(57)【要約】【課題】マイクロクラック等の異常が生じている光電池セル等の板状体を、容易に検出し、選別除去することが可能な検出装置、異常検出方法及び光電池セルの製造方法を提供する。【解決手段】液体槽１０内に、水等の液体１００を満たし、光電池セルの基板等の複数の板状体２，２，…を浸漬した状態で、保持器１１により保持する。そして、超音波振動等の振動を印可する振動印可器１２から液体１００を媒体とする振動を、板状体２，２，…に印可する。板状体２，２，…がマイクロクラック等の異常を有する場合、振動の印可により破損し、その破片が液体槽１０内の底部に落下する。【選択図】図１
2014072396.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光電変換機能を有する光電池セルに係る板状体の異常を検出する検出装置であって、
液体槽と、
前記液体槽内で、前記板状体を保持する保持器と、
前記液体槽内に、振動を印可する振動印可器と
を備えることを特徴とする検出装置。
【請求項２】
請求項１に記載の検出装置であって、
前記保持器は、前記板状体を個別に複数保持する個別保持部を有する
ことを特徴とする検出装置。
【請求項３】
請求項２に記載の検出装置であって、
前記保持器が有する個別保持部は、前記複数の板状体をそれぞれ離隔して保持する
ことを特徴とする検出装置。
【請求項４】
請求項３に記載の検出装置であって、
前記個別保持部は、一の前記板状体又は前記板状体の破片と、他の前記板状体又は前記板状体の破片との接触を防止する仕切り部を有する
ことを特徴とする検出装置。
【請求項５】
請求項１から請求項４までのいずれか１項に記載の検出装置であって、
前記保持器は、保持している前記板状体が破損した場合に、保持を解除する
ことを特徴とする検出装置。
【請求項６】
請求項１から請求項５までのいずれか１項に記載の検出装置であって、
前記保持器は、前記板状体の端部に当接することで、前記板状体を保持する
ことを特徴とする検出装置。
【請求項７】
請求項１から請求項６までのいずれか１項に記載の検出装置であって、
前記保持器は、前記液体槽の底部から離隔して配置される
ことを特徴とする検出装置。
【請求項８】
請求項１から請求項７までのいずれか１項に記載の検出装置であって、
前記振動印可器は、超音波振動を印可する超音波発生器である
ことを特徴とする検出装置。
【請求項９】
請求項１から請求項８までのいずれか１項に記載の検出装置であって、
前記振動印可器は、前記液体槽の側部に配置されている
ことを特徴とする検出装置。
【請求項１０】
請求項１から請求項９までのいずれか１項に記載の検出装置であって、
前記振動印可器は、前記液体槽の底部に配置されている
ことを特徴とする検出装置。
【請求項１１】
請求項１から請求項１０までのいずれか１項に記載に検出装置であって、
前記板状体は、前記光電池セル、前記光電池セルの製造に要する基板、又は前記基板から前記光電池セルの製造に係る中間体である
ことを特徴とする検出装置。
【請求項１２】
光電変換機能を有する光電池セルに係る板状体の異常を検出する異常検出方法であって、
液体内に、前記板状体を浸漬し、
前記液体を媒体として、前記板状体に振動を印可する
ことを特徴とする異常検出方法。
【請求項１３】
光電変換機能を有する光電池セルの製造方法であって、
基板上に、光電変換機能を有する光電変換層を形成する層形成工程と、
前記光電変換層が形成された基板の異常を検出する異常検出工程と、
前記光電変換層にて発生した電気を取り出す電極を形成する電極形成工程と
を有し、
前記異常検出工程は、
液体内に、前記光電変換層が形成された基板を浸漬し、前記液体を媒体として振動を印可する
ことを特徴とする光電池セルの製造方法。
【請求項１４】
請求項１３に記載の光電池セルの製造方法であって、
前記異常検出工程は、
振動の印可により破損した前記基板を、異常が検出された基板として選別する
ことを特徴とする光電池セルの製造方法。
【請求項１５】
