(57)【要約】【課題】レーザ発振器やガルバノスキャナの交換が容易なレーザ加工装置、第１ユニット、及び第２ユニットを提供すること。【解決手段】レーザ加工装置１では、レーザ発振器１４Ｆを収容した第１ユニット１Ａの第１ボックス１１と、ガルバノスキャナ２３Ｈ及び結像光学系装置２２Ｎを収容した第２ユニット１Ｂの第１ボックス２１と、を備えている。第１ユニット１Ａの第１ボックス１１と第２ユニット１Ｂの第１ボックス２１とは、着脱自在である。そのため、レーザ発振器１４Ｆやガルバノスキャナ２３Ｈの交換が容易である。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ光を出射するレーザ発振器と、
前記レーザ発振器から出射されたレーザ光を偏向するガルバノスキャナと、
前記ガルバノスキャナに偏向されたレーザ光を加工対象物に向けて結像する結像光学系装置と、
前記レーザ発振器を収容した第１筐体と、
前記ガルバノスキャナ及び前記結像光学系装置を収容した第２筐体と、を備え、
前記第１筐体と前記第２筐体とが凹凸の嵌合を介して着脱自在であること、を特徴とするレーザ加工装置。
【請求項２】
請求項１に記載するレーザ加工装置であって、
前記第１筐体と前記第２筐体との相対的な位置を固定するために嵌合する位置決め部材を前記第１筐体及び前記第２筐体に設けたこと、を特徴とするレーザ加工装置。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載するレーザ加工装置であって、
第１孔が、前記第１筐体に形成され、
第２孔が、前記第２筐体に形成され、
前記第１孔は、前記レーザ発振器から前記ガルバノスキャナに向けて出射されたレーザ光の光軸上に形成され、
前記第２孔は、前記第１筐体と前記第２筐体とが装着された際に、前記レーザ発振器から前記ガルバノスキャナに向けて出射されたレーザ光の光軸上に形成され、
前記第１筐体と前記第２筐体とが前記第１孔と前記第２孔とを連接させて装着された際に前記第１筐体及び前記第２筐体を密閉させる密閉部材と、を備えたこと、を特徴とするレーザ加工装置。
【請求項４】
請求項３に記載するレーザ加工装置であって、
前記密閉部材は、前記第１筐体と前記第２筐体とが装着されたときに連接する前記第１孔と前記第２孔とを囲む弾性部材であること、を特徴とするレーザ加工装置。
【請求項５】
請求項３に記載するレーザ加工装置であって、
前記密閉部材は、前記第１孔を塞ぎ、レーザ光を透過する第１透過部と、前記第２孔を塞ぎ、レーザ光を透過する第２透過部と、であること、を特徴とするレーザ加工装置。
【請求項６】
請求項３に記載するレーザ加工装置であって、
前記密閉部材は、前記第１筐体と前記第２筐体とが装着されたときに連接する前記第１孔及び前記第２孔を開放する一方で、前記第１筐体と前記第２筐体とを外したときに離間する前記第１孔又は前記第２孔を閉塞する蓋機構であること、を特徴とするレーザ加工装置。
【請求項７】
請求項１乃至請求項６のいずれか一つに記載するレーザ加工装置であって、
前記第１筐体を複数種類の前記レーザ発振器が一つずつ収容された複数の筐体とし、
前記複数の筐体同士が同一に形成されること、を特徴とするレーザ加工装置。
【請求項８】
レーザ光を偏向するガルバノスキャナと、前記ガルバノスキャナに偏向されたレーザ光を加工対象物に向けて結像する結像光学系装置と、前記ガルバノスキャナ及び前記結像光学系装置を収容した第２筐体と、を含む第２ユニットと着脱自在であり、
レーザ光を出射するレーザ発振器と、前記レーザ発振器を収容した第１筐体と、を含むことを特徴とする第１ユニット。
【請求項９】
レーザ光を出射するレーザ発振器と、前記レーザ発振器を収容した第１筐体と、を含む第１ユニットと着脱自在であり、
