(57)【要約】【課題】モータからの回転駆動力を正確に加工具に伝達することができるスピンドルを提供すること。【解決手段】スピンドル（４２）は、回転軸（４２１）と、回転軸（４２１）の外側に設けられたモータ（４２２）と、モータ（４２２）の外側に設けられたベアリング機構（４２６）と、を有し、ベアリング機構（４２６）は、回転筒（４２６ａ）を回転可能に支持するラジアル支持部（４２６ｆ）と、第１のスラスト板（４２６ｂ）および第２のスラスト板（４２６ｃ）とを支持するスラスト支持部（４２６ｉ）と、を有する。【選択図】図２
2014140906.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方の端に加工具を回転可能に装着させるマウントに連結する回転軸と、該回転軸の駆動源となるモータとを備えるスピンドルであって、
該モータは、該回転軸と一体回転するロータと、該ロータの外側に配置されるステータとで構成されるとともに、該ステータの外壁を囲繞し、内部に冷却流体を流す流路が形成される冷却ジャケットを配設し該冷却ジャケットの外側にベアリング機構を有していて、
該ベアリング機構は、
該冷却ジャケットの外径より大きい内径となる円筒状の回転筒と、該回転筒の一方の端に連結される第１のスラスト板と、該回転筒の他方の端に連結され且つ該マウントの背面に連結される第２のスラスト板と、該回転筒の外壁を支持するラジアル支持部と、該第１のスラスト板と該第２のスラスト板とを共に支持するスラスト支持部と、で構成されることを特徴とするスピンドル。
【請求項２】
該ラジアル支持部および該スラスト支持部に流体を供給させる供給口を備え、該供給口から所定の圧力で供給される流体によって該ベアリング機構を構成することを特徴とする請求項１記載のスピンドル。
【請求項３】
該ベアリング機構は、メカニカルベアリングで構成されることを特徴とする請求項１記載のスピンドル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、たとえば研削装置に搭載されるスピンドルに関する。
【背景技術】
【０００２】
板状ワークなどの被加工物を研削する装置においては、スピンドルの回転軸の先端部に加工具としての研削砥石が装着され、回転軸にモータが連結されるとともに、回転軸とモータとの間にベアリング部が設けられ、モータによって回転駆動される回転軸に伴い、加工具も回転する構成となっている（たとえば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０００−２１８５２８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記スピンドルにおいては、回転駆動力を増大するためにモータを大きくすると、これに伴って回転軸受けとなるベアリング部も大きくする必要がある。このため、加工具と被加工物が接触する加工点からモータが遠ざかる構造となり、モータからの回転駆動力を加工具に正確に伝達することが困難となる。
【０００５】
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、モータからの回転駆動力を正確に加工具に伝達することができるスピンドルを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のスピンドルは、一方の端に加工具を回転可能に装着させるマウントに連結する回転軸と、該回転軸の駆動源となるモータとを備えるスピンドルであって、該モータは、該回転軸と一体回転するロータと、該ロータの外側に配置されるステータとで構成されるとともに、該ステータの外壁を囲繞し、内部に冷却流体を流す流路が形成される冷却ジャケットを配設し該冷却ジャケットの外側にベアリング機構を有していて、該ベアリング機構は、該冷却ジャケットの外径より大きい内径となる円筒状の回転筒と、該回転筒の一方の端に連結される第１のスラスト板と、該回転筒の他方の端に連結され且つ該マウントの背面に連結される第２のスラスト板と、該回転筒の外壁を支持するラジアル支持部と、該第１のスラスト板と該第２のスラスト板とを共に支持するスラスト支持部と、で構成されることを特徴とする。
【０００７】
