(57)【要約】【課題】  回転駆動系に異常が生じたときにも、弁の開閉制御動作を継続して実行することが可能な電動バルブアクチュエータを提供する。【解決手段】  制御部５０は、第１モータ２０ａの位置制御を実行するとともに、第２モータ２０ｂのトルク制御を実行する。異常が発生した場合には、その異常が第１回転駆動系の異常であるか否かを判断する。第１回転駆動系の異常であった場合には、第１回転駆動系による制御動作を停止させ、第１モータ２０ａの回転制御を終了する。また、第２モータ２０ｂの位置制御を開始するとともに、表示部５３に対して第１回転駆動系の異常を示す警告信号を出力する。一方、第２回転駆動系の異常であった場合には、第２回転駆動系による制御動作を停止させ、第２モータ２０ｂの回転制御を終了する。そして、表示部５３に対して第２回転駆動系の異常を示す警告信号を出力する。【選択図】        図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
弁を開閉させるための電動バルブアクチュエータにおいて、
ロータとステータとを備えた第１モータと、前記第１モータの回転角度を検出するための第１角度検出器と、前記第１モータの回転を制御する第１モータコントローラとから成る第１回転駆動系と、
ロータとステータとを備えた第２モータと、前記第２モータの回転角度を検出するための第２角度検出器と、前記第２モータの回転を制御する第２モータコントローラとから成る第２回転駆動系と、
前記第１モータにおけるロータおよび前記第２モータにおけるロータに接続され、前記第１モータおよび前記第２モータによる回転運動を、前記弁を往復移動させるための往復運動に変換する変換部材と、
前記第１角度検出器の信号に基づいて演算した前記弁の開度と、前記弁の開度の指令値とを比較することにより、前記第１モータに対して通常時の回転指令信号を出力する制御部とを備え、
前記制御部は、前記第１回転駆動系に異常が生じたときは、前記第２角度検出器の信号に基づいて演算した前記弁の開度と、前記弁の開度の指令値とを比較することにより、前記第２モータに対して異常発生時の回転指令信号を出力する電動バルブアクチュエータ。
【請求項２】
請求項１に記載の電動バルブアクチュエータにおいて、
前記制御部は、前記第１回転駆動系に異常が生じたときに、前記第１回転駆動系の異常を示す警告信号を出力する電動バルブアクチュエータ。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の電動バルブアクチュエータにおいて、
前記制御部は、前記第２回転駆動系に異常が生じたときに、前記第２回転駆動系の異常を示す警告信号を出力する電動バルブアクチュエータ。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれかに記載の電動バルブアクチュエータにおいて、
前記制御部は、通常時において、前記第１モータコントローラから得た前記第１モータの回転情報に基づいて、前記第２モータコントローラに対して前記第２モータを前記第１モータと同一方向に同一のトルクで回転させるための前記第２モータの通常時の回転指令信号を出力する電動バルブアクチュエータ。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれかに記載の電動バルブアクチュエータにおいて、
前記弁の移動量に基づいて前記弁の開度を検出する開度センサをさらに備え、
前記制御部は、前記開度センサの信号と前記第１角度検出器または前記第２角度検出器の信号とを比較することにより、前記第１回転駆動系または前記第２回転駆動系の異常を検出する電動バルブアクチュエータ。
【請求項６】
弁を開閉させるための電動バルブアクチュエータにおいて、
ロータとステータとを備えた第１モータと、前記第１モータの回転角度を検出するための第１角度検出器と、前記第１モータの回転を制御する第１モータコントローラとから成る第１回転駆動系と、
ロータとステータとを備えた第２モータと、前記第２モータの回転角度を検出するための第２角度検出器と、前記第２モータの回転を制御する第２モータコントローラとから成る第２回転駆動系と、
