(57)【要約】      （修正有）【課題】流量を停止させなくても微分ノイズ成分の補正された真の流量値が出力できる電磁流量計を提供する。【解決手段】高周波と低周波の２周波で励磁を行う２周波励磁方式の電磁流量計において、前記高周波の励磁信号系統から低周波微分ノイズ成分を検出して測定流量を補正する手段、または前記高周波の励磁信号系統から高周波微分ノイズ成分を検出して測定流量を補正する手段、および前記高周波の励磁信号系統から低周波微分ノイズ成分を検出して測定流量を補正する手段、を設けた。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
高周波と低周波の２周波で励磁を行う２周波励磁方式の電磁流量計において、
前記高周波の励磁信号系統から低周波微分ノイズ成分を検出して測定流量を補正する手段、
を設けたことを特徴とする電磁流量計。
【請求項２】
高周波と低周波の２周波で励磁を行う２周波励磁方式の電磁流量計において、
前記高周波の励磁信号系統から流量を測定する第１の流量測定手段と、
前記低周波の励磁信号系統から流量を測定する第２の流量測定手段と、
前記高周波の励磁信号系統から高周波微分ノイズ成分を検出して前記第１の流量測定手段による測定流量を補正する第１の補正手段と、
前記高周波の励磁信号系統から低周波微分ノイズ成分を検出して前記第２の流量測定手段による測定流量を補正する第２の補正手段、
を含むことを特徴とする電磁流量計。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電磁流量計に関し、詳しくは、２周波励磁方式の電磁流量計おける微分ノイズの影響の軽減に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
図８は、従来から用いられている電磁流量計の一例を示す構成説明図である。図８において、被測定流体が流れる導管１の内部には、対向するように電極２、３が設けられるとともに、アースリング４が設けられている。導管１の外周には励磁コイル５が設けられている。
【０００３】
励磁コイル５が励磁回路６を介して高周波（たとえば７５Ｈｚ）と低周波（たとえば１２．５Ｈｚ）の２周波で励磁されると、導管１には流量を検出するための磁場が与えられる。電極２、３は流量信号を検出する。電極２、３で検出された流量信号は、差動増幅回路７を介してＡ／Ｄ変換器８に入力されてデジタル信号に変換され、ＣＰＵ９に入力される。
【０００４】
ＣＰＵ９は、流量や流速などを算出するための所定の演算処理を行い、その演算結果を出力部１０に出力する。なお、ＣＰＵ９は励磁回路６も制御する。
【０００５】
図９は、ＣＰＵ９における演算処理の流れを説明する機能ブロック図である。Ａ／Ｄ変換器８でデジタル信号に変換された高周波信号は、高周波信号入力部１１から流量演算部１２に入力され、流量演算によりノイズ成分が削除される。
【０００６】
その後、流量変換部１３に入力されてデジタル信号は流量値に変換され、流量値信号は加減算器１４の加算端子に入力される。加減算器１４の減算端子には、必要に応じて高周波信号ゼロ補正部１５が接続され、さらに余分なノイズ成分が削除されて真の流量値に近づく。
【０００７】
そして、加減算器１４の出力信号は出力信号演算部１６に入力されてノイズ処理・平均化処理などが施され、出力される。
【０００８】
同様に、Ａ／Ｄ変換器８でデジタル信号に変換された低周波信号は、低周波信号入力部１７から流量演算部１８に入力され、流量演算によりノイズ成分が削除される。
【０００９】
その後、流量変換部１９に入力されてデジタル信号は流量値に変換され、流量値信号は加減算器２０の加算端子に入力される。加減算器２０の減算端子には、必要に応じて低周波信号ゼロ補正部２１が接続され、さらに余分なノイズ成分が削除されて真の流量値に近づく。
【００１０】
そして、加減算器２０の出力信号は出力信号演算部１６に入力されてノイズ処理・平均化処理などが施され、出力される。
