(57)【要約】  【課題】ピッチング変動が少なく、また半導体ウエハの高さ方向の位置決め精度及び傾き精度を向上させることが可能なコア付のリニアモータを使用するプロービング装置を提供する。  【解決手段】半導体ウエハＷを保持するステージ１６と、ステージ１６を水平方向に移動させる移動機構部２２、２３と、移動機構部２２、２３の駆動を制御する制御部１７とを備え、移動機構部２２、２３は、ステージ１６と一体的に移動する可動子２６と、可動子２６の左右両側面２６ａに各々対向して設けられた左右１対のガイド壁部２５ａを有する軌道２５と、軌道２５に沿って設けられた永久磁石列２８と永久磁石列２８に対向して並設配置されたコイル列２９を有し、永久磁石列２８とコイル列２９の一方を対向し合う可動子２６の側面２６ａ側に固定し他方をガイド壁２５ａ側に固定するようにして、それぞれ対向する可動子２６の側面２６ａとガイド壁２５ａとの間に設けられた１対のリニアモータ２７ａ、２７ｂと、よりなる構成とした。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
プローブカードのプローブに電子デバイスの電極を上下方向より接触させて検査を行うプロービング装置において、
前記電子デバイスを保持するステージと、前記ステージを水平方向に移動させる移動機構と、前記移動機構の駆動を制御する制御部と、を備え、
前記移動機構は、
前記ステージと一体的に移動する可動子と、
前記可動子の左右両側面に各々対向して設けられた左右１対のガイド部を有する軌道と、
前記軌道に沿って設けられた永久磁石列と該永久磁石列に対向して並設配置されたコイル列を有し、該永久磁石列とコイル列の一方を対向し合う前記可動子の側面側に固定し他方を前記ガイド部側に固定するようにして、それぞれ対向する前記可動子の側面と前記ガイド部との間に設けられた１対のリニアモータと、
よりなり、前記１対のリニアモータが前記可動子を前記軌道に沿って移動させる推力を発生するようにしたことを特徴とするプロービング装置。
【請求項２】
前記可動子上に前記ステージを設け、重心位置を可動子内に設けてなることを特徴とする請求項１記載のプロービング装置。
【請求項３】
前記１対のリニアモータは、前記可動子を挟んで略左右対称な位置に配設されていることを特徴とする請求項１または２に記載のプロービング装置。
【請求項４】
前記移動機構は、前記ステージを上下方向に移動させるＺ軸移動台と、前記ステージとＺ軸移動台をＸ方向及びＹ方向にそれぞれ移動させるＸ軸移動台及びＹ軸移動台とを備え、前記可動子と前記軌道と前記１対のリニアモータは、少なくとも前記Ｚ軸移動台と前記Ｘ軸移動台または前記Ｙ軸移動台との間に設けられていることを特徴とする請求項１，２又は３に記載のプロービング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はプロービング装置に関するものであり、特に、半導体ウエハ等の基板上に形成された半導体チップ(ダイ)、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）等の電子デバイスにおける電気的な検査を行うためのプロービング装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造工程では、薄い円板状の半導体ウエハに各種の処理を施して、電子デバイスを有する複数のチップ(ダイ)を形成する。各チップは電気的特性が検査され、その後、ダイサーで切り離された後、リードフレーム等に固定されて組み立てられる。上記の電気特性の検査は、プローバとテスタを利用して行われる。プローバは、半導体ウエハをステージ上のチャックに固定し、各チップの電極パッドにプローブを接触させる。テスタは、プローブに接続される端子から、電源及び各種の試験信号を供給し、チップの電極に出力される信号をテスタで解析して正常に動作するかを確認する。
【０００３】
