(57)【要約】      （修正有）【課題】搬送部から金属板を取り外す際に金属板が不本意に変形してしまうことを防止することができ、このため搬送部から金属板を取り外すための取り外し部の動作速度を大きくすることができ、よって生産性を向上させることができる金属板処理装置および金属板処理方法を提供する。【解決手段】金属板処理装置は、搬送部（無端状のコンベアベルト）により搬送される金属板Ｗを搬送部から取り外すための取り外し部を備えている。取り外し部は、搬送部から金属板Ｗを取り外す際にこの金属板Ｗの下縁部を把持する把持機構（背板７４および各爪部材８２、あるいは各移動爪部材および各固定爪部材）を有し、把持機構は金属板Ｗを湾曲させた状態で把持するような構成となっている。【選択図】図９
2014183070.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属板を垂直に釣り下げられた状態で搬送する搬送部と、
前記搬送部により搬送される金属板を当該搬送部から取り外すための取り外し部と、
を備え、
前記取り外し部は、前記搬送部から金属板を取り外す際にこの金属板の下縁部を把持する把持機構を有し、当該把持機構は金属板を湾曲させた状態で把持するような構成となっている、金属板処理装置。
【請求項２】
前記取り外し部の前記把持機構は、金属板を波状に湾曲させた状態で把持するようになっている、請求項１記載の金属板処理装置。
【請求項３】
前記把持機構は、背板と、移動可能となっている複数の爪部材とを有し、前記背板と前記各爪部材との間に金属板の下縁部が挟まれた状態で前記各爪部材が前記背板に向かって移動することにより前記背板と前記各爪部材との間で金属板の下縁部が把持されるようになっており、前記各爪部材の間において前記背板の外面に複数の突起部分が設けられており、前記各爪部材と前記背板の前記各突起部材との間で金属板が波状に湾曲させられるようになっている、請求項２記載の金属板処理装置。
【請求項４】
前記把持機構は、その位置が固定された複数の第１の爪部材と、前記各第１の爪部材にそれぞれ対応して設けられた、移動可能となっている複数の第２の爪部材とを有し、前記各第１の爪部材は、前記第２の爪部材の移動方向における位相が異なるように配置されており、前記各第１の爪部材と前記各第２の爪部材との間に金属板の下縁部が挟まれた状態で前記各第２の爪部材が前記各第１の爪部材に向かって移動することにより前記各第１の爪部材と前記各第２の爪部材との間で金属板の下縁部が把持されるようになっている、請求項２記載の金属板処理装置。
【請求項５】
前記搬送部は、金属板の上縁部を把持する搬送部把持機構を有し、当該搬送部把持機構は金属板を湾曲させた状態で把持するような構成となっている、請求項１乃至４のいずれか一項に記載の金属板処理装置。
【請求項６】
前記金属板処理装置はリードフレーム製造装置からなり、前記取り外し部により前記搬送部から取り外されるべき金属板は、非磁性の金属板に塗工した感光膜に対して所定のパターンが焼き付けられたものからなる、請求項１乃至５のいずれか一項に記載の金属板処理装置。
【請求項７】
搬送部により金属板を垂直に釣り下げられた状態で搬送する工程と、
前記搬送部により搬送される金属板を当該搬送部から取り外す工程と、
前記搬送部から金属板を取り外す際に当該金属板を湾曲させた状態でこの金属板の下縁部を把持機構により把持させる、金属板処理方法。
【請求項８】
前記把持機構は、金属板を波状に湾曲させた状態で把持する、請求項７記載の金属板処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、無端状のコンベアベルト等の搬送部により金属板を垂直に釣り下げられた状態で搬送し、搬送部により搬送される金属板を取り外し部により当該搬送部から取り外すような金属板処理装置および金属板処理方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＩＣやＬＳＩ等の半導体パッケージにおいて、半導体素子（半導体チップ）を支持固定し、外部配線との接続を行う部品としてリードフレームが用いられている。リードフレームは、金属素材の薄板から形成されるものであり、ＩＣやＬＳＩ等の外側に出ている節足動物の一種のムカデの足のように見える端子部分は、リードフレームの一部である。より詳細に説明すると、リードフレームは、Ｃｕ合金系素材、鉄合金系素材、その他の機械的強度、電気伝導度、熱伝導度、耐食性などの優れた金属素材の薄板を、打ち抜き（プレス）やエッチング等で加工することにより形成されるようになっている。なお、リードフレームは、ＩＣやＬＳＩ等の集積回路以外に、ディスクリート半導体、フォトカプラー、ＬＥＤ等にも使用される。
