(57)【要約】【課題】所望の真空度を短時間で得られる充填装置を提供する。【解決手段】充填装置１は、材料Ｍが収納された第１容器１０と、第１開口部２１と第２開口部２２とを具備した第２容器２０と、第１容器１と第２容器２０の第１開口部２１とを気密性を確保し接続する接続部３０と、複数具備された第２容器２０の１つである特定第２容器２４の第２開口部２２に取り付けられ、特定第２容器２４からの排気を許容しつつ、その吸気を規制する規制部４０と、特定第２容器２４を除く第２容器２０の第１開口部２１を封止する封止部５０と、規制部４０を介して、第１容器１０、及び第２容器２０の内部を排気する排気部６０と、接続部３０を介して、第１容器１０から第２容器２０に材料Ｍを移送する移送部７０とを備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
材料が収納された第１容器と、
第１開口部と第２開口部とを具備した第２容器と、
前記第１容器と前記第２容器の前記第１開口部とを気密性を確保し接続する接続部と、
複数具備された前記第２容器の１つである特定第２容器の前記第２開口部に取り付けられ、前記特定第２容器からの排気を許容しつつ、該特定第２容器の吸気を規制する規制部と、
前記特定第２容器を除く前記第２容器の前記第２開口部を封止する封止部と、
前記規制部を介して、前記第１容器、及び前記第２容器の内部を排気する排気部と、
前記接続部を介して、前記第１容器から前記第２容器に前記材料を移送する移送部と、
を備える充填装置。
【請求項２】
前記規制部と前記排気部とは着脱自在とされる請求項１記載の充填装置。
【請求項３】
前記第１容器には、排気口部が設けられて、
前記規制部は、前記特定第２容器の前記第２開口部に代わり、前記第１容器の前記排気口部に取り付けられ、前記第１容器からの排気を許容しつつ、該第１容器の吸気を規制し、
前記封止部は、前記特定第２容器の前記第２開口部も封止する請求項１又は請求項２記載の充填装置。
【請求項４】
前記接続部には、排気口部が設けられて、
前記規制部は、前記特定第２容器の前記第２開口部に代わり、前記接続部の前記排気口部に取り付けられ、前記接続部を介した排気を許容しつつ、該接続部を介した吸気を規制し、
前記封止部は、前記特定第２容器の前記第２開口部も封止する請求項１又は請求項２記載の充填装置。
【請求項５】
材料が収納された第１容器と、第１開口部と第２開口部とを具備した第２容器と、前記第１容器と前記第２容器の前記第１開口部とを気密性を確保し接続する接続部と、該接続部を介して、前記第１容器から前記第２容器に前記材料を移送する移送部と、を具備した充填装置に適用される排気機構であって、
複数具備された前記第２容器の１つである特定第２容器の前記第２開口部に取り付けられ、前記特定第２容器からの排気を許容しつつ、該特定第２容器の吸気を規制する規制部と、
前記特定第２容器を除く前記第２容器の前記第２開口部を封止する封止部と、
前記規制部を介して、前記第１容器、及び前記第２容器の内部を排気する排気部と、
を備える排気機構。
【請求項６】
材料が収納された第１容器と、第１開口部と第２開口部とを具備した第２容器と、前記第１容器と前記第２容器の前記第１開口部とを気密性を確保し接続する接続部と、該接続部を介して、前記第１容器から前記第２容器に前記材料を移送する移送部と、を具備した充填装置における排気方法であって、
規制部により、複数具備された前記第２容器の１つである特定第２容器の前記第２開口部からの排気を許容しつつ、該特定第２容器の吸気を規制すると共に、封止部により、前記特定第２容器を除く前記第２容器の前記第２開口部を封止し、
排気部により、前記規制部を介して、前記第１容器、及び前記第２容器の内部を排気する排気方法。
【請求項７】
請求項１〜４の何れかに記載の充填装置を用いて、前記材料が充填された前記第２容器を製造する充填済み容器製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の容器に材料を充填する充填装置、及び該充填装置を用いた材料充填済み容器の製造方法に関する。又、本発明は、排気機構、及び排気方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
