(57)【要約】【課題】塗工の初期段階からマニホールドの内圧を均一にでき、塗布精度を高められるとともに、その精度を安定して維持できる塗布工具を提供すること。【解決手段】複数のヘッド部材２が隣接配置され、隣り合う前記ヘッド部材２同士の間に形成されたマニホールド４、及び該マニホールド４に連通するとともに前記ヘッド部材２の先端側に向けて開口されたスリット３を通して、被塗布物に塗布液を塗布する塗布工具１であって、前記マニホールド４は、前記ヘッド部材２の延在方向に沿って延びており、前記マニホールド４内には、該マニホールド４に塗布液を供給する供給口１６と、少なくとも前記供給口１６に対応する位置に配置されて、前記ヘッド部材２に前記延在方向に沿う両端部が回転可能に軸支される整流板１５と、が設けられることを特徴とする。【選択図】図１
2014180598.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のヘッド部材が隣接配置され、隣り合う前記ヘッド部材同士の間に形成されたマニホールド、及び該マニホールドに連通するとともに前記ヘッド部材の先端側に向けて開口されたスリットを通して、被塗布物に塗布液を塗布する塗布工具であって、
前記マニホールドは、前記ヘッド部材の延在方向に沿って延びており、
前記マニホールド内には、
該マニホールドに塗布液を供給する供給口と、
少なくとも前記供給口に対応する位置に配置されて、前記ヘッド部材に前記延在方向に沿う両端部が回転可能に軸支される整流板と、が設けられることを特徴とする塗布工具。
【請求項２】
請求項１に記載の塗布工具であって、
前記整流板は、前記延在方向に沿って延びており、
前記整流板の回転軸線に直交する径方向の幅が、前記供給口から前記延在方向に離間するに従い小さくされていることを特徴とする塗布工具。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の塗布工具であって、
前記供給口は、前記マニホールドの前記延在方向に沿う中央部に開口していることを特徴とする塗布工具。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか一項に記載の塗布工具であって、
前記整流板の回転軸線に直交する径方向の両端のうち一方が、前記マニホールドの内面に摺接可能に、又は接近して配置されていることを特徴とする塗布工具。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一項に記載の塗布工具であって、
前記ヘッド部材に対する前記整流板の回転軸線回りの位置を設定可能な角度調整機構が設けられることを特徴とする塗布工具。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか一項に記載の塗布工具であって、
弾性変形可能な平板状の前記整流板を、前記延在方向の内側へ向けて押圧して湾曲させる撓み量調整機構が設けられることを特徴とする塗布工具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート状部材やパネル状部材などの被塗布物の表面に、塗布液を塗布する際に使用される塗布工具に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の塗布工具として、一対のヘッド部材が隣接配置され、これらヘッド部材同士の間に形成されたマニホールド、及び該マニホールドに連通するとともにヘッド部材の先端側に向けて開口されたスリットを通して、被塗布物に塗布液を塗布する構成のスロットダイが知られている（例えば、下記特許文献１を参照）。
【０００３】
塗布工具に供給される塗布液は、ヘッド部材内（ヘッド部材同士の突き合わせ面部分）のマニホールドに一時的に保持され、該マニホールドからスリットへと流通し、スリットからヘッド部材の先端部（刃先エッジ）を介して被塗布物に塗布される。このようにマニホールドからスリットを通して塗布液が吐出されることで、被塗布物に塗布液が均一に塗布されるようになされている。
【０００４】
マニホールドは、長尺の矩形板状をなすヘッド部材の延在方向に沿って該ヘッド部材内を延びており、その断面形状は例えば円形や台形（矩形）とされている。また一般にマニホールドには、ヘッド部材を延在方向に貫通するタイプと、非貫通のくり抜きタイプがある。マニホールド内には、該マニホールドに塗布液を供給する供給口が開口しており、該供給口は、マニホールドの前記延在方向に沿う中央部や、端部に配置される。
【０００５】
尚、下記特許文献１の塗布工具では、マニホールド内に調整部材を着脱自在に挿入することで、該マニホールドの内面と調整部材の外面との間に形成される間隙部の断面形状を変更可能として、被塗布物に対して塗布液を均一に吐出するようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平７−１８５４３４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１の塗布工具では、調整部材の断面形状が前記延在方向に沿って略同一とされているため、塗布量の均一性を得ることが難しく、塗布精度を確保することに改善の余地があった。
【０００８】
具体的に、特許文献１の構成において、供給口がマニホールドの中央部に配置された場合には、該中央部への塗布液の充填が早く、両端部への塗布液の充填が遅くなるため、この時間差に起因してマニホールドに内圧差が生じることになる。このようにマニホールドに内圧差が生じると、内圧が低い部位に対応するスリット幅に対して、内圧が高い部位に対応するスリット幅が大きくなりやすくなり、塗布精度を確保することが難しかった。すなわち、スリット幅が該スリットの延在する方向に沿う各部で異なることに起因して、被塗布物への塗布量（塗布厚）が該被塗布物の幅方向（つまりスリットの延在する方向）に沿って一定となりにくかった。
