(57)【要約】【課題】真空中で基板上に蒸着する真空蒸着装置において、容易に蒸着膜の積層パターンを変更し、また、複数の発光層を有するような多層有機ＥＬ素子の製造を可能としつつ装置を小型化する。【解決手段】真空蒸着装置１は、基板２を搬送する搬送路４と、蒸着材料６が充填される複数の蒸着源５と、を備える。搬送路４は、互いに正対する二方向に基板２を搬送する。蒸着源５の各々は、搬送路４と相対する面に設けられた開口を開閉する開閉部を有し、この開閉部の開閉は、開閉制御部７により制御される。基板２を搬送路４上で往復させ、基板２の搬送方向に応じて各蒸着源５の開閉部を開閉することで、容易に蒸着膜の積層パターンを変更することができる。また、基板２を一定方向に搬送する場合に比べて、搬送路４を短くすることができるので、複数の発光層を有するような多層有機ＥＬ素子の製造を可能としつつ装置を小型化することができる。【選択図】図１
2014110117.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空チャンバと、前記真空チャンバ内において蒸着される基板を搬送するための搬送路と、前記搬送路に設けられ各々所定の機能特性を有する蒸着材料が充填される複数の蒸着源と、を備えた真空蒸着装置であって、
前記搬送路は、該搬送路に沿って互いに正対する二方向に前記基板を搬送し、
前記複数の蒸着源の各々は、前記搬送路と相対する面に設けられた開口と、前記開口を開閉する開閉部と、を有し、
前記搬送路における前記基板搬送方向に応じて前記開閉部各々の開閉を制御する開閉制御部を更に備えたことを特徴とする真空蒸着装置。
【請求項２】
前記複数の蒸着源各々の開口及び開閉部を覆うように設けられ前記蒸着源からの輻射熱を遮蔽可能な材料により構成されたシャッタを更に備え、
前記シャッタの各々は、該シャッタにより覆われる前記蒸着源の温度に応じて開閉自在となるように構成されていることを特徴とする請求項１に記載の真空蒸着装置。
【請求項３】
前記シャッタは、前記複数の蒸着源の各々に対して複数設けられ、これら複数のシャッタは、互いに重複するようにして前記開口及び開閉部を覆っていることを特徴とする請求項２に記載の真空蒸着装置。
【請求項４】
前記複数の蒸着源のうち最も蒸着温度の高いものは、前記搬送路の最も端部側に配置されていることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか一項に記載の真空蒸着装置。
【請求項５】
前記複数の蒸着源のうち最も蒸着温度の高いものは、Ｌｉを含む蒸着材料が充填されたものであることを特徴とする請求項４に記載の真空蒸着装置。
【請求項６】
前記複数の蒸着源のうち互いに類似する機能特性を有する蒸着材料が充填されたものは、互いに隣接して配置されていることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか一項に記載の真空蒸着装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空中において基板上に蒸着材料を蒸着する真空蒸着装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、真空中において基板上に蒸着材料を蒸着して有機ＥＬ素子を形成する真空蒸着装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。このような真空蒸着装置は、内部空間が真空状態となる真空チャンバ内において基板を一定方向に搬送する搬送路と、この搬送路に沿って該搬送路の下方に設けられた複数の蒸着源と、を備える。複数の蒸着源の各々には、それぞれ所定の蒸着材料が充填され、各蒸着源は、基板への蒸着に用いられる順に一列に並んで配置されている。各蒸発源から蒸発した蒸着材料は、搬送路に沿って搬送されてきた基板上に順次蒸着される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−８５６０５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上述したような真空蒸着装置では、蒸着膜の積層パターンが蒸着源の並び順によって一つに限定され、この積層パターンを変更するには蒸着源の配置を変更する大がかりな操作が必要となる。