【０００３】
このようなリードフレーム等の製造に際し、その素材となる非磁性の金属板に塗工した感光膜に対して所定のパターンのエッチング表面加工を行う装置として、例えば特許文献１等に開示されるものが知られている。
【０００４】
従来、リードフレーム等の製造工程では、リードフレーム等の大体の輪郭があらかじめ形成された非磁性金属板に感光性物質を塗布して感光膜を形成し、この感光膜に所定のパターンを焼き付けてレジスト膜を形成している。
【０００５】
より詳細に説明すると、リードフレーム等の製造工程では、水平面内に配置された無端状のコンベアベルトに、予め所定の加工が施された非磁性金属板が一定間隔で垂直に吊り下げられた状態で搬送されつつ、所定のパターンの焼き付け作業が行われている。具体的には、無端状のコンベアベルトに吊り下げられて一定速度で走行する非磁性金属板に、所定パターンを有したマスクを伴走させ、非磁性金属板に対するマスクのアライメント操作を行ったうえで、マスクで非磁性金属板を挟み、しかる後に光源からの光をマスクの上から非磁性金属板の感光膜に照射している。
【０００６】
この非磁性金属板はパターンの焼き付け後に無端状のコンベアベルトによって次の工程に搬送され、感光膜が現像処理されてレジスト膜とされ、さらにメッキ等の工程に送られ、例えばリードフレームの端子等に金メッキが施される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平７−７４３００号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、従来のリードフレーム等の製造工程では、無端状のコンベアベルトに吊り下げられて搬送されるリードフレームを取り外し機構によってこのコンベアベルトから取り外す際に、生産性を向上させるために取り外し機構の動作速度を大きくしようとすると、リードフレームは薄板であるため当該リードフレームが不本意に変形してしまうおそれがあり、取り外し機構の動作速度を大きくすることができないという問題があった。
【０００９】
本発明は、このような点を考慮してなされたものであり、搬送部から金属板を取り外す際に当該金属板が不本意に変形してしまうことを防止することができ、このため搬送部から金属板を取り外すための取り外し部の動作速度を大きくすることができ、よって生産性を向上させることができる金属板処理装置および金属板処理方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の金属板処理装置は、金属板を垂直に釣り下げられた状態で搬送する搬送部と、前記搬送部により搬送される金属板を当該搬送部から取り外すための取り外し部と、を備え、前記取り外し部は、前記搬送部から金属板を取り外す際にこの金属板の下縁部を把持する把持機構を有し、当該把持機構は金属板を湾曲させた状態で把持するような構成となっていることを特徴とする。
【００１１】
このような金属板処理装置によれば、搬送部により搬送される金属板を当該搬送部から取り外すための取り外し部は、搬送部から金属板を取り外す際にこの金属板の下縁部を把持する把持機構を有しており、把持機構は金属板を湾曲させた状態で把持するような構成となっている。このことにより、搬送部から金属板を取り外す際に当該金属板が不本意に変形してしまうことを防止することができ、このため搬送部から金属板を取り外すための取り外し部の動作速度を大きくすることができ、よって金属板処理装置の生産性を向上させることができる。
【００１２】
