(57)【要約】      （修正有）【課題】コンパレータ回路の閾値電圧を容易に補正するコンパレータ及びその補正方法を提供する。【解決手段】コンパレータ３０は、コンパレータ回路ＣＯＭＰと同様な構成を有するコンパレータ回路ＣＯＭＰ１、ＣＯＭＰ２と、コンパレータ回路ＣＯＭＰ１の入力電圧ＶＩＰ１、ＶＩＮ１とコンパレータ回路ＣＯＭＰ２の入力電圧ＶＩＰ２、ＶＩＮ２を生成する入力電圧制御回路３１と、コンパレータ回路ＣＯＭＰ１の出力電圧ＶＯＰ１に基づいて、コンパレータ回路ＣＯＭＰ１のスイッチのオン・オフを制御し、更に、コンパレータ回路ＣＯＭＰ２の出力電圧ＶＯＰ２に基づいて、コンパレータ回路ＣＯＭＰ２のスイッチのオン・オフを制御する補正回路３２とを有する。【選択図】図１１
2014110445.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の入力端子に入力される第１の入力電圧と第２の入力端子に入力される第２の入力電圧との電圧差に基づいた出力電圧を出力端子に出力するコンパレータ回路と，
前記出力端子に接続される可変容量と，
前記第１及び第２の入力電圧に加算するコモン電圧を生成し、前記コモン電圧に応じて生成される差動電圧を有する前記第１及び第２の入力電圧を生成する入力電圧制御回路と，
前記可変容量の容量値を制御し，前記コモン電圧を制御する補正回路とを有し，
前記補正回路は，前記電圧差が第１の電圧差と等しいときに前記出力電圧の電位が反転するように前記可変容量の第１の容量値を制御し，前記第１の電圧差に対して所定電圧値の差を有する第２の電圧差と前記電圧差が等しいときに前記出力電圧の電位が反転するように前記可変容量の第２の容量値を制御し、当該第１の容量値と当該第２の容量値との差が所定容量値となるように前記コモン電圧を制御することを特徴とするコンパレータ。
【請求項２】
請求項１において，
前記補正回路は，
前記可変容量を，前記所定電圧値の差を有する前記第１及び第２の電圧差と，前記所定容量値の差を有する前記第１及び第２の容量値とに基づいて所望の閾値電圧に対応する容量値に設定することを特徴とするコンパレータ。
【請求項３】
請求項１において，
前記補正回路は，
前記電圧差を前記第１の電圧差に制御し，前記可変容量の容量値を可変制御して前記出力電圧の電位が反転するように前記第１の容量値を制御する第１の補正動作と，
前記電圧差を前記第２の電圧差に制御し，前記可変容量の容量値を可変制御して前記出力電圧の電位が反転するように前記第２の容量値を制御する第２の補正動作とを行い，
前記第１の容量値と前記第２の容量値との差が前記所定容量値となるまで前記コモン電圧を変更して前記第１及び前記第２の補正動作を繰り返すことを特徴とするコンパレータ。
【請求項４】
請求項１において，
前記補正回路は，
前記電圧差を前記第１の電圧差に制御し，前記可変容量の容量値を可変制御して前記出力電圧の電位が反転するように前記第１の容量値を制御する第１の補正動作と，
前記第１の容量値に前記所定容量値を加算した第２の容量値に前記可変容量を制御し，前記電圧差が第２の電圧差で前記出力電圧の電位が反転するか否かを検出する第２の補正動作とを行い，
前記第２の補正動作において前記出力電圧の電位が反転するまで前記コモン電圧を変更して前記第１及び第２の補正動作を繰り返すことを特徴とするコンパレータ。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか１項のコンパレータにおいて，
前記入力電圧制御回路は，
前記第１及び第２の入力端子にそれぞれ接続する一対の入力コンデンサと，
前記一対の入力コンデンサに前記コモン電圧を供給するコモン電圧生成回路とを有し，
前記入力電圧制御回路は，前記コモン電圧に対応する電位に正負の電圧差をつけて前記第１及び第２の入力電圧を生成することを特徴とするコンパレータ。
【請求項６】
複数の請求項１記載のコンパレータを有し，
前記複数のコンパレータはそれぞれ，前記所定電圧値と前記所定容量値との比である傾きが互いに同一になるように，前記コモン電圧を設定され，前記可変容量を，前記所定電圧値の差を有する前記第１及び第２の電圧差と前記所定容量値の差を有する前記第１及び第２の容量値とに基づいて所望の閾値電圧に対応する容量値に設定されることを特徴とするＡＤコンバータ。
【請求項７】
出力端子が可変容量に接続し，第１の入力端子に入力される第１の入力電圧と第２の入力端子に入力される第２の入力電圧との電圧差に基づいた出力電圧を出力端子に出力するコンパレータ回路の補正方法であって，
前記可変容量の容量値を制御する可変容量制御工程と，
前記第１及び第２の入力電圧に加算されるコモン電圧を制御するコモン電圧制御工程と，
前記コモン電圧に応じて生成される差動電圧を有する前記第１及び第２の入力電圧を生成する入力電圧制御工程と，
前記電圧差が第１の電圧差と等しいときに前記出力電圧の電位が反転するように前記可変容量の第１の容量値を制御し，前記第１の電圧差に対して所定電圧値の差を有する第２の電圧差と前記電圧差が等しいときに前記出力電圧の電位が反転するように前記可変容量の第２の容量値を制御し、当該第１の容量値と当該第２の容量値との差が所定容量値となるように前記コモン電圧を制御するコモン電圧制御工程とを有する補正方法。
【請求項８】
請求項７において，
前記電圧差を前記第１の電圧差に制御し，前記可変容量の容量値を可変制御して前記出力電圧の電位が反転するように前記第１の容量値を制御する第１の補正工程と，
前記電圧差を前記第２の電圧差に制御し，前記可変容量の容量値を可変制御して前記出力電圧の電位が反転するように前記第２の容量値を制御する第２の補正工程とを有し，
前記第１の容量値と前記第２の容量値との差が前記所定容量値となるまで前記コモン電圧を変更して前記第１及び前記第２の補正工程を繰り返す補正方法。
【請求項９】
請求項７において，
前記電圧差を前記第１の電圧差に制御し，前記可変容量の容量値を可変制御して前記出力電圧の電位が反転するように前記第１の容量値を制御する第１の補正工程と，
前記第１の容量値に前記所定容量値を加算した第２の容量値に前記可変容量を制御し，前記電圧差が第２の電圧差で前記出力電圧の電位が反転するか否かを検出する第２の補正工程とを有し，
前記第２の補正動作において前記出力電圧の電位が反転するまで前記コモン電圧を変更して前記第１及び第２の補正工程を繰り返す補正方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は，コンパレータ及びその補正方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
コンパレータ回路は，２つの入力信号の入力電圧を比較し比較結果に応じた出力信号を出力する。通常，コンパレータ回路の出力信号の電位レベルが反転する入力電圧差（以下，閾値電圧と呼ぶ。）は０Ｖである。特許文献１では，容量値の変更が可能な可変容量をコンパレータ回路の出力端子に接続して可変容量の容量値を制御することにより，閾値電圧を所望の電圧に調整することが記載されている。
【０００３】
コンパレータ回路の用途の一つに，フラッシュ型ＡＤコンバータがある。フラッシュ型ＡＤコンバータは，並列に配置した複数のコンパレータ回路と，複数のコンパレータ回路の出力信号を入力するエンコーダとを有する。複数のコンパレータ回路はそれぞれ異なる閾値電圧に設定され，基準信号と比較対象のアナログ入力信号とが入力される。各コンパレータ回路は，それぞれ異なる閾値電圧で基準信号とアナログ信号の電圧を比較し，比較結果に基づいて，Ｈレベル又はＬレベルの出力信号をエンコーダに出力する。そして，エンコーダは，各コンパレータ回路の出力信号に基づいて，コンパレータ回路の個数に対応するビット数のデジタル信号を出力する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特願２０１１−３０６００３号
【特許文献２】特開２０１０−５０５９０号公報
【特許文献３】特開２０１２−３９５４８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら，コンパレータ回路の出力端子に接続される可変容量の容量値に対応する閾値電圧が，製造ばらつきに起因してばらつくことがある。例えば，可変容量の容量値の変動量に対する閾値電圧の変動量がばらつくことがある。また，可変容量の容量値がゼロのときのコンパレータ回路の閾値電圧がばらつき，閾値電圧にオフセット電圧が生じることがある。このように可変容量の所定の容量値に対する閾値電圧がばらつくことで，所望の閾値電圧に調整することが困難となる。
【０００６】
そこで，本発明の目的は，コンパレータ回路の閾値電圧を容易に補正するコンパレータ及びその補正方法を提供することとする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
コンパレータの第１の側面は，
第１の入力端子に入力される第１の入力電圧と第２の入力端子に入力される第２の入力電圧との電圧差に基づいた出力電圧を出力端子に出力するコンパレータ回路と，
前記出力端子に接続される可変容量と，
前記第１及び第２の入力電圧に加算するコモン電圧を生成し、前記コモン電圧に応じて生成される差動電圧を有する前記第１及び第２の入力電圧を生成する入力電圧制御回路と，
前記可変容量の容量値を制御し，前記コモン電圧を制御する補正回路とを有し，
前記補正回路は，前記電圧差が第１の電圧差と等しいときに前記出力電圧の電位が反転するように前記可変容量の第１の容量値を制御し，前記第１の電圧差に対して所定電圧値の差を有する第２の電圧差と前記電圧差が等しいときに前記出力電圧の電位が反転するように前記可変容量の第２の容量値を制御し、当該第１の容量値と当該第２の容量値との差が所定容量値となるように前記コモン電圧を制御する。
【発明の効果】
【０００８】
コンパレータの第１の側面によれば，コンパレータ回路の閾値電圧を容易に補正することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】フラッシュ型ＡＤコンバータを示す図である。
【図２】コンパレータ回路を示す図である。
