(57)【要約】【課題】浸珪処理による高珪素鋼板の製造において、押し疵欠陥の発生を抑制するのに好適な高珪素鋼板の製造方法を提供する。【解決手段】浸珪処理炉を有する浸珪処理ラインで、四塩化珪素を含有する雰囲気中にて鋼板に浸珪処理を施す高珪素鋼板の製造方法において、前記浸珪処理炉から未反応の四塩化珪素を回収し液化して貯留し、貯留した四塩化珪素液を気化して前記浸珪処理炉での浸珪処理に再利用する際、四塩化珪素液を貯留する槽内に前記四塩化珪素液を気化する手段を設けるとともに、該四塩化珪素液を貯留する槽の底部から、四塩化珪素液を排出することを特徴とする高珪素鋼板の製造方法。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
浸珪処理炉を有する浸珪処理ラインで、四塩化珪素を含有する雰囲気中にて鋼板に浸珪処理を施す高珪素鋼板の製造方法において、前記浸珪処理炉から未反応の四塩化珪素を回収し液化して貯留し、貯留した四塩化珪素液を気化して前記浸珪処理炉での浸珪処理に再利用する際、四塩化珪素液を貯留する槽内に前記四塩化珪素液を気化する手段を設けるとともに、該四塩化珪素液を貯留する槽の底部から、四塩化珪素液を排出することを特徴とする高珪素鋼板の製造方法。
【請求項２】
前記四塩化珪素液の排出先を、前記浸珪処理ラインに設置された、四塩化珪素を含有する排ガスを処理する排ガススクラバーの循環タンクとすることを特徴とする請求項１に記載の高珪素鋼板の製造方法。
【請求項３】
前記排ガススクラバーが水またはアルカリ水溶液を吸収体とするスクラバーであり、四塩化珪素液を該排ガススクラバーの循環タンクに排出する際、前記四塩化珪素液の排出量に応じて、前記循環タンクへ供給する水量またはアルカリ水溶液量を調整することを特徴とする請求項２に記載の高珪素鋼板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、浸珪処理法による高珪素鋼板の製造方法に関し、特に鋼板に押し疵等の欠陥が発生するのを抑制するのに好適な高珪素鋼板の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
Ｓｉ含有量が４ｗｔ％以上の高珪素鋼板を工業的に製造する方法として、特許文献１等に示される浸珪処理法が知られている。この浸珪処理による高珪素鋼板の製造方法は、工業的プロセスで圧延が可能なＳｉ含有量が少ない鋼板と四塩化珪素（ＳｉＣｌ４）とを高温で反応させることにより鋼板にＳｉを浸透させ、浸透したＳｉを板厚方向に拡散させることにより高珪素鋼板を得る方法である。具体的には、浸珪処理による高珪素鋼板の製造方法は、Ｓｉ：４ｗｔ％未満の鋼板を無酸化性ガス雰囲気の加熱帯である加熱炉において浸珪処理温度まで加熱した後、浸珪帯である浸珪処理炉において四塩化珪素を含む雰囲気中にて、四塩化珪素を含む処理ガスを鋼板面に吹き付けること等によりＳｉを鋼板に浸透させ、次いで無酸化性ガス雰囲気の拡散均熱帯である均熱炉で熱処理することにより鋼板表層に浸透したＳｉを板厚方向に拡散させ、しかる後、冷却帯である冷却炉で冷却することでコイル状の高珪素鋼板を連続的に製造する方法である。
【０００３】
従来、このような浸珪処理による高珪素鋼板の製造においては、安価に高珪素鋼板を製造するために、浸珪処理炉で使用された四塩化珪素を含む排ガスから原料である未反応の四塩化珪素を回収し、これをリサイクル使用している。すなわち、浸珪処理で使用された雰囲気ガスには未反応の四塩化珪素が含まれているため、浸珪処理で使用されたガスは浸珪帯より排気され、次いでその排気ガス中から排ガス処理設備にて四塩化珪素を回収して再利用されていた。
【０００４】
