(57)【要約】【課題】省スペース化を図ることができる研削装置のチャックテーブル機構を提供すること。【解決手段】研削装置のチャックテーブル機構５はチャックテーブル７と駆動手段７３とカップリング２７とを備えている。チャックテーブル７は保持面２１、回転軸連結面２４、前記保持面２１と前記回転軸連結面２４とに連通する流体経路２５を有する。カップリング２７は駆動手段７３の回転軸に沿った中央に貫通孔３６が形成され、回転軸連結面２４と駆動手段７３の駆動軸７８とに接続される。貫通孔３６には回転軸連結面２４において流体経路２５と接続される流体連通経路６６が配設されている。【選択図】図２
2014061565.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状の被加工物を吸引保持する保持面を有し前記保持面と直交する回転軸で回転可能に構成される研削装置のチャックテーブル機構であって、
上面に配設された保持面と、前記保持面と反対面のうち前記回転軸付近に配設された回転軸連結面と、前記保持面と前記回転軸連結面とに連通する流体経路と、を有するチャックテーブルと、
回転駆動源であるモータと、前記モータに装着される駆動プーリと、前記駆動プーリとともに無端ベルトに巻回され回転する駆動軸と、からなる駆動手段と、
前記チャックテーブルの前記回転軸連結面と前記駆動手段の前記駆動軸とに接続され、前記駆動手段の回転力を前記チャックテーブルに伝達するカップリングと、を含んで構成され、
前記カップリングは、前記回転軸に沿った中央に貫通孔が形成され、
前記チャックテーブルの前記流体経路に前記回転軸連結面において接続される流体連通経路が前記カップリングの前記貫通孔内に配設されている研削装置のチャックテーブル機構。
【請求項２】
前記カップリングは、
両端にフランジを有する管状部材と、
中央に開口を有し、両端の前記フランジのそれぞれに固定される板バネと、
中央に開口を有し、前記板バネのうち一方の板バネと前記回転軸連結面とに固定されるチャックテーブル側固定部材と、
中央に開口を有し、前記板バネのうち他方の板バネと前記駆動軸とに固定される駆動側固定部材と、からなり、
前記チャックテーブル側固定部材、前記駆動側固定部材および前記板バネのそれぞれの中央の開口と前記管状部材の中央の貫通孔とに前記流体連通経路が配設されている、請求項１記載の研削装置のチャックテーブル機構。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、板状の被加工物を研削加工するための研削装置のチャックテーブル機構に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイス製造工程での半導体ウェーハ、光デバイス製造工程での光デバイスウェーハ等の被加工物は、個々の製品やチップに分割される前に薄化されており、その薄化には、被加工物の裏面に研削砥石を回転させながら当接させて研削するグラインダーと呼ばれる研削装置が多く利用されている。被加工物としては、ＩＣ、ＬＳＩ等のデバイスが表面に形成されたシリコン、ヒ化ガリウム（ＧａＡｓ）、サファイア、炭化ケイ素（ＳｉＣ）等の基板などが多い。
【０００３】
この種の研削装置は、被加工物を吸引保持するチャックテーブルを備えており、チャックテーブルは、被加工物を保持する保持面と、保持面に負圧を作用させる流体経路と、保持面から流体（液体等）を噴出させる供給経路とを有している。また、チャックテーブルは、研削時にチャックテーブルを高速で回転させるため、駆動源であるモータに装着されたプーリとチャックテーブルの回転軸部にカップリングを介して接続されたプーリとを無端ベルトで繋ぎ、モータの回転力のみを回転軸部に伝えてチャックテーブルを高速で回転させるチャックテーブル回転機構を備えている（例えば、特許文献１または特許文献２参照）。
