(57)【要約】【課題】湾曲状態に変形したプローブを初期状態に復元させる。【解決手段】複数のプローブ１２と各プローブ１２を支持する支持部１１とを有してプローブ１２の先端部でプロービング対象を押圧したときに先端部が初期状態よりも基端部側に押し込まれてプローブ１２の中間部が湾曲すると共に押圧状態を解除したときに中間部の弾性力によってプローブ１２が初期状態に復元可能なプローブユニット２と、湾曲状態に変形したプローブ１２を初期状態に復元させるプローブ矯正部とを備え、プローブ矯正部は、マグネットユニット８と、プローブ１２に電流を供給する第１電流供給部と、磁界の方向とプローブ１２の長さ方向とが交差するように磁界内にプローブ１２を位置させる磁界制御処理および第１電流供給部を制御して中間部の湾曲が減少する向きに電磁力が生じるように矯正対象のプローブ１２に電流を供給させる電流供給処理を実行する処理部とを備えている。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のプローブと当該各プローブの先端部および基端部を支持する支持部とを有して当該先端部でプロービング対象を押圧したときに当該先端部が初期状態よりも当該基端部側に押し込まれて当該プローブの中間部が湾曲すると共に押圧状態を解除したときに当該中間部の弾性力によって当該プローブが当該初期状態に復元可能に構成されたプローブユニットを備えたプローブ装置であって、
湾曲状態に変形したプローブを前記初期状態に復元させるプローブ矯正部を備え、
前記プローブ矯正部は、磁界を生じさせる磁界生成部と、前記プローブに電流を供給する第１電流供給部と、前記磁界の方向と前記プローブの長さ方向とが交差するように当該磁界内に当該プローブを位置させる磁界制御処理および前記第１電流供給部を制御して前記中間部の湾曲が減少する向きに電磁力が生じるように矯正対象の前記プローブに電流を供給させる電流供給処理を実行する処理部とを備えているプローブ装置。
【請求項２】
前記プローブ矯正部は、前記プローブの長さ方向と交差する方向において互いに離間して異磁極同士が対向するように配置された前記磁界生成部としての複数の永久磁石と、前記プローブユニットおよび前記各永久磁石の少なくとも一方を移動させる移動機構とを備え、
前記処理部は、前記磁界制御処理において、前記移動機構を制御して前記各永久磁石によって形成される前記磁界の方向と前記プローブの長さ方向とが交差するように前記少なくとも一方を移動させる請求項１記載のプローブ装置。
【請求項３】
前記磁界生成部は、前記プローブの長さ方向と交差する方向において互いに離間して対向するように配置された複数の電磁石と、前記各電磁石に電流を供給する第２電流供給部とを備え、
前記処理部は、前記磁界制御処理において、前記第２電流供給部を制御して前記各電磁石によって形成される前記磁界の方向と前記プローブの長さ方向とが交差するように当該各電磁石に電流を供給させる請求項１記載のプローブ装置。
【請求項４】
前記磁界生成部は、前記矯正対象のプローブの周囲に配置されている他の前記プローブで構成され、
前記処理部は、前記磁界制御処理において、前記第１電流供給部を制御して前記他のプローブへの電流の供給によって形成される磁界の方向と前記プローブの長さ方向とが交差するように当該各プローブに電流を供給させる請求項１記載のプローブ装置。
【請求項５】
請求項１から４のいずれかに記載のプローブ装置と、前記プロービング対象としての基板の導体部にプロービングさせた前記プローブユニットの前記プローブを介して入力した電気信号に基づいて当該基板を検査する検査部とを備えている基板検査装置。
【請求項６】
前記処理部は、前記検査部による検査結果に基づいて前記湾曲状態に変形したプローブを特定したときに前記磁界制御処理および前記電流供給処理を実行する請求項５記載の基板検査装置。
【請求項７】
複数のプローブと当該各プローブの先端部および基端部を支持する支持部とを有して当該先端部でプロービング対象を押圧したときに当該先端部が初期状態よりも当該基端部側に押し込まれて当該プローブの中間部が湾曲すると共に押圧状態を解除したときに当該中間部の弾性力によって当該プローブが当該初期状態に復元可能に構成されたプローブユニットにおける湾曲状態に変形したプローブを当該初期状態に復元させるプローブ矯正方法であって、
磁界生成部によって形成される磁界の方向と前記プローブの長さ方向とが交差するように当該磁界内に当該プローブを位置させる磁界制御処理を実行し、前記中間部の湾曲が減少する向きに電磁力が生じるように矯正対象の前記プローブに電流を供給させる電流供給処理を実行して前記湾曲状態に変形したプローブを前記初期状態に復元させるプローブ矯正方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数のプローブを有するプローブユニットを備えたプローブ装置、そのプローブ装置を備えた基板検査装置、およびプローブユニットにおけるプローブを初期状態に復元させるプローブ矯正方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種のプローブ装置を備えた基板検査装置として、特開２００９−８５８５号公報に開示された検査装置が知られている。この検査装置は、検査治具、検査治具が取り付けられる第１支持盤、検査対象が載置される第２支持盤、および第１支持盤と第２支持盤とを相対的に接離するように移動させる移動機構などを備えて検査対象の電気的検査を実行可能に構成されている。検査治具は、湾曲（屈曲）可能な複数のプローブ、各プローブの先端側を支持する先端側支持体、および各プローブの後端側を支持する後端側支持体等を備えて構成されている。この場合、各支持体には、挿通孔が形成されており、この挿通孔にプローブの先端側および後端側が挿通された状態で各支持体によって各プローブが支持されている。また、この検査治具では、プローブの先端部が検査対象に接触していない初期状態では、この先端部が先端側支持体から１００μｍ〜２００μｍ程度突出しており、この先端部が検査対象に接触したときには、先端部の突出量が減少し（先端部が後端側に押し込まれ）、その分プローブの中間部（先端部と基端部との間）が湾曲する。