(57)【要約】      （修正有）【課題】基板上に形成された残渣金属膜を短時間且つ容易に除去することができる残渣金属除去方法及びこれに用いる残渣金属除去装置を提供する。【解決手段】残渣金属除去装置１は、被処理面に残渣金属膜Ｋ１が形成された基板Ｋを保持する保持台２、この保持台２を移動させる移動機構３、一方面に粘着層が形成された粘着シート８を繰り出す繰出ローラ４、粘着シート８を巻き取る巻取ローラ５、繰出ローラ４と巻取ローラ５との間に配設された押当ローラ６などから構成されており、粘着シート８の粘着層に残渣金属膜Ｋ１の表面を接着させ、巻取ローラ５によって粘着シート８を巻き取りつつ、移動機構３によって保持台２を被処理面と平行な方向に沿って移動させることにより、被処理面上から残渣金属膜Ｋ１を引き剥がす。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理面に開口するように形成された微小空間内に溶融金属を充填した後の基板における、被処理面に形成された残渣金属膜を除去する残渣金属除去方法であって、
前記基板の被処理面に形成された残渣金属膜をその一方端部から他方端部に向けて連続的に前記基板から引き剥がし、基板から残渣金属膜を除去する剥離工程を行うことを特徴とする残渣金属除去方法。
【請求項２】
前記剥離工程では、前記残渣金属膜の表面に粘着体を接着させた後、該粘着体とともに前記残渣金属膜をその一方端部から他方端部に向けて連続的に前記基板から引き剥がすようにしたことを特徴とする請求項１記載の残渣金属除去方法。
【請求項３】
前記残渣金属膜が接着した粘着体から該残渣金属膜を回収する回収工程を行うことを特徴とする請求項２記載の残渣金属除去方法。
【請求項４】
前記剥離工程では、前記残渣金属膜の一方端部と被処理面との境界に刃物体の鋭角部を挿入し、該一方端部から他方端部に向けて連続的に前記基板から残渣金属膜を引き剥がすようにしたことを特徴とする請求項１記載の残渣金属除去方法。
【請求項５】
被処理面に開口するように形成された微小空間内に溶融金属を充填した後の基板における、被処理面に形成された残渣金属膜を除去する残渣金属除去装置であって、
少なくとも一方面に粘着層が形成された粘着シートと、
前記粘着シートを繰り出す繰出ローラと、
前記粘着シートを巻き取る巻取ローラと、
前記繰出ローラと前記巻取ローラとの間に配設された押当ローラと、
前記粘着シートの粘着層と対向するように配設され、前記被処理面に形成された残渣金属膜が前記粘着層と対向するように基板を保持する保持機構と、
前記保持機構及び押当ローラの内、少なくとも一方を、少なくとも前記基板の被処理面と平行な方向に沿って相対的に移動させる移動機構とを備えたことを特徴とする残渣金属除去装置。
【請求項６】
被処理面に開口するように形成された微小空間内に溶融金属を充填した後の基板における、被処理面に形成された残渣金属膜を除去する残渣金属除去装置であって、
一定の間隔を隔てて並設された駆動ローラ及び少なくとも１つの従動ローラと、
前記駆動ローラ及び従動ローラに巻回され、少なくとも外周面に粘着層が形成された無端ベルト状の粘着シートと、
前記駆動ローラを回転駆動させる回転駆動機構と、
前記粘着シートの粘着層と対向するように配設され、前記被処理面に形成された残渣金属膜が前記粘着層と対向するように基板を保持する保持機構と、
前記駆動ローラ、従動ローラ及び保持機構の内、少なくともいずれか１つを、少なくとも前記基板の被処理面と平行な方向に沿って相対的に移動させる移動機構とを備えたことを特徴とする残渣金属除去装置。
【請求項７】
前記粘着層に残渣金属膜が接着した粘着シートから残渣金属膜を回収する回収機構を備えることを特徴とする請求項５又は６記載の残渣金属除去装置。
【請求項８】
被処理面に開口するように形成された微小空間内に溶融金属を充填した後の基板における、被処理面に形成された残渣金属膜を除去する残渣金属除去装置であって、
外周面に粘着層が形成された粘着ローラと、
前記粘着ローラを回転駆動させる回転駆動機構と、
前記粘着ローラの粘着層と対向するように配設され、前記被処理面に形成された残渣金属膜が前記粘着層と対向するように基板を保持する保持機構と、
前記粘着ローラ及び保持機構の内、少なくとも一方を、少なくとも前記基板の被処理面と平行な方向に沿って相対的に移動させる移動機構とを備えたことを特徴とする残渣金属除去装置。
【請求項９】
一方面に粘着層が形成され、該粘着層が前記粘着ローラの粘着層に接触した回収シートを有し、
前記粘着ローラの粘着層に接着された残渣金属膜を、前記回収シートの粘着層に転着させて、前記粘着ローラから残渣金属膜を回収する回収機構を備えることを特徴とする請求項８記載の残渣金属除去装置。
【請求項１０】
被処理面に開口するように形成された微小空間内に溶融金属を充填した後の基板における、被処理面に形成された残渣金属膜を除去する残渣金属除去装置であって、
鋭角部が形成された刃物体と、
前記刃物体の鋭角部と対向するように配設され、前記被処理面に形成された残渣金属膜が前記鋭角部と対向するように基板を保持する保持機構と、
前記刃物体及び保持機構の内、少なくとも一方を、引き剥がし開始位置に前記刃物体の鋭角部先端が位置するように相対的に移動させるとともに、前記基板の被処理面と平行な方向に沿って相対的に移動させる移動機構とを備えたことを特徴とする残渣金属除去装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被処理面上に形成された微小空間内に溶融金属が充填された基板の、被処理面上に形成された残渣金属膜を除去する方法及びこれに用いる装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、三次元実装による高機能・高速動作の半導体システムの構築を目的として、半導体ウェハ（基板）上に設けたビアや貫通孔などの微小空間に金属を充填する技術、所謂シリコン貫通電極技術による貫通電極を用いたチップ積層技術の開発が行われている。
【０００３】
そして、基板に形成された微小空間内に金属を充填する方法の一つとして、微小空間内に溶融金属を充填する方法がある。しかしながら、この方法により微小空間内に金属を充填した場合、基板上に余分な溶融金属が硬化した薄い残渣金属膜が形成される。そこで、従来、基板上に形成された残渣金属膜を除去する方法として、微小空間内に溶融金属を充填し、この溶融金属を硬化させた後、微小空間の開口面上の残渣金属膜を再溶融し、再溶融された残渣金属膜を拭き取る方法（特許第４５０５５４０号公報）や、微小空間内に溶融金属を充填した後、溶融金属が硬化する前に、基板上の余分な溶融金属を取り除く方法（特開２００２−３６８０８３号公報）が提案されていた。
