(57)【要約】【課題】製造効率の向上を図った上で、振動特性に優れた圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計を提供する。【解決手段】幅方向に並んで配置された一対の振動腕部１０，１１と、一対の振動腕部１０，１１におけるＹ軸方向の基端部が接続された基部１２と、を備えた圧電振動片１において、各振動腕部１０，１１におけるＸ軸方向で対向し合う側面１０ａ，１０ｂ，１１ａ，１１ｂのうち、一側面には第１励振電極２１が形成され、他側面には第１励振電極２１と極性の異なる及び第２励振電極２２が形成され、第１励振電極２１及び第２励振電極２２は、各励振電極２１，２２間に電圧が印加されたときに、各振動腕部１０，１１をＹ−Ｚ平面に沿って振動させることを特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
幅方向に並んで配置された一対の振動腕部と、
前記一対の振動腕部における延在方向の基端部が接続された基部と、を備えた圧電振動片において、
前記各振動腕部における幅方向で対向し合う両側面のうち、一側面には第１励振電極が形成され、他側面には第１励振電極と極性の異なる及び第２励振電極が形成され、
第１励振電極及び第２励振電極は、前記各励振電極間に電圧が印加されたときに、前記各振動腕部を厚さ方向に沿って振動させることを特徴とする圧電振動片。
【請求項２】
前記一側面には、第１励振電極よりも前記厚さ方向にオフセットした位置にさらに第２励振電極が形成され、
前記他側面には、第２励振電極よりも前記厚さ方向にオフセットした位置にさらに第１励振電極が形成されており、
前記一側面と前記他側面との間で、第１励振電極及び第２励振電極が前記幅方向に対向するように設けられていることを特徴とする請求項１記載の圧電振動片。
【請求項３】
前記振動腕部の幅寸法は、前記振動腕部の厚さ寸法と比較して短いことを特徴とする請求項１または請求項２記載の圧電振動片。
【請求項４】
前記振動腕部の幅寸法は、前記振動腕部の厚さ寸法の２０％以上８０％以下であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の圧電振動片。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか１項に記載の圧電振動片と、
互いに接合されたベース部材とリッド部材とを有し、両部材の間に形成されたキャビティ内に前記圧電振動片を収容するパッケージと、を備えていることを特徴とする圧電振動子。
【請求項６】
請求項５記載の圧電振動子が、発振子として集積回路に電気的に接続されていることを特徴とする発振器。
【請求項７】
請求項５記載の圧電振動子が、計時部に電気的に接続されていることを特徴とする電子機器。
【請求項８】
請求項５記載の圧電振動子が、フィルタ部に電気的に接続されていることを特徴とする電波時計。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
携帯電話や携帯情報端末機器等には、時刻源や制御信号のタイミング源、リファレンス信号源等として、水晶等を利用した圧電振動子が用いられている。この種の圧電振動子は、様々なものが提供されているが、その一つとして、いわゆる音叉型の圧電振動片を有する圧電振動子が知られている。
【０００３】
ここで、従来における音叉型の圧電振動片について間単に説明する。図２６は従来の圧電振動片の平面図であり、図２７は図２６のＥ−Ｅ線に沿う断面図である。
図２６、図２７に示すように、圧電振動片２００は、幅方向に並んで配置された一対の振動腕部２１０，２１１と、これら一対の振動腕部２１０，２１１の長さ方向に沿う基端部同士を連結する基部２１２と、を備えている。そして、圧電振動片２００の外表面には電極膜２１３が形成され、この電極膜２１３に電圧が印加されることで、一対の振動腕部２１０，２１１を、互いに接近又は離間する方向（振動腕部２１０，２１１の幅方向）に所定の共振周波数で振動させることが可能となっている。
【０００４】
ところで、近年、パッケージが搭載される機器の小型化に伴い、圧電振動片２００のさらなる小型化が望まれている。しかし、圧電振動片２００の小型化にあたって、振動腕部２１０，２１１の幅を狭く形成すると、振動腕部２１０，２１１上に形成される電極膜２１３の形成幅も狭くなるので、振動に寄与する電界を印加し難くなり、等価直列抵抗値（Ｃｒｙｓｔａｌ  Ｉｍｐｅｄａｎｃｅ：ＣＩ値）が上昇して出力信号の品質が悪化してしまう。したがって、圧電振動片２００の小型化を図るためには、ＣＩ値の上昇を抑えつつ行う必要がある。
【０００５】
そこで、例えば、特許文献１に示されるように、振動腕部２１０，２１１の両主面上にエッチング加工により溝部２１４を形成する構成が知られている。
この構成によれば、振動腕部２１０，２１１の側面と溝部２１４の内面とで、対となる電極膜２１３同士が対向するので、その対向方向に電界を効率良く作用させることができる。これにより、振動腕部２１０，２１１の幅を狭くしても、電界効率を高めることができ、ＣＩ値の上昇を抑えつつ圧電振動片の小型化を図ることができるとされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００２−２６１５５８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ここで、振動腕部２１０，２１１に溝部２１４を形成するには、ウエハを圧電振動片２００の外形形状にエッチング加工した後、さらに、振動腕部２１０，２１１における溝部形成領域に対してエッチング加工により溝部２１４を形成する必要がある。
そのため、溝部形成に費やす工程が余計にかかり、製造工数の増加や、製造工程の複雑化に繋がり、製造効率が低下するという問題がある。
【０００８】
また、溝部２１４のエッチングは、圧電振動片２００を外形形成した後に行うので、溝部形成用のマスクを振動腕部２１０，２１１に対して精度良くアライメントさせる必要がある。
特に、上述したアライメント精度が悪く、溝部２１４が振動腕部２１０，２１１の幅方向にずれてしまった場合には、各振動腕部２１０，２１１を幅方向で二等分する軸線を中心とした両側で形状が異なり、重量バランスが不均衡になる。その結果、振動腕部２１０，２１１の振動バランスの不均衡を招き、ドライブレベル特性（圧電振動片２００に印加する電圧に対する共振周波数Ｆの挙動）の変化や、振動漏れによるＣＩ値の増加等に繋がる虞がある。
【０００９】
さらに、電極膜２１３は、溝部２１４の内面に位置する部分と、振動腕部２１０，２１１の側面に位置する部分と、が振動腕部２１０，２１１の主面のうち、溝部２１４と振動腕部２１０，２１１の側面との間に位置する部分で分割されるようにパターニングされる必要がある（例えば、図２７中Ｆ部参照）。
