(57)【要約】【課題】複数個の曲面を有する太陽電池モジュール等を容易に気泡の発生が無く、また、生産性よくラミネートを行うことができるラミネート装置を提供すること。【解決手段】真空容器内を３つの小空間に区分する２つのダイヤフラムと、小空間それぞれを真空排気するポンプとを有するラミネート装置において、加熱前にラミネート装置内を真空排気した後、被処理物を加熱しながら加圧してラミネートを行うことにより気泡の発生を抑制すると共に、シート状の加熱手段により、被処理物への加熱時間を短縮する。【選択図】図１
2014184717.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空容器内を３つの小空間に区分する２つのダイヤフラムと、
前記小空間それぞれを真空排気するポンプと、を有するラミネート装置において、
前記小空間それぞれには空間内を真空排気する第１バルブと、空間内を大気圧にする第２バルブが配設され、前記２つのダイヤフラムのうち、下方の第２のダイヤフラムには加熱手段が配置され、かつ、前記第２のダイヤフラムのうち上方の第１のダイヤフラムと対向する表面に、被処理物が配置されること、
を特徴とするラミネート装置。
【請求項２】
前記加熱手段は、シート状ヒータである、請求項１記載のラミネート装置。
【請求項３】
第３のダイヤフラムを前記第２のダイヤフラムの下側にさらに備え、
前記加熱手段は、前記第２のダイヤフラムと前記第３のダイヤフラムとの間で貯蔵される加熱流体である、請求項１または２に記載のラミネート装置。
【請求項４】
前記第１のダイヤフラムに第２の加熱手段が配置されていることを特徴とする請求項１記載のラミネート装置。
【請求項５】
前記第２の加熱手段は、シート状ヒータである、請求項４記載のラミネート装置。
【請求項６】
第４のダイヤフラムを前記第１のダイヤフラムの上側にさらに備え、前記第２の加熱手段は、前記第１のダイヤフラムと前記第４のダイヤフラムとの間で貯蔵される加熱流体である、請求項４記載のラミネート装置。
【請求項７】
前記被処理物に接触するように配置した第１のシートヒータの反対側に加熱手段および冷却手段として第３のダイヤフラムと第２のダイヤフラムを配置し、
前記第３のダイヤフラムと前記第２のダイヤフラムとの間に加熱流体および冷却流体を備えた請求項１記載のラミネート装置。
【請求項８】
第１のシートヒータと第２のダイヤフラムの間に複数の貫通穴を設けた弾力性のあるシート状断熱材を配置した請求項７記載のラミネート装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数個の曲面を有する太陽電池モジュール等のラミネート装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、太陽電池はクリーンなエネルギー源として多くの関心が寄せられており、特に発電効率の高いシリコン太陽電池は、住宅や車などのハイエンド市場向けの電力用の最有力候補として、様々な設置方法や施工部位が検討されている。
【０００３】
しかしながら、現在提供されている太陽電池モジュールの大半は、その形状が平面タイプであるため、自動車ルーフ用、瓦一体型や建材一体型の住宅用、船舶用等の用途に適用した場合、太陽電池モジュールと取り付け部位とが十分に適合しない状況にあった。
【０００４】
その結果、取り付け部位に空間が生じたり、無駄なスペースが生じたり、さらには外観上の美観も損なわれるといった問題が生じていた。そこで、太陽電池モジュールを自動車ルーフ等の施工部位の曲面形状に対応した曲面構造にすることが望ましいが、従来のラミネート装置は平面タイプの太陽電池モジュールの作成を目的としているため、曲面形状を有する太陽電池モジュールの作成には不向きである。
【０００５】
上記課題を解決するための種々のラミネート装置が提案されている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００６】
図６は、特許文献１に記載された従来のラミネート装置を示す図である。
【０００７】
