(57)【要約】【課題】検査の信頼性を向上させて、効率のよい検査を行う。【解決手段】各電極にプローブをそれぞれ２つずつ接触させた状態で、プローブの電極への接触を各電極でそれぞれ確認し（Ｓ１００）、接触を確認した２つずつのプローブのうちそれぞれ１つずつのプローブを用いて各電極間の短絡検査を行う（Ｓ１１０，Ｓ１４０）。このように、各電極にプローブが接触していることを確認してから、各電極間の短絡検査を行うため、プローブが電極に接触していないことによる短絡の誤判定を防止して、検査の信頼性を向上させることができる。また、誤判定により短絡検査を再検査する必要がないから、電極とプローブとの接触を確認したとしても、効率よく検査を行うことができる。したがって、検査の信頼性を向上させて、効率のよい検査を行うことができる。【選択図】図５
2014222167.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
２つの電極間の電気的特性を検査する電極検査方法であって、
前記各電極に少なくとも２つのプローブを接触させた状態で、同じ電極に接触させた少なくとも２つのプローブ間の導通を前記各電極でそれぞれ判定する判定工程と、
前記判定工程で導通していると判定されたプローブのうち、前記各電極でそれぞれ少なくとも１つのプローブを用いて、該各電極間の電気的特性を検査する検査工程と、
を含む電極検査方法。
【請求項２】
請求項１に記載の電極検査方法であって、
前記判定工程では、前記各電極に前記プローブを２つずつ接触させた状態で、同じ電極に接触させた２つのプローブ間の導通を前記各電極でそれぞれ判定し、
前記検査工程では、前記判定工程で導通していると判定されたプローブのうち、前記各電極でそれぞれ１つのプローブを用いて、該各電極間の電気的特性を検査する
電極検査方法。
【請求項３】
前記各電極は、３つ以上の複数の電極のうちの２つの電極の組合せである
請求項１または２に記載の電極検査方法。
【請求項４】
請求項３に記載の電極検査方法であって、
前記判定工程では、前記複数の電極のそれぞれに前記プローブを少なくとも２つ接触させた状態で、同じ電極に接触させた少なくとも２つのプローブ間の導通を前記複数の電極でそれぞれ判定し、
前記検査工程は、前記判定工程で前記複数の電極のそれぞれで少なくとも１つのプローブが導通していると判定されてから行う
電極検査方法。
【請求項５】
前記各電極は、被測定ガスのガス濃度を検出するガスセンサーに設けられる
請求項１ないし４いずれか１項に記載の電極検査方法。
【請求項６】
２つの電極間の電気的特性を検査する電極検査装置であって、
前記各電極のそれぞれに対し少なくとも２つ設けられたプローブと、
前記各電極のそれぞれに前記プローブを接触させた状態で、同じ電極に接触させた少なくとも２つのプローブ間の導通を前記各電極でそれぞれ判定する判定手段と、
前記判定手段により導通していると判定されたプローブのうち、前記各電極でそれぞれ少なくとも１つのプローブを用いて、該各電極間の電気的特性を検査する検査手段と、
を備える電極検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電極検査方法および電極検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、電極と接触させるプローブを用いて、電極間の短絡有無などを検査することが知られている。例えば、特許文献１には、矩形状の電解質膜を挟んで配置された平板状の第１電極および第２電極からなる平板電極の検査において、第１電極の面全体に接する平板状の端子と、第２電極の面上に格子状に配置された複数のプローブとを用意し、端子とプローブとで平板電極を挟持した状態で、端子とプローブとの間に所定の電圧を印加する。そして平板電極の各部位のうち、短絡が生じている部位（格子点）では、短絡が生じていない部位に比べて、抵抗値が小さく大きな電流が流れることに基づいて、各部位における短絡の有無を検査している。
【０００３】
また、このような短絡有無などの検査は、車両の排気ガスなどの被測定ガス中の所定ガス（ＮＯｘなど）の濃度を検出するガスセンサーなどでも行われている。例えば、特許文献２には、ガスセンサー素子に形成された３つの素子端子が、配線を介してガスセンサー制御回路の制御端子にそれぞれ接続されており、この制御端子における短絡の有無を検査している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１２−２７００４号公報
