(57)【要約】【課題】液面レベルが低い場合であっても超音波センサが有する不感帯の影響を受けることなく液面レベルを短時間で測定することができる液体用容器を提供すること。【解決手段】液体を貯留する容器本体１と、該容器本体１の外側壁に当接し且つ超音波が該液体中に発信されるように設置された超音波センサ２と、該容器本体１の内底部に設置され且つ超音波センサ２から該液体中に発信された超音波を該液体の液面に向けて反射する反射手段３とを備え、該反射手段３は、該超音波センサ２から該反射手段３の反射面までの超音波経路のうち該液体中を通過する距離が該超音波センサ２の不感帯となる距離よりも大きくなる位置に設置されている液体用容器。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を貯留する容器本体と、
該容器本体の外側壁に当接し且つ超音波が該液体中に発信されるように設置された超音波センサと、
該容器本体の内底部に設置され且つ超音波センサから該液体中に発信された超音波を該液体の液面に向けて反射する反射手段と
を備え、
該反射手段は、該超音波センサから該反射手段の反射面までの超音波経路のうち該液体中を通過する距離が該超音波センサの不感帯となる距離よりも大きくなる位置に設置されている液体用容器。
【請求項２】
前記反射手段で反射された超音波を前記液体の液面に向けて案内すると共に、その液面からの反射波を前記反射手段に向けて案内するためのガイド手段を更に備える請求項１に記載の液体用容器。
【請求項３】
前記容器本体の外側壁に当接し且つ超音波が前記液体中に発信されるように設置された校正用超音波センサと、
前記容器本体の内底部に設置され且つ該校正用超音波センサから前記液体中に発信された超音波を該校正用超音波センサに向けて反射する校正用反射手段と
を更に備える請求項１又は２に記載の液体用容器。
【請求項４】
前記容器本体内を真空排気するための排気手段を更に備える請求項１〜３のいずれか一項に記載の液体用容器。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載の液体用容器に貯留された液体の液面レベルを測定する方法であって、前記超音波センサから超音波が発信されてから受信するまでの時間を計測し、その計測時間を距離に換算し、その距離から、前記超音波センサから前記反射手段の反射面までの超音波経路のうち前記液体中を通過する距離を減算することを含む、液面レベルの測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、容器内部に貯留された液体の液面レベルを外部から測定することができる液体用容器、及び該液体用容器を用いた液面レベルの測定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、容器内部に貯留された液体の液面レベルを超音波センサを用いて検出または測定する容器は多数知られている。なかでも、超音波センサを容器内部に設置した場合に、貯留される液体が汚染されたり超音波センサが腐食されるといった問題が起こり得る容器（例えば、半導体の製造等に用いられる化学気相成長法用原料用の容器、自動車用のバッテリーケース等）では、超音波センサを容器外部に設置し、液面レベルを外部から検出または測定する必要がある。
【０００３】
そこで、このような要求に応える技術が幾つか提案されている。例えば、特許文献１には、容器の外部側面に当接される超音波センサと、超音波センサを容器外部側面に沿って鉛直方向に変位させる変位手段と、容器内部へ発射された超音波に対する反射波の出力レベルの変化に基づいて液面レベルを検出する液面検出手段とを備える液面レベル検出装置が開示されている。また、特許文献２には、タンクの外部底面に整合層を介して取り付けられた圧電素子と、圧電素子を厚み方向に振動させてタンク内に超音波を発射させる超音波発射手段と、タンク内に貯留されている液体の液面で反射して戻ってくる超音波を受信する超音波受信手段と、超音波が発射されてから受信されるまでの時間に基づいてタンク内に貯留されている液体の液面レベルの絶対値を検出する液面レベル検出手段とを備える液面レベル検出装置が開示されている。また、特許文献３には、互いに接続されている測定室及び入口室を有するハウジングの外で測定室の範囲にあるハウジングの底に超音波送受信器を設けた液面レベルを求めるための超音波センサが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０００−１２１４１０号公報
