(57)【要約】【課題】  本発明は、共振周波数を高め、高精度に位置決めできる磁気ヘッド位置決め装置及び磁気ヘッド又は磁気ディスク検査装置を提供することにある。【解決手段】  本発明は、磁気ヘッドを２次元に粗動動作させる粗動アクチュエータと、前記粗動アクチュエータに搭載され、磁気ヘッドを微動動作させる第１、第２の微動アクチュエータ備え、前記第１の微動アクチュエータは、ヘッドジンバルアセンブリ(ＨＧＡ)をピエゾアクチュエータでその伸縮方向に移動させ可動部を備え、前記可動部は、前記伸縮方向と垂直方向に伸び、前記ピエゾアクチュエータによる前記伸縮方向の押付力を伝えるヒンジと前記ピエゾアクチュエータによる前記伸縮方向以外の方向に移動することを防止するヒンジとを介して、前記伸縮方向の押付力を受ける可動ビームと、前記可動ビームに平行に設けられ、前記ヘッド固定部の前記伸縮方向の動きを抑制する抑制ビームと、を備える。【選択図】  図２
2014120181.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気ヘッドを２次元に粗動動作させる粗動アクチュエータと、
前記粗動アクチュエータに搭載された第２微動アクチュエータと、
前記第２微動アクチュエータに固定する固定部と、前記固定部に固定されたピエゾアクチュエータと、先端側にヘッドジンバルアセンブリ(ＨＧＡ)を固定するヘッド固定部と、前記固定部に固定され、前記ヘッド固定部をピエゾアクチュエータの伸縮方向に移動させる可動部とを有する第１微動アクチュエータと、を備え、
前記可動部は、
前記固定部に取り付ける取付部と、
前記伸縮方向と垂直方向に伸び、一端を前記取付部に第１のヒンジを介して固定され、他端を前記ヘッド固定部に固定され、前記ピエゾアクチュエータによる前記伸縮方向の押付力を伝えるヒンジと前記ピエゾアクチュエータによる前記伸縮方向以外の方向に移動することを防止するヒンジとを有する第２のヒンジを介して、前記伸縮方向の押付力を受ける可動ビームと、
前記可動ビームに平行に設けられ、一端を前記取付部に固定され又は前記取付部と一体となって形成され、他端を前記ヘッド固定部に固定され、前記ヘッド固定部の前記伸縮方向の動きを抑制する抑制ビームと、
を備えることを特徴とする磁気ヘッド位置決め装置。
【請求項２】
請求項１に記載の磁気ヘッド位置決め装置であって、
前記伸縮方向の押付力を伝える前記ヒンジは、前記ピエゾアクチュエータの前記伸縮方向の中心線上に設けられており、前記伸縮方向以外の方向に移動することを防止する前記ヒンジは、前記伸縮方向の押付力を伝える前記ヒンジの位置から離間した位置に設けたことを特徴とする磁気ヘッド位置決め装置。
【請求項３】
請求項２に記載の磁気ヘッド位置決め装置であって、
前記可動ビームは、前記可動ビームの可動状態を調整する穴を備えることを特徴とする磁気ヘッド位置決め装置。
【請求項４】
請求項３に記載の磁気ヘッド位置決め装置であって、
前記可動ビームは、前記第２のヒンジを構成する２つの前記ヒンジの間に形成される空隙から前記穴と連結する前記可動ビームの可動状態を調整する溝部を備えることを特徴とする磁気ヘッド位置決め装置。
【請求項５】
請求項１に記載の磁気ヘッド位置決め装置であって、
前記ヘッド固定部の幅は、前記ヘッドジンバルアセンブリの前記ヘッド固定部への固定部分の幅であり、前記可動ビームの他端に第３のヒンジを設け、前記第３のヒンジと接続し、前記抑制ビームに向けて延在した接続固定部を前記ヘッド固定部の前記可動ビーム側の端部に固定したことを磁気ヘッド位置決め装置。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれかに記載の磁気ヘッド位置決め装置と、
前記磁気ヘッド位置決め装置を制御し、前記ＨＧＡの先端に設けられた磁気ヘッドからデータを読み取り、前記磁気ヘッドの良否を判定する制御処理装置と、
