(57)【要約】【課題】短絡を確実に防止することができる振動子、発振器、電子機器および移動体を提供すること。【解決手段】振動子１００は、振動素子２００と、振動素子２００を支持している第１の面１１１と、第１の面１１１の反対側の第２の面１１２とを含む台座１とを含んでいる。また、台座１は、前記第１の面１１１に設けられた接続電極１３、１４と、第２の面１１２に設けられた端子電極１５、１６と、接続電極１３、１４と端子電極１５、１６とを電気的に接続する第１の配線１８および第２の配線１９とを含んでおり、第１の配線１８の第１の面１１１から第２の面１１２に移行する第１の移行部１８３と、第２の配線１９の第１の面１１１から第２の面１１２に移行する第２の移行部１９３とは、それぞれ、台座１の互いに繋がっていない側面を通過している。【選択図】図１
2014175880.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の励振電極および第２の励振電極を含む振動素子と、
前記振動素子を支持している第１の面および該第１の面の反対側の第２の面を含む基板と、を含み、
前記基板は、
前記第１の面に設けられ、前記第１の励振電極と電気的に接続されている第１の接続電極と、
前記第１の面の前記第１の接続電極と異なる位置に設けられ、前記第２の励振電極と電気的に接続されている第２の接続電極と、
前記第２の面に設けられ、前記第１の接続電極と電気的に接続される第１の端子電極と、
前記第２の面の前記第１の端子電極と異なる位置に設けられ、前記第２の接続電極と電気的に接続される第２の端子電極と、
前記基板の外表面に設けられ、前記第１の接続電極と前記第２の端子電極とを電気的に接続している第１の配線と、
前記基板の外表面の前記第１の配線と異なる位置に設けられ、前記第２の接続電極と前記第２の端子電極とを電気的に接続している第２の配線と、
前記第１の配線の前記第１の面から前記第２の面に移行する第１の移行部と、前記第２の配線の前記第１の面から前記第２の面に移行する第２の移行部とは、それぞれ、前記基板の互いに繋がっていない側面を通過していることを特徴とする振動子。
【請求項２】
前記基板には、その厚み方向に貫通している貫通孔が設けられ、
前記第１の移行部および前記第２の移行部のうちの一方は、前記貫通孔の内側面を通過している請求項１に記載の振動子。
【請求項３】
前記基板には、その厚み方向に貫通している２つの貫通孔が設けられ、
前記第１の移行部および前記第２の移行部のいずれか一方の移行部は、前記２つの貫通孔のいずれか一方の貫通孔の内側面を通過し、他方の移行部は、他方の貫通孔の内側面を通過している請求項１または２に記載の振動子。
【請求項４】
前記振動素子は、
基部と、
該基部から突出している少なくとも１つの振動腕と、を含み、
前記基板の平面視において、前記振動腕の先端と重なる部分に前記基板が存在していない請求項１ないし３のいずれか１項に記載の振動子。
【請求項５】
前記振動素子は、
基部と、
該基部から突出している少なくとも１つの振動腕と、を含み、
前記基板には、前記振動腕の先端部に臨む部分に、前記基板よりもヤング率の小さい弾性体が設けられている請求項１ないし４のいずれか１項に記載の振動子。
【請求項６】
前記振動素子および前記基板を収納しているパッケージを含む請求項１ないし５のいずれか１項に記載の振動子。
【請求項７】
請求項１ないし６のいずれか１項に記載の振動子と、
前記振動子と電気的に接続されている発振回路とを含むことを特徴とする発振器。
【請求項８】
請求項１ないし６のいずれか１項に記載の振動子を含むことを特徴とする電子機器。
【請求項９】
請求項１ないし６のいずれか１項に記載の振動子を含むことを特徴とする移動体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動子、発振器、電子機器および移動体に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、水晶発振器として、パッケージに振動素子を収容したものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１の振動子は、振動素子と、板状をなし、振動素子を支持する台座と、振動素子および台座を収納するパッケージとを有している。振動素子には、励振電極が形成されており、この励振電極は、台座の両面に形成された電極である水晶保持端子と電気的に接続されている。また、水晶保持端子は、パッケージに設けられた電極である回路端子と電気的に接続されている。この回路端子は、外部の電極と電気的に接続されている。これにより、励振電極は、外部の電極と電気的に接続される。よって、外部の電極から回路端子に電圧が印加されると、振動素子は所定の周波数で振動する。
【０００３】
さて、台座に設けられた水晶保持端子、および、それらを接続する配線は、例えば、以下の（１）〜（６）の工程を経て得られる。
（１）所望の形状の台座を用意する。
（２）蒸着やスパッタリング等によって、台座の全面に金属膜を成膜する。
（３）金属膜上にフォトレジスト膜（ポジ型のフォトレジスト膜）を成膜する。
（４）フォトレジスト膜を露光・現像によってパターニングすることにより、各端子およびそれらを接続する配線の形状に対応したレジストパターンを形成する。
（５）レジストパターンを介してウェットエッチングすることにより、金属膜のレジストパターンから露出している部分を除去する。
（６）レジストパターンを除去する。
【０００４】
上記工程（４）では、台座の上面、下面および側面にそれぞれ露光光を照射する必要がある。一般的な露光装置では、上面側および下面側からしか露光光を照射することができない。この場合、上面および下面の露光に関しては、比較的簡単に行うことができる。これに対して、側面の露光は不十分である。このため、露光光を上面側または下面側から斜めに照射する必要がある。しかしながら、露光光を上面側または下面側から斜めに照射した場合、台座の形状、または、配線のパターニングによっては、露光光の照射が不十分となることがあった。これにより、電極および配線の側面を通過する部分には、所望のパターニングが施されず、残存した金属膜により繋がってしまい、よって、短絡してしまうおそれがあった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特表２０１０−１３５８９０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の目的は、短絡を確実に防止することができる振動子、発振器、電子機器および移動体を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
［応用例１］
本発明の振動子は、第１の励振電極および第２の励振電極を含む振動素子と、
前記振動素子を支持している第１の面および該第１の面の反対側の第２の面を含む基板と、を含み、
前記基板は、
前記第１の面に設けられ、前記第１の励振電極と電気的に接続されている第１の接続電極と、
前記第１の面の前記第１の接続電極と異なる位置に設けられ、前記第２の励振電極と電気的に接続されている第２の接続電極と、
前記第２の面に設けられ、前記第１の接続電極と電気的に接続される第１の端子電極と、
前記第２の面の前記第１の端子電極と異なる位置に設けられ、前記第２の接続電極と電気的に接続される第２の端子電極と、
前記基板の外表面に設けられ、前記第１の接続電極と前記第２の端子電極とを電気的に接続している第１の配線と、