今日では、半導体の微細化と高集積化、及び半導体ウエハの大口径化により、検査精度の向上が求められているとともに、プローブを電子デバイスに接触させたときの測定圧も増加傾向にある。また、多層構造の半導体製品等では、高さ精度の要求も厳しくなり、半導体製品の多様化により磁場の影響や振動に対しての要求も高まっている。さらに、半導体製品の低価格化により、高い生産性を実現するためのスループットが求められており、これらを高次元で満たすプロービング装置も知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
特許文献１では、電子デバイスをＸ方向とＹ方向に動かす移動機構として、ボールネジを使用した構造と、リニアモータを使用した構造が開示されている。
【０００５】
ボールネジを使用して電子デバイスをＸ方向とＹ方向に動かす移動機構では、モータの吸引力が発生しないため、Ｘ、Ｙステージのベースやキャリッジの変形が無く、またピッチング変動も少ないのでＸ、Ｙ座標での精度が良い。さらに、半導体ウエハの高さや傾きの精度も有利である。しかし、ボールネジの速度の限界により、スループットが遅い。また、ボールネジの回転による塵やダスト等のパーティクルが発生する問題があった。
【０００６】
これに対して、リニアモータを使用して電子デバイスをＸ方向とＹ方向に動かす移動機構では、ボールネジを使用しないので、パーティクルの発生はない。また、機械的な速度限界が無いために、高スループットになる利点がある。しかしながら、コア付のリニアモータを使用した場合では、モータの吸引力がコアを吸引し、これと同時にベースや移動機構を変形させる虞がある。ベースや移動機構に変形が生じると、ピッチング変動が生じて、Ｘ、Ｙ座標での位置決め精度が悪くなる。また、ベースや移動機構が変形を起こすと、半導体ウエハを保持しているステージの高さの精度及び傾きの精度等も低下し、ステージがプローブカードと対向するための平行移動を妨げる。
【０００７】
すなわち、図４を用いて説明すると、ステージの高さ及び傾き精度に問題が無い場合は、(ａ)に示すように、ステージ５１に保持された半導体ウエハＷは、所定の高さ位置で水平に保持され、プローブカード５２のプローブ５３と平行状態で接触されて、検査を精度良く行うことができる。しかし、ステージ５１の高さが所定の位置に無い場合で、ステージ５１が所定の位置よりも高い場合にはプローブカード５２のプローブ５３と半導体ウエハＷとの接触圧が強くなり、反対に低い場合はプローブカード５２のプローブ５３と半導体ウエハＷとの接触圧が弱く、または接触しないで検査不良になる。
【０００８】
また、(ｂ)、(ｃ)に示すように、ステージ５１が傾いた場合には、ステージ上のチャック５１に保持された半導体ウエハＷも傾き、プローブカード５２のプローブ５３と半導体ウエハＷとの接触は傾いた状態での接触となり、検査精度を悪くする。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特許第４８７８９１９号公報。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
上述したように、コア付のリニアモータを使用して電子デバイスをＸ方向とＹ方向に動かす移動機構においては、モータの吸引力がコアを吸引し、ベースや移動機構に変形を生じさせる問題があった。そして、この変形が、電子デバイスをＸ、Ｙ方向に移動させるステージの高さの精度及び傾きの精度に影響を与えている。すなわち、このステージの高さの精度や傾きの精度は、ステージ側に保持されている半導体ウエハがプローブカードのプローブと接触する際に正しく接触することができず、検査の精度を低下させる問題点があった。
【００１１】
この問題の解決方法として、例えば吸引力の発生しないコアレスタイプのリニアモータの採用が考えられる。このコアレスタイプのリニアモータの場合では、モータの吸引力が発生しないため、Ｘ、Ｙステージのピッチング変動が少なく、Ｘ、Ｙ座標での精度が良い。また、半導体ウエハの高さや傾きの精度にも有利であり、ボールネジが無いためにパーティクルの発生も少ないという利点がある。
