(57)【要約】【課題】ウェーハが大口径化する場合であっても、ステージ上にシート全面を密着させること。【解決手段】ステージ（６２）は、シート（Ｓ）の外周領域を保持する第一の保持面（６２２）と、第一の保持面の内側に設けられた凹部（６２１）の内底面でシートの内側領域を保持する第二の保持面（６２３）と、凹部の内周面でシートの下面（Ｓ１）と第二の保持面と共に閉空間（６２８）を形成する側面（６２４）と、閉空間からエアを吸引する吸引口（６２６）とを有しており、第二の保持面及びシートの下面の少なくとも一方には微細な凹凸（６２７）が設けられ、吸引口からのエアの吸引によって第一の保持面に保持されたシートを引き伸ばしつつ第二の保持面に保持させた状態で、微細な凹凸により第二の保持面とシートの下面との間にエアの抜け路を確保する構成にした。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
シートを上面に保持するステージと、該ステージ上に保持されたシート上に液状樹脂を供給する樹脂供給手段と、該シート上に供給された該液状樹脂の上からウェーハを押圧する押圧手段と、該ステージ上からウェーハの搬送を行うウェーハ搬送手段とを少なくとも有し、
該ステージは、該シートを保持するリング形状の第一の保持面と、該第一の保持面に囲繞され該第一の保持面よりも凹んでおり該凹みにウェーハを収容して上面に保持する第二の保持面と、該第一の保持面から該第二の保持面に至る側面と、該第一の保持面に開口した該シートを吸引する第一の吸引口と、少なくとも該第二の保持面もしくは該側面の一方に開口した第二の吸引口と、該第一の吸引口及び該第二の吸引口に連通した負圧生成源と、を備えているウェーハ貼着装置において、該ステージ上に保持された該シートの上面に液状樹脂が供給され、該液状樹脂の上からウェーハを押圧し該シートに該液状樹脂を介してウェーハを貼着するウェーハ貼着方法であって、
該シートの該ステージ側の面及び該ステージの該第二の保持面の少なくともどちらかの表面には微細な凹凸が形成されており、
該シートを該ステージ上に保持する際には、該第二の吸引口から吸引すると該シート及び該ステージ間は当接して該凹凸による隙間が形成され、該シート及び該ステージ間のエアが該隙間から該第二の吸引口へ除去されるとともに該シートが該ステージ上に密着されること、を特徴とするウェーハ貼着方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェーハメイキング工程においてシートに液状樹脂を介して半導体ウェーハを貼着するウェーハ貼着方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ウェーハメイキング工程では、例えば、シリコン等の円柱状のインゴットがワイヤソーによってスライスされて、基板状のウェーハが形成される。スライスされたウェーハには、スライス時にうねりや反り等が生じるが、片面に液状樹脂が塗布されて平坦面が形成される。液状樹脂が塗布された平坦面には、ウェーハのハンドリングを容易とするシートが貼り付けられて、このシート面を基準として研削されることで、平坦な薄板状に形成される。
【０００３】
シートに液状樹脂を介してウェーハを貼着するウェーハ貼着方法として、加工前のウェーハの搬入から加工後のシート付きのウェーハの搬出までの一連の作業を行うものが知られている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１に記載のウェーハ貼着方法では、ステージ上のシートに液状樹脂が供給され、液状樹脂の液溜まりにウェーハが載置される。そして、ウェーハがシートに押し付けられてウェーハとシートとの間に液状樹脂が均一に行き渡された後、液状樹脂を硬化することでウェーハがシートに貼着される。その際に、ステージとシートとの間が中央から外側に向かって吸引され、ステージとシートとの間に気泡が残らないようにステージの上面に沿ってシートが密着されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１２−１４６８７２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記したウェーハ貼着方法では、ウェーハが小口径（３００ｍｍ以下）の場合には有効であるが、ウェーハが大口径化（４５０ｍｍ以上）するに従って、シートの中央箇所の気泡が適切に排出できず、ステージ上にシート全面を密着させることが困難になるという問題があった。