請求項１３又は請求項１４に記載の光電池セルの製造方法であって、
前記異常検出工程を実施した後に、前記電極形成工程を実施する
ことを特徴とする光電池セルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
光電変換機能を有する光電池セルに係る板状体の異常を検出する検出装置、その検出装置を用いた異常検出方法、及びその異常検出方法を適用した光電池セルの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
光エネルギを電気エネルギに変換する光電池が、太陽光により発電する太陽電池として用いられている。太陽電池は、シリコン基板を太陽電池セルとして作り込む太陽電池セル工程と、太陽電池セル工程により製造された太陽電池セルを複数個配列及び封止してモジュール化する太陽電池モジュール工程とを含む製造工程により製造される。
【０００３】
太陽電池セルの製造に用いられるシリコン基板には、マイクロクラックと呼ばれる亀裂が生じる場合がある。マイクロクラックが生じたシリコン基板を用いて太陽電池セルを製造すると、太陽電池セル工程及び太陽電池モジュール工程の途中で割れる場合があり、そのような場合、製造ラインが停止することになる。製造ラインが停止した場合、太陽電池モジュールの生産性が低下するという問題が生じる。
【０００４】
また、前述のようなマイクロクラックを有する太陽電池セルが割れずに搭載され、太陽電池モジュールとして完成した場合であっても、マイクロクラックを有する太陽電池セルは、発電性能が低下しているため、全体としての発電出力が低下するという問題が発生する。
【０００５】
このようなマイクロクラックを有する太陽電池セルを検出する方法として、本願出願人は、特許文献１に示すように、太陽電池セルを強制的に湾曲させる検査方法を提案している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００２−３４３９９２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
太陽電池セル等の光電池セルにおいて、生産性の低下及び発電出力の低下は大きな問題であることから、様々な検査方法、より効率的な検査方法が求められている。
【０００８】
本発明は、このような状況に鑑みなされたものであり、基板等の光電池セルに係る板状体に対し、液体槽内で振動を印可することにより、効率的に異常を検出し、異常を有する板状体を選別し、更に除去することが可能な検出装置の提供を目的とする。
【０００９】
また、本発明は、本発明に係る検出装置を用いた異常検出方法の提供を他の目的とする。
【００１０】
また、本発明は、本発明に係る異常検出方法を適用した光電池セルの製造方法の提供を他の目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するため、本発明に係る検出装置は、光電変換機能を有する光電池セルに係る板状体の異常を検出する検出装置であって、液体槽と、前記液体槽内で、前記板状体を保持する保持器と、前記液体槽内に、振動を印可する振動印可器とを備えることを特徴とする。
【００１２】
また、本発明に係る異常検出方法は、光電変換機能を有する光電池セルに係る板状体の異常を検出する異常検出方法であって、液体内に、前記板状体を浸漬し、前記液体を媒体として、前記板状体に振動を印可することを特徴とする。
【００１３】
また、本発明に係る光電池セルの製造方法は、光電変換機能を有する光電池セルの製造方法であって、基板上に、光電変換機能を有する光電変換層を形成する層形成工程と、前記光電変換層が形成された基板の異常を検出する異常検出工程と、前記光電変換層にて発生した電気を取り出す電極を形成する電極形成工程とを有し、前記異常検出工程は、液体内に、前記光電変換層が形成された基板を浸漬し、前記液体を媒体として振動を印可することを特徴とする。
【００１４】
