(57)【要約】【課題】回転真空ポンプを提供すること。【解決手段】回転真空ポンプ30は、第1の直径D1を備えるロータディスクを有するポンピングステージの第1のセットIと、第2の異なる直径を備えるロータディスクD2を有するポンピングステージの第2のセットIIとを備え、ポンプロータディスクの直径における上記変化に適合するよう特に構成された中間のポンピングステージ1をさらに備える。本発明によれば、上記中間のポンピングステージは、その内径からその外径へと軸方向に先細りとされた、径方向の外側部分を有するロータディスク5と、その周辺からその中心に向って軸方向に先細りとされたスペーサリング7を含む、対応するステータステージ3とを備えている。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
入口ポート（34）および出口ポート（36）が区画されたポンプハウジング（32）を備える、回転真空ポンプ（30）であって、
前記入口ポートから前記出口ポートへとガスをポンピングするために、前記ポンプハウジング（32）内において、前記入口ポート（34）と前記出口ポート（36）との間に配置された複数のポンピングステージをさらに備え、
前記ポンピングステージのそれぞれは、前記ポンプハウジングに一体とされたステータステージ（12’、12’’）と、前記ハウジング内の中央に配置された回転シャフト（40）に一体とされた、協働するロータディスク（16’、16’’、16b）とを備え、
当該回転真空ポンプは、第1の直径（D1）を備えるロータディスク（16’）を有するポンピングステージ（8’）の第1のセット（I）を備えており、前記ポンピングされたガスの流れ方向に、第2の異なる直径（D2）を備えるロータディスク（16’’）を有するポンピングステージ（8’’）の第2のセット（II）が続き、
中間のポンピングステージ（1）が、前記ポンピングステージ（8’）の第1のセット（I）と前記ポンピングステージ（8’’）の第2のセット（II）との間に介在されており、
この中間のポンピングステージ（1）は、前記第1の直径（D1）と前記第2の直径（D2）との間とされた直径（D）を有し、その内径からその外径に向かって軸方向に先細りとされた、径方向の外側部分（11’）を備えるロータディスク（5）と、前記ロータディスク（5）と協働するステータリング（9）、および、その周辺からその中心に向かって軸方向に先細りとされたスペーサリング（7）を備える、ステータステージ（3）とを備える、回転真空ポンプ。
【請求項２】
前記第1の直径（D1）は前記第2の直径（D2）よりも小さく、前記中間のポンピングステージ（1）の前記ロータディスク（5）の頂面が軸方向に先細りとされており、前記中間のポンピングステージ（1）の前記ステータステージ（3）の前記スペーサリング（7）は上向きに、軸方向に先細りとされている、請求項1に係る回転真空ポンプ（30）。
【請求項３】
前記第1の直径（D1）は前記第2の直径（D2）よりも大きく、前記中間のポンピングステージの前記ロータディスクの底面が軸方向に先細りとされており、前記中間のポンピングステージの前記ステータステージの前記スペーサリングは下向きに、軸方向に先細りとされている、請求項1に係る回転真空ポンプ（30）。
【請求項４】
前記ロータディスクの前記先細りおよび前記中間のポンピングステージの前記ステータステージの前記スペーサリングの前記先細りが、滑らかで連続している、請求項1に係る回転真空ポンプ（30）。
【請求項５】
前記ロータディスクの前記先細りおよび前記中間のポンピングステージの前記ステータステージの前記スペーサリングの前記先細りが、段のある構成により得られる、請求項1に係る回転真空ポンプ（30）。
【請求項６】
前記ロータディスクの前記先細りおよび前記中間のポンピングステージの前記ステータステージの前記スペーサリングの前記先細りが、滑らかで連続した部分と段のある部分との組み合わせにより得られる、請求項1に係る回転真空ポンプ（30）。
【請求項７】
当該回転真空ポンプが、複数のターボ分子ポンピングステージを備える第1の領域と、複数の分子ドラッグポンピングステージを備える第2の領域とを備えるターボ分子ポンプであって、前記ポンピングステージの第1のセット（I）の前記ポンピングステージ、前記ポンピングステージの第2のセット（II）の前記ポンピングステージ、および、前記中間のポンピングステージが、ターボ分子ポンピングステージとされている、請求項1〜6のいずれか1項に係る回転真空ポンプ（30）。
【請求項８】