【特許文献２】特開２００６−２７５９１１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述したプローブを用いた検査では、プローブの曲がりや位置ズレなどによって、プローブと電極とが確実に接触していない場合にも、抵抗値が大きくなって、短絡が生じていない場合と同様の状態となる。このため、実際には短絡が生じていたとしても、短絡が生じていないと誤判定するおそれがある。
【０００６】
本発明の電極検査方法および電極検査装置は、検査の信頼性を向上させて、効率のよい検査を行うことを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の電極検査方法および電極検査装置は、上述の主目的を達成するために以下の手段を採った。
【０００８】
本発明の電極検査方法は、
２つの電極間の電気的特性を検査する電極検査方法であって、
前記各電極に少なくとも２つのプローブを接触させた状態で、同じ電極に接触させた少なくとも２つのプローブ間の導通を前記各電極でそれぞれ判定する判定工程と、
前記判定工程で導通していると判定されたプローブのうち、前記各電極でそれぞれ少なくとも１つのプローブを用いて、該各電極間の電気的特性を検査する検査工程と、
を含むことを要旨とする。
【０００９】
本発明の電極検査方法では、各電極に少なくとも２つのプローブを接触させた状態で、同じ電極に接触させた少なくとも２つのプローブ間の導通を各電極でそれぞれ判定し、導通していると判定されたプローブのうち、各電極でそれぞれ少なくとも１つのプローブを用いて、各電極間の電気的特性を検査する。これにより、各電極にプローブが確実に接触していることを事前に確認してから、各電極間の電気的特性を検査することができるから、プローブと電極との接触不良による誤判定を防止して、検査の信頼性を向上させることができる。また、誤判定による再検査の必要がなくなるから、電極とプローブとの接触を確認したとしても、効率よく検査を行うことができる。したがって、検査の信頼性を向上させて、効率のよい検査を行うことができる。
【００１０】
また、本発明の電極検査方法において、前記判定工程では、前記各電極に前記プローブを２つずつ接触させた状態で、同じ電極に接触させた２つのプローブ間の導通を前記各電極でそれぞれ判定し、前記検査工程では、前記判定工程で導通していると判定されたプローブのうち、前記各電極でそれぞれ１つのプローブを用いて、該各電極間の電気的特性を検査するものとすることもできる。こうすれば、プローブの導通を事前に確認する場合でも、用意するプローブの数を必要最小限として、効率よく検査を行うことができる。
【００１１】
また、本発明の電極検査方法において、前記各電極は、３つ以上の複数の電極のうちの２つの電極の組合せであるものとすることもできる。電極の数が増えるほど、接触不良による誤判定によって再検査を行うときの検査に時間が掛かり、検査ロスが大きくなるから、本発明を適用する意義が高い。
【００１２】
この態様の本発明の電極検査方法において、前記判定工程では、前記複数の電極のそれぞれに前記プローブを少なくとも２つ接触させた状態で、同じ電極に接触させた少なくとも２つのプローブ間の導通を前記複数の電極でそれぞれ判定し、前記検査工程は、前記判定工程で前記複数の電極のそれぞれで少なくとも１つのプローブが導通していると判定されてから行うものとすることもできる。これにより、複数の電極にそれぞれプローブが確実に接触していることを確認してから、各電極間の電気的特性をまとめて検査することができるから、各電極に接触するプローブ間の導通の判定と、電気的特性の検査とを交互に繰り返す場合に比べて、より効率よく検査を行うことができる。
【００１３】
また、本発明の電極検査方法において、前記各電極は、被測定ガスのガス濃度を検出するガスセンサーに設けられるものとすることもできる。このようなガスセンサーでは、電極の数が比較的多くなることから、本発明を適用する意義が高い。
【００１４】
本発明の電極検査装置は、
２つの電極間の電気的特性を検査する電極検査装置であって、
前記各電極のそれぞれに対し少なくとも２つ設けられたプローブと、
前記各電極のそれぞれに前記プローブを接触させた状態で、同じ電極に接触させた少なくとも２つのプローブ間の導通を前記各電極でそれぞれ判定する判定手段と、
前記判定手段により導通していると判定されたプローブのうち、前記各電極でそれぞれ少なくとも１つのプローブを用いて、該各電極間の電気的特性を検査する検査手段と、
を備えることを要旨とする。
【００１５】