【００１１】
図１０は、高周波信号に基づく流量演算と低周波信号に基づく流量演算のタイミングチャートである。図１０において、励磁電流は、高周波パルスの６周期ごとにパルスの極性が反転して高周波パルスの１２周期を１周期とする低周波信号としても機能する。
【００１２】
ランプノイズは、励磁電流の６周期ごとの極性反転には関係なく、６周期×４の区間において、所定の傾斜角度を保って右肩上がりで直線的に変化する。
【００１３】
Ｌ（低周波）側微分ノイズは、励磁電流と同様に、励磁電流パルスの６周期を１区間とする各区間ごとの長周期で極性が反転する。
【００１４】
Ｈ（高周波）側微分ノイズは、励磁電流パルスの立ち上がりと立ち下がりに同期して変化する。
【００１５】
流量信号は、励磁電流に同期して出力され、その極性も励磁電流パルスと同様に６周期ごとに反転する。
【００１６】
Ｌ（低周波）側の流量演算は、励磁電流パルスの６周期を１区間とする各区間の第１周期のみで間欠的に行われる。
【００１７】
Ｈ（高周波）側の流量演算は、励磁電流パルスと同期して、励磁電流パルスの各周期で連続的に行われる。
【００１８】
図１１は、従来の流量演算式の説明図である。
Ｈ側の流量演算において、ＦＨ０の演算処理にあたっては、Ｎｏ４５、Ｎｏ４６、Ｎｏ４７のタイミングで取得したデジタル値を使用する。これらのデジタル値には、図１０で示したように、ランプノイズ、Ｌ側微分ノイズ、Ｈ側微分ノイズ、流量信号が含まれている。ノイズを除去するために図１１に示すＨ側に所定の演算式を使用しているが、最終的には、最終行の演算式に矩形枠で囲んで示すように、Ｌ側微分ノイズ、Ｈ側微分ノイズがまだ残っていることがわかる。
【００１９】
Ｌ側の流量演算において、ＦＬ０の演算処理には、Ｎｏ２０〜２３、Ｎｏ３２〜3５、Ｎｏ４４〜４７のタイミングで取得したデジタル値を使用するが、これらに代えて、Ｎｏ１２〜２３、Ｎｏ２４〜３５、Ｎｏ３６〜４７を使用してもよい。これらのデジタル値には、図１０で示したように、ランプノイズ、Ｌ側微分ノイズ、Ｌ側微分ノイズ、流量信号が含まれている。ノイズを除去するために図１１に示すＬ側に所定の演算式を使用しているが、最終的には、最終行の演算式に矩形枠で囲んで示すように、Ｌ側微分ノイズ、Ｈ側微分ノイズがまだ残っていることがわかる。
【００２０】
図１２は、導管１内の流量を停止させて流量信号を０にした状態における演算タイミングチャートである。
【００２１】
図１３は、導管１内の流量を停止させて流量信号を０にした状態における流量演算式の説明図である。
【００２２】
Ｈ側の流量演算において、図１１のＨ側演算式と同様の演算式を使用しているが、流量信号がないため、Ｌ側微分ノイズ、Ｈ側微分ノイズのみを検出することができる。これらＬ側微分ノイズ、Ｈ側微分ノイズのみの信号は別途流量信号に変換され、図９の高周波信号ゼロ補正部１５で用いる補正値としてＣＰＵ内に保存される。
【００２３】
Ｌ側の流量演算において、図１１のＬ側演算式と同様の演算式を使用しているが、流量信号がないため、Ｌ側微分ノイズのみを検出することができる。このＬ側微分ノイズのみの信号は別途流量信号に変換され、図９の低周波信号ゼロ補正部２１で用いる補正値としてＣＰＵ内に保存される。
【００２４】
なお、各演算タイミングチャートでは、Ｌ周期に対してＨ周期が６倍になっているが、３値の２周波励磁であれば、整数で少なくとも３倍以上であれば構わない。
【００２５】
特許文献１には、２周波励磁の電磁流量計において、測定流体中に発生する微分ノイズの影響を受けないようにするための技術が開示されている。ただし、本発明とは、微分ノイズの検出方法が異なる。
【００２６】
特許文献２には、微分ノイズ(誘導ノイズ)による測定誤差を除去して測定精度を向上させることができる電磁流量計の技術が開示されている。ただし、２周波励磁ではなく、また、微分ノイズの検出方法が異なる。さらに、励磁手段が本発明とは異なっており、ランプノイズの影響も考慮していない。
