(57)【要約】【課題】  光偏向器の大きさを変更することなく、アクチュエータ及びミラー部による構造体の共振周波数を所望の周波数に規定できる光偏向器の製造方法を提供する。【解決手段】  光偏向器Ａ１の製造方法は、各圧電カンチレバー３１〜３５の厚さ及び長手方向の長さを維持すると共に、外側圧電アクチュエータ１０１，１０２の大きさを維持する範囲で、各圧電カンチレバー３１〜３５の幅Ｗ１〜Ｗ５を規定することにより、外側圧電アクチュエータ１０１，１０２及びミラー部１，２ａ，２ｂ，８１，８２，９による構造体の共振周波数ｆを規定する共振周波数規定工程を備える。【選択図】  図４
2014232176.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
反射面を有するミラー部と、
前記ミラー部を所定の軸周りに揺動させるアクチュエータと、
前記アクチュエータを支持する支持部とを備え、
前記アクチュエータは、駆動電圧が印加される圧電体と、該圧電体を支持し該圧電体と共に屈曲変形する支持体とを有する複数の圧電カンチレバーを備え、
前記複数の圧電カンチレバーは、各圧電カンチレバーの長手方向を同一として当該長手方向に直交する方向に並列配置され、
前記複数の圧電カンチレバーの配置において端に位置する２つの圧電カンチレバーのうち、一方の圧電カンチレバーである先端側圧電カンチレバーは、一方の端部が前記ミラー部に連結され、他方の端部が、隣り合う圧電カンチレバーの当該他方の端部と同一側の端部に連結され、
前記複数の圧電カンチレバーの配置において端に位置する２つの圧電カンチレバーのうち、前記先端側圧電カンチレバーとは反対側に位置する圧電カンチレバーである基端側圧電カンチレバーは、一方の端部が前記支持部に連結され、他方の端部が、隣り合う圧電カンチレバーの当該他方の端部と同一側の端部に連結され、
前記複数の圧電カンチレバーのうち、前記先端側圧電カンチレバー及び前記基端側圧電カンチレバーの間に位置する圧電カンチレバーである中間圧電カンチレバーが存在する場合には、当該中間圧電カンチレバーの各々は、一方の端部が、隣り合う圧電カンチレバーのうち一方の圧電カンチレバーの当該一方の端部と同一側の端部に連結され、当該圧電カンチレバーの他方の端部が、隣り合う他方の圧電カンチレバーの当該他方の端部と同一側の端部に連結された光偏向器の製造方法であって、
前記複数の圧電カンチレバーの各々の厚さ及び長手方向の長さを維持すると共に、前記アクチュエータの大きさを維持する範囲で、前記複数の圧電カンチレバーの各々の幅を規定することにより、前記アクチュエータ及び前記ミラー部による構造体の共振周波数を規定する共振周波数規定工程を備えることを特徴とする光偏向器の製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載の光偏向器の製造方法において、前記共振周波数規定工程は、前記複数の圧電カンチレバーが連結された経路上において、前記基端側圧電カンチレバーから前記先端側圧電カンチレバーに向かうほど、前記圧電カンチレバーの幅を狭くすることを特徴とする光偏向器の製造方法。
【請求項３】
反射面を有するミラー部と、
前記ミラー部を所定の軸周りに揺動させるアクチュエータと、
前記アクチュエータを支持する支持部とを備え、
前記アクチュエータは、駆動電圧が印加される圧電体と、該圧電体を支持し該圧電体と共に屈曲変形する支持体とを有する複数の圧電カンチレバーを備え、
前記複数の圧電カンチレバーは、各圧電カンチレバーの長手方向を同一として当該長手方向に直交する方向に並列配置され、
前記複数の圧電カンチレバーの配置において端に位置する２つの圧電カンチレバーのうち、一方の圧電カンチレバーである先端側圧電カンチレバーは、一方の端部が前記ミラー部に連結され、他方の端部が、隣り合う圧電カンチレバーの当該他方の端部と同一側の端部に連結され、
前記複数の圧電カンチレバーの配置において端に位置する２つの圧電カンチレバーのうち、前記先端側圧電カンチレバーとは反対側に位置する圧電カンチレバーである基端側圧電カンチレバーは、一方の端部が前記支持部に連結され、他方の端部が、隣り合う圧電カンチレバーの当該他方の端部と同一側の端部に連結され、
前記複数の圧電カンチレバーのうち、前記先端側圧電カンチレバー及び前記基端側圧電カンチレバーの間に位置する圧電カンチレバーである中間圧電カンチレバーが存在する場合には、当該中間圧電カンチレバーの各々は、一方の端部が、隣り合う圧電カンチレバーのうち一方の圧電カンチレバーの当該一方の端部と同一側の端部に連結され、当該圧電カンチレバーの他方の端部が、隣り合う他方の圧電カンチレバーの当該他方の端部と同一側の端部に連結され、
前記複数の圧電カンチレバーの少なくとも一部は、幅が異なっていることを特徴とする光偏向器。
【請求項４】
請求項３に記載の光偏向器において、前記複数の圧電カンチレバーの各々は、前記複数の圧電カンチレバーが連結された経路上において、前記基端側圧電カンチレバーから前記先端側圧電カンチレバーに向かうほど、前記圧電カンチレバーの幅が狭くなっていることを特徴とする光偏向器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、反射面を揺動可能な光偏向器及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、反射面を有するミラー部と、該ミラー部を駆動するアクチュエータとを備える光偏向器が知られている（特許文献１）。この光偏向器では、アクチュエータは、駆動電圧が印加される圧電体と、該圧電体を支持してこれと共に屈曲変形する支持体とを有する複数の圧電カンチレバーを備える。
【０００３】
複数の圧電カンチレバーは、各圧電カンチレバーの長手方向が同一となり且つ当該長手方向に直交する方向に並んで配置され、所謂ミアンダ形状に形成されている。
【０００４】
複数の圧電カンチレバーの配置において端に位置する２つの圧電カンチレバーのうち、一方の圧電カンチレバーである先端側圧電カンチレバーは、一方の端部がミラー部に連結されている。また、先端側圧電カンチレバーは、ミラー部に連結されている側とは反対側の端部が、隣り合う圧電カンチレバーの当該反対側の端部と同一側の端部に連結されている。
