(57)【要約】【課題】再検査に要する時間を短縮する。【解決手段】基板２０の一面に区画された４×４＝１６個の基板ＰのうちのＫａ個の再検査時に、検査用治具４における２×２＝４個のプローブ配設領域内のすべての各プローブがいずれかの検査ポイントにプロービングされるとの条件が満たされ、かつＫａ個の基板Ｐのうちの予め規定された側（例えば左下側）の端に位置する基板Ｐ内の各検査ポイントに４個のプローブ配設領域のうちの予め規定された側と同じ側（左下側）の端に位置するプローブ配設領域内の各プローブがプロービングされるように各プローブを各検査ポイントにプロービングさせる第１の処理、プローブを検査ポイントにプロービングさせた再検査対象のＫｂ個の基板Ｐ内の検査ポイントを検査する第２の処理、および再検査を完了したＫｂ個を除くＫｃ個の基板Ｐを新たなＫａ個の基板Ｐとする第３の処理をＫａ＝０となるまでこの順で繰り返して実行する。【選択図】図４
2014020811.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象基板の一面に区画された複数の検査対象領域内にそれぞれ規定された複数の検査ポイントの当該各検査対象領域内における配置に応じて複数の検査用プローブが配設された検査用治具と、当該検査用治具および前記検査対象基板の少なくとも一方を他方に対して移動させて前記各検査用プローブを前記各検査ポイントにプロービングさせる移動機構と、前記各検査用プローブを介して前記検査対象領域内の前記各検査ポイントに対して入出力させた電気電号に基づいて当該各検査ポイントを検査する検査部と、前記移動機構による前記少なくとも一方の移動および前記検査部による前記各検査ポイントの検査を制御する制御部とを備え、
前記検査用治具が、第１の方向に沿った区画数がＮａで当該第１の方向と交差する第２の方向に沿った区画数がＮｂとなるように区画されると共に同一の配置となるように前記各検査ポイントがそれぞれ規定された（Ｎａ×Ｎｂ）個（ＮａおよびＮｂは、いずれも自然数であり、かつ、少なくとも一方が４以上との条件を満たす数）の前記検査対象領域のうちの（Ｍａ×Ｍｂ）個（Ｍａは、Ｎａ以下の自然数であって当該第１の方向に沿った個数であり、Ｍｂは、Ｎｂ以下の自然数であって当該第２の方向に沿った個数であり、かつ、ＭａおよびＭｂの少なくとも一方は２以上との条件を満たす数）の当該検査対象領域内の当該各検査ポイントに前記各検査用プローブをプロービング可能に、（Ｌａ×Ｌｂ）個（Ｌａは、第１の方向に対応する第３の方向に沿った区画数であってＭａと同一の数であり、Ｌｂは、第２の方向に対応する第４の方向に沿った区画数であってＭｂと同一の数）のプローブ配設領域毎に同一の配置で当該各検査用プローブが配設されて構成され、
前記制御部が、前記移動機構を制御して前記（Ｎａ×Ｎｂ）個の検査対象領域内の前記各検査ポイントに前記検査用治具の前記各検査用プローブを順次プロービングさせつつ、前記検査部を制御して当該各検査ポイントを検査させる基板検査装置であって、
前記制御部は、Ｋａ個（Ｋａは、Ｎａ×Ｎｂ以下の自然数）の前記検査対象領域の再検査時に、前記（Ｌａ×Ｌｂ）個のプローブ配設領域内のすべての前記各検査用プローブが前記（Ｎａ×Ｎｂ）個の検査対象領域のうちのいずれかの当該検査対象領域内の前記各検査ポイントにプロービングされるとの条件が満たされ、かつ、前記Ｋａ個の検査対象領域のうちの予め規定された側の端に位置する当該検査対象領域内の前記各検査ポイントに前記（Ｌａ×Ｌｂ）個のプローブ配設領域のうちの当該予め規定された側と同じ側の端に位置する当該プローブ配設領域内の前記各検査用プローブがプロービングされるように前記移動機構を制御して前記少なくとも一方を前記他方に対して移動させて当該各検査用プローブを当該各検査ポイントにプロービングさせる第１の処理、前記検査部を制御して前記検査用プローブが前記検査ポイントにプロービングされている再検査対象のＫｂ個（Ｋｂは、Ｋａ以下の自然数）の前記検査対象領域内の当該検査ポイントを検査させる第２の処理、および前記Ｋａ個の検査対象領域のうちの再検査を完了した前記Ｋｂ個を除くＫｃ個の前記検査対象領域を新たな前記Ｋａ個の検査対象領域とする第３の処理を、Ｋａ＝０となるまでこの順で繰り返して実行する基板検査装置。
【請求項２】
検査対象基板の一面に区画された複数の検査対象領域内にそれぞれ規定された複数の検査ポイントの当該各検査対象領域内における配置に応じて複数の検査用プローブが配設された検査用治具と当該検査対象基板との少なくとも一方を他方に対して移動させて当該各検査用プローブを当該各検査ポイントにプロービングさせた状態において当該各検査用プローブを介して前記検査対象領域内の前記各検査ポイントに対して入出力させた電気電号に基づいて当該各検査ポイントを検査する際に、第１の方向に沿った区画数がＮａで当該第１の方向と交差する第２の方向に沿った区画数がＮｂとなるように区画されると共に同一の配置となるように前記各検査ポイントがそれぞれ規定された（Ｎａ×Ｎｂ）個（ＮａおよびＮｂは、いずれも自然数であり、かつ、少なくとも一方が４以上との条件を満たす数）の前記検査対象領域のうちの（Ｍａ×Ｍｂ）個（Ｍａは、Ｎａ以下の自然数であって当該第１の方向に沿った個数であり、Ｍｂは、Ｎｂ以下の自然数であって当該第２の方向に沿った個数であり、かつ、ＭａおよびＭｂの少なくとも一方は２以上との条件を満たす数）の当該検査対象領域内の当該各検査ポイントに前記各検査用プローブをプロービング可能に、（Ｌａ×Ｌｂ）個（Ｌａは、第１の方向に対応する第３の方向に沿った区画数であってＭａと同一の数であり、Ｌｂは、第２の方向に対応する第４の方向に沿った区画数であってＭｂと同一の数）のプローブ配設領域毎に同一の配置で当該各検査用プローブが配設されて構成された前記検査用治具を使用して、前記（Ｎａ×Ｎｂ）個の検査対象領域内の前記各検査ポイントに当該検査用治具の前記各検査用プローブを順次プロービングさせつつ当該各検査ポイントを検査する基板検査方法であって、
Ｋａ個（Ｋａは、Ｎａ×Ｎｂ以下の自然数）の前記検査対象領域の再検査時に、前記（Ｌａ×Ｌｂ）個のプローブ配設領域内のすべての前記各検査用プローブが前記（Ｎａ×Ｎｂ）個の検査対象領域のうちのいずれかの当該検査対象領域内の前記各検査ポイントにプロービングされるとの条件が満たされ、かつ、前記Ｋａ個の検査対象領域のうちの予め規定された側の端に位置する当該検査対象領域内の前記各検査ポイントに前記（Ｌａ×Ｌｂ）個のプローブ配設領域のうちの当該予め規定された側と同じ側の端に位置する当該プローブ配設領域内の前記各検査用プローブがプロービングされるように前記少なくとも一方を前記他方に対して移動させて当該各検査用プローブを当該各検査ポイントにプロービングさせる第１の処理、前記検査用プローブが前記検査ポイントにプロービングされている再検査対象のＫｂ個（Ｋｂは、Ｋａ以下の自然数）の前記検査対象領域内の当該検査ポイントを検査させる第２の処理、および前記Ｋａ個の検査対象領域のうちの再検査を完了した前記Ｋｂ個を除くＫｃ個の前記検査対象領域を新たな前記Ｋａ個の検査対象領域とする第３の処理を、Ｋａ＝０となるまでこの順で繰り返して実行する基板検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、同一の配置で検査ポイントが規定された複数の検査対象領域が区画されている検査対象基板を検査する基板検査装置および基板検査方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種の基板検査装置（基板検査方法）として、出願人は、特開２００９−８００６１号公報に回路基板検査装置（回路基板検査方法）を開示している。