(57)【要約】【課題】簡便に、マイクロポンプ部の圧力を高精度に制御できるマイクロポンプ装置を提供する。【解決手段】本発明に係るマイクロポンプ装置１０では、マイクロ流路２０ａ内を上流から下流に向かって液体を移動させることが可能である。本発明に係るマイクロポンプ装置１０は、液体の流路であるマイクロ流路を２０ａを有する基材２０と、光の照射によりガスを発生するガス発生材２１ａを有する複数のマイクロポンプ部２１Ａ〜２１Ｄと、複数のマイクロポンプ部２１Ａ〜２１Ｄに光を照射するための複数の光照射部２４Ａ〜２４Ｍとを備える。本発明に係るマイクロポンプ装置１０では、１つのマイクロポンプ部２１Ａ〜２１Ｄに対して、２つ以上の光照射部２４Ａ〜２４Ｍから、光を照射可能であるように構成されている。【選択図】図１
2014205201.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
マイクロ流路内を上流から下流に向かって液体を移動させることが可能であるマイクロポンプ装置であって、
液体の流路であるマイクロ流路を有する基材と、
光の照射によりガスを発生するガス発生材を有する複数のマイクロポンプ部と、
前記複数のマイクロポンプ部に光を照射するための複数の光照射部とを備え、
１つの前記マイクロポンプ部に対して、２つ以上の前記光照射部から、光を照射可能であるように構成されている、マイクロポンプ装置。
【請求項２】
１つの前記マイクロポンプ部に対して、２つ以上の前記光照射部から同時に、光を照射可能であるように構成されている、請求項１に記載のマイクロポンプ装置。
【請求項３】
前記複数の光照射部が、１つの前記光照射部から、２つ以上の前記マイクロポンプ部に対して、光を照射可能である光照射部を含む、請求項１又は２に記載のマイクロポンプ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マイクロ流路内を上流から下流に向かって液体を移動させることが可能であるマイクロポンプ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、小型であり、かつ携帯性に優れる分析装置として、マイクロポンプ装置を用いた分析装置が用いられてきている。このマイクロポンプ装置を用いた分析装置では、マイクロ流路内でサンプルの送液、希釈、濃縮及び分析等を行うことができる。
【０００３】
上記マイクロポンプ装置では、マイクロ流路内におけるサンプルの送液等のために、マイクロポンプが設けられている。マイクロポンプには、光の照射によりガスを発生するガス発生材が用いられている。ガス発生材に光を照射することにより、ガスを発生させ、該ガスをマイクロ流路に供給することで、該ガスによってマイクロ流路内の液体を搬送させることができる。このようなマイクロポンプ装置は、例えば、下記の特許文献１，２に開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−２７９０６９号公報
【特許文献２】特開２００９−２８７５５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献２では、送液量を制御するためには、光の照射強度を制御する必要がある。特許文献２では、制御パルス信号で光源を２値状態で明滅させ、ガス発生材の光照射強度に対する分解速度を制御することで、ガス発生量を制御する。
【０００６】
しかし、特許文献２では、マイクロポンプの圧力を高精度に制御することを目的として、パルスを十分に制御するためには、パルス信号を発生させるための回路設計が必要である。さらに、特許文献２では、ガス発生量は、マイクロポンプ内に配置されているガス発生材の量に依存する。このため、光照射によりガスを発生させると、時間とともにガス発生量が減少し、マイクロポンプの圧力が低下しやすい。
【０００７】
