(57)【要約】【課題】耐薬品性が良好であり、良好な着色層パターンを形成できる着色硬化性組成物を提供する。【解決手段】エポキシ基を有する化合物と、加熱により前記エポキシ基と反応して共有結合を形成する官能基を有するフタロシアニン染料とを含む着色硬化性組成物。【選択図】  なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
エポキシ基を有する化合物と、加熱により前記エポキシ基と反応して共有結合を形成する官能基を有するフタロシアニン染料とを含む着色硬化性組成物。
【請求項２】
エポキシ基を有する化合物と、官能基を有するフタロシアニン染料とを含み、
前記官能基が、カルボキシル基、エポキシ基、アリールエステル基、３級アルキルエステル基、下記式（１）で表される基、下記式（２）で表される基、アミノ基およびチオール基から選ばれる少なくとも１種である、着色硬化性組成物。
【化１】
2014153554.tif 000066
【化２】
2014153554.tif 000067
（式（１）中、Ｒ1はフッ素原子を有するアルキル基を表す。式（２）中、Ｒ2およびＲ3は、それぞれ独立して、アルキル基であり、Ｒ2およびＲ3が互いに結合して環を形成していても良い。）
【請求項３】
フタロシアニン染料がハロゲン化フタロシアニン染料である、請求項１または２に記載の着色硬化性組成物。
【請求項４】
前記ハロゲン化フタロシアニン染料が下記一般式（１−２）で表される、請求項３に記載の着色硬化性組成物。
一般式（１−２）
【化３】
2014153554.tif 000068
（一般式（１−２）中、Ｚ1〜Ｚ16は、水素原子、置換基またはハロゲン原子を表し、Ｚ1〜Ｚ16の少なくとも１つはハロゲン原子であり、Ｚ1〜Ｚ16の他の少なくとも１つは前記官能基を有する置換基である。Ｍは２つの水素原子、金属原子、金属酸化物または金属ハロゲン化物を表わす。）
【請求項５】
前記フタロシアニン染料が、１分子中に１〜４個の前記加熱によりエポキシ基と反応して共有結合を形成する官能基を有する、請求項１〜４のいずれか１項に記載の着色硬化性組成物。
【請求項６】
前記エポキシ基を有する化合物が、１分子内にエポキシ基を２つ以上有する、請求項１〜５のいずれか１項に記載の着色硬化性組成物。
【請求項７】
前記エポキシ基を有する化合物のエポキシ当量が５００ｇ／ｅｑ以下である、請求項１〜６のいずれか１項に記載の着色硬化性組成物。
【請求項８】
前記エポキシ基を有する化合物の含有量が、前記着色硬化性組成物の全固形分に対して５〜４０質量％である、請求項１〜７のいずれか１項に記載の着色硬化性組成物。
【請求項９】
さらに、黄色色素を含む、請求項１〜８のいずれか１項に記載の着色硬化性組成物。
【請求項１０】
前記フタロシアニン染料と前記黄色色素とを含む着色剤の含有量の合計が前記着色硬化性組成物の全固形分に対し５０〜９０質量％である、請求項９に記載の着色硬化性組成物。
【請求項１１】
請求項１〜１０のいずれか１項に記載の着色硬化性組成物を硬化してなる硬化膜。
【請求項１２】
請求項１〜１０のいずれか１項に記載の着色硬化性組成物を用いた着色層を有するカラーフィルタ。
【請求項１３】
前記着色層の厚さが０．１〜０．８μｍである、請求項１２に記載のカラーフィルタ。
【請求項１４】
加熱によりエポキシ基と反応して共有結合を形成する官能基を有するフタロシアニン染料と、エポキシ基を有する化合物とを含む着色硬化性組成物を硬化して着色層を形成する工程、
前記着色層上にフォトレジスト層を形成する工程、
露光および現像することにより前記フォトレジスト層をパターニングしてレジストパターンを得る工程、および
前記レジストパターンをエッチングマスクとして前記着色層をドライエッチングする工程を含む、カラーフィルタの製造方法。
【請求項１５】
請求項１２または１３に記載のカラーフィルタ、または請求項１４に記載のカラーフィルタの製造方法により製造されたカラーフィルタを有する液晶表示装置、有機エレクトロルミネッセンス素子または固体撮像素子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、着色硬化性組成物、これを用いた硬化膜、カラーフィルタ、カラーフィルタの製造方法、固体撮像素子、液晶表示装置、及び有機ＥＬ表示装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
カラーフィルタは、固体撮像素子や液晶表示装置のディスプレイに不可欠な構成部品である。このようなカラーフィルタを形成するために、着色硬化性組成物が採用されている（特許文献１〜３）。近年、カラーフィルタ層のパターンはさらに細かくすることが求められている。さらに、従前よりも高い耐薬品性が求められつつある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１１−０３２３６６号公報
【特許文献２】特開２００８−０７０８２２号公報
【特許文献３】特開２０１０−００８９１５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述のとおり、耐薬品性が良好であり、良好な着色層パターンを形成できる着色硬化性組成物が要求されている。
本願発明は、かかる課題を解決することを目的としたものであって、耐薬品性が良好であり、良好な着色層パターンを形成できる着色硬化性組成物を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
かかる状況のもと本願発明者が検討を行った結果、着色硬化性組成物中に、エポキシ基を有する化合物と、加熱によりエポキシ基と反応して共有結合を形成する官能基を有するフタロシアニン染料とを配合することによって、耐薬品性が良好であり、良好な着色層パターンを形成できる着色硬化性組成物を提供できることを見出した。
具体的には、以下の解決手段＜１＞により、好ましくは、＜２＞〜＜１５＞により、上記課題は解決された。
＜１＞エポキシ基を有する化合物と、加熱により前記エポキシ基と反応して共有結合を形成する官能基を有するフタロシアニン染料とを含む着色硬化性組成物。
＜２＞エポキシ基を有する化合物と、官能基を有するフタロシアニン染料とを含み、
前記官能基が、カルボキシル基、エポキシ基、アリールエステル基、３級アルキルエステル基、下記式（１）で表される基、下記式（２）で表される基、アミノ基およびチオール基から選ばれる少なくとも１種である、着色硬化性組成物。
【化１】
2014153554.tif 000002
【化２】
2014153554.tif 000003
（式（１）中、Ｒ1はフッ素原子を有するアルキル基を表す。式（２）中、Ｒ2およびＲ3は、それぞれ独立して、アルキル基であり、Ｒ2およびＲ3が互いに結合して環を形成していても良い。）
＜３＞フタロシアニン染料がハロゲン化フタロシアニン染料である、＜１＞または＜２＞に記載の着色硬化性組成物。
＜４＞前記ハロゲン化フタロシアニン染料が下記一般式（１−２）で表される、＜３＞に記載の着色硬化性組成物。
一般式（１−２）
【化３】
2014153554.tif 000004
（一般式（１−２）中、Ｚ1〜Ｚ16は、水素原子、置換基またはハロゲン原子を表し、Ｚ1〜Ｚ16の少なくともいずれか１つはハロゲン原子であり、Ｚ1〜Ｚ16の他の少なくともいずれか１つは前記官能基を有する置換基であり、前記置換基は、前記官能基を有する。Ｍは２つの水素原子、金属原子、金属酸化物または金属ハロゲン化物を表わす。）
＜５＞前記フタロシアニン染料が、１分子中に１〜４個の前記加熱によりエポキシ基と反応して共有結合を形成する官能基を有する、＜１＞〜＜４＞のいずれかに記載の着色硬化性組成物。
＜６＞前記エポキシ基を有する化合物が、１分子内にエポキシ基を２つ以上有する、＜１＞〜＜５＞のいずれかに記載の着色硬化性組成物。
＜７＞前記エポキシ基を有する化合物のエポキシ当量が５００ｇ／ｅｑ以下である、＜１＞〜＜６＞のいずれかに記載の着色硬化性組成物。
＜８＞前記エポキシ基を有する化合物の含有量が、前記着色硬化性組成物の全固形分に対して５〜４０質量％である、＜１＞〜＜７＞のいずれかに記載の着色硬化性組成物。
＜９＞さらに、黄色色素を含む、＜１＞〜＜８＞のいずれかに記載の着色硬化性組成物。
＜１０＞前記フタロシアニン染料と前記黄色色素とを含む着色剤の含有量の合計が前記着色硬化性組成物の全固形分に対し５０〜９０質量％である、＜９＞に記載の着色硬化性組成物。
＜１１＞＜１＞〜＜１０＞のいずれかに記載の着色硬化性組成物を硬化してなる硬化膜。
＜１２＞＜１＞〜＜１０＞のいずれかに記載の着色硬化性組成物を用いた着色層を有するカラーフィルタ。
＜１３＞前記着色層の厚さが０．１〜０．８μｍである、＜１２＞に記載のカラーフィルタ。
＜１４＞加熱によりエポキシ基と反応して共有結合を形成する官能基を有するフタロシアニン染料と、エポキシ基を有する化合物とを含む着色硬化性組成物を硬化して着色層を形成する工程、
前記着色層上にフォトレジスト層を形成する工程、
露光および現像することにより前記フォトレジスト層をパターニングしてレジストパターンを得る工程、および
前記レジストパターンをエッチングマスクとして前記着色層をドライエッチングする工程を含む、カラーフィルタの製造方法。
＜１５＞＜１２＞または＜１３＞に記載のカラーフィルタ、または＜１４＞に記載のカラーフィルタの製造方法により製造されたカラーフィルタを有する液晶表示装置、有機エレクトロルミネッセンス素子または固体撮像素子。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によれば、耐薬品性が良好であり、良好な着色層パターンを形成できる着色硬化性組成物を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】カラーフィルタおよび固体撮像素子の構成例を示す概略断面図である。
【図２】第１着色層の概略断面図である。
【図３】第１着色層の上にフォトレジスト層が形成された状態を示す概略断面図である。
【図４】第１着色層の上にレジストパターンが形成された状態を示す概略断面図である。
【図５】エッチングによって第１着色層に貫通孔群が設けられることにより、第１着色パターンが形成された状態を示す概略断面図である。
【図６】図５におけるレジストパターンが除去された状態を示す概略断面図である。
【図７】第２着色パターンおよび第２着色感放射線性層が形成された状態を示す概略断面図である。
【図８】図７における第２着色感放射線性層と、第２着色パターンを構成する第２着色画素の一部とが、除去された状態を示す概略断面図である。
【図９】第３着色パターンおよび第３着色感放射線性層が形成された状態を示す概略断面図である。
【図１０】図９における第３着色感放射線性層が除去された状態を示す概略断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下において、本発明の内容について詳細に説明する。尚、本願明細書において「〜」とはその前後に記載される数値を下限値および上限値として含む意味で使用される。
本明細書における基（原子団）の表記において、置換および無置換を記していない表記は、置換基を有さないものと共に置換基を有するものも包含する。例えば「アルキル基」とは、置換基を有さないアルキル基（無置換アルキル基）のみならず、置換基を有するアルキル基（置換アルキル基）も包含する。
また、本明細書中において、“（メタ）アクリレート”はアクリレートおよびメタクリレートを表し、“（メタ）アクリル”はアクリルおよびメタクリルを表し、“（メタ）アクリロイル”はアクリロイルおよびメタクリロイルを表す。
本発明でいう「着色層」は、カラーフィルタに用いられる画素を意味する。
本発明における染料とは、特定の有機溶剤に可溶する色素化合物を意味する。ここで、特定の有機溶剤とは、例えば、後述する染料およびエポキシ基を有する化合物を少なくとも溶解する溶剤の欄で例示する有機溶剤が挙げられる。従って、これらの少なくとも１種の有機溶剤に溶解する色素化合物は本発明における染料に該当する。
【０００９】
本発明の着色硬化性組成物（以下、本発明の組成物ともいう。）、カラーフィルタおよびその製造方法、固体撮像素子、液晶表示装置ならびに有機エレクトロルミネッセンス素子について詳述する。以下に記載する構成要件の説明は、本発明の代表的な実施態様に基づいてなされることがあるが、本発明はそのような実施態様に限定されるものではない。
【００１０】
＜着色硬化性組成物＞
本発明の組成物は、エポキシ基を有する化合物と、加熱によりエポキシ基と反応して共有結合を形成する官能基を有するフタロシアニン染料とを含むものである。また、本発明の組成物は、エポキシ基を有する化合物と、官能基を有するフタロシアニン染料とを含み、前記官能基が、カルボキシル基、エポキシ基、アリールエステル基、３級アルキルエステル基、下記式（１）で表される基、下記式（２）で表される基、アミノ基およびチオール基から選ばれる少なくとも１種である。以下、前記フタロシアニン染料が必須要件として含む官能基のことを総称して「本発明で用いられる官能基（Ｘ）」ともいう。
【化４】
2014153554.tif 000005
【化５】
2014153554.tif 000006
（式（１）中、Ｒ1はフッ素原子を有するアルキル基を表す。式（２）中、Ｒ2およびＲ3は、それぞれ独立して、アルキル基であり、Ｒ2およびＲ3が互いに結合して環を形成していても良い。）
【００１１】
このメカニズムは定かではないが、本発明の組成物中に、エポキシ基を有する化合物と、本発明で用いられる官能基（Ｘ）を有するフタロシアニン染料とを配合することによって、加熱条件下で本発明で用いられる官能基（Ｘ）とエポキシ基とが反応して共有結合を形成し（例えば、エポキシ基を有する化合物のエポキシ基と、フタロシアニン染料が有する官能基とが架橋して）、より強固な膜が形成されるため、耐薬品性を向上できるとともに、良好な着色層パターンを形成できると推定される。
下記に示す反応機構において、Ｒ1は、フタロシアニン染料におけるフタロシアニン骨格を表し、Ｒ2およびＲ3は、それぞれ独立してアルキル基またはアリール基を表す。
カルボキシル基、アミノ基、チオール基は下記に示す反応機構でバインダーとなるエポキシ基とフタロシアニン染料の間で共有結合が形成され、強固な膜を形成できると推定される。３級アルキルエステル基および前記式（２）は、加熱により分解（エステル部の脱保護）が進行してカルボン酸を生成し、カルボン酸と同様の反応機構と推定される。
前記アリールエステル基または前記式（１）で表される基のメカニズムは定かではないが、例えば下記に示す反応機構のように、まず、加熱条件下で、（Ａ）本発明で用いられる官能基（Ｘ）と（Ｂ）エポキシ基とが反応して、（Ａ）本発明で用いられる官能基（Ｘ）に（Ｂ）エポキシ基が結合し、（Ａ）本発明で用いられる官能基（Ｘ）からＯ−Ｒ2が脱離し、このＯ−Ｒ2が再び（Ａ）本発明で用いられる官能基（Ｘ）に結合して、（Ａ）本発明で用いられる官能基（Ｘ）と（Ｂ）エポキシ基とが共有結合を形成し、（Ｃ）化合物のように、バインダーとなるエポキシ化合物とフタロシアニン染料の間で共有結合が形成され、強固な膜を形成できると推定される。
【化６】
2014153554.tif 000007
【化７】
2014153554.tif 000008
【００１２】
＜フタロシアニン染料＞
本発明で用いられるフタロシアニン染料は、上述したように、本発明で用いられる官能基（Ｘ）を有するものである。
本発明で用いられるフタロシアニン染料は、また、ハロゲン原子を含むもの（ハロゲン化フタロシアニン）であることが好ましい。
さらに、本発明で用いられるフタロシアニン染料は、上記本発明で用いられる官能基（Ｘ）、ハロゲン原子以外の他の置換基を有していてもよい。
以下、これらについて説明する。
【００１３】
＜＜加熱によりエポキシ基と反応して共有結合を形成する官能基＞＞
本発明で用いられる官能基（Ｘ）は、例えば、１００℃以上で、熱硬化工程を行ったときに、エポキシ基と反応して共有結合を形成し、耐薬品性(硬化性)が有意に向上するものをいう。
本発明で用いられる官能基（Ｘ）の中では、カルボキシル基、エポキシ基、アリールエステル基、３級アルキルエステル基、上記式（１）で表される基、上記式（２）で表される基、アミノ基およびチオール基が好ましく、カルボキシル基、エポキシ基、アリールエステル基、３級アルキルエステル基、上記式（１）で表される基、上記式（２）で表される基がより好ましく、カルボキシル基、エポキシ基、３級アルキルエステル基、上記式（２）で表される基がさらに好ましい。
本発明で用いられるフタロシアニン染料は、通常、構造の末端部分に前記官能基を含む。フタロシアニン染料の構造の末端部分に前記官能基を有することにより、本発明の効果をより効果的に達成することができる。
【００１４】
＜＜＜アリールエステル基＞＞＞
アリールエステル基としては、置換または無置換のアリールエステル基、置換または無置換のヘテロアリールエステル基が挙げられる。
アリールエステル基中に含まれるアリール基としては、炭素数６〜１８のアリール基が好ましく、炭素数６〜１４のアリール基がより好ましく、炭素数６〜１０のアリール基がさらに好ましい。具体的には、フェニル基、ナフチル基などが例示される。
