(57)【要約】【課題】従来と比較して窒素の無駄を低減することの可能な、金属粉体の成型システムを提供する。【解決手段】ブース１の内部を窒素雰囲気とした状態で、バリ取りコイル７は、取出しクランプ４により固定フード５及びバリ取りコイル７の内側に保持された成形体２５に交番磁界を印加する。交番磁界の印加と略同タイミングでノズル２２からの窒素ブローを行い、成形体２５のバリを除去する。この際に生じる粉塵はブロア２の吸引によりブース内ダクト８に吸引される。バリの除去後、取出しクランプ４により成形体２５を仮置き台１１上に置く。積載クランプ１０を仮置き台１１上の成形体２５の近傍に移動し、積載クランプ１０の吹出し口２４から成形体２５（取出しクランプ４に把持されていた面）に窒素ブローを行う。この際に生じる粉塵はブロア２の吸引によりブース内ダクト８に吸引される。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部を窒素雰囲気にすることが可能なブースと、前記ブース内に窒素を供給する窒素供給手段と、前記ブース内から気体を吸引しフィルタを通して前記ブース内に戻す気体循環手段とを備える、金属粉体の成型システム。
【請求項２】
磁性材料の粉末を金型で圧縮成型する成型機と、前記成型機から成型体を取り出す第１のクランプと、前記第１のクランプに所定位置で把持された成型体に交番磁界を印加するコイルと、前記コイルの一端側に開口し前記気体循環手段の吸引側に連通するダクトと、前記第１のクランプに把持され前記コイルの近傍に位置する成型体に窒素を吹き付ける第１の窒素吹付け手段とを備える、請求項１に記載の金属粉体の成型システム。
【請求項３】
前記第１のクランプに把持され前記コイルの近傍に位置する成型体の周囲を囲む第１のフードを備える、請求項２に記載の金属粉体の成型システム。
【請求項４】
前記第１のクランプにより取り出された成型体を置く仮置き部と、前記仮置き部に置かれた成型体に窒素を吹き付ける第２の窒素吹付け手段と、前記仮置き部の近傍に開口し前記気体循環手段の吸引側に連通するダクトとを備える、請求項２又は３に記載の金属粉体の成型システム。
【請求項５】
前記仮置き部の周囲を囲む第２のフードを備える請求項４に記載の金属粉体の成型システム。
【請求項６】
前記仮置き部に置かれた成型体を取り上げる第２のクランプを備え、前記第２の窒素吹付け手段の窒素吹出し口が前記第２のクランプの所定位置に開口している、請求項４又は５に記載の金属粉体の成型システム。
【請求項７】
前記第２の窒素吹付け手段は、前記仮置き部に置かれた成型体の、前記第１のクランプに把持されていた面に窒素を吹き付ける、請求項４から６のいずれか一項に記載の金属粉体の成型システム。
【請求項８】
前記コイルを通り抜けて前記気体循環手段の吸引側に至る第１の気流路を開閉可能な第１のシャッターと、前記仮置き部の近傍を通って前記気体循環手段の吸引側に至る第２の気流路を開閉可能な第２のシャッターとを備える、請求項４から７のいずれか一項に記載の金属粉体の成型システム。
【請求項９】
前記第１の窒素吹付け手段による窒素吹付け時は前記第１のシャッターを開き前記第２のシャッターを閉じる一方、前記第２の窒素吹付け手段による窒素吹付け時は前記第１のシャッターを閉じ前記第２のシャッターを開く、請求項８に記載の金属粉体の成型システム。
【請求項１０】
前記フィルタの手前で一部の金属粉体を前記気体循環手段の循環経路から分岐して落下させるトラップを備える請求項１から９のいずれか一項に記載の金属粉体の成型システム。
【請求項１１】
前記トラップは、前記気体循環手段の循環経路から分岐した分岐路と、前記分岐路の途中に直列に設けられた第１及び第２のバルブと、前記分岐路の端部に設けられた容器とを有し、前記第１及び第２のバルブの間を境に分離可能であり、かつ、前記第１及び第２のバルブの間を窒素パージが可能である、請求項１０に記載の金属粉体の成型システム。
【請求項１２】