尚、特許文献１の図３（Ｂ）のように、調整部材の延在方向に沿う中央部を他の部位より小径とした場合には、前述の問題がより顕著となりやすい。
【０００９】
また、マニホールド内に調整部材を挿入した状態で塗工を行った結果、スリットから被塗布物への前記延在方向に沿う塗布量が不均一であった場合には、調整部材をヘッド部材から取り外して他の形状の調整部材に交換する必要があり、調整作業が困難で手間がかかっていた。
【００１０】
尚、前述した塗布量の均一性に係る問題は、塗工の初期段階（塗り始め）において生じやすいが、それ以外でも、例えば塗布液の粘度が中／高粘度である場合（粘度が高い場合）に、マニホールドからスリットへ供給される塗布液の流量がやはり不均一になりやすく、塗布精度が確保できなかった。
すなわち、塗布液の粘度が高い場合には、スリットの延在する方向の中央部におけるスリット幅が、該スリットの両端部におけるスリット幅よりも大きくなりやすく、前記中央部から被塗布物に塗布される塗布液の膜厚が、前記両端部から塗布される塗布液の膜厚よりも厚くなりやすかった。
このような現象を抑制して、塗工の初期段階や塗布液の性質（粘度）に係わらず、塗布精度を安定して高めることが要求されていた。
【００１１】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、塗工の初期段階からマニホールドの内圧を均一にでき、塗布精度を高められるとともに、その精度を安定して維持できる塗布工具を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
このような課題を解決して、前記目的を達成するために、本発明は以下の手段を提案している。
すなわち、本発明は、複数のヘッド部材が隣接配置され、隣り合う前記ヘッド部材同士の間に形成されたマニホールド、及び該マニホールドに連通するとともに前記ヘッド部材の先端側に向けて開口されたスリットを通して、被塗布物に塗布液を塗布する塗布工具であって、前記マニホールドは、前記ヘッド部材の延在方向に沿って延びており、前記マニホールド内には、該マニホールドに塗布液を供給する供給口と、少なくとも前記供給口に対応する位置に配置されて、前記ヘッド部材に前記延在方向に沿う両端部が回転可能に軸支される整流板と、が設けられることを特徴とする。
【００１３】
本発明の塗布工具によれば、マニホールド内に、供給口に対応して整流板が配設されているので、この供給口からマニホールド内に流入した塗布液が整流板に当てられつつ、該マニホールド内における供給口以外の部位へ向けても供給される。すなわち、整流板によって、塗布液がマニホールド内の供給口以外の部位に送液されやすくなるので、このマニホールドの内圧を、供給口付近で高めてしまうようなことが抑制されるとともに該マニホールドの延在する方向に沿って均一にすることが可能となる。これにより、マニホールドに連通するスリットの開口幅（スリット幅）が延在方向に沿ってばらつくようなことも抑制されるので、被塗布物への塗布が精度よく均一に行われる。
【００１４】
つまり従来では、例えば供給口がマニホールドの延在方向の中央部に配置された場合に、該中央部への塗布液の充填が早く、両端部への塗布液の充填が遅くなるため、この時間差に起因してマニホールドに内圧差が生じることから、塗布精度を確保することが難しかった。一方、本発明によれば、整流板によってマニホールド内全体に均一に、かつ略同時に塗布液を充填することが可能になり、マニホールドの内圧差を抑制できる。従って、塗工の初期段階（塗り始め）から塗布精度を十分に高めることができる。
【００１５】
さらに、整流板がヘッド部材に回転可能に軸支されているので、たとえスリットから被塗布物へ吐出される塗布量が前記延在方向に沿う各部で不均一となった場合であっても（つまり塗布精度が十分に確保できなかった場合でも）、整流板を回転させる簡単な操作によって、塗布精度を向上させることができる。
すなわち、例えば、スリットのうち前記延在方向に沿う供給口に対応するスリット部分からの塗布量が、該供給口以外の部位に対応するスリット部分からの塗布量に比べて多かった場合でも、整流板を回転させることで、供給口に対応するスリット部分への送液を妨げることが可能であり、これにより塗布液を供給口以外の部位に対応するスリット部分へと流しやすくするように調整できる。また、供給口に対応するスリット部分からの塗布量が、該供給口以外の部位に対応するスリット部分からの塗布量に比べて少ない場合にも、整流板を回転させて、供給口に対応するスリット部分へ塗布液を流しやすくするように調整できる。
【００１６】
具体的には、例えば中／高粘度の塗布液に対しては、整流板を回転させて供給口に近づけることで、塗布液を供給口付近から前記延在方向に遠ざけるように送液することができ、マニホールドの内圧を前記延在方向に沿って容易に均一にすることが可能である。つまり、整流板から供給口までの距離を、整流板を回転させることで適宜調整できるので、各種塗布液の粘度に対応して、容易に塗布精度を高めることができる。
これにより、高い粘度の塗布液の塗工においては、スリットの前記延在方向の中央部での口開き現象を軽減することが可能になり、塗り始めの塗布液の膜厚が均一になる。尚、低粘度の塗布液の塗工では、塗り始めまで整流板を供給口に近づけておき、マニホールドの内圧が均一となった後は、整流板を供給口から離間させてもよい。
【００１７】
このように本発明では、塗布液の性質（粘度）に応じて整流板を回転させ、供給口との相対位置を適宜設定することで、被塗布物への塗布精度を高品位に安定して確保することができる。また塗工中においても、整流板を回転させることで塗布精度を高品位に維持できることから、塗布装置を停止させる必要がなく、生産性が向上する。
【００１８】
このように、本発明の塗布工具は、塗工の初期段階からマニホールドの内圧を均一にでき、塗布精度を高められるとともに、その精度を安定して維持できる。