また、中間部の湾曲に伴って生じる弾性力によってプローブが検査対象を押圧し、これによってプローブの先端部と検査対象とが電気的に接続される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−８５８５号公報（第４−７頁、第１，６図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、従来の検査装置には、以下の課題がある。すなわち、この検査装置の検査治具は、プローブの先端部を検査対象に接触させたときにプローブの中間部が湾曲し、この際の弾性力によってプローブの先端部が検査対象を押圧することで、先端部と検査対象とを電気的に接続するように構成されている。一方、検査が終了して検査対象に対するプローブの押圧状態を解除したときには、中間部の弾性力によって先端部の突出量が増加して（先端部が押し出されて）、プローブが初期状態に復元する。ここで、プローブが挿通させられている先端側支持体の挿通孔の縁部とプローブとの接触部位における摩擦力が中間部の弾性力よりも大きいときには、プローブが初期状態に復元できずに、先端部が後端側に押し込まれたまま（中間部が湾曲状態に変形したまま）の状態となることがある。このようなときには、次の検査対象に対する検査の際に、この初期状態に復元していないプローブが検査対象に接触しない状態となって検査に支障を来すおそれがあり、この点の改善が望まれている。
【０００５】
本発明は、かかる課題に鑑みてなされたものであり、湾曲状態に変形したプローブを初期状態に復元させ得るプローブ装置、基板検査装置およびプローブ矯正方法を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成すべく請求項１記載のプローブ装置は、複数のプローブと当該各プローブの先端部および基端部を支持する支持部とを有して当該先端部でプロービング対象を押圧したときに当該先端部が初期状態よりも当該基端部側に押し込まれて当該プローブの中間部が湾曲すると共に押圧状態を解除したときに当該中間部の弾性力によって当該プローブが当該初期状態に復元可能に構成されたプローブユニットを備えたプローブ装置であって、湾曲状態に変形したプローブを前記初期状態に復元させるプローブ矯正部を備え、前記プローブ矯正部は、磁界を生じさせる磁界生成部と、前記プローブに電流を供給する第１電流供給部と、前記磁界の方向と前記プローブの長さ方向とが交差するように当該磁界内に当該プローブを位置させる磁界制御処理および前記第１電流供給部を制御して前記中間部の湾曲が減少する向きに電磁力が生じるように矯正対象の前記プローブに電流を供給させる電流供給処理を実行する処理部とを備えている。
【０００７】
また、請求項２記載のプローブ装置は、請求項１記載のプローブ装置において、前記プローブ矯正部は、前記プローブの長さ方向と交差する方向において互いに離間して異磁極同士が対向するように配置された前記磁界生成部としての複数の永久磁石と、前記プローブユニットおよび前記各永久磁石の少なくとも一方を移動させる移動機構とを備え、前記処理部は、前記磁界制御処理において、前記移動機構を制御して前記各永久磁石によって形成される前記磁界の方向と前記プローブの長さ方向とが交差するように前記少なくとも一方を移動させる。
【０００８】
また、請求項３記載のプローブ装置は、請求項１記載のプローブ装置において、前記磁界生成部は、前記プローブの長さ方向と交差する方向において互いに離間して対向するように配置された複数の電磁石と、前記各電磁石に電流を供給する第２電流供給部とを備え、前記処理部は、前記磁界制御処理において、前記第２電流供給部を制御して前記各電磁石によって形成される前記磁界の方向と前記プローブの長さ方向とが交差するように当該各電磁石に電流を供給させる。
【０００９】
また、請求項４記載のプローブ装置は、請求項１記載のプローブ装置において、前記磁界生成部は、前記矯正対象のプローブの周囲に配置されている他の前記プローブで構成され、前記処理部は、前記磁界制御処理において、前記第１電流供給部を制御して前記他のプローブへの電流の供給によって形成される磁界の方向と前記プローブの長さ方向とが交差するように当該各プローブに電流を供給させる。
【００１０】
さらに、請求項５記載の基板検査装置は、請求項１から４のいずれかに記載のプローブ装置と、前記プロービング対象としての基板の導体部にプロービングさせた前記プローブユニットの前記プローブを介して入力した電気信号に基づいて当該基板を検査する検査部とを備えている。
【００１１】
さらに、請求項６記載の基板検査装置は、請求項５記載の基板検査装置において、前記処理部は、前記検査部による検査結果に基づいて前記湾曲状態に変形したプローブを特定したときに前記磁界制御処理および前記電流供給処理を実行する。
【００１２】
さらに、請求項７記載のプローブ矯正方法は、複数のプローブと当該各プローブの先端部および基端部を支持する支持部とを有して当該先端部でプロービング対象を押圧したときに当該先端部が初期状態よりも当該基端部側に押し込まれて当該プローブの中間部が湾曲すると共に押圧状態を解除したときに当該中間部の弾性力によって当該プローブが当該初期状態に復元可能に構成されたプローブユニットにおける湾曲状態に変形したプローブを当該初期状態に復元させるプローブ矯正方法であって、磁界生成部によって形成される磁界の方向と前記プローブの長さ方向とが交差するように当該磁界内に当該プローブを位置させる磁界制御処理を実行し、前記中間部の湾曲が減少する向きに電磁力が生じるように矯正対象の前記プローブに電流を供給させる電流供給処理を実行して前記湾曲状態に変形したプローブを前記初期状態に復元させる。
【発明の効果】
【００１３】