アリールエステル基中に含まれるヘテロアリール基としては、５員環または６員環が好ましい。また、ヘテロアリール基は、単環または縮合環であり、単環または２〜８個の環が縮合した縮合環が好ましく、単環または２〜４個の環が縮合した縮合環がより好ましく、単環がさらに好ましい。
アリールエステル基の置換基としては、電子吸引性基が好ましく、例えば、ニトロ基、メトキシ基、シアノ基、カルボキシル基、ケトン基、アシルオキシ基、ヒドロキシ基、パーフルオロアルキル基、アルキルスルホン基、エトキシ基、イソプロポキシ基、ｔ−ブトキシ基、ベンジルオキシ基等が挙げられる。
本発明で用いられるアリールエステル基としては、例えば、下記構造で表されるものが好ましい。
【化８】
2014153554.tif 000009
前記アリールエステル基の構造中、Ｒは、水素原子または電子吸引性基を表し、ｎは、０〜３の整数を表す。電子吸引性基としては、上述した電子吸引性基が挙げられ、ニトロ基およびパーフルオロアルキル基（特に、トリフルオロメチル基）が好ましい。Ｒの置換位置は、オルト位、メタ位およびパラ位のいずれであってもよいが、パラ位が好ましい。ｎは、０または１が好ましい。
【００１５】
＜＜＜３級アルキルエステル基＞＞＞
３級アルキルエステル基としては、置換または無置換の３級アルキルエステル基が挙げられる。３級アルキルエステル基における３級アルキル基としては、ｔ−ブチル基、ｔ−ペンチル基、ｔ−ヘキシル基等が挙げられ、特に、ｔ−ブチル基およびｔ−ペンチル基が好ましい。
【００１６】
＜＜＜式（１）で表される基＞＞＞
前記式（１）で表される基は、前記式（１）中、Ｒ1がフッ素原子を有するアルキル基を表す。
フッ素原子を有するアルキル基としては、フッ素原子を２つ以上有する炭素数が１〜１０のフッ素原子を有するアルキル基が好ましく、直鎖状、分岐鎖状および環状のいずれであってもよいが、直鎖状または分岐鎖状のものが好ましい。フッ素原子を有するアルキル基における炭素数は、１〜１０がより好ましく、１〜５がさらに好ましく、１〜４が特に好ましい。フッ素原子を有するアルキル基は、末端の構造が（−ＣＦ3）であることが好ましい。フッ素原子を有するアルキル基は、フッ素原子の置換率が、４０〜１００％であることが好ましく、５０〜１００％であることがより好ましい。ここで、フッ素原子の置換率とは、フッ素原子を有するアルキル基のうち、水素原子がフッ素原子に置換されている比率（％）のことをいう。
【００１７】
＜＜＜式（２）で表される基＞＞＞
前記式（２）で表される基は、前記式（２）中、Ｒ2およびＲ3が、それぞれ独立して、アルキル基であり、Ｒ2およびＲ3が互いに結合して環を形成していても良い。
前記式（２）中、Ｒ2およびＲ3は、それぞれ独立して、置換または無置換のアルキル基のいずれであってもよく、また、直鎖状、分岐鎖状およびＲ2とＲ3が互いに結合した環状のいずれであってもよい。特に、直鎖状またはＲ2とＲ3が互いに結合した環状の炭素数３〜５の無置換のアルキル基が好ましい。Ｒ2およびＲ3の少なくとも一方が直鎖状のアルキル基である場合、Ｒ2およびＲ3は、それぞれ独立して、炭素数が１〜５であることが好ましく、炭素数が１〜４であることがより好ましい。
特に、前記式（２）中、Ｒ2およびＲ3としては、それぞれ独立して、メチル基、エチル基、プロピル基、またはブチル基であるか、Ｒ2とＲ3が互いに結合した炭素数４〜６の環状のアルキル基が好ましい。
【００１８】
＜＜本発明で用いられる置換基の結合形態＞＞
本発明で用いられるフタロシアニン染料は、上述した官能基を有するが、この官能基は、フタロシアニン染料のフタロシアニン骨格に直接に結合していてもよいし、何らかの連結基を介して結合していてもよい。例えば、以下の置換基Ｔ群の置換基の水素原子が置換された形態する形態が挙げられる。
【００１９】
（置換基Ｔ）
アルキル基（好ましくは炭素数１〜２４の、直鎖、分岐鎖、または環状のアルキル基で、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、２−エチルヘキシル基、ドデシル基、ヘキサデシル基、シクロプロピル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、１−ノルボルニル基、１−アダマンチル基）、アルケニル基（好ましくは炭素数２〜１８のアルケニル基で、例えば、ビニル基、アリル基、３−ブテン−１−イル基）、アリール基（好ましくは炭素数６〜２４のアリール基で、例えば、フェニル基、ナフチル基）、ヘテロ環基（好ましくは炭素数１〜１８のヘテロ環基で、例えば、２−チエニル基、４−ピリジル基、２−フリル基、２−ピリミジニル基、１−ピリジル基、２−ベンゾチアゾリル基、１−イミダゾリル基、１−ピラゾリル基、ベンゾトリアゾール−１−イル基）、シリル基（好ましくは炭素数３〜１８のシリル基で、例えば、トリメチルシリル基、トリエチルシリル基、トリブチルシリル基、ｔｅｒｔ−ブチルジメチルシリル基、ｔｅｒｔ−ヘキシルジメチルシリル基）、ヒドロキシル基、シアノ基、ニトロ基、アルコキシ基（好ましくは炭素数１〜２４のアルコキシ基で、例えば、メトキシ基、エトキシ基、１−ブトキシ基、２−ブトキシ基、イソプロポキシ基、ｔｅｒｔ−ブトキシ基、ドデシルオキシ基、また、シクロアルキルオキシ基であれば、例えば、シクロペンチルオキシ基、シクロヘキシルオキシ基）、アリールオキシ基（好ましくは炭素数６〜２４のアリールオキシ基で、例えば、フェノキシ基、１−ナフトキシ基）、ヘテロ環オキシ基（好ましくは炭素数１〜１８のヘテロ環オキシ基で、例えば、１−フェニルテトラゾール−５−オキシ基、２−テトラヒドロピラニルオキシ基）、シリルオキシ基（好ましくは炭素数１〜１８のシリルオキシ基で、例えば、トリメチルシリルオキシ基、ｔｅｒｔ−ブチルジメチルシリルオキシ基、ジフェニルメチルシリルオキシ基）、アシルオキシ基（好ましくは炭素数２〜２４のアシルオキシ基で、例えば、アセトキシ基、ピバロイルオキシ基、ベンゾイルオキシ基、ドデカノイルオキシ基）、アルコキシカルボニルオキシ基（好ましくは炭素数２〜２４のアルコキシカルボニルオキシ基で、例えば、エトキシカルボニルオキシ基、ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルオキシ基、また、シクロアルキルオキシカルボニルオキシ基であれば、例えば、シクロヘキシルオキシカルボニルオキシ基）、アリールオキシカルボニルオキシ基（好ましくは炭素数７〜２４のアリールオキシカルボニルオキシ基で、例えば、フェノキシカルボニルオキシ基）、カルバモイルオキシ基（この好ましくは炭素数１〜２４のカルバモイルオキシ基で、例えば、Ｎ，Ｎ−ジメチルカルバモイルオキシ基、Ｎ−ブチルカルバモイルオキシ基、Ｎ−フェニルカルバモイルオキシ基、Ｎ−エチル−Ｎ−フェニルカルバモイルオキシ基）、スルファモイルオキシ基（好ましくは炭素数１〜２４のスルファモイルオキシ基で、例えば、Ｎ，Ｎ−ジエチルスルファモイルオキシ基、Ｎ−プロピルスルファモイルオキシ基）、アルキルスルホニルオキシ基（好ましくは炭素数１〜２４のアルキルスルホニルオキシ基で、例えば、メチルスルホニルオキシ基、ヘキサデシルスルホニルオキシ基、シクロヘキシルスルホニルオキシ基）、アリールスルホニルオキシ基（好ましくは炭素数６〜２４のアリールスルホニルオキシ基で、例えば、フェニルスルホニルオキシ基）、アシル基（好ましくは炭素数１〜２４のアシル基で、例えば、ホルミル基、アセチル基、ピバロイル基、ベンゾイル基、テトラデカノイル基、シクロヘキサノイル基）、アルコキシカルボニル基（好ましくは炭素数２〜２４のアルコキシカルボニル基で、例えば、メトキシカルボニル基、エトキシカルボニル基、オクタデシルオキシカルボニル基、シクロヘキシルオキシカルボニル基、２，６−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−４−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル基）、アリールオキシカルボニル基（好ましくは炭素数７〜２４のアリールオキシカルボニル基で、例えば、フェノキシカルボニル基）、カルバモイル基（好ましくは炭素数１〜２４のカルバモイル基で、例えば、カルバモイル基、Ｎ，Ｎ−ジエチルカルバモイル基、Ｎ−エチル−Ｎ−オクチルカルバモイル基、Ｎ，Ｎ−ジブチルカルバモイル基、Ｎ−プロピルカルバモイル基、Ｎ−フェニルカルバモイル基、Ｎ−メチルＮ−フェニルカルバモイル基、Ｎ，Ｎ−ジシクロへキシルカルバモイル基）、アミノ基（好ましくは炭素数２４以下のアミノ基で、例えば、アミノ基、メチルアミノ基、Ｎ，Ｎ−ジブチルアミノ基、テトラデシルアミノ基、２−エチルへキシルアミノ基、シクロヘキシルアミノ基）、アニリノ基（好ましくは６〜２４のアニリノ基で、例えば、アニリノ基、Ｎ−メチルアニリノ基）、ヘテロ環アミノ基（好ましくは１〜１８のヘテロ環アミノ基で、例えば、４−ピリジルアミノ基）、カルボンアミド基（好ましくは２〜２４のカルボンアミド基で、例えば、アセトアミド基、ベンズアミド基、テトラデカンアミド基、ピバロイルアミド基、シクロヘキサンアミド基）、ウレイド基（好ましくは炭素数１〜２４のウレイド基で、例えば、ウレイド基、Ｎ，Ｎ−ジメチルウレイド基、Ｎ−フェニルウレイド基）、イミド基（好ましくは炭素数２４以下のイミド基で、例えば、Ｎ−スクシンイミド基、Ｎ−フタルイミド基）、アルコキシカルボニルアミノ基（好ましくは炭素数２〜２４のアルコキシカルボニルアミノ基で、例えば、メトキシカルボニルアミノ基、エトキシカルボニルアミノ基、ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルアミノ基、オクタデシルオキシカルボニルアミノ基、シクロヘキシルオキシカルボニルアミノ基）、アリールオキシカルボニルアミノ基（好ましくは炭素数７〜２４のアリールオキシカルボニルアミノ基で、例えば、フェノキシカルボニルアミノ基）、スルホンアミド基（好ましくは炭素数１〜２４のスルホンアミド基で、例えば、メタンスルホンアミド基、ブタンスルホンアミド基、ベンゼンスルホンアミド基、ヘキサデカンスルホンアミド基、シクロヘキサンスルホンアミド基）、スルファモイルアミノ基（好ましくは炭素数１〜２４のスルファモイルアミノ基で、例えば、Ｎ、Ｎ−ジプロピルスルファモイルアミノ基、Ｎ−エチル−Ｎ−ドデシルスルファモイルアミノ基）、アゾ基（好ましくは炭素数１〜２４のアゾ基で、例えば、フェニルアゾ基、３−ピラゾリルアゾ基）、アルキルチオ基（好ましくは炭素数１〜２４のアルキルチオ基で、例えば、メチルチオ基、エチルチオ基、オクチルチオ基、シクロヘキシルチオ基）、アリールチオ基（好ましくは炭素数６〜２４のアリールチオ基で、例えば、フェニルチオ基）、ヘテロ環チオ基（好ましくは炭素数１〜１８のヘテロ環チオ基で、例えば、２−ベンゾチアゾリルチオ基、２−ピリジルチオ基、１−フェニルテトラゾリルチオ基）、アルキルスルフィニル基（好ましくは炭素数１〜２４のアルキルスルフィニル基で、例えば、ドデカンスルフィニル基）、アリールスルフィニル基（好ましくは炭素数６〜２４のアリールスルフィニル基で、例えば、フェニルスルフィニル基）、アルキルスルホニル基（好ましくは炭素数１〜２４のアルキルスルホニル基で、例えば、メチルスルホニル基、エチルスルホニル基、プロピルスルホニル基、ブチルスルホニル基、イソプロピルスルホニル基、２−エチルヘキシルスルホニル基、ヘキサデシルスルホニル基、オクチルスルホニル基、シクロヘキシルスルホニル基）、アリールスルホニル基（好ましくは炭素数６〜２４のアリールスルホニル基で、例えば、フェニルスルホニル基、１−ナフチルスルホニル基）、スルファモイル基（好ましくは炭素数２４以下のスルファモイル基で、例えば、スルファモイル基、Ｎ，Ｎ−ジプロピルスルファモイル基、Ｎ−エチル−Ｎ−ドデシルスルファモイル基、Ｎ−エチル−Ｎ−フェニルスルファモイル基、Ｎ−シクロヘキシルスルファモイル基）、スルホ基、ホスホニル基（好ましくは炭素数１〜２４のホスホニル基で、例えば、フェノキシホスホニル基、オクチルオキシホスホニル基、フェニルホスホニル基）、ホスフィノイルアミノ基（好ましくは炭素数１〜２４のホスフィノイルアミノ基で、例えば、ジエトキシホスフィノイルアミノ基、ジオクチルオキシホスフィノイルアミノ基）を表す。
【００２０】
さらに、置換基Ｔは本発明の趣旨を逸脱しない範囲内で、上記置換基Ｔによって置換された基であってもよい。
【００２１】
＜＜ハロゲン化フタロシアニン＞＞
本発明で用いられるフタロシアニン染料は、上述のとおり、ハロゲン化フタロシアニン染料（ハロゲン原子を有するフタロシアニン染料）であることが好ましい。本発明で用いられるハロゲン化フタロシアニン染料は、通常、極大吸収波長を６００〜８００ｎｍの領域に有し、好ましくは極大吸収波長を６３０〜７５０ｎｍの領域に有する化合物である。このようなハロゲン化フタロシアニン染料を用いることにより、本発明の組成物をカラーフィルタの用途に用いる場合に、着色層の着色性をより良好にすることができる。
フタロシアニン染料が有する上述した本発明で用いられる官能基（Ｘ）は、フタロシアニン染料のフタロシアニン骨格に直接に結合していてもよいし、何らかの連結基を介して結合していてもよいが、本発明で用いられる官能基（Ｘ）がフタロシアニン骨格に連結基を介して結合していることが波長制御の理由から好ましい。
【００２２】
＜＜置換基＞＞
このような連結基としては、例えば、上述の置換基Ｔ群の置換基の水素原子が置換された形態が挙げられ、下記一般式（１−１）で表される基が好ましい。
一般式（１−１）
【化９】
2014153554.tif 000010
（一般式（１−１）中、Ｘは酸素原子または硫黄原子であり、Ａ1は、上述した本発明に用いられる官能基を有するフェニル基またはナフチル基である。）
【００２３】
一般式（１−１）中、Ｘは酸素原子または硫黄原子であり、酸素原子が好ましい。
Ａ1は、上述した本発明に用いられる官能基を有するフェニル基またはナフチル基である。
【００２４】
前記一般式（１−１）で表される基は、下記一般式（１−１−１）で表される基であることがより好ましい。
一般式（１−１−１）
【化１０】
2014153554.tif 000011
（一般式（１−１−１）中、Ｘ1は酸素原子または硫黄原子であり、Ａ11は、上述した本発明に用いられる官能基を有するフェニル基である。）
【００２５】
一般式（１−１−１）中、Ｘ1は酸素原子または硫黄原子であり、酸素原子が好ましい。
Ａ11は、上述した本発明に用いられる官能基を有するフェニル基であり、−Ｒ1、−Ｃ（＝Ｏ）Ｏ−フェニレン基−Ｒ1または−Ｃ（＝Ｏ）Ｏ−Ｒ1であることが好ましい。ここで、Ｒ1は、上述した本発明に用いられる官能基（すなわち、カルボキシル基、エポキシ基、アリールエステル基、３級アルキルエステル基、前記式（１）で表される基、前記式（２）で表される基、アミノ基およびチオール基から選ばれる少なくとも１種の官能基）を表す。
【００２６】
本発明で用いられるフタロシアニン染料は、また、ハロゲン原子を含む（ハロゲン化フタロシアニン）であることが好ましい。ハロゲン原子は、塩素原子、フッ素原子が好ましい。
ハロゲン原子は、フタロシアニン染料のフタロシアニン骨格に直接に結合していてもよいし、何らかの連結基を介して結合していてもよく、ハロゲン原子がフタロシアニン骨格に直接に結合していることが好ましい。何らかの連結基を介して結合している場合、上述の置換基Ｔ群の置換基の水素原子が置換された形態が挙げられる。
【００２７】
＜＜他の置換基＞＞
本発明で用いられるフタロシアニン染料は、上記本発明で用いられる官能基（Ｘ）、ハロゲン原子以外の他の置換基を有していてもよい。他の置換基としては、上記置換基Ｔ群が例示される。
【００２８】
他の置換基は、これらの中でも、下記一般式（１−１−２）で表される基が好ましい。
一般式（１−１−２）
【化１１】
2014153554.tif 000012
（一般式（１−１−２）中、Ｘ2は酸素原子または硫黄原子であり、Ａ2は、フェニル基またはナフチル基である。）
【００２９】
一般式（１−１−２）中、Ｘ2は酸素原子または硫黄原子であり、酸素原子が好ましい。Ｘ2が酸素原子であると、得られるフタロシアニン染料の最大吸収波長をより短波長側にシフトできる。
Ａ2は、置換基を有するフェニル基または置換基を有するナフチル基であり、１〜５つの置換基を有するフェニル基または１〜７つの置換基を有するナフチル基が好ましく、１〜５つの置換基を有するフェニル基がより好ましい。
【００３０】
前記一般式（１−１−２）で表される基は、下記一般式（１−１−２−１）で表される基であることがより好ましい。
一般式（１−１−２−１）
【化１２】
2014153554.tif 000013
（一般式（１−１−２−１）中、Ｘ3は酸素原子または硫黄原子であり、Ａ3は、１〜５つの置換基Ｒを有するフェニル基である。）
【００３１】
一般式（１−１−２−１）中、Ｘ3は酸素原子または硫黄原子であり、酸素原子が好ましい。Ｘ3が酸素原子であると、得られるフタロシアニン染料の最大吸収波長をより短波長側にシフトできる。
Ａ3は、１〜５つの置換基Ｒを有するフェニル基であり、１〜３つの置換基Ｒを有するフェニル基がより好ましく、１つの置換基Ｒを有するフェニル基がさらに好ましい。
前記置換基Ｒを有するフェニル基において、置換基Ｒは、−Ｃ（＝Ｏ）Ｏ−Ｒ1で表されることが好ましい。前記置換基Ｒにおいて、Ｒ1は、−（ＣＨ2）n（ｎは、１〜５の整数であることが好ましく、１〜３の整数であることがより好ましい。）と、−Ｏ−との組み合わせからなる基であることが好ましい。
