周囲に位置する前記硝子板の少なくとも一部を覆う移動規制部材により、押圧の向きと反対の向きへの硝子板の移動を規制する移動規制ステップを含む、請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の硝子板分断方法。
【請求項７】
分断対象であるスクライブラインが形成された硝子板が載置されるベルトコンベアと、当該ベルトコンベアを作動させる駆動機構とを備え、当該駆動機構を作動させることによって硝子板を搬送方向に移動させる搬送ユニットと、
前記ベルトコンベアに載置された前記硝子板に、硝子板分断のための押圧力を付与する押圧ユニットと、
分断により得られたベルトコンベア上の分断硝子板を搬出先に搬出する搬出ユニットと、を備えており、
前記押圧ユニットは、前記硝子板に押圧力を付与する押圧部材と、前記硝子板に押し当てられた当該押圧部材を前記スクライブラインに沿って移動させて前記硝子板を分断する分断動作を行うための押圧部材移動機構と、を備えており、
前記搬出ユニットは、前記分断硝子板を保持するための保持部材と、前記ベルトコンベア上の分断硝子板を搬出先に移動させる保持部材移動機構と、を備えており、
当該搬出ユニットは、前記押圧ユニットの分断工程中に、前記保持部材移動機構を作動させて前記ベルトコンベア上の前記分断硝子板を前記搬出先に移動させるものであることを特徴とする硝子板分断装置。
【請求項８】
前記搬送ユニットは、前記押圧ユニットの押圧部材移動工程中に、前記駆動機構を作動させて前記ベルトコンベア上の前記硝子板を前記搬送方向に移動させるものである請求項７に記載の硝子板分断装置。
【請求項９】
前記搬出ユニットの保持部材は、前記ベルトコンベア上の複数の分断硝子板を保持することができるものである、請求項７又は請求項８に記載の硝子板分断装置。
【請求項１０】
前記押圧ユニットを複数備えている請求項７から請求項９のいずれか一項に記載の硝子板分断装置。
【請求項１１】
前記押圧部材は、前記スクライブラインに沿って転がり移動する押圧ローラであり、当該押圧ローラは、転がり移動方向を変更可能な状態で取り付けられている請求項７から請求項１０のいずれか一項に記載の硝子板分断装置。
【請求項１２】
前記押圧ユニットは、前記押圧力を受けた前記硝子板が押圧の向きとは反対向きに移動することを規制する移動規制部材を、さらに備えている、請求項１１に記載の硝子板分断装置。
【請求項１３】
前記移動規制部材は、前記押圧部材の周囲に位置する前記硝子板の少なくとも一部である被覆領域を覆うものである、請求項１２に記載の硝子板分断装置。
【請求項１４】
前記移動規制部材は、前記押圧力が付与される位置を取り囲んで、かつ、硝子板の上面に臨んで設けられている、請求項１２又は請求項１３に記載の硝子板分断装置。
【請求項１５】
前記移動規制部材は、前記被覆領域に臨んで設けられる１つ以上の規制部材を備えている、請求項１２又は請求項１３に記載の硝子板分断装置。
【請求項１６】
前記１つ以上の規制部材は、押圧ローラに対して近接離間移動可能な水平移動ユニットを備える、請求項１５に記載の硝子板分断装置。
【請求項１７】
硝子板が載置されるベルトコンベアの表面をクリーニングするクリーニング機構をさらに備えている請求項７から請求項１６のいずれか一項に記載の硝子板分断装置。
【請求項１８】
切屑を回収する切屑回収部をさらに備えている請求項７から請求項１７のいずれか一項に記載の硝子板分断装置。
【請求項１９】
前記押圧ユニットは、前記押圧部材の、前記硝子板と当接する面に向けて空気を吹き付けるブローノズルを備えている請求項７から請求項１８のいずれか一項に記載の硝子板分断装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、硝子板などの基板素材を複数の基板に分断する硝子板分断装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
硝子板などの基板素材を分断する方法としては、従来、ガラス基板20にカッタ24でスクライブライン21を形成し、直後に該スクライブライン21をローラ26で加圧して分断する装置がある（特許文献１の要約参照）。
【０００３】
また、ハンド17によって払い出しステージ21上に搬入されたスクライブライン形成済みの大板基板2を、分断機構（上昇機構23及び押さえ機構24等）で分断可能な位置に位置させて、当該分断機構及び作業者Ｐの手によって分断し、分断により得られた短冊状の基板3を作業者Ｐの手で搬出する方法がある（特許文献２の段落〔0032〕〜〔0035〕及び図３〜５等参照）。
【０００４】
また、搬送手段21によってガラス板折割り部3の所定位置に搬送されて位置決めされたガラス板6にカッタ装置71のカッタホイール73等を用いて切線8,9（スクライブライン）を形成した後、押圧部材76等を用いてガラス板6を折割りし、折割りにより得られたガラス板をガラス板折割り部3の所定位置から搬送手段21によってガラス板周縁研削部4に搬出するガラス板折割り方法がある（特許文献３の段落〔0032〕参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平９−２８６６２８号公報
【特許文献２】特開２００８−６９０６５号公報
【特許文献３】特開平１０−２９１８２９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、文献１の方法は一つの場所でスクライブラインの形成と分断を同時に行う方法であり、一見、効率的に見える。ところが、分断したガラス基板を払い出した後清掃が終わるまでは次のガラス基板を搬入できず、必ずしも効率的とは言えない。
そこでスクライブラインの形成と分断を、場所を変えて行う方法として文献２の方法もある。しかし、文献２の分断方法では、払い出しステージ21上で分断機構及び手作業を用いて大板基板2を分断し、得られた短冊状の基板3を手作業で搬出している。このように手作業を用いる方法では、分断作業効率を向上させるにも限界がある。
また、文献３のガラス板折割り方法では、ガラス板折割り部3に搬入されたガラス板に対して切線の形成（スクライブライン形成）と、ガラス板の折割りをベルトコンベア状のテーブルで行っている。このようなテーブルを用いると、硝子分断後のテーブル清掃は容易になるが、本方法では、ガラス板折割り部3の所定位置へのガラス板の搬入動作と、搬入したガラス板の折割り動作と、折割り済みのガラス板のガラス板折割り部からの搬出動作と、テーブル清掃動作を、一つずつこの順番で行う必要がある。従って、この方法においても、ガラス板の折割り効率を向上させるには限界がある。
本発明は、このような問題点に鑑みてなされたものであり、硝子板を分断して基板を製造し、得られた基板を搬出先に搬出する作業を効率良く行うことができる硝子板分断装置及び硝子板分断方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本出願に係る発明は、分断対象であるスクライブラインが形成された硝子板を、搬送ユニットのベルトコンベア上の搬入位置に搬入する硝子板搬入動作と、搬入位置に搬入された前記硝子板のスクライブラインに沿って押圧力を付与して当該硝子板を分断する分断動作と、分断により得られたベルトコンベア上の分断硝子板を搬出先に搬出する分断硝子板搬出動作と、を有しており、前記分断動作は、前記押圧力を付与する押圧部材をスクライブラインに沿って移動させて、当該硝子板を分断する分断工程と、当該分断動作終了後の前記押圧部材を、次の押圧対象のスクライブラインの位置に移動させる押圧部材移動工程とを有するものであり、任意のスクライブラインに対する前記分断工程に続いて実行される、次のスクライブラインへの押圧部材移動工程中に、分断硝子板に対する分断硝子板搬出動作を同時実行可能であることを特徴とする硝子板分断方法である。
そして、前記分断硝子板搬出動作は、前記分断硝子板を搬出先に搬出する搬出ユニットの保持部材によって前記ベルトコンベア上の前記分断硝子板を保持する分断硝子板保持工程を含むものであり、任意の前記スクライブラインに対する前記分断動作の分断工程中に、分断中の当該硝子板に対する前記分断硝子板搬出動作の分断硝子板保持工程が行われる。