請求項１記載のプローブ装置、請求項５記載の基板検査装置、および請求項７記載のプローブ矯正方法によれば、磁界生成部によって形成される磁界の方向とプローブの長さ方向とが交差するように磁界内にプローブを位置させる磁界制御処理を実行し、プローブの中間部の湾曲が減少する向きに電磁力が生じるように矯正対象のプローブに電流を供給させる電流供給処理を実行することにより、支持部とプローブとの接触部分に生じる摩擦力によって中間部の弾性力だけでは初期状態に復元しない（湾曲状態に変形している）プローブに対して電磁力を加えることで、プローブを初期状態に確実に復元させることができる。また、このプローブ装置、基板検査装置、およびプローブ矯正方法によれば、プローブに直接接触することなく中間部の湾曲が減少する向きに電磁力を加えることができるため、プローブユニットを分解することなくプローブを初期状態に確実に復元することができる結果、初期状態に復元しないプローブが発生したときのプローブユニットのメンテナンス作業の効率を十分に向上させることができる。
【００１４】
また、請求項２記載のプローブ装置、および請求項５記載の基板検査装置によれば、複数の永久磁石と移動機構とを備えてプローブ矯正部を構成し、処理部が磁界制御処理において、永久磁石によって形成される磁界の方向とプローブの長さ方向とが交差するように移動機構を制御してローブユニットおよび各永久磁石の少なくとも一方を移動させることにより、プローブ矯正部を簡易に構成することができるため、プローブを初期状態に確実に復元することが可能なプローブ装置および基板検査装置を低コストで構成することができる。
【００１５】
また、請求項３記載のプローブ装置、および請求項５記載の基板検査装置によれば、複数の電磁石と各電磁石に電流を供給する第２電流供給部とを備えて磁界生成部を構成し、処理部が磁界制御処理において、第２電流供給部を制御して各電磁石によって形成される磁界の方向とプローブの長さ方向とが交差するように各電磁石に電流を供給させることにより、プローブ矯正部を簡易に構成することができるため、プローブを初期状態に確実に復元することが可能なプローブ装置および基板検査装置を低コストで構成することができる。また、このプローブ装置および基板検査装置によれば、互いに対向する電磁石の磁極を反転させるだけで電磁力の向きを反転させることができるため、中間部の湾曲の向きが異なる（湾曲の向きが互いに逆向きの）プローブが存在している場合においても、各プローブの湾曲の向きに応じて電磁石の磁極を反転させることで、各々の湾曲を容易に矯正して各プローブを初期状態に確実に復元させることができる。
【００１６】
また、請求項４記載のプローブ装置、および請求項５記載の基板検査装置によれば、矯正対象のプローブの周囲に配置されている他のプローブで磁界生成部を構成し、処理部が、磁界制御処理において、第１電流供給部を制御して他のプローブへの電流の供給によって形成される磁界の方向とプローブの長さ方向とが交差するように各プローブに電流を供給させることにより、磁界生成部として他の構成部材を別途設けることなくプローブを確実に矯正することができる。つまり、このプローブ装置および基板検査装置によれば、プローブを磁界生成部として兼用することができる。このため、このプローブ装置および基板検査装置によれば、プローブ矯正部を簡易に構成することができるため、プローブを初期状態に確実に復元することが可能なプローブ装置および基板検査装置を低コストで構成することができる。また、このプローブ装置および基板検査装置によれば、磁界生成部として機能させるプローブを変更したり、そのプローブに供給する電流の向きや電流値を変更したりすることで、磁界の向きや強さを変更することができるため、プローブがどの向きに湾曲しているとしても、また、プローブがどれだけの量だけ湾曲していたとしても、その湾曲を確実に矯正することができる。
【００１７】
請求項６記載の基板検査装置では、処理部が検査部による検査結果に基づいて湾曲状態に変形した（初期状態に復元していない）プローブを特定したときに磁界制御処理および電流供給処理を実行する。つまり、湾曲状態に変形したプローブの特定、並びにその際の磁界制御処理および電流供給処理の実行が自動的に行われる。したがって、この基板検査装置によれば、湾曲状態に変形したプローブの有無を監視したり、その際に磁界制御処理および電流供給処理の実行を指示したりする作業を使用者が行う必要がない分、十分な省力化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】基板検査装置１の構成を示す構成図である。
【図２】プローブユニット２の構成を示す構成図である。
【図３】マグネットユニット８の構成を示す平面図である。
【図４】図３におけるＡ−Ａ線断面図である。
【図５】基板検査装置１におけるプローブ矯正方法を説明する第１の説明図である。
【図６】基板検査装置１におけるプローブ矯正方法を説明する第２の説明図である。
【図７】基板検査装置１０１におけるプローブ矯正方法を説明する第１の説明図である。
【図８】基板検査装置１０１におけるプローブ矯正方法を説明する第２の説明図である。
【図９】基板検査装置２０１におけるプローブ矯正方法を説明する説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明に係るプローブ装置、基板検査装置およびプローブ矯正方法の実施の形態について、図面を参照して説明する。
【００２０】
最初に、基板検査装置１の構成について説明する。図１に示す基板検査装置１は、基板検査装置の一例であって、同図に示すように、プローブユニット２、移動機構３、搬送機構４、電流供給部５、検査部６、記憶部７、マグネットユニット８および処理部９を備えて、後述する基板検査方法に従って基板５００を検査可能に構成されている。なお、移動機構３、電流供給部５、マグネットユニット８および処理部９によってプローブ矯正部が構成され、プローブユニット２、移動機構３、電流供給部５、マグネットユニット８および処理部９によってプローブ装置が構成される。
【００２１】
プローブユニット２は、一例として、図２に示すように、支持部１１、複数のプローブ１２、および電極板１３を備えて構成されている。
【００２２】