前記基板の外表面の前記第１の配線と異なる位置に設けられ、前記第２の接続電極と前記第２の端子電極とを電気的に接続している第２の配線と、
前記第１の配線の前記第１の面から前記第２の面に移行する第１の移行部と、前記第２の配線の前記第１の面から前記第２の面に移行する第２の移行部とは、それぞれ、前記基板の互いに繋がっていない側面を通過していることを特徴とする。
これにより、基板の製造過程で、第１の移行部と第２の移行部とが基板の側面上で繋がることを確実に防止することができ、よって、第１の配線と第２の配線とが短絡することを確実に防止することができる。
【０００８】
［応用例２］
本発明の振動子では、前記基板には、その厚み方向に貫通している貫通孔が設けられ、
前記第１の移行部および前記第２の移行部のうちの一方は、前記貫通孔の内側面を通過していることが好ましい。
これにより、基板に貫通孔を形成し、第１の移行部および第２の移行部のうちの一方が、貫通孔の内側面を通過するよう形成するという簡単な構成で、第１の配線と第２の配線とが短絡することをより確実に防止することができる。
【０００９】
［応用例３］
本発明の振動子では、前記基板には、その厚み方向に貫通している２つの貫通孔が設けられ、
前記第１の移行部および前記第２の移行部のいずれか一方の移行部は、前記２つの貫通孔のいずれか一方の貫通孔の内側面を通過し、他方の移行部は、他方の貫通孔の内側面を通過していることが好ましい。
これにより、基板に２つの貫通孔を形成し、第１の移行部および第２の移行部のうちの一方の移行部は、２つの貫通孔のうちの一方の貫通孔の内側面を通過し、他方の移行部は、他方の貫通孔の内側面を通過するよう形成するという簡単な構成で、第１の配線と第２の配線とが短絡することをより確実に防止することができる。
【００１０】
［応用例４］
本発明の振動子では、前記振動素子は、
基部と、
該基部から突出している少なくとも１つの振動腕と、を含み、
前記基板の平面視において、前記振動腕の先端と重なる部分に前記基板が存在していないことが好ましい。
これにより、振動素子の振動腕が、外力により、基板の厚さ方向に振動した場合、振動腕の先端部が基板に当接することを防止することができる。よって、振動素子の損傷を防止することができる。
【００１１】
［応用例５］
本発明の振動子では、前記振動素子は、
基部と、
該基部から突出している少なくとも１つの振動腕と、を含み、
前記基板には、前記振動腕の先端部に臨む部分に、前記基板よりもヤング率の小さい弾性体が設けられていることが好ましい。
これにより、振動素子の振動腕が、外力により、基板の厚さ方向に振動した場合、振動腕は、弾性を有する弾性体と当接する。よって、振動腕の先端部が基板に当接することを防止することができる。従って、振動素子の損傷を防止することができる。
［応用例６］
本発明の振動子は、前記振動素子および前記基板を収納しているパッケージを含むことが好ましい。
これにより、信頼性の高い振動子が得られる。
【００１２】
［応用例７］
本発明の発振器は、本発明の振動子と、
前記振動子と電気的に接続されている発振回路とを含むことを特徴とする。
これにより、信頼性の高い発振器が得られる。
［応用例８］
本発明の電子機器は、本発明の振動子を含むことを特徴とする。
これにより、信頼性の高い電子機器が得られる。
［応用例９］
本発明の移動体は、本発明の振動子を含むことを特徴とする。
これにより、信頼性の高い移動体が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の振動子の第１実施形態を示す分解斜視図である。
【図２】図１中の振動素子を示す平面図であって、（ａ）が上面図、（ｂ）が下面図（透視図）である。
【図３】図１中のＡ−Ａ線断面図である。
【図４】図１中のＢ−Ｂ線断面図である。
【図５】図１中の台座および振動素子を示す平面図であって、（ａ）が上面図、（ｂ）が下面図である。
【図６】本発明の振動子の第２実施形態を示す分解斜視図である。
【図７】図６中の矢印Ｃ方向から見た平面図である。
【図８】図７中のＣ−Ｃ線断面図である。
【図９】本発明の振動子の第３実施形態の台座および振動素子を示す平面図であって、ａ）が上面図、（ｂ）が下面図である。
【図１０】本発明の振動子の第４実施形態の台座および振動素子を示す平面図であって、（ａ）が上面図、（ｂ）が下面図である。
【図１１】本発明の振動子の第５実施形態の台座および振動素子を示す平面図であって、（ａ）が上面図、（ｂ）が下面図である。
【図１２】本発明の振動子の第６実施形態の台座および振動素子を示す図であって、（ａ）が上面図、（ｂ）が図１２（ａ）中のＤ−Ｄ線断面図である。
【図１３】本発明の振動子の第７実施形態を示す縦断面図である。
【図１４】本発明の振動子の第８実施形態を示す分解斜視図である。
【図１５】本発明の振動子の第９実施形態の振動素子を示す平面図である。
【図１６】本発明の振動子を備える発振器を示す断面図である。
【図１７】本発明の振動子を備える電子機器を適用したモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピューターの構成を示す斜視図である。
【図１８】本発明の振動子を備える電子機器を適用した携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図である。
【図１９】本発明の振動子を備える電子機器を適用したディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図である。
【図２０】本発明の振動子を備える電子機器を適用した移動体（自動車）の構成を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の振動子、発振器、電子機器および移動体の好適な実施形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
１．振動子
まず、本発明の振動子について説明する。
＜第１実施形態＞
図１は、本発明の振動子の第１実施形態を示す分解斜視図、図２は、図１中の振動素子を示す平面図であって、（ａ）が上面図、（ｂ）が下面図（透視図）、図３は、図１中のＡ−Ａ線断面図、図４は、図１中のＢ−Ｂ線断面図、図５は、図１中の台座および振動素子を示す平面図であって、（ａ）が上面図、（ｂ）が下面図である。なお、各図では、説明の都合上、互いに直交する３つの軸として、Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸を図示している。また、図１、図４の上側を「上（上方）」、下側を「下（下方）」と言う。また、図２および図５の左側を「先端」、右側を「基端」と言う。また、Ｚ軸方向から見たときの平面視を単に「平面視」とも言う。
【００１５】
図１に示すように、振動子１００は、振動素子２００と、振動素子２００を支持する台座（基板）１と、振動素子２００と台座１とを一括収容するパッケージ４００とを有している。以下、振動素子２００、パッケージ４００および台座１について、順次詳細に説明する。
（パッケージ）
図１に示すように、パッケージ４００は、上面に開放する凹部４１１を有するキャビティ型のベース基板４１０と、凹部４１１の開口を覆うようにベース基板４１０に接合されたリッド（蓋体）４２０とを有し、その内部空間Ｓに振動素子２００および台座１を収納している。なお、内部空間Ｓは、気密的に封止されているのが好ましい。
【００１６】