当該回転真空ポンプが、複数のターボ分子ポンピングステージを備える第1の領域と、複数の分子ドラッグポンピングステージを備える第2の領域とを備えるターボ分子ポンプであって、前記ポンピングステージの第1のセットの前記ポンピングステージ、前記ポンピングステージの第2のセットの前記ポンピングステージ、および、前記中間のポンピングステージが、分子ドラッグポンピングステージとされている、請求項1〜6のいずれか1項に係る回転真空ポンプ（30）。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ポンピング効果を得るために固定のステータリングと協働する、回転するロータディスクを備える種類の回転真空ポンプに関するものである。
【０００２】
より詳しくは、本発明はターボ分子真空ポンプに関するものである。
【背景技術】
【０００３】
回転真空ポンプは、入口ポートおよび出口ポートを有するポンプハウジングと、入口ポートおよび出口ポートの間に配置され、上記入口ポートから上記出口ポートへとガスをポンピングするのに適した複数のポンピングステージとを備える真空ポンプである。
【０００４】
各ポンピングステージは実質的に、ポンプハウジングに一体とされたステータリングと、ポンプハウジングの中央に配置されモータにより高速で回転駆動される回転シャフトに一体とされたロータディスクとからなっている。
【０００５】
ポンプの種類に応じて、高いまたは低い真空度を得ることができる。
【０００６】
ターボ分子ポンプは、10-7ミリバール（すなわち10-5Pa）のオーダの真空度を生成するのに適している。
【０００７】
図1を参照して、ターボ分子ポンプ100は、入口ポート104および出口ポート106が区画されたポンプハウジング102を備えており、複数のポンピングステージが、上記ハウジング102内において、上記入口ポート104と上記出口ポート106との間に配置されている。より詳しくは、ターボ分子ポンプ100は、通常、入口ポート104寄りに配置され、複数のターボ分子ポンピングステージ108aを備える、低圧の第1の領域Aと、ポンピングされたガスの流れ方向に関して上記第1の領域Aの下流に、出口ポート106寄りに配置され、複数の分子ドラッグポンピングステージ108bを備える、高圧の第2の領域Bとを備えている。
【０００８】
ターボ分子ポンピングステージ108aおよび分子ドラッグポンピングステージ108bの両方は、ポンプハウジング102に一体とされた各ステータリング112a、112bと、中央の回転シャフト110に一体とされたロータディスク114a、114bとを備えており、上記ステータリングおよびロータディスクは、ポンピング効果を得るために、互いに協働する。
【０００９】
図2は、ターボ分子ポンピングステージ108aを詳細に示している。上述したように、このようなポンピングステージは、回転シャフト110により回転駆動されるロータディスク114aと協働する固定のステータリング112aを備えている。
【００１０】
ロータディスク114aの機能は主に、ガス分子をポンピングすることにあるが、ステータリング112aの機能は主に、上記ガス分子が、続くポンピングステージのロータディスク114a’により遮断およびポンピングされる前に、それらの速度分布を連続的に変化させることにある。
【００１１】
ステータリング112aおよびロータディスク114aの両方には、径方向のブレード116a、118aがそれぞれ設けられており、径方向のブレード116a、118aは、ガス分子のポンピングを行うために、周方向に等しく間隔を空けられて、回転面に対して反対のリードにより方向付けられている。
【００１２】
ロータおよびステータブレードの数ならびにそれらの形状は、ポンピングステージの性能に大きく影響する。より詳しくは、協働するステータリングとロータディスクとの間の軸方向の隙間は、満足な性能を（すなわち達成可能な真空度に関して）得るために、狭く保たれていなければならない。
【００１３】
ロータディスク114aは通常、それらのブレード118aとともに、フライス加工により得られる。
【００１４】
ステータリング112aも、それらのブレード116aとともに、フライス加工により得ることもできる。しかし、この技術は非常に高価であるため、ステータリングは押圧により得るのが好ましい。この技術の使用により、多くの制限および制約がステータリングの形状に課せられるが、製造コストを顕著に低減することができる。
【００１５】
多くのターボ分子ポンプでは、ターボ分子ポンピングステージのロータディスクはすべて同じ直径を有している。
