(57)【要約】【課題】分類結果を記録することで、自動検査の性能評価を簡単することが可能な検査装置評価システムを提供する。【解決手段】検査装置に対して行う検査の評価用データが書き込まれたデータ記憶部と、この評価用データの基づく検査結果である分類結果が書き込まれた結果記憶部とを備え検査装置評価システムである。データ記憶部とそれに対応する結果記憶部とが一つのファイルに収容される。ファイルは複数種類を備える。評価したい評価用データが書き込まれているファイルのみの選択を可能とした。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査装置に対して行う検査の評価用データが書き込まれたデータ記憶部と、この評価用データの基づく検査結果である分類結果が書き込まれた結果記憶部とを備え検査装置評価システムであって、前記データ記憶部とそれに対応する結果記憶部とが一つのファイルに収容され、このファイルは複数種類を備え、評価したい評価用データが書き込まれているファイルのみの選択を可能としたことを特徴とする検査装置評価システム。
【請求項２】
検査装置に対して行う検査の評価用データが書き込まれたデータ記憶部と、この評価用データの基づく検査結果である分類結果が書き込まれた結果記憶部とを備え検査装置評価システムであって、データ記憶部と結果記憶部とがそれぞれ別のファイルに収容され、各ファイルはそれぞれ複数種類を備え、評価したい評価用データが書き込まれているデータファイルへのアクセスによって、データファイルのデータ記憶部に対応した結果記憶部が書き込まれている記憶ファイルへの検索が可能であることを特徴とする検査装置評価システム。
【請求項３】
検査装置に対して行う検査の評価用データが書き込まれたデータ記憶部と、この評価用データの基づく検査結果である分類結果が書き込まれた結果記憶部とを備え検査装置評価システムであって、データ記憶部と結果記憶部とがそれぞれ別のファイルに収容され、各ファイルはそれぞれ複数種類を備えるとともに、リンクファイルを有し、このリンクファイルへのアクセスによって、評価用データが書き込まれているデータファイル及びデータファイルのデータ記憶部に対応した結果記憶部が書き込まれている記憶ファイルへの検索が可能であることを特徴とする検査装置評価システム。
【請求項４】
検査装置が画像撮像手段を備え、この検査装置による検査が製品の外観検査であることを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の検査装置評価システム。
【請求項５】
評価用データが、画像撮像手段にて撮像される製品の画像であることを特徴とする請求項４項に記載の検査装置評価システム。
【請求項６】
分類結果が良か不良の判断結果であることを特徴とする請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載の検査装置評価システム。
【請求項７】
不良である場合、その不良の内容も分類結果に含められることを特徴とする請求項６に記載の検査装置評価システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査装置評価システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウェハを格子状に切断して得られる半導体チップには、そのダイシング面にチッピング（欠け）や亀裂が生じる場合がある。そのため、半導体チップのダイシング面を外観観察して、チッピングや亀裂がないか検査することが行われている（特許文献１）。
【０００３】
一般に、半導体チップの外観検査はカメラを用いて行っている。また、このような外観検査装置の性能を評価する必要もある。性能評価方法としては、例えば、評価や分類項目等をファイル１に書き込んでリスト管理する方法（図７参照）、評価や分類項目等をデータベース２に登録して管理する方法（図８参照）等がある。リスト管理する方法では、一括評価時にファイル１を読み込んで、評価を実行する。また、データベース２に登録して管理する方法では、一括評価時に検索し、評価する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−１５０８３７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
リスト管理する方法では、リスト中で評価対象を選択する必要があり、手間がかかる作業となっている。また、データベースに登録して管理する方法では、データベースを用意する必要があり、システムの規模が大きくなる。
