(57)【要約】【課題】チューブの長さを容易に判別可能とするとともに、長さを表示するための手作業が不要なチューブを提供する。【解決手段】チューブであって、チューブの長さ示す印字による長さ表示を備えたチューブが提供される。これにより、作業者は、この長さ表示を視認することで、瞬時にチューブの長さを把握することができる。特に、長さが近似したチューブの中から所望の長さのチューブを選定する際には、目視による選定が難しいため、長さ表示は極めて有効なものとなる。また、チューブの長さを測定する手間がなくなるため、作業者の作業負担を軽減することが可能となる。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
チューブであって、
該チューブの長さ示す印字による長さ表示を備えたチューブ。
【請求項２】
前記チューブを識別するための識別表示を更に備える、
ことを特徴とする請求項１に記載のチューブ。
【請求項３】
前記チューブ内を流動する流体の流動方向を示す方向記号を更に備える、
ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載のチューブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は流体が流れるチューブに関する。
【背景技術】
【０００２】
産業機械や製造装置には水やエアといった各種の流体を用いるものが多い。例えば、半導体デバイスの製造工程において、半導体ウェーハを研削して薄化するグラインダと呼ばれる研削装置や、薄化された半導体ウェーハをチップ状に分割するダイサーと呼ばれる切削装置においては、装置の所要箇所にエアや加工液、吸引力等を伝達する配管が張り巡らされることが知られている（例えば、特許文献１、２参照。）。
【０００３】
より具体的には、切削装置は、少なくとも半導体ウェーハを吸引保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された半導体ウェーハを切削する切削ブレードを含むエアベアリング式のスピンドルユニットと、切削された半導体ウェーハを洗浄する洗浄装置とを備えている。
【０００４】
また、研削装置は、少なくとも半導体ウェーハを吸引保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された半導体ウェーハを研削する研削ホイールを含むエアベアリング式のスピンドルユニットと、研削された半導体ウェーハを洗浄する洗浄装置とを備えている。
【０００５】
更に、これらの切削装置や研削装置では、チャックテーブルに半導体ウェーハを吸引するための負圧を発生させるエア吸引源や、エアベアリングに高圧エアを供給するエア供給源、洗浄装置に洗浄液を供給する洗浄液供給源等を備えるとともに、流体の吸引源や供給源からそれぞれの作用箇所へ流体を導くための配管が設けられている。
【０００６】
このような切削装置や研削装置における各種流体の配管としては、直径数ｍｍ〜数十ｍｍ程度の柔軟性を有するチューブが一般的に用いられており、適切な長さに切断されたチューブが装置内の適所に接続されている。
【０００７】
そして、長さや太さが異なる複数のチューブを適正に接続するためには、チューブの種類を識別する必要がある。そこで、従来では、チューブ番号を示す数字等の識別情報が印字された短い筒状のマーカーをチューブの両端部に装着してチューブの識別を可能にするとともに、流れる流体の向きが印字された短い筒状のマーカーをチューブの両端部に装着して装置内での流体の流れを確認できるようにしていた。
【０００８】
一方、このような流体を流すためのチューブは、通常リールに巻かれた状態で蓄積されており、リールから引き出したチューブを目的の長さに切断した後、手作業で両端部に方向記号や識別記号を示す短い筒状のマーカーを装着することが行われていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開平１０−３２１５６２号公報
【特許文献２】特開昭５５−１１２７６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
上述したマーカーを用いた表示に関し、チューブの長さを把握することが必要な状況が生じることがある。
【００１１】