この構成によれば、マウントに連結する回転軸のまわりにモータを設け、モータのまわりを囲むようにベアリング機構を設けるとともに、ベアリング機構においてラジアル支持部とスラスト支持部とを径方向に並べて設けていることから、ベアリング機構を小型化し、スピンドルの全長を短くすることができる。したがって、加工具と被加工物が接触する加工点とモータとが近い構造となり、モータからの回転駆動力を回転軸に伝達する際に、回転軸の軸ブレが生じることを防ぐことができ、モータからの回転駆動力を正確に加工具に伝達することが可能となる。
【０００８】
上記スピンドルにおいて、該ラジアル支持部および該スラスト支持部に流体を供給させる供給口を備え、該供給口から所定の圧力で供給される流体によって該ベアリング機構を構成してもよい。
【０００９】
また、上記スピンドルにおいて、該ベアリング機構は、メカニカルベアリングで構成されていてもよい。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、モータからの回転駆動力を正確に加工具に伝達することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本実施の形態に係る研削装置の一例を示す斜視図である。
【図２】上記研削装置におけるスピンドルの第１の例を示す断面模式図である。
【図３】上記研削装置におけるスピンドルの第２の例を示す断面模式図である。
【図４】上記研削装置におけるスピンドルの第３の例を示す断面模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
（第１の実施の形態）
以下、本発明の実施の形態について添付図面を参照して詳細に説明する。
まず、本実施の形態に係るスピンドルが適用される研削装置の一例について図１を参照して説明する。図１は、本実施の形態に係る研削装置の一例を示す斜視図である。
【００１３】
図１に示すように、研削装置１は、チャックテーブル３と研削ユニット４とを相対回転させることにより、チャックテーブル３が保持する板状ワークを研削するように構成されている。研削ユニット４は、スピンドル４２を備えて構成される。
【００１４】
研削装置１は、略直方体形状の基台２を有している。基台２の上面には、Ｘ軸方向に延在する矩形状の開口部２１と、開口部２１の後方に垂直に設けられたコラム２２と、が配置されている。開口部２１は、チャックテーブル３を支持するテーブル支持台２３および蛇腹状の防塵カバー２４で覆われている。コラム２２は、直方体形状を有し、その前面に研削ユニット４が設けられている。
【００１５】
テーブル支持台２３は、略正方形状を有し、チャックテーブル３を回転可能に支持する。また、テーブル支持台２３は、図示しない駆動機構に接続されており、この駆動機構から供給される駆動力によって、開口部２１内をスライド移動する。これにより、チャックテーブル３は、加工前の板状ワークを供給し、また、加工後の板状ワークを回収する載せ替え位置と、研削ユニット４と板状ワークとが対向する研削位置との間をスライド移動する。
【００１６】
防塵カバー２４は、板状ワークの研削加工時に発生する研削屑などが基台２内へ侵入することを防止する。防塵カバー２４は、テーブル支持台２３の前面および後面に取り付けられるとともに、その移動位置に応じて伸縮可能に設けられている。
【００１７】
チャックテーブル３は、円盤形状を有し、図示しないチャック回転手段によって円盤中心を軸に回転可能に設けられている。チャックテーブル３の上面には、板状ワークを吸着保持する吸着面３ａが設けられている。吸着面３ａは、たとえば、ポーラスセラミック材により構成されており、基台２内に配置された図示しない吸引源に接続されている。
【００１８】
研削ユニット４は、スピンドルハウジング４１と、スピンドルハウジング４１に回転可能に設けられた円柱形状のスピンドル４２と、を備えている。スピンドルハウジング４１は概して円筒形状を有し、軸方向に貫通する軸孔４１ａを備えている。スピンドル４２は、スピンドルハウジング４１の軸孔４１ａに挿通されている。スピンドル４２は、スピンドルハウジング４１から突出した下端に設けられた円盤状のホイールマウント４４を有している。
【００１９】
