(57)【要約】【課題】固定部に対する振動素子の位置決めを精度よく行うことができるとともに、導電性接着剤同士の接触を防止することのできる振動子、発振器、電子機器および移動体を提供すること。【解決手段】振動子１は、振動素子２と、振動素子３を固定する底部９１２とを含み、対をなす第１凹部９２および第１凸部４２のうちの一方が振動素子２に形成され、他方が底部９１２に形成され、対をなす第２凹部９３および第２凸部４３のうちの一方が振動素子２に形成され、他方が底部９２に形成され、第１、第２凹部９２、９３には、導電性接着剤１１、１２が設けられており、第１凸部４２と第２凹部９２とが係合し且つ導電性接着剤１１を介して接合され、第２凸部４３と第２凹部９３とが係合し且つ導電性接着剤１２を介して接合され、導電性接着剤１１、１２の弾性率が５０ＭＰａ以上、６０００ＭＰａ以下である。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
振動素子と、
前記振動素子を固定している固定部と、を含み、
対をなす第１凹部および第１凸部のうちの一方が前記振動素子に設けられ、他方が前記固定部に設けられ、
対をなす第２凹部および第２凸部のうちの一方が前記振動素子に設けられ、他方が前記固定部に設けられ、
前記第１凹部および前記第２凹部には、それぞれ、導電性接着剤が設けられており、前記第１凸部が前記第１凹部の中に配置され且つ前記導電性接着剤を介して接合され、前記第２凸部が前記第２凹部の中に配置され且つ前記導電性接着剤を介して接合され、
前記導電性接着剤の弾性率が５０ＭＰａ以上、６０００ＭＰａ以下であることを特徴とする振動子。
【請求項２】
前記第１凸部および前記第２凸部の高さをｈ１、前記第１凹部および前記第２凹部の深さをｈ２としたとき、
ｈ１＞ｈ２
なる関係を満足している請求項１に記載の振動子。
【請求項３】
前記第１凹部および前記第２凹部は、前記振動素子または前記固定部の主面に並んで設けられている請求項１または２に記載の振動子。
【請求項４】
前記第１凹部および前記第２凹部の一方が前記振動素子の主面に設けられており、他方が前記固定部の主面に設けられている請求項１または２に記載の振動子。
【請求項５】
前記第１凸部および前記第２凸部は、横断面形状および横断面積の少なくとも一方が異なっている請求項１ないし４のいずれか１項に記載の振動子。
【請求項６】
前記第１凹部は、前記第１凸部との間に隙間が設けられており、
前記第２凹部は、前記第２凸部との間に隙間が設けられている請求項１ないし５のいずれか１項に記載の振動子。
【請求項７】
前記振動素子の平面視にて、互いに直交する方向を第１方向および第２方向としたとき、
前記第１凹部は、前記第１凸部に対して前記第１方向に隙間が設けられ、
前記第２凹部は、前記第２凸部に対して前記第２方向に隙間が設けられている請求項１ないし６のいずれか１項に記載の振動子。
【請求項８】
請求項１ないし７のいずれか１項に記載の振動子と、
前記振動素子と電気的に接続されている発振回路と、を備えていることを特徴とする発振器。
【請求項９】
請求項１ないし７いずれか１項に記載の振動子を備えていることを特徴とする電子機器。
【請求項１０】
請求項１ないし７のいずれか１項に記載の振動子を備えていることを特徴とする移動体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動子、発振器、電子機器および移動体に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、水晶を用いた振動素子と、振動素子を収容するパッケージとを有する振動子が知られている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１の振動子では、振動子が一対の導電性接着剤を介してパッケージに固定されている。しかしながら、近年の振動子の小型化に伴って、導電性接着剤の配置スペースが小さくなってきているため、導電性接着剤同士が接触して短絡が発生するおそれがある。また、特許文献１の振動子では、パッケージに対する振動素子の高精度な位置決めを行うことが困難であり、振動素子がパッケージに接触してしまうおそれもある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−３５９５３６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の目的は、固定部に対する振動素子の位置決めを精度よく行うことができるとともに、導電性接着剤同士の接触を防止することのできる振動子、発振器、電子機器および移動体を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の適用例として実現することが可能である。
［適用例１］
本発明の振動子は、振動素子と、
前記振動素子を固定している固定部と、を含み、
対をなす第１凹部および第１凸部のうちの一方が前記振動素子に設けられ、他方が前記固定部に設けられ、
対をなす第２凹部および第２凸部のうちの一方が前記振動素子に設けられ、他方が前記固定部に設けられ、
前記第１凹部および前記第２凹部には、それぞれ、導電性接着剤が設けられており、前記第１凸部が前記第１凹部の中に配置され且つ前記導電性接着剤を介して接合され、前記第２凸部が前記第２凹部の中に配置され且つ前記導電性接着剤を介して接合され、
前記導電性接着剤の弾性率が５０ＭＰａ以上、６０００ＭＰａ以下であることを特徴とする。
これにより、固定部に対する振動素子の位置決めを精度よく行うことができるとともに、導電性接着剤同士の接触を防止することのできる振動子が得られる。特に、凝固前の導電性接着剤がペースト状であることで、第１凸部と第１凹部とが係合しやすくなる。また、凝固後の導電性接着剤の弾性定数が５０ＭＰａ以上であることで、接合部に所望の固着強度が得られ、６０００ＭＰａ以下であることで振動漏れが抑制される。
【０００６】
［適用例２］
本発明の振動子では、前記第１凸部および前記第２凸部の高さをｈ１、前記第１凹部および前記第２凹部の深さをｈ２としたとき、
ｈ１＞ｈ２
なる関係を満足していることが好ましい。
これにより、固定部と振動素子との間にギャップ（隙間）を確実に形成することができるため、固定部と振動素子との不本意な接触を防止することができる。
【０００７】
［適用例３］
本発明の振動子では、前記第１凹部および前記第２凹部は、前記振動素子または前記固定部の主面に並んで設けられていることが好ましい。
これにより、第１凹部、第１凸部、第２凹部および第２凸部の形成が容易となる。
［適用例４］
本発明の振動子では、前記第１凹部および前記第２凹部の一方が前記振動素子の主面に設けられており、他方が前記固定部の主面に設けられていることが好ましい。
これにより、第１凹部に設けられた導電性接着剤と、第２凹部に設けられた導電性接着剤との接触をより確実に防止することができる。
【０００８】
［適用例５］