希土類合金磁性粉末を成型対象とする請求項１から１１のいずれか一項に記載の金属粉体の成型システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、希土類合金磁性粉末等の金属粉体を成型する金属粉体の成型システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
図３は、希土類合金磁性粉末の成型から成型体のトレイへの積載までの例示的な工程説明図である。まず、図３（Ａ）のように成型金型のダイ２７（臼）と下パンチ２８で形成されるキャビティに所定量の成型材料２６（希土類合金磁性粉末）を充填する。そして、図３（Ｂ）のように、電磁石３０により磁界を印加しながら上パンチ２９と下パンチ２８で成型材料２６を加圧して磁場中成型することで成型体２５を得る。その後、図３（Ｃ）のように成型体２５を抜き出し、図３（Ｄ）のように取出しクランプ４にて成型体２５を把持する。そして、図３（Ｅ）のように、取出しクランプ４に把持された成型体２５にバリ取りコイル７にて交番磁界（減衰振動磁界）を印加して脱磁を行うとともに、ノズル２２からエアを吹き付け、成型体２５の表面に付着した磁粉を除去する。最後に、図３（Ｆ）のように、積載ロボット２０が成型体２５をトレイ２１に収容する。
【０００３】
ところで、希土類合金磁性粉末は、大気中では急激に酸素に反応して発熱する。また、希土類合金磁性粉末が酸素に触れて酸化すると、磁性粉末としての所望の特性が得られなくなる。そのため、秤量から成型、取出しまでの工程を行う空間全体を区画し、窒素パージにて内部を微陽圧（微正圧）とすることで、希土類合金磁性粉末が酸素に触れること防止する（下記特許文献３）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平４−１５８００７号公報
【特許文献２】実開平１−８４９００号公報
【特許文献３】特開２００７−８３２８０号公報（本出願人提案）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
粉体を扱う以上、避けられないのが粉塵である。例えば、図３（Ｂ）の成型工程において、一部の成型材料は成型されずにバリ３１（磁粉）のまま残り、次工程での粉塵の原因となる。例えば、バリ３１は図３（Ｅ）のバリ取り工程にてエアブローにより除去されるが（特許文献２）、エアブローで舞い上がった粉塵は、窒素パージされた空間内を漂い、最終的にはトレイ２１や積載ロボット２０などの装置に付着することとなる。また、金型にエアブローをする場合（特許文献１）も同様に、金型に付着した磁粉が舞い上がり、窒素パージされた空間内の環境悪化の原因となる。ここで、窒素が通常のエアよりも高価であることを考えると、例えば清掃のため微陽圧の窒素空間を集塵（吸引）したり大気開放するといったことは、多くの窒素が無駄になるため、なるべく回数を減らすことが望ましい。また、多量の窒素放出に伴い酸欠にならないような注意も必要となる点からも、清掃等による窒素放出は極力減らすことが望ましい。
【０００６】
本発明はこうした状況を認識してなされたものであり、その目的は、従来と比較して窒素の無駄を低減することの可能な、金属粉体の成型システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のある態様は、金属粉体の成型システムであり、内部を窒素雰囲気にすることが可能なブースと、前記ブース内に窒素を供給する窒素供給手段と、前記ブース内から気体を吸引しフィルタを通して前記ブース内に戻す気体循環手段とを備える。
【０００８】
磁性材料の粉末を金型で圧縮成型する成型機と、前記成型機から成型体を取り出す第１のクランプと、前記第１のクランプに所定位置で把持された成型体に交番磁界を印加するコイルと、前記コイルの一端側に開口し前記気体循環手段の吸引側に連通するダクトと、前記第１のクランプに把持され前記コイルの近傍に位置する成型体に窒素を吹き付ける第１の窒素吹付け手段とを備えてもよい。
【０００９】
前記第１のクランプに把持され前記コイルの近傍に位置する成型体の周囲を囲む第１のフードを備えてもよい。
【００１０】
