(57)【要約】【課題】  クリーンルームの天井部や半導体ウエハ等に設置される空気清浄機において、空気清浄機から供給された清浄空気の風速が高い部分と低い部分があり風速分布にばらつきがある。ばらつきがあると、製造装置内で乱流が生じ、空気が巻き上げられ、半導体ウエハの製造に影響を及ぼす可能性がある。本発明は、清浄空気の風速分布のばらつきを少なくする空気清浄機を提供することにある。【解決手段】  空気を吸い込むファンと、ファンを回転駆動するモータと、モータを固定するモータベースと、モータベースを支持するケースと、ファンからの空気を清浄化するフィルタと、を備え、フィルタを通して清浄化された空気を供給する空気清浄機において、ファンからの空気が入るフィルタ面に、清浄空気の風速分布で、風速が遅い箇所に開口を設け、この開口は周囲より開口面積を大きくした開口板を配置したことを特徴とする。【選択図】  図１
2014066459.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
空気を吸い込むファンと、該ファンを回転駆動するモータと、該モータを固定するモータベースと、該モータベースを支持するケースと、前記ファンからの空気を清浄化するフィルタと、を備え、該フィルタを通して清浄化された空気を供給する空気清浄機において、
前記ファンからの空気が入る前記フィルタ面に、前記フィルタ通過後の清浄空気の風速分布において、風速が低い箇所に対応する箇所に開口を設け、該開口は周囲より開口面積を大きくした、または開口率を大きくした開口板を配置したことを特徴とする空気清浄機。
【請求項２】
請求項１記載の空気清浄機において、
前記開口板に風向板を設置したことを特徴とする空気清浄機。
【請求項３】
請求項２記載の空気清浄機において、
前記風向板は、直線または曲率半径Ｒを有した形状であることを特徴とする空気清浄機。
【請求項４】
空気を吸い込むファンと、該ファンを回転駆動するモータと、該モータを固定するモータベースと、該モータベースを支持するケースと、前記ファンからの空気を清浄化するフィルタと、を備え、該フィルタを通して清浄化された空気を供給する空気清浄機において、
前記ファンからの空気が入る前記フィルタ面に、前記モータベースに設置した前記モータの設置位置に対応する箇所の開口を大きくし、該開口より小さい開口を周囲に複数個設けた開口板を配置したことを特徴とする空気清浄機。
【請求項５】
請求項４記載の空気清浄機において、
前記開口板に風向板を設置し、
該風向板は、前記モータの設置位置に対応した位置の中心線上で、板状部材を直線状または十字形状に配置したことを特徴とする空気清浄機。
【請求項６】
請求項４記載の空気清浄機において、
前記開口板に設置する風向板を、該開口板での切り起しで形成することを特徴とする空気清浄機。
【請求項７】
請求項４乃至６記載の空気清浄機において、
前記開口板に設けた前記大きな開口は矩形とし、該開口の周囲に複数の細長い矩形の開口を配置し、
前記細長い矩形の開口は、前記フィルタのろ材の折り畳み方向と直角になるように形成することを特徴とする空気清浄機。
【請求項８】
請求項４記載の空気清浄機において、
前記モータを固定するモータベースに開口を設けたことを特徴とする空気清浄機。
【請求項９】
空気を吸い込むファンと、該ファンを回転駆動するモータと、該モータを固定するモータベースと、該モータベースを支持するケースと、前記ファンからの空気を清浄化するフィルタと、を備え、該フィルタを通して清浄化された空気を供給する空気清浄機において、
前記ファンからの空気が入る前記フィルタ面に複数の開口を有した開口板を配置し、
前記モータの位置に対応する箇所の開口の開口率を周囲より大きくしたことを特徴とする空気清浄機。
【請求項１０】
請求項１または４記載の空気清浄機において、
開口板の開口形状を丸穴、長穴、又は角穴としたことを特徴とする空気清浄機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体、液晶、マイクロマシンの製造工場、また、医薬品、化粧品の製造所など清浄空気を必要とするクリーンルームで使用されているファンフィルタユニット（以下、ＦＦＵという）などの空気清浄機に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ＦＦＵなどの空気清浄機は、半導体ウエハや液晶パネルなどの製造を行うクリーンルームの天井部やクリーンルーム内の製造装置で、より清浄空気を必要とする装置用ＦＦＵに用いられる。
