(57)【要約】【課題】基板を容易に着脱することができ、構成が簡単である基板保持具を提供する。【解決手段】第１及び第２の部材１４，１６の間に、個片に分割される前の集合基板５０を挟み込んで保持する。第１及び第２の部材１４，１６の少なくとも一方は、貫通穴１２が形成された板状部材１０である。貫通穴１２は、第１及び第２の部材１４，１６の間に集合基板５０を挟み込んで保持するときに、集合基板５０の個片に分割される部分に対向する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１及び第２の部材を含み、前記第１及び第２の部材の間に、個片に分割される前の集合基板を挟み込んで保持する基板保持治具であって、
前記第１及び第２の部材の少なくとも一方は、
貫通穴が形成された板状部材であり、前記集合基板を挟み込んで保持するときに、前記貫通穴が前記集合基板の前記個片に分割される部分に対向することを特徴とする、基板保持治具。
【請求項２】
前記集合基板を挟み込んで保持するときに、前記板状部材の一つの前記貫通穴が、前記集合基板の複数個分の前記個片に分割される部分に対向することを特徴とする、請求項１に記載の基板保持治具。
【請求項３】
前記板状部材は、矩形形状の各辺の中間位置に、当該辺と平行な直線部を有する切り欠きが形成された外形を有し、
互いに対向する前記直線部の間隔は、前記第１及び第２の部材の間に挟み込まれて保持される矩形の前記集合基板の外形寸法と同じであることを特徴とする、請求項１又は２に記載の基板保持具。
【請求項４】
前記第１の部材は、第１の前記貫通穴が形成された第１の前記板状部材であり、
前記第２の部材は、前記第１の前記貫通穴とは異なる第２の前記貫通穴が形成された第２の前記板状部材であることを特徴とする、請求項１乃至３のいずれか一つに記載の基板保持具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板保持具に関し、詳しくは、複数の個片に分割される前の集合基板を保持するために用いる基板保持具に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子部品を製造する際に、基板を保持する基板保持具が用いられている。
【０００３】
例えば図７の平面図に示す基板保持具１は、外周枠２の内側に縦桟３及び横桟４が格子状に配列され、貫通穴５と、貫通穴５の内側に突出する支持リブ９とが形成されている。貫通穴５にそれぞれ対向するように基板を配置し、一対の基板保持具１の間に基板を挟み込み、基板をリブ９で支持し、基板の周囲に隙間を設けた状態で、基板の洗浄等を行う（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−２１７３２６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
図７の基板保持具は、個片化された基板から切り屑やその他の汚れを洗浄により除去するために、個片化した基板をそれぞれ貫通穴に対向するように位置決めしながら基板保持具に収納する必要があり、基板の着脱作業が面倒であり、時間がかかる。また、図７の基板保持具は、複雑な構造であるため、作製コストが高くなる。
【０００６】
本発明は、かかる実情に鑑み、基板を容易に着脱することができ、構造が簡単な基板保持具を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、上記課題を解決するために、以下のように構成した基板保持具を提供する。
【０００８】
基板保持具は、第１及び第２の部材を含み、前記第１及び第２の部材の間に、個片に分割される前の集合基板を挟み込んで保持する。前記第１及び第２の部材の少なくとも一方は、貫通穴が形成された板状部材であり、前記集合基板を挟み込んで保持するときに、前記貫通穴が前記集合基板の前記個片に分割される部分に対向する。
【０００９】
上記構成によれば、第１及び第２の部材の間に集合基板を挟み込んで保持した状態で、洗浄や乾燥、運搬などを行うことができる。上記構成の基板保持具は、基板保持具に複数個の個片化された基板を位置決めし保持する場合よりも、集合基板の取り付け、取り出し等の作業が容易であり、時間がかからない。また、板状部材に貫通穴を形成する簡単な構造であるため、作製コストを抑えることができる。
【００１０】
好ましくは、前記集合基板を挟み込んで保持するときに、前記板状部材の一つの前記貫通穴が、前記集合基板の複数個分の前記個片に分割される部分に対向する。
【００１１】
