(57)【要約】【課題】有機ＥＬ素子の製造方法において、所望の蒸着レートに相当する坩堝の開口度を導出でき、所望の膜厚の蒸着膜を形成する。【解決手段】有機ＥＬ素子の製造方法は、開口度を制御可能な開口部３０を有する坩堝３１に充填された蒸着材料３２を蒸発させて、蒸発させた蒸着材料３２を被蒸着体２に蒸着させる前に、所望の蒸着レートに相当する開口度を試験的に計測し、計測された開口度に基づいて被蒸着体２に対する蒸着を開始するときの開口度を導出する開始時開口度導出手順を有する。この方法によれば、所望の蒸着レートに相当する開口度を試験的に計測し、所望の蒸着レートに相当する開口度を導出するので、所望の膜厚の蒸着膜を形成することができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
開口度を制御可能な開口部を有する坩堝に充填された蒸着材料を蒸発させて、蒸発させた前記蒸着材料を被蒸着体に蒸着させる有機ＥＬ素子の製造方法であって、
所望の蒸着レートに相当する開口度を試験的に計測し、計測された開口度に基づいて被蒸着体に対する蒸着を開始するときの開口度を導出する開始時開口度導出手順を有することを特徴とする有機ＥＬ素子の製造方法。
【請求項２】
開始時開口度導出手順において、所望の蒸着レートに相当する開口度の調整に要する調整時間から被蒸着体に対する蒸着を開始するときの開口度を導出することを特徴とする請求項１に記載の有機ＥＬの製造方法。
【請求項３】
前記開口度を一定にしたときの前記蒸着材料の蒸着レートの経時変化を計測して、蒸着レートと経過時間との相関データを得る開口度一定蒸着手順と、
前記開口度を変化させたときの開口度毎の前記蒸着材料の蒸着レートを計測して、開口度と蒸着レートとの相関データを得る開口度変更蒸着手順と、を更に有し、
前記開始時開口度導出手順において、前記調整時間における蒸着レートを、前記蒸着レートと経過時間との相関データから算出し、算出された蒸着レートに相当する開口度を、前記開口度と蒸着レートとの相関データから算出し、算出された開口度に基づいて被蒸着体に対する蒸着を開始するときの開口度を導出することを特徴とする請求項２に記載の有機ＥＬ素子の製造方法。
【請求項４】
夫々異なる複数の蒸着材料が充填された複数の坩堝を用いて蒸着を行なう場合に、
前記開口度一定蒸着手順、開口度変更蒸着手順及び開始時開口度導出手順は、前記複数の坩堝の夫々に対して順次行われることを特徴とする請求項３に記載の有機ＥＬ素子の製造方法。
【請求項５】
前記開口度一定蒸着手順及び開口度変更蒸着手順は、被蒸着体に対する蒸着と一連に行われることを特徴とする請求項３又は請求項４に記載の有機ＥＬ素子の製造方法。
【請求項６】
前記開口度一定蒸着手順及び開口度変更蒸着手順は、複数の被蒸着体に対する蒸着が所定回数行われる毎に行われることを特徴とする請求項３又は請求項４に記載の有機ＥＬ素子の製造方法。
【請求項７】
前記開口度一定蒸着手順における開口度は、該開口度一定蒸着手順が行われる直近に行なわれた蒸着時の開口度に基づいて設定されることを特徴とする請求項６に記載の有機ＥＬ素子の製造方法。
【請求項８】
被蒸着体に対する蒸着を開始する前に、前記開始時開口度導出手順で計測された開口度より小さい開口度で前記坩堝を開口させる予備開口手順を有することを特徴とする請求項１乃至請求項７のいずれか一項に記載の有機ＥＬの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被蒸着体に蒸着材料を蒸着させて薄膜を形成する有機ＥＬ素子の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
エレクトロルミネッセンス（ＥＬ）素子は、陽極及び陰極で挟持させた発光層が透明基板上に形成されたものであり、電極間に電圧印加されたとき、発光層にキャリアとして注入された電子及びホールの再結合により生成された励起子によって発光する。ＥＬ素子は、発光層の蛍光物質に有機物を用いた有機ＥＬ素子と、無機物を用いた無機ＥＬ素子に大別される。特に、有機ＥＬ素子は、低電圧で高輝度の発光が可能であり、蛍光物質の種類によって様々な発光色が得られ、また、平面状の発光パネルとしての製造が容易であることから、各種表示装置やバックライトとして用いられる。更に、近年では、高輝度に対応したものが実現され、これを照明器具に用いることが注目されている。
