(57)【要約】【課題】本発明は、ウエハの生産歩留まりを向上させることを目的とする。【解決手段】本発明によれば、第１ノズル３０が流体を噴射して、切り残し部６０１とウエハ列６０との間に隙間を設け、保持アーム７１０が切り残し部６０１を回転させることで、切り残し部６０１とウエハ列６０との間の隙間を拡げつつ、スライスベース５０と切り残し部６０１とを剥離し、切り残し部６０１と離間する方向に切り残し部６０１を移動させることにより、スライスベース５０から切り残し部６０１を除去することができる。これにより、ウエハ６００を取り出す際に、ウエハ６００と切り残し部６０１とが接触することによるウエハ６００の割れや欠け等の品質異常を抑制でき、ひいてはウエハの生産歩留まりを向上させることができる。【選択図】図１
2014232741.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
インゴットをスライスして形成されたウエハ列と、前記インゴットの端部に配された切り残し部とが接着剤で接着されたスライスベースから、前記切り残し部を除去する切り残し部除去装置であって、
液体が貯留される槽と、
前記スライスベースを保持する保持部材と、
前記切り残し部を保持すると共に移動させる保持アームと、
前記ウエハ列のうち前記切り残し部の隣に位置するウエハの、前記切り残し部に対向する面に流体を噴射する第１ノズルと、を備え、
前記切り残し部を保持し、前記切り残し部と前記スライスベースとの接着箇所を軸として、前記ウエハ列から離間する方向に前記切り残し部を回転させる回転機構と、
前記スライスベースから離間する方向に前記切り残し部を移動させる移動機構と、を有する
ことを特徴とする切り残し部除去装置。
【請求項２】
前記移動機構は、前記切り残し部のスライス面に沿う方向であって、前記スライスベースから離間する方向に前記切り残し部を移動させる、請求項１に記載の切り残し部除去装置。
【請求項３】
前記切り残し部の回転に同調して移動する第２ノズルをさらに備える、請求項１または２に記載の切り残し部除去装置。
【請求項４】
前記切り残し部に対向する前記面と前記第１ノズルの噴射方向とが成す鋭角よりも、前記切り残し部に対向する前記面と前記第２ノズルの噴射方向とが成す鋭角の方が大きい、請求項３に記載の切り残し部除去装置。
【請求項５】
前記保持部材は、前記ウエハ列が前記槽の液体に浸漬され、かつ、前記接着剤が前記槽の液体と非接触となるように前記スライスベースを保持する、請求項１〜４のいずれかに記載の切り残し部除去装置。
【請求項６】
前記切り残し部と前記スライスベースとの間の前記接着剤を軟化させる軟化機構をさらに備える、請求項５に記載の切り残し部除去装置。
【請求項７】
前記第１ノズルは、前記回転機構が前記切り残し部を回転させている期間に流体を噴射する、請求項１〜６のいずれかに記載の切り残し部除去装置。
【請求項８】
前記移動機構は、前記回転機構による前記切り残し部の回転が完了した後に前記切り残し部を移動させる、請求項１〜７のいずれかに記載の切り残し部除去装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インゴットから形成されたウエハ列と、前記インゴットの端部に配された切り残し部とが接着剤で接着されたスライスベースから、前記切り残し部を除去する切り残し部除去装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
太陽電池や半導体の基板材料等に用いられるシリコンウエハなどのウエハは、インゴットと称される塊状物をスライスして、枚葉化することで得られる。図７はインゴットをスライスして得られた複数枚のウエハ（以下、ウエハ列６０という）を示す。図７に示すようなウエハ列６０を得るには、まずインゴットをスライスベースと称される保持体に接着剤６３で固定し、スライスベース５０に固定されたインゴットを、ワイヤソーでスライスしてウエハとする。
