(57)【要約】【課題】対象物を精度よく検査すること。【解決手段】本発明は、対象物１０の表面１１を比較物の表面と比較することにより前記対象物１０の表面１１を検査する検査部１８と、前記対象物１０を保持し、補正面１３が固定されたステージ１４と、前記対象物１０の表面１１と前記補正面１３とがなす第１角度を検出する検出部１８と、前記第１角度に基づき、前記ステージ１４の傾きを補正する補正部２０と、を具備する検査装置および検査方法である。【選択図】図３
2014092369.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対象物の表面を比較物の表面と比較することにより前記対象物の表面を検査する検査部と、
前記対象物を保持し、補正面が固定されたステージと、
前記対象物の表面と前記補正面とがなす第１角度を検出する検出部と、
前記第１角度に基づき、前記ステージの傾きを補正する補正部と、
を具備することを特徴とする検査装置。
【請求項２】
前記補正部は、予め取得した前記比較物の表面と前記補正面とのなす第２角度に基づき、前記ステージの傾きを補正することを特徴とする請求項１記載の検査装置。
【請求項３】
前記補正部は、前記第２角度と前記第１角度との差に応じ前記ステージの傾きを補正することを特徴とする請求項２記載の検査装置。
【請求項４】
前記検査部は、明暗パターンを前記対象物の表面に照射した状態において前記対象物の表面を撮像した画像を用い前記対象物の表面を検査する検査部であり、
前記検出部は、前記検査部が撮像した前記対象物の表面および前記補正面に基づき、前記第１角度を検出することを特徴とする請求項１から３のいずれか一項記載の検査装置。
【請求項５】
前記補正部は、前記第１角度に基づき、前記対象物の別の表面を検査するときの前記ステージの角度を補正することを特徴とする請求項１から４のいずれか一項記載の検査装置。
【請求項６】
前記補正部は、前記対象物の複数の表面を検査するごとに、前記第１角度を検出することを特徴とする請求項１から４のいずれか一項記載の検査装置。
【請求項７】
補正面が固定されたステージが保持した対象物の表面と前記補正面とのなす第１角度を検出するステップと、
前記第１角度に基づき、前記ステージの傾きを補正するステップと、
前記対象物の表面を比較物の表面と比較することにより前記対象物の表面を検査するステップと、
を含むことを特徴とする検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査装置および検査方法に関し、対象物の表面を検査する検査装置および検査方法である。
【背景技術】
【０００２】
明暗パターンを対象物の表面に照射することにより、対象物の表面を検査する検査装置が知られている（例えば特許文献１）。このような検査装置は、例えば携帯電話端末等の電子装置の筐体の表面を検査するために用いられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１２−１２７９３４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、対象物を検査する際に、対象物をステージに設置するごとに、対象物の姿勢が変動すると、検査の精度が低下する。また、正常に検査できない可能性がある。本検査装置および検査方法は、対象物を精度よく検査することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
対象物の表面を比較物の表面と比較することにより前記対象物の表面を検査する検査部と、前記対象物を保持し、補正面が固定されたステージと、前記対象物の表面と前記補正面とがなす第１角度を検出する検出部と、前記第１角度に基づき、前記ステージの傾きを補正する補正部と、を具備することを特徴とする検査装置を用いる。
【０００６】
補正面が固定されたステージが保持した対象物の表面と前記補正面とのなす第１角度を検出するステップと、前記第１角度に基づき、前記ステージの傾きを補正するステップと、前記対象物の表面を比較物の表面と比較することにより前記対象物の表面を検査するステップと、を含むことを特徴とする検査方法を用いる。
【発明の効果】
【０００７】
