(57)【要約】      （修正有）【課題】金属薄板の寸法を精度良く測定することのできる金属薄板の寸法測定装置、及び、金属薄板の寸法測定方法を提供する。【解決手段】金属薄板３１の対向する両縁部領域を保持するようになっている一対の保持機構２２ａ、２２ｂと、前記一対の保持機構２２ａ、２２ｂの互いに対する距離を拡げることによって金属薄板３１に対し引張力を与えるようになっている引張機構２３と、引張力を与えられた状態の金属薄板３１の少なくとも１つの寸法を測定する測定機構１３と、を備えた金属薄板３１の寸法測定装置１１。【選択図】図１
2014153124.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属薄板の対向する両縁部領域を保持するようになっている一対の保持機構と、
前記一対の保持機構の互いに対する距離を拡げることによって前記金属薄板に対し引張力を与えるようになっている引張機構と、
前記引張力を与えられた状態の前記金属薄板の少なくとも１つの寸法を測定する測定機構と、
を備えたことを特徴とする金属薄板の寸法測定装置。
【請求項２】
前記測定機構は、前記引張力を与えられた状態の前記金属薄板の画像を撮像する測定用カメラと、撮像された画像を処理する画像処理装置と、を有している
ことを特徴とする請求項１に記載の金属薄板の寸法測定装置。
【請求項３】
前記引張力を与えられた状態の前記金属薄板に対して、前記測定用カメラとは反対の側に設けられた照明装置
を更に備えたことを特徴とする請求項２に記載の金属薄板の寸法測定装置。
【請求項４】
前記引張機構は、バネである
ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の金属薄板の寸法測定装置。
【請求項５】
金属薄板の対向する両縁部領域を各対が保持するようになっている複数対の保持機構と、
各対の保持機構の互いに対する距離を拡げることによって前記金属薄板に対し引張力を与えるようになっている複数の引張機構と、
前記引張力を与えられた状態の前記金属薄板の少なくとも１つの寸法を測定する測定機構と、
を備えたことを特徴とする金属薄板の寸法測定装置。
【請求項６】
一対の保持機構によって金属薄板の対向する両縁部領域を保持する工程と、
引張機構によって前記金属薄板を保持した状態の前記一対の保持機構の互いに対する距離を拡げることによって前記金属薄板に対し引張力を与える工程と、
測定機構によって前記引張力を与えられた状態の前記金属薄板の少なくとも１つの寸法を測定する工程と、
を備えたことを特徴とする金属薄板の寸法測定方法。
【請求項７】
前記測定する工程は、前記引張力を与えられた状態の前記金属薄板の画像を測定用カメラによって撮像する工程と、撮像された画像を処理する工程と、を含んでいる
ことを特徴とする請求項６に記載の金属薄板の寸法測定方法。
【請求項８】
前記測定する工程は、前記測定用カメラとは反対の側に設けられた照明装置によって前記引張力を与えられた状態の前記金属薄板を照らす工程を含んでいる
ことを特徴とする請求項７に記載の金属薄板の寸法測定方法。
【請求項９】
複数対の保持機構の各対によって金属薄板の対向する両縁部領域を保持する工程と、
複数の引張機構によって前記金属薄板を保持した状態の前記複数対の保持機構の各対の互いに対する距離を拡げることによって前記金属薄板に対し引張力を与える工程と、
測定機構によって前記引張力を与えられた状態の前記金属薄板の少なくとも１つの寸法を測定する工程と、
を備えたことを特徴とする金属薄板の寸法測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、金属薄板の寸法測定装置及び金属薄板の寸法測定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）用の蒸着マスクなどに用いられるメタルマスクは、厚さ数十μｍ〜数百μｍの金属薄板に、所望のパターンにエッチング（穴あけ）加工して開口部を形成することにより作製される。メタルマスクは、取り扱いやすいように、架張された状態で剛性のあるフレームに溶接される。
