(57)【要約】【課題】湾曲状態に変形したプローブを初期状態に復元させる。【解決手段】複数のプローブと各プローブの先端部および基端部を支持する支持部とを有して先端部で基板５００を押圧したときに先端部が初期状態よりも基端部側に押し込まれてプローブの中間部が湾曲すると共に押圧状態を解除したときに中間部の弾性力によってプローブが初期状態に復元可能に構成されたプローブユニット２と、湾曲状態に変形したプローブを初期状態に復元させるプローブ矯正部とを備え、プローブ矯正部は、誘電体８２を帯電させる帯電ユニット８と、帯電した誘電体８２とプローブの先端部とがプローブの長さ方向に沿って近接するように誘電体８２およびプローブユニット２の少なくとも一方を移動させる移動機構３とを備えて、互いに近接した誘電体８２とプローブの先端部との間において中間部の湾曲が減少する向きにクーロン力を作用させる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のプローブと当該各プローブの先端部および基端部を支持する支持部とを有して当該先端部でプロービング対象を押圧したときに当該先端部が初期状態よりも当該基端部側に押し込まれて当該プローブの中間部が湾曲すると共に押圧状態を解除したときに当該中間部の弾性力によって当該プローブが当該初期状態に復元可能に構成されたプローブユニットを備えたプローブ装置であって、
湾曲状態に変形したプローブを前記初期状態に復元させるプローブ矯正部を備え、
前記プローブ矯正部は、誘電体を帯電させる帯電装置と、帯電した前記誘電体と前記プローブの前記先端部とが当該プローブの長さ方向に沿って近接するように当該誘電体および前記プローブユニットの少なくとも一方を移動させる第１移動機構とを備えて、互いに近接した前記誘電体と前記プローブの前記先端部との間において前記中間部の湾曲が減少する向きにクーロン力を作用させて前記湾曲状態に変形したプローブを前記初期状態に復元させるプローブ装置。
【請求項２】
前記プローブ矯正部は、針状に形成された１つの前記誘電体と、前記プローブユニットにおける任意の１つの前記プローブの前記先端部に対向する位置に前記１つの誘電体を移動させる第２移動機構とを備えている請求項１記載のプローブ装置。
【請求項３】
請求項１または２記載のプローブ装置と、前記プロービング対象としての基板の導体部にプロービングさせた前記プローブユニットの前記プローブを介して入力した電気信号に基づいて当該基板を検査する検査部と、前記プローブ矯正部を制御する制御部を備えている基板検査装置。
【請求項４】
前記制御部は、前記検査部による検査結果に基づいて前記湾曲状態に変形したプローブを特定したときに前記プローブ矯正部を制御して当該プローブを前記初期状態に復元させる請求項３記載の基板検査装置。
【請求項５】
複数のプローブと当該各プローブの先端部および基端部を支持する支持部とを有して当該先端部でプロービング対象を押圧したときに当該先端部が初期状態よりも当該基端部側に押し込まれて当該プローブの中間部が湾曲すると共に押圧状態を解除したときに当該中間部の弾性力によって当該プローブが当該初期状態に復元可能に構成されたプローブユニットにおける湾曲状態に変形したプローブを当該初期状態に復元させるプローブ矯正方法であって、
誘電体を帯電させ、帯電した前記誘電体と前記プローブの前記先端部とを近接させて、前記誘電体と前記プローブの前記先端部との間において前記中間部の湾曲が減少する向きにクーロン力を作用させて前記湾曲状態に変形したプローブを前記初期状態に復元させるプローブ矯正方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数のプローブを有するプローブユニットを備えたプローブ装置、そのプローブ装置を備えた基板検査装置、およびプローブユニットにおけるプローブを初期状態に復元させるプローブ矯正方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種のプローブ装置を備えた基板検査装置として、特開２００９−８５８５号公報に開示された検査装置が知られている。この検査装置は、検査治具、検査治具が取り付けられる第１支持盤、検査対象が載置される第２支持盤、および第１支持盤と第２支持盤とを相対的に接離するように移動させる移動機構などを備えて検査対象の電気的検査を実行可能に構成されている。検査治具は、湾曲（屈曲）可能な複数のプローブ、各プローブの先端側を支持する先端側支持体、および各プローブの後端側を支持する後端側支持体等を備えて構成されている。