(57)【要約】【課題】プリント基板を光センサで走査しながら変位を測定する検査装置において、走査するための動力源による振動の変位の測定に与える影響を防止する技術を提供する。【解決手段】基台１０、動力源２３を抱えるステージ支持材２４、ＸＹステージ２２（スキャンユニット２０）のルートは剛性結合とし、基台１０、基板１を支持する基板支持部材３１（基板支持ユニット）間は弾性結合とすることで、スキャンユニットと基板支持ユニット間を振動的に分離する構造とするとともに、ＸＹ方向保持部材５０で弾性結合によって生じかねない基板１と平行な方向への移動を規制することで、横方向への不安定さを防止する構造とした。【選択図】図１
2014183133.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基台（１０）と、
該基台に搭載され、プリント基板（１）の辺縁部を支持し、かつ該プリント基板を水平に支持する基板支持ユニット（３０）と、
三角測量により変位の測定をするための光センサ（２１ｂ）と、動力源（２３）と、該測定のとき該動力源により前記光センサを前記プリント基板の上方で平行にスキャンさせるＸＹステージ（２２）と、を上部で前記基板支持ユニットの外側を通して保持し、下部を基台に固定されたスキャンユニット（２０）と、を備え、前記プリント基板上のはんだの形状を検査するプリント基板検査装置であって、
弾性を有し、前記基台の上に設けられ前記基板支持ユニットを下から支える防振部材（４０）と、前記防振部材の周囲に設けられ、一端側が前記基台に固定され他端側が前記基板支持ユニットの下部の周囲の側部に近接して設けられることで、前記プリント基板と平行な方向への移動を規制するＸＹ方向保持部材（５０）と、を備えたことを特徴とするプリント基板検査装置。
【請求項２】
基台（１０）と、
プリント基板（１）の下部の搬送の方向と直交する方向の相対する両サイドの２つの辺縁部を支持して検査位置へ搬送するベルト（９１）と、該ベルトで搬送されてきた該プリント基板の前記辺縁部を挟み固定、保持するクランプ（３２、３３）と、を前記両サイドから支持する基板支持ユニット（３０）と、
光を前記プリント基板に照射しその反射を受けて変位の測定をするための光センサ（２１ｂ）と、動力源（２３）と、該動力源により該測定のときに前記検査位置にある前記プリント基板の上方で前記光センサを平行にスキャンさせるＸＹステージ（２２）と、を前記搬送ユニットの外側を通して保持し、前記光センサを保持する側と反対側が前記基台に固定して設けられたスキャンユニット（２０）と、を備え、前記プリント基板上のはんだの形状を検査するプリント基板検査装置であって、
弾性を有し、前記基台と前記搬送ユニットとの間に設けられ前記搬送ユニットを支える防振部材（４０）と、一端側が前記基台に固定され他端側が前記基板支持ユニットの下部の周囲の側部に近接して設けられることで、前記プリント基板と平行な方向への移動を規制するＸＹ方向保持部材（５０）と、を備えたことを特徴とするプリント基板検査装置。
【請求項３】
前記基板支持ユニットは、前記両サイドに搬送路に沿って相対して直立した２つの基板支持部材（３１）と、該基板支持部材のそれぞれの内側に、
前記クランプとして、該搬送の方向に検査対象とするプリント基板の最大長さを有して固定された上クランプと、該上クランプの下側に該上クランプと平行に該最大長さを有し前記プリント基板の辺縁部を搭載して上下に移動可能に設けられた下クランプを有し、さらに、
