(57)【要約】【課題】構成の簡易化が図られた冷却装置を提供する。【解決手段】冷却装置１００は、水の蒸発潜熱によってＣＰＵ１０から熱を奪う（冷却する）蒸発器２２と、水の流れを利用して、蒸発器２２で発生した水蒸気を吸引するアスピレータ２６と、アスピレータ２６に水を供給する液体循環路２８及びポンプ３８と、アスピレータ２６で吸引した水蒸気を凝縮させて水に戻す凝縮器３０と、を備えており、液体循環路２８から分岐した分岐路４０からは、凝縮器３０で凝縮された水及びアスピレータに供給される水の一部が蒸発器２２に供給され、蒸発器２２に供給されない水が冷媒としてアスピレータ２６に供給されるようになっている。【選択図】図１
2014183107.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体の蒸発潜熱によって熱源から熱を奪う蒸発部と、
液体の流れを利用して、前記蒸発部で発生した蒸気を吸引するアスピレータと、
前記アスピレータに液体を供給する液体供給機構と、
前記アスピレータで吸引した蒸気を凝縮させて液体に戻す凝縮器と、を備え、
前記液体供給機構は、前記凝縮器で凝縮された液体と前記アスピレータに供給された液体とが混合した液体のうちの一部を前記蒸発部に供給し、残りの液体を前記アスピレータに供給することを特徴とする冷却装置。
【請求項２】
前記アスピレータの少なくとも前記蒸気が通過する部分の材料として、断熱材料が用いられていることを特徴とする請求項１に記載の冷却装置。
【請求項３】
前記熱源の温度を検出する温度センサと、
前記蒸発部に供給される液体の量を調整する調整機構と、
前記温度センサの検出結果に基づいて、前記調整機構を制御する制御部と、を更に備える請求項１又は２に記載の冷却装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本件は、冷却装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、冷却装置として、減圧した液体冷媒を加熱された被冷却部材に設けられた冷却部に供給し、供給部において被冷却部材の熱によって液体冷媒が気化されたときの気化熱によって被冷却部材を冷却する装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平８−２００９１５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記のような冷却装置では、液体冷媒を減圧するための減圧装置が必要であるなど、装置が大掛かりである。
【０００５】
１つの側面では、本発明は、構成の簡易化が図られた冷却装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本明細書に記載の冷却装置は、液体の蒸発潜熱によって熱源から熱を奪う蒸発部と、液体の流れを利用して、前記蒸発部で発生した蒸気を吸引するアスピレータと、前記アスピレータに液体を供給する液体供給機構と、前記アスピレータで吸引した蒸気を凝縮させて液体に戻す凝縮器と、を備え、前記液体供給機構は、前記凝縮器で凝縮された液体と前記アスピレータに供給された液体とが混合した液体のうちの一部を前記蒸発部に供給し、残りの液体を前記アスピレータに供給する冷却装置である。
【発明の効果】
【０００７】
本実施例に記載の冷却装置は、構成の簡素化を図ることができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】一実施形態に係る冷却装置の構成を模式的に示す図である。
【図２】水の温度と蒸気圧との関係を示す表である。
【図３】アスピレータを拡大して示す図である。
【図４】制御装置の処理を示すフローチャート（その１）である。
【図５】制御装置の処理を示すフローチャート（その２）である。
