(57)【要約】【課題】従来よりも検出精度を高めて分解能を上げることができ、しかも製造コストを抑え、小型化に寄与することのできるエンコーダおよびこのエンコーダに用いられるスリット板を提供する。【解決手段】光源から放出した光の反射光を用いて可動物体の機械的な変位を電気的なパルス信号に変換するエンコーダに用いられるスリット板であって、前記スリット板は、光学変調トラックに、反射率の異なる少なくとも３種以上の反射率部を有する。【選択図】図１
2014020904.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源から放出した光の反射光を用いて可動物体の機械的な変位を電気的なパルス信号に変換するエンコーダに用いられるスリット板であって、
前記スリット板は、光学変調トラックに、反射率の異なる少なくとも３種以上の反射率部を有することを特徴とするスリット板。
【請求項２】
前記反射率の異なる少なくとも３種以上の反射率部が、１つの光学変調トラック内に設けられていることを特徴とする請求項１に記載のスリット板。
【請求項３】
前記反射率の異なる少なくとも３種以上の反射率部が、複数の光学変調トラックの各々に設けられていることを特徴とする請求項１に記載のスリット板。
【請求項４】
前記反射率の異なる少なくとも３種以上の反射率部が、
平滑面から成る高反射率部と、
凹凸パターンから成る少なくとも２種以上の低反射率部と、
から構成されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のスリット板。
【請求項５】
前記凹凸パターンが、微細な凹凸を周期的に形成して成ることを特徴とする請求項４に記載のスリット板。
【請求項６】
前記微細な凹凸が、モスアイ構造であることを特徴とする請求項５に記載のスリット板。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれかに記載のスリット板を備えて成ることを特徴とするエンコーダ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、可動物体の機械的な変位を、光源から放出した光の反射光を用いて電気的なパルスに変換するためのエンコーダおよびこのエンコーダに用いられるスリット板に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より用いられる反射型のエンコーダ１００は、例えば図４に示したように、回転軸１１２によって回転するスリット板１１０と、このスリット板１１０の一方面側に光を照射する光源である発光素子１２０と、発光素子１２０から照射されスリット板１１０に反射した光を受光する受光素子１３０と、を少なくとも備えてなるものである。
【０００３】
スリット板１１０は、その一方面側に周状に反射部１１４と非反射部１１６からなる複数のセグメントを有する光学変調トラックを備え、この光学変調トラックに照射された光の反射光を、受光素子１３０で受光処理することにより、回転軸１１２の回転に伴う出力信号が得られるようになっている。
【０００４】
ここでスリット板１１０の反射部１１４と非反射部１１６は、反射部１１４が「平滑面」、非反射部１１６が「貫通穴」で構成されている。
なお、このように「平滑面」および「貫通穴」で反射部１１４と非反射部１１６を構成したスリット板１１０は、反射部１１４と非反射部１１６の幅が小さくなればなるほど、言い換えれば反射部１１４と非反射部１１６の数（セグメント数）が増えれば増えるほど回折光の問題を生じ、また「貫通穴」を金属板へのパンチングで形成した場合には、非反射部１１６に相当する貫通穴の加工精度が落ち、受光素子１３０での識別精度が落ちてしまうという問題があった。
【０００５】
このため本発明者らは、「平滑面」および「貫通穴」で反射部１１４と非反射部１１６を構成するスリット板１１０の替わりに、図５（ａ），（ｂ）に示したように「平滑面」と「周期的な微細凹凸である凹凸面」で高反射率部２１４と低反射率部２１６を構成するスリット板２１０を開発し、特許出願に至っている（特許文献１）。
【０００６】