ベース基板４１０は、絶縁性を有する材料で構成されている。このような材料としては、特に限定されず、例えば、酸化物系セラミックス、窒化物系セラミックス、炭化物系セラミックス等の各種セラミックスを用いることができる。一方、リッド４２０は、ベース基板４１０の構成材料と線膨張係数が近似する部材で構成するのが好ましい。このような材料としては、例えば、ベース基板４１０の構成材料を前述したようなセラミックスとした場合には、コバール等の合金を用いることができる。
【００１７】
凹部４１１の底面には、２つの内部電極４３１、４３２が形成されており、これら内部電極４３１、４３２は、それぞれ、図示しない貫通電極や層間配線を介して、ベース基板４１０の下面に形成された実装電極４３３、４３４と電気的に接続されている。
なお、ベース基板４１０は平板形状であっても良く、その場合リッド４２０は内部空間Ｓを構成するために凹状のキャップ形状であることが良い。
【００１８】
（振動素子）
図２に示すように、振動素子２００は、振動基板２１０と、この振動基板２１０上に形成された駆動用の電極３００とを有している。
振動基板２１０は、例えば、圧電基板として、水晶、特にＺカット水晶板で構成されている。これにより、振動素子２００は、優れた振動特性を発揮することができる。なお、Ｚカット水晶板とは、水晶のＺ軸（光軸）を厚さ方向とする水晶基板である。Ｚ軸は、振動基板２１０の厚さ方向と一致しているのが好ましいが、常温近傍における周波数温度変化を小さくする観点からは、厚さ方向に対して若干（例えば、１５°未満程度）傾けることになる。
【００１９】
振動基板２１０は、その平面視にて、基部２２０と、基部２２０から＋Ｙ軸方向へ突出し、かつ、Ｘ方向に並んで設けられた２つの振動腕２３０、２４０と、基部２２０から＋Ｙ軸方向へ突出するとともに、２つの振動腕２３０、２４０の間に位置する支持腕２５０と、を有している。
基部２２０は、ＸＹ平面に広がりを有し、Ｚ軸方向に厚さを有する略板状をなしている。本実施形態の基部２２０は、腕２３０、２４０、２５０と反対側に、−Ｙ軸方向に向かって幅が漸減する縮幅部２２１を有している。このような縮幅部２２１を有することにより、振動漏れを抑制することができる。
【００２０】
振動腕２３０、２４０は、Ｘ方向に並んで設けられており、それぞれ、基部２２０から＋Ｙ方向に延出（突出）している。また、振動腕２３０、２４０の先端には、ハンマーヘッド２６０、２７０が設けられている。このようなハンマーヘッド２６０、２７０を設けることによって、振動素子２００の小型化を図ることができたり、振動腕２３０、２４０の屈曲振動の周波数を低めたりすることができる。なお、ハンマーヘッド２６０、２７０は、必要に応じて設ければよく、省略してもよい。
【００２１】
また、振動腕２３０には、一方の主面２３１に開放する有底の溝２３５と、他方の主面２３２に開放する有底の溝２３６とが形成されている。同様に、振動腕２４０には、一方の主面２４１に開放する有底の溝２４５と、他方の主面２４２に開放する有底の溝２４６とが形成されている。これら溝２３５、２３６、２４５、２４６は、Ｙ軸方向に延在して設けられており、互いに同じ形状をなしている。そのため、振動腕２３０、２４０は、略「Ｈ」状の横断面形状をなしている。このような溝２３５、２３６、２４５、２４６を形成することによって、屈曲振動によって発生する熱が拡散（熱伝導）し難くなり、屈曲振動周波数（機械的屈曲振動周波数）ｆが熱緩和周波数ｆ０より大きな領域（ｆ＞ｆ０）である断熱的領域では、熱弾性損失を抑制することができる。なお、溝２３５、２３６、２４５、２４６は、必要に応じて設ければよく、省略してもよい。
【００２２】
支持腕２５０は、基部２２０から＋Ｙ軸方向に延出しており、かつ、振動腕２３０、２４０の間に位置している。また、支持腕２５０は、長手形状をなしており、長手方向の全域に亘って幅（Ｘ方向の長さ）がほぼ一定となっている。ただし、支持腕２５０の形状（特に平面視形状）としては、特に限定されず、長手方向の途中に、幅が変化する部分を有していてもよい。
以上、振動基板２１０について説明した。次に、この振動基板２１０上に形成された電極３００について説明する。
【００２３】
図２に示すように、電極３００は、複数の第１駆動用電極（第１の励振電極）３１０と、これら複数の第１駆動用電極３１０を接続する配線３２０、３３０、３４０、３５０と、複数の第２駆動用電極（第２の励振電極）３６０と、これら複数の第２駆動用電極３６０を接続する配線３７０、３８０、３９０とを有している。
第１駆動用電極３１０は、振動腕２３０の各溝２３５、２３６の内面と、振動腕２４０の各側面２４３、２４４とに形成されている。溝２３５の第１駆動用電極３１０は、基部２２０の上面と側面とに跨って形成された配線３２０を介して側面２４４の第１駆動用電極３１０に接続され、溝２３６の第１駆動用電極３１０は、基部２２０の下面と側面とに跨って形成された配線３３０を介して側面２４４の第１駆動用電極３１０に接続されている。なお、配線３２０、３３０は、基部２２０の側面にて接続されている。また、側面２４４の第１駆動用電極３１０は、ハンマーヘッド２７０に形成された配線３４０を介して側面２４３の第１駆動用電極３１０に接続されている。さらに、側面２４３の第１駆動用電極３１０は、配線３５０によって、支持腕２５０の上面から側面を介して下面に移行している。配線３５０の先端部は、導電性接着剤４５１を介して後述の第１の接続電極１３との電気的接続を図る接続部３５１を構成している。接続部３５１は、支持腕２５０の側面を介して支持腕２５０の上面（他方の主面）に形成された配線３５０と電気的に接続されている。
【００２４】
一方、第２駆動用電極３６０は、振動腕２３０の各側面２３３、２３４と、振動腕２４０の各溝２４５、２４６の内面とに形成されている。溝２４５の第２駆動用電極３６０は、基部２２０の上面に形成された配線３７０を介して側面２３３の第２駆動用電極３６０に接続され、溝２４６の第２駆動用電極３６０は、基部２２０の下面に形成された配線３８０を介して側面２３３の第２駆動用電極３６０に接続されている。また、側面２３３に形成された第２駆動用電極３６０は、ハンマーヘッド２６０に形成された配線３９０を介して側面２３４に形成された第２駆動用電極３６０に接続されている。
【００２５】
また、配線３８０は、基部２２０の下面にて２つに分岐しており、分岐した一方の部分３８０’が前述したように側面２３３の第２駆動用電極３６０に接続され、他方の部分３８０”が支持腕２５０の下面であって、＋Ｙ軸方向に伸びている。支持腕２５０の下面へ延びた部分３８０”の先端部は、他の部分と比較して幅が広くなっており、導電性接着剤４５１を介して後述の第２の接続電極１４との電気的接続を図る接続部３８１を構成している。接続部３８１を、支持腕２５０の接続部３５１よりも−Ｙ軸方向側に配置することにより、接続部３５１と配線３８０との過度な接近を抑制することができるため、導電性接着剤４５１を介したこれらの短絡を効果的に抑制することができる。
これら接続部３５１、３８１（第１、第２駆動用電極３１０、３６０）間に交番電圧を印加すると、振動腕２３０、２４０が互いに接近、離間を繰り返すように面内方向（ＸＹ平面方向）に所定の周波数で振動する。
【００２６】
電極３００の構成材料としては、特に限定されず、例えば、金（Ａｕ）、金合金、白金（Ｐｔ）、アルミニウム（Ａｌ）、アルミニウム合金、銀（Ａｇ）、銀合金、クロム（Ｃｒ）、クロム合金、ニッケル（Ｎｉ）、ニッケル合金、銅（Ｃｕ）、モリブデン（Ｍｏ）、ニオブ（Ｎｂ）、タングステン（Ｗ）、鉄（Ｆｅ）、チタン（Ｔｉ）、コバルト（Ｃｏ）、亜鉛（Ｚｎ）、ジルコニウム（Ｚｒ）等の金属材料、酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）等の導電材料を用いることができる。
