(57)【要約】【課題】液体によるシャッタの破損を防止することを目的とする。【解決手段】表示装置は、第１基板１０と第２基板１２の間隔を保持してスペースを封止するシール材４２と、スペースに充填された液体４４と、スペースに配置されて第１基板１０と第２基板１２の間隔が狭くなることを規制する複数のスペーサ４６と、を有する。複数のスペーサ４６は、表示領域４０を包含する第１領域５０の内側に第１領域５０の外形線の少なくとも一部と重なる第１ラインＬ１に隣接して配列された複数の第１スペーサ４８と、第１領域５０から離れる方向に第１ラインＬ１から間隔をあけて位置する第２ラインＬ２に隣接して第１ラインＬ１から離れた側に配列された複数の第２スペーサ５２と、を含む。第１ラインＬ１と第２ラインＬ２の間隔Ｘ２は、隣同士の第１スペーサ４８の間隔Ｙ１よりも広い。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
画像が表示される表示領域を有する第１基板と、
前記第１基板に形成されたシャッタ及び前記シャッタと接続された駆動部と、
間隔をあけて前記第１基板に対向するように配置された第２基板と、
前記第１基板と前記第２基板の前記間隔を保持してスペースを封止するシール材と、
前記スペースに充填された液体と、
前記スペースに配置されて前記第１基板と前記第２基板の前記間隔が狭くなることを規制する複数のスペーサと、
を有し、
前記複数のスペーサは、前記表示領域を包含する第１領域の内側に前記第１領域の外形線の少なくとも一部と重なる第１ラインに隣接して配列された複数の第１スペーサと、前記第１領域から離れる方向に前記第１ラインから間隔をあけて位置する第２ラインに隣接して前記第１ラインから離れた側に配列された複数の第２スペーサと、を含み、
前記第１ラインと前記第２ラインの間隔は、隣同士の前記第１スペーサの間隔よりも広いことを特徴とする表示装置。
【請求項２】
請求項１に記載された表示装置において、
前記複数のスペーサは、前記第１ラインと前記第２ラインの間に前記第１ライン及び前記第２ラインに沿って配列された複数の中間スペーサをさらに有することを特徴とする表示装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載された表示装置において、
隣同士の前記第２スペーサの間隔は、隣同士の前記第１スペーサの間隔よりも広いことを特徴とする表示装置。
【請求項４】
画像が表示される表示領域を有する第１基板と、
前記第１基板に形成されたシャッタ及び前記シャッタと接続された駆動部と、
間隔をあけて前記第１基板に対向するように配置された第２基板と、
前記第１基板と前記第２基板の前記間隔を保持してスペースを封止するシール材と、
前記スペースに充填された液体と、
前記スペースに配置されて前記第１基板と前記第２基板の前記間隔が狭くなることを規制する複数のスペーサと、
を有し、
前記複数のスペーサは、前記表示領域を包含する第１領域の内側に前記第１領域の外形線の少なくとも一部と重なる第１ラインに隣接して配列された複数の第１スペーサと、前記第１領域から離れる方向に前記第１ラインから間隔をあけて位置する第２ラインに隣接して前記第１ラインから離れた側に配列された複数の第２スペーサと、を含み、
隣同士の前記第２スペーサの間隔は、隣同士の前記第１スペーサの間隔よりも広いことを特徴とする表示装置。
【請求項５】
請求項１から４のいずれ１項に記載された表示装置において、
前記複数の第１スペーサは、前記表示領域の外縁に隣接して配置されていることを特徴とする表示装置。
【請求項６】
請求項１から４のいずれか１項に記載された表示装置において、
前記複数のスペーサは、前記複数の第１スペーサよりも前記表示領域に近い位置に、前記表示領域の外縁に隣接して配置された複数の第３スペーサをさらに有することを特徴とする表示装置。
【請求項７】
請求項６に記載された表示装置において、