【００２７】
特許文献３には、微分ノイズの影響を受けないようにすることを目的とした電磁流量計の技術が開示されている。ただし、微分ノイズの検出方法が異なる。本発明のＮｏ０〜４７のひとつのＮｏの中で少なくとも２回のサンプリングを行って微分ノイズの大きさを導き出しているが、本発明では、サンプリングを少なくとも２回にする必要はない。
【００２８】
特許文献４には、２周波励磁のＬ側微分ノイズの影響を小さくすることを目的とした電磁流量計の技術が開示されているが、ゼロ調は実施するので、本発明とは異なる。
【００２９】
特許文献５にも、２周波励磁のＬ側微分ノイズの影響を小さくすることを目的とした電磁流量計の技術が開示されている。しかし、本発明とは、Ｈ側微分ノイズの検出方法が異なる。Ｌ側微分ノイズは時間が経てば０に近づくことを利用しているが、もし０に近づかない場合は誤差が生じる。本発明では、Ｌ側微分ノイズは時間が経てば、０に近づくことを利用していない。
【００３０】
特許文献６にも、２周波励磁のＬ側微分ノイズの影響を小さくすることを目的とした電磁流量計の技術が開示されている。しかし、本発明とは、Ｈ側微分ノイズの検出方法が異なる。Ｌ側微分ノイズは時間が経てば０に近づくことを利用しているが、もし０に近づかない場合は誤差が生じる。本発明では、Ｌ側微分ノイズは時間が経てば、０に近づくことを利用していない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００３１】
【特許文献１】特開平０７−５００４号公報
【特許文献２】特開平０７−１２６０７号公報
【特許文献３】特開平０７−９０９９５号公報
【特許文献４】特開２００３−２１４９１９号公報
【特許文献５】特開２００４−２８９２８号公報
【特許文献６】特開２００４−１４４５４０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００３２】
本発明は、これらの問題点を解決するものであり、その目的は、流量停止を行わなくてもよりよい真の流量値を得ることができる電磁流量計を実現することにある。
【００３３】
また、２周波励磁方式の誤差の原因となるＬ側微分ノイズおよびＨ側微分ノイズを正確に検出でき、Ｌ側微分ノイズによるＨ側出力の揺動の影響を軽減できる。
【課題を解決するための手段】
【００３４】
このような目的を達成するために、本発明のうち請求項１記載の発明は、
高周波と低周波の２周波で励磁を行う２周波励磁方式の電磁流量計において、
前記高周波の励磁信号系統から低周波微分ノイズ成分を検出して測定流量を補正する手段、
を設けたことを特徴とする。
【００３５】
高周波と低周波の２周波で励磁を行う２周波励磁方式の電磁流量計において、
前記高周波の励磁信号系統から流量を測定する第１の流量測定手段と、
前記低周波の励磁信号系統から流量を測定する第２の流量測定手段と、
前記高周波の励磁信号系統から高周波微分ノイズ成分を検出して前記第１の流量測定手段による測定流量を補正する第１の補正手段と、
前記高周波の励磁信号系統から低周波微分ノイズ成分を検出して前記第２の流量測定手段による測定流量を補正する第２の補正手段、
を含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【００３６】
本発明のフィールド電磁流量計によれば、流量を停止させなくてもよりよい真の流量値を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明の一実施例を示すブロック図である。
【図２】図１の動作を説明するタイミングチャートである。
【図３】Ｌ側微分ノイズ演算式１の具体例図である。
【図４】Ｌ側微分ノイズ演算式２の具体例図である。
【図５】Ｌ側微分ノイズ演算式３の具体例図である。
【図６】Ｈ側微分ノイズ演算式１の具体例図である。
【図７】Ｈ側微分ノイズ演算式２の具体例図である。
【図８】従来の電磁流量計の一例を示す構成説明図である。