従来のラミネート装置は、加熱流体１０３を収容し、加熱流体１０３の表面を覆うダイヤフラム１０５を有する液体容器１０２と、液体容器１０２に気密に結合され、液体容器１０２側のダイヤフラム１０５に対峙して設けられたダイヤフラム１０５を有する密閉部材１０４と、液体容器１０２と密閉部材１０４の結合時に、液体容器１０２側のダイヤフラム１０５と密閉部材１０４側のダイヤフラム１０５間を真空引きする手段とを備える。      
【０００８】
そして、液体容器１０２側と密閉部材１０４側のダイヤフラム１０５間に表面材、充填材、インターコネクトされた太陽電池セル、充填材および裏面材の順に重ねて加熱接着することが示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開平６−８５３０７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、上記従来のラミネート装置では、被処理物を加熱しながら前記液体容器側のダイヤフラムと密閉部材側のダイヤフラム間を真空引きすることにより被処理物を加圧してラミネートを行っているため、被処理物に気泡が残ってしまうといった課題が発生する。
【００１１】
更に、液体容器に収容した大量の加熱流体により被処理物を加熱しているため、被処理物への加熱温度を例えば加圧中に変化させたい場合、所望の温度に達するまで時間がかかってしまい、タクトが長くなり生産性が悪くなってしまうという課題が発生する。
【００１２】
そこで、本発明では、上記従来の課題に鑑み、複数個の曲面を有する太陽電池モジュール等を容易に気泡の発生が無く、また、生産性よくラミネートを行うことができるラミネート装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記課題を解決するため、本願の第１の発明は、真空容器内を３つの小空間に区分する２つのダイヤフラムと、小空間それぞれを真空排気するポンプと真空排気バルブと、小空間それぞれを大気圧にする大気開放バルブとを備え、２つのダイヤフラムのうち、下方の第２のダイヤフラムには加熱手段が配置され、かつ、第２のダイヤフラムのうち上方の第１のダイヤフラムと対向する表面に、被処理物が配置されることを特徴とするものである。
【００１４】
このようなラミネート装置にすることで、加熱前に前記小空間それぞれを真空排気した後、被処理物を加熱しながら加圧してラミネートを行うことができ、被処理物に気泡が残ることを抑制することができる。
【００１５】
更には、本願の第２の発明は、加熱手段は、シート状ヒータであることを特徴とする、ラミネート装置を提供する。
【００１６】
このような構成を有するラミネート装置にすることにより、被処理物への加熱温度を例えば加圧中に変化させたい場合、所望の温度に達するまで時間を短縮することができ、生産性を向上することができる。
【００１７】
更には、本願の第３の発明は、第３のダイヤフラムを前記第２のダイヤフラムの下側にさらに備え、前記加熱手段は、前記第２のダイヤフラムと前記第３のダイヤフラムとの間で貯蔵される加熱流体であることを特徴とする、ラミネート装置を提供する。
【００１８】
このような構成を有するラミネート装置にすることにより、加熱流体の使用量を最小限にすることができ、所望の温度に達するまで時間を短縮することができ、生産性を向上することができる。
【００１９】
更には、本願の第４の発明は、前記上方のダイヤフラムに第２の加熱手段が配置されていることを特徴とする、ラミネート装置を提供する。
【００２０】
このような構成を有するラミネート装置にすることにより、被処理物を上下両面から加熱することができ、所望の温度に達するまで時間をより短縮することができ、生産性を向上することができる。
【発明の効果】
【００２１】
以上のように、本発明のラミネート装置によれば、加熱前に前記小空間それぞれを真空排気した後、被処理物を加熱しながら加圧してラミネートを行うことができ、また、被処理物への加熱時間を短縮することができる。結果、複数個の曲面を有する太陽電池モジュール等を容易に気泡の発生を抑制し、また、生産性よくラミネートを行うことができるラミネート装置を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の実施形態１に係わるラミネート装置における、（ａ）は準備工程の構成断面図、（ｂ）はラミネート前工程時の構成断面図、（ｃ）はラミネート工程時の構成断面図