この場合、各支持体には、挿通孔が形成されており、この挿通孔にプローブの先端側および後端側が挿通された状態で各支持体によって各プローブが支持されている。また、この検査治具では、プローブの先端部が検査対象に接触していない初期状態では、この先端部が先端側支持体から１００μｍ〜２００μｍ程度突出しており、この先端部が検査対象に接触したときには、先端部の突出量が減少し（先端部が後端側に押し込まれ）、その分プローブの中間部（先端部と基端部との間）が湾曲する。また、中間部の湾曲に伴って生じる弾性力によってプローブが検査対象を押圧し、これによってプローブの先端部と検査対象とが電気的に接続される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−８５８５号公報（第４−７頁、第１，６図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、従来の検査装置には、以下の課題がある。すなわち、この検査装置の検査治具は、プローブの先端部を検査対象に接触させたときにプローブの中間部が湾曲し、この際の弾性力によってプローブの先端部が検査対象を押圧することで、先端部と検査対象とを電気的に接続するように構成されている。一方、検査が終了して検査対象に対するプローブの押圧状態を解除したときには、中間部の弾性力によって先端部の突出量が増加して（先端部が押し出されて）、プローブが初期状態に復元する。ここで、プローブが挿通させられている先端側支持体の挿通孔の縁部とプローブとの接触部位における摩擦力が中間部の弾性力よりも大きいときには、プローブが初期状態に復元できずに、先端部が後端側に押し込まれたまま（中間部が湾曲状態に変形したまま）の状態となることがある。このようなときには、次の検査対象に対する検査の際に、この初期状態に復元していないプローブが検査対象に接触しない状態となって検査に支障を来すおそれがあり、この点の改善が望まれている。
【０００５】
本発明は、かかる課題に鑑みてなされたものであり、湾曲状態に変形したプローブを初期状態に復元させ得るプローブ装置、基板検査装置およびプローブ矯正方法を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成すべく請求項１記載のプローブ装置は、複数のプローブと当該各プローブの先端部および基端部を支持する支持部とを有して当該先端部でプロービング対象を押圧したときに当該先端部が初期状態よりも当該基端部側に押し込まれて当該プローブの中間部が湾曲すると共に押圧状態を解除したときに当該中間部の弾性力によって当該プローブが当該初期状態に復元可能に構成されたプローブユニットを備えたプローブ装置であって、湾曲状態に変形したプローブを前記初期状態に復元させるプローブ矯正部を備え、前記プローブ矯正部は、誘電体を帯電させる帯電装置と、帯電した前記誘電体と前記プローブの前記先端部とが当該プローブの長さ方向に沿って近接するように当該誘電体および前記プローブユニットの少なくとも一方を移動させる第１移動機構とを備えて、互いに近接した前記誘電体と前記プローブの前記先端部との間において前記中間部の湾曲が減少する向きにクーロン力を作用させて前記湾曲状態に変形したプローブを前記初期状態に復元させる。
【０００７】
また、請求項２記載のプローブ装置は、請求項１記載のプローブ装置において、前記プローブ矯正部は、針状に形成された１つの前記誘電体と、前記プローブユニットにおける任意の１つの前記プローブの前記先端部に対向する位置に前記１つの誘電体を移動させる第２移動機構とを備えている。
【０００８】
また、請求項３記載の基板検査装置は、請求項１または２記載のプローブ装置と、前記プロービング対象としての基板の導体部にプロービングさせた前記プローブユニットの前記プローブを介して入力した電気信号に基づいて当該基板を検査する検査部と、前記プローブ矯正部を制御する制御部を備えている。
【０００９】
また、請求項４記載の基板検査装置は、請求項３記載の基板検査装置において、前記制御部は、前記検査部による検査結果に基づいて前記湾曲状態に変形したプローブを特定したときに前記プローブ矯正部を制御して当該プローブを前記初期状態に復元させる。
【００１０】
