(57)【要約】【課題】配線パターンに不具合が生じることを抑制できるインクジェットヘッドを提供する。【解決手段】一つの実施の形態に係るインクジェットヘッドは、基材と、圧電部材と、複数の電極と、絶縁材と、複数の配線パターンと、駆動部とを備える。前記圧電部材は、前記基材に取り付けられ、複数の溝と、第１の配線形成面と、前記第１の配線形成面と９０°以上で且つ１８０°よりも小さい角度で交差する側端面と、を有する。前記電極は、前記溝の内面をそれぞれ覆う。前記絶縁材は、前記基材の少なくとも一部と前記圧電部材の前記側端面とを覆い、前記第１の配線形成面に連続する第２の配線形成面を有する。前記配線パターンは、前記複数の電極に接続され、前記第１の配線形成面と前記第２の配線形成面とを通って前記圧電部材および前記絶縁材に設けられる。前記駆動部は、前記絶縁材に形成された配線パターンに接続される。【選択図】    図３
2014046581.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
実装面を有する基材と、
前記基材の前記実装面に取り付けられ、複数の溝と、第１の配線形成面と、前記第１の配線形成面と９０°以上で且つ１８０°よりも小さい角度で交差する側端面と、を有する圧電部材と、
前記圧電部材の前記溝の内面をそれぞれ覆う複数の電極と、
前記基材の前記実装面の少なくとも一部と前記圧電部材の前記側端面とを覆い、前記第１の配線形成面に連続する第２の配線形成面を有する絶縁材と、
前記複数の電極に接続され、前記第１の配線形成面と前記第２の配線形成面とを通って前記圧電部材および前記絶縁材に設けられた複数の配線パターンと、
前記絶縁材に形成された配線パターンに接続され、前記配線パターンを介して前記電極に電圧を印加する駆動部と、
を具備することを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】
前記絶縁材は、前記圧電部材と前記基材の前記実装面との間に介在して前記圧電部材を前記実装面に固着する接着部を有することを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド。
【請求項３】
前記圧電部材は、前記絶縁材とは別の接着剤によって前記基板の前記実装面に取り付けられたことを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド。
【請求項４】
前記絶縁材が、前記基材の前記実装面と平行な平面を有し、
前記配線パターンが前記絶縁材の平面に設けられることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか一つに記載のインクジェットヘッド。
【請求項５】
前記絶縁材が前記基材よりも軟らかいことを特徴とする請求項１ないし４のいずれか一つに記載のインクジェットヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、インクジェットヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェットプリンタに用いられるインクジェットヘッドは、例えばベースプレートに取り付けられる圧電部材を備える。当該圧電部材は圧力室を形成し、シェアモード変形することで当該圧力室に供給されたインクを加圧する。加圧されたインクは、前記圧力室に開口するノズルから吐出される。
【０００３】
前記圧電部材は、例えば接着剤によって前記ベースプレートに貼り付けられる。前記圧力室に電圧を印加するための配線パターンが、前記圧電部材から前記ベースプレートに亘って設けられる。前記配線パターンは、前記接着剤の表面を通る。このようなインクジェットヘッドにおいて、上記接着剤の表面が前記圧電部材の表面と連続する構成が知られる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特表２００２−５２９２８９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
