(57)【要約】【課題】バレル槽の自転速度を目標値から外れないように高い精度で制御できるようにする。【解決手段】遠心バレル研磨機は、公転用モータ１４により回転駆動されるターレット１１と、ターレット１１に対して同心状に相対回転可能な太陽ロータ１９と、太陽ロータ１９を回転可能な自転用モータ２０と、ターレット１１の偏心位置に自転可能に設けられ、相対回転する太陽ロータ１９と連動することで遊星回転するバレル槽１２と、ターレット１１の回転速度を測定する公転用センサ３０Ａと、公転用センサ３０Ａの測定値と、設定されているバレル槽１２の自転速度目標値とに基づいて自転用モータ２０の駆動速度を制御するモータ制御手段３３とを備える。【選択図】図３
2014018943.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
公転用モータにより回転駆動されるターレットと、
前記ターレットに対して同心状に相対回転可能な太陽ロータと、
前記太陽ロータを回転可能な自転用モータと、
前記ターレットの偏心位置に自転可能に設けられ、相対回転する前記太陽ロータと連動することで遊星回転するバレル槽と、
前記ターレットの回転速度を測定する公転用センサと、
前記公転用センサの測定値と、設定されている前記バレル槽の自転速度目標値とに基づいて、前記自転用モータの回転速度を制御するモータ制御手段とを備えていることを特徴とする遠心バレル研磨機。
【請求項２】
前記太陽ロータの回転速度を測定する自転用センサと、
前記モータ制御手段を構成し、前記公転用センサの測定値と前記バレル槽の自転速度目標値と前記自転用センサの測定値とに基づいて、前記自転用モータの回転速度を演算する自転用演算部とを備えていることを特徴とする請求項１記載の遠心バレル研磨機。
【請求項３】
前記モータ制御手段を構成し、前記公転用センサの測定値と、設定されている前記ターレットの公転速度目標値とに基づいて前記公転用モータの回転速度を演算する公転用演算部を備えていることを特徴とする請求項１又は請求項２記載の遠心バレル研磨機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、遠心バレル研磨機に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、公転軸を中心として公転用モータにより回転駆動されるターレットと、ターレットの偏心位置に相対回転可能に設けたバレル槽と、公転軸を中心として自転用モータにより回転駆動される太陽ロータと、太陽ロータの回転力をバレル槽に伝達する回転力伝達機構とを備えた遠心バレル研磨機が開示されている。この遠心バレル研磨機は、公転回転数の目標値とバレル槽の自公転比の目標値を設定するための操作盤と、操作盤で設定された目標値に基づいて公転用モータと自転用モータの回転数を演算する演算部と、演算部から出力された制御信号によって公転用モータと自転用モータを制御する公転用インバータ装置と自転用インバータ装置とを備えている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開昭６２−２５１０６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記のような遠心バレル研磨機では、遊星回転するバレル槽内でマス（工作物と研磨石の総称）の流動状態が変動するため、ターレットの公転速度も変動する虞がある。バレル槽は、ターレットに対して同心状に相対回転する太陽ロータと連動して自転するので、ターレットの公転速度が変動すると、太陽ロータの回転速度が一定であっても、バレル槽の自転速度がターレットの公転速度の影響を受けて変動することになる。
【０００５】
ところが、上記特許文献１の遠心バレル研磨機は、ターレットの公転速度の変動が考慮されておらず、バレル槽の自転速度が目標値から外れた状態になっても、自動的に自転速度を調整する機能を備えていない。したがって、バレル槽の自転速度を調整するためには、作業者が、バレル槽の回転状態を目視確認しながら、手作業で自転速度の目標値を設定し直す必要がある。このような作業による速度調整では、高い精度を期待できず、良好な研磨を行うことができない。
