(57)【要約】【課題】電磁誘導式位置検出器に固有の誤差を補正して当該検出器自体の精度を向上させることができる補正方法を提供する。【解決手段】電磁誘導式位置検出器２２とマスター位置検出器２３とを移動体２１に取り付ける第１の手順と、電磁誘導式位置検出器の検出位置が０位置となるように移動体を位置決めする第２の手順と、マスター位置検出器の検出位置を０位置にリセットとする第３の手順と、移動体を移動させて電磁誘導式位置検出器の検出位置とマスター位置検出器の検出位置との差である検出位置誤差を演算し、この検出位置誤差と電磁誘導式位置検出器の検出位置とを一定間隔位置毎に取得する第４の手順と、この取得データをＦＦＴ解析する第５の手順と、ＦＦＴ解析結果から誤差変動の固有周期に対応した誤差を抽出してこれらを記憶手段に記憶する第６の手順などを実施し、この記憶データを逆ＦＦＴ解析して電磁誘導式位置検出器の検出位置を補正する。【選択図】図１
2014153294.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶対位置を検出する電磁誘導式位置検出器と、この電磁誘導式位置検出器よりも高い位置検出精度を有するマスター位置検出器とを、移動体に取り付ける第１の手順と、
前記電磁誘導式位置検出器の検出位置が０位置となるように移動体コントローラにより、前記移動体を移動させて位置決めする第２の手順と、
前記マスター位置検出器の検出位置を、０位置にリセットとする第３の手順と、
前記移動体コントローラにより前記移動体を移動させて、前記電磁誘導式位置検出器の検出位置と前記マスター位置検出器の検出位置との差である検出位置誤差を演算し、この検出位置誤差と前記電磁誘導式位置検出器の検出位置とを一定間隔位置毎に取得する第４の手順と、
この取得した前記検出位置誤差と前記電磁誘導式位置検出器の検出位置のデータを、ＦＦＴ解析する第５の手順と、
前記ＦＦＴ解析の結果から、前記電磁誘導式位置検出器の誤差変動の固有周期に対応した誤差を抽出し、前記固有周期と前記固有周期に対応した誤差のデータを記憶手段に記憶する第６の手順と、
前記記憶手段から、前記固有周期と前記固有周期に対応した誤差のデータを読み込む第７の手順と、
前記記憶手段から読み込んだ前記固有周期と前記固有周期に対応した誤差のデータを、逆ＦＦＴ解析することにより、前記電磁誘導式位置検出器の検出位置に応じた誤差補正量を求める第８の手順と、
前記電磁誘導式位置検出器の検出位置を、前記誤差補正量に基づいて補正する第９の手順と
を有することを特徴とする電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法。
【請求項２】
絶対位置を検出する電磁誘導式位置検出器を、移動体に取り付ける第１の手順と、
前記電磁誘導式位置検出器の検出位置が０位置となるように移動体コントローラにより、前記移動体を移動させて位置決めする第２の手順と、
移動体位置計算手段において位置計算に用いる移動時間を、０にリセットとする第３の手順と、
前記移動体コントローラにより前記移動体を一定速度で移動させ、前記電磁誘導式位置検出器の検出位置と、前記移動体位置計算手段において前記移動体の前記一定速度と前記移動体の移動時間とを乗算することによって算出する前記移動体の位置との差である検出位置誤差を演算し、この検出位置誤差と前記電磁誘導式位置検出器の検出位置とを一定間隔位置毎に取得する第４の手順と、
この取得した前記検出位置誤差と前記電磁誘導式位置検出器の検出位置のデータを、ＦＦＴ解析する第５の手順と、
前記ＦＦＴ解析の結果から、前記電磁誘導式位置検出器の誤差変動の固有周期に対応した誤差を抽出し、前記固有周期と前記固有周期に対応した誤差のデータを記憶手段に記憶する第６の手順と、
前記記憶手段から、前記固有周期と前記固有周期に対応した誤差のデータを読み込む第７の手順と、
前記記憶手段から読み込んだ前記固有周期と前記固有周期に対応した誤差のデータを、逆ＦＦＴ解析することにより、前記電磁誘導式位置検出器の検出位置に応じた誤差補正量を求める第８の手順と、
前記電磁誘導式位置検出器の検出位置を、前記誤差補正量に基づいて補正する第９の手順と
を有することを特徴とする電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はリニア形スケール又はロータリ形スケールである電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
電磁誘導式位置検出器であるインダクトシン方式のスケールは、工作機械、自動車、ロボットなどの各種機械における位置検出に適用される。インダクトシン方式のスケールにはリニア形スケールとロータリ形スケールがある。
リニア形スケールは、工作機械のＸＹテーブルなどのように直線的に移動する移動体に設置されて、当該移動体の直線的な位置（移動距離）を検出するものである。
ロータリ形スケールは、工作機械の回転テーブルなどのように回転する移動体（回転体）に設置されて、当該移動体（回転体）の回転位置（回転角度）を検出するものである。
【０００３】
リニア形スケールとロータリ形スケールは同じ検出原理であり、互いに平行に向かい合わせになるように配置されたコイルパターンの電磁誘導により位置を検出するものである。この検出原理を図８に基づいて説明する。
【０００４】
電磁誘導式位置検出器（リニア形スケール又はロータリ形スケール）、検出部と位置検出コントローラとを有している。
図８（ａ）及び図８（ｂ）に示すように、電磁誘導式位置検出器（リニア形スケール又はロータリ形スケール）の検出部１０は、一次側部材（スライダ又はステータ）１と、二次側部材（スケール又はロータ）２とを有している。なお、図８（ａ）及び図８（ｂ）では、説明の便宜上、一次側部材１と二次側部材２を直線的に図示しているが、ロータリ形スケールの場合、実際には一次側部材１としてのステータと二次側部材としてのロータが何れも円形状である。
【０００５】
一次側部材（スライダ又はステータ）１は、第１の一次側コイル（スライダでは第１のスライダコイル、ステータでは第１のステータコイル）３と、第２の一次側コイル（スライダでは第２のスライダコイル、ステータでは第２のステータコイル）４とを有している。
二次側部材（スケール又はロータ）２は、二次側コイル（スケールではスケールコイル、ロータではロータコイル）５を有している。
コイル３，４，５はコ字状のセクタが複数連結されてジグザグ状に折り返された形状（（櫛形パターン）となっており、且つ、第１及び第２のスライダコイルやスケールコイルの場合には全体が直線状、第１及び第２のステータコイルの場合には全体が円弧状、ロータコイルの場合には全体が円環状となっている。