【図２】被処理物が太陽電池モジュールである場合の構造断面図
【図３】本発明の実施の形態１におけるラミネート方法を示すフローチャート
【図４】本発明の実施形態２に係わるラミネート装置における、（ａ）はラミネート前工程時の構成断面図、（ｂ）はラミネート工程時の構成断面図
【図５】本発明の実施形態３に係わるラミネート装置における、（ａ）はラミネート前工程時の構成断面図、（ｂ）はラミネート工程時の構成断面図
【図６】従来のラミネート装置の構成断面図
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下に、実施の形態について、図を参照しながら説明する。
【００２４】
（実施の形態１）
本実施の形態に係るラミネート装置の構造断面図を図１に示す。図１（ａ）は準備時の構成断面図、（ｂ）はラミネート前工程時の構成断面図、（ｃ）はラミネート工程時の構成断面図である。また、被処理物が太陽電池モジュールである場合の構造断面図を図２に、本実施の形態に係るラミネート方法を示すフローチャートを図３に示す。
【００２５】
図１において、ラミネート装置は上部材１、中間部材２および下部材３で真空容器を構成しいている。また、第１のダイヤフラム４は、上部材１と中間部材２はそれぞれの開口部に配されたパッキン（図示せず）を介して設けられ、第２のダイヤフラム５についても、中間部材２と下部材３はそれぞれの開口部に配されたパッキン（図示せず）を介して設けられる構成である。第１のダイヤフラム４および第２のダイヤフラム５は、シリコンゴム等の伸縮性と耐熱性がある素材を用いる。
【００２６】
上部材１および第１のダイヤフラム４とで上部小空間６が構成され、第１のダイヤフラム４、中間部材２および第２のダイヤフラム５とで中間部小空間７が構成され、第２のダイヤフラム５および下部材３とで下部小空間８が構成されている。
【００２７】
上部材１には上部真空排気バルブ９が配管を介して接続され、上部真空排気バルブ９は配管を介して真空ポンプ１２に接続されており、真空ポンプ１２を作動させた状態で上部真空排気バルブ９を開くことにより、上部小空間６を真空排気することができる。また、上部材１には上部大気開放バルブ１３が配管を介して接続されおり、上部大気開放バルブ１３を開くことにより、上部小空間６を大気開放することができる。
【００２８】
中間部材２には中間部真空排気バルブ１０が配管を介して接続され、中間部真空排気バルブ１０は配管を介して真空ポンプ１２に接続されており、真空ポンプ１２を作動させた状態で中間部真空排気バルブ１０を開くことにより、中間部小空間７を真空排気することができる。また、中間部材２には中間部大気開放バルブ１４が配管を介して接続されおり、中間部大気開放バルブ１４を開くことにより、中間部小空間７を大気開放することができる。
【００２９】
下部材３には下部真空排気バルブ１１が配管を介して接続され、下部真空排気バルブ１１は配管を介して真空ポンプ１２に接続されており、真空ポンプ１２を作動させた状態で下部真空排気バルブ１１を開くことにより、下部小空間８を真空排気することができる。また、下部材３には下部大気開放バルブ１５が配管を介して接続されおり、下部大気開放バルブ１５を開くことにより、下部小空間８を大気開放することができる。
【００３０】
第２のダイヤフラム５の上には加熱手段として、第１のシート状ヒータ１６が配置され、被処理物１７を下面から加熱することができる。
【００３１】
また、第１のダイヤフラム４の下には加熱手段として、第２のシート状ヒータ１８が配置され、被処理物１７を上面から加熱することができる。
【００３２】
第１のシート状ヒータ１６および第２のシート状ヒータ１８はシリコンラバーヒータ等の屈曲性や弾性を持つヒータを用いる。
【００３３】
次に上述のラミネート装置を用い、被処理物１７が曲面を有する太陽電池モジュールである場合のラミネート方法について説明する。
【００３４】