また、前記ベルトコンベア上の搬入位置に搬入された硝子板をコンベア搬送方向に移動させる硝子板搬送動作を、さらに有しており、前記分断硝子板搬出動作は、さらに、前記保持部材に保持された分断硝子板を搬出先に搬出する分断硝子板搬出工程を含むものであり、前記押圧部材移動工程、前記分断硝子板搬出工程及び前記硝子板搬送動作が、作業時間を重複させて同時に行われる。
また、前記硝子板搬入動作は、一つ前の分断対象の硝子板に対して行われる硝子板搬送動作と同時に行われるものである。
また、本願発明に係る硝子板分断方法は、前記搬入位置に搬入された前記硝子板の位置を検出する硝子板位置の検出動作と、予め記憶された前記スクライブラインのライン位置情報と、前記検出動作で検出された前記硝子板の位置情報とに基づいて、搬入された実際の硝子基板におけるライン位置情報を更新する更新動作と、をさらに備える。
また、前記分断工程は、前記押圧部材により前記硝子板を押圧する際、前記押圧部材の周囲に位置する前記硝子板の少なくとも一部を覆う移動規制部材により、押圧の向きと反対の向きへの硝子板の移動を規制する移動規制ステップを含む。
【０００８】
また本出願に係る別の発明は、分断対象であるスクライブラインが形成された硝子板が載置されるベルトコンベアと、当該ベルトコンベアを作動させる駆動機構とを備え、当該駆動機構を作動させることによって硝子板を搬送方向に移動させる搬送ユニットと、前記ベルトコンベアに載置された前記硝子板に、硝子板分断のための押圧力を付与する押圧ユニットと、分断により得られたベルトコンベア上の分断硝子板を搬出先に搬出する搬出ユニットと、を備えており、前記押圧ユニットは、前記硝子板に押圧力を付与する押圧部材と、前記硝子板に押し当てられた当該押圧部材を前記スクライブラインに沿って移動させて前記硝子板を分断する分断動作を行うための押圧部材移動機構と、を備えており、前記搬出ユニットは、前記分断硝子板を保持するための保持部材と、前記ベルトコンベア上の分断硝子板を搬出先に移動させる保持部材移動機構と、を備えており、当該搬出ユニットは、前記押圧ユニットの分断工程中に、前記保持部材移動機構を作動させて前記ベルトコンベア上の前記分断硝子板を前記搬出先に移動させるものであることを特徴とする硝子板分断装置である。
そして、前記搬送ユニットは、前記押圧ユニットの押圧部材移動工程中に、前記駆動機構を作動させて前記ベルトコンベア上の前記硝子板を前記搬送方向に移動させるものである。
また、前記搬出ユニットの保持部材は、前記ベルトコンベア上の複数の分断硝子板を保持することができるものである。
また、前記押圧ユニットを複数備えている。
また、前記押圧部材は、前記スクライブラインに沿って転がり移動する押圧ローラであり、当該押圧ローラは、転がり移動方向を変更可能な状態で取り付けられている。
また、前記押圧ユニットは、前記押圧力を受けた前記硝子板が押圧の向きとは反対向きに移動することを規制する移動規制部材を、さらに備えている。
前記移動規制部材は、前記押圧部材の周囲に位置する前記硝子板の少なくとも一部である被覆領域を覆うものである。
また、前記移動規制部材は、前記押圧力が付与される位置を取り囲んで、かつ、硝子板の上面に臨んで設けられている。
また、前記移動規制部材は、前記被覆領域に臨んで設けられる１つ以上の規制部材を備えている。
また、前記１つ以上の規制部材は、押圧ローラに対して近接離間移動可能な水平移動ユニットを備える。
また、硝子板が載置されるベルトコンベアの表面をクリーニングするクリーニング機構をさらに備えている。
また、切屑を回収する切屑回収部をさらに備えている。
また、前記押圧ユニットは、前記押圧部材の、前記硝子板と当接する面に向けて空気を吹き付けるブローノズルを備えている。
【発明の効果】
【０００９】
本出願に係る発明によれば、硝子板を分断して基板を製造し、得られた基板を搬出先に搬出する際、押圧部材移動工程中に、分断硝子板に対する分断硝子板搬出動作を同時実行可能であるので、分断して搬出する動作を効率良く行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】実施例１の硝子板分断装置を示す平面図である。
【図２】図１に示される硝子板分断装置を示す正面図である。
【図３】図１に示される硝子板分断装置の動作途中の状態を示す平面図である。
【図４】硝子板分断装置の押圧ローラを示す斜視図である。
【図５】押圧ローラの動きを説明するための説明用の斜視図である。
【図６】実施例の硝子分断装置における各動作の各工程の動作タイミングを概略的に示すタイムチャート図である。
【図７】実施例１の硝子分断装置における各動作の各工程の動作タイミングを示すタイムチャート図である。
【図８】実施例２の硝子分断装置における各動作の各工程の動作タイミングを示すタイムチャート図である。
【図９】実施例３の硝子板分断装置の押圧ユニット及び搬出ユニットの構造を示す模式図である。
【図１０】移動規制部材を備える押圧ユニットの実施形態を示す部分断面の側面図である。
【図１１】図１０に示される押圧ユニットのＡ−Ａ断面を示す平面断面図である。
【図１２】分断工程における移動規制部材の作用を説明するための説明図である。
【図１３】移動規制部材が複数の場合の具体例を示す移動規制部材の平面図である。
【符号の説明】
【００１１】
１…硝子板分断装置、10…装置支持フレーム、11…ガイド部材,11a,11a…ガイドレール,
20…搬送ユニット、20a…ベルトコンベア部（コンベア）、21…搬送ベルト、
21a…搬送面（上側に向いた外表面）、22,22…回転ローラ、23…モータ（駆動源）、
24…動力ベルト、
30…押圧ユニット、30a…押圧ヘッド、31…押圧ヘッド本体、
32…押圧ヘッドの昇降部、32a…移動ユニット、32b…ロッド、
33…押圧ローラ,33a…回転軸、33b…垂直軸、33z…押圧ローラの下端、
34…押圧ローラの支持部、35…噴射ノズル、
36…移動規制部材、36a…貫通部（貫通穴）、36b…規制面、36c…凹部、36d…逃げ面、
37…ブラケット、136,236…複数の場合の規制片、136a,236a…貫通部、
42…押圧用フレーム、50…搬出ユニット、50a…搬出ヘッド、
51…搬出ヘッド本体（保持部材移動機構）、
52…搬出ヘッドの昇降部（保持部材移動機構）、53…吸着パッド（保持部材）、
60…保持ヘッド支持部、60x…搬出用フレーム、71…レーザセンサ、
80…基板収容トレー（基板収容部）、81…切屑回収部、81a…切屑回収箱、81b…台車、
82…清掃ユニット、82a…清掃ユニットのガイド部材、82b…清掃ユニットの昇降部、
83…清掃用ブラシ、84…吸引用ノズル、
M,M0,M1,M2…硝子板（基板素材）、Ms…矩形エリア、
L,Lx,Lx1,Lx2,Lxm,Ly,Ly1,Ly2,Lym…スクライブライン、
Me1…硝子板の搬送方向上流側の外周縁、Me2…硝子板の搬送方向下流側の外周縁、
Me3…硝子板の搬送方向に延びる外周縁、
F…枠体、S…基板（分断硝子板）、Q…基板S及び枠体Fの周縁、
E1…押圧ローラの移動可能範囲、E2…吸着パッドの移動可能範囲、
F1…分断作業領域、F2…搬出作業領域、F3x,F3y…押圧ローラの押圧作業領域、
T…硝子板搬送動作、T1…硝子板搬入動作、T2…間欠搬送動作（硝子板搬送動作）、
t1…搬送工程、t2…搬送停止工程、
C…位置検出動作、C1…搬入位置検出動作、C2…現在位置検出動作、
D…分断動作、D1…Ｘ方向スクライブラインLxに対する分断動作、
D2…Ｙ方向スクライブラインに対する分断動作、
d1…分断工程（押圧ローラ転動工程）、d2…押圧ローラ移動工程（押圧部材移動工程）、
H…搬出動作（分断硝子板搬出動作）、
H1…分断作業領域の基板Sを搬出する基板搬出動作、
H2…搬出作業領域に移動された基板Sを搬出する基板搬出動作、
h1…基板吸着工程（分断硝子板保持工程、基板保持工程）、
h2…基板搬出工程（分断硝子板搬出工程、後退工程）、
h3…吸着パッド進出工程（受け取り工程、進出工程）、
V…押圧ローラの転がり移動方向、Ｘ方向…搬送方向、
Ｙ方向…Ｘ方向と直交する水平方向、
Za…押圧の向き、Zb…上方（押圧の向きZaとは反対の向き）。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