【０００６】
リニア形スケールの場合、スライダは工作機械のＸＹテーブルなどのような直線的に移動する移動体に取り付けられて当該移動体とともに直線的に移動する一方、スケールは工作機械などにおける固定部に固定される。ロータリ形スケールの場合、ロータは工作機械の回転テーブルなどのような回転する移動体（回転体）に取り付けられて当該移動体（回転体）とともに回転する一方、ステータは工作機械などにおける固定部に固定される。
【０００７】
図８（ａ）に示すように、一次側部材（スライダ又はステータ）１と二次側部材（スケール又はロータ）２は、第１及び第２の一次側コイル（第１及び第２のスライダコイル又は第１及び第２のステータコイル）３，４と、二次側コイル（スケールコイル又はロータコイル）５とが所定のギャップｇを保持した状態で互いに平行に向かい合わせになるように配置されている。また、図８（ａ）及び図８（ｂ）に示すように、第１の一次側コイル（第１のスライダコイル又は第１のステータコイル）３と第２の一次側コイル（第２のスライダコイル又は第２のステータコイル）４は、１／４ピッチずれている。
【０００８】
かかる構成の電磁誘導式位置検出器（リニア形スケール又はロータリ形スケール）では、第１の一次側コイル（第１のスライダコイル又は第１のステータコイル）３と第２の一次側コイル（第２のスライダコイル又は第２のステータコイル）４に励磁電流（交流電流）を流すと、移動体とともに一次側部材１（スライダの場合）又は二次側部材２（ロータの場合）が移動（スライダは直線的な移動、ロータは回転）するのに伴って、第１及び第２の一次側コイル（第１及び第２のスライダコイル又は第１及び第２のステータコイル）３，４と二次側コイル（スケールコイル又はロータコイル）５との相対的な位置関係が変化するのに応じて、図８（ｃ）に示すように第１及び第２の一次側コイル（第１及び第２のスライダコイル又は第１及び第２のステータコイル）３，４と二次側コイル（スケールコイル又はロータコイル）５との電磁結合度が周期的に変化する。このため、二次側コイル（スケールコイル又はロータコイル）５には周期的に変化する誘起電圧が発生する。
【０００９】
具体的には、電磁誘導式位置検出器（リニア形スケール又はロータリ形スケール）の位置検出コントローラでは、下記の（１）式のような第１の励磁電流Ｉａを第１の一次側コイル（第１のスライダコイル又は第１のステータコイル）３に流し、下記の（２）式のような第２の励磁電流Ｉｂを第２の一次側コイル（第２のスライダコイル又は第２のステータコイル）４に流す。
Ｉａ＝−Ｉｃｏｓ（ｋα）ｓｉｎ（ωｔ）    （１）
Ｉｂ＝Ｉｓｉｎ（ｋα）ｓｉｎ（ωｔ）      （２）
但し、Ｉ：励磁電流の大きさ
ｋ：２π／ｐ
ｐ：コイルピッチ
ω：励磁電流（交流電流）の角周波数
ｔ：時間
α：励振位置
なお、コイルピッチｐは、リニア形スケールでは長さ（ｍｍ）、ロータリ形スケールでは角度（度）である。
【００１０】
第１の励磁電流Ｉａと第２の励磁電流Ｉｂを流した結果、第１及び第２の一次側コイル（第１及び第２のスライダコイル又は第１及び第２のステータコイル）３，４と二次側コイル（スケールコイル又はロータコイル）５との間の電磁誘導作用により、二次側コイル（スケールコイル又はロータコイル）５には下記の（３）式のような誘起電圧Ｖが発生する。
Ｖ＝ＫＩｓｉｎ（ｋ（Ｘ−α））ｓｉｎ（ωｔ）    （３）
但し、Ｋ：ギャップｇと励磁電流の角周波数ωに依存する伝達係数
Ｘ：検出位置（移動体の移動位置）
【００１１】
従って、（３）式の誘起電圧Ｖをサンプリングしたピーク振幅Ｖｐは、下記の（４）式となる。
Ｖｐ＝ＫＩｓｉｎ（ｋ（Ｘ−α））      （４）
【００１２】
そこで、位置検出コントローラでは、二次側コイル（スケールコイル又はロータコイル）５の誘起電圧Ｖからピーク振幅Ｖｐをサンプリングし、このピーク振幅Ｖｐが０となる励振位置α（即ちＸ＝αとなる励振位置α）の値を計算し、この励振位置αを、移動体の検出位置Ｘとして出力し、且つ、この励振位置αに基づいて第１励磁電流Ｉａ及び第２励磁電流Ｉｂを調整する。即ち、Ｘ＝αとなるように移動体の位置Ｘに対して励振位置αを追従させて、誘起電圧Ｖｐ＝０となるように制御することにより、移動体の位置Ｘを検出して出力する。
また、かかる電磁誘導式位置検出器（リニア形スケール又はロータリ形スケール）としては、詳細な説明は省略するが、検出位置Ｘとして絶対位置を検出することができるものも知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１３】
【特許文献１】特開２００７−０６４７７１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
しかしながら、現実の電磁誘導式位置検出器（リニア形スケール又はロータリ形スケール）は、製造誤差や取り付け誤差があるため、上記の（４）式が成立せず、検出位置Ｘに誤差が伴う。一般に検出位置Ｘに含まれている誤差として顕著に現れるのはコイルピッチ周期の誤差（コイルピッチｐの周期に応じて周期的に変動する誤差）であり、これを内挿誤差という。
【００１５】
例えば、コイルピッチｐが２ｍｍ（リニア形スケールの場合）又は２度（ロータリ形スケールの場合）であるとすると、２ｍｍ又は２度の周期で変動する内挿誤差が生じる。
【００１６】
また、この２ｍｍ又は２度の周期で変動する内挿誤差が大きくなり過ぎるのを避けるため、第１及び第１の一次側コイル（第１及び第２のスライダコイル又は第１及び第２のステータコイル）３，４のコイルピッチは２ｍｍ又は２度とはせずに、これよりも少し小さな値とすることがある。例えば、第１及び第１の一次側コイル（第１及び第２のスライダコイル又は第１及び第２のステータコイル）３，４の１つのセクタの寸法ｓを２／３ｍｍ（リニア形スケールの場合）又は１５／１６度（ロータリ形スケールの場合）とする。
【００１７】
この場合、２ｍｍ又は２度の周期で変動する内挿誤差だけでなく、二次側コイル（スケールコイル又はロータコイル）のコイルピッチｐが２ｍｍ又は２度であることに起因して、その１／Ｎ（Ｎは正の整数）の周期で変動する内挿誤差（例えば、その１／２である１ｍｍ又は１度の周期で変動する内挿誤差、その１／４である０．５ｍｍ又は０．５度の周期で変動する内挿誤差など）も生じる。
また、第１及び第１の一次側コイル（第１及び第２のスライダコイル又は第１及び第２のステータコイル）３，４のセクタ寸法ｓが２／３ｍｍ又は１５／１６度であることに起因して、２／３ｍｍ又は１５／１６度の周期で変動する内挿誤差も生じる。
【００１８】