【００１９】
また、本発明の塗布工具において、前記整流板は、前記延在方向に沿って延びており、前記整流板の回転軸線に直交する径方向の幅が、前記供給口から前記延在方向に離間するに従い小さくされていることとしてもよい。
【００２０】
この場合、整流板とマニホールドの内面との隙間（距離）が、供給口から前記延在方向に離間するに従い大きくなるので、供給口に対応するスリット部分への送液量を抑制しつつ、該供給口以外の部位に対応するスリット部分へと塗布液を送液することが、簡単な構成により実現できる。
【００２１】
また、本発明の塗布工具において、前記供給口は、前記マニホールドの前記延在方向に沿う中央部に開口していることとしてもよい。
【００２２】
この場合、供給口が、マニホールドの中央部に開口しているので、該マニホールドの両端部における内圧差を抑制しやすく、よって前述した塗布精度を高められるという効果が簡単に、安定的に、かつより顕著に得られることになる。
【００２３】
また、本発明の塗布工具において、前記整流板の回転軸線に直交する径方向の両端のうち一方が、前記マニホールドの内面に摺接可能に、又は接近して配置されていることとしてもよい。
【００２４】
この場合、整流板の径方向に沿う両端のうち一方と、マニホールドの内面との隙間をなくす或いは小さくすることができ、これにより、前記両端のうち他方と、マニホールドの内面との隙間を通して、塗布液がマニホールド内に前記延在方向に沿って所望のバランスとなるように送液されやすくなる。
【００２５】
また、本発明の塗布工具において、前記ヘッド部材に対する前記整流板の回転軸線回りの位置を設定可能な角度調整機構が設けられることとしてもよい。
【００２６】
この場合、角度調整機構によって、ヘッド部材に対する整流板の回転軸線回りの位置を設定できるので、整流板の回転により塗布量を均一化する調整が容易であるとともに、調整後の整流板と供給口との相対位置（距離）を安定的に維持できる。従って、前述した作用効果が確実に、かつ安定して奏功される。
【００２７】
また、本発明の塗布工具において、弾性変形可能な平板状の前記整流板を、前記延在方向の内側へ向けて押圧して湾曲させる撓み量調整機構が設けられることとしてもよい。
【００２８】
この場合、撓み量調整機構によって、整流板を湾曲させて（撓ませて）その表裏面を凸曲面状又は凹曲面状に形成でき、これにより塗布液を供給口から前記延在方向に離間する向きに送液する流量を調整可能である。
すなわち、例えば整流板を供給口側へ向けて突出させるように撓ませた場合には、供給口から流入する塗布液が、この整流板の凸曲面（表裏面）に沿って供給口から離間する向きにより多く流されやすくなる。また、整流板を供給口から離間する方向（供給口とは反対側）へ後退させるように撓ませた場合には、この整流板の凹曲面（表裏面）の作用により、平板状とされた整流板の場合に比べて、塗布液が供給口から離間する向きに流されにくくなる。
また、撓み量調整機構による押圧を解除することで、整流板が平板状に復元変形可能である。
以上のことから、前述した整流板の回転による調整とあわせて、塗布量を均一化するための調整範囲がより精細となり（微調整が可能となり）、種々の塗布液に幅広く対応可能である。
【発明の効果】
【００２９】
本発明の塗布工具によれば、塗工の初期段階からマニホールドの内圧を均一にでき、塗布精度を高められるとともに、その精度を安定して維持できる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明の第１実施形態に係る塗布工具を示す側断面図（縦断面図）である。
【図２】図１のＡ−Ａ断面であり、整流板の外観を示す図である。
【図３】第１実施形態の整流板の（ａ）正面図、（ｂ）側面図である。
【図４】第１実施形態の整流板の（ａ）平面図、（ｂ）側面図である。
【図５】第１実施形態の整流板を変形させた状態を示す（ａ）平面図、（ｂ）側面図である。
【図６】本発明の第２実施形態に係る塗布工具を示す側断面図（縦断面図）である。
【図７】図６のＢ−Ｂ断面であり、整流板の外観を示す図である。
【図８】第２実施形態の整流板の（ａ）正面図、（ｂ）側面図である。
【図９】第２実施形態の整流板の（ａ）平面図、（ｂ）側面図である。
【図１０】第２実施形態の整流板を変形させた状態を示す（ａ）平面図、（ｂ）側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３１】
（第１実施形態）
以下、本発明の第１実施形態に係る塗布工具１について、図面を参照して説明する。
本実施形態の塗布工具１は、例えば可撓性を有するシート状部材やパネル状部材などの被塗布物の表面に、塗布液を所定の膜厚となるように塗布するスロットダイである。この塗布工具１は、低粘度から中／高粘度まで種々の塗布液に適用可能である。
【００３２】
図１及び図２に示すように、本実施形態の塗布工具１は、対向配置される一対のヘッド部材２と、これらヘッド部材２同士の間に形成されたマニホールド４と、該マニホールド４に連通するとともにヘッド部材２の先端側に向けて開口されたスリット３と、を備えている。
ここで、ヘッド部材２は、長尺の矩形板状又はブロック状をなしており、前記一対のヘッド部材２同士は、その厚さ方向に隣接するように対向配置されている。本明細書においては、ヘッド部材２が延在するその長手方向を塗布工具１の延在方向Ｌといい、ヘッド部材２の厚さ方向を塗布工具１の幅方向Ｗといい、これら延在方向Ｌ及び幅方向Ｗに垂直な方向を塗布工具１の高さ方向Ｈという。また、高さ方向Ｈのうち、ヘッド部材２間からスリット３が外部に開口される向き（被塗布物に塗布液が吐出される向き）を先端側（ヘッド部材２の先端側であり、図１及び図２における上側）といい、スリット３が外部に開口される向きとは反対側を基端側（ヘッド部材２の基端側であり、図１及び図２における下側）という。
【００３３】