【０００４】
ところが、一般的に、基板と溶融金属とは親和性が低いため、上記残渣金属膜を除去する方法には、次のような問題が生じる。即ち、微小空間内に溶融金属を充填した後、残渣金属膜を再溶融させる、或いは、溶融金属が硬化する前に余分な溶融金属を取り除くと、充填した溶融金属が微小空間内から抜け出し、充填不良が発生するという根本的な品質上の問題が生じる。
【０００５】
そこで、微小空間内に充填した溶融金属を硬化させた後、機械研磨や化学機械研磨（ＣＭＰ、Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｐｏｌｉｓｈｉｎｇ）によって、基板上に形成された残渣金属膜を除去する方法が提案されている。このようにすれば、微小空間内に充填した溶融金属が硬化しているため、上記従来の方法のように、微小空間内から溶融金属が抜け出すこともなく、品質上の問題が生じるのを防止することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特許第４５０５５４０号公報
【特許文献２】特開２００２−３６８０８３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上記機械研磨やＣＭＰによって残渣金属膜を除去する場合、残渣金属膜の厚さに応じて変動するものの、上記従来の方法と比較すると、除去作業に要する時間が増加する。したがって、品質上の問題は生じないが、短時間で大量に生産することは困難であり、製造コストが嵩むという問題がある。
【０００８】
本発明は、以上の実情に鑑みなされたものであって、製品の品質を保った上で、基板上に形成された残渣金属膜を短時間且つ容易に除去することができる残渣金属除去方法及びこれに用いる残渣金属除去装置の提供を、その目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するための本発明は、
被処理面に開口するように形成された微小空間内に溶融金属を充填した後における、被処理面に形成された残渣金属膜を除去する残渣金属除去方法であって、
前記基板の被処理面に形成された残渣金属膜をその一方端部から他方端部に向けて連続的に前記基板から引き剥がし、基板から残渣金属膜を除去する剥離工程を行う残渣金属除去方法に係る。
【００１０】
この残渣金属除去方法によれば、残渣金属膜を、その一方端部から他方端部に向けて連続的に基板から引き剥がすようにしているため、短時間且つ容易に基板から残渣金属膜を除去することができる。
【００１１】
尚、基板から残渣金属膜を引き剥がす１つの方法としては、残渣金属膜の表面に粘着体を接着させ、この粘着体とともに残渣金属膜をその一方端部から他方端部に向けて連続的に基板から引き剥がす方法がある。この方法においては、まず、残渣金属膜の表面に粘着体を接着させ、ついで、この粘着体と基板とを相対的に移動させて、残渣金属膜の一方端部側から他方端部側に向けて所定の速度で粘着体を捲っていく。尚、接着体としては、少なくとも一方面に粘着層が形成されたシートや、外周面に粘着層が形成されたローラなどを例示することができる。
【００１２】
ここで、一般的に、基板に形成される微小空間の直径がサブミクロンから数十ミクロンであるのに対して、被処理面上に形成される残渣金属膜の膜厚はこれよりも圧倒的に大きい。したがって、上述したように、残渣金属膜の一方端部側から他方端部側に向けて粘着体を捲ることにより、被処理面上に形成された残渣金属膜と微小空間内に充填されている金属との間（以下、「境界部」という）に引張応力を作用させてこの境界部を破断させ、微小空間内に充填された金属をそのまま微小空間内に残した状態で、基板から残渣金属膜を引き剥がすことができる。
【００１３】
尚、粘着体を用いて残渣金属膜を基板から引き剥がす場合には、残渣金属膜が接着した接着体から残渣金属膜を回収する回収工程を更に行うことが好ましい。このようにすれば、接着体と残渣金属膜とを分離して回収することができ、接着体及び残渣金属膜のそれぞれを再利用することができる。尚、接着体から残渣金属膜を回収する方法としては、接着体を薬液に浸けて接着成分を溶解させる方法や、接着体にＵＶ光を照射して接着成分を変質させる方法などを例示することができる。
【００１４】
また、基板から残渣金属膜を引き剥がす他の方法としては、残渣金属膜の一方端部と被処理面との境界に刃物体の鋭角部を挿入し、この一方端部から他方端部に向けて連続的に基板から引き剥がす方法がある。この方法においては、残渣金属膜の一方端部と被処理面との境界に刃物体の鋭角部を挿入し、刃物体が残渣金属膜の一方端部側から他方端部側に向けて移動するようにこの刃物体と基板とを所定の速度で相対的に移動させる。
【００１５】
このようにすることで、刃物体の鋭角部によって境界部がせん断されるため、微小空間内に金属を残した状態で、基板から残渣金属膜を引き剥がすことができる。
【００１６】
そして、上記残渣金属除去方法に用いる残渣金属除去装置は、
少なくとも一方面に粘着層が形成された粘着シートと、
前記粘着シートを繰り出す繰出ローラと、
前記粘着シートを巻き取る巻取ローラと、
前記繰出ローラと前記巻取ローラとの間に配設された押当ローラと、
前記粘着シートの粘着層と対向するように配設され、前記被処理面に形成された残渣金属膜が前記粘着層と対向するように基板を保持する保持機構と、
前記保持機構及び押当ローラの内、少なくとも一方を、少なくとも前記基板の被処理面と平行な方向に沿って相対的に移動させる移動機構とを備えている。
【００１７】
この残渣金属除去装置によれば、まず、被処理面に形成された残渣金属膜と粘着体たる粘着シートの粘着層とが対向するように、保持機構によって基板を保持する。ついで、押当ローラと保持機構とを基板の被処理面と平行な方向に相対的に移動させた際に、基板の残渣金属膜に粘着シートの粘着層が押し当てられる位置に、移動機構によって予め押当ローラと保持機構とを相対的に接近移動させる。
【００１８】