この回路基板検査装置（以下、単に「検査装置」ともいう）は、一例として、１枚のワークに多面付けされた（ワークの一面に区画された）５×６（５行６列）＝３０個の同種の回路基板を検査可能に、隣接する３×２（３行２列）＝６個の回路基板（または、隣接する２×３（２行３列）＝６個の回路基板）に対して同時にプロービング可能に６つのグループに区分けされて配設された複数のプローブを有する検査ヘッドを使用する構成が採用されている。また、この検査装置では、上記の５×６＝３０個の回路基板を、３×２＝６個（または、２×３＝６個）の回路基板からなる５つのブロック（基板群）にブロック化して、各ブロック毎に検査ヘッドの各プローブをプロービングさせて、回路基板上の検査ポイントを順に検査する構成が採用されている。
【０００３】
具体的には、この検査装置では、検査開始に先立ち、一例として、ワークの左下隅部を起点として上記の５×６＝３０個の回路基板を順次ブロック化する。より具体的には、１行目から３行目までの１列目および２列目に属する３×２＝６個の回路基板をブロックＡとし、１行目から３行目までの３列目および４列目に属する３×２＝６個の回路基板をブロックＢとし、１行目から３行目までの５列目および６列目に属する３×２＝６個の回路基板をブロックＣとし、４行目および５行目の１列目から３列目に属する２×３＝６個の回路基板をブロックＤとし、４行目および５行目の４列目から６列目に属する２×３＝６個の回路基板をブロックＥとする。
【０００４】
次いで、保持機構によって保持されたワークに向けて移動機構によって検査ヘッドを移動させることにより、まず、ブロックＡに属する６個の回路基板に上記の６つのグループに属する各プローブをプロービングさせる。続いて、測定部が予め規定された手順に従って上記の各プローブのうちの一対のプローブの間を流れる電流の電流値を測定し、処理部が、測定部の測定結果に基づいて、上記の一対のプローブがプロービングされている検査ポイントの良否（絶縁状態）を検査する。このような測定部による電流値の測定および処理部による良品の検査をブロックＡに属する６個の回路基板上に規定されたすべての検査ポイントについて順次実行することにより、ブロックＡに属する回路基板の良否が検査される。この後、ブロックＢ〜Ｅに属する各回路基板についても、上記のブロックＡに属する各回路基板と同様にして検査する。これにより、５×６＝３０個の回路基板の検査が完了する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００９−８００６１号公報（第４−８頁、第１−１１図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところが、出願人が開示している検査装置（検査方法）には、以下の改善すべき課題が存在する。すなわち、出願人が開示している検査装置（検査方法）では、ワークの左下隅部を起点として各回路基板を順次ブロック化することで、検査ヘッドの各プローブをプロービングさせるブロックの位置およびプロービングの順序を規定する構成（方法）が採用されている。この場合、この種のワーク（検査対象基板）の検査時には、各回路基板（検査対象領域）のうちの幾つかが不良と検査されて、その回路基板を再検査する必要が生じることがある。具体的には、上記の検査の結果、一例として、３行２列目の回路基板、２行４列目の回路基板、３行５列目の回路基板、４行３列目の回路基板、および４行４列目の回路基板が不良と検査されたときには（各ブロック毎に１つ以上の不良箇所が存在すると検査された例）、これら５個の回路基板を対象とする再検査処理を実行する。
【０００７】
この際に、出願人が開示している検査装置では、ブロックＡに属する６個の回路基板に検査ヘッド（プローブ）をプロービングさせた状態において３行２列目の回路基板を再検査し、ブロックＢに属する６個の回路基板に検査ヘッドをプロービングさせた状態において２行４列目の回路基板を再検査し、ブロックＣに属する６個の回路基板に検査ヘッドをプロービングさせた状態において３行５列目の回路基板を再検査し、ブロックＤに属する６個の回路基板に検査ヘッドをプロービングさせた状態において４行３列目の回路基板を再検査し、ブロックＢに属する６個の回路基板に検査ヘッドをプロービングさせた状態において４行４列目の回路基板を再検査することとなる。これにより、例えば検査ポイントとプローブとの間に異物が挟まっていたことで誤って不良と検査された回路基板が存在するときには、その回路基板が良品と検査される。
【０００８】
しかしながら、出願人が開示している検査装置（検査方法）では、上記の例のように、不良と検査した回路基板が複数のブロックに存在するときに、不良と検査した回路基板が存在するブロックの数だけ検査ヘッドを移動させる処理を実行して各プローブをプロービングさせる必要が生じている。このため、出願人が開示している検査装置（検査方法）では、回路基板の再検査に要する時間を短縮するのが困難となっており、この点を改善するのが好ましい。
【０００９】
本発明は、かかる改善すべき課題に鑑みてなされたものであり、再検査に要する時間を充分に短縮し得る基板検査装置および基板検査方法を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成すべく請求項１記載の基板検査装置は、検査対象基板の一面に区画された複数の検査対象領域内にそれぞれ規定された複数の検査ポイントの当該各検査対象領域内における配置に応じて複数の検査用プローブが配設された検査用治具と、当該検査用治具および前記検査対象基板の少なくとも一方を他方に対して移動させて前記各検査用プローブを前記各検査ポイントにプロービングさせる移動機構と、前記各検査用プローブを介して前記検査対象領域内の前記各検査ポイントに対して入出力させた電気電号に基づいて当該各検査ポイントを検査する検査部と、前記移動機構による前記少なくとも一方の移動および前記検査部による前記各検査ポイントの検査を制御する制御部とを備え、前記検査用治具が、第１の方向に沿った区画数がＮａで当該第１の方向と交差する第２の方向に沿った区画数がＮｂとなるように区画されると共に同一の配置となるように前記各検査ポイントがそれぞれ規定された（Ｎａ×Ｎｂ）個（ＮａおよびＮｂは、いずれも自然数であり、かつ、少なくとも一方が４以上との条件を満たす数）の前記検査対象領域のうちの（Ｍａ×Ｍｂ）個（Ｍａは、Ｎａ以下の自然数であって当該第１の方向に沿った個数であり、Ｍｂは、Ｎｂ以下の自然数であって当該第２の方向に沿った個数であり、かつ、ＭａおよびＭｂの少なくとも一方は２以上との条件を満たす数）の当該検査対象領域内の当該各検査ポイントに前記各検査用プローブをプロービング可能に、（Ｌａ×Ｌｂ）個（Ｌａは、第１の方向に対応する第３の方向に沿った区画数であってＭａと同一の数であり、Ｌｂは、第２の方向に対応する第４の方向に沿った区画数であってＭｂと同一の数）のプローブ配設領域毎に同一の配置で当該各検査用プローブが配設されて構成され、前記制御部が、前記移動機構を制御して前記（Ｎａ×Ｎｂ）個の検査対象領域内の前記各検査ポイントに前記検査用治具の前記各検査用プローブを順次プロービングさせつつ、前記検査部を制御して当該各検査ポイントを検査させる基板検査装置であって、前記制御部は、Ｋａ個（Ｋａは、Ｎａ×Ｎｂ以下の自然数）の前記検査対象領域の再検査時に、前記（Ｌａ×Ｌｂ）個のプローブ配設領域内のすべての前記各検査用プローブが前記（Ｎａ×Ｎｂ）個の検査対象領域のうちのいずれかの当該検査対象領域内の前記各検査ポイントにプロービングされるとの条件が満たされ、かつ、前記Ｋａ個の検査対象領域のうちの予め規定された側の端に位置する当該検査対象領域内の前記各検査ポイントに前記（Ｌａ×Ｌｂ）個のプローブ配設領域のうちの当該予め規定された側と同じ側の端に位置する当該プローブ配設領域内の前記各検査用プローブがプロービングされるように前記移動機構を制御して前記少なくとも一方を前記他方に対して移動させて当該各検査用プローブを当該各検査ポイントにプロービングさせる第１の処理、前記検査部を制御して前記検査用プローブが前記検査ポイントにプロービングされている再検査対象のＫｂ個（Ｋｂは、Ｋａ以下の自然数）の前記検査対象領域内の当該検査ポイントを検査させる第２の処理、および前記Ｋａ個の検査対象領域のうちの再検査を完了した前記Ｋｂ個を除くＫｃ個の前記検査対象領域を新たな前記Ｋａ個の検査��象領域とする第３の処理を、Ｋａ＝０となるまでこの順で繰り返して実行する。
【００１１】
また、請求項２記載の基板検査方法は、検査対象基板の一面に区画された複数の検査対象領域内にそれぞれ規定された複数の検査ポイントの当該各検査対象領域内における配置に応じて複数の検査用プローブが配設された検査用治具と当該検査対象基板との少なくとも一方を他方に対して移動させて当該各検査用プローブを当該各検査ポイントにプロービングさせた状態において当該各検査用プローブを介して前記検査対象領域内の前記各検査ポイントに対して入出力させた電気電号に基づいて当該各検査ポイントを検査する際に、第１の方向に沿った区画数がＮａで当該第１の方向と交差する第２の方向に沿った区画数がＮｂとなるように区画されると共に同一の配置となるように前記各検査ポイントがそれぞれ規定された（Ｎａ×Ｎｂ）個（ＮａおよびＮｂは、いずれも自然数であり、かつ、少なくとも一方が４以上との条件を満たす数）の前記検査対象領域のうちの（Ｍａ×Ｍｂ）個（Ｍａは、Ｎａ以下の自然数であって当該第１の方向に沿った個数であり、Ｍｂは、Ｎｂ以下の自然数であって当該第２の方向に沿った個数であり、かつ、ＭａおよびＭｂの少なくとも一方は２以上との条件を満たす数）の当該検査対象領域内の当該各検査ポイントに前記各検査用プローブをプロービング可能に、（Ｌａ×Ｌｂ）個（Ｌａは、第１の方向に対応する第３の方向に沿った区画数であってＭａと同一の数であり、Ｌｂは、第２の方向に対応する第４の方向に沿った区画数であってＭｂと同一の数）のプローブ配設領域毎に同一の配置で当該各検査用プローブが配設されて構成された前記検査用治具を使用して、前記（Ｎａ×Ｎｂ）個の検査対象領域内の前記各検査ポイントに当該検査用治具の前記各検査用プローブを順次プロービングさせつつ当該各検査ポイントを検査する基板検査方法であって、Ｋａ個（Ｋａは、Ｎａ×Ｎｂ以下の自然数）の前記検査対象領域の再検査時に、前記（Ｌａ×Ｌｂ）個のプローブ配設領域内のすべての前記各検査用プローブが前記（Ｎａ×Ｎｂ）個の検査対象領域のうちのいずれかの当該検査対象領域内の前記各検査ポイントにプロービングされるとの条件が満たされ、かつ、前記Ｋａ個の検査対象領域のうちの予め規定された側の端に位置する当該検査対象領域内の前記各検査ポイントに前記（Ｌａ×Ｌｂ）個のプローブ配設領域のうちの当該予め規定された側と同じ側の端に位置する当該プローブ配設領域内の前記各検査用プローブがプロービングされるように前記少なくとも一方を前記他方に対して移動させて当該各検査用プローブを当該各検査ポイントにプロービングさせる第１の処理、前記検査用プローブが前記検査ポイントにプロービングされている再検査対象のＫｂ個（Ｋｂは、Ｋａ以下の自然数）の前記検査対象領域内の当該検査ポイントを検査させる第２の処理、および前記Ｋａ個の検査対象領域のうちの再検査を完了した前記Ｋｂ個を除くＫｃ個の前記検査対象領域を新たな前記Ｋａ個の検査対象領域とする第３の処理を、Ｋａ＝０となるまでこの順で繰り返して実行する。
【発明の効果】
【００１２】
請求項１記載の基板検査装置、および請求項２記載の基板検査方法では、検査対象基板の一面に区画された（Ｎａ×Ｎｂ）個の検査対象領域のうちのＫａ個の再検査時に、検査用治具における（Ｌａ×Ｌｂ）個のプローブ配設領域内のすべての各検査用プローブがいずれかの検査対象領域内の各検査ポイントにプロービングされるとの条件が満たされ、かつＫａ個の検査対象領域のうちの予め規定された側の端に位置する検査対象領域内の各検査ポイントに（Ｌａ×Ｌｂ）個のプローブ配設領域のうちの予め規定された側と同じ側の端に位置するプローブ配設領域内の各検査用プローブがプロービングされるように検査用治具および検査対象基板の少なくとも一方を他方に対して移動させて各検査用プローブを各検査ポイントにプロービングさせる第１の処理、検査用プローブを検査ポイントにプロービングさせた再検査対象のＫｂ個の検査対象領域内の検査ポイントを検査する第２の処理、およびＫａ個の検査対象領域のうちの再検査を完了したＫｂ個を除くＫｃ個の検査対象領域を新たなＫａ個の検査対象領域とする第３の処理を、Ｋａ＝０となるまでこの順で繰り返して実行する。
【００１３】
したがって、請求項１記載の基板検査装置、および請求項２記載の基板検査方法によれば、検査対象基板上の再検査対象の検査対象領域の位置によっては、Ｋａ個の検査対象領域の再検査時のプロービング回数を少数回とすることができ、プロービング回数が最も多数回となる場合においても、出願人が開示している検査装置と同数回を超えるプロービングを必要としないため、検査対象基板の再検査に要する時間を充分に短縮することができる。また、再検査処理時のプロービング回数を少数回とすることができる分だけ、検査用プローブの耐用寿命を充分に延ばして、より多数の検査対象基板を低コストで検査することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】基板検査装置１の構成を示すブロック図である。
【図２】検査用治具４における各プローブ配設領域Ａ−Ａ１，Ａ−Ａ２，Ａ−Ｂ１，Ａ−Ｂ２の位置について説明するための説明図である。
【図３】検査対象基板２０における各基板Ｐ−Ａ１〜Ｐ−Ａ４，Ｐ−Ｂ１〜Ｐ−Ｂ４，Ｐ−Ｃ１〜Ｐ−Ｃ４，Ｐ−Ｄ１〜Ｐ−Ｄ４の位置と、検査用治具４の位置との関係について説明するための説明図である。
【図４】基板Ｐ−Ｂ２，Ｐ−Ｃ３が不良と検査されたときの再検査時における検査用治具４のプロービング位置について説明するための説明図である。
【図５】基板Ｐ−Ｂ１，Ｐ−Ｂ３，Ｐ−Ｃ２，Ｐ−Ｃ４が不良と検査されたときの再検査時における検査用治具４のプロービング位置について説明するための説明図である。