容器を自転させながら公転させることによって、その容器に収納された材料を攪拌脱泡する装置（自転・公転方式の攪拌脱泡装置）が知られている（特許文献１参照）。この装置は、はんだペーストや液晶パネルのシーラント剤などの電子部品材料の製造等に利用される。
【０００３】
ところで、電子部品材料は、通常、シリンジ容器（バレル容器も含む。以下同様。）と呼ばれる容器に充填され、ディスペンサによって精密に塗布・吐出される。しかしながら、上記装置では、効率等の観点から、一般に、一括して材料の処理を行う。従って、この一括して処理した材料は、別途、複数のシリンジ等の容器に充填しなければならない。
【０００４】
このような状況を鑑みてか、特許文献２、及び特許文献３には、遠心力を利用してシリンジ等の容器に材料を充填する充填装置が開示されている。これらの充填装置は、材料への気泡の混入を防ぐため、排気機構が備えられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開2000-271465号公報
【特許文献２】特開2002-80005号公報
【特許文献３】特開2003-201000号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献２、及び特許文献３では、充填作業を行うチェンバー全体を真空とするように排気機構が構成されている。そのため、これらの充填装置では、所望の真空度を得るために、長時間の待ち時間が生じるという問題がある。
【０００７】
本発明は、上記事情を鑑みなされたものであって、所望の真空度を短時間で得られる充填装置を提供することを目的とする。又、本発明は、前記充填装置に適用される排気機構、及び排気方法を提供することを目的とする。更に、本発明は、前記充填装置を用いた充填済み容器の製造方法に関する。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一つの実施態様は、
材料が収納された第１容器と、
第１開口部と第２開口部とを具備した第２容器と、
前記第１容器と前記第２容器の前記第１開口部とを気密性を確保し接続する接続部と、
複数具備された前記第２容器の１つである特定第２容器の前記第２開口部に取り付けられ、前記特定第２容器からの排気を許容しつつ、該特定第２容器の吸気を規制する規制部と、
前記特定第２容器を除く前記第２容器の前記第２開口部を封止する封止部と、
前記規制部を介して、前記第１容器、及び前記第２容器の内部を排気する排気部と、
前記接続部を介して、前記第１容器から前記第２容器に前記材料を移送する移送部と、
を備える充填装置を提供する。
【０００９】
本充填装置では、規制部を介して、第１容器、及び第２容器の内部のみを排気部により排気できるので、不要な部分まで排気する必要がなく、第１容器、及び第２容器の内部を短時間で所望の真空度に到達させることができる。更に、本充填装置は、排気部の排気容量を小さくできることも相俟って、小型化、ローコスト化を図ることができる。
【００１０】
この充填装置において、
前記規制部と前記排気部とは着脱自在とされてもよい。
【００１１】
この充填装置において、
前記第１容器には、排気口部が設けられて、
前記規制部は、前記特定第２容器の前記第２開口部に代わり、前記第１容器の前記排気口部に取り付けられ、前記第１容器からの排気を許容しつつ、該第１容器の吸気を規制し、
前記封止部は、前記特定第２容器の前記第２開口部も封止してもよい。
【００１２】
この充填装置において、
前記接続部には、排気口部が設けられて、
前記規制部は、前記特定第２容器の前記第２開口部に代わり、前記接続部の前記排気口部に取り付けられ、前記接続部を介した排気を許容しつつ、該接続部を介した吸気を規制し、
前記封止部は、前記特定第２容器の前記第２開口部も封止してもよい。
【００１３】
本発明の別の実施態様は、
材料が収納された第１容器と、第１開口部と第２開口部とを具備した第２容器と、前記第１容器と前記第２容器の前記第１開口部とを気密性を確保し接続する接続部と、該接続部を介して、前記第１容器から前記第２容器に前記材料を移送する移送部と、を具備した充填装置に適用される排気機構であって、
複数具備された前記第２容器の１つである特定第２容器の前記第２開口部に取り付けられ、前記特定第２容器からの排気を許容しつつ、該特定第２容器の吸気を規制する規制部と、
前記特定第２容器を除く前記第２容器の前記第２開口部を封止する封止部と、