また、請求項５記載のプローブ矯正方法は、複数のプローブと当該各プローブの先端部および基端部を支持する支持部とを有して当該先端部でプロービング対象を押圧したときに当該先端部が初期状態よりも当該基端部側に押し込まれて当該プローブの中間部が湾曲すると共に押圧状態を解除したときに当該中間部の弾性力によって当該プローブが当該初期状態に復元可能に構成されたプローブユニットにおける湾曲状態に変形したプローブを当該初期状態に復元させるプローブ矯正方法であって、誘電体を帯電させ、帯電した前記誘電体と前記プローブの前記先端部とを近接させて、前記誘電体と前記プローブの前記先端部との間において前記中間部の湾曲が減少する向きにクーロン力を作用させて前記湾曲状態に変形したプローブを前記初期状態に復元させる。
【発明の効果】
【００１１】
請求項１記載のプローブ装置、請求項３記載の基板検査装置、および請求項５記載のプローブ矯正方法によれば、帯電した状態の誘電体とプローブの先端部とを近接させて、誘電体とプローブの先端部との間において中間部の湾曲が減少する向きにクーロン力を作用させることにより、支持部とプローブとの接触部分に生じる摩擦力によって中間部の弾性力だけでは初期状態に復元しない（湾曲状態に変形している）プローブに対してクーロン力を加えることで、プローブを初期状態に確実に復元させることができる。また、このプローブ装置、基板検査装置およびプローブ矯正方法によれば、プローブに直接接触することなく中間部の湾曲が減少する向きにクーロン力を加えることができるため、プローブユニットを分解することなくプローブを初期状態に確実に復元することができる結果、初期状態に復元しないプローブが発生したときのプローブユニットのメンテナンス作業の効率を十分に向上させることができる。
【００１２】
また、請求項２記載のプローブ装置、および請求項３記載の基板検査装置では、プローブユニットにおける任意の１つのプローブの先端部に対向する位置に針状に形成された１つの誘電体を移動させ、その誘電体にその１つのプローブの先端部を近接させる。このため、このプローブ装置および基板検査装置によれば、湾曲状態に変形して初期状態に復元しない１つのプローブに対してクーロン力を集中的に作用させることができる結果、そのプローブを初期状態に確実に復元させることができると共に、湾曲状態に変形していない他のプローブに対するクーロン力の作用によってそのプローブが初期状態（中間部がやや湾曲した状態）よりも真っ直ぐな状態となる（湾曲した部分がなくなる）事態を確実に防止することができる。
【００１３】
請求項４記載の基板検査装置では、制御部が検査部による検査結果に基づいて湾曲状態に変形した（初期状態に復元していない）プローブを特定したときにプローブ矯正部を制御してそのプローブを初期状態に復元させる。つまり、湾曲状態に変形したプローブの特定、およびそのプローブを初期状態に復元させる処理が自動的に行われる。したがって、この基板検査装置によれば、湾曲状態に変形したプローブの有無を監視したり、その際にそのプローブを初期状態に復元させる処理の実行を指示したりする作業を使用者が行う必要がない分、十分な省力化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】基板検査装置１の構成を示す構成図である。
【図２】プローブユニット２の構成を示す構成図である。
【図３】基板検査装置１におけるプローブ矯正方法を説明する説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明に係るプローブ装置、基板検査装置およびプローブ矯正方法の実施の形態について、図面を参照して説明する。
【００１６】
最初に、基板検査装置１の構成について説明する。図１に示す基板検査装置１は、基板検査装置の一例であって、同図に示すように、プローブユニット２、移動機構３（第１移動機構）、搬送機構４、電流供給部５、検査部６、記憶部７、帯電ユニット８および制御部９を備えて、後述する基板検査方法に従って基板５００を検査可能に構成されている。なお、移動機構３および帯電ユニット８によってプローブ矯正部が構成され、プローブユニット２、移動機構３および帯電ユニット８によってプローブ装置が構成される。
【００１７】
プローブユニット２は、一例として、図２に示すように、支持部１１、複数のプローブ１２、および電極板１３を備えて構成されている。
【００１８】
支持部１１は、図２に示すように、一例として、第１支持板３１、第２支持板３２および連結部３３を備えて、プローブ１２を支持可能に構成されている。第１支持板３１は、プローブ１２の先端部２１側を支持する部材であって、非導電性を有する樹脂材料等によって板状に形成されている。また、第１支持板３１には、複数の挿通孔が形成されている。この場合、この挿通孔は、プローブ１２の先端部２１の挿通を可能とし、プローブ１２の中間部２２の挿通を規制可能な大きさ、つまり、その直径が、先端部２１の直径よりも大径で、かつ中間部２２の直径よりも小径となるように形成されている。