前記第１モータにおけるロータおよび前記第２モータにおけるロータに接続され、前記第１モータおよび前記第２モータによる回転運動を、前記弁を往復移動させるための往復運動に変換する変換部材と、
前記弁の移動量に基づいて前記弁の開度を検出する開度センサと、
前記第１角度検出器の信号に基づいて演算した前記弁の開度と、前記弁の開度の指令値とを比較することにより、前記第１モータに対して通常時の回転指令信号を出力するとともに、前記第１モータコントローラから得た前記第１モータの回転情報に基づいて、前記第２モータコントローラに対して前記第２モータを前記第１モータと同一方向に同一のトルクで回転させるための前記第２モータの通常時の回転指令信号を出力する制御部とを備え、
前記制御部は、前記開度センサの信号と前記第１角度検出器または前記第２角度検出器の信号をと比較することにより、前記第１回転駆動系または前記第２回転駆動系の異常を検出し、前記第１回転駆動系に異常が生じたときは、前記第１回転駆動系の異常を示す警告信号を出力するとともに、前記第２角度検出器の信号に基づいて演算した前記弁の開度と、前記弁の開度の指令値とを比較することにより、前記第２モータに対して異常発生時の回転指令信号を出力し、前記第２回転駆動系に異常が生じたときには、前記第２回転駆動系の異常を示す警告信号を出力する電動バルブアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、弁を開閉させるための電動バルブアクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、プラントに使用される流量調整弁は、電動バルブアクチュエータによりその開度が調整される。この電動バルブアクチュエータにおいては、ロータとステータとを備えたダイレクトドライブ方式のモータと、このモータにおけるロータの回転角度を検出するためのレゾルバと、モータの回転を制御するモータコントローラとから成る回転駆動系を備え、この回転駆動系によりボールねじを回転させ、このボールねじと螺合するナットを移動させることにより、このナットに連結された弁を移動させて流量調整弁の開度を変更している。そして、レゾルバの信号に基づいて演算した弁の開度と弁の開度の指令値とを比較することにより、モータに対して回転指令信号を出力している。
【０００３】
このような電動バルブアクチュエータにおいては、モータと、レゾルバと、モータコントローラとから成る回転駆動系に異常が生じた場合には、流量調整弁を通過する流体の流量の制御が不可能となり、この流量調整弁を利用するプラント全体が損傷する可能性がある。
【０００４】
特許文献1には、ボビンに巻回された各々が２相巻コイルである一対のコイルを利用することにより、一対のコイルのいずれかが断線した場合でも、弁体を開方向に移動させることを可能とし、コイルの断線時におけるフェールセーフ動作を可能とした流量制御弁用のステッピングモータ式駆動装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平１１−１３６９２５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１に記載の発明は、コイルの切断時にもステッピングモータを所定位置まで移動させようとするものではあるが、一定の方向への移動が可能となるだけであり、弁の開度の制御を行うことは不可能である。また、特許文献１に記載の発明においては、角度検出器やモータのコントローラの異常に対応することは不可能である。
【０００７】
この発明は上記課題を解決するためになされたものであり、回転駆動系に異常が生じたときにも、弁の開閉制御動作を継続して実行することが可能な電動バルブアクチュエータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