前記規制部を介して、前記第１容器、及び前記第２容器の内部を排気する排気部と、
を備える排気機構を提供する。
【００１４】
本排気機構は、充填装置に適用することで、規制部を介して、第１容器、及び第２容器の内部のみを排気部により排気できるので、不要な部分まで排気する必要がなく、第１容器、及び第２容器の内部を短時間で所望の真空度に到達させることができる。更に、本排気機構は、排気部の排気容量を小さくできることも相俟って、小型化、ローコスト化を図ることができる。
【００１５】
本発明の別の実施態様は、
材料が収納された第１容器と、第１開口部と第２開口部とを具備した第２容器と、前記第１容器と前記第２容器の前記第１開口部とを気密性を確保し接続する接続部と、該接続部を介して、前記第１容器から前記第２容器に前記材料を移送する移送部と、を具備した充填装置における排気方法であって、
規制部により、複数具備された前記第２容器の１つである特定第２容器の前記第２開口部からの排気を許容しつつ、該特定第２容器の吸気を規制すると共に、封止部により、前記特定第２容器を除く前記第２容器の前記第２開口部を封止し、
排気部により、前記規制部を介して、前記第１容器、及び前記第２容器の内部を排気する排気方法を提供する。
【００１６】
本排気方法は、規制部を介して、第１容器、及び第２容器の内部のみを排気するので、不要な部分まで排気する必要がなく、第１容器、及び第２容器の内部を短時間で所望の真空度に到達させることができる。
【００１７】
本発明の別の実施態様は、
前記充填装置を用いて、前記材料が充填された前記第２容器を製造する充填済み容器製造方法を提供する。
【００１８】
本充填済み容器製造方法では、上記の充填装置を利用することで、効率よく材料充填済みの第２容器（シリンジ容器）を製造することができる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、所望の真空度を短時間で得られる充填装置を提供できる。又、本発明によれば、前記充填装置に適用される排気機構、及び排気方法を提供できる。更に、本発明によれば、前記充填装置を用いた充填済み容器の製造方法を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】第１の実施の形態に係る充填装置の概略図。
【図２】接続部の拡大平面図。
【図３】第１の実施の形態に係る充填装置の動作を説明する説明図。
【図４】変形例に係る充填装置の概略図。
【図５】変形例に係る充填装置の概略図。
【図６】第２の実施の形態に係る充填装置の概略図。
【図７】第２の実施の形態に係る充填装置の動作を説明する説明図。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明を適用した実施の形態について図面を参照して説明する。ただし、本発明は以下の実施の形態に限定されるものではない。すなわち、以下の実施の形態で説明するすべての構成が本発明にとって必須であるとは限らない。又、本発明は、以下の内容を自由に組み合わせたもの、又、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で変更を加えたものを含む。
【００２２】
１．第１の実施の形態
（１）充填装置１の構成
充填装置１は、図１に示すように、材料Ｍが収納される第１容器１０と、第１開口部２１及び第２開口部２２を具備した第２容器２０と、第１容器１０と第２容器２０の第１開口部２１とを気密性を確保し接続する接続部３０と、複数具備されている第２容器２０の内の１つである特定第２容器２４の第２開口部２２に取り付けられて、該特定第２容器２４からの排気を許容しつつ、その吸気を規制する規制部４０とを備える。又、充填装置１は、特定第２容器２４を除く第２容器２０の第２開口部２２を封止する封止部５０と、規制部４０を介して、第１容器１０、及び第２容器２０（特定第２容器２４を含む。以下、特に記載しない限り、第２容器２０との記載には、特定第２容器２４を含むものとする。）の内部を排気する排気部６０と、第１容器１０から第２容器２０へ材料Ｍを移送する移送部７０を備える。更に、充填装置１は、第１容器１０を固定する固定部８０、及び第１容器１０や移送部７０を支持する支持部９０を備える。
【００２３】