を備えることを特徴とする磁気ヘッド又は磁気ディスク検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気ヘッド位置決め装置及び磁気ヘッド又は磁気ディスク検査装置に係り、特に磁気ヘッドの位置決め精度の向上を図れる磁気ヘッド位置決め装置及び磁気ヘッド又は磁気ディスク検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気ヘッド又は磁気ディスク検査装置は、磁気ヘッドをスピンドルにより回転された磁気ディスク上で浮上させながら、磁気ディスクへのデータの記録，再生を行い、磁気ヘッド又は磁気ディスクの試験を行なう。
磁気ヘッドの試験は、磁気ヘッドが取り付けられているＨＧＡ（ヘッドジンバルアセンブリ）を次々と交換して行なわれる。磁気ヘッド又は磁気ディスク検査装置は、第１の微動位置決め機構と更なる微動位置決めする第２に微動位置決め機構を備える。
【０００３】
年々ハードディスクの記録密度は狭小化しており、ＨＧＡを最終的に駆動する第１の微動位置決め機構の更なる高精度の位置決めが求められている。その要求に応える一つの方法として、磁気ヘッド位置決め装置のサーボ制御の周波数の広帯域化があげられ、そのためには、磁気ヘッド位置決め装置の一次共振周波数の高共振化が必須である。
【０００４】
このような高共振化技術としては非特許文献１がある。非特許文献１では、図５に示すｆ、ｅの２本の平行ばねを使って共振周波数を高くし、ＨＧＡの最大変位量３０μｍを実現する技術が記載されている。
【先行技術文献】
【非特許文献】
【０００５】
【非特許文献１】古谷他、「３０μｍの動作範囲を有するナノモーションアクチュエータの設計と制御」2006年精密工学会春季大会学術講演会講演論文集p883-ｐ884.
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
昨今の磁気ディスクの高密度化に伴い、より一層の磁気ヘッドの位置決め精度が要求され、更なる高共振化技術が必要になってきた。サーボ制御の広帯域化することによって、磁気ヘッドの位置決め精度が良くなることが知られている。
【０００７】
従って、本発明の目的は、共振周波数を高め、高精度に位置決めできる磁気ヘッド位置決め装置及び磁気ヘッド又は磁気ディスク検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、上記目的を達成するために、少なくとも以下の特徴を有する。
磁気ヘッドを２次元に粗動動作させる粗動アクチュエータと、  前記粗動アクチュエータに搭載された第２微動アクチュエータと、前記第２微動アクチュエータに固定する固定部と、前記固定部に固定されたピエゾアクチュエータと、先端側にヘッドジンバルアセンブリ(ＨＧＡ)を固定するヘッド固定部と、前記固定部に固定され、前記ヘッド固定部をピエゾアクチュエータの伸縮方向に移動させる可動部とを有する第１微動アクチュエータと、を備え、
前記可動部は、前記固定部に取り付ける取付部と、前記伸縮方向と垂直方向に伸び、一端を前記取付部に第１のヒンジを介して固定され、他端を前記ヘッド固定部に固定され、前記ピエゾアクチュエータによる前記伸縮方向の押付力を伝えるヒンジと前記ピエゾアクチュエータによる前記伸縮方向以外の方向に移動することを防止するヒンジとを有する第２のヒンジを介して、前記伸縮方向の押付力を受ける可動ビームと、前記可動ビームに平行に設けられ、一端を前記取付部に固定され又は前記取付部と一体となって形成され、他端を前記ヘッド固定部に固定され、前記ヘッド固定部の前記伸縮方向の動きを抑制する抑制ビームと、を備えることを特徴とする磁気ヘッド位置決め装置である。
【０００９】