請求項１に記載の発明は、弁を開閉させるための電動バルブアクチュエータにおいて、ロータとステータとを備えた第１モータと、前記第１モータの回転角度を検出するための第１角度検出器と、前記第１モータの回転を制御する第１モータコントローラとから成る第１回転駆動系と、ロータとステータとを備えた第２モータと、前記第２モータの回転角度を検出するための第２角度検出器と、前記第２モータの回転を制御する第２モータコントローラとから成る第２回転駆動系と、前記第１モータにおけるロータおよび前記第２モータにおけるロータに接続され、前記第１モータおよび前記第２モータによる回転運動を、前記弁を往復移動させるための往復運動に変換する変換部材と、前記第１角度検出器の信号に基づいて演算した前記弁の開度と、前記弁の開度の指令値とを比較することにより、前記第１モータに対して通常時の回転指令信号を出力する制御部とを備え、前記制御部は、前記第１回転駆動系に異常が生じたときは、前記第２角度検出器の信号に基づいて演算した前記弁の開度と、前記弁の開度の指令値とを比較することにより、前記第２モータに対して異常発生時の回転指令信号を出力する。
【０００９】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、前記制御部は、前記第１回転駆動系に異常が生じたときに、前記第１回転駆動系の異常を示す警告信号を出力する。
【００１０】
請求項３に記載の発明は、請求項１または請求項２に記載の発明において、前記制御部は、前記第２回転駆動系に異常が生じたときに、前記第２回転駆動系の異常を示す警告信号を出力する。
【００１１】
請求項４に記載の発明は、請求項１から請求項３のいずれかに記載の発明において、前記制御部は、通常時において、前記第１モータコントローラから得た前記第１モータの回転情報に基づいて、前記第２モータコントローラに対して前記第２モータを前記第１モータと同一方向に同一のトルクで回転させるための前記第２モータの通常時の回転指令信号を出力する。
【００１２】
請求項５に記載の発明は、請求項１から請求項４のいずれかに記載の発明において、前記弁の移動量に基づいて前記弁の開度を検出する開度センサをさらに備え、前記制御部は、前記開度センサの信号と前記第１角度検出器または前記第２角度検出器の信号とを比較することにより、前記第１回転駆動系または前記第２回転駆動系の異常を検出する。
【００１３】
請求項６に記載の発明は、弁を開閉させるための電動バルブアクチュエータにおいて、ロータとステータとを備えた第１モータと、前記第１モータの回転角度を検出するための第１角度検出器と、前記第１モータの回転を制御する第１モータコントローラとから成る第１回転駆動系と、ロータとステータとを備えた第２モータと、前記第２モータの回転角度を検出するための第２角度検出器と、前記第２モータの回転を制御する第２モータコントローラとから成る第２回転駆動系と、前記第１モータにおけるロータおよび前記第２モータにおけるロータに接続され、前記第１モータおよび前記第２モータによる回転運動を、前記弁を往復移動させるための往復運動に変換する変換部材と、前記弁の移動量に基づいて前記弁の開度を検出する開度センサと、前記第１角度検出器の信号に基づいて演算した前記弁の開度と、前記弁の開度の指令値とを比較することにより、前記第１モータに対して通常時の回転指令信号を出力するとともに、前記第１モータコントローラから得た前記第１モータの回転情報に基づいて、前記第２モータコントローラに対して前記第２モータを前記第１モータと同一方向に同一のトルクで回転させるための前記第２モータの通常時の回転指令信号を出力する制御部とを備え、前記制御部は、前記開度センサの信号と前記第１角度検出器または前記第２角度検出器の信号をと比較することにより、前記第１回転駆動系または前記第２回転駆動系の異常を検出し、前記第１回転駆動系に異常が生じたときは、前記第１回転駆動系の異常を示す警告信号を出力するとともに、前記第２角度検出器の信号に基づいて演算した前記弁の開度と、前記弁の開度の指令値とを比較することにより、前記第２モータに対して異常発生時の回転指令信号を出力し、前記第２回転駆動系に異常が生じたときには、前記第２回転駆動系の異常を示す警告信号を出力する。
【発明の効果】
【００１４】
請求項１に記載の発明によれば、回転駆動系に異常が生じたときにも弁の開閉制御動作を継続して実行することが可能となる。このため、電動バルブアクチュエータにより開閉される弁を利用した装置の損傷を防止することが可能となる。
