(57)【要約】【課題】マニホールドの液体噴射面側の変形を抑制することができると共に小型化することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。【解決手段】液体を噴射するノズル開口２１に連通する個別流路と、複数の個別流路が連通するマニホールド１００と、を具備し、マニホールド１００の液体噴射面側の面が封止部材２０で封止された液体噴射ヘッドＩであって、前記マニホールド１００の前記封止部材２０側には、リブ１９が設けられている。【選択図】図３
2014193542.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を噴射するノズル開口に連通する個別流路と、複数の個別流路が連通するマニホールドと、を具備し、マニホールドの液体噴射面側の面が封止部材で封止された液体噴射ヘッドであって、
前記マニホールドの前記封止部材側には、リブが設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
前記リブは、前記ノズル開口の並設方向である第１の方向に直交する第２の方向に沿って延設されていると共に、当該リブは、前記第１の方向に複数並設されていることを特徴とする請求項１記載の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
前記マニホールドが、前記封止部材側に設けられた第１マニホールド部と、前記封止部材とは反対側に設けられた第２マニホールド部と、を具備し、前記第１マニホールド部の前記封止部材とは反対側の面が梁部によって画成されており、
前記リブが前記第１マニホールド部に前記封止部材から前記梁部に至る高さで設けられていることを特徴とする請求項２記載の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
前記封止部材が、前記ノズル開口が形成されたノズルプレートであることを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項５】
請求項１〜３の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
【請求項６】
前記液体噴射ヘッドの前記液体噴射面に当接するキャップ部材をさらに具備し、当該キャップ部材が、前記液体噴射ヘッドの前記マニホールドが形成された領域に当接する大きさを有することを特徴とする請求項５記載の液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズル開口から液体を噴射する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関し、特に液体としてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射ヘッドは、ノズル開口に連通する個別流路と、複数の個別流路が連通するマニホールドと、を備え、マニホールドからノズル開口に至るまで液体を充填した後、個別流路に設けられた圧電アクチュエーター等の圧力発生手段が個別流路内の液体に圧力変化を生じさせることでノズル開口から液体を噴射する。
【０００３】
このような液体噴射ヘッドでは、ノズル開口が開口する液体噴射面に吸引キャップを当接させて、吸引キャップを用いてノズル開口から個別流路及びマニホールド内のインクを外部に排出させるクリーニングが行われる。
【０００４】
しかしながら、液体噴射ヘッドのマニホールドが設けられた領域の液体噴射面にキャップ部材が当接すると、ノズルプレートなどのマニホールドの液体噴射面側を封止する封止部材が変形してしまうという問題がある。
【０００５】
このため、液体噴射面のマニホールドよりも外側にキャップ部材を当接させるようにした液体噴射ヘッドが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００６−１９８８１２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１のように、キャップ部材をマニホールドの外側の液体噴射面に当接させるようにした場合、キャップ部材が大型化してしまうと共に液体噴射ヘッドが大型化してしまうという問題がある。
【０００８】
