(57)【要約】【課題】シートへのストレスを低減でき、フレーム内への塵埃の侵入を確実に防ぐことが可能な高い防塵能力を維持することが可能で、しかもスムースは直線移動を確実に実現でき、ひいては装置の小型化、延命化を図ることが可能なアクチュエータ装置を提供する。【解決手段】フレーム内と外部を遮蔽するようにフレームと嵌合される被嵌合部７０と、フレームに形成され被嵌合部と着脱自在に嵌合する嵌合部８０とを有し、スライダテーブル５０は、シートの上面側において直線移動する移動方向の両側に配置され、テーブル体のシート出入り口と頂部間におけるシートの上面側を被嵌合部が嵌合部と嵌合する方向に押圧する押圧部５３１と、シートの下面側において直線移動する移動方向の両側に配置され、直線移動に伴い、押圧部が押圧する押圧力を受けるシートを、被嵌合部が嵌合部に近づく方向または被嵌合部が嵌合部から離れる方向に案内する案内部５３２とを含む。【選択図】図１
2014012298.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
長手方向に沿って開口部が形成されたフレームと、
フレーム内を長手方向に沿って双方向に直線移動する移動体と、
前記フレーム内に配置され、前記移動体を直線移動させる駆動機構部と、
前記移動体の直線移動に連動して前記開口部上を前記フレームの長手方向に沿って直線移動し、前記開口部よりフレーム外に突設したテーブル体を含むスライダテーブルと、
前記スライダテーブルが位置していない開口部を塞ぎ、かつ、前記スライダテーブル内では前記テーブル体の上面を乗り越えて前記開口部を塞ぐようにして配置されたシートと、
前記シートの前記フレーム内側に位置する下面の長手方向の両側部に形成され、前記フレーム内と外部を遮蔽するように前記フレーム側と嵌合される被嵌合部と、
前記フレームの長手方向に沿って形成され、前記被嵌合部と着脱自在に嵌合する嵌合部と、を有し、
前記スライダテーブルは、
前記シートの上面側において直線移動する移動方向の両側に配置され、前記テーブル体のシート出入り口と頂部間における前記シートの上面側を前記被嵌合部が前記嵌合部と嵌合する方向に押圧する押圧部と、
前記シートの下面側において直線移動する移動方向の両側に配置され、直線移動に伴い、前記押圧部が押圧する押圧力を受ける前記シートを、前記被嵌合部が前記嵌合部に近づく方向または前記被嵌合部が前記嵌合部から離れる方向に案内する案内部と、を含む
アクチュエータ装置。
【請求項２】
前記移動体は、
第１方向と当該第１方向と反対の第２方向に直線移動し、
前記スライダテーブルは、
第１方向側における第１のシート出入り口と、
第２方向側における第２のシート出入り口と、
前記第１のシート出入り口側に配置された第１の前記押圧部と、
前記第１のシート出入り口側に配置された第１の前記案内部と、
前記第２のシート出入り口側に配置された第２の前記押圧部と、
前記第２のシート出入り口側に配置された第２の前記案内部と、を含む
請求項１記載のアクチュエータ装置。
【請求項３】
前記スライダテーブルが第１方向に直線移動する場合、
前記第１の案内部は、前記被嵌合部と前記嵌合部が嵌合している領域に少なくとも嵌合状態を解除可能な力を付与し、
前記第２の案内部は、前記第２の押圧部で押圧される前記シートを、前記被嵌合部が前記嵌合部に嵌合状態にある側から第１方向に向かって連続して嵌合するように案内する
請求項２記載のアクチュエータ装置。
【請求項４】
前記スライダテーブルが第２方向に直線移動する場合、
前記第２の案内部は、前記被嵌合部と前記嵌合部が嵌合している領域に少なくとも嵌合状態を解除可能な力を付与し、
前記第１の案内部は、前記第１の押圧部で押圧される前記シートを、前記被嵌合部が前記嵌合部に嵌合状態にある側から第２方向に向かって連続して嵌合するように案内する
請求項２または３記載のアクチュエータ装置。
【請求項５】
前記スライダテーブルにおいて、
前記テーブル体が、前記第１の出入り口および前記第２の出入り口から頂部にかけて前記シートが傾斜するような形状を有し、
前記第１の押圧部は、前記シートの上面を押圧するように、少なくとも前記第１の出入り口部分に配置され、
前記第１の案内部は、前記シートの下面側を前記傾斜に沿って案内部分が前記第１の出入り口側から徐々に高くなるように形成され、
前記第２の押圧部は、前前記シートの上面を押圧するように、少なくとも前記第２の出入り口部分に配置され、
前記第２の案内部は、前記シートの下面側を前記傾斜に沿って案内部分が前記第２の出入り口側から徐々に高くなるように形成されている
請求項３または４記載のアクチュエータ装置。
【請求項６】
前記第１の押圧部および第１の案内部の前記第１の出入り口側の端部は、前記第１の押圧部の第１端部の方が、前記第１の案内部の第１端部より前記第１の出入り口側に位置し、
前記第２の押圧部および第２の案内部の前記第２の出入り口側の端部は、前記第２の押圧部の第２端部の方が、前記第２の案内部の第１端部より前記第２の出入り口側に位置している
請求項３から５のいずれか一に記載のアクチュエータ装置。
【請求項７】
前記被嵌合部と前記嵌合部は、あり継手状に嵌合する
