(57)【要約】【課題】網状体を被供給面に均一に密着させるとともに、本体に対する網状体の取り付け及び取り外しの作業性を向上させることのできる液体制御装置を提供する。【解決手段】液体気化器１０は、薬液の供給される被供給面１１ａを有する第１ハウジング１１と、ヒータ７０と、メッシュ３１と、メッシュ３１の広がり方向においてメッシュ３１の互いに対向する外縁部にそれぞれ取り付けられている第１ホルダ３４Ａ及び第２ホルダ３４Ｂと、カバーボルト３５Ａと、被供給面１１ａに対して傾斜する所定方向に沿って移動可能に第１ハウジング１１により支持されたステム３８と、カバーボルト３５Ｂと、所定方向に沿ってステム３８を付勢して、メッシュ３１を被供給面１１ａに密着させているコイルばねと、被供給面１１ａに向かう側からメッシュ３１を覆って、第１ハウジング１１とで被供給面１１ａの周囲の空間を密閉している蓋部材８０と、を備える。【選択図】      図１
2014018693.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体の広がり及び気化を制御する液体制御装置であって、
前記液体の供給される被供給面を有する本体と、
前記被供給面を加熱するヒータと、
網目状に編まれた網状体と、
前記網状体の広がり方向において前記網状体の互いに対向する外縁部にそれぞれ取り付けられている第１ホルダ及び第２ホルダと、
前記被供給面に向かう側から前記第１ホルダを前記本体に固定している第１固定部材と、
前記被供給面に対して傾斜する所定方向に沿って移動可能に前記本体により支持された移動部材と、
前記被供給面に向かう側から前記第２ホルダを前記移動部材に固定している第２固定部材と、
前記所定方向に沿って前記移動部材を付勢して、前記網状体を前記被供給面に密着させている付勢部材と、
前記被供給面に向かう側から前記網状体を覆って、前記本体とで前記被供給面の周囲の空間を密閉している蓋部材と、
を備えることを特徴とする液体制御装置。
【請求項２】
前記付勢部材はコイルばねである請求項１に記載の液体制御装置。
【請求項３】
前記本体には、前記所定方向へ前記被供給面を滑らかに接続する曲面が形成されており、
前記網状体は、前記被供給面と前記移動部材との間において前記曲面に掛け渡されている請求項１又は２に記載の液体制御装置。
【請求項４】
前記所定方向は、前記被供給面に垂直な方向である請求項１〜３のいずれか１項に記載の液体制御装置。
【請求項５】
前記網状体は矩形状に形成されており、
前記第１ホルダ及び第２ホルダはそれぞれ、前記網状体の互いに対向する２辺をそれぞれ含む外縁部の全長にわたって取り付けられており、
前記第１固定部材は、前記第１ホルダの複数箇所にそれぞれ設けられており、
前記第２固定部材は、前記第２ホルダの複数箇所にそれぞれ設けられている請求項１〜４のいずれか１項に記載の液体制御装置。
【請求項６】
前記第１固定部材は、前記第１ホルダの両端部にそれぞれ設けられており、
前記第２固定部材は、前記第２ホルダの両端部にそれぞれ設けられている請求項５に記載の液体制御装置。
【請求項７】
前記第１固定部材は、前記第１ホルダを上側から前記本体に固定しており、
前記第２固定部材は、前記第２ホルダを上側から前記移動部材に固定しており、
前記蓋部材は、前記網状体を上側から覆っている請求項１〜６のいずれか１項に記載の液体制御装置。
【請求項８】
液体の広がり及び気化を制御する液体制御装置に適用される網状体組立体であって、
網目状に編まれ、矩形状に形成された網状体と、
前記網状体の互いに対向する２辺をそれぞれ含む外縁部の全長にわたって、それぞれ取り付けられている第１ホルダ及び第２ホルダと、
所定側から前記第１ホルダの複数箇所にそれぞれ取り付けられ、前記第１ホルダを前記液体制御装置に固定することに用いられる第１固定部材と、
前記所定側から前記第２ホルダの複数箇所にそれぞれ取り付けられ、前記第２ホルダを前記液体制御装置に固定することに用いられる第２固定部材と、
を備えることを特徴とする網状体組立体。
【請求項９】
円管状に形成され、前記第１ホルダに沿って配置された第１押さえ部材と、
円管状に形成され、前記第２ホルダに沿って配置された第２押さえ部材とを備え、
前記網状体の互いに対向する２辺をそれぞれ含む外縁部が、前記第１ホルダの一部と前記第１押さえ部材の外周面との間、及び前記第２ホルダの一部と前記第２押さえ部材の外周面との間に、それぞれ挟持されている請求項８に記載の網状体組立体。
【請求項１０】
前記第１固定部材及び前記第２固定部材は、頭部、ねじ部、及び前記頭部と前記ねじ部とを接続する軸部を備えるカバーボルトであり、
前記第１ホルダの複数箇所にそれぞれねじ孔が形成されており、
前記第２ホルダの複数箇所にそれぞれねじ孔が形成されており、
前記第１ホルダの前記ねじ孔に前記第１固定部材の前記軸部が挿通されており、
前記第２ホルダの前記ねじ孔に前記第２固定部材の前記軸部が挿通されている請求項８又は９に記載の網状体組立体。
【請求項１１】
前記網状体が広げられた状態において前記カバーボルトに対応する位置に、前記カバーボルトに係合可能な係合部がそれぞれ形成された搬送用部材を備え、
前記搬送用部材の前記係合部に前記カバーボルトがそれぞれ係合させられている請求項１０に記載の網状体組立体。
【請求項１２】
網目状に編まれ、前記網状体に接している誘導部材を備える請求項８〜１１のいずれか１項に記載の網状体組立体。
【請求項１３】
板状又は膜状に形成され、前記誘導部材の一部を覆う遮蔽部材を備える請求項１２に記載の網状体組立体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、面に接した液体の広がり及び気化を制御する液体制御装置、及び液体制御装置に適用される網状体組立体に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の液体制御装置において、蓄熱板の上面にメッシュ（網状体）を重ねて配置することにより、蓄熱板上に微細な凹凸を形成したものがある（例えば、特許文献１参照）。特許文献１に記載のものによれば、蓄熱板（本体）の上面（被供給面）とメッシュとの間に供給された液体が、界面張力によって広がるため、蓄熱板の上面の広い面積に液体を供給することができる。そして、ヒータにより蓄熱板が加熱されることで、蓄熱板の上面の液体が気化される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第４６７３４４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、特許文献１に記載のものでは、所定のピッチで配置されている複数のピンの先端により、メッシュを蓄熱板の上面に押し付けている。このため、メッシュにおいてピンの先端により押圧される部分と押圧されない部分とで、蓄熱板の上面に密着する度合いが異なることとなる。その結果、蓄熱板の上面に広がる液体にむらができ、液体の気化が不安定となるおそれがある。