レーザ光を偏向するガルバノスキャナと、前記ガルバノスキャナに偏向されたレーザ光を加工対象物に向けて結像する結像光学系装置と、前記ガルバノスキャナ及び前記結像光学系装置を収容した第２筐体と、を含むこと、を特徴とする第２ユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザ光を出射して加工対象物の加工を行うレーザ加工装置、第１ユニット、及び第２ユニットに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、レーザ光を出射して加工対象物の加工を行う技術（レーザーマーカ）として、下記特許文献１に記載されたレーザー加工装置が知られている。
【０００３】
下記特許文献１に記載されたレーザー加工装置では、レーザー発振器及びＸＹスキャナが筐体に収容され、その筐体の下部からテレセントリックレンズの一部が突出するように配置されている。
【０００４】
つまり、下記特許文献１に記載された技術では、レーザー加工装置の主要構成要素であるレーザー発振器、ＸＹスキャナ、及びテレセントリックレンズのモジュール化がなされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１２−１４８３１４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、レーザ加工装置では、レーザ光を取り扱うため、レーザ発振器やガルバノスキャナ等に対して高精度な位置決めが要求される。従って、レーザ発振器やガルバノスキャナ等の交換は非常に難しい。
【０００７】
そこで、本発明は、上述した点を鑑みてなされたものであり、レーザ発振器やガルバノスキャナの交換が容易なレーザ加工装置、第１ユニット、及び第２ユニットを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この課題を解決するためになされた請求項１に係る発明は、レーザ加工装置であって、レーザ光を出射するレーザ発振器と、前記レーザ発振器から出射されたレーザ光を偏向するガルバノスキャナと、前記ガルバノスキャナに偏向されたレーザ光を加工対象物に向けて結像する結像光学系装置と、前記レーザ発振器を収容した第１筐体と、前記ガルバノスキャナ及び前記結像光学系装置を収容した第２筐体と、を備え、前記第１筐体と前記第２筐体とが凹凸の嵌合を介して着脱自在であること、を特徴とする。
【０００９】
また、請求項２に係る発明は、請求項１に記載するレーザ加工装置であって、前記第１筐体と前記第２筐体との相対的な位置を固定するために嵌合する位置決め部材を前記第１筐体及び前記第２筐体に設けたこと、を特徴とする。
【００１０】
また、請求項３に係る発明は、請求項１又は請求項２に記載するレーザ加工装置であって、第１孔が、前記第１筐体に形成され、第２孔が、前記第２筐体に形成され、前記第１孔は、前記レーザ発振器から前記ガルバノスキャナに向けて出射されたレーザ光の光軸上に形成され、前記第２孔は、前記第１筐体と前記第２筐体とが装着された際に、前記レーザ発振器から前記ガルバノスキャナに向けて出射されたレーザ光の光軸上に形成され、前記第１筐体と前記第２筐体とが前記第１孔と前記第２孔とを連接させて装着された際に前記第１筐体及び前記第２筐体を密閉させる密閉部材と、を備えたこと、を特徴とする。
【００１１】
また、請求項４に係る発明は、請求項３に記載するレーザ加工装置であって、前記密閉部材は、前記第１筐体と前記第２筐体とが装着されたときに連接する前記第１孔と前記第２孔とを囲む弾性部材であること、を特徴とする。
【００１２】
また、請求項５に係る発明は、請求項３に記載するレーザ加工装置であって、前記密閉部材は、前記第１孔を塞ぎ、レーザ光を透過する第１透過部と、前記第２孔を塞ぎ、レーザ光を透過する第２透過部と、であること、を特徴とする。
【００１３】
また、請求項６に係る発明は、請求項３に記載するレーザ加工装置であって、前記密閉部材は、前記第１筐体と前記第２筐体とが装着されたときに連接する前記第１孔及び前記第２孔を開放する一方で、前記第１筐体と前記第２筐体とを外したときに離間する前記第１孔又は前記第２孔を閉塞する蓋機構であること、を特徴とする。
【００１４】