支持部１１は、図２に示すように、一例として、第１支持板３１、第２支持板３２および連結部３３を備えて、プローブ１２を支持可能に構成されている。第１支持板３１は、プローブ１２の先端部２１側を支持する部材であって、非導電性を有する樹脂材料等によって板状に形成されている。また、第１支持板３１には、複数の挿通孔が形成されている。この場合、この挿通孔は、プローブ１２の先端部２１の挿通を可能とし、プローブ１２の中間部２２の挿通を規制可能な大きさ、つまり、その直径が、先端部２１の直径よりも大径で、かつ中間部２２の直径よりも小径となるように形成されている。
【００２３】
第２支持板３２は、プローブ１２の基端部２３側を支持する部材であって、非導電性を有する樹脂材料等によって板状に形成されている。また、第２支持板３２には、複数の挿通孔が形成されている。この場合、この挿通孔は、プローブ１２の中間部２２の挿通を可能とする大きさ、つまり、その直径が、中間部２２の直径よりも大径となるように形成されている。連結部３３は、図２に示すように、第１支持板３１と第２支持板３２とを平行な状態で連結する。
【００２４】
プローブ１２は、プロービング対象としての基板５００を検査する際に基板５００の導体パターン（導体部）５０１（図１参照）に先端部２１を接触させて電気信号の入出力を行うために用いられ、一例として、導電性を有する金属材料（例えば、ベリリウム銅合金、ＳＫＨ（高速度工具鋼）およびタングステン鋼など）によって弾性変形可能な棒状に形成されている。また、図２に示すように、プローブ１２の先端部２１および基端部２３は、それぞれ鋭利に形成されている。また、プローブ１２の中間部２２の周面には、絶縁層が形成されている。このため、中間部２２は、その直径が先端部２１の直径および基端部２３の直径よりも大径となっている。
【００２５】
このプローブユニット２では、プローブ１２は、図２に示すように、先端部２１が支持板３１の挿通孔に挿通され、基端部２３が第２支持板３２の挿通孔に挿通された状態で支持部１１によって支持されている。また、プローブ１２は、同図に示すように、初期状態において中間部２２がやや湾曲した状態で支持部１１によって支持されている。この場合、プローブ１２は、基板５００に近接する向きにプローブユニット２が全体として移動させられたときに、基板５００の導体パターン５０１に先端部２１が接触して導体パターン５０１を押圧し、この際に加わる導体パターン５０１からの反力により、先端部２１が初期状態よりも基端部２３側に押し込まれて（第１支持板３１からの先端部２１の突出量が減少し）、その分中間部２２の湾曲量が増加する。また、プローブ１２は、導体パターン５０１に対する押圧状態が解除されたときに、中間部２２の弾性力によって先端部２１が押し出されて（第１支持板３１からの先端部２１の突出量が増加し）、初期状態に復元することが可能となっている。
【００２６】
電極板１３は、非導電性を有する樹脂材料等によって板状に形成されて、図２に示すように、支持部１１の第２支持板３２の上部に配設されている。また、電極板１３における各プローブ１２の各基端部２３との接触部位には、導電性を有する端子が嵌め込まれており、この各端子には、プローブ１２と電流供給部５や検査部６とを電気的に接続するためのケーブルがそれぞれ接続されている。
【００２７】
移動機構３は、プローブユニット２を取り付け可能に構成され、処理部９の制御に従ってプローブユニット２を上下方向に移動させる。搬送機構４は、基板５００を載置するための載置台４１（図１参照）を備えて構成され、処理部９の制御に従い、載置台４１に基板５００を載置する位置（以下、この位置を「第１待機位置」ともいう）と、移動機構３の下方の位置（以下、この位置を「プロービング位置」ともいう）との間で載置台４１を搬送する。また、搬送機構４は、処理部９の制御に従い、非使用時におけるマグネットユニット８の待機位置（以下、この位置を「第２待機位置」ともいう）とプロービング位置との間でマグネットユニット８を搬送する。
【００２８】
電流供給部５は、電流出力回路およびスキャナスイッチ（いずれも図示せず）を備えて構成され、処理部９の制御に従い、検査用の電流Ｉ１（電気信号の一例）をプローブユニット２の各プローブ１２を介して基板５００の導体パターン５０１に供給する。また、電流供給部５は、第１電流供給部として機能し、処理部９によって実行される矯正処理において、処理部９の制御に従って矯正対象のプローブ１２に矯正用の電流Ｉ２を供給する。
【００２９】
検査部６は、処理部９の制御に従い、プローブ１２を介して入出力する電気信号に基づき、抵抗値Ｒｍを測定すると共に、その抵抗値Ｒｍに基づいて基板５００の良否（導体パターン５０１の断線や短絡の有無）を検査する検査処理を実行する。記憶部７は、処理部９の制御に従い、検査部６によって測定された抵抗値Ｒｍを一時的に記憶する。
【００３０】
マグネットユニット８は、磁界生成部に相当し、図３，４に示すように、複数の永久磁石８１、各永久磁石８１を支持する支持台８２および導通シート８３を備えて構成されている。この場合、図５に示すように、各永久磁石８１は、プローブユニット２の奥行き（同図における上下方向の長さであって、図２における紙面手前側から奥側に向かう方向に沿った長さ）よりもやや長い距離だけ離間して対向するように配置されている。また、このマグネットユニット８では、対向する永久磁石８１の各々における互いに対向する磁極（Ｎ極およびＳ極）が互いに異なるように（つまり、異磁極同士が対向するように）配置されている。
【００３１】
導通シート８３は、後述する磁界制御処理の際にプローブユニット２における各プローブ１２の先端部２１を接触させて基準電位に接続させるためのシートであって、一例として、導電性ゴムなどの軟質の導電性材料で形成されると共に、図外のケーブルを介して基準電位に接続されている。この場合、柔軟性を有する材料で導通シート８３が形成されているため、プローブユニット２の各プローブ１２における先端部２１の第１支持板３１からの突出量にばらつきがある場合においても、プローブユニット２を導通シート８３に押し付けることで、各先端部２１が導通シート８３に確実に接触させることが可能となっている。