【０００５】
本発明は、こうした実情に鑑みてなされたものであり、その主たる目的は、網状体を被供給面に均一に密着させるとともに、本体に対する網状体の取り付け及び取り外しの作業性を向上させることのできる液体制御装置、及び液体制御装置に適用される網状体組立体を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上記課題を解決するために、以下の手段を採用した。
【０００７】
第１の手段は、液体の広がり及び気化を制御する液体制御装置であって、前記液体の供給される被供給面を有する本体と、前記被供給面を加熱するヒータと、網目状に編まれた網状体と、前記網状体の広がり方向において前記網状体の互いに対向する外縁部にそれぞれ取り付けられている第１ホルダ及び第２ホルダと、前記被供給面に向かう側から前記第１ホルダを前記本体に固定している第１固定部材と、前記被供給面に対して傾斜する所定方向に沿って移動可能に前記本体により支持された移動部材と、前記被供給面に向かう側から前記第２ホルダを前記移動部材に固定している第２固定部材と、前記所定方向に沿って前記移動部材を付勢して、前記網状体を前記被供給面に密着させている付勢部材と、前記被供給面に向かう側から前記網状体を覆って、前記本体とで前記被供給面の周囲の空間を密閉している蓋部材と、を備えることを特徴とする。
【０００８】
上記構成によれば、網目状に編まれた網状体の広がり方向において、網状体の互いに対向する外縁部にそれぞれ第１ホルダ及び第２ホルダが取り付けられている。第１ホルダは第１固定部材により本体に固定されており、第２ホルダは第２固定部材により移動部材に固定されている。移動部材は本体により、被供給面に対して傾斜する所定方向に沿って移動可能に支持されている。付勢部材により移動部材が上記所定方向に沿って付勢され、第２ホルダを介して移動部材に連結された網状体が被供給面に密着させられている。
【０００９】
このため、網状体に張力が作用した状態を維持することができ、網状体の緩みを抑制することができる。さらに、第１ホルダ及び第２ホルダを介して網状体の互いに対向する外縁部に張力が作用するため、網状体を被供給面に均一に密着させることができる。したがって、被供給面に供給された液体を、被供給面と網状体との界面における界面張力により、被供給面に沿って均一に広げることができる。その結果、ヒータにより被供給面が加熱された際に、被供給面上の液体を安定して気化させることができる。
【００１０】
ここで、第１固定部材は被供給面に向かう側から第１ホルダを本体に固定しており、第２固定部材は被供給面に向かう側から第２ホルダを移動部材に固定している。そして、被供給面に向かう側から蓋部材により網状体が覆われ、本体と蓋部材とで被供給面の周囲の空間が密閉されている。このため、本体への網状体の固定、被供給面への網状体の密着、及び被供給面の周囲の空間の密閉を、全て被供給面へ向かう側から行うことができる。したがって、本体に対する網状体の取り付け及び取り外しの作業性を向上させることができる。さらに、網状体を外した状態で、被供給面を容易に清掃することができる。
【００１１】
具体的には、第２の手段のように、前記付勢部材はコイルばねであるといった構成を採用することができる。こうした構成によれば、移動部材を安定して付勢することができるため、網状体を被供給面に密着させる力を適切に調整することができ、ひいては液体を気化させる性能を安定させることができる。さらに、使用により網状体が伸びたとしても、コイルばねによりその伸びを吸収することができ、被供給面と網状体との密着が弱くなることを抑制することができる。
【００１２】
第３の手段では、前記本体には、前記所定方向へ前記被供給面を滑らかに接続する曲面が形成されており、前記網状体は、前記被供給面と前記移動部材との間において前記曲面に掛け渡されている。
【００１３】
上記構成によれば、本体には、被供給面に対して傾斜する所定方向へ被供給面を滑らかに接続する曲面が形成されている。そして、網状体は被供給面と移動部材との間において曲面に掛け渡されており、付勢部材は上記所定方向に沿って移動部材を付勢している。このため、第２ホルダを介して移動部材に連結された網状体は、曲面に沿って上記所定方向へ円滑に引っ張られる。このため、被供給面へ向かう側から第２固定部材により第２ホルダを移動部材に固定しつつ、網状体を被供給面に安定して密着させることができる。
第４の手段では、前記所定方向は、前記被供給面に垂直な方向である。
上記構成によれば、移動部材の配置スペースを本体内に効率的に設けることができ、本体が大型化することを抑制することができる。
【００１４】
第５の手段では、前記網状体は矩形状に形成されており、前記第１ホルダ及び第２ホルダはそれぞれ、前記網状体の互いに対向する２辺をそれぞれ含む外縁部の全長にわたって取り付けられており、前記第１固定部材は、前記第１ホルダの複数箇所にそれぞれ設けられており、前記第２固定部材は、前記第２ホルダの複数箇所にそれぞれ設けられている。
【００１５】
上記構成によれば、網状体は矩形状に形成されており、第１ホルダ及び第２ホルダはそれぞれ、矩形状の網状体の互いに対向する２辺をそれぞれ含む外縁部に取り付けられている。さらに、第１ホルダ及び第２ホルダは、これら外縁部にそれぞれ全長にわたって取り付けられている。そして、第１固定部材は、第１ホルダの複数箇所にそれぞれ設けられているため、第１ホルダの複数箇所を本体に固定して回転を抑制することができ、第１ホルダを介して網状体の１辺を全長にわたって固定することができる。また、第２固定部材は、第２ホルダの複数箇所にそれぞれ設けられているため、第２ホルダの複数箇所を移動部材に固定して回転を抑制することができ、第２ホルダを介して網状体の１辺を全長にわたって引っ張ることができる。したがって、網状体の全体を被供給面に均一に密着させることができる。
【００１６】
第６の手段では、前記第１固定部材は、前記第１ホルダの両端部にそれぞれ設けられており、前記第２固定部材は、前記第２ホルダの両端部にそれぞれ設けられている。
【００１７】
上記構成によれば、第１固定部材は、第１ホルダの両端部にそれぞれ設けられているため、第１ホルダの両端部を本体に固定して安定させることができ、第１ホルダを介して網状体の１辺をより確実に全長にわたって固定することができる。また、第２固定部材は、第２ホルダの両端部にそれぞれ設けられているため、第２ホルダの両端部を移動部材に固定して安定させることができ、第２ホルダを介して網状体の１辺をより確実に全長にわたって引っ張ることができる。