【０００３】
図１３は、従来のＦＦＵの空気清浄機を設置した半導体ウエハ製造用クリーンルームの構成例を示す。
図１３において、１はクリーンルーム、２はクリーンルームの外壁、３は製造室４の外部空間、５は装置用ＦＦＵから吹き出された清浄空気の空間で製造する製造装置室、６は製造装置室内、４ａは床部、１１は半導体ウエハ製造装置、７は半導体ウエハ製造装置のための制御装置である。３０はＦＦＵで、製造室４の天井部及び製造室４内の装置用ＦＦＵとして設置され、１０はファン、５０はフィルタで、ＨＥＰＡフィルタやＵＬＰＡフィルタで構成される。
【０００４】
図１３のクリーンルーム１の構成における動作について説明する。
製造室４の天井部に設置されたＦＦＵ３０が動作すると、外部空間３の空気がＦＦＵ３０に取り込まれ、フィルタ５０を介して製造室４内に清浄空気が送り込まれる。
また、製造室４内では、半導体ウエハ製造においてさらにクリーン度が要求されるため装置用ＦＦＵを用いた製造装置５内で製造する。
すなわち、製造室４内の空気を装置用ＦＦＵ３０のファン１０を動作させ、フィルタ５０を通過させ、よりクリーン度を向上させた清浄空気を製造装置室内６へ送り、半導体ウエハ製造装置１１を駆動し、製造する。
【０００５】
また、製造室４及び製造装置室内６の空気は、床部４ａを通過してクリーンルーム１の壁面の外部空間３を通路して上昇し、天井部のＦＦＵに取り込まれ、循環するシステム構成である。図１３に示すように、ＦＦＵは、クリーンルーム１の製造室４の天井部や製造装置用として設置されている。
特に、製造装置用として用いる装置用ＦＦＵは、フィルタから吹き出された清浄空気の風速分布が均一で無い場合、製造装置内で乱流が生じ、空気が巻き上げられ、半導体ウエハの製造に影響を及ぼすという問題を生じていた。
【０００６】
次に、従来のＦＦＵである空気清浄機について図１０、図１１、図１２を用いて説明する。
図１０、図１１は従来のＦＦＵの構成を示し、図１０（ａ）はＦＦＵの外観斜視図、図１０（ｂ）はＦＦＵの平面図、図１０（ｃ）は図１０（ｂ）に示したＢ−Ｂ断面図、図１１はＦＦＵの分解斜視図を示し、図１２はＦＦＵケース内の空気の流れを示す。
図１０、図１１において、１０はファン、２０はファン１０を回転駆動するモータ、３１はＦＦＵケース、４０はファン１０の空気吸込み部を形成するベルマウス、５０はフィルタでＨＥＰＡフィルタやＵＬＰＡフィルタで形成され、６０はモータを固定するモータベースである。
９０はベルマウスより吸い込まれる流入空気で、９１はファン１０より送り出されたＦＦＵケース３１内の空気、９２はフィルタ５０より吹き出される清浄空気を示す。
図１１に示す従来のＦＦＵの構成は、回転するファン１０によりベルマウス４０より流入空気９０が吸い込まれ、ファン１０から水平方向に空気が送り出され、その空気９１がＦＦＵケース内側にあたり、フィルタ５０の方向に流れ、フィルタ５０を通過し、清浄空気９２として製造室内に送り出される。
【０００７】
また、図１２に示すようにファン１０から送り出された空気は、ファン１０の回転方向と同一方向の旋回流を形成し、ＦＦＵケースの中央部はその旋回流の中心となるため、フィルタ５０の中央部を通過する風速が低くなり、フィルタ５０から吹き出される清浄空気９２の風速のばらつきが大きく風速分布が悪いという問題がある。
【０００８】
また、特許文献１（特開平９−２８０６１４号公報）には、ファンフィルタユニットから送り出される清浄空気の風速分布を改善するため、モータベース下部に仕切り板を設けることが記載されている。
また、上記特許文献１の構成は、モータベース下部に仕切り板を設ける必要があるため、薄型化に対応ができないという問題があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開平９−２８０６１４号公報
【特許文献２】特開２００６−６８６７６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