【図６】比較例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、冷却装置の一実施形態について、図１〜図６に基づいて詳細に説明する。本実施形態の冷却装置１００は、サーバに搭載されたＣＰＵなどの電子機器（熱源）を冷却する装置である。
【００１０】
図１には、ＣＰＵ１０を冷却する冷却装置１００の構成が模式的に示されている。図１に示すように、冷却装置１００は、蒸発部としての蒸発器２２と、アスピレータ２６と、凝縮器３０と、気液分離器３２と、ポンプ３８と、制御部としての制御装置５０と、を備える。
【００１１】
蒸発器２２は、ＣＰＵ１０に直接あるいは図示しない熱伝導体を介して接触しており、その内部空間には冷却用の媒体（本実施形態では、水）が収容されている。なお、本実施形態では、性能、安全性、低環境負荷の観点から冷却用の媒体として水を用いることとしている。蒸発器２２内の水は、発熱したＣＰＵ１０によって熱せられて核沸騰し、水蒸気となり、このときの水の相変化（液体から気体）による潜熱により、ＣＰＵ１０が冷却される。蒸発器２２には、蒸気管２４の一端が接続されている。なお、潜熱による冷却は、空冷や液冷より効率がよいため、大きな発熱量に対応することが可能である。
【００１２】
図２には、水の温度と蒸気圧との関係が示されている。図２によれば、例えば、蒸発器２２内を４２ｈＰａに保った場合、蒸発器２２内の水の温度が３０℃のときに水蒸気と水（液体）とが平衡となる。すなわち、蒸発器２２内の温度が例えば３０℃から４０℃になったときには、蒸気圧は７４ｈＰａで平衡となるので蒸発器２２内を４２ｈＰａに保つ条件では、３０℃の場合と比べて３２ｈＰａの差が生じる。このため、蒸発器２２内では、水（液体）が水蒸気となる。本実施形態では、後述するようにして冷却装置１００内（蒸発器２２内）の真空度を例えば５０ｈＰａ未満とすることで、蒸発器２２内部における水の沸点を下げ、ＣＰＵ１０を作動範囲内（９０℃程度以下）に冷却するようにしている。
【００１３】
アスピレータ２６は、図３に拡大して示すように、その内部にＴ字管５２を有している。Ｔ字管５２は、図３の上下方向に延びる第１管５２ａと、左右方向に延びる第２管５２ｂとを有する。第１管５２ａは、その中間部分近傍が絞られた形状となっており、この絞られた形状の部分５４に第２管５２ｂが接続されている。アスピレータ２６は、液体循環路２８内に組み込まれた状態となっており、第１管５２ａには、液体循環路２８内を循環する水が流れるようになっている。
【００１４】
アスピレータ２６では、第１管５２ａの上端側から下端側に向けて水が供給されると、絞られた部分５４近傍において水の流速が増すため、ベンチュリ効果によって水の圧力が低下する。そして、この水の圧力の低下により、第２管５２ｂ内の気体が水流に流れ込み、結果として、第２管５２ｂ及び蒸気管２４内が減圧になる。これにより、蒸発器２２で発生した水蒸気が蒸気管２４を介してアスピレータ２６内に流れ込むようになっている。
【００１５】
なお、アスピレータ２６は、ガラスや樹脂などの断熱材料により形成されている。これにより、水蒸気が第２管５２ｂ内を通過する間に第２管５２ｂの壁面等で冷やされ、凝縮し、水（水滴）に戻るという現象の発生を抑制することができる。この場合、第２管５２ｂ内における水蒸気の流通が凝縮した水（水滴）によって妨げられるのを抑制することができる。
【００１６】
図１に戻り、凝縮器３０は、液体循環路２８の一部に設けられ、一例として、多数の放熱フィンを有している。凝縮器３０は、液体循環路２８内を流れる水と大気との熱交換ができる凝縮器であり、水蒸気を凝縮させて水に戻す機能を有する。
【００１７】
