(57)【要約】【課題】  長尺部材の破断を抑制するとともに、従来と比較して長尺部材の速度を上げることが可能な薄膜の形成装置等を提供する。【解決手段】  ダイス５ａとダイス５ｂが筒状部３を介して離間して一直線上に配置される。ダイス５ａ、５ｂは、それぞれ、上部のダイス部６と、下部のガイド部８とから構成される。筒状部３の端部は、ダイス５ａ、５ｂとシール部材１５を介して接触する。筒状部３には、減圧装置７が接続される。したがって、減圧装置７によって、筒状部３内部は減圧される。この際、筒状部３とダイス５ａ、５ｂの間にはシール部材１５が設けられるため、筒状部３とダイス５ａ、５ｂとの隙間から、エア等がリークすることを防止することができる。なお、筒状部３は、例えば石英管である。【選択図】図１
2014210217.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
長尺部材への塗膜材の塗布装置であって、
第１のダイスと、
前記第１のダイスと離間して配置される第２のダイスと、
前記第１のダイスと前記第２のダイスとの間に配置される筒状部と、
を具備し、
前記第１のダイスは、前記第１のダイスを通過する長尺部材に塗膜材を連続して塗布可能であり、
前記第２のダイスは、前記第２のダイスを通過する長尺部材に液状部材を連続して塗布可能であり、
前記第１のダイスと前記筒状部の間、および前記第２のダイスと前記筒状部との間がシールされ、
前記筒状部には減圧装置が接続され、前記筒状部の内部を減圧することが可能であることを特徴とする塗膜材の塗布装置。
【請求項２】
前記筒状部は、隔壁によって、溶媒供給部と減圧部に区分されており、前記溶媒供給部には揮発した溶媒が導入され、前記減圧部には、前記減圧装置が接続され前記第１のダイスから導出された長尺部材は、前記溶媒供給部を通過し、前記隔壁に形成された孔を通過して、前記減圧部に導入することを特徴とする請求項１記載の塗膜材の塗布装置。
【請求項３】
長尺部材への塗膜材の塗布方法であって、
第１のダイスと、前記第１のダイスと離間して配置される第２のダイスと、前記第１のダイスと前記第２のダイスとの間に配置される筒状部と、を具備する塗装装置を用い、前記筒状部には減圧装置が接続され、前記第１のダイスと前記筒状部の間、および前記第２のダイスと前記筒状部との間がシールされ、
前記第１のダイスに塗膜用の塗料を供給しつつ前記第１のダイスに長尺部材を連続して通過させ、前記第１のダイスで表面に塗膜材が塗布された長尺部材を減圧された前記筒状部に通過させ、前記塗膜材を乾燥させ、前記第２のダイスに液状部材を供給しつつ、前記塗膜材が乾燥した長尺部材を前記第２のダイスに通過させ、
前記第１のダイスと長尺部材の間が前記塗膜材でシールされ、前記第２のダイスと長尺部材との間が前記液状部材によりシールされることを特徴とする長尺基材への塗膜形成方法。
【請求項４】
前記液状部材は、前記塗膜材によって形成された塗膜に対して相溶性を有さず、前記液状部材を乾燥させることで、長尺部材上に前記塗膜材による塗膜のみを形成することを特徴とする請求項３記載の長尺基材への塗膜形成方法。
【請求項５】
前記液状部材は、前記塗膜材によって形成された塗膜に対して相溶性を有さず、前記液状部材を乾燥させることで、基材上に形成された前記塗膜材による塗膜上に保護膜を形成することを特徴とする請求項３記載の長尺基材への塗膜形成方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、長尺部材の表面に塗膜材を塗布する塗膜材の塗布装置およびこれを用いた長尺部材への塗膜材形成方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば太陽電池パネルのような発電機器は、基材に機能性薄膜を形成して作製される。このような機能性薄膜は、例えば、真空蒸着やＣＶＤ等の各種の大型・真空プロセスの他、小さなプロセス領域や非真空系を用いたロール・ツー・ロールプロセス等によって形成される。
【０００３】