【０００６】
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、ウェーハが大口径化する場合であっても、ステージ上にシート全面を密着させることができるウェーハ貼着方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のウェーハ貼着方法は、シートを上面に保持するステージと、該ステージ上に保持されたシート上に液状樹脂を供給する樹脂供給手段と、該シート上に供給された該液状樹脂の上からウェーハを押圧する押圧手段と、該ステージ上からウェーハの搬送を行うウェーハ搬送手段とを少なくとも有し、該ステージは、該シートを保持するリング形状の第一の保持面と、該第一の保持面に囲繞され該第一の保持面よりも凹んでおり該凹みにウェーハを収容して上面に保持する第二の保持面と、該第一の保持面から該第二の保持面に至る側面と、該第一の保持面に開口した該シートを吸引する第一の吸引口と、少なくとも該第二の保持面もしくは該側面の一方に開口した第二の吸引口と、該第一の吸引口及び該第二の吸引口に連通した負圧生成源と、を備えているウェーハ貼着装置において、該ステージ上に保持された該シートの上面に液状樹脂が供給され、該液状樹脂の上からウェーハを押圧し該シートに該液状樹脂を介してウェーハを貼着するウェーハ貼着方法であって、該シートの該ステージ側の面及び該ステージの該第二の保持面の少なくともどちらかの表面には微細な凹凸が形成されており、該シートを該ステージ上に保持する際には、該第二の吸引口から吸引すると該シート及び該ステージ間は当接して該凹凸による隙間が形成され、該シート及び該ステージ間のエアが該隙間から該第二の吸引口へ除去されるとともに該シートが該ステージ上に密着されること、を特徴とする。
【０００８】
この構成によれば、シートをステージに載置する際には、第一の保持面にシートの外周が保持されたまま、シートと側面と第二の保持面とに囲まれた空間から第二の吸引口によってエアが吸引される。このとき、シートのステージ側の面と第二の保持面の少なくともどちらかの表面に微細な凹凸が形成されているため、シートが第二の保持面に保持されることで隙間（空隙）が形成される。微細な凹凸による隙間によって第二の保持面の全域にエアの抜け路が確保されているため、気泡を残すことなくステージにシートを密着させることができる。特に、ウェーハが大口径化してステージとシートとの接触面積が大きくなる場合であっても、シートの中央箇所に気泡を残すことなくステージにシートを密着させることができる。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、シートのステージ側の面及びステージの第二の保持面の少なくともどちらかの表面に微細な凹凸を形成することで、ウェーハが大口径化する場合であっても、ステージ上にシート全面を密着させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本実施の形態に係るウェーハ貼着装置の斜視図である。
【図２】本実施の形態に係るステージの模式図である。
【図３】本実施の形態に係るステージに対するシートの貼り付け動作の説明図である。
【図４】図３Ｂの部分拡大図である。
【図５】本実施の形態に係るステージからのシート付きウェーハの引き剥がし動作の説明図である。