前記第１のクランプにより取り出された成型体を置く仮置き部と、前記仮置き部に置かれた成型体に窒素を吹き付ける第２の窒素吹付け手段と、前記仮置き部の近傍に開口し前記気体循環手段の吸引側に連通するダクトとを備えてもよい。
【００１１】
前記仮置き部の周囲を囲む第２のフードを備えてもよい。
【００１２】
前記仮置き部に置かれた成型体を取り上げる第２のクランプを備え、前記第２の窒素吹付け手段の窒素吹出し口が前記第２のクランプの所定位置に開口していてもよい。
【００１３】
前記第２の窒素吹付け手段は、前記仮置き部に置かれた成型体の、前記第１のクランプに把持されていた面に窒素を吹き付けてもよい。
【００１４】
前記コイルを通り抜けて前記気体循環手段の吸引側に至る第１の気流路を開閉可能な第１のシャッターと、前記仮置き部の近傍を通って前記気体循環手段の吸引側に至る第２の気流路を開閉可能な第２のシャッターとを備えてもよい。
【００１５】
前記第１の窒素吹付け手段による窒素吹付け時は前記第１のシャッターを開き前記第２のシャッターを閉じる一方、前記第２の窒素吹付け手段による窒素吹付け時は前記第１のシャッターを閉じ前記第２のシャッターを開いてもよい。
【００１６】
前記フィルタの手前で一部の金属粉体を前記気体循環手段の循環経路から分岐して落下させるトラップを備えてもよい。
【００１７】
前記トラップは、前記気体循環手段の循環経路から分岐した分岐路と、前記分岐路の途中に直列に設けられた第１及び第２のバルブと、前記分岐路の端部に設けられた容器とを有し、前記第１及び第２のバルブの間を境に分離可能であり、かつ、前記第１及び第２のバルブの間を窒素パージが可能であってもよい。
【００１８】
希土類合金磁性粉末を成型対象としてもよい。
【００１９】
なお、以上の構成要素の任意の組合せ、本発明の表現を方法やシステムなどの間で変換したものもまた、本発明の態様として有効である。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、従来と比較して窒素の無駄を低減することの可能な、金属粉体の成型システムを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の実施の形態に係る金属粉体の成型システムの要部概略構成図。
【図２】図１の金属粉体の成型システムの全体概略構成図。
【図３】希土類合金磁性粉末の成型から成型体のトレイへの積載までの例示的な工程説明図。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、図面を参照しながら本発明の好適な実施の形態を詳述する。なお、各図面に示される同一または同等の構成要素、部材等には同一の符号を付し、適宜重複した説明は省略する。また、実施の形態は発明を限定するものではなく例示であり、実施の形態に記述されるすべての特徴やその組み合わせは必ずしも発明の本質的なものであるとは限らない。
【００２３】
図１（Ａ）は、本発明の実施の形態に係る金属粉体の成型システムの要部概略構成図である。図１（Ｂ）は、図１（Ａ）に示す積載クランプ５２及びその近傍の拡大図である。図２（Ａ）は、図１（Ａ）に示す金属粉体の成型システムの全体概略構成を示す平面図である。図２（Ｂ）は同正面図である。なお、図２（Ｂ）と図１（Ａ）の対応関係を示すために、図１（Ａ）の縮小版を図２（Ｃ）として再掲している。
【００２４】
図２（Ａ）に示すように、ブース１は、秤量室１６、成型室１７、及び積載室１８を囲み、外部との気密性を確保している。秤量室１６は、成型材料（希土類合金磁性粉末などの金属粉体）の重量を量る不図示の秤量機を収容している。成型室１７は、秤量機にて計量された成型材料を金型にて圧縮する不図示の成型機（図３（Ｂ）に示す成型工程を実施する装置）を収容している。積載室１８は、後述のバリ取りからトレイ２１への積載までを行う各装置を収容している。積載室１８内の取出しロボット１９は成型機から成型体２５を取り出し、積載ロボット２０は成型体２５をトレイ２１に収容する。なお、秤量室１６、成型室１７、及び積載室１８はゲート弁によって空間的に仕切ることが可能である。また、秤量室１６、成型室１７、及び積載室１８には逆止弁４４〜４６がそれぞれ設けられ、各室は個別に窒素パージ及び排気が可能である。ブロア２は、ブース１内から気体を吸引し、フィルタ３（図１（Ａ））を通してブース１内に戻す気体循環手段として機能する。
