(57)【要約】【課題】シート状基材の少なくとも一方の面に金属系線状構造体を含んだパターン化導電層が形成された導電性シートの導電領域を良好に判別することができる導電性シートの検査装置及びその検査方法を提供すること。【解決手段】シート状基材１１の一方の面に銀ナノワイヤー１６を含んだパターン化導電層１２が形成された導電性シート１０を検査するための装置であって、導電性シート１０に光を照射する照明機器２１と、照明機器２１により光を照射された導電性シート１０からの散乱光を受光することで画像データを取得するカメラ２２と、カメラ２２で取得した画像データのうち、予め設定された閾値を超える明るさを有する領域を導電領域１３と判別する制御手段３０の判別処理部３３とを備えたものである。【選択図】図３
2014037983.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シート状基材の少なくとも一方の面に金属系線状構造体を含んだパターン化導電層が形成された導電性シートを検査するための装置であって、
前記導電性シートに光を照射する照射手段と、
前記照射手段により光を照射された前記導電性シートからの散乱光を受光することで画像データを取得する撮像手段と、
前記撮像手段で取得した画像データのうち、予め設定された閾値を超える明るさを有する領域を導電領域と判別する判別手段と
を備えたことを特徴とする導電性シートの検査装置。
【請求項２】
前記撮像手段は、前記照射手段が照射する光の正反射領域及び透過領域を除く領域に配置されることを特徴とする請求項１に記載の導電性シートの検査装置。
【請求項３】
前記照射手段が、前記撮像手段が受光する光軸と角度θとなるよう照射光軸が設定されており、角度θが以下の関係式を満たすことを特徴とする請求項２に記載の導電性シートの検査装置。
【数３】
2014037983.tif 000005
ここで、ｄは照射手段の幅、Ｌは照射手段と導電性シートとの距離、θ１は撮像手段が受光する光軸と導電性シートを含む面との成す角度、Ｆは撮像手段の実効絞り値、Ｍは撮像手段の撮像倍率を示す。
【請求項４】
前記判別手段は、前記線状構造体同士が少なくとも１つの接点で接することによりネットワーク構造を形成している部分を含む領域を導電領域と判別することを特徴とする請求項１〜３のいずれか１つに記載の導電性シートの検査装置。
【請求項５】
前記判別手段を通じて判別した導電領域の形状データから予め設定された基準位置に対するパターン化導電層の相対的なずれ量を測定する位置測定手段を備えたことを特徴とする請求項１〜４のいずれか１つに記載の導電性シートの検査装置。
【請求項６】
前記位置測定手段を通じて測定した相対的なずれ量から前記パターン化導電層の位置を補正する位置補正手段を備えたことを特徴とする請求項５に記載の導電性シートの検査装置。
【請求項７】
前記線状構造体は、銀ナノワイヤーであることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１つに記載の導電性シートの検査装置。
【請求項８】
シート状基材の少なくとも一方の面に、金属系線状構造体を含んだパターン化導電層が形成された導電性シートを検査するための方法であって、
前記導電性シートに光を照射する照射工程と、
前記照射工程により光を照射された前記導電性シートからの散乱光を受光することで画像データを取得する撮像工程と、
前記撮像工程で取得した画像データのうち、予め設定された閾値を超える明るさを有する領域を導電領域と判別する判別工程と
を含むことを特徴とする導電性シートの検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、導電性シートの検査装置及びその検査方法に関し、より詳細には、シート状基材の少なくとも一方の面に金属系線状構造体を含んだパターン化導電層が形成された導電性シートの検査装置及びその検査方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、タッチパネル、液晶ディスプレイ、有機エレクトロルミネッセンス、電子ペーパー等のディスプレイ関連や太陽電池モジュール等に使用される非視認性の高い導電性シートとして、ＩＴＯ（Indium  Tin  Oxide：酸化インジウムスズ）や金属薄膜等の導電性薄膜が用いられたものが知られている。