また、例えば、複数の発光層を有する有機ＥＬ素子を製造しようとすると、複数の発光層に加えて、これら発光層の各々にキャリアを輸送するための各種機能層も設ける必要があるので、有機ＥＬ素子を構成する層の数が非常に多くなる。そのため、このような有機ＥＬ素子の製造には多くの蒸着源が必要となり、これら蒸着源を蒸着順に一列に並べて配置すると搬送路が長くなって装置が大型化してしまう。
【０００５】
本発明は、上記課題を解決するものであって、容易に蒸着膜の積層パターンを変更することができ、また、複数の発光層を有するような多層有機ＥＬ素子の製造を可能としつつ装置を小型化することができる真空蒸着装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の真空蒸着装置は、真空チャンバと、前記真空チャンバ内において蒸着される基板を搬送するための搬送路と、前記搬送路に設けられ各々所定の機能特性を有する蒸着材料が充填される複数の蒸着源と、を備え、前記搬送路は、該搬送路に沿って互いに正対する二方向に前記基板を搬送し、前記複数の蒸着源の各々は、前記搬送路と相対する面に設けられた開口と、前記開口を開閉する開閉部と、を有し、前記搬送路における前記基板搬送方向に応じて前記開閉部各々の開閉を制御する開閉制御部を更に備えたことを特徴とする。
【０００７】
上記真空蒸着装置は、前記複数の蒸着源各々の開口及び開閉部を覆うように設けられ前記蒸着源からの輻射熱を遮蔽可能な材料により構成されたシャッタを更に備え、前記シャッタの各々は、該シャッタにより覆われる前記蒸着源の温度に応じて開閉自在となるように構成されていることが好ましい。
【０００８】
前記シャッタは、前記複数の蒸着源の各々に対して複数設けられ、これら複数のシャッタは、互いに重複するようにして前記開口及び開閉部を覆っていることが好ましい。
【０００９】
前記複数の蒸着源のうち最も蒸着温度の高いものは、前記搬送路の最も端部側に配置されていることが好ましい。
【００１０】
前記複数の蒸着源のうち最も蒸着温度の高いものは、Ｌｉを含む蒸着材料が充填されたものであることが好ましい。
【００１１】
前記複数の蒸着源のうち互いに類似する機能特性を有する蒸着材料が充填されたものは、互いに隣接して配置されていることが好ましい。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、基板を搬送路上で往復させ、基板搬送方向に応じて開閉制御部により各蒸着源の開閉部を開閉するので、容易に蒸着膜の積層パターンを変更することができる。また、基板を一定方向に搬送する場合に比べて、搬送路を短くすることができるので、複数の発光層を有するような多層有機ＥＬ素子の製造を可能としつつ装置を小型化することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の一実施形態に係る真空蒸着装置の上面図。
【図２】図１のＩ−Ｉ線断面図及びその一部拡大図。
【図３】（ａ）は使用例１に係る上記真空蒸着装置の一状態を示す上面図、（ｂ）は（ａ）に示した装置において基板を図の左側から右側に搬送したときの積層パターンを示す図、（ｃ）は（ｂ）の積層パターンにより得られる有機ＥＬ素子の層構造を示す図。
【図４】（ａ）は上記使用例１に係る真空蒸着装置の図３（ａ）とは別の状態を示す上面図、（ｂ）は（ａ）に示した装置において基板を図の右側から左側に搬送したときの積層パターンを示す図、（ｃ）は（ｂ）の積層パターンにより得られる有機ＥＬ素子の層構造を示す図。
【図５】（ａ）は使用例２に係る上記真空蒸着装置の上面図、（ｂ）は（ａ）に示した装置において基板を搬送路に沿って１往復させたときの積層パターンを示す図、（ｃ）は（ｂ）の積層パターンにより得られる有機ＥＬ素子の層構造を示す図。
【図６（ａ）（ｂ）】（ａ）は使用例３に係る上記真空蒸着装置の上面図、（ｂ）は（ａ）に示した装置において基板を搬送路に沿って１．５往復させたときの積層パターンを示す図。