したがって、本発明では、マイクロクラック等の異常を有する板状体、例えば光電池セルの基板を効率的に検出することができる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明に係る検出装置、異常検出方法及び光電池セルの製造方法は、光電池セルに係る板状体、例えば太陽電池セルの製造に用いられる基板を液体内に浸漬し、液体を媒体として振動を印可する。これにより、マイクロクラック等の異常を有する板状体は、振動により破損するので、異常を有する板状体を選別し、除去することが可能となる。したがって、異常を有する板状体を効率的に検出し、さらに除去することが可能となる等、優れた効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明に係る検出装置の構成例を模式的に示す概略断面図である。
【図２Ａ】本発明に係る検出装置において、複数の板状体を保持した保持器の一例を模式的に示す正面図である。
【図２Ｂ】本発明に係る検出装置において、複数の板状体を保持した保持器の一例を模式的に示す平面図である。
【図２Ｃ】本発明に係る検出装置において、複数の板状体を保持した保持器の一例を模式的に示す側面図である。
【図３】本発明に係る検出装置の構成例を模式的に示す概略断面図である。
【図４】本発明に係る検出装置の構成例を模式的に示す概略断面図である
【図５】本発明に係る光電池の製造方法の一例を示すフローチャートである。
【図６】本発明に係る光電池の製造方法の一例を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。なお、以下の実施の形態は、本発明を具現化した一例であって、本発明の技術的範囲を限定する性格のものではない。
【００１８】
図１は、本発明に係る検出装置の構成例を模式的に示す概略断面図である。本発明に係る検出装置１は、光エネルギを電気エネルギに変換する光電変換機能を有する光電池セルに係る板状体２の異常の検出に用いられる。
【００１９】
光電池セルに係る板状体２とは、例えば、太陽光により発電する太陽電池セル、太陽電池セルの製造に要するシリコン基板、シリコン基板から太陽電池セルの製造に係る中間体等の部材である。
【００２０】
板状体２の異常とは、例えば、マイクロクラックと呼ばれる亀裂である。太陽電池セルの製造に際し、マイクロクラックを有する板状体２を検出し、製造ラインから除去することは、生産性の向上、太陽電池モジュールの品質向上等の観点から重要である。
【００２１】
図１に示すように、検出装置１は、水等の液体１００を満たした直方体状の液体槽１０を備えている。液体槽１０の内部には、複数枚の板状体２，２，…を液体槽１０内で保持することが可能な保持器１１が配置されており、保持器１１にて保持された複数枚の板状体２，２，…は、液体１００内に浸漬されている。
【００２２】
板状体２，２，…は、長方形状の薄板であり、保持器１１により、面同士が平行になるように立てた状態で保持されている。図１に示す概略断面図は、板状体２，２，…の面方向からの視点で記載されているため、手前側の板状体２のみが示されており、図面中奥行き方向に配置された板状体２，２，…は、手前側の板状体２により隠れている。
【００２３】
保持器１１は、液体槽１０の底部から離隔して配置されている。この配置により、破損した板状体２の破片は、保持器１１から離脱し、液体槽１０の底部に落下するため、選別除去を効率的に行うことが可能となる。
【００２４】
液体槽１０の外側の側面には、液体槽１０内に振動を印可する振動印可器１２が配設されている。振動印可器１２は、例えば、１５〜５００ｋＨｚの超音波振動を発生させる超音波発生器である。振動印可器１２が印可する超音波振動等の振動は、液体１００を媒体として、保持器１１に保持された板状体２，２，…へ伝達される。
【００２５】
図２Ａ、図２Ｂ及び図２Ｃは、本発明に係る検出装置１において、複数の板状体２，２，…を保持した保持器１１の一例を模式的に示す正面図、平面図及び側面図である。なお、図２Ｃの側面図に対する視点が、図１の概略断面図に対応する。
【００２６】