また、請求項７に係る発明は、請求項１乃至請求項６のいずれか一つに記載するレーザ加工装置であって、前記第１筐体を複数種類の前記レーザ発振器が一つずつ収容された複数の筐体とし、前記複数の筐体同士が同一に形成されること、を特徴とする。
【００１５】
また、請求項８に係る発明は、第１ユニットであって、レーザ光を偏向するガルバノスキャナと、前記ガルバノスキャナに偏向されたレーザ光を加工対象物に向けて結像する結像光学系装置と、前記ガルバノスキャナ及び前記結像光学系装置を収容した第２筐体と、を含む第２ユニットと着脱自在であり、レーザ光を出射するレーザ発振器と、前記レーザ発振器を収容した第１筐体と、を含むことを特徴とする。
【００１６】
また、請求項９に係る発明は、第２ユニットであって、レーザ光を出射するレーザ発振器と、前記レーザ発振器を収容した第１筐体と、を含む第１ユニットと着脱自在であり、レーザ光を偏向するガルバノスキャナと、前記ガルバノスキャナに偏向されたレーザ光を加工対象物に向けて結像する結像光学系装置と、前記ガルバノスキャナ及び前記結像光学系装置を収容した第２筐体と、を含むこと、を特徴とする。
【発明の効果】
【００１７】
すなわち、請求項１に係る発明であるレーザ加工装置では、レーザ発振器を収容した第１筐体と、ガルバノスキャナ及び結像光学系装置を収容した第２筐体と、を備えている。第１筐体と第２筐体とは凹凸の嵌合を介して着脱自在である。そのため、レーザ発振器やガルバノスキャナの交換が容易である。
【００１８】
また、請求項２に係る発明であるレーザ加工装置では、第１筐体と第２筐体との相対的な位置を固定するために嵌合する位置決め部材を第１筐体及び第２筐体に設けている。そのため、レーザ発振器やガルバノスキャナに対して高精度な位置決めを行うことができる。
【００１９】
また、請求項３に係る発明であるレーザ加工装置では、第１孔が第１筐体に形成され、第２孔が第２筐体に形成されている。第１孔は、レーザ発振器からガルバノスキャナに向けて出射されたレーザ光の光軸上に形成される。第２孔は、第１筐体と２筐体とが装着された際に、レーザ発振器からガルバノスキャナに向けて出射されたレーザ光の光軸上に形成される。そのため、第１筐体の第１孔と第２筐体の第２孔とを介し、レーザ発振器からガルバノスキャナに向けてレーザ光を出射させることができる。
【００２０】
さらに、請求項３に係る発明であるレーザ加工装置では、第１筐体と第２筐体とが第１孔と第２孔とを連接させて装着された際に第１筐体及び第２筐体を密閉させる密閉部材を備えている。そのため、第１筐体及び第２筐体をコンタミ防止（防塵・防水・耐油等）することが可能である。
【００２１】
また、請求項４に係る発明であるレーザ加工装置では、密閉部材は、第１筐体と第２筐体とが装着されたときに連接する第１孔と第２孔とを囲む弾性部材である。これにより、装着時に第１筐体と第２筐体とを密閉することができ、コンタミ防止を図ることができる。
【００２２】
また、請求項５に係る発明であるレーザ加工装置では、密閉部材は、第１孔を塞ぎ、レーザ光を透過する第１透過部と、第２孔を塞ぎ、レーザ光を透過する第２透過部とである。これにより、装着時に第１筐体と第２筐体とを密閉することができ、コンタミ防止を図ることができる。
【００２３】
また、請求項６に係る発明であるレーザ加工装置では、密閉部材は、第１筐体と第２筐体とが装着されたときに連接する第１孔及び第２孔を開放する一方で、第１筐体と第２筐体とを外したときに離間する第１孔又は第２孔を閉塞する蓋機構である。これにより、装着時に第１筐体と第２筐体とを密閉することができ、コンタミ防止を図ることができる。
【００２４】
また、請求項７に係る発明であるレーザ加工装置では、第１筐体を複数種類のレーザ発振器が一つずつ収容された複数の筐体とし、複数の筐体は、前記複数の筐体同士が同一に形成されている。そのため、レーザ発振器（のレーザ光）の種類を容易に交換することが可能である。
【００２５】
尚、レーザ光の種類には、例えば、ＹＡＧレーザ、ＹＶＯ４レーザ、又はファイバレーザ等がある。
【００２６】