本発明の金属板処理装置においては、前記取り外し部の前記把持機構は、金属板を波状に湾曲させた状態で把持するようになっていてもよい。
【００１３】
本発明の金属板処理装置においては、前記把持機構は、背板と、移動可能となっている複数の爪部材とを有し、前記背板と前記各爪部材との間に金属板の下縁部が挟まれた状態で前記各爪部材が前記背板に向かって移動することにより前記背板と前記各爪部材との間で金属板の下縁部が把持されるようになっており、前記各爪部材の間において前記背板の外面に複数の突起部分が設けられており、前記各爪部材と前記背板の前記各突起部材との間で金属板が波状に湾曲させられるようになっていてもよい。
【００１４】
あるいは、前記把持機構は、その位置が固定された複数の第１の爪部材と、前記各第１の爪部材にそれぞれ対応して設けられた、移動可能となっている複数の第２の爪部材とを有し、前記各第１の爪部材は、前記第２の爪部材の移動方向における位相が異なるように配置されており、前記各第１の爪部材と前記各第２の爪部材との間に金属板の下縁部が挟まれた状態で前記各第２の爪部材が前記各第１の爪部材に向かって移動することにより前記各第１の爪部材と前記各第２の爪部材との間で金属板の下縁部が把持されるようになっていてもよい。
【００１５】
本発明の金属板処理装置においては、前記搬送部は、金属板の上縁部を把持する搬送部把持機構を有し、当該搬送部把持機構は金属板を湾曲させた状態で把持するような構成となっていてもよい。
【００１６】
本発明の金属板処理装置においては、前記金属板処理装置はリードフレーム製造装置からなり、前記取り外し部により前記搬送部から取り外されるべき金属板は、非磁性の金属板に塗工した感光膜に対して所定のパターンが焼き付けられたものからなっていてもよい。
【００１７】
本発明の金属板処理方法は、搬送部により金属板を垂直に釣り下げられた状態で搬送する工程と、前記搬送部により搬送される金属板を当該搬送部から取り外す工程と、を備え、前記搬送部から金属板を取り外す際に当該金属板を湾曲させた状態でこの金属板の下縁部を把持機構により把持させることを特徴とする。
【００１８】
このような金属板処理方法によれば、搬送部から金属板を取り外す際に当該金属板を湾曲させた状態でこの金属板の下縁部を把持機構により把持させるため、搬送部から金属板を取り外す際に当該金属板が不本意に変形してしまうことを防止することができ、このため搬送部から金属板を取り外すための取り外し部の動作速度を大きくすることができ、よって金属板処理装置の生産性を向上させることができる。
【００１９】
本発明の金属板処理方法においては、前記把持機構は、金属板を波状に湾曲させた状態で把持するようになっていてもよい。
【発明の効果】
【００２０】
本発明の金属板処理装置および金属板処理方法によれば、搬送部から金属板を取り外す際に当該金属板が不本意に変形してしまうことを防止することができ、このため搬送部から金属板を取り外すための取り外し部の動作速度を大きくすることができ、よって生産性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の実施の形態によるリードフレーム製造装置の構成の概略を示す概略斜視図である。
【図２】図１に示すリードフレーム製造装置において金属板を垂直に吊り下げられた状態で無端状のベルトコンベアに保持させるためのクリップの構成を示す断面図である。
【図３】所定のパターンが焼き付けられたリードフレーム用の金属板の部分切欠平面図である。
【図４】図１に示すリードフレーム製造装置に設けられた取り外し部の構成を示す側面図である。
【図５】図１に示すリードフレーム製造装置に設けられた取り外し部の構成を示す側面図である。
【図６】図１に示すリードフレーム製造装置に設けられた取り外し部の構成を示す側面図である。
【図７】図１に示すリードフレーム製造装置に設けられた取り外し部の構成を示す側面図である。
【図８】図４等に示す取り外し部の把持機構における背板および各爪部材の構成を示す斜視図である。
【図９】図４等に示す取り外し部の把持機構における背板および各爪部材の構成を示す斜視図である。
【図１０】図８に示す背板および各爪部材の横断面図である。