【図６（ｃ）】図６（ｂ）の積層パターンにより得られる有機ＥＬ素子の層構造を示す図。
【図７】（ａ）は使用例４に係る上記真空蒸着装置の上面図、（ｂ）は（ａ）に示した装置において基板を搬送路に沿って１．５往復させたときの積層パターンを示す図。
【図８（ａ）（ｂ）】（ａ）は使用例５に係る上記真空蒸着装置の上面図、（ｂ）は（ａ）に示した装置において基板を搬送路に沿って２往復させたときの積層パターンを示す図。
【図８（ｃ）】図８（ｂ）の積層パターンにより得られる有機ＥＬ素子の層構造を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
本発明の一実施形態に係る真空蒸着装置について、図１及び図２を参照して説明する。本実施形態の真空蒸着装置１は、基板２上に蒸着材料を蒸着して有機ＥＬ素子を形成するものである。
【００１５】
真空蒸着装置１は、真空チャンバ３と、真空チャンバ３内において基板２を搬送するための搬送路４と、搬送路４に沿って搬送路４の下方に設けられた複数の蒸着源５と、を備える。搬送路４は、搬送路４に沿って互いに正対する二方向に基板２を搬送し、図例では左側から右側への方向及び右側から左側への方向に基板２を搬送する。複数の蒸着源５の各々には、それぞれ所定の機能特性を有する蒸着材料６が充填され、最も蒸着温度の高い蒸着源５は、搬送路４の最も端部側に配置される。複数の蒸着源５は、それぞれ搬送路４と相対する面（上面）に設けられた開口５１と、開口５１を開閉する開閉部５２と、を有する（図２の拡大図参照）。なお、図２では、実線で図示された開閉部５２は閉じた状態を示し、破線で図示された開閉部５２は開いた状態を示す。
【００１６】
また、真空蒸着装置１は、搬送路４における基板２の搬送方向に応じて各々の開閉部５２の開閉を制御する開閉制御部７と、各々の蒸着源５の開口５１及び開閉部５２を覆うように設けられたシャッタ８と、を備える。シャッタ８の各々は、蒸着源５からの輻射熱を遮蔽可能な材料により構成され、それぞれ自身が覆う蒸着源５の温度に応じて開閉自在となるように構成されている。各々のシャッタ８は、それぞれ複数枚のシャッタにより構成され、図例では２枚のシャッタにより構成されている。これら２枚のシャッタは、互いに重複するような配置で各蒸着源５の開口５１及び開閉部５２を覆っている。なお、図２では、実線で図示されたシャッタ８は閉じた状態を示し、破線で図示されたシャッタ８は開いた状態を示す。
【００１７】
（使用例１）
上記のように構成された真空蒸着装置１の使用例１について図３及び図４を参照して説明する。図３（ａ）に示すように、本使用例では、真空蒸着装置１は、１０個の蒸着源５ａ乃至５ｊを備える。蒸着源５ａ乃至５ｊは、この順番で同図の左側から右側に一列に並んで配置されている。蒸着源５ａ乃至５ｊには、それぞれシャッタ８ａ乃至８ｊが配置され、蒸着材料６ａ乃至６ｊが充填されている。
【００１８】
蒸着材料６ａ、６ｊは、それぞれ有機ＥＬ素子の陰極（金属層）を形成する材料により構成される。蒸着材料６ｂ、６ｉは、有機ＥＬ素子の電子注入層を形成する材料により構成され、例えば、リチウム（Ｌｉ）を含む化合物から成る。蒸着材料６ｃ、６ｈは、それぞれ有機ＥＬ素子の第１の正孔輸送層及び第２の正孔輸送層を形成する材料により構成される。蒸着材料６ｄ、６ｇは、それぞれ有機ＥＬ素子の第２の電子輸送層及び第１の電子輸送層を形成する材料により構成される。蒸着材料６ｅ、６ｆは、それぞれ有機ＥＬ素子の第１の発光層及び第２の発光層を形成する材料により構成される。蒸着材料６ａ乃至６ｊのうち、陰極を形成する蒸着材料６ａ、６ｊが充填された蒸着源５ａ、５ｊは、最も蒸着温度が高く、それぞれ搬送路４の左端部側及び右端部側に配置されている。
【００１９】
次に、真空蒸着装置１を用いて基板２上に蒸着するときの動作について説明する。基板２としては、透光性ガラス板から成る基材の一面にＩＴＯから成る陽極が予め設けられたものを用い、このＩＴＯ陽極上に蒸着材料６が順次積層される。
【００２０】