本発明の目的は、簡便に、マイクロポンプ部の圧力を高精度に制御できるマイクロポンプ装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の広い局面によれば、マイクロ流路内を上流から下流に向かって液体を移動させることが可能であるマイクロポンプ装置であって、液体の流路であるマイクロ流路を有する基材と、光の照射によりガスを発生するガス発生材を有する複数のマイクロポンプ部と、前記複数のマイクロポンプ部に光を照射するための複数の光照射部とを備え、１つの前記マイクロポンプ部に対して、２つ以上の前記光照射部から、光を照射可能であるように構成されている、マイクロポンプ装置が提供される。
【０００９】
本発明に係るマイクロポンプ装置のある特定の局面では、１つの前記マイクロポンプ部に対して、２つ以上の前記光照射部から同時に、光を照射可能であるように構成されている。
【００１０】
本発明に係るマイクロポンプ装置のある特定の局面では、前記複数の光照射部が、１つの前記光照射部から、２つ以上の前記マイクロポンプ部に対して、光を照射可能である光照射部を含む。
【発明の効果】
【００１１】
本発明に係るマイクロポンプ装置は、液体の流路であるマイクロ流路を有する基材と、光の照射によりガスを発生するガス発生材を有する複数のマイクロポンプ部と、上記複数のマイクロポンプ部に光を照射するための複数の光照射部とを備えており、更に１つの上記マイクロポンプ部に対して、２つ以上の上記光照射部から、光を照射可能であるように構成されているので、簡便に、マイクロポンプ部の圧力を高精度に制御できる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】図１は、本発明の一実施形態に係るマイクロポンプ装置の概略構成図である。
【図２】図２（ａ）及び（ｂ）は、図１に示すマイクロポンプ装置における光照射部をグループ分けした図である。
【図３】図３は、図１に示すマイクロポンプ装置において、マイクロポンプ部と、マイクロポンプ部に対して光照射部から照射される光との位置関係を模式的に示す図である。
【図４】図４は、マイクロポンプ部と、マイクロポンプ部に対して光照射部から照射される光との位置関係の変形例を模式的に示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の詳細を説明する。
【００１４】
本発明に係るマイクロポンプ装置は、マイクロ流路内を上流から下流に向かって液体を移動させることが可能であるマイクロポンプ装置である。本発明に係るマイクロポンプ装置は、液体の流路であるマイクロ流路を有する基材と、光の照射によりガスを発生するガス発生材を有する複数のマイクロポンプ部と、上記複数のマイクロポンプ部に光を照射するための複数の光照射部とを備える。本発明に係るマイクロポンプ装置は、１つの上記マイクロポンプ部に対して、２つ以上の上記光照射部から、光を照射可能であるように構成されている。
【００１５】
本発明に係るマイクロポンプ装置では、上述した構成が備えられているので、簡便に、マイクロポンプ部の圧力を高精度に制御できる。１つのマイクロポンプ部に対して、２つ以上の光照射部から、光の照射量を制御できるので、マイクロポンプ部に用いられているガス発生材の分解速度を高精度に制御することができる。また、１つのマイクロポンプ部に照射される光の照射強度を緩やかに上昇させることができ、マイクロポンプ部の圧力を安定化させることができる。また、複数の光照射部から光を照射可能であることから、複数の光照射部のうち１つの光照射部の光の照射強度が他の光照射部の光の照射強度と異なっていても、１つのマイクロポンプ部当たりに照射される全体の光の照射強度のばらつきを少なくすることができる。
【００１６】
以下、本発明を実施した好ましい形態の一例について説明する。但し、下記の実施形態は、単なる例示である。本発明は、下記の実施形態に何ら限定されない。
【００１７】
また、実施形態において参照する図面は、模式的に記載されており、図面に描画された物体の寸法の比率等は、現実の物体の寸法の比率等とは異なる場合がある。具体的な物体の寸法の比率等は、以下の説明を参酌して判断されるべきである。
【００１８】
図１は、本発明の一実施形態に係るマイクロポンプ装置の概略構成図である。
【００１９】
