(57)【要約】【課題】予め設定された設定流量の流体が流れているか否かのみを検出する構成が簡素で安価である、利用機器側にとってオーバースペックでない流体センサを提供する。【解決手段】流体供給源とその利用機器との間に接続されるハウジング１１内に、第１流路２２から第２流路３２に向けて流れる流体の流れに伴って圧力が低下するベルヌーイの定理による拡散室４０を設けるとともに、ハウジング１１の側壁１１ｃに拡散室４０内の圧力低下に伴って外気が吸入される開口部１２を形成し、検出手段５０として、拡散室４０内の圧力に応じて開口部１２を開閉する金属製の検出弁５１と、開口部１２の周りに配置され検出弁５１を可動接点とする一対の固定接点５２ａ，５２ｂとを備え、固定接点５２ａ，５２ｂから得られるオン，オフ信号に基づいて、予め設定された流量の流体が流れているか否かを検出する。【選択図】図１
2014092503.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体供給源とその利用機器との間に接続され内部に流路を備えるハウジングと、上記流路内に予め設定された流量の流体が流れているか否かを検出する検出手段とを備える流体センサにおいて、
上記ハウジングには、上記流体供給源側に接続される上流側の第１流路と、上記第１流路と所定の間隔をもって対向的に配置され上記利用機器側に接続される下流側の第２流路と、上記第１流路と上記第２流路との間に配置され上記第１流路からの流体の流れに伴って圧力が低下するベルヌーイの定理による拡散室とが設けられ、
上記ハウジングの側壁には、上記拡散室内の圧力低下に伴って上記ハウジング内に外部より空気が吸入される開口部が形成されており、
上記検出手段は、上記拡散室内の圧力に応じて上記開口部を開閉する金属製の検出弁と、上記開口部の周りに配置され上記検出弁を可動接点とする一対の固定接点とを含み、上記固定接点から得られるオン，オフ信号に基づいて、上記流路内に予め設定された流量の流体が流れているか否かを検出することを特徴とする流体センサ。
【請求項２】
上記検出弁はバネ手段により支持された状態で、上記開口部から上記ハウジング内に吸い込まれる外気の吸気圧により上記開口部を塞ぐように上記ハウジング外に配置されており、
上記拡散室内の圧力が所定値よりも高い圧力のときには、上記バネ手段の付勢力にて上記開口部から離れた位置に保持されて上記固定接点間を開放とし、
上記拡散室内の圧力が所定値よりも低い圧力であるときには、上記吸気圧により上記バネ手段の付勢力に抗して上記開口部を塞いで上記固定接点間を短絡することを特徴とする請求項１に記載の流体センサ。
【請求項３】
上記検出弁はバネ手段により支持された状態で、上記開口部から上記ハウジング内に吸い込まれる外気の吸気圧により上記開口部を開くように上記ハウジング内に配置されており、
上記拡散室内の圧力が所定値よりも高い圧力であるときには、上記バネ手段の付勢力にて上記口部を塞いで上記固定接点間を短絡し、
上記拡散室内の圧力が所定値よりも低い圧力であるときには、上記吸気圧により上記バネ手段の付勢力に抗して上記開口部から離れた位置に保持されて上記固定接点間を開放することを特徴とする請求項１に記載の流体センサ。
【請求項４】
上記検出弁に対する上記バネ手段の付勢力が調整可能であることを特徴とする請求項２または３に記載の流体センサ。
【請求項５】
上記ハウジングには、上記拡散室に向けて進退可能な調整ネジが設けられており、上記バネ手段が圧縮コイルバネで、上記圧縮コイルバネが上記検出弁と上記調整ネジとの間に設けられ、上記調整ネジにより上記検出弁に対する上記圧縮コイルバネの付勢力が調整可能であることを特徴とする請求項２ないし４のいずれか１項に記載の流体センサ。
【請求項６】
流体供給源とその利用機器との間に接続され内部に流路を備えるハウジングと、上記流路内に予め設定された流量の流体が流れているか否かを検出する検出手段とを備える流体センサにおいて、
上記ハウジングには、上記流体供給源側に接続される上流側の第１流路および上記第１流路に連通していて上記利用機器側に接続される下流側の第２流路を含む主流路と、