【００２５】
図１（Ａ）に示すように、ブース１には窒素供給用の配管５６が接続されており、バルブ５７を開くことでブース１内が窒素パージ可能となっている。取出しクランプ４は、取出しロボット１９（図２（Ａ））の手に相当する。バリ取りコイル７（中空コイル）は、成型体２５に交番磁界（好ましくは減衰振動磁界）を印加する。バリ取りコイル７の一端開口はブース内ダクト８の開口と近接あるいは連通する。バリ取りコイル７の他端開口には第１のシャッター６（図示の例ではスライド式）が設けられてバリ取りコイル７の他端開口が開閉可能となっている。また、バリ取りコイル７の他端近傍には筒状の固定フード５が設けられ、ノズル２２は固定フード５の内側に窒素を噴出可能に設けられる。ブロア２の吸引による、バリ取りコイル７の開口部における吸引速度（面速度）は、第１のシャッター６を開き第２のシャッター１２を閉じた状態で、固定フード５の開口面で約６ｍ／ｓｅｃを目標とし、固定フードの開口面積は例えば２５５００ｍｍ2とする。また、ノズル２２からの窒素ブローの流量は例えば４７０Ｌ／ｍｉｎ、流速は３３ｍ／ｓｅｃとする。
【００２６】
仮置き部としての仮置き台１１は、トレイ２１への積載前の成型体２５を仮置きするために設けられる。仮置き台１１の周囲は網等の窒素吸引が可能な材質である。筒状の上下可動フード９は、仮置き台１１の周囲を囲むように下降可能かつ仮置き台１１の上方に退避可能に設けられる。積載クランプ１０は、積載ロボット２０（図２（Ａ））の手に相当する。積載クランプ１０は、図１（Ｂ）に拡大して示すように、チューブ２３により窒素が供給されるとともに、供給された窒素を噴出する吹出し口２４を有する。仮置き台１１の近傍（下方）にはブース内ダクト８が開口し、この開口からの気流を遮断可能な第２のシャッター１２がブース内ダクト８の開口に開閉自在に設けられる。なお、第２のシャッター１２は図示の回転式に限らずスライド式であってもよい。また、ブース内ダクト８は、バリ取りコイル７側と仮置き台１１側とで共通としているが、別々に設けてもよい。ブース内ダクト８はブース外ダクト１５に連通する。上下可動フード９の開口面積は例えば３５０００ｍｍ2である。また、積載クランプ１０による窒素ブローの流速は５０ｍ／ｓｅｃ、流量は１００Ｌ／ｍｉｎ、成形体２５との距離は２ｍｍ程度で、窒素ブローを行いながら成形体２５を保持しに行くのための下降速度は８０ｍｍ／ｓｅｃである。
【００２７】
ブース外ダクト１５は、ブース１内の気体をブロア２に導く。ブロア２の入口にはバルブ５３が設けられ、出口にはバルブ５４が設けられる。ブロア２は、例えば、２．２ｋｗで処理流量が１０ｍ3／ｍｉｎである。ブロア２の吸引によるブース外ダクト１５の管内流速は１５〜２０ｍ／ｓｅｃである。ブロア２は、フィルタ３を内蔵し、ブース１内から吸引した気体をフィルタ３に通してブース１内に戻す。フィルタ３の濾過面積は例えば６．０ｍ2である。フィルタ３後段には配管３２が接続され、バルブ４７を介してフィルタ３の逆洗用に窒素を供給可能である。逆洗は、フィルタ３に逆方向の気流を流し、目詰まりを吹き飛ばす作業である。
【００２８】
ポット４９は、ブロア２の入り口のバルブ５３から入って落下した粉塵を受けるために設けられる。バルブ５３とポット４９との間（落下路５５）にはバルブ３９,４０が直列に設けられる。ポット４９、バルブ３９,４０、及び落下路５５は、気流に運ばれる粉塵に対するトラップを成す。バルブ３９,４０の間の空間には配管３３が接続され、バルブ４１〜４３を介して窒素を供給可能である。また、バルブ３９,４０の間の空間は逆止弁５１を介して工場ダクト５０に接続されている。ポット４９は、バルブ４０と共に取り外し可能である。
【００２９】