一方、このように四塩化珪素を含む雰囲気中で鋼板を連続的に浸珪処理する場合、浸珪帯の雰囲気中に含まれる酸素分、さらには上記したような四塩化珪素を回収して再利用する工程に存在する酸素分がＳｉＣｌ４と反応して珪素酸化物を生成し、この珪素酸化物が炉内ハースロール等の鋼板に接触する部分に付着し、鋼板に押し疵を発生させるという問題があった。このような問題を解決するため、例えば特許文献２の技術では、浸珪帯およびその排ガスから四塩化珪素を回収する処理系において、雰囲気中の酸素分をなるべく少なくするため、浸珪帯等の雰囲気における酸素濃度および水蒸気濃度を所定の条件で管理することが提案されており、雰囲気を管理する方法として、諸設備における摺動部分のシール性向上等が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開昭６２−２２７０７８号公報
【特許文献２】特開２００１−３１６７９６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、シール性向上等により排ガス処理設備等の気密性を改善しても、上記したような押し疵の発生を十分に抑制できない場合があった。
【０００７】
本発明はこのような問題に鑑みてなされたもので、特に鋼板の押し疵等の欠陥の発生を抑制するのに好適な高珪素鋼板の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明者らは上記のような浸珪処理により高珪素鋼板を製造する場合、製造中の鋼板に押し疵が生じる原因について検討を重ねた。その結果、浸珪処理炉からの排ガスを処理する排ガス処理設備で回収した四塩化珪素（ＳｉＣｌ４）が、系内に侵入した微量酸素と結合してＳｉ２Ｃｌ６Ｏ（ヘキサクロロジシロキサン）等のシロキサンを生成し、その後生成したシロキサンがＳｉＣｌ４と共に浸珪処理炉内に再投入されると、シロキサンが鋼板と反応して鋼板表面に珪素酸化物であるＳｉＯ２（シリカ）が生成すること、この鋼板面に生成したＳｉＯ２が炉内ハースロール（鋼板搬送ロール）に付着して成長することによりロール表面に凹凸を生じさせ、この凹凸が高温に加熱されている鋼板に押し疵を生じさせていることを知見した。そして、この排ガス設備で回収したＳｉＣｌ４に含まれるシロキサンを定期的に除去した上で、浸珪処理炉内に再投入することで上記課題を解決して高珪素鋼板の押し疵の発生を大きく抑制できることを見出した。
【０００９】
ここで、シロキサンを除去するためには回収したＳｉＣｌ４の排出処理（ダンピング処理ともいう）を行ってもよいが、そのためには、高濃度の四塩化珪素を含有する排出液（ダンピング液ともいう）を多量に処理するための専用施設を設置する必要があり、施設建設によりコストが増加するという問題がある。
【００１０】
本発明者らは鋭意検討し、連続浸珪処理により高珪素鋼板を製造するプロセスにおいて、効率的にシロキサンの除去を行い、炉内で鋼板搬送ロール表面へのシリカの付着を抑制して、鋼板の押し疵発生を抑制する方法として、次のようにシロキサンによる四塩化珪素の劣化液を除去し無害化処理する方法を見出した。
【００１１】
すなわち、シロキサンとして最も四塩化珪素に物性が近く分離しにくいＳｉ２Ｃｌ６Ｏ（ヘキサクロロジシロキサン）を分離対象として考えた。Ｓｉ２Ｃｌ６Ｏの沸点は１３７℃、四塩化珪素の沸点は５７．５℃である。一方、四塩化珪素の回収、再利用を行う排ガス処理設備では、一旦四塩化珪素を液化して、液体状態の四塩化珪素である四塩化珪素液とし、この四塩化珪素液を蒸発器内に貯留し、加熱して気化する。ここで、上記したようにＳｉ２Ｃｌ６Ｏは四塩化珪素よりも気化しにくく、蒸発器底部に液体として濃化残留するため、このＳｉ２Ｃｌ６Ｏが濃化した四塩化珪素液を定期的に蒸発器の底部よりダンピング処理することで、再利用する四塩化珪素のＳｉ２Ｃｌ６Ｏによる劣化を抑制する。
【００１２】