【００１５】
請求項２に記載の発明によれば、第１回転駆動系の異常を早期に確認することが可能となる。
【００１６】
請求項３に記載の発明によれば、第２回転駆動系の異常を早期に確認することが可能となる。
【００１７】
請求項４に記載の発明によれば、一対のモータを使用して弁の開閉制御を実行することが可能となる。このため、通常運転時のモータ一つ当たりの出力を全体として必要な出力より小さくすることができる。
【００１８】
請求項５に記載の発明によれば、開度センサの信号を利用して第１回転駆動系または第２回転駆動系の異常を検出することが可能となる。
【００１９】
請求項６に記載の発明によれば、回転駆動系に異常が生じたときにも弁の開閉制御動作を継続して実行することが可能となる。このため、電動バルブアクチュエータにより開閉される弁を利用した装置の損傷を防止することが可能となる。このとき、開度センサの信号を利用して第１回転駆動系または第２回転駆動系の異常を検出することが可能となり、また、この異常を早期に確認することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】この発明に係る電動バルブアクチュエータ１の断面図である。
【図２】この発明に係る電動バルブアクチュエータ１を適用した流量調整弁２の断面図である。
【図３】この発明に係る電動バルブアクチュエータ１の主要な制御系を示すブロック図である。
【図４】この発明の第１実施形態に係る電動バルブアクチュエータ１の制御動作を示すフローチャートである。
【図５】この発明の第２実施形態に係る電動バルブアクチュエータ１の制御動作を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、この発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。図１は、この発明に係る電動バルブアクチュエータ１の断面図である。また、図２は、この発明に係る電動バルブアクチュエータ１を適用した流量調整弁２の断面図である。
【００２２】
図１に示すように、この電動バルブアクチュエータ１は、ケーシング２６内に配置された磁石を有するロータ２１ａと、このロータ２１ａの外周部に配設されたコイル２２ａを有するステータ２３ａとを備えたダイレクトドライブ方式の第１モータ２０ａと、同様に、磁石を有するロータ２１ｂと、このロータ２１ｂの外周部に配設されたコイル２２ｂを有するステータ２３ｂとを備えたダイレクトドライブ方式の第２モータ２０ｂとを備える。これらの第１モータ２０ａおよび第２モータ２０ｂは、互いに重畳する状態で近接配置されている。
【００２３】
第１モータ２０ａにおけるロータ２１ａと第２モータ２０ｂにおけるロータ２１ｂとは、軸部３１およびボールねじ部３２を有する軸体３０の上端部に、軸体３０とともに回転可能に固定されている。なお、この軸体３０の上端部付近は、スラストベアリング２５により回転可能に支持されている。また、この軸体３０におけるボールねじ部３２は、ナット３３と螺合している。このナット３３は、回り止め用の支軸３５により回転を防止されている。さらに、軸体３０の上端付近には、第１レゾルバ２４ａおよび第２レゾルバ２４ｂが配設されている。ここで、第１レゾルバ２４ａは、軸体３０の回転情報と制御部５０に記憶した原点情報とに基づいて第１モータ２０ａの回転角度を検出するためのものである。同様に、第２レゾルバ２４ｂは、軸体３０の回転情報と制御部５０に記憶した原点情報とに基づいて第２モータ２０ｂの回転角度を検出するためのものである。
【００２４】
図１および図２に示すように、ナット３３は、移動部材３４と連結されており、この移動部材３４の下端部には軸３９が形成されている。この軸３９の先端は、さらに、弁１１と連結されている。軸体３０が回転した場合には、軸体３０におけるボールねじ部３２と螺合するナット３３が昇降する。このナット３３の昇降に伴って、移動部材３４が昇降する。そして、この移動部材３４の昇降に伴って、弁１１が、弁座１２と当接する閉止位置と、図２に示す弁座１２から離隔した開放位置との間を昇降する。すなわち、軸３９が形成された移動部材３４は、軸体３０におけるボールねじ部３２の回転運動に伴ってナット３３が往復運動することにより、そこに接続された弁１１を移動させる機能を有する。
