(57)【要約】【課題】  高い精度で、再現性にも優れた膜厚を得ることが可能な薄膜形成装置等を提供する。【解決手段】  ガイド部３の下部には、荷重検出部７および駆動部９が設けられる。荷重検出部７は、ダイス部５内部の塗膜材１５の圧力を検出可能な圧力検出部である。ダイス部５のキャビティ内の塗膜材１５の圧力が変動すると、ガイド部３への荷重が変動する。したがって、荷重検出部７によって、ガイド部３から受ける荷重を検出することで、キャビティ内部の圧力変動を検出することができる。すなわち、長尺部材１３の厚み変動を検出することができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
長尺部材への塗膜材の塗布装置であって、
長尺部材を保持するガイド部と、
前記ガイド部と対向して配置され、塗膜材を前記長尺部材へ塗布するダイス部と、
前記ダイス部に接続された配管を介して前記ダイス部に塗膜材を供給する塗膜材供給部と、
前記ダイス部の方向に対する前記ガイド部の押圧力を調整可能な圧力調整部と、
を具備し、
前記圧力調整部によって、前記ダイス部の内部における前記塗膜材の圧力変動を抑制することが可能であることを特徴とする塗膜材塗布装置。
【請求項２】
前記ガイド部の荷重を検出して、前記ダイス部の内部における前記塗膜材の圧力を検出する圧力検出部を有し、
前記圧力検出部により検出された圧力に応じて、前記圧力調整部を制御することを特徴とする請求項１記載の塗膜材塗布装置。
【請求項３】
前記ガイド部は、前記ダイス部の下方に設けられ、前記圧力検出部は、前記ガイド部に形成された荷重検知部であり、前記荷重検知部で検知される荷重から、前記ガイド部自体の自重と、前記長尺部材から前記ガイド部が受ける荷重を差し引いて、前記ダイス部内の前記塗膜材の圧力を検出することを特徴とする請求項２に記載の塗膜材塗布装置。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれかに記載の塗膜材塗布装置を用いた長尺部材への塗膜材の塗布方法であって、
前記ダイス部へ塗膜材を供給しながら、前記ガイド部と前記ダイス部との間に長尺部材を移動させて、
前記圧力調整部によって、前記ダイス部内の前記塗膜材の圧力を略一定に制御した状態で、前記長尺部材の前記ダイス部側の面に前記塗膜材を連続的に塗布することを特徴とする長尺部材への塗膜材の塗布方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、長尺部材の表面に塗膜材を塗布する塗膜材塗布装置およびこれを用いた長尺部材への塗膜材の塗布方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば太陽電池パネルのような発電機器は、基材に機能性薄膜が形成されたものが用いられる。このような機能性薄膜は、例えば、真空蒸着やＣＶＤ等の各種の大型・真空プロセスの他、小さなプロセス領域や非真空系を用いたロール・ツー・ロールプロセス等によって形成される。
【０００３】
一方、特に高速でこのような機能性薄膜を形成する方法として、ダイスによる塗布方法がある。ダイスによる塗布方法では、数百ｍ／分以上での塗膜形成が可能である。
【０００４】
ダイスにより、塗膜厚を精密に制御する塗布方法としては、例えば、長尺基材を連続的に移送しながら、その一方の表面に所定の間隔をおいて対向配置されたキャビティを有する塗布ダイスを用いて、塗布ダイスのキャビティ内へ所定の圧力で材料溶液を供給しながら、材料溶液により生じる塗布ダイスへの反発力が所定の値に保たれるように塗布ダイスへの荷重を制御する薄膜形成方法がある(特許文献１)。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１０−２７４２４１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１に記載の方法は、材料溶液を充填したダイスに基材を通過させ、この際に、ダイスの内部形状に応じて基材と共に溶剤が持ち出されることを利用し、基材表面に塗膜を形成するものである。
【０００７】