【００３２】
＜＜＜フタロシアニン染料の好ましい態様＞＞＞
本発明で用いられるフタロシアニン染料は、下記一般式（１−２）で表されるハロゲン化フタロシアニン染料であることがより好ましい。
一般式（１−２）
【化１３】
2014153554.tif 000014
（一般式（１−２）中、Ｚ1〜Ｚ16は、水素原子、置換基またはハロゲン原子を表し、Ｚ1〜Ｚ16の少なくともいずれか１つはハロゲン原子であり、Ｚ1〜Ｚ16の他の少なくとも１つは上述した本発明で用いられる官能基（Ｘ）を有する置換基である。Ｍは２つの水素原子、金属原子、金属酸化物または金属ハロゲン化物を表わす。）
【００３３】
一般式（１−２）中、Ｚ1、Ｚ4、Ｚ5、Ｚ8、Ｚ9、Ｚ12、Ｚ13及びＺ16は、フタロシアニン核の８箇所のα位に置換する置換基を表わすため、これらの置換基をα位の置換基とも称する。また、同様に、一般式（１−２）中、Ｚ2、Ｚ3、Ｚ6、Ｚ7、Ｚ10、Ｚ11、Ｚ14及びＺ15は、フタロシアニン核の８箇所のβ位に置換する置換基を表わすため、これらの置換基をβ位の置換基とも称する。
Ｚ1〜Ｚ16は、それぞれ、水素原子、置換基またはハロゲン原子を表し、Ｚ1〜Ｚ16の少なくとも１つはハロゲン原子であり、Ｚ1〜Ｚ16の他の少なくとも１つは上述した本発明で用いられる官能基（Ｘ）を有する置換基である。
【００３４】
前記一般式（１−２）で表されるハロゲン化フタロシアニン染料は、Ｚ1〜Ｚ16のうち、ハロゲン原子を１分子中に５〜１５つ有することが好ましく、６〜１４つ有することがより好ましい。ハロゲン原子としては、塩素原子、フッ素原子、臭素原子、ヨウ素原子等が例示され、塩素原子またはフッ素原子がより好ましい。
【００３５】
本発明で用いられる官能基（Ｘ）を有する置換基としては、例えば、上述した一般式（１−１）で表されるものが好ましい。本発明で用いられる官能基（Ｘ）を有する置換基の数は、ハロゲン化フタロシアニン染料１分子中、１〜８つであることが好ましく、１〜６つであることがより好ましく、２〜４つであることがさらに好ましい。
【００３６】
前記一般式（１−２）において、Ｍは、２つの水素原子、金属原子、金属酸化物または金属ハロゲン化物を表わす。また、金属原子としては、鉄、マグネシウム、ニッケル、コバルト、銅、パラジウム、亜鉛、バナジウム、チタン、インジウム、錫等が挙げられる。金属酸化物としては、チタニル、バナジル等が挙げられる。金属ハロゲン化物としては、塩化アルミニウム、塩化インジウム、塩化ゲルマニウム、塩化錫（ＩＩ）、塩化錫（ＩＶ）、塩化珪素等が挙げられる。好ましくは、金属原子、金属酸化物または金属ハロゲン化物であり、具体的には、銅、亜鉛、コバルト、ニッケル、鉄、バナジル、チタニル、塩化インジウム、塩化錫（ＩＩ）であり、より好ましくは銅、バナジル及び亜鉛であり、さらに好ましくは亜鉛、銅であり、よりさらに好ましくは亜鉛である。中心金属が亜鉛、銅であると、耐熱性が高いため好ましい。また、中心金属が亜鉛であると、銅の場合よりも緑色の波長である５２０ｎｍ〜５４５ｎｍ付近の透過率が高くカラーフィルタにした際に輝度が向上できるので特に好ましい。また、アセトン、メタノール、メチルセルソルブといった汎用性溶剤に対する溶剤溶解性が高く、また樹脂に対する溶解性が高くコントラストが高くなるため、特に好ましい。
【００３７】
また、本発明のフタロシアニン染料は、前記一般式（１−２）中、Ｚ1〜Ｚ16において、本発明で用いられる官能基（Ｘ）を有する置換基およびハロゲン原子以外に、他の置換基を有していてもよい。他の置換基としては、フタロシアニン染料としての機能を失わない限り特に定めるものではない。
【００３８】
本発明のフタロシアニン染料が他の置換基を有している場合、Ｚ1〜Ｚ16のうち、０〜８つ、より好ましくは０〜５つ、さらに好ましくは０〜１つが、例えば前記一般式（１−１−２）または前記一般式（１−１−２−１）で表される基であることが好ましい。また、他の置換基は、例えば、特開２０１２−０７７１５３号公報の段落番号００２７〜００３７に記載の置換基、特開２０１２−２０８４９４公報の段落番号０１８５に記載の置換基であってもよく、この内容は本願明細書に組み込まれる。
【００３９】
以下、本発明で用いられるフタロシアニン染料の好ましい具体例を示すが、本発明はこれらに限定されるものではないことは言うまでもない。また、本発明で用いられるフタロシアニン染料の好ましい具体例は、下記表に示す組み合わせ以外であってもよい。例えば、下記具体例Ｇ−１〜Ｇ−２２、Ｇ’−１〜Ｇ’−３において、Ｓ−１が、下記に示すＳ−２〜Ｓ−４７のうちいずれかに置き換わったものであってもよい。
下記一般式中、Ｒは、本発明で用いられる官能基（Ｘ）を有する置換基を表し、β位に結合していることが好ましい。Ｓは、本発明で用いられるフタロシアニン染料が有していてもよい他の置換基を表す。Ｘは、本発明で用いられるフタロシアニン染料が有していてもよいハロゲン原子を表す。
【００４０】
【化１４】
2014153554.tif 000015
【００４１】
【表１】
2014153554.tif 000016
【００４２】
【表２】
2014153554.tif 000017
【００４３】
【化１５】
2014153554.tif 000018
【化１６】
2014153554.tif 000019
【００４４】
【化１７】
2014153554.tif 000020
【００４５】
【化１８】
2014153554.tif 000021
【００４６】
＜フタロシアニン染料の製造方法＞
本発明で用いるフタロシアニン染料の製造方法は、特に制限されるものではなく、従来公知の方法を利用することができる。好ましくは溶融状態または有機溶剤中で、フタロニトリル化合物と金属塩とを環化反応する方法が特に好ましく使用できる。以下、フタロシアニン染料の製造方法の好ましい実施形態を記載する。しかしながら、本発明は、下記好ましい実施形態に制限されるものではない。
すなわち、下記式（Ｉ）：
【化１９】
2014153554.tif 000022
で表されるフタロニトリル化合物（１）、下記式（ＩＩ）：
【化２０】
2014153554.tif 000023
で表されるフタロニトリル化合物（２）、下記式（ＩＩＩ）：
【化２１】
2014153554.tif 000024
で表されるフタロニトリル化合物（３）、および下記式（ＩＶ）：
【化２２】
2014153554.tif 000025
で表されるフタロニトリル化合物（４）を、金属原子、金属酸化物、金属カルボニル、金属ハロゲン化物及び有機酸金属（本明細書中では、一括して「金属化合物」とも称する）からなる群から選ばれる一種と環化反応させることによって、フタロシアニン染料が製造できる。
なお、上記式（Ｉ）〜（ＩＶ）中、Ｚ1〜Ｚ16は、所望のフタロシアニン染料（１）の構造によって規定される。具体的には、上記式（Ｉ）〜（ＩＶ）中、Ｚ1〜Ｚ16は、それぞれ、上記式（１）中のＺ1〜Ｚ16の定義と同様であるため、ここでは説明を省略する。
【００４７】
環化反応は、特開昭６４−４５４７４号公報に記載の方法などの、従来公知方法により合成できる。
上記態様において、環化反応は、式（Ｉ）〜（ＩＶ）のフタロニトリル化合物と金属、金属酸化物、金属カルボニル、金属ハロゲン化物及び有機酸金属からなる群から選ばれる一種を溶融状態または有機溶剤中で反応させることが好ましい。この際使用できる金属、金属酸化物、金属カルボニル、金属ハロゲン化物及び有機酸金属としては、一般式（１−１）のＭに相当するものが得られるものであれば、特に制限されるものではない。従って、上記一般式（１−１）におけるＭの項で列挙された鉄、銅、亜鉛、バナジウム、チタン、インジウム及びスズ等の金属、当該金属の、塩化物、臭化物、ヨウ化物等の金属ハロゲン化合物、酸化バナジウム、酸化チタニル及び酸化銅等の金属酸化物、酢酸塩等の有機酸金属、ならびにアセチルアセトナート等の錯体化合物及びカルボニル鉄等の金属カルボニル等が挙げられる。具体的には、鉄、銅、亜鉛、バナジウム、チタン、インジウム、マグネシウム及びスズ等の金属；当該金属の、塩化物、臭化物、ヨウ化物等の金属ハロゲン化合物、例えば、塩化バナジウム、塩化チタン、塩化銅、塩化亜鉛、塩化コバルト、塩化ニッケル、塩化鉄、塩化インジウム、塩化アルミニウム、塩化錫、塩化ガリウム、塩化ゲルマニウム、塩化マグネシウム、ヨウ化銅、ヨウ化亜鉛、ヨウ化コバルト、ヨウ化インジウム、ヨウ化アルミニウム、ヨウ化ガリウム、臭化銅、臭化亜鉛、臭化コバルト、臭化アルミニウム、臭化ガリウム；一酸化バナジウム、三酸化バナジウム、四酸化バナジウム、五酸化バナジウム、二酸化チタン、一酸化鉄、三二酸化鉄、四三酸化鉄、酸化マンガン、一酸化ニッケル、一酸化コバルト、三二酸化コバルト、二酸化コバルト、酸化第一銅、酸化第二銅、三二酸化銅、酸化バラジウム、酸化亜鉛、一酸化ゲルマニウム、及び二酸化ゲルマニウム等の金属酸化物；酢酸銅、酢酸亜鉛、酢酸コバルト、安息香酸銅、安息香酸亜鉛等の有機酸金属；ならびにアセチルアセトナート等の錯体化合物及びコバルトカルボニル、鉄カルボニル、ニッケルカルボニル等の金属カルボニルなどが挙げられる。これらのうち、好ましくは金属、金属酸化物及び金属ハロゲン化物であり、より好ましくは金属ハロゲン化物であり、さらに好ましくは、ヨウ化バナジウム、ヨウ化銅およびヨウ化亜鉛であり、よりさらに好ましくは、ヨウ化銅およびヨウ化亜鉛であり、特に好ましくはヨウ化亜鉛である。ヨウ化亜鉛を用いる場合、中心金属は、亜鉛ということになる。金属ハロゲン化物のうち、ヨウ化物を用いることが好適な理由は、溶剤や樹脂に対する溶解性に優れ、得られるフタロシアニン染料のスペクトルがシャープであり、所望の波長である６４０〜７５０ｎｍに収まりやすいためである。環化反応の際にヨウ化物を用いた場合にスペクトルがシャープになる詳細なメカニズムは不明であるが、ヨウ化物を用いた場合、反応後にフタロシアニン染料中に残存するヨウ素が、フタロシアニン染料と何らかの相互作用を起こして、フタロシアニン染料の層間にヨウ素が存在するようになるためであると推定される。しかしながら、上記メカニズムに限定されるものではない。環化反応に金属ヨウ化物を用いた場合と同様の効果を得るために、得られたフタロシアニン染料をヨウ素で処理してもよい。
【００４８】
また、上記態様において、また、環化反応は、無溶剤中でも行なえるが、有機溶剤を使用して行なうのが好ましい。有機溶剤は、出発原料としてのフタロニトリル化合物との反応性の低い、好ましくは反応性を示さない不活性な溶剤であればいずれでもよく、例えば、ベンゼン、トルエン、キシレン、ニトロベンゼン、モノクロロベンゼン、ｏ−クロロトルエン、ジクロロベンゼン、トリクロロベンゼン、１−クロロナフタレン、１−メチルナフタレン、エチレングリコール、およびベンゾニトリル等の不活性溶剤；メタノール、エタノール、１−プロパノ−ル、２−プロパノ−ル、１−ブタノール、１−ヘキサノール、１−ペンタノール、１−オクタノール等のアルコール；ならびにピリジン、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ−メチル−２−ピロリジノン、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトフェノン、トリエチルアミン、トリ−ｎ−ブチルアミン、ジメチルスルホキシド、スルホラン等の非プロトン性極性溶剤等が挙げられる。
これらのうち、好ましくは、１−クロロナフタレン、１−メチルナフタレン、１−オクタノール、ジクロロベンゼンおよびベンゾニトリルが、より好ましくは、１−オクタノール、ジクロロベンゼンおよびベンゾニトリルが使用される。これらの溶剤は１種単独で用いてもよいし、２種以上併用してもよい。
【００４９】
上記態様における式（Ｉ）〜（ＩＶ）のフタロニトリル化合物と金属化合物との反応条件は、当該反応が進行する条件であれば特に制限されるものではないが、例えば、有機溶剤１００質量部に対して、上記式（Ｉ）〜（ＩＶ）のフタロニトリル化合物を１〜５００質量部、好ましくは１０〜３５０質量部の範囲の合計量で、かつ金属化合物を該フタロニトリル化合物４モルに対して、好ましくは０．８〜２．０モル、より好ましくは０．８〜１．５モルの範囲で仕込む。環化の際は、特に限定されるものではないが、好ましくは反応温度３０〜２５０℃、より好ましくは８０〜２００℃の範囲で反応させる。反応時間は、特に限定されるものではないが、好ましくは３〜２０時間である。なお、反応後は、従来公知のフタロシアニン染料の合成方法に従って、ろ過、洗浄、乾燥することにより、次工程に用いることのできるフタロシアニン染料を効率よく、しかも高純度で得ることができる。
【００５０】
上記態様において、出発原料である式（Ｉ）〜（ＩＶ）のフタロニトリル化合物は、従来既知の方法により合成でき、また、市販品を用いることもできる。
【００５１】
本発明の組成物におけるフタロシアニン染料の配合量は、全固形分に対し、好ましくは２０〜７０質量％であることが好ましく、３０〜６０質量％であることがさらに好ましく、４０〜５０質量％であることが特に好ましい。
また、本発明の組成物における、ハロゲン原子を含まないフタロシアニン染料（以下、「非ハロゲン化フタロシアニン染料」ともいう。）の配合量は、全固形分に対し、５質量％以下であることが好ましく、１質量％以下であることがより好ましい。このような範囲とすることにより、本発明の効果がより効果的に発揮される。
【００５２】
＜他の着色剤＞
本発明の組成物は、フタロシアニン染料に加えて、他の着色剤を含んでいてもよく、他の着色剤を含んでいる方が好ましい。他の着色剤としては、黄色色素が好ましく用いられ、染料でも顔料でも、染料と顔料の混合系よいが、分散剤を用いなくても組成物優に均一に溶解した状態の組成物を得ることができる観点から、染料が好ましい。
【００５３】
顔料としては、従来公知の種々の無機顔料又は有機顔料を挙げることができる。また、無機顔料であれ有機顔料であれ、高透過率であることが好ましいことを考慮すると、平均粒子径がなるべく小さい顔料の使用が好ましく、ハンドリング性をも考慮すると、上記顔料の平均粒子径は、０．０１〜０．１μｍが好ましく、０．０１〜０．０５μｍがより好ましい。
【００５４】
本発明において好ましく用いることができる顔料として、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｙｅｌｌｏｗ  １，２，３，４，５，６，１０，１１，１２，１３，１４，１５，１６，１７，１８，２０，２４，３１，３２，３４，３５，３５：１，３６，３６：１，３７，３７：１，４０，４２，４３，５３，５５，６０，６１，６２，６３，６５，７３，７４，７７，８１，８３，８６，９３，９４，９５，９７，９８，１００，１０１，１０４，１０６，１０８，１０９，１１０，１１３，１１４，１１５，１１６，１１７，１１８，１１９，１２０，１２３，１２５，１２６，１２７，１２８，１２９，１３７，１３８，１３９，１４７，１４８，１５０，１５１，１５２，１５３，１５４，１５５，１５６，１６１，１６２，１６４，１６６，１６７，１６８，１６９，１７０，１７１，１７２，１７３，１７４，１７５，１７６，１７７，１７９，１８０，１８１，１８２，１８５，１８７，１８８，１９３，１９４，１９９，２１３，２１４等を挙げることができ、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｙｅｌｌｏｗ１５０（ＰＹ１５０）が特に好ましい。
これら有機顔料は、単独若しくは色純度を上げるため種々組合せて用いることができる。
【００５５】
本発明において、着色剤が染料である場合には、組成物中に均一に溶解した状態の着色硬化性組成物を得ることができる。染料としては特に制限はなく、従来カラーフィルタ用として公知の染料が使用できる。
化学構造としては、例えば、アゾ系（例えば、Ｃ．Ｉ．ｓｏｌｖｅｎｔ  ｙｅｌｌｏｗ  １６２）、メチン系（Ｃ．Ｉ．ｓｏｌｖｅｎｔ  ｙｅｌｌｏｗ  ９３）などが挙げられる。
メチン系染料としては、モノメチン染料が好ましく、下記一般式（５）で表されるモノメチン染料がより好ましい。
【化２３】
2014153554.tif 000026
（一般式（５）中、Ｒ11は、それぞれ、アルキル基またはビニル基を表し、Ｒ12は、それぞれ、置換基を有する芳香族環基を表す。）
Ｒ11は炭素数１〜１２のアルキル基が好ましく、炭素数１〜６のアルキル基がより好ましい。
Ｒ12は、フェニル基、ナフチル基が好ましく、置換基としては、アルキルスルホニルアミノ基、ビニルスルホニルアミノ基、アリールスルホニルアミノ基、アルキルカルボニルアミノ基、ビニルカルボニルアミノ基、アリールカルボニルアミノ基が好ましく、特にアルキルスルホニルアミノ基が好ましいが好ましい。炭素数１〜１２アルキル基は、不飽和結合を有しても良く、その様な置換基としては、アリルスルホニルアミノ基が挙げられる。
【００５６】
また、着色剤としては、酸性染料及び／又はその誘導体が好適に使用できる場合がある。
その他、直接染料、塩基性染料、媒染染料、酸性媒染染料、アゾイック染料、分散染料、油溶染料、食品染料、及び／又は、これらの誘導体等も有用に使用することができる。
【００５７】