【０００３】
一般的な有機ＥＬ素子は、透光性を有する基板上に、ＩＴＯ等の透明電極、ホール注入層、ホール輸送層、有機発光層、電子輸送層、電子注入層、及び反射性電極等を積層させた構成となっている。これら有機ＥＬ素子を構成する各層は、一般的に、透明電極（陽極）がパターニング形成された基板に、有機発光層等を構成する蒸着材料を蒸着させて薄膜を形成する真空蒸着装置を用いて作製される。真空蒸着装置は、真空チャンバ内に蒸着材料を含む蒸発源及び基板等の被蒸着体を配置し、減圧状態で蒸発源を加熱して蒸着材料を蒸発させ、この蒸発された蒸着材料を被蒸着体の表面に堆積させて、薄膜を形成する（例えば、特許文献１参照）。このとき、単位時間あたりに被蒸着体の表面に堆積される蒸着材料の薄膜の膜厚（以下、蒸着レート）は、蒸着材料が充填される蒸発源の坩堝の開口度を変化させることにより制御される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−１２９２２４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、真空蒸着装置を用いて実際に被蒸着体に蒸着材料を蒸着させる際には、蒸着レートが所望のレート規格幅に収まるように坩堝の開口度を決定する必要がある。しかしながら、坩堝に充填される蒸着材料の性質や充填量、坩堝から蒸着材料への熱伝導性等といった蒸着条件によっては、蒸着レートが所望の規格幅に収まる坩堝の開口度とならないことがある。
【０００６】
本発明は、上記課題を解決するものであり、坩堝に充填された蒸着材料を被蒸着体に蒸着させているとき、所望の蒸着レートに相当する坩堝の開口度を導出でき、所望の膜厚の蒸着膜を形成することができる有機ＥＬ素子の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するため、本発明は、開口度を制御可能な開口部を有する坩堝に充填された蒸着材料を蒸発させて、蒸発させた前記蒸着材料を被蒸着体に蒸着させる有機ＥＬ素子の製造方法であって、所望の蒸着レートに相当する開口度を試験的に計測し、計測された開口度に基づいて被蒸着体に対する蒸着を開始するときの開口度を導出する開始時開口度導出手順を有することを特徴とする。
【０００８】
上記製造方法の開始時開口度導出手順において、所望の蒸着レートに相当する開口度の調整に要する調整時間から被蒸着体に対する蒸着を開始するときの開口度を導出することが好ましい。
【０００９】
上記製造方法において、前記開口度を一定にしたときの前記蒸着材料の蒸着レートの経時変化を計測して、蒸着レートと経過時間との相関データを得る開口度一定蒸着手順と、前記開口度を変化させたときの開口度毎の前記蒸着材料の蒸着レートを計測して、開口度と蒸着レートとの相関データを得る開口度変更蒸着手順と、を更に有し、前記開始時開口度導出手順において、前記調整時間における蒸着レートを、前記蒸着レートと経過時間との相関データから算出し、算出された蒸着レートに相当する開口度を、前記開口度と蒸着レートとの相関データから算出し、算出された開口度に基づいて被蒸着体に対する蒸着を開始するときの開口度を導出することが好ましい。
【００１０】
上記製造方法において、夫々異なる複数の蒸着材料が充填された複数の坩堝を用いて蒸着を行なう場合に、前記開口度一定蒸着手順、開口度変更蒸着手順及び開始時開口度導出手順は、前記複数の坩堝の夫々に対して順次行われることが好ましい。
【００１１】
上記製造方法において、前記開口度一定蒸着手順及び開口度変更蒸着手順は、被蒸着体に対する蒸着と一連に行われることが好ましい。
【００１２】
上記製造方法において、前記開口度一定蒸着手順及び開口度変更蒸着手順は、複数の被蒸着体に対する蒸着が所定回数行われる毎に行われてもよい。
