(57)【要約】【課題】洗浄後の酸が比較的多量の金属成分を含む場合において、当該使用後の酸から金属成分を除去するとともに酸を濃縮して、当該酸を再生する。【解決手段】実施形態の洗浄用酸の再生方法は、洗浄槽内に洗浄用酸を供給し、洗浄対象物に酸洗浄を行うステップと、酸洗浄によって得た第１の溶液中に含まれる固形分を固液分離槽中において固液分離するステップと、固液分離によって得た第２の溶液中に含まれる第１の金属成分を、吸着材を内部に備える吸着塔によって吸着除去するステップとを具える。また、吸着除去によって得た第３の溶液中に含まれる第２の金属成分を、水素イオンのみをイオン交換により透過させる複数の陽イオン交換膜及び複数の陰イオン交換膜が交互に配設され、その両側に陽極及び陰極が配設された電気透析槽によって除去し、第３の溶液中に含まれる酸を濃縮して、当該酸の濃度を洗浄用酸の濃度にまで濃縮するステップを具える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
洗浄槽内に洗浄用酸を供給し、洗浄対象物に対して酸洗浄を行い、第１の溶液を得る第１のステップと、
前記酸洗浄によって得た第１の溶液中に含まれる固形分を固液分離槽中において固液分離し、第２の溶液を得る第２のステップと、
前記固液分離によって得た第２の溶液中に含まれる第１の金属成分を、吸着材を内部に備える吸着塔によって吸着除去し、第３の溶液を得る第３のステップと、
前記吸着除去によって得た第３の溶液中に含まれる第２の金属成分を、水素イオンのみをイオン交換により透過させる複数の陽イオン交換膜及び複数の陰イオン交換膜が交互に配設され、その両側に陽極及び陰極が配設された電気透析槽によって除去するとともに、前記第３の溶液中に含まれる酸を濃縮して、当該酸の濃度を前記洗浄用酸の濃度にまで濃縮する第４のステップと、
を具えることを特徴とする、洗浄用酸の再生方法。
【請求項２】
前記第３の溶液中に含まれる前記酸を濃縮した後、容量調整槽において、前記酸の容量を前記洗浄用酸の容量にまで調整する第５のステップを具えることを特徴とする、請求項１に記載の洗浄用酸の再生方法。
【請求項３】
前記第１のステップにおいて、前記洗浄槽内における前記洗浄用酸のｐＨ値をｐＨ測定器で測定し、前記ｐＨ値に応じて前記洗浄槽に供給する前記洗浄用酸の量を調節することを特徴とする、請求項１又は２に記載の洗浄用酸の再生方法。
【請求項４】
前記吸着材は、強酸性陽イオン交換樹脂及びキレート樹脂の少なくとも一方であることを特徴とする、請求項１〜３のいずれか一に記載の洗浄用酸の再生方法。
【請求項５】
前記洗浄対象物は放射性セシウムを含む廃棄物であり、
前記放射性セシウムは、前記吸着塔の上流側に配設された追加の塔内に充填されたゼオライトで吸着する第５のステップを含むことを特徴とする、請求項１〜４のいずれか一に記載の洗浄用酸の再生方法。
【請求項６】
洗浄用酸を供給し、洗浄対象物に対して酸洗浄を行い、第１の溶液を得るための洗浄槽と、
前記酸洗浄によって得た第１の溶液中に含まれる固形分を固液分離し、第２の溶液を得るための固液分離槽と、
前記固液分離によって得た第２の溶液中に含まれる第１の金属成分を吸着除去し、第３の溶液を得るための、吸着材を内部に備える吸着塔と、
前記吸着除去によって得た第３の溶液中に含まれる第２の金属成分を除去するとともに、前記第３の溶液中に含まれる酸を濃縮して、当該酸の濃度を前記洗浄用酸の濃度にまで濃縮する、水素イオンのみをイオン交換により透過させる複数の陽イオン交換膜及び複数の陰イオン交換膜が交互に配設され、その両側に陽極及び陰極が配設された電気透析槽と、
を具えることを特徴とする、洗浄用酸の再生装置。
【請求項７】
前記第３の溶液中に含まれる前記酸を濃縮した後、前記酸の容量を前記洗浄用酸の容量にまで調整する容量調整槽を具えることを特徴とする、請求項６に記載の洗浄用酸の再生装置。
【請求項８】
前記洗浄槽内における前記洗浄用酸のｐＨ値を測定し、前記ｐＨ値に応じて前記洗浄槽に供給する前記洗浄用酸の量を調節するｐＨ測定器を具えることを特徴とする、請求項６又は７に記載の洗浄用酸の再生装置。
【請求項９】
