(57)【要約】【課題】様々な形状のフィルム状基板に対応できるフィルム状基板保持ユニットを提供する。【解決手段】フィルム状基板３を保持するフィルム状基板保持ユニット２６が、圧着ヘッド１３が備える取付け部２５に取付けられるベース部４１と、一端部がベース部４１に設けられ、他端部にフィルム状基板３を吸着する吸着部６５を有した複数のアーム（固定アーム４２及び自在アーム４３）を備える。自在アーム４３は、一端部が軸部材（第１軸部材６３）によってベース部４１に対して回動自在に装着され、一端部と他端部の間に設けられた関節部（第２軸部材６４）において屈曲自在となっている。【選択図】図９
2014175562.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
縁部分に外部接続用端子群が形成されたフィルム状基板を基板に圧着する圧着ヘッドを備えたボンディング装置において、前記フィルム状基板を保持するフィルム状基板保持ユニットであって、
前記圧着ヘッドが備える取付け部に取付けられるベース部と、
一端部が前記ベース部に設けられ、他端部に前記フィルム状基板を吸着する吸着部を有した複数のアームとを備え、
前記複数のアームの少なくともひとつは、前記一端部が軸部材によって前記ベース部に対して回動自在に装着され、前記一端部と前記他端部の間に設けられた関節部において屈曲自在となっていることを特徴とするフィルム状基板保持ユニット。
【請求項２】
前記ベース部は、前記取付け部に形成された吸引ポートに接続される吸引開口を有し、前記ベース部と前記アームに、前記吸引開口から前記吸着部と連通する内部吸引路が設けられたことを特徴とする請求項１に記載のフィルム状基板保持ユニット。
【請求項３】
前記ベース部に対して回動自在かつ前記関節部において屈曲自在となっている前記アームの前記内部吸引路は、前記軸部材を前記ベース部に対して所定の回転位置に位置させることにより遮断可能であることを特徴とする請求項２に記載のフィルム状基板保持ユニット。
【請求項４】
前記ベース部は、前記圧着ヘッドに着脱自在に取付けられることを特徴とする請求項１乃至３の何れかに記載のフィルム状基板保持ユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、縁部分に外部接続用端子群が形成されたフィルム状基板を基板に圧着するボンディング装置においてフィルム状基板を保持するフィルム状基板保持ユニットに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、縁部分に外部接続用端子群が形成されたフィルム状基板を基板に圧着するボンディング装置として、圧着ツールとフィルム状基板を保持する吸着部を一体的に設けた圧着ヘッドを備えたものが知られている。このボンディング装置では、外部接続用端子群が形成された線部分を圧着ツールによって吸着し、縁部分から延びる部分を複数の吸着部によって吸着してフィルム状基板を保持するようになっている。複数の吸着部はフィルム状基板の形状に応じた位置に配置されているので、複雑な形状のフィルム状基板であっても確実に吸着することができる（例えば、特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０００−７７８９８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載のボンディング装置では、基板に圧着する対象のフィルム状基板の形状に合わせて専用の圧着ヘッドを準備していた。このためフィルム状基板の形状が変わるたびに圧着ヘッド全体を交換しなければならないという問題点があった。
【０００５】
そこで本発明は、様々な形状のフィルム状基板に対応できるフィルム状基板保持ユニットを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１に記載のフィルム状基板保持ユニットは、縁部分に外部接続用端子群が形成されたフィルム状基板を基板に圧着する圧着ヘッドを備えたボンディング装置において、前記フィルム状基板を保持するフィルム状基板保持ユニットであって、前記圧着ヘッドが備える取付け部に取付けられるベース部と、一端部が前記ベース部に設けられ、他端部に前記フィルム状基板を吸着する吸着部を有した複数のアームとを備え、前記複数のアームの少なくともひとつは、前記一端部が軸部材によって前記ベース部に対して回動自在に装着され、前記一端部と前記他端部の間に設けられた関節部において屈曲自在となっている。
