(57)【要約】      （修正有）【課題】ウエハースクライビングラインのテスト方法及びそのテストジグを提供する。【解決手段】テスト方法は以下のステップを含み、被テストウエハーを提供し、光透過キャリア50を結合し、各スクライビングライン12にテストを行い、先ず、複数のダイ11を備える被テストウエハーを提供し、ダイ11間にはスクライビングライン12を形成し、被テストウエハーの下表面13にはウエハーダイシングテープ20を接着し、ウエハーダイシングテープ20を第一液体媒介40を設置する光透過キャリア50に接着し、第一液体媒介40と密着させ、第一液体媒介40の屈折率とウエハーダイシングテープ20の屈折率との差は0.3を超過せず、最後に光学テスト器のテストレンズを被テストウエハーの下表面13から光透過キャリア50テストを通してスクライビングライン12に合わせる。【選択図】図６
2014120766.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウエハースクライビングラインのテスト方法は、以下のステップを含み、
被テストウエハーを提供し、該被テストウエハーは、複数のダイを備え、該各２個の該ダイ間には、スクライビングラインを形成し、しかも該被テストウエハーの下表面には、ウエハーダイシングテープを接着し、
光透過キャリアを結合し、該光透過キャリア上に、第一液体媒介を設置し、しかも該ウエハーダイシングテープを、該光透過キャリア上に設置し、該第一液体媒介と密着させ、該第一液体媒介の屈折率と該ウエハーダイシングテープの屈折率との差は、0.3を超過せず、
該スクライビングラインテストを行い、光学テスト器のテストレンズを、該下表面から、該光透過キャリアを通して、該スクライビングラインにフォーカスさせ、テストを行うことを特徴とするウエハースクライビングラインのテスト方法。
【請求項２】
該第一液体媒介は、水、グリセリン或いはエタノールであることを特徴とする請求項１に記載のウエハースクライビングラインのテスト方法。
【請求項３】
該光透過キャリアと該テストレンズとの間には、空気媒介が存在することを特徴とする請求項１に記載のウエハースクライビングラインのテスト方法。
【請求項４】
該ウエハースクライビングラインのテスト方法はさらに、第二液体媒介を結合するステップを含み、
該光透過キャリアと該テストレンズとの間に、第二液体媒介を設置することを特徴とする請求項１に記載のウエハースクライビングラインのテスト方法。
【請求項５】
該第二液体媒介は、水、グリセリン或いはエタノールであることを特徴とする請求項４に記載のウエハースクライビングラインのテスト方法。
【請求項６】
該光透過キャリアは、ガラスであることを特徴とする請求項１に記載のウエハースクライビングラインのテスト方法。
【請求項７】
該光学テスト器が受け取るテスト光線は、可視光線、或いは赤外線であることを特徴とする請求項１に記載のウエハースクライビングラインのテスト方法。
【請求項８】
ウエハースクライビングラインのテストジグは、ウエハーダイシングテープ、光透過キャリアを備え、
該ウエハーダイシングテープを、被テストウエハーの下表面に接着し、
該光透過キャリアは、第一液体媒介を設置し、該第一液体媒介と該ウエハーダイシングテープとは相互に密着し、
該第一液体媒介の屈折率と該ウエハーダイシングテープの屈折率との差は、0.3を超過しないことを特徴とするウエハースクライビングラインのテストジグ。
【請求項９】
該ウエハースクライビングラインのテストジグはさらに、一組のクリップ部品を備え、
該ウエハーダイシングテープの両端を挟持して固定することを特徴とする請求項８に記載のウエハースクライビングラインのテストジグ。
【請求項１０】
該第一液体媒介は、水、グリセリン或いはエタノールであることを特徴とする請求項８に記載のウエハースクライビングラインのテストジグ。
【請求項１１】
該光透過キャリアは、ガラスであることを特徴とする請求項８に記載のウエハースクライビングラインのテストジグ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はウエハーのテスト方法及びそのテストジグに関し、特にウエハースクライビングラインのテスト方法及びそのテストジグに関する。
【背景技術】
【０００２】
図１は従来の被テストウエハーの模式図である。
