(57)【要約】【課題】ウエハの移し換え作業を行う際に、短時間かつ正確に、作業者の身体的負担も少なく、容易に開口縁密着を行う。【解決手段】第１，２のウエハキャリア２，３が第１，２のバスケット２１，３１に収納された状態のまま開口縁２２，３２が対向されて配置され、第１，２の嵌合部２３，３３が嵌合されて当該第１，２のウエハキャリア２，３が密着される際に高さ方向の位置決めを行う土台１１と、土台１１の両側面に設けられ、当該土台１１上に配置された第１，２のウエハキャリア２，３の幅方向の位置決めを行う壁面１２とを備えた。【選択図】図１
2014222700.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１のバスケットに収納され、開口縁に第１の嵌合部を有し、ウエハが収納された第１のウエハキャリアと、第２のバスケットに収納され、開口縁に前記第１の嵌合部と嵌合する第２の嵌合部を有した第２のウエハキャリアとの間で前記ウエハの移し換えを行うためのウエハの移し換え治具であって、
前記第１，２のウエハキャリアが前記第１，２のバスケットに収納された状態のまま前記開口縁が対向されて配置され、前記第１，２の嵌合部が嵌合されて当該第１，２のウエハキャリアが密着される際に高さ方向の位置決めを行う土台と、
前記土台の両側面に設けられ、当該土台上に配置された前記第１，２のウエハキャリアの幅方向の位置決めを行う壁面と
を備えたことを特徴とするウエハの移し換え治具。
【請求項２】
第１のバスケットに収納され、開口縁に第１の嵌合部を有し、ウエハが収納された第１のウエハキャリアと、第２のバスケットに収納され、開口縁に前記第１の嵌合部と嵌合する第２の嵌合部を有した第２のウエハキャリアとの間で前記ウエハの移し換えを行うためのウエハの移し換え治具であって、
前記第１，２のウエハキャリアが前記第１，２のバスケットに収納された状態のまま前記開口縁が対向されて配置され、当該第１，２のウエハキャリアが密着される際に高さ方向の位置決めを行う土台と、
前記土台の両側面に設けられ、当該土台上に配置された前記第１，２のウエハキャリアの幅方向の位置決めを行う壁面と、
前記第１，２のウエハキャリアの開口縁を挟み込むことで当該第１，２のウエハキャリアを密着させるフレームと
を備えたことを特徴とするウエハの移し換え治具。
【請求項３】
前記フレームは、前記第１，２のウエハキャリアの開口縁と当接することで、当該第１，２のウエハキャリア同士を非接触とするリブを備えた
ことを特徴とする請求項２記載のウエハの移し換え治具。
【請求項４】
前記壁面は、透明部材により構成された
ことを特徴とする請求項１記載のウエハの移し換え治具。
【請求項５】
前記壁面及び前記フレームは、透明部材により構成された
ことを特徴とする請求項２または請求項３記載のウエハの移し換え治具。
【請求項６】
前記壁面の内側の縁には、テーパ加工が施された
ことを特徴とする請求項１から請求項５記載のウエハの移し換え治具。
【請求項７】
前記土台上の、前記第１，２のウエハキャリアが密着された際の前記開口縁の位置に相当する箇所は、当該第１，２のウエハキャリアの色に対してコントラストの高い色で構成された
ことを特徴とする請求項１から請求項６のうちのいずれか１項記載のウエハの移し換え治具。
【請求項８】
前記壁面間の幅は、汎用的な前記第１，２のウエハキャリアの幅に略同一である
ことを特徴とする請求項１から請求項７のうちのいずれか１項記載のウエハの移し換え治具。
【請求項９】
前記第１，２のウエハキャリアは、前記第１，２のバスケットを含む外形形状が略同一であり、
前記土台及び前記壁面は、前記第１のウエハキャリアが配置される側と前記第２のウエハキャリアが配置される側とが対称に構成された
ことを特徴とする請求項１から請求項８のうちのいずれか１項記載のウエハの移し換え治具。
【請求項１０】
前記第１，２のウエハキャリアは、前記第１，２のバスケットを含む外形形状が異なり、
前記土台は、前記外形形状に合わせた段差部を有する
ことを特徴とする請求項１から請求項６のうちのいずれか１項記載のウエハの移し換え治具。
【請求項１１】
第１のバスケットに収納され、開口縁に第１の嵌合部を有し、ウエハが収納された第１のウエハキャリアと、第２のバスケットに収納され、開口縁に前記第１の嵌合部と嵌合する第２の嵌合部を有した第２のウエハキャリアとが前記第１，２のバスケットに収納された状態のまま前記開口縁が対向されて配置され、前記第１，２の嵌合部が嵌合されて当該第１，２のウエハキャリアが密着される際に高さ方向の位置決めを行う土台と、前記土台の両側面に設けられ、当該土台上に配置された前記第１，２のウエハキャリアの幅方向の位置決めを行う壁面とを備えたウエハの移し換え治具を用いたウエハの移し換え方法であって、
前記第１，２のウエハキャリアを前記第１，２のバスケットに収納された状態のまま前記開口縁を対向させて前記土台上に配置する配置ステップと、
前記配置ステップの後、前記第１，２の嵌合部を嵌合させて前記第１，２のウエハキャリアを密着させる密着ステップと、
前記密着ステップの後、前記第１，２のウエハキャリアを密着させた状態のまま前記第１のウエハキャリア側を上方に傾け、前記ウエハを前記第１のウエハキャリアから前記第２のウエハキャリアに移し換える移し換えステップと、
