(57)【要約】【課題】余分な分電盤を設けることなく真空処理装置の機器点検を容易に行う。【解決手段】分電盤の扉表面に主幹ブレーカを有し、分電盤の内側に分岐ブレーカを設け、分岐ブレーカから真空処理装置の各機器に配線接続して成り、分岐ブレーカに対応しに開閉可能な窓部材を設け、主幹ブレーカがオンのときに扉はロックされ窓部材を介して任意の分岐ブレーカのオン・オフ操作を可能とする。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
分電盤の扉表面に主幹ブレーカを有し、前記分電盤の内側に分岐ブレーカが設けられ、該分岐ブレーカから真空処理装置の各機器に配線接続して成り、前記分岐ブレーカに対応して前記扉に開閉可能な窓部材を設け、前記主幹ブレーカがオンのときに前記扉はロックされ前記窓部材を介して任意の分岐ブレーカのオン・オフ操作を可能としたことを特徴とする真空処理装置用分電盤。
【請求項２】
請求項１記載の真空処理装置用分電盤において、前記扉の内側で前記分岐ブレーカの配線接続部を隠すカバーを設けた真空処理装置用分電盤。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空処理装置用の分電盤に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の真空処理装置用の分電盤は、例えば、特許文献１に記載のように、開口部を有する箱体と、操作部が開口部側になるように箱体に収納された配電用機器と、箱体に取付けられ箱体の開口部を開閉する第１の扉とを備えた分電盤において、第１の扉に窓を設けると共にこの窓を開閉する第２の扉を取付け、分電盤における扉の取付け部分の構造が複雑になることなく、組立作業性を良くしたものが知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開2005-304253号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記従来技術では、半導体製造装置で用いられる規格に対応する充分な配慮がされていない。すなわち、従来技術の構成は表に操作電圧の記載がなく、５０ＶＡＣ若しくは、６０ＶＤＣ以上の操作電圧の場合、通電中は配電盤の扉が開けられないという規格に対応しておらず、従来技術の分電盤は扉の取付を容易にするために第２の扉を設けたものであって、第２の扉を開けても全てのブレーカが操作し得、実質的に扉を開けたのと同じであって、規格をクリアできない。
【０００５】
真空処理装置においては、分電盤の主幹ブレーカから分岐ブレーカを介して種々の機器が接続されており、その中には、５０ＶＡＣ若しくは、６０ＶＤＣ未満の操作電圧のブレーカも接続されている。５０ＶＡＣ若しくは、６０ＶＤＣ未満の操作電圧機器のみを遮断したい場合でも、主幹ブレーカをＯＦＦしなければ、扉を開けることができず、真空排気装置のように電源を落とすことができない機器も遮断せざるを得ない。このため、５０ＶＡＣ若しくは、６０ＶＤＣ未満の操作電圧機器のブレーカは別の分電盤を設ける必要があった。
【０００６】
本発明の目的は、余分な分電盤を設けることなく真空処理装置の機器点検を容易に行うことのできる真空処理装置用分電盤を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記本発明の目的は、分電盤の扉表面に主幹ブレーカを有し、分電盤の内側に５０ＶＡＣ若しくは、６０ＶＤＣ未満の操作電圧の分岐ブレーカが設けられ、分岐ブレーカから各機器に配線接続して成り、分岐ブレーカに対応した開閉可能な窓部材を設け、主幹ブレーカがオンのときに扉はロックされ窓部材を介して任意の分岐ブレーカのオン・オフ操作を可能とした構成にすることにより、達成される。
【発明の効果】
【０００８】
本発明は、余分な分電盤を設けることなく、また主幹ブレーカをオフすることなく５０ＶＡＣ若しくは、６０ＶＤＣ未満の操作電圧機器に対応した分岐ブレーカをオフでき、機器の点検が容易に行える。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の実施例に係る真空処理装置用の分電盤の構成の概略を模式的に示す示す平面図である。
【図２】図１に示す実施例の分電盤の構成の概略を示す側面図である。
【図３】図１に示す実施例の分電盤の構成の概略を示す上面図である。
【図４】図１に示す実施例の分電盤に示す遮蔽板７の詳細を示す斜視図である。
【図５】図１に示す実施例の動作のシーケンスを示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
本実施の形態は、真空処理装置に用いる分電盤に主幹ブレーカと分電盤内に通電条件が種々異なる機器へ電力供給する５０ＶＡＣ若しくは、６０ＶＤＣ未満の操作電圧の分岐ブレーカとをまとめて配置し、扉の表側に設けた主幹ブレーカが通電中は分電盤の扉が開かないようにロックされ、一方、真空処理装置の、例えば、点検が必要とされる機器に対応する分岐ブレーカのみを電源オフさせることができるように、運転中でも電源オフが必要とされる分岐ブレーカに対応して扉に開閉窓を設けたものである。
【実施例】
【００１１】
以下、本発明の真空処理装置用分電盤の一実施例を図１乃至図５により説明する。