この塗布工具１は、ヘッド部材２の先端（刃先エッジ）を被塗布物に対向配置させるとともに、ヘッド部材２間に開口するスリット３の延在方向（ヘッド部材２の延在方向Ｌと同一の向き）を被塗布物の幅方向に一致させるようにして不図示の塗布装置に装着される。そして、塗布液タンクから供給ポンプによってマニホールド４内に供給される塗布液が、該マニホールド４からスリット３内を流通してヘッド部材２の先端（スリット３開口部）から吐出されることにより、この塗布工具１の幅方向Ｗに沿うように移動（走行）する被塗布物の表面に対して、塗布液が所定の膜厚（層厚）となるように塗布される。
【００３４】
ヘッド部材２は、ステンレス鋼等の金属材料からなり、図１に示される縦断面視（側断面視）で、矩形状をなしている。ヘッド部材２において、幅方向Ｗの外側を向く外面７、及び、幅方向Ｗの内側を向く内面（突き合わせ面）８は、それぞれ幅方向Ｗに垂直な平面状をなしている。隣り合う一対のヘッド部材２の内面８同士は、後述するように隙間をあけて対向配置されており、前記隙間にスリット３が画成されている。
【００３５】
スリット３は、一対のヘッド部材２の内面８と、該ヘッド部材２同士の間に配設された一対のシム２２とによって画成された塗布液の流通空間（隙間）であり、ヘッド部材２間においてマニホールド４に対応する部位から先端側の領域に形成されているとともに、ヘッド部材２の先端側に向けて開口されている一方、ヘッド部材２の基端側及び延在方向Ｌの両側に向けては開口されていない。具体的には、図２において、マニホールド４の先端側（図２における上側）に位置するとともに、該マニホールド４の延在方向Ｌに対応する領域（一対のシム２２間に位置する領域）が、スリット３となっている。図示の例では、スリット３の延在方向Ｌに沿う長さが、マニホールド４の前記長さよりも若干小さくされている。
尚、本実施形態では、隣り合う一対のヘッド部材２の内面８同士は、マニホールド４及び後述するシャフト挿通孔１４の先端側の領域ではスリット３を画成する隙間を設けて対向配置されている一方、マニホールド４及びシャフト挿通孔１４の基端側の領域では互いに当接されている。また、一対のヘッド部材２同士は、不図示のボルト等により互いに連結されている。
【００３６】
また、図１に示されるように、ヘッド部材２において基端側を向く基端面９は、高さ方向Ｈに垂直な平面となっている。
ヘッド部材２において先端側を向く先端面１０は、高さ方向Ｈに垂直な平面とされており、該先端面１０における幅方向Ｗの内側の端部は、該端部以外の部位よりも先端側に向けて突出するエッジ部６とされていて、一対のヘッド部材２のエッジ部６同士は、スリット３を画成する隙間をあけて対向配置されている。またエッジ部６は、延在方向Ｌに長尺とされた矩形板状をなしており、エッジ部６の先端部（刃先エッジ）同士の間に、スリット３の開口部が形成されている。尚、エッジ部６は先端面１０に突設されていなくてもよく、この場合、ヘッド部材２において先端面１０と内面８とが交差する稜線部分が、該ヘッド部材２の刃先エッジとなる。
また本実施形態では、一対のヘッド部材２の先端部にエッジ部６が一体に形成されているが、これに限らず、例えば超硬合金等の硬質材料からなるエッジ部６を別体として作製し、ヘッド部材２の先端部にろう付けや着脱機構により配設してもよい。
【００３７】
また、図２に示されるように、ヘッド部材２において延在方向Ｌを向く両側面１１、１２は、延在方向Ｌに垂直な平面となっている。これらの側面１１、１２には、後述するシャフト挿通孔１４（溝１３）がそれぞれ開口しており、側面１１、１２においてシャフト挿通孔１４に対応する位置には、軸支持部材１７がそれぞれ配設されている。
【００３８】
図１において、ヘッド部材２の内面８における高さ方向Ｈの中央部には、該内面８から窪まされるとともに延在方向Ｌに沿って延びる断面半円形状の溝穴５が形成されており、一対のヘッド部材２が互いの溝穴５同士を幅方向Ｗに対向配置することで、断面円形状のマニホールド４が形成されている。
【００３９】
図２に示されるように、溝穴５は、ヘッド部材２の内面８に矩形状に開口されており、該溝穴５の延在方向Ｌに沿う両端部は、ヘッド部材２の両側面１１、１２よりも延在方向Ｌの内側（つまり延在方向Ｌの中央側）に配置されている。また、溝穴５の両端部から両側面１１、１２にかけては、内面８から窪むとともに延在方向Ｌに沿って延びる断面半円形状の溝１３が形成されており、一対のヘッド部材２が互いの溝１３同士を幅方向Ｗに対向配置することで、断面円形状のシャフト挿通孔１４が形成されている。シャフト挿通孔１４の内径は、マニホールド４の内径よりも小さく設定されている。
【００４０】
マニホールド４は、ヘッド部材２の延在方向Ｌに沿って延びている。また、マニホールド４内には、該マニホールド４に塗布液を供給する供給口１６と、少なくとも供給口１６に対応する位置に配置されて、その延在方向Ｌに沿う両端部がヘッド部材２により回転可能に軸支される整流板１５と、が設けられている。
【００４１】
図２において、供給口１６は、マニホールド４における延在方向Ｌに沿う両端部同士の間の中間領域に開口しており、図示の例では、供給口１６は、マニホールド４の延在方向Ｌに沿う中央部（前記中間領域の延在方向Ｌの中央）に開口している。
具体的に、本実施形態では、図１に示される一対のヘッド部材２Ａ、２Ｂのうち一方のヘッド部材２Ａにのみ、外面７と溝穴５とを連通する液供給路２１が形成されており、該液供給路２１においてマニホールド４の内周面に開口する部分が前記供給口１６となっている。また図示の例では、供給口１６は、マニホールド４の高さ方向Ｈに沿う中央部に開口している。液供給路２１は、不図示の供給ポンプに接続されている。尚、液供給路２１は、塗布工具１の外部に設置された前記供給ポンプとマニホールド４内とを連通可能にヘッド部材２に形成されていればよいことから、その形状や配置は本実施形態で示される例に限定されない。
【００４２】
