(57)【要約】【課題】装置の大型化を抑制しつつ、成膜材料の補充周期を長くすることができる成膜材料供給装置を提供する。【解決手段】成膜材料供給装置１は、第１の方向Ｄ１に沿って複数の成膜材料Ｍを配置可能な成膜材料配置領域１０が形成されている。更に、成膜材料配置領域１０は、当該成膜材料配置領域１０内の成膜材料Ｍの配置方向である第１の方向Ｄ１と交わる第２の方向Ｄ２に沿って複数形成されている。これによって、装置内において、スペースの無駄を低減して効率よく成膜材料Ｍを配置することが可能となる。従って、装置内に補充する成膜材料Ｍの数を増やすことによって補充周期を長くした場合であっても、効率のよい配置とすることで装置が大型化することを抑制できる。【選択図】図３
2014074204.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
イオンプレーティング法による成膜装置へ成膜材料を供給する成膜材料供給装置であって、
第１の方向に沿って複数の固形状の前記成膜材料を配置可能な成膜材料配置領域が形成され、
前記成膜材料配置領域は、前記第１の方向と交わる第２の方向に沿って複数形成されている、成膜材料供給装置。
【請求項２】
複数の前記成膜材料配置領域が形成される箱体と、
前記成膜材料配置領域から取出される前記成膜材料のうち、一つを前記箱体の外部へ移送する第１の移送部と、
複数の前記成膜材料配置領域に配置される前記成膜材料を、前記第１の移送部へと移送する第２の移送部と、を備える、請求項１に記載の成膜材料供給装置。
【請求項３】
前記第２の移送部は、
複数の前記成膜材料配置領域の下流側に設けられる無端噛み合い伝動部材と、
前記無端噛み合い伝動部材に取り付けられ、前記成膜材料配置領域からの前記成膜材料を載置可能な爪部材と、
前記無端噛み合い伝動部材を駆動させる駆動部と、を備え、
前記成膜材料配置領域の下流側には、前記第２の移送部より上流側で前記成膜材料の移動を規制する規制部材を配置可能である、請求項２に記載の成膜材料供給装置。
【請求項４】
前記第１の方向は、水平方向に対して傾斜している、請求項１〜３の何れか一項に記載の成膜材料供給装置。
【請求項５】
前記成膜材料配置領域の上流側には、前記成膜材料配置領域の前記成膜材料を下流側へ押し出す押出部が設けられている、請求項１〜４の何れか一項に記載の成膜材料供給装置。
【請求項６】
前記第２の方向に隣り合う前記成膜材料配置領域同士の間には、壁部を配置可能であり、
前記壁部には、開口部が形成されている、請求項１〜５の何れか一項に記載の成膜材料供給装置。
【請求項７】
前記成膜材料が収容される収容部を有する収容体を取り付け可能な取付部を備え、
前記取付部は、前記収容部が前記成膜材料配置領域に対応する位置に配置されるように、前記収容体を取り付け可能であり、
前記成膜材料配置領域は、前記取付部に前記収容体が取り付けられることにより、前記成膜材料を配置可能とする、請求項１〜６の何れか一項に記載の成膜材料供給装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、イオンプレーティング法による成膜装置へ成膜材料を供給する成膜材料供給装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、成膜装置へ成膜材料を供給することができる成膜材料供給装置が知られている。例えば、特許文献１に示す成膜材料供給装置は、成膜装置の真空容器とは独立して真空状態にすることができる補充室を備え、当該補充室内には周方向に複数の成膜材料を保持可能なターンテーブルが設けられている。成膜装置側で成膜材料が１つ使用されると、ターンテーブルに保持されている成膜材料を押し出して成膜装置側へ補充している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平１１−４３７６３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述の成膜材料供給装置では、ターンテーブルに装填されている成膜材料を全て供給したら、当該ターンテーブルに対して新たな成膜材料を補充する必要がある。このような成膜材料の補充周期を長くすることが要求されているが、補充周期を長くするためには一回の補充における成膜材料の数を増やす必要がある。しかしながら、ターンテーブルで保持できる成膜材料の数を増やした場合、ターンテーブルが大きくなり装置が大型化する。
【０００５】
そこで、本発明は、装置の大型化を抑制しつつ、成膜材料の補充周期を長くすることができる成膜材料供給装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る成膜材料供給装置は、イオンプレーティング法による成膜装置へ成膜材料を供給する成膜材料供給装置であって、第１の方向に沿って複数の固形状の成膜材料を配置可能な成膜材料配置領域が形成され、成膜材料配置領域は、第１の方向と交わる第２の方向に沿って複数形成されている。
【０００７】
本発明に係る成膜材料供給装置によれば、第１の方向に沿って複数の成膜材料を配置可能な成膜材料配置領域が形成されている。更に、成膜材料配置領域は、当該成膜材料配置領域内の成膜材料の配置方向である第１の方向と交わる第２の方向に沿って複数形成されている。これによって、装置内において、スペースの無駄を低減して効率よく成膜材料を配置することが可能となる。従って、装置内に補充する成膜材料の数を増やすことによって補充周期を長くした場合であっても、効率のよい配置とすることで装置が大型化することを抑制できる。以上によって、装置の大型化を抑制しつつ、成膜材料の補充周期を長くすることができる。
【０００８】
本発明に係る成膜材料供給装置は、複数の成膜材料配置領域が形成される箱体と、成膜材料配置領域から取出される成膜材料のうち、一つを箱体の外部へ移送する第１の移送部と、複数の成膜材料配置領域に配置される成膜材料を、第１の移送部へと移送する第２の移送部と、を備えてよい。箱体には複数の成膜材料配置領域が形成されているため、例えば、一つの移送部が複数の成膜材料配置領域から成膜材料を取出して箱体の外部へ移送する場合は、移送部の構造が複雑化すると共に移送効率も低下する場合がある。一方、第１の移送部が一つの成膜材料を箱体の外部へ移送し、第２の移送部が複数の成膜材料配置領域から成膜材料を取出して第１の移送部へ移送する構造とすることにより、構造の複雑化を抑制できると共に、効率よく移送を行うことができる。
【０００９】
本発明に係る成膜材料供給装置において、第２の移送部は、複数の成膜材料配置領域の下流側に設けられる無端噛み合い伝動部材と、無端噛み合い伝動部材に取り付けられ、成膜材料配置領域からの成膜材料を載置可能な爪部材と、無端噛み合い伝動部材を駆動させる駆動部と、を備え、成膜材料配置領域の下流側には、第２の移送部より上流側で成膜材料の移動を規制する規制部材を配置可能であってもよい。複数の成膜材料配置領域に対して、このような無端噛み合い伝動部材及び爪部材を用いた第２の移送部を設け、規制部材で成膜材料の移動を規制して爪部材へ移動する成膜材料の数及びタイミングを調整することにより、シンプルな構造にて効率よく移送を行うことができる。
【００１０】
本発明に係る成膜材料供給装置において、第１の方向は、水平方向に対して傾斜していてよい。これによって、成膜材料配置領域内の成膜材料は、重力によって下流側へ移動することができる。
【００１１】
本発明に係る成膜材料供給装置において、成膜材料配置領域の上流側には、成膜材料配置領域の成膜材料を下流側へ押し出す押出部が設けられていてよい。これによって、成膜材料配置領域内の成膜材料は、押出部の押し出しによって、下流側へ移動することができる。
【００１２】
本発明に係る成膜材料供給装置において、第２の方向に隣り合う成膜材料配置領域同士の間には、壁部を配置可能であり、壁部には、開口部が形成されていてよい。これによって、成膜材料の摩耗粉などが発生したとしても、開口部から排出することができる。
【００１３】
本発明に係る成膜材料供給装置において、成膜材料が収容される収容部を有する収容体を取り付け可能な取付部を備え、取付部は、収容部が成膜材料配置領域に対応する位置に配置されるように、収容体を取り付け可能であり、成膜材料配置領域は、取付部に収容体が取り付けられることにより、成膜材料を配置可能としてよい。このように、装置とは別体の収容体を用いることによって、予め成膜材料を収容体の収容部へ収容しておくことにより、装置に成膜材料を補充するときは、収容体を取付部に取り付けるだけの作業で補充が完了する。これにより、成膜材料の補充を容易に行うことができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、装置の大型化を抑制しつつ、成膜材料の補充周期を長くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】図１は、本実施形態に係る成膜材料供給装置を、Ｚ軸正方向から見た平面図である。
【図２】図２は、図１に示すＩＩ−ＩＩ線に沿った断面図である。
【図３】図３は、図２に示す成膜材料供給装置から収容体セットを除いた図である。
【図４】図４は、図２に示すＩＶ−ＩＶ線に沿った断面図である。