【００３２】
また、マグネットユニット８は、第２待機位置とプロービング位置との間で搬送機構４によって搬送される。この場合、この基板検査装置１では、プロービング位置にマグネットユニット８が搬送された状態で、プロービング位置にプローブユニット２が下降したときには、各永久磁石８１によって形成される磁界Ｂ（図５，６参照）の方向とプローブユニット２における各プローブ１２の長さ方向（図６における上下方向）とが交差（この例では、直交またはほぼ直交）する。なお、図６および後述する図８，９に示す○内に×を付した記号は、紙面手前側から奥側に向かう磁界Ｂを表し、図９に示す○内に・を付した記号は紙面奥側から手前側に向かう磁界Ｂを表している。
【００３３】
処理部９は、基板検査装置１を構成する各部を制御する。また、処理部９は、検査部６による検査結果（抵抗値Ｒｍの測定結果）に基づいて初期状態に復元していない（湾曲状態に変形した一例）プローブ１２の有無を判別し、そのようなプローブ１２を特定したときには、そのプローブ１２を初期状態に復元する矯正処理を実行する。この場合、処理部９は、この矯正処理において、磁界Ｂの方向とプローブ１２の長さ方向とが交差するように磁界Ｂ内にプローブ１２を位置させる磁界制御処理、および電流供給部５を制御して中間部２２の湾曲が減少する向きに電磁力Ｆが生じるように矯正対象のプローブ１２に電流Ｉ２を供給させる電流供給処理を実行する。
【００３４】
次に、基板検査装置１を用いて基板５００の検査を行う基板検査方法、およびプローブ矯正方法について、図面を参照して説明する。
【００３５】
まず、第１待機位置に位置している搬送機構４の載置台４１に基板５００を載置する。次いで、検査の開始を指示する。これに応じて、処理部９が、搬送機構４を制御して、載置台４１をプロービング位置に搬送させる。続いて、処理部９は、移動機構３を制御して、基板５００（載置台４１の載置面）に近接する向きにプローブユニット２を予め決められた長さだけ移動（下降）させる。
【００３６】
次いで、プローブユニット２における各プローブ１２の先端部２１が基板５００の導体パターン５０１に接触して導体パターン５０１を押圧する。続いて、プローブユニット２の下降に伴って先端部２１に加わる導体パターン５０１からの反力によって先端部２１が基端部２３側（第２支持板３２側）に押し込まれて第１支持板３１からの突出量が減少し、これによって中間部２２の湾曲量が増加する。
【００３７】
次いで、処理部９は、電流供給部５を制御して予め決められたプローブ１２に対して検査用の電流Ｉ１を供給させる。続いて、処理部９は、検査部６を制御して検査処理を開始させる。この検査処理では、検査部６は、電流供給部５から供給されている電流Ｉ１およびプローブ１２を介して入力する電気信号（例えば、電圧）に基づいて抵抗値Ｒｍを測定して記憶部７に記憶させる。
【００３８】
次いで、検査部６は、記憶部７に記憶させた抵抗値Ｒｍに基づいて導体パターン５０１の断線および短絡の有無を検査する。続いて、処理部９は、検査結果を図外の表示部に表示させる。続いて、処理部９は、移動機構３を制御してプローブユニット２を上方に移動（上昇）させる。この際に、基板５００の導体パターン５０１に対する先端部２１からの押圧が解除される。これに伴い、湾曲している中間部２２の弾性力（復元力）によって第１支持板３１からの先端部２１の突出量が増加すると共に中間部２２の湾曲量が減少して初期状態に復元する。続いて、処理部９は、搬送機構４を制御して、載置台４１を第１待機位置に搬送させる。以上により、基板５００の検査が終了する。
【００３９】
次いで、新たな基板５００を検査するときには、新たな基板５００を搬送機構４の載置台４１に載置し、続いて、検査の開始を指示する。これに応じて、処理部９が、上記した各処理を実行することにより、新たな基板５００の検査が行われる。
【００４０】
ここで、第１支持板３１における挿通孔の縁部とプローブ１２との接触部分に生じる摩擦力が中間部２２の弾性力（復元力）よりも大きいときには、プローブ１２によって導体パターン５０１を押圧している状態から、プローブユニット２を上昇させて押圧状態を解除したときに、プローブ１２が初期状態に復元することなく、第１支持板３１からの先端部２１の突出量が減少したままの状態（つまり、導体パターン５０１に対する加圧を解除しているにも拘わらず、中間部２２が過剰に湾曲している状態）となることがある（図６に示すプローブ１２ａ参照）。
【００４１】
このようなプローブ１２が存在しているときには、プローブユニット２を下降させたとしても、そのプローブ１２の先端部２１が導体パターン５０１に接触しないこととなる。このため、基板５００の検査を繰り返して実行した際に、例えば、同一の導体パターン５０１の同一箇所において断線があるとの誤った判定が連続してなされることとなる。
【００４２】
したがって、このような状態が続いたときには、処理部９は、矯正処理を実行する。この矯正処理では、処理部９は、検査部６による検査結果に基づき、例えば、断線があると連続して判定された導体パターン５０１の箇所を特定する。次いで、処理部９は、特定した箇所に対応するプローブ１２（例えば、図６に示すプローブ１２ａ）を特定する（プローブ特定処理）。
【００４３】
続いて、処理部９は、搬送機構４を制御して、マグネットユニット８を第２待機位置からプロービング位置に搬送させる。次いで、処理部９は、移動機構３を制御して、プローブユニット２を移動（下降）させて、図６に示すように、マグネットユニット８の各永久磁石８１によって形成される磁界Ｂの方向とプローブ１２の長さ方向とが交差（この例では、直交またはほぼ直交）するように磁界Ｂ内にプローブ１２を位置させる磁界制御処理を実行する。この際に、各プローブ１２の先端部２１が導通シート８３に接触する。この場合、導通シート８３が柔軟性を有しているため、同図に示すように、第１支持板３１から突出量が短いプローブ１２ａの先端部２１が他のプローブ１２の先端部２１と共に導通シート８３に確実に接触する。