前記圧電部材を前記ベースプレートに固定する接着剤の端部は、例えば表面張力により、山なりに形成される。前記配線パターンは、当該接着剤の終端部（接着剤とベースプレートとの境界）を通過する。接着剤の終端部は、例えば塗布時の濡れ広がりによって薄く形成されるため、ベースプレートから剥がれるおそれがある。接着剤の終端部が剥がれると、当該終端部を通る配線パターンに不具合が生じるおそれがある。
【０００６】
本発明の目的は、配線パターンに不具合が生じることを抑制できるインクジェットヘッドを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
一つの実施の形態に係るインクジェットヘッドは、基材と、圧電部材と、複数の電極と、絶縁材と、複数の配線パターンと、駆動部とを備える。前記基材は実装面を有する。前記圧電部材は、前記基材の前記実装面に取り付けられ、複数の溝と、第１の配線形成面と、前記第１の配線形成面と９０°以上で且つ１８０°よりも小さい角度で交差する側端面と、を有する。前記電極は、前記圧電部材の前記溝の内面をそれぞれ覆う。前記絶縁材は、前記基材の前記実装面の少なくとも一部と前記圧電部材の前記側端面とを覆い、前記第１の配線形成面に連続する第２の配線形成面を有する。前記配線パターンは、前記複数の電極に接続され、前記第１の配線形成面と前記第２の配線形成面とを通って前記圧電部材および前記絶縁材に設けられる。前記駆動部は、前記絶縁材に形成された配線パターンに接続され、前記配線パターンを介して前記電極に電圧を印加する。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】第１の実施の形態に係るインクジェットヘッドを分解して示す斜視図。
【図２】第１の実施形態のインクジェットヘッドを図１のＦ２−Ｆ２線に沿って示す断面図。
【図３】第１の実施形態のインクジェットヘッドの一部を拡大して示す断面図。
【図４】第１の実施形態の製造過程のインクジェットヘッドの一部を示す断面図。
【図５】圧電部材が加工された第１の実施形態の製造過程のインクジェットヘッドの一部を示す断面図。
【図６】第２の実施の形態に係るインクジェットヘッドの一部を示す断面図。
【図７】第２の実施形態の製造過程のインクジェットヘッドの一部を示す断面図。
【図８】絶縁材を塗布した第２の実施形態の製造過程のインクジェットヘッドの一部を示す断面図。
【図９】圧電部材が加工された第２の実施形態の製造過程のインクジェットヘッドの一部を示す断面図。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下に、第１の実施の形態について、図１から図５を参照して説明する。なお、複数の表現が可能な各要素について一つ以上の他の表現の例を付すことがあるが、これは他の表現が付されていない要素について異なる表現がされることを否定するものではないし、例示されていない他の表現がされることを制限するものでもない。
【００１０】
図１は、第１の実施の形態に係るインクジェットヘッド１を分解して示す斜視図である。図２は、インクジェットヘッド１を図１のＦ２−Ｆ２線に沿って示す断面図である。図１に示すように、インクジェットヘッド１は、いわゆるサイドシュータ型のインクジェットヘッドである。インクジェットヘッド１は、例えば、インクジェットプリンタの内部に搭載される。
【００１１】
インクジェットヘッド１は、ベースプレート１０と、一対の圧電部材１１と、ノズルプレート１２と、フレーム１３と、一対の駆動部１４とを備えている。ベースプレート１０は、基材の一例である。インクジェットヘッド１は、前記インクジェットプリンタのインクケース１６に取り付けられる。インクケース１６は、前記インクジェットプリンタのインクタンクに接続される。
【００１２】
図２に示すように、インクジェットヘッド１の内部に、インク室１８が設けられている。インク室１８は、ベースプレート１０と、ノズルプレート１２と、フレーム１３とに囲まれており、前記インクタンクから印字用のインクが供給される。
【００１３】
ベースプレート１０は、例えばアルミナのようなセラミックスによって矩形の板状に形成されている。ベースプレート１０は、平坦な実装面２１を有している。なお、実装面２１に凹凸、溝、および孔が設けられても良い。
【００１４】
