(57)【要約】【課題】非動作状態にあるときには黒表示となり、ＭＥＭＳシャッターを静電駆動により移動させるバネ同士が張り付くことを防止する。【解決手段】本発明の一実施形態として、光透過部を有する基板と、前記光透過部に対向する開口部を有する対向基板と、前記基板と前記対向基板との間に形成されたＭＥＭＳシャッターを前記基板と前記対向基板との間を静電駆動により移動させるための対向する第１の組のバネを有し、前記開口部と前記光透過部とを通過する光の制御を行う表示装置であり、前記第１の組のバネ間の電位が同じであれば、前記ＭＥＭＳシャッターは前記開口部と前記光透過部とを通過しようとする光を遮断することを特徴とする表示装置を提供する。【選択図】図４
2014077910.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光透過部を有する基板と、
前記光透過部に対向する開口部を有する対向基板と、
前記基板と前記対向基板との間に形成されたＭＥＭＳシャッターを前記基板と前記対向基板との間を静電駆動により移動させるための対向する第１の組のバネを有し、前記開口部と前記光透過部とを通過する光の制御を行う表示装置であり、
前記第１の組のバネ間の電位が同じであれば、前記ＭＥＭＳシャッターは前記開口部と前記光透過部とを通過しようとする光を遮断することを特徴とする表示装置。
【請求項２】
前記ＭＥＭＳシャッターは開口を有し、
前記第１の組のバネ間の電位が同じであれば、前記ＭＥＭＳシャッターの前記開口を除く部分が前記開口部と前記光透過部との間に位置することを特徴とする請求項１に記載の表示装置。
【請求項３】
前記第１の組のバネが前記ＭＥＭＳシャッターに接続されているのとは反対側に第２の組のバネを有し、
前記第１の組のバネ間の電位が同じであり前記第２の組のバネ間の電位が同じであれば、前記ＭＥＭＳシャッターの前記開口を除く部分が前記開口部と前記光透過部との間に位置することを特徴とする請求項２に記載の表示装置。
【請求項４】
前記基板の前記光透過部と前記対向基板の前記開口部とのそれぞれは、前記ＭＥＭＳシャッターの移動方向に複数並び、
前記ＭＥＭＳシャッターが前記第１の組のバネにより静電駆動された場合または前記第２の組のバネにより静電駆動された場合に、前記開口部と前記光透過部との間を光が透過することを特徴とする請求項３に記載の表示装置。
【請求項５】
一方向に並ぶ複数の光透過部を有する基板と、
前記光透過部に対向する複数の開口部を有する対向基板と、
前記基板と前記対向基板との間に形成されたＭＥＭＳシャッターを前記基板と前記対向基板との間を静電駆動により前記一方向のそれぞれ反対の向きに移動させるための対向する第１の組と第２の組とのバネを有し、前記開口部と前記光透過部とを通過する光の制御を行う表示装置の動作方法であり、
前記第１の組のバネ間の電位が同じであり前記第２のバネ間の電位が同じであれば、前記ＭＥＭＳシャッターは前記開口部と前記光透過部とを通過する光を遮断し、
前記第１の組のバネにより前記ＭＥＭＳシャッターを静電駆動させて前記開口部と前記光透過部と光を通過可能とし、
前記第２の組のバネにより前記ＭＥＭＳシャッターを静電駆動させて前記開口部と前記光透過部と光を通過可能とする、表示装置の動作方法。
【請求項６】
前記第１の組のバネによる前記ＭＥＭＳシャッターの静電駆動と前記第１の組のバネによる前記ＭＥＭＳシャッターの静電駆動とを交互に行うことを特徴とする請求項５に記載の、表示装置の動作方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、画像などを表示する装置に関する。特に、画素に対応する画素素子毎に光の透過量をシャッターにより調整して画像などを表示する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
画像などを表示する装置として、液晶を用いる表示装置が知られている。このような装置では、電極間に挟持された液晶を透過する光の偏光の向きを制御して、偏光板を透過する光の透過量を画素毎に制御している。
【０００３】