このようなスリット板２１０は、「平滑面」と「周期的な微細凹凸である凹凸面」とを射出成形やナノインプリントで形成しており、寸法精度を高精度に維持できるため、エンコーダに用いた際には、受光素子における識別度を高め、精密な制御を行うことができるものである。
【０００７】
ところで、このようなスリット板を用いたエンコーダには、スリット板に高反射率部と低反射率部とが規則的に設けられて成り、可動物体の相対位置の情報を得ることのできるインクリメンタル形のエンコーダ、スリット板に高反射率部と低反射率部とが不規則的に設けられて成り、可動物体の絶対位置の情報を得ることのできるアブソリュート形のエンコーダ、またはこれらを組み合わせたエンコーダがあり、使用目的に合わせて適宜選択されて用いられている。
【０００８】
このうち、アブソリュート形のエンコーダでは、絶対位置を得るための構造として、次の２種類の構造が広く用いられている。
まず第１の構造は、図６に示したエンコーダ３００のように、スリット板３１０の１つの光学変調トラック３４０に、複数の高反射率部３１４と低反射率部３１６とを設け、この複数の高反射率部３１４と低反射率部３１６に、発光素子３２０より光を照射し反射した反射光を受光素子３３０で受光することにより、可動物体の絶対位置の情報を得る構造であり、「Ｍコード方式」と呼ばれている。
【０００９】
次いで第２の構造は、図７に示したエンコーダ４００のように、高反射率部４１４ａ，４１４ｂ，４１４ｃと低反射率部４１６ａ，４１６ｂ，４１６ｃとが複数の光学変調トラック（図７では３つの光学変調トラック４４０ａ，４４０ｂ，４４０ｃ）に設けられ、複数の光学変調トラックに対して、スリット板４１０の径方向に発光素子４２０より光を照射し、複数の光学変調トラック４４０ａ，４４０ｂ，４４０ｃに反射された反射光を受光素子４３０で受光することにより、可動物体の絶対位置の情報を得る構造であり、「グレイコード方式」と呼ばれている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特願２０１２−０４８２１７号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
ところで、相対位置を検出するインクリメンタル形のエンコーダおよび絶対位置を検出するアブソリュート形のエンコーダにおいて、スリット板の光学変調トラックは、高反射率部と低反射率部の２種類しか存在しないため、得られる信号は、光が反射しているか否かの２種類（例えば信号「０」または「１」）に限られてしまう。
【００１２】
相対位置を検出するインクリメンタル形のエンコーダでは、回転量を識別できれば良いため、２種類の信号が得られれば相対位置の検出において特に問題はない。
これに対して絶対値を検出するアブソリュート形のエンコーダでは、２種類の信号の組み合わせで絶対位置の情報を得る必要がある。したがってＭコード方式では、検出精度を高めるのに、１つの光学変調トラックにおいて一度に検出する高反射率部と低反射率部の数（セグメント数）を増やす必要があり、またグレイコード方式では、検出精度を高めるのに、光学変調トラックの数を増やして２種類の信号による組合せ数を増やす必要がある。
【００１３】
いずれにしても、検出精度を高めるには、高反射率部と低反射率部の検出を広範囲で行う必要があるため、検出に要する発光素子や受光素子の数が増え、製造コストを高めてしまうおそれがある。
【００１４】
本発明は、このような実情に鑑み、従来よりも検出精度を高めて分解能を上げることができ、しかも製造コストを抑え、小型化に寄与することのできるエンコーダおよびこのエンコーダに用いられるスリット板を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明は、前述したような従来技術における問題点を解決するために発明されたものであって、
本発明のスリット板は、
光源から放出した光の反射光を用いて可動物体の機械的な変位を電気的なパルス信号に変換するエンコーダに用いられるスリット板であって、
前記スリット板は、光学変調トラックに、反射率の異なる少なくとも３種以上の反射率部を有することを特徴とする。
【００１６】
