(57)【要約】【課題】低温環境下に晒された電子部品を検査する部品検査装置において、電子部品を運搬する移載手段に対する防霜や凍結防止措置を講じて、装置の安定動作を実現した部品検査装置を提供する。【解決手段】電子部品Ｄを検査する検査部２１が配置された低温環境下の検査室２と移載室３とを隣接して配置し、電子部品Ｄを検査部２１へ搬送する回転テーブル６上へ移載するロータリーピックアップ８を移載室３に配置する。回転テーブル６は、検査室２と移載室３とを仕切る壁部５から移載室３へ一部はみ出して配置し、ロータリーピックアップ８は、そのはみ出した越境区間Ｂで電子部品Ｄを回転テーブル６に移載する。【選択図】図１
2014062765.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
低温環境下に晒して電子部品を検査する部品検査装置であって、
室内が低温環境下に調整された検査室と、
前記検査室と隣接して配置された移載室と、
前記検査室と前記移載室とを仕切る壁部と、
前記壁部に設けられた開口部と、
前記検査室に配設され、前記開口部を通して前記移載室に越境する越境区間を一部に有する周回経路と、
前記電子部品を当該周回経路に沿って搬送する搬送手段と、
前記移載室に配置され、検査前の電子部品を待機させる待機領域と、
前記移載室に配置され、前記待機領域と前記越境区間との間を往復運動することで、前記待機領域の電子部品を前記越境区間で前記周回経路に移載する移載手段と、
前記検査室に配置され、前記周回経路上の電子部品を検査する検査手段と、
を備えること、
を特徴とする部品検査装置。
【請求項２】
前記移載室内を除霜する除霜手段を更に備えること、
を特徴とする請求項１記載の部品検査装置。
【請求項３】
前記移載室に配置され、前記移載室から前記検査室に入る電子部品に対して、前記越境区間上でエアを吹き付けるブロアを更に備えること、
を特徴とする請求項１又は２記載の部品検査装置。
【請求項４】
前記移載室に配置され、前記検査室から前記移載室に出た電子部品に対して、前記越境区間上でエアを吹き付けるブロアを更に備えること、
を特徴とする請求項１乃至３の何れかに記載の部品検査装置。
【請求項５】
前記検査室内の気圧は、前記移載室よりも高いこと、
を特徴とする請求項１乃至４の何れかに記載の部品検査装置。
【請求項６】
前記搬送手段は、前記電子部品を個々に収容可能な複数のポケットが円周に沿って形成された円盤状の回転テーブルであり、
前記周回経路は、前記ポケットの回転軌跡であり、
前記回転テーブルは、前記検査室に回転中心を有するとともに、一部が前記開口部を通じて前記移載室にはみ出して配置されていること、
を特徴とする請求項１乃至５の何れかに記載の部品検査装置。
【請求項７】
冷却空気を前記検査室内部に供給する冷却手段を更に備えること、
を特徴とする請求項１乃至６の何れかに記載の部品検査装置。
【請求項８】
前記待機領域へ電子部品を搬送するフィーダを更に備えること、
を特徴とする請求項１乃至７の何れかに記載の部品検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、高温又は低温環境下に晒して電子部品を検査する部品検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子部品は、オーディオ、テレビ、パソコン等、屋内使用が想定された機器の他、自動車のＩＴ化に伴い自動車用として多種多用な用途で用いられるようになっている。そのため、自動車の使用する環境、極端な例では、砂漠地帯や北極圏等、主に高温下や低温下での使用に対応する性能が求められている。
【０００３】
しかし、例えば半導体装置は、シリコン基板上にアルミ配線等により構成されているペレット、それを搭載している銅やガラエポ等の基板、それらを接続する金、アルミ、半田等の配線、そして全体を保護する樹脂で構成されている。このように電子部品は、各種部品を複合的に用いているために、それぞれ熱膨張係数、熱抵抗が異なり、常温時の特性と例えば砂漠などの高温下、北極圏などの低温下での特性が異なり、最悪の場合、高低温環境下において動作しない場合がある。
【０００４】