上記主流路の上記第１流路側から分岐された分岐流路と、上記分岐流路の下流側で開口部を介して上記分岐流路に連通し一部分に流体を上記ハウジング外に逃す吐出口を有するシリンダ室とが設けられており、
上記検出手段は、上記分岐流路内の圧力に応じて上記開口部を開閉する金属製の検出弁と、上記開口部の周りに配置され上記検出弁を可動接点とする一対の固定接点とを含み、上記固定接点から得られるオン，オフ信号に基づいて、上記流路内に予め設定された流量の流体が流れているか否かを検出することを特徴とする流体センサ。
【請求項７】
上記検出弁はバネ手段により支持された状態で、上記分岐流路内の圧力により上記開口部を開くように上記シリンダ室内に配置されており、
上記分岐流路内の圧力が所定値よりも高い圧力であるときには、上記バネ手段の付勢力に抗して上記開口部から離れた位置に保持されて上記固定接点間を開放し、
上記分岐流路内の圧力が所定値よりも低い圧力であるときには、上記バネ手段の付勢力にて上記開口部を塞いで上記固定接点間を短絡することを特徴とする請求項６に記載の流体センサ。
【請求項８】
上記検出弁はバネ手段により支持された状態で、上記分岐流路内の圧力により上記開口部を塞ぐように上記シリンダ室外に配置されており、
上記分岐流路内の圧力が所定値よりも高い圧力であるときには、上記バネ手段の付勢力に抗して上記開口部を塞いで上記固定接点間を短絡し、
上記分岐流路内の圧力が所定値よりも低い圧力であるときには、上記バネ手段の付勢力にて上記開口部から離れた位置に保持されて上記固定接点間を開放することを特徴とする請求項６に記載の流体センサ。
【請求項９】
上記検出弁に対する上記バネ手段の付勢力が調整可能であることを特徴とする請求項７または８に記載の流体センサ。
【請求項１０】
上記シリンダ室の上記開口部とは反対側の底壁には、上記開口部に向けて進退可能な調整ネジが設けられており、上記バネ手段が圧縮コイルバネで、上記圧縮コイルバネが上記検出弁と上記調整ネジとの間に設けられ、上記調整ネジにより上記検出弁に対する上記圧縮コイルバネの付勢力が調整可能であることを特徴とする請求項７ないし９のいずれか１項に記載の流体センサ。
【請求項１１】
上記分岐流路は、その上流側から下流側に至るにしたがって内径が漸次小さくなるように形成されていることを特徴とする請求項６ないし１０のいずれか１項に記載の流体センサ。
【請求項１２】
上記第２流路は、その一部分に上記第２流路の内圧を高めるための小径部を備えていることを特徴とする請求項６ないし１１のいずれか１項に記載の流体センサ。
【請求項１３】
上記流体供給源が圧縮空気供給源であり、上記利用機器がイオンを発生するイオナイザであることを特徴とする請求項１または６に記載の流体センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、配管経路内の流路に流れる流体を検出する流体センサに関し、さらに詳しく言えば、その流路内に予め設定された設定流量の流体が流れているか否かだけを検出する簡易的な流体センサに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
流体センサには、流路内に検出素子を配置し、その検出素子によって管路に流れる流量を検出する流量センサ（例えば、特許文献１参照）や、流路の途中にオリフィス，ノズル，ベンチュリー管などの「絞り」を設け、そこに流体が流れるときの圧力差を測定し、ベルヌーイの定理によって流量を求める差圧流量計等がある。
【０００３】
このような流体センサは、検出された流量により流体利用側の機器を制御する目的で使用されるが、半導体素子や液晶のデバイス等を除電対象とするブロータイプのイオナイザへのエア供給流量を検出するセンサとしても利用されており、その適用例としてのイオナイザシステムを図５に示す。
【０００４】
このイオナイザシステムは、イオナイザ１、流量センサ（流体センサ）２、流量調整弁３および電磁弁４を含む給気経路を備え、電源５の投入により、図示しないエア供給配管から電磁弁４→流量調整弁３→流量センサ２→イオナイザ１へとエアが供給され、イオナイザ１で生成された両極性のイオンが除電対象に供給される。