更には、第１の一次側コイル（第１のスライダコイル又は第１のステータコイル）３と第２の一次側コイル（第２のスライダコイル又は第２のステータコイル）４との間隔ｄに起因して、コイル間隔ｄの周期やその１／Ｎの周期で変動する誤差も生じる。
例えばコイル間隔ｄが１．５ｍｍ（リニア形スケールの場合）又は７．５度（ロータリ形スケールの場合）であるとすると、１．５ｍｍ又は７．５度の周期で変動する誤差や、その１／２である０．７５ｍｍ又は３．７５度の周期で変動する誤差なども生じる。
【００１９】
電磁誘導式位置検出器（リニア形スケール又はロータリ形スケール）の取り付けに起因する誤差は、同一の電磁誘導式位置検出器であっても、その取り付け状態に応じて様々である。
これに対して、上記のような０．５ｍｍ又は０．５度、２／３ｍｍ又は１５／１６度、１ｍｍ又は１度、２ｍｍ又は２度、０．７５ｍｍ又は３．７５度、１．５ｍｍ又は７．５度などの固有周期で変動する誤差は、取り付け状態などとは無関係であり、電磁誘導式位置検出器（リニア形スケール又はロータリ形スケール）に固有の誤差（固有周期誤差）である。
従って、この固有周期誤差を補正することができれば、電磁誘導式位置検出器自体の位置検出精度を向上させることができる。
【００２０】
従って本発明は上記の事情に鑑みてなされたものであり、電磁誘導式位置検出器に固有の誤差を補正して、当該電磁誘導式位置検出器自体の位置検出精度を向上させることができる電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００２１】
上記課題を解決する第１発明の電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法は、
絶対位置を検出する電磁誘導式位置検出器と、この電磁誘導式位置検出器よりも高い位置検出精度を有するマスター位置検出器とを、移動体に取り付ける第１の手順と、
前記電磁誘導式位置検出器の検出位置が０位置となるように移動体コントローラにより、前記移動体を移動させて位置決めする第２の手順と、
前記マスター位置検出器の検出位置を、０位置にリセットとする第３の手順と、
前記移動体コントローラにより前記移動体を移動させて、前記電磁誘導式位置検出器の検出位置と前記マスター位置検出器の検出位置との差である検出位置誤差を演算し、この検出位置誤差と前記電磁誘導式位置検出器の検出位置とを一定間隔位置毎に取得する第４の手順と、
この取得した前記検出位置誤差と前記電磁誘導式位置検出器の検出位置のデータを、ＦＦＴ解析する第５の手順と、
前記ＦＦＴ解析の結果から、前記電磁誘導式位置検出器の誤差変動の固有周期に対応した誤差を抽出し、前記固有周期と前記固有周期に対応した誤差のデータを記憶手段に記憶する第６の手順と、
前記記憶手段から、前記固有周期と前記固有周期に対応した誤差のデータを読み込む第７の手順と、
前記記憶手段から読み込んだ前記固有周期と前記固有周期に対応した誤差のデータを、逆ＦＦＴ解析することにより、前記電磁誘導式位置検出器の検出位置に応じた誤差補正量を求める第８の手順と、
前記電磁誘導式位置検出器の検出位置を、前記誤差補正量に基づいて補正する第９の手順と
を有することを特徴とする。
【００２２】
また、第２発明の電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法は、
絶対位置を検出する電磁誘導式位置検出器を、移動体に取り付ける第１の手順と、
前記電磁誘導式位置検出器の検出位置が０位置となるように移動体コントローラにより、前記移動体を移動させて位置決めする第２の手順と、
移動体位置計算手段において位置計算に用いる移動時間を、０にリセットとする第３の手順と、
前記移動体コントローラにより前記移動体を一定速度で移動させ、前記電磁誘導式位置検出器の検出位置と、前記移動体位置計算手段において前記移動体の前記一定速度と前記移動体の移動時間とを乗算することによって算出する前記移動体の位置との差である検出位置誤差を演算し、この検出位置誤差と前記電磁誘導式位置検出器の検出位置とを一定間隔位置毎に取得する第４の手順と、
この取得した前記検出位置誤差と前記電磁誘導式位置検出器の検出位置のデータを、ＦＦＴ解析する第５の手順と、
前記ＦＦＴ解析の結果から、前記電磁誘導式位置検出器の誤差変動の固有周期に対応した誤差を抽出し、前記固有周期と前記固有周期に対応した誤差のデータを記憶手段に記憶する第６の手順と、
前記記憶手段から、前記固有周期と前記固有周期に対応した誤差のデータを読み込む第７の手順と、
前記記憶手段から読み込んだ前記固有周期と前記固有周期に対応した誤差のデータを、逆ＦＦＴ解析することにより、前記電磁誘導式位置検出器の検出位置に応じた誤差補正量を求める第８の手順と、
前記電磁誘導式位置検出器の検出位置を、前記誤差補正量に基づいて補正する第９の手順と
を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００２３】
第１発明の電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法によれば、上記の第１の手順〜第９の手順を有することを特徴としていることから、電磁誘導式位置検出器に固有の誤差のを補正するため、補正によって電磁誘導式位置検出器自体の位置検出精度に悪影響を及ぼすことがなく、電磁誘導式位置検出器自体の位置検出精度を向上させることができる。
また、コイルピッチ周期の誤差だけでなく、その１／Ｎ周期の誤差、セクタ寸法周期の誤差、コイル間隔周期の誤差、その１／Ｎ周期の誤差も補正することができる。
また、ＦＦＴ解析の結果から、電磁誘導式位置検出器の誤差変動の固有周期に対応した誤差を抽出し、前記固有周期と前記固有周期に対応した誤差のデータを記憶手段に記憶するため、取得した検出位置誤差と電磁誘導式位置検出器の検出位置のデータ全てを記憶する場合に比べて、記憶手段の記憶容量を小さくことができる。
【００２４】
同様に、第２発明の電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法においても、上記の第１の手順〜第９の手順を有することを特徴としていることから、電磁誘導式位置検出器に固有の誤差のを補正するため、補正によって電磁誘導式位置検出器自体の位置検出精度に悪影響を及ぼすことがなく、電磁誘導式位置検出器自体の位置検出精度を向上させることができる。
また、コイルピッチ周期の誤差だけでなく、その１／Ｎ周期の誤差、セクタ寸法周期の誤差、コイル間隔周期の誤差、その１／Ｎ周期の誤差も補正することができる。