また、電子部品は、熱膨張係数が異なる各種部品を複合的に用いているために、常温において組み立てた時点からの温度変化により、部品に含まれる物質がそれぞれ膨張し、最悪の場合には部品全体にクラックが発生してしまい、電子部品本来の機能を喪失してしまうことが考えられる。また、熱抵抗も部品を構成する物質の性質により異なるため、常温時に得た電気的特性が高低温下では得られなくなる場合がある。
【０００５】
従って、高い信頼性が求められる自動車用途などの分野においては、電子部品、特に半導体装置を用いる場合、常温に加えて高温下又は低温下での電気特性検査が要求されている。高温下とは一般的には１００℃前後、低温下とは一般的には−４０℃程度を指す。
【０００６】
そこで、例えば低温下での使用を想定して、低温環境下のチャンバ内でＩＣの品質の検査を行うＩＣ用低温ハンドラが提案されている（特許文献１参照）。この技術は、チャンバ内を低温環境下に保ちつつ、湿分を含んだ外気がチャンバ内に混入しないように構成し、かつチャンバ内に流入する空気全体の湿分による装置の冷却部に対する着霜を防止することを目的としたものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平６−１４８２６８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
一般的に、低温環境下のチャンバ内には、品質検査実施箇所に対して電子部品を移載する移載手段が配置される。例えば、移載手段は、電子部品の待機領域から品質検査実施箇所又は品質検査実施箇所に通じる経路に電子部品を運搬するアームである。アームには、電子部品の保持部の他、保持部を円軌道や直線軌道に沿って平行移動させる可動部分、保持部を昇降させる可動部分が存在する。また、保持部は、真空発生装置に繋がる吸着ノズルであり、真空発生により電子部品を吸着して、真空破壊により電子部品を離脱させる方式も採用され得る。
【０００９】
しかし、−４０℃程度の低温環境下では、移載手段の可動部分に霜が付いたり、凍り付いたりする虞があり、移載手段の安定動作を妨げてしまい、電子部品の検査ミスが発生しやすくなる。また、保持部として吸着ノズルを採用した場合には、ノズル内部が霜により狭窄したり閉塞したりして、電子部品の移動中の落下が発生しやすくなる。霜や凍結を取り除こうとすれば、機器を頻繁に停止してメンテナンスを行わねばならず、作業効率が低下してしまう。
【００１０】
従って、低温環境下に晒された電子部品の一層精度の高い検査や作業効率の更なる向上を目指すには、冷却部への着霜防止の他に、移載手段に対しても防霜や凍結防止措置を講じる必要があった。
【００１１】
防霜や凍結防止に対応した移載手段を実現するには、材質の見直し、電子部品の移動方式の見直し、可動機構の見直し、電子部品の保持方式の見直し、更には使用温度範囲が低温寄りの高価なグリースの採用等が必要となる。しかしながら、そのような汎用品とは異なる格別な専用の移載手段は、コスト上の制約が大きく立ちはだかり、また信頼性に問題が生じやすく、その実現に困難性がつきまとっていた。
【００１２】
本発明は、上記のような従来技術の問題点を解決するために提案されたものであり、その目的は、低温環境下に晒された電子部品を検査する部品検査装置において、電子部品を運搬する移載手段に対する防霜や凍結防止措置を講じて、装置の安定動作を実現した部品検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明に係る部品検査装置は、低温環境下に晒して電子部品を検査する部品検査装置であって、室内が低温環境下に調整された検査室と、前記検査室と隣接して配置された室内が常温の移載室と、前記検査室と前記移載室とを仕切る壁部と、前記壁部に設けられた開口部と、前記検査室に配設され、前記開口部を通して前記移載室に越境する越境区間を一部に有する周回経路と、前記電子部品を当該周回経路に沿って搬送する搬送手段と、前記移載室に配置され、検査前の電子部品を待機させる待機領域と、前記移載室に配置され、前記待機領域と前記越境区間との間を往復運動することで、前記待機領域の電子部品を前記越境区間で前記周回経路に移載する移載手段と、前記検査室に配置され、前記周回経路上の電子部品を検査する検査手段と、を備えること、を特徴とする。