本発明の電極検査装置では、各電極のそれぞれに対し少なくとも２つ設けられたプローブを各電極のそれぞれに接触させた状態で、同じ電極に接触させた少なくとも２つのプローブ間の導通を各電極でそれぞれ判定し、導通していると判定されたプローブのうち、各電極でそれぞれ少なくとも１つのプローブを用いて、各電極間の電気的特性を検査する。これにより、各電極にプローブが確実に接触していることを事前に確認してから、各電極間の電気的特性を検査することができるから、プローブと電極との接触不良による誤判定を防止して、検査の信頼性を向上させることができる。また、誤判定による再検査の必要がなくなるから、電極とプローブとの接触を確認したとしても、効率よく検査を行うことができる。さらに、プローブが各電極に対して少なくとも２つ設けられていることにより、電極とプローブとの確実な接触を容易に確認することができる。したがって、検査の信頼性を向上させて、効率のよい検査を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】電極検査装置１０の構成の概略を示す構成図である。
【図２】検査対象の電極を有するガスセンサー１００の構成の概略を示す構成図である。
【図３】センサー素子１１４の面上の素子電極１１６と接触金具１２６との位置関係を示す説明図である。
【図４】リレーマトリックス１６が各プローブ１２と抵抗値検出部１８とを回路的に接続する様子を示す説明図である。
【図５】電極検査処理ルーチンの一例を示すフローチャートである。
【図６】電極検査装置１０のプローブ１２と端子電極１３４Ｂとが接触する様子を示す説明図である。
【図７】センサー素子１１４の素子電極１１６にプローブ１２が接触する様子を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
次に、本発明の実施の形態を図面を用いて説明する。
【００１８】
図１は電極検査装置１０の構成の概略を示す構成図であり、図２は検査対象の電極を有するガスセンサー１００の構成の概略を示す構成図である。まず、ガスセンサー１００について説明する。このガスセンサー１００は、例えば、車両の排ガス管に取り付けられて排気ガスに含まれる所定のガス成分（ＮＯｘやＯ2等）の濃度を測定するセンサー本体１１０と、センサー本体１１０から外部に引き出される複数のリード線１３１を束ねて車両の制御ユニットなどに接続されるケーブル１３０とにより構成されている。
【００１９】
センサー本体１１０は、先端側に排気ガスの導入孔１１２ａが複数形成された金属製の筒状のカバー１１２内に、細長い板状に形成され所定のガス成分の濃度を測定するセンサー素子１１４と、金属製のリング１２２の加締めによってセンサー素子１１４の表面及び裏面を挟むように取り付けられるセラミックス製のハウジング１２４と、このハウジング１２４に保持されてセンサー素子１１４（後述する素子電極１１６）に接触する接触金具１２６と、リード線１３１が引き出されるカバー１１２の後端の開口１１２ｂを封止するゴム栓１２８とを備えている。
【００２０】
センサー素子１１４は、ジルコニア（ＺｒＯ2）などからなるセラミックス基板を複数枚積層して形成されており、後端（カバー１１２の開口１１２ｂ側に位置する端部）の表面及び裏面に複数の素子電極１１６が形成されている。これらの素子電極１１６は、センサー素子１１４に電圧を印加したり、センサー素子１１４が検出するガス濃度に応じて生じる起電力又は電流を取り出したりする。本実施形態では、この素子電極１１６は、センサー素子１１４の表裏に４個ずつ計８個形成されており、センサー素子１１４の内部の電路を介してセンサー素子１１４の先端内（カバー１１２の先端側に位置する端部内）に組み込まれた図示しない電極と導通している。なお、リング１２２やハウジング１２４を除いて、センサー素子１１４の面上の素子電極１１６と接触金具１２６との位置関係を図３に示す。
【００２１】
接触金具１２６は、センサー素子１１４の複数の素子電極１１６のそれぞれに接触するよう複数（本実施形態では８個）設けられており、それぞれがハウジング１２４の外部に引き出されて圧着端子である接続部１２６ａでリード線１３１と電気的に接続される。このため、接続部１２６ａやリード線１３１の数も素子電極１１６と同じ数となる。なお、接触金具１２６は、金属板を所定サイズに打ち抜き加工してから、素子電極１１６との接触部分や接続部１２６ａなどを所定の形状に曲げる曲げ加工を経て製造される。このため、打ち抜き加工時に、図３に示すようなバリＢが発生する場合があり、そのバリＢの大きさによっては、隣接する接触金具１２６同士が短絡することがある。
【００２２】
ゴム栓１２８は、内部を貫通する貫通孔内に、接続部１２６ａ（接触金具１２６）が配置されると共にリード線１３１が挿通されている。このゴム栓１２８は、金属製のカバー１１２と共に縮径状に加締められることで開口１１２ｂを封止するため、加締めが不十分であると、シール性が低下してセンサー素子１１４の検出精度に悪影響を及ぼすことがある。このため、ガスセンサー１００の製造工程では、カバー１１２とゴム栓１２８とを十分に加締めるものとしている。ゴム栓１２８は、そのような加締めに耐えうる特性を有するものの、製造バラツキ（ゴム栓１２８の寸法や硬度などのバラツキ）によっては、加締めによってゴム栓１２８に亀裂が生じる場合がある。その場合、ゴム栓１２８の貫通孔内に配置された接続部１２６ａ（接触金具１２６）同士が接触して短絡することがある。