隣同士の前記第１スペーサの間隔は、隣同士の前記第３スペーサの間隔と同じかそれより小さいことを特徴とする表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表示装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＭＥＭＳディスプレイ（Micro Electro Mechanical System Display）は、液晶ディスプレイに取って代わると期待されているディスプレイである（特許文献１参照）。このディスプレイは、偏光を利用した液晶シャッタ方式とは異なり、機械シャッタ方式によって光の透過窓を開閉することで画像を表示する。シャッタは薄膜からなり、１画素を構成するシャッタの縦横サイズは数10μｍオーダで厚みが数μｍオーダである。１シャッタの開閉により、１画素のオンオフ動作が可能となる。シャッタは、静電引力によって動作するようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−１９７６６８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
シャッタは一対の光透過性基板の間にシールで囲まれたスペースに配置され、このスペースは液体（オイル）で満たされている。オイルは、シャッターの駆動電圧を低下させ、光透過性基板との光屈折率の差を小さくしている。
【０００５】
機械式のシャッタは、物理的に動く構造物であるため、オイル内で気泡が発生した際に気泡の移動により構造が破壊されてしまうという問題があった。
【０００６】
本発明は、液体によるシャッタの破損を防止することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
（１）本発明に係る表示装置は、画像が表示される表示領域を有する第１基板と、前記第１基板に形成されたシャッタ及び前記シャッタと接続された駆動部と、間隔をあけて前記第１基板に対向するように配置された第２基板と、前記第１基板と前記第２基板の前記間隔を保持してスペースを封止するシール材と、前記スペースに充填された液体と、前記スペースに配置されて前記第１基板と前記第２基板の前記間隔が狭くなることを規制する複数のスペーサと、を有し、前記複数のスペーサは、前記表示領域を包含する第１領域の内側に前記第１領域の外形線の少なくとも一部と重なる第１ラインに隣接して配列された複数の第１スペーサと、前記第１領域から離れる方向に前記第１ラインから間隔をあけて位置する第２ラインに隣接して前記第１ラインから離れた側に配列された複数の第２スペーサと、を含み、前記第１ラインと前記第２ラインの間隔は、隣同士の前記第１スペーサの間隔よりも広いことを特徴とする。本発明によれば、第１ラインと前記第２ラインの間で液体に気泡が生じても、隣同士の第１スペーサの間隔が狭いため、気泡が表示領域に入り難くなっている。そのため、液体によるシャッタの破損を防止することができる。
【０００８】
（２）（１）に記載された表示装置において、前記複数のスペーサは、前記第１ラインと前記第２ラインの間に前記第１ライン及び前記第２ラインに沿って配列された複数の中間スペーサをさらに有することを特徴としてもよい。
【０００９】
（３）（１）又は（２）に記載された表示装置において、隣同士の前記第２スペーサの間隔は、隣同士の前記第１スペーサの間隔よりも広いことを特徴としてもよい。
【００１０】
（４）本発明に係る表示装置は、画像が表示される表示領域を有する第１基板と、前記第１基板に形成されたシャッタ及び前記シャッタと接続された駆動部と、間隔をあけて前記第１基板に対向するように配置された第２基板と、前記第１基板と前記第２基板の前記間隔を保持してスペースを封止するシール材と、前記スペースに充填された液体と、前記スペースに配置されて前記第１基板と前記第２基板の前記間隔が狭くなることを規制する複数のスペーサと、を有し、前記複数のスペーサは、前記表示領域を包含する第１領域の内側に前記第１領域の外形線の少なくとも一部と重なる第１ラインに隣接して配列された複数の第１スペーサと、前記第１領域から離れる方向に前記第１ラインから間隔をあけて位置する第２ラインに隣接して前記第１ラインから離れた側に配列された複数の第２スペーサと、を含み、隣同士の前記第２スペーサの間隔は、隣同士の前記第１スペーサの間隔よりも広いことを特徴とする。本発明によれば、隣同士の第２スペーサの間が広く、隣同士の第１スペーサの間隔が狭いため、気泡は、隣同士の第２スペーサの間に流動し易く、表示領域に入り難くなっている。そのため、液体によるシャッタの破損を防止することができる。