【０００３】
図８に、一般的なウエハ製造方法のフローを示す。ウエハの製造では、図８（ａ）に示す接着工程、図８（ｂ）に示すスライス工程、図８（ｃ）に示す洗浄工程、そして剥離工程を経て、製品となるウエハを得る。
【０００４】
まず、図８（ａ）に示す接着工程において、インゴット６５を接着剤６３でスライスベース５０の接着面５５に接着させる。
次に、図８（ｂ）に示すスライス工程において、スライスベース５０に貼り付けられたインゴット６５を、一対のメインローラ２１０と、ワイヤ２２０とを具備するワイヤソー２００などの切断装置によって、スライス状に切断してウエハ列６０を得る。また、切断装置であるワイヤソー２００は、例えば、複数のワイヤ２２０を用いて、一度に複数枚のウエハを得るマルチワイヤソーや、インゴット６５との間の放電現象により溶融加工を行うワイヤ放電加工機などである。このとき、インゴット６５の両端部はウエハに対して十分な厚みを有する切り残し部６０１となる。
【０００５】
その後、図８（ｃ）に示す洗浄工程において、スライスベース５０に固定されたウエハ列６０を、洗浄槽３００中の水で洗浄する。スライスベース５０及び切り残し部６０１とともにウエハ列６０を水中に浸漬させ、超音波ユニット３１０によってウエハ列６０に超音波を照射したり、噴流ノズル３２０によってウエハ列６０に水の噴流をあてたりして、ウエハ列６０を洗浄する。
【０００６】
そして、剥離工程において、スライスベース５０からウエハを剥離する。例えば特許文献１では、図９（ａ）に示すように、切り残し部６０１とウエハ列６０とが接着されたスライスベース５０を、熱水または薬液を含む剥離液１５に浸漬させることにより、接着剤６３を軟化させて剥離するウエハ剥離方法が開示されている。この方法によると、接着剤６３が軟化することで、切り残し部６０１やウエハ６００とスライスベース５０との接着力が弱まるため、切り残し部６０１とウエハ６００とがスライスベース５０から剥離できる。剥離された切り残し部６０１とウエハ６００は、トレイ４０に落下して回収される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平９−３２６３７４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、上記従来のウエハ剥離方法では、例えば、図９（ｂ）に示すように、スライスベース５０から剥離された切り残し部６０１とウエハ６００とがトレイ４０に落下する際に、切り残し部６０１とウエハ６００とが接触して（符号Ｘ参照）、ウエハ６００が割れたり（符号Ｙ参照）、欠けたりすることがあった。切り残し部６０１はウエハ６００よりも分厚くかつ強度も高いからである。すなわち、従来のウエハ剥離方法では、切りの残し部６０１がウエハ６００と接触することでウエハ６００の割れや欠け等の品質異常を発生させ、ウエハ６００の生産歩留まりを低下させるという問題があった。
【０００９】
そこで本発明は、上記課題を解決するものであり、ウエハの割れや欠け等の品質異常の発生を抑制し、ひいてはウエハの生産歩留まりを向上させることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の切り残し部除去装置は、インゴットをスライスして形成されたウエハ列と、前記インゴットの端部に配された切り残し部とが接着剤で接着されたスライスベースから、前記切り残し部を除去する切り残し部除去装置であって、液体が貯留される槽と、前記スライスベースを保持する保持部材と、前記切り残し部を保持すると共に移動させる保持アームと、前記ウエハ列のうち前記切り残し部の隣に位置するウエハの、前記切り残し部に対向する面に流体を噴射する第１ノズルと、を備え、前記切り残し部を保持し、前記切り残し部と前記スライスベースとの接着箇所を軸として、前記ウエハ列から離間する方向に前記切り残し部を回転させる回転機構と、前記スライスベースから離間する方向に前記切り残し部を移動させる移動機構と、を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、第１ノズルが流体を噴射して切り残し部とウエハ列との間に隙間を設け、保持アームで切り残し部を移動させることで、スライスベースから切り残し部を除去することができる。