【図３】コンパレータ回路の出力信号の第１の例を示す図である。
【図４】コンパレータ回路の出力信号の第２の例を示す図である。
【図５】コンパレータ回路の閾値電圧を検出し，所望の閾値電圧に補正するコンパレータの一例を示す。
【図６】コンパレータ回路の出力端子に接続する可変容量の容量値に対する閾値電圧の第１の例を示す図である。
【図７】コンパレータ回路の出力端子に接続する可変容量の容量値に対する閾値電圧の第２の例を示す図である。
【図８】コンパレータ回路ごとの閾値電圧の第１の例を示す図である。
【図９】コンパレータ回路ごとの閾値電圧の第２の例を示す図である。
【図１０】第１の実施の形態におけるコンパレータ回路ごとの閾値電圧の一例である。
【図１１】第１の実施の形態におけるコンパレータを示す図である。
【図１２】第１の実施の形態における補正動作のフローチャートである。
【図１３】第１の実施の形態におけるコンパレータの補正動作の第１の例である。
【図１４】第１の実施の形態におけるコンパレータの補正動作の第２の例である。
【図１５】第１の実施の形態におけるコンパレータの補正動作の第３の例である。
【図１６】第１の実施の形態におけるコンパレータの補正動作の具体例を示すフローチャートである。
【図１７】第１の実施の形態における制御信号ＣＯＮＴ１２に対してコモン電圧生成回路が生成するコモン電圧を示す図である。
【図１８】第１の実施の形態における所定の閾値電圧に対する可変容量の接続数の検出動作を示すフローチャートである。
【図１９】第１の実施の形態における実行回数ごとの可変容量の接続数の増減値を示す図である。
【図２０】第１の実施の形態における実行回数ごとのコモン電圧設定値の増減値の一例を示す図である。
【図２１】第２の実施の形態における補正動作のフローチャートを示す図である。
【図２２】第２の実施の形態における補正動作の一例を示す図である。
【図２３】第２の実施の形態におけるコンパレータの補正動作の具体例を示すフローチャートである。
【図２４】第２の実施の形態におけるコモン電圧設定値の増減値の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下，図面を用いて本発明の実施の形態について説明する。
【００１１】
図１は，フラッシュ型ＡＤコンバータを示す図である。図１のフラッシュ型ＡＤコンバータ１０は，コンパレータ回路ＣＯＭＰ１〜ＣＯＭＰ３とエンコーダＥＮ１とを有し，アナログ信号ＶＩＰとに基づいて２ビットのデジタル信号ＶＯＵＴに変換する。
【００１２】
コンパレータ回路ＣＯＭＰ１〜ＣＯＭＰ３は，それぞれ異なる閾値電圧Ｖｂ１〜Ｖｂ４に設定されている。各閾値電圧は，Ｖｂ１，Ｖｂ２，Ｖｂ３の順に高い。コンパレータ回路ＣＯＭＰ１〜ＣＯＭＰ３は，基準信号とアナログ信号の電圧を比較し，比較結果に基づいて，Ｈレベル又はＬレベルの出力信号ＯＰ１〜３をエンコーダＥＮ１に出力する。
【００１３】
例えば，アナログ信号ＶＩＰと基準信号ＶＩＮの電圧差ΔＶ＝ＶＩＰ−ＶＩＮ又は，アナログ差動電圧ＶＩＰ，ＶＩＮの電圧差ΔＶ＝ＶＩＰ−ＶＩＮがコンパレータ回路ＣＯＭＰ１の閾値電圧Ｖｂ１よりも高い場合（ΔＶ＞Ｖｂ１），出力電圧ＶＯＰ１〜ＶＯＰ３の電位レベルはＬレベルとなる。
【００１４】
エンコーダＥＮ１は，各コンパレータ回路ＣＯＭＰ１〜ＣＯＭＰ３の出力電圧ＶＯＰ１〜ＶＯＰ３の電位レベルに基づいて，２ビットのデジタル信号ＶＯＵＴを出力する。
【００１５】
図２は，コンパレータ回路を示す図である。上述のコンパレータ回路ＣＯＭＰ１〜ＣＯＭＰ３は，図２のコンパレータ回路ＣＯＭＰと同様の構成を有する。
【００１６】
コンパレータ回路ＣＯＭＰは，ＰＭＯＳトランジスタＰ１，Ｐ２と，ＮＭＯＳトランジスタＮ１〜Ｎ４と，スイッチＳａ〜Ｓｅと，複数の可変容量とスイッチとを有する可変容量回路１０１，１０２とを有する。
【００１７】
ＰＭＯＳトランジスタＰ１及びＮＭＯＳトランジスタＮ１，Ｎ３は，電源電圧ＶＤＤと基準電源ＧＮＤとの間に直列に接続される。ＰＭＯＳトランジスタＰ１とＮＭＯＳトランジスタＮ１の接続ノードＤ１は，出力端子ＯＰに接続する。また，接続ノードＤ１はスイッチＳａを介して電源電圧ＶＤＤに接続する。ＮＭＯＳトランジスタＮ１とＮ３の接続ノードＤ３はスイッチＳｂを介して電源電圧ＶＤＤに接続する。
【００１８】
ＰＭＯＳトランジスタＰ２及びＮＭＯＳトランジスタＮ２，Ｎ４は，電源電圧ＶＤＤと基準電源ＧＮＤとの間に直列に接続される。ＰＭＯＳトランジスタＰ２とＮＭＯＳトランジスタＮ２の接続ノードＤ２は，出力端子ＯＮに接続する。また，接続ノードＤ２はスイッチＳｄを介して電源電圧ＶＤＤに接続する。ＮＭＯＳトランジスタＮ２とＮ４の接続ノードＤ４はスイッチＳｃを介して電源電圧ＶＤＤに接続する。
【００１９】
ＰＭＯＳトランジスタＰ１，Ｐ２及びＮＭＯＳトランジスタＮ１，Ｎ２は，ラッチ回路を形成する。すなわち，接続ノードＤ１がＰＭＯＳトランジスタＰ２及びＮＭＯＳトランジスタＮ２のゲートに接続し，接続ノードＤ２がＰＭＯＳトランジスタＰ１及びＮＭＯＳトランジスタＮ１のゲートに接続する。
【００２０】
ＮＭＯＳトランジスタＮ３，Ｎ４は差動対を形成する。ＮＭＯＳトランジスタＮ３とＮ４の接続ノードＤ５は，スイッチＳｅを介して基準電源ＧＮＤに接続する。ＮＭＯＳトランジスタＮ３のゲートは非反転入力端子Ｔ１に接続し入力電圧ＶＩＰを供給され，ＮＭＯＳトランジスタＮ４のゲートは反転入力端子Ｔ２に接続し入力電圧ＶＩＮを供給される。
【００２１】
スイッチＳａ〜Ｓｄはスイッチ制御回路１００の制御信号ＣＳによってオン又はオフに制御され，スイッチＳｅは制御信号ＣＳ１を反転した反転制御信号／ＣＳによってオン又はオフに制御される。
【００２２】
制御信号ＣＳがＨレベルのとき，スイッチＳａ〜Ｓｄはオンして接続ノードＤ１〜Ｄ４が電源電圧ＶＤＤに引き上げられ，スイッチＳｅはオフしてリセット状態になる。
【００２３】
制御信号ＣＳがＬレベルのとき，スイッチＳａ〜Ｓｄはオフし，スイッチＳｅはオンし，ＮＭＯＳトランジスタＮ３，Ｎ４はゲート電圧ＶＩＰ,ＶＩＮに応じた導通状態になる。そして，ＰＭＯＳトランジスタＰ１，Ｐ２及びＮＭＯＳトランジスタＮ１，Ｎ２が形成するラッチ回路は，接続ノードＤ１，Ｄ２に生じた電圧差を増幅し，Ｈ又はＬレベルの出力電圧ＶＯＰを出力端子ＯＰから出力する。
【００２４】
可変容量回路１０１は，出力端子ＯＰに接続するｍ個の可変容量ＣＰ１〜ＣＰｍと，各可変容量と基準電源ＧＮＤとの間にスイッチＳＰ１〜ＳＰｍとを有する。可変容量回路１０２は，出力端子ＯＮに接続するｍ個の可変容量ＣＮ１〜ＣＮｍと，各可変容量と基準電源ＧＮＤとの間にスイッチＳＮ１〜ＳＮｍとを有する。スイッチＳＰ１〜ＳＰｍ，ＳＮ１〜ＳＮｍは，それぞれスイッチ制御回路１００の制御信号ＣＰａ１〜ＣＰａｍ，ＣＮａ１〜ＣＮａｍによりオン又はオフに制御される。これにより，出力端子ＯＰ，ＯＮにそれぞれ接続する可変容量回路１０１及び１０２の可変容量の容量値が制御され，コンパレータ回路の閾値電圧Ｖｂが決定される。
【００２５】
ここで，図２〜図４を参照しながら，コンパレータ回路ＣＯＭＰの動作について説明する。
【００２６】
図３は，コンパレータ回路の出力信号の第１の例を示す図である。図３は，スイッチＳＰ１〜ＳＰｍ，ＳＮ１〜ＳＮｍが全てオフの場合，すなわち閾値電圧Ｖｂが０Ｖの場合における出力電圧ＶＯＰの電位レベルの一例である。
【００２７】
入力電圧ＶＩＰが入力電圧ＶＩＮよりもΔＶ１１だけ高い場合で（ＶＩＰ−ＶＩＮ＝ΔＶ１１），ＮＭＯＳトランジスタＮ１，Ｎ３に流れる電流は，ＮＭＯＳトランジスタＮ２，Ｎ４に流れる電流よりも多くなる。その結果，接続ノードＤ１の電圧は接続ノードＤ２よりも低くなり，さらにラッチ回路により接続ノードＤ１とＤ２の電圧差が増幅される。これにより出力端子ＯＰはＬレベル，出力端子ＯＮはＨレベルとなる。そのため，図３のようにコンパレータ回路ＣＯＭＰからはＬレベルの出力電圧ＶＯＰが出力される。
【００２８】
一方，入力電圧ＶＩＰが入力電圧ＶＩＮよりもΔＶ２１だけ低い場合で（ＶＩＰ−ＶＩＮ＝−ΔＶ２１）ＮＭＯＳトランジスタＮ２，Ｎ４に流れる電流は，ＮＭＯＳトランジスタＮ１，Ｎ３に流れる電流よりも多くなる。その結果，接続ノードＤ２の電圧は接続ノードＤ１よりも低くなり，さらにラッチ回路により接続ノードＤ１とＤ２の電圧差が増幅される。これにより出力端子ＯＰはＨレベル，出力端子ＯＮはＬレベルとなる。そのため，図３のようにコンパレータ回路ＣＯＭＰからはＨレベルの出力電圧ＶＯＰが出力される。
【００２９】
このように，図３ではＶＩＰ−ＶＩＮ＝０Ｖを閾値電圧Ｖｂとして，出力電圧ＶＯＰの電位レベルが反転する。
【００３０】
図４は，コンパレータ回路の出力信号の第２の例を示す図である。
【００３１】
図４（１）は，スイッチＳＰ１〜ＳＰｍのうち任意の数だけスイッチをオンしスイッチＳＮ１〜ＳＮｍは全てオフの場合，すなわち出力端子ＶＯＰに接続する可変容量の容量値が出力端子ＶＯＮに接続する可変容量よりも大きい場合における出力電圧ＶＯＰの電位レベルの一例である。
【００３２】
図４（１）では，出力端子ＶＯＰに接続する可変容量の容量値が出力端子ＶＯＮに接続する可変容量よりも大きいため，接続ノードＤ１の電圧は下がりにくくなる。そのため，出力電圧ＶＯＰがＨレベルからＬレベルに切り替わる閾値電圧Ｖｂは，図３よりも高い閾値電圧Ｖｂａとなる。
【００３３】
図４（２）は，スイッチＳＰ１〜ＳＰｍは全てオフし，スイッチＳＮ１〜ＳＮｍのうち任意の数だけスイッチをオンした場合，すなわち出力端子ＶＯＮに接続する可変容量が出力端子ＶＯＰに接続する可変容量よりも大きい場合における出力電圧ＶＯＰの電位レベルの一例である。
【００３４】
図４（２）では，出力端子ＶＯＮに接続する可変容量の容量値が出力端子ＶＯＮに接続する可変容量よりも大きいため，接続ノードＤ２の電圧は下がりにくくなる。そのため，出力電圧ＶＯＰがＨレベルからＬレベルに切り替わる閾値電圧Ｖｂは，図３よりも低い閾値電圧Ｖｂｂとなる。
【００３５】
このように，出力端子ＶＯＰ，ＶＯＮそれぞれに接続する可変容量の容量値を変更することで，コンパレータ回路ＣＯＭＰの閾値電圧を変更させることができる。
【００３６】
次に図５〜図７を参照しながら，出力端子に接続する可変容量の容量値の変動に対する閾値電圧の変動について説明する。