被処理物１７は、図２に示すように、２１は複数個の太陽電池セルからなり、これらの太陽電池セル２１は、隣接する一方の太陽電池セル２１の受光面電極（図示せず）と、他方の太陽電池セル２１の裏面電極（図示せず）とが接続体２２により電気的に接続されることで、互いに電気的に直列に接続されている。
【００３５】
また、これら複数個の太陽電池セル２１の受光面側には、ＥＶＡ等の封止材２３を介して反射防止膜が形成された強化ガラスや、反射防止膜およびガスバリア層が形成されたポリカーボネイト等からなる基板２４が配置され、裏面側には同じくＥＶＡ等の封止材２３を介して、アルミニウム箔上にテドラー等の樹脂が積層されてなる裏面シート２５が配されている。
【００３６】
まず準備工程として、中間部材２と下部材３を分離し、第２のダイヤフラム５上の第１のシート状ヒータ１６の上に被処理物１７を設置する（ステップＳ１）。このとき被処理物１７の自重により曲面を有する被処理物１７は第１のシート状ヒータ１６に密着するため、加熱時に被処理物１７を均一に加熱することができる。
【００３７】
次にラミネート前工程として、中間部材２と下部材３を密着させる（ステップＳ２）。このとき、第１のダイヤフラム４の下に配置された第２のシート状ヒータ１８が被処理物１７の上に設置される。
【００３８】
この後、上部大気開放バルブ１３、中間部大気開放バルブ１４および下部大気開放バルブ１５を閉じ、真空ポンプ１２を運転した後、上部真空排気バルブ９、中間部真空排気バルブ１０および下部真空排気バルブ１１を開き（ステップＳ３）、上部小空間６、中間部小空間７および下部小空間８を真空状態にする。
【００３９】
このとき上部小空間６、中間部小空間７および下部小空間８を真空計（図示せず）により真空度を測定し、真空引きの過程で同じ真空度になるように調整しながら真空引きを行うことが望ましい。
【００４０】
このように被処理物１７を加熱する前に、太陽電池セル２１、接続体２２、封止材２３、基板２４および裏面シート２５間を真空状態にすることにより、ラミネート後の気泡の発生を抑制することができる。
【００４１】
上部小空間６、中間部小空間７、下部小空間８が真空状態になった後（ステップＳ４）、第１のシート状ヒータ１６および第２のシート状ヒータ１８により、被処理物１７を封止材２３が軟化する温度まで加熱する（ステップＳ５、ステップＳ６）。
【００４２】
封止材２３を軟化した状態とすることで柔軟性が大きくなり、後述するラミネート工程での加圧時に基板２４の曲面に太陽電池セル２１は沿う際に太陽電池セル２１に割れが発生するのを抑制することができる。
【００４３】
次にラミネート工程として、上部真空排気バルブ９および下部真空排気バルブ１１を閉じ、この後、上部大気開放バルブ１３および下部大気開放バルブ１５を開け（ステップＳ７）、上部小空間６および下部小空間８を大気圧にする（ステップＳ８）。また、同時に第１のシート状ヒータ１６および第２のシート状ヒータ１８により、被処理物１７を封止材２３が溶融する温度まで加熱する（ステップＳ９）。
【００４４】
上部小空間６および下部小空間８を大気圧にすることにより、第１のダイヤフラム４が第２のシート状ヒータ１８に密着し、さらに、第１のダイヤフラム４および第２のダイヤフラム５が第１のシート状ヒータ１６および第２のシート状ヒータ１８を介して被処理物１７を加圧する。
【００４５】
このとき上部小空間６および下部小空間８を真空計（図示せず）により真空度を測定し、大気導入の過程で同じ真空度になるように調整しながら大気導入を行うことが望ましい。
【００４６】
このように第１のシート状ヒータ１６および第２のシート状ヒータ１８が被処理物１７に密着した状態でラミネートを行うことにより、被処理物１７が所望のラミネート温度に達するまでの時間を短縮することができ、生産性を向上することができる。
【００４７】
以上の工程により曲面を有する太陽電池モジュールのラミネートを行うことができる。
【００４８】
（実施の形態２）
本実施の形態に係るラミネート装置の構造断面図を図４に示す。図４（ａ）はラミネート前工程時の構成断面図、（ｂ）はラミネート工程時の構成断面図である。
【００４９】
本実施の形態では、加熱手段として、第３のダイヤフラム３１を第２のダイヤフラム５の下側にさらに備え、第２のダイヤフラム５と第３のダイヤフラム３１との間に加熱流体３３を貯蔵している。
