(57)【要約】【課題】本発明は、高い透過率と低い散乱率を有する新規な透光性セラミックスの製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】この透光性セラミックスの製造方法は、アルミナ（Ａｌ2Ｏ3）を主原料とする成形体を形成した後、この仮焼体を、少なくとも一部に酸化物を含む収納容器内に略密封した状態で収納して、真空雰囲気中で加熱焼成処理する方法である。前記収納容器は、例えば、アルミナ又は多孔質アルミナで形成されている。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
アルミナ（Ａｌ2Ｏ3）を主原料とする成形体を形成し、
前記成形体を仮焼成して仮焼体とした後、該仮焼体を、少なくとも一部に酸化物を含む収納容器内に略密封した状態で収納して、真空雰囲気中で加熱焼成処理する、透光性セラミックスの製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載の透光性セラミックスの製造方法において、
前記収納容器は、アルミナから成る、製造方法。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の透光性セラミックスの製造方法において、
前記収納容器は、多孔質アルミナである、製造方法。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか一項に記載の透光性セラミックスの製造方法において、
前記収納容器は、複数枚のアルミナ製板状体を組み合わせて構成されている、製造方法。
【請求項５】
請求項４に記載の透光性セラミックスの製造方法において、
前記収納容器は、複数枚のアルミナ製板状体を金属線で固定して角状容器に構成されている、製造方法。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか一項に記載の透光性セラミックスの製造方法において、
前記収納容器は、複数本のスリットが形成されている蓋で覆うことにより、略密封した状態を維持している、製造方法。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか一項に記載の透光性セラミックスの製造方法に従って製造された、放電ランプ用の放電容器。
【請求項８】
請求項７に記載の放電容器を使用している、高圧放電ランプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、透光性セラミックスの製造方法に関する。更に具体的には、例えば、セラミックメタルハライドランプに用いられる透光性のセラミックス製放電容器の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
セラミックメタルハライドランプではセラミック製の放電容器が用いられている。セラミック製放電容器の製造には、一般に、排泥鋳込み法（泥漿鋳込み方法）と呼ばれる製造方法が採用されている。排泥鋳込み法では、石膏製の型にアルミナを含むスラリーを充填し、所定の時間保持する。石膏にスラリーの水分が吸収され、型の内面にスラリーの固形分が着肉する。次に、排泥（スラリーの除去）を行うと、型の内面に着肉したアルミナが残る。これを乾燥し、離型し、得られた成形体を仮焼成する。この成形体を本焼成することによりセラミック製放電容器が得られる。
【０００３】
放電容器内の発光をランプ外部へ効率良く放射するため、セラミックス製放電容器には、良好な透光性及び透明性が要求される。透光性には、主としてセラミックの黒化の有無が影響する。透光性は、「透過率」として数値化され、高い数値ほど良好となる。透明性には、主としてセラミックス内部の気孔の存在が影響する。透明性は、「散乱率」として数値化され、低い数値ほど良好となる。
【０００４】
このようなセラミック製放電容器の製造方法に関して、次のような先行技術文献がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開2004-315313「アルミナ発光管の製造方法およびその製造方法により製造したアルミナ発光管」（公開日：2004/11/11）
【特許文献２】特開昭63-242964「アルミナセラミックス及びその製造方法」（公開日：1988/10/07）