本発明は上記のような事情に基づいて完成されたものであって、バレル槽の自転速度を目標値から外れないように高い精度で制御できるようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の目的を達成するための手段として、本発明は、
公転用モータにより回転駆動されるターレットと、
前記ターレットに対して同心状に相対回転可能な太陽ロータと、
前記太陽ロータを回転可能な自転用モータと、
前記ターレットの偏心位置に自転可能に設けられ、相対回転する前記太陽ロータと連動することで遊星回転するバレル槽と、
前記ターレットの回転速度を測定する公転用センサと、
前記公転用センサの測定値と、設定されている前記バレル槽の自転速度目標値とに基づいて、前記自転用モータの回転速度を制御するモータ制御手段とを備えているところに特徴を有する。
【発明の効果】
【０００７】
本発明の遠心バレル研磨機は、ターレットの公転速度が変動すると、公転用センサによるターレットの回転速度の測定値と、予め設定したバレル槽の回転速度目標値とに基づいて、自転用モータの回転速度を制御するので、バレル槽の自転速度を目標値から外れないように高い精度で制御することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】実施例１の遠心バレル研磨機の概略構造をあらわす正面図
【図２】公転用モータの回転速度を制御する手段の構成をあらわすブロック図
【図３】自転用モータの回転速度を制御する手段の構成をあらわすブロック図
【図４】モータの回転速度を制御するための初期手順をあらわすフローチャート
【図５】公転用モータの回転速度を制御するための公転用制御処理のフローチャート
【図６】公転用回転速度のＰＩＤ制御処理のフローチャート
【図７】自転用モータの回転速度を制御するための自転用制御処理のフローチャート
【図８】自転用回転速度のＰＩＤ制御処理のフローチャート
【発明を実施するための形態】
【０００９】
本発明の遠心バレル研磨機は、
前記太陽ロータの回転速度を測定する自転用センサと、
前記モータ制御手段を構成し、前記公転用センサの測定値と前記バレル槽の自転速度目標値と前記自転用センサの測定値とに基づいて前記自転用モータの回転速度を演算する自転用演算部とを備えていてもよい。
この構成によれば、例えば、バレル槽内におけるマスの自転負荷変動に起因して自転用モータの回転速度が変動したり、プーリとベルトとの間の滑りに起因して太陽ロータの回転速度が変動したりしたとしても、自転用センサの測定値に基づいて自転用演算部で自転用モータの回転速度を高精度で制御することにより、太陽ロータの回転速度を安定させ、バレル槽の自転速度を高い精度で制御することができる。
【００１０】
本発明の遠心バレル研磨機は、
前記モータ制御手段を構成し、前記公転用センサの測定値と、設定されている前記ターレットの公転速度目標値とに基づいて、前記公転用モータの回転速度を演算する公転用演算部を備えていてもよい。
この構成によれば、ターレットの公転速度が変動したときには、バレル槽の自転速度を目標値から外れないように高い精度で制御することに加え、公転用演算部が、公転用センサの測定値とターレットの公転速度目標値とに基づいて公転用モータの回転速度を制御することによって、ターレットの公転速度も高い精度で制御されるので、良好な研磨動作を安定して継続させることができる。
【００１１】
＜実施例１＞
以下、本発明を具体化した実施例１を図１〜図８を参照して説明する。本実施例１の遠心バレル研磨機は、図１に示すように、軸線を水平方向（左右方向）に向けた太陽軸１０を中心として一対のターレット１１を公転させ、ターレット１１の偏心位置に、複数のバレル槽１２を自転可能に設けたものである。バレル槽１２内には、工作物と研磨石からなるマス（図示省略）が収容され、バレル槽１２が遊星回転すると、バレル槽１２の内部では、研磨石を用いた工作物の表面のバリ取りや光沢仕上げ等の研磨処理が行われる。