図１に示すマイクロポンプ装置１０は、液体の流路であるマイクロ流路２０ａを有する基材２０を備える。基材２０は、例えば基板である。基材２０内に、マイクロ流路２０ａが配置されている。マイクロポンプ装置１０では、矢印で示す方向に、上流から下流に向かって液体を移動させることが可能である。
【００２０】
基材２０において開口部を有するように、マイクロ流路２０ａが形成されている。
【００２１】
「マイクロ流路」とは、マイクロ流路を流れる液体に所謂マイクロ効果が発現する形状寸法に形成されている流路をいう。具体的には、「マイクロ流路」とは、マイクロ流路を流れる液体が、表面張力と毛細管現象との影響を強く受け、通常の寸法の流路を流れる液体とは異なる挙動を示す形状寸法に形成されている流路をいう。
【００２２】
従って、上記マイクロ流路は、微小な流路である。上記マイクロ流路の流路径は、好ましくは５０μｍ以上、好ましくは２ｍｍ以下である。上記マイクロ流路の流路長さは、好ましくは１μｍ以上、好ましくは１０００μｍ以下である。上記マイクロポンプ装置では、液体のマイクロ流路内の移動距離は好ましくは１μｍ以上、好ましくは１０００μｍ以下である。上記マイクロ流路の構造及び長さ等は適宜変更することができ、特に限定されない。また、上記マイクロ流路は、１つのみが存在していてもよく、複数の流路に分岐していてもよく、他のマイクロ流路と連通されていてもよい。
【００２３】
上記マイクロ流路内を流れる液体としては、例えば、水、油、生化学的緩衝液、血液、リンパ液、尿、土壌抽出水及び水耕水等が挙げられる。上記マイクロ流路は微小な流路であることから、マイクロ流路内において、上記液体は、例えば液滴であってもよい。
【００２４】
上記基材の材料としては、樹脂、ガラス及びセラミックス等が挙げられる。上記基材の材料である樹脂としては、有機シロキサン化合物、ポリメタクリレート樹脂及びポリオレフィン樹脂等が挙げられる。上記ポリオレフィン樹脂としては、環状ポリオレフィン樹脂等が挙げられる。上記有機シロキサン化合物としては、ポリジメチルシロキサン（ＰＤＭＳ）及びポリメチル水素シロキサン等が挙げられる。
【００２５】
マイクロポンプ装置１０は、基材２０の一方の表面側に、マイクロポンプとして、複数のマイクロポンプ部２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃ，２１Ｄを備える。マイクロポンプ部２１Ａ〜２１Ｄはそれぞれ、光の照射によりガスを発生するガス発生材２１ａを有する。マイクロポンプ部２１Ａ〜２１Ｄは、互いに距離を隔てている。マイクロポンプ部２１Ａ〜２１Ｄはそれぞれ、マイクロポンプ部２１Ａ〜２１Ｄから発生したガスが、マイクロ流路２０ａに供給可能であるように配置されている。
【００２６】
上記複数のマイクロポンプ部のそれぞれに、ガス発生材は１つずつ配置されていてもよく、上記複数のマイクロポンプ部の全体で、１つのガス発生材が配置されていてもよい。１つのみのガス発生材が用いられてもよく、複数のガス発生材が用いられてもよい。
【００２７】
上記ガス発生材は、光の照射によりガスを発生させることが可能であれば、特に限定されない。
【００２８】
上記ガス発生材は、光の照射によりガスを発生する化合物を含むことが好ましい。上記光の照射によりガスを発生させる化合物としては、アゾ化合物、アジド化合物及びポリオキシアルキレン化合物等が挙げられる。これらの化合物では、光の照射により、光分解反応が進行する。上記光の照射によりガスを発生する化合物は、１種のみが用いられてもよく、２種以上が併用されてもよい。
【００２９】
上記アゾ化合物としては、例えば、２，２’−アゾビス−（Ｎ−ブチル−２−メチルプロピオンアミド）等が挙げられる。上記アジド化合物としては、３−アジドメチル−３−メチルオキセタン及びグリシジルアジドポリマー等が挙げられる。
【００３０】
上記ガス発生材は、バインダー樹脂を含んでいてもよい。上記バインダー樹脂は、上記光の照射によりガスを発生する化合物を固定したり、上記ガス発生材に粘着性を持たせたり、上記ガス発生材に種々の機能を付加する役割を果たす。例えば、上記光の照射によりガスを発生する化合物をバインダー樹脂に分散させたり、上記光の照射によりガスを発生させる化合物を上記バインダー樹脂に相溶させたりして、上記ガス発生材を用いることができる。上記バインダー樹脂の使用により、上記ガス発生材を所望の形状に加工することが容易である。上記バインダー樹脂の使用により、例えば、フィルム状などの固形のガス発生材が容易に得られる。