次に、本発明に係る硝子板分断装置の実施例について、図面を用いて説明する。
【実施例１】
【００１３】
硝子板分断装置１は、大判の硝子板（基板素材）M（M0,M1,M2）を分断して得られる基板（分断硝子板）Sを製造する装置である（図１参照）。
本実施例における分断対象の硝子板Mは、図１に示されるように矩形であり、しかも硝子板分断装置１に搬入される前に、予めスクライブラインL（Lx,Ly）が形成されているものである。なお、スクライブラインLとは、硝子板Mの分断位置を特定し、しかも分断を容易にするライン状の切り込みであり、例えば、加工や切断用のカッタやレーザ光により形成されるものである。
スクライブラインLには、硝子板Mの搬送方向Ｘに延在する外周縁と平行な複数のＸ方向スクライブラインLxと、Ｘ方向と直交する水平の方向Ｙに延在する外周縁と平行な複数のＹ方向スクライブラインLyがある。つまり、スクライブラインLは格子状に形成されており、硝子板Mにはスクライブラインで囲まれた複数の矩形エリアMsが形成されている。
【００１４】
図１及び図２に示されるように、硝子分断装置１は、装置全体を支持する装置支持フレーム10と、装置支持フレーム10の上に設置された搬送ユニット20、押圧ユニット30及び搬出ユニット50を備えている。
【００１５】
装置支持フレーム10は、その上面に設置されたガイド部材11を備えている。このガイド部材11は、後述の押圧用フレーム42及び搬出用フレーム60をＸ方向（分断対象の硝子板Ｍの搬送方向）に移動可能な状態で支持するものであり、硝子板Mの搬送方向Ｘに延在する一対のガイドレール11a,11aを備えている。一対のガイドレール11a,11aは、搬送ユニット20を挟むように、搬送ユニット20の両側に配置されている。
【００１６】
搬送ユニット20は、硝子板Mを搬送するものであり、無端の搬送ベルト21と、搬送ベルト21を動作させる一対の回転ローラ22,22とを有するベルトコンベア部（以下、単にコンベアと称する）20aと、搬送ベルト21を作動させるモータ（駆動源）23と、モータ23の回転を一方の回転ローラ22に伝達する動力ベルト24とを備えている。
各回転ローラ22は、搬送方向Ｘと直交する水平方向Yに延在する回転軸まわりに回転可能に設置されている。つまり、搬送ベルト21の搬送面21a（上側に向いた外表面）は、搬送方向Ｘに移動可能である。また、モータ23を作動させて、搬送ベルト21の搬送面21aを、後述のトレー80（基板収容部、搬出先）に向けて移動させると、搬送ベルト21上の載置物（例えば、硝子板M）は、搬送方向下流側の向きＸaに搬送される。
なお、搬送ユニット20の搬送方向上流側には、図示しない上流側ベルトコンベアが設置されている。この上流側ベルトコンベアは、コンベア20aへの硝子板Mの搬入に用いられるものであり、搬送ユニット20と同期して動作する。従って、後述の動作説明では、その詳細な動作説明を省略する。また、上流側ベルトコンベアの代わりに多関節ロボットを配置し、多関節ロボットにより、搬送ユニット20に硝子板Mを搬入するようにしても良い。
【００１７】
押圧ユニット30は、硝子板Mに押圧力を加えてスクライブラインLに沿って硝子板Mを分断するためのものであり、搬送ベルト21の上方に配置されている。そして、押圧ユニット30は、後述の押圧ローラ33（押圧部材）を備えた押圧ヘッド30aと、押圧ヘッド30aを移動可能に支持する押圧用フレーム（押圧ヘッド支持フレーム）42とを備えている。
押圧用フレーム42は、門形の部材であり、一対のガイドレール11a,11aに沿ってＸ方向に移動可能である。なお、押圧ヘッド本体31の移動可能範囲E1を図２に示した。つまり、押圧ヘッド本体31は、後退限度位置（図２の位置参照）と、後退限度位置よりも搬送方向下流側Xaである進出限度位置との間で移動可能である。
【００１８】
押圧ヘッド30aは、押圧用フレーム42に対してＹ方向に移動可能に設置された押圧ヘッド本体31と、押圧ヘッド本体31に対して昇降可能に設置された押圧ヘッドの昇降部32と、この昇降部32に取り付けられた押圧ローラ33及び噴射ノズル35（図４参照）を備えている。従って、押圧ヘッド30aの昇降部32を下降させると、押圧ローラ33及び噴射ノズル35が下降し、搬送ベルト21に向けて近接移動する。
押圧ローラ33は、図４に示されるように、下降によりコンベア20a上に載置された硝子板Mに押し付けられるものであり、水平方向に延びる回転軸33aに軸支されている。この回転軸33a  の支持部34は、垂直軸33bまわりに回転可能な状態で昇降部32に取り付けられている。従って、押圧ローラ33は、押圧ヘッド本体31に対して垂直軸周りに回転可能である。
後述の分断動作D1、D2の分断工程d1（図７の区間１又は区間８参照）では、この押圧ローラ33をコンベア20a上の硝子板Mに押し付けた状態で、硝子板MのスクライブラインLに沿って移動させる（図５参照）。これにより、硝子板MがスクライブラインLに沿って分断されて基板Sが得られる。
なお、以下の説明において、押圧対象（又は押圧中）のスクライブラインLの両側に存するスクライブラインL（又は硝子板Mの外周縁）に挟まれた領域のことを押圧ローラ33の押圧作業領域F3x,F3yと称する。例えば、図５に示されるスクライブラインLx1が押圧対象であれば、硝子板Mの一方側（図５中では右下側）の外周縁Me3と、スクライブラインLx2に挟まれた領域が押圧ローラ33の押圧作業領域F3x であり、スクライブラインLy2が押圧対象であれば、この両側に存するスクライブラインLy1,Ly3に挟まれた領域が押圧ローラ33の押圧作業領域F3y である。特に、Y方向のスクライブラインLyの分断では、押圧作業領域F3yの上流側に分断前の硝子板M（又は硝子板Mの未分断部分）が位置することとなり、押圧作業領域F3yの下流側に分断により得られた基板Sが位置することになるため、押圧作業領域F3yは、硝子板Mの領域と基板Sの領域とを仕切る境界領域となる。
噴射ノズル35は、押圧ローラ33の外周面に向けてエアを吹き付けるものである。これにより、押圧ローラ33において、硝子板Mに押し付けられる外周面に付着したゴミなどの異物を除去することができる。
【００１９】
搬出ユニット50は、コンベア20a上の基板Sを搬出するものであり、搬送ベルト21の搬送方向下流側に隣接して配置されている。そして、搬出ユニット50は、後述の吸着パッド（保持部材）53を備えた搬出ヘッド50aと、搬出ヘッド50aを移動可能に支持する搬出用フレーム（保持ヘッド支持部）60とを備えている。
【００２０】
搬出用フレーム（保持部材移動機構）60は、一対のガイドレール11a,11a上に設置された門形の部材であり、ガイド部材11に沿ってＸ方向に移動可能である。
搬出ヘッド50aは、搬出用フレーム60に対してＹ方向に移動可能に設置された搬出ヘッド本体（保持部材移動機構）51と、搬出ヘッド本体51に対して昇降可能に設置された搬出ヘッド50aの昇降部52（保持部材移動機構）と、この昇降部52に取り付けられた吸着パッド53とを備えている。従って、搬出ヘッド50aの昇降部52を下降させると、吸着パッド53が下降して、搬送ベルト21に向けて近接移動する。
吸着パッド53は、下降によりコンベア20a上の基板Sに押し付けられるものであり、押し付け先の基板Sを吸着により保持するものである。
なお、吸着パッド53の移動可能範囲E2を図２に示した。つまり、吸着パッド53は、後退限度位置（図２の位置参照）と、後退限度位置よりも搬送方向上流側Xbである進出限度位置との間で移動可能である。搬出作業領域Ｆ2の基板Ｓだけを搬出し分断作業領域Ｆ1からは基板Ｓを搬出しないのであれば、吸着パッド53は移動可能範囲E3内で移動するものでもよい。
【００２１】
硝子分断装置１は、さらに、硝子板Mの位置検出ユニット（位置検出手段）と、装置支持フレーム10に設置された基板収容トレー（基板収容部）80と、切屑回収部81と、清掃ユニット82と、硝子板分断装置１の動作を制御するコントローラ（不図示）を備えている。
【００２２】