【０００５】
複数の圧電カンチレバーの配置において端に位置する２つの圧電カンチレバーのうち、先端側圧電カンチレバーとは反対側に位置する圧電カンチレバーである基端側圧電カンチレバーは、一方の端部が支持部に連結されている。また、基端側圧電カンチレバーは、支持部に連結されている側とは反対側の端部が、隣り合う圧電カンチレバーの当該反対側の端部と同一側の端部に連結されている。
【０００６】
複数の圧電カンチレバーのうち、先端側圧電カンチレバー及び基端側圧電カンチレバーの間に位置する圧電カンチレバーである中間圧電カンチレバーの各々は、一方の端部が、隣り合う圧電カンチレバーのうち一方の圧電カンチレバーの当該一方の端部と同一側の端部に連結されている。また、中間圧電カンチレバーの各々は、当該圧電カンチレバーの一方の端部とは反対側の端部が、隣り合う他方の圧電カンチレバーの当該反対側の端部と同一側の端部に連結されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２０１０−１２２４８０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
通常、特許文献１に記載されたような光偏向器において、所謂ミアンダ形状に形成されたアクチュエータを構成する複数の圧電カンチレバーの各々は、幅が同一に形成されている。
【０００９】
このような光偏向器を用いる光学機器（例えば、ディスプレイ）においては、光偏向器の大きさ及び反射面の揺動周波数（例えば、走査周波数）の各々が、既定値（例えば、反射面の揺動周波数の場合には60[Hz]）であることが求められる。
【００１０】
このとき、圧電体に印加される駆動電圧の周波数成分が、アクチュエータ及びミラー部による構造体の共振周波数を含む場合には、アクチュエータ及びミラー部による構造体が不要に共振してしまい、光偏向器をうまく作動させることができない。このような場合には、アクチュエータを構成する部材の大きさ等を変化させて、アクチュエータ及びミラー部による構造体の共振周波数を変更することで対処することが考えられる。
【００１１】
しかしながら、アクチュエータを構成する部材の大きさ等を変化させた場合には、光偏向器の大きさが変化する場合もある。
【００１２】
本発明は、以上の点に鑑みてなされたものであり、光偏向器の大きさを変更することなく、アクチュエータ及びミラー部による構造体の共振周波数を所望の周波数に規定できる光偏向器及びその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明の光偏向器の製造方法は、反射面を有するミラー部と、前記ミラー部を所定の軸周りに揺動させるアクチュエータと、前記アクチュエータを支持する支持部とを備え、前記アクチュエータは、駆動電圧が印加される圧電体と、該圧電体を支持し該圧電体と共に屈曲変形する支持体とを有する複数の圧電カンチレバーを備え、前記複数の圧電カンチレバーは、各圧電カンチレバーの長手方向を同一として当該長手方向に直交する方向に並列配置され、前記複数の圧電カンチレバーの配置において端に位置する２つの圧電カンチレバーのうち、一方の圧電カンチレバーである先端側圧電カンチレバーは、一方の端部が前記ミラー部に連結され、他方の端部が、隣り合う圧電カンチレバーの当該他方の端部と同一側の端部に連結され、前記複数の圧電カンチレバーの配置において端に位置する２つの圧電カンチレバーのうち、前記先端側圧電カンチレバーとは反対側に位置する圧電カンチレバーである基端側圧電カンチレバーは、一方の端部が前記支持部に連結され、他方の端部が、隣り合う圧電カンチレバーの当該他方の端部と同一側の端部に連結され、前記複数の圧電カンチレバーのうち、前記先端側圧電カンチレバー及び前記基端側圧電カンチレバーの間に位置する圧電カンチレバーである中間圧電カンチレバーが存在する場合には、当該中間圧電カンチレバーの各々は、一方の端部が、隣り合う圧電カンチレバーのうち一方の圧電カンチレバーの当該一方の端部と同一側の端部に連結され、当該圧電カンチレバーの他方の端部が、隣り合う他方の圧電カンチレバーの当該他方の端部と同一側の端部に連結された光偏向器の製造方法であって、前記複数の圧電カンチレバーの各々の厚さ及び長手方向の長さを維持すると共に、前記アクチュエータの大きさを維持する範囲で、前記複数の圧電カンチレバーの各々の幅を規定することにより、前記アクチュエータ及び前記ミラー部による構造体の共振周波数を規定する共振周波数規定工程を備えることを特徴とする。
【００１４】
本発明において、複数の圧電カンチレバーの各々の幅を変化させると、アクチュエータ及びミラー部による構造体の共振周波数が変化する。そのため、共振周波数規定工程において、複数の圧電カンチレバーの各々の幅を規定することにより、複数の圧電カンチレバーの連結体であるアクチュエータ及びミラー部による構造体の共振周波数を規定することができる。
【００１５】
このとき、圧電カンチレバーの幅は、アクチュエータの大きさを維持する範囲で規定されている。このため、アクチュエータ及びミラー部による構造体の共振周波数を規定するときに、アクチュエータの大きさが維持されるので、光偏向器の大きさが維持される。
【００１６】
以上のように、光偏向器の大きさを変更することなく、アクチュエータ及びミラー部による構造体の共振周波数を所望の周波数に規定できる。
【００１７】
本発明において、前記共振周波数規定工程は、前記複数の圧電カンチレバーが連結された経路上において、前記基端側圧電カンチレバーから前記先端側圧電カンチレバーに向かうほど、前記圧電カンチレバーの幅を狭くすることが好ましい。
【００１８】
アクチュエータ及びミラー部による構造体の共振周波数は、その重量が軽いほど高くなる。
【００１９】
また、アクチュエータには、複数の圧電カンチレバーが連結された経路（以下、「アクチュエータ連結経路」という）上において基端側圧電カンチレバーに近づくほど、機械的な強度が高いことが要求される。
【００２０】