該下クランプの下側に上クランプと平行に該最大長さに亘る軸部材（９２ａ）を中心に回転し該中心から離れた端部側が前記下クランプの下部に接触する回転部材（９２ｂ）を有し、該回転部材を回転させて前記下クランプを上に移動させることで前記プリント基板を前記上クランプに押圧させて固定させる昇降機構（９２）、を備えたことを特徴とする請求項２に記載のプリント基板検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プリント基板（以下、「基板」と言う。）が保持された状態で、動力源によりその基板に平行に光センサを走査（スキャン）させて、その基板上のはんだの形状を検査する技術に関し、特に、その動力源からの振動による測定への影響を軽減した技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、搬送されてきた基板を検査するために搬送機構上で停止させ、安定に固定保持して検査する技術がある（特許文献１を参照）。特許文献１の技術は、ベルトで搬送されて所定の検査位置で停止した基板の二つの辺を、搬送中は搬送の邪魔にならないように下げられていた基板の下にある下クランプを搬送停止時に上に駆動力で持ち上げることで基板を上クランプに押し付けて固定するものであった。このように基板が固定された状態で、基板の面を走査させつつ、基板１の面に送った光の反射光を受けて走査箇所における変位を測定する（いわゆる、三角測量）。そして、走査箇所の位置と測定した変位とから、はんだの形状を表すデータを算出し、基準データと比較し、合否判断することをしていた。
【０００３】
その構造の一断面をモデル的に表したのが図５である。図５は、搬送機構を示していないが、検査部２００の制御部２２０で制御されたベルトを含む搬送機構が、基板１の両サイドの辺縁部を載せて、所定の検査位置までは搬送して（搬送方向は、図５の奥行方向）停止し、その基板１の辺縁部を上クランプ３３と下クランプ３２とで挟んで、その上クランプ３３と下クランプ３２を支持する基板支持部材３１に固定し、保持する。これらの支持及び保持は、基板１の両側で行われる。これら、上クランプ３３、下クランプ３２及び基板支持部材３１が基板１を直接的に支持する基板支持ユニット３０を構成し、これらは金属で構成され、剛体である。そして、基板支持ユニット３０の下部は、やはり剛体である基台１０に固定される。基台１０は、防振部材６を介して、床２などに固定される。
【０００４】
一方、搬送方向に沿って、かつ基板支持ユニット３０を囲むようにその外側に、ステージ支持材２４が設けられ、その上部には光センサ２１ｂとそれを保持するセンサ保持機構２１ａを含むセンサヘッド２１がＸ移動機構２２ｂによりＸ方向に及びＹ移動機構２２ａによりＹ方向に移動可能に保持されている。これらのＸ移動機構２２ｂ及びＹ移動機構２２ａは、いわゆるＸＹステージ２２を構成し、ステージ支持材２４に備えられたモータ２３を動力源として光センサ２１ｂを移動させる。ＸＹステージ２２、及びステージ支持材２４は、剛体である。ステージ支持材２４の下部は、基台１０に固定される。
【０００５】
このような構成で、検査部２００の制御部２２０からの指示で基板１の搬送が停止され、基板１が上クランプ３３と下クランプ３２により固定、保持されたとき、制御部２２０は、モータ２３によりＸＹステ−ジ２２を動かして、基板１上においてセンサヘッド２１をＸ方向及びＹ方向に走査させて、基板１の各位置における変位を測定させる。検査部２００の評価部２１０は、その測定して得られた位置と変位のデータを受けて、はんだ形状を定量的に示す画像情報に変換し、基準（設計値）の画像情報を比較して良否判定することで検査する。
【０００６】
上記の検査において、床２を通して伝わる外部からの外部振動ＦＶは防振部材６により軽減され、変位の測定に対する影響を防止できる。さらに、その振動成分として低周波成分が残留していたとしても、スキャンユニット２０と、基板支持ユニット３０は、平行に同時に動くため、基板１と光センサ２１ｂとの間の間隔が一定を維持したまま、変わらないので、変位の測定に与える影響は少なかった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００８−６６６３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、上記構成において、変位の測定時は、モータ２３を駆動してセンサヘッド２１を走査させる必要がある。その動力源であるモータ２３による振動、及び、そのモータ２３で駆動されるＸＹステージ２２等に用いられるギヤによる振動を含む振動ＭＶによる一種の微小振動が変位の測定に影響、つまり、測定値のゆらぎやドリフトがあった。