【０００７】
請求項２に記載のフィルム状基板保持ユニットは、請求項１に記載のフィルム状基板保持ユニットであって、前記ベース部は、前記取付け部に形成された吸引ポートに接続される吸引開口を有し、前記ベース部と前記アームに、前記吸引開口から前記吸着部と連通する内部吸引路が設けられた。
【０００８】
請求項３に記載のフィルム状基板保持ユニットは、請求項２に記載のフィルム状基板保持ユニットであって、前記ベース部に対して回動自在かつ前記関節部において屈曲自在となっている前記アームの前記内部吸引路は、前記軸部材を前記ベース部に対して所定の回転位置に位置させることにより遮断可能である。
【０００９】
請求項４に記載のフィルム状基板保持ユニットは、請求項１乃至３の何れかに記載のフィルム状基板保持ユニットであって、前記ベース部は、前記圧着ヘッドに着脱自在に取付けられる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明では、フィルム状基板保持ユニットが備える複数のアームのうち少なくともひとつはベース部に対して回動自在であるとともに屈曲自在となっており、そのベース部に対して回動自在かつ関節部において屈曲自在となっているアームの吸着部を任意の位置に移動させて複数の吸着部の位置をフィルム状基板の形状に応じた配置とすることができるので、基板に圧着する対象のフィルム状基板の形状が変わった場合でも同じフィルム状基板保持ユニットを使用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一実施の形態におけるボンディング装置の要部側面図
【図２】本発明の一実施の形態におけるボンディング装置が備える圧着ヘッドとフィルム状基板保持ユニットを示す斜視図
【図３】本発明の一実施の形態における圧着ヘッドとフィルム状基板保持ユニットを示す一部分解斜視図
【図４】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態における圧着ヘッドとフィルム状基板保持ユニットを示す側面図
【図５】本発明の一実施の形態におけるフィルム状基板保持ユニットの斜視図
【図６】本発明の一実施の形態におけるフィルム状基板保持ユニットの一部断面正面図
【図７】（ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の一実施の形態におけるフィルム状基板保持ユニットが備える自在アームの部分断面図
【図８】本発明の一実施の形態におけるフィルム状基板保持ユニットが備える自在アームの部分断面図
【図９】（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）本発明の一実施の形態におけるフィルム状基板保持ユニットの平面図
【図１０】本発明の一実施の形態におけるボンディング装置の制御系統を示すブロック図
【図１１】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるボンディング装置によりフィルム状基板を基板に圧着する手順を説明する図
【図１２】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるボンディング装置によりフィルム状基板を基板に圧着する手順を説明する図
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。図１に示すボンディング装置１は、基板２の端部に設けられたフィルム状基板被圧着部２ａにフィルム状基板３の縁部分に形成された外部接続用端子群３ａを圧着する装置であり、基板２を保持する基板保持ステージ１１、基板保持ステージ１１の前後方向（図１の紙面左右方向。Ｙ軸方向とする）の後方に設けられ、図示しないフィルム状基板供給部から供給されたフィルム状基板３が基板２に圧着される前に一時的に載置される中継ステージ１２、基板保持ステージ１１及び中継ステージ１２の上方領域を水平面内方向に移動自在に設けられ、中継ステージ１２に載置されたフィルム状基板３を吸着して基板保持ステージ１１に保持された基板２に圧着する圧着ヘッド１３、基板保持ステージ１１と中継ステージ１２の間の領域に設けられ、圧着ヘッド１３によりフィルム状基板３を基板２に圧着する際に基板２の下面側を支持するバックアップステージ１４及びバックアップステージ１４の後方に隣接して設けられ、圧着ヘッド１３が吸着した状態のフィルム状基板３の外部接続用端子群３ａの近傍の認識マークや基板保持ステージ１１に保持された基板２のフィルム状基板被圧着部２ａに形成された認識マークを下方から撮像するカメラ１５を備えている。