【０００４】
また、研削装置は、チャックテーブルの他に、チャックテーブル上の被加工物を研削加工する研削手段と、保持面上の被加工物を吸引する吸引手段と、被加工物を洗浄する洗浄手段と、被加工物を搬送する搬送手段と、その他の手段（機構）とを多数搭載していることから、大型化している。また、研削装置は、通常はクリーンルーム内に設置されることから、大型化した研削装置が設置されるクリーンルームの容積が大容量化し、クリーンルーム内のクリーン度を維持するために多大なコストが掛かるので、研削装置の省スペース化（小型化）が要望されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００９−０１２１１０号公報
【特許文献２】特開２０１０−１６２６６５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、チャックテーブル回転機構を備えた研削装置は、チャックテーブルに形成された流体経路および供給経路がカップリングを避けて配設されていることから、流体経路と負圧源とを連通させるための連通路および供給経路と流体供給源とを連通させるための連通路がカップリングを避けてチャックテーブルの外部に配設されるので、連通路を設置するための設置スペース、連通路の設置作業のための作業スペースが必要となり、省スペース化には限度がある。
【０００７】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、省スペース化を図ることができる研削装置のチャックテーブル機構を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の研削装置のチャックテーブル機構は、板状の被加工物を吸引保持する保持面を有し前記保持面と直交する回転軸で回転可能に構成される研削装置のチャックテーブル機構であって、上面に配設された保持面と、前記保持面と反対面のうち前記回転軸付近に配設された回転軸連結面と、前記保持面と前記回転軸連結面とに連通する流体経路と、を有するチャックテーブルと、回転駆動源であるモータと、前記モータに装着される駆動プーリと、前記駆動プーリとともに無端ベルトに巻回され回転する駆動軸と、からなる駆動手段と、前記チャックテーブルの前記回転軸連結面と前記駆動手段の前記駆動軸とに接続され、前記駆動手段の回転力を前記チャックテーブルに伝達するカップリングと、を含んで構成され、前記カップリングは、前記回転軸に沿った中央に貫通孔が形成され、前記チャックテーブルの前記流体経路に前記回転軸連結面において接続される流体連通経路が前記カップリングの前記貫通孔内に配設されていることを特徴とする。
【０００９】
また、本発明の研削装置のチャックテーブル機構は、上記発明において、前記カップリングは、両端にフランジを有する管状部材と、中央に開口を有し、両端の前記フランジのそれぞれに固定される板バネと、中央に開口を有し、前記板バネのうち一方の板バネと前記回転軸連結面とに固定されるチャックテーブル側固定部材と、中央に開口を有し、前記板バネのうち他方の板バネと前記駆動軸とに固定される駆動側固定部材と、からなり、前記チャックテーブル側固定部材、前記駆動側固定部材および前記板バネのそれぞれの中央の開口と前記管状部材の中央の貫通孔とに前記流体連通経路が配設されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の研削装置のチャックテーブル機構によれば、カップリングの貫通孔内にチャックテーブルの流体経路に接続される流体連通経路を配設しているので、チャックテーブルの流体経路と流体連通経路とがカップリングを介して連通することができ、研削装置の省スペース化を図ることができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】図１は、実施形態に係る研削装置の全体の構成例を示す図である。