ＦＦＵなどの空気清浄機、空気清浄装置は、前述のように半導体ウエハや液晶パネル等の製造を行うクリーンルームの天井部及び半導体ウエハや液晶パネル等の製造装置に用いられる。
【００１１】
ところで、クリーンルームの天井部や半導体ウエハ及び液晶パネル等製造装置に設置される空気清浄機において空気清浄機から供給された清浄空気の風速が高い部分と低い部分があり風速分布にばらつきがある。
しかし、半導体ウエハ及び液晶パネル製造装置において、風速分布にばらつきがある場合、製造装置内で乱流が生じ、空気が巻き上げられ、半導体ウエハの製造に影響を及ぼす可能性があるため、風速分布の均一化を望まれる。
【００１２】
この風速分布の均一化を行う、場合、例えば、特許文献１の構成に示す構成のようにモータベース下部に仕切り板を設ける方法がある。しかし、このようにモータベース下部に仕切り板を設ける場合、モータベース下部にスペースが必要なため薄型化に対応できないという問題がある。
【００１３】
また、特許文献２は、風速分布の均一化を図ることを狙うものである。
その為に、開口部を有する拡散板、風向ガイド、バッフルをその主たる構成要件とし、その構成について、段落番号００３３には、以下のような説明がなされている。
「上記構成において、ファンユニット４ から吹出された気流の一部は拡散板１１の側面の開口部８、風向ガイド９により、フィルタ６の外周部分に吹き付けられる。また、それ以外の気流は拡散板１１の下面の開口部８、風向ガイド９により内向きに吹出され、その一部は交差したバッフル１０に沿ってフィルタ６の中心部まで送られる。この時、図３に示すように中心部で交差したバッフル１０によって、風路は中心部に向かって狭まっており、気流はその抵抗により部分的に下方への気流を生じながらフィルタ６に吹き付けられ、風速分布の均一化ができるものである。」と記載されている。
【００１４】
特許文献２の図１などの断面図を見ると、拡散板１１の開口部８に対応するように、風向ガイド９を設ける必要がある。また、風向ガイドも、フィルタに向かう気流を吹き付ける方向を規定するように、その角度を適宜設定される必要がある。
この点で、特許文献２の構成では、風向ガイドの設け方などで、機構上複雑となることが予想される。
【００１５】
また、「バッフル１０によって、風路は中心部に向かって狭まっており、気流はその抵抗により部分的に下方への気流を生じながらフィルタ６に吹き付けられ」とあるように、バッフルによって、部分的に方向が変えられた気流とされ、フィルタに吹き付けられており、フィルタ面では、気流は「清流」には相当しないものと予測される。この為、風速の均一化だけではなく、風向に対する配慮が必要となる場合も想定される。また、特許文献２では、風向ガイドが多く複雑な構造となっている為、チャンバ内の損失が大きくなり、効率の低下や、消費電力が高くなる場合があることが、懸念される。
また、ファンから吹き出された風速の速い空気が開口部を通過する為、その通過の際に発生する騒音(風切音)が大きくなることがある場合も懸念される。一方で、ターボファンを使用した場合には、その特性から、ファンの中心部から、旋回流として、周辺部に空気が吹き出される。
【００１６】
前述のように、図１２に示すようにファン１０から送り出された空気は、ＦＦＵケースの内壁に当たり、内壁に沿った流れともなる。従って、これらの流れを配慮して、良好な空気の流れとすることが好ましい。よって、これらの空気の流れにも配慮しつつ、複雑な構成とならないようにすることも課題である。
【００１７】
本発明の目的は、ＦＦＵなどの空気清浄機の風速分布のばらつきを抑え、半導体ウエハなどの製造への悪影響を及ぼさない構成の空気清浄機を提供することにある。
また、複雑な構成となることを回避する構成の空気清浄機を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
上記目的を達成するために、本発明は、空気を吸い込むファンと、該ファンを回転駆動するモータと、該モータを固定するモータベースと、該モータベースを支持するケースと、前記ファンからの空気を清浄化するフィルタと、を備え、該フィルタを通して清浄化された空気を供給する空気清浄機において、前記ファンからの空気が入る前記フィルタ面に、前記フィルタ通過後の清浄空気の風速分布において、風速が遅い箇所に対応する箇所に開口を設け、該開口は周囲より開口面積を大きくした、または開口率を大きくした開口部を有する開口板を配置したことを特徴とする。