そこで、本発明では、アクチュエータ連結経路上において基端側圧電カンチレバーから先端側圧電カンチレバーに向かうほど、圧電カンチレバーの幅を狭くする。これにより、アクチュエータの重量を軽くして当該アクチュエータ及びミラー部による構造体の共振周波数を高くしつつ、アクチュエータ連結経路上において基端側圧電カンチレバーに近づくほど、アクチュエータの機械的な強度を高くすることができる。
【００２１】
次に、本発明の光偏向器は、反射面を有するミラー部と、前記ミラー部を所定の軸周りに揺動させるアクチュエータと、前記アクチュエータを支持する支持部とを備え、前記アクチュエータは、駆動電圧が印加される圧電体と、該圧電体を支持し該圧電体と共に屈曲変形する支持体とを有する複数の圧電カンチレバーを備え、前記複数の圧電カンチレバーは、各圧電カンチレバーの長手方向を同一として当該長手方向に直交する方向に並列配置され、前記複数の圧電カンチレバーの配置において端に位置する２つの圧電カンチレバーのうち、一方の圧電カンチレバーである先端側圧電カンチレバーは、一方の端部が前記ミラー部に連結され、他方の端部が、隣り合う圧電カンチレバーの当該他方の端部と同一側の端部に連結され、前記複数の圧電カンチレバーの配置において端に位置する２つの圧電カンチレバーのうち、前記先端側圧電カンチレバーとは反対側に位置する圧電カンチレバーである基端側圧電カンチレバーは、一方の端部が前記支持部に連結され、他方の端部が、隣り合う圧電カンチレバーの当該他方の端部と同一側の端部に連結され、前記複数の圧電カンチレバーのうち、前記先端側圧電カンチレバー及び前記基端側圧電カンチレバーの間に位置する圧電カンチレバーである中間圧電カンチレバーが存在する場合には、当該中間圧電カンチレバーの各々は、一方の端部が、隣り合う圧電カンチレバーのうち一方の圧電カンチレバーの当該一方の端部と同一側の端部に連結され、当該圧電カンチレバーの他方の端部が、隣り合う他方の圧電カンチレバーの当該他方の端部と同一側の端部に連結され、前記複数の圧電カンチレバーの少なくとも一部は、幅が異なっていることを特徴とする。
【００２２】
本発明によれば、複数の圧電カンチレバーの少なくとも一部は、幅が異なっている。このように、各圧電カンチレバーの幅を所定の範囲内で異ならせることにより、複数の圧電カンチレバーの各々の幅が同一であるアクチュエータとは、共振周波数が異なる光偏向器を構成することができる。
【００２３】
本発明において、前記複数の圧電カンチレバーの各々は、前記複数の圧電カンチレバーが連結された経路上において、前記基端側圧電カンチレバーから前記先端側圧電カンチレバーに向かうほど、前記圧電カンチレバーの幅が狭くなっていることが好ましい。
【００２４】
アクチュエータ及びミラー部による構造体の共振周波数は、その重量が軽いほど高くなる。
【００２５】
また、アクチュエータには、アクチュエータ連結経路上において、基端側圧電カンチレバーに近づくほど機械的な強度が高いことが要求される。
【００２６】
そこで、本発明では、アクチュエータ連結経路上において基端側圧電カンチレバーから先端側圧電カンチレバーに向かうほど、圧電カンチレバーの幅を狭くする。これにより、アクチュエータの重量を軽くして当該アクチュエータ及びミラー部による構造体の共振周波数を高くしつつ、アクチュエータ連結経路上において基端側圧電カンチレバーに近づくほど、アクチュエータの機械的な強度を高くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明の実施形態の光偏向器の基本的な構成を示す斜視図。
【図２】図１の光偏向器が備える圧電カンチレバー等の構造を模式的に示す断面図。
【図３】本実施形態の光偏向器が備える圧電カンチレバーの幅の変化について示す図。
【図４】本実施形態の光偏向器の圧電カンチレバーの幅とアクチュエータ及びミラー部による構造体の共振周波数との関係を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下、本発明の実施形態の光偏向器について説明する。
【００２９】
まず、光偏向器Ａ１の基本的な構成について説明した後（「１．光偏向器の基本的な構成」）、光偏向器Ａ１の作動について説明する（「２．光偏向器の作動」）。その後、光偏向器Ａ１の外側圧電アクチュエータ１０１，１０２（本発明のアクチュエータに相当する）の各圧電カンチレバー３１〜３５の幅Ｗ１〜Ｗ５を規定することにより、外側圧電アクチュエータ１０１，１０２及びミラー部（後述する１，２ａ，２ｂ，８１，８２及び９から構成される）による構造体の共振周波数を規定する共振周波数規定工程について説明する（「３．圧電カンチレバーの幅の規定」）。
【００３０】
「１．光偏向器の基本的な構成」
図１に示すように、本実施形態の光偏向器Ａ１は、反射部１と、反射部１が搭載された可動部９と、反射部１を可動部９に対して第１軸Ｘ１の周りに揺動させるための圧電アクチュエータ（以下、「内側圧電アクチュエータ」という）８１，８２と、反射部１及び可動部９を支持基体１１に対して第２軸Ｘ２（第１軸Ｘ１に直交する軸。但し、第１軸Ｘ１と第２軸Ｘ２とが正確に直交している必要はない。）の周りに揺動させるための圧電アクチュエータ（以下、「外側圧電アクチュエータ」という）１０１，１０２とを備えている。
【００３１】
反射部１は、円板状の反射部基体１ａと、この反射部基体１ａ上に入射された光を反射する金属薄膜で形成された反射面１ｂとを備え、反射部基体１ａの直径方向の両端から外側へ向かって延設された１対のトーションバー２ａ，２ｂを介して、可動部９に連結されている。
【００３２】
詳細には、可動部９は方形枠状に形成され、反射部１の周囲を囲むように設けられている。そして、反射部基体１ａから延設されたトーションバー２ａ，２ｂの各々の先端部が、可動部９の内周部に連結されている。
【００３３】
反射部１を可動部９に対して揺動させる内側圧電アクチュエータ８１，８２は、各々が半円弧形状に形成され、互いに反射部１を囲むように空隙を隔てて配置されている。内側圧電アクチュエータ８１，８２は、各々の一方の端部が一方のトーションバー２ａを挟んで対向して配置され、各々の他方の端部が他方のトーションバー２ｂを挟んで対向して配置されている。
【００３４】