【０００３】
このようなＩＴＯや金属薄膜等の導電性膜を用いた導電性シートにおける導電領域の判別を行う装置として、次のようなものが知られている。
【０００４】
例えば、導電性シートに対して紫外線を照射して、導電領域における紫外線の透過率と非導電領域における紫外線の透過率との違いで導電領域を判別する装置（例えば、特許文献１参照）と、導電性シートに対して可視光（短波長）を照射して、導電領域における可視光の反射率と非導電領域における可視光の反射率との違いで導電領域を判別する装置（例えば、特許文献２参照）とである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平４−２８２４４１号公報
【特許文献２】特開平８−７５４１７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、上記ＩＴＯや金属薄膜等の導電性膜を用いた導電性シートの他に、シート状基材の少なくとも一方の面に金属系線状構造体である金属系ナノワイヤーを含んだパターン化導電層が形成された導電性シートが知られている。
【０００７】
このような導電性シートは、一般的にマトリックス成分に金属系ナノワイヤーが分散された状態で存在しており、導電領域では、金属系ナノワイヤー同士が少なくとも１つの接点で接することによりネットワーク構造が形成されている一方、非導電領域では金属系ナノワイヤーが完全に除去されている、あるいは金属系ナノワイヤー同士が孤立分散していて該ネットワーク構造が形成されていないものである。
【０００８】
つまり、ＩＴＯ等の導電性膜を用いた導電性シートでは、最表面に位置する導電性膜が非導電領域では完全に除去されるのに対し、金属系ナノワイヤーを用いた導電性シートでは、最表面に位置するマトリックス成分が非導電領域でもそのまま存在し、マトリックス成分中に分散した金属系ナノワイヤーのみが一部、あるいは完全に除去される。
【０００９】
これにより、金属系ナノワイヤーを用いた導電性シートに上述したような紫外線や可視光を照射してその透過率や反射率の違いで導電領域を判別しようとしても、導電領域と非導電領域との間における透過率や反射率の差が小さく、導電領域を判別することが困難であった。
【００１０】
本発明は、上記実情に鑑みて、シート状基材の少なくとも一方の面に金属系線状構造体を含んだパターン化導電層が形成された導電性シートの導電領域を良好に判別することができる導電性シートの検査装置及びその検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的を達成するために、本発明に係る導電性シートの検査装置は、シート状基材の少なくとも一方の面に金属系線状構造体を含んだパターン化導電層が形成された導電性シートを検査するための装置であって、前記導電性シートに光を照射する照射手段と、前記照射手段により光を照射された前記導電性シートからの散乱光を受光することで画像データを取得する撮像手段と、前記撮像手段で取得した画像データのうち、予め設定された閾値を超える明るさを有する領域を導電領域と判別する判別手段とを備えたことを特徴とする。
【００１２】
また、本発明は、上記導電性シートの検査装置において、前記撮像手段は、前記照射手段が照射する光の正反射領域及び透過領域を除く領域に配置されることを特徴とする。
【００１３】
また、本発明は、上記導電性シートの検査装置において、前記照射手段が、前記撮像手段が受光する光軸と角度θとなるよう照射光軸が設定されており、角度θが以下の関係式を満たすことを特徴とする。
【数１】
2014037983.tif 000003
ここで、ｄは照射手段の幅、Ｌは照射手段と導電性シートとの距離、θ１は撮像手段が受光する光軸と導電性シートを含む面との成す角度、Ｆは撮像手段の実効絞り値、Ｍは撮像手段の撮像倍率を示す。
【００１４】
また、本発明は、上記導電性シートの検査装置において、前記判別手段は、前記線状構造体同士が少なくとも１つの接点で接することによりネットワーク構造を形成している部分を含む領域を導電領域と判別することを特徴とする。
【００１５】
また、本発明は、上記導電性シートの検査装置において、前記判別手段を通じて判別した導電領域の形状データから予め設定された基準位置に対するパターン化導電層の相対的なずれ量を測定する位置測定手段を備えたことを特徴とする。