実装面２１のほぼ全域が、絶縁材２２によって覆われている。なお、絶縁材２２は、実装面２１の一部のみを覆っても良いし、実装面２１の全域を覆っても良い。絶縁材２２は、例えば熱硬化性を有する一液性のエポキシ系接着剤によって形成されている。なお、絶縁材２２はこれに限らず、他の絶縁性の材料によって形成されても良い。
【００１５】
絶縁材２２は、平面２４を有している。平面２４は、ベースプレート１０の実装面２１と平行に形成されている。言い換えると、絶縁材２２は、実装面２１上の少なくとも一部の領域において、均一な厚さに形成されている。
【００１６】
図１および図２に示すように、ベースプレート１０および絶縁材２２には、複数の供給口２５と、複数の排出口２６とが設けられている。供給口２５および排出口２６は、ベースプレート１０および絶縁材２２を貫通し、平面２４に開口している。
【００１７】
複数の供給口２５は、ベースプレート１０の中央部において、ベースプレート１０の長手方向（主走査方向）に沿って並んでいる。供給口２５は、インク室１８に開口するとともに、インクケース１６を介して前記インクタンクに接続される。前記インクタンクのインクは、供給口２５からインク室１８に供給される。
【００１８】
複数の排出口２６は、１列に並んだ供給口２５を挟むように、ベースプレート１０の長手方向（主走査方向）に沿って二列に並んでいる。排出口２６は、インク室１８に開口するとともに、インクケース１６を介して前記インクタンクに接続される。インク室１８のインクは、排出口２６から前記インクタンクに回収される。このように、インクはインクジェットヘッド１と前記インクタンクとの間で循環する。
【００１９】
一対の圧電部材１１は、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）製の２枚の圧電板を互いの分極方向を反対向きとするように貼り合わせてそれぞれ形成されている。一対の圧電部材１１は、台形状の断面を有する棒状にそれぞれ形成されている。一対の圧電部材１１は、インク室１８の中に平行に並んで配置される。
【００２０】
図３は、インクジェットヘッドの一部を拡大して示す断面図である。図３に示すように、圧電部材１１は、絶縁材２２によってそれぞれベースプレート１０の実装面２１に接着されている。言い換えると、絶縁材２２は、圧電部材１１と実装面２１との間に介在して圧電部材１１を実装面２１に固着する接着部２９を有している。接着部２９は、均一な厚さに形成されている。
【００２１】
圧電部材１１に、複数の溝３１が設けられている。溝３１は、ベースプレート１０の長手方向（主走査方向）と交差する方向（副走査方向）に向かってそれぞれ延びている。複数の溝３１は、ベースプレート１０の長手方向（主走査方向）に並んで配置されている。インク室１８に供給されたインクは、溝３１に供給される。溝３１の内面は、電極３３によって覆われている。
【００２２】
圧電部材１１は、ベースプレート１０の側端部に向かって突出するフランジ部３５を有している。さらに、圧電部材１１は、頂面４１と、斜面４２と、フランジ上面４３と、側端面４４とを有している。フランジ上面４３は、第１の配線形成面の一例である。頂面４１と、斜面４２と、フランジ上面４３と、側端面４４とは、それぞれ平坦に形成されるが、曲面であっても良い。
【００２３】
頂面４１は、圧電部材１１の上端に設けられている。言い換えると、頂面４１は、圧電部材１１において、ベースプレート１０の実装面２１から最も離れている。斜面４２は、頂面４１と隣り合うとともに、実装面２１に対して傾斜している。斜面４２と実装面２１との間の角度は、例えば４５°である。
【００２４】
フランジ上面４３は、斜面４２と隣り合うとともに、実装面２１と平行に形成されている。絶縁材２２に、当該フランジ上面４３に連続する連続面４７が設けられている。連続面４７は、第２の配線形成面の一例である。フランジ上面４３と連続面４７とは、面一（段差のない状態）に形成されている。フランジ上面４３および連続面４７は、絶縁材２２の平面２４よりも実装面２１に近い。言い換えると、フランジ上面４３および連続面４７は、平面２４から窪んで形成される。
【００２５】