位置検出ユニットは、コンベア20aに搬入された硝子板Mの位置特定用のデータを取得するものであり、ガイドレール11aの硝子板Mの搬入側端部に配置された透過式レーザ光照射部71aと受光部71bとを備えたレーザセンサ71を備えている。レーザセンサ71の光軸は、通過する硝子板Ｍの高さに応じて決まり、Ｙ方向に向けられている。従って硝子板Mがベルトコンベア20aに向かって搬入される際、透過光が遮られることでコンベア20a上の硝子板Mの位置特定のためのデータを検出する。
検出されたデータはコントローラに送信され、このデータに基づいて硝子板MのＹ方向の外周縁Me1,Me2の位置が算出される。算出された外周縁Me1,Me2の位置情報は、コントローラの記憶部に記憶される。なお、ベルトコンベア20aに搬入される硝子板Ｍは、図示しないプッシャー等で挟まれ、XY方向のずれを補正された状態で搬入される。
【００２３】
基板収容トレー（以下、単にトレーと称する）80は、コンベア20aの搬送方向下流側に隣接する位置に設置されている。分断により得られたコンベア20a上の基板Sは、搬出ヘッド50aによってトレー80に載置され、搬出される。
【００２４】
切屑回収部81は、硝子板分断時に生じたガラスの切屑などの異物を回収するためのものであり、コンベア20aの搬送方向下流側端部の下方の回収時位置に設置されている。切屑回収部81は、上端に開口部を有する切屑回収箱81aと、切屑回収箱81aが着脱自在に設置された台車81bとを備えている。従って、回収時位置に切屑回収部81を設置した状態で、硝子板分断装置１を作動させると、搬送ベルト21の上側面（搬送面）が搬送方向下流側の端部でコンベア20aの下側に回り込むときに、搬送ベルト21上の切屑は搬送面21aから切屑回収箱81a内に落下し、回収される。従って、効率良く切屑を回収できる。また、切屑回収箱81aは、台車81b毎、回収時位置から装置支持フレーム10の外側の取出し位置に引出し可能になっている。従って、切屑回収箱81aに回収された切屑の取り扱いも容易である。
【００２５】
清掃ユニット82は、搬送ベルト21の外表面に付着したゴミなどの異物を除去するものであり、装置支持フレーム10に設置された清掃ユニットのガイド部材82aと、ガイド部材82aに対して昇降可能に設置された清掃ユニットの昇降部82bと、この昇降部82bに設置された清掃用のブラシ83及び吸引ノズル84と、ブラシ回転用の回転機構及びノズル吸引用の吸引ポンプ（いずれも不図示）を備えている。
ブラシ83は、外観が円筒形状のものであり、その中心から外側に放射状に延びる刷毛を備えておりＹ方向に延在する軸まわりに回転可能な状態で軸支されている。
また、ガイド部材82aは、鉛直方向に延在する状態で設置されている。そして、昇降部82bは、このガイド部材82aに沿って、ブラシ83の外周が搬送ベルト21の下側に向けられた表面（下面）に当接する清掃時位置（図２の二点鎖線の位置参照）と、ブラシ83の外周部が搬送ベルト21の表面から離間した退避位置（図２の実線の位置参照）とに昇降可能である。従って、昇降部82bが清掃時位置に位置する状態で、ブラシ83を回転させると、搬送ベルト21の表面が清掃される。
吸引ノズル84は、その先端にスリット形状の開口部を備えており、この開口部を円筒形状のブラシ83の外周部に隣接させた状態で設置されている。この吸引ノズル84を吸引状態にすると、ブラシ83によって搬送ベルト21の表面から除去されたゴミなどの異物が吸引ノズル84に吸引される。
このような清掃ユニット82があれば、コンベア20aの搬送ベルト21の表面を常にクリーンな状態に維持することができ、しかも除去したゴミなどの異物の飛散を確実に防止することができる。
【００２６】
コントローラ（不図示）は、演算手段（ＣＰＵ）や記憶媒体（ＲＡＭ及びＲＯＭ）などを備えた周知のものである。そして、記憶媒体には、制御プログラムの記憶部、予め記憶させた情報が記憶されている基本情報記憶部、検出データ及びこれに基づいて算出された検出情報を記憶する検出情報記憶部などが確保されている。コントローラは、これらの記憶情報に基づいて、硝子板分断装置１の動作を制御する。
予め記憶された情報とは、例えば、搬入される硝子板Mの大きさや形状（予め形成されている各スクライブラインLx,Lyの位置を含む）に関する情報、基準搬入位置情報、スクライブライン位置情報である。
なお、基準搬入位置情報とは、硝子板Mの最適の搬入位置に関するデータである。本実施例では、最適の搬入位置、つまり硝子板Mが搬入されて最初に停止する分断作業開始時に基準となる位置で硝子板の四隅の位置を示す位置データである。この四隅の位置は、装置支持フレーム10に対する硝子板Mの相対的な位置関係を示す位置データである。
また、スクライブライン位置情報とは、搬入される硝子板Mに形成されたスクライブラインLx,Lyの位置に関する位置データである。各スクライブラインの位置は、前述の分断作業開始前の基準となる硝子板Mに準じたスクライブライン基準位置のことであり、例えば事前に硝子板Mのどの位置にスクライブラインを形成されているかを教示された位置データ（絶対値）である。よって、スクライブライン位置情報によるスクライブライン絶対値と、基準搬入位置情報による装置支持フレーム10に対する硝子板Mの相対位置関係とにより、分断作業開始時に位置する硝子板Mの、現実のスクライブ位置情報が得られる。
検出データとは、例えば、レーザセンサ71で検出した硝子板Mの外周縁Me1,Me2の搬送方向Ｘの位置データのほか、硝子板分断装置の各所に設置されたセンサで検出したデータである。例えば、回転ローラ22に取り付けたエンコーダで検出した搬送ベルト21の送り量（搬送距離）、押圧ヘッド30aの昇降部32に設置したセンサで検出した押圧ローラ33の昇降状態、搬出ヘッド50aの昇降部52に設置したセンサで検出した昇降部52の吸着パッド53の昇降状態、搬出用フレーム60に設置したセンサで検出した搬出用フレーム60の搬送方向Ｘの位置データである。これらは、各センサから随時出力されるデータに随時更新される。
また検出情報とは、これらの検出データと、記憶部に記憶されたその他のデータを用いて算出された情報である。例えば、コンベアの動作状態（停止状態）、現実の硝子板Mの位置情報（現実のスクライブラインLの位置情報を含む）、基板Sの搬出状態（次に搬出する基板の位置情報）、押圧ローラの位置情報、吸着パッドの位置情報などを挙げることができる。
【００２７】
次に、実施例の硝子分断装置１で行われる硝子板分断方法について説明する。
本実施例の硝子板分断方法は、概略的には、図６に示されるように、コンベア20aによる硝子板搬送動作Tと、押圧ヘッド30aによる硝子板Mの分断動作Dと、搬出ヘッド50aによる、分断された基板Sの搬出動作Hと、清掃ブラシ83による搬送ベルト清掃動作とを有しており、さらに、搬入された硝子板Mの位置検出動作C（図７，８参照）を有している。
そして、各動作を構成する工程を所定のタイミングで実行することで、硝子板Mを分断して基板Sを生成し、生成した基板Sを搬出先に搬出している。
【００２８】
つまり、コンベア20aは、稼動中（動作ON時）に、所定のタイミングで硝子板Mを搬送する。搬送を実行するタイミングとしては、稼働中（動作ON時）に連続実行する場合と、稼働中に断続的（間欠的）に実行する場合がある。コンベア搬送によって、最初の硝子板M0、次の硝子板M1、さらに次の硝子板M2というように、硝子板Mが順次搬送される。
押圧ヘッド30aは、稼動中（動作ON時）に、所定タイミングで硝子板Mを分断する。分断実行のタイミングとは、コンベア20aが搬送停止のときである。コンベア20aの搬送停止状態とは、稼動中（動作ON）のコンベア20aの搬送停止中（例えば、図８の区間１、３、５等）と、コンベア20aが稼動停止中（動作OFF時：例えば、図７の区間１〜８等）である。図６には、コンベア20aが稼動停止状態（動作OFF）になるタイミングで、押圧ヘッド30aが稼動状態（動作ON）になる例を示した（硝子板M0の分断開始時参照）。また、この例では、押圧ヘッド30aの稼動中（動作ON時：詳細には後述する押圧ローラ移動工程d2のとき）にコンベア20aが稼動状態（動作ON）になり、上述の所定タイミングで硝子板Mをその搬送方向長さの半分の距離だけ搬送する。