【図５】図５は、図４に示す成膜材料供給装置から収容体セットを除いた図である。
【図６】図６は、図２に示すＶＩ−ＶＩ線に沿った断面図である。
【図７】図７は、図２に示すＶＩＩ−ＶＩＩ線に沿った断面図である。
【図８】図８は、図２に示すＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ線に沿った断面図である。
【図９】図９は、図１のＩＸ−ＩＸ線に沿った断面図である。
【図１０】図１０は、図２に示す第２の移送部周辺の拡大図である。
【図１１】図１１は、図２に示す第２の移送部周辺の拡大図である。
【図１２】図１２は、図２に示す第２の移送部周辺の拡大図である。
【図１３】図１３は、変形例に係る成膜材料供給装置を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながら説明する。なお、図面の説明において同一要素には同一符号を付し、重複する説明は省略する。なお、「上」、「下」等の方向を示す語は、図面に示される状態に基づいており、便宜的なものである。また、各図には、説明を容易にする為にＸＹＺ直交座標系も示されている。
【００１７】
図１は、本実施形態に係る成膜材料供給装置１を、Ｚ軸正方向から見た平面図である。ただし、成膜装置２の部分のみ一部断面が示されている。図２は、図１に示すＩＩ−ＩＩ線に沿った断面図である。ただし、構造の理解を容易とするため、一部の構成要素については断面を示していない。図３は、図２に示す成膜材料供給装置１から収容体セット３０を除いた図である。図４は、図２に示すＩＶ−ＩＶ線に沿った断面図である。ただし、移動機構６０周辺の構造については、一部、エアシリンダー６１の中心線の高さ位置における断面が示されている。図５は、図４に示す成膜材料供給装置１から収容体セット３０を除いた図である。図６は、図２に示すＶＩ−ＶＩ線に沿った断面図である。図７は、図２に示すＶＩＩ−ＶＩＩ線に沿った断面図である。ただし、フレーム８１の構造を示すため、収容体２０の壁部を一部二点鎖線で示している。図８は、図２に示すＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ線に沿った断面図である。ただし、理解を容易とするため、第２の移送部１３及び収容体２０については断面を示していない。図９は、図１のＩＸ−ＩＸ線に沿った断面図である。図１０〜図１２は、図２に示す第２の移送部１３周辺の拡大図である。
【００１８】
図１に示すように、成膜材料供給装置１は、成膜装置２に対して成膜材料Ｍを供給する装置である。成膜装置２は、イオンプレーティング法によって成膜を行う装置である。成膜装置２は、プラズマを生成するプラズマガン（不図示）を備え、生成されたプラズマを用いて、成膜材料Ｍをイオン化し、成膜材料Ｍの粒子を搬送される基板（不図示）の表面に付着させることにより成膜を行う。成膜装置２は、成膜材料Ｍを保持すると共にプラズマを成膜材料Ｍ側へ導く主ハース部３と、主ハース部３を取り囲むと共にプラズマを誘導する輪ハース部４とを備えている。成膜装置２の各構成要素は、成膜チャンバ―５内に配置されている。主ハース部３は、成膜材料Ｍが挿入される円筒部３ａを有している。円筒部３ａの先端側では、成膜材料Ｍが成膜チャンバ―５内に露出してイオン化されるようになっており、基端側から成膜材料供給装置１より成膜材料Ｍを供給されるようになっている。
【００１９】
なお、本実施形態では、成膜材料Ｍが主ハース部３の円筒部３ａへ成膜材料供給装置１から供給される方向をＸ軸正方向とする。成膜される基板が搬送される方向をＹ軸正方向とする。Ｘ軸及びＹ軸と直交する方向をＺ軸方向とする。なお、成膜装置２は、基板を直立状態で配置して搬送するタイプのものであってもよく、この場合、Ｘ軸及びＹ軸が水平方向となり、Ｚ軸が鉛直方向（Ｚ軸正方向が上方向）となる。または、成膜装置２は、基板を水平に配置して搬送するタイプであってもよい。この場合、Ｙ軸及びＺ軸が水平方向となり、Ｘ軸が鉛直方向（Ｘ軸正方向が上方向）となる。本実施形態では、成膜装置２が基板を直立状態で配置して搬送するタイプである場合の成膜材料供給装置１を例にして説明する。
【００２０】
成膜材料Ｍは固形状の材料である。成膜材料Ｍの形状は、搬送可能な形状であって、成膜装置２に供給可能な形状であれば特に限定されない。本実施形態では、成膜材料Ｍが円柱状の形状をなしている場合を例にして説明する。本実施形態では、成膜材料Ｍは、Ｘ軸方向に円柱形状の中心線が延びるような姿勢にて、搬送及び供給がなされる。成膜材料Ｍとして、例えば、ドープ元素の無い酸化インジウム、酸化インジウム錫（ＩＴＯ）、酸化インジウムタングステン（ＩＷＯ）、酸化インジウム亜鉛（ＩＺｎＯ）などが挙げられる。
【００２１】
図１及び図２に示すように、成膜材料供給装置１は、内部に成膜材料Ｍを配置可能であって内部が真空とされた箱体１１と、成膜材料Ｍを箱体１１の外部へ移送する第１の移送部１２と、箱体１１内で成膜材料Ｍを第１の移送部１２へ移送する第２の移送部１３と、第１の移送部１２で移送された成膜材料Ｍを押出位置ＰＥまで移送する第３の移送部１４と、第３の移送部１４が収容されるチャンバ１６と箱体１１とを連通する連通部１７と、押出位置ＰＥの成膜材料Ｍを成膜装置２へ供給する供給部１８と、を備えている。箱体１１内に成膜材料Ｍを配置する態様は特に限定されず、箱体１１に成膜材料Ｍを直接セットしてもよく、予め成膜材料Ｍが収容された収容体を箱体１１内にセットしてもよい。本実施形態では、箱体１１内に交換可能な収容体２０をセットすることによって、箱体１１内に成膜材料Ｍを配置する構造を例にして説明する。なお、以下の説明において、「上流」「下流」とは、成膜材料Ｍが成膜装置２へ向かって移動する流れにおける上流・下流を示すものとする。すなわち、当該移動の流れにおいて、成膜装置２に近い位置ほど下流側になり、成膜装置２に遠い位置ほど上流側となる。また、本実施形態では、Ｘ軸方向の所定の位置におけるＺＹ平面を基準として各構成要素の位置関係を規定する場合があるため、説明を容易とするために、このようなＺＹ平面を「基準平面ＳＰ」と称して以下の説明を行う。
【００２２】
［収容体］
成膜材料Ｍを収容する収容体２０について説明する。成膜材料Ｍを収容する収容体２０は、成膜材料供給装置１からは独立した部品であり、箱体１１にセットされるまでは（例えば、作業者が持ち運びをする際など）姿勢は特に限定されないが、ここでは、箱体１１に収容体２０をセットしたときの姿勢に基づいて説明を行う。図２及び図４に示すように、収容体２０は、成膜材料Ｍが収容される収容部２１を内部に複数備えたカセットケースである。収容体２０は、扁平な直方体の形状をなしており、Ｘ軸方向に対向する矩形状の一対の側壁部２２と、一対の側壁部２２を下方で連結する底壁部２３と、上方で連結する上壁部２４と、収容部２１の上流側で連結する端壁部２６と、を備える。収容体２０は、収容部２１の下流側では、収容部２１の成膜材料Ｍが排出されるように、端壁部が設けられることなく、開口部２７が形成されている。一対の側壁部２２のＸ軸方向における離間距離は、当該側壁部２２間に成膜材料Ｍをその中心線とＸ軸とが平行となるように配置したときに、成膜材料Ｍの両端面と各側壁部２２との間に僅かな空隙ができる程度の距離が確保されている。なお、上壁部２４の下流側の端部付近（開口部２７の近傍の領域）には、上下方向（Ｚ軸方向）における位置が下がった段差壁部２４ａが形成される。上壁部２４には、収容体２０を独立したカセットケースとして持ち運びできるように、ハンドル２５が形成されている。
【００２３】
収容体２０は、内部空間に傾斜壁部２８を複数設けることにより、複数段の収容部２１が形成されている。具体的には、収容部２１は、第１の方向Ｄ１に沿って延びている。収容部２１は、第１の方向Ｄ１と交わる第２の方向Ｄ２に沿って複数形成されている。本実施形態では、第１の方向Ｄ１は、水平方向ＨＤに対して直線状に傾斜する方向である。第１の方向Ｄ１は、上流側から下流側へ向かって下方へ傾斜するように設定されている。これにより、収容部２１内に収容された成膜材料Ｍは、特別な移送機構を設けなくとも、自重で下流側へ転がって移動することができる。ただし、搬送機構を補助として設けてもよい。第１の方向Ｄ１は、水平方向ＨＤに対して１０°〜１５°傾斜している。なお、第２の方向は、第１の方向Ｄ１と交わる方向であればどのような方向に設定してもよいが、本実施形態では、第１の方向Ｄ１と（Ｘ軸方向から見て）直交する方向に設定されている。
【００２４】
一つあたりの収容部２１は、収容体２０の一対の側壁部２２と、収容部２１内に設けられる下側の傾斜壁部２８と、上側の傾斜壁部２８と、で構成される。傾斜壁部２８は、一対の側壁部２２同士の間に設けられており、第１の方向Ｄ１と平行になるように、端壁部２６（場所によっては上壁部２４の端壁部２６付近）と開口部２７との間で延びている。上側の傾斜壁部２８と下側の傾斜壁部２８との間の第２の方向Ｄ２における離間距離は、成膜材料Ｍの直径よりも僅かに大きい距離に設定される。これにより、収容部２１内には、成膜材料Ｍを互いの成膜材料Ｍの中心線がＸ軸方向に平行となるように、第１の方向Ｄ１に沿って一列に並べた状態で収納可能となる。このような収容部２１が第２の方向Ｄ２に沿って複数段、形成されている。複数の収容部２１は、傾斜壁部２８を第２の方向Ｄ２に等間隔となるように形成することによって構成される。なお、収容体２０の開口部２７付近には、成膜材料Ｍの移動を規制するためのストッパー構造が設けられているが、詳細な構造については後述する。収容部２１一つあたりに収容できる成膜材料Ｍの数は特に限定されないが、例えば１８〜２０個に設定してよい。また、第２の方向Ｄ２に沿った収容部２１の数は特に限定されないが、例えば２〜１０段に設定してよい。