【００１３】
図１において、基板保持ステージ１１は基板保持ステージ移動機構１１Ｍによって水平面内方向及び上下方向に移動され、中継ステージ１２は中継ステージ移動機構１２Ｍによって水平面内方向に移動される。圧着ヘッド１３はヘッド移動機構１３Ｍによって水平面内で移動されるヘッドベース２１、ヘッドベース２１に設けられた圧着ツール昇降機構２２、圧着ツール昇降機構２２によってヘッドベース２１に対して昇降される圧着ツール２３、圧着ツール２３の背面側に取り付けられた取付け部昇降シリンダ２４、取付け部昇降シリンダ２４によって昇降される取付け部２５、取付け部２５に着脱自在に取付けられるフィルム状基板保持ユニット２６を有して成る。
【００１４】
圧着ツール２３は圧着ツール昇降機構２２のピストンロッド２２ａの下端に取付けられた加熱用ヒータを内蔵したヒータブロック２３ａと、ツール本体２３ｂと、ヒータブロック２３ａにツール本体２３ｂを固定するツール本体保持部２３ｃとから成る。ツール本体２３ｂはヒータブロック２３ａからの熱伝導により熱圧着を行うために必要な温度に加熱される。圧着ツール２３は圧着ツール昇降機構２２のピストンロッド２２ａの下方への突没動作によって昇降する。
【００１５】
図２、図３及び図４において、取付け部２５は、取付け部昇降シリンダ２４のピストンロッド２４ａの下端と結合された水平部３１及び水平部３１の後縁から垂直上方に延びて設けられた垂直部３２を有して成る。垂直部３２の背面３２Ｒは垂直で平らに加工されている。垂直部３２の左右方向（図１の紙面に直交する方向）の両端部には一対の位置合せピン３３が後方に延びて設けられている。
【００１６】
図３、図４及び図５において、フィルム状基板保持ユニット２６は、取付け部２５の垂直部３２の背面３２Ｒ側に取付けられるベース部４１を有しており、ベース部４１には、フィルム状基板３を吸着して保持するための吸着部を先端に備えた複数のアームとして固定アーム４２と自在アーム４３の二種類のアームが取付けられている。ベース部４１は平らに加工された前面５１Ｆを有する当接部５１と、当接部５１の下端に連接して左右方向（図１の紙面に直交する方向。Ｘ軸方向とする）に延びたアーム連結部５２より構成されている。アーム連結部５２の中央部には固定アーム４２がＹ方向前方に延び、その前端部の下面側に吸着部５４を備えている。また、アーム連結部５２の両端部には自在アーム４３が取り付けられている。フィルム状基板保持ユニット２６は、取付け部２５の垂直部３２の背面３２Ｒに当接部５１の前面５１Ｆを密着させて取付けられるようになっている。
【００１７】
ベース部４１の当接部５１の左右両端には一対の切欠き部５５が設けられており、当接部５１はこれら一対の切欠き部５５を取付け部２５の垂直部３２に設けられた前述の一対の位置合せピン３３を挿通させることによって取付け部２５の垂直部３２に当接状態で位置決めされる。この状態では、取付け部２５の垂直部３２の背面３２Ｒ側に設けられたねじ穴３２ａと当接部５１を貫通して設けられた貫通孔５６が合致するので、貫通孔５６を貫通させた取付けボルト５７のねじ部５７Ｓをねじ穴３２ａに螺入させると、当接部５１が（すなわちフィルム状基板保持ユニット２６が）取付け部２５に固定されて取付け状態となる（図４（ａ）→図４（ｂ））。
【００１８】
図３、図５及び図６において、フィルム状基板保持ユニット２６の自在アーム４３は第１リンク６１と第２リンク６２から成る。第１リンク６１は一端部が第１軸部材６３によってベース部４１のアーム連結部５２の左右の端部に連結されており、第２リンク６２は一端部が第２軸部材６４によって第１リンク６１の他端部に連結されている。第２リンク６２の他端部の下面には吸着部６５が設けられている。
【００１９】