【０００３】
メタルマスクをフレームに溶接する際の作業不良を削減したりメタルマスクのパターン不良の有無を検査するために、メタルマスクの各種の寸法、例えば外形寸法、開口部の寸法、開口部のピッチ間隔等が、寸法測定装置を用いて測定されている。
【０００４】
例えば特許文献１（特許第５０５７４９１号公報）には、そのような寸法測定装置の従来例が開示されている。この寸法測定装置は、引張力を与えられた状態の金属薄板のパターン不良の有無を検査する装置に関している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第５０５７４９１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１の寸法測定装置では、測定対象である金属薄板を支持台の上に置いた状態で金属薄板に引張力を加える機構になっているため、支持台の汚れや異物などが金属薄板に付着してしまう。また、金属薄板に引張力を与える際、金属薄板と支持台との間の摩擦により金属薄板が変形してしまう。金属薄板の寸法を測定する際、金属薄板に汚れや異物が付着していたり、金属薄板が変形していた場合には、金属薄板の寸法を精度良く測定することができない。
【０００７】
本発明は、このような点を考慮してなされたものであり、金属薄板の寸法を精度良く測定することのできる金属薄板の寸法測定装置、及び、金属薄板の寸法測定方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、金属薄板の対向する両縁部領域を保持するようになっている一対の保持機構と、前記一対の保持機構の互いに対する距離を拡げることによって前記金属薄板に対し引張力を与えるようになっている引張機構と、前記引張力を与えられた状態の前記金属薄板の少なくとも１つの寸法を測定する測定機構と、を備えたことを特徴とする金属薄板の寸法測定装置である。
【０００９】
本発明によれば、金属薄板は一対の保持機構によって保持されて引張機構によって引っ張られた状態で少なくとも１つの寸法が測定される。したがって、測定されるべき金属薄板が湾曲していたり浮き上がったりしていたとしても、そのような変形状態が除去ないし緩和された状態で金属薄板の寸法が測定されるため、測定精度が向上する。また、金属薄板はその両縁部領域を保持された状態で引張力が与えられるため、金属薄板がその下面を支持されていない状態で金属薄板に対し引張力を与えることが可能である。このため、金属薄板に対し引張力を与える際に金属薄板と支持台との間の摩擦により金属薄板が変形してしまう、ということを防ぐことが可能である。また、支持台の汚れや異物などが金属薄板に付着する、ということも防ぐことが可能である。この結果、金属薄板の測定精度がさらに向上する。
【００１０】
好ましくは、前記測定機構は、前記引張力を与えられた状態の前記金属薄板の画像を撮像する測定用カメラと、撮像された画像を処理する画像処理装置と、を有している。この場合、金属薄板の寸法を容易に測定することができる。
【００１１】
また、好ましくは、前記金属薄板の寸法測定装置は、前記引張力を与えられた状態の前記金属薄板に対して、前記測定用カメラとは反対の側に設けられた照明装置を更に備えている。この場合、金属薄板の寸法をさらに精度良く測定することができる。
【００１２】
また、好ましくは、前記引張機構は、バネである。この場合、金属薄板に対し引張力を与えることが、容易である。
【００１３】
あるいは、本発明は、金属薄板の対向する両縁部領域を各対が保持するようになっている複数対の保持機構と、各対の保持機構の互いに対する距離を拡げることによって前記金属薄板に対し引張力を与えるようになっている複数の引張機構と、前記引張力を与えられた状態の前記金属薄板の少なくとも１つの寸法を測定する測定機構と、を備えたことを特徴とする金属薄板の寸法測定装置である。