前記移し換えステップの後、前記第１，２のウエハキャリアを前記土台上に戻し、当該第１，２のウエハキャリアを密着させていた力を取り除くことで、密着を解除する密着解除ステップと
を有することを特徴とするウエハの移し換え方法。
【請求項１２】
第１のバスケットに収納され、開口縁に第１の嵌合部を有し、ウエハが収納された第１のウエハキャリアと、第２のバスケットに収納され、開口縁に前記第１の嵌合部と嵌合する第２の嵌合部を有した第２のウエハキャリアとが前記第１，２のバスケットに収納された状態のまま前記開口縁が対向されて配置され、当該第１，２のウエハキャリアが密着される際に高さ方向の位置決めを行う土台と、前記土台の両側面に設けられ、当該土台上に配置された前記第１，２のウエハキャリアの幅方向の位置決めを行う壁面と、前記第１，２のウエハキャリアの開口縁を挟み込むことで当該第１，２のウエハキャリアを密着させるフレームとを備えたウエハの移し換え治具を用いたウエハの移し換え方法であって、
前記第１，２のウエハキャリアを前記第１，２のバスケットに収納された状態のまま前記開口縁を対向させて前記土台上に配置する配置ステップと、
前記配置ステップの後、前記第１，２のウエハキャリアの開口縁を前記フレームに挟み込んで当該第１，２のウエハキャリアを密着させる密着ステップと、
前記密着ステップの後、前記第１，２のウエハキャリアの密着させた状態のまま前記第１のウエハキャリア側を上方に傾け、前記ウエハを前記第１のウエハキャリアから前記第２のウエハキャリアに移し換える移し換えステップと、
前記移し換えステップの後、前記第１，２のウエハキャリアを前記土台上に戻し、当該第１，２のウエハキャリアを密着させていた力を取り除くことで、密着を解除する密着解除ステップと
を有することを特徴とするウエハの移し換え方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、一方のウエハキャリアに収納されたウエハを他方のウエハキャリアに移し換える際に用いるウエハの移し換え治具及びウエハの移し換え方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエハ（以降、単にウエハと称す）は、メーカから運搬用のウエハキャリアに収納されて工場に運ばれた後、各工程（例えば、薬液処理や加熱処理等）に適したウエハキャリアに順次移し換える必要がある。なお、ウエハキャリアはバスケットに収納されている。
ウエハの移し換え作業では、ウエハの収納されたウエハキャリアと、空のウエハキャリアとの開口縁を正しい位置で密着させることが必要となる。この際、双方のウエハキャリアの開口縁にそれぞれ設けられた突起と穴とを嵌合させることで、第１，２のウエハキャリアを密着させている。
【０００３】
現状でのウエハの移し換え作業では、作業者が双方のウエハキャリアを左右の手で眼前まで持ち上げ、開口縁の小さな突起・穴を目印にして空中で両ウエハキャリアを密着させて、移し換え作業を行っている。
しかしながら、突起と穴とを嵌合させ、ウエハケースの開口縁を正しい位置で密着させる作業は手作業ではやりにくく、密着不十分でウエハがウエハキャリア内で引っ掛かる等してウエハを損傷させる危険があるという課題があった。
【０００４】
また、作業者が、重いウエハキャリアを机上等から手で持ち上げた状態でウエハキャリアの開口縁を密着させる作業を行っており、ウエハキャリアを落下させて損傷させる危険があるという課題があった。また、ウエハキャリアの上げ下ろしによる作用者の身体負担も大きいという課題もある。
【０００５】
また、人がウエハキャリアを持ち上げた状態で手作業での移し換えを行う場合、ウエハの移し換えの進捗確認作業がしにくく、ウエハを移し損ねる危険があるという課題があった。
【０００６】
そこで、治具を用いて、ウエハキャリアの開口縁を正しい位置で密着させてウエハの移し換えを行う技術が提案されている（例えば特許文献１，２参照）。この特許文献１，２に開示されたウエハの移し換え治具では、ウエハキャリアをバスケットから取り出してセットする専用容器を備え、当該専用容器を固定軸周りに回転させることで開口縁同士を密着させ、その状態でウエハキャリアを傾けることでウエハの移し換えを行っている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】実開昭６２−１９７６２８号公報
【特許文献２】特開２００９−１８８３０５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、特許文献１，２に開示された従来のウエハの移し換え治具では、ウエハキャリアをバスケットから取り出して専用容器にセットする必要があり、手間がかかるという課題がある。また、ウエハキャリアがセットされた専用容器を固定軸周りに回転させて密着させているため、密着位置が高くなり、ウエハの移し換えの進捗確認作業がしにくくなる。そのため、ウエハを移し損ねる危険があるという課題もある。
そして、工場では多種類／大量の製品を短時間で処理する必要があり、事前準備や操作に時間がかかるものや、手早い作業ができないものは適用しにくい状況にある。
【０００９】