【特許文献３】特開平7-237983「透光性セラミックス」（公開日：1995/09/12），特許第3407284号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
透光性セラミックスの高い透過率及び低い散乱率を実現するために、様々な焼成処理方法が提案されている。
例えば、特許文献１には成形体を水素雰囲気又は真空雰囲気にて焼結することが記載されている（要約）。
【０００７】
特許文献２には、ＥＰＲＯＭ用のパッケージなど紫外線透過材料として好適なアルミナセラミックスの製造方法が開示されている。この透光性アルミナセラミックスは、高圧金属放電灯の発光管と異なり、機械的強度、特に曲げ強さを強化している。そのため、アルミナセラミックスの純度、結晶粒径を規定している。更に、硫酸アルミニウムアンモニウムを熱分解して得た所定の酸化アルミニウム粉末に、所定の焼結助剤、成形助剤を添加して、非酸化性雰囲気で焼成するアルミナセラミックスの製造方法を開示している。
【０００８】
文献３には、耐食性に優れた透光性セラミックスを提供する発明が開示されている。スラリーの膜が形成された成形体の一時焼成した後、所定の条件で、熱間静水圧プレス処理（ＨＩＰ処理）して発光管を得ている。これにより、気泡の全く含まず、直線透過率の低下が殆どないＳｃ2Ｏ3等の耐食性を有する透光性セラミックスが形成されることが開示されている。
【０００９】
本発明は、高い透過率と低い散乱率を有する新規な透光性セラミックスの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明に係る透光性セラミックスの製造方法は、アルミナ（Ａｌ2Ｏ3）を主原料とする成形体を形成し、前記成形体を仮焼成して仮焼体とした後、該仮焼体を、少なくとも一部に酸化物を含む収納容器内に略密封した状態で収納して、真空雰囲気中で加熱焼成処理する、製造方法である。
【００１１】
更に、上記透光性セラミックスの製造方法では、前記収納容器は、アルミナから成っていてもよい。
更に、上記透光性セラミックスの製造方法では、前記収納容器は、多孔質アルミナであってよい。
更に、上記透光性セラミックスの製造方法では、前記収納容器は、複数枚のアルミナ製板状体を組み合わせて構成されていてもよい。
更に、上記透光性セラミックスの製造方法では、前記収納容器は、複数枚のアルミナ製板状体を金属線で固定して角状容器に構成されていてもよい。
更に、上記透光性セラミックスの製造方法では、前記収納容器は、複数本のスリットが形成されている蓋で覆うことにより、略密封した状態を維持していてもよい。
【００１２】
更に、本発明に係る放電ランプ用の放電容器は、上記透光性セラミックスの製造方法に従って製造された容器である。
【００１３】
更に、本発明に係る高圧放電ランプは、上記放電容器を使用している高圧放電ランプである。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、高い透過率と低い散乱率を有する新規な透光性セラミックスの製造方法を提供することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１Ａ】図１Ａは、セラミックメタルハライドランプの一例を説明する図である。
【図１Ｂ】図１Ｂは、セラミックメタルハライドランプの発光管を説明する図である。
【図２】図２は、発光管の放電容器の製造方法の工程を説明する図である。
【図３】図３は、本焼成時にサンプルを収納する収納容器の種類に対応して、その透過率及び散乱率を示したグラフである。
【図４】図４は、本焼成時にサンプルを収納する収納容器の形状、材質、耐久性及び生産効率を説明する図である。
【図５】図５は、収納容器に使用される蓋の形状を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明に係る透光性セラミックスの製造方法の実施形態に関して、添付の図面を参照しながら詳細に説明する。なお、図中、同じ要素に対しては同じ参照符号を付して、重複した説明を省略する。
［セラミックメタルハライドランプとその放電容器］