前記吸着材は、強酸性陽イオン交換樹脂及びキレート樹脂の少なくとも一方であることを特徴とする、請求項６〜８のいずれか一に記載の洗浄用酸の再生装置。
【請求項１０】
前記洗浄対象物は放射性セシウムを含む廃棄物であり、
前記吸着塔の上流側に配設され、前記放射性セシウムを吸着するゼオライトが充填された追加の塔を具えることを特徴とする、請求項６〜９のいずれか一に記載の洗浄用酸の再生装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、洗浄用酸の再生方法及びその装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
各種産業プロセスなどにおける洗浄工程などに用いる酸の再生技術が研究されている。
【０００３】
例えば、各種産業プロセスにおける洗浄工程では、塩酸、硫酸、フッ酸などの無機酸や、クエン酸、シュウ酸などの有機酸が用いられている。これらの用途に使用された後の廃酸は、中和処理して廃棄処分することが一般的であるが、環境への負荷が大きいことから、再生利用が望まれている。その一例として、高濃度放射性汚染の下水汚泥焼却灰から放射性セシウムを酸により除去するプロセスが知られており、そのプロセスにおける酸の再生利用も環境負荷の観点から重要な技術として認識されている。
【０００４】
洗浄工程に使用後の酸を再生する際には、例えば当該酸を陰イオン交換樹脂（物質）に吸着させた後、アルカリの水溶液または有機系の溶剤を用いて、陰イオン交換樹脂から酸を溶離し、得られた溶液に対して蒸留または膜分離などの処理を行うことによって、濃縮された酸を得、再生するなどの方法がある。
【０００５】
ところが、上述のような酸の再生方法においては、有機酸を陰イオン交換樹脂から分離するために多量のアルカリの水溶液等が必要になるとともに、分離した有機酸を濃縮するために、蒸留等の多くの工程が必要になる。したがって、濃縮して再生した酸を陰イオン交換樹脂から分離回収するのに多くのコストがかかるという欠点がある。
【０００６】
かかる問題に鑑みて、特許文献１には、有機酸を吸着しかつ水分を含んだ物質（陰イオン交換樹脂）に、圧力が１ＭＰａ以上で温度が２０℃以上の二酸化炭素を接触させることにより、上記有機酸を上記二酸化炭素に移行させて上記物質から分離して再生する技術が開示されている。
【０００７】
しかしながら、洗浄後の酸が比較的多量の金属成分を含む場合は、上述のような方法で酸の濃縮を行っても、濃縮された酸中には当初含まれていない比較的多量の金属成分が含まれるようになる。したがって、このような濃縮された酸を用いて再度上述のような洗浄工程を行っても、上記酸中に含まれる比較的多量の金属成分によって、当初のような洗浄工程を行うことはできず、酸洗浄の対象物を汚染してしまうなどの問題があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００４−０８９９０４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は、洗浄後の酸が比較的多量の金属成分を含む場合において、当該使用後の酸から金属成分を除去するとともに酸を濃縮して、当該酸を再生することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
実施形態の洗浄用酸の再生方法は、洗浄槽内に洗浄用酸を供給し、洗浄対象物に対して酸洗浄を行い、第１の溶液を得る第１のステップと、前記酸洗浄によって得た第１の溶液中に含まれる固形分を固液分離槽中において固液分離し、第２の溶液を得る第２のステップとを具える。また、前記固液分離によって得た第２の溶液中に含まれる第１の金属成分を、吸着材を内部に備える吸着塔によって吸着除去し、第３の溶液を得る第３のステップと、前記吸着除去によって得た第３の溶液中に含まれる第２の金属成分を、水素イオンのみをイオン交換により透過させる複数の陽イオン交換膜及び複数の陰イオン交換膜が交互に配設され、その両側に陽極及び陰極が配設された電気透析槽によって除去するとともに、前記第３の溶液中に含まれる酸を濃縮して、当該酸の濃度を前記洗浄用酸の濃度にまで濃縮する第４のステップとを具える。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】第１の実施形態における洗浄用酸の再生装置の概略構成を示す図である。