【００３７】
図５は，コンパレータ回路の閾値電圧を検出し，所望の閾値電圧に補正するコンパレータの一例を示す。
【００３８】
コンパレータ２０は，コンパレータ回路ＣＯＭＰと，コンパレータ回路ＣＯＭＰの入力端子Ｔ１，Ｔ２にそれぞれ接続する入力コンデンサＣ１，Ｃ２と，入力端子Ｔ１の入力電圧ＶＩＰと入力端子Ｔ２の入力電圧ＶＩＮとをコンパレータ回路が正常動作可能な電圧範囲に制御するためのコモン電圧Ｖｃｍを生成するコモン電圧生成回路２２と，スイッチＳＷ１〜ＳＷ６を有するスイッチ群２３と，コモン電圧Ｖｃｍに対応する電位を中心とする差動電圧Ｖｄを生成する差動電圧生成回路２４と，図２のスイッチ制御回路１００と同様にスイッチＳＰ１〜ＳＰｍ，ＳＮ１〜ＳＮｍのオン・オフを制御する制御回路２１とを有する。
【００３９】
ここで，制御回路２１は，スイッチ群２３に制御信号ＣＯＮＴ１を出力し，スイッチＳＷ１〜ＳＷ６のオン・オフを制御する。また，制御回路２１は，コンパレータ回路ＣＯＭＰの出力電圧ＶＯＰに基づいて，コモン電圧生成回路２２に制御信号ＣＯＮＴ２を出力し，コモン電圧Ｖｃｍを制御する。さらに，制御回路２１は，コンパレータ回路ＣＯＭＰの出力電圧ＶＯＰに基づいて，差動電圧生成回路２４に制御信号ＣＯＮＴ３を出力し，差動電圧Ｖｄを制御する。
【００４０】
差動電圧生成回路２４はスイッチＳＷ１,ＳＷ２を介して入力コンデンサＣ１，Ｃ２に接続する。入力コンデンサＣ１，Ｃ２は，スイッチＳＷ３,ＳＷ４を介して基準電源ＧＮＤに接続する。コモン電圧生成回路２２は，コンパレータ回路ＣＯＭＰの入力端子Ｔ１，Ｔ２にスイッチＳＷ５，ＳＷ６を介して接続する。
【００４１】
コンパレータ２０は，コンパレータ回路の閾値電圧を検出するために次の動作を行う。
【００４２】
まず，制御回路２１は，コンパレータ回路ＣＯＭＰの出力端子に任意の数だけ可変容量を接続する。ここでは，スイッチＳＰ１〜ＳＰｍ，ＳＮ１〜ＳＮｍは，スイッチＳＰ１〜ＳＰｍ，ＳＮ１〜ＳＮｍを全てオフする（状態１），スイッチＳＰ１〜ＳＰｍのうち任意の数だけオンしスイッチＳＮ１〜ＳＮｍを全てオフする（状態２），スイッチＳＮ１〜ＳＮｍのうち任意の数だけオンしスイッチＳＰ１〜ＳＰｍを全てオフする（状態３），のいずれかの状態に制御される。
【００４３】
次に，コンパレータ回路ＣＯＭＰは，所定のコモン電圧Ｖｃｍに対応する電位を中心とする差動電圧Ｖｄを有する入力電圧ＶＩＰとＶＩＮを供給される。具体的には，制御回路２１がスイッチＳＷ１,ＳＷ２をオフ，ＳＷ３〜ＳＷ６をオンし，コモン電圧生成回路２２のコモン電圧Ｖｃｍを所定の電圧に制御し維持する。その結果，入力コンデンサＣ１，Ｃ２がコモン電圧Ｖｃｍに充電される。そして，制御回路２１がＳＷ３〜ＳＷ６をオフした後，スイッチＳＷ１,ＳＷ２をオンにし，差動電圧生成回路２４の差動電圧Ｖｄを所定の電圧に制御して，入力端子Ｔ１にＶ０＋Ｖｄ／２，入力端子Ｔ２にＶ０−Ｖｄ／２を出力する。その結果，コモン電圧Ｖｃｍが加算し，入力電圧ＶＩＰ＝Ｖｃｍ＋Ｖ０＋Ｖｄ／２，入力電圧ＶＩＮ＝Ｖｃｍ＋Ｖ０−Ｖｄ／２がコンパレータ回路ＣＯＭＰに供給される。Ｖｃｍ＋Ｖ０は，コモン電圧Ｖｃｍに対応する電位である。
【００４４】
最後に，制御回路２１は，コンパレータ回路ＣＯＭＰの出力電圧ＶＯＰの電位レベルに基づいて，差動電圧Ｖｄを変更して，出力電圧ＶＯＰの電位レベルが切り替わる差動電圧Ｖｄ，すなわちコンパレータ回路ＣＯＭＰの閾値電圧Ｖｂを検出する。
【００４５】
コンパレータ２０は，このような動作を出力端子に接続する可変容量の数を変更しながら行いそれぞれの閾値電圧Ｖｂを検出することで，出力端子に接続する可変容量の容量値に対する閾値電圧Ｖｂを求めることができる。この結果を利用して，所望の閾値電圧Ｖｂに対応する可変容量の容量値を設定することで，所望の閾値電圧Ｖｂに補正できる。
【００４６】
図６は，コンパレータ回路の出力端子に接続する可変容量の容量値に対する閾値電圧の第１の例を示す図である。図６は，図５のコンパレータ２０によって検出した，出力端子に接続する可変容量の数毎の閾値電圧Ｖｂである。なお，図６では，コモン電圧Ｖｃｍは６００ｍＶである。図６の縦軸は閾値電圧Ｖｂ，横軸は出力端子に接続する可変容量の数である。図６では，スイッチＳＰ１〜ＳＰｍのオン数を正の数，スイッチＳＮ１〜ＳＮｍのオン数を負の数で表している。
【００４７】
図６に示すように，コンパレータ回路ＣＯＭＰの閾値電圧Ｖｂは，可変容量の容量値に比例する。具体的には，出力端子ＯＰ，ＯＮに接続する可変容量が０個のときは，閾値電圧Ｖｂは０Ｖとなる。また，出力端子ＯＮに接続する可変容量をゼロ個に維持し，出力端子ＯＰに接続する可変容量の数を増やすと（横軸の正方向），閾値電圧Ｖｂが比例して高くなる。一方，出力端子ＯＰに接続する可変容量をゼロ個に維持し，出力端子ＯＮに接続する可変容量の数を増やすと（横軸の負方向），閾値電圧Ｖｂが比例して低くなる。
【００４８】
図７は，コンパレータ回路の出力端子に接続する可変容量の容量値に対する閾値電圧の第２の例を示す図である。図７では，図５のコンパレータ２０によってコモン電圧Ｖｃｍが７００ｍＶ，６００ｍＶ又は５００ｍＶに制御され，それぞれのコモン電圧Ｖｃｍにおいて検出された閾値電圧Ｖｂが示されている。
【００４９】
図７に示すように，出力端子ＯＰ，ＯＮに接続する可変容量が０個のときは，いずれのコモン電圧Ｖｃｍの場合も，閾値電圧Ｖｂは０Ｖとなる。すなわち，出力端子に接続する可変容量が０個のときは，コモン電圧Ｖｃｍによらず閾値電圧Ｖｂは所定の値となる。
【００５０】
しかし，コモン電圧Ｖｃｍが高いほど，出力端子に接続する可変容量の数の変化に対する閾値電圧Ｖｂの変動量が大きくなる。すなわち，可変容量の容量値と閾値電圧Ｖｂの比例関係を示す変動直線の傾きが大きくなる。
【００５１】
このように，コンパレータ回路ＣＯＭＰでは，可変容量の容量値に比例して閾値電圧Ｖｂが変動し，コモン電圧Ｖｃｍが高いほど，閾値電圧Ｖｂの変動量，つまり変動直線の傾きは大きくなる。これは，コモン電圧が高いほど，コンパレータ回路ＣＯＭＰのＮＭＯＳトランジスタＮ３，Ｎ４のドレイン電流差が大きいためである。
【００５２】
図８は，コンパレータ回路ごとの閾値電圧の第１の例を示す図である。図８は，３種類のコンパレータ回路ＣＯＭＰ１〜ＣＯＭＰ３それぞれに対し，図５のコンパレータ２０がコモン電圧Ｖｃｍを６００ｍＶに制御して検出した閾値電圧Ｖｂを示す。
【００５３】
コンパレータ回路ＣＯＭＰ１〜ＣＯＭＰ３それぞれが有するＰＭＯＳトランジスタＰ１，Ｐ２及びＮＭＯＳトランジスタＮ１〜Ｎ４の製造ばらつきが生じる場合がある。例えば，コンパレータ回路ＣＯＭＰ１では，各トランジスタＰ１，Ｐ２，Ｎ１〜Ｎ４は設計値通りに閾値Ｖｔｈを有する。しかし，コンパレータ回路ＣＯＭＰ２では各トランジスタＰ１，Ｐ２，Ｎ１〜Ｎ４の閾値Ｖｔｈの大きさが設計値よりも小さくなり，その結果コンパレータ回路ＣＯＭＰ２は高速動作をする。また，コンパレータ回路ＣＯＭＰ３では各トランジスタＰ１，Ｐ２，Ｎ１〜Ｎ４の閾値Ｖｔｈの大きさが設計値よりも大きくなり，その結果コンパレータ回路ＣＯＭＰ２は低速動作となる。
【００５４】
このような製造ばらつきによって，図８に示すように，コンパレータ回路ＣＯＭＰ１〜ＣＯＭＰ３間で出力端子に接続する可変容量の容量値に対する閾値電圧Ｖｂの変動量，すなわち変動直線の傾きに差異が生じる。
【００５５】
具体的には，出力端子ＯＰ，ＯＮに接続する可変容量が０個のときは，コンパレータ回路ＣＯＭＰ１〜ＣＭＯＰ３いずれの閾値電圧Ｖｂも０Ｖとなる。
【００５６】
しかし，コンパレータ回路ＣＯＭＰ２は，コンパレータ回路ＣＯＭＰ１に対して，出力端子に接続する可変容量の数の変動に対する閾値電圧Ｖｂの変動量が大きい。すなわち，コンパレータ回路ＣＯＭＰ１よりもコンパレータ回路ＣＯＭＰ２の方が，可変容量と閾値電圧の比例関係を示す変動直線の傾きが大きい。これは，コンパレータ回路ＣＯＭＰ２では，ＮＭＯＳトランジスタＮ３，Ｎ４の閾値Ｖｔｈが小さく，同じコモン電圧でもコンパレータ回路ＣＯＭＰ１よりもＮＭＯＳトランジスタＮ３，Ｎ４のドレイン電流の差が大きいためである。
【００５７】
また，コンパレータ回路ＣＯＭＰ３は，コンパレータ回路ＣＯＭＰ１に対して，出力端子に接続する可変容量の数の変動に対する閾値電圧の変動量が小さい。すなわち，コンパレータ回路ＣＯＭＰ１よりもコンパレータ回路ＣＯＭＰ３の方が，可変容量と閾値電圧の比例関係を示す変動直線の傾きが小さい。これは，コンパレータ回路ＣＯＭＰ２では，ＮＭＯＳトランジスタＮ３，Ｎ４の閾値Ｖｔｈが大きく，同じコモン電圧でもコンパレータ回路ＣＯＭＰ１よりもＮＭＯＳトランジスタＮ３，Ｎ４のドレイン電流の差が小さいためである。
【００５８】
このような場合，コンパレータ回路ＣＯＭＰ１〜ＣＯＭＰ３の補正が必要となる。ここで，図７のようにコモン電圧Ｖｃｍが高いほど，閾値電圧Ｖｂの変動量，すなわち変動直線の傾きは大きくなる。そこで，コンパレータ２０は，例として，コンパレータ回路ＣＯＭＰ１を基準に次のような補正動作を行う。
【００５９】
まず，コンパレータ２０は，コンパレータ回路ＣＯＭＰ２に対し，出力端子に接続する可変容量を任意の数（例えばｍ個）に維持し，コモン電圧Ｖｃｍを６００ｍＶよりも低い電圧に制御する。そして，コンパレータ２０は，図５の動作を行いコンパレータ回路ＣＯＭＰ２の閾値電圧Ｖｂを検出し，出力端子に接続する可変容量を同様にｍ個にしたコンパレータ回路ＣＯＭＰ１の閾値電圧Ｖｂと比較する。コンパレータ２０は，比較結果に応じて，コモン電圧Ｖｃｍを変更しその都度閾値電圧Ｖｂの検出・比較を行うことで，コンパレータ回路ＣＯＭＰ２の閾値電圧Ｖｂとコンパレータ回路ＣＯＭＰ１の閾値電圧Ｖｂとが等しくなる補正コモン電圧Ｖｃｍｃ１（例えば５５０ｍＶ）を検出することができる。
【００６０】
これにより，コモン電圧Ｖｃｍが補正コモン電圧Ｖｃｍｃ１（５５０ｍＶ）のときのコンパレータ回路ＣＯＭＰ２の閾値電圧Ｖｂの変動量は，コモン電圧Ｖｃｍが６００ｍｖのときのコンパレータ回路ＣＯＭＰ１の閾値電圧Ｖｂの変動量に等しくなる。すなわち，上記の補正動作によって，コンパレータ回路ＣＯＭＰ２の変動直線は，接続する可変容量が０個のときを中心に傾きが緩やかになる。その結果，コンパレータ回路ＣＯＭＰ１及びコンパレータ回路ＣＯＭＰ２は変動直線が互いに一致する。