【００１４】
本発明によれば、金属薄板に二次元的に（平面的に）引張力が与えられるため、金属薄板の変形状態が二次元的に除去ないし緩和され、測定精度がより一層向上する。
【００１５】
あるいは、本発明は、一対の保持機構によって金属薄板の対向する両縁部領域を保持する工程と、引張機構によって前記金属薄板を保持した状態の前記一対の保持機構の互いに対する距離を拡げることによって前記金属薄板に対し引張力を与える工程と、測定機構によって前記引張力を与えられた状態の前記金属薄板の少なくとも１つの寸法を測定する工程と、を備えたことを特徴とする金属薄板の寸法測定方法である。
【００１６】
本発明によれば、金属薄板は一対の保持機構によって保持されて引張機構によって引っ張られた状態で少なくとも１つの寸法が測定される。したがって、測定されるべき金属薄板が湾曲していたり浮き上がったりしていたとしても、そのような変形状態が除去ないし緩和された状態で金属薄板の寸法が測定されるため、測定精度が向上する。また、金属薄板はその両縁部領域を保持された状態で引張力が与えられるため、金属薄板がその下面を支持されていない状態で金属薄板に対し引張力を与えることが可能である。このため、金属薄板に対し引張力を与える際に金属薄板と支持台との間の摩擦により金属薄板が変形してしまう、ということを防ぐことが可能である。また、支持台の汚れや異物などが金属薄板に付着する、ということも防ぐことが可能である。この結果、金属薄板の測定精度がさらに向上する。
【００１７】
好ましくは、前記測定する工程は、前記引張力を与えられた状態の前記金属薄板の画像を測定用カメラによって撮像する工程と、撮像された画像を処理する工程と、を含んでいる。この場合、金属薄板の寸法を容易に測定することができる。
【００１８】
また、好ましくは、前記測定する工程は、前記測定用カメラとは反対の側に設けられた照明装置によって前記引張力を与えられた状態の前記金属薄板を照らす工程を含んでいる。この場合、金属薄板の寸法をさらに精度良く測定することができる。
【００１９】
あるいは、本発明は、複数対の保持機構の各対によって金属薄板の対向する両縁部領域を保持する工程と、複数の引張機構によって前記金属薄板を保持した状態の前記複数対の保持機構の各対の互いに対する距離を拡げることによって前記金属薄板に対し引張力を与える工程と、測定機構によって前記引張力を与えられた状態の前記金属薄板の少なくとも１つの寸法を測定する工程と、を備えたことを特徴とする金属薄板の寸法測定方法である。
【００２０】
本発明によれば、金属薄板に二次元的に（平面的に）引張力を与えるため、金属薄板の変形状態が二次元的に除去ないし緩和され、測定精度がより一層向上する。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、金属薄板は一対の保持機構によって保持されて引張機構によって引っ張られた状態で少なくとも１つの寸法が測定される。したがって、測定されるべき金属薄板が湾曲していたり浮き上がったりしていたとしても、そのような変形状態が除去ないし緩和された状態で金属薄板の寸法が測定されるため、測定精度が向上する。また、金属薄板はその両縁部領域を保持された状態で引張力が与えられるため、金属薄板がその下面を支持されていない状態で金属薄板に対し引張力を与えることが可能である。このため、金属薄板に対し引張力を与える際に金属薄板と支持台との間の摩擦により金属薄板が変形してしまう、ということを防ぐことが可能である。また、支持台の汚れや異物などが金属薄板に付着する、ということも防ぐことが可能である。この結果、金属薄板の測定精度がさらに向上する。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の第１の実施の形態による寸法測定装置の一例を概略的に示す斜視図。