各内側圧電アクチュエータ８１，８２は、圧電駆動によって屈曲変形するように構成された圧電カンチレバーにより構成されている。これにより、各内側圧電アクチュエータ８１，８２が圧電駆動によって屈曲変形することで、トーションバー２ａ，２ｂは、軸心回りに揺動する。これにより、反射部１は、トーションバーの揺動に伴って該トーションバー２ａ，２ｂの軸心となる第１軸Ｘ１の周りに揺動可能となっている。
【００３５】
支持基体１１は方形枠状に形成され、可動部９の周囲を囲むように設けられている。そして、反射部１及び可動部９を支持基体１１に対して揺動させる一対の外側圧電アクチュエータ１０１，１０２が、支持基体１１の内周部と可動部９の外周部との間で、可動部９を挟んで第２軸Ｘ２の方向に対向するようにして配置されており、これらの外側圧電アクチュエータ１０１，１０２を介して、可動部９が支持基体１１に支持されている。
【００３６】
各外側圧電アクチュエータ１０１，１０２は、圧電駆動によって屈曲変形するように各々構成された複数（図示例では５つ）の圧電カンチレバー３１〜３５を連結して構成されている。圧電カンチレバー３１，３５は、その長さが、圧電カンチレバー３２〜３４の長さの半分程度となるように形成されている。
【００３７】
複数の圧電カンチレバー３１〜３５は、支持基体１１の内周部と可動部９の外周部との間で、第２軸Ｘ２と直交する方向に延在して、第２軸Ｘ２の方向に間隔を存して並ぶように配置されると共に、その各圧電カンチレバー３１〜３５が隣り合う圧電カンチレバーに対して折り返されるように連結されている。従って、各外側圧電アクチュエータ１０１，１０２は、第２軸Ｘ２と直交する方向を振幅方向として蛇行するようにして延在している。
【００３８】
換言すると、外側圧電アクチュエータ１０１，１０２の各々は、各圧電カンチレバー３１〜３５が所謂ミアンダ形状に形成されている。
【００３９】
ここで、各圧電カンチレバー３１〜３５の配置において端に位置する２つの圧電カンチレバー３１，３５のうち、一方の圧電カンチレバーを先端側圧電カンチレバー３１といい、他方の圧電カンチレバーを基端側圧電カンチレバー３５という。また、各圧電カンチレバー３１〜３５のうち、先端側圧電カンチレバー３１及び基端側圧電カンチレバー３５の間に位置する圧電カンチレバーを、中間圧電カンチレバー３２〜３４という。
【００４０】
先端側圧電カンチレバー３１は、一方の端部が可動部９（より詳細には、可動部９の外周部のうち第１軸Ｘ１に平行な辺の、第１軸Ｘ１方向における中央部付近）に連結されている。また、先端側圧電カンチレバー３１は、可動部９に連結されている側とは反対側の端部が、隣り合う圧電カンチレバー３２の当該反対側の端部と同一側の端部に連結されている。
【００４１】
基端側圧電カンチレバー３５は、一方の端部が支持基体１１（より詳細には、支持基体１１の内周部のうち第１軸Ｘ１に平行な辺の、第１軸Ｘ１方向における中央部付近）に連結されている。また、基端側圧電カンチレバー３５は、支持基体１１に連結されている側とは反対側の端部が、隣り合う圧電カンチレバー３４の当該反対側の端部と同一側の端部に連結されている。
【００４２】
中間圧電カンチレバー３２〜３４の各々は、一方の端部が、隣り合う圧電カンチレバーのうち一方の圧電カンチレバー（「３１又は３３」，「３２又は３４」，「３３又は３５」）の当該一方の端部と同一側の端部に連結されている。
【００４３】
また、中間圧電カンチレバー３２〜３４の各々は、当該圧電カンチレバーの一方の端部とは反対側の端部が、隣り合う他方の圧電カンチレバー（「３３又は３１」，「３４又は３２」，「３５又は３３」）の当該反対側の端部と同一側の端部に連結されている。
【００４４】
外側圧電アクチュエータ１０１，１０２が以上のようなミアンダ形状に構成されることにより、可動部９が、外側圧電アクチュエータ１０１，１０２を介して支持基体１１に支持されると共に、各外側圧電アクチュエータ１０１，１０２を構成する圧電カンチレバー３１〜３５の屈曲変形によって、支持基体１１に対して第２軸Ｘ２の周りに揺動可能となっている。
【００４５】
以降の説明では、各外側圧電アクチュエータ１０１，１０２を構成する圧電カンチレバー３１〜３５を各々、可動部９側から順番に１番目、２番目、３番目、４番目、５番目の圧電カンチレバーということがある。また、圧電カンチレバー３１，３３，３５を奇数番目の圧電カンチレバー、圧電カンチレバー３２，３４を偶数番目の圧電カンチレバーということがある。
【００４６】
なお、図示例の光偏向器Ａ１では、各外側圧電アクチュエータ１０１，１０２を構成する圧電カンチレバー３１〜３５の個数は５個であるが、２個以上であればいずれの個数により各外側圧電アクチュエータ１０１，１０２を構成するようにしてもよいことはもちろんである。
【００４７】
内側圧電アクチュエータ８１，８２の各々と、外側圧電アクチュエータ１０１，１０２を構成する圧電カンチレバー３１〜３５の各々とは、図２に模式的な断面図で示すように、起歪体（カンチレバー本体）としての支持体４の層上に下部電極５、圧電体６及び上部電極７の層を積層した構造の圧電カンチレバーである。
【００４８】
このうち内側圧電アクチュエータ８１，８２の各々と、外側圧電アクチュエータ１０１，１０２を構成する圧電カンチレバー３１〜３５の各々とは、下部電極５と上部電極７との間で圧電体６に駆動電圧を印加することで、圧電体６と共に支持体４が屈曲変形するようになっている。
【００４９】
上記外側圧電アクチュエータ１０１，１０２の圧電カンチレバー３１〜３５のうち隣り合う圧電カンチレバーの連結部は、その隣り合う圧電カンチレバーの各々の支持体４を一体に連結した部分となっている。当該連結部には、圧電体６及び上部電極７の層は設けられていない。
【００５０】
また、図１を参照して、支持基体１１上には、８個の電極パッド１２１〜１２６，１３１，１３２が設けられている。
【００５１】
これらの電極パッド１２１〜１２６，１３１，１３２のうち、２つの電極パッド１３１，１３２が、基準電位点となる電極パッド（以下、「下部電極パッド」という）である。
【００５２】
また、以降の説明では、下部電極パッド１３１，１３２以外の６つの電極パッド１２１〜１２６を、上部電極パッドということがある。
【００５３】