また、前記伸縮方向の押付力を伝える前記ヒンジは、前記ピエゾアクチュエータの前記伸縮方向の中心線上に設けられており、前記伸縮方向以外の方向に移動することを防止する前記ヒンジは、前記伸縮方向の押付力を伝える前記ヒンジより前記中心線から離間した位置に設けてもよい。
【００１０】
さらに、前記可動ビームは、前記可動ビームの可動状態を調整する穴を備えてもよい。
また、前記可動ビームは、前記第２のヒンジ構成する２つの前記ヒンジの間に形成される空隙から前記穴と連結する前記可動ビームの可動状態を調整する溝部を備えてもよい。
【００１１】
さらに、前記可動ビームは、前記ヘッド固定部の幅は、前記ヘッドジンバルアセンブリの前記ヘッド固定部への固定部分の幅であり、前記可動ビームの他端に第３のヒンジを設け、前記第３のヒンジと接続し、前記抑制ビームに向けて延在した接続固定部を前記ヘッド固定部の前記可動ビーム側の端部に固定してもよい。
【００１２】
さらに、上述したいずれかに記載の磁気ヘッド位置決め装置と、
前記磁気ヘッド位置決め装置を制御し、前記ＨＧＡの先端に設けられた磁気ヘッドからデータを読み取り、前記磁気ヘッドの良否を判定する制御処理装置と、を備える磁気ヘッド又は磁気ディスク検査装置である。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、共振周波数を高め、高精度に位置決めできる磁気ヘッド位置決め装置及び磁気ヘッド又は磁気ディスク検査装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の実施形態である磁気ヘッド又は磁気ディスク検査装置の概観図である。
【図２】本実施形態における第１微動アクチュエータの構成と動作を示す説明図である。
【図３】図２に示した第１微動アクチュエータの鳥瞰図である。
【図４】第１微動アクチュエータの実施例における周波数応答結果を示す図である。
【図５】従来技術の第１微動アクチュエータを示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、図面を用いて本発明の実施の形態を説明する。図１は、本発明の実施形態である磁気ヘッド又は磁気ディスク検査装置の概観図である。
磁気ヘッド又は磁気ディスク検査装置２００は、磁気ヘッド位置決め装置２０と、磁気ヘッド位置決め装置２０を制御し、磁気ヘッド６からデータを読み取り磁気ヘッド６の良否を判定する制御処理装置３０とを備える。
【００１６】
磁気ヘッド位置決め装置２０は、第１微動アクチュエータ１００と第２微動アクチュエータ９と、第２微動アクチュエータ９を搭載して移動するＸ方向粗動アクチュエータであるＸ方向キャリッジ３及びＹ方向粗動アクチュエータであるＹ方向キャリッジ１０と、記録媒体である磁気ディスクＨを高速に回転するスピンドルＳと、Ｘ方向キャリッジ３、Ｙ方向キャリッジ１０及びスピンドルＳを搭載する定盤２１とを備える。なお、本実施形態では、磁気ヘッド位置決め装置２０を横置きにして図１を平面図としているが、磁気ヘッド位置決め装置２０を縦置きとしてもよい。
【００１７】
記録媒体である磁気ディスクＨは、スピンドルＳに着脱可能に装着されており、トラック幅が狭小化された高密度記録面を備えるものである。スピンドルＳは、スピンドルモータ（図示せず）に装着され、スピンドルモータの回転に伴って高速に回転される。スピンドルモータは、定盤２１に固定され、後部の左右中央部に設置されている。定盤２１は薄型の矩形状に形成されており、その長手方向（前後方向）がＸ方向、その短手方向（左右方向）がＹ方向となる。
【００１８】