また、請求項８に係る発明である第１ユニットは、レーザ光を偏向するガルバノスキャナと、ガルバノスキャナに偏向されたレーザ光を加工対象物に向けて結像する結像光学系装置と、ガルバノスキャナ及び結像光学系装置を収容した第２筐体と、を含む第２ユニットに対し、着脱自在である。そのため、第１ユニットの交換が容易である。
【００２７】
また、請求項９に係る発明である第２ユニットは、レーザ光を出射するレーザ発振器と、レーザ発振器を収容した第１筐体と、を含む第１ユニットに対し、着脱自在である。そのため、第２ユニットの交換が容易である。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明の一実施形態に係るレーザ加工装置１を構成する第１ユニット１Ａと第２ユニット１Ｂとが離間した状態を表した透過斜視図である。
【図２】同レーザ加工装置１を構成する第１ユニット１Ａと第２ユニット１Ｂとが離間した状態を表した透過正面図である。
【図３】同レーザ加工装置１を構成する第１ユニット１Ａと第２ユニット１Ｂとが離間した状態を表した透過平面図である。
【図４】同レーザ加工装置１を構成する第１ユニット１Ａの一側面を表した側面図である。
【図５】同レーザ加工装置１を構成する第２ユニット１Ｂの一側面を表した側面図である。
【図６】同レーザ加工装置１を構成する第１ユニット１Ａと第２ユニット１Ｂとが装着した状態を表した透過斜視図である。
【図７】同レーザ加工装置１を構成する第１ユニット１Ａと第２ユニット１Ｂとが装着した状態を表した透過正面図である。
【図８】同レーザ加工装置１を構成する第１ユニット１Ａと第２ユニット１Ｂとが装着した状態を表した透過平面図である。
【図９】同レーザ加工装置１を構成する第１ユニット１Ａと第２ユニット１Ｂとが装着・離間した状態のときに、第１ユニット１Ａの第１孔１１Ｅと第２ユニット１Ｂの第２孔２１Ｅとの間を密封する構成例が表された図である。
【図１０】同レーザ加工装置１を構成する第１ユニット１Ａと第２ユニット１Ｂとが装着した状態のときに、第１ユニット１Ａの第１孔１１Ｅと第２ユニット１Ｂの第２孔２１Ｅとの間を密封する構成例が表された図である。
【図１１】同レーザ加工装置１を構成する第１ユニット１Ａと第２ユニット１Ｂとが装着した状態のときに、第１ユニット１Ａの第１孔１１Ｅと第２ユニット１Ｂの第２孔２１Ｅとの間を密封する構成例が表された図である。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
［１．レーザ加工装置］
図１乃至図８に表した本発明の一実施形態に係るレーザ加工装置１は、第１ユニット１Ａと第２ユニット１Ｂとを有する。以下、特に図２を参照して、第１ユニット１Ａと第２ユニット１Ｂとについて、詳細に説明する。
【００３０】
［１−１．第１ユニット］
［１−１−１．第１ボックス］
第１ユニット１Ａは、第１ボックス１１を有する。第１ボックス１１は、第１ボックス・ベース１１Ａ、第１ボックス・カバー１１Ｂ、及びＯリング１１Ｃを有する。Ｏリング１１Ｃは、第１ボックス・ベース１１Ａと第１ボックス・カバー１１Ｂとの間に介在し、第１ボックス・ベース１１Ａと第１ボックス・カバー１１Ｂとの間を密封している。
【００３１】
第１ボックス・ベース１１Ａと第１ボックス・カバー１１Ｂには、ワンタッチ継手１１Ｄが設けられている。ワンタッチ継手１１Ｄは、圧縮空気を第１ボックス１１内に送り込み、第１ボックス１１内を高圧にするために使用される。
【００３２】
第１ボックス・カバー１１Ｂの一側面の中央付近には（図４参照）、段差を有する第１孔１１Ｅが設けられている。第１孔１１Ｅには、その段差を利用して、Ｏリング１１Ｆとガラス窓１１Ｇとが設けられている。Ｏリング１１Ｆは、第１孔１１Ｅを密封している。
【００３３】
第１ボックス・カバー１１Ｂの一側面の四隅には、切欠状の位置決め部１１Ｈとフランジ部１１Ｉとが設けられている。各フランジ部１１Ｉには、ボルト通し穴１１Ｊが設けられている。
【００３４】
［１−１−２．第２ボックス］