【００１６】
しかし、異なる直径を備えるロータディスクを有するのが好ましい、特定の用途が存在する。
【００１７】
図3は、このような用途に適した先行技術のターボ分子ポンプ200の一部を、非常に模式的な仕方で示している。このターボ分子ポンプ200の低圧の領域は、より小さい直径を有するロータディスク214a’を備えるターボ分子ポンピングステージ208a’の第1のセットIを備え、より大きな直径を有するロータディスク214a’’を備えるターボ分子ポンピングステージ208a’’の第2のセットIIが（ポンピングされたガスの流れ方向に）続いている。
【００１８】
上述したように、ロータディスク214a’、214a’’は、共通の回転シャフト210により支持されており、ロータブレード218a’、218a’’が設けられている。
【００１９】
各ターボ分子ポンピングステージも、対応するステータステージ212a’、212a’’を含んでおり、ステータステージ212a’、212a’’は、ポンプハウジング202に一体とされて、対応するブレードの付いたステータリング216a’、216a’’を支持する、実質的に円筒形状のスペーサリング220a’、220a’’を備えている。
【００２０】
図3の構成において、ポンプハウジング202、および、それに一体とされたステータステージ212a’、212a’’が、ロータディスクの直径変化を許容するよう形成されていることは明らかである。より詳しくは、ロータ直径移行領域にあるポンピングステージのステータステージは、ポンプハウジング壁の輪郭に沿うように、L字形状の断面を有するスペーサリング220a＊を備えている。
【００２１】
しかし、そのような公知の解決策は深刻な欠点の影響を受ける。なぜなら、軸方向の大きな隙間222は、ロータ直径移行領域（すなわちL字形状のスペーサリング220a＊）に形成されるからである。
【００２２】
このような軸方向の隙間には、ポンピングステージ性能の著しい低下が伴う。
【００２３】
隙間222の軸方向の寸法は、スペーサリング220a＊の厚みを低減することにより、低減されてもよい。しかし、スペーサリング220a＊は、その機械的な安定性を保証するのに十分な厚みでなければならず、それにより、一定の限度を超えて軸方向の隙間222の軸方向の寸法を低減する可能性はなくなる。
【００２４】
上記欠点を克服するために、ロータ直径移行領域に、特別に設計された形状を有し、軸方向の隙間を最小限に低減するために単一の部品として形成されたスペーサリングおよびブレードの付いたステータリングを備えるステータステージを設けることも可能である。
【００２５】
しかし、この種の解決策を実行するには、フライス加工により、ロータ直径移行領域にステータステージを形成する必要があり、それによって、製造コストが増加する場合がある。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００２６】
ゆえに、本発明の主な目的は、第1の直径を備えるロータディスクを有するポンピングステージの第1のセットと、第2の異なる直径を備えるロータディスクを有するポンピングステージの第2のセットとを備える回転真空ポンプであって、ポンプ性能を最適化するために、ポンピングステージのロータディスクおよび協働するステータステージの間の軸方向の隙間を、ロータ直径移行領域においてさえ、製造コストを増加させることなく、非常に狭く保つことができる、回転真空ポンプを提供することにある。
【００２７】
より詳しくは、本発明の主な目的は、ポンプロータ直径における変化に適合するよう特別に設計されたポンピングステージを備える回転真空ポンプを提供することにより、先行技術の欠点を克服することである。
【００２８】
すなわち、本発明の主な目的は、第1の直径を備えるロータディスクを有するポンピングステージの第1のセットと、第2の異なる直径を備えるロータディスクを有するポンピングステージの第2のセットとを備える回転真空ポンプであって、上記ポンピングステージの第1のセットと上記ポンピングステージの第2のセットとの間に配置するのに適しており、そのロータディスクとその協働するステータステージとの間の軸方向の隙間（および、隣接するポンピングステージとの軸方向の隙間）を非常に狭く保つことができるように設計された、ポンピングステージをさらに備える、回転真空ポンプを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００２９】
