(57)【要約】【課題】脱気の量を低減させ、真空引き時間を短縮することができる遠心機を提供する。【解決手段】ロータ２と、ロータ２を収容するボウル１１と、チャンバボディ７とトッププレート８とボトムプレート９とからなる減圧室３ａと、減圧室３ａ内を減圧する真空ポンプ（油拡散真空ポンプ５、油回転真空ポンプ６）とを有する遠心機１ａであって、ボウル１１とチャンバボディ７との隙間、すなわちボウル１１の外周面とチャンバボディ７の内周面との隙間に、真空ポンプによって減圧されない非減圧空間を形成するシール部として第１シール部２０及び第２シール部３０を備えている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ロータと、該ロータを収容するボウルと、チャンバボディとトッププレートとボトムプレートとからなる減圧室と、該減圧室内を減圧する真空ポンプとを有する遠心機であって、
前記ボウルと前記チャンバボディとの隙間に、前記真空ポンプによって減圧されない空間を形成するシール部を具備することを特徴とする遠心機。
【請求項２】
前記シール部は、
前記ボウルの外周面と前記チャンバボディの内周面とをシールする第１シール部と、
前記ボウルの外周面と前記ボトムプレートの上面とをシールする第２シール部とで構成されていることを特徴とする請求項１記載の遠心機。
【請求項３】
前記ボウルと前記チャンバボディとの隙間には、プロテクタが配置されており、
前記第１シール部は、
前記ボウルの外周面と前記プロテクタの内周面とをシールする第１シール材と、
前記プロテクタの外周面と前記チャンバボディの内周面とをシールする第２シール材とで構成されていることを特徴とする請求項２記載の遠心機。
【請求項４】
前記シール部によって形成される減圧されない空間に配置された断熱材を具備することを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の遠心機。
【請求項５】
前記ボウルの外周面と前記チャンバボディの内周面との隙間に充填され、前記シール部として機能する断熱材を具備すること特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の遠心機。
【請求項６】
前記ボウルの外周面と前記プロテクタの内周面との隙間に充填され、前記第１シール材として機能する断熱材を具備すること特徴とする請求項３記載の遠心機。
【請求項７】
前記断熱材は、充填後に発泡して硬化する発泡断熱材であること特徴とする請求項５又は６記載の遠心機。
【請求項８】
前記プロテクタの外周面と前記チャンバボディの内周面の隙間に充填され、前記第２シール材として機能する充填材を具備すること特徴とする請求項３記載の遠心機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ロータ室（回転室）を減圧して使用する遠心機に関する。
【背景技術】
【０００２】
遠心機、特に遠心力を利用して試料の分離や精製等を行うための遠心機は、チューブやボトルに収容された試料をロータに収納し、該ロータを密閉されたロータ室内でモータ等の駆動装置によって高速回転させることによって、ロータと共に回転する試料の分離や精製等を行うものである。ロータの回転速度は用途によって異なり、最高回転速度が数千回転（ｒｐｍ）程度の比較的低速のものから１５万回転（ｒｐｍ）程度の高速のものまで幅広く、遠心機としては種々のロータ回転速度を有する製品群が一般に提供されている。
【０００３】
ロータの回転速度が概ね３０,０００ｒｐｍを超える遠心機にあっては、ロータ室内の空気とロータとの摩擦熱によるロータと試料の温度上昇を抑制するため、ロータ室を真空にするための真空ポンプを備えている。ここで、真空ポンプは、粗引きポンプとしての油回転真空ポンプと、より高真空を得るポンプとしての油拡散真空ポンプを直列に接続して構成され、真空度は概ね１Ｐａ以下に達するものが一般的である（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