【００１２】
しかし、コアレスタイプのリニアモータを使用した場合では、剛性や推力が弱く、可動子の質量も小さい為、大きな質量比の物を搬送することができない。このため、プローブカードの測定に耐える剛性を持つ、質量の大きなステージを搬送することが困難で、プローブカードのプローブが接触されるＸ、Ｙステージに必要とする性能をバランス良く満たすことが難しいという問題点があった。
【００１３】
そこで、ピッチング変動が少なく、また半導体ウエハの高さ方向の位置決め精度及び傾き精度を向上させることが可能なコア付のリニアモータを使用するプロービング装置を提供するために解決すべき技術的課題が生じてくるのであり、本発明はこの課題を解決することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明は上記目的を達成するために提案されたものであり、請求項１記載の発明は、プローブカードのプローブに電子デバイスの電極を上下方向より接触させて検査を行うプロービング装置において、前記電子デバイスを保持するステージと、前記ステージを水平方向に移動させる移動機構と、前記移動機構の駆動を制御する制御部と、を備え、前記移動機構は、前記ステージと一体的に移動する可動子と、前記可動子の左右両側面に各々対向して設けられた左右１対のガイド部を有する軌道と、前記軌道に沿って設けられた永久磁石列と該永久磁石列に対向して並設配置されたコイル列を有し、該永久磁石列とコイル列の一方を対向し合う前記可動子の側面側に固定し他方を前記ガイド部側に固定するようにして、それぞれ対向する前記可動子の側面と前記ガイド部との間に設けられた１対のリニアモータと、よりなり、前記１対のリニアモータが前記可動子を前記軌道に沿って移動させる推力を発生するようにしたプロービング装置を提供する。
【００１５】
この構成によれば、軌道に沿ってステージと共に移動する可動子の左右両側面と該側面に対向するガイド部との間にそれぞれ別れて、その可動子を軌道に沿って移動させる推力を発生するための１対のリニアモータを設けている。そして、１対のリニアモータが可動子をそれぞれ左右両側から水平方向に吸引し、かつ可動子が軌道に沿って移動をする推力を付与する。また、リニアモータが可動子を左右両側から水平方向に吸引することにより、そのリニアモータが可動子を左右両側に引いている力が相殺され、可動子が軌道の中心位置で該軌道に沿って移動する力だけが残る。これにより、ステージを変形させることもなく、電子デバイスの高さ及び水平姿勢を維持した状態で、可動子がステージと共に推力方向、すなわち軌道に沿ってスムーズに移動する。また、可動子を左右方向へ吸引する力が相殺されることにより、可動子及び軌道にかかる荷重が軽減される。また、荷重の軽減により、サイズの小さい可動子及び軌道を使用することができるので、低コスト化が可能になる。
【００１６】
請求項２記載の発明は、請求項１記載の構成において、前記可動子上に前記ステージを設け、重心位置を可動子内に設けてなるプロービング装置を提供する。
【００１７】
この構成によれば、ステージの重心位置を、１対のリニアモータで挟まれる可動子内に下げることにより、可動子の振動が少なくなり、ステージ及び可動子が軌道に沿って移動する動作が安定する。また、可動子及びステージの傾きも少なくなり、推力にピッチング方向のモーメントが無くなり、電子デバイスとプローブカードの平行度も維持できる。また、プローブカードの針立て面と電子デバイスの平行を保ちながらステージを駆動させることができるので、精度の良い検査が可能になる。
【００１８】
請求項３記載の発明は、請求項１又は２に記載の発明において、前記１対のリニアモータは、前記可動子を挟んで略左右対称な位置に配設されているプロービング装置を提供する。
【００１９】