【図２】寸法測定装置で測定される金属薄板の寸法の例を説明するための概略図。
【図３】寸法測定装置で測定される金属薄板の寸法の例を説明するための概略図。
【図４】本発明の第１の実施の形態による寸法測定装置における、保持機構と、引張機構と、を概略的に示す平面図。
【図５】図４におけるＶ−Ｖ線断面図を概略的に示す図。
【図６】図４におけるＶＩ−ＶＩ線断面図を概略的に示す図。
【図７】本発明の第１の実施の形態による寸法測定装置における引張機構を概略的に示す図。詳しくは、図７（ａ）が、引張力付与前の状態を示しており、図７（ｂ）が引張力付与時の状態を示している。
【図８】本発明の第２の実施の形態による寸法測定装置における、保持機構と、引張機構と、を概略的に示す平面図である。
【図９】本発明の第２の実施の形態による寸法測定装置における保持機構を概略的に示す側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
【００２４】
図１は、本発明の第１の実施の形態による寸法測定装置を概略的に示す斜視図である。図１に示すように、本実施の形態の寸法測定装置１１は、金属薄板３１の対向する両縁部領域を保持するようになっている一対の保持機構２２ａ，２２ｂと、一対の保持機構２２ａ，２２ｂの互いに対する距離を拡げることによって金属薄板３１に対し引張力を与えるようになっている引張機構２３と、引張力を与えられた状態の金属薄板３１の少なくとも１つの寸法を測定する測定機構１３と、を備えている。図１の例では、引張力を与えられた状態の金属薄板３１が並列に４枚並んでいる。
【００２５】
本実施の形態においては、測定機構１３は、引張力を与えられた状態の金属薄板３１の画像を撮像する測定用カメラ１３１と、撮像された画像を処理する画像処理装置１３２と、を有している。測定用カメラ１３１は、引張力を与えられた状態の金属薄板３１上を、鉛直方向、水平面内の縦方向及び横方向に、金属薄板３１に対して相対的に移動することができるようになっている。
【００２６】
また、本実施の形態においては、寸法測定装置１１は、引張力を与えられた状態の金属薄板３１に対して測定用カメラ１３１とは反対の側に、照明装置１５を有している。
【００２７】
測定機構１３によって測定される金属薄板３１の寸法とは、例えば金属薄板３１が有機ＥＬ用の蒸着マスクなどに用いられるメタルマスクの作製に用いられる場合、図２に示すように、メタルマスク３４が作製される領域であるメタルマスク作製領域３３の幅ａや、各メタルマスク３４の横幅ｂないし縦幅ｃである。あるいは、図３に示すように、メタルマスク開口部３５の横幅ｄないし縦幅ｅ、メタルマスク開口部３５の横方向のピッチ間隔ｆないし縦方向のピッチ間隔ｇ等である。あるいは、メタルマスク開口部３５の形状やメタルマスク開口部３５の端部位置、メタルマスク開口部３５以外の開口の有無などである。画像処理の際には、金属薄板３１に付された測定マーク３２の中心位置を割り出したり、パターンマッチング、濃淡処理、エッジ処理などを行うことにより、金属薄板３１の各寸法が決定（測定）される。
【００２８】
金属薄板３１を保持する一対の保持機構２２ａ，２２ｂは、図４に示すように、互いに対して平行に延びる一対の長手方向枠体２５の間に、金属薄板３１の対向する両端側の各辺を保持するように互いに対して離間して設けられている。詳しくは、一方の保持機構２２ａは、一対の長手方向枠体２５の一方の端部付近において長手方向枠体２５に沿って移動可能に設けられており、他方の保持機構２２ｂは、一対の長手方向枠体２５の他方の端部において長手方向枠体２５に固定されている。
【００２９】
各保持機構２２ａ，２２ｂは、図４乃至図６に示すように、全体として矩形の平板な板状部材である保持基台２２０ａ，２２０ｂと、同じく全体として矩形の平板な板状部材である押付板２２１ａ，２２１ｂと、押付板２２１ａ，２２１ｂを保持基台２２０ａ，２２０ｂ上に固定するボルト２２３ａ，２２３ｂと、を有している。
