(57)【要約】【課題】製造コストを低く抑えつつプローブの有効座屈長を容易に変更する。【解決手段】複数のプローブ１１ａと、プローブ１１ａを支持する支持部と、支持部に配設される電極板とを備え、支持部は、支持孔５１，５２に挿通させたプローブ１１ａの先端部を支持する支持板４１，４２と、支持孔５３，５４に挿通させたプローブ１１ａの基端部側を支持する支持板４３，４４とを備えて構成され、各支持板４１〜４４に対して垂直な垂直方向に沿って支持孔５１〜５４の各開口面が並ぶように各支持板４１〜４４が積み重ねられた第１の姿勢と支持板４３，４４が当接状態で支持板４２と支持板４３とが離間する第２の姿勢との間で移行可能であって、第２の姿勢において、支持板４２の内面と支持板４４の外面との間の距離Ｄ１を一定に維持しつつ支持板４２と支持板４３との間の距離Ｄ２を変更可能に構成されている。【選択図】図１２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
接触対象に先端部を接触させて電気信号の入出力を行うための複数のプローブと、当該プローブを支持する支持部と、前記プローブの基端部に電気的に接続される電極を有して前記支持部に配設される電極板とを備えたプローブユニットであって、
前記プローブは、前記先端部と前記基端部との間の中間部が当該先端部および当該基端部よりも大径に形成され、
前記支持部は、前記先端部よりも大径でかつ前記中間部よりも小径に形成された第１の支持孔を有して当該支持孔の縁部に前記中間部の当該先端部側の端部を当接させた状態で当該第１の支持孔に挿通させた当該先端部を支持する第１の支持板と、前記中間部よりも大径に形成された第２の支持孔を有して当該第２の支持孔に挿通させた前記プローブの基端部側を支持する第２の支持板と、前記中間部よりも大径に形成された第３の支持孔を有して当該第３の支持孔に挿通させた前記基端部側を支持すると共に前記電極板が対向状態で配設される第３の支持板とを備えて、当該各支持板がこの順序で対向するように配置されて構成され、
前記支持部は、前記各支持板に対して垂直な垂直方向に沿って前記第１の支持孔、前記第２の支持孔および前記第３の支持孔の各開口面が並ぶように前記各支持板が互いに当接または近接した状態で積み重ねられた第１の姿勢と、前記第２の支持板と前記第３の支持板とが当接または近接した状態で前記第１の支持板と当該第２の支持板とが離間する第２の姿勢との間で移行可能であって、前記第２の姿勢において、前記第２の支持板に対向する前記第１の支持板の内面と前記電極板に対向する前記第３の支持板の外面との間の第１の距離を一定に維持しつつ当該第１の支持板と当該第２の支持板との間の第２の距離を変更可能に構成されると共に、当該第２の距離を変更した変更状態を維持可能に構成されているプローブユニット。
【請求項２】
前記支持部は、前記第２の姿勢と、前記第２の支持板と前記第３の支持板とが当接または近接した状態で前記第１の支持板と当該第２の支持板とが離間しかつ当該各支持板の積層方向に対して傾斜する傾斜方向に沿って前記第１の支持孔、前記第２の支持孔および前記第３の支持孔の各開口面が並ぶ第３の姿勢との間で移行可能であって、第３の姿勢を維持可能に構成されている請求項１記載のプローブユニット。
【請求項３】
前記支持部は、ピンを備え、前記第１の姿勢の状態において互いに連通するように前記各支持板にそれぞれ形成された各挿通孔に前記ピンが挿通されることによって前記第１の姿勢を維持する請求項１または２記載のプローブユニット。
【請求項４】
前記支持部は、前記第２の姿勢において前記第１の支持板と前記第２の支持板との間に配設される第１のスペーサ、および前記第２の支持板と前記第３の支持板との間に配設される第２のスペーサを備えて、前記各支持板が前記第２のスペーサと共に前記第１のスペーサに固定されて前記変更状態を維持する請求項１から３のいずれかに記載のプローブユニット。
【請求項５】
請求項１から４のいずれかに記載のプローブユニットと、接触対象としての基板の導体部に接触させた前記プローブユニットの前記プローブを介して入力した電気信号に基づいて当該基板を検査する検査部とを備えている基板検査装置。
【請求項６】
接触対象に先端部を接触させて電気信号の入出力を行うための複数のプローブと、当該プローブを支持する支持部と、前記プローブの基端部に電気的に接続される電極を有して前記支持部に配設される電極板とを備えたプローブユニットを組み立てるプローブユニット組立方法であって、
前記先端部と前記基端部との間の中間部が当該先端部および当該基端部よりも大径に形成された前記プローブを用いると共に、
前記先端部よりも大径でかつ前記中間部よりも小径に形成された第１の支持孔を有して当該支持孔の縁部に前記中間部の当該先端部側の端部を当接させた状態で当該第１の支持孔に挿通させた当該先端部を支持する第１の支持板と、前記中間部よりも大径に形成された第２の支持孔を有して当該第２の支持孔に挿通させた前記プローブの基端部側を支持する第２の支持板と、前記中間部よりも大径に形成された第３の支持孔を有して当該第３の支持孔に挿通させた前記基端部側を支持すると共に前記電極板が対向状態で配設される第３の支持板とを備えて、当該各支持板がこの順序で対向するように配置されて構成された前記支持部を用いて、
前記各支持板に対して垂直な垂直方向に沿って前記第１の支持孔、前記第２の支持孔および前記第３の支持孔の各開口面が並ぶように前記各支持板を互いに当接または近接させて積み重ねた第１の姿勢に前記支持部を維持した状態で当該各支持孔に前記プローブを挿通させ、
前記第２の支持板と前記第３の支持板とを当接または近接させた状態で前記第１の支持板と当該第２の支持板とを離間させる第２の姿勢に前記支持部を移行させた状態において、前記第２の支持板に対向する前記第１の支持板の内面と前記電極板に対向する前記第３の支持板の外面との間の第１の距離を一定に維持しつつ前記第１の支持板と前記第２の支持板との間の第２の距離を前記プローブの種類に応じて変更すると共に、当該第２の距離を変更した変更状態を維持させて前記プローブユニットを組み立てるプローブユニット組立方法。
【請求項７】
前記支持部を前記第２の姿勢に移行させた状態において、前記第２の支持板と前記第３の支持板とが当接または近接した状態で前記第１の支持板と当該第２の支持板とが離間しかつ前記各支持板の積層方向に対して傾斜する傾斜方向に沿って前記第１の支持孔、前記第２の支持孔および前記第３の支持孔の各開口面が並ぶ第３の姿勢に前記支持部を移行させると共に当該第３の姿勢を維持させて前記プローブユニットを組み立てる請求項６記載のプローブユニット組立方法。
【請求項８】
前記第１の姿勢の状態において互いに連通するように前記各支持板にそれぞれ形成された各挿通孔にピンを挿通させて前記支持部を当該第１の姿勢に維持させて前記プローブユニットを組み立てる請求項６または７記載のプローブユニット組立方法。
【請求項９】