【０００６】
データを一括管理するため、一括管理データ増減のたびに管理データを更新する必要がある。また、間接的に管理されている場合、デッドリンク等、データ散逸のリスクがある。
【０００７】
そこで、本発明は斯かる実情に鑑み、分類結果を記録することで、自動検査の性能評価を簡単することが可能な検査装置評価システムを提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の第１の検査装置評価システムは、検査装置に対して行う検査の評価用データが書き込まれたデータ記憶部と、この評価用データの基づく検査結果である分類結果が書き込まれた結果記憶部とを備え検査装置評価システムであって、前記データ記憶部とそれに対応する結果記憶部とが一つのファイルに収容され、このファイルは複数種類を備え、評価したい評価用データが書き込まれているファイルのみの選択を可能としたものである。
【０００９】
本発明の第１の検査装置評価システムによれば、データ記憶部とそれに対応する結果記憶部とが一つのファイルに収容されているので、検査装置に対して行いたい検査の評価用データが書き込まれたファイルにアクセスすれば、この評価用データに対応した分類結果を読み込むことができる。
【００１０】
本発明の第２の検査装置評価システムは、検査装置に対して行う検査の評価用データが書き込まれたデータ記憶部と、この評価用データの基づく検査結果である分類結果が書き込まれた結果記憶部とを備え検査装置評価システムであって、データ記憶部と結果記憶部とがそれぞれ別のファイルに収容され、各ファイルはそれぞれ複数種類を備え、評価したい評価用データが書き込まれているデータファイルへのアクセスによって、データファイルのデータ記憶部に対応した結果記憶部が書き込まれている記憶ファイルへの検索が可能であるものである。
【００１１】
本発明の第２の検査装置評価システムによれば、評価したい評価用データが書き込まれているデータファイルにアクセスすれば、この評価用データに対応した分類結果が書き込まれたファイルを探索することができる。
【００１２】
本発明の第３の検査装置評価システムは、検査装置に対して行う検査の評価用データが書き込まれたデータ記憶部と、この評価用データの基づく検査結果である分類結果が書き込まれた結果記憶部とを備え検査装置評価システムであって、データ記憶部と結果記憶部とがそれぞれ別のファイルに収容され、各ファイルはそれぞれ複数種類を備えるとともに、リンクファイルを有し、このリンクファイルへのアクセスによって、評価用データが書き込まれているデータファイル及びデータファイルのデータ記憶部に対応した結果記憶部が書き込まれている記憶ファイルへの検索が可能であるものである。
【００１３】
本発明の第３の検査装置評価システムによれば、リンクファイルへのアクセスすることによって、評価したい評価用データが書き込まれているデータファイル、及びデータファイルのデータ記憶部に対応した結果記憶部が書き込まれている記憶ファイルへの探索が可能となる。
【００１４】
検査装置が画像撮像手段を備え、この検査装置による検査が製品の外観検査であるものとできる。また、評価用データが、画像撮像手段にて撮像される製品の画像であるものであってもよい。
【００１５】
分類結果が良か不良の判断結果であってもよく、さらには、不良である場合、その不良の内容も分類結果に含められるのが好ましい。
【発明の効果】
【００１６】
本発明では、評価用データとこれに対応する分類結果とを関連づけることができ、複数の評価用データから評価したいデータを選択して、装置検査性能を評価することができる。すなわち、評価したい評価用データを任意個数選択し、検査性能評価することができ、任意のデータ整理が可能となる、特に、第１の検査装置評価システムでは、評価用データとこれに対応する分類結果とる強く結び付いているため、データの散逸のリスクを無くすことができる。
【００１７】
検査装置が画像撮像手段を備えた製品の外観検査であれば、この外観検査の性能評価を簡単に行うことができる。また、分類結果が良か不良の判断結果であって、不良である場合、その不良の内容も分類結果に含められるものであれば、より精度の高い性能評価を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の第１の実施形態の検査装置評価システムのファイルを示す簡略図である。
【図２】前記図１に示す検査装置評価システムにて性能評価を行う方法を示す簡略図である。
【図３】検査装置の簡略図である。
【図４】前記検査装置にて撮像された画像を示す図である。