Ｘ方向キャリッジ３は、スピンドルＳの前方に隣接して配置され、定盤２１上に搭載されている。このＸ方向キャリッジ３は、定盤２１に固定されたＸモータ３ａと、Ｘモータ３ａの回転軸に固定されＸ方向に延びたＸスクリュー３ｂと、Ｘスクリュー３ｂに移動可能に取り付けられたＸ移動部材３ｃと、Ｘ移動部材３ｃの遊端部に固定されこのＸ移動部材３ｃと共に移動可能なＸ移動ベース３ｄとからなっている。Ｘスクリュー３ｂとＸ移動ベース３ｄとは左右に並置されている。Ｘモータ３ａの回転軸が回転することによりＸスクリュー３ｂが回転し、これによってＸ移動部材３ｃ及びＸ移動ベース３ｄが矢印Ｘ方向に移動する。Ｘ方向キャリッジ３は、磁気ヘッド６をＸ方向に移動するための粗動アクチュエータである。
【００１９】
Ｙ方向キャリッジ１０は、Ｘ移動ベース３ｄ上に搭載されて固定されたＹモータ１０ａと、Ｙモータ１０ａの回転軸に固定されＹ方向に延びたＹスクリュー１０ｂと、Ｙスクリュー１０ｂに移動可能に取り付けられたＹ移動部材１０ｃと、Ｙ移動部材１０ｃの遊端部に固定されこのＹ移動部材１０ｃと共に移動可能なＹ移動ベース１０ｄとからなっている。Ｙスクリュー１０ｂとＹ移動ベース１０ｄとは、前後に並置されている。Ｙモータ１０ａの回転軸が回転することによりＹスクリュー１０ｂが回転し、これによってＹ移動部材１０ｃ及びＹ移動ベース１０ｄがＹ方向に移動する。Ｙ方向キャリッジ１０は、磁気ヘッドをＹ方向に移動するための粗動アクチュエータである。なお、Ｘ方向キャリッジ３及びＹ方向キャリッジ１０は、上述した構成に限るものではなく、直動モータ等においても代用可能である。
【００２０】
第２微動アクチュエータ９は、第１微動アクチュエータ１００を搭載する第２ヘッドユニット９ｂと、第２ヘッドユニット９ｂを駆動する第２駆動手段９ａとを備える。
【００２１】
第１微動アクチュエータ１００は、カートリッジベース９ｄに取り付けられた固定部１と、一端が固定部１に固定されて伸縮するピエゾアクチュエータ２と、このピエゾアクチュエータ２の伸縮により、アセンブルしたヘッドジンバルアセンブリ（ＨＧＡ）１２をＥ方向に移動させる可動部７とを備えている。
【００２２】
第１微動アクチュエータ１００において、アクチュエータとしてピエゾアクチュエータ２を利用する理由は、ピエゾアクチュエータ２の特徴が位置決め用のアクチュエータとして適しているためである。ピエゾアクチュエータ２の特徴としては、発生力が大きくかつ小形であることや高い変位分解能を有すること、電磁式と比較して消費電力が小さい、磁界を必要としないため漏洩磁束の問題がないことがある。
【００２３】
このような構成によって、Ｘキャリッジ３とＹキャリッジ１０が磁気ディスクＨ上面まで移動し、第２微動アクチュエータ９がＣ方向に微動することで検査位置まで磁気ヘッド６を運ぶ。そして、第１微動アクチュエータ１００を磁気ディスクの回転周波数と同期して方向Ｅに動き、磁気ヘッド６の検査を行う。
【００２４】
図２は、本実施形態における第１微動アクチュエータ１００の構成と動作を示す説明図である。図３は、図２に示した第１微動アクチュエータ１００の鳥瞰図である。第１微動アクチュエータ１００の寸法は、図５に示す外形寸法はほとんど同じである。第１微動アクチュエータ１００において、磁気ディスクＨに面する方を基面とし、その反対側を上面とすると、図２は、基面から見た図であり、図３は基面側から見た鳥瞰図である。
【００２５】
図２に示すように、第１微動アクチュエータ１００は、前述したように、固定部１に取り付けられた１つのピエゾアクチュエータ２と、ＨＧＡ１２をＥ方向に移動させる可動部７と、可動部７に接続固定され、ＨＧＡ１２を固定するヘッド固定部５を備える。
ピエゾアクチュエータ２は、固定部１に固定された固定ベース２ｂを介して固定部１に固定されている。第１微動アクチュエータ１００において、後述する可動ビーム７ｂを押すアクチュエータとしてピエゾアクチュエータ２を利用する理由は、ピエゾアクチュエータの特徴が位置決め用のアクチュエータとして適しているためである。ピエゾアクチュエータの特徴としては、発生力が大きくかつ小形であることや高い変位分解能を備えること、電磁式と比較して消費電力が小さい、磁界を必要としないため漏洩磁束の問題がないことがある。