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたもので、ウエハの移し換え作業を行う際に、短時間かつ正確に、作業者の身体的負担も少なく、容易に双方のウエハキャリアを密着することができるウエハの移し換え治具及びウエハの移し換え方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
この発明に係るウエハの移し換え治具は、第１，２のウエハキャリアが第１，２のバスケットに収納された状態のまま開口縁が対向されて配置され、第１，２の嵌合部が嵌合されて当該第１，２のウエハキャリアが密着される際に高さ方向の位置決めを行う土台と、土台の両側面に設けられ、当該土台上に配置された第１，２のウエハキャリアの幅方向の位置決めを行う壁面とを備えたものである。
【００１１】
また、この発明に係るウエハの移し換え治具は、第１，２のウエハキャリアが第１，２のバスケットに収納された状態のまま開口縁が対向されて配置され、当該第１，２のウエハキャリアが密着される際に高さ方向の位置決めを行う土台と、土台の両側面に設けられ、当該土台上に配置された第１，２のウエハキャリアの幅方向の位置決めを行う壁面と、第１，２のウエハキャリアの開口縁を挟み込むことで当該第１，２のウエハキャリアを密着させるフレームとを備えたものである。
【００１２】
また、この発明に係るウエハの移し換え方法は、第１，２のウエハキャリアを第１，２のバスケットに収納された状態のまま開口縁を対向させて土台上に配置する配置ステップと、配置ステップの後、第１，２の嵌合部を嵌合させて第１，２のウエハキャリアを密着させる密着ステップと、密着ステップの後、第１，２のウエハキャリアを密着させた状態のまま第１のウエハキャリア側を上方に傾け、ウエハを第１のウエハキャリアから第２のウエハキャリアに移し換える移し換えステップと、移し換えステップの後、第１，２のウエハキャリアを土台上に戻し、当該第１，２のウエハキャリアを密着させていた力を取り除くことで、密着を解除する密着解除ステップとを有するものである。
【００１３】
また、この発明に係るウエハの移し換え方法は、第１，２のウエハキャリアを第１，２のバスケットに収納された状態のまま開口縁を対向させて土台上に配置する配置ステップと、配置ステップの後、第１，２のウエハキャリアの開口縁をフレームに挟み込んで第１，２のウエハキャリアを密着させる密着ステップと、密着ステップの後、第１，２のウエハキャリアの密着させた状態のまま第１のウエハキャリア側を上方に傾け、ウエハを第１のウエハキャリアから第２のウエハキャリアに移し換える移し換えステップと、移し換えステップの後、第１，２のウエハキャリアを土台上に戻し、当該第１，２のウエハキャリアを密着させていた力を取り除くことで、密着を解除する密着解除ステップとを有するものである。
【発明の効果】
【００１４】
この発明によれば、上記のように構成したので、ウエハの移し換え作業を行う際に、短時間かつ正確に、作業者の身体的負担も少なく、容易に双方のウエハキャリアを密着することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】この発明の実施の形態１に係るウエハの移し換え治具の構成例を示す斜視図である。
【図２】この発明の実施の形態１に係るウエハの移し換え治具の構成例を示す三面図である。
【図３】この発明の実施の形態１に係るウエハの移し換え治具を用いたウエハの移し換え動作を示すフローチャートである。
【図４−１】この発明の実施の形態１に係るウエハの移し換え治具を用いたウエハの移し換え動作を示す図である。
【図４−２】この発明の実施の形態１に係るウエハの移し換え治具を用いたウエハの移し換え動作を示す図である。
【図５】この発明の実施の形態２に係るウエハの移し換え治具の構成例を示す斜視図である。
【図６】この発明の実施の形態２に係るウエハの移し換え治具の構成例を示す三面図である。
【図７】この発明の実施の形態２に係るウエハの移し換え治具を用いたウエハの移し換え動作を示すフローチャートである。
【図８−１】この発明の実施の形態２に係るウエハの移し換え治具を用いたウエハの移し換え動作を示す図である。
【図８−２】この発明の実施の形態２に係るウエハの移し換え治具を用いたウエハの移し換え動作を示す図である。
【図９】この発明の実施の形態３に係るウエハの移し換え治具の構成例を示す斜視図である。
【図１０−１】この発明の実施の形態３に係るウエハの移し換え治具を用いたウエハの移し換え動作を示す図である。
【図１０−２】この発明の実施の形態３に係るウエハの移し換え治具を用いたウエハの移し換え動作を示す図である。
【図１１】この発明の実施の形態３に係るウエハの移し換え治具の別の構成例を示す斜視図である。
【図１２】この発明の実施の形態３に係るウエハの移し換え治具の別の構成例を示す側断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、この発明の実施の形態について図面を参照しながら詳細に説明する。
実施の形態１．
図１はこの発明の実施の形態１に係る移し換え治具１の構成例を示す斜視図であり、図２は三面図である。