本発明の振動子では、前記第１凸部および前記第２凸部は、横断面形状および横断面積の少なくとも一方が異なっていることが好ましい。
これにより、例えば、第１凹部に第２凸部を挿入したり、第２凹部に第１凸部を挿入したりといった凸部の誤挿入が防止される。
［適用例６］
本発明の振動子では、前記第１凹部は、前記第１凸部との間に隙間が設けられており、
前記第２凹部は、前記第２凸部との間に隙間が設けられていることが好ましい。
これにより、隙間が導電性接着剤の逃げ部として機能するため、例えば、余剰な導電性接着剤が凹部からはみ出してしまうのを防止（抑制）することができる。
【０００９】
［適用例７］
本発明の振動子では、前記振動素子の平面視にて、互いに直交する方向を第１方向および第２方向としたとき、
前記第１凹部は、前記第１凸部に対して前記第１方向に隙間が設けられ、
前記第２凹部は、前記第２凸部に対して前記第２方向に隙間が設けられていることが好ましい。
これにより、固定部に対する振動素子の位置決めを精度よく行うことができ、さらに、隙間が導電性接着剤の逃げ部として機能するため、例えば、余剰な導電性接着剤が凹部からはみ出してしまうのを防止（抑制）することができる。
【００１０】
［適用例８］
本発明の発振器は、本発明の振動子と、
前記振動素子と電気的に接続されている発振回路と、を備えていることを特徴とする。
これにより、信頼性の高い発振器が得られる。
［適用例９］
本発明の電子機器は、本発明の振動子を備えていることを特徴とする。
これにより、信頼性の高い電子機器が得られる。
［適用例１０］
本発明の移動体は、本発明の振動子を備えていることを特徴とする。
これにより、信頼性の高い移動体が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の第１実施形態にかかる振動子の平面図である。
【図２】図１中のＡ−Ａ線断面図である。
【図３】図１中のＢ−Ｂ線断面図（部分拡大図）である。
【図４】図１中のＣ−Ｃ線断面図である。
【図５】屈曲振動時の熱伝導について説明する振動腕の断面図である。
【図６】Ｑ値とｆ／ｆｍの関係を示すグラフである。
【図７】本発明の第２実施形態にかかる振動子の平面図である。
【図８】本発明の第３実施形態にかかる振動子の断面図である。
【図９】本発明の第４実施形態にかかる振動子の平面図である。
【図１０】第４実施形態にかかる振動子の変形例を示す平面図である。
【図１１】本発明の第５実施形態にかかる振動子の平面図である。
【図１２】本発明の第６実施形態にかかる振動子の平面図である。
【図１３】本発明の第７実施形態にかかる振動子の断面図である。
【図１４】本発明の第８実施形態にかかる振動子の平面図である。
【図１５】本発明の第９実施形態にかかる振動子の平面図である。
【図１６】本発明の第１０実施形態にかかる振動子の平面図である。
【図１７】本発明の発振器の好適な実施形態を示す断面図である。
【図１８】本発明の振動子を備える電子機器を適用したモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピューターの構成を示す斜視図である。
【図１９】本発明の振動子を備える電子機器を適用した携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図である。
【図２０】本発明の振動子を備える電子機器を適用したディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図である。
【図２１】本発明の移動体の一例としての自動車を概略的に示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の振動子、発振器、電子機器および移動体を図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。
１．振動子
まず、本発明の振動子について説明する。
＜第１実施形態＞
図１は、本発明の第１実施形態にかかる振動子の平面図、図２は、図１中のＡ−Ａ線断面図、図３は、図１中のＢ−Ｂ線断面図（部分拡大図）、図４は、図１中のＣ−Ｃ線断面図、図５は、屈曲振動時の熱伝導について説明する振動腕の断面図、図６は、Ｑ値とｆ／ｆｍの関係を示すグラフである。なお、以下では、説明の便宜上、図１に示すように、互いに直交する３軸をＸ軸（水晶の電気軸）、Ｙ軸（水晶の機械軸）およびＺ軸（水晶の光学軸）とする。
図１に示す振動子１は、振動素子２と、振動素子２を収容するパッケージ９とを有している。
【００１３】
（パッケージ）
図１および図２に示すように、パッケージ９は、上面に開放する凹部９１１を有する箱状のベース９１と、凹部９１１の開口を塞いでベース９１に接合された板状のリッド９８とを有している。そして、凹部９１１がリッド９８によって塞がれることにより形成された収納空間に振動素子２が収納されている。収納空間は、減圧（真空）状態となっていてもよいし、窒素、ヘリウム、アルゴン等の不活性ガスが封入されていてもよい。
【００１４】
ベース９１の構成材料としては、特に限定されないが、酸化アルミニウム等の各種セラミックスや各種ガラス材料を用いることができる。セラミックスを用いることにより、機械的強度の高いベース９１が得られる。一方、ガラス材料を用いることにより、後述する第１、第２凹部９２、９３の形成に、ウエットエッチングを好適に用いることができるようになり、第１、第２凹部９２、９３の形成精度が増すとともに、その形成が容易となる。
【００１５】
リッド９８の構成材料としては、特に限定されないが、例えば、各種ガラス材料を用いることができる。また、ベース９１の構成材料と線膨張係数が近似する部材を用いてもよい。例えば、ベース９１の構成材料を前述のようなセラミックスとした場合には、コバール等の合金とするのが好ましい。なお、ベース９１とリッド９８の接合は、特に限定されず、例えば、接着剤を介して接合することができ、陽極接合、シーム溶接等により接合することもできる。
【００１６】
ベース９１の底部９１２の上面には、Ｙ軸方向に並んで第１凹部９２および第２凹部９３が形成されている。第１凹部９２は、振動素子２が有する後述する第１凸部４２と係合しており、第１凹部９２と第１凸部４２とが導電性接着剤１１を介して接合されている。一方、第２凹部９３は、振動素子２が有する後述する第２凸部４３と係合しており、第２凹部９３と第２凸部４３とが導電性接着剤１２を介して接合されている。このようにして、振動素子２がパッケージ９に固定されている。
なお、第１、第２凹部９２、９３は、ＸＹ平面視にて、第１、第２凸部４２、４３よりも僅かに大きい開口形状をなしている。これにより、第１、第２凹部９２、９３内での第１、第２凸部４２、４３の変位が抑制されるため、振動素子２の底部９１２に対する位置決めをより高精度に行うことができる。
【００１７】