【００１３】
上記製造方法において、前記開口度一定蒸着手順における開口度は、該開口度一定蒸着手順が行われる直近に行なわれた蒸着時の開口度に基づいて設定されることが好ましい。
【００１４】
上記製造方法において、被蒸着体に対する蒸着を開始する前に、前記開始時開口度導出手順で計測された開口度より小さい開口度で前記坩堝を開口させる予備開口手順を有することが好ましい。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、所望の蒸着レートに相当する開口度を試験的に計測し、その計測結果に基づいて所望の蒸着レートに相当する開口度を導出するので、所望の膜厚の蒸着膜を形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の一実施形態に係る有機ＥＬ素子の製造方法に用いられる真空蒸着装置の側断面図。
【図２】（ａ）は開口度調整が短時間で行われたときの坩堝の開口度及び蒸着レートの経時変化を示す図、（ｂ）は開口度調整に長時間要したときの坩堝の開口度及び蒸着レートの経時変化を示す図。
【図３】（ａ）は同製造方法における開口度一定蒸着手順により得られる蒸着レートと経過時間との相関データを示す図、（ｂ）は開口度変更蒸着手順により得られる蒸着レートと坩堝の開口度との相関データを示す図。
【図４】同製造方法における開始時開口度導出フローを示す図。
【図５】（ａ）は同製造方法における開始時開口度導出手順の手順を説明するための蒸着レートと経過時間との相関データを示す図、（ｂ）は同じく蒸着レートと坩堝の開口度との相関データを示す図。
【図６】同製造方法において、開口度調整に長時間要したときの坩堝の開口度及び蒸着レートの経時変化を示す図。
【図７】上記実施形態の変形例に係る有機ＥＬ素子の製造方法に用いられる真空蒸着装置の側断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
本発明の一実施形態に係る有機ＥＬ素子の製造方法について図１乃至図６を参照して説明する。図１は、本実施形態の有機ＥＬ素子の製造方法に用いられる真空蒸着装置（以下、蒸着装置）１の構成を示す。蒸着装置１は、基板等の被蒸着体２に蒸着される蒸着材料を蒸発させる蒸発源３と、蒸発源３及び被蒸着体２の間の空間を囲う筒状体４と、を備える。この蒸着装置１は、室内を減圧状態にすることができるチャンバ室（不図示）内に配置されている。
【００１８】
筒状体４は、上端に開口部４１を有し、この開口部４１に対向するように被蒸着体２が配置される。筒状体４の下端には、蒸発源３が配置され、蒸発源３の配置されていない部分は筒状体４の底部４２を成す。筒状体４の外周面には、シーズヒータ等から構成される筒状体ヒータ（以下、ヒータ４３）が巻き付けられ、このヒータ４３により、筒状体４内が加熱される。また、筒状体４の底部４２には、筒状体４内の温度を測定するための温度センサ４４が設けられ、温度センサ４４の測定情報は、ＣＰＵやメモリ等から構成される筒状体温度制御器４５に出力される。筒状体温度制御器４５は、温度センサ４４の測定情報を受けて電源部（不図示）からヒータ４３に供給される電力量を制御することにより、筒状体４内の温度を管理する。
【００１９】
また、筒状体４は、その側壁に側面開口部４６を有し、この側面開口部４６に面するように膜厚計５が取り付けられている。膜厚計５は、水晶振動子膜厚計等から構成され、側面開口部４６から放出された蒸着材料がその表面に付着した膜の膜厚を自動計測する。また、膜厚計５は、計測された膜厚データを後述する蒸着レート制御器６に出力する。
【００２０】