気液分離器３２は、冷却装置１００内を動作の最初に減圧する際に用いられる装置であり（図４、図５とその説明を参照）、液体循環路２８内を流れる水に混入している気体を分離して、外部（大気）に放出する。気液分離器３２には、気体を外部に放出するための排気管３４が設けられており、排気管３４には、排気バルブ３６が設けられている。排気バルブ３６の開閉制御は、制御装置５０によって行われる。
【００１８】
ポンプ３８は、液体循環路２８内に水の流れを作り出すための装置である。ポンプ３８の動作は、制御装置５０によって制御される。
【００１９】
なお、液体循環路２８の一部（ポンプ３８の下流）からは、分岐路４０が分岐している。分岐路４０は、蒸発器２２に接続されている。このため、液体循環路２８を流れる水の一部、すなわち、蒸発器２２内で蒸発し凝縮した水及びアスピレータ２６に供給された水の一部が、分岐路４０を介して、蒸発器２２に供給されるようになっている。分岐路４０の一部には、調整機構としての給水バルブ４２が設けられており、この給水バルブ４２の開度に応じた量の水が、蒸発器２２に対して供給される。なお、給水バルブ４２の開度（５％〜１００％）は、制御装置５０によって１％刻みで制御されるものとする。
【００２０】
制御装置５０は、冷却装置１００の各部を統括的に制御する。なお、ＣＰＵ１０の近傍には、ＣＰＵ１０の温度を検出するための温度センサ４６が設けられている。また、蒸発器２２には、蒸発器２２内部の真空度を検出するための真空度センサ４４が設けられている。制御装置５０では、これら温度センサ４６、真空度センサ４４の検出結果に基づいて、ポンプ３８の駆動やＣＰＵ１０の動作あるいは排気バルブ３６の開閉を制御するとともに、給水バルブ４２の開度を調整する。
【００２１】
なお、本実施形態では、アスピレータ２６で吸引された水蒸気が、アスピレータ２６に供給された水の中で凝縮して液体（水）となるため、冷却装置１００内は、水の閉じた経路になっているといえる。
【００２２】
次に、制御装置５０の処理について、図４、図５に基づいて、その他図面を適宜参照しつつ詳細に説明する。
【００２３】
図４、図５には、制御装置５０の一連の処理がフローチャートにて示されている。なお、制御装置５０による図４、図５の処理は、冷却装置１００が設けられたサーバの電源がＯＮされた状態から開始される。
【００２４】
図４の処理では、まず、ステップＳ１０において、制御装置５０が、ポンプ３８の駆動を開始する。ポンプ３８が駆動されると、液体循環路２８やアスピレータ２６の第１管５２ａ内を水が流れる。この場合、水の温度を室温（例えば３０℃）と同一とすると、図２より、到達真空度は、４２ｈＰａとなる。
【００２５】
次いで、ステップＳ１２では、制御装置５０は、真空度センサ４４を用いて、蒸発器２２内の真空度（Ｐ）を測定する。次いで、ステップＳ１４では、制御装置５０は、真空度（Ｐ）が５０（ｈＰａ）よりも小さいか否かを判断する。ここで、５０ｈＰａとは、冷却装置１００の冷却性能を維持するために必要な冷却装置１００内の真空度であり、水温から決まるアスピレータの到達真空度より少し大きい値とする。ステップＳ１４の判断が否定された場合、すなわち、真空度（Ｐ）が５０ｈＰａ以上である場合には、ステップＳ１６に移行し、制御装置５０は、排気バルブ３６を開く。なお、排気バルブ３６を開くことにより、気液分離器３２において液体循環路２８内を流れる水に混入している気体が分離され、排気管３４から排出されるので、冷却装置１００内（蒸発器２２内）の真空度が徐々に低下し始める。その後は、制御装置５０は、ステップＳ１２に戻る。
【００２６】
そして、制御装置５０は、ステップＳ１４の判断が肯定されるまで（真空度（Ｐ）が５０ｈＰａ未満になるまで）、排気バルブ３６を開状態に維持しつつ、真空度測定を繰り返す（Ｓ１２）。
【００２７】