【図１１】図９に示す背板および各爪部材の横断面図である。
【図１２】図４等に示す取り外し部における他の構成の把持機構の各爪部材の構成を示す斜視図である。
【図１３】図４等に示す取り外し部における他の構成の把持機構の各爪部材の構成を示す斜視図である。
【図１４】図１２に示す各爪部材の横断面図である。
【図１５】図１３に示す各爪部材の横断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。本実施の形態では、本発明による金属板処理装置をリードフレーム製造装置として用いた場合について説明している。図１乃至図１１は、本実施の形態によるリードフレーム製造装置を示す図である。このうち、図１は、本実施の形態によるリードフレーム製造装置の構成の概略を示す概略斜視図であり、図２は、図１に示すリードフレーム製造装置において金属板を垂直に吊り下げられた状態で無端状のベルトコンベアに保持させるためのクリップの構成を示す断面図であり、図３は、所定のパターンが焼き付けられたリードフレーム用の金属板の部分切欠平面図である。また、図４乃至図７は、図１に示すリードフレーム製造装置に設けられた取り外し部の構成を示す側面図である。また、図８乃至図１１は、図４等に示す取り外し部の把持機構における背板および各爪部材の構成を示す図である。
【００２３】
まず、図１等を用いて本実施の形態によるリードフレーム製造装置の全体的な構成について説明する。本実施の形態によるリードフレーム製造装置は、図３に示すような非磁性の金属板Ｗに対して金等のメッキを施すためのものである。ここで、金属板Ｗは、例えば厚さ０．０５〜０．３０ｍｍのリードフレーム素材板からなり、この金属板Ｗにはリードフレームの大体の輪郭がすでに形成されている。この金属板Ｗは、一般的に銅で形成されているが、アルミニウム等の他の種類の金属により形成される場合もある。
【００２４】
本実施の形態のリードフレーム製造装置によれば、金属板Ｗにおける例えばリードフレームの脚の一部に銀メッキ、金メッキ等を施すことが可能である。
【００２５】
図１に示すように、本実施の形態のリードフレーム製造装置には、鋼材等の導電材により形成された無端状のコンベアベルト１０が設けられている。この無端状のコンベアベルト１０は一対のプーリ１４によって水平面内に張設され、一方のプーリ１４の駆動によってコンベアベルト１０は図１における矢印方向に一定速度で走行するようになっている。
【００２６】
図２に示すように、無端状のコンベアベルト１０には、四角形の孔１０ａがこのコンベアベルト１０の長さ方向に一定のピッチで多数設けられている。そして、各孔１０ａにはクリップ１２が挿入され、各クリップ１２の上端部がコンベアベルト１０の外面に固定されるようになっている。また、各クリップ１２の下端部はコンベアベルト１０の外面に対して付勢されるようになっている。このクリップ１２の下端部とコンベアベルト１０の外面との間に金属板Ｗの上端部が挟持され、これにより金属板Ｗは無端状のコンベアベルト１０から垂直下方に垂れ下がるようになっている。
【００２７】
図１に示すように、無端状のコンベアベルト１０の往路部には多数の金属板Ｗが一定間隔でクリップ１２に挟まれた状態でつり下げられつつ、この無端状のコンベアベルト１０によって矢印方向に一定速度で搬送される。また、無端状のコンベアベルト１０の上流端と下流端には、コンベアベルト１０に金属板Ｗを取り付けるための取り付け部３０およびコンベアベルト１０から金属板Ｗを取り外すための取り外し部４０がそれぞれ設けられている。取り外し部４０の構成の詳細については後述する。
【００２８】
また、図１に示すように、無端状のコンベアベルト１０の往路部には処理チャンバ２０が設けられており、この処理チャンバ２０内には感光膜形成装置（図示せず）、パターン焼き付け装置（図示せず）、現像装置（図示せず）、メッキ装置（図示せず）等が、無端状のコンベアベルト１０の往路部の走行方向に沿って順に配設されている。これらの処理チャンバ２０内に設けられた各装置の詳細な説明については省略する。
【００２９】
次に、本実施の形態によるリードフレーム製造装置に設けられた取り外し部４０の構成の詳細について図４等を用いて説明する。