しかしながら、液晶を用いる表示装置は、液晶を透過する偏光の向きの変更に時間を要し、高速に変化する画像などを表示する際には残像が認識されるという問題点がある。また、光を、偏光板、液晶層、カラーフィルタ、電極などの多数の層を透過させる必要があり、光の利用効率が減少し、明るい表示を得ることが困難であるという問題もある。
【０００４】
近年、ＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ  Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｓｙｓｔｅｍｓ）技術を応用したメカニカルシャッター（以下「ＭＥＭＳシャッター」という。）を用いた表示装置が注目されている。ＭＥＭＳシャッターを用いた表示装置（以下「ＭＥＭＳ表示装置」という。）とは、画素ごとに設けたＭＥＭＳシャッターを高速で開閉することによってシャッターを透過する光の量を制御し、画像の明暗の調整を行う表示装置である。
【０００５】
ＭＥＭＳ表示装置においては時間階調方式が採用されており、赤色、緑色及び青色のＬＥＤなどのバックライトからの光を順次切り替えて画像の表示を行う。ＭＥＭＳ表示装置は、液晶ディスプレイに用いられる偏光フィルムやカラーフィルタなどを必要とせず、液晶と比較してバックライトの光の利用効率は約１０倍以上、消費電力は１／２以下になり、また、色再現性が優れている点に特徴があると考えられる。また、高速に画像などの表示を変化させることができる。
【０００６】
例えば、ＭＥＭＳ表示装置の一例として、画素毎に基板と平行な方向に移動するシャッターを開口上に設け、シャッターを移動させて開口の光を透過させるための第１の駆動ビームに対向する第１のコンプライアントロードビームと、開口の光をシャッターにより遮断させるために配置された第２の駆動ビームに対向する第２のコンプライアントロードビームとをシャッターに接続し、シャッターを移動させて透過する光の量を制御する表示装置が提案されている（例えば、特許文献１参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００８−１９７６６８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、特許文献１などに開示されている従来のＭＥＭＳ表示装置が非動作状態にあるときには、シャッターは開口窓を略半分塞ぐ状態になっており、黒表示とはならず、中間調色が表示される。また、動作状態においては、駆動ビームとコンプライアントロードビームとに電荷が蓄積され、駆動ビームとコンプライアントロードビームとが付着してシャッターが従来の動作をしなくなる場合もある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の一実施形態として、光透過部を有する基板と、前記光透過部に対向する開口部を有する対向基板と、前記基板と前記対向基板との間に形成されたＭＥＭＳシャッターを前記基板と前記対向基板との間を静電駆動により移動させるための対向する第１の組のバネ（駆動ビームとコンプライアントロードビーム）を有し、前記開口部と前記光透過部とを通過する光の制御を行う表示装置であり、前記第１の組のバネ間の電位が同じであれば、前記ＭＥＭＳシャッターは前記開口部と前記光透過部とを通過しようとする光を遮断することを特徴とする表示装置を提供する。
【００１０】
また、本発明の一実施形態として、一方向に並ぶ複数の光透過部を有する基板と、前記光透過部に対向する複数の開口部を有する対向基板と、前記基板と前記対向基板との間に形成されたＭＥＭＳシャッターを前記基板と前記対向基板との間を静電駆動により前記一方向のそれぞれ反対の向きに移動させるための対向する第１の組と第２の組とのバネ（駆動ビームとコンプライアントロードビーム）を有し、前記開口部と前記光透過部とを通過する光の制御を行う表示装置の動作方法であり、前記第１の組のバネ間の電位が同じであり前記第２のバネ間の電位が同じであれば、前記ＭＥＭＳシャッターは前記開口部と前記光透過部とを通過する光を遮断し、前記第１の組のバネにより前記ＭＥＭＳシャッターを静電駆動させて前記開口部と前記光透過部と光を通過可能とし、前記第２の組のバネにより前記ＭＥＭＳシャッターを静電駆動させて前記開口部と前記光透過部と光を通過可能とする、表示装置の動作方法を提供する。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、非動作状態にあるときには黒表示となる表示装置を提供することができる。また、ＭＥＭＳシャッターを静電駆動により移動させるバネ（ビーム）同士が張り付くことを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の一実施形態に係る表示装置の斜視図と平面図