【図６】変形例に係るステージに対するシートの貼り付け状態の拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本実施の形態について添付図面を参照して詳細に説明する。図１は、本実施の形態に係るウェーハ貼着装置の斜視図である。なお、本実施の形態に係るウェーハ貼着装置は、図１に示す構成に限定されない。ウェーハ貼着装置は、シートに液状樹脂を介してウェーハを貼着するものであれば、どのような構成を有していてもよい。なお、図１においては、説明の便宜上、ウェーハ貼着装置の外部筐体を破線で示している。
【００１２】
図１に示すように、ウェーハ貼着装置１は、ウェーハＷの下面に液状樹脂が塗布されたシートＳを貼着するように構成されている。ウェーハ貼着装置１は、ステージ６２に吸着保持されたシートＳに液状樹脂を供給し、ステージ６２の上方にて押圧手段６４に保持されたウェーハＷをシートＳに対して上方から押し付けるように動作する。ウェーハ貼着装置１は、シートＳに対してウェーハＷを押し付けることで、ウェーハＷの下面の全域に液状樹脂を行き渡らせている。
【００１３】
ウェーハＷは、デバイスパターンが形成される前のものであり、円柱状のインゴットをワイヤソーで切断することにより得られる。ウェーハＷは、カセット４に収容された状態でウェーハ貼着装置１に搬入される。なお、ウェーハＷは、シリコンウェーハ（Ｓｉ）、ガリウムヒソ（ＧａＡｓ）、シリコンカーバイド（ＳｉＣ）等のウェーハに限定されるものではない。例えば、セラミック、ガラス、サファイヤ（Ａｌ2Ｏ3）系の無機材料基板、板状金属や樹脂の延性材料、ミクロンオーダーからサブミクロンオーダの平坦度（TTV: total  thickness  variation）が要求される各種加工材料でもよい。シートＳは、例えば、ポリエチレンテレフタラート等の弾性を有する柔らかい材料であればよい。
【００１４】
ウェーハ貼着装置１は、Ｘ軸方向に延在する直方体状の外部筐体２を有している。外部筐体２の後端部には、左右一対の収容部屋１２を上下２段に形成したカセット収容手段１０が設けられている。上段の収容部屋１２には、加工前のウェーハＷを収容する搬入側のカセット４が載置される。下段の収容部屋１２には、加工後のシートＳ付きのウェーハＷを収容する搬出側のカセット５が載置される。外部筐体２内において、カセット収容手段１０の前方には、カセット４、５に対してウェーハＷの搬入及び搬出を行うウェーハ搬入搬出手段２０が設けられている。
【００１５】
ウェーハ搬入搬出手段２０の前方空間は、コラム部６５の背面に支持されたベース台３により上下に分けられている。ベース台３の上面には、加工前のウェーハＷの位置及び向きを検出するウェーハ検出手段４０が設けられている。ベース台３の下面には、ウェーハＷに貼着されたシートＳをウェーハＷの外形に沿って切断するシート切断手段５０が設けられている。ウェーハ検出手段４０及びシート切断手段５０の前方には、シートＳに対して液状樹脂を介してウェーハＷを貼着する貼着装置６０が設けられている。
【００１６】
貼着装置６０は、シートＳを吸着保持するステージ６２と、ステージ６２の上方においてウェーハＷを吸着保持する押圧手段６４とを有している。ステージ６２の近傍には、ステージ６２上のシートＳに対して光硬化性の液状樹脂を供給する樹脂供給手段６３が設けられている。貼着装置６０は、液状樹脂が供給されたシートＳに対し、ウェーハＷを保持した押圧手段６４を近付けることで貼着動作する。また、貼着装置６０の基台６１内には、ステージ６２を介して液状樹脂に光を照射する発光部６７が設けられている。
【００１７】
ウェーハ検出手段４０及びシート切断手段５０の側方には、ウェーハ検出手段４０と貼着装置６０との間、及び貼着装置６０とシート切断手段５０との間でウェーハＷを搬送するウェーハ搬送手段３０が設けられている。貼着装置６０の前方には、貼着装置６０に対してシートＳを供給するシート供給手段７０が設けられている。シート供給手段７０の側方には、シート供給手段７０からのシートＳを貼着装置６０に搬送するシート搬送手段８０が設けられている。
【００１８】