【特許文献２】特開２０００−３１４６５１号公報
【特許文献３】特表２００９−５４４０４５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に開示されている液面レベル検出装置は、超音波センサを変位させては超音波を発射し、液体が有るか否かを検出する作業を繰返すものであり、液面レベルを測定するまでに時間が掛かるという問題があった。また、特許文献２に開示されている液面レベル検出装置及び３に開示されている超音波センサでは、センサを底部に設置しているため、容器内部に貯留された液体の液面レベルが一定値以下になると測定することができなくなってしまうという問題があった。これは、超音波センサが測定不能領域（不感帯という場合がある。）を有することに起因するものである。
【０００６】
従って、本発明が解決しようとする課題は、液面レベルが低い場合であっても超音波センサが有する不感帯の影響を受けることなく液面レベルを短時間で測定することができる液体用容器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明者等は、検討を重ねた結果、超音波センサから液体中に発信された超音波を液体の液面に向けて反射することのできる反射手段を容器本体の特定の位置に設置することにより、上記課題を解決できることを知見し、本発明に到達した。
即ち、本発明は、液体を貯留する容器本体と、該容器本体の外側壁に当接し且つ超音波が該液体中に発信されるように設置された超音波センサと、該容器本体の内底部に設置され且つ超音波センサから該液体中に発信された超音波を該液体の液面に向けて反射する反射手段とを備え、該反射手段は、該超音波センサから該反射手段の反射面までの超音波経路のうち該液体中を通過する距離が該超音波センサの不感帯となる距離よりも大きくなる位置に設置されている液体用容器である。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、液面レベルが低い場合であっても、超音波センサが有する不感帯の影響を受けることなく液面レベルを短時間で測定することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の実施形態に係る液体用容器の概要図である。
【図２】本発明の実施形態に係る液体用容器の概要図である。
【図３】本発明の実施形態に係る液体用容器の概要図である。
【図４】本発明の実施形態に係る液体用容器の概要図である。
【図５】本発明の実施形態に係る液体用容器の概要図である。
【図６】本発明の実施形態に係る液体用容器の概要図である。
【図７】本発明の実施形態に係る液体用容器の断面図である。
【図８】図７で示す液体用容器を上方から見た場合の構成図である。
【図９】実施例１で用いた液体用容器におけるＬ１及びＬ２を示す模式図である。
【図１０】比較例１で用いた液体用容器におけるＬ３を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。しかしながら、本発明は以下の図面によって何ら制限を受けるものではない。
図１は、本発明の実施形態に係る液体用容器の概要図である。同図において、本発明の液体用容器は、液体を貯留する容器本体１、超音波センサ２及び反射手段３を備えている。容器本体１は、天板、側壁及び底板で構成された円筒状のものである。なお、本発明に用いられる容器本体１の形状は、これに限定されるものではなく、所望の量の液体を貯留するための容積を有する形状であればよい。容器本体１の別の形状としては、例えば、円錐状、角柱状、角錐状等が挙げられるが、洗浄の容易さを考慮すると、容器本体１の形状は、円筒状であることが好ましい。
【００１１】