本検査装置および検査方法によれば、対象物を精度よく検査することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】図１（ａ）は、検査方法を説明する図、図１（ｂ）は、明暗パターンを示す図、図１（ｃ）は、撮像素子の画像を示す図である。
【図２】図２（ａ）から図２（ｃ）は、検査方法の例を説明する図である。
【図３】図３は、実施例１に係る検査装置のブロック図である。
【図４】図４（ａ）および図４（ｂ）は、ステージを示す斜視図である。
【図５】図５は、補正部の動作を示すフローチャートである。
【図６】図６（ａ）から図６（ｃ）は、補正面と表面を示す図である。
【図７】図７は、図５のステップＳ１８の一例を示すフローチャートである。
【図８】図８は、実施例２の補正部の動作を示すフローチャートである。
【図９】図９は、実施例２の補正部の動作を示す別のフローチャートである。
【図１０】図１０（ａ）から図１０（ｃ）は、比較物と補正体との関係を示す斜視図である。
【図１１】図１１（ａ）から図１１（ｆ）は、対象物と補正体との関係を示す斜視図である。
【図１２】図１２は、実施例３に係る検査装置のブロック図である。
【図１３】図１３は、実施例４に係る検査装置のブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、図面を参照し、実施例について説明する。
【実施例１】
【００１０】
まず、実施例１が用いられる検査方法の例を説明する。本検査方法は、例えば携帯電話等の筐体の滑らかな塗装面上の欠陥の検査に用いられる。携帯電話等の小型機器のデザインは流麗化し、複雑な表面を有するようになった。このため、より緻密に塗装面の欠陥を検査する。しかし、携帯電話等の筐体は平面により形成されている表面が少なくなった。本検査方法は、このような検査に適している。
【００１１】
以上のように、対象物の表面は複雑な形状を有している場合もあるが、以下では簡略化のため表面を１平面で示す。図１（ａ）は、検査方法を説明する図、図１（ｂ）は、明暗パターンを示す図、図１（ｃ）は、撮像素子の画像を示す図である。図１（ａ）に示すように、検査装置は、明暗照明３０、撮像素子３２を備えている。明暗照明３０は明暗パターン３４を対象物の表面１１に照射する。撮像素子３２は、対象物の表面１１の画像３６を撮像する。図１（ｂ）に示すように、表面１１に照射される明暗パターン３４は、明部３０ａと暗部３０ｂとを備えている。図１（ｃ）のように、撮像素子３２が撮像する画像３６には、表面１１の明部３０ａと暗部３０ｂとが映し込まれる。対象物の表面１１に欠陥３５が存在すると、画像３６には欠陥パターン３０ｃが含まれる。例えば、表面１１が塗装表面のように光沢のある面の場合、画像３６に表面１１の明部３０ａと暗部３０ｂとが映り込む。
【００１２】
図２（ａ）から図２（ｃ）は検査方法の例を説明する図である。なお、検査装置は、比較物２２の表面２３の画像データを記憶している。図２（ａ）を参照し、比較物２２は、例えば測定する対象のうち良品の物である。対象物１０の表面１１の画像を取得し、表面２３と表面１１との画像を比較することにより対象物１０を検査する。表面２３と表面１１との画像がほぼ一致している場合、検査装置は、対象物１０を良品と判断する。図２（ｂ）に示すように、対象物１０の表面１１に欠陥３５が形成されていると、図１（ｃ）のように、画像３６に欠陥パターン３０ｃが映し込まれる。このため、比較物２２の表面２３の画像と対象物１０の表面１１の画像とは異なる。よって、検査装置は、対象物１０を不良と判断する。図２（ｃ）に示すように、ステージ１４が対象物１０を斜めに保持した場合、例えば比較物２２と対象物１０との本来の差異部分のほかに、エッジ部分等の差異も検出される。このように、表面２３と表面１１との画像が異なるため、検査装置は、対象物１０を不良と判断する可能性がある。これにより、検査精度が低下する可能性がある。
【００１３】
図３は、実施例１に係る検査装置のブロック図である。検査装置１００は、ステージ１４、補正体１２、検査部１６、検出部１８および補正部２０を備えている。ステージ１４は、対象物１０を保持する。補正体１２は補正面１３を有し、ステージ１４に固定されている。
【００１４】