【図９】図８のＣＰＵ９における演算処理の流れを説明する機能ブロック図である。
【図１０】高周波信号に基づく流量演算と低周波信号に基づく流量演算のタイミングチャートである。
【図１１】従来の流量演算式の説明図である。
【図１２】導管１内の流量を停止させて流量信号を０にした状態における演算タイミングチャートである。
【図１３】導管１内の流量を停止させて流量信号を０にした状態における流量演算式の説明図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３８】
図１は本発明の一実施例を示すブロック図であり、図９と共通する部分には同一の符号を付けている。
【００３９】
図１において、高周波信号入力部１１の出力信号系統には、高周波微分ノイズ演算部２２と高周波微分ノイズ補正値部２３と流量変換部２４よりなり加減算器１４の減算端子に接続される高周波微分ノイズ検出補正系統と、低周波微分ノイズ演算部２５と低周波微分ノイズ補正値部２６と流量変換部２７よりなり加減算器２０の減算端子に接続される低周波微分ノイズ検出補正系統が接続されている。
【００４０】
高周波微分ノイズ検出補正系統において、高周波微分ノイズ演算部２２は高周波信号入力部１１の出力信号系統に含まれる高周波微分ノイズを検出し、高周波微分ノイズ補正値部２３は検出された高周波微分ノイズを補正するのに必要な補正値を算出し、流量変換部２４は算出された補正値を流量値に変換して変換された流量値を加減算器１４の減算端子に出力する。
【００４１】
これにより、加減算器１４は、高周波信号入力部１１の出力信号系統に接続された流量演算部１２と流量変換部１３により測定される流量値から高周波微分ノイズ検出補正系統により変換された流量値を減算して真の流量値に近い流量値を算出し、出力演算部１６に出力する。
【００４２】
低周波微分ノイズ検出補正系統において、低周波微分ノイズ演算部２５は高周波信号入力部１１の出力信号系統に含まれる低周波微分ノイズを検出し、低周波微分ノイズ補正値部２６は検出された低周波微分ノイズを補正するのに必要な補正値を算出し、流量変換部２７は算出された補正値を流量値に変換して変換された流量値を加減算器２０の減算端子に出力する。
【００４３】
これにより、加減算器２０は、低周波信号入力部１７の出力信号系統に接続された流量演算部１８と流量変換部１９により測定される流量値から低周波微分ノイズ検出補正系統により変換された流量値を減算して真の流量値に近い流量値を算出し、出力演算部１６に出力する。
【００４４】
図２は図１の動作を説明するタイミングチャートであり、図１０と共通する波形には同一の名称を付けている。図２において、Ｌ側微分ノイズ演算は低周波周期の各半周期の後半に処理実行され、Ｈ側微分ノイズ演算は励磁電流パルスに同期して励磁電流パルスの各周期で処理実行される。
【００４５】
図３はＬ側微分ノイズ演算式１の具体例図であって、Ｌ側微分ノイズＦＬ５'〜ＦＬ１２'の演算例を示している。たとえばＬ側微分ノイズＦＬ５'の演算処理には、Ｎｏ０、Ｎｏ２、Ｎｏ４のタイミングで取得したデジタル信号を使用する。これらのデジタル信号には、図２で示したようにランプノイズ、Ｌ側微分ノイズ、Ｈ側微分ノイズ、流量信号が含まれているが、演算処理によりＦＬ５'はＬ側微分ノイズのみの値となる。
【００４６】
たとえばＦＬ５'は、以下のようになる。
＜ＦＬ５'＞
ＦＬ５'＝Ｎｏ０−２＊Ｎｏ２＋Ｎｏ４
ＦＬ５'＝Ｌ０−２Ｌ２＋Ｌ４
【００４７】
ＦＬ７'、ＦＬ９'、ＦＬ１１'についてもＦＬ５'と同様のことがいえる。ＦＬ５'、ＦＬ７'、ＦＬ９'、ＦＬ１１'の奇数の微分ノイズ演算処理タイミングに使用するデジタル信号には流量信号Ｓが混在しており、流量が変化している際には、流量信号Ｓも変化する場合がある。
【００４８】
ＦＬ６'の微分ノイズ演算処理には、Ｎｏ１、Ｎｏ３、Ｎｏ５のタイミングで取得したデジタル信号を使用する。このデジタル信号には、図２で示したようにランプノイズ、Ｌ側微分ノイズ、Ｈ側微分ノイズが含まれているが、演算処理によりＦＬ６'は、Ｌ側微分ノイズのみの値となる。