これにより、ウエハを取り出す際に、ウエハと切り残し部とが接触することによって生じるウエハの割れや欠け等の品質異常を抑制でき、ひいてはウエハの生産歩留まりを向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】（ａ）は本発明の実施の形態１に係る切り残し部除去装置の正面図で、（ｂ）は同切り残し部除去装置Ａ−Ａ面を真下から見た断面図である。
【図２】同切り残し部除去装置の各工程を示し、（ａ）は保持工程、（ｂ）は噴射工程、（ｃ）は回転工程、（ｄ）は移動工程を示す図である。
【図３】（ａ）は本発明の実施の形態２に係る切り残し部除去装置の正面図で、（ｂ）は同切り残し部除去装置Ａ−Ａ面を真下から見た断面図である。
【図４】同切り残し部除去装置の各工程を示し、（ａ）は保持工程、（ｂ）は噴射工程、（ｃ）は回転工程、（ｄ）は移動工程を示す図である。
【図５】（ａ）は本発明の実施の形態３に係る切り残し部除去装置の正面図で、（ｂ）は同切り残し部除去装置Ａ−Ａ面を真下から見た断面図である。
【図６】同切り残し部除去装置の各工程を示し、（ａ）は保持工程、（ｂ）は噴射工程、（ｃ）は回転工程、（ｄ）は移動工程を示す図である。
【図７】スライスベースに接着されたウエハ列及び切り残し部を示す斜視図である。
【図８】一般的なウエハ製造方法の各工程を示し、（ａ）は接着工程を示す図で、（ｂ）はスライス工程を示す図で、（ｃ）は洗浄工程を示す図である。
【図９】（ａ）は従来のウエハ剥離装置の概要を示す図で、（ｂ）は同ウエハ剥離装置において、ウエハに品質異常が発生した状態を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
（実施の形態１）
ウエハは、インゴットをスライスして形成され、スライスされたインゴットの端部には切り残し部が形成される。ウエハ及び切り残し部は、例えば、図８（ａ）に示す接着工程と、図８（ｂ）に示すスライス工程とを経て形成される。
【００１４】
インゴットからスライスされたウエハ６００及び切り残し部６０１は、それぞれ側面の一つがスライスベース５０と接着剤６３によって接着されており、ウエハ６００はそれぞれ平行に配列されてウエハ列６０を形成している。また、切り残し部６０１は、インゴット６５の端部に形成されており、ウエハ列６０は２つの切り残し部６０１によって挟まれている。
【００１５】
本発明は、ウエハの剥離に際し、予め切り残し部を除去することを特徴とする。図１に本実施の形態に係る切り残し部除去装置を示す。切り残し部除去装置７０１は、図１（ａ）（ｂ）に示すように、水が貯留された槽１０と、スライスベース５０を保持する保持部材２０と、水を噴射する第１ノズル３０と、切り残し部６０１を保持する保持アーム７１０とを備えている。
【００１６】
保持部材２０に保持されたスライスベース５０には、切り残し部６０１及びウエハ列６０が接着されており、ウエハ列６０の各ウエハ６００はそれぞれ、少なくともその一部分が槽１０の水に浸漬される。各ウエハ６００が槽１０の水に浸漬されることによって、ウエハ６００が乾燥して汚れが固着することを防止でき、さらに、槽１０の水がウエハ６００同士の衝突を緩衝して、ウエハ６００にキズがつくことを抑制できる。
【００１７】
第１ノズル３０は、切り残し部６０１に隣接するウエハ６００の、切り残し部６０１に対向する面に水を噴流させて、スライスベース５０に接着された切り残し部６０１とウエハ列６０との間に隙間を生じさせる。