【００１９】
第２支持板３２は、プローブ１２の基端部２３側を支持する部材であって、非導電性を有する樹脂材料等によって板状に形成されている。また、第２支持板３２には、複数の挿通孔が形成されている。この場合、この挿通孔は、プローブ１２の中間部２２の挿通を可能とする大きさ、つまり、その直径が、中間部２２の直径よりも大径となるように形成されている。連結部３３は、図２に示すように、第１支持板３１と第２支持板３２とを平行な状態で連結する。
【００２０】
プローブ１２は、プロービング対象としての基板５００を検査する際に基板５００の導体パターン（導体部）５０１（図１参照）に先端部２１を接触させて電気信号の入出力を行うために用いられ、一例として、導電性を有する金属材料（例えば、ベリリウム銅合金、ＳＫＨ（高速度工具鋼）およびタングステン鋼など）によって弾性変形可能な棒状に形成されている。また、図２に示すように、プローブ１２の先端部２１および基端部２３は、それぞれ鋭利に形成されている。また、プローブ１２の中間部２２の周面には、絶縁層が形成されている。このため、中間部２２は、その直径が先端部２１の直径および基端部２３の直径よりも大径となっている。
【００２１】
このプローブユニット２では、プローブ１２は、図２に示すように、先端部２１が支持板３１の挿通孔に挿通され、基端部２３が第２支持板３２の挿通孔に挿通された状態で支持部１１によって支持されている。また、プローブ１２は、同図に示すように、初期状態において中間部２２がやや湾曲した状態で支持部１１によって支持されている。この場合、プローブ１２は、基板５００に近接する向きにプローブユニット２が全体として移動させられたときに、基板５００の導体パターン５０１に先端部２１が接触して導体パターン５０１を押圧し、この際に加わる導体パターン５０１からの反力により、先端部２１が初期状態よりも基端部２３側に押し込まれて（第１支持板３１からの先端部２１の突出量が減少し）、その分中間部２２の湾曲量が増加する。また、プローブ１２は、導体パターン５０１に対する押圧状態が解除されたときに、中間部２２の弾性力によって先端部２１が押し出されて（第１支持板３１からの先端部２１の突出量が増加し）、初期状態に復元することが可能となっている。
【００２２】
電極板１３は、非導電性を有する樹脂材料等によって板状に形成されて、図２に示すように、支持部１１の第２支持板３２の上部に配設されている。また、電極板１３における各プローブ１２の各基端部２３との接触部位には、導電性を有する端子が嵌め込まれており、この各端子には、プローブ１２と電流供給部５や検査部６とを電気的に接続するためのケーブルがそれぞれ接続されている。
【００２３】
移動機構３は、プローブユニット２を取り付け可能に構成され、制御部９の制御に従ってプローブユニット２を上下方向に移動させる。搬送機構４は、基板５００を載置するための載置台４１（図１参照）を備えて構成され、制御部９の制御に従い、載置台４１に基板５００を載置する位置（以下、この位置を「第１待機位置」ともいう）と、移動機構３の下方の位置（以下、この位置を「プロービング位置」ともいう）との間で載置台４１を搬送する。また、搬送機構４は、制御部９の制御に従い、非使用時における帯電ユニット８の待機位置（以下、この位置を「第２待機位置」ともいう）とプロービング位置との間で帯電ユニット８を搬送する。
【００２４】
電流供給部５は、電流出力回路およびスキャナスイッチ（いずれも図示せず）を備えて構成され、制御部９の制御に従い、検査用の電流Ｉｍ（電気信号の一例）をプローブユニット２の各プローブ１２を介して基板５００の導体パターン５０１に供給する。
【００２５】
検査部６は、制御部９の制御に従い、プローブ１２を介して入出力する電気信号に基づき、抵抗値Ｒｍを測定すると共に、その抵抗値Ｒｍに基づいて基板５００の良否（導体パターン５０１の断線や短絡の有無）を検査する検査処理を実行する。記憶部７は、制御部９の制御に従い、検査部６によって測定された抵抗値Ｒｍを一時的に記憶する。
【００２６】