【００２５】
弁１１が弁座１２と当接する閉止位置に配置された状態においては、流入口１３から流出口１４に至る流体の流路が閉止される。一方、図２に示すように、弁１１が弁座１２から離隔した開放位置に配置された状態においては、流入口１３から流出口１４に至る流体の流路が開放される。このときの弁１１の開度は、この弁１１の移動量を監視する開度センサ４１により検出される。
【００２６】
ここで、この明細書における開放位置とは、弁１１と弁座１２とが一定距離離隔することにより、流体の流路が形成される位置である。この開放位置は、そのときに必要とされる流体の流路を確保するための位置であり、流体の流路が全開となる位置のみならず、流体の流路がわずかに開放される位置をも含んでいる。
【００２７】
移動部材３４にはフランジ２９が付設されている。そして、このフランジ２９の上部にはコイルバネ３６が配設されている。移動部材３４は、コイルバネ３６の作用により、弁１１が弁座１２と当接する閉止位置に移動する方向に、常に、付勢されている。このため、一対のモータ２０ａ、２０ｂに電力が供給されない状態となれば、弁１１は閉止位置に移動することになる。
【００２８】
図３は、この発明に係る電動バルブアクチュエータ１の主要な制御系を示すブロック図である。
【００２９】
この電動バルブアクチュエータ１は、装置全体を制御する制御部５０を備える。この制御部５０は、第１モータコントローラ５１ａを介して上述した第１モータ２０ａと接続されており、第２モータコントローラ５１ｂを介して上述した第２モータ２０ｂと接続されている。また、この制御部５０は、第１角度／開度変換部５２ａを介して上述した第１レゾルバ２４ａと接続されており、第２角度／開度変換部５２ｂを介して上述した第２レゾルバ２４ｂと接続されている。また、この制御部５０は、上述した開度センサ４１と接続されている。さらに、この制御部５０は、後述する警告表示または警告音を発生させるための表示部５３にも接続されている。
【００３０】
なお、上述した第１モータコントローラ５１ａは、第１モータ２０ａの回転を制御するためのものであり、第１角度／開度変換部５２ａは第１モータ２０ａにおけるロータ２１ａの回転角度情報を弁１１の開度情報に変換するためのものである。同様に、上述した第２モータコントローラ５１ｂは、第２モータ２０ｂの回転を制御するためのものであり、第２角度／開度変換部５２ｂは第２モータ２０ｂにおけるロータ２１ｂの回転角度情報を弁１１の開度情報に変換するためのものである。ここで、第１モータ２０ａ、第１レゾルバ２４ａ、第１モータコントローラ５１ａおよび第１角度／開度変換部５２ａは、この発明に係る第１回転駆動系を構成し、第２モータ２０ｂ、第２レゾルバ２４ｂ、第２モータコントローラ５１ｂおよび第２角度／開度変換部５２ｂは、この発明に係る第２回転駆動系を構成する。
【００３１】
次に、上述した電動バルブアクチュエータ１における流量調整弁２の制御動作について説明する。図４は、この発明の第１実施形態に係る電動バルブアクチュエータ１の制御動作を示すフローチャートである。なお、以下の動作は、制御部５０の制御により実行される。
【００３２】
電動バルブアクチュエータ１により流量調整弁２の開閉制御を実行する場合には、最初に、第１モータ２０ａの位置制御を実行する（ステップＳ１１）。この場合においては、第１レゾルバ２４ａの信号に基づいて第１角度／開度変換部５２ａにより弁１１の開度を演算する。そして、この開度情報と、制御部５０に入力される開度の指令値である開度指令と比較する。制御部５０は、この比較結果に基づいて、第１モータコントローラ５１ａを介して第１モータ２０ａへ回転指令信号を出力する。
【００３３】
また、これと同時に、第２モータ２０ｂのトルク制御を実行する（ステップＳ１２）。すなわち、この場合においては、第１モータコントローラ５１ａから得た第１モータ２０ａの回転情報に基づいて、制御部５０は、第２モータコントローラ５１ｂに対して第２モータ２０ｂを第１モータ２０ａと同一方向に同一のトルクで回転させるための第２モータ２０ｂの回転指令信号を出力する。これにより、第２モータ２０ｂは、第１モータ２０ａと同一方向に同一のトルクで回転する。
