(57)【要約】【課題】チューブへの方向記号や識別記号などの表示に関連し、チューブに直接印字表示を行うことによってマーカーの装着の手間を省くとともに、チューブの表面の油分の滲み出しによる印字表示の剥離が防止可能なチューブを提供する。【解決手段】流体が流れるチューブであって、チューブ上に印字された印字表示を備え、印字表示が印字される前に、チューブの印字表示が印字される被印字箇所に油分除去処理が施されたチューブが提供される。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体が流れるチューブであって、
該チューブ上に印字された印字表示を備え、
該印字表示が印字される前に、該チューブの該印字表示が印字される被印字箇所に油分除去処理が施されたチューブ。
【請求項２】
前記油分除去処理は、前記被印字箇所に有機溶剤を供給しつつスポンジで擦ることで実施される、
ことを特徴とする請求項１に記載のチューブ。
【請求項３】
前記スポンジはメラミンスポンジからなる、
ことを特徴とする請求項２に記載のチューブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は流体が流れるチューブに関する。
【背景技術】
【０００２】
産業機械や製造装置には水やエアといった各種の流体を用いるものが多い。例えば、半導体デバイスの製造工程において、半導体ウェーハを研削して薄化するグラインダと呼ばれる研削装置や、薄化された半導体ウェーハをチップ状に分割するダイサーと呼ばれる切削装置においては、装置の所要箇所にエアや加工液、吸引力等を伝達する配管が張り巡らされることが知られている（例えば、特許文献１、２参照。）。
【０００３】
より具体的には、切削装置は、少なくとも半導体ウェーハを吸引保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された半導体ウェーハを切削する切削ブレードを含むエアベアリング式のスピンドルユニットと、切削された半導体ウェーハを洗浄する洗浄装置とを備えている。
【０００４】
また、研削装置は、少なくとも半導体ウェーハを吸引保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された半導体ウェーハを研削する研削ホイールを含むエアベアリング式のスピンドルユニットと、研削された半導体ウェーハを洗浄する洗浄装置とを備えている。
【０００５】
更に、これらの切削装置や研削装置では、チャックテーブルに半導体ウェーハを吸引するための負圧を発生させるエア吸引源や、エアベアリングに高圧エアを供給するエア供給源、洗浄装置に洗浄液を供給する洗浄液供給源等を備えるとともに、流体の吸引源や供給源からそれぞれの作用箇所へ流体を導くための配管が設けられている。
【０００６】
このような切削装置や研削装置における各種流体の配管としては、直径数ｍｍ〜数十ｍｍ程度の柔軟性を有するチューブが一般的に用いられており、適切な長さに切断されたチューブが装置内の適所に接続されている。
【０００７】
そして、長さや太さが異なる複数のチューブを適正に接続するためには、チューブの種類を識別する必要がある。そこで、従来では、チューブ番号を示す数字等の識別情報が印字された短い筒状のマーカーをチューブの両端部に装着してチューブの識別を可能にするとともに、流れる流体の向きが印字された短い筒状のマーカーをチューブの両端部に装着して装置内での流体の流れを確認できるようにしていた。
【０００８】
一方、このような流体を流すためのチューブは、通常リールに巻かれた状態で蓄積されており、リールから引き出したチューブを目的の長さに切断した後、手作業で両端部に方向記号や識別記号を示す短い筒状のマーカーを装着することが行われていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開平１０−３２１５６２号公報
【特許文献２】特開昭５５−１１２７６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
ところが従来技術のように流体の流動方向を示す方向記号やチューブの種別を示す識別記号が印字された筒状のマーカーをチューブの両端部に装着する方法では、作業者が誤ったマーカーをチューブに装着してしまうことや、チューブに装着したマーカーが外れてチューブの識別ができず、装置内にチューブを適正に接続する作業が滞るという問題が発生していた。また、マーカーを装着する作業自体に手間がかかるという問題があった。
【００１１】
以上のようなマーカーを使用した場合の問題に鑑み、マーカーを使用せずに印字によって方向記号や識別記号をチューブに表示させること考えられる。
【００１２】
しかしながら、樹脂製のチューブの中には、製造後、時間経過に伴ってチューブの表面に内部から油分が滲み出すものがある。
【００１３】
このような樹脂製のチューブについて印字をした場合には、時間経過に伴って滲み出てくる油分によって印字が剥離してしまう、或いは、薄れてしまう、などの不具合が生じることが懸念される。
【００１４】
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、チューブへの方向記号や識別記号などの表示に関連し、チューブに直接印字表示を行うことによってマーカーの装着の手間を省くとともに、チューブの表面の油分の滲み出しによる印字表示の剥離が防止可能なチューブを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