以下に酸性染料の具体例を挙げるが、これらに限定されるものではない。例えば、  ａｃｉｄ  ｙｅｌｌｏｗ  １，３，７，９，１１，１７，２３，２５，２９，３４，３６，３８，４０、４２，５４，６５，７２，７３，７６，７９，９８，９９，１１１，１１２，１１３，１１４，１１６，１１９，１２３，１２８，１３４，１３５，１３８，１３９，１４０，１４４，１５０、１５５，１５７，１６０，１６１，１６３，１６８，１６９，１７２，１７７，１７８，１７９，１８４，１９０，１９３，１９６，１９７，１９９，２０２，２０３，２０４，２０５，２０７，２１２，２１４，２２０，２２１，２２８，２３０，２３２，２３５，２３８，２４０，２４２，２４３，２５１；
【００５８】
Ｄｉｒｅｃｔ  Ｙｅｌｌｏｗ  ２，３３，３４，３５，３８，３９，４３，４７，５０，５４，５８，６８，６９，７０，７１，８６，９３，９４，９５，９８，１０２，１０８，１０９，１２９，１３６，１３８，１４１；；Ｆｏｏｄ  Ｙｅｌｌｏｗ  ３；  Ｍｏｒｄａｎｔ  Ｙｅｌｌｏｗ  ５，８，１０，１６，２０，２６，３０，３１，３３，４２，４３，４５，５６，５０，６１，６２，６５；及びこれらの染料の誘導体が挙げられる。
【００５９】
本発明で用いる黄色色素は、特に、アゾ系色素および／またはメチン系色素が好ましい。
【００６０】
本発明で用いる組成物におけるフタロシアニン染料と黄色色素とを含む着色剤の配合量は、本発明の組成物の全固形分に対し５０〜９０質量％であることが好ましく、６０〜８５質量％であることが好ましく、６５〜８０質量％であることがさらに好ましい。
例えば、黄色色素が染料である場合、本発明で用いる組成物におけるフタロシアニン染料と黄色色素とを含む着色剤の配合量は、本発明の組成物の全固形分に対し５０〜９０質量％であることが好ましく、６０〜８５質量％であることが好ましく、７０〜８０質量％であることがさらに好ましい。
また、例えば、黄色色素が顔料である場合、本発明で用いる組成物におけるフタロシアニン染料と黄色色素とを含む着色剤の配合量は、本発明の組成物の全固形分に対し５０〜９０質量％であることが好ましく、６０〜８５質量％であることが好ましく、６５〜８５質量％であることがさらに好ましい。
【００６１】
＜顔料分散物＞
本発明の組成物の調整に顔料を用いる場合には、顔料分散物としておくことが好ましい態様である。顔料の分散性を向上させる観点から、さらに顔料分散剤を添加することが好ましい。
【００６２】
本発明に用いうる顔料分散剤としては、高分子分散剤〔例えば、ポリアミドアミンとその塩、ポリカルボン酸とその塩、高分子量不飽和酸エステル、変性ポリウレタン、変性ポリエステル、変性ポリ（メタ）アクリレート、（メタ）アクリル系共重合体、ナフタレンスルホン酸ホルマリン縮合物〕、及び、ポリオキシエチレンアルキルリン酸エステル、ポリオキシエチレンアルキルアミン、アルカノールアミン、顔料誘導体等を挙げることができる。
高分子分散剤は、その構造から更に直鎖状高分子、末端変性型高分子、グラフト型高分子、ブロック型高分子に分類することができる。
【００６３】
高分子分散剤は顔料の表面に吸着し、再凝集を防止するように作用する。そのため、顔料表面へのアンカー部位を有する末端変性型高分子、グラフト型高分子、ブロック型高分子が好ましい構造として挙げることができる。
一方で、顔料誘導体は顔料表面を改質することで、高分子分散剤の吸着を促進させる効果を有する。
【００６４】
本発明に用いうる顔料分散剤は、市販品としても入手可能であり、そのような具体例としては、ＢＹＫＣｈｅｍｉｅ社製「Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１０１（ポリアミドアミン燐酸塩）、１０７（カルボン酸エステル）、１１０（酸基を含む共重合物）、１３０（ポリアミド）、１６１、１６２、１６３、１６４、１６５、１６６、１７０（高分子共重合物）」、「ＢＹＫ−Ｐ１０４、Ｐ１０５（高分子量不飽和ポリカルボン酸）、ＥＦＫＡ社製「ＥＦＫＡ４０４７、４０５０〜４０１０〜４１６５（ポリウレタン系）、ＥＦＫＡ４３３０〜４３４０（ブロック共重合体）、４４００〜４４０２（変性ポリアクリレート）、５０１０（ポリエステルアミド）、５７６５（高分子量ポリカルボン酸塩）、６２２０（脂肪酸ポリエステル）、６７４５（フタロシアニン誘導体）、６７５０（アゾ顔料誘導体）」、味の素ファンテクノ社製「アジスパーＰＢ８２１、ＰＢ８２２」、共栄社化学社製「フローレンＴＧ−７１０（ウレタンオリゴマー）」、「ポリフローＮｏ．５０Ｅ、Ｎｏ．３００（アクリル系共重合体）」、楠本化成社製「ディスパロンＫＳ−８６０、８７３ＳＮ、８７４、＃２１５０（脂肪族多価カルボン酸）、＃７００４（ポリエーテルエステル）、ＤＡ−７０３−５０、ＤＡ−７０５、ＤＡ−７２５」、花王社製「デモールＲＮ、Ｎ（ナフタレンスルホン酸ホルマリン重縮合物）、ＭＳ、Ｃ、ＳＮ−Ｂ（芳香族スルホン酸ホルマリン重縮合物）」、「ホモゲノールＬ−１８（高分子ポリカルボン酸）」、「エマルゲン９２０、９３０、９３５、９８５（ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル）」、「アセタミン８６（ステアリルアミンアセテート）」、ルーブリゾール社製「ソルスパース５０００（フタロシアニン誘導体）、２２０００（アゾ顔料誘導体）、１３２４０（ポリエステルアミン）、３０００、１７０００、２７０００（末端部に機能部を有する高分子）、２４０００、２８０００、３２０００、３８５００（グラフト型高分子）」、日光ケミカル者製「ニッコールＴ１０６（ポリオキシエチレンソルビタンモノオレート）、ＭＹＳ−ＩＥＸ（ポリオキシエチレンモノステアレート）」等が挙げられる。
【００６５】
また、特開２０１１−０７０１５６号公報の段落番号００２８〜０１２４に記載の分散剤や特開２００７−２７７５１４号公報に記載の分散剤も好ましく用いられ、これらの内容は本願明細書に組み込まれる。
【００６６】
これらの顔料分散剤は、単独で使用してもよく、２種以上を組み合わせて使用してもよい。本発明においては、特に、顔料誘導体と高分子分散剤とを組み合わせて使用することが好ましい。
【００６７】
本発明の組成物における顔料分散剤の含有量としては、着色剤である顔料１００質量部に対して、１〜８０質量部であることが好ましく、５〜７０質量部がより好ましく、１０〜６０質量部であることが更に好ましい。
具体的には、高分子分散剤を用いる場合であれば、その使用量としては、顔料１００質量部に対して、質量換算で５〜１００質量部の範囲が好ましく、１０〜８０質量部の範囲であることがより好ましい。
また、顔料誘導体を併用する場合、顔料誘導体の使用量としては、顔料１００質量部に対し、質量換算で１〜３０質量部の範囲にあることが好ましく、３〜２０質量部の範囲にあることがより好ましく、５〜１５質量部の範囲にあることが特に好ましい。
【００６８】
顔料誘導体
着色剤として顔料を含有する場合、顔料に対する分散樹脂の吸着性を上げるため、更に、顔料誘導体を含有することが好ましい。顔料誘導体とは、有機顔料の一部分を、酸性基、塩基性基又はフタルイミドメチル基で置換した構造を有する化合物である。顔料誘導体としては、分散性及び分散安定性の観点から、酸性基又は塩基性基を有する顔料誘導体を含有することが好ましい。
【００６９】
顔料誘導体を構成するための有機顔料としては、ジケトピロロピロール系顔料、アゾ系顔料、フタロシアニン系顔料、アントラキノン系顔料、キナクリドン系顔料、ジオキサジン系顔料、ペリノン系顔料、ペリレン系顔料、チオインジゴ系顔料、イソインドリン系顔料、イソインドリノン系顔料、キノフタロン系顔料、スレン系顔料、金属錯体系顔料等が挙げられる。
また、顔料誘導体が有する酸性基としては、スルホン酸、カルボン酸及びその４級アンモニウム塩が好ましく、カルボン酸基及びスルホン酸基がさらに好ましく、スルホン酸基が特に好ましい。顔料誘導体が有する塩基性基としては、アミノ基が好ましく、特に三級アミノ基が好ましい。
【００７０】
顔料誘導体としては、特に、キノリン系、ベンズイミダゾロン系及びイソインドリン系の顔料誘導体が好ましく、キノリン系及びベンズイミダゾロン系の顔料誘導体がさらに好ましい。特に、下記構造を有する顔料誘導体が好ましい。
【００７１】
【化２４】
2014153554.tif 000027
【００７２】
一般式（Ｐ）中、Ａは、下記一般式（ＰＡ−１）〜（ＰＡ−３）から選ばれる部分構造を表す。Ｂは単結合、又は（ｔ＋１）価の連結基を表す。Ｃは、単結合、−ＮＨ−、−ＣＯＮＨ−、−ＣＯ2−、−ＳＯ2ＮＨ−、−Ｏ−、−Ｓ−又は−ＳＯ2−を表す。Ｄは、単結合、アルキレン基、シクロアルキレン基又はアリーレン基を表す。Ｅは、−ＳＯ3Ｈ、−ＳＯ3Ｍ（Ｍはアルカリ金属原子を表す）、−ＣＯ2Ｈ又は−Ｎ（Ｒｐａ）（Ｒｐｂ）を表す。Ｒｐａ及びＲｐｂは、各々独立して、アルキル基又はアリール基を表し、Ｒｐａ及びＲｐｂは互いに連結して環を形成してもよい。ｔは１〜５の整数を表す。
【００７３】
【化２５】
2014153554.tif 000028
【００７４】
一般式（ＰＡ−１）及び（ＰＡ−２）中、Ｒｐ１は、炭素数１〜５のアルキル基又はアリール基を表す。一般式（ＰＡ−３）中、Ｒｐ２は、水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、又はヒドロキシル基を表す。ｓは、１〜４の整数を表す。ｓが２以上の場合、複数のＲｐ２は、互いに同じであっても、異なっていてもよい。一般式（ＰＡ−１）及び一般式（ＰＡ−３）中、Ｒｐ３は、単結合、−ＮＨ−、−ＣＯＮＨ−、−ＣＯ2−、−ＳＯ2ＮＨ−、−Ｏ−、−Ｓ−又は−ＳＯ2−を表す。＊はＢとの連結部を表す。
【００７５】
一般式（Ｐ）中、Ｒｐ１は、特にメチル基又はフェニル基が好ましく、メチル基がより好ましい。一般式（ＰＡ−３）中、Ｒｐ２は、水素原子又はハロゲン原子が好ましく、水素原子又は塩素原子がより好ましい。
【００７６】
一般式（Ｐ）中、Ｂで表される（ｔ＋１）価の連結基としては、例えば、アルキレン基、シクロアルキレン基、アリーレン基及びヘテロアリーレン基が挙げられる。これらのうちでも、特に、下記構造式（ＰＡ−４）〜（ＰＡ−９）で表される連結基が好ましい。
【００７７】
【化２６】
2014153554.tif 000029
【００７８】
構造式（ＰＡ−４）〜（ＰＡ−９）のうちでも、特にＢとして、構造式（ＰＡ−５）又は（ＰＡ−８）で表される連結基を有する顔料誘導体が、分散性により優れることから好ましい。
【００７９】
一般式（Ｐ）中、Ｄで表されるアルキレン基、シクロアルキレン基及びアリーレン基としては、例えば、メチレン、エチレン、プロピレン、ブチレン、ペンチレン、ヘキシレン、デシレン、シクロプロピレン、シクロブチレン、シクロペンチレン、シクロヘキシレン、シクロオクチレン、シクロデシレン、フェニレン、ナフチレン等が挙げられる。これらのうちでも、Ｄとしては、特にアルキレン基が好ましく、炭素数１〜５のアルキレンがより好ましい。
【００８０】
一般式（Ｐ）中、Ｅが−Ｎ（Ｒｐａ）（Ｒｐｂ）を表す場合に、Ｒｐａ及びＲｐｂにおけるアルキル基及びアリール基としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ペンチル基、イソペンチル基、ネオペンチル基、ヘキシル基、オクチル基、デシル基、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロオクチル基、シクロデシル基、フェニル基、ナフチル基等を挙げることができる。Ｒｐａ及びＲｐｂとしては、特にアルキル基が好ましく、炭素数１〜５のアルキル基がさらに好ましい。前記ｔは１又は２が好ましい。
【００８１】
以下に、顔料誘導体の具体例を示すが、本発明はこれらに限定されるものではない。なお、下記具体例中、Ｍは、アルカリ金属（Ｎａ，Ｋ等）を表す。
【００８２】
【化２７】
2014153554.tif 000030
【００８３】
【化２８】
2014153554.tif 000031
【００８４】
【化２９】
2014153554.tif 000032
【００８５】
【化３０】
2014153554.tif 000033
【００８６】
前記顔料誘導体のうち、（Ａ−１）、（Ａ−２）、（Ａ−５）、（Ａ−９）、（Ａ−１０）、（Ａ−１１）、（Ａ−１９）、（Ａ−２０）、（Ａ−２１）、（Ａ−２２）、（Ａ−２３）、（Ａ−２４）及び（Ａ−２５）が好ましく、（Ａ−１）、（Ａ−２）、（Ａ−９）、（Ａ−１０）及び（Ａ−２３）がさらに好ましい。
【００８７】
本発明の着色硬化性組成物における顔料誘導体の含有量は、顔料の全質量に対し、１〜３０質量％が好ましく、３〜２０質量％がさらに好ましい。顔料誘導体は、１種のみを用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。
【００８８】
−溶剤−
顔料分散物における溶剤としては、一般の顔料分散性組成物に用いられる有機溶剤であれば特に限定されない。例えば、１−メトキシ−２−プロピルアセテート、１−メトキシ−２−プロパノール、エチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、酢酸エチル、酢酸ブチル、乳酸エチル、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、ｎ−プロパノール、２−プロパノール、ｎ−ブタノール、シクロヘキサノール、エチレングリコール、ジエチレングリコール、トルエン、キシレンなどの溶剤を挙げることができ、融点や粘度、顔料の分散性を調整するためにこれらのうち複数を併用することも可能である。
【００８９】
顔料分散物における溶剤の含有量は、顔料分散物の用途などに応じて適宜選択される。
顔料分散物が後述する着色硬化性組成物の調製に用いられる場合には、取り扱い性の観点から、顔料と顔料分散剤との総和が顔料分散物の溶剤を除いた総質量に対して５〜５０質量％となるように含有することができる。
【００９０】
前記着色剤の含有量は、本発明の効果を損なわない範囲で使用でき、本発明の着色硬化性組成物の全固形分に対して、１０〜５５質量％であることが好ましく、１５〜４５質量％であることがより好ましい。また、吸収強度比（４５０ｎｍの吸収／６５０ｎｍの吸収）が、０．９５〜１．０５の範囲となるように、着色硬化性組成物に添加されることが好ましい。
【００９１】
＜エポキシ基を有する化合物＞
本発明の組成物は、少なくとも一種のエポキシ基を有する化合物を含有する。本発明で用いられるエポキシ基を有する化合物としては、１分子内にエポキシ基を２つ以上有するものが好ましい。１分子内にエポキシ基を２つ以上有する化合物を用いることにより、本発明の効果をより効果的に達成することができる。
【００９２】
本発明で用いるエポキシ基を有する化合物は、エポキシ当量（＝エポキシ基を有する化合物の分子量／エポキシ基の数）が５００ｇ／ｅｑ以下であることが好ましく、１００〜４００ｇ／ｅｑであることがより好ましく、１００〜３００ｇ／ｅｑであることがさらに好ましい。本発明で用いるエポキシ基を有する化合物のエポキシ当量の上限値を５００ｇ／ｅｑ以下とすることにより、着色硬化性組成物の硬化性が高く、耐薬品性が良好であるという効果がより効果的に発揮される。また、本発明で用いるエポキシ基を有する化合物のエポキシ当量の下限値を１００ｇ／ｅｑ以上とすることが、実用上の安定性から好ましい。
【００９３】
本発明で用いるエポキシ基を有する化合物は、低分子化合物（例えば、分子量２０００未満、さらには、分子量１０００未満）でもよいし、高分子化合物（macromolecule）（例えば、分子量１０００以上、ポリマーの場合は、重量平均分子量が１０００以上）のいずれでもよい。本発明では、分子量２００〜１０００００のものがより好ましい。本発明では、特に、１分子中に２つ以上のエポキシ基を有し、分子量が２００以上（より好ましくは、分子量１０００００以下）の化合物が好ましい。
【００９４】
エポキシ化合物が低分子化合物の場合、下記一般式（ＥＰ１）で表される化合物が挙げられる。
【００９５】
【化３１】
2014153554.tif 000034
【００９６】
式（ＥＰ１）中、ＲEP1〜ＲEP3は、それぞれ、水素原子、ハロゲン原子、アルキル基を表し、該アルキル基は、環状構造を有するものであってもよく、また、置換基を有していてもよい。またＲEP1とＲEP2、ＲEP2とＲEP3は、互いに結合して環構造を形成していてもよい。アルキル基が有していてもよい置換基としては例えば、ヒドロキシル基、シアノ基、アルコキシ基、アルキルカルボニル基、アルコキシカルボニル基、アルキルカルボニルオキシ基、アルキルチオ基、アルキルスルホン基、アルキルスルホニル基、アルキルアミノ基、アルキルアミド基、などが挙げられる。
ＱEPは単結合若しくはｎEP価の有機基を表す。ＲEP1〜ＲEP3は、ＱEPとも結合して環構造を形成していても良い。
ｎEPは２以上の整数を表し、好ましくは２〜１０、更に好ましくは２〜６である。但しＱEPが単結合の場合、ｎEPは２である。
【００９７】
ＱEPがｎEP価の有機基の場合、鎖状若しくは環状のｎEP価の飽和炭化水素基（炭素数２〜２０が好ましい）、ｎEP価の芳香環基（炭素数６〜３０が好ましい）、又は鎖状若しくは環状の飽和炭化水素若しくは芳香族炭化水素に、エーテル基、エステル基、アミド基、スルホンアミド基、アルキレン基（炭素数１〜４が好ましく、メチレン基がより好ましい）等の２価の連結基、−Ｎ（−）2等の３価の連結基又はこれらの組み合わせが連結した構造を有するｎEP価の有機基などが好ましい。