また、ＦＦＴ解析の結果から、電磁誘導式位置検出器の誤差変動の固有周期に対応した誤差を抽出し、前記固有周期と前記固有周期に対応した誤差のデータを記憶手段に記憶するため、取得した検出位置誤差と電磁誘導式位置検出器の検出位置のデータ全てを記憶する場合に比べて、記憶手段の記憶容量を小さくことができる。
更には、マスター位置検出器を用いる必要がないため、補正作業の手間やコストを低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の実施の形態例１に係る電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法の関するブロック図である。
【図２】本発明の実施の形態例１に係る電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法の関するブロック図である。
【図３】補正前の検出位置データ（検出角度と誤差の関係）を示すグラフである。
【図４】補正前の検出位置データ（検出角度と誤差の関係）をＦＦＴ解析した結果を示すグラフである。
【図５】補正後の検出位置データ（検出角度と誤差の関係）を示すグラフである。
【図６】補正後の検出位置データ（検出角度と誤差の関係）をＦＦＴ解析した結果を示すグラフである。
【図７】本発明の実施の形態例２に係る電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法の関するブロック図である。
【図８】（ａ）は電磁誘導式位置検出器（リニア形スケール又はロータリ形スケール）の一次側部材（スライダ又はステータ）と二次側部材（スケール又はロータ）とを互いに平行に向かい合わせになるように配置した状態を示す斜視図、（ｂ）は前記一次側部材（スライダ又はステータ）と前記二次側部材（スケール又はロータ）とを並べて示す図、（ｃ）は前記一次側部材（スライダ又はステータ）と前記二次側部材（スケール又はロータ）との電磁結合度を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、本発明の実施の形態例を図面に基づいて詳細に説明する。
【００２７】
＜実施の形態例１＞
図１〜図６に基づき、本発明の実施の形態例１に係る電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法について説明する。
【００２８】
まず、誤差補正用のデータ（電磁誘導式位置検出器の誤差変動の固有周期と、この固有周期に対応した誤差のデータ）をＲＯＭ（記憶手段）に記憶するまでの手順について説明する。
【００２９】
図１に示すように、第１の手順では、補正対象の電磁誘導式位置検出器２２と、マスター位置検出器２３とを、移動体２１に取り付ける。
【００３０】
詳述すると、移動体２１は、工作機械のＸＹテーブルなどのような直線的に移動する移動体、又は、工作機械の回転テーブルなどのような回転する移動体（回転体）である。
電磁誘導式位置検出器２２はリニア形スケール又はロータリ形スケールであり、図８に基づいて説明した従来の電磁誘導式位置検出器と同様のものであり、検出位置Ｘとして絶対位置を検出することができるものである。
電磁誘導式位置検出器（リニア形スケール又はロータリ形スケール）２２は、検出部２２Ａと位置検出コントローラ２２Ｂとを有している。移動体２１には検出部２２Ａを取り付ける。検出部２２Ａは図８に基づいて説明した検出部１０と同様のものであり、一次側部材（スライダ又はステータ）と二次側部材（スケール又はロータ）とを有している。
従って、電磁誘導式位置検出器２２がリニア形スケールである場合には、直線的に移動する移動体２１にスライダ（可動部）を取り付ける。電磁誘導式位置検出器２２がロータリ形スケールである場合には、回転体である移動体２１にロータ（可動部）を取り付ける。
【００３１】
位置検出コントローラ２２Ｂは、位置検出部２２ａと、誤差演算部２２ｂと、スイッチ部２２ｃと、サンプリングデータ取得部２２ｄと、ＦＦＴ（Fast Fourier Transform：高速フーリエ変換）解析部２２ｅと、固有周期誤差成分抽出部２２ｆと、ＲＯＭ２２ｇ（記憶手段）とを有している。
電磁誘導式位置検出器２２がリニア形スケールである場合には、マスター位置検出器２３として、移動体２１の直線的な位置（移動距離）を検出することができるものを用いる。電磁誘導式位置検出器２２がロータリ形スケールである場合には、マスター位置検出器２３として、移動体（回転体）２１の回転位置（回転角度）を検出することができるものを用いる。
マスター位置検出器２３は、電磁誘導式位置検出器２２に比べて位置検出精度が高いもの（例えば電磁誘導式位置検出器２２に比べて位置検出誤差の大きさが１／１０以下のもの）を用いる。かかる高精度のマスター位置検出器２３としては、例えば光学式の位置検出器などを用いることができる。なお、移動体２１にはマスター位置検出器２３の可動部が取り付けられる。
【００３２】
次の第２の手順では、電磁誘導式位置検出器（リニア形スケール又はロータリ形スケール）２２の検出位置が０位置（原点：リニア形スケールでは０ｍｍ、ロータリ形スケールでは０度）になるように移動体コントローラ２４により、移動体２１を移動させて位置決めする。
【００３３】
詳述すると、位置検出コントローラ２２Ｂの位置検出部２２ａでは、検出部（スケール又はロータ）２２Ａから出力される誘起電圧に基づいて、移動体２１の絶対位置（リニア形スケールでは移動距離、ロータリ形スケールでは回転角度）を検出し、この検出位置（検出距離又は検出角度）を出力する。そして、この検出位置（検出距離又は検出角度）が０位置（０ｍｍ又は０度）になるように移動体コントローラ２４から移動指令を行うことにより、移動体２１を移動させて位置決めする。
【００３４】
次の第３の手順では、マスター位置検出器２３の検出位置（検出距離又は検出角度）を、０位置（０ｍｍ又は０度）にリセットする。
【００３５】
詳述すると、位置検出部２２ａでは、この位置検出部２２ａで得られた検出位置（検出距離又は検出角度）が０位置（０ｍｍ又は０度）になったとき、マスター位置検出器２３へ０リセット信号ｒ１を出力する。そして、マスター位置検出器２３では、このマスター位置検出器２３における検出位置（検出距離又は検出角度）を、０リセット信号ｒ１に基づいて０位置（０ｍｍ又は０度）にリセットする。
【００３６】
次の第４の手順では、移動体コントローラ２４により移動体２１を移動させて、電磁誘導式位置検出器２２の検出位置（検出距離又は検出角度）とマスター位置検出器２３の検出位置（検出距離又は検出角度）との差である検出位置誤差（検出距離誤差又は検出角度誤差）を演算し、この検出位置誤差と電磁誘導式位置検出器２２の検出位置とを一定間隔位置毎に取得（サンプリング）する。