【図６】基板Ｐ−Ｂ２，Ｐ−Ｂ４，Ｐ−Ｃ１，Ｐ−Ｃ３が不良と検査されたときの再検査時における検査用治具４のプロービング位置について説明するための説明図である。
【図７】基板Ｐ−Ａ１，Ｐ−Ａ４，Ｐ−Ｄ１，Ｐ−Ｄ４が不良と検査されたときの再検査時における検査用治具４のプロービング位置について説明するための説明図である。
【図８】基板Ｐ−Ｂ１，Ｐ−Ｃ２が不良と検査された検査対象基板２０ａの再検査時における検査用治具４のプロービング位置について説明するための説明図である。
【図９】基板Ｐ−Ｂ１，Ｐ−Ｃ１が不良と検査された検査対象基板２０ｂの再検査時における検査用治具４ａのプロービング位置について説明するための説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明に係る基板検査装置および基板検査方法の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。
【００１６】
図１に示す基板検査装置１は、後述する「基板検査方法」に従って検査対象基板２０を電気的に検査可能に構成された検査装置であって、基板保持部２、移動機構３、検査用治具４、検査部５、操作部６、表示部７、制御部８および記憶部９を備えて構成されている。この場合、検査対象基板２０は、「検査対象基板」の一例である多面付け基板（多ピース基板）であって、図３に示すように、基板Ｐ−Ａ１〜Ｐ−Ａ４，Ｐ−Ｂ１〜Ｐ−Ｂ４，Ｐ−Ｃ１〜Ｐ−Ｃ４，Ｐ−Ｄ１〜Ｐ−Ｄ４（以下、区別しないときには、単に「基板Ｐ」ともいう）が４行４列に並んで設けられている。
【００１７】
また、この検査対象基板２０では、各基板Ｐ内に同一の配置で配線パターンが形成されており（図示せず）これらの配線パターンの良否を検査するために、各基板Ｐ内に同一の配置で複数の検査ポイントがそれぞれ規定されている。この場合、本例の検査対象基板２０では、各基板Ｐがそれぞれ「検査対象領域」に相当する。したがって、この検査対象基板２０は、「第１の方向（一例として、同図における左右方向）」に沿った区画数がＮａ＝４で、「第１の方向」と交差する「第２の方向（この例では、同図における上下方向）」に沿った区画数がＮｂ＝４となるように４×４＝１６個の「検査対象領域」が区画された「検査対象基板」に相当する。
【００１８】
一方、基板保持部２は、制御部８の制御に従って検査対象基板２０を保持する。移動機構３は、制御部８の制御に従い、基板保持部２によって保持されている検査対象基板２０に向けて検査用治具４を移動させることで、検査用治具４に配設されている各検査用プローブ１０（図１参照）を検査対象基板２０上の各基板Ｐ内の検査ポイントにプロービングさせる（「検査用治具および検査対象基板の少なくとも一方」が「検査用治具」の構成の一例）。検査用治具４は、検査対象基板２０の一面に設けられた上記の各基板Ｐ内にそれぞれ規定された各検査ポイントの基板Ｐ内における配置に応じて複数の検査用プローブ１０が配設されて構成されている。
【００１９】
具体的には、図２に示すように、検査用治具４は、検査対象基板２０に設けられた４×４＝１６個の基板Ｐのうちの「第１の方向（この例では、図３における左右方向）に沿ったＭａ＝２個」×「第２の方向（一例として、図３における上下方向）に沿ったＭｂ＝２個」＝４個の基板Ｐ内に規定されている各検査ポイントに検査用プローブ１０（図１参照）をプロービング可能に、「第１の方向」に対応する「第３の方向（この例では、図２における左右方向）に沿った区画数がＬａ＝２で、「第２の方向」に対応する「第４の方向この例では、図２における上下方向」に沿った区画数がＬｂ＝２となるように区画されたＬａ×Ｌｂ＝４個のプローブ配設領域Ａ−Ａ１，Ａ−Ａ２，Ａ−Ｂ１，Ａ−Ｂ２（以下、区別しないときには、「プローブ配設領域Ａ」ともいう）毎に同一の配置で検査用プローブ１０が配設されて構成されている。
【００２０】
検査部５は、制御部８の制御に従い、検査用治具４の各検査用プローブ１０を介して、各検査用プローブ１０がプロービングさせられている４個の基板Ｐ内の各検査ポイントに対して入出力させた電気電号に基づいて各検査ポイントを順次検査すると共に、検査結果を示す検査結果データＤを制御部８に出力する。操作部６は、基板検査装置１の動作条件（検査条件）を設定するための各種操作スイッチを備え、スイッチ操作に応じた操作信号を制御部８に出力する。表示部７は、制御部８の制御下で、基板検査装置１の動作条件（検査条件）を設定するための動作条件設定画面や、検査対象基板２０（基板Ｐ）についての検査結果を報知する検査結果報知画面などの各種表示画面（いずれも図示せず）を表示する。
【００２１】
制御部８は、基板検査装置１を総括的に制御する。具体的には、制御部８は、移動機構３を制御して、基板保持部２によって保持されている検査対象基板２０に向けて検査用治具４を移動させることにより、検査対象基板２０における１６個の基板Ｐのうちの任意の４個に検査用治具４の上記の４個のプローブ配設領域Ａにおける各検査用プローブ１０をそれぞれプロービングさせる。また、制御部８は、検査部５を制御して検査対象基板２０（基板Ｐ）を電気的に検査させる。さらに、制御部８は、検査部５から出力された検査結果データＤに基づき、１６個の基板Ｐのうちのいずれかが不良であると検査されたときに、その基板Ｐに対する再検査処理を実行する。記憶部９は、制御部８の動作プログラムや、検査部５から出力された検査結果データＤなどを記憶する。
【００２２】
この基板検査装置１による検査対象基板２０の検査に際しては、まず、基板保持部２に検査対象基板２０を保持させる。次いで、操作部６の図示しないスタートスイッチを操作することで検査処理を開始させる。この際に、制御部８は、移動機構３を制御することにより、図３に示すように、一例として、検査対象基板２０の１６個の基板Ｐのうちの基板Ｐ−Ａ１，Ｐ−Ａ２，Ｐ−Ｂ１，Ｐ−Ｂ２の４個における各検査ポイントに検査用治具４におけるプローブ配設領域Ａ−Ａ１，Ａ−Ａ２，Ａ−Ｂ１，Ａ−Ｂ２の各検査用プローブ１０をそれぞれプロービングさせる。次いで、制御部８は、検査部５を制御することにより、基板Ｐ−Ａ１，Ｐ−Ａ２，Ｐ−Ｂ１，Ｐ−Ｂ２内の各検査ポイントについて検査させる。この際に、検査部５は、各基板Ｐの良否を検査すると共に、その検査結果を示す検査結果データＤを制御部８に出力する。また、制御部８は、検査部５から出力された検査結果データＤを記憶部９に順次記憶させる。
【００２３】
次いで、上記の４個の基板Ｐについての検査が完了したときに、制御部８は、移動機構３を制御することにより、一例として、検査を実施していない１２個の基板Ｐのうちの基板Ｐ−Ａ３，Ｐ−Ａ４，Ｐ−Ｂ３，Ｐ−Ｂ４の４個における各検査ポイントに検査用治具４におけるプローブ配設領域Ａ内の各検査用プローブ１０をそれぞれプロービングさせると共に、検査部５を制御して各基板Ｐ内の各検査ポイントを検査させる。これにより、基板Ｐ−Ａ３，Ｐ−Ａ４，Ｐ−Ｂ３，Ｐ−Ｂ４の４個についての検査が完了し、その検査結果データＤが記憶部９に記憶される。続いて、制御部８は、移動機構３を制御することにより、一例として、検査を実施していない８個の基板Ｐのうちの基板Ｐ−Ｃ１，Ｐ−Ｃ２，Ｐ−Ｄ１，Ｐ−Ｄ２の４個における各検査ポイントに検査用治具４におけるプローブ配設領域Ａ内の各検査用プローブ１０をそれぞれプロービングさせると共に、検査部５を制御して各基板Ｐ内の各検査ポイントを検査させる。これにより、基板Ｐ−Ｃ１，Ｐ−Ｃ２，Ｐ−Ｄ１，Ｐ−Ｄ２の４個についての検査が完了し、その検査結果データＤが記憶部９に記憶される。