【０００９】
一般に、床２からの外部の振動ＦＶに比較し、内部のモータ２３等による振動ＭＶは、高周波成分を含む傾向があるがその大きさ（強さ、或いは振幅）そのものが小さいため、変位の測定に与える影響は少ない。
【００１０】
そこで、基板１の静的な周波数応答特性Ｆ（ｆ）を調べて、横軸を周波数ｆ、縦軸を大きさ（Ｍａｇ）の座標にプロットすると図６Ａのような特性を示す。高周波領域の帯域が落ちる直前で共振特性（共振周波数ｆｒ）を示している。この帯域の特性及び共振周波数は、基板１の大きさや厚さ、さらには、はんだの形状や量により、変わる。
【００１１】
さらに、基板１の相対する２辺の辺縁部を固定保持して、周波数を変化させた振動を与えた動的な周波数応答特性Ｅｒ（ｆ）を調べてみると、図６Ｂの特性を示す。図６Ｂでは、基板１は辺縁部が固定保持されているため、共振周波数近くまでの特性は減衰しているものの、共振周波数ｆro（以下、固有振動数ということがある。）付近では、周囲の振動エネルギーを吸収して大きな値を示す傾向がある。
【００１２】
つまり、上記のように、内部のモータ２３等によって生じる振動ＭＶは、高周波成分を含むが大きさ（Ｍａｇ）そのものが小さいため、変位の測定に与える影響はほとんどないが、変位の測定時における、検査対象とする基板１の固有振動数と同じ、或はその付近の周波数が振動ＭＶの高周波成分に含まれていれば、基板１が固有振動数で共振状態となり、その共振による振動の影響が、変位の測定の測定値に影響する。
【００１３】
本発明の目的は、変位の測定時に走査等のために動作する動力源による振動の変位の測定に与える影響を防止する技術を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、基台（１０）と、該基台に搭載され、プリント基板（１）の辺縁部を支持し、かつ該プリント基板を水平に支持する基板支持ユニット（３０）と、三角測量により変位の測定をするための光センサ（２１ｂ）と、動力源（２３）と、該測定のとき該動力源により前記光センサを前記プリント基板の上方で平行にスキャンさせるＸＹステージ（２２）と、を上部で前記基板支持ユニットの外側を通して保持し、下部を基台に固定されたスキャンユニット（２０）と、を備え、前記プリント基板上のはんだの形状を検査するプリント基板検査装置であって、弾性を有し、前記基台の上に設けられ前記基板支持ユニットを下から支える防振部材（４０）と、前記防振部材の周囲に設けられ、一端側が前記基台に固定され他端側が前記基板支持ユニットの下部の周囲の側部に近接して設けられることで、前記プリント基板と平行な方向への移動を規制するＸＹ方向保持部材（５０）と、を備えた。
請求項２に記載の発明は、基台（１０）と、プリント基板（１）の下部の搬送の方向と直交する方向の相対する両サイドの２つの辺縁部を支持して検査位置へ搬送するベルト（９１）と、該ベルトで搬送されてきた該プリント基板の前記辺縁部を挟み固定、保持するクランプ（３２、３３）と、を前記両サイドから支持する基板支持ユニット（３０）と、光を前記プリント基板に照射しその反射を受けて変位の測定をするための光センサ（２１ｂ）と、動力源（２３）と、該動力源により該測定のときに前記検査位置にある前記プリント基板の上方で前記光センサを平行にスキャンさせるＸＹステージ（２２）と、を前記搬送ユニットの外側を通して保持し、前記光センサを保持する側と反対側が前記基台に固定して設けられたスキャンユニット（２０）と、を備え、前記プリント基板上のはんだの形状を検査するプリント基板検査装置であって、弾性を有し、前記基台と前記搬送ユニットとの間に設けられ前記搬送ユニットを支える防振部材（４０）と、一端側が前記基台に固定され他端側が前記基板支持ユニットの下部の周囲の側部に近接して設けられることで、前記プリント基板と平行な方向への移動を規制するＸＹ方向保持部材（５０）と、を備えた。
