(57)【要約】【課題】チューブへの方向記号や識別記号などの表示に関連し、チューブに直接印字表示を行うことによってマーカーの装着の手間を省くとともに、印字表示とは異なる手法により識別記号などを表示させたチューブを提供する。【解決手段】チューブであって、透明または半透明の管肉部ｎと、レーザービームの照射によって管肉部の内部に形成され外部から判別可能な内部表示としての方向記号や識別表示などを備えるチューブとする。【選択図】図３
2014062630.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
チューブであって、
透明または半透明の管肉部と、
レーザービームの照射によって該管肉部の内部に形成され外部から判別可能な内部表示と、
を備えるチューブ。
【請求項２】
前記内部表示は、前記チューブを識別するための識別表示を含む、
ことを特徴とする請求項１に記載のチューブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は流体が流れるチューブに関する。
【背景技術】
【０００２】
産業機械や製造装置には水やエアといった各種の流体を用いるものが多い。例えば、半導体デバイスの製造工程において、半導体ウェーハを研削して薄化するグラインダと呼ばれる研削装置や、薄化された半導体ウェーハをチップ状に分割するダイサーと呼ばれる切削装置においては、装置の所要箇所にエアや加工液、吸引力等を伝達する配管が張り巡らされることが知られている（例えば、特許文献１、２参照。）。
【０００３】
より具体的には、切削装置は、少なくとも半導体ウェーハを吸引保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された半導体ウェーハを切削する切削ブレードを含むエアベアリング式のスピンドルユニットと、切削された半導体ウェーハを洗浄する洗浄装置とを備えている。
【０００４】
また、研削装置は、少なくとも半導体ウェーハを吸引保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された半導体ウェーハを研削する研削ホイールを含むエアベアリング式のスピンドルユニットと、研削された半導体ウェーハを洗浄する洗浄装置とを備えている。
【０００５】
更に、これらの切削装置や研削装置では、チャックテーブルに半導体ウェーハを吸引するための負圧を発生させるエア吸引源や、エアベアリングに高圧エアを供給するエア供給源、洗浄装置に洗浄液を供給する洗浄液供給源等を備えるとともに、流体の吸引源や供給源からそれぞれの作用箇所へ流体を導くための配管が設けられている。
【０００６】
このような切削装置や研削装置における各種流体の配管としては、直径数ｍｍ〜数十ｍｍ程度の柔軟性を有するチューブが一般的に用いられており、適切な長さに切断されたチューブが装置内の適所に接続されている。
【０００７】
そして、長さや太さが異なる複数のチューブを適正に接続するためには、チューブの種類を識別する必要がある。そこで、従来では、チューブ番号を示す数字等の識別情報が印字された短い筒状のマーカーをチューブの両端部に装着してチューブの識別を可能にするとともに、流れる流体の向きが印字された短い筒状のマーカーをチューブの両端部に装着して装置内での流体の流れを確認できるようにしていた。
【０００８】
一方、このような流体を流すためのチューブは、通常リールに巻かれた状態で蓄積されており、リールから引き出したチューブを目的の長さに切断した後、手作業で両端部に方向記号や識別記号を示す短い筒状のマーカーを装着することが行われていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開平１０−３２１５６２号公報
【特許文献２】特開昭５５−１１２７６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
ところが従来技術のように流体の流動方向を示す方向記号やチューブの種別を示す識別記号が印字された筒状のマーカーをチューブの両端部に装着する方法では、作業者が誤ったマーカーをチューブに装着してしまうことや、チューブに装着したマーカーが外れてチューブの識別ができず、装置内にチューブを適正に接続する作業が滞るという問題が発生していた。また、マーカーを装着する作業自体に手間がかかるという問題があった。
【００１１】
以上のようなマーカーを使用した場合の問題に鑑み、マーカーを使用せずに印字によって方向記号や識別記号をチューブに表示させること考えられる。
【００１２】
しかしながら、チューブの表面に印字により識別記号などを表示することとすると、チューブが他の部位に擦れるなどして印字が剥離、或いは、薄くなってしまい、表示された内容を識別できないといった不具合が生じることが懸念される。
【００１３】
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、チューブへの方向記号や識別記号などの表示に関連し、チューブに直接印字表示を行うことによってマーカーの装着の手間を省くとともに、印字表示とは異なる手法により識別記号などを表示させたチューブを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