図１に示すように、ICパッケージプロセスにおいては、先ず加工が完成した被テストウエハー10背面に、ウエハーダイシングテープ(Dicing Tape)20を貼り、次にテストウエハー10をダイシングするステップを、ウエハーダイシング(Wafer Dicing)と呼称する。
【０００３】
もし、ウエハーダイシングのプロセスで、ダイ11が損傷し、しかも損傷したダイ11が、即時に検出されず、後続プロセスで使用されれば、不良品を生産してしまう。
すなわち、不良のダイ11が検出されなければ、後続プロセス中で、多くの貴重な時間及び材料を浪費することになる。
そのため、ウエハーダイシング後に、被テストウエハー10に対してテストを行い、損傷したダイ11を早期に発見できれば、損傷したダイ11に対する後続プロセスを回避することができる。
【０００４】
図２は、従来のスクライビングラインの断面図である。
図１、２に示すように、一般には、ウエハーダイシングで生じるダイ11損傷は、スクライビングライン12付近で発生することが多い。
これにより、スクライビングライン表面は、デコボコ状態を形成してしまう。
通常、スクライビングライン12付近のダイ11辺縁上方の損傷は、上表面損傷111と呼ばれ、スクライビングライン12付近のダイ11辺縁下方の損傷は、下表面損傷112と呼ばれる。
スクライビングライン12の上表面損傷111のテストであろうと、スクライビングライン12の下表面損傷112のテストであろうと、同様に重要な課題を有している。
それは、ウエハー10下方に位置するウエハーダイシングテープ20が、下表面損傷112のテストを大きく妨げるということである。
【０００５】
図３は、従来の下表面損傷のテストの模式図である。
図３に示すように、光線は常に、その散乱エネルギー分布方向(エリアA参照)の通り道に従い進行する。
下表面損傷のテストを行う際に、もし真実の下表面イメージを得ようとするなら、テストの光線は、理想的なイメージ光線通り道Lに沿って進行するはずである。
しかし、ウエハーダイシングテープ20の表面は、光学的に理想的なスムース面ではないため、ウエハーダイシングテープ20表面インターフェースは、光線の極化能力は、光線の媒介表面における極化散乱エネルギー分布に影響を及ぼす。
これにより、光線は、散乱作用により、屈折インターフェースにおいて、エネルギー分布方向の改変を生じる。
こうして、光線は光通り道L’方向に沿った分布に変わり、最後に得られたテストイメージは歪められ、下表面損傷112が存在するか否かの判断に用いることはできない。
そのため、下表面損傷112が存在するか否かを正確にテストすることができるウエハースクライビングラインテスト方法及びその設備が求められている。
本発明は、従来のウエハースクライビングラインのテスト方法及びそのテストジグの上記した欠点に鑑みてなされたものである。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明が解決しようとする課題は、被テストウエハーを提供し、光透過キャリアを結合し、該スクライビングラインテストを行うテスト方法により、ウエハースクライビングラインのイメージ解析度を向上させ、ウエハースクライビングラインの下表面損傷のテストに有利とするウエハースクライビングラインのテスト方法及びそのテストジグを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するため、本発明は下記のウエハースクライビングラインのテスト方法及びそのテストジグを提供する。
ウエハースクライビングラインのテスト方法は、以下のステップを含み、
被テストウエハーを提供し、該被テストウエハーは、複数のダイを備え、該各２個のダイ間には、スクライビングラインを形成し、しかも該被テストウエハーの下表面には、ウエハーダイシングテープを接着し、
光透過キャリアを結合し、該光透過キャリア上には、第一液体媒介を設置し、しかも該ウエハーダイシングテープは、該光透過キャリア上に設置し、該第一液体媒介と密着させ、該第一液体媒介の屈折率と該ウエハーダイシングテープの屈折率との差は、0.3を超過せず、
該スクライビングラインテストを行い、光学テスト器のテストレンズを、下表面から光透過キャリアを通して、スクライビングラインにフォーカスし、テストを行い、
ウエハースクライビングラインのテストジグは、ウエハーダイシングテープ、光透過キャリアを備え、
該ウエハーダイシングテープを、被テストウエハーの下表面に接着し、
該光透過キャリアは、第一液体媒介を設置し、これにより該第一液体媒介と該ウエハーダイシングテープは相互に密着し、