搬出ヘッド50aは、稼動中（動作ON時）に、所定のタイミングで基板Sを吸着してコンベア20a上から搬出する。吸着を実行するタイミングは、例えば、押圧ローラ33の押圧作業領域F3y（図５参照）の搬送方向下流側に基板Sが存在する状態であって、稼動中（動作ON）のコンベア20aが搬送停止状態のときである。図６には、分断中の硝子板Mの搬送方向下流側半分の分断が完了したタイミング（下流側半分が押圧作業領域F3yの搬送方向下流側に存在する状態になったタイミング）で、分断中の硝子板M0から得られた基板Sの搬出を開始する具体例を示した（硝子板M0前半の搬出開始時参照）。また、この例では、先の硝子板M0の分断が完了し次の硝子板M1の分断を開始するタイミングで、硝子板M0後半の基板Sの搬出を開始する。
清掃ブラシ83は、稼動中（動作ON時）に、所定タイミングでコンベア表面（搬送面の裏面）を清掃する。清掃を実行するタイミングは、図６ではコンベア20aの稼動中（動作ON時）である。
【００２９】
次に、このような各動作について詳細に説明する。
【００３０】
硝子板搬送動作Tは、搬送ユニット20のコンベア20a上の硝子板M0（M）を搬送方向Xaに搬送する動作であり、動作時期に応じて、硝子板搬入動作T1（図７参照）又は間欠搬送動作T2（図８参照）と称する。各硝子板搬送動作T1,T2は、いずれも、搬送工程t1（図７の区間９、図８の区間２参照）と、搬送が停止された搬送停止工程t2（図７の区間１０、図８の区間３参照）とを有する。
【００３１】
搬送工程t1は、回転ローラ22が作動してコンベア20a上の硝子板M0を搬送方向Xaに移動させる工程である。搬送工程t1は、押圧ローラ33及び吸着パッド53がコンベア20a上の硝子板M0や基板Sに接触していないときに実行される。従って、例えば硝子板M0に対する後述の分断工程d1が終了し、あるいは吸着パッド53による後述の搬出工程h2が開始されたとき、搬送工程t1を実行できるようになる。また、搬送工程t1における搬送距離は、コンベア20aの搬送速度と動作時間とによって定められる。
なお、搬送工程t1で搬送動作中の搬送ベルト21の上側面（搬送面）21aは、搬送方向下流側の端部に達すると、コンベア20aの下側に回り込む。このとき、搬送面21a上の切屑などの異物が切屑回収箱81aに向けて落下して回収される。
搬送停止工程t2では、回転ローラ22が停止され硝子板M0の搬送が停止される。
【００３２】
硝子板搬入動作T1（図７の区間９参照）では、搬送ユニット20の搬送方向上流側から送られてきた硝子板M0をコンベア20a上の分断作業領域F1の搬入位置（図１の硝子板M0の位置）に搬入する。この動作によって、搬送方向上流側の前工程から搬送された硝子板M0がコンベア20a上に搬入される。なお、硝子板搬入時、レーザセンサ71はセンサの位置を通過する硝子板M0を検出する。コンベア20aは、硝子板M0の後端縁Me2（もしくは前端縁Me1）を検出したタイミングから所定時間経過後に停止して（搬送停止工程t2）、コンベア20a上の基準位置に硝子板M0を停止させる。なお、停止までの時間はコンベア20aの動作条件によって予め算出されている。
そして、後続の硝子板M１が搬入位置に搬入されると、分断作業領域F1にあった基板S（硝子板M0を分断して得られた基板）が搬出作業領域F2に移動される（図３参照）。
【００３３】
間欠搬送動作T2では、搬入位置に搬入された硝子板M0をさらに搬送方向Xaに搬送する。この動作によって、分断工程ｄ1の間の押圧ローラ移動工程d2中に硝子板を搬送することができる（例えば、図８の区間４で行われている搬送工程t1参照）。
【００３４】
位置検出動作Cは、硝子板Mや分断された基板Sの位置を検出する動作であり、動作の時期に応じて、搬入位置検出動作C1（図７の区間10参照）又は現在位置検出動作C2（図７の区間１参照）と称する。
搬入位置検出動作C1では、硝子板搬入動作T1時におけるコンベア20a上の硝子板Mの位置を検出する。搬入位置検出動作C1は、硝子板搬入位置の検出処理と、スクライブライン位置の演算処理（更新処理）を有する。
硝子板搬入位置の検出処理では、レーザセンサ71で硝子板Mの後端縁Me1（もしくは前端縁Me2）の搬入情報を検出する。コントローラは、この検出情報を得ると、コンベア20ａの搬送速度及び経過時間、コンベア20ａを駆動する回転ローラ22のエンコーダ情報及び事前に教示された硝子板Mのサイズに基づいて、硝子板Mの実際の位置情報を算出し、定められた停止位置に硝子板Mが到達するまでコンベア20ａを駆動する。そして前記停止位置に硝子板Mが到達してコンベア20aの駆動を停止させた後、その停止位置を検出情報記憶部に記憶させる。同時に、事前に教示されたスクライブラインの位置情報を呼び出す。
【００３５】
現在位置検出動作C2では、間欠搬送動作T2によって搬送されて位置が変更になった硝子板Mの現在位置（随時位置情報）を検出する（実施例２参照）。この動作は、硝子板Mに対する分断動作D1,D2の分断工程ｄ1中（すなわち搬送停止工程ｔ2中）に実行される。なお、現在位置検出動作C2も、硝子板搬入位置の更新処理と、スクライブライン位置の演算処理（更新処理）を有する。
硝子板搬入位置の検出処理では、搬入位置検出動作C1時に記憶された硝子板Mの位置情報と、コンベア20ａの駆動情報とに基づいて、硝子板Mの実際の位置情報を算出し、検出情報記憶部に記憶させる。そして、同時に、実際のスクライブラインLの位置情報を算出して検出情報記憶部に記憶させる（スクライブライン位置の演算処理（更新処理））。これにより、硝子板M及びスクライブラインLの位置情報が随時更新される。
【００３６】
分断動作Dは、硝子板MをスクライブラインLに沿って分断する動作であり、Ｘ方向スクライブラインLxに対する分断動作D1（図７の区間１，１１〜１６参照）と、Ｙ方向スクライブラインLyに対する分断動作D2（図7の区間２〜８参照）がある。分断動作D1,D2は、いずれも分断工程d1と、押圧ローラ移動工程d2とを有する。
【００３７】
分断工程d1は、硝子板Mに押し付けられた押圧ローラ33をスクライブラインL（Lx,Ly）に沿って転がして、硝子板MをスクライブラインLに沿って分断する工程である。この工程d1は、搬送停止中に実行される。
押圧ローラ移動工程d2は、分断工程終了後の押圧ローラ33を次の分断対象のスクライブラインLの分断開始位置に移動させる工程である。例えばスクライブラインLx1（又はLy1、図５参照）の分断工程d1を終了した押圧ローラ33を次のラインLx2（又はLy2）の分断開始位置に移動させる工程である。なお、押圧ローラ移動工程d2は、より詳細には、次の動きを含むものである。つまり、押圧ローラ33を硝子板Mから離間させる動きと、次の分断工程開始位置に移動させる動きと、押圧ローラ33の転がり方向と次の分断対象のスクライブラインL（Lx2やLy2）の向きとが一致するように、押圧ローラ33を垂直軸33b周りに回転させる動きと、分断工程開始位置に押し付ける動きとを含むものである。
【００３８】
なお、本実施例の分断動作Dでは、まず先に、Ｘ方向スクライブラインLxに対する分断動作D1を行い、その後、Ｙ方向スクライブラインLyの分断動作D2を行う。
そして、複数のX方向スクライブラインLxに対する分断動作D1のうちの最初の分断工程d1は、搬送方向Xに向かって最右側又は最左側のX方向スクライブラインLxのいずれかに対して実行される。分断動作D1を開始する時点で、押圧ローラ33に近い方が選択される。その後、分断が完了したＸ方向スクライブラインLx1に隣接するスクライブラインLx2に対して次の分断工程d1を行うというように、順次、隣接する分断前のＸ方向スクライブラインLxに対して分断を実行する。
また、複数のＹ方向スクライブラインLyに対する分断動作D2は、次の順番で実行される。まず、搬送方向Xの最下流側に位置するＹ方向スクライブラインLy1（図５参照）に対して分断工程d1を実行する。その後、分断が完了したＹ方向スクライブラインLy1の上流側に隣接するスクライブラインLy2に対して分断工程d1を行う。このように、順次、上流側に位置するＹ方向スクライブラインLyに対して分断を実行する。
【００３９】
搬出動作Hは、分断された基板Sをトレー80に搬出する動作であり、動作時期に応じて、基板搬出動作H1（図７の区間４〜９参照）または基板搬出動作H2（図７の区間10〜15参照）と称される。
