(57)【要約】【課題】基板を効率良く処理可能なローラー部材およびこれを用いた基板処理方法を提供する。【解決手段】本発明のローラー部材は、円柱状のロール本体と、ロール本体の外周に設けられ処理液を含浸保持する含浸部材とを備え、ロール本体の一方端面において開口し且つ含浸部材に連接する液溜め部が設けられていることを特徴とする。本発明の基板処理方法は、上記ローラー部材を液溜め部の開口部が略鉛直上方を向くよう回転自在に配置し、液溜め部の開口部へ処理液を流入させ、含浸部材に基板を当接させ、且つ摺動させることにより、処理液を基板に塗布することを特徴とする。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
円柱状のロール本体と、
前記ロール本体の外周に設けられ処理液を含浸保持する含浸部材と、
前記ロール本体の一方端面において開口し且つ前記含浸部材に連接する液溜め部が設けられていることを特徴とするローラー部材。
【請求項２】
前記液溜め部が、前記ロール本体の中心軸を中心として前記ロール本体の一方端部に形成された円環状空間を備えることを特徴とする、請求項１に記載のローラー部材。
【請求項３】
前記液溜め部が、
前記ロール本体内部に設けられ、前記円環状空間と連通する柱状空間と、
前記柱状空間から前記ロール本体の外周面まで前記含浸部材と連接するよう前記ロール本体内部に設けられた通孔とを備えることを特徴とする、請求項１または２に記載のローラー部材。
【請求項４】
前記液溜め部が、前記ロール本体の外周面に複数設けられたスロットをさらに備えることを特徴とする、請求項１から３の何れかに記載のローラー部材。
【請求項５】
前記液溜め部の底部から前記ロール本体の他方端部へ貫通するドレン孔をさらに備えることを特徴とする、請求項１から４の何れかに記載のローラー部材。
【請求項６】
請求項１〜５の何れかに記載のローラー部材を、前記液溜め部の開口部が略鉛直上方を向くよう回転自在に配置し、
前記液溜め部の開口部へ前記処理液を流入させ、
前記含浸部材に基板を当接させ、且つ摺動させることにより、
前記処理液を前記基板に塗布することを特徴とする、基板の処理方法。
【請求項７】
前記処理液が、ＨＦ、ＢＨＦ、ＨＮＯ３、Ｈ２ＳＯ４ 、ＨＣｌ、Ｈ２Ｏ２、ＮＨ４ＨＦ２、ＮＨ４Ｆうち一種以上を含有する溶液であることを特徴とする請求項６に記載の基板の処理方法。
【請求項８】
前記基板がガラス基板であることを特徴とする、請求項６または７に記載の基板の処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ローラー部材およびこれを用いた基板処理方法に関し、より具体的には基板に所定の処理液を塗布するためのローラー部材およびこれを用いた基板処理方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ガラス基板やシリコン基板等の基板の品位を向上するべく、基板を切断、研磨した後に洗浄処理或いはエッチング処理して、不純物の除去や基板表面や端面の平滑性を向上する技術が開発されている。
【０００３】
例えば、特許文献１には、ガラス基板の端面部にフッ酸等の酸性処理液を染み込ませたローラー部材を押し当てることにより、ガラス基板の表面へのパーティクルの付着を低減する技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−５１０１７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に開示されるエッチング処理では、処理液の温度が高いほど、エッチングレートが向上し、基板を早く処理することができる。しかしながら、従来のローラー部材では、ローラー部材に供給された処理液の温度が低下してしまい、エッチングレートが低下してしまうという問題があった。
【０００６】
従来のローラー部材について図８〜１０に基づいて説明する。図８は、従来のローラー部材７の用例図である。ガラス基板２００の端面を処理する場合、図８に示すように円柱状のローラー部材７を、その回転軸が鉛直方向（図８におけるＺ軸方向）となるように配置し、ガラス基板２００とローラー部材７とを押し当てながら水平方向（図８におけるＹ軸方向）に移動させる。
【０００７】
図９は、従来のローラー部材７の上面図である。図１０は、図９中のＤ−Ｄ線矢視断面図である。図９、１０に示すように、ローラー部材７は、ロール本体７０および含浸部材８０を備える。ロール本体７０は、円柱状の部材である。含浸部材８０は、ロール本体７０の外周に設けられ処理液３００を含浸保持する円筒状部材である。含浸部材８０は、典型的には、スポンジ状の樹脂材料から成る部材である。処理液３００が含浸部材８０に滴下供給されることにより、処理液３００が含浸部材８０に含浸保持される。そして、ガラス基板２００に含浸部材８０を押し当てることにより、ガラス基板２００の端部に処理液３００が塗布される。