この構成によれば、１対のリニアモータが、相対向することにより、磁界の向きが測定対象の方向に対して９０°方向になる。このため、電子デバイスへの磁気の影響が少なくなる。これにより、磁気を嫌う半導体デバイス等の測定に有利になる。
【００２０】
請求項４記載の発明は、請求項１，２又は３に記載の発明において、前記移動機構は、前記ステージを上下方向に移動させるＺ軸移動台と、前記ステージとＺ軸移動台をＸ方向及びＹ方向にそれぞれ移動させるＸ軸移動台及びＹ軸移動台とを備え、前記可動子と前記軌道と上記１対のリニアモータは、少なくとも前記Ｚ軸移動台と前記Ｘ軸移動台または前記Ｙ軸移動台との間に設けられているプロービング装置を提供する。
【００２１】
この構成によれば、ステージの移動により、チャック上に保持された電子デバイスを、Ｘ方向、Ｙ方向、Ｚ方向の３方向に移動させ、電子デバイスの電極にプローブカードのプローブを接触させて、簡単に検査を行うことができる。
【発明の効果】
【００２２】
発明によれば、軌道に沿ってステージと共に移動する可動子の両側面にそれぞれ、その可動子を軌道に沿って移動させるための推力を発生する１対のリニアモータを設けるとともに、この１対のリニアモータが可動子を左右両側から各々水平方向に吸引する力を付与して、可動子を左右両側から水平方向に吸引している力を相殺し、リニアモータの吸引力がステージ及び可動子を変形させることがないようにしているので、可動子のピッチング変動による累積精度の悪化を防ぐことができる。また、電子デバイスの高さの精度及び水平姿勢の精度を維持した状態で、可動子をステージと共に、軌道に沿う方向へスムーズに移動させることができる。これにより、プローブカードのプローブとステージ上に保持される電子デバイスの位置決め精度、及びプローブカードと電子デバイスの平行度を向上させることができるので、コンタクト性能の向上と検査精度の向上に寄与する。また、可動子の吸引力が相殺されることにより、可動子及び軌道にかかる荷重が軽減されるので耐久性の向上が期待できる。また、サイズの小さい可動子及び軌道を使用することが可能になるので、低コスト化が期待できる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の一実施形態に係るプロービング装置の基本構成図。
【図２】同上プロービング装置におけるＸＹステージの構成斜視図。
【図３】同上プロービング装置におけるリニアモータの配置構成を説明する図。
【図４】プロービング装置におけるプローブカードとキャリッジの姿勢状態との関係を説明する図。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
本発明はピッチング変動が少なく、また半導体ウエハの高さ方向の位置決め精度及び傾き精度を向上させることが可能なコア付のリニアモータを使用するプロービング装置を提供するという目的を達成するために、プローブカードのプローブに電子デバイスの電極を上下方向より接触させて検査を行うプロービング装置において、前記電子デバイスを保持するステージと、前記ステージを水平方向に移動させる移動機構と、前記移動機構の駆動を制御する制御部と、を備え、前記移動機構は、前記ステージと一体的に移動する可動子と、前記可動子の左右両側面に各々対向して設けられた左右１対のガイド部を有する軌道と、前記軌道に沿って設けられた永久磁石列と該永久磁石列に対向して並設配置されたコイル列を有し、該永久磁石列とコイル列の一方を対向し合う前記可動子の側面側に固定し他方を前記ガイド部側に固定するようにして、それぞれ対向する前記可動子の側面と前記ガイド部との間に設けられた１対のリニアモータと、よりなり、前記１対のリニアモータが前記可動子を前記軌道に沿って移動させる推力を発生するようにして実現した。
【００２５】