一方、ステップＳ１４の判断が肯定された場合、すなわち、冷却装置１００内を必要な真空度（５０ｈＰａ未満）にできた場合には、制御装置５０は、ステップＳ１８に移行する。ステップＳ１８では、制御装置５０は、排気バルブ３６を閉じる。これにより、冷却装置１００（蒸発器２２）内の真空度を５０ｈＰａ未満に維持することができる。
【００２８】
次いで、ステップＳ２０では、制御装置５０は、ＣＰＵ１０の駆動を開始する（ＯＦＦ→ＯＮ）。なお、制御装置５０が、ＣＰＵ１０の駆動開始を直接制御できないような場合には、ＣＰＵ１０の駆動を制御する制御装置に対して、駆動開始の指示を出すようにしてもよい。なお、ＣＰＵ１０の駆動後、ＣＰＵ１０が発熱すると、蒸発器２２内において水蒸気が発生し、発生した水蒸気はアスピレータ２６の作用によってアスピレータ２６内に吸引される。そして、吸引された水蒸気は第１管５２ａにてアスピレータ２６内を流れる水（冷媒）と混ざって二相流となるが、水蒸気は凝縮器３０において凝縮され、水に戻る。そして、ポンプ３８によって下流側に送られる水の一部は分岐路４０から蒸発器２２に供給され、残りが、アスピレータ２６に供給されるようになっている。
【００２９】
次いで、ステップＳ２２では、制御装置５０が、温度センサ４６を用いてＣＰＵ１０の温度（Ｔ）を測定する。次いで、ステップＳ２４では、制御装置５０は、ＣＰＵ１０の温度（Ｔ）が９０℃未満であるか否かを判断する。ここでの判断が否定された場合、すなわち、ＣＰＵ１０の温度が９０℃以上であった場合には、制御装置５０は、ステップＳ２６に移行する。
【００３０】
ステップＳ２６に移行すると、制御装置５０は、給水バルブ４２の開度が９９％より大きいか否かを判断する。ここでの判断が否定された場合には、ステップＳ２８に移行し、制御装置５０は、給水バルブ４２の開度を１％増やす。これにより、温度が９０℃以上になっているＣＰＵ１０の蒸発器２２による冷却効果を高めることができる。一方、ステップＳ２６の判断が肯定された場合、すなわち、給水バルブ４２の開度が１００％であった場合には、それ以上、蒸発器２２に供給する水の量を増やすことができない。したがって、制御装置５０は、ステップＳ３０に移行し、ＣＰＵ１０を省電力モードで駆動するようにする。なお、制御装置５０がＣＰＵ１０の駆動を直接制御できないような場合には、ＣＰＵ１０の駆動を制御する制御装置に対して指示を出すようにしてもよい。
【００３１】
ステップＳ２８又はＳ３０の後は、制御装置５０は、ステップＳ３６に移行し、ユーザ等から入力されるサーバの電源ＯＦＦ命令を受信したか否かを判断する。ここでの判断が否定された場合には、ステップＳ２２に戻る。
【００３２】
ところで、ステップＳ２４の判断が肯定された場合、すなわち、ＣＰＵ１０の温度が９０℃未満であった場合には、ステップＳ３２に移行し、制御装置５０は、給水バルブ４２の開度が５％未満であるか否かを判断する。ここでの判断が否定された場合には、ステップＳ３４に移行し、制御装置５０は、給水バルブ４２の開度を１％減らす。これにより、ＣＰＵ１０を必要以上に冷却しないようにすることができる。ステップＳ３４の後は、制御装置５０は、ステップＳ３６に移行し、ユーザ等から入力される電源ＯＦＦ命令を受信したか否かを判断する。ここでの判断が否定された場合には、ステップＳ２２に戻る。
【００３３】
一方、ステップＳ３２の判断が肯定された場合、すなわち、給水バルブ４２の開度が５％未満であった場合には、制御装置５０は、ステップＳ３６に移行し、ステップＳ３６の判断が否定された場合には、ステップＳ２２に戻る。なお、本実施形態では、ＣＰＵ１０がアイドル状態にある場合（最小発熱の場合）の冷却を想定して、給水バルブ４２の最小開度を５％程度としている。
【００３４】
なお、ステップＳ３６の判断が肯定された場合、すなわち、ユーザ等からサーバの電源ＯＦＦ命令が入力された場合には、図５の処理に移行する。
【００３５】