【００９８】
以下にエポキシ基を有する化合物の具体例を例示するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
【００９９】
【化３２】
2014153554.tif 000035
【０１００】
本発明で用いるエポキシ基を有する化合物としては、側鎖にエポキシ基を有するオリゴマーやポリマーも好ましく用いることができる。このような化合物としては、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、脂肪族エポキシ樹脂等を挙げることができる。
これらの化合物は、市販品を用いてもよいし、ポリマーの側鎖へエポキシ基を導入することによっても得られる。
【０１０１】
市販品としては、例えば、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂としては、ＪＥＲ８２７、ＪＥＲ８２８、ＪＥＲ８３４、ＪＥＲ１００１、ＪＥＲ１００２、ＪＥＲ１００３、ＪＥＲ１０５５、ＪＥＲ１００７、ＪＥＲ１００９、ＪＥＲ１０１０（以上、ジャパンエポキシレジン（株）製）、ＥＰＩＣＬＯＮ８６０、ＥＰＩＣＬＯＮ１０５０、ＥＰＩＣＬＯＮ１０５１、ＥＰＩＣＬＯＮ１０５５（以上、ＤＩＣ（株）製）等であり、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂としては、ＪＥＲ８０６、ＪＥＲ８０７、ＪＥＲ４００４、ＪＥＲ４００５、ＪＥＲ４００７、ＪＥＲ４０１０（以上、ジャパンエポキシレジン（株）製）、ＥＰＩＣＬＯＮ８３０、ＥＰＩＣＬＯＮ８３５（以上、ＤＩＣ（株）製）、ＬＣＥ−２１、ＲＥ−６０２Ｓ（以上、日本化薬（株）製）等であり、フェノールノボラック型エポキシ樹脂としては、ＪＥＲ１５２、ＪＥＲ１５４、ＪＥＲ１５７Ｓ７０、ＪＥＲ１５７Ｓ６５、（以上、ジャパンエポキシレジン（株）製）、ＥＰＩＣＬＯＮ  Ｎ−７４０、ＥＰＩＣＬＯＮ  Ｎ−７７０、ＥＰＩＣＬＯＮ  Ｎ−７７５（以上、ＤＩＣ（株）製）等であり、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂としては、ＥＰＩＣＬＯＮ  Ｎ−６６０、ＥＰＩＣＬＯＮ  Ｎ−６６５、ＥＰＩＣＬＯＮ  Ｎ−６７０、ＥＰＩＣＬＯＮ  Ｎ−６７３、ＥＰＩＣＬＯＮ  Ｎ−６８０、ＥＰＩＣＬＯＮ  Ｎ−６９０、ＥＰＩＣＬＯＮ  Ｎ−６９５（以上、ＤＩＣ（株）製）、ＥＯＣＮ−１０２０（以上、日本化薬（株）製）等であり、脂肪族エポキシ樹脂としては、ＡＤＥＫＡ  ＲＥＳＩＮ  ＥＰ−４０８０Ｓ、同ＥＰ−４０８５Ｓ、同ＥＰ−４０８８Ｓ（以上、（株）ＡＤＥＫＡ製）セロキサイド２０２１Ｐ、セロキサイド２０８１、セロキサイド２０８３、セロキサイド２０８５、ＥＨＰＥ３１５０、ＥＰＯＬＥＡＤ  ＰＢ  ３６００、同ＰＢ  ４７００（以上、ダイセル化学工業（株）製）、デナコール  ＥＸ−２１２Ｌ、ＥＸ−２１４Ｌ、ＥＸ−２１６Ｌ、ＥＸ−３２１Ｌ、ＥＸ−８５０Ｌ（以上、ナガセケムテックス(株)製）等である。その他にも、ＡＤＥＫＡ  ＲＥＳＩＮ  ＥＰ−４０００Ｓ、同ＥＰ−４００３Ｓ、同ＥＰ−４０１０Ｓ、同ＥＰ−４０１１Ｓ（以上、（株）ＡＤＥＫＡ製）、ＮＣ−２０００、ＮＣ−３０００、ＮＣ−７３００、ＸＤ−１０００、ＥＰＰＮ−５０１、ＥＰＰＮ−５０２（以上、（株）ＡＤＥＫＡ製）、ＪＥＲ１０３１Ｓ（ジャパンエポキシレジン（株）製）等が挙げられる。
また、エポキシ基を有する化合物の市販品としては、ＪＥＲ１０３１Ｓ（三菱化学（株）製）、ＪＥＲ１０３２Ｈ６０（三菱化学（株）製）、ＥＰＩＣＬＯＮ ＨＰ−４７００（ＤＩＣ（株）社製）、ＥＰＩＣＬＯＮ Ｎ−６９５（ＤＩＣ（株）社製）等も好ましく用いることができる。
【０１０２】
ポリマー側鎖へ導入して合成する場合、導入反応は、例えばトリエチルアミン、ベンジルメチルアミン等の３級アミン、ドデシルトリメチルアンモニウムクロライド、テトラメチルアンモニウムクロライド、テトラエチルアンモニウムクロライド、等の４級アンモニウム塩、ピリジン、トリフェニルフォスフィン等を触媒として有機溶剤中、反応温度５０〜１５０℃で数〜数十時間反応させることにより行える。脂環式エポキシ不飽和化合物の導入量は得られるポリマーの酸価が５〜２００ＫＯＨ・ｍｇ／ｇを満たす範囲になるように制御すると好ましい。
エポキシ不飽和化合物としては、グリシジル（メタ）アクリレートやアリルグリシジルエーテル等のエポキシ基としてグリシジル基を有するものも使用可能であるが、脂環式エポキシ基を有する不飽和化合物であることが好ましい。このようなものとしては、例えば以下の化合物を例示することができる。
【０１０３】
【化３３】
2014153554.tif 000036
【０１０４】
本発明において、エポキシ基を有する化合物は、単独で用いてもよいし、２種以上組み合わせて用いてもよい。
【０１０５】
本発明の組成物中におけるエポキシ基を有する化合物の総含有量としては、低分子化合物を配合するか、高分子化合物を配合するかにもよるが、着色硬化性組成物の全固形分（質量）に対して、５〜４０質量％が好ましく、５〜３５質量％がより好ましく、５〜３０質量％が特に好ましい。このような配合量とすることにより、耐薬品性により優れた硬化膜を得ることができる。
【０１０６】
本発明の組成物は、フタロシアニン染料が有する官能基の数と、エポキシ基を有する化合物のエポキシ当量との関係が、（エポキシ当量/フタロシアニンが有する官能基の数＝２５ｇ/ｅｑ以上５００ｇ/ｅｑ以下）であることが好ましい。このような関係を満たすことによって、本発明の効果をより効果的に達成することができる。
【０１０７】
＜溶剤＞
本発明の組成物は、ハロゲン化フタロシアニン染料およびエポキシ基を有する化合物を少なくとも溶解する溶剤（通常、有機溶剤）を含む。
有機溶剤としては、エステル類として、例えば、酢酸エチル、酢酸−ｎ−ブチル、酢酸イソブチル、ギ酸アミル、酢酸イソアミル、酢酸イソブチル、プロピオン酸ブチル、酪酸イソプロピル、酪酸エチル、酪酸ブチル、乳酸メチル、乳酸エチル、オキシ酢酸アルキル（例：オキシ酢酸メチル、オキシ酢酸エチル、オキシ酢酸ブチル（例えば、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル等））、３−オキシプロピオン酸アルキルエステル類（例：３−オキシプロピオン酸メチル、３−オキシプロピオン酸エチル等（例えば、３−メトキシプロピオン酸メチル、３−メトキシプロピオン酸エチル、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル等））、２−オキシプロピオン酸アルキルエステル類（例：２−オキシプロピオン酸メチル、２−オキシプロピオン酸エチル、２−オキシプロピオン酸プロピル等（例えば、２−メトキシプロピオン酸メチル、２−メトキシプロピオン酸エチル、２−メトキシプロピオン酸プロピル、２−エトキシプロピオン酸メチル、２−エトキシプロピオン酸エチル））、２−オキシ−２−メチルプロピオン酸メチル及び２−オキシ−２−メチルプロピオン酸エチル（例えば、２−メトキシ−２−メチルプロピオン酸メチル、２−エトキシ−２−メチルプロピオン酸エチル等）、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、２−オキソブタン酸メチル、２−オキソブタン酸エチル等、並びに、エーテル類として、例えば、ジエチレングリコールジメチルエーテル、テトラヒドロフラン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート等、並びに、ケトン類として、例えば、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、２−ヘプタノン、３−ヘプタノン等、並びに、芳香族炭化水素類として、例えば、トルエン、キシレン等が好適に挙げられる。
【０１０８】
これらの溶剤は、塗布面状の改良などの観点から、２種以上を混合する形態も好ましい。この場合、特に好ましくは、上記の３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、エチルセロソルブアセテート、乳酸エチル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、酢酸ブチル、３−メトキシプロピオン酸メチル、２−ヘプタノン、シクロヘキサノン、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールメチルエーテル、及びプロピレングリコールメチルエーテルアセテートから選択される２種以上で構成される混合溶液である。
【０１０９】
溶剤の着色硬化性組成物中における含有量は、塗布性の観点から、組成物の全固形分濃度が５〜３０質量％になる量とすることが好ましく、７〜２５質量％が更に好ましく、１０〜２０質量％が特に好ましい。
【０１１０】
＜各種添加物＞
本発明の着色硬化性組成物は、本発明の効果を損なわない範囲で、必要に応じて、各種添加物、例えば、界面活性剤、酸無水物、硬化剤、硬化触媒、充填剤、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤等を配合することができる。
一方、本発明の着色硬化性組成物は、光重合性化合物の配合量が全固形分の１質量％以下であることが好ましく、０．５質量％以下であることがより好ましく、含まないことがさらに好ましい。
【０１１１】
（界面活性剤）
本発明の着色硬化性組成物は、塗布性をより向上させる観点から、各種の界面活性剤を添加していることが好ましい。界面活性剤としては、フッ素系界面活性剤、ノニオン系界面活性剤、カチオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤、シリコーン系界面活性剤などの各種界面活性剤を使用できる。
【０１１２】
特に、本発明の着色硬化性組成物は、フッ素系界面活性剤を含有することで、塗布液として調製したときの液特性（特に、流動性）がより向上することから、塗布厚の均一性や省液性をより改善することができる。
即ち、フッ素系界面活性剤を含有する着色硬化性組成物を適用した塗布液を用いて膜形成する場合においては、被塗布面と塗布液との界面張力を低下させることにより、被塗布面への濡れ性が改善され、被塗布面への塗布性が向上する。このため、少量の液量で数μｍ程度の薄膜を形成した場合であっても、厚みムラの小さい均一厚の膜形成をより好適に行える点で有効である。
【０１１３】
フッ素系界面活性剤中のフッ素含有率は、３〜４０質量％が好適であり、より好ましくは５〜３０質量％であり、特に好ましくは７〜２５質量％である。フッ素含有率がこの範囲内であるフッ素系界面活性剤は、塗布膜の厚さの均一性や省液性の点で効果的であり、着色硬化性組成物中における溶解性も良好である。
【０１１４】
フッ素系界面活性剤としては、例えば、メガファックＦ７８１（以上、ＤＩＣ（株）製）等が挙げられる。
【０１１５】
界面活性剤は、１種のみを用いてもよいし、２種類以上を組み合わせてもよい。
【０１１６】
着色硬化性組成物は、界面活性剤を含有してもしなくても良いが、含有する場合、界面活性剤の添加量は、着色硬化性組成物の全固形分に対して、０．００１〜２．０質量％が好ましく、より好ましくは０．００５〜１．０質量％である。
【０１１７】
なお、界面活性剤が高分子化合物（すなわち樹脂）である場合、その高分子化合物の固形分酸価は、８０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下とされる。
【０１１８】
＜酸無水物＞
本発明の着色硬化性組成物は、酸無水物を含有しても良い。酸無水物を含有することにより、エポキシ基を有する化合物の熱硬化による架橋性を向上させることができる。
【０１１９】
酸無水物としては、例えば、フタル酸無水物、ナジック酸無水物、マレイン酸無水物、琥珀酸無水物などが挙げられる。中でも、酸無水物は、顔料分散への影響が少ない点で、フタル酸無水物が好ましい。  エポキシ硬化剤としてアミン系化合物も一般的であるが、ポットライフが比較的長いなどの利点がある。
【０１２０】
酸無水物の着色硬化性組成物中における含有量としては、エポキシ基を有する化合物の含有量に対して、１０〜４０質量％の範囲が好ましく、１５〜３０質量％の範囲がより好ましい。酸無水物の含有量は、１０質量％以上であるとエポキシ基を有する化合物の架橋密度が向上し、機械的強度を高めることができ、３０質量％以下であると塗膜中の熱硬化成分が抑制され、色剤の濃度を高めるのに有利である。
【０１２１】
（硬化剤）
本発明の組成物には、硬化剤を添加してもよい。硬化剤は、種類が非常に多く、性質、樹脂と硬化剤の混合物との可使時間、粘度、硬化温度、硬化時間、発熱などが種類によって非常に異なるため、使用目的、使用条件、作業条件などによって適当な硬化剤を選ぶことが好ましい。硬化剤に関しては、垣内弘編「エポキシ樹脂（昇晃堂）」第５章に詳しく解説されている。以下、硬化剤の例を示す。
【０１２２】
触媒的に作用するものとしては、第三アミン類、三フッ化ホウ素−アミンコンプレックス、エポキシ樹脂の官能基と化学量論的に反応するものとして、ポリアミン、酸無水物等；また、常温硬化のものとして、ジエチレントリアミン、ポリアミド樹脂、中温硬化のものの例としてジエチルアミノプロピルアミン、トリス（ジメチルアミノメチル）フェノール；高温硬化の例として、無水フタル酸、メタフェニレンジアミン等がある。また化学構造別にみるとアミン類では、脂肪族ポリアミンとしてはジエチレントリアミン；芳香族ポリアミンとしてはメタフェニレンジアミン；第三アミンとしてはトリス（ジメチルアミノメチル）フェノール；酸無水物としては無水フタル酸、ポリアミド樹脂、ポリスルフィド樹脂、三フッ化ホウ素−モノエチルアミンコンプレックス；合成樹脂初期縮合物としてはフェノール樹脂、その他ジシアンジアミド等が挙げられる。
【０１２３】
これら硬化剤は、加熱によりエポキシ基と反応し、重合することによって架橋密度が上がり硬化するものである。薄膜化のためには、バインダー、硬化剤とも極力少量の方が好ましく、特に硬化剤に関してはエポキシ基を有する化合物に対して３５質量％以下、好ましくは３０質量％以下、さらに好ましくは２５質量％以下とすることが好ましい。
【０１２４】
（硬化触媒）
着色剤濃度の高い組成を実現するためには、硬化剤との反応による硬化のほか、主としてエポキシ基同士の反応による硬化が有効である。このため、硬化剤は用いず、硬化触媒を使用することもできる。硬化触媒の添加量としては、エポキシ当量が１５０〜２００程度のエポキシ樹脂に対して、質量基準で１／１０〜１／１０００程度、好ましくは１／２０〜１／５００程度さらに好ましくは１／３０〜１／２５０程度のわずかな量で硬化させることが可能である。
【０１２５】
＜着色硬化性組成物の調製方法＞
本発明の着色硬化性組成物の好ましい調製方法について説明する。但し、本発明はこれに限定されるものではない。
【０１２６】
着色剤が染料の場合は、しかるべき溶剤にエポキシ基を有する化合物とともに溶解させる。着色剤として顔料を含む場合、通常、上述のとおり顔料分散物として調整してから配合する。
【０１２７】
このようにして得られた顔料の分散物又は染料の溶液にエポキシ基を有する化合物と、必要に応じて硬化触媒や硬化剤を添加、あるいは既にバインダーがエポキシ基を有する化合物である場合には、硬化触媒や硬化剤を添加して熱硬化機能を付与し、必要に応じて溶剤を添加することで本発明における着色硬化性組成物を調製することが好ましい。
【０１２８】
＜フィルターろ過＞
本発明の着色硬化性組成物は、異物の除去や欠陥の低減などの目的で、フィルターで濾過することが好ましい。
フィルターろ過に用いるフィルターとしては、従来からろ過用途等に用いられているフィルターであれば特に限定されることなく用いることができる。
前記フィルターの材質の例としては、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）等のフッ素樹脂；ナイロン−６、ナイロン−６，６等のポリアミド系樹脂；ポリエチレン、ポリプロピレン（ＰＰ）等のポリオレフィン樹脂（高密度、超高分子量を含む）；等が挙げられる。これら素材の中でもポリプロピレン（高密度ポリプロピレンを含む）が好ましい。
【０１２９】
前記フィルターの孔径には特に限定はないが、例えば０．０１〜２０．０μｍ程度であり、好ましくは０．０１〜５μｍ程度であり、さらに好ましくは０．０１〜２．０μｍ程度である。
フィルターの孔径を上記範囲とすることにより、微細な粒子をより効果的に取り除くことができ、濁度をより低減することができる。
ここで、フィルターの孔径は、フィルタメーカーの公称値を参照することができる。市販のフィルターとしては、例えば、日本ポール株式会社、アドバンテック東洋株式会社、日本インテグリス株式会社（旧日本マイクロリス株式会社）又は株式会社キッツマイクロフィルタ等が提供する各種フィルターの中から選択することができる。
【０１３０】
前記フィルターろ過では、２種以上のフィルターを組み合わせて用いてもよい。
例えば、まず第１のフィルターを用いてろ過を行い、次に、第１のフィルターとは孔径が異なる第２のフィルターを用いてろ過を行うことができる。
その際、第１のフィルターでのフィルタリング及び第２のフィルターでのフィルタリングは、それぞれ、１回のみでもよいし、２回以上行ってもよい。