請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の発明において、前記基板支持ユニットは、前記両サイドに搬送路に沿って相対して直立した２つの基板支持部材（３１）と、該基板支持部材のそれぞれの内側に、前記クランプとして、該搬送の方向に検査対象とするプリント基板の最大長さを有して固定された上クランプと、該上クランプの下側に該上クランプと平行に該最大長さを有し前記プリント基板の辺縁部を搭載して上下に移動可能に設けられた下クランプを有し、さらに、該下クランプの下側に上クランプと平行に該最大長さに亘る軸部材（９２ａ）を中心に回転し該中心から離れた端部側が前記下クランプの下部に接触する回転部材（９２ｂ）を有し、該回転部材を回転させて前記下クランプを上に移動させることで前記プリント基板を前記上クランプに押圧させて固定させる昇降機構（９２）、を備えた。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、基台、動力源を抱えるステージ支持材、ＸＹステージ（スキャンユニット）のルートは剛性結合とし、基台、基板を支持する基板支持部材のルートは弾性結合とすることで、スキャンユニット（動力源側）と基板支持ユニット（基板側）との間を振動的に分離する構造にするとともに、ＸＹ方向保持部材で弾性結合によって生じかねない基板と平行な方向への移動を規制することで、横方向への不安定さを防止する構造としたので、基板の動力源による振動に共振する動作に基づく、変位の測定への影響を防止できる。
【００１６】
また、プリント基板は、その搬送方向の長さが変わっても検査対象とするプリント基板の最大長さに亘って平行に固定される構造であるから、振動に対して強く固定される。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明に係るプリント基板検査装置の構成を示す図である。
【図２】本発明に係る搬送装置を含む基板支持装置の構成を示す図である。
【図３Ａ】本発明に係る搬送装置を含む基板支持装置の構成を示す図で、図２の横から見た図である。
【図３Ｂ】図２の本発明に係る基板支持装置の構成におけるクランプの構成を示す図である。
【図４Ａ】本発明における振動の伝達状況を説明するための図である。
【図４Ｂ】図４Ａについて振動の伝達状況を定量的に説明するための図である。
【図５】従来のプリント基板検査装置の構成を説明するための図である。
【図６Ａ】プリント基板の静的な周波数応答を説明するための図である。
【図６Ｂ】プリント基板の測定時における動的な周波数応答を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
［第１の実施形態］
この実施形態では、本発明に係るプリント基板検査装置において、検査対象である基板１（プリント基板）が所定の検査位置まで搬送され、その検査位置で固定支持された状態で、説明する。つまり、基板１（プリント基板）を搬送する搬送機構を除いた状態で、主要構成を説明する。
【００１９】
なお、以下の記載で、図５と符号を同じにする構成の要部は、同一機能を有する。
【００２０】
図１はこの発明の一実施形態を説明するための図で、基板１が固定保持された状態での機構の一断面を示す図である。図１は、図５と防振部材４０及びＸＹ方向保持部材５０を備えている点で異なる他は同じである。図１における各要部の動作は、基本的に図５の例と同じである。図５における検査部２００の構成・動作は、図１及びその説明では省略しているが、同じく適用される。下記説明では、一部、図５の説明と重複するところがある。