近年、長尺基材に対してより膜厚精度の高い薄膜を形成することが望まれている。
【０００８】
本発明は、このような問題に鑑みてなされたもので、高い精度で、再現性にも優れた膜厚を得ることが可能な薄膜形成装置等を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前述した目的を達するために第１の発明は、長尺部材への塗膜材の塗布装置であって、長尺部材を保持するガイド部と、前記ガイド部と対向して配置され、塗膜材を前記長尺部材へ塗布するダイス部と、前記ダイス部に接続された配管を介して前記ダイス部に塗膜材を供給する塗膜材供給部と、前記ダイス部の方向に対する前記ガイド部の押圧力を調整可能な圧力調整部と、を具備し、前記圧力調整部によって、前記ダイス部の内部における前記塗膜材の圧力変動を抑制することが可能であることを特徴とする塗膜材塗布装置である。
【００１０】
前記ガイド部の荷重を検出して、前記ダイス部の内部における前記塗膜材の圧力を検出する圧力検出部を有し、前記圧力検出部により検出された圧力に応じて、前記圧力調整部を制御することが望ましい。
【００１１】
前記ガイド部は、前記ダイス部の下方に設けられ、前記圧力検出部は、前記ガイド部に形成された荷重検知部であり、前記荷重検知部で検知される荷重から、前記ガイド部自体の荷重と、前記長尺部材から前記ガイド部が受ける荷重を差し引いて、前記ダイス部内の前記塗膜材の圧力を検出することが望ましい。
【００１２】
第１の発明によれば、ダイス部の内部の圧力を調整するために、ダイス部側ではなくガイド部側の位置を制御するため、ダイス部に接続され、塗膜材を圧送するための配管の影響がない。したがって、膜厚の精度が高く、配管の取り外しや接続作業の影響を受けることがない。このため、再現性にも優れる。
【００１３】
また、ガイド部をダイス部に対して一定の力で押し付ければ、ダイス部内の圧力を略一定に保つことができる。このため、構成がシンプルであり、制御が容易である。
【００１４】
また、ガイド部の荷重を検出する圧力検出部を設けることで、より正確にダイス部内の塗膜材の圧力を制御することができる。
【００１５】
また、ガイド部がダイス部の下方に設けられ、荷重検知部で検知される荷重から、ガイド部自体の荷重と、長尺部材からガイド部が受ける荷重を差し引いて、ダイス部内の塗膜材の圧力を検出することで、正確な圧力を検知することができる。
【００１６】
この際、ガイド部が、上方に向けて押圧力を発揮するため、ダイス部内の圧力が増加した場合には、ガイド部が上方から受ける塗膜材の圧力、ガイド部の自重および長尺部材からの荷重は、いずれも下向きの力となる。したがって、ダイス部内の圧力が増加した場合には、瞬時にガイド部の位置を下方に移動させることができる。
【００１７】
一方、ダイス部内の圧力が低下した際には、ダイス部よりも荷重の小さなガイド部の自重と長尺部材からの荷重を差し引いた荷重で押圧すればよい。したがって、ガイド部を設定範囲の押圧力で常に上方に力を付与させればよいため、上方からダイス部を吊り下げた場合と比較して、精密な制御が可能となる。
【００１８】
第２の発明は、第１の発明にかかる塗膜材塗布装置を用いた長尺部材への塗膜材の塗布方法であって、前記ダイス部へ塗膜材を供給しながら、前記ガイド部と前記ダイス部との間に長尺部材を移動させて、前記圧力調整部によって、前記ダイス部内の前記塗膜材の圧力を略一定に制御した状態で、前記長尺部材の前記ダイス部側の面に前記塗膜材を連続的に塗布することを特徴とする長尺部材への塗膜材の塗布方法である。
【００１９】
第２の発明によれば、塗布膜厚を精密に制御することが可能であり、塗膜の再現性にも優れる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、高い精度で、再現性にも優れた膜厚を得ることが可能な薄膜形成装置等を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】塗布装置１の構造を示す断面図。
【図２】塗布装置１の構造を示す断面図であり、図１のＣ−Ｃ線断面図。
【図３】塗布装置２０の構造を示す断面図。