第２のフィルターは、上述した第１のフィルターと同様の材料等で形成されたものを使用することができる。
【０１３１】
＜用途＞
本発明の着色硬化性組成物は、硬化させて硬化膜として好ましく用いられる。本発明の着色硬化性組成物を硬化させた層は、カラーフィルタの着色層として好ましく用いることができる。特に、ドライエッチング用着色硬化性組成物として好ましく用いることができる。
本発明において、着色層の厚さは、０．１〜１．０μｍであることが好ましく、０．１〜０．８μｍであることがより好ましい。本発明では、着色層における着色剤の濃度を高めることができるので、このような薄膜化が可能になる。
【０１３２】
＜カラーフィルタ及びその製造方法＞
本発明のカラーフィルタは、これを構成するパターンのうち、少なくとも一種のパターンが、上記した本発明の着色硬化性組成物から形成された着色パターンである。本発明のカラーフィルタは、少なくとも一種のパターンが、上記した本発明の着色硬化性組成物から形成された着色パターンであれば特に制限されるものではないが、好ましくは以下に示す本発明のカラーフィルタの製造方法により作製される。
【０１３３】
本発明のカラーフィルタの製造方法の一例としては、上述した本発明の着色硬化性組成物を用いて着色層を形成する工程、前記着色層上にフォトレジスト層を形成する工程、露光及び現像することにより前記フォトレジスト層をパターニングしてレジストパターンを得る工程、及び前記レジストパターンをエッチングマスクとして前記着色層をドライエッチングする工程を含む。
【０１３４】
本発明のカラーフィルタの製造方法は、既述の本発明の着色硬化性組成物（第１の着色硬化性組成物とも言う）を用いて第１の着色層を形成する。
ここで、第１着色層は、本発明の着色硬化性組成物により形成されているため、上述したように、耐溶剤性及び耐アルカリ現像液性に優れている。
これにより、後に詳細に述べる、第１着色層の上にエッチング用のマスクとしてレジストパターン（パターニングされたフォトレジスト層）を形成する際に使用する現像液や、第１着色層の上に第２着色感放射線性組成物により第２着色感放射線性層を形成する工程、及び、第１着色層の上に第３着色感放射線性組成物により第３着色感放射線性層を形成する工程において、第１着色層が、第２又は第３着色感放射線性組成物における有機溶剤や、第２又は第３着色感放射線性組成物により形成された第２又は第３着色感放射線性層を露光、現像する際に使用される現像液に溶解し、第１着色層における色成分が、上記溶剤や現像液に溶出する虞れや、第２又は第３着色感放射線性組成物における色成分が、第１の着色層に混入する虞れなどを抑制できる。その結果、第１着色層における色成分の色落ちの発生や複数の色が互いに重なり合うオーバーラップ領域の発生を抑制できるため、最終的に得られるカラーフィルタの性能を向上させることができる。
特に、例えば厚みが０．１〜１．０μｍ及び／又は画素パターンサイズ（正方パターンにおける一辺）が２μｍ以下（例えば０．５〜２．０μｍ）となるような微小サイズが求められる固体撮像素子用のカラーフィルタを作製するのに有効である。
【０１３５】
ここで、固体撮像素子について、一例として図１を参照して略説する。
図１に示すように、固体撮像素子１０は、シリコン基板上に設けられた受光素子（フォトダイオード）４２、カラーフィルタ１３、平坦化膜１４、マイクロレンズ１５等から構成される。本発明においては、平坦化膜１４は必ずしも設ける必要はない。なお、図１では、各部を明確にするため、相互の厚みや幅の比率は無視して一部誇張して表示している。
【０１３６】
支持体としては、シリコン基板のほか、カラーフィルタに用いられるものであれば特に制限はなく、例えば、液晶表示素子等に用いられるソーダガラス、ホウケイ酸ガラス、石英ガラス及びこれらに透明導電膜を付着させたものや、固体撮像素子等に用いられる光電変換素子基板、例えば酸化膜、窒化シリコン等が挙げられる。また、これら支持体とカラーフィルタ１３との間には本発明を損なわない限り中間層などを設けてもよい。
【０１３７】
シリコン基板上には、Ｐウエル４１を有し、このＰウエルの表面の一部にフォトダイオード４２を有している。フォトダイオード４２は、Ｐウエルの表面の一部にＰやＡｓ等のＮ型不純物をイオン注入した後、熱処理を行うことにより形成される。また、シリコン基板のＰウエル４１の表面であって前記一部とは異なる領域には、フォトダイオード４２よりＮ型不純物濃度の高い不純物拡散層４３を有している。この不純物拡散層４３は、ＰやＡｓ等のＮ型不純物をイオン注入した後、熱処理を行うことにより形成され、フォトダイオード４２が入射光を受けることにより発生した電荷を転送する浮遊拡散層の役割を果たす。ウエル４１をＰ型不純物層、フォトダイオード４２及び不純物拡散層４３をＮ型不純物層とする以外にも、ウエル４１をＮ型不純物層、フォトダイオード４２及び不純物拡散層４３をＰ型不純物層として実施することもできる。
【０１３８】
Ｐウエル４１、フォトダイオード４２、及び不純物拡散層４３上には、ＳｉＯ2又はＳｉＯ2／ＳｉＮ／ＳｉＯ2等の絶縁膜４７を有しており、この絶縁膜４７上にはポリＳｉ、タングステン、タングステンシリサイド、Ａｌ、Ｃｕ等からなる電極４４が設けられている。電極４４は、ゲートＭＯＳトランジスタのゲートの役割を果たし、フォトダイオード４２に発生した電荷を不純物拡散層４３に転送するための転送ゲートとしての役割を果たすことができる。さらに、電極４４の上方には、配線層４５が形成されている。配線層４５の更に上方には、ＢＰＳＧ膜４６、Ｐ−ＳｉＮ膜４８を有している。ＢＰＳＧ膜４６とＰ−ＳｉＮ膜４８の界面がフォトダイオード４２の上方で下に湾曲する形状になるように形成されており、入射光を効率よくフォトダイオード４２に導くための層内レンズの役割を果たす。ＢＰＳＧ膜４６上には、Ｐ−ＳｉＮ膜４８表面又は画素領域以外の凹凸部を平坦化する目的で平坦化膜層４９が形成されている。
【０１３９】
この平坦化膜層４９上にカラーフィルタ１３が形成されている。なお、以下の説明では、領域を区切らずにシリコン基板上に形成されている着色膜（いわゆるベタ膜）を「着色（着色感放射線性）層」といい、パターン状に領域を区切って形成されている着色膜（例えば、ストライプ状にパターニングされている膜等）を「着色パターン」という。また、着色パターンのうち、カラーフィルタ１３を構成する要素となっている着色パターン（例えば、正方形や長方形にパターン化された着色パターン等）を「着色（赤色、緑色、青色）画素」という。
【０１４０】
カラーフィルタ１３は、２次元配列された複数の緑色画素（第１色画素）２０Ｇ、赤色画素（第２色画素）２０Ｒ、及び青色画素（第３色画素）２０Ｂから構成されている。各着色画素２０Ｒ，２０Ｇ，２０Ｂは、それぞれ受光素子４２の上方位置に形成されている。緑色画素２０Ｇが市松模様に形成されるとともに、青色画素２０Ｂ及び赤色画素２０Ｒは、各緑色画素２０Ｇの間に形成されている。なお、図１では、カラーフィルタ１３が３色の画素から構成されていることを説明するために、各着色画素２０Ｒ，２０Ｇ，２０Ｂを１列に並べて表示している。
【０１４１】
平坦化膜１４は、カラーフィルタ１３の上面を覆うように形成されており、カラーフィルタ表面を平坦化している。
【０１４２】
マイクロレンズ１５は、凸面を上にして配置された集光レンズであり、平坦化膜１４（平坦化膜を有しない場合はカラーフィルタ）の上方でかつ受光素子４２の上方に設けられている。各マイクロレンズ１５は、被写体からの光を効率良く各受光素子４２へ導く。
【０１４３】
次に、本発明の実施形態に係るカラーフィルタの製造方法について説明する。
本発明の実施形態に係るカラーフィルタの製造方法においては、先ず、図２の概略断面図に示すように、第１着色硬化性組成物によって第１着色層１１を形成する（工程（ア））。ここで、第１着色硬化性組成物は、既述の本発明の着色硬化性組成物である。
【０１４４】
第１着色層１１の形成は、着色硬化性組成物を支持体上に回転塗布、スリット塗布、スプレー塗布等の塗布方法により塗布し、乾燥させて着色層を形成することにより行なえる。
【０１４５】
ここでの第１着色層１１の厚みとしては、０．３〜１．０μｍの範囲が好ましく、０．３５〜０．８μｍの範囲がより好ましく、０．３５〜０．７μｍの範囲がより好ましい。
【０１４６】
硬化方法としては、ホットプレート、オーブン等の加熱装置により、第１着色層１１を加熱して、硬化させることが好ましい。加熱温度は、１２０℃〜２５０℃であることが好ましく、１６０℃〜２３０℃であることがより好ましい。加熱時間は、加熱手段により異なるが、ホットプレート上で加熱する場合、通常３〜３０分間程度であり、オーブン中で加熱する場合、通常、３０〜９０分間程度である。
【０１４７】
次いで、第１着色層１１に貫通孔群が形成されるようにドライエッチングによりパターニングする（工程（イ））。これにより第１の着色パターンを形成する。この手法によれば、着色感放射線性組成物により第１着色層を形成し、当該第１着色層を露光、現像することによって貫通孔群を設ける場合と比較して、所望の形状の貫通孔群をより確実に設けることができる。これは、組成物の全固形分に対する着色剤の含有量が５０質量％以上とされた着色感放射線性組成物においては、組成物中に現像能に寄与する成分を添加できる余地が限られてくるため、確実なパターニングが困難になるためである。
【０１４８】
第１着色パターンは、支持体上に第１色目として設けられる着色パターンでもよいし、場合によっては、既設のパターンを有する支持体上に例えば第２色目あるいは第３色目以降のパターンとして設けられる着色パターンでもよい。
【０１４９】
ドライエッチングは、第１着色層１１を、パターニングされたフォトレジスト層をマスクとしてエッチングガスを用いて行うことができる。例えば、図３の概略断面図に示すように、先ず、第１着色層１１の上にフォトレジスト層５１を形成する。
【０１５０】
具体的には、着色層上にポジ又はネガ型の感放射線性組成物を適用（好ましくは塗布）し、これを乾燥させることによりフォトレジスト層を形成する。フォトレジスト層５１の形成においては、更にプリベーク処理を施すことが好ましい。特に、フォトレジストの形成プロセスとしては、露光後の加熱処理（ＰＥＢ）、現像後の加熱処理（ポストベーク処理）を実施する形態が望ましい。
【０１５１】
フォトレジストとしては、例えば、ポジ型の感放射線性組成物が用いられる。このポジ型の感放射線性組成物としては、紫外線（ｇ線、ｈ線、ｉ線）、エキシマー・レーザー等を含む遠紫外線、電子線、イオンビームおよびＸ線等の放射線に感応するポジ型フォトレジスト用に好適なポジ型レジスト組成物が使用できる。放射線のうち、ｇ線、ｈ線、ｉ線が好ましく、中でもｉ線が好ましい。
具体的には、ポジ型の感放射線性組成物として、キノンジアジド化合物及びアルカリ可溶性樹脂を含有する組成物が好ましい。キノンジアジド化合物及びアルカリ可溶性樹脂を含有するポジ型の感放射線性組成物は、５００ｎｍ以下の波長の光照射によりキノンジアジド基が分解してカルボキシル基を生じ、結果としてアルカリ不溶状態からアルカリ可溶性になることを利用するものである。このポジ型フォトレジストは解像力が著しく優れているので、ＩＣやＬＳＩ等の集積回路の作製に用いられている。キノンジアジド化合物としては、ナフトキノンジアジド化合物が挙げられる。
【０１５２】
フォトレジスト層５１の厚みとしては、０．１〜３μｍが好ましく、０．２〜２．５μｍが好ましく、０．３〜２μｍが更に好ましい。なお、フォトレジスト層５１の塗布は、既述の第１着色層１１における塗布方法を用いて好適に行なえる。
【０１５３】
次いで、図４の概略断面図に示すように、このフォトレジスト層５１を露光、現像することにより、レジスト貫通孔群５１Ａが設けられたレジストパターン（パターニングされたフォトレジスト層）５２を形成する。
レジストパターン５２の形成は、特に制限なく、従来公知のフォトリソグラフィーの技術を適宜最適化して行なうことができる。露光、現像によりフォトレジスト層５１に、レジスト貫通孔群５１Ａが設けられることによって、次のエッチングで用いられるエッチングマスクとしてのレジストパターン５２が、第１着色層１１上に設けられる。
【０１５４】
フォトレジスト層５１の露光は、所定のマスクパターンを介して、ポジ型又はネガ型の感放射線性組成物に、ｇ線、ｈ線、ｉ線等、好ましくはｉ線で露光を施すことにより行なうことができる。露光後は、現像液で現像処理することにより、着色パターンを形成しようとする領域に合わせてフォトレジストが除去される。
【０１５５】
前記現像液としては、着色剤を含む第１着色層には影響を与えず、ポジレジストの露光部及びネガレジストの未硬化部を溶解するものであればいずれも使用可能であり、例えば、種々の有機溶剤の組み合わせやアルカリ性の水溶液を用いることができる。アルカリ性の水溶液としては、アルカリ性化合物を濃度が０．００１〜１０質量％、好ましくは０．０１〜５質量％となるように溶解して調製されたアルカリ性水溶液が好適である。アルカリ性化合物は、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム，硅酸ナトリウム、メタ硅酸ナトリウム、アンモニア水、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、１，８−ジアザビシクロ［５．４．０］−７−ウンデセン等が挙げられる。尚、アルカリ性水溶液を現像液として用いた場合は、一般に現像後に水で洗浄処理が施される。
【０１５６】
次に、図５の概略断面図に示すように、レジストパターン５２をエッチングマスクとして、第１着色層１１に貫通孔群１２０が形成されるようにドライエッチングによりパターニングする。これにより、第１着色パターン１２が形成される。ここで、貫通孔群１２０は、第１貫通孔部分群１２１と第２貫通孔部分群１２２とを有している。
貫通孔群１２０は、第１着色層１１に、市松状に設けられている。よって、第１着色層１１に貫通孔群１２０が設けられてなる第１着色パターン１２は、複数の四角形状の第１着色画素を市松状に有している。
【０１５７】
具体的には、ドライエッチングは、レジストパターン５２をエッチングマスクとして、第１着色層１１をドライエッチングする。ドライエッチングの代表的な例としては、特開昭５９−１２６５０６号、特開昭５９−４６６２８号、同５８−９１０８号、同５８−２８０９号、同５７−１４８７０６号、同６１−４１１０２号などの公報に記載の方法がある。
【０１５８】
ドライエッチングとしては、パターン断面をより矩形に近く形成する観点や支持体へのダメージをより低減する観点から、以下の形態で行なうのが好ましい。
フッ素系ガスと酸素ガス（Ｏ2）との混合ガスを用い、支持体が露出しない領域（深さ）までエッチングを行なう第１段階のエッチングと、この第１段階のエッチングの後に、窒素ガス（Ｎ2）と酸素ガス（Ｏ2）との混合ガスを用い、好ましくは支持体が露出する領域（深さ）付近までエッチングを行なう第２段階のエッチングと、支持体が露出した後に行なうオーバーエッチングとを含む形態が好ましい。以下、ドライエッチングの具体的手法、並びに第１段階のエッチング、第２段階のエッチング、及びオーバーエッチングについて説明する。
【０１５９】
ドライエッチングは、下記手法により事前にエッチング条件を求めて行なう。
（１）第１段階のエッチングにおけるエッチングレート（ｎｍ／ｍｉｎ）と、第２段階のエッチングにおけるエッチングレート（ｎｍ／ｍｉｎ）とをそれぞれ算出する。
（２）第１段階のエッチングで所望の厚さをエッチングする時間と、第２段階のエッチングで所望の厚さをエッチングする時間とをそれぞれ算出する。
（３）前記（２）で算出したエッチング時間に従って第１段階のエッチングを実施する。（４）前記（２）で算出したエッチング時間に従って第２段階のエッチングを実施する。あるいはエンドポイント検出でエッチング時間を決定し、決定したエッチング時間に従って第２段階のエッチングを実施してもよい。
（５）前記（３）、（４）の合計時間に対してオーバーエッチング時間を算出し、オーバーエッチングを実施する。
【０１６０】
前記第１段階のエッチング工程で用いる混合ガスとしては、被エッチング膜である有機材料を矩形に加工する観点から、フッ素系ガス及び酸素ガス（Ｏ2）を含むことが好ましい。また、第１段階のエッチング工程は、支持体が露出しない領域までエッチングする形態にすることで、支持体のダメージを回避することができる。
また、前記第２段階のエッチング工程及び前記オーバーエッチング工程は、第１段階のエッチング工程でフッ素系ガス及び酸素ガスの混合ガスにより支持体が露出しない領域までエッチングを実施した後、支持体のダメージ回避の観点から、窒素ガス及び酸素ガスの混合ガスを用いてエッチング処理を行なうのが好ましい。
【０１６１】
第１段階のエッチング工程でのエッチング量と、第２段階のエッチング工程でのエッチング量との比率は、第１段階のエッチング工程でのエッチング処理による矩形性を損なわないように決定することが重要である。なお、全エッチング量（第１段階のエッチング工程でのエッチング量と第２段階のエッチング工程でのエッチング量との総和）中における後者の比率は、０％より大きく５０％以下である範囲が好ましく、１０〜２０％がより好ましい。エッチング量とは、被エッチング膜の残存する膜厚のことをいう。
【０１６２】
