(57)【要約】【課題】インダクタンスを低減しつつ冷却性能を高める。【解決手段】電機子２０を界磁１０に対し相対的に進退移動させるリニアモータ１であって、界磁１０は、電機子２０の進退方向に沿って交互に極性が異なるように複数の永久磁石１４Ｓ，１４Ｎが配置された外ヨーク１２と、少なくとも一部分において周方向を電機子２０のコイル２４に覆われる内ヨーク１１と、を有し、内ヨーク１１は、進退方向に延びる第１流路部１５Ｄと、第１流路部１５Ｄと連通して進退方向と垂直な方向に延びる第２流路部１５Ｃと、を有する。【選択図】図１
2014140283.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
界磁と電機子のいずれか一方を可動子、他方を固定子として、前記可動子を前記固定子に対し相対的に進退移動させるリニアモータであって、
前記界磁は、
可動子の進退方向に沿って交互に極性が異なるように複数の永久磁石が配置された外ヨークと、
少なくとも一部分において周方向を前記電機子のコイルに覆われる内ヨークと、を有し、
前記内ヨークは、
前記進退方向に延びる第１穴部と、
前記第１穴部と連通し、前記進退方向と垂直な方向に延びる第２穴部と、を有する
ことを特徴とするリニアモータ。
【請求項２】
前記第２穴部は、
隣り合う２つの前記永久磁石の間に対応して位置するように、前記内ヨークに形成される
ことを特徴とする請求項１に記載のリニアモータ。
【請求項３】
前記第１穴部及び前記第２穴部は、
丸穴状に形成される
ことを特徴とする請求項１又は２に記載のリニアモータ。
【請求項４】
前記界磁は、
前記内ヨークの両端を固定する２つのヨーク固定板をさらに有し、
前記ヨーク固定板は、
前記第１穴部と連通する貫通穴を有する
ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載のリニアモータ。
【請求項５】
前記外ヨークは、前記内ヨークの両側に一対設けられ、
前記複数の永久磁石は、前記一対の外ヨークの内側に、対向する一対の同極の永久磁石が前記進退方向に沿って交互に極性が異なるように配置される
ことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載のリニアモータ。
【請求項６】
前記内ヨークに構成され、前記第１穴部及び前記第２穴部を含む流路が、
複数枚の板材の貼り合わせにより構成されている
ことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載のリニアモータ。
【請求項７】
前記内ヨークは、
前記第１穴部と前記第２穴部とは別個に設けられる、空気吹き出し穴が形成されている
ことを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載のリニアモータ。
【請求項８】
前記内ヨークに構成され、前記第１穴部及び前記第２穴部を含む流路の入口及び出口が、前記内ヨークの同一面に設けられている
ことを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載のリニアモータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
開示の実施形態は、リニアモータに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、リニアモータとして、ボイスコイル形のリニアモータが知られている。例えば特許文献１には、矩形状の磁性体からなる内ヨークと、内ヨークの長手方向に向かって外側に平行させるように設けた平板状の磁性体からなる一対の外ヨークと、内ヨークと外ヨークの両端部に設けた磁性体からなる平板状の一対の側ヨークと、外ヨークと内ヨークの対向面に設けられ且つ軸方向に向かって複数配設された永久磁石と、を有し、ボビンとコイルとからなる電機子が永久磁石と永久磁石との間で空隙を介して軸方向に向かって移動するリニアモータが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第３８８２９７７号公報（図４、図６）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記従来技術のようなボイスコイル形のリニアモータの性能の向上を図る上では、インダクタンスの低減や冷却性能を高めることが要求される。
