(57)【要約】【課題】ノズルに付着した付着物を効果的に除去することができるノズル洗浄ユニット、およびノズル洗浄方法を提供することである。【解決手段】実施形態に係るノズル洗浄ユニットは、ノズルが挿入される孔の内壁面に円環状に開口した第１の噴射孔を有する洗浄ノズル部と、前記第１の噴射孔に気体を供給する気体供給部と、前記第１の噴射孔が設けられた位置を挟んで、前記ノズルが挿入される側とは反対側の前記ノズルが挿入される孔の雰囲気を減圧する減圧部と、を備えている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズルが挿入される孔の内壁面に円環状に開口した第１の噴射孔を有する洗浄ノズル部と、
前記第１の噴射孔に気体を供給する気体供給部と、
前記第１の噴射孔が設けられた位置を挟んで、前記ノズルが挿入される側とは反対側の前記ノズルが挿入される孔の雰囲気を減圧する減圧部と、
を備えたノズル洗浄ユニット。
【請求項２】
前記洗浄ノズル部は、前記ノズルが挿入される孔の内壁面に円環状に開口した第２の噴射孔をさらに有し、
前記第２の噴射孔に洗浄液を供給する第１の洗浄液供給部をさらに備えた請求項１記載のノズル洗浄ユニット。
【請求項３】
前記ノズルが挿入される浸漬槽と、
前記浸漬槽に洗浄液を供給する第２の洗浄液供給部と、
を有した浸漬部をさらに備えた請求項１記載のノズル洗浄ユニット。
【請求項４】
前記ノズルの先端面が接触する布部と、
前記布部の前記ノズルの先端面が接触する側とは反対側に接触するパッドと、
前記パッドを前記布部に向けて付勢する弾性部と、
前記布部の前記ノズルの先端面が接触する側とは反対側に接触する支持板と、
前記布部を挟んで、前記支持板と対峙させて設けられた押さえ板と、
を有する拭き取り部をさらに備えた請求項１〜３のいずれか１つに記載のノズル洗浄ユニット。
【請求項５】
ノズルが挿入される孔の内壁面に円環状に開口した第１の噴射孔からノズルに気体を噴射する工程と、
前記第１の噴射孔が設けられた位置を挟んで、前記ノズルが挿入される側とは反対側の前記ノズルが挿入される孔の雰囲気を減圧する工程と、
を備えたノズル洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
後述する実施形態は、概ね、ノズル洗浄ユニット、およびノズル洗浄方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
洗浄対象であるノズルに洗浄液を噴射し、その後、ノズルに乾燥用のエアーを噴射するノズル洗浄ユニットがある。しかしながら、密閉された空間において、洗浄液を噴射するようにすると、洗浄対象であるノズルから除去された付着物が飛び散って、ノズルに再付着するおそれがある。  
そのため、洗浄対象であるノズルに付着した付着物を効果的に除去することができる技術の開発が望まれていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平０５−３０９３０９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明が解決しようとする課題は、ノズルに付着した付着物を効果的に除去することができるノズル洗浄ユニット、およびノズル洗浄方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
実施形態に係るノズル洗浄ユニットは、ノズルが挿入される孔の内壁面に円環状に開口した第１の噴射孔を有する洗浄ノズル部と、前記第１の噴射孔に気体を供給する気体供給部と、前記第１の噴射孔が設けられた位置を挟んで、前記ノズルが挿入される側とは反対側の前記ノズルが挿入される孔の雰囲気を減圧する減圧部と、を備えている。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