【００３７】
詳述すると、移動体コントローラ２４では、電磁誘導式位置検出器２２の検出位置が０位置になるように移動体２１を位置決めしてから、誤差データを取得するために移動体２１を一定速度で移動させる。電磁誘導式位置検出器２２がリニア形スケールであり、移動体２１が直線的に移動するものである場合には、電磁誘導式位置検出器２２の一定長さ分（即ちスケールの全長分）、移動体２１を移動させる。電磁誘導式位置検出器２２がロータリ形スケールであり、移動体２１が回転体である場合には、移動体２１を３６０度（即ちロータの１回転分）回転させる。
そして、このときに誤差演算部２２ｂでは、電磁誘導式位置検出器２２（位置検出部２２ａ）から出力される検出位置（検出距離又は検出角度）と、マスター位置検出器２３の検出位置（検出距離又は検出角度）との差である検出位置誤差（検出距離誤差又は検出角度誤差）を演算する。
また、位置検出部２２ａでは、一定間隔位置毎（例えば、リニア形スケールでは０．１ｍｍ毎、ロータリ形スケールでは０．１度毎）にスイッチ部２２ｃとサンプリングデータ取得部２２ｄとに検出位置（検出距離又は検出角度）を出力する。
スイッチ部２２ｃでは、誤差演算部２２ｂで演算された検出位置誤差を、位置検出部２２ａから一定間隔位置毎（０．１ｍｍ毎又は０．１度毎）に検出位置（検出距離又は検出角度）を入力する度にサンプリングデータ取得部２２ｄへ出力する。
【００３８】
サンプリングデータ取得部２２ｄでは、誤差演算部２２ｂから、スイッチ部２２ｃを介して一定間隔位置毎（０．１ｍｍ毎又は０．１度毎）に検出位置誤差（検出距離誤差又は検出角度誤差）を取得（サンプリング）し、且つ、位置検出部２２ａから、一定間隔位置毎（０．１ｍｍ毎又は０．１度毎）に電磁誘導式位置検出器２２の検出位置（検出距離又は検出角度）を取得（サンプリング）する。
このサンプリングデータ取得部２２ｄで取得した検出位置（検出距離又は検出角度）と検出位置誤差（検出距離誤差又は検出角度誤差）の関係が、図３に例示されている。図３には電磁誘導式位置検出器２２がロータリ形スケールである場合の検出角度（度）と検出角度誤差（秒）の関係が例示されており、検出角度誤差が周期的に変動している様子が示されている。図示は省略するが、電磁誘導式位置検出器２２がリニア形スケールである場合の検出距離（ｍｍ）と検出距離誤差（秒）との関係も、これと同様である。
【００３９】
次の第５の手順では、サンプリングデータ取得部２２ｄで取得した検出位置誤差と検出位置のデータを、ＦＦＴ解析部２２ｅにおいてＦＦＴ解析する。
このＦＦＴ解析の結果が、図４に例示されている。図４には電磁誘導式位置検出器２２がロータリ形スケールである場合の角度（度）と誤差振幅（秒）の関係が例示されている。図示は省略するが、電磁誘導式位置検出器２２がリニア形スケールである場合の距離（ｍｍ）と誤差振幅（ｍｍ）の関係も、これと同様である。
【００４０】
次の第６の手順では、ＦＦＴ解析の結果から、電磁誘導式位置検出器（リニア形スケール又はロータリ形スケール）２２の誤差変動の固有周期に対応した誤差（固有周期誤差）を抽出し、前記固有周期と、前記固有周期に対応した誤差のデータ（補正データ）を記憶手段に記憶する。
【００４１】
詳述すると、固有周期誤差成分抽出部２２ｆでは、ＦＦＴ解析部２２ｅで行われた図４に例示するようなＦＦＴ解析の結果から、電磁誘導式位置検出器（リニア形スケール又はロータリ形スケール）２２の誤差変動の固有周期に対応した誤差（固有周期誤差）を抽出する。
ここでは電磁誘導式位置検出器（リニア形スケール又はロータリ形スケール）２２における二次側コイル（スケールコイル又はロータコイル）のコイルピッチｐが２ｍｍ又は２度に設定され、電磁誘導式位置検出器（リニア形スケール又はロータリ形スケール）２２における一次側コイル（第１及び第２のスライダコイル又は第１及び第２のステータコイル）のセクタ寸法ｓが２／３ｍｍ又は１５／１６度、コイル間隔ｄが１．５ｍｍ又は７．５度に設定されているとする。
このため、前述のとおり電磁誘導式位置検出器（リニア形スケール又はロータリ形スケール）２２の誤差変動の固有周期は、０．５ｍｍ又は０．５度、２／３ｍｍ又は１５／１６度、１ｍｍ又は１度、２ｍｍ又は２度、０．７５ｍｍ又は３．７５度、１．５ｍｍ又は７．５度などである。
従って、固有周期誤差成分抽出部２２ｆでは、ＦＦＴ解析の結果から、誤差変動の固有周期０．５ｍｍ又は０．５度、２／３ｍｍ又は１５／１６度、１ｍｍ又は１度、２ｍｍ又は２度、０．７５ｍｍ又は３．７５度、１．５ｍｍ又は７．５度に対応した誤差（固有周期誤差）を抽出する。
図４に示すロータリ形スケールの場合の例では、固有周期の０．５度に対応した誤差Ｅａと、固有周期の１５／１６度に対応した誤差Ｅｂと、固有周期の１度に対応した誤差Ｅｃと、固有周期の２度に対応した誤差Ｅｄと、固有周期の３．７５度に対応した誤差Ｅｅと、固有周期の７．５度に対応した誤差Ｅｆとを抽出する。図示は省略するが、リニア形スケールの場合についても、これと同様である。
コイルピッチｐが２ｍｍ又は２度である場合、その１／８（０．２５ｍｍ又は０．２５度）などの固有周期の誤差も生じるが、１／８以下の固有周期の誤差は小さいため、ここでは無視している。
なお、ここで抽出する固有周期誤差は、より具体的にはｓｉｎ成分の振幅の大きさと、
ｃｏｓ成分の振幅の大きさである。
【００４２】
そして、固有周期０．５ｍｍ又は０．５度、２／３ｍｍ又は１５／１６度、１ｍｍ又は１度、２ｍｍ又は２度、０．７５ｍｍ又は３．７５度、１．５ｍｍ又は７．５度と、これらの固有周期に対応した誤差のデータ（補正データ）を、電磁誘導式位置検出器２２の検出部（リニア形スケールではスライダ又はスケール、ロータリ形スケールではステータ又はロータ）２２Ａに設けたＲＯＭ２２ｈ（記憶手段）に記憶する。
【００４３】
なお、これらの補正データは、検出部２２ＡのＲＯＭ２２ｈに限らず、位置検出コントローラ２２ＢのＲＯＭ２２ｇ（記憶手段）に記憶するようにしてもよい。しかし、位置検出コントローラ２２ＢのＲＯＭ２２ｇに補正データを記憶させた場合には、検出部２２Ａを取り換える際に位置検出コントローラ２２Ｂも取り換える必要がある。これに対して、検出部２２ＡのＲＯＭ２２ｈに補正データを記憶させた場合の方が、検出部２２Ａだけを取り換えればよいため、コストや作業性などの点で有利である。
【００４４】
上記のような第１の手順〜第６の手順の手順は、例えば、電磁誘導式位置検出器の製造工場において電磁誘導式位置検出器２２を出荷する前に実施する。そして、検出部２２ＡのＲＯＭ２２ｈ又は位置検出コントローラ２２ＢのＲＯＭ２２ｇに補正データを記憶した電磁誘導式位置検出器２２を出荷する。