【００２３】
ケーブル１３０は、端部に取り付けられた凸型（図２中の紙面手前方向に凸）のコネクター１３２を介して車両の制御ユニットなどに接続される。このコネクター１３２には、複数のリード線１３１に図示しない圧着端子を介して接続された複数（本実施形態では８個）の平板状の端子電極１３４が設けられており、これらが凸部１３６に形成された開口１３６ａから露出している。また、開口１３６ａ内には、隣接する端子電極１３４同士を仕切る第１の仕切り１３７と、第１の仕切り１３７の略中央で第１の仕切り１３７と直交する第２の仕切り１３８とが形成されている。この第２の仕切り１３８によって、端子電極１３４に外部から接触可能な領域が、第１領域１３４ａと第２領域１３４ｂとに分けられている。
【００２４】
図１に示す電極検査装置１０は、このようなガスセンサー１００（コネクター１３２）に設けられた端子電極１３４間の検査を行うものであり、略直方体状のユニットベース１１から複数のプローブ１２が図１中の下方に向かって突出するプローブユニット１４と、複数のプローブ１２の接続を切り替え可能なリレーマトリックス１６と、リレーマトリックス１６によって接続状態とされた２本のプローブ１２間の抵抗値を検出する抵抗値検出部１８と、検査に必要な各種データなどを記憶する記憶部２０と、検査結果などを表示する表示部２２と、電極検査装置１０の電源ボタンや検査開始を指示するスタートボタンなどが設けられた操作部２４と、電極検査装置１０の全体を制御する検査制御部２６と、を備えている。
【００２５】
プローブユニット１４は、ガスセンサー１００の各端子電極１３４にそれぞれ接触可能な２本一組のプローブ１２を、複数組有するユニットとして構成されている。本実施形態では、端子電極１３４が８個設けられるから、２本一組のプローブ１２を８組（プローブ１２（１），１２（２），・・・，１２（７），１２（８））有することになる。このプローブ１２は、先端が先細り形状のプローブピンであり、図示しないスプリングによって図１中の下方に向かって付勢されて、上下方向に伸縮可能となっている。また、ユニットベース１１は、コネクター１３２の開口１３６ａに、ちょうどはまり込む大きさに形成されており、開口１３６ａの縁の内壁など（第１の仕切り１３７や第２の仕切り１３８でもよい）に当接することにより、所定の位置まで開口１３６ａにはまり込むようになっている。このユニットベース１１がコネクター１３２の開口１３６ａにはめ込まれると、２本一組のプローブ１２は、１本のプローブ１２が端子電極１３４の第１領域１３４ａに接触し、もう１本のプローブ１２が端子電極１３４の第２領域１３４ｂに接触するよう構成されている。このとき、スプリングの付勢力によって、プローブ１２は端子電極１３４の各領域にそれぞれ押し付けられるように接触する。
【００２６】
リレーマトリックス１６は、各プローブ１２と抵抗値検出部１８との接続と切断とを切り替え可能に構成されている。ここで、図４は、リレーマトリックス１６が各プローブ１２と抵抗値検出部１８とを回路的に接続する様子を示す説明図である。なお、図４では、８組のプローブ１２のうち一部（プローブ１２（１），（２））のみを図示した。図示するように、リレーマトリックス１６は、各プローブ１２の接続と切断とをそれぞれ切り替え可能な切替スイッチ１７を複数備えており、これらの切替スイッチ１７を、検査制御部２６からのスイッチ切替信号によって切り替えている。なお、検査者の手動操作に基づいて切替スイッチ１７を切り替えるものとしてもよい。
【００２７】
このリレーマトリックス１６は、図４（ａ）に示すように、同一の端子電極１３４に接触している一組のプローブ１２（ここでは、プローブ１２（１））のそれぞれの切替スイッチ１７をオンとし、残りの切替スイッチ１７をオフとすることにより、同一の端子電極１３４に接触している２本一組のプローブ１２を抵抗値検出部１８に回路的に接続する。なお、リレーマトリックス１６は、プローブ１２（１）だけでなく、プローブ１２（２）〜（８）についても、同様に抵抗値検出部１８に接続することができるよう構成されている。また、図４（ｂ）に示すように、異なる端子電極１３４に接触している二組のプローブ１２（ここでは、プローブ１２（１），（２））のうち、それぞれ１本ずつのプローブ１２の切替スイッチ１７をオンとし、残りの切替スイッチ１７をオフとすることにより、異なる端子電極１３４に接触している２本ずつのプローブ１２のうち各１本ずつの計２本のプローブ１２を抵抗値検出部１８に回路的に接続する。