【００２７】
（台座）
図１および図３に示すように、パッケージ４００と振動素子２００との間には、台座１が介在している。すなわち、台座１は、振動素子２００と共にパッケージ４００に一括収納されている。この台座１は、貫通孔１２が形成された支持板１１と、第１の接続電極１３と、第２の接続電極１４と、第１の端子電極１５と、第２の端子電極１６と、第１の配線１８と、第２の配線１９とを有している。
【００２８】
図１、図３および図５に示すように、支持板１１は、Ｚ軸方向に厚みを有する平板状をなし、上面（第１の面）１１１と、下面（第２の面）１１２とを有している。上面１１１は、＋Ｚ軸方向に向いている面であり、下面１１２は、−Ｚ軸方向に向いている面である。
図３および図５に示すように、支持板１１には、上面１１１から下面１１２（厚さ方向）に貫通する貫通孔１２が形成されている。貫通孔１２は、支持板１１の先端部近傍に設けられている。また、貫通孔１２は、支持板１１のハンマーヘッド２６０、２７０に対向している。この貫通孔１２は、ウェットエッチング等により形成される。
【００２９】
図５に示すように、貫通孔１２は、Ｘ軸方向を長手とする長方形をなしている。また、貫通孔１２は、平面視で、ハンマーヘッド２６０、２７０（振動腕２３０、２４０）の先端部を一括包含している。すなわち、ハンマーヘッド２６０、２７０の先端部の直下（台座１の平面視でハンマーヘッド２６０、２７０と重なる部分）には台座１が存在していない。これにより、外力によって振動腕２３０、２４０がＺ軸方向に振動した場合、その振動に伴い、−Ｚ軸方向に湾曲変形したハンマーヘッド２６０、２７０の先端部が台座１と当接することを確実に防止することができる。よって、ハンマーヘッド２６０、２７０の損傷を確実に防止することができる。また、貫通孔１２の形状はＹ軸方向を長手とする形状でもよく、ハンマーヘッド２６０、２７０の直下に台座１が存在していなければ、ハンマーヘッド２６０、２７０の先端部が台座１と当接することをさらに確実に防止することができる。また、貫通孔１２の形状は長方形に限られるものではなく、円形や楕円形のように、その一部に丸みを帯びていてもよい。こうすると、衝撃によって支持板１１が大きく変形した場合にも、貫通孔１２に応力が集中しないので、支持板１１の破損の虞を小さくすることができる。
【００３０】
図１に示すように、支持板１１は、上面１１１および下面１１２以外に、上面１１１と下面１１２とを接続する側面１０を有している。側面１０は、外側面１１３と内側面１２０とを有している。
外側面１１３は、外側に向いている面であり、第１の外側面１１６と、第２の外側面１１７と、第３の外側面１１８と、第４の外側面１１９とを有している。
【００３１】
第１の外側面１１６は、＋Ｙ軸方向に向いている面である。第２の外側面１１７は、−Ｙ軸方向に向いている面である。第３の外側面１１８は、第１の外側面１１６と第２の外側面１１７との一端同士を接続し、＋Ｘ軸方向に向いている面である。第４の外側面１１９は、第１の外側面１１６と第２の外側面１１７との他端同士を接続し、−Ｘ軸方向に向いている面である。
【００３２】
内側面１２０は、貫通孔１２の内周面であり、第１の内側面１２１と、第２の内側面１２２と、第３の内側面１２３と、第４の内側面１２４とを有している。
第１の内側面１２１は、−Ｙ軸方向に向いている面である。第２の外側面１１７は、＋Ｙ軸方向に向いている面である。第３の内側面１２３は、第１の内側面１２１と第２の内側面１２２との一端同士を接続し、−Ｘ軸方向に向いている面である。第４の内側面１２４は、第１の内側面１２１と第２の内側面１２２との他端同士を接続し、＋Ｘ軸方向に向いている面である。
このように、外側面１１３と内側面１２０とは、互いに繋がっていない。すなわち、外側面１１３を構成する４つの外側面１１６〜１１９と、内側面１２０を構成する４つの内側面１２１〜１２４とは、それぞれ、平面視で重なっていない。
【００３３】
図１に示すように、上面１１１には、第１の接続電極１３および第２の接続電極１４が設けられている。第１の接続電極１３および第２の接続電極１４は、それぞれ略正方形をなし、互いに異なる位置に離間して設けられている。
図１、図３および図５に示すように、支持板１１の下面１１２には、第１の端子電極１５および第２の端子電極１６が設けられている。第１の端子電極１５および第２の端子電極１６は、略正方形をなし、互いに異なる位置に離間して設けられている。
【００３４】
図１および図５に示すように、支持板１１の外表面には、第１の配線１８と、第１の配線１８と離間して設けられた第２の配線１９とが形成されている。
図１および図５に示すように、第１の配線１８は、上面１１１の第１の接続電極１３と下面１１２の第１の端子電極１５とを接続する配線である。第１の配線１８は、第１の上面部１８１と、第１の下面部１８２と、第１の移行部１８３とを有している。
【００３５】
第１の上面部１８１は、上面１１１に形成され、第１の下面部１８２は、下面１１２に形成されている。第１の移行部１８３は、内側面１２０の第２の内側面１２２に形成され、上面１１１から下面１１２に移行し、第１の上面部１８１と第１の下面部１８２とを接続している。第１の移行部１８３は、第２の内側面１２２のＸ軸方向の中央を通過している。すなわち、振動腕２３０、２４０と重なっていない。これにより、駆動電極と配線との間の寄生容量を小さくすることができる。
【００３６】
一方、第２の配線１９は、上面１１１の第２の接続電極１４と下面１１２の第２の端子電極１６とを接続する配線である。第２の配線１９は、第２の上面部１９１と、第２の下面部１９２と、第２の移行部１９３とを有している。
第２の上面部１９１は、上面１１１に形成され、第２の下面部１９２は、下面１１２に形成されている。第２の移行部１９３は、外側面１１３の第１の外側面１１６に形成され、上面１１１から下面１１２に移行し、第２の上面部１９１と第２の下面部１９２とを接続している。第２の移行部１９３は、第１の外側面１１６の中央より＋Ｘ軸側に設けられている。これにより、第１の配線１８と第２の配線１９とを確実に離間させることができる。よって、第１の配線１８と第２の配線１９との間の寄生容量を小さくすることができる。
このように、第１の配線１８は、貫通孔１２の内側面１２０を通過し、第２の配線１９は、内側面１２０と繋がっていない外側面１１３を通過するよう形成されている。換言すれば、第１の移行部１８３と第２の移行部１９３とは、支持板１１の互いに繋がっていない側面をそれぞれ通過している。
【００３７】
ところで、このような第１の配線１８および第２の配線１９は、フォトリソグラフィー技法およびエッチング技法により得られる。フォトリソグラフィー技法の露光工程では、上面１１１および下面１１２への露光は、上面１１１側および下面１１２側から露光光を照射することにより簡単に行うことができる。これに対して、側面１０の露光は、露光光を上面側または下面側から斜めに照射する必要がある。この場合、側面１０には十分に露光光が照射されないおそれがある。これにより、側面１０の意図しない部分に金属膜が残存するおそれがある。そのため、従来のように、第１の移行部１８３と第２の移行部１９３とが、互いに繋がった側面をそれぞれ通過している場合には、第１の配線１８と第２の配線１９とが短絡するおそれがあった。
【００３８】
しかしながら、本願発明では、前述したように、第１の移行部１８３と第２の移行部１９３とが、側面１０のうちの、互いに繋がっていない側面をそれぞれ通過している。そのため、仮に、不本意に金属膜が残存したとしても、その金属膜を介して、第１の配線１８と第２の配線１９とが、短絡することはない。