請求項１に記載の発明によると、流体が流れるチューブであって、チューブ上に印字された印字表示を備え、印字表示が印字される前に、チューブの印字表示が印字される被印字箇所に油分除去処理が施されたチューブが提供される。
【００１６】
請求項２に記載の発明によると、油分除去処理は、被印字箇所に有機溶剤を供給しつつスポンジで擦ることで実施される、ことを特徴とする請求項１に記載のチューブが提供される。
【００１７】
請求項３に記載の発明によると、スポンジはメラミンスポンジからなる、ことを特徴とする請求項２に記載のチューブが提供される。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によると、マーカーに代わって印字表示が設けられるため、チューブにマーカーを装着する手間を省くことが可能となる。更に、印字表示を印字する前にチューブの被印字箇所には油分除去処理が施されるため、滲み出した油分が除去されて、印字が剥離、或いは、薄れてしまうことが防止される。
【００１９】
請求項２に記載の発明によると、有機溶剤を供給しつつスポンジで擦ることで、効率よく油分の除去が可能となる。
【００２０】
請求項３に記載の発明によると、メラミンスポンジを使用することで、チューブの表面の被印字箇所が僅かに削られることとなり、表面に微小な凹凸が形成されるため、より一層印字表示が剥離し難くなる、或いは、薄れ難くなる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】切削装置の外観斜視図である。
【図２】ダイシングテープを介して環状フレームで支持された半導体ウェーハの斜視図である。
【図３】油分除去処理の実施形態について示す図である。
【図４】識別記号などの実施形態について示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図１は配管に本発明のチューブを利用した切削装置２の外観斜視図を示している。切削装置２の前面側には、オペレータが加工条件等の装置に対する指示を入力するための操作手段４が設けられている。装置上部には、オペレータに対する案内画面や後述する撮像手段によって撮像された画像が表示されるＣＲＴ等の表示手段６が設けられている。
【００２３】
図２に示すように、ダイシング対象の発光デバイスウェーハＷ（以下、単に「ウェーハＷ」とも称する）の表面においては、第１のストリート（分割予定ライン）Ｓ１と第２のストリートＳ２とが直交して形成されており、第１のストリートＳ１と第２のストリートＳ２とによって区画されてＬＥＤ等の多数のデバイスＤがウェーハＷ上に形成されている。
【００２４】
ウェーハＷは粘着テープであるダイシングテープＴに貼着され、ダイシングテープＴの外周縁部は環状フレームＦに貼着されている。これにより、ウェーハＷはダイシングテープＴを介してフレームＦに支持された状態となり、図１に示したウェーハカセット８中にウェーハが複数枚（例えば２５枚）収容される。ウェーハカセット８は上下動可能なカセットエレベータ９上に載置される。
【００２５】
ウェーハカセット８の後方には、ウェーハカセット８から切削前のウェーハＷを搬出するとともに、切削後のウェーハをウェーハカセット８に搬入する搬出入手段１０が配設されている。ウェーハカセット８と搬出入手段１０との間には、搬出入対象のウェーハが一時的に載置される領域である仮置き領域１２が設けられており、仮置き領域１２には、ウェーハＷを一定の位置に位置合わせする位置合わせ手段１４が配設されている。
【００２６】
仮置き領域１２の近傍には、ウェーハＷと一体となったフレームＦを吸着して搬送する旋回アームを有する搬送手段１６が配設されており、仮置き領域１２に搬出されたウェーハＷは、搬送手段１６により吸着されてチャックテーブル１８上に搬送され、このチャックテーブル１８に吸引されるとともに、複数の固定手段（クランプ）１９によりフレームＦが固定されることでチャックテーブル１８上に保持される。
【００２７】
チャックテーブル１８は、回転可能且つＸ軸方向に往復動可能に構成されており、チャックテーブル１８のＸ軸方向の移動経路の上方には、ウェーハＷの切削すべきストリートを検出するアライメント手段２０が配設されている。
【００２８】
アライメント手段２０は、ウェーハＷの表面を撮像する撮像手段２２を備えており、撮像により取得した画像に基づき、パターンマッチング等の処理によって切削すべきストリートを検出することができる。撮像手段２２によって取得された画像は、表示手段６に表示される。
【００２９】
アライメント手段２０の左側には、チャックテーブル１８に保持されたウェーハＷに対して切削加工を施す切削手段（切削ユニット）２４が配設されている。切削手段２４はアライメント手段２０と一体的に構成されており、両者が連動してＹ軸方向及びＺ軸方向に移動する。
【００３０】
切削手段２４は、回転可能なスピンドル２６の先端に切削ブレード２８が装着されて構成され、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に移動可能となっている。切削ブレード２８は撮像手段２２のＸ軸方向の延長線上に位置している。
【００３１】
２５は切削が終了したウェーハＷを洗浄装置２７まで搬送する搬送手段であり、洗浄装置２７では、ウェーハＷを洗浄するとともにエアノズルからエアを噴出させてウェーハＷを乾燥する。
【００３２】
次に図３を参照して、本発明において特徴的な油分除去処理の実施形態について説明する。この油分除去処理を樹脂製のチューブ１１の表面に対して予め実施することにより、後にチューブ１１の表面に印字される各種表示が剥離し難くなる、或いは、薄れ難くなるようにすることができる。