該第一液体媒介の屈折率と該ウエハーダイシングテープの屈折率との差は、0.3を超過しない。
【発明の効果】
【０００８】
本発明のウエハースクライビングラインのテスト方法及びそのテストジグは、以下の効果を備える。
1. ウエハースクライビングラインのイメージ解析度を高めることができ、スクライビングラインの下表面損傷のテストに有利とする。
2. 容易に取得でき、しかも安価な材料を使用し、ウエハースクライビングラインのテストを改善でき、テストのコストを引き下げることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】従来の被テストウエハーの模式図である。
【図２】従来のスクライビングラインの断面図である。
【図３】従来の下表面損傷のテストの模式図である。
【図４】本発明実施例のウエハースクライビングラインのテスト方法フローチャートである。
【図５】本発明実施例の被テストウエハーの断面図である。
【図６】本発明実施例のテストの模式図である。
【図７】本発明実施例の別種のテストの模式図である。
【図８】本発明実施例のテストジグの断面図である。
【図９】本発明実施例の別種のテストジグの断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下に図面を参照しながら本発明を実施するための最良の形態について詳細に説明する。
【実施例】
【００１１】
図４は、本発明実施例のウエハースクライビングラインのテスト方法フローチャートである。
図５は、本発明実施例の被テストウエハーの断面図である。
図６は、本発明実施例のテストの模式図である。
図７は、本発明実施例の別種のテストの模式図である。
図８は、本発明実施例のテストジグの断面図である。
図９は、本発明実施例の別種のテストジグの断面図である。
【００１２】
図４に示すように、本発明実施例のウエハースクライビングラインのテスト方法S100は、以下のステップを含む。
【００１３】
被テストウエハーを提供し(ステップS10)、光透過キャリアを結合し(ステップS20)、該スクライビングラインテストを行う(ステップS40)。
【００１４】
図５に示すように、被テストウエハーを提供する(ステップS10)。
該被テストウエハー10は、複数のダイ11を備える。
該各２個のダイ11間には、スクライビングライン12を形成する。
【００１５】
同時に、ウエハーダイシングを行う際に、該被テストウエハー10を固定するため、被テストウエハー10の下表面13に、ウエハーダイシングテープ20を接着する。
【００１６】
これにより、ダイシング後のダイ11は、該ウエハーダイシングテープ20上において配列を形成する。
【００１７】
該ウエハーダイシングテープ20は、ブルーテープ(Blue Tape)。
【００１８】
図６に示すように、光透過キャリアを結合(ステップS20)し、該光透過キャリア50上に、第一液体媒介40を設置する。
【００１９】
該ウエハーダイシングテープ20を、該光透過キャリア50上に設置すると、該光透過キャリア50上には、該第一液体媒介40を設置するため、該第一液体媒介40の表面付着力により、該ウエハーダイシングテープ20と該第一液体媒介40は、完全に密着する。
【００２０】
該光透過キャリア50及び該第一液体媒介40を未設置の時には、テスト光線は、空気媒介61から該ウエハーダイシングテープ20へと直接入射し、該ウエハーダイシングテープ20は、光線の極化能力に対して、光線の媒介表面における極化散乱エネルギー分布に影響を及ぼし、該ウエハーダイシングテープ20を経て反射された光線は散乱され、理想的なイメージ光線通り道Lから離れ、テストイメージは歪められる。
【００２１】
そのため、もし該媒介インターフェースの相対屈折率を変え、該ウエハーダイシングテープ20表面の光線に対する極化散乱能力を低下させられれば、極化散乱エネルギー分布に影響を及ぼし、もともと散乱され、理想的なイメージ光線通り道Lから離れていた光線を調整し、理想的なイメージ光線通り道Lに近く進行させ、テストイメージの解析度を改善することができる。
【００２２】
光線の媒介間の散乱現象と媒介対光線の極化能力とんは、関連がある。
【００２３】
もし、光線伝達を、電磁波として処理でき、電場により光線極化行為を表現すれば、電場極化能力(Electronic Polarizability)は、極化能力テンソル
2014120766.tif 000003