前記支持部を前記第２の姿勢に移行させた状態において、前記第１の支持板と前記第２の支持板との間に第１のスペーサを配設すると共に、前記第２の支持板と前記第３の支持板との間に第２のスペーサを配設し、前記各支持板を前記第２のスペーサと共に前記第１のスペーサに固定して前記支持部を前記変更状態に維持させて前記プローブユニットを組み立てる請求項６から８のいずれかに記載のプローブユニット組立方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数のプローブと各プローブを支持する支持部とプローブに接続される電極を有する電極板とを備えたプローブユニット、そのプローブユニットを備えた基板検査装置、およびそのプローブユニットを組み立てるプローブユニット組立方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種のプローブユニットとして、特開２００８−３０９７６１号公報に開示された検査治具が知られている。この検査冶具は、検査対象である被検査基板を検査する検査装置に搭載されて使用される検査冶具であって、複数のプローブ、プローブを保持する保持部材、プローブとの間で検査信号授受を行うための電極部、および電極部を保持する電極保持部材を備えて構成されている。プローブは、導電性および可撓性を有する芯材と、芯材の外周面の一部に設けられた絶縁被覆とを有している。また、保持部材は、先端側保持部材、後端側保持部材および両者を連結する連結部材で構成されている。この場合、先端側保持部材には、芯材の外径よりも大きくかつ絶縁被覆の外径よりも小さい第１の貫通孔が設けられており、この第１の貫通孔の縁部にプローブにおける絶縁被覆の先端側の端面が当接して、プローブにおける芯材の先端部（絶縁被覆が設けられていない部分）が挿通される。また、後端側保持部材には、プローブの抜き差しが可能な大きさの第２の貫通孔が設けられ、この第２の貫通孔にプローブの芯材の後端側（芯材の後端側における絶縁被覆が設けられていない部分）が挿通されている。電極保持部材は、後端側保持部材の第２の貫通孔に対応する位置に配置された電極部を有しており、第２の貫通孔に挿通されたプローブの芯材の後端部がこの電極部に当接する。また、この検査治具では、プローブが撓んだ（座屈した）状態で保持部材によって保持されている。
【０００３】
この検査治具を被検査基板に向けて押し付けたときには、プローブの先端部が被検査基板の検査点を押圧し、これによってプローブの先端部が検査点に確実に接触する。また、この際には、押圧力の反力がプローブの先端部に加わり、その反力によって先端部が後端側に押し込まれてプローブの撓み量が増加する。また、検査治具に対する押し付けを解除したときには、プローブは、その弾性力によって元の状態に復帰する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−３０９７６１号公報（第３−６頁、第１−２図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところが、従来の検査冶具には、以下の問題点がある。すなわち、この検査冶具では、被検査基板に向けて検査治具を押し付けることで、プローブの先端部で被検査基板の検査点を押圧して先端部を検査点に接触させている。この場合、プローブの先端部が検査点を押圧する最大の押圧力は、プローブの座屈荷重（プローブが座屈するときの荷重）に相当する。このため、検査点に対してプローブの先端部を適切な押圧力で押圧させるためには、プローブの座屈荷重を調整する必要がある。ここで、プローブの座屈荷重は、プローブの材質や長さが等しいときには、断面積（つまり、直径）が大きいほど大きくなり、また、材質や断面積が等しいときには、有効座屈長（プローブが保持されている２箇所の間の距離）が短いほど大きくなる。この場合、従来の検査冶具では、先端側保持部材の上面から後端側保持部材の下面までの距離が有効座屈長に相当するため、例えば、プローブを直径の異なる他のプローブに交換する際には、先端側保持部材と後端側保持部材とを連結する連結部材を交換して有効座屈長に相当するこの距離を変更すると共に、プローブの長さもこの距離の変更に対応させて変更する必要がある。しかしながら、製造コストを抑える観点からプローブの長さは直径に拘わらず同じであることが好ましく、直径に応じて長さを異ならせたときには、プローブの製造コストが上昇するという問題が生じる。
【０００６】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、製造コストを低く抑えつつプローブの有効座屈長を容易に変更し得るプローブユニット、基板検査装置およびプローブユニット組立方法を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成すべく請求項１記載のプローブユニットは、接触対象に先端部を接触させて電気信号の入出力を行うための複数のプローブと、当該プローブを支持する支持部と、前記プローブの基端部に電気的に接続される電極を有して前記支持部に配設される電極板とを備えたプローブユニットであって、前記プローブは、前記先端部と前記基端部との間の中間部が当該先端部および当該基端部よりも大径に形成され、前記支持部は、前記先端部よりも大径でかつ前記中間部よりも小径に形成された第１の支持孔を有して当該支持孔の縁部に前記中間部の当該先端部側の端部を当接させた状態で当該第１の支持孔に挿通させた当該先端部を支持する第１の支持板と、前記中間部よりも大径に形成された第２の支持孔を有して当該第２の支持孔に挿通させた前記プローブの基端部側を支持する第２の支持板と、前記中間部よりも大径に形成された第３の支持孔を有して当該第３の支持孔に挿通させた前記基端部側を支持すると共に前記電極板が対向状態で配設される第３の支持板とを備えて、当該各支持板がこの順序で対向するように配置されて構成され、前記支持部は、前記各支持板に対して垂直な垂直方向に沿って前記第１の支持孔、前記第２の支持孔および前記第３の支持孔の各開口面が並ぶように前記各支持板が互いに当接または近接した状態で積み重ねられた第１の姿勢と、前記第２の支持板と前記第３の支持板とが当接または近接した状態で前記第１の支持板と当該第２の支持板とが離間する第２の姿勢との間で移行可能であって、前記第２の姿勢において、前記第２の支持板に対向する前記第１の支持板の内面と前記電極板に対向する前記第３の支持板の外面との間の第１の距離を一定に維持しつつ当該第１の支持板と当該第２の支持板との間の第２の距離を変更可能に構成されると共に、当該第２の距離を変更した変更状態を維持可能に構成されている。
【０００８】
また、請求項２記載のプローブユニットは、請求項１記載のプローブユニットにおいて、前記支持部は、前記第２の姿勢と、前記第２の支持板と前記第３の支持板とが当接または近接した状態で前記第１の支持板と当該第２の支持板とが離間しかつ当該各支持板の積層方向に対して傾斜する傾斜方向に沿って前記第１の支持孔、前記第２の支持孔および前記第３の支持孔の各開口面が並ぶ第３の姿勢との間で移行可能であって、第３の姿勢を維持可能に構成されている。
【０００９】
また、請求項３記載のプローブユニットは、請求項１または２記載のプローブユニットにおいて、前記支持部は、ピンを備え、前記第１の姿勢の状態において互いに連通するように前記各支持板にそれぞれ形成された各挿通孔に前記ピンが挿通されることによって前記第１の姿勢を維持する。
【００１０】