図４（ａ）および図４（ｂ）は、ステージを示す斜視図である。図４（ａ）に示すように、ステージ１４には、保持部１５が設けられている、保持部１５は対象物１０を保持する。ステージ１４には補正体１２が固定されている。補正体１２は、補正面１３を有する。補正体１２は、補正面１３を１つ有してもよいが、複数有していてもよい。図４（ｂ）に示すように、補正体１２は、多面体であり、複数の補正面１３を有していてもよい。補正面１３は、対象物１０の表面１１より上方（検査部１６の方向）に位置してもよいし、下方に位置してもよい。
【００１５】
図３を参照し、検査部１６は、対象物１０の表面１１を比較物２２の表面２３とを比較することにより対象物１０の表面１１を検査する。検査部１６は、例えば図１（ａ）に示した明暗照明３０および撮像素子３２を含む。また、プロセッサまたはコンピュータが検査部１６の一部として機能してもよい。検出部１８は、対象物１０の表面１１と補正面１３とがなす角度αを検出する。検査部１６は、例えば図１（ａ）に示した明暗照明３０および撮像素子３２を含み、撮像素子３２の画像を用い角度βを検出してもよい。また、プロセッサまたはコンピュータが検査部１６の一部として機能してもよい。補正部２０は、角度αに基づき、ステージ１４の傾きを補正する。プロセッサまたはコンピュータが検査部１６の一部として機能してもよい。
【００１６】
図５は、補正部の動作を示すフローチャートである。図６（ａ）から図６（ｃ）は、補正面と表面を示す図である。図６（ａ）および図６（ｂ）における破線６３は、補正面１３と平行な面を示し、図６（ｃ）の一点鎖線６４および６５は、それぞれ図６（ｂ）の表面１１および補正面１３を示している。まず、検査部１６は、予め比較物２２の表面２３の画像データを測定する。このとき、検出部１８は、補正面１３と比較物２２の表面２３との角度βを測定する。画像データと角度βは、記憶装置に記憶される。次に、対象物１０の表面１１の測定を行なう。図５を参照し、補正部２０は、比較物２２の画像データを測定した際に測定した補正面１３と比較物２２の表面２３との角度βを記憶装置から取得する（ステップＳ１０）。例えば、図６（ａ）に示すように、検出部１８は、ステージ１４が比較物２２を保持した状態で、補正面１３に対する比較物２２の表面２３の角度βを測定する。
【００１７】
図５に示すように、補正部２０は、検出部１８が検出した補正面１３と対象物１０の表面１１との角度αを検出部１８から取得する（ステップＳ１２）。例えば、ハンドラ等が、ステージ１４に対象物１０を設置する。図６（ｂ）に示すように、検出部１８は、ステージ１４が対象物１０を保持した状態で、補正面１３に対する対象物１０の表面１１の角度αを測定する。
【００１８】
図５に示すように、補正部２０は、角度αと角度βとから角度γを算出する（ステップＳ１４）。例えば、補正部２０は、角度αから角度βを引いた角度を角度γとする。補正部２０は、ステージ１４の傾きを補正する（ステップＳ１６）。図６（ｃ）に示すように、補正部２０は、ステージ１４を角度γ傾ける。これにより、対象物１０の表面１１の絶対的な傾きは、図６（ａ）の比較物２２の表面２３の絶対的な傾きと実質的に同じとなる。
【００１９】
図６（ａ）から図６（ｃ）においては、簡略化のため角度α、βおよびγを１軸で示しているが、２軸以上でもよい。また、角度αおよびβを検出する表面１１は、複雑な形状の表面の１平面であればよい。例えば、表面１１のうち最も面積の大きな平面を用い、角度αおよびβを検出することができる。最も面積の大きな平面を用いることにより、角度αおよびβを精度よく検出できる。
【００２０】
図５に示すように、検査部１６は、対象物１０の表面１１を検査する（ステップＳ１８）。
【００２１】
図７は、図５のステップＳ１８の一例を示すフローチャートである。図７に示すように、検査部１６は、予め測定した比較物２２の表面２３の画像データと、対象物１０の表面１１の画像データと、を比較する（ステップＳ２４）。検査部１６は、対象物１０の表面１１と比較物２２の表面２３との画像データが一致するかを判定する（ステップＳ２６）。例えば、検査部１６は、画像データの差異が所定以内の場合、Ｙｅｓ、所定より大きい場合Ｎｏと判定する。Ｙｅｓの場合、検査部１６は、対象物１０を良品とする（ステップＳ２８）。Ｎｏの場合、検査部１６は、対象物１０を不良品とする（ステップＳ３０）。その後、終了する。このように、検査部１６は、対象物１０の表面１１と比較物２２の表面２３とを比較することにより、対象物１０の表面１１が不良か否かを判定する。
【００２２】