また、外部筐体２には、ウェーハ貼着装置１の各部を統括制御する制御手段６が設けられている。制御手段６は、ウェーハ貼着装置１の各種処理を実行するプロセッサや、メモリ等により構成されている。メモリは、用途に応じてＲＯＭ(Read  Only  Memory)、ＲＡＭ（Random  Access  Memory）等の一つ又は複数の記憶媒体で構成される。
【００１９】
以下、ウェーハ貼着装置を構成する各部分について簡単に説明する。カセット収容手段１０は、ウェーハ貼着装置１に対する搬入口及び搬出口として動作する。カセット収容手段１０の各収容部屋１２には、装置外側の出入口を開閉するスライド式の外部ドア（不図示）と、装置内側の出入口を開閉するスライド式の内部ドア１３とが設けられている。外部ドア及び内部ドア１３は、いずれか一方が開状態の場合に、いずれか他方が閉状態でロックされて、オペレータの作業の安全性が確保されている。
【００２０】
ウェーハ搬入搬出手段２０は、外部筐体２の底壁部に配置されたＹ軸方向に平行な一対のガイドレール２１上に支持され、ボールねじ式の移動機構によりＹ軸方向に移動可能に構成されている。また、ウェーハ搬入搬出手段２０は、上下方向に移動可能な支持台２２と、支持台２２上の多節リンク機構２３と、多節リンク機構２３の先端に設けられたロボットピック２４とを有している。ウェーハ搬入搬出手段２０は、支持台２２及び多節リンク機構２３によってロボットピック２４を移動させることで、搬入側のカセット４とウェーハ検出手段４０との間、シート切断手段５０と搬出側のカセット５との間でウェーハＷを搬送する。
【００２１】
ウェーハ検出手段４０は、ウェーハ搬入搬出手段２０によりウェーハＷが仮置きされる小径の仮置きテーブル４１と、仮置きテーブル４１の上方に支持された撮像部４２とを有している。ウェーハ検出手段４０は、仮置きテーブル４１上のウェーハＷ全体を撮像部４２の撮像範囲に収めるようにしてウェーハＷを撮像する。ウェーハＷの画像データは、制御手段６に出力され、制御手段６においてウェーハＷの水平方向における向きや中心位置が算出される。
【００２２】
ウェーハ搬送手段３０は、外部筐体２の底壁部に配置されたＸ軸方向に平行な一対のガイドレール３１上に支持され、ボールねじ式の移動機構によりＸ軸方向に移動可能に構成されている。また、ウェーハ搬送手段３０は、上下方向に移動可能な支持台３２と、支持台３２上の旋回アーム３３と、旋回アーム３３の先端に設けられたウェーハ保持部３４を有している。ウェーハ搬送手段３０は、支持台３２及び旋回アーム３３によってウェーハ保持部３４を移動させることで、ウェーハ検出手段４０とステージ６２との間、ステージ６２とシート切断手段５０との間でウェーハＷを搬送する。
【００２３】
シート切断手段５０は、ベース台３の下部に取り付けられた回転台５１と、回転台５１の外周面から外方に突出したカッター５２とを有している。回転台５１は、Ｚ軸回りに回転可能、かつＺ軸方向に移動可能に形成されている。カッター５２は、ウェーハＷの外形寸法に合わせて刃の位置が調整されている。シート切断手段５０は、下方に配置されたシートＳ付きのウェーハＷに対して、回転台５１のＺ軸方向の移動によりシートＳに対する切り込み深さを調整し、回転台５１の回転によりシートＳをウェーハＷの外形に沿って切断する。
【００２４】
貼着装置６０は、略直方体状の基台６１を有している。基台６１上面の略前半部には、シートＳを吸着保持するステージ６２が設置されている。ステージ６２は、石英ガラス等の透光性材料によって円板状に形成されている。ステージ６２の上面中央には、上面視円形状の凹部６２１が形成されている。ステージ６２は、この凹部６２１の段差を利用してシートＳを引き伸ばしつつ吸着する。ステージ６２の近傍には、シートＳ上面に液状樹脂を供給する樹脂供給手段６３が設けられている。
【００２５】
樹脂供給手段６３は、貼着装置６０の動作に合わせて、基台６１上面においてシートＳの中央位置と、中央位置から退避した退避位置との間で旋回可能に取り付けられている。液状樹脂としては、紫外線硬化性樹脂等の光硬化性樹脂が用いられ、例えば、５０〜３００００［ＭＰａ］程度の粘度を有する樹脂が選択される。樹脂供給手段６３は、基台６１内に設けられた不図示の樹脂タンクに接続されており、樹脂タンクから汲み上げられた液状樹脂をシートＳの上面に供給する。