【００２５】
傾斜壁部２８は、Ｘ軸方向における中央位置にスリット状の開口部３１を有している（例えば、図４及び図６を参照）。この開口部３１は、傾斜壁部２８の第１の方向Ｄ１の全領域に亘って形成されている。従って、成膜材料Ｍは、両端面付近における外周面のみを傾斜壁部２８に支持される。当該開口部３１は全ての傾斜壁部２８に形成されているため、成膜材料Ｍから摩耗粉が発生したとしても、開口部３１を通過させて下方へ落下させることができる。また、端壁部２６も、傾斜壁部２８と対応する大きさのスリット状の開口部３２を有している。この開口部３２は、端壁部２６の上下方向の全領域に亘って形成されている。なお、各収容部２１に対応する位置には、側壁部２２に第１の方向Ｄ１に沿って延びる長円状の貫通孔３３が形成されている。
【００２６】
上述のように構成された収容体２０は、成膜材料供給装置１の箱体１１に取り付けるときは、二つの収容体２０を連結することで一つの収容体セット３０として、箱体１１内部に取り付ける。収容体セット３０は、一の収容体２０の一方の側壁部２２の外面と、他の収容体２０の他方の側壁部２２の外面と接触させ、各収容体２０同士を固定することによって構成される。上壁部２４側では、留め金３４を留めることによって固定する（例えば図８を参照）。また、底壁部２３側では、一対の収容体２０の底壁部２３が、スライド用の溝３６ａを有する支持板３６上で支持される。
【００２７】
なお、収容体セット３０内の収容体２０の数は、２つに限らず更に多くの収容体２０を組み合わせてもよい。あるいは、一つの収容体２０のみを箱体１１に入れてもよい。
【００２８】
［箱体］
次に箱体１１について説明する。図１〜図６に示すように、箱体１１は、成膜材料Ｍを補充する補充室として機能するものであり、一対の収容体２０が組み合わされた収容体セット３０を収容することができ、内部を図示されない真空ポンプによって真空とすることができる。箱体１１は、成膜が行われる成膜チャンバ５及びそれと連通されたチャンバ１６からは独立して真空状態とすることができる。また、箱体１１は、収容体セット３０を収容するための本体領域１１Ａと、本体領域１１Ａよりも下流側に形成され、第２の移送部１３などを配置するための移送領域１１Ｂと、を有している。箱体１１は、略直方体の形状をなしており、Ｘ軸正方向に配置される矩形状の側壁部４１と、側壁部４１とＸ軸方向において対向するように配置される扉部４２と、本体領域１１Ａにおいて底部に広がる底壁部４３と、移送領域１１Ｂにおいて底壁部４３よりも低い位置で広がる底壁部４４と、Ｚ軸方向に延びて底壁部４３と底壁部４４とを連結する連結壁部４６と、本体領域１１Ａ及び移送領域１１Ｂにおいて上部に広がる上壁部４７と、本体領域１１Ａの上流側の端部で広がる端壁部４８と、移送領域１１Ｂの下流側の端部で広がる端壁部４９と、を備える。Ｚ軸方向から見た場合、箱体１１のＸ軸方向における中心線は、基準平面ＳＰと一致している（図４参照）。
【００２９】
扉部４２は矩形板状をなしており、Ｚ軸方向へは上壁部４７から底壁部４３へ延びており（図６参照）、Ｙ軸方向へは端壁部４８から端壁部４９まで延びている（図４参照）。扉部４２は、端壁部４９に設けられたヒンジ部５１にて回動可能に支持されている。一方、端壁部４８に設けられた固定部５２で固定可能である。従って、ヒンジ部５１周りに扉部４２を回動させることで箱体１１を開閉することができ、固定部５２で扉部４２を固定することで箱体１１内の気密性を確保することができる。なお、移送領域１１Ｂにおける、連結壁部４６、底壁部４４及び端壁部４９で囲まれる矩形状の部分は、扉部４２で覆われない構造となっているが、当該部分は別途の側壁部によって部分的に塞がれている。これにより、箱体１１の内部の気密性が確保される。ただし、箱体１１の開閉構造は、上述のようなものに限定されず、ヒンジ部５１を端壁部４９に代えて他の壁部に設けてもよい。あるいはヒンジ部５１を用いた開閉構造ではなく、スライド式の開閉構造であってもよい。また、上壁部４７や端壁部４８を扉部として機能させてもよい。
【００３０】
箱体１１の本体領域１１Ａの大きさは、少なくとも収容体セット３０全体を収容できる大きさに設定される。本体領域１１Ａの大きさは特に限定されるものではないが、本実施形態では、箱体１１の本体領域１１ＡのＹ軸方向の大きさは、収容体２０のＹ軸方向の大きさ程度に設定される（ただし、後述の第１の移送部１２と干渉しない限り、収容体２０の一部が移送領域１１Ｂに入ってもよい）。本体領域１１ＡのＺ軸方向の大きさは、収容体２０のＺ軸方向の大きさよりも僅かに大きく設定される。また、Ｘ軸方向の大きさは、成膜材料Ｍを取り出す収容体２０の位置を変更するためのＸ軸方向へのスライド移動が可能なように、本実施形態では、収容体２０三つ分の大きさよりも僅かに大きく設定される（例えば図４及び図６参照）。ただし、収容体セット３０が有する収容体２０の数に応じて箱体１１のＸ軸方向の大きさを変更してよい。移送領域１１Ｂの大きさは、第２の移送部１３及び第１の移送部１２の大きさや位置によって適宜設定される。
【００３１】
図３及び図５に示すように、箱体１１の本体領域１１Ａには、第１の方向Ｄ１に沿って複数の成膜材料Ｍを配置可能な成膜材料配置領域１０が形成されている。また、成膜材料配置領域１０は、第２の方向に沿って複数形成されている。第１の方向Ｄ１は、水平方向ＨＤに対して直線状に傾斜する方向であり、上流側から下流側へ向かって下方へ傾斜する方向である。従って、一の成膜材料配置領域１０は、本体領域１１Ａ内において、当該本体領域１１Ａの上流側の端部（端壁部４８付近の位置）から下流側の端部まで下方へ向かって傾斜するように延びている（例えば、図３参照）。成膜材料配置領域１０の第２の方向における大きさは、成膜材料Ｍの直径よりも僅かに大きく設定される。なお、図５に示すように、成膜材料配置領域１０のＸ軸方向における範囲は、収容体セット３０内の収容部２１が配置されうる範囲で規定される。これにより、成膜材料配置領域１０には、成膜材料Ｍを互いの成膜材料Ｍの中心線がＸ軸方向と平行となるように、第１の方向Ｄ１に沿って一列に並べた状態で配置可能である。このような成膜材料配置領域１０が、第２の方向Ｄ２に沿って複数段、形成されている。また、本実施形態では、Ｚ軸方向から見て成膜材料Ｍの列を複数列に並べることも可能である。
【００３２】
箱体１１は、本体領域１１Ａに収容体セット３０を取り付け可能な取付部５０を備えている。取付部５０は、各収容部２１が成膜材料配置領域１０に対応する位置に配置されるように、収容体２０を含む収容体セット３０を取り付け可能である。成膜材料配置領域１０は、取付部５０に収容体セット３０が取り付けられることにより、収容部２１が成膜材料配置領域１０と対応する位置に配置されることで、成膜材料Ｍを配置可能とする。なお、本実施形態では、収容体セット３０が箱体１１内でＸ軸方向にスライド可能であるため、収容部２１が通過可能な位置であれば、成膜材料Ｍは、成膜材料配置領域１０のＸ軸方向における範囲内のどの位置にも配置され得る。なお、本実施形態では、第２の移送部１３が、基準平面ＳＰ上に配置されている成膜材料Ｍを取出し可能な構成となっている（詳細な構造は後述）。従って、図５に示すようにＺ軸方向から見たときに、成膜材料Ｍの列の中心線が、基準平面ＳＰと略一致するように配置されるような領域を「取出可能領域１０Ａ」とする。取出可能領域１０Ａは、成膜材料配置領域１０の中のＸ軸方向における一部の領域である。成膜材料Ｍは、成膜材料配置領域１０のうち、取出可能領域１０Ａに配置されたときに、第２の移送部１３によって取出し可能となる。すなわち、収容体セット３０がＸ軸方向にスライドし、当該収容体セット３０中の収容部２１が取出可能領域１０Ａに対応する位置に配置されることにより、当該収容部２１内の成膜材料Ｍを取出可能となる。
【００３３】
取付部５０は、箱体１１の底壁部４３に設けられている。本実施形態では、取付部５０は、底壁部４３に設けられた複数のスライド部５３によって構成されている。スライド部５３は、収容体セット３０がＸ軸方向にスライド可能となるように、例えばローラなどを並設することによって構成されている。スライド部５３は、底壁部４３上において、Ｙ軸方向における両端部付近に一つずつ配置されているが、配置や数は特に限定されない。収容体セット３０は、当該取付部５０のスライド部５３に対して、支持板３６のスライド用の溝３６ａを嵌め込むことによって、箱体１１に取り付けられる。
【００３４】
また、スライド部５３を利用して収容体セット３０が箱体１１内でＸ軸方向にスライドできるように、箱体１１は、収容体セット３０を往復移動させるための移動機構６０を備えている。移動機構６０は、エアシリンダー６１及びピストンロッド６２によって構成される駆動部６３と、収容体セット３０と接続される一対のロッド６４と、ピストンロッド６２の先端部及びロッド６４の先端部とを連結する連結部材６６と、連結部材６６をガイドするガイド部材６７を備えている（図４及び図５参照）。