本発明はこのような事情に鑑み、マニホールドの液体噴射面側の変形を抑制することができると共に小型化することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決する本発明の態様は、液体を噴射するノズル開口に連通する個別流路と、複数の個別流路が連通するマニホールドと、を具備し、マニホールドの液体噴射面側の面が封止部材で封止された液体噴射ヘッドであって、前記マニホールドの前記封止部材側には、リブが設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、封止部材をリブによって支持することができ、封止部材に外部から圧力が印加された際に、封止部材の変形を抑制することができる。したがって、吸引キャップをマニホールドが形成された領域に当接させることができ、マニホールドの外側に吸引キャップを当接させる領域が不要となって、小型化を図ることができる。
【００１０】
ここで、前記リブは、前記ノズル開口の並設方向である第１の方向に直交する第２の方向に沿って延設されていると共に、当該リブは、前記第１の方向に複数並設されていることが好ましい。これによれば、リブを第２の方向に沿って延設させることで、マニホールドと個別流路とが連通する領域近傍での液体の流線（速度ベクトル）を気泡排出方向と揃えて、気泡排出性を向上することができる。また、複数のリブによって封止部材の変形をさらに確実に抑制することができる。
【００１１】
また、前記マニホールドが、前記封止部材側に設けられた第１マニホールド部と、前記封止部材とは反対側に設けられた第２マニホールド部と、を具備し、前記第１マニホールド部の前記封止部材とは反対側の面が梁部によって画成されており、前記リブが前記第１マニホールド部に前記封止部材から前記梁部に至る高さで設けられていることが好ましい。これによれば、リブが梁部まで設けられていることで、封止部材がリブを介して梁部によって支持されるため、封止部材の変形をさらに確実に抑制することができる。
【００１２】
また、前記封止部材が、前記ノズル開口が形成されたノズルプレートであることが好ましい。これによれば、部品点数を減らしてコストを低減することができると共に、液体噴射ヘッドの高さを低くすることができる。
【００１３】
さらに、本発明の他の態様は、上記態様の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、液体の漏れを防止すると共に小型化した液体噴射装置を実現できる。
【００１４】
また、前記液体噴射ヘッドの前記液体噴射面に当接するキャップ部材をさらに具備し、当該キャップ部材が、前記液体噴射ヘッドの前記マニホールドが形成された領域に当接する大きさを有することが好ましい。これによれば、キャップ部材を小型化することができ、液体噴射装置を小型化することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの分解斜視図である。
【図２】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの平面図である。
【図３】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。
【図４】本発明の実施形態１に係る記録装置の概略図である。
【図５】本発明の実施形態１に係る記録装置の要部斜視図である。
【図６】本発明の実施形態１に係る記録ヘッド及び吸引キャップの断面図である。
【図７】本発明の他の実施形態に係る記録ヘッドの断面図である。
【図８】本発明の他の実施形態に係る記録ヘッドの断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドの一例を示すインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図であり、図２はインクジェット式記録ヘッドの平面図であり、図３は、図２のＡ−Ａ′線断面図及びＢ−Ｂ′線断面図である。
【００１７】
図示するように、インクジェット式記録ヘッドＩを構成する流路形成基板１０は、本実施形態では、第１流路形成基板１０ａと第２流路形成基板１０ｂとが積層されて構成されたものである。本実施形態では、流路形成基板１０を第１流路形成基板１０ａと第２流路形成基板１０ｂとして図示してあるが、これらは一体的に形成された１つの基板であってもよい。このような流路形成基板１０（第１流路形成基板１０ａ及び第２流路形成基板１０ｂ）は、例えば、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）や、ジルコニア（ＺｒＯ２）などのセラミックス板からなる。
【００１８】