図３（ａ）に示した真空蒸着装置１では、シャッタ８ｃ、８ｅ、８ｇ、８ｉ、８ｊが開かれ、これらシャッタ８に対応する開閉部５２（不図示）が開閉制御部７（不図示）により開かれている。この状態で、搬送路４の左側に配置された基板２を搬送路４に沿って右側に搬送する。そうすると、図３（ｂ）に示すように、基板２に蒸着材料６ｃ（第１の正孔輸送層材料）、６ｅ（第１の発光層材料）、６ｇ（第１の電子輸送層材料）、６ｉ（電子注入層材料）、６ｊ（陰極材料）が順次蒸着される。これにより、図３（ｃ）に示すように、基板２の陽極上に第１の正孔輸送層、第１の発光層、第１の電子輸送層、電子注入層そして陰極が順次積層された有機ＥＬ素子が得られる。
【００２１】
次に、同装置を用いて、基板２を搬送路４の右側から左側へ搬送する場合について図４（ａ）乃至（ｃ）を参照して説明する。この場合には、図４（ａ）に示すように、シャッタ８ａ、８ｂ、８ｄ、８ｆ、８ｈ及びこれらシャッタ８に対応する開閉部５２（不図示）を開く。この状態で、基板２を搬送路４の右側から左側へ搬送すると、図４（ｂ）に示すように、基板２上に蒸着材料６ｈ（第２の正孔輸送層材料）、６ｆ（第２の発光層材料）、６ｄ（第２の電子輸送層材料）、６ｂ（電子注入層材料）、６ａ（陰極材料）が順次蒸着される。これにより、図４（ｃ）に示すように、基板２の陽極上に第２の正孔輸送層、第２の発光層、第２の電子輸送層、電子注入層そして陰極が順次積層された有機ＥＬ素子が得られる。
【００２２】
このように、本使用例の真空蒸着装置１によれば、開閉部５２及びシャッタ８の開閉を制御することで、基板２の搬送方向に応じて容易に蒸着膜の積層パターンを変更することができる。これにより、基板２を搬送路４の左側から右側へ搬送する場合と基板２を搬送路４の右側から左側へ搬送する場合とで、互いに異なる層構造を有する有機ＥＬ素子を得ることができる。
【００２３】
また、蒸着源５の並びにおいて、蒸着に用いられる蒸着源５を一つおきに配置することで、所定の蒸着材料６が蒸着されてから、その次の蒸着材料６が蒸着されるまでの間にインターバルを確保することができる。これにより、所定の蒸着材料６を基板２に十分に定着させてから、次の蒸着材料６を基板２に蒸着させることができるので、高品質の有機ＥＬ素子を得ることができる。
【００２４】
また、最も蒸着温度の高い蒸着源５ａ、５ｊが搬送路４の端部側に配置されているので、蒸着過程の最後で基板２は高熱で処理されることになる。これにより、有機ＥＬ素子の各層を形成する材料の一部が液状化して流動し、隣接層を形成する材料と程良く混ざり合って層間の結合が強固になる。また、層間で材料が混ざり合うことで層間の接合面積が大きくなるので、層間を流れる電流密度が大きくなって発光輝度を高めることができる。
【００２５】
また、蒸着源５からの輻射熱を遮蔽する材料により構成されたシャッタ８が、互いに重複した配置で複数設けられているので、蒸着に関与しない蒸着源５に対応するシャッタ８を閉じておけば、その蒸着源５からの輻射熱が基板２に伝熱されない。これにより、基板２上に形成された蒸着膜の熱劣化を抑制することができる。なお、シャッタ８は、対応する蒸着源５の温度に応じて開閉され、例えば、蒸着温度の低い蒸着源５で開閉部５２を閉じただけでも十分に遮熱できる場合には、シャッタ８は開いていてもよい。
【００２６】
（使用例２）
次に、真空蒸着装置１の使用例２について図５（ａ）乃至（ｃ）を参照して説明する。本使用例では、基板２は、搬送路４の左側から右側に搬送された後、続けて搬送路４の右側から左側へ搬送される。すなわち、基板２は、搬送路４を１往復する。
【００２７】
図５（ａ）に示すように、本使用例では、９個の蒸着源５ａ乃至５ｉが設けられている。蒸着材料６ａは、陰極材料により構成される。蒸着材料６ｂ、６ｈは、それぞれ第２の電子輸送層材料により構成され、蒸着材料６ｇは、第１の電子輸送層材料により構成される。蒸着材料６ｃ、６ｆは、それぞれ第１の正孔輸送層材料及び第２の正孔輸送層材料により構成される。蒸着材料６ｄ、６ｅは、それぞれ第２の発光層材料及び第１の発光層材料により構成される。蒸着材料６ｉは、電子注入層材料により構成される。
【００２８】