【００１４】
また、前記移載室内を除霜する除霜手段を更に備えるようにしてもよい。
【００１５】
前記移載室に配置され、前記検査室から前記移載室に出た電子部品に対して、前記越境区間上でエアを吹き付けるブロアを更に備えるようにしてもよい。
【００１６】
前記移載室に配置され、前記移載室から前記検査室に入る電子部品に対して、前記越境区間上でエアを吹き付けるブロアを更に備えるようにしてもよい。
【００１７】
前記検査室内の気圧は、前記移載室よりも高くしてもよい。
【００１８】
前記搬送手段は、前記電子部品を個々に収容可能な複数のポケットが円周に沿って形成された円盤状の回転テーブルであり、前記周回経路は、前記ポケットの回転軌跡であり、前記回転テーブルは、前記検査室に回転中心を有するとともに、一部が前記開口部を通じて前記移載室にはみ出して配置されているようにしてもよい。
【００１９】
冷却空気を前記検査室内部に供給する冷却手段を更に備えるようにしてもよい。
【００２０】
前記待機領域へ電子部品を搬送するフィーダを更に備えるようにしてもよい。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、移載手段の可動部分や、移載手段に塗布されているグリースが凍り付くことはなく、移載手段の安定動作が実現され、電子部品の移載ミス等も少なくなり、作業効率が向上する。また、移載手段に突発的なメンテナンスを要する事態が発生しても、移載室内での作業が検査室内に及ぶことはなく、検査室の低温環境は維持され、メンテナンスが容易となるとともに、部品検査装置の速やかな再稼働も可能とする。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】部品検査装置の内部構造を示す上面図である。
【図２】部品検査装置の内部構造を示す側面図である。
【図３】部品検査装置の移載室内部を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
（構成）
以下、本発明に係る部品検査装置１の実施形態について図１乃至３を参照しつつ詳細に説明する。図１乃至３に示す部品検査装置１は、外部から投入された電子部品Ｄを低温環境下に晒して検査する。電子部品Ｄは、電気製品に使用されるチップ形状の部品であり、例えばトランジスタやダイオード等のディスクリード半導体や集積回路等の半導体装置である。低温環境下は−２０℃〜−４０℃程度である。電子部品Ｄに対する検査は、例えば電気特性検査である。電気特性検査では、電子部品Ｄの電圧、電流、抵抗、又は周波数等の電気特性を測定する。
【００２４】
この部品検査装置１は、隣接配置された検査室２と移載室３を有する。検査室２は、六面が壁で囲まれて概略密閉された空間であり、室内が低温環境下に調整されている。すなわち、部品検査装置１は、冷却空気を検査室２へ供給する冷却機構４を備えている。冷却機構４は、検査室２内から排気された空気を冷凍サイクルの利用により冷却し、検査室２へ送風する。冷却空気の風量は、検査室２内の温度をパラメータとして制御されており、検査室２内の温度は一定の低温環境下に保たれている。電子部品Ｄは、この低温環境下の検査室２で検査される。
【００２５】
移載室３は検査室２と断熱材で形成された壁部５によって仕切られている。この移載室３は、検査室２の室内温度よりも高い約−１０℃超を使用温度範囲とする一般用グリースが使用可能な室内温度となっており、例えば常温であり、更に除霜が図られている。すなわち、部品検査装置１は、移載室３の除霜機構３１を備えている。例えば、除霜機構３１は、移載室３から排気された空気を除湿して移載室３に送風する。
【００２６】
この移載室３は、外部から搬入された電子部品Ｄを検査室２内の周回経路へ移載する前室、及び検査後の電子部品Ｄを装置から取り出す後室となり、電子部品Ｄの移載及び取り出し活動を行う移載手段を低温環境下から防護する空間ともなっている。
【００２７】