図１Ａは、セラミックメタルハライドランプの一例を説明する図である。セラミックメタルハライドランプ１００は、密封されたバルブ形状の透光性外管１１１を有し、透光性外管１１１の内部は、圧力１０Ｐａ以下の高真空に保持されており、端部には口金１２が設けられている。
【００１７】
透光性外管１１１の内部のほぼ中央に、発光管１３０が封入されている。発光管１３０の周囲には、透光性スリーブ１０８が設けられている。発光管１３０及び透光性スリーブ１０８は、外側の金属製のフレーム１０９によって、所定の位置に配置されている。発光管１３０の上側には、始動器１１０が設けられている。フレーム１０９の上端には、ゲッタ１１３が装着されている。
【００１８】
フレーム１０９は、下端をマウント支持板１１４に接続され、上端をステム１１５の導入線（図示せず。）に接続されて、位置決めされている。フレーム１０９は、位置固定用部材であると同時に電気的接続部材であり、口金１１２からの電力をステム１１５の導入線を介して発光管１３０に供給する。
【００１９】
図１Ｂを参照して、発光管１３０の構造を説明する。発光管１３０を形成する放電容器１３５は、高純度のアルミナ（Ａｌ2Ｏ3）を原料とし、中央の発光部１３５Ｃとその両端の細管部１３５Ａ，１３５Ｂとを一体成型されて形成されている。細管部１３５Ａ，１３５Ｂには、電流導入体１２０ａ，１２０ｂが夫々装着されている。電流導入体１２０ａ，１２０ｂは、各々、タングステン電極１２３、電流供給体１２２及びリード線１２１を有する。タングステン電極１２３は、発光部１３５Ｃに配置されている。電流供給体１２２は、各々、耐ハロゲン性中間材１２２ａと導電性サーメット棒１２２ｂからなる。
【００２０】
リード線１２１は、導電性サーメット棒１２２ｂの先端に接続されている。リード線１２１と導電性サーメット棒１２２ｂの接続部は、補強材１３１によって囲まれている。リード線１２１は、細管部１３５Ａ，１３５Ｂの端部より延在している。
【００２１】
放電容器１３５の内部には、発光物質、水銀及び不活性ガスが封入されている。不活性ガスは、例えば希ガスである。本実施例では、アルゴンが用いられている。セラミックメタルハライドランプを通電すると、放電容器１３５内で発生する放電により発光物質が加熱され、その一部が蒸発して放電により励起されて発光する。発光物質の残りの部分は、放電容器１３５の底部の最冷部に液相状態でプールされる。液相の発光物質の一部は蒸発し、放電容器１３５の内部を対流により循環し、底部の最冷部に戻る。ランプの点灯中はこのようなサイクルが繰り返される。
【００２２】
［放電容器の製造方法］
（排泥鋳込み法）
図２は、発光管１３０を形成する放電容器１３５の製造方法の工程を説明する図である。この放電容器１３５の製造方法は、大別すると、スラリーを生成し（ステップＳ１０）、排泥鋳込み成形し（ステップＳ２０）、仮焼成及び表面処理を行い（ステップＳ３０）、本焼成（ステップＳ４０）により、終了する。
【００２３】
各ステップを簡単に説明する。
ステップＳ１０のスラリー生成工程では、原材料を秤量する。原材料として、高純度アルミナ粉末（粒子径０．１〜２．０μｍ）と助剤（酸化マグネシウム等）を用いる。これらの助剤、特に、酸化マグネシウムは、セラミックにおける結晶粒の粗大化を抑制する機能を有する。アルミナ粉末、助剤及び水を混合した原材料を容器に入れ、ボールミルにて１０時間混合を行い、スラリーを生成する。これに、バインダーを添加して、更に混合する。その後、スラリーをナイロン製のふるい（篩）にかけ、一定以上の大きさの粒子径のアルミナを除去する。例えば、目開き３２μｍのふるいを用いている。最後に、脱泡装置によりスラリーの気泡を除去する。
【００２４】
ステップＳ２０の排泥鋳込み成形工程では、例えば、石膏型にスラリーを供給して石膏型の成形室をスラリーで充填する。この状態で、所定の時間保持する。石膏にスラリーの水分が吸収されて、石膏型の内面にスラリーの固形分が着肉する。鋳込みは、大気圧下で行ってもよいが、真空雰囲気又は加圧雰囲気にて行ってもよい。次に、排泥を行う。石膏型の内面に着肉したスラリーの固形分によって成形体が形成される。この石膏型内に形成された成形体をそのまま乾燥させる。乾燥後、離型、即ち石膏型から成形体を取り外す。
【００２５】