一方、特に高速でこのような機能性薄膜を形成する方法として、ダイスによる塗布方法がある。ダイスによる塗布方法では、数百ｍ／分以上での塗膜形成が可能である。
【０００４】
図４は、長尺部材へ塗膜材を塗布する従来の塗布装置１００を示す概略断面図である。ダイス１０１は、上部のダイス部１１１と、下部のガイド部１１２とから構成される。上部のダイス部１１１には、キャビティ１１３が設けられ、図示を省略した塗膜材供給部から、所定量の塗膜材が連続して供給される（図中矢印Ｈ方向）。長尺部材１０５は、ダイス１０１内（ダイス部１１１とガイド部１１２の間）を通過する。この際、塗膜材１０３を長尺部材１０５の上面のみに塗布する場合は、長尺部材１０５の下面は、ガイド部１１２の上面に接触する。一方、ダイス部側と長尺部材１０５の上面には隙間が設けられる。なお、塗膜材１０３を長尺部材１０５の上面と下面の両方に塗布する場合は、ダイス部側と長尺部材１０５の上面および下面に隙間が設けられる。
【０００５】
このような、ダイスによって塗膜材を塗布する方法としては、例えば、長尺基材を連続的に移送しながら、その一方の表面に所定の間隔をおいて対向配置されたキャビティを有する塗布ダイスを用いて、塗布ダイスのキャビティ内へ所定の圧力で材料溶液を供給しながら、材料溶液により生じる塗布ダイスへの反発力が所定の値に保たれるように塗布ダイスへの荷重を制御する薄膜形成方法がある(特許文献１)。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１０−２７４２４１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
一方、塗膜材１０３の種類によっては、長尺部材１０５に塗布された塗膜材１０３を、図示を省略した加熱ヒータ等によって加熱して乾燥する必要がある。この場合には、長尺部材１０５を連続的に移動させながら、加熱範囲において、塗膜材１０３が乾燥するだけの加熱を行う必要がある。したがって、長尺部材１０５の速度を速めるためには、加熱ヒータによる発熱量を高める必要がある。
【０００８】
しかし、加熱ヒータの加熱を強くしすぎると、部分的な過熱などよって長尺部材１０５が破断する恐れがある。したがって、このような長尺部材１０５の破断を防止するとともに、塗膜材１０３を十分に乾燥させるためには、長尺部材１０５の移動速度には限界があった。
【０００９】
本発明は、このような問題に鑑みてなされたもので、長尺部材の破断を抑制するとともに、従来と比較して長尺部材の速度を上げることが可能な薄膜の形成装置等を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
前述した目的を達するために第１の発明は、長尺部材への塗膜材の塗布装置であって、第１のダイスと、前記第１のダイスと離間して配置される第２のダイスと、前記第１のダイスと前記第２のダイスとの間に配置される筒状部と、を具備し、前記第１のダイスは、前記第１のダイスを通過する長尺部材に塗膜材を連続して塗布可能であり、前記第２のダイスは、前記第２のダイスを通過する長尺部材に液状部材を連続して塗布可能であり、前記第１のダイスと前記筒状部の間、および前記第２のダイスと前記筒状部との間がシールされ、前記筒状部には減圧装置が接続され、前記筒状部の内部を減圧することが可能であることを特徴とする塗膜材の塗布装置である。
【００１１】
前記筒状部は、隔壁によって、溶媒供給部と減圧部に区分されており、前記溶媒供給部には揮発した溶媒が導入され、前記減圧部には、前記減圧装置が接続され前記第１のダイスから導出された長尺部材は、前記溶媒供給部を通過し、前記隔壁に形成された孔を通過して、前記減圧部に導入してもよい。
【００１２】
第１の発明によれば、一対のダイスの間に筒状部を設け、筒状部内を減圧することで、短時間で塗膜材を乾燥させることができる。このため、乾燥の際の加熱温度を過剰に高くする必要がなく、長尺部材の破断を抑制することができる。
【００１３】