【０００８】
上記のような従来の構成のローラー部材７では、含浸部材８０に含浸された処理液３００が循環し難く、長時間保持され易い。そして、含浸部材８０中で処理液３００が長時間保持されると、処理液３００の温度が低下し易くなる。このため、従来のローラー部材では、エッチングレートが低下し、処理能力が低下してしまうという問題があった。
【０００９】
本発明は上記のような課題を鑑み、基板を効率良く処理可能なローラー部材およびこれを用いた基板処理方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明のローラー部材は、円柱状のロール本体と、ロール本体の外周に設けられ処理液を含浸保持する含浸部材とを備え、ロール本体の内部および表面の少なくとも何れかに、該ロール本体の一方端面において開口し、含浸部材に連接する液溜め部が設けられていることを特徴とする。
【００１１】
また、本発明のローラー部材において、液溜め部が、ロール本体の中心軸を中心として形成された円環状空間を備えることが好ましい。
【００１２】
また、本発明のローラー部材において、液溜め部が、ロール本体内部に複数設けられ、円環状空間と連通する柱状空間と、各柱状空間と連通し、ロール本体の外周面に開口する、前記ローラー本体内部に設けられた通孔とを備えることが好ましい。
【００１３】
また、本発明のローラー部材において、液溜め部が、ロール本体の外周面に複数設けられたスロットを備えることが好ましい。
【００１４】
また、本発明のローラー部材は、液溜め部の底部からロール本体の他方端部へ貫通するドレン孔をさらに備えることが好ましい。
【００１５】
本発明の基板処理方法は、上記ローラー部材を、液溜め部の開口部が略鉛直上方を向くよう回転自在に配置し、液溜め部の開口部へ処理液を流入させ、含浸部材に基板を当接させ、且つ摺動させることにより、処理液を基板に塗布することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
本発明のローラー部材および基板処理方法によれば、液溜め部に貯留される処理液により、ロール本体の温度が処理液の温度に近い値に維持される。したがって、ロール本体の外周に設けられた含浸部材中においても処理液の温度が変化し難くなる。すなわち、処理液の温度変化に起因する処理効率の低下を抑制し、基板の生産性を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の第１の実施形態に係るローラー部材１の用例図である。
【図２】本発明の第１の実施形態に係るローラー部材１の上面図である。
【図３】図２中のＡ−Ａ線矢視断面図である。
【図４】図２中のＢ−Ｂ線矢視断面図である。
【図５】本発明の第２の実施形態に係るローラー部材２の上面図である。
【図６】本発明の第３の実施形態に係るローラー部材３の上面図である。
【図７】図６中のＣ−Ｃ線矢視断面図である。
【図８】従来のローラー部材７の用例図である。
【図９】従来のローラー部材７の上面図である。
【図１０】図９中のＤ−Ｄ線矢視断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
＜第１の実施形態＞
以下、本発明の第１の実施形態に係るローラー部材１について説明する。図１は、本発明の第１の実施形態に係るローラー部材１の用例図である。図１に示すように略円柱状のローラー部材１は、その回転軸が鉛直方向（図１に示すＺ軸方向）となるように回転自在に配置される。
【００１９】
ローラー部材１には処理液３００が供給される。処理液３００は、例えば、ＨＦ、ＢＨＦ、ＨＮＯ３、Ｈ２ＳＯ４ 、ＨＣｌ、Ｈ２Ｏ２、ＮＨ４ＨＦ２、ＮＨ４Ｆうち一種以上を含有する溶液である。処理液３００は所定の温度に予め加温されている。
【００２０】
上記の通り配置されたローラー部材１にガラス基板２００の端面に押し当てながら、水平方向（図１に示すＹ軸方向）に搬送することにより、ガラス基板２００の端面に処理液３００を塗布することができる。
【００２１】
ローラー部材１の構成について図２〜４を用いて詳細に説明する。図２は、本発明の第１の実施形態に係るローラー部材１の上面図である。図３は、図２中のＡ−Ａ線矢視断面図である。図４は、図２中のＢ−Ｂ線矢視断面図である。図２〜４に示すように、ローラー部材１は、ロール本体１０および含浸部材１５を備える。