このように構成すれば、従来よりも多くの種類の信号を３種以上の反射率部の組合せで作り出すことができる。したがって、特にアブソリュート形のエンコーダにおいて、グレイコード方式では、従来と同程度の分解能であっても光学変調トラック数を従来よりも少なくすることができ、またＭコード方式では、検出に必要なセグメント数が少なくて済むため受光素子の数を少なくすることができ、製造コストを抑えることができる。
さらに、スリット板を小さくすることができたり部材が少なくて済むため、エンコーダの小型化に寄与することもできる。
【００１７】
また、本発明のスリット板は、
前記反射率の異なる少なくとも３種以上の反射率部が、１つの光学変調トラック内に設けられていることを特徴とする。
【００１８】
このように構成されていれば、特にアブソリュート形のエンコーダにおけるＭコード方式で、１つの光学変調トラックにおけるセグメント数が多くなった場合に、絶対位置の検出に必要となるセグメント数が従来よりも少なくて済み、したがって少ない受光素子で絶対位置の情報を得ることができる。
【００１９】
また、本発明のスリット板は、
前記反射率の異なる少なくとも３種以上の反射率部が、複数の光学変調トラックの各々に設けられていることを特徴とする。
【００２０】
このように構成されていれば、特にアブソリュート形のエンコーダにおけるグレイコード方式で、光学変調トラックの数が増してセグメント数が多くなった場合に、絶対位置の検出に必要となるセグメント数が従来よりも少なくて済み、したがって少ない受光素子で絶対位置の情報を得ることができる。
【００２１】
また、本発明のスリット板は、
前記反射率の異なる少なくとも３種以上の反射率部が、
平滑面から成る高反射率部と、
凹凸パターンから成る少なくとも２種以上の低反射率部と、
から構成されていることを特徴とする。
【００２２】
このように構成されていれば、高反射率部と２種以上の低反射率部とで従来よりも多くの種類の信号を作り出すことができる。しかも低反射率部と別の低反射率部とで隣合っても凹凸パターンの違いによって反射率がはっきりと分かれるため、セグメント数が多くなっても検出精度を高精度に維持することができる。
【００２３】
また、本発明のスリット板は、
前記凹凸パターンが、微細な凹凸を周期的に形成して成ることを特徴とする。
このように構成されていれば、低反射率部と別の低反射率部とを確実に区分けして識別することができるため、セグメント数が多くなっても検出精度を高精度に維持することができる。
【００２４】
また、本発明のスリット板は、
前記微細な凹凸が、モスアイ構造であることを特徴とする。
このようにモスアイ構造であれば、低反射率部における反射光を極力抑えることができ、しかも高反射率部と低反射率部との区分け、あるいは低反射率部での反射率の違いによる区分けを確実に行うことができる。したがってセグメント数が多くなっても検出精度を高精度に維持することができる。
【００２５】
また、本発明のエンコーダは、
上記のいずれかに記載のスリット板を備えて成ることを特徴とする。
このように反射率の異なる少なくとも３種以上の反射率部を有するスリット板を備えたエンコーダであれば、反射率の異なる少なくとも３種以上の反射率部によって、セグメント数を効率的に増やすことができ、また絶対位置も従来よりも少ない構成で得ることができるため、製造コストを抑えることができるとともに、小型化にも寄与することができる。
【発明の効果】
【００２６】
本発明によれば、スリット板に、反射率の異なる少なくとも３種以上の反射率部を設けることにより、従来よりも検出精度を高めて分解能を上げることができ、しかも製造コストを抑え、小型化に寄与することのできるエンコーダおよびこのエンコーダに用いられるスリット板を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】図１は、本発明のＭコード方式のアブソリュート形のエンコーダの概略斜視図である。
【図２】図２は、本発明のエンコーダに用いられるスリット板において、異なる３種の反射率部を模式的に示した断面図である。
【図３】図３は、本発明のグレイコード方式のアブソリュート形のエンコーダの概略斜視図である。
