(57)【要約】【課題】  ブリッジ回路を構成する抵抗の両端から電圧を取り出す２本の配線間に前記抵抗に対して並列に回路素子が接続される構成にあっては、前記２本の配線の断線を検出することが困難であった。【解決手段】  発熱体２と、複数の抵抗４〜８でブリッジ回路を構成し発熱体２の温度を制御する温度制御用ブリッジ回路３とを備えた熱式流量計において、温度制御用ブリッジ回路３を構成する少なくとも一つの抵抗７の両端部から引き出された２本の配線Ｌ２，Ｌ３によって抵抗７に対して並列に接続された回路素子１５と、２本の配線Ｌ２，Ｌ３の間に生じる電圧の大きさが第１の所定値よりも小さくなったことを検出する電圧検出回路１７と、電圧検出回路１７で前記電圧の大きさが第１の所定値よりも小さくなったことが検出された場合に故障を示す信号を出力する故障信号出力回路２０とを備える。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
発熱体と、複数の抵抗でブリッジ回路を構成し前記発熱体の温度を制御する温度制御用ブリッジ回路とを備え、前記発熱体の温度を制御して流体の流量を検出する熱式流量計において、
前記温度制御用ブリッジ回路を構成する少なくとも一つの抵抗の両端部から引き出された２本の配線によって前記抵抗に対して並列に接続された回路素子と、
前記２本の配線の間に生じる電圧の大きさが第１の所定値よりも小さくなったことを検出する電圧検出回路と、
前記電圧検出回路で前記電圧の大きさが第１の所定値よりも小さくなったことが検出された場合に故障を示す信号を出力する故障信号出力回路とを備えたことを特徴とする熱式流量計。
【請求項２】
請求項１に記載の熱式流量計において、
前記故障信号出力回路は、流量信号を出力する出力信号線を通じて故障を示す信号を出力することを特徴とする熱式流量計。
【請求項３】
請求項２に記載の熱式流量計において、
前記故障信号出力回路は、流量信号の出力信号線をグランド電位或いは電源電圧にして故障を示す信号を出力することを特徴とする熱式流量計。
【請求項４】
請求項２に記載の熱式流量計において、
前記故障信号出力回路は、流量を表す数値の範囲外のデジタル値を用いて故障を示す信号を出力することを特徴とする熱式流量計
【請求項５】
請求項２に記載の熱式流量計において、
前記ヒータ温度制御用ブリッジ回路に電圧値が一定の駆動電圧を印加する電源を備えたことを特徴とする熱式流量計
【請求項６】
請求項２に記載の熱式流量計において、
前記電圧検出回路は、前記２本配線の間に生じる電圧の値として、前記第１の所定値よりも大きな第２の所定値を有し、
前記故障信号出力回路は、前記電圧検出回路で検出される電圧が第２の所定値よりも大きな電圧値になった場合に故障を示す信号を出力することを特徴とする熱式流量計。
【請求項７】
請求項２に記載の熱式流量計において、
前記２本配線の間に生じる電圧の大きさが前記第１の所定値よりも小さくなったことが前記電圧検出回路で検出された場合に、前記発熱体の駆動電圧を低電圧にする回路を設けたことを特徴とする熱式流量計。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は熱式流量計に係り、特にセンサ素子部と集積回路間の断線を検出できる熱式流量計に関する。
【背景技術】
【０００２】
熱式流量計の従来例として特開２０１１−２３７４５６号公報に記載された熱式流量センサが知られている。この従来例では、ヒータ温度を検出するブリッジ回路にバランス調整用抵抗を設け、前記バランス調整用抵抗の両端電位を取り出し、この両端電位を多段に直列接続された抵抗で受けるように構成されている。多段に接続された抵抗と抵抗との間に生じる中間電位をスイッチで切り換えて取り出すことで中間電位を調整することができ、ブリッジ回路を構成する抵抗体の抵抗値がばらついてもブリッジ回路のバランスを調整することができる。