このような流路形成基板１０（第１流路形成基板１０ａ）には、圧力発生室１２が同じ色のインクを吐出する複数のノズル開口２１が並設される方向に沿って並設されている。以降、この方向を圧力発生室１２の並設方向、又は第１の方向Ｘと称する。また、流路形成基板１０（第１流路形成基板１０ａ）には、圧力発生室１２が第１の方向Ｘに並設された列が複数列、本実施形態では、２列設けられている。この圧力発生室１２の列が列設された方向を、以降、第２の方向Ｙと称する。なお、本実施形態では、第１の方向Ｘに並設された一列の圧力発生室１２において、交互に第２の方向Ｙに若干ずらした位置に配置されている。
【００１９】
また、流路形成基板１０（第１流路形成基板１０ａ）の圧力発生室１２の第２の方向Ｙの一端側にはインク供給路１４と連通路１３とが設けられている。
【００２０】
インク供給路１４は、圧力発生室１２よりも第１の方向Ｘの幅が幅狭となるように設けられており、一定の流路抵抗を生じさせるものである。なお、本実施形態では、インク供給路１４の第１の方向Ｘの幅を狭めるようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、深さ方向（流路形成基板１０とノズルプレート２０との積層方向）を狭めるようにしてもよい。また、複数のインク供給路１４を設けることで、その開口の断面積を減少させるようにしてもよい。
【００２１】
連通路１３は、本実施形態では、第１の方向Ｘの幅が圧力発生室１２と略同じ幅で形成されている。すなわち、連通路１３の開口面積（第１の方向Ｘに沿った開口面積）が圧力発生室１２と同じ面積となっている。このような圧力発生室１２、連通路１３及びインク供給路１４が、隔壁によって区画されて第１の方向Ｘに複数配設されている。
【００２２】
また、流路形成基板１０の圧力発生室１２の第２の方向Ｙのインク供給路１４とは反対側には、流路形成基板１０（第２流路形成基板１０ｂ）を厚さ方向に貫通するノズル連通孔１５が設けられている。このノズル連通孔１５は、圧力発生室１２と詳しくは後述するノズル開口２１とを連通する。
【００２３】
このように、本実施形態の流路形成基板１０には、圧力発生室１２、連通路１３、インク供給路１４及びノズル連通孔１５を具備する個別流路が設けられている。
【００２４】
さらに、流路形成基板１０には、圧力発生室１２とインク供給路１４及び連通路１３を介して連通するマニホールド１００の一部を構成する第１マニホールド部１６及び第２マニホールド部１７が設けられている。
【００２５】
第１マニホールド部１６は、第２流路形成基板１０ｂを厚さ方向（第１流路形成基板１０ａと第２流路形成基板１０ｂとの積層方向）に貫通して設けられており、連通路１３と連通する。
【００２６】
また、第２マニホールド部１７は、第１流路形成基板１０ａを厚さ方向に貫通して設けられており、第１マニホールド部１６に連通して設けられている。この第２マニホールド部１７と連通路１３とは、本実施形態では、これらの間に設けられた梁部１８によって区画されている。このため、第２マニホールド部１７は、連通路１３に直接連通することなく、第１マニホールド部１６を介して連通路１３に連通している。
【００２７】
これら第１マニホールド部１６及び第２マニホールド部１７は、第１の方向Ｘに並設された複数の圧力発生室１２に亘って第１の方向Ｘに連続して設けられており、複数の圧力発生室１２に共通して連通するマニホールド１００の一部を構成する。
【００２８】
また、第１マニホールド部１６及び第２マニホールド部１７には、リブ１９が設けられている。リブ１９は、第１マニホールド部１６内に設けられた第１リブ１９１と、第２マニホールド部１７内に設けられた第２リブ１９２とを具備する。
【００２９】
第１リブ１９１は、第１マニホールド部１６内に第２の方向Ｙに沿って延設されており、当該第１リブ１９１は、第１マニホールド部１６内に第１の方向Ｘに所定の間隔で複数並設されている。
【００３０】
本実施形態では、第１リブ１９１は、図３（ｂ）に示すように、第１マニホールド部１６内に、第２の方向Ｙの連通路１３とは反対側の壁面から連通路１３側の壁面に向かって延設されており、連通路１３と連通する領域に所定の空間を開けて形成されている。すなわち、第１マニホールド部１６は、連通路１３に連通する領域には第１リブ１９１が設けられておらず、第２の方向Ｙに連続して連通する空間が画成されていることになる。
【００３１】
このような第１リブ１９１は、第１マニホールド部１６の深さ方向（第１流路形成基板１０ａと第２流路形成基板１０ｂとの積層方向）に亘って設けられている。すなわち、第１マニホールド部１６は、一方の開口が詳しくは後述する封止部材であるノズルプレート２０によって封止されているが、第１リブ１９１は、このノズルプレート２０側から梁部１８に至る高さで形成されている。
【００３２】