【図２】図１に示す洗浄用酸の再生装置中の電気透析槽の概略構成を示す図である。
【図３】第２の実施形態における洗浄用酸の再生装置の概略構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
（第１の実施形態）
最初に、本実施形態で使用する洗浄用酸の再生装置について説明する。図１は、本実施形態で使用する洗浄用酸の再生装置の概略構成を示す図である。また、図２は、図１に示す酸再生装置中の電気透析槽の概略構成を示す図である。
【００１３】
図１に示す酸再生装置１０は、酸洗浄を行うための洗浄槽１１と、その下流側に位置し、洗浄槽１１で洗浄した金属成分を固液分離するための固液分離槽２１と、その下流側に位置し、強酸性陽イオン交換樹脂及びキレート樹脂などの低ｐＨ（例えばｐＨ２以下）で処理可能な吸着材３２を内部に備えた吸着塔３１と、吸着塔３１の下流側に位置する電気透析槽４１とを具える。
【００１４】
洗浄槽１１内には加熱機構１２が配設され、洗浄槽１１の上方には洗浄槽１１内で洗浄処理を行うための酸を供給する酸貯留槽１３が配設されている。また、洗浄槽１１内には、洗浄槽１１内における洗浄過程にある溶液のｐＨを測定するｐＨ測定器１４及び温度を測定する温度計１５が配設されている。
【００１５】
ｐＨ測定器１４はｐＨ制御部１６に接続されており、ｐＨ制御部１６はｐＨ測定器１４で測定されたｐＨ値を基に、酸貯留槽１３に配設されたバルブ１８の開度を調節し、酸貯留槽１３から洗浄槽１１内に供給する酸の量を調節できるようになっている。また、温度計１５は温度制御部１７に接続されており、温度計１５で測定された温度に基づいて、同じく温度制御部１７に接続された加熱機構１２を制御し、洗浄槽１１内での洗浄処理が効率的かつ効果的に行われるように、洗浄過程にある溶液の温度を制御する。
【００１６】
固液分離槽２１内には、洗浄槽１１から供給される溶液を整流するための整流壁２２が固液分離槽２１の上部から底部近くまで延在するように設けられている。
【００１７】
電気透析槽４１には、配管４４、４６及びポンプ４８を介して脱塩水槽４２が配設されており、配管４５、４７及びポンプ４９を介して濃縮水槽４３が配設されている。
【００１８】
以下に詳述するように、脱塩水槽４２は、電気透析槽４１への処理過程にある酸溶液を導入するための槽として機能するものであり、電気透析槽４１の脱塩室に接続され、配管４４、４６及びポンプ４８を介して電気透析槽４１に導入された洗浄後の酸溶液を、当該脱塩室内を循環させるようになっている。また、濃縮水槽４３は、電気透析槽４１で金属成分が除去されるとともに、濃縮された酸を取り出すための槽として機能するものであり、電気透析槽４１の濃縮室に接続され、配管４５，４７及びポンプ４９を介して電気透析槽４１に導入された洗浄後の酸溶液を、当該濃縮室内を循環させるようになっている。
【００１９】
なお、濃縮水槽４３内には予め水又は洗浄用酸と同一の酸を低濃度で含む酸溶液が充填され、電気透析槽４１の濃縮槽内に閉じ込められた酸を構成する水素イオン及び陰イオンが、酸溶液中に溶解した状態で循環できるようになっている。一方、脱塩室内には、上記洗浄後の酸溶液を導入することから、濃縮水槽４３のように予め水等を充填させておく必要はない。
【００２０】
電気透析槽４１は、図２に示すように、２つの水素イオンのみをイオン交換により透過させる陽イオン交換膜４１１と２つの陰イオン交換膜４１２とが交互に配設されており、その両側には陽極４１３及び陰極４１４が配設されるとともに、これら陽極４１３及び陰極４１４が電源Ｖに接続されるようにして構成されている。なお、電気透析槽４１が、上述のような構成を採ることにより、２つの濃縮槽４１Ａが形成されるとともに、２つの濃縮槽４１Ａ間には１つの脱塩室４１Ｂが形成される。
【００２１】