【００３１】
上記バインダー樹脂の好ましい例としては、アクリル系樹脂及びエポキシ系樹脂等が挙げられる。但し、上記バインダー樹脂は、これらの樹脂に限定されない。上記バインダー樹脂自体が、光の照射によりガスを発生する性質を有していてもよい。上記バインダー樹脂は、１種のみが用いられてもよく、２種以上が併用されてもよい。
【００３２】
上記バインダー樹脂は、粘着性を付与するために、例えば、粘接着剤樹脂を含んでいてもよい。上記ガス発生材は、上記粘接着剤樹脂を含んでいてもよい。上記ガス発生材が粘接着剤樹脂を含むことにより、ガス発生材と基材との粘着性及び接着性がより一層高くなる。上記粘接着剤樹脂は、１種のみが用いられてもよく、２種以上が併用されてもよい。
【００３３】
なお、上記粘接着剤樹脂は、光の照射により粘着性が低下しない性質を有することが好ましい。この場合には、ガス発生材に対して光の照射が開始された後でも、ガス発生材と基剤との高い粘接着性を維持可能である。また、上記粘接着剤樹脂は、例えば、光の照射により、架橋しない性質を有することが好ましい。
【００３４】
上記粘接着剤樹脂としては、例えば、ゴム系粘接着剤樹脂、（メタ）アクリル系粘接着剤樹脂、シリコーン系粘接着剤樹脂、ウレタン系粘接着剤樹脂、スチレン−イソプレン−スチレン共重合体系粘接着剤樹脂、スチレン−ブタジエン−スチレン共重合体粘接着剤樹脂、エポキシ系粘接着剤樹脂及びイソシアネート系粘接着剤樹脂等が挙げられる。
【００３５】
上記ガス発生材は、光増感剤を含んでいてもよい。上記光増感剤としては、チオキサントン、ベンゾフェノン、アセトフェノン類及びポルフィリン等が挙げられる。
【００３６】
上記ガス発生材は、上述した成分の他に、必要に応じて、種々の添加剤を更に含んでいてもよい。上記添加剤としては、カップリング剤、可塑剤、界面活性剤、粘着付与剤、架橋剤及び安定剤等が挙げられる。また、上記添加剤の他の例としては、多孔質体、フィラー、金属箔、マイクロカプセル、及びその他の粒子等が挙げられる。上記ガス発生材に、多孔質体、フィラー、金属箔、マイクロカプセル及びその他の粒子が分散されていると、ガスの拡散がより一層早くなる。
【００３７】
上記で挙げたガス発生材はいずれも、光源の消灯と共に、速やかにガス発生反応が停止する。従って、上記で挙げたガス発生材は、応答性の良いガス発生材として好適に用いられる。
【００３８】
上記ガス発生材は、フィルムであることが好ましい。なお、フィルムにはテープ及びシートが含まれる。上記ガス発生材の厚みは特に限定されない。上記ガス発生材の厚みは好ましくは５μｍ以上、より好ましくは１０μｍ以上、好ましくは５ｍｍ以下、より好ましくは５００μｍ以下である。
【００３９】
マイクロポンプ装置１０は、複数のマイクロポンプ部２１Ａ〜２１Ｄの基材２０側とは反対の表面に、ガスバリア層２２を備える。ガス発生材２１ａの基材２０側とは反対の表面は、ガスバリア層２２により覆われている。ガスバリア層２２は、ガス発生材２１ａから発生したガスを、マイクロ流路２０ａ側とは反対側に流出することを抑えるために、かつマイクロ流路２０ａ側に導くために用いられている。ガスバリア層２２の使用により、マイクロ流路２０ａにガスが効率的に供給される。ガスバリア層２２は、ガス発生材２１ａにおいて発生したガスの透過性が低い層であることが好ましい。
【００４０】
上記ガスバリア層は、ガス透過性が低い性質を有し、更に光を透過させる性質を有することが好ましい。上記ガスバリア層の材料としては、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ガラス、石英ガラス及び耐熱ガラス等が挙げられる。
【００４１】
上記ガスバリア層の厚みは、上記ガスバリア層の材料等によって適宜変更でき、特に限定されない。上記ガスバリア層の厚みは、好ましくは１０μｍ以上、より好ましくは２５μｍ以上、好ましくは１ｍｍ以下、より好ましくは１００μｍ以下である。光を透過させる場合に、上記ガスバリア層は、紫外線領域の光の減衰が起きにくい層であることが好ましい。