図７に、従来の遠心機１００の全体構成を示す。
遠心機１００は、減圧室（真空室）３ａ内に配置され、分離すべき試料を保持して回転するロータ２と、ロータ２を取り囲むように配置されたボウル１１によって画定されるロータ室３と、ロータ室３内でロータ２を回転駆動する駆動源であるモータ４と、減圧室３ａ内の大気を排気して真空（減圧）にするための真空ポンプ（油拡散真空ポンプ５及び油回転真空ポンプ６）とで構成されている。
【０００５】
減圧室３ａは、略円筒形状のチャンバボディ７と、チャンバボディ７の上端を閉じるトッププレート８と、チャンバボディ７の下端を閉じるボトムプレート９と、ロータ室３へロータ２の出し入れを行うためにトッププレート８に設けられた開口部を閉じるドア１０とによって略円筒形状の密閉空間として形成されている。ロータ室３は、底面が閉じた円筒形状のボウル１１で仕切られる内部空間である。さらに、万が一のロータ２の破損時に破片の突き抜けを防止するために、略円筒形状のプロテクタ１２が設けられている。プロテクタ１２は、チャンバボディ７の内周面と、ボウル１１の外周面との間に隙間をおいて配置されている。また、ボウル１１とボトムプレート９との間には、ボウル１１を冷却または加熱することで間接的にロータ２の温度制御を行うサーモモジュール１３が設けられている。
【０００６】
減圧室３ａを減圧させる真空ポンプとして、油拡散真空ポンプ５と油回転真空ポンプ６が直列に接続されている。すなわち、減圧室３ａを画定するチャンバボディ７に形成された真空引き開口部１４と油拡散真空ポンプ５の吸引口とが真空配管１５により接続され、油拡散真空ポンプ５の排出口と油回転真空ポンプ６の吸引口とが真空配管１６により接続されている。減圧室３ａの減圧に当たり、油拡散真空ポンプ５は大気圧からの真空引きができないため、初めに油回転真空ポンプ６で真空引きする。その後、油拡散真空ポンプ５が動作すると、油拡散真空ポンプ５と油回転真空ポンプ６とで減圧室３ａを減圧するものである。なお、油拡散真空ポンプ５は、オイルを貯留するボイラと、該ボイラを加熱するヒータと、ボイラで気化したオイル分子を一定方向に噴射させるジェットと、気化したオイル分子を冷却して液化するための冷却部とで構成されている。また、減圧室３ａが減圧された状態では、ボウル１１とプロテクタ１２の隙間も減圧室３ａの減圧に伴って減圧されるので、ボウル１１に対する真空断熱層の役割を果たす。
【０００７】
大気圧下でロータ２が高速回転すると、風損によりロータ２が発熱し、ロータ２の温度上昇は、試料の変質や分離結果の再現性低下など好ましくない結果を招く。モータ４は、ロータ２を速やかに（ロータ２により異なるが、例えば５分程度で）高速回転に達せしめることができる。一方、高速回転によるロータ２の温度上昇を抑制するには減圧室３ａを或る程度（概ね１Ｐａ）より高真空にする必要があり、真空ポンプが動作開始後に高真空に達する所要時間は、ロータ２の加速時間より遅く、例えば５〜２０分程度である。そこで、真空ポンプを備える遠心機１００では、減圧室３ａ内の空気とロータ２の摩擦熱によるロータ２と試料の温度上昇を防止するため、一定の真空度に達するまではロータ２を低速回転で待機させ、一定の真空度に達してから高速回転させる措置が採られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開平０９−１４１１３７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、従来技術では、減圧室３ａの減圧過程で一時的に真空度が悪化（圧力が上昇）する現象が現れて、真空引きの時間が遅延し、試料の遠心を終える時間が遅くなってしまうという問題点があった。また、使用者は、ロータ２が加速をして設定した回転速度に達するまで見届ける使用者が少なくない。あるいは温度に敏感な試料を扱う時は、一定の真空度に達するまでロータ２を停止させておき、十分な高真空に達したのを確認してから運転を開始する場合もあり、真空引き時間の遅延はこのような使用者にも待ち時間の増加という不都合を与える。