【図２】図２は、実施形態に係る研削装置のチャックテーブル機構の構成例を示す図である。
【図３】図３は、実施形態に係るカップリングの分解斜視図である。
【図４】図４は、実施形態に係る研削装置のチャックテーブル機構の要部拡大断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換または変更を行うことができる。
【００１３】
〔実施形態〕
図１は、実施形態に係る研削装置の全体の構成例を示す図である。図２は、実施形態に係る研削装置のチャックテーブル機構の構成例を示す図である。図３は、実施形態に係るカップリングの分解斜視図である。図４は、実施形態に係る研削装置のチャックテーブル機構の要部拡大断面図である。
【００１４】
図１に示す実施形態に係る研削装置１は、被加工物の表面を被保持面としてチャックテーブル７に保持した状態で、被加工物の裏面を被研削面として研削加工するためのものである。
【００１５】
ここで、被加工物は、研削加工される加工対象であり、特に限定されないが、例えば、シリコン、ヒ化ガリウム（ＧａＡｓ）等を母材とする円板状の半導体ウェーハや光デバイスウェーハ、セラミック、ガラス、サファイア（Ａｌ２Ｏ３）系の円板状の無機材料基板、金属や樹脂等の円板状の延性材料、さらには、ミクロンオーダーからサブミクロンオーダーまでの平坦度（ＴＴＶ：total thickness variation：被加工物の被研削面を基準面として厚み方向に測定した高さの被研削面の全面における最大値と最小値の差）が要求される各種加工材料である。
【００１６】
研削装置１は、図１に示すように、ハウジング２と、研削手段３，４と、チャックテーブル機構５と、カセット８と、位置決め手段９と、搬入手段１０と、搬出手段１１と、洗浄手段１２と、搬出入手段１３とを含んで構成されている。
【００１７】
研削手段３は、回転軸３ａと、研削砥石３ｂと、研削ホイール３ｃと、モータ３ｄと、昇降送り手段１４とを備えている。回転軸３ａは、後述するチャックテーブル７の保持面２１に対して直交している。研削ホイール３ｃは、研削砥石３ｂを有し、回転軸３ａの下端に着脱自在に装着され、モータ３ｄにより回転駆動される。昇降送り手段１４は、チャックテーブル７上の被加工物の被研削面（裏面）に対して研削送り可能に構成されている。また、昇降送り手段１４は、研削ホイール３ｃをモータ３ｄにより回転させながら、保持面２１に保持された被加工物の被研削面に研削砥石３ｂを押圧させることによって、被研削面に対して研削加工（例えば、粗研削）を施す。研削手段４も同様に、回転軸４ａと、研削砥石４ｂと、研削ホイール４ｃと、モータ４ｄと、昇降送り手段１５とを備えている。回転軸４ａは、チャックテーブル７の保持面２１に対して直交している。研削ホイール４ｃは、研削砥石４ｂを有し、回転軸４ａの下端に着脱自在に装着され、モータ４ｄにより回転駆動される。昇降送り手段１５は、チャックテーブル７上の被加工物の被研削面に対して研削送り可能に構成されている。また、昇降送り手段１５は、研削ホイール４ｃをモータ４ｄにより回転させながら、保持面２１に保持された被加工物の被研削面に研削砥石４ｂを押圧させることによって、被研削面に対して研削加工（例えば、仕上げ研削）を施す。
【００１８】
カセット８は、複数のスロットを有する被加工物の収容器である。一方のカセット８ａは、研削加工前の被加工物を収容し、他方のカセット８ｂは、研削加工後の被加工物を収容する。
【００１９】
位置決め手段９は、一方のカセット８ａから取り出された被加工物を仮置きし、被加工物の中心位置の位置決めを行うためのテーブルである。
【００２０】