第１容器１０は、図１に示すように、一端に開口部１２を、他端に底部１４を有した有底円筒状に形成されて、材料Ｍを収納可能に構成される。第１容器１０は、樹脂、金属等の材質により構成される。又、第１容器１０には、外周部から突出する凸部１６が形成されている。第１容器１０は、凸部１６が固定部８０と係合することで、底部１４を支持部９０に当接させた状態にて固定部８０に固定される。尚、第１容器１０は、固定部８０に固定されることで、その中心を通る仮想の直線である中心線が、接続部３０の中心を通り、その回転の中心である仮想の直線である回転軸線Ｌ１と重なる。
【００２４】
第２容器２０は、図１に示すように、複数備えられて、一端に第１開口部２１、他端に第２開口部２２を具備しており、シリンジ容器等である。個々の第２容器２０は、第１開口部２１が接続部３０の貫通穴３３に挿入されて気密性を確保し保持される。尚、本実施の形態においては、第１開口部２１と第２開口部２２とを比較して、小径な方を第１開口部２１としたが、大径な方を第１開口部２１とすることも想定され得る。
【００２５】
接続部３０は、図１に示すように、押圧部材３１と、シール部材３７とを備える。接続部３０は、回転軸線Ｌ１を中心として回転可能に構成されて、第１容器１０の開口部１２より挿入され、底部１４（支持部９０）に向かって移動可能である。
【００２６】
押圧部材３１は、図１、及び図２に示すように、円筒状に構成されて、第１容器１０内の材料Ｍを押圧するための押圧面３２と、押圧面３２とその反対側の面との間を貫通して、気密性を確保し第２容器２０の第１開口部２１を保持するための貫通穴３３とを備える。又、押圧部材３１は、その外周面に形成されて、シール部材３７を取り付けるための円環状の溝３４と、押圧面３２の反対面に開口し、当該押圧部材３１の中心に形成されて、移送部７０のシャフト７１を取り付けるための穴３５とを備える。
【００２７】
貫通穴３３は、図２に示すように複数具備される第２容器２０と同数設けられて、回転軸線Ｌ１を中心とした仮想円の円周上に等間隔に配置される。又貫通穴３３は、図１に示すように、押圧面３２に向かって拡径するように形成される。尚、貫通穴３３の配置、及び形状は、上記以外の構成とすることも想定され得る。
【００２８】
シール部材３７は、円環状の弾性部材、例えばＵ字パッキンやＶ字パッキン、Ｏリング等により構成される。シール部材３７は、図１に示すように、押圧部材３１の溝３４に挿入されて、該押圧部材３１の外周を囲むように取り付けられている。これにより、シール部材３７は、接続部３０が第１容器１０内に挿入されて、該第１容器１０の開口部１２と底部１４との間で移動する際の、第１容器１０と接続部３０との間の気密性を維持する。
【００２９】
規制部４０は、図１に示すように、特定第２容器２４の第２開口部２２に取り付けられて、該第２開口部２２からの排気部６０による排気を許容しつつ、当該第２開口部２２からの吸気を規制する。規制部４０は、例えば、逆止弁により構成することができる。
【００３０】
封止部５０は、図１に示すように、第２容器２０の内、特定第２容器２４を除くものの第２開口部２２に取り付けられる。この封止部５０は、第２容器２０の第２開口部２２に取り付けることで、該第２開口部２２からの吸気、及び排気を規制する。
【００３１】
排気部６０は、図１に示すように、真空ポンプ６２と、該真空ポンプ６２と規制部４０とを繋ぐ配管部６４と、該配管部６４内のガス圧を計測する圧力計６６とを備える。この排気部６０は、真空ポンプ６２を作動させることにより、規制部４０を介して、第１容器１０、及び第２容器２０の内部（接続部３０の貫通穴３３の内部を含む。以下同様。）を排気する。
【００３２】
配管部６４は、規制部４０と着脱自在に構成される。圧力計６６は、真空ポンプ６２による第１容器１０、及び第２容器２０の内部の排気中において、配管部６４、規制部４０を介して、第１容器１０、及び第２容器２０の内部が連通することにより、第１容器１０、及び第２容器２０の内部のガス圧を計測することができる。
【００３３】
移送部７０は、接続部３０の穴３５に一端が取り付けられるシャフト７１と、回転軸線Ｌ１を中心にシャフト７１を回転させつつ、該シャフト７１に固定された接続部３０を支持部９０に対し進退自在に駆動させる駆動部７２と、該駆動部７２を支持する支持基板７３と、該支持基板７３と固定部８０とを支持部９０に対し支持する支柱７４とを備える。