なお、水素イオンのみをイオン交換により透過する陽イオン交換膜４１１は汎用のものから構成することができ、例えばＨＳＦ（旭硝子社製）などの市販のものから構成することができる。
【００２２】
同様に、陰イオン交換膜４１２も汎用のものから構成することができ、例えばＡＭＶ（旭硝子社製）などの市販のものから構成することができる。
【００２３】
本実施形態における洗浄用酸の再生装置１０の電気透析槽４１は、上述のように、２つの濃縮槽４１Ａが形成されるので、配管４５，４７は適宜分岐させ、電気透析槽４１の上記２つの濃縮槽４１Ａに接続して、これら２つの濃縮室４１Ａ内を循環させるようにする。
【００２４】
また、本実施形態では、電気透析槽４１内に、２つの陽イオン交換膜４１１及び２つの陰イオン交換膜４２２を交互に配置しているが、これらイオン交換膜の数は必要に応じて任意に設定することができる。
【００２５】
次に、図１に示す洗浄用酸の再生装置１０を用いた洗浄用酸の再生方法について説明する。
【００２６】
最初に、洗浄対象物Ｓ１を、図中矢印で示すように、洗浄槽１１内に導入するとともに、酸貯留槽１３より所定の酸を洗浄槽１１内に供給して、洗浄槽１１内において洗浄対象物Ｓ１を酸により洗浄する。洗浄対象物Ｓ１としては、半導体ウエハや金属素材、放射性セシウム等の放射性物質を含む土壌や下水汚泥焼却灰、飛灰などを挙げることができる。半導体ウエハ等の洗浄は、エッチング処理、スケール及びさびの除去、酸皮膜の除去のために行う。放射性物質を含む土壌等の洗浄は、当該土壌等に含まれる放射性物質、例えば放射性セシウム等の除去のために行う。
【００２７】
なお、上記酸としては、塩酸、硫酸、硝酸などの無機酸の他、クエン酸、シュウ酸などの有機酸を用いることができる。また、酸のｐＨは、上述のように洗浄対象物Ｓ１を洗浄できれば特に限定されないが、例えば２．０以下、好ましくは１．３以下、特に好ましくはｐＨ１．２以下とすることができる。
【００２８】
上記金属成分の種類は洗浄対象物Ｓ１に依存するが、アルミニウム、マンガン、カルシウム、マグネシウムなどの軽金属、鉄、亜鉛、鉛などの重金属を挙げることができる。
【００２９】
洗浄対象物Ｓ１の洗浄過程においては、酸貯留槽１３から供給した酸により、当該洗浄対象物Ｓ１の溶解物や洗浄した金属成分が溶解し、洗浄対象物Ｓ１の安定した洗浄を行うことができなくなる場合があるので、適宜ｐＨ測定器１４によって洗浄槽１１内のｐＨ値を測定することが好ましい。上述したように、ｐＨ測定器１４は、ｐＨ制御部１６に接続されているので、洗浄槽１１内における溶液のｐＨ値が減少してきた場合には、ｐＨ制御部１６より酸貯留槽１３に配設されたバルブ１８の開度を上昇させ、洗浄槽１１内に供給する酸の量を増大させる。
【００３０】
洗浄槽１１内における洗浄過程にある溶液は加熱装置１２によって所定の温度、例えば８０〜９５℃に加熱することが好ましい。これによって、洗浄槽１１内における洗浄対象物Ｓ１の洗浄を促進させることができる。溶液の温度は、温度計１５によって測定するが、上述したように、温度計１５は温度制御部１７に接続されているので、当該温度制御部１７で溶液の温度を適宜モニタリングして、溶液の温度が設定温度の範囲外にある場合は、温度制御部１７から適宜制御信号を加熱機構１２に送信して、加熱機構１２による溶液の加熱度合を適宜制御する。
【００３１】
なお、洗浄槽１１内における洗浄に関する時間は、例えば１０〜３０分とすることができる。
【００３２】
次いで、洗浄槽１１で得た溶液Ｌ１を、図中矢印で示すように、固液分離槽２１内に導入して、溶液Ｌ１中の上記溶解物等の起因した固形分Ｓ２を固液分離して除去する。本実施形態では、図１に示すように、凝集沈殿法によって固形分Ｓ２を固液分離槽２１の底部に沈殿させて固液分離を行っているが、このような凝集沈殿法に代えて、遠心分離法などの方法によって固液分離を行うこともできる。
【００３３】
また、上述のように、固液分離槽２１内には整流壁２２が配設されているので、溶液Ｌ１の固液分離槽２１への導入に際し、溶液Ｌ１が整流されるため、固形分Ｓ２の固液分離槽２１での凝集沈殿が妨げられることがない。
【００３４】