【００１１】
（５）（１）から（４）のいずれ１項に記載された表示装置において、前記複数の第１スペーサは、前記表示領域の外縁に隣接して配置されていることを特徴としてもよい。
【００１２】
（６）（１）から（４）のいずれか１項に記載された表示装置において、前記複数のスペーサは、前記複数の第１スペーサよりも前記表示領域に近い位置に、前記表示領域の外縁に隣接して配置された複数の第３スペーサをさらに有することを特徴としてもよい。
【００１３】
（７）（６）に記載された表示装置において、隣同士の前記第１スペーサの間隔は、隣同士の前記第３スペーサの間隔と同じかそれより小さいことを特徴としてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の実施形態に係る表示装置の断面図である。
【図２】シャッタ及びその駆動部の斜視図である。
【図３】第１の実施形態に係る複数のスペーサの配列を示す平面図である。
【図４】第１の実施形態の変形例１に係る複数のスペーサの配列を示す平面図である。
【図５】第１の実施形態の変形例２に係る複数のスペーサの配列を示す平面図である。
【図６】第１の実施形態の変形例３に係る複数のスペーサの配列を示す平面図である。
【図７】第２の実施形態に係る複数のスペーサの配列を示す平面図である。
【図８】第２の実施形態の変形例１に係る複数のスペーサの配列を示す平面図である。
【図９】第２の実施形態の変形例２に係る複数のスペーサの配列を示す平面図である。
【図１０】第２の実施形態の変形例３に係る複数のスペーサの配列を示す平面図である。
【図１１】第３の実施形態に係る複数のスペーサの配列を示す平面図である。
【図１２】第３の実施形態の変形例１に係る複数のスペーサの配列を示す平面図である。
【図１３】第３の実施形態の変形例２に係る複数のスペーサの配列を示す平面図である。
【図１４】第４の実施形態に係るスペーサを示す断面図である。
【図１５】第５の実施形態に係るスペーサを示す断面図である。
【図１６】第６の実施形態に係るスペーサの構造を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。
【００１６】
[第１の実施形態]
図１は、本発明の実施形態に係る表示装置の断面図である。表示装置は、光透過性の第１基板１０（例えばガラス基板）と、光透過性の第２基板１２（例えばガラス基板）と、を有する。第１基板１０及び第２基板１２は、間隔をあけて対向するように配置されている。第１基板１０は、図示しない薄膜トランジスタや配線などが形成された回路基板又はＴＦＴ（Thin Film Transistor）基板である。表示装置は、複数（多数）のシャッタ１４を有する。
【００１７】
図２は、シャッタ１４及びその駆動部１６の斜視図である。第１基板１０にシャッタ１４及びシャッタ１４と接続された駆動部１６が形成されている。シャッタ１４は、無機材料からなる。シャッタ１４は、駆動開口１８を有するプレートである。駆動開口１８を光が通過し、駆動開口１８以外の部分で光を遮断する。駆動開口１８は一方向に長い形状になっている。なお、光は、第２基板１２に重ねられたバックライト２０から供給される。
【００１８】
シャッタ１４は、第１バネ２２に支持されて第１基板１０から浮くようになっている。複数（図２では４つ）の第１バネ２２によってシャッタ１４が支持されている。第１バネ２２は、第１アンカー部２４で第１基板１０に固定されている。
【００１９】
第１バネ２２は、弾性変形可能な材料からなる。第１バネ２２は、厚みの薄い板状をなしており、厚み方向を横方向（第１基板１０の板面に平行な方向）に向けて、幅方向を上下方向（第１基板１０の板面に垂直な方向）に向けて配置されている。これにより、第１バネ２２は、その厚み方向である横方向に変形できるようになっている。