各基板搬出動作H1,H2は、いずれも、基板吸着工程h1（分断硝子板保持工程、基板保持工程）と、吸着した基板Sを搬出先に運んで移載する基板搬出工程h2（分断硝子板搬出工程、後退工程）と、移載後の吸着パッド53を次に搬出する基板Sの位置に移動させる吸着パッド進出工程h3（受け取り工程、進出工程）とを有する。
【００４０】
基板吸着工程h1は、コンベア20a上にある搬出対象の基板S1に向けて吸着パッド53を下降させて、吸着パッド53に基板S1を吸着させる工程である。これにより基板S1は吸着パッド53に保持される。なお、ここで保持された基板Sは、次の基板搬出工程h2の最後まで保持され続け、最終的にトレー80に搬出される。言い換えると、基板吸着工程h1から基板搬出工程h2の間にわたって、基板Sの吸着がONとされる。また、パッド53による基板S1の吸着位置は、予め教示されているカット面数に対応している。
基板搬出工程h2は、基板S1を吸着した吸着パッド53を上昇させると共にトレー（搬出先）80の位置に移動させる工程である。その後、基板S1の吸着状態が解除され、基板Sは収容トレー80上に移載される。これにより基板S1の搬出が完了する。
吸着パッド進出工程h3は、基板S1を搬出した吸着パッド53を次の搬出対象の基板S2の上方位置に移動させる工程である。
【００４１】
基板搬出動作H1では、分断作業領域F1（図１参照）であって、押圧ローラ33の押圧作業領域F3y（図５参照）よりも搬送方向下流側に位置する基板Sを搬出する。なお、搬出動作に優先して分断動作を行うため、最先の硝子板M0を分断する場合は搬出動作が遅れて開始される。
基板搬出動作H2では、搬出作業領域F2（図１参照）に移動された基板Sを搬出先に搬出する。
【００４２】
搬送ベルト清掃動作は、清掃用の昇降部82bの昇降、ブラシ83の回転、ブラシ83の回転停止、ノズル84の吸引、吸引の停止などの動きを有する。本実施例では、硝子板分断装置1の運転が開始されると、清掃用の昇降部82bが上昇してブラシ83が清掃時位置に位置され、同時にブラシ83の回転動作とノズル84の吸引動作が実行される。これにより、ブラシ83とノズル84によって搬送ベルト21を清掃することができる。また、硝子板分断装置1の運転が終了すると、清掃用の昇降部82bが下降され、同時にブラシ83の回転停止動作と吸引の停止動作が実行される。
【００４３】
次に、本発明に係る硝子板分断方法の一例（第１実施例）について、図７を参照しつつ動作の流れを説明する。
ここでは、コンベア20aに最初に搬入された硝子板M0について、全てのＸ方向スクライブラインLxに対する分断動作D1が終了し、最初のＹ方向スクライブラインLyに対する分断動作D2の分断工程d1が開始される状態（図５において押圧ローラ33がローラ位置R４に位置する状態）を基点として説明する。
【００４４】
押圧ローラ33は、Ｙ方向に対する分断動作D2の分断工程d1が開始されると（図７の区間３参照）、Ｙ方向スクライブラインLy1に沿って開始位置R4（図５参照）から終了位置R5に転がり移動する（図５参照）。これにより、硝子板M0はＹ方向スクライブラインLy1に沿って分断される。
分断工程d1が終了すると、押圧ローラ33を次の分断対象のＹ方向スクライブラインの分断開始位置（ここでは左側端部の位置R8）に移動させるため、押圧ローラ移動工程d2（区間４参照）を実行する。これにより、押圧ローラ33が位置R6,R7を経て分断開始位置R8に移動する。
押圧ローラ移動工程d2が終了すると、次の分断対象のＹ方向スクライブラインLy2に対する分断工程d1（区間５参照）が開始される。
本実施例では、このような工程からなる分断動作D2を全てのＹ方向スクライブラインLyに対する分断動作が終了するまで繰り返し実行する。本発明では、Ｘ方向スクライブラインLx、Ｙ方向スクライブラインLyの分断動作をいずれも硝子板M0の搬送方向先頭側から実施する。この分断法は、効率が良く量産に好適である。
【００４５】
ところで、本実施例では、上記分断動作D2と並行して基板搬出動作H1を実行する（図７の区間４〜９参照）。まず、吸着パッド53を搬出対象の基板Sの上方位置に移動させるために、吸着パッド進出工程h3（区間４〜５参照）を開始する。
なお、最先の硝子板M0の場合、吸着パッド53を基板S1（図５参照）の上方に位置させることができる状態になるまで工程h3の開始を待機させ、吸着パッド53を手前の位置に停止させておく（区間１〜４参照）。その後、待機理由が解消されると、吸着パッド進出工程h3の実行が完了され、吸着パッド53が搬出対象の基板S1の上方に位置する状態になる。なお、基板S1が搬出作業領域F2に移動されるまで待機させても良い。
吸着パッド進出工程h3が完了すると、次に、搬出対象の基板S1を吸着パッド53で保持するために、基板吸着工程h1（区間５参照）を実行する。本実施例では、分断工程中に吸着パッド53で基板S1を吸着するので、迅速に基板搬出を実行することができる。
次に、基板Sを吸着保持したままの状態で基板搬出工程h2（区間５参照）を実行し、基板S をトレー80に移載する。
続いて、次の搬出対象の基板S2の搬出上方に吸着パッド53を移動させるため、最初に説明した吸着パッド進出工程h3の実行を開始する（区間５参照）。
本実施例では、このような搬出動作の各工程を、全てのＹ方向スクライブラインLyに対する分断動作が終了するまで、分断動作と並行して繰り返し実行する。
【００４６】
そして、最後の分断対象のＹ方向スクライブラインLym（図５参照）に対する分断工程d1（区間８参照）の終了位置R9に押圧ローラ33が達すると、押圧ローラ33を硝子板M0から離間したところで分断動作D2が終了する（区間８参照）。この時点で、全てのＹ方向スクライブラインLyに対する分断動作D2が終了し、分断対象であった硝子板M0に対する全分断動作D1,D2が終了することになる。
【００４７】
硝子板M0の分断が終了すると、次の分断対象の硝子板M1を搬入位置に搬入する（硝子板搬入動作T1の搬送工程t1、区間９参照）。この動作により、硝子板M0の分断により得られた基板Sが搬出作業領域F2（図１参照）に移動され、新たな硝子板M1が搬入位置に搬入される（図３参照）。このとき、レーザセンサ71によって硝子板M１の位置情報が検出される。また、搬出作業領域F2に搬送された各基板Sの搬送方向Xの位置は、後続の硝子板M１の位置（すなわち前端縁Me1又は後端縁Me2の位置）とコンベア20aの搬送距離に基づいて算出される。
そして、新たな硝子板M1が搬入されると、搬送停止工程が実行され、硝子板の搬入位置検出動作C1が実行される（区間10参照）。
【００４８】
ところで、硝子板M1の搬入動作T1の搬送工程t1が開始されると、基板搬出動作H1は一旦、中断する（区間9参照）。なお、搬送工程t1の開始時点までに、吸着パッド53によって吸着している基板Sがあれば、基板搬出工程h2を実行してその基板Sをトレー80に移載したところで動作を終了する。
そして、後続の硝子板M1の搬入が終了すると、分断作業領域F1にあった基板Sは搬出作業領域F2に移動された状態になっているので（図３参照）、搬出作業領域F2に移動された基板Sについて、基板搬出動作H2を再開する（区間10参照）。この基板搬出動作H2が実施されている間、分断作業領域F1に搬入された後続の硝子板M１に対して分断動作Dが実行される。
そして、基板搬出動作H2が終了すると（区間15参照）、続いて、硝子板M1から分断された基板Sの基板搬出動作H1を開始することになる（区間19参照）。ただし、押圧ローラの分断押圧作業領域F3y（図５参照）よりも搬送方向下流側に基板Sが存在しなければ、基板Sが存在する状態になるのを待ってから、基板Sの基板搬出動作H1を開始する。なお、ここで実行される基板搬出動作H1は、先に説明した搬出動作H1と同様であるので、ここでは説明を省略する。
【００４９】
また、搬入位置検出動作C1（区間10参照）が終了し、新たに搬入された硝子板M1の搬入位置が特定されると、分断動作D1の押圧ローラ移動工程d2が実行される（区間11参照）。この工程では、最初の分断対象であるＸ方向スクライブラインLxの搬送方向上流側端部である分断開始位置R10（＝R0、図５参照）に押圧ローラ33を押し付ける。なお、最初の分断対象は、搬入終了後の分断動作開始の時点で押圧ローラ33の位置に近い、搬送方向に向かって最前列のＸ方向スクライブラインLxである。