【００１８】
すなわち、切り残し部６０１はウエハ６００に対して十分な厚みを有しているのでスライスベース５０との接着面積が大きく、それによって接着箇所の剛性が高いために、スライスベース５０との接着箇所を軸として回転しにくい。一方、ウエハ６００は接着面積が小さく、それによって接着箇所の剛性が低いので、噴流させる水によってスライスベース５０との接着箇所を軸として回転することができる。
【００１９】
したがって、切り残し部６０１に隣接するウエハ６００の、切り残し部６０１に対向する面に水の噴流を与えることで、その噴流が切り残し部６０１とウエハ列６０との間に進入して、切り残し部６０１と隣接するウエハ６００が切り残し部６０１と離間する方向に回転し、切り残し部６０１とウエハ列６０との間に隙間を生じさせることができる。
【００２０】
保持アーム７１０は吸着パッド７１１を有しており、吸着パッド７１１は、スライスベース５０に接着された切り残し部６０１のスライス面６０２と反対の面を吸着保持する。また、保持アーム７１０は力点部７１２及び支点軸７５０を有している。力点部７１２及び支点軸７５０が保持アーム７１０に備わる回転機構及び移動機構として機能する。支点軸７５０は、スライスベース５０と切り残し部６０１との接着箇所の延長線上に位置し、力点部７１２にウエハ列６０の配列方向の力を加えることで、保持アーム７１０は、スライスベース５０と切り残し部６０１との接着箇所を軸として切り残し部６０１を回転させることができる。さらに、保持アーム７１０は、その移動機構の機能により、吸着パッド７１１で切り残し部６０１を吸着保持したまま、切り残し部６０１を平行移動させることができる。
【００２１】
次に、本実施の形態に係る切り残し部除去方法について、図２（ａ）〜図２（ｄ）を参照しながら説明する。なお、図２（ａ）〜（ｄ）においては、切り残し部６０１の一方のみを図示するが、反対面も同様である。
【００２２】
まず、図２（ａ）に示す保持工程において、スライスベース５０が保持部材２０に保持された状態で、保持アーム７１０の吸着パッド７１１が切り残し部６０１のスライス面６０２とは反対の面を吸着することで、保持アーム７１０は切り残し部６０１を保持する。
【００２３】
次に、図２（ｂ）に示す噴射工程において、第１ノズル３０が矢印３１の方向に水を噴流して、切り残し部６０１に隣接するウエハ６００の、切り残し部６０１に対向する面に水の噴流をあてる。この噴流によって、切り残し部６０１に隣接するウエハ６００は、スライスベース５０との接着箇所を軸として切り残し部６０１から離間する方向（矢印６１０の方向）に回転し、切り残し部６０１とウエハ列６０との間に隙間が生じる。これ以降、図２（ｄ）に示す移動工程が完了するまで、第１ノズル３０は水の噴流を継続させて、切り残し部６０１とウエハ列６０との間の隙間を維持する。
【００２４】
次に、図２（ｃ）に示す回転工程において、保持アーム７１０の力点部７１２に矢印７４０の方向に力を加える。そうすると、保持アーム７１０は、支点軸７５０を回転軸として矢印７６０の方向に回転する。すなわち、保持アーム７１０に保持された切り残し部６０１は、切り残し部６０１とスライスベース５０との接着箇所を軸として、ウエハ列６０から離間する方向（矢印７６０の方向）に回転する。これにより、切り残し部６０１とウエハ列６０との隙間をさらに拡げつつ、スライスベース５０から切り残し部６０１の少なくとも一部を剥離することができる。
【００２５】
次に、図２（ｄ）に示す移動工程において、保持アーム７１０が、切り残し部６０１を回転させた状態を維持しつつ、切り残し部６０１のスライス面６０２に沿う方向であって、スライスベース５０から離間する方向（矢印７７０の方向）に切り残し部６０１を平行移動させる。これにより、切り残し部６０１がスライスベース５０から完全に分離して、スライスベース５０から切り残し部６０１のみを除去することができる。