また、請求項４記載のプローブユニットは、請求項１から３のいずれかに記載のプローブユニットにおいて、前記支持部は、前記第２の姿勢において前記第１の支持板と前記第２の支持板との間に配設される第１のスペーサ、および前記第２の支持板と前記第３の支持板との間に配設される第２のスペーサを備えて、前記各支持板が前記第２のスペーサと共に前記第１のスペーサに固定されて前記変更状態を維持する。
【００１１】
また、請求項５記載の基板検査装置は、請求項１から４のいずれかに記載のプローブユニットと、接触対象としての基板の導体部に接触させた前記プローブユニットの前記プローブを介して入力した電気信号に基づいて当該基板を検査する検査部とを備えている。
【００１２】
また、請求項６記載のプローブユニット組立方法は、接触対象に先端部を接触させて電気信号の入出力を行うための複数のプローブと、当該プローブを支持する支持部と、前記プローブの基端部に電気的に接続される電極を有して前記支持部に配設される電極板とを備えたプローブユニットを組み立てるプローブユニット組立方法であって、前記先端部と前記基端部との間の中間部が当該先端部および当該基端部よりも大径に形成された前記プローブを用いると共に、前記先端部よりも大径でかつ前記中間部よりも小径に形成された第１の支持孔を有して当該支持孔の縁部に前記中間部の当該先端部側の端部を当接させた状態で当該第１の支持孔に挿通させた当該先端部を支持する第１の支持板と、前記中間部よりも大径に形成された第２の支持孔を有して当該第２の支持孔に挿通させた前記プローブの基端部側を支持する第２の支持板と、前記中間部よりも大径に形成された第３の支持孔を有して当該第３の支持孔に挿通させた前記基端部側を支持すると共に前記電極板が対向状態で配設される第３の支持板とを備えて、当該各支持板がこの順序で対向するように配置されて構成された前記支持部を用いて、前記各支持板に対して垂直な垂直方向に沿って前記第１の支持孔、前記第２の支持孔および前記第３の支持孔の各開口面が並ぶように前記各支持板を互いに当接または近接させて積み重ねた第１の姿勢に前記支持部を維持した状態で当該各支持孔に前記プローブを挿通させ、前記第２の支持板と前記第３の支持板とを当接または近接させた状態で前記第１の支持板と当該第２の支持板とを離間させる第２の姿勢に前記支持部を移行させた状態において、前記第２の支持板に対向する前記第１の支持板の内面と前記電極板に対向する前記第３の支持板の外面との間の第１の距離を一定に維持しつつ前記第１の支持板と前記第２の支持板との間の第２の距離を前記プローブの種類に応じて変更すると共に、当該第２の距離を変更した変更状態を維持させて前記プローブユニットを組み立てる。
【００１３】
また、請求項７記載のプローブユニット組立方法は、請求項６記載のプローブユニット組立方法において、前記支持部を前記第２の姿勢に移行させた状態において、前記第２の支持板と前記第３の支持板とが当接または近接した状態で前記第１の支持板と当該第２の支持板とが離間しかつ前記各支持板の積層方向に対して傾斜する傾斜方向に沿って前記第１の支持孔、前記第２の支持孔および前記第３の支持孔の各開口面が並ぶ第３の姿勢に前記支持部を移行させると共に当該第３の姿勢を維持させて前記プローブユニットを組み立てる。
【００１４】
また、請求項８記載のプローブユニット組立方法は、請求項６または７記載のプローブユニット組立方法において、前記第１の姿勢の状態において互いに連通するように前記各支持板にそれぞれ形成された各挿通孔にピンを挿通させて前記支持部を当該第１の姿勢に維持させて前記プローブユニットを組み立てる。
【００１５】
また、請求項９記載のプローブユニット組立方法は、請求項６から８のいずれかに記載のプローブユニット組立方法において、前記支持部を前記第２の姿勢に移行させた状態において、前記第１の支持板と前記第２の支持板との間に第１のスペーサを配設すると共に、前記第２の支持板と前記第３の支持板との間に第２のスペーサを配設し、前記各支持板を前記第２のスペーサと共に前記第１のスペーサに固定して前記支持部を前記変更状態に維持させて前記プローブユニットを組み立てる。
【発明の効果】
【００１６】
請求項１記載のプローブユニット、請求項５記載の基板検査装置、および請求項６記載のプローブユニット組立方法では、第２の支持板と第３の支持板とが当接または近接した状態で第１の支持板と第２の支持板とが離間する第２の姿勢に支持部を移行させた状態において、第１の支持板の内面と第３の支持板の外面との間の第１の距離を一定に維持しつつ第１の支持板と第２の支持板との間の第２の距離をプローブの種類に応じて変更してその変更状態を維持させる。このため、このプローブユニット、基板検査装置およびプローブユニット組立方法では、このように第２の距離を変更するだけの簡易な作業で、プローブの有効座屈長（プローブが支持部によって保持されている２箇所の間の距離）を容易に変更することができる。また、有効座屈長を変更するには、直径に応じて長さが異なるプローブを用いる必要がある従来の構成および方法とは異なり、長さが等しくかつ直径が異なる複数種類のプローブを交換して用いることができ、各プローブの種類（直径等）に応じて有効座屈長を容易に変更することができる。この場合、直径に拘わらず長さが等しいプローブでは、直径に応じて長さが異なるプローブと比較して、その製作コストを十分に低減させることができる。このため、このプローブユニット、基板検査装置およびプローブユニット組立方法では、プローブの製作コストを低減できる分、その製造コストを低く抑えることができる。
【００１７】
また、請求項２記載のプローブユニット、請求項５記載の基板検査装置、および請求項７記載のプローブユニット組立方法によれば、支持部を第２の姿勢に移行させた状態において、第３の姿勢に支持部を維持させることにより、先端部側が第１の支持孔の深さ方向に沿って延在し先端部側を除く部分が傾斜方向に沿って延在する状態に全てのプローブを一度に維持（弾性変形）させてプローブユニットを組み立てることができる。このため、各開口面が予め傾斜方向に沿って並ぶように形成されている各支持孔からプローブを弾性変形させつつ挿入する作業をプローブの一本一本について行ってプローブユニットを組み立てる構成および方法と比較して、組み立て工程を十分に短縮させることができる。したがって、このプローブユニット、基板検査装置およびプローブユニット製造方法によれば、組み立て工程が短縮される分、製造コストを十分に低減することができる。
【００１８】
また、請求項３記載のプローブユニット、請求項５記載の基板検査装置、および請求項８記載のプローブユニット組立方法によれば、各支持板の各挿通孔にピンを挿入して、各支持板を第１の姿勢に維持することにより、簡易な構成および方法でありながら、確実かつ容易に支持部を第１の姿勢に維持することができるため、プローブユニットの組立効率、ひいては基板検査装置の製造効率を十分に向上させることができる。
【００１９】