【００６１】
また，コンパレータ２０は，コンパレータ回路ＣＯＭＰ３に対し，出力端子に接続する可変容量を任意の数（例えばｍ個）に維持し，コモン電圧Ｖｃｍを６００ｍＶよりも低い電圧に制御して同様に行うことで，コンパレータ回路ＣＯＭＰ２の閾値電圧Ｖｂとコンパレータ回路ＣＯＭＰ１の閾値電圧Ｖｂとが等しくなる補正コモン電圧Ｖｃｍｃ２（例えば６８０ｍＶ）を検出することができる。
【００６２】
これにより，コモン電圧Ｖｃｍが補正コモン電圧Ｖｃｍｃ２のときのコンパレータ回路ＣＯＭＰ３の閾値電圧Ｖｂの変動量は，コモン電圧Ｖｃｍが６００ｍｖのときのコンパレータ回路ＣＯＭＰ１の閾値電圧Ｖｂの変動量に等しくなる。すなわち，上記の補正動作によって，コンパレータ回路ＣＯＭＰ３の変動直線は，接続する可変容量が０個のときを中心に傾きが急になる。その結果，コンパレータ回路ＣＯＭＰ１及びコンパレータ回路ＣＯＭＰ３は，変動直線が互いに一致する。
【００６３】
このように製造ばらつきに起因して，コンパレータ回路ごとに閾値電圧Ｖｂの変動量が異なる場合には，コンパレータ２０は，出力端子に接続する可変容量を任意の数に維持して，所望の閾値電圧になるコモン電圧Ｖｃｍに補正を行う。
【００６４】
そして，例えば図１のフラッシュ型ＡＤコンバータ１０において，コンパレータ回路ＣＯＭＰ１〜ＣＯＭＰ３はコモン電圧Ｖｃｍ（＝６００ｍＶ）及び補正コモン電圧Ｖｃｍ１，Ｖｃｍ２が使用され，出力端子に接続する可変容量の容量値に対する閾値電圧Ｖｂについて同じ特性に補正される。さらに，コンパレータ回路ＣＯＭＰ１〜ＣＯＭＰ３は，可変容量の接続数を制御されてそれぞれ所望の閾値電圧に切り替えられる。
【００６５】
図９は，コンパレータ回路ごとの閾値電圧の第２の例を示す図である。図９は，出力端子ＯＰ，ＯＮに接続する可変容量が０個のときに閾値電圧Ｖｂにオフセット電圧Ｖｏｆｆが生じている場合である。図９では，製造ばらつきに起因して，コンパレータ回路ＣＯＭＰ１及びＣＯＭＰ２の間で，出力端子に接続する可変容量の容量値に対する閾値電圧Ｖｂの変動量，すなわち変動直線の傾きが異なる。さらに，コンパレータ回路ＣＯＭＰ１，ＣＯＭＰ２それぞれにオフセット電圧Ｖｏｆｆ１，Ｖｏｆｆ２が生じている。
【００６６】
このような場合，コンパレータ２０が，コンパレータ回路ＣＯＭＰ１を基準にして図８と同様にコンパレータ回路ＣＯＭＰ２の補正を行うと，補正後の変動直線は図９の破線となる。その結果，コンパレータ回路ＣＯＭＰ２の補正後の変動直線の傾きは，コンパレータ回路ＣＯＭＰ１の変動直線の傾きと一致しない。そのため，オフセット電圧Ｖｏｆｆ１，Ｖｏｆｆ２が生じている場合には，コンパレータ２０はコンパレータ回路２を補正することができない。
【００６７】
そこで，本実施の形態では，後述する図１１のコンパレータ３０が，後述する図１２又は図２１の補正動作を行うことによって，オフセット電圧Ｖｏｆｆ１，Ｖｏｆｆ２が生じている場合であってもコンパレータ回路ＣＯＭＰ１，ＣＯＭＰ２の補正を可能とする。
【００６８】
［第１の実施の形態］
図１０は，第１の実施の形態におけるコンパレータ回路ごとの閾値電圧の一例である。第１の実施の形態では，コモン電圧Ｖｃｍが６００ｍＶのときにおけるコンパレータ回路ＣＯＭＰ１，ＣＯＭＰ２それぞれにおいて，図５で述べた状態１〜状態３のように可変容量の接続数が切り替わると，閾値電圧Ｖｂが図１０のように変動する。すなわち，コンパレータ回路ＣＯＭＰ１の変動直線の傾きはコンパレータ回路ＣＯＭＰ２よりも緩やかであり，コンパレータ回路ＣＯＭＰ１，ＣＯＭＰ２ともにオフセット電圧Ｖｏｆｆ１，Ｖｏｆｆ２が生じている。
【００６９】
図１１は，第１の実施の形態におけるコンパレータを示す図である。図１１のコンパレータ３０は，後述するオフセット電圧補正動作を行い，コンパレータ回路ＣＯＭＰ１，ＣＯＭＰ２を補正する。
【００７０】
コンパレータ３０は，図２のコンパレータ回路ＣＯＭＰと同様な構成を有するコンパレータ回路ＣＯＭＰ１，ＣＯＭＰ２と，コンパレータ回路ＣＯＭＰ１の入力電圧ＶＩＰ１，ＶＩＮ１とコンパレータ回路ＣＯＭＰ２の入力電圧ＶＩＰ２，ＶＩＮ２を生成する入力電圧制御回路３１と，補正動作を制御する補正回路３２とを有する。
【００７１】
入力電圧制御回路３１は，コンパレータ回路ＣＯＭＰ１の入力端子Ｔ１１，Ｔ２１にそれぞれ接続する入力コンデンサＣ１１，Ｃ２１と，コンパレータ回路ＣＯＭＰ２の入力端子Ｔ１２，Ｔ２２にそれぞれ接続する入力コンデンサＣ１２，Ｃ２２と，コモン電圧Ｖｃｍを生成するコモン電圧生成回路３３と，スイッチＳＷ１１〜ＳＷ２２を有するスイッチ群３４と，コモン電圧Ｖｃｍに対応する電位を中心とする差動電圧Ｖｄを生成する差動電圧生成回路３５とを有する。
【００７２】
補正回路３２は，コンパレータ回路ＣＯＭＰ１の出力電圧ＶＯＰ１に基づいて，コンパレータ回路ＣＯＭＰ１に制御信号ＣＰａ１１〜ＣＰａ１ｍ，ＣＮａ１１〜ＣＮａ１ｍを出力し，コンパレータ回路ＣＯＭＰ１のスイッチＳＰ１〜ＳＰｍ，ＳＮ１〜ＳＮｍのオン・オフを制御する。同様に，補正回路３２は，コンパレータ回路ＣＯＭＰ２の出力電圧ＶＯＰ２に基づいて，コンパレータ回路ＣＯＭＰ２に制御信号ＣＰａ２１〜ＣＰａ２ｍ，ＣＮａ２１〜ＣＮａ２ｍを出力し，コンパレータ回路ＣＯＭＰ２のスイッチＳＰ１〜ＳＰｍ，ＳＮ１〜ＳＮｍのオン・オフを制御する。
【００７３】
また，補正回路３２は，コンパレータ回路ＣＯＭＰ１の出力電圧ＶＯＰ１及びコンパレータ回路ＣＯＭＰ２の出力電圧ＶＯＰ２に基づいて，スイッチ群３３に制御信号ＣＯＮＴ１１を出力し，スイッチＳＷ１１〜ＳＷ２２のオン・オフを制御する。
【００７４】
補正回路３２は，コンパレータ回路ＣＯＭＰ１の出力電圧ＶＯＰ１及びコンパレータ回路ＣＯＭＰ２の出力電圧ＶＯＰ２に基づいて，コモン電圧生成回路３３に制御信号ＣＯＮＴ１２を出力し，コモン電圧Ｖｃｍを制御する。
【００７５】
さらに，補正回路３２は，コンパレータ回路ＣＯＭＰ１の出力電圧ＶＯＰ１及びコンパレータ回路ＣＯＭＰ２の出力電圧ＶＯＰ２に基づいて，差動電圧生成回路３５に制御信号ＣＯＮＴ１３を出力し，差動電圧Ｖｄを制御する。
【００７６】
まず，入力コンデンサＣ１１，Ｃ２１はそれぞれスイッチＳＷ１８，１７を介して基準電源ＧＮＤに接続する。入力コンデンサＣ１２，Ｃ２２はそれぞれスイッチＳＷ１６，１５を介して基準電源ＧＮＤに接続する。
【００７７】
その後，コモン電圧生成回路３３は，スイッチＳＷ２１，２２をそれぞれ介してコンパレータ回路ＣＯＭＰ１の入力端子Ｔ２１，Ｔ１１に接続する。コモン電圧生成回路３３は，スイッチＳＷ１９，２０をそれぞれ介してコンパレータ回路ＣＯＭＰ２の入力端子Ｔ２２，Ｔ１２に接続する。
【００７８】
そして，差動電圧生成回路３５は，スイッチＳＷ１１，ＳＷ１２をそれぞれ介して入力コンデンサＣ１１，Ｃ２１に接続する。また，差動電圧生成回路３５は，スイッチＳＷ１３，ＳＷ１４をそれぞれ介して入力コンデンサＣ１２，Ｃ２２に接続する。
【００７９】
このようにコンパレータ３０では，コンパレータ回路ＣＯＭＰ１，ＣＯＭＰ２のそれぞれの一対の入力端子は，コモン電圧生成回路３３と，一対の入力コンデンサと，基準電源ＧＮＤと，差動電圧生成回路３５とに接続する。 なお，コンパレータ３０が有するコンパレータ回路が単一又は，３個以上の複数である場合においても，コンパレータ３０が有するコンパレータ回路の一対の入力端子は，図１１と同様に，コモン電圧生成回路３３と，一対の入力コンデンサと，基準電源ＧＮＤと，差動電圧生成回路３５とに接続する。
【００８０】
図１２〜図１５を参照しながら，第１の実施の形態における補正動作について説明する。図１２は，第１の実施の形態における補正動作のフローチャートである。図１３は，第１の実施の形態におけるコンパレータの補正動作の第１の例である。図１４は，第１の実施の形態におけるコンパレータの補正動作の第２の例である。図１５は，第１の実施の形態におけるコンパレータの補正動作の第３の例である。
【００８１】
コンパレータ３０は，コンパレータ回路ＣＯＭＰ１及びＣＯＭＰ２それぞれについて，図１２に示す補正動作を行い，閾値電圧Ｖｂが第１の電圧差となるような出力端子に接続する可変容量の容量値Ｃｔ１（第１の容量値）と，閾値電圧Ｖｂが第２の電圧差となるような出力端子に接続する可変容量の容量値Ｃｔ２（第２の容量値）との差が基準容量値差ΔＣｔとなる補正コモン電圧Ｖｃｍｃを検出する。なお，第２の電圧差Ｖｔ２は，第１の電圧差Ｖｔ１に対して所定電圧値ΔＶｔだけ差がある電圧である。
【００８２】
これにより，コンパレータ３０は，コンパレータ回路ＣＯＭＰ１及びＣＯＭＰ２それぞれに対応する補正コモン電圧Ｖｃｍｃを使用し，コンパレータ回路ＣＯＭＰ１における出力端子に接続する可変容量の容量値に対する閾値電圧Ｖｂの変動量と，コンパレータ回路ＣＯＭＰ２における出力端子に接続する可変容量の容量値に対する閾値電圧Ｖｂの変動量とを等しくする。すなわち，コンパレータ３０は，コンパレータ回路ＣＯＭＰ１の変動直線の傾きと，コンパレータ回路ＣＯＭＰ２の変動直線の傾きとを等しくする。
【００８３】
以下，補正動作の詳細について説明する。
【００８４】
初めに，コンパレータ３０の補正回路３２は，コンパレータ回路ＣＯＭＰ１の閾値電圧Ｖｂが第１の電圧差Ｖｔ１となる可変容量の容量値Ｃｔ１を求める（図１２のステップＳ１１（第１の補正動作））。例えば，補正回路３２は，図１３に示すように，コンパレータ回路ＣＯＭＰ１の閾値電圧Ｖｂが０Ｖ（第１の電圧差Ｖｔ１）となるときの可変容量の接続数ａ１を検出する。
【００８５】
ステップＳ１１では，具体的には，まず，図１１の補正回路３２はコモン電圧Ｖｃｍを任意の電圧（例えば，６００ｍＶ）に維持し，スイッチＳＷ１７，ＳＷ１８をオンにした状態でスイッチＳＷ２１，ＳＷ２２をオンにし，スイッチＳＷ１１〜ＳＷ１６，ＳＷ１９及びＳＷ２０をオフにする。これにより，入力コンデンサＣ１１,Ｃ２１に６００ｍＶのコモン電圧Ｖｃｍが供給され，入力コンデンサＣ１１,Ｃ２１はコモン電圧Ｖｃｍに充電される。
【００８６】
次に，補正回路３２は，ＳＷ１３〜ＳＷ２２をオフにした後，ＳＷ１１，ＳＷ１２をオンにする。また，補正回路３２は，差動電圧Ｖｄを０Ｖに維持する。その結果，コンパレータ回路ＣＯＭＰ１の入力電圧ＶＩＰ，ＶＩＮの差は０Ｖに維持される。