【００４２】
マイクロポンプ装置１０では、ガスバリア層２２のマイクロポンプ部２１Ａ〜２１Ｄ側とは反対の表面に、開口部２３ａと遮光部２３ｂとを有するマスク２３が配置されている。マスク２３の使用により、ガス発生材２１ａの特定の位置に、光を容易に照射可能である。ガス発生材２１ａの光を照射したい位置に、マスク２３の開口部２３ａを配置させることで、ガス発生材２１ａの所定の領域のみで、ガスを発生させることができる。
【００４３】
上記マスクとしては、グラファイト含有ポリエチレンフィルム、並びにガラスの表面に金を蒸着して、マスクパターンが形成されたマスク等が挙げられる。
【００４４】
マイクロポンプ装置１０は、複数の光照射部２４Ａ，２４Ｂ，２４Ｃ，２４Ｄ，２４Ｅ，２４Ｆ，２４Ｇ，２４Ｈ，２４Ｉ，２４Ｊ，２４Ｋ，２４Ｌ，２４Ｍを備える。マイクロポンプ装置１０は、１つのマイクロポンプ部２１Ａ〜２１Ｄのそれぞれに対して、複数の光照射部２４Ａ〜２４Ｍの内の２つ以上の光照射部から、同時に光を照射可能であるように構成されている。具体的には、マイクロポンプ装置１０は、１つのマイクロポンプ部に対して、４つの光照射部から、光を照射可能であるように構成されている。１つのマイクロポンプ部に対して、２つ以上の光照射部から光を照射可能であればよく、例えば、２つの光照射部から光を照射可能であってもよく、３つの光照射部から光を照射可能であってもよい。
【００４５】
また、マイクロポンプ装置１０では、複数の光照射部２４Ａ〜２４Ｍが、複数のマイクロポンプ部２１Ａ〜２１Ｄの内の２つ以上のマイクロポンプ部に対して光を照射可能である光照射部２４Ｄ，２４Ｇ，２４Ｊを含む。マイクロポンプ装置１０は、複数の光照射部２４Ｄ，２４Ｇ，２４Ｊがそれぞれ、複数のマイクロポンプ部２１Ａ〜２１Ｄの内の２つ以上のマイクロポンプ部に対して光を照射可能であるように構成されている。
【００４６】
ここで、マイクロポンプ部２１Ａ〜２１Ｄと、光照射部２４Ａ〜２４Ｍとの位置関係を、図１と、図２（ａ）及び（ｂ）と、図３とを用いて説明する。
【００４７】
図２（ａ）及び（ｂ）に、光照射部２４Ａ〜２４ＭをグループＧ１〜Ｇ６にグループ分けした図を示す。図３に、図１に示すマイクロポンプ装置１０において、マイクロポンプ部２１Ａ〜２１Ｄと、マイクロポンプ部２１Ａ〜２１Ｄに対して、光照射部２４Ａ〜２４Ｍから照射される光との位置関係を模式的に示す。図３では、マイクロポンプ部２１Ａ〜２４Ｄに対して、光照射部２４Ａ〜２４Ｍからそれぞれ照射された光２４ａ〜２４ｍ（例えば２４Ａが２４ａに対応）の領域が示されている。
【００４８】
具体的には、光照射部２４Ａ〜２４Ｄ（図２（ａ）のグループＧ１）は、マイクロポンプ部２１Ａに光を照射可能である。光照射部２４Ｄは、複数のマイクロポンプ部２１Ａ，２１Ｂに光を照射可能である。光照射部２４Ｄ〜２４Ｇ（図２（ａ）のグループＧ２）はそれぞれ、マイクロポンプ部２１Ｂに光を照射可能である。光照射部２４Ｇは、複数のマイクロポンプ部２１Ｂ，２１Ｃに光を照射可能である。光照射部２４Ｇ〜２４Ｊ（図２（ａ）のグループＧ３）はそれぞれ、マイクロポンプ部２１Ｃに光を照射可能である。光照射部２４Ｊは、複数マイクロポンプ部２１Ｃ，２１Ｄに光を照射可能である。光照射部２４Ｊ〜２４Ｍ（図２（ａ）のグループＧ４）は、マイクロポンプ部２１Ｄに光を照射可能である。
【００４９】
光照射部２４Ｄ，２４Ｇ，２４Ｊ（図２（ｂ）のグループＧ５）はそれぞれ、複数のマイクロポンプ部に対して光を照射可能である。光照射部２４Ａ〜２４Ｃ、２４Ｅ，２４Ｆ，２４Ｈ，２４Ｉ，２４Ｋ〜２４Ｍ（図２（ｂ）のグループＧ６（グループＧ５を除くグループ））はそれぞれ、１つのマイクロポンプ部に対して、光を照射可能である。
【００５０】
次に、光照射部からマイクロポンプ部に光を照射する際の、発光パターンについて説明する。
【００５１】
下記の表１に、光照射部からの発光パターンの第１の例を示す。下記表１において、「○」は、光を照射していることを示す（後述する表２〜６も同じ）。
【００５２】
【表１】