により表される。
2014120766.tif 000004
【００２４】
上記の極化能力テンソル
2014120766.tif 000005
と媒介インターフェースの相対屈折率とは関連がある。
簡略化した表記方式ではρＡ(光)により表される。
2014120766.tif 000006
【００２５】
その内、ｎは媒介インターフェースの相対屈折率を示す、λは光線の波長を示し、ｄｎ／ｄｃは単位体積(ｄｃ)の屈折率変化(ｄｎ)を示す。
【００２６】
2014120766.tif 000007
であれば、媒介インターフェースの光線に対する極化能力は
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で、ウエハーダイシングテープ20の干渉を減らすことができ、該スクライビングライン12下表面13のテストイメージを明晰に取得することができる。
【００２７】
そのため、該下表面13から該テストレンズ31までの間の光の通り道で経由する媒介インターフェースにおいて、媒介屈折率パラメーターを調整して一致に近づけることができれば、該ウエハーダイシングテープ20の光線に対する極化散乱能力を低下させ、より明晰なテストイメージを得ることができる。
【００２８】
よって、媒介屈折率パラメーターを一致に近づけるため、第一液体媒介40は、その屈折率と、該ウエハーダイシングテープ20の屈折率との差が、0.3を超過しない材料を選択する必要がある。
【００２９】
該スクライビングラインテスト (ステップS40)を行い、光学テスト器30のテストレンズ31を、該下表面13から、光透過キャリア50を通して、該スクライビングライン12にフォーカスしテストを行う。
【００３０】
該光学テスト器30が受け取るテスト光線は、可視光線、或いは赤外線である。
【００３１】
該ウエハーダイシングテープ20の屈折率ｎは約1.544であるため、該第一液体媒介40は、水、グリセリン或いはエタノールを選択でき、水の屈折率ｎは約1.333で、グリセリンの屈折率ｎは約1.473で、エタノールの屈折率ｎは約1.36である。
【００３２】
該光透過キャリア50は、ガラスで、その屈折率ｎは約1.52である。
【００３３】
媒介屈折率パラメーターを一致に近づけたことで、テスト光線は、該ウエハーダイシングテープ20により反射された後、該第一液体媒介40及び該光透過キャリア50を通過する時、光線は、光通り道L’’に沿って進行するが、理想的なイメージ光線通り道Lに非常に近い。
【００３４】
光通り道L’’と理想的なイメージ光線通り道Lとの間に、なおいくらから差があるのは、光透過キャリア50とテストレンズ31との間に、空気媒介61があるからである。
【００３５】
空気媒介61の屈折率ｎは約1であるため、テスト光線の光通り道L’’は、光透過キャリア50と空気媒介61のインターフェースにおいて、いくらから屈折する。
【００３６】
しかし、理想的なイメージ光線通り道Lと光通り道L’’との差はほとんど無いといってよく、本発明実施例のテスト方法S100は、既に従来のテスト方法に比べ、解析度がより高いスクライビングライン12の下表面イメージを得ることができる。
【００３７】
図４、７に示すように、上記した現象を改善するため、テスト方法S100はさらに、ステップS40を行う前に、第二液体媒介を結合するステップ(ステップS30)を含み、これによりイメージ解析度をさらに向上させる。
【００３８】
ステップS30では、該光透過キャリア50と該テストレンズ31との間に、第二液体媒介60を加える。
【００３９】
該第二液体媒介は、水、グリセリン或いはエタノールである。
【００４０】
該第二液体媒介60を加えることで、前記した空気媒介61が引き起こす光通り道の屈折を改善することができ、これにより該ウエハーダイシングテープ20、該第一液体媒介40、該光透過キャリア50、該第二液体媒介60の媒介屈折率パラメーターを一致に近づけることができる。
【００４１】
これにより、テスト光線は、ウエハーダイシングテープ20により反射された後、第一液体媒介40、光透過キャリア50、第二液体媒介60を通過する時、光線のエネルギー分布方向は、散乱作用により変化することはなく、光線はおおよそ理想的なイメージ光線通り道Lに沿って進行する(光通り道L’’’)。
【００４２】
これにより、光学テスト器30は、充分明晰なテストイメージを得ることができ、こうしてスクライビングライン12に下表面損傷112がないかどうかを判断するための依拠を提供することができる。