しかる後、巻取ローラによって粘着シートを巻き取るとともに、移動機構によって押当ローラと保持機構とを前記平行な方向に沿って相対的に移動させる。これにより、残渣金属膜の表面に粘着シートの粘着層が接着する。尚、巻取ローラによって粘着シートを巻き取る際の巻取速度と、押当ローラと保持機構とを基板の被処理面と平行な方向に沿って相対的に移動させる際の相対速度とは略等しい速度にすることが好ましい。また、押当ローラと保持機構とを前記平行な方向に沿って移動させた後、基板の残渣金属膜に粘着シートの粘着層を押し当てて、しかる後、巻取ローラによって粘着シートを巻き取るとともに、押当ローラと保持機構とを前記平行な方向に沿って移動させるようにしても良い。尚、粘着シートを移動させずに、押当ローラを前記平行な方向に移動させても良い。
【００１９】
ここで、上述したように、一般的に基板に形成される微小空間の直径よりも被処理面上に形成される残渣金属膜の膜厚の方が圧倒的に大きいため、残渣金属膜の表面に粘着シートの粘着層を接着させた後、粘着シートを巻き取るとともに、押当ローラと保持機構とを前記平行な方向に沿って移動させることにより、前記境界部に引張応力を作用させてこの境界部を破断させ、微小空間内に充填された金属はそのまま微小空間内に残しつつ、被処理面上の残渣金属膜を捲り取るように引き剥がすことができる。尚、このように、残渣金属膜に粘着層を接着させて引っ張ることで、引張応力が略ライン状に作用するため、基板に掛かる負荷を軽減することができ、また、残渣金属膜を捲り取るように引き剥がすことで、残渣金属膜を単純に引っ張るのではなく、曲げを伴って引っ張ることができ、境界部が破断させ易くなる。尚、残渣金属膜をスムーズに引き剥がすためには、境界部を破断させるのに必要な引張応力をこの境界部に作用させなければならない。したがって、粘着層と残渣金属膜との間に、境界部を破断させるのに必要な引張応力よりも大きな接着力が働くように、粘着層の構成成分を適宜選択することが好ましい。
【００２０】
このように、この残渣金属除去装置によれば、微小空間内に充填された金属をそのまま微小空間内に残した状態で、残渣金属膜を引き剥がし、これを基板から容易に除去することができるため、製品の品質を保った上で、除去作業に要する時間を従来よりも大幅に短縮することができる。
【００２１】
また、上記残渣金属除去方法に用いる残渣金属除去装置は、
一定の間隔を隔てて並設された駆動ローラ及び少なくとも１つの従動ローラと、
前記駆動ローラ及び従動ローラに巻回され、少なくとも外周面に粘着層が形成された無端ベルト状の粘着シートと、
前記駆動ローラを回転駆動させる回転駆動機構と、
前記粘着シートの粘着層と対向するように配設され、前記被処理面に形成された残渣金属膜が前記粘着層と対向するように基板を保持する保持機構と、
前記駆動ローラ、従動ローラ及び保持機構の内、少なくともいずれか１つを、少なくとも前記基板の被処理面と平行な方向に沿って相対的に移動させる移動機構とを備えた構成としても良い。
【００２２】
このように構成された残渣金属除去装置によれば、上記と同様に、まず、保持機構によって、被処理面に形成された残渣金属膜と粘着体たる粘着シートの粘着層とが対向するように基板を保持する。ついで、駆動ローラ又は従動ローラと、保持機構とを前記平行な方向に相対的に移動させた際に、残渣金属膜が粘着シートの粘着層に押し当てられる位置に、移動機構によって駆動ローラ又は従動ローラと保持機構とを相対的に接近移動させる。
【００２３】
次に、回転駆動機構によって、駆動ローラを回転させて、駆動ローラ及び従動ローラに巻回された粘着シートを回動させるとともに、移動機構によって駆動ローラ又は従動ローラと保持機構とを前記平行な方向に沿って移動させる。これにより、残渣金属膜に粘着シートの粘着層が押し当てられ、残渣金属膜の表面に粘着層が接着する。尚、回転駆動機構による駆動ローラの回転速度から変換することで得られる平面速度（言い換えれば、粘着シートの送り速度）と、駆動ローラ又は従動ローラと保持機構とを前記平行な方向に沿って移動させる際の相対速度とは略等しい速度にすることが好ましい。また、この残渣金属除去装置においても、駆動ローラ又は従動ローラと保持機構とを前記平行な方向に沿って移動させた後、残渣金属膜に粘着シートの粘着層を押し当て、その後、粘着シートを回動させるとともに、駆動ローラ又は従動ローラと保持機構とを前記平行な方向に沿って相対的に移動させるようにしても良い。
【００２４】
このようにすることで、上記と同様に、境界部に引張応力を作用させてこの境界部を破断させ、微小空間内に金属を残した状態で、残渣金属膜を基板から捲り取るように引き剥がすことができる。したがって、品質上の問題の発生を抑えた上で、残渣金属膜を容易に除去することができ、除去作業を従来よりも短時間で行うことができる。尚、この残渣金属除去装置においても、粘着層と残渣金属膜との間に、境界部を破断させるのに必要な引張応力よりも大きな接着力が働くように、粘着シートの粘着層を構成する成分を適宜選択することが好ましい。
【００２５】
また、上記粘着シートに残渣金属膜を接着させて、基板から残渣金属膜を引き剥がすように構成された残渣金属除去装置においては、粘着シートに接着した残渣金属膜を粘着シートから回収する回収機構を設け、残渣金属膜が接着した粘着シートからこの残渣金属膜を回収する回収工程を実施するようにしても良い。このようにすれば、最終的に、粘着シートと残渣金属膜とを分別して回収することができ、粘着シート及び残渣金属膜それぞれの再利用も可能となる。尚、上述したように、粘着シートから残渣金属膜を回収する方法としては、薬液によって接着層を溶解させる方法や、ＵＶ光を照射して接着層を変質させる方法などを例示することができる。この場合、接着層が溶解又は変質しているため、基材に再度粘着層を形成させることで、粘着シートとして再利用することが可能となる。
【００２６】
更に、上記残渣金属除去方法に用いる残渣金属除去装置は、
外周面に粘着層が形成された粘着ローラと、
前記粘着ローラを回転駆動させる回転駆動機構と、
前記粘着ローラの粘着層と対向するように配設され、前記被処理面に形成された残渣金属膜が前記粘着層と対向するように基板を保持する保持機構と、
前記粘着ローラ及び保持機構の内、少なくとも一方を、少なくとも前記基板の被処理面と平行な方向に沿って相対的に移動させる移動機構とを備えた構成としても良い。
【００２７】
この残渣金属除去装置によれば、まず、被処理面に形成された残渣金属膜と粘着体たる粘着ローラの粘着層とが対向するように、保持機構によって基板を保持する。ついで、粘着ローラと保持機構とを前記平行な方向に移動させた際に、残渣金属膜が粘着ローラの粘着層に押し当てられる位置となるように、移動機構によって粘着ローラと保持機構とを相対的に接近移動させる。
【００２８】