また、第１凹部９２には接続端子９５１が形成されており、第２凹部９３には接続端子９６１が形成されている。接続端子９５１は、図示しない貫通電極を介して底部９１２の下面に形成された外部端子９５３に電気的に接続されており、接続端子９６１は、図示しない貫通電極を介して底部９１２の下面に形成された外部端子９６３に電気的に接続されている。
接続端子９５１、９６１および外部端子９５３、９６３の構成としては、それぞれ、導電性を有していれば、特に限定されないが、例えば、Ｃｒ（クロム）、Ｗ（タングステン）などのメタライズ層（下地層）に、Ｎｉ（ニッケル）、Ａｕ（金）、Ａｇ（銀）、Ｃｕ（銅）などの各被膜を積層した金属被膜で構成することができる。
【００１８】
（振動素子）
図１および図４に示すように、振動素子２は、水晶基板３と、水晶基板３上に形成された第１、第２駆動用電極８４、８５とを有している。
水晶基板３は、Ｚカット水晶板で構成されている。Ｚカット水晶板とは、Ｚ軸を厚さ方向とする水晶基板である。なお、Ｚ軸は、水晶基板３の厚さ方向と一致しているのが好ましいが、常温近傍における周波数温度変化を小さくする観点から、厚さ方向に対して若干（例えば、１５°未満程度）傾けてもよい。
【００１９】
また、水晶基板３の厚さとしては、特に限定されないが、７０μｍ未満であるのが好ましい。このような数値範囲とすることにより、例えば、ウエットエッチングによって水晶基板３を形成（パターニング）する場合、後述する振動腕５、６と基部４の境界部に不要部（本来なら除去されるべき部分）が残存してしまうのを効果的に防止することができる。そのため、振動漏れを効果的に抑制することのできる振動素子２とすることができる。違う観点から、厚さＤは、７０μｍ以上、３００μｍ以下程度であるのが好ましく、１００μｍ以上、１５０μｍ以下程度であるのがより好ましい。このような数値範囲とすることにより、第１、第２駆動用電極８４、８５を水晶基板３の側面に広く形成することができるため、ＣＩ値を低くすることができる。
水晶基板３は、基部４と、一対の振動腕５、６とを有しており、所謂「音叉型」をなしている。
【００２０】
基部４は、ＸＹ平面に広がりを有し、Ｚ軸方向に厚さを有する略板状をなしている。また、基部４には、その下面（底部９１２側の面）から突出する第１凸部４２および第２凸部４３が形成されている。前述した通り、第１凸部４２は、底部９１２に形成された第１凹部９２と係合しており（先端部が第１凹部９２の中に配置されており）、第１凸部４２と第１凹部９２とが第１凹部９２内に配置された導電性接着剤１１を介して接合されている。一方、第２凸部４３は、底部９１２に形成された第２凹部９３と係合しており（先端部が第２凹部９３の中に配置されており）、第２凸部４３と第２凹部９３とが第２凹部９３内に配置された導電性接着剤１２を介して接合されている。これにより、振動素子２がパッケージ９に固定される。
なお、第１、第２凹部９２、９３は、ＸＹ平面視にて、第１、第２凸部４２、４３よりも僅かに大きい開口形状をなしている。これにより、振動素子２の底部９１２に対する位置決めをより高精度に行うことができる。
【００２１】
図３に示すように、本実施形態では、第１、第２凸部４２、４３の高さが等しく、第１、第２凹部９２、９３の深さが等しい。また、第１、第２凸部４２、４３の高さをｈ１とし、第１、第２凹部９２、９３の深さをｈ２としたとき、ｈ１＞ｈ２なる関係を満足している。このような関係を満足することにより、第１、第２凸部４２、４３と第１、第２凹部９２、９３とを係合させた状態にて、底部９１２と振動素子２との間にギャップを形成することができる。そのため、振動素子２（特に振動腕５、６）の底部９１２への不本意な接触を防止することができ、振動素子２の破損や周波数特性の変化を防止することができる。
【００２２】
底部９１２と振動素子２とのギャップＧ（Ｇ＝ｈ１−ｈ２）としては、振動素子２の大きさ等によって異なり、特に限定されないが、例えば、１μｍ以上、５００μｍ以下程度であるのが好ましい。このような値とすることにより、振動素子２の底部９１２への不本意な接触をより確実に防止することができるとともに、ギャップが過度に大きくなることによる振動子１の大型化を防止することができる。
【００２３】
このように、２組の凹凸を用いて、振動素子２をパッケージ９に固定することにより、パッケージ９に対する振動素子２の位置決めを精度よく行うことができる。そのため、振動素子２のパッケージ９への接触を効果的に防止することができる。また、第１、第２凹部９２、９３内に導電性接着剤１１、１２が配置されているため、導電性接着剤１１、１２の濡れ広がりが防止され、導電性接着剤１１、１２同士の接触（すなわち短絡）を効果的に防止することができる。
【００２４】
特に、本実施形態では、第１、第２凸部４２、４３（第１、第２凹部９２、９３）がＹ軸方向、すなわち、振動腕５、６の延在方向に並んで設けられている。第１、第２凸部４２、４３をこのように配列することによって、ＹＺ平面視にて、底部９１２に対する振動素子２の傾き（Ｘ軸まわりの傾き）を高精度に制御することができる。特に、振動素子２は、Ｙ軸方向を長手とする形状であるため、第１、第２凸部４２、４３をＹ軸方向に沿って配列することによって、振動素子２の底部９１２への不本意な接触をより確実に防止することができる。
【００２５】
また、第１、第２凸部４２、４３を共に振動素子２に形成し、第１、第２凹部９２、９３を共に底部９１２に形成することにより、振動素子２およびパッケージ９の製造（パターニング）が容易となる。なお、本実施形態では、第１、第２凸部４２、４３を振動素子２に形成し、第１、第２凹部９２、９３を底部９１２に形成しているが、反対に、第１、第２凸部４２、４３を底部９１２に形成し、第１、第２凹部９２、９３を振動素子２に形成してもよい。この構成でも、本実施形態と同様の効果が得られる。
【００２６】
振動腕５、６は、Ｘ軸方向に並び、かつ、互いに平行となるように基部４の上端からＹ軸方向に延出している。これら振動腕５、６は、それぞれ、長手形状をなし、その基端が固定端となり、先端が自由端となっている。なお、振動腕５、６の先端部にはハンマーヘッドが設けられていてもよい。
図４に示すように、振動腕５は、ＸＹ平面で構成された一対の主面５１１、５１２と、ＹＺ平面で構成され、一対の主面５１１、５１２を接続する一対の側面５１３、５１４とを有している。また、振動腕５には、主面５１１に開放する有底の溝５２と、主面５１２に開放する有底の溝５３とを有している。各溝５２、５３は、Ｙ軸方向に延在し、基端が基部４まで延びている。
【００２７】
また、振動腕６は、ＸＹ平面で構成された一対の主面６１１、６１２と、ＹＺ平面で構成され、一対の主面６１１、６１２を接続する一対の側面６１３、６１４とを有している。また、振動腕６は、主面６１１に開放する有底の溝６２と、主面６１２に開放する有底の溝６３とを有している。各溝６２、６３は、Ｙ軸方向に延在し、基端が基部４まで延びている。
【００２８】
このように、振動腕５、６に溝５２、５３、６２、６３を形成することによって、熱弾性損失の低減を図ることができ、優れた振動特性を発揮することができる。特に、各溝５２、５３、６２、６３の基端が基部４まで延びているため、これらの境界部での応力集中が緩和される。そのため、振動腕５、６の不要な振動モード（例えば面外振動モード）を抑制することできるとともに、ＣＩ値を抑えることができる。