以下、本発明の実施形態によるプロービング装置を、半導体製造工程において円板状の半導体ウエハに形成された電子デバイスの電極にプローブを接触させて、プローブから電源及び各種の試験信号を供給し、電子デバイスの電極に出力される信号をテスタで解析し、正常に動作するかを確認する試験を行う場合を一例として説明する。
【実施例】
【００２６】
図１は本発明の実施形態に係るプロービング装置の基本構成を示すものである。図１において、プロービング装置１１は、ベース台１２と、このベース台１２上に設けられたＹ軸移動台１３、Ｘ軸移動台１４、Ｚ軸移動台１５、ステージ１６と、プロービング装置１１全体を制御するための制御部１７と、を備えている。そして、ステージ１６上には、図示しない電子デバイスを有した複数のチップを切り出すための薄い円板状の半導体ウエハＷが、ステージ１６に設けられた図示しない真空チャック構造による真空吸引により保持されて、ステージ１６と一体に移動されるようになっている。また、ステージ１６の上方には、カードホルダ(図示せず)に保持されたプローブカード１８が配設されている。
【００２７】
前記プローブカード１８には、ステージ１６上に保持された半導体ウエハＷに対向するようにして、プローブ１９が設けられている。そのプローブ１９は、バネ性を有し、ステージ１６上の半導体ウエハＷに設けられている電子デバイスの電極端子がプローブ１９の先端位置よりも上昇されると、電子デバイスの電極端子に所定の接触圧で接触する。そして、図示しないテスタでは、プローブ１９が電子デバイスの電極端子に接触された状態で、プローブ１９を通して電極端子に電源及び各種の試験信号を供給し、電極端子に出力される信号を解析して正常に動作するかを確認するようになっている。
【００２８】
前記制御部１７は、プロービング装置１１の全体を決められた手順で制御するものであり、例えばコンピュータである。
【００２９】
前記ベース台１２は、プロービング装置１１を床面上等に設置する基台である。
【００３０】
前記Ｙ軸移動台１３は、図２に示すように、ベース台１２との間に設けられた移動機構２０を介して、ベース台１２に対してＹ軸方向に往復移動可能に取り付けられている。図２中の矢印３１は、そのＹ軸方向を示している。
【００３１】
前記Ｘ軸移動台１４は、Ｙ軸移動台１３との間に設けられた移動機構２１を介して、Ｙ軸移動台１４に対してＸ軸方向に往復移動可能に取り付けられている。図２中の矢印３０は、そのＸ軸方向を示している。
【００３２】
前記Ｚ軸移動台１５は、前記ステージ１６を上端に設けてＸ軸移動台１４上に取り付けられており、ステージ１６を図１、図３中に矢印３２で示すＺ方向(上下方向)に往復移動可能になっている。したがって、ステージ１６及びＺ軸移動台１５は、Ｙ軸移動台１３のＹ方向への移動、及びＸ軸移動台１４のＸ方向への移動と一体にＸ、Ｙの二方向に移動し、ステージ１６はＺ軸移動台１５によるＺ方向への移動によりＺ方向にも移動をする。
【００３３】
前記ベース台１２と前記Ｙ軸移動台１３の間に設けられた前記移動機構２０と、前記Ｙ軸移動台１３と前記Ｘ軸移動台１４の間に設けられた前記移動機構２１の構成は、基本的には同じ構成であり、中央に設けられた移動機構部２２と、この移動機構２２を挟んでその外側に各々設けられた１対の移動機構部２３、２３とを備えている。
【００３４】
図２に示すように、１対の移動機構部２３、２３は、ベース台１２の上面とＹ軸移動台１３の上面に、それぞれＹ軸移動台１３及びＸ軸移動台１４の移動方向に延設された１対のレール材２４ａ、２４ａを配設している。反対に、Ｙ軸移動台１３の下面とＸ軸移動台１４の下面には、それぞれ１対のレール材２４ａ、２４ａによって移動が案内されるスライダー２４ｂ、２４ｂを設けている。
【００３５】
一方、移動機構部２２は、同じく図２に示すように、ベース台１２の上面とＹ軸移動台１３の上面にそれぞれ、Ｙ軸移動台１３及びＸ軸移動台１４の移動方向に延設された軌道２５を設けるとともに、Ｙ軸移動台１３の下面とＸ軸移動台１４の下面にそれぞれ、軌道２５によって移動が案内される可動子２６を設けている。
【００３６】