搬入手段１０は、鉛直方向への昇降および自身の基端部を通過する鉛直線を中心軸として回転を自在に行う搬送アーム１０ａ、搬送アーム１０ａの先端に取り付けられ、被加工物を吸着保持する吸着パッド１０ｂを備えている。搬入手段１０は、位置決め手段９で位置決めされた研削加工前の被加工物の被吸着面（裏面）を吸着保持し、搬出入位置にあるチャックテーブル７ａの保持面２１に被加工物を搬入する。搬出手段１１も同様に、鉛直方向への昇降および自身の基端部を通過する鉛直線を中心軸として回転を自在に行う搬送アーム１１ａ、搬送アーム１１ａの先端に取り付けられ、被加工物を吸着保持する吸着パッド１１ｂを備えている。搬出手段１１は、搬出入位置にあるチャックテーブル７ａの保持面２１上の研削加工後の被加工物を吸着保持し、洗浄手段１２に被加工物を搬出する。
【００２１】
洗浄手段１２は、研削加工後の被加工物を洗浄し、研削された被研削面に付着している研削屑等のコンタミネーションを除去する。
【００２２】
搬出入手段１３は、例えば、Ｕ字型ハンドを備えるロボットアーム１３ａであり、ロボットアーム１３ａによって被加工物の被研削面を吸着保持して搬送する。具体的には、搬出入手段１３は、研削加工前の被加工物をカセット８ａから位置決め手段９へ搬出し、研削加工後の被加工物を洗浄手段１２からカセット８ｂへ搬入する。
【００２３】
ここで、実施形態に係るチャックテーブル機構５について説明する。チャックテーブル機構５は、図１および図２に示すように、ターンテーブル６上に配設されたチャックテーブル７と、カップリング２７と、駆動手段７３とを備え、ターンテーブル６は、ハウジング２の上面に対して平行である水平面内で回転可能に設けられている。また、ターンテーブル６は、図示しない回転駆動源により適宜タイミングで回転駆動され、チャックテーブル７を研削手段３による研削位置（図１中のチャックテーブル７ｂの位置）、研削手段４による研削位置（図１中のチャックテーブル７ｃの位置）、搬出入位置（図１中のチャックテーブル７ａの位置）に順次移動させる。
【００２４】
チャックテーブル７は、本実施形態においては、ターンテーブル６上に三つ配設され、例えば、１２０度の位相角で等間隔に配設されている。チャックテーブル７は、研削加工時には、駆動手段７３により水平面内で回転駆動される。また、チャックテーブル７は、図２に示すように、保持面２１と、回転軸連結面２４と、流体経路２５とを有し、小径部１８と大径部１９と可動エアベアリング部２０とが同心状に配設された円板状に形成されている。
【００２５】
保持面２１は、ポーラスセラミック等から平坦に形成され、小径部１８の外周縁部１８ａの上面と面一となっており、保持面２１が被加工物を吸着して保持するように構成されている。小径部１８は、外周縁部１８ａを残して円形状に形成された嵌入凹部１８ｂが同心状に配設され、嵌入凹部１８ｂには、保持面２１を有する円盤形状の多孔質部材が嵌合されている。可動エアベアリング部２０は、反対面２２のうち回転軸付近に位置する凹部２３と、外周面に配設された周溝８５とを有している。また、可動エアベアリング部２０は、固定エアベアリング部８６により回転可能に支持されており、固定エアベアリング部８６は、厚さ寸法が周溝８５の幅よりも僅かに小さいプレート状に形成されている。固定エアベアリング部８６は、孔径の寸法が周溝８５の径よりも僅かに大きい開口部８６ａを有し、開口部８６ａは、周溝８５との間にエア層８７を形成するように構成されている。開口部８６ａ近傍の固定エアベアリング部８６の上下の面には、空気を噴出する図示しないエア噴出口が多数配設されており、多数のエア噴出口から空気が高圧で噴出されることにより、開口部８６ａの周縁と周溝８５との間にエア層８７が形成される。エア層８７は、図２に示すように、開口部８６ａの周縁が周溝８５に挿入されて係合した状態で、可動エアベアリング部２０を回転可能に水平に支持する。凹部２３は、カップリング２７の全体を収容する深さに設定されている。