【図４】図４は、従来の反射型エンコーダの概略斜視図である。
【図５】図５は、本発明者らが既に開発した反射型エンコーダに用いられるスリット板の概略図であって、図５（ａ）は上面図、図５（ｂ）は図５（ａ）のＢ−Ｂ線方向の拡大断面図である。
【図６】図６は、従来のＭコード方式のアブソリュート形のエンコーダの概略斜視図である。
【図７】図７は、従来のグレイコード方式のアブソリュート形のエンコーダの概略斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下、本発明の実施の形態について、図面に基づいてより詳細に説明する。
本発明のエンコーダおよびこのエンコーダに用いられるスリット板は、可動物体の機械的な変位を、光源から放出した光の反射光を用いて電気的なパルスに変換するためのものである。
【００２９】
図１は、本発明のＭコード方式のアブソリュート形のエンコーダの概略斜視図、図２は、本発明のエンコーダに用いられるスリット板において、異なる３種の反射率部を模式的に示した断面図である。
【００３０】
［第１の実施形態］
＜Ｍコード方式のアブソリュート形のエンコーダ＞
本発明の第１の実施形態のエンコーダ１０ａは、絶対位置を検出するＭコード方式のアブソリュート形であり、図１に示したように、回転軸２２によって回転するスリット板２０ａと、このスリット板２０ａの一方面側に光を照射する発光素子４０と、発光素子４０から照射されスリット板２０ａに反射した光を受光する受光素子５０と、を少なくとも備えてなるものである。
【００３１】
スリット板２０ａは、その一方面側に１種の高反射率部２４と２種の低反射率部（第１低反射率部２６，第２低反射率部２８）の合計で異なる３種の反射率部からなる複数のセグメント（図１では９セグメント）を有する１つの光学変調トラック３０を備え、この光学変調トラック３０に発光素子４０より照射された光の反射光を、受光素子５０で受光し、これを信号処理することにより、回転軸２２の回転に伴う出力信号が得られるようになっている。
【００３２】
スリット板２０ａの高反射率部２４と２種の低反射率部（第１低反射率部２６，第２低反射率部２８）は、図２に示したように、高反射率部２４が平坦面、２種の低反射率部２６，２８がそれぞれ周期的な微細凹凸である凹凸面からなるものである。
２種の低反射率部２６，２８を構成する周期的な微細凹凸は、具体的にはモスアイ構造であり、これにより低反射率部が形成されている。
【００３３】
なお、第１低反射率部２６と第２低反射率部２８の違いは、微細凹凸の幅および高さの違いであり、これらを変えることで、第１低反射率部２６と第２低反射率部２８のそれぞれの反射率特性を変えることができる。
【００３４】
モスアイ構造については、すでに本発明者らによって出願されている特願２０１２−０４８２１７号に記載のとおりであるが、このモスアイ構造は、アスペクト比が大きい程、反射防止効果が高いとの特性を有する構造である。
【００３５】
また、本実施形態でモスアイ形状とされた微細凹凸は、円錐形としているが、他にも例えば楕円錐形、角錐形であっても良く、円錐形の場合と同様、このような形状であっても反射防止効果は高いものである。
【００３６】
図１に示した本実施形態のエンコーダ１０ａでは、スリット板２０ａの１つの光学変調トラック３０に、高反射率部が１種、低反射率部が２種の合計３種が形成されており、この点、図６に示した従来のＭコード方式のアブソリュート形のエンコーダ３００に用いられるスリット板３１０のように高反射率部が１種、低反射率部が１種の合計２種のものとは異なっている。
【００３７】
すなわち、従来のＭコード方式のアブソリュート形のエンコーダ３００は、スリット板３１０に１種の高反射率部３１４と１種の低反射率部３１６の合計２種類しか設けられていないため、高反射率部３１４の信号を「０」、低反射率部３１６の信号を「１」とし、スリット板３１０の光学変調トラックを８分割（８セグメント）とした場合には、３セグメント分の情報を受光素子３３０で得なければ、絶対位置を得ることができないものであった。
【００３８】