【００８７】
そして，補正回路３２は，コンパレータ回路ＣＯＭＰ１の出力電圧ＶＯＰ１の電位レベルに基づいて，コンパレータ回路ＣＯＭＰ１のスイッチＳＰ１〜ＳＰｍ，ＳＮ１〜ＳＮｍのオン・オフを制御する。これにより，補正回路３２は，出力電圧ＶＯＰ１の電位レベルが切り替わるときの可変容量の接続数ａ１，すなわち閾値電圧Ｖｂが０Ｖ（第１の電圧差）となる可変容量の容量値Ｃｔ１（第１の容量値）を検出する。
【００８８】
補正回路３２は，図１２のステップＳ１１の後，ステップＳ１１と同様にして，コンパレータ回路ＣＯＭＰ１の閾値電圧ｂが第２の電圧差Ｖｔ２となる可変容量の容量値Ｃｔ２を求める（図１２のステップＳ１２（第２の補正動作））。例えば，図１３では，補正回路３２は，閾値電圧が第２の電圧差Ｖｔ２となる可変容量の接続数ａ２を検出する。
【００８９】
ステップＳ１２では，具体的には，まず，補正回路３２はコモン電圧ＶｃｍをステップＳ１１と同じ６００ｍＶに維持し，スイッチＳＷ１７，ＳＷ１８をオンにした状態でスイッチＳＷ２１，ＳＷ２２をオンにしスイッチＳＷ１１〜ＳＷ１６，ＳＷ１９及びＳＷ２０をオフにする。これにより，入力コンデンサＣ１１,Ｃ２１に６００ｍＶのコモン電圧Ｖｃｍが供給され，入力コンデンサＣ１１,Ｃ２１はコモン電圧Ｖｃｍに充電される。
【００９０】
次に，補正回路３２は，ＳＷ１３〜ＳＷ２２をオフにして，ＳＷ１１，ＳＷ１２をオンにする。また，補正回路３２は，差動電圧Ｖｄを第２の電圧差と等しい電圧Ｖｔ２に維持する。その結果，コンパレータ回路ＣＯＭＰ１の入力電圧ＶＩＰ，ＶＩＮの差は第２の電圧差と等しい電圧Ｖｔ２に維持される。
【００９１】
そして，補正回路３２は，コンパレータ回路ＣＯＭＰ１の出力電圧ＶＯＰ１の電位レベルに基づいて，コンパレータ回路ＣＯＭＰ１のスイッチＳＰ１〜ＳＰｍ，ＳＮ１〜ＳＮｍのオン・オフを制御する。これにより，補正回路３２は，出力電圧ＶＯＰ１の電位レベルが切り替わるときの可変容量の接続数ａ２，すなわち閾値電圧Ｖｂが第２の電圧差となる可変容量の容量値Ｃｔ２（第２の容量値）を検出する。
【００９２】
補正回路３２は，図１２のステップＳ１１及びＳ１２の後，閾値電圧Ｖｂが第１の電圧差のときの可変容量の容量値Ｃｔ１と，閾値電圧Ｖｂが第２の電圧差のときの可変容量の容量値Ｃｔ２との差が所定容量値差ΔＣｔであるか否か判定する（図１２のステップＳ１３）。例えば，図１３では，補正回路３２は，接続数ａ１とａ２との差Δａを求め，差Δａが基準値ΔＡであるか否か判定する。
【００９３】
ａ２−ａ１＝ΔＡである場合，すなわちＣｔ２−Ｃｔ１＝ΔＣｔ２である場合（図１２のステップＳ１３のＹｅｓ），補正回路３２は，ステップＳ１１及びＳ１２で使用したコモン電圧Ｖｃｍを補正コモン電圧Ｖｃｍｃとして制御する（図１２のＳ１５）。したがって，図１３の例では，補正コモン電圧Ｖｃｍｃは６００ｍＶとなる。
【００９４】
ａ２−ａ１≠ΔＡである場合，すなわちＣｔ２−Ｃｔ１≠ΔＣｔ２である場合（図１２のステップＳ１３のＮｏ），補正回路３２は，Ｃｔ２−Ｃｔ１がΔＣｔよりも大きいか否かに応じてコモン電圧Ｖｃｍの電圧を増加又は減少するように変更する（図１２のＳ１４）。そして，補正回路３２は，ステップＳ１１〜Ｓ１３を再び行う。
【００９５】
例えば，図１４の例では，補正回路３２がＣｔ２−Ｃｔ１がΔＣｔよりも小さいことに基づきコモン電圧Ｖｃｍを６００ｍＶから５５０ｍＶに変更すると，コンパレータ回路ＣＯＭＰ１の変動直線は，図１４のように，接続する可変容量が０個のときを中心に傾きが緩やかになる。そして，補正回路３２は，コンパレータ回路ＣＯＭＰ１の閾値電圧Ｖｂが０Ｖ（第１の電圧差Ｖｔ１）となるときの可変容量の接続数ａ１´と，コンパレータ回路ＣＯＭＰ１の閾値電圧Ｖｂが第２の電圧差Ｖｔ２となるときの可変容量の接続数ａ２´とを検出する（図１２のステップＳ１１及びＳ１２）。
【００９６】
そして，補正回路３２は，その差ａ２´−ａ１´が基準値ΔＡとなるか否か判定する（図１２のステップＳ１３）。ａ２´−ａ１´＝ΔＡである場合（図１２のステップＳ１３のＹｅｓ），補正回路３２は，補正コモン電圧Ｖｃｍｃとしてコモン電圧Ｖｃｍを５５０ｍＶに制御する（図１２のステップＳ１５）。ａ２´−ａ１´≠ΔＡである場合（図１２のステップＳ１３のＮｏ），補正回路３２はコモン電圧Ｖｃｍを変更してステップＳ１１〜Ｓ１３を再び行う。
【００９７】
このように，補正回路３２は，Ｃｔ２−Ｃｔ１＝ΔＣｔとなる補正コモン電圧Ｖｃｍｃにコモン電圧Ｖｃｍを制御するまで（図１２のステップＳ１３のＹｅｓ，ステップＳ１５），ステップＳ１１〜Ｓ１４を繰り返し行う。
【００９８】
補正回路３２は，このようにしてコンパレータ回路ＣＯＭＰ１の補正コモン電圧Ｖｃｍｃにコモン電圧Ｖｃｍを制御した後，コンパレータ回路ＣＯＭＰ２に対しても同様にしてステップＳ１１〜Ｓ１５の補正動作を行い，補正コモン電圧Ｖｃｍｃにコモン電圧Ｖｃｍを制御する。そして，両コンパレータ回路ＣＯＭＰ１，ＣＯＭＰ２に対して，それぞれ制御した補正コモン電圧Ｖｃｍｃに補正する（図１２のステップＳ１５）。
【００９９】
なお，上記のコモン電圧Ｖｃｍの制御については，各コンパレータ回路における可変容量の容量値と閾値電圧Ｖｂの比例関係を示す変動直線の傾きが互いに一致するようにコモン電圧をそれぞれ制御すれば良い。したがって，コンパレータ回路ＣＯＭＰ２の補正動作で使用する第１の電圧差及び第２の電圧差の電圧値は，コンパレータ回路ＣＯＭＰ１の補正動作で使用した電圧値と異なってもよい。ただし，所定電圧値差ΔＶｔ及び所定容量値差ΔＣｔ（基準値ΔＡ）は，コンパレータ回路ＣＯＭＰ１の補正動作で使用した値と等しくする。
【０１００】
例えば，図１５は，補正回路３２がコンパレータ回路ＣＯＭＰ２に対してステップＳ１１〜Ｓ１５の補正動作を行った結果，コモン電圧Ｖｃｍが５２５ｍＶのときに，閾値電圧Ｖｂが０Ｖより高い第１の電圧差Ｖｔ１となる可変容量の接続数ｂ１と，閾値電圧Ｖｂが第１の電圧差Ｖｔ１より所定電圧値差ΔＶｔだけ高い第２の電圧差Ｖｔ２となる可変容量の接続数ｂ２との差がΔＡとなったコンパレータ回路ＣＯＭＰ２の変動直線を示している。すなわち，コンパレータ回路ＣＯＭＰ２の補正コモン電圧Ｖｃｍｃ２は５２５ｍＶである。
【０１０１】
また，図１５は，コンパレータ回路ＣＯＭＰ１に対する補正動作後のコンパレータ回路ＣＯＭＰ１の変動直線（補正コモン電圧Ｖｃｍｃ１＝５５０ｍＶ）も示している。
【０１０２】
図１５のように，補正動作後のコンパレータ回路ＣＯＭＰ１及びＣＯＭＰ２は，いずれも可変容量の接続数の変動量ΔＡに対して閾値電圧Ｖｂの変動量はΔＶｔとなる。そのため，コンパレータ回路ＣＯＭＰ１及びＣＯＭＰ２の変動直線の傾きは等しくなる。
【０１０３】
このようにして，コンパレータ３０の補正回路は，コンパレータ回路ごとにコモン電圧Ｖｃｍを補正コモン電圧Ｖｃｍｃに制御して，それぞれの変動直線の傾きを等しくする。
【０１０４】
補正動作完了後，コンパレータ３０は，コンパレータ回路ＣＯＭＰ１には補正コモン電圧Ｖｃｍｃ１＝５５０ｍＶ，コンパレータ回路ＣＯＭＰ２には補正コモン電圧Ｖｃｍｃ２＝５２５ｍＶを使用するよう，コモン電圧生成回路３３に制御信号ＣＯＮＴ１２を出力する。またコンパレータ３０は，各コンパレータ回路の閾値電圧Ｖｂが所望の電圧となるように，制御信号ＣＰａ１１〜ＣＰａ１ｍ，ＣＮａ１１〜ＣＮａ１ｍ，ＣＰａ２１〜ＣＰａ２ｍ，ＣＮａ２１〜ＣＮａ２ｍを生成し，各コンパレータ回路のスイッチＳＰ１〜ＳＰｍ，ＳＮ１〜ＳＮｍのオン・オフを制御する。その結果，各コンパレータ回路の可変容量の容量値が，それぞれの所望の閾値電圧になるように補正される。そして，補正されたコンパレータ回路ＣＯＭＰ１及びＣＯＭＰ２は，例えば図１のフラッシュ型ＡＤコンバータ１０等に用いられる。すなわち，補正動作が完了したコンパレータ回路ＣＯＭＰ１及びＣＯＭＰ２を図１のフラッシュ型ＡＤコンバータ１０等に用いる場合には，以下のように制御する。補正動作完了後の補正コモン電圧及び各コンパレータ回路のスイッチＳＰ１〜ＳＰｍ，ＳＮ１〜ＳＮｍの制御信号ＣＰａ１１〜ＣＰａ１ｍ，ＣＮａ１１〜ＣＮａ１ｍ，ＣＰａ２１〜ＣＰａ２ｍ，ＣＮａ２１〜ＣＮａ２ｍの出力を維持した状態で、図１１に記載されている差動電圧生成回路の出力信号に代えて，例えば，スイッチ回路（図示しない）などを使用して，外部からの入力信号を入力して用いることで，図１のフラッシュ型ＡＤコンバータ１０等に使用できることになる。
【０１０５】
次に，図１２の補正動作の具体例として，図１６〜図２０を用いて，コンパレータ回路ＣＯＭＰ１に対するコンパレータ３０の補正動作について説明する。
【０１０６】
図１６は，第１の実施の形態におけるコンパレータの補正動作の具体例を示すフローチャートである。図１７は，第１の実施の形態における制御信号ＣＯＮＴ１２に対してコモン電圧生成回路が生成するコモン電圧を示す図である。
【０１０７】
図１６は，コンパレータ回路ＣＯＭＰ１が可変容量を出力端子ＯＰ側及びＯＮ側に３２個ずつ（ｍ＝３２）有する場合のコンパレータの補正動作フローチャートである。また，図１６では，基準値ΔＡを可変容量総数の半分の１６個（＝ｍ／２）とする。コモン電圧生成回路は，図１７のように，補正回路３２の制御信号ＣＯＮＴ１２に基づいて，３２種類のコモン電圧Ｖｃｍを生成することができる。
【０１０８】
補正回路３２は実行回数ｎを初期値を０に設定してから，ステップＳ２１の後，ステップＳ２２〜Ｓ２７を５回繰り返して実行し（ｎ＝０〜４），コモン電圧Ｖｃｍを補正コモン電圧Ｖｃｍｃに制御する。なお，実行回数を５回としたのは，後述するように，補正回路３２がコモン電圧Ｖｃｍの電圧値をバイナリ検索法で増加又は減少するように変更しながら，接続数ａ１及びａ２の差が基準値ΔＡ＝１６となるか否かの判定を行うからである。
【０１０９】
まず，補正回路３２は，初期値としてコモン電圧設定値「１６」を示す制御信号ＣＯＮＴ１２をコモン電圧生成回路３３に出力する（図１６のステップＳ２１）。ここで，図１７に示すように，コモン電圧設定値「１６」を示す制御信号ＣＯＮＴ１２は，コモン電圧Ｖｃｍの可変範囲の中央の値６００ｍＶに対応する。これにより，コモン電圧生成回路３３は，コモン電圧設定値「１６」を示す制御信号ＣＯＮＴ１２に基づいて，６００ｍＶのコモン電圧を生成する。