【００３０】
各保持基台２２０ａ，２２０ｂには、金属薄板３１の対向する両縁部領域を各保持基台２２０ａ，２２０ｂ上に載置する際に各縁部領域の各保持基台２２０ａ，２２０ｂ上における載置姿勢を案内するための案内ピン８１ａ，８１ｂが、金属薄板３１の両縁部領域が載置される側の面から突出するように設けられている。
【００３１】
一方の保持基台２２０ａには、図５に示すように、一方の保持基台２２０ａの両側部に、長手方向枠体２５に沿って平行に延びる貫通孔２２４が、それぞれ設けられている。各貫通孔２２４には、一方の保持基台２２０ａを支持する支持棒２２５が、通されている。
【００３２】
各支持棒２２５は、一対の長手方向枠体２５の対向する各内側面２５１に、当該内側面２５１に平行に固定されている。具体的には、各支持棒２２５は、当該支持棒２２５の両端部において一方の固定部材２２６ａ及び他方の固定部材２２６ｂによって長手方向枠体２５の内側面２５１から離間した状態で固定されており、一方の保持基台２２０ａを支持棒２２５に沿って移動可能に支持するようになっている。
【００３３】
他方の保持基台２２０ｂは、図６に示すように、他方の保持基台２２０ｂの両側部において、長手方向枠体２５の対向する内側面２５１に固定されている。
【００３４】
引張機構２３は、本実施の形態においては、コイルバネ２３であり、一対の保持機構２２ａ，２２ｂの互いに対する距離を拡げることによって金属薄板３１に対し引張力を与えることができるようになっている。具体的には、コイルバネ２３は、長手方向枠体２５の他方の端部側に設けられた他方の固定部材２２６ｂと、一方の保持基台２２０ａと、の間において支持棒２２５に通されており、一方の保持基台２２０ａに対して図４の右方向に（一対の保持機構２２ａ，２２ｂを互いに離すように）付勢することができるようになっている。なお、コイルバネ２３の長さは、金属薄板３１に対して引張力を与えつつ一方の保持基台２２０ａを一方の固定部材２２６ａに押しつけることができる程度に、十分長い。
【００３５】
本実施の形態においては、一対の長手方向枠体２５の一方の端部の間に、短手方向枠体２６が、設けられている。短手方向枠体２６は、その両端部において長手方向枠体２５の対向する内側面２５１に固定されている。
【００３６】
短手方向枠体２６には、一方の保持機構２２ａのコイルバネ２３による移動を阻止するストッパ２７が、設けられている。本実施の形態では、ストッパ２７は、つっかえ棒２７１と、つっかえ棒２７１の一方の端部においてつっかえ棒２７１を回動自在に短手方向枠体２６に固定するストッパ軸２７３とを含み、つっかえ棒２７１を回動させて短手方向枠体２６に対して平行な姿勢にしたり長手方向枠体２５に対して平行な姿勢にしたりすることができるようになっている。
【００３７】
次に、このような構成からなる本実施の形態の作用について説明する。
【００３８】
まず、金属薄板３１が一対の保持機構２２ａ，２２ｂによって保持される前に、一方の保持機構２２ａが、コイルバネ２３を押し縮めながら他方の保持機構２２ｂ方向に移動される。続いて、ストッパ２７のつっかえ棒２７１が、ストッパ軸２７３を中心に回動されて長手方向枠体２５に対して平行な姿勢にされ、つっかえ棒２７１の他方の端部が、一方の保持機構２２ａの保持基台２２０ａに当接される。これにより、一方の保持機構２２ａのコイルバネ２３による移動が、阻止される（図７（ａ）参照）。一対の保持機構２２ａ，２２ｂのボルト２２３ａ，２２３ｂ及び押付板２２１ａ，２２１ｂは、保持基台２２０ａ，２２０ｂから取り外されている。
【００３９】
次に、金属薄板３１の対向する両縁部領域の各々が、その一側の縁部領域が案内ピン８１ａ，８１ｂに当接された状態で一対の保持機構２２ａ，２２ｂの保持基台２２０ａ，２２０ｂの各々の上に載置される。
【００４０】