【００１２】
ターレット１１を公転させるための公転用駆動手段１３は、バレル槽１２の下方に配置した公転用モータ１４と、公転用モータ１４の出力軸と一体回転する公転用駆動プーリ１５と、一方のターレット１１の外周に設けた公転用従動プーリ１６と、両プーリ１５，１６の間に掛け渡した公転用Ｖベルト１７とを備えて構成されている。太陽軸１０とターレット１１は、相対回転可能となっている。
【００１３】
バレル槽１２を自転させるための自転用駆動手段１８は、太陽軸１０に一体回転可能に設けた太陽ロータ１９と、バレル槽１２の下方に配置した自転用モータ２０と、自転用回転力伝達機構２１とを備えて構成される。自転用回転力伝達機構２１は、自転用モータ２０の出力軸と一体回転する自転用駆動プーリ２２と、太陽ロータ１９の外周に形成した自転用従動プーリ２３と、両プーリ２２，２３の間に掛け渡した自転用Ｖベルト２４とを備えて構成されている。太陽軸１０には、太陽軸１０及び太陽ロータ１９と一体回転する太陽ギヤ２５が設けられている。
【００１４】
ターレット１１には、複数のバレル槽１２と個別に一体回転する遊星ギヤ２６と、各遊星ギヤ２６と個別に噛み合う一対の減速ギヤ２７が設けられている。複数の減速ギヤ２７は、１つの太陽ギヤ２５に噛み合わされている。これにより、太陽軸１０、太陽ロータ１９及び太陽ギヤ２５の回転力が、減速ギヤ２７と遊星ギヤ２６を介してバレル槽１２に伝達される。
【００１５】
本実施例の遠心バレル研磨機は、研磨対象等に応じて、ターレット１１の公転速度の目標値とバレル槽１２の自転速度の目標値をコントロールパネル２８上で設定し、バレル槽１２を遊星回転させて研磨を行うようになっている。しかし、バレル槽１２内におけるマスの負荷変動による公転用モータ１４の軸のスリップや、公転用モータ１４とターレット１１（公転用従動プーリ１６）との間のＶベルト１７のスリップのために、ターレット１１の公転速度が変動し、良好な研磨が行われなくなることが懸念される。バレル槽１２は、ターレット１１に対して同心状に相対回転する太陽ロータ１９と連動して自転するので、ターレット１１の公転速度が変動すると、太陽ロータ１９の回転速度が一定であっても、バレル槽１２の自転速度がターレット１１の公転速度の影響を受けて変動することになる。
【００１６】
そこで、本実施例では、ターレット１１の公転速度が変動しても、ターレット１１の公転速度が目標値から外れないように公転用モータ１４を高い精度で制御するとともに、バレル槽１２の自転速度が目標値から外れないように自転用モータ２０を高い精度で制御するために、公転用センサ３０Ａと、自転用センサ３０Ｂと、モータ制御手段３３とを備えている。モータ制御手段３３は、公転用制御手段３３Ａと、自転用制御手段３３Ｂとを備えて構成されている。
【００１７】
図２に示すように、公転用センサ３０Ａは、ターレット１１に取り付けたドグ２９Ａ（図１を参照）を検出する近接スイッチ３１Ａと、近接スイッチ３１Ａから出力されたパルス信号に基づいてターレット１１の回転数を演算する回転数計３２Ａとを備えている。公転用制御手段３３Ａは、シーケンサ３４と公転用インバータ３５Ａとを備えて構成される。シーケンサ３４には、公転用センサ３０Ａの回転数計３２Ａで演算されたターレット１１の公転速度測定値が入力される。同じく、シーケンサ３４には、コントロールパネル２８で設定されたターレット１１の回転速度に関する各種の設定値（ターレット１１の公転速度目標値、ターレット１１の加減速時間）が入力される。
【００１８】
公転用インバータ３５Ａは制御部３６Ａと電源部３９Ａとを備えて構成される。制御部３６Ａは、ＰＩＤ制御部３７Ａ（本発明の構成要件である公転用演算部）と出力制御部３８Ａとから構成される。ＰＩＤ制御部３７Ａには、シーケンサ３４からターレット１１の公転速度目標値と公転速度測定値が入力される。ＰＩＤ制御部３７Ａは、ターレット１１の公転速度目標値と公転速度測定値を比較して演算を行い、公転用モータ１４を所定の速度で回転させるための周波数を設定し、その公転用設定周波数を出力制御部３８Ａに出力する。電源部３９Ａは入力回路４０Ａと出力回路４１Ａとを備えて構成されている。入力回路４０Ａは、入力された一次側電源を平坦化及び直流変換する。出力回路４１Ａは、出力制御部３８Ａから出力された公転用設定周波数と電圧指令を受け取り、入力回路４０Ａで変換された直流を信号増幅・交流変換する。公転用モータ１４は、出力回路４１Ａからの制御信号により、所定の速度で回転駆動する。