そして、続いて、分断工程d1が実行される（区間12参照）。
なお、ここで実行される分断動作D1は、分断対象が異なるだけで、動き自体は先に説明した分断動作D2と同様であるので、ここでは説明を省略する。
【００５０】
そして、最後のＸ方向スクライブラインLxmに対する分断工程d1（区間16参照）が終了すると、押圧ローラが終了位置R1（図５参照）に位置する状態になるので、その後、押圧ローラ移動工程d2を実行する（区間17参照）。これにより、押圧ローラ33を、途中の位置R2,R3を経て硝子板M1の最初のＹ方向スクライブラインLy1の分断開始位置R4に移動させる。そして、その後、Ｙ方向スクライブラインLyに対する分断動作D2を実行する（区間17以降参照）。この動作については、先に説明しているので、その説明を省略する。
【実施例２】
【００５１】
次に、硝子板分断装置で実行される別の分断方法について説明する。
本実施例の分断方法は、実施例１で説明した分断動作D1,D2と並行して間欠搬送動作T2を実行するものである。より具体的に説明すると、本実施例では、分断動作D1,D2の押圧ローラ移動工程d2中に、この工程d2と並行して硝子板Mを搬送する搬送工程t1を実行する（例えば、図８の区間２，４，６参照）。
なお、本実施例の硝子板分断装置は実施例１の装置と同様であり、また、本実施例の分断方法は、間欠搬送動作T2を実行すること以外、実施例１と同様であるので、これらについての詳細な説明は省略する。
【００５２】
本実施例の場合、押圧ローラ移動工程d2が開始され（図８の区間２参照）、押圧ローラ33が硝子板M0から離間した状態になると、この工程d2と並行して搬送工程t1を実行する（区間２参照）。そして、搬送工程t1が実施されるたびに、硝子板M0（硝子板M0から分断された基板S）,M1の位置情報が更新される。その後に行われる分断工程d1などの各工程は、更新された位置情報に基づいて実行される。
押圧ローラ33（及び吸着パッド53）が硝子板M0に接触していない状態であれば、押圧ローラ33で硝子板M0を傷つけることなくコンベア20a上の硝子板M0を搬送することができる。また、分断動作D1,D2と搬送動作T2を並行実施できれば、硝子板M0を分断して基板Sを搬出する作業効率（スループット）が向上する。
そして、間欠搬送動作T2の搬送工程t1は、分断工程d1が開始される前（押圧ローラ移動工程終了時）に停止する（搬送停止工程、区間３参照）。
本実施例では、このような間欠搬送動作の各工程を、全てのＹ方向スクライブラインLyに対する分断動作が終了するまで、分断動作と並行して繰り返し実行する。
【００５３】
また、硝子板M１のX方向スクライブラインLxに対する分断動作D1が開始されると（区間11参照）、先の硝子板Ｍ0のＹ方向スクライブラインLyに対する分断動作のときと同様、分断動作D1と並行して硝子板M１の搬送動作T2（間欠搬送）を実行する。具体的には、分断動作D1の押圧ローラ移動工程d2と並行して搬送工程t1を実行する（区間13参照）。間欠搬送動作T2については、先に説明したので、ここでは説明を省略する。これにより、分断動作中も、徐々に硝子板M1を搬送することができ、硝子板M0を分断して基板Sを搬出する作業効率が向上する。
なお、間欠搬送動作T2における搬送工程t1による硝子板Mの搬送方向Xaの搬送距離は、適宜定められるものであるが、例えば押圧ローラ33を位置R6（図５参照）から位置R8に移動させるときに、硝子板を所定の距離X1だけ搬送すれば、その分、押圧ローラの搬送方向Xの移動距離が短くなり、硝子板M0を分断動作効率が向上する。特に、間欠搬送動作T2の搬送工程t1における硝子板Mの搬送距離が基板Sの搬送方向長さと同じ距離X2（図５参照)であれば、押圧ローラ33の移動距離を極めて短くすることができ、押圧ローラ移動工程d2のタクトタイムを短くすることができるなど、硝子板M0を分断動作効率がより向上する。
【実施例３】
【００５４】
次に、本発明に係る硝子板分断装置について、さらに別の実施例を説明する。
本実施例の硝子板分断装置は、図９に示されるように、実施例１の装置が備えている一対のガイドレール11aの外側に、さらに別の一対のガイドレール（不図示）を備えているものである。押圧用フレーム42xは一対のガイドレール11a,11aに沿ってＸ方向に移動可能になっており、搬出用フレーム60xは別の一対のガイドレールに沿ってＸ方向に移動可能になっている。そして、搬出用フレーム60xは、押圧用フレーム42x延いては押圧ユニット30x全体を跨ぐことができるように大型になっている。
このような構造にすると、フレーム同士の干渉を構造的に防止できるので、押圧ヘッド30a及び搬出ヘッド50aの昇降動作を制御すればよい。従って、各フレームについて、より迅速な動作が可能であり、分断動作や搬出動作をより迅速に実行することができる。
【００５５】
なお、本発明に係る硝子板分断装置及び硝子板分断方法は、上記実施例の装置及び方法に限られるものではない。本発明の趣旨を逸脱しない範囲で改変された装置及び方法は、本発明の範囲に含まれる。
【００５６】
例えば、実施例の押圧ユニット30の押圧ローラ33は、Ｘ方向とＹ方向に向けられるように、垂直軸33bまわりに回転可能であるが、任意の角度に向けられるようにしても良いし、360度回転可能であっても良い。
【００５７】
また、押圧ユニット30は、分断工程D1の際に押圧ローラ（押圧部材）33によって押圧された硝子板Mの上方（押圧の向きZaとは反対の向き）Zbへの移動を規制する移動規制部材36を備えているものでも良い（図１０参照）。なお、図１０では、移動規制部材36について、図１１のＢ−Ｂ面における断面を示している。本実施の形態における移動規制部材36は、硝子板Mに対して非接触となるように、硝子板Mとの間に微小隙間を設けて設置されている。
図１０に示される押圧ヘッド30aの昇降部32の下部には、移動規制部材36の移動ユニット32aが設置されている。移動ユニット32aは、上下方向に進退するロッド32bの下端に取り付けられており、この移動ユニット32aに移動規制部材36が取り付けられている。従って、ロッド32bを作動させて移動ユニット32aを上下動させると、移動規制部材36が上下動する。
【００５８】
移動規制部材36は、水平の規制面36bを備えた板状の部材であり、その上面中央部に凹部36cを備え、さらに凹部36cの中央部に上下方向に貫通する貫通部（貫通穴）36aを備える。貫通部36aの位置に、押圧ローラ33が移動規制部材36に接触しない状態で位置するように配置されている。そして、移動規制部材36と押圧ローラ33は、押圧ローラ33の下端33zが規制面36b（移動規制部材36）の下方に突出した状態になるように互いの位置高さが調整される。
また、移動規制部材36は、押圧ローラ33の周囲に位置する硝子板の少なくとも一部である被覆領域を覆う。上記実施例では、移動規制部材36は硝子板を非接触で覆っているが、接触して覆う場合も考えられる。このような移動規制部材36を備えると、押圧力を受けた硝子板が押圧の向きとは反対向きに移動することが規制される。
なお、硝子板の移動規制に関する説明（例えば次の３つの段落）において、硝子板とは、上述した硝子板Mのことであるが、より具体的には、スクライブラインLによって区画された硝子板の矩形領域及び分断によって得られる分断硝子板Sのことである。そして、次の３つの段落では、押圧ローラ33が押圧している硝子板のことを、単に「押圧硝子板」と称する。
上述した「押圧部材の周囲に位置する硝子板」とは、例えば、押圧硝子板及び当該押圧硝子板に隣接している硝子板のことであり、より具体的には、押圧硝子板及び当該押圧硝子板とローラ移動方向の前方及び後方に隣接する硝子板のことであり、さらに具体的には、押圧硝子板及び当該押圧硝子板のローラ移動方向後方に隣接する硝子板のことであり、さらに具体的には、押圧硝子板のみのことである。
また、被覆領域とは、例えば、押圧ローラ33と硝子板との当接位置（押圧位置）からの離間距離が押圧硝子板のローラ移動方向長さの半分の長さより短い領域のことである。このような領域を覆うようにすれば、押圧ローラ33を転がして硝子板を分断する際、押圧硝子板の少なくとも一部を移動規制部材36で常に覆うことができ、硝子板の移動規制をより確実に行うことができる。