また、第２リブ１９２は、第２マニホールド部１７内に第１リブ１９１と同じピッチで第１の方向Ｘに所定の間隔で並設されている。また、第２リブ１９２は、第２マニホールド部１７内に第２の方向Ｙに沿って延設されており、第２リブ１９２によって第２マニホールド部１７は第１の方向Ｘに複数に区画されている。
【００３３】
なお、本実施形態では、リブ１９を第１リブ１９１及び第２リブ１９２で構成したが、特にこれに限定されず、例えば、リブ１９は第１リブ１９１のみで構成されていてもよい。
【００３４】
このような流路形成基板１０の第１マニホールド部１６側の面には、ノズル開口２１が設けられたノズルプレート２０が接合されている。ノズルプレート２０は、例えば、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等の金属材料や、シリコン等のセラミックス材料で形成された板状部材からなる。ノズルプレート２０には、圧力発生室１２と同一の配列ピッチでノズル開口２１が形成されている。すなわち、ノズルプレート２０には、ノズル開口２１が第１の方向Ｘに並設された列が、第２の方向Ｙに４列設けられている。すなわち、第１の方向Ｘに並設された圧力発生室１２の一列に対して、ノズル開口２１は、第１の方向Ｘに並設された列が、第２の方向Ｙに２列並設されている。この第２の方向Ｙに並設された２列のノズル開口２１は、第１の方向Ｘに互いにノズル開口２１のピッチの半ピッチだけずらした位置に配置されている。
【００３５】
このノズルプレート２０は、第１マニホールド部１６の液体噴射面側を封止する。このため、本実施形態では、ノズルプレート２０がマニホールド１００を封止する封止部材として機能する。なお、封止部材は、ノズルプレート２０に限定されず、例えば、ノズルプレート２０を第１マニホールド部１６が形成された領域に掛からない程度に小さな面積として、第１マニホールド部１６をノズルプレート２０とは別の封止部材で封止するようにしてもよい。また、ノズルプレート２０と流路形成基板１０との間に、基板状の封止部材を設け、この封止部材によって第１マニホールド部１６を封止するようにしてもよい。この場合には、封止部材にノズル連通孔１５とノズル開口２１とを連通する連通路を設けるようにすればよい。
【００３６】
また、流路形成基板１０のノズルプレート２０とは反対側には、振動板５０と、圧電アクチュエーター６０とが設けられている。
【００３７】
振動板５０は、例えば、ジルコニアやアルミナ等のセラミックス、酸化シリコン、等の無機膜、ステンレス鋼（ＳＵＳ）、等の薄板からなり、圧力発生室１２、インク供給路１４及び連通路１３の一方面はこの振動板５０により封止されている。
【００３８】
また、圧電アクチュエーター６０は、振動板５０上の各圧力発生室１２に対向する領域のそれぞれに設けられている。ここで、各圧電アクチュエーター６０は、特に図示していないが、例えば、圧電材料からなる圧電体層を２つの電極で挟み込んだものである。２つの電極と圧電材料との積層方向は、流路形成基板１０とノズルプレート２０との積層方向であってもよく、また、振動板５０の面方向、すなわち、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙであってもよい。また、２つの電極で挟み込んだ圧電体層を複数積層してもよい。
【００３９】
このような圧電体層は、例えば、圧電材料からなるグリーンシートを貼付することや、印刷することで形成することができる。また、２つの電極及び圧電体層は、成膜及びリソグラフィー法等によって形成することもできる。
【００４０】
また、流路形成基板１０の圧電アクチュエーター６０側には、マニホールドプレート３０が設けられている。マニホールドプレート３０には、流路形成基板１０の第２マニホールド部１７と連通してマニホールド１００の一部を構成する第３マニホールド部３１が設けられている。すなわち、本実施形態のマニホールド１００は、流路形成基板１０に設けられた第１マニホールド部１６及び第２マニホールド部１７とマニホールドプレート３０に設けられた第３マニホールド部３１とで構成されている。
【００４１】
このような流路形成基板１０は、粘土状のセラミックス材料、いわゆるグリーンシートを所定の厚さに成形した２つの第１流路形成基板１０ａ及び第２流路形成基板１０ｂを用いて、第１流路形成基板１０ａに圧力発生室１２等を穿設すると共に、第２流路形成基板１０ｂに第１マニホールド部１６、ノズル連通孔１５等を穿設した後、第１流路形成基板１０ａ、第２流路形成基板１０ｂ及び振動板５０を積層して焼成することにより接着剤を必要とすることなく一体化される。なお、振動板５０は、その材料によって流路形成基板１０を焼成した後に接合するようにしてもよい。その後、振動板５０上に圧電アクチュエーター６０が形成される。