また、エッチングは、オーバーエッチング処理を含むことが好ましい。オーバーエッチング処理は、オーバーエッチング比率を設定して行なうことが好ましい。また、オーバーエッチング比率は、初めに行なうエッチング処理時間より算出することが好ましい。オーバーエッチング比率は任意に設定できるが、フォトレジストのエッチング耐性と被エッチングパターンの矩形性維持の点で、エッチング工程におけるエッチング処理時間の３０％以下であることが好ましく、５〜２５％であることがより好ましく、１０〜１５％であることが特に好ましい。
【０１６３】
次いで、図６の概略断面図に示すように、エッチング後に残存するレジストパターン（すなわちエッチングマスク）５２を除去する。レジストパターン５２の除去は、レジストパターン５２上に剥離液又は溶剤を付与して、レジストパターン５２を除去可能な状態にする工程と、レジストパターン５２を洗浄水を用いて除去する工程とを含むことが好ましい。
【０１６４】
レジストパターン５２上に剥離液又は溶剤を付与し、レジストパターン５２を除去可能な状態にする工程としては、例えば、剥離液又は溶剤を少なくともレジストパターン５２上に付与し、所定の時間停滞させてパドル現像する工程を挙げることができる。剥離液又は溶剤を停滞させる時間としては、特に制限はないが、数十秒から数分であることが好ましい。
【０１６５】
また、レジストパターン５２を洗浄水を用いて除去する工程としては、例えば、スプレー式又はシャワー式の噴射ノズルからレジストパターン５２に洗浄水を噴射して、レジストパターン５２を除去する工程を挙げることができる。洗浄水としては、純水を好ましく用いることができる。また、噴射ノズルとしては、その噴射範囲内に支持体全体が包含される噴射ノズルや、可動式の噴射ノズルであってその可動範囲が支持体全体を包含する噴射ノズルを挙げることができる。噴射ノズルが可動式の場合、レジストパターン５２を除去する工程中に支持体中心部から支持体端部までを２回以上移動して洗浄水を噴射することで、より効果的にレジストパターン５２を除去することができる。
【０１６６】
剥離液は、一般には有機溶剤を含有するが、無機溶剤を更に含有してもよい。有機溶剤としては、例えば、１）炭化水素系化合物、２）ハロゲン化炭化水素系化合物、３）アルコール系化合物、４）エーテル又はアセタール系化合物、５）ケトン又はアルデヒド系化合物、６）エステル系化合物、７）多価アルコール系化合物、８）カルボン酸又はその酸無水物系化合物、９）フェノール系化合物、１０）含窒素化合物、１１）含硫黄化合物、１２）含フッ素化合物が挙げられる。剥離液としては、含窒素化合物を含有することが好ましく、非環状含窒素化合物と環状含窒素化合物とを含むことがより好ましい。
【０１６７】
非環状含窒素化合物としては、水酸基を有する非環状含窒素化合物であることが好ましい。具体的には、例えば、モノイソプロパノールアミン、ジイソプロパノールアミン、トリイソプロパノールアミン、Ｎ−エチルエタノールアミン、Ｎ，Ｎ−ジブチルエタノールアミン、Ｎ−ブチルエタノールアミン、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミンなどが挙げられ、好ましくはモノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミンであり、より好ましくはモノエタノールアミン(Ｈ2ＮＣＨ2ＣＨ2ＯＨ)である。また、環状含窒素化合物としては、イソキノリン、イミダゾール、Ｎ−エチルモルホリン、ε−カプロラクタム、キノリン、１，３−ジメチル−２−イミダゾリジノン、α−ピコリン、β−ピコリン、γ−ピコリン、２−ピペコリン、３−ピペコリン、４−ピペコリン、ピペラジン、ピペリジン、ピラジン、ピリジン、ピロリジン、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、Ｎ−フェニルモルホリン、２，４−ルチジン、２，６−ルチジンなどが挙げられ、好ましくは、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、Ｎ−エチルモルホリンであり、より好ましくはＮ−メチル−２−ピロリドン(ＮＭＰ)である。
【０１６８】
剥離液は、非環状含窒素化合物と環状含窒素化合物とを含むことが好ましいが、中でも、非環状含窒素化合物として、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、及びトリエタノールアミンから選ばれる少なくとも１種と、環状含窒素化合物として、Ｎ−メチル−２−ピロリドン及びＮ−エチルモルホリンから選ばれる少なくとも１種とを含むことがより好ましく、モノエタノールアミンとＮ−メチル−２−ピロリドンとを含むことが更に好ましい。
【０１６９】
剥離液で除去するときには、第１着色パターン１２の上に形成されたレジストパターン５２が除去されていればよく、第１着色パターン１２の側壁にエッチング生成物であるデポ物が付着している場合でも、該デポ物が完全に除去されていなくてもよい。デポ物とは、エッチング生成物が着色層の側壁に付着し堆積したものをいう。
【０１７０】
剥離液としては、非環状含窒素化合物の含有量が、剥離液１００質量部に対して９質量部以上１１質量部以下であって、環状含窒素化合物の含有量が、剥離液１００質量部に対して６５質量部以上７０質量部以下であるものが望ましい。また、剥離液は、非環状含窒素化合物と環状含窒素化合物との混合物を純水で希釈したものが好ましい。
【０１７１】
次いで、図７の概略断面図に示すように、第１貫通孔部分群１２１及び第２貫通孔部分群１２２における各貫通孔の内部に第２着色感放射線性組成物を埋設させて、複数の第２着色画素が形成されるように、第１着色層（すなわち、第１着色層１１に貫通孔群１２０が形成されてなる第１着色パターン１２）上に第２着色感放射線性組成物により第２着色感放射線性層２１を積層する（工程（ウ））。これにより、第１着色層１１の貫通孔群１２０の中に、複数の第２着色画素を有する第２着色パターン２２が形成される。ここで、第２着色画素は四角形状の画素となっている。第２着色感放射線性層２１の形成は、既述の第１着色層１１を形成する方法と同様にして行なえる。
ここでの第２着色感放射線性層２１の厚みとしては、０．３〜１μｍの範囲が好ましく、０．３５〜０．８の範囲がより好ましく、０．３５〜０．７μｍの範囲がより好ましい。
【０１７２】
そして、第２着色感放射線性層２１の、第１着色層１１に設けられた第１貫通孔部分群１２１に対応する位置２１Ａを露光し、現像することによって、第２着色感放射線性層２１と、第２貫通孔部分群１２２の各貫通孔の内部に設けられた複数の第２着色画素２２Ｒとを除去する（工程（エ））（図８の概略断面図を参照）。
【０１７３】
次いで、図９の概略断面図に示すように、第２貫通孔部分群１２２における各貫通孔の内部に第３着色感放射線性組成物を埋設させて、複数の第３着色画素が形成されるように、第１着色層（すなわち、第１貫通孔部分群１２１の中に第２着色パターン２２が形成されてなる第１着色パターン１２）上に第３着色感放射線性組成物により第３着色感放射線性層３１を形成する（工程（オ））。これにより、第１着色層１１の第２貫通孔部分群１２２の中に、複数の第３着色画素を有する第３着色パターン３２が形成される。ここで、第３着色画素は四角形状の画素となっている。第３着色感放射線性層３１の形成は、既述の第１着色層１１を形成する方法と同様にして行なえる。
ここでの第３着色感放射線性層３１の厚みとしては、０．３〜１μｍの範囲が好ましく、０．３５〜０．８の範囲がより好ましく、０．３５〜０．７μｍの範囲がより好ましい。
【０１７４】
そして、第３着色感放射線性層３１の、第１着色層１１に設けられた第２貫通孔部分群１２２に対応する位置３１Ａを露光し、現像することによって、第３着色感放射線性層３１を除去することで、図１０の概略断面図に示すように、第１着色パターン１２と、第２着色パターン２２と、第３着色パターン３２とを有するカラーフィルタ１００が製造される（工程（カ））。
【０１７５】
上述した第２着色感放射線性組成物、及び、第３着色感放射線性組成物は、それぞれ、着色剤を含有する。着色剤は、本発明の着色硬化性組成物において上述したものを同様に挙げることができるが、第２着色画素及び第３着色画素の一方が赤色透過部であり、他方が青色透過部であることが好ましい形態であるため、はそれぞれ赤色透過部または青色透過部であることが好ましい。赤色透過部を形成するための着色硬化性組成物に含有される着色剤は、特開２０１２−１７２００３号公報の段落番号００３７、００３９に記載に記載のものから選択される１種以上であることが好ましく、これらの内容は本願明細書に組み込まれる。青色透過部を形成するための着色硬化性組成物に含有される着色剤は、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｖｉｏｌｅｔ  １，１９，２３，２７，３２，３７，４２、及び、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｂｌｕｅ  １，２，１５，１５：１，１５：２，１５：３，１５：４，１５：６，１６，２２，６０，６４，６６，７９，８０から選択される１種以上であることが好ましい。
【０１７６】
第２着色感放射線性組成物、及び、第３着色感放射線性組成物の各々において、着色剤の組成物の全固形分に対する含有量は、３０質量％以上であることが好ましく、３５質量％以上であることがより好ましく、４０質量％以上であることが更に好ましい。また、着色剤の組成物の全固形分に対する含有量は、通常、９０質量％以下であり、８０質量％以下であることが好ましい。
【０１７７】
また、第２着色感放射線性組成物、及び、第３着色感放射線性組成物は、それぞれ、ネガ型の感放射線性組成物が用いられることが好ましい。このネガ型の感放射線性組成物としては、紫外線（ｇ線、ｈ線、ｉ線）、エキシマー・レーザー等を含む遠紫外線、電子線、イオンビームおよびＸ線等の放射線に感応するネガ型感放射線性組成物が使用できる。放射線のうち、ｇ線、ｈ線、ｉ線が好ましく、中でもｉ線が好ましい。
【０１７８】
具体的には、ネガ型の感放射線性組成物として、光重合開始剤、重合成分（重合性化合物）、及び、バインダー樹脂（アルカリ可溶性樹脂等）などを含有する組成物が好ましく、例えば、特開２００５−３２６４５３号公報の段落番号［００１７］〜［００６４］に記載のものを挙げることができる。このようなネガ型の感放射線性組成物は、放射線の照射により、光重合開始剤が、重合性化合物の重合反応を開始させ、結果として、アルカリ可溶状態から、アルカリ不溶性になることを利用するものである。
【０１７９】
第２着色感放射線性層２１及び第３着色感放射線性層３１に対する露光は、ｇ線、ｈ線、ｉ線等、好ましくはｉ線で露光を施すことにより行なうことができる。
また、露光後に実施される現像は、通常、現像液で現像処理することにより行われる。
現像液としては、フォトレジスト層５１に対する露光、現像において既述した現像液と同様のものを挙げることができる。
また、アルカリ性水溶液を現像液として用いた場合は、一般に現像後に水で洗浄処理が施される。
【０１８０】
第１着色画素、第２着色画素及び第３着色画素における一辺の長さ（画素が長方形である場合は短辺の長さであり、画素が正方形である場合は一辺の長さを指す）は、画像解像度の観点から、０．５〜１．７μｍが好ましく、０．６〜１．５μｍがより好ましい。
【０１８１】
以上に説明した本発明のカラーフィルタの製造方法によれば、第１着色層、ひいては、第１着色画素が、本発明の着色剤の濃度が高い着色硬化性組成物により形成されるため、第１着色画素の厚みを極めて薄くできる（例えば、０．７μｍ以下）。これにより、クロストーク（光の混色）が抑制されたカラーフィルタを製造し得るカラーフィルタの製造方法とすることができる。
また、本発明の着色硬化性組成物により形成された第１着色画素は、上述したように、耐溶剤性及び耐アルカリ現像液性が優れたものとなる。これにより、他の着色層及び他の着色パターンにおける色と重なり合うオーバーラップ領域の発生を低減でき、その結果、高性能のカラーフィルタを製造できる。
【０１８２】
本発明の着色硬化性組成物から得られるカラーフィルタは、液晶表示装置（ＬＣＤ）や固体撮像素子（例えば、ＣＣＤ、ＣＭＯＳ等）用として好適に用いることができる。また電子ペーパーや有機ＥＬ等の画像表示デバイスにも好適に用いることができる。特に、本発明のカラーフィルタは、ＣＣＤ、及びＣＭＯＳ等の固体撮像素子用として好適に用いることができる。
【０１８３】
また、本発明のカラーフィルタは、液晶表示装置用のカラーフィルタとしても好適である。このようなカラーフィルタを備えた液晶表示装置は、表示画像の色合いが良好で表示特性に優れた高画質画像を表示することができる。
【０１８４】
表示装置の定義や各表示装置の詳細については、例えば特開２０１２−１４５６０４号公報の段落番号０１５６〜０１６３の記載を参酌することができ、これらの内容は本願明細書に組み込まれる。
【実施例】
【０１８５】
以下に実施例を挙げて本発明をさらに具体的に説明する。以下の実施例に示す材料、使用量、割合、処理内容、処理手順等は、本発明の趣旨を逸脱しない限り、適宜、変更することができる。従って、本発明の範囲は以下に示す具体例に限定されるものではない。なお、特に断りのない限り、「部」、「％」は、質量基準である。
【０１８６】
＜フタロシアニン染料＞
フタロシアニン染料として、以下の例示化合物を用いた。
【０１８７】
＜例示化合物Ｇ−１の合成例＞
【化３４】
2014153554.tif 000037
（化合物Ａの合成）
フラスコにテトラクロロフタロニトリル（８０．０ｇ、３００．９ｍｍｏｌ）と上記化合物１（５９．０３ｇ、３００．９ｍｍｏｌ）、アセトニトリル４００．０gを投入し、内温が４０℃に安定するまで３０分間攪拌した後、炭酸カリウム（４５．７４ｇ、３３０．９ｍｍｏｌ）を投入して約３時間反応させた。冷却後、吸引ろ過して得た溶液を４０℃１時間で減圧濃縮し、溶媒を溜去した。さらに、１１０℃で一晩真空乾燥し、化合物Ａが約１２８ｇ（９９．９％）得られた。
（例示化合物Ｇ’−１（化合物Ｂ）の合成）
フラスコに化合物Ａ（１２５．０ｇ、２９３．７ｍｍｏｌ）、ベンゾニトリル１４６．８３ｍＬを投入し、窒素気流下（１０ｍＬ／ｍｉｎ）、内温１５０℃に安定するまで約１時間攪拌した後、ヨウ化亜鉛２６．８１ｇ（８４．０ｍｍｏｌ）を投入して、約４８時間反応させた。冷却後メタノール２０００ｍＬを加え、室温にて攪拌することで晶析した。析出した固体をデカンテーションにより取り出し、得られた固体にメタノール２０００ｍＬを加え、６０℃で１時間加熱攪拌した。冷却後、吸引ろ過し、得られた結晶を４０℃で一晩送風乾燥し、約１０４．５ｇ（８０．５％）得られた。
（例示化合物Ｇ−１（化合物Ｃ）の合成）
フラスコに化合物Ｂ（３０．０ｇ、１６．９７ｍｍｏｌ）、ＴＨＦ／水（１：１）３００ｍＬ、水酸化リチウム（０．８１ｇ、３３．９４ｍｍｏｌ）を投入し、内温６０℃で約７時間攪拌した。冷却後、１Ｍ塩酸１０２ｍＬを加え、室温にて３０分攪拌した。この溶液を４０℃１時間で減圧濃縮し、溶媒を留去した。得られた残渣にメタノール５０ｍＬを加え、吸引ろ過し、得られた結晶を４０℃で一晩送風乾燥し、約１．５４ｇ（８８．２％）得られた。
【０１８８】
＜例示化合物Ｇ−２の合成例＞
フラスコに化合物Ｃ（１．５０ｇ、０．９１ｍｍｏｌ）、ＴＨＦ３０ｍＬ、グリシドール（０．２７ｇ、３．６３ｍｍｏｌ）、１−エチル−３−（３−ジメチルアミノプロピル）カルボジイミド塩酸塩（０．５２ｇ、２．７２ｍｍｏｌ）、４−ジメチルアミノピリジン（５．６ｍｇ、０．０５ｍｍｏｌ）を投入し、室温で約２０時間攪拌した。この溶液を４０℃１時間で減圧濃縮し、溶媒を留去した。得られた残渣にメタノール５０ｍＬを加え、吸引ろ過し、得られた結晶を４０℃で一晩送風乾燥し、約１．５０ｇ（９３．８％）得られた。
【０１８９】
＜例示化合物Ｇ−３の合成例＞
化合物Ｇ−１の合成において、化合物Ａの合成で、テトラクロロフタロニトリルの代わりに等モルのテトラフルオロフタロニトリルを用いること以外は同様の反応を行った。
【０１９０】
＜例示化合物Ｇ−４の合成例＞
化合物Ｇ−２の合成において、テトラクロロフタロニトリルの代わりに等モルのテトラフルオロフタロニトリルを用いること以外は同様の反応を行った。
【０１９１】
＜例示化合物Ｇ−５の合成例＞
化合物Ｇ’−１の合成において、化合物Ａの合成で、化合物１の代わりに等モルの４−ヒドロキシ安息香酸フェニルを用いること以外は同様の反応を行った。
【０１９２】
＜例示化合物Ｇ−６の合成例＞
【化３５】
2014153554.tif 000038
化合物Ｇ’−１の合成において、化合物Ａの合成で、化合物１の代わりに等モルの化合物２を用いること以外は同様の反応を行った。
【０１９３】
＜例示化合物Ｇ−７の合成例＞
【化３６】
2014153554.tif 000039
化合物Ｇ’−１の合成において、化合物Ａの合成で、化合物１の代わりに等モルの化合物３を用いること以外は同様の反応を行った。
【０１９４】
＜例示化合物Ｇ−８の合成例＞
化合物Ｇ−５の合成において、テトラクロロフタロニトリルの代わりに等モルのテトラフルオロフタロニトリルを用いること以外は同様の反応を行った。
【０１９５】
＜例示化合物Ｇ−９の合成例＞