【００２６】
回転軸連結面２４は、保持面２１に対して反対側であり、かつ、可動エアベアリング部２０の底面となる反対面２２のうち回転軸（従動プーリ７９を一体に形成した駆動軸７８とカップリング２７とが同軸上で連結されて構成される回転軸）付近に位置する。回転軸連結面２４は、後述するカップリング２７を接続し、カップリング２７を介して駆動軸７８と連結する。
【００２７】
流体経路２５は、保持面２１と回転軸連結面２４とに連通している。供給経路２５は、本実施形態においては、例えば、保持面２１から流体（液体等）を噴出させるための供給経路２５ａと、保持面２１に負圧を作用させるための吸引経路２５ｂとを有している。供給経路２５ａの下端には、図４に示すように、後述するカップリング２７の供給経路管６６ａの上端の縁端面と圧接して液密にシールするシール部材７１が配設されている。吸引経路２５ｂの下端には、カップリング２７の流体経路管６６ｂの上端の縁端面と圧接して気密にシールするシール部材７１が配設されている。シール部材７１としては、例えば、Ｏリング等のシール可能な部材が用いられている。
【００２８】
カップリング２７は、図２および図３に示すように、管状部材２８と、板バネ２９と、チャックテーブル側固定部材３０と、駆動側固定部材３１と、流体連通経路部材３２とを備えている。
【００２９】
管状部材２８は、図３に示すように、中空筒状に形成された管状部３３と、管状部３３の上端に形成された一方のフランジ３４ａと、管状部３３の下端に形成された他方のフランジ３４ｂとを有している。管状部３３は、流体連通経路部材３２の継手部６７の外径よりも大きい径、かつ、流体連通経路部材３２の流体連通経路固定板６５の外径よりも小さい径で外周面が形成されている。一方のフランジ３４ａおよび他方のフランジ３４ｂは、流体連通経路部材３２の流体連通経路固定板６５の外径と同じ径を有する円板状に形成されている。管状部３３、一方のフランジ３４ａおよび他方のフランジ３４ｂには、流体連通経路部材３２の継手部６７の外径よりも僅かに大きい径の貫通孔３６が回転軸に沿って貫通形成されている。一方のフランジ３４ａは、貫通孔３６から所定の距離をあけて、１８０度の位相角で等間隔に配設された二つの貫通孔３７ａが貫通形成されている。他方のフランジ３４ｂは、貫通孔３６から所定の間隔をあけて、１８０度の位相角で等間隔に配設された二つの貫通孔３７ｂが貫通形成されている。各貫通孔３７ａおよび各貫通孔３７ｂは、互いに９０度の位相角で配設されている。貫通孔３７ａは、ネジ穴９２ａの頭部を挿入可能な大径部と、ネジ穴９２ａの軸部を挿通可能な小径部とを有し、ネジ９２ａが下から上に向かって挿入可能な断面凸形状に形成されている。貫通孔３７ｂは、ネジ９２ｂが上から下に向かって挿入可能な断面凸形状に形成されている。
【００３０】
板バネ２９は、一方のフランジ３４ａに固定される一方の板バネ２９ａと、他方のフランジ３４ｂに固定される他方の板バネ２９ｂとを含んで構成されている。一方の板バネ２９ａは、二つのネジ穴４１ａと、二つのネジ穴４１ｂと、開口４２とを有し、十字形状の板状に形成されている。各ネジ穴４１ａおよび各ネジ穴４１ｂのそれぞれは、一方の板バネ２９ａの四辺に配設されており、ネジ穴４１ａは、一方のフランジ３４ａの貫通孔３７ａに対応して配設され、ネジ穴４１ｂは、チャックテーブル側固定部材３０の貫通孔５４に対応して配設されている。開口４２は、流体連通経路部材３２の継手部６７の外径よりも僅かに大きい径で回転軸に沿って開口形成されている。他方の板バネ２９ｂは、二つのネジ穴４８ａと、二つのネジ穴４８ｂと、開口４９とを有し、十字形状の板状に形成されている。各ネジ穴４８ａおよび各ネジ穴４８ｂのそれぞれは、他方の板バネ２９ｂの四辺に配設されており、ネジ穴４８ａは、他方のフランジ３４ｂの貫通孔３７ｂに対応して配設され、ネジ穴４８ｂは、駆動側固定部材３１の貫通孔６０に対応して配設されている。開口４９は、流体連通経路部材３２の継手部６７の外径よりも僅かに大きい径で回転軸に沿って開口形成されている。