なお、浸珪処理ラインには、本来は浸珪処理ラインでの製造プロセスで発生する、比較的低濃度の四塩化珪素を含有した排ガスを加水分解し中和処理するための排ガススクラバー設備を有しており、上記蒸発器の底部からのダンピング液の処理先を、この排ガススクラバー設備とすることが好ましい。該ダンピング液の処理は、比較的少量ずつであるため、排ガススクラバー設備でも対応が可能である。
本発明はかかる知見に基づきなされたものであり、本発明の要旨構成は次のとおりである。
【００１３】
［１］浸珪処理炉を有する浸珪処理ラインで、四塩化珪素を含有する雰囲気中にて鋼板に浸珪処理を施す高珪素鋼板の製造方法において、前記浸珪処理炉から未反応の四塩化珪素を回収し液化して貯留し、貯留した四塩化珪素液を気化して前記浸珪処理炉での浸珪処理に再利用する際、四塩化珪素液を貯留する槽内に前記四塩化珪素液を気化する手段を設けるとともに、該四塩化珪素液を貯留する槽の底部から、四塩化珪素液を排出することを特徴とする高珪素鋼板の製造方法。
【００１４】
［２］前記四塩化珪素液の排出先を、前記浸珪処理ラインに設置された、四塩化珪素を含有する排ガスを処理する排ガススクラバーの循環タンクとすることを特徴とする上記［１］に記載の高珪素鋼板の製造方法。
【００１５】
［３］前記排ガススクラバーが水またはアルカリ水溶液を吸収体とするスクラバーであり、四塩化珪素液を該排ガススクラバーの循環タンクに排出する際、前記四塩化珪素液の排出量に応じて、前記循環タンクへ供給する水量またはアルカリ水溶液量を調整することを特徴とする上記［２］に記載の高珪素鋼板の製造方法。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、浸珪処理炉から回収した四塩化珪素を再利用しつつ、炉内の鋼板搬送ロール表面への付着物の生成を防止して鋼板へ押し疵の発生を抑制した高珪素鋼板の製造方法を提供することができ、高珪素鋼板の生産性を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】浸珪処理ラインの模式図である。
【図２】四塩化珪素液を貯留する蒸発器および排ガススクラバー設備の模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下に本発明の詳細について説明する。
本発明の高珪素鋼板の製造方法では、浸珪処理炉で四塩化珪素を含有する雰囲気中にて鋼板に浸珪処理を施す。ここで、浸珪処理に供する鋼板は、特に限定するものではないが、圧延による製造が容易なＳｉの含有量が４質量％未満の鋼板を用いることが好ましい。また、浸珪処理の負荷を軽減する観点からは、鋼板のＳｉ含有量の下限は２質量％程度とすることが好ましい。このようなＳｉ含有量が比較的少ない鋼板を浸珪処理して、高珪素鋼板とする。浸珪処理後の高珪素鋼板のＳｉ含有量は、優れた磁気特性を確保するため、５質量％〜１０質量％程度とすることが好ましい。なお、鋼板の板厚方向でのＳｉ濃度分布は、浸珪処理後に拡散処理を行うことにより、均一としてもよく、また、拡散処理を行わない、もしくは拡散処理条件を調整することにより、鋼板の板厚方向にＳｉ濃度の傾斜を生じさせてもよい。
【００１９】
また、高珪素鋼板の製造は、浸珪処理炉を有する浸珪処理設備（浸珪処理ラインともいう）にて行う。ここで、浸珪処理ラインは、具体的には、特許文献１や特許文献２に示されるように加熱炉、浸珪処理炉、均熱炉、冷却炉を順に備えるものとすればよく、常法に従い浸珪処理を施すことができる。
【００２０】
図１に従来の浸珪処理ラインの模式図を示す。浸珪処理ラインでは、上記したようなＳｉ含有量が比較的少ない鋼板Ｓを、無酸化性ガス雰囲気（実質的に不活性ガスまたはＮ２からなる雰囲気）の加熱炉１において浸珪処理温度まで加熱し、浸珪処理炉２において四塩化珪素を含む雰囲気中にてＳｉを鋼板に浸透させ、無酸化性ガス雰囲気の均熱炉３で熱処理することにより鋼板表層に浸透したＳｉを板厚方向に拡散させ、冷却炉４で冷却する。
【００２１】
