(57)【要約】【課題】成膜時には基板のボートへの電気的な接地を安定させて成膜を安定させ、基板移載時には基板の移載を容易にすることができる太陽電池基板保持装置。【解決手段】縦型ボート２１と、縦型ボート２１に移載される基板１００と、縦型ボート２１に取り付けられ且つ基板１００を保持する板金ピン３１とを備え、板金ピン３１は、基板成膜時には基板１００と当該ピン３１との保持部クリアランスを小さくし基板移載時には基板と当該ピンとの保持部クリアランスを大きくするように変化する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
縦型ボートと、
前記縦型ボートに移載される基板と、
前記縦型ボートに取り付けられ且つ前記基板を保持するピンとを備え、
前記ピンは、基板成膜時には前記基板と当該ピンとの保持部クリアランスを小さくし前記基板移載時には前記基板と当該ピンとの保持部クリアランスを大きくするように変化することを特徴とする太陽電池基板保持装置。
【請求項２】
前記ピンは、ＳＵＳ製板金ピンからなり、穴部が形成された長手部材とこの長手部材に連結された突起部とからなり、前記穴部を通して前記ピンが前記縦型ボートに取り付けられ、
前記長手部材は、基板成膜時には前記基板と当該ピンとの保持部クリアランスを小さくし前記基板移載時には前記基板と当該ピンとの保持部クリアランスを大きくするように変化することを特徴とする請求項１記載の太陽電池基板保持装置。
【請求項３】
前記ピンは、温度の変化によって前記保持部クリアランスを変化させるバイメタルピンからなることを特徴とする請求項１記載の太陽電池基板保持装置。
【請求項４】
前記バイメタルピンは、穴部が形成された長手部材とこの長手部材に連結された突起部とからなり、前記穴部を通して前記ピンが前記縦型ボートに取り付けられ、
前記突起部は、基板成膜時には前記基板と当該ピンとの保持部クリアランスを小さくし前記基板移載時には前記基板と当該ピンとの保持部クリアランスを大きくするように変化することを特徴とする請求項３記載の太陽電池基板保持装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、縦型の基板保持方法を採用する太陽電池反射防止膜成膜装置向けの太陽電池基板保持装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
太陽電池は基板サイズが１２５ｍｍ〜１５６ｍｍ程度と小さく、また、１枚の基板当たりにかけられるコストが小さいために単位時間当たりの処理基板枚数を多くする必要がある。このため、太陽電池用の成膜装置ではバッチ式が用いられる。
【０００３】
バッチ式では、複数の基板を同時に成膜処理室に搬送するために、基板が基板移載装置に移載される。基板移載装置には、水平な板に基板を水平に並べるカートタイプや、基板を垂直に複数並べるボートタイプなどがある。処理効率を向上させるために、ボートタイプのサンプルホルダを用いて同時に処理できる基板の数を増やすことが有効であるため、ボートタイプのサンプルホルダに搭載する基板移載方法が提案されている（特許文献１参照。）。
【０００４】
例えば、図６に示すように、縦型ボート（サンプルホルダ）２１０には円筒状のカーボンピン３００が取り付けられており、シリコン基板（ウェハ）１００はカーボンピン３００により横方向のずれが抑制されて縦型ボート２１０に保持されている。
【０００５】
また、図７に示すように、縦型ボート２１０には突起部３１１を有するＳＵＳ板金ピン３１０が穴部３１２を介して取り付けられており、基板１００はＳＵＳ板金ピン３１０により横方向のずれが抑制されて縦型ボート２１０に保持されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平１１−１２１５８７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、成膜された基板１００を縦型ボート２１０に移載時（基板低温時）には、基板１００をカーボンピン３００又はＳＵＳ板金ピン３１０に保持するために、基板保持部クリアランスを大きくしたいが、基板保持部クリアランスを大きくすると、成膜時（基板高温時）には基板１００のボートへの電気的な接地が不安定になり、基板１００の成膜の品質が悪化するという課題を有していた。