【０００５】
本発明はこのような問題点を鑑みてなされたものであり、インダクタンスを低減しつつ冷却性能を高めることが可能なリニアモータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するため、本発明の一の観点によれば、界磁と電機子のいずれか一方を可動子、他方を固定子として、前記可動子を前記固定子に対し相対的に進退移動させるリニアモータであって、前記界磁は、可動子の進退方向に沿って交互に極性が異なるように複数の永久磁石が配置された外ヨークと、少なくとも一部分において周方向を前記電機子のコイルに覆われる内ヨークと、を有し、前記内ヨークは、前記進退方向に延びる第１穴部と、前記第１穴部と連通し、前記進退方向と垂直な方向に延びる第２穴部と、を有するリニアモータが適用される。
【発明の効果】
【０００７】
本発明のリニアモータによれば、インダクタンスを低減しつつ冷却性能を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】一実施形態に係るリニアモータの斜視図、及び、リニアモータの側断面図である。
【図２】一実施形態に係るリニアモータの分解斜視図である。
【図３】冷却流路を設けた一実施形態における内ヨークの磁束密度と磁場との関係を表すＢ−Ｈ特性線図、及び、冷却流路を設けない比較例における内ヨークの磁束密度と磁場との関係を表すＢ−Ｈ特性線図である。
【図４】別体のヨーク固定板を用いる変形例のリニアモータの分解斜視図である。
【図５】内ヨークを複数の板材の貼り合わせ構造とした変形例を表す、平面図、正面図、及び右側面図である。
【図６】同一側面に２つの開口をともに形成する変形例を表す、平面図、正面図、及び右側面図である。
【図７】ドリルで流路を形成する変形例を表す、平面図、正面図、及び右側面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、開示の実施の形態を、図面を参照しつつ説明する。なお、以下の説明においては、上下方向、前後方向、左右方向は、図１等の各図中に適宜示す矢印方向に対応している。
【００１０】
＜リニアモータ全体構造＞
図１（Ａ）、図１（Ｂ）、及び図２に示すように、ボイスコイル形のリニアモータ１は、固定子を構成する界磁１０と、可動子を構成する電機子２０とを有しており、電機子２０は図示しないリニアガイド等によって支持されている。
【００１１】
＜界磁＞
界磁１０は、磁気回路を構成する矩形状の磁性体からなる内ヨーク１１と、内ヨーク１１の上側及び下側において左右方向に内ヨーク１１とそれぞれ平行するように設けられた、磁性体からなる上下一対の外ヨーク１２，１２と、各外ヨーク１２の対向面側（上ヨーク１２の下側、下ヨーク１２の上側）において、左右方向に向かって複数配設された永久磁石１４Ｓ，１４Ｎと、を備えている。
【００１２】
＜外ヨーク及び永久磁石の詳細＞
上外ヨーク１２の左右方向両端部には、下方に屈曲する左右一対の側ヨーク部１３，１３が一体に備えられている。同様に、下各外ヨーク１２の左右方向両端部にも、上方に屈曲する左右一対の側ヨーク部１３，１３が一体に形成されている。これら上下外ヨーク１２，１３の側ヨーク部１３は、互いに上下で接近して対向するように配置されている。上下ヨーク１２，１２にそれぞれ備えられた左右の側ヨーク部１３，１３は（後述の開口１５Ａ，１５Ｂを塞がないようにしつつ）、内ヨーク１１の左右端部を上下から挟持して支持する。
【００１３】
上外ヨーク１２の下面、下外ヨークの上面には、内ヨーク１１に対向するように永久磁石１４Ｓ（Ｓ極）及び永久磁石１４Ｎ（Ｎ極）が配置されている。このとき、永久磁石１４Ｓ，１４Ｎは、上下外ヨーク１２，１２において上下方向に同極配置で設けられるとともに、各外ヨーク１２において隣り合う永久磁石１４Ｓ，１４Ｎどうしは異極となるように配置されている。すなわち、永久磁石１４Ｓ，１４Ｎは、電機子２０の進退方向である左右方向に沿って所定のピッチで、かつ交互に極性が異なるように対向配置されている。
【００１４】
＜電機子＞
一方、電機子２０は、電機子本体２１と、電機子本体２１を固定する非磁性金属からなる電機子取付板２２と、を備えている。電機子取付板２２には、給電ケーブル２３が設けられている。電機子２０には、例えばＵ相、Ｖ相、Ｗ相の３相からなる集中巻きに巻回された複数個（この例では３個）のコイル２４が備えられており、これらコイル２４がモールド樹脂により電機子取付板２２と一体に成形されている。なお、電機子本体２１は、図示しないスライダ及びガイドレールからなるリニアガイド等によって支持されている。