【００３０】
図４に示すように、取り外し部４０は第１の本体部分４４および第２の本体部分４６を有しており、第２の本体部分４６は軸４８により第１の本体部分４４に回転自在に枢支されるようになっている。また、第１の本体部分４４にはストッパ５０、５２が設けられており、第２の本体部分４６には、各ストッパ５０、５２により停止させられる突出部材５４が取り付けられている。具体的には、突出部材５４は図４等の紙面における第２の本体部分４６の裏側に設けられており、第１の本体部分４４と第２の本体部分４６との間に各ストッパ５０、５２や突出部材５４が位置するようになっている。このような第２の本体部分４６に取り付けられた突出部材５４が第１の本体部分４４の各ストッパ５０、５２によって停止させられることにより、軸４８を中心とした第１の本体部分４４に対する第２の本体部分４６の揺動が制限されるようになっている。
【００３１】
また、取り外し部４０には、図４等の紙面に直交する方向に延びるようリニアガイド４２が設けられており、第１の本体部分４４はリニアガイド４２に沿って図４等の紙面に直交する方向に移動するようになっている。より詳細には、第１の本体部分４４は、リニアガイド４２に沿って、無端状のコンベアベルト１０と同期して図４等の紙面に直交する方向に移動するようになっている。このことにより、無端状のコンベアベルト１０が連続的に移動していても、このコンベアベルト１０に取り付けられた金属板Ｗを取り外し部４０により取り外すことができるようになる。
【００３２】
また、図４等に示すように、第１の本体部分４４にはシリンダ部材５６が設けられており、このシリンダ部材５６は軸５８により第１の本体部分４４に回転自在に枢支されるようになっている。このようなシリンダ部材５６によりピストン部分６０が往復動を行うようになっている。また、このピストン部分６０の先端部には軸６４を介して棒状部材６２が回転自在に取り付けられており、この棒状部材６２の先端部は軸６６により第２の本体部分４６に回転自在に枢支されるようになっている。このような機構により、シリンダ部材５６がピストン部分６０を往復動させることによって第２の本体部分４６が第１の本体部分４４に対して軸４８を中心として揺動するようになる。
【００３３】
また、図４等に示すように、本体部分４４にはクリップ解除部９０が設けられており、このクリップ解除部９０により、コンベアベルト１０に設けられたクリップ１２が動作され、当該クリップ１２の下端部がコンベアベルト１０の外面から離間する方向に移動することにより、金属板Ｗの上縁部がコンベアベルト１０から解放されるようになっている。
【００３４】
また、第２の本体部分４６にはシリンダ部材７０が固定されており、このシリンダ部材７０によりピストン部分７２が往復動を行うようになっている。また、このピストン部分７２の先端部には板状部材７３が取り付けられており、この板状部材７３には背板７４が更に取り付けられている。背板７４の構成の詳細については後述する。また、背板７４の裏側（図４等における右側の面）には爪部材支持部７５が設けられており、この爪部材支持部７５によりシリンダ部材７６が支持されるようになっている。シリンダ部材７６のピストン部分７７の先端部には爪部材８２が設けられている。図４等では爪部材８２は１つしか示されていないが、実際には図８乃至図１１に示すように爪部材８２は金属板Ｗの幅方向（図４等の紙面に直交する方向）に沿って複数設けられている。また、各爪部材８２は軸８０によって爪部材支持部７５に回転自在に枢支されるようになっている。また、各爪部材８２の基端部にはバネ７８の一端が接続されており、このバネ７８の他端は爪部材支持部７５に取り付けられている。そして、各爪部材８２は、バネ７８の圧縮力により軸８０を中心として反時計回りの方向に回転するような力が加えられ、背板７４から遠ざかる方向に付勢されるようになっている。一方、シリンダ部材７６によりピストン部分７７が伸びて各爪部材８２の基端部が押圧されると、各爪部材８２は軸８０を中心として時計回りの方向に回転し、背板７４に近づく方向に移動する。本実施の形態では、背板７４および各爪部材８２等により、コンベアベルト１０から金属板Ｗを取り外す際にこの金属板Ｗの下縁部を把持する把持機構が構成されている。