【００２１】
検査部２００の制御部２２０で制御されたベルトを含む搬送機構が、基板１の両サイドの辺縁部を載せて、所定の検査位置までは搬送して（搬送方向は、図１の奥行方向）停止し（以上の機構は、不図示）、その基板１の辺縁部を上クランプ３３と下クランプ３２とで挟んで基板支持部材３１に固定、保持する。この保持動作は、基板１の両側で行われる。これら、上クランプ３３、下クランプ３２及び基板支持部材３１が基板１を直接的に支持する基板支持ユニット３０を構成し、剛体である。
【００２２】
基板支持ユニット３０の下部は、防振部材４０を間にして基台１０の上に配置される。防振部材４０は、弾性体で構成され、単純に、基板支持部材３１を搭載している。基板支持部材３１の底（基板支持ユニット３０の下部）のまわりのところどころに配置され、例えば、その底面が四辺形であれば、少なくともその角々に複数配置される（なお、その四辺に沿って囲うように配置してもよい。）。これら複数の防振部材４０は、上クランプ３３、下クランプ３２、基板支持部材３１（これらを含む基板支持ユニット３０）を搭載したとき、その上部に保持されている基板１の面を水平に維持するために、同一の弾力性、或は均一な弾力性を有することが望まれる。防振部材３０の材質、硬さ等は、基板支持ユニット３０の重量を考慮して、適宜選択する。
【００２３】
基台１０は、防振部材６を介して、床２などに固定される。
【００２４】
一方、搬送方向に沿って、かつ基板支持ユニット３０を囲むようにその外側に、ステージ支持材２４が設けられ、その上部には光センサ２１ｂとそれを保持するセンサ保持機構２１ａを含むセンサヘッド２１が、Ｘ移動機構２２ｂによりＸ方向に及びＹ移動機構２２ａによりＹ方向に移動可能に保持されている。これらのＸ移動機構２２ｂ及びＹ移動機構２２ａは、いわゆるＸＹステージ２２を構成し、ステージ支持材２４に備えられた２つのモータ２３を動力源として光センサ２１ｂを基板１上においてＸ方向及びＹ方向に移動（走査）させる。ＸＹステージ２２、及びステージ支持材２４は、剛体である。ステージ支持材２４の下部は、基台１０に固定される。
【００２５】
上記構造とすることにより、防振部材４０により動力源であるモータ２３による振動ＭＶを、基板支持ユニット３０へ、強いては、基板１へ伝達するのを阻止或いは軽減することができる。
【００２６】
上記構造では、ＸＹステージ２２及びステージ支持材２４は、基台１０に剛体結合されるので安定に固定される。しかしながら、基板支持ユニット３０は、防振部材４０を介して基台１０に軟結合されるため、防振効果を有するものの、そのままでは、基台１０の面に平行な方向、つまり、基板１の平行方向に対して不安定である。言い換えると、変位の測定時には、モータ２３によりＸＹステージ２２でセンサヘッド２１の基板１における位置（Ｘ、Ｙ）を移動（走査）させつつ基板１の変位を測定し、その位置における変位をデータとして出力させるが、基板支持ユニット３０の基板１の平行方向の位置が不安定であると、基板１とセンサヘッド２１との相対位置が不安定となり、測定の位置の誤差になりかねない。
【００２７】
そこで、ＸＹ方向保持部材５０を、基板支持ユニット３０の基板支持部材３１の下部の側面部に近接して設けることにより、基板支持部材３１の位置を基台１０に固定させている。このＸＹ方向保持部材５０を基板支持部材３１の下部の四方の側面部に配置することで、基板支持ユニット３０の基台１０上の位置を、基台１０の面に平行な方向（基板１の平行方向）に対して安定に維持させることができる。
【００２８】