【００４５】
次に、電磁誘導式位置検出器の検出位置を補正するまでの手順について説明する。
【００４６】
図２に示すように、検出部２２ＡのＲＯＭ２２ｈ又は位置検出コントローラ２２ＢのＲＯＭ２２ｇに補正データを記憶した電磁誘導式位置検出器２２を用いて移動体３１の位置検出を行う場合、当該電磁誘導式位置検出器２２を当該移動体３１に取り付ける。
移動体３１は、工作機械のＸＹテーブルなどのような直線的に移動する移動体、又は、工作機械の回転テーブルなどのような回転する移動体（回転体）である。
移動体３１には検出部２２Ａを取り付ける。電磁誘導式位置検出器２２がリニア形スケールである場合には、直線的に移動する移動体３１にスライダ（可動部）を取り付ける。電磁誘導式位置検出器２２がロータリ形スケールである場合には、回転体である移動体３１にロータ（可動部）を取り付ける。
なお、本実施の形態例１では電磁誘導式位置検出器２２を利用する移動体３１や移動体コントローラ３２と、電磁誘導式位置検出器２２の補正データを取得するための移動体２１や移動体コントローラ２４とは異なるものであるとしているが、これに限定するものでなく、これらは同じものであってもよい。
【００４７】
図２に示すように、位置検出コントローラ２２Ｂは、電源ＯＮ判定部２２ｊと、データ読み込み部２２ｉと、逆ＦＦＴ解析部２２ｋと、補正テーブル２２ｍと、補正演算部２２ｎも有している。
【００４８】
そして、第７の手順では、記憶手段（ＲＯＭ２２ｈ又はＲＯＭ２２ｇ）から、誤差変動の固有周期と、これらの固有周期に対応した誤差のデータ（補正データ）を読み込む。
【００４９】
詳述すると、電源ＯＮ判定部２２ｊでは、位置検出コントローラ２２Ｂの電源（図示省略）のＯＮ判定を行う。
電源ＯＮ判定部２２ｊで電源がＯＮになったと判定すると、データ読み込み部２２ｉでは、検出部２２ＡのＲＯＭ２２ｈ又は位置検出コントローラ２２ＢのＲＯＭ２２ｇから、固有周期０．５ｍｍ又は０．５度、２／３ｍｍ又は１５／１６度、１ｍｍ又は１度、２ｍｍ又は２度、０．７５ｍｍ又は３．７５度、１．５ｍｍ又は７．５度と、これらの固有周期に対応した誤差のデータ（補正データ）を読み込む。
【００５０】
次の第８の手順では、記憶手段（ＲＯＭ２２ｈ又はＲＯＭ２２ｇ）から読み込んだ誤差変動の固有周期と、これらの固有周期に対応した誤差のデータ（補正データ）を、逆ＦＦＴ解析することにより、電磁誘導式位置検出器２２の検出位置（絶対検出位置）に応じた誤差補正量を求める。
【００５１】
詳述すると、逆ＦＦＴ解析部２２ｋでは、データ読み込み部２２ｉにおいて検出部２２ＡのＲＯＭ２２ｈ又は位置検出コントローラ２２ＢのＲＯＭ２２ｇから読み込んだ固有周期０．５ｍｍ又は０．５度、２／３ｍｍ又は１５／１６度、１ｍｍ又は１度、２ｍｍ又は２度、０．７５ｍｍ又は３．７５度、１．５ｍｍ又は７．５度と、これらの固有周期に対応した誤差のデータ（補正データ）に基づいて、逆ＦＦＴ解析を行う。
その結果、前述の第５の手順でＦＦＴ解析を行う前（図３）と同様の検出位置（距離又は角度）と検出誤差（検出距離誤差又は検出角度誤差）の関係が得られる。
そして、逆ＦＦＴ解析部２２ｋでは、逆ＦＦＴ解析の結果に基づき、電磁誘導式位置検出器（リニア形スケール又はロータリ形スケール）２２の０位置（リニア形スケールでは０ｍｍ、ロータリ形スケールでは０度）を基準とした誤差補正量を計算する。即ち、電磁誘導式位置検出器（リニア形スケール又はロータリ形スケール）２２の絶対検出位置（絶対検出距離又は絶対検出角度）に対応する誤差補正量（検出距離誤差の補正量又は検出角度誤差の補正量）を求める。
補正テーブル２２ｍでは、逆ＦＦＴ解析部２２ｋで求めた誤差補正量（検出距離の誤差補正量又は検出角度の誤差補正量）を、検出位置（検出距離又は検出角度）に対応させて記憶する。
【００５２】
次の第９の手順では、電磁誘導式位置検出器２２の検出位置を、前記誤差補正量に基づいて補正する。
【００５３】
詳述すると、移動体３１が停止しているときや、移動体コントローラ３２によって移動体３１を移動（直線的に移動又は回転）させているとき、電磁誘導式位置検出器（リニア形スケール又はロータリ形スケール）２２では、移動体３１の位置（距離又は角度）を検出する。
即ち、位置検出コントローラ２２Ｂの位置検出部２２ａでは、検出部（スケール又はロータ）２２Ａから出力される誘起電圧に基づいて、移動体３１の絶対位置（リニア形スケールでは移動距離、ロータリ形スケールでは回転角度）を検出し、この検出位置（検出距離又は検出角度）Ｘ（ｍ）を出力する。
補正演算部２２ｎでは、補正テーブル２２ｍに記憶されている誤差補正量（検出距離の誤差補正量又は検出角度の誤差補正量）のデータから、位置検出部２２ａから出力される検出位置（検出距離又は検出角度）Ｘ（ｍ）に対応した誤差補正量（検出距離の誤差補正量又は検出角度の誤差補正量）Ｅ（ｍ）を選択し、この誤差補正量Ｅ（ｍ）に基づいて下記の（１１）式のように当該検出位置Ｘ（ｍ）を補正し、この補正した検出位置Ｘ´（ｍ）を出力する。
Ｘ´（ｍ）＝Ｘ（ｍ）＋Ｅ（ｍ）      （１１）
図５には補正後の検出位置（検出角度）Ｘ´（ｍ）における誤差を例示し、図６には補正後の検出位置（検出角度）Ｘ´（ｍ）における誤差をＦＦＴ解析した結果を例示している。図５に示すように補正後の検出位置（検出角度）Ｘ´（ｍ）における誤差は、補正前（図３）に比べて非常に小さくなっており、図６に示すように固有周期０．５度、１５／１６度、１度、２度、３．７５度、７．５度における誤差はほとんど生じていない。
【００５４】
以上のように、本実施の形態例１に係る電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法によれば、上記の第１の手順〜第９の手順を有することを特徴としていることから、電磁誘導式位置検出器２２に固有の誤差のを補正するため、補正によって電磁誘導式位置検出器２２自体の位置検出精度に悪影響を及ぼすことがなく、電磁誘導式位置検出器２２自体の位置検出精度を向上させることができる。
また、コイルピッチ周期の誤差だけでなく、その１／Ｎ周期の誤差、セクタ寸法周期の誤差、コイル間隔周期の誤差、その１／Ｎ周期の誤差も補正することができる。
また、ＦＦＴ解析の結果から、電磁誘導式位置検出器２２の誤差変動の固有周期に対応した誤差を抽出し、前記固有周期と前記固有周期に対応した誤差のデータを記憶手段（ＲＯＭ２２ｈ又はＲＯＭ２２ｇ）に記憶するため、取得した検出位置誤差と電磁誘導式位置検出器の検出位置のデータ全てを記憶する場合に比べて、記憶手段（ＲＯＭ２２ｈ又はＲＯＭ２２ｇ）の記憶容量を小さくことができる。
【００５５】
＜実施の形態例２＞