【００２６】
その後、スライスベース５０から枚葉装置（セパレータ）を用いてウエハ６００を一枚ずつ取り出し、洗浄、乾燥、検査されて製品となる。
実施の形態１によれば、第１ノズル３０が水を噴射して、切り残し部６０１とウエハ列６０との間に隙間を設けている期間に、保持アーム７１０が切り残し部６０１を回転させることで、切り残し部６０１とウエハ列６０との間の隙間を拡げつつ、スライスベース５０と切り残し部６０１とを剥離し、切り残し部６０１のスライス面６０２に沿う方向に切り残し部６０１を移動させることにより、スライスベース５０から切り残し部６０１のみを除去することができる。これにより、ウエハ６００を取り出す際に、ウエハ６００と切り残し部６０１とが接触することによるウエハ６００の割れや欠け等の品質異常を抑制できる。
【００２７】
仮に、ウエハ６００と切り残し部６０１とが近接したまま切り残し部６０１を移動させようとすると、切り残し部６０１と近接したウエハ６００が切り残し部６０１の移動に追従してスライスベース５０から落下して、品質異常が発生する恐れがある。
【００２８】
しかしながら、本実施の形態では、第１ノズル３０による水の噴射と、保持アーム７１０の回転とによって切り残し部６０１とウエハ列６０との間に隙間を十分に設けるため、切り残し部６０１の移動の際に、ウエハ６００が切り残し部６０１の移動に追従してスライスベース５０から落下することを防止でき、品質異常を抑制することができる。
【００２９】
また、切り残し部６０１を回転させずに引っ張って除去した場合、回転させて剥離する場合と比較してより大きな力が必要である。接着剤６３にこのような大きな力が加わると、接着剤６３が引っ張られた際に、ウエハ６００とスライスベース５０との接着箇所も剥離され、ウエハ６００がスライスベース５０から落下して、ウエハ６００の品質異常が発生する恐れがある。
【００３０】
しかしながら、本実施の形態では、切り残し部６０１を、スライスベース５０との接着箇所を軸として回転させて剥離するため、切り残し部６０１を引っ張ってスライスベース５０から除去する場合と比較して、少ない力で確実に切り残し部６０１を除去することができる。そのため、ウエハ６００とスライスベース５０との接着を維持しつつ、切り残し部６０１のみを除去することができ、ウエハ６００の品質異常を抑制することができる。
【００３１】
また、切り残し部６０１の回転後は、スライスベース５０から離間する方向であれば、どの方向に移動させても良いが、切り残し部６０１を移動させると、切り残し部６０１を移動させた方向に水流が発生し、この水流が大きなものである場合、水流によってウエハ６００がスライスベース５０から落下して、ウエハ６００の品質異常が発生するおそれがある。
【００３２】
しかしながら、本実施の形態では、切り残し部６０１をスライス面６０２に沿う方向に移動させるため、切り残し部６０１を移動させることによって発生する水流を最小限に抑えることができ、このような水流によってウエハ６００がスライスベース５０から落下することを防止し、品質異常の発生を抑制することができる。
【００３３】
以上より、ウエハ６００がスライスベース５０から落下することを防止しつつ、スライスベース５０から切り残し部６０１のみを除去することで、ウエハ６００と切り残し部６０１とが接触することによって生じる割れや欠け等の品質異常を抑制することができ、ひいてはウエハ６００の生産歩留まりを向上させることができる。
【００３４】
ウエハ６００は、例えば太陽電池や半導体の基板として用いられるシリコンウエハなどである。ウエハ６００は、例えば、厚さが２００μｍ程度で、一辺の長さが１５６ｍｍ角のスライス状である。切り残し部６０１はウエハ６００と同じ材料であり、一辺の長さも同じであるが、厚さはウエハ６００に対して十分に厚く、例えば１．５〜３．０ｍｍである。
