(57)【要約】【課題】本発明はアーク放電によるパーティクルの発生を低減することができ、シート状のカソード材料に対して長時間に亘る成膜を行うことができるアーク蒸発装置を提供する。【解決手段】アーク蒸着装置１００の真空容器４の内部において、シート状カソード材料１はカソード２に当接される。基板１０はシート状カソード材料１に対向して配置される。カソード２は電源に接続される。シート状カソード材料１は、可撓性を有し、かつ黒鉛を含んでなる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空容器と、
前記真空容器の内部に配置される、シート状カソード材料と、
前記真空容器に固定され、前記シート状カソード材料に当接して負の電圧を印加するカソードと、
前記シート状カソード材料に対向して配置された基板を保持する保持部材と、
前記シート状カソード材料に接触または離反するトリガーと、
前記カソードに接続される電源とを備え、
前記シート状カソード材料は、可撓性を有し、かつ黒鉛を含んでなる、アーク蒸発装置。
【請求項２】
前記黒鉛は、膨張黒鉛または膨張化黒鉛である、請求項１に記載のアーク蒸着装置。
【請求項３】
前記シート状カソード材料は、複数枚を重ねたものである、請求項１または２に記載のアーク蒸発装置。
【請求項４】
前記シート状カソード材料を前記カソードに供給する巻出ロールと、
前記カソードに当接した前記シート状カソード材料を回収する巻取ロールとを更に備える、請求項１〜３のいずれかに記載のアーク蒸発装置。
【請求項５】
前記シート状カソード材料を前記カソードに供給する巻出ロールと、
前記カソードに当接した前記シート状カソード材料を回収する開口部を設けた箱体とを更に備える、請求項１〜３のいずれかに記載のアーク蒸発装置。
【請求項６】
前記シート状カソード材料に当接する前記カソードの面が、曲面を含む、請求項１〜５のいずれかに記載のアーク蒸発装置。
【請求項７】
前記シート状カソード材料は、前記シート状カソード材料に当接する前記カソードの面に対して角度を有する、請求項６に記載のアーク蒸発装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はアーク蒸発装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
真空アーク蒸着法は、成膜対象となる膜を構成する材料をカソード材料として、アノードとの間でアーク放電を発生させ、イオンまたは中性粒子として蒸発したカソード材料を基材へ導き、膜を形成するものである。この真空アーク蒸着法では、アーク放電を発生させる際に、トリガーをカソードに接触させてカソードから離す操作を行うことにより、真空の成膜室内にプラズマが発生する。このとき、カソード表面上を高速で移動するアークスポットを抑制するために、適切な磁場を形成することでカソード表面の特定部分にアークスポットを移動させる手法が用いられている。
【０００３】
しかし、このようにアークスポットを特定部分に拘束した状態でアーク放電を継続すると、その特定部分のカソード材料のみが消耗することになる。その結果、所定時間のアーク放電を行った後には、カソード材料を交換しなければならないので、アーク放電の継続時間に制約を受けやすい。
【０００４】
そこで、アーク放電を長時間連続して行うために、アーク放電によるカソード材料の消耗量に応じて、カソード材料を送り出す機構を備えたアーク蒸発源が用いられている（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
このアーク蒸発源では、ロッド状のカソード材料の先端表面においてアーク放電が行われ、カソード材料が消耗する。そして、消耗分のカソード材料が、送り出し機構によって前方に送り出され、補充される。したがって、カソード材料の交換頻度が少なく、長時間に亘る成膜が可能である。
【０００６】
このロッド状のカソード材料ように、厚みの大きなバルク状のカソード材料をアーク蒸発源として用いる場合には、カソード材料に前方への送出機構を設ける技術は有効である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】２００１−５８２６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