図５（ａ）の上図に示すように、真空蒸着装置１は、まず、シャッタ８ｃ、８ｅ、８ｇ、８ｈ、８ｉ及びこれらシャッタ８に対応する開閉部５２（不図示）を開いた状態で、基板２を搬送路４に沿って左側から右側へ搬送して１スキャン目を行う。この１スキャン目に引き続いて、図５（ａ）の下図に示すように、真空蒸着装置１は、シャッタ８ａ、８ｂ、８ｄ、８ｆ及びこれらシャッタ８に対応する開閉部５２（不図示）を開いた状態で、同基板２を右側から左側へ搬送して２スキャン目を行う。
【００２９】
これにより、図５（ｂ）に示すように、１スキャン目において、基板２の陽極上に蒸着材料６ｃ（第１の正孔輸送層材料）、６ｅ（第１の発光層材料）、６ｇ（第１の電子輸送層材料）、６ｈ（第２の電子輸送層材料）、６ｉ（電子注入層材料）が順次蒸着される。そして、２スキャン目において、更に、蒸着材料６ｆ（第２の正孔輸送層材料）、６ｄ（第２の発光層材料）、６ｂ（第２の電子輸送層材料）、６ａ（陰極材料）が順次蒸着される。
【００３０】
その結果、図５（ｃ）に示すように、基板２の陽極上に、１スキャン目によって第１の正孔輸送層、第１の発光層、第１の電子輸送層、第２の電子輸送層そして電子注入層が順次積層された第１の発光ユニットが形成される。そして、この第１の発光ユニットと接して、２スキャン目によって第２の正孔輸送層、第２の発光層、第２の電子輸送層そして陰極が順次積層された第２の発光ユニットが形成される。
【００３１】
本使用例によれば、上記の使用例１と同様の効果を得ることができると共に、基板２を搬送路４上で往復させることで、２つの発光ユニットを有する有機ＥＬ素子を得ることができる。
【００３２】
（使用例３）
次に、真空蒸着装置１の使用例３について図６（ａ）乃至（ｃ）を参照して説明する。本使用例では、基板２は、搬送路４を１．５往復する。
【００３３】
図６（ａ）に示すように、本使用例では、９個の蒸着源５ａ乃至５ｉが設けられている。蒸着材料６ａは、有機ＥＬ素子の正孔注入層材料を形成する材料により構成される。蒸着材料６ｂ、６ｃは、それぞれ第１の正孔輸送層材料及び第２の正孔輸送層材料により構成される。蒸着材料６ｄ、６ｅは、それぞれ第１の発光層材料及び第２の発光層材料により構成される。蒸着材料６ｆ、６ｇは、それぞれ第１の電子輸送層材料及び第２の電子輸送層材料により構成される。蒸着材料６ｈは、電子注入層材料により構成される。蒸着材料６ｉは、陰極材料により構成される。このように、本使用例では、互いに類似した機能特性を有する蒸着材料６が充填された蒸着源５同士が、互いに隣接して配置されている。
【００３４】
図６（ａ）の上図に示すように、真空蒸着装置１は、まず、シャッタ８ｂ、８ｄ、８ｆ、８ｇ、８ｈ及びこれらシャッタ８に対応する開閉部５２（不図示）を開いた状態で、基板２を搬送路４に沿って左側から右側へ搬送して１スキャン目を行う。この１スキャン目に引き続いて、図６（ａ）の中図に示すように、真空蒸着装置１は、シャッタ８ｇ及びこれに対応する開閉部５２（不図示）を開いた状態で、同基板２を右側から左側へ搬送して２スキャン目を行う。その後、図６（ａ）の下図に示すように、真空蒸着装置１は、シャッタ８ａ、８ｃ、８ｅ、８ｇ、８ｉ及びこれらシャッタ８に対応する開閉部５２（不図示）を開いた状態で、同基板２を搬送路４に沿って左側から右側へ搬送して３スキャン目を行う。
【００３５】
これにより、図６（ｂ）（ｃ）に示すように、１スキャン目において、基板２の陽極上に第１の正孔輸送層、第１の発光層、第１の電子輸送層、第２の電子輸送層材料そして電子注入層が順次蒸着されて第１の発光ユニットが形成される。次いで、２スキャン目において、第１の発光ユニットに接して第２の電子輸送層が形成され、３スキャン目において、正孔注入層、第２の正孔輸送層、第２の発光層、第２の電子輸送層そして陰極が順次蒸着されて第２の発光ユニットが形成される。
【００３６】
本使用例によれば、上記の使用例２と同じ効果を得ることができる。また、互いに類似した機能特性を有する蒸着材料６を含む蒸着源５同士が互いに隣接して配置されているので、仮に互いに隣接した蒸着源５間で蒸着材料６のコンタミネーションが起こったとしても、その影響を小さくすることができる。
【００３７】
（使用例４）