【００２０】
第１バネ２２は、シャッタ１４から離れる方向（駆動開口１８の長さ方向に交差（例えば直交）する方向）に延びる第１部２６と、駆動開口１８の長さ方向に沿った方向であって駆動開口１８の長さ方向の中央から外方向に向かって延びる第２部２８と、さらにシャッタ１４から離れる方向（駆動開口１８の長さ方向に交差（例えば直交）する方向）に延びる第３部３０と、を有する。そして、シャッタ１４は、図２に矢印で示すように、駆動開口１８の長さ方向に交差（例えば直交）する方向に移動できるように第１バネ２２に支持されている。
【００２１】
第１基板１０には、第２アンカー部３２に支持された第２バネ３４が設けられている。第２バネ３４も、弾性変形可能な材料からなる。第２バネ３４は、厚みの薄い板状をなしており、厚み方向を横方向（第１基板１０の板面に平行な方向）に向けて、幅方向を上下方向（第１基板１０の板面に垂直な方向）に向けて配置されている。これにより、第２バネ３４は、その厚み方向である横方向に変形できるようになっている。また、第２バネ３４は、ループ状になっており、第２アンカー部３２から延びた帯状部が、屈曲して折り返されて、同じ第２アンカー部３２に戻るようになっている。
【００２２】
第２バネ３４は、第１バネ２２の第２部２８よりもシャッタ１４から離れた側で、この第２部２８に対向するようになっている。第２アンカー部３２に電圧を印加し、第１バネ２２の第２部２８との電位差によって生じる静電引力によって、第２部２８が第２バネ３４に引き寄せられるようになっている。第２部２８が引き寄せられると、第２部２８と一体的な第１部２６を介して、シャッタ１４も引き寄せられる。つまり、第１バネ２２及び第２バネ３４は、シャッタ１４を機械的に駆動するための駆動部１６を構成するためのものである。駆動部１６は、シャッタ１４の少なくとも一部と同じ材料から形成されている。
【００２３】
図１に示すように、第１基板１０及び第２基板１２にはそれぞれ遮光膜３６が形成されている。遮光膜３６には、固定開口３８が形成されている。シャッタ１４の上述した駆動開口１８と遮光膜３６の固定開口３８は、対向する位置に配置されており、両者が連通すれば光が通過し、シャッタ１４の移動によって遮光膜３６の固定開口３８が遮蔽されると光が遮断される。言い換えると、遮光膜３６の固定開口３８への光の通過及び遮断を制御するように、シャッタ１４は機械的に駆動される。１つのシャッタ１４が１画素に対応し、多数の画素によって画像が表示されるようになっている。そのため、複数（多数）のシャッタ１４が設けられている。シャッタ１４及び駆動部１６は、駆動開口１８及び固定開口３８を通過する光の有無によって画像を表示する表示領域４０に配置されている。第１基板１０が表示領域４０を有する。
【００２４】
第１基板１０及び第２基板１２は、図１に示すシール材４２によって間隔をあけて固定されている。シール材４２は第１基板１０及び第２基板１２の対向面同士に密着している。第１基板１０及び第２基板１２の間（シール材４２によって封止されたスペース）には液体４４（例えばシリコーンオイルなどのオイル）が満たされている。シャッタ１４及び駆動部１６は、液体４４内に配置されている。液体４４は誘電率が低いためシャッターの駆動電圧を下げることができる。第１基板１０及び第２基板１２がガラスからなる場合、ガラスと屈折率の近い液体４４を使用すれば、液体４４を満たすことで、第１基板１０及び第２基板１２との界面での光の反射を減らすことができる。
【００２５】
図１に示すように、表示装置は、第１基板１０と第２基板１２の間隔が狭くなることを規制する複数のスペーサ４６を有する。スペーサ４６は、予め第１基板１０に設けられて用意される。そのため、スペーサ４６は、高さ方向において第１基板１０側に幅が広く、第２基板１２の方向に先細るようになっている。第１基板１０と第２基板１２の間のスペースには液体４４が充填されており、液体４４内にスペーサ４６が配置される。
【００２６】