電極パッド１２１は、内側圧電アクチュエータ８１の上部電極７と下部電極５との間に駆動電圧を印加するための上部電極パッドである。電極パッド１２２は、内側圧電アクチュエータ８２の上部電極７と下部電極５との間に駆動電圧を印加するための上部電極パッドである。
【００５４】
電極パッド１２３は、外側圧電アクチュエータ１０１の奇数番目の圧電カンチレバー３１，３３，３５の上部電極７と下部電極５との間に駆動電圧を印加するための上部電極パッドである。電極パッド１２４は、外側圧電アクチュエータ１０１の偶数番目の圧電カンチレバー３２，３４の上部電極７と下部電極５との間に駆動電圧を印加するための上部電極パッドである。
【００５５】
電極パッド１２５は、外側圧電アクチュエータ１０２の奇数番目の圧電カンチレバー３１，３３，３５の上部電極７と下部電極５との間に駆動電圧を印加するための上部電極パッドである。電極パッド１２６は、外側圧電アクチュエータ１０２の偶数番目の圧電カンチレバー３２，３４の上部電極７と下部電極５との間に駆動電圧を印加するための上部電極パッドである。
【００５６】
下部電極パッド１３１は、上部電極パッド１２１，１２３，１２４に対して共通の下部電極パッドである。下部電極パッド１３２は、上部電極パッド１２２，１２５，１２６に対して共通の下部電極パッドである。
【００５７】
下部電極５と下部電極パッド１３１，１３２とは、支持体４を構成する半導体基板（例えばシリコン基板）上の金属薄膜（本実施形態では２層の金属薄膜。以下、下部電極層ということがある）を、半導体プレーナプロセスを用いて形状加工することにより形成されている。この金属薄膜の材料としては、例えば、１層目（下層）にはチタン（Ｔｉ）を用い、２層目（上層）には白金（Ｐｔ）が用いられる。
【００５８】
各内側圧電アクチュエータ８１，８２の下部電極５は、該内側圧電アクチュエータ８１，８２の支持体４上のほぼ全面に形成されている。各外側圧電アクチュエータ１０１，１０２の圧電カンチレバー３１〜３５の下部電極５は、各々、支持体４（直線部（各圧電カンチレバー３１〜３５が延在する部分）と連結部とを合わせた全体）上のほぼ全面に形成されている。
【００５９】
そして、下部電極パッド１３１，１３２は、支持基体１１上及び可動部９上に形成された下部電極層を介して、各々、内側圧電アクチュエータ８１，８２の下部電極５、及び外側圧電アクチュエータ１０１，１０２の下部電極５に導通される。
【００６０】
各内側圧電アクチュエータ８１，８２、及び各外側圧電アクチュエータ１０１，１０２の圧電カンチレバー３１〜３５の各々の圧電体６は、半導体プレーナプロセスを用いて、下部電極層上の１層の圧電膜（以下、圧電体層ということがある）を形状加工することにより、各々の下部電極５上に互いに分離して形成されている。この圧電膜の材料としては、例えば、圧電材料であるチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）が用いられる。
【００６１】
この場合、各内側圧電アクチュエータ８１，８２の圧電体６は、各内側圧電アクチュエータ８１，８２毎に、下部電極５上のほぼ全面に形成されている。また、各外側圧電アクチュエータ１０１，１０２の圧電体６は、各圧電カンチレバー３１〜３５の延在部分（直線部）において、下部電極５上のほぼ全面に形成されている。
【００６２】
各上部電極７と、上部電極パッド１２１〜１２６と、これらを導通する上部電極配線（図示せず）は、半導体プレーナプロセスを用いて、圧電体層上の金属薄膜（本実施形態では１層の金属薄膜。以下、上部電極層ということがある）を形状加工することにより形成されている。この金属薄膜の材料としては、例えば白金（Ｐｔ）又は金（Ａｕ）が用いられる。
【００６３】
この場合、内側圧電アクチュエータ８１，８２の上部電極７は、内側圧電アクチュエータ８１，８２毎に、その圧電体６上のほぼ全面に形成されている。外側圧電アクチュエータ１０１，１０２の上部電極７は、圧電カンチレバー３１〜３５毎に、その圧電体６上のほぼ全面に形成されている。
【００６４】
そして、電極パッド１２１，１２２は、各々、内側圧電アクチュエータ８１の上部電極７、内側圧電アクチュエータ８２の上部電極７に、上部電極配線（図示せず）を介して導通される。
【００６５】
また、電極パッド１２３〜１２６は、各々、外側圧電アクチュエータ１０１の奇数番目の圧電カンチレバー３１，３３，３５の上部電極７、外側圧電アクチュエータ１０１の偶数番目の圧電カンチレバー３２，３４の上部電極７、外側圧電アクチュエータ１０２の奇数番目の圧電カンチレバー３１，３３，３５の上部電極７、及び外側圧電アクチュエータ１０２の偶数番目の圧電カンチレバー３２，３４の上部電極７の各々に、上部電極配線（図示せず）を介して導通される。
【００６６】
反射部１の反射面１ｂは、半導体プレーナプロセスを用いて、反射部基体１ａ上の金属薄膜（本実施形態では１層の金属薄膜）を形状加工して形成されている。その金属薄膜の材料としては、例えば、金（Ａｕ）、白金（Ｐｔ）、銀（Ａｇ）、アルミニウム（Ａｌ）等が用いられる。
【００６７】
また、反射部基体１ａと、トーションバー２ａ，２ｂと、支持体４と、可動部９と、支持基体１１とは、複数の層から構成される半導体基板（シリコン基板）を形状加工することにより一体的に形成されている。半導体基板を形状加工する手法としては、フォトリソグラフィ技術又はドライエッチング技術等を利用した半導体プレーナプロセス及びＭＥＭＳプロセスが用いられる。
【００６８】
更に、光偏向器Ａ１は、反射部１の揺動（偏向及び走査）を制御する制御回路（図示省略）に接続されている。制御回路は、ＣＰＵ、プロセッサ、記憶装置等を含む電子回路ユニットである。制御回路は、内側圧電アクチュエータ８１，８２及び外側圧電アクチュエータ１０１，１０２に印加する駆動電圧を制御する。
【００６９】
本実施形態において、反射部１、トーションバー２ａ，２ｂ、内側圧電アクチュエータ８１，８２、及び可動部９が、本発明におけるミラー部を構成している。外側圧電アクチュエータ１０１，１０２が、本発明における「アクチュエータ」に相当する。外側圧電アクチュエータ１０１，１０２の各圧電カンチレバー３１〜３５の支持体４が、本発明における「支持体」に相当する。第２軸Ｘ２が、本発明における「所定の軸」に相当する。
【００７０】
「２．光偏向器の作動」