ホイールマウント４４の下面には、円環状の研削ホイール４５が取り付けられ、研削ホイール４５の下面には複数の研削砥石４６が環状に装着されている。研削砥石４６は、たとえば、ダイヤモンド砥粒をメタルボンドやレンジボンドなどの結合剤で固めたダイヤモンド砥石で構成される。研削砥石４６は、スピンドル４２の駆動に伴ってＺ軸まわりに高速回転する。そして、研削ホイール４５と板状ワークとが平行な状態で、高速回転する研削砥石４６が板状ワークの表面に接触することにより、板状ワークの表面が研削される。
【００２０】
研削ユニット４は、コラム２２に設けられた研削送り手段４７によって駆動されて上下方向（Ｚ軸方向）に移動可能に構成され、研削ユニット４とチャックテーブル３とを相対的に接近および離間させることが可能である。研削送り手段４７は、ボールねじ式の移動機構によりコラム２２に対して上下方向（Ｚ軸方向）に移動するＺ軸テーブル４７ａを有している。Ｚ軸テーブル４７ａには、その前面側に取り付けられたスピンドルハウジング４１を介して研削ユニット４が支持されている。
【００２１】
基台２内には、研削装置１の各部を統括制御する制御部５が設けられている。制御部５は、各種処理を実行するプロセッサや、ＲＯＭ（Read Only Memory），ＲＡＭ（Random Access Memory）などの記憶媒体を含んで構成される。
【００２２】
続いて、研削装置１における研削ユニット４を構成するスピンドル４２の構成について詳細に説明する。図２は、研削装置１におけるスピンドルの第１の例を示す断面模式図である。
【００２３】
図２に示すように、スピンドル４２は、概して円筒形状を有する回転軸４２１と、回転軸４２１の駆動源となるモータ４２２と、これらの回転軸４２１およびモータ４２２を収容するハウジング４２３と、を含んで構成される。
【００２４】
回転軸４２１の下端部には、後述する第２のスラスト板４２６ｃを介して、研削ホイール４５および研削砥石４６をスピンドル４２に装着するためのホイールマウント４４が連結されている。
【００２５】
モータ４２２は、回転軸４２１の外側に設けられ、回転軸４２１と一体回転するロータ４２２ａと、ロータ４２２ａの外側に配置されるステータ４２２ｂと、で構成される。ステータ４２２ｂは、コード４２４ｂを介して、スピンドル４２の上方に設けられた電源接続口４２４ａと接続されている。また、モータ４２２を構成するロータ４２２ａおよびステータ４２２ｂは、回転軸４２１と同心に配置されている。
【００２６】
ハウジング４２３は、概して円筒形状を有する外周部４２３ａと、外周部４２３ａの上端部に連結された概して円盤状の上面部４２３ｂと、を有して構成される。外周部４２３ａの下端部は後述するベアリング機構４２６を構成する支持ブロック４２６ｄの外周部分と連結されている。また、上面部４２３ｂの中心位置には、後述する冷却ジャケット４２５を装着するための開口部４２３ｃが設けられている。開口部４２３ｃを規定する周縁部４２３ｄは、上面部４２３ｂの上面よりも上方に突出した凸状に構成されている。
【００２７】
さらに、モータ４２２は、ステータ４２２ｂの外周を覆うように（ステータ４２２ｂの外壁を囲繞するように）設けられた冷却ジャケット４２５と、この冷却ジャケット４２５の外周を覆うように設けられたベアリング機構４２６と、を有している。
【００２８】
冷却ジャケット４２５は、ステータ４２２ｂの外周を覆う、概して円筒形状を有する外周部４２５ａと、ロータ４２２ａおよびステータ４２２ｂの上部を覆う、概して円盤状の上面部４２５ｂと、を備えている。外周部４２５ａの内径は、ステータ４２２ｂの外径と略同一に構成されるとともに、外周部４２５ａの外径は、ハウジング４２３の上面部４２３ｂに設けられた開口部４２３ｃの内径と略同一に構成されている。また、上面部４２５ｂの外径は、外周部４２５ａの外径よりも大径に構成されている。この外周部４２５ａよりも外側に突出する上面部４２５ｂの周縁部が、ハウジング４２３の周縁部４２３ｄ上に載せ置かれることにより、冷却ジャケット４２５はハウジング４２３に装着される。なお、冷却ジャケット４２５は、回転軸４２１と同心に配置されている。
【００２９】