図３は、第１の実施形態に係る複数のスペーサ４６の配列を示す平面図である。複数のスペーサ４６は、高さ方向に直交する断面において、長軸と短軸を有する形状（例えば長方形）である（形は問わず。本形状は一例）。複数のスペーサ４６は、長軸がＸ軸に平行で、短軸がＹ軸に平行になるように配置されている。複数の駆動開口１８を囲む領域が表示領域４０であり、表示領域４０の内側及び外側にスペーサ４６が配列されている。表示領域４０の内側では、スペーサ４６は、Ｘ軸方向には間隔Ｘ１をあけて配列され、Ｙ軸方向には間隔Ｙ１をあけて配列されている。
【００２７】
複数のスペーサ４６は、複数の第１スペーサ４８を含む。複数の第１スペーサ４８は、表示領域４０を包含する第１領域５０の内側に配列されている。本実施形態では、表示領域４０及び第１領域５０は矩形である。複数の第１スペーサ４８は、表示領域４０の外縁に隣接して配置されている。複数の第１スペーサ４８は、第１領域５０の外形線の少なくとも一部（例えばＹ軸に沿った辺）と重なる第１ラインＬ１に隣接して配列されている。複数の第１スペーサ４８は、表示領域４０の外側でＹ方向に配列されている。
【００２８】
複数のスペーサ４６は、複数の第２スペーサ５２を含む。複数の第２スペーサ５２は、第１領域５０から離れる方向に第１ラインＬ１から間隔Ｘ２をあけて位置する。図３の例では、第２スペーサ５２は、Ｘ方向に第１ラインＬ１から離れている。複数の第２スペーサ５２は、第２ラインＬ２に隣接して第１ラインＬ１から離れた側に配列されている。つまり、複数の第２スペーサ５２は、表示領域４０の外側に配列された複数の第１スペーサ４８から間隔Ｘ２をあけて、Ｙ方向に配列されている。そのため、複数の第１スペーサ４８と複数の第２スペーサ５２との間には、間隔Ｘ２の流路が形成される。この流路には液体４４が配置されているが、液体４４に気泡５４が生じることがある。
【００２９】
本実施形態では、第１ラインＬ１と第２ラインＬ２の流路の幅（間隔Ｘ２）は、その流路を区画する複数の第１スペーサ４８の隣同士の間隔Ｙ１よりも広い。したがって、第１ラインＬ１と第２ラインＬ２の間で液体４４に気泡５４が生じても、隣同士の第１スペーサ４８の間隔Ｙ１が狭いため、気泡５４が表示領域４０に入り難くなっている。そのため、液体４４によるシャッタ１４の破損を防止することができる。詳しくは、気泡５４が生じることで液体４４の表面張力によってシャッタ１４が液体４４の表面に付着することを防止することができる。また、気泡によるシャッタ１４の破壊も防止することができる。
【００３０】
[第１の実施形態の変形例１]
図４は、第１の実施形態の変形例１に係る複数のスペーサ４６の配列を示す平面図である。この変形例では、隣同士の第２スペーサ５２の間隔Ｙ２は、隣同士の第１スペーサ４８の間隔Ｙ１よりも広い。したがって、隣同士の第２スペーサ５２の間が広く、隣同士の第１スペーサ４８の間隔が狭いため、気泡５４は、隣同士の第２スペーサ５２の間に流動し易く、表示領域４０に入り難くなっている。そのため、液体４４によるシャッタ１４の破損を防止することができる。その他の内容は、第１の実施形態で説明した内容が該当する。
【００３１】
[第１の実施形態の変形例２]
図５は、第１の実施形態の変形例２に係る複数のスペーサ４６の配列を示す平面図である。この変形例では、複数のスペーサ４６は、第１ラインＬ１に隣接して配列された複数の第１スペーサ４８よりも表示領域４０に近い位置に、複数の第３スペーサ５６を有する。複数の第３スペーサ５６は、表示領域４０の外縁に隣接して配置されている。隣同士の第１スペーサ４８の間隔Ｙ１は、隣同士の第３スペーサ５６の間隔Ｙ３と同じかそれより小さい。
【００３２】
上述した第１の実施形態（図３）では、第１スペーサ４８に隣接して表示領域４０が存在するが、図５の例では、第１スペーサ４８と表示領域４０の間に第３スペーサ５６が設けられている。そして、Ｙ方向にそれぞれ並ぶ複数の第１スペーサ４８及び複数の第３スペーサ５６の間に、表示領域４０への影響を吸収する領域である緩衝領域５７が形成される。したがって、隣同士の第１スペーサ４８の間に気泡５４が流動しても、緩衝領域５７があるため、直ちに気泡５４が表示領域４０に入ることを避けられる。その他の内容は、第１の実施形態で説明した内容が該当する。