帯電ユニット８は、帯電装置に相当し、図１に示すように、直流電源８１、誘電体８２およびマニピュレータ８３（第２移動機構）を備えて構成されている。直流電源８１は、制御部９の制御に従い、１００Ｖ〜１０００Ｖ程度の直流電圧Ｖｄを誘電体８２に供給する。誘電体８２は、図３に示すように、先端部が鋭利な針状に形成されている。マニピュレータ８３は、制御部９の制御に従い、プローブユニット２における第１支持板３１および第２支持板３２に平行な方向（図３における左右方向、および同図における紙面手前側と奥側とを結ぶ方向）に沿って誘電体８２を移動させて、プローブユニット２における任意の（制御部９によって指定された）１つのプローブ１２の先端部２１に誘電体８２の先端部を対向させる。
【００２７】
この帯電ユニット８は、直流電源８１から供給される直流電圧Ｖｄによって誘電体８２を帯電させ、帯電した状態の誘電体８２に対してプローブユニット２におけるプローブ１２の先端部２１がプローブ１２の長さ方向（図３における上下方向）に沿って移動して近接したときに、プローブ１２における中間部２２の湾曲量（湾曲の大きさ）が減少する向き（この例では、下向き）にクーロン力（静電力）Ｆを作用させる機能を有している。このため、このプローブ装置では、湾曲状態に変形して初期状態に復元しないプローブ１２を初期状態に復元させることが可能となっている。
【００２８】
また、この帯電ユニット８では、誘電体８２が針状に形成されているため、誘電体８２に近接している１つのプローブ１２の先端部２１に対してクーロン力Ｆを集中的に作用させることが可能となっている。したがって、湾曲状態に変形して初期状態に復元しないプローブ１２にクーロン力Ｆを集中的に作用させて、そのプローブ１２を初期状態に確実に復元させることができると共に、湾曲状態に変形していない他のプローブ１２に対するクーロン力Ｆの作用によってそのプローブ１２が初期状態（中間部２２がやや湾曲した状態）よりも真っ直ぐな状態となる（湾曲した部分が小さくなったり、なくなったりする）事態を防止することが可能となっている。
【００２９】
また、帯電ユニット８は、第２待機位置とプロービング位置との間で搬送機構４によって搬送される。この場合、この基板検査装置１では、プロービング位置に帯電ユニット８が搬送された状態で、プロービング位置にプローブユニット２が下降したときには、プローブ１２の先端部２１に誘電体８２の先端部が近接する。
【００３０】
制御部９は、基板検査装置１を構成する各部を制御する。また、制御部９は、検査部６による検査結果（抵抗値Ｒｍの測定結果）に基づいて初期状態に復元していない（湾曲状態に変形した一例）プローブ１２の有無を判別し、そのようなプローブ１２を特定したときには、プローブ矯正部としての移動機構３および帯電ユニット８を制御してそのプローブ１２を初期状態に復元させる復元処理を実行する。
【００３１】
次に、基板検査装置１を用いて基板５００の検査を行う基板検査方法、およびプローブ矯正方法について、図面を参照して説明する。
【００３２】
まず、第１待機位置に位置している搬送機構４の載置台４１に基板５００を載置する。次いで、検査の開始を指示する。これに応じて、制御部９が、搬送機構４を制御して、載置台４１をプロービング位置に搬送させる。続いて、制御部９は、移動機構３を制御して、基板５００（載置台４１の載置面）に近接する向きにプローブユニット２を予め決められた長さだけ移動（下降）させる。
【００３３】
次いで、プローブユニット２における各プローブ１２の先端部２１が基板５００の導体パターン５０１に接触して導体パターン５０１を押圧する。続いて、プローブユニット２の下降に伴って先端部２１に加わる導体パターン５０１からの反力によって先端部２１が基端部２３側（第２支持板３２側）に押し込まれて第１支持板３１からの突出量が減少し、これによって中間部２２の湾曲量が増加する。
【００３４】
次いで、制御部９は、電流供給部５を制御して予め決められたプローブ１２に対して検査用の電流Ｉｍを供給させる。続いて、制御部９は、検査部６を制御して検査処理を開始させる。この検査処理では、検査部６は、電流供給部５から供給されている電流Ｉｍおよびプローブ１２を介して入力する電気信号（例えば、電圧）に基づいて抵抗値Ｒｍを測定して記憶部７に記憶させる。
【００３５】
次いで、検査部６は、記憶部７に記憶させた抵抗値Ｒｍに基づいて導体パターン５０１の断線および短絡の有無を検査する。続いて、制御部９は、検査結果を図外の表示部に表示させる。次いで、制御部９は、移動機構３を制御してプローブユニット２を上方に移動（上昇）させる。この際に、基板５００の導体パターン５０１に対する先端部２１からの押圧が解除される。これに伴い、湾曲している中間部２２の弾性力（復元力）によって第１支持板３１からの先端部２１の突出量が増加すると共に中間部２２の湾曲量が減少して初期状態に復元する。続いて、制御部９は、搬送機構４を制御して、載置台４１を第１待機位置に搬送させる。以上により、基板５００の検査が終了する。