蒸発源３は、開口部３０を有する坩堝３１内に蒸着材料３２が充填され、坩堝３１の周辺部に設けられた蒸発源ヒータ３３により蒸着材料３２を加熱して蒸発させるものである。坩堝３１は、その開口部３０側が筒状体４の底部４２と同じ高さになるように、筒状体４に取り付けられる。蒸着材料３２には、任意の材料が用いられるが、例えば、有機半導体材料等の有機材料が好適に用いられる。坩堝３１の周辺部には、蒸発源ヒータ３３が配されている。また、坩堝３１には、その温度を測定するための温度センサ３４が設けられ、温度センサ３４の測定情報は、蒸発源温度制御器３５に出力される。この蒸発源温度制御器３５は、蒸着レート制御器６に接続される。蒸着レート制御器６は、温度センサ３４の測定情報を受けて電源部（不図示）から蒸発源ヒータ３３に供給する電力量を制御することにより、坩堝３１内の温度を調節する。
【００２１】
また、坩堝３１の開口部３０には、その開口面積を可変とするバルブ３６が設けられる。バルブ３６の開閉は、バルブ制御器３７によって制御される。このバルブ制御器３７は、蒸着レート制御器６に接続され、蒸着レート制御器６から受信したバルブ制御情報に従ってバルブ３６を開閉する。
【００２２】
蒸着レート制御器６は、蒸着レートといったユーザの操作情報を入力するための入力部６１と、蒸着レートとバルブ３６の開口度との相関等を記憶する記憶部６２と、上記蒸発源温度制御器３５及びバルブ制御器３７の駆動を制御する制御部６３と、を備える。制御部６３は、バルブ３６の開口度が、後述する手順に基づいて導出された値となるように、バルブ制御器３７に対して所定の制御信号を出力し、バルブ３６の開口度の制御により、被蒸着体２に蒸着させる蒸着材料３２の蒸着レートを制御する。
【００２３】
本実施形態の有機ＥＬ素子の製造方法では、上述した蒸着装置１を用いて被蒸着体２に対して蒸着を行なうときに、以下に説明する開始時開口度導出手順を実行する。この開口度導出手順は、所望の蒸着レートに相当するバルブ３６の開口度を試験的に計測し、計測された開口度に基づいて被蒸着体２に対する蒸着を開始するときの開口度を導出するものである。
【００２４】
つまり、バルブ３６の開口度を所定値に設定し、蒸発した蒸着材料３２を膜厚計の表面に付着させて蒸着レートを計測し、この蒸着レートが規格幅にあることを試験的に確認する開口度調整を行う。そして、図２（ａ）に示すように、例えば、バルブ３６の開口度をある値に設定し、上記開口度において所望の蒸着レートとなることを確認した後、実際の蒸着においてバルブ３６の開口度を上記値に決定する。こうすれば、上記開口度調整の後にバルブ３６を閉じ、実際に被蒸着体２に蒸着材料３２を蒸着させる際に、上記開口度でバルブ３６を開口すれば、所望の蒸着レートを得ることができる。
【００２５】
しかしながら、坩堝３１中の蒸着材料３２が、坩堝２１を加熱するヒータ３３の位置から離れた位置に偏在していると、蒸着材料３２の加熱効率が低くなる。そのため、バルブ３６の開口度と蒸着レートとが正比例しないことがある。また、図２（ｂ）に示すように、バルブ３６の開口度が一定であれば、一般的に蒸着レートは徐々に低下する。このとき、蒸着レートを規格幅に収まるようにするには、開口度を大きくする必要がある。図２（ａ）で示したように、開口度調整が短時間（３０秒）で行われれば、蒸着レートの低下は少ないが、図２（ｂ）に示したように、開口度調整に１８０秒以上の長い時間がかかると、所望の蒸着レートに相当する開口度が必要以上に大きくなることがある。その結果、実際に被蒸着体２に対して蒸着を行なう際には、所望の蒸着レートに相当する開口度よりも大きくなり、蒸着レートが規格幅を超え、所望の膜厚の薄膜を得られないことがある。
【００２６】
そこで、本実施形態の製造方法では、開口度導出手順において、所望の蒸着レートに相当する開口度の調整に要する調整時間から被蒸着体２に対する蒸着を開始するときの開口度を導出する。また、この開口度導出手順に先立って、以下に説明する開口度変更蒸着手順、及び開始時開口度導出手順を、予め実行する。なお、いずれの手順においても、坩堝３１の温度は一定に制御されているものとする。
【００２７】