【００３３】
[第１の実施形態の変形例３]
図６は、第１の実施形態の変形例３に係る複数のスペーサ４６の配列を示す平面図である。この変形例では、複数のスペーサ４６は、第１ラインＬ１と第２ラインＬ２の間に、第１ラインＬ１及び第２ラインＬ２に沿って配列された複数の中間スペーサ５８を有する。
【００３４】
上述した第１の実施形態（図３）では、第１ラインＬ１と第２ラインＬ２の間に流路が形成されるが、図６の例では、その流路に中間スペーサ５８を設けることで、気泡５４の流動を阻止している。その他の内容は、第１の実施形態で説明した内容が該当する。
【００３５】
[第２の実施形態]
図７は、第２の実施形態に係る複数のスペーサ４６の配列を示す平面図である。本実施形態では、複数の第１スペーサ４８は、第１領域５０の外形線の少なくとも一部（例えばＸ軸に沿った辺）と重なる第１ラインＬ１に隣接して配列されている。つまり、複数の第１スペーサ４８は、表示領域４０の外側でＸ方向に配列されている。
【００３６】
複数の第２スペーサ５２は、第１領域５０から離れる方向に第１ラインＬ１から間隔Ｙ２をあけて位置する。図７の例では、第２スペーサ５２は、Ｙ方向に第１ラインＬ１から離れている。複数の第２スペーサ５２は、第２ラインＬ２に隣接して第１ラインＬ１から離れた側に配列されている。つまり、複数の第２スペーサ５２は、表示領域４０の外側に配列された複数の第１スペーサ４８から間隔Ｙ２をあけて、Ｘ方向に配列されている。そのため、複数の第１スペーサ４８と複数の第２スペーサ５２との間には、間隔Ｙ２の流路が形成される。この流路には液体４４が配置されているが、液体４４に気泡５４が生じることがある。
【００３７】
本実施形態では、第１ラインＬ１と第２ラインＬ２の流路の幅（間隔Ｙ２）は、その流路を区画する複数の第１スペーサ４８の隣同士の間隔Ｘ１よりも広い。したがって、第１ラインＬ１と第２ラインＬ２の間で液体４４に気泡５４が生じても、隣同士の第１スペーサ４８の間隔Ｘ１が狭いため、気泡５４が表示領域４０に入り難くなっている。そのため、液体４４によるシャッタ１４の破損を防止することができる。詳しくは、気泡５４が生じることで液体４４の表面張力によってシャッタ１４が液体４４の表面に付着することを防止することができる。その他の内容は、第１の実施形態で説明した内容が該当する。
【００３８】
[第２の実施形態の変形例１]
図８は、第２の実施形態の変形例１に係る複数のスペーサ４６の配列を示す平面図である。この変形例では、隣同士の第２スペーサ５２の間隔Ｘ２は、隣同士の第１スペーサ４８の間隔Ｘ１よりも広い。したがって、隣同士の第２スペーサ５２の間が広く、隣同士の第１スペーサ４８の間隔が狭いため、気泡５４は、隣同士の第２スペーサ５２の間に流動し易く、表示領域４０に入り難くなっている。そのため、液体４４によるシャッタ１４の破損を防止することができる。その他の内容は、第２の実施形態で説明した内容が該当する。
【００３９】
[第２の実施形態の変形例２]
図９は、第２の実施形態の変形例２に係る複数のスペーサ４６の配列を示す平面図である。この変形例では、複数のスペーサ４６は、第１ラインＬ１に隣接して配列された複数の第１スペーサ４８よりも表示領域４０に近い位置に、複数の第３スペーサ５６を有する。複数の第３スペーサ５６は、表示領域４０の外縁に隣接して配置されている。隣同士の第１スペーサ４８の間隔Ｘ１は、隣同士の第３スペーサ５６の間隔Ｘ３と同じかそれより小さい。
【００４０】
上述した第２の実施形態（図７）では、第１スペーサ４８に隣接して表示領域４０が存在するが、図９の例では、第１スペーサ４８と表示領域４０の間に第３スペーサ５６が設けられている。そして、Ｘ方向にそれぞれ並ぶ複数の第１スペーサ４８及び複数の第３スペーサ５６の間に、表示領域４０への影響を吸収する緩衝領域５７が形成される。したがって、隣同士の第１スペーサ４８の間に気泡５４が流動しても、緩衝領域５７があるため、直ちに気泡５４が表示領域４０に入ることを避けられる。その他の内容は、第２の実施形態で説明した内容が該当する。