【００２６】
可動部７は、Ｆ形状を備え、固定部１に可動部７を取り付ける取付部７Ｔ、ピエゾアクチュエータ２の駆動によりＨＧＡ１２、即ちヘッド固定部５を矢印Ｅ方向に移動させる動力を発生する可動ビーム部７Ｍ、取付部７Ｔと一体に形成され又は固定され、ヘッド固定部５の矢印Ｅ方向の移動を抑制する抑制ビーム７Ｆを備える。可動ビーム部７Ｍ及び抑制ビーム７Ｆは、それぞれ接続固定部５ｍ、５ｆを介してヘッド固定部５に接続固定されている。
【００２７】
可動ビーム部７Ｍは、ピエゾアクチュエータ２の矢印Ｅ方向の駆動力を可動ビーム７ｂに伝達する駆動力伝達ヒンジ８ａ、８ｂを備える。
駆動力伝達ヒンジ８ａは、ピエゾアクチュエータ２が伸縮運動することで発生する力を可動ビーム部７Ｍに主として伝える。駆動力伝達ヒンジ８ａの位置は、ピエゾアクチュエータ２の中心線上２ｃに駆動力伝達ヒンジ８ａ中心が乗るように配置する。この配置は、ピエゾアクチュエータ２の伸縮運動で発生する力を効率よく可動ビーム部７Ｍに伝えるためである。
【００２８】
一方、駆動力伝達ヒンジ８ｂは、ピエゾアクチュエータ２の伸縮運動で発生する力を可動ビーム部７Ｍに伝えるが、ピエゾアクチュエータ２の伸縮運動で可動ビーム部７Ｍが上下方向の運動以外に左右方向の運動を生ずる場合があるので、左右方向の運動を生じないように防止する役目を有する。ピエゾアクチュエータ２が左右方向の運動を生ずると、可動ビーム部７Ｍが駆動力伝達ヒンジ８ａを中心に左右にシーソーのように振動してしまう。シーソーの振動が生じてしまうと、ＨＧＡ１２が所望のストロークで稼動することができない。駆動力伝達ヒンジ８ｂは、前記伸縮方向の押付力を伝える前記ヒンジの位置から離間した位置に設ける。本実施例では、駆動力伝達ヒンジ８ａに対して固定部側でも、固定部側とは反対の側でもいずれでもよい。
【００２９】
また、可動ビーム７ｂの取付部７Ｔ側には、可動ビーム７ｂのＥ方向移動の支点となる支点ヒンジ４ｐが、可動ビーム７ｂの接続固定部５ｍ側には、可動ビーム７ｂのＥ方向移動をヘッド固定部５に伝達する接続ヒンジ４ｓが設けられている。なお、可動ビーム７ｂと抑制ビーム７Ｆとは、互いに平行に設けられている。
【００３０】
また、可動ビーム７ｂは、２つの駆動力伝達ヒンジ８ａ、８ｂの間に存在する横長の空隙部１１ａと、空隙部１１ａの上に設けられた穴である円形空隙部１１ｂと、空隙部１１ａから直角に延在し、空隙部１１ａと円形空隙部１１ｂとをつなぐ空隙溝１１ｃとを備える。円形空隙部１１ｂと空隙溝１１ｃは、可動ビーム７ｂのばね剛性を調整するものである。ばね剛性は、駆動力伝達ヒンジ８ｂの厚みを調整することでも可能であるが、より調整が簡単に行える。また、微調整をすることも可能である。空隙溝１１ｃは、円形空隙部１１ｂだけでばね剛性を調整することができれば、なくても構わない。また、円形空隙部１１ｂは、円形以外にも楕円形状、角型形状や三角形状など調整するばね剛性や加工性などを考慮してどのような形状であっても構わない。
【００３１】
また、接続固定部５ｍは、接続ヒンジ４ｓを備え、抑制ビーム７Ｆに向けて延在し、ヘッド固定部５の可動ビーム７ｂ側の端部に可動ビーム７ｂを固定する構造を備える。この接続固定部５ｍの構造によって、ヘッド固定部の幅ＫＷをＨＧＡ１２のヘッド固定部５への固定部分の幅に小さくでき、第１微動アクチュエータ１００を軽量化することができる。
【００３２】
以下、可動部７の動作を説明する。ピエゾアクチュエータ２の伸縮により、可動ビーム７ｂは、駆動力伝達ヒンジ８ａ、８ｂを介してＥ方向にそれぞれ押付力を受けると、支点ヒンジ４ｐを支点にして、接続ヒンジ４ｓを介してヘッド固定部５、即ちＨＧＡ１２の先端１２１の移動距離（以下ストロークと呼ぶ）をＥ方向に移動させる。その時のストロークΔＨは、式（１）となる。