【図２】本発明の一実施形態に係る表示装置の機能ブロック図
【図３】本発明の一実施形態に係るＭＥＭＳシャッターの斜視図
【図４】本発明の一実施形態に係るＭＥＭＳシャッターの平面図
【図５】本発明の一実施形態に係るＭＥＭＳシャッターの断面図
【図６】本発明の一実施形態に係るＭＥＭＳシャッターの断面図
【図７】本発明の一実施形態に係るＭＥＭＳシャッターの断面図
【図８】本発明の一実施形態に係るＭＥＭＳシャッターの平面図
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明を実施するための形態について説明する。なお、本発明は以下に説明する形態に限定されることなく、種々の変形を加えて実施することも可能である。
【００１４】
図１の（Ａ）に本発明の一実施形態に係る表示装置１００の斜視図を示し、図１の（Ｂ）に表示装置１００の平面図を示す。表示装置１００は、基板１０２及び対向基板１０６を有している。基板１０２は、表示部１０２ａ、駆動回路１０２ｂ、１０２ｃおよび１０２ｄ、ならびに端子部１０２ｅを有している。基板１０２と対向基板１０６とは、シール材等を用いて接合される。なお、対向基板１０６の図１の（Ａ）の上面側にバックライトが配置される場合があるが、バックライトは図示されていない。
【００１５】
図２に表示装置１００の回路ブロック図を示す。表示装置１００には、コントローラ１２０から画像信号および制御信号が供給される。また、表示装置１００には、コントローラ１２０によって制御されるバックライト１２２から光が供給される。なお、コントローラ１２０およびバックライト１２２を表示装置１００に含ませることもできる。
【００１６】
図２に示すとおり、表示部１０２ａは、ＭＥＭＳシャッター２０２、ＭＥＭＳシャッター駆動回路２０３、スイッチング素子２０４および保持容量２０６を有する画素２００を有している。画素２００は、ゲート線Ｇ１、Ｇ２、…、Ｇｎとデータ線Ｄ１、Ｄ２、…、Ｄｍとの交点に対応する位置に配置されるので、複数個の画素２００が、マトリクス状に配置される。駆動回路１０２ｂ、１０２ｃは、データドライバであり、スイッチング素子２０４へデータ線Ｄ１、Ｄ２、…、Ｄｍを介してデータ信号を供給する。駆動回路１０２ｄは、ゲートドライバであり、スイッチング素子２０４へゲート線Ｇ１、Ｇ２、…、Ｇｎを介してゲート信号を供給する。スイッチング素子２０４は、データ線Ｄ１、Ｄ２、…、Ｄｍから供給されるデータ信号に基づき、保持容量２０６にデータ信号を書き込む。ＭＥＭＳシャッター駆動回路２０３は、保持容量２０６に書き込まれたデータ信号に基づき、ＭＥＭＳシャッター２０２を駆動する。
【００１７】
なお、図２においては、駆動回路１０２ｂ、１０２ｃが表示部１０２ａを挟むように配置されているが、この構成に限定されるものではない。また、図２においては、ＭＥＭＳシャッター２０２と、ゲート線、スイッチング素子２０４および保持容量２０６とが一対一に対応しているが、この構成に限定されるものではない。
【００１８】
次に図３と図４とを参照し、ＭＥＭＳシャッター２０２の構成について説明する。図３は、ＭＥＭＳシャッター２０２の斜視図であり、図４は、ＭＥＭＳシャッター２０２の平面図である。説明の便宜のために、図３と図４とにおいては、一つのＭＥＭＳシャッター２０２を示すが、表示装置１００には、上述のように、基板１０２に図３に示す複数個のＭＥＭＳシャッター２０２がマトリクス状に配置される。
【００１９】