例えば、チューブの組み付け時において、似通った長さのチューブが複数本存在した場合に、最も長いものを正確に選定することや、同じ長さのチューブを二本選定するといった状況である。
【００１２】
このようなことから、本願発明者らは、チューブの長さをチューブに表示するニーズが存在することを見出した。
【００１３】
しかしながら、逐一、メジャーなどを用いて手作業でチューブの長さを計測し、計測結果をチューブに表示して利用者に提供することは、非常に手間がかかるものとなる。
【００１４】
また、上述のマーカーをチューブに取り付けることで測定結果を表示する場合でも、マーカーを装着する作業自体に手間がかかるという問題がある。
【００１５】
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、チューブの長さを容易に判別可能とするとともに、長さを表示するための手作業が不要なチューブを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
請求項１に記載の発明によると、チューブであって、チューブの長さ示す印字による長さ表示を備えたチューブが提供される。
【００１７】
請求項２に記載の発明によると、チューブを識別するための識別表示を更に備える、ことを特徴とする請求項１に記載のチューブが提供される。
【００１８】
請求項３に記載の発明によると、チューブ内を流動する流体の流動方向を示す方向記号を更に備える、ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載のチューブが提供される。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によると、作業者は、この長さ表示を視認することで、瞬時にチューブの長さを把握することができる。特に、長さが近似したチューブの中から所望の長さのチューブを選定する際には、目視による選定が難しいため、長さ表示は極めて有効なものとなる。また、チューブの長さを測定する手間がなくなるため、作業者の作業負担を軽減することが可能となる。
【００２０】
請求項２に記載の発明によると、例えば、使用機種や、使用部位を表示する識別表示としてチューブに表示することによって、作業者は、識別表示に基づいて、瞬時に使用機種や、使用部位を把握することができる。
【００２１】
請求項３に記載の発明によると、作業者は、方向記号に基づいて、チューブ内を流動する流体の流動方向を瞬時に把握することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】切削装置の外観斜視図である。
【図２】ダイシングテープを介して環状フレームで支持された半導体ウェーハの斜視図である。
【図３】本発明のチューブの原理を説明する図である。
【図４】複数本のチューブの中からチューブを選定する状況について説明する図である。
【図５】本発明のチューブの他の実施形態について示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図１は配管に本発明のチューブを利用した切削装置２の外観斜視図を示している。切削装置２の前面側には、オペレータが加工条件等の装置に対する指示を入力するための操作手段４が設けられている。装置上部には、オペレータに対する案内画面や後述する撮像手段によって撮像された画像が表示されるＣＲＴ等の表示手段６が設けられている。
【００２４】
図２に示すように、ダイシング対象の発光デバイスウェーハＷ（以下、単に「ウェーハＷ」とも称する）の表面においては、第１のストリート（分割予定ライン）Ｓ１と第２のストリートＳ２とが直交して形成されており、第１のストリートＳ１と第２のストリートＳ２とによって区画されてＬＥＤ等の多数のデバイスＤがウェーハＷ上に形成されている。
【００２５】
ウェーハＷは粘着テープであるダイシングテープＴに貼着され、ダイシングテープＴの外周縁部は環状フレームＦに貼着されている。これにより、ウェーハＷはダイシングテープＴを介してフレームＦに支持された状態となり、図１に示したウェーハカセット８中にウェーハが複数枚（例えば２５枚）収容される。ウェーハカセット８は上下動可能なカセットエレベータ９上に載置される。
【００２６】