【０００５】
この運転時に、例えば流量調整弁３が何らかの原因により全閉とされ、ブローエアが供給されない状態でイオナイザ１が放電を継続すると、放電針付近のオゾン濃度が上昇し、周辺部品（特に、出口の継ぎ手等）が破壊される。
【０００６】
そこで、コントローラ６は、流量センサ２からの検出信号を監視し、その値が所定の閾値以下となった場合、イオナイザ１にブローエアが供給されていないと判定し、イオナイザ１の放電を停止させるようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００９−２８７９８２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上記のようなイオナイザシステムで、オゾン濃度の上昇を抑えるためだけであれば、流量センサ２はブローエア（流体）の有無を検出する機能を備えていれば十分である。
【０００９】
しかしながら、現在市販されている流量センサの多くは、流量をきめ細かく高精度で測定し得る高機能品で価格も高い。そのため、上記のようなイオナイザシステムにとって、現在市販されている流量センサは高価かつオーバースペックであり、これがコストアップの要因となっている。
【００１０】
そこで、本発明の課題は、流路内に予め設定された設定流量の流体が流れているか否かだけを検出することができるようにした構成が簡単かつ安価な流体センサを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するため、本願には第１の発明と第２の発明とが含まれ、まず、第１の発明は、流体供給源とその利用機器との間に接続され内部に流路を備えるハウジングと、上記流路内に予め設定された流量の流体が流れているか否かを検出する検出手段とを備える流体センサにおいて、
上記ハウジングには、上記流体供給源側に接続される上流側の第１流路と、上記第１流路と所定の間隔をもって対向的に配置され上記利用機器側に接続される下流側の第２流路と、上記第１流路と上記第２流路との間に配置され上記第１流路からの流体の流れに伴って圧力が低下するベルヌーイの定理による拡散室とが設けられ、上記ハウジングの側壁には、上記拡散室内の圧力低下に伴って上記ハウジング内に外部より空気が吸入される開口部が形成されており、
上記検出手段は、上記拡散室内の圧力に応じて上記開口部を開閉する金属製の検出弁と、上記開口部の周りに配置され上記検出弁を可動接点とする一対の固定接点とを含み、上記固定接点から得られるオン，オフ信号に基づいて、上記流路内に予め設定された流量の流体が流れているか否かを検出することを特徴としている。
【００１２】
上記第１の発明において、上記検出弁はバネ手段により支持された状態で、上記開口部から上記ハウジング内に吸い込まれる外気の吸気圧により上記開口部を塞ぐように上記ハウジング外に配置されている態様では、
上記拡散室内の圧力が所定値よりも高い圧力のときには、上記バネ手段の付勢力にて上記開口部から離れた位置に保持されて上記固定接点間を開放とし、
上記拡散室内の圧力が所定値よりも低い圧力であるときには、上記吸気圧により上記バネ手段の付勢力に抗して上記開口部を塞いで上記固定接点間を短絡する。
【００１３】
上記第１の発明において、上記検出弁はバネ手段により支持された状態で、上記開口部から上記ハウジング内に吸い込まれる外気の吸気圧により上記開口部を開くように上記ハウジング内に配置されている態様では、
上記拡散室内の圧力が所定値よりも高い圧力であるときには、上記バネ手段の付勢力にて上記口部を塞いで上記固定接点間を短絡し、
上記拡散室内の圧力が所定値よりも低い圧力であるときには、上記吸気圧により上記バネ手段の付勢力に抗して上記開口部から離れた位置に保持されて上記固定接点間を開放する。
【００１４】
上記第１の発明には、上記検出弁に対する上記バネ手段の付勢力を調整可能とする態様が含まれ、その構成としては、上記ハウジングには、上記拡散室に向けて進退可能な調整ネジが設けられており、上記バネ手段が圧縮コイルバネで、上記圧縮コイルバネが上記検出弁と上記調整ネジとの間に設けられ、上記調整ネジにより上記検出弁に対する上記圧縮コイルバネの付勢力が調整されることが好ましい。