【００３５】
スライスベース５０は、インゴット６５をスライスしてウエハ列６０を得るためにインゴット６５を固定する板状の部材である。スライスベース５０の材料は特に限定されず、カーボン材料などの導電性材料であっても、ガラスなどの絶縁無機材料であっても、エポキシ樹脂などの有機材料であってもよい。また、本実施の形態では、インゴット６５をスライスベース５０に貼り付ける接着剤６３としてエポキシ接着剤を用いたが、これに限定されない。
【００３６】
また、第１ノズル３０は、切り残し部６０１に隣接するウエハ６００の、切り残し部６０１に対向する面に水の噴流を与えて、その噴流を切り残し部６０１とウエハ列６０との間に進入させるため、ウエハ列６０の配列方向に対して傾けて保持されることが好ましい。図１（ｂ）に示す第１ノズルの傾き角度７２０は、３０°以上６０°以下が好ましく、例えば４５°である。また、第１ノズル３０からの水の噴出量は、第１ノズル３０からの水の噴流によってウエハ６００同士が衝突して、ウエハ６００がスライスベース５０から落下しないように、例えば１．４〜１．６Ｌ／ｍｉｎ．とすればよい。
【００３７】
なお、本実施の形態では、保持アーム７１０の吸着パッド７１１が切り残し部６０１を吸着して、保持アーム７１０が切り残し部６０１を保持する場合を述べたが、これに限られず、保持アーム７１０が切り残し部６０１を吸着以外の方法で保持してもよい。
（実施の形態２）
実施の形態１では、槽１０と、保持部材２０と、第１ノズル３０と、保持アーム７１０とを備えた切り残し部除去装置７０１について説明したが、実施の形態２では、実施の形態１の構成に加えて、水を噴流させる第２ノズル７０を備える切り残し部除去装置７０２について説明する。
【００３８】
本実施の形態に係る切り残し部除去装置７０２は、図３（ａ）（ｂ）に示すように、保持アーム７１０に第２ノズル７０を有しており、第２ノズル７０は保持アーム７１０と一体となって動作するよう構成されている。
【００３９】
また、本実施の形態に係る切り残し部除去方法は、実施の形態１と同様に、図４（ａ）に示す保持工程、図４（ｂ）に示す噴射工程、図４（ｃ）に示す回転工程、図４（ｄ）に示す移動工程を有しているが、図４（ｂ）の噴射工程において、第１ノズル３０が水を噴射すると同時に第２ノズル７０も水を噴射する点で実施の形態１と異なる。
【００４０】
図４（ｃ）に示すように、保持アーム７１０が切り残し部６０１を回転させると、回転させた方向に水流（矢印７６０の方向）が発生する。そして、発生した水流により、ウエハ６００が回転して切り残し部６０１に近づいたり、ウエハ６００が大きく回転してウエハ６００がスライスベース５０から落下したりして、品質異常を発生させるおそれがある。
【００４１】
実施の形態２によれば、第２ノズル７０が保持アーム７１０と一体となって動作するため、第２ノズル７０は、切り残し部６０１の回転により発生した水流を緩和する方向（矢印７１の方向）に噴流を発生させる。具体的には、第２ノズル７０は、切り残し部６０１の回転の方向と反対の方向の成分を持つ方向に噴流を発生させる。これにより、ウエハ６００が回転することを防止し、ウエハ６００の品質異常を抑制することができる。
【００４２】
第２ノズル７０は、前述したように、切り残し部６０１が回転する際に発生する水流（矢印７６０の方向）を緩和するためのものであるから、切り残し部６０１のスライス面６０２に対して垂直な方向に水の噴流を与えるべきである。しかしながら、切り残し部６０１のスライス面６０２に対して垂直に水の噴流を与えるとすると、水の噴流が切り残し部６０１に遮られて、切り残し部６０１に隣接するウエハ６００に水の噴流をあてることができない。そのため、ウエハ列６０の配列方向に対して少しだけ傾けて保持し、切り残し部６０１に隣接するウエハ６００に水の噴流をあてるようにすることにより、切り残し部６０１が回転する際に発生する水流によってウエハ６００が回転することを効果的に抑制でき、より好ましい。