【００１０】
図８には、従来の遠心機１００における真空度の時間変化が示されている。減圧室３ａの減圧を開始すると、大気圧（約１００，０００Ｐａ）から約１００Ｐａまでは減圧室３ａの容積に応じた速度で減圧される。その後、時刻ｔ１で１００Ｐａを下回った後、概ね３０Ｐａ以下になって１０Ｐａに近づくにつれ、点線で示す曲線４０２のように一時的に真空度が悪化（圧力が上昇）する現象が現れることがある。これは、減圧室３ａ内の各部材の表面に吸着した気体分子が放出される脱気（脱ガスとも言う）という現象で、脱気の量は減圧室３ａが大気圧に置かれていた時間の長さや、大気の湿度によって変動する。脱気がない場合の真空度の時間変化は、減圧室３ａの容積に応じて曲線４０１のように滑らかな漸近線状の変化を示し、ロータ２の高速回転に適した真空度である１Ｐａに達する時刻はｔ１ａとなる。これに対して図８に示す例では、脱気がある場合、１Ｐａに達する時刻はｔ１ｂとなり、時刻ｔ１からの所要時間は、脱気がない場合に比べて約２倍の時間を要している。
【００１１】
本発明は以上のような状況に鑑みなされたものであって、上記課題を解決し、脱気の量を低減させ、真空引き時間を短縮することができる遠心機を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の遠心機は、ロータと、該ロータを収容するボウルと、チャンバボディとトッププレートとボトムプレートとからなる減圧室と、該減圧室内を減圧する真空ポンプとを有する遠心機であって、前記ボウルと前記チャンバボディとの隙間に、前記真空ポンプによって減圧されない空間を形成するシール部を具備することを特徴とする。
さらに、本発明の遠心機において、前記シール部は、前記ボウルの外周面と前記チャンバボディの内周面とをシールする第１シール部と、前記ボウルの外周面と前記ボトムプレートの上面とをシールする第２シール部とで構成しても良い。
さらに、本発明の遠心機において、前記ボウルと前記チャンバボディとの隙間には、プロテクタが配置されており、前記第１シール部は、前記ボウルの外周面と前記プロテクタの内周面とをシールする第１シール材と、前記プロテクタの外周面と前記チャンバボディの内周面とをシールする第２シール材とで構成しても良い。
さらに、本発明の遠心機において、前記シール部によって形成される減圧されない空間に配置された断熱材を具備しても良い。
さらに、本発明の遠心機において、前記ボウルの外周面と前記チャンバボディの内周面との隙間に充填され、前記シール部として機能する断熱材を具備しても良い。
さらに、本発明の遠心機において、前記ボウルの外周面と前記プロテクタの内周面との隙間に充填され、前記第１シール材及び前記第２シール部として機能する断熱材を具備しても良い。
さらに、本発明の遠心機において、前記断熱材は、充填後に発泡して硬化する発泡断熱材であっても良い。
さらに、本発明の遠心機において、前記プロテクタの外周面と前記チャンバボディの内周面の隙間に充填され、前記第２シール材として機能する充填材を具備しても良い。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、減圧室内の各部材の表面積を減少させることができるため、減圧時の脱気の量を低減させることができ、真空引き時間を短縮することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明に係る遠心機の第１の実施の形態の全体構成を示す概略断面図である。
【図２】図１に示す第１シール部及び第２シール部の構成を示す拡大図である。