一方、従来のバルク状のカソード材料は、黒鉛粒子等の炭素材料を焼結することにより、可撓性を有さない厚くて固い塊として製造される。このようなバルク状のカソード材料をアーク蒸発源としてアーク放電を行うと、パーティクル（この明細書においてパーティクルとは、サイズが５０ｎｍ〜数μｍである比較的粗大な炭素粒子をいう。）の発生が多いという問題がある。そして、この問題に対して本発明の発明者らは、可撓性を有する薄いシート状のカソード材料をアーク蒸発源とすることにより、従来のバルク状のカソード材料とは異なる特性としてアーク放電によるパーティクルの発生が低減されることを知得するに至った。
【０００９】
しかしながら、このような小さな厚みに制約されるシート状カソード材料に対して、カソード材料の厚み方向への送り出し機構を用いることはできない。したがって、シート状カソード材料をアーク蒸発源とする場合には、長時間に亘る成膜を従来の技術を用いて達成することは困難であるという更なる問題がある。
【００１０】
そこで、本発明は上記の問題を解決するためになされたものであり、本発明はシート状カソード材料を備えたアーク蒸発装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明のアーク蒸発装置は、上記の課題を解決するために、真空容器と、前記真空容器の内部に配置される、シート状カソード材料と、前記真空容器に固定され、前記シート状カソード材料に当接して負の電圧を印加するカソードと、前記シート状カソード材料に対向して配置された基板を保持する保持部材と、前記シート状カソード材料に接触または離反するトリガーと、前記カソードに接続される電源とを備え、前記シート状カソード材料は、可撓性を有し、かつ黒鉛を含んでなることを特徴としている。
【００１２】
また、前記黒鉛は、膨張黒鉛または膨張化黒鉛であることが好ましい。
【００１３】
また、前記シート状カソード材料は、複数枚を重ねたものであることが好ましい。
【００１４】
また、本発明のアーク蒸発装置は、上記の課題を解決するために、前記シート状カソード材料を前記カソードに供給する巻出ロールと、前記カソードに当接した前記シート状カソード材料を回収する巻取ロールとを更に備えることが好ましい。
【００１５】
また、本発明のアーク蒸発装置は、上記の課題を解決するために、前記シート状カソード材料を前記カソードに供給する巻出ロールと、前記カソードに当接した前記シート状カソード材料を回収する開口部を設けた箱体とを更に備えることが好ましい。
【００１６】
また、前記シート状カソード材料に当接する前記カソードの面が、曲面を含むことが好ましい。
【００１７】
また、前記シート状カソード材料は、前記シート状カソード材料に当接する前記カソードの面に対して角度を有することが好ましい。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、シート状カソード材料を備えたアーク蒸発装置を提供することができる。また、アーク放電によるパーティクルの発生を低減することができ、シート状のカソード材料に対して長時間に亘る成膜を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の実施の形態１によるアーク蒸着装置の構成を示す概略図である。
【図２】図１に示すシート状カソード材料とカソードを示す断面の概略図である。
【図３】図１に示すシート状カソード材料とカソードの他の例を示す断面の概略図である。
【図４】本発明の実施の形態２によるアーク蒸着装置の構成を示す概略図である。
【図５】シート状カソード材料の一例を示す斜視図である。
【図６】図４に示す真空フィードスルーの一例を示す断面の概略図である。
【図７】差動排気装置の一例を示す断面の概略図である。
【図８】図４に示すＡ視によるシート状カーボン材料の概略図である。
【図９】図４に示すＡ視によるシート状カーボン材料の他の例を示す概略図である。
【図１０】本発明の実施の形態３によるアーク蒸着装置の構成を示す概略図である。
【図１１】本発明の実施の形態４によるアーク蒸着装置の構成を示す概略図である。
【図１２】本発明の実施の形態５によるアーク蒸着装置の構成を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。なお、図中同一または相当部分には同一符号を付してその説明は繰り返さない。
【００２１】
図１は、本発明の実施の形態１によるアーク蒸着装置の構成を示す概略図である。図１に示すように、本発明の実施の形態１によるアーク蒸発装置１００は、シート状カソード材料１と、カソード２と、絶縁体３と、真空容器４と、マグネット５と、制磁板６と、トリガー駆動装置７と、トリガー８と、基板保持部材９と、基板１０と、によって構成されている。
【００２２】