溝５２、５３の深さとしては、特に限定されないが、溝５２の深さをＤ１とし、溝５３の深さをＤ２（Ｄ１＝Ｄ２）としたとき、６０％≦Ｄ１＋Ｄ２／Ｄ≦９５なる関係を満足するのが好ましい。このような関係を満足することにより、より効果的に、熱弾性損失の低減を図ることができる。溝６２、６３についても同様である。
【００２９】
また、主面５１１の溝５２のＸ軸方向両側に位置する土手部（振動腕の長手方向に直交する幅方向に沿って溝５２を挟んで並んでいる主面）５１１ａおよび主面５１２の溝５３のＸ軸方向両側に位置する土手部５１２ａの幅（Ｘ軸方向の長さ）をＷとしたとき、０μｍ＜Ｗ≦２０μｍなる関係を満足するのが好ましい。これにより、振動素子２のＣＩ値が十分に低くなる。上記数値範囲の中でも、５μｍ＜Ｗ≦９μｍなる関係を満足するのが好ましい。これにより、上記効果とともに、熱弾性損失を低減することができる。また、０μｍ＜Ｗ≦５μｍなる関係を満足するのも好ましい。これにより、振動素子２のＣＩ値をより低くすることができる。振動腕６についても同様である。
【００３０】
図４に示すように、振動腕５には、一対の第１駆動用電極８４と一対の第２駆動用電極８５とが形成されている。具体的には、第１駆動用電極８４の一方は、溝５２の内面に形成されており、他方は、溝５３の内面に形成されている。また、第２駆動用電極８５の一方は、側面５１３に形成されており、他方は、側面５１４に形成されている。
同様に、振動腕６にも、一対の第１駆動用電極８４と一対の第２駆動用電極８５とが形成されている。具体的には、第１駆動用電極８４の一方は、側面６１３に形成されており、他方は、側面６１４に形成されている。また、第２駆動用電極８５の一方は、溝６２の内面に形成されており、他方は、溝６３の内面に形成されている。
【００３１】
各第１駆動用電極８４は、図示しない配線を介して第１凸部４２に形成された接続電極８６に電気的に接続されている。同様に、各第２駆動用電極８５は、図示しない配線を介して第２凸部４３に形成された接続電極８７に電気的に接続されている。また、接続電極８６は、導電性接着剤１１を介して接続端子９５１に電気的に接続され、接続電極８７は、導電性接着剤１２を介して接続端子９６１に電気的に接続されている。これにより、パッケージ９の外部に露出する外部端子９５３、９６３と第１、第２駆動用電極８４、８５とが電気的に接続される。外部端子９５３、９６３を介して第１、第２駆動用電極８４、８５間に交番電圧を印加すると、振動腕５、６が互いに接近、離間を繰り返すように面内方向（ＸＹ平面方向）に所定の周波数で振動する。
【００３２】
第１、第２駆動用電極８４、８５および接続電極８６、８７の構成としては、導電性を有していれば、特に限定されず、金（Ａｕ）、金合金、白金（Ｐｔ）、アルミニウム（Ａｌ）、アルミニウム合金、銀（Ａｇ）、銀合金、クロム（Ｃｒ）、クロム合金、銅（Ｃｕ）、モリブデン（Ｍｏ）、ニオブ（Ｎｂ）、タングステン（Ｗ）、鉄（Ｆｅ）、チタン（Ｔｉ）、コバルト（Ｃｏ）、亜鉛（Ｚｎ）、ジルコニウム（Ｚｒ）等の金属材料、酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）等の導電材料により形成することができる。
【００３３】
導電性接着剤１１、１２としては、接着性および導電性を有していれば、特に限定されないが、例えば、エポキシ系、アクリル系の接着剤に導電フィラー（金属フィラー）を分散させたものを用いることができる。
このような導電性接着剤１１、１２は、それぞれ、凝固前はペースト状である。そして、凝固後の導電性接着剤１１、１２の弾性率は、５０ＭＰａ以上、６０００ＭＰａ以下である。導電性接着剤１１、１２の弾性率をこのような数値範囲とすることによって、振動素子２の振動漏れを効果的に抑制することができる。導電性接着剤１１、１２の弾性率は、５０ＭＰａ以上、６０００ＭＰａ以下であればよいが、１００ＭＰａ以上、５０００ＭＰａ以下であるのが好ましく、２００ＭＰａ以上、４０００ＭＰａ以下であるのがより好ましい。
【００３４】
凝固前の導電性接着剤１１、１２が固形の場合、第１凸部４２と第１凹部９２の係合および第２凸部４３と第２凹部９３の係合が困難となる。また、導電性接着剤１１、１２の弾性率が前記下限値を下回った場合、振動素子２を十分に支持することができず、強い衝撃が加わったときなどに振動素子２の固定が損なわれる等の不具合が生じる。反対に、導電性接着剤１１、１２の弾性率が前記上限値を上回った場合、導電性接着剤１１、１２を振動が伝搬し易くなり、振動漏れの抑制が不十分となる。
なお、導電性接着剤１１、１２の弾性率は、固化物（硬化物）の２５℃における引張弾性率であり、ＪＩＳ  Ｋ  ７１６１に規定の測定方法により求めることができる。
以上、振動子１について説明した。
【００３５】
前述したように、振動素子２では、振動腕５、６に溝５２、５３、６２、６３を形成することによって、熱弾性損失の低減を図っている。以下に、このことについて、振動腕５を例に挙げて具体的に説明する。
振動腕５は、前述したように、第１、第２駆動用電極８４、８５間に交番電圧を印加することにより面内方向に屈曲振動する。図５に示すように、この屈曲振動の際、側面５１３が収縮すると側面５１４が伸張し、反対に、側面５１３が伸張すると側面５１４が収縮する。側面５１３、５１４のうち、収縮する面側の温度は上昇し、伸張する面側の温度は下降するため、側面５１３と側面５１４との間、つまり振動腕５の内部に温度差が発生する。このような温度差から生じる熱伝導によって振動エネルギーの損失が発生し、これにより振動素子２のＱ値が低下する。このようなＱ値の低下を熱弾性効果とも言い、熱弾性効果によるエネルギーの損失を熱弾性損失とも言う。
【００３６】
振動素子２のような構成の屈曲振動モードの振動素子において、振動腕５の屈曲振動周波数（機械的屈曲振動周波数）ｆが変化したとき、振動腕５の屈曲振動周波数が緩和振動周波数ｆｍと一致するときにＱ値が最小となる。この緩和振動周波数ｆｍは、ｆｍ＝１／２πτで求めることができる（ただし、式中πは円周率であり、τは温度差を熱伝導により温度平衡させるまでの緩和時間である）。
【００３７】
また、緩和振動周波数ｆｍは、下式で求めることができる。
ｆｍ＝πｋ／（２ρＣｐａ２）‥‥（１）
なお、πは円周率、ｋは振動腕５の振動方向の熱伝導率、ρは振動腕５の質量密度、Ｃｐは振動腕５の熱容量、ａは振動腕５の振動方向の幅である。式（１）の熱伝導率ｋ、質量密度ρ、熱容量Ｃｐに振動腕５の材料そのもの（すなわち水晶）の定数を入力した場合、求まる緩和振動周波数ｆｍは、振動腕５に溝５２、５３を設けていない場合の値となる。
【００３８】