【００４９】
ＦＬ８'、ＦＬ１０'、ＦＬ１２'も同様のことがいえる。ＦＬ６'、ＦＬ８'、ＦＬ１０'、ＦＬ１２'の偶数の微分ノイズ演算処理タイミングに使用するデジタル信号には流量信号Ｓが混在していないので、流量値が変化しても安定してＬ側微分ノイズを検出できる。
【００５０】
なお、流量値の変化に対して安定にＬ側微分ノイズを検出したい場合には、ＦＬ５'、ＦＬ７'、ＦＬ９'、ＦＬ１１'の奇数の微分ノイズ演算処理を利用しない方法もある。
【００５１】
また、本実施例では、Ｌ周期に対してＨ周期が６倍になっているが、３値の２周波であれば、整数で３倍以上であれば構わない。仮に３倍であればＬ側微分ノイズ演算式はＦＬ５'、ＦＬ６'の２つとなり、４倍であればＦＬ５'、ＦＬ６'、ＦＬ７'、ＦＬ８'の４つとなり、５倍であればＦＬ５'、ＦＬ６'、ＦＬ７'、ＦＬ８'、ＦＬ９'、ＦＬ１０'の６つとなり、６倍であれば本実施例のように、ＦＬ５'、ＦＬ６'、ＦＬ７'、ＦＬ８'、ＦＬ９'、ＦＬ１０'、ＦＬ１１'、ＦＬ１２'の８つとなる。
これら演算式の数は、以下のように表すことができる。
２＊（Ｌ周期に対するＨ周期の倍数−２）
【００５２】
図４はＬ側微分ノイズ演算式２の具体例図であり、Ｌ側微分ノイズＦＬ５'〜ＦＬ１２'の演算例を示している。Ｌ側微分ノイズが式（１）のような過渡現象であるとすると、ＦＬ５'〜ＦＬ１２'はそれぞれ定数Ａ、定数Ｂ、Ｎｏを用いて表すことができる。
ＬNo＝Ａ＊２-(No/B)    （１）
Ａ，Ｂ：定数、Ｎｏ＝０,１,２,…,４７
【００５３】
すなわち、たとえばＦＬ５'は、以下のようになる。
＜ＦＬ５'＞
ＦＬ５'＝Ａ＊２-(0/B)−２＊Ａ＊２-(2/B)＋Ａ＊２-(4/B)
ＦＬ５'＝Ａ＊２-(0/B)＊（１−２＊２-(2/B)＋２-(4/B))
【００５４】
なお、式（１）ではＣＰＵでの演算をより簡単にするため、底を２としているが、ネイピア数のｅを用いてもよい。その場合、定数Ｂは時定数として考えることができる。
【００５５】
図５はＬ側微分ノイズ演算式３の具体例図であり、式（２）と図３で示す演算式を利用して、図４で示す定数Ｂを求める。その後、式（２）と図３で示す演算式とさきほど求めた定数Ｂを利用して定数Ａを求める。
【００５６】
Ｂ＝１/（ｌｏｇ2（ＦＬ５'＋ＦＬ６'＋ＦＬ７'＋ＦＬ８'＋ＦＬ９'＋ＦＬ１０'＋ＦＬ１１'）−ｌｏｇ２（ＦＬ６'＋ＦＬ７'＋ＦＬ８'＋ＦＬ９'＋ＦＬ１０'＋ＦＬ１１'＋ＦＬ１２'））    （２）
【００５７】
Ａ＝（ＦＬ５'＋ＦＬ６'＋ＦＬ７'＋ＦＬ８'＋ＦＬ９'＋ＦＬ１０'＋ＦＬ１１'＋ＦＬ１２'）/（２-(0/B)＊（１−２＊２-(2/B)＋２-(4/B)）
＋２-(1/B)＊（１−２＊２-(2/B)＋２-(4/B)）
＋２-(2/B)＊（１−２＊２-(2/B)＋２-(4/B)）
＋２-(3/B)＊（１−２＊２-(2/B)＋２(4/B)）
＋２-(4/B)＊（１−２＊２-(2/B)＋２-(4/B)）
＋２-(5/B)＊（１−２＊２-(2/B)＋２-(4/B)）
＋２-(6/B)＊（１−２＊２-(2/B)＋２(4/B)）
＋２-(7/B)＊（１−２＊２-(2/B)＋２-(4/B)）    （３）
【００５８】
なお、フローノイズ、スラリーノイズ、ホワイトノイズ(熱雑音)などのノイズが大きいと、これら定数ＡとＢに誤差が生じる場合があるが、平均化することで誤差を減らすことができる。
【００５９】
式（１）に式（２）と式（３）を代入することにより、Ｌ側微分ノイズ値ＬNoを求められる。ＦＬ２９'〜ＦＬ３６'の演算も同様に行える。ＦＬ１７'〜 ＦＬ２４'、ＦＬ４１'〜ＦＬ０'の演算は、正負を逆にすれば同様に実施できる。
【００６０】
なお、Ｌ側微分ノイズが正負で大きさが異なるような検出器の場合、ＦＬ５'〜ＦＬ１２'、ＦＬ２９'〜ＦＬ３６'とＦＬ１７'〜ＦＬ２４'、ＦＬ４１’〜ＦＬ０'の演算式を別々に処理することで、正負両方のＬ側微分ノイズ値LNoを求めることができる。