第１ボックス１１は、第２ボックス１２を内蔵している。第２ボックス１２は、底板１２Ａ、長方形状の空洞部１２Ｂ、天板１２Ｃ、Ｏリング１２Ｄ、及びＯリング１２Ｅを有する。Ｏリング１２Ｄは、底板１２Ａと長方形状の空洞部１２Ｂとの間に介在し、底板１２Ａと長方形状の空洞部１２Ｂとの間を密封している。Ｏリング１２Ｅは、長方形状の空洞部１２Ｂと天板１２Ｃとの間に介在し、長方形状の空洞部１２Ｂと天板１２Ｃとの間を密封している。
【００３５】
底板１２Ａには、ラッチ１２Ｆが設けられている。ラッチ１２Ｆは、長方形状の空洞部１２Ｂと第１ボックス・カバー１１Ｂとの間に介在し、第１ボックス１１内における第２ボックス１２の位置決めを行っている。また、ラッチ１２Ｆによって、第２ボックス１２は第１ボックス１１に押し付けられる。その押し付けられた第１ボックス１１と第２ボックス１２の各面では、凹凸の嵌め込みを利用した位置決めが行われている。
【００３６】
底板１２Ａには、空気通し穴１２Ｈが設けられている。天板１２Ｃにも、空気通し穴１２Ｉが設けられている。
【００３７】
長方形状の空洞部１２Ｂには、円筒部１２Ｊが設けられている。円筒部１２Ｊは、第１ボックス１１の第１孔１１Ｅに連接している。
【００３８】
［１−１−３．第３ボックス］
第２ボックス１２には、第３ボックス１３が内蔵されている。第３ボックス１３は、底板１２Ａ上に配置されており、底板１２Ａ側は開口されている。第３ボックス１３と底板１２Ａの間には、Ｏリング１３Ｂが介在している。Ｏリング１３Ｂにより、第３ボックス１３と底板１２Ａとの間を密封している。
【００３９】
第３ボックス１３の上方内側には、多数のフィンを有するヒートシンク１３Ｃが設けられている。
【００４０】
第３ボックス１３の上方外側には、同一高さ且つ先端が尖った一対の突起部１３Ｄが設けられている。
【００４１】
［１−１−３．第４ボックス］
第２ボックス１２には、第４ボックス１４が内蔵されている。第４ボックス１４の下方外側には、同一高さ且つ先端が尖った一対の突起部１４Ａが設けられている。第４ボックス１４は、第４ボックス１４の突起部１４Ａと第３ボックス１３の突起部１３Ｄとによって、第３ボックス１３に載置されている。
【００４２】
これに対して、第４ボックス１４は、天板１２Ｃが載置されており、天板１２Ｃ側は開口されている。第４ボックス１４と天板１２Ｃとの間には、Ｏリング１４Ｂが介在している。Ｏリング１４Ｂにより、第４ボックス１４と天板１２Ｃとの間を密封している。
【００４３】
第４ボックス１４の一側面には、段差を有する孔１４Ｃが設けられている。孔１４Ｃには、その段差を利用して、Ｏリング１４Ｄとガラス窓１４Ｅとが設けられている。Ｏリング１４Ｄは、孔１４Ｃを密封している。孔１４Ｃは、第２ボックス１２の円筒部１２Ｊに連接している。
【００４４】
第４ボックス１４は、レーザ光を出射するレーザ発振器１４Ｆが内蔵されている。レーザ発振器１４Ｆは、金折金具１４Ｇ等を介して、第４ボックス１４の空間に固定される。これにより、レーザ発振器１４Ｆから出射されるレーザ光の光軸が、孔１４Ｃと円筒部１２Ｊと第１孔１１Ｅとを通過する。
【００４５】
第４ボックス１４とレーザ発振器１４Ｆとの間には、金折金具１４Ｇ等を介して、断熱材１４Ｈが配設されている。
【００４６】
［１−１−４．空気通し穴］
尚、本実施形態に係るレーザ加工装置１を構成する第１ユニット１Ａ内において、符号Ｐは、空気通し穴を表している。
【００４７】
［１−２．第２ユニット］
［１−２−１．第１ボックス］
第２ユニット１Ｂは、第１ボックス２１を有する。第１ボックス２１は、第１ボックス・ベース２１Ａ、第１ボックス・カバー２１Ｂ、及びＯリング２１Ｃを有する。Ｏリング２１Ｃは、第１ボックス・ベース２１Ａと第１ボックス・カバー２１Ｂとの間に介在し、第１ボックス・ベース２１Ａと第１ボックス・カバー２１Ｂとの間を密封している。
【００４８】
第１ボックス・ベース２１Ａと第１ボックス・カバー２１Ｂには、ワンタッチ継手２１Ｄが設けられている。ワンタッチ継手２１Ｄは、圧縮空気を第１ボックス２１内に送り込み、第１ボックス２１内を高圧にするために使用される。