また、本発明の高珪素鋼板の製造方法では、浸珪処理炉の排ガスから未反応の四塩化珪素を回収して再利用する。図１に示した浸珪処理ラインの模式図を用い、従来行われている四塩化珪素の回収、再利用について説明する。
【００２２】
浸珪処理炉２から排出される四塩化珪素を含む排ガスは、四塩化珪素回収装置５および蒸発器６を有する排ガス処理設備１０にて四塩化珪素を回収、再利用される。四塩化珪素回収装置５では四塩化珪素を含む排気ガスを回収して冷却し、排ガス中の四塩化珪素を液化して四塩化珪素液とする。次いで得られた四塩化珪素液を、気化装置である蒸発器６に供給し、蒸発器６内に設けた加熱手段で加熱して気化し、気化した四塩化珪素を浸珪処理炉２に送給して、四塩化珪素を再利用している。
【００２３】
ここで、浸珪処理において、浸珪処理炉からの排気ガス中に含まれる四塩化珪素を回収、再利用する際、回収、再利用する系内に浸入した微量のＯ２と四塩化珪素が反応して、Ｓｉ２Ｃｌ６Ｏ（ヘキサクロロジシロキサン）を生成する。この生成メカニズム（反応式）を（１）式に示す。
【００２４】
４ＳｉＣｌ４＋Ｏ２  →  ２Ｓｉ２Ｃｌ６Ｏ＋４Ｃｌ−・・・・・（１）
【００２５】
上記したように、Ｓｉ２Ｃｌ６Ｏが生成し、ＳｉＣｌ４と混合すると、浸珪処理炉内において鋼板に浸珪処理を施す際に、シリカが発生し、これが炉内のハースロールに付着・堆積すると板に疵をつけてしまう問題が発生する。また、鋼板中のＣと反応し脱炭が生じ、鋼板の品質が変化してしまう。
【００２６】
すなわち、通常の浸珪反応は、
ＳｉＣｌ４＋５Ｆｅ  →  Ｆｅ３Ｓｉ＋２ＦｅＣｌ２
であるが、雰囲気中にシロキサンが存在すると、以下の反応、
３Ｓｉ２Ｃｌ６Ｏ＋２４Ｆｅ＋Ｃ  →  ５Ｆｅ３Ｓｉ＋９ＦｅＣｌ２＋ＣＯ＋ＳｉＯ２
が生じ、脱炭（右辺：ＣＯ）と、シリカ生成（右辺：ＳｉＯ２）が生じてしまう。
【００２７】
本発明者らが種々検討した結果、浸珪処理炉から排ガスとして回収されるシロキサンであるＳｉ２Ｃｌ６Ｏが混入し劣化した四塩化珪素液を、蒸発器の底から定期的に排出（ダンプアウト）することが有効であることを見出した。浸珪処理炉から回収された四塩化珪素ガスは液化され、蒸発器に貯留されて、これを加熱することにより、四塩化珪素ガスが発生して炉内に投入される。ここで、上記したように、四塩化珪素は沸点が５７．５℃である一方、Ｓｉ２Ｃｌ６Ｏは沸点が１３７℃であるため、Ｓｉ２Ｃｌ６Ｏより四塩化珪素のほうが気化しやすい。よって、気化させる温度（蒸発温度）を制御することで、四塩化珪素の方が優先的に気化して、蒸発器底部にＳｉ２Ｃｌ６Ｏが液体として残留し、濃化していく。具体的には、蒸発温度を９０℃程度とすることが好ましい。
【００２８】
このようなＳｉ２Ｃｌ６Ｏが濃化した、四塩化珪素とシロキサンの混合液を蒸発器底部からダンプアウトすることで、蒸発器から炉内へ還流される四塩化珪素ガスにおけるＳｉ２Ｃｌ６Ｏの混入を低減することができる。
ダンプアウトは定期的に行ってもよいが、例えば、鋼中Ｃ量の変化（脱炭量）を管理して、鋼中Ｃ量が管理値以下になれば炉内へのＳｉ２Ｃｌ６Ｏの混入量が増加したと判断して、そのような混入するＳｉ２Ｃｌ６Ｏが増加するタイミングでダンプアウトを実施してもよい。ダンプアウトする量は特に規定するものではないが、例えばダンプアウトノズル先端での反応生成物による詰まり防止のため、９０〜１３０Ｌ／分程度とすることが好ましい。
【００２９】
ここで、ダンプアウト液（四塩化珪素とＳｉ２Ｃｌ６Ｏ等のシロキサンの混合液）について、加水分解や中和処理を行うためには、通常、専用の処理設備が必要となるが、浸珪処理ラインでは、浸珪処理プロセスで発生する低濃度の四塩化珪素を含有した、例えば主成分がＮ２からなる排ガスを中和処理するための排ガススクラバー設備が併設されている。なお、このスクラバーでは、例えば水やアルカリ水溶液を吸収体としている。よって、ダンプアウト液を排ガススクラバー設備の循環タンクへ送給することが考えられる。
【００３０】