冷却ジャケット４２５には、冷却水の入口４２５ｃと出口４２５ｄとが設けられており、冷却ジャケット４２５内に設けられた流路４２５ｅに冷却水を流通させてスピンドル４２を所望の温度に制御する。なお、入口４２５ｃおよび出口４２５ｄは、図示しない冷却水供給源に接続されている。
【００３０】
上面部４２５ｂの中心位置には、回転軸４２１が突出する開口部４２５ｆが設けられている。開口部４２５ｆと開口部４２５ｆから突出する回転軸４２１との間には、隙間４２５ｇが設けられている。この隙間４２５ｇは、後述する噴出口４２６ｅ，４２６ｇ，４２６ｈから噴出された使用済みエアーの排気口として機能する。また、上面部４２５ｂの所定位置には、ステータ４２２ｂと電源接続口４２４ａとを接続するための開口部４２５ｈが設けられている。
【００３１】
ベアリング機構４２６は、円筒形状を有する回転筒４２６ａと、回転筒４２６ａの上端部に連結される第１のスラスト板４２６ｂと、回転筒４２６ａの下端部に連結される第２のスラスト板４２６ｃと、回転筒４２６ａの外側に配置されるとともに、第１のスラスト板４２６ｂおよび第２のスラスト板４２６ｃに挟まれて配置される支持ブロック４２６ｄと、を含んで構成される。ベアリング機構４２６を構成するこれらの部材は、回転軸４２１と同心に配置されている。
【００３２】
回転筒４２６ａの内径は、冷却ジャケット４２５の外周部４２５ａの外径よりも大径に構成されている。第１のスラスト板４２６ｂは、リング形状を有しており、その内側部分に、回転軸４２１、モータ４２２および冷却ジャケット４２５が配置されている。第２のスラスト板４２６ｃは、リング形状または円盤形状を有しており、上面部の中心位置が回転軸４２１の下端部と連結されている。
【００３３】
支持ブロック４２６ｄの内周面、すなわち、回転筒４２６ａの外周面と対向する面には、回転筒４２６ａに向けてエアーを噴出する噴出口４２６ｅが複数形成されている。これらの噴出口４２６ｅは、噴出されるエアーによって回転筒４２６ａをラジアル方向に支持するラジアル支持部４２６ｆを構成している。すなわち、ラジアル支持部４２６ｆは、回転筒４２６ａと非接触の状態で、回転筒４２６ａを回転可能に支持している。
【００３４】
また、支持ブロック４２６ｄの第１のスラスト板４２６ｂまたは第２のスラスト板４２６ｃと対向する面には、それぞれ第１のスラスト板４２６ｂまたは第２のスラスト板４２６ｃに向けてエアーを噴出する噴出口４２６ｇ，４２６ｈが複数形成されている。これらの噴出口４２６ｇ，４２６ｈは、噴出されるエアーによって第１のスラスト板４２６ｂおよび第２のスラスト板４２６ｃをスラスト方向に支持するスラスト支持部４２６ｉを構成している。すなわち、スラスト支持部４２６ｉは、第１のスラスト板４２６ｂおよび第２のスラスト板４２６ｃと非接触の状態で、第１のスラスト板４２６ｂおよび第２のスラスト板４２６ｃを回転可能に支持している。
【００３５】
このように、ベアリング機構４２６は、エアーベアリングを構成しており、ラジアル支持部４２６ｆおよびスラスト支持部４２６ｉは、支持ブロック４２６ｄの径方向に並んで設けられている。なお、ラジアル支持部４２６ｆおよびスラスト支持部４２６ｉに供給される流体は、エアーに限定されず、他の流体であってもよい。
【００３６】
ラジアル支持部４２６ｆを構成する噴出口４２６ｅおよびスラスト支持部４２６ｉを構成する噴出口４２６ｇ，４２６ｈは、ハウジング４２３の内部に形成された流路４２７ａを介して流体供給口４２７ｂに接続されている。流体供給口４２７ｂは、図示しない流体供給源に接続されている。これにより、ラジアル支持部４２６ｆおよびスラスト支持部４２６ｉに対して、流体供給口４２７ｂから流路４２７ａおよび噴出口４２６ｅ，４２６ｇ，４２６ｈを介して所定の圧力でエアーが供給されるよう構成されている。
【００３７】
ラジアル支持部４２６ｆを構成する噴出口４２６ｅおよびスラスト支持部４２６ｉを構成する噴出口４２６ｇ，４２６ｈから噴出され使用済みとなったエアーは、矢印Ａで示される回収路を通って、排気口としての隙間４２５ｇから排出される。このように、回収路の一部を構成するロータ４２２ａとステータ４２２ｂとの間を、使用済みエアーが通ることにより、モータ４２２の冷却をすることができる。
【００３８】