【０１１０】
次に，補正回路３２は，閾値電圧Ｖｂが第１の電圧差となる可変容量の接続数ａ１を検出する（図１６のステップＳ２２）。具体的には，補正回路３２は，図１８の動作を行う。
【０１１１】
図１８は，第１の実施の形態における所定の閾値電圧に対する可変容量の接続数の検出動作を示すフローチャートである。補正回路３２は実行回数ｉを初期値０に設定してから，ステップＳ３１の後，ステップＳ３２〜Ｓ３５を６回繰り返して実行し（ｉ＝０〜５），閾値電圧Ｖｂが第１の電圧差となる可変容量の接続数ａ１を検出する。なお，実行回数を６回としたのは，後述するように，補正回路３２が可変容量の接続数をバイナリ検索法で増加又は減少するように変更しながら，出力電圧ＶＯＰの電位レベルの判定を行うからである。
【０１１２】
まず，補正回路３２は，コンパレータ回路ＣＯＭＰ１に制御信号ＣＰａ１１〜ＣＰａ１ｍ，ＣＮａ１１〜ＣＮａ１ｍを出力し，出力端子ＯＰ及びＯＮに接続する可変容量を０個に制御する（図１８のステップＳ３１）。すなわち，補正回路３２は，可変容量を制御可能な接続数の中央値に制御する。
【０１１３】
そして，補正回路３２は，上述の図１６のステップＳ２１で設定した６００ｍＶのコモン電圧Ｖｃｍを維持して，上述の図１２のステップＳ１１と同様の動作を行い，出力電圧ＶＯＰの電位レベルがＬレベルか否か判定する（図１８のステップＳ３２）。
【０１１４】
出力電圧ＶＯＰがＬレベルである場合（図１８のステップＳ３２のＹｅｓ），補正回路３２は，可変容量の接続数をＸ１だけ増やした数（接続数＝０＋Ｘ１）だけ，コンパレータ回路ＣＯＭＰ１に可変容量を接続する（図１８のステップＳ３３）。一方，出力電圧ＶＯＰがＬレベルでない場合（図１８のステップＳ３２のＮｏ），補正回路３２は，可変容量の接続数をＸ２（接続数＝０−Ｘ２）だけ減らす（図１８のステップＳ３４）。Ｘ１及びＸ２の具体的な数は図１９に示される。
【０１１５】
図１９は，第１の実施の形態における実行回数ごとの可変容量の接続数の増減値を示す図である。例えば，実行回数ｉ＝０で出力電圧ＶＯＰがＬレベルである場合（図１８のステップＳ３２のＹｅｓ），補正回路３２は，可変容量の接続数を０＋１６＝１６個にする（図１８のステップＳ３３）。すなわち，出力端子ＯＰに１６個の可変容量が接続する。一方，実行回数ｉ＝０で出力電圧ＶＯＰがＬレベルでない場合（図１８のステップＳ３２のＮｏ），補正回路３２は，可変容量の接続数を０−１６＝−１６個にする（図１８のステップＳ３４）。すなわち，出力端子ＯＮに１６個の可変容量が接続する。
【０１１６】
図１８に戻り，ステップＳ３３又はＳ３４の後，実行回数ｉ＝０の場合（図１８のステップＳ３５のＮｏ），補正回路３２は，実行回数ｉに１を加算して実行回数ｉ＝１として（図１８のステップＳ３６）ステップＳ３２に戻り，可変容量の接続数をステップＳ３３又はＳ３４により変更した状態で出力電圧ＶＯＰの電位レベルの判定を行う。
【０１１７】
そして，例えば，実行回数ｉ＝０のときの出力電圧ＶＯＰがＬレベルで，かつ実行回数ｉ＝１のときの出力電圧ＶＯＰがＬレベルの場合（図１８のステップＳ３２のＹｅｓ），補正回路３２は，図１９よりＸ１＝８として，可変容量の接続数を１６＋８＝２４個にする（図１８のステップＳ３３）。すなわち，出力端子ＯＰに１６個の可変容量が接続する。また，  実行回数ｉ＝０のときの出力電圧ＶＯＰがＬレベルで，かつ実行回数ｉ＝１のときの出力電圧ＶＯＰがＨレベルの場合（図１８のステップＳ３２のＮｏ），補正回路３２は，図１９よりＸ２＝８として，可変容量の接続数を１６−８＝８個にする（図１８のステップＳ３４）。すなわち，出力端子ＯＰに８個の可変容量が接続する。
【０１１８】
このように，補正回路３２は，出力電圧ＶＯＰの電位レベルと実行回数ｉの値とに基づいて可変容量の接続数にＸ１を加算，又はＸ２を減算し，加算又は減算した接続数が正の値のときは出力端子ＯＰ側の可変容量をその値の数だけ接続し，負の値のときは出力端子ＯＮ側の可変容量をその値の数だけ接続する。これにより，補正回路３２は，コンパレータ回路ＣＯＭＰ１の可変容量の容量値を制御する。
【０１１９】
また，コンパレータ回路ＣＯＭＰ１は出力端子ＯＰ側，ＯＮ側それぞれに３２個ずつ可変容量を有するため，補正回路３２は，バイナリ検索により図１９のＸ１を加算，Ｘ２を減算する動作を６回繰り返すことにより，第１の電圧差の閾値電圧Ｖｂに対する可変容量の接続数ａ１を検出することができる。
【０１２０】
補正回路３２は，ステップＳ３２〜Ｓ３５を６回繰り返した後（図１８のステップＳ３５のＹＥＳ），その時点の可変容量の接続数を，閾値電圧Ｖｂが第１の電圧差となる可変容量の接続数ａ１として検出し，図１８の検出動作を終了する。
【０１２１】
図１６に戻り，ステップＳ２２の後，補正回路３２は，第２の電圧差の閾値電圧Ｖｂについて上述の図１８の検出動作を行い，閾値電圧Ｖｂが第２の電圧差となる可変容量の接続数ａ２として検出する（図１６のステップＳ２３）。
【０１２２】
そして，補正回路３２は接続数ａ１とａ２の差ａ２−ａ１が１５より大きいか否かの判定を行う（図１６のステップＳ２４）。
【０１２３】
ａ２−ａ１が１５より大きい場合（図１６のステップＳ２４のＹｅｓ），補正回路３２は，制御信号ＣＯＮＴ１２のコモン電圧設定値にＸ３を加算し，コモン電圧を増加するように変更する（図１６のステップＳ２５）。これにより，閾値電圧Ｖｂの変動直線の傾きが大きくなる。
【０１２４】
ａ２−ａ１が１５以下の場合（図１６のステップＳ２４のＮｏ），補正回路３２は，制御信号ＣＯＮＴ１２のコモン電圧設定値からＸ４を減算し，コモン電圧を減少するように変更する（図１６のステップＳ２６）。ここで，Ｘ３，Ｘ４の具体的な値は図２０に示される。これにより閾値電圧Ｖｂの変動直線の傾きが小さくなる。
【０１２５】
図２０は，第１の実施の形態における実行回数ごとのコモン電圧設定値の増減値の一例を示す図である。例えば，実行回数ｎ＝０でａ２−ａ１が１５より大きい場合（図１６のステップＳ２４のＹｅｓ），補正回路３２は，制御信号ＣＯＮＴ１２のコモン電圧設定値「１６」に「８」を加算したコモン電圧設定値「２４」の制御信号ＣＯＮＴ１２を出力する（図１６のステップＳ２５）。これにより，コモン電圧生成回路３３は６４５ｍＶのコモン電圧Ｖｃｍを生成する（図１７）。コモン電圧Ｖｃｍ＝６４５ｍＶは，図１７の右側の表に示すようにコモン電圧設定値「１６」と「３１」との中央値「２４」に対応する電圧である。
【０１２６】
一方，実行回数ｎ＝０でａ２−ａ１が１５以下の場合（図１６のステップＳ２４のＮｏ），補正回路３２は，制御信号ＣＯＮＴ１２のコモン電圧設定値「１６」に「８」を減算したコモン電圧設定値「８」の制御信号ＣＯＮＴ１２を出力する（図１６のステップＳ２６）。これにより，コモン電圧生成回路３３は５６０ｍＶのコモン電圧Ｖｃｍを生成する（図１７）。コモン電圧Ｖｃｍ＝５６０ｍＶは，図１７の左側の表に示すようにコモン電圧設定値「０」と「１５」との中央値「８」に対応する電圧である。
【０１２７】
図１６に戻り，ステップＳ２５又はＳ２６の後，実行回数ｎ＝０の場合（図１６のステップＳ２７のＮｏ），補正回路３２は，実行回数ｎに１を加算して実行回数ｎ＝１として（図１６のステップＳ２８）ステップＳ２２に戻り，コモン電圧ＶｃｍをステップＳ２５又はＳ２６で変更した状態でステップＳ２２〜Ｓ２４を行う。
【０１２８】
そして，例えばステップＳ２４において，実行回数ｎ＝０のときのａ２−ａ１が１５より大きく，かつ実行回数ｎ＝１のときのａ２−ａ１が１５より大きい場合（図１６のステップＳ２４のＹｅｓ），補正回路３２は，制御信号ＣＯＮＴ１２のコモン電圧設定値「２４」に「４」を加算したコモン電圧設定「２８」の制御信号ＣＯＮＴ１２を出力する（図１６のステップＳ２５）。これにより，コモン電圧生成回路３３は６６５ｍＶのコモン電圧Ｖｃｍを生成する（図１７）。一方，実行回数ｎ＝０のときのａ２−ａ１が１５より大きく，かつ実行回数ｎ＝１のときのａ２−ａ１が１５以下の場合（図１６のステップＳ２４のＮｏ），補正回路３２は，制御信号ＣＯＮＴ１２のコモン電圧設定値「２４」に「４」を減算したコモン電圧設定値「２０」の制御信号ＣＯＮＴ１２を出力する（図１６のステップＳ２６）。これにより，コモン電圧生成回路３３は６２５ｍＶのコモン電圧Ｖｃｍを生成する（図１７）。
【０１２９】
このように，補正回路３２は，ａ２−ａ１と実行回数ｎの値とに基づいて制御信号ＣＯＮＴ１２のコモン電圧設定値にＸ３を加算，又はＸ４を減算し，コモン電圧生成回路３３が生成するコモン電圧Ｖｃｍを制御する。
【０１３０】
そして，コモン電圧生成回路３３は制御信号ＣＯＮＴ１２に基づいて３２種類のコモン電圧Ｖｃｍを生成することができるため，補正回路３２は，図２０のＸ３を加算，Ｘ４を減算する動作を５回繰り返すことにより，ａ２−ａ１が基準値ΔＡ＝１６となるコモン電圧Ｖｃｍにコモン電圧Ｖｃｍを制御することができる。
【０１３１】
補正回路３２は，ステップＳ２２〜Ｓ２７を５回繰り返した後（図１６のステップＳ２７のＹｅｓ），その時点のコモン電圧Ｖｃｍを補正コモン電圧Ｖｃｍｃとして制御し，図１６の補正動作を終了する。
【０１３２】
以上のように，第１の実施の形態では，補正回路３２は，まず，入力電圧ＶＩＰとＶＩＮとの電圧差Ｖｄを第１の電圧差Ｖｔ１に制御し，コンパレータ回路の可変容量の容量値を制御して，コンパレータ回路の出力電圧ＶＯＰの電位レベルが反転する第１の容量値Ｃｔ１を検出する（第１の補正動作）。次に，補正回路３２は，入力電圧ＶＩＰとＶＩＮとの電圧差Ｖｄを第２の電圧差Ｖｔ２（＝Ｖｔ１＋ΔＶｔ）に制御し，コンパレータ回路の可変容量の容量値を制御して，コンパレータ回路の出力電圧ＶＯＰの電位レベルが反転する第２の容量値Ｃｔ２を検出する（第２の補正動作）。そして，補正回路３２は，第１の容量値と第２の容量値との差が所定容量値差ΔＣｔとなる補正コモン電圧Ｖｃｍｃにコモン電圧Ｖｃｍを制御するまで，第１及び第２の補正動作を繰り返す。補正回路３２は，コンパレータ回路ごとにコモン電圧Ｖｃｍの制御を行うことで，各コンパレータ回路の閾値電圧の変動直線の傾きを互いに一致させることができる。そして，補正されたコンパレータ回路ＣＯＭＰ１及びＣＯＭＰ２は，例えば図１のフラッシュ型ＡＤコンバータ１０等に用いられる。