また、請求項４記載のプローブユニット、請求項５記載の基板検査装置、および請求項９記載のプローブユニット組立方法によれば、支持部を第２の姿勢に移行させた状態において、第１の支持板と第２の支持板との間に第１のスペーサを配設すると共に、第２の支持板と第３の支持板との間に第２のスペーサを配設し、各支持板を第２のスペーサと共に第１のスペーサに固定して支持部を変更状態に維持させることにより、第１の支持板と第２の支持板との間の第２の距離を短時間で確実かつ容易に変更して、その変更した状態に維持することができるため、プローブユニットの組立効率、ひいては基板検査装置の製造効率を十分に向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】基板検査装置１の構成を示す構成図である。
【図２】プローブユニット２の構成を示す構成図である。
【図３】プローブ１１の平面図である。
【図４】先端部側支持部３１を下向きした状態の支持部１２の分解斜視図である。
【図５】基端部側支持部３２を下向きした状態の支持部１２の分解斜視図である。
【図６】支持部１２の斜視図である。
【図７】プローブユニット２の組立方法を説明する第１の説明図である。
【図８】プローブユニット２の組立方法を説明する第２の説明図（図７におけるＹ面断面図）である。
【図９】プローブユニット２の組立方法を説明する第３の説明図である。
【図１０】プローブユニット２の組立方法を説明する第４の説明図（図６におけるＸ面断面図）である。
【図１１】プローブユニット２ａの組立方法を説明する第１の説明図である。
【図１２】プローブユニット２ａの組立方法を説明する第２の説明図（図１３におけるＺ面断面図）である。
【図１３】プローブユニット２ａの組立方法を説明する第３の説明図である。
【図１４】スペーサ３３ｄの構成を示す構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、プローブユニット、基板検査装置およびプローブユニット組立方法の実施の形態について、図面を参照して説明する。
【００２２】
最初に、基板検査装置１の構成について説明する。図１に示す基板検査装置１は、同図に示すように、プローブユニット２、移動機構３、載置台４、測定部５、検査部６、記憶部７および処理部８を備えて、基板１００を検査可能に構成されている。
【００２３】
プローブユニット２は、図２に示すように、複数のプローブ１１、支持部１２および電極板１３を備えて構成されている。
【００２４】
プローブ１１は、検査の際に基板１００における導体パターン等の導体部（接触対象の一例）に接触させて電気信号の入出力を行うために用いられ、一例として、導電性を有する金属材料（例えば、ベリリウム銅合金、ＳＫＨ（高速度工具鋼）およびタングステン鋼など）によって弾性変形可能な断面円形の棒状に形成されている。また、図３に示すように、プローブ１１の先端部２１および基端部２３は、それぞれ鋭利に形成されている。また、プローブ１１の中間部２２の周面には、絶縁性を有するコーティング材料（一例として、フッ素系樹脂、ポリウレタン、ポリエステルおよびポリイミドなど）で形成された絶縁層が形成されている。このため、中間部２２は、その直径Ｌ２が先端部２１の直径Ｌ１および基端部２３の直径Ｌ３よりも大径となっている。つまり、プローブ１１は、先端部２１および基端部２３が中間部２２よりも小径に形成されている。このプローブユニット２では、一例として、上記の直径Ｌ１，Ｌ３が０．０７５ｍｍ〜０．１ｍｍ程度に規定され、上記の直径Ｌ２が０．１１ｍｍ〜０．１３５ｍｍ程度に規定されたプローブ１１が用いられている。
【００２５】
支持部１２は、図２，４〜６に示すように、先端部側支持部３１、基端部側支持部３２、スペーサ３３ａ、位置決めピン３４ａ，３４ｂ，３４ｃおよびボルト３５を備えて、プローブ１１を支持可能に構成されている。また、支持部１２は、スペーサ３３ａに代えて用いるスペーサ３３ｂおよび複数（例えば、２枚）のスペーサ３３ｃ（いずれも図１１参照）を備えている。また、支持部１２は、後述する第１の姿勢、第２の姿勢および第３の姿勢に移行可能で、かつ各姿勢の維持が可能に構成されている。なお、以下の説明において、スペーサ３３ｂおよびスペーサ３３ｃを用いたプローブユニット２を区別するときには、「プローブユニット２ａ」ともいう。
【００２６】
先端部側支持部３１は、プローブ１１の先端部２１側を支持する部材であって、支持板４１および支持板４２を備えて構成されている。この場合、この構成例では、支持板４１，４２によって第１の支持板が構成される。
【００２７】
支持板４１は、一例として、非導電性を有する樹脂材料によって板状に形成されている。また、支持板４１には、図５，８に示すように、平面視円形の複数（プローブ１１の数と同数）の支持孔５１（第１の支持孔）が形成されている。支持孔５１は、図８に示すように、その直径Ｒ１がプローブ１１の先端部２１の直径Ｌ１よりもやや大径で、かつプローブ１１の中間部２２の直径Ｒ２よりもやや小径に形成されている。
【００２８】
また、支持板４１には、図５，８，１０に示すように、後述するプローブユニット２の組み立て工程において用いる位置決めピン３４ａ，３４ｃを挿入可能な複数（例えば、２個）の挿通孔６１ａが形成されている。また、支持板４１には、図５に示すように、スペーサ３３ａに支持板４１および支持板４２を固定する際に用いるボルト３５を挿通可能な複数（例えば、６個）の固定孔６１ｂが形成されている。
【００２９】
支持板４２は、支持板４１と同じ材料（この例では、非導電性を有する樹脂材料）によって板状に形成されている。また、支持板４２には、図４，８に示すように、平面視円形の複数（プローブ１１の数と同数）の支持孔５２（第１の支持孔）が形成されている。支持孔５２は、図８に示すように、その直径Ｒ２が支持板４１の支持孔５１の直径Ｒ１と同じ直径に形成されており、プローブ１１の中間部２２における先端部２１側の端部をその縁部に当接させた状態で（つまり、中間部２２を挿通させずに）、先端部２１のみを挿通させることが可能となっている。
【００３０】
また、支持板４２には、図４，８，１０に示すように、上記した位置決めピン３４ａ，３４ｃを挿入可能な複数（例えば、２個）の挿通孔６２ａが形成されている。また、支持板４２には、図４に示すように、上記したボルト３５を挿通可能な複数（例えば、６個）の固定孔６２ｂが形成されている。この場合、このプローブユニット２では、２枚の支持板４１，４２で先端部側支持部３１を構成したことで、支持板４１，４２の２枚分の厚みに相当する厚みに形成された１枚の支持板だけで構成した先端部側支持部３１を用いるのと比較して、１枚当りの厚みを薄く構成することができる分、支持孔５１，５２を形成（穿孔）する作業を容易に行うことが可能となっている。
【００３１】
基端部側支持部３２は、プローブ１１の基端部２３側を支持する部材であって、図２，４，５に示すように、支持板４３（第２の支持板）および支持板４４（第３の支持板）を備えて構成されている。支持板４３は、一例として、非導電性を有する樹脂材料によって板状に形成されている。また、支持板４３には、図５，８に示すように、平面視円形の複数（プローブ１１の数と同数）の支持孔５３（第２の支持孔）が形成されている。支持孔５３は、図８に示すように、その直径Ｒ３がプローブ１１の中間部２２の直径Ｌ２よりもやや大径に形成されて、中間部２２を挿通させることが可能となっている。
【００３２】