【００１９】
また、本発明では、ターボファンを使用した場合には、その特性から、ファンの中心部から、旋回流として、周辺部に空気が吹き出されることに着目して、風向板を設け、また、フィルタに向かう空気の流れを変更させる開口部を有する開口板を設ける。
前記ターボファンから吹き出された空気がＦＦＵケースの内壁に沿って、旋回する際に、前記風向板によって、内壁に沿って、旋回する空気をターボファン、モータが設けられている部位近傍に向かわせるようにする。その後、ターボファン、モータが設けられている部位近傍に向かわせられた空気は、前記開口板の前記開口部から、前記フィルタを通り、清浄化された空気として、供給、出力される。前記風向板、前記開口板などの働きによって、前記ターボファン、モータが設けられている部位近傍の風速分布を改善し、全体の風速分布の平均化を図るものである。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、空気清浄機において、ファンから送り出された空気が風向板に沿ってＦＦＵケース中央部に流れる。若しくは、ファンからの空気が旋回流となって、ケースの内壁に沿って流れた後、前記風向板にそって、ＦＦＵケース中央部に導かれる。また、風向板の下に開口板があることにより、よりたくさんの空気がケース中央部に流れ、開口板の特に大きい開口からフィルタ中心方向に空気が流れるため、フィルタ中心部の風速が高くなり、風速のばらつきを少なくする効果が得られる。また、モータベース下に風向板が必要ないことからＦＦＵの薄型化も可能となる。また、前記効果を得るに当たり、簡単な構成にて達成することや、効率の低下や、消費電力を低減すること、風切音などの騒音を低減可能とすることも期待出来るものである。
【００２１】
なお、図１４に示すように、本発明によって、従来よりも風速分布の改善されたことを、実際の試作装置にて、実験、測定によって、確認をした。
すなわち、図１４において、図１４（ａ）はＦＦＵケース内部を示す平面図で、図１４（ｂ）は従来のＦＦＵの風速分布の実測結果を示し、図１４（ｃ）は本発明を実施したＦＦＵの風速分布の実測結果を示す。風速分布の図において、白領域は０．７〜０．９ｍ／ｓ、黒領域は０．５〜０．７ｍ／ｓ、グレイ領域は０．３〜０．５ｍ／ｓを表している。風速分布を実測したＦＦＵは、ファン１０及びモータ２０以外に、ファン１０のサイドにモータの制御系ボックス１００を配置している。
従って、従来のＦＦＵの風速分布である図１４（ｂ）をみると、左側に大きなグレイ領域があり、また丸で囲んだグレイ領域１０１がある。この左側の大きなグレイ領域は制御系ボックス１００の下側に対応し、丸で囲んだグレイ領域１０１はモータ２０の下側に対応し、この部分の風速が低いことを示している。次に、本発明をモータ２０の部分に実施したＦＦＵの風速分布である図１４（ｃ）をみると、丸で囲んだグレイ領域１０１は黒領域に変わり風速が高くなっていることが分かる。制御系ボックスの部分は本発明を実施していないため、グレイ領域はそのままで風速が改善されていないことが分かる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明のＦＦＵの平面図及びＡ−Ａ断面図を示す。
【図２】本発明のＦＦＵケース内の空気の流れを示す。
【図３】本発明の外観の分解斜視図を示す。
【図４】図３に示す開口板及び風向板の外観斜視図を示す。
【図５】本発明の第２の実施の形態の開口板及び風向板の外観斜視図を示す。
【図６】本発明の第３の実施の形態の開口板及び風向板の外観斜視図を示す。
【図７】本発明の第４の実施の形態の開口板及び風向板の外観斜視図を示す。
【図８】本発明の第５の実施の形態の開口板及び風向板の外観斜視図を示す。
【図９】本発明の第６の実施の形態のモータカバーの外観斜視図を示す。
【図１０】従来のＦＦＵの外観斜視図、平面図及びＢ−Ｂ断面図を示す。
【図１１】従来のＦＦＵの外観の分解斜視図を示す。
【図１２】従来のＦＦＵケース内の空気の流れを示す。
【図１３】半導体ウエハ製造装置のクリーンルームの断面図を示す。
【図１４】本発明の実施例を適用したＦＦＵの風速分布測定結果を示す。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、本発明の実施の形態を図面を用いて説明する。