アーク蒸発装置１００において、図２に示すように、シート状カソード材料１は、カソード２に当接しており、カソード２と導通状態にある。また、シート状カソード材料１は、カソード２に螺子等の固定手段によって固定されている必要はなく、図示しない支持手段によってカソード２に当接していればよい。カソード２は、絶縁体３を介して真空容器４に固定されていて、真空容器４と絶縁されている。真空容器４は接地されている。カソード２の背面には、アークスポットの位置を磁力で制御するためのマグネット５が設けられている。また、カソード２の周囲には、制磁板６が設けられている。なお、マグネット５と制磁板６は、必須ではなく、設けなくてもよい。
【００２３】
シート状カソード材料１は、黒鉛を含んでなる。そして、その厚みは、好ましくは０．２ｍｍ〜１．５ｍｍである。
【００２４】
シート状カソード材料１は、分散・混練した黒鉛粒子をロール圧延することにより製造される。このようなシート状カソード材料１は、黒鉛粒子を焼結して製造される公知のカソード材料とは異なり、可撓性を有している。また、黒鉛としては、鱗片状黒鉛等の天然黒鉛や人造黒鉛、膨張黒鉛、膨張化黒鉛を用いることができる。本明細書では、膨張黒鉛は天然黒鉛を酸処理することによって製造され、膨張化黒鉛は膨張黒鉛を高温で加熱することによって製造されるものをいう。
【００２５】
上記の黒鉛の中でも、アーク蒸発装置１００では、シート状カソード材料１として、膨張黒鉛または膨張化黒鉛を含んでなるシートを用いることが好ましく、特に膨張化黒鉛を含んでなるシートを用いることが好ましい。このようなシートとして、ＧｒａｆＴｅｃｈインターナショナル株式会社製のＧＲＡＦＯＩＬ（登録商標）や東洋炭素株式会社製のＰＥＲＭＡ−ＦＯＩＬ（登録商標）を例示することができる。
【００２６】
また、図３に示すように、シート状カソード材料１は、複数枚を重ねたものであることが好ましい。シート状カソード材料１は一枚の厚みが薄いので、シート状カソード材料１が早く消耗し切り、アーク放電が短時間で終了する。しかし、シート状カソード材料１を複数枚重ねると、その枚数分だけシート状カソード材料の総厚みが増大するので、アーク放電をより長く持続させることができる。更に、詳細は後述するが、アーク放電に伴うパーティクルの発生を低減することができる。なお、図３に示す例では、三枚のシート状カソード材料１を重ねているが、これに限定されず二枚であっても四枚以上であってもよい。
【００２７】
次に、アーク蒸発装置１００の動作について説明する。排気装置によって真空容器４内を排気することで真空状態とし、アーク電源からカソード２に負の電圧が印加され、カソード２と導通するシート状カソード材料１は負の電位となる。そして、トリガー駆動装置７によってトリガー８の先端部をシート状カソード材料１に接触させた後にトリガー８をシート状カソード材料１から引き離すと、シート状カソード材料１とアノードとなる接地電位の真空容器４との間にアーク放電が発生する。そうすると、アークスポットが形成され、その熱によってシート状カソード材料１が蒸発（昇華）する。このアークスポットは、シート状カソード材料１の溶融部であり、強く発光する。
【００２８】
アークスポットは、カソード２上を移動しないが、マグネット５から磁場を発生させると、その磁場によってカソード２上を周回するように移動する。制磁板６は、カソード２の周囲における磁場を収束させる。そして、このアークスポットから炭素がイオンまたは中性粒子として飛散し、基板保持部材９によって保持された基板１０に炭素膜（ＤＬＣ：Ｄｉａｍｏｎｄ  Ｌｉｋｅ  Ｃａｒｂｏｎ）が形成される。このとき、基板１０には、負のバイアス電圧が印加される。
【００２９】
また、シート状カソード材料１を複数枚重ねたものにおいてアーク放電が発生すると、原理は不明であるが、アーク放電に伴うパーティクルの発生が低減される。その結果、アーク放電において火花が発生しないか、あるいは、ほとんど発生しない現象（火花レス放電）が確認される。この火花レス放電により、基板１０に形成される炭素膜において含まれるパーティクルの数を少なくすることができ、ひいては炭素膜表面の平滑性を向上させることができる。
【００３０】
図４は、本発明の実施の形態２によるアーク蒸発装置２００であって、カソード２周りを示す概略図であり、主に本発明の実施の形態１と異なる部分について示し、同じ部分を省略している。図４に示すように、本発明の実施の形態２によるアーク蒸発装置２００は、シート状カソード材料１と、カソード２と、絶縁体３と、真空容器４と、マグネット５と、制磁板６と、巻出ロール２１と、ガイドローラ２２と、真空フィードスルー２３と、巻取ロール２４と、によって構成されている。