また、支持板４３には、図５，８，１０に示すように、プローブユニット２の組み立て工程において用いる位置決めピン３４ｂ，３４ｃを挿入可能な複数（例えば、２個）の挿通孔６３ａおよび複数（例えば、２個）の挿通孔６３ｂが形成されている。また、支持板４３には、図５に示すように、スペーサ３３ａに支持板４３および支持板４４を固定する際に用いるボルト３５を挿通可能な複数（例えば、６個）の固定孔６３ｃが形成されている。
【００３３】
支持板４４は、支持板４３と同じ材料（この例では、非導電性を有する樹脂材料）によって板状に形成されている。また、支持板４４には、図４，８に示すように、平面視円形の複数（プローブ１１の数と同数）の支持孔５４（第３の支持孔）が形成されている。この場合、支持孔５４は、図８に示すように、その直径Ｒ４が支持板４３の支持孔５３の直径Ｒ３と同じ直径に形成されて、中間部２２を挿通させることが可能となっている。
【００３４】
また、支持板４４には、図４，８，１０に示すように、上記した位置決めピン３４ｂ，３４ｃを挿入可能な複数（例えば、２個）の挿通孔６４ａおよび複数（例えば、２個）の挿通孔６４ｂが形成されている。また、支持板４４には、図４に示すように、上記したボルト３５を挿通可能な複数（例えば、６個）の固定孔６４ｃが形成されている。
【００３５】
スペーサ３３ａは、第１スペーサの一例であって、図４，５に示すように、平面視コ字状に形成されて、図６に示すように、先端部側支持部３１と基端部側支持部３２との間（支持板４２と支持板４３との間）に配設される。このスペーサ３３ａは、支持板４１および支持板４２によって構成される先端部側支持部３１と、支持板４３および支持板４４によって構成される基端部側支持部３２とを離間させた第２の姿勢に支持部１２を維持する機能を有している。
【００３６】
また、図５に示すように、配設状態において先端部側支持部３１側に位置するスペーサ３３ａの一端部側の端面（同図における上部側の端面）には、上記した位置決めピン３４ａを挿入可能な挿通孔６５ａが形成されている。また、図４に示すように、配設状態において基端部側支持部３２側に位置するスペーサ３３ａの他端部側の端面（同図における上部側の端面）には、上記した位置決めピン３４ｂを挿入可能な挿通孔６５ｂが形成されている。さらに、図４，５に示すように、スペーサ３３ａにおける一端部側の端面および他端部側の端面には、上記したボルト３５をねじ込み可能な複数（この例では、各々６個の合計１２個）のねじ穴６５ｃが形成されている。
【００３７】
スペーサ３３ｂは、第１スペーサの他の一例であって、図１１に示すように、厚み（同図における上下方向の長さ）がスペーサ３３ｃの厚みの分だけ薄い点を除いて、スペーサ３３ａと同様の形状に形成されて、スペーサ３３ａと同様の機能を有している。また、スペーサ３３ｂには、スペーサ３３ａにおける挿通孔６５ａ，６５ｂおよびねじ穴６５ｃとそれぞれ同様の機能を有する挿通孔６６ａ（図１２参照），６６ｂおよびねじ穴６６ｃが形成されている。
【００３８】
スペーサ３３ｃは、第２スペーサの一例であって、図１１に示すように、平面視が矩形に形成されている。また、スペーサ３３ｃには、上記した位置決めピン３４ｂを挿通可能な挿通孔６７ｂが形成されると共に、上記したボルト３５を挿通可能な複数（この例では、３個）の固定孔６７ｃが形成されている。このスペーサ３３ｃは、図１２，１３に示すように、基端部側支持部３２の支持板４３と支持板４４との間に配設されることによって、支持板４３と支持板４４とを離間させた状態に支持部１２を維持する機能を有している。
【００３９】
また、スペーサ３３ｃを基端部側支持部３２の支持板４３と支持板４４との間に配設するときには、図１２，１３に示すように、スペーサ３３ａに代えて、スペーサ３３ｂを先端部側支持部３１と基端部側支持部３２との間（支持板４２と支持板４３との間）に配設する。この場合、上記したようにスペーサ３３ｂは、スペーサ３３ａと比較して、その厚みがスペーサ３３ｃの厚みの分だけ薄く形成されている。このため、スペーサ３３ａに代えて、スペーサ３３ｂ，３３ｃを用いることで、支持板４３に対向する支持板４２の内面（図１２における上面）と電極板１３に対向する支持板４３の外面（同図における上面）との間の距離Ｄ１（第１の距離：図１０，１２参照）を一定に維持しつつ支持板４２と支持板４３との間の距離Ｄ２（第２の距離：両図参照）を変更してその状態を維持することが可能となっている。
【００４０】
このプローブユニット２では、図８に示すように、支持板４１の挿通孔６１ａ、支持板４２の挿通孔６２ａ、支持板４３の挿通孔６３ａ、および支持板４４の挿通孔６４ａにおける各々の中心軸が同軸状態となったときに、支持板４１の各支持孔５１、支持板４２の各支持孔５２、支持板４３の支持孔５３、および支持板４４の支持孔５４における各々の中心軸が同軸状態となるように、つまり、各支持板４１〜４４に対して垂直な垂直方向（同図において破線で示す仮想直線Ａ１）に沿って各支持孔５１〜５４の各開口面が並ぶように各挿通孔６１ａ，６２ａ，６３ａ，６４ａの形成位置が規定されている。
【００４１】
また、このプローブユニット２では、図１０に示すように、支持板４１の挿通孔６１ａ、支持板４２の挿通孔６２ａ、およびスペーサ３３ａの挿通孔６５ａにおける各々の中心軸が同軸状態となり、かつ支持板４３の挿通孔６３ｂ、支持板４４の挿通孔６４ｂ、およびスペーサ３３ａの挿通孔６５ｂにおける各々の中心軸が同軸状態となったときに、垂直方向（同図に破線で示す仮想直線Ａ２）に沿って各支持孔５１，５２の各開口面が並び、かつ各支持板４１〜４４の積層方向（厚み方向）に対して傾斜する傾斜方向（同図において一点鎖線で示す仮想直線Ａ３）に沿って支持孔５２，５３，５４の各開口面が並ぶように各挿通孔６１ａ，６２ａ，６５ａ，６５ｂ，６３ｂ，６４ｂの形成位置が規定されている。
【００４２】
また、プローブユニット２ａでは、図１２に示すように、支持板４１の挿通孔６１ａ、支持板４２の挿通孔６２ａ、およびスペーサ３３ｂの挿通孔６６ａにおける各々の中心軸が同軸状態となり、かつ支持板４３の挿通孔６３ｂ、支持板４４の挿通孔６４ｂ、スペーサ３３ｂの挿通孔６６ｂ、およびスペーサ３３ｃの挿通孔６７ｂにおける各々の中心軸が同軸状態となったときに、垂直方向（同図に破線で示す仮想直線Ａ２）に沿って各支持孔５１，５２の各開口面が並び）、かつ各支持板４１〜４４の積層方向（厚み方向）に対して傾斜する傾斜方向（同図に一点鎖線で示す仮想直線Ａ３）に沿って支持孔５２，５３，５４の各開口面が並ぶように各挿通孔６１ａ，６２ａ，６６ａ，６６ｂ，６３ｂ，６７ｂ，６４ｂの形成位置が規定されている。
【００４３】
また、このプローブユニット２では、図２に示すように、先端部側支持部３１を構成する支持板４１，４２の支持孔５１，５２にプローブ１１の先端部２１が挿通され、基端部側支持部３２を構成する支持板４３，４４の支持孔５３，５４にプローブ１１の基端部２３が挿通された状態で、プローブ１１が支持部１２によって支持されている。また、プローブ１１は、同図に示すように、先端部２１側が垂直方向に沿って延在し、先端部２１側を除く部分が傾斜方向に沿って延在するようにして支持部１２によって支持されている。この場合、プローブ１１は、先端部２１側を除く部分が傾斜しているため、基板１００に近接する向きにプローブユニット２が全体として移動させられたときに、基板１００の導体部に先端部２１が接触し、この際に加わる導体部からの押圧力（反力）に応じて傾斜部分が湾曲し、これによって支持部１２（先端部側支持部３１）からの突出量が変化（増減）する。