【００１９】
図３に示すように、自転用センサ３０Ｂは、太陽ロータ１９に取り付けたドグ２９Ｂ（図１を参照）を検出する近接スイッチ３１Ｂと、近接スイッチ３１Ｂから出力されたパルス信号に基づいて太陽ロータ１９の回転数を演算する回転数計３２Ｂとを備えている。自転用制御手段３３Ｂは、公転用制御手段３３Ａと共通のシーケンサ３４と、自転用インバータ３５Ｂとを備えて構成される。シーケンサ３４には、公転用センサ３０Ａの回転数計３２Ａで演算されたターレット１１の公転速度測定値と、自転用センサ３０Ｂの回転数計３２Ｂで演算された太陽ロータ１９の自転速度測定値が入力される。同じく、シーケンサ３４には、コントロールパネル２８で設定されたバレル槽１２に関する各種の設定値（バレル槽１２の自転速度目標値、バレル槽１２の加減速時間、バレル槽１２の回転方向）が入力される。
【００２０】
自転用インバータ３５Ｂは制御部３６Ｂと電源部３９Ｂとを備えて構成される。制御部３６Ｂは、ＰＩＤ制御部３７Ｂ（本発明の構成要件である自転用演算部）と出力制御部３８Ｂとから構成される。ＰＩＤ制御部３７Ｂには、シーケンサ３４からバレル槽１２の自転速度目標値と太陽ロータ１９の自転速度測定値とターレット１１の公転速度測定値とが入力される。ＰＩＤ制御部３７Ｂは、ターレット１１の公転速度測定値と太陽ロータ１９の自転速度測定値に基づいてバレル槽１２の実測自転速度を演算し、さらに、その演算値とバレル槽１２の自転速度目標値とを比較して演算を行い、自転用モータ２０を所定の速度で回転させるための周波数を設定し、その自転用設定周波数を出力制御部３８Ｂに出力する。
【００２１】
ここで、ＰＩＤ制御部３７Ｂにおける演算の具体例を説明する。ターレット１１の公転速度測定値をＭａ、太陽ロータ１９の自転速度測定値をＭｂ、太陽ロータ１９からバレル槽１２に至るギヤ列（太陽ギヤ２５、減速ギヤ２７、遊星ギヤ２６）のギヤ比の逆数をＲとした場合、自転用モータ２０が逆転又は停止するのであれば、バレル槽１２の自転速度現在値Ｖは、次式（１）
Ｖ＝（Ｍａ−Ｍｂ）／Ｒ…（１）
により演算される。また、自転用モータ２０が正転するのであれば、バレル槽１２の自転速度現在値Ｖは、次式（２）
Ｖ＝（Ｍｂ−Ｍａ）／Ｒ…（２）
により演算される。
【００２２】
例えば、ターレット１１の公転速度測定値Ｍａが２００ｒｐｍ、太陽ロータ１９の自転速度測定値Ｍｂが１５０ｒｐｍ、太陽ロータ１９からバレル槽１２に至るギヤ列ギヤ比の逆数Ｒが２であり、自転用モータ２０が逆転する場合、バレル槽１２の自転速度現在値Ｖ＝（２００−１５０）／２＝２５となる。このとき、バレル槽１２の自転速度目標値が３０ｒｐｍであれば、バレル槽１２の自転速度を上げる（自転速度目標値に近づける）ために、自転用モータ２０の設定周波数を低く設定し、太陽ロータ１９の回転速度を下げる。
【００２３】
電源部３９Ｂは入力回路４０Ｂと出力回路４１Ｂとを備えて構成されている。入力回路４０Ｂは、入力された一次側電源を平坦化及び直流変換する。出力回路４１Ｂは、出力制御部３８Ｂから出力された自転用設定周波数と電圧指令を受け取り、入力回路４０Ｂで変換された直流を信号増幅・交流変換する。自転用モータ２０は、出力回路４１Ｂからの制御信号によって、所定の速度で回転駆動する。
【００２４】
次に、本実施例におけるモータ制御方法を、図４〜８のフローチャートを参照して説明する。図４に示すように、まず、コントロールパネル２８において、ターレット１１の公転速度目標値、ターレット１１の加減速時間、バレル槽１２の自転速度目標値、バレル槽１２の加減速時間が設定（入力）されるとともに、公転速度目標値と自転速度目標値に基づいてバレル槽１２の回転方向が自動計算される（ステップＳ１０１）。シーケンサ３４では、設定された公転速度目標値に基づいて公転用モータ１４の回転速度を演算するとともに、設定された自転速度目標値に基づいて自転用モータ２０の回転速度を演算する（ステップＳ１０２）。