また、整流板１５は、延在方向Ｌに沿って延びており、該整流板１５の回転軸線Ｏに直交する径方向（以下、径方向という）の幅が、供給口１６から延在方向Ｌに離間するに従い小さくされている。
具体的に、整流板１５は、長尺の略矩形板状をなしマニホールド４内に収容される板体１８と、該板体１８の延在方向Ｌ（回転軸線Ｏと同一の方向）に沿う両端部から該延在方向Ｌの外側に向けて延設されるとともに、ヘッド部材２の軸支持部材１７に回転可能に軸支されるシャフト１９と、を備えている。そして、板体１８の前記径方向の幅（回転軸線Ｏに直交し、かつ板体１８の板厚方向にも直交する方向の長さ）が、供給口１６から延在方向Ｌに離間するに従い漸次小さくなっている。
【００４３】
図２に示されるように、板体１８の延在方向Ｌに沿う両端部は、溝穴５の延在方向Ｌに沿う両端面に摺接可能に、又は接近して配置されている。また、板体１８の前記径方向に沿う両端のうち一方（図２における板体１８の下方端）は、マニホールド４の内面（内周面）に摺接可能に、又は接近して配置されている。板体１８の前記径方向に沿う両端のうち他方（図２における板体１８の上方端）は、マニホールド４の内面から離間して配置されており、該他方の端とマニホールド４の内面との間には、塗布液が流通可能な隙間が設けられている。
【００４４】
具体的に、図３（ａ）に示される整流板１５の正面視で（板体１８の板厚方向を向く表裏面を正面に見て）、板体１８における延在方向Ｌに沿う両端部、及び、前記径方向の一方の端（図３（ａ）における板体１８の下方端）１８ａは、矩形状をなす板体１８の三辺を構成するようにそれぞれ直線状に延びている。また、板体１８における前記径方向の他方の端（図３（ａ）における板体１８の上方端）１８ｂは、該板体１８の延在方向Ｌに沿う中央部から該延在方向Ｌの外側へ向かうに従い漸次前記径方向の内側へ向かって延びている。このような板体１８の外形形状により、該板体１８の前記径方向の幅が供給口１６から離間するに従い小さくされている。尚、本実施形態では、図３（ａ）に示される正面視で、板体１８の前記径方向の他方の端１８ｂは、前記径方向の外側へ向けて凸とされた曲線状（凸曲線状）に形成されている。
【００４５】
また、板体１８は、弾性変形可能とされており、後述する撓み量調整機構２５による押圧力がこの板体１８に作用していない状態では、図３（ｂ）及び図４（ａ）（ｂ）に示されるように、平板状をなしている。
また図１に示されるように、板体１８は、マニホールド４内で回転軸線Ｏ回り（図中に両矢印Ｔで示される回転方向）に回転可能とされており、該回転軸線Ｏは、マニホールド４の中心軸に同軸とされている。また、図１に示される側断面視で、板体１８は回転軸線Ｏ上に位置しており、該板体１８の前記径方向の他方の端１８ｂは、マニホールド４の内面におけるスリット３と液供給路２１（供給口１６）との間に配置されている。
【００４６】
図２において、シャフト１９は、シャフト挿通孔１４の内径と同等又は僅かに小さな外径とされていて、該シャフト挿通孔１４内に挿通されている。シャフト１９における板体１８とは反対側の端部（延在方向Ｌの外側の端部）は、ヘッド部材２の側面１１、１２及び軸支持部材１７よりも延在方向Ｌの外側に向けて突出されている。
【００４７】
シャフト１９の延在方向Ｌの外側の端部には、ヘッド部材２に対する整流板１５の回転軸線Ｏ回りの位置を設定可能な角度調整機構２０が設けられている。本実施形態では、角度調整機構２０として、シャフト１９の端部を回転軸線Ｏに平行に切り欠いて形成された複数の平面からなる角度調整部２３と、該シャフト１９の端部に螺合されるとともに、所定以上にまでねじ込まれることでヘッド部材２に対するシャフト１９の回転を規制可能なナット部材２４と、が設けられている。
【００４８】
すなわち、角度調整部２３により、ヘッド部材２に対して整流板１５を回転軸線Ｏ回りに回動させてその位置を調整した後、ナット部材２４をねじ込むことで、ヘッド部材２に対して整流板１５を固定することができ、これにより塗工時等において、整流板１５が意図せず回動するようなことが規制されるようになっている。
【００４９】
また、軸支持部材１７には、整流板１５を、延在方向Ｌの内側へ向けて押圧して湾曲させる撓み量調整機構２５が設けられている。本実施形態では、撓み量調整機構２５として、軸支持部材１７の本体部に対して回転軸線Ｏ回りに回転自在とされるとともに、その回転方向への移動量を、ヘッド部材２に対するシャフト１９の回転軸線Ｏ方向へ向けた移動量に変換可能とされて、該シャフト１９に係合する撓み量調整ネジ部材２６が設けられている。
【００５０】
すなわち、撓み量調整ネジ部材２６を回転させることで、ヘッド部材２に対してシャフト１９が延在方向Ｌの内側（中央側）へ向けて移動可能とされている。このようにシャフト１９が移動することで、図５（ａ）（ｂ）に示されるように板体１８が弾性変形して撓むようになっている。具体的に、板体１８は、その延在方向Ｌに沿う中央部が該板体１８の板厚方向に向けて突出又は後退する凸状又は凹状となるように撓まされており、図５（ａ）に示される平面視（上面視又は下面視）で、円弧状をなしている。
【００５１】
また、撓み量調整ネジ部材２６を前述とは反対方向へ回転させることで、ヘッド部材２に対してシャフト１９が延在方向Ｌの外側へ向けて移動可能とされている。これにより、弾性変形させられた板体１８が、図４（ａ）（ｂ）に示されるように平板状に復元変形される。
【００５２】
尚、撓み量調整機構２５によって整流板１５を湾曲させる方向としては、図１において、板体１８の延在方向Ｌの中央部を供給口１６側へ突出させるように撓ませる方向、及び、前記中央部を供給口１６とは反対側へ後退させる（スリット３側へ突出させる）ように撓ませる方向、のいずれに設定することも可能である。
また、撓み量調整ネジ部材２６により整流板１５の撓み量（湾曲量）を調整した後、軸支持部材１７の本体部に対する撓み量調整ネジ部材２６の回転を規制可能とする規制部を設けてもよい。
【００５３】