【００３５】
次に、このような構成からなる取り外し部４０の動作について図４乃至図８を用いて説明する。
【００３６】
前述したように、第１の本体部分４４は、リニアガイド４２に沿って無端状のコンベアベルト１０と同期して図４等の紙面に直交する方向に移動する。このことにより、第２の本体部分４６や、この第２の本体部分４６に設けられた背板７４、各爪部材８２等も無端状のコンベアベルト１０と同期して図４等の紙面に直交する方向に移動する。この際に、第２の本体部分４６に設けられた背板７４や各爪部材８２が、無端状のコンベアベルト１０から釣り下げられた金属板Ｗと向き合うよう、第１の本体部分４４は無端状のコンベアベルト１０と同期して移動するようになる。
【００３７】
そして、図５に示すように、取り外し部４０により無端状のコンベアベルト１０から金属板Ｗを取り外す際に、シリンダ部材７０によりピストン部分７２を図５における左方向に押し出す。このことにより、ピストン部分７２の先端部に取り付けられた板状部材７３も図５における左方向に移動し、この板状部材７３に設けられた背板７４の外面が、コンベアベルト１０から釣り下げられた金属板Ｗの下縁部に当接するようになる。また、背板７４の外面が金属板Ｗの下縁部に当接した後、シリンダ部材７６によりピストン部分７７を図５における左下方向に押し出し、このピストン部分７７により各爪部材８２の基端部を押圧する。このことにより、各爪部材８２は軸８０を中心として時計回りの方向に回転し、背板７４に近づく方向に移動する。このようにして、コンベアベルト１０から釣り下げられた金属板Ｗの下縁部は、背板７４と各爪部材８２との間で挟持されるようになる。
【００３８】
次に、クリップ解除部９０により、コンベアベルト１０に設けられたクリップ１２を動作し、当該クリップ１２の下端部をコンベアベルト１０の外面から離間する方向に移動させる。このことにより、金属板Ｗの上縁部がコンベアベルト１０から解放される。
【００３９】
その後、図６に示すように、シリンダ部材７０によりピストン部分７２を図６における右方向に引く。このことにより、ピストン部分７２の先端部に取り付けられた板状部材７３も図６における右方向に移動し、背板７４と各爪部材８２との間で下縁部が挟持された金属板Ｗも図６における右方向に移動してコンベアベルト１０から退避するようになる。
【００４０】
そして、図７に示すように、シリンダ部材５６によりピストン部分６０を引くことによって、棒状部材６２を介して第２の本体部分４６を第１の本体部分４４に対して軸４８を中心として反時計回りの方向に９０°回転させる。第２の本体部分４６が第１の本体部分４４に対して軸４８を中心として反時計回りの方向に９０°回転すると、突出部材５４が第１の本体部分４４のストッパ５２によって停止させられることにより、第２の本体部分４６は第１の本体部分４４に対してこれ以上回転しないようになる。このようにして、ピストン部分７２の先端部に取り付けられた板状部材７３や背板７４は下方を向くようになる。このような状態で、シリンダ部材７６によりピストン部分７７を引く。このことにより、各爪部材８２は軸８０を中心として反時計回りの方向に回転し、背板７４から遠ざかる方向に移動する。このようにして、背板７４と各爪部材８２との間で挟持されていた金属板Ｗは解放され、図７における板状部材７３や背板７４の下方に積層状態で集積されるようになる。
【００４１】
次に、金属板Ｗの下縁部を把持する把持機構を構成する背板７４および各爪部材８２の構成の詳細について図８乃至図１１を用いて説明する。図８および図１０は、背板７４および各爪部材８２により金属板Ｗの下縁部を把持する前の状態を示す図であり、図９および図１１は、背板７４および各爪部材８２により金属板Ｗの下縁部を把持した後の状態を示す図である。また、図８および図９において、金属板Ｗを点線で示している。
【００４２】