本発明に用いられる容器本体１の素材は、特に限定されるものではないが、容器本体１と容器内部に貯留される液体が接触することによって、容器本体１及び容器内部に貯留される液体が変質しないものであればよい。容器本体１の素材としては、例えば、ガラス、金属、プラスチック、ステンレス、テフロン（登録商標）等が挙げられる。化学気相成長法用原料として用いられる高純度化合物を貯留するために用いられる容器の場合、容器の洗浄性が良く、強度が高く、さらに容器内部に貯留される液体を変質させることが少ないことから、ステンレスが特に好ましい。
【００１２】
超音波センサ２は、送波器により超音波を対象物に向け発信し、その反射波を受波器で受信することにより、対象物の有無や対象物までの距離を検出及び測定するセンサである。超音波センサ２は、容器本体１の側壁の外面最下部に接触した状態で容器本体１に取り付けられている。超音波センサ２からの超音波は、容器本体１に貯留された液体中に側壁を介して発信される。本発明に用いられる超音波センサ２は、特に限定されるものではなく、周知一般の超音波センサを用いることができる。また、超音波センサ２は容器本体１の側壁の外面に固定してもよく、着脱可能なものであってもよい。
【００１３】
反射手段３は、鉛直方向に対して傾斜された反射面３ａを有する部材であり、容器本体１内部の底板の上面に取り付けられている。本発明に用いられる反射手段３の形状は、例えば、角錐、板状、立方体、直方体、角柱等であるか、またはこれらの形状の組合せからなっていてもよい。本発明に用いられる反射手段３の素材は、特に限定されるものではなく、超音波を反射することができるものであればよく、具体的には、ガラス、金属、プラスチック、ステンレス、テフロン（登録商標）等が挙げられる。反射手段３の素材は、容器本体１に用いられる素材と同一でもあってもよく、異なっていてもよいが、素材が異なる場合には接合部から液体漏れが生じる恐れや容器内部を洗浄する際に使用する洗浄剤の種類が制限される恐れがあることから、容器本体１と同じ素材を用いることが好ましい。また、本発明に係る液体用容器が、化学気相成長法用原料として用いられる高純度化合物を貯留するために用いられる場合、反射手段３の素材は、容器内部に貯留される液体を変質させることが少ないことから、ステンレスが特に好ましい。また、反射手段３は、容器本体１と一体であってもよく、溶接やネジ、ビス等に代表される固定部材によって取り付けられていてもよい。
【００１４】
さらに、反射手段３は、超音波センサ２と反射手段３の反射面３ａとが向き合うように配置されている。また、反射面３ａの傾斜角度は、特に限定されず、超音波センサ２から発信された超音波を、液面方向に転換できるような角度であればよい。超音波センサ２から液体中に発信された超音波は、液体の液面に向けて反射手段３の反射面３ａで反射される。液体の液面でさらに反射された反射波は、超音波センサ２に向けて反射面３ａで再度反射され、超音波センサ２に到達する。
【００１５】
周知のように、超音波センサは、測定不能領域（不感帯）を有する。このため、超音波センサから液面までの距離が不感帯となる距離より小さくなってしまうと、液面レベルを測定することができない。本発明では、反射手段３は、超音波センサ２から反射手段３の反射面３ａまでの超音波経路のうち該液体中を通過する距離が超音波センサ２の不感帯となる距離よりも大きくなる位置に取り付けられている。これにより、反射面３ａにおける超音波の反射位置よりも液面が高い限り、超音波センサ２が有する不感帯の影響を受けることなく液面レベルを短時間で測定することができる。
【００１６】
図２は、本発明の別の実施形態に係る液体用容器の概要図である。同図において、本発明の液体用容器は、容器本体１、超音波センサ２、反射手段３及びガイド手段４を備えている。容器本体１、超音波センサ２及び反射手段３の構成は、図１と同じであるため、ここでは説明を省略する。
【００１７】
ガイド手段４は、周壁を有する円筒状のものである。ガイド手段４は、反射手段３の反射面３ａで反射された超音波を液体の液面に向けて案内すると共に、その液面からの反射波を反射手段３に向けて案内するように、容器本体１内部に取り付けられている。また、ガイド手段４は、容器本体１や反射手段３と一体になっていてもよく、溶接やネジ、ビス等に代表される固定部材によって取り付けられていてもよい。なお、ガイド手段４の形状は、これに限定されるものではなく、反射手段３で反射された超音波を液体の液面に向けて案内すると共に、その液面からの反射波を反射手段３に向けて案内することができる形状であればよい。ガイド手段４の別の形状としては、例えば、角筒状や板状等が挙げられる。円筒状または角筒状であるものが、超音波の減衰を抑える効果が高く好ましい。