【００４４】
続いて、処理部９は、電流供給部５を制御して、プローブ１２ａに矯正用の電流Ｉ２を供給させる電流供給処理を実行する。この電流供給処理では、処理部９は、図６に示すように、プローブ１２ａの中間部２２の湾曲が減少する向きに電磁力（ローレンツ力）Ｆが生じるように電流Ｉ２の向き（この例では、同図における下向き。基端部２３から先端部２１に向かう向き。）を規定して、その向きに電流Ｉ２が流れるように電流供給部５による電流Ｉ２の供給を制御する。
【００４５】
次いで、電流Ｉ２の供給によって生じた電磁力Ｆがプローブ１２ａの中間部２２に加わることにより、挿通孔の縁部との接触部分における摩擦力に抗して先端部２１が下方に押し出されて第１支持板３１からの先端部２１の突出量が増加すると共に、中間部２２の湾曲量が減少し、この結果、プローブ１２ａが初期状態に復元する。このように、この基板検査装置１では、矯正処理を実行することで、挿通孔の縁部とプローブ１２との接触部分に生じる摩擦力によって中間部２２の弾性力だけでは初期状態に復元しなかったプローブ１２ａを、初期状態に確実に復元させることが可能となっている。
【００４６】
続いて、処理部９は、電流供給部５を制御してプローブ１２ａに対する電流Ｉ２の供給を停止させる。次いで、処理部９は、移動機構３を制御してプローブユニット２を上昇させ、続いて、搬送機構４を制御して、マグネットユニット８を第２待機位置に搬送させる。以上により、矯正処理が終了する。
【００４７】
次いで、プローブ１２が初期状態に復元しなかったことに起因して誤った検査結果となった可能性のある基板５００に対する再検査や、新たな基板５００の検査を継続するときには、対象の基板５００を搬送機構４の載置台４１に載置し、続いて、検査の開始を指示する。
【００４８】
このように、この基板検査装置１およびプローブ矯正方法によれば、マグネットユニット８によって形成される磁界Ｂの方向とプローブ１２の長さ方向とが交差するように磁界Ｂ内にプローブ１２を位置させる磁界制御処理を実行し、プローブ１２における中間部２２の湾曲が減少する向きに電磁力Ｆが生じるように矯正対象のプローブに電流Ｉ２を供給させる電流供給処理を実行することにより、第１支持板３１の挿通孔の縁部とプローブ１２との接触部分に生じる摩擦力によって中間部２２の弾性力だけでは初期状態に復元しないプローブ１２に対して電磁力Ｆを加えることで、プローブ１２を初期状態に確実に復元させることができる。また、この基板検査装置１およびプローブ矯正方法によれば、プローブ１２に直接接触することなく中間部２２の湾曲が減少する向きに電磁力Ｆを加えることができるため、プローブユニット２を分解することなくプローブ１２を初期状態に確実に復元することができる結果、初期状態に復元しないプローブ１２が発生したときのプローブユニット２のメンテナンス作業の効率を十分に向上させることができる。
【００４９】
また、この基板検査装置１およびプローブ矯正方法によれば、複数の永久磁石８１を備えてプローブ矯正部を構成し、処理部９が磁界制御処理において、永久磁石８１によって形成される磁界Ｂの方向とプローブ１２の長さ方向とが交差するように移動機構３を制御してプローブユニット２を移動させることにより、プローブ矯正部を簡易に構成することができるため、プローブ１２を初期状態に確実に復元することが可能な基板検査装置１を低コストで構成することができる。なお、磁界制御処理において、プローブユニット２を移動させる構成および方法に代えて、マグネットユニット８（永久磁石８１）を移動させる構成および方法、またはプローブユニット２とマグネットユニット８（永久磁石８１）の双方を移動させる構成および方法を採用することができる。
【００５０】
また、この基板検査装置１では、処理部９が検査部６による検査結果に基づいて初期状態に復元していない（湾曲状態に変形した）プローブ１２を特定したときに矯正処理（磁界制御処理および電流供給処理）を実行する。つまり、初期状態に復元していないプローブ１２の特定、およびその際の矯正処理の実行が自動的に行われる。したがって、この基板検査装置１によれば、初期状態に復元していないプローブ１２の有無を監視したり、その際に矯正処理の実行を指示したりする作業を使用者が行う必要がない分、十分な省力化を図ることができる。
【００５１】
次に、図７，８に示す基板検査装置１０１の構成について説明する。なお、以下の説明において、上記した基板検査装置１と同じ構成要素については、同じ符号を付して、重複する説明を省略する。基板検査装置１０１は、基板検査装置の他の一例であって、プローブユニット２、移動機構３、搬送機構４、電流供給部５、検査部６、記憶部７、マグネットユニット１０８（両図参照）および処理部９を備えて、基板検査方法に従って基板５００を検査可能に構成されている。なお、この基板検査装置１０１では、電流供給部５、マグネットユニット１０８および処理部９によってプローブ矯正部が構成され、プローブユニット２、移動機構３、電流供給部５、マグネットユニット１０８および処理部９によってプローブ装置が構成される。
【００５２】
マグネットユニット１０８は、磁界生成部に相当し、複数の電磁石１８１、および各電磁石１８１をプローブユニット２に取り付けるための支持部１８２を備えて構成されている。この場合、図７に示すように、各電磁石１８１は、互いに対向するようにして、プローブユニット２における２つの側部（同図における上側の側部および下側の側部）に支持部１８２によって支持されている。
【００５３】
この基板検査装置１０１では、電流供給部５が上記した各機能（電流Ｉ１，Ｉ２を供給する機能）を有すると共に、第２電流供給部としても機能して、処理部９の制御に従って電磁石１８１に電磁石用の電流Ｉ３を供給する。また、この基板検査装置１０１では、処理部９が、対向する各電磁石１８１の磁極（Ｎ極およびＳ極）が互いに異なるように、電流供給部５による電流Ｉ３の供給を制御する。処理部９は、このような制御を行うことで、各電磁石１８１によって形成される磁界Ｂの方向とプローブ１２の長さ方向とが交差するように磁界Ｂ内にプローブ１２を位置させる磁界制御処理を実行する。また、処理部９は、検査部６による検査結果に基づいて初期状態に復元していないローブ１２の有無を検出し、このようなプローブ１２を特定したときには、そのプローブ１２を初期状態に復元する矯正処理を実行する。