なお、図４（ｂ）では、図示の都合上、プローブ１２（１）のうち第１領域１３４ａに接触しているプローブ１２と、プローブ１２（２）のうち第２領域１３４ｂに接触しているプローブ１２とを抵抗値検出部１８に接続しているが、これに限られるものではない。例えば、プローブ１２（１），（２）のうち、それぞれ第１領域１３４ａに接触しているプローブ１２を抵抗値検出部１８に接続してもよいし、それぞれ第２領域１３４ｂに接触しているプローブ１２を抵抗値検出部１８に接続してもよい。また、リレーマトリックス１６は、プローブ１２（１），（２）の組合せだけでなく、プローブ１２（１）〜（８）のすべての組合せについても、同様に抵抗値検出部１８に接続することができるよう構成されている。このように、リレーマトリックス１６は、８組のプローブ１２のうち、同一組の２本のプローブ１２か、異なる組の２本のプローブ１２のいずれかを抵抗値検出部１８に回路的に接続するのである。
【００２８】
抵抗値検出部１８は、図４に示すように、所定の基準電圧（例えば、１．５Ｖ）を印加するための電圧源Ｖ０と、所定の抵抗値（例えば２００ｋΩ）の基準抵抗Ｒと、基準抵抗Ｒに発生する電圧を測定する電圧測定器１８ａとを有し、これらにリレーマトリックス１６を介して２本のプローブ１２が接続される。この抵抗値検出部１８は、２本のプローブ１２が接続されている状態で検査制御部２６から送信される電圧印加信号に基づいて電圧源Ｖ０から基準電圧を印加する。そして、基準電圧を印加したときに基準抵抗Ｒに発生する電圧を測定し、測定した電圧と基準電圧と基準抵抗Ｒの抵抗値とに基づいて２本のプローブ１２間の抵抗値を検出し、検出した抵抗値を検査制御部２６に出力する。
【００２９】
記憶部２０は、後述する検査処理におけるプローブ１２の接続順（リレーマトリックス１６の切替スイッチ１７の切替順）などを定めた各種プログラムや検査処理における良否判定に用いる各種閾値などが記憶されたＲＯＭと、検査結果などを一時的に記憶するＲＡＭとから構成される。
【００３０】
検査制御部２６は、リレーマトリックス１６にスイッチ切替信号を出力したり、抵抗値検出部１８に電圧印加信号を出力したり、表示部２２に表示制御信号を出力したりする。また、検査制御部２６は、抵抗値検出部１８からの検出値（抵抗値）を入力したり、操作部２４において検査者によって操作されたボタンに応じた操作信号を入力したりする。
【００３１】
次に、こうして構成された電極検査装置１０による電極間の電気的特性の検査について説明する。図５は、電極検査処理ルーチンの一例を示すフローチャートである。なお、電気的特性の検査として、ここでは電極間の短絡検査を例示する。この電極検査処理ルーチンは、ガスセンサー１００のコネクター１３２（開口１３６ａ）に、プローブユニット１４（ユニットベース１１）をはめ込んだ状態で、検査開始を指示するスタートボタンが押されたときに実行される。
【００３２】
この電極検査処理ルーチンでは、検査制御部２６は、まず、プローブ１２が導通しているか否かを判定するプローブ導通判定を行う（ステップＳ１００）。この導通判定では、リレーマトリックス１６にスイッチ切替信号を出力して、２本一組のプローブ１２（１），（２），・・・，（８）を順に抵抗値検出部１８に接続する（図４（ａ）参照）。また、抵抗値検出部１８に電圧印加信号を出力して、所定の基準電圧を印加させたときに抵抗値検出部１８で検出された抵抗値を入力し、入力した抵抗値を所定の閾値（例えば１０Ωなど）と比較する。ここで、プローブユニット１４をコネクター１３２にはめ込んだ状態では、通常であれば２本一組のプローブ１２が各端子電極１３４にそれぞれ接触して導通しているから、抵抗値検出部１８で検出される抵抗値は、所定の閾値以下の低い値となる。このため、入力した抵抗値が所定の閾値以下であれば、導通不良（プローブ１２の端子電極１３４との接触不良）は生じていないと判定する。一方で、プローブ１２に何らかの異常が発生して、端子電極１３４にプローブ１２が接触していなければ、抵抗値検出部１８で検出される抵抗値は、所定の閾値を超える高い値となる。このような判定を、２本一組のプローブ１２（１），（２），・・・，（８）の順に行って、導通不良（接触不良）のプローブ１２が生じていないか否かを判定する（ステップＳ１１０）。なお、プローブ１２の異常としては、プローブ１２を付勢するスプリングの劣化などによってプローブ１２の伸縮動作がスムーズにいかなくなったり（伸縮不良）、プローブ１２に大きな変形（曲がり）が生じることなどが挙げられる。
【００３３】