また、図５に示すように、第１の外側面１１６と第２の内側面１２２とは、同じ方向、すなわち、＋Ｙ軸方向を向いている。これにより、露光工程では、第１の外側面１１６と第２の内側面１２２とに略同じ光量の露光光が照射される。よって、第１の外側面１１６および第２の内側面１２２では、露光工程の精度が比較的高くなる。さらに、露光工程が、比較的簡単になる。
【００３９】
このような構成の支持板１１は、平面視でパッケージ４００のベース基板４１０よりも小さい。支持板１１の厚さは、振動素子２００の大きさに応じて適宜設定されるが、例えば、０．０１ｍｍ〜０．３ｍｍが好ましく、０．０３ｍｍ〜０．１ｍｍがより好ましい。支持板１１の厚さを前記範囲内に設定することにより、振動漏れの防止、熱応力に伴う特性変化の抑制、および耐衝撃性の向上をさらに図ることができる。
【００４０】
このような支持板１１の構成材料としては、特に限定されず、例えば水晶、サファイア、シリコンのような結晶材料、アルミナ、ジルコニア、窒化ケイ素、炭化ケイ素のようなセラミックス材料、石英ガラス、ホウケイ酸ガラスのようなガラス材料、エポキシ系樹脂、アクリル系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリイミド系樹脂、フェノール系樹脂のような樹脂材料等が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上の複合材料を用いることができる。
【００４１】
このうち、支持板１１の構成材料は、振動素子２００の構成材料と同じ、あるいはそれと熱膨張率が近い材料であるのが好ましい。具体的には、複数の導電性接着剤４５１同士を結ぶ少なくとも１本の線分の成す方向において、支持板１１の線膨張係数が、振動素子２００の線膨張係数に対して０．５倍以上であって２倍以下の範囲にあることが望ましい。これにより、支持板１１の熱膨張（あるいは熱収縮）に起因する熱応力に伴う振動素子２００の振動特性（周波数特性）の変化を抑制することができまた、ベース基板４１０の熱膨張（あるいは熱収縮）に起因し、支持板１１を経由して発生する熱応力に伴う振動素子２００の振動特性（周波数特性）の変化を抑制することができる。さらに、振動子１００の耐衝撃性をより高めることができる。
【００４２】
また、支持板１１をガラス材料で構成する場合には、支持板１１を比較的容易に加工することができる。
さらに、支持板１１の材料として、パッケージ４００を構成する材料よりも、ヤング率が小さい材料を用いることで、振動素子２００の振動漏れを効果的に抑制することができる。
【００４３】
このような支持板１１は板状の部材であり、特に限定されないものの、パッケージ４００内において、その内面に触れないよう固定されている。こうすることによって、振動素子２００から導電性接着剤４５１を経由して支持板１１に伝達した振動漏れが、支持板１１からパッケージ４００に直接的に漏洩することを防ぐことができる。また、支持板１１の平面視形状は、特に限定されないものの、角部が湾曲しているか、あるいは面取りされているのが好ましい。これにより、支持板１１は、振動子１００に大きな衝撃が加わったときでも、パッケージ４００の内面に触れ難いものとなり、また、仮に触れたとしても欠けたり割れたりし難いものとなる。その結果、振動子１００の耐衝撃性がより高められる。
角部が湾曲しているとは、例えば平面視形状が矩形状である支持板１１について、輪郭が直角をなす角部に丸みを付けた状態のことをいう。また、面取りされているとは、例えば輪郭が直角をなす角部を斜めに切り落とすようにした状態のことをいう。
以上、パッケージ４００、振動素子２００、台座１についで説明した。
【００４４】
振動素子２００は、２つの導電性接着剤４５１を介して台座１に固定されている。一方の導電性接着剤４５１は、台座１の第１の接続電極１３と振動素子２００の接続部３５１とに接触し、これらを電気的に接続している。他方の導電性接着剤４５１は、台座１の第２の接続電極１４と振動素子２００の接続部３８１とに接触し、これらを電気的に接続している。
【００４５】
また、台座１は、２つの導電性接着剤４５１を介してパッケージ４００に固定されている。一方の導電性接着剤４５１は、台座１の第１の端子電極１５とパッケージ４００の内部電極４３２とに接触し、これらを電気的に接続している。他方の導電性接着剤４５１は、台座１の第２の端子電極１６とパッケージ４００の内部電極４３１とに接触し、これらを電気的に接続している。
このような構成により、パッケージ４００の実装電極４３３、４３４と振動素子２００の第１駆動用電極３１０および第２駆動用電極３６０とは、電気的に接続される。よって、実装電極４３３、４３４に所定の周波数の電圧が印加されると、振動素子２００は所定の周波数で振動する。
【００４６】
なお、振動子１００の組立方法としては、例えば、まず、台座１に導電性接着剤４５１を介して振動素子２００を固定し、次に、パッケージ４００に導電性接着剤４５１を介して台座１を固定する方法が好ましい。このようにすると、支持板１１が振動素子２００よりも所定の方向に突出して固定されていれば、その突出した端部がパッケージ４００に接触しても振動素子２００がパッケージ４００に接触して振動漏れが増大する虞がないので、その突出した端部を基準にパッケージ４００へ搭載すればよいから、これらの固定を簡単に行うことができる。
【００４７】
＜第２実施形態＞
次に、本発明の振動子の第２実施形態について説明する。
図６は、本発明の振動子の第２実施形態を示す分解斜視図、図７は、図６中の矢印Ｃ方向から見た平面図、図８は、図７中のＣ−Ｃ線断面図である。
以下、この図を参照して本発明の振動子の第２実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
本実施形態は、台座の構成が異なること以外は前記第１実施形態と同様である。
【００４８】
本実施形態の台座１の支持板１１は、Ｚカット水晶板で構成されている。
図６に示すように、支持板１１の上面１１１には、＋Ｚ軸方向に突出する凸部１７が形成されている。凸部１７はブロック状をなし、設置面１７１と、側面１７２とを有している。
設置面１７１は、＋Ｚ軸方向に向いている平面であり、振動素子２００が設置される。また、設置面１７１は、台座１の上面１１１と略平行に設けられている。これにより、台座１の上面１１１と振動素子２００との間のギャップを確実に確保することができる。
図６および図７に示すように、設置面１７１には、第１の接続電極１３および第２の接続電極１４が設けられている。第１の接続電極１３と第２の接続電極１４とは、Ｙ軸方向に沿って離間して設けられている。
【００４９】
側面１７２は、＋Ｙ軸側の第１の側面１７２Ａと、−Ｙ軸側の第２の側面１７２Ｂとを有している。第１の側面１７２Ａには、第１の配線１８の設置面１７１から上面１１１に移行する部分である第２の移行部１８４が通過している。また、第２の側面１７２Ｂには、第２の配線１９の設置面１７１から上面１１１に移行する部分である第４の移行部１９４が通過している。
【００５０】
また、図７および図８に示すように、側面１７２には、外側に開放する一対の欠損部１１４がそれぞれ設けられている。欠損部１１４は、第１の接続電極１３と第２の接続電極１４との間に設けられている。また、欠損部１１４は、設置面１７１から上面１１１にわたって切り欠かれて形成され、平面視で略Ｖ字状をなしている。このような欠損部１１４は、例えば、ウェットエッチングによって形成することにより、簡単かつ確実に得ることができる。