請求項１から６のいずれか一に記載のアクチュエータ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、産業用ロボット等に適用可能な、フレーム内に収容されたボールねじ、ボールナットやシリンダ等の駆動機構により、フレームの上面部に配置されたスライダを直線的に移動させるアクチュエータ装置に関するものである。特に、本発明は、フレーム内への塵埃の侵入を防止するための防塵構造の改良に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
たとえば産業用ロボットに適用される単軸ロボットアクチュエータ装置は、駆動源にサーボモータ等が用いられ、この駆動源に連結されたボールねじが作動領域に配置されている。
このボールねじには移動体としてのボールナットが回転を規制された状態で螺合しており、このボールナットにフレームの上面部に配置されて直線的に移動されるスライダが取付けられている。
スライダには、作動領域内で作動させる各種の機器が搭載される。
【０００３】
この種の単軸ロボットアクチュエータ装置では、サーボモータを時計回りまたは反時計回りに回転させることによって、ボールねじを同方向に回転させ、ボールねじの回転に伴って移動する移動体としてのボールナットを介してスライダを任意の方向に移動させることができる（たとえば、特許文献１参照）。
【０００４】
ところで、この種のアクチュエータ装置においては、フレーム内にボールねじや移動体としてのボールナット等の駆動機構が収容され、スライダが移動するフレームの上面部には、移動体の移動方向に沿って開口部が形成されている。
そして、アクチュエータ装置においては、フレーム内への塵埃等の侵入を防止するために、上記開口部を塞ぐように帯状のシートが配置されている。
【０００５】
しかし、シートを配置しただけでは、たとえば３μｍ〜１００μｍ程度の微細粉塵が舞う環境下においてアクチュエータ装置を動作させると、駆動するモータ、ボールねじ、リニアガイド、ベアリング部品等に粉塵が入り込み凝固してしまうおそれがある。
このため、アクチュエータ装置が故障しやすくなることから、通常環境よりもアクチュエータ装置の寿命が短くなるおそれがある。
【０００６】
そこで、帯状のシートを有するアクチュエータ装置においては、防塵機能をさらに高めるため、シートの取り付け部やスライダ等に防塵機能を持たせた構造が提案されている（たとえば、特許文献２参照）。
【０００７】
特許文献２に記載されたアクチュエータ装置（直線移動装置）は、フレームの開口部の溝穴部となっている側面に移動方向と直交する方向に溝部が形成されており、ステンレスシートの長手方向の縁部がフレームの溝部に、スライダの上面への乗り越え部分を除いて、嵌入されている。
そして、スライダテーブル（スライダ）において、ステンレスシートが溝部に嵌入されている状態でステンレスシートを部分的に押圧する第１のローラが設けられ、かつ、移動体にステンレスシートにあって第１ローラにより押圧された部分を移動体の移動に連動して元の状態に復帰させる第２ローラが設けられている。
【０００８】
このアクチュエータ装置は、第１ローラがステンレスシートを上側から下側へ押圧する形状に形成され、第２ローラがステンレスシートを溝部に嵌入されている状態に保つ形状に形成されている。
これにより、スライダテーブルが直線移動したことに応じて溝部から外れたステンレスシートの湾曲部は、第１ローラにより上側から下側へ一旦押圧された（持下げられた）後に第２ローラにより溝部に嵌入されることになる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】実開昭６３−１２０７５２号のマイクロフィルム
【特許文献２】特開２００８−４５７０９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、上記したアクチュエータ装置は以下の不利益がある。
【００１１】
上述したように、フレームの開口部の溝穴部となっている側面に移動方向と直交する方向に溝部が形成されており、ステンレスシートの長手方向の縁部がフレームの溝部にスライダの上面への乗り越え部分を除いて、嵌入されている。
したがって、ステンレスシートを溝部への嵌入状態から外す場合、逆に外れていたシート縁部を溝部に嵌入させる場合には、必然的にステンレスシートを撓ませて嵌入状態を解除し、また、嵌入させることになる。
その結果、ステンレスシートの縁部の溝部に対する出し入れを常時スムースに行うことは困難であるものと考えられ、直線移動にも影響がでるおそれがある。
【００１２】
そして、アクチュエータ装置を動作させるたびに、ステンレスシートを撓ませることから、ステンレスシートにストレスがかかる。ストレスがかかるとステンレスシートの摺動抵抗が大きくなり、スムースな直線移動を行うことが困難となるおそれがある。
【００１３】
また、上記アクチュエータ装置において、シート縁部を溝部に嵌入させるときは、第２ローラがシートにあって第１ローラにより押圧された部分を元の状態に復帰させるが、嵌入状態を解除する場合には解除を補助する機能がないことから、スライダの移動に伴っていわば強制的にシート縁部を溝部から外すことになり、ステンレスシートへのストレスが大きくなる傾向にある。
その結果、経年変化等によりシート縁部の溝部との嵌入状態を良好に保持することが困難となるおそれがあり、フレーム内への塵埃の侵入を防ぐことが困難となるおそれがある。その結果、アクチュエータ装置が故障しやすくなり、アクチュエータ装置の寿命が短くなるおそれがある。