以上説明した本実施形態の塗布工具１によれば、マニホールド４内に、供給口１６に対応して整流板１５が配設されているので、この供給口１６からマニホールド４内に流入した塗布液が整流板１５に当てられつつ、該マニホールド４内における供給口１６以外の部位へ向けても供給される。すなわち、整流板１５によって、塗布液がマニホールド４内の供給口１６以外の部位に送液されやすくなるので、このマニホールド４の内圧を、供給口１６付近で高めてしまうようなことが抑制されるとともに該マニホールド４の延在する方向に沿って均一にすることが可能となる。これにより、マニホールド４に連通するスリット３の開口幅（スリット幅）が延在方向Ｌに沿ってばらつくようなことも抑制されるので、被塗布物への塗布が精度よく均一に行われる。
【００５４】
つまり従来では、例えば供給口１６がマニホールド４の延在方向Ｌの中央部に配置された場合に、該中央部への塗布液の充填が早く、両端部への塗布液の充填が遅くなるため、この時間差に起因してマニホールド４に内圧差が生じることから、塗布精度を確保することが難しかった。一方、本実施形態によれば、整流板１５によってマニホールド４内全体に均一に、かつ略同時に塗布液を充填することが可能になり、マニホールド４の内圧差を抑制できる。従って、塗工の初期段階（塗り始め）から塗布精度を十分に高めることができる。
【００５５】
さらに、整流板１５がヘッド部材２に回転可能に軸支されているので、たとえスリット３から被塗布物へ吐出される塗布量が延在方向Ｌに沿う各部で不均一となった場合であっても（つまり塗布精度が十分に確保できなかった場合でも）、整流板１５を回転させる簡単な操作によって、塗布精度を向上させることができる。
すなわち、例えば、スリット３のうち延在方向Ｌに沿う供給口１６に対応するスリット３部分からの塗布量が、該供給口１６以外の部位に対応するスリット３部分からの塗布量に比べて多かった場合でも、整流板１５を回転させることで、供給口１６に対応するスリット３部分への送液を妨げることが可能であり、これにより塗布液を供給口１６以外の部位に対応するスリット３部分へと流しやすくするように調整できる。また、供給口１６に対応するスリット３部分からの塗布量が、該供給口１６以外の部位に対応するスリット３部分からの塗布量に比べて少ない場合にも、整流板１５を回転させて、供給口１６に対応するスリット３部分へ塗布液を流しやすくするように調整できる。
【００５６】
具体的には、例えば中／高粘度の塗布液に対しては、整流板１５を回転させて供給口１６に近づけることで、塗布液を供給口１６付近から延在方向Ｌに遠ざけるように送液することができ、マニホールド４の内圧を延在方向Ｌに沿って容易に均一にすることが可能である。つまり、整流板１５から供給口１６までの距離を、整流板１５を回転させることで適宜調整できるので、各種塗布液の粘度に対応して、容易に塗布精度を高めることができる。
これにより、高い粘度の塗布液の塗工においては、スリット３の延在方向Ｌの中央部での口開き現象を軽減することが可能になり、塗り始めの塗布液の膜厚が均一になる。尚、低粘度の塗布液の塗工では、塗り始めまで整流板１５を供給口に近づけておき、マニホールドの内圧が均一となった後は、整流板１５を供給口１６から離間させてもよい。
【００５７】
詳しくは、塗布液の種類により、整流板１５による前述の整流作用を特に必要とする場合には、本実施形態で説明したように、整流板１５の板体１８の他方の端１８ｂを、マニホールド４の内面におけるスリット３と供給口１６との間の部位（つまり図１において回転軸線Ｏの上方と左方との間に位置する左斜め上方の部位）に対向配置することで、前述した作用効果が顕著に得られやすくなることから好ましい。
また、塗布精度が確保しやすい塗布液の塗工など、整流板１５による前述の整流作用がさほど必要ではない場合には、該整流板１５の板体１８の他方の端１８ｂを、マニホールド４の内面におけるスリット３と供給口１６との間の部位以外の部位に向けて対向配置することも可能である。
【００５８】
このように本実施形態では、塗布液の性質（粘度）に応じて整流板１５を回転させ、供給口１６との相対位置を適宜設定することで、被塗布物への塗布精度を高品位に安定して確保することができる。また塗工中においても、整流板１５を回転させることで塗布精度を高品位に維持できることから、塗布装置を停止させる必要がなく、生産性が向上する。
【００５９】
このように、本実施形態の塗布工具１は、塗工の初期段階からマニホールド４の内圧を均一にでき、塗布精度を高められるとともに、その精度を安定して維持できるのである。
【００６０】
また本実施形態では、整流板１５が、延在方向Ｌに沿って延びており、該整流板１５の回転軸線Ｏに直交する径方向の幅が、供給口１６から延在方向Ｌに離間するに従い小さくされているので、下記の効果を奏する。
すなわち、整流板１５とマニホールド４の内面との隙間（距離）が、供給口１６から延在方向Ｌに離間するに従い大きくなるので、供給口１６に対応するスリット３部分への送液量を抑制しつつ、該供給口１６以外の部位に対応するスリット３部分へと塗布液を送液することが、簡単な構成により実現できる。
【００６１】
また、供給口１６が、マニホールド４の延在方向Ｌに沿う中央部に開口しているので、該マニホールド４の両端部における内圧差を抑制しやすく、よって前述した塗布精度を高められるという効果が簡単に、安定的に、かつより顕著に得られることになる。
【００６２】
また、整流板１５の回転軸線Ｏに直交する径方向の両端のうち一方（一方の端１８ａ）が、マニホールド４の内面に摺接可能に、又は接近して配置されているので、この整流板１５の一方の端１８ａと、マニホールド４の内面との隙間をなくす或いは小さくすることができ、これにより、前記両端のうち他方の端１８ｂと、マニホールド４の内面との隙間を通して、塗布液がマニホールド４内に延在方向Ｌに沿って所望のバランスとなるように送液されやすくなる。
【００６３】