ＭＥＭＳシャッター２０２は、シャッター２１０、第１バネ（コンプライアントビーム）２１６、２１８、第２バネ（駆動ビーム）２２４、２２６、及びアンカー部２３２、２３４、２３６を有している。第１バネ２１６、２１８それぞれは、第２バネ２２４、２２６それぞれと対向し、組を形成している。シャッター２１０は開口２１３を有しており、開口２１３を除くシャッター２１０本体は遮光部となる。また、基板１０２には、光透過部２５１Ｌおよび２５１Ｒが形成されている。また、図１に図示した対向基板１０６は、光を透過させる開口部（図示せず）を有し、対向基板１０６の開口部と基板１０２の光透過部２５１Ｌ、２５１Ｒとが対向するように、基板１０２と対向基板１０６とが平面方向に重なり合って配置される。このとき、シール材等を介して基板１０２に対向基板１０６が接合される。ここに開口部と光透過部が対向するとは、開口部と光透過部との間に障害物がなければ、対向基板１０６に対して垂直に開口部に入射して対向する光透過部を通過しようとする光が、対向する光透過部を通過可能であることをいう。
【００２０】
なお、本実施形態に示すＭＥＭＳシャッター２０２は、本発明の表示装置１００に用いることのできるＭＥＭＳシャッターの一例に過ぎず、ＭＥＭＳシャッター駆動回路２０３で駆動することのできるＭＥＭＳシャッターであれば図示した構成に限らず、如何なる態様のものでも用いることができる。
【００２１】
シャッター２１０の一方の側は、第１バネ２１６、２１８を介してアンカー部２３２、２３４に接続されている。アンカー部２３２、２３４は、第１バネ２１６、２１８とともに、シャッター２１０を基板１０２の表面から浮遊した状態に支持する機能を有する。また、第１バネ２１６、２１８は導電性の材料により構成され、可撓性を有している。アンカー部２３２は第１バネ２１６と電気的に接続されており、且つ、アンカー部２３４は第１バネ２１８と電気的に接続されている。これにより、アンカー部２３２、２３４に供給される電位が、第１バネ２１６、２１８に供給される。アンカー部２３２、２３４には、例えばグランド電位が供給されると、第１バネ２１６、２１８にもグランド電位が供給される。
【００２２】
また、アンカー部２３６は、第２バネ２２４、２２６を基板１０２の表面から浮遊した状態に支持する機能を有する。また、第２バネ２２４、２２６も導電性の材料により構成される。第２バネ２２４、２２６は、アンカー部２３６に電気的に接続されている。これにより、アンカー部２３６に供給された電位が第２バネ２２４、２２６に供給される。アンカー部２３６には、例えばバイアス電位が供給されると、第２バネ２２４、２２６にもバイアス電位が供給される。
【００２３】
なお、アンカー部２３２および２３４には、上記グランド電位の代わりに、所定の電位を供給する構成でもよい（以下の説明でのグランド電位が供給されるアンカー部２３８、２４０についても同様である。）。
【００２４】
また、シャッター２１０の他方の側は、第１バネ２２０、２２２を介してアンカー部２３８、２４０に接続されている。アンカー部２３８、２４０は、第１バネ２２０、２２２とともに、シャッター２１０を基板１０２の表面から浮遊した状態に支持する機能を有する。また、第１バネ２２０、２２２も導電性の材料により構成され、可撓性を有する。アンカー部２３８および２４０それぞれは第１バネ２２０および２２２と電気的に接続され、アンカー部２３８および２４０にグランド電位を供給すると、第１バネ２２０および２２２にグランド電位が供給される。
【００２５】
また、第１バネ２２０、２２２により取り囲まれるように、第２バネ２２８、２３０が配置され、第１バネ２２０、２２２それぞれが第２バネ２２８、２３０それぞれと対向し、組を形成する。第２バネ２２８、２３０も導電性の材料により構成され、第２バネ２２８、２３０は、アンカー部２４２に電気的に接続される。アンカー部２４２は、第２バネ２２８、２３０を基板１０２の表面から浮遊した状態に支持する機能を有する。アンカー部２４２には、例えばバイアス電位が供給されると、第２バネ２２８、２３０にもバイアス電位が供給される。
【００２６】
また、シャッター２１０は、第１バネ２１６、２１８、２２０、２２２と機械的に接続される。シャッター２１０も導電性の材料で構成され、第１バネ２１６、２１８、２２０、２２２と電気的に接続され、アンカー部２３２、２３４、２３８、２４０に供給される電位がシャッター２１０に供給される。
【００２７】