【００３４】
駆動部７２は、図示しない作業者が手動により回転軸線Ｌ１を中心に回転可能なハンドル部７５と、該ハンドル部７５の回転方向に応じて、シャフト７１に固定された接続部３０を支持部９０に向かって移動させ、又は支持部９０から離れる方向に移動させる駆動機構７６とを備える。尚、駆動機構７６は、公知のボールねじ機構等を利用して構成することができる。
【００３５】
（２）材料Ｍ
材料Ｍは、流体として挙動するものであれば高粘性のものであってもよく、その組成や用途は特に限定されるものではない。例えば、はんだペーストや液晶パネルのシーラント剤であってよい。
【００３６】
（３）材料Ｍ充填済み第２容器２０の製造方法
充填装置１を用いた材料Ｍ充填済みの第２容器２０の製造方法は、まず、材料Ｍを収納した第１容器１０を、固定部８０に、底部１４が支持部９０に当接した状態にて固定する。又、第２容器２０の第１開口部２１を、貫通穴３３を利用して気密性を確保し、接続部３０に取り付ける。尚、特定第２容器２４を除く第２容器２０の第２開口部２２には、封止部５０を取り付け、特定第２容器２４の第２開口部２２には、規制部４０を取り付ける。
【００３７】
続いて、穴３５を利用してシャフト７１に取り付けられた接続部３０を、第１容器１０の開口部１２よりその内部に挿入する。これにより、第１容器１０、及び第２容器２０の内部は、貫通穴３３を介して気密性が確保された状態にて連通する。
【００３８】
続いて、排気部６０の配管部６４を規制部４０に接続し、真空ポンプ６２を作動させて、規制部４０、及び配管部６４を介して第１容器１０、及び第２容器２０の内部を排気する。そして、圧力計６６の示すガス圧が所望の値になった後、即ち、第１容器１０、及び第２容器２０が所望の真空度に到達した後、配管部６４と規制部４０との接続を解除する。
【００３９】
続いて、移送部７０のハンドル部７５を所定方向に回転させて、回転軸線Ｌ１を中心にシャフト７１と共に接続部３０を回転させつつ、支持部９０、即ち、第１容器１０の底部１４に向かって移動させる。この際、接続部３０のシール部材３７の作用により、第１容器１０、及び第２容器２０の内部の気密性は確保され続ける。
【００４０】
接続部３０の底部１４への移動により、図３に示すように、材料Ｍが、接続部３０の貫通穴３３を介して、第２容器２０の内部へ移送される。所望量の材料Ｍが第２容器２０の内部へ移送された後、ハンドル部７５の回転を停止し、第２容器２０を接続部３０から取り外す。以上で、材料Ｍ充填済み第２容器２０の製造が完了する。
【００４１】
（４）作用効果
以下、本実施の形態における充填装置１が奏する作用効果について説明する。
【００４２】
充填装置１は、第１容器１０に収納された材料Ｍを複数の第２容器２０に移送するものであり、排気部６０を用いて第１容器１０、及び第２容器２０の内部を所望の真空度に到達させて、第１容器１０に収納された材料Ｍを複数の第２容器２０に移送することができる。
【００４３】
ここで、充填装置１では、第１容器１０と第２容器２０の第１開口部２１とを、接続部３０を介して気密性を確保し接続している。又、充填装置１では、特定第２容器２４を除く第２容器２０の第２開口部２２を封止部５０で封止すると共に、特定第２容器２４の第２開口部２２に、該第２開口部２２からの排気を許容しつつ、当該第２開口部２２からの吸気を規制する規制部４０を取り付けている。以上により、充填装置１では、規制部４０、及び排気部６０の配管部６４を介して、第１容器１０、及び第２容器２０の内部のみを真空ポンプ６２により排気できるので、不要な部分まで排気する必要がなく、第１容器１０、及び第２容器２０の内部を短時間で所望の真空度に到達させることができる。更に、充填装置１では、真空ポンプ６２の排気容量も小さくできることも相俟って、小型化、ローコスト化を図ることができる。
【００４４】
又、充填装置１では、上記のように規制部４０が特定第２容器２４の内部への吸気を規制するので、第１容器１０、及び第２容器２０の内部が所望の真空度に到達した後に、規制部４０と配管部６４との接続を解除でき、又、真空ポンプ６２を停止することもできる。これらのことは、充填装置１の操作の容易化、及び省電力化に寄与する。
【００４５】
（５）変形例
充填装置１は、移送部７０の駆動機構７６による接続部３０の支持部９０に対する進退を、図示しない駆動源（モータ）を利用して行うように構成してもよい。