すなわち、部品検査装置１には、電子部品Ｄを低温環境下で検査する検査部２１が配置される検査室２とは別に移載室３が設けられ、移載手段は其の移載室３に設置されることで、移載手段は低温環境下である検査室２とは隔離される。そのため、検査部２１へ至るための周回経路は、移載室３へ越境する一部の越境区間Ｂを有する。そして、移載手段は、外部から搬入されて移載室３内の待機領域Ｗで待機している電子部品Ｄを、越境区間Ｂにて周回経路に載せ替える。
【００２８】
具体的には、部品検査装置１は、更に、電子部品Ｄを低温環境下で検査する検査部２１、電子部品Ｄを収容して検査部２１へ搬送する回転テーブル６、検査対象の電子部品Ｄを待機領域Ｗまで運搬するフィーダ７、待機領域Ｗの電子部品Ｄを回転テーブル６に移載するロータリーピックアップ８を備え、それらが検査室２と移載室３に配分されている。
【００２９】
検査部２１の収容先は検査室２である。電気特性検査を行う検査部２１は、電子部品Ｄの電極と対向するように配置された接触子を有する。また、検査部２１は、接触子が接続された回路に配置された電流計、電圧計、及び周波数カウンタ等の各種の電気特性検査装置を備えている。この検査部２１は、電子部品Ｄの電極と接触した接触子を介して電流を注入し、又は電圧を印加し、電子部品Ｄの電圧、電流、抵抗、又は周波数等の電気特性を測定する。印加と測定を共通の接触子で行うシングルコンタクト方式と、印加と測定を別々の接触子で行うケルビンコンタクト方式のどちらを採用してもよい。
【００３０】
回転テーブル６は、電子部品Ｄの周回経路を形成し、周回経路上の電子部品Ｄを検査部２１へ搬送する搬送手段である。この回転テーブル６は、円盤形状を有し、１ピッチずつ間欠的に回転するモータＭの回転軸に円盤中心で軸支されている。テーブル表面には、複数のポケットＰが円盤の円周に沿って掘設されている。すなわち、一定の深さで掘り下げられている。ポケットＰは、電子部品Ｄを収容する穴であり、電子部品Ｄが収容可能な広さ、深さ、及び形状を有する。このポケットＰの回転軌跡が電子部品Ｄの周回経路となる。
【００３１】
この回転テーブル６は、電子部品Ｄの周回経路上の一点が検査部２１と重ねて配置される。回転テーブル６は、大部分が検査室２内に収容されるが、一部は移載室３へはみ出して配置される。検査室２と移載室３とを仕切る壁部５には横長の開口部５１が設けられている。この開口部５１から３つ分のポケットＰが移載室３へ飛び出るように、回転テーブル６は配置される。換言すると、越境区間Ｂは３つ分のポケットＰが並ぶ長さを有する。
【００３２】
尚、例えば冷却機構４の送風により、検査室２の気圧は移載室３よりも高く設定される。このため、検査室２と移載室３とが開口部５１により開通していても、移載室３内の温暖空気の検査室２への逆流は阻止されている。
【００３３】
ロータリーピックアップ８は、電子部品Ｄの移載及び取り出し活動を行う移載手段であり、待機領域Ｗとなるシュータ部７１の終端から電子部品Ｄを受け取って、越境区間Ｂに対して電子部品Ｄを移載する装置であり、低温環境下からの防護対象である。
【００３４】
このロータリーピックアップ８は、移載室３内において、フィーダ７のシュータ部７１の終端と回転テーブル６の越境区間Ｂとを跨いで設けられている。ロータリーピックアップ８は、越境区間Ｂに並ぶ中央のポケットＰに電子部品Ｄを入れ込む。すなわち、ロータリーピックアップ８は、可動部分として、電子部品Ｄの保持部８１と、当該保持部８１を円周軌跡を描いて回転させるモータ８２と、当該保持部８１を昇降させる駆動部８３とを備える。これら可動部分は、可動容易のために一般用グリースが塗布されている。
【００３５】
保持部８１は、中心から放射状に延びた同長のフレーム８４の先端に各々取り付けられており、下端で電子部品Ｄを保持する。例えば、図１乃至３に示すように、ロータリーピックアップ８は、４機の保持部８１を備えている。４機の保持部８１は、９０度間隔で設けられており、１８０度対向する一対の保持部８１が電子部品Ｄの周回経路への移載用となり、他の一対の保持部８１が周回経路からの電子部品Ｄの取り出し用となる。
【００３６】
この保持部８１は、例えば吸着ノズルである。吸着ノズルは、真空発生装置の空気圧回路とチューブを介して連通したパイプであり、真空発生装置による負圧の発生によって電子部品Ｄを吸着し、真空破壊によって電子部品Ｄを離脱させる。
【００３７】