【００３１】
シート状カソード材料１は、前述したように可撓性を有しているので、長尺品であれば図５に示すように巻回されたロール形状に保持することができる。このシート状カソード材料１は巻出ロール１１に固定される。この例では、巻出ロール２１および巻取ロール２４は、真空容器４外部の大気中に設けられている。
【００３２】
シート状カソード材料１は、巻出ロール２１から巻き出され、真空フィードスルー２３を通って真空容器４内に導入されている。そして、カソード２に当接し、真空フィードスルー２３介して真空容器４外に導出され、巻取ロール２４に巻き取られている。シート状カソード材料１は、その引張応力を緩和し、あるいは進行方向を変更するために複数のガイドローラに２２よって支持されている。ガイドローラ２２の位置および数は、特に限定されることはなく、適宜設定されればよい。
【００３３】
図６は、真空フィードスルー２３の一例を示す概略図である。図６に示すように、真空フィードスルー２３は、真空容器４の開口部において互いに対向するように設けられた一対の枠体２３１と、一対の枠体２３１各々の周囲に少なくとも二層で設けられたＯリング２３２と、によって構成されている。シート状カソード材料１は、この一対の枠体２３１のＯリング２３２によって構成される隙間を通り、Ｏリング２３２に挟持されている。したがって、真空容器４内の圧力を維持しながら、シート状カソード材料１を真空容器４内部に導入することができる。
【００３４】
また、真空フィードスルー２３に代えて、図７に示すような差動排気装置２５を用いることによっても、シート状カソード材料１を真空容器４内に導入し、また、真空容器４外に導出することができる。この差動排気装置２５は、真空容器４内に通じ、真空容器４の外部に向かって延びる配管２５１と、配管２５１に設けられ、排気装置を有する複数の配管２５２と、によって構成されている。配管２５１は、端部近傍および内部が絶縁処理されており、シート状カソード材料１が挿通されている。そして、これらの排気装置を作動させることで、配管２５１内が排気される。したがって、差動排気装置２５は、真空フィードスルー２３と同様に真空容器４内の圧力を維持しながら、シート状カソード材料１を真空容器４内部に導入することができる。
【００３５】
次に、アーク蒸発装置２００の動作について説明する。アーク蒸発装置２００において、まず巻取ロール２１が回転し、シート状カソード材料１が巻き出される。そして、シート状カソード材料１は、ガイドローラ２２に支持されて真空フィードスルー２３を通過し、真空容器４内に導入される。その後、ガイドローラ２２に支持されながらカソード２の表面に供給される。このとき、シート状カソード材料１は、カソードに２に当接し導通する。
【００３６】
そして、発明の実施の形態１で前述した方法と同様にして、シート状カソード材料１においてアーク放電を発生させてアークスポットを形成し、シート状カソード材料１を蒸発（昇華）させることにより基板１０に炭素膜を形成する。マグネット５から磁場を発生させ、その磁場によってアークスポットを移動させてもよい。
【００３７】
また、シート状カソード材料１を複数枚重ねたものにおいてアーク放電が発生すると、アーク放電に伴うパーティクルの発生を低減することができる。その結果、基板１０に形成される炭素膜において、炭素膜に含まれるパーティクルの数を少なくすることができ、ひいては炭素膜表面の平滑性を向上させることができる。
【００３８】
アーク放電が行われた後、シート状カソード材料１はカソード２を離れ、ガイドローラ２２に支持されて真空フィードスルー２３を通過し、真空容器４外に導出される。そして、ガイドローラ２２に支持されながら回転する巻取ロール２４に巻き取られる。このように、巻取ロール２４は、アーク放電を終えたシート状カソード材料１を円滑に回収することができる。
【００３９】
次に、巻出ロール２１と巻取ロール２４における第一の動作モードについて説明する。まず、シート状カソード材料１においてアーク放電を行い、所定のアーク放電が完了したらアーク放電を中止する。その後、巻出ロール２１と巻取ロール２４の回転により一定長さのシート状カソード材料１を進行させ、巻出ロール２１と巻取ロール２４の回転を停止する。そうすると、カソード２に当接するアーク放電後のシート状カソード材料１が、新しいシート状カソード材料１に変更される。そして、この新しいシート状カソード材料１において、トリガー８の先端部を接触させた後に引き離してアーク放電を再開し、所定のアーク放電が完了したらアーク放電を再度中止する。その後は、前述した巻出ロール２１と巻取ロール２４の回転・停止と、アーク放電の再開・中止を繰り返す。