化合物Ｇ−６の合成において、テトラクロロフタロニトリルの代わりに等モルのテトラフルオロフタロニトリルを用いること以外は同様の反応を行った。
【０１９６】
＜例示化合物Ｇ−１０の合成例＞
化合物Ｇ−７の合成において、テトラクロロフタロニトリルの代わりに等モルのテトラフルオロフタロニトリルを用いること以外は同様の反応を行った。
【０１９７】
＜例示化合物Ｇ−１１の合成例＞
【化３７】
2014153554.tif 000040
化合物Ｇ’−１の合成において、化合物Ａの合成で、化合物１の代わりに等モルの化合物４を用いること以外は同様の反応を行った。
【０１９８】
＜例示化合物Ｇ−１２の合成例＞
【化３８】
2014153554.tif 000041
化合物Ｇ’−１の合成において、化合物Ａの合成で、化合物１の代わりに等モルの化合物５を用いること以外は同様の反応を行った。
【０１９９】
＜例示化合物Ｇ−１３の合成例＞
【化３９】
2014153554.tif 000042
化合物Ｇ’−１の合成において、化合物Ａの合成で、化合物１の代わりに等モルの化合物６を用いること以外は同様の反応を行った。
【０２００】
【化４０】
2014153554.tif 000043
（化合物Ｄの合成）
化合物Ｃの合成において、水酸化リチウムを化合物Ｂに対して４倍当量用いる以外は同様の反応をおこなった。
＜例示化合物Ｇ−１４の合成例＞
氷冷下、フラスコに化合物Ｃ（３．００ｇ、１．９５ｍｍｏｌ）、ＴＨＦ６０ｍＬ、化合物Ｅ（１．２７ｇ、１１．７２ｍｍｏｌ）、ジイソプロピルエチルアミン（３．０３ｇ、２３．４４ｍｍｏｌ）を投入し、室温で約４時間攪拌した。この溶液を４０℃１時間で減圧濃縮し、溶媒を留去した。得られた残渣にＭｅＯＨ／水（１：１、１２０ｍＬ）を加え、吸引ろ過し、得られた結晶を４０℃で一晩送風乾燥し、約３．４０ｇ（９５．４％）得られた。
【０２０１】
＜例示化合物Ｇ−１５の合成例＞
氷冷下、フラスコに化合物Ｃ（３．００ｇ、１．９５ｍｍｏｌ）、ＴＨＦ６０ｍＬ、３，４−ジヒドロ−２−Ｈ−ピラン（０．９９ｇ、１１．７２ｍｍｏｌ）、ＴｓＯＨ・Ｈ2Ｏ（０．０４ｇ、０．２０ｍｍｏｌ）を投入し、室温で約４時間攪拌した。この溶液を４０℃１時間で減圧濃縮し、溶媒を留去した。得られた残渣にＭｅＯＨ／水（１：１、１２０ｍＬ）を加え、吸引ろ過し、得られた結晶を４０℃で一晩送風乾燥し、約３．４０ｇ（９５．４％）得られた。
【０２０２】
＜例示化合物Ｇ−１６の合成例＞
Ｇ−２の合成において、グリシドールの代わりに等モルの２−メルカプロエタノールを用いる以外は同様の反応をおこなった。
【０２０３】
【化４１】
2014153554.tif 000044
＜化合物Ｆの合成例＞
化合物Ａの合成で、化合物１のｍｏｌ数の半分を４−ヒドロキシニトロベンゼンに置き換えた以外は同様の反応をおこなった。
＜例示化合物Ｇ−１７の合成例＞
フラスコに化合物Ｆ（５．００ｇ、３．１３ｍｏｌ）、ＴＨＦ（５０ｍＬ）、５％Ｐｄ/Ｃ（０．０５ｇ）を投入し、水素雰囲気下２４時間攪拌した。この溶液をセライトろ過し、ＴＨＦで洗浄した。ろ液と洗液を合わせた溶液を４０℃１時間で減圧濃縮し、溶媒を留去した。得られた残渣にＭｅＯＨ（１００ｍＬ）を加え、吸引ろ過し、得られた結晶を４０℃で一晩送風乾燥し、約４．５０ｇ（９５．３％）得られた。
【０２０４】
＜例示化合物Ｇ−１８の合成例＞
化合物Ｇ−１の合成において、化合物Ｂの合成で、ヨウ化亜鉛の代わりに等モルの塩化銅（ＩＩ）を用いること以外は同様の反応を行った。
【０２０５】
＜例示化合物Ｇ−１９の合成例＞
化合物Ｇ−１８の合成において、化合物Ａの合成で、テトラクロロフタロニトリルの代わりに等モルのテトラフルオロフタロニトリルを用いること以外は同様の反応を行った。
【０２０６】
＜例示化合物Ｇ−２０の合成例＞
化合物Ｇ−１の合成において、化合物Ａの合成で、テトラクロロフタロニトリルの代わりに等モルのジクロロフタロニトリルを用いること以外は同様の反応を行った。
【０２０７】
＜例示化合物Ｇ−２１の合成例＞
【化４２】
2014153554.tif 000045
化合物Ｇ’−１の合成において、化合物Ａの合成で、化合物１の代わりに等モルの化合物６を用いること以外は同様の反応を行った。
【０２０８】
＜例示化合物Ｇ−２２の合成例＞
【化４３】
2014153554.tif 000046
化合物Ｇ’−１の合成において、化合物Ａの合成で、化合物１の代わりに等モルの化合物７を用いること以外は同様の反応を行った。
【０２０９】
＜例示化合物Ｇ’−２の合成例＞
化合物Ｇ’−１の合成において、化合物Ａの合成で、テトラクロロフタロニトリルの代わりに等モルのテトラフルオロフタロニトリルを用いること以外は同様の反応を行った。
【０２１０】
＜例示化合物Ｇ’−３の合成例＞
【化４４】
2014153554.tif 000047
化合物Ｇ’−１の合成において、化合物Ａの合成で、化合物１の代わりに等モルの化合物４を用いること以外は同様の反応を行った。
【０２１１】
【化４５】
2014153554.tif 000048
【化４６】
2014153554.tif 000049
【化４７】
2014153554.tif 000050
【化４８】
2014153554.tif 000051
【化４９】
2014153554.tif 000052
【化５０】
2014153554.tif 000053
【化５１】
2014153554.tif 000054
【化５２】
2014153554.tif 000055
【化５３】
2014153554.tif 000056
【化５４】
2014153554.tif 000057
【化５５】
2014153554.tif 000058
【化５６】
2014153554.tif 000059
【０２１２】
＜他の着色剤＞
Ｙ−１：黄色色素（メチン系色素（染料））
Ｙ１５０：アゾ系色素（顔料）
【化５７】
2014153554.tif 000060
【０２１３】
＜メチン系色素Ｙ−１の合成例＞
メチン系色素Ｙ−１は、以下のスキームで合成した。
【化５８】
2014153554.tif 000061
【０２１４】
（中間体Ａの合成）
上記化合物（Ａ）（ＥＰ０５７１９５９Ａ２公報に記載の方法にて合成）１００重量部、ピリジン３９０ｍｌの混合溶液を５℃まで冷却し、オクタンスルホニルクロライド８７重量部を、反応温度２５℃以下で滴下した。反応液を室温で２時間撹拌後、４Ｎ  塩酸水溶液  ２Ｌを加え、室温で攪拌した後、濾取した。濾取した結晶をメタノール５００ｍｌで洗浄後、乾燥することにより、中間体Ａを１５３ｇ（収率９１％）得た。
1H-NMR  CDCl3  δ0.8(t, 3H) 1.0-1.4(m, 19), 1.6(m, 2H) 3.2(t, 2H) 5.6(s, 1H) 7.3(d, 2H) 7.9(d, 2H) 10.2(s, 1H) 12.9(s, 1H)
【０２１５】
（メチン系色素Ｙ−１の合成）
中間体Ａ  １１０ｇ、酢酸６５０ｍｌの懸濁溶液に室温で、オルトギ酸エチル６８ｇを加え、反応液を８０℃で３時間攪拌させた。反応液にメタノール１．１Ｌを加え、冷却後、濾取、メタノール洗浄することにより、メチン系色素Ｙ−１を９６ｇ（収率８８％）得た。
1H-NMR  CDCl3  δ0.8(t, 6H) 1.2-2.0(m, 41H) 3.3(t, 4H) 7.3(d, 4H), 7.6(br, 2H) 7.8(d, 4H) 8.4(s, 1H)
【０２１６】
＜分散剤＞
分散剤Ａ：（特開２００７−２７７５１４号公報の段落番号０３３４を参照して合成した。）
【化５９】
2014153554.tif 000062
SHAPE  \* MERGEFORMAT
上記において、ａは、２．０、ｂは４．０、酸価１０ｍｇＫＯＨ／ｇ、Ｍｗ２００００である。
また、分散剤Ａにおけるａ及びｂは、それぞれ、括弧内で表される部分構造の数を表し、ａ＋ｂ＝６を満たす。
分散剤Ｂ：（特開２０１１−０７０１５６号公報を参照して合成した。）
【化６０】
2014153554.tif 000063
上記において、ｘ、ｙは各構造単位の含有量(質量％)を表し、ｘ＋ｙ＝１００を満たす。また、ｎは２０であり、酸価１００ｍｇＫＯＨ／ｇ、Ｍｗ３００００である。
【０２１７】
＜エポキシ基を有する化合物＞
ＪＥＲ１０３１Ｓ：（三菱化学（株）製、エポキシ当量：１８０−２２０(ｇ／ｅｑ.)）
ＪＥＲ１５７Ｓ７０：（三菱化学（株）製、エポキシ当量：２００−２２０(ｇ／ｅｑ.)）
ＪＥＲ１０３２Ｈ６０：（三菱化学（株）製、エポキシ当量：１６３−１７５(ｇ／ｅｑ.)）
ＥＰＩＣＬＯＮ ＨＰ−４７００：（ＤＩＣ（株）社製、エポキシ当量：１６０−１７０(ｇ／ｅｑ.)）
ＥＰＩＣＬＯＮ Ｎ−６９５：（ＤＩＣ（株）社製、エポキシ当量：２０９−２１９(ｇ／ｅｑ.)）
ＪＥＲ１００３：（三菱化学（株）製、エポキシ当量：６７０−７００(ｇ／ｅｑ.)）
ＪＥＲ１００７：（三菱化学（株）製、エポキシ当量：１７５０−２２００(ｇ／ｅｑ.)）
【０２１８】
＜界面活性剤＞
界面活性剤Ａ：Ｆ−７８１（ＤＩＣ（株）製  フッ素型界面活性剤）
【０２１９】
＜誘導体＞
誘導体Ａ：
【化６１】
2014153554.tif 000064
【０２２０】
＜顔料分散液の調製＞
下記化合物を配合した混合液を、０．３ｍｍ径のジルコニアビーズを使用して、ビーズミル（減圧機構付き高圧分散機ＮＡＮＯ−３０００−１０（日本ビーイーイー（株）製））で、３時間、混合、分散して、顔料分散液を調製した。各成分の配合量は、最終的に得られる着色硬化性組成物中の組成比が下記記載の割合となるように配合した。
・顔料：ＰＹ１５０
・誘導体Ａ
・分散剤Ａまたは分散剤Ｂ
・溶剤：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）
【０２２１】
＜着色硬化性組成物の調製＞
下記表に記載の組成となるように各成分を混合し、撹拌して着色硬化性組成物を調製した（実施例１〜２７、比較例１〜１３）。
フタロシアニン染料（上述した例示化合物Ｇ−１〜Ｇ−１７、Ｇ'−１〜Ｇ'−３）：固形分中４２％
黄色色素（上述した染料（Ｙ−１）を含有する場合：固形分中３６％、上述した顔料分散液を用いる場合：顔料（固形分中２４％）、誘導体（固形分中４．５％）、分散剤（固形分中７．５％）、無添加の場合：固形分中０％)
エポキシ基を有する化合物 （上述したエポキシ基を有する化合物）：固形分中２１．９％
界面活性剤（上述した界面活性剤Ａ）：固形分中０．１％
溶剤(シクロヘキサノン)：最終固形分濃度１５％となる量
【０２２２】
＜耐薬品性の評価＞
上記で得られた着色硬化性組成物を７．５ｃｍ×７．５ｃｍのガラス基板上に、膜厚０．６μｍの塗布膜となるようにスピンコーターを用いて塗布し、ホットプレートを使用して、１００℃で２分間加熱乾燥し、２００℃で８分間塗布膜を硬化させて着色層を形成した。
得られた着色層をＰＧＭＥＡ、シクロヘキサノンまたはＮＭＰに１０分間浸漬させた後、流水にてリンスし、得られた基板の分光スペクトルを測定した。耐薬品性の評価は、ＰＧＭＥＡ、シクロヘキサノンおよびＮＭＰそれぞれの薬剤について行った。
浸漬前後の吸光度を比較し、下記式より浸漬後の色剤残存率を算出し、以下の区分に従って評価した。なお、色剤残存率は数値が高いほど耐薬品性に優れていることを意味する。
色剤残存率(％)＝溶剤浸漬後の最大吸光度／溶剤浸漬前の最大吸光度×１００
４：色剤残存率＝９５％以上１００％以下
３：色剤残存率＝８０％以上９５％未満
２：色剤残存率＝５０％以上８５％未満
１：色剤残存率＝０％以上５０％未満
【０２２３】
＜ドライエッチング法による着色硬化性組成物を用いたカラーフィルタの作製＞
＜＜着色層形成工程＞＞
上記で得られた着色硬化性組成物を、７．５ｃｍ×７．５ｃｍのガラス基板上に膜厚が０．５μｍになるようにスピンコーターを用いて塗布し、ホットプレートを使用して、２００℃で５分間、加熱を行い、塗布膜の硬化を行って着色層を作製した。この着色層の膜厚は、０．５μｍであった。
【０２２４】
＜＜レジスト層形成工程＞＞
次いで、ポジ型フォトレジスト「ＦＨｉ６２２ＢＣ」（富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ社製）を塗布し、９０℃で１分間、プリベーク処理を実施し、膜厚０．８μｍのフォトレジスト層を形成した。
【０２２５】
＜＜レジストパターン形成工程＞＞
続いて、フォトレジスト層を、ｉ線ステッパー（キャノン（株）製）を用い、３５０ｍＪ／ｃｍ2の露光量でパターン露光し、フォトレジスト層の温度又は雰囲気温度が９０℃となる温度で１分間、加熱処理を行なった。その後、現像液「ＦＨＤ−５」（富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ社製）で１分間の現像処理を行ない、さらに１１０℃で１分間のポストベーク処理を実施して、レジストパターンを形成した。このレジストパターンのサイズは、エッチング変換差（エッチングによるパターン幅の縮小）を考慮して、一辺１．２μｍで形成した。
【０２２６】
＜＜着色パターン形成工程＞＞
次に、得られたガラス基板を８ｉｎｃｈシリコンウェハに貼り付け、ドライエッチング装置（Ｕ−６２１、日立ハイテクノロジーズ社製）にて、ＲＦパワー：８００Ｗ、アンテナバイアス：４００Ｗ、ウエハバイアス：２００Ｗ、チャンバーの内部圧力：４．０Ｐａ、基板温度：５０℃、混合ガスのガス種及び流量をＣＦ4：８０ｍＬ／ｍｉｎ．、Ｏ2：４０ｍＬ／ｍｉｎ．、Ａｒ：８００ｍＬ／ｍｉｎ．として、８０秒の第１段階のエッチング処理を実施した。
【０２２７】
次いで、同一のエッチングチャンバーにて、ＲＦパワー：６００Ｗ、アンテナバイアス：１００Ｗ、ウエハバイアス：２５０Ｗ、チャンバーの内部圧力：２．０Ｐａ、基板温度：５０℃、混合ガスのガス種及び流量をＮ2：５００ｍＬ／ｍｉｎ．、Ｏ2：５０ｍＬ／ｍｉｎ．、Ａｒ：５００ｍＬ／ｍｉｎ．とし（Ｎ2／Ｏ2／Ａｒ＝１０／１／１０）、２８秒の第２段階エッチング処理、オーバーエッチング処理を実施した。
【０２２８】
上記条件でドライエッチングを行った後、フォトレジスト剥離液「ＭＳ２３０Ｃ」（富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ社製）を使用して、５０℃で１２０秒間、剥離処理を実施してレジストを除去し、緑色着色パターンを形成した。更に純水による洗浄、スピン乾燥を実施し、その後、１００℃で２分間の脱水ベーク処理を行った。以上により、カラーフィルタを得た。
【０２２９】
＜着色硬化性組成物を用いたカラーフィルタのパターン形成性の評価＞
上記で作製したカラーフィルタをガラス切りにて切り出し、その断面を、走査式電子顕微鏡（Ｓ−４８００、日立株式会社製）を用いて、倍率１５，０００倍にて観察し、下記評価基準に従って評価した。
（評価基準）
Ａ：線幅１．２μｍのパターンが直線性よく形成されていた。
Ｂ：線幅１．２μｍのパターンにがたつきがわずかに確認されたが、実用上問題のない程度であった。
Ｃ：線幅１．２μｍのパターンの直線性が著しく悪かった。
【０２３０】
下記表において、Ｇ染料はフタロシアニン染料を表し、Ｙ色素は黄色色素を表す。
【表３】
2014153554.tif 000065
【０２３１】
上記表から明らかなように、エポキシ基を有する化合物と、加熱によりエポキシ基と反応して共有結合を形成する官能基を有するフタロシアニン染料とを含む着色硬化性組成物を用いて形成されたカラーフィルタ（実施例１〜３９）は、耐薬品性およびパターン形成性が良好であることが分かった。
これに対し、加熱によりエポキシ基と反応して共有結合を形成する官能基を有していないフタロシアニン染料を用いたカラーフィルタ（比較例１〜１４）は、耐薬品性およびパターン形成性が良好ではないことが分かった。
【符号の説明】
【０２３２】
１０  固体撮像素子
１１  第１着色層
１２  第１着色パターン
１３，１００  カラーフィルタ
１４  平坦化膜
１５  マイクロレンズ
２０Ｇ  緑色画素（第１色画素）
２０Ｒ  赤色画素（第２色画素）
２０Ｂ  青色画素（第３色画素）
２１  第２着色感放射線性層
２１Ａ  第１貫通孔部分群１２１に対応する位置
２２  第２着色パターン
２２Ｒ  第２貫通孔部分群１２２の各貫通孔の内部に設けられた複数の第２着色画素
３１  第３着色感放射線性層
３１Ａ  第２貫通孔部分群１２２に対応する位置
３２  第３着色パターン
４１  Ｐウエル
４２  受光素子（フォトダイオード）
４３  不純物拡散層
４４  電極
４５  配線層
４６  ＢＰＳＧ膜
４７  絶縁膜
４８  Ｐ−ＳｉＮ膜
４９  平坦化膜層
５１  フォトレジスト層
５１Ａ  レジスト貫通孔
５２  レジストパターン（パターニングされたフォトレジスト層）
６０  着色層
６１  酸素遮断膜
１２０  貫通孔群
１２１  第１貫通孔部分群
１２２  第２貫通孔部分群
【図１】
2014153554.tif 000069
【図２】
2014153554.tif 000070
【図３】
2014153554.tif 000071
【図４】
2014153554.tif 000072
【図５】
2014153554.tif 000073
【図６】
2014153554.tif 000074
【図７】
2014153554.tif 000075
【図８】
2014153554.tif 000076
【図９】
2014153554.tif 000077
【図１０】
2014153554.tif 000078