スピンドル４２は、ベアリング機構４２６を構成する支持ブロック４２６ｄの外周面をスピンドルハウジング４１に載置することにより、研削装置１におけるスピンドルハウジング４１に装着することができる。すなわち、スピンドル４２において加工具である研削砥石４６に近い位置を保持することができるため、研削加工時に研削砥石４６に振動や偏心が生じることを防ぐことが可能となる。
【００３９】
このように構成されたスピンドル４２の動作について説明する。流体供給源から供給された高圧のエアーは、流体供給口４２７ｂを介して流路４２７ａに供給され、さらに噴出口４２６ｅを介してラジアル支持部４２６ｆに供給される。これによりラジアル支持部４２６ｆは、回転筒４２６ａを回転可能に支持する。
【００４０】
また、流路４２７ａに供給されたエアーは、噴出口４２６ｇ，４２６ｈを介してスラスト支持部４２６ｉに供給される。これにより、スラスト支持部４２６ｉは、回転筒４２６ａのスラスト方向をエアーで支持する。
【００４１】
このように、回転筒４２６ａをラジアル支持部４２６ｆおよびスラスト支持部４２６ｉで支持した状態で、モータ４２２を作動する。モータ４２２により、回転軸４２１を所定の回転数で回転させることにより、回転軸４２１に連結されたホイールマウント４４が回転し、研削ホイール４５に装着された研削砥石４６によってチャックテーブル３に保持された板状ワークなどの被加工物の研削が可能となる。
【００４２】
モータ４２２の作動中は、冷却ジャケット４２５内に設けられた流路４２５ｅに冷却水を流通させて、スピンドル４２を所望の温度に制御する。また、噴出口４２６ｅ，４２６ｇ，４２６ｈから噴出され使用済みとなったエアーは、排気口としての隙間４２５ｇから排出されるまでの間に、ロータ４２２ａとステータ４２２ｂとの間を通ることによりモータ４２２を冷却する。
【００４３】
以上説明したように、本発明の第１の実施の形態に係るスピンドル４２によれば、ホイールマウント４４に連結された回転軸４２１のまわりにモータ４２２を設け、モータ４２２の周りを囲むようにベアリング機構４２６を設けるとともに、ベアリング機構４２６においてラジアル支持部４２６ｆとスラスト支持部４２６ｉとを径方向に並べて設けていることから、ベアリング機構４２６を小型化し、スピンドル４２の全長を短くすることができる。したがって、加工具としての研削砥石４６と被加工物としての板状ワークが接触する加工点とモータ４２２とが近い構造となり、モータ４２２からの回転駆動力を回転軸４２１に伝達する際に、回転軸４２１の軸ブレが生じることを防ぐことができ、モータ４２２からの回転駆動力を正確に加工具としての研削砥石４６に伝達することが可能となる。
【００４４】
（第２の実施の形態）
第２の実施の形態に係るスピンドルは、第１の実施の形態に係るスピンドルとベアリング機構の構成が異なる。以下、第２の実施の形態に係るスピンドルの構成について、図３に基づいて説明する。図３は、研削装置１におけるスピンドルの第２の例を示す断面模式図である。なお、図３において、第１の実施の形態に係るスピンドル４２と共通する構成については同一の符号を付してその説明を省略する。
【００４５】
図３に示すように、スピンドル５０は、ベアリング機構４２６がボールベアリングで構成されている。ラジアル支持部５００ａとしてのラジアルボールベアリングは、複数のボール５０１と、ボール５０１の左右にそれぞれ配置されたレース５０２および５０３と、を備えている。レース５０２は、ベアリング機構４２６を構成する回転筒４２６ａに設けられている。レース５０３は、ベアリング機構４２６を構成する支持ブロック４２６ｄに設けられている。
【００４６】
スラスト支持部５００ｂとしてのスラストボールベアリングは、複数のボール５０１と、ボール５０１の上下にそれぞれ配置されたレース５０４および５０５と、を備えている。レース５０４は、ベアリング機構４２６を構成する第１のスラスト板４２６ｂまたは第２のスラスト板４２６ｃに設けられている。レース５０５は、支持ブロック４２６ｄに設けられている。
【００４７】