また、前記ベース台１２と前記Ｙ軸移動台１３の間に設けられた前記移動機構部２２と、前記Ｙ軸移動台１３と前記Ｘ軸移動台１４の間に設けられた前記移動機構部２２の構成も、基本的には同じ構成である。したがって、図３を用いてＹ軸移動台１３とＸ軸移動台１４の間に設けられた移動機構部２２の構成を説明し、ベース台１２とＹ軸移動台１３の間に設けられた移動機構部２２の構成は対応する部材に同一符号を付すことにより説明を省略する。
【００３７】
図３はプロービング装置１１におけるＹ軸移動台１３とＸ軸移動台１４の間に設けられた移動機構部２２、及び、Ｚ軸移動台１５、ベース台１２、プローブカード１８に関係する部分の構成、特に移動機構部２２の構成を説明する図である。同図に示すように、移動機構部２２は、Ｙ軸移動台１３の上面に、Ｘ軸方向に延設して形成された左右１対のガイド部としてのガイド壁２５ａ、２５ａを有してなる前記軌道２５と、Ｘ軸移動台１４の下面に、ガイド壁２５ａ、２５ａの間に対応してＸ軸方向に延設して形成されたコアとしての前記可動子２６とを備えている。
【００３８】
また、各ガイド壁２５ａ、２５ａと、この各ガイド壁２５ａ、２５ａと対向する可動子２６の側面２６ａ、２６ａとの間には、それぞれリニアモータ２７ａ、２７ｂが設けられている。リニアモータ２７ａ、２７ｂは、各ガイド壁２５ａ、２５ａの内面に、Ｎ極とＳ極を交互に配設するようにし、複数個の永久磁石を等間隔で規則正しく延設方向に列をなして取り付けてなる永久磁石列２８と、可動子２６の各側面２６ａ、２６ａに、少なくとも１つ以上のコイルを延設方向に並べて取り付けて成るコイル列２９とを備えている。このように、可動子２６内に質量のあるコイル列２９を設けることによって、可動子２６の重心位置を低くしている。なお、ガイド壁２５ａ、２５ａ側にコイル列２９を設け、可動子２６側に永久磁石列２８を設けて重心位置を低くしても良いものである。また、永久磁石列２８における永久磁石の個数及びコイル列２９におけるコイルの個数は任意である。
【００３９】
そして、各リニアモータ２７ａ、２７ｂは、制御部１７の制御によって、コイル列２９の所定のコイルに電流が順に流され、コイルが励起されて磁場が発生されると、この磁場に発生した磁力線により可動子２６が軌道２５に沿う方向、すなわちＸ軸方向(またはＹ軸方向)に推力を受けて駆動する。このリニアモータ２７ａ、２７ｂの構成は、一般に知られているリニアモータの構成と同じであってよい。
【００４０】
また、この実施形態の構造では、図３中に矢印で示すように、１対のリニアモータ２７ａ、２７ｂのうち、一方のリニアモータ２７ａには、可動子２６を図３中の左外側方向(矢印Ｌ方向)へ水平に吸引し、かつ可動子２６が軌道２５に沿って移動する推力を付与するための磁界が発生するようにしてコイル列２９に電流を流し、他方のリニアモータ２７ｂには、可動子２６を右外側方向(矢印Ｒ方向)へ水平に吸引し、かつリニアモータ２７ａと同じ方向、すなわち可動子２６が軌道２５に沿って移動する推力を付与するための磁界が発生するように、コイル列２９の各コイルに電流を流す。このように、矢印Ｌと矢印Ｒで示す水平方向に、各々吸引力が働くようにしてコイル列２９のコイルに電流を流すと、各リニアモータ２７ａ、２７ｂが可動子２６を水平方向に吸引する力が相殺され、可動子２６をガイド壁２５、２５の中間位置にバランス良く保持し、かつ可動子２５が軌道２５に沿って同じ方向に移動する推力だけが残るようにすることができる。
【００４１】
このように構成されたプロービング装置１１では、移動機構部２２、２３に制御部１７から電流が流されると、Ｙ軸移動台１３及びＸ軸移動台１４が、半導体ウエハＷを保持したステージ１６及びＺ軸移動台１５をそれぞれＸ、Ｙ方向に移動させる。そして、ステージ１６上の半導体ウエハＷがプローブカード１８のプローブ１９に対応すると、Ｙ軸移動台１３とＸ軸移動台１４の移動が停止される。続いて、Ｚ軸移動台１５が駆動されてステージ１６が上昇し、半導体ウエハＷの電子デバイスの電極にプローブ１９を接触させ、検査を行う。また、検査後は、Ｚ軸移動台１５が駆動されてステージ１６を下降して所定の位置に戻り、検査を終了する。その後、半導体ウエハＷを別の半導体ウエハＷと交換して同じ検査を繰り返す。