各自在アーム４３の第１リンク６１は第１軸部材６３によってベース部４１に対して回動自在であり、第２リンク６２は第２軸部材６４によって第１リンク６１に対して回動自在である。すなわち本実施の形態において、フィルム状基板保持ユニット２６は、一端部がベース部４１に設けられ、他端部にフィルム状基板３を吸着する吸着部６５を有した複数の自在アーム４３を備えており、各自在アーム４３は、一端部が第１軸部材６３によってベース部４１に対して回動自在に装着され、一端部と他端部の間に設けられた関節部としての第２軸部材６４において屈曲自在な構成となっている。
【００２０】
図７（ａ）は自在アーム４３の部分（図６破線Ｄ部分）断面図であり、図７（ｂ），（ｃ）は図７（ａ）の矢視Ｖ−Ｖから見た断面図である。図６及び図７（ａ）において、第１軸部材６３の上端のねじ部６３Ｓにはナット６３Ｎが螺合されており、作業者は、ナット６３Ｎを緩めた状態でベース部４１（アーム連結部５２）に対する第１リンク６１の姿勢を調整し、そのうえでナット６３Ｎを締め付けることによってベース部４１に第１リンク６１を固定することができる。また、図６及び図６破線Ｅ部分の部分断面図である図８において、第２軸部材６４の上端のねじ部６４Ｓにはナット６４Ｎが螺合されており、作業者は、ナット６４Ｎを緩めた状態で第１リンク６１に対する第２リンク６２の姿勢を調整し、そのうえでナット６４Ｎを締め付けることによって第１リンク６１に第２リンク６２を固定することができる。
【００２１】
図１において、ボンディング装置１の外部には真空源７０が設けられており、この真空源７０は管路７１を介して圧着ツール２３内に設けられた圧着ツール内管路（図示せず）及び取付け部２５の内部に設けられた取付け部内管路（図示せず）に繋がっている。圧着ツール内管路はツール本体２３ｂの下端に吸着開口２３ｄを有し、取付け部内管路は取付け部２５の垂直部３２の背面３２Ｒ側に開口する２つの吸引ポート３２ｂ（図３）を備えている。
【００２２】
図５及び図６において、フィルム状基板保持ユニット２６のベース部４１には、ベース部４１が取付け部２５に取付けられた状態で上記２つの吸引ポート３２ｂと繋がる２つの開口４１ａが設けられている。真空源７０から圧着ツール２３の吸着開口２３ｄに供給する真空圧の制御及び取付け部２５の２つの吸引ポート３２ｂに供給する真空圧の制御は、管路７１に介装された空圧制御部７２（図１）によってなされる。
【００２３】
図６において、フィルム状基板保持ユニット２６のベース部４１には、一方の開口４１ａに繋がる第１のベース部内吸引路８１ａと他方の開口４１ａに繋がる第２のベース部内吸引路８２ａが設けられている。第１のベース部内吸引路８１ａは固定アーム４２内を延びる固定アーム内吸引路８１ｂに繋がっており、第２のベース部内吸引路８２ａは各自在アーム４３内を延びる自在アーム内吸引路８２ｂと繋がっている。そして、固定アーム４２に設けられた吸着部５４は固定アーム内吸引路８１ｂと繋がっており、自在アーム４３に設けられた吸着部６５はその自在アーム４３内を延びた自在アーム内吸引路８２ｂと繋がっている。
【００２４】
このように、第１のベース部内吸引路８１ａと固定アーム内吸引路８１ｂはベース部４１に設けられた一方の開口４１ａを通じて取付け部２５に形成された一方の吸引ポート３２ｂに繋がる内部吸引路（第１の内部吸引路８１と称する）を形成しており、第２のベース部内吸引路８２ａと各自在アーム４３の自在アーム内吸引路８２ｂはベース部４１に設けられた他方の開口４１ａを通じて取付け部２５に形成された他方の吸引ポート３２ｂに繋がる内部吸引路（第２の内部吸引路８２と称する）を形成している。
【００２５】
すなわち本実施の形態において、ベース部４１は、取付け部２５に形成された吸引ポート３２ｂに接続される開口４１ａを有し、ベース部４１と自在アーム４３に、開口４１ａから吸着部（吸着部５４及び吸着部６３）と連通する内部吸引路（第１の内部吸引路８１及び第２の内部吸引路８２）が設けられたものとなっている。
【００２６】