すなわち、「０」，「１」の２進数の場合には、３桁の組合せは２3＝８種類、詳しくは「０００」，「００１」，「０１０」，「０１１」，「１００」，「１０１」，「１１０」，「１１１」である。
【００３９】
しかしながら、本実施形態のＭコード方式のアブソリュート形のエンコーダ１０ａでは、図１に示したように、スリット板２０ａの１つの光学変調トラック３０に、１種の高反射率部２４と２種の低反射率部（第１低反射率部２６，第２低反射率部２８）の合計３種類が設けられているため、高反射率部２４の信号を「０」、第１低反射率部２６の信号を「１」、第２低反射率部２８の信号を「２」とし、スリット板２０ａの光学変調トラック３０を従来と同等の９分割（９セグメント）とした場合であっても、２セグメント分の情報を受光素子５０で得るだけで、絶対位置を得ることができる。
【００４０】
すなわち、「０」，「１」，「２」の３進数の場合には、２桁の組合せは３2＝９種類、詳しくは「００」，「０１」，「０２」，「１０」，「１１」，「１２」，「２０」，「２１」，「２２」である。
【００４１】
したがって、従来のエンコーダ３００と同等の分解能であれば、本実施形態のスリット板２０ａを用いたエンコーダ１０ａの方が、検出に要する受光素子５０の数を減らすことができ、装置コストを抑え、小型化に寄与することができる。
【００４２】
なお、本実施形態では、１種の高反射率部２４と２種の低反射率部（第１低反射率部２６，第２低反射率部２８）の合計３種の場合を例にして説明しているが、これは最低限の組み合わせ数であって３種以上であれば、特に限定されないものである。
異なる反射率部の数が３種よりも増えれば増えるほど、上記した効果は顕著である。
【００４３】
例えば表１（ａ）に示したように、従来、２５６セグメントを１種の高反射率部（信号は「０」とする）と１種の低反射率部（信号は「１」とする）の合計２種で形成したスリット板で絶対位置の検出を行う場合には、「２8＝２５６」であるため、一度に８セグメント分の情報を受光素子で得る必要がある。
【００４４】
これに対し、本実施形態では、表１（ｂ）に示したように同等の２４３セグメントを１種の高反射率部（信号は「０」とする）と２種の低反射率部（信号は「１」，「２」とする）の合計３種で形成したスリット板とした場合には、「３5＝２４３」であるため、５セグメント分の情報を受光素子で得るだけで良いこととなる。
【００４５】
さらに、表１（ｃ）に示したように、２５６セグメントを１種の高反射率部（信号は「０」とする）と３種の低反射率部（信号は「１」，「２」，「３」とする）の合計４種で形成したスリット板とした場合には、「４4＝２５６」であるため、４セグメント分の情報を受光素子で得るだけで良いこととなる。
【００４６】
【表１】
2014020904.tif 000003
【００４７】
つまり同じセグメント数で考えた場合、反射率の異なる反射率部の種類が増えれば増えるほど、絶対位置の検出に必要となるセグメント数を少なくすることができる。
【００４８】
したがって、本実施形態のエンコーダ１０ａおよびスリット板２０ａを用いれば、従来よりも少ない装置構成で検出精度を高めて分解能を上げることができ、しかも製造コストを抑え小型化にも寄与することができる。
【００４９】
［第２の実施形態］
＜グレイコード方式のアブソリュート形のエンコーダ＞
次いで本発明の第２の実施形態として、絶対位置を検出するグレイコード方式のアブソリュート形のエンコーダについて説明する。
【００５０】
グレイコード方式のアブソリュート形のエンコーダ１０ｂは、図３に示したように、回転軸２２によって回転するスリット板２０ｂと、このスリット板２０ｂの一方面側に光を照射する発光素子４０と、発光素子４０から照射されスリット板２０ｂに反射した光を受光する受光素子５０と、を少なくとも備えてなるものである。
【００５１】
スリット板２０ｂは、その一方面側に高反射率部２４ａ，２４ｂ，２４ｃと２種の低反射率部（第１低反射率部２６ａ，２６ｂ，２６ｃ、第２低反射率部２８ａ，２８ｂ，２８ｃ）からなる複数のセグメントを有する３つの光学変調トラック（３０ａ，３０ｂ，３０ｃ）を備えている。
【００５２】