【００３５】
駆動部６３、連結部材６６、ロッド６４及びガイド部材６７は、箱体１１の外側に設けられており、駆動部６３のエアシリンダー６１及びガイド部材６７は、側壁部４１の外面に固定されてＸ軸正方向に延びるように設けられている。ロッド６４は、Ｏリングを有して側壁部４１に設けられた軸導入軸受６８を介して、気密性が確保された状態で側壁部４１に挿通されている。ロッド６４は、Ｘ軸方向に延びるように挿通されている。Ｙ軸方向において、駆動部６３は箱体１１の本体領域１１Ａの略中央位置に配置され、ガイド部材６７は駆動部６３を挟むように配置され、ロッド６４は、駆動部６３及びガイド部材６７を挟むように配置されている。Ｚ軸方向において、駆動部６３、ロッド６４、ガイド部材６７は、互いの中心線が一致するように配置されている（例えば、図６参照）。Ｚ軸方向において、駆動部６３、ロッド６４、ガイド部材６７は、少なくとも本体領域１１ＡのＺ軸方向における中央位置よりも下方に配置されている。従って、移動機構６０は、収容体セット３０の下端付近の位置を支持してスライドさせることができ、収容体セット３０の姿勢を安定させた状態でのスライドが可能となる。
【００３６】
連結部材６６は、ピストンロッド６２の先端部及びロッド６４の先端部の位置においてＹ軸方向に延びるように設けられると共に、当該ピストンロッド６２の先端部及びロッド６４の先端部に取り付けられている。ロッド６４の先端部は、ベアリング６９を介して連結部材６６に取り付けられている。これによって、ロッド６４は、連結部材６６に取り付けられた状態で回転することが可能である。また、ロッド６４の箱体１１内部側の先端部には爪部７１が設けられているため、当該爪部７１は、ロッド６４の回転に伴って回転可能である（図３参照）。収容体セット３０の収容体２０の外側の側壁部２２の外面には、爪部７１とＸ軸方向に対向する位置に、係止部７４が設けられている。係止部７４は爪部７１と係止可能な溝部を有している。ロッド６４と収容体セット３０を連結する場合、回転機構（不図示）によりロッド６４を回動させて爪部７１を係止部７４の溝部に係止させる。一方、ロッド６４と収容体セット３０の連結を解除する場合、ロッド６４を回動させて爪部７１を係止部７４の溝部から取り外す。なお、ロッド６４と収容体セット３０との連結方法は、爪部７１及び係止部７４を用いた方法に限定されず、例えば磁石による吸着などの方法を採用してもよい。
【００３７】
また、連結部材６６には、ガイド部材６７が挿通されている。これによって、連結部材６６は、ガイド部材６７によってガイドされる。また、各ガイド部材６７には、連結部材６６をＸ軸方向に挟むように、規制部材７２Ａ，７２Ｂがそれぞれ設けられている。当該規制部材７２によって、スライドする収容体セット３０の停止位置を規定することが可能となる。連結部材６６及びロッド６４がＸ軸負方向へ移動すると、規制部材７２Ｂによって連結部材６６の移動が規制される。このとき、収容体セット３０のうち、Ｘ軸正方向における収容体２０の収容部２１が、成膜材料配置領域１０のうちの取出可能領域１０Ａに対応する位置に配置される（図４及び図５参照）。連結部材６６及びロッド６４がＸ軸正方向へ移動すると、規制部材７２Ａによって連結部材６６の移動が規制される。このとき、収容体セット３０のうち、Ｘ軸負方向における収容体２０の収容部２１が、成膜材料配置領域１０の内の取出可能領域１０Ａに対応する位置に配置される。
【００３８】
なお、収容体セット３０をＸ軸方向へ移動させる機構は上述のものに限定されない。例えば、底壁部４３上にベルトコンベアを設けて収容体セット３０を移動させてもよく、ボールねじのような構成を採用してもよい。
【００３９】
箱体１１は、収容体２０に設けられたフレーム８１と連動して、収容部２１内の成膜材料Ｍの移動を規制するストッパー構造８０を有している。まず、収容体２０に設けられたフレーム８１について説明する。
【００４０】
図２及び図７に示すように、フレーム８１は、収容体２０の下流側の開口部２７付近に設けられている。フレーム８１は、Ｘ軸方向に延びて成膜材料Ｍと接触することで移動を規制する複数の規制部材８２と、Ｚ軸方向に延びて各規制部材８２の両端部を支持する一対の支持部材８３と、Ｘ軸方向に延びて一対の支持部材８３の上端部同士を連結する連結部材８４と、連結部材８４からＺ軸方向に延びると共に収容体２０の段差壁部２４ａを貫通して外側へ突出する軸部８６と、軸部８６の上端部に設けられる爪部８７と、段差壁部２４ａと連結部材８４との間に軸部８６を取り囲むように設けられるスプリング部８８と、を備えている。
【００４１】
支持部材８３は、収容体２０の側壁部２２の外面側に形成されたスリット状のガイド溝８９（図１０〜図１２参照）内にＺ軸方向にガイドされ得る状態にて収納されている。また、各規制部材８２は、側壁部２２に設けられた貫通孔９１（図１０〜図１２参照）を通過し、各収容部２１の出口部分における上端付近に配置されるように設けられている。なお、側壁部２２の貫通孔９１は、規制部材８２のガイド及び移動を規制する機能も有している。規制部材８２の位置関係について、図１０及び図１１を参照して説明する。図１０に示すように、フレーム８１がＺ軸負方向に下がっている状態では、傾斜壁部２８の上面と規制部材８２の下面との間の距離（図中、ｄ２で示す）は、成膜材料Ｍの直径（図中、ｄ１で示す）よりも小さい。この状態では、成膜材料Ｍは規制部材８２と接触して支持されることにより、下流側への移動が規制される。一方、図１１に示すように、フレーム８１がＺ軸正方向に上がっている状態では、傾斜壁部２８の上面と規制部材８２の下面との間の距離（図中、ｄ３で示す）は、成膜材料Ｍの直径（図中、ｄ１で示す）よりも大きい。この状態では、成膜材料Ｍは規制部材８２との接触が解除されることで、下流側へ移動可能となる。
【００４２】
次に、上述のフレーム８１を駆動させる、箱体１１側のストッパー構造８０について説明する。図２、図６及び図８に示すように、ストッパー構造８０は、収容体２０の段差壁部２４ａの上方の位置においてＸ軸方向に延びる軸部９３と、箱体１１の側壁部４１において軸部９３を軸支すると共に回動駆動させる駆動部９４と、当該駆動部９４と反対側の端部で軸部９３を軸支する支持部９６と、軸部９３に固定されると共に軸部９３と共に回動するアーム部９７と、を備えている。アーム部９７は、その中心線が基準平面ＳＰと一致する位置に設けられる。一方、収容体２０が成膜材料配置領域１０の取出可能領域１０Ａ（図５参照）に配置されるとき、フレーム８１の爪部８７は、基準平面ＳＰ位置に配置される。これに対して、アーム部９７は、当該爪部８７の下に潜り込む状態となる（図２に示す状態）。この状態で軸部９３を回動させてアーム部９７の先端でＺ軸正方向へ爪部８７を持ち上げることにより、規制部材８２を有するフレーム８１全体がＺ軸正方向へ持ち上がる。一方、軸部９３を回動させてアーム部９７の先端をＺ軸負方向へ下げると、スプリング部８８の弾性力によって規制部材８２を有するフレーム８１全体がＺ軸負方向へ速やかに下がる。
【００４３】
なお、フレーム８１は、成膜材料配置領域１０の下流側（すなわち収容部２１の下流側）であって、第２の移送部１３よりも上流側に配置されていればどこに設けられていてもよく、収容体２０に設けられず、箱体１１側に設けられていてよい。ストッパー構造８０も、アーム部９７を用いてフレーム８１を持ち上げるような構造でなくともよく、例えば、箱体１１の上壁部４７からフレーム８１を引っ張って持ち上げるような機構であってもよい。また、全ての規制部材８２が１つの駆動源（駆動部９４）により同時に駆動されるような構造としたが、複数の駆動源を用いて個々の規制部材８２を独立して駆動できるような構造としてもよい。また、規制部材８２を用いて成膜材料Ｍの移動を規制・解除することができるならば、ストッパー構造８０、フレーム８１の構造、及びその駆動構造も特に限定されず、適宜変更可能である。例えば、傘歯車を用いたシャッター機構を採用してよい。具体的には、収容部２１の下流側付近に上下方向に延びる回転軸を設けると共に、当該回転軸を回転させるモータを設ける。また、上下方向に延びる回転軸に所定の間隔で傘歯車を設ける。また、当該傘歯車と噛み合うような傘歯車（Ｙ軸方向に回転軸を有する）を収容部２１の出口の横側に設け、Ｙ軸周りの傘歯車の回転に伴って回転移動するシャッター部材を設ける。このように構成されたシャッター部材が収容部２１の出口を塞ぐことで成膜材料Ｍの移動を規制し、傘歯車の回転によってシャッター部材が上がり、出口を開放することで成膜材料Ｍの規制を解除し、移動させることができる。
【００４４】
［第２の移送部］
次に、第２の移送部１３の構成について説明する。図２〜図５及び図８に示すように、第２の移送部１３は、複数の成膜材料配置領域１０の下流側（すなわち、取出可能領域１０Ａに配置された収容体２０の複数の収容部２１の下流側）に設けられる無端噛み合い伝動部材（コンベアチェーン）１０１と、無端噛み合い伝動部材１０１に取り付けられ、成膜材料配置領域１０（すなわち、取出可能領域１０Ａに配置された収容体２０の収容部２１）からの成膜材料Ｍを載置可能な複数の爪部材１０２と、無端噛み合い伝動部材１０１を駆動させる駆動部１０３と、を備えている。