【００２２】
ロール本体１０は、略円柱状の部材である。ロール本体１０は、例えば、ポリオレフィン系樹脂や含ハロゲン樹脂等の処理液３００によって侵食され難い材料で構成されることが好ましい。含浸部材１５は、ロール本体１０の外周に設けられ、ロール本体外周面（含侵部材１５内周面）から含浸部材１５外周面にかけて連通した微細構造により、液体含浸性を有する円筒状の部材である。含浸部材１５も処理液３００によって侵食され難い材料で構成されることが好ましく、さらに弾性材料から成ることが好ましい。したがって、含浸部材１５は、例えば、ポリオレフィン系樹脂や含ハロゲン樹脂製のスポンジ状、ブラシ状、またはフェルト状素材で構成される。
【００２３】
ロール本体１０には、液溜め部１１が形成される。液溜め部１１は、処理液３００を一時的に貯留するための空間である。第１の実施形態では、液溜め部１１は、円環状空間１１１、柱状液溜め部１２、およびスロット１３を備える。柱状液溜め部１２は、柱状空間１２１および通孔１２２を備える。
【００２４】
円環状空間１１１は、ロール本体１０の中心軸αを中心として形成された円環状の空間である。円環状空間１１１は、ロール本体１０の上面側に開口部１１１ＡＰを有し、外周部において含浸部材１５に連接する。
【００２５】
柱状空間１２１は、ロール本体１０内部に複数設けられた円柱状の空間である。柱状空間１２１は、一方端部がロール本体１０の上面側において開口することにより円環状空間１１１と連通し、ロール本体１０の底面側（図２、３におけるＺ軸方向）へ延設されている。柱状空間１２１は、ロール本体１０の中心軸線αを中心とする同心円上に等間隔に設けられる。柱状空間１２１は、上記のような簡素な形状であることから、ロール本体１０を掘削加工することで容易に形成することができる。
【００２６】
通孔１２２は、柱状空間１２１各々からロール本体１０の外周面までロール本体１０を貫通して形成された孔である。すなわち、通孔１２２はロール本体１０の外周面において開口しており、該開口が含浸部材１５と連接している。通孔１２２は、図３に示すように柱状空間１２１の長手方向に複数設けられている。開口部１１１ＡＰから供給された処理液３００は、円環状空間１１１で一旦貯留された後、柱状空間１２１および通孔１２２を経由して連接する含浸部材１５へ供給される。
【００２７】
スロット１３は、図２および図４に示すようにロール本体１０の外周面に複数設けられた凹条溝状の空間である。スロット１３は、一方端部がロール本体１０の上面側において開口することにより円環状空間１１１と連通し、ロール本体１０の底面側へ延設されている。なお、スロット１３は、ロール本体１０の底面側まで達しないことが好ましい。ロール本体１０には、ロール本体１０の軸線を中心として、柱状液溜め部１２とスロット１３とが交互に配置されている。
【００２８】
開口部１１１ＡＰから供給された処理液３００は、円環状空間１１１で一旦貯留された後、スロット１３を経て連接する含浸部材１５へ供給される。このように、円環状空間１１１、柱状液溜め部１２およびスロット１３に処理液３００が貯留されるため、ロール本体１０の温度が処理液３００に近い温度に維持される。そして、ロール本体１０の温度が維持されることによりロール本体１０に隣接配置される含浸部材１５およびこれに含浸された処理液３００の温度低下を抑制できる。また、柱状液溜め部１２およびスロット１３が同心円上に交互に配置されているため、ローラー部材１を回転させながら処理液３００を供給した際に、処理液３００を複数の柱状液溜め部１２およびスロット１３各々に処理液３００を均等に供給することができる。
【００２９】
ロール本体１０には、柱状液溜め部１２の底部からロール本体１０の底面にかけてドレン孔１４が形成されている。ドレン孔１４は、柱状空間１２１の断面より小さな断面積を有する孔である。柱状液溜め部１２に流入した処理液３００の一部は、ドレン孔１４から流出する。
【００３０】
このように、ドレン孔１４を備えることにより、柱状液溜め部１２に貯留される処理液３００を適度に排出でき、処理液３００の循環速度を早くすることができる。すなわち、処理液３００の温度低下をさらに抑制し易くなる。また、処理液３００が供給過剰になりローラー部材１上面から溢れてガラス基板２００の表面へ流出することを防ぐことができる。
【００３１】
なお、ロール本体１０に形成される柱状空間１２１の数、および通孔１２２の数は、各々１以上の任意の数として良い。
【００３２】
＜第２の実施形態＞