【００１５】
また、電機子２０は、上記永久磁石１４Ｓ，１４Ｎ及び内ヨーク１１との間に空隙を介しつつ、内ヨーク１１の少なくとも一部分を周方向を覆うように、設けられている。上記各永久磁石１４Ｓ，１４Ｎにおける外ヨーク１２との接合側の端面には、上記電機子２０を進退移動させるための推力に寄与する磁束が出入射される。このとき、各永久磁石１４Ｓ，１４Ｎの接合側の端面に出入射される磁束の磁束密度は、面方向にほぼ均一となる。
【００１６】
＜内ヨークの冷却流路＞
ここで、本実施形態の特徴として、内ヨーク１１には、適宜の冷却媒体を流すための冷却流路１５が形成されている。冷却流路１５は、内ヨーク１１の左右方向の両側面に開放される開口１５Ａ，１５Ｂと、上記左右方向に延びる（この例では４本の）第１流路部１５Ｄと、上記前後方向に延びる（この例では３本の）第２流路部１５Ｃと、とを備えている。
【００１７】
第２流路部１５Ｃは、その左右方向位置が、上下外ヨーク１２，１２に配設された隣り合う上記永久磁石１４Ｓ，１４Ｎの間となるように配置されている（図１（Ｂ）参照）。なお、この第２流路部１５Ｃが、電機子２０の進退方向と垂直な方向（上記前後方向）に沿って延びる第２穴部に相当している。
【００１８】
第１流路部１５Ｄは、開口１５Ａと第２流路部１５Ｃとの間、あるいは隣り合う第２流路部１５Ｃと第２流路部１５Ｃとの間、あるいは第２流路部１５Ｃと開口１５Ｂとの間を、それぞれ連通するように配置されている。なお、この第１流路部１５Ｄが、電機子２０の進退方向（上記左右方向）に沿って延びる第１穴部に相当している。
【００１９】
上記構成により、冷却流路１５は、左側端に位置する開口１５Ａから、前側の第１流路部１５Ｄ→第２流路部１５Ｃ→後側の第１流路部１５Ｄ→第２流路部１５Ｃ→前側の第１流路部１５Ｄ→第２流路１５Ｃ→後側の第１流路部１５Ｄを経て、右側端に位置する開口部１５Ｂへと至る、蛇行形状を形成している。この冷却流路１５には、適宜の冷却媒体が供給され、モータ駆動に伴う発熱を冷却することができる。なお、開口１５Ａ，１５Ｂのうち一方が冷却媒体の入口（供給口）として利用され、他方が冷却媒体の出口（排出口）として利用される。
【００２０】
このとき、第２流路部１５Ｃ及び第１流路部１５Ｄは、開口１５Ａ，１５Ｂと同一径の略円形状断面となる、丸穴状に形成されている。これら第１流路部１５Ｄ、第２流路部１５Ｃ、開口１５Ａ、及び開口１５Ｂの穴径（言い換えれば冷却流路１５の穴径）は、例えば、内ヨーク１１に冷却流路１５を備えない状態で永久磁石１４Ｓ，１４Ｎが作る磁束量を１００％とした時に、冷却流路１５を備えた内ヨーク１１を適用した状態での永久磁石１４Ｓ，１４Ｎが作る磁束量が９０％以上になるように構成されている。
【００２１】
なお、第１流路部１５Ｄ、第２流路部１５Ｃ、開口１５Ａ、及び開口１５Ｂの断面形状（言い換えれば冷却流路１５の断面形状）は、上記略円形には限られず、楕円又は矩形等であってもよい。但し、上記のように冷却媒体が流されるときにおいて、少なくとも内ヨーク１１の両面における冷却効果を均一とするため、高さ方向（内ヨーク１１の厚さ方向）の中心基準で対称となる断面形状とするのが好ましい。
【００２２】
＜実施形態の作用効果＞
本実施形態に係るリニアモータ１は、内ヨーク１１に冷却流路１５が設けられることにより、（内ヨーク１１のうち冷却流路１５ぶんが欠損した形状となることで）コイル２４のインダクタンスを低減することができる。この効果を、図３（Ａ）及び図３（Ｂ）を用いて説明する。図３（Ａ）及び図３（Ｂ）に示す実線はいずれも同一曲線であり、内ヨーク１１の磁束密度と磁場との関係を表すＢ−Ｈ特性線図である。そのうち図３（Ａ）は、上記冷却流路１５を設けた一実施形態における挙動を説明するための図であり、図３（Ｂ）は、上記冷却流路１５を設けない（従来技術相当の）比較例における挙動を説明するための図である。
【００２３】
図３（Ａ）及び図３（Ｂ）に示すように、横軸に磁場Ｈ［Ａ／ｍ］、縦軸に磁束密度Ｂ［Ｔ］をとって表すＢ−Ｈ特性線において、原点から磁場Ｈの強さが大きくなるにつれて磁束密度Ｂの上昇率が徐々に大きくなりつつ立ち上がっていくが、ある磁場Ｈの大きさを超えると再び上記磁束密度Ｂの上昇率は小さくなる。そして、磁束密度Ｂの上昇率はさらに徐々に小さくなり、最終的には磁束密度Ｂの値はほぼ横ばいに近くなる。