ウェーハカセット８の後方には、ウェーハカセット８から切削前のウェーハＷを搬出するとともに、切削後のウェーハをウェーハカセット８に搬入する搬出入手段１０が配設されている。ウェーハカセット８と搬出入手段１０との間には、搬出入対象のウェーハが一時的に載置される領域である仮置き領域１２が設けられており、仮置き領域１２には、ウェーハＷを一定の位置に位置合わせする位置合わせ手段１４が配設されている。
【００２７】
仮置き領域１２の近傍には、ウェーハＷと一体となったフレームＦを吸着して搬送する旋回アームを有する搬送手段１６が配設されており、仮置き領域１２に搬出されたウェーハＷは、搬送手段１６により吸着されてチャックテーブル１８上に搬送され、このチャックテーブル１８に吸引されるとともに、複数の固定手段（クランプ）１９によりフレームＦが固定されることでチャックテーブル１８上に保持される。
【００２８】
チャックテーブル１８は、回転可能且つＸ軸方向に往復動可能に構成されており、チャックテーブル１８のＸ軸方向の移動経路の上方には、ウェーハＷの切削すべきストリートを検出するアライメント手段２０が配設されている。
【００２９】
アライメント手段２０は、ウェーハＷの表面を撮像する撮像手段２２を備えており、撮像により取得した画像に基づき、パターンマッチング等の処理によって切削すべきストリートを検出することができる。撮像手段２２によって取得された画像は、表示手段６に表示される。
【００３０】
アライメント手段２０の左側には、チャックテーブル１８に保持されたウェーハＷに対して切削加工を施す切削手段（切削ユニット）２４が配設されている。切削手段２４はアライメント手段２０と一体的に構成されており、両者が連動してＹ軸方向及びＺ軸方向に移動する。
【００３１】
切削手段２４は、回転可能なスピンドル２６の先端に切削ブレード２８が装着されて構成され、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に移動可能となっている。切削ブレード２８は撮像手段２２のＸ軸方向の延長線上に位置している。
【００３２】
２５は切削が終了したウェーハＷを洗浄装置２７まで搬送する搬送手段であり、洗浄装置２７では、ウェーハＷを洗浄するとともにエアノズルからエアを噴出させてウェーハＷを乾燥する。
【００３３】
図３を参照して、本発明のチューブの原理を説明する。チューブ１１は、例えば、柔軟性を呈する樹脂から形成されており、チューブ１１上にはこのチューブ１１の長さを示す印字による長さ表示１７が設けられている。
【００３４】
本実施形態では、長さ表示１７として「２１０ｍｍ」という表示がされており、作業者は、この長さ表示１７を視認することで、瞬時にチューブ１１の長さを把握することができる。
【００３５】
これにより、図４に示すように、例えば、複数のチューブ１１，１１が混在して、この中から所望の長さのチューブ１１を選定する際には、長さ表示１７を確認することで、瞬時に選定を行うことができる。
【００３６】
仮に、長さ表示１７が無い場合には、作業者が目視で適当に選定してしまうことで、実際にチューブ１１を取り付けようとした場合に、長さが足りない場合や、逆に、長さが余ってしまうといったことが生じ、取付作業や選定作業のやり直しといった事態が生じることになる。また、都度、メジャーなどを用いて手作業でチューブ１１の長さを測定することは、非常に手間がかかるものとなってしまう。
【００３７】
本実施例によれば、このような不具合が生じることがないため、チューブ１１の取付作業に要する時間を短縮することが可能となる。特に、長さが近似したチューブの中から所望の長さのチューブを選定する際には、目視による選定が難しいため、長さ表示１７は極めて有効なものとなる。また、チューブ１１の長さを測定する手間がなくなるため、作業者の作業負担を軽減することが可能となる。
【００３８】
次に図５は他の実施形態について示すものである。チューブ１１Ａは、例えば、柔軟性を呈する樹脂から形成されており、チューブ１１Ａ上には矢印Ａで示す流体の流動方向を示す方向記号１３が印字されている。
【００３９】
方向記号１３は２以上の直線、または、曲線の組み合わせから形成されることが好ましい。２以上とすることで、１とする場合にも、方向が視認しやすくなる。また、線で表示することにより、印字に要する時間の短縮や、インクジェット方式による印字の場合のインクの量を少なく抑えることができる。なお、印字については、レーザービームを照射することによるレーザー印字にて行うことも考えられる。
【００４０】