【００２４】
次いで、制御部８は、移動機構３を制御することにより、検査を実施していない基板Ｐ−Ｃ３，Ｐ−Ｃ４，Ｐ−Ｄ３，Ｐ−Ｄ４の４個における各検査ポイントに検査用治具４におけるプローブ配設領域Ａ内の各検査用プローブ１０をそれぞれプロービングさせると共に、検査部５を制御して各基板Ｐ内の各検査ポイントを検査させる。これにより、基板Ｐ−Ｃ３，Ｐ−Ｃ４，Ｐ−Ｄ３，Ｐ−Ｄ４の４個についての検査が完了し、その１６個のすべての基板Ｐについての検査結果データＤが記憶部９に記憶される。続いて、制御部８は、記憶部９に記憶させた検査結果データＤに基づき、検査対象基板２０における１６個の基板Ｐのいずれかに不良と検査された検査ポイントが存在する基板Ｐが存在するか否かを判別する。この際に、不良と検査された検査ポイントがいずれの基板Ｐにも存在しないときには、制御部８は、その検査対象基板２０を良品と判別し、その判別結果を表示部７に表示させて検査処理を終了する。
【００２５】
また、１６個の基板Ｐのうちのいずれかに不良と検査された検査ポイントが存在するときには、制御部８は、不良と検査された検査ポイントが存在する基板Ｐを対象とする再検査処理を実行する。この場合、この基板検査装置１では、１６個の基板Ｐのうちのいずれか１個を再検査する際に、再検査対象の基板Ｐが基板Ｐ−Ａ１，Ｐ−Ａ２，Ｐ−Ｂ１，Ｐ−Ｂ２のいずれかのときには、この４個の基板Ｐ内の各検査ポイントに検査用治具４における各プローブ配設領域Ａの各検査用プローブ１０をそれぞれプロービングさせ、再検査対象の基板Ｐが基板Ｐ−Ａ３，Ｐ−Ａ４，Ｐ−Ｂ３，Ｐ−Ｂ４のいずれかのときには、この４個の基板Ｐ内の各検査ポイントに検査用治具４における各プローブ配設領域Ａの各検査用プローブ１０をそれぞれプロービングさせ、再検査対象の基板Ｐが基板Ｐ−Ｃ１，Ｐ−Ｃ２，Ｐ−Ｄ１，Ｐ−Ｄ２のいずれかのときには、この４個の基板Ｐ内の各検査ポイントに検査用治具４における各プローブ配設領域Ａの各検査用プローブ１０をそれぞれプロービングさせ、再検査対象の基板Ｐが基板Ｐ−Ｃ３，Ｐ−Ｃ４，Ｐ−Ｄ３，Ｐ−Ｄ４のいずれかのときには、この４個の基板Ｐ内の各検査ポイントに検査用治具４における各プローブ配設領域Ａの各検査用プローブ１０をそれぞれプロービングさせて、上記の最初の検査時と同様に、再検査対象の基板Ｐ内の各検査ポイントを検査する。
【００２６】
一方、この基板検査装置１では、１６個の基板Ｐのうちのいずれか２個以上の基板Ｐに不良と検査された検査ポイントが存在するときに、検査用治具４における４個のプローブ配設領域Ａ内のすべての検査用プローブが１６個の基板Ｐのうちのいずれかの基板Ｐ内の検査ポイントにプロービングされるとの「条件」が満たされる範囲内で、再検査対象の基板Ｐの位置に応じて検査対象基板２０に対する検査用治具４のプロービング位置を変更するようプログラミングされている。
【００２７】
具体的には、２個以上の基板Ｐに不良と検査された検査ポイントが存在すると判別したときに、制御部８は、一例として、再検査対象の各基板Ｐのうちの最も左下側に位置する基板Ｐ（基板Ｐ−Ａ１との間に存在する基板Ｐの数が最も少ない基板Ｐ：「予め規定された側」が「左下側」の例）内の各検査ポイントに検査用治具４における４個のプローブ配設領域Ａのうちのプローブ配設領域Ａ−Ａ１（最も左下側のプローブ配設領域Ａ）内の各検査用プローブ１０をプロービングさせるプロービング態様Ａ、再検査対象の各基板Ｐのうちの最も右上側に位置する基板Ｐ（基板Ｐ−Ｄ４との間に存在する基板Ｐの数が最も少ない基板Ｐ：「予め規定された側」が「右上側」の例）内の各検査ポイントに検査用治具４における４個のプローブ配設領域Ａのうちのプローブ配設領域Ａ−Ｂ２（最も右上側のプローブ配設領域Ａ）内の各検査用プローブ１０をプロービングさせるプロービング態様Ｂ、再検査対象の各基板Ｐのうちの最も左上側に位置する基板Ｐ（基板Ｐ−Ａ４との間に存在する基板Ｐの数が最も少ない基板Ｐ：「予め規定された側」が「左上側」の例）内の各検査ポイントに検査用治具４における４個のプローブ配設領域Ａのうちのプローブ配設領域Ａ−Ａ２（最も左上側のプローブ配設領域Ａ）内の各検査用プローブ１０をプロービングさせるプロービング態様Ｃ、および再検査対象の各基板Ｐのうちの最も右下側に位置する基板Ｐ（基板Ｐ−Ｄ１との間に存在する基板Ｐの数が最も少ない基板Ｐ：「予め規定された側」が「右下側」の例）内の各検査ポイントに検査用治具４における４個のプローブ配設領域Ａのうちのプローブ配設領域Ａ−Ｂ１（最も右下側のプローブ配設領域Ａ）内の各検査用プローブ１０をプロービングさせるプロービング態様Ｄの順で、上記の「条件」が満たされるか否かを判別し、最初に上記の「条件」が満たされると判別した態様で検査用治具４をプロービングさせる。
【００２８】
なお、この基板検査装置１では、一例として、基板Ｐ−Ａ１との間に存在する基板Ｐの数が最も少ない再検査対象の基板Ｐが複数存在するときには、その基板Ｐのうちの最も下側に位置する基板Ｐ内の各検査ポイントに検査用治具４におけるプローブ配設領域Ａ−Ａ１内の各検査用プローブ１０をプロービングさせる態様をプロービング態様Ａとし、基板Ｐ−Ｄ４との間に存在する基板Ｐの数が最も少ない再検査対象の基板Ｐが複数存在するときには、その基板Ｐのうちの最も上側に位置する基板Ｐ内の各検査ポイントに検査用治具４におけるプローブ配設領域Ａ−Ｂ２内の各検査用プローブ１０をプロービングさせる態様をプロービング態様Ｂとし、基板Ｐ−Ａ４との間に存在する基板Ｐの数が最も少ない再検査対象の基板Ｐが複数存在するときには、その基板Ｐのうちの最も上側に位置する基板Ｐ内の各検査ポイントに検査用治具４におけるプローブ配設領域Ａ−Ａ２内の各検査用プローブ１０をプロービングさせる態様をプロービング態様Ｃとし、基板Ｐ−Ｄ１との間に存在する基板Ｐの数が最も少ない再検査対象の基板Ｐが複数存在するときには、その基板Ｐのうちの最も下側に位置する基板Ｐ内の各検査ポイントに検査用治具４におけるプローブ配設領域Ａ−Ｂ１内の各検査用プローブ１０をプロービングさせる態様をプロービング態様Ｄとする構成が採用されている。
【００２９】
より具体的には、図４に示すように、１６個の基板Ｐのうちの基板Ｐ−Ｂ２，Ｐ−Ｃ３の２個に不良と検査された検査ポイントが存在するときには（「Ｋａ＝２個」の例）、制御部８は、基板Ｐ−Ｂ２，Ｐ−Ｃ３のうちの最も左下側の基板Ｐ−Ｂ２（「Ｋａ個の検査対象領域のうちの予め規定された側の端に位置する検査対象領域」の一例）に検査用治具４における最も左下側のプローブ配設領域Ａ−Ａ１内の各検査用プローブ１０をプロービングさせた際に上記の「条件」が満たされると判別し、基板Ｐ−Ｂ２，Ｐ−Ｂ３，Ｐ−Ｃ２，Ｐ−Ｃ３の４個における各検査ポイントに検査用治具４における各プローブ配設領域Ａ内の各検査用プローブ１０をそれぞれプロービングさせる（プロービング態様Ａ：「第１の処理」の一例）。なお、同図および後に参照する図５〜９では、不良と検査された検査ポイントが存在する基板Ｐに「×」を描いてこれを示している。