2014205201.tif 000003
【００５３】
表１に示す例では、同時に、４つの光照射部から光を照射している。また、２分毎に、３つの光照射部からの光の照射をやめて、新たに３つの光照射部から光を照射している。表１に示す例では、光の照射開始から２分経過するまでは、光照射部２４Ａ〜２４Ｄから、マイクロポンプ部２１Ａ，２１Ｂに光を照射する。光の照射開始から２分経過してから４分経過するまでは、光照射部２４Ｄ〜２４Ｇから、マイクロポンプ部２１Ａ〜２１Ｃに光を照射する。光の照射開始から４分経過してから６分経過するまでは、光照射部２４Ｇ〜２４Ｊから、マイクロポンプ部２１Ｂ〜２１Ｄに光を照射する。光の照射開始から６分経過してから８分経過するまでは、光照射部２４Ｊ〜２４Ｍから、マイクロポンプ部２１Ｃ，２１Ｄに光を照射する。
【００５４】
下記の表２に、光照射部からの発光パターンの第２の例を示す。
【００５５】
【表２】
2014205201.tif 000004
【００５６】
表２に示す例では、同時に、４つの光照射部から光を照射している。また、１分毎に、１つの光照射部からの光の照射をやめて、新たに１つの光照射部から光を照射している。
【００５７】
下記の表３に、光照射部からの発光パターンの第４の例を示す。
【００５８】
【表３】
2014205201.tif 000005
【００５９】
表３に示す例では、４つの光照射部から光を照射している。また、２分毎に、２つの光照射部からの光の照射をやめて、新たに２つの光照射部から光を照射している。
【００６０】
下記の表４に、光照射部からの発光パターンの第４の例を示す。
【００６１】
【表４】
2014205201.tif 000006
【００６２】
表４に示す例では、同時に、３つの光照射部から光を照射している。また、２分毎に、２つの光照射部からの光の照射をやめて、新たに２つの光照射部から光を照射している。表４に示す例では、光の照射開始から２分経過するまでは、光照射部２４Ａ，２４Ｂ，２４Ｄから、マイクロポンプ部２１Ａ，２１Ｂに光を照射する。光の照射開始から２分経過してから４分経過するまでは、光照射部２４Ｄ，２４Ｅ，２４Ｇから、マイクロポンプ部２１Ａ〜２１Ｃに光を照射する。光の照射開始から４分経過してから６分経過するまでは、光照射部２４Ｇ，２４Ｈ，２４Ｊから、マイクロポンプ部２１Ｂ〜２１Ｄに光を照射する。光の照射開始から６分経過してから８分経過するまでは、光照射部２４Ｊ，２４Ｋ，２４Ｍから、マイクロポンプ部２１Ｃ，２１Ｄに光を照射する。
【００６３】
下記の表５に、光照射部からの発光パターンの第５の例を示す。
【００６４】
【表５】
2014205201.tif 000007
【００６５】
表５に示す例では、同時に、２つの光照射部から光を照射している。また、２分毎に、１つの光照射部からの光の照射をやめて、新たに１つの光照射部から光を照射している。表５に示す例では、光の照射開始から２分経過するまでは、光照射部２４Ａ，２４Ｄから、マイクロポンプ部２１Ａ，２１Ｂに光を照射する。光の照射開始から２分経過してから４分経過するまでは、光照射部２４Ｄ，２４Ｇから、マイクロポンプ部２１Ａ〜２１Ｃに光を照射する。光の照射開始から４分経過してから６分経過するまでは、光照射部２４Ｇ，２４Ｊから、マイクロポンプ部２１Ｂ〜２１Ｄに光を照射する。光の照射開始から６分経過してから８分経過するまでは、光照射部２４Ｊ，２４Ｍから、マイクロポンプ部２１Ｃ，２１Ｄに光を照射する。
【００６６】
上記光照射部における光源は、発光ダイオードであることが好ましい。上記発光ダイオードは、応答速度が速く、発光効率が高く、発熱が少なく、消費電力が低く、小型で高密度実装が可能であるという多くの利点を有する。従って、発光ダイオードは、光源として好適に用いることができる。
【００６７】
上記発光ダイオードとして、例えば、波長が３３０ｎｍ〜４１０ｎｍ程度の紫外光から紫の光を発し、発光出力が１０ｍＷ〜４００ｍＷ程度の紫外発光ダイオードを選んでもよい。このような特性の光は、光照射による上記ガス発生材の温度の上昇を抑えつつ、上記ガス発生材からガスを発生させることができる。
【００６８】