図５の処理に移行すると、制御装置５０は、ステップＳ４０において、ＣＰＵ１０の駆動を停止する。なお、制御装置５０が、ＣＰＵ１０の駆動停止を直接制御できないような場合には、ＣＰＵ１０の駆動を制御する制御装置に対して指示を出すようにしてもよい。
【００３６】
次いで、ステップＳ４２では、制御装置５０は、温度センサ４６を用いて、ＣＰＵ１０の温度（Ｔ）を測定する。次いで、ステップＳ４４では、制御装置５０は、温度（Ｔ）が９０℃未満であるか否かを判断する。ここでの判断が否定された場合、すなわち、温度（Ｔ）が９０℃以上であった場合には、ステップＳ４６に移行する。
【００３７】
ステップＳ４６に移行すると、制御装置５０は、給水バルブ４２の開度が９９％より大きいか否かを判断する。ここでの判断が肯定された場合には、それ以上給水バルブ４２の開度を大きくできないので、そのままステップＳ４２に戻る。一方、ステップＳ４６の判断が否定された場合、すなわち給水バルブ４２の開度を大きくできる場合には、ステップＳ４８に移行し、制御装置５０は、給水バルブ４２の開度を１％増やす。その後は、ステップＳ４２に戻り、ＣＰＵ１０の温度が９０℃未満になるまで又は給水バルブ４２の開度が１００％になるまで、給水バルブ４２の開度を１％刻みで増やす。
【００３８】
一方、ステップＳ４４の判断が肯定された場合、すなわち、ＣＰＵ１０の温度が９０℃未満であった場合には、ステップＳ５０に移行し、制御装置５０は、給水バルブ４２の開度が５％未満であるか否かを判断する。ここでの判断が否定された場合には、制御装置５０は、ステップＳ５２に移行し、給水バルブ４２の開度を１％減らし、ステップＳ４２に戻る。一方、ステップＳ５０の判断が肯定された場合には、ステップＳ５４に移行し、制御装置５０は、ポンプ３８の駆動を停止し、図４、図５の全処理を終了する。
【００３９】
なお、上記説明から分かるように、本実施形態では、一例として、液体循環路２８とポンプ３８とを含んで、アスピレータに水を供給する液体供給機構としての機能が実現されている。
【００４０】
以上、詳細に説明したように、本実施形態によると、水の蒸発潜熱によってＣＰＵ１０から熱を奪う（冷却する）蒸発器２２と、水の流れを利用して、蒸発器２２で発生した水蒸気を吸引するアスピレータ２６と、アスピレータ２６に水を供給する液体循環路２８及びポンプ３８と、アスピレータ２６で吸引した水蒸気を凝縮させて水に戻す凝縮器３０と、を備えている。したがって、本実施形態では、アスピレータ２６のような簡素な機構を利用して蒸発器２２で発生した水蒸気を吸引することから、大がかりな減圧装置を用いない簡易な構成で、ＣＰＵ１０を効果的に冷却することができる。また、本実施形態では、凝縮器３０で凝縮された水とアスピレータ２６に供給された水が混合した後、その一部が、分岐路４０から蒸発器２２に供給される。この場合、アスピレータ２６に水を供給する（循環する）系と、水蒸気が凝縮され蒸発器２２に戻る系との一部を共通化することができるので、各系を独立して設ける場合と比べ、装置の簡素化を図ることができる。
【００４１】
ここで、図６に基づいて、比較例（サーバ内のＣＰＵの冷却に用いられるサーモサイフォン式の冷却装置２００）について説明する。図６に示す冷却装置２００は、ＣＰＵ１０に接触した状態で設けられた蒸発器１２２と、蒸気管１２４と、凝縮器１３０と、給水管１４０と、を備えている。
【００４２】
図６の冷却装置２００では、本実施形態と同様、蒸発器１２２で熱せられた水が沸騰して水蒸気となり、このときの水の相変化（液体→気体）による潜熱により、ＣＰＵ１１０が冷却されるようになっている。なお、蒸発器１２２で発生した水蒸気は、蒸気管１２４を通って凝縮器１３０に入り、凝縮器１３０にて凝縮されて水に戻ると、給水管１４０を通って蒸発器１２２に供給される。また、ＣＰＵ１１０を動作制限温度内（９０℃程度以下）に冷却するためには、ＣＰＵ１１０と蒸発器１２２の受熱面間の熱伝導および冷媒の相変化時の過熱を考慮すると、６０〜７０℃程度以下の温度で水が沸騰して潜熱を奪う必要がある。このため、比較例の冷却装置２００では、装置内部を１００ｈＰａ以下に減圧した状態で水を封じ込め、沸点を５０℃程度以下まで下げて動作させる（図２参照）。