【００１８】
ガイド手段４に用いられる素材は、特に限定されるものではないが、ガイド手段４と容器本体１に貯留される液体が接触することによって、ガイド手段４及び容器本体１に貯留される液体を変質させないものであればよく、容器本体１と同じ素材であることが好ましい。
【００１９】
また、ガイド手段４は、超音波センサ２から発信された超音波が、反射手段３の反射面３ａに到達できるように、開口部４ａを有する。詳しくは、開口部４ａは、ガイド手段４の周壁の超音波センサ２が設置されている方向の最下部に設けられている。開口部４ａの形状や大きさは、特に限定されず、超音波センサ２から発信された超音波が、開口部４ａを通過して、反射手段３の反射面３ａに到達できるような大きさや形状であればよい。なお、ガイド手段４は、反射手段３の反射面３ａを覆わないような長さのものを使用することもでき、その場合は、開口部４ａを設ける必要はない。
【００２０】
超音波センサ２から液体中に発信された超音波は、開口部４ａを通過して液体の液面に向けて反射手段３の反射面３ａで反射され、ガイド手段４の周壁の内部領域を通過して液面に到達する。該液体の液面でさらに反射された反射波は、ガイド手段４の周壁の内部領域を通過して超音波センサ２に向けて反射面３ａで再度反射され、開口部４ａを通過して超音波センサ２に到達する。ガイド手段４を備えることにより、加熱、振動等によって容器内部に貯留される液体に泡が発生した場合であっても泡の測定への影響を減らすことができ、且つ超音波の拡散が防止されて超音波の減衰を抑えることができる。
【００２１】
なお、開口部４ａとは別に、ガイド手段４の周壁を貫通する１つ以上の穴を設けることで、容器本体１に貯留される液体の流動性を向上させてもよい。穴の位置は、特に限定されるものではなく、ガイド手段４の周壁の上部、中部及び下部のいずれでもよい。また、穴の形状は特に限定させるものではなく、円状、多角状等が挙げられる。
【００２２】
このような液体用容器では、ガイド手段４を備えることにより、加熱、振動等によって容器内部に貯留される液体に泡が発生した場合であっても泡の測定への影響を減らすことができ、且つ超音波の拡散が防止されて超音波の減衰を抑えることができるため、高精度で液面レベルを測定することができる。
【００２３】
図３は、本発明の別の実施形態に係る液体用容器の概要図である。同図において、本発明の液体用容器は、容器本体１、超音波センサ２、反射手段３、校正用超音波センサ５及び校正用反射手段６を備えている。なお、容器本体１、超音波センサ２及び反射手段３の構成は、図１と同じであるため、ここでは説明を省略する。
【００２４】
図４は、本発明の別の実施形態に係る液体用容器の概要図である。同図において、本発明の液体用容器は、容器本体１、超音波センサ２、反射手段３、校正用超音波センサ５及び校正用反射手段６を備えている。図３に示す液体用容器では、反射手段３と校正用反射手段６とが別々に設けられていたが、図４に示す液体用容器では、反射手段３と校正用反射手段６とが一体となっている点が図３に示す液体用容器と異なる。なお、容器本体１、超音波センサ２及び反射手段３の構成は、図１と同じであるため、ここでは説明を省略する。
【００２５】
校正用超音波センサ５は、容器本体１の側壁の外面最下部に接触した状態で容器本体１に取り付けられている。なお、校正用超音波センサ５は容器本体１の側壁の外面に固定してもよく、着脱可能なものであってもよい。校正用超音波センサ５からの超音波は、容器本体１に貯留された液体中に側壁を介して発信される。校正用超音波センサ５は、特に限定されるものではなく、周知一般の超音波センサを用いることができる。また、校正用超音波センサ５は、超音波センサ２と同じ種類の超音波センサを用いてもよく、異なる種類の超音波センサを用いてもよい。
【００２６】