【図３】本発明に係る遠心機の第１の実施の形態における真空度の時間変化を示す図である。
【図４】第１シール部の他の構成を示す拡大図である。
【図５】本発明に係る遠心機の第２の実施の形態の全体構成を示す概略断面図である。
【図６】本発明に係る遠心機の第３の実施の形態の全体構成を示す概略断面図である。
【図７】従来の遠心機の全体構成を示す概略断面図である。
【図８】従来の遠心機における真空度の時間変化を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
次に、本発明の実施の形態を、図面を参照して具体的に説明する。なお、各図面に示される同一または同等の構成要素、部材、処理等には同一の符号を付し、適宜重複した説明は省略する。
【００１６】
（第１の実施の形態）
第１の実施の形態の遠心機（遠心分離機）１ａは、図１を参照すると、チャンバボディ７の内周面と、ボウル１１の外周面との間をシールする円環状の第１シール部２０と、ボウル１１の底面と、ボトムプレート９との間をシールする円環状の第２シール部３０とを備えている。また、遠心機１ａでは、チャンバボディ７において、油拡散真空ポンプ５の吸引口と真空配管１５により接続される真空引き開口部１４’が、プロテクタ１２の上端よりも上方に形成されている。そして、第１シール部２０は、真空引き開口部１４’よりも下方であって、且つプロテクタ１２の上端部よりも上方に配置されている。これにより、第１シール部２０と第２シール部３０とで画定されたチャンバボディ７の内周面とボウル１１の外周面との隙間は、減圧室３ａ内において、真空ポンプによって減圧される減圧空間と隔離され、真空ポンプによって減圧されることがない非減圧空間となる。
【００１７】
第１シール部２０と第２シール部３０とで画定された非減圧空間の、ボウル１１の外周面と、プロテクタ１２と内周面との隙間には、略円筒状の断熱材４０が設けられている。断熱材４０には、減圧室３ａが減圧されても減圧が及ばないので、断熱材４０は例えばＥＰＳ（所謂発泡スチロール）のように減圧に耐えられない安価な材料を用いることができる。さらに、断熱材４０は、ボウル１１、プロテクタ１２と密着させる必要がないので、予め円筒状に成形した材料を用いることもでき、組み立て、分解作業性が良い。また、断熱材４０は、ボウル１１、プロテクタ１２と密着させるようにしても良い。断熱材４０と、ボウル１１、プロテクタ１２とを密着させることにより、断熱材４０と、ボウル１１、プロテクタ１２との間に気体が無くなり、気体が対流することによる熱の移動（ロス）を少なくすることができる。
【００１８】
図２（ａ）は、図１に示す領域Ｘの拡大図である。
第１シール部２０は、図２（ａ）を参照すると、円環状の第１シール材２１及び第２シール材２２と、円環状の第１シール固定部材２３とで構成されている。第１シール固定部材２３は、プロテクタ１２と略同一の径で、断面形状が略Ｔ字状の部材であり、プロテクタ１２の上端面に取り付けられている。これにより、断面形状が略コ字状となる環状溝がプロテクタ１２の上端部の内周側と外周側とにそれぞれ形成される。第１シール材２１及び第２シール材２２としては、例えばＯリングが用いられる。第１シール材２１は、プロテクタ１２の上端部の内周側に形成された環状溝に装着されており、ボウル１１の外周面と、プロテクタ１２の内周面との隙間を非減圧空間として画定する。また、第２シール材２２は、プロテクタ１２の上端部の外周側に形成された環状溝に装着されており、プロテクタ１２の外周面と、チャンバボディ７の内周面との隙間を非減圧空間として画定する。
【００１９】
図２（ｂ）は、図１に示す領域Ｙの拡大図である。
第２シール部３０は、図２（ｂ）を参照すると、円環状の第３シール材３１と、円環状の第２シール固定部材３２とで構成されている。第２シール固定部材３２には、上方に向けて開口する、断面形状が略コ字状となる環状溝が形成されており、ボトムプレート９に取り付けられている。第３シール材３１としては、例えばＯリングが用いられる。第３シール材３１は、第２シール固定部材３２に形成された環状溝に装着されており、ボウル１１の外周面と、チャンバボディ７の内周面との隙間を非減圧空間として画定する。