なお、被覆領域を規定する離間距離としては、上述した距離のほか、例えば、矩形の押圧硝子板のローラ移動方向の長さとこれに直交する方向の長さのうち何れか長い方の半分の長さや、押圧ローラの直径（ローラ移動方向の長さ寸法）又は半径を挙げることができる。
このように、移動規制部材36は、押圧ローラ33によって押圧された硝子板Mの押圧位置（押圧ローラ33によって押圧力が付与される位置）を取り囲んでおり、且つ、硝子板Mの上面に臨んでいる。
【００５９】
この構成により、押圧ローラ33を下側に突出させるための貫通部36aの大きさを小さくすることができ、移動規制部材36をより押圧ローラ33に近接させた位置に配置することができる。例えば、本実施形態の貫通部36a（図１０及び図１１参照）は、押圧ローラ33の転がり移動方向（以下、単に移動方向）Vの長さ寸法が押圧ローラ33の直径より短くなっている。なお、図１１では、押圧ローラ33について、断面ではなく平面視した状態を示した。
また、移動規制部材36は、規制面36bの移動方向Vの前方及び後方に連なる逃げ面36d，36dを備えている。逃げ面36d，36dは、規制面36bに連なる位置から上方に向けて傾斜する上り勾配の傾斜面である。
分断工程D1では、上述したように、押圧ローラ33をスクライブラインLに沿って転がり移動させて硝子板Mを分断している。従って、硝子板Mの押圧位置（押圧位置の直下）における周縁部には、基板（分断硝子板）Sと、隣接する基板S，S間の枠体F（図１２参照）とが存在する。そして、移動規制部材36は、硝子板Mの押圧位置における少なくとも一部の周縁に臨んで設けられている。なお、図１２では、スクライブラインLを破線で示し、分断によって形成された基板S及び枠体Fの周縁Qを実線で示した。
【００６０】
上述した移動規制部材36を備える押圧ユニット30を用いて分断動作を行う場合は、分断工程D1を開始する前にあらかじめ移動規制部材36を分断時位置（図１０参照）に移動させて分断工程D1を実行する。このような状態で分断工程D1を実行すると、押圧ローラ33によって硝子板Mを押圧する際、硝子板Mの押圧位置（押圧ローラ33の、硝子板Mとの当接位置）に隣接する位置を移動規制部材36で覆うことができる。つまり、上方Zbへの硝子板Mの移動を規制する移動規制ステップが実行される。従って、上方Zbへの移動が規制された状態の硝子板Mに、押圧力を付与して硝子板Mを分断することができる。
硝子板Mの上方Zbへの移動が規制されていない状態で、分断工程D1を実行すると、分断により生成された枠体Fが跳ね上がることがあり、跳ね上がりによって、周囲の基板Sの上に乗り上げるおそれがある（図１２参照）。枠体Fの乗り上げが生じると、分断工程D1を中断する必要が生じるなど好ましくない。
この点、硝子板Mの上方Zbへの移動が規制されていれば、このような跳ね上がりが確実に防止され、分断工程D1の中断等による分断効率の低下が防止される。
【００６１】
なお、移動規制部材36を分断時位置に移動させる時期は、上述の時期に限られない。また、移動規制部材36として、図１０に二点鎖線で示すように、噴射ノズル35を設置してもよい。この場合、分断動作時に、噴射ノズル35から噴射させた圧縮エアを硝子板Mの上面に吹きつけることで、非接触にて分断中の硝子板Mの移動規制がなされる。噴出ノズル35は、圧縮エアの吹きつけ位置を変更できるように、屈曲可能なものでもよく、設置する噴射ノズル35の数は複数であってもよい。このように、移動規制部材としては、噴出ノズル35と移動規制部材36の両方またはいずれか一方を用いることができる。
さらに、移動規制部材36を用いる場合、分断工程開始時に移動規制部材36をわずかに下降させて硝子板Mに当接（直接接触）させて移動規制するようにしてもよい。この時、移動規制部材36の硝子板に過度の力が加わるのを防ぐために、ブラケット37に付勢部材を取り付けても良い。このように、移動規制部材36の動作制御としては、種々の動作制御が考えられる。分断動作について、移動規制部材36の移動動作以外の動作は、上述した動作と同様であるので、ここではその詳細な説明を省略する。
【００６２】
また、移動規制部材36は、上述したように、押圧ローラ（押圧部材）33の、硝子板Mとの当接位置に隣接する位置に設置されていればよく、設置状態は限定されることはない。そして、移動規制部材36の数も限定されることはなく、１つ以上の部材で構成されていればよい。つまり、図１３（ａ）に示すように、移動規制部材が２つの規制片（規制部材）136で構成されていてもよく、また、図１３（ｂ）に示すように、４つの規制片236で構成されていてもよい。
ここで、各規制片に水平移動手段を接続し、複数の規制片136,236の一部又は全部を水平移動可能に設置しても良い。このような構成にすると、各規制片136,236を、水平面内において互いに近接離間移動可能にすることができる。これにより、硝子板Mの移動規制位置や移動規制範囲（硝子板を覆う位置や範囲）を制御できる他、規制片136,236の貫通部136a,236aによって確保された貫通領域（開口）の大きさを調整する制御を行うことができる。つまり、押圧ローラ33の大きさが変わったとしても、押圧ローラ33の大きさに合わせて各規制片間のスペースを調整するだけで、１つの移動規制部材36で多サイズの押圧ローラ33に対応させることができる。また、各規制片を水平方向において突き合わせることで貫通孔（開口）36aが形成される。なお、各規制片は、必ずしも水平方向において突き合わせる必要はなく、図１３（ａ）及び図１３（ｂ）に示すように、各規制片が離れていてもよい。
なお、複数の規制片136,236を、水平面内で相互に近接離間移動可能にする方法としては、例えば、各規制片136,236を水平移動させる移動機構(不図示)を備えた移動ユニット32aを用いる方法を挙げることができる。この場合、移動ユニット32aは、移動規制部材136,236の水平移動ユニットである。なお、移動ユニット32a及びロッド32bの動作はコントローラ（不図示）によって制御される。
【００６３】
さらに、搬送ベルト21として、その搬送面側の表面に、凹凸形状が形成されているものでもよい。このような搬送ベルトを用いると、基板Sが搬送ベルトに密着することが確実に防止されるので、基板Sを吸着パッド53で吸着して持ち上げる動作をより確実に実行できる。
そして、搬出対象である基板の保持部材としては、吸着パッド等の吸着部材のほかに、例えば、ロボットアームなどを挙げることができる。
また、硝子板Mやスクライブラインの位置を特定するための情報としては、種々の位置情報を用いることができる。
また、硝子板Mに対する分断動作Dでは、先にＹ方向スクライブラインLyに対する分断動作D1を行い、その後、Ｘ方向スクライブラインLxの分断動作D2を行ってもよい。
また、上記実施例では、押圧ユニット（押圧ローラ）の数及び搬出ユニット（吸着パッド）の数は、いずれも１個であるが、２個以上（複数）でもよい。
また、上記実施例１，２の装置は、同時に作動する押圧ユニットのフレーム42と搬出ユニットのフレーム60でガイドレール11a,11aを共有しており、実施例３の装置は、押圧用フレーム42xと搬送用フレーム60xを別個のガイドレールに沿って移動させるものであるが、フレーム支持構造としては、その他に懸架構造など、種々の構造が考えられる。
また、図６から図８のタイムチャート図に示した硝子板分断装置の動作は、一例であり、分断工程d1中の基板吸着工程h1の回数などは種々の場合が考えられる。
【図１】
2014210699.tif 000003
【図２】
2014210699.tif 000004
【図３】
2014210699.tif 000005
【図４】
2014210699.tif 000006
【図５】
2014210699.tif 000007
【図６】
2014210699.tif 000008
【図７】
2014210699.tif 000009
【図８】
2014210699.tif 000010
【図９】
2014210699.tif 000011
【図１０】
2014210699.tif 000012
【図１１】
2014210699.tif 000013
【図１２】
2014210699.tif 000014
【図１３】
2014210699.tif 000015