モータ８２は、フレーム８４が集合する基端部に接続され、保持部８１を円周軌跡を描くように間欠回転させる。モータ８２の間欠回転は、保持部８１がシュータ部７１の終端及び越境区間Ｂの中央のポケットＰの直上に停止するように調整される。
【００３８】
駆動部８３は、シュータ部７１の終端と越境区間Ｂの中央のポケットＰの直上に各々設けられている。この駆動部８３は、モータ８２の回転をカム機構によりロッドの進出運動に変換し、ロッドの進出に応じて、ロッド先端と保持部８１の頭部に対する接触、更なるロッドによる保持部８１の押し込みを発生させ、それにより保持部８１をシュータ部７１の終端及びポケットＰに向けて降下させる。また、駆動部８３は、保持部８１を上方に付勢するバネ部を有し、モータ８２のトルク発生を解除することで、バネ部により保持部８１を持ち上げさせ、それにより保持部８１を上昇させる。
【００３９】
フィーダ７は、電子部品Ｄが投入されるボウル部７２と、電子部品Ｄを待機領域Ｗまで運搬するシュータ部７１とを連接させて構成されている。ボウル部７２は、多数の電子部品Ｄが投入される擂り鉢状の容器であり、螺旋状に上縁へ登る溝が内周面に刻設されている。シュータ部７１は、直線状のレールであり、終端は移載室３内に収容されている。ボウル部７２に刻設された溝の上縁端部と、シュータ部７１のレールの始点とは連結されている。ボウル部７２とシュータ部７１は、それぞれ振動発生器に取り付けられている。振動によりボウル部７２に投入された電子部品Ｄはシュータ部７１の終端に至る。
【００４０】
更に、移載室３には、２機のブロア３２ａ、３２ｂが設けられている。ブロア３２ａ、３２ｂは、越境区間Ｂに並ぶ両脇のポケットＰに対してエアを吹き付けるように、１対１で対応して配置されている。回転テーブル６の回転方向において検査室２へ入る直前のポケットＰには、乾燥空気を吹き付けるブロア３２ｂの噴出口が向けられる。
【００４１】
また、回転テーブル６の回転方向において検査室２から出た直後のポケットＰには、高温空気を吹き付けるブロア３２ａの噴出口が向けられる。高温空気は、検査室２を経て冷却された電子部品Ｄを常温程度に戻すために吹き付けられる。尚、２機のブロア３２ａ、３２ｂを設置しない場合には、越境区間Ｂの長さは、電子部品を周回経路に移載可能な少なくとも１つのポケットＰ分が存在し得る長さとすればよい。
【００４２】
また、部品検査装置１には、検査結果に応じて電子部品Ｄを分類する複数の分類ボックス９が並べられており、ロータリーピックアップ８は、検査後の電子部品Ｄを検査結果に応じた分類ボックス９に排出する。
【００４３】
（作用）
この部品検査装置１の作用を説明する。まず、検査対象の電子部品Ｄは、フィーダ７のボウル部７２へ投入される。振動発生器によりボウル部７２を円周揺動運動させると、電子部品Ｄは、整列しながら溝を伝ってボウル部７２内面を登り、ボウル部７２の上縁からシュータ部７１に至る。シュータ部７１を振動発生器によりレールの延び方向に対して斜めに揺動運動させると、シュータ部７１に至った電子部品Ｄは、レール上を摺動して移載室３に入室し、最終的に待機領域Ｗであるシュータ部７１の終端に至る。
【００４４】
ロータリーピックアップ８は、モータ８２の間欠回転によって、移載用の１機の保持部８１をシュータ部７１の終端で停止させる。そして、駆動部８３により、保持部８１を待機領域Ｗの電子部品Ｄに向けて下降させる。待機領域Ｗに存在する電子部品Ｄと保持部８１とが接触すると、真空発生装置によるパイプ内部の真空生成により、保持部８１に吸引力を生じさせて電子部品Ｄを保持させる。そして、駆動部８３によるモータ８２のトルク解除と保持部８１に対するバネ部の付勢力によって、電子部品Ｄを保持させたまま保持部８１を上昇させる。
【００４５】
保持部８１を上昇させると、ロータリーピックアップ８は、モータ８２の間欠的な２ピッチ分の回転により、電子部品Ｄを保持した保持部８１を越境区間Ｂに存在する中央のポケットＰ上に停止させる。この中央のポケットＰは予め空状態に変更されている。そして、駆動部８３による下降と真空発生装置による真空破壊とにより、保持部８１をポケットＰに向けて下降させ、電子部品ＤをポケットＰ内部に離脱させる。
【００４６】