ステップＳ１１０で導通不良のプローブ１２が生じていると判定すると、導通不良のプローブ１２が生じている旨（導通不良箇所）を表示部２２に表示して（ステップＳ１２０）、再検査が指示されるのを待つ（ステップＳ１３０）。この表示を見た検査者は、導通不良箇所に対応するプローブ１２の伸縮不良や変形の有無などを確認し、異常がみられなければ、偶発的な導通不良であったと判断して、プローブユニット１４をコネクター１３２にはめ直してから、スタートボタンを押して再検査を指示する。ステップＳ１３０で再検査が指示されると、再びステップＳ１００に戻って導通判定を行う。このように、本実施形態では、再度の導通判定においても、当初の導通判定と同様に、導通不良箇所のプローブ１２だけでなく、すべてのプローブ１２についての導通（端子電極１３４との接触）を再確認するのである。これは、プローブ１２には偶発的な接触不良が生じうることから、当初は接触不良でなかったプローブ１２であっても、再セットされた場合に接触不良となることがあり、そのような不良の見逃しを防止するためである。なお、再度の導通判定によっても導通不良のプローブ１２が繰り返し発生した場合や、プローブ１２の伸縮動作や変形などに明らかな異常がみられた場合には、検査者は、その電極検査装置１０による検査は困難と判断して、処理を中止する。
【００３４】
ステップＳ１１０で導通不良のプローブ１２が生じていないと判定すると、次に、短絡検査を行い（ステップＳ１４０）、短絡検査の結果（短絡の有無や短絡が発生した端子電極１３４間の箇所）を表示して（ステップＳ１５０）、電極検査処理ルーチンを終了する。この短絡検査では、８個の端子電極１３４のうちの２個の組合せについて、それぞれ検査する。なお、上述したように、接触金具１２６にバリＢが発生している場合に隣接する端子電極１３４間で短絡が生じることがある。また、ゴム栓１２８内で接続部１２６ａ（接触金具１２６）間に短絡が生じたり、センサー素子１１４内において短絡が生じたりするおそれもあることから、隣接する端子電極１３４だけでなく、８個の端子電極１３４のすべての組合せ（計２８通り）について短絡検査を行う。この短絡検査では、リレーマトリックス１６にスイッチ切替信号を出力し、２本一組のプローブ１２（１），（２），・・・，（８）のうち各組１本ずつのプローブ１２を、２本ずつ組合せて抵抗値検出部１８に順に接続する（図４（ｂ）参照）。また、抵抗値検出部１８に電圧印加信号を出力して、所定の基準電圧を印加させたときに抵抗値検出部１８で検出された抵抗値を入力し、入力した抵抗値を所定の閾値（例えば１０Ωなど）と比較する。抵抗値検出部１８で検出される抵抗値は、短絡が生じていなければ所定の閾値を超える高い値となり、短絡が生じていれば所定の閾値以下の低い値となる。このような判定を、８個の端子電極１３４のうち２個ずつの組合せ（２本一組のプローブ１２（１），（２），・・・，（８）のうち各組１本ずつの組合せ）について順に行う。
【００３５】
この短絡検査において、導通不良（端子電極１３４との接触不良）が生じているプローブ１２を用いたときには、短絡の有無に拘わらず所定の閾値を超える高い抵抗値となることから、短絡が生じていても低い抵抗値とならずに、短絡を誤判定することになる。本実施形態では、短絡検査の前に導通判定を行って、予め各プローブ１２が端子電極１３４に確実に接触していることを確認しているから、そのような誤判定を防止することができる。このため、誤判定することなく短絡の有無を検出する（短絡の見逃しを防止する）ことができるから、検査の信頼性を向上させることができる。電極検査処理ルーチンにおいて、導通判定を行ってから短絡検査を行うのは、こうした理由による。また、本実施形態では、すべてのプローブ１２の導通判定を完了させてから、短絡検査に移行している。ここで、短絡検査中に、必要なプローブ１２（短絡検査対象の端子電極１３４に接触するプローブ１２）の導通を判定するもの、例えば、プローブ１２（１），（２）の導通判定をしてプローブ１２（１），（２）間の短絡検査を行い、次に、プローブ１２（３）の導通判定をしてプローブ１２（１），（３）間の短絡検査とプローブ１２（２），（３）間の短絡検査を行い、以下、同様に導通判定と短絡検査とを繰り返すものも考えられる。しかし、そのような、短絡検査中にプローブ１２の導通判定を行うものでは、短絡検査中に導通不良のプローブ１２を発見する度に、プローブユニット１４をコネクター１３２にはめ直したり、プローブユニット１４をはめ直してからプローブ１２の導通判定を繰り返し行う必要が生じるため、短絡検査が中断される回数（時間）が増えて、ロスが大きくなる場合がある。このため、本実施形態のように、すべてのプローブ１２の導通判定を完了させてから短絡検査に移行する（導通判定と短絡検査とをそれぞれまとめて行う）ことで、より効率のよい検査を行うことができる。
【００３６】