そのため、上述したように振動腕部２１０，２１１に対して溝部２１４が幅方向にずれてしまうと、電極膜２１３のうちパターニングにより除去される部分と、振動腕部２１０，２１１の主面のうち溝部２１４と振動腕部２１０，２１１の側面との間に位置する部分と、がずれてしまう。この場合には、振動腕部２１０，２１１の主面のうち、溝部２１４と振動腕部２１０，２１１の側面との間に位置する部分の電極膜２１３が除去されず、溝部２１４の内面側と、振動腕部２１０，２１１の側面側とで、分極が不十分になる虞があった。
【００１０】
そこで本発明は、製造効率の向上を図った上で、振動特性に優れた圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上述した課題を解決するため、本発明の圧電振動片は、幅方向に並んで配置された一対の振動腕部と、前記一対の振動腕部における延在方向の基端部が接続された基部と、を備えた圧電振動片において、前記各振動腕部における幅方向で対向し合う両側面のうち、一側面には第１励振電極が形成され、他側面には前記第１励振電極と極性の異なる及び第２励振電極が形成され、前記第１励振電極及び前記第２励振電極は、前記各励振電極間に電圧が印加されたときに、前記各振動腕部を厚さ方向に沿って振動させることを特徴としている。
【００１２】
この構成によれば、振動腕部の両側面に、極性の異なる第１励振電極及び第２励振電極を形成し、これら励振電極に電圧を印加することで、振動腕部の幅方向に沿う電界が発生する。これにより、振動腕部は、振動腕部の長さ方向に伸長または短縮する方向に向けて変位することで、振動腕部の厚さ方向に沿って所定の周波数で振動することになる。
したがって、従来のように溝部を形成する必要がないので、製造効率の向上を図ることができる。
また、圧電振動片の外形形状を形成した後、さらに溝部を形成する必要がないので、圧電振動片を高精度に形成することが可能になり、振動腕部の重量バランスのばらつきを抑えることができる。これにより、ドライブレベル特性の変化や、ＣＩ値の増加を抑制し、優れた振動特性を発揮させることができる。
しかも、振動腕部における両主面には励振電極を形成しないので、振動腕部の両主面を介して励振電極を両側面間で確実に分極できる。
したがって、製造効率の向上を図った上で、振動特性に優れた圧電振動片を提供できる。
【００１３】
また、前記各振動腕部のうち、前記一側面には、第１励振電極よりも前記厚さ方向にオフセットした位置にさらに第２励振電極が形成され、前記他側面には、第２励振電極よりも前記厚さ方向にオフセットした位置にさらに第１励振電極が形成されており、前記一側面と前記他側面との間で、第１励振電極及び第２励振電極が前記幅方向に対向するように設けられていることを特徴とする。
この構成によれば、振動腕部の幅方向で対向する第１励振電極及び第２励振電極が、振動腕部の両側面それぞれにおいて、厚さ方向で極性が逆向きになるように形成されることになる。そのため、厚さ方向の一方側及び他方側において、幅方向で対向する第１励振電極及び第２励振電極間で発生する電界が逆向きになる。したがって、例えば、同一の振動腕部において厚さ方向の一方側で対になる第１励振電極及び第２励振電極間では、振動腕部が伸長する方向に向けて変位する一方、厚さ方向の他方側に形成された第１励振電極及び第２励振電極間では振動腕部が収縮する方向に向けて変位する。これにより、振動腕部を厚さ方向に屈曲振動させることができ、振動特性の更なる向上を図ることができる。
【００１４】
また、前記振動腕部の幅寸法は、厚さ寸法と比較して短いことを特徴としている。
この構成によれば、振動腕部の幅が、厚さに比べて短くなっているので、振動腕部の幅方向で対となる励振電極間の距離を短縮して、電界効率の向上を図ることができる。これにより、ＣＩ値の更なる低減を図るとともに、圧電振動片の小型化を図ることができる。なお、従来の構成と比較して、本願発明では振動腕部の主面に電極を形成する必要がないので、振動腕部の幅寸法を狭めたとしても電極同士が短絡したりする懸念がない。
【００１５】
また、本発明に係る圧電振動子は、上記本発明の圧電振動片と、互いに接合されたベース部材とリッド部材とを有し、両部材の間に形成されたキャビティ内に前記圧電振動片を収容するパッケージと、を備えていることを特徴としている。
この構成によれば、安定した振動特性を有する高品質で小型の圧電振動片を備えているので、作動の信頼性に優れた高品質な圧電振動子とすることができる。
【００１６】
また、本発明に係る発振器は、上記本発明の圧電振動子が、発振子として集積回路に電気的に接続されていることを特徴としている。
【００１７】
また、本発明に係る電子機器は、上記本発明の圧電振動子が、計時部に電気的に接続されていることを特徴としている。
【００１８】
また、本発明に係る電波時計は、上記本発明の圧電振動子が、フィルタ部に電気的に接続されていることを特徴としている。
【００１９】
本発明に係る発振器、電子機器及び電波時計においては、上記本発明の圧電振動子を備えているので、信頼性に優れた高品質な製品を提供することができる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明の圧電振動片、及び圧電振動子によれば、製造効率の向上を図った上で、振動特性に優れた圧電振動片、及び圧電振動子を提供することができる。
本発明に係る発振器、電子機器及び電波時計においては、上記本発明の圧電振動子を備えているので、信頼性に優れた高品質な製品を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の本実施形態に係る圧電振動片を一方側から見た平面図である。
【図２】圧電振動片を他方側から見た平面図である。
【図３】（ａ）は図１のＡ矢視図であり、（ｂ）は図１のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
【図４】圧電振動片の斜視図である。
【図５】圧電振動片の製造方法を示すフローチャートである。
【図６】圧電振動片の製造方法を示す工程図であって、ウエハの平面図である。
【図７】圧電振動子を示す外観斜視図である。
【図８】図７に示す圧電振動子の内部構成図であって、封口板を取り外した状態の平面図である。
【図９】図８のＤ−Ｄ線に沿う断面図である。
【図１０】図７に示す圧電振動子の分解斜視図である。
【図１１】変形例の圧電振動片を示す平面図である。
【図１２】変形例の圧電振動片を示す側面図である。
【図１３】変形例の他の構成を示す圧電振動片の平面図である。
【図１４】変形例の他の構成を示す圧電振動片の側面図である。
【図１５】変形例の他の構成を示す圧電振動片の平面図である。
【図１６】変形例の他の構成を示す圧電振動片の側面図である。
【図１７】変形例の他の構成を示す圧電振動片の平面図である。