【００４９】
第１ボックス・カバー２１Ｂの一側面の中央付近には（図５参照）、段差を有する第２孔２１Ｅが設けられている。第２孔２１Ｅには、その段差を利用して、Ｏリング２１Ｆとガラス窓２１Ｇとが設けられている。Ｏリング２１Ｆは、第２孔２１Ｅを密封している。
【００５０】
第１ボックス・カバー２１Ｂの一側面の四隅には、突起状の位置決め部２１Ｈとフランジ部２１Ｉとが設けられている。各フランジ部２１Ｉには、ボルト通し穴２１Ｊが設けられている。
【００５１】
この点、図６乃至図８に表したように、本実施形態に係るレーザ加工装置１を構成する第１ユニット１Ａと第２ユニット１Ｂとが装着した状態では、第２ユニット１Ｂの突起状の位置決め部２１Ｈが、第１ユニット１Ａの切欠状の位置決め部１１Ｈに嵌め合わされる。
【００５２】
さらに、本実施形態に係るレーザ加工装置１を構成する第１ユニット１Ａと第２ユニット１Ｂとが装着した状態では、第２ユニット１Ｂの各フランジ部２１Ｉと第１ユニット１Ａの各フランジ部１１Ｉとが突き合わされる。
【００５３】
このとき、第２ユニット１Ｂの各フランジ部２１Ｉのボルト通し穴２１Ｊと第１ユニット１Ａの各フランジ部１１Ｉのボルト通し穴１１Ｊとが連通される。このような連通状態の下で、各ボルト通し穴１１Ｊ，２１Ｊにボルトを通してナットで固定すれば、第１ユニット１Ａと第２ユニット１Ｂとの相対的位置関係が固定される。
【００５４】
さらに、本実施形態に係るレーザ加工装置１を構成する第１ユニット１Ａと第２ユニット１Ｂとが装着した状態では、第１ユニット１Ａの第１孔１１Ｅと第２ユニット１Ｂの第２孔２１Ｅとが突き合わされる。
【００５５】
これにより、レーザ発振器１４Ｆから出射されるレーザ光の光軸が、第１ユニット１Ａの孔１４Ｃと円筒部１２Ｊと第１孔１１Ｅとを通過すると共に、第２ユニット１Ｂの第２孔２１Ｅとを通過する。
【００５６】
第１ボックス・ベース２１Ａの底面には、段差を有する穴２１Ｋが設けられている。穴２１Ｋには、その段差を利用して、Ｏリング２１Ｌとガラス窓２１Ｍとが設けられている。Ｏリング２１Ｌは、穴２１Ｋを密封している。
【００５７】
［１−２−２．第２ボックス］
第１ボックス２１は、第２ボックス２２を内蔵している。第２ボックス２２は、天板２２Ａ、Ｏリング２２Ｂ、長方形状の空洞部２２Ｃを有する。Ｏリング２２Ｂは、天板２２Ａと長方形状の空洞部２２Ｃとの間に介在し、天板２２Ａと長方形状の空洞部２２Ｃとの間を密封している。
【００５８】
天板２２Ａには、空気通し穴２２Ｄが受けられている。
【００５９】
長方形状の空洞部２２Ｃには、金折金具２２Ｅが設けられている。金折金具２２Ｅによって、ラッチ２２Ｆが設けられている。ラッチ２２Ｆは、長方形状の空洞部２２Ｃと第１ボックス・カバー２１Ｂとの間に介在し、第１ボックス２１内における第２ボックス２２の位置決めを行っている。また、ラッチ２２Ｆによって、第２ボックス２２は第１ボックス２１に押し付けられる。その押し付けられた第１ボックス２１と第２ボックス２２の各面では、凹凸の嵌め込みを利用した位置決めが行われている。
【００６０】
長方形状の空洞部２２Ｃは、上方空間部２２Ｇと下方空間部２２Ｈとを有する。上方空間部２２Ｇと下方空間部２２Ｈとの間には、中間板２２Ｉが設けられている。中間板２２Ｉには穴２２Ｊが設けられている。
【００６１】
上方空間部２２Ｇでは、対向する両側面に２つの孔２２Ｋ，２２Ｌが設けられている。２つの孔２２Ｋ，２２Ｌは、本実施形態に係るレーザ加工装置１を構成する第１ユニット１Ａと第２ユニット１Ｂとが装着した状態のときに、第１ボックス・カバー２１Ｂの第２孔２１Ｅを通過するレーザ光の光軸が通過する位置に設けられている。
【００６２】
下方空間部２２Ｈには、その底面に穴２２Ｍが設けられている。穴２２Ｍの真上には、中間板２２Ｉの穴２２Ｊが位置する。穴２２Ｍの真下には、第１ボックス・ベース２１Ａの穴２１Ｋが位置する。
【００６３】
さらに、下方空間部２２Ｈでは、結像光学系装置２２Ｎが穴２２Ｍに嵌め込まれる。
【００６４】
［１−２−３．第３ボックス］
