(57)【要約】      （修正有）【課題】基本データが誤って消去されたり上書きされてしまった場合にも、基本データの加工条件を再現可能な加工装置の管理方法を提供する。【解決手段】チャックテーブルと、被加工物に加工を施す加工手段と、複数の加工条件を記憶する記憶手段と、加工条件を表示する表示手段とを備えた加工装置の管理方法であって、加工装置を通信回線を介してサーバーに接続するサーバー接続ステップと、記憶手段に記憶された複数の加工条件の中から、基本データとなる第１加工条件４０を選択し、選択された第１加工条件４０をサーバーに保存する基本データ保存ステップと、基本データと加工装置の記憶手段に記憶された第２加工条件を比較する加工条件比較ステップと、を含み、第１及び第２加工条件は、データが設定される複数の設定項目から構成され、第２加工条件を表示手段２６上に表示させると基本データと異なるデータが設定された設定項目が識別可能に表示される。【選択図】図２
2014018906.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物に加工を施す加工手段と、該加工手段を制御する複数の加工条件を記憶する記憶手段と、該加工条件を表示する表示手段と、を備えた加工装置の管理方法であって、
該加工装置を通信回線を介してサーバーに接続するサーバー接続ステップと、
該加工装置の該記憶手段に記憶された複数の加工条件の中から、基本データとなる第１加工条件を選択し、選択された該第１加工条件を該通信回線を介して該サーバーに保存する基本データ保存ステップと、
該基本データ保存ステップを実施した後、該サーバーに保存された該基本データと該加工装置の記憶手段に記憶された第２加工条件を比較する加工条件比較ステップと、を含み、
該第１及び第２加工条件は、データが設定される複数の設定項目から構成され、
該比較ステップを実施した後に、該第２加工条件を該表示手段上に表示させると該基本データと異なるデータが設定された設定項目が識別可能に表示されることを特徴とする加工装置の管理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、切削装置、研削装置等の加工装置の管理方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスや電子部品の製造工程では、半導体ウエーハやセラミックス基板等の各種素材からなる板状の被加工物を、研削装置のスピンドルに装着された研削ホイールによって研削して所定の厚みに形成した後、切削装置のスピンドルに装着された切削ブレードやレーザー加工装置によって個々のデバイスチップに分割する。
【０００３】
これらの加工装置では、研削ホイール、切削ブレード、レーザービーム照射ユニットを各種条件、例えば回転スピードや被加工物との相対移動速度、切り込み速度又は当接速度、各種ノズルの位置等といった条件を設定して加工を行っている（例えば、特開２００９−１１７７７６号公報参照）。
【０００４】
この加工条件は、設定の変更が多く行われる複数の項目を一つにまとめたレシピと呼ばれるものを複数作成しておき、様々な製品に対してレシピを割り当てて加工を行う。よって、製品が異なると、微妙に加工結果も異なる場合が多いため、それに対応して項目のデータを変更し、新たなレシピとしてコントローラ（制御手段）のメモリに登録する。こうしてレシピの数は増えていく。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００９−１１７７７６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
レシピの数は基本データとなる加工条件を規定したレシピを元に種々のデータ変更によって増えるが、基本データが誤って消去されたり、上書きされてしまうと、基準となる加工条件がなくなってしまい、新たなレシピの作成時等にデータの設定が難しくなる。
【０００７】
また、一つのレシピが有する設定項目を非常に多いので基本データのレシピと異なる加工条件のレシピを選択して加工を行いたいときに、基本データのレシピと比較したときどの項目が異なるのか、一見ではわからないという不都合がある。
【０００８】
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、基本データが誤って消去されたり上書きされてしまった場合にも、基本データの加工条件を再現可能な加工装置の管理方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明によると、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物に加工を施す加工手段と、該加工手段を制御する複数の加工条件を記憶する記憶手段と、該加工条件を表示する表示手段と、を備えた加工装置の管理方法であって、該加工装置を通信回線を介してサーバーに接続するサーバー接続ステップと、該加工装置の該記憶手段に記憶された複数の加工条件の中から、基本データとなる第１加工条件を選択し、選択された該第１加工条件を該通信回線を介して該サーバーに保存する基本データ保存ステップと、該基本データ保存ステップを実施した後、該サーバーに保存された該基本データと該加工装置の記憶手段に記憶された第２加工条件を比較する加工条件比較ステップと、を含み、該第１及び第２加工条件は、データが設定される複数の設定項目から構成され、該比較ステップを実施した後に、該第２加工条件を該表示手段上に表示させると該基本データと異なるデータが設定された設定項目が識別可能に表示されることを特徴とする加工装置の管理方法が提供される。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の加工装置の管理方法によると、選択した基本データの加工条件を通信回線を介してサーバーに保存するので、加工装置の中の基本データが消去されたり上書きされてしまっても、基本データの加工条件を復元することが可能となる。
【００１１】