【００５４】
次に、基板検査装置１０１におけるプローブ矯正方法について、図面を参照して説明する。なお、上記したマグネットユニット８の導通シート８３と同様に形成された導通シート３００が載置台４１に載置されているものとする。
【００５５】
この基板検査装置１０１では、処理部９が、検査部６による検査結果に基づいて初期状態に復元していないプローブ１２（例えば、図８に示すプローブ１２ａ）を特定する。次いで、処理部９は、搬送機構４を制御して導通シート３００が載置された載置台４１をプロービング位置に搬送させる。
【００５６】
続いて、処理部９は、移動機構３を制御してプローブユニット２を下降させて、図８に示すように、各プローブ１２の先端部２１を導通シート３００に接触させる。
【００５７】
次いで、処理部９は、各電磁石１８１によって形成される磁界Ｂの方向とプローブ１２の長さ方向とが交差するように磁界Ｂ内にプローブ１２を位置させる磁界制御処理を実行する。具体的には、処理部９は、電流供給部５を制御して、マグネットユニット１０８における互いに対向する各電磁石１８１の磁極が互いに異なるように電流Ｉ３を供給させる。これにより、図７，８に示すように、プローブ１２の長さ方向と交差（直交またはほぼ直交）するように電磁石１８１によって磁界Ｂが形成される。
【００５８】
続いて、処理部９は、電流供給部５を制御して、プローブ１２ａに矯正用の電流Ｉ２を供給させる電流供給処理を実行する。この電流供給処理では、処理部９は、図８に示すように、プローブ１２ａの中間部２２の湾曲が減少する向きに電磁力Ｆが生じる向き（同図における下向き）に電流Ｉ２が流れるように電流供給部５による電流Ｉ２の供給を制御する。
【００５９】
次いで、電流Ｉ２の供給によって生じた電磁力Ｆがプローブ１２ａの中間部２２に加わることにより、先端部２１が下方に突出して第１支持板３１からの先端部２１の突出量が増加すると共に、中間部２２の湾曲量が減少し、この結果、プローブ１２ａが初期状態に復元する。続いて、処理部９は、電流供給部５を制御してプローブ１２ａに対する電流Ｉ２の供給を停止させる。次いで、処理部９は、移動機構３を制御してプローブユニット２を上昇させ、続いて、搬送機構４を制御して、導通シート３００が載置された載置台４１を初期位置に搬送させる。以上により、矯正処理が終了する。
【００６０】
この基板検査装置１０１においても、第１支持板３１の挿通孔の縁部とプローブ１２との接触部分に生じる摩擦力によって中間部２２の弾性力だけでは初期状態に復元しないプローブ１２に対して電磁力Ｆを加えることで、プローブ１２を初期状態に確実に復元させることができる。また、この基板検査装置１０１およびプローブ矯正方法では、複数の電磁石１８１と各電磁石１８１に電流Ｉ３を供給する電流供給部５とを備えてプローブ矯正部を構成し、処理部９が、電流供給部５を制御して各電磁石１８１によって形成される磁界Ｂの方向とプローブ１２の長さ方向とが交差するように各電磁石１８１に電流Ｉ３を供給させる処理を磁界制御処理として実行することにより、確実にプローブ１２を矯正することが可能なプローブ矯正部およびプローブ装置および基板検査装置１を簡易に構成することができる。
【００６１】
また、この基板検査装置１０１およびプローブ矯正方法では、互いに対向する電磁石１８１の磁極を反転させるだけで電磁力Ｆの向きを反転させることができる。このため、この基板検査装置１０１およびプローブ矯正方法では、中間部２２の湾曲の向きが異なる（湾曲の向きが互いに逆向きの）プローブ１２が存在している場合においても、各プローブ１２の湾曲の向きに応じて電磁石１８１の磁極を反転させることで、各々の湾曲を容易に矯正して各プローブ１２を初期状態に確実に復元させることができる。なお、上記の例では、プローブユニット２における２つの側部だけに電磁石１８１を配置しているが、プローブユニット２の全ての（４つの）側部に電磁石１８１を配置する構成および方法を採用することもできる。この構成および方法を採用したときには、各電磁石１８１に供給する電流Ｉ３の流れの向きを制御することで、プローブ１２がどの向き（任意の向き）に湾曲していたとしても、その湾曲を確実に矯正することができる。
【００６２】
次に、図９に示す基板検査装置２０１の構成について説明する。なお、以下の説明において、上記した基板検査装置１，１０１と同じ構成要素については、同じ符号を付して、重複する説明を省略する。基板検査装置２０１は、基板検査装置の他の一例であって、プローブユニット２、移動機構３、搬送機構４、電流供給部５、検査部６、記憶部７および処理部９を備えて、基板検査方法に従って基板５００を検査可能に構成されている。なお、この基板検査装置２０１では、矯正対象のプローブ１２（初期状態に復元していないプローブ１２）の周囲に配置されている他のプローブ１２（好ましくは、矯正対象のプローブ１２に隣接する複数のプローブ１２であって、以下「磁界形成用のプローブ１２」ともいう）が磁界生成部として機能する。このため、プローブユニット２の一部、電流供給部５および処理部９によってプローブ矯正部が構成され、プローブユニット２、移動機構３、電流供給部５および処理部９によってプローブ装置が構成される。
【００６３】
この基板検査装置２０１では、電流供給部５が上記した各機能（電流Ｉ１，Ｉ２を供給する機能）を有すると共に、処理部９の制御に従い、磁界形成用のプローブ１２に対して磁界生成用の電流Ｉ４を供給する機能を有している。また、この基板検査装置２０１では、処理部９が、電流供給部５による電流Ｉ４の供給を制御することで、磁界形成用のプローブ１２によって形成される磁界Ｂの方向とプローブ１２の長さ方向とが交差するように磁界Ｂ内にプローブ１２を位置させる磁界制御処理を実行する。また、処理部９は、検査部６による検査結果に基づいて初期状態に復元していないプローブ１２の有無を判定し、そのようなプローブ１２を特定したときには、そのプローブ１２を初期状態に復元させる矯正処理を実行する。