【００１４】
上記アクチュエータ装置においては、スライダテーブル内に第１ローラを配置、移動体側に第２ローラを配置する必要があることから、組み立てに煩雑な手間がかかり、また、装置の大型化を招くという不利益がある。
【００１５】
本発明は、シートへのストレスを低減でき、フレーム内への塵埃の侵入を確実に防ぐことが可能な高い防塵能力を維持することが可能で、しかもスムースは直線移動を確実に実現でき、ひいては装置の小型化、延命化を図ることが可能なアクチュエータ装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明の観点のアクチュエータ装置は、長手方向に沿って開口部が形成されたフレームと、フレーム内を長手方向に沿って双方向に直線移動する移動体と、前記フレーム内に配置され、前記移動体を直線移動させる駆動機構部と、前記移動体の直線移動に連動して前記開口部上を前記フレームの長手方向に沿って直線移動し、前記開口部よりフレーム外に突設したテーブル体を含むスライダテーブルと、前記スライダテーブルが位置していない開口部を塞ぎ、かつ、前記スライダテーブル内では前記テーブル体の上面を乗り越えて前記開口部を塞ぐようにして配置されたシートと、前記シートの前記フレーム内側に位置する下面の長手方向の両側部に形成され、前記フレーム内と外部を遮蔽するように前記フレーム側と嵌合される被嵌合部と、前記フレームの長手方向に沿って形成され、前記被嵌合部と着脱自在に嵌合する嵌合部と、を有し、前記スライダテーブルは、前記シートの上面側において直線移動する移動方向の両側に配置され、前記テーブル体のシート出入り口と頂部間における前記シートの上面側を前記被嵌合部が前記嵌合部と嵌合する方向に押圧する押圧部と、前記シートの下面側において直線移動する移動方向の両側に配置され、直線移動に伴い、前記押圧部が押圧する押圧力を受ける前記シートを、前記被嵌合部が前記嵌合部に近づく方向または前記被嵌合部が前記嵌合部から離れる方向に案内する案内部と、を含む。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、シートへのストレスを低減でき、フレーム内への塵埃の侵入を確実に防ぐことが可能な高い防塵能力を維持することが可能で、しかもスムースは直線移動を確実に実現でき、ひいては装置の小型化、延命化を図ることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の第１の実施形態に係るアクチュエータ装置の全体の概要を模式的に示す簡略断面図である。
【図２】本発明の第１の実施形態に係るアクチュエータ装置の外観を示す斜視図である。
【図３】本発明の第１の実施形態に係るアクチュエータ装置の構成例を示す図である。
【図４】本実施形態に係る駆動機構部およびスライダテーブルのより具体的な構成例を示す図である。
【図５】本実施形態に係るスライダテーブルのテーブル体へのカバー体の取り付け、取り外し状態を示す図である。
【図６】本実施形態に係るスライダテーブルにおける被嵌合部と嵌合部の嵌合状態への補助機能および嵌合状態の解除への補助機能に関連する構成を説明するための簡略上面図である。
【図７】本実施形態に係るスライダテーブルにおける被嵌合部と嵌合部の嵌合状態への補助機能および嵌合状態の解除への補助機能に関連する構成を説明するための簡略側面図である。
【図８】本実施形態に係るアクチュエータ装置におけるステンレスシートの取り付け構造を示す図である。
【図９】本第１の実施形態に係る被嵌合部と嵌合部の構成例を説明するための図である。
【図１０】本実施形態に係るアクチュエータ装置の動作を説明するための図である。
【図１１】本発明の第２の実施形態に係るアクチュエータ装置の構成例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の実施形態を図面に関連付けて説明する。
【００２０】
＜第１の実施形態＞
図１は、本発明の第１の実施形態に係るアクチュエータ装置の全体の概要を模式的に示す簡略断面図である。
図２は、本発明の第１の実施形態に係るアクチュエータ装置の外観を示す斜視図である。
図３（Ａ）〜（Ｃ）は、本発明の第１の実施形態に係るアクチュエータ装置の構成例を示す図であって、図３（Ａ）は上面図、図３（Ｂ）は側面図、図３（Ｃ１），（Ｃ２）は長手方向の一端部を示す図である。
【００２１】
本第１の実施形態に係るアクチュエータ装置１０は、フレーム２０、移動体３０、駆動機構部４０、スライダテーブル５０、ステンレスシート６０、被嵌合部７０、および嵌合部８０を主構成要素として有している。
【００２２】
本アクチュエータ装置１０は、移動体３０の直線移動に連動してスライダテーブル５０が図中に設定した直交座標系のＸ方向の双方向Ｘ１，Ｘ２に直線移動するように駆動制御される。
【００２３】
［フレームの構成例］
フレーム２０は、本アクチュエータ装置１０の基体として機能し、上記直交座標系のＸ方向に長い基本的に中空の矩形箱形状を有している。
フレーム２０は、上面側は、長手方向（Ｘ方向）の縁部にフレームカバー２１ａ，２１ｂが配置されている。