【００４３】
図８に示すように、本発明の別種の実施例は、ウエハースクライビングラインのテストジグ70、ウエハーダイシングテープ20、光透過キャリア50を備える。
【００４４】
該テストジグ70は、該スクライビングライン12のテストに応用し、イメージ解析度を向上させることができる。
【００４５】
該ウエハーダイシングテープ20は、被テストウエハー10の下表面13に接着し、該被テストウエハー10は、複数のダイ11を備える。
【００４６】
しかも、該各２個のダイ11間には、スクライビングライン12を形成する。
【００４７】
該光透過キャリア50には、第一液体媒介40を設置し、該ウエハーダイシングテープ20を、該光透過キャリア50上に設置すると、該光透過キャリア50上には、該第一液体媒介40を設置するため、該第一液体媒介40の表面付着力により、該ウエハーダイシングテープ20と該第一液体媒介40は、完全に密着する。
【００４８】
媒介屈折率パラメーターを一致に近づける時、該ウエハーダイシングテープ20表面散乱干渉を比較的受けないテストイメージを得るため、該第一液体媒介40は、その屈折率と、該ウエハーダイシングテープ20の屈折率との差が、0.3を超過しない材料を選択する必要がある。
【００４９】
該第一液体媒介40は、水、グリセリン或いはエタノールで、該光透過キャリア50は、ガラスで、その屈折率ｎは約1.52で、該ウエハーダイシングテープ20の屈折率(1.544)と非常に近い。
【００５０】
よって、テスト光線は、該ウエハーダイシングテープ20により反射された後、該第一液体媒介40及び該光透過キャリア50を通過する時、おおよそ理想的なイメージ光線通り道Lに沿って進行し、こうして解析度が高く、しかも歪んでいないテストイメージを得ることができる。
【００５１】
図９に示すように、テストジグ70はさらに、一組のクリップ部品80を備え、該クリップ部品80は、該ウエハーダイシングテープ20の両端を挟んで固定する。
【００５２】
該被テストウエハー10は、該ウエハーダイシングテープ20上に接着されるため、該クリップ部品80により、該被テストウエハー10を固定し、光学テスト器の、該各スクライビングライン12のテストの便を図る。
【００５３】
別に、該クリップ部品80が該ウエハーダイシングテープ20を挟持することで、該被テストウエハー10を運搬し、後続テスト或いはプロセスを行う際の便を図る。
【００５４】
上記の本発明名称と内容は、本発明技術内容の説明に用いたのみで、本発明を限定するものではない。本発明の精神に基づく等価応用或いは部品（構造）の転換、置換、数量の増減はすべて、本発明の保護範囲に含むものとする。
【産業上の利用可能性】
【００５５】
本発明は実用新案登録の要件である新規性を備え、従来の同類製品に比べ十分な進歩を有し、実用性が高く、社会のニーズに合致しており、産業上の利用価値は非常に大きい。
【符号の説明】
【００５６】
10  ウエハー(ｗａｆｅｒ)
11  ダイ（ｄｉｅｓ）
111  上表面損傷(ｕｐｐｅｒ―ｓｕｒｆａｃｅ ｄｅｆｅｃｔｓ)
112  下表面損傷(ｌｏｗｅｒ―ｓｕｒｆａｃｅ ｄｅｆｅｃｔｓ)
12  スクライビングライン(ｓｃｒｉｂｉｎｇ ｌｉｎｅ)
13  下表面(ｌｏｗｅｒ ｓｕｒｆａｃｅ)
20  ウエハーダイシングテープ(ｄｉｃｉｎｇ ｔａｐｅ)
30  光学テスト器(ｏｐｔｉｃａｌ ｉｎｓｐｅｃｔｏｒ)
31  テストレンズ(ｉｎｓｐｅｃｔｉｏｎ ｌｅｎｓ)
40  第一液体媒介(ｆｉｒｓｔ ｌｉｑｕｉｄ ｍｅｄｉｕｍ)
50  光透過キャリア(ｔｒａｎｓｐａｒｅｎｔ ｃａｒｒｉｅｒ) 
60  第二液体媒介(ｓｅｃｏｎｄ ｌｉｑｕｉｄ ｍｅｄｉｕｍ)
61  空気媒介(ａｉｒ ｍｅｄｉｕｍ)
70  テストジグ(ｉｎｓｐｅｃｔｉｏｎ ｆｉｘｔｕｒｅ)
80  クリップ部品(ｃｌａｍｐｉｎｇ ｄｅｖｉｃｅ)
A  エリア(ａｒｅａ)
L  理想的なイメージ光線通り道(ｔｈｅ ｉｄｅａｌ ｉｍａｇｅ ｏｐｔｉｃａｌ ｐａｔｈ)
L’  光通り道(ｏｐｔｉｃａｌ ｐａｔｈ)
L’’  光通り道(ｏｐｔｉｃａｌ ｐａｔｈ)
L’’’  光通り道(ｏｐｔｉｃａｌ ｐａｔｈ)
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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