ステップＳ３０の仮焼成及び表面処理工程では、成形体の仮焼成を行う。例えば、１０時間をかけて９５０℃まで昇温し、その温度で３０分間保持する。その後、成形体の表面には、石膏型の合わせ目に沿って小さな突起状のパーティングラインが形成されているので、耐水研磨紙を用いて研磨除去する。次に、酸処理を行う。成形体には、石膏に起因したカルシウム等の望ましくない成分が残存する。これらの成分が残存すると、本焼成後に白濁して透過率が低下する。そこで、酸処理によってカルシウム等の不要な成分を除去する。酸処理では、助剤として付加した酸化マグネシウムも減少する。そこで、仮焼体を硝酸マグネシウム水溶液に浸漬する。次に、仮焼体をアンモニア水に浸漬することによって、水酸化マグネシウムが固定される。その後、水酸化マグネシウムをマグネシアにする為、仮焼体を５００℃で二次仮焼する。
【００２６】
（本焼成工程）
ステップＳ４０の本焼成工程について詳細に説明する。
本発明者等は、アルミナ成形体を本焼成する際の条件を変えた複数のサンプルを作成して、透過率及び散乱率を測定した。サンプルは、図１Ｂに関連して説明した放電容器１３５である。図３は、その結果を示した図である。横軸に、サンプルの種類（ａ），（ｂ），…，（ｅ）が示されている。サンプルの種類の真下方向に、そのサンプルの容器の材質、本焼成時の容器の状態、焼結条件、透過率及び散乱率の測定結果並びに外観が示されている。サンプルの種類の真上方向に、そのサンプルの透過率（○）及び散乱率（＊）の測定結果が図示されている。なお、透過率（即ち、透光性）は数値が高い方が良好であり、散乱率（即ち、不透明性）は数値が低い方が透明度が高く良好であることに注意されたい。
【００２７】
各サンプルの種類に関して簡単に説明する。サンプル（ａ）〜（ｄ）は、本焼成時にサンプルを収納する容器の材質がモリブデン容器であり、容器の状態は開放状態である。サンプル（ｅ）は収納容器の材質がアルミナ容器であり、容器の状態は略密封状態である。焼結条件に関しては、サンプル（ａ）は水素雰囲気であり、サンプル（ｃ）は真空雰囲気である。サンプル（ｂ）は、サンプル（ａ）の水素雰囲気焼成処理の後、更に大気雰囲気にて再加熱している。サンプル（ｄ）は、サンプル（ｃ）の真空雰囲気焼成処理の後、更に大気雰囲気にて再加熱している。
【００２８】
以下、サンプル毎に詳細に説明する。
サンプル（ａ）に関しては、仮焼成されたアルミナ成形体を収納する容器はモリブデン容器であり、本焼成時には収納容器は蓋が無い開放状態にあり、焼結条件は水素雰囲気で行われた。その結果、サンプルの外観は黒く変色（黒化）していた。サンプルの透過率は７５％と比較的低く、散乱率も２０％と比較的高い結果となっている。水素の還元作用が強く、更に収納容器は開放状態にあることから、サンプルは強く還元作用を受けたものと思われる。
【００２９】
サンプル（ｂ）に関しては、サンプル（ａ）の焼結条件である「水素雰囲気」の後で、更に、大気中再加熱処理をおこなったサンプルである。その結果、サンプルの外観の黒化は除去された。サンプルの透過率は９９％と非常に高い数値となった。大気中再加熱により酸化作用が働いたものと思われる。なお、散乱率は、２０％から２５％へ悪化している。
【００３０】
サンプル（ｃ）に関しては、サンプル（ａ）の焼結条件である「水素雰囲気」を、真空雰囲気に変更したサンプルである。サンプルの散乱率は８％に低下した。真空雰囲気で焼成すると、サンプル中の気孔が除去されて、散乱率が低下するものと思われる。しかし、サンプルの外観は黒く変色（黒化）して、透過率は７６％に低下した。真空雰囲気の焼成では、サンプルに対して強い還元作用が働いたものと思われる。
【００３１】
サンプル（ｄ）に関しては、サンプル（ｃ）の焼結条件である「真空雰囲気」の後で、更に、大気中再加熱処理をおこなったサンプルである。サンプル（ｂ）では、「水素雰囲気→大気中再加熱処理」により、透過率が非常に高い数値に変化した。同様の変化を期待したが、サンプル（ｄ）の「真空雰囲気→大気中再加熱処理」では、透過率は変化しなかった。真空雰囲気の焼成における強い還元作用のため、サンプルの内部まで黒化しており、大気中再加熱処理でも黒化の除去は出来なかったものと思われる。
【００３２】
これらサンプル（ａ）〜（ｄ）の評価結果より、次のことが判明した。