【００２５】
次に、シーケンサ３４では、公転用モータ１４を目標速度で回転させるための公転用設定周波数を演算するとともに、自転用モータ２０を目標速度で回転させるための自転用設定周波数を演算する（ステップＳ１０３）。この後、シーケンサ３４から公転用インバータ３５Ａへ、公転用設定周波数とターレット１１の加減速時間に関する情報が出力されるとともに、シーケンサ３４から自転用インバータ３５Ｂへ、自転用設定周波数とバレル槽１２の加減速時間とバレル槽１２の回転方向に関する情報が出力される（ステップＳ１０４）。
【００２６】
そして、コントロールパネル２８に運転指令が入力されたかどうかの判定が行われ（ステップＳ１０５）ると、公転用モータ１４と自転用モータ２０が起動して加速を始める（ステップＳ１０６）。次に、ターレット１１の公転速度が公転速度目標値から外れないように公転用モータ１４の回転速度を制御するための公転用制御処理（ステップＳ１０７）と、バレル槽１２の自転回転度が自転速度目標値から外れないように自転用モータ２０の回転速度を制御するための自転用制御処理（ステップＳ１０８）が平行して（同時に）行われる。
【００２７】
公転用制御処理では、図５に示すように、まず、公転用インバータ３５Ａの周波数が、設定した公転用設定周波数まで到達したかどうかを判定する（ステップＳ２０１）。公転用インバータ３５Ａの周波数が公転用設定周波数まで到達すると、コントロールパネル２８においてＰＩＤ制御を行う設定がされているかどうかを判定する（ステップＳ２０２）。ＰＩＤ制御を行わないと設定されている場合は、シーケンサ３４で設定された公転用設定周波数を維持したままで運転が行われる（ステップＳ２０３）。ＰＩＤ制御を行うと設定されている場合は、公転用インバータ３５Ａにターレット１１の公転速度目標値を書き込む（ステップＳ２０４）。この後、ターレット１１の公転速度の変動に応じて公転用モータ１４の回転速度を設定し直すために、公転用回転速度のＰＩＤ制御処理が行われる（ステップＳ２０５）。
【００２８】
公転用回転速度のＰＩＤ制御処理では、図６に示すように、公転用センサ３０Ａによって測定されているターレット１１の公転速度測定値がスキャンされ（ステップＳ３０１）、ＰＩＤ制御部３７Ａにおいては、公転速度目標値とスキャンした公転速度測定値とが比較され、公転用設定周波数が演算される（ステップＳ３０２）。この演算された公転用設定周波数は出力制御部３８Ａへ出力され（ステップＳ３０３）、公転用モータ１４が公転用設定周波数と対応する速度で回転し、ターレット１１が公転速度目標値から外れない速度で公転する。このＰＩＤ制御により、ターレット１１の公転速度が変動しても、ターレット１１は、公転速度目標値から外れないように安定した速度で公転を続ける。そして、運転停止の指令がシーケンサ３４に入力されたどうかが判定され（ステップＳ３０４）運転停止指令が入力されると、運転が停止するとともにＰＩＤ制御が終了する。
【００２９】
一方、自転用制御処理では、図７に示すように、まず、自転用インバータ３５Ｂの周波数が、設定した自転用設定周波数まで到達したかどうかを判定する（ステップＳ４０１）。自転用インバータ３５Ｂの周波数が自転用設定周波数まで到達すると、コントロールパネル２８においてＰＩＤ制御を行う設定がされているかどうかが判定される（ステップＳ４０２）。ＰＩＤ制御を行わないと設定されている場合は、シーケンサ３４で設定された自転用設定周波数を維持したままで運転が行われる（ステップＳ４０３）。
【００３０】
ＰＩＤ制御を行うと設定されている場合は、自転用モータ２０の設定回転方向が正方向であるかどうかを判定する（ステップＳ４０４）。自転用モータ２０の設定回転方向が正方向である場合はＰＩＤ制御を逆動作に設定し（ステップＳ４０５）、自転用モータ２０の設定回転方向が逆方向である場合はＰＩＤ制御を正動作に設定する（ステップＳ４０６）。この後、自転用インバータ３５Ｂにバレル槽１２の自転速度目標値を書き込む（ステップＳ４０７）。この後、バレル槽１２の自転速度の変動に応じて自転用モータ２０の回転速度を設定し直すために、自転用回転速度のＰＩＤ制御処理が行われる（ステップＳ４０８）。