【００４０】
この第一の動作モードでは、カソード２に当接する消耗したシート状カソード材料１が、巻出ロール２１と巻取ロール２４の回転により随時新しいシート状カソード材料１に変更される。したがって、アーク蒸着装置２００は、アーク放電を断続的にではあるが長時間持続することができる。
【００４１】
次に、巻出ロール２１と巻取ロール２４における第二の動作モードについて説明する。シート状カソード材料１は、巻出ロール２１と巻取ロール２４の回転によりカソード２の表面を十分にゆっくりとした速度で当接しながら進行する。図８に示すように、シート状カソード材料１におけるアークスポット２６は、マグネット５から磁界を発生させなければ、カソード２上を移動しない。このように、カソード２の表面を当接しながら進行するシート状カソード材料１に対して、アークスポット２６はカソード２上の一定の位置に留まりつつ、シート状カソード材料１の表面を移動する。そして、シート状カソード材料１には、アーク放電による放電痕２７が線状に形成される。
【００４２】
なお、シート状カソード材料１の進行速度が速い場合は、アーク放電が不安定になる結果、放電痕２７が点線状に形成され好ましくない。したがって、シート状カソード材料１の進行速度、即ち巻出ロール２１と巻取ロール２４の回転速度は、放電痕２７が線状になるように調節される。
【００４３】
この第二の動作モードでは、アークスポット２６はシート状カソード材料１の表面を絶えず移動するので、シート状カソード材料１が消耗し切ることはない。したがって、アーク蒸着装置２００はアーク放電を長時間持続することができる。
【００４４】
巻出ロール２１に固定したシート状カソード材料１の残量が少なくなると、巻出ロール２１と巻取ロール２４を逆回転させることにより、巻取ロール２４で回収したシート状カソード材料１を再度カソード２に供給し、アーク放電を継続することができる。したがって、シート状カソード材料１を交換しなくてもよいので、真空容器４の圧力を大気圧に戻して作業するといったアーク蒸着装置２００のメンテナンス時間が不要になる。
【００４５】
巻出ロール２１と巻取ロール２４をそのまま逆回転させると、図９に示すように、シート状カソード材料１の進行方向が逆向きになるが、シート状カソード材料１の放電痕の上を再度アーク放電することになり好ましくない。したがって、巻出ロール２１と巻取ロール２４を逆回転させる場合には、アーク放電を一旦終了し、トリガー駆動装置７によってトリガー８の先端部を、シート状カソード材料１の放電痕の上を再度アーク放電することのない位置に接触させた後に、トリガー８をシート状カソード材料１から引き離してアーク放電を再開する。そうすると、シート状カソード材料１の放電痕に重なることなくアーク放電を継続することができる。このとき、アークスポット２８は、シート状カソード材料１の表面を逆向きに移動する。そして、シート状カソード材料１には、アーク放電による別の放電痕２９が線状に形成される。
【００４６】
図１０は、本発明の実施の形態３によるアーク蒸発装置３００であって、カソード２周りを示す概略図であり、主に本発明の実施の形態１と異なる部分について示し、同じ部分を省略している。図１０に示すように、本発明の実施の形態３によるアーク蒸発装置３００は、シート状カソード材料１と、カソード２と、絶縁体３と、真空容器４と、マグネット５と、制磁板６と、巻出ロール３１と、ガイドローラ３２と、巻取ロール３４と、によって構成されている。
【００４７】
アーク蒸発装置３００は、実施の形態２によるアーク蒸発装置２００と比べ、巻出ロール３１と巻取ロール３４が真空容器４内に設けられており、真空フィードスルー２３を設けない点で異なる他は同じである。アーク蒸発装置３００では、巻出ロール３１と巻取ロール３４が真空容器４内に設けられているので、装置をコンパクトにすることができる。また、真空フィードスルー２３が不要となるので、装置の構造を簡単にすることができる。
【００４８】
図１１は、本発明の実施の形態４によるアーク蒸発装置４００であって、カソード４０周りを示す概略図であり、主に本発明の実施の形態１と異なる部分について示し、同じ部分を省略している。図１１に示すように、本発明の実施の形態４によるアーク蒸発装置４００は、シート状カソード材料１と、カソード４０と、絶縁体３と、真空容器４と、マグネット５と、制磁板６と、巻出ロール４１と、真空フィードスルー２３と、ガイドローラ４２と、巻取ロール４４と、によって構成されている。
【００４９】