本第１の実施形態において、フレーム２０は、これらフレームカバー２１ａ，２１ｂにより画定される長手方向に沿った開口部２２が形成されている。
また、フレーム２０は、長手方向の両端部は開口されており、これら端部開口部にはエンドプレート２３ａ，２３ｂが取り付けられる。
【００２４】
フレーム２０の内空間には移動体３０および駆動機構部４０が配置される。
また、フレーム２０の内空間には、後で詳述するように、防塵機能を高めるためにステンレスシート６０の内面側に形成された被嵌合部７０およびフレーム２０の内壁側に形成された嵌合部８０が形成されている。
【００２５】
［駆動機構部の構成例］
駆動機構部４０は、フレーム２０内の長手方向中央部において、長手方向（Ｘ方向）に沿って、フレーム２０の一端部側から駆動モータ４１、カップリング部４２、ボールねじシャフト４３、ボールねじナット４４、および軸受部４５が配置されて構成されている。
【００２６】
図４は、本実施形態に係る駆動機構部およびスライダテーブルのより具体的な構成例を示す図である。
駆動機構部４０は、駆動モータ４１の出力軸がカップリング部４２を介してボールねじシャフト４３の一端側に連結されている。
ボールねじシャフト４３は、フレーム２０内の中央部において長手方向（Ｘ方向）に延びるように配置されている。
ボールねじシャフト４３は、移動体３０に配置されたボールねじナット４４が螺合されており、他端側がフレーム２０の他端部側に配置された軸受部４５により支持されている。
【００２７】
上記の駆動機構部４０は、駆動モータ４１、カップリング部４２、ボールねじシャフト４３、ボールねじナット４４、および軸受部４５により構成されているが、さらに以下のように構成することも可能である。
すなわち、駆動機構部４０は、移動体３０がスライダとして機能し、移動体３０の下部がフレーム２０の幅方向（Ｙ方向）に延設されているリニアガイドに自在に係合されることにより、ボールねじナット４４がボールねじシャフト４３に螺合することに応じて移動体３０がフレーム２０内を円滑に直線移動するように構成される。
【００２８】
上記したような構成を有する駆動機構部４０によって直線移動させられる移動体３０の一部（上部）はスライダテーブル５０に連結されている。
これにより、スライダテーブル５０は、移動体３０の直線移動に連動してフレーム２０の上面側に形成された開口部２２上を、フレーム２０の長手方向に沿って直線移動する。
【００２９】
［スライダテーブルの構成例］
スライダテーブル５０は、上述したように、移動体３０の直線移動に連動してフレーム２０の開口部２２上をフレーム２０の長手方向に沿って直線移動する。
スライダテーブル５０は、基本的に、開口部２２よりフレーム外のＺ方向に突設したテーブル体５１、およびテーブル体５１の上面側が覆うカバー体５２を有する。
【００３０】
図５は、本実施形態に係るスライダテーブルのテーブル体へのカバー体の取り付け、取り外し状態を示す図である。
スライダテーブル５０において、カバー体５２は、図５に示すように、テーブル体５１の上面側を覆うようにねじにより着脱自在に取り付けられる。
【００３１】
テーブル体５１は、図４に示すように、断面が台形状をなすように形成されており、スライダテーブル５０の直線移動方向Ｘ１，Ｘ２の両側の第１のシート出入り口５０１および第２のシート出入り口５０２から上面部５１１に向かって徐々に高さが高くなる傾斜部５１２，５１３を有する。
本実施形態において、ステンレスシート６０は、スライダテーブルが位置していない開口部２２を塞ぎ、かつ、スライダテーブル５０内ではテーブル体５１の上面、すなわち、傾斜部５１２、頂部である上面部５１１、傾斜部５１３を乗り越えるように配置される。
【００３２】
カバー体５２には、この上面を乗り越えるステンレスシート６０の上面側をテーブル体５１の各面側に押し付けるような力を付与し、かつ、スライダテーブル５０の直線移動に伴って乗り越え部分が変化するステンレスシート６０を一様に案内する押さえ案内部５２１，５２２，５２３が、それぞれ傾斜部５１２、上面部５１１、傾斜部５１３に対向するように形成されている。
傾斜部５１２に対向する押さえ案内部５２２は、第１のシート出入り口５０１側から上面部に向かって階段状（ステップ状）となるように形成されている。
同様に、傾斜部５１３に対向する押さえ案内部５２３は、第２のシート出入り口５０２側から上面部に向かって階段状（ステップ状）となるように形成されている。
【００３３】
そして、本実施形態のスライダテーブル５０は、被嵌合部７０と嵌合部８０の嵌合状態への補助（助力）機能および被嵌合部７０と嵌合部８０の嵌合状態の解除への補助（助力）機能として、以下に説明するような構成を有する。
【００３４】
図６および図７は、本実施形態に係るスライダテーブルにおける被嵌合部と嵌合部の嵌合状態への補助機能および嵌合状態の解除への補助機能に関連する構成を説明するための図である。図６は簡略的に示す上面図、図７は簡略的に示す側面図である。
なお、図６および図７においては、理解を容易にするために、カバー体５２側の押さえ案内部５２１，５２２，５２３は省略してある。
【００３５】
本実施形態にスライダテーブル５０は、上記したテーブル体５１、カバー体５２、第１方向側における第１のシート出入り口５０１、第２方向側における第２のシート出入り口５０２に加えて、テーブル体５１の長手方向側部で、かつ第１および第２のシート出入り口５０１，５０２の領域に押圧部５３１および案内部５３２を有する。