（実施例１）
図１において、図１（ａ）はＦＦＵの平面図で、図１（ｂ）はそのＡ−Ａ断面図を示す。
図１において、１０はファン、２０はファン１０を回転駆動するモータ、３１はＦＦＵケース、４０はファン１０の空気吸込み部を形成するベルマウス、５０は空気を清浄化するフィルタで、ＨＥＰＡフィルタやＵＬＰＡフィルタなどである。６０はモータ固定用のモータベース、７０は空気の流れの向きを変える風向板、８０は空気の通る開口を有する開口板、８５は開口板の開口、８６は開口板８０でモータ２０の下部の開口で、特に大きい開口を示し、９０はベルマウス４０より吸い込まれる空気を示し、９１はファン１０より送り出されたＦＦＵケース３１内の空気の流れを示し、９２はフィルタ５０より吹き出される清浄空気を示す。
４１はベルマウス４０の空気取入れ口に作業者などが誤って手を入れないように防止するための金網で、４２は金網４１を固定するワイヤを示している。
また、ＦＦＵ本体は、一例として図１（ａ）において縦が６００ｍｍ、横が１２００ｍｍ、高さが１５０ｍｍの直方体形状のものがある。
【００２４】
次に、図１（ｂ）及び図２において、ＦＦＵの動作について説明する。
先ず、ファン１０がモータ２０により回転駆動すると、流入空気９０がベルマウス４０より吸い込まれる。ファン１０は遠心ファンの中で最も効率の良いターボファンを採用しているため、ファン１０によって吸い込まれた空気は、空気吸込み方向と直角に図１（ｂ）の矢印９１のように吹き出される。
【００２５】
ＦＦＵケース３１内には長手方向で中央に風向板７０を配置しているため、ファン１０より吹き出された空気はＦＦＵケース３１の壁面に沿って流れ、風向板７０により中央部に集まる。そして、開口板８０を通過してフィルタ５０を介して清浄空気をクリーンルーム内などに送る。
【００２６】
図２は、ＦＦＵケース３１内を上面からみた空気の流れを示している。
ファン１０からＦＦＵケース３１内で紙面に対して平行に吹き出された空気は、ＦＦＵケースの長手方向や短手方向の壁に沿って流れ、風向板７０で向きを変えられ風向板７０に沿って流れ、ＦＦＵケースの中央部に空気は集中し、開口板８０の面積の大きい開口８６からフィルタ５０を通過して、フィルタ５０の中心部すなわちモータ２０の下方の風速を速くする。開口８６はファン１０の径と同じくらいの大きさにしても良い。このような構成により、ＦＦＵの風速のばらつきを少なくする効果が得られる。
【００２７】
次に、本発明のＦＦＵの構成について説明する。図３は、本発明のＦＦＵの内部構成を示す分解斜視図である。
図３において、上部の部品はＦＦＵケース３１で、金属板を折り曲げて縦長の箱体を形成し、中央部は空気流入用の円形状開口を有し、その直径はＦＦＵケースの大きさやファンの直径などにより最適な寸法を求め、決めている。また、円形の開口部は、流入する空気が抵抗なく流入し易いようにベルマウス４０を形成する。また、開口部は、ＦＦＵをクリーンルームの天井などに設置して試運転する場合やメンテナンスをする場合に作業者の手などが入り込まないように金網４１を設け、ワイヤ４２でＸ字状に固定している。
【００２８】
次に、中央の部品は、モータベース６０に固定したモータ及びファン１０を示し、また開口板８０及び開口板８０に設置した風向板７０を示している。
ファン１０は、ターボファンを採用しているため、図３において上方より空気を吸い込み、直角方向にすなわち横方向に吹き出す。従って、モータベース６０の構造は、空気を吹き出す方向に対して抵抗とならない構成にする必要があり、モータベース６０の構造を縦長の板状を折り曲げて、コ字形状とし、コ字形の底部にモータ２０を固定し、モータシャフトにターボファン１０を固定する。また、モータベース６０のコ字形状の先端部分にフランジを設け、このフランジにネジ穴を設けて、このネジ穴に対向するＦＦＵケース３１にもネジ穴を設けて、モータベース６０をＦＦＵケース３１にネジで固定する。この固定はネジでなくても溶接などでも良い。モータ２０は、無段階で風量を可変でき、ＦＦＵのユニット毎に風量や風速を制御できるＤＣブラシレスモータを使用する。このようにファンはターボファンを採用し、モータはＤＣブラシレスモータを採用することで省エネ効果を得ている。
【００２９】