【００５１】
図８に示すように、一対の欠損部１１４は、傾斜面１１４ａおよび傾斜面１１４ｂに臨んでいる。台座１はＺカット水晶板で構成されているため、この傾斜面１１４ａおよび傾斜面１１４ｂは、ＹＺ平面に対してＹ軸回りに傾斜し、平面視で視認することができる（露出している）。これにより、フォトリソグラフィー技法の露光工程では、上面１１１側からの露光光の照射で、傾斜面１１４ａ、１１４ｂに露光光を照射することができる。よって、傾斜面１１４ａ、１１４ｂに塗布された金属膜を確実に除去することができる。すなわち、第１の側面１７２Ａと第２の側面１７２Ｂとは、金属膜によって繋がることが防止されているため、互いに繋がっていない。
【００５２】
このように、第１の移行部１８３は、第１の側面１７２Ａを通過し、第２の移行部１８４は、第１の側面１７２Ａと繋がっていない第２の側面１７２Ｂを通過している。これにより、第１の移行部１８３と第２の移行部１８４とは、確実に電気的に繋がっていない。
このような第２実施形態においても、前述した第１実施形態と同様の作用・効果が得られる。
【００５３】
なお、本実施形態では、支持板１１をＺカット水晶版で構成した場合について説明したが、水晶版カット角は、特に限定されず、例えば、ＡＴカット、ＢＴカット、ＣＴカット、ＤＴカット、ＥＴカット、ＦＴカット、ＧＴカット、ＬＱ１Ｔカット、ＬＱ２Ｔカット、Ｍカット、ＭＴカット、ＮＴカット、ＮＳ−ＧＴカット、ＡＣカット、ＢＣカット、ＴＴカット、Ｖカット、ＳＴカット、Ｘカット、Ｙカット、ＺＴカット、その他のカット角であってもよい。
【００５４】
＜第３実施形態＞
次に、本発明の振動子の第３実施形態について説明する。
図９は、本発明の振動子の第３実施形態の台座および振動素子を示す平面図であって、ａ）が上面図、（ｂ）が下面図である。
以下、この図を参照して本発明の振動子の第３実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
本実施形態は、台座（貫通孔）の構成が異なること以外は前記第１実施形態と同様である。
【００５５】
本実施形態の台座１は、その厚さ方向に貫通し、互いに異なる位置に設けられた２つの貫通孔１２Ａ、１２Ｂを有している。貫通孔１２Ａ、１２Ｂは、支持板１１の先端部近傍、換言すれば、支持板１１のハンマーヘッド２６０、２７０の先端部に対向する部分にそれぞれ設けられている。貫通孔１２Ａと貫通孔１２Ｂとは、互いに連通していない。すなわち、貫通孔の内周面である内側面１２０Ａと貫通孔１２Ｂの内周面である内側面１２０Ｂとは、繋がっていない。
貫通孔１２は、平面視で、長方形をなし、ハンマーヘッド２６０、２７０（振動腕２３０、２４０）の先端部をそれぞれ包含している。すなわち、ハンマーヘッド２６０、２７０の先端部の直下には台座１が存在していない。
【００５６】
第１の移行部１８３は、内側面１２０Ｂの−Ｙ軸側の面を通過し、第２の移行部１９３は、内側面１２０Ｂと繋がっていない内側面１２０Ａの−Ｙ軸側の面を通過している。すなわち、第１の移行部１８３と第２の移行部１９３とは、支持板１１の側面１０のうちの、互いに繋がっていない側面をそれぞれ通過している。
また、第１の配線１８と第２の配線１９とが、外側面１１３を通過する部分を有していない。そのため、例えば前述した第１実施形態よりも第１の移行部１８３および第２の移行部１９３が支持板１１の中央側に位置しているため、台座１のたわみ等により発生する応力を軽減することができ、第１の配線１８および第２の配線１９の断線を効果的に抑制することができる。
このような第３実施形態においても、前述した第１実施形態と同様の作用・効果が得られる。
【００５７】
＜第４実施形態＞
次に、本発明の振動子の第４実施形態について説明する。
図１０は、本発明の振動子の第４実施形態の台座および振動素子を示す平面図であって、（ａ）が上面図、（ｂ）が下面図である。
以下、この図を参照して本発明の振動子の第４実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
本実施形態は、台座の構成が異なること以外は前記第３実施形態と同様である。
【００５８】
本実施形態の台座１の貫通孔１２Ｃ、１２Ｄは、＋Ｙ軸方向側に開放している。
また、第１の移行部１８３は、貫通孔１２Ｃの内周面である内側面１２０Ｃを通過している。第２の移行部１９３は、貫通孔１２Ｄの内周面である内側面１２０Ｄを通過している。
支持板１１の外側面１１３には、一対の欠損部１１４Ａ、１１４Ｂが設けられている。欠損部１１４Ａおよび欠損部１１４Ｂは、前述した欠損部１１４と同様の構成である。この一対の欠損部１１４Ａ、１１４Ｂが形成されていることで、内側面１２０Ｃと内側面１２０Ｄとは、互いに繋がっていない。これによって、第２の実施形態における欠損部１１４と同様の効果を得ることができるため、金属膜によって繋がることが防止される。
【００５９】
第１の移行部１８３は、内側面１２０Ｃの第１の内側面１２１を通過し、第２の移行部１９３は、内側面１２０Ｃと繋がっていない内側面１２０Ｄの第１の内側面１２１を通過している。すなわち、第１の移行部１８３と第２の移行部１９３とは、側面１０のうちの、互いに繋がっていない側面をそれぞれ通過している。
このような第４実施形態においても、前述した第３実施形態と同様の作用・効果が得られる。
【００６０】
＜第５実施形態＞
次に、本発明の振動子の第５実施形態について説明する。
図１１は、本発明の振動子の第５実施形態の台座および振動素子を示す平面図であって、（ａ）が上面図、（ｂ）が下面図である。
以下、この図を参照して本発明の振動子の第５実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
本実施形態は、台座の構成が異なること以外は前記第４実施形態と同様である。
【００６１】
本実施形態の台座１は、平面視で、第１の外側面１１６がハンマーヘッド２６０、２７０（振動腕２３０、２４０）の先端より−Ｙ軸方向側に位置している。これにより、ハンマーヘッド２６０、２７０の先端部の直下には、台座１が存在していない。
このように本実施形態では、Ｙ軸方向の長さが比較的短い台座１を用いることで、貫通孔１２Ｃ、１２Ｄを省略することができる。これにより、支持板１１の構成が比較的簡素なものとなり、よって、比較的容易に台座１を製造することができる。
このような第５実施形態においても、前述した第４実施形態と同様の作用・効果が得られる。
【００６２】
＜第６実施形態＞
次に、本発明の振動子の第６実施形態について説明する。
図１２は、本発明の振動子の第６実施形態の台座および振動素子を示す平面図であって、（ａ）が上面図、（ｂ）が図１２（ａ）のＤ−Ｄ線断面図である。
以下、この図を参照して本発明の振動子の第６実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
本実施形態は、台座の構成が異なること以外は前記第１実施形態と同様である。
【００６３】
本実施形態の台座１は、その上面１１１に弾性を有する弾性体１１５を有している。弾性体１１５は貫通孔１２の開口の縁部の基端に設けられている。これにより、振動腕２３０、２４０が湾曲変形して、台座１、すなわち、貫通孔１２の上面１１１側の開口の縁部と当接する程度に湾曲した場合であっても、ハンマーヘッド２６０、２７０は、弾性体１１５と当接する。よって、ハンマーヘッド２６０、２７０の損傷をより確実に防止することができる。
【００６４】