【００３６】
具体的には、スライダテーブル５０は、第１のシート出入り口５０１側に配置された第１の押圧部５３１−１１，５３１−１２、第１のシート出入り口５０１側に配置された第１の案内部５３２−１１，５３２−１１、第２のシート出入り口５０２側に配置された第２の押圧部５３１−２１，５３１−２２、および第２のシート出入り口５０２側に配置された第２の案内部５３２−２１，５３２−２２をさらに有する。
【００３７】
第１の押圧部５３１−１１，５３１−１２、第２の押圧部５３１−２１，５３１−２２、第１の案内部５３２−１１，５３２−１２、および第２の案内部５３２−２１，５３２−２２は、たとえば基本的に、テーブル体５１の長手方向側部に配置される。
第１の押圧部５３１−１１，５３１−１２および第２の押圧部５３１−２１，５３１−２２は、ステンレスシート６０の少なくとも長手方向側部の上面側において直線移動する移動方向の両側に配置されている。
第１の押圧部５３１−１１，５３１−１２は、テーブル体５１の第１のシート出入り口５０１と上面部（頂部）５１１間におけるステンレスシート６０の上面側を被嵌合部７０が嵌合部８０と嵌合する方向に押圧する。
また、第１の押圧部５３１−１１，５３１−１２は、ステンレスシート６０の上面側を傾斜部５１２の傾斜に沿って押圧する。
【００３８】
第２の押圧部５３１−２１，５３１−２２は、テーブル体５１の第２の出入り口５０２と上面部（頂部）５１１間におけるステンレスシート６０の上面側を被嵌合部７０が嵌合部８０と嵌合する方向に押圧する。
また、第２の押圧部５３１−２１，５３１−２２は、ステンレスシート６０の上面側を傾斜部５１３の傾斜に沿って押圧する。
【００３９】
第１の押圧部５３１−１１，５３１−１２および第２の押圧部５３１−２１，５３１−２２は、カバー体５２内に配置される。
第１の押圧部５３１−１１，５３１−１２および第２の押圧部５３１−２１，５３１−２２は、テーブル体５１の長手方向側部に押さえ案内部５２２，５２３と別個に形成してもよく、あるいは押さえ案内部５２２，５２３と一体的に形成してもよい。
【００４０】
第１の案内部５３２−１１，５３２−１２および第２の案内部５３２−２１，５３２−２２は、ステンレスシート６０の少なくとも長手方向側部の下面側において直線移動する移動方向の両側に配置されている。
第１の案内部５３２−１１，５３２−１２は、直線移動に伴い、第１の押圧部５３１−１１，５３１−１２が押圧する押圧力を受けるステンレスシート６０を、被嵌合部７０が嵌合部８０に近づく方向または被嵌合部７０が嵌合部８０から離れる方向に案内する。
第１の案内部５３２−１１，５３２−１２は、ステンレスシート６０の下面側を傾斜部５１２の傾斜に沿って案内部分が第１のシート出入り口５０１側から徐々に高くなるように一定の長さ形成されている。
ただし、第１の案内部５３２−１１，５３２−１２は、ステンレスシート６０の下面側の縁部に形成された被嵌合部７０を案内することから、その高さは傾斜部５１２の高さよりこの被嵌合部７０の高さ程度、低く形成される。
【００４１】
第２の案内部５３２−２１，５３２−２２は、直線移動に伴い、第２の押圧部５３１−２１，５３２−２２が押圧する押圧力を受けるステンレスシート６０を、被嵌合部７０が嵌合部８０に近づく方向または被嵌合部７０が嵌合部８０から離れる方向に案内する。
第２の案内部５３２−２１，５３２−２２は、ステンレスシート６０の下面側を傾斜部５１３の傾斜に沿って案内部分が第２のシート出入り口５０２側から徐々に高くなるように一定の長さ形成されている。
ただし、第２の案内部５３２−２１，５３２−２２は、ステンレスシート６０の下面側の縁部に形成された被嵌合部７０を案内することから、その高さは傾斜部５１３の高さよりこの被嵌合部７０の高さ程度、低く形成される。
【００４２】
また、第１の押圧部５３１−１１，５３１−１２および第１の案内部５３２−１１，５３２−１２の第１の出入り口５０１側の端部は、第１の押圧部５３１−１１，５３１−１２の第１端部の方が、第１の案内部５３２−１１，５３２−１２の第１端部より第１のシート出入り口５０１側に位置する。
また、第２の押圧部５３１−２１，５３１−２２および第２の案内部５３２−２１，５３２−２２の第２の出入り口５０２側の端部は、第２の押圧部５３１−２１，５３１−２２の第１端部の方が、第１の案内部５３２−２１，５３２−２２の第１端部より第２のシート出入り口５０２側に位置する。
スライダテーブル５０は、このような構成を有することから、被嵌合部７０と嵌合部８０の嵌合状態への補助（助力）機能および被嵌合部７０と嵌合部８０の嵌合状態の解除への補助（助力）機能を十分にかつ効果的に発現させることが可能となっている。
【００４３】
上記構成を有するスライダテーブル５０が、第１方向Ｘ１に直線移動する場合、第１の案内部５３２−１１，５３２−１２は、被嵌合部７０と嵌合部８０が嵌合している領域に少なくとも嵌合状態を解除可能な力を付与する。
この場合、第２の案内部５３２−２１，５３２−２２は、第２の押圧部５３１−２１，５３１−２２で押圧されるステンレスシート６０を、被嵌合部７０が嵌合部８０に嵌合状態にある側から第１方向Ｘ１に向かって連続して嵌合していくように案内する。
【００４４】