【図４】膜厚のばらつきを示す図。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態について説明する。図１は、塗布装置１を示す側方断面図であり、図２は図１のＣ−Ｃ線断面図である。塗布装置１は、主に、ガイド部３、ダイス部５、荷重検出部７、駆動部９、配管１１等から構成される。なお、以下の説明において、基材である長尺部材１３の上面に対して塗膜材１５を塗布する方法について説明する。
【００２３】
ガイド部３は、長尺部材１３を下方から保持する部材である。すなわち、長尺部材１３は、ガイド部３と接触する。ダイス部５は、ガイド部３の上方に配置される。ダイス部５は、内部にキャビティを有する。ダイス部５の例えば後方には配管１１が接続される。したがって、外部の図示を省略した加圧容器もしくはディスペンサー等の塗膜材供給部から、配管１１を介してダイス部５内部のキャビティに対して塗膜材１５を連続して送り込むことができる（図中矢印Ａ方向）。このとき、塗膜材１５の圧力もしくは流量が制御される。
なお、塗膜材の材質は、例えばＰＶＤＦ（ＰｏｌｙＶｉｎｙｌｉｄｅｎｅ  ＤｉＦｌｕｏｒｉｄｅ）、ＰＺＴ（ｌｅａｄ  ｚｉｒｃｏｎａｔｅ  ｔｉｔａｎａｔｅ）、Ｐ３ＨＴ（ｐｏｌｙ（３−ｈｅｘｙｌｔｈｉｏｐｈｅｎｅ−２，５−ｄｉｙｌ））、ＰＣＢＭ（［６，６］−Ｐｈｅｎｙｌ−Ｃ６１−Ｂｕｔｙｒｉｃ  Ａｃｉｄ  Ｍｅｔｈｙｌ  Ｅｓｔｅｒ）、ＰＥＤＯＴ：ＰＳＳ（ｐｏｌｙ（３，４−ｅｔｈｙｌｅｎｅｄｉｏｘｙｔｈｉｏｐｈｅｎｅ）：ｐｏｌｙ（ｓｔｙｒｅｎｅ  ｓｕｌｆｏｎａｔｅ））などの物質を、水、トルエン、クロロホルム、ジクロロベンゼン、アセトンなどの溶媒に溶解したものであるが、必ずしもこれらに限定されるものではない。
【００２４】
ダイス部５の入口形状は長尺部材１３の断面形状と略同形状とし、出口形状は塗布後の長尺部材１３の断面形状と略同形状とする。なお、ダイス部５の入口形状は長尺部材１３の幅方向に一様な形状が望ましいが、円形であっても良い。また、ダイス部５の内部でのキャビティの断面形状は、出口側（図中右側）に向かって径を大きくしてもよく、不変であっても良いが、ダイス部内の圧力を高め制御性を向上させる観点から、図１に示すように、出口側に向かって連続的もしくは段階的に小さくなるようにすることが望ましい。
【００２５】
ここで、長尺部材１３は、長手方向に連続した部材であり、例えば、径が数μｍ〜数ｍｍの断面が円形の基材であっても、矩形等の繊維状基材（線状体）であってもよく、幅が数ｍｍ以上で厚さが数μｍ〜数ｍｍの平板状基材であってもよい。また、長尺部材１３の材質は例えば、ガラス、樹脂、金属であるが、必ずしもこれらに限定されるものではない。なお、以下の説明では、略矩形断面の平板状の長尺部材１３の例を示す。
【００２６】
図２に示すように、ガイド部３とダイス部５との間を長尺部材１３が通過する。この際、長尺部材１３の上面側が、ダイス部５の塗膜材１５で満たされたキャビティに露出する。すなわち、長尺部材１３とダイス部５の内面との間には隙間が形成される。したがって、長尺部材１３の上面側は、キャビティ内の塗膜材１５と接触する。
【００２７】
同様に、長尺部材１３の両側面とダイス部５およびガイド部３の内側面との間にも隙間が形成される。なお、長尺部材１３の側面には、必ずしも塗膜材１５を塗布する必要がない場合もあるが、長尺部材１３と、ダイス部５およびガイド部３の内側面との間に隙間が形成されないと、長尺部材１３を、塗布装置１内をスムーズに通過させることができない。したがって、長尺部材１３を塗布装置１内で高速で通過させることが可能な程度に、隙間を形成することが好ましい。
【００２８】
なお、ダイス部５およびガイド部３と長尺部材１３の側面とのクリアランスは数１０μｍ以上で、接触することなく走行可能なレベルとする。また、クリアランスが大き過ぎると液だれを引き起こすので１００μｍ程度を上限とするのが望ましい。
【００２９】
長尺部材１３の下面の少なくとも一部は、ガイド部３と接触する。ここで、ガイド部３上を進行する長尺部材１３には、キャビティ内の塗膜材１５の圧力が付与されるとともに、長尺部材１３の供給および巻き取り装置により所定の張力が与えられる。また、長尺部材１３は、張力が付与された状態（直線状）に対して、ガイド部３によって、やや上方に持ち上げられた状態で保持される。すなわち、長尺部材１３によってガイド部３は、下方へ押さえつけられる。このようにすることで、ガイド部３と長尺部材１３とを密着させることができる。