側端面４４は、フランジ上面４３と隣り合うとともに、圧電部材１１の端部に位置している。図３に示すように、フランジ上面４３と側端面４４とは、角度θ１で交差している。角度θ１は、例えば９０°である。なお、角度θ１は、９０°以上で且つ１８０°より小さい他の角度であっても良い。側端面４４は、絶縁材２２に覆われている。言い換えると、側端面４４に絶縁材２２が付着している。
【００２６】
圧電部材１１から絶縁材２２に亘って、複数の配線パターン５１が設けられている。配線パターン５１は、例えば無電解メッキによって形成された金属膜によって形成されている。
【００２７】
配線パターン５１の一方の端部は、それぞれ圧電部材１１の溝３１に形成された電極３３に接続されている。図２に示すように、配線パターン５１の他方の端部は、絶縁材２２の平面２４の端部に位置する。図３に示すように、配線パターン５１は、電極３３と平面２４との間において、圧電部材１１の斜面４２、フランジ上面４３、絶縁材２２の連続面４７を通過する。
【００２８】
図２に示すように、駆動部１４は、平面２４の端部において配線パターン５１に電気的に接続される。駆動部１４は、例えば異方性導電性フィルム（ＡＣＦ）５３によって、配線パターン５１に熱圧着接続される。なお、駆動部１４は、ＡＣＦ５３に限らず、例えば異方導電ペースト（ＡＣＰ）、非導電性フィルム（ＮＣＦ）、および非導電性ペースト（ＮＣＰ）のような他の手段によって、配線パターン５１に接続されても良い。
【００２９】
図１に示すように、駆動部１４は、回路基板５５と、一対のフィルムキャリアパッケージ（以下、ＦＣＰと称する）５６とを有している。なお、ＦＣＰ５６は、テープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）とも称される。
【００３０】
回路基板５５は、コネクタのような複数の部品が実装されたプリント配線板である。ＦＣＰ５６は、柔軟性を有する樹脂製のフィルム５７と、前記複数の導体パターンに接続されたＩＣ５８とをそれぞれ有している。フィルム５７は、テープオートメーテッドボンディング（ＴＡＢ）である。ＩＣ５８は、圧電部材１１の電極３３に電圧を印加するための部品である。ＩＣ５８は、樹脂によってフィルム５７に固定されている。フィルム５７の一方の端部が回路基板５５に接続されるとともに、フィルム５７の他方の端部がＡＣＦ５３によって配線パターン５１に接続されている。
【００３１】
駆動部１４は、インクジェットプリンタの制御部から入力される信号に基いて、配線パターン５１を介して電極３３に電圧を印加する。これにより、圧電部材１１がシェアモード変形し、溝３１に供給されたインクを加圧する。
【００３２】
ノズルプレート１２は、例えばポリイミド製の矩形のフィルムによって形成されている。なお、ノズルプレート１２はこれに限らず、レーザ加工が可能な他の材料によって形成されても良い。ノズルプレート１２は、フレーム１３を介してベースプレート１０に取り付けられ、ベースプレート１０と対向する。
【００３３】
ノズルプレート１２に、複数のノズル６１が設けられている。ノズル６１は、ノズルプレート１２に形成された孔である。図３に示すように、複数のノズル６１は、複数の溝３１にそれぞれ開口している。溝３１で加圧されたインクは、対応するノズル６１から吐出される。
【００３４】
図１に示すように、フレーム１３は、矩形の枠状に形成されている。フレーム１３は、例えばニッケル合金によって形成されている。フレーム１３は、ノズルプレート１２と、絶縁材２２と、絶縁材２２の平面２４に形成された配線パターン５１とに例えば絶縁性の接着剤を用いて接着されている。フレーム１３は、ノズルプレート１２と絶縁材２２との間に介在する。
【００３５】
以下に、インクジェットヘッド１の製造工程の一部について例示する。まず、焼成前のセラミックスシート（セラミックスグリーンシート）で構成されるベースプレート１０に、プレス成形によって排出口２６と供給口２５とを形成する。続いて、このベースプレート１０を焼成する。
【００３６】
次に、例えばディスペンサやスプレーコータ、またはドクターブレード法（例えば、後述する図４の凹部Ｃが形成され得る材料を塗布する場合に用いられる）を用いて、ベースプレート１０の実装面２１に、熱硬化前の絶縁材２２を塗布する。塗布された絶縁材２２の厚さは、例えば１０〜１００μｍである。