【００６４】
次に、基板検査装置２０１におけるプローブ矯正方法について、図面を参照して説明する。なお、上記した導通シート３００が載置台４１に載置されているものとする。
【００６５】
この基板検査装置２０１では、処理部９が、検査部６による検査結果に基づいて初期状態に復元していないプローブ１２（例えば、図９に示すプローブ１２ａ）を特定する。次いで、処理部９は、搬送機構４を制御して導通シート３００が載置された載置台４１をプロービング位置に搬送させる。続いて、処理部９は、移動機構３を制御してプローブユニット２を下降させて、図９に示すように、各プローブ１２の先端部２１を導通シート３００に接触させる。
【００６６】
次いで、処理部９は、磁界制御処理を実行する。具体的には、処理部９は、プローブ１２ａに隣接する２つのプローブ１２（例えば、図９に示すプローブ１２ｂ，１２ｃ）を磁界形成用のプローブ１２として特定する。続いて、処理部９は、電流供給部５を制御して磁界形成用の電流Ｉ４をプローブ１２ｂ，１２ｃに供給させる。この場合、処理部９は、矯正対象のプローブ１２ａの中間部２２が湾曲している側（突出側であって、同図における左側）に位置するプローブ１２ｂに対して、後述する矯正用の電流Ｉ２の向きとは逆向きに電流Ｉ４が流れ、プローブ１２ａの中間部２２が湾曲している側とは逆側（同図における右側）に位置するプローブ１２ｃに対して、電流Ｉ２の向きと同じ向きに電流Ｉ４が流れるように電流供給部５による電流Ｉ４の供給を制御する。この場合、同図に示すように、プローブ１２ｂによって磁界Ｂ１，Ｂ２が形成され、プローブ１２ｃによって磁界Ｂ３，Ｂ４が形成される。
【００６７】
これにより、図９に示すように、プローブ１２の長さ方向と交差（直交またはほぼ直交）するように磁界形成用のプローブ１２によって磁界Ｂが形成される。次いで、処理部９は、電流供給部５を制御して、プローブ１２ａに矯正用の電流Ｉ２を供給させる電流供給処理を実行する。この電流供給処理では、処理部９は、同図に示すように、プローブ１２ａの中間部２２の湾曲が減少する向きに電磁力Ｆが生じる向き（同図における下向き）に電流Ｉ２が流れるように電流供給部５による電流Ｉ２の供給を制御する。
【００６８】
続いて、電流Ｉ２の供給によって生じた電磁力Ｆがプローブ１２ａの中間部２２に加わることにより、先端部２１が下方に突出して第１支持板３１からの先端部２１の突出量が増加すると共に、中間部２２の湾曲量が減少し、この結果、プローブ１２ａが初期状態に復元する。次いで、処理部９は、電流供給部５を制御してプローブ１２ａに対する電流Ｉ２の供給を停止させる。続いて、処理部９は、移動機構３を制御してプローブユニット２を上昇させ、次いで、搬送機構４を制御して、導通シート３００が載置された載置台４１を第１待機位置に搬送させる。以上により、矯正処理が終了する。
【００６９】
この基板検査装置２０１においても、第１支持板３１の挿通孔の縁部とプローブ１２との接触部分に生じる摩擦力によって中間部２２の弾性力だけでは初期状態に復元しないプローブ１２に対して電磁力Ｆを加えることで、プローブ１２を初期状態に確実に復元させることができる。また、この基板検査装置２０１およびプローブ矯正方法では、矯正対象のプローブ１２の周囲に配置されている他のプローブ１２を磁界生成部として機能させ（これらの他のプローブ１２で磁界生成部を構成し）、処理部９が、電流供給部５を制御して磁界形成用のプローブ１２への電流Ｉ４の供給によって形成される磁界Ｂの方向とプローブ１２の長さ方向とが交差するように各プローブ１２に電流Ｉ４を供給させる処理を磁界制御処理として実行することにより、磁界生成部として他の構成部材を別途設けることなくプローブ１２を確実に矯正することができる。つまり、この基板検査装置２０１およびプローブ矯正方法によれば、プローブ１２を磁界生成部として兼用することができるため、プローブ矯正部、プローブ装置および基板検査装置１を簡易に構成することができる。
【００７０】
また、この基板検査装置２０１およびプローブ矯正方法では、磁界生成部として機能させるプローブ１２を変更したり、そのプローブ１２に供給する電流Ｉ４の向きや電流値を変更したりすることで、磁界Ｂの向きや強さを変更することができるため、プローブ１２がどの向きに湾曲しているとしても、また、プローブ１２がどれだけの量だけ湾曲していたとしても、その湾曲を確実に矯正することができる。なお、上記の例では、磁界形成用のプローブ１２を２本用いているが、磁界形成用のプローブ１２を３本以上用いる構成および方法を採用することもできる。
【００７１】
なお、プローブ装置、基板検査装置およびプローブ矯正方法は、上記の構成および方法に限定されない。例えば、処理部９が検査部６による検査結果に基づいて初期状態に復元していない（湾曲状態に変形した）プローブ１２を特定（検出）して矯正処理を実行する構成および方法（つまり、矯正処理を自動的に行う構成および方法）について上記したが、初期状態に復元していないプローブ１２を使用者が検査結果等に基づいて特定したときに、基板検査装置１（処理部９）に対して矯正処理の実行を指示する構成および方法を採用することもできる。
【符号の説明】
【００７２】
１  基板検査装置
２  プローブユニット
３  移動機構
４  搬送機構
５  電流供給部
６  検査部
８  マグネットユニット
９  処理部
１１  支持部
１２  プローブ
１２ａ〜１２ｃ  プローブ
２１  先端部
２２  中間部
２３  基端部
８１  永久磁石
８３，３００  導通シート
１０８  マグネットユニット
１８１  電磁石
５００  基板
５０１  導体パターン
Ｂ  磁界
Ｆ  電磁力
Ｉ１〜Ｉ４  電流
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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