このような弾性体１１５を構成する材料としては、例えば、エポキシ系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリウレタン系樹脂、シリコン系樹脂、ポリイミド系樹脂、アクリル系樹脂、ビスマレイミド系樹脂等の各種樹脂材料、石英ガラス、ホウケイ酸ガラスのようなガラス材料等が挙げられるが、支持板１１よりもヤング率の小さい弾性を有する材料であれば、特に限定されない。
このような第６実施形態においても、前述した第１実施形態と同様の作用・効果が得られる。
【００６５】
＜第７実施形態＞
次に、本発明の振動子の第７実施形態について説明する。
図１３は、本発明の振動子の第７実施形態を示す縦断面図である。
以下、この図を参照して本発明の振動子の第７実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
本実施形態は、台座の構成が異なること以外は前記第１実施形態と同様である。
【００６６】
本実施形態の台座１は、その厚さ方向に導電性を有している。この台座１は、絶縁性を有する板状の支持板１１と、支持板１１を厚さ方向に貫通し、導電性を有する複数の貫通電極１１０’とで構成されている。この貫通電極１１０’によって、接続部３５１と内部電極４３２、接続部３８１と内部電極４３１は、それぞれ導電性接着剤４５１を介して電気的に接続されている。これにより、第１の接続電極１３、第２の接続電極１４、第１の端子電極１５、第２の端子電極１６、第１の配線１８および第２の配線１９を省略することができる。
支持板１１の構成材料としては、例えば、エポキシ系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリウレタン系樹脂、シリコン系樹脂、ポリイミド系樹脂、アクリル系樹脂、ビスマレイミド系樹脂、フッ素ゴム系樹脂等が挙げられる。
【００６７】
また、本体１１０は、支持板１１よりもヤング率の小さい弾性を有している。これにより、貫通孔１２および弾性体１１５を省略することができる。
さらに、本実施形態のパッケージ４００のベース基板４１０には、アウトガス（加熱時や経時的に発生する接着剤からのガス等）を吸収するゲッター材４６０が設けられている。これにより、振動素子２００と台座１が当接した場合に生じるアウトガスを吸収することができ、よって、信頼性の高い振動子１００を得ることができる。
このような第７実施形態においても、前述した第１実施形態と同様の作用・効果が得られる。
【００６８】
＜第８実施形態＞
次に、本発明の振動子の第８実施形態について説明する。
図１４は、本発明の振動子の第８実施形態を示す分解斜視図である。
以下、この図を参照して本発明の振動子の第７実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
本実施形態は、振動素子の構成が異なること以外は前記第１実施形態と同様である。
【００６９】
本実施形態の振動素子２００Ａは、支持腕２５０が省略されている。これにより、比較的容易に振動素子２００Ａを得ることができる。
また、基部２２０の下側の面には、−Ｚ軸方向に突出した凸部１７Ａが設けられている。この凸部１７Ａは前述した凸部１７と同様の機能（上面１１１と振動素子２００との間のギャップを確保する機能）である。凸部１７Ａの設置面１７１Ａには、接続部３５１、３８１が設けられている。このような凸部１７Ａが振動素子２００Ａに設けられていることにより、台座１の凸部１７を省略することができ、よって、台座１を比較的容易に得ることができる。
このような第８実施形態においても、前述した第７実施形態と同様の作用・効果が得られる。
【００７０】
＜第９実施形態＞
次に、本発明の振動子の第９実施形態について説明する。
図１５は、本発明の振動子の第９実施形態の振動素子を示す縦断面図である。
以下、この図を参照して本発明の振動子の第９実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
本実施形態は、振動素子の構成が異なること以外は前記第１実施形態と同様である。
【００７１】
本実施形態の振動素子２００の配線３５０は、ワイヤーボンディング技術により形成された金属ワイヤー（ボンディングワイヤー）４７０を介して、第１の接続電極１３に電気的に接続されている。これにより、接続部３５１、支持腕２５０の側面の配線３５０のうちの側面を通過する部分および下面を通過する部分を省略することができ、よって、振動素子２００を比較的容易に製造することができる。また、台座１と振動素子２００との短絡を防止することができる。
このような第９実施形態においても、前述した第１実施形態と同様の作用・効果が得られる。
【００７２】
２．発振器
次に、本発明の振動子を適用した発振器（本発明の発振器）について説明する。
図１６に示す発振器９００は、振動素子２００と、振動素子２００を収納するパッケージ４００Ａと、振動素子２００を駆動するためのＩＣチップ（チップ部品）６００とを有している。
【００７３】
パッケージ４００Ａは、ベース基板４１０Ａと、ベース基板４１０Ａに接合されたリッド４２０Ａとを有している。
ベース基板４１０Ａは、上面に開放する第１凹部４１１Ａと、下面に開放する第２凹部４１２Ａとを有している。
第１凹部４１１Ａの開口は、リッド４２０Ａによって塞がれており、その内側に、振動素子２００が収納されている。また、第１凹部４１１Ａ内には、２つの内部電極４３１、４３２が形成されている。第１凹部４１１Ａ内の台座１は、一対の導電性接着剤４５１を介してベース基板４１０Ａに支持、固定されている。一方の導電性接着剤４５１は、内部電極４３１と第２の端子電極１６とを電気的に接続するように設けられており、他方の導電性接着剤４５２は、内部電極４３２と第１の端子電極１５とを電気的に接続するように設けられている。
【００７４】
一方、第２凹部４１２Ａ内にはＩＣチップ６００が収容されており、このＩＣチップ６００は、接着剤を介してベース基板４１０Ａに固定されている。また、第２凹部４１２Ａ内には、少なくとも２つのＩＣ接続電極４３５、４３６が形成されている。ＩＣ接続電極４３５は、ボンディングワイヤーによってＩＣチップ６００と電気的に接続されているとともに、図示しない貫通電極や層間配線を介して内部電極４３１と電気的に接続されている。同様に、ＩＣ接続電極４３６、ボンディングワイヤーによってＩＣチップ６００と電気的に接続されているとともに、図示しない貫通電極や層間配線を介して内部電極４３２と電気的に接続されている。また、第２凹部４１２Ａ内には樹脂材料７００が充填されており、この樹脂材料７００によって、ＩＣチップ６００が封止されている。
ＩＣチップ６００は、振動素子２００の駆動を制御するための駆動回路（発振回路）を有しており、このＩＣチップ６００によって振動素子２００を駆動すると、所定の周波数の信号を取り出すことができる。
【００７５】
３．電子機器
次いで、本発明の振動子を適用した電子機器（本発明の電子機器）について、図１７〜図１９に基づき、詳細に説明する。
図１７は、本発明の振動子を備える電子機器を適用したモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピューターの構成を示す斜視図である。この図において、パーソナルコンピューター１１００は、キーボード１１０２を備えた本体部１１０４と、表示部２０００を備えた表示ユニット１１０６とにより構成され、表示ユニット１１０６は、本体部１１０４に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。このようなパーソナルコンピューター１１００には、発振器９００（振動子１００）が内蔵されている。