本発明に係る回転真空ポンプは、第1の直径を備えるロータディスクを有するポンピングステージの第1のセットと、第2の異なる直径を備えるロータディスクを有するポンピングステージの第2のセットとを備えており、さらに、上記ポンピングステージの第1のセットと上記ポンピングステージの第2のセットとの間に配置するのに適した中間のポンピングステージであって、その内径からその外径へと軸方向に先細りとされた、径方向の外側部分を有するロータディスクと、その周辺からその中心に向って軸方向に先細りとされたスペーサリングを備える、対応するステータステージとを備える中間のポンピングステージを備えている。
【００３０】
このような中間のポンピングステージのロータディスクの直径が、上記第1の直径と上記第2の直径との間とされることになるのは明らかである。
【００３１】
ロータディスクと、対応するステータステージのスペーサリングとの、適合する先細りとされた形状により、上記中間のポンピングステージの軸方向の隙間が非常に狭く保たれ、その結果、ポンプ性能の低下が回避される。
【００３２】
本発明の実施形態によれば、回転真空ポンプはターボ分子ポンプであって、ポンピングステージのロータディスクには、複数の径方向のブレードが設けられている。対応して、上記中間のポンピングステージでは、ロータディスクのブレードの、径方向の外側部分が軸方向に先細りとされており、ステータステージは、ブレードの付いたステータリングと、軸方向に先細りとされたスペーサリングとを備えている。
【００３３】
本発明の実施形態によれば、ロータディスクおよび/またはステータステージのスペーサリングの先細りは、滑らかで連続している。
【００３４】
代替案として、ロータディスクおよび/またはステータステージのスペーサリングの先細りは、段のある構成により得られてもよい。
【００３５】
さらなる代替案として、ロータディスクおよび/またはステータステージのスペーサリングの先細りはまた、上記解決策の組み合わせにより得られてもよい。例えば、図示した例では、ステータステージ3のスペーサリング7が、段のある構成を有する第1の部分7’と、滑らかに連続して先細りとされた第2の部分7’’とを備えている。
【００３６】
有利なことに、請求された解決策により、押圧により得られたステータリングを、ロータ直径移行領域に設けられた中間のポンピングステージのステータリングを含めて、すべてのポンプで使用することができ、それにより、高価な製造技術の必要が全くなくなる。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】先行技術に係るターボ分子ポンプの断面図である。
【図２】図1のポンプのターボ分子ポンピングステージの斜視図である。
【図３】先行技術に係る別のターボ分子ポンプの一部の模式的な断面図である。
【図４】本発明に係るターボ分子ポンプの一部を示す、模式的な断面図である。
【図５】図4のターボ分子ポンプのロータの立面図である。
【図６】図4のターボ分子ポンプの一部の断面を示す立面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３８】
本目的および他の目的は、添付の特許請求の範囲で請求された回転真空ポンプにより達成される。
【００３９】
本発明のさらなる特徴および利点が、添付図面を参照して、非限定的な例により示す実施形態の詳細な説明により、明らかにされるであろう。
【００４０】
図4〜図6は、本発明に係る回転真空ポンプがターボ分子ポンプである、本発明の非限定的な実施形態に言及している。
【００４１】
図3に示すものと同様に、ポンプ入口ポート寄りに配置されるのに適しており、複数のターボ分子ポンピングステージを備えるターボ分子ポンプの低圧の領域を図4に示す。
【００４２】
各ターボ分子ポンピングステージ8’、8’’はステータステージ12’、12’’を備えており、ステータステージ12’、12’’は、ターボ分子ポンプのポンプハウジングに一体とされており、上記ポンプハウジングの中央に取り付けられた回転シャフト14により回転駆動されるロータディスク16’、16’’と協働する。
【００４３】
各ロータディスク16’、16’’には、周方向に等しく間隔を空けられた径方向のブレード22’、22’’が設けられており、各ステータステージ12’、12’’は対応して、スペーサリング18’、18’’と、周方向に等しく間隔を空けられた径方向のブレードが設けられたステータリング20’、20’’からなっている。
【００４４】