【００４２】
そして、このような構成のインクジェット式記録ヘッドＩでは、インクカートリッジ（貯留手段）からマニホールド１００内にインクを取り込み、マニホールド１００からノズル開口２１に至るまでの流路内をインクで満たした後、図示しない駆動回路からの記録信号に従い、各圧力発生室１２に対応する各圧電アクチュエーター６０に電圧を印加して圧電アクチュエーター６０と共に振動板５０をたわみ変形させることにより、各圧力発生室１２内の圧力が高まり各ノズル開口２１からインク滴が噴射される。
【００４３】
なお、特に図示しないが、マニホールドプレート３０の流路形成基板１０とは反対側の面は、例えば、可撓性のコンプライアンス部が設けられたコンプライアンス基板等で封止されており、この封止された面側からインクカートリッジ等の貯留手段からインクが供給される。
【００４４】
このように本実施形態では、マニホールド１００の封止部材であるノズルプレート２０側にリブ１９を設けることによって、ノズルプレート２０がリブ１９によって支持される。特に、第１リブ１９１を第１マニホールド部１６の液体噴射面側の開口から梁部１８に至るまで設けることで、ノズルプレート２０は、第１リブ１９１を介して梁部１８によって支持される。したがって、ノズルプレート２０のノズル開口２１が開口してインク滴が吐出される液体噴射面側からノズルプレート２０に圧力が付与された場合に、ノズルプレート２０の変形を抑制することができる。ちなみに、ノズルプレート２０が外部からの圧力により変形すると、ノズルプレート２０と流路形成基板１０との間に隙間が生じ、その隙間からインクが漏出することや、ノズルプレート２０の変形によってノズル開口２１の開口向きが変わりインクの着弾位置ずれが発生するなどの不具合が発生する。本実施形態では、リブ１９を設けることによって、ノズルプレート２０の変形を抑制することができるため、インクの漏出や被記録媒体へのインク滴の着弾位置ずれ等が発生するのを抑制することができる。
【００４５】
なお、リブ１９を各個別流路毎に設け、第１マニホールド部１６を実質的に個別流路とする方法も考えられるものの、第１マニホールド部１６を実質的に個別流路の一部とすると、マニホールド１００の容積を確保することができなくなってしまう。本実施形態では、複数の個別流路毎に共通して第１マニホールド部１６に連通するようにリブ１９を設けたため、マニホールド１００の容積を確保することができる。
【００４６】
また、ノズルプレート２０と流路形成基板１０との間にノズルプレート２０を補強する補強部材を別途設けることも考えられるが、部品点数が多くなって高コストになると共に、インクジェット式記録ヘッドＩの高さ（流路形成基板１０とノズルプレート２０との積層方向の高さ）が高くなってしまう。本実施形態では、流路形成基板１０のマニホールド１００をノズルプレート２０で封止することで、部品点数を減らしてコストを低減することができると共に、インクジェット式記録ヘッドＩの高さを低くすることができる。また、リブ１９を設けることで、ノズルプレート２０の比較的広い空間であるマニホールド１００を封止する領域を支持することができ、ノズルプレート２０の変形を抑制することができる。
【００４７】
ここで、このようなインクジェット式記録ヘッドＩを具備する液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録装置について説明する。なお、図４は、インクジェット式記録装置の概略斜視図である。
【００４８】
図４に示すように、インクジェット式記録装置ＩＩは、インクジェット式記録ヘッドＩを有する記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを具備する。記録ヘッドユニット１Ａ、１Ｂは、インク供給手段を構成するカートリッジ２Ａ及び２Ｂが着脱可能に設けられ、この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、例えば、それぞれブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。
【００４９】
また、駆動モーター６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４にはキャリッジ軸５に沿ってプラテン８が設けられており、図示しない給紙ローラーなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートＳがプラテン８に巻き掛けられて搬送されるようになっている。