このロータリーピックアップ８による一連の動作は移載室３で行われる。移載室３は、除霜機構３１により乾燥雰囲気となっており、また検査室２と異なり低温環境下にない。そのため、ロータリーピックの可動部分やグリースが凍り付くことはなく、ロータリーピックアップ８の安定動作が実現される。
【００４７】
越境区間Ｂの中央に存在するポケットＰに電子部品Ｄが収納されると、回転テーブル６は、モータＭの間欠回転により１ピッチ回動する。これに伴って、電子部品Ｄを収納したポケットＰも検査室２の１つ前の停止位置に移動する。
【００４８】
このとき、電子部品Ｄを収納したポケットＰは、ブロア３２ｂの噴出口と向かい合う。ブロア３２ｂは、ポケットＰ内の電子部品Ｄに対して乾燥空気を吹き付ける。電子部品Ｄには、移載室３へ入る過程で、湿分を多く含んだ空気が纏い付いているおそれがある。移載室３は乾燥雰囲気下にあるため、電子部品Ｄの周囲の空気から多くの湿分は取り除かれている。ブロア３２ｂは、乾燥空気によって纏い付いた空気を吹き飛ばし、電子部品Ｄが低温環境下の検査室２に入る前に、電子部品Ｄの周囲からより多くの湿分を取り除いておく。
【００４９】
更に回転テーブル６が１ピッチ回動すると、電子部品Ｄを収納したポケットＰは壁部５の開口部５１をくぐり、それ以降は検査室２内を移動する。検査室２には、検査室２から排気された空気が冷却機構４によって冷却されて再供給され、また、検査室２の気圧は移載室３より高くなっているため、低温環境下が保たれている。電子部品Ｄは、検査室２に入室してから検査部２１までの搬送過程で、低温検査に適した温度まで冷却される。
【００５０】
検査部２１は、回転テーブル６の回転により到着してきた電子部品Ｄに対して電気特性検査を行う。すなわち、接触子を電子部品Ｄの電極に接触させて電流注入及び電圧印加を行い、電子部品Ｄの電圧、電流、抵抗、又は周波数等の電気特性を測定する。部品検査装置１は、電気特性検査の結果データを解析するコンピュータを備えており、各種の閾値データと結果データを比較し、電子部品Ｄを示す識別情報に品質のランクデータを関連づけておく。
【００５１】
検査後の電子部品Ｄは、回転テーブル６の回転により検査室２の出口に向けて搬送される。そして、検査後の電子部品Ｄは、壁部５の開口部５１をくぐって移載室３に再入室する。
【００５２】
このとき、移載室３へ戻った直後のポケットＰは、ブロア３２ａの噴出口と向かい合う。ブロア３２ａは、ポケットＰ内の電子部品Ｄに対して高温空気を吹き付ける。電子部品Ｄは、検査室２で冷やされている。そのため、移載室３において電子部品Ｄの周囲の空気が冷やされ、電子部品Ｄに霜が発生するおそれがある。移載室３は乾燥雰囲気となっているが、ブロア３２ａにより電子部品Ｄを急暖することにより、電子部品Ｄによる周囲の空気の冷却を阻止し、電子部品Ｄに対する霜の発生をより確実に防止する。
【００５３】
そして、越境区間Ｂの中央のポケットＰ位置に戻った電子部品Ｄは、ロータリーピックアップ８の取り出し用の保持部８１が中央のポケットＰ上に位置したときに該ポケットＰから取り出され、品質のランクデータに応じた分類ボックス９に投入される。このボウル部７２から分類ボックス９に至るまでの一連の動作が、回転テーブル６の各ポケットＰへの収納及び取り出しも含めて、整列搬送された各電子部品Ｄに対して繰り返される。
【００５４】
（効果）
以上のように、本実施形態の部品検査装置１は、電子部品Ｄを検査する検査部２１が配置された低温環境下の検査室２と移載室３とを隣接して配置し、電子部品Ｄを検査部２１への周回経路上へ移載するロータリーピックアップ８を移載室３に配置するようにした。そのために、回転テーブル６は、検査室２と移載室３とを仕切る壁部５から移載室３へ一部はみ出して配置され、ロータリーピックアップ８は、そのはみ出した越境区間Ｂで電子部品Ｄを回転テーブル６に移載するようにした。
【００５５】
これにより、ロータリーピックアップ８の可動部分や、ロータリーピックアップ８に塗布されているグリースは凍り付くことはなく、ロータリーピックアップ８の安定動作が実現され、電子部品Ｄの移載ミス等も少なくなり、作業効率が向上する。また、ロータリーピックアップ８に突発的なメンテナンスを要する事態が発生しても、移載室３内での作業が検査室２内に及ぶことはなく、検査室２の低温環境下は維持され、メンテナンスが容易となるとともに、部品検査装置１の速やかな再稼働も可能となる。