実施例１によれば、補正部２０は、対象物１０の表面１１と補正面１３とがなす角度α（第１角度）に基づき、ステージ１４の傾きを補正する。これにより、対象物１０のアライメント精度を向上させることができる。したがって、対象物１０の姿勢の変動に起因した検査精度の低下を抑制することができる。よって、対象物１０を精度よく検査することができる。
【００２３】
また、補正部２０は、予め取得した比較物２２の表面２３と補正面１３とのなす角度β（第２角度）と、角度αに基づき、ステージ１４の傾きを補正してもよい。これにより、対象物１０を比較物２２と同じ姿勢で検査できる。さらに、補正部２０は、角度βと角度αとの差に応じステージ１４の傾きを補正してもよい。これにより、対象物１０のアライメント精度を向上できる。
【実施例２】
【００２４】
実施例２は、対象物１０の複数の表面１１を検査する例である。実施例２に係る検査装置のブロック図およびステージは、実施例１と同じであり説明を省略する。図８は、実施例２の補正部の動作を示すフローチャートである。実施例２においては、複数の視野を検査する。そこで、１つの表面１１の検査が終了すると、補正部２０は、全ての視野の検査が終了したか判定する（ステップＳ２０）。Ｙｅｓの場合終了する。Ｎｏの場合、対象物１０の次の視野を検査するため、ステージ１４は対象物１０を回転させる（ステップＳ２２）。その後、ステップＳ１６に戻る。図８の例では、各視野について同じ角度γを用いステージ１４を補正する。ステップＳ１０からＳ１８は、実施例１と同じであり、説明を省略する。
【００２５】
図９は、実施例２の補正部の動作を示す別のフローチャートである。ステップＳ２２の後、ステップＳ１２に戻る。図９の例では、視野ごとに、比較物における角度βを測定しておく。検出部１８は、視野ごとに、角度αを検出する。補正部２０は、視野ごとに角度γを算出し、ステージ１４の傾きを補正する。その他のステップは、図８と同じであり、説明を省略する。
【００２６】
図１０（ａ）から図１０（ｃ）は、比較物と補正体との関係を示す斜視図である。図１０（ａ）から図１０（ｃ）において、ステージ１４等は図示していない。ｘ方向、ｙ方向およびｚ方向は、比較物２２の方向を示している。図１０（ａ）を参照し、ステージ１４は、比較物２２の表面２３ａを上方（例えば検査部１６の方向）に向ける。検査部１６は、表面２３ａの画像データを測定する。検出部１８は、補正面１３ａと表面２３ａとの角度βを検出する。
【００２７】
図１０（ｂ）を参照し、ステージ１４は比較物２２の表面２３ｂを上方に向ける。検査部１６は、表面２３ｂの画像データを測定する。図９の例においては、検出部１８は、補正面１３ｂと表面２３ｂとの角度βを検出する。図１０（ｃ）を参照し、ステージ１４は比較物２２の表面１３ｃを上方に向ける。検査部１６は、表面２３ｃの画像データを測定する。図９の例においては、検出部１８は、補正面１３ｃと表面２３ｃとの角度βを検出する。
【００２８】
図１１（ａ）から図１１（ｆ）は、対象物と補正体との関係を示す斜視図である。図１１（ａ）から図１１（ｆ）において、ステージ１４等は図示していない。ｘ方向、ｙ方向およびｚ方向は、対象物１０の方向を示している。図１１（ａ）を参照し、ステージ１４は、比較物２２の表面２３ａを上方（例えば検査部１６の方向）に向ける。図８および図９のステップＳ１２において、検出部１８は、補正面１３ａと表面１１ａとの角度αを検出する。補正部２０は、図１０（ａ）において測定した角度βを用い、角度γを算出する。図１１（ｂ）を参照し、補正部２０は、ステージ１４を角度γ傾ける。これにより、対象物１０のｘ、ｙおよびｚ方向はｘ´、ｙ´およびｚ´方向となる。検査部１６は、表面１１ａの画像を測定する。検査部１６は、表面１１ａの画像と、図１０（ａ）において測定した表面２３ａの画像と、を比較することにより、表面１１ａの欠陥の有無を判定する。
【００２９】
図１１（ｃ）を参照し、ステージ１４は、対象物１０を次の視野に回転させる。例えば、ステージ１４は対象物１０の表面１１ｂを上方に向ける。図１１（ｄ）を参照し、図８の例ではステップＳ１６において補正部２０は図１１（ｂ）と同じ角度γを用いステージ１４の傾きを補正する。図９の例ではステップＳ１２において検出部１８は、補正面１３ｂと表面１１ｂとの角度αを検出する。補正部２０は、図１０（ｂ）において測定した角度βを用い、角度γを算出する。補正部２０は、ステージ１４を角度γ傾ける。これにより、対象物１０のｘ、ｙおよびｚ方向はｘ´、ｙ´およびｚ´方向となる。検査部１６は、表面１１ｂの画像を測定する。検査部１６は、表面１１ｂの画像と、図１０（ｂ）において測定した表面２３ｂの画像と、を比較することにより、表面１１ｂの欠陥の有無を判定する。