第２ボックス２２の上方空間部２２Ｇには、第３ボックス２３が内蔵されている。Ｏリング２３Ａは、天板２２Ａと第３ボックス２３との間に介在し、天板２２Ａと第３ボックス２３との間を密封している。Ｏリング２３Ｂは、中間板２２Ｉと第３ボックス２３との間に介在し、中間板２２Ｉと第３ボックス２３との間を密封している。
【００６５】
第３ボックス２３の底面には、穴２３Ｃが設けられている。穴２３Ｃの真下には、中間板２２Ｉの穴２２Ｊと、第１ボックス・ベース２１Ａの穴２１Ｋとが位置する。
【００６６】
第３ボックス２３の底面には、一対の突起部２３Ｄが設けられている。一対の突起部２３Ｄは、不図示の中間板２２Ｉの一対の位置決め穴に嵌め込まれる。これにより、第２ボックス２２における第３ボックス２３の相対的位置関係が固定される。
【００６７】
第３ボックス２３の一側面には、段差を有する孔２３Ｅが設けられている。孔２３Ｅには、その段差を利用して、Ｏリング２３Ｆとガラス窓２３Ｇとが設けられている。Ｏリング２３Ｆは、孔２３Ｅを密封している。
【００６８】
孔２３Ｅは、本実施形態に係るレーザ加工装置１を構成する第１ユニット１Ａと第２ユニット１Ｂとが装着した状態のときに、第１ボックス・カバー２１Ｂの第２孔２１Ｅを通過するレーザ光の光軸が通過する位置に設けられている。
【００６９】
さらに、第３ボックス２３内では、第２ボックス２２の孔２２Ｋ，２２Ｌの間において、ガルバノスキャナ２３Ｈが配設されている。ガルバノスキャナ２３Ｈは、穴２３Ｃの真上に位置する。
【００７０】
従って、本実施形態に係るレーザ加工装置１を構成する第１ユニット１Ａと第２ユニット１Ｂとが装着した状態のときは、第２ユニット１Ｂ内のガルバノスキャナ２３Ｈによって、第１ユニット１Ａ内のレーザ発振器１４Ｆから出射されるレーザ光が走査される。その走査されたレーザ光は、第２ユニット１Ｂ内の結像光学系装置２２Ｎによって、第２ユニット１Ｂの下にある加工対象物Ｗ上に結像される。
【００７１】
［１−２−４．空気通し穴］
尚、本実施形態に係るレーザ加工装置１を構成する第２ユニット１Ｂ内において、符号Ｐは、空気通し穴を表している。
【００７２】
［２．第１孔と第２孔］
【００７３】
本実施形態に係るレーザ加工装置１を構成する第１ユニット１Ａと第２ユニット１Ｂとが装着した状態では、第１ユニット１Ａの第１孔１１Ｅと第２ユニット１Ｂの第２孔２１Ｅとが突き合わされる。このとき、第１ユニット１Ａの第１孔１１Ｅと第２ユニット１Ｂの第２孔２１Ｅとは、上述したように、レーザ光の光軸Ｓ（図９乃至図１１参照）に位置する。
【００７４】
［２−１．第１孔と第２孔の具体例その１］
そして、上述した図１乃至図８に表された実施形態では、図９に表されたように、第１ユニット１Ａの第１孔１１Ｅに設けられたガラス窓１１Ｇと、第２ユニット１Ｂの第２孔２１Ｅのガラス窓２１Ｇとが突き合わされる。
【００７５】
すなわち、本実施形態に係るレーザ加工装置１を構成する第１ユニット１Ａと第２ユニット１Ｂとが装着した状態のときでも、本実施形態に係るレーザ加工装置１を構成する第１ユニット１Ａと第２ユニット１Ｂとが離間した状態のときでも、ガラス窓１１Ｇ，２１Ｇによって、第１ユニット１Ａの第１孔１１Ｅと第２ユニット１Ｂの第２孔２１Ｅとの間が密封されている。
【００７６】
［２−２．第１孔と第２孔の具体例その２］
また、図１０に表されたように、第１ユニット１Ａの第１孔１１Ｅと第２ユニット１Ｂの第２孔２１Ｅとを空間にしたときは、第２ユニット１Ｂの第１ボックス２１にＯリング１０１が設けられる。Ｏリング１０１は、第１ユニット１Ａの第１孔１１Ｅと第２ユニット１Ｂの第２孔２１Ｅとを囲むように設けられる。このＯリング１０１によって、本実施形態に係るレーザ加工装置１を構成する第１ユニット１Ａと第２ユニット１Ｂとが装着した状態のときに、第１ユニット１Ａの第１孔１１Ｅと第２ユニット１Ｂの第２孔２１Ｅとの間が密封される。
【００７７】
ちなみに、図１０に表されたＯリング１０１は、第２ユニット１Ｂの第１ボックス２１に設けられているが、第１ユニット１Ａの第１ボックス１１に設けてもよい。Ｏリング１０１は、ゴム等の弾性体からなる。