【００６１】
図６はＨ側微分ノイズ演算式１の具体例図であり、Ｈ側微分ノイズＦＨ２'〜ＦＨ１２'の演算例を示している。たとえばＨ側微分ノイズＦＨ２'の演算処理には、Ｎｏ１、Ｎｏ２５、Ｎｏ３７のタイミングで取得したデジタル信号を使用する。
【００６２】
Ｈ側微分ノイズＦＨ２'は、以下のようになる。
＜ＦＨ２'＞
ＦＨ２'＝−Ｎｏ２５＋２＊Ｎｏ３７−Ｎｏ１
ＦＨ２'＝−４Ｌ１＋４Ｈ０
【００６３】
これらのデジタル信号には、図２で示したように、ランプノイズ、Ｌ側微分ノイズ、Ｈ側微分ノイズが含まれている。ここで、ランプノイズはタイミングチャートのＮｏ４７よりＮｏ１がつながっているものとして扱うと、ＦＨ２’はＬ側微分ノイズとＨ側微分ノイズの値となる。ＦＨ４’、ＦＨ６’、ＦＨ８’、ＦＨ１０’、ＦＨ１２’についても同様のことがいえる。ＦＨ２’、ＦＨ４’、ＦＨ６’、ＦＨ８’、ＦＨ１０’、ＦＨ１２’の微分ノイズ演算処理タイミングに使用するデジタル信号には流量信号Ｓが混在していないことから、流量値が変化しても安定して微分ノイズを検出できる。
【００６４】
図７はＨ側微分ノイズ演算式２の具体例図である。式（４）と図６に示す演算式と別途求めたＬ側微分ノイズ値LNoを利用して、以下のようにＨ側微分ノイズ値Ｈ０を求めることができる。
ＦＨ２'＋ＦＨ４'＋ＦＨ６'＋ＦＨ８'＋ＦＨ１０'＋ＦＨ１２'＝−４Ｌ１＋４Ｈ０−４Ｌ３＋４Ｈ０−４Ｌ５＋４Ｈ０−４Ｌ７＋４Ｈ０−４Ｌ９＋４Ｈ０−４Ｌ１１＋４Ｈ０
ＦＨ２'＋ＦＨ４'＋ＦＨ６'＋ＦＨ８'＋ＦＨ１０'＋ＦＨ１２'＝−４Ｌ１−４Ｌ３−４Ｌ５−４Ｌ７−４Ｌ９−４Ｌ１１＋２４Ｈ０
２４Ｈ０＝ＦＨ２'＋ＦＨ４'＋ＦＨ６'＋ＦＨ８'＋ＦＨ１０'＋ＦＨ１２'＋４Ｌ１＋４Ｌ３＋４Ｌ５＋４Ｌ７＋４Ｌ９＋４Ｌ１１
Ｈ０＝（ＦＨ２'＋ＦＨ４'＋ＦＨ６'＋ＦＨ８'＋ＦＨ１０'＋ＦＨ１２'＋４Ｌ１＋４Ｌ３＋４Ｌ５＋４Ｌ７＋４Ｌ９＋４Ｌ１１）／２４    （４）
【００６５】
式（４）に式（１）、式（２）、式（３）で求めたＬNoを代入することで、Ｈ側微分ノイズ値Ｈ０を求めることができる。ＦＨ２６'〜ＦＬ３８'の演算も、同様に実施することができる。ＦＨ１４'〜ＦＨ２４'、ＦＨ３８'〜ＦＨ０'の演算は、正負を逆にすれば同様に実施することができる。
【００６６】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、Ｌ側微分ノイズの演算式とＨ側微分ノイズの演算式により、流量を停止させることなく微分ノイズをキャンセルできてゼロ点補正が行える流量計を提供できる。
【００６７】
また、Ｌ側微分ノイズの演算式とＨ側微分ノイズの演算式により、誤差の原因となるＬ側微分ノイズ、Ｈ側微分ノイズを正確に検出でき、導管内の診断にも有効である。
【００６８】
さらに、Ｌ側微分ノイズの演算式とＨ側微分ノイズの演算式により、Ｌ側微分ノイズが検出できるため、補正値を用いることでＬ側微分ノイズによるＨ側出力の揺動の影響を軽減できる。
【符号の説明】
【００６９】
１１  高周波信号入力部
１２  流量演算部
１３  流量変換部
１４  加減算器
１５  周波信号ゼロ補正部
１６  出力信号演算部
１７  低周波信号入力部
１８  流量演算部
１９  流量変換部
２０  加減算器
２１  低周波信号ゼロ補正部
２２  高周波微分ノイズ演算部
２３  高周波微分ノイズ補正値部
２４  流量変換部
２５  低周波微分ノイズ演算部
２６  低周波微分ノイズ補正値部
２７  流量変換部
【図１】
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【図２】
2014173951.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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