第７の手段では、前記第１固定部材は、前記第１ホルダを上側から前記本体に固定しており、前記第２固定部材は、前記第２ホルダを上側から前記移動部材に固定しており、前記蓋部材は、前記網状体を上側から覆っている。
上記構成によれば、本体への網状体の固定、被供給面への網状体の密着、及び被供給面の周囲の空間の密閉を、全て上側から行うことができる。したがって、本体に対する網状体の取り付け及び取り外しの作業性を更に向上させることができる。
【００１８】
第８の手段では、液体の広がり及び気化を制御する液体制御装置に適用される網状体組立体であって、網目状に編まれ、矩形状に形成された網状体と、前記網状体の互いに対向する２辺をそれぞれ含む外縁部の全長にわたって、それぞれ取り付けられている第１ホルダ及び第２ホルダと、所定側から前記第１ホルダの複数箇所にそれぞれ取り付けられ、前記第１ホルダを前記液体制御装置に固定することに用いられる第１固定部材と、前記所定側から前記第２ホルダの複数箇所にそれぞれ取り付けられ、前記第２ホルダを前記液体制御装置に固定することに用いられる第２固定部材と、を備えることを特徴とする。
【００１９】
上記構成によれば、網状体組立体を、網状体、第１ホルダ、第２ホルダ、第１固定部材、及び第２固定部材を備えた１つの要素として取り扱うことができるため、液体制御装置の組立を容易にすることができる。そして、第６の手段の網状体組立体を第１の手段の液体制御装置に適用した場合には、第１の手段及び第４の手段と同様の作用効果を奏することができる。
【００２０】
第９の手段では、円管状に形成され、前記第１ホルダに沿って配置された第１押さえ部材と、円管状に形成され、前記第２ホルダに沿って配置された第２押さえ部材とを備え、前記網状体の互いに対向する２辺をそれぞれ含む外縁部が、前記第１ホルダの一部と前記第１押さえ部材の外周面との間、及び前記第２ホルダの一部と前記第２押さえ部材の外周面との間に、それぞれ挟持されている。
【００２１】
上記構成によれば、円管状の第１押さえ部材が第１ホルダに沿って配置され、円管状の第２押さえ部材が第２ホルダに沿って配置されている。そして、網状体の互いに対向する２辺をそれぞれ含む外縁部が、第１ホルダの一部と第１押さえ部材の外周面との間、及び第２ホルダの一部と第２押さえ部材の外周面との間に、それぞれ挟持されている。このため、網状体を点や鋭角部ではなく、曲面で固定することができ、網状体へホルダを取り付ける部分において網状体が損傷することを抑制することができる。さらに、第１押さえ部材及び第２押さえ部材は円管状、すなわち中空であるため、網状体を弾性的に支持することができる。したがって、ホルダから網状体が外れることを抑制することができる。
【００２２】
第１０の手段では、前記第１固定部材及び前記第２固定部材は、頭部、ねじ部、及び前記頭部と前記ねじ部とを接続する軸部を備えるカバーボルトであり前記第１ホルダの複数箇所にそれぞれねじ孔が形成されており、前記第２ホルダの複数箇所にそれぞれねじ孔が形成されており、前記第１ホルダの前記ねじ孔に前記第１固定部材の前記軸部が挿通されており、前記第２ホルダの前記ねじ孔に前記第２固定部材の前記軸部が挿通されている。
【００２３】
上記構成によれば、第１固定部材及び前記第２固定部材はカバーボルトにより構成されている。そして、第１ホルダのねじ孔に第１固定部材の軸部が挿通され、第２ホルダのねじ孔に第２固定部材の軸部が挿通されている。このため、網状体組立体を液体制御装置に組み付ける際に、網状体組立体から第１固定部材及び第２固定部材が外れることを抑制することができる。その結果、第１固定部材及び第２固定部材が、液体制御装置の内部に紛れ込むことを抑制することができる。
【００２４】
第１１の手段では、前記網状体が広げられた状態において前記カバーボルトに対応する位置に、前記カバーボルトに係合可能な係合部がそれぞれ形成された搬送用部材を備え、前記搬送用部材の前記係合部に前記カバーボルトがそれぞれ係合させられている。
【００２５】
上記構成によれば、搬送用部材には、網状体が広げられた状態においてカバーボルトに対応する位置に、カバーボルトに係合可能な係合部がそれぞれ形成されている。そして、搬送用部材の係合部にカバーボルトがそれぞれ係合させられているため、網状体が広げられた状態を維持することができる。したがって、網状体組立体の搬送時等に、網状体が折れ曲がったり、網状体に皺ができたりすることを抑制することができる。
【００２６】
第１２の手段では、網目状に編まれ、前記網状体に接している誘導部材を備える。
【００２７】
上記構成によれば、網状体に接している誘導部材の部分では、網状体と誘導部材との間においても、界面張力により液体を広げることができる。このため、誘導部材の設けられた部分では、液体の広がりを他の部分よりも促進させることができる。その結果、誘導部材の配置を調整することにより、液体を所望の方向へ優先的に広げることができる。さらに、誘導部材は網目状に編まれて形成されているため、誘導部材が板状や膜状に形成されている場合と比較して、誘導部材を介した液体の蒸発を促進させることができる。
【００２８】
第１３の手段では、板状又は膜状に形成され、前記誘導部材の一部を覆う遮蔽部材を備える。
【００２９】
上記構成によれば、板状又は膜状に形成された遮蔽部材の部分では、液体が遮蔽部材を透過することを抑制することができる。このため、液体が供給される位置に遮蔽部材を配置することにより、供給された液体が網状体や誘導部材を透過して噴出することを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】液体気化器の分解斜視図。
【図２】液体気化器の平面図。
【図３】図２の３−３線断面図。
【図４】液体気化器の側面図。
【図５】第１ハウジングの平面図。
【図６】図５の６−６線断面図。
【図７】メッシュ組立体の斜視図。
【図８】ホルダの断面図。
【図９】メッシュ組立体の断面図。
【図１０】第１ハウジング及びメッシュ組立体の平面図。
【図１１】図１０の１１−１１線断面図。
【図１２】図１０の１２−１２線断面図。
【図１３】メッシュ組立体の変形例を示す断面図。
【図１４】メッシュ組立体の他の変形例を示す断面図。
【発明を実施するための形態】
【００３１】
以下、一実施形態について図面を参照しつつ説明する。本実施形態は、薬液を気化させて不活性ガスと混合させつつ排出する液体気化器として具体化している。
【００３２】
初めに、液体気化器の基本的構成について説明する。
【００３３】