上記第１の実施例では柱状空間１２１が円柱状である例を示したが、柱状空間１２１の断面形状は任意の形状として良い。例えば、図５に示す本発明第２の実施形態に係るローラー部材２は、断面が多角形を成す柱状空間２２１を備える。以下、図５に基いてローラー部材２について詳細に説明する。なお、図５は、本発明の第２の実施形態に係るローラー部材２の上面図である。第１の実施形態と同様の構成については同様の符号を付し、詳細な説明を省略する。
【００３３】
ローラー部材２は、ロール本体２０を備える。ロール本体２０は、柱状液溜め部１２に代えて柱状液溜め部２２を備える点以外は第１の実施形態と同様の構成を有する。
【００３４】
柱状液溜め部２２は、円環状空間１１１、柱状空間２２１および通孔１２２を備える。柱状空間２２１は、ロール本体２０内部に、該ロール本体２０の軸線βを中心とする同心円上に等間隔に複数設けられた角柱状の空間である。柱状空間２２１は、ロール本体２０の上面側において開口部を有し、ロール本体２０の底面側へ延設されている。柱状空間２２１の断面は略六角形を成し、複数の柱状空間２２１は、該断面の六角形の一辺が隣合う柱状空間２２１のそれと略平行となるよう環状に配置されている。
【００３５】
このように柱状空間２２１の断面を多角形とし、上記の通り配置すれば、複数の柱状空間２２１を密接させて配置することができる。すなわち、複数の柱状空間２２１の間を隔てる壁部の肉厚を低減することができる。したがって、ロール本体２０の製造に用いる合成樹脂等の材料の使用量を低減することができる。また、樹脂成型加工にも適した形状であるため、製造不良等を低減することができる。これらの結果として、ローラー部材の製造コストを低減することができる。
【００３６】
＜第３の実施形態＞
上記第１、２の実施形態では、液溜め部１１、２１が、各々柱状液溜め部１２、２２およびスロット１３を備える例について説明したが、処理液３００を貯留してロール本体の温度を調整可能であれば、液溜め部の構成は上記に限られない。例えば、本発明の第３の実施形態に係るローラー部材３は、円環状空間のみから成る液溜め部３１を備える。以下、図６、７に基いてローラー部材３について詳細に説明する。なお、図６は、本発明の第３の実施形態に係るローラー部材３の上面図である。図７は、図６中のＣ−Ｃ線矢視断面図である。第１、２の実施形態と同様の構成については同様の符号を付し、詳細な説明を省略する。
【００３７】
ローラー部材３は、ロール本体３０を備える。ロール本体３０は、液溜め部１１に代えて液溜め部３１を備える点以外は第１の実施形態と同様の構成を有する。
【００３８】
液溜め部３１は、ロール本体３０の中心軸βを中心として形成された円環状の空間である。液溜め部３１は、ロール本体３０の上面側に開口部３１ＡＰを有し、外周部において含浸部材１５に連接する。
【００３９】
第３の実施形態に係るローラー部材３によれば、液溜め部３１の形状が簡単であるため、液溜め部３１を容易に加工および形成することができる。また、液溜め部３１に処理液３００を貯留できるため、第１、２の実施形態に係るローラー部材１と同様に、ロール本体１０の温度を処理液３００に近い温度に維持できる。
【００４０】
なお、ローラー部材３において、上述のドレン孔１４をさらに備える構成としても良いし、また、スロット１３をさらに備える構成としても良い。
【００４１】
なお、上記実施形態では、本発明のローラー部材をガラス基板２００のエッチング処理に用いる例について説明したが、本発明のローラー部材は任意の処理に用いて良い。例えば、本発明のローラー部材は、基板のリンス処理等に用いても良い。この場合、処理液３００としてアルカリ溶液を用いて良い。また、本発明のローラー部材は、基板の洗浄に用いても良い。この場合、処理液３００として純水を用いて良い。また、ロール本体および含浸部材の材質は処理液３００や処理対象の性質に応じて任意に変更して良い。また、処理対象はガラス基板に限らず、シリコン基板等の任意の部材であって良い。また、ローラー部材により処理される基板の部位は端面に限らず、基板表面等の任意の部位を処理対象として良い。
【符号の説明】
【００４２】
１、２ 、３   ローラー部材
１０、２０、３０     ロール本体
１１、２１、３１     液溜め部
１１１  円環状空間
１２、２２    柱状液溜め部
１２１、２２１       柱状空間
１２２        通孔
１３          スロット
１４          ドレン孔
１５          含浸部材
２００        ガラス基板
３００        処理液
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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