【０００３】
また、特開２０１２−００８０１４号公報に記載されたブリッジ回路の断線検出回路では、２つの抵抗からなる第１の直列回路と２つの抵抗からなる第２の直列抵抗とを並列に接続してブリッジ回路を構成し、第１の直列回路の中間電位を取り出す第１の出力端子と増幅器とを接続する配線と、第２の直列回路の中間電位を取り出す第２の出力端子と増幅器とを接続する配線とを、それぞれ抵抗を介してグランド電位に接続している。第１の出力端子に断線が生じた場合、第１の出力端子がグランド電位になる。また、第２の出力端子に断線が生じた場合、第２の出力端子がグランド電位になる。これにより、第１の出力端子及び第２の出力端子の断線を検出できる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１１−２３７４５６号公報
【特許文献２】特開２０１２−００８０１４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特開２０１１−２３７４５６号公報の従来例では、センサ素子に設けられるブリッジ回路とその駆動回路との間の配線における断線検出に関して配慮がない。また、特開２０１２−００８０１４号公報の従来例ではバランス調整用抵抗の両端電位を取り出す配線の断線検出に関して配慮されていなかった。
図４を用いて従来例の課題について説明する。図４は、課題を説明するための比較例としての熱式流量計の構成を示している。この熱式流量計はセンサ素子部１と集積回路１４とで構成され、センサ素子部１には、発熱体２と、発熱体２の温度に応じて抵抗値の変化するヒータ温度検出抵抗４と固定抵抗５，６，８とバランス調整用抵抗７とで構成されるヒータ温度検出ブリッジ回路３と、発熱体２の風上に配置される温度検出抵抗１０，１３と風下に配置される温度検出抵抗１１，１２とで構成され、発熱体２の風上と風下の温度差を検出する温度差検出ブリッジ回路９とを配置している。また、集積回路１４には、バランス調整用抵抗７の両端電圧の中間電位を取り出すタップ付調整抵抗１５と、タップ付調整抵抗１５のタップ電圧Ｖｔとヒータ温度検出抵抗４と固定抵抗５との間の電圧Ｖ４５との電圧差を検出して発熱体２への駆動電圧Ｖｈを発生する増幅器１６と、温度差検出ブリッジ回路９に基準電圧Ｖｒｅｆを供給する基準電圧源１８と、温度差検出ブリッジ回路９の出力を増幅してセンサ出力を生成する増幅器１９とを配置している。
【０００６】
特開２０１２−００８０１４号公報における断線検出回路では、バランス調整用抵抗７の両端の電圧を取り出して集積回路１４へ接続する配線Ｌ２、Ｌ３の断線を検出することは困難であった。
【０００７】
例えば、図４の配線Ｌ４とグランドとの間に高抵抗を接続しておくと、配線Ｌ４が断線した場合に配線Ｌ４の集積回路１４側の電位がグランド電位になる。これを利用して、配線Ｌ４の断線を検出できる。しかし、配線Ｌ２とグランドとの間に高抵抗を接続した場合には、配線Ｌ２が断線すると、配線Ｌ２の集積回路１４側の電位は配線Ｌ３とタップ付調整抵抗１５を介して配線Ｌ３の電位に固定される。この場合、タップ付調整抵抗１５のタップ位置は関係ない。このため、配線Ｌ２の集積回路１４側の電位はグランド電位にならず、増幅器１６の入力電圧は配線Ｌ３の電位になってしまう。従って、従来の断線検出方法では配線Ｌ２の断線を検出できない。これにより、ヒータ温度検出ブリッジ回路３のバランスが変化していまい、不正確な流量検出を行い続けることになる。また、配線Ｌ３の断線についても配線Ｌ２と同様に断線検出できない。