図１に示すように、液体気化器１０（液体制御装置）は、第１ハウジング１１、第２ハウジング５０、メッシュ組立体３０、ヒータ７０、蓋部材８０等を備えている。第１ハウジング１１（本体）は、直方体状に形成されている。第１ハウジング１１の上面の一部は、薬液が供給される被供給面１１ａとなっている。第１ハウジング１１には、メッシュ組立体３０及び第２ハウジング５０が組み付けられている。そして、メッシュ組立体３０を覆うように、第１ハウジング１１に蓋部材８０が組み付けられている。これにより、第１ハウジング１１と蓋部材８０とで、被供給面１１ａの周囲の空間が密閉されている。
【００３４】
図２は液体気化器１０の平面図であり、図３は図２の３−３線断面図である。同図に示すように、第１ハウジング１１の内部には、液体流路１２，１２ａが形成されている。液体流路１２ａは、上記被供給面１１ａで開口しており、この開口が薬液の供給口１２ｂとなっている。液体流路１２と液体流路１２ａとの間には、弁装置６０が設けられている。液体配管６１は、液体導入部材５１及び第２ハウジング５０の内部に形成された通路を通じて、液体流路１２に接続されている。なお、第１ハウジング１１、液体導入部材５１、及び第２ハウジング５０は、薬液に対する耐腐食性が比較的高く且つ薬液の濡れ性が比較的高い材料、例えば薬液が疎水化処理液である場合には、ステンレス材又はアルミニウム材で形成されている。
【００３５】
第１ハウジング１１の内部には、気体流路１３，１４が形成されている。気体流路１３は、被供給面１１ａで開口しており、この開口が窒素（不活性ガス）の導入口１３ａとなっている。気体配管６２は、気体導入部材５２及び第２ハウジング５０の内部に形成された通路を通じて、気体流路１３に接続されている。また、気体流路１４は、被供給面１１ａで開口しており、この開口が窒素の排出口１４ａとなっている。気体配管６３は、気体排出部材５３及び第２ハウジング５０の内部に形成された通路を通じて、気体流路１４に接続されている。
【００３６】
図４は、液体気化器１０の側面図である。図２，４に示すように、第１ハウジング１１の内部には、第２ハウジング５０の内部に形成された貫通孔を通じて、ヒータ７０が挿入されている。ヒータ７０は、被供給面１１ａの広がり方向において、上記薬液の供給口１２ｂと上記窒素の排出口１４ａとの間に配置されている。ヒータ７０は、第１ハウジング１１の上下方向（厚み方向）において、被供給面１１ａ寄りの位置に配置されている。
【００３７】
被供給面１１ａには、網目状に編まれたメッシュ３１が密着させられている。メッシュ３１（網状体）の編み目の粗さは、メッシュ３１の開口に薬液が膜を作り易い粗さ、例えば１インチあたりの開口数が１００である１００メッシュとなっている。詳しくは、メッシュ３１では、線径が０．１ｍｍ、線間距離が０．１５ｍｍとなっている。メッシュ３１の粗さは、メッシュ３１に対する薬液の濡れ性や、第１ハウジング１１に対する薬液の濡れ性、薬液の粘度等に応じて、適切に設定することが望ましい。メッシュ３１は、薬液に対する耐腐食性が比較的高く且つ薬液の濡れ性が比較的高い材料、例えば薬液が疎水化処理液である場合にはステンレス材で形成されている。
【００３８】
メッシュ３１の上面には、網目状に編まれたメッシュバンド３２が密着させられている。メッシュバンド３２は、上記導入口１３ａから上記排出口１４ａへ延びており、上記供給口１２ｂを覆っている。メッシュバンド３２（誘導部材）の編み目の粗さも１００メッシュとなっている。メッシュバンド３２の粗さは、メッシュバンド３２に対する薬液の濡れ性や、第１ハウジング１１に対する薬液の濡れ性、薬液の粘度等に応じて、適切に設定することが望ましい。メッシュ３１も、例えば薬液が疎水化処理液である場合にはステンレス材で形成されている。
【００３９】
メッシュバンド３２の供給口１２ｂを覆う部分には、遮蔽部材３３が取り付けられている。遮蔽部材３３は、板状に形成されており、例えば薬液が疎水化処理液である場合にはステンレス材で形成されている。遮蔽部材３３には、２つの貫通孔が形成されており、一方の貫通孔から挿通されたメッシュバンド３２が他方の貫通孔へ挿通されている。
【００４０】
図２，３に示すように、上側（被供給面１１ａに向かう側）からメッシュ３１を覆うように、第１ハウジング１１に蓋部材８０が組み付けられている。蓋部材８０は、本体８０ａとガラスで形成された窓部材８１とを備えている。窓部材８１は、メッシュバンド３２の延びる方向、すなわち導入口１３ａから排出口１４ａへの方向に沿って延びている。被供給面１１ａの広がり方向において、窓部材８１の長手方向の長さは導入口１３ａと排出口１４ａとの距離よりも長く、窓部材８１の短手方向の長さはメッシュバンド３２の幅よりも長くなっている。本体８０ａと窓部材８１との間はＯリング（シール部材）によりシールされている。
【００４１】
本体８０ａの下面には、凹部８０ｂが形成されている。凹部８０ｂは、被供給面１１ａに対向する位置に形成されている。凹部８０ｂによって、被供給面１１ａと本体８０ａとの間、すなわち被供給面１１ａの周囲に空間が形成されている。上記第１ハウジング１１と蓋部材８０との間はＯリング３７（シール部材）によりシールされている。これにより、被供給面１１ａの周囲の空間が密閉されている。
【００４２】
次に、上記構成を備える液体気化器１０の基本的動作について説明する。
【００４３】
図示しないポンプにより、薬液が液体配管６１に供給される。液体配管６１に供給された薬液は、液体導入部材５１及び第２ハウジング５０の内部に形成された通路を通じて、液体流路１２に供給される。そして、弁装置６０により、液体流路１２から液体流路１２ａへの薬液の供給及び遮断が制御される。液体流路１２ａに供給された薬液は、供給口１２ｂから被供給面１１ａに供給される。
【００４４】
図示しない窒素供給源から、窒素が気体配管６２に供給される。気体配管６２に供給された窒素は、気体導入部材５２及び第２ハウジング５０の内部に形成された通路を通じて、気体流路１３に供給される。気体流路１３に供給された窒素は、導入口１３ａから被供給面１１ａの周囲の空間へ供給される。
【００４５】
供給口１２ｂから供給された薬液は板状の遮蔽部材３３に当たり、薬液が遮蔽部材３３を透過することが抑制される。このため、供給口１２ｂから被供給面１１ａに供給された薬液が、メッシュ３１やメッシュバンド３２を透過して噴出することが抑制される。
【００４６】
被供給面１１ａとメッシュ３１の線材との間には、多数の微細な界面が形成されている。したがって、被供給面１１ａに供給された薬液は、多数の微細な界面における界面張力により、被供給面１１ａに沿って広がることとなる（毛細管現象）。さらに、薬液は、被供給面１１ａ及びメッシュ３１の線材に対して濡れ性を有しているため、被供給面１１ａに沿った薬液の広がりが促進される。