【００２４】
ここで、上記比較例においては、上記冷却流路１５が設けられないことから、磁気抵抗が比較的小さい。この結果、図３（Ｂ）に示されるように、永久磁石１４Ｓ，１４Ｎの磁束３０（図１（Ｂ）参照）による内ヨーク１１の磁束密度Ｂ１′が比較的小さくなる。
【００２５】
これに対して、上記実施形態においては、上述したように、内ヨーク１１に冷却流路１５が穿孔されていることにより、冷却流路１５がない上記比較例よりも磁気抵抗が大きい。この結果、図３（Ａ）に示すように、永久磁石１４Ｓ，１４Ｎの磁束３０（図１（Ｂ）参照）による内ヨーク１１の磁束密度Ｂ１が、図３（Ｂ）に示す比較例の磁束密度Ｂ１′よりも大きくなる。
【００２６】
ここで、コイル２４に電流が通電されると、内ヨーク１１に電機子２０による磁界に対応した磁場△Ｈが加わり、コイル２４の作る磁束３１（図１（Ｂ）参照）が発生する。この結果、上記比較例では、図３（Ｂ）に示すように、上記磁束密度Ｂ１′に対応した磁場がＨ１′から、Ｈ１′＋△Ｈへと変化する。このとき、比較例では、上述したように未通電時における内ヨーク１１の磁束密度Ｂ１′が比較的小さいことから、上記Ｈ１′→Ｈ１′＋△Ｈの変化が、前述したＨ−Ｂ特性線のうち上昇率が比較的急な部分に該当する。この結果、対応する磁束密度のＢ１′→Ｂ１′＋△Ｂ′という変化における、当該磁束密度の変化量△Ｂ′が、比較的大きくなる。
【００２７】
一方、上記実施形態においては、コイル２４に電流が通電されて内ヨーク１１に電機子２０による磁界に対応した磁場△Ｈが加わると、図３（Ａ）に示すように、上記磁束密度Ｂ１に対応した磁場Ｈ１から、Ｈ１＋△Ｈへと変化する。このとき、上記実施形態では、上述したように未通電時における内ヨーク１１の磁束密度Ｂ１が比較的大きいことから、上記Ｈ１′→Ｈ１′＋△Ｈの変化が、前述したＨ−Ｂ特性線のうち上昇率が比較的緩やかな部分に該当する。この結果、対応する磁束密度のＢ１→Ｂ１＋△Ｂという変化における、当該磁束密度Ｂ１の変化量△Ｂが、上記比較例の磁束密度の変化量△Ｂ′よりも小さくなる（図３（Ａ）参照）。
【００２８】
ここで、インダクタンスは、コイル２４に流れる電流の変化量に対する磁束の変化量であるから、本実施形態では、コイル２４に同一電流を通電した際のインダクタンスを、上記比較例よりも低減することができる。この結果、電気的時定数が減少するので、リニアモータ１の応答性を向上することができる。
【００２９】
そしてこのとき、上記インダクタンスの低減を与える形状が、上記第１流路部１５Ｄ及び第２流路部１５Ｃ等を備えた１本の冷却流路１５として形成されていることから、この冷却流路１５に適宜の冷却媒体を流すことで、モータ駆動に伴う発熱の冷却を行うことができる。また、第１流路部１５Ｄと第２流路部１５Ｃとが互いに直交する方向に延び、上記のように冷却流路１５がジグザグに蛇行するように形成される。これにより、上記冷却性能を高めることができる。
【００３０】
以上のようにして、本実施形態によれば、インダクタンスを低減しつつ冷却性能を高めることができる。
【００３１】
また、本実施形態では特に、内ヨーク１１において、第２流路部１５Ｃが、隣り合う２つの永久磁石１４Ｓ，１４Ｎの間に対応して位置するように、内ヨーク１１に形成される。これにより、第２流路部１５Ｃが磁気回路の途中に形成されることとなる（図１（Ｂ）参照）ので、上記磁気抵抗の増大効果を高め、インダクタンスの低減効果をさらに高めることができる。
【００３２】
また、本実施形態では特に、第１流路部１５Ｄ及び第２流路部１５Ｃは、断面略円形の丸穴状に形成される。これにより、第１流路部１５Ｄ及び第２流路部１５Ｃの周囲に応力集中が生じるのを緩和できる。この結果、第１流路部１５Ｄ及び第２流路部１５Ｃを形成しても内ヨーク１１の機械的強度を確保することが可能となり、磁気吸引力による内ヨーク１１の撓みを防止できる。また、ドリルを用いて簡単に第１流路部１５Ｄ及び第２流路部１５Ｃを形成できる（後述の図７に示す変形例も参照）ので、加工性も高い。
【００３３】
また、本実施形態では特に、一対の上下外ヨーク１２，１２が、内ヨーク１１の上下方向両側に設けられる。そして、複数の永久磁石１４Ｓ，１４Ｎが、一対の外ヨーク１２，１２の内側に、対向する一対の同極の永久磁石１４Ｓ，１４Ｎが進退方向に沿って交互に極性が異なるように、配置される。これにより、外ヨーク１２を１枚とする場合に比べて、推力に寄与する磁束を増大できるので、リニアモータ１の推力を増大できる。