また、このような電極の検査が終了した後には、ガスセンサー１００の性能検査などが行われる。例えば、車両の排ガス管と同様なガス管にガスセンサー１００を取り付けて所定の温度や濃度のガスをガス管に流し、コネクター１３２の端子電極１３４を介してセンサー素子１１４の素子電極１１６に必要な電圧を印加したり素子電極１１６からの出力を取り出したりして、ガスセンサー１００の作動状態を確認する検査などが行われる。このとき、仮に短絡検査で誤判定により短絡を見逃していた場合には、異常値が検出されるから、短絡検査から再び検査をやり直す必要が生じる。それだけでなく、素子電極１１６に過剰な電圧が作用したりして、センサー素子１１４の破損などに繋がるおそれもある。これに対して、本実施形態では、プローブ１２の導通を確認してから短絡検査を行うことにより、誤判定することなく短絡の有無を検出できているため、短絡検査からやり直す必要がなく、誤判定による短絡検査の再検査を防止することができる。また、短絡の見逃しを防止できているため、電極検査の終了後の他の検査において、センサー素子１１４の破損などの二次的な被害の発生を防止することができる。
【００３７】
ここで、本実施形態の主要な要素と本発明の電極検査方法の主要な要素との対応関係を明らかにする。本実施形態のプローブ１２が本発明の「プローブ」に相当し、図５の電極検査処理ルーチンのステップＳ１００の処理が「判定工程」に相当し、電極検査処理ルーチンのステップＳ１４０の処理が「検査工程」に相当する。また、端子電極１３４が「電極」に相当し、ガスセンサー１００が「ガスセンサー」に相当する。なお、本発明の電極検査装置の主要な要素も同様であり、図５の電極検査処理ルーチンのステップＳ１００の処理を実行する検査制御部２６が「判定手段」に相当し、電極検査処理ルーチンのステップＳ１４０の処理を実行する検査制御部２６が「検査手段」に相当する。
【００３８】
以上詳述した実施形態によれば、各端子電極１３４に接触している２本ずつのプローブ１２の導通の有無をそれぞれ判定する導通判定を行ってから、２本ずつのプローブ１２のうちそれぞれ１本ずつのプローブ１２を用いて短絡検査を行うから、プローブ１２が端子電極１３４に接触していないことによる短絡の誤判定を防止して、検査の信頼性を向上させることができる。また、誤判定による短絡検査の再検査を防止するから、短絡検査の前に導通判定を行うものとしても、効率よく検査を行うことができる。したがって、検査の信頼性を向上させて、効率のよい検査を行うことができる。
【００３９】
また、ガスセンサー１００は、８個の端子電極１３４を有し計２８通りの短絡検査が必要であるが、誤判定による短絡検査の再検査を防止できるから、より効率のよい検査とすることができる。さらに、先に導通判定を終了させてから短絡検査を行うため、短絡検査中に導通判定を行うものに比べて、さらに効率のよい検査とすることができる。また、プローブ１２が各端子電極１３４に対して２本ずつ（２本一組）設けられているから、プローブ１２間の導通の判定（端子電極１３４との接触の確認）を容易に行うことができると共に用意するプローブの数を必要最小限とすることができる。
【００４０】
なお、本発明は上述した実施形態に何ら限定されることはなく、本発明の技術的範囲に属する限り種々の態様で実現し得ることはいうまでもない。
【００４１】
上述した実施形態では、３つ以上の複数（８個）の端子電極１３４を有するガスセンサー１００を例示して説明したが、これに限られず、２つの電極間の検査を行うものであれば如何なるものとしてもよい。
【００４２】
上述した実施形態では、導通が確認された２本ずつのプローブ１２のうちそれぞれ１本ずつのプローブ１２を用いて短絡検査を行うものとしたが、導通が確認された２本ずつのプローブ１２のうち少なくとも１本ずつのプローブ１２を用いるものであればよく、導通が確認された２本ずつのプローブ１２を両方用いて短絡検査を行うものとしてもよい。
【００４３】
上述した実施形態では、各端子電極１３４にそれぞれ２本ずつのプローブ１２を接触させて導通判定を行うものとしたが、これに限られず、各端子電極１３４に少なくとも２本（２本や３本でもよいし、それ以上の複数本でもよい）のプローブ１２を接触させて導通判定を行うものとしてもよい。この場合、各端子電極１３４に接触させた少なくとも２本のプローブ１２のうち、導通が確認された少なくとも１本（１本でもよいし、導通が確認された２本以上の複数本でもよい）のプローブ１２を用いて短絡検査を行うものとしてもよい。
【００４４】