振動腕５では、側面５１３、５１４の間に位置するように溝５２、５３が形成されている。そのため、振動腕５の屈曲振動時に生じる側面５１３、５１４の温度差を熱伝導により温度平衡させるための熱移動経路が溝５２、５３を迂回するように形成され、熱移動経路が側面５１３、５１４間の直線距離（最短距離）よりも長くなる。その結果、振動腕５に溝５２、５３を設けていない場合と比較して緩和時間τが長くなり、緩和振動周波数ｆｍが低くなる。
【００３９】
図６は、屈曲振動モードの振動素子のＱ値のｆ／ｆｍ依存性を表すグラフである。同図において、点線で示されている曲線Ｆ１は、振動素子２のように振動腕に溝が形成されている場合（振動腕の横断面形状がＨ型の場合）を示し、実線で示されている曲線Ｆ２は、振動腕に溝が形成されていない場合（振動腕の横断面形状が矩形の場合）を示している。同図に示すように、曲線Ｆ１、Ｆ２の形状は変わらないが、前述のような緩和振動周波数ｆｍの低下に伴って、曲線Ｆ１が曲線Ｆ２に対して周波数低下方向へシフトする。したがって、ｆ／ｆｍ＞１の関係を満たせば、常に、振動腕に溝が形成されている振動素子のＱ値が振動腕に溝が形成されていない振動素子のＱ値に対して高くなる。すなわち、振動腕５に溝を形成することによって、熱弾性損失の低減を図ることができる。
【００４０】
なお、図６において、ｆ／ｆｍ＜１の領域を等温的領域とも言い、この等温的領域ではｆ／ｆｍが小さくなるにつれてＱ値が高くなる。これは、振動腕の機械的周波数が低くなる（振動腕の振動が遅くなる）につれて前述のような振動腕内の温度差が生じ難くなるためである。一方、ｆ／ｆｍ＞１の領域を断熱的領域とも言い、この断熱的領域ではｆ／ｆｍが大きくなるにつれてＱ値が高くなる。これは、振動腕の機械的周波数が高くなるにつれて、各側面の温度上昇・温度効果の切り替わりが高速となり、前述のような熱伝導が生じる時間がなくなるためである。このことから、ｆ／ｆｍ＞１の関係を満たすとは、ｆ／ｆｍが断熱的領域にあるとも言い換えることができる。
【００４１】
＜第２実施形態＞
次に、本発明の振動子の第２実施形態について説明する。
図７は、本発明の第２実施形態にかかる振動子の平面図である。
以下、第２実施形態の振動子について、前述した第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
本発明の第２実施形態にかかる振動子は、第１、第２凸部および第１、第２凹部の配置が異なる以外は、前述した第１実施形態と同様である。なお、前述した第１実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。
【００４２】
図７に示すように、本実施形態の振動子１Ａでは、第１、第２凸部４２、４３は、振動素子２の基部４にＸ軸方向に並んで設けられている。また、第１、第２凹部９２、９３は、第１、第２凸部４２、４３と対応するように、底部９１２にＸ軸方向に並んで設けられている。第１、第２凸部４２、４３をこのように配列することによって、ＸＺ平面視にて、底部９１２に対する振動素子２の傾き（Ｙ軸まわりの傾き）を高精度に制御することができる。
このような第２実施形態によっても、前述した第１実施形態と同様の効果を奏することができる。
【００４３】
＜第３実施形態＞
次に、本発明の振動子の第３実施形態について説明する。
図８は、本発明の第３実施形態にかかる振動子の断面図である。なお、図８は、図２に対応する断面を示す図である。
以下、第３実施形態の振動子について、前述した第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
本発明の第３実施形態にかかる振動子は、第１、第２凸部および第１、第２凹部の配置が異なる以外は、前述した第１実施形態と同様である。なお、前述した第１実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。
【００４４】
図８に示すように、本実施形態の振動子１Ｂでは、振動素子２の基部４に第１凹部９２と第２凸部４３が形成されており、パッケージ９の底部９１２に第１凸部４２と第２凹部９３とが形成されている。また、接続電極８６は、第１凹部９２内に形成されており、接続端子９５１は、第１凸部４２に形成されている。このように、振動素子２に１つの凸部と１つの凹部を形成し、パッケージ９に１つの凹部と１つの凸部を形成することによって、導電性接着剤１１、１２の接触をより確実に防止することができる。すなわち、仮に、導電性接着剤１１、１２が第１、第２凹部９２、９３からはみ出たとしても、導電性接着剤１１は振動素子２上に広がり、導電性接着剤１２はパッケージ９上に広がる。そのため、導電性接着剤１１、１２が接触するのを確実に防止することができる。
このような第３実施形態によっても、前述した第１実施形態と同様の効果を奏することができる。
【００４５】
＜第４実施形態＞
次に、本発明の振動子の第４実施形態について説明する。
図９は、本発明の第４実施形態にかかる振動子の平面図、図１０は、第４実施形態にかかる振動子の変形例を示す平面図である。
以下、第４実施形態の振動子について、前述した第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
本発明の第４実施形態にかかる振動子は、第１、第２凸部および第１、第２凹部の構成が異なる以外は、前述した第１実施形態と同様である。なお、前述した第１実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。
【００４６】
図９に示すように、本実施形態の振動子１Ｃでは、第１凸部４２の横断面形状（平面視形状）と、第２凸部４３の横断面形状（平面視形状）が相似形をなしており、第１凸部４２の方が第２凸部４３よりも横断面積が大きくなっている。すなわち、第１凸部４２の横断面積をＳ１とし、第２凸部４３の横断面積をＳ２としたとき、Ｓ１＞Ｓ２なる関係を満足している。さらに、第１凸部４２は、第２凸部４３に対応する第２凹部９３の開口よりも大きく、第２凹部９３に係合（挿入）することができなくなっている。このような構成とすることにより、第１、第２凸部４２、４３と第１、第２凹部９２、９３が互い違いに係合してしまうのを防止することができる。そのため、確実に、正しい姿勢で振動素子２を底部９１２に固定することができる。
【００４７】
なお、第１凸部４２が第２凹部９３に係合し得ず、または、第２凸部４３が第１凹部９２に係合し得なければ、上記の構成に限定されず、例えば、図１０に示すように、第１、第２凸部４２、４３の横断面形状を四角形と円形といった様に異なる形状とし、第１、第２凹部９２、９３の開口形状もこれに対応させた形状としてもよい。このような構成によっても、簡単に、第１凸部４２が第２凹部９３に係合し得ず、または、第２凸部４３が第１凹部９２に係合し得なくすることができる。
このような第４実施形態によっても、前述した第１実施形態と同様の効果を奏することができる。
【００４８】
＜第５実施形態＞
次に、本発明の振動子の第５実施形態について説明する。
図１１は、本発明の第５実施形態にかかる振動子の平面図である。