【００４１】
[第２の実施形態の変形例３]
図１０は、第２の実施形態の変形例３に係る複数のスペーサ４６の配列を示す平面図である。この変形例では、複数のスペーサ４６は、第１ラインＬ１と第２ラインＬ２の間に、第１ラインＬ１及び第２ラインＬ２に沿って配列された複数の中間スペーサ５８を有する。
【００４２】
上述した第２の実施形態（図７）では、第１ラインＬ１と第２ラインＬ２の間に流路が形成されるが、図１０の例では、その流路に中間スペーサ５８を設けることで、気泡５４の流動を阻止している。その他の内容は、第２の実施形態で説明した内容が該当する。
【００４３】
[第３の実施形態]
図１１は、第３の実施形態に係る複数のスペーサ４６の配列を示す平面図である。複数の第１スペーサ４８は、第１領域５０の外形線のＸ軸に沿った辺と重なる第１ラインＬ１Ｘ及びＹ軸に沿った辺と重なる第１ラインＬ１Ｙに隣接して配列されている。つまり、複数の第１スペーサ４８は、表示領域４０の外側でＸ方向及びＹ方向に配列されている。
【００４４】
複数の第２スペーサ５２は、第１領域５０からＸ方向には第１ラインＬ１Ｙから間隔Ｘ２をあけて、第１領域５０からＹ方向には第１ラインＬ１Ｘから間隔Ｙ２をあけて位置する。複数の第２スペーサ５２は、第２ラインＬ２Ｘ及び第２ラインＬ２Ｙに隣接して、第１ラインＬ１Ｘ及び第１ラインＬ１Ｙから離れた側に配列されている。つまり、複数の第２スペーサ５２は、表示領域４０の外側に配列された複数の第１スペーサ４８から間隔Ｘ２又は間隔Ｙ２をあけて、Ｘ方向及びＹ方向に配列されている。そのため、複数の第１スペーサ４８と複数の第２スペーサ５２との間には、間隔Ｘ２又は間隔Ｙ２の流路が形成される。この流路には液体４４が配置されているが、液体４４に気泡５４が生じることがある。
【００４５】
本実施形態では、第１ラインＬ１Ｘと第２ラインＬ２Ｘの流路の幅（間隔Ｙ２）は、その流路を区画する複数の第１スペーサ４８の隣同士の間隔Ｘ１よりも広い。また、第１ラインＬ１Ｙと第２ラインＬ２Ｙの流路の幅（間隔Ｘ２）は、その流路を区画する複数の第１スペーサ４８の隣同士の間隔Ｙ１よりも広い。したがって、第１ラインＬ１Ｘと第２ラインＬ２Ｘの間又は第１ラインＬ１Ｙと第２ラインＬ２Ｙの間で液体４４に気泡５４が生じても、隣同士の第１スペーサ４８の間隔Ｙ１又はＸ１間隔が狭いため、気泡５４が表示領域４０に入り難くなっている。そのため、液体４４によるシャッタ１４の破損を防止することができる。詳しくは、気泡５４が生じることで液体４４の表面張力によってシャッタ１４が液体４４の表面に付着することを防止することができる。
【００４６】
Ｘ方向に並ぶ隣同士の第２スペーサ５２の間隔Ｘ２は、Ｘ方向に並ぶ隣同士の第１スペーサ４８の間隔Ｘ１よりも広い。また、Ｙ方向に並ぶ隣同士の第２スペーサ５２の間隔Ｙ２は、Ｙ方向に並ぶ隣同士の第１スペーサ４８の間隔Ｙ１よりも広い。したがって、隣同士の第２スペーサ５２の間が広く、隣同士の第１スペーサ４８の間隔が狭いため、気泡５４は、隣同士の第２スペーサ５２の間に流動し易く、表示領域４０に入り難くなっている。そのため、液体４４によるシャッタ１４の破損を防止することができる。その他の内容は、第１の実施形態及び第２の実施形態で説明した内容が該当する。
【００４７】
[第３の実施形態の変形例１]
図１２は、第３の実施形態の変形例１に係る複数のスペーサ４６の配列を示す平面図である。この変形例では、複数のスペーサ４６は、第１ラインＬ１Ｘ及び第１ラインＬ１Ｙに隣接して配列された複数の第１スペーサ４８よりも表示領域４０に近い位置に、複数の第３スペーサ５６を有する。複数の第３スペーサ５６は、表示領域４０の外縁に隣接して配置されている。隣同士の第１スペーサ４８の間隔Ｘ１又は間隔Ｙ１は、それぞれ、隣同士の第３スペーサ５６の間隔Ｘ３又は間隔Ｙ３と同じかそれより小さい。
【００４８】