【００１５】
また、第２の発明は、流体供給源とその利用機器との間に接続され内部に流路を備えるハウジングと、上記流路内に予め設定された流量の流体が流れているか否かを検出する検出手段とを備える流体センサにおいて、
上記ハウジングには、上記流体供給源側に接続される上流側の第１流路および上記第１流路に連通していて上記利用機器側に接続される下流側の第２流路を含む主流路と、上記主流路の上記第１流路側から分岐された分岐流路と、上記分岐流路の下流側で開口部を介して上記分岐流路に連通し一部分に流体を上記ハウジング外に逃す吐出口を有するシリンダ室とが設けられており、
上記検出手段は、上記分岐流路内の圧力に応じて上記開口部を開閉する金属製の検出弁と、上記開口部の周りに配置され上記検出弁を可動接点とする一対の固定接点とを含み、上記固定接点から得られるオン，オフ信号に基づいて、上記流路内に予め設定された流量の流体が流れているか否かを検出することを特徴としている。
【００１６】
上記第２の発明において、上記検出弁はバネ手段により支持された状態で、上記分岐流路内の圧力により上記開口部を開くように上記シリンダ室内に配置されている態様では、
上記分岐流路内の圧力が所定値よりも高い圧力であるときには、上記バネ手段の付勢力に抗して上記開口部から離れた位置に保持されて上記固定接点間を開放し、
上記分岐流路内の圧力が所定値よりも低い圧力であるときには、上記バネ手段の付勢力にて上記開口部を塞いで上記固定接点間を短絡する。
【００１７】
上記第２の発明において、上記検出弁はバネ手段により支持された状態で、上記分岐流路内の圧力により上記開口部を塞ぐように上記シリンダ室外に配置されている態様では、
上記分岐流路内の圧力が所定値よりも高い圧力であるときには、上記バネ手段の付勢力に抗して上記開口部を塞いで上記固定接点間を短絡し、
上記分岐流路内の圧力が所定値よりも低い圧力であるときには、上記バネ手段の付勢力にて上記開口部から離れた位置に保持されて上記固定接点間を開放する。
【００１８】
上記第２の発明にも、上記検出弁に対する上記バネ手段の付勢力を調整可能とする態様が含まれ、その構成として、上記シリンダ室の上記開口部とは反対側の底壁には、上記開口部に向けて進退可能な調整ネジが設けられており、上記バネ手段が圧縮コイルバネで、上記圧縮コイルバネが上記検出弁と上記調整ネジとの間に設けられ、上記調整ネジにより上記検出弁に対する上記圧縮コイルバネの付勢力が調整可能されることが好ましい。
【００１９】
上記第２の発明において、上記分岐流路は、その上流側から下流側に至るにしたがって内径が漸次小さくなるように形成されていることが好ましい。
【００２０】
上記第２の発明において、上記第２流路は、その一部分に上記第２流路の内圧を高めるための小径部を備えていることが好ましい。
【００２１】
上記第１および第２の発明は、上記流体供給源が圧縮空気供給源であり、上記利用機器がイオンを発生するイオナイザであるイオナイザシステムに好ましく適用される。
【発明の効果】
【００２２】
本願の第１の発明によれば、ハウジング内に、上流側の第１流路からの流体の流れに伴って圧力が低下するベルヌーイの定理による拡散室を設けるとともに、ハウジングの側壁に拡散室内の圧力低下に伴ってハウジング内に外部より空気が吸入される開口部を形成し、流体有無の検出手段として、拡散室内の圧力に応じて開口部を開閉する金属製の検出弁と、開口部の周りに配置され検出弁を可動接点とする一対の固定接点とを含み、固定接点から得られるオン，オフ信号に基づいて、流路内に予め設定された流量の流体が流れているか否かを検出するようにしたことにより、流路内に予め設定された設定流量の流体が流れているか否かだけを検出することができるようにした構成が簡単かつ安価な流体センサを提供することができる。
【００２３】