【００２０】
図３に、第１の実施の形態の遠心機１ａにおける真空度の時間変化が示されている。遠心機１ａでは、減圧室３ａ内に非減圧空間が形成されているため、減圧室３ａの容積が減少され、脱気がない場合の真空度の時間変化は、減少された減圧室３ａの容積に応じて曲線４０３のように滑らかな漸近線状の変化を示す。減圧室３ａの減圧を開始すると、大気圧（約１００，０００Ｐａ）から約１００Ｐａまでは減圧室３ａの容積に応じた速度で減圧される。その後、時刻ｔ２で１００Ｐａを下回った後、概ね３０Ｐａ以下になって１０Ｐａに近づくにつれ、遠心機１ａにおいても、点線で示す曲線４０４のように一時的に真空度が悪化（圧力が上昇）する脱気の現象が現れるが、図８に示す曲線４０２に比べて格段に改善され、脱気の量の減少していることが分かる。脱気がない場合の１Ｐａに達する時刻ｔ２ａに対し、脱気がある場合の１Ｐａに達する時刻はｔ２ｂとなり、脱気があっても真空引き時間の遅延を１．３倍程度に抑制することができる。
【００２１】
脱気の量の減少は、減圧室３ａ内の表面積の減少に起因している。
図７に示す従来の遠心機１００では、チャンバボディ７の内側にプロテクタ１２が、さらにその内側にボウル１１があり、略円筒形状の三層構造となっている。従って、円筒部のみの表面積に着目すれば、減圧室３ａ内に以下に示す表面Ａ〜Ｅの５ヶ所の面を有し、単一構造の円筒部に対して概算で５倍の面積を持っている。
表面Ａ：チャンバボディ７の内周面、表面Ｂ：プロテクタ１２の外周面、表面Ｃ：プロテクタ１２の内周面、表面Ｄ：ボウル１１の外周面、表面Ｅ：ボウル１１の内周面。
これに対し、第１の実施の形態の遠心機１ａでは、第１シール部２０と第２シール部３０とにより、上記した表面Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄが減圧室３ａ内の減圧空間から隔離されるので、減圧室３ａ内に分子を放出する面積が低減される。これにより、脱気の量が減少され、真空引き時間の短縮を図ることができる。
【００２２】
なお、第１の実施の形態では、第１シール固定部材２３を用いて第１シール材２１及び第２シール材２２を固定するように構成したが、図４に示すように、上端付近の内周面及び外周面に環状溝がそれぞれ形成されたプロテクタ１２’を用い、プロテクタ１２’の内周面に形成された環状溝に第１シール材２１を、プロテクタ１２’の外周面に形成された環状溝に第２シール材２２をそれぞれ装着させるようにしても良い。また、チャンバボディ７の内周面に形成した環状溝に第２シール材２２を装着するようにしても良く、ボウル１１の外周面に形成した環状溝に第１シール材２１を装着するようにしても良い。
【００２３】
以上説明したように、第１の実施の形態は、ロータ２と、ロータ２を収容するボウル１１と、チャンバボディ７とトッププレート８とボトムプレート９とからなる減圧室３ａと、減圧室３ａ内を減圧する真空ポンプ（油拡散真空ポンプ５、油回転真空ポンプ６）とを有する遠心機１ａであって、ボウル１１とチャンバボディ７との隙間、すなわちボウル１１の外周面とチャンバボディ７の内周面との隙間に、真空ポンプによって減圧されない非減圧空間を形成するシール部として第１シール部２０及び第２シール部３０を備えている。
この構成により、チャンバボディ７の内周面（表面Ａ）とボウル１１の外周面（表面Ｄ）とが減圧室３ａ内の減圧空間から隔離されるので、減圧室３ａ内に分子を放出する面積が低減され、脱気の量が減少され、真空引き時間の短縮を図ることができる。
【００２４】
第１シール部２０は、ボウル１１の外周面とチャンバボディ７の内周面とをシールし、第２シール部３０は、ボウル１１の外周面とボトムプレート９の上面（ボウル１１と対向する面）とをシールする。