【００３４】
＜変形例＞
なお、開示の実施形態は、上記に限られるものではなく、その趣旨及び技術的思想を逸脱しない範囲内で種々の変形が可能である。以下、そのような変形例を順を追って説明する。なお、以下の各図において、上記実施形態と同等の部分には同一の符号を付し、適宜説明を省略又は簡略化する。
【００３５】
（１）別体のヨーク固定板を用いる場合
上記実施形態では、外ヨーク１２に側ヨーク部１３が一体に形成されていたが、これに限られない。すなわち、例えば、図４に示すように、平板状の外ヨーク１２とし、内ヨーク１１の左右両端に上記外ヨーク１２とは別体のヨーク固定板２３を配置してもよい。この場合、外ヨーク１２及び内ヨーク１１の左右両端が、左右一対のヨーク固定板２３，２３にそれぞれ固定される。
【００３６】
このとき、ヨーク固定板２３には、前述の内ヨーク１１の開口１５Ａ，１５Ｂにそれぞれ連通する貫通孔２３Ａ，２３Ａが形成される。これにより、この貫通穴２３Ａを介して内ヨーク１１の冷却流路１５に対して冷却媒体を円滑に流入及び流出させることができる。
【００３７】
（２）空気吹き出し穴の形成
すなわち、上記実施形態では、内ヨーク１１において、上記冷却流路１５に空気吹き出し穴を形成し、さらに相対的に永久磁石１４Ｓ，１４Ｎが作る磁束量を低減するようにしてもよい。この際、空気吹き出し穴からは、例えばコイル２４に直接冷却風を噴射することで、冷却効果を向上することができる。
【００３８】
（３）冷却流路形状のバリエーション
上記実施形態において、冷却流路１５は、上述したように、第２流路部１５Ｃと第１流路部１５Ｄとの組み合わせにより蛇行している。この場合、当該冷却流路１５、内ヨーク１１内において、図５（Ａ)〜（Ｃ）に示すように、高さ方向（内ヨーク１１の厚さ方向）の中心基準で半割りで形成（例えば、鋳造）した内ヨーク板材１１Ａ，１１Ｂの合わせ構造とするなど、適宜の板材を複数枚貼り合わせて構成することもできる。この場合、上記ジグザグ形状の冷却流路１５を容易に形成することができるうえ、流路設計の自由度を拡大することができる。
【００３９】
また、上記実施形態においては、冷却流路１５の両端部が、内ヨーク１１の上記左側端面の開口１５Ａと上記右側端面の開口１５Ｂとなっていたが、これに限られない。すなわち、例えば、図６（Ａ）〜（Ｃ）に示すように、上記右側の開口１５Ｂに通じる最も右側の第１流路部１５ＤをＵ字状に上記左側へと逆向きに折り返すことで、同一側面（この例では左側端面）に開口１５Ａ，１５Ｂをともに形成してもよい。このような構成とすれば、内ヨーク１１に供給する冷却媒体の供給側と排出側とをリニアモータ１の同一側面側に配置することができ、配管経路等の簡素化を図ることができる。
【００４０】
さらに、上記実施形態においては、内ヨーク１１に冷却通路１５を内ヨーク１１予め形成していたが、これに限られない。すなわち、例えば、図７（Ａ）〜（Ｃ）に示すように、先にブロック状の内ヨーク１１を形成したうえで、ドリル等を用いて第１流路部１５Ｄ及び第２流路部１５Ｃを穿設した後、その開口端をプラグキャップ１６で閉成するとともに、開口１５Ａ，１５Ｂをプラグ管１７で構成してもよい。この際、プラグ管１７は、冷却媒体の供給側と排出側との接続部として利用される。なお、プラグキャップ１６は、第１流路部１５Ｄ及び第２流路部１５Ｃの開口端を塞ぐことができれば、特に限定されるものではないが、実際に第１流路部１５Ｄ及び第２流路部１５Ｃとして利用しない部分の全体を埋め込むものでもよい。
【００４１】
（４）その他
以上においては、永久磁石１４Ｓ，１４Ｎを備えた界磁を固定子とし、電機子本体２１を可動子として、電機子本体２１を界磁に対し相対的に進退移動させていたが、これに限られない。すなわち、反対に、界磁を可動子とし、電機子を固定子として、界磁を電機子に対し相対的に進退移動させてもよい。この場合も上記実施形態や各変形例と同様の効果を得る。
【００４２】
また、以上既に述べた以外にも、上記実施形態による手法を適宜組み合わせて利用しても良い。
【００４３】
その他、一々例示はしないが、上記実施形態は、その趣旨を逸脱しない範囲内において、種々の変更が加えられて実施されるものである。
【符号の説明】
【００４４】