【００３３】
この油分除去処理の対象となるチューブ１１の素材については、特に限定されるものではないが、例えば、ウレタン系樹脂、フッ素系樹脂からなる樹脂チューブが考えられる。
【００３４】
そして、この油分除去処理は、時間経過に伴ってチューブ１１から滲み出す油分を除去するためのものである。本実施形態では、溶剤塗布装置５０から有機溶剤５２をチューブ１１の表面に塗布することで、チューブ１１の表面に染み出した油分を除去することとしている。
【００３５】
この有機溶剤５２については、特に限定されるものではないが、例えば、揮発性の高いアルコール系溶剤を用いることが考えられる。
【００３６】
さらに、有機溶剤５２の塗布に加え、スポンジ５４にて表面を擦ることとしている。
【００３７】
このスポンジ５４によるチューブ１１の表面の処理は、チューブ表面上に滲出している油を払拭することを目的とするものである。また、スポンジ５４とチューブ１１の表面の間の摩擦によって、チューブ１１の表面粗さが粗くなる、つまりは、チューブ１１の表面に微小な凹凸が付けられる効果が期待できる。
【００３８】
スポンジ５４については具体的には限定されるものではないが、例えば、表面を研磨する効果が高いものとして知られる市販のメラミンスポンジ（研磨スポンジとも呼ばれる）を用いることが考えられる。このようなメラミンスポンジを用いることで、チューブ１１の表面に微小な凹凸を効果的に形成することが期待できる。
【００３９】
なお、以上の油分除去処理は、作業員による手作業によるほか、有機溶剤５２の塗布とスポンジ５４による処理（研磨）を同時に行う専用の装置などによって自動的になされるものであってもよい。
【００４０】
また、予め有機溶剤５２を浸透させたスポンジ５４によってチューブ１１の表面を擦ることとしてもよい。また、油分除去処理を施す範囲は、チューブ１１の長さ方向、及び、外周面において、印字処理がなされる箇所において局所的に行われることが好ましい。これにより、油分除去処理のための時間を最小限に抑えることができる。
【００４１】
そして、以上のように油分除去処理を行ったチューブ１１に対し、図４に示すような印字が実施される。図４の例では、チューブ１１上に矢印Ａで示す流体の流動方向を示す方向記号１３が印字されている。なお、印字の方法としては、例えば、周知のインクジェット方式によるものが考えられる。
【００４２】
方向記号１３は２以上の直線、または、曲線の組み合わせから形成されることが好ましい。２以上とすることで、１とする場合にも、方向が視認しやすくなる。また、線で表示することにより、印字に使用するインクの量を抑えることが可能となる。
【００４３】
本実施形態では、２本の折れ線からなる略「く」字状の方向記号１３を、２箇所に配置することで、方向記号１３の尖端側に向かって流体が流動することを一目で視認できるようにしている。
【００４４】
このような実施形態によれば、例えば、長方形状の一端を尖らせ、他端を窪ませた形態の帯状の矢印記号の場合と比較すると、方向を示すという機能を確保しながらも、印字に使用するインクの量を効果的に抑えることが可能となる。
【００４５】
更に、方向記号１３の側方にはチューブ１１を識別可能とするための識別記号１５が印字されている。
【００４６】
この識別記号１５は、例えば、使用機種や、使用部位を表示するものである。例えば、本実施形態の「Ｄ  ＳＰ１」では、「Ｄ」は、切削装置（ダイサー）に使用されることを示し、「ＳＰ」は、スピンドル２６（図１参照）に関連する配管系統に使用されることを示し、「１」は、スピンドル２６（図１参照）に関連する差込口のうち差込口１番に差し込まれることが示される。
【００４７】
加えて、方向記号１３と識別記号１５とは同一色を有することが好ましい。つまり、同一色のインクによって印字されることが好ましい。
【００４８】
これにより、複数色のインク管理の手間が省けるとともに、同一色のインクを大量購入することなどによるコスト削減が可能となる。
【００４９】
なお、この実施形態のように、方向記号１３については、２以上の直線（曲線でもよい）の組み合わせであって、流体が流れる方向を視認できるものであれば、特に限定されるものではない。同様に、識別記号１５については、記号、数字、英文字、漢字、平仮名、片仮名、図形など、各種のものを使用することができ、これらを組み合わせて構成することとしてもよい。
【００５０】
そして、以上に説明したように、方向記号１３と識別記号１５の印字は、上述した油分除去処理の後に行われるため、チューブ１１の表面上の油分が除去されており、また、表面に微小な凹凸が形成されている状況であるため、チューブ１１から滲み出した油分が原因となって、印字が剥離、或いは、薄れてしまうことが防止される。
【００５１】
なお、上述した実施形態では、本発明のチューブを切削装置の配管に適用した例について説明したが、本発明のチューブの使用はこれに限定されるものではなく、例えば研削装置、研磨装置等の他の加工装置の配管にも同様に適用である。
【符号の説明】
【００５２】
１１    チューブ
１３    方向記号
１５    識別記号
５０    溶剤塗布装置
５２    有機溶剤
５４    スポンジ
【図１】
2014062628.tif 000003
【図２】
2014062628.tif 000004
【図３】
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【図４】
2014062628.tif 000006