ＭＥＭＳシャッター２０２の形成方法は次の通りである。まず、基板１０２上に第１の犠牲膜を形成・加工し、アンカー部２３２、２３４、２３６、２３８、２４０、２４２の一部分を形成する。次に、第１バネ２１６、２１８、２２０、２２２と第２バネ２２４、２２６、２２８、２３０との上面までと同じ高さの第２の犠牲膜を第１の犠牲膜上に形成・加工し、第１バネ２１６、２１８、２２０、２２２と第２バネ２２４、２２６、２２８、２３０と，アンカー部２３２、２３４、２３６、２３８、２４０、２４２の一部分，シャッター２１０とを形成する。その後、第１の犠牲膜と第２の犠牲膜とを除去する。
【００２８】
本実施形態においては、上述したように、例えばアンカー部２３６にバイアス電位が供給され，これにより、第２バネ２２４および２２６にバイアス電位が供給される。また、アンカー部２３２および２３４には例えばグランド電位が供給され、第１バネ２１６および２１８にグランド電位が供給される。したがって、アンカー部２３６にグランド電位と異なるバイアス電位を供給し、第１バネ２１６、２１８と第２バネ２２４、２２６との間に電位差を発生させると、第１バネ２１６と第２バネ２２４とが静電駆動され、第１バネ２１６が第２バネ２２４に引き寄せられ、且つ、第１バネ２１８と第２バネ２２６とが静電駆動され、第１バネ２１８が第２バネ２２６に引き寄せられる。これにより、シャッター２１０をアンカー部２３６に向かって移動させることができる。
【００２９】
また、同様に、例えばアンカー部２４２にバイアス電位が供給され，これにより、第２バネ２２８、２３０にバイアス電位が供給される。また、アンカー部２３８および２４０には、例えばグランド電位が供給され、第１バネ２２０、２２２にグランド電位が供給される。第１バネ２２０、２２２と第２バネ２２８、２３０との間に電位差を発生させると、第１バネ２２０と第２バネ２２８とが静電駆動され、第１バネ２２０が第２バネ２２８に引き寄せられ、且つ、第１バネ２２２と第２バネ２３０とが静電駆動され、第１バネ２２２が第２バネ２３０に引き寄せられる。これにより、シャッター２１０をアンカー部２４２に向かって移動させることができる。
【００３０】
なお、第１バネ２１６、２１８、２２０、２２２の側面と第２バネ２２４、２２６、２２８、２３０の側面とには絶縁性の材料が配置される。このため、第１バネ２１６と第２バネ２２４、第１バネ２１８と第２バネ２２６、第１バネ２２０と第２バネ２２８、第１バネ２２２と第２バネ２３０が接触しても、第１バネと第２バネとの間の絶縁性が保たれる。
【００３１】
表示装置１００は、上述した静電駆動により基板１０２の面に平行にシャッター２１０が移動してアンカー部２３６またはアンカー部２４２に近寄り、開口２１３を基板１０２の光透過部と対向基板１０６の開口部との間に位置させることができる。これにより、対向基板１０６の背面から供給されて対向基板１０６の開口部を通過する光が、シャッター２１０の開口２１３を通過する。これにより、対向基板１０６の背面から供給されて対向基板１０６の開口部を透過する光が基板１０２の光透過部２５１Ｌまたは２５１Ｒを透過し、表示装置１００の外部に放出される。
【００３２】
また、第１バネと第２バネとの間に電位差が発生していない場合には、対向基板１０６の開口部とそれに対向する基板１０２の光透過部との間にシャッター２１０の開口２１３以外の部分が位置する。このため、対向基板１０６の背面から供給され対向基板１０６の開口部を通過した光は、シャッター２１０により遮断され、基板１０２の光透過部２５１Ｌおよび２５１Ｒを通過しなくなる。したがって、基板１０２の側から表示装置を見ると、黒色が表示されているように見える。
【００３３】
図５、図６および図７は、図４に示すＡ−Ａ断面線におけるＭＥＭＳシャッター２１０の断面図を示す。図５は、第１バネと第２バネとの間に電位差が発生していない場合の断面図を示す。例えば、アンカー部２３６および２４２に、アンカー部２３２、２３４、２３８および２４０に同じ電位が供給された場合や、表示装置１００に電源を供給しない非動作状態においてアンカー部２３２、２３４、２３６、２３８、２４０、２４２に電位が供給されていない場合を示す。
【００３４】