以下、第５実施形態の振動子について、前述した第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
本発明の第５実施形態にかかる振動子は、第１、第２凹部の構成が異なる以外は、前述した第１実施形態と同様である。なお、前述した第１実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。
【００４９】
図１１に示すように、本実施形態の振動子１Ｄでは、第１、第２凹部９２、９３が、それぞれ、導電性接着剤１１、１２の逃げ部を構成する隙間を有している。第１、第２凹部９２、９３の構成は互いに同様であるため、以下では、第１凹部９２について代表して説明し、第２凹部９３については、その説明を省略する。
第１凹部９２は、第１凸部４２と係合する係合部９２１と、係合部のＸ軸方向両側に第１凸部４２との間に隙間を形成する一対の逃げ部９２２、９２３とを有している。係合部９２１は、ＸＹ平面視にて、第１凸部４２よりも僅かに大きい開口形状をなしている。一方、逃げ部９２２、９２３は、幅（Ｙ軸方向の長さ）が係合部９２１から離間する方向に漸減しており、略三角形の開口形状をなしている。このように、逃げ部９２２、９２３を備えることによって、例えば、余剰な導電性接着剤１１を逃げ部９２２、９２３に退避させることができ、導電性接着剤１１が第１凹部９２外にはみ出てしまうのを効果的に抑制することができる。そのため、導電性接着剤１１、１２の接触をより確実に防止することができる。
【００５０】
特に、本実施形態では、各逃げ部９２２、９２３の幅が係合部９２１から離間する方向に漸減しているため、逃げ部９２２、９２３には第１凸部４２が係合（挿入）できないようになっている。そのため、振動素子２の底部９１２に対する位置決め精度を維持しつつ、上述の効果を発揮することができる。さらには、逃げ部９２２、９２３が、第１、第２凹部９２、９３の並び方向（Ｙ軸方向）に対して直交する方向（Ｘ軸方向）に設けられているため、第１、第２凹部９２、９３の離間距離の減少、すなわち導電性接着剤１１、１２の接近が防止される。
なお、逃げ部９２２、９２３の形状は、本実施形態のような三角形に限定されない。また、逃げ部９２２、９２３のうちの一方を省略してもよい。
このような第５実施形態によっても、前述した第１実施形態と同様の効果を奏することができる。
【００５１】
＜第６実施形態＞
次に、本発明の振動子の第６実施形態について説明する。
図１２は、本発明の第６実施形態にかかる振動子の平面図である。
以下、第６実施形態の振動子について、前述した第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
本発明の第６実施形態にかかる振動子は、第１、第２凹部の構成が異なる以外は、前述した第１実施形態と同様である。なお、前述した第１実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。
【００５２】
図１２に示すように、本実施形態の振動子１Ｅでは、第１、第２凹部９２、９３が、それぞれ、導電性接着剤１１、１２の逃げ部を構成する隙間を有している。
第１凹部９２は、第１凸部４２と係合する係合部９２１と、係合部９２１のＸ軸方向両側に第１凸部４２との間に隙間を形成する一対の逃げ部９２２、９２３とを有している。各逃げ部９２２、９２３は、係合部９２１と同じ幅を有している。言い換えると、第１凹部９２は、Ｘ方向に延在する長方形状の開口を有しており、Ｘ軸方向中央部に係合部９２１を有し、両端部に逃げ部９２２、９２３を有している。このように、逃げ部９２２、９２３を備えることによって、例えば、余剰な導電性接着剤１１を逃げ部９２２、９２３に退避させることができ、導電性接着剤１１が第１凹部９２外にはみ出てしまうのを効果的に抑制することができる。そのため、導電性接着剤１１、１２の接触をより確実に防止することができる。
【００５３】
一方、第２凹部９３は、第２凸部４３と係合する係合部９３１と、係合部９３１のＹ軸方向両側に第２凸部４３との間に隙間を形成する一対の逃げ部９３２、９３３とを有している。各逃げ部９３２、９３３は、係合部９３１と同じ幅を有している。言い換えると、第２凹部９３は、Ｘ方向に延在する長方形状の開口を有しており、Ｙ軸方向中央部に係合部９３１を有し、両端部に逃げ部９３２、９３３を有している。このように、逃げ部９３２、９３３を備えることによって、例えば、余剰な導電性接着剤１２を逃げ部９３２、９３３に退避させることができ、導電性接着剤１２が第２凹部９３外にはみ出てしまうのを効果的に抑制することができる。そのため、導電性接着剤１１、１２の接触をより確実に防止することができる。
【００５４】
特に、第１凹部９２で逃げ部９２２、９２３がＸ軸方向に形成され、第２凹部９３では逃げ部９３２、９３３がＹ軸方向に形成されている。すなわち、第１凹部９２内では第１凸部４２がＹ軸方向に実質的に変位することができず、第２凹部９３内では第２凸部４３がＸ軸方向に実質的に変位することができない。そのため、第１凹部９２によって振動素子２の底部９１２に対するＹ軸方向の位置決めを行うことができ、第２凹部９３によって振動素子２の底部９１２に対するＸ軸方向の位置決めを行うことができる。その結果、第１、第２凹部９２、９３によって、振動素子２の底部９１２に対する位置決めを精度よく行うことができる。
なお、逃げ部９２２、９２３のうちの一方を省略してもよく、同様に、逃げ部９３２、９３３の一方を省略してもよい。
このような第６実施形態によっても、前述した第１実施形態と同様の効果を奏することができる。
【００５５】
＜第７実施形態＞
次に、本発明の振動子の第７実施形態について説明する。
図１３は、本発明の第７実施形態にかかる振動子の断面図である。なお、図１３は、図２に対応する断面を示す図である。
以下、第７実施形態の振動子について、前述した第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
本発明の第７実施形態にかかる振動子は、パッケージの構成が異なる以外は、前述した第１実施形態と同様である。なお、前述した第１実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。
【００５６】
図１３に示すように、本実施形態の振動子１Ｆでは、底部９１２であって、第１、第２凹部９２、９３の間に上方（振動素子２側）に突出する壁部９４が形成されている。これにより、仮に、第１、第２凹部９２、９３から導電性接着剤１１、１２がはみ出したとしても、壁部９４によって、これらが接触するのを確実に防止することができる。なお、壁部９４の高さは、振動素子２との接触を避けるために、ギャップＧよりも低く設定されている。
このような第７実施形態によっても、前述した第１実施形態と同様の効果を奏することができる。
【００５７】
＜第８実施形態＞
次に、本発明の振動子の第８実施形態について説明する。
図１４は、本発明の第８実施形態にかかる振動子の平面図である。