【００４２】
したがって、このように構成されたプローブ装置１１では、Ｙ軸移動台１３及びＸ軸移動台１４を移動させる移動機構部２２、２３において、１対のリニアモータ２７ａ、２７ｂのうち、一方のリニアモータ２７ａには、可動子２６を図３中に矢印Ｌで示す左外側方向へ水平に吸引し、かつ該可動子２６が軌道２５に沿って移動する推力を付与する磁界が発生するようにしてコイル列２９に電流を流し、他方のリニアモータ２７ｂには、可動子２６を図３中に矢印Ｒで示す右外側方向へ水平に吸引し、かつ可動子２６が軌道に沿って、リニアモータ２７ａと同じ方向に移動する推力を付与する磁界が発生するようにしてコイル列２９に電流を流すので、リニアモータ２７ａ、２７ｂが可動子２６を左右両側に引き合う力は相殺される。これにより、コアとしての可動子２６が設けられていても、該可動子２６を下側方向に撓ませる力は働かないので、可動子２６の変形が防げ、この可動子２６のピッチング変動を無くして、電子デバイスの高さ精度と水平姿勢を常に正常な状態に維持することができるので、可動子２６をステージ１６と共に推力方向にスムーズに移動させることができる。
【００４３】
しかも、コアとしての可動子２６を設けることによって剛性と推力が確保できるので、質量の大きなステージ１６を搬送することも可能になる。また、ステージ１６の重心位置を可動子２６内の低い位置に設定することができ、重心位置を下げることによって可動子２６の振動も少なくなり、ステージ１６と共に移動する可動子２６の移動が安定する。さらに、可動子２６の傾きも少なくなり、半導体ウエハＷとプローブカード１８の平行度も維持でき、プローブカード１８の針立て面と半導体ウエハＷの平行を保ちながらステージ１６を駆動させることができるので、精度の良い検査が可能になる。
【００４４】
また、可動子２６及び軌道２５にかかる荷重が軽減されて耐久性の向上が図れるので、サイズの小さい可動子及び軌道を使用することが可能になり、低コスト化が可能になる。
【００４５】
さらに、１対のリニアモータ２７ａ、２７ｂが、相対抗することにより、磁界の向きが測定対象の方向に対して９０°方向となるため、電子デバイスへの磁気の影響が少なくなる。これにより、磁気を嫌う半導体デバイス等の測定に有利となる。
【００４６】
なお、本発明は、本発明の精神を逸脱しない限り種々の改変を為すことができ、そして、本発明が該改変されたものに及ぶことは当然である。
【産業上の利用可能性】
【００４７】
上記実施形態の説明では、半導体製造工程において円板状の半導体ウエハに形成された電子デバイスを検査する場合について説明したが、これに限定されることなく、広く一般の検査にも応用できる。
【符号の説明】
【００４８】
１１      プロービング装置
１２      ベース台
１３      Ｙ軸移動台
１４      Ｘ軸移動台
１５      Ｚ軸移動台
１６      ステージ
１７      制御部
１８      プローブカード
１９      プローブ
２０、２１  移動機構
２２、２３  移動機構部
２４ａ    レール材
２４ｂ    スライダー
２５      軌道
２５ａ    ガイド壁(ガイド部)
２６      可動子(コア)
２６ａ    側面
２７ａ、２７ｂ  リニアモータ
２８      永久磁石列
２９      コイル列
３０      Ｘ軸方向
３１      Ｙ軸方向
３２      Ｚ軸方向
Ｗ        半導体ウエハ
【図１】
2014193045.tif 000003
【図２】
2014193045.tif 000004
【図３】
2014193045.tif 000005
【図４】
2014193045.tif 000006