【００５０】
また、インクジェット式記録装置ＩＩの非印字領域には、ノズル開口２１を覆う吸引キャップ１４０が設けられており、この吸引キャップ１４０にチューブ１４２を介して、例えば、真空ポンプ等の吸引装置１４１が接続されている。この吸引装置１４１によって液体噴射面に密着した吸引キャップ１４０の内部の気体を吸引することで、ノズル開口２１を介して圧力発生室１２等の流路内のインクを吸引する。
【００５１】
ここで、吸引キャップ及び吸引装置を有する吸引手段について図５及び図６を参照して説明する。なお、図５は、インクジェット式記録装置の要部を拡大した斜視図であり、図６は、インクジェット式記録ヘッド及び吸引キャップの要部を拡大した断面図である。
【００５２】
図示するように、吸引キャップ１４０は、インクジェット式記録ヘッドＩのノズルプレート２０に相対向して設けられ、ノズルプレート２０に設けられている複数のノズル開口２１の全てを覆うように設けられている。
【００５３】
この吸引キャップ１４０は、ノズルプレート２０に対向して全てのノズル開口２１に亘って開口する吸引口１４０ａを有する。この吸引口１４０ａの縁部がノズルプレート２０の表面に当接することで吸引キャップ１４０はノズル開口２１の全てを覆う。また、吸引キャップ１４０には、吸引口１４０ａと反対側の面に吸引口１４０ａと連通する連通口１４０ｂを有し、この連通口１４０ｂに吸引装置１４１がチューブ１４２を介して接続されている。
【００５４】
このような吸引キャップ１４０は、吸引口１４０ａの縁部をノズルプレート２０の表面である液体噴射面に当接し、吸引装置１４１がインクを吸引することでノズル開口２１を介して圧力発生室１２等の流路内のインクを吸引して気泡等による印刷不良を防止する吸引動作時に用いられる。また、吸引キャップ１４０は、吸引装置による吸引動作を行わずに、ノズル開口２１の全てを覆うことでノズル開口２１近傍のインクの乾燥及び増粘を防止する役割を有する。
【００５５】
本実施形態の吸引キャップ１４０の大きさは、インクジェット式記録ヘッドＩのマニホールド１００が形成された領域に当接する大きさとなっている。すなわち、吸引キャップ１４０は、マニホールド１００を封止する封止部材であるノズルプレート２０の液体噴射面のマニホールド１００を封止（画成）した領域に当接する大きさを有する。
【００５６】
このように、吸引キャップ１４０をマニホールド１００に相対向する領域に当接させたとしても、本実施形態では、マニホールド１００内にリブが設けられているため、ノズルプレート２０が吸引キャップ１４０の当接による押圧により変形することや、ノズルプレート２０が流路形成基板１０から剥離するのを抑制することができる。したがって、インクジェット式記録ヘッドＩの破壊や、インクの漏れを抑制することができると共に、ノズルプレート２０の変形によりノズル開口２１の向きがずれてノズル開口２１から吐出されたインク滴の被記録媒体への着弾位置ずれが生じるのを抑制することができる。
【００５７】
また、吸引キャップ１４０をマニホールド１００が形成された領域に当接させるため、吸引キャップ１４０をマニホールド１００が形成された領域の外側に当接させる場合に比べて、吸引キャップ１４０を小さくすることができると共に、インクジェット式記録ヘッドＩに吸引キャップ１４０を当接させる領域を別途形成する必要がないため、インクジェット式記録ヘッドＩの小型化、特に、第２の方向Ｙの小型化を図ることができる。
【００５８】
なお、本実施形態では、吸引キャップ１４０について説明したが、吸引キャップ１４０だけに限定されず、例えば、液体噴射面に密着してノズル開口２１を封止して当該ノズル開口２１近傍のインクの乾燥及び増粘を防止する密着キャップについても同様に、当該密着キャップをマニホールド１００が形成された領域に当接させても、ノズルプレート２０の変形を抑制することができるため、密着キャップ及びインクジェット式記録ヘッドＩの小型化を図ることができる。
【００５９】
（他の実施形態）
以上、本発明の一実施形態を説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。例えば、上述した実施形態では、連通路が圧力発生室と同じ深さで設けられたインクジェット式記録ヘッドについて説明したが、マニホールドの形状及び連通路の深さ等は特にこれに限定されるものではない。ここで、インクジェット式記録ヘッドの他の例について図７を参照して説明する。なお、図７は、本発明の他の実施形態に係るインクジェット式記録ヘッドの断面図である。
【００６０】