【００５６】
更に、検査室２内の気圧は移載室３よりも高くなるように設定されているため、移載室３から検査室２に高い温度の空気が流れ込むことはなく、検査室２内の温度を容易に維持することができ、比較的安価な冷却機構４を採用できるとともに、冷却機構４の高負荷運転を絶えず維持する必要はなくなり、ランニングコストが低下し、また冷却機構４の高寿命化を図ることもできる。
【００５７】
尚、高出力の冷却機構４を備える場合には、移載室３の気圧を検査室２よりも高くすることによるメリットも発生する。すなわち、低温環境下に弱い移載手段に対して検査室２から冷風が吹きかけられることがなくなり、移載手段に霜が発生することをより確実に防止することができる。また、移載室３内を除霜する除霜機構３１を更に備えるようにすることによっても、ロータリーピックアップ８等の移載手段に霜が発生することを確実に防止できる。
【００５８】
更に、ブロア３２ｂを移載室３に配置し、移載室３から検査室２に入る電子部品Ｄに対して乾燥空気を吹き付けるようにしたため、電子部品Ｄに纏い付く湿った空気を検査室２への入室前に排除でき、電子部品Ｄに霜が付くことも防止でき、電子部品Ｄの歩留まりも向上する。
【００５９】
また、ブロア３２ａを移載室３に配置し、検査室２から移載室３に出た電子部品Ｄに対して高温空気を吹き付けるようにしたため、検査室２から出た冷えた電子部品Ｄによって周りの空気が冷やされ、電子部品Ｄに霜が付くことも防止でき、電子部品Ｄの歩留まりが更に向上する。
【００６０】
（その他の実施形態）
以上のように本発明の実施形態を説明したが、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。そして、この実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【００６１】
例えば、本実施形態の部品検査装置１は、低温環境下で電子部品Ｄを検査する装置として説明したが、検査室２内を２５℃〜１５０℃程度の常温から高温の何れかの環境下に調整して電子部品Ｄを検査する機構を併存させて、選択的に機能させ、その温度環境下における電子部品Ｄの検査を行えるようにしてもよい。この場合、室温以上に加熱する必要がある場合には、空気を加熱して検査室２へ送り出す加熱機構を備えるようにすればよい。加熱機構としては、熱交換器やヒートポンプを採用することができ、冷却機構４と共通化してもよい。
【００６２】
また、電子部品Ｄの検査は、外観検査であってもよく、外観検査を行う検査部２１を配置するようにしてもよい。この検査部２１は、カメラとコンピュータで構成される画像解析装置を備え、カメラで電子部品Ｄを撮影し、画像解析によりクラック等の欠陥像の存在を判断する。電気特性検査を行う検査部２１と外観検査を行う検査部２１は、択一的に採用してもよいが、併存させることもできる。すなわち、検査室２内において、ポケットＰが停止する２箇所に各々配分すればよい。
【００６３】
電子部品Ｄの搬送手段としては、本実施形態で例に挙げた回転テーブル６の他、無端のベルトコンベア等の各種の搬送機構を採用することができる。電子部品Ｄの周回経路に関しても、単純な円形に限らず、複雑な経路としてもよい。
【００６４】
電子部品Ｄを移載する移載手段としては、ロータリーピックアップ８を採用したが、直線的に保持部８１を往復運動させる機構であってもよく、また保持部８１は、静電吸着方式、ベルヌーイチャック方式、又は電子部品Ｄを機械的に挟持するチャック機構を配してもよい。
【００６５】
また、フィーダ７としては、レールで構成されたシュータ部７１を有する他、電子部品Ｄを待機領域Ｗまで運搬するシャトルを往復運動させるようにしてもよい。シャトルの始発点では、電子部品Ｄの他の搬送経路からシャトルへ電子部品Ｄを載せ替えるアームを配置すればよい。
【符号の説明】
【００６６】
１  部品検査装置
２  検査室
２１  検査部
３  移載室
３１  除霜機構
３２ａ、３２ｂ  ブロア
４  冷却機構
５  壁部
５１  開口部
６  回転テーブル
７  フィーダ
７１  シュータ部
７２  ボウル部
８  ロータリーピックアップ
８１  保持部
８２  モータ