次に、真空蒸着装置１の使用例４について図７（ａ）（ｂ）を参照して説明する。本使用例では、基板２は、上記の使用例３と同じように搬送路４を１．５往復するが、使用例３とは蒸着源５の配置が異なる。
【００３８】
図７（ａ）に示すように、蒸着材料６ａ、６ｇは、それぞれ第１の正孔輸送層材料及び第２の正孔輸送層材料により構成される。蒸着材料６ｂ、６ｈは、それぞれ第１の発光層材料及び第２の発光層材料により構成される。蒸着材料６ｃは、第１の電子輸送層材料により構成され、蒸着材料６ｄ、６ｉは、それぞれ第２の電子輸送層材料により構成される。蒸着材料６ｅは、電子注入層材料により構成される。蒸着材料６ｆは、正孔注入層材料により構成される。蒸着材料６ｊは、陰極材料により構成される。
【００３９】
図７（ａ）の上図に示すように、真空蒸着装置１は、まず、シャッタ８ａ乃至８ｅ及びこれらシャッタ８に対応する開閉部５２（不図示）を開いた状態で、基板２を搬送路４に沿って左側から右側へ搬送して１スキャン目を行う。この１スキャン目に引き続いて、図７（ａ）の中図に示すように、真空蒸着装置１は、シャッタ８ｄ及びこれに対応する開閉部５２（不図示）を開いた状態で、同基板２を搬送路４に沿って右側から左側へ搬送して２スキャン目を行う。その後、図７（ａ）の下図に示すように、真空蒸着装置１は、シャッタ８ｆ乃至８ｊ及びこれらシャッタ８に対応する開閉部５２（不図示）を開いた状態で、同基板２を搬送路４に沿って左側から右側へ搬送して３スキャン目を行う。
【００４０】
これにより、図７（ｂ）に示すように、１スキャン目において、第１の正孔輸送層、第１の発光層、第１の電子輸送層、第２の電子輸送層そして電子注入層が順次蒸着されて第１の発光ユニットが形成される。次いで、２スキャン目において、第２の電子輸送層が、この第１の発光ユニットに接して形成され、３スキャン目において、正孔注入層、第２の正孔輸送層、第２の発光層、第２の電子輸送層そして陰極が順次蒸着されて第２の発光ユニットが形成される。
【００４１】
このようにして得られる有機ＥＬ素子は、上記の使用例３で得られた有機ＥＬ素子（図６（ｂ）参照）と同一の層構造を有する。使用例３では、互いに類似した機能特性を有する蒸着材料６を含む蒸着源５同士が、互いに隣接して配置されていた。これに対して、本使用例では、第１の発光ユニットを形成する蒸着源５ａ乃至５ｅと、第２の発光ユニットを形成する蒸着源５ｆ乃至５ｊとが、それぞれまとめて配置されている。このように蒸着源５を配置することで、どの蒸着源５が有機ＥＬ素子のどの層に対応しているのかが明確になるので、例えば、特定層の蒸着材料を変更したいときに、どの蒸着源５を変更すればよいのかが分かり易くなって操作性を向上することができる。
【００４２】
（使用例５）
次に、真空蒸着装置１の使用例５について図８（ａ）乃至（ｃ）を参照して説明する。本使用例では、基板２は、搬送路４を２往復する。
【００４３】
図８（ａ）に示すように、蒸着材料６ａは、陰極材料により構成される。蒸着材料６ｂ、６ｈは、それぞれ第２の電子輸送層材料により構成され、蒸着材料６ｇは、第１の電子輸送層材料により構成される。蒸着材料６ｃ、６ｆは、それぞれ第１の正孔輸送層材料及び第２の正孔輸送層材料により構成される。蒸着材料６ｄ、６ｅは、それぞれ第２の発光層材料及び第１の発光層材料により構成される。蒸着材料６ｉは、電子注入層材料により構成される。
【００４４】
図８（ａ）の上図に示すように、真空蒸着装置１は、まず、シャッタ８ｃ、８ｅ、８ｇ、８ｈ、８ｉ及びこれらシャッタ８に対応する開閉部５２（不図示）を開いた状態で、基板２を搬送路４に沿って左側から右側へ搬送して１スキャン目を行う。次いで、この１スキャン目に引き続いて、図８（ａ）の上から２つ目の図に示すように、真空蒸着装置１は、シャッタ８ｂ、８ｄ、８ｆ及びこれらシャッタ８に対応する開閉部５２（不図示）を開いた状態で、同基板２を搬送路４に沿って右側から左側へ搬送して２スキャン目を行う。その後、図８（ａ）の上から３つ目の図に示すように、真空蒸着装置１は、１スキャン目と同じ動作を再度行って３スキャン目とする。そして最後に、真空蒸着装置１は、シャッタ８ａ、８ｂ、８ｄ、８ｆ及びこれらシャッタ８に対応する開閉部５２（不図示）を開いた状態で、同基板２を搬送路４に沿って右側から左側へ搬送して４スキャン目を行う。