また、本実施形態では、２本の折れ線からなる略「く」字状の方向記号１３を、２箇所に配置することで、方向記号１３の尖端側に向かって流体が流動することを一目で視認できるようにしている。
【００４１】
このような方向記号１３の実施形態によれば、インクジェット方式で印字する際において、例えば、長方形状の一端を尖らせ、他端を窪ませた形態の帯状の矢印記号の場合と比較すると、方向を示すという機能を確保しながらも、インクの量を効果的に抑えることが可能となる。
【００４２】
さらに、チューブ１１Ａには、チューブ１１Ａを識別可能とするための識別表示１５が印字されている。
【００４３】
この識別表示１５は、例えば、使用機種や、使用部位を表示するものである。例えば、本実施形態の「Ｄ  ＳＰ１」では、「Ｄ」は、切削装置（ダイサー）に使用されることを示し、「ＳＰ」は、スピンドル２６（図１参照）に関連する配管系統に使用されることを示し、「１」は、スピンドル２６（図１参照）に関連する差込口のうち差込口１番に差し込まれることが示される。
【００４４】
さらに、チューブ１１Ａには、チューブ１１Ａ内を流体の種別を識別可能とするための流体種別表示２９が印字されている。
【００４５】
チューブ１１Ａ内を流れる流体の種別としては、例えば、空気、窒素、液体、切削・洗浄液、など各種のものが想定され、図５に示す本実施形態では、液体の意味を表す「ＬＩＱＵＩＤ」の頭文字「Ｌ」が表示されている。
【００４６】
そして、以上の各種記号、表示に加え、チューブ１１Ａには、長さ表示１７Ａが印字されている。
【００４７】
本実施形態では、長さ表示１７Ａとして「２１０ｍｍ」という表示がされており、作業者は、この長さ表示１７Ａを視認することで、瞬時にチューブ１１Ａの長さを把握することができる。
【００４８】
この長さ表示１７Ａは、例えば、識別表示１５が共通しつつ、長さの異なる複数本のチューブ１１Ａが存在する場合には、長さ表示１７Ａを元に所望のチューブ１１Ａを選定することが可能となるため、特に有効なものとなる。
【００４９】
以上のようにして本発明を実施することができる。即ち、図３の例に示すように、チューブ１１であって、チューブ１１の長さ示す印字による長さ表示１７を備えたチューブ１１とするものである。
【００５０】
これによれば、作業者は、この長さ表示を視認することで、瞬時にチューブの長さを把握することができる。特に、長さが近似したチューブの中から所望の長さのチューブを選定する際には、目視による選定が難しいため、長さ表示は極めて有効なものとなる。また、チューブの長さを測定する手間がなくなるため、作業者の作業負担を軽減することが可能となる。
【００５１】
また、図５に示す実施形態のように、チューブ１１Ａを識別するための識別表示１５を更に備える、ことができる。
【００５２】
これにより、例えば、使用機種や、使用部位を表示する識別表示１５としてチューブ１１Ａに表示することによって、作業者は、識別表示１５に基づいて、瞬時に使用機種や、使用部位を把握することができる。
【００５３】
さらに、図５に示す実施形態のように、チューブ１１Ａ内を流動する流体の流動方向を示す方向記号を更に備える、ことができる。
【００５４】
これにより、作業者は、方向記号１３に基づいて、チューブ１１Ａ内を流動する流体の流動方向を瞬時に把握することができる。
【００５５】
なお、以上の各種の記号や表示（１３，１５，１７，２９）は、記号、数字、英文字、漢字、平仮名、片仮名、図形など、各種のものを使用することができ、これらを組み合わせて構成することとしてもよい。
【００５６】
また、上記の実施形態において、チューブ１１の色については、特に限定されるものではないが、各種の表示を視認しやすくするために、表示の色とコントラストの強い色が採用されることが好ましい。
【００５７】
また、上述した実施形態では、本発明のチューブを切削装置の配管に適用した例について説明したが、本発明のチューブの使用はこれに限定されるものではなく、例えば研削装置、研磨装置等の他の加工装置の配管にも同様に適用である。
【符号の説明】
【００５８】
１１    チューブ
１３    方向記号
１５    識別表示
１７    長さ表示
２１    流体種類表示
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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