次いで、固液分離槽２１で得た固形分Ｓ２除去後の溶液Ｌ２を、図中矢印で示すように、吸着塔３１に導入する。吸着塔３１内には、洗浄槽１１で用いた酸により、溶液Ｌ２が酸性、特にｐＨ２以下の酸性となっていることから、上述のように、内部に強酸性陽イオン交換樹脂及びキレート樹脂などの低ｐＨ（例えばｐＨ２以下）で処理可能な吸着材３１を具えている。したがって、上記溶液Ｌ２を、図中矢印で示すように、吸着塔３１内を通過させることにより、溶液Ｌ２中に含まれる洗浄槽１１で洗浄した金属成分（金属イオン）を吸着して除去する。
【００３５】
なお、吸着塔３１では強酸性イオン交換樹脂を用いる場合は、主としてアルミニウム、マンガン、カルシウム、マグネシウムなどの軽金属が除去される。また、キレート樹脂を用いる場合は、主として鉄、亜鉛、鉛などの重金属が除去される。但し、土壌や下水汚泥焼却灰、飛灰から放射性物質、特に放射性セシウムを除去するような場合は、吸着塔３１の前の図示しないモルデナイト型ゼオライト等のゼオライトを充填した塔により、当該ゼオライトによって放射性セシウムを吸着除去する。
【００３６】
次いで、吸着塔３１で得た溶液Ｌ２を、図中矢印で示すように、電気透析槽４１内に導入する。具体的には、電気透析槽４１に近接して配設された脱塩水槽４２内に導入する。
【００３７】
一方、電気透析槽４１内では、両側に位置する陽極４１３及び陰極４１４間に電源Ｖを介して直流電流または直流電圧を供給することにより電気透析を行う。溶液Ｌ２中において、酸は水素イオンと陰イオンとの形態で存在し、金属成分は主に陽イオンの形態で存在する。
【００３８】
本実施形態において、陽イオン交換膜４１１は、水素イオンのみをイオン交換で透過し、陰イオン及び金属イオンは透過せず、陰イオン交換膜４１２は、上記陰イオンのみをイオン交換によって透過させるので、濃縮槽４１Ａ内には、酸を構成する水素イオン及び陰イオンが閉じ込められ、これによって上記酸が濃縮される。一方、金属成分は陽イオン交換膜５１１でイオン交換を行い、脱塩室４１Ｂ内に閉じ込められるようになる。
【００３９】
さらに、本実施形態では、電気透析槽４１の脱塩室４１Ｂに対して配管４４、４６及びポンプ４８を介して脱塩水槽４２を接続し、電気透析に伴って脱塩室４１Ｂ内を循環させ、脱塩室４１Ｂ内に濃縮された金属成分（金属イオン）を脱塩室から適宜取り出し貯留する。また、電気透析槽４１の濃縮室４１Ａに対して配管４５，４７及びポンプ４９を介して濃縮水槽４３を接続し、濃縮室４１Ａ内を循環させることにより、濃縮室４１Ａ内に濃縮された酸を適宜濃縮槽４１Ａから取り出し貯留する。
【００４０】
ここで、濃縮室４１Ａ内に図示しないｐＨ測定器を接続して濃縮室４１ＡのｐＨ値を測定できるように構成すると、濃縮室４１Ａ内の酸のｐＨ値を目的のｐＨ値、例えば、洗浄槽１１に供給すべき酸を貯留する酸貯留槽１３中の酸のｐＨ値に達したならば、電気透析処理を終了する。以上のようにして調整された酸は、初期の酸のｐＨ値を有しているので、酸貯留槽１３に戻すことにより洗浄槽２１における洗浄工程において再利用できるようになる。
【００４１】
なお、電気透析槽４１においては、溶液Ｌ２より、吸着塔３１で除去しきれなかった成分が除去される。吸着塔３１で強酸性陽イオン交換樹脂を使用している場合は、主として鉄、亜鉛、鉛などの重金属が除去されることになる。また、キレート樹脂を用いる場合は、主として鉄、亜鉛、鉛などの重金属が除去される。さらにゼオライトを用いる場合は、放射性セシウムが除去される。
【００４２】
（第２の実施形態）
最初に、本実施形態で使用する洗浄用酸の再生装置について説明する。図３は、本実施形態で使用する洗浄用酸の再生装置の概略構成を示す図である。
【００４３】
図３から明らかなように、本実施形態の洗浄用酸の再生装置７０は、図１に示す洗浄用酸の再生装置１０において、電気透析槽４１の下流側に、酸容量調整槽５１が配設されている点で相違し、その他の構成については同様である。したがって、以下においては、上記相違点、すなわち酸容量調整槽５１を配設したことによる洗浄用酸の再生装置７０の利点について説明する。
【００４４】