(1)サンプル（ａ）と（ｃ）の結果より、水素雰囲気に比較して、真空雰囲気は気孔除去力が強く、散乱率が低下する。元々、仮焼体（仮焼成した成形体）は、気孔が全体に出来ている。気孔を除去する前に、アルミナの結晶がくっつくと閉気孔となり、真っ白になる。透明性を上げるには（即ち、散乱率を下げるには）、本焼成工程の際に、気孔を除去しながら、アルミナの結晶粒をくっつけていく必要がある。この気孔除去力が、水素雰囲気より真空雰囲気の方が強いと考えられる。
(2)水素雰囲気におけるサンプルの黒化は、その後の大気中再加熱により除去でき、透過率を上げることが出来た。しかし、真空雰囲気におけるサンプルの黒化は、その後の大気中再加熱を行っても除去することが出来ず、透過率を上げることは出来なかった。
【００３３】
これらの知見に基づき、本発明者等は、先ず、低い散乱率が期待できる真空雰囲気を採用し、更に、透過率の低下を抑制する方法を検討した。即ち、真空雰囲気における焼成時の還元作用を抑制してサンプルの黒化を低減し、透過率を高く維持する方法を検討した。
【００３４】
検討の結果、サンプル焼成時の収納容器としてアルミナ製収納容器を採用し、サンプルを収納した容器を略密封状態にすることとした。その意図は、焼成時において収納容器から酸素が供給され、収納容器内の酸素分圧が高まり、サンプルを取り巻く真空雰囲気により還元作用が減殺されることを期待したのである。これにより、サンプルの黒化を低減させることを目指した。
【００３５】
そこで、サンプル（ｅ）に関しては、先ず、焼結条件は真空雰囲気とし、更に、アルミナ製収納容器を採用し、焼成時には容器は略密封状態にして、実験を行った。この「略密封状態」とは、収納容器である箱の開口を蓋で覆った程度の状態をいい、気密封止のような状態ではない。
【００３６】
この結果、サンプルの外観は黒化せずに白い状態を維持していた。サンプルの透過率は９９％と非常に高く、散乱率も７％と非常に低い、良好な結果が得られた。
発明者等は、現時点では、焼成時に、アルミナ製収納容器から酸素が供給され、収納容器を略密封状態にすることでサンプルの周囲が酸素雰囲気に保持されていたと考えている。
【００３７】
なお、アルミナ製収納容器を略密封状態にせずに、蓋を開けた開放状態にした場合も実験で確認した。サンプルは、黒化し、透過率は７５〜７６％程度であった。従って、サンプルに対する還元作用を減殺するためには、収納容器を略密封状態にしてサンプルの周囲を十分な酸素雰囲気とすることが重要である。
【００３８】
アルミナ製収納容器の使用に関して、次のことを確認している。アルミナからの酸素の供給を期待しているので、使用回数の制限（寿命）があるのではないかとの懸念があった。しかし、現在のところ、使用回数（本焼成の回数）が２０回以上でも、効果は変わらないことを確認している。即ち、サンプルを測定して得られた透過率及び散乱率に変化は無い。
【００３９】
また、アルミナ容器の使用開始時には、１回目は空焼き処理（本焼成と同じ温度及び時間で処理すること）を行うことにより、その後は安定した結果が得られることも確認している。
【００４０】
真空雰囲気での焼成処理は、水素処理やＨＩＰ処理に比較して、ガス供給や加圧の必要がないため処理が容易に行なえ、安価な設備にて、安全に焼成処理を行うことが出来る利点を有している。
【００４１】
［容器の検討］
次に、本発明者等は、アルミナ製収納容器の詳細な検討を行った。通常のセラミックスの製造に於いては、比較的ゆっくり昇温し、焼成が終了したら比較的ゆっくり降温している。このような温度変化では、容器の破損は見られない。
【００４２】
しかし、工場に於ける生産効率向上の要請から、放電容器の製造において、急速な昇温、焼成後の急速な降温が必要となっている。例えば、室温から１，７５０℃まで２時間で昇温し、その後、１，７５０℃から室温まで２時間で降温すると、多くのアルミナ製収納容器が破損した。
【００４３】
そこで、このような急速昇温・急速降温に耐えうるアルミナ製収納容器の検討を行った。図４を参照しながら説明する。
【００４４】
Ｎｏ．１の緻密アルミナから成る一体型角状容器は、応力が角部に集中して、歪みが容器の機械的強度を超えて変形・破損を生じさせやすいことが判明した。従って、耐久性は劣る。しかし、放電容器（サンプル）を比較的多く収納することが出来るので、生産効率は高い。
【００４５】