また、この塗布工具１には、ヘッド部材２に対する整流板１５の回転軸線Ｏ回りの位置を設定可能な角度調整機構２０が設けられているので、下記の効果を奏する。
すなわち、角度調整機構２０によって、ヘッド部材２に対する整流板１５の回転軸線Ｏ回りの位置を設定できるので、整流板１５の回転により塗布量を均一化する調整が容易であるとともに、調整後の整流板１５と供給口１６との相対位置（距離）を安定的に維持できる。従って、前述した作用効果が確実に、かつ安定して奏功される。
【００６４】
また、この塗布工具１には、弾性変形可能な平板状の整流板１５を、延在方向Ｌの内側へ向けて押圧して湾曲させる撓み量調整機構２５が設けられているので、下記の効果を奏する。
すなわち、撓み量調整機構２５によって、整流板１５を湾曲させて（撓ませて）その表裏面を凸曲面状又は凹曲面状に形成でき、これにより塗布液を供給口１６から延在方向Ｌに離間する向きに送液する流量を調整可能である。
具体的に、例えば整流板１５を供給口１６側へ向けて突出させるように撓ませた場合には、供給口１６から流入する塗布液が、この整流板１５の凸曲面（表裏面）に沿って供給口１６から離間する向きにより多く流されやすくなる。また、整流板１５を供給口１６から離間する方向（供給口１６とは反対側）へ後退させるように撓ませた場合には、この整流板１５の凹曲面（表裏面）の作用により、平板状とされた整流板１５の場合に比べて、塗布液が供給口１６から離間する向きに流されにくくなる。
また、撓み量調整機構２５による押圧を解除することで、整流板１５が平板状に復元変形可能である。
以上のことから、前述した整流板１５の回転による調整とあわせて、塗布量を均一化するための調整範囲がより精細となり（微調整が可能となり）、種々の塗布液に幅広く対応可能である。
【００６５】
（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態に係る塗布工具３１について、図面を参照して説明する。
尚、前述の実施形態と同様の構成については、同一名称又は同一符号を用いてその説明を省略し、以下に異なる点についてのみ説明する。
【００６６】
図６及び図７に示されるように、本実施形態の塗布工具３１では、一対のヘッド部材２Ａ、２Ｃが隣接配置されており、これらのヘッド部材２Ａ、２Ｃのうち、一方のヘッド部材２Ａのみに溝穴５が形成され、他方のヘッド部材２Ｃには溝穴５が形成されていない。これにより、マニホールド３４は断面半円形状とされている。
【００６７】
そして、整流板３５は、その板体３８の回転軸線Ｏに直交する径方向の両端のうち一方の端３８ａを、マニホールド３４の内面のうちヘッド部材２Ｃの平面状の内面８部分に摺接可能に、又は接近して配置している。また板体３８の一方の端３８ａは、回転軸線Ｏ上に配置されている。尚、板体３８の他方の端３８ｂの形状は、前述の実施形態で説明した板体１８の他方の端１８ｂと同様である。
【００６８】
図８〜図１０に示されるように、整流板３５の前記径方向の幅は、供給口１６に対応する延在方向Ｌの中央部から該延在方向Ｌの外側に向けて離間するに従い小さくされており、この点については前述の実施形態で説明した整流板１５と同様であるが、本実施形態の整流板３５においては、板体３８の一方の端３８ａが回転軸線Ｏ上に配置されているために、前述した整流板１５の板体１８よりも前記径方向に沿う幅（板幅）が小さくなっている。
【００６９】
また、本実施形態の板体３８も、前述の実施形態の板体１８と同様に弾性変形可能とされており、撓み量調整機構２５による押圧力がこの板体３８に作用していない状態では、図８（ｂ）及び図９（ａ）（ｂ）に示されるように、平板状をなしている。そして、撓み量調整機構２５の撓み量調整ネジ部材２６を回転させて、押圧力を板体３８に作用させることで、該板体３８は、図１０（ａ）（ｂ）に示されるように湾曲させられる。
以上説明した本実施形態においても、前述した実施形態と同様の作用効果を得ることができる。
【００７０】
尚、本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
【００７１】
例えば、前述の実施形態では、塗布工具１、３１が一対のヘッド部材２を備えているとしたが、これに限定されるものではない。すなわち、塗布工具１、３１は、３つ以上のヘッド部材２を備えるとともに、これらが幅方向Ｗに並べられて配設されていて、隣り合うヘッド部材２同士の間に、スリット３及びマニホールド４、３４がそれぞれ形成され、各マニホールド４、３４内に整流板１５、３５がそれぞれ配設されていてもよい。
この場合、一度の塗布工程において、被塗布物に対して各スリット３から複数種類の塗布液を吐出可能であり、被塗布物の表面に塗布液が複数の膜（層）をなすように塗布される。
【００７２】
また、前述の実施形態では、ヘッド部材２同士の間に画成されるスリット３が、図１、図２、図６及び図７において、塗布工具１、３１の上側に向けて開口されているように記載されているが、これに限定されるものではない。すなわち、被塗布物に対する塗布工具１、３１の設置姿勢は、前述の実施形態で説明したものに限定されるわけではなく、例えば、スリット３が下側に向けて開口されていてもよい。
【００７３】
また、図２及び図７に示される例では、ヘッド部材２の側面１１、１２に整流板１５、３５を軸支する軸支持部材１７が直接配設されているように記載されているが、これに限定されるものではなく、例えばヘッド部材２の延在方向Ｌに沿う両端部に、側板がそれぞれ配設されているとともに、これらの側板に軸支持部材１７が配設された構成であってもよい。また、軸支持部材１７が設けられずに、整流板１５、３５のシャフト１９がシャフト挿通孔１４に摺接することで、ヘッド部材２に対して回転可能に軸支されていてもよい。
【００７４】