また、本願の第２の発明によれば、ハウジング内に、上流側の第１流路および下流側の第２流路を含む主流路と、主流路の第１流路側から分岐された分岐流路と、分岐流路の下流側で開口部を介して分岐流路に連通し一部分に流体を上記ハウジング外に逃す吐出口を有するシリンダ室とを設け、流体有無の検出手段として、分岐流路内の圧力に応じて開口部を開閉する金属製の検出弁と、開口部の周りに配置され検出弁を可動接点とする一対の固定接点とを含み、固定接点から得られるオン，オフ信号に基づいて、流路内に予め設定された流量の流体が流れているか否かを検出するようにしたことにより、第１の発明と同様に、流路内に予め設定された設定流量の流体が流れているか否かだけを検出することができるようにした構成が簡単かつ安価な流体センサを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の第１実施形態に係る流体センサを模式的に示す断面図。
【図２】上記第１実施形態の変形態様を示す要部拡大断面図。
【図３】本発明の第２実施形態に係る流体センサを模式的に示す断面図。
【図４】上記第２実施形態の変形態様を示す要部拡大断面図。
【図５】流体センサを備える除電用イオナイザシステムの一例を示すブロック線図。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
次に、図１ないし図４により、本発明のいくつかの実施形態について説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
【００２６】
図１に示すように、本発明の第１実施形態に係る流体センサ１０Ａは、内部に流体が流れるハウジング１１と、ハウジング１１に予め設定された設定流量の流体が流れているか否かを検出する検出手段５０とを備えている。この実施形態において、流体センサ１０Ａは、先の図５で説明した除電用イオナイザシステムに適用され、ハウジング１１内を流れる流体は気体（ブローエア）である。
【００２７】
ハウジング１１は、両端壁を有する筒状体、好ましくは四角筒状体で金属製，合成樹脂製のいずれであってもよい。ハウジング１１の一方（図１において左側）の端壁１１ａには流入ポート２１が形成され、他方（図１において右側）の端壁１１ｂには流出ポート３１が形成されている。
【００２８】
流入ポート２１は、電磁弁４（図５参照）を介して流体供給源としての例えばエアコンプレッサ等に接続され、流出ポート３１は利用機器側であるイオナイザ１（図５参照）に接続される。
【００２９】
ハウジング１１内において、流入ポート２１には、上流側の第１流路としての好ましくは細径とされたノズル２２が連設されており、また、流出ポート３１には、下流側の第２流路として排気管３２が連設されている。
【００３０】
この第１実施形態において、上流側のノズル２２（第１流路）と、下流側の排気管３２（第２流路）との間には、ノズル２２からの流体の流れに伴って圧力が低下するベルヌーイの定理による拡散室４０が設けられている。拡散室４０における圧力低下を促進させるため、排気管３２のノズル２２と対向する側には漏斗状に形成されたディフューザ３２ａを備えている。この構成は、圧縮空気を利用して真空（負圧）を発生させるエジェクタと呼ばれる真空発生機器と類似している。
【００３１】
この第１実施形態では、検出手段５０は、拡散室４０内の圧力に基づいてハウジング１１内にあらかじめ設定された設定流量の流体が流れているかどうかを検出する。
【００３２】
そのため、ハウジング１１の上壁１１ｃには、拡散室４０に対応した位置で、拡散室４０内の圧力低下に伴ってハウジング１１内に外部より空気（外気）が吸入される開口部１２が形成されている。
【００３３】
検出手段５０は、金属製の検出弁５１と、この検出弁５１を可動接点とする一対の固定接点５２ａ，５２ｂとを備える。検出弁５１は、バネ手段５４により支持された状態で、開口部１２の外側（ハウジング１１の外側）に配置される。
【００３４】
この第１実施形態において、バネ手段５４には、圧縮コイルバネ５４ａが用いられている。圧縮コイルバネ５４ａは拡散室４０内にあって、その一端（図１において下端）はハウジング１１の底壁１１ｄに接触し、他端（図１において上端）は開口部１２を介して検出弁５１に連結されている。