一方、スライダテーブル５０が第２方向Ｘ２に直線移動する場合、第２の案内部５３２−２１，５３２−２２は、被嵌合部７０と嵌合部８０が嵌合している領域に少なくとも嵌合状態を解除可能な力を付与する。
この場合、第１の案内部５３２−１１，５３２−１２は、第１の押圧部５３１−１１，５３１−１２で押圧されるステンレスシート６０を、被嵌合部７０が嵌合部８０に嵌合状態にある側から第２方向Ｘ２に向かって連続して嵌合していくように案内する。
【００４５】
［ステンレスシートの配置］
帯状のステンレスシート６０は、前述したように、スライダテーブル５０が位置していない開口部２２を塞ぎ、かつ、スライダテーブル５０内ではテーブル体５１の上面を乗り越えて開口部２２を塞ぐようにして、長手方向両端部がフレーム２０の長手方向端部にそれぞれ固定されている。
【００４６】
図８は、本実施形態に係るアクチュエータ装置におけるステンレスシートの取り付け構造を示す図である。
ステンレスシート６０は、一端側の端部がフレーム２０の一端側の端部と合わされた状態でシート押さえ２４ａを用いてフレーム２０に対してねじにより固定される。
また、他端側はフレーム２０の他端側の端部で所定長さ（３０ｍｍ程度）折り曲げた状態でシート押さえ２４ｂを用いてフレーム２０に対してねじにより固定される。
そのあと、フレーム２０は、長手方向の両端部開口部に対してエンドプレート２３ａ，２３ｂが取り付けられる。
【００４７】
［被嵌合部および嵌合部の構成例］
被嵌合部７０は、ステンレスシート６０のフレーム２０内側に位置する下面の長手方向の両縁部（両側部）に形成され、フレーム２０内と外部を遮蔽するようにフレームの一部に形成される嵌合部８０が嵌合される。
嵌合部８０は、フレーム２０の長手方向に沿って形成され、被嵌合部７０と着脱自在に嵌合する。
被嵌合部７０と嵌合部８０は、スライダテーブル５０の直線移動範囲において、スライダテーブル５０が位置していない領域では嵌合状態が保持され、位置している領域では嵌合状態が解除される。
【００４８】
図９（Ａ）および（Ｂ）は、本第１の実施形態に係る被嵌合部と嵌合部の構成例を説明するための図である。図９（Ａ）は嵌合状態を示し、図９（Ｂ）は被嵌合部と嵌合部を分離した状態を示している。
なお、図９（Ａ）および（Ｂ）においては、図面を簡単化して理解を容易にするために、駆動機構部等は省略してある。
【００４９】
被嵌合部７０は、ほぞ穴のような略半球状（断面が略半円状）の凹溝部７１−１，７１−２が形成され、この凹溝部７１−１，７１−２の溝開口部７１−１ａ，７１−２ａがフレーム２０の下面を向くように、基体７２−１，７２−２を介してステンレスシート６０のフレーム２０内側に位置する下面の長手方向の両縁部に配置されている。
嵌合部８０は、たとえばフレーム２０の長手方向両側部２５ａ，２５ｂの内壁からフレーム２０の内部の中央部方向（Ｙ方向）に向かって形成された基体８１−１，８１−２、および基体８１−１，８１−２の上面８１−１ａ，８１−２ａ上に形成されたフランジ部８２−１，８２−２を有する。
フランジ部８２−１，８２−２は、ステンレスシート６０がフレーム２０に取り付けられた状態で、その先端部側（嵌合部部位側）が被嵌合部７０の凹溝部７１−１，７１−２の溝開口部７１−１ａ，７１−２ａと対向するように、基体８１−１，８１−２の上面８１ａ−１，８１−２ａに形成されている。
フランジ部８２−１，８２−２は、根本がくびれ、その先端側の凸部（頭部）８２−１ａ，８２−２ａは被嵌合部７０の凹溝部７１−１，７１−２に嵌合するように略半球状（断面が略半円状）に形成されている。
【００５０】
このような構成を有する被嵌合部７０と嵌合部８０は、いわゆるあり継ぎ手状に嵌合し、この嵌合状態にある部分からはフレーム２０内に、塵埃等が侵入することが確実に防止される。
【００５１】
被嵌合部７０および嵌合部８０は、耐摩耗性で弾性を有し、またある程度の剛性を有する材料、たとえば硬質ゴム、樹脂等により形成される。
被嵌合部７０の基体７２のステンレスシート６０の下面への取り付けは、融着などの方法が適用可能である。
嵌合部８０の基体８１へのフランジ部８２の取り付けも同様に融着などの方法が適用可能であり、あるいは一体的に形成することも可能である。
【００５２】
また、被嵌合部７０および嵌合部８０の嵌合部分の形状は、図９の例に特定されるものではなく、凹溝と凸部が逆、あるいは他の形状のもの等、種々の形態が可能である。
ただし、液体、流体、紛体等の侵入を確実に防止するには図９の例が適している。
【００５３】
また、嵌合部８０の基体８１−１，８１−２の形成位置も、図９の例に特定されるものではなく、種々の形態が可能である。
たとえば、フレームカバー２１ａ，２１ｂの内面側からＬ字状に延びるように形成しその屈曲部上にフランジ部８２−１，８２−２を形成することも可能である。
【００５４】
［アクチュエータ装置の動作説明］
図１０（Ａ）および（Ｂ）は、本実施形態に係るアクチュエータ装置の動作を説明するための図である。図１０（Ａ）は第１方向Ｘ１に直線移動する場合の動作を説明するための図であり、図１０（Ｂ）は第２方向Ｘ２に直線移動する場合の動作を説明するための図である。
次に、上記構成を有するアクチュエータ装置の動作を図１０（Ａ）および（Ｂ）に関連付けて説明する。
【００５５】