次に、回転駆動機構によって粘着ローラを回転させるとともに、移動機構によって粘着ローラと保持機構とを前記平行な方向に沿って相対的に移動させ、残渣金属膜に粘着ローラの粘着層を押し当てて、残渣金属膜の表面に粘着層を接着させる。尚、この場合も、回転駆動機構による粘着ローラの回転速度を変換することで得られる平面速度と、粘着ローラと保持機構とを前記平行な方向に沿って移動させる際の相対速度とは略同じ速度にすることが好ましい。また、この残渣金属除去装置においても、粘着ローラと保持機構とを前記平行な方向に沿って移動させてから残渣金属膜に粘着ローラの粘着層を押し当てて、しかる後、粘着ローラを回転させるとともに、粘着ローラと保持機構とを前記平行な方向に沿って相対的に移動させるようにしても良い。
【００２９】
このように、残渣金属膜の表面に粘着ローラの粘着層を接着させた後、粘着ローラを回転させるとともに、粘着ローラと保持機構とを前記平行な方向に沿って相対的に移動させるようにしても、上記と同様に、境界部に引張応力を作用させてこの境界部を破断させ、微小空間内に金属が充填された状態を維持しつつ、被処理面上の残渣金属膜を捲り取るように引き剥がすことができる。したがって、この残渣金属除去装置においても、製品の品質を低下させることなく、残渣金属膜を短時間且つ容易に除去することができる。尚、粘着ローラの粘着層を構成する成分は、境界部を破断させるのに必要な引張応力よりも大きな接着力が粘着層と残渣金属膜との間に作用するように、適宜選択することが好ましい。
【００３０】
また、この残渣金属除去装置においては、一方面に粘着層が形成され、この粘着層が前記粘着ローラの粘着層に接触した回収シートを有し、粘着ローラの粘着層に接着された残渣金属膜を、回収シートの粘着層に転着させて、粘着ローラから残渣金属膜を回収する回収機構を設け、残渣金属膜が接着した粘着ローラからこの残渣金属膜を回収する回収工程を行うようにしても良い。このようにすれば、粘着ローラの粘着層に繰り返し残渣金属膜を接着させることができるため、除去作業を連続して行うことができるようになる。
【００３１】
更に、上記残渣金属除去方法に用いる残渣金属除去装置は、
鋭角部が形成された刃物体と、
前記刃物体の鋭角部と対向するように配設され、前記被処理面に形成された残渣金属膜が前記鋭角部と対向するように基板を保持する保持機構と、
前記刃物体及び保持機構の内、少なくとも一方を、引き剥がし開始位置に前記刃物体の鋭角部先端が位置するように相対的に移動させるとともに、前記基板の被処理面と平行な方向に沿って相対的に移動させる移動機構とを備えた構成としても良い。
【００３２】
この残渣金属除去装置によれば、まず、被処理面に形成された残渣金属膜と刃物体の鋭角部が対向するように、保持機構によって基板を保持する。ついで、移動機構によって、刃物体の鋭角部が引き剥がし開始位置に位置するように、刃物体及び保持機構を相対的に移動させる。尚、本願において「引き剥がし開始位置」とは、被処理面と残渣金属膜との境界と同一平面内且つ、残渣金属膜の縁部よりも外方の位置を言うものとする。
【００３３】
次に、前記移動機構によって、基板の被処理面と平行な方向に沿って刃物体と保持機構とを相対的に移動させる。これにより、刃物体の鋭角部によって境界部がせん断されるため、微小空間内に金属を残した状態で、基板から残渣金属膜を引き剥がすことができる。尚、刃物体の鋭角部の硬度は、基板の表面層よりも小さく、残渣金属膜を構成する金属よりも大きいことが好ましい。
【００３４】
このように、この残渣金属除去装置においても、微小空間内に金属を残した状態で、基板から残渣金属膜を引き剥がすことによって、これを容易に除去することができるため、品質上の問題が発生するのを抑えた上で、除去作業に要する時間を従来よりも大幅に短縮することができる。
【発明の効果】
【００３５】
以上のように、本発明に係る残渣金属除去方法及び残渣金属除去装置によれば、微小空間内に金属を残した状態で基板から引き剥がすことによって、残渣金属膜を容易に除去することができるため、充填不良の発生を抑えて製品の品質を保った上で、従来よりも短時間且つ容易に残渣金属膜の除去作業を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明の第１実施形態に係る残渣金属除去装置の概略構成を示した模式図である。
【図２】本発明の第２実施形態に係る残渣金属除去装置の概略構成を示した模式図である。
【図３】本発明の第３実施形態に係る残渣金属除去装置の概略構成を示した模式図である。
【図４】本発明の第４実施形態に係る残渣金属除去装置の概略構成を示した模式図である。
【図５】本発明の第５実施形態に係る残渣金属除去装置の概略構成を示した模式図である。
【図６】本発明の第６実施形態に係る残渣金属除去装置の概略構成を示した模式図である。
【図７】残渣金属膜が基板から捲り取るように引き剥がされる過程を示した模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００３７】
以下、本発明の具体的な実施形態について、添付図面に基づき説明する。
【００３８】
［第１実施形態］
図１に示すように、第１実施形態に係る残渣金属除去装置１は、被処理面に残渣金属膜Ｋ１が形成された基板Ｋを保持する保持台２と、この保持台２を移動させる移動機構３と、保持台２よりも上方に配設され、一方面に粘着層が形成された粘着シート８を繰り出す繰出ローラ４と、保持台２よりも上方に配設され、粘着シート８を巻き取る巻取ローラ５と、保持台２よりも上方且つ繰出ローラ４と巻取ローラ５との間に配設された押当ローラ６と、繰出ローラ４と押当ローラ６との間及び巻取ローラ５と押当ローラ６との間にそれぞれ２つずつ配設された４つのアイドルローラ７とから構成されている。
【００３９】
前記移動機構３は、保持台２に保持される基板Ｋを押当ローラ６に対して接近、離反させるように保持台２を移動させるとともに、保持台２に保持される基板Ｋの被処理面と平行な方向に保持台２を所定の速さで移動させる機構である。尚、この移動機構３としては、例えば、保持台２に固設されたナットとこのナットに螺合する送りねじとからなる送り機構を例示することができるが、これに限られるものではなく、基板Ｋを押当ローラ６に対して接近、離反させる方向及び基板Ｋの被処理面と平行な方向に移動させる機構であれば、どのような機構であっても良い。
【００４０】