【００１６】
また、本発明は、上記導電性シートの検査装置において、前記位置測定手段を通じて測定した相対的なずれ量から前記パターン化導電層の位置を補正する位置補正手段を備えたことを特徴とする。
【００１７】
また、本発明は、上記導電性シートの検査装置において、前記線状構造体は、銀ナノワイヤーであることを特徴とする。
【００１８】
また、本発明に係る導電性シートの検査方法は、シート状基材の少なくとも一方の面に、金属系線状構造体を含んだパターン化導電層が形成された導電性シートを検査するための方法であって、前記導電性シートに光を照射する照射工程と、前記照射工程により光を照射された前記導電性シートからの散乱光を受光することで画像データを取得する撮像工程と、前記撮像工程で取得した画像データのうち、予め設定された閾値を超える明るさを有する領域を導電領域と判別する判別工程とを含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１９】
本発明の導電性シートの検査装置によれば、照射手段が導電性シートに光を照射し、撮像手段が照射手段により光を照射された導電性シートからの散乱光を受光することで画像データを取得し、判別手段が撮像手段で取得した画像データのうち閾値を超える明るさを有する領域を導電領域と判別するので、金属系線状構造体の光拡散度の違いに着目した方式を採用することとなり、シート状基材の少なくとも一方の面に金属系線状構造体を含んだパターン化導電層が形成された導電性シートの導電領域を良好に判別することができるという効果を奏する。
【００２０】
また、本発明の導電性シートの検査方法によれば、照射工程にて導電性シートに光を照射し、撮像工程にて照射工程により光を照射された導電性シートからの散乱光を受光することで画像データを取得し、判別工程にて撮像工程で取得した画像データのうち閾値を超える明るさを有する領域を導電領域と判別するので、シート状基材の少なくとも一方の面に金属系線状構造体を含んだパターン化導電層が形成された導電性シートの導電領域を良好に判別することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】図１は、本発明の実施の形態である検査装置の検査対象である導電性シートを模式的に示す模式図である。
【図２】図２は、本発明の実施の形態である検査装置の構成を模式的に示すブロック図である。
【図３】図３は、図１に示した照明機器及びカメラの配置例を示す説明図である。
【図４】図４は、図２に示した制御手段が実施する検査処理制御の処理内容を示すフローチャートである。
【図５】図５は、図４に示した検査処理制御においてカメラが取得した画像データを示す説明図である。
【図６】図６は、照射手段である照明機器と、撮像手段であるカメラとの配置可能範囲を説明するための説明図である。
【図７】図７は、撮像手段であるカメラの配置例を説明するための説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下に添付図面を参照して、本発明に係る導電性シートの検査装置及びその検査方法の好適な実施の形態について詳細に説明する。尚、導電性シートの検査方法については、検査装置の説明の中で説明する。
【００２３】
図１は、本発明の実施の形態である検査装置の検査対象である導電性シートを模式的に示す模式図である。ここで例示する導電性シート１０は、シート状基材１１の一方の面にパターン化導電層１２が形成されて成るものである。
【００２４】
シート状基材１１は、可視光線の全光線透過率が高いものであって、透明性を有する樹脂やガラスにより形成されたものである。本実施の形態においては、シート状基材１１は、例えばＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）フィルムにより構成されている。
【００２５】
パターン化導電層１２は、その面内に導電領域１３と非導電領域１４とを有するものである。このパターン化導電層１２は、マトリックス成分１５と金属成分１６とから構成され、金属成分１６は導電領域１３と非導電領域１４とで形態が異なる。
【００２６】