【００４５】
無端噛み合い伝動部材１０１は、回転駆動する駆動部１０３の駆動スプロケット１０４と、従動スプロケット１０６に巻き付けられている。駆動スプロケット１０４は、箱体１１の移送領域１１Ｂの上端側に配置されＸ軸方向に延びる回転軸１０７を中心として回転する。駆動スプロケット１０４は、Ｚ軸方向において、収容体２０の上壁部２４付近の高さに配置されているが、最上段の収容部２１からの成膜材料Ｍを爪部材１０２で受け取れる高さであれば特に限定されない。従動スプロケット１０６は、箱体１１の移送領域１１Ｂの下端側に配置されＸ軸方向に延びる回転軸を中心として回転する。従動スプロケット１０６は、Ｚ軸方向において、収容体２０の底壁部２３付近の高さに配置されているが、最下段の収容部２１からの成膜材料Ｍを爪部材１０２で受け取れる高さであれば特に限定されない。駆動スプロケット１０４と従動スプロケット１０６との間では、無端噛み合い伝動部材１０１がＺ軸方向に真っ直ぐに延びる状態となる。無端噛み合い伝動部材１０１は、箱体１１の移送領域１１Ｂ内において回転方向ＬＤに向かって回転運動を行う（図２参照）。無端噛み合い伝動部材１０１は、収容体２０の複数の収容部２１の開口部２７（すなわち、複数の成膜材料配置領域１０の下流側の端部に該当）から、Ｙ方向に離間して対向する位置において、Ｚ軸負方向に移動する対向部分１０１Ａを有する。また、無端噛み合い伝動部材１０１は、基準平面ＳＰ内で回転運動を行う（図４参照）。無端噛み合い伝動部材１０１として、歯付ベルトを用いてもよい。
【００４６】
爪部材１０２は、無端噛み合い伝動部材１０１の外周側に向かって突出するように取り付けられる。爪部材１０２は、無端噛み合い伝動部材１０１に対して等間隔で取り付けられている。具体的に、爪部材１０２は、収容体２０の収容部２１を構成する傾斜壁部２８のＺ軸方向における間隔と、同じ間隔で取り付けられる。爪部材１０２は、Ｙ軸方向において、無端噛み合い伝動部材１０１の対向部分１０１Ａから、収容体２０の開口部２７と僅かな隙間を形成する位置まで延びている。当該隙間の大きさは、収容体２０の開口部２７から排出される成膜材料Ｍがスムーズに爪部材１０２に載置される程度の大きさであれば特に限定されない。爪部材１０２のＸ軸方向における中心位置は、基準平面ＳＰと一致する。これにより、爪部材１０２は、成膜材料配置領域１０の取出可能領域１０Ａに配置された収容体２０の収容部２１からの成膜材料Ｍを受け取り、Ｚ軸負方向へ移送可能である。Ｚ軸負方向へ移動した爪部材１０２は、下側の従動スプロケット１０６に差し掛かる位置で、先端側が下方へ向くように傾斜し、当該傾斜によって載置されていた成膜材料Ｍが落下する。落下した成膜材料Ｍは、第１の移送部１２へ受け渡される。
【００４７】
図４に示すように、駆動部１０３は、前述の駆動スプロケット１０４と、当該駆動スプロケット１０４を回転させるＸ軸方向に延びる回転軸１０７と、箱体１１の側壁部４１に設けられて気密性を確保した状態で回転軸１０７を支持可能な軸導入軸受１０８と、側壁部４１の外側において回転軸１０７の先端に設けられた歯付プーリー１０９と、回転軸１０７とＹ軸正方向に隣り合う位置において箱体１１の端壁部４９に設けられており歯付プーリー１１１と接続されたモータ１０５と、歯付プーリー１１１の回転力を歯付プーリー１０９へ伝達する歯付ベルト１２０と、を備えている。なお、駆動部１０３の構成は、このような構成に限定されるものではなく、例えば、歯車機構などで回転軸１０７を回転させてもよく、モータ１０５で回転軸１０７を直接回転させてもよい。
【００４８】
なお、第２の移送部１３の構成は、上述のものに限定されない。例えば、無端噛み合い伝動部材１０１の這回しは、成膜材料Ｍが排出される収容体２０の開口部２７と対向する位置であって、爪部材１０２で成膜材料Ｍを受け取り可能な位置で駆動する対向部分１０１Ａがあれば、その他の部分はどのような這回しであってもよい。また、上側の駆動スプロケット１０４と下側の従動スプロケット１０６が入れ替わってもよい。また、上述のようなコンベア式の構造とすれば、シンプルな構造にて移送が可能となるが、第２の移送部１３は、成膜材料Ｍを成膜材料配置領域１０（すなわち、取出可能領域１０Ａに配置された収容体２０の収容部２１）から第１の移送部１２へ移送できるものであれば、無端噛み合い伝動部材１０１及び爪部材１０２を用いた構成に限定されない。例えば、各段の収容部２１から排出された成膜材料Ｍを一時的に収容しておき、下側に収容された成膜材料Ｍから順に一つずつ落下させて第１の移送部１２へ移送してもよい。また、上述の例では全ての規制部材８２が連動して駆動されるため各段の収容部２１から同時に成膜材料Ｍが排出されるが、一段毎にタイミングをずらして成膜材料Ｍを排出できる場合（例えば、各段の規制部材８２を互いに独立して駆動する）、第２の移送部１３として、Ｚ方向にスライド移動可能な受取部材を設け、成膜材料Ｍを排出する収容部２１まで移動して受け取り、第１の移送部１２まで移動して受け渡してよい。または、収容部２１から排出されて落下する成膜材料Ｍを第１の移送部１２までガイドする構造を第２の移送部１３としてもよい。
【００４９】
［第１の移送部］
次に、第１の移送部１２の構成について説明する。図１〜図３に示すように、第１の移送部１２は、Ｙ軸方向に駆動するエアシリンダーで構成される駆動部１１０と、駆動部１１０によってＹ軸方向に移動するロッド１１２と、当該ロッド１１２を箱体１１内へ気密性を保った状態で挿通させる軸導入軸受１１４と、ロッド１１３の先端部に設けられて第２の移送部１３から成膜材料Ｍを受け取る受取部１１６と、を備えている。第１の移送部１２は、箱体１１の本体領域１１Ａの底壁部４３の下方に設けられている。また、ロッド１１２は、ＸＺ方向に広がり当該ロッド１１２と共にＹ軸方向へ移動するガイド部材１１７に挿通されて支持されている。箱体１１の側壁部４１のうち底壁部４３よりも下方まで延びた延在部４１ａには、図示されないリニアガイド本体（固定部）が固定されており、当該固定部上をガイド部材１１７が移動する。
【００５０】
ここで、基準平面ＳＰ内のＺ軸方向における所定位置には、Ｙ軸方向に延びる基準線ＣＬ１が設定される。基準線ＣＬ１の位置は任意に設定可能であるが、本実施形態では、連結壁部４６のＺ軸方向における中央位置に設定されている。駆動部１１０及びロッド１１２の中心線は、基準線ＣＬ１と一致するように配置される。
【００５１】
受取部１１６は、ロッド１１２の先端部に設けられており、成膜材料Ｍを第２の移送部１３から受け取る際には、箱体１１内部の移送領域１１Ｂのうち、第２の移送部１３よりも（従動スプロケット１０６よりも）下方の位置に配置される。より詳細には、従動スプロケット１０６の位置で反転することで爪部材１０２の先端が下方へ向くように傾斜するが、当該傾斜によって成膜材料Ｍが落下するときの、落下位置の直下に受取部１１６が配置されている。図１０〜図１２に拡大して示されるように、受取部１１６は、ロッド１１２の先端部に固定される基部１１８と、基部１１８のＸ軸方向における両端部にてＹ軸正方向へ突出する一対の支持部１１９（ただし、図面では、一方の支持部１１９のみ示されている）と、を備えている。Ｚ軸方向から見たとき、受取部１１６は凹形状に形成されており、対向する一対の支持部１１９にて成膜材料Ｍの両端部をそれぞれ支持する。支持部１１９には、受け取った成膜材料Ｍを安定して支持するために、成膜材料Ｍの外形に添って半円状に形成された溝部１１９ａが形成されている。なお、受取部１１６の上方には、傾斜する爪部材１０２から落下する成膜材料Ｍを受取部１１６へ向かってガイドするためのガイド部材１１５が設けられている。ガイド部材１１５は、傾斜する爪部材１０２のＸ軸方向における両側に配置されており、成膜材料Ｍの端部をガイドする上下方向に延びるガイド溝１１５ａを有している。これによって、受取部１１６が正確に成膜材料Ｍを受け取ることができると共に、爪部材１０２を介さずに傾斜壁部２８から受取部１１６へ直接成膜材料Ｍを落下させる場合よりも成膜材料Ｍに与える衝撃を小さくして成膜材料Ｍの割れや欠けを抑制できる。具体的には、爪部材１０２が成膜材料Ｍを受け取ってから（図１２に示す状態）受取部１１６へ載せるまでの間、成膜材料Ｍは、ガイド部材１１５と爪部材１０２に支持された状態となる。従って、爪部材１０２が下がって傾斜するに従い、成膜材料Ｍは少しずつ下方へ移動し、十分に支持部１１９に近づいて爪部材１０２による支持が解除される位置にて、落下する。このように、成膜材料Ｍが落下する距離を極力小さくすることにより、成膜材料Ｍの割れや欠けを抑制できる。
【００５２】
図２及び図３に示すように、受取部１１６は、成膜材料Ｍを受け取った後、駆動部１１０の駆動によってロッド１１２を介して、成膜材料Ｍと共に箱体１１の外部へ押し出される。外部へ押し出された受取部１１６は、成膜材料Ｍと共に連通部１７を通過し、第３の移送部１４が設けられるチャンバ１６内へ移送される。
【００５３】
なお、第１の移送部１２の構成は、成膜材料Ｍを箱体１１の外部へ移送できるものであれば特に限定されない。例えば、上述の実施形態では、受取部１１６を成膜材料Ｍと共に押し出すことによって箱体１１の外部へ移送したが、箱体１１の外部（例えば、チャンバ１６）から成膜材料Ｍを引っ張る機構により移送してもよく、ベルトコンベアやスライド機構などを用いて成膜材料Ｍを箱体１１の外部へ移送してもよい。