図4に示すターボ分子ポンプは、第1の直径D1を有するロータディスク16’を備えるターボ分子ポンピングステージ8’の第1のセットIを備えており、矢印Fにより示されるポンピングされたガスの流れ方向に、第2の異なる直径D2を有するロータディスク16’’を備えるターボ分子ポンピングステージ8’’の第2のセットIIが続いている。
【００４５】
詳しくは、図示した例では、ターボ分子ポンピングステージの第1のセットIの第1の直径D1は、ターボ分子ポンピングステージの第2のセットIIの第2の直径D2よりも小さくされている。
【００４６】
本発明によれば、中間のターボ分子ポンピングステージ1が、ターボ分子ポンピングステージ8’の第1のセットIとターボ分子ポンピングステージ8’’の第2のセットIIとの間に設けられている。
【００４７】
上記中間のポンピングステージは、ポンプハウジングに一体とされスペーサリング7およびブレードの付いたステータリング9を備えるステータステージ3と、ポンプ回転シャフトに一体とされた、協働するロータディスク5とを備えている。
【００４８】
ロータディスク5は、ロータディスクの第1のセットIの第1の直径D1とロータディスクの第2のセットIIの第2の直径D2の間とされた直径Dを有している。
【００４９】
ロータディスク5には、周方向に等しく間隔を空けられた複数の径方向のブレード11が設けられている。ステータステージ3は対応して、ポンプハウジングの壁に一体とされたスペーサリング7と、上記スペーサリングにより支持され、周方向に等しく間隔を空けられた傾斜したブレードを有するステータリング9とからなっている。
【００５０】
本発明によれば、中間のポンピングステージ1のロータディスクの、径方向の外側部分は、その内径からその外径に向かって軸方向に先細りとされており、上記中間のポンピングステージのステータステージのスペーサリングは対応して、その周辺からその中心に向かって軸方向に先細りとされている。
【００５１】
図4の実施形態を参照して、ターボ分子ポンピングステージ1のロータディスク5のブレード11の、径方向の外側部分11’は、それらの内径からそれらの外径へと軸方向に先細りとされており、ステータステージ3のスペーサリング7は対応して、その周辺からその中心に向かって軸方向に先細りとされている。
【００５２】
この構成により、ロータディスク5とステータステージ3との間の軸方向の隙間が、軸方向および径方向の両方に、狭く保たれる。
【００５３】
本発明に係るポンピングステージ1と、隣接するポンピングステージとの間の軸方向の隙間も狭く保たれる。
【００５４】
同時に、スペーサリング7が全体として、その機械的な安定性を保証するのに十分な大きさの厚みを持つ。
【００５５】
さらに、スペーサリングおよびステータリングが別体の部品として形成されており、複雑な形状が必要とされないため、押圧により得られたブレードの付いたステータリング9を好適に使用することができ、それにより、製造コストが低く保たれる。
【００５６】
ロータディスクおよび/またはステータステージのスペーサリングの先細りは、滑らかで連続していてもよい。例えば、図示した例では、ロータブレード11の外側部分11’の先細りは滑らかで連続している。
【００５７】
代替案として、ロータディスクおよび/またはステータステージのスペーサリングの先細りは、段のある構成により得られてもよい。
【００５８】
さらなる代替案として、ロータディスクおよび/またはステータステージのスペーサリングの先細りはまた、上記解決策の組み合わせにより得られてもよい。例えば、図示した例では、ステータステージ3のスペーサリング7が、段のある構成を有する第1の部分7’と、滑らかに連続して先細りとされた第2の部分7’’とを備えている。
【００５９】
ターボ分子ポンピングステージの第1のセットIの第1の直径D1が、ターボ分子ポンピングステージの第2のセットIIの第2の直径D2よりも小さくされている、図示した例では、ロータディスク5の（より詳しくは、そのブレード11の）頂面が軸方向に先細りとされており、対応して、ステータステージ3のスペーサリング7が上向きに、軸方向に先細りとされている。
【００６０】
ターボ分子ポンピングステージの第1のセットIの直径がターボ分子ポンピングステージの第2のセットIIの直径よりも大きい場合、ロータディスク（または、そのブレード）の底面は軸方向に先細りとされることになり、対応して、ステータステージのスペーサリングは下向きに、軸方向に先細りとされることになるのは明らかである。
【００６１】
次に図5を参照して、本発明に係るターボ分子ポンプのロータを示す。
【００６２】