この場合、集合基板を挟み込んで保持するときに、貫通穴は、複数個分の個片になる部分をまたぐため、集合基板は個片に分割される部分の境界線付近が貫通穴を介して露出しやすい。そのため、集合基板を挟み込んで保持した状態で洗浄・乾燥を行うときに、作業時間を短縮することができる。また、作業後に洗浄液や残渣が集合基板に残りにくくなり、不良品発生を抑えることができる。
【００１２】
好ましくは、前記板状部材は、矩形形状の各辺の中間位置に、当該辺と平行な直線部を有する切り欠きが形成された外形を有する。互いに対向する前記直線部の間隔は、前記第１及び第２の部材の間に挟み込まれて保持される矩形の前記集合基板の外形寸法と同じである。
【００１３】
この場合、矩形の集合基板の各辺を、板状部材の切り欠きの直線部に重なるように揃えることによって、集合基板の位置決めを容易に行うことができる。第１及び第２の部材の間に挟み込まれ保持された集合基板は、板状部材の内側に配置され、集合基板の角は板状部材によって保護されるため、集合基板の損傷を防止することができる。
【００１４】
好ましくは、前記第１の部材は、第１の前記貫通穴が形成された第１の前記板状部材であり、前記第２の部材は、前記第１の前記貫通穴とは異なる第２の前記貫通穴が形成された第２の前記板状部材である。
【００１５】
この場合、表面と裏面で電極配置等が異なる集合基板について、集合基板の表面と裏面のそれぞれの電極のパターン等に応じて、第１の部材の貫通穴の形状と第２の部材の貫通穴の形状、大きさ、配置等を変え、集合基板の表面と裏面のそれぞれについて、洗浄作業等を適切に行うことができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の基板保持具は、基板を容易に着脱することができ、構造が簡単であり、製造コストを低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】基板保持具の使用状態を示す側面図である。（実施例１）
【図２】板状部材の平面図である。（実施例１）
【図３】板状部材の平面図である。（実施例２）
【図４】板状部材の平面図である。（実施例３）
【図５】基板を位置決めした状態を示す平面図である。（実施例３）
【図６】板状部材の平面図である。（実施例４）
【図７】基板保持具の平面図である。（従来例１）
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の実施の形態について、図１〜図６を参照しながら説明する。
【００１９】
＜実施例１＞  実施例１の基板保持具について、図１及び図２を参照しながら説明する。
【００２０】
図１の側面図に示すように、基板保持具は、第１の部材１４と、第２の部材１６とを含み、第１の部材１４と第２の部材１６との間に、個片に分割される前の集合基板５０を配置し、例えばクリップ１８を用いて第１の部材１４と第２の部材１６の周囲を挟み、第１の部材１４と第２の部材１６との間に集合基板５０を挟み込んだ状態を保持する。この状態で、集合基板５０の洗浄や乾燥、運搬などを行う。
【００２１】
第１の部材１４や第２の部材１６は、硬い材料で形成することも可能であるが、弾力性を有する薄板で形成すると、図１に模式的に示したように、集合基板５０を挟み込んで保持するときにたわみ、第１の部材１４や第２の部材１６と集合基板５０との接触面積を減らすことができる。
【００２２】
図２は、実施例１の基板保持具の第１及び第２部材の少なくとも一方となる板状部材１０の平面図である。図２に示すように、板状部材１０には、集合基板を挟み込んで保持するときに集合基板の個片に分割される部分に対向するように、貫通穴１２が形成されている。
【００２３】
貫通穴１２は、格子状に配列されている。貫通穴１２のピッチは、集合基板の個片に分割される部分のピッチと揃っていても、ずれていても構わない。また、貫通穴１２の形状や大きさが、場所によって異なっても構わない。貫通穴１２の形状は、円形に限らず、矩形や多角形、星型等の形状であっても構わない。
【００２４】
実施例１の基板保持具は、図７のように基板保持具に複数個の個片化された基板を位置決めし保持する場合よりも、集合基板の取り付け、取り出し等の作業が容易であり、時間がかからない。また、貫通穴１２が形成された板状部材１０は、簡単な構造であるため、作製コストを抑えることができる。
【００２５】
第１の部材と第２の部材は、同一形状の部材であっても異なる形状の部材であっても構わない。例えば、第１の部材と第２の部材の両方を貫通穴が形成された板状部材とし、表面と裏面で電極配置等が異なる集合基板について、集合基板の表面と裏面のそれぞれの電極のパターン等に応じて、第１の部材の貫通穴と第２の部材の貫通穴の形状、大きさ、配置等を変えると、集合基板の表面と裏面のそれぞれについて、洗浄作業等を適切に行うことができる。