【００３５】
したがって、検出弁５１は、圧縮コイルバネ５４ａにより開口部１２から離れる方向に付勢されるが、ハウジング１１の上壁１１ｃには、検出弁５１の上限位置を規制するための弁押さえ５６が設けられている。
【００３６】
この第１実施形態によると、検出弁５１に対する圧縮コイルバネ５４ａの付勢力を調整可能とするため、ハウジング１１の底壁１１ｄに拡散室４０内に向けて進退可能な調整ネジ５５が設けられ、この調整ネジ５５に圧縮コイルバネ５４ａの一端（下端）が連結されている。したがって、調整ネジ５５を進退させることにより、閾値としての設定流量を適宜決めることができる。
【００３７】
固定接点５２ａ，５２ｂは、検出弁５１と接触し得るように開口部１２の周りに配置されている。この実施形態において、固定接点５２ａ，５２ｂは、１８０゜の間隔をもって互いに対向するように開口部１２の内周面側に配置されているが、ハウジング１１が金属製である場合には、電気絶縁部材を介して開口部１２に取り付けられる。なお、固定接点５２ａ，５２ｂは、図５で説明した除電用イオナイザシステムのコントローラ６に接続される。
【００３８】
次に、この第１実施形態に係る流体センサ１０Ａの動作について説明する。図５の電磁弁４が開かれ、図示しない流体供給源としての例えばエアコンプレッサから流体センサ１０Ａに設定流量以上のブローエアが供給されている状態では、そのブローエアがディフューザ３２ａを通過するとき、ベルヌーイの定理により拡散室４０内の圧力が所定値以下にまで下げられる。
【００３９】
この拡散室４０内の圧力低下（減圧）により、開口部１２からハウジング１１内に外気が吸引され、その吸気による圧力が圧縮コイルバネ５４ａの付勢力を上回ると、開口部１２が検出弁５１にて塞がれる。
【００４０】
これにより、検出弁５１を介して固定接点５２ａ，５２ｂ間が導通（短絡）し、そのオン信号が上記コントローラ６に送られ、上記コントローラ６は、設定流量以上のブローエア有りと判断し、イオナイザ１の運転を継続させる。
【００４１】
これに対して、電磁弁４が閉じられ、もしくはエアコンプレッサの運転停止等により、ブローエアの供給が途絶えるか、もしくはその流量が設定流量を下回ると、拡散室５０内の圧力が、大気圧とほぼ等しい常圧もしくはその近辺にまで高められるため、検出弁５１は圧縮コイルバネ５４ａの付勢力にて開口部１２から離れた状態に保持される。
【００４２】
これにより、固定接点５２ａ，５２ｂ間が開放され、そのオフ信号が上記コントローラ６に送られ、上記コントローラ６は、設定流量以上のブローエア無しと判断し、イオナイザ１の運転を停止させる。
【００４３】
上記第１実施形態では、検出弁５１を開口部１２の外側に配置しているが、図２の変形態様に示すように、検出弁５１を開口部１２の内側に配置してもよい。この変形態様によれば、検出信号のオン，オフの出方が上記第１実施形態とは逆になる。
【００４４】
すなわち、流体センサ１０Ａに設定流量以上のブローエアが供給され、拡散室４０内の圧力が所定値以下にまで低下（減圧）すると、圧縮コイルバネ５４ａの付勢力に抗して検出弁５１が開かれることから、固定接点５２ａ，５２ｂ間が開放され、そのオフ信号が上記コントローラ６に送られ、上記コントローラ６は、設定流量以上のブローエア有りと判断し、イオナイザ１の運転を継続させる。
【００４５】
これに対して、流体センサ１０Ａに対するブローエアの供給が途絶えるか、もしくはその流量が設定流量を下回ると、拡散室５０内の圧力が、大気圧とほぼ等しい常圧もしくはその近辺にまで高められるため、検出弁５１は圧縮コイルバネ５４ａの付勢力にて開口部１２を塞ぐ。
【００４６】
これにより、検出弁５１を介して固定接点５２ａ，５２ｂ間が導通（短絡）し、そのオン信号が上記コントローラ６に送られ、上記コントローラ６は、設定流量以上のブローエア無しと判断し、イオナイザ１の運転を停止させる。
【００４７】
このように、設定流量以上のブローエアが有る場合、上記第１実施形態ではオン信号が出力されるのに対し、図２の上記変形態様ではオフ信号が出力され、設定流量以上のブローエアが無い場合、上記第１実施形態ではオフ信号が出力されるのに対し、図２の上記変形態様ではオン信号が出力される。