【００４４】
電極板１３は、非導電性を有する樹脂材料等によって板状に形成されて、図２に示すように、支持部１２の基端部側支持部３２における支持板４４の外面（同図における上面）に当接した状態で支持板４４の上部に配設されている。また、電極板１３における各プローブ１１の各基端部２３との接触部位には、導電性を有する端子が嵌め込まれており、この各端子には、プローブ１１と測定部５とを電気的に接続するためのケーブルがそれぞれ接続されている。また、電極板１３は、支持板４４の外面に当接するように配設されることで、支持板４４の支持孔５４からのプローブ１１の基端部２３の突出を規制する機能を有している。
【００４５】
移動機構３は、処理部８の制御に従い、載置台４（載置台４に載置されている基板１００）に対して近接する向きおよび離間する向きにプローブユニット２を移動させる。載置台４は、基板１００を載置可能に構成されると共に、載置された基板１００を固定可能に構成されている。測定部５は、プローブ１１を介して入出力する電気信号に基づき、物理量（例えば、抵抗値）を測定する測定処理を実行する。
【００４６】
検査部６は、処理部８の制御に従い、測定部５によって測定された物理量としての抵抗値に基づいて基板１００の良否（導体部の断線や短絡の有無）を検査する検査処理を実行する。記憶部７は、処理部８の制御に従い、測定部５によって測定された抵抗値や検査部６によって行われた検査の結果などを一時的に記憶する。処理部８は、基板検査装置１を構成する各部を制御する。
【００４７】
次に、プローブユニット２の組立方法について、図面を参照して説明する。なお、一例として、上記の直径Ｌ１，Ｌ３が０．０７５ｍｍ〜０．１ｍｍ程度に規定され、上記の直径Ｌ２が０．１１ｍｍ〜０．１３５ｍｍ程度に規定されたプローブ１１を用いると共に、スペーサ３３ａを用いてプローブユニット２を組み立てる例について説明する。
【００４８】
まず、図７，８に示すように、各支持板４１〜４４を互いに当接させた状態で積み重ねる。次いで、各支持板４１〜４４における各挿通孔６１ａ〜６４ａの中心軸が同軸となるように位置合わせする。この際に、図８に示すように、支持板４１〜４４における支持孔５１〜５４の各開口面が垂直方向（仮想直線Ａ１）に沿って並ぶ。続いて、同図に示すように、各挿通孔６１ａ〜６４ａに位置決めピン３４ｃを挿通させる。これにより、支持部１２は、各支持板４１〜４４がこの姿勢（互いに当接して、各支持孔５１〜５４の各開口面が垂直方向（仮想直線Ａ１）に沿って並ぶ第１の姿勢）を維持する。
【００４９】
次いで、図８に示すように、支持板４４の支持孔５４からプローブ１１の先端部２１を挿入して、支持板４３の支持孔５３、支持板４２の支持孔５２、および支持板４１の支持孔５１にプローブ１１を挿通させる。この場合、支持孔５１および支持孔５２の直径Ｒ１，Ｒ２がプローブ１１における中間部２２の直径Ｌ２よりも小径のため、プローブ１１の先端部２１のみが各支持孔５１，５２を挿通する。続いて、同様にして、各支持孔５１〜５４にプローブ１１を挿通させる。
【００５０】
次いで、図９に示すように、支持板４１および支持板４２が当接しかつ支持板４３および支持板４４が当接した状態を維持しつつ、支持板４２と支持板４３とを離間させ（第２の姿勢に移行させ）、続いて、各挿通孔６１ａ〜６４ａから位置決めピン３４ｃを引き抜き、次いで、支持板４２と支持板４３との間にスペーサ３３ａを配設する。
【００５１】
続いて、図１０に示すように、支持板４１の挿通孔６１ａ、支持板４２の挿通孔６２ａ、およびスペーサ３３ａの挿通孔６５ａにおける各々の中心軸が同軸となるように位置合わせを行い、次いで、各挿通孔６１ａ，６２ａ，６５ａに位置決めピン３４ａを挿通させる。この際に、支持部１２は、支持板４１の支持孔５１および支持板４２の支持孔５２の各開口面が垂直方向（仮想直線Ａ２）に沿って並ぶ状態を維持する。
【００５２】
続いて、支持板４１の固定孔６１ｂおよび支持板４２の固定孔６２ｂにボルト３５を挿通させ、ボルト３５の先端部をスペーサ３３ａの一端部側の端面に形成されているねじ穴６５ｃにねじ込む。これにより、支持板４１および支持板４２がスペーサ３３ａに固定される。
【００５３】
次いで、図１０に示すように、支持板４４の挿通孔６４ｂ、支持板４３の挿通孔６３ｂ、およびスペーサ３３ａの挿通孔６５ｂにおける各々の中心軸が同軸となるように位置合わせを行い、続いて、各挿通孔６４ｂ，６３ｂ，６５ｂに位置決めピン３４ｂを挿通させる。この際に、支持部１２は、支持板４２の支持孔５２、支持板４３の支持孔５３、および支持板４４の支持孔５４の各開口面が傾斜方向（仮想直線Ａ３）に沿って並ぶ状態を維持する。
【００５４】
次いで、支持板４３の固定孔６３ｃおよび支持板４４の固定孔６４ｃにボルト３５を挿通させ、ボルト３５の先端部をスペーサ３３ａの他端部側の端面に形成されているねじ穴６５ｃにねじ込む。これにより、支持板４３および支持板４４がスペーサ３３ａに固定される。
【００５５】
この状態では、図１０に示すように、支持部１２は、支持板４１および支持板４２が当接し支持板４３および支持板４４が当接した状態で支持板４２と支持板４３とが離間すると共に、垂直方向（仮想直線Ａ２）に沿って支持孔５１および支持孔５２の各開口面が並びかつ傾斜方向（仮想直線Ａ３）に沿って支持孔５２、支持孔５３および支持孔５４の各開口面が並ぶ第３の姿勢を維持する。次いで、位置決めピン３４ｂを引き抜き、続いて、基端部側支持部３２の外側に電極板１３を固定する。以上により、図６に示すように、プローブユニット２の組み立てが完了する（同図では電極板１３の図示を省略する）。
【００５６】
このプローブユニット２およびプローブユニット組立方法では、２枚の支持板４１，４２だけで形成された先端部側支持部３１、および２枚の支持板４３，４４だけで形成された基端部側支持部３２を用いているため、数多くの支持板で形成された支持部を用いる構成および方法と比較してプローブユニット２の組立コストを低く抑えることが可能となっている。また、このプローブユニット２およびプローブユニット組立方法では、組立ての際に各支持板４１〜４４の位置をずらすことで、支持孔５２、支持孔５３および支持孔５４の各開口面の並び方向を各支持板４１〜４４の積層方向に対して傾斜させている。このため、このプローブユニット２およびプローブユニット組立方法では、各貫通孔の中心を少しずつずらしつつ各支持板を積層して１枚に形成するような高度な技術を必要としないため、その分、プローブユニット２の組立コストを低く抑えることが可能となっている。さらに、このプローブユニット２およびプローブユニット組立方法では、各支持孔５１〜５４の各開口面が各支持板４１〜４４の積層方向に対して垂直な垂直方向（仮想直線Ａ１）に沿って並ぶ第１の姿勢に支持部１２を維持した状態で各支持孔５１〜５４にプローブ１１を挿通させ、その後に支持部１２を第２の姿勢および第３の姿勢に移行させることでプローブユニット２を組み立てることができるため、各開口面が予め傾斜方向に沿って並ぶように形成されている基端部側支持部３２の各支持孔５４，５３から挿入したプローブ１１を弾性変形させつつ、各開口面が垂直方向に沿って並んでいる先端部側支持部３１の支持孔５２，５１に差し込む作業をプローブ１１の一本一本について行ってプローブユニット２を組み立てる構成および方法と比較して、組み立て工程を十分に短縮させることが可能となっている。