このＸＹ方向保持部材５０は、図１では、例として断面がＬ型の形状したアングル（剛体）で形成されている。そのＬ型形状の上部である一端側が基板支持ユニット３０の基板支持部材３１の下側の側面部に近接、つまりほぼ接している状態にされ、そのＬ型形状の下部である他端側がその位置を基台１０にネジ或いは他のロック手段で固定される。基板支持ユニット３０の一端は、基板支持部材３１の側面部にほぼ接する状態にされているが、その状態とは、一端側は、基板支持部材３１の側面部には固定されていないで、かつその側面部を押圧することなく、近接して設けられていることで、振動による基板支持部材３１の基板１と平行方向への移動を防止し、基板支持部材３１の上下方向への微動を可能にしている状態である。そして基板支持部材３１の四方の側面部に配置されたＸＹ方向保持部材５０の一端側は、共同してモータ２３による振動ＭＶによる基板支持ユニット３０の上下方向の微動（振動に対する応答）をガイドしている状態である。そのため、基板支持ユニット３０の一端と基板支持部材３１の側面部とは、近接して配置され、上記のほぼ接する状態を形成するように構成されている。寸法的には、基板支持ユニット３０の一端と基板支持部材３１の側面部とは、５０〜１５０ミクロン程度の隙間が設けられている。この隙間は、横方向へ移動の規制と、上記の振動による微動の上下方向のガイド（振動の吸収）と、を考慮して適切に決められる。
【００２９】
言い換えれば、ＸＹ方向保持部材５０は、基板支持ユニット３０、強いては基板１の横方向（基板１と平行な方向）への位置の変動を防止するとともに、防振部材４０による振動ＭＶを効率よく吸収するのに寄与している。
【００３０】
図４Ａは、図１におけるモータ２３によって生じる振動ＭＶと、床２からの外部の振動ＦＶとが基板１に作用し、測定に影響するまでの振動の伝達経路をブロック的に示す。図４Ａで、基台１０、ステージ支持部材２４、基板支持ユニット３０は、それぞれ剛体であるから、それぞれの振動の伝達特性Ｂ１、Ｂ２、Ｂ３は、ほぼ１と考えることができる。図４Ａにおける基板１の振動に係る特性Ｆ（ｔ）（ｔは時間）は、図６Ａで示される特性Ｆ（ｆ）（ｆは周波数）を時間領域に変換したものであり、同じものである。したがって、防振部材６、防振部材４０のそれぞれの振動に係る伝達特性をＨ（ｔ）、Ｇ（ｔ）とすると、図４Ａから、モータ２３によって生ずる振動ＭＶの基板１への影響は、ＭＶ×Ｇ（ｔ）×Ｆ（ｔ）で表され、外部の振動ＦＶによる基板１への影響は、ＦＶ×Ｈ（ｔ）×Ｇ（ｔ）×Ｆ（ｔ）で表せられる。
【００３１】
図４Ｂは、図４Ａの各ブロックで伝達される振動がどのように変化するかを定量的に示す図である。図４Ｂにおいて、各振動により変位の測定への影響を示す、つまり測定誤差の要因となる誤差影響特性Ｅｒｒ（ｔ）（時間領域表示）は、次のように表される。
Ｅｒｒ（ｔ）＝ＭＶ×Ｇ（ｔ）×Ｆ（ｔ）＋ＦＶ×Ｈ（ｔ）×Ｇ（ｔ）×Ｆ（ｔ）
【００３２】
図４Ｂにおける誤差影響特性Ｅｒｒ（ｆ）は、時間領域表示の誤差影響特性Ｅｒｒ（ｔ）を周波数領域に変換して表示したものである。誤差影響特性Ｅｒｒ（ｆ）は、本来、スペクトラムで離散的に示されるが、図４Ｂに示す誤差影響特性Ｅｒｒ（ｆ）は各スペクトラムのピーク値を結んで表示したものである。図４Ｂにおけるａ、ｂ、ｃの符号は、図４Ａにおける経路のａ、ｂ、ｃを示すものである。
【００３３】
本発明を適用した場合の図４Ｂに示す誤差影響特性Ｅｒｒ（ｆ）と、図６Ｂにおける基板１の動的な周波応答特性Ｅｒ（ｆ）とを比較してみると、誤差影響特性Ｅｒｒ（ｆ）には、周波数応答特性Ｅｒ（ｆ）における共振特性（固有振動）が表れていない。この発明を適用しても基板１は、自身の特性として図６Ｂの周波数応答特性Ｅｒ（ｆ）、固有振動数を失うことなく潜在的に有している。しかしながら、防振部材４０による弾性的な伝達Ｇ（ｔ）により、モータ２３の動作に基づく振動ＭＶから、周波数応答特性Ｅｒ（ｆ）の共振特性をもたらす周波数ｆｒ付近の周波数成分（共振を引き起こす要因）を除去或は減衰させているので、その周波数ｆｒ付近の周波数成分を除去或は減衰した振動を受けた基板１では、共振（固有振動）を起こすことなく、図４Ｂの誤差影響特性Ｅｒｒ（ｆ）を示している。
【００３４】
［第２の実施形態］