開口度一定蒸着手順では、バルブ３６の開口度を一定にしたときの蒸着材料３２の蒸着レートの経時変化を計測する。まず、バルブ３６を閉めた状態で、成膜される蒸着材料３２が充填された坩堝３１を加熱して蒸着材料３２を蒸着させる。そして、バルブ３６の開口度が、所定の蒸着レートに相当する開口度になるようにバルブ３６を開ける。ここでは、例えば、図３（ａ）に示すように、バルブ３６の開口度が、蒸着レートが１．００Å／ｓに相当する開口度となるようにバルブ３６を開け、この開口度を維持したまま、所定時間（本例では１４００ｓ）、蒸着材料３２を蒸発させる。バルブ３６から放出された蒸着材料３２は、筒状体４内に放出され、膜厚計５の表面に付着する。膜厚計５は、付着した蒸着材料３２の膜厚を経時的に測定する。これにより、計測された蒸着レートの経時変化、つまり蒸着レートと経過時間との相関データ（ａ）が得られ、この相関データ（ａ）が記憶部６２に記憶される。
【００２８】
次に、開口度変更蒸着手順では、バルブ３６の開口度を変化させたときの開口度毎の蒸着材料３２の蒸着レートを計測する。ここでも、まず、バルブ３６を閉めた状態で、成膜される蒸着材料３２が充填された坩堝３１を加熱して蒸着材料３２を蒸着させる。そして、バルブ３６の開口度が、本例では、図３（ｂ）に示すように、０％から１００％になるまで次第に大きくなるようにバルブ３６を開ける。そして、上記と同様に、膜厚計５が、その表面に付着した蒸着材料３２の膜厚を開口度毎に測定する。これにより、バルブ３６の開口度と蒸着材料３２の蒸着レートとの相関データ（ｂ）を得ることができる。得られた相関データ（ｂ）は、相関データ（ａ）と同様に、記憶部６２に記憶される。
【００２９】
続いて、開始時開口度導出手順を、図４に示すフローに従って実行し、実際に被蒸着体２に対して蒸着材料３２を蒸着させるときのバルブ３６の開口度を導出する。まず、ユーザが所望の蒸着レートを設定する。そして、所望の蒸着レートに相当する開口度（Ｂ１）の調整に要する調整時間（ｔ）を試験的に計測する。ここでは、膜厚計５を用いて、蒸着レートが所望の蒸着レートになるように開口度を調整する。なお、上述したように、開口度が一定であっても、蒸着レートは必ずしも一定ではない。従って、バルブ３６の開口度を、ここで言う「所望の蒸着レートに相当する開口度（Ｂ１）」に設定したとしても、必ずしも「所望の蒸着レート」が得られるとは限らない。調整時間が計測されると、実際に被蒸着体２に対して蒸着を行なうまでの間、バルブ３６は閉じられる。
【００３０】
次に、調整時間が計測されると、この調整時間における蒸着レートの変化量を算出する。例えば、図５（ａ）に示すように、バルブ３６の開口度が、蒸着レート１．００Å／ｓに相当する開口度に調整されるのに要する調整時間（ｔ）が４００ｓであったとき、相関データ（ａ）における時間４００ｓに対応する蒸着レート０．９２Å／ｓを算出する。次に、図５（ｂ）に示すように、算出された蒸着レート０．９２Å／ｓに相当する開口度を、開口度と蒸着レートとの相関データから算出し、算出された開口度（Ｂ２）＝７７％に基づいて、被蒸着体２に対する蒸着を開始するときの開口度を導出する。
【００３１】
つまり、図６に示すように、本実施形態の有機ＥＬ素子の製造方法によれば、実際に被蒸着体２に対して蒸着を行なう際には、試験的に行なわれた開口度の調整時間に応じて、調整時の開口度よりも小さな値にオフセットする。これにより、所望の蒸着レートに相当する開口度を導出することができ、蒸着レートを規定幅に収めて、所望の膜厚の蒸着膜を形成することができる。
【００３２】
また、本実施形態においては、被蒸着体２に対する蒸着を開始する前に、開始時開口度導出手順で計測された開口度（Ｂ２）より小さい開口度で坩堝３１のバルブ３６を開口させる予備開口手順を実行することが好ましい。この手順を実行すれば、坩堝３１を真空チャンバと同様の減圧状態とし、蒸着材料３２の突沸を抑制することができる。
【００３３】
開口度一定蒸着手順及び開口度変更蒸着手順は、被蒸着体２に対する蒸着と一連に行われることが好ましい。上述したバルブ３６の開口度と蒸着レートとの相関関係は、坩堝３１の蒸着材料３２の充填量や位置等にも影響される。そのため、上記各手順が、実際の蒸着の直前に行なわれることにより、より信頼性の高い上記相関データ（ａ）（ｂ）が得られ、これらの相関データ（ａ）（ｂ）から、より確実に所望の蒸着レートに相当する開口度を導出することができる。