【図１８】変形例の他の構成を示す圧電振動片の側面図である。
【図１９】変形例の他の構成を示す圧電振動片の斜視図である。
【図２０】図１７〜図１９に示す圧電振動片の製造方法を示す工程図であって、ウエハの平面図である。
【図２１】変形例の他の構成を示す圧電振動片の平面図である。
【図２２】変形例の他の構成を示す圧電振動片の側面図である。
【図２３】本発明の一実施形態を示す図であって、発振器の構成図である。
【図２４】本発明の一実施形態を示す図であって、電子機器の構成図である。
【図２５】本発明の一実施形態を示す図であって、電波時計の構成図である。
【図２６】従来の圧電振動片を示す平面図である。
【図２７】図２６のＥ−Ｅ線に沿う断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
次に、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
（圧電振動片）
図１は本実施形態に係る圧電振動片を一方側から見た平面図であり、図２は他方側から見た平面図である。また、図３（ａ）は図１のＡ矢視図であり、図３（ｂ）は図１のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。図４は圧電振動片の斜視図である。
図１〜図４に示すように、本実施形態の圧電振動片１は、水晶、タンタル酸リチウムやニオブ酸リチウム等の圧電材料からなる音叉型の振動片であって、一対の振動腕部１０，１１（第１振動腕部１０及び第２振動腕部１１）、及び一対の振動腕部１０，１１の基端部を一体的に固定する基部１２を有する圧電板１３と、圧電板１３上に形成された電極膜１４と、を備えている。なお、本実施形態の圧電板１３は、後述するように水晶のランバート原石を、水晶結晶軸として互いに直交するＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸に対して所定の角度でスライスしてウエハ４０（図６参照）とし、このウエハ４０に対してウェットエッチングを施すことで形成されている。そして、本実施形態の圧電板１３では、水晶結晶軸のＺ軸が圧電板１３の厚さ方向にほぼ一致し、Ｙ軸が圧電板１３（振動腕部１０，１１）の長さ方向に一致し、Ｘ軸が圧電板１３の幅方向（振動腕部１０，１１の配列方向）に一致している。
【００２３】
一対の振動腕部１０，１１は、Ｙ軸方向に沿って延在するとともに、Ｘ軸方向に平行に並んで形成されている。本実施形態の振動腕部１０，１１は、Ｚ軸方向の厚さ（例えば、１００μｍ程度）に比べて、Ｘ軸方向の幅（例えば、２０〜３０μｍ程度）が狭く形成されている。従来の振動片は、振動腕部の厚さ寸法と幅寸法とを比較した場合に、主面電極の短絡防止、溝の形成しやすさ、主面における励振電極の形成しやすさ等を考慮すると、幅寸法を大きくとる必要があり、その結果、幅寸法≧厚さ寸法の関係になることが多かったが、本実施形態によれば、主面に溝、励振電極を形成する必要がないので、幅寸法を広くとる必要がなく、幅寸法≧厚さ寸法とすることができる。また、幅寸法を狭めることにより、両側面間での電界効率を向上させることが可能になる（詳細は後述）。なお、より好適な例としては、振動腕部の幅寸法は、振動腕部の厚さ寸法の２０％以上８０％以下であればよい。この範囲にあれば、振動腕部が振動する際の剛性、外部衝撃等に耐えうる剛性を確実確保することができる（幅寸法が狭すぎると振動腕部の剛性が低下するため）。しかしながら、使用環境に鑑みて耐えうる特性を確保できるのであれば、この範囲外の寸法であってもよい。なお、ここでいう幅寸法とは、例えば振動腕部の幅が変化するような形状（縮幅部や拡幅部があるような形状）では、その概略平均値の幅寸法のことを指す。
また、基部１２と振動腕部１０，１１との接続部には、基部１２、振動腕部１０の内側面１０ａ及び振動腕部１１の内側面１１ａに囲まれて又部１５が形成されている。
【００２４】
電極膜１４は、一対の振動腕部１０，１１に形成されて一対の振動腕部１０，１１を振動させる第１励振電極２１及び第２励振電極２２と、第１励振電極２１及び第２励振電極２２にそれぞれに電気的に接続された第１マウント電極２３及び第２マウント電極２４と、励振電極２１，２２とマウント電極２３，２４とをそれぞれ電気的に接続する第１引き出し電極２５、及び第２引き出し電極２６と、を有している。なお、電極膜１４は、例えば、クロム（Ｃｒ）と金（Ａｕ）の積層膜等により形成される。
【００２５】
励振電極２１，２２は、一対の振動腕部１０，１１をＹ−Ｚ平面に沿って所定の共振周波数で逆位相に振動させる電極である。励振電極２１，２２は、一対の振動腕部１０，１１の内側面（一側面、または他側面）１０ａ，１１ａ及び外側面（他側面、または一側面）１０ｂ，１１ｂ上にＹ軸方向に沿って延設され、それぞれ電気的に切り離された状態でパターニングされて形成されている。なお、励振電極２１，２２は、Ｙ軸方向において振動腕部１０，１１の先端部を除くほぼ全域亘って形成されている。
【００２６】
具体的に、第１励振電極２１は、各振動腕部１０，１１の外側面１０ｂ，１１ｂにおけるＺ軸方向の一方側（図３中上側）、及び内側面１０ａ，１１ａにおけるＺ軸方向の他方側（図３中下側）に形成されている。また、第２励振電極２２は、各振動腕部１０，１１の外側面１０ｂ，１１ｂにおけるＺ軸方向の他方側、及び内側面１０ａ，１１ａにおけるＺ軸方向の一方側に形成されている。すなわち、第１励振電極２１及び第２励振電極２２は、内側面１０ａ，１１ａ及び外側面１０ｂ，１１ｂそれぞれにおいて、Ｚ軸方向に並んで配設され、内側面１０ａ，１１ａと外側面１０ｂ，１１ｂ間において、Ｘ軸方向に対向している。また、言い換えれば、各側面において、第１励振電極２１と第２励振電極２２とが厚さ方向（Ｚ軸方向）にオフセットして設けられている。
【００２７】
このように、各励振電極２１，２２は、同一の振動腕部１０，１１を構成するＸ軸方向で対向する側面１０ａ，１０ｂ，１１ａ，１１ｂ間において、Ｘ軸方向で極性が異なるように対向配設されている。すなわち、励振電極２１，２２は、同一の振動腕部１０，１１を挟んでＸ軸方向で対になっている。
【００２８】
さらに、各励振電極２１，２２は、各振動腕部１０，１１それぞれにおいて、Ｚ軸方向の中間部分を空けた状態で一方側及び他方側に配設されるとともに、同一の側面１０ａ，１０ｂ，１１ａ，１１ｂ上で極性が異なるように配設されている。また、隣接する振動腕部１０，１１間において、Ｚ軸方向の同位置に配設されたＸ軸方向で対になる励振電極２１，２２は、互いに逆向きに配設されている。
すなわち、Ｘ軸方向で対になる励振電極２１，２２は、隣接する振動腕部１０，１１間において、Ｚ軸方向で互い違いに配設されている。なお、第１励振電極２１及び第２励振電極２２は、各振動腕部１０，１１の両主面には形成されていない。
【００２９】