開口板８０は、従来は用いられていない部品であり、フィルタ５０を通過する清浄空気の風速が均一になるように開口板８０に設けた開口を調整するもので、材質は鉄材やＳＵＳを用いている。そして、従来はＦＦＵから吹き出された清浄空気の風速は、モータの配置位置である中央付近が遅いという分布を呈しているため、開口板８０の中央部に矩形の開口を設け、その開口面積は周囲に設けた開口より比較してかなり大きくしている。また、周囲に設けた開口は、長手方向に細長い矩形の孔としている。
【００３０】
また、開口板８０には、長手方向で中央線上に直線状の風向板７０を配置し、ファン１０から横方向に吹き出された空気を風向板７０で中央に向くように方向を変えている。風向板７０は、Ｌ字形状をし、Ｌ字形状の底部を開口板８０に溶接等により設置固定する。風向板７０は開口板８０に固定することにより、開口板の強度を増加する働きもある。また、開口板８０はフィルタ５０の枠体に設置、固定する。
【００３１】
図３の下側の部品は、アルミニウムなどの金属の枠体に設置したフィルタ５０で、ＨＥＰＡフィルタやＵＬＰＡフィルタなどを用いる。フィルタ５０のろ材は、一般に図３のＣ部拡大のように長手方向に蛇腹状に折り畳んだ状態で使用する。開口板８０の周辺に設けた開口８５は、長手方向に細長い開口（孔）としているが、これはフィルタの蛇腹の折り畳み方向と交差する構成とするためである。このようにすることによりフィルタ効果が向上する。
【００３２】
次に、図３に示した本発明の開口板８０を図４の斜視図に示す。図４に示す開口板８０は、モータ配置に対応する中央部に大きな開口８６を1個有し、その周囲には長手方向に細長い矩形の開口（孔）８５を複数個配置している。また、開口板８０の長手方向の中心線上には、Ｌ字形状の風向板７０を配置し、Ｌ字形状のフランジ部を開口板にスポット溶接やネジなどで固定する。風向板７０の中央の高さを低くしているのは、モータベース６０を配置するため逃げを設け、ＦＦＵの高さを低くするように構成している。
【００３３】
（実施例２）
次に、図５に実施例２の開口板８０の構造の斜視図を示す。図５に示す開口板８０と図４に示す開口板８０と異なる点は、風向板７０の中央に直角に交差する風向板７１を配置し、十字形状にした点である。このように、十字形状の風向板とすることにより、ＦＦＵケース３１内でファン１０からの空気を４ヶ所で旋回流として中央に集中させることができる。また、風向板７０，７１を開口板８０にネジやスポット溶接などで固定するため、開口板８０の反りは軽減され、強度が増加する。
【００３４】
（実施例３）
次に、本発明の実施例３の開口板８０の構造について説明する。図６は、中央部に大きな矩形の開口８６を１個有し、その周囲に長手方向に細長い矩形の開口８５を複数個有した開口板８０を示す。そして、風向板７２は、開口板８０の長手方向の中心線上で、開口８６を外れた箇所に２か所切り起しで形成する。図６（ｂ）は切り起しの風向板７２の部分断面図を示す。このように風向板７２を切り起し構造にすることにより、別部品を設ける必要がなく、開口板８０を一体で製造できる。また、図６には、風向板７２を、開口板８０の長手方向の中心線上で、開口８６を外れた箇所の２か所に設けているが、図５に示す風向板７１の設置場所に対応した箇所に切り起しの風向板を配置しても良い。さらに、図示していないが、開口板８０に複数個配置している細長い矩形の開口８５を型抜きした孔以外に切り起し構造とすることも可能で、このような構成にすることで開口板８０の強度は増加する。
【００３５】
（実施例４）
次に、本発明の実施例４の開口板８０の中央の開口の開口率を増加し、風向板に曲率半径Ｒを有した構成の開口板について説明する。図７は、実施例４の開口率を増加し、風向板に曲率半径Ｒを有した構成の開口板８０の斜視図を示す。図７において、開口板８０は、実施例１乃至３のようにモータの配置に対応する中央に１個の大きな開口を有するのではなく、モータの配置に対応する中央部の開口の開口率を周囲に比べ大きくしている。すなわち、開口板８０の中央の矩形の開口８８を設け、この開口８８に接する４ヶ所の開口は、中央の開口８８の開口面積より例えば８０％の開口面積とする。さらに、この開口面積８０％の開口に接する開口において、開口面積を８０％になるように形成する。このように中央から離れるに従い、開口面積が減少するように開口を形成する構成とする。このような構成により、モータ位置に対応した中央の開口の開口率を大きくし、周囲にいくに従い小さくし、フィルタからの清浄空気の風速をバランス良くすることができる。