図７に示すように、インクジェット式記録ヘッドＩは、流路形成基板１０Ａと、ノズルプレート２０と、マニホールドプレート３０と、振動板５０と、圧電アクチュエーター６０と、を具備する。
【００６１】
流路形成基板１０Ａは、第１流路形成基板１０ａ、第２流路形成基板１０ｂ及び第３流路形成基板１０ｃを具備する。第１流路形成基板１０ａは、圧電アクチュエーター６０側に設けられており、圧力発生室１２、連通路１３、インク供給路１４が形成されている。
【００６２】
また、第２流路形成基板１０ｂは、ノズルプレート２０側に設けられており、第１マニホールド部１６、ノズル連通孔１５等が形成されている。また、第３流路形成基板１０ｃは、第１流路形成基板１０ａと第２流路形成基板１０ｂとの間に配置されており、第１マニホールド部１６と連通路１３とを連通する接続路１１０と、第１マニホールド部１６と第２マニホールド部１７とを連通する第４マニホールド部１１１と、が設けられている。
【００６３】
接続路１１０は、連通路１３と同様に、個別流路の一部を構成するようにしてもよく、また、マニホールド１００Ａの一部を構成するように、第１の方向Ｘに亘って連続して形成されていてもよい。本実施形態では、接続路１１０は、連通路１３と同様に、各圧力発生室１２毎に設けられている。
【００６４】
また、第４マニホールド部１１１は、本実施形態では、第２マニホールド部１７と同様の開口を設けた。
【００６５】
そして、図７に示すインクジェット式記録ヘッドＩでは、マニホールド１００Ａは、第１マニホールド部１６、第２マニホールド部１７、第３マニホールド部３１及び第４マニホールド部１１１で構成されている。
【００６６】
また、第１マニホールド部１６、第２マニホールド部１７及び第４マニホールド部１１１には、リブ１９が設けられている。このリブ１９は、第１マニホールド部１６から第４マニホールド部１１１内を通って第２マニホールド部１７の圧電アクチュエーター６０側の開口に至るまで形成されている。
【００６７】
このような流路形成基板１０Ａは、粘土状のセラミックス材料、いわゆるグリーンシートを所定の厚さに成形した３つの第１流路形成基板１０ａ、第２流路形成基板１０ｂ及び第３流路形成基板１０ｃを用いて形成することができる。具体的には、第１流路形成基板１０ａに圧力発生室１２、第２マニホールド部１７等を穿設し、第２流路形成基板１０ｂに第１マニホールド部１６及びノズル連通孔１５等を穿設し、第３流路形成基板１０ｃに接続路１１０及び第４マニホールド部１１１等を穿設した後、第１流路形成基板１０ａ、第２流路形成基板１０ｂ、第３流路形成基板１０ｃ及び振動板５０を積層して焼成することにより接着剤を必要とすることなく一体化することができる。すなわち、図７中では、流路形成基板１０Ａを構成する第１流路形成基板１０ａ、第２流路形成基板１０ｂ及び第３流路形成基板１０ｃを別部材で図示しているが、実際には、同時に焼成することでこれらは一体化された一枚の基板となる。もちろん、第１流路形成基板１０ａ、第２流路形成基板１０ｂ及び第３流路形成基板１０ｃをそれぞれ焼成した後、積層すれば、図７に示すような３層を積層した流路形成基板１０Ａとなる。
【００６８】
このような構成であっても、上述した実施形態１と同様に、液体噴射面に外部から圧力が付与されたとしても、リブ１９によってノズルプレート２０が変形するのを抑制することができる。
【００６９】
また、上述した実施形態では、リブ１９を構成する第１リブ１９１を、第１マニホールド部１６内に、第２の方向Ｙの連通路１３とは反対側の壁面から連通路１３側の壁面に向かって延設し、第１リブ１９１と連通路１３側の壁面との間に所定の空間を開けるようにしたが、特にこれに限定されるものではない。ここで、リブの他の例を図８に示す。なお、図８は、本発明の他の実施形態に係るインクジェット式記録ヘッドの断面図である。
【００７０】
図８に示すように、リブ１９Ａを第１リブ１９１Ａと第２リブ１９２とで構成されている。この第１リブ１９１Ａは第１マニホールド部１６内に第２の方向Ｙに亘って連続して設けられている。このようなリブ１９Ａによれば、当該リブ１９Ａを構成する第１リブ１９１Ａの両端部が固定された両持ち梁状となるため、リブ１９Ａの剛性をさらに向上して、ノズルプレート２０の変形をさらに低減することが可能となる。なお、リブ１９Ａの第１リブ１９１Ａは、連通路１３の間に配置されている。すなわち、リブ１９Ａが連通路１３に相対向して設けられていると、連通路１３と第１マニホールド部１６とが連通しなくなってしまうか、連通する開口面積が小さくなってしまうからである。つまり、上述した実施形態１等のリブ１９の第１リブ１９１によれば、連通路１３と連通する領域に第１リブ１９１が設けられていないため、第１リブ１９１を形成する位置に制限がなく、第１リブ１９１を形成するための寸法変更や設計変更を行う必要がない。