【０００８】
本発明の課題は、成膜時には基板のボートへの電気的な接地を安定させて成膜を安定させ、基板移載時には基板の移載を容易にすることができる太陽電池基板保持装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に係る太陽電池基板保持装置は、上記課題を解決するために、縦型ボートと、前記縦型ボートに移載される基板と、前記縦型ボートに取り付けられ且つ前記基板を保持するピンとを備え、前記ピンは、基板成膜時には前記基板と当該ピンとの保持部クリアランスを小さくし前記基板移載時には前記基板と当該ピンとの保持部クリアランスを大きくするように変化することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、基板成膜時には基板保持部クリアランスを小さくし、基板移載時には基板保持部クリアランスを大きくすることができるので、成膜時には基板のボートへの電気的な接地を安定させて成膜を安定させ、基板移載時には基板の移載を容易にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の太陽電池基板保持装置を備える基板移載装置の構成を示す図である。
【図２】図１に示す基板移載装置により複数の基板が縦型ボートに移載される状態を示す図である。
【図３】実施例１の太陽電池基板保持装置の構成を示す図である。
【図４】実施例２の太陽電池基板保持装置の構成を示す図である。
【図５】実施例３の太陽電池基板保持装置の構成を示す図である。
【図６】従来のカーボンピンにより縦型ボートに保持されるシリコン基板を示す図である。
【図７】従来のＳＵＳ板金ピンにより縦型ボートに保持されるシリコン基板を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の太陽電池基板保持装置の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【実施例１】
【００１３】
本発明の実施例１に係る太陽電池基板保持装置を備えた基板移載装置は、図１に示すように、基板１００を搭載するための搭載面２１０を有する縦型ボート２１と、複数の矩形の基板１００を搭載面２１０に同時に搭載する基板搭載装置１０とを備える。基板搭載装置１０は、基板移動機構１１、基板回転機構１３、及び基板保持機構１５を有する。
【００１４】
基板保持機構１５は、吸着部１５１とアーム部１５２を有し、複数の基板１００を保持する。吸着部１５１は、基板１００の主面に接触して基板１００を例えば真空吸着によって保持する。基板１００は、太陽電池用のシリコン基板からなる。
【００１５】
アーム部１５２は、吸着部１５１の略中央上部側に配置され、吸着部１５１に取り付けられている。吸着部１５１の下側には基板１００が配置され、基板１００の下側には縦型ボート２１が配置されている。
【００１６】
基板移動機構１１は、基板保持機構１５により保持された複数の基板１００を、基板１００の主面が搭載面２１０と対向するように搭載面２１０上に移動する。基板回転機構１３は、１つの回転軸を中心にして搭載面２１０に沿って複数の基板１００を同時に回転させる。
【００１７】
図１は、複数の基板１００が縦型ボート２１に移載され且つ３つのピンＰ１〜Ｐ３により縦型ボート２１に保持された状態を示している。図２は、基板移載装置により複数の基板１００が縦型ボート２１に移載される状態を示している。
【００１８】
図３は、実施例１の太陽電池基板保持装置であるピンＰ１〜Ｐ３の構成を示す図である。板金ピンＰ１〜Ｐ３は、ＳＵＳ製板金からなり、長手部材３１とこの長手部材３１に連結された突起部３２とからなる。長手部材３１は、長方形をなし、長手部材３１には２つの穴部３３ａ，３３ｂが形成され、この穴部３３ａ，３３ｂを通して図示しないネジにより板金ピンＰ１〜Ｐ３が縦型ボート２１に取り付けられている。
【００１９】
長手部材３２は、低温時、即ち移載時には一点鎖線で示すように短縮するようになり、高温時、即ち成膜時には実線で示すように伸長する。このように、温度変化に伴って、基板保持部クリアランスが変化している。
【００２０】