移し換え治具１は、第１のバスケット２１に収納され、開口縁２２に第１の嵌合部２３（突起・穴）を有し、ウエハ４が収納された第１のウエハキャリア２と、第２のバスケット３１に収納され、開口縁３２に第１の嵌合部２３と嵌合する第２の嵌合部３３（穴・突起）を有する第２のウエハキャリア３との間で、ウエハ４の移し換えを行うためのものである（図４−１，４−２参照）。なお、実施の形態１に示す第１，２のウエハキャリア２，３は、第１，２のバスケット２１，３１を含む外形形状が略同一であるとする。
この移し換え治具１は、図１，２に示すように、土台１１及び壁面１２から構成されている。なお、移し換え治具１は、クリーンルームで使用されることが想定されるため、発塵の恐れがない材料により構成される。
【００１７】
土台１１は、第１，２のウエハキャリア２，３が第１，２のバスケット２１，３１に収納された状態のまま開口縁２２，３２が対向されて配置され、第１，２の嵌合部２３，３３が嵌合されて第１，２のウエハキャリア２，３が密着される際に高さ方向の位置決めを行うためのものである。
この土台１１の幅方向（長手方向）の長さは、第１，２のウエハキャリア２，３の開口縁２２，３２部分の幅方向の長さに略同一に設計されている。また、土台１１の奥行方向（短手方向）の長さは、第１，２のウエハキャリア２，３の第１，２のバスケット２１，３１から突出した長さに略同一に設計されている。また、土台１１の高さは、ウエハ４の移し換え作業を行う際に、高さ方向における第１，２のバスケット２１，３１の縁の長さ以上であるとともに、ウエハ４の移し換えが完了した後に、第１，２のウエハキャリア２，３の密着を第１，２のウエハキャリア２，３の自重により解除することが可能な高さに設計されている。
さらに、土台１１上の長手方向に沿った略中央部分（第１，２のウエハキャリア２，３が密着された際の開口縁２２，３２の位置に相当する箇所）は、当該第１，２のウエハキャリア２，３の色に対してコントラストの高い色の部材１１１で構成されている。これにより、第１，２のウエハキャリア２，３の密着状況を上から視認しやすくすることができる。
【００１８】
壁面１２は、土台１１の両側面に設けられ、当該土台１１上に配置された第１，２のウエハキャリア２，３の幅方向の位置決めを行うためのものである。
この壁面１２は、透明部材により構成されている。これにより、第１，２のウエハキャリア２，３の密着状況を容易に確認することができる。また、壁面１２の内側の縁にはテーパ加工が施されている。このテーパ１２１により、第１，２のウエハキャリア２，３を移し換え治具１に載せる際の多少の位置ずれを許容することができる。
【００１９】
次に、上記のように構成された移し換え治具１を用いたウエハ４の移し換え動作について、図３，４−１，４−２を参照しながら説明する。
移し換え治具１を用いたウエハ４の移し換え動作では、図３，４−１（ａ）に示すように、まず、作業者は、作業する机上等に置いた移し換え治具１の土台１１上に、ウエハ４が収納された第１のウエハキャリア２と空の第２のウエハキャリア３とを、第１，２のバスケット２１，３１に収納された状態のまま、開口縁２２，３２を向き合わせる形で配置する（ステップＳＴ３１、配置ステップ）。この際、壁面１２の内側の縁部分にはテーパ１２１が設けられているため、第１，２のウエハキャリア２，３を容易に土台１１上に載せることができる。
【００２０】
次いで、図４−１（ｂ）に示すように、第１，２のバスケット２１，３１の底面を手で支持しながら移し換え治具１の中央に向かって第１，２のウエハキャリア２，３同士を近づけ、第１，２の嵌合部２３，３３を嵌合させて第１，２のウエハキャリア２，３を密着させる（ステップＳＴ３２、密着ステップ）。この際、第１，２のウエハキャリア２，３は土台１１及び壁面１２により正しく位置決めされているため、作業者の作業習熟度に関わらず第１，２の嵌合部２３，３３を容易に嵌合させることができる。また、壁面１２は透明部材であり、土台１１上の略中央部分の部材１１１は当該第１，２のウエハキャリア２，３の色に対してコントラストの高い色で構成されているため、第１，２のウエハキャリア２，３の密着状況を容易に確認することができる。
【００２１】
次いで、図４−２（ｃ）に示すように、第１，２のウエハキャリア２，３の密着を保った状態のまま、第１，２のウエハキャリア２，３を傾けてウエハ４の移し換えを行う（ステップＳＴ３３、移し換えステップ）。すなわち、空の第２のウエハキャリア３の第２のバスケット３１を机上に当てて支点とする等して、ウエハ４が収納された第１のウエハキャリア２側が上になるように当該第１，２のウエハキャリア２，３を傾ける。これにより、ウエハ４が第１のウエハキャリア２から空の第２のウエハキャリア３側に滑り落ち、移し換えを行うことができる。この際、作業者は第１，２のウエハキャリア２，３を持ち上げる必要はないため、ウエハ４の落下の危険性やウエハ４の重量による身体負担を感じることなく、ウエハ４の移し換え進捗状況を上から目視で確認しながらウエハ４の移し換え作業を完了することができる。
【００２２】