前記粘着シート８は、繰出ローラ４から繰り出された際に、粘着層が保持台２と対向するように、この繰出ローラ４に予め巻きつけられるとともに、その一方端が巻取ローラ５の外周面に固着されている。また、粘着シート８は、繰出ローラ４と巻取ローラ５との間で、他方面に押当ローラ６の外周面が接触するとともに、繰出ローラ４と押当ローラ６との間及び押当ローラ６と巻取ローラ５との間でそれぞれ２つのアイドルローラ７の外周面と接触し、その巻取方向が案内されている。尚、前記押当ローラ６は、繰出ローラ４及び巻取ローラ５よりも保持台２に近い位置に配設されている。
【００４１】
斯くして、この粘着シート８は、巻取ローラ５を適宜回転駆動機構によって回転させることにより、繰出ローラ４から繰り出されるとともに、押当ローラ６及びアイドルローラ７によって案内された状態で、巻取ローラ５に巻き取られる。
【００４２】
この残渣金属除去装置１によれば、まず、保持台２上に、残渣金属膜Ｋ１と粘着シート８の粘着層とが対向するように基板Ｋを載置し、これを保持する。ついで、保持台２を基板Ｋの被処理面と平行な方向に移動させた際に、残渣金属膜Ｋ１に粘着シート８の粘着層が押し当てられる位置、より具体的に言えば、押当ローラ６における外周面の内、最も下方に位置する部分よりも残渣金属膜Ｋ１の表面が上方となる位置に、移動機構３によって保持台２を移動させる（図１（ａ）参照）。
【００４３】
その後、巻取ローラ５を所定の速度で回転させて、粘着シート８を巻き取るととともに、移動機構３によって保持台２を前記平行な方向に沿って所定の速度で移動させる。これにより、残渣金属膜Ｋ１の表面に粘着シート８が押し当てられて、この残渣金属膜Ｋ１の表面に粘着層が接着する。尚、この際、粘着シート８が巻き取られる速度と保持台２を移動させる速度とが、略等しい速度となるようにする。
【００４４】
そして、残渣金属膜Ｋ１の表面に粘着層が接着した状態で、粘着シート８が巻き取られるとともに、保持台２が前記平行な方向に沿って移動することにより、残渣金属膜Ｋ１と微小空間内に充填されている金属との間（以下、「境界部」という）に引張応力が作用して、微小空間内に充填された金属をそのまま微小空間内に残した状態で境界部が破断し、残渣金属膜Ｋ１がその一方端部側から他方端部側に向けて被処理面上から徐々に捲り取られるように引き剥がされていく（図１（ｂ）参照）。
【００４５】
尚、残渣金属膜Ｋ１を被処理面上から引き剥がすためには、上述したように、境界部に対して、この境界部を破断させるのに必要な引張応力を作用させる必要があるため、粘着層と残渣金属膜Ｋ１との間に十分な接着力が働くように、粘着層の構成成分を適宜選択することが好ましい。
【００４６】
このように、残渣金属除去装置１によれば、微小空間内の金属を残した状態で、残渣金属膜Ｋ１を基板Ｋから除去することができるため、充填不良などの品質上の問題が発生するのを抑えた上で、残渣金属膜Ｋ１を短時間且つ容易に除去することができる。
【００４７】
尚、残渣金属除去装置１においては、移動機構３によって、基板Ｋを押当ローラ６に対して接近、離反させる方向及び基板Ｋの被処理面と平行な方向に保持台２を移動させるようにしたが、押当ローラ６を移動させる移動機構を更に設け、押当ローラ６を基板Ｋに対して接近、離反させる方向に移動させるようにしても良く、更に、押当ローラ６を被処理面と平行な方向に移動させるようにしても良い。
【００４８】
［第２実施形態］
次に、第２実施形態に係る残渣金属除去装置１０について説明する。図２に示すように、残渣金属除去装置１０は、基板Ｋを保持する保持台１１と、一方面に粘着層が形成された粘着シート１８を繰り出す繰出ローラ１２と、粘着シート１８を巻き取る巻取ローラ１３と、繰出ローラ１２と巻取ローラ１３との間における粘着シート１８の他方面に接触した押当ローラ１４と、この押当ローラ１４を移動させる移動機構１５と、巻取ローラ１３と押当ローラ１４との間で、粘着シート１８の他方面に接触するように配設された２つのアイドルローラ１６と、粘着層を溶解させる薬液が貯留された回収槽１７とから構成されている。
【００４９】
前記粘着シート１８は、残渣金属除去装置１と同様に、予め繰出ローラ１２に巻きつけられるとともに、その一方端が巻取ローラ１３の外周面に固着されている。また、粘着シート１８は、繰出ローラ１２と巻取ローラ１３との間で、他方面に押当ローラ１４の外周面が接触するとともに、押当ローラ１４と巻取ローラ１３との間で２つのアイドルローラ１６の外周面と接触し、その巻取方向が案内されている。
【００５０】
斯くして、この粘着シート１８は、巻取ローラ１３を適宜回転駆動機構によって回転させることにより、繰出ローラ１２から繰り出されるとともに、押当ローラ１４及びアイドルローラ１６によって案内された状態で、巻取ローラ１３に巻き取られる。
【００５１】
前記移動機構１５は、保持台１１に保持される基板Ｋの被処理面と平行な方向に押当ローラ１４を所定の速さで移動させるとともに、保持台１１に保持される基板Ｋに対して接近、離反させるように押当ローラ１４を移動させる機構である。尚、この移動機構１５についても、押当ローラ１４を基板Ｋに対して接近、離反させる方向及び基板Ｋの被処理面と平行な方向に移動させる機構であれば、どのような機構であっても良い。
【００５２】
この残渣金属除去装置１０によれば、まず、保持台１１上に基板Ｋを載置し、これを保持する（図２（ａ）参照）。尚、基板Ｋは、押当ローラ１４を前記平行な方向に移動させた際に、残渣金属膜Ｋ１が粘着シート１８の粘着層と対向するように保持台１１上に載置する。
【００５３】
ついで、移動機構１５によって、押当ローラ１４を、この粘着シート１８の粘着層と基板Ｋの被処理面に形成された残渣金属膜Ｋ１との間に隙間を空けた状態で、残渣金属膜Ｋ１の一方端部側から他方端部側に向けて移動させる（図２（ｂ）参照）。しかる後、移動機構１５によって押当ローラ１４を基板Ｋに対して接近させ、粘着シート１８の粘着層を被処理面上に形成された残渣金属膜Ｋ１に接着させる。
【００５４】
次に、巻取ローラ１３を所定の速度で回転させて、粘着シート１８を巻き取るとともに、移動機構１５によって前記平行な方向に沿って残渣金属膜Ｋ１の他方端部側から一方端部側に向けて押当ローラ１４を移動させる。
【００５５】
このように、粘着層を残渣金属膜Ｋ１の表面に接着させた状態で、粘着シート１８を巻き取るとともに、押当ローラ１４を前記平行な方向に沿って移動させることで、この残渣金属除去装置１０においても、前記境界部に引張応力を作用して、微小空間内に金属を残した状態で境界部が破断され、残渣金属膜Ｋ１がその他方端部側から一方端部側に向けて被処理面上から徐々に引き剥がされる。
【００５６】