【００５４】
［第３の移送部］
次に、第３の移送部１４の構成について説明する。図１〜図３及び図９に示すように、第３の移送部１４は、成膜材料Ｍを保持する保持溝１２１を有する円板部材１２２と、円板部材１２２の外周を覆って保持溝１２１内の成膜材料Ｍを支持する支持部材１２３と、円板部材１２２を回転駆動させる駆動部１２４と、を備えている。第３の移送部１４は、第１の移送部１２の受取部１１６から受け取った成膜材料Ｍを押出位置ＰＥまで、円板部材１２２の回転によって移送する。ここで、押出位置ＰＥは、成膜装置２の主ハース部３の円筒部３ａの中心線と一致する基準線ＣＬ２上に設定される。当該押出位置ＰＥでは、成膜材料Ｍの中心線を基準線ＣＬ２と一致させた状態で押し出しが行われる。なお、基準線ＣＬ２は、基準平面ＳＰと直交し、Ｚ軸方向における位置は基準線ＣＬ１と同じである（ただし、同じでなくともよい）。また、円板部材１２２と受取部１１６の成膜材料Ｍの受け渡し位置を「受取位置ＲＥ」と称する。受取位置ＲＥは基準線ＣＬ１上に設定される。また、円板部材１２２の中心線ＣＬ３は、基準線ＣＬ２と平行となり、Ｚ軸方向における位置は基準線ＣＬ１，２と同じである。なお、受取位置ＲＥと押出位置ＰＥは、中心線ＣＬ３を中心として１８０°回転した位置に配置される。
【００５５】
円板部材１２２及び支持部材１２３は、チャンバ―１６内に配置される。当該チャンバ―１６内は図示されない真空ポンプによって真空とすることができる。チャンバ１６は、Ｘ軸方向で対向する側壁部１４１，１４２と、Ｚ軸方向で対向する上壁部１４３及び底壁部１４４と、Ｙ軸方向で対向する端壁部１４６，１４７を備える。Ｙ軸負方向に配置される端壁部１４６には開口部が形成されて上流側（Ｙ軸負方向）より第１の移送部１２の受取部１１６が進入する。Ｘ軸正方向に配置される側壁部１４１には、成膜装置２の主ハース部３の円筒部３ａと連通される円筒部材１５０が設けられる。円筒部材１５０は、中心線が基準線ＣＬ２と一致しており、チャンバ―１６内の端部が押出位置ＰＥと対向する位置に配置され、他方の端部が、成膜装置２の成膜チャンバ―５に固定されて、主ハース部３の円筒部３ａと連通している。Ｘ軸負方向に配置される側壁部１４２には、後述の供給部１８のロッド１６１が挿通されている。
【００５６】
円板部材１２２は、中心線ＣＬ３を中心に回転方向ＲＤ（図２及び図３参照）に回転する部材である。円板部材１２２は、その外周縁に、中心線ＣＬ３周りに一定角度でＵ字型の保持溝１２１が形成されている。本実施形態では４５°間隔で形成されているが角度は特に限定されない。保持溝１２１は、成膜材料Ｍの１個をがたつきなく保持できる大きさに形成されている。これにより、受取位置ＲＥと押出位置ＰＥとの間に複数の成膜材料Ｍを保持しておくことができる。これにより、箱体１１に成膜材料Ｍを補充することによって、所定時間、第１の移送部１２から成膜材料Ｍが移送されなくても、保持溝１２１に保持されている成膜材料Ｍを予備の成膜材料Ｍとして使用することが可能となり、成膜装置２での成膜を停止する必要がなくなる。
【００５７】
円板部材１２２は、基準平面ＳＰを挟んで一対設けられている（図９参照）。なお、一対の円板部材１２２の離間距離は狭く設定されており、一対の円板部材１２２の外周縁部が、受取部１１６の一対の支持部１１９（図１０参照）同士の間の隙間を通過できるようになっている。図２及び図３において一点鎖線で示すように、受取部１１６が受取位置ＲＥまで移動したときに、当該受取部１１６は、支持部１１９と円板部材１２２の外周縁部が干渉することなく、成膜材料Ｍを円板部材１２２の保持溝１２１の位置まで移送することができる。この状態で円板部材１２２が回転することによって、受取部１１６の支持部１１９に支持されている状態の成膜材料Ｍを、円板部材１２２が保持溝１２１に保持した状態で持ち上げることにより、当該成膜材料Ｍを受取部１１６から受け取ることができる。
【００５８】
支持部材１２３は、円板部材１２２の外周側に配置される部材である。支持部材１２３は、中心線ＣＬ３を中心とした円弧状の部材である。支持部材１２３の内径は円板部材１２２の外径より僅かに大きく設定されており、成膜材料Ｍが保持溝１２１に保持されたときに、当該成膜材料Ｍと接触、または僅かな隙間を有する程度の大きさに設定される。これにより、支持部材１２３は、保持溝１２１に保持された成膜材料Ｍを径方向に支持することができる。なお、一対の円板部材１２２をＸ軸方向に挟むように、円板部材１２２と平行な一対の支持プレート１２６が設けられている（図９参照）。支持プレート１２６の離間距離は、成膜材料Ｍの軸方向の長さ程度、又は、成膜材料Ｍの軸方向に長さよりも僅かに長く設定されている。このような、支持プレート１２６によって、保持溝１２１で保持される成膜材料Ｍが、軸方向に支持される。
【００５９】
支持部材１２３は、周方向における一部の部分には設けられていない。具体的には、受取位置ＲＥに対応する部分から、円板部材１２２の下端部に対応する部分に亘る範囲には、支持部材１２３が設けられていない。受取位置ＲＥに支持部材１２３が設けられていないため、当該受取位置ＲＥにおいて受取部１１６と支持部材１２３が干渉することを防止できる。また、円板部材１２２の下端部に対応する部分に支持部材１２３が設けられていないため、何らかの理由（例えば、成膜材料Ｍの割れや欠け等の異常）によってチャンバ―１６内の成膜材料Ｍの主ハース部３への供給を中止する場合に、既に保持溝１２１にセットされている成膜材料Ｍをチャンバ―１６から外部へ取り出すことが可能となる。すなわち、成膜材料Ｍをチャンバ―１６から取出す場合は、成膜材料Ｍが押出位置ＰＥに到達しても回転を続行し、円板部材１２２の下端部まで成膜材料Ｍを到達させる。当該位置には支持部材１２３が設けられていないため、保持溝１２１内の成膜材料Ｍは下方へ落下する。このとき、底壁部１４４の開口部１４４ａを開放すれば、落下した成膜材料Ｍをチャンバ―１６から取出すことができる。なお、支持部材１２３の形状や配置場所などは特に限定されない。または、支持部材１２３を省略してもよい。なお、その場合、成膜材料Ｍの外周を支持して、保持溝１２１から成膜材料Ｍが落下しないようにする機構を別途設ける必要がある。
【００６０】
駆動部１２４は、円板部材１２２を回転させる回転軸１２７と、側壁部１４１の外側において当該回転軸１２７に連結された歯付プーリー１２８と、上壁部１４３の上面に設けられたモータ１３０と、モータ１３０と接続された歯付プーリー１２９と、歯付プーリー１２９の回転力を歯付プーリー１２８へ伝達する歯付ベルト１３１と、を備えている。なお、駆動部１２４の構成は、このような構成に限定されるものではなく、例えば、歯車機構などで回転軸１２７を回転させてもよく、モータ１３０で直接回転させてもよい。
【００６１】
なお、第３の移送部１４の構成は、上述のものに限定されない。例えば、水平コンベアのような構造を採用してもよい。また、第３の移送部１４を省略し、第１の移送部１２から移送される成膜材料Ｍを直接、押出位置ＰＥに配置してもよい。
【００６２】
［連通部］
次に、連通部１７について説明する。連通部１７は、箱体１１とチャンバ―１６とを連通する管状部材によって構成されている。連通部１７は、中心線が基準線ＣＬ１と一致するように配置されており、一端が箱体１１の端壁部４９の下端部付近に接続され、他端がチャンバ―１６の端壁部１４６に接続されている。連通部１７の内径は、内部空間を第１の移送部１２のロッド１１２及び受取部１１６が成膜材料Ｍと共に通過できる程度の大きさに設定されていればよい。また、連通部１７は、ゲートバルブ１５１を備えている。これにより、箱体１１とチャンバ―１６とを真空遮断することができる。従って、成膜材料Ｍの補充時に箱体１１の扉部４２を開放する際、ゲートバルブ１５１を閉じておくことにより、チャンバ―１６側の真空を維持しておくことができる。よって、成膜材料Ｍの補充時においても、連続して成膜を行うことができる。例えば、成膜装置２で成膜中に、箱体１１でトラブルが生じた場合、ゲートバルブ１５１を閉じて、成膜装置２を真空に保って成膜を続行しつつ、箱体１１内のトラブルを解消するための作業を行うことができる。
【００６３】
［供給部］
次に、供給部１８について説明する。図１及び図９に示すように、供給部１８は、Ｘ軸方向に延びて成膜材料Ｍを成膜装置２側へ押し出すロッド１６１と、ロッド１６１をＸ軸方向に移動させるスライド機構１６２と、スライド機構１６２を駆動させる駆動部１６３と、を備えている。供給部１８は、チャンバ１６の側壁部１４２の外面に取り付けられており、チャンバ１６内の押出位置ＰＥとＸ軸方向に対向する位置に設けられている。ロッド１６１は、中心線が基準線ＣＬ２と一致するように配置されており、チャンバ１６内に挿通されて、押出位置ＰＥに配置されている成膜材料Ｍを成膜装置２の主ハース部３へ押し出す。
【００６４】