【０１３３】
［第２の実施の形態］
第２の実施の形態では，図１１のコンパレータ３０は，コンパレータ回路ＣＯＭＰ１及びＣＯＭＰ２それぞれについて図２１に示す補正動作を行い，閾値電圧Ｖｂが第１の電圧差となるような出力端子に接続する可変容量の容量値Ｃｔ１（第１の容量値）と，閾値電圧Ｖｂが第２の電圧差となるような出力端子に接続する可変容量の容量値Ｃｔ２（第２の容量値）との差が所定容量値差ΔＣｔとなる補正コモン電圧Ｖｃｍｃにコモン電圧Ｖｃｍを制御する。
【０１３４】
図２１は，第２の実施の形態における補正動作のフローチャートを示す図である。図２２は，第２の実施の形態における補正動作の一例を示す図である。
【０１３５】
初めに，コンパレータ３０の補正回路３２はコモン電圧Ｖｃｍを初期値に設定してから，図１２のステップＳ１１と同様にして，コンパレータ回路ＣＯＭＰ１の閾値電圧Ｖｂが第１の電圧差Ｖｔ１となる可変容量の容量値Ｃｔ１を求める（図２１のステップＳ４１（第１の補正動作））。例えば，図２２のように，補正回路３２は，初期値６００ｍＶのコモン電圧が供給されているコンパレータ回路ＣＯＭＰ１の閾値電圧Ｖｂが０Ｖ（第１の電圧差Ｖｔ１）となるときの可変容量の接続数ａ１を検出する。
【０１３６】
次に，補正回路３２は，コンパレータ回路ＣＯＭＰ１の可変容量の容量値を，ステップＳ４１で検出した第１の容量値Ｃｔ１に所定容量値差ΔＣｔを加算した容量値Ｃｔ１＋ΔＣｔ＝Ｃｔ２にし，閾値電圧Ｖｂを検出する（図２１のステップＳ４２（第２の補正動作））。具体的には，補正回路３２は，コンパレータ回路ＣＯＭＰ１の出力端子に接続する可変容量の数を，ステップＳ４１で検出した接続数ａ１に基準値ΔＡを加算したａ１＋ΔＡ＝ａ２にする。そして補正回路３２は，コンパレータ回路ＣＯＭＰ１の入力電圧ＶＩＰ１とＶＩＮ１との電圧差が第２の電圧差Ｖｔ２となるよう，差動電圧生成回路３５の差動電圧Ｖｄを制御して，出力電圧ＶＯＰに基づき，閾値電圧Ｖｂが第２の電圧差Ｖｔ２であるか否かを判定する。
【０１３７】
ステップＳ４２の後，補正回路３２は可変容量の容量値がＣｔ２のときの閾値電圧Ｖｂが第２の電圧差Ｖｔ２であるか否かを判定する（図２１のステップＳ４３）。具体的には図２２のように，補正回路３２は，可変容量の接続数ａ２のときの閾値電圧Ｖｂが第２の電圧差Ｖｔ２であるか否かを判定する。
【０１３８】
そして，閾値電圧Ｖｂが第２の電圧差Ｖｔ２であるとき（図２１のステップＳ４３のＹｅｓ），補正回路３２はステップＳ４１及びＳ４２で使用したコモン電圧Ｖｃｍを補正コモン電圧Ｖｃｍｃとして制御する（図２１のステップＳ４５）。
【０１３９】
閾値電圧Ｖｂが第２の電圧差Ｖｔ２ではないとき（図２１のステップＳ４３のＮｏ），補正回路３２は，出力電圧ＶＯＰの電圧に基づきコモン電圧Ｖｃｍの電圧を増加又は減少するように変更する（図２１のステップＳ４４）。そして，補正回路３２はステップＳ４１〜Ｓ４３を再び行う。
【０１４０】
例えば，図２２では，可変容量の接続数ａ２の閾値電圧Ｖｂは第２の電圧差Ｖｔ２よりも低いため，ステップＳ４２で補正回路３２が検出する出力電圧ＶＯＰの出力はＬレベルとなる。そこで，補正回路３２は，コモン電圧Ｖｃｍを６００ｍＶより高い電圧に制御し（図２１のステップＳ４４）。これにより，閾値電圧の変動直線の傾きは大きくなる。そして，補正回路３２はステップＳ４１〜Ｓ４３を再び行う。
【０１４１】
このように，補正回路３２は，可変容量の容量値がＣｔ２のときの閾値電圧Ｖｂが第２の電圧差Ｖｔ２となる補正コモン電圧Ｖｃｍｃにコモン電圧Ｖｃｍを制御するまで（図２１のステップＳ４３のＹｅｓ），すなわちコモン電圧Ｖｃｍの変化に対して出力電圧ＶＯＰの出力レベルがちょうど切り替わる補正コモン電圧Ｖｃｍｃにコモン電圧Ｖｃｍを制御するまで，ステップＳ４１〜Ｓ４４を繰り返し行う。
【０１４２】
補正回路３２は，このようにしてコンパレータ回路ＣＯＭＰ１のコモン電圧Ｖｃｍを制御した後，コンパレータ回路ＣＯＭＰ２に対しても同様にしてステップＳ４１〜Ｓ４５の補正動作を行い，補正コモン電圧Ｖｃｍｃにコモン電圧Ｖｃｍを制御する。そして，両コンパレータ回路ＣＯＭＰ１，ＣＯＭＰ２に対して，それぞれ制御したコモン電圧Ｖｃｍに補正する（図２１のステップＳ４５）。
【０１４３】
なお，上記の補正コモン電圧の制御については，各コンパレータ回路における可変容量の容量値と閾値電圧Ｖｂの比例関係を示す変動直線の傾きが互いに一致するようにコモン電圧をそれぞれ制御すれば良い。したがって，コンパレータ回路ＣＯＭＰ２の補正動作で使用する第１の電圧差及び第２の電圧差の電圧値は，コンパレータ回路ＣＯＭＰ１の補正動作で使用した電圧値と異なってもよい。ただし，所定電圧値差ΔＶｔ及び所定容量値差ΔＣｔ（基準値ΔＡ）は，コンパレータ回路ＣＯＭＰ１の補正動作で使用した値と等しくする。
【０１４４】
次に図２１の補正動作の具体例として，図２３，図２４を用いてコンパレータ回路ＣＯＭＰ１に対するコンパレータ３０の補正動作について説明する。
【０１４５】
図２３は，第２の実施の形態におけるコンパレータの補正動作の具体例を示すフローチャートである。図２４は，第２の実施の形態におけるコモン電圧設定値の増減値の一例を示す図である。
【０１４６】
図２３は，コンパレータ回路ＣＯＭＰ１が可変容量を出力端子ＯＰ側及びＯＮ側にｍ個ずつ有する場合のコンパレータの補正動作フローチャートである。図２３では，コモン電圧生成回路は，第１の実施の形態と同様，図１７のように補正回路３２の制御信号ＣＯＮＴ１２に基づいて，３２種類のコモン電圧Ｖｃｍを生成することができる。
【０１４７】
補正回路３２は実行回数ｎを初期値０に設定してから，ステップＳ５１の後，ステップＳ５２〜Ｓ５７を５回繰り返して実行し（ｎ＝０〜４），補正コモン電圧Ｖｃｍｃにコモン電圧Ｖｃｍを制御する。なお，実行回数を５回としたのは，後述するように，補正回路３２がコモン電圧Ｖｃｍの電圧値をバイナリ検索法で増加又は減少するように変更しながら，可変容量の接続数ａ２の閾値電圧Ｖｂが第２の電圧差Ｖｔ２となる補正コモン電圧Ｖｃｍｃにコモン電圧Ｖｃｍを制御するからである。
【０１４８】
まず，補正回路３２は，初期値としてコモン電圧設定値「１６」を示す制御信号ＣＯＮＴ１２をコモン電圧生成回路３３に出力する（図２３のステップＳ５１）。ここで，図１７に示すように，コモン電圧設定値「１６」を示す制御信号ＣＯＮＴ１２は，コモン電圧Ｖｃｍの可変範囲の中央の値６００ｍＶのコモン電圧Ｖｃｍに対応する。これにより，コモン電圧生成回路３３は，コモン電圧設定値「１６」を示す制御信号ＣＯＮＴ１２に基づいて，６００ｍＶのコモン電圧を生成する。
【０１４９】
次に，補正回路３２は，第１の実施の形態の図１８と同様にして，閾値電圧Ｖｂが第１の電圧差となる可変容量の接続数ａ１を検出する（図２３のステップＳ５２）。
【０１５０】
ステップＳ５２の後，補正回路３２は，可変容量の接続数をステップＳ５２で検出した接続数ａ１に基準値ΔＡを加算したａ１＋ΔＡ＝ａ２にし，それとともに差動電圧Ｖｄを第２の電圧差Ｖｔ２に制御する（図２３のステップＳ５３）。そして，補正回路３２は，出力電圧ＶＯＰを検出し，出力電圧ＶＯＰの電位レベルがＬレベルか否かを判定する（図２３のステップＳ５４）。
【０１５１】
出力電圧ＶＯＰの電位レベルがＬレベルである場合（図２３のステップＳ５４のＹｅｓ），可変容量の接続数ａ２の閾値電圧Ｖｂが第２の電圧差Ｖｔ２よりも低いため，補正回路３２は，制御信号ＣＯＮＴ１２のコモン電圧設定値にＸ３を加算し，コモン電圧を増加するように変更する（図２３のステップＳ５５）。これにより，閾値電圧Ｖｂの変動直線の傾きが大きくなる。
【０１５２】
出力電圧ＶＯＰの電位レベルがＬレベルではない場合（図２３のステップＳ５４のＮｏ），可変容量の接続数ａ２の閾値電圧Ｖｂが第２の電圧差Ｖｔ２よりも高いため，補正回路３２は，制御信号ＣＯＮＴ１２のコモン電圧設定値にＸ４を減算し，コモン電圧を減少するように変更する（図２３のステップＳ５６）。これにより閾値電圧Ｖｂの変動直線の傾きが小さくなる。
【０１５３】
例えば，実行回数ｎ＝０で出力電圧ＶＯＰの電位レベルがＬレベルである場合（図２３のステップＳ５４のＹｅｓ），補正回路３２は，図２４のように制御信号ＣＯＮＴ１２のコモン電圧設定値「１６」に「８」を加算したコモン電圧設定値「２４」の制御信号ＣＯＮＴ１２を出力する（図２３のステップＳ５５）。これにより，コモン電圧生成回路３３は６４５ｍＶのコモン電圧Ｖｃｍを生成する（図１７）。
【０１５４】
一方，実行回数ｎ＝０で出力電圧ＶＯＰの電位レベルがＬレベルではない場合（図２３のステップＳ５４のＮｏ），補正回路３２は，図２４のように制御信号ＣＯＮＴ１２のコモン電圧設定値「１６」に「８」を減算したコモン電圧設定値「８」の制御信号ＣＯＮＴ１２を出力する（図２３のステップＳ５６）。これにより，コモン電圧生成回路３３は５６０ｍＶのコモン電圧Ｖｃｍを生成する（図１７）。
【０１５５】
ステップＳ５５又はＳ５６の後，実行回数ｎ＝０の場合（図２３のステップＳ５７のＮｏ），補正回路３２は，実行回数ｎに１を加算して実行回数ｎ＝１として（図２３のステップＳ５８）ステップＳ５２に戻り，コモン電圧ＶｃｍをステップＳ５５又はＳ５６で変更した状態でステップＳ５２〜Ｓ５４を行う。
【０１５６】
このように，補正回路３２は，出力電圧ＶＯＰの電位レベルと実行回数ｎの値とに基づいて，制御信号ＣＯＮＴ１２のコモン電圧設定値からＸ３を加算，又はＸ４を減算し，コモン電圧生成回路３３が生成するコモン電圧Ｖｃｍを制御する。
【０１５７】
そして，コモン電圧生成回路３３は制御信号ＣＯＮＴ１２に基づいて３２種類のコモン電圧Ｖｃｍを生成することができるため，補正回路３２は，図２４のＸ３を加算，Ｘ４を減算する動作を５回繰り返すことにより，可変容量の接続数ａ２のときの閾値電圧Ｖｂが第２の電圧差となる補正コモン電圧Ｖｃｍｃにコモン電圧Ｖｃｍを制御することができる。
【０１５８】
補正回路３２は，ステップＳ５２〜Ｓ５７を５回繰り返した後（図１６のステップＳ２７のＹｅｓ），その時点のコモン電圧Ｖｃｍを補正コモン電圧Ｖｃｍｃとして制御し，図１６の補正動作を終了する。この制御されたコモン電圧Ｖｃｍは，制御可能な３２種類のコモン電圧のうち，出力電圧ＶＯＰがＨレベルとＬレベル間に切り替わるコモン電圧に最も近い電圧である。