駆動機構部４０の駆動モータ４１を図示しない制御装置により通電制御させて駆動させると、駆動モータ４１が時計回りまたは反時計回りに回転し、駆動モータ４１の出力軸の回転力に応じた駆動力がカップリング部４２を介してボールねじシャフト４３に伝達される。
これにより、ボールねじシャフト４３が回転し、スライダテーブル５０が移動体３０と連動して第１方向Ｘ１または第２方向Ｘ２に直線移動する。
このとき、被嵌合部７０と嵌合部８０は、スライダテーブル５０の直線移動範囲において、スライダテーブル５０が位置していない領域では嵌合状態が保持され、位置している領域では嵌合状態が解除される。
【００５６】
スライダテーブル５０が、図１０（Ａ）に示すように、第１方向Ｘ１に直線移動する場合、第１の案内部５３２−１１（５３２−１２）は、被嵌合部７０と嵌合部８０が嵌合している領域に少なくとも嵌合状態を解除可能な力Ｆ１１を付与する。
この力Ｆ１１は、スライダテーブル５０の第１方向Ｘ１への移動（加速）に伴う力も伴って第１の押圧部４３１−１１（５３１−１２）によるステンレスシート６０の上面に対する押圧力１２より大きいものとなる。
その結果、スライダテーブル５０が第１方向Ｘ１に直線移動するに伴い、移動方向先頭側の第１のシート出入り口５０１領域に位置する嵌合状態にあった被嵌合部７０と嵌合部８０は連続的にその嵌合状態が解除される。
【００５７】
これに対して、移動方向後方側の第２のシート出入り口５０２付近において、第２の案内部５３２−２１（５３２−２２）による被嵌合部７０と嵌合部８０が嵌合している領域に付与する力Ｆ２１は、スライダテーブル５０が付与方向と逆方向に移動することから、上記先頭側と比べて極めて小さなものとなる。
したがって、移動方向後方側の第２のシート出入り口５０２付近において、第２の押圧部５３１−２１（５３１−２２）によるステンレスシート６０の上面に対する押圧力Ｆ２２の方が第２の案内部５３２−２１（５３２−２２）による力Ｆ２１より大きい。
その結果、スライダテーブル５０が第１方向Ｘ１に直線移動するに伴い、移動方向後方側の第２のシート出入り口５０２領域に位置する非嵌合状態にあった被嵌合部７０が嵌合部８０と嵌合する方向に強く押され嵌合部８０にスムースに嵌合される。
このとき、第２の案内部５３２−２１（５３２−２２）は、第２のシート出入り口５０２に向かって下るような傾斜を有することから、スライダテーブル５０が第１方向Ｘ１に直線移動するに伴い、第２の押圧部５３１−２１（５３１−２２）によるステンレスシート６０に対する押圧部分に段差なく連続的に送り出すような働きをする。
その結果、被嵌合部７０が嵌合部８０に嵌合状態にある側から第１方向Ｘ１に向かって連続して嵌合されていく。
【００５８】
スライダテーブル５０が、図１０（Ｂ）に示すように、第２方向Ｘ２に直線移動する場合、第２の案内部５３２−２１（５３２−２２）は、被嵌合部７０と嵌合部８０が嵌合している領域に少なくとも嵌合状態を解除可能な力Ｆ２１を付与する。
この力Ｆ２１は、スライダテーブル５０の第２方向Ｘ２への移動（加速）に伴う力も伴って第２の押圧部４３１−２１（５３１−２２）によるステンレスシート６０の上面に対する押圧力Ｆ２２より大きいものとなる。
その結果、スライダテーブル５０が第２方向Ｘ２に直線移動するに伴い、移動方向先頭側の第２のシート出入り口５０２領域に位置する嵌合状態にあった被嵌合部７０と嵌合部８０は連続的にその嵌合状態が解除される。
【００５９】
これに対して、移動方向後方側の第１のシート出入り口５０１付近において、第１の案内部５３２−１１（５３２−１２）による被嵌合部７０と嵌合部８０が嵌合している領域に付与する力Ｆ１１は、スライダテーブル５０が付与方向と逆方向に移動することから、上記先頭側と比べて極めて小さなものとなる。
したがって、移動方向後方側の第１のシート出入り口５０１付近において、第１の押圧部５３１−１１（５３１−１２）によるステンレスシート６０の上面に対する押圧力Ｆ１２の方が第１の案内部５３２−１１（５３２−１２）による力Ｆ１１より大きい。
その結果、スライダテーブル５０が第２方向Ｘ２に直線移動するに伴い、移動方向後方側の第１のシート出入り口５０１領域に位置する非嵌合状態にあった被嵌合部７０が嵌合部８０と嵌合する方向に強く押され嵌合部８０にスムースに嵌合される。
このとき、第１の案内部５３２−１１（５３２−１２）は、第１のシート出入り口５０１に向かって下るような傾斜を有することから、スライダテーブル５０が第２方向Ｘ２に直線移動するに伴い、第１の押圧部５３１−１１（５３１−１２）によるステンレスシート６０に対する押圧部分に段差なく連続的に送り出すような働きをする。
その結果、被嵌合部７０が嵌合部８０に嵌合状態にある側から第２方向Ｘ２に向かって連続して嵌合されていく。
【００６０】
以上説明したように、本第１の実施形態のアクチュエータ装置１０によれば、移動体３０の直線移動に連動して開口部２２上をフレーム２０の長手方向に沿って直線移動し、開口部２２よりフレーム外に突設したテーブル体５１を含むスライダテーブル５０と、スライダテーブルが位置していない開口部２２を塞ぎ、かつ、スライダテーブル内ではテーブル体の上面を乗り越えて開口部を塞ぐようにして、長手方向両端部がフレームの長手方向端部にそれぞれ固定されたステンレスシート６０と、を有する。