分岐ダクト３６は、ブース外ダクト１５から下方に分岐する。分岐ダクト３６の途中にはバルブ３７,３８が直列に設けられる。ポット４８は、分岐ダクト３６の端部に設けられる。ポット４８、バルブ３７,３８、及び分岐ダクト３６は、気流に運ばれる粉塵に対するもう１つのトラップを成す。バルブ３７,３８の間の空間にも、バルブ３９,４０の間の空間と同様に不図示の配管が接続され、不図示のバルブを介して窒素を供給可能である。ポット４８は、バルブ３８と共に取り外し可能である。
【００３０】
以下、本実施の形態の動作を説明する。
【００３１】
一連の工程に先立ち、ブース１の内部（秤量室１６、成型室１７、及び積載室１８）を配管５６からの窒素供給によりパージし、逆止弁４４〜４６（微差圧チェッキ弁）を通して排気しブース１の内部の気体を置換し、ブース１の内部を大気状態から微陽圧の窒素雰囲気（低酸素状態）とする。パージはブロア２による気体循環を行いながら実施する。以下の各工程も、ブロア２による気体循環を行いながら実施する。秤量機による秤量から成型機（金型）による磁場中成型までは、従来と同様の流れで行う。
【００３２】
取出しロボット１９（図２（Ａ））は、取出しクランプ４（図１（Ａ））により、金型から抜き出された成形体２５を把持して固定フード５及びバリ取りコイル７の内側に搬送する。搬送タイミングに合わせて第１のシャッター６は開かれる。バリ取りコイル７は、取出しクランプ４により固定フード５及びバリ取りコイル７の内側に保持された成形体２５に交番磁界を印加する。交番磁界は、好ましくはＮＳの向きを繰り返し反転しながら徐々に大きさが減衰する磁界である。交番磁界の印加と略同タイミングでノズル２２からの窒素ブローを開始し、取出しクランプ４及びそれに把持された成形体２５の磁粉（バリ）を除去する（窒素の吹き付けにより吹き飛ばす）。このとき、第２のシャッター１２は閉じておく。ノズル２２からの窒素ブローにより生じる粉塵は、ブロア２の吸引によりブース内ダクト８に吸引される。このときの気流は図１（Ａ）に矢印１３で示される。
【００３３】
バリの除去後、取出しロボット１９は、取出しクランプ４により成形体２５を仮置き台１１上に置く。上下可動フード９は、仮置き台１１の下方の退避位置から上昇し、仮置き台１１の周囲を囲む。積載ロボット２０（図２（Ａ））は、積載クランプ１０を仮置き台１１上の成形体２５の近傍に移動し、積載クランプ１０の吹出し口２４から成形体２５に窒素ブローを行う。窒素ブロー（窒素の吹付け）は、少なくとも取出しクランプ４に把持されていた面に対して実施する。取出しクランプ４に把持されていた面のバリは前述のノズル２２からの窒素ブローでは除去できずに残るが、仮置き台１１上での積載クランプ１０による窒素ブローを行うことで、残存したバリの除去が可能となる。積載クランプ１０による窒素ブローの最中は、第２のシャッター１２は開き、第１のシャッター６は閉じておく。積載クランプ１０による窒素ブローにより生じる粉塵は、ブロア２の吸引によりブース内ダクト８に吸引される。このときの気流は図１（Ａ）に矢印１４で示される。積載ロボット２０は、積載クランプ１０による窒素ブローの後、積載クランプ１０により成形体２５を仮置き台１１から取り上げ、トレイ２１（図２（Ａ））に積載する。
【００３４】
ブース内ダクト８に吸引された粉塵は、ブロア２の吸引により窒素とともにブース外ダクト１５をフィルタ３に向かって移動するが、比較的重量のある一部の粉塵は重力により分岐ダクト３６を通ってポット４８内に落下する。また、バルブ５３を通り抜けた粉塵のうち比較的重量のある一部の粉塵は重力により落下路５５を通ってポット４９内に落下する。ポット４８,４９内に落下しなかった粉塵は、ブロア２の吸引により窒素とともにフィルタ３に吸い込まれ、フィルタ３により除去される。フィルタ３を通り抜けた窒素は、バルブ５４を通ってブース１内に戻る。
【００３５】
ポット４９に所定量の粉塵が貯まると、バルブ３９,４０を閉じ、バルブ４０及びポット４９を取り外し、ポット４９から粉塵を安全に除去する。その後バルブ４０及びポット４９を元通りに取り付け、バルブ３９,４０の間の空間を配管３３からの例えば０．４ＭＰａの窒素によりパージしてから、バルブ３９,４０を開く。ポット４８に所定量の粉塵が貯まった場合も同様の作業を行う。これにより、粉塵が酸素に触れたり、ブース１内に酸素が入り込むことを防止できる。