【図５】本発明の第２の実施形態の検査装置評価システムのファイルを示す簡略図である。
【図６】本発明の第３の実施形態の検査装置評価システムのファイルを示す簡略図である。
【図７】従来の検査装置評価システムの簡略構成図である。
【図８】従来の他の検査装置評価システムの簡略構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の実施の形態を図１〜図６に基づいて説明する。
【００２０】
図１は検査装置評価システムに用いるファイル１０を示す。この検査装置評価システムは、例えば、電子部品の外観検査装置の性能評価を行うものであり、検査装置に対して行う検査の評価用データが書き込まれたデータ記憶部１１と、この評価用データ１１の基づく検査結果である分類結果が書き込まれた結果記憶部１２とを備える。そして、データ記憶部１１と結果記憶部１２とがこのファイル１０に収容されている。
【００２１】
ところで、ＩＣパッケージ等の電子部品は、一般にはエンボステープ等に収納されて出荷される。このため、エンボステープに電子部品を嵌入した状態（ラッピングしていない状態）で、外観検査装置にて、この電子部品の外観検査が行われる。ここで、外観検査とは、電子部品の傷や欠け、電子部品に記載されている文字の有無等の検査である。
【００２２】
一般にこの種の検査装置は、図３に示すように、エンボステープ２１のポケット２２に収納されたＩＣパッケージ等の電子部品２３の上方に位置する画像撮像手段としてのカメラ２４（例えば、ＣＣＤカメラ）と、このカメラ２４の下方に配置される同軸照明器２５と、この同軸照明器２５と電子部品２３との間に配設される斜方照明器２６とを備える。
【００２３】
ここで、同軸照明器２５とは、電子部品２３の上方から鉛直線に沿って電子部品２３に照明光を照射することができる照明器であり、斜方照明器２６とは、電子部品２３の斜め上方から電子部品２３に照明光を斜めに照射することができる照明器である。また、同軸照明器２５からの照明光及び斜方照明器２６の照明光はそれぞれ赤色が使用される。
【００２４】
同軸照明器２５は、ケーシングと、このケーシング内に収納される光源としてのＬＥＤ（発光ダイオード）と、このケーシング内に収納されるハーフミラーとを備える。すなわち、ＬＥＤからの照射光がハーフミラーを介して電子部品へ投下され、また、電子部品２３からの反射光がハーフミラーを介してカメラに入光する。
【００２５】
また、斜方照明器２６は、ケーシングと、このケーシング内にリング状に配設される光源としてのＬＥＤとを備える。この場合、ケーシング内には、下方に向かって拡径するコーン状の保持体に複数個のＬＥＤが配置される。このため、各ＬＥＤからの照明光が下方に向かって軸心に集まるように照射される。
【００２６】
この場合、同軸照明器２５にて電子部品２３の上方から赤色の照明光を照射するとともに、斜方照明器２６にて電子部品２３の斜め上方から赤色の照明光を照射することにより、電子部品２３が照明される。そして、カメラ２４にて電子部品２３の画像が撮影され、この画像のデータが処理手段としてのパソコン（パーソナルコンピュータ）３０に送られる。パソコン３０にて、画像３５が２値化処理され、画面（ディスプレイ）３１に図４に示すように表示される。これによって、電子部品２３の表面の記載された（捺印された）文字、数字等の有無や欠け等を、２値化面積にて検査を行うことができる。
【００２７】
すなわち、検査領域に任意のウインドウを設定し、このウインドウ内の該当する画素の数をカウントすることで、文字等の有無や大きさ等を検出することになる。そして、この「該当する画素」を２値化処理によって決める。各画素は２５６階調のうちいずれかの明るさとして認識されている。そのため、画素において閾値を設けることによってその閾値より明るいか暗いかによって白と黒の２つに分かることができる。これを２値化といい、この閾値を２値化レベルと呼ぶ。
【００２８】
検査装置に対して行う検査の評価用データとしては、検査用画像や各種のパタメータ等多数のデータがあり、このため、この評価用データに対応して、これらのデータに対応する検査結果である分類結果も種々ある。例えば、評価用データとして、検査用画像であって、分類結果として、数字等の有無や欠け等に基づく良否結果である。また、このような良否結果である場合、その不良の内容、つまり欠けが有り等を分類結果に含められるのが好ましい。
【００２９】
このため、本発明においては、図２に示すように、評価用データが書き込まれたデータ記憶部１１と、評価用データの基づく検査結果である分類結果が書き込まれた結果記憶部１２とが収容されている複数のファイル１０（１０Ａ１，１０Ａ２・・・１０Ａｎ）を備えることになる。