【００３１】
自転用回転速度のＰＩＤ制御処理では、図８に示すように、自転用センサ３０Ｂによって測定されている太陽ロータ１９の自転速度測定値と公転用センサ３０Ａによって測定されているターレット１１の公転速度測定値がスキャンされ、シーケンサ３４では、太陽ロータ１９の自転速度測定値とターレット１１の公転速度測定値とに基づいてバレル槽１２の自転速度現在値が演算され、その演算値がＰＩＤ制御部３７Ｂに送られる（ステップＳ５０１）。そして、ＰＩＤ制御部３７Ｂにおいては、バレル槽１２の自転速度目標値とバレル槽１２の自転速度現在値とが比較され、自転用設定周波数が演算される（ステップＳ５０２）。
【００３２】
演算された自転用設定周波数は出力制御部３８Ｂへ出力され（ステップＳ５０３）、自転用モータ２０が自転用設定周波数と対応する速度で回転し、バレル槽１２が自転速度目標値から外れない速度で自転する。このＰＩＤ制御により、ターレット１１の公転速度やバレル槽１２の自転速度が変動しても、バレル槽１２は、自転速度目標値から外れないように安定した速度で自転を続ける。そして、運転停止の指令がシーケンサ３４に入力されたかどうかが判定され（ステップＳ５０４）、運転停止指令が入力されると、運転が停止するとともに、ＰＩＤ制御が終了する。
【００３３】
本実施例の遠心バレル研磨機は、公転用モータ１４により回転駆動されるターレット１１と、ターレット１１に対して同心状に相対回転可能な太陽ロータ１９と、太陽ロータ１９を回転可能な自転用モータ２０と、ターレット１１の偏心位置に自転可能に設けられ、相対回転する太陽ロータ１９と連動することで遊星回転するバレル槽１２と、ターレット１１の回転速度を測定する公転用センサ３０Ａと、公転用センサ３０Ａの測定値と、設定されているバレル槽１２の自転速度目標値とに基づいて、自転用モータ２０の回転速度を制御するモータ制御手段３３とを備えている。
【００３４】
この構成によれば、ターレット１１の公転速度が変動すると、公転用センサ３０Ａによるターレット１１の回転速度の測定値と、予め設定したバレル槽１２の回転速度目標値とに基づいて、自転用モータ２０の回転速度を制御することができるので、バレル槽１２の自転速度を目標値から外れないように高い精度で制御することができる。また、バレル槽１２の自転速度と公転速度の比を一定に維持することができるので、良好な研磨を行うことができる。
【００３５】
本実施例の遠心バレル研磨機は、太陽ロータ１９の回転速度を測定する自転用センサ３０Ｂを備え、さらに、公転用センサ３０Ａによるターレット１１の公転速度測定値と、バレル槽１２の自転速度目標値と、自転用センサ３０Ｂによる太陽ロータ１９の自転速度測定値とに基づいて自転用モータ２０の回転速度を演算する自転用演算部としてのＰＩＤ制御部３７Ｂ（自転用インバータ３５Ｂ）を備えている。この構成によれば、バレル槽内におけるマスの自転負荷変動に起因して自転用モータの回転速度が変動したり、自転用のプーリ２２，２３と自転用Ｖベルト２４との間の滑りに起因して太陽ロータ１９の回転速度が変動しても、自転用センサ３０Ｂによる自転速度測定値に基づいてＰＩＤ制御部３７Ｂで自転用モータ２０の回転速度を高精度で制御することにより、太陽ロータ１９の回転速度を安定させ、バレル槽１２の自転速度を高い精度で制御することができる。
【００３６】
また、本実施例の遠心バレル研磨機は、公転用センサ３０Ａによるターレット１１の公転速度測定値と、設定されているターレット１１の公転速度目標値とに基づいて、公転用モータ１４の回転速度を演算する公転用演算部としてのＰＩＤ制御部３７Ａ（公転用インバータ３５Ａ）を備えている。この構成によれば、ターレット１１の公転速度が変動したときには、バレル槽１２の自転速度を自転速度目標値から外れないように高い精度で制御することに加え、公転用演算部としてのＰＩＤ制御部３７Ａが、公転用センサ３０Ａによるターレット１１の公転速度測定値と、ターレット１１の公転速度目標値とに基づいて公転用モータ１４の回転速度を制御する。これにより、ターレット１１の公転速度も高い精度で制御されるので、良好な研磨動作を安定して継続させることができる。
