(57)【要約】      （修正有）【課題】密着ばねタイプのコンタクトプローブで性能及び生産性のよいものを提供する。【解決手段】（イ）導電性材料よりなるプランジャ４において、一端は基板や半導体と接触する円錐形状やクラウン形状としたプランジャ先端部１を設け、この下にバネ受け１５とスプリングを固定するプランジャ固定部２、中空バーレルガイド部１４、段差のついたプランジャ抜け止め部１１とプランジャ内部接触部３を設ける。（ロ）中空バーレル９は、電気的抵抗が低く密着巻き引っ張りタイプのコイルスプリングと類似構造であり、一端に中空バーレル外部接触部１０、他端に中空バーレル抜け止め部１２が設けられ、中空バーレルガイド部と勘合させる。（ハ）機械強度的に有利な材料で製作された外スプリング５は、一端をプランジャ固定部２に固定し、他端を中空バーレル抜け止め部の端面または中間に位置する外スプリング押圧部１３に位置合わせする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
（イ）導電性材料よりなる概略段付きの柱状のプランジャ（４）において、一端は基板や半導体などとの接触のために円錐形状やクラウン形状としたプランジャ先端部（１）を設け、この部位の下にバネ受け（１５）更にスプリングを固定するためのプランジャ固定部（２）、この下に中空バーレルガイド部（１４）更にこの端には段差のついたプランジャ抜け止め部（１１）を設けた外表面にて相手と接触するプランジャ内部接触部（３）を設ける。
（ロ）主に電気的に抵抗の低い素材でできた、引っ張りタイプのコイルスプリングと類似した構造で互いに密着した巻きかたの中空バーレル（９）の一方の端には外部と接触する中空バーレル外部接触部（１０）を設け他端はこの径を小さくした中空バーレル抜け止め部（１２）を設け、プランジャ抜け止め部（１１）を乗り越えて中空バーレルガイド部（１４）と勘合させ設ける。
（ハ）おもに機械強度的に有利な材料を用いて製作された外スプリング（５）の一端をプランジャ固定部（２）に固定し他端は中空バーレル抜け止め部（１２）の端面もしくは中間に位置する外スプリング押圧部（１３）に位置合わせする。
以上の構成のコンタクトプローブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】この発明は、半導体や基板などの電気計測に持ちい、計測基板との接触の接点として密着バネの端面を用いたコンタクトプローブに関するものである。
【背景技術】
【０００２】従来、主に価格的な理由から図３（特開平１０−２３９３４９）のごとく片側にプランジャといわれる円筒状の金属部がありこのプランジャの外周に片端側はバネとしての機械特性をもつように隙間が空けられこの下の部位にはプランジャの一端との接触により電気導体として働くように設けられた、密着巻きした状態の外スプリングが圧入されたものがあった。また図４（特願２００８−２９０３７６）に示されるように図３の案の密着部を別のスプリングで設け、更に位置決めようの部材を設けたものが有った。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】そのためには次のような課題が有った。
（イ）図３の場合はスプリングは一本のコイルスプリングを用いるが機械的な機能を高めたばあい電気抵抗が大きくなり、電気抵抗を低くした場合は機械的な機能が低下した。
また一本のバネで直列的な形態で製作されているため、全長を短くすることができなかった、つまり電気長が長くなるため高速な計測には不向きであった。
更に密着巻き部の凹凸は一本のスプリングの線径で決まるため滑らかな動きを改善することは難しかった。
（ロ）図４の場合は図３の欠点の解消つまり全長を短くすることや電気的な特性と機械的な特性の両立は可能であるが、製造の際に、位置決め部材の別部品としての製作・組み込みが煩雑であることおよび既存のバネを加工し固定部を設ける場合はかなり精密な加工・調整が必要となった。
【課題を解決するための手段】
【０００４】コイルスプリングの密着巻構造である中空バーレルとプランジャをプランジャ部に設けた抜け止め部と中空バーレルガイド部を介して、中空バーレルが可動するようにくみこみ、更に外スプリングをプランジャと中空バーレルの間に設けた。
【発明の効果】
【０００５】中空バーレルのバネとしての特性を用いてプランジャの端に設けられた段のついた抜け止め部を超えて組み込まれ、プランジャに設けられたガイド部を可動するがこの組み込み作業がバネの特性を利用しているため容易であり、プランジャと中空バーレルの加工も容易であり作業性及び確実性に優れる。【０００６】全長を短くする必要がある場合は中空バーレルの一端側を外スプリングの内側に位置させ、この端から離れた希望の位置の径を大きくし、この大きくした端面で長さの長くなった加圧用のスプリングを保持することにより対応が可能となり簡便である。【０００７】部品の構成・組み込み状態から従来のプローブに匹敵する性能（高速性、機械特性、寸法）を保持し既存バネの製造技術を主に利用するため機械的な切削加工に比較し安価であるため価格的な利点も併せもつ。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】以下に本発明の実施の形態を、図１、図２を用いて説明する。
（イ）導電性材料よりなる概略段付きの柱状のプランジャ（４）において、一端は基板や半導体などとの接触のために円錐形状やクラウン形状としたプランジャ先端部（１）を設け、この部位の下にバネ受け（１５）更にスプリングを固定するためのプランジャ固定部（２）、この下に中空バーレルガイド部（１４）更にこの端には段差のついたプランジャ抜け止め部（１１）を設けた外表面にて相手と接触するプランジャ内部接触部（３）を設ける。
（ロ）主に電気的に抵抗の低い素材でできた、引っ張りタイプのコイルスプリングと類似した構造で互いに密着した巻きかたの中空バーレル（９）の一方の端には外部と接触する中空バーレル外部接触部（１０）を設け他端はこの径を小さくした中空バーレル抜け止め部（１２）を設け、プランジャ抜け止め部（１１）を乗り越えて中空バーレルガイド部（１４）と勘合させ設ける。
（ハ）おもに機械強度的に有利な材料を用いて製作された外スプリング（５）の一端をプランジャ固定部（２）に固定し他端は中空バーレル抜け止め部（１２）の端面もしくは中間に位置する外スプリング押圧部（１３）に位置合わせする。
本案を使用の際は、固定用のハウジングに加工された概略円柱状の穴の中に位置決めし、一端に計測用の半導体や被計測物の端子に当て、他端は計測用の基板の端子にあて、加圧して使用する。
加圧に伴いプランジャ（４）は外スプリング（５）を下方に押し、それに伴い、中空バーレル抜け止め部（１２）が中空バーレルガイド部（１４）に沿って前進し、同時に外スプリング（４）は外スプリング押圧部（１３）により加圧圧縮されバネ力を発生させる、これによりプランジャ内部接触部（３）が中空バーレル（９）の内面に接触しながら下降する。この一連の動作により電気的接続がなされる。
この際外スプリングは両端が規制されているためにプランジャ固定部（２）は設けなくともよい。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の側面より見た断面図である。
【図２】本発明の他の案の側面からみた断面図である。
【図３】従来の案の側面よりみた断面図である。
【図４】従来の案の側面よりみた断面図である。
【符号の説明】
【００１０】１．プランジャー先端部
２．プランジャー固定部
３．プランジャー内部接触部
４．プランジャ
５．外スプリング
６．バネ特性部
７．電気導通部
８．バーレル位置決め部材
９．中空バーレル
１０．中空バーレル外部接触端
１１．プランジャ抜け止め部
１２．中空バーレル抜け止め部
１３．外スプリング押圧部
１４．中空バーレルガイド部
１５．バネ受け
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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