【００４７】
ここで、メッシュ３１にメッシュバンド３２が密着させられている部分では、メッシュ３１とメッシュバンド３２との間においても、界面張力により薬液が広がることとなる。このため、メッシュバンド３２の設けられた部分では、薬液の広がりが他の部分よりも促進させられる。その結果、供給口１２ｂから被供給面１１ａに供給された薬液は、メッシュバンド３２に沿って導入口１３ａ及び排出口１４ａの方向へ優先的に広がる。そして、被供給面１１ａの広がり方向において、メッシュバンド３２に垂直な方向にもメッシュ３１により薬液が広げられることで、被供給面１１ａの全体に薬液が広がることとなる。
【００４８】
このとき、作業者は、被供給面１１ａ上に薬液が広がる様子を、窓部材８１から観察することができる。窓部材８１は、メッシュバンド３２の延びる方向、すなわち導入口１３ａから排出口１４ａへの方向に沿って延びているため、メッシュ３１に沿って薬液が優先的に広がる様子を観察することができる。さらに、被供給面１１ａの広がり方向において、窓部材８１の長手方向の長さは導入口１３ａと排出口１４ａとの距離よりも長く、窓部材８１の短手方向の長さはメッシュバンド３２の幅よりも長くなっている。このため、作業者は、被供給面１１ａの全体に薬液が広がる様子を十分に観察することができる。
【００４９】
被供給面１１ａはヒータ７０により加熱されており、被供給面１１ａ上に広がった薬液が効率的に気化される。ここで、メッシュバンド３２は網目状に編まれて形成されているため、メッシュバンド３２が板状や膜状に形成されている場合と比較して、メッシュバンド３２を介した液体の蒸発が促進される。気化した薬液は、導入口１３ａから被供給面１１ａの周囲の空間に導入された窒素（キャリアガス）と共に、排出口１４ａから排出される。そして、気体流路１４と、第２ハウジング５０及び気体排出部材５３の内部に形成された通路とを通じて、気体配管６３から薬液の蒸気と窒素との混合ガスが排出される。なお、混合ガスは、気体配管６３を通じて、混合ガスにより処理を行う装置へ送られる。
【００５０】
次に、図５，６を参照して、第１ハウジング１１の構成を詳細に説明する。図５は第１ハウジング１１の平面図であり、図６は図５の６−６線断面図である。
【００５１】
第１ハウジング１１は、直方体状に形成されており、上面の一部が上記被供給面１１ａとなっている。すなわち、第１ハウジング１１の上面１１ｂと被供給面１１ａとは面一になっている。被供給面１１ａは平滑面に形成されている。第１ハウジング１１の上面には、被供給面１１ａと上面１１ｂ（上面の他の部分）とを区画する四角環状の溝１５が形成されている。
【００５２】
上述したように、第１ハウジング１１の内部には、液体流路１２、気体流路１３，１４が形成されている。また、第１ハウジング１１の内部には、上記ヒータ７０を挿入するための穴１９が形成されている。そして、被供給面１１ａには、供給口１２ｂ、導入口１３ａ、及び排出口１４ａが開口している。被供給面１１ａには、導入口１３ａを通って被供給面１１ａの短手方向に沿って延びる溝１６が形成されている。
【００５３】
第１ハウジング１１の上面には、被供給面１１ａの短手方向に沿って延びる溝２２，２３が形成されている。被供給面１１ａの広がり方向において、溝２２は導入口１３ａに対して供給口１２ｂと反対側に形成され、溝２３は供給口１２ｂ（穴１９）に対して導入口１３ａと反対側に形成されている。第１ハウジング１１には、溝２２，２３の側面（被供給面１１ａに対して傾く方向）へ被供給面１１ａをそれぞれ滑らかに接続する曲面２０，２１が形成されている。曲面２０，２１は、被供給面１１ａから被供給面１１ａに垂直な方向へ徐々に傾斜している。すなわち、被供給面１１ａ及び曲面２０，２１の全体が滑らかな面に形成されている。
【００５４】
溝２２の底面の両端部には、断面円形の孔１７ａがそれぞれ形成されている。第１ハウジング１１の下面には、孔１７ａに連通する断面円形の孔１７ｂが形成されている。孔１７ｂの径は孔１７ａの径よりも大きくなっている。また、溝２３の底面の両端部には、ねじ穴１８がそれぞれ形成されている。
【００５５】
次に、図７〜９を参照して、メッシュ組立体３０の構成を詳細に説明する。図７はメッシュ組立体３０の斜視図であり、図８はホルダの断面図であり、図９はメッシュ組立体３０の断面図である。
【００５６】
メッシュ組立体３０（網状体組立体）は、メッシュ３１、メッシュバンド３２、遮蔽部材３３、第１ホルダ３４Ａ、第２ホルダ３４Ｂ、第１押さえ部材３６Ａ、第２押さえ部材３６Ｂ、及びカバーボルト３５Ａ，３５Ｂを備えている。メッシュ３１、メッシュバンド３２、及び遮蔽部材３３の構成は上述した通りである。
【００５７】
ホルダ３４Ａ，３４Ｂは、溝形状に形成されており、ウェブ３４ａ、第１フランジ３４ｃ、及び第２フランジ３４ｅを備えている。ウェブ３４ａは板状に形成されている。ウェブ３４ａの幅方向の両端部からウェブ３４ａに垂直な方向へ、フランジ３４ｃ，３４ｅがそれぞれ張り出している。第１フランジ３４ｃの厚みは第２フランジ３４ｅの厚みよりも大きく設定されており、第１フランジ３４ｃの強度は第２フランジ３４ｅの強度よりも高くなっている。第１フランジ３４ｃの張り出し方向の端部において、第２フランジ３４ｅと反対側の外面には曲面３４ｄが形成されている。曲面３４ｄは、第１フランジ３４ｃの側面と下面とを滑らかに接続している。ウェブ３４ａの長手方向の両端部（複数箇所）には、ねじ孔３４ｂがそれぞれ形成されている。
【００５８】
押さえ部材３６Ａ，３６Ｂは、円管状に形成されている。押さえ部材３６Ａ，３６Ｂの外径は、ホルダ３４Ａ，３４Ｂの溝の幅よりも若小さく設定されている。押さえ部材３６Ａ，３６Ｂの長さは、フランジ３４ｃ，３４ｅの長手方向の長さと略等しくなっている。すなわち、押さえ部材３６Ａ，３６Ｂは、ホルダ３４Ａ，３４Ｂの溝にそれぞれ挿入可能な大きさとなっている。
【００５９】
カバーボルト３５Ａ，３５Ｂは、頭部３５ａ、軸部３５ｂ、及びねじ部３５ｃを備えている。軸部３５ｂは、頭部３５ａとねじ部３５ｃとを接続している。軸部３５ｂの径は、ねじ部３５ｃの径よりも小さくなっている。ねじ部３５ｃは、上記ウェブ３４ａのねじ孔３４ｂ、及び上記第１ハウジング１１の溝２３に形成されたねじ穴１８に締め付け可能となっている。
【００６０】
メッシュ組立体３０は、以下のように組み立てられている。
【００６１】