【００３７】
＜他の実施例＞
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施例に限定されるものではなく、例えば次のような実施例も本発明の技術的範囲に含まれる。
（１）上記実施例では、ターレットの回転速度が目標値から外れないように公転用モータの回転速度を制御する手段として、ＰＩＤ制御を用いたが、これに限らず、公転用センサと設定した公転速度目標値との差分量に基づいて公転用モータの回転数を制御してもよい。
（２）上記実施例では、バレル槽の回転速度が目標値から外れないように自転用モータの回転速度を制御する手段として、ＰＩＤ制御を用いたが、これに限らず、自転用センサと設定した自転速度目標値との差分量に基づいて自転用モータの回転数を制御してもよい。
（３）上記実施例では、公転用インバータに設けられているＰＩＤ制御部によって公転用モータの回転速度を制御したが、これに限らず、シーケンサ（Programable logic Controller）や制御可能な計器類によってＰＩＤ制御した公転用モータの回転速度を、公転用インバータに送ってもよい。
（４）上記実施例では、自転用インバータに設けられているＰＩＤ制御部によって自転用モータの回転速度を制御したが、これに限らず、シーケンサ（Programable logic Controller）や制御可能な計器類によってＰＩＤ制御した自転用モータの回転速度を、自転用インバータに送ってもよい。
（５）上記実施例では、ターレットの回転数を計測する手段として、近接スイッチからのパルス信号に基づいて回転数計でターレットの回転数を演算し、その値をターレットの回転数測定値としてシーケンサに送ったが、これに限らず、近接スイッチからのパルス信号を直接シーケンサに送り、シーケンサでターレットの回転数を演算してもよい。
（６）上記実施例では、太陽ロータの回転数を計測する手段として、近接スイッチからのパルス信号に基づいて回転数計で太陽ロータの回転数を演算し、その値を太陽ロータの回転数測定値としてシーケンサに送ったが、これに限らず、近接スイッチからのパルス信号を直接シーケンサに送り、シーケンサで太陽ロータの回転数を演算してもよい。
（７）上記実施例では、公転用インバータを用いて公転用モータの設定回転数を制御したが、これに限らず、スピードコントローラやサーボシステムを用いて公転用モータの設定回転数を制御してもよい。
（８）上記実施例では、自転用インバータを用いて自転用モータの設定回転数を制御したが、これに限らず、スピードコントローラやサーボシステムを用いて自転用モータの設定回転数を制御してもよい。
（９）上記実施例の遠心バレル研磨機は、公転用モータと自転用モータの両方を回転駆動する運転形態に限らず、自転用モータを駆動せずに公転用モータだけを駆動する形態で運転してバレル研磨を行うことも可能である。この場合、ターレットの回転速度のみを制御する。
（１０）上記実施例では、自転用モータの回転力をプーリとＶベルトを介して太陽軸（太陽ロータ）に伝達したが、自転用モータの回転力を、プーリとＶベルトを介さずに直接、太陽軸に伝達してもよい。
（１１）上記実施例では、太陽ロータの回転力を、ギヤを介してバレル槽に伝達したが、太陽ロータの回転力を、プーリとＶベルトを介してバレル槽に伝達してもよい。
【符号の説明】
【００３８】
１１…ターレット
１２…バレル槽
１４…公転用モータ
１９…太陽ロータ
２０…自転用モータ
３０Ａ…公転用センサ
３０Ｂ…自転用センサ
３３…モータ制御手段
３７Ａ…ＰＩＤ制御部（公転用演算部）
３７Ｂ…ＰＩＤ制御部（自転用演算部）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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