マウント電極２３，２４は、基部１２の基端部にＸ軸方向に並んで形成されている。具体的に、第１マウント電極２３は、基部１２の両主面におけるＸ軸方向の一方側、及び基部１２におけるＸ軸方向の一方側に位置する側面に形成されている。また、第２マウント電極２４は、基部１２の両主面におけるＸ軸方向の他方側、及び基部１２におけるＸ軸方向の他方側に位置する側面に形成されている。
【００３０】
第１引き出し電極２５は、基部１２の一方の主面上をＸ軸方向に延在する基端部電極２５ａと、振動腕部１０，１１に形成された先端部電極２５ｂと、を有している。
基端部電極２５ａは、振動腕部１０，１１の外側面１０ｂ，１１ｂに形成された第１励振電極２１の基端部同士、及び第１マウント電極２３を基部１２の一方の主面上で接続している。
【００３１】
先端部電極２５ｂは、同一の振動腕部１０，１１において、内側面１０ａ，１１ａに形成された第１励振電極２１、及び外側面１０ｂ，１１ｂに形成された第１励振電極２１の先端部同士を接続している。具体的に、先端部電極２５ｂは、外側面１０ｂ，１１ｂに形成された第１励振電極２１の先端部から、各振動腕部１０，１１の先端部における一方の主面、及び内側面１０ａ，１１ａを通って内側面１０ａ，１１ａに形成された第１励振電極２１の先端部に接続されている。
【００３２】
第２引き出し電極２６は、基部１２の両主面、及び又部１５に亘って形成されている。そして、第２引き出し電極２６は、基部１２の一方の主面上において、隣接する振動腕部１０，１１の内側面１０ａ，１１ａに形成された第２励振電極２２の基端部同士を接続し、基部１２の他方の主面上において、外側面１０ｂ，１１ｂに形成された第２励振電極２２の基端部同士、及び第２マウント電極２４を接続している。
【００３３】
このように形成された圧電振動片１においては、一対の励振電極２１，２２間に所定の駆動電圧を印加する。これにより、マウント電極２３，２４及び引き出し電極２５，２６を介して、励振電極２１，２２に電流を流すことができ、同一の振動腕部１０，１１において、Ｘ軸方向で対になる第１励振電極２１及び第２励振電極２２間で振動腕部１０，１１のＹ軸方向に垂直な方向（Ｘ軸方向）に電界が発生する。
【００３４】
ここで、振動腕部１０，１１のＸ軸方向で対になる励振電極２１，２２は、隣接する振動腕部１０，１１間で逆向きに配設されているため、隣接する振動腕部１０，１１のＸ軸方向で対になる励振電極２１，２２間には、互いに逆向きの電界が発生する。そのため、例えば、振動腕部１０においてＺ軸方向の一方側で対になる第１励振電極２１及び第２励振電極２２間では、振動腕部１０が伸長する方向（Ｙ軸方向の外側）に向けて変位する一方、振動腕部１１においてＺ軸方向の一方側に形成された第１励振電極２１及び第２励振電極２２間では振動腕部１０，１１が収縮する方向（Ｙ軸方向の内側）に向けて変位する。これにより、振動腕部１０，１１は、Ｙ−Ｚ平面に沿って所定の周波数で逆位相で屈曲振動することになる（いわゆる、Ｙ−Ｚ屈曲振動モード）。
【００３５】
また、励振電極２１，２２は、同一の振動腕部１０，１１においてＺ軸方向の一方側と他方側とで、極性が逆向きになるように形成されているため、Ｚ軸方向の一方側及び他方側において、Ｘ軸方向で対となる第１励振電極２１及び第２励振電極２２間で発生する電界が逆向きになる。したがって、例えば、同一の振動腕部１０，１１においてＺ軸方向の一方側で対になる第１励振電極２１及び第２励振電極２２間では、振動腕部１０が伸長する方向（Ｙ軸方向の外側）に向けて変位する一方、Ｚ軸方向の他方側に形成された第１励振電極２１及び第２励振電極２２間では振動腕部１０，１１が収縮する方向（Ｙ軸方向の内側）に向けて変位する。
そして、この一対の振動腕部１０，１１の振動を利用して、時刻源、制御信号のタイミング源やリファレンス信号源等として利用することができる。
【００３６】
（圧電振動片の製造方法）
次に、上述した圧電振動片１の製造方法について説明する。
図５は圧電振動片の製造方法を示すフローチャートであり、図６は圧電振動片の製造方法を説明するための工程図であって、ウエハの平面図である。
まず、図５、図６に示すように、水晶のランバート原石を所定の角度でスライスして一定の厚さのウエハ４０とする（Ｓ１０）。このとき、Ｚ軸が圧電振動片１の厚さ方向にほぼ一致し、Ｙ軸が圧電振動片１（振動腕部１０，１１）の長さ方向に一致し、Ｘ軸が圧電振動片１の幅方向（振動腕部１０，１１の配列方向）に一致するように、ウエハ４０をスライスする。
次に、ウエハ４０をラッピングして粗加工した後、加工変質層をエッチングで取り除き、この後、ポリッシュ等の鏡面加工を行なって所定の厚さとする。
【００３７】
次に、ウエハ４０に圧電板１３の外形形状を形成する外形形状形成工程（Ｓ２０）を行う。具体的には、まずウエハ４０の両面にクロム（Ｃｒ）等からなる金属膜を形成し、この金属膜を一対の振動腕部１０，１１、及び基部１２の外形形状に倣わせてパターニングすることにより外形パターン４１を形成する。この際、ウエハ４０に形成する複数の圧電振動片１の数だけ、一括してパターニングを行う。
次いで、パターニングされた外形パターン４１をマスクとして、ウエハ４０の両面からそれぞれエッチング加工を行う。これにより、外形パターン４１でマスクされていない領域が選択的に除去され、ウエハ４０に複数の圧電板１３の外形形状を形成できる。なお、複数の圧電板１３は、後に行う切断工程（Ｓ４０）を行うまで、図示しない連結部を介してウエハ４０に連結された状態となっている。
【００３８】
次に、複数の圧電板１３上に電極膜１４を形成する電極膜形成工程（Ｓ３０）を行う。まず複数の圧電板１３の全面に、例えばスパッタリング等により導電性を有する金属膜（例えば、クロムと金の積層膜等）を成膜する。次に、エッチング加工の際のマスクとなるフォトレジスト膜を、金属膜上にスプレーコート等により成膜した後、フォトリソ技術でパターニングする。
【００３９】
具体的に、まず励振電極２１，２２、マウント電極２３，２４、及び引き出し電極２５，２６の形成領域以外の領域が開口したフォトマスク（不図示）をフォトレジスト膜上にセットする。そして、フォトマスクを介してフォトレジスト膜を露光した後、現像液に浸漬することで、紫外線が露光されていない領域（フォトマスクで覆われた領域）のフォトレジスト膜のみが選択的に除去される。本実施形態では、フォトレジスト膜を露光する際、圧電板１３の上方、及び下方から露光する垂直露光と、圧電板１３に対して斜め上方及び斜め下方から露光する斜め露光と、を同一のフォトマスクを介して行うことが好ましい。すなわち、垂直露光により圧電板１３の両主面上に成膜されたフォトレジスト膜を露光し、斜め露光により圧電板１３の側面に成膜されたフォトレジスト膜を露光する。
【００４０】