遮蔽部材３３の取り付けられたメッシュバンド３２が、メッシュ３１の上に重ねられている。これらが重ねられた状態において、メッシュ３１の長手方向の両端部（メッシュ３１の互いに対向する２辺を含む外縁部）のうち、一方が第１ホルダ３４Ａの溝に第１押さえ部材３６Ａと共に挿入され、他方が第２ホルダ３４Ｂの溝に第２押さえ部材３６Ｂと共に挿入されている。すなわち、第１ホルダ３４Ａの溝及び第２ホルダ３４Ｂの溝に沿って、第１押さえ部材３６Ａ及び第２押さえ部材３６Ｂがそれぞれ配置されている。
【００６２】
そして、ホルダ３４Ａ，３４Ｂの溝幅を狭くするように、第１フランジ３４ｃと第２フランジ３４ｅとがかしめられている。このとき、第１フランジ３４ｃよりも強度の低い第２フランジ３４ｅが主に変形して、第１フランジ３４ｃと第２フランジ３４ｅとで押さえ部材３６Ａ，３６Ｂが固定されている。これにより、メッシュ３１の長手方向の両端部が、第１ホルダ３４Ａの溝の内面と第１押さえ部材３６Ａの外周面との間、及び第２ホルダ３４Ｂの溝の内面と第２押さえ部材３６Ｂの外周面との間に、それぞれ挟持されている。第１ホルダ３４Ａ及び第２ホルダ３４Ｂはそれぞれ、メッシュ３１の互いに対向する２辺をそれぞれ含む外縁部（メッシュ３１の短辺）の全長にわたって取り付けられている。
【００６３】
このため、メッシュ３１及びメッシュバンド３２を点や鋭角部ではなく、曲面で固定することができ、メッシュ３１の長手方向の端部を固定する部分においてメッシュ３１及びメッシュバンド３２が損傷することを抑制することができる。さらに、第１押さえ部材３６Ａ及び第２押さえ部材３６Ｂは中空であるため、フランジ３４ｃ，３４ｅによる押圧に対して反発力を生じさせることができる。したがって、メッシュ３１及びメッシュバンド３２を弾性的に支持することができ、ホルダ３４Ａ，３４Ｂからメッシュ３１及びメッシュバンド３２が外れることを抑制することができる。
【００６４】
第１ホルダ３４Ａの２つのねじ孔３４ｂには、カバーボルト３５Ａ（第１固定部材）がそれぞれ締め付けられている。また、第２ホルダ３４Ｂの２つのねじ孔３４ｂには、カバーボルト３５Ｂ（第２固定部材）がそれぞれ締め付けられている。すなわち、第１ホルダ３４Ａ及び第２ホルダ３４Ｂの両端部（複数箇所）に、カバーボルト３５Ａ，３５Ｂが取り付けられている。これにより、ねじ孔３４ｂにカバーボルト３５Ａ，３５Ｂの軸部３５ｂが挿通されている。このため、メッシュ組立体３０からカバーボルト３５Ａ，３５Ｂが外れることを抑制することができる。
【００６５】
次に、図１０〜１２を参照して、第１ハウジング１１へのメッシュ組立体３０の組み付けを説明する。図１０は第１ハウジング１１及びメッシュ組立体３０の平面図であり、図１１は図１０の１１−１１線断面図であり、図１２は図１０の１２−１２線断面図である。
【００６６】
第１ハウジング１１の上記孔１７ａ，１７ｂには、ステム３８が挿入されている。ステム３８（移動部材）は、円柱状の軸部３８ａと円板状のフランジ部３８ｂとを備えている。軸部３８ａとフランジ部３８ｂとは、互いの軸線が一致している。軸部３８ａが孔１７ａの内周面により軸線方向に移動可能に支持されており、フランジ部３８ｂが孔１７ｂの内周面により軸線方向に移動可能に支持されている。これにより、ステム３８は、被供給面１１ａに垂直な方向（被供給面１１ａに対して傾斜する所定方向）に沿って移動可能に、第１ハウジング１１により支持されている。このため、ステム３８の配置スペースを第１ハウジング１１内に効率的に設けることができ、第１ハウジング１１が大型化することを抑制することができる。
軸部３８ａの上端部（フランジ部３８ｂと反対側の端部）には、ねじ穴３８ｃが形成されている。ねじ穴３８ｃは、上記カバーボルト３５Ａ，３５Ｂのねじ部３５ｃを締め付け可能となっている。
【００６７】
ステム３８の下側（被供給面１１ａと反対側）には、孔１７ｂを封止する封止部材４１が取り付けられている。孔１７ｂ内において、ステム３８の上側（被供給面１１ａ側）には、コイルばね３９が設けられている。コイルばね３９（付勢部材）は、ステム３８を下側（被供給面１１ａから離れさせる側）へ付勢している。軸部３８ａのねじ穴３８ｃにカバーボルト３５Ｂが締め付けられていない状態では、コイルばね３９の付勢力によりステム３８は封止部材４１に当接させられている。ステム３８は、ピン４０（回り止め部材）により回り止めされている。このため、ステム３８は、軸線を中心とした回転が規制された状態で、軸線方向に移動可能となっている。
【００６８】
メッシュ組立体３０のホルダ３４Ａ，３４Ｂが、第１ハウジング１１の溝２３，２２にそれぞれ挿入されている。メッシュ３１及びメッシュバンド３２は被供給面１１ａに被せられている。ここで、メッシュ３１及びメッシュバンド３２は、被供給面１１ａと第１ハウジング１１のねじ穴１８との間において、上記曲面２１に掛け渡されている。また、メッシュ３１及びメッシュバンド３２は、被供給面１１ａとステム３８との間において、上記曲面２０に掛け渡されている。
【００６９】
第１ホルダ３４Ａの両端部は、上側（被供給面１１ａに向かう側）からカバーボルト３５Ａをねじ穴１８に締め付けることで、第１ハウジング１１に固定されている。すなわち、第１ホルダ３４Ａの両端部（複数箇所）が第１ハウジング１１に固定されることで、第１ホルダ３４Ａを介してメッシュ３１の１辺が全長にわたって固定されている。このため、メッシュ３１及びメッシュバンド３２は、被供給面１１ａから曲面２１に沿って下方（被供給面１１ａに垂直な方向）へ延びている。ここで、図９に示すように、メッシュ３１及びメッシュバンド３２は、第１ホルダ３４Ａの第１フランジ３４ｃに形成された曲面３４ｄに沿って、第１ホルダ３４Ａの溝内に案内されている。
【００７０】
図１０〜１２に戻り、第２ホルダ３４Ｂの両端部は、上側（被供給面１１ａに向かう側）からカバーボルト３５Ｂをステム３８のねじ穴３８ｃに締め付けることで、ステム３８に固定されている。このため、メッシュ３１及びメッシュバンド３２は、被供給面１１ａから曲面２０に沿って下方（被供給面１１ａに垂直な方向）へ延びている。ここで、図９に示すように、メッシュ３１及びメッシュバンド３２は、第２ホルダ３４Ｂの第１フランジ３４ｃに形成された曲面３４ｄに沿って、第２ホルダ３４Ｂの溝内に案内されている。
【００７１】
図１０〜１２に戻り、第２ホルダ３４Ｂのカバーボルト３５Ｂがステム３８のねじ穴３８ｃに締め付けられると、第２ホルダ３４Ｂとステム３８との距離が縮み、ステム３８が上方（第２ホルダ３４Ｂの方向）へ移動させられる。このため、コイルばね３９の付勢力により、ステム３８及びカバーボルト３５Ｂを介して第２ホルダ３４Ｂが下方（被供給面１１ａから離れる方向）へ付勢される。図１１に示すように、カバーボルト３５Ｂの頭部３５ａと第２ホルダ３４Ｂのウェブ３４ａとが当接し、且つ第２ホルダ３４Ｂのウェブ３４ａとステム３８の軸部３８ａとが当接するまでカバーボルト３５Ｂが締め付けられている。このとき、図１２に示すように、溝２２の底面と第２ホルダ３４Ｂとの間には隙間ｔ１が形成されている。すなわち、コイルばね３９による付勢力とメッシュ３１（詳しくはメッシュバンド３２を含む）の張力が釣り合った状態となっている。さらに、上記隙間ｔ１の範囲において、使用等によりメッシュ３１が伸びたとしても、コイルばね３９によりその伸びを吸収することができ、被供給面１１ａとメッシュ３１との密着が弱くなることを抑制することができる。