なお、符号２４，２６，２８の後に付されたａ，ｂ，ｃは、光学変調トラックの位置の違いであり、ａは最外周側の第１光学変調トラック３０ａ、ｂはその次の第２光学変調トラック３０ｂ、ｃは最内周側の第３光学変調トラック３０ｃである。
【００５３】
この３つの光学変調トラック３０ａ，３０ｂ，３０ｃに対してスリット板２０ｂの径方向に発光素子４０より光を照射し、照射された光の反射光を、受光素子５０で受光し、これを信号処理することにより、回転軸２２の回転に伴う出力信号が得られるようになっている。
【００５４】
スリット板２０ｂの高反射率部２４ａ，２４ｂ，２４ｃと２種の低反射率部（第１低反射率部２６ａ，２６ｂ，２６ｃ、第２低反射率部２８ａ，２８ｂ，２８ｃ）は、先に説明したＭコード方式のアブソリュート形のエンコーダ１０ａと同様、高反射率部２４ａ，２４ｂ，２４ｃが平坦面、２種の低反射率部２６ａ，２６ｂ，２６ｃ，２８ａ，２８ｂ，２８ｃがそれぞれ周期的な微細凹凸である凹凸面からなるものである。
【００５５】
図３に示した本実施形態のエンコーダ１０ｂでは、スリット板２０ｂの光学変調トラック毎に、高反射率部が１種、低反射率部が２種の合計３種が形成されており、この点、図７に示した従来のグレイコード方式のアブソリュート形のエンコーダ４００に用いられるスリット板４１０のように、高反射率部が１種、低反射率部が１種の合計２種のものとは異なっている。
【００５６】
すなわち、従来のグレイコード方式のアブソリュート形のエンコーダ４００は、図７に示したように、スリット板４１０に１種の高反射率部４１４と１種の低反射率部４１６の合計２種しか設けられていないため、高反射率部４１４の信号を「０」、低反射率部４１６の信号を「１」とし、３つの光学変調トラック４４０ａ，４４０ｂ，４４０ｃを用いて８セグメント分の分解能とした場合には、所定の位置における３つの光学変調トラック４４０ａ，４４０ｂ，４４０ｃのそれぞれの情報を受光素子４３０で得なければ、絶対位置を得ることができないものであった。
【００５７】
すなわち、「０」，「１」の２進数の場合には、３桁の組合せは２3＝８種類、詳しくは「０００」，「００１」，「００２」，「０１０」，「０１１」，「０１２」，「１１０」，「１１１」であるため、３つの光学変調トラック４４０ａ，４４０ｂ，４４０ｃの検出が必要である。
【００５８】
しかしながら、本実施形態のエンコーダ１０ｂでは、図３に示したように、スリット板２０ｂにおいて１種の高反射率部２４ａ，２４ｂ，２４ｃと２種の低反射率部（第１低反射率部２６ａ，２６ｂ，２６ｃ、第２低反射率部２８ａ，２８ｂ，２８ｃ）の合計３種を３つの光学変調トラック３０のそれぞれに設け、高反射率部２４ａ，２４ｂ，２４ｃの信号を「０」、第１低反射率部２６ａ，２６ｂ，２６ｃの信号を「１」、第２低反射率部２８ａ，２８ｂ，２８ｃの信号を「２」とした場合には、従来と同じように３つの光学変調トラック３０ａ，３０ｂ，３０ｃで、２７セグメント分もの分解能を得ることができる。
【００５９】
すなわち、「０」，「１」，「２」の３進数の場合には、３桁の組合せは３3＝２７種類、詳しくは「０００」，「００１」，「００２」，「０１０」，「０１１」，「０１２」，「０２０」，「０２１」，「０２２」，「１００」，「１０１」，「１０２」，「１１０」，「１１１」，「１１２」，「１２０」，「１２１」，「１２２」，「２００」，「２０１」，「２０２」，「２１０」，「２１１」，「２１２」，「２２０」，「２２１」，「２２２」である。
【００６０】
したがって、同等の光学変調トラック数での対比であれば、本実施形態のスリット板２０ｂを用いたエンコーダ１０ｂの方が従来のスリット板４１０よりも分解能を上げることができ、同等の分解能であれば、光学変調トラック数の数が従来よりも少なくすることができるため、スリット板の大きさを小さくすることができる。したがって、小型化に寄与することができる。
【００６１】
なお、本実施形態では、１種の高反射率部２４と２種の低反射率部（第１低反射率部２６，第２低反射率部２８）の合計３種の場合で説明しているが、これは最低限の組み合わせであって３種以上であれば、特に限定されないものである。
異なる反射率部の数が増えれば増えるほど、上記した本発明の効果は顕著である。
【００６２】