【００３６】
次いで、新たな基板５００を検査するときには、新たな基板５００を搬送機構４の載置台４１に載置し、続いて、検査の開始を指示する。これに応じて、制御部９が、上記した各処理を実行することにより、新たな基板５００の検査が行われる。
【００３７】
ここで、第１支持板３１における挿通孔の縁部とプローブ１２との接触部分に生じる摩擦力が中間部２２の弾性力（復元力）よりも大きいときには、プローブ１２によって導体パターン５０１を押圧している状態から、プローブユニット２を上昇させて押圧状態を解除したときに、プローブ１２が初期状態に復元することなく、第１支持板３１からの先端部２１の突出量が減少したままの状態（つまり、導体パターン５０１に対する加圧を解除しているにも拘わらず、中間部２２が過剰に湾曲している状態）となることがある（図３に示すプローブ１２ａ参照）。
【００３８】
このようなプローブ１２が存在しているときには、プローブユニット２を下降させたとしても、そのプローブ１２の先端部２１が導体パターン５０１に接触しないこととなる。このため、基板５００の検査を繰り返して実行した際に、例えば、同一の導体パターン５０１の同一箇所において断線があるとの誤った判定が連続してなされることとなる。
【００３９】
したがって、このような状態が続いたときには、制御部９は、復元処理を実行する。この復元処理では、制御部９は、検査部６による検査結果に基づき、例えば、断線があると連続して判定された導体パターン５０１の箇所を特定する。次いで、制御部９は、特定した箇所に対応するプローブ１２（例えば、図３に示すプローブ１２ａ）を特定する（プローブ特定処理）。
【００４０】
続いて、制御部９は、搬送機構４を制御して、帯電ユニット８を第２待機位置からプロービング位置に搬送させる。次いで、制御部９は、帯電ユニット８のマニピュレータ８３を制御して、誘電体８２の先端部がプローブ１２ａの先端部２１に対向する位置に誘電体８２を移動させる。続いて、制御部９は、帯電ユニット８の直流電源８１を制御して、誘電体８２に対する直流電圧Ｖｄの供給を開始させる。この際に、誘電体８２が直流電圧Ｖｄの供給に伴って帯電する。
【００４１】
次いで、制御部９は、移動機構３を制御して、プローブユニット２を移動（下降）させて、図３に示すように、プローブ１２ａの先端部２１を帯電ユニット８の誘電体８２の先端部に近接させる。この際に、プローブ１２ａおよび誘電体８２の間に静電誘導が生じて、これによって両者の間にクーロン力Ｆが発生（作用）する。
【００４２】
続いて、プローブ１２ａにクーロン力Ｆが作用することにより、挿通孔の縁部との接触部分における摩擦力に抗して先端部２１が下方に引き出されて第１支持板３１からの先端部２１の突出量が増加すると共に、中間部２２の湾曲量が減少し、この結果、プローブ１２ａが初期状態に復元する。このように、この基板検査装置１では、復元処理を実行することで、挿通孔の縁部とプローブ１２との接触部分に生じる摩擦力によって中間部２２の弾性力だけでは初期状態に復元しなかったプローブ１２ａを、初期状態に確実に復元させることが可能となっている。
【００４３】
次いで、制御部９は、帯電ユニット８の直流電源８１を制御して誘電体８２に対する直流電圧Ｖｄの供給を停止させる。続いて、制御部９は、移動機構３を制御してプローブユニット２を上昇させ、次いで、搬送機構４を制御して、帯電ユニット８を第２待機位置に搬送させる。以上により、復元処理が終了する。
【００４４】
続いて、プローブ１２が初期状態に復元しなかったことに起因して誤った検査結果となった可能性のある基板５００に対する再検査や、新たな基板５００の検査を継続するときには、対象の基板５００を搬送機構４の載置台４１に載置し、次いで、検査の開始を指示する。
【００４５】
このように、この基板検査装置１およびプローブ矯正方法によれば、帯電した状態の誘電体８２とプローブ１２の先端部２１とを近接させて、誘電体８２とプローブ１２の先端部２１との間において中間部２２の湾曲が減少する向きにクーロン力Ｆを作用させることにより、第１支持板３１の挿通孔の縁部とプローブ１２との接触部分に生じる摩擦力によって中間部２２の弾性力だけでは初期状態に復元しないプローブ１２に対してクーロン力Ｆを加えることで、プローブ１２を初期状態に確実に復元させることができる。また、この基板検査装置１およびプローブ矯正方法によれば、プローブ１２に直接接触することなく中間部２２の湾曲が減少する向きにクーロン力Ｆを加えることができるため、プローブユニット２を分解することなくプローブ１２を初期状態に確実に復元することができる結果、初期状態に復元しないプローブ１２が発生したときのプローブユニット２のメンテナンス作業の効率を十分に向上させることができる。
