(57)【要約】【課題】被切断部材の中央部および周辺部を切断して分割体を形成する切断工程を備える分割体の製造方法において、被切断部材に反りが生じている場合であっても、寸法精度よく切断を行えるようにする。【解決手段】切断工程は、被切断部材１０を吸着治具２０の搭載面２１上に搭載し、被切断部材１０の中央部側に位置する吸引穴２２ａでは吸引をオンとし、被切断部材１０の周辺部側に位置する吸引穴２２ｂでは吸引をオフとすることにより、被切断部材１０の中央部側を吸着治具２０に固定した状態で、被切断部材１０の中央部にて切断を行う第１の切断工程と、第１の切断工程の後、被切断部材１０の全面にて吸引穴２２ａ、２２ｂの吸引をオンとした状態で、被切断部材１０の周辺部にて切断を行う第２の切断工程と、を備える。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状をなす剛体であって中央部および周辺部にて切断される被切断部材（１０）と、
前記被切断部材を搭載する搭載面（２１）を有し、前記搭載面には前記被切断部材を吸引して固定するための複数個の吸引穴（２２ａ、２２ｂ）が前記被切断部材の中央部側から周辺部側に渡る全面に設けられている吸着治具（２０）と、を用意する用意工程と、
前記被切断部材を前記吸着治具の前記搭載面上に搭載し、前記吸引穴にて吸引をオンとして前記被切断部材を前記吸着治具に支持させた状態にて、前記被切断部材の中央部および周辺部を切断して分割体（１０ａ）を形成する切断工程と、を備える分割体の製造方法であって、
前記切断工程は、前記被切断部材を前記吸着治具の前記搭載面上に搭載し、前記被切断部材の中央部側に位置する前記吸引穴（２２ａ）では吸引をオンとし、前記被切断部材の周辺部側に位置する前記吸引穴（２２ｂ）では吸引をオフとすることにより、前記被切断部材の中央部側を前記吸着治具に固定した状態で、前記被切断部材の中央部にて切断を行う第１の切断工程と、
前記第１の切断工程の後、前記被切断部材の全面にて前記吸引穴の吸引をオンとした状態で、前記被切断部材の周辺部にて切断を行う第２の切断工程と、を備えるものであることを特徴とする分割体の製造方法。
【請求項２】
前記用意工程では、前記被切断部材として板面（１１、１２）が反るように反りが生じているものを用意し、
前記第１の切断工程では、前記被切断部材の前記板面のうち当該反りによる凸面（１２）側を前記搭載面に対向させて、前記被切断部材を前記吸着治具に支持することを特徴とする請求項１に記載の分割体の製造方法。
【請求項３】
前記吸着治具として、前記被切断部材の中央部側に位置する前記吸引穴と、前記被切断部材の周辺部側に位置する前記吸引穴とでは、吸引を行うための空気流路（２３ａ、２３ｂ）が互いに別個のものとされているものを用い、
それぞれの前記空気流路を独立して開閉することにより、前記第１の切断工程および前記第２の切断工程にて吸引のオンオフ操作を行うことを特徴とする請求項１または２に記載の分割体の製造方法。
【請求項４】
前記吸着治具として、前記被切断部材の中央部側に位置する前記吸引穴と、前記被切断部材の周辺部側に位置する前記吸引穴とでは、吸引を行うための空気流路（２３ａ、２３ｂ）が互いに別個のものとされているものを用い、
それぞれの前記空気流路に、独立した吸引ポンプ（２４ａ、２４ｂ）を設けて、それぞれの前記空気流路について前記吸引ポンプをオンオフすることにより、前記第１の切断工程および前記第２の切断工程にて吸引のオンオフ操作を行うことを特徴とする請求項１または２に記載の分割体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被切断部材の中央部および周辺部を切断して分割体を形成する切断工程を備える分割体の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、この種の分割体の製造方法としては、多連状態のモールドＩＣ等、板状をなす剛体である被切断部材を、その中央部および周辺部にて個々の単位に切断することで、切断物としての分割体を形成するようにしたものが提案されている。
【０００３】