【００５７】
次に、基板検査装置１を用いて基板１００の検査を行う基板検査方法について、図面を参照して説明する。
【００５８】
まず、先端部側支持部３１を下向きにした状態のプローブユニット２を移動機構３に固定する（図１参照）。次いで、載置台４の載置面に基板１００を載置して、続いて、図外の固定具によって基板１００を載置台４に固定する。次いで、基板検査装置１を作動させる。この際に、処理部８が、移動機構３を制御して、基板１００（載置台４の載置面）に対して近接する向き（図１における下向き）にプローブユニット２を移動（降下）させる。
【００５９】
続いて、処理部８は、移動機構３を制御して、予め決められた移動量だけプローブユニット２を移動させた時点で、その移動を停止させる。次いで、処理部８は、測定部５を制御して測定処理を実行させる。この測定処理では、測定部５は、各プローブ１１を介して入出力する電気信号に基づいて物理量としての抵抗値を測定する。
【００６０】
続いて、処理部８は、検査部６を制御して検査処理を実行させる。この検査処理では、検査部６は、測定部５によって測定された抵抗値に基づいて導体部の断線および短絡の有無を検査する。次いで、処理部８は、検査結果を図外の表示部に表示させる。以上により、基板１００の検査が終了する。続いて、新たな基板１００を検査するときには、新たな基板１００を載置台４に載置して固定し、次いで、基板検査装置１を作動させる。この際に、処理部８が、上記した各処理を実行する。
【００６１】
一方、上記したプローブ１１（直径Ｌ１，Ｌ３が０．０７５ｍｍ〜０．１ｍｍ程度で直径Ｌ２が０．１１ｍｍ〜０．１３５ｍｍ程度に規定されたプローブ１１）に代えて、長さがプローブ１１と同じで、かつ直径Ｌ１〜Ｌ３がプローブ１１の直径Ｌ１〜Ｌ３よりも細く規定されたプローブ（以下、このプローブを「プローブ１１ａ」ともいう）を用いるときには、次の手順でプローブユニット２ａを組み立てる。なお、以下の説明において、上記したプローブユニット２と同じ構成要素については、同じ符号を付して、重複する説明を省略する。
【００６２】
まず、上記したプローブユニット２の組み立て工程と同様にして、各支持板４１〜４４を積み重ねて第１の姿勢に維持させ、続いて、プローブ１１を支持板４４の支持孔５４、支持板４３の支持孔５３、支持板４２の支持孔５２、および支持板４１の支持孔５１に挿通させる。
【００６３】
次いで、支持板４１および支持板４２が当接しかつ支持板４３および支持板４４が当接した状態を維持しつつ支持板４２と支持板４３とを離間させて支持部１２を第２の姿勢に移行させる。続いて、その第２の姿勢において、図１１に示すように、支持板４１および支持板４２が当接した状態で、支持板４２と支持板４３とを離間させ、次いで、各挿通孔６１ａ〜６４ａから位置決めピン３４ｃを引き抜き、次いで、支持板４２と支持板４３との間にスペーサ３３ｂを配設する。続いて、同図に示すように、支持板４３と支持板４４とを離間させ、次いで、支持板４３と支持板４４との間にスペーサ３３ｃを配設する。
【００６４】
続いて、図１２に示すように、支持板４１の挿通孔６１ａ、支持板４２の挿通孔６２ａ、およびスペーサ３３ｂの挿通孔６６ａにおける各々の中心軸が同軸となるように位置合わせを行い、次いで、各挿通孔６１ａ，６２ａ，６６ａに位置決めピン３４ａを挿通させる。この際に、支持部１２は、支持板４１の支持孔５１および支持板４２の支持孔５２の各開口面が垂直方向（仮想直線Ａ２）に沿って並ぶ状態を維持する。続いて、ボルト３５を用いて、支持板４１，４２をスペーサ３３ｂに固定する。
【００６５】
次いで、図１２に示すように、支持板４４の挿通孔６４ｂ、スペーサ３３ｃの挿通孔６７ｂ、支持板４３の挿通孔６３ｂ、およびスペーサ３３ｂの挿通孔６６ｂにおける各々の中心軸が同軸となるように位置合わせを行い、続いて、各挿通孔６４ｂ，６７ｂ，６３ｂ，６６ｂに位置決めピン３４ｂを挿通させる。この際に、支持部１２は、支持板４２の支持孔５２、支持板４３の支持孔５３、および支持板４４の支持孔５４の各開口面が傾斜方向（仮想直線Ａ３）に沿って並ぶ第３の姿勢を維持する。
【００６６】
次いで、図１３に示すように、ボルト３５を用いて、支持板４３，４４をスペーサ３３ｃと共にスペーサ３３ｂに固定する。この状態では、図１２に示すように、支持部１２は、支持板４１と支持板４２とが当接し、支持板４３と支持板４４とが離間し、支持板４２と支持板４３とが離間すると共に、垂直方向（仮想直線Ａ２）に沿って支持孔５１および支持孔５２の各開口面が並びかつ傾斜方向（仮想直線Ａ３）に沿って支持孔５２、支持孔５３および支持孔５４の各開口面が並ぶ第３の姿勢を維持する。次いで、位置決めピン３４ｂを引き抜き、続いて、支持板４４の外面（同図における上面）に当接するようにして支持板４４の外側に電極板１３を固定する。以上により、プローブユニット２ａの組み立てが完了する（同図では電極板１３の図示を省略する）。
【００６７】
この場合、スペーサ３３ｂは、スペーサ３３ａと比較して、その厚みがスペーサ３３ｃの厚みの分だけ薄く形成されている。このため、スペーサ３３ａに代えて、スペーサ３３ｂ，３３ｃを用いたことで、図１２に示すように、支持板４２の内面と支持板４３の外面との間の距離Ｄ１を一定に維持しつつ支持板４２と支持板４３との間の距離Ｄ２を変更（この例では、短く変更）してその状態を維持することが可能となっている。
【００６８】
ここで、上記したプローブユニット２，２ａでは、プローブ１１，１１ａの先端部２１が先端部側支持部３１によって保持され、基端部２３が基端部側支持部３２によって支持されているため、支持板４２と支持板４３との間の距離Ｄ２が、プローブ１１，１１ａの有効座屈長（プローブ１１，１１ａが保持されている２箇所の間の距離）に相当する。
【００６９】
一方、プローブ１１，１１ａの座屈荷重（座屈が生じる荷重）は、プローブ１１，１１ａの材質や長さが等しいときには、断面積（つまり、直径）が大きいほど大きくなり、また、材質や断面積が等しいときには、有効座屈長（この例では、距離Ｄ２）が短いほど大きくなる。この場合、このプローブユニット２ａでは、プローブ１１ａの有効座屈長である距離Ｄ２をプローブユニット２よりも短くしたことで、距離Ｄ２をプローブユニット２と同じ距離に規定する構成と比較して、プローブ１１ａの座屈荷重を高めることができる。このため、このプローブユニット２，２ａでは、プローブ１１よりも直径が短く座屈荷重が小さいプローブ１１ａを用いる場合において、スペーサ３３ａに代えて、スペーサ３３ｂ，３３ｃを用いるだけの簡易な作業で、有効座屈長を容易に変更して座屈荷重を適正な値に容易に変更（この例では高める）ことが可能となっている。
【００７０】