【００３０】
次いで、制御部８は、検査部５を制御して、プローブ配設領域Ａ−Ａ１内の各検査用プローブ１０を介して基板Ｐ−Ｂ２内の各検査ポイントを検査させる。続いて、制御部８は、プローブ配設領域Ａ−Ａ１を除く３個のプローブ配設領域Ａに、再検査対象の基板Ｐにプロービングされている検査用プローブ１０のプローブ配設領域Ａが存在するか否かを判別する。この例では、プローブ配設領域Ａ−Ｂ２の各検査用プローブ１０がプロービングされている基板Ｐ−Ｃ３が再検査対象のため、制御部８は、検査部５を制御して、プローブ配設領域Ａ−Ｂ２内の各検査用プローブ１０を介して基板Ｐ−Ｃ３内の各検査ポイントを検査させる。続いて、制御部８は、Ｋａ＝２個の基板Ｐのうちの再検査を完了したＫｂ＝２個を除く数（再検査が完了していない基板Ｐの数：Ｋｃ個：新たなＫａ個）が０個になると判別し（「第３の処理」の一例）、この検査対象基板２０についての再検査処理を完了する。
【００３１】
また、図５に示すように、１６個の基板Ｐのうちの基板Ｐ−Ｂ１，Ｐ−Ｂ３，Ｐ−Ｃ２，Ｐ−Ｃ４の４個に不良と検査された検査ポイントが存在するときには（「Ｋａ＝４個」の例）、制御部８は、これら基板Ｐのうちの最も左下側の基板Ｐ−Ｂ１（「Ｋａ個の検査対象領域のうちの予め規定された側の端に位置する検査対象領域」の他の一例）に検査用治具４におけるプローブ配設領域Ａ−Ａ１内の各検査用プローブ１０をプロービングさせた際に上記の「条件」が満たされると判別し、基板Ｐ−Ｂ１，Ｐ−Ｂ２，Ｐ−Ｃ１，Ｐ−Ｃ２の４個における各検査ポイントに検査用治具４における各プローブ配設領域Ａ内の各検査用プローブ１０をそれぞれプロービングさせる（プロービング態様Ａ：「第１の処理」の他の一例）。次いで、制御部８は、検査部５を制御して、プローブ配設領域Ａ−Ａ１内の各検査用プローブ１０を介して基板Ｐ−Ｂ１内の各検査ポイントを検査させる。
【００３２】
続いて、制御部８は、プローブ配設領域Ａ−Ｂ２の各検査用プローブ１０をプロービングさせている基板Ｐ−Ｃ２が再検査対象と判別し、検査部５を制御して、プローブ配設領域Ａ−Ｂ２内の各検査用プローブ１０を介して基板Ｐ−Ｃ２内の各検査ポイントを検査させる。次いで、制御部８は、Ｋａ＝４個の基板Ｐのうちの再検査を完了したＫｂ＝２個の基板Ｐ−Ｂ１，Ｐ−Ｃ２を除くＫｃ＝２個の基板Ｐ−Ｂ３，Ｐ−Ｃ４を新たなＫａ＝２個の再検査対象とする（「第３の処理」の他の一例）。
【００３３】
続いて、制御部８は、再検査対象の基板Ｐのうちの最も左下側の基板Ｐ−Ｂ３に検査用治具４におけるプローブ配設領域Ａ−Ａ１内の各検査用プローブ１０をプロービングさせた際に上記の「条件」が満たされると判別し、基板Ｐ−Ｂ３，Ｐ−Ｂ４，Ｐ−Ｃ３，Ｐ−Ｃ４の４個における各検査ポイントに検査用治具４における各プローブ配設領域Ａ内の各検査用プローブ１０をそれぞれプロービングさせる（プロービング態様Ａ：「第１の処理」のさらに他の一例）。次いで、制御部８は、検査部５を制御して、プローブ配設領域Ａ−Ａ１内の各検査用プローブ１０を介して基板Ｐ−Ｂ３内の各検査ポイントを検査させる。
【００３４】
続いて、制御部８は、プローブ配設領域Ａ−Ｂ２の各検査用プローブ１０をプロービングさせている基板Ｐ−Ｃ４が再検査対象と判別し、検査部５を制御して、プローブ配設領域Ａ−Ｂ２内の各検査用プローブ１０を介して基板Ｐ−Ｃ４内の各検査ポイントを検査させる。次いで、制御部８は、新たなＫａ＝２個の基板Ｐのうちの再検査を完了したＫｂ＝２個を除く数（再検査が完了していない基板Ｐの数：Ｋｃ個）が０個になると判別し（「第３の処理」のさらに他の一例）、この検査対象基板２０についての再検査処理を完了する。
【００３５】
さらに、図６に示すように、１６個の基板Ｐのうちの基板Ｐ−Ｂ２，Ｐ−Ｂ４，Ｐ−Ｃ１，Ｐ−Ｃ３の４個に不良と検査された検査ポイントが存在するときには（「Ｋａ＝４個」の他の例）、制御部８は、これら基板Ｐのうちの最も左下側の基板Ｐ−Ｂ２（「Ｋａ個の検査対象領域のうちの予め規定された側の端に位置する検査対象領域」の他の一例）に検査用治具４におけるプローブ配設領域Ａ−Ａ１内の各検査用プローブ１０をプロービングさせた際に上記の「条件」が満たされると判別し、基板Ｐ−Ｂ２，Ｐ−Ｂ３，Ｐ−Ｃ２，Ｐ−Ｃ３の４個における各検査ポイントに検査用治具４における各プローブ配設領域Ａ内の各検査用プローブ１０をそれぞれプロービングさせる（プロービング態様Ａ：「第１の処理」のさらに他の一例）。次いで、制御部８は、検査部５を制御して、プローブ配設領域Ａ−Ａ１内の各検査用プローブ１０を介して基板Ｐ−Ｂ２内の各検査ポイントを検査させる。
【００３６】
続いて、制御部８は、プローブ配設領域Ａ−Ｂ２の各検査用プローブ１０をプロービングさせている基板Ｐ−Ｃ３が再検査対象と判別し、検査部５を制御して、プローブ配設領域Ａ−Ｂ２内の各検査用プローブ１０を介して基板Ｐ−Ｃ３内の各検査ポイントを検査させる。次いで、制御部８は、Ｋａ＝４個の基板Ｐのうちの再検査を完了したＫｂ＝２個の基板Ｐ−Ｂ２，Ｐ−Ｃ３を除くＫｃ＝２個の基板Ｐ−Ｂ４，Ｐ−Ｃ１を新たなＫａ＝２個の再検査対象とする（「第３の処理」のさらに他の一例）。
【００３７】
続いて、制御部８は、再検査対象の基板Ｐのうちの最も左下側の基板Ｐ−Ｃ１に検査用治具４におけるプローブ配設領域Ａ−Ａ１内の各検査用プローブ１０をプロービングさせた際に上記の「条件」が満たされると判別し、基板Ｐ−Ｃ１，Ｐ−Ｃ２，Ｐ−Ｄ１，Ｐ−Ｄ２の４個における各検査ポイントに検査用治具４における各プローブ配設領域Ａ内の各検査用プローブ１０をそれぞれプロービングさせる（プロービング態様Ａ：「第１の処理」のさらに他の一例）。次いで、制御部８は、検査部５を制御して、プローブ配設領域Ａ−Ａ１内の各検査用プローブ１０を介して基板Ｐ−Ｃ１内の各検査ポイントを検査させる。続いて、制御部８は、プローブ配設領域Ａ−Ａ１を除く各プローブ配設領域Ａの検査用プローブ１０がプロービングされている基板Ｐに再検査対象が存在しないと判別し、新たなＫａ＝２個の基板Ｐのうちの再検査を完了したＫｂ＝１個の基板Ｐ−Ｃ１を除くＫｃ＝１個の基板Ｐ−Ｂ４を新たなＫａ＝１個の再検査対象とする（「第３の処理」のさらに他の一例）。
【００３８】
続いて、制御部８は、再検査対象の基板Ｐのうちの最も左下側の基板Ｐ（この例では、基板Ｐ−Ｂ４しか存在しないため、基板Ｐ−Ｂ４）に検査用治具４におけるプローブ配設領域Ａ−Ａ１内の各検査用プローブ１０をプロービングさせた際に上記の「条件」が満たされず、再検査対象の基板Ｐのうちの最も右上側の基板Ｐ（この例では、基板Ｐ−Ｂ４）に検査用治具４におけるプローブ配設領域Ａ−Ｂ２内の各検査用プローブ１０をプロービングさせた際に上記の「条件」が満たされると判別する。したがって、制御部８は、移動機構３を制御して、基板Ｐ−Ａ３，Ｐ−Ａ４，Ｐ−Ｂ３，Ｐ−Ｂ４の４個における各検査ポイントに検査用治具４における各プローブ配設領域Ａ内の各検査用プローブ１０をそれぞれプロービングさせる（プロービング態様Ｂ：「第１の処理」のさらに他の一例）。次いで、制御部８は、検査部５を制御して、プローブ配設領域Ａ−Ｂ２内の各検査用プローブ１０を介して基板Ｐ−Ｂ４内の各検査ポイントを検査させる。続いて、制御部８は、新たなＫａ＝１個の基板Ｐのうちの再検査を完了したＫｂ＝１個を除く数（再検査が完了していない基板Ｐの数：Ｋｃ個）が０個になると判別し（「第３の処理」のさらに他の一例）、この検査対象基板２０についての再検査処理を完了する。