【０００８】
ブリッジ回路と増幅器とを接続する配線の断線検出を不可能にする原因は、ブリッジ回路を構成する抵抗に対して回路素子を並列接続し、この回路素子を介して増幅器への入力電圧を取り出すようにした構成にある。
【０００９】
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、ブリッジ回路を構成する抵抗の両端電圧を取り出す配線間に回路素子が接続される構成にあって、ブリッジ回路を構成する抵抗の両端電圧を取り出す配線の断線検出を可能にすることにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するために、本発明の熱式流量計は、発熱体と、複数の抵抗でブリッジ回路を構成し前記発熱体の温度を制御する温度制御用ブリッジ回路とを備え、前記発熱体の温度を制御して流体の流量を検出する熱式流量計において、前記温度制御用ブリッジ回路を構成する少なくとも一つの抵抗の両端部から引き出された２本の配線によって前記抵抗に対して並列に接続された回路素子と、前記２本の配線の間に生じる電圧の大きさが第１の所定値よりも小さくなったことを検出する電圧検出回路と、前記電圧検出回路で前記電圧の大きさが第１の所定値よりも小さくなったことが検出された場合に故障を示す信号を出力する故障信号出力回路とを備える。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば熱式流量計のヒータ温度検出ブリッジ回路の検出困難な配線の断線を検出できるので高信頼な熱式流量計を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】第１の実施例の熱式流量計の構成を示す図である。
【図２】比較器１７の入出力特性を示す図である。
【図３】断線検出機能を示す真理値表である。
【図４】本発明の課題を説明するための比較例としての熱式流量計の構成を示す図である。
【図５】第２の実施例の熱式流量計の構成を示す図である。
【図６】比較器１７、２４の入出力特性を示す図である。
【図７】断線検出機能を示す真理値表である。
【図８】第３の実施例の熱式流量計の構成を示す図である。
【図９】第３の実施例である熱式流量計の出力特性を示す図である。
【図１０】断線検出時の出力値を示す図である。
【図１１】第４の実施例の熱式流量計の構成を示す図である。
【図１２】第５の実施例の熱式流量計の構成を示す図である。
【図１３】第６の実施例の熱式流量計の構成を示す図である。
【図１４】第７の実施例の熱式流量計の構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。
【００１４】
まず、本発明の第１の実施例である熱式流量計を図１、２、３により説明する。なお、図１は第１の実施例の熱式流量計の構成を示す図であり、図２は比較器１７の入出力特性を示す図であり、図３は断線検出機能を示す真理値表である。
【００１５】
本実施例の熱式流量計は図４に示した比較例と基本的に同じ構成であるが、比較器１７とスイッチ２０を追加した構成が異なる。以下、詳細に説明する。
【００１６】