図２に基づき、排ガススクラバー設備を用いて、Ｓｉ２Ｃｌ６Ｏの混入したダンプアウト液を処理する方法について説明する。図２に示す排ガススクラバー設備２０は、３つの塔を有し、吸収体を水またはアルカリ水溶液とするスクラバー設備である。排ガススクラバー第１塔２１に、製造プロセスで発生する低濃度の四塩化炭珪素を含有した主成分がＮ２である排ガスＧを供給する。排ガススクラバー第１塔２１の内部では、吸収体である水を循環タンク２１０から循環ポンプ２１２で吸い上げ、スプレーノズル２１１から放出することで循環タンク２１０に戻して循環しつつ、四塩化珪素を吸収体である水に吸収させ、加水分解させる。次いで、四塩化珪素濃度が低下した排ガスＧは、排ガススクラバー第２塔２２に供給され、吸収体を循環タンク２２０から循環ポンプ２２２で吸い上げ、スプレーノズル２２１から放出することで循環タンク２２０に戻して循環している。この第２塔には吸収体としてアルカリ水溶液を投入することで、酸性の排ガスをより積極的に吸収体に吸収させて、中和させている。さらに、四塩化珪素の濃度が低下した排ガスＧは、排ガススクラバー第３塔に供給され、吸収体を循環タンク２３０から循環ポンプ２３２で吸い上げ、スプレーノズル２３１から放出することで循環タンク２３０に戻して循環している。この第３塔でも吸収体としてアルカリ水溶液を投入することで、酸性の排ガスをより積極的に吸収体に吸収させて、中和させている。四塩化珪素が取り除かれた排ガスＧは、最終的に大気放散される。なお、図２の排ガススクラバー設備２０では、第１塔２１の循環タンク２１０に補給水Ｗを供給しており、循環タンク２１０からオーバーフローした水が循環タンク２２０に流れこむ。また、第２塔２２の循環タンク２２０にはアルカリ水溶液Ａを供給しており、その後、排水ポンプ２２４から排水処理設備（図示せず）に排出される。また、第３塔の循環タンクでも、上記第２塔と同様にアルカリ水溶液Ａを供給し、排水ポンプ２２５から排水処理設備への排出を行っている。なお、吸収体である水は四塩化珪素が溶解（加水分解）して酸性となるため、循環タンク内の水はｐＨの管理をしており、アルカリ水溶液として供給される、ＮａＯＨ、ＫＯＨ、Ｃａ（ＯＨ）２、Ａｌ（ＯＨ）３などのアルカリで中和処理をしてから、排水処理設備に排出される。また、循環タンク２１０、２２０には、浮遊固体物を捕獲する浮遊固体物の捕獲箱２１３、２２３を設置している。
【００３１】
ここで、図２に示すように、蒸発器６は、四塩化珪素液を貯留する槽を形成しており、槽内に四塩化珪素液を気化する加熱手段１００が設けられている。なお、該加熱手段１００は槽内に設けた配管内部に水蒸気を通すことで、加熱槽内の四塩化珪素液を加熱するようにしている。四塩化珪素回収装置５で回収した四塩化珪素液Ｌは蒸発器６に供給されて貯留され、槽内に設けた加熱手段１００で加熱して、四塩化珪素が気化され、四塩化珪素（気体）Ｖは、浸珪処理炉２へ供給される。蒸発器６では、加熱手段１００により上記したように、四塩化珪素（沸点：５７．５℃）が気化し、かつ、混入するＳｉ２Ｃｌ６Ｏ（沸点：１３７℃）が気化しにくい温度に加熱し、蒸発器６中にＳｉ２Ｃｌ６Ｏを濃化させる。
【００３２】
蒸発器６の底部には、四塩化珪素液をダンプアウトするための排出口１０１、排出口用のバルブ１０２が設けられており、該バルブ１０２を開くことで、四塩化珪素液の排出を行う。排出された四塩化珪素液は、配管１０３を通って、排ガススクラバー設備の循環タンク内に排出される。配管１０３は先端にダンプアウトノズルであるノズル１０４を有しており、図２では、ダンプアウトされた四塩化珪素液は、ノズル１０４から、排ガススクラバー設備２０内の排ガススクラバー第１塔２１のスクラバー循環タンク２１０内の吸収体である水中に排出される。
【００３３】