図８および図１０に示すように、各爪部材８２の間において背板７４の外面には、断面が半円形状となっている複数の突起部分７４ａが設けられている。そして、背板７４および各爪部材８２により金属板Ｗの下縁部を把持させるにあたり、シリンダ部材７０によりピストン部分７２を図５における左方向に押し出し、背板７４と各爪部材８２との間に金属板Ｗを位置させる（図８および図１０参照）。そして、各爪部材８２が軸８０を中心として図５における時計回りの方向に回転し、各爪部材８２が背板７４に向かって移動することにより、図９や図１１に示すように背板７４と各爪部材８２との間で金属板Ｗの下縁部が把持される。この際に、各爪部材８２の間において背板７４の外面に複数の突起部分７４ａが設けられているため、図９や図１１に示すように、各爪部材８２と背板７４の各突起部材７４ａとの間で金属板Ｗが波状に湾曲させられる。
【００４３】
以上のように本実施の形態のリードフレーム製造装置（金属板処理装置）によれば、無端状のコンベアベルト１０により搬送される金属板Ｗをコンベアベルト１０から取り外すための取り外し部４０は、コンベアベルト１０から金属板Ｗを取り外す際にこの金属板Ｗの下縁部を把持する把持機構として背板７４および各爪部材８２を有しており、これらの背板７４および各爪部材８２は金属板Ｗを湾曲させた状態で把持するような構成となっている。より詳細には、図９や図１１に示すように、取り外し部４０の背板７４および各爪部材８２は、金属板Ｗを波状に湾曲させた状態で把持するようになっている。このことにより、コンベアベルト１０から金属板Ｗを取り外す際に当該金属板Ｗが不本意に変形してしまうことを防止することができ、このためコンベアベルト１０から金属板Ｗを取り外すための取り外し部４０の動作速度を大きくすることができ、よってリードフレーム製造装置の生産性を向上させることができる。
【００４４】
なお、本実施の形態によるリードフレーム製造装置は、上述したような態様に限定されることはなく、様々な変更を加えることができる。
【００４５】
例えば、コンベアベルト１０から金属板Ｗを取り外す際にこの金属板Ｗの下縁部を把持する把持機構は、図８乃至図１１に示すような背板７４および各爪部材８２からなるものに限定されることはない。把持機構の他の構成について図１２乃至図１５を用いて説明する。
【００４６】
図１２乃至図１５に示すように、金属板Ｗの下縁部を把持する把持機構は、移動可能となっている複数の移動爪部材８２ａと、各移動爪部材８２ａに対応して設けられ、その位置が固定された固定爪部材８２ｂとを有していてもよい。各移動爪部材８２ａは、図４乃至図１１に示す取り外し部４０の各爪部材８２と同様の構成となっており、これらの各移動爪部材８２ａの基端部はシリンダ部材７６のピストン部分７７の先端部に取り付けられている。また、図１２および図１３に示すように、各固定爪部材８２ｂは板状部材８２ｃにそれぞれ取り付けられており、この板状部材８２ｃは、シリンダ部材７０のピストン部分７２の先端部に設けられた板状部材７３に取り付けられている。
【００４７】
図１２乃至図１５に示すように、各移動爪部材８２ａは、当該移動爪部材８２ａの移動方向（図１４や図１５の上下方向）における位相が異なるようになっている。具体的には、５つの移動爪部材８２ａのうち、両端および中央にある３つの移動爪部材８２ａに対して、これらの３つの移動爪部材８２ａの間にある２つの移動爪部材８２ａ（左から２番目および右から２番目の移動爪部材８２ａ）は、より板状部材８２ｃに近い位置にある。また、各  固定爪部材８２ｂも、移動爪部材８２ａの移動方向（図１４や図１５の上下方向）における位相が異なるようになっている。具体的には、５つの固定爪部材８２ｂのうち、両端および中央にある３つの固定爪部材８２ｂに対して、これらの３つの固定爪部材８２ｂの間にある２つの固定爪部材８２ｂ（左から２番目および右から２番目の固定爪部材８２ｂ）は、より板状部材８２ｃに近い位置にある。
【００４８】