本実施例では、熱式流量計はセンサ素子部１と集積回路１４とにより構成され、センサ素子部１には、発熱体２と、発熱体２の温度に応じて抵抗値の変化するヒータ温度検出抵抗４と固定抵抗５，６，８とバランス調整用抵抗７とで構成されるヒータ温度検出ブリッジ回路３と、発熱体２の風上に配置される温度検出抵抗１０，１３と風下に配置される温度検出抵抗１１，１２とで構成され、発熱体２の風上と風下の温度差を検出する温度差検出ブリッジ回路９とを配置している。また、集積回路１４には、バランス調整用抵抗７の両端電圧の中間電位Ｖｔを取り出すタップ付調整抵抗１５と、タップ付調整抵抗１５のタップ電圧Ｖｔとヒータ温度検出抵抗４と固定抵抗５との間の電圧Ｖ４５との電圧差を検出して発熱体２への駆動電圧Ｖｈを発生する増幅器（差動増幅器）１６と、バランス調整用抵抗７の両端部に接続された配線Ｌ２と配線Ｌ３との間の電圧が第１の所定値以下であるかどうかを検出する比較器１７と、温度差検出ブリッジ回路９に基準電圧Ｖｒｅｆを供給する基準電圧源１８と、温度差検出ブリッジ回路９の出力を増幅してセンサ出力を生成する増幅器（差動増幅器）１９、増幅器１９の出力電圧をグランド電位に固定するスイッチ２０とを配置している。
【００１７】
本明細書において、「中間電圧」（「中間電位」という場合もある）とは２つの電位の中央値を意味するものではない。２つの電位の範囲内にある電圧或いは電位を意味するものである。従って、中央値からずれた電圧或いは電位であってもよい。
【００１８】
正常時には、比較器１７の入力電圧は発熱体２の駆動電圧Ｖｈと固定抵抗６，８とバランス調整用抵抗７とタップ付調整抵抗１５とによって決まる。つまり、比較器１７の入力電圧は所定の範囲の電圧になる。この所定の範囲の電圧は、駆動電圧Ｖｈよりも固定抵抗６とバランス調整用抵抗７との接続部に生じている電圧分だけ低い電圧Ｖ６７と、グランド電位から固定抵抗８に生じている電圧分だけ高い電圧Ｖ７８との間の電圧値である。この電圧値はタップ付調整抵抗１５のタップ位置によって決まる。
【００１９】
配線Ｌ２あるいは配線Ｌ３が断線した場合、比較器１７の入力電圧はタップ付調整抵抗１５によって短絡されるので比較器１７の入力電圧は０になる。すなわち、比較器１７の２つの入力がタップ付調整抵抗１５によって接続されて配線Ｌ２あるいは配線Ｌ３が断線した場合、比較器１７の２つの入力は同電位になってしまう。従って、図２に示す様に比較器１７の入力電圧が第１の所定値Ｖｔｈ以下となった場合に、配線Ｌ２あるいは配線Ｌ３が断線したものと判定して、比較器１７は出力を１にする。比較機１７は配線Ｌ２と配線Ｌ３との間の電圧の大きさが第１の所定値よりも小さくなったことを検出する電圧検出回路を構成する。
【００２０】
ブリッジ回路３と増幅器１６とを接続する配線Ｌ２，Ｌ３の断線検出を不可能にする原因は、ブリッジ回路３を構成する抵抗（バランス調整用抵抗７）に対して回路素子（タップ付調整抵抗１５）を並列接続し、この回路素子を介して増幅器１６への入力電圧を取り出すようにした構成にある。本実施例では、回路素子として、タップ付調整抵抗１５や、多段に直列接続した複数の抵抗とスイッチとで構成された素子などを用いることができる。このような回路素子をブリッジ回路のバランス調整を行うために使用している。
【００２１】
センサ素子部１には電圧Ｖ６７を取り出すための端子がパッドＰＤ１として形成されている。集積回路部１４にも端子としてのパッドＰＤ１４が形成されており、パッドＰＤ１とパッドＰＤ１４との間を配線Ｌ２によって電気的に接続している。配線Ｌ２としては、金線或いはアルミ線を用い、パッドＰＤ１とパッドＰＤ１４とをワイヤボンディングによって接続するのが一般的である。その他の配線Ｌ１，Ｌ３〜Ｌ９と、他の実施例における配線Ｌ１０〜Ｌ１２にも、センサ素子部１側にパッドＰＤ１が形成され、集積回路部１４側にパッドＰＤ１４が形成され、パッドＰＤ１とパッドＰＤ１４とがワイヤボンディングによって接続されている。
【００２２】