【００３０】
図１に示すように、ガイド部３の下部には、荷重検出部７および駆動部９が設けられる。荷重検出部７は、例えばロードセル等であり、ガイド部３から受ける荷重を検知することができる。前述の通り、ダイス部５の内部のキャビティには、所定の圧力で塗膜材１５が連続して充填される。
【００３１】
一方、ダイス部５を通過する長尺部材１３は、その厚みが必ずしも一定ではない。このため、長尺部材１３の厚み変動に応じて、キャビティ内の塗膜材１５の圧力（特に長尺部材１３の出口側における圧力）が変動する。例えば、長尺部材１３の一部にわずかに厚い部分があると、長尺部材１３とダイス部５のクリアランスが小さくなる。このため、当該部位における圧力が増加する。逆に、長尺部材１３の一部にわずかに薄い部分があると、長尺部材１３とダイス部５のクリアランスが大きくなる。このため、当該部位における圧力が低下する。
【００３２】
なお、このような圧力の変動は、長尺部材１３とのクリアランスが最も小さいダイス部５の出口近傍で顕著になる。したがって、塗膜材１５の圧力を監視することで、長尺部材１３とダイス部５との（特に出口近傍での）クリアランスの変動を検出することができる。すなわち、荷重検出部７は、ダイス部５内部の塗膜材１５の圧力を検出可能な圧力検出部である。
【００３３】
ダイス部５のキャビティ内の塗膜材１５の圧力が変動すると、ガイド部３への荷重が変動する。したがって、荷重検出部７によって、ガイド部３から受ける荷重を検出することで、キャビティ内部の圧力変動を検出することができる。すなわち、長尺部材１３の厚み変動を検出することができる。
【００３４】
駆動部９は、移動ステージ等の荷重付与装置およびガイド手段としての固定ステージ等から構成され、荷重検出部７と接続される。荷重検出部７で圧力変動が検出されると、駆動部９を、この圧力変動に応じて上下に移動させる（図中矢印Ｂ方向）。
【００３５】
駆動部９は、一定の力でガイド部３をダイス部５側に押し付ける。ダイス部５内の圧力変動が生じると、駆動部９は、ダイス部５の方向（図中上方）に対するガイド部３の押圧力を調整する。すなわち、駆動部９はダイス部５の内部の圧力調整部として機能する。このように、駆動部９を動作させることで、ダイス部５の内部を一定の圧力で保持するように調整することができる。
【００３６】
なお、駆動部９は、長尺部材１３の移動方向に対するガイド部３の中心に対して、ダイス部５の出口側（図中右側）に偏心して設置される。このようにすることで、ダイス部５の出口における圧力をより正確に把握し、ダイス部５の出口側におけるガイド部３の位置を精密に調整することができる。
【００３７】
なお、ガイド部３は、長尺部材１３との接触により、その進行方向に対して力を受ける。また、駆動部９がガイド部３の中心からずれた位置に配置されることで、ガイド部３が斜めに移動する恐れがある。このため、ガイド部３をダイス部５に対して平行に維持しつつ上下動させるために、ガイド部３には、図示を省略したガイド機構が設けられる。このガイド機構は、ガイド部３もしくはガイド部３に連結された部材に備えられ、ガイド部３が駆動部９により駆動される際、駆動部９による駆動方向に対しては機械的に規制しない一方、駆動部９による駆動方向と直角方向に対しては機械的に規制するものである。このガイド機構は、たとえばエアベアリングであり、ガイド部３が望ましくない方向へ変位するのを抑制しつつ低摺動での直動を実現する。
【００３８】
このようにすることで、長尺部材１３とダイス部５の隙間（特に出口部）が所定のクリアランスとなるように調整される。したがって、ダイス部５内に供給する塗膜材１５の圧力を制御することで、所望の膜厚の薄膜を形成することができる。
【００３９】