【００４３】
したがって、第２ノズル７０の傾き角度７３０は第１ノズル３０の傾き角度７２０より小さい角度であることが好ましい（ウエハ６００の切り残し部６０１に対向する面と第１ノズル３０の噴射方向とが成す角のうちの鋭角よりも、ウエハ６００の切り残し部６０１に対向する面と第２ノズル７０の噴射方向とが成す角のうちの鋭角の方が大きいことが望ましい）。傾き角度７３０は、具体的には２５°以下５°以上が好ましく、例えば２０°である（図３（ｂ）参照）。また、第２ノズル７０からの水の噴出量は、第１ノズル３０と同様に、ウエハ６００同士が衝突して、ウエハ６００がスライスベース５０から落下しないように、例えば１．４〜１．６Ｌ／ｍｉｎ．とすればよい。
【００４４】
また、切り残し部６０１とウエハ６００との距離が近い程、切り残し部６０１を回転させる際に発生する水流がウエハ６００に強く影響するため、図４（ｃ）に示す回転工程の開始時には、第２ノズル７０から比較的強い噴流をウエハ６００に噴射するのが望ましい。一方で、回転工程が進むにつれて、切り残し部６０１の回転により発生する水流の影響は徐々に小さくなるため、それに追従するように、ウエハ６００に噴射される第２ノズル７０からの噴流を弱めるのが好ましい。強過ぎる噴流は、ウエハ６００の品質異常を招くからである。このため、図４（ｃ）に示す回転工程において、第２ノズル７０で打ち消すべき水流の強度は、開始時が最も強く、切り残し部６０１の回転が進んでウエハ６００との距離が広がるにつれて弱くなるように制御するのが望ましい。この制御は、切り残し部６０１の回転に同調させて第２ノズル７０を移動させることにより実現できる。そして、第２ノズル７０の同調移動は、第２ノズル７０を保持アーム７１０に設けることで達成される。
【００４５】
なお、本実施の形態では、第２ノズル７０は保持アーム７１０に設けられている場合を述べたが、これに限られるものではなく、第２ノズル７０が切り残し部６０１の回転に同調して移動するならば、別々に設けられていても良い。
（実施の形態３）
実施の形態１では、槽１０と、保持部材２０と、第１ノズル３０と、保持アーム７１０とを備えた切り残し部除去装置７０１について説明したが、実施の形態３では、実施の形態１の構成に加えて、接着剤６３を軟化させる軟化機構であるスチームノズル８０を備えた切り残し部除去装置７０３について説明する。また、本実施の形態における切り残し部除去装置７０３に、実施の形態２で説明した第２ノズル７０をさらに備えていても良い。
【００４６】
スチームノズル８０は、図５（ａ）（ｂ）に示すように、切り残し部６０１のスライス面６０２と反対側に位置しており、接着剤６３の、スライスベース５０と切り残し部６０１との接着箇所に水蒸気を噴射して加熱するよう構成されている。
【００４７】
また、本実施の形態に係る切り残し部除去方法は、実施の形態１と同様に、図６（ａ）に示す保持工程、図６（ｂ）に示す噴射工程、図６（ｃ）に示す回転工程、図６（ｄ）に示す移動工程を有しているが、図６（ｂ）に示す噴射工程において、第１ノズル３０が水を噴射すると同時に、又はその後であって、図６（ｃ）に示す回転工程の前に、スチームノズル８０が水蒸気を噴射して、接着剤６３を加熱する点で実施の形態１と異なる。
【００４８】
また、切り残し部６０１をスライスベース５０から除去した後は、図６（ｄ）に示すように、速やかにスチームノズル８０の噴射を停止させる。ウエハ６００とスライスベース５０との接着箇所に水蒸気が継続してあたると、その接着箇所の接着剤６３が軟化して接着力が弱まり、ウエハ６００が落下するおそれがあるためである。それ以外の構成については実施の形態１と同様であるため省略する。
【００４９】
なお、図５及び図６においては第２ノズル７０を備えた切り残し部除去装置７０３を図示したが、第２ノズル７０を備えていなくてもよい。