【００４８】
次に、図３を参照して、本発明の第２実施形態について説明する。この第２実施形態に係る流体センサ１０Ｂにおいても、内部に流体が流れるハウジング１１と、ハウジング１１に予め設定された設定流量の流体が流れているか否かを検出する検出手段１５０とを備えている。この実施形態に係る流体センサ１０Ｂも、先の図５で説明した除電用イオナイザシステムに適用され、ハウジング１１内を流れる流体は気体（ブローエア）である。
【００４９】
ハウジング１１は、両端壁を有する筒状体、好ましくは四角筒状体で金属製，合成樹脂製のいずれであってもよい。ハウジング１１の一方（図３において左側）の端壁１１ａには流入ポート１１１が形成され、他方（図３において右側）の端壁１１ｂには流出ポート１１２が形成されている。
【００５０】
流入ポート１１１は、電磁弁４（図５参照）を介して流体供給源としての例えばエアコンプレッサ等に接続され、流出ポート１１２は利用機器側であるイオナイザ１（図５参照）に接続される。
【００５１】
ハウジング１１内には、流入ポート１１１から流出ポート１１２にかけて連通するように形成された上流側の第１流路１２１および下流側の第２流路１２２を含む主流路１２０が設けられている。
【００５２】
この場合、第２流路１２２の一部分に縮径部１２３を形成して、主流路１２０内のうちの第１流路１２１側の内圧を高めることが好ましい。
【００５３】
また、ハウジング１１内には、主流路１２０の第１流路１２１側から分岐された分岐流路１３０と、分岐流路１３０の下流側で開口部１３１を介して分岐流路１３０に連通するシリンダ室１４０とが設けられている。
【００５４】
なお、この第２実施形態において、シリンダ室１４０はハウジング１１の上壁１１ｃ側に配置されているが、その配置箇所は側壁（図３において、紙面手前側もしくは奥側の側壁）もしくは底壁１１ｄ側であってもよい。
【００５５】
この第２実施形態において、検出手段１５０は、バネ手段１５３に支持された状態でシリンダ室１４０内に配置され、分岐流路１３０内の圧力に応じて開口部１３１を開閉する金属製の検出弁１５２と、検出弁１５２を可動接点として開口部１３１の周りに配置された一対の固定接点１５１ａ，１５１ｂとを備える。
【００５６】
固定接点１５１ａ，１５１ｂは、図５で説明した除電用イオナイザシステムのコントローラ６に接続される。なお、ハウジング１１が金属製である場合、固定接点１５１ａ，１５１ｂは、電気絶縁部材を介して開口部１３１に取り付けられる。
【００５７】
バネ手段１５３は、上記第１実施形態と同じく圧縮コイルバネ１５３ａからなり、検出弁１５２とシリンダ室１４０の反開口部１３１側の底壁との間に介装され、検出弁１５２を開口部１３１に向けて付勢する。
【００５８】
この第２実施形態においても、検出弁１５２に対する圧縮コイルバネ１５３ａの付勢力を調整可能とするため、シリンダ室１４０の底壁にシリンダ室１４０内に向けて進退可能な調整ネジ１５４が設けられている。これにより、上記第１実施形態と同じく、閾値としての設定流量を適宜決めることができる。
【００５９】
なお、シリンダ室１４０には、開口部１３１から流入した流体（ブローエア）をハウジング１１の外部に逃す吐出口１４１が形成されている。また、検出感度を高めるうえで、分岐流路１３０の内径をその上流側から下流側にかけて漸次縮径し、開口部１３１側での圧力を高めることが好ましい。
【００６０】
次に、この第２実施形態に係る流体センサ１０Ｂの動作について説明する。図５の電磁弁４が開かれ、図示しない流体供給源としての例えばエアコンプレッサから流体センサ１０Ｂに設定流量以上のブローエアが供給されている状態では、そのブローエアの一部分が分岐流路１３０に流れ、その圧力より検出弁１５２が圧縮コイルバネ１５３ａの付勢力に抗して後退する。
【００６１】
これにより、固定接点１５１ａ，１５１ｂ間が開放され、そのオフ信号が上記コントローラ６に送られ、上記コントローラ６は、設定流量以上のブローエア有りと判断し、イオナイザ１の運転を継続させる。