例えば表２（ａ）に示したように、従来、３つの光学変調トラックを１種の高反射率部と１種の低反射率部の合計２種で形成したスリット板４１０で絶対位置を得る場合、「２3＝８」であるため、８セグメント分の分解能しか得られなった。
【００６３】
これに対し、表２（ｂ）に示したように、本実施形態で３つの光学変調トラックを、１種の高反射率部（信号は「０」とする）と２種の低反射率部（信号は「１」，「２」とする）の合計３種で形成したスリット板２０ｂで絶対位置を得るようにした場合には、「３3＝２７」であるため、２７セグメント分もの分解能を得ることができる。
【００６４】
さらに表２（ｃ）に示したように、本実施形態で３つの光学変調トラックを、１種の高反射率部（信号は「０」とする）と３種の低反射率部（信号は「１」，「２」，「３」とする）の合計４種で形成したスリット板で絶対位置を得るようにした場合には、「４3＝２６４」であるため、６４セグメント分もの分解能を得ることができる。
【００６５】
【表２】
2014020904.tif 000004
【００６６】
したがって、本実施形態のエンコーダ１０ｂおよびスリット板２０ｂを用いれば、従来よりも少ない装置構成で検出精度を高めて分解能を上げることができ、しかも製造コストを抑え、小型化にも寄与することができる。
【００６７】
以上、本発明のエンコーダおよびこのエンコーダに用いられるスリット板の好ましい実施形態について説明したが、本発明は上記の実施形態に限定されるものではないものである。
【００６８】
また、本明細書中では、例えば発光素子や受光素子、スリット板の製造方法などに関する技術内容について特に説明してはいないものの、これらの技術内容については本発明者によって既に特許出願された特願２０１２−０４８２１７号に記載の技術内容と同様である。
【００６９】
さらに上記実施形態では、絶対位置を検出するアブソリュート形のエンコーダを用いて説明しているが、もちろん相対位置を検出するインクリメンタル形のエンコーダに用いても良く、さらにはインクリメンタル形とアブソリュート形を組み合わせたエンコーダに用いても良いものである。加えて本発明を使いインクリメンタル形で同一光学変調トラック上にインデックス信号を入れ込むことも可能である。
【００７０】
また、上記実施形態では、高反射率部と低反射率部とで、反射率の異なる少なくとも３種以上の反射率部を構成しているが、これについても特に限定されるものではなく、要は少なくとも３種以上の反射率部は、反射率の違いが識別可能であれば良いので、例えば反射率の異なる低反射率部を複数種設け、高反射率部を無くしたとしても特に問題ないものである。
【００７１】
さらに、上記実施形態は、ロータリーエンコーダを用いて説明しているが、他にもリニアエンコーダに適用することも可能であり、本発明の目的を逸脱しない範囲で種々の変更が可能なものである。
【符号の説明】
【００７２】
１０ａ，１０ｂ     エンコーダ
２０，２０ａ，２０ｂ      スリット板
２２ 回転軸
２４，２４ａ，２４ｂ，２４ｃ     高反射率部
２６，２６ａ，２６ｂ，２６ｃ     第１低反射率部
２８，２８ａ，２８ｂ，２８ｃ     第２低反射率部
３０，３０ａ，３０ｂ，３０ｃ     光学変調トラック
４０ 発光素子
５０ 受光素子
１００ エンコーダ
１１０ スリット板
１１２ 回転軸
１１４ 反射部
１１６ 非反射部
１２０ 発光素子
１３０ 受光素子
２１０ スリット板
２１４ 高反射率部
２１６ 低反射率部
３００ エンコーダ
３１０ スリット板
３１４ 高反射率部
３１６ 低反射率部
３２０ 発光素子
３３０ 受光素子
３４０ 光学変調トラック
４００ エンコーダ
４１０ スリット板
４１４，４１４ａ，４１４ｂ，４１４ｃ      高反射率部
４１６，４１６ａ，４１６ｂ，４１６ｃ      低反射率部
４２０ 発光素子
４３０ 受光素子
４４０ａ，４４０ｂ，４４０ｃ       光学変調トラック
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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