【００３７】
図４は、製造過程のインクジェットヘッド１の一部を示す断面図である。図４に示すように、ベースプレート１０に対して加工前の圧電部材１１を接着する。すなわち、ベースプレート１０に塗布された絶縁材２２に、圧電部材１１を形成する圧電板を押し付ける。このとき、一対の圧電部材１１は、図示しない治具によって互いの距離が一定に維持されている。また、一対の圧電部材１１は、当該治具を介して位置決めされる。図４に示すように、絶縁材２２が圧電部材１１に押し下げられることで、絶縁材２２と圧電部材１１との間に凹部Ｃが形成され得る。
【００３８】
次に、絶縁材２２に、複数の供給口２５および複数の排出口２６を開口させる。例えば、ベースプレート１０に供給口２５および排出口２６が形成された位置において、絶縁材２２を穿孔する。
【００３９】
次に、ベースプレート１０を例えばオーブンに入れ、絶縁材２２を加熱する。絶縁材２２は、例えば１００〜２００℃で加熱され、熱硬化させられる。熱硬化した絶縁材２２により、圧電部材１１はベースプレート１０に固着される。
【００４０】
図５は、圧電部材１１が加工された製造過程のインクジェットヘッド１の一部を示す断面図である。図５に示すように、ベースプレート１０に接着された一対の圧電部材１１に対して、研削加工または切削加工を行う。例えば、研削砥石を有した研削盤が、圧電板の角部分を研削し、圧電部材１１の斜面４２を形成する。前記研削盤は、圧電部材１１および絶縁材２２をさらに研削し、圧電部材１１のフランジ上面４３を形成するとともに、絶縁材２２の連続面４７を形成する。上記研削加工により、凹部Ｃは消失する。
【００４１】
次に、圧電部材１１に、溝３１をそれぞれ形成する。例えば、スラーサのような切削加工機が、圧電部材１１を切削し、溝３１を形成する。
【００４２】
次に、サブトラクティブ法によって、複数の電極３３および複数の配線パターン５１を形成する。例えば酸性エッチング液および過マンガン酸カリ溶液により、圧電部材１１および絶縁材２２の表面をエッチングする。次に、圧電部材１１および絶縁材２２の表面に、例えば無電解メッキによってニッケルを析出させる。さらに、電解または無電解メッキによって金を析出させる。
【００４３】
圧電部材１１および絶縁材２２に金属膜を形成した後、当該金属膜の不要な部分を除去し、複数の電極３３および複数の配線パターン５１を形成する。例えば、金属膜の残す部分をレジストで覆い、金属膜の不要な部分をエッチングによって溶解する。または、レーザ照射によるパターニングにより、金属膜の不要な部分を除去する。
【００４４】
続いて、フレーム１３を絶縁材２２に接着する。次に、フレーム１３にノズルプレート１２を接着する。ノズルプレート１２は、フレーム１３に接着されるとともに、圧電部材１１の頂面４１に接着される。
【００４５】
次に、フレーム１３およびノズルプレート１２を接着する接着剤を熱硬化させる。当該接着剤が硬化した後、ノズルプレート１２にレーザを照射して複数のノズル６１を形成する。
【００４６】
次に、絶縁材２２の平面２４に形成された配線パターン５１に、駆動部１４を取り付ける。さらに、ベースプレート１０にインクケース１６を取り付ける。以上により、図１に示すインクジェットヘッド１が形成される。
【００４７】
前記構成のインクジェットヘッド１によれば、圧電部材１１のフランジ上面４３と側端面４４との間の角度が９０〜１８０°である。このため、フランジ上面４３と側端面４４との角部分が欠けることを抑制できる。圧電部材１１の当該角部分が欠けると、当該角部分を通る配線パターン５１が断線したり、配線パターン５１に短絡が生じたりするおそれがある。詳しく述べると、圧電部材１１の欠けがメッキ前に生じた場合、欠けた部分に金属膜が析出する。このため、当該金属膜の除去が困難になり、配線パターン５１に短絡が生じるおそれがある。メッキ後に圧電部材１１の欠けが生じると、欠けた部分に形成された配線パターン５１が消失し、配線パターン５１が断線するおそれがある。したがって、圧電部材１１の角部分の欠けを抑制することで、配線パターン５１に不具合が生じることを抑制できる。
【００４８】