【図１】第１の実施形態に係るノズル洗浄ユニット１を例示するための模式図である。
【図２】洗浄部１０を例示するための模式図である。
【図３】洗浄ノズル部１１を例示するための模式断面図である。
【図４】浸漬部２０を例示するための模式図である。
【図５】浸漬槽２１を例示するための模式断面図である。
【図６】（ａ）、（ｂ）は、拭き取り部３０を例示するための模式図である。
【図７】ノズル洗浄ユニット１の作用およびノズル洗浄方法について例示するためのフローチャートである。
【図８】第２の実施形態に係るノズル洗浄ユニット５１を例示するための模式図である。
【図９】洗浄部６０を例示するための模式図である。
【図１０】洗浄ノズル部６１を例示するための模式断面図である。
【図１１】（ａ）〜（ｅ）は、ノズル洗浄ユニット５１の作用およびノズル洗浄方法について例示するための模式工程図である。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
以下、図面を参照しつつ、実施の形態について例示をする。なお、各図面中、同様の構成要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。  
［第１の実施形態］  
図１は、第１の実施形態に係るノズル洗浄ユニット１を例示するための模式図である。  なお、図１においては、一例として、洗浄対象であるノズル１０２を備えた塗布装置１００も併せて描いている。
【０００８】
まず、塗布装置１００について例示する。  
塗布装置１００には、ステージ１０１、ノズル１０２、塗布液供給部１０３、検出部１０４、および移動ユニット１０５が設けられている。  
ステージ１０１は、載置された基板Ｗを保持する。また、ステージ１０１は、図示しない駆動部により、水平面内において回転する。基板Ｗの保持は、例えば、図示しない真空ポンプなどを用いた吸着により行うことができる。
【０００９】
ノズル１０２は、基板Ｗの表面に向けて塗布液Ｌを吐出する。ノズル１０２は、塗布液Ｌを連続的に吐出し、塗布液Ｌを基板Ｗの表面に塗布する。例えば、基板Ｗは半導体ウェーハなどであり、塗布液Ｌはレジスト液などである。  
塗布液供給部１０３は、ノズル１０２を介して、塗布液Ｌを基板Ｗの表面に供給する。塗布液供給部１０３は、例えば、塗布液Ｌを収納するタンク、塗布液Ｌを供給するポンプ、流量調整弁、および開閉弁などを備えたものとすることができる。
【００１０】
検出部１０４は、基板Ｗの表面までの距離を検出する。図示しない制御部により、検出された基板Ｗの表面までの距離に基づいて、ノズル１０２の先端面と基板Ｗの表面との間の距離が制御される。検出部１０４は、例えば、反射型レーザセンサなどとすることができる。  
移動ユニット１０５は、昇降部１０５ａと移動部１０５ｂを有する。昇降部１０５ａは、ノズル１０２を保持し、ノズル１０２を昇降させる。移動部１０５ｂは、昇降部１０５ａを保持し、昇降方向に直交する方向にノズル１０２を移動させる。移動ユニット１０５は、例えば、２軸制御のロボットなどとすることができる。
【００１１】
この様な塗布装置１００において塗布を行うと、ノズル１０２の先端部分に塗布液Ｌが付着する場合がある。ノズル１０２の先端部分に塗布液Ｌが付着すると、基板Ｗの表面における塗布量が不安定になるおそれがある。例えば、付着した塗布液Ｌが基板Ｗ側の塗布液Ｌに加わり塗布量が多くなったり、付着した塗布液Ｌに基板Ｗ側の塗布液Ｌが引き寄せられて塗布量が少なくなったりするおそれがある。  
本実施の形態に係るノズル洗浄ユニット１が設けられていれば、ノズル１０２の先端部分に付着した塗布液Ｌを効果的に除去することができる。そのため、基板Ｗの表面における塗布量を安定させることができる。
【００１２】