次に、現像後に残ったフォトレジスト膜をマスクとして、金属膜をエッチング加工する。これにより、上述した電極膜１４が一体的に形成される。なお、圧電板１３の主面上の金属膜と、側面１０ａ，１０ｂ，１１ａ，１１ｂ上の金属膜と、を別々にパターニングしても構わない。
【００４１】
次に、ウエハ４０と圧電板１３とを連結している連結部を切断して、複数の圧電板１３をウエハ４０から切り離して個片化する切断工程（Ｓ４０）を実行する。
以上より、１枚のウエハ４０から、音叉型の圧電振動片１が一度に複数製造される。
【００４２】
このように、本実施形態では、振動腕部１０，１１の内側面１０ａ，１１ａ及び外側面１０ｂ，１１ｂに、極性の異なる第１励振電極２１及び第２励振電極２２をそれぞれ形成する構成とした。
この構成によれば、振動腕部１０，１１の両側面１０ａ，１０ｂ，１１ａ，１１ｂにＸ軸方向で対となる励振電極２１，２２を形成することで、振動腕部１０，１１のＸ軸方向に沿う電界が発生する。これにより、振動腕部１０，１１は、Ｙ軸方向に伸長または短縮する方向に向けて変位することで、Ｙ−Ｚ平面に沿って所定の周波数で屈曲振動することになる。
したがって、従来のように溝部２１４を形成する必要がないので、製造効率の向上を図ることができる。
【００４３】
また、外形形状形成工程（Ｓ２０）の後、さらに溝部２１４の形成工程を行う必要がないので、圧電板１３を高精度に形成することが可能になり、振動腕部１０，１１の重量バランスのばらつきを抑えることができる。これにより、ドライブレベル特性の変化や、ＣＩ値の増加を抑制し、優れた振動特性を発揮させることができる。
しかも、振動腕部１０，１１における両主面には励振電極２１，２２を形成しないので、振動腕部１０，１１の両主面を介して励振電極２１，２２を両側面１０ａ，１０ｂ，１１ａ，１１ｂ間で確実に分極できる。
したがって、製造効率の向上を図った上で、振動特性に優れた圧電振動片１を提供できる。
【００４４】
さらに、本実施形態では、上述したようにＸ軸方向で対となる励振電極２１，２２が同一の振動腕部１０，１１においてＺ軸方向の一方側と他方側とで、極性が逆向きになるように形成されることになるので、Ｚ軸方向の一方側及び他方側において、Ｘ軸方向で対となる第１励振電極２１及び第２励振電極２２間で発生する電界が逆向きになる。したがって、例えば、同一の振動腕部１０，１１においてＺ軸方向の一方側で対になる第１励振電極２１及び第２励振電極２２間では、振動腕部１０が伸長する方向に向けて変位する一方、Ｚ軸方向の他方側に形成された第１励振電極２１及び第２励振電極２２間では振動腕部１０，１１が収縮する方向に向けて変位する。これにより、振動腕部１０，１１をＺ軸方向の両側に向けて屈曲振動させることができ、振動特性の更なる向上を図ることができる。
しかも、振動腕部１０，１１のＸ軸方向に沿う幅が、Ｚ軸方向の厚さに比べて短くなっているので、各励振電極２１，２２のＺ軸方向に沿う幅を拡大した上で、対となる励振電極２１，２２間の距離を短縮して、電界効率の向上を図ることができる。これにより、ＣＩ値の更なる低減を図るとともに、圧電振動片１の小型化を図ることができる。
【００４５】
（圧電振動子）
次に、上述した圧電振動片１を具備する圧電振動子５０について説明する。図７は圧電振動子を示す外観斜視図であり、図８は図７に示す圧電振動子の内部構成図であって、封口板を取り外した状態の平面図である。また、図９は図８のＤ−Ｄ線に沿う断面図であり、図１０は図７に示す圧電振動子の分解斜視図である。なお、以下の説明では、上述した構成と共通する構成については、同一の符号を付してその説明を省略する。また、図中では圧電振動片１の外形形状のみを示し、電極膜１４等は上述した実施形態と同様の構成であるため、図示を省略する。
図７〜図１０に示すように、本実施形態の圧電振動子５０は、内部に気密封止されたキャビティＣを有するパッケージ５１と、キャビティＣ内に収容された上述した圧電振動片１と、を備えたセラミックパッケージタイプの表面実装型振動子とされている。
【００４６】
この圧電振動子５０は、概略直方体状に形成されており、本実施形態では平面視において圧電振動子５０の長手方向を長さ方向といい、短手方向を幅方向といい、これら長さ方向及び幅方向に対して直交する方向を厚さ方向という。
【００４７】
パッケージ５１は、パッケージ本体（ベース部材）５３と、このパッケージ本体５３に対して接合されるとともに、パッケージ本体５３との間にキャビティＣを形成する封口板（リッド部材）５４と、を備えている。
【００４８】
パッケージ本体５３は、互いに重ね合わされた状態で接合された第１ベース基板５５及び第２ベース基板５６と、第２ベース基板５６上に接合されたシールリング５７と、を備えている。
第１ベース基板５５は、平面視略長方形状に形成されたセラミックス製の基板とされている。第２ベース基板５６は、第１ベース基板５５と同じ外形形状である平面視略長方形状に形成されたセラミックス製の基板とされており、第１ベース基板５５上に重ねられた状態で焼結等によって一体的に接合されている。
【００４９】
第１ベース基板５５及び第２ベース基板５６の四隅には、平面視１／４円弧状の切欠部５８が、両基板５５，５６の厚さ方向の全体に亘って形成されている。これら第１ベース基板５５及び第２ベース基板５６は、例えばウエハ状のセラミック基板を２枚重ねて接合した後、両セラミック基板を貫通する複数のスルーホールを行列状に形成し、その後、各スルーホールを基準としながら両セラミック基板を格子状に切断することで作製される。その際、スルーホールが４分割されることで、上述した切欠部５８となる。
また、第２ベース基板５６の上面は、圧電振動片１がマウントされる実装面５６ａとされている。
【００５０】
なお、第１ベース基板５５及び第２ベース基板５６はセラミックス製としたが、その具体的なセラミックス材料としては、例えばアルミナ製のＨＴＣＣ（Ｈｉｇｈ  Ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ  Ｃｏ−Ｆｉｒｅｄ  Ｃｅｒａｍｉｃ）や、ガラスセラミックス製のＬＴＣＣ（Ｌｏｗ  Ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ  Ｃｏ−Ｆｉｒｅｄ  Ｃｅｒａｍｉｃ）等が挙げられる。
【００５１】
シールリング５７は、第１ベース基板５５及び第２ベース基板５６の外形よりも一回り小さい導電性の枠状部材であり、第２ベース基板５６の実装面５６ａに接合されている。具体的には、シールリング５７は、銀ロウ等のロウ材や半田材等による焼付けによって実装面５６ａ上に接合、或いは、実装面５６ａ上に形成（例えば、電解メッキや無電解メッキの他、蒸着やスパッタ等により）された金属接合層に対する溶着等によって接合されている。
【００５２】