また、一対のダイスと筒状部との間はシールされるため、筒状部内を効率よく減圧することができる。また、一対のダイスには、それぞれ、塗膜材と液状部材が供給され、長尺部材がそれぞれのダイスを通過する際、ダイスと長尺部材との隙間が塗膜材または液状部材で塞がれる。このため、より効率よく筒状部内を減圧することができる。
また、このようにダイス間を密閉することで、乾燥時における異物の付着を防止できるとともに、減圧のために吸引したガスから溶媒を回収することで溶媒の再利用も可能である。
【００１４】
また、筒状部の内部を隔壁によって分割し、塗膜材を塗布するダイスの出側を溶媒供給部とすることで、ダイスの出口近傍での塗膜材の乾燥を防止することができる。このため、ダイスの出口近傍に、塗膜材の固形物などが付着することを防止することができる。また、隔壁の後方は減圧部となるため、塗膜材を効率よく乾燥させることができる。
【００１５】
第２の発明は、長尺部材への塗膜材の塗布方法であって、第１のダイスと、前記第１のダイスと離間して配置される第２のダイスと、前記第１のダイスと前記第２のダイスとの間に配置される筒状部と、を具備する塗装装置を用い、前記筒状部には減圧装置が接続され、前記第１のダイスと前記筒状部の間、および前記第２のダイスと前記筒状部との間がシールされ、前記第１のダイスに塗膜用の塗料を供給しつつ前記第１のダイスに長尺部材を連続して通過させ、前記第１のダイスで表面に塗膜材が塗布された長尺部材を減圧された前記筒状部に通過させ、前記塗膜材を乾燥させ、前記第２のダイスに液状部材を供給しつつ、前記塗膜材が乾燥した長尺部材を前記第２のダイスに通過させ、前記第１のダイスと長尺部材の間が前記塗膜材でシールされ、前記第２のダイスと長尺部材との間が前記液状部材によりシールされることを特徴とする長尺基材への塗膜形成方法である。
【００１６】
前記液状部材は、前記塗膜材によって形成された塗膜に対して相溶性を有さず、前記液状部材を乾燥させることで、長尺部材上に前記塗膜材による塗膜のみを形成することが望ましい。
【００１７】
前記液状部材は、前記塗膜材によって形成された塗膜に対して相溶性を有さず、前記液状部材を乾燥させることで、基材上に形成された前記塗膜材による塗膜上に保護膜を形成してもよい。
【００１８】
第２の発明によれば、筒状部を減圧することで、長尺部材に効率よく塗膜材を塗布することができる。また、塗膜材と液状部材とが相溶性を有しないため、液状部材を塗布した際に、乾燥した塗膜材が再度溶解することを防止することができる。また、液状部材が揮発性の高いものであれば、液状部材を揮発させることで、長尺部材には、塗膜材による薄膜のみを残存させることができる。
【００１９】
また、液状部材が塗膜材と相溶性を有さず、液状部材を乾燥させると、保護膜を形成することで、長尺部材に容易に保護膜を形成することができる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、長尺部材の破断を抑制するとともに、従来と比較して長尺部材の速度を上げることが可能な薄膜の形成装置等を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】塗布装置１の構造を示す断面図。
【図２】塗布装置１の部分拡大図であり、（ａ）は図１のＥ部拡大図、（ｂ）は図１のＦ部拡大図。
【図３】塗布装置１ａの構造を示す断面図。
【図４】従来の塗布装置１００の構造を示す断面図。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態について説明する。図１は、塗布装置１を示す側方断面図である。塗布装置１は、主に、筒状部３、ダイス５ａ、５ｂ、減圧装置７等から構成される。なお、以下の説明において、基材である長尺部材９の上面に対して塗膜材１１を塗布する方法について説明する。
【００２３】
ダイス５ａとダイス５ｂが筒状部３を介して離間して一直線上に配置される。ダイス５ａ、５ｂは、それぞれ、上部のダイス部６と、下部のガイド部８とから構成される。ガイド部８は、長尺部材９を下方から保持する部材である。すなわち、長尺部材９は、ガイド部８と接触する。ダイス部６は、ガイド部８の上方に配置される。ダイス部６は、内部にキャビティ１０を有する。ダイス部６の例えば長尺部材９の供給側の側面には配管が接続される。