駆動部９によるガイド部３の押圧力を制御する場合には、例えば以下のようにすればよい。荷重検出部７によって検出される荷重は、ガイド部３内の塗膜材１５の圧力と、ガイド部３の自重と、長尺部材１３の張力に応じて、長尺部材１３から受ける荷重の和である。ここで、ガイド部３の自重と、長尺部材１３の張力は一定である。したがって、荷重検出部７で検知された荷重変動は、概ねダイス部５内の塗膜材１５の圧力変動であるといえる。
【００４０】
ここで、荷重検出部７により検出される荷重が増加したと判断すると、駆動部９によって瞬時にガイド部３を下方に移動させる必要がある。この際、駆動部９は、圧力増加に伴う荷重分をキャンセルするだけ移動させればよい。この場合には、ガイド部３の自重と長尺部材１３からの荷重は、いずれも下方に向いて付与されるため、この力も利用することで、圧力変動に対して瞬時にガイド部３を下方に移動させることができる。
【００４１】
逆に、荷重検出部７により検出される荷重が低下したと判断すると、駆動部９によって瞬時にガイド部３を上方に移動させる必要がある。この場合には、ガイド部３の自重と長尺部材１３からの荷重は、いずれも下方に向いて付与されるため、これに対抗してガイド部３を移動させる必要がある。しかし、駆動部９は、常に上方に向けて力を発揮しているため、ガイド部３を上方に移動させる際に、力の方向を変化させる必要がない。したがって、圧力変動に対して瞬時にガイド部３を上方に移動させることができる。
【００４２】
このように、駆動部９を下方のガイド部３側に配置することで、より精密な位置制御が可能となる。ダイス部５は、内部に塗膜材を保持するためのキャビティが形成されるため、ガイド部３よりも大きい。このため、ダイス部５側に荷重検出部７および駆動部９を配置した場合、軽量なガイド部３の位置制御を行う場合と比較して、重量の大きなダイス部５に対して位置制御を行う場合は、迅速かつ細かな位置制御が困難である。さらに、ダイス部５には、配管１１が接続されるため、配管１１とともにダイス部５を移動させる必要がある。このため、ダイス部５を精密に制御することが困難である。さらに、配管１１の接続や取り外しを行うたびに、ガイド部３の移動の挙動が変化する恐れがある。このように、本発明のように、ガイド部３側の位置制御を行うことで、膜厚をより精密に制御することができる。
【００４３】
なお、長尺部材１３の厚み変動が小さい場合や、塗膜材１５の厚み変化の許容幅が大きい場合には、荷重検出部７を用いずに、常に一定の力でガイド部３を上方に押圧可能な駆動部９のみを配置してもよい。
【００４４】
次に、長尺部材１３の表面に塗膜材１５に塗膜を形成する方法について説明する。長尺部材１３は、ホビン等から供給装置（図示省略）により、長尺部材１３前処理装置（図示省略）へ送られる。供給装置から連続して巻き出される長尺部材１３は、前処理装置によっての表面の洗浄・表面改質が行われる。例えば、走行する長尺部材１３に対して所定の成分のガス（プラズマが望ましい）や液体を照射もしくは浸漬して長尺部材１３の表面の洗浄や表面改質が行われる。
【００４５】
前処理装置の後工程には塗布装置１が配置される。なお、前処理装置から塗布装置１にかけては不活性ガスを満たす等により長尺部材１３が外気にさらされない構造にするのが望ましい。塗布装置１に導入された長尺部材１３は、前述の通り、ダイス部５の内部において、塗膜材１５と接触する。ダイス部５内部を長尺部材１３が通過する際、長尺部材１３の表面に塗膜材１５が付着する。長尺部材１３がダイス部５から導出する際に、長尺部材１３の上面と、ダイス部５の内面とのクリアランスに応じた厚みの塗膜材１５が持ち出される。
【００４６】
このようにして、長尺部材１３に塗膜材１５が塗布された後、図示を省略した乾燥・熱処理装置によって、塗膜材１５を乾燥し、所望の厚みの薄膜が形成される。また、薄膜が形成された長尺部材１３が図示を省略した巻き取り装置によって巻き取られる。このようにして、塗膜材１５が塗布された長尺部材１３を形成することができる。
【００４７】
以上説明したように、本実施の形態によれば、ガイド部３側を駆動部９によって制御するため、ガイド部３側を制御する場合と比較して、より精度よく位置を制御することができる。また、配管１１の影響を受けることがないため、再現性も高い。したがって、長尺部材１３の表面の膜厚を精度よく形成することができる。
【００４８】