次いで、第１，２のウエハキャリア２，３を土台１１上に戻し、第１，２のウエハキャリア２，３を密着させていた力を取り除くことで、密着を解除する（ステップＳＴ３４、密着解除ステップ）。すなわち、ウエハ４の移し換えが完了した後、第１，２のウエハキャリア２，３を図４−１（ｂ）に示す状態に戻して、第１，２のウエハキャリア２，３を密着させている左右の手を離す。すると、第１，２のウエハキャリア２，３は、土台１１と接している点を支点として自重により自然に分離して、図４−１（ａ）に示す状態に戻る。したがって、第１，２のウエハキャリア２，３の密着を解除するために、特定動作を必要としない。
【００２３】
以上の一連の動作では、第１，２のウエハキャリア２，３を作業者の眼前近くまで持ち上げることがないため、作業者は第１，２のウエハキャリア２，３を上から見下ろす姿勢で作業を行うことができ、第１，２のウエハキャリア２，３の密着状況や一連の作業進捗を容易に確認することができる。また、連続作業においても身体的負担が少ない。
【００２４】
以上のように、この実施の形態１によれば、第１，２の嵌合部２３，３３を嵌合させて第１，２のウエハキャリア２，３を密着させる際に当該第１，２のウエハキャリア２，３の高さ方向及び幅方向の位置決めを行うための土台１１及び壁面１２を有する移し換え治具１を用いるように構成したので、第１，２のウエハキャリア２，３を第１，２のバスケット２１，３１から取り出したり第１，２のウエハキャリア２，３を持ち上げる作業を必要とせず、移し換え治具１上で第１，２のウエハキャリア２，３の開口縁２２，３２を正しい位置で短時間で容易に密着させることができる。さらに、第１，２のウエハキャリア２，３を高く持ち上げる必要がないため、第１，２のウエハキャリア２，３の落下の危険性も少ない。
【００２５】
また、実施の形態１に係る移し換え治具１では、第１，２のウエハキャリア２，３の第１，２のバスケット２１，３１を含む外形形状が略同一であることを想定しているため、土台１１及び壁面１２は、第１のウエハキャリア２が配置される側と第２のウエハキャリア３が配置される側とが対称に構成されている。よって、作業者が移し換え治具１の設置向きを間違えたとしても問題なくウエハ４の移し換え作業を行うことができる。
また、上記移し換え作業では、第１，２のウエハキャリア２，３を移し換え治具１に固定する必要はなく、従来の移し換え治具に対して容易に移し換え作業を行うことができる。
【００２６】
また、ウエハ４のサイズは複数存在し、それに合わせて第１，２のウエハキャリア２，３のサイズも複数存在する。そこで、移し換え治具１の壁面１２間の幅を、汎用的な第１，２のウエハキャリア２，３の幅に略同一に構成する。これにより、当該汎用的な第１，２のウエハキャリア２，３よりも小さい第１，２のウエハキャリア２，３を用いてウエハ４の移し換え作業を行う場合であっても、壁面１２間の幅をつめる部材を追加することで、上記移し換え治具１をそのまま活用することができる。
【００２７】
実施の形態２．
実施の形態１では、ウエハ４の移し換えを行う際に、第１，２の嵌合部２３，３３を嵌合させることで第１，２のウエハキャリア２，３を密着させる場合について示した。一方、工場で繰り返し用いられるウエハキャリア（第２のウエハキャリア３とする）は、加熱処理等により樹脂が歪むことで嵌合部（第２の嵌合部３３）の位置がずれる場合がある。この場合、メーカから搬送されてきたウエハキャリア（第１のウエハキャリア２とする）から上記第２のウエハキャリア３にウエハ４を移し換える際に、第１，２の嵌合部２３，３３の嵌合が難しく、密着作業がし難くなる。そこで、実施の形態２では、このような状況に対しても、容易にウエハ４の移し換えを可能とする移し換え治具１について示す。
【００２８】
図５はこの発明の実施の形態２に係る移し換え治具１の構成例を示す斜視図であり、図６は三面図である。
実施の形態２に係る移し換え治具１は、図５，６に示すように、土台１１、壁面１２及びフレーム１３から構成されている。
【００２９】
土台１１は、第１，２のウエハキャリア２，３が第１，２のバスケット２１，３１に収納された状態のまま開口縁２２，３２が対向されて配置され、第１，２のウエハキャリア２，３を密着させる際に高さ方向の位置決めを行うためのものである。
この土台１１の幅方向（長手方向）の長さは、第１，２のウエハキャリア２，３の開口縁２２，３２部分の幅方向の長さに略同一に設計されている。また、土台１１の奥行方向（短手方向）の長さは、第１，２のウエハキャリア２，３の第１，２のバスケット２１，３１から突出した長さに略同一に設計されている。また、土台１１の高さは、ウエハ４の移し換え作業を行う際に、高さ方向における第１，２のバスケット２１，３１の縁の長さ以上であるとともに、ウエハ４の移し換えが完了した後に、第１，２のウエハキャリア２，３の密着を第１，２のウエハキャリア２，３の自重により解除することが可能な高さに設計されている。
さらに、土台１１上の長手方向に沿った所定部分（第１，２のウエハキャリア２，３が密着された際の開口縁２２，３２の位置に相当する箇所）には、フレーム１３の底面が収まるフレーム溝１１２が設けられている。このフレーム溝１１２は、フレーム１３が移し換え治具１に収められた状態では土台１１上とフレーム１３の底面上とが面一となるとともに、第１，２のウエハキャリア２，３の開口縁２２，３２を挟み込んだフレーム１３を傾けることができるような形状に設計されている。
【００３０】
壁面１２は、土台１１の両側面に設けられ、当該土台１１上に配置された第１，２のウエハキャリア２，３の幅方向の位置決めを行うためのものである。