【００２４】
ダイス５ａのダイス部６内部のキャビティに対して、外部の図示を省略した加圧容器もしくはディスペンサー等の塗膜材供給部から、配管を介して塗膜材１１を連続して送り込むことができる（図中矢印Ｂ方向）。このとき、塗膜材１１の圧力もしくは流量が制御される。
【００２５】
同様に、ダイス５ｂのダイス部６内部のキャビティに対して、外部の図示を省略した加圧容器もしくはディスペンサー等の液状部材供給部から、配管を介して液状部材１３を連続して送り込むことができる（図中矢印Ｃ方向）。このとき、液状部材１３の圧力もしくは流量が制御される。
なお、塗膜材１１の材質は、例えばＰＶＤＦ（ＰｏｌｙＶｉｎｙｌｉｄｅｎｅ  ＤｉＦｌｕｏｒｉｄｅ）、ＰＺＴ（ｌｅａｄ  ｚｉｒｃｏｎａｔｅ  ｔｉｔａｎａｔｅ）、Ｐ３ＨＴ（ｐｏｌｙ（３−ｈｅｘｙｌｔｈｉｏｐｈｅｎｅ−２，５−ｄｉｙｌ））、ＰＣＢＭ（［６，６］−Ｐｈｅｎｙｌ−Ｃ６１−Ｂｕｔｙｒｉｃ  Ａｃｉｄ  Ｍｅｔｈｙｌ  Ｅｓｔｅｒ）、ＰＥＤＯＴ：ＰＳＳ（ｐｏｌｙ（３，４−ｅｔｈｙｌｅｎｅｄｉｏｘｙｔｈｉｏｐｈｅｎｅ）：ｐｏｌｙ（ｓｔｙｒｅｎｅ  ｓｕｌｆｏｎａｔｅ））などの物質を、水、トルエン、クロロホルム、ジクロロベンゼン、アセトンなどの溶媒に溶解したものであるが、必ずしもこれらに限定されるものではない。
【００２６】
図２（ａ）は、筒状部３とダイス５ａとの接続部近傍の拡大図である。筒状部３の端部は、ダイス５ａ（ダイス部６またはガイド部８）とシール部材１５を介して接触する。シール部材１５は、例えばＯリングである。すなわち、筒状部３とダイス５ａとの間は気密に接合される。
【００２７】
同様に、図２（ｂ）は、筒状部３とダイス５ｂとの接続部近傍の拡大図である。筒状部３の端部は、ダイス５ｂ（ダイス部６またはガイド部８）とシール部材１５を介して接触する。シール部材１５は、例えばＯリングである。すなわち、筒状部３とダイス５ｂとの間は気密に接合される。
【００２８】
筒状部３には、減圧装置７が接続される。したがって、減圧装置７によって、筒状部３内部は減圧される。この際、筒状部３とダイス５ａ、５ｂの間にはシール部材１５が設けられるため、筒状部３とダイス５ａ、５ｂとの隙間から、エア等がリークすることを防止することができる。なお、筒状部３は、例えば石英管である。
【００２９】
図２（ａ）に示すように、ダイス５ａのガイド部８とダイス部６との間を長尺部材９が通過する。この際、長尺部材９の上面側が、ダイス部６のキャビティに露出する。長尺部材９とダイス部６の内面との間の隙間には、塗膜材１１が充填されている。したがって、長尺部材９の上面側は、キャビティ内の塗膜材１１と接触し、長尺部材９とダイス部６の内面との間の隙間が塞がれる。
【００３０】
なお、長尺部材９の両側面とダイス部６およびガイド部８の内側面との間にはわずかに隙間が形成される。長尺部材９の側面には、必ずしも塗膜材１１を塗布する必要がない場合もあるが、長尺部材９と、ダイス部６およびガイド部８の内側面との間に隙間が形成されないと、長尺部材９を、塗布装置１内をスムーズに通過させることができない。したがって、長尺部材９を塗布装置１内で高速で通過させることが可能な程度に、可能な限り小さな隙間が形成される。なお、この隙間は、塗膜材１１によって塞がれる。
【００３１】
長尺部材９の下面の少なくとも一部は、ダイス５ａのガイド部８と接触する。ここで、ガイド部８上を進行する長尺部材９には、キャビティ内の塗膜材１１の圧力が付与されるとともに、長尺部材９の供給および巻き取り装置により所定の張力が与えられる。また、長尺部材９は、張力が付与された状態（直線状）に対して、ガイド部８によって、やや上方に持ち上げられた状態で保持される。すなわち、長尺部材９によってガイド部８は、下方へ押さえつけられる。このようにすることで、ダイス５ａのガイド部８と長尺部材９とを密着させ、長尺部材９の下面とガイド部８との隙間が塞がれる。
【００３２】