このように、このプローブユニット２、基板検査装置１およびプローブユニット組立方法では、支持板４３と支持板４４とが当接した状態で支持板４２と第２の支持板とが離間する第２の姿勢に支持部１２を移行させた状態で、支持板４２の内面と支持板４３の外面との間の距離Ｄ１を一定に維持しつつ支持板４２と支持板４３との間の距離Ｄ２をプローブ１１の種類に応じて変更してその状態を維持させる。このため、このプローブユニット２、基板検査装置１およびプローブユニット組立方法では、このように距離Ｄ２を変更するだけの簡易な作業で、プローブ１１，１１ａの有効座屈長を容易に変更することができる。また、有効座屈長を変更するには、直径に応じて長さが異なるプローブを用いる必要がある従来の構成および方法とは異なり、長さが等しくかつ直径が異なる複数種類のプローブ１１，１１ａを交換して用いることができ、各プローブ１１，１１ａの種類（直径等）に応じて有効座屈長を容易に変更することができる。この場合、直径に拘わらず長さが等しいプローブ１１，１１ａでは、直径に応じて長さが異なるプローブと比較して、その製作コストを十分に低減させることができる。このため、このプローブユニット２、基板検査装置１およびプローブユニット組立方法によれば、プローブ１１，１１ａの製作コストを低減できる分、その製造コストを十分に低く抑えることができる。
【００７１】
また、このプローブユニット２、基板検査装置１およびプローブユニット組立方法によれば、支持部１２を第２の姿勢に移行させた状態で、第３の姿勢に移行させることにより、先端部２１側が支持孔５１，５２の深さ方向に沿って延在し先端部２１側を除く部分が傾斜方向に沿って延在する状態に全てのプローブ１１を一度に維持（弾性変形）させてプローブユニット２を組み立てることができる。このため、各開口面が予め傾斜方向に沿って並ぶように形成されている基端部側支持部３２の各支持孔５４，５３から挿入したプローブ１１を弾性変形させつつ、先端部側支持部３１の支持孔５２，５１に差し込む作業をプローブ１１の一本一本について行ってプローブユニット２を組み立てる構成および方法と比較して、組み立て工程を十分に短縮させることができる。したがって、このプローブユニット２、基板検査装置１およびプローブユニット製造方法によれば、組み立て工程が短縮される分、製造コストを十分に低減することができる。
【００７２】
また、このプローブユニット２、基板検査装置１およびプローブユニット組立方法によれば、各支持板４１〜４４の各挿通孔６１ａ〜６４ａに位置決めピン３４ｃを挿入して、支持部１２を第１の姿勢に維持することにより、簡易な構成および方法でありながら、確実かつ容易に支持部１２を第１の姿勢に維持することができるため、プローブユニット２の組立効率、ひいては基板検査装置１の製造効率を十分に向上させることができる。
【００７３】
また、このプローブユニット２、基板検査装置１およびプローブユニット組立方法によれば、第２の姿勢の支持板４２，４３の間にスペーサ３３ｂを配設すると共に、支持板４３と支持板４４との間にスペーサ３３ｃを配設し、各支持板４１〜４４をスペーサ３３ｃと共にスペーサ３３ｂに固定することにより、支持板４２と支持板４３との間の距離Ｄ２を短時間で確実かつ容易に変更して、その変更した状態に維持することができるため、プローブユニット２の組立効率、ひいては基板検査装置１の製造効率を十分に向上させることができる。
【００７４】
なお、プローブユニット、基板検査装置およびプローブユニット組立方法は、上記の構成および方法に限定されない。例えば、上記したスペーサ３３ｃに代えて、図１４に示すスペーサ３３ｄを用いることもできる。この場合、スペーサ３３ｄには、スペーサ３３ｃに形成されている挿通孔６７ｂに代えて、位置決めピン３４ｂを挿通可能な切り欠き６８ｂが形成されると共に、スペーサ３３ｃに形成されている固定孔６７ｃに代えて、ボルト３５を挿通可能な複数（この例では、３個）の切り欠き６８ｃが形成されている。このスペーサ３３ｄを用いて支持板４２と支持板４３との間の距離Ｄ２を変更するときには、位置決めピン３４ｂを支持板４３，４４の各挿通孔６３ｂ，６４ｂに挿通させたり、ボルト３５を支持板４３，４４の固定孔６３ｃ，６４ｃに挿通させたりした状態で（位置決めピン３４ｂやボルト３５を引き抜くことなく）、各切り欠き６８ｂ，６８ｃに位置決めピン３４ｂおよびボルト３５をそれぞれ挿入させつつ支持板４３，４４間の隙間にスペーサ３３ｄを割り込ませることで、スペーサ３３ｄを配設することができるため、スペーサ３３ｄの配設作業を効率的に行うことができる。
【００７５】
また、スペーサ３３ａ〜３３ｄを用いて距離Ｄ１を一定に維持しつつ距離Ｄ２を変更する構成および方法について上記したが、この構成および方法には限定されない。例えば、各支持板４１〜４４の四隅に厚み方向に沿って挿通孔を形成すると共に、その四隅の側面から挿通孔に達するねじ孔を横方向（水平方向）沿って形成し、各支持板４１〜４４を対向させた状態で各挿通孔に支柱を挿通させると共に、ねじ孔に固定用ねじをねじ込む構成および方法を採用することができる。この構成および方法では、固定用ねじを緩めることで、各支持板４１〜４４を各支柱に沿ってスライドさせることができ、固定用ねじを締め込むことで、各支持板４１〜４４のスライドを規制することができる。このため、支持板４１，４２，４４のスライドを規制して距離Ｄ１を一定に維持しつつ、支持板４３をスライドさせて距離Ｄ２を容易に変更することができる結果、この構成においても、プローブ１１，１１ａの種類（直径等）に応じて有効座屈長を容易に変更することができる。
【００７６】
さらに、エアシリンダ、油圧シリンダおよびモータ等の駆動機構を用いて距離Ｄ１を一定に維持しつつ距離Ｄ２を変更する構成を採用することもできる。
【００７７】
また、第３の姿勢に移行可能に構成したプローブユニット２、およびそのプローブユニット２を組み立てる組立方法について上記したが、第３の姿勢に移行しない、つまり各支持板４１〜４４に対して垂直な垂直方向（仮想直線Ａ１）に沿って各支持孔５１〜５４の各開口面が並ぶ状態に支持部１２が維持されたプローブユニット、およびそのようなプローブユニットの組み立て方法に適用することもできる。
【００７８】
また、２枚の支持板４１，４２で先端部側支持部３１を構成した例について上記したが、１枚の支持板だけで先端部側支持部３１を構成することもできる。
【００７９】
また、各支持板４１〜４４に形成した各挿通孔６１ａ〜６４ａに位置決めピン３４ｃを挿通させて支持部１２を第１の姿勢に維持する構成および方法について上記したが、例えば、クランプを用いて第１の姿勢に積み重ねた各支持板４１〜４４を固定して支持部１２を第１の姿勢に維持する構成および方法を採用することもできる。
【符号の説明】
【００８０】
１  基板検査装置
２，２ａ  プローブユニット
６  検査部
１１，１１ａ  プローブ
１２  支持部
１３  電極板
２１  先端部
２２  中間部
２３  基端部
３１  先端部側支持部
３２  基端部側支持部
３３ａ〜３３ｄ  スペーサ
３４ａ，３４ｂ，３４ｃ  位置決めピン
４１〜４４  支持板
５１〜５４  支持孔
６１ａ〜６５ａ，６５ｂ，６６ａ，６６ｂ，６７ｂ  挿通孔
６１ｂ，６２ｂ，６３ｃ，６４ｃ，６７ｃ  固定孔
６５ｃ，６６ｃ  ねじ穴
６８ｂ，６８ｃ  切り欠き
１００  基板
Ｄ１，Ｄ２  距離
Ｌ１〜Ｌ３  直径
Ｒ１〜Ｒ４  直径
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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