【００３１】
チャックテーブル側固定部材３０は、二つの貫通孔５４と、四つのネジ穴５５と、開口５６とを有し、流体連通経路部材３２の流体連通経路固定板６５の外径と同じ径を有する円板状に形成されている。貫通孔５４は、一方の板バネ２９のネジ穴４１ｂに対応して配設され、ネジ９２ｃが上から下に向かって挿入可能な断面凸形状に形成されている。ネジ穴５５は、開口５６から所定の間隔をあけて、９０度の位相角で等間隔に配設され、流体連通経路固定板６５の貫通孔６８に対応して配設されている。開口５６は、流体連通経路部材３２の継手部６７の外径よりも僅かに大きい径で回転軸に沿って開口形成されている。
【００３２】
駆動側固定部材３１は、ネジ穴５９ａと、二つの貫通孔６０と、開口６１とを有し、流体連通経路部材３２の流体連通経路固定板６５の外径と同じ径を有する円板状に形成されている。ネジ穴５９ａは、開口６１から所定の間隔をあけて配設されている。ネジ穴５９ａは、ネジ９５の軸部と螺合可能に構成されている。貫通孔６０は、他方の板バネ２９ｂのネジ穴４８ｂに対応して配設され、ネジ９２ｄが下から上に向かって挿入可能な断面凸形状に形成されている。開口６１は、流体連通経路部材３２の継手部６７の外径よりも僅かに大きい径で回転軸に沿って開口形成されている。
【００３３】
流体連通経路部材３２は、回転軸連結面２４に連結される流体連通経路固定板６５と、チャックテーブル７の流体経路２５と従動プーリ７９の流体経路７２とを連通させる流体連通経路６６と、駆動軸７８に一体に形成された従動プーリ７９に連結される継手部６７とを備えている。流体連通経路固定板６５は、四つの貫通孔６８と、四つのネジ穴６９とを有し、チャックテーブル７の凹部２３の開口の径よりも小さい径の円板状に形成されている。各貫通孔６８および各ネジ穴６９のそれぞれは、中心軸線から所定の間隔をあけて、９０度の位相角で等間隔に配設され、貫通孔６８よりも回転軸線側にネジ穴６９が配設されている。貫通孔６８は、ネジ９３が上から下に向かって挿入可能な断面凸形状に形成されている。ネジ穴６９は、ネジ９４の軸部と螺合可能に構成されている。流体連通経路６６は、供給経路管６６ａと、吸引経路管６６ｂとを含んで構成され、供給経路管６６ａおよび吸引経路管６６ｂは、中空円筒状に形成されている。供給経路管６６ａおよび吸引経路管６６ｂは、上端部分が流体連通経路固定板６５に嵌合され固定されており、上端の縁端面が流体連通経路固定板６５の上面と面一となる水平状に形成されている。供給経路管６６ａおよび吸引経路管６６ｂは、下端部分が継手部６７に嵌合され固定されており、下端の縁端面が継手部６７の下面と面一となる水平状に形成されている。供給経路管６６ａは、チャックテーブル７の供給経路２５ａ側のシール部材７１と圧接して縁端面が液密にシールされ、チャックテーブル７の供給経路２５ａと連通するように構成されているとともに、従動プーリ７９の供給経路７２ａ側のシール部材７１と圧接して縁端面が液密にシールされ、従動プーリ７９の図示しない流体供給源に接続された供給経路７２ａと連通するように構成されている。吸引経路管６６ｂは、チャックテーブル７の吸引経路２５ｂ側のシール部材７１と圧接して縁端面が気密にシールされ、チャックテーブル７の吸引経路２５ｂと連通するように構成されているとともに、吸引経路管６６ｂは、従動プーリ７９の吸引経路７２ｂ側のシール部材７１と圧接して縁端面が気密にシールされ、従動プーリ７９の図示しない負圧源に接続された吸引経路７２ｂと連通するように構成されている。継手部６７は、流体連通経路固定板６５の外径よりも小さい径を有する円板状に形成されている。
【００３４】