上記光源は、発光ダイオードに限定されない。上記光照射部は、明滅を繰り返すことが可能であることが好ましい。上記光源の他の例としては、レーザー、エレクトロルミネッセンス素子（ＥＬ素子）、プラズマ発光素子、外部電極形蛍光ランプ（ＥＥＦＬ）、マイクロハロゲンランプ、光ファイバー、並びに光セレクタの組み合わせにより取り出すことができる光源等が挙げられる。
【００６９】
上記光照射部の発光パターンは、ポンプの出力指令記憶部５１にパソコン等から送られた信号を記憶し、この信号を制御信号生成部５２に送信することで、決定してもよい。
【００７０】
図４に、マイクロポンプ部と、マイクロポンプ部に対して光照射部から照射される光との位置関係との変形例を模式的に示す。図４では、マイクロポンプ部３１Ａ〜３１Ｇに対して、光照射部３２Ａ〜３２Ｉ（図示せず）からそれぞれ光３２ａ〜３２ｉ（例えば３２Ａが３２ａに対応）を照射している。
【００７１】
図４では、１つのマイクロポンプ部３１Ａ〜３１Ｇのそれぞれに対して、光照射部３２Ａ〜３２Ｉの内の３つの光照射部から同時に光を照射可能である。光照射部３２Ａ〜３２Ｉのそれぞれから（１つの光照射部から）、マイクロポンプ部３１Ａ〜３１Ｇの内の２つ以上のマイクロポンプ部に対して、光を照射可能である。
【００７２】
図４では、マイクロポンプ部３１Ａに対して、光照射部３２Ａ〜３２Ｃから光を照射可能である。マイクロポンプ部３１Ｂに対して、光照射部３２Ｂ〜３２Ｄから光を照射可能である。マイクロポンプ部３１Ｃに対して、光照射部３２Ｃ〜３２Ｅから光を照射可能である。マイクロポンプ部３１Ｄに対して、光照射部３２Ｄ〜３２Ｆから光を照射可能である。マイクロポンプ部３１Ｅに対して、光照射部３２Ｅ〜３２Ｇから光を照射可能である。マイクロポンプ部３１Ｆに対して、光照射部３２Ｆ〜３２Ｈから光を照射可能である。マイクロポンプ部３１Ｇに対して、光照射部３２Ｇ〜３２Ｉから光を照射可能である。
【００７３】
以下、実施例及び比較例を挙げて、本発明を具体的に説明する。本発明は、以下の実施例のみに限定されない。
【００７４】
（実施例１）
図１に示すマイクロポンプ装置１０において、上述した表１に示す第１の例に従って光を照射し、ガスの発生量を評価した。光の照射開始時（０分）と、光の照射から２分、４分、６分及び８分経過後に、ガスの発生量を読み取った。光照射部として、ピーク波長３８０ｎｍ、発光出力１４ｍＷ、指向性１００度の紫外発光ダイオードを用いた。
【００７５】
基材であるアクリル板に設けられた直径６ｍｍのマイクロ流路に、直径６ｍｍのシリコンチューブを接着し、シリコンチューブの先端にメスピペットを接続した。発生したガスによるメスピペットの体積変化を読み取って、ガスの発生量を評価した。
【００７６】
（実施例２）
上述した表４に示す第４の例に従って光を照射したこと以外は実施例１と同様にして、ガスの発生量を評価した。
【００７７】
（実施例３）
上述した表５に示す第５の例に従って光を照射したこと以外は実施例１と同様にして、ガスの発生量を評価した。
【００７８】
（比較例１）
下記の表６に示すようにして、１つの光照射部のみから光を照射したこと以外は実施例１と同様にして、ガスの発生量を評価した。
【００７９】
【表６】
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【００８０】
結果を下記の表７に示す。
【００８１】
【表７】
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【符号の説明】
【００８２】
１０…マイクロポンプ装置
２０…基材
２０ａ…マイクロ流路
２１Ａ〜２１Ｄ…マイクロポンプ部
２１ａ…ガス発生材
２２…ガスバリア層
２３…マスク
２３ａ…開口部
２３ｂ…遮光部
２４Ａ〜２４Ｍ…光照射部
２４ａ〜２４ｍ…光
３１Ａ〜３１Ｇ…マイクロポンプ部
３１ａ〜３１ｉ…光
５１…出力指令記憶部
５２…制御信号生成部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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