配線の断線はパッドＰＤ１とパッドＰＤ１４とを接続する配線部分（ワイヤボンディングによる配線分）で起こる場合が多い。本実施例及び他の実施例では、パッドＰＤ１とパッドＰＤ１４とを接続する配線部分での断線を確実に検出できるようにしている。
【００２３】
また、比較器１７の出力が１になった場合には、スイッチ２０によりセンサ出力Ｖｓｏをグランド電位に固定することで、熱式流量計のセンサ出力を受ける制御装置側へ故障を知らせることができる。なお、スイッチ２０を電源側に接続することにより、センサ出力Ｖｓｏを電源電位に固定して制御装置側へ故障を知らせてもよい。断線による故障を示す信号は、流量信号（センサ出力Ｖｓｏ）を出力する出力信号線２９を通じて出力端子３０から上位の制御装置に対して出力される。スイッチ２０は故障を示す信号を出力する故障信号出力回路を構成する。
【００２４】
本実施例では配線Ｌ２と配線Ｌ３の断線検出に関して述べたが、図３に示す様に配線Ｌ１、配線Ｌ５の断線に関しても検出可能である。尚、図３では「ＯＫ」は断線検出が可能であり、「ＮＧ」は断線検出が不可能であることを表す。配線Ｌ１が断線した場合、ヒータ温度検出ブリッジ回路３に駆動電圧Ｖｈが供給されなくなるため、配線Ｌ２と配線Ｌ３の間の電圧は０になり、比較器１７の入力電圧は所定値Ｖｔｈ以下となる。また、配線Ｌ５が断線した場合も配線Ｌ２と配線Ｌ３の間の電圧は０になるので比較器１７の入力電圧は所定値Ｖｔｈ以下となる。他にも増幅器１６が故障して駆動電圧Ｖｈの電圧が０になった場合も検出可能である。
【００２５】
本実施例では配線Ｌ２と配線Ｌ３との間の電圧を比較器１７で検出するだけなので、ブリッジ回路への影響が全く無い。特開２０１２−８０１４号公報に記載されている様な断線検出方法ではブリッジ回路に断線検出のための電流を流す必要があるため、この電流のバラツキによってブリッジ回路のバランスに影響を与える可能性がある。これに対して、本実施例では、ブリッジ回路に断線検出のための電流を流す必要がないので、ブリッジ回路のバランスに影響を与えることがない。
【００２６】
次に、本発明の第２の実施例である熱式流量計を図５、６、７により説明する。なお、図５は第２の実施例の熱式流量計の構成を示す図であり、図６は比較器１７、２４の入出力特性を示す図であり、図７は断線検出機能を示す真理値表である。
【００２７】
第２の実施例の熱式流量計は第１の実施例の熱式流量計と基本的に同じ構成であるが比較器１７の動作変更と固定抵抗２１、スイッチ２２、固定抵抗２３、比較器２４、論理和回路２５を追加した構成である。本実施例ではヒータ温度検出ブリッジ回路３の左辺側に固定抵抗２１を設け、固定抵抗２１と並列に集積回路１４の内部に固定抵抗２３を配置し、固定抵抗２１の両端電圧を比較器２４で検出できるようにした。また、比較器１７、２４の特性も図６に示す様にバンド型の比較特性として、比較器１７，２４の入力電圧が第１の所定値Ｖｔｈ１以下の場合と第２の所定値Ｖｔｈ２以上の場合に１（故障を示す信号）を出力する様にした。また、比較器１７、２４の出力の論理和を論理和回路２５で求めることで、比較器１７あるいは比較器２４で故障判定信号が出力された場合にはセンサ出力をスイッチ２０でグランド電位に固定すると共にスイッチ２２によりヒータ駆動電圧Ｖｈをグランド電位に固定した。また、ヒータ温度検出ブリッジ回路３の電源を一定の電圧を発生する基準電圧源１８から供給するように変更している。
【００２８】