具体的には、上記被切断部材と、この被切断部材を搭載する搭載面を有する吸着治具とを用意する。ここで、吸着治具の搭載面には被切断部材を吸引して固定するための複数個の吸引穴が被切断部材の中央部側から周辺部側に渡る全面に設けられている。この吸引穴に対して、オンオフ可能な吸引ポンプにより負圧を供与することで、吸引のオンオフが行われる。
【０００４】
そして、切断工程では、被切断部材を吸着治具の搭載面上に搭載し、吸引穴にて吸引をオンとすることで被切断部材の全面を吸着治具に支持させた状態とし、この状態で、被切断部材の中央部および周辺部を切断して分割体を形成する。
【０００５】
ここで、被切断部材を寸法精度よく切断するためには、切断時に被切断部材が動かないよう保持する必要がある。この点について、従来では、反りの大きな被切断部材を吸着するために、被切断部材の周辺部に当該周辺部を捕らえるリップシールを備えた吸着治具が提案されている（特許文献１参照）。
【０００６】
一方で、一般的な方法として、被切断部材上から反り矯正治具を押しつける方法が採用されている。この方法では、被切断部材において板面が反るように反りが生じた場合、反りによって凸面となった方の板面を吸着治具に押し付け、被切断部材上から反り矯正治具を押しつけて平坦に戻し、被切断部材の全面を吸引し、固定する。そして、吸着を維持しながら、反り矯正治具を取り外して切断を行うようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２０１０−１９７４１５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、本発明者の検討によれば、厚くて剛性の大きな被切断部材に反りが生じている場合、図４に示されるように、図示しない反り矯正治具によって被切断部材１０を押さえて、反りを矯正して全面吸着を行っても、反り矯正後の反り戻し力Ｆが吸着力よりも大きくなってしまう。
【０００９】
そのため、被切断部材１０の周辺部が吸着治具２０の搭載面２１より浮き上がり、当該周辺部側の吸引穴２２にて空気漏れが生じ、全面の真空度が低下するため、被切断部材１０の固定が不十分となる。そして、この不十分な固定状態で、たとえば刃具４０による切断を行うため、被切断部材１０がぐらつく等により、当該切断の寸法精度が悪化することになる。
【００１０】
なお、上記特許文献１の方法においては、被切断部材の周辺部をリップシールで吸着する方法を採用するが、やはり、剛性の大きな被切断部材の場合には、上記反り戻し力がリップシールの吸着力よりも大きくなり、上記同様の問題が生じる可能性が高い。
【００１１】
本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、被切断部材の中央部および周辺部を切断して分割体を形成する切断工程を備える分割体の製造方法において、被切断部材に反りが生じている場合であっても、寸法精度よく切断を行えるようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明では、板状をなす剛体であって中央部および周辺部にて切断される被切断部材（１０）と、
被切断部材を搭載する搭載面（２１）を有し、搭載面には被切断部材を吸引して固定するための複数個の吸引穴（２２ａ、２２ｂ）が被切断部材の中央部側から周辺部側に渡る全面に設けられている吸着治具（２０）と、を用意する用意工程と、
被切断部材を吸着治具の搭載面上に搭載し、吸引穴にて吸引をオンとして被切断部材を吸着治具に支持させた状態にて、被切断部材の中央部および周辺部を切断して分割体（１０ａ）を形成する切断工程と、を備える分割体の製造方法であって、
切断工程は、被切断部材を吸着治具の搭載面上に搭載し、被切断部材の中央部側に位置する吸引穴（２２ａ）では吸引をオンとし、被切断部材の周辺部側に位置する吸引穴（２２ｂ）では吸引をオフとすることにより、被切断部材の中央部側を吸着治具に固定した状態で、被切断部材の中央部にて切断を行う第１の切断工程と、
第１の切断工程の後、被切断部材の全面にて吸引穴の吸引をオンとした状態で、被切断部材の周辺部にて切断を行う第２の切断工程と、を備えるものであることを特徴とする。
【００１３】
それによれば、切断工程を２段階に分け、第１の切断工程では、被切断部材の中央部側のみにて吸着治具に固定するから、被切断部材に反りが生じていても、被切断部材の周辺部にて空気漏れすることなく、当該固定が十分なものとなる。この十分な固定の状態で被切断部材の中央部を切断するから、切断寸法精度は十分に確保される。