８３  駆動部
８４  フレーム
９  分類ボックス
Ｄ  電子部品
Ｍ  モータ
Ｐ  ポケット
Ｂ  越境区間
Ｗ  待機領域
【図１】
2014062765.tif 000003
【図２】
2014062765.tif 000004
【図３】
2014062765.tif 000005
【手続補正書】
【提出日】平成25年8月12日(2013.8.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
低温環境下に晒して電子部品を検査する部品検査装置であって、
室内が低温環境下に調整された検査室と、
前記検査室に配置され、電子部品を検査する検査手段と、
前記検査室と隣接して配置された移載室と、
前記検査室と前記移載室とを仕切る壁部と、
前記壁部に設けられた開口部と、
前記検査室に配設され、前記開口部を通して前記移載室に越境する越境区間を一部に有し、前記検査手段に至る周回経路と、
前記電子部品を当該周回経路に沿って搬送する搬送手段と、
前記移載室に配置され、検査前の電子部品を待機させる待機領域と、
前記移載室に配置され、前記待機領域と前記越境区間との間を往復運動することで、前記待機領域の電子部品を前記越境区間で前記周回経路に移載する移載手段と、
を備えること、
を特徴とする部品検査装置。
【請求項２】
前記移載室内を除霜する除霜手段を更に備えること、
を特徴とする請求項１記載の部品検査装置。
【請求項３】
前記移載室に配置され、前記移載室から前記検査室に入る電子部品に対して、前記越境区間上で乾燥空気を吹き付けるブロアを更に備えること、
を特徴とする請求項１又は２記載の部品検査装置。
【請求項４】
前記移載室に配置され、前記検査室から前記移載室に出た電子部品に対して、前記越境区間上で高温空気を吹き付けるブロアを更に備えること、
を特徴とする請求項１乃至３の何れかに記載の部品検査装置。
【請求項５】
前記検査室内の気圧は、前記移載室よりも高いこと、
を特徴とする請求項１乃至４の何れかに記載の部品検査装置。
【請求項６】
前記搬送手段は、前記電子部品を個々に収容可能な複数のポケットが円周に沿って形成された円盤状の回転テーブルであり、
前記周回経路は、前記ポケットの回転軌跡であり、
前記回転テーブルは、前記検査室に回転中心を有するとともに、一部が前記開口部を通じて前記移載室にはみ出して配置されていること、
を特徴とする請求項１乃至５の何れかに記載の部品検査装置。
【請求項７】
冷却空気を前記検査室内部に供給する冷却手段を更に備えること、
を特徴とする請求項１乃至６の何れかに記載の部品検査装置。
【請求項８】
前記待機領域へ電子部品を搬送するフィーダを更に備えること、
を特徴とする請求項１乃至７の何れかに記載の部品検査装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本発明に係る部品検査装置は、低温環境下に晒して電子部品を検査する部品検査装置であって、室内が低温環境下に調整された検査室と、前記検査室に配置され、電子部品を検査する検査手段と、前記検査室と隣接して配置された移載室と、前記検査室と前記移載室とを仕切る壁部と、前記壁部に設けられた開口部と、前記検査室に配設され、前記開口部を通して前記移載室に越境する越境区間を一部に有し、前記検査手段に至る周回経路と、前記電子部品を当該周回経路に沿って搬送する搬送手段と、前記移載室に配置され、検査前の電子部品を待機させる待機領域と、前記移載室に配置され、前記待機領域と前記越境区間との間を往復運動することで、前記待機領域の電子部品を前記越境区間で前記周回経路に移載する移載手段と、を備えること、を特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
前記移載室に配置され、前記検査室から前記移載室に出た電子部品に対して、前記越境区間上で高温空気を吹き付けるブロアを更に備えるようにしてもよい。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
前記移載室に配置され、前記移載室から前記検査室に入る電子部品に対して、前記越境区間上で乾燥空気を吹き付けるブロアを更に備えるようにしてもよい。