次に、本実施形態の光偏向器Ａ１の作動について説明する。
【００７１】
光偏向器Ａ１は、例えば、電子写真の画像形成装置又は走査型ディスプレイ等の画像表示装置に備えられ、反射部１に入射する光を、画像投影面等に対して偏向及び走査する。
【００７２】
この場合、内側圧電アクチュエータ８１，８２を圧電駆動することで反射部１の第１軸Ｘ１周りの揺動が行われ、外側圧電アクチュエータ１０１，１０２を圧電駆動することで反射部１（もしくは、可動部９）の第２軸Ｘ２周りの揺動が行われる。反射部１の第１軸Ｘ１周りの揺動と、第２軸Ｘ２周りの揺動とは、各々、例えば水平方向の偏向及び走査、垂直方向の偏向及び走査のための揺動である。
【００７３】
反射部１の第１軸Ｘ１周りの揺動は、以下のように行われる。すなわち、制御回路は、内側圧電アクチュエータ８１の上部電極７と下部電極５との間に第１駆動電圧を印加すると共に、内側圧電アクチュエータ８２の上部電極７と下部電極５との間に第２駆動電圧を印加する。
【００７４】
この場合、第１駆動電圧と第２駆動電圧とは、互いに逆位相、或いは位相のずれた所定周波数の周期性信号である（例えば、正弦波等の交流信号、又は該交流電圧に直流成分が加えられてオフセットされた信号）。
【００７５】
これにより、内側圧電アクチュエータ８１，８２が、互いに逆方向に屈曲変形するように圧電駆動される。これにより、反射部１は、第１軸Ｘ１周りに揺動し、第１軸Ｘ１周りでの光の偏向及び走査が行われる。
【００７６】
本実施形態においては、内側圧電アクチュエータ８１，８２を含む反射部１の機械的な共振周波数付近の周波数の電圧信号を、内側圧電アクチュエータ８１，８２に印加して共振駆動させている。
【００７７】
なお、本実施形態においては、第１駆動電圧及び第２駆動電圧の周波数は30[kHz]である。
【００７８】
反射部１（もしくは可動部９）の第２軸Ｘ２周りの揺動は、次のように行われる。制御回路は、外側圧電アクチュエータ１０１，１０２の各々の奇数番目の圧電カンチレバー３１，３３，３５を圧電駆動するための第３駆動電圧を出力すると共に、外側圧電アクチュエータ１０１，１０２の各々の偶数番目の圧電カンチレバー３２，３４を圧電駆動するための第４駆動電圧を出力する。
【００７９】
ここで、第３駆動電圧と第４駆動電圧とは、互いに逆位相、或いは位相のずれた所定周波数の周期性信号である。例えば、第３駆動電圧及び第４駆動電圧は、正弦波等の交流信号、又は該交流電圧に直流成分が加えられてオフセットされた信号である。
【００８０】
本実施形態では、第３駆動電圧及び第４駆動電圧として、本願出願人が特開２０１２−１８５３１４等に提案したような所定周波数のノコギリ波状の電圧信号を用いている。
【００８１】
詳細には、第３駆動電圧及び第４駆動電圧は、互いに同一周波数で、且つ、互いに逆位相である。そして、第３駆動電圧は、その電圧値が極小値から極大値まで増加していく立ち上がり期間の時間幅をＴ１ａ、電圧値が極大値から次の極小値まで減少していく立ち下がり期間の時間幅をＴ１ｂとしたとき、本実施形態では、「Ｔ１ａ：Ｔ１ｂ＝９：１」となるようにＴ１ａ，Ｔ１ｂの比率があらかじめ設定されている。
【００８２】
また、第４駆動電圧は、第３駆動電圧の波形の逆位相の波形とされている。すなわち、第４駆動電圧は、その電圧値が極小値から極大値まで増加していく立ち上がり期間の時間幅をＴ２ａ、電圧値が極大値から次の極小値まで減少していく立ち下がり期間の時間幅をＴ２ｂとしたとき、「Ｔ２ａ：Ｔ２ｂ＝１：９」となるようにＴ２ａ，Ｔ２ｂの比率があらかじめ設定されている。換言すれば、Ｔ２ａ，Ｔ２ｂの比率は、第１駆動電圧のＴ１ａ，Ｔ１ｂの比率と逆の比率になるように設定されている。
【００８３】
また、本実施形態では、第４駆動電圧は、第３駆動電圧に対して非同期の電圧信号とされ、第４駆動電圧の立ち上がり期間の始点のタイミングが、第３駆動電圧の立ち上がり期間の始点よりも多少遅れたタイミングとなるように、第３駆動電圧と第４駆動電圧との位相差が設定されている。
【００８４】
なお、第４駆動電圧が第３駆動電圧に対して非同期であるということは、第４駆動電圧の電圧値が極小値となるタイミングが、第３駆動電圧の電圧値が極大値となるタイミングと一致しない（すなわち、第４駆動電圧の立ち下がり期間の始点（又は終点）が、第３駆動電圧の立ち上がり期間の始点（又は終点）と一致しない）ことを意味する。
【００８５】
外側圧電アクチュエータ１０１，１０２の各々の奇数番目の圧電カンチレバー３１，３３，３５を上記のような第３駆動電圧により圧電駆動した場合には、基本的には、該第３駆動電圧の電圧値の立ち上がり期間において、１番目の圧電カンチレバー３１の先端部（可動部９との連結部分）と、３番目の圧電カンチレバー３３の先端部（２番目の圧電カンチレバー３２との連結部分）と、５番目の圧電カンチレバー３５の先端部（４番目の圧電カンチレバー３４との連結部分）とが、各々の圧電カンチレバー３１，３３，３５の基端部に対して同じ向き（上向き又は下向き）に変位するように、奇数番目の圧電カンチレバー３１，３３，３５が屈曲変形する。
【００８６】
また、外側圧電アクチュエータ１０１，１０２の各々の偶数番目の圧電カンチレバー３２，３４を上記のような第４駆動電圧により圧電駆動した場合には、基本的には、該第４駆動電圧の電圧値の立ち下がり期間において、２番目の圧電カンチレバー３２の先端部（１番目の圧電カンチレバー３１との連結部分）と、４番目の圧電カンチレバー３４の先端部（３番目の圧電カンチレバー３３との連結部分）とが、各々の圧電カンチレバー３２，３４の基端部に対して、奇数番目の圧電カンチレバー３１，３３，３５の場合と逆向き（下向き又は上向き）に変位するように、偶数番目の圧電カンチレバー３２，３４が屈曲変形する。
【００８７】
これにより、外側圧電アクチュエータ１０１，１０２では、各圧電カンチレバー３１〜３５の屈曲変形の大きさを累積した大きさの角度変位が発生する。
【００８８】