なお、シールリング５７の材料としては、例えばニッケル基合金等が挙げられ、具体的にはコバール、エリンバー、インバー、４２−アロイ等から選択すれば良い。特に、シールリング５７の材料としては、セラミック製とされている第１ベース基板５５及び第２ベース基板５６に対して熱膨張係数が近いものを選択することが好ましい。例えば、第１ベース基板５５及び第２ベース基板５６として、熱膨張係数６．８×１０-6／℃のアルミナを用いる場合には、シールリング５７としては、熱膨張係数５．２×１０-6／℃のコバールや、熱膨張係数４．５〜６．５×１０-6／℃の４２−アロイを用いることが好ましい。
【００５３】
封口板５４は、シールリング５７上に重ねられた導電性基板であり、シールリング５７に対する接合によってパッケージ本体５３に対して気密に接合されている。そして、この封口板５４とシールリング５７と第２ベース基板５６の実装面５６ａとで画成された空間が、気密に封止された上述したキャビティＣとして機能する。
なお、封口板５４の溶接方法としては、例えばローラ電極を接触させることによるシーム溶接や、レーザ溶接、超音波溶接等が挙げられる。また、封口板５４とシールリング５７との溶接をより確実なものとするため、互いになじみの良いニッケルや金等の接合層を、少なくとも封口板５４の下面と、シールリング５７の上面とにそれぞれ形成することが好ましい。
【００５４】
ところで、第２ベース基板５６の実装面５６ａには、圧電振動片１との接続電極である一対の電極パッド６１Ａ，６１Ｂが幅方向に間隔をあけて形成されているとともに、第１ベース基板５５の下面には、一対の外部電極６２Ａ，６２Ｂが長さ方向に間隔をあけて形成されている。
これら電極パッド６１Ａ，６１Ｂ及び外部電極６２Ａ，６２Ｂは、例えば蒸着やスパッタ等で形成された単一金属による単層膜、または異なる金属が積層された積層膜であり、互いにそれぞれ導通している。
【００５５】
この点詳細に説明する。
第１ベース基板５５には一方の外部電極６２Ａに導通し、第１ベース基板５５を厚さ方向に貫通する一方の第１貫通電極６３Ａが形成されているとともに、第２ベース基板５６には一方の電極パッド６１Ａに導通し、第２ベース基板５６を厚さ方向に貫通する一方の第２貫通電極６４Ａが形成されている。そして、第１ベース基板５５と第２ベース基板５６との間には、一方の第１貫通電極６３Ａと一方の第２貫通電極６４Ａとを接続する一方の接続電極６５Ａが形成されている。これにより、一方の電極パッド６１Ａと一方の外部電極６２Ａとは、互いに導通している。
【００５６】
また、第１ベース基板５５には他方の外部電極６２Ｂに導通し、第１ベース基板５５を厚さ方向に貫通する他方の第１貫通電極６３Ｂが形成されているとともに、第２ベース基板５６には他方の電極パッド６１Ｂに導通し、第２ベース基板５６を厚さ方向に貫通する他方の第２貫通電極６４Ｂが形成されている。そして、第１ベース基板５５と第２ベース基板５６との間には、他方の第１貫通電極６３Ｂと他方の第２貫通電極６４Ｂとを接続する他方の接続電極６５Ｂが形成されている。これにより、他方の電極パッド６１Ｂと他方の外部電極６２Ｂとは、互いに導通している。
なお、他方の接続電極６５Ｂは、後述する凹部６６を回避するように、例えばシールリング５７の下方をシールリング５７に沿って延在するようにパターニングされている。
【００５７】
第２ベース基板５６の実装面５６ａには、一対の振動腕部１０，１１の先端部に対向する部分に、落下等による衝撃の影響によってこれら振動腕部１０，１１が厚さ方向に変位（撓み変形）した際に、振動腕部１０，１１の先端部との接触を回避する凹部６６が形成されている。この凹部６６は、第２ベース基板５６を貫通する貫通孔とされているとともに、シールリング５７の内側において四隅が丸み帯びた平面視正方形状に形成されている。
【００５８】
このように構成された圧電振動子５０を作動させる場合には、外部電極６２Ａ，６２Ｂに対して、所定の駆動電圧を印加する。これにより、圧電振動片１の励振電極２１，２２（図１参照）に電流を流すことができ、一対の振動腕部１０，１１を、Ｙ−Ｚ平面に沿って所定の周波数で振動させることができる。そして、この一対の振動腕部１０，１１の振動を利用して、時刻源、制御信号のタイミング源やリファレンス信号源等として圧電振動子５０を利用することができる。
【００５９】
本実施形態の圧電振動子５０によれば、上述した優れた振動特性を有する圧電振動片１を備えているので、作動の信頼性及び耐久性が向上した高品質な圧電振動子５０とすることができる。
【００６０】
（圧電振動片の変形例）
次に、上述した圧電振動片の変形例について説明する。図１１は変形例の圧電振動片を示す平面図であり、図１２は側面図である。本変形例では、圧電振動片１の基部１２に切欠き部７１（ノッチ）を形成した点で、上述した実施形態と相違している。以下の説明では、上述した実施形態と同様の構成については、同一の符号を付し、説明を省略する。また、図中では圧電振動片１の外形形状のみを示し、電極膜１４等は上述した実施形態と同様の構成であるため、図示を省略する。
図１１、図１２に示す圧電振動片１における基部１２において、Ｘ軸方向の両端部には、一方の主面からＺ軸方向の中間部分に向けて窪む一対の切欠き部７１が形成されている。これら切欠き部７１は、基部１２におけるマウント部分（上述したマウント電極２３，２４と電極パッド６１Ａ，６１Ｂとの接続部分）よりも先端側に配設され、基部１２のＸ軸方向の両側に向けてそれぞれ開放されている。
【００６１】
本変形例の切欠き部７１は、上述した外形形状形成工程（Ｓ２０）の後、切欠き部７１の形成領域を一方の主面側からハーフエッチングすることで、形成することができる。
この構成によれば、振動腕部１０，１１によって励起された振動が基部１２側に伝わってしまうルートを狭くできるので、振動を振動腕部１０，１１側に閉じ込めて、基部１２側に漏れるのを抑制できる。これにより、振動漏れを効果的に抑制でき、ＣＩ値が上昇するのを抑え、出力信号の品質が低下するのを抑えることができる。
【００６２】
また、図１３、図１４に示すように、切欠き部７２は基部１２をＺ軸方向に貫通するように形成しても構わない。
さらに、図１５、図１６に示すように、一方の主面からＺ軸方向の中間部分に向けて窪む切欠き部７３を基部１２のＸ軸方向全体に亘って形成しても構わない。
【００６３】
図１７は変形例の他の構成を示す圧電振動片の平面図、図１８は側面図、図１９は斜視図である。
図１７〜図１９に示すように、本変形例の圧電振動片１は、振動腕部１０，１１がＺ軸方向で異なる位置（Ｘ軸方向で重ならない位置）に形成されている。具体的に、振動腕部１０は基部１２におけるＺ軸方向の一方側に形成され、振動腕部１１は基部１２におけるＺ軸方向の他方側に形成されている。各振動腕部１０，１１は、厚さが基部１２に比べて半分以下になっている。
また、基部１２の一方の主面には、Ｚ軸方向の中間部分に向けて窪む切欠き部７５が基部１２のＸ軸方向全体に亘って形成されている。
【００６４】