尚、上述したように、境界部に対して、この境界部を破断させるのに必要な引張応力を作用させる必要がある。したがって、粘着シート１８の粘着層の構成成分も、粘着層と残渣金属膜Ｋ１との間に、境界部の破断に必要な引張応力よりも大きな接着力が働くように、適宜選択することが好ましい。
【００５７】
そして、被処理面から引き剥がされた残渣金属膜Ｋ１が接着した粘着シート１８は、回収槽１７において粘着層が溶解され、残渣金属膜Ｋ１が回収槽１７内に回収された状態で、巻取ローラ１３に巻き取られる。尚、粘着層が溶解されているため、最終的に巻取ローラ１３には、粘着シート１８の基材（フィルムなど）が巻き取られる。
【００５８】
このように、残渣金属除去装置１０によれば、充填不良などに起因する品質上の問題が発生するのを抑えつつ、残渣金属膜Ｋ１を短時間且つ容易に除去することができる。更に、粘着シート１８と残渣金属膜Ｋ１とを分離して回収することができる。
【００５９】
尚、本例の残渣金属除去装置１０は、押当ローラ１４を移動させるようにしたが、例えば、保持台１１を移動させる移動機構を更に設け、基板Ｋを押当ローラ１４に対して接近、離反させる方向に保持台１１を移動させ、押当ローラ１４を前記平行な方向に移動させるようにしても良い。また、保持台１１を前記平行な方向に沿って移動させるようにしても良い。
【００６０】
［第３実施形態］
ついで、第３実施形態に係る残渣金属除去装置２０について説明する。図３に示すように、残渣金属除去装置２０は、基板Ｋを保持する保持台２１と、この保持台２１を移動させる移動機構２２と、保持台２１よりも上方に配設された駆動ローラ２３と、保持台２１よりも上方且つ駆動ローラ２３から水平方向に一定の間隔を空けて配設された第１従動ローラ２４と、保持台２１よりも上方且つ駆動ローラ２３と第１従動ローラ２４との間に配設された第２従動ローラ２５と、駆動ローラ２３を軸中心に回転させる回転駆動機構２６と、一方面に粘着層が形成されており、他方面に駆動ローラ２３及び２つの従動ローラ２４，２５の外周面が接触した状態で、これら３つのローラに巻回された無端ベルト状の粘着シート２７とから構成されている。
【００６１】
前記移動機構２２は、保持台２１に保持される基板Ｋを第２従動ローラ２５に対して接近、離反させるように保持台２１を移動させるとともに、基板Ｋの被処理面と平行な方向に保持台２１を所定の速さで移動させる機構である。尚、この移動機構２２としては、残渣金属除去装置１の移動機構３と同様に、ナット及び送りねじからなる送り機構を例示することができるが、これに限られるものではなく、保持台２１を所定の方向に移動させることができる機構であれば、どのような機構であっても良い。
【００６２】
また、第２従動ローラ２５は、駆動ローラ２３及び第１従動ローラ２４よりも下方、即ち、駆動ローラ２３及び第１従動ローラ２４よりも保持台２１に近い位置に配設されている。
【００６３】
この残渣金属除去装置２０によれば、まず、残渣金属膜Ｋ１と粘着シート２７の粘着層とが対向するように、保持台２１状に基板を載置し、これを保持する。次に、保持台２１を被処理面と平行な方向に移動させた際に、粘着層が残渣金属膜Ｋ１の表面に押し当てられる位置、言い換えれば、第２従動ローラ２５における外周面の内、最も下方に位置する部分よりも残渣金属膜Ｋ１の表面が上方となる位置に、移動機構２２によって保持台２１を移動させる（図３（ａ）参照）。
【００６４】
しかる後、回転駆動機構２６によって駆動ローラ２３を所定の速度で回転させて、粘着シート２７を回動させるとともに、移動機構２２によって、粘着シート２７の回動する速度と略同じ速度で、前記平行な方向に沿って保持台２１を移動させる。これにより、粘着シート２７に残渣金属膜Ｋ１の表面が押し当てられ、粘着層に残渣金属膜Ｋ１の表面が接着する。
【００６５】
そして、このように、粘着シート２７の粘着層に残渣金属膜Ｋ１が接着した状態で、粘着シート２７を回動させるとともに、保持台２１を被処理面と平行な方向に沿って移動させることで、上述したように、前記境界部に引張応力が作用してこの境界部が破断し、微小空間内から金属が抜け出すことなく、残渣金属膜Ｋ１がその一方端部側から他方端部側に向けて被処理面上から捲り取られるように引き剥がされる。尚、この残渣金属除去装置２０における粘着シート２７の粘着層を構成する成分も、粘着層と残渣金属膜Ｋ１との間に、境界部の破断に必要な引張応力よりも大きな接着力が働くように、適宜選択することが好ましい。
【００６６】
このように、この残渣金属除去装置２０によっても、微小空間内に金属を残した状態で、残渣金属膜Ｋ１を基板Ｋから除去することができるため、充填不良などに起因する品質上の問題の発生を抑えた上で、残渣金属膜Ｋ１を短時間で容易に除去することができる。
【００６７】
尚、この残渣金属除去装置２０においては、移動機構２２によって保持台２１のみを移動させるようにしたが、第２従動ローラ２５を基板Ｋに対して接近、離反させる方向に移動させる移動機構を設けるようにしても良い。また、基板Ｋ上を第２従動ローラ２５が移動（転動）するようにしても良い。
【００６８】
［第４実施形態］
次に、第４の実施形態に係る残渣金属除去装置３０について説明する。図４に示すように、この残渣金属除去装置３０は、基板Ｋを保持する保持台３１と、保持台３１の上方を移動するローラユニット３２と、ローラユニット３２を移動させる移動機構３７からなる。
【００６９】
前記ローラユニット３２は、回転駆動機構３５によって軸中心に回転される駆動ローラ３３と、駆動ローラ３３から水平方向に一定の間隔を空けて配設された従動ローラ３４と、一方面に粘着層が形成されており、他方面に駆動ローラ３３及び従動ローラ３４の外周面が接触した状態で、これら２つのローラに巻回された無端ベルト状の粘着シート３６とからなり、このローラユニット３２は、前記移動機構３７によって、保持台３１に保持される基板Ｋの被処理面と平行な方向に所定の速度で移動されるとともに、基板Ｋに対して接近、離反するように移動される。尚、移動機構３７は、ローラユニット３２を所定の方向に移動させることできる機構であれば、どのような機構であっても良い。
【００７０】
このように構成された残渣金属除去装置３０によれば、まず、保持台３１上に残渣金属膜Ｋ１を上側に向けた状態で基板Ｋを載置し、これを保持する。ついで、移動機構３７によって、ローラユニット３２を前記平行な方向に移動させた際に、粘着シート３６の粘着層が残渣金属膜Ｋ１の表面に押し当てられる位置、即ち、駆動ローラ３３における外周面の内、最も下方に位置する部分が残渣金属膜Ｋ１の表面より下方となる位置に、ローラユニット３２を移動させる（図４（ａ）参照）。