この構成により、チャンバボディ７の内周面（表面Ａ）とボウル１１の外周面（表面Ｄ）との隙間を、減圧室３ａ内の減圧空間から効率的に隔離することができる。
【００２５】
さらに、第１の実施の形態によれば、ボウル１１とチャンバボディ７との隙間に、プロテクタ１２が配置されており、ボウル１１とプロテクタ１２との隙間、すなわちボウル１１の外周面とプロテクタ１２の内周面とをシールする第１シール材２１と、及び第２シール部３０を備えると共に、プロテクタ１２とチャンバボディ７との隙間、すなわちプロテクタ１２の外周面とチャンバボディ７の内周面とをシールする第２シール材２２とを備えている。
この構成により、プロテクタ１２を減圧室３ａに配置しても、プロテクタ１２の内周面（表面Ｃ）とプロテクタ１２の外周面（表面Ｂ）とが減圧室３ａ内の減圧空間から隔離されるので、減圧室３ａ内に分子を放出する面積が低減され、脱気の量が減少され、真空引き時間の短縮を図ることができる。
【００２６】
第１シール部２０及び第２シール部３０によって形成される非減圧空間に配置された断熱材４０を備えている。
この構成により、断熱材４０は、ボウル１１、プロテクタ１２と必ずしも密着させる必要がないので、予め円筒状に成形した材料を用いることもでき、組み立て、分解作業性が良い。
【００２７】
（第２の実施の形態）
第２の実施の形態の遠心機（遠心分離機）１ｂは、図５を参照すると、ボウル１１の外周面とプロテクタ１２の内周面との隙間に充填された断熱材４１と、プロテクタ１２の外周面とチャンバボディ７の内周面との隙間に充填された充填材５０とを備えている。
【００２８】
断熱材４１は、第１の実施の形態における第１シール材２１、第２シール部３０及び断熱材４０としての機能を備えている。すなわち、断熱材４１は、ボウル１１の外周面とプロテクタ１２の内周面とを覆い、ボウル１１の外周面とプロテクタ１２の内周面との隙間を非減圧空間に画定すると共に、ボウル１１に対する断熱層の役割を果たす。断熱材４１としては、例えば、充填後に発泡して硬化し、接する表面に接着す発泡ポリエチレン等の発泡断熱材を用いることができる。この場合には、ボウル１１の底面とボトムプレート９との間に断熱材４１の流れを規制するシール材を設けると良い。なお、断熱材４１として発泡断熱材を用いる場合には、一部は減圧される空間にも面しているので、減圧により気泡が破裂しない硬化強度を有する必要がある。また、断熱材４１の発泡の種類は、発泡した気泡が互いにつながっている所謂連続気泡型では気泡内も減圧空間となり、減圧空間に接する表面積が増大してしまうため、気泡が独立している独立気泡型であることが望ましい。なお、独立気泡型の発泡断熱材においても、全ての気泡が完全に独立しているわけではないが、減圧される空間にも面している断熱材４１の表面積が、非減圧空間として画定したボウル１１の外周面及びプロテクタ１２の内周面の表面積を下回っていれば、一定の効果を得ることができる。
【００２９】
充填材５０は、第１の実施の形態における第２シール材２１としての機能を備えている。すなわち、充填材５０は、プロテクタ１２の外周面とチャンバボディ７の内周面とを覆い、プロテクタ１２の外周面とチャンバボディ７の内周面との隙間を非減圧空間に画定する。充填材５０としては、例えばシリコン系の樹脂を用いることができ、断熱材４１と同一材料で構成しても良い。
【００３０】
以上説明したように、第２の実施の形態によれば、断熱材４１がボウル１１とプロテクタ１２との隙間、すなわちボウル１１の外周面とプロテクタ１２の内周面との隙間に充填され、ボウル１１の外周面とプロテクタ１２の内周面との隙間を非減圧空間に画定している。すなわち、第２の実施の形態における断熱材４１は、第１の実施の形態における第１シール材２１及び第２シール部３０として機能する。