【００１４】
そして、この第１の切断工程によって、被切断部材は中央部で分割されて小型化されるため、当初の大きな被切断部材に比べて、反り量が低減され、反り戻し力も弱まる。この状態で第２の切断工程では、被切断部材の全面にて吸引をオンとし、固定を行うようにするため、分割された被切断部材の全体で空気漏れすることなく、十分な固定が行える。そして、この十分な固定状態で周辺部の切断を行うことから、この第２の切断工程においても、切断寸法精度は十分に確保される。
【００１５】
よって、本発明によれば、被切断部材に反りが生じている場合であっても、切断の寸法精度よく切断を行うことができる。
【００１６】
ここで、請求項２に記載の発明では、請求項１に記載の分割体の製造方法においては、用意工程では、被切断部材として板面（１１、１２）が反るように反りが生じているものを用意し、第１の切断工程では、被切断部材の板面のうち当該反りによる凸面（１２）側を搭載面に対向させて、被切断部材を前記吸着治具に支持することを特徴とする。それによれば、上記請求項１の製造方法による効果が有効に発揮される。
【００１７】
なお、特許請求の範囲およびこの欄で記載した各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示す一例である。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の第１実施形態にかかる分割体の製造方法に用いられる吸着治具の概略断面図である。
【図２】上記第１実施形態にかかる分割体の製造方法を示す工程図である。
【図３】本発明の第２実施形態にかかる分割体の製造方法に用いられる吸着治具の概略断面図である。
【図４】本発明者の試作による分割体の製造方法を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、説明の簡略化を図るべく、図中、同一符号を付してある。
【００２０】
（第１実施形態）
本発明の第１実施形態にかかる分割体の製造方法について、図１、図２を参照して述べる。本製造方法は、板状をなす剛体であって中央部および周辺部にて切断される被切断部材１０を、個々の単位（たとえば製品単位）に分割して分割体１０ａとするものである。
【００２１】
本実施形態の分割体の製造方法では、まず、用意工程において被切断部材１０と、これを搭載する吸着治具２０とを用意する。被切断部材１０は、表裏の板面１１、１２を有する板状をなすもので、たとえば矩形板状をなす。
【００２２】
ここで、被切断部材１０は、たとえば、ＢＧＡ（ボールグリッドアレイ）やＱＦＮ（クワッドフラットノンリードパッケージ）等のモールドＩＣが多連状態とされているものである。そして、本実施形態では、このような多連状態のモールドＩＣ等よりなる被切断部材を、中央部および周辺部にて分割して分割体１０ａ（図２（ｄ）参照）とするものである。
【００２３】
吸着治具２０は、図１に示されるように、被切断部材１０を搭載する搭載面２１を有する。この搭載面２１は、実質平坦面であり、被切断部材１０よりも一回り大きい面である。ここで、吸着治具２０は、吸着時の吸引力によって被切断部材１０が搭載面２１に押し付けられたときに、弾性変形する弾性体よりなることが好ましい。具体的には吸着治具２０はゴム等よりなる板状のものである。
【００２４】
そして、吸着治具２０の搭載面２１には被切断部材１０を吸引して固定するための複数個の吸引穴２２ａ、２２ｂが被切断部材１０の中央部側から周辺部側に渡る全面に設けられている。これら吸引穴２２ａ、２２ｂは吸着治具２０を貫通する貫通穴として構成されている。
【００２５】
以下、本実施形態では、被切断部材１０の中央部側に位置する吸引穴２２ａを中央部側の吸引穴２２ａ、被切断部材の周辺部側に位置する吸引穴２２ｂを周辺部側の吸引穴２２ｂということにする。
【００２６】
ここで、中央部側の吸引穴２２ａと周辺部側の吸引穴２２ｂとでは、吸引のオンオフを互いに独立して行えるようになっている。つまり、中央部側の吸引穴２２ａが吸引オン（吸引オフ）で、周辺部側の吸引穴２２ｂが吸引オフ（吸引オン）である状態を実施できるようになっている。