校正用反射手段６は、底板に対して鉛直となる反射面６ａを有する直方体状の部材であり、容器本体１内部の底板の上面に溶接やネジ、ビス等に代表される固定部材によって取り付けられている。なお、校正用反射手段６の形状は、これに限定されず、例えば、板状、立方体、角錐、角柱等であるか、またはこれらの形状の組み合わせからなっていてもよい。また、校正用反射手段６は、図４のように反射手段３と一体であってもよい。なお、校正用反射手段６は、容器本体１及びガイド手段４と一体であってもよい。
【００２７】
校正用反射手段６の素材は、特に限定されるものではなく、超音波を反射することができるものであればよく、具体的には、ガラス、金属、プラスチック、ステンレス、テフロン（登録商標）等が挙げられる。校正用反射手段６の素材は、容器本体１に用いられる素材と同一でもあってよく、異なっていてもよいが、素材が異なる場合には接合部から液体漏れが生じる恐れや容器内部を洗浄する際に使用する洗浄剤の種類が制限される恐れがあることから、容器本体１と同じ素材を用いることが好ましい。また、本発明に係る液体用容器が、化学気相成長法用原料として用いられる高純度化合物を貯留するために用いられる場合、校正用反射手段６の素材は、容器内部に貯留される液体を変質させることが少ないことから、ステンレスが特に好ましい。
【００２８】
校正用反射手段６は、校正用反射手段６の反射面６ａと校正用超音波センサ５とが向き合うように配置されている。さらに、周知のように、超音波センサは、測定不能領域（不感帯）を有するため、校正用反射手段６は、校正用超音波センサ５から校正用反射手段６の反射面６ａまでの超音波経路のうち液体中を通過する距離が校正用超音波センサ５の不感帯となる距離よりも大きくなる位置に設置される。校正用超音波センサ５から液体中に発信された超音波は、校正用反射手段６の反射面６ａで校正用超音波センサ５に向けて反射され、校正用超音波センサ５に到達する。
【００２９】
一般的に、容器内部に貯留された液体の液面レベルを検出する場合、容器内部に貯留する液体の種類や液体の温度によって、液中を伝わる超音波の速度が変化するため、予め種々の条件の校正値を用意しておかなければ、正確な値を測定することができない場合がある。そこで、このような校正用超音波センサ５及び校正用反射手段６を備えることで、液面レベルを測定する際の容器内部に貯留する液体の種類や液体の温度等の条件下における超音波の音速の校正値を得ることができるため、予め種々の条件の校正値を用意しなくとも、より正確な値を測定することができる。
【００３０】
図５は、本発明の別の実施形態に係る液体用容器の概要図である。同図において、本発明の液体用容器は、容器本体１、超音波センサ２、反射手段３、ガイド手段４、校正用超音波センサ５及び校正用反射手段６を備えている。容器本体１、超音波センサ２、反射手段３及びガイド手段４の構成は、図２と同じであり、校正用超音波センサ５の構成は、図３と同じであるため、説明は省略する。校正用反射手段６は、ガイド手段３の周壁の外部領域に配置される。校正用反射手段６のその他の構成は、図３と同じであるため、ここでは説明を省略する。
【００３１】
図６は、本発明に別の実施形態に係る液体用容器の概要図である。同図において、本発明の液体用容器は、容器本体１、超音波センサ２、反射手段３、ガイド手段４、校正用超音波センサ５及び校正用反射手段６を備えており、反射手段３と校正用反射手段６とが一体となっている。容器本体１、超音波センサ２、反射手段３、校正用超音波センサ５及び校正用反射手段６の構成は、図４と同じであるため、ここでは説明を省略する。
【００３２】
ガイド手段４は、校正用超音波センサ５から発信された超音波が、校正用反射手段６の反射面６ａに到達できるように、開口部４ｂを有する。詳しくは、開口部４ｂは、ガイド手段４の周壁の校正用超音波センサ５が設置されている方向の最下部に設けられている。開口部４ｂの形状や大きさは、特に限定されず、校正用超音波センサ５から発信された超音波が、開口部４ｂを通過して、校正用反射手段６の反射面６ａに到達できるような大きさや形状であればよい。なお、ガイド手段４は、校正用反射手段６の反射面６ａを覆わないような長さのものを使用することもでき、その場合は、開口部４ｂを設ける必要はない。ガイド手段４のその他の構成は図２と同じであるため、ここでは説明を省略する。
