(57)【要約】      （修正有）【課題】作業者によらず適切に研削装置のホイールマウントに締結が可能となる研削ホイールを提供する。【解決手段】研削装置のスピンドル１８の先端に固定されたホイールマウント２２に着脱可能に装着される研削ホイール２４であって、該ホイールマウント２２に装着される装着部２６ａと該装着部２６ａの反対側の自由端部２６ｂとを有する環状ホイール基台２６と、該環状ホイール基台２６の該自由端部２６ｂに配設された複数の研削砥石２８と、を備え、該環状ホイール基台２６の該装着部２６ａには、締結ボルト２５が螺合する複数の雌ねじ２７が周方向に離間して形成されており、該研削ホイール２４は、該雌ねじ２７の締結順を示す締結順表示２９を有する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
研削装置のスピンドル先端に固定されたホイールマウントに着脱可能に装着される研削ホイールであって、
該ホイールマウントに装着される装着部と該装着部の反対側の自由端部とを有する環状ホイール基台と、
該環状ホイール基台の該自由端部に配設された複数の研削砥石と、を備え、
該環状ホイール基台の該装着部には、締結ボルトが螺合する複数の雌ねじが周方向に離間して形成されており、
該研削ホイールは、該雌ねじの締結順を示す締結順表示を有することを特徴とする研削ホイール。
【請求項２】
前記環状ホイール基台の前記装着部には、締結ボルトが螺合する偶数個の雌ねじが周方向に等間隔で離間して形成されており、
前記締結順は、それぞれ対面する雌ねじを連続して締結する順番である請求項１記載の研削ホイール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、研削装置のホイールマウントに着脱可能に装着される研削ホイールに関する。
【背景技術】
【０００２】
ＩＣ、ＬＳＩ等の数多くのデバイスが表面に形成され、且つ個々のデバイスが分割予定ライン（ストリート）によって区画された半導体ウエーハは、研削装置によって裏面が研削されて所定の厚みに加工された後、ダイシング装置によって分割予定ラインを切削して個々のデバイスに分割され、分割されたデバイスは携帯電話、パソコン等の各種電子機器に利用されている。
【０００３】
ウエーハの裏面を研削する研削装置は、ウエーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハを研削する研削砥石が配設された研削ホイールを回転可能に支持する研削手段と、研削領域に研削水を供給する研削水供給手段とを具備しており、ウエーハを所望の厚みに研削することができる。
【０００４】
研削ホイールは、例えば特開２００９−２４８２６７号公報に開示されるように、研削装置のスピンドルの先端に固定されたホイールマウントに複数の締結ねじで着脱可能に締結される。通常、ねじを締めつける際に対向するねじを連続して締め付けることで十分な締め付けが可能となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００９−２４８２６７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、例えば不慣れな作業者によっては、対向するねじを連続して締結することを知らなかったり忘れたりして、例えば周方向の順に締結してしまい、研削ホイールが研削装置のホイールマウントに適切に装着されない恐れがある。
【０００７】
研削ホイールがホイールマウントに適切に装着されていない場合には、締結ボルトを変形させてしまったり、研削ホイールを回転させた際に偏心してスピンドルを損傷させてしまう恐れもある。
【０００８】
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、作業者によらず適切に研削装置のホイールマウントに締結が可能となる研削ホイールを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明によると、研削装置のスピンドル先端に固定されたホイールマウントに着脱可能に装着される研削ホイールであって、該ホイールマウントに装着される装着部と該装着部の反対側の自由端部とを有する環状ホイール基台と、該環状ホイール基台の該自由端部に配設された複数の研削砥石と、を備え、該環状ホイール基台の該装着部には、締結ボルトが螺合する複数の雌ねじが周方向に離間して形成されており、該研削ホイールは、該雌ねじの締結順を示す締結順表示を有することを特徴とする研削ホイールが提供される。
【００１０】
好ましくは、環状ホイール基台の装着部には、締結ボルトが螺合する偶数個の雌ねじが周方向に等間隔で離間して形成されており、締結順は、それぞれ対面する雌ねじを連続して締結する順番である。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の研削ホイールは、締結順を示す締結順表示を有するため、例えば不慣れな作業者でも誤った順番で締結する恐れを低減でき、作業者によらず適切に研削装置のホイールマウントに締結が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の研削ホイールが装着可能な研削装置の斜視図である。