ポンプロータは、回転シャフト14に支持される複数のロータディスク16’、16’’、16bを備えている。より詳しくは、ポンプロータは、ポンプハウジングの入口ポート寄りに配置するよう意図され、ブレードの付いた複数のロータディスク16’、16’’を備える第1の領域Aと、ポンピングされたガスの流れ方向において第1の領域Aの下流に配置され、複数の滑らかなロータディスク16bを備える第2の領域Bとを備えている。
【００６３】
ポンプロータの第1の領域Aを特に参照して、より小さい直径を有するロータディスク16’の第1のセットIと、より大きい直径を有するロータディスク16’’の第2のセットIIとが設けられている。本発明によれば、中間の直径を有し、それらの内径からそれらの外径に向かって軸方向に先細りとされた、径方向の外側部分を有するブレード11を備えた中間のロータディスク5が、より小さい直径を有するロータディスク16’の第1のセットIと、より大きい直径を有するロータディスク16’’の第2のセットIIとの間に介在されている。
【００６４】
次に図6を参照して、本発明に係るターボ分子ポンプ30を示す。
【００６５】
上記ターボ分子ポンプ30は、ポンプ入口34およびポンプ出口36が設けられたハウジング32を備えている。上記ハウジング32に一体とされた対応するステータステージ12’、12’’と協働する、上記ロータのターボ分子ロータディスク16’、16’’が、複数のターボ分子ポンピングステージを形成するように、図5に示すポンプロータが、ハウジング32内に取り付けられている。対応して、上記ハウジング32に一体とされた対応するステータステージ（図示せず）と協働する、上記ロータの分子ロータディスク（図示せず）が、上記ターボ分子ポンピングステージの下流に配置された複数のドラッグ分子ポンピングステージを形成する。
【００６６】
図6に明らかに示すように、ターボ分子ポンプ30は、第1の直径を備えるロータディスク16’を有するポンピングステージの第1のセットIと、第2の異なる直径を備えるロータディスク16’’を有するポンピングステージの第2のセットIIとを備えており、それはさらに中間のポンピングステージ1を備えており、中間のポンピングステージ1は、上記第1の直径と上記第2の直径との間とされた直径を有し、その内径からその外径に向かって軸方向に先細りとされた、径方向の外側部分を備えるロータディスク5と、上記ロータディスク5と協働するステータリング9、および、その周辺からその中心に向って軸方向に先細りとされたスペーサリング7を備える、ステータステージ3とを備えている。
【００６７】
より小さい直径を有するロータディスク16’を備えるターボ分子ポンピングステージの第1のセットIと、より大きい直径を有するロータディスク16’’を備えるターボ分子ポンピングステージの第2のセットIIとの間における、このような中間のターボ分子ポンピングステージ1の介在により、ロータディスクと、協働するステータリングとの間の軸方向の隙間を、ポンプ全体を通じたポンピングされたガスの通路全体に沿って、狭く保つことができる。
【００６８】
ゆえに、本発明に係る回転真空ポンプが、上述した目的を達成することは明らかである。
【００６９】
また、上記説明が非限定的な例としてのみ示されており、添付の特許請求の範囲に規定するように、本発明の範囲を逸脱することなく、いくつかの修正が可能であることも明らかである。
【００７０】
より詳しくは、図示した実施形態はターボ分子ポンプに言及しているが、本発明が、滑らかなステータリングと協働する滑らかなロータディスクを備える分子ドラッグポンピングステージを備える分子ポンプに適用されてもよいことも明らかである。
【００７１】
さらに、図示した実施形態は、スペーサリングおよび別体のステータリングを備えるステータステージに言及しているが、添付の特許請求の範囲に規定するように、本発明の範囲を逸脱することなく、スペーサリングおよびステータリングが単一の部品に一体化されていてもよい（すなわち、ステータステージが単一の部品として形成されていてもよい）ことは明らかである。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【外国語明細書】
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【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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