配線パターン５１が通るフランジ上面４３と絶縁材２２の連続面４７とは、面一（段差のない状態）に連続している。このため、配線パターン５１が通る経路に凹凸が形成されることを抑制できる。配線パターン５１が通る経路に凹凸が形成されると、配線パターン５１が断線したり、配線パターン５１に短絡が生じたりするおそれがある。すなわち、配線パターン５１が通る経路に凹凸が形成されることを抑制することで、配線パターン５１に不具合が生じることを抑制できる。
【００４９】
配線パターン５１が絶縁材２２に形成され、駆動部１４が絶縁材２２に形成された配線パターン５１に接続される。このため、駆動電圧の印加が行われる駆動部１４と電極３３との間において、配線パターン５１が絶縁材２２の終端部を通ることがなくなる。したがって、絶縁材２２の終端部の剥がれによって生じる配線パターン５１の断線や短絡が抑制できる。すなわち、配線パターン５１に不具合が生じることを抑制できる。
【００５０】
絶縁材２２の一部である接着部２９が、圧電部材１１をベースプレート１０の実装面２１に固着する。言い換えると、絶縁材２２によって、圧電部材１１の接着と、配線パターン５１が形成される連続面４７および平面２４の形成とがされる。したがって、インクジェットヘッド１の材料コストの増加を抑制できるとともに、インクジェットヘッド１の製造工程の増加を抑制することができる。
【００５１】
絶縁材２２はベースプレート１０の実装面２１に平行な平面２４を有する。言い換えると、絶縁材２２は、実装面２１に均等な厚さで塗布される。これにより、絶縁材２２がベースプレート１０から剥がれ難くなる。さらに、絶縁材２２に、例えばエッチング、レーザパターニング、および研削のような加工をし易くなる。
【００５２】
圧電部材１１に研削加工または切削加工を行う際、絶縁材２２は加工されるが、ベースプレート１０は加工されない。絶縁材２２は、ベースプレート１０よりも軟らかい材料で形成されている。したがって、研削盤のような加工器具が損耗することを抑制できる。
【００５３】
配線パターン５１は、圧電部材１１および絶縁材２２に形成され、ベースプレート１０には形成されない。このため、配線パターン５１を形成する前に行うエッチングを、ベースプレート１０に行わずに済む。圧電部材１１および絶縁材２２は、ベースプレート１０よりも容易にエッチングできる。したがって、強力なエッチング液を用いずに済む。
【００５４】
次に、図６ないし図９を参照して、第２の実施の形態について説明する。なお、以下に開示する少なくとも一つの実施形態において、第１の実施形態のインクジェットヘッド１と同一の機能を有する構成部分には同一の参照符号を付す。さらに、当該構成部分については、その説明を一部または全て省略することがある。
【００５５】
図６は、第２の実施の形態に係るインクジェットヘッド１の一部を示す断面図である。図６に示すように、第２の実施形態において、圧電部材１１はフランジ部３５を有さない。このため、圧電部材１１は、頂面４１と、斜面４２と、側端面４４とを有している。第２の実施形態において、斜面４２が第１の配線形成面の一例である。
【００５６】
側端面４４は、斜面４２と隣り合っている。側端面４４と斜面４２とは、角度θ２で交差している。角度θ２は、例えば１３５°である。なお、角度θ２は、９０°以上で且つ１８０°より小さい他の角度であっても良い。
【００５７】
第２の実施形態における絶縁材２２は、接着部２９を有さない。圧電部材１１は、絶縁材２２とは別の接着剤６２によって、ベースプレート１０の実装面２１に固着されている。接着剤６２は、例えば熱硬化性を有する一液性のエポキシ系接着剤によって形成されている。このように、接着剤６２は、絶縁材２２と同じ材料によって形成されても良いが、絶縁材２２と濃度や材料が異なっても良い。
【００５８】
第２の実施形態における絶縁材２２は、連続面４７を有さない。絶縁材２２は、平面２４と、凹面６３と、連続斜面６４とを有している。連続斜面６４は、第２の配線形成面の一例である。
【００５９】
凹面６３は、平面２４と隣り合うとともに、ベースプレート１０の実装面２１と平行に形成されている。なお、凹面６３は、実装面２１に対して傾斜しても良い。凹面６３は、平面２４よりも実装面２１に近い。言い換えると、凹面６３は、平面２４から窪んでいる。