次に、図１に戻って、本実施の形態に係るノズル洗浄ユニット１について例示をする。  図１に示すように、ノズル洗浄ユニット１には、洗浄部１０、浸漬部２０、および拭き取り部３０が設けられている。  
図２は、洗浄部１０を例示するための模式図である。  
図３は、洗浄ノズル部１１を例示するための模式断面図である。  
図２に示すように、洗浄部１０には、洗浄ノズル部１１、容器１２、接続部１３、気体供給部１４、減圧部１５、および回収タンク１６が設けられている。
【００１３】
洗浄ノズル部１１は、洗浄対象であるノズル１０２の先端部分に向けて気体２００を噴射する。気体２００には特に限定はなく、例えば、空気や窒素ガスなどとすることができる。  
図３に示すように、洗浄ノズル部１１は、本体部１１ａ、噴射孔１１ｂ（第１の噴射孔の一例に相当する）、供給孔１１ｃ、および洗浄孔１１ｄを有する。
【００１４】
本体部１１ａは、円筒状を呈し、中心を軸方向に貫通する洗浄孔１１ｄを有している。  噴射孔１１ｂは、洗浄孔１１ｄ（挿入部１１ｄ１）の内壁面に円環状に開口している。そのため、挿入部１１ｄ１に挿入されたノズル１０２の先端部分の全周に亘り気体２００を噴射することができる。  
また、噴射孔１１ｂは、洗浄孔１１ｄの排出部１１ｄ２側に向けて傾斜している。そのため、噴射孔１１ｂから噴射された気体２００は、洗浄孔１１ｄの排出部１１ｄ２側に流れやすくなる。
【００１５】
供給孔１１ｃは、一方の端部が本体部１１ａの外壁面に開口し、他方の端部が噴射孔１１ｂに接続されている。  
供給孔１１ｃには気体供給部１４が接続されている。
【００１６】
洗浄孔１１ｄは、挿入部１１ｄ１と排出部１１ｄ２を有する。  
挿入部１１ｄ１の一方の端部は、本体部１１ａの端部に開口している。挿入部１１ｄ１の内部には、洗浄対象であるノズル１０２の先端部分が挿入される。挿入部１１ｄ１の断面寸法は、ノズル１０２の先端部分の断面寸法よりも大きくなっている。この場合、ノズル１０２の先端部分と、挿入部１１ｄ１の内壁面との間の隙間ｇは、噴射孔１１ｂから噴射された気体２００が、挿入部１１ｄ１の開口１１ｄ３から外部に漏れ難くするために小さくされている。
【００１７】
排出部１１ｄ２の一方の端部は挿入部１１ｄ１に接続され、他方の端部は本体部１１ａの端部に開口している。排出部１１ｄ２には接続部１３が接続されている。  
噴射孔１１ｂから噴射された気体２００を排出し易くするために、排出部１１ｄ２の断面寸法は、挿入部１１ｄ１の断面寸法よりも大きくなっている。
【００１８】
容器１２は、箱状を呈し、上面１２ａには接続部１３を介して、洗浄ノズル部１１の排出部１１ｄ２側が接続されている。  
また、容器１２の上面１２ａには減圧部１５が接続され、容器１２の下面１２ｂには回収タンク１６が接続されている。そのため、重量の軽い気体２２０は減圧部１５により排出され、重量の重い付着物や洗浄液２０１などは回収タンク１６に排出することができる。
【００１９】
接続部１３は、洗浄ノズル部１１と容器１２とを接続する。接続部１３は、例えば、蛇腹管などの可撓性を有する配管部材とすることができる。  
気体供給部１４は、洗浄ノズル部１１に気体２００を供給する。  
気体供給部１４には、供給部１４ａ、圧力制御部１４ｂ、および開閉弁１４ｃを設けることができる。
【００２０】
供給部１４ａは、例えば、高圧の気体２００が収納されたタンクや、工場配管などとすることができる。  
圧力制御部１４ｂは、供給部１４ａから供給された気体２００の圧力が所定の範囲内となるように制御する。  
開閉弁１４ｃは、気体２００の供給と停止を制御する。  
この場合、圧力制御部１４ｂと開閉弁１４ｃを複数組設けることができる。圧力制御部１４ｂと開閉弁１４ｃを複数組設けるようにすれば、ノズル１０２に付着した付着物の粘度などに応じて、噴射される気体２００の流速を切り替えることができる。  