【００７２】
したがって、第１ホルダ３４Ａが固定された状態で第２ホルダ３４Ｂが下方へ付勢されており、メッシュ３１及びメッシュバンド３２に張力が作用した状態を維持することができ、メッシュ３１及びメッシュバンド３２の緩みが抑制される。さらに、ホルダ３４Ａ，３４Ｂを介してメッシュ３１の長手方向の両端部（互いに対向する外縁部）に張力が作用するため、メッシュ３１を被供給面１１ａに均一に密着させることができる。
また、メッシュ３１がホルダ３４Ａ，３４Ｂにより適切に固定された場合に、被供給面１１aと第２ホルダ３４Ｂの上面との距離ｔ２は、曲面２０の曲率半径Ｒ１よりも若干長くなるように設定されている。このため、取り付け誤差等により第１ホルダ３４Ａと第２ホルダ３４Ｂとの距離が若干短くなった場合や、何らかの原因によりメッシュ３１が縮んだ場合でも、メッシュ３１を曲面２０の全体に沿わせることができる。
【００７３】
加えて、第２ホルダ３４Ｂを介してステム３８に連結されたメッシュ３１及びメッシュバンド３２は、曲面２０に沿って下方へ円滑に引っ張られている。このとき、被供給面１１ａ及び曲面２０，２１の全体が滑らかな面に形成されているため、被供給面１１ａ及び曲面２０，２１とメッシュ３１との摩擦が低減される。そして、第２ホルダ３４Ｂの両端部（複数箇所）が２つのステム３８にそれぞれに固定されることで、第２ホルダ３４Ｂを介してメッシュ３１の１辺が全長にわたって引っ張られている。このため、メッシュ３１及びメッシュバンド３２を、被供給面１１ａに安定して密着させることができる。
【００７４】
以上詳述した本実施形態は以下の利点を有する。
【００７５】
・メッシュ３１に張力が作用した状態を維持することができ、メッシュ３１の緩みを抑制することができる。さらに、第１ホルダ３４Ａ及び第２ホルダ３４Ｂを介してメッシュ３１の互いに対向する外縁部に張力が作用するため、メッシュ３１を被供給面１１ａに均一に密着させることができる。したがって、被供給面１１ａに供給された薬液を、被供給面１１ａとメッシュ３１との界面における界面張力により、被供給面１１ａに沿って均一に広げることができる。その結果、ヒータ７０により被供給面１１ａが加熱された際に、被供給面１１ａ上の薬液を安定して気化させることができる。
【００７６】
・第１ハウジング１１へのメッシュ３１及びメッシュバンド３２の固定、被供給面１１ａへのメッシュ３１及びメッシュバンド３２の密着、及び被供給面１１ａの周囲の空間の密閉を、全て上側から行うことができる。したがって、第１ハウジング１１に対するメッシュ３１及びメッシュバンド３２の取り付け及び取り外しの作業性を向上させることができる。さらに、メッシュ組立体３０を外した状態で、被供給面１１ａを容易に清掃することができる。
【００７７】
・ステム３８を付勢する付勢部材としてコイルばね３９が採用されている。したがって、ステム３８を安定して付勢することができるため、メッシュ３１を被供給面１１ａに密着させる力を適切に調整することができ、ひいては薬液を気化させる性能を安定させることができる。さらに、使用によりメッシュ３１が伸びたとしても、コイルばね３９によりその伸びを吸収することができ、被供給面１１ａとメッシュ３１との密着が弱くなることを抑制することができる。
【００７８】
・第２ホルダ３４Ｂを介してステム３８に連結されたメッシュ３１は、曲面２０に沿って下方へ円滑に引っ張られる。このため、被供給面１１ａへ向かう側からカバーボルト３５Ｂにより第２ホルダ３４Ｂをステム３８に固定しつつ、メッシュ３１を被供給面１１ａに安定して密着させることができる。
【００７９】
・第１ホルダ３４Ａの複数箇所を第１ハウジング１１に固定して回転を抑制することができ、第１ホルダ３４Ａを介してメッシュ３１の１辺を全長にわたって固定することができる。また、第２ホルダ３４Ｂの複数箇所をステム３８に固定して回転を抑制することができ、第２ホルダ３４Ｂを介してメッシュ３１の１辺を全長にわたって引っ張ることができる。したがって、メッシュ３１の全体を被供給面１１ａに均一に密着させることができる。
【００８０】
・第１ホルダ３４Ａの両端部を第１ハウジング１１に固定して安定させることができ、第１ホルダ３４Ａを介してメッシュ３１の１辺をより確実に全長にわたって固定することができる。また、第２ホルダ３４Ｂの両端部をステム３８に固定して安定させることができ、第２ホルダ３４Ｂを介してメッシュ３１の１辺をより確実に全長にわたって引っ張ることができる。
【００８１】
・メッシュ組立体３０を、メッシュ３１、第１ホルダ３４Ａ、第２ホルダ３４Ｂ、及びカバーボルト３５Ａ，３５Ｂを備えた１つの要素として取り扱うことができるため、液体気化器１０の組立を容易にすることができる。
【００８２】
・メッシュ３１を点や鋭角部ではなく、押さえ部材３６Ａ，３６Ｂにより曲面で固定することができる。このため、メッシュ３１へホルダ３４Ａ，３４Ｂを取り付ける部分においてメッシュ３１が損傷することを抑制することができる。さらに、押さえ部材３６Ａ，押さえ部材３６Ｂは円管状、すなわち中空であるため、メッシュ３１を弾性的に支持することができる。したがって、ホルダからメッシュ３１が外れることを抑制することができる。
【００８３】
・第１ホルダ３４Ａのねじ孔３４ｂにカバーボルト３５Ａの軸部３５ｂが挿通され、第２ホルダ３４Ｂのねじ孔３４ｂにカバーボルト３５Ｂの軸部３５ｂが挿通されている。このため、メッシュ組立体３０を液体気化器１０に組み付ける際に、メッシュ組立体３０からカバーボルト３５Ａ，３５Ｂが外れることを抑制することができる。その結果、カバーボルト３５Ａ，３５Ｂが、液体気化器１０の内部に紛れ込むことを抑制することができる。
【００８４】
・メッシュ３１に接しているメッシュバンド３２の部分では、メッシュ３１とメッシュバンド３２との間においても、界面張力により薬液を広げることができる。このため、メッシュバンド３２の設けられた部分では、薬液の広がりを他の部分よりも促進させることができる。その結果、メッシュバンド３２の配置を調整することにより、薬液を所望の方向へ優先的に広げることができる。さらに、メッシュバンド３２は網目状に編まれて形成されているため、メッシュバンド３２が板状や膜状に形成されている場合と比較して、メッシュバンド３２を介した薬液の蒸発を促進させることができる。