スライド機構１６２は、Ｚ軸方向においてロッド１６１を挟むように配置された一対のボールねじ１６４と、当該ボールねじ１６４の回転に伴ってＸ軸方向にスライドする一対のナット部１６６と、ナット部１６６とロッド１６１とを連結する連結部材１６７と、を備えている。ボールねじ１６４は、Ｘ軸方向に延在しており、ロッド１６１の上下にそれぞれ配置され、Ｚ軸方向から見てロッド１６１と同位置に配置されている。ボールねじ１６４の一端側は軸受を介してチャンバ―１６の側壁部１４２で支持され、他端側は軸受を介して支持部材１７４で支持されている。また、ボールねじ１６４の他端には傘歯車１７２が設けられている。連結部材１６７は、Ｚ軸方向に延びて一対のナット部１６６及びロッド１６１の端部が固定されている。また、連結部材１６７は、上端側でリニアガイド１７５でガイドされる。
【００６５】
駆動部１６３は、Ｚ軸方向に延びる回転軸１６９と、当該回転軸１６９を回転させるモータ１６８と、回転軸１６９に設けられた一対の傘歯車１７１と、を備えている。回転軸１６９に設けられた傘歯車１７１は、それぞれボールねじ１６４の他端に設けられた傘歯車１７２と噛み合う位置に設けられている。従って、回転軸１６９が回転することによって、当該回転力が傘歯車１７１，１７２を介してボールねじ１６４に伝達される。ボールねじ１６４が回転することによってナット部１６６が連結部材１６７及びロッド１６１と共にＸ軸正方向へ移動する。これによって、ロッド１６１の端部で押し出されることによって、成膜材料Ｍは、押出位置ＰＥから円筒部材１５０を通過し、成膜装置２の主ハース部の円筒部３ａに供給される。供給部１８は、成膜材料Ｍを成膜装置２（主ハース部３）へ供給する機能のみならず、成膜中の成膜材料Ｍの昇華に応じて主ハース部３の円筒部３ａ内で成膜材料Ｍを徐々に突き出す（押し出す）機能も有している。円筒部３ａ内には複数個の成膜材料Ｍを充填しておく。最も先端側の成膜材料Ｍが所定量昇華したら、ロッド１６１をＸ軸負方向（図９中における右側）へ一端戻し、補充する成膜材料Ｍを押出位置ＰＥに位置させ、ロッド１６１で押出位置ＰＥに位置する成膜材料Ｍを円筒部３ａへ補充する。
【００６６】
なお、移送部１２〜１４での移送に比して、成膜材料Ｍの押出しの際には大きな押出力が必要とされるが、上述のように、ボールねじ１６４を用いた構造とすることにより、十分な押出力を確保できる。ここでの「押し出し」とは、前述のように、成膜中の成膜材料Ｍの昇華に応じて主ハース部３の円筒部３ａ内で成膜材料Ｍを徐々に突き出す（押し出す）ことを表している。成膜中に主ハース部３の先端及び先端の内側には昇華した成膜材料Ｍが徐々に堆積する。この堆積した成膜材料Ｍを押し除くために、円筒部３ａ内の成膜材料Ｍを押し出しする際には、大きな押出力が必要となる。なお、供給部１８は、上述の実施形態に限定されない。
【００６７】
［成膜材料供給の手順］
次に、上述のような構成を有する成膜材料供給装置１を用いて成膜装置２に成膜材料Ｍを供給するときの手順の一例について、図１〜図９を参照して説明する。
【００６８】
まず、予め収容部２１に成膜材料Ｍが満たされた状態の収容体２０を準備する。収容体２０に成膜材料Ｍを収容する作業は成膜装置２で成膜をしている現場で行ってもよく、外部で予め準備しておいた収容体２０を現場に搬入してもよい。次に、複数の収容体２０を組み合わせて収容体セット３０を形成する。
【００６９】
成膜装置２のチャンバ―内を大気開放し、箱体１１の扉部４２を開放することで大気開放して、既存の収容体セット３０を箱体１１から取出す。このとき、箱体１１は図３及び図５に示す状態となる。次に、新たな収容体セット３０を箱体１１の取付部５０に取り付ける。また、収容体２０の係止部７４に爪部７１を係止させる。このとき、箱体１１は図２及び図４に示す状態となる。箱体１１の扉部４２を閉じると共に真空状態とする。また、移動機構６０によって収容体セット３０のうち、何れかの収容体２０を取出可能領域１０Ａ（図５参照）の位置に配置する。これによって、成膜材料供給装置１による成膜材料Ｍの供給が可能となる。
【００７０】
まず、図１及び図２に示すように、ストッパー構造８０でフレーム８１を操作することによって、各段の収容体２０から一つずつ成膜材料Ｍを排出し、第２の移送部１３の複数の爪部材１０２に成膜材料Ｍを配置する（なお、第２の移送部１３への成膜材料Ｍの受渡しの詳細な動作説明は後述する）。無端噛み合い伝動部材１０１を回転させることによって、一つの成膜材料Ｍを第１の移送部１２の受取部１１６に受け渡す。第２の移送部１２のロッド１１２を駆動させることにより、成膜材料Ｍを受取部１１６と共に箱体１１の外部へ移送すると共に、第３の移送部１４の受取位置ＲＥへ成膜材料Ｍを受取部１１６と共に移送する。円板部材１２２の保持溝１２１が成膜材料Ｍを受け取り、円板部材１２２を回転させた後、ロッド１１２を駆動させることにより、受取部１１６を元の位置に戻し、再び第２の移送部１３から一つの成膜材料Ｍを受け取る。一方、第３の移送部１４では、円板部材１２２の回転によって成膜材料Ｍを新たに押出位置ＰＥに配置する。また、当該回転によって新たな保持溝１２１が受取位置ＲＥに配置され、新たな成膜材料Ｍを受け取り可能となる。供給部１８は、ロッド１６１を駆動させて押出位置ＰＥの成膜材料Ｍを成膜装置２に供給する。このような移送と成膜材料供給の動作を繰り返す。
【００７１】
上述の移送と成膜材料供給の動作を繰り返すと、第２の移送部１３の爪部材１０２に載置されている成膜材料Ｍが減少するため、所定のタイミングで収容体２０の各段の収容部２１から成膜材料Ｍを爪部材１０２へ排出する。ここで、当該動作の詳細な説明を、図１０〜図１２を参照して行う。
【００７２】
図１０に示すように、収容部２１から成膜材料Ｍを排出する前段階においては、規制部材８２を下げた状態としておくことで、収容部２１内の成膜材料Ｍの移動を規制しておく。次に、図１１に示すように、爪部材１０２の先端部を、各収容部２１に対し、傾斜壁部２８を落下してくる成膜材料Ｍと当接可能な位置に配置する。具体的には、各収容部２１において、下側の傾斜壁部２８と爪部材１０２の先端部との距離（図中、ｄ４で示す）が、成膜材料Ｍの直径ｄ１の半分となる位置に、爪部材１０２を配置する。当該状態で規制部材８２を上げると、各段の収容部２１における最前列の成膜材料Ｍが落下すると共に、爪部材１０２の先端部で支持される。次に、図１２に示すように、図１１の状態から規制部材８２を下げると共に爪部材１０２を下方へ移動させることで、爪部材１０２の先端部による支持が解除され、各段の収容部２１における最前列の成膜材料Ｍが落下して各爪部材１０２上に載置される。一方、最前列より上流側の成膜材料Ｍは、規制部材８２で落下が規制される。以上によって、各段の収容部２１から最前列の成膜材料Ｍのみを一度に各爪部材１０２へ排出することができる。このように、複数の収容部２１からまとめて成膜材料Ｍを取り出すことにより、効率の良い移送が可能となる。また、各段の収容部２１における最前列の成膜材料Ｍが各爪部材１０２上に載置される際、最前列よりも上流側の成膜材料Ｍは規制部材８２により規制されるため、最前列の成膜材料Ｍは最前列よりも上流側の成膜材料Ｍが転がり力を受けることが無いため、最前列の成膜材料Ｍの割れや欠けを抑制することができる。また、成膜材料Ｍが爪部材１０２の先端部で支持されている状態から爪部材１０２に載置される状態となるまでの間（図１１に示す状態から図１２に示す状態となるまでの間）、爪部材１０２は先端部で成膜材料Ｍを支持したまま下に下がるため、成膜材料Ｍは少しずつ下流側へ移動しながら、爪部材１０２に載置される。このように、成膜材料Ｍが速やかに移動するのではなく、徐々に移動しながら爪部材１０２に載置されるため、成膜材料Ｍの割れや欠けを抑制することができる。なお、このような動作を可能とするため、爪部材１０２と規制部材８２の位置関係は、図１１に示すように爪部材１０２が最前列の成膜材料Ｍを支持しているときに、最前列の成膜材料Ｍと一つ後ろの成膜材料Ｍとの間に、規制部材８２が入り込むことが可能となるような位置関係が好ましい。
【００７３】
以上のような動作を繰り返すことによって、収容体セット３０中の一の収容体２０内の成膜材料Ｍが空になった場合、移動機構６０によって、別の収容体２０が取出可能領域１０Ａに配置される。収容体セット３０中の全ての収容体２０が空になった場合、箱体１１の扉部４２が開かれ、新たな収容体セット３０と交換される。
【００７４】
［作用・効果］
本実施形態に係る成膜材料供給装置１は、第１の方向Ｄ１に沿って複数の成膜材料Ｍを配置可能な成膜材料配置領域１０が形成されている。更に、成膜材料配置領域１０は、当該成膜材料配置領域１０内の成膜材料Ｍの配置方向である第１の方向Ｄ１と交わる第２の方向Ｄ２に沿って複数形成されている。これによって、装置内において、スペースの無駄を低減して効率よく成膜材料Ｍを配置することが可能となる。従って、装置内に補充する成膜材料Ｍの数を増やすことによって補充周期を長くした場合であっても、効率のよい配置とすることで装置が大型化することを抑制できる。以上によって、装置の大型化を抑制しつつ、成膜材料の補充周期を長くすることができる。
【００７５】