保持器１１は、図２Ｂに示すように平面視で長方形の枠状に形成されている。長方形の頂点となる位置には、長尺状をなす同一長の柱状部１１ａ，１１ａ，…が、長手方向が長方形を形成する面と直角をなすように、それぞれ配設されている。従って、４本の柱状部１１ａ，１１ａ，…の各先端は、仮想的な直方体の頂点に位置する配置となる。
【００２７】
保持器１１の正面側には、同一形状の上側前面板１１ｂ１及び下側前面板１１ｂ２が上下２段に離隔して配設されている。上側前面板１１ｂ１及び下側前面板１１ｂ２は、細幅の長方形状をなし、長手方向の両端が左右の柱状部１１ａ，１１ａに固定され、柱状部１１ａ，１１ａ間を渡すように配設されている。
【００２８】
保持器１１の正面側の底部には、左右の柱状部１１ａ，１１ａの下端部を繋ぐ前底枠１１ｃが配設されている。前底枠１１ｃは、細幅の長方形状をなす垂直板１１ｃ１及び水平板１１ｃ２の長辺同士が直角をなすように、すなわち側断面がＬ字状をなすように形成した枠であり、水平板１１ｃ２は、保持器１１の前面下端の長辺から後側へ向けて配設されている。
【００２９】
保持器１１の背面側には、上側前面板１１ｂ１と対をなす同一形状の上側後面板１１ｄ１が、上側前面板１１ｂ１と対称となるように配設されている。また、下側前面板１１ｂ２と対をなす同一形状の下側後面板１１ｄ２が、下側前面板１１ｂ２と対称となるように配設されている。
【００３０】
保持器１１の背面側の底部には、前底枠１１ｃと対をなす同一形状の後底枠１１ｅが、前底枠１１ｃと対称となるように配設されている。後底枠１１ｅは、細幅の長方形状をなす垂直板１１ｅ１及び水平板１１ｅ２の長辺同士が直角をなすように形成した枠であり、水平板１１ｅ２は、後面下端の長辺から前側へ向けて配設されている。ただし、前底枠１１ｃの水平板１１ｃ２と、後底枠１１ｅの水平板１１ｅ２とは離隔して配置されているため、保持器１１の底面は、開口部１１ｆとなっている。
【００３１】
保持器１１の右側面側には、細幅の長方形状をなす右側面板１１ｇが配設されている。右側面板１１ｇは、長手方向の両端が前後の柱状部１１ａ，１１ａに固定され、柱状部１１ａ，１１ａ間を渡すように配設されている。また、保持器１１の左側面側には、右側面板１１ｇと対をなす同一形状の左側面板１１ｈが、右側面板１１ｇと対称となるように配設されている。
【００３２】
図２Ａ、図２Ｂ及び図２Ｃに示すように、保持器１１を形成する上側前面板１１ｂ１、下側前面板１１ｂ２、前底枠１１ｃ、上側後面板１１ｄ１、下側後面板１１ｄ２、後底枠１１ｅ、右側面板１１ｇ及び左側面板１１ｈは、いずれも細幅の長方形状をなす薄板にて構成され、また、底面には開口部１１ｆが設けられている。これは、振動印可器１２から印可される振動を、保持器１１に遮蔽されることなく板状体２，２，…まで効果的に伝搬させるためである。
【００３３】
保持器１１内には、上側前面板１１ｂ１及び下側前面板１１ｂ２による前面と、上側後面板１１ｄ１及び下側後面板１１ｄ２による後面との間を渡す複数枚の仕切り板１１ｉ，１１ｉ，…が立設されており、仕切り板１１ｉ，１１ｉ，…により内部が複数の区画に分割されている。保持器１１内で分割された各区画は、板状体２，２，…を個別に１枚ずつ保持する個別保持部１１ｊ，１１ｊ，…となっている。すなわち、仕切り板１１ｉ，１１ｉ，…は、各板状体２，２，…が、それぞれ接触することを防止する。
【００３４】
図２Ａ、図２Ｂ及び図２Ｃ示す保持器１１は、個別保持部１１ｊ，１１ｊ，…に、複数の板状体２，２，…をそれぞれ離隔して１枚ずつ立てて保持する状態を示している。各板状体２，２，…は、下側の頂点近傍となる前後の端部が、前底枠１１ｃの水平板１１ｃ２と、後底枠１１ｅの水平板１１ｅ２とにそれぞれ当接することにより立てた状態で保持されている。
【００３５】