本実施例では配線Ｌ４が断線した場合、比較器２４の入力電圧は固定抵抗２３が接続されているので比較器２４の入力電圧は０となり、所定の電圧よりも小さくなる。このため、比較器２４によりこの電圧変化を検出することで配線Ｌ４の断線を検出することができる。同様に配線Ｌ６も検出できる。このことで、第１の実施例では検出不能であった配線Ｌ４の断線検出を可能にした。また、本実施例ではヒータ温度検出ブリッジ回路３の右辺と左辺の回路構成を同一に出来るのでヒータ温度検出ブリッジ回路３の対称性を向上させることができる。また、ヒータ温度検出ブリッジ回路３の電源を基準電圧源１８にすることで、正常時の配線Ｌ２と配線Ｌ３との間の電圧及び配線Ｌ４と配線Ｌ６との間の電圧の変化を小さくでき、比較器１７、２４の検出精度を向上できる。また、比較器１７，２４の特性をバンド型にすることで、基準電圧源１８の電圧異常、配線Ｌ２，Ｌ３，Ｌ４，Ｌ６の電源あるいはグランドへの短絡故障も図７に示す様に検出可能にした。また、故障検出時にはスイッチ２２によりヒータ駆動電圧Ｖｈをグランド電位に固定することで、発熱体２の加熱制御を停止するようにしている。これは、故障が発生した場合に、発熱体２に過大な電圧が印加されることがないようにするための処置であり、ヒータ駆動電圧Ｖｈを必ずしもグランド電位に固定する必要はなく、ヒータ駆動電圧Ｖｈを低電圧に維持できればよい。しかし、ヒータ駆動電圧Ｖｈをグランド電位に固定する方が、発熱体２で消費される電力を抑制することができる。
【００２９】
故障検出時にヒータ駆動電圧Ｖｈをグランド電位に固定するスイッチ２２を、第１の実施例の他、後述する実施例に適用することにより、故障検出時に発熱体２の加熱制御を停止するようにしてもよい。また、固定抵抗２１、固定抵抗２３、比較器２４、論理和回路２５に係る構成や、比較器１７，２４の特性をバンド型の比較特性として比較器１７，２４の入力電圧が第１の所定値Ｖｔｈ１以下の場合と第２の所定値Ｖｔｈ２以上の場合に故障を示す信号を出力する様にする構成を、前述及び後述の各実施例に適宜適用しても良い。
【００３０】
次に、本発明の第３の実施例である熱式流量計を図８、９、１０により説明する。なお、図８は第３の実施例の熱式流量計の構成を示す図であり、図９は第３の実施例である熱式流量計の出力特性を示す図であり、図１０は断線検出時の出力値を示す図である。
【００３１】
第３の実施例の熱式流量計は第２の実施例の熱式流量計と基本的に同じ構成であるがデジタル出力回路２６を設けている。
【００３２】
本実施例では、比較器１７の出力と比較器２４の出力とをデジタル出力回路２６に入力している。デジタル出力回路２６はセンサ出力Ｖｓｏを生成する増幅器１９の出力と比較器１７の出力と比較器２４の出力とを受けて、センサ出力Ｖｓｏ及び故障を通知する信号をデジタル値で出力する。故障を通知する信号は、熱式流量計の出力として、流量信号（センサ出力Ｖｓｏ）を出力する出力信号線２９を通じて出力端子３０から上位の制御装置に対して出力される。
【００３３】
本実施例では、デジタル出力回路２６が故障を示す信号を出力する故障信号出力回路を構成する。
【００３４】
本実施例では、図９に示すように、熱式流量計が正常に動作している場合の流量に係わる出力値は−３００００〜３００００の間で変化するように設定されている。図９において、出力デジタル値３２７６８及び−３２７６８はそれぞれ２１５及び−２１５に対応する値である。図９に示すように、出力デジタル値３０００１〜３２７６８の間及び−３０００１〜−３２７６８の間に、流量を表す出力値に関係しない空き領域が存在する。この空き領域の出力デジタル値を、故障を通知する信号として使用する。
【００３５】