ここで、ダンプアウト液の原液を直接水と反応させるため、ダンプアウト液をスクラバー中へ投入する場所によっては、塩化水素ヒュームが大量発生し、周囲へも飛散してしまうので、直接、循環タンクの水中に投入するようにして、極力塩化水素ヒューム発生を抑止している。その際、ダンプアウト液を少しずつ入れると、反応生成するシリカによってノズル先端が詰まってしまい、多量に入れると反応生成する水ガラス等（オルト珪酸、メタ珪酸ナトリウム）によりノズルが詰まってしまう危険性があるとともに、反応熱によりノズルが破損する危険性もある。よって、シリカによる目詰まりが生じないようにダンプアウト液の流量を制御するとともに、ダンプアウト流量に応じて、循環タンクに新たに供給する水（補給水）量を調整することにより、反応生成する水ガラス等によるノズル閉塞を防止することが好ましい。
【００３４】
すなわち、反応生成物であるオルト珪酸やメタ珪酸ナトリウム等は溶解度が非常に小さいために、これらが生成してノズルに付着しないよう、溶解させるためには、十分な水の補給が必要となる。このため、循環タンクへの補給水量としては、ダンプアウト流量の５倍〜２６倍とすることが好ましい。また、複数の洗浄塔を有するスクラバーの場合、第１塔目の循環タンクにダンピング液を投入することが、上記の反応生成物の抑制の点で好ましい。
【実施例】
【００３５】
鋼板のＳｉ濃度が３．７質量％である珪素鋼板に、図１に示した浸珪処理ラインで浸珪することにより、Ｓｉ濃度が６．５質量％の高珪素鋼板を製造した。その際、浸珪処理炉から排出される未反応の四塩化珪素ガスを回収して液化して蒸発器に貯留し、これを９０℃に加熱して気化させることにより、四塩化珪素ガスとして浸珪処理に再利用した。また、図２に示すような設備を用いて、蒸発器の底部から定期的にシロキサンが濃化した四塩化珪素液をダンピング処理した。ここで、蒸発器の底部から四塩化珪素液を排出するダンピング処理は、鋼板の炭素量の変化をモニタリングし、押し疵防止の観点から予め定めた炭素量の下限値以下となった場合にダンピング処理を行った（発明例）。一方、比較として、ダンピング処理を行わないで浸珪処理する操業も別途行った。
【００３６】
ダンピング実施および未実施の両方について、押し疵による不良での切り捨て量（全量による比率）を調査した。なお、押し疵の評価は、製造した高珪素鋼板について、目視により押し疵欠陥の観察を行うことにより行った。その結果、比較例（ダンピング未実施）での切り捨て量の比率が１．０％であったのに対して、本発明（ダンピング実施）では、切り捨て量の比率が０．５％と低減していた。
【００３７】
また、上記本発明例では、ダンピング処理液を排ガススクラバー設備の第１塔目の循環タンクに投入した。その際、補給水をダンプアウト流量と同等にした場合、ダンピング処理液をスクラバーに投入するノズルに閉塞が生じ、ノズルの交換が必要となったが、補給水をダンプアウト流量の１０倍とした場合、前記の処理の間にノズルの閉塞が生じなかった。
【符号の説明】
【００３８】
１    加熱炉
２    浸珪処理炉
３    均熱炉
４    冷却炉
５    四塩化珪素回収装置
６    蒸発器
１０  排ガス処理設備
２０  排ガススクラバー設備
２１  排ガススクラバー第１塔
２２  排ガススクラバー第２塔
２３  排ガススクラバー第３塔
１００  加熱手段
１０１  排出口
１０２  排出口用バルブ
１０３  配管
１０４  ノズル（ダンプアウトノズル）
２１０、２２０、２３０  循環タンク
２１１、２２１、２３１  スプレーノズル
２１２、２２２、２３２  循環ポンプ
２１３、２２３  浮遊固体物の捕獲箱
２２４、２２５  排水ポンプ
Ｓ    鋼板
Ｇ    低濃度の四塩化珪素を含有する排ガス（主成分：Ｎ２）
Ｌ    四塩化珪素液
Ｖ    四塩化珪素（気体）
Ｗ    補給水
Ａ    アルカリ水溶液
【図１】
2014210957.tif 000003
【図２】
2014210957.tif 000004