図７に基づき、本発明の実施の形態例２に係る電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法について説明する。
上記実施の形態例１ではマスター位置検出器を用いたが、本実施の形態例２ではマスター位置検出器は用いず、移動体の移動速度（一定速度）と移動時間とから移動体の位置を算出する。
【００５６】
まず、誤差補正用のデータ（電磁誘導式位置検出器の誤差変動の固有周期と、この固有周期に対応した誤差のデータ）をＲＯＭ（記憶手段）に記憶するまでの手順について説明する。
【００５７】
図７に示すように、第１の手順では、補正対象の電磁誘導式位置検出器４２を移動体４１に取り付ける。
【００５８】
詳述すると、移動体４１は、工作機械のＸＹテーブルなどのような直線的に移動する移動体、又は、工作機械の回転テーブルなどのような回転する移動体（回転体）である。
電磁誘導式位置検出器４２はリニア形スケール又はロータリ形スケールであり、図８に基づいて説明した従来の電磁誘導式位置検出器と同様のものであり、検出位置Ｘとして絶対位置を検出することができるものである。
電磁誘導式位置検出器（リニア形スケール又はロータリ形スケール）４２は、検出部４２Ａと位置検出コントローラ４２Ｂとを有している。移動体４１には検出部４２Ａを取り付ける。検出部４２Ａは図８に基づいて説明した検出部１０と同様のものであり、一次側部材（スライダ又はステータ）と二次側部材（スケール又はロータ）とを有している。従って、電磁誘導式位置検出器４２がリニア形スケールである場合には、直線的に移動する移動体４１にスライダ（可動部）を取り付ける。電磁誘導式位置検出器４２がロータリ形スケールである場合には、回転体である移動体４１にロータ（可動部）を取り付ける。
【００５９】
位置検出コントローラ４２Ｂは、位置検出部４２ａと、誤差演算部４２ｂと、移動体位置計算部４２ｃ（移動体位置計算手段）と、スイッチ部４２ｄと、サンプリングデータ取得部４２ｅと、ＦＦＴ解析部４２ｆと、固有周期誤差成分抽出部４２ｇと、ＲＯＭ４２ｈ（記憶手段）とを有している。
【００６０】
次の第２の手順では、電磁誘導式位置検出器（リニア形スケール又はロータリ形スケール）２２の検出位置が０位置（原点：リニア形スケールでは０ｍｍ、ロータリ形スケールでは０度）になるように移動体コントローラ４３により、移動体４１を移動させて位置決めする。
【００６１】
詳述すると、位置検出コントローラ４２Ｂの位置検出部４２ａでは、検出部（スケール又はロータ）４２Ａから出力される誘起電圧に基づいて、移動体４１の絶対位置（リニア形スケールでは移動距離、ロータリ形スケールでは回転角度）を検出し、この検出位置（検出距離又は検出角度）を出力する。そして、この検出位置（検出距離又は検出角度）が０位置（０ｍｍ又は０度）になるように移動体コントローラ４３から移動指令を行うことにより、移動体４１を移動させて位置決めする。
【００６２】
次の第３の手順では、移動体位置計算部４３ｃ（移動体位置計算手段）において位置計算に用いる移動時間Ｔを、０にリセットとする。
【００６３】
詳述すると、位置検出部４２ａでは、この位置検出部４２ａで得られた検出位置（検出距離又は検出角度）が０位置（０ｍｍ又は０度）になったとき、移動体位置計算部４３ｃへ０リセット信号ｒ２を出力する。そして、移動体位置計算部４３ｃでは、この移動体位置計算部４３ｃにおいて移動体４１の位置（距離又は角度）の計算に用いる移動時間Ｔを、０リセット信号ｒ２に基づいて０にリセットする。即ち、移動体４１のスタート時間を０にリセットする。
【００６４】
次の第４の手順では、移動体コントローラ４３により移動体４１を一定速度Ｓ（移動体４１が直線的に移動するものである場合には一定の直線移動速度、移動体４１が回転体である場合には一定の回転速度）で移動させ、電磁誘導式位置検出器４２の検出位置（検出距離又は検出角度）と、移動体位置計算部４３ｃにおいて移動体４１の一定速度Ｓと移動体４１の移動時間Ｔとを乗算することによって算出する移動体４１の位置（距離又は角度）との差である検出位置誤差（検出距離誤差又は検出角度誤差）を演算し、この検出位置誤差と電磁誘導式位置検出器４２の検出位置とを一定間隔位置毎に取得（サンプリング）する。
【００６５】
詳述すると、移動体コントローラ４３では、電磁誘導式位置検出器４２の検出位置が０位置になるように移動体４１を位置決めしてから、誤差データを取得するために移動体４１を一定速度Ｓで移動させる。電磁誘導式位置検出器４２がリニア形スケールであり、移動体４１が直線的に移動するものである場合には、電磁誘導式位置検出器４２の一定長さ分（即ちスケールの全長分）、移動体４１を移動させる。電磁誘導式位置検出器４２がロータリ形スケールであり、移動体４１が回転体である場合には、移動体４１を３６０度（即ちロータの１回転分）回転させる。
そして、このときに移動体位置計算部４２ｃでは、移動体４１の一定速度Ｓと、移動体４１の移動時間Ｔ（０にリセットしてからの時間）とを乗算（Ｓ×Ｔ）することによって、移動体４１の位置（距離又は角度）を算出する。
誤差演算部４２ｂでは、電磁誘導式位置検出器４２（位置検出部４２ａ）から出力される検出位置（検出距離又は検出角度）と、移動体位置計算部４２ｃで算出される移動体４１の位置（距離又は角度）との差である検出位置誤差（検出距離誤差又は検出角度誤差）を演算する。
また、位置検出部４２ａでは、一定間隔位置毎（例えば、リニア形スケールでは０．１ｍｍ毎、ロータリ形スケールでは０．１度毎）にスイッチ部４２ｄとサンプリングデータ取得部４２ｅとに検出位置（検出距離又は検出角度）を出力する。
スイッチ部４２ｄでは、誤差演算部４２ｂで演算された検出位置誤差を、位置検出部４２ａから一定間隔位置毎（０．１ｍｍ毎又は０．１度毎）に検出位置（検出距離又は検出角度）を入力する度にサンプリングデータ取得部４２ｅへ出力する。
【００６６】
サンプリングデータ取得部４２ｅでは、誤差演算部４２ｂから、スイッチ部４２ｄを介して一定間隔位置毎（０．１ｍｍ毎又は０．１度毎）に検出位置誤差（検出距離誤差又は検出角度誤差）を取得（サンプリング）し、且つ、位置検出部４２ａから、一定間隔位置毎（０．１ｍｍ毎又は０．１度毎）に電磁誘導式位置検出器４２の検出位置（検出距離又は検出角度）を取得（サンプリング）する。このサンプリングデータ取得部４２ｅで取得した検出位置（検出距離又は検出角度）と検出位置誤差（検出距離誤差又は検出角度誤差）の関係は、上記実施の形態例１の場合（図３）と同様である。
【００６７】
次の第５の手順では、サンプリングデータ取得部４２ｅで取得した検出位置誤差と検出位置のデータを、ＦＦＴ解析部４２ｆにおいてＦＦＴ解析する。このＦＦＴ解析の結果も、上記実施の形態例１の場合（図４）と同様である。