例えば、粘度の低い付着物に対しては、圧力設定を低くした圧力制御部１４ｂを介して気体２００を噴射させることができる。また、粘度の高い付着物に対しては、圧力設定を高くした圧力制御部１４ｂを介して気体２００を噴射させることができる。この様にすれば、粘度の高い付着物の除去を容易とすることができ、粘度の低い付着物が飛び散るのを抑制することができる。
【００２１】
減圧部１５は、噴射孔１１ｂが設けられた位置を挟んで、ノズル１０２が挿入される側とは反対側の洗浄孔１１ｄの雰囲気を減圧する。  
例えば、減圧部１５は、容器１２と接続部１３を介して、洗浄ノズル部１１から気体２００を排気する。  
減圧部１５には、開閉弁１５ａと排気装置１５ｂを設けることができる。  
開閉弁１５ａは、気体２００の排気と停止を制御する。  
排気装置１５ｂは、例えば、真空エジェクタなどとすることができる。  
この場合、開閉弁１５ａと排気装置１５ｂを複数組設けることができる。開閉弁１５ａと排気装置１５ｂを複数組設けるようにすれば、ノズル１０２に付着した付着物の粘度などに応じて、排気される気体２００の排気量を切り替えることができる。
【００２２】
例えば、粘度の低い付着物に対しては、排気量を少なく設定した排気装置１５ｂを介して気体２００を排気させることができる。また、粘度の高い付着物に対しては、排気量を多く設定した排気装置１５ｂを介して気体２００を排気させることができる。この様にすれば、エネルギー効率を向上させることができる。
【００２３】
回収タンク１６は、付着物や洗浄液２０１などを回収する。  
回収タンク１６は、箱状を呈し、配管１６ａを介して、容器１２の下面１２ｂに接続されている。
【００２４】
本実施の形態に係る洗浄部１０は、洗浄孔１１ｄ（挿入部１１ｄ１）の内壁面に円環状に開口した噴射孔１１ｂを有する洗浄ノズル部１１と、噴射孔１１ｂが設けられた位置を挟んで、ノズル１０２が挿入される側とは反対側の洗浄孔１１ｄの雰囲気を減圧する減圧部１５とを有している。  
そのため、洗浄対象であるノズル１０２から除去された付着物が飛び散って、ノズル１０２に再付着するのを抑制することができる。その結果、ノズル１０２に付着した付着物を効果的に除去することができる。
【００２５】
また、ノズル１０２の先端部分と、挿入部１１ｄ１の内壁面との間には隙間ｇが設けられている。すなわち、洗浄ノズル部１１の洗浄孔１１ｄが密閉されていない。そのため、減圧部１５により、洗浄ノズル部１１から気体２００を効率よく排気することができる。
【００２６】
次に、浸漬部２０について例示をする。  
図４は、浸漬部２０を例示するための模式図である。  
図５は、浸漬槽２１を例示するための模式断面図である。  
図４に示すように、浸漬部２０には、浸漬槽２１、収納部２２、送液部２３、流量制御部２４、および廃液部２５が設けられている。
【００２７】
図５に示すように、浸漬槽２１は、洗浄槽２１ａと回収槽２１ｂを有する。  
洗浄槽２１ａの内部に洗浄対象であるノズル１０２の先端部分を挿入することで、付着物の溶解や除去を行う。
【００２８】
洗浄槽２１ａは、有底の円筒状を呈している。洗浄槽２１ａの底面には供給孔２１ａ１が開口している。供給孔２１ａ１には、流量制御部２４を介して、収納部２２が接続されている。洗浄槽２１ａの上端の位置は、回収槽２１ｂの上端の位置よりも高くなっている。そのため、洗浄槽２１ａの底面側から供給された洗浄液２０１を、洗浄槽２１ａの上端側から溢れさせ、下方に設けられた回収槽２１ｂの内部に流入させることができる。この様にすれば、常に新しい洗浄液２０１をノズル１０２に接触させることができる。
【００２９】
回収槽２１ｂは、有底の円筒状を呈している。回収槽２１ｂの内部には、洗浄槽２１ａが設けられている。回収槽２１ｂは、廃液部２５と接続され、洗浄槽２１ａから回収槽２１ｂの内部に流入した洗浄液２０１は廃液部２５に送られる。