【００３３】
図７は、本発明の別の実施形態に係る液体用容器側面断面図であり、図８は、図７で示す液体用容器を上方から見た場合の図である。図７及び図８で表される液体用容器は、同一のものである。図７において、本発明の液体用容器は、容器本体１、超音波センサ２、反射手段３、第１の液体輸送用手段７ａ、第２の液体輸送手段７ｂ、気体輸送用手段８、制御機構９ａ，９ｂ，９ｃ及び開閉機構１０を備えている。容器本体１、超音波センサ２及び反射手段３の構成は、図３と同じであるため、ここでは説明を省略する。
【００３４】
第１の液体輸送用手段７ａは、容器本体１を貫通して容器本体１に溶接やネジ、ビス等に代表される固定部材によって取り付けられている管状のものである。第１の液体輸送用手段７ａの形状は、これに限定されず、液体が輸送できるような形状ものであればよい。容器本体１内に挿入された第１の液体輸送用手段７ａの端部は、容器本体１内部の底板の上面近傍まで延びている。このような第１の液体輸送用手段７ａを備えることにより、容器本体１内に液体を導入したり、貯留された液体を系外に排出することができる。
【００３５】
第２の液体輸送用手段７ｂは、容器本体１を貫通して容器本体１に溶接やネジ、ビス等に代表される固定部材によって取り付けられている管状のものである。第２の液体輸送用手段７ｂの形状は、これに限定されず、液体が輸送できるような形状ものであればよい。容器本体１内に挿入された第２の液体輸送用手段７ｂの端部は、容器本体１内に挿入された第１の液体輸送用手段７ａの端部よりも上方に位置している。このような第２の液体輸送用手段７ｂを備えることにより、第１の液体輸送用手段７ａが閉塞して使用できなくなった場合であっても、容器本体１内に液体を導入したり、貯留された液体を系外に排出することができる。さらに、第２の液体輸送用手段７ｂから容器本体１内に洗浄液を導入することで、容器内部を効率良く洗浄することができる。
【００３６】
第１の液体輸送用手段７ａ及び第２の液体輸送用手段７ｂの素材は、特に限定されるものではなく、第１の液体輸送用手段７ａ及び第２の液体輸送用手段７ｂと液体とが接触することによって、これらが変質しないものであればよいが、容器本体１と同じ素材を用いることが好ましい。
なお、第１の液体輸送用手段７ａ及び第２の液体輸送用手段７ｂは、超音波センサ２から液体中に発信された超音波の障害とならないよう、第１の液体輸送用手段７ａ及び第２の液体輸送用手段７ｂの容器本体１内に挿入された部分が超音波経路上に存在しないように設置されている。
【００３７】
気体輸送用手段８は、容器本体１を貫通して容器本体１に溶接やネジ、ビス等に代表される固定部材によって取り付けられている管状のものである。気体輸送用手段８は、これに限定されず、気体が輸送できるような形状ものであればよい。気体輸送用手段８は、気体輸送用手段８の容器本体１内に挿入された部分が容器本体１に貯留された液体と接触しないよう、容器を静置したときに気体輸送用手段８の端部が液体の液面よりも上方となるように設置されている。気体輸送用手段８は、容器本体１内を真空排気する機能を有するもの（排気手段）であってもよいし、あるいは容器本体１内に気体を注入する機能を有するものであってもよい。気体輸送用手段８が容器本体１内を真空排気する機能を有する場合、半導体の製造等に用いられる化学気相成長法用原料の容器として好適である。その理由は、本発明に係る液体用容器では、超音波が伝わる媒体が液体であるため、容器本体１内を真空状態にしていても液面レベルを正しく測定することができるためである。また、気体輸送用手段８から容器本体１内に気体を注入することで、第１の液体輸送用手段７ａ又は第２の液体輸送用手段７ｂから液体を系外に排出し易くすることができる。
【００３８】
気体輸送用手段８の素材は、特に限定されるものではなく、気体輸送用手段８と輸送される気体とが接触することによって、これらが変質しないものであればよいが、容器本体１と同じ素材を用いることが好ましい。
【００３９】
第１の液体輸送用手段７ａ、第２の液体輸送用手段７ｂ及び気体輸送用手段８は、バルブに代表される制御機構９ａ，９ｂ，９ｃを容器本体１の外部にそれぞれ有している。バルブとしては、特に限定されるものではなく、周知一般に用いられるものを用いればよいが、例えば、ゲートバルブ、ボールバルブ、ダイアフラムバルブ等が挙げられる。