断線を検出した場合には、例えば図１０に示す様に、故障を示す信号（出力値）が設定される。比較器１７で断線を検出した場合は出力値を３２０００に固定し、比較器２４で断線検出した場合には出力値を３２００１に固定する。こうすることで、比較器１７で検出した断線と比較器２４で検出した断線とを区別して上位の制御装置に知らせることができる。すなわち、断線が発生した配線を詳細に特定して上位の制御装置に知らせることができる。
【００３６】
本実施例におけるデジタル出力回路２６を前述及び後述の他の実施例に適用して、断線が発生したことを出力デジタル値で上位の制御装置に知らせるようにしてもよい。
【００３７】
次に、本発明の第４の実施例である熱式流量計を図１１により説明する。なお、図１１は第４の実施例の熱式流量計の構成を示す図である。
【００３８】
第４の実施例の熱式流量計は第１の実施例の熱式流量計と基本的に同じ構成であるがヒータ温度検出ブリッジ回路３を発熱体２と固定抵抗５，６，８とバランス調整用抵抗７とで構成した。本実施例ではヒータ温度検出抵抗４を発熱体２で置き換えたが、本実施例でも第１の実施例同様に配線Ｌ２および配線Ｌ３の断線を検出できる。
【００３９】
次に、本発明の第５の実施例である熱式流量計を図１２により説明する。なお、図１２は第５の実施例の熱式流量計の構成を示す図である。
【００４０】
第５の実施例の熱式流量計は第４の実施例の熱式流量計と基本的に同じ構成であるが発熱体２を流れる電流を固定抵抗５の両端電圧から検出し、この両端電圧を増幅器１９により取り出すことでセンサ出力を得る。本実施例でも第１の実施例同様に配線Ｌ２配線Ｌ３の断線を検出できる。また、Ｌ１，Ｌ５の断線や増幅器１６が故障して駆動電圧Ｖｈが０になった場合も検出できる。
【００４１】
次に、本発明の第６の実施例である熱式流量計を図１３により説明する。なお、図１３は第６の実施例の熱式流量計の構成を示す図である。
【００４２】
第６の実施例の熱式流量計は第１の実施例の熱式流量計と基本的に同じ構成であるが発熱体２に固定抵抗２７を接続して発熱体２を流れる電流を固定抵抗２７の両端電圧から検出し、この両端電圧を増幅器１９により取り出すことでセンサ出力を得る。本実施例でも第１の実施例同様に配線Ｌ２配線Ｌ３の断線を検出できる。また、Ｌ１，Ｌ５の断線や増幅器１６が故障して駆動電圧Ｖｈが０になった場合も検出できる。
【００４３】
次に、本発明の第７の実施例である熱式流量計を図１４により説明する。なお、図１４は第７の実施例の熱式流量計の構成を示す図である。
【００４４】
第７の実施例の熱式流量計は第１の実施例の熱式流量計と基本的に同じ構成であるがヒータ温度検出抵抗４の代わりに熱電対２８を配置して発熱体２の温度を検出し、固定抵抗６の代わりに熱電対２９を配置した構成である。本実施例でも第１の実施例同様に配線Ｌ２配線Ｌ３の断線を検出できる。また、Ｌ１，Ｌ５の断線や増幅器１６が故障して駆動電圧Ｖｈが０になった場合も検出できる。
【符号の説明】
【００４５】
１…ンサ素子部、２…発熱体、３…ヒータ温度検出ブリッジ回路、４…ヒータ温度検出抵抗、５…固定抵抗、６…固定抵抗、７…バランス調整用抵抗、８…固定抵抗、９…温度差検出ブリッジ回路、１０…温度検出抵抗、１１…温度検出抵抗、１２…温度検出抵抗、１３…温度検出抵抗、１４…集積回路、１５…タップ付調整抵抗、１６…増幅器、１７…比較器、１８…基準電圧源、１９…増幅器、２０…スイッチ、２１…固定抵抗、２２…スイッチ、２３…固定抵抗、２４…比較器、２５…論理和回路、２６…デジタル出力回路、２７…固定抵抗、２８…熱電対、２９…熱電対。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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