ここでマトリックス成分１５は、重合反応に寄与する炭素−炭素二重結合基を２個以上有する化合物が重合反応した構造を含む高分子から構成されるものである。かかる高分子は、重合反応に寄与する炭素−炭素二重結合基を２個以上有するモノマー、オリゴマー、ポリマーからなる組成物を、該炭素−炭素二重結合基内の炭素−炭素二重結合を反応点として重合反応することで炭素−炭素単結合を形成して得られた高分子化合物である。
【００２７】
炭素−炭素二重結合基を含む官能基としては、例えば、イソプロペニル基、イソペンテニル基、アリル基、アクリロイル基、メタクリロイル基、アクリロイルオキシ基、メタクリロイルオキシ基、メタクリル基、アクリルアミド基、メタクリルアミド基、アリリデン基、アリリジン基、ビニルエーテル基や、炭素−炭素二重結合基の炭素にフッ素や塩素等のハロゲン元素が結合したもの（例えば、フッ化ビニル基、フッ化ビニリデン基、塩化ビニル基、塩化ビニリデン基等）や、炭素−炭素二重結合基の炭素にフェニル基やナフチル基等の芳香環を有する置換基が結合したもの（例えばスチリル基等）や、ブタジエニル基（例えば、ＣＨ２＝Ｃ（Ｒ１）−Ｃ（Ｒ２）＝ＣＨ−、ＣＨ２＝Ｃ（Ｒ１）−Ｃ（＝ＣＨ２）−（Ｒ１、Ｒ２はＨ又はＣＨ３））のように共役ポリエン構造を有する基等が挙げられる。これらから要求される特性や生産性等を考慮して、１種類又は２種以上混合して使用すればよい。
【００２８】
金属成分１６は、金属系線状構造体である金属系ナノワイヤー、特に銀ナノワイヤーにより構成されている。この銀ナノワイヤー１６は、平均径（短軸）が１０〜１００ｎｍであり、長さ（長軸）が１０〜１００μｍの大きさを有するものである。
【００２９】
尚、本実施の形態では、金属系線状構造体として銀ナノワイヤー１６を示したが、本発明の線状構造体は、これに限定されるものではなく、例えば繊維状導電体、ナノワイヤー、ウィスカーのような針状導電体等が挙げられる。線状構造体の材質は金属、合金、金属酸化物、金属窒化物、金属水酸化物等である。金属としては、元素の短周期型周期律表におけるＩＩＡ属、ＩＩＩＡ属、ＩＶＡ属、ＶＡ属、ＶＩＡ属、ＶＩＩＡ属、ＶＩＩＩ属、ＩＢ属、ＩＩＢ属、ＩＩＩＢ属、ＩＶＢ属又はＶＢ属に属する元素が挙げられる。具体的には、金、白金、銀、ニッケル、銅、アルミニウム、ガリウム、ジルコニウム、ハフニウム、バナジウム、ニオブ、タンタル、クロム、モリブデン、マンガン、アンチモン、パラジウム、ビスマス、テクネチウム、レニウム、鉄、オスミウム、コバルト、亜鉛、スカンジウム、ホウ素、ガリウム、インジウム、ケイ素、ゲルマニウム、テルル、錫、マグネシウム等が挙げられる。合金としては、上記金属を含む合金（ステンレス鋼、黄銅等）が挙げられる。金属酸化物としては、ＩｎＯ２、ＳｎＯ２、ＺｎＯ等が挙げられ、またこれらの金属酸化物複合体（ＩｎＯ２Ｓｎ、ＳｎＯ２−Ｓｂ２Ｏ４、ＳｎＯ２−Ｖ２Ｏ５、ＴｉＯ２（Ｓｎ／Ｓｂ）Ｏ２、ＳｉＯ２（Ｓｎ／Ｓｂ）Ｏ２、Ｋ２Ｏ−ｎＴｉＯ２−（Ｓｎ／Ｓｂ）Ｏ２、Ｋ２Ｏ−ｎＴｉＯ２−Ｃ等）も挙げられる。またこれらは表面処理を施されていてもよい。更に有機化合物（例えば植物繊維、合成繊維等）や非金属材料（例えば無機繊維等）の表面に上記金属や金属酸化物でコーティング又は蒸着したものも含まれる。線状構造体の平均径及び長さは、種々の範囲を採りうるが、平均径が１ｎｍ〜１０００ｎｍ（１μｍ）であることが好ましく、長さが平均径に対し、アスペクト比（線状構造体の長さ／平均径）が１０より大きくなるような長さであれば良く、１μｍ〜１００μｍ（０．１ｍｍ）であることが好ましい。また線状構造体を単独、又は複数を組み合わせて混合して使用することもでき、必要に応じて他のマイクロ〜ナノサイズの導電性材料を添加しても良い。
【００３０】
上記パターン化導電層１２の導電領域１３は、マトリックス成分１５中にネットワーク構造を有する銀ナノワイヤー（金属成分）１６を含むものである。ネットワーク構造を有する銀ナノワイヤー１６は、いわゆる導電成分として働いて抵抗値を低くするので、導電領域１３として必要な導電性が発現する。すなわち、銀ナノワイヤー１６がネットワーク構造を有していることで、導電領域１３内の面方向への導電パスが形成され、低い表面抵抗値を得ることができる。
【００３１】