【００３９】
一方、図７に示すように、１６個の基板Ｐのうちの基板Ｐ−Ａ１，Ｐ−Ａ４，Ｐ−Ｄ１，Ｐ−Ｄ４の４個に不良と検査された検査ポイントが存在するときには（「Ｋａ＝４個」のさらに他の一例）、制御部８は、これら基板Ｐのうちの最も左下側の基板Ｐ−Ａ１（「Ｋａ個の検査対象領域のうちの予め規定された側の端に位置する検査対象領域」のさらに他の一例）に検査用治具４におけるプローブ配設領域Ａ−Ａ１内の各検査用プローブ１０をプロービングさせた際に上記の「条件」が満たされると判別する。したがって、制御部８は、基板Ｐ−Ａ１，Ｐ−Ａ２，Ｐ−Ｂ１，Ｐ−Ｂ２の４個における各検査ポイントに検査用治具４における各プローブ配設領域Ａ内の各検査用プローブ１０をそれぞれプロービングさせて（プロービング態様Ａ：「第１の処理」の他の一例）、検査部５による基板Ｐ−Ａ１内の各検査ポイントを実行させる。
【００４０】
次いで、制御部８は、再検査対象の他の３個の基板Ｐのうちの最も右上側の基板Ｐ−Ｄ４（「Ｋａ個の検査対象領域のうちの予め規定された側の端に位置する検査対象領域」のさらに他の一例）に検査用治具４におけるプローブ配設領域Ａ−Ｂ２内の各検査用プローブ１０をプロービングさせた際に上記の「条件」が満たされると判別する。したがって、制御部８は、基板Ｐ−Ｃ３，Ｐ−Ｃ４，Ｐ−Ｄ３，Ｐ−Ｄ４の４個における各検査ポイントに検査用治具４における各プローブ配設領域Ａ内の各検査用プローブ１０をそれぞれプロービングさせて（プロービング態様Ｂ：「第１の処理」の他の一例）、検査部５による基板Ｐ−Ｄ４内の各検査ポイントを実行させる。
【００４１】
続いて、制御部８は、再検査対象の他の２個の基板Ｐのうちの最も左上側の基板Ｐ−Ａ４（「Ｋａ個の検査対象領域のうちの予め規定された側の端に位置する検査対象領域」のさらに他の一例）に検査用治具４におけるプローブ配設領域Ａ−Ａ２内の各検査用プローブ１０をプロービングさせた際に上記の「条件」が満たされると判別する。したがって、制御部８は、基板Ｐ−Ａ３，Ｐ−Ａ４，Ｐ−Ｂ３，Ｐ−Ｂ４の４個における各検査ポイントに検査用治具４における各プローブ配設領域Ａ内の各検査用プローブ１０をそれぞれプロービングさせて（プロービング態様Ｃ：「第１の処理」の他の一例）、検査部５による基板Ｐ−Ａ４内の各検査ポイントを実行させる。
【００４２】
次いで、制御部８は、再検査対象の残りの１個である基板Ｐ−Ｄ１（「Ｋａ個の検査対象領域のうちの予め規定された側の端に位置する検査対象領域」のさらに他の一例）に検査用治具４におけるプローブ配設領域Ａ−Ｂ２内の各検査用プローブ１０をプロービングさせた際に上記の「条件」が満たされると判別する。したがって、制御部８は、基板Ｐ−Ｃ１，Ｐ−Ｃ２，Ｐ−Ｄ１，Ｐ−Ｄ２の４個における各検査ポイントに検査用治具４における各プローブ配設領域Ａ内の各検査用プローブ１０をそれぞれプロービングさせて（プロービング態様Ｄ：「第１の処理」の他の一例）、検査部５による基板Ｐ−Ｄ１内の各検査ポイントを実行させる。以上により、検査対象基板２０についての再検査対処理が完了する。
【００４３】
この場合、不良と検査された検査ポイントが存在する基板Ｐが図４に示す例のように存在する検査対象基板２０の再検査処理に関し、出願人が開示している検査装置と同様の手順で検査用治具４をプロービングさせる位置および順序を規定したときには、少なくとも、基板Ｐ−Ｂ２の再検査を対象とする基板Ｐ−Ａ１，Ｐ−Ａ２，Ｐ−Ｂ１，Ｐ−Ｂ２へのプロービング、および基板Ｐ−Ｃ３の再検査を対象とする基板Ｐ−Ｃ３，Ｐ−Ｃ４，Ｐ−Ｄ３，Ｐ−Ｄ４へのプロービングの合計２回のプロービングを実行する必要がある。これに対して、本例の基板検査装置１では、前述したように、１回のプロービングによってＫａ＝２個の基板Ｐ−Ｂ２，Ｐ−Ｃ３についての再検査処理が完了する。
【００４４】
また、不良と検査された検査ポイントが存在する基板Ｐが図５に示す例のように存在する検査対象基板２０の再検査処理に関し、出願人が開示している検査装置と同様の手順で検査用治具４をプロービングさせる位置および順序を規定したときには、少なくとも、基板Ｐ−Ｂ１の再検査を対象とする基板Ｐ−Ａ１，Ｐ−Ａ２，Ｐ−Ｂ１，Ｐ−Ｂ２へのプロービング、基板Ｐ−Ｃ２の再検査を対象とする基板Ｐ−Ｃ１，Ｐ−Ｃ２，Ｐ−Ｄ１，Ｐ−Ｄ２へのプロービング、基板Ｐ−Ｂ３の再検査を対象とする基板Ｐ−Ａ３，Ｐ−Ａ４，Ｐ−Ｂ３，Ｐ−Ｂ４へのプロービング、および基板Ｐ−Ｃ４の再検査を対象とする基板Ｐ−Ｃ３，Ｐ−Ｃ４，Ｐ−Ｄ３，Ｐ−Ｄ４へのプロービングの合計４回のプロービングを実行する必要がある。これに対して、本例の基板検査装置１では、前述したように、２回のプロービングによってＫａ＝４個の基板Ｐ−Ｂ１，Ｐ−Ｂ３，Ｐ−Ｃ２，Ｐ−Ｃ４についての再検査処理が完了する。
【００４５】
さらに、不良と検査された検査ポイントが存在する基板Ｐが図６に示す例のように存在する検査対象基板２０の再検査処理に関し、出願人が開示している検査装置と同様の手順で検査用治具４をプロービングさせる位置および順序を規定したときには、少なくとも、基板Ｐ−Ｂ２の再検査を対象とする基板Ｐ−Ａ１，Ｐ−Ａ２，Ｐ−Ｂ１，Ｐ−Ｂ２へのプロービング、基板Ｐ−Ｃ１の再検査を対象とする基板Ｐ−Ｃ１，Ｐ−Ｃ２，Ｐ−Ｄ１，Ｐ−Ｄ２へのプロービング、基板Ｐ−Ｂ４の再検査を対象とする基板Ｐ−Ａ３，Ｐ−Ａ４，Ｐ−Ｂ３，Ｐ−Ｂ４へのプロービング、および基板Ｐ−Ｃ３の再検査を対象とする基板Ｐ−Ｃ３，Ｐ−Ｃ４，Ｐ−Ｄ３，Ｐ−Ｄ４へのプロービングの合計４回のプロービングを実行する必要がある。これに対して、本例の基板検査装置１では、前述したように、３回のプロービングによってＫａ＝４個の基板Ｐ−Ｂ２，Ｐ−Ｂ４，Ｐ−Ｃ１，Ｐ−Ｃ３についての再検査処理が完了する。
【００４６】
一方、不良と検査された検査ポイントが存在する基板Ｐが図７に示す例のように存在する検査対象基板２０の再検査処理に関し、出願人が開示している検査装置と同様の手順で検査用治具４をプロービングさせる位置および順序を規定したときには、少なくとも、基板Ｐ−Ａ１の再検査を対象とする基板Ｐ−Ａ１，Ｐ−Ａ２，Ｐ−Ｂ１，Ｐ−Ｂ２へのプロービング、基板Ｐ−Ａ４の再検査を対象とする基板Ｐ−Ｃ１，Ｐ−Ｃ２，Ｐ−Ｄ１，Ｐ−Ｄ２へのプロービング、基板Ｐ−Ｄ１の再検査を対象とする基板Ｐ−Ａ３，Ｐ−Ａ４，Ｐ−Ｂ３，Ｐ−Ｂ４へのプロービング、および基板Ｐ−Ｄ４の再検査を対象とする基板Ｐ−Ｃ３，Ｐ−Ｃ４，Ｐ−Ｄ３，Ｐ−Ｄ４へのプロービングの合計４回のプロービングを実行する必要がある。
【００４７】
このような例に関しては、本例の基板検査装置１においても、前述したように、Ｋａ＝４個の基板Ｐ−Ｂ２，Ｐ−Ｂ４，Ｐ−Ｃ１，Ｐ−Ｃ３についての再検査処理を完了するまでに、出願人が開示している検査装置と同じ４回のプロービングが必要となる。しかしながら、本例の基板検査装置１では、再検査対象の基板Ｐが、検査対象基板２０上のどのような位置に何個存在したとしても、出願人が開示している検査装置と同様の手順で検査用治具４をプロービングさせる位置および順序を規定したときのプロービング回数を上回ることはない。