【００６８】
次の第６の手順では、ＦＦＴ解析の結果から、電磁誘導式位置検出器（リニア形スケール又はロータリ形スケール）２２の誤差変動の固有周期に対応した誤差（固有周期誤差）を抽出し、前記固有周期と、前記固有周期に対応した誤差のデータ（補正データ）を記憶手段に記憶する。
【００６９】
詳述すると、固有周期誤差成分抽出部４２ｇでは、ＦＦＴ解析部４２ｆで行われたＦＦＴ解析の結果から、電磁誘導式位置検出器（リニア形スケール又はロータリ形スケール）４２の誤差変動の固有周期に対応した誤差（固有周期誤差）を抽出する。
ここでは電磁誘導式位置検出器（リニア形スケール又はロータリ形スケール）４２における二次側コイル（スケールコイル又はロータコイル）のコイルピッチｐが２ｍｍ又は２度に設定され、電磁誘導式位置検出器（リニア形スケール又はロータリ形スケール）２２における一次側コイル（第１及び第２のスライダコイル又は第１及び第２のステータコイル）のセクタ寸法ｓが２／３ｍｍ又は１５／１６度、コイル間隔ｄが１．５ｍｍ又は７．５度に設定されているとする。
このため、前述のとおり電磁誘導式位置検出器（リニア形スケール又はロータリ形スケール）４２の誤差変動の固有周期は、０．５ｍｍ又は０．５度、２／３ｍｍ又は１５／１６度、１ｍｍ又は１度、２ｍｍ又は２度、０．７５ｍｍ又は３．７５度、１．５ｍｍ又は７．５度などである。
従って、固有周期誤差成分抽出部４２ｇでは、ＦＦＴ解析の結果から、誤差変動の固有周期０．５ｍｍ又は０．５度、２／３ｍｍ又は１５／１６度、１ｍｍ又は１度、２ｍｍ又は２度、０．７５ｍｍ又は３．７５度、１．５ｍｍ又は７．５度に対応した誤差（固有周期誤差）を抽出する。
コイルピッチｐが２ｍｍ又は２度である場合、その１／８（０．２５ｍｍ又は０．２５度）などの周期の誤差も生じるが、１／８以下の周期の誤差は小さいため、ここでは無視している。
なお、ここで抽出する固有周期誤差は、より具体的にはｓｉｎ成分の振幅の大きさと、
ｃｏｓ成分の振幅の大きさである。
【００７０】
そして、固有周期０．５ｍｍ又は０．５度、２／３ｍｍ又は１５／１６度、１ｍｍ又は１度、２ｍｍ又は２度、０．７５ｍｍ又は３．７５度、１．５ｍｍ又は７．５度と、これらの固有周期に対応した誤差のデータ（補正データ）を、電磁誘導式位置検出器４２の検出部（リニア形スケールではスライダ又はスケール、ロータリ形スケールではステータ又はロータ）４２Ａに設けたＲＯＭ４２ｉ（記憶手段）に記憶する。
【００７１】
なお、これらの補正データは、検出部４２ＡのＲＯＭ４２ｉに限らず、位置検出コントローラ４２ＢのＲＯＭ４２ｈ（記憶手段）に記憶するようにしてもよい。しかし、先にも述べたとおり、検出部４２ＡのＲＯＭ４２ｉに補正データを記憶させた場合の方が、検出部４２Ａだけを取り換えればよいため、コストや作業性などの点で有利である。
【００７２】
上記のような第１の手順〜第６の手順の手順は、例えば、電磁誘導式位置検出器の製造工場において電磁誘導式位置検出器４２を出荷する前に実施する。そして、検出部４２ＡのＲＯＭ４２ｉ又は位置検出コントローラ４２ＢのＲＯＭ４２ｈに補正データを記憶した電磁誘導式位置検出器４２を出荷する。
【００７３】
次に、電磁誘導式位置検出器４２の検出位置Ｘ（ｍ）を補正するまでの手順を実施することになるが、この手順については上記実施の形態例１おける第７の手順〜第９の手順と同様であるため、ここでの説明は省略する。
なお、本実施の形態例２でも電磁誘導式位置検出器４２を利用する移動体や位置検出コントローラと、電磁誘導式位置検出器４２の補正データを取得するための移動体４１や移動体コントローラ４３とは異なるものであるとしているが、これに限定するものでなく、これらは同じものであってもよい。
【００７４】
以上のように、本実施の形態例２に係る電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法によれば、上記の第１の手順〜第９の手順（第７の手順〜第９の手順は上記実施の形態例１と同様）を有することを特徴としていることから、電磁誘導式位置検出器４２に固有の誤差のを補正するため、補正によって電磁誘導式位置検出器４２自体の位置検出精度に悪影響を及ぼすことがなく、電磁誘導式位置検出器４２自体の位置検出精度を向上させることができる。
また、コイルピッチ周期の誤差だけでなく、その１／Ｎ周期の誤差、セクタ寸法周期の誤差、コイル間隔周期の誤差、その１／Ｎ周期の誤差も補正することができる。
また、ＦＦＴ解析の結果から、電磁誘導式位置検出器４２の誤差変動の固有周期に対応した誤差を抽出し、前記固有周期と前記固有周期に対応した誤差のデータを記憶手段（ＲＯＭ４２ｉ又はＲＯＭ４２ｈ）に記憶するため、取得した検出位置誤差と電磁誘導式位置検出器の検出位置のデータ全てを記憶する場合に比べて、記憶手段（ＲＯＭ４２ｉ又はＲＯＭ４２ｈ）の記憶容量を小さくことができる。
更には、マスター位置検出器を用いる必要がないため、補正作業の手間やコストを低減することができる。
【産業上の利用可能性】
【００７５】
本発明は電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法に関するものであり、電磁誘導式位置検出器の取り付け状態などには関わらず、電磁誘導式位置検出器自体の位置検出精度を向上させる場合に適用して有用なものである。
【符号の説明】
【００７６】
２１  移動体
２２  電磁誘導式位置検出器
２２Ａ  検出部
２２Ｂ  位置検出コントローラ
２２ａ  位置検出部
２２ｂ  誤差演算部
２２ｃ  スイッチ部
２２ｄ  サンプリングデータ取得部
２２ｅ  ＦＦＴ解析部
２２ｆ  固有周期誤差成分抽出部
２２ｇ，２２ｈ  ＲＯＭ
２２ｉ  データ読み込み部
２２ｊ  電源ＯＮ判定部
２２ｋ  逆ＦＦＴ解析部
２２ｍ  補正テーブル
２２ｎ  補正演算部
２３  マスター位置検出器
２４  移動体コントローラ
３１  移動体
３２  移動体コントローラ
４１  移動体
４２  電磁誘導式位置検出器
４２Ａ  検出部
４２Ｂ  位置検出コントローラ
４２ａ  位置検出部
４２ｂ  誤差演算部
４２ｃ  移動体位置計算部
４２ｄ  スイッチ部
４２ｅ  サンプリングデータ取得部
４２ｆ  ＦＦＴ解析部
４２ｇ  固有周期誤差成分抽出部
４２ｈ，４２ｉ  ＲＯＭ
４３  移動体コントローラ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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