次に、第２の実施の形態について説明する。図３は、塗布装置２０を示す側方断面図である。なお、以下の説明において、塗布装置１と同様の構成については、図１、図２と同様の符号を付し、重複する説明を省略する。塗布装置２０は、塗布装置１と同様の構成を具備するが、ダイス部２３が用いられる点で異なる。
【００４９】
ダイス部２３には配管１１が接続される。ダイス部２３には、可変テーパ部２１が設けられる。可変テーパ部２１は、ダイス部２３の出口に対応する部位近傍を軸として、テーパ角度が変化するように移動可能である（図中矢印Ｄ方向）。ダイス部２３の本体は、可変テーパ部２１の回転に伴い可変テーパ部２１の先端が接触するように断面円弧状に曲面で構成される。したがって、ダイス部２３の本体部と可変テーパ部２１とで囲まれた空間がキャビティとなる。
【００５０】
可変テーパ部２１は、あらかじめ位置が設定される。その状態で、前述した塗布装置１と同様に、長尺部材１３に塗膜材１５を塗布することができる。
【００５１】
このように、可変テーパ部２１を設け、可変テーパ部２１の角度を調整することで、ダイス部２３の出口側の圧力を変更することができる。したがって、所望の圧力に設定した後、駆動部９等を用いてダイス部２３の内部の圧力を制御することで、設定した圧力を一定に保ち、塗膜材１５を長尺部材１３に塗布することができる。
【実施例】
【００５２】
以下に、本発明の一実施例を示す。図１に示す塗布装置１を用いて長尺部材へ塗膜材を塗布した。
長尺部材１３として、厚さ１００μｍのポリエチレンテレフタラート（ＰＥＴ）に酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）が製膜されたものを幅５ｍｍにスリット加工したものを用いた。塗膜材としては、導電性ポリマー材料であるｐｏｌｙ（３，４−ｅｔｈｙｌｅｎｅｄｉｏｘｙｔｈｉｏｐｈｅｎｅ）：ｐｏｌｙ（ｓｔｙｒｅｎｅ  ｓｕｌｆｏｎａｔｅ）  （ＰＥＤＯＴ：ＰＳＳ）  水分散液（Ｈｅｒａｅｕｓ社製：ＣＬＥＶＩＯＳ  Ｐ  ＡＩ  ４０８３（商品名））を用いた。
【００５３】
長尺部材の進行速度を５ｍ／ｍｉｎとし、長尺部材１３の表面に厚さ約１５０ｎｍの塗膜を形成した。このとき、駆動部９を動作させることで、ダイス部５の内部の圧力を１．２ｋＰａに保持するように調整した。長尺部材１３に塗膜材１５が塗布された後、塗膜材１５を乾燥・熱処理装置によって１５０℃を超えない温度に加温された窒素流で乾燥し塗膜を形成した。また、塗膜が形成された長尺部材１３を巻き取り装置によって巻き取った。以上により、長尺部材の表面に塗膜が形成された。
【００５４】
薄膜が形成された長尺部材１３を約１００ｍｍ採取し、長さ方向が２０ｍｍ、４０ｍｍ、６４ｍｍとなる点において、それぞれ幅方向の異なる点から５か所ずつ塗膜の厚さを測定した。結果を図４に示す。図４に示すように、本実施形態によれば、全ての測定位置において目標値１５０ｎｍの±５％以内の厚さで塗膜が形成されていた。
【００５５】
以上、添付図を参照しながら、本発明の実施の形態を説明したが、本発明の技術的範囲は、前述した実施の形態に左右されない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された技術的思想の範疇内において各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
【００５６】
例えば、ダイス部５等を下方に配置し、ガイド部３を上方に配置した場合には、駆動部９等はガイド部３の上方に配置すればよい。この場合でも、ガイド部３には配管１１が接続されないため、ガイド部３の位置を制御する場合と比較して、精度よく圧力制御を行うことができる。
【符号の説明】
【００５７】
１、２０………塗布装置
３………ガイド部
５、２３………ダイス部
７………荷重検出部
９………駆動部
１１………配管
１３………長尺部材
１５………塗膜材
２１………可変テーパ部
【図１】
2014210216.tif 000003
【図２】
2014210216.tif 000004
【図３】
2014210216.tif 000005
【図４】
2014210216.tif 000006