そして、金属薄板３１の対向する両縁部領域が、一対の保持機構２２ａ，２２ｂによって保持される。具体的には、各保持機構２２ａ，２２ｂにおいて、金属薄板の各縁部領域が、保持基台２２０ａ，２２０ｂと押付板２２１ａ，２２１ｂとによって挟まれ、この状態で、押付板２２１ａ，２２１ｂが、ボルト２２３ａ，２２３ｂによって保持基台２２０ａ，２２０ｂに固定される（図５及び図６参照）。これによって押付板２２１ａ，２２１ｂが保持基台２２０ａ，２２０ｂに対して押圧され、保持基台２２０ａ，２２０ｂと押付板２２１ａ，２２１ｂとの間に、金属薄板３１の縁部領域が、保持される。本実施の形態では、一対の保持機構２２ａ，２２ｂの間には金属薄板３１を支持する部材は存在しないため、金属薄板３１は、その中央領域が宙に浮いた状態で保持される。
【００４１】
このように金属薄板３１の対向する両縁部領域が保持され、且つ、金属薄板３１の中央領域が宙に浮いた状態で、引張機構２３によって一対の保持機構２２ａ，２２ｂの互いに対する距離が拡げられ、金属薄板３１に引張力が与えられる。
【００４２】
具体的には、ストッパ２７のつっかえ棒２７１が、ストッパ軸２７３を中心に回動されて短手方向枠体２６に対して平行な姿勢にされ、一方の保持機構２２ａが、コイルバネ２３の付勢力によって長手方向枠体２５一方の端部に向けて（図４の右方向）移動されて一方の固定部材２２６ａに押しつけられる（図７（ｂ）参照）。
【００４３】
その後、全体に亘ってほぼ均一に引張力を与えられた状態の金属薄板３１が、照明装置１５によって照らされて、金属薄板３１の画像が、測定用カメラ１３１によって取得される。そして、撮像された画像が画像処理装置１３２によって処理され、金属薄板３１の少なくとも１つの寸法が測定される。
【００４４】
本実施の形態によれば、金属薄板３１は一対の保持機構２２ａ，２２ｂによって保持されて引張機構２３によって引っ張られた状態で少なくとも１つの寸法が測定される。したがって、測定されるべき金属薄板３１が湾曲していたり浮き上がったりしていたとしても、そのような変形状態が除去ないし緩和された状態で金属薄板３１の寸法が測定されるため、測定精度が向上する。また、金属薄板３１はその両縁部領域を保持された状態で引張力が与えられるため、金属薄板３１がその下面を支持されていない状態で金属薄板３１に対し引張力を与えることができる。このため、金属薄板３１に対し引張力を与える際に金属薄板３１と支持台との間の摩擦により金属薄板３１が変形してしまう、ということを防ぐことが可能である。また、支持台の汚れや異物などが金属薄板３１に付着する、ということも防ぐことが可能である。この結果、金属薄板３１の測定精度がさらに向上する。
【００４５】
また、本実施の形態の測定機構１３は、引張力を与えられた状態の金属薄板３１の画像を撮像する測定用カメラ１３１と、撮像された画像を処理する画像処理装置１３２と、を有している。したがって、金属薄板３１の寸法を容易に測定することができる。
【００４６】
また、本実施の形態の寸法測定装置１１は、引張力を与えられた状態の金属薄板３１に対して、測定用カメラ１３１とは反対の側に設けられた照明装置１５を備えている。したがって、金属薄板３１の寸法をさらに精度良く測定することができる。
【００４７】
また、引張機構２３は、バネである。したがって、金属薄板３１に対し引張力を与えることが容易である。
【００４８】
案内ピン８１ａ，８１ｂを金属薄板３１の一側の縁部領域に当接させて金属薄板３１の両縁部領域を保持基台２２０ａ，２２０ｂ上に載置する代わりに、金属薄板３１に位置決めするための穴を設け、当該穴と案内ピン８１ａ，８１ｂとの位置を合わせながら金属薄板３１の両縁部領域を載置板２１上に載置してもよい。
【００４９】
また、引張機構２３は、重りやモータ、シリンダなどによって保持機構２２ａを引っ張るものであってもよい。
【００５０】
次に、図８により、本発明による寸法測定装置の第２の実施の形態について説明する。
【００５１】