同様に、図２（ｂ）に示すように、ダイス５ｂのガイド部８とダイス部６との間を長尺部材９が通過する。この際、長尺部材９の上面側が、ダイス部６のキャビティに露出する。長尺部材９とダイス部６の内面との間の隙間には、液状部材１３が充填されている。したがって、長尺部材９の上面側は、キャビティ内の液状部材１３と接触し、長尺部材９とダイス部６の内面との間の隙間が塞がれる。
【００３３】
なお、長尺部材９の両側面とダイス部６およびガイド部８の内側面との間には、長尺部材９を塗布装置１内で高速で通過させることが可能な程度に、可能な限り小さな隙間が形成される。なお、この隙間は、液状部材１３によって塞がれる。
【００３４】
長尺部材９の下面の少なくとも一部は、ダイス５ｂのガイド部８と接触する。ここで、ガイド部８上を進行する長尺部材９には、キャビティ内の液状部材１３の圧力が付与されるとともに、長尺部材９の供給および巻き取り装置により所定の張力が与えられる。また、長尺部材９は、張力が付与された状態（直線状）に対して、ガイド部８によって、やや上方に持ち上げられた状態で保持される。すなわち、長尺部材９によってガイド部８は、下方へ押さえつけられる。このようにすることで、ダイス５ｂのガイド部８と長尺部材９とを密着させ、長尺部材９の下面とガイド部８との隙間が塞がれる。
【００３５】
前述したように、減圧装置７を稼働させると、筒状部３内部のエア等を吸引することができる（図中矢印Ｄ）。また、筒状部３は、ダイス５ａ、５ｂとの隙間がシール部材１５で塞がれるとともに、ダイス５ａ、５ｂと長尺部材９との隙間が、塗膜材１１または液状部材１３で塞がれる。したがって、筒状部３内を確実に減圧状態に保つことができる。
【００３６】
ここで、塗膜材１１は、溶剤系の液状部材である。すなわち、溶剤が揮発することで塗膜材が乾燥し、塗膜が形成される。前述したように、筒状部３の内部は減圧されている。したがって、従来の常圧下と比較して、溶剤をより速く揮発させることができる。したがって、従来よりも高速に長尺部材９を移動させても、塗膜材を乾燥させることができる。特に、本発明では、長尺部材９とダイス部６との隙間が、塗膜材１１または液状部材１３で塞がれるため、長尺部材９とダイス部６との隙間からエア等が浸入することを防止し、効率よく減圧を保つことができる。
【００３７】
なお、筒状部３の外周部に、図示を省略した加熱装置を配置してもよい。この場合でも、従来の常圧下と比較して、より低温で塗膜材を乾燥させることができる。このため、過熱による長尺部材９の破断等を防止することができる。
【００３８】
なお、ダイス部６の入口形状は長尺部材９の幅方向に一様な形状が望ましいが、円形であっても良い。
【００３９】
ここで、長尺部材９は、長手方向に連続した部材であり、例えば、径が数μｍ〜数ｍｍであり、断面が丸、矩形等の繊維状基材（線状体）であってもよく、幅が数ｍｍ以上で厚さが数μｍ〜数ｍｍの平板状基材であってもよい。また、長尺部材９の材質は例えば、ガラス、樹脂、金属であるが、必ずしもこれらに限定されるものではない。
【００４０】
次に、長尺部材９の表面に塗膜材１１に塗膜を形成する方法について説明する。長尺部材９は、ホビン等から供給装置（図示省略）により、長尺部材９前処理装置（図示省略）へ送られる。供給装置から連続して巻き出される長尺部材９は、前処理装置によっての表面の洗浄・表面改質が行われる。例えば、走行する長尺部材９に対して所定の成分のガス（プラズマが望ましい）や液体を照射もしくは浸漬して長尺部材９の表面の洗浄や表面改質が行われる。
【００４１】
前処理装置の後工程には塗布装置１が配置される。なお、前処理装置から塗布装置１にかけては不活性ガスを満たす等により長尺部材９が外気にさらされない構造にするのが望ましい。塗布装置１に導入された長尺部材９は、まず、ダイス５ａを通過する（図中矢印Ａ方向）。この際、ダイス５ａのダイス部６内に供給される塗膜材１１が長尺部材９の上面に塗布される。なお、塗膜材１１の塗布量は、ダイス部６と長尺部材９上面とのギャップおよび塗膜材１１の供給圧力によって制御される。
【００４２】