以下、第７実施形態の振動子について、前述した第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
本発明の第８実施形態にかかる振動子は、振動素子（水晶基板）がさらに支持部を有している以外は、前述した第１実施形態と同様である。なお、前述した第１実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。
【００５８】
図１４に示すように、本実施形態の振動子１Ｇでは、振動素子２Ｇは、振動腕５、６の間に位置し、基部４からＹ軸方向に延出している支持部７を有している。また、支持部７には、第１、第２凸部４２、４３がＹ軸方向に並んで形成されている。なお、第１、第２凸部４２、４３は、Ｘ軸方向に並んで形成されていてもよい。このように、支持部７を有することによって、振動の伝達経路（振動腕５、６の屈曲により発生する振動が第１、第２凸部４２、４３まで伝達する際の距離）を長くすることができる。そのため、振動素子２Ｇの振動漏れを効果的に抑制することができる。
このような第８実施形態によっても、前述した第１実施形態と同様の効果を奏することができる。
【００５９】
＜第９実施形態＞
次に、本発明の振動子の第９実施形態について説明する。
図１５は、本発明の第９実施形態にかかる振動子の平面図である。
以下、第９実施形態の振動子について、前述した第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
本発明の第９実施形態にかかる振動子は、振動素子（水晶基板）がさらに支持部を有している以外は、前述した第１実施形態と同様である。なお、前述した第１実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。
【００６０】
図１５に示すように、本実施形態の振動子１Ｈでは、振動素子２Ｈは、基部４から延出する支持部７を有している。支持部７は、基部４の下端（振動腕５、６が延出する側と反対側）から延出し、Ｘ軸方向に分岐する分岐部７１と、分岐部からＸ軸方向両側に延出する連結腕７２、７３と、連結腕７２、７３の先端部からＹ軸方向の振動腕５、６側に延出する支持腕７４、７５とを有している。また、支持腕７４、７５は、振動腕５、６を介してＸ軸方向に対向して配置されている。支持腕７４の先端部には第１凸部４２が形成されており、支持腕７５の先端部には第２凸部４３が形成されている。このような構成とすることによって、振動の伝達経路（振動腕５、６の屈曲により発生する振動が第１、第２凸部４２、４３まで伝達する際の距離）を長くすることができる。そのため、振動素子２Ｈの振動漏れを効果的に抑制することができる。
このような第９実施形態によっても、前述した第１実施形態と同様の効果を奏することができる。
【００６１】
＜第１０実施形態＞
次に、本発明の振動子の第１０実施形態について説明する。
図１６は、本発明の第１０実施形態にかかる振動子の平面図である。
以下、第１０実施形態の振動子について、前述した第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
本発明の第１０実施形態にかかる振動子は、振動素子（水晶基板）がさらに支持部を有している以外は、前述した第１実施形態と同様である。なお、前述した第１実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。
【００６２】
図１６に示すように、本実施形態の振動子１Ｉでは、振動素子２Ｉは、基部４から延出する支持部７を有している。支持部７は、基部４の下端（振動腕５、６が延出する側と反対側）から延出しており、略Ｌ字状をなしている。より具体的には、支持部７は、基部４からＹ軸方向に延出する基端部７６と、基端部７６の先端部からＸ軸方向に延出する先端部７７とを有している。そして、先端部７７に第１、第２凸部４２、４３がＸ軸方向に並んで形成されている。このような構成とすることによって、振動の伝達経路（振動腕５、６の屈曲により発生する振動が第１、第２凸部４２、４３まで伝達する際の距離）をより長くすることができる。そのため、振動素子２Ｉの振動漏れを効果的に抑制することができる。
このような第１０実施形態によっても、前述した第１実施形態と同様の効果を奏することができる。
【００６３】
２．発振器
次に、本発明の振動子を適用した発振器（本発明の発振器）について説明する。
図１７は、本発明の発振器の好適な実施形態を示す断面図である。
図１７に示す発振器１０は、振動子１と、振動素子２を駆動するためのＩＣチップ８とを有している。以下、発振器１０について、前述した振動子との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
【００６４】
図１７に示すように、パッケージ９は、凹部９１１を有する箱状のベース９１と、凹部９１１の開口を塞ぐ板状のリッド９８とを有している。また、ベース９１の凹部９１１は、ベース９１の上面に開放する第１凹部９１１ａと、第１凹部９１１ａの底面の中央部に開放する第２凹部９１１ｂと、第２凹部９１１ｂの底面の中央部に開放する第３凹部９１１ｃとを有している。
また、第１凹部９１１ａの底面には、第１、第２凹部９２、９３が形成されている。また、第３凹部９１１ｃの底面には、ＩＣチップ８が配置されている。ＩＣチップ８は、振動素子２の駆動を制御するための発振回路を有している。ＩＣチップ８によって振動素子２を駆動すると所定の周波数の信号を取り出すことができる。
【００６５】
また、第２凹部９１１ｂの底面には、ワイヤーを介してＩＣチップ８と電気的に接続された複数の内部端子９９が形成されている。これら複数の内部端子９９には、ベース９１に形成された図示しないビアを介してパッケージ９の底面に形成された図示しない外部端子に電気的に接続された端子と、図示しないビアやワイヤーを介して接続端子９５１に電気的に接続された端子と、図示しないビアやワイヤーを介して接続端子９６１に電気的に接続された端子とが含まれている。
なお、図１７の構成では、ＩＣチップ８が収納空間内に配置されている構成について説明したが、ＩＣチップ８の配置は、特に限定されず、例えば、パッケージ９の外側（ベースの底面）に配置されていてもよい。
【００６６】
４．電子機器
次に、本発明の振動子を適用した電子機器（本発明の電子機器）について説明する。
図１８は、本発明の振動子を備える電子機器を適用したモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピューターの構成を示す斜視図である。この図において、パーソナルコンピューター１１００は、キーボード１１０２を備えた本体部１１０４と、表示部２０００を備えた表示ユニット１１０６とにより構成され、表示ユニット１１０６は、本体部１１０４に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。このようなパーソナルコンピューター１１００には、フィルター、共振器、基準クロック等として機能する振動子１０が内蔵されている。