【００３４】
また、直近に同条件で蒸着が行われた場合には、上記開口度（Ｂ１）は、その蒸着時の開口度に基づいて設定されてもよい。つまり、この方法によれば、直近の蒸着で設定された開口度を、蒸着ロット毎にフィードバック補正することになるので、より安定的に蒸着レートを規定幅に収めることができ、所望の膜厚の蒸着膜を形成することができる。また、直近に同条件で蒸着が行われた場合には、開口度を大幅に変化させることはなく、調整時間（ｔ）が短くなるので、開口度のオフセット量も少なくなり、効率的に蒸着を行なうことができる。
【００３５】
なお、同条件で蒸着が繰り返される場合には、開口度を大幅に変化させることはないので、開口度一定蒸着手順及び開口度変更蒸着手順は、複数の被蒸着体２に対する蒸着が所定回数行われる毎に行われてもよい。例えば、１０枚の基板に対する蒸着を１つの蒸着ロットとしたとき、４〜１０蒸着ロットを連続して行なう毎に、開口度一定蒸着手順及び開口度変更蒸着手順を実行すればよい。ただし、開口度一定蒸着手順によって得られる相関データ（ａ）は、比較的再現性が低いので、開口度変更蒸着手順よりも多い頻度で行われることが望ましい。
【００３６】
次に、上記実施形態の変形例に係る有機ＥＬ素子の製造方法について、図７を参照して説明する。図７は、この変形例に係る有機ＥＬ素子の製造方法に用いられる蒸着装置１の構成を示す。この蒸着装置１は、夫々異なる複数の蒸着材料３２ａ，３２ｂが充填され複数の坩堝３１ａ，３１ｂを有する各蒸発源３ａ，３ｂを備えたものである。各坩堝３１ａ，３１ｂには、夫々バルブ３６ａ，３６ｂが設けられており、バルブ制御器３７ａ，３７ｂにより夫々の開口度を個別に制御することができる。また、各蒸発源３ａ，３ｂは、夫々蒸発源ヒータ３３ａ，３３ｂ及び温度センサ３４ａ，３４ｂを有し、これらが蒸発源温度制御器３５ａ,３５ｂにより制御される。
【００３７】
そして、この変形例に係る有機ＥＬ素子の製造方法では、蒸着を行なう際に、夫々異なる蒸着材料３２ａ，３２ｂが充填された坩堝３１ａ，３１ｂの夫々に対して、上述した開口度一定蒸着手順、開口度変更蒸着手順及び開始時開口度導出手順を順次行う。上記相関データ（ａ）（ｂ）は、蒸着材料３２ａ，３２ｂの性質や充填量によって異なるので、各坩堝３１ａ，３１ｂについて、上記各手順を実行することで、より信頼性の高い相関データ（ａ）（ｂ）が得られる。そして、これらの相関データ（ａ）（ｂ）から、より確実に所望の蒸着レートに相当するバルブ３６ａ，３６ｂの開口度を導出することができる。なお、ここでは、２個の蒸発源３ａ，３ｂを備えた例を挙げたが、３個以上であっても同様に、各坩堝の夫々に対して、上述した開口度一定蒸着手順、開口度変更蒸着手順及び開始時開口度導出手順が順次行われる。
【００３８】
なお、本発明は、上述した実施形態に限らず種々の変形が可能である。例えば、上述した実施形態においては、坩堝３１の温度を一定に制御した例に基づいて説明したが、適宜に坩堝３１の温度を高めて、蒸着レートが長時間に亘ってレート規定幅に収まるように維持されるようにしてもよい。こうすれば、より多くの被蒸着体２に対して蒸着を行なうことができる。また、例えば、上記変形例では、一方の坩堝３１ａの開口度を決定する際には、他方の坩堝３１ｂは閉じた状態にするが、坩堝３１ａ，３１ｂの各温度は、それらの両方を実際の蒸着する時と同じ温度に設定される。すなわち、坩堝３１ａ，３１ｂの位置関係によっては、一方の坩堝３１ａの蒸着レート及び開口度が、他方の坩堝３１ｂの温度に影響されることがある。従って、複数の蒸発源３がある場合には、夫々を別個に蒸着するときの相関データではなく、両方を蒸着するときの相関データを得ることが望ましい。
【符号の説明】
【００３９】
２    被蒸着体
３０    開口部
３１    坩堝
３２    蒸着材料
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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