図３は、本発明に係る検出装置１の構成例を模式的に示す概略断面図である。図３は、図１に例示した検出装置１において、振動印可器１２にて超音波振動を印可した後の状態を例示している。本発明に係る検出装置１では、液体槽１０内で、保持器１１により、液体１００に浸漬された状態で保持された板状体２，２，…に対し、振動印可器１２にて、例えば、１５〜５００ｋＨｚの超音波振動を、液体１００を媒体として印可する。板状体２，２，…には、マイクロクラックと呼ばれる亀裂が生じている場合があり、マイクロクラックを有する板状体２は、印可された超音波振動により、マイクロクラックから破損し、割れることになる。破損して割れた板状体２の破片は、保持された状態が解除され、保持器１１の底面の開口部１１ｆから、液体槽１０の底部へ落下する。
【００３６】
図３では、保持されていた板状体２の一つが割れ、破片の一部が、液体槽１０の底部へ落下した状態を示している。図３の例では、便宜上、板状体２の破片の一部が前底枠１１ｃの水平板１１ｃ２及び後底枠１１ｅの水平板１１ｅ２に当接して落下していない状態で描画しているが、破片の重心を通る垂線が、水平板１１ｃ２及び水平板１１ｅ２から外れていることは明らかである。従って、図３に示された保持された状態の破片は、この後、開口部１１ｆから液体槽１０の底部へ落下することになる。
【００３７】
マイクロクラックを有する板状体２を、超音波振動にて破損させ、液体槽１０の底部へ落下させることにより、板状体２のマイクロクラックを検出し、また、マイクロクラックを有する板状体２を選別除去することができる。しかも、保持器１１は、複数の板状体２，２，…を保持することができ、複数の板状体２，２，…に対して同時に超音波振動を印可して、マイクロクラックを検出することができる。従って、１枚ずつ検査する場合と比べて処理能力に優れ、効率的なマイクロクラックの検出及び選別除去を実現することが可能である等、優れた効果を奏する。
【００３８】
検出装置１は、効率的な選別を実現するため、上述した複数枚の板状体２，２，…の保持だけでなく、構成上の様々な技術的特徴を有している。例えば、液体槽１０内の液体１００は、流れのない静水状態か、下方への流れが生じるように構成される。上方への流れが生じている場合、板状体２の破片が浮き上がり、下方へ沈降し難くなることから、静水状態か下方流が生じていることが望ましいからである。
【００３９】
また、破損し、破片となった板状体２が、保持器１１の底面の開口部１１ｆから容易に落下するように、開口部１１ｆは、十分な大きさを有するように開設される。さらに、保持された板状体２は、保持された状態が容易に解除されて落下するように、強固に固定されるのではなく、その端部が、前底枠１１ｃの水平板１１ｃ２と、後底枠１１ｅの水平板１１ｅ２とに当接した状態で保持される。
【００４０】
また、保持器１１内で個別保持部１１ｊ，１１ｊ，…を区分する仕切り板１１ｉ，１１ｉ，…は、各板状体２，２，…同士の接触を防止するだけでなく、板状体２が割れて生じた破片に対しても、他の板状体２、２，…又は他の破片との接触を防止する。即ち、個別保持部１１ｊ，１１ｊ，…の仕切り板１１ｉ，１１ｉ，…は、一の板状体２又は板状体２の破片と、他の板状体２又は板状体２の破片との接触を防止する機能を有する。
【００４１】
なお、個別保持部１１ｊ，１１ｊ，…の仕切り板１１ｉ，１１ｉ，…を用いても、例えば、保持器１１を液体槽１０から引き上げる際に、保持器１１から落下し損ねた破片が、他の保持された板状体２に表面張力により張り付く恐れがある。この様な状況を回避するため、仕切り板１１ｉ，１１ｉ，…にて区分される個別保持部１１ｊ，１１ｊ，…の大きさを十分にとり、板状体２，２，…同士を十分に離隔した状態で保持するように設計することが望まし。また、このような張り付きを防止するため、保持器１１の引き上げ時に、保持器１１の上方から水等の液体を掛けて流し落とす機構を設けるようにしてもよい。
【００４２】
図４は、本発明に係る検出装置１の構成例を模式的に示す概略断面図である。図４は、図１を用いて説明した検出装置１の他の形態であり、図１に例示した検出装置１では、振動印可器１２が液体槽１０の外側の側面に配置されていたのに対し、図４では、液体槽１０の外側の底面に振動印可器１２が配置された例を示している。
【００４３】