本変形例の切欠き部７５は、圧電板１３の外形形状をエッチング加工する際に一括して形成することができる。すなわち、図２０に示すように、外形形状形成工程（Ｓ２０）の外形パターン７４のうち、ウエハ４０における一方の主面側の外形パターン７４は、振動腕部１１及び切欠き部７３の形成領域が開口するように形成し、他方の主面側の外形パターン７４は、振動腕部１０の形成領域が開口するように形成する。この状態で、ウエハ４０の両面からエッチング加工を行うことで、ウエハ４０の一方の主面側からは圧電板１３の形成領域のうち、振動腕部１１及び切欠き部７３の形成領域が選択的にエッチングされ、他方の主面側からは振動腕部１０の形成領域が選択的にエッチングされる。この際、ウエハ４０をＺ軸方向で確実に貫通させるために、ウエハ４０の両面からＺ軸方向に沿う厚さ全体の半分以上をエッチングすることが好ましい。これにより、本変形例の切欠き部７５は、基部１２のＺ軸方向に沿う厚さ全体の半分以上になっている。
【００６５】
この構成によれば、圧電板１３の外形形状とともに、切欠き部７３を同一工程で形成することができるため、製造効率の向上を図ることができる。
【００６６】
さらに、図２１、図２２に示すように、基部１２の両主面上において、Ｙ軸方向で互い違いに複数の切欠き部７５を形成しても構わない。これにより、基部１２は、Ｚ軸方向に蛇行するバネ形状に形成される。
この構成によれば、外部衝撃等によって振動腕部１０，１１がＺ軸方向に振動した際に、振動腕部１０，１１がパッケージ５１（図７参照）の内面に接触すると、基部１２が切欠き部７５を起点にＺ軸方向に沿って速やかに弾性変形する。これにより、振動腕部１０，１１へのＺ軸方向の衝撃を吸収することができ、圧電振動片１の破損等を抑制することができる。
【００６７】
（発振器）
次に、本発明に係る発振器の一実施形態について、図２３を参照しながら説明する。
本実施形態の発振器１００は、図２３に示すように、圧電振動子５０を、集積回路１０１に電気的に接続された発振子として構成したものである。この発振器１００は、コンデンサ等の電子部品１０２が実装された基板１０３を備えている。基板１０３には、発振器用の上述した集積回路１０１が実装されており、この集積回路１０１の近傍に、圧電振動子５０が実装されている。これら電子部品１０２、集積回路１０１及び圧電振動子５０は、図示しない配線パターンによってそれぞれ電気的に接続されている。なお、各構成部品は、図示しない樹脂によりモールドされている。
【００６８】
このように構成された発振器１００において、圧電振動子５０に電圧を印加すると、この圧電振動子５０内の圧電振動片１が振動する。この振動は、圧電振動片１が有する圧電特性により電気信号に変換されて、集積回路１０１に電気信号として入力される。入力された電気信号は、集積回路１０１によって各種処理がなされ、周波数信号として出力される。
これにより、圧電振動子５０が発振子として機能する。
また、集積回路１０１の構成を、例えば、ＲＴＣ（リアルタイムクロック）モジュール等を要求に応じて選択的に設定することで、時計用単機能発振器等の他、当該機器や外部機器の動作日や時刻を制御したり、時刻やカレンダー等を提供したりする機能を付加することができる。
【００６９】
上述したように、本実施形態の発振器１００によれば、優れた振動特性を有する高品質な圧電振動子５０を備えているので、信頼性に優れた高品質、かつ長期にわたって安定した高精度な周波数信号を得ることができる発振器１００を提供できる。
【００７０】
（電子機器）
次に、本発明に係る電子機器の一実施形態について、図２４を参照して説明する。なお電子機器として、上述した圧電振動子５０を有する携帯情報機器１１０を例にして説明する。始めに本実施形態の携帯情報機器１１０は、例えば、携帯電話に代表されるものであり、従来技術における腕時計を発展、改良したものである。外観は腕時計に類似し、文字盤に相当する部分に液晶ディスプレイを配し、この画面上に現在の時刻等を表示させることができるものである。また、通信機として利用する場合には、手首から外し、バンドの内側部分に内蔵されたスピーカ及びマイクロフォンによって、従来技術の携帯電話と同様の通信を行うことが可能である。しかしながら、従来の携帯電話と比較して、格段に小型化及び軽量化されている。
【００７１】
次に、本実施形態の携帯情報機器１１０の構成について説明する。この携帯情報機器１１０は、図２４に示すように、圧電振動子５０と、電力を供給するための電源部１１１とを備えている。電源部１１１は、例えば、リチウム二次電池からなっている。この電源部１１１には、各種制御を行う制御部１１２と、時刻等のカウントを行う計時部１１３と、外部との通信を行う通信部１１４と、各種情報を表示する表示部１１５と、それぞれの機能部の電圧を検出する電圧検出部１１６とが並列に接続されている。そして、電源部１１１によって、各機能部に電力が供給されるようになっている。
【００７２】
制御部１１２は、各機能部を制御して音声データの送信及び受信、現在時刻の計測や表示等、システム全体の動作制御を行う。また、制御部１１２は、予めプログラムが書き込まれたＲＯＭと、このＲＯＭに書き込まれたプログラムを読み出して実行するＣＰＵと、このＣＰＵのワークエリアとして使用されるＲＡＭ等とを備えている。
【００７３】
計時部１１３は、発振回路、レジスタ回路、カウンタ回路及びインターフェース回路等を内蔵する集積回路と、圧電振動子５０とを備えている。圧電振動子５０に電圧を印加すると圧電振動片１が振動し、この振動が水晶の有する圧電特性により電気信号に変換されて、発振回路に電気信号として入力される。発振回路の出力は二値化され、レジスタ回路とカウンタ回路とにより計数される。そして、インターフェース回路を介して、制御部１１２と信号の送受信が行われ、表示部１１５に、現在時刻や現在日付或いはカレンダー情報等が表示される。
【００７４】
通信部１１４は、従来の携帯電話と同様の機能を有し、無線部１１７、音声処理部１１８、切替部１１９、増幅部１２０、音声入出力部１２１、電話番号入力部１２２、着信音発生部１２３及び呼制御メモリ部１２４を備えている。
無線部１１７は、音声データ等の各種データを、アンテナ１２５を介して基地局と送受信のやりとりを行う。音声処理部１１８は、無線部１１７又は増幅部１２０から入力された音声信号を符号化及び複号化する。増幅部１２０は、音声処理部１１８又は音声入出力部１２１から入力された信号を、所定のレベルまで増幅する。音声入出力部１２１は、スピーカやマイクロフォン等からなり、着信音や受話音声を拡声したり、音声を集音したりする。
【００７５】
また、着信音発生部１２３は、基地局からの呼び出しに応じて着信音を生成する。切替部１１９は、着信時に限って、音声処理部１１８に接続されている増幅部１２０を着信音発生部１２３に切り替えることによって、着信音発生部１２３において生成された着信音が増幅部１２０を介して音声入出力部１２１に出力される。