【００３６】
また、風向板７３は、曲率半径Ｒを有し、４個中心より放射状にほぼ等角度間隔に配置した構成としている。風向板７３に曲率半径Ｒを持たせることにより、ファン１０からの空気の流れで、ＦＦＵケース３１の壁に沿って流れる空気の方向を中央に変えるとき抵抗を小さくして、方向を変えることができる。
【００３７】
（実施例５）
次に、本発明の実施例５の開口板８０について説明する。
図８は、実施例４と同じように開口板８０の中央の開口の開口率を大きくし、曲率半径Ｒを有する風向板を増加した構成の開口板の斜視図を示す。
実施例５の開口板８０において、風向板７４は、曲率半径Ｒを有し、８個中心より放射状にほぼ同じ角度間隔に配置した構成としている。
また、開口板８０の開口は、モータ位置に対応する中心部の開口８２の開口率を大きくして、周囲の開口８１の開口率を小さくする構成とし、開口の形状を長円形としている。すなわち、開口板８０の中央の長円形の開口８２を設け、この開口８２に接する周囲の４ヶ所の開口の開口面積を中央より例えば８０％とする。さらに、開口面積８０％の開口に接する開口の開口面積をその８０％とするように形成していく。
このように実施例５の構成によると、開口板８０の中央の長円形の開口の開口率を大きくし、周囲に行くに従い開口率を小さくし、開口板８０に設置する風向板７４は、空気が流れる抵抗を小さくするため曲率半径Ｒを有し、８個放射状に配置しているので、より多くの旋回流をＦＦＵケースの中央に集め、清浄空気をファン真下方向に流すことができる。
【００３８】
従って、実施例５の構成は、風速分布のばらつきを少なくする効果がある。実施例４では、開口の形状を矩形、実施例５では長円形としているが、開口の形状は円形、楕円、五角形、六角形など多角形の形状でも良い。
【００３９】
（実施例６）
次に、モータベース６０に空気を通過する開口８３，８４を設けた構成について説明する。図９は、コ字形状のモータベース６０に開口８３，８４を設けた斜視図を示す。図９において、モータ２０を設置するコ字形状の底部には細長い矩形の開口８４を設け、コ字形状の両壁には同様に細長い矩形の開口８５を設けている。モータベースにおいては、開口の形状は細長い形状に限るものではない。
このようにモータベース６０に複数の開口を設けることにより、モータ２０の周囲からも空気がモータ下方にいくことになり、フィルタ通過後の風速分布でバランスが取れる。
【００４０】
本発明においては、フィルタを通過した清浄空気の風速分布をみると、ＦＦＵのモータの下方の風速が低いことが実験的に計測され、本発明を実施し、モータ下方の風速分布が均一化されたことが実証された。
また、ＦＦＵケース内には、ファン及びモータ以外にモータの制御系ボックスを納める場合がある。このような場合、風速分布を計測するとモータと同じように風速が低くなっている。このモータの制御系ボックスなどの場合でも、フィルタ面に配置する開口板の開口の面積を調整することにより風速分布を均一化することができる。
【符号の説明】
【００４１】
１‥クリーンルーム              ２‥クリーンルーム外壁
３‥製造室の外部空間            ４‥製造室
５‥製造装置室                  ６‥製造装置室内
７‥製造装置用制御装置        ４ａ‥床部
１０‥ファン                  ２０‥モータ
３０‥ＦＦＵ                  ３１‥ＦＦＵケース
４０‥ベルマウス              ４１‥金網
５０‥フィルタ                ６０‥モータベース
７０、７１、７２，７３，７４‥風向板
８０‥開口板
８１，８２、８３，８４、８５、８６，８７，８８‥開口板の穴
９０‥流入空気                ９１‥ＦＦＵケース内空気
９２‥清浄空気              １００‥モータの制御系ボックス
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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