【００７８】
［２−３．第１孔と第２孔の具体例その３］
また、第１ユニット１Ａの第１孔１１Ｅと第２ユニット１Ｂの第２孔２１Ｅとを空間にしたときは、図１１に表された蓋機構を用いてもよい。その蓋機構とは、第１ユニット１Ａの第１孔１１Ｅにおいて、第１孔１１Ｅを閉じるように付勢された扉１０２を設ける。また、第１ユニット１Ａの第１孔１１Ｅでは、扉１０２の対向側において、突起部分１０３を設ける。
【００７９】
これに対して、第２ユニット１Ｂの第２孔２１Ｅでは、第１ユニット１Ａの突起部分１０３と向かい合う側に、第２孔２１Ｅを閉じるように付勢された扉２０２を設ける。また、第２ユニット１Ｂの第２孔２１Ｅでは、扉２０２の対向側において、突起部分２０３を設ける。
【００８０】
そして、本実施形態に係るレーザ加工装置１を構成する第１ユニット１Ａと第２ユニット１Ｂとが装着した状態のときは、図１１（ｂ）から図１１（ａ）に表されたようにして、第２ユニット１Ｂの突起部分２０３が第１ユニット１Ａの扉１０２を反付勢方向に押し出すことで、第１ユニット１Ａの第１孔１１Ｅの扉１０２が開けられる。同時に、第１ユニット１Ａの突起部分１０３が第２ユニット１Ｂの扉２０２を反付勢方向に押し出すことで、第２ユニット１Ｂの第２孔２１Ｅの扉２０２が開けられる。
【００８１】
これに対して、本実施形態に係るレーザ加工装置１を構成する第１ユニット１Ａと第２ユニット１Ｂとが離間した状態のときは、図１１（ａ）から図１１（ｂ）に表されたようにして、第２ユニット１Ｂの突起部分２０３が第１ユニット１Ａの扉１０２の付勢方向に戻ることで、第１ユニット１Ａの第１孔１１Ｅの扉１０２が閉められる。同時に、第１ユニット１Ａの突起部分１０３が第２ユニット１Ｂの扉２０２の付勢方向に戻ることで、第２ユニット１Ｂの第２孔２１Ｅの扉２０２が閉められる。
【００８２】
これによって、本実施形態に係るレーザ加工装置１を構成する第１ユニット１Ａと第２ユニット１Ｂとが装着した状態のときでも、本実施形態に係るレーザ加工装置１を構成する第１ユニット１Ａと第２ユニット１Ｂとが離間した状態のときでも、第１ユニット１Ａの第１孔１１Ｅと第２ユニット１Ｂの第２孔２１Ｅとの間が密封される。
【００８３】
［３．その他］
尚、本発明は上記実施形態に限定されるものでなく、その趣旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。
【００８４】
例えば、本実施形態に係るレーザ加工装置１において、第１ユニット１Ａの第１ボックス１１を複数種類のレーザ発振器１４Ｆが一つずつ収容された複数の第１ユニット１Ａの第１ボックス１１とする。それらの複数の第１ユニット１Ａの第１ボックス１１は、第２ユニット１Ｂの第１ボックス２１と着脱自在にそれぞれ同一に形成させる。そのようにすれば、レーザ発振器１４Ｆ（のレーザ光）の種類を容易に交換することが可能である。
【００８５】
尚、レーザ光の種類には、例えば、ＹＡＧレーザ、ＹＶＯ４レーザ、又はファイバレーザ等がある。
【符号の説明】
【００８６】
１    レーザ加工装置
１Ａ  第１ユニット
１Ｂ  第２ユニット
１１    第１ユニットの第１ボックス（第１筐体）
１１Ｅ  第１孔
１１Ｈ  切欠状の位置決め部（位置決め部材）
１４Ｆ  レーザ発振器
１１Ｇ  ガラス窓（第１透過部）
２１    第２ユニットの第１ボックス（第２筐体）
２１Ｅ  第２孔
２１Ｇ  ガラス窓（第２透過部）
２１Ｈ  突起状の位置決め部（位置決め部材）
２２Ｎ  結像光学系装置
２３Ｈ  ガルバノスキャナ
１０１    Ｏリング
１０２    扉
１０３    突起部分
２０２    扉
２０３    突起部分
Ｓ    レーザ光の光軸
Ｗ    加工対象物
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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