また、基本データの加工条件と各レシピの加工条件が比較され、設定項目の中で基本データと異なる項目が識別可能に表示手段上に表示されるため、大量のレシピがある中で、各レシピの特徴を容易に把握することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の管理方法を切削装置に適用した実施形態のシステム構成図である。
【図２】基本データ保存ステップを説明する模式図である。
【図３】基本データと異なる設定項目が識別可能な例を示す表示モニタの画像の一例である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図１を参照すると、加工装置の一例である切削装置２に接続された本発明のシステム構成図が示されている。符号４は切削装置２の各機構部品を収容するハウジングであり、骨組みに固定された多数のパネル及び外装カバーから構成されている。
【００１４】
ハウジング４内には、第１切削ユニット６Ａ及び第２切削ユニット６Ｂが互いに対向してＹ軸方向に整列するように配設されている。第１切削ユニット６Ａ及び第２切削ユニット６Ｂとも、スピンドルハウジング８内に回転可能に収容されたスピンドル１０と、スピンドル１０の先端部に装着された切削ブレード１２とを含んでいる。第１切削ユニット６Ａ及び第２切削ユニット６Ｂは互いに独立してＹ軸方向に移動可能である。
【００１５】
切削装置２の操作側には扉１４，１６が設けられている。扉１４，１６の下端部には開口１５が形成されている。オペレータ（作業者）はこれらの扉１４，１６を開けて第１及び第２切削ユニット６Ａ，６Ｂにアクセス可能である。
【００１６】
扉１４，１６の前側にはチャックテーブル１８が配設されている。チャックテーブル１８は回転可能及び扉１４，１６の下端部に設けられた開口１５を通してＸ軸方向に移動可能に構成されている。
【００１７】
２０は上下方向に移動可能なカセット載置台であり、カセット載置台２０上には、環状フレームＦの開口に貼着されたダイシングテープＴに被加工物１１が貼着されて構成される被加工物ユニット２２が複数枚収容されたカセット２４が例えば２個搭載される。
【００１８】
２６はタッチパネル式のオペレーション表示モニタであり、オペレーション表示モニタ２６に表示された情報にタッチすることにより、切削装置２にコマンドを入力することができるとともに、切削装置２の稼働状況がモニタ２６上に表示される。
【００１９】
２８は切削装置２の稼働状況を表示する表示ランプであり、切削装置２が正常作動時には例えば緑色で点灯し、何らかの故障が生じた場合には赤色が点滅する。３０は非常停止ボタンであり、オペレータがこの非常停止ボタン３０を押すと切削装置２の作動を直ちに停止することができる。
【００２０】
切削装置２には記憶手段（メモリ）３３を有する制御手段（コントローラ）３２が内蔵されている。制御手段３２は図示しない通信手段を有しており、通信手段及びインターネット等の通信回線３４を介してサーバー３６に接続可能である。サーバー３６はパソコン等の端末装置３８に接続されている。好ましくは、サーバー３６は装置メーカー側に設置されているが、ユーザー側の管理室等に設置されていてもよい。
【００２１】
本実施形態の加工装置の管理方法では、切削装置２の記憶手段３３に記憶された複数の加工条件（レシピ）の中から図２に示すオペレーション表示モニタ２６のサーバー登録選択画面で、点線４０で示すように基本データとなる加工条件Ａを選択し、選択された加工条件Ａを通信回線３４を介してサーバー３６に保存する（基本データ保存ステップ）。
【００２２】
サーバー３６に保存された基本データである加工条件Ａは、暗号等によってアクセス権限を制限するロックステップを実施し、特定の人以外書き換え不可能に設定するのが好ましい。
【００２３】
基本データ保存ステップを実施した後に、サーバー３６に保存された基本データとなる加工条件Ａと切削装置２の記憶手段３３に記憶された加工条件Ｂ〜Ｄを比較する加工条件比較ステップを実施する。各加工条件Ａ〜Ｄは、データが設定される複数の設定項目から構成される。
【００２４】
比較ステップを実施した後に、図３に示すように、使用したい加工条件Ｂをオペレーション表示モニタ２６上に表示させると、基本データである加工条件Ａと異なるデータが設定された設定項目４４ａ，４４ｂが識別可能にオペレーション表示モニタ２６上に表示される。この識別可能に表示する方法としては、設定項目４４ａ，４４ｂを点滅させるか、或いは他の設定項目とは異なる色に色付けする等の方法が採用可能である。
【００２５】
上述した実施形態の加工装置の管理方法によると、選択した基本データとなる加工条件Ａを通信回線３４を介してサーバー３６に保存するので、切削装置２の記憶手段３３に格納されたレシピ（加工条件）が消去されたり上書きされてしまっても、サーバー３６中に基本データの加工条件Ａが保存されているので、基本データを容易に復元することが可能となる。
【００２６】
また、基本データの加工条件Ａと他のレシピ（加工条件Ｂ〜Ｄ）は比較され、設定項目の中で基本データの加工条件Ａと異なる項目４４ａ，４４ｂが識別可能にオペレーション表示モニタ２６上に表示されるため、大量のレシピ（加工条件）がある中で各レシピの特徴を容易に把握することができる。
【００２７】
上述した実施形態は、本発明の管理方法を切削装置に適用した例について説明したが、本発明の管理方法は研削装置、研磨装置、レーザー加工装置等の他の加工装置の管理にも同様に適用することができる。
【符号の説明】
【００２８】
２    切削装置
６Ａ，６Ｂ    切削ユニット
１２    切削ブレード
３２    制御手段（コントローラ）
３３    記憶手段（メモリ）
３４    通信回線
３６    サーバー
３８    端末装置
４０    選択された基本データとなる加工条件
４４ａ，４４ｂ    基本データと異なる設定方法
【図１】
2014018906.tif 000003
【図２】
2014018906.tif 000004
【図３】
2014018906.tif 000005