「ネットワーク構造」とは、導電領域１３内の個別の銀ナノワイヤー１６について見たとき、別の銀ナノワイヤー１６との接点の数の平均が少なくとも１を超える様な分散構造を有することをいう。このとき接点は銀ナノワイヤー１６のいかなる部分同士で形成されていてもよく、銀ナノワイヤー１６の末端部同士が接していたり、末端と銀ナノワイヤー１６の末端以外の部分が接していたり、銀ナノワイヤー１６の末端以外の部分同士が接していてもよい。ここで「接する」とは、その接点が接合していても単に接触しているだけでもよい。尚、導電領域１３中の銀ナノワイヤー１６のうち、ネットワークの形成に寄与していない（すなわち接点が零でネットワークとは独立して存在している）ものが一部存在していても構わない。パターン化導電層１２の導電領域１３を構成する導電成分がネットワーク構造を有する銀ナノワイヤー１６からなることから、導電領域１３内にネットワーク構造を有する銀ナノワイヤー１６の含有比率が一定以下の場合には、面内において銀ナノワイヤー１６が存在しない領域が散在する場合があるが、かかる領域が存在しても任意の２点間で導電性を示しうる。
【００３２】
上記パターン化導電層１２の非導電領域１４は、マトリックス成分１５中に孤立分散した構造を有する銀ナノワイヤー（金属成分）１６を含むものである。銀ナノワイヤー１６が孤立分散した構造を有することで抵抗値を高くすることができ、非導電領域１４として必要な絶縁性を発現することができる。尚、非導電領域１４が必要な絶縁性を発現するためには、非導電領域１４がマトリックス成分１５中に銀ナノワイヤー１６を含まないものであっても良い。
【００３３】
「孤立分散した構造」とは、銀ナノワイヤー１６の個別の形状にかかわらず、ネットワーク構造を有さないことをいう。具体的には、マトリックス成分１５中に分散した銀ナノワイヤー１６又はその他の金属成分のマトリックス成分１５中での含有濃度を低くしたり、銀ナノワイヤー１６の形状を銀ナノワイヤー１６同士が接触しにくい球状にしたり、銀ナノワイヤー１６の長さを短くしたりすることで、銀ナノワイヤー１６同士の接点を離すことで、それぞれの銀ナノワイヤー１６を孤立化させ、銀ナノワイヤー１６間の接点をなくしたり、銀ナノワイヤー１６間に接点がある場合でも銀ナノワイヤー１６の分散している数に対しての接点の数を少ない状態とするものである。銀ナノワイヤー１６間に接点がある場合に、銀ナノワイヤー１６の分散している数に対しての接点の数を少ない状態にする方法としては、接点部又は銀ナノワイヤー１６自体を非導電性の状態としたり、一つの銀ナノワイヤー１６の一部を切断したりすることが挙げられ、より具体的には銀ナノワイヤー１６の一部溶解若しくは表面を化学的に変化させることで接点部若しくは銀ナノワイヤー１６を絶縁性とすることで導電経路を遮断する、銀ナノワイヤー１６を一部溶解させて銀ナノワイヤー１６の一部を切断する等の方法を挙げることができる。
【００３４】
図２は、本発明の実施の形態である検査装置の構成を模式的に示すブロック図である。ここで例示する検査装置は、照明機器２１、カメラ２２及び制御手段３０を備えて構成されている。
【００３５】
照明機器２１は、導電性シート１０に対して可視光を照射する照射手段である。本実施の形態においては、照明機器２１として、図３に示すように、導電性シート１０に対して照射角αが３０°で可視光を照射するリング型照明機器を適用している。
【００３６】
カメラ２２は、照明機器２１により照射された導電性シート１０からの光を受光することで画像データを取得する撮像手段である。このカメラ２２は、照明機器２１が照射する可視光の正反射領域及び透過領域を除く領域に配置されるものであり、図３に示すように本実施の形態においては受光する光軸が導電性シート１０の表面（パターン化導電層１２の形成面）に対して９０°となる領域にレンズ２３を介して配置されている。このような領域に配置されることでカメラ２２は、照明機器２１により照射された導電性シート１０からの散乱光を受光することで画像データを取得するものである。
【００３７】
制御手段３０は、メモリ４０に記憶されたプログラムやデータに従って検査装置の動作を統括的に制御するものであり、入力処理部３１、出力処理部３２、判別処理部３３、測定処理部３４及び補正処理部３５を備えて構成されている。
【００３８】
入力処理部３１は、撮像手段であるカメラ２２から与えられる画像データを入力処理するものである。出力処理部３２は、照射手段である照明機器２１に対して照射指令を与えて駆動させる出力処理を行うものであり、メモリ４０に対して所定の情報を格納する処理を行うものである。