図６において、各自在アーム４３内の自在アーム内吸引路８２ｂは第１軸部材６３内に設けられた第１軸部材内連通路８３及び第２軸部材６４内に設けられた第２軸部材内連通路８４を含んでいる（図７（ａ）及び図８も参照）。第１軸部材内連通路８３は、図７（ａ）に示すように、第１軸部材６３内を軸方向に延びた軸方向通路８３ａ、軸方向通路８３ａの下端と連通して軸方向と直交する方向に第１軸部材６３を貫通して延びた下部貫通路８３ｂ、軸方向通路８３ａの上端と連通して軸方向と直交する方向に第１軸部材６３を貫通して延びた上部貫通路８３ｃ及び上部貫通路８３ｃの両端開口と連通して第１軸部材６３の外表面に周回して形成された溝８３ｄから成る。軸方向通路８３ａは第１軸部材６３がベース部４１に対する所定の回転位置に位置されることによって下部貫通路８３ｂを介してベース部４１のアーム連結部５２内を延びた第２のベース部内吸引路８２ａと連通する一方、上部貫通路８３ｃ及び溝８３ｄを通じて第１リンク６１内を延びた自在アーム内吸引路８２ｂと連通している（図７（ａ）及び図７（ｂ））。
【００２７】
第２軸部材内連通路８４は、図８に示すように、第２軸部材６４内を軸方向に延びた軸方向通路８４ａ、軸方向通路８４ａの上端と連通して軸方向と直交する方向に第２軸部材６４を貫通して延びた上部貫通路８４ｂ、上部貫通路８４ｂの両端開口と連通して第２軸部材６４の外表面に周回して形成された上部溝８４ｃ、軸方向通路８４ａの下端と連通して軸方向と直交する方向に第２軸部材６４を貫通して延びた下部貫通路８４ｄ及び下部貫通路８４ｄの両端開口と連通して第２軸部材６４の外表面に周回して形成された下部溝８４ｅから成る。軸方向通路８４ａは上部貫通路８４ｂ及び上部溝８４ｃを通じて第１リンク６１内を延びた自在アーム内吸引路８２ｂと連通する一方、下部貫通路８４ｄ及び下部溝８４ｅを通じて第２リンク６２内を延びた自在アーム内吸引路８２ｂと連通している。
【００２８】
このように、ベース部４１内に形成された第２のベース部内吸引路８２ａと第１リンク６１内の自在アーム内吸引路８２ｂは第１軸部材内連通路８３によって接続され、第１リンク６１内の自在アーム内吸引路８２ｂと第２リンク６２内の自在アーム内吸引路８２ｂは第２軸部材内連通路８４によって接続されるが、図７（ｃ）に示すように、ベース部４１に対する第１軸部材６３の回転位置によっては、第２のベース部内吸引路８２ａと下部貫通路８３ｂとが連通せず、したがって第２のベース部内吸引路８２ａと自在アーム内吸引路８２ｂとは接続しない。このため、第１軸部材６３をベース部４１（詳細にはアーム連結部５２）に対して所定の回転位置に位置させることによって、第２の内部吸引路８２を遮断することが可能である。
【００２９】
作業者は、前述のようにしてベース部４１に第１リンク６１を固定し、第１リンク６１に第２リンク６２を固定することで、各自在アーム４３の端部に設けられた吸着部６５を一定の領域内で移動させて２つの吸着部６５を所望の配置にすることができる。圧着ツール２３の吸着開口２３ｄはフィルム状基板３の上面のうち外部接続用端子群３ａの直上の縁部分を吸着することになるので、吸着部５４と吸着部６５は、圧着ツール２３の吸着開口２３ｄが外部接続用端子群３ａの直上の縁部分を吸着し、それ以外の部分（縁部分から延びる部分）を吸着したときにバランスよくフィルム状基板３を吸着保持できるような配置に設定される。
【００３０】
ここで、吸着部６５によるフィルム状基板３の吸着を望まない自在アーム４３については、前述のように、第１軸部材６３をベース部４１に対して所定の回転位置に位置させることによって、第２の内部吸引路８２を遮断するようにする。また、吸着部５４からの吸着を望まない場合には、前述の空圧制御部７２から第１のベース部内吸引路８１ａを遮断するようにする。図９（ａ）及び図９（ｂ）は、吸着部５４と２つの吸着部６５によってフィルム状基板３を吸着保持する場合の例を示しており、図９（ｃ）は、吸着部５４による吸着を行わずに２つの吸着部６５によってフィルム状基板３を吸着保持する場合の例を示している。また、図９（ｄ）は、吸着部５４と一方の吸着部６５によってフィルム状基板３を吸着保持する場合の例を示している。このように本実施の形態におけるフィルム状基板保持ユニット２６では、吸着部（吸着部５４及び吸着部６３）を任意の位置に移動させてフィルム状基板３の形状に応じた配置とすることができる。
【００３１】