【００２６】
＜実施例２＞  実施例２の基板保持具について、図３を参照しながら説明する。
【００２７】
図３は、実施例２の基板保持具の第１及び第２の部材の少なくとも一方となる板状部材２０の平面図である。図３に示すように、板状部材２０は、集合基板の複数個分の個片に分割される部分に対向する細長い貫通穴２２が形成されている。貫通穴２２が配列されるピッチは、集合基板の個片に分割される部分のピッチと揃っていても、ずれていても構わない。
【００２８】
集合基板を挟み込んで保持するときに、板状部材２０の貫通穴２２は、複数個分の個片になる部分をまたぐため、集合基板は個片に分割される部分の境界線付近が貫通穴２２を介して露出しやすい。そのため、集合基板を挟み込んで保持した状態で洗浄・乾燥を行うときに、作業時間を短縮することができる。また、作業後に洗浄液や残渣が集合基板に残りにくくなり、不良品発生を抑えることができる。
【００２９】
＜実施例３＞  実施例３の基板保持具について、図４及び図５を参照しながら説明する。
【００３０】
図４は、実施例３の基板保持具の第１及び第２の部材の少なくとも一方となる板状部材２０ａの平面図である。図４に示すように、板状部材２０ａには、実施例２の板状部材２０と同じ貫通穴２２が形成されている。  
【００３１】
板状部材２０ａは、実施例２の板状部材２０と異なり、矩形形状の各辺２１ａ〜２１ｄの中間位置に、当該辺２１ａ〜２１ｄと平行な直線部２５ａ〜２５ｄを有する切り欠き２４ａ〜２４ｄが形成された外形を有している。互いに対向する直線部２５ａ，２５ｃ；２５ｂ，２５ｄの間隔は、実施例３の基板保持具で挟み込まれ保持される矩形の集合基板の外形寸法と同じである。
【００３２】
図５は、板状部材２０ａに、集合基板５０を位置決めした状態を示す平面図である。図５に示すように、集合基板５０の各辺５１ａ〜５１ｄを、板状部材２０ａの切り欠き２４ａ〜２４ｄの直線部２５ａ〜２５ｄに重なるように揃えることによって、集合基板５０の位置決めを容易に行うことができる。
【００３３】
少なくとも一方が板状部材２０ａである第１及び第２の部材の間に挟み込まれ保持された集合基板５０は、板状部材２０ａの内側に配置され、集合基板５０の角５２ａ〜５２ｄが板状部材２０ａによって保護されるため、集合基板５０の損傷を防止することができる。
【００３４】
＜実施例４＞  実施例４の基板保持具について、図６を参照しながら説明する。
【００３５】
図６は、実施例４の基板保持具の第１及び第２の部材の少なくとも一方となる板状部材２０ｂの平面図である。図６に示すように、板状部材２０ｂには、実施例３の板状部材と同じ切り欠き２４ａ〜２４ｄが形成されている。板状部材２０ｂには、実施例３の板状部材と異なり、集合基板の個片に分割されるすべての部分に対向する一つの大きな貫通穴２２ｂが形成されている。
【００３６】
基板保持具で保持された状態で基板の洗浄等を行った場合、基板と基板保持具との間に洗浄液や残渣が残り付着したままとなっていると、変色等の不良発生の原因になり得る。そのため、基板と基板保持具との間には、洗浄液や残渣ができるだけ残らないようにすることが好ましい。
【００３７】
実施例４の板状部材２０ｂを用いると、集合基板を挟み込んで保持するときに、貫通穴２２ｂから、集合基板の個片に分割される部分のすべてが露出する。そのため、集合基板の個片に分割される部分のすべてにおいて、洗浄液や残渣が残ることがない。したがって、集合基板に付着した洗浄液や残渣による不良発生を完全に無くすことができる。
【００３８】
＜まとめ＞  以上に説明したように、集合基板を挟む第１及び第２の部材の少なくとも一方が、貫通穴が形成された板状部材である基板保持具は、基板を容易に着脱することができ、構造が簡単であり、製造コストを低減することができる。
【００３９】
なお、本発明は、上記実施の形態に限定されるものではなく、種々変更を加えて実施することが可能である。
【符号の説明】
【００４０】
１０  板状部材
１２  貫通穴
１４  第１の部材
１６  第２の部材
１８  クリップ
２０，２０ａ，２０ｂ  板状部材
２１ａ〜２１ｄ  辺
２２，２２ｂ  貫通穴
２４ａ〜２４ｄ  切り欠き
２５ａ〜２５ｄ  直線部
５０  集合基板
５１ａ〜５１ｄ  辺
５２ａ〜５２ｄ  角
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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