【００３０】
収納部２２は、洗浄液２０１を収納する。  
洗浄液２０１には特に限定はなく、付着物の材質に応じて適宜選定することができる。例えば、付着物がレジストである場合には、洗浄液２０１は、ケトン系溶剤やアルコール系溶剤などを含むものとすることができる。
【００３１】
送液部２３は、収納部２２の内部に気体を供給することで、収納部２２に収納された洗浄液２０１を浸漬槽２１に向けて圧送する。  
送液部２３は、圧力制御部２３ａ、開閉弁２３ｂ、および供給部２３ｃを有する。  
圧力制御部２３ａは、供給部２３ｃから収納部２２の内部に供給される気体の圧力を制御する。供給部２３ｃから供給される気体には特に限定はなく、例えば、空気や窒素ガスなどとすることができる。  
開閉弁２３ｂは、収納部２２への気体の供給と停止を行う。  
供給部２３ｃは、例えば、高圧の気体が収納されたタンクや、工場配管などとすることができる。
【００３２】
流量制御部２４は、流量調整弁２４ａと開閉弁２４ｂを有する。  
流量調整弁２４ａは、洗浄槽２１ａの内部に供給される洗浄液２０１の流量を調整する。  
開閉弁２４ｂは、洗浄槽２１ａへの洗浄液２０１の供給と停止を行う。  
本実施の形態においては、収納部２２、送液部２３、および流量制御部２４が、洗浄槽２１ａに洗浄液を供給する洗浄液供給部（第２の洗浄液供給部の一例に相当する）となる。
【００３３】
廃液部２５は、箱状を呈し、浸漬槽２１から流出した洗浄液２０１を収納する。
【００３４】
本実施の形態に係る浸漬部２０によれば、常に新しい洗浄液２０１を洗浄対象であるノズル１０２に接触させることができる。そのため、ノズル１０２に付着した付着物を効果的に除去したり、溶解したりすることができる。
【００３５】
次に、拭き取り部３０について例示をする。  
図６（ａ）、（ｂ）は、拭き取り部３０を例示するための模式図である。  
なお、図６（ａ）は図６（ｂ）におけるＢ−Ｂ線断面図であり、図６（ｂ）は図６（ａ）におけるＡ−Ａ線断面図である。  
図６（ａ）、（ｂ）に示すように、拭き取り部３０には、基台３１、支持部３２、案内部３３、保持部３４、パッド３５、弾性部３６、支持板３７、押さえ板３８、布部３９、供給部４０、および巻き取り部４１が設けられている。
【００３６】
基台３１は、板状を呈し、供給部３９と巻き取り部４０との間に設けられている。  
支持部３２は、基台３１の長手方向の両端部にそれぞれ設けられている。支持部３２は、柱状を呈している。  
案内部３３は、支持部３２に設けられている。案内部３３は、支持部３２の軸方向に延びている。  
保持部３４は、パッド３５を保持するとともに、案内部３３に沿って移動する。  
パッド３５は、布部３９のノズル１０２の先端面が接触する側とは反対側に接触する。パッド３５は、板状を呈し、両端部が保持部３４に保持されている。パッド３５の長手方向は、基台３１の長手方向と同じにされている。
【００３７】
弾性部３６は、基台３１とパッド３５との間に設けられ、パッド３５を布部３９に向けて付勢する。弾性部３６は、例えば、圧縮バネなどとすることができる。  
支持板３７は、布部３９のノズル１０２の先端面が接触する側とは反対側に接触する。支持板３７は、パッド３５の長手方向と直交する方向に、パッド３５を挟んで２つ設けられている。支持板３７は、例えば、支持部３２に保持されている。  
押さえ板３８は、２つの支持板３７の上方にそれぞれ設けられている。すなわち、押さえ板３８は、布部３９を挟んで、支持板３７と対峙させて設けられている。押さえ板３８は、図示しない弾性部により支持板３７に向けて付勢されている。
【００３８】
なお、支持板３７と押さえ板３８が２組設けられる場合を例示したが、組数は適宜変更することができる。例えば、支持板３７と押さえ板３８が１組設けられていてもよいし、３組以上設けられていてもよい。