なお、その他の構成、機能及び作用効果については、図１に示す洗浄用酸の再生装置１０に係る第１の実施形態の場合と同様であるので、記載を省略する。
【００４５】
図３に示すように、酸容量調整槽５１の上方には追加の酸貯留槽５３が配設されているとともに、容量制御部５６が配設されている。容量制御部５６は、酸貯留槽１３内に貯留された酸の容量に応じて、追加の酸貯留槽５３に配設されたバルブ５８の開度を調節し、追加の酸貯留槽５３から酸容量調整槽５１内に供給する酸の量を調節できるようになっている。
【００４６】
次に、図３に示す洗浄用酸の再生装置７０を用いた洗浄用酸の再生方法について説明する。
【００４７】
最初に、第１の実施形態で説明したように、洗浄対象物Ｓ１を洗浄槽１１内に導入するとともに、酸貯留槽１３より所定の酸を洗浄槽１１内に供給して、洗浄槽１１内において洗浄対象物Ｓ１を酸により洗浄した後、洗浄槽１１で得た溶液Ｌ１を固液分離槽２１内に導入して、溶液Ｌ１中の上記溶解物等の起因した固形分Ｓ２を固液分離して除去する。
【００４８】
次いで、固液分離槽２１で得た固形分Ｓ２除去後の溶液Ｌ２を吸着塔３１に導入して、吸着塔３１で強酸性イオン交換樹脂を用いる場合は、主としてアルミニウム、マンガン、カルシウム、マグネシウムなどの軽金属が除去され、キレート樹脂を用いる場合は、主として鉄、亜鉛、鉛などの重金属が除去される。但し、土壌や下水汚泥焼却灰、飛灰から放射性物質、特に放射性セシウムを除去するような場合は、吸着塔３１の前の図示しないモルデナイト型ゼオライト等のゼオライトを充填した塔により、当該ゼオライトによって放射性セシウムを吸着除去する。
【００４９】
このようにして得た酸の濃縮液Ｌ４は、初期の酸のｐＨ値、すなわち酸貯留槽１３内に貯留された酸と同じｐＨ値を有しているが、その容量は酸貯留槽１３に貯留された酸の容量に比較して減少している。これは、例えば、固液分離槽２１中において、固形分Ｓ２を凝集沈殿させた際に、固形分Ｓ２中に上記酸がある程度の割合で含まれ、さらには吸着塔３１内に備えられた吸着材３２にある程度の割合で吸着及び吸収されてしまうことによる。
【００５０】
したがって、本実施形態では、濃縮水槽４３から酸容量調整槽５１に酸濃縮液Ｌ４を移送する。ここで、追加の酸貯留槽５３より追加の酸を酸容量調整槽５１内の酸濃縮液Ｌ４に添加し、酸容量調整槽５１中に存在する酸の量を酸貯留槽１３内に貯留された酸の容量と等しくする。なお、酸貯留槽１３内に貯留された酸の容量は、容量制御部５６内に予め記憶されているので、酸濃縮液Ｌ４に添加すべき酸の容量に応じて、容量制御部５６からバルブ５８に対して制御信号が送信されてバルブ５８の開度が調整され、追加の酸貯留槽６３から酸容量調整槽５１内に添加する酸の量が適宜調節される。
【００５１】
以上のようにして調整された酸は、初期の酸のｐＨ値を有するとともに、酸貯留槽１３に貯留された酸と同じ容量に調整されているので、洗浄槽２１に直接戻すことができ、当初、洗浄槽１１に供給した酸を、図３に示す再生装置７０内を循環させて再利用できるようになる。
【００５２】
以上、本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は例として掲示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００５３】
１０、７０  洗浄用酸の再生装置
１１  洗浄槽
１２  加熱機構
１３  酸貯留槽
１４  ｐＨ測定器
１５  温度計
１６  ｐＨ制御部
１７  温度制御部
１８  バルブ
２１  固液分離槽
２２  整流壁
３１  吸着塔
３２  吸着材
４１  電気透析槽
４２  脱塩水槽
４３  濃縮水槽
５１  ｐＨ調整槽
５３  追加の酸貯留槽
５６  容量制御部
５８  バルブ
Ｓ１  洗浄対象物
Ｓ２  固形分
Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３  溶液
Ｌ４  酸濃縮液
【図１】
2014210235.tif 000003
【図２】
2014210235.tif 000004
【図３】
2014210235.tif 000005