作業者は、上記のようにして吸着部（吸着部５４及び２つの吸着部６５）をフィルム状基板３の形状に応じた配置としたら、フィルム状基板保持ユニット２６を取付け部２５に取付ける。フィルム状基板保持ユニット２６を取付け部２５に取付けるときには、作業者は、前述のように、ベース部４１の当接部５１の左右両端部に設けられた一対の切欠き部５５を取付け部２５の垂直部３２の背面３２Ｒから後方に延びて設けられた一対の位置合せピン３３を挿通させることによってフィルム状基板保持ユニット２６の取付け部２５に対する位置決めを行うことができる。このとき一対の位置合せピン３３は、取付け部２５にフィルム状基板保持ユニット２６のベース部４１が取付けられる際にベース部４１を取付け部２５の側に案内するガイド部として機能するので、作業者はフィルム状基板保持ユニット２６の取付け部２５への取付けを大変容易に行うことができる。また、作業者は手探りでフィルム状基板保持ユニット２６を取付け部２５に取付けることもできるので、圧着ヘッド１３の背面側に回り込むことなく、圧着ヘッド１３の正面側から、フィルム状基板保持ユニット２６の取付け部２５への取付けを行うことが可能である。
【００３２】
このように本実施の形態において、フィルム状基板保持ユニット２６は、フィルム状基板３の形状に応じた位置に配置された複数の吸着部（吸着部５４及び吸着部６５）を備え、圧着ヘッド１３に着脱自在に取付けられる構成となっている。圧着ヘッド１３には取付け部２５が設けられており、フィルム状基板保持ユニット２６は、取付け部２５に着脱自在に取付けられるベース部４１及びベース部４１に設けられて先端に吸着部６５を有した複数（ここでは２つ）の自在アーム４３を備えたものとなっている。そして、取付け部２５は、ベース部４１が取付けられる際にベース部４１を案内するガイド部としての一対の位置合せピン３３を備えたものとなっている。
【００３３】
圧着ツール２３の昇降動作は圧着ツール昇降機構２２の作動によって行うことができ、取付け部２５の（すなわちフィルム状基板保持ユニット２６の）昇降動作は取付け部昇降手段としての取付け部昇降シリンダ２４の作動によって行うことができるが、取付け部昇降シリンダ２４は圧着ツール２３の昇降に伴って昇降するので、フィルム状基板保持ユニット２６の昇降動作は、圧着ツール昇降機構２２による圧着ツール２３の昇降動作と取付け部昇降シリンダ２４による取付け部２５の昇降の組合せによって行われることになる。
【００３４】
図１０において、基板保持ステージ移動機構１１Ｍによる基板保持ステージ１１の移動制御、中継ステージ移動機構１２Ｍによる中継ステージ１２の移動制御、ヘッド移動機構１３Ｍによる圧着ヘッド１３の移動制御、圧着ツール昇降機構２２による圧着ツール２３の昇降制御、取付け部昇降シリンダ２４による圧着ツール２３に対するフィルム状基板保持ユニット２６の昇降制御、空圧制御部７２による圧着ツール２３の吸着開口２３ｄ及びフィルム状基板保持ユニット２６の吸着部（吸着部５４及び吸着部６５）への真空圧の供給制御及びカメラ１５による撮像動作制御はボンディング装置１が備える制御装置９０によってなされる。また、カメラ１５の撮像動作によって得られた画像データは制御装置９０に送られ、制御装置９０の画像認識部９０ａにおいて画像認識がなされる。
【００３５】
既に基板保持ステージ１１によって基板２が保持され、中継ステージ１２にフィルム状基板３が載置されている状態から基板２にフィルム状基板３を圧着する場合には、制御装置９０は先ず、ヘッド移動機構１３Ｍの作動制御を行って圧着ヘッド１３を移動させ、圧着ツール２３の吸着開口２３ｄ及びフィルム状基板保持ユニット２６の吸着部（吸着部５４及び吸着部６５）がそれぞれ中継ステージ１２に載置されたフィルム状基板３に対する目標吸着位置の上方に位置するようにする（図１１（ａ））。そして取付け部昇降シリンダ２４を作動させ、フィルム状基板保持ユニット２６を下降させて（図１１（ｂ）中に示す矢印Ａ）、フィルム状基板保持ユニット２６の吸着部（吸着部５４及び吸着部６５）をフィルム状基板３の上面に接触させる。そして、空圧制御部７２の制御を行い、フィルム状基板３を吸着する（図１１（ｂ））。
【００３６】