【００７１】
さらに、上述した実施形態では、第２の方向Ｙに延設されたリブ１９、１９Ａを第１の方向Ｘに並設するようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、リブを第１の方向Ｘに延設するようにしてもよい。このような場合であっても、リブによってノズルプレート２０の変形を抑制して、インクの漏出やインク滴の着弾位置ずれを抑制して、インクジェット式記録ヘッドＩの小型化及び吸引キャップ１４０の小型化を図ることができる。また、何れの方向にリブ１９を設ける場合であっても、リブ１９を単数で設けても、複数で設けてもよい。ただし、上述した実施形態のように、リブ１９、１９Ａを第２の方向Ｙに延設することで、マニホールド１００と個別流路（圧力発生室１２等）とが連通する領域、すなわち、連通路１３近傍でのインクの流線（速度ベクトル）を気泡排出方向と揃えて、気泡排出性を向上することができる。すなわち、リブ１９、１９Ａを設けない構造や、リブを圧力発生室１２の並設方向である第１の方向Ｘに沿って延設させた構成では、インク流線が第１の方向Ｘにも速度成分を持ってしまうため、同等の能力を有するポンプでノズル下流に負圧を発生させた場合、実施形態１等のリブ１９、１９Ａに比べて気泡排出に長い時間、多いインク消費が必要となってしまう。つまり、リブ１９、１９Ａを第２の方向Ｙに延設することで、気泡排出性を向上して、短時間で気泡排出を行うことができ、インク消費を低減することができる。
【００７２】
さらに、上述した実施形態では、リブ１９、１９Ａを第１マニホールド部１６のノズルプレート２０側の開口から第２マニホールド部１７の圧電アクチュエーター６０側の開口に至るまで設けるようにしたが、特にこれに限定されず、リブ１９、１９Ａを第１マニホールド部１６の深さ方向の途中まで設けるようにしてもよい。この場合であっても、リブ１９、１９Ａは、封止部材であるノズルプレート２０によって封止された開口側を基端として設けるようにすれば、ノズルプレート２０の変形を抑制することができる。
【００７３】
また、上述した実施形態では、圧電アクチュエーター６０を有するインクジェット式記録ヘッドＩを例示したが、圧力発生室１２に圧力変化を生じさせる圧力発生手段としては、特にこれに限定されず、例えば、ゾル−ゲル法、ＭＯＤ法、スパッタリング法等により形成される圧電材料を有する薄膜型の圧電アクチュエーター、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電素子、振動板と電極を所定の隙間を開けて配置し、静電気力で振動板の振動を制御する、いわゆる静電アクチュエーター、圧力発生室内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズル開口から液滴を吐出するものなどを有するインクジェット式記録ヘッドであっても同様の効果を奏するものである。
【００７４】
なお、上述した実施形態においては、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを挙げて説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。
【符号の説明】
【００７５】
Ｉ  インクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッド）、  ＩＩ  インクジェット式記録装置（液体噴射装置）、  １０、１０Ａ  流路形成基板、  １２  圧力発生室、  １３  連通路、  １４  インク供給路、  １５  ノズル連通孔、  １６  第１マニホールド部、  １７  第２マニホールド部、  １９、１９Ａ  リブ、  ２０  ノズルプレート（封止部材）、  ２１  ノズル開口、  ３０  マニホールドプレート、  ３１  第３マニホールド部、  ５０  振動板、  ６０  圧電アクチュエーター、  １００、１００Ａ  マニホールド、  １１０  接続路、  １１１  第４マニホールド部
【図３】
2014193542.tif 000003
【図４】
2014193542.tif 000004
【図５】
2014193542.tif 000005
【図６】
2014193542.tif 000006
【図７】
2014193542.tif 000007
【図８】
2014193542.tif 000008
【図１】
2014193542.tif 000009
【図２】
2014193542.tif 000010