【００３０】
図１１（ｅ）および図１１（ｆ）を参照し、図１１（ｃ）および図１１（ｄ）と同様に、補正部２０は、ステージ１４を角度γ傾ける。検査部１６は、表面１１ｃの画像と、図１０（ｃ）において測定した表面２３ｃの画像と、を比較することにより、表面１１ｃの欠陥の有無を判定する。
【００３１】
実施例２によれば、対象物１０の複数の視野（表面１１ａから１１ｃ）を検査することができる。対象物１０を別のステージで支持することにより、対象物１０の別の視野を検査することもできる。このように、複数のステージを用いることにより、より多くの表面の検査を行なうことができる。
【００３２】
図８の例のように、ある表面１１ａの測定に用いた角度γを用い、他の表面１１ｂおよび１１ｃを測定する際のステージ１４の角度を補正することができる。このように、補正部２０は、表面１１ａにおいて測定した角度αに基づき、対象物１０の別の表面１１ｂおよび１１ｃを検査するときのステージ１４の角度を補正することができる。これにより、表面１１ｂおよび１１ｃと補正面１３ｂおよび１１ｃとの角度を検出するステップを省略できる。
【００３３】
図９の例のように、表面１１ａから１１ｃごとに、角度αを測定し、ステージ１４の角度を補正することができる。このように、補正部２０は、対象物１０の複数の表面１１ａから１１ｃを検査するごとに、角度αを検出することができる。これにより、表面１１ａから１１ｃの検査をより精度よく行なうことができる。
【実施例３】
【００３４】
実施例３は、検査装置の具体例である。図１２は、実施例３に係る検査装置のブロック図である。図１２に示すように、検査装置１０２は、補正体１２、ステージ１４、明暗照明３０、撮像素子３２、コントローラ３７から３９、制御部４０および出力部４２を備えている。明暗照明３０は例えばスクリーンであり、撮像素子３２は例えばカメラである。明暗照明３０および撮像素子３２の機能は図１（ａ）から図１（ｃ）と同じであり説明を省略する。補正体１２およびステージ１４の機能は実施例１および２と同じであり説明を省略する。コントローラ３７は撮像素子３２を制御する。コントローラ３８は明暗照明３０を制御する。コントローラ３９はステージ１４を制御する。制御部４０は、プロセッサまたはコンピュータであり、コントローラ３７から３９を制御する。出力部４２は、表示装置またはプリンタであり、検査結果を出力する。
【００３５】
例えば、図５のステップＳ１２において、制御部４０は、コントローラ３９にステージ１４を動かし、対象物１０が撮像素子３２の視野に入るように制御する。制御部４０は、コントローラ３７より対象物１０が視野に入ったとの信号を受信する。制御部４０は、コントローラ３８に明暗照明３０に明暗パターン３４を対象物１０に照射させる。制御部４０は、コントローラ３７に対象物１０の検査対象表面１１と補正面１３とを一括した画像としてとりこませる。制御部４０は、画像データを記憶装置に蓄積させる。画像データが記憶装置に蓄積されると、制御部４０は、図５のステップＳ１４のように、角度γを算出する。
【００３６】
図５のステップＳ１６において、制御部４０は、角度γに基づき、コントローラ３９にステージ１４の傾きの補正を行なわせる。制御部４０は、コントローラ３９から補正完了の信号を受信する。ステップＳ１８において、制御部４０は、コントローラ３７に、撮像素子３２に対象物１０の表面１１の画像を取り込ませる。制御部４０は、図７のように、対象物１０が良品か否か判定する。制御部４０は、出力部４２に検査結果を出力させる。
【００３７】
実施例３において、検査部１６は、明暗照明３０および撮像素子３２および制御部４０の機能の一部である。さらに、検出部１８は、明暗照明３０および撮像素子３２および制御部４０の機能の一部である。例えば、検査部１６は、明暗パターン３４を対象物１０の表面１１に照射した状態において対象物１０の表面１１を撮像した画像を用い対象物１０の表面１１を検査する。検出部１８は、検査部１６が撮像した対象物１０の表面１１および補正面１３に基づき、角度αおよびβを検出する。これにより、角度αおよびβを検出する測定器が不要となる。
【実施例４】
【００３８】