【００４６】
又、充填装置１は、圧力計６６を封止部５０のうちの何れかに取り付けるように構成してもよい。この場合において、圧力計６６は、真空ポンプ６２による第１容器１０、及び第２容器２０の内部の排気中において、第１容器１０、及び第２容器２０の内部のガス圧を計測できるように、封止部５０に取り付けられる。
【００４７】
又、充填装置１は、図４に示すように、第１容器１０の側面部に、その外部と内部との間で貫通した排気口部１８を設けるように構成してもよい。この場合において、規制部４０は、排気口部１８に取り付けられて、該排気口部１８からの排気部６０による排気を許容しつつ、該排気口部１８からの吸気を規制する。尚、特定第２容器２４の第２開口部２２には、封止部５０が取り付けられる。このように構成された充填装置１であっても、規制部４０、及び排気部６０の配管部６４を介して、第１容器１０、及び第２容器２０の内部のみを真空ポンプ６２により排気できる。
【００４８】
又、充填装置１は、図５に示すように、接続部３０に、押圧面３２と、該押圧面３２の反対面との間で貫通した排気口部３８を設けるように構成してもよい。この場合において、規制部４０は、排気口部３８に取り付けられて、該排気口部３８（接続部３０）を介した第１容器１０からの排気を許容しつつ、当該排気口部３８を介した第１容器１０の吸気を規制する。尚、特定第２容器２４の第２開口部２２には、封止部５０が取り付けられる。このように構成された充填装置１であっても、規制部４０、及び排気部６０の配管部６４を介して、第１容器１０、及び第２容器２０の内部のみを真空ポンプ６２により排気できる。
【００４９】
２．第２の実施の形態
（１）充填装置１０１の構成
充填装置１０１は、図６に示すように、材料Ｍが収納される第１容器１１０と、第２容器２０と、第１容器１１０と第２容器２０の第１開口部２１とを気密性を確保し接続する接続部１２０と、第１容器１１０に取り付けられる規制部４０とを備える。又、充填装置１０１は、第２容器２０の第２開口部２２を封止する封止部５０と、規制部４０を介して、第１容器１１０、及び第２容器２０の内部を排気する排気部６０と、第１容器１１０から第２容器２０へ材料Ｍを移送する移送部１３０と、第１容器１１０の底部を外嵌して固定する固定部１４０とを備える。尚、充填装置１０１における充填装置１と共通の構成要素については、同一符号を付し、以下において説明を省略する。
【００５０】
第１容器１１０は、図６に示すように、有底形状であって、一端に開口部１１２を有し、材料Ｍを収納可能に構成される。この第１容器１１０は、樹脂、金属等の材質により構成され、当該第１容器１１０の内部の気密性を維持できるように蓋１１３が開口部１１２に取り付けられる。又、第１容器１１０は、その内部から外部へと貫通して、接続部１２０を取り付けるための貫通穴１１６が、側面部１１４に形成されている。尚、第１容器１１０は、固定部１４０に固定されることで、その中心を通る仮想の直線である中心線が、移送部１３０の回転軸１３４を通り、その回転中心となる仮想の直線である回転軸線Ｌ２と重なる。又、蓋１１３には、回転軸線Ｌ２と重なる位置に、第１容器１１０の内部から外部へと貫通した排気口部１１７が設けられる。この排気口部１１７には、規制部４０が取り付けられる。
【００５１】
接続部１２０は、図６に示すように、その中心を通る仮想の直線である中心線に沿った貫通穴１２２を有し、一端が第１容器１１０の貫通穴１１６に挿入されると共に、他端が第２容器２０の第１開口部２１を外嵌することで、第１容器１０の内部と第２容器２０の内部とを気密性を確保し連通させる。
【００５２】
移送部１３０は、図６に示すように、駆動源（モータ）１３２と、該駆動源１３２に回転力を付与されて、回転軸線Ｌ２を中心に回転する回転軸１３４とを備える。回転軸１３４は、一端を固定部１４０に接続されており、駆動源１３２から回転力を付与されることで、回転軸線Ｌ２を中心として固定部１４０と共に、第１容器１１０を回転させる。
【００５３】
（３）材料Ｍ充填済み第２容器２０の製造方法