本発明の第２の実施の形態に係るスピンドル５０によれば、ホイールマウント４４に連結された回転軸４２１のまわりにモータ４２２を設け、モータ４２２の周りを囲むようにボールベアリングで構成されるベアリング機構４２６を設けていることから、ベアリング機構４２６を小型化し、スピンドル５０の全長を短くすることができる。したがって、加工具としての研削砥石４６と被加工物としての板状ワークが接触する加工点とモータ４２２とが近い構造となり、モータ４２２からの回転駆動力を回転軸４２１に伝達する際に、回転軸４２１の軸ブレが生じることを防ぐことができ、モータ４２２からの回転駆動力を正確に加工具としての研削砥石４６に伝達することが可能となる。
【００４８】
（第３の実施の形態）
第３の実施の形態に係るスピンドルは、第１の実施の形態に係るスピンドルとベアリング機構の構成が異なる。以下、第３の実施の形態に係るスピンドルの構成について、図４に基づいて説明する。図４は、研削装置１におけるスピンドルの第３の例を示す断面模式図である。なお、図４において、第１の実施の形態に係るスピンドル４２と共通する構成については同一の符号を付してその説明を省略する。
【００４９】
図４に示すように、スピンドル６０は、ベアリング機構４２６がテーパーローラーベアリングで構成されている。すなわち、回転筒４２６ａは、テーパーを有するローラー６００によって支持ブロック４２６ｄに支持されている。なお、ベアリング機構４２６は、第２の実施の形態に係るボールベアリング、第３の実施の形態に係るローラーベアリング以外にアンギュラベアリングなどのメカニカルベアリングで構成してもよい。
【００５０】
本発明の第３の実施の形態に係るスピンドル６０によれば、ホイールマウント４４に連結された回転軸４２１のまわりにモータ４２２を設け、モータ４２２の周りを囲むようにボールベアリングで構成されるベアリング機構４２６を設けていることから、ベアリング機構４２６を小型化し、スピンドル６０の全長を短くすることができる。したがって、加工具としての研削砥石４６と被加工物としての板状ワークが接触する加工点とモータ４２２とが近い構造となり、モータ４２２からの回転駆動力を回転軸４２１に伝達する際に、回転軸４２１の軸ブレが生じることを防ぐことができ、モータ４２２からの回転駆動力を正確に加工具としての研削砥石４６に伝達することが可能となる。
【００５１】
なお、本発明は上記実施の形態に限定されず、さまざまに変更して実施可能である。上記実施の形態において、添付図面に図示されている大きさや形状などについては、これに限定されず、本発明の効果を発揮する範囲内で適宜変更が可能である。その他、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施可能である。
【産業上の利用可能性】
【００５２】
本発明は、モータからの回転駆動力を正確に加工具に伝達することができるという効果を奏し、たとえば、研削装置や切削装置に搭載するスピンドルに有用である。
【符号の説明】
【００５３】
１  研削装置
２  基台
２１  開口部
２２  コラム
２３  テーブル支持台
２４  防塵カバー
３  チャックテーブル
３ａ  吸着面
４  研削ユニット
４１  スピンドルハウジング
４１ａ  軸孔
４２  スピンドル
４２１  回転軸
４２２  モータ
４２２ａ  ロータ
４２２ｂ  ステータ
４２３  ハウジング
４２３ａ  外周部
４２３ｂ  上面部
４２３ｃ  開口部
４２３ｄ  周縁部
４２４ａ  電源接続口
４２４ｂ  コード
４２５  冷却ジャケット
４２５ａ  外周部
４２５ｂ  上面部
４２５ｃ  入口
４２５ｄ  出口
４２５ｅ  流路
４２５ｆ  開口部
４２５ｇ  隙間
４２５ｈ  開口部
４２６  ベアリング機構
４２６ａ  回転筒
４２６ｂ  第１のスラスト板
４２６ｃ  第２のスラスト板
４２６ｄ  支持ブロック
４２６ｅ，４２６ｇ，４２６ｈ  噴出口
４２６ｆ  ラジアル支持部
４２６ｉ  スラスト支持部
４２７ａ  流路
４２７ｂ  流体供給口
４４  ホイールマウント
４５  研削ホイール
４６  研削砥石
４７  研削送り手段
５  制御部
５０  スピンドル
５００ａ  ラジアル支持部
５００ｂ  スラスト支持部
５０１  ボール
５０２〜５０５  レース
６０  スピンドル
６００  ローラー
【図１】
2014140906.tif 000003
【図２】
2014140906.tif 000004
【図３】
2014140906.tif 000005
【図４】
2014140906.tif 000006