請求項１に記載の発明によると、チューブであって、透明または半透明の管肉部と、レーザービームの照射によって管肉部の内部に形成され外部から判別可能な内部表示と、を備えるチューブが提供される。
【００１５】
請求項２に記載の発明によると、内部表示は、チューブを識別するための識別表示を含む、ことを特徴とする請求項１に記載のチューブが提供される。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によると、チューブの外表面ではなく、チューブの管肉部の内部に外部から判別可能な内部表示を有するため、チューブの擦れによって内部表示の識別不良が発生することがない。また、マーカーに代わって内部表示を有するため、チューブにマーカーを装着する手間を省くことが可能となる。加えて、特にチューブの外表面に印字が困難なチューブ（例えばフッ素系樹脂チューブ）に対し、チューブに表示を付与する場合について、本発明を効果的に適用することができる。
【００１７】
また、請求項２に記載の発明によれば、識別表示によってチューブを識別することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】切削装置の外観斜視図である。
【図２】ダイシングテープを介して環状フレームで支持された半導体ウェーハの斜視図である。
【図３】油分除去処理の実施形態について示す図である。
【図４】識別表示などの実施形態について示す図である。
【図５】レーザービームによる管肉部の改質について示す断面図である。
【図６】チューブの他の実施形態を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図１は配管に本発明のチューブを利用した切削装置２の外観斜視図を示している。切削装置２の前面側には、オペレータが加工条件等の装置に対する指示を入力するための操作手段４が設けられている。装置上部には、オペレータに対する案内画面や後述する撮像手段によって撮像された画像が表示されるＣＲＴ等の表示手段６が設けられている。
【００２０】
図２に示すように、ダイシング対象の発光デバイスウェーハＷ（以下、単に「ウェーハＷ」とも称する）の表面においては、第１のストリート（分割予定ライン）Ｓ１と第２のストリートＳ２とが直交して形成されており、第１のストリートＳ１と第２のストリートＳ２とによって区画されてＬＥＤ等の多数のデバイスＤがウェーハＷ上に形成されている。
【００２１】
ウェーハＷは粘着テープであるダイシングテープＴに貼着され、ダイシングテープＴの外周縁部は環状フレームＦに貼着されている。これにより、ウェーハＷはダイシングテープＴを介してフレームＦに支持された状態となり、図１に示したウェーハカセット８中にウェーハが複数枚（例えば２５枚）収容される。ウェーハカセット８は上下動可能なカセットエレベータ９上に載置される。
【００２２】
ウェーハカセット８の後方には、ウェーハカセット８から切削前のウェーハＷを搬出するとともに、切削後のウェーハをウェーハカセット８に搬入する搬出入手段１０が配設されている。ウェーハカセット８と搬出入手段１０との間には、搬出入対象のウェーハが一時的に載置される領域である仮置き領域１２が設けられており、仮置き領域１２には、ウェーハＷを一定の位置に位置合わせする位置合わせ手段１４が配設されている。
【００２３】
仮置き領域１２の近傍には、ウェーハＷと一体となったフレームＦを吸着して搬送する旋回アームを有する搬送手段１６が配設されており、仮置き領域１２に搬出されたウェーハＷは、搬送手段１６により吸着されてチャックテーブル１８上に搬送され、このチャックテーブル１８に吸引されるとともに、複数の固定手段（クランプ）１９によりフレームＦが固定されることでチャックテーブル１８上に保持される。
【００２４】
チャックテーブル１８は、回転可能且つＸ軸方向に往復動可能に構成されており、チャックテーブル１８のＸ軸方向の移動経路の上方には、ウェーハＷの切削すべきストリートを検出するアライメント手段２０が配設されている。
【００２５】
アライメント手段２０は、ウェーハＷの表面を撮像する撮像手段２２を備えており、撮像により取得した画像に基づき、パターンマッチング等の処理によって切削すべきストリートを検出することができる。撮像手段２２によって取得された画像は、表示手段６に表示される。
【００２６】
アライメント手段２０の左側には、チャックテーブル１８に保持されたウェーハＷに対して切削加工を施す切削手段（切削ユニット）２４が配設されている。切削手段２４はアライメント手段２０と一体的に構成されており、両者が連動してＹ軸方向及びＺ軸方向に移動する。
【００２７】
切削手段２４は、回転可能なスピンドル２６の先端に切削ブレード２８が装着されて構成され、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に移動可能となっている。切削ブレード２８は撮像手段２２のＸ軸方向の延長線上に位置している。
【００２８】
２５は切削が終了したウェーハＷを洗浄装置２７まで搬送する搬送手段であり、洗浄装置２７では、ウェーハＷを洗浄するとともにエアノズルからエアを噴出させてウェーハＷを乾燥する。