【００１２】
図１は、本発明の実施例に係る真空処理装置用の分電盤の構成の概略を模式的に示す平面図である。本実施例の真空処理装置は、大気搬送ユニット２０とロック室２１と真空搬送室２２と真空処理室２４と中間室２５との組合せにより構成され、クリーンルーム内の２階部分に配置される。１階部分には、真空処理装置と連結されてこれに供給あるいはこれとの間で循環される流体の貯留部及びポンプ部や電源が配置されている。
【００１３】
大気搬送ユニット２０は内部の空間内に搬送ロボット（図示省略）が配置され、その内部を基板収納容器（図示省略）とロック室２１との間で半導体ウエハ等の試料である基板の搬送が行われる筐体である。大気搬送ユニット２０の背面側（図上右側）は、ロック室２１を挟んで所定の真空度の低圧に維持されている真空ブロックであり、当該ブロックはロック室２１、真空搬送室２２、真空処理室２４、中間室２５を備えている。
【００１４】
複数の真空搬送室２２は各々が内部に基板の搬送用の空間を備えた平面形が略矩形状の真空容器であり、搬送用の空間に真空搬送ロボット２３を有している。真空搬送ロボット２３は、ロック室２１と複数の真空処理室２４と中間室２５との間、または中間室２５と真空処理室２４との間で、アーム先端部に基板を載置、保持して回転とアームの伸縮とを組み合わせて搬送を行う。
【００１５】
基板は搬送された真空処理室２４内部で試料台（図示せず）に保持されて処理される。この際、真空搬送室２２や真空処理室２４の内部は真空排気装置によって常に減圧排気される。また、真空処理室には図示を省略したチラーユニットによって温度制御された試料台が設けられており、該試料台に基板を配置して処理が行われる。基板の処理は、真空処理室内に、例えば、高周波電源からの電力を供給し真空処理室内に供給した処理ガスをプラズマ化して行われる。
【００１６】
このような基板処理のために、各真空処理室２４の図示を省略した真空排気装置、搬送ロボット、高周波電源、チラーユニット等の運転に分電盤２から電力が供給される。このような真空処理装置では、真空の立上に時間を要するため真空排気装置は連続運転を必要とする。
【００１７】
なお、通常は２階に配置する装置のフットプリントをできるだけ小さくするために、チラーユニットや配電盤はクリーンルームの１階に配置される。
【００１８】
図２乃至４に分電盤の詳細を示す。分電盤２は、主幹ブレーカ５を操作する外部ハンドル１と、５０ＶＡＣ若しくは、６０ＶＤＣ未満の操作電圧の分岐ブレーカ３の操作面に開閉可能な窓６を有した扉４付の直方体またはこれと見倣せる程度に近似した直方体状の筐体を備えている。
【００１９】
外部ハンドル１は、主幹ブレーカ５の操作部に接続された操作棒１ａを有し、外部から主幹ブレーカ５を操作できる。また、外部ハンドル１をＯＮ、すなわち主幹ブレーカ５をＯＮした場合は、扉４が開できないようインターロック機構を有している。
【００２０】
分岐ブレーカ３は、例えば開閉用スイッチなどの操作部３ａを有する配電用遮断器であり、この操作部３ａ であるスイッチが扉４の開閉可能な窓６側から操作できるように取付けられている。開閉可能な窓６を開いて、操作部３ａを操作する場合、他の充電部に手が入らないよう遮蔽板７を、扉４の内側に有している。
【００２１】
遮蔽板７は、操作部３ａ に対応する位置に、操作部３ａ を貫通させるための開口部７ａが形成されており、開口部７ａを除く上下左右全てを遮蔽している。 このように構成された分電盤２には、図５に示す単線図のように各ユニット毎にまとめられているが、電源をオフすることのできない真空排気装置につながる分岐ブレーカ８もある。
【００２２】
次に、この実施の例の分電盤２の動作について説明する。本実施例の分電盤２では、図１に示すように、通電中は扉４、開閉可能な窓６は閉じられていて、外部ハンドル１をＯＮ、すなわち主幹ブレーカ５をＯＮしている。
【００２３】
この状態では、インターロックにより、扉４を開くことはできない。点検が必要とされる機器に対応する分岐ブレーカ３を操作する場合には、図２に示すように、扉４は閉じたまま開閉可能な窓６を開いて分岐ブレーカ３を操作することができる。
【００２４】
これにより、真空排気装置のように電源を落とすことができない機器も遮断せずに、点検が必要な機器の操作ができる。また、分岐ブレーカ３操作時に、誤って他の充電部に触れることがないよう、分岐ブレーカ３の操作部３ａを遮蔽板７の開口部７ａを通して操作することができるため、安全に操作を行うことができる。
【００２５】
以上の通り、本実施例によれば、外部ハンドル１をＯＮ、すなわち主幹ブレーカ５をＯＮしている時に扉を開くことなく任意の分岐ブレーカを操作することができる。
【符号の説明】
【００２６】
１…外部ハンドル
１ａ…操作棒
２…分電盤
３…分岐ブレーカ
３ａ…操作部
４…扉
５…主幹ブレーカ
６…開閉可能な窓
７…遮蔽板
７ａ…開口部
８…分岐ブレーカ
２０…大気搬送ユニット
２１…ロック室
２２…真空搬送室
２３…真空搬送ロボット
２４…真空処理室
２５…中間室。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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