【００７１】
次に、回転駆動機構３５によって駆動ローラ３３を所定の速度で回転させて、粘着シート３６を回動させるとともに、移動機構３７によって前記平行な方向に沿って残渣金属膜Ｋ１の一方端部側から他方端部側に向けてローラユニット３２を移動させ、残渣金属膜Ｋ１の表面全体に粘着層を接着させる（図４（ｂ）参照）。尚、粘着シート３６の回動する速度とローラユニット３２の移動速度とは略同じ速度となるようにする。
【００７２】
しかる後、回転駆動機構３５によって駆動ローラ３３を所定の速度で逆方向に回転させ、粘着シート３６を逆方向に回動させるとともに、移動機構３７によって、残渣金属膜Ｋ１の他方端部側から一方端部側に向けてローラユニット３２を移動させる。
【００７３】
これにより、前記境界部に引張応力が作用して、この境界部が破断し、微小空間内に金属を残した状態で、残渣金属膜Ｋ１がその他方端部側から一方端部側に向けて被処理面上から捲り取られるように引き剥がされる（図４（ｃ）参照）。尚、この残渣金属除去装置３０においても、粘着シート３６の粘着層を構成する成分を、粘着層と残渣金属膜Ｋ１との間に、境界部の破断に必要な引張応力よりも大きな接着力が働くように、適宜選択することが好ましい。
【００７４】
そして、移動機構３７によって、ローラユニット３２を元の位置まで戻すことにより、残渣金属膜Ｋ１が基板Ｋから除去される（図４（ｄ）参照）。
【００７５】
このように、残渣金属除去装置３０によっても、微小空間内から金属が抜けることなく、残渣金属膜Ｋ１を基板Ｋから短時間且つ容易に除去することができる。
【００７６】
［第５実施形態］
次に、第５実施形態に係る残渣金属除去装置４０について、図５を参照して説明する。この残渣金属除去装置４０は、基板Ｋを保持する保持台４１と、この保持台４１を移動させる移動機構４２と、外周面に粘着層が形成され、保持台４１よりも上方に配設された粘着ローラ４３と、この粘着ローラ４３を軸中心に回転させる回転駆動機構４４と、粘着ローラ４３から残渣金属膜Ｋ１を回収する回収機構４５とから構成されている。
【００７７】
前記移動機構４２は、保持台４１に保持される基板Ｋを粘着ローラ４３に対して接近、離反させるように保持台４１を移動させるとともに、基板Ｋの被処理面と平行な方向に保持台４１を所定の速さで移動させる機構であり、保持台４１を所定の方向に移動させる機構であれば、どのような機構であっても良い。
【００７８】
前記回収機構４５は、粘着ローラ４３の粘着層よりも残渣金属膜Ｋ１に対する接着力が強い粘着層が一方面に形成された回収シート４９と、この回収シート４９を繰り出す繰出ローラ４６と、回収シート４９を巻き取る巻取ローラ４７と、回収シート４９を案内する４つのアイドルローラ４８とから構成されている。
【００７９】
前記繰出ローラ４６及び巻取ローラ４７は、粘着ローラ４３から水平方向にそれぞれ一定の間隔を空けた状態で、粘着ローラ４３よりも上方に配設され、繰出ローラ４６と粘着ローラ４３との間及び粘着ローラ４３と巻取ローラ４７との間には、それぞれ２つずつアイドルローラ４８が配設されており、繰出ローラ４６から繰り出された回収シート４９は、その粘着層が粘着ローラ４３の粘着層に接触した後、巻取ローラ４７に巻き取られるようになっている。
【００８０】
この残渣金属除去装置４０によれば、まず、残渣金属膜Ｋ１を上側に向けた状態で保持台４１上に基板Ｋを載置し、これを保持する。ついで、保持台４１を基板Ｋの被処理面と平行な方向に移動させた際に、残渣金属膜Ｋ１の表面に粘着ローラ４３の粘着層が押し当てられる位置、即ち、粘着ローラ４３における外周面の内、最も下方に位置する部分よりも残渣金属膜Ｋ１の表面が上方となる位置に、移動機構４２によって保持台４１を移動させる（図５（ａ）参照）。
【００８１】
次に、回転駆動機構４４によって粘着ローラ４３を所定の回転速度で回転させるとともに、移動機構４２によって、保持台４１を前記平行な方向に沿って移動させる。これにより、粘着ローラ４３に残渣金属膜Ｋ１の表面が押し当てられ、粘着層に残渣金属膜Ｋ１の表面が接着する。尚、この際、粘着ローラ４３の回転と保持台４１の移動とを同期させる、具体的に言えば、粘着ローラの回転速度から変換することで得られる平面速度と、保持台４１の移動速度とが略等しくなるようにする。
【００８２】
このように、粘着ローラ４３の粘着層に残渣金属膜Ｋ１が接着した状態で、粘着ローラ４３を回転させるとともに、保持台４１を移動させることにより、前記境界部に引張応力が作用しこの境界部が破断して、微小空間内に金属を残した状態で、残渣金属膜Ｋ１がその一方端部側から他方端部側に向けて捲り取られるように引き剥がされる（図５（ｂ）参照）。尚、粘着ローラ４３の粘着層を構成する成分についても、粘着層と残渣金属膜Ｋ１との間に、境界部の破断に必要な引張応力よりも大きな接着力が働くように、適宜選択することが好ましい。
【００８３】
そして、粘着ローラ４３の粘着層に接着し、基板Ｋの被処理面から引き剥がされた残渣金属膜Ｋ１は、粘着ローラ４３が更に回転することにより、回収シート４９に押し当てられる。これにより、残渣金属膜Ｋ１に対する接着力がより強力な回収シート４９の粘着層に残渣金属膜Ｋ１が転着され、粘着ローラ４３から残渣金属膜Ｋ１が回収される（図５（ｃ）参照）。
【００８４】
このように、この残渣金属除去装置４０によっても、微小空間内から金属が抜けることなく、残渣金属膜Ｋ１のみを基板Ｋから除去することができるため、製品の品質を保った状態で、残渣金属膜Ｋ１を短時間且つ容易に除去することができる。更に、粘着ローラ４３から残渣金属膜Ｋ１を回収するようにしているため、複数の基板Ｋから連続的に残渣金属膜Ｋ１を除去することができる。
【００８５】
尚、この残渣金属除去装置４０においては、移動機構４２によって保持台４１のみを移動させるようにしたが、粘着ローラ４３を移動させる移動機構を設け、粘着ローラ４３を所定の方向に移動させるようにしても良い。
【００８６】
［第６実施形態］
次に、第６実施形態に係る残渣金属除去装置５０について説明する。図６に示すように、残渣金属除去装置５０は、被処理面に残渣金属膜Ｋ１が形成された基板Ｋを保持する保持台５１と、鋭角部が形成された刃物体５２と、この刃物体５２を移動させる第１移動機構５３と、保持台５１を移動させる第２移動機構５４とから構成されている。
【００８７】
前記刃物体５２は、その硬度が基板Ｋよりも小さく、残渣金属膜Ｋ１を構成する金属よりも大きい材料からなり、鋭角部を下に向けた状態で保持台５１の上方に配設されている。
【００８８】