【００２９】
次に図３を参照して、本発明において特徴的なレーザービームによる表示付与処理の実施形態について説明する。このレーザービームによる表示付与処理によって方向記号１３や識別表示１５を樹脂製のチューブ１１に施すことによれば、チューブ１１が他の部位に擦れることなどがあったとしても、方向記号１３や識別表示１５が判別できなくなってしまうことがない。
【００３０】
この表示付与処理の対象となるチューブ１１の素材については、特に限定されるものではないが、例えば、フッ素系の樹脂からなるフッ素樹脂チューブが考えられる。フッ素樹脂チューブの場合、インクジェット方式による印字が困難であることが考えられるため、特に好適な実施形態となる。
【００３１】
また、チューブ１１は、その内部に表示される方向記号１３や識別表示１５が外部から視認可能とするために、透明、又は、半透明の素材にて構成される。
【００３２】
そして、この表示付与処理は、図４に示すように、レーザービーム照射装置４０によってチューブ１１の外部から例えばチューブに対して透過性を有する波長のレーザービームＬＢを照射することで行われる。レーザービーム照射装置４０は、レーザービームを照射するための周知の装置構成により実現されるものであり、その構成については特に限定されるものではない。
【００３３】
図５に示すように、レーザービームＬＢはチューブ１１の円環断面を構成する管肉部１１ｎの内部に集光され、各集光点Ｐにおいて改質がなされる。この改質がなされた部位は、改質されていない他の部位と色彩が異なることになり、管肉部１１ｎを透過して外部から視認することができる。
【００３４】
以上のようにして、図３に示すように、管肉部１１ｎの内部に形成された改質部位が方向記号１３や識別表示１５として外部から視認可能となる。
【００３５】
なお、図５に示すレーザービームＬＢの集光点Ｐについては、管肉部１１ｎの厚み方向の範囲内に設定されることが好ましい。例えば、レーザーマーキングの手法により、チューブ１１の外表面１１ｂに開口する溝を掘る形態も考えられるが、使用に伴って溝を基点としてチューブが裂ける（破損する）可能性が高まるが、本実施形態のように、管肉部１１ｎの内部に改質部位が形成されてチューブ１１の外表面１１ｂに開口する溝が形成されないため、チューブが裂ける（破損する）可能性が低減される。
【００３６】
また、照射するレーザービームＬＢの波長などについては、チューブ１１の素材や、改質の内容に応じて適宜設定されるものであり、特に限定されるものではない。
【００３７】
以下、内部表示１７の具体例を説明する。図３に示す例では、チューブ１１の内部に、チューブ１１内を流動する流体の流れる方向を示す方向記号１３や、チューブ１１の属性情報を示す識別表示１５や、流体の種別を示す流体種別記号２９が表示されている。
【００３８】
方向記号１３は２以上の直線、または、曲線の組み合わせから形成されることが好ましい。２以上とすることで、１とする場合にも、流体が流れる方向Ａが視認しやすくなる。また、線で表示することにより、レーザービームの照射によって改質させるために要する時間を短縮することができる。
【００３９】
本実施形態では、２本の折れ線からなる略「く」字状の方向記号１３を、２箇所に配置することで、方向記号１３の尖端側に向かって流体が流動することを一目で視認できるようにしている。
【００４０】
識別表示１５は、例えば、使用機種や、使用部位を表示するものである。例えば、本実施形態の「Ｄ  ＳＰ１」では、「Ｄ」は、切削装置（ダイサー）に使用されることを示し、「ＳＰ」は、スピンドル２６（図１参照）に関連する配管系統に使用されることを示し、「１」は、スピンドル２６（図１参照）に関連する差込口のうち差込口１番に差し込まれることが示される。
【００４１】
流体種別記号２９は、チューブ１１内を流体の種別を示すものである。流体の種別としては、空気、窒素、液体、切削・洗浄液、など各種のものが想定され、図３に示す本実施形態では、液体の意味を表す「ＬＩＱＵＩＤ」の頭文字「Ｌ」が表示されている。
【００４２】
以上の各種の記号や表示（１３，１５，２９）は、レーザービームの照射によって、透明又は半透明のチューブ１１の内部に形成されるため、チューブ１１の管肉部を透過して、外部から判別することが可能となる。
【００４３】
なお、以上の各種の記号や表示（１３，１５，２９）は、記号、数字、英文字、漢字、平仮名、片仮名、図形など、各種のものを使用することができ、これらを組み合わせて構成することとしてもよい。
【００４４】
図６は、チューブの他の実施形態を示すものである。この実施形態では、内部表示１７表示として取付手順情報表示１３Ａを付与した例である。
【００４５】
以下取付手順情報表示１３Ａの具体例について説明すると、チューブ１１の一端１１ａに「スピンドル  アウトポート２  差込位置」の文字からなる接続先表示１３ｆが表示され、このチューブ１１の一端１１ａが、「スピンドル  アウトポート２」に接続されることが表示されている。
【００４６】