【００４３】
ここで、図６の冷却装置２００をサーバの冷却に用いる場合、数年間の動作保証（減圧状態の保証）が必要となる。このように装置内部の減圧状態を維持・保証するため、冷却装置２００では、強硬な部品等を用いる必要があった。例えば、冷却装置２００においては、パイプなどの部品はすべてリークのない金属製の部品とし、それらの組み立てには、十分な耐真空性を備えた高度な溶接あるいはろう付け技術を用いる必要があった。
【００４４】
これに対し、本実施形態の冷却装置１００では、アスピレータ２６を用いて蒸発器２２内を積極的に真空引きし、アクティブに低真空を維持するようにしている。したがって、本実施形態の冷却装置１００では、多少のリークを許容することができるようになっている。また、樹脂製パイプなどの使用が可能になるため、可用性が向上するとともに、高度な溶接・ろう付け技術を必要としないので、簡易な組み立てが可能となり、製造コストの低減を図ることができる。
【００４５】
また、本実施形態では、アスピレータ２６の材料として、ガラスや樹脂などの断熱材料を採用している。これにより、第２管５２ｂ内を通過する水蒸気が第１管５２ａを流れる水によって冷やされ、第２管５２ｂ内で凝縮して液体となり、第２管５２ｂ内における水蒸気の流通が妨げられる、という事態の発生を抑制することができる。なお、アスピレータ２６全体の材料を断熱材料としなくてもよく、少なくとも水蒸気が通過する部分の材料、すなわち、少なくとも第２管５２ｂ部分の材料として断熱材料が採用されていてもよい。
【００４６】
また、本実施形態では、アスピレータ２６に供給される冷媒と、蒸発器２２内に供給される液体とを同一の物質（水）としている。これにより、図１に示すような、蒸発器２２で発生した蒸気が、アスピレータ２６を流れる冷媒に混入する構成を採用することができる。
【００４７】
また、本実施形態では、ＣＰＵ１０の温度を検出する温度センサ４６と、蒸発器２２に供給される水の量を調整する給水バルブ４２とを備え、制御装置５０は、温度センサ４６の検出結果に基づいて、給水バルブ４２の開度を調整する。これにより、ＣＰＵ１０の発熱量に応じて適切な量の水を供給することができるので、ＣＰＵ１０の温度に応じた適切な冷却が可能となる。
【００４８】
また、本実施形態では、蒸発器２２内の真空度を検出する真空度センサ４４と、液体循環路２８を通る水から気体を分離して取り出す気液分離器３２とを備え、制御装置５０は、真空度センサ４４による検出結果に基づいて、気液分離器３２の動作を制御する。これにより、大掛かりな減圧装置を用いなくても、アスピレータ２６と気液分離器３２とを用いることで、蒸発器２２内を適切な真空度に設定することができる。
【００４９】
なお、上記実施形態では、ＣＰＵ１０の温度（Ｔ）が９０℃より高い場合に、温度（Ｔ）をモニタしながら、給水バルブ４２を１％刻みで大きくする場合について説明したが、これに限られるものではない。例えば、供給する水の量をＣＰＵ１０の発熱量に基づいて決定し、給水バルブ４２を調整するようにしてもよい。この場合、水の流量は、発熱量／水の蒸発潜熱から求めることができるため、例えば２２０Ｗの発熱を冷却するときには、水の蒸発潜熱を１ｃｃあたり２２５３Ｗ／ｓとすると、およそ６ｃｃ／ｍｉｎの流量に決定すればよい。なお、このような処理を行う場合には、分岐路４０の給水バルブ４２と蒸発器２２との間に流量計を設けることとすればよい。
【００５０】
なお、上記実施形態では、冷却装置１００内で用いる冷媒として水を採用した場合について説明したが、これに限られるものではなく、例えば、エチルアルコールやフロン、代替フロンなどの媒体を用いることも可能である。