制御装置９０はフィルム状基板３を吸着したら、取付け部昇降シリンダ２４を作動させてフィルム状基板保持ユニット２６を上昇させ、圧着ツール２３の（詳細にはツール本体２３ｂの）下端にフィルム状基板３を接触させる。そして、空圧制御部７２の制御を行って、圧着ツール２３の吸着開口２３ｄにおいてフィルム状基板３の上面の外部接続用端子群３ａの直上の縁部分を吸着する。これによりフィルム状基板３がフィルム状基板保持ユニット２６及び圧着ツール２３によって吸着保持されたら、ヘッド移動機構１３Ｍの作動制御を行って圧着ヘッド１３を移動させ、吸着したフィルム状基板３の下面の外部接続用端子群３ａをカメラ１５の上方に位置させた状態で、カメラ１５による外部接続用端子群３ａの撮像を行う（図１２（ａ））。制御装置９０はカメラ１５の撮像によって得られた画像データの画像認識を行って外部接続用端子群３ａの位置を把握したら、圧着ヘッド１３を移動させて、フィルム状基板３の外部接続用端子群３ａを基板２のフィルム状基板被圧着部２ａの上方に位置させる。そして、圧着ツール昇降機構２２を作動させて圧着ツール２３を下降させ（図１２（ｂ）中に示す矢印Ｂ。フィルム状基板保持ユニット２６は圧着ツール２３と一体に下降する）、フィルム状基板３の外部接続用端子群３ａを基板２のフィルム状基板被圧着部２ａに押付ける。これによりフィルム状基板３が基板２に圧着される（図１２（ｂ））。
【００３７】
以上説明したように、本実施の形態におけるボンディング装置１において、フィルム状基板３を保持するフィルム状基板保持ユニット２６では、フィルム状基板保持ユニット２６が備える複数のアームのうち少なくともひとつ（２つの自在アーム４３）はベース部４１に対して回動自在であるとともに屈曲自在となっており、その自在アーム４３の吸着部（吸着部６５）を任意の位置に移動させて複数の吸着部（吸着部５４及び吸着部６５）の位置をフィルム状基板３の形状に応じた配置とすることができる。このため、基板２に圧着する対象のフィルム状基板３の形状が変わった場合でも同じフィルム状基板保持ユニット２６を使用することができる。なお、本実施の形態では固定アーム４２がひとつで自在アーム４３が２つであったが、固定アーム４２が少なくともひとつある場合には自在アーム４３が少なくともひとつあればよく、固定アーム４２がない場合には自在アーム４３が少なくとも２つあればよい。
【００３８】
なお、上述の実施の形態では、フィルム状基板保持ユニット２６のベース部４１は（すなわちフィルム状基板保持ユニット２６は）圧着ヘッド１３によって昇降される部材（具体的には取付け部２５）に着脱自在に取付けられるようになっていたが、フィルム状基板保持ユニット２６は圧着ヘッド１３に取付けられるのであれば必ずしも圧着ヘッド１３によって昇降される部材に取付けられていなくてもよい。また、上述の実施の形態では、フィルム状基板保持ユニット２６は圧着ヘッド１３（具体的には取付け部２５）に着脱自在な構成となっていたが、これは必須ではなく、圧着ヘッド１３に対して固定されていているのであってもよい。しかし、フィルム状基板保持ユニット２６が圧着ヘッド１３に着脱自在に取付けできるようになっているのであれば、基板２に圧着する対象のフィルム状基板３の形状が変わった場合であっても、圧着ヘッド１３に変更後のフィルム状基板３の形状に対応したフィルム状基板保持ユニット２６を取付けるだけで簡単かつ迅速に対応することができるので好ましい。
【産業上の利用可能性】
【００３９】
様々な形状のフィルム状基板に対応できるフィルム状基板保持ユニットを提供する。
【符号の説明】
【００４０】
１  ボンディング装置
２  基板
３  フィルム状基板
３ａ  外部接続用端子群
１３  圧着ヘッド
２５  取付け部
２６  フィルム状基板保持ユニット
３２ｂ  吸引ポート
４１  ベース部
４１ａ  開口（吸引開口）
４２  固定アーム（アーム）
４３  自在アーム（アーム）
５４  吸着部
６５  吸着部
６３  第１軸部材（軸部材）
６４  第２軸部材（関節部）
８１  第１の内部吸引路（内部吸引路）
８２  第２の内部吸引路（内部吸引路）
【図１】
2014175562.tif 000003
【図２】
2014175562.tif 000004
【図３】
2014175562.tif 000005
【図４】
2014175562.tif 000006
【図５】
2014175562.tif 000007
【図６】
2014175562.tif 000008
【図７】
2014175562.tif 000009
【図８】
2014175562.tif 000010
【図９】
2014175562.tif 000011
【図１０】
2014175562.tif 000012
【図１１】
2014175562.tif 000013
【図１２】
2014175562.tif 000014