【０１５９】
以上のように，第２の実施の形態では，補正回路３２は，まず，入力電圧ＶＩＰとＶＩＮとの電圧差Ｖｄを第１の電圧差Ｖｔ１に制御し，コンパレータ回路の可変容量の容量値を制御して，コンパレータ回路の電位レベルが反転する第１の容量値Ｃｔ１を検出する（第１の補正動作）。次に，補正回路３２は，第１の容量値Ｃｔ１に所定容量値差ΔＣｔを加算した第２の容量値Ｃｔ２に可変容量を制御し，入力電圧ＶＩＰとＶＩＮとの電圧差Ｖｄを第２の電圧差Ｖｔ２にして出力電圧ＶＯＰの電位レベルの判定を行う（第２の補正動作）。そして，補正回路３２は，出力電圧ＶＯＰの電位レベルが反転するコモン電圧Ｖｃｍを補正コモン電圧Ｖｃｍｃとして制御するまで，第１及び第２の補正動作を繰り返す。
【０１６０】
なお，第２の実施の形態では，補正回路３２はコンパレータ回路ＣＯＭＰ１及びＣＯＭP２に対して図２１の補正動作を行ったが，一方のコンパレータ回路に対して第１の実施の形態の図１２の補正動作をし，他方のコンパレータ回路に対して図２１の補正動作を行ってもよい。ただし，所定電圧値差ΔＶｔ及び所定容量値差ΔＣｔ（基準値ΔＡ）は，図１２と図２１とで等しくする。そして，第１の実施の形態と同様に，補正されたコンパレータ回路ＣＯＭＰ１及びＣＯＭＰ２は，例えば図１のフラッシュ型ＡＤコンバータ１０等に用いられる。
【０１６１】
以上の実施の形態をまとめると，次の付記のとおりである。
【０１６２】
（付記１）
第１の入力端子に入力される第１の入力電圧と第２の入力端子に入力される第２の入力電圧との電圧差に基づいた出力電圧を出力端子に出力するコンパレータ回路と，
前記出力端子に接続される可変容量と，
前記第１及び第２の入力電圧に加算するコモン電圧を生成し、前記コモン電圧に応じて生成される差動電圧を有する前記第１及び第２の入力電圧を生成する入力電圧制御回路と，
前記可変容量を制御し，前記コモン電圧を制御する補正回路とを有し，
前記補正回路は，前記電圧差が第１の電圧差と等しいときに前記出力電圧の電位が反転するように前記可変容量の第１の容量値を制御し，前記第１の電圧差に対して所定電圧値の差を有する第２の電圧値と前記電圧差が等しいときに前記出力電圧の電位が反転するように前記可変容量の第２の容量値を制御し、当該第１の容量値と当該第２の容量値との差が所定容量値となるように前記コモン電圧を制御することを特徴とするコンパレータ。
【０１６３】
（付記２）
付記１において，
前記補正回路は，
前記可変容量を，前記所定電圧値の差を有する前記第１及び第２の電圧差と前記所定容量値の差を有する前記第１及び第２の容量値とに基づいて所望の閾値電圧に対応する容量値に設定することを特徴とするコンパレータ。
【０１６４】
（付記３）
付記１において，
前記補正回路は，
前記電圧差を前記第１の電圧差に制御し，前記可変容量の容量値を可変制御して前記出力電圧の電位が反転するように前記第１の容量値を制御する第１の補正動作と，
前記電圧差を前記第２の電圧差に制御し，前記可変容量の容量値を可変制御して前記出力電圧の電位が反転するように前記第２の容量値を制御する第２の補正動作とを行い，
前記第１の容量値と前記第２の容量値との差が前記所定容量値となるまで前記コモン電圧を変更して前記第１及び前記第２の補正動作を繰り返すことを特徴とするコンパレータ。
【０１６５】
（付記４）
付記１において，
前記補正回路は，
前記電圧差を前記第１の電圧差に制御し，前記可変容量の容量値を可変制御して前記出力電圧の電位が反転するように前記第１の容量値を制御する第１の補正動作と，
前記第１の容量値に前記所定容量値を加算した第２の容量値に前記可変容量を制御し，前記電圧差が第２の電圧差で前記出力電圧の電位が反転するか否かを検出する第２の補正動作とを行い，
前記第２の補正動作において前記出力電圧の電位が反転するまで前記コモン電圧を変更して前記第１及び第２の補正動作を繰り返すことを特徴とするコンパレータ。
【０１６６】
（付記５）
付記１乃至４のいずれか１項のコンパレータにおいて，
前記入力電圧制御回路は，
前記第１及び第２の入力端子にそれぞれ接続する一対の入力コンデンサと，
前記一対の入力コンデンサに前記コモン電圧を供給するコモン電圧生成回路とを有し，
前記コモン電圧に対応する電位に正負の電圧差をつけて前記第１及び第２の入力電圧を生成することを特徴とするコンパレータ。
【０１６７】
（付記６）
複数の付記１記載のコンパレータを有し，
前記複数のコンパレータはそれぞれ，前記所定電圧値と前記所定容量値との比である傾きが互いに同一になるように，前記コモン電圧を設定され，前記可変容量を，前記所定電圧値の差を有する前記第１及び第２の電圧差と前記所定容量値を有する前記第１及び第２の容量値とに基づいて所望の閾値電圧に対応する容量値に設定されることを特徴とするＡＤコンバータ。
【０１６８】
（付記７）
付記１において，
前記所定容量値の差は，前記補正回路が可変制御できる可変容量の容量値の最大値の半分であることを特徴とするコンパレータ。
【０１６９】
（付記８）
付記４において，
前記補正回路は，前記第１の容量値と前記第２の容量値との差に基づいて，前記コモン電圧を増加又は減少するように変更することを特徴とするコンパレータ。
【０１７０】
（付記９）
付記４において，
前記補正回路は，前記第１及び第２の補正動作において，前記出力電圧の電位に基づいて前記可変容量の容量値を増加又は減少するように変更し，前記第１及び第２の容量値を制御することを特徴とするコンパレータ。
【０１７１】
（付記１０）
付記５において，
前記補正回路は，前記出力電圧の電位に基づいて，前記コモン電圧を増加又は減少するように変更することを特徴とするコンパレータ。
【０１７２】
（付記１１）
付記５において，
前記補正回路は，前記出力電圧の電位に基づいて前記可変容量の容量値を増加又は減少するように変更し，前記第１の容量値を制御することを特徴とするコンパレータ。
【０１７３】
（付記１２）
出力端子が可変容量に接続し，第１の入力端子に入力される第１の入力電圧と第２の入力端子に入力される第２の入力電圧との電圧差に基づいた出力電圧を出力端子に出力するコンパレータ回路の補正方法であって，
前記可変容量の容量値を制御する可変容量制御工程と，
前記第１及び第２の入力電圧に加算されるコモン電圧を制御するコモン電圧制御工程と，
前記コモン電圧に応じて生成される差動電圧を有する前記第１及び第２の入力電圧を生成する入力電圧制御工程と，
前記電圧差が第１の電圧差と等しいときに前記出力電圧の電位が反転するように前記可変容量の第１の容量値を制御し，前記第１の電圧差に対して所定電圧値の差を有する第２の電圧差と前記電圧差が等しいときに前記出力電圧の電位が反転するように前記可変容量の第２の容量値を制御し、当該第１の容量値と当該第２の容量値との差が所定容量値となるように前記コモン電圧を制御するコモン電圧制御工程とを有する補正方法。
【０１７４】
（付記１３）
付記１２において，
前記電圧差を前記第１の電圧差に制御し，前記可変容量の容量値を可変制御して前記出力電圧の電位が反転するように前記第１の容量値を制御する第１の補正工程と，
前記電圧差を前記第２の電圧差に制御し，前記可変容量の容量値を可変制御して前記出力電圧の電位が反転するように前記第２の容量値を制御する第２の補正工程とを有し，
前記第１の容量値と前記第２の容量値との差が前記所定容量値となるまで前記コモン電圧を変更して前記第１及び前記第２の補正工程を繰り返す補正方法。
【０１７５】
（付記１４）
付記１２において，
前記電圧差を前記第１の電圧差に制御し，前記可変容量の容量値を可変制御して前記出力電圧の電位が反転するように前記第１の容量値を制御する第１の補正工程と，
前記第１の容量値に前記所定容量値を加算した第２の容量値に前記可変容量を制御し，前記電圧差が第２の電圧差で前記出力電圧の電位が反転するか否かを検出する第２の補正工程とを有し，
前記第２の補正動作において前記出力電圧の電位が反転するまで前記コモン電圧を変更して前記第１及び第２の補正工程を繰り返す補正方法。
【０１７６】
（付記１５）
付記１２において，
前記可変容量を，前記所定電圧値の差を有する前記第１及び第２の電圧差と前記所定容量値の差を有する前記第１及び第２の容量値とに基づいて所望の閾値電圧に対応する容量値に設定する閾値電圧設定工程を有する補正方法。
【符号の説明】
【０１７７】
ａ１，ａ２  ：可変容量の接続数
ＣＯＮＴ１〜ＣＯＮＴ３，ＣＯＮＴ１１〜ＣＯＮＴ１３  ：制御信号
ＣＯＭＰ，ＣＯＭＰ１，ＣＯＭＰ２，ＣＯＭＰ３  ：コンパレータ回路
ＯＰ，ＯＮ  ：出力端子
ＣＰ１〜ＣＰｍ，ＣＮ１〜ＣＮｍ  ：可変容量
ＣＰａ１〜ＣＰａｍ，ＣＮａ１〜ＣＮａｍ  ：スイッチ制御信号
ＣＰａ１１〜ＣＰａ１ｍ，ＣＮａ１１〜ＣＮａ１ｍ，ＣＰａ２１〜ＣＰａ２ｍ，ＣＮａ２１〜ＣＮａ２ｍ  ：スイッチ制御信号
Ｃｔ１  ：第１の容量値
Ｃｔ２  ：第２の容量値
ΔＣｔ  ：所定容量値差
Ｃ１，Ｃ１１，Ｃ１２，Ｃ２，Ｃ２１，Ｃ２２  ：入力コンデンサ
Ｄ１〜Ｄ５  ：ノード
ＥＮ１  ：エンコーダ
ＧＮＤ  ：基準電圧
ｉ  ：可変容量の接続数検出動作の実行回数
ｍ  ：可変容量の最大接続可能数
ｎ  ：補正動作の実行回数
Ｎ１，Ｎ２，Ｎ３，Ｎ４  ：ＮＭＯＳトランジスタ
Ｐ１，Ｐ２  ：ＰＭＯＳトランジスタ
Ｓａ〜Ｓｅ，ＳＰ１〜ＳＰｍ，ＳＮ１〜ＳＮｍ，ＳＷ１〜ＳＷ６，ＳＷ１１〜ＳＷ２２  ：スイッチ
Ｘ１，Ｘ２  ：可変容量の接続数の増減値
Ｘ３，Ｘ４  ：コモン電圧設定値の増減値
Ｖｂ  ：閾値電圧
Ｖｃｍ    ：コモン電圧
Ｖｃｍｃ  ：補正コモン電圧
Ｖｄ  ：差動電圧
ＶＩＰ，ＶＩＮ  ：入力電圧
Ｖｏｆｆ１，Ｖｏｔｔ２  ：オフセット電圧
ＶＯＰ，ＶＯＰ１，ＶＯＰ２．ＶＯＰ３  ：出力電圧
ＶＯＵＴ  ：デジタル出力信号
Ｖｔ１  ：第１の電圧差
Ｖｔ２  ：第２の電圧差
ΔＶｔ  ：所定電圧値差
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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