１              リニアモータ
１０            界磁（固定子）
１１            内ヨーク
１２            外ヨーク
１４Ｎ          永久磁石
１４Ｓ          永久磁石
１５            冷却流路
１５Ａ          開口
１５Ｂ          開口
１５Ｃ          第２流路部（第２穴部）
１５Ｄ          第１流路部（第１穴部）
２０            電機子（可動子）
２４            コイル
３０            永久磁石の磁束
３１            コイルの磁束
【図１】
2014140283.tif 000003
【図２】
2014140283.tif 000004
【図３】
2014140283.tif 000005
【図４】
2014140283.tif 000006
【図５】
2014140283.tif 000007
【図６】
2014140283.tif 000008
【図７】
2014140283.tif 000009
【手続補正書】
【提出日】平成26年5月8日(2014.5.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
界磁と電機子のいずれか一方を可動子、他方を固定子として、前記可動子を前記固定子に対し相対的に進退移動させるリニアモータであって、
前記界磁は、
可動子の進退方向に沿って交互に極性が異なるように複数の永久磁石が配置された外ヨークと、
少なくとも一部分において周方向を前記電機子のコイルに覆われる内ヨークと、を有し、
前記内ヨークは、
前記進退方向に延びる第１穴部と、
前記第１穴部と連通し、前記進退方向と垂直な方向に延びる第２穴部と、を有し、
前記第２穴部は、
隣り合う２つの前記永久磁石の間に対応して位置するように、前記内ヨークに形成される
ことを特徴とするリニアモータ。
【請求項２】
前記第１穴部及び前記第２穴部は、               
丸穴状に形成される
ことを特徴とする請求項１記載のリニアモータ。
【請求項３】
前記界磁は、
前記内ヨークの両端を固定する２つのヨーク固定板をさらに有し、
前記ヨーク固定板は、
前記第１穴部と連通する貫通穴を有する
ことを特徴とする請求項１又は２に記載のリニアモータ。
【請求項４】
前記外ヨークは、前記内ヨークの両側に一対設けられ、
前記複数の永久磁石は、前記一対の外ヨークの内側に、対向する一対の同極の永久磁石が前記進退方向に沿って交互に極性が異なるように配置される
ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載のリニアモータ。
【請求項５】
前記内ヨークに構成され、前記第１穴部及び前記第２穴部を含む流路が、
複数枚の板材の貼り合わせにより構成されている
ことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載のリニアモータ。
【請求項６】
前記内ヨークは、
前記第１穴部と前記第２穴部とは別個に設けられる、空気吹き出し穴が形成されている
ことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載のリニアモータ。
【請求項７】
前記内ヨークに構成され、前記第１穴部及び前記第２穴部を含む流路の入口及び出口が、前記内ヨークの同一面に設けられている
ことを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載のリニアモータ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
上記課題を解決するため、本発明の一の観点によれば、界磁と電機子のいずれか一方を可動子、他方を固定子として、前記可動子を前記固定子に対し相対的に進退移動させるリニアモータであって、前記界磁は、可動子の進退方向に沿って交互に極性が異なるように複数の永久磁石が配置された外ヨークと、少なくとも一部分において周方向を前記電機子のコイルに覆われる内ヨークと、を有し、前記内ヨークは、前記進退方向に延びる第１穴部と、前記第１穴部と連通し、前記進退方向と垂直な方向に延びる第２穴部と、を有し、前記第２穴部は、隣り合う２つの前記永久磁石の間に対応して位置するように、前記内ヨークに形成されるリニアモータが適用される。