【００３９】
布部３９は、帯状を呈している。布部３９は、一端が供給部４０の巻心４０ａに保持され、他端が巻き取り部４１の巻心４１ａに保持されている。  
布部３９は、供給部４０側の支持板３７と押さえ板３８との間、パッド３５の上面、および、巻き取り部４１側の支持板３７と押さえ板３８との間を通過している。  
洗浄対象であるノズル１０２の先端面を布部３９に接触させ、接触させた状態のまま布部３９上を移動させることで、ノズル１０２の先端面を拭くことができる。この際、弾性部３６の作用により、パッド３５を介して布部３９がノズル１０２の先端面に押し付けられる。そのため、布部３９と、ノズル１０２の先端面との間の密着性を維持することができる。
【００４０】
供給部４０は、布部３９が巻かれた巻心４０ａを保持する。また、巻心４０ａが回転できるようになっている。  
巻き取り部４１は、巻心４１ａを保持する。また、図示しない駆動装置により巻心４１ａを回転させて布部３９を巻き取るようになっている。
【００４１】
本実施の形態に係る拭き取り部３０は、支持板３７と押さえ板３８とで布部３９を挟んでいる。そのため、ノズル１０２に押されてパッド３５の位置が下方に移動したとしても、供給部４０側と、巻き取り部４１側との間で布部３９が撓むことを抑制することができる。  そのため、ノズル１０２に付着した付着物を効果的に除去することができる。
【００４２】
次に、ノズル洗浄ユニット１の作用とともに本実施の形態に係るノズル洗浄方法について例示する。  
図７は、ノズル洗浄ユニット１の作用およびノズル洗浄方法について例示するためのフローチャートである。  
図７に示すように、まず、付着物が付着したノズル１０２の先端部分を挿入部１１ｄ１に挿入する（ステップＳ１）。  
例えば、移動ユニット１０５により、付着物が付着したノズル１０２を洗浄ノズル部１１の上方に移動させ、続いて、ノズル１０２の先端部分を洗浄孔１１ｄの挿入部１１ｄ１に挿入する。
【００４３】
次に、噴射孔１１ｂからノズル１０２の先端部分に気体２００を噴射する（ステップＳ２）。  
この際、噴射孔１１ｂが設けられた位置を挟んで、ノズル１０２が挿入される側とは反対側の洗浄孔１１ｄの雰囲気が、減圧部１５により減圧される。すなわち、洗浄孔１１ｄの排出部１１ｄ２側が、減圧部１５により減圧される。
【００４４】
次に、ノズル１０２の先端部分を洗浄液２０１中に入れる（ステップＳ３）。  
例えば、移動ユニット１０５により、ノズル１０２を洗浄槽２１ａの上方に移動させ、続いて、ノズル１０２の先端部分を洗浄槽２１ａの洗浄液２０１中に挿入する。
【００４５】
次に、ノズル１０２から塗布液Ｌを吐出させる（ステップＳ４）。  
ノズル１０２の先端部分を洗浄液２０１中に入れることで、ノズル１０２の先端部分にある塗布液Ｌに洗浄液２０１が混入することになる。そのため、洗浄液２０１が混入した塗布液Ｌを排出する。  
例えば、移動ユニット１０５により、ノズル１０２を洗浄ノズル部１１の上方に移動させ、続いて、ノズル１０２の先端部分を挿入部１１ｄ１に挿入する。その後、ノズル１０２から塗布液Ｌを吐出させる。
【００４６】
次に、噴射孔１１ｂからノズル１０２の先端部分に気体２００を噴射する（ステップＳ５）。  
この際、洗浄孔１１ｄの排出部１１ｄ２側が、減圧部１５により減圧される。
【００４７】
次に、ノズル１０２の先端面を拭く（ステップＳ６）。  
例えば、移動ユニット１０５により、ノズル１０２を拭き取り部３０の上方に移動させ、続いて、ノズル１０２の先端面を布部３９に接触させ、接触させた状態のまま布部３９上を移動させることで、ノズル１０２の先端面を拭く。
【００４８】
以上に例示をしたように、本実施の形態に係るノズル洗浄方法は、以下の工程を備えることができる。  