【００５０】
また、第２の加熱手段として、第４のダイヤフラム３２を第１のダイヤフラム４の上側にさらに備え、第１のダイヤフラム４と第４のダイヤフラム３２との間に加熱流体３３を貯蔵している。
【００５１】
加熱流体３３は、２００℃程度まで加熱可能なフッ素系熱媒体等を用いる。
【００５２】
第２のダイヤフラム５と第３のダイヤフラム３１との間に加熱流体３３、第１のダイヤフラム４と第４のダイヤフラム３２との間に加熱流体３３はそれぞれ個別の配管（図示せず）により加熱・冷却循環装置（図示せず）に接続されており、封止材２３が軟化する温度や封止材２３が溶融する温度等所望の温度に、前記加熱・冷却循環装置によりそれぞれを制御することができる。
【００５３】
その他は前記実施の形態１と同様の構成である。
【００５４】
このような構成とすることにより、加熱流体３３は、第２のダイヤフラム５と第３のダイヤフラム３１との間、第１のダイヤフラム４と第４のダイヤフラム３２との間、配管および加熱・冷却循環装置内の容量となるため、加熱流体３３の使用量を最小限にすることができ、所望の温度に達するまで時間を短縮することができ、生産性を向上することができる。
【００５５】
次に本実施例のラミネート装置を用い、被処理物１７のラミネート方法について説明する。
【００５６】
まず準備工程として、中間部材２と下部材３を分離し、第２のダイヤフラム５の上に被処理物１７を設置する。このとき被処理物１７の自重により曲面を有する被処理物１７は第２のダイヤフラム５、加熱流体３３および第３のダイヤフラム３１からなる加熱手段に密着するため、加熱時に被処理物１７を均一に加熱することができる。
【００５７】
次にラミネート前工程として、中間部材２と下部材３を密着させる。
【００５８】
この後、上部大気開放バルブ１３、中間部大気開放バルブ１４および下部大気開放バルブ１５を閉じ、真空ポンプ１２を運転した後、上部真空排気バルブ９、中間部真空排気バルブ１０および下部真空排気バルブ１１を開き、上部小空間６、中間部小空間７および下部小空間８を真空状態にする。
【００５９】
このとき上部小空間６、中間部小空間７および下部小空間８を真空計（図示せず）により真空度を測定し、真空引きの過程で同じ真空度になるように調整しながら真空引きを行うことが望ましい。
【００６０】
このように被処理物１７を加熱する前に、太陽電池セル２１、接続体２２、封止材２３、基板２４および裏面シート２５間を真空状態にすることにより、ラミネート後の気泡の発生を抑制することができる。
【００６１】
上部小空間６、中間部小空間７、下部小空間８が真空状態になった後、上部真空排気バルブ９および上部大気開放バルブ１３を開閉することにより、第１のダイヤフラム４、加熱流体３３および第４のダイヤフラム３２からなる加熱手段が被処理物１７を加圧せずに密着する程度に上部小空間６の真空度を調整する。
【００６２】
この後、第２のダイヤフラム５と第３のダイヤフラム３１との間の加熱流体３３、第１のダイヤフラム４と第４のダイヤフラム３２との間の加熱流体３３を加熱することにより、被処理物１７を封止材２３が軟化する温度まで加熱する。
【００６３】
封止材２３を軟化した状態とすることで柔軟性が大きくなり、後述するラミネート工程での加圧時に基板２４の曲面に太陽電池セル２１は沿う際に太陽電池セル２１に割れが発生するのを抑制することができる。
【００６４】
次にラミネート工程として、上部真空排気バルブ９および下部真空排気バルブ１１を閉じ、この後、上部大気開放バルブ１３および下部大気開放バルブ１５を開け、上部小空間６および下部小空間８を大気圧にする。また、同時に第２のダイヤフラム５と第３のダイヤフラム３１との間の加熱流体３３、第１のダイヤフラム４と第４のダイヤフラム３２との間の加熱流体３３を加熱することにより、被処理物１７を封止材２３が溶融する温度まで加熱する。
【００６５】
上部小空間６および下部小空間８を大気圧にすることにより、第１のダイヤフラム４、加熱流体３３および第４のダイヤフラム３２からなる加熱手段と第２のダイヤフラム５、加熱流体３３および第３のダイヤフラム３１からなる加熱手段とで被処理物１７を加圧する。
【００６６】