【００６２】
これに対して、電磁弁４が閉じられ、もしくはエアコンプレッサの運転停止等により、ブローエアの供給が途絶えるか、もしくはその流量が設定流量を下回ると、分岐流路１３０内の圧力が、大気圧とほぼ等しい常圧もしくはその近辺にまで低下するため、検出弁１５２は圧縮コイルバネ１５３ａの付勢力にて開口部１３１に向けて移動する。
【００６３】
これにより、検出弁１５２を介して固定接点１５１ａ，１５１ｂ間が導通（短絡）し、そのオン信号が上記コントローラ６に送られ、上記コントローラ６は、設定流量以上のブローエア無しと判断し、イオナイザ１の運転を停止させる。
【００６４】
なお、第２実施形態の場合、シリンダ室１４０の吐出口１４１からブローエア（利用機器側で使用される流体）の一部が放出されるが、使用流体の全量から見れば僅かであるため、流体損失はほとんどないと言ってよい。
【００６５】
上記第２実施形態では、検出弁１５２をシリンダ室１４０内に配置しているが、図４の変形態様に示すように、検出弁１５２を圧縮コイルバネ１５３ａに支持された状態で分岐流路１３０内に配置してもよい。この変形態様によれば、検出信号のオン，オフの出方が上記第２実施形態とは逆になる。
【００６６】
すなわち、流体センサ１０Ｂに設定流量以上のブローエアが供給されている場合、そのブローエアの一部分が分岐流路１３０に流れ、その圧力より検出弁１５２が圧縮コイルバネ１５３ａの付勢力に抗して図４に示す位置から右側に向けて後退する。
【００６７】
これにより、検出弁１５２を介して固定接点１５１ａ，１５１ｂ間が導通（短絡）し、そのオン信号が上記コントローラ６に送られ、上記コントローラ６は、設定流量以上のブローエア有りと判断し、イオナイザ１の運転を継続させる。
【００６８】
これに対して、流体センサ１０Ｂに対するブローエアの供給が途絶えるか、もしくはその流量が設定流量を下回ると、分岐流路１３０内の圧力が、大気圧とほぼ等しい常圧もしくはその近辺にまで低下するため、検出弁５１は圧縮コイルバネ５４ａの付勢力にて開口部１３１から離れた図４に示す位置に保持される。
【００６９】
これにより、固定接点５２ａ，５２ｂ間が開放され、そのオフ信号が上記コントローラ６に送られ、上記コントローラ６は、設定流量以上のブローエア無しと判断し、イオナイザ１の運転を停止させる。
【００７０】
このように、設定流量以上のブローエアが有る場合、上記第２実施形態ではオフ信号が出力されるのに対し、図４の上記変形態様ではオン信号が出力され、設定流量以上のブローエアが無い場合、上記第２実施形態ではオン信号が出力されるのに対し、図４の上記変形態様ではオフ信号が出力される。
【００７１】
以上説明したように、図１に示す上記第１実施形態および図２に示すその変形態様を含む流体センサ１０Ａ、図３に示す上記第２実施形態および図４に示すその変形態様を含む流体センサ１０Ｂのいずれも構成が簡素であることから、イオナイザ１等の利用機器自体に組み込むことも可能である。
【００７２】
また、検出弁５１，１５２に対するバネ手段５４，１５３の付勢力も、調整ネジ５５，１５４にて調整することができるため、ユーザー側にて例えばイオナイザ１における保証最低流量を適宜設定することができる、等の利点がある。
【符号の説明】
【００７３】
１０Ａ，１０Ｂ  流体センサ
１１  ハウジング
２１，１１１  流入ポート
３１，１１２  流出ポート
１２，１３１  開口部
２２，１２１  第１流路
３２，１２２  第２流路
４０  拡散室
５０，１５０  検出手段
５１，１５２  検出弁
５１ａ，５１ｂ，１５１ａ，１５１ｂ  固定接点
５４，１５３  バネ手段
５４ａ，１５３ａ  圧縮コイルバネ
５５，１５４  調整ネジ
１２０  主流路
１３０  分岐流路
１４０  シリンダ室
１４１  吐出口
【図１】
2014092503.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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