【００３９】
判別処理部３３は、入力処理部３１を通じて入力処理した画像データと、メモリ４０から読み出した閾値とを比較して、該画像データのうち閾値を超える明るさを有する領域を導電領域１３と判別する一方、閾値以下の明るさを有する領域を、非導電領域１４を含むその他領域と判別する判別手段である。
【００４０】
測定処理部３４は、判別処理部３３を通じて判別した導電領域１３の形状データと、メモリ４０から読み出した基準データとを比較して基準位置に対するパターン化導電層１２の相対的なずれ量を測定する位置測定手段である。より具体的に説明すると、判別処理部３３を通じて判別した導電領域１３の形状データを二値化処理し、二値化処理したデータから導電領域１３の座標情報を取得する。次に、メモリ４０から基準データ（予め設定された基準座標情報）を読み出して、導電領域１３の座標情報と比較し、両者の相対的なずれ量を測定する。
【００４１】
補正処理部３５は、測定処理部３４を通じて測定したずれ量からパターン化導電層１２の位置を補正する処理を行うものである。
【００４２】
図４は、図２に示した制御手段３０が実施する検査処理制御の処理内容を示すフローチャートである。
【００４３】
この検査処理制御において制御手段３０は、出力処理部３２を通じて照明機器２１に対して照射指令を与える（ステップＳ１０１）。これにより、照明機器２１は可視光を導電性シート１０のパターン化導電層１２が形成された面に照射することとなり（照射工程）、制御手段３０は、入力処理部３１を通じてカメラ２２からの画像データの入力待ち状態となる。
【００４４】
カメラ２２が照明機器２１により照射された導電性シート１０からの散乱光を受光して図５に示すような画像データを取得することで（撮像工程）、制御手段３０が入力処理部３１を通じてカメラ２２から与えられる画像データを入力処理した場合（ステップＳ１０２：Ｙｅｓ）、制御手段３０は判別処理を実施する（ステップＳ１０３）。
【００４５】
ここで図５は、カメラ２２が取得した画像データを示すものである。この図５に示すように、明領域５１と暗領域５２とが得られる。明領域５１は、暗領域５２よりも多くの散乱光を受光した領域である。上述したように導電領域１３は、マトリックス成分１５中にネットワーク構造を有する銀ナノワイヤー１６を含むものであるから、マトリックス成分１５中に孤立分散した構造を有する銀ナノワイヤー１６を含む非導電領域１４よりも多くの散乱光を生じさせることとなり、これにより導電領域１３が明領域５１、非導電領域１４が暗領域５２として現れる。尚、パターン化導電層１２が形成されていない領域では、導電領域１３よりも散乱光が生じにくいために暗領域５２として現れる。
【００４６】
上記ステップＳ１０３における判別処理においては、制御手段３０が、判別処理部３３を通じてメモリ４０から閾値を読み出し、かかる閾値とステップＳ１０２で入力処理した画像データとを比較して、該画像データのうち閾値を超える明るさを有する領域を導電領域１３と判別する一方、閾値以下の明るさを有する領域を、非導電領域１４を含むその他領域と判別する（判別工程）。
【００４７】
このように判別処理を実施した制御手段３０は、測定処理を実施する（ステップＳ１０４）。この測定処理においては、制御手段３０が判別処理部３３を通じて判別した導電領域１３の形状データを二値化処理し、二値化処理したデータから導電領域１３の座標情報を取得する。次に、制御手段３０が判別処理部３３を通じてメモリ４０から基準データ（予め設定された基準座標情報）を読み出し、導電領域１３の座標情報と基準データとを比較し、両者の相対的なずれ量を測定する。
【００４８】
この測定処理の結果、ずれ量が測定されない場合（ステップＳ１０５：Ｎｏ）、制御手段３０は、後述する処理（補正処理）を実施することなく、手順をリターンさせて今回の処理を終了する。
【００４９】
その一方、測定処理の結果、ずれ量が測定された場合（ステップＳ１０５：Ｙｅｓ）、制御手段３０は、補正処理部３５を通じて測定されたずれ量からパターン化導電層１２の位置を補正する補正処理を実施し（ステップＳ１０６）、その後に手順をリターンさせて今回の処理を終了する。
【００５０】