駆動手段７３は、図２に示すように、回転駆動源であるモータ７４と、前記モータ７４の下方に延びたピニオンの先端に装着された駆動プーリ７５と、前記駆動プーリ７５とともに無端ベルト７７に巻回され回転する駆動軸７８と、前記駆動軸７８に一体に形成された従動プーリ７９とを備えている。また、駆動手段７３は、無端ベルト７７と駆動軸７８とカップリング２７とチャックテーブル７とを介してモータ７４の回転力を順次伝達するように構成されている。
【００３５】
ここで、カップリング２７の組み立て方法の一例について説明する。図３に示すように、管状部材２８の一方のフランジ３４ａの下から上に向かってネジ９２ａを貫通孔３７ａ中にねじ込んで一方の板バネ２９ａのネジ穴４１ａと前記ネジ９２ａとを螺合させ、一方のフランジ３４ａと一方の板バネ２９ａとを連結する。次に、管状部材２８の他方のフランジ３４ｂの上から下に向かってネジ９２ｂを貫通孔３７ｂ中にねじ込んで他方の板バネ２９ｂのネジ穴４８ａと前記ネジ９２ｂとを螺合させ、他方のフランジ３４ｂと他方の板バネ２９ｂとを連結する。次に、チャックテーブル側固定部材３０の上から下に向かってネジ９２ｃを貫通孔５４中にねじ込んで一方の板バネ２９ａのネジ穴４１ｂと前記ネジ９２ｃとを螺合させ、チャックテーブル側固定部材３０と一方の板バネ２９ａとを連結する。次に、駆動側固定部材３１の下から上に向かってネジ９２ｄを貫通孔６０中にねじ込んで他方の板バネ２９ｂのネジ穴４８ｂと前記ネジ９２ｄとを螺合させ、駆動側固定部材３１と他方の板バネ２９ｂとを連結する。
【００３６】
次に、流体連通経路部材３２の流体連通経路６６および継手部６７を貫通孔３６および各開口４２，４９，５６，６１中に挿入し、流体連通経路部材３２の流体連通経路固定板６５の上から下に向かってネジ９３を貫通孔６８中にねじ込んでチャックテーブル側固定部材３０のネジ穴５５と前記ネジ９３とを螺合させ、流体連通経路固定板６５とチャックテーブル側固定部材３０とを連結する。この一連の組み立てによって、管状部材２８と板バネ２９とチャックテーブル側固定部材３０と駆動側固定部材３１と流体連通経路部材３２とを一体に連結してアッシー化したカップリング２７が形成される。
【００３７】
ここで、カップリング２７の取り付け方法の一例について説明する。図３および図４に示すように、チャックテーブル７の上から下に向かってネジ９４を貫通孔９７中にねじ込んで流体連通経路固定板６５のネジ穴６９と前記ネジ９４とを螺合させ、流体連通経路固定板６５とチャックテーブル７の回転軸連結面２４とを連結する。
【００３８】
次に、従動プーリ７９の下から上に向かってネジ９５を貫通孔９８中にねじ込んで駆動側固定部材３１のネジ穴５９ａと前記ネジ９５とを螺合させ、駆動側固定部材３１と従動プーリ７９とを連結する。この一連の取り付けによって、カップリング２７を介して、チャックテーブル７と駆動軸７８とが連結される。そして、チャックテーブル７の供給経路２５ａとカップリング２７の供給経路管６６ａとが連通するとともに、カップリング２７の供給経路管６６ａと従動プーリ７９の供給経路７２ａとが連通する。また、チャックテーブル７の吸引経路２５ｂとカップリング２７の吸引経路管６６ｂとが連通するとともに、カップリング２７の吸引経路管６６ｂと従動プーリ７９の吸引経路７２ｂとが連通する。さらに、供給経路管６６ａの縁端面がシール部材７１と圧接して該シール部材７１を圧縮変形させて水密にシールされ、吸引経路管６６ｂの縁端面がシール部材７１と圧接して該シール部材７１を圧縮変形させて気密にシールされる。
【００３９】