この構成により、第１の実施の形態の効果に加え、ボウル１１の外周面とプロテクタ１２の内周面との隙間に非減圧空間を画定するシール部と、断熱材を兼用することができるため、装置を簡略化することができる。
【００３１】
さらに、第２の実施の形態によれば、充填材５０がプロテクタ１２と減圧室３ａとの隙間、すなわちプロテクタ１２の外周面とチャンバボディ７の内周面との隙間に充填され、プロテクタ１２の外周面とチャンバボディ７の内周面との隙間を非減圧空間に画定している。
この構成により、充填材５０をプロテクタ１２の外周面とチャンバボディ７の内周面との隙間に流し込むだけで、簡単に非減圧空間を画定することができる。
【００３２】
さらに、第２の実施の形態によれば、断熱材４１は、充填後に発泡して硬化する発泡断熱材を採用している。
この構成により、断熱材４１をボウル１１の外周面とプロテクタ１２の内周面との隙間に流し込むだけで、簡単に非減圧空間を画定することができる。
【００３３】
（第３の実施の形態）
第３の実施の形態の遠心機（遠心分離機）１ｃは、図６を参照すると、第２の実施の形態のプロテクタ１２を備えておらず、ボウル１１の外周面とチャンバボディ７の内周面との隙間に充填された断熱材４１を備えている。第３の実施の形態において、断熱材４１は、第１の実施の形態における第１シール部２０、第２シール部３０及び断熱材４０としての機能を備えている。すなわち、断熱材４１は、ボウル１１の外周面とチャンバボディ７の内周面とを覆い、ボウル１１の外周面とチャンバボディ７の内周面との隙間を非減圧空間に画定すると共に、ボウル１１に対する断熱層の役割を果たす。
【００３４】
以上説明したように、第３の実施の形態によれば、断熱材４１がボウル１１と減圧室３ａとの隙間、すなわちボウル１１の外周面とチャンバボディ７の内周面との隙間に充填され、ボウル１１の外周面とチャンバボディ７の内周面との隙間を非減圧空間に画定している。
この構成により、ボウル１１の外周面とチャンバボディ７の内周面との隙間に非減圧空間を画定するシール部と、断熱材を兼用することができるため、装置を簡略化することができる。
【００３５】
以上、本発明を実施の形態をもとに説明した。本実施の形態は例示であり、それらの各構成要素の組み合わせ等にいろいろな変形例が可能なこと、またそうした変形例も本発明の範囲にあることは当業者に理解されるところである。
例えば、プロテクタ１１を備えていない遠心機に、第１シール部２０及び第２シール部３０を設け、ボウル１１の外周面とチャンバボディ７の内周面との隙間を非減圧空間に画定させ、非減圧空間に断熱材を設けるように構成しても良い。
【符号の説明】
【００３６】
１ａ、１ｂ、１ｃ  遠心機
２  ロータ
３  ロータ室
３ａ  減圧室
４  モータ
５  油拡散真空ポンプ
６  油回転真空ポンプ
７  チャンバボディ
８  トッププレート
９  ボトムプレート
１０  ドア
１１  ボウル
１２、１２’  プロテクタ
１３  サーモモジュール
１４、１４’  真空引き開口部
１５、１６  真空配管
２０  第１シール部
２１  第１シール材
２２  第２シール材
２３  第１シール固定部材
３０  第２シール部
３１  第３シール材
３２  第２シール固定部材
４０、４１  断熱材
５０  充填材
【図１】
2014184401.tif 000003
【図２】
2014184401.tif 000004
【図３】
2014184401.tif 000005
【図４】
2014184401.tif 000006
【図５】
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【図６】
2014184401.tif 000008
【図７】
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【図８】
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