【００４８】
このように、この基板検査装置１、および基板検査装置１による基板検査方法では、検査対象基板２０の一面に区画されたＮａ×Ｎｂ個の基板ＰのうちのＫａ個の再検査時に、検査用治具４におけるＬａ×Ｌｂ個のプローブ配設領域Ａ内のすべての各検査用プローブ１０がいずれかの基板Ｐ内の各検査ポイントにプロービングされるとの条件が満たされ、かつＫａ個の基板Ｐのうちの「予め規定された側の端」に位置する基板Ｐ内の各検査ポイントにＬａ×Ｌｂ個のプローブ配設領域Ａのうちの予め規定された側と同じ側の端に位置するプローブ配設領域Ａ内の各検査用プローブ１０がプロービングされるように検査用治具４を検査対象基板２０に対して移動させて各検査用プローブ１０を各検査ポイントにプロービングさせる「第１の処理」、検査用プローブ１０を検査ポイントにプロービングさせた再検査対象のＫｂ個の基板Ｐ内の検査ポイントを検査する「第２の処理」、およびＫａ個の基板Ｐのうちの再検査を完了したＫｂ個を除くＫｃ個の基板Ｐを新たなＫａ個の基板Ｐとする「第３の処理」を、Ｋａ＝０となるまでこの順で繰り返して実行する。
【００４９】
したがって、この基板検査装置１、および基板検査装置１による基板検査方法によれば、検査対象基板２０上の再検査対象の基板Ｐの位置によっては、Ｋａ個の基板Ｐの再検査時のプロービング回数を少数回とすることができ、プロービング回数が最も多数回となる場合においても、出願人が開示している検査装置と同数回を超えるプロービングを必要としないため、検査対象基板２０の再検査に要する時間を充分に短縮することができる。また、再検査処理時のプロービング回数を少数回とすることができる分だけ、検査用プローブ１０の耐用寿命を充分に延ばして、より多数の検査対象基板２０を低コストで検査することができる。
【００５０】
なお、「基板検査装置」の構成や「基板検査方法」の具体的手順については、上記の基板検査装置１の構成や基板検査装置１による基板検査方法の手順の例に限定されない。例えば、Ｌａ×Ｌｂ＝２×２＝４個のプローブ配設領域Ａ毎に検査用プローブ１０が配設された検査用治具４を用いて、Ｎａ×Ｎｂ＝４×４＝１６個の基板Ｐを順に検査する構成・方法を例に挙げて説明したが、図８に示すように、Ｌａ×Ｌｂ＝２×２＝４個のプローブ配設領域Ａ毎に検査用プローブ１０が配設された検査用治具４を用いて、Ｎａ×Ｎｂ＝４×２＝８個の基板Ｐが区画された検査対象基板２０ａ（「検査対象基板」の他の一例）を検査する構成・方法（ＬａおよびＬｂの一方がＮａまたはＮｂと同数の例）においても、上記の基板検査装置１と同様にして、再検査処理に要する時間を充分に短縮することができる。
【００５１】
具体的には、検査対象基板２０ａにおける基板Ｐ−Ｂ１，Ｐ−Ｃ２のＫａ＝２個の基板Ｐ内に不良と検査された検査ポイントが存在する同図の例に関し、出願人が開示している検査装置と同様の手順で検査用治具４をプロービングさせる位置および順序を規定したときには、基板Ｐ−Ｂ１の再検査を対象とする基板Ｐ−Ａ１，Ｐ−Ａ２，Ｐ−Ｂ１，Ｐ−Ｂ２へのプロービング、および基板Ｐ−Ｃ２の再検査を対象とする基板Ｐ−Ｃ１，Ｐ−Ｃ２，Ｐ−Ｄ１，Ｐ−Ｄ２へのプロービングの合計２回のプロービングを実行する必要がある。これに対して、本例の基板検査装置１では、Ｋａ＝２個の基板Ｐ−Ｂ１，Ｐ−Ｃ２のうちの最も左下側に位置する基板Ｐ−Ｂ１内の各検査ポイントに検査用治具４の各プローブ配設領域Ａにおける最も左下側に位置するプローブ配設領域Ａ−Ａ１内の各検査用プローブ１０をプロービングさせることで（「条件」が満たされるプロービングの一例）」、プローブ配設領域Ａ−Ｂ２内の各検査用プローブ１０が再検査対象の基板Ｐ−Ｃ２内の各検査ポイントにプロービングされる。したがって、この例では、１回のプロービングによってＫａ＝２個の基板Ｐ−Ｂ１，Ｐ−Ｃ２についての再検査処理が完了する。
【００５２】
また、図９に示すように、Ｌａ×Ｌｂ＝２×１＝２個のプローブ配設領域Ａ毎に検査用プローブ１０が配設された検査用治具４ａを用いて、Ｎａ×Ｎｂ＝４×１＝４個の基板Ｐが区画された検査対象基板２０ｂ（「検査対象基板」の他の一例）を検査する構成・方法（ＮａおよびＮｂの一方が１個であり、これに応じて、ＬａおよびＬｂの一方がＮａまたはＮｂと同数の１個の例）においても、上記の基板検査装置１と同様にして、再検査処理に要する時間を充分に短縮することができる。
【００５３】
具体的には、検査対象基板２０ｂにおける基板Ｐ−Ｂ１，Ｐ−Ｃ１のＫａ＝２個の基板Ｐ内に不良と検査された検査ポイントが存在する同図の例に関し、出願人が開示している検査装置と同様の手順で検査用治具４ａをプロービングさせる位置および順序を規定したときには、基板Ｐ−Ｂ１の再検査を対象とする基板Ｐ−Ａ１，Ｐ−Ｂ１へのプロービング、および基板Ｐ−Ｃ１の再検査を対象とする基板Ｐ−Ｃ１，Ｐ−Ｄ１へのプロービングの合計２回のプロービングを実行する必要がある。これに対して、本例の基板検査装置１では、Ｋａ＝２個の基板Ｐ−Ｂ１，Ｐ−Ｃ１のうちの最も左側に位置する基板Ｐ−Ｂ１内の各検査ポイントに検査用治具４の各プローブ配設領域Ａにおける最も左側に位置するプローブ配設領域Ａ内の各検査用プローブ１０をプロービングさせることで（「条件」が満たされるプロービングの一例）」、他のプローブ配設領域Ａ内の各検査用プローブ１０が再検査対象の基板Ｐ−Ｃ１内の各検査ポイントにプロービングされる。したがって、この例では、１回のプロービングによってＫａ＝２個の基板Ｐ−Ｂ１，Ｐ−Ｃ１についての再検査処理が完了する。
【００５４】
さらに、複数の基板Ｐが形成された検査対象基板２０，２０ａ，２０ｂを検査する例について説明したが、例えば、１枚の基板上に検査ポイントが同様の配列となるように複数の配線パターン領域（「検査対象領域」の他の一例）が設けられたものを対象として検査する際にも、上記の検査対象基板２０，２０ａ，２０ｂの検査時と同様に再検査に要する時間を充分に短縮することができる。また、移動機構３が検査対象基板２０に向けて検査用治具４を移動させることで検査対象基板２０の各検査ポイントに検査用プローブ１０をプロービングさせる構成・方法を例に挙げて説明したが、所定の位置に固定的に配設された「検査用治具」に向けて「検査対象基板」を移動させることで「各検査ポイント」に「検査用プローブ」をプロービングさせる構成・方法や、「検査対象基板」に向けて「検査用治具」を移動させつつ「検査用治具」に向けて「検査対象基板」を移動させることで「各検査ポイント」に「検査用プローブ」をプロービングさせる構成・方法を採用することもできる。
【符号の説明】
【００５５】
１  基板検査装置
３  移動機構
４，４ａ  検査用治具
５  検査部
８  制御部
９  記憶部
１０  検査用プローブ
２０，２０ａ，２０ｂ  検査対象基板
Ａ−Ａ１，Ａ−Ａ２，Ａ−Ｂ１，Ａ−Ｂ２  プローブ配設領域
Ｄ  検査結果データ
Ｐ−Ａ１〜Ｐ−Ａ４，Ｐ−Ｂ１〜Ｐ−Ｂ４，Ｐ−Ｃ１〜Ｐ−Ｃ４，Ｐ−Ｄ１〜Ｐ−Ｄ４  基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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