また、ヘッド部材２の溝穴５が断面半円形状をなし、第１実施形態においては、一対のヘッド部材２Ａ、２Ｂの溝穴５同士が対向配置されてなるマニホールド４が断面円形状をなしており、第２実施形態においては、一方のヘッド部材２Ａの溝穴５と他方のヘッド部材２Ｃの平面状の内面８によりマニホールド３４が断面半円形状をなしているとしたが、これらに限定されるものではない。すなわち、マニホールド４、３４の断面形状は、円形状及び半円形状以外の多角形状や楕円形状等であってもよい。
【００７５】
また、前述の実施形態では、供給口１６が、マニホールド４、３４における延在方向Ｌに沿う両端部間の中間領域に開口しており、具体的には、マニホールド４、３４の延在方向Ｌに沿う中央部に開口しているとしたが、これに限定されるものではない。すなわち、供給口１６は、例えばマニホールド４、３４の延在方向Ｌに沿う一端部又は他端部に開口していてもよく、この場合、整流板１５、３５の板体１８、３８は、その前記径方向の幅が、供給口１６に対応する部位において最も大きくされるとともに該供給口１６から延在方向Ｌに離間するに従い小さくされて、塗布液を供給口１６から延在方向Ｌに離間させる向きに送液可能に形成される。
【００７６】
また、図２及び図７に示されるように、前述の実施形態では、整流板１５、３５の板体１８、３８の延在方向Ｌに沿う長さが、マニホールド４、３４の延在方向Ｌに沿う長さに対応しており、つまり板体１８、３８の延在方向Ｌの両端が、溝穴５の延在方向Ｌの両端面に摺接可能に、又は接近して配置されているとしたが、これに限定されるものではない。
すなわち、整流板１５、３５の板体１８、３８は、マニホールド４、３４内における少なくとも供給口１６に対応する位置に配置されて、該供給口１６から流入する塗布液をこの供給口１６から延在方向Ｌに離間させる向きに送液可能な整流作用を有していればよいことから、例えば、整流板１５、３５の板体１８、３８の延在方向Ｌの両端が、マニホールド４、３４の延在方向Ｌの両端面から延在方向Ｌの内側に離間して配置されていても構わない。
つまり、整流板１５、３５の板体１８、３８の形状は、所望の塗布液の整流作用が得られるものであればよいことから、前述の実施形態で説明したものに限定されることはなく、例えば、整流板１５、３５の板体１８、３８が延在方向Ｌに延びる長尺の矩形状とされる代わりに、長尺の多角形状や長円形状とされていてもよい。また、板体１８、３８が、延在方向Ｌに延びていなくてもよい。
【００７７】
また、前述の実施形態では、板体１８、３８の他方の端１８ｂ、３８ｂが、該板体１８、３８の表裏面を正面に見て（板体１８、３８を板厚方向から見て）、回転軸線Ｏに直交する径方向の外側へ向けて凸とされた曲線状（凸曲線状）に形成されているとしたが、これに限定されるものではない。すなわち、例えば、板体１８、３８の表裏面を正面に見て、他方の端１８ｂ、３８ｂが、前記径方向の外側へ向けて凸とされたＶ字状（凸Ｖ字状）に形成されていてもよい。またこの正面視で、他方の端１８ｂ、３８ｂが、延在方向Ｌに向かうに従い漸次又は段階的に前記径方向へ向かう直線状や折れ線状に延びていてもよい。
【００７８】
また、前述の実施形態では、板体１８、３８が弾性変形可能であるとしたが、これに限定されるものではない。この場合、図５及び図１０に示される板体１８、３８を用いるにあたっては、予め図示の形状に湾曲して作製されたものを用意すればよい。
【００７９】
また、供給口１６は、マニホールド４、３４内に複数開口されていてもよい。この場合、板体１８、３８は、各供給口１６から塗布液を延在方向Ｌに離間させる向きに送液可能とされて、整流板１５、３５に複数形成されていてもよい。
【００８０】
また、前述の実施形態では、角度調整機構２０が、シャフト１９の端部を切り欠いて平面状とされた角度調整部２３と、該シャフト１９の端部に螺合されるナット部材２４と、を有しているとしたが、これに限定されるものではない。すなわち、これに代えて、例えば角度調整機構２０が、ヘッド部材２の外面７とシャフト挿通孔１４とを連通するネジ孔と、該ネジ孔に螺合するピン部材と、を有し、ネジ孔にねじ込まれたピン部材の先端部がシャフト１９の外周面に当接することで、ヘッド部材２に対する整流板１５、３５の回転軸線Ｏ回りの位置が設定可能とされた構成であってもよい。
【００８１】
また、前述の実施形態では、整流板１５、３５における一対のシャフト１９を軸支する一対の軸支持部材１７に、撓み量調整機構２５がそれぞれ配設された例を示したが、これに限定されるものではない。
また、撓み量調整機構２５が、軸支持部材１７の本体部に対して回転軸線Ｏ回りに回転自在とされるとともに、その回転方向への移動量をヘッド部材２に対するシャフト１９の回転軸線Ｏ方向へ向けた移動量に変換可能な撓み量調整ネジ部材２６を有しているとしたが、これに限定されるものではない。すなわち、これに代えて、例えば撓み量調整機構２５が、シャフト１９の延在方向Ｌの外側を向く端面に当接されるとともに、該端面を延在方向Ｌの内側へ向けて押し込み可能な押し込み部を有していてもよい。
【００８２】
その他、本発明の趣旨から逸脱しない範囲において、前述の実施形態、変形例及び尚書き等で説明した各構成（構成要素）を組み合わせてもよく、また、構成の付加、省略、置換、その他の変更が可能である。また本発明は、前述した実施形態によって限定されることはなく、特許請求の範囲によってのみ限定される。
【符号の説明】
【００８３】
１、３１  塗布工具
２  ヘッド部材
３  スリット
４、３４  マニホールド
１５、３５  整流板
１６  供給口
１８ａ、３８ａ  一方の端
２０  角度調整機構
２５  撓み量調整機構
Ｌ  延在方向
Ｏ  回転軸線
【図１】
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【図２】
2014180598.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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