【図２】研削ホイールの一例を示す斜視図である。
【図３】研削ホイールの締結順を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図１を参照すると、本発明の研削ホイールを装着するのに適した研削装置２の外観斜視図が示されている。４は研削装置２のベースであり、ベース４の後方にはコラム６が立設されている。コラム６には、上下方向に伸びる一対のガイドレール８が固定されている。
【００１４】
この一対のガイドレール８に沿って研削ユニット（研削手段）１０が上下方向に移動可能に装着されている。研削ユニット１０は、スピンドルハウジング１２と、スピンドルハウジング１２を保持する支持部１４を有しており、支持部１４が一対のガイドレール８に沿って上下方向に移動する移動基台１６に取り付けられている。
【００１５】
研削ユニット１０は、スピンドルハウジング１２中に回転可能に収容されたスピンドル１８と、スピンドル１８を回転駆動するモータ２０と、スピンドル１８の先端に固定されたホイールマウント２２と、ホイールマウント２２に着脱可能に装着された研削ホイール２４とを含んでいる。
【００１６】
研削装置２は、研削ユニット１０を一対の案内レール８に沿って上下方向に移動するボールねじ３０とパルスモータ３２とから構成される研削ユニット送り機構３４を備えている。パルスモータ３２を駆動すると、ボールねじ３０が回転し、移動基台１６が上下方向に移動される。
【００１７】
ベース４の上面には凹部４ａが形成されており、この凹部４ａにチャックテーブル機構３６が配設されている。チャックテーブル機構３６はチャックテーブル３８を有し、図示しない移動機構によりウエーハ着脱位置Ａと、研削ユニット１０に対向する研削位置Ｂとの間でＹ軸方向に移動される。４０，４２は蛇腹である。ベース４の前方側には、研削装置２のオペレータが研削条件等を入力する操作パネル４４が配設されている。
【００１８】
図２を参照すると、本発明実施形態の研削ホイール２４をホイールマウント２２に装着する様子を示す斜視図が示されている。研削ホイール２４は、ホイールマウント２２に装着される装着部２６ａと、装着部２６ａと反対側の自由端部２６ｂとを有する環状ホイール基台２６と、環状ホイール基台２６の自由端部２６ｂに複数の研削砥石２８が環状に固着されて構成されている。
【００１９】
ホイールマウント２２は研削ユニット（研削手段）１０のスピンドル１８の先端に固定されており、研削ホイール２４を取り付ける複数の、好ましくは偶数個の取り付け穴２３が周方向に等間隔で離間して形成されている。
【００２０】
研削ホイール２４の環状ホイール基台２６の装着部２６ａには、ホイールマウント２２の取り付け穴２３に対応するように偶数個（本実施形態では６個）の雌ねじ（ねじ穴）２７が周方向に等間隔で離間して形成されている。
【００２１】
更に、環状ホイール基台２６はその側面に締結順序を示す締結順表示２９を有している。締結順表示２９は、刻印、シール、着色等により形成されている。この締結順表示２９は、図３の模式図に示すように、互いに対面する雌ねじ２７を連続して締結する順序となっている。
【００２２】
例えば、締結ボルト２５をホイールマウント２２の取り付け穴２３に挿入して１番の位置の雌ねじ２７に締結ボルト２５を締結すると、次いで１番に対面する２番の位置の雌ねじ２７に締結ボルト２５を締結する。
【００２３】
次いで、３番の位置の雌ねじ２７に締結ボルト２５を締結すると、３番に対面する４番の位置の雌ねじ２７に締結ボルト２５を締結し、更に５番の位置の雌ねじ２７に締結ボルト２５を締結し、最終的に５番に対面する６番の位置の雌ねじ２７に締結ボルト２５を締結する。
【００２４】
尚、締結ボルト２５を研削ホイール２４の雌ねじ２７に締結する際には、ボルト２５をいっぱいに締め付けることはせず、研削ホイール２４に表示された締結順表示通りに締結ボルト２５を締結した後、最終的に締結ボルト２５を適正な締結トルク、例えば４Ｎ・ｍで締結順表示通りに締め付けるのが好ましい。
【００２５】
本実施形態の研削ホイール２４では、研削ホイール２４の環状ホイール基台２６がその側面に締結順を示す偶数個の締結順表示２９を有するため、不慣れな作業者でも締結順表示通りに研削ホイール２４を締結すれば、研削ホイール２４を適切にホイールマウント２２に装着することができ、不慣れな作業者でも誤った順番で締結する恐れを低減することができ、作業者によらず適切に研削ホイール２４をホイールマウント２２に締結することができる。
【符号の説明】
【００２６】
２    研削装置
１０    研削ユニット
１８    スピンドル
２２    ホイールマウント
２３    取り付け穴
２４    研削ホイール
２５    締結ボルト
２６    環状ホイール基台
２７    雌ねじ（ねじ穴）
２８    研削砥石
２９    締結順表示
【図１】
2014210305.tif 000003
【図２】
2014210305.tif 000004
【図３】
2014210305.tif 000005