図５を参照すると、基板１０２の一方の側に配線材料などの遮光層５０６が配置されている。遮光層５０６は基板１０２の一方の側の全面には配置されておらず、遮光層５０６が配置されていない部分は光透過部２５１Ｌおよび２５１Ｒを形成する。また、対向基板１０６の裏面にバックライト１２２が配置され、対向基板１０６の他方の面には、膜５０３および５０４が重ねて配置される。膜５０３また５０４のいずれかまたは両方は遮光性を有し、膜５０３および５０４が配置されていない部分により、開口部５５１Ｌおよび５５１Ｒが形成される。また、膜５０３は膜５０４よりも反射率が高く、膜５０４は膜５０３よりも反射率が低い。このように反射率を異ならせることにより、バックライト１２２により生成されたが、開口部５５１Ｌおよび５５１Ｒを透過できなかった光を、膜５０３により反射し、別の開口部から出射させることができる。また、開口部５５１Ｌまたは５５１Ｒを通過し、シャッター２１０などにより散乱された光を膜５０４により吸収することができる。
【００３５】
本実施形態では、開口部５５１Ｌおよび５５１Ｒのそれぞれと光透過部２５１Ｌおよび２５１Ｒのそれぞれとが対向し、重なるように配置される。また、第１バネと第２バネとの間に電位差が発生していない場合に、シャッター２１０は、開口部５５１Ｌと光透過部２５１Ｌとの間および開口部５５１Ｒと光透過部２５１Ｒとの間に位置する。したがって、バックライト１２２が生成した光が開口部５５１Ｌまたは５５１Ｒを通過することができても、シャッター２１０により、光透過部２５１Ｌおよび２５１Ｒに到達することができない。このため、基板１０２の側から観察すると黒色が表示されているように見える。
【００３６】
一方、図６は、図５の状態から、アンカー部２３６にバイアス電位を供給し、第１バネ２１６および２１８と第２バネ２２４および２２６との間に電位差を生じさせ、シャッター２１０をアンカー部２３６に向けて平行移動させた状態を示す。このとき、アンカー部２４２にはシャッター２１０と同じ電位を供給する。この場合、開口２１３が、開口部５５１Ｒと光透過部２５１Ｒとの間に位置するので、バックライト１２２で生成した光は、開口部５５１Ｒおよび光透過部２５１Ｒを通過することができる。これにより、画素が点灯することになる。また、シャッター２１０の形状と開口部５５１Ｌおよび光透過部２５１Ｌとの位置関係により、バックライト１２２で生成した光は、開口部５５１Ｌと光透過部２５１Ｌとを通過することもできる。
【００３７】
しかし、図６の状態が或る程度の時間以上継続すると、アンカー部２３６とアンカー部２３２および２３４との間の電位差を無くしても、図５の状態に戻らなくなる場合がある。この原因は、第１バネ２１６および２１８と第２バネ２２４および２２６とに電荷が蓄積し、静電引力で第１バネ２１６および２１８と第２バネ２２４および２２６とが引き合うためと考えられる。
【００３８】
そこで、画素を点灯した状態を継続させる際に、図６の状態が或る程度の時間以上継続する前に、アンカー部２３６とアンカー部２３２および２３４を同電位として、第１バネ２１６および２１８と第２バネ２２４および２２６に蓄積した電荷を放電する。蓄積した電荷を放電している間は、アンカー部２４２にバイアス電位を供給し、画素の明るさを制御するために、シャッター２１０をアンカー部２４２に向けて移動させ、図７の状態とする。
【００３９】
すなわち、図７は、アンカー部２３６へのバイアス電位の供給を停止し、アンカー部２４２にバイアス電位を供給し、第１バネ２２０および２２２と第２バネ２２８および２３０との間に電位差を生じさせ、シャッター２１０をアンカー部２４２に向けて平行移動させた状態を示す。この場合、開口２１３が、開口部５５１Ｌと光透過部２５１Ｌとの間に位置するので、バックライト１２２で生成した光は、開口部５５１Ｌおよび光透過部２５１Ｌを通過することができる。また、シャッター２１０の形状と開口部５５１Ｒおよび光透過部２５１Ｒとの位置関係により、バックライト１２２で生成した光は、開口部５５１Ｒと光透過部２５１Ｒとを通過することもできる。
【００４０】
このとき、アンカー部２３６とアンカー部２３２および２３４との間の電位は同電位となるので、第１バネ２１６および２１８と第２バネ２２４および２２６とに蓄積した電荷が放電される。