なお、外側圧電アクチュエータ１０１，１０２は、各圧電カンチレバー３１〜３５の屈曲変形の大きさを累積するように構成されている。これにより、第３電圧信号及び第４電圧信号として、外側圧電アクチュエータ１０１，１０２を含む可動部９の機械的な共振周波数（すなわち、外側圧電アクチュエータ１０１，１０２とミラー部による構造体の共振周波数。なお、「外側圧電アクチュエータ１０１，１０２とミラー部による構造体」とは、反射部１、トーションバー２ａ，２ｂ、内側圧電アクチュエータ８１，８２、可動部９、及び外側圧電アクチュエータ１０１，１０２によって構成された構造体である）ではない非共振周波数の電圧信号、又は直流の電圧信号を用いた場合であっても、充分に光走査可能な偏向角を得ることができる。
【００８９】
第３電圧信号及び第４電圧信号として、直流電圧を用いた場合には、各圧電カンチレバー３１〜３５は、直流電圧の大きさに応じて線形的に変化する。従って、例えば周期性を有する電圧信号を印加して圧電カンチレバーを共振駆動させる場合と異なり、直流電圧の大きさを制御することで外側圧電アクチュエータ１０１，１０２から任意の出力を得ることができる。
【００９０】
このように、光偏向器Ａ１では、第２軸Ｘ２周りに揺動する場合には、駆動電圧として印加した直流電圧の大きさに応じて線形的に偏向角を制御することができるので、任意の速度で任意の偏向角を得ることができる。
【００９１】
なお、第３電圧信号及び第４電圧信号として、駆動電圧として外側圧電アクチュエータ１０１，１０２を含む可動部９の機械的な共振周波数付近の周波数の電圧信号を印加して共振駆動させた場合には、外側圧電アクチュエータ１０１，１０２には、より大きな偏向角で光走査することができる。
【００９２】
なお、本実施形態においては、第３駆動電圧及び第４駆動電圧の周波数は60[Hz]である。
【００９３】
「３．圧電カンチレバーの幅の規定」
第３駆動電圧及び第４駆動電圧に含まれる周波数成分が、外側圧電アクチュエータ１０１，１０２及びミラー部（１，２ａ，２ｂ，８１，８２及び９から構成される）による構造体（以下、「対象構造体」という）の共振周波数を含む場合には、対象構造体が不要に共振してしまい、光偏向器Ａ１をうまく作動させることができない。
【００９４】
このため、光偏向器Ａ１を製造するときに、対象構造体の共振周波数が、第３駆動電圧及び第４駆動電圧に含まれる周波数成分（以下、「駆動周波数成分」という）とは異なるように、光偏向器Ａ１を構成することが必要である。
【００９５】
そこで、光偏向器Ａ１を製造するときの一工程である共振周波数規定工程において、外側圧電アクチュエータ１０１，１０２の各圧電カンチレバー３１〜３５の各々の幅を規定することで、駆動周波数成分とは異なる値となるように、対象構造体の共振周波数を規定している。
【００９６】
図３に示されるように、外側圧電アクチュエータ１０１が、所謂ミアンダ形状となるように、各圧電カンチレバー３１〜３５が配置されている。なお、外側圧電アクチュエータ１０２は図３では示されていないが、外側圧電アクチュエータ１０１と同様の構成である。すなわち、各圧電カンチレバー３１〜３５は、その長手方向が同一となり且つ当該長手方向に直交する方向に並んで配置されている。
【００９７】
換言すると、各圧電カンチレバー３１〜３５は、その幅方向が同一となるように配置されている。これにより、各圧電カンチレバー３１〜３５の幅Ｗ１〜Ｗ５の総和（以下、「総幅長」という）が同一であれば、当該幅Ｗ１〜Ｗ５が如何なる長さであっても、当該圧電カンチレバー３１〜３５の幅方向の長さ（以下、「アクチュエータ幅」という）Wactは同一となる。
【００９８】
従って、本実施形態においては、総幅長が、各圧電カンチレバー３１〜３５の幅Ｗ１〜Ｗ５が全て同一のときの総幅長（以下、「基準総幅長」という）と同一となるように、各圧電カンチレバー３１〜３５の幅Ｗ１〜Ｗ５を規定している。これにより、アクチュエータ幅Wactを維持することができる。
【００９９】
なお、総幅長と、「各圧電カンチレバー３１〜３５間の空間の長さＳ１〜Ｓ４（当該空間の、圧電カンチレバー３１〜３５の幅方向の長さ）の総和（以下、「総空間長」という）」とが同一となるように、各圧電カンチレバー３１〜３５の幅Ｗ１〜Ｗ５及び上記空間の長さＳ１〜Ｓ４を規定すれば、アクチュエータ幅Wactを維持することができる。
【０１００】
すなわち、各圧電カンチレバー３１〜３５の幅Ｗ１〜Ｗ５を規定したとき、その総幅長が、基準総幅長と異なる場合には、その差分だけ総空間長を変更することで（総幅長が基準総幅長よりも大きい場合には、総空間長を当該差分だけ減らすように変更し、総幅長が基準総幅長よりも小さい場合には、総空間長を当該差分だけ増やすように変更する）アクチュエータ幅Wactを維持することができる。
【０１０１】
また、共振周波数規定工程では、各圧電カンチレバー３１〜３５の幅Ｗ１〜Ｗ５を変更しているが、各圧電カンチレバー３１〜３５の長さ及び厚さに関しては変更していない。このため、外側圧電アクチュエータ１０１，１０２の各圧電カンチレバー３１〜３５の長手方向及び厚さ方向の大きさが維持される。
【０１０２】
このように、各圧電カンチレバー３１〜３５の長さ及び厚さを維持すると共に、アクチュエータ幅Wactを変更しない範囲で、各圧電カンチレバー３１〜３５の幅Ｗ１〜Ｗ５を規定することで、外側圧電アクチュエータ１０１，１０２の各圧電カンチレバー３１〜３５の長手方向、厚さ方向及び幅方向の大きさ（すなわち、外側圧電アクチュエータ１０１，１０２の外形寸法）を維持できる。
【０１０３】
更に、各圧電カンチレバー３１〜３５の長さが維持されることで、各圧電カンチレバー３１〜３５の屈曲変形の大きさを累積した大きさの角度変位が維持される。これにより、可動部９の第２軸Ｘ２回りの偏向角を、基本的には維持できる。
【０１０４】
図４を参照して、各圧電カンチレバー３１〜３５の幅Ｗ１〜Ｗ５と対象構造体の共振周波数ｆとの関係の具体例について説明する。図４では、各幅Ｗ１〜Ｗ５の単位は「μm」であり、共振周波数ｆの単位は「Hz」である。
【０１０５】
「No.6」は、各圧電カンチレバー３１〜３５の幅Ｗ１〜Ｗ５が同一（700[μm]）のときの実験結果を示す。このとき、対象構造体の共振周波数ｆは、597.65[Hz]である（以下、この共振周波数を「基準共振周波数ｆｂ」という）。
【０１０６】
「No.6」よりも上の「No.1」〜「No.5」は、対象構造体の共振周波数ｆが、基準共振周波数ｆｂよりも高くなったときの実験結果を示す。「No.6」よりも下の「No.7」〜「No.9」は、対象構造体の共振周波数ｆが、基準共振周波数ｆｂよりも低くなったときの実験結果を示す。