上述した第３の実施形態（図１１）では、第１スペーサ４８に隣接して表示領域４０が存在するが、図１２の例では、第１スペーサ４８と表示領域４０の間に第３スペーサ５６が設けられている。そして、Ｘ方向にそれぞれ並ぶ複数の第１スペーサ４８及び複数の第３スペーサ５６の間に、表示領域４０への影響を吸収する緩衝領域５７が形成される。また、Ｙ方向にそれぞれ並ぶ複数の第１スペーサ４８及び複数の第３スペーサ５６の間にも、緩衝領域５７が形成される。したがって、隣同士の第１スペーサ４８の間に気泡５４が流動しても、緩衝領域５７があるため、直ちに気泡５４が表示領域４０に入ることを避けられる。その他の内容は、第３の実施形態で説明した内容が該当する。
【００４９】
[第３の実施形態の変形例２]
図１３は、第３の実施形態の変形例２に係る複数のスペーサ４６の配列を示す平面図である。この変形例では、複数のスペーサ４６は、第１ラインＬ１Ｘと第２ラインＬ２Ｘの間に、第１ラインＬ１Ｘ及び第２ラインＬ２Ｘに沿って配列された複数の中間スペーサ５８を有する。また、複数のスペーサ４６は、第１ラインＬ１Ｙと第２ラインＬ２Ｙの間に、第１ラインＬ１Ｙ及び第２ラインＬ２Ｙに沿って配列された複数の中間スペーサ５８を有する。
【００５０】
この例では、第１ラインＬ１Ｘと第２ラインＬ２Ｘの間及び第１ラインＬ１Ｙと第２ラインＬ２Ｙの間にそれぞれ流路が形成され、その流路に中間スペーサ５８を設けることで、気泡５４の流動を阻止している。その他の内容は、第３の実施形態で説明した内容が該当する。
【００５１】
[第４の実施形態]
図１４は、第４の実施形態に係るスペーサを示す断面図である。この例では、スペーサ６０は、予め第２基板１２に設けられて用意される。そのため、スペーサ６０は、第２基板１２側に幅が広く、第１基板１０の方向に先細るようになっている。
【００５２】
[第５の実施形態]
図１５は、第５の実施形態に係るスペーサを示す断面図である。この例では、スペーサ６２は、台座部６４及び柱状部６６が積層されて構成されている。例えば、予め、第１基板１０に台座部６４を形成し、第２基板１２に柱状部６６を形成し、両者を対向させてスペーサ６２を構成する。台座部６４は、第１基板１０側に幅が広く、第２基板１２の方向に先細るようになっている。柱状部６６は、第２基板１２側に幅が広く、第１基板１０の方向に先細るようになっている。
【００５３】
[第６の実施形態]
図１６は、第６の実施形態に係るスペーサの構造を示す断面図である。この例では、スペーサ６８を、シャッタ１４と同時に同じ材料で形成する。スペーサ６８は、第１基板１０に設けられた樹脂層７０（例えばレジスト）を有する。樹脂層７０は、製造プロセスではシャッタ１４の下からは除去される層であるが、スペーサ６８の一部として利用する。樹脂層７０には、アモルファスシリコンなどからなる第１膜７２が形成され、その上にアルミニウムなどからなる第２膜７４が形成され、その上にＡｌ２Ｏ３又はＳｉＮなどからなるパッシベーション膜７６が形成されている。
【００５４】
本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく種々の変形が可能である。例えば、実施形態で説明した構成は、実質的に同一の構成、同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成で置き換えることができる。
【符号の説明】
【００５５】
１０  第１基板、１２  第２基板、１４  シャッタ、１６  駆動部、１８  駆動開口、２０  バックライト、２２  第１バネ、２４  第１アンカー部、２６  第１部、２８  第２部、３０  第３部、３２  第２アンカー部、３４  第２バネ、３６  遮光膜、３８  固定開口、４０  表示領域、４２  シール材、４４  液体、４６  スペーサ、４８  第１スペーサ、５０  第１領域、５２  第２スペーサ、５４  気泡、５６  第３スペーサ、５７  緩衝領域、５８  中間スペーサ、６０  スペーサ、６２  スペーサ、６４  台座部、６６  柱状部、６８  スペーサ、７０  樹脂層、７２  第１膜、７４  第２膜、７６  パッシベーション膜。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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