上述した実施形態では、コネクター１３２の端子電極１３４の形状を平板状としたが、これに限られず、如何なる形状としてもよい。例えば、第１領域１３４ａと第２領域１３４ｂとで高さが異なる段差状の端子電極１３４Ｂとしてもよい。この場合に電極検査装置１０のプローブ１２と端子電極１３４Ｂとが接触する様子を図６に示す。なお、図６では、電極検査装置１０の構成は、図１と同じであるため図示は省略した。図示するように、２本一組のプローブ１２のうちの１本が、端子電極１３４Ｂの低い部分である第１領域１３４ａに接触し、もう１本が端子電極１３４Ｂの高い部分である第２領域１３４ｂに接触している。なお、上述したように、プローブ１２は上下方向に伸縮可能となっているから、第２領域１３４ｂに対向するプローブ１２は、第１領域１３４ａに対向するプローブ１２よりも大きく縮んだ状態で接触することになる。このように、端子電極１３４Ｂを段差状に形成しておき、低い部分（第１領域１３４ａ）と高い部分（第２領域１３４ｂ）とにそれぞれ１本ずつプローブ１２を接触させるのである。これにより、上述した実施形態と同様に、２本一組のプローブ１２の導通の有無をそれぞれ判定する導通判定を行ってから、導通していると判定された２本一組のプローブ１２のうち１本ずつのプローブ１２を用いて短絡検査を行うことができる。即ち、段差状に形成された端子電極１３４Ｂの検査においても、上述した実施形態と同様の効果を奏するものとなる。
【００４５】
上述した実施形態では、ガスセンサー１００のコネクター１３２の端子電極１３４を検査したが、これに限られず、ガスセンサー１００のセンサー素子１１４に設けられた素子電極１１６を検査してもよい。この場合に、センサー素子１１４の素子電極１１６にプローブ１２が接触する様子を図７に示す。図示するように、センサ素子１１４の表裏４個ずつ計８個の素子電極１１６のそれぞれに、２本１組のプローブ１２が接触している。これらの素子電極１１６の検査も、上述した実施形態と同様に、２本一組のプローブ１２の導通の有無をそれぞれ判定する導通判定を行ってから、導通していると判定された２本一組のプローブ１２のうち１本ずつのプローブ１２を用いて短絡検査を行うことができる。即ち、素子電極１１６の検査においても、上述した実施形態と同様の効果を奏するものとなる。また、ガス濃度を検出するガスセンサー１００の電極（端子電極１３４や素子電極１１６）を検査するものに限られず、ガス濃度以外の他の物理量を検出するセンサーの電極を検査するものとしてもよいし、センサーではなくＣＰＵなどの半導体回路の電極を検査するものなどとしてもよい。これらの電極の検査においても、上述した実施形態と同様の検査を行うことにより、同様の効果を奏するものとなる。
【００４６】
上述した実施形態では、先にプローブ１２の導通判定を終了させてから短絡検査を行うものとしたが、これに限られず、短絡検査中に検査対象の電極に接触しているプローブ１２の導通を判定するものとしてもよい。この場合、電極検査装置１０が、２本一組のプローブ１２を、電極の数と同じ組数有するものに限られず、電極の数よりも少ない組数有するものとしてもよい。
【００４７】
上述した実施形態では、抵抗値検出部１８が、基準電圧と基準抵抗に発生する電圧と基準抵抗Ｒの抵抗値とに基づいて２本のプローブ１２間の抵抗値を検出して検査制御部２６に出力するものとしたが、これに限られず、回路を流れる電流値を検出して２本のプローブ１２間の抵抗値を検出するものなどとしてもよい。また、抵抗値検出部１８は、抵抗値を検査制御部２６に出力するものに限られず、抵抗値の検出に必要な値（電圧値や電流値など）を検査制御部２６に出力して、検査制御部２６で抵抗値を導出してもよい。
【００４８】
上述した実施形態では、電極間の電気的特性の検査として短絡検査を例示したが、これに限られず、電流や電圧などを電極間に印加して電気的特性を検査するものであれば如何なる検査としてもよく、その検査の前に、導通判定を行うものであればよい。
【符号の説明】
【００４９】
１０  電極検査装置、１１  ユニットベース、１２  プローブ、１４  プローブユニット、１６  リレーマトリックス、１７  切替スイッチ、１８  抵抗値検出部、１８ａ  電圧測定器、２０  記憶部、２２  表示部、２４  操作部、２６  検査制御部、１００  ガスセンサー、１１０  センサー本体、１１２  カバー、１１２ａ  導入孔、１１２ｂ  開口、１１４  センサー素子、１１６  素子電極、１２２  リング、１２４  ハウジング、１２６  接触金具、１２６ａ  接続部、１２８  ゴム栓、１３０  ケーブル、１３１  リード線、１３２  コネクター、１３４，１３４Ｂ  端子電極、１３４ａ  第１領域、１３４ｂ  第２領域、１３６  凸部、１３６ａ  開口、１３７  第１の仕切り、１３８  第２の仕切り１３８、Ｂ  バリ、Ｒ  基準抵抗、Ｖ０  電圧源。
【図３】
2014222167.tif 000003
【図５】
2014222167.tif 000004
【図１】
2014222167.tif 000005
【図２】
2014222167.tif 000006
【図４】
2014222167.tif 000007
【図６】
2014222167.tif 000008
【図７】
2014222167.tif 000009