また、前記第１移動機構５３は、保持台５１に保持された基板Ｋに対して接近、離反する方向に刃物体５２を移動させるとともに、基板Ｋの被処理面と平行な方向に刃物体５２を所定の速さで移動させる機構である。尚、この第１移動機構５３は、刃物体５２を所定の方向に移動させる機構であれば、どのような機構であっても良い。
【００８９】
前記第２移動機構５４は、保持台５１に保持される基板Ｋの被処理面と平行な方向に保持台５１を所定の速さで移動させる機構であり、保持台５１を基板Ｋの被処理面と平行な方向に移動させる機構であれば、どのような機構であっても良い。
【００９０】
そして、この残渣金属除去装置５０によれば、まず、残渣金属膜Ｋ１を上側に向けた状態で保持台５１上に基板Ｋを載置し、これを保持する（図６（ａ）参照）。次に、第１移動機構５３によって、刃物体５２の鋭角部先端が、基板Ｋの被処理面と残渣金属膜Ｋ１との境界と同一平面内且つ残渣金属膜Ｋ１の一方端部よりも外方の引き剥がし開始位置に位置するように、刃物体５２を移動させる（図６（ｂ）参照）。
【００９１】
ついで、第１移動機構５３及び第２移動機構５４によって、刃物体５２及び保持台５１を前記平行な方向に沿って相対的に移動させる。
【００９２】
これにより、残渣金属膜Ｋ１と微小空間内に充填された金属との境界部が刃物体５２の鋭角部によってせん断され、微小空間内に金属が残った状態で、残渣金属膜Ｋ１の一方端部側から他方端部側に向けてこの残渣金属膜Ｋ１が基板Ｋから引き剥がされていく（図６（ｃ）参照）。
【００９３】
このように、残渣金属除去装置５０によれば、刃物体５２の鋭角部によって前記境界部をせん断し、微小空間内に金属を残した状態で、基板Ｋから残渣金属膜Ｋ１を引き剥がすことができるため、充填不良の発生を抑えて品質上の問題が生じるのを防止した上で、短時間且つ容易に残渣金属膜Ｋ１の除去作業を行うことができる。
【００９４】
尚、残渣金属膜Ｋ１を除去した基板Ｋが三次元集積回路などに用いられる場合には、残渣金属除去装置１，１０，２０，３０，４０，５０によって残渣金属膜Ｋ１を基板Ｋから除去した後、適宜機械研磨やＣＭＰによって基板Ｋに平坦化処理を施すが、基板Ｋから残渣金属膜Ｋ１が除去されているため、機械研磨やＣＭＰによって残渣金属膜Ｋ１を除去する必要がなく、従来よりも短時間で平坦化処理を完了することができる。
【００９５】
尚、上記残渣金属除去装置１，１０，２０，３０，４０，５０は、境界部に引張応力やせん断応力を作用させて、残渣金属膜Ｋ１を基板Ｋ上から捲り取るように引き剥がす装置である。即ち、本発明の概念は、残渣金属膜Ｋ１を基板Ｋ上から捲り取るように境界部に引張応力やせん断応力を作用させることにある。これについて、図７を参照して説明する。図７は、一例として、押当ローラ及び粘着シートを用いて、残渣金属膜Ｋ１が基板Ｋから捲り取られるように引き剥がされる過程を模式的に示した図であり、（ｂ）は（ａ）の部分拡大図である。尚、図７中の符号Ｋは基板、符号Ｋ１は残渣金属膜、符号Ｍは充填金属、符号Ｓは粘着シート、符号Ｒは押当ローラ、符号Ｈは保持台をそれぞれ示している。
【００９６】
図７に示すように、残渣金属膜Ｋ１は、その表面に押当ローラＲによって粘着シートＳが略ライン状に接着し、この接着した部位が曲げを伴って引っ張られるため、充填金属Ｍと残渣金属膜Ｋ１との間の境界部が破断して、捲り取られるように基板Ｋから引き剥がされる。即ち、本発明は、基板Ｋ全面にではなく、局所的に引張応力を作用させる手段を設けることにより、基板Ｋから残渣金属膜Ｋ１を捲り取るように引き剥がすことを実現することができる。
【００９７】
以上、本発明の具体的な実施形態について説明したが、本発明が採り得る具体的な態様は、何らこれらに限定されるものではない。
【００９８】
尚、残渣金属除去装置１，１０，２０，３０においては、粘着シート８，１８，２７，３６の幅を残渣金属膜Ｋ１の直径よりも大きくし、残渣金属膜Ｋ１を一度に引き剥がすようにしても良いし、粘着シート８，１８，２７，３６の幅を残渣金属膜Ｋ１の直径よりも小さくし、複数回に分けて残渣金属膜Ｋ１を基板Ｋから引き剥がすようにしても良い。
【００９９】
また、同様に、残渣金属除去装置４０においては、粘着ローラ４３の長さを残渣金属膜Ｋ１の直径よりも大きくして、残渣金属膜Ｋ１を一度に引き剥がすようにしても良いし、粘着ローラ４３の長さを残渣金属膜Ｋ１の直径よりも小さくし、複数回に分けて基板Ｋから残渣金属膜Ｋ１を引き剥がすようにしても良い。
【０１００】
更に、残渣金属除去装置５０においては、刃物体５２の鋭角部の幅を残渣金属膜Ｋ１の直径よりも大きくし、残渣金属膜Ｋ１を一度に引き剥がすようにしても良いし、鋭角部の幅を残渣金属膜Ｋ１の直径よりも小さくして、複数回に分けて残渣金属膜Ｋ１を基板Ｋから引き剥がすようにしても良い。
【０１０１】
加えて、残渣金属除去装置５０における刃物体５２は、固体形状の刃物体に限られるものではなく、ライン状にエアーを吐出するエアーナイフや、ライン状に水を吐出するウォーターナイフ、ライン状に薬液を吐出する薬液ナイフなどのような流体の刃物体であっても良い。このような流体の刃物体を用いても、固体形状の刃物体を用いる場合と同様に、基板Ｋから残渣金属膜Ｋ１を捲り取るように引き剥がす力を発生させることができ、更に、残渣金属膜Ｋ１と微小空間内に充填された金属との境界部が刃物体によってせん断、破断される際に、微細片が発生しても、これを同時に除去することができ、残渣金属の除去をより高品質に行うことができる。
【符号の説明】
【０１０２】
１    残渣金属除去装置
２    保持台
３    移動機構
４    繰出ローラ
５    巻取ローラ
６    押当オーラ
８    粘着シート
２０  残渣金属除去装置
２１  保持台
２２  移動機構
２３  駆動ローラ
２４，２５  従動ローラ
２６  回転駆動機構
２７  粘着シート
４０  残渣金属除去装置
４１  保持台
４２  移動機構
４３  粘着ローラ
４４  回転駆動機構
４５  回収機構
４９  回収シート
５０  残渣金属除去装置
５１  保持台
５２  刃物体
５３  第１移動機構
５４  第２移動機構
【図１】
2014183249.tif 000003
【図２】
2014183249.tif 000004
【図３】
2014183249.tif 000005
【図４】
2014183249.tif 000006
【図５】
2014183249.tif 000007
【図６】
2014183249.tif 000008
【図７】
2014183249.tif 000009