【００３０】
従って、この複数のファイル１０から、評価したいファイル１０を選択することができる。すなわち、複数のファイル１０から任意のファイル１０を選択して、各ファイル１０にアクセスして、評価用データ及び分類結果とを読み込んで、評価ツール（バッチ評価ツール）１３にバッチ処理によるデータ整理を行うことができる。
【００３１】
このため、本発明では、評価用データとこれに対応する分類結果とを関連づけることができ、複数の評価用データから評価したいデータを選択して、装置検査性能を評価することができる。すなわち、評価したい評価用データを任意個数選択し、検査性能評価することができ、任意のデータ整理が可能となる。また、評価したい対象を変更したい場合、選択するファイルを変更するのみでよく、作業性に優れる。特に、一つのファイルに、評価用データとこれに対応する分類結果とが収容されており、評価用データとこれに対応する分類結果とる強く結び付いているため、データの散逸のリスクを無くすことができる。
【００３２】
検査装置が画像撮像手段を備えた製品の外観検査であれば、この外観検査の性能評価を簡単に行うことができる。また、分類結果が良か不良の判断結果であって、不良である場合、その不良の内容も分類結果に含められるものであれば、より精度の高い性能評価を行うことができる。
【００３３】
次に図５は他の実施形態を示し、この場合、データ記憶部１１と結果記憶部１２とがそれぞれ別のファイル１５，１６に収容される。ファイル１５にアクセスすることによって、予め設定された命名規則に従って、このファイル１５の評価用データに対応する（関連ある）分類結果である結果記憶部１２が収容されたファイル１６を探索することができる。
【００３４】
そして、この対となったファイル１５，１６が複数個備えるものである。このため、このようなものであっても、複数のファイル１５から、評価したいファイル１５を選択することができる。すなわち、複数のファイル１５から任意のファイル１５を選択して、各ファイル１５にアクセスして、ファイル１５の評価用データ及びファイル１６の分類結果とを読み込んで、評価ツール（バッチ評価ツール）１３（図２参照）にバッチ処理によるデータ整理を行うことができる。
【００３５】
図６は別の他の実施形態を示し、この場合も、データ記憶部１１と結果記憶部１２とがそれぞれ別のファイル１７，１８に収容される。また、この検査装置評価システムでは、
リンクファイル２０を有する。
【００３６】
すなわち、このリンクファイル２０へのアクセスによって、評価用データが書き込まれているデータファイル１７及びデータファイル１７のデータ記憶部に対応した結果記憶部が書き込まれている記憶ファイル１８への検索が可能である。
【００３７】
また、この対となったファイル１７，１８及びリンクファイル２０が複数個備えるものである。このため、このようなものであっても、複数のファイル２０から、評価したいファイル１７，１８を選択することができる。すなわち、複数のリンクファイル２０から、任意のリンクファイル２０を選択して、各リンクファイル２０にアクセスして、ファイル１７の評価用データ及びファイル１８の分類結果とを読み込んで、評価ツール（バッチ評価ツール）１３（図２参照）にバッチ処理によるデータ整理を行うことができる。
【００３８】
このため、図５や図６に示す検査装置評価システムであっても、前記図１に示す検査装置評価システムと同様、評価したい評価用データを任意個数選択し、検査性能評価することができ、任意のデータ整理が可能となる。また、評価したい対象を変更したい場合、選択するファイルを変更するのみでよく、作業性に優れる。
【００３９】
以上、本発明の実施形態につき説明したが、本発明は前記実施形態に限定されることなく種々の変形が可能であって、例えば、前記実施形態では、検査装置が画像撮像手段を備えた製品（電子部品）の外観検査あったが、検査装置の被検査物として、電子部品に限るものではなく、基板やＩＣカード等であってもよい。このため、評価用データ及びこれに対応する分類結果は、検査装置の被検査物等によって、種々変更することができる。
【符号の説明】
【００４０】
１０   ファイル
１１   データ記憶部
１２   結果記憶部
１５，１６    ファイル
１７，１８    ファイル
２０   リンクファイル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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