アクチュエータ装置１０は、ステンレスシート６０のフレーム内側に位置する下面の長手方向の両縁部（両側部）に形成され、フレーム内と外部を遮蔽するようにフレームと嵌合される被嵌合部７０と、フレームの長手方向に沿って形成され、被嵌合部７０と着脱自在に嵌合する嵌合部８０と、を有する。
そして、スライダテーブル５０は、ステンレスシート６０の上面側において直線移動する移動方向の両側に配置され、テーブル体５１のシート出入り口５０１，５０２と上面部（頂部）間におけるステンレスシート６０の上面側を被嵌合部７０が嵌合部８０と嵌合する方向に押圧する第１の押圧部５３１−１１，５３１−１２および第２の押圧部５３１−２１，５３１−２２と、ステンレスシート６０の下面側において直線移動する移動方向の両側に配置され、直線移動に伴い、押圧部５３１が押圧する押圧力を受けるステンレスシートを、被嵌合部７０が嵌合部８０に近づく方向または被嵌合部７０が嵌合部８０から離れる方向に案内する第１の案内部５３２−１１，５３２−１２および第２の案内部５３２−２１，５３２−２２と、を含む。
【００６１】
したがって、本実施形態によれば、以下の効果を得ることができる。
ローラ等を用いることなく、比較的、小型で簡単な構造で、スライダテーブル５０の直線移動に伴い、被嵌合部７０と嵌合部８０とを嵌合状態とし、嵌合状態を解除することを容易に行うことができ、フレーム内への塵埃の侵入を確実に防ぐことが可能な高い防塵能力を維持することが可能で、しかもスムースは直線移動を確実に実現できる。
また、被嵌合部７０と嵌合部８０とを嵌合状態とする場合、あるいは嵌合状態を解除する場合に、ステンレスシート６０を撓ませる必要がなく、また、嵌合および非嵌合動作を常時スムースに行うことができ、直線移動への影響を防止できる。
また、ステンレスシート６０を撓ませる必要がないことから、ステンレスシートにストレスがかかることを抑止し、ステンレスシートの摺動抵抗が大きくなることを防止でき、ひいては、スムースな直線移動を実現させることが可能となる。
【００６２】
また、ステンレスシートに嵌合および非嵌合動作に伴うストレスがかからないうえ、フレーム内への塵埃の侵入を確実に防ぐことが可能な高い防塵能力を維持することができることから、アクチュエータ装置が故障し難くなり、アクチュエータ装置の延命化を図ることが可能となる。
さらに、ローラ等は不要なことから、組み立てに煩雑な手間を要することがなくなり、また、アクチュエータ装置の小型化を図ることができる。
【００６３】
本実施形態のアクチュエータ装置は、特に、たとえば３μｍ〜１００μｍ程度の微細粉塵が舞う環境下において用いる場合に効果的であり、また、アクチュエータ装置をＺ方向に屹立する基準壁等に固定させて横向きとして動作させた場合等にも効果的である。
【００６４】
＜第２の実施形態＞
図１１は、本発明の第２の実施形態に係るアクチュエータ装置の構成例を示す図である。
なお、図１１においては、図面を簡単化して理解を容易にするために、駆動機構部等は省略してある。
【００６５】
本第２の実施形態に係るアクチュエータ装置１０Ａが第１の実施形態に係るアクチュエータ装置１０と異なる点は、以下の通りである。
第１の実施形態に係るアクチュエータ装置１０では、フレームが開口部の両側にこの開口部に沿ってフレームカバーを有し、その近傍に嵌合部が形成されている。
これに対して、第２の実施形態に係るアクチュエータ装置１０Ａは、このフレームカバーがなく、フレームの長手方向の両側部２５ａ，２５ｂの頂部に直接嵌合部８０Ａが形成されている。
【００６６】
本第２の実施形態によれば、上記第１の実施形態の効果に加えて、サイドフレームの分、装置の幅を小さくすることができ、アクチュエータ装置の小型化を図ることができるという利点がある。
【００６７】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。
たとえば、本実施形態においては、駆動機構部として駆動モータやボールねじを使用したが、ラックとピニオンあるいは、シリンダなど、他の駆動機構を用いることもできる。
また、駆動源としては、モータ以外に油圧、空気圧駆動にも対応することができる。
【符号の説明】
【００６８】
１０，１０Ａ・・・・アクチュエータ装置、２０・・・フレーム、３０・・・移動体、４０・・・駆動機構部、５０・・・スライダテーブル、５１・・・テーブル体、５１１・・・上面部、５１２，５１３・・・傾斜部、５２・・・カバー体、５３１−１１，５３２−１２・・・第１の押圧部、５３１−２１，５３１−２２・・・第２の押圧部、５３２−１１，５３２−１２・・・第１の案内部、５３２−２１，５３２−２２・・・第２の案内部、６０・・・ステンレスシート、７０・・・被嵌合部、８０，８０Ａ・・・嵌合部。
【図１】
2014012298.tif 000003
【図２】
2014012298.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2014012298.tif 000009
【図８】
2014012298.tif 000010
【図９】
2014012298.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
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