割れた板状体２の破片は、下方に落下し、液体槽１０内の底部に溜まるため、液体槽１０の底部に破片があると、底側から印可する超音波振動に変動が生じる恐れがある。安定した超音波振動を印可することを考慮すると、振動印可器１２は、図１に例示したように側面に配置することが望ましいが、設置場所及び設置環境の観点から、必ずしも側面に配置することが適切とは限らない。このような場合、図４に例示するように、底面に振動印可器１２を配置することも可能である。
【００４４】
次に本発明に係る検出装置１を用いた光電池の製造方法について説明する。図５は、本発明に係る光電池の製造方法の一例を示すフローチャートである。図５に例示した光電池セルの製造方法では、先ず、ステップＳ１として、拡散層形成工程が実施される。拡散層形成工程とは、シリコン基板等の基板上に、光電変換機能を有する光電変換層を形成する工程である。例えば、シリコン基板上に、ｎ型不純物であるリンを拡散したｎ＋層、ｐ型不純物であるボロンを拡散したｐ＋層等の拡散層を積層し、形成する工程である。
【００４５】
次に、ステップＳ２として、コンタクト形成工程が実施される。コンタクト形成工程とは、ステップＳ１にて形成した拡散層に、電極を形成するための接続部として、コンタクトを形成する工程である。コンタクト形成工程では、エッチングペースト塗布、加熱（エッチング）、洗浄等の処理が実施される。
【００４６】
次に、ステップＳ３として、クラック基板選別工程が実施される。クラック基板選別工程とは、光電変換層が形成された基板の異常を検出する工程である。即ち、図１〜図４を用いて説明したように、本発明に係る検出装置１を用い、液体槽１０内の液体１００に浸漬された板状体２に対し、液体１００を媒体として超音波振動を印可し、これにより破損した板状体２を異常が検出された基板として選別除去する工程である。図５に例示するクラック基板選別工程においては、光電変換層が形成された基板が、板状体２として取り扱われる。
【００４７】
次に、ステップＳ４として、電極形成工程が実施される。電極形成工程とは、光電変換層にて発生した電気を取り出す電極を形成して、光電池セルとする工程である。電極形成工程では、コンタクト形成工程にて形成されたコンタクトに対して電極が形成される。例えば、コンタクトに対して銀ペーストを塗布することにより、ｎ＋層には、ｎ型用電極が形成され、ｐ＋層にはｐ型用電極が形成される。
【００４８】
次に、ステップＳ５として、外観検査工程が実施される。外観検査工程とは、ステップＳ１〜Ｓ４として示した工程を経て製造された光電池セルの外観を検査し、異常が検出された光電池セルを選別除去する工程である。
【００４９】
次に、ステップＳ６として、特性検査工程が実施される。特性検査工程とは、光電池セルの電気的特性、化学的特性、耐久性等の品質特性を検査し、予め設定されている品質基準を満たさない光電池セルを選別除去する工程である。
【００５０】
以上のステップＳ１〜Ｓ６がセル工程と呼ばれる工程であり、光電池セルの製造及び検査が実施される。そして、ステップＳ７として、光電池セルを複数個配列及び封止してモジュール化する光電池モジュール製造工程が実施される。
【００５１】
図５を用いて説明した製造方法において、ステップＳ３のクラック基板選別工程は、他の工程と順序を入れ替え、又は他の工程に組み込むことも可能である。図６は、本発明に係る光電池の製造方法の一例を示すフローチャートである。図６は、図５に用いて説明した製造方法において、ステップＳ２のコンタクト形成工程に、ステップＳ３のクラック基板選別工程を組み込んだ形態である。
【００５２】
図６に示す製造方法では、ステップＳ１として、拡散層形成工程を実施した後、ステップＳ２１として、エッチングペースト塗布工程を実施し、ステップＳ２２として、加熱（エッチング）工程を実施する。エッチングペース塗布工程及び加熱工程は、ステップＳ２のコンタクト形成工程として示した工程の一部で有り、拡散層を形成したシリコン基板に対し、エッチングペーストの塗布及び焼結によるエッチングを行う工程であり、従来の方法を転用することができる。