【００７６】
図１８は、本発明の振動子を備える電子機器を適用した携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図である。この図において、携帯電話機１２００は、複数の操作ボタン１２０２、受話口１２０４および送話口１２０６を備え、操作ボタン１２０２と受話口１２０４との間には、表示部２０００が配置されている。このような携帯電話機１２００には、発振器９００（振動子１００）が内蔵されている。
【００７７】
図１９は、本発明の振動子を備える電子機器を適用したディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図である。なお、この図には、外部機器との接続についても簡易的に示されている。ここで、通常のカメラは、被写体の光像により銀塩写真フィルムを感光するのに対し、ディジタルスチルカメラ１３００は、被写体の光像をＣＣＤ（Charge Coupled Device）などの撮像素子により光電変換して撮像信号（画像信号）を生成する。
【００７８】
ディジタルスチルカメラ１３００におけるケース（ボディー）１３０２の背面には、表示部が設けられ、ＣＣＤによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、表示部は、被写体を電子画像として表示するファインダーとして機能する。また、ケース１３０２の正面側（図中裏面側）には、光学レンズ（撮像光学系）やＣＣＤなどを含む受光ユニット１３０４が設けられている。
【００７９】
撮影者が表示部に表示された被写体像を確認し、シャッタボタン１３０６を押下すると、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、メモリー１３０８に転送・格納される。また、このディジタルスチルカメラ１３００においては、ケース１３０２の側面に、ビデオ信号出力端子１３１２と、データ通信用の入出力端子１３１４とが設けられている。そして、図示されるように、ビデオ信号出力端子１３１２にはテレビモニター１４３０が、データ通信用の入出力端子１３１４にはパーソナルコンピューター１４４０が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、メモリー１３０８に格納された撮像信号が、テレビモニター１４３０や、パーソナルコンピューター１４４０に出力される構成になっている。このようなディジタルスチルカメラ１３００には、発振器９００（振動子１００）が内蔵されている。
【００８０】
４．移動体
次いで、本発明の振動子を適用した移動体（本発明の移動体）について、図２０に基づき、詳細に説明する。
図２０は、本発明の振動子を備える電子機器を適用した移動体（自動車）の構成を示す斜視図である。この図において、移動車１５００は、車体１５０１と、４つの車輪１５０２とを有しており、車体１５０１に設けられた図示しない動力源（エンジン）によって車輪１５０２を回転させるように構成されている。このような移動車１５００には、発振器９００（振動子１００）が内蔵されている。
【００８１】
なお、本発明の振動子を備える電子機器は、図１７のパーソナルコンピューター（モバイル型パーソナルコンピューター）、図１８の携帯電話機、図１９のディジタルスチルカメラ、図２０の移動体の他にも、例えば、インクジェット式吐出装置（例えばインクジェットプリンター）、ラップトップ型パーソナルコンピューター、テレビ、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダー、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシュミレーター等に適用することができる。
【００８２】
以上、本発明の振動子、発振器、電子機器および移動体を図示の実施形態について説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、振動子、発振器、電子機器および移動体を構成する各部は、同様の機能を発揮し得る任意の構成のものと置換することができる。また、任意の構成物が付加されていてもよい。
また、本発明の振動子、発振器、電子機器および移動体は、前記各実施形態のうちの、任意の２以上の構成（特徴）を組み合わせたものであってもよい。
【符号の説明】
【００８３】
１…台座  １０…側面  １１…支持板  １１０…本体  １１０’…貫通電極  １１１…上面  １１２…下面  １１３…外側面  １１４、１１４Ａ、１１４Ｂ…欠損部  １１４ａ、１１４ｂ…傾斜面  １１５…弾性体  １１６…第１の外側面  １１７…第２の外側面  １１８…第３の外側面  １１９…第４の外側面  １２、１２Ａ、１２Ｂ、１２Ｃ、１２Ｄ…貫通孔  １２０、１２０Ａ、１２０Ｂ、１２０Ｃ、１２０Ｄ…内側面  １２１…第１の内側面  １２２…第２の内側面  １２３…第３の内側面  １２４…第４の内側面  １３…第１の接続電極  １４…第２の接続電極  １５…第１の端子電極  １６…第２の端子電極  １７、１７Ａ…凸部  １７１、１７１Ａ…設置面  １７２…側面  １７２Ａ…第１の側面  １７２Ｂ…第２の側面  １８…第１の配線  １８１…第１の上面部  １８２…第１の下面部  １８３…第１の移行部  １８４…第２の移行部  １９…第２の配線  １９１…第２の上面部  １９２…第２の下面部  １９３…第２の移行部  １９４…第４の移行部  １００…振動子  ２００、２００Ａ…振動素子  ２１０…振動基板  ２２０…基部  ２２１…縮幅部  ２３０…振動腕  ２３１、２３２…主面  ２３３、２３４…側面  ２３５、２３６…溝  ２４０…振動腕  ２４１、２４２…主面  ２４３、２４４…側面  ２４５、２４６…溝  ２５０…支持腕  ２５１…貫通孔  ２６０、２７０…ハンマーヘッド  ３００…電極  ３１０…第１駆動用電極  ３２０、３３０、３４０、３５０…配線  ３５１…接続部  ３６０…第２駆動用電極  ３７０、３８０、３９０…配線  ３８０’、３８０”…部分  ３８１…接続部  ４００、４００Ａ…パッケージ  ４１０、４１０Ａ…ベース基板  ４１１…凹部  ４１１Ａ…第１凹部  ４１２Ａ…第２凹部  ４２０、４２０Ａ…リッド  ４３１、４３２…内部電極  ４３３、４３４…実装電極  ４３５、４３６…ＩＣ接続電極  ４５１、４５２…導電性接着剤  ４６０…ゲッター材  ４７０…金属ワイヤー（ボンディングワイヤー）  ６００…ＩＣチップ  ７００…樹脂材料  ９００…発振器  １１００…パーソナルコンピューター  １１０２…キーボード  １１０４…本体部  １１０６…表示ユニット  １２００…携帯電話機  １２０２…操作ボタン  １２０４…受話口  １２０６…送話口  １３００…ディジタルスチルカメラ  １３０２…ケース  １３０４…受光ユニット  １３０６…シャッタボタン  １３０８…メモリー  １３１２…ビデオ信号出力端子  １３１４…入出力端子  １４３０…テレビモニター  １４４０…パーソナルコンピューター  １５００…移動車  １５０１…車体  １５０２…車輪  ２０００…表示部  Ｓ…内部空間
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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