そこで、Ｎｏ．２の円筒状容器にして、側面を円筒状にし、底部を無くすることで、応力の分散を図った。更に、緻密アルミナでなく、多孔質アルミナとすることにより、変形が少なくなり、耐熱衝撃性も向上した。即ち、耐久性は向上した。しかし、この形状の収納容器では、放電容器の収納本数が減少するので、生産効率はやや劣る。
【００４６】
Ｎｏ．１の一体型角状容器の応力集中を回避し、Ｎｏ．２の生産効率の低下を避けるための検討を行った。その結果、Ｎｏ．３に示す板組み合わせ型角状容器では、大きなサイズの一体型容器を止めて、複数枚の小さなサイズの多孔質アルミナ製板状体を組み合わせて収納容器を構成することにより、応力集中を回避している。更に、形状を角状容器とすることで、生産効率を上げている。
【００４７】
この板組み合わせ型角状容器は、複数枚の多孔質アルミナ製板状体を組み合わせた状態で、周囲に熱膨張係数が近いモリブデン製バンド（例えば、φ０．５ｍｍ）を巻いて角状容器を構成するよう固定している。この板組み合わせ型角状容器は、高い耐久性及び高い生産効率が得られる。
【００４８】
なお、モリブデン製バンドは、複数回焼成工程で使用すると、ぼろぼろな状態になることが分かった。アルミナ製収納容器から供給された酸素による酸化作用と思われる。この現象は、焼成時にアルミナ製収納容器から酸素が供給されるという推測の根拠の１つとなっている。
【００４９】
更に、収納容器を略密封状態にする蓋について説明する。図４のＮｏ．３の板組み合わせ型角状容器に使用される蓋は、当初は、サイズ１２ｃｍ×１２ｃｍの１枚板であった。図５（ａ）に示すように、１枚板の蓋２００にすると、本焼成時に割れ易いことが判明した。従って、耐久性にやや劣る。図５（ｂ）に示すように、これを４分割してサイズ６ｃｍ×６ｃｍの分割蓋２０１にすると、割れ難いことが判明した。しかし、常時、１つの蓋のため４枚の分割蓋を取り扱うのは作業性が悪い。そこで、図５（ｃ）に示すように、１枚板の蓋２０２に適当に溝（スリット）２０２ａを形成してみた。これによっても、焼成工程に於いて割れ難いことが判明した。
【００５０】
［代替例その他］
以上、セラミック製の放電容器の製造方法を中心に説明したが、これらは例示であって、本発明の範囲を制限するものではない。
【００５１】
先ず、本発明の対象はセラミック製放電容器に限定されない。本発明は、アルミナ（Ａｌ2Ｏ3）を主原料とする、良好な透光性及び透明性を実現する透光性セラミックス材の製造方法に適用出来る。
【００５２】
焼成時にサンプル（透光性セラミックス材）を収納する容器は、アルミナ製収納容器に限定されない。収納容器は、焼成時に酸素を供給する能力を有する部材（即ち、酸化物）を少なくとも一部に含んでいればよい。
【００５３】
その他、当業者が、本実施形態に対して容易になしえる追加・削除・変更・改良等は、本発明の範囲内である。本発明の技術的範囲は、添付の特許請求の記載によって定められる。
【符号の説明】
【００５４】
１００：セラミックメタルハライドランプ、  １０８：透光性スリーブ、  １０９：フレーム、  １１０：始動器、  １１１：透光性外管、  １１２：口金、  １１３：ゲッタ、  １１４：マウント支持板、  １１５：ステム、  １２０ａ，１２０ｂ：電流導入体、  １２１：リード線、  １２２：電流供給体、  １２２ａ：耐ハロゲン性中間材、  １２２ｂ：導電性サーメット棒、  １２３：タングステン電極、  １３０：発光管、  １３１：補強材、  １３５：放電容器、  １３５Ａ，１３５Ｂ：細管部、  １３５Ｃ：発光部、  ２００，２０２：１枚板の蓋、  ２０１：分割蓋、  ２０２ａ：溝、
【図１Ａ】
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【図１Ｂ】
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【図２】
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【図４】
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【図５】
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【図３】
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