【００５３】
そして、ステップＳ２３として、洗浄工程及びクラック基板選別処理工程を実施する。洗浄工程及びクラック基板選別処理工程とは、エッチング後の基板に対する表面洗浄として、超音波洗浄を実施すると共に、洗浄に要する超音波により、クラック基板選別処理を行う工程である。即ち、ステップＳ２のコンタクト形成工程の一部として実施した洗浄工程と、ステップＳ３のクラック基板選別処理工程とを、一つの工程にまとめる形態である。
【００５４】
そして、図６に例示する製造方法では、電極形成工程等のステップＳ４以降の工程を実施する。ステップＳ４以降の工程は、図５に例示した製造方法と同様であるので、ここでは、その説明を省略する。このように、コンタクト形成工程にクラック基板選別処理工程を組み込むことで、工程の簡略化、製造時間の短縮等の効果を見込むことができる。
【００５５】
このように、本発明の検出装置１を用いたクラック基板選別工程は、他の工程に組み込むことも可能であり、また、実施する順序及び回数を変更することも可能である。例えば、拡散層形成工程の前後いずれか、又は両方で実施することも可能である。また、コンタクト形成工程の前処理に組み込むことも可能である。
【００５６】
一般的に、拡散層形成工程、コンタクト形成工程等の工程では、熱変形等の要因により、クラックが発生し易い環境となる。従って、拡散層形成工程及びコンタクト形成工程を実施後、即ち、図５及び図６を用いて例示したように、クラック基板選別工程を、コンタクト形成工程の実施後に、又はコンタクト形成工程の最後に組み込むことが望ましい。これにより、以降の工程でクラックによる基板割れが発生する可能性を低減することが可能となる。
【００５７】
一方で、電極形成工程後に、クラック基板選別工程を実施する場合、超音波の印可に起因して、電極が基板から剥がれたり、電極自体が破壊されたりしないように対策を講じる必要が生じる。
【００５８】
このように、本発明に係る検出装置１を用いたクラック基板選別工程は、様々な過程に組み込むことができるので、その対象となる板状体２は、光電池セル、光電池セルの製造に要するシリコン基板、又はシリコン基板から光電池セルの製造に係る中間体となる。
【００５９】
前記実施の形態は、本発明の無数に存在する実施例の一部を開示したに過ぎず、目的、用途、仕様、対象等の様々な要因を加味して適宜設計することが可能である。
【００６０】
例えば、液体槽に配置する振動印可器は１台である必要は無く、複数台の振動印可器を異なる位置に配設し、様々な方向から超音波振動を印可するようにしても良く、また、印可する振動についても、超音波域以外の振動数の振動であっても良い。例えば、複数台の振動印可器を配設する場合、振動印可器を液体槽の左右の側面側に配設するようにしてもよく、また、液体槽の側面側と底面側とに配設するようにしてもよい。
【００６１】
また、マイクロクラックを有する基板の選別と、基板の洗浄とを一つの工程として実施する場合、液体槽に満たす液体として、水以外の洗浄液を用いても良く、また、超純水等の純度の高い水を用いるようにしても良い。
【００６２】
また、板状体の保持の仕方についても、板状体が破損した場合に、保持が解除されるのであれば、例えば、板状体に対し、左右から押圧して挟持することにより保持する形態であっても良い。
【符号の説明】
【００６３】
１  検出装置
１０  液体槽
１１  保持器
１１ｉ  仕切り板
１１ｊ  個別保持部
１２  振動印可器
１００  液体
２  板状体
【図１】
2014072396.tif 000003
【図２Ａ】
2014072396.tif 000004
【図２Ｂ】
2014072396.tif 000005
【図２Ｃ】
2014072396.tif 000006
【図３】
2014072396.tif 000007
【図４】
2014072396.tif 000008
【図５】
2014072396.tif 000009
【図６】
2014072396.tif 000010