【００３４】
この状態においては、第１モータ２０ａは通常時の回転指令信号により位置制御されて回転し、第２モータ２０ｂは通常時の回転指令信号によりトルク制御されて回転する。この状態においては、軸体３０を第１モータ２０ａおよび第２モータ２０ｂの駆動で回転させることから、モータ一つ当たりの出力を全体として必要な出力より小さくすることができる。これにより、第１モータ２０ａおよび第２モータ２０ｂとして、出力の小さいモータを使用することが可能となる。
【００３５】
流量調整弁２の制御動作を開始した後は、制御部５０は、第１回転駆動系および第２回転駆動系の異常を常に監視している（ステップＳ１３）。すなわち、第１モータ２０ａ、第１レゾルバ２４ａ、第１モータコントローラ５１ａおよび第１角度／開度変換部５２ａのいずれかの動作不良による第１回転駆動系の異常と、第２モータ２０ｂ、第２レゾルバ２４ｂ、第２モータコントローラ５１ｂおよび第２角度／開度変換部５２ｂのいずれかの動作不良による第２回転駆動系の異常は、制御部５０により常に監視されている。
【００３６】
ここで、第１レゾルバ２４ａおよび第２レゾルバ２４ｂの異常や、第１角度／開度変換部５２ａおよび第２角度／開度変換部５２ｂの異常は、それらにより得られた弁１１の開度情報に差異が生ずることにより認識することができる。この場合には、開度センサ４１の信号と第１角度／開度変換部５２ａを介して得た第１レゾルバ２４ａの信号とを比較し、あるいは、開度センサ４１の信号と第２角度／開度変換部５２ｂを介して得た第２レゾルバ２４ｂの信号とを比較することにより、第１レゾルバ２４ａまたは第１角度／開度変換部５２ａの異常であるか第２レゾルバ２４ｂまたは第２角度／開度変換部５２ｂの異常であるかを認識することができる。一方、第１モータ２０ａの異常は第１モータコントローラ５１ａにより、また、第２モータ２０ｂの異常は第２モータコントローラ５１ｂにより認識することができ、第１モータコントローラ５１ａおよび第２モータコントローラ５１ｂ自体の異常は制御部５０により認識することができる。
【００３７】
異常が発生した場合には、制御部５０は、その異常が第１回転駆動系の異常であるか否かを判断する（ステップＳ１４）。そして、発生した異常が第１回転駆動系の異常であった場合には、第１回転駆動系による制御動作を停止させ、第１モータ２０ａの回転制御を終了する（ステップＳ１５）。
【００３８】
また、制御部５０は、第２モータ２０ｂの位置制御を開始する（ステップＳ１６）。この場合においては、第２レゾルバ２４ｂの信号に基づいて第２角度／開度変換部５２ｂにより弁１１の開度を演算する。そして、この開度情報と、制御部５０に入力される開度の指令値である開度指令と比較する。制御部５０は、この比較結果に基づいて、第２モータコントローラ５１ｂを介して第２モータ２０ｂへ異常発生時の回転指令信号を出力する。これにより、第１回転駆動系に異常が発生した場合においても、流量調整弁２を開閉制御することが可能となる。
【００３９】
制御部５０は、表示部５３に対して第１回転駆動系の異常を示す警告信号を出力する（ステップＳ１7)。表示部５３は、第１回転駆動系の異常を示す警告表示または警告音を発生させる。
【００４０】
一方、発生した異常が第１回転駆動系の異常ではなく、第２回転駆動系の異常であった場合には、第２回転駆動系による制御動作を停止させ、第２モータ２０ｂの回転制御を終了する（ステップＳ１８）。この場合においても、第１回転駆動系により、継続して流量調整弁２を開閉制御することが可能となる。
【００４１】
制御部５０は、表示部５３に対して第２回転駆動系の異常を示す警告信号を出力する(ステップＳ１９)。表示部５３は、第２回転駆動系の異常を示す警告表示または警告音を発生させる。
【００４２】
次に、電動バルブアクチュエータ１における流量調整弁２の他の実施形態に係る制御動作について説明する。図５は、この発明の第２実施形態に係る電動バルブアクチュエータ１の制御動作を示すフローチャートである。なお、以下の動作も、制御部５０の制御により実行される。