実施の形態３では、接着剤６３としてエポキシ接着剤を用いたため、接着剤６３は８０℃〜１００℃程度に加熱されることによって軟化する。切り残し部６０１とスライスベース５０との接着箇所の軟化によって、その接着箇所の接着力が弱まるため、切り残し部６０１を回転させて、切り残し部６０１をスライスベース５０から剥離する際に、実施の形態１よりも少ない力で確実に切り残し部６０１をスライスベース５０から剥離することができる。
【００５０】
大きな力で切り残し部６０１をスライスベース５０から除去すると、その力がウエハ６００とスライスベース５０との接着箇所に伝わって、ウエハ６００がスライスベース５０から剥離されて落下し、ウエハ６００の品質異常が発生するおそれがある。
【００５１】
しかしながら、本実施の形態では、切り残し部６０１とスライスベース５０との接着箇所を軟化させることにより、その箇所の接着力が弱まるため、より少ない力で切り残し部６０１を除去でき、より確実にウエハ６００がスライスベース５０から落下することを防止して、ウエハ６００の品質異常を抑制することができる。
【００５２】
なお、接着剤６３を軟化する機構であれば、スチームノズルに限定されないが、軟化機構として、本実施の形態のように、スチームノズルを採用することが特に好ましい。
例えば、軟化機構として、スチームノズル８０の代わりに、乾燥した高温ガスを噴きつける機構や、高温の液体、例えば温水を噴きつける機構を採用することも考えられるが、乾燥した高温ガスを噴きつけると、ウエハが乾燥してウエハに汚れが固着するおそれがあり、また、温水を噴きつけると、その温水が槽１０の水と混ぜ合わされて槽１０の水の温度が上昇し、ウエハ６００を介して接着剤６３に熱が伝わることで、接着剤６３のスライスベース５０とウエハ列６０との接着箇所も軟化し、ウエハ６００が落下するおそれがある。
【００５３】
軟化機構として水蒸気を噴きつけるスチームノズル８０を採用することで、ウエハ６００の乾燥を抑え、ウエハ６００に汚れが固着することを防止できる。
また、各ウエハ６００の一部が槽１０の水に浸漬され、接着剤６３が槽１０の水と非接触となるように、保持部材２０で、スライスベース５０を保持することで、軟化機構の作用では槽１０の内部の水の温度が上昇することがないため、ウエハ６００が落下することを防止できる。
【００５４】
また、本実施の形態では、接着剤６３としてエポキシ接着剤を用いる場合を述べたが、これに限られない。また、軟化機構は、接着剤６３を加熱する機構に限られず、例えば、接着剤の種類に応じた溶剤等を噴射して接着剤を軟化させるようにしてもよい。
【００５５】
なお、実施の形態１〜３において、槽１０は水を貯留することを述べたが、槽１０に貯留する液体は、ウエハ６００の乾燥を防止し、ウエハ６００同士の衝突を緩衝させる液体であれば水に限定されない。また、第１ノズル及び第２ノズルは水を噴射することを述べたが、第１ノズル及び第２ノズルが流体を噴射するものであれば、水を噴射するものに限定されない。例えば、不活性ガス等の気体を噴射してもよく、水以外の液体を噴射してもよい。
【産業上の利用可能性】
【００５６】
本発明の切り残し部除去装置及び切り残し部除去方法は、例えば太陽電池用基板等に用いられるウエハの製造等に好適に用いられる。
【符号の説明】
【００５７】
１０  槽
２０  保持部材
３０  第１ノズル
５０  スライスベース
６０  ウエハ列
６３  接着剤
６５  インゴット
７０  第２ノズル
８０  スチームノズル
６００  ウエハ
６０１  切り残し部
６０２  スライス面
７１０  保持アーム
７１１  吸着パッド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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