【０１０７】
図４の実験結果より、各圧電カンチレバー３１〜３５の幅Ｗ１〜Ｗ５が規定されることで、対象構造体の共振周波数ｆが規定されることが分かる。従って、共振周波数規定工程において、駆動周波数成分とは異なる値となるように、外側圧電アクチュエータ１０１，１０２の各圧電カンチレバー３１〜３５の各々の幅Ｗ１〜Ｗ５を規定することで、対象構造体の不要な共振が発生することを防止できる。
【０１０８】
また、光偏向器Ａ１の外側圧電アクチュエータ１０１，１０２を、前述したノコギリ波で駆動する場合においては、以下に記される理由によって、対象構造体の共振周波数ｆが高くなるように、各圧電カンチレバー３１〜３５の幅Ｗ１〜Ｗ５が規定されることが望まれる場合がある。
【０１０９】
ノコギリ波には、その周波数を基本周波数として、基本周波数の整数倍の高調波成分が含まれている。ノコギリ波に含まれる高調波成分が、対象構造体の共振周波数ｆに含まれる場合には、対象構造体の不要な共振を防止するために、ノコギリ波から、対象構造体の共振周波数ｆに該当する高調波成分を除去した波形（以下、「高調波除去ノコギリ波」という）を、駆動電圧として採用することが考えられる。
【０１１０】
しかしながら、ノコギリ波の形状及び対象構造体の共振周波数ｆによっては、高調波除去ノコギリ波の直線部分に大きなノイズが載る場合がある（以下、このような周波数を「ノイズ周波数」という）。この場合、当該ノイズが、可動部９の第２軸Ｘ２回りの揺動に大きな影響を与えてしまう。
【０１１１】
このようなノイズは、高調波除去ノコギリ波の高調波成分のうち低めの高調波成分を除去することにより生じる（どの程度低めの高調波成分となるかは、ノコギリ波の形状に応じて変化する）。従って、対象構造体の共振周波数ｆが、ノイズ周波数よりも高い値であることが望まれる。
【０１１２】
光偏向器Ａ１の製造時において、例えば、基準共振周波数ｆｂが、ノイズ周波数に該当する場合には、共振周波数規定工程において、対象構造体の共振周波数ｆがノイズ周波数よりも高い値となるように、各圧電カンチレバー３１〜３５の幅Ｗ１〜Ｗ５が規定される。
【０１１３】
この場合、各圧電カンチレバー３１〜３５が、当該圧電カンチレバー３１〜３５が連結された経路（以下、「アクチュエータ連結経路」という）上において、基端側圧電カンチレバー３５から先端側圧電カンチレバー３１に向かうほど、圧電カンチレバーの幅が狭くなるように構成されていればよい。
【０１１４】
少なくともこのように構成することにより、以下に示されるように、対象構造体の共振周波数ｆを、基準共振周波数ｆｂよりも高くすることができる（例えば、図４のNo.1、No.2、No.4）。
【０１１５】
これは、すなわち、対象構造体の共振周波数ｆは、その重量が軽くなるほど高くなる。また、外側圧電アクチュエータ１０１，１０２には、アクチュエータ連結経路上において、基端側圧電カンチレバー３５に近づくほど機械的な強度が高いことが要求される。
【０１１６】
そこで、アクチュエータ連結経路上において基端側圧電カンチレバー３５から先端側圧電カンチレバー３１に向かうほど、圧電カンチレバーの幅を狭くする。これにより、外側圧電アクチュエータ１０１，１０２（ひいては、対象構造体）の重量を軽くして、当該対象構造体の共振周波数ｆを高くしつつ、アクチュエータ連結経路上において基端側圧電カンチレバー３５に近づくほど、機械的な外側圧電アクチュエータ１０１，１０２の強度を高くすることができる。
【０１１７】
なお、本発明において、「基端側圧電カンチレバーから先端側圧電カンチレバーに向かうほど、圧電カンチレバーの幅を狭くする」とは、各圧電カンチレバー３１〜３５の一部において、隣り合う圧電カンチレバーの幅が同一の場合も含む（例えば、図４において、「No.1のW1とW2」又は「No.1のW4とW5」）。
【０１１８】
「４．変形例」
なお、本実施形態においては、先端側圧電カンチレバー３１及び基端側圧電カンチレバー３５と、中間圧電カンチレバー３２〜３４との長さが異なるように形成されている。しかしながら、アクチュエータの態様としては、全てのカンチレバーの長さが同一となるように構成されている態様も取り得る。
【０１１９】
また、本実施形態では、アクチュエータを、第１軸Ｘ１について線対称な一対の外側圧電アクチュエータ１０１，１０２として構成している。しかしながら、アクチュエータの態様としては、第１軸Ｘ１及び第２軸Ｘ２の交点について点対称な一対の圧電アクチュエータとして構成されている態様も取り得る。
【０１２０】
また、アクチュエータの態様としては、本実施形態の外側圧電アクチュエータ１０１，１０２のいずれか片方のみで構成されるような態様も取り得る。
【０１２１】
また、本実施形態では、光偏向器を第１軸Ｘ１及び第２軸Ｘ２の二軸周りで揺動するような態様であるが、これに限らず、光偏向器の態様としては、本実施形態の内側圧電アクチュエータ８１，８２を省略して、一軸（第２軸Ｘ２）周りのみに揺動するような態様も取り得る。この場合、可動部９に対して反射部１が固定されるように構成される。
【０１２２】
また、光偏向器の他の態様の例としては、本実施形態の光偏向器Ａ１において、内側圧電アクチュエータ８１，８２が、外側圧電アクチュエータ１０１，１０２のように、複数の圧電カンチレバーがミアンダ形状に形成されて、第１軸Ｘ１回りに揺動されるように構成された態様も挙げられる。
【０１２３】
この場合には、内側圧電アクチュエータの各圧電カンチレバーの幅を規定することで、反射部１を含む内側圧電アクチュエータの共振周波数を規定できる。
【符号の説明】
【０１２４】
Ａ１…光偏向器、Ｘ２…第２軸（所定の軸）、１ｂ…金属薄膜（反射面）、３１〜３５…圧電カンチレバー、４…支持体、６…圧電体、９…可動部（ミラー部）、１０１，１０２…外側圧電アクチュエータ（アクチュエータ）、１１…支持基体（支持部）、Ｗ１〜Ｗ５…幅。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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