なお、呼制御メモリ部１２４は、通信の発着呼制御に係るプログラムを格納する。また、電話番号入力部１２２は、例えば、０から９の番号キー及びその他のキーを備えており、これら番号キー等を押下することにより、通話先の電話番号等が入力される。
【００７６】
電圧検出部１１６は、電源部１１１によって制御部１１２等の各機能部に対して加えられている電圧が、所定の値を下回った場合に、その電圧降下を検出して制御部１１２に通知する。このときの所定の電圧値は、通信部１１４を安定して動作させるために必要な最低限の電圧として予め設定されている値であり、例えば、３Ｖ程度となる。電圧検出部１１６から電圧降下の通知を受けた制御部１１２は、無線部１１７、音声処理部１１８、切替部１１９及び着信音発生部１２３の動作を禁止する。特に、消費電力の大きな無線部１１７の動作停止は、必須となる。更に、表示部１１５に、通信部１１４が電池残量の不足により使用不能になった旨が表示される。
【００７７】
即ち、電圧検出部１１６と制御部１１２とによって、通信部１１４の動作を禁止し、その旨を表示部１１５に表示することができる。この表示は、文字メッセージであっても良いが、より直感的な表示として、表示部１１５の表示面の上部に表示された電話アイコンに、×（バツ）印を付けるようにしても良い。
なお、通信部１１４の機能に係る部分の電源を、選択的に遮断することができる電源遮断部１２６を備えることで、通信部１１４の機能をより確実に停止することができる。
【００７８】
上述したように、本実施形態の携帯情報機器１１０によれば、優れた振動特性を有する高品質な圧電振動子５０を備えているので、信頼性に優れた高品質、かつ長期にわたって安定した高精度な時計情報を表示できる携帯情報機器１１０を提供できる。
【００７９】
（電波時計）
次に、本発明に係る電波時計の一実施形態について、図２５を参照して説明する。
本実施形態の電波時計１３０は、図２５に示すように、フィルタ部１３１に電気的に接続された圧電振動子５０を備えたものであり、時計情報を含む標準の電波を受信して、正確な時刻に自動修正して表示する機能を備えた時計である。
日本国内には、福島県（４０ｋＨｚ）と佐賀県（６０ｋＨｚ）とに、標準の電波を送信する送信所（送信局）があり、それぞれ標準電波を送信している。４０ｋＨｚ若しくは６０ｋＨｚのような長波は、地表を伝播する性質と、電離層と地表とを反射しながら伝播する性質とを併せもつため、伝播範囲が広く、上述した２つの送信所で日本国内を全て網羅している。
【００８０】
以下、電波時計１３０の機能的構成について詳細に説明する。
アンテナ１３２は、４０ｋＨｚ若しくは６０ｋＨｚの長波の標準電波を受信する。長波の標準電波は、タイムコードと呼ばれる時刻情報を、４０ｋＨｚ若しくは６０ｋＨｚの搬送波にＡＭ変調をかけたものである。受信された長波の標準電波は、アンプ１３３によって増幅され、複数の圧電振動子５０を有するフィルタ部１３１によって濾波、同調される。
本実施形態における圧電振動子５０は、上述した搬送周波数と同一の４０ｋＨｚ及び６０ｋＨｚの共振周波数を有する水晶振動子部１３８、１３９をそれぞれ備えている。
【００８１】
さらに、濾波された所定周波数の信号は、検波、整流回路１３４により検波復調される。
続いて、波形整形回路１３５を介してタイムコードが取り出され、ＣＰＵ１３６でカウントされる。ＣＰＵ１３６では、現在の年、積算日、曜日、時刻等の情報を読み取る。読み取られた情報は、ＲＴＣ１３７に反映され、正確な時刻情報が表示される。
搬送波は、４０ｋＨｚ若しくは６０ｋＨｚであるから、水晶振動子部１３８、１３９は、上述した音叉型の構造を持つ振動子が好適である。
【００８２】
なお、上述の説明は、日本国内の例で示したが、長波の標準電波の周波数は、海外では異なっている。例えば、ドイツでは７７．５ＫＨｚの標準電波が用いられている。従って、海外でも対応可能な電波時計１３０を携帯機器に組み込む場合には、さらに日本の場合とは異なる周波数の圧電振動子５０を必要とする。
【００８３】
上述したように、本実施形態の電波時計１３０によれば、優れた振動特性を有する高品質な圧電振動子５０を備えているので、信頼性に優れた高品質、かつ、長期にわたって安定して高精度に時刻をカウントできる電波時計１３０を提供できる。
【００８４】
以上、本発明の実施形態について図面を参照して詳述したが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等も含まれる。
例えば、上述した実施形態では、圧電振動子の一例として、セラミックパッケージタイプの圧電振動子５０を例に挙げたが、これに限らず、例えばガラスパッケージタイプの圧電振動子でも構わない。
また、第１ベース基板５５及び第２ベース基板５６の２枚の基板でベース基板を構成したが、１枚の基板でベース基板を構成し、実装面５６ａに凹部６６を形成しても構わない。但し、上述したように、第１ベース基板５５及び第２ベース基板５６の２枚基板構成とすることが好ましい。この場合には、第２ベース基板５６に貫通孔を形成した後、両ベース基板５５，５６を接合することで凹部６６を容易に形成できるので、凹部形成に費やす工程及び時間を低減できる。
また、シリンダパッケージタイプの圧電振動子や、シリンダパッケージタイプの圧電振動子をさらにモールド樹脂部で固めて表面実装型の圧電振動子としても構わない。
【００８５】
また、上述した実施形態では、同一の振動腕部１０，１１において、Ｘ軸方向で対になる励振電極２１，２２をＺ軸方向に二段形成する構成について説明したが、これに限らず、Ｚ軸方向の少なくとも一方側に形成すれば構わない。
また、マウント電極２３，２４や引き出し電極２５，２６の位置や形状は、適宜設計変更が可能である。
【００８６】
その他、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、上述した実施形態における構成要素を周知の構成要素に置き換えることは適宜可能であり、また、上述した各変形例を適宜組み合わせてもよい。
【符号の説明】
【００８７】
１…圧電振動片  １０…第１振動腕部（振動腕部）  １０ａ…内側面（一側面）  １０ｂ…外側面（他側面）  １１…第２振動腕部  １１ａ…内側面（一側面）  １１ｂ…外側面（他側面）  １２…基部  ２１…第１励振電極  ２２…第２励振電極  ５０…圧電振動子  ５３…パッケージ本体（ベース部材）  ５４…封口板（リッド部材）  １００…発振器  １０１…集積回路  １１０…携帯情報機器（電子機器）  １１３…電子機器の計時部  １３０…電波時計  １３１…フィルタ部  Ｃ…キャビティ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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