【００６７】
図１９は、本発明の振動子を備える電子機器を適用した携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図である。この図において、携帯電話機１２００は、複数の操作ボタン１２０２、受話口１２０４および送話口１２０６を備え、操作ボタン１２０２と受話口１２０４との間には、表示部２０００が配置されている。このような携帯電話機１２００には、フィルター、共振器等として機能する振動子１０が内蔵されている。
【００６８】
図２０は、本発明の振動子を備える電子機器を適用したディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図である。なお、この図には、外部機器との接続についても簡易的に示されている。ここで、通常のカメラは、被写体の光像により銀塩写真フィルムを感光するのに対し、ディジタルスチルカメラ１３００は、被写体の光像をＣＣＤ（Charge Coupled Device）などの撮像素子により光電変換して撮像信号（画像信号）を生成する。
【００６９】
ディジタルスチルカメラ１３００におけるケース（ボディー）１３０２の背面には、表示部が設けられ、ＣＣＤによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、表示部は、被写体を電子画像として表示するファインダーとして機能する。また、ケース１３０２の正面側（図中裏面側）には、光学レンズ（撮像光学系）やＣＣＤなどを含む受光ユニット１３０４が設けられている。
【００７０】
撮影者が表示部に表示された被写体像を確認し、シャッターボタン１３０６を押下すると、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、メモリー１３０８に転送・格納される。また、このディジタルスチルカメラ１３００においては、ケース１３０２の側面に、ビデオ信号出力端子１３１２と、データ通信用の入出力端子１３１４とが設けられている。そして、図示されるように、ビデオ信号出力端子１３１２にはテレビモニター１４３０が、データ通信用の入出力端子１３１４にはパーソナルコンピューター１４４０が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、メモリー１３０８に格納された撮像信号が、テレビモニター１４３０や、パーソナルコンピューター１４４０に出力される構成になっている。このようなディジタルスチルカメラ１３００には、フィルター、共振器等として機能する振動子１０が内蔵されている。
【００７１】
なお、本発明の振動子を備える電子機器は、図１８のパーソナルコンピューター（モバイル型パーソナルコンピューター）、図１９の携帯電話機、図２０のディジタルスチルカメラの他にも、例えば、インクジェット式吐出装置（例えばインクジェットプリンター）、ラップトップ型パーソナルコンピューター、テレビ、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダー、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシミュレーター等に適用することができる。
【００７２】
５．移動体
次に、本発明の振動子を適用した移動体（本発明の移動体）について説明する。
図２１は、本発明の移動体の一例としての自動車を概略的に示す斜視図である。自動車１５００には、振動子１０が搭載されている。振動子１０は、キーレスエントリー、イモビライザー、カーナビゲーションシステム、カーエアコン、アンチロックブレーキシステム（ＡＢＳ）、エアバック、タイヤ・プレッシャー・モニタリング・システム（ＴＰＭＳ：Tire Pressure Monitoring System）、エンジンコントロール、ハイブリッド自動車や電気自動車の電池モニター、車体姿勢制御システム、等の電子制御ユニット（ＥＣＵ：electronic control unit）に広く適用できる。
【００７３】
以上、本発明の振動子、発振器、電子機器および移動体について、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に、他の任意の構成物が付加されていてもよい。また、各実施形態を適宜組み合わせてもよい。特に、振動子の実施形態８、９、１０に、実施形態２〜７の第１、第２凹部および第１、第２凸部の構成を組み合わせてもよい。
【００７４】
また、前述した実施形態では、パッケージに振動素子が直接固定されている構成について説明したが、例えば、パッケージと振動素子とが板状の台座を介して固定されている構成であってもよい。具体的には、パッケージの底部に接着剤を介して板状の台座が固定されており、この台座に接着剤を介して振動素子が固定されている構成であってもよい。この場合は、台座が「固定部」となり、台座に第１、第２凹部や、第１、第２凸部を形成すればよい。
【符号の説明】
【００７５】
１、１Ａ、１Ｂ、１Ｃ、１Ｄ、１Ｅ、１Ｆ、１Ｇ、１Ｈ、１Ｉ…振動子  １０…発振器  １１、１２…導電性接着剤  ２、２Ｇ、２Ｈ、２Ｉ…振動素子  ３…水晶基板  ４…基部  ４２…第１凸部  ４３…第２凸部  ５…振動腕  ５１１、５１２…主面  ５１１ａ、５１２ａ…土手部  ５１３、５１４…側面  ５２、５３…溝  ６…振動腕  ６１１、６１２…主面  ６１３、６１４…側面  ６２、６３…溝  ７…支持部  ７１…分岐部  ７２、７３…連結腕  ７４、７５…支持腕  ７６…基端部  ７７…先端部  ８…ＩＣチップ  ８４…第１駆動用電極  ８５…第２駆動用電極  ８６、８７…接続電極  ９…パッケージ  ９１…ベース  ９１１…凹部  ９１１ａ…第１凹部  ９１１ｂ…第２凹部  ９１１ｃ…第３凹部  ９１２…底部  ９８…リッド  ９２…第１凹部  ９２１…係合部  ９２２、９２３…逃げ部  ９３…第２凹部  ９３１…係合部  ９３２、９３３…逃げ部  ９４…壁部  ９５１、９６１…接続端子  ９５３、９６３…外部端子  ９９…内部端子  １１００…パーソナルコンピューター  １１０２…キーボード  １１０４…本体部  １１０６…表示ユニット  １２００…携帯電話機  １２０２…操作ボタン  １２０４…受話口  １２０６…送話口  １３００…ディジタルスチルカメラ  １３０２…ケース  １３０４…受光ユニット  １３０６…シャッターボタン  １３０８…メモリー  １３１２…ビデオ信号出力端子  １３１４…入出力端子  １４３０…テレビモニター  １４４０…パーソナルコンピューター  １５００…自動車  ２０００…表示部  Ｄ…厚さ  Ｄ１、Ｄ２…深さ  Ｇ…ギャップ  Ｗ…幅  ｈ１、ｈ２…高さ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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