【００４５】
これにより、図８（ｂ）（ｃ）に示すように、１スキャン目において、基板２の陽極上に第１の正孔輸送層、第１の発光層、第１の電子輸送層、第２の電子輸送層そして電子注入層が順次蒸着されて第１の発光ユニットが形成される。次いで、２スキャン目において、この第１の発光ユニットに接して第２の正孔輸送層、第２の発光層、第２の電子輸送層が順次蒸着されて第２の発光ユニットが形成される。そして、３スキャン目において、この第２の発光ユニットに接して第１の発光ユニットと同一の層構造を有する第３の発光ユニットが形成される。そして最後に、４スキャン目において、この第３の発光ユニットに接して第２の正孔輸送層、第２の発光層、第２の電子輸送層そして陰極が順次蒸着されて第４の発光ユニットが形成される。このようにして、合計１７の蒸着層により構成され４つの発光ユニットを有する有機ＥＬ素子が得られる。
【００４６】
このような合計１７の蒸着層により構成された有機ＥＬ素子を、従来の真空蒸着装置を用いて製造しようとすると、１７個の蒸着源を一列に並べる必要があるので、搬送路が長くなって装置が大型化する。これに対して、本使用例によれば、基板２を搬送路４上で２往復させて蒸着源５ｂ乃至５ｉの各々をそれぞれ２回ずつ使用するので、９個の蒸着源８ａ乃至８ｉを並べるだけでよく、これにより、搬送路４を短くすることができる。
【００４７】
上述したように、上記の使用例１乃至５によれば、基板２の搬送方向に応じて開閉制御部７により各蒸着源５の開閉部５２を開閉することで、容易に蒸着膜の積層パターンを変更することができる。また、基板２を一定方向に搬送する従来装置に比べて、搬送路４を短くすることができるので、複数の発光層を有するような多層有機ＥＬ素子の製造を可能としつつ装置を小型化することができる。
【００４８】
上記の使用例１乃至５では、陰極をインライン蒸着により形成したが、陰極をインライン蒸着以外の手法、例えば、スパッタ成膜や塗布成膜により形成したい場合がある。このような場合には、陰極を形成する蒸着源５を設けずに、陰極の次に蒸着温度の高い電子注入層（Ｌｉ化合物）を形成する蒸着源５を搬送路４の最も端部側に配置して、電子注入層を形成した段階で回収した基板２をスパッタ成膜や塗布成膜に用いればよい。
【００４９】
なお、本発明に係る真空蒸着装置は、上記実施形態及びその使用例に限定されず、種々の変形が可能である。例えば、シャッタは必ずしも設ける必要はなく、開閉部を遮熱可能な材料により構成して、開閉部を閉じることで蒸着に関与しない蒸着源からの熱を遮熱する構成としてもよい。また、複数の基板を連続的に搬送して蒸着を行ってもよく、複数の基板を搬送路上で往復させて蒸着する場合には、各々の基板の往路における蒸着順と復路における蒸着順とを同一にすることが好ましい。こうすることで、基板間の待機時間差をなくして、基板温度に起因した発光特性のばらつきを抑制することができる。
【符号の説明】
【００５０】
１  真空蒸着装置
２  基板
３  真空チャンバ
４  搬送路
５、５ａ乃至５ｉ  蒸着源
５１  開口
５２  開閉部
６、６ａ乃至６ｉ  蒸着材料
７  開閉制御部
８、８ａ乃至８ｉ  シャッタ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６（ａ）（ｂ）】
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【図６（ｃ）】
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【図７】
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【図８（ａ）（ｂ）】
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【図８（ｃ）】
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