ΔＨ  ∝（Ｌ／Ｌａ＋Ｌ／Ｌｂ）              （１）
ここで、Ｌ  ：支点ヒンジ４ｐから接続ヒンジ４ｓまでの長さ
Ｌａ：支点ヒンジ４ｐから駆動力伝達ヒンジ８ａまでの長さ
Ｌｂ：支点ヒンジ４ｐから駆動力伝達ヒンジ８ｂまでの長さ
なお、駆動力伝達ヒンジが８ａのみの場合は、式(２)となる。
ΔＨ  ∝（Ｌ／Ｌａ）                        （２）
ヘッド固定部５は、接続固定部５ｆを介して、抑制ビーム７Ｆを取付部７Ｔとの境部を支点に、Ｅ方向に移動させようとする。しかしながら、抑制ビーム７Ｆは、引用文献１のばねｆと異なり、その幅Ｗを大きくとり所定の剛性を備えているので、ヘッド固定部５のＥ方向の移動を抑制している。
【００３３】
この結果、抑制ビーム７Ｆは、ヘッド固定部５、即ちＨＧＡ１２の先端１２１のストロークを抑制させるが、可動部７の全体の剛性を上げることができ、更に可動部７の共振周波数を高めることができ、磁気ヘッドのサーボ制御における磁気ヘッド６の位置決め精度を高めることができる。
【００３４】
図４は、第１微動アクチュエータの実施例における周波数応答結果を示す図である。図４によれば、引用文献１のタイプ２とは寸法は多少異なるもの、引用文献１のタイプ２の共振周波数の３．８ＫＨｚに対し、本実施例の共振周波数は１０ＫＨzであり、大幅に上回ることができた。また、本実施例では、２０μｍのストロークを実現できた。
【００３５】
また、第１微動アクチュエータの本実施例では、駆動力伝達ヒンジをピエゾアクチュエータ２の伸縮方向であって中心線２ｃ上に設けた８ａの他に、ヘッド固定部５側に８ｂを設けている。その結果、第１に、ピエゾアクチュエータ２の設置位置が、可動ビーム７ｂの長手方向に平行に多少変動しても、その影響を低減でき、確実に安定した押付力を可動ビーム７ｂに供給できる。第２に、空隙溝１１ｃが駆動力伝達ヒンジ８ｂからの可動ビーム７ｂへの押付力によって変形し、高共振化を維持しながら、ストロークを大きくできる。駆動力伝達ヒンジの数は、可動ビームが所望のばね剛性や振動を得ることができるのであれば、２つに限らず３つ以上でもよい。
【００３６】
以上説明した本実施形態によれば、共振周波数を高め、高精度に位置決めできる磁気ヘッド位置決め装置及び磁気ヘッド又は磁気ディスク検査装置を提供できる。
【符号の説明】
【００３７】
１：固定部                              ２：ピエゾアクチュエータ
３：Ｘ方向キャリッジ（Ｘ方向粗動アクチュエータ）
４ｐ：支点ヒンジ                        ５：ヘッド固定部
６：磁気ヘッド                          ７：可動部
７ｂ：可動ビーム                        ７Ｆ：抑制ビーム
７Ｍ：可動ビーム部                      ７Ｔ：取付部
８ａ、８ｂ：駆動力伝達ヒンジ            ９：第２微動アクチュエータ
１０：Ｙ方向キャリッジ（Ｙ方向粗動アクチュエータ）
１１ｂ：円形空隙部                      １１ｃ：空隙溝
１２：ＨＧＡ(ヘッドジンバルアセンブリ)  ２０：磁気ヘッド位置決め装置
２１：定盤                              ３０：制御処理装置
１００：第１微動アクチュエータ        
２００：磁気ヘッド又は磁気ディスク検査装置
Ｈ：磁気ディスク                        Ｓ：スピンドル
Ｗ：抑制ビームの幅
【図１】
2014120181.tif 000003
【図２】
2014120181.tif 000004
【図３】
2014120181.tif 000005
【図４】
2014120181.tif 000006
【図５】
2014120181.tif 000007