第２の実施形態を図２、図３Ａ，図３Ｂを基に説明する。図２、図３Ａ，図３Ｂにおいて、図１、図５と符号を同一とする要部は、同一機能を有する。
【００３５】
実際に検査対象とする基板１の大きさは、基板１の種類に応じて大きさが異なるので、種々の大きさに対応して、安定に検査できることを、第２の実施形態を用いて説明する。特に、搬送機構、基板１の幅調整の機構、並びに、下クランプ３２及び昇降機構による基板１の安定保持、の構成について詳細に説明するものであり、基本的な発明の主要部の構成は、第１の実施形態と同じである。
【００３６】
図２は図１と同様に搬送方向側から見た断面図で、図３Ａは、図２の構成を横から見た図である。図３Ｂは、図３Ａの下クランプ３２を昇降させる昇降機構９２の詳細を説明するための図で、図２の基板支持ユニット３０の右側の片側を詳細に記載した図である。
【００３７】
図２、図３Ａ、図３Ｂにおいて、基板１を搬送する搬送機構は、基板１を搬送する搬送路（図２の奥行方向）の搬送開始位置側と終了位置側に設けられたローラ９１ａ、その間にローラ９１ａで無端回転可能に、搬送路の両サイドに張られた２つのベルト９１で構成され、不図示の制御部２２０からの指示により、搬送用モータ（不図示）で駆動されてローラ９１ａ及びベルト９１が回転することで、基板１の搬送路の両サイド側の辺縁部がベルトで保持され、搬送される。
【００３８】
上クランプ３３は、基板支持部材３１の搬送される基板１の上方に固定されている。ベルト９１は、下クランプ３２に設けられた溝を貫通して張られており（図２参照）、かつ下クランプ３２は昇降機構９２により上下に移動（昇降）可能にされている。下クランプ３２が下げられた状態のとき、基板１は搬送され、基板１が所定の検査位置に達したとき、ベルト９１による搬送が停止し、下クランプ３２が上方向に押し上げられることで、基板１が押圧される。その押圧により、基板１が基板支持部材３１に対して固定され、保持される。
【００３９】
下クランプ３２を上下させる昇降機構９２の詳細を、図３Ｂを基に説明する。下クランプ３２の下方には基板支持部材３１に固定された軸支柱９２ｃで保持された軸部材９２ａが設けられている。軸部材９２ａの軸長は搬送方向に沿って検査対象である基板１の最大長さに相当する長さを有し、軸支柱９２ｃによって上クランプ３３に対して平行に保持されている。軸部材９２ａには、搬送方向に長さを有する板状の回転部材９２ｂがシーソー回転可能に設けられている。回転部材９２ｂの図３Ｂの右の一片側が下クランプ３２の下部にあり、軸部材９２ａを挟んだ反対側の他片側が、不図示の制御部２２０からの指示により、エアーシリンダ９２ｄにより上下方向の圧力を受けて、回転部材９２ｂがシーソー回転する構成とされている。ガイド９２ｅは、下クランプ３２が上下に移動するときの案内をするものである。そして、基板１の搬送時は、エア−シリンダ９２ｄからの圧力はかからず、回転部材９２ｂは、図３Ｂで軸部材９２ａを境に回転部材９２ｂの左側が上がり、右側が下がり、下クランプ３２はベルト９１と共に下がるので、基板１は上クランプ３３から離脱し搬送が可能になる。基板１が所定の検査位置に達したとき、エア−シリンダ９２ｄからの圧力がかけられた回転部材９２ｂは、図３Ｂで軸部材９２ａを境に左側が下がり、右側が上がり、下クランプ３２はベルト９１と共に上がるので、基板１は上クランプ３３に押圧されて固定され保持される。
【００４０】
搬送路の両サイドにある２つの基板支持部材３１の間隔は、後記するように基板１の幅に応じて調整されるが、基板１の搬送方向の長さに応じて調整する機構はない。この場合、例えば、下クランプ３２が直接にエアーシリンダ９２ｄのように一点に集中した圧力を受けて、基板１を押圧しようとすると、基板１の搬送方向の長さによっては、均一な圧力でクランプされないで長さ方向に斜めにクランプされることがある。そうすると、それによる誤差が生じるとともに、振動も受けやすくなる傾向があった。
【００４１】