【００４６】
また、この基板検査装置１およびプローブ矯正方法では、プローブユニット２における任意の１つのプローブ１２の先端部２１に対向する位置に針状に形成された１つの誘電体８２を移動させ、その誘電体８２にその１つのプローブ１２の先端部２１を近接させる。このため、この基板検査装置１およびプローブ矯正方法によれば、湾曲状態に変形して初期状態に復元しない１つのプローブ１２に対してクーロン力Ｆを集中的に作用させることができる結果、そのプローブ１２を初期状態に確実に復元させることができると共に、湾曲状態に変形していない他のプローブ１２に対するクーロン力Ｆの作用によってプローブ１２が初期状態（中間部２２がやや湾曲した状態）よりも真っ直ぐな状態となる（湾曲した部分がなくなる）事態を確実に防止することができる。
【００４７】
また、この基板検査装置１では、制御部９が検査部６による検査結果に基づいて初期状態に復元していない（湾曲状態に変形した）プローブ１２を特定したときにプローブ矯正部を制御してそのプローブ１２を初期状態に復元させる。つまり、初期状態に復元していないプローブ１２の特定、およびそのプローブ１２を初期状態に復元させる処理が自動的に行われる。したがって、この基板検査装置１によれば、初期状態に復元していないプローブ１２の有無を監視したり、その際にそのプローブ１２を初期状態に復元させる処理の実行を指示したりする作業を使用者が行う必要がない分、十分な省力化を図ることができる。
【００４８】
なお、プローブ装置、基板検査装置およびプローブ矯正方法は、上記の構成および方法に限定されない。例えば、制御部９が検査部６による検査結果に基づいて初期状態に復元していない（湾曲状態に変形した）プローブ１２を特定（検出）して復元処理を実行する構成および方法（つまり、復元処理を自動的に行う構成および方法）について上記したが、初期状態に復元していないプローブ１２を使用者が検査結果等に基づいて特定したときに、基板検査装置１（制御部９）に対して復元処理の実行を指示する構成および方法を採用することもできる。
【００４９】
また、針状に形成した誘電体８２を用いる構成および方法について上記したが、針状以外の形状（一例として、板状やブロック状）に形成して、誘電体と複数のプローブ１２の先端部２１とを近接させて複数のプローブ１２の先端部２１に対してクーロン力を作用させることが可能な誘電体を用いる構成および方法を採用することもできる。この場合、このように複数のプローブ１２の先端部２１に対してクーロン力を作用させることが可能な誘電体を用いる構成では、湾曲状態に変形したプローブ１２を特定する処理を実行することなく、つまり湾曲状態に変形したプローブ１２が発生しているか否かに拘わらず、プロービングの動作（プロービング対象に対して各プローブ１２の先端部２１を接触させる動作）を任意の回数（１回または複数回）行う毎に、誘電体と各プローブ１２の先端部２１とを近接させる処理を実行することもできる。
【００５０】
また、帯電した誘電体８２の先端部２１とプローブ１２の先端部２１とをプローブ１２の長さ方向に沿って移動させて近接させる際に、プローブユニット２を移動させる例について上記したが、帯電ユニット８（例えば、誘電体８２のみ）を移動させる構成および方法、またはプローブユニット２と帯電ユニット８（誘電体８２）の双方を移動させる構成および方法を採用することができる。
【符号の説明】
【００５１】
１  基板検査装置
２  プローブユニット
３  移動機構
６  検査部
８  帯電ユニット
９  制御部
１１  支持部
１２  プローブ
２１  先端部
２２  中間部
２３  基端部
３１  第１支持板
３２  第２支持板
８１  直流電源
８２  誘電体
８３  マニピュレータ
Ｆ  クーロン力
Ｉｍ  電流
【図１】
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【図２】
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【図３】
2014066678.tif 000005