ノズル１０２が挿入される洗浄孔１１ｄの内壁面に円環状に開口した噴射孔１１ｂからノズル１０２に気体２００を噴射する工程。  
噴射孔１１ｂが設けられた位置を挟んで、ノズル１０２が挿入される側とは反対側の洗浄孔１１ｄの雰囲気を減圧する工程。
［第２の実施形態］  
図８は、第２の実施形態に係るノズル洗浄ユニット５１を例示するための模式図である。
なお、図８においては、一例として、洗浄対象であるノズル１０２を備えた塗布装置１００も併せて描いている。  
図９は、洗浄部６０を例示するための模式図である。  
図１０は、洗浄ノズル部６１を例示するための模式断面図である。
【００４９】
図８に示すように、ノズル洗浄ユニット５１には、洗浄部６０および拭き取り部３０が設けられている。  
図９に示すように、洗浄部６０には、洗浄ノズル部６１、容器１２、接続部１３、気体供給部１４、減圧部１５、洗浄液供給部７０（第１の洗浄液供給部の一例に相当する）および回収タンク１６が設けられている。  
洗浄液供給部７０には、収納部２２、送液部２３、および流量制御部２４が設けられている。  
送液部２３は、収納部２２の内部に気体を供給することで、収納部２２に収納された洗浄液２０１を洗浄ノズル部６１に向けて圧送する。  
すなわち、洗浄液供給部７０は、噴射孔６１ａ（第２の噴射孔の一例に相当する）に洗浄液２０１を供給する。
【００５０】
図１０に示すように、洗浄ノズル部６１は、本体部１１ａ、噴射孔１１ｂ、供給孔１１ｃ、洗浄孔１１ｄ、噴射孔６１ａ、および供給孔６１ｂを有する。  
噴射孔６１ａは、洗浄孔１１ｄ（挿入部１１ｄ１）の内壁面に円環状に開口している。そのため、挿入部１１ｄ１に挿入されたノズル１０２の先端部分の全周に亘り洗浄液２０１を噴射することができる。  
供給孔６１ｂは、一方の端部が本体部１１ａの外壁面に開口し、他方の端部が噴射孔６１ａに接続されている。  
供給孔６１ｂには洗浄液供給部７０が接続されている。
【００５１】
すなわち、ノズル洗浄ユニット５１には浸漬部２０が設けられていない。その代わりに、洗浄液供給部７０が設けられ、洗浄ノズル部６１の挿入部１１ｄ１において、ノズル１０２の先端部分に洗浄液２０１が噴射されるようになっている。  
なお、噴射された洗浄液２０１は、容器１２を介して回収タンク１６に流入する。
【００５２】
本実施の形態に係る洗浄部６０は、洗浄孔１１ｄ（挿入部１１ｄ１）の内壁面に円環状に開口した噴射孔１１ｂと噴射孔６１ａを有する洗浄ノズル部６１と、前述した減圧部１５とを有している。  
そのため、洗浄対象であるノズル１０２から除去された付着物が飛び散って、ノズル１０２に再付着するのを抑制することができる。その結果、ノズル１０２に付着した付着物を効果的に除去することができる。
【００５３】
また、ノズル１０２の先端部分と、挿入部１１ｄ１の内壁面との間には隙間ｇが設けられている。すなわち、洗浄ノズル部６１の洗浄孔１１ｄが密閉されていない。そのため、減圧部１５により、洗浄ノズル部６１から気体２００を効率よく排気することができる。
【００５４】
また、ノズル１０２を洗浄すると、洗浄孔１１ｄの内部に付着物が付着する場合がある。洗浄孔１１ｄの内部に付着物が付着した場合には、噴射孔６１ａから洗浄液２０１を噴射させて洗浄孔１１ｄの内部を洗浄することができる。
【００５５】
次に、ノズル洗浄ユニット５１の作用とともに本実施の形態に係るノズル洗浄方法について例示する。  
図１１（ａ）〜（ｅ）は、ノズル洗浄ユニット５１の作用およびノズル洗浄方法について例示するための模式工程図である。
【００５６】
まず、図１１（ａ）に示すように、付着物が付着したノズル１０２の先端部分を挿入部１１ｄ１に挿入する（ステップＳ１１）。  
例えば、移動ユニット１０５により、付着物が付着したノズル１０２を洗浄ノズル部６１の上方に移動させ、続いて、ノズル１０２の先端部分を挿入部１１ｄ１に挿入する。