このように、回転軸連結面２４と駆動プーリ７９とに連結されたカップリング２７は、一方の板バネ２９ａのネジ穴４１ａに螺合するネジ９２ａの取り付け方向と、一方の板バネ２９ａのネジ穴４１ｂに螺合するネジ９２ｃの取り付け方向とが対向し、各ネジ穴４１ａ，４１ｂが互いに９０度の位相角で配設され、他方の板バネ２９ｂのネジ穴４８ａに螺合するネジ９２ｂの取り付け方向と、他方の板バネ２９ｂのネジ穴４８ｂに螺合するネジ９２ｄの取り付け方向とが対向し、各ネジ穴４８ａ，４８ｂが互いに９０度の位相角で配設されているので、各板バネ２９ａ，２９ｂ自体の撓み量を大きくすることができる。したがって、回転軸連結面２４と駆動軸７８との相対的なずれを各板バネ２９ａ，２９ｂ自体の撓みにより吸収することができ、カップリング２７は、駆動軸７８の回転力のみをチャックテーブル７に伝える機能を発揮する。
【００４０】
また、カップリング２７は、一方のフランジ３４ａの貫通孔３７ａと他方のフランジ３４ｂの貫通孔３７ｂとが互いに９０度の位相角で配設されているので、一方の板バネ２９ａの撓み量が増加するときには他方の板バネ２９ｂの撓み量を減少させ、かつ、一方の板バネ２９ａの撓み量が減少するときには他方の板バネ２９ｂの撓み量を増加させることができる。したがって、一方の板バネ２９ａおよび他方の板バネ２９ｂの撓み量の大小の変化が順次交互に行われるようになり、カップリング２７の全体としての撓み量を平均化することができ、カップリング２７は、駆動軸７８の回転力のみをチャックテーブル７に円滑に伝えることができる。
【００４１】
以上のように、実施形態に係る研削装置１のチャックテーブル機構５によれば、カップリング２７の貫通孔３６内にチャックテーブル７の流体経路２５に接続される流体連通経路６６を配設しているので、チャックテーブル７の流体経路２５と流体連通経路６６とがカップリング２７を介して連通することができ、研削装置１の省スペース化を図ることができるという効果を奏する。
【００４２】
また、カップリング２７は、回転軸に沿った中央に形成された貫通孔３６内に流体連通経路６６を配設しているので、流体連通経路６６に作用する遠心力を軽減させることができる。このため、カップリング２７は、チャックテーブル７の流体経路２５と流体連通経路６６との接続部分が遠心力によって外れる不具合の発生を抑制することができる。
【００４３】
また、カップリング２７は、管状部材２８と板バネ２９とチャックテーブル側固定部材３０と駆動側固定部材３１と流体連通経路部材３２とを互いに組み付けて一体化（アッシー化）することができるので、研削装置１の組み立て時、回転軸連結面２４と従動プーリ７９とにカップリング２７を接続させるだけで、チャックテーブル７の流体経路２５と流体連通経路６６と従動プーリ７９の流体経路７２とが連通する。このため、カップリング２７は、流体連通経路６６を繋ぎ合わせるための配管作業が不要となり、研削装置１の組み立て工数を削減することができる。
【００４４】
なお、本発明では、モータ７４の回転力が無端ベルト７７を介して駆動軸７８に伝達される駆動手段７３に限ることなく、モータ７４のピニオンと駆動軸７８とを直接接続し、モータ７４で駆動軸７８を直接駆動するようにしてもよい。
【符号の説明】
【００４５】
１  研削装置
５  チャックテーブル機構
７  チャックテーブル
２１  保持面
２２  反対面
２４  回転軸連結面
２５  流体経路
２７  カップリング
２８  管状部材
２９  板バネ
２９ａ  一方の板バネ
２９ｂ  他方の板バネ
３０  チャックテーブル側固定部材
３１  駆動側固定部材
３２  流体連通経路部材
３４  フランジ
３６  貫通孔
４２  開口
５６  開口
６１  開口
６５  流体連通経路固定板
６６  流体連通経路
７３  駆動手段
７４  モータ
７５  駆動プーリ
７７  無端ベルト
７８  駆動軸
７９  従動プーリ
【図１】
2014061565.tif 000003
【図２】
2014061565.tif 000004
【図３】
2014061565.tif 000005
【図４】
2014061565.tif 000006