【００２７】
これについて、本実施形態の吸着治具２０では、図１に示されるように、中央部側の吸引穴２２ａと、周辺部側の吸引穴２２ｂとでは、吸引を行うための空気流路２３ａ、２３ｂが互いに別個とされたものを用いている。
【００２８】
それぞれの空気流路２３ａ、２３ｂを介して、オンオフ可能な吸引ポンプ２４で吸引を行うことにより、各吸引穴２２ａ、２２ｂにて吸引力が作用する。ここで、中央部側の吸引穴２２ａの空気流路２３ａと周辺部側の吸引穴２２ｂの空気流路２３ｂにそれぞれ、電磁弁等の開閉弁２５ａ、２５ｂを設けることによって、それぞれの空気流路２３ａ、２３ｂが独立して開閉されるようになっている。
【００２９】
つまり、吸引ポンプ２４が吸引オンである場合、開閉弁２５ａ、２５ｂが開状態のときは吸引穴２２ａ、２２ｂにて吸引がオンであり、開閉弁２５ａ、２５ｂが閉状態のときは吸引穴２２ａ、２２ｂにて吸引がオフとなる。これら吸引ポンプ２４および開閉弁２５ａ、２５ｂは通電等により駆動を制御されるものである。
【００３０】
また、吸着治具２０の搭載面２１には、後述する刃具４０を用いて被切断部材１０を切断するときに、刃具４０と搭載面２１との干渉を回避するための溝２１ａが設けられている。この溝２１ａは、搭載面２１のうち切断が行われる位置に設けられていることはもちろんである。
【００３１】
そして、本製造方法では、これら用意された被切断部材１０および吸着治具２０を用いて、切断工程を行う。切断工程は、大きくは、被切断部材１０を吸着治具２０の搭載面２１上に搭載し、吸引穴２２ａ、２２ｂにて吸引をオンとして被切断部材１０を吸着治具２０に支持させた状態にて、被切断部材１０の中央部および周辺部を切断して分割体１０ａを形成するものである。
【００３２】
ここで、本実施形態の切断工程では、切断工程を第１の切断工程と、第２の切断工程との２段階に分けて行う。なお、被切断部材１０は、第１の切断工程で分割されるが、被切断部材１０というときは、当該分割された部分全てを合わせた集合体を意味する。
【００３３】
また、図２中には、上記吸引ポンプ２４および開閉弁２５ａ、２５ｂによる各吸引穴２２ａ、２２ｂにおける吸引のオンオフを、吸引オン状態は「ＯＮ」、吸引オフ状態は「ＯＦＦ」として示してある。
【００３４】
まず、第１の切断工程では、図２（ａ）に示されるように、被切断部材１０を吸着治具２０の搭載面２１上に搭載する。ここで、用意された被切断部材１０は、板面１１、１２が反るように反りＳが生じているものである。そして、第１の切断工程では、被切断部材１０の板面１１、１２のうち当該反りＳによる凸面１２側を搭載面２１に対向させて、被切断部材１０を吸着治具２０に支持する。
【００３５】
このとき、中央部側の吸引穴２２ａでは吸引をオンとし、周辺部側の吸引穴２２ｂでは吸引をオフとする。これにより、第１の切断工程では、被切断部材１０の中央部側のみを吸着治具２０に固定した状態とする。そして、図２（ｂ）に示されるように、反り矯正治具３０で、被切断部材１０の凹面１１側を押さえ付けて反りを矯正する。
【００３６】
その後、反り矯正治具３０を取り外す。このとき、図２（ｃ）に示されるように、被切断部材１０の反り戻し力により、被切断部材１０は再び反り状態となり、周辺部は搭載面２１より浮いた状態となる。しかし、被切断部材１０の中央部は、吸着治具２０の弾性変形および中央部側の吸引穴２２ａの吸引力により、吸着治具２０に固定された状態とされるので、被切断部材１０の固定は十分に確保される。
【００３７】
そして、図２（ｃ）に示されるように、本実施形態の第１の切断工程では、刃具４０を用いて、被切断部材１０の中央部にて切断を行う。これにより、被切断部材１０は、中央部にて分割された状態となる。ここまでが第１の切断工程である。
【００３８】
こうして、第１の切断工程を行った後、本実施形態の切断工程では、第２の切断工程を行う。この第２の切断工程では、図２（ｄ）に示されるように、中央部で分割された状態にある被切断部材１０の全面にて吸引穴２２ａ、２２ｂの吸引をオンとした状態で、被切断部材１０における周辺部にて、刃具４０による切断を行う。
【００３９】