充填装置１０１を用いた材料Ｍ充填済みの第２容器２０の製造方法は、まず材料Ｍを収納して蓋１１３が取り付けられた第１容器１１０を、その底部を固定部１４０に外嵌させることで、当該固定部１４０に固定する。又、接続部１２０の一端を第１容器１１０の貫通穴１１６に挿入すると共に、第２開口部２２に封止部５０が取り付けられている第２容器２０の第１開口部２１を接続部１２０の他端により外嵌することで、第１容器１０の内部と第２容器２０の内部とを気密性を確保し連通させる。
【００５４】
続いて、排気部６０の配管部６４を、第１容器１１０の蓋１１３の排気口部１１７に取り付けられた規制部４０に接続し、真空ポンプ６２を作動させて、規制部４０、及び配管部６４を介して、第１容器１１０、及び第２容器２０の内部（接続部１２０の貫通穴１２２を含む。以下同様。）を排気する。そして、圧力計６６の示すガス圧が所望の値になった後、即ち、第１容器１１０、及び第２容器２０が所望の真空度に到達した後、配管部６４と規制部４０との接続を解除する。尚、規制部４０、又は、配管部６４に図示しないロータリージョイントを設けて、配管部６４と規制部４０との接続を解除せず、以降の作業を行うことも想定され得る。
【００５５】
続いて、移送部１３０の駆動源１３２を駆動させて、回転軸線Ｌ２を中心に、第１容器１１０、及び第２容器２０を回転させる。この際、第１容器１１０、及び第２容器２０の内部の気密性は確保され続ける。
【００５６】
回転軸線Ｌ２を中心に第１容器１１０、及び第２容器２０を回転させることにより、図7に示すように、材料Ｍに遠心力が作用して、該材料Ｍが、接続部１２０の貫通穴１２２を介して、第２容器２０の内部へ移送される。所望量の材料Ｍが第２容器２０の内部へ移送された後、駆動源１３２の駆動を停止し、第２容器２０を接続部１２０から取り外す。以上で、材料Ｍ充填済み第２容器２０の製造が完了する。
【００５７】
（３）作用効果
充填装置１０１では、接続部１２０を介して、第１容器１１０、及び第２容器２０の内部のみを真空ポンプ６２により排気できるので、充填装置１と同様に、不要な部分まで排気する必要がなく、第１容器１１０、及び第２容器２０の内部を短時間で所望の真空度に到達させることができる。そのため、充填装置１０１は、充填装置１と同様の効果を発揮する。
【００５８】
（４）変形例
充填装置１０１は、接続部１２０を使用せず、第１容器１１０の貫通穴１１６を接続部として使用してもよい。この場合においては、第２容器２０の第１開口部２１を、貫通穴１１６に挿入することで、第１容器１０の内部と第２容器２０の内部とを気密性を確保し連通させる。
【００５９】
又、充填装置１０１は、排気口部１１７にかえて、接続部１２０に、その外部と貫通穴１２２との間で貫通した図示しない排気口部を設けるように構成してもよい。この場合において、規制部４０は、前記排気口部に取り付けられる。更に、充填装置１０１は、排気口部１１７にかえて、第２容器２０の内の１つである特定第２容器２４の第２開口部２２に、封止部５０にかわり規制部４０を取り付けるように構成してもよい。このように構成された充填装置１０１であっても、規制部４０、及び排気部６０の配管部６４を介して、第１容器１０、及び第２容器２０の内部のみを真空ポンプ６２により排気できる。
【符号の説明】
【００６０】
１…充填装置、  １０…第１容器、  １２…開口部、  １４…底部、  １６…凸部、  １８…排気口部、  ２０…第２容器、  ２１…第１開口部、  ２２…第２開口部、  ２４…特定第２容器、  ３０…接続部、  ３１…押圧部材、  ３２…押圧面、  ３３…貫通穴、  ３４…溝、  ３５…穴、  ３７…シール部材、  ３８…排気口部、  ４０…規制部、  ５０…封止部、  ６０…排気部、  ６２…真空ポンプ、  ６４…配管部、  ６６…圧力計、  ７０…移送部、  ７１…シャフト、  ７２…駆動部、  ７３…支持基板、  ７４…支柱、  ７５…ハンドル部、  ７６…駆動機構、  ８０…固定部、  ９０…支持部、  １０１…充填装置、  １１０…第１容器、  １１２…開口部、  １１３…蓋、  １１４…側面部、  １１６…貫通穴、  １１７…排気口部、  １２０…接続部、  １２２…貫通穴、  １３０…移送部、  １３２…駆動源、  １３４…回転軸、  １４０…固定部、  Ｌ１…回転軸線、  Ｌ２…回転軸線、  Ｍ…材料
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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