そこで、上記構成において、上クランプ３３、下クランプ３２、昇降機構９２及びそれを構成する軸部材９２ａ、回転部材９２ｂの搬送方向の長さは、検査対象とする基板１の最大長さとほぼ同じにされている（図３Ａ参照）。昇降機構９２は、エア-シリンダ９２ｄからの圧力を、上クランプ３３に平行にされている軸部材９２ａ及び回転部材９２ｂによって、前記基板１の最大長さに亘って均一に分散させて、下クランプ３２を上クランプ３３に対して平行な状態を維持したまま、上方向に移動させることで、基板１の長さに関係なく、上クランプ３３に対して基板１を平行に押圧して固定させることで、安定に保持できるようにしたものである。そうすることで振動にも強くなる。
【００４２】
図２では、図１の基板支持ユニット３０（或は基板支持部材３１）の下部が、ベース６０と間隔調整機構７０に分けられた構成となっている。ベース部材６０は、図１における基板支持ユニット３０の底部と同じで、直接に、防振部材４０とＸＹ方向保持部材５０によって基台１０に取り付けられている。この防振部材４０とＸＹ方向保持部材５０の作用・効果は図１の実施形態と同じである。
【００４３】
間隔調整機構７０は、図２の基板１の両サイドにある２つの基板支持部材３１の間隔を、検査対象とする基板１の幅（図２の左右方向の距離）に合わせる調整をするための機構である。例えば、間隔調整機構７０は基板の幅方向の溝を有し、基板支持部材３１の一方をベース６０に対して固定させ、他方をその溝に沿って移動させることで、２つの基板支持部材３１の間隔が、基板１を搬送、保持が可能な距離に調整され、調整された間隔の位置で固定してロックされる構成である。基板支持部材３１の中段における間隔を維持するための横支柱８０の幅もこのとき調整される。
【００４４】
図２におけるベース６０の幅(図２の左右方向の長さ)は、２つの基板支持部材３１が検査対象とする基板１の最大幅を搬送、保持するに十分な距離（間隔）とされている。そして、この距離は、実際の検査対象の基板１の幅が小さく、２つの基板支持部材３１の間隔が狭くされた後も一定のままである。防振部材４０及びＸＹ方向保持部材５０による、防振効果は、図２における上下方向の振動に対するものであるから、ベース６０の幅が一定で、２つの基板支持部材３１の間隔が変わっても、変わらない。また、図６Ｂのような基板１のエア-シリンダ９２ｄからの圧力による自身における共振の大きさ（強さ）は、基板１が小さくなるほど小さい傾向にあり、検査対象とする基板１の最大幅で防振対策が施されていることが重要である。
【符号の説明】
【００４５】
１  基板（プリント基板）、  ２  床、  ６  防振部材、  １０  基台
２０  スキャンユニット
２１  センサヘッド、  ２１ａ  センサ保持機構、  ２１ｂ  光センサ
２２  ＸＹステージ、  ２２ａ  Ｙ移動機構、  ２２ｂ  Ｘ移動機構
２３  モータ、２４  ステージ支持材
３０  基板支持ユニット、  ３１  基板支持部材、３２  下クランプ
３３  上クランプ
４０  防振部材
５０  ＸＹ方向保持部材
６０  ベース
７０  間隔調整機構
８０  横支柱
９０  搬送機構、  ９１  ベルト、  ９１ａ  ローラ
９２  昇降機構  、  ９２ａ  軸部材、  ９２ｂ  回転部材
９２ｃ  軸支柱、  ９２ｄ  エアーシリンダ  、  ９２ｅ  ガイド
２００  検査部、  ２１０  評価部、  ２２０  制御部
【図１】
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【図２】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図５】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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