ダイス５ａから出た長尺部材９は、筒状部３内部を通過する。前述したように、筒状部３では、長尺部材９に塗布された塗膜材１１が乾燥する。この際、筒状部３とダイス５ａ、５ｂとの隙間がシール部材１５で塞がれるとともに、ダイス５ａ、５ｂと長尺部材９との隙間が、塗膜材１１または液状部材１３で塞がれる。したがって、筒状部３内を確実に減圧状態に保つことができる。
【００４３】
筒状部３を通過し、塗膜材１１が乾燥して塗膜が形成された長尺部材９は、ダイス５ｂに導入される。ダイス５ｂでは、ダイス５ｂのダイス部６内に供給される液状部材１３が長尺部材９の塗膜上面に塗布される。ここで、液状部材１３としては、塗膜材１１と相溶性がないものが適用される。このようにすることで、液状部材１３によって塗膜が溶解することがない。
【００４４】
また、液状部材１３としては、例えば、揮発性の高いアルコールや水など、乾燥による残渣のないものが望ましい。このようにすることで、ダイス５ｂを通過後、液状部材１３を完全に乾燥させると、長尺部材９上には塗膜のみを形成することができる。
【００４５】
また、液状部材１３としては、塗膜材１１と相溶性がなく、塗膜上に保護層を形成可能なものでもよい。保護膜を形成可能であれば、液状部材１３は例えば紫外線硬化樹脂等であってもよい。
【００４６】
このようにして、長尺部材９に所望の厚みの塗膜が形成された後、長尺部材９が図示を省略した巻き取り装置によって巻き取られる。このようにして、塗膜材１１が塗布された長尺部材９を形成することができる。
【００４７】
以上説明したように、本実施の形態によれば、減圧された筒状部３内に塗膜材１１が塗布された長尺部材９を通過させるため、塗膜材１１の高速乾燥が可能となる。したがって、長尺部材９の線速を上げても、塗膜材１１の乾燥能力を確保することができる。
【００４８】
特に、筒状部３とダイス５ａ、５ｂの間にはシール部材１５が設けられるため、筒状部３とダイス５ａ、５ｂの間からエア等がリークすることがない。また、ダイス部６と長尺部材９との間は、塗膜材１１または液状部材１３によって塞がれるため、この隙間からエア等がリークすることがない。
【００４９】
また、液状部材１３を完全に揮発させることで、長尺部材９上には塗膜のみを形成することができる。また、液状部材１３によって塗膜材による塗膜上に保護膜を積層することもできる。
【００５０】
次に、第２の実施の形態について説明する。図３は、塗布装置１ａを示す側方断面図である。なお、以下の説明において、塗布装置１と同様の構成については、図１、図２と同様の符号を付し、重複する説明を省略する。塗布装置１ａは、塗布装置１と同様の構成を具備するが、隔壁部１７および溶媒供給装置１９が用いられる点で異なる。
【００５１】
塗布装置１ａでは、筒状部３が、隔壁部１７によって内部が区分される。ダイス５ａ側の筒状部３には、溶媒供給装置１９が接続される。ダイス５ｂ側の筒状部３には、減圧装置７が接続される。すなわち、筒状部３の内部が、溶媒供給装置１９と接続された溶媒供給部と、減圧装置７が接続された減圧部に区分される。
【００５２】
なお、隔壁部１７と筒状部３との間には、図示を省略したシール部材が設けられる。隔壁部１７には、長尺部材９が貫通可能な孔が設けられる。隔壁部１７の孔は、長尺部材９に対して十分に大きいため、隔壁部１７と長尺部材９（および長尺部材９に塗布された塗膜材１１）と接触することがない。
【００５３】
ダイス５ａから出た長尺部材９は、筒状部３の溶媒供給部に導入される。溶媒供給部には、溶媒供給装置１９から揮発した溶媒が供給される。このため、溶媒供給部内の溶媒の分圧が上昇する。したがって、溶媒供給部内においては、塗膜材１１の溶媒の揮発が進行せず、乾燥が抑制される。
【００５４】
次に、長尺部材９は、溶媒供給部から隔壁部１７を介して、減圧部に導入される。減圧部では、前述したように、長尺部材９に塗布された塗膜材１１が乾燥する。すなわち、隔壁部１７で区分されたダイス５ａ側の溶媒供給部においては、塗膜材１１の乾燥を抑制し、ダイス５ｂ側の減圧部において、塗膜材１１の乾燥を促進させる。
【００５５】