【００４１】
また、図７の状態が或る程度の時間以上継続すると、上述のようにアンカー部２４２とアンカー部２３８および２４０とを同電位としても、図５の状態に戻らなくなる場合があるので、画素を点灯した状態を継続させる際に、アンカー部２４２とアンカー部２３８および２４０を同電位として、第１バネ２２０および２２２と第２バネ２２８および２３０に蓄積した電荷を放電する。蓄積した電荷を放電している間は、アンカー部２３６にバイアス電位を供給し、画素の明るさを制御するために、シャッター２１０をアンカー部２３６に向けて移動させ、図６の状態とする。
【００４２】
以上のように、第１バネと第２バネとのに電位差が生じていないときに、対向基板の開口部と基板の光透過部との間にシャッターを配置させ、対向基板の開口部から光透過部への光の通過を遮断することにより、表示装置が非動作状態などにある場合に、黒色の表示を行うことが可能となる。これにより、高級感を与えるなどの効果を得ることができる。
【００４３】
また、第１バネと第２バネとに電位差が生じていないときのシャッターの開口部の両側に相当する位置に、対向基板の開口部と基板の光透過部とを配置させることにより、シャッターの一方の側に配置された第１バネと第２バネとの間に電荷が蓄積しても、シャッターの他方の側に配置された第１バネと第２バネとを用いて画素の点灯を行ない、シャッターの一方の側に配置された第１バネと第２バネとの間の電荷を放電することができる。
【００４４】
また、図３および図４においては、シャッター２１０に一つの２１３が配置されているが、これに限定されることはない。例えば、図８に示すように、開口２１１の両側に基板１０２の光透過部８０２と８０１が配置され、開口２１２の両側に基板１０２の光透過部８０１と８０３が配置される構成であってもよい。したがって、シャッターの開口の数は限定されることはない。
【００４５】
図８においては、基板１０２に光透過部８０１、８０２および８０３が配置される。光透過部８０１、８０２および８０３それぞれに対向して対向基板１０６に開口部が配置される。第１バネと第２バネとのに電位差が生じていないときには、光透過部とそれに対向する開口部との間に、シャッター２１０の開口以外の部分が位置する。これにより、開口部を通過した光が遮断される。
【００４６】
一方、アンカー部２３６にアンカー部２３２、２３４、２３８、２４０に供給される電位と異なる電位が供給されると、シャッター２１０は、アンカー部２３６に向けて移動し、開口２１１および２１２がそれぞれ、光透過部８０１および８０３とそれぞれに対向する開口部との間に位置し、光が通過可能となる。
【００４７】
また、アンカー部２３６にアンカー部２３２、２３４、２３８、２４０に供給される電位と同じ電位を供給し、アンカー部２４２にアンカー部２３２、２３４、２３８、２４０に供給される電位と異なる電位が供給されると、シャッター２１０は、アンカー部２４２に向けて移動し、開口２１１および２１２がそれぞれ、光透過部８０２および８０１とそれぞれに対向する開口部との間に位置し、光が通過可能となる。
【００４８】
また、以上においては、ＭＥＭＳシャッターは基板１０２上に形成されるとして説明したが、対向基板上に形成されてもよい。
【符号の説明】
【００４９】
２１０  シャッター、２１３  開口、２５１Ｌ  光透過部、２５１Ｒ  光透過部、２１６  第１バネ、２１８  第１バネ、２３２  アンカー部、２３４  アンカー部、２２４  第２バネ、２２６  第２バネ、２３６  アンカー部、２２０  第１バネ、２２２  第１バネ、２３４  アンカー部、２３８  アンカー部、２２８  第２バネ、２３０  第２バネ、２４２  アンカー部
【図１】
2014077910.tif 000003
【図２】
2014077910.tif 000004
【図３】
2014077910.tif 000005
【図４】
2014077910.tif 000006
【図５】
2014077910.tif 000007
【図６】
2014077910.tif 000008
【図７】
2014077910.tif 000009
【図８】
2014077910.tif 000010