【００３６】
フィルタ３を所定期間使用したら、逆洗を実施する。バルブ４７を開き、配管３２からフィルタ３の後段に例えば０．７ＭＰａの窒素を供給し、フィルタ３の目詰まりを吹き飛ばす。吹き飛ばされた粉塵はポット４９内に落下する。なお、フィルタ３に含まれる例えば９本のフィルタは、一定時間毎に例えば３本ずつ逆洗される。
【００３７】
本実施の形態によれば、下記の効果を奏することができる。
【００３８】
(1) ブロア２によりブース１内の窒素をフィルタ３に通して循環するので、ブース１内に舞う粉塵を吸引除去でき、ブース１内の環境清浄化を図ることができる。また、これにより清掃等の周期を長くすることができ、窒素節約に有利である。
【００３９】
(2) 粉塵が舞いやすいバリ取り用の窒素ブローを行う場所の近傍（バリ取りコイル７の一端、及び仮置き台１１の近傍の各々）にブース内ダクト８が開口しているため、窒素ブローによる粉塵の舞い上がりをブース内ダクト８の開口からの吸引により好適に防止することができる。
【００４０】
(3) ノズル２２からの窒素ブロー時は第１のシャッター６を開き第２のシャッター１２を閉じ、積載クランプ１０の吹出し口２４からの窒素ブロー時は第１のシャッター６を閉じ第２のシャッター１２を開くことで、窒素ブローが行われている成形体２５の近傍での流速を上げることができ、粉塵の吸引効率が高い。
【００４１】
(4) ブース１内を大気状態から低酸素状態にする際にブロア２を作動させており、これによって発生する循環流によってブース１内のガス攪拌が促進され、通常のパージのみでは発生する澱みが発生しにくい。したがって、澱みのための安定化時間（例えば２分）が不要となるので、１回のパージにつき、例えば５,０００Ｌ／分×２分＝１０，０００Ｌの窒素を節約できる。パージ完了までの使用量は例えば５，０００Ｌ／分×２０分（置換時間）＝１００，０００Ｌであり、パージ時のブロア２の作動により約１割に相当する窒素を節約することができる。
【００４２】
(5) 仮置き台１１上の成形体２５の、取出しクランプ４に把持されていた面に積載クランプ１０の吹出し口２４から窒素ブローを行うため、取出しクランプ４に把持されていた面のバリも除去可能である。
【００４３】
(6) ブロア２による循環経路の途中、フィルタ３の前段に、比較的重量のある粉塵をポット４８,４９に収集するトラップを設けているため、フィルタ３が汚れるスピードを遅くすることができる。
【００４４】
以上、実施の形態を例に本発明を説明したが、実施の形態の各構成要素や各処理プロセスには請求項に記載の範囲で種々の変形が可能であることは当業者に理解されるところである。
【符号の説明】
【００４５】
１  ブース、２  ブロア、３  フィルタ、４  取出しクランプ、５  固定フード、６  第１のシャッター、７  バリ取りコイル、８  ブース内ダクト、９  上下可動フード、１０  積載クランプ、１１  仮置き台、１２  第２のシャッター、１３,１４  矢印、１５  ブース外ダクト、１６  秤量室、１７  成形室、１８  積載室、１９  取出しロボット、２０  積載ロボット、２１  トレイ、２２  ノズル、２３  チューブ、２４  吹出し口、２５  成形体、２６  成形材料、２７  ダイ、２８  下パンチ、２９  上パンチ、３０  電磁石、３１  バリ、３２,３３  配管、３６  分岐ダクト、３７〜４３  バルブ、４４〜４６  逆止弁（微差圧逆止弁）、４７  バルブ、４８,４９  ポット、５０  工場ダクト、５１  逆止弁、５２  積載クランプ、５３,５４  バルブ、５５  落下路、５６  配管、５７  バルブ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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