【００８５】
・板状又は膜状に形成された遮蔽部材３３の部分では、薬液が遮蔽部材３３を透過することを抑制することができる。このため、薬液の供給口１２ｂに遮蔽部材３３を配置することにより、供給された薬液がメッシュ３１やメッシュバンド３２を透過して噴出することを抑制することができる。
【００８６】
なお、上記実施形態を、次のように変形して実施することもできる。上記実施形態と同一の部材については、同一の符号を付すことにより説明を省略する。
【００８７】
・図１３に示すように、メッシュ組立体１３０が搬送用部材４３を備えていてもよい。搬送用部材４３は、矩形板状に形成されており、メッシュ３１が広げられた状態においてカバーボルト３５Ａ，３５Ｂに対応する位置に、ねじ孔４３ａ（係合部）がそれぞれ形成されている。そして、搬送用部材４３のねじ孔４３ａにカバーボルト３５Ａ，３５Ｂがそれぞれ締め付けられ（係合させられ）、搬送用部材４３にホルダ３４Ａ，３４Ｂが固定されている。こうした構成によれば、メッシュ３１が広げられた状態を維持することができる。したがって、メッシュ組立体１３０の搬送時等に、メッシュ３１が折れ曲がったり、メッシュ３１に皺ができたりすることを抑制することができる。なお、板状の搬送用部材４３に代えて、ねじ孔４３ａの形成された部分を除いて枠状に形成された搬送用部材を用いることもできる。また、搬送用部材４３を備えるメッシュ組立体１３０を、クリーン状態で包装してメンテナンスパーツとするとよい。
さらに、図１４に示すように、メッシュ組立体２３０が溝形状の搬送用部材１４３を備えていてもよい。搬送用部材１４３は、溝形状に形成されており、メッシュ３１が広げられた状態においてカバーボルト３５Ａ，３５Ｂに対応する位置に、切り欠き１４３ａ（係合部）がそれぞれ形成されている。詳しくは、メッシュ３１が上記被供給面１１ａ及び曲面２０，２１に沿って広げられた状態と同様の状態になるように、搬送用部材１４３の形状が設定されている。そして、搬送用部材１４３の切り欠き１４３ａにカバーボルト３５Ａ，３５Ｂの軸部３５ｂがそれぞれ嵌合（係合）させられ、搬送用部材１４３にホルダ３４Ａ，３４Ｂが固定されている。こうした構成によれば、図１３の搬送用部材４３と同様の作用効果を奏することができる。さらに、搬送用部材４３ではカバーボルト３５Ａ，３５Ｂをねじ孔３４ｂに締め付ける際に摩耗粉が生じるおそれがあるのに対して、切り欠き１４３ａにカバーボルト３５Ａ，３５Ｂを嵌合させる構成であるため、摩耗粉が生じることを抑制することができる。その結果、メッシュ組立体２３０をクリーン状態で包装する際に、包装内に摩耗粉が混入することを抑制することができる。
【００８８】
・上記実施形態では、押さえ部材３６Ａ，３６Ｂを用いてメッシュ３１をホルダ３４Ａ，３４Ｂに固定したが、溶接によりメッシュ３１をホルダ３４Ａ，３４Ｂに固定することもできる。
【００８９】
・上記実施形態では、メッシュ３１の長手方向の両端部に第１ホルダ３４Ａ及び第２ホルダ３４Ｂを取り付けたが、更にメッシュ３１の短手方向の両端部に第３ホルダ及び第４ホルダをそれぞれ取り付けることもできる。そして、第３ホルダを第１ホルダ３４Ａと同様に第１ハウジング１１に固定し、第４ホルダを第２ホルダ３４Ｂと同様にステム３８に固定する構成を採用することもできる。
【００９０】
・カバーボルト３５Ａを第１ホルダ３４Ａの両端部よりも中寄りに設けたり、カバーボルト３５Ｂを第２ホルダ３４Ｂの両端部よりも中寄りに設けたりすることもできる。
【００９１】
・第１ハウジング１１の曲面２０，２１に代えて、被供給面１１ａに対して傾斜する所定方向へ被供給面１１ａを段階的に接続する折り曲げ面を採用することもできる。また、被供給面１１ａに対して傾斜する所定方向として、被供給面１１ａに垂直な方向に限らず、被供給面１１ａに垂直な方向から若干傾斜した方向を採用することもできる。
【００９２】
・カバーボルト３５に代えて、通常のボルトを採用することもできる。
【００９３】
・ステム３８を付勢する付勢部材として、コイルばね３９に限らず、板ばねや弾性ゴムを採用することもできる。
【００９４】
・メッシュ３１やメッシュバンド３２の編み方（織り方）は、平織りに限らず、綾織り等の他の織り方を採用することもできる。また、メッシュ３１やメッシュバンド３２の粗さは、それらに対する薬液の濡れ性や、被供給面１１ａに対する薬液の濡れ性、薬液の粘度等に応じて、１００〜５００メッシュ程度の範囲で適切に設定することが望ましい。
【００９５】
・被供給面１１ａの形状は矩形状に限らず、他の多角形状や円形状にすることもできる。その場合には、被供給面１１ａの形状に合わせて、メッシュ３１の形状を設定すればよい。
【００９６】
・上記実施形態では、メッシュバンド３２が網目状に編まれていたが、これらを膜状に形成することもできる。この場合には、膜状に形成されたバンドが遮蔽部材３３の機能を果たすため、遮蔽部材３３を省略してもよい。また、薬液の供給圧力が低く、薬液がメッシュ３１やメッシュバンド３２を通過して噴出する可能性が低い場合にも、遮蔽部材３３を省略してもよい。また、メッシュバンド３２を省略することもできる。
【００９７】
・薬液として、疎水化処理液（ＨＭＤＳ）に限らず、シンナー系溶剤、シランカップリング剤等、他の薬液を採用することもできる。その際には、メッシュ３１やメッシュバンド３２の材質を、薬液との濡れ性に応じて変更することが望ましい。これらの材質として、例えばステンレス材以外の金属や樹脂等を用いることもできる。
【符号の説明】
【００９８】
１０…液体気化器（液体制御装置）、１１…第１ハウジング（本体）、１１ａ…被供給面、１２ｂ…供給口、１３ａ…導入口、１４ａ…排出口、２０…曲面、２１…曲面、３０…メッシュ組立体（網状体組立体）、３１…メッシュ（網状体）、３２…メッシュバンド（誘導部材）、３３…遮蔽部材、３４Ａ…第１ホルダ、３４Ｂ…第２ホルダ、３４ｂ…ねじ孔、３５Ａ…カバーボルト（第１固定部材）、３５Ｂ…カバーボルト（第２固定部材）、３５ａ…頭部、３５ｂ…軸部、３５ｃ…ねじ部、３６Ａ…第１押さえ部材、３６Ｂ…第２押さえ部材、３８…ステム（移動部材）、３９…コイルばね（付勢部材）、４３…搬送用部材、４３ａ…ねじ孔、６０…弁装置、７０…ヒータ、８０…蓋部材、１３０…メッシュ組立体（網状体組立体）、１４３…搬送用部材、１４３ａ…切り欠き、２３０…メッシュ組立体（網状体組立体）。
【図１】
2014018693.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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