【００６０】
連続斜面６４は、圧電部材１１の斜面４２に連続している。連続斜面６４と斜面４２とは、面一（段差のない状態）に形成されている。言い換えると、連続斜面６４は、斜面４２と同じく、実装面２１に対して４５°傾斜している。連続斜面６４は、凹面６３と隣り合っている。
【００６１】
以下に、インクジェットヘッド１の製造工程の一部について例示する。なお、第１の実施形態と重複する工程は省略する。  
図７は、製造過程におけるインクジェットヘッド１の一部を示す断面図である。図７に示すように、焼成されたベースプレート１０に、接着剤６２を塗布した加工前の圧電部材１１を接着する。
【００６２】
図８は、絶縁材２２を塗布した製造過程におけるインクジェットヘッド１の一部を示す断面図である。図８に示すように、例えばディスペンサやスプレーコータを用いて、ベースプレート１０の実装面２１に、熱硬化前の絶縁材２２を塗布する。絶縁材２２は圧電部材１１を囲み、加工前の圧電部材１１の側端面４４に付着する。絶縁材２２は表面張力により側端面４４に付着するため、第１の実施形態のような凹部は生じ難い。
【００６３】
図９は、圧電部材１１が加工された製造過程のインクジェットヘッド１の一部を示す断面図である。図９に示すように、絶縁材２２を熱硬化した後、ベースプレート１０に接着された一対の圧電部材１１に対して、研削加工または切削加工を行う。例えば、研削砥石を有した研削盤が、圧電板の角部分を研削し、圧電部材１１の斜面４２を形成する。前記研削盤は、さらに絶縁材２２を研削し、凹面６３および連続斜面６４を形成する。
【００６４】
圧電部材１１を加工した後、第１の実施形態と同様の工程を経て、インクジェットヘッド１が形成される。
【００６５】
前記構成のインクジェットヘッド１によれば、圧電部材１１の斜面４２と側端面４４との間の角度が９０〜１８０°である。このため、斜面４２と側端面４４との角部分が欠けることを抑制できる。したがって、配線パターン５１に不具合が生じることを抑制できる。
【００６６】
配線パターン５１が通る斜面４２と絶縁材２２の連続斜面６４とは、面一に連続している。このため、配線パターン５１が通る経路に凹凸が形成されることを抑制できる。したがって、配線パターン５１に不具合が生じることを抑制できる。
【００６７】
絶縁材２２とは別の接着剤６２によって、圧電部材１１がベースプレート１０の実装面２１に取り付けられる。このため、硬化前の絶縁材２２に圧電部材１１を押し込む第１の実施形態に比べて、圧電部材１１を精度良く実装面２１に取り付けることができる。
【００６８】
圧電部材１１は、フランジ部３５を有さない。このため、第１の実施形態に比べ、圧電部材１１を切削する量を低減できる。したがって、インクジェットヘッド１の材料費を低減できる。
【００６９】
以上述べた少なくとも一つのインクジェットヘッドによれば、圧電部材の第１の配線形成面と側端面とが９０°以上で且つ１８０°よりも小さい角度で交差する。絶縁材は基材の実装面を覆い、前記第１の配線形成面に連続する第２の配線形成面を有する。駆動部は、前記絶縁材に形成された配線パターンに接続される。これにより、配線パターンに不具合が生じることを抑制できる。
【００７０】
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【００７１】
例えば、絶縁材２２は、複数の層を有しても良い。すなわち、絶縁材２２は、ベースプレート１０の実装面２１を覆う層と、第２の配線形成面であるフランジ上面４３または連続斜面６４が設けられた他の層とを有しても良い。
【符号の説明】
【００７２】
１…インクジェットヘッド、１０…ベースプレート、１１…圧電部材、１４…駆動部、２１…実装面、２２…絶縁材、２４…平面、２９…接着部、３１…溝、３３…電極、４２…斜面、４３…フランジ上面、４４…側端面、４７…連続面、５１…配線パターン、６２…接着剤、６３…凹面、６４…連続斜面。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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