つまり、第２の切断工程では、中央部側の吸引穴２２ａおよび周辺部側の吸引穴２２ｂともに、全ての吸引穴２２ａ、２２ｂを吸引オンの状態として、被切断部材１０の周辺部の切断を行う。このとき、被切断部材１０は、中央部で分割されて個々の分割部分の面積が当初よりも小型化され反り量も小さくなるので、被切断部材１０の全面が、搭載面２１に密着し、全ての吸引穴２２ａ、２２ｂにて空気漏れすることがない。
【００４０】
そして、第２の切断工程では、このような状態で、被切断部材１０の周辺部にて切断を行うことにより、分割体１０ａを形成する。以上が、本実施形態における分割体１０ａの製造方法である。
【００４１】
ところで、本実施形態によれば、切断工程を２段階に分け、第１の切断工程では、被切断部材１０の中央部側のみにて吸着治具２０に固定するから、被切断部材１０に反りＳが生じていても、被切断部材１０の周辺部の吸引穴２２ｂにて空気漏れすることなく、当該固定が十分なものとなる。この十分な固定の状態で被切断部材１０の中央部を切断するから、切断の寸法精度は十分に確保される。
【００４２】
そして、この第１の切断工程によって、被切断部材１０は中央部で分割されて小型化されるため、当初（つまり中央部の切断前）の大きな被切断部材１０に比べて、反り量が低減され、結果的に反り戻し力も弱まる。この状態で第２の切断工程では、被切断部材１０の全面にて吸引をオンとし、固定を行うようにするため、中央部で分割された被切断部材１０の全体で空気漏れすることなく、十分な固定が行える。
【００４３】
そして、この状態で被切断部材１０の周辺部の切断を行うことから、この第２の切断工程においても、切断の寸法精度は十分に確保される。よって、本実施形態によれば、被切断部材１０に反りが生じている場合であっても、切断の寸法精度よく切断を行うことができる。
【００４４】
次に、本実施形態の効果について、より具体的に述べる。ここでは、上記図４に示される製造方法を比較例とし、本実施形態の製造方法の効果を述べることとする。
【００４５】
本実施形態および比較例において、被切断部材１０はエポキシ樹脂よりなる矩形板状のものとする。ここで、被切断部材１０において、厚さ：６ｍｍ、平面サイズ：２００ｍｍ×７０ｍｍ、面積：１４０００ｍｍ２、弾性率：３０ＧＰａ、反り量（図２（ａ）中の長さＳ）：３ｍｍとする。
【００４６】
一方、本実施形態および比較例において、板状の吸着治具２０はゴムよりなるものであり、厚さ：３ｍｍ、弾性率：２０ＭＰａ、全ての吸引穴２２ａ、２２ｂの合計面積：８０００ｍｍ２、とする。また、吸引ポンプ２４による吸引力は、−１００ｋＰａの負圧とする。
【００４７】
まず、上記図４に示される比較例では、全ての吸引穴２２ａ、２２ｂによる吸引力は計算上、８００Ｎであるが、実際には、図４に示されるように、被切断部材１０の周辺部の空気漏れによる圧力減少がある。この減少分として当該吸引力が５０％減少すると仮定すると、比較例における実際の当該吸引力は４００Ｎとなる。
【００４８】
また、３ｍｍ反った被切断部材１０における反り戻し力は、実測で５００Ｎであった。このことから、比較例では、吸引力よりも反り戻し力の方が大きい（吸引力＜反り戻し力）ものとなり、上記したように被切断部材１０の固定が不十分なものとなる。そのため、比較例では、切断の寸法精度の悪化を招くのである。
【００４９】
これに対して、本実施形態では、第１の切断工程では、被切断部材１０の中央部側のみを吸引、固定し、周辺部側は吸引せずに反りを矯正しない状態で、中央部を切断することで、第１の切断工程における切断の寸法精度は確保される。
【００５０】
そして、第１の切断工程後、中央部で分割された状態の被切断部材１０においては、個々の分割部分の面積が、当初に比べて実質半分になり、吸引の面積も半分になる。そのため、第２の切断工程では、吸引力は８００Ｎの半分の４００Ｎとなる。
【００５１】
また、長さ２００ｍｍであり反り量（図２（ａ）中の長さＳ）が３ｍｍであった被切断部材１０は、実質半分に切断されることで、反り量は０．７５ｍｍまで低減する。そのため、第２の切断工程では、反り戻し力は、５００Ｎ×（０．７５／３）＝１２５Ｎとなる。そうすると、本実施形態の第２の切断工程では、吸引力が反り戻し力よりも大きいもの（吸引力＞反り戻し力）となり、被切断部材１０の固定が安定することがわかる。
【００５２】