この壁面１２は、透明部材により構成されている。これにより、第１，２のウエハキャリア２，３の密着状況を容易に確認することができる。また、壁面１２の内側の縁にはテーパ加工が施されている。このテーパ１２１により、第１，２のウエハキャリア２，３を移し換え治具１に載せる際の多少の位置ずれを許容することができる。また、壁面１２の内側の所定部分（第１，２のウエハキャリア２，３が密着された際の開口縁２２，３２の位置に相当する箇所）には、フレーム１３の側面が収まるフレーム溝１２２が設けられている。このフレーム溝１２２は、壁面１２の内側とフレーム１３の側面内側とが面一となるとともに、第１，２のウエハキャリア２，３の開口縁２２，３２を挟み込んだフレーム１３を傾けることができるような形状に設計されている。
【００３１】
フレーム１３は、第１，２のウエハキャリア２，３の開口縁２２，３２を挟み込むことで当該第１，２のウエハキャリア２，３を密着させるためのものである。すなわち、第１，２のウエハキャリア２，３を密着させる際に、第１，２の嵌合部２３，３３を嵌合させることなく密着させるためのものである。このフレーム１３は、透明部材により構成されている。
このフレーム１３の内寸は、第１，２のウエハキャリア２，３の開口縁２２，３２の外寸に略同一に設計されている。また、このフレーム１３の側面の内側にはリブ１３１が設けられている。このリブ１３１は、第１，２のウエハキャリア２，３の開口縁２２，３２と当接することで、第１，２のウエハキャリア２，３同士を非接触とするためのものである。
【００３２】
次に、上記のように構成された移し換え治具１を用いたウエハ４の移し換え動作について、図７，８−１，８−２を参照しながら説明する。
移し換え治具１を用いたウエハ４の移し換え動作では、図７，８−１（ａ）に示すように、まず、作業者は、作業する机上等に置いた移し換え治具１の土台１１上に、ウエハ４が収納された第１のウエハキャリア２と空の第２のウエハキャリア３とを、第１，２のバスケット２１，３１に収納された状態のまま、開口縁２２，３２を向き合わせる形で配置する（ステップＳＴ７１、配置ステップ）。この際、壁面１２の内側の縁部分にはテーパ１２１が設けられているため、第１，２のウエハキャリア２，３を容易に土台１１上に載せることができる。
【００３３】
次いで、図８−１（ｂ），８−２（ｃ）に示すように、第１，２のバスケット２１，３１の底面を手で支持しながら移し換え治具１のフレーム１３に向かって第１，２のウエハキャリア２，３同士を近づけ、フレーム１３に第１，２のウエハキャリア２，３の開口縁２２，３２を挟み込んで第１，２のウエハキャリア２，３を密着させる（ステップＳＴ７２、密着ステップ）。この際、第１，２のウエハキャリア２，３は土台１１及び壁面１２により正しく位置決めされているため、作業者の作業習熟度に関わらず第１，２のウエハキャリア２，３の開口縁２２，３２をフレーム１３に挟み込ませることができる。また、フレーム１３にはリブ１３１が設けられているため、第１，２のウエハキャリア２，３が接触することはなく、第１，２の嵌合部２３，３３の位置がずれている場合であっても、容易に第１，２のウエハキャリア２，３を密着させることができる。また、壁面１２及びフレーム１３は透明部材であり、第１，２のウエハキャリア２，３の密着状況を容易に確認することができる。
【００３４】
次いで、図８−２（ｄ）に示すように、フレーム１３を介して第１，２のウエハキャリア２，３の密着を保った状態のまま、第１，２のウエハキャリア２，３を傾けてウエハ４の移し換えを行う（ステップＳＴ７３、移し換えステップ）。すなわち、空の第２のウエハキャリア３の第２のバスケット３１を机上に当てて支点とする等して、ウエハ４が収納された第１のウエハキャリア２が上になるように当該第１，２のウエハキャリア２，３を傾ける。これにより、ウエハ４は第１のウエハキャリア１から空の第２のウエハキャリア３側に滑り落ち、移し換えを行うことができる。この際、作業者は第１，２のウエハキャリア２，３を持ち上げる必要はないため、ウエハ４の落下の危険性やウエハ４の重量による身体負担を感じることなく、ウエハ４の移し換え進捗状況を目視で確認しながらウエハ４の移し換え作業を完了することができる。
【００３５】
次いで、第１，２のウエハキャリア２，３を土台１１上に戻し、第１，２のウエハキャリア２，３を密着させていた力を取り除くことで、密着を解除する（ステップＳＴ７４、密着解除ステップ）。すなわち、ウエハ４の移し換えが完了した後、第１，２のウエハキャリア２，３を図８−１（ｂ）に示す状態に戻して、第１，２のウエハキャリア２，３を密着させている左右の手を離す。すると、第１，２のウエハキャリア２，３は、土台１１と接している点を支点として自重により自然に分離して、図８−１（ａ）に示す状態に戻る。したがって、第１，２のウエハキャリア２，３の密着を解除するために、特定動作を必要としない。なお、万一、フレーム１３から第１，２のウエハキャリア２，３が外れなかった場合には、指で軽く押す等して外す。
【００３６】