また、接続先表示１３ｆよりも更にチューブ１１の端部に近い側には、「横線」からなる接続位置表示１３ｇが表示されている。この接続位置表示１３ｇは、「横線」の位置までチューブ１１が図示せぬ「スピンドル  アウトポート２」に接続されることを意味するものであり、作業者は、「横線」が「スピンドル  アウトポート２」にしっかりと入り込むまでチューブ１１を差し込むことを認識することが可能となり、これにより、チューブ１１の脱落などの不具合発生を防止できることになる。
【００４７】
また、図６の例において、チューブ１１の長さ方向の中途部には、「次はフレーム３の第２ポイントへ固定」の文字からなる誘導表示１３ｈが表示されている。作業者は、この誘導表示１３ｈを視認することによって、例えば、チューブ１１の一端１１ａの接続から引き回しを開始した場合に、チューブ１１に対して次に行われるべき作業を事前に知ることが可能となる。例えば、次の作業を見越してチューブ１１の引き回しの方法（他の部材のかわしかたや、回り込む方向など）を検討し、実施することが可能となる。
【００４８】
さらに、図６の例において、チューブ１１の長さ方向の中途部には、「フレーム３の第２ポイント固定位置」の文字からなる固定先表示１３ｋと、「横線」からなる固定位置表示１３ｍが表示されている。ここで、「横線」は、この線の部分においてチューブ１１が固定されることを意味する表示である。
【００４９】
そして、この図６の例の場合、チューブ１１の一端１１ａを「スピンドル  アウトポート２」に対し、接続位置表示１３ｇまで差し込むことから作業が開始されることとする。次にチューブ１１を辿ると、「次はフレーム３の第２ポイントへ固定」の文字からなる誘導表示１３ｈを発見することになり、作業者は、チューブ１１を辿ればフレーム３の第２ポイントの固定位置の表示を発見できることを予期できる（先読みできる）。
【００５０】
作業者がチューブ１１を更に辿ると、作業者は予期したとおり、「フレーム３の第２ポイント固定位置」の文字からなる固定先表示１３ｋと、「横線」からなる固定位置表示１３ｍを発見することになり、当該固定位置表示１３ｍにてチューブ１１の固定を行うことができる。
【００５１】
ここで、誘導表示１３ｈによる効果としては、上述のように次の作業を見越すことができるものであるが、実際に作業する際には誘導されながら引き回しを行うことができるという、従来のチューブの引き回し作業では到底得られない感覚を得ることができ、ひいては、作業者に対し小気味よい感覚を与えられることも期待される。また、誘導表示があることで、逐一設計図などを参照してチューブ１１の次の固定位置や接続先を確認する必要が無くなり、チューブ１１の組み付け作業が容易に、かつ、短時間で行えることになる。
【００５２】
以上のようにして本発明を実施することができる。
即ち、チューブ１１であって、透明または半透明の管肉部１１ｎと、レーザービームＬＢの照射によって管肉部１１ｎの内部に形成され外部から判別可能な内部表示１７としての方向記号１３や識別表示１５などと、を備えるチューブ１１とするものである。
【００５３】
これによれば、チューブ１１の外表面１１ｂではなく、チューブ１１の管肉部１１ｎの内部に外部から判別可能な内部表示１７を有するため、チューブ１１の擦れによって内部表示１７の識別不良が発生することがない。また、マーカーに代わって内部表示１７を有するため、チューブ１１にマーカーを装着する手間を省くことが可能となる。加えて、特にチューブ１１の外表面に印字が困難なチューブ（例えばフッ素系樹脂チューブ）に対し、チューブに表示を付与する場合について、本発明は効果的に適用することができる。
【００５４】
なお、「チューブ１１の管肉部１１ｎの内部」には、管肉部１１ｎの厚み方向の範囲内のほか、チューブ１１の内表面１１ｃも含むものである。内表面１１ｃに内部表示１７を形成する場合した場合でも、内部表示１７自体は管肉部１１ｎの外表面１１ｂによって保護されることになるため、チューブ１１の破損が生じる可能性は低いものとなる。
【００５５】
更に、内部表示１７は、チューブを識別するための識別表示１５を含むこととする。
【００５６】
これによれば、識別表示１５によってチューブを識別することが可能となる。具体的には、例えば、使用機種や、使用部位などの属性を表示する識別表示１５が内部表示１７として設けられることにより、この識別表示１５を視認することで、当該チューブ１１の属性を瞬時に判別することが可能となる。
【００５７】
なお、上述した実施形態では、本発明のチューブを切削装置の配管に適用した例について説明したが、本発明のチューブの使用はこれに限定されるものではなく、例えば研削装置、研磨装置等の他の加工装置の配管にも同様に適用である。
【符号の説明】
【００５８】
１１    チューブ
１１ｎ    管肉部
１１ｂ    外表面
１２    領域
１３    方向記号
１５    識別表示
１７    内部表示
２９    流体種別記号
４０    レーザービーム照射装置
ＬＢ    レーザービーム
【図１】
2014062630.tif 000003
【図２】
2014062630.tif 000004
【図３】
2014062630.tif 000005
【図４】
2014062630.tif 000006
【図５】
2014062630.tif 000007
【図６】
2014062630.tif 000008