図１３は、実施例４に係る検査装置のブロック図である。図１３に示すように、検査装置１０４は、測定器４４およびコントローラ４６を備えている。測定器４４は、角度αおよびβを測定する。測定器４４は、例えばオートコリメータである。コントローラ４６は測定器４４を制御する。制御部４０は、コントローラ４６を制御する。検出部１８は、測定器４４および制御部４０の機能の一部である。その他の構成は、実施例３と同じであり、説明を省略する。
【００３９】
実施例４によれば、検出器１８は、検査部１６と異なる方法を用い角度αを検出する。例えば、検出部１８は、角度αを測定するオートコリメータを含む。これにより、表面１１および／または補正面１３の面積が小さい場合においても角度αおよびβを精度よく検出することができる。
【００４０】
以上、本発明の実施例について詳述したが、本発明は係る特定の実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。
【００４１】
なお、以上の説明に関して更に以下の付記を開示する。
（付記１）対象物の表面を比較物の表面と比較することにより前記対象物の表面を検査する検査部と、前記対象物を保持し、補正面が固定されたステージと、前記対象物の表面と前記補正面とがなす第１角度を検出する検出部と、前記第１角度に基づき、前記ステージの傾きを補正する補正部と、を具備することを特徴とする検査装置。
（付記２）前記補正部は、予め取得した前記比較物の表面と前記補正面とのなす第２角度に基づき、前記ステージの傾きを補正することを特徴とする付記１記載の検査装置。
（付記３）前記補正部は、前記第２角度と前記第１角度との差に応じ前記ステージの傾きを補正することを特徴とする付記２記載の検査装置。
（付記４）前記検査部は、明暗パターンを前記対象物の表面に照射した状態において前記対象物の表面を撮像した画像を用い前記対象物の表面を検査する検査部であり、前記検出部は、前記検査部が撮像した前記対象物の表面および前記補正面に基づき、前記第１角度を検出することを特徴とする付記１から３のいずれか一項記載の検査装置。
（付記５）前記補正部は、前記第１角度に基づき、前記対象物の別の表面を検査するときの前記ステージの角度を補正することを特徴とする付記１から４のいずれか一項記載の検査装置。
（付記６）前記補正部は、前記対象物の複数の表面を検査するごとに、前記第１角度を検出することを特徴とする付記１から４のいずれか一項記載の検査装置。
（付記７）前記検査部は、明暗パターンを前記対象物の表面に照射した状態において前記対象物の表面を撮像した画像を用い前記対象物の表面を検査することを特徴とする付記１記載の検査装置。
（付記８）前記検出器は、前記検査部と異なる方法を用い前記第１角度を検出することを特徴とする付記１から７のいずれか一項記載の検査装置。
（付記９）前記検出部は、オートコリメータを含むことを特徴とする付記１から７のいずれか一項記載の検査装置。
（付記１０）補正面が固定されたステージが保持した対象物の表面と前記補正面とのなす第１角度を検出するステップと、前記第１角度に基づき、前記ステージの傾きを補正するステップと、前記対象物の表面を比較物の表面と比較することにより前記対象物の表面を検査するステップと、を含むことを特徴とする検査方法。
【符号の説明】
【００４２】
１０        対象物
１１        表面
１３        補正面
１４        ステージ
１６        検査部
１８        検出部
２０        補正部
２２        比較物
２３        表面
【図１】
2014092369.tif 000003
【図２】
2014092369.tif 000004
【図３】
2014092369.tif 000005
【図４】
2014092369.tif 000006
【図５】
2014092369.tif 000007
【図６】
2014092369.tif 000008
【図７】
2014092369.tif 000009
【図８】
2014092369.tif 000010
【図９】
2014092369.tif 000011
【図１０】
2014092369.tif 000012
【図１１】
2014092369.tif 000013
【図１２】
2014092369.tif 000014
【図１３】
2014092369.tif 000015