アーク蒸発装置４００は、実施の形態２によるアーク蒸発装置２００と比べ、カソード４０の形状が異なる他は同じである。カソード４０は、シート状カソード材料１が当接する面において曲面を含んでおり、例えば、蒲鉾形を有している。そして、シート状カソード材料１は、カソード４０の軸方向と直行する方向に対して角度θを有するように、カソード４０表面の曲面に沿って進入する。このシート状カソード材料１の角度θは、鋭角であれば特に限定されず、ガイドローラ４２の配置によって調節することができる。
【００５０】
このとき、シート状カソード材料１には、角度θによって、カソード４０に対し押さえ付けられる応力が生じる。したがって、シート状カソード材料１とカソード４０とを、浮きなくより確実に当接させることができる。さらに、シート状カソード材料１に当接するカソードの面が曲面を含むので、シート状カソード材料１が角度θをもってカソード４０に進入するときに、カソード４０のエッジ部分でシート状カソード材料１が切断されるといった不具合を未然に防止することができる。
【００５１】
図１２は、本発明の実施の形態５によるアーク蒸発装置５００であって、カソード２周りを示す概略図であり、主に本発明の実施の形態１と異なる部分について示し、同じ部分を省略している。図１２に示すように、本発明の実施の形態５によるアーク蒸発装置５００は、シート状カソード材料１と、カソード２と、絶縁体３と、真空容器４と、マグネット５と、制磁板６と、巻出ロール５１と、ガイドローラ５２と、箱体５４と、開口部５５と、によって構成されている。
【００５２】
アーク蒸発装置５００は、実施の形態２によるアーク蒸発装置２００と比べ、巻取ロール２４に代えて箱体５４を用いる他は同じである。この例では、箱体５４は、真空容器４内のカソード２の近傍に設けられているが、真空容器４外に設けてもよい。その場合には真空フィードスルー２３を真空容器４に設け、シート状カソード材料１がこの真空フィードスルー２３から真空容器４外に導出されるようにすればよい。
【００５３】
箱体５４は、立方体形状で空洞を有しているが、その形状は立方体に限定されず、例えば円筒形であってもよい。そして、シート状カソード材料１の幅よりも大きな開口部５５がカソード２に対向するように設けられている。開口部５５の前方には、一対のガイドローラ５２が設けられている。
【００５４】
アーク蒸発装置５００においてアーク放電が行われた後、シート状カソード材料１はカソード２を離れ、一対のガイドローラ５２に挟持されて箱体５４の開口部５５に送られる。そして、シート状カソード材料１は、開口部５５から箱体５４内に進入し、箱体５４の内壁に当たって折れ曲がるうちに、箱体５４内で折り畳まれていく。したがって、箱体５４はアーク放電を終えたシート状カソード材料１を円滑に回収することができる。
【００５５】
今回例示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではなく、種々組み合わせたものも本発明の範囲に含まれると考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施の形態の説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【産業上の利用可能性】
【００５６】
本発明はアーク蒸発装置に関するものである。
【符号の説明】
【００５７】
１  シート状カソード材料
２、４０  カソード
３  絶縁体
４  真空容器
５  マグネット
６  制磁板
７  トリガー駆動装置
８  トリガー
９  基板保持部材
１０  基板
２１、３１、４１、５１  巻出ロール
２２、３２、４２、５２  ガイドローラ
２３  真空フィードスルー
２３１  枠体
２３２  Ｏリング
２４、３４、４４  巻取ロール
２５  差動排気装置
２５１、２５２  配管
２６、２８  アークスポット
２７、２９  放電痕
５４  箱体
５５  開口部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2014141701.tif 000007
【図６】
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【図７】
2014141701.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
2014141701.tif 000012
【図１１】
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【図１２】
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