このとき上部小空間６および下部小空間８を真空計（図示せず）により真空度を測定し、大気導入の過程で同じ真空度になるように調整しながら大気導入を行うことが望ましい。
【００６７】
以上の工程により曲面を有する太陽電池モジュールのラミネートを行うことができる。
【００６８】
（実施の形態３）
本発明の形態係るラミネート装置の構造断面図を図４に示す。図５（ａ）はラミネート前工程時の構成断面図、（ｂ）はラミネート工程時の構成断面図である。
【００６９】
本実施の形態では、加熱手段として、第１のダイヤフラム４の下には加熱手段として、第２のシート状ヒータ１８が配置され、被処理物１７を上面から加熱することができる。第４のダイヤフラム３２を第１のダイヤフラム４の上側にさらに備え、第１のダイヤフラム４と第４のダイヤフラム３２との間に加熱流体３３を貯蔵している。
【００７０】
第２のダイヤフラム５の上には加熱手段として、第１のシート状ヒータ１６が配置され、被処理物１７を下面から加熱することができる。第３のダイヤフラム３１を第２のダイヤフラム５の下側にさらに備え、第２のダイヤフラム５と第３のダイヤフラム３１との間に加熱流体３３を貯蔵している。加熱流体３３は前記実施の形態２と同様に２００℃程度まで加熱可能なフッ素系熱媒体等を用いる。第２のダイヤフラム５と第３のダイヤフラム３１との間に加熱流体３３、第１のダイヤフラム４と第４のダイヤフラム３２との間に加熱流体３３はそれぞれ個別の配管（図示せず）により加熱・冷却循環装置（図示せず）に接続されており、封止材２３が軟化する温度や封止材２３が溶融する温度等所望の温度に、前記加熱・冷却循環装置によりそれぞれを制御することができる。
【００７１】
その他は前記実施の形態１と同様の構成である。
【００７２】
このような構成とすることにより、被処理物１７は第１のシート状ヒータ１６および第２のシート状ヒータ１８と第２のダイヤフラム５と第３のダイヤフラム３１との間、第１のダイヤフラム４と第４のダイヤフラム３２との間の加熱流体３３で短時間に加熱される。
【００７３】
また、第２のダイヤフラム５と第３のダイヤフラム３１との間、第１のダイヤフラム４と第４のダイヤフラム３２との間の加熱流体３３を冷却流体にすることで加熱後短時間に冷却することができる。さらに、第２のダイヤフラム５と第３のダイヤフラム３１との間、第１のダイヤフラム４と第４のダイヤフラム３２との間のどちらか一方の加熱流体を冷却流体にすることで被処理物１７の表裏で温度差をつけてラミネートすることが可能となる。
【００７４】
次に本実施例のラミネート装置を用い、一方の面が耐熱性の劣る材質からなる被処理物１７を表裏で温度差をつけてラミネートする方法について説明する。
【００７５】
まず準備工程として、中間部材２と下部材３を分離し、第１のシート状ヒータ１６の上に被処理物１７を設置する。このとき曲面を有する被処理物１７は自重により第１のシート状ヒータ１６に密着し、さらに第１のシート状ヒータ１６は第２のダイヤフラム５、加熱流体３３および第３のダイヤフラム３１からなる加熱手段に密着するため、加熱時および冷却時に被処理物１７を均一に且つ急速に加熱、保温、冷却することができる。
【００７６】
次にラミネート前工程として、中間部材２と下部材３を密着させ、第１のダイヤフラム４の下の第２のシート状ヒータ１８を被処理物１７上に設置する。
【００７７】
この後、上部大気開放バルブ１３、中間部大気開放バルブ１４および下部大気開放バルブ１５を閉じ、真空ポンプ１２を運転した後、上部真空排気バルブ９、中間部真空排気バルブ１０および下部真空排気バルブ１１を開き、上部小空間６、中間部小空間７および下部小空間８を真空状態にする。
【００７８】
上部小空間６、中間部小空間７、下部小空間８が真空状態になった後、上部真空排気バルブ９および上部大気開放バルブ１３を開閉することにより、第２のシート状ヒータ１８と第１のダイヤフラム４、加熱流体３３および第４のダイヤフラム３２からなる加熱手段が被処理物１７を加圧せずに密着する程度に上部小空間６の真空度を調整する。
【００７９】