以上の一連の動作では、第１，２のウエハキャリア２，３を作業者の眼前近くまで持ち上げることがないため、作業者は第１，２のウエハキャリア２，３を上から見下ろす姿勢で作業を行うことができ、第１，２のウエハキャリア２，３の密着状況や一連の作業進捗を容易に確認することができる。また、連続作業においても身体的負担が少ない。
【００３７】
以上のように、この実施の形態２によれば、フレーム１３に第１，２のウエハキャリア２，３の開口縁２２を挟み込んで密着させるように構成したので、密着確認用の第１，２の嵌合部２３，３３に何らかの不具合がある場合であっても、実施の形態１と同様に、容易に第１，２のウエハキャリア２，３の密着作業を行うことができる。
【００３８】
なお、図８−１，８−２では、メーカから搬送されてきた第１のウエハキャリア２と工場で使用する第２のウエハキャリア３の外形形状を異なるものとしたが、同一形状であってもよい。
【００３９】
実施の形態３．
実施の形態１，２では、土台１１により第１，２のウエハキャリア２，３を同一面上に配置でき、第１，２の嵌合部２３，３３の高さが略一致する場合について示した。一方、第１，２のウエハキャリア２，３の第１，２のバスケット２１，３１を含む外形形状が大きく異なる場合、実施の形態１，２の構成では、第１，２のウエハキャリア２，３を同一面上に配置することができず、第１，２の嵌合部２３，３３の高さが合わない場合がある。実施の形態３では、このような場合に対しても、容易にウエハ４の移し換えを可能とする移し換え治具１について示す。なお以下では、第２のウエハキャリア３が実施の形態１，２と略同一形状であり、第１のウエハキャリア２が第１のバスケット２１から開口縁２２が突出していない形状であるとする（図１０−１，１０−２参照）。
図９はこの発明の実施の形態１に係る移し換え治具１の構成例を示す斜視図である。
実施の形態３に係る移し換え治具１は、図９に示すように、土台１１及び壁面１２から構成されている。
【００４０】
土台１１は、第１，２のウエハキャリア２，３が第１，２のバスケット２１，３１に収納された状態のまま開口縁２２，３２を対向されて配置され、第１，２の嵌合部２３，３３が嵌合されて第１，２のウエハキャリア２，３を密着される際に高さ方向の位置決めを行うためのものである。
この土台１１の幅方向（長手方向）の長さは、第１のウエハキャリア２の第１のバスケット２１の開口縁部分の幅方向の長さに略同一に設計されている。また、土台１１の高さは、ウエハ４の移し換え作業を行う際に、高さ方向における第２のウエハキャリア３の第２のバスケット３１の縁の長さ以上であるとともに、ウエハ４の移し換えが完了した後に、第１，２のウエハキャリア２，３の密着を第１，２のウエハキャリア２，３の自重により解除することが可能な高さに設計されている。また、土台１１上には、第１，２のウエハキャリア２，３を密着させるための高さ方向の位置決めを行うための段差部１１３が設けられている。この段差部１１３は、第１のウエハキャリア２の第２のバスケット２１を含む外形形状に合わせて深さ・奥行が設計されている。
さらに、土台１１上の長手方向の沿った所定部分（第１，２のウエハキャリア２，３が密着された際の開口縁２２，３２の位置に相当する箇所）は、当該第１，２のウエハキャリア２，３の色に対してコントラストの高い色の部材１１１で構成されている。これにより、第１，２のウエハキャリア２，３の密着状況を上から視認しやすくすることができる。
【００４１】
壁面１２は、土台１１の両側面に設けられ、当該土台１１上に配置された第１，２のウエハキャリア２，３の幅方向の位置決めを行うためのものである。
この壁面１２は、透明部材により構成されている。これにより、第１，２のウエハキャリア２，３の密着状況を容易に確認することができる。また、壁面１２の内側の縁にはテーパ加工が施されている。このテーパ１２１により、第１，２のウエハキャリア２，３を移し換え治具１に載せる際の多少の位置ずれを許容することができる。
【００４２】
次に、上記のように構成された移し換え治具１を用いたウエハ４の移し換え動作について、図３，１０−１，１０−２を参照しながら説明する。
移し換え治具１を用いたウエハ４の移し換え動作では、図１０−１（ａ）に示すように、まず、作業者は、作業する机上等に置いた移し換え治具１の土台１１上に、ウエハ４が収納された第１のウエハキャリア２と空の第２のウエハキャリア３とを、第１，２のバスケット２１，３１に収納された状態のまま、開口縁２２，３２を向き合わせる形で配置する（ステップＳＴ３１、配置ステップ）。この際、壁面１２の内側の縁部分にはテーパ１２１が設けられているため、第１，２のウエハキャリア２，３を容易に土台１１上に載せることができる。
【００４３】
次いで、図１０−１（ｂ）に示すように、第１，２のバスケット２１，３１の底面を手で支持しながら移し換え治具１の中央に向かって第１，２のウエハキャリア２，３同士を近づけ、第１，２の嵌合部２３，３３を嵌合させて第１，２のウエハキャリア２，３を密着させる（ステップＳＴ３２、密着ステップ）。この際、土台１１上に設けられた段差部１１３により、第１，２のウエハキャリア２，３の外形形状が異なる場合であっても正しく位置決めされるため、作業者の作業習熟度に関わらず第１，２の嵌合部２３，３３を容易に嵌合させることができる。また、壁面１２は透明部材であり、土台１１上の部材１１１は当該第１，２のウエハキャリア２，３の色に対してコントラストの高い色で構成されているため、第１，２のウエハキャリア２，３の密着状況を容易に確認することができる。