従来の、円板の外周部に沿って複数の成膜材料Ｍを保持する回転リボルバー式のものを用いた場合、補充室である箱体１１内に配置できる成膜材料Ｍの数が少なく、補充周期が短くなる。例えば、補充できる成膜材料Ｍの数量が２４個の場合は、１日に一回程度の補充作業が必要となる。また、このようなタイプのもので補充数量を増やした場合、デッドスペースが多いため円板の大きさが大きくなってしまい、補充室である箱体１１が大型化してしまう。一方、本実施形態の構造を採用した場合、例えば一つの収容体２０が収容部２１あたり１８個収容可能で、７段の収容部２１を有していた場合、二つの収容体２０を組み合わせた収容体セット３０は、２５２個の成膜材料を収容することができる。この場合、一度箱体１１に収容体セット３０を取り付ければ、補充周期が２週間程度となる。なお、数量は当該例に限定されず、あらゆる数量に設定可能である。また、このような構造によれば、成膜材料Ｍを高密度に収容できるため、数量の増加に対する装置の大型化の程度を抑えることができる。また、真空の箱体１１の中に成膜材料Ｍを入れておけば、成膜材料Ｍが長期間外気に触れることを抑制し、水分吸湿による成膜膜質への悪影響も回避できる。また、補充周期が長ければ、真空のための排気の回数も減らせるため、エネルギーのロスも抑えることができる。
【００７６】
本実施形態に係る成膜材料供給装置１は、複数の成膜材料配置領域１０が形成される箱体１１と、成膜材料配置領域１０（収容部２１）から取出される成膜材料Ｍのうち、一つを箱体１１の外部へ移送する第１の移送部１２と、複数の成膜材料配置領域１０（収容部２１）に配置される成膜材料Ｍを、第１の移送部１２へと移送する第２の移送部１３と、を備えている。箱体１１には複数段の成膜材料配置領域１０が形成されている（複数段の収容部２１が配置される）ため、例えば、一つの移送部が複数の成膜材料配置領域１０から成膜材料Ｍを取出して箱体１１の外部へ移送する場合は、移送部の構造が複雑化すると共に移送効率も低下する場合がある。一方、第１の移送部１２が一つの成膜材料Ｍを箱体１１の外部へ移送し、第２の移送部１３が複数の成膜材料配置領域１０から成膜材料Ｍを取出して第１の移送部１２へ移送する構造とすることにより、構造の複雑化を抑制できると共に、効率よく移送を行うことができる。本実施形態では、第１の移送部１２は、ロッド１１２がＹ軸方向の往復動を繰り返すだけの構造であり、第２の移送部１３は、コンベアチェーンが一の方向に回転して、各段から取出された成膜材料Ｍを下方へ移送するだけの構造であるため、シンプルな構造でありながらも、効率のよい移送が可能となっている。
【００７７】
本実施形態に係る成膜材料供給装置１において、第２の移送部１３は、複数の成膜材料配置領域１０（収容部２１）の下流側に設けられる無端噛み合い伝動部材１０１と、無端噛み合い伝動部材１０１に取り付けられ、成膜材料配置領域１０（収容部２１）からの成膜材料Ｍを載置可能な爪部材１０２と、無端噛み合い伝動部材１０１を駆動させる駆動部１０３と、を備えている。また、成膜材料配置領域１０の下流側には、第２の移送部１３より上流側で成膜材料Ｍの移動を規制する規制部材８２を配置可能である。複数の成膜材料配置領域１０（複数段の収容部２１）に対して、このような無端噛み合い伝動部材１０１及び爪部材１０２を用いたコンベアチェーン式の第２の移送部１３を設け、規制部材８２で成膜材料Ｍの移動を規制して爪部材１０２へ移動する成膜材料Ｍの数を調整することにより、シンプルな構造にて効率よく移送を行うことができる。本実施形態では、コンベアチェーンである第２の移送部１３とフレーム８１を操作するだけのシンプルな構造及び動作により、各段の収容部２１から最前列の成膜材料Ｍのみを一度に各爪部材１０２へ排出することができる。このように、複数の収容部２１からまとめて成膜材料Ｍを取り出すことにより、効率のよい移送が可能となる。
【００７８】
本実施形態に係る成膜材料供給装置１において、第１の方向Ｄ１は、水平方向ＨＤに対して傾斜している。これによって、成膜材料配置領域１０（収容部２１）内の成膜材料Ｍは、重力によって下流側へ移動することができる。従って、成膜材料Ｍを押し出すための機構を設ける必要が無くなるため、装置をシンプルな構成とすることができる。
【００７９】
本発明に係る成膜材料供給装置１において、第２の方向Ｄ２に隣り合う成膜材料配置領域１０同士の間には、傾斜壁部２８を配置可能であり、傾斜壁部２８には、開口部３１が形成されている。これによって、成膜材料Ｍの摩耗粉などが発生したとしても、開口部３１から排出することができる。
【００８０】
本実施形態に係る成膜材料供給装置１において、箱体１１は収容体２０を取り付け可能な取付部５０を備え、取付部５０は、収容部２１が成膜材料配置領域１０に対応する位置に配置されるように、収容体２０を取り付け可能である。また、成膜材料配置領域１０は、取付部５０に収容体２０が取り付けられることにより、成膜材料Ｍを配置可能となる。このように、装置とは別体の収容体２０を用いることによって、予め成膜材料Ｍを収容体２０の収容部２１へ収容しておくことにより、装置に成膜材料Ｍを補充するときは、収容体２０を取付部５０に取り付けるだけの作業で補充が完了する。これにより、成膜材料Ｍの補充を容易に行うことができる。
【００８１】
本発明は、上述の実施形態に限定されるものではない。
【００８２】
例えば、上述の実施形態では、第１の方向Ｄ１は水平方向ＨＤに対して傾斜していたが、傾斜していなくともよい。例えば、第１の方向Ｄ１が水平方向であってもよく鉛直方向であってもよい。また、第１の方向Ｄ１は、直線状の真っ直ぐな方向でなくともよい。例えば、円弧状に曲がった方向であってもよい。この場合、収容体２０の収容部２１は、真っ直ぐに傾斜した傾斜壁部２８に代えて、円弧状に湾曲するような壁部を有する。なお、この際の第２の方向Ｄ２は、第１の方向Ｄ１と直交している必要はなく、交わる方向であればどの方向に設定してもよい。また、第１の方向Ｄ１は、複数段階に屈曲した方向であってもよい。例えば、上流側から下流側へ向かうに従って、徐々に傾斜が緩やかになるように複数段階に傾斜角度が変わっていてもよい。なお、この際の第２の方向Ｄ２は、第１の方向Ｄ１と直交している必要はなく、交わる方向であればどの方向に設定してもよい。
【００８３】
図１３に、第１の方向Ｄ１が傾斜していない場合の構成の一例を示す。図１３（ａ）に示す構成では、第１の方向Ｄ１が水平方向と一致している。この場合、成膜材料Ｍは重力によって下流側へ自動的に移動しないので、上流側に押出部２００を設ける。当該押出部２００は、下流へ向かって成膜材料Ｍを押し出すことができる。これによって、成膜材料配置領域内の成膜材料は、押出部の押し出しによって、下流側へ移動することができる。また、成膜装置２が、基板を水平に配置して搬送するタイプであった場合、Ｙ軸及びＺ軸が水平方向となり、Ｘ軸が鉛直方向となる。この場合も、図１３（ａ）に示すような構造を採用して、押出部２００で成膜材料Ｍを押し出してよい。収容体２０は、上流側の端壁部２６にスリット状の開口部３２を有し、各傾斜壁部２８もスリット状の開口部３１を有しているため（図４参照）、押出部２００がこれらの開口部３１，３２を通過するような構成としてよい。なお、第１の方向Ｄ１が水平方向に対して傾斜しており、重力によって成膜材料Ｍが移動することができる場合であっても、押出部２００を設けてよい。例えば、成膜材料Ｍの動きが収容部２１内で停止（引っ掛かりや、詰まりなどにより）した場合であっても、押出部２００で押すことで再び移動させることができる。なお、出口付近において、壁部２８に突起部１６０が設けられてよい。この突起部１６０によって、出口付近において成膜材料Ｍの移動を規制（ただし、押出部２００による押出しを阻害しない程度の大きさに設定される）することができる。
【００８４】
また、図１３（ｂ）に示す構成では、第１の方向Ｄ１が鉛直方向と一致している。各収容部２１からの成膜材料Ｍは、下方へ落下する。この場合、無端噛み合い伝動部材１０１及び爪部材１０２のベルトコンベアは、水平方向に成膜材料Ｍを移送する。爪部材１０２へ成膜材料Ｍが各収容部２１において一つずつとなるように、規制部材（不図示）を操作する。
【００８５】
また、上記実施形態のように、箱体１１から取り外し可能な収容体２０を用いず、箱体１１に直接収容部が設けられたものを用いてよい。すなわち、成膜材料配置領域１０に対応する位置に収容部を設けることによって、成膜材料Ｍを配置可能としてよい。
【００８６】
また、上記実施形態では、収容体２０が並列に複数組み合わせられている収容体セット３０に対して、第１の移送部１２及び第２の移送部１３はＸ軸方向へは不動とし、移動機構６０を用いて収容体セット３０をＸ軸方向へ移動させる構成とした。これに代えて、収容体セット３０を不動とし、第２の移送部１３がＸ軸方向に移動可能としてもよい。あるいは、第２の移送部１３の爪部材１０２のＸ軸方向の幅を広くし、第１の移送部１２がＸ軸方向に移動して成膜材料Ｍを回収してもよい。なお、この場合、成膜材料配置領域１０のＸ軸方向全範囲が取出可能領域１０Ａとなる（図５参照）。
【符号の説明】
【００８７】
１…成膜材料供給装置、２…成膜装置、１０…成膜材料配置領域、１１…箱体、１２…第１の移送部、１３…第２の移送部、１４…第３の移送部、２０…収容体、２１…収容部、２８…傾斜壁部、３１…開口部、５０…取付部、８２…規制部材、１０１…無端噛み合い伝動部材、１０２…爪部材、１０３…駆動部、２００…押出部、Ｍ…成膜材料。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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