この後、第２のシート状ヒータ１８と第１のダイヤフラム４と第４のダイヤフラム３２との間の加熱流体３３を加熱することにより、被処理物１７を封止材２３が軟化する温度まで加熱する。この際、第１のシート状ヒータ１６と第２のダイヤフラム５と第３のダイヤフラム３１との間の加熱流体３３は被処理物１７の一方の面が耐熱温度以下になるように温度コントロールされる。第１のシート状ヒータ１６と第２のダイヤフラム５と第３のダイヤフラム３１との間の加熱流体３３は配管（図示せず）内も含めて容量が少ないため加熱・冷却循環装置（図示せず）で逐次、精度よく温度コントロールすることが可能である。
【００８０】
次にラミネート工程として、上部真空排気バルブ９および下部真空排気バルブ１１を閉じ、この後、上部大気開放バルブ１３および下部大気開放バルブ１５を開け、上部小空間６および下部小空間８を大気圧にする。また、同時に第２のシート状ヒータ１８および第１のダイヤフラム４と第４のダイヤフラム３２との間の加熱流体３３を加熱することにより、被処理物１７を封止材２３が溶融する温度まで加熱する。
【００８１】
被処理物１７の耐熱温度と封止材溶融温度の差が大きい場合、第１のシート状ヒータ１６の通電を停止し、且つ第２のダイヤフラム５と第３のダイヤフラム３１との間に冷却流体３３を流して被処理物１７の一方の面が耐熱温度以上になることを防止することもできる。
【００８２】
上部小空間６および下部小空間８を大気圧にすることにより、第２のシート状ヒータ１８および第２のダイヤフラム５、加熱流体３３および第３のダイヤフラム３１からなる加熱手段と第１のダイヤフラム４、冷却流体３３および第４のダイヤフラム３２からなる冷却手段で被処理物１７を加圧する。
【００８３】
また、被処理物１７の耐熱温度が低い面に接触する第１のシート状ヒータ１６と第２のダイヤフラム５との間に複数の貫通穴を設けた弾力性のあるシート状断熱材３４を挿入して、圧力によって第１のシート状ヒータ１６と第２のダイヤフラム５の間の熱伝達係数調整もできる。
【００８４】
このことで上部小空間６、中間部小空間７、下部小空間８が真空状態であるときは第１のシート状ヒータ１６とダイヤフラム５間の熱伝達係数は小さく熱の逃げが少ない。上部小空間６および下部小空間８が大気圧になった場合、圧力で複数の貫通穴があり、弾力性のあるシート状断熱材３４が潰れ、第１のシート状ヒータ１６とダイヤフラム５間の熱伝達係数を大きくなり冷却効果を上げるという熱の流れの調整ができる。
【００８５】
なお、本実施の形態３では被処理物１７の両側に加熱および冷却可能な手段を配しているが被処理物１７の封止材２３側に加熱可能な手段があり、被処理物１７の耐熱性の低い側に加熱および冷却可能な手段として金属やセラミックのブロックからなる放熱プレートを配置しても同じ目的を達することができる。
【００８６】
以上の工程により、従来の被処理物１７の両側で封止材２３が溶融する温度になるため、熱による影響で特性や機能が劣化しラミネートが困難であった例えば、被処理物１７内に耐熱性の低い樹脂を含む貼り合せガラスや片面が耐熱性の低いハードコート膜で被覆された樹脂等に太陽電池セルをラミネートすることができる。
【産業上の利用可能性】
【００８７】
本発明のラミネート装置は、複数個の曲面を有する被処理物を気泡の発生を抑制し、生産性よくラミネートを行うことができる特徴を有し、セル割れを抑制しなければならない太陽電池モジュールや車載ガラスのラミネート等の用途にも適用できる。
【符号の説明】
【００８８】
１  上部材
２  中間部材
３  下部材
４  第１のダイヤフラム
５  第２のダイヤフラム
６  上部小空間
７  中間部小空間
８  下部小空間
９  上部真空排気バルブ
１０  中間部真空排気バルブ
１１  下部真空排気バルブ
１２  真空ポンプ
１３  上部大気開放バルブ
１４  中間部大気開放バルブ
１５  下部大気開放バルブ
１６  第１のシート状ヒータ
１７  被処理物（太陽電池モジュール）
１８  第２のシート状ヒータ
【図１】
2014184717.tif 000003
【図２】
2014184717.tif 000004
【図３】
2014184717.tif 000005
【図４】
2014184717.tif 000006
【図５】
2014184717.tif 000007
【図６】
2014184717.tif 000008