このため、成膜時には、基板１００と板金ピンＰ１との距離が小さくなる。即ち、基板保持部クリアランスを小さくすることができるので、シリコン基板１００のボートへの電気的な接地が安定になり、シリコン基板１００の成膜の品質が良くなる。
【００２１】
また、基板移載時には、基板１００と板金ピンＰ１との距離が大きくなる。即ち、基板保持部クリアランスを大きくすることができるので、基板１００を移載し易くなる。
【００２２】
図３に示す実施例１では、長手部材３１の左端から穴部３３ａの中心までの距離が、図７に示す従来の板金ピン３１０の左端から穴部３１２の中心までの距離の約５〜６倍としたが、これに限定されるものではなく、上記機能を実現できるものであれば良い。
【実施例２】
【００２３】
図４は、実施例２の太陽電池基板保持装置の構成を示す図である。実施例２の太陽電池基板保持装置は、ピンが、温度の変化によって保持部クリアランスを変化させるバイメタルピン４１からなることを特徴とする。
【００２４】
バイメタルピン４１は、穴部４３，４４が形成された長手部材４１とこの長手部材４１に連結された突起部４２とからなる。穴部４３，４４を通して図示しないネジによりバイメタルピン４１が縦型ボート２１に取り付けられるようになっている。
【００２５】
突起部４２は、基板成膜時には基板１００とバイメタルピン４１との保持部クリアランスを小さくし、基板移載時には基板１００とバイメタルピン４１との保持部クリアランスを大きくするように変化するようになっている。
【００２６】
以上の構成によれば、基板成膜時、即ち高温時には図４（ｂ）に示すように、バイメタルピン４１が時計方向に伸長するので、図４（ｃ）の実線で示すように、基板１００とバイメタルピン４１の突起部４２との保持部クリアランスを小さくできる。このため、シリコン基板１００のボートへの電気的な接地が安定になり、シリコン基板１００の成膜の品質が良くなる。
【００２７】
また、基板移載時、即ち低温時には図４（ｂ）に示すように、バイメタルピン４１が反時計方向に短縮するので、図４（ｃ）の点線で示すように、基板１００とバイメタルピン４１との保持部クリアランスを大きくすることができる。このため、基板１００を移載し易くなる。
【実施例３】
【００２８】
図５は、実施例３の太陽電池基板保持装置の構成を示す図である。実施例３の太陽電池基板保持装置は、バイメタルピン５１の形状が図４に示すバイメタルピン４１の形状とは異なる。バイメタルピン５１は、２つの穴部５２，５３が形成されるとともに、略中央部に２つの溝部５５と２つの溝部５５の間に設けられた突起部５４とを有している。
【００２９】
２つの穴部５２，５３を通して図示しないネジによりバイメタルピン５１が縦型ボート２１に取り付けられている。
【００３０】
突起部５４は、基板成膜時には基板１００とバイメタルピン５１との保持部クリアランスを小さくし、基板移載時には基板１００とバイメタルピン５１との保持部クリアランスを大きくするように変化するようになっている。
【００３１】
以上の構成によれば、基板成膜時、即ち高温時には図５の実線で示すように、基板１００とバイメタルピン５１の突起部５４との保持部クリアランスを小さくできる。このため、シリコン基板１００のボートへの電気的な接地が安定になり、シリコン基板１００の成膜の品質が良くなる。
【００３２】
また、基板移載時、即ち低温時には図５の点線で示すように、基板１００とバイメタルピン５１の突起部５４との保持部クリアランスを大きくすることができる。このため、基板１００を移載し易くなる。
【産業上の利用可能性】
【００３３】
本発明は、太陽電池用の結晶シリコン基板を保持する太陽電池基板保持装置に利用可能である。
【符号の説明】
【００３４】
Ｐ１〜Ｐ３‥板金ピン、１０‥基板搭載装置、１１‥基板移動機構、１３‥基板回転機構、１５‥基板保持機構、２１‥縦型ボート、３１‥板金ピン、３２‥突起部、３３ａ，３３ｂ‥穴部、４１‥バイメタルピン、４２‥突起部、４３，４４‥穴部、５１‥バイメタルピン、５２，５３‥穴部、５４‥突起部、１００‥基板、１２１‥搭載面、１５１‥吸着部、１５２‥アーム部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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