【００４３】
この第２実施形態において電動バルブアクチュエータ１により流量調整弁２の開閉制御を実行する場合には、最初に、第１モータ２０ａの位置制御を実行する（ステップＳ２１）。この場合においては、第１実施形態の場合と同様、第１レゾルバ２４ａの信号に基づいて第１角度／開度変換部５２ａにより弁１１の開度を演算する。そして、この開度情報と、制御部５０に入力される開度の指令値である開度指令とを比較する。制御部５０は、この比較結果に基づいて、第１モータコントローラ５１ａを介して第１モータ２０ａへ回転指令信号を出力する。
【００４４】
一方、この第２実施形態においては、第２モータ２０ｂの回転制御は実行しない。すなわち、この第２実施形態においては、第２モータ２０ｂのロータ２１ｂは、軸体３０の回転に伴って従動する。但し、この場合においても、第２角度／開度変換部５２ｂは、第２レゾルバ２４ｂの信号に基づいて、第２モータ２０ｂにおけるロータ２１ｂの回転角度情報を弁１１の開度情報に常に変換している。
【００４５】
流量調整弁２の制御動作を開始した後は、制御部５０は、第１回転駆動系の異常を常に監視している（ステップＳ２２）。すなわち、第１モータ２０ａ、第１レゾルバ２４ａ、第１モータコントローラ５１ａおよび第１角度／開度変換部５２ａのいずれかの動作不良による第１回転駆動系の異常は、制御部５０により常に監視されている。
【００４６】
そして、第１回転駆動系に異常が発生した場合には、制御部５０は、第１回転駆動系による制御動作を停止させるとともに（ステップＳ２３）、第２モータ２０ｂの位置制御を開始する（ステップＳ２４）。この場合においては、第２レゾルバ２４ｂの信号に基づいて第２角度／開度変換部５２ｂにより弁１１の開度を演算する。そして、この開度情報と、制御部５０に入力される開度の指令値である開度指令と比較する。制御部５０は、この比較結果に基づいて、第２モータコントローラ５１ｂを介して第２モータ２０ｂへ異常発生時の回転指令信号を出力する。これにより、第１回転駆動系に異常が発生した場合においても、流量調整弁２を開閉制御することが可能となる。
【００４７】
制御部５０は、表示部５３に対して第１回転駆動系の異常を示す警告信号を出力する（ステップＳ２５）。表示部５３は、第１回転駆動系の異常を示す警告表示または警告音を発生させる。
【００４８】
なお、この第２実施形態においても、制御部５０が第２回転駆動系の異常を常に監視し、異常が発生した場合には、第２回転駆動系の異常を示す警告表示または警告音を発生させるようにしてもよい。
【００４９】
上述した第１実施形態においては、第１モータ２０ａを有する第１回転駆動系と、第２モータ２０ｂを有する第２回転駆動系により軸体３０を回転させているが、３個以上のモータを利用して軸体３０を回転させるようにしてもよい。この場合においては、３個のレゾルバのうちのいずれか一つの信号が他の２個のレゾルバの信号と異なっていることを認識することで、開度センサ４１を省略するようにしてもよい。
【符号の説明】
【００５０】
１      電動バルブアクチュエータ
２      流量調整弁
１１    弁
１２    弁座
１３    流入口
１４    流出口
２０ａ  第１モータ
２０ｂ  第２モータ
２１ａ  ロータ
２１ｂ  ロータ
２２ａ  コイル
２２ｂ  コイル
２３ａ  ステータ
２３ｂ  ステータ
２４ａ  第１レゾルバ
２４ｂ  第２レゾルバ
２９    フランジ
３０    軸体
３１    軸部
３２    ボールねじ部
３３    ナット
３４    移動部材
３５    支軸
３６    コイルバネ
４１    開度センサ
５０    制御部
５１ａ  第１モータコントローラ
５１ｂ  第２モータコントローラ
５２ａ  第１角度／開度変換部
５２ｂ  第２角度／開度変換部
５３    表示部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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