図８は、本発明の第２の実施の形態による寸法測定装置における、保持機構と、引張機構と、を概略的に示す平面図である。本実施の形態における寸法測定装置１１は、金属薄板３１の対向する両縁部領域を各対が保持するようになっている複数対の保持機構２２ａ，２２ｂと、各対の保持機構２２ａ，２２ｂの互いに対する距離を拡げることによって金属薄板３１に対し引張力を与えるようになっている複数の引張機構２３と、を備えている。
【００５２】
本実施の形態の寸法測定装置１１では、図８に示すように、複数対の保持機構２２ａ，２２ｂ及び複数の引張機構２３は、当該複数対の保持機構２２ａ，２２ｂ及び当該複数の引張機構２３が設けられている複数対の長手方向枠体２５が長手方向枠体２５の長手方向に垂直な方向（図８の上下方向）に並列に並ぶように、配置されている。
【００５３】
また、本実施の形態の保持機構２２ａ，２２ｂは、図９に示すように、保持基台２２０ａ，２２０ｂと、保持基台２２０ａ，２２０ｂと協働して金属薄板３１を挟む押付板２２１ａ，２２１ｂと、押付板２２１ａ，２２１ｂを保持基台２２０ａ，２２０ｂに対して押圧する押圧レバー２２７と、押圧レバー２２７に押圧力を提供するようになっているワッシャー２２８及びコイルバネ２２９と、を有している。
【００５４】
本実施の形態の寸法測定装置１１は、複数の一方の保持機構２２ａの複数の引張機構２３による移動を阻止するようになっている複数のストッパ２７を有している。
【００５５】
その他の構成は、図１及び図４に示す第１の実施の形態と略同様である。図８において、図１及び図４に示す第１の実施の形態と同一の部分には同一の符号を付して詳細な説明は省略する。
【００５６】
次に、本実施の形態の作用について説明する。本実施の形態の寸法測定装置１１では、金属薄板３１の対向する両縁部領域が複数対の保持基台２２０ａ，２２０ｂ上に載置されると、当該両縁部領域が複数対の保持機構２２ａ，２２ｂの各対によって保持される。具体的には、各保持機構２２ａ，２２ｂにおいて、ワッシャー２２８及びバネ２２９によって押圧レバー２２７に押圧力が提供され、押圧レバー２２７によって押付板２２１ａ，２２１ｂが保持基台２２０ａ，２２０ｂに対して押圧されることにより、保持基台２２０ａ，２２０ｂと押付板２２１ａ，２２１ｂとの間に金属薄板３１の対向する両縁部領域が挟まれて保持される。
【００５７】
金属薄板３１が複数対の保持機構２２ａ，２２ｂによって保持された後、複数のストッパ２７が回動されて短手方向枠体２６に対して平行な姿勢にされ、複数の引張機構２３によって複数対の保持機構２２ａ，２２ｂの互いに対する距離が拡げられる。これによって、金属薄板３１に対して二次元的に（平面的に）引張力が与えられる。
【００５８】
以上のように、本実施の形態によれば、金属薄板に二次元的に（平面的に）引張力が与えられるため、金属薄板の変形の状態が二次元的に除去ないし緩和され、測定精度がより一層向上する。
【符号の説明】
【００５９】
１１  寸法測定装置
１３  測定機構
１３１  測定用カメラ
１３２  画像処理装置
１５  照明装置
２２ａ  一方の保持機構
２２ｂ  他方の保持機構
２２０ａ  一方の保持基台
２２０ｂ  他方の保持基台
２２１ａ  押付板
２２１ｂ  押付板
２２３ａ  ボルト
２２３ｂ  ボルト
２２４  貫通孔
２２５  支持棒
２２６ａ  一方の固定部材
２２６ｂ  他方の固定部材
２２７  押圧レバー
２２８  ワッシャー
２２９  バネ
２３  引張機構（コイルバネ）
２５  長手方向枠体
２５１  長手方向枠体の内側面
２６  短手方向枠体
２７  ストッパ
２７１  つっかえ棒
２７３  ストッパ軸
３１  金属薄板
３２  測定マーク
３３  メタルマスク作製領域
３４  メタルマスク
３５  メタルマスク開口部
８１ａ  案内ピン
８１ｂ  案内ピン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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