【００５７】
続いて、噴射孔１１ｂからノズル１０２の先端部分に気体２００を噴射する。  
この際、洗浄孔１１ｄの排出部１１ｄ２側が、減圧部１５により減圧される。
【００５８】
次に、図１１（ｂ）に示すように、噴射孔６１ａからノズル１０２の先端部分に洗浄液２０１を噴射する（ステップＳ１２）。  
この際、洗浄孔１１ｄの排出部１１ｄ２側が、減圧部１５により減圧される。その様にすれば、挿入部１１ｄ１の開口１１ｄ３から洗浄液２０１が外部に漏れるのを抑制することができる。
【００５９】
次に、図１１（ｃ）に示すように、ノズル１０２から塗布液Ｌを吐出させる（ステップＳ１３）。  
ノズル１０２の先端部分に洗浄液２０１を噴射した際に、ノズル１０２の先端部分にある塗布液Ｌに洗浄液２０１が混入する場合がある。そのため、洗浄液２０１が混入したおそれがある塗布液Ｌを排出する。  
続いて、噴射孔１１ｂからノズル１０２の先端部分に気体２００を噴射する。  
この際、洗浄孔１１ｄの排出部１１ｄ２側が、減圧部１５により減圧される。
【００６０】
次に、図１１（ｄ）に示すように、ノズル１０２の先端面を拭く（ステップＳ１４）。  例えば、移動ユニット１０５により、ノズル１０２を拭き取り部３０の上方に移動させ、続いて、ノズル１０２の先端面を布部３９に接触させ、接触させた状態のまま布部３９上を移動させることで、ノズル１０２の先端面を拭く。
【００６１】
次に、図１１（ｅ）に示すように、噴射孔１１ｂからノズル１０２の先端部分に気体２００を噴射する。  
例えば、移動ユニット１０５により、ノズル１０２を洗浄ノズル部６１の上方に移動させ、続いて、ノズル１０２の先端部分を挿入部１１ｄ１に挿入する。  
続いて、噴射孔１１ｂからノズル１０２の先端部分に気体２００を噴射する。  
この際、洗浄孔１１ｄの排出部１１ｄ２側が、減圧部１５により減圧される。  
噴射孔１１ｂからノズル１０２の先端部分に気体２００を噴射することで、ノズル１０２の先端部分を乾燥させる。
【００６２】
以上に例示をしたように、本実施の形態に係るノズル洗浄方法は、以下の工程を備えることができる。  
ノズル１０２が挿入される洗浄孔１１ｄの内壁面に円環状に開口した噴射孔１１ｂからノズル１０２に気体２００を噴射する工程。  
噴射孔１１ｂが設けられた位置を挟んで、ノズル１０２が挿入される側とは反対側の洗浄孔１１ｄの雰囲気を減圧する工程。  
ノズル１０２が挿入される洗浄孔１１ｄの内壁面に円環状に開口した噴射孔６１ａからノズル１０２に洗浄液２０１を噴射する工程。
【００６３】
以上、本発明のいくつかの実施形態を例示したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更などを行うことができる。これら実施形態やその変形例は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。また、前述の各実施形態は、相互に組み合わせて実施することができる。
【符号の説明】
【００６４】
１  ノズル洗浄ユニット、１０  洗浄部、１１  洗浄ノズル部、１１ｂ  噴射孔、１１ｄ  洗浄孔、１１ｄ１  挿入部、１４  気体供給部、１５  減圧部、２０  浸漬部、２１  浸漬槽、２１ａ  洗浄槽、３０  拭き取り部、３５  パッド、３６  弾性部、３７  支持板、３８  押さえ板、３９  布部、５１  ノズル洗浄ユニット、６０  洗浄部、６１  洗浄ノズル部、６１ａ  噴射孔、７０  洗浄液供給部、１０２  ノズル、１０５  移動ユニット、２００  気体、２０１  洗浄液
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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