【００４４】
次いで、図１０−２（ｃ）に示すように、第１，２のウエハキャリア２，３の密着を保った状態のまま、第１，２のウエハキャリア２，３を傾けてウエハ４の移し換えを行う（ステップＳＴ３３、移し換えステップ）。すなわち、空の第２のウエハキャリア３の第２のバスケット３１を机上に当てて支点とする等して、ウエハ４が収納された第１のウエハキャリア２が上になるように当該第１，２のウエハキャリア２，３を傾ける。これにより、ウエハ４が第１のウエハキャリア２から空の第２のウエハキャリア３側に滑り落ち、移し換えを行うことができる。この際、作業者は第１，２のウエハキャリア２，３を持ち上げる必要はないため、ウエハ４の落下の危険性やウエハ４の重量による身体負担を感じることなく、ウエハ４の移し換え進捗状況を目視で確認しながらウエハ４の移し換え作業を完了することができる。
【００４５】
次いで、第１，２のウエハキャリア２，３を土台１１上に戻し、第１，２のウエハキャリア２，３を密着させていた力を取り除くことで、密着を解除する（ステップＳＴ３４、密着解除ステップ）。すなわち、ウエハ４の移し換えが完了した後、第１，２のウエハキャリア２，３を図１０−１（ｂ）に示す状態に戻して、第１，２のウエハキャリア２，３を密着させている左右の手を離す。すると、第１，２のウエハキャリア２，３は、土台１１と接している点を支点として自重により自然に分離して、図１０−１（ａ）に示す状態に戻る。したがって、第１，２のウエハキャリア２，３の密着を解除するために、特定動作を必要としない。
【００４６】
以上の一連の動作では、第１，２のウエハキャリア２，３を作業者の眼前近くまで持ち上げることがないため、作業者は第１，２のウエハキャリア２，３を上から見下ろす姿勢で作業を行うことができ、第１，２のウエハキャリア２，３の密着状況や一連の作業進捗を容易に確認することができる。また、連続作業においても身体的負担が少ない。
【００４７】
以上のように、この実施の形態３によれば、土台１１上に第１，２のウエハキャリア２，３の外形形状に合わせた形状の段差部１１３を設けたので、ウエハ４移し換え作業において第１，２のウエハキャリア２，３の外形形状が大きく違う場合であっても、実施の形態１と同様に、容易に第１，２のウエハキャリア２，３の密着作業を行うことができる。
【００４８】
なお図９に示す構成例では、第１のウエハキャリア２の外形形状が１種類である場合について示したが、多種類存在する場合には、それらの外形形状に合わせて段差部１１３を追加すればよい。
例えば図１１，１２では、２種類の第１のウエハキャリア２ａ，２ｂに対応して２段の段差部１１３ａ，１１３ｂを設けた場合について示している。なお、図１２（ａ）は、上段の段差部１１３ａに対応した第１のウエハキャリア２ａの第１のバスケット２１ａを土台１上に配置した場合を示す図であり、図１２（ｂ）は、下段の段差部１１３ｂに対応した第１のウエハキャリア２ｂの第１のバスケット２１ｂを土台１上に配置した場合を示す図である。ここで、図１２（ａ）に示すように、下段の段差部１１３ｂの奥行は、第１のバスケット２１ａの開口縁の奥行より短く構成される。
【００４９】
なお、実施の形態１〜３では、ウエハ４の移し換え作業を行う場合に、ウエハ４の面を横にして移し換える場合について示したが、これに限るものではなく、ウエハ４の面を縦にして移し換えるようにしてもよい。
【００５０】
また、本願発明はその発明の範囲内において、各実施の形態の自由な組み合わせ、あるいは各実施の形態の任意の構成要素の変形、もしくは各実施の形態において任意の構成要素の省略が可能である。
【符号の説明】
【００５１】
１  移し換え治具、２，２ａ，２ｂ  第１のウエハキャリア、３  第２のウエハキャリア、４  ウエハ、１１  土台、１２  壁面、１３  フレーム、２１，２１ａ，２１ｂ  第１のバスケット、２２  開口縁、２３  第１の嵌合部、３１  第２のバスケット、３２  開口縁、３３  第２の嵌合部、１１１  部材、１１２  フレーム溝、１１３，１１３ａ，１１３ｂ  段差部、１２１  テーパ、１２２  フレーム溝、１３１  リブ。
【図１】
2014222700.tif 000003
【図２】
2014222700.tif 000004
【図３】
2014222700.tif 000005
【図４−１】
2014222700.tif 000006
【図４−２】
2014222700.tif 000007
【図５】
2014222700.tif 000008
【図６】
2014222700.tif 000009
【図７】
2014222700.tif 000010
【図８−１】
2014222700.tif 000011
【図８−２】
2014222700.tif 000012
【図９】
2014222700.tif 000013
【図１０−１】
2014222700.tif 000014
【図１０−２】
2014222700.tif 000015
【図１１】
2014222700.tif 000016
【図１２】
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