各移動爪部材８２ａおよび各固定爪部材８２ｂにより金属板Ｗの下縁部を把持させるにあたり、シリンダ部材７０によりピストン部分７２を図５における左方向に押し出し、各移動爪部材８２ａと各固定爪部材８２ｂとの間に金属板Ｗを位置させる（図１２および図１４参照）。そして、シリンダ部材７６がピストン部分７７を押し出し、各移動爪部材８２ａが各固定爪部材８２ｂに向かって移動することにより、図１３や図１５に示すように各移動爪部材８２ａと各固定爪部材８２ｂとの間で金属板Ｗの下縁部が把持される。この際に、各移動爪部材８２ａや各固定爪部材８２ｂは、移動爪部材８２ａの移動方向（図１２等の上下方向）における位相が異なるようになっているため、図１３や図１５に示すように、各移動爪部材８２ａと各固定爪部材８２ｂとの間で金属板Ｗが波状に湾曲させられる。
【００４９】
以上のように図１２乃至図１５に示すような把持機構でも、コンベアベルト１０から金属板Ｗを取り外す際にこの金属板Ｗの下縁部を把持する複数の移動爪部材８２ａおよび複数の固定爪部材８２ｂがそれぞれ設けられており、これらの各移動爪部材８２ａおよび各固定爪部材８２ｂは金属板Ｗを湾曲させた状態で把持するような構成となっている。より詳細には、図１３や図１５に示すように、各移動爪部材８２ａおよび各固定爪部材８２ｂは、金属板Ｗを波状に湾曲させた状態で把持するようになっている。このことにより、コンベアベルト１０から金属板Ｗを取り外す際に当該金属板Ｗが不本意に変形してしまうことを防止することができ、このためコンベアベルト１０から金属板Ｗを取り外すための取り外し部４０の動作速度を大きくすることができ、よってリードフレーム製造装置の生産性を向上させることができる。
【００５０】
また、本実施の形態による把持機構は、図８乃至図１１に示すような背板７４および各爪部材８２からなるもの、あるいは図１２乃至図１５に示すような各移動爪部材８２ａおよび各固定爪部材８２ｂからなるものに限定されることはなく、金属板Ｗを湾曲させた状態で当該金属板Ｗの下縁部を把持することができるものであれば、更に別の構成のものとすることもできる。
【００５１】
また、本実施の形態による把持機構は、金属板Ｗを波状に湾曲させた状態で把持するものに限定されることはない。更なる変形例に係る把持機構として、金属板Ｗを円弧形状や弓形形状に湾曲させた状態で把持するような構成のものを使用してもよい。
【００５２】
また、無端状のコンベアベルト１０により金属板Ｗを搬送する際にこの金属板Ｗの上縁部をコンベアベルト１０に取り付ける部材は、図２等に示すようなクリップ１２に限定されることはない。コンベアベルト１０により金属板Ｗの上縁部を把持させるコンベアベルト把持機構として、金属板Ｗを湾曲させた状態で（具体的には、例えば波状や円弧形状、弓形形状に湾曲させた状態で）把持するような構成となっているものを用いてもよい。このような場合には、無端状のコンベアベルト１０により金属板Ｗを搬送する際に、当該金属板Ｗが不本意に変形してしまうことを防止することができ、このためコンベアベルト１０による金属板Ｗの搬送速度を大きくすることができ、よってリードフレーム製造装置の生産性を向上させることができる。
【００５３】
また、本発明による金属板処理装置は、リードフレーム製造装置に限定されることはない。無端状のコンベアベルト等の搬送部により金属板を垂直に釣り下げられた状態で搬送し、搬送部により搬送される金属板を当該搬送部から取り外すものであれば、他の種類の装置にも本発明を適用することができる。
【符号の説明】
【００５４】
１０  コンベアベルト
１０ａ  孔
１２  クリップ
１４  プーリ
２０  処理チャンバ
３０  取り付け部
４０  取り外し部
４２  リニアガイド
４４  第１の本体部分
４６  第２の本体部分
４８  軸
５０、５２  ストッパ
５４  突出部材
５６  シリンダ部材
５８  軸
６０  ピストン部分
６２  棒状部材
６４  軸
６６  軸
７０  シリンダ部材
７２  ピストン部分
７３  板状部材
７４  背板
７４ａ  突起部分
７５  爪部材支持部
７６  シリンダ部材
７７  ピストン部分
７８  バネ
８０  軸
８２  爪部材
８２ａ  移動爪部材
８２ｂ  固定爪部材
８２ｃ  板状部材
９０  クリップ解除部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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