以上説明したように、本発明の実施の形態である導電性シート１０の検査装置によれば、照明機器２１が導電性シート１０に可視光を照射し、カメラ２２が照明機器２１により照射された導電性シート１０からの散乱光を受光することで画像データを取得し、制御手段３０が判別処理部３３を通じてカメラ２２で取得した画像データのうち閾値を超える明るさを有する領域を導電領域と判別するので、導電領域１３と非導電領域１４との間において銀ナノワイヤー１６の光拡散度の違いに着目した方式を採用することとなり、シート状基材１１の一方の面に銀ナノワイヤー１６を含んだパターン化導電層１２が形成された導電性シート１０の導電領域１３を良好に判別することができる。
【００５１】
上記導電性シート１０の検査装置によれば、導電領域１３と非導電領域１４との間において銀ナノワイヤー１６の光拡散度の違いに着目した方式を採用しただけなので、可視光対応の一般的なカメラ２２や照明機器２１を用いることができ、特殊な機材や加工等も必要としないため安価で簡易な構成とすることができ、これによりコストの低減化を図ることができる。
【００５２】
本発明の実施の形態である導電性シート１０の検査方法によれば、照射工程にて導電性シート１０に可視光を照射し、撮像工程にて照射工程により照射された導電性シート１０からの散乱光を受光することで画像データを取得し、判別工程にて撮像工程により取得した画像データのうち閾値を超える明るさを有する領域を導電領域１３と判別するので、シート状基材１１の一方の面に銀ナノワイヤー１６を含んだパターン化導電層１２が形成された導電性シート１０の導電領域１３を良好に判別することができる。
【００５３】
以上、本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、種々の変更を行うことができる。
【００５４】
上述した実施の形態では、カメラ２２は照明機器２１が照射する可視光の正反射領域及び透過領域を除く領域に配置されるものとして、照明機器２１が導電性シート１０に対して照射角αが３０°で可視光を照射する位置に配置し、かつカメラ２２が受光光軸が導電性シート１０のパターン化導電層１２の形成面に対して９０°となる領域にレンズ２３を介して配置されていたが、本発明では、照明機器２１が、カメラ２２が受光する光軸と角度θとなるよう照射光軸が設定されており、角度θが以下の関係式を満たす位置に照明機器２１とカメラ２２とを配置させればよい（図６参照）。
【数２】
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（ここで、ｄは照明機器２１の照射幅、Ｌは照明機器２１と導電性シート１０との距離、θ１はカメラ２２が受光する光軸と導電性シート１０を含む面との成す角度、Ｆはカメラ２２の実効絞り値、Ｍはカメラ２２の撮像倍率を示す。）
【００５５】
特に、撮像手段であるカメラ２２は、受光する光軸と導電性シート１０を含む面との成す角度θ１が鋭角であることが好ましい。図７に示すように、角度θ１が鋭角である場合には、角度θ１が直角である場合に比してカメラ２２の受光幅ｄ１よりも大きい幅ｄ２で導電性シート１０からの散乱光を受光することが可能になる。
【００５６】
上述した実施の形態では、制御手段３０は測定処理部３４及び補正処理部３５を備えて構成されていたが、本発明においては、制御手段は、入力処理部、出力処理部及び判別処理部を備えて構成されるものであってよい。このように入力処理部、出力処理部及び判別処理部により構成される制御手段では、上述したステップＳ１０１〜ステップＳ１０３に相当する処理を行うこととなるが、これらの処理により閾値以下となる領域を暗領域として判別することができるため、電極パターン加工前の導電性シートの不良検査（欠点検査）に活用することができる。
【符号の説明】
【００５７】
１０  導電性シート
１１  シート状基材
１２  パターン化導電層
１３  導電領域
１４  非導電領域
１５  マトリックス成分
１６  銀ナノワイヤー（金属成分）
２１  照明機器
２２  カメラ
２３  レンズ
３０  制御手段
３１  入力処理部
３２  出力処理部
３３  判別処理部
３４  測定処理部
３５  補正処理部
４０  メモリ
５１  明領域
５２  暗領域
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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