【００４０】
開閉機構１０は、容器本体１の天板に設けられた蓋である。開閉機構１０は、円板状であり、ネジ、ビス等に代表される固定部材によって、容器本体１に固定されていてもよく、着脱可能なものであってもよい。なお、開閉機構１０の形状は、これに限定されない。
【００４１】
開閉機構１０の素材は、特に限定されるものではなく、開閉機構１０と容器本体１内の液体若しくはそれから生じる蒸気とが接触することによって、これらが変質しないものであればよいが、容器本体１と同じ素材を用いることが好ましい。
【００４２】
また、必要に応じて、容器本体１の天板、側壁及び底板には、結合用手段を設け、液体用容器そのものを台等に固定したり、液体用容器に接続された配管を固定してもよい。結合用手段としては、ネジ、ビス等に代表される固定部材が挙げられる。
【００４３】
また、本発明の上記液体用容器に貯留された液体の液面レベルは、超音波センサから超音波が発信されてから受信するまでの時間を計測し、その計測時間を距離に換算し、その距離から、超音波センサから反射手段の反射面までの超音波経路のうち液体中を通過する距離を減算することにより求めることができる。
【００４４】
以上のように、本発明の液体用容器は、液面レベルが低い場合であっても超音波センサが有する不感帯の影響を受けることなく液面レベルを短時間で測定することができる。また、本発明のガイド手段を備える液体用容器は、液面レベルを測定する際に、加熱、振動等によって容器内部に貯留された液体に泡が発生した場合であっても測定への影響を減らすことができ、且つ超音波の拡散が防止されて超音波の減衰を抑えることができるため、高精度で液面レベルを測定することができる。また、本発明の校正用超音波センサ及び校正用反射手段を備える液体用容器は、予め様々な条件での校正値を用意しなくとも、高精度に液面レベルを測定することができる。また、本発明の排気手段を備える液体用容器は、化学気相成長法原料として用いられる高純度化合物を貯留するのに好適に使用できる。
【実施例】
【００４５】
以下、実施例により本発明を更に詳細に説明する。しかしながら、本発明は以下の実施例等によって何ら制限を受けるものではない。
【００４６】
＜実施例１＞
本発明の液体用容器を用いて液面レベルを測定した。実施例１で用いた液体用容器の形態を図９に示す。ここで、Ｌ１は超音波センサ２から反射手段３の反射面３ａまでの超音波経路のうち超音波が液体中を通過する距離を表し、Ｌ２は反射手段３の反射面３ａから液面までの距離を表す。Ｌ１＝６０ｍｍ、Ｌ２＝２０ｍｍとしてＬ１＋Ｌ２を測定した。Ｌ１は一定であることから、液面レベルはＬ１＋Ｌ２からＬ１を減算することで算出することができる。なお、この超音波センサの不感帯は３０ｍｍである。結果を表１に示す。
【００４７】
＜比較例１＞
超音波センサを容器本体の外底部に設置した液体用容器を用いて、液面レベルを測定した。比較例１で用いた液体用容器の形態を図１０に示す。ここで、Ｌ３は超音波センサ２から液面までの超音波経路のうち超音波が液中を通過する距離を表す。Ｌ３＝２０ｍｍとして測定した。なお、この超音波センサの不感帯は３０ｍｍである。結果を表１に示す。
【００４８】
【表１】
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【００４９】
実施例１の結果により、本発明によれば、容器内部に貯留された液体の液面レベルが超音波センサの不感帯よりも低い場合においても、液面レベルを正確に測定することができることがわかる。
【符号の説明】
【００５０】
１  容器本体、２  超音波センサ、３  反射手段、３ａ  反射面、４  ガイド手段、４ａ，４ｂ  開口部、５  校正用超音波センサ、６  校正用反射手段、６ａ  反射面、７ａ  第１の液体輸送用手段、７ｂ  第２の液体輸送手段、８  気体輸送手段、９ａ，９ｂ，９ｃ  制御機構、１０  開閉機構。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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