また、反り量を０．７５ｍｍまで低減すれば、第２の切断工程における吸引力と反り戻し力とが同程度の設計であっても、ゴム等の弾性体よりなる吸着治具２０の弾性変形によって、被切断部材１０の保持が可能となる。それゆえ、吸着治具２０は、ゴム等の弾性体よりなることが望ましい。
【００５３】
（第２実施形態）
図３は、本発明の第２実施形態にかかる吸着治具２０の概略断面構成を示す図である。本実施形態では、上記第１実施形態との相違点を中心に述べることとする。
【００５４】
上記第１実施形態では、吸着治具２０は、１個の吸引ポンプ２４を用い、中央部側の吸引穴２２ａの空気流路２３ａと周辺部側の吸引穴２２ｂの空気流路２３ｂにそれぞれ、開閉弁２５ａ、２５ｂを設けることによって、それぞれの空気流路２３ａ、２３ｂを独立して開閉するものとしていた。
【００５５】
それに対して、本実施形態では、図３に示されるように、中央部側の吸引穴２２ａの空気流路２３ａと、周辺部側の吸引穴２２ｂの空気流路２３ｂとが互いに別個のものとされており、それぞれの空気流路２３ａ、２３ｂごとに、独立した吸引ポンプ２４ａ、２４ｂを設けている。
【００５６】
そして、それぞれの空気流路２３ａ、２３ｂについて吸引ポンプ２４ａ、２４ｂをオンオフするものである。このように、中央部側の吸引穴２２ａと周辺部側の吸引穴２２ｂとで、別系統の吸引ポンプ２４ａ、２４ｂを用いることによって、第１の切断工程および第２の切断工程にて吸引のオンオフ操作を行うようにしてもよい。
【００５７】
（他の実施形態）
なお、被切断部材１０としては、板状をなす剛体であって中央部および周辺部にて切断されるものであればよく、被切断部材１０としては、上記した多連状態のモールドＩＣ等以外のものであってもよい。
【００５８】
また、用意される板状の被切断部材１０としては、上記したような反りＳが発生していない平板のものであってもよい。もちろん、上記したような反りＳが生じている被切断部材１０が用意された場合には、第１の切断工程では、反りＳによる凸面１２側を搭載面２１に対向させて、被切断部材１０を吸着治具２０に支持するようにすれば、上記第１実施形態に示した効果が有効に発揮されることはいうまでもない。
【００５９】
また、切断工程において被切断部材１０を切断する方法としては、上記した刃具４０に限定するものではなく、たとえばレーザによる切断方法や、水を用いたウォータージェット等による切断方法であってもよい。
【００６０】
また、第２の切断工程においても、第１の切断工程と同様に、分断状態にある被切断部材１０を、反り矯正治具３０によって押しつけ、反りを矯正した状態で吸着を行うようにしてもよい。
【００６１】
また、本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した範囲内において適宜変更が可能である。また、上記各実施形態は、互いに無関係なものではなく、組み合わせが明らかに不可な場合を除き、適宜組み合わせが可能であり、また、上記各実施形態は、上記の図示例に限定されるものではない。また、上記各実施形態において、実施形態を構成する要素は、特に必須であると明示した場合および原理的に明らかに必須であると考えられる場合等を除き、必ずしも必須のものではないことは言うまでもない。また、上記各実施形態において、実施形態の構成要素の個数、数値、量、範囲等の数値が言及されている場合、特に必須であると明示した場合および原理的に明らかに特定の数に限定される場合等を除き、その特定の数に限定されるものではない。また、上記各実施形態において、構成要素等の形状、位置関係等に言及するときは、特に明示した場合および原理的に特定の形状、位置関係等に限定される場合等を除き、その形状、位置関係等に限定されるものではない。
【符号の説明】
【００６２】
１０    被切断部材
１０ａ  分割体
２０    吸着治具
２１    搭載面
２２ａ  中央部側の吸引穴
２２ｂ  周辺部側の吸引穴
【図１】
2014180703.tif 000003
【図２】
2014180703.tif 000004
【図３】
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【図４】
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