第２の実施の形態によれば、第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。また、溶媒供給部において、塗膜材１１の乾燥を抑制するため、ダイス５ａのダイス部６の出口近傍に、塗膜材１１の固形物（塗膜材１１が付着したものが直ちに乾燥して固化したもの）の付着および堆積を抑制することができる。このため、長尺部材９上に塗布された塗膜材１１への汚れや傷の発生を抑制することができる。
【００５６】
また、隔壁部１７は、長尺部材９と接触することがないため、減圧部側の壁面等に塗膜材１１が付着することがない。このため、塗膜材１１の固形物の付着や堆積を防止することができる。
【００５７】
なお、溶媒供給部に供給された溶媒は、隔壁部１７の孔を通って減圧部側に流入するが、溶媒供給部に対して減圧部の大きさを十分に大きくし、減圧装置７によって内部の溶媒を吸引することで、減圧部を減圧状態に保持することができる。
【実施例】
【００５８】
以下に、本発明の一実施例を示す。図３に示す塗布装置１ａを用いて長尺部材へ塗膜材を塗布した。
長尺部材９として、厚さ１００μｍのポリエチレンテレフタラート（ＰＥＴ）に酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）が製膜されたものを幅５ｍｍにスリット加工したものを用いた。塗膜材としては、導電性ポリマー材料であるｐｏｌｙ（３，４−ｅｔｈｙｌｅｎｅｄｉｏｘｙｔｈｉｏｐｈｅｎｅ）：ｐｏｌｙ（ｓｔｙｒｅｎｅ  ｓｕｌｆｏｎａｔｅ）  （ＰＥＤＯＴ：ＰＳＳ）  水分散液（Ｈｅｒａｅｕｓ社製：ＣＬＥＶＩＯＳ  Ｐ  ＡＩ  ４０８３（商品名））を用いた。また、液状部材としてはトルエンを用いた。
【００５９】
長尺部材の進行速度を５ｍ／ｍｉｎとし、長尺部材９の表面に厚さ約１５０ｎｍの塗膜を形成した。このとき、ダイス５ａと隔壁部１７により形成された溶媒供給部には溶媒としてトルエンを供給した。また、筒状部内部を１０ｋＰａに減圧するとともに、塗膜材１１を乾燥・熱処理装置によって１５０℃を超えない温度で乾燥した。
さらに、塗膜が形成された長尺部材９を巻き取り装置によって巻き取った。以上により、長尺部材の表面に塗膜が形成された。
【００６０】
本実施例によれば、塗膜材１１の高速乾燥が可能となり、筒状部内部を減圧しない場合と比較して約２倍の速度で塗膜の形成が可能であった。また、溶媒供給部を設けたことで、ダイス５ａのダイス部６の出口近傍に塗膜材１１が付着することがなく、形成された塗膜には塗膜材１１の固形物の付着や堆積が観察されなかった。
【００６１】
以上、添付図を参照しながら、本発明の実施の形態を説明したが、本発明の技術的範囲は、前述した実施の形態に左右されない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された技術的思想の範疇内において各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
【００６２】
例えば、塗布装置１、１ａにおいて、塗膜材１１が揮発した溶媒をより効率よく減圧装置７に流すために、減圧部に、乾燥空気などの気体を、減圧レベルが確保できる程度にわずかに導入することもできる。
また、塗膜材１１を長尺部材９の上面に形成する場合の例を示したが、上面と下面の両方に塗布する場合にも用いることができる。
【符号の説明】
【００６３】
１、１ａ………塗布装置
３………筒状部
５ａ、５ｂ………ダイス
６………ダイス部
７………減圧装置
８………ガイド部
９………長尺部材
１０………キャビティ
１１………塗膜材
１３………液状部材
１５………シール部材
１７………隔壁部
１９………溶媒供給部
１００………塗布装置
１０１………ダイス部
１０３………塗膜材
１０５………長尺部材
１１１………ダイス部
１１２………ガイド部
１１３………キャビティ
【図１】
2014210217.tif 000003
【図２】
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【図３】
2014210217.tif 000005
【図４】
2014210217.tif 000006