【００５１】
なお、上記実施形態の冷却装置１００をＣＰＵ１０を複数有するサーバに搭載する場合には、例えば、蒸発器２２、蒸気管２４、アスピレータ２６、分岐路４０、給水バルブ４２をＣＰＵ１０の数に応じた数だけ用意し、その他の構成（凝縮器３０、気液分離器３２及びポンプ３８など）を共用するようにしてもよい。
【００５２】
なお、上記実施形態では、冷却装置１００に気液分離器３２を設ける場合について説明したが、これに限らず、冷却装置１００内への空気の浸入が防止されているような場合には、気液分離器３２を設けないこととしてもよい。
【００５３】
なお、上記実施形態では、水温を室温の３０℃、ＣＰＵ１０を駆動する前における冷却装置１００内の真空度を５０ｈＰａに設定し、ＣＰＵ１０の上限温度を９０℃程度とする場合について説明した。しかしながら、これに限られるものではなく、真空度やＣＰＵ１０の上限温度の値は適宜変更可能である。また、液体循環路２８にチラーを挿入して積極的に水温を下げ、室温以下で運用することもできる。
【００５４】
なお、上記実施形態では、サーバが有するＣＰＵの冷却に冷却装置１００を用いる場合について説明した。しかしながら、これに限られるものではなく、サーバ内のＣＰＵ以外の電子部品や、サーバ以外の装置（及びその構成部品）の冷却に冷却装置１００を用いることとしてもよい。
【００５５】
上述した実施形態は本発明の好適な実施の例である。但し、これに限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変形実施可能である。
【００５６】
なお、以上の実施形態の説明に関して、更に以下の付記を開示する。
（付記１）  液体の蒸発潜熱によって熱源から熱を奪う蒸発部と、
液体の流れを利用して、前記蒸発部で発生した蒸気を吸引するアスピレータと、
前記アスピレータに液体を供給する液体供給機構と、
前記アスピレータで吸引した蒸気を凝縮させて液体に戻す凝縮器と、を備え、
前記液体供給機構は、前記凝縮器で凝縮された液体と前記アスピレータに供給された液体とが混合した液体のうちの一部を前記蒸発部に供給し、残りの液体を前記アスピレータに供給することを特徴とする冷却装置。
（付記２）  前記アスピレータの少なくとも前記蒸気が通過する部分の材料として、断熱材料が用いられていることを特徴とする付記１に記載の冷却装置。
（付記３）  前記液体は、水であることを特徴とする付記１又は２に記載の冷却装置。
（付記４）  前記熱源の温度を検出する温度センサと、
前記蒸発部に供給される液体の量を調整する調整機構と、
前記温度センサの検出結果に基づいて、前記調整機構を制御する制御部と、を更に備える付記１〜３のいずれかに記載の冷却装置。
（付記５）  前記蒸発部内の真空度を検出する真空度センサと、
前記アスピレータに供給された液体内から気体を分離して取り出す気液分離器と、
前記真空度センサの検出結果に基づいて、前記気液分離器の動作を制御する制御部と、を更に備える付記１〜４のいずれかに記載の冷却装置。
【符号の説明】
【００５７】
１０  熱源
２２  蒸発器（蒸発部）
２６  アスピレータ
２８  液体循環路（液体供給機構の一部）
３０  凝縮器
３２  気液分離器
３８  ポンプ（液体供給機構の一部）
４２  給水バルブ（調整機構）
４４  真空度センサ
４６  温度センサ
５０  制御装置（制御部）
１００  冷却装置
【図１】
2014183107.tif 000003
【図２】
2014183107.tif 000004
【図３】
2014183107.tif 000005
【図４】
2014183107.tif 000006
【図５】
2014183107.tif 000007
【図６】
2014183107.tif 000008