【００２６】
基台６１上面には、ステージ６２の上方に押圧手段６４を支持するコラム部６５が立設されている。コラム部６５の前面には、押圧手段６４をステージ６２に対して接近及び離反させる移動部６６が設けられている。移動部６６は、Ｚ軸方向に平行な一対のガイドレール６６１と、一対のガイドレール６６１にスライド可能に設置されたＺ軸テーブル６６２とを有している。Ｚ軸テーブル６６２は、ボールねじ式の移動機構によりＺ軸方向に移動可能に構成されている。Ｚ軸テーブル６６２の前面には、支持部６６３を介して押圧手段６４が支持されている。押圧手段６４は、ウェーハＷを吸着可能に構成されている。
【００２７】
貼着装置６０は、押圧手段６４に保持したウェーハＷを、液状樹脂が供給されたシートＳに押し付けるように動作する。すなわち、押圧手段６４がウェーハＷを保持する保持面は、シートＳに対してウェーハＷを押圧する押圧面となっている。このとき、貼着装置６０は、液状樹脂から押圧手段６４の押圧面に作用する圧力の変化を測定している。押圧面に作用する圧力は、液状樹脂がウェーハＷの外縁に向かって押し広げられるのに伴って増加し、ウェーハＷの外縁から食み出ると低下し始める。貼着装置６０は、この特性を利用して、押圧力の変化に応じて移動部６６の駆動量を調整することで、液状樹脂をウェーハＷの外縁まで行き渡らせている。
【００２８】
基台６１内には、ステージ６２に向かって紫外光等の光を照射する発光部６７が設置されている。発光部６７は、ステージ６２を介して照射した光により液状樹脂を硬化させることで、ウェーハＷとシートＳとの間に樹脂膜を形成する。発光部６７による照射は、押圧手段６４による押し付け動作の完了後、すなわち、押圧手段６４がウェーハＷから離れた後に実施される。このため、ウェーハＷに内部応力を残留させずにウェーハＷに対して樹脂膜を形成することができる。
【００２９】
シート供給手段７０は、ロールシートＲからシートＳを引き出すシート引き出し部７１と、引き出されたシートを所定長で切断する切断部７２とを有している。シート引き出し部７１は、ロールシートＲに近付いてシートＳの前端を把持し、シートＳの前端を把持した状態でロールシートＲから離間して、ロールシートＲからシートＳを引き出す。ロールシートＲからシートＳが引き出されると、シート搬送手段８０によりシートＳが保持される。切断部７２は、シート搬送手段８０にシートＳが保持された状態で、引き出し方向に直交する幅方向でシートＳを切断する。
【００３０】
シート搬送手段８０は、外部筐体２の底壁部に配置された基台８１と、基台８１から突出した搬送アーム８２と、搬送アーム８２の先端に設けられたシート保持部８３とを有している。シート搬送手段８０は、搬送アーム８２によってシート保持部８３を移動させることで、シート供給手段７０とステージ６２との間でシートＳを搬送する。
【００３１】
このように構成されたウェーハ貼着装置１では、ウェーハ搬入搬出手段２０により搬入側のカセット４から加工前のウェーハＷが取り出され、仮置きテーブル４１に仮置きされる。仮置きテーブル４１上のウェーハＷは、撮像部４２により撮像されてウェーハＷの向きや中心位置が算出される。撮像後のウェーハＷは、算出された向きや中心位置に基づいてウェーハ搬送手段３０によって貼着装置６０へ搬送され、押圧手段６４によってステージ６２の上方で保持される。
【００３２】
一方、ウェーハＷの貼着装置６０への搬送に並行して、シート供給手段７０によりロールシートＲからシートＳが引き出される。シート供給手段７０により引き出されたシートＳは、所定長で切断されてシート搬送手段８０によりステージ６２上に搬送される。このとき、ステージ６２上に搬送されたシートＳはステージ６２に対して密着されている。ステージ６２の上のシートＳには、中央部分に樹脂供給手段６３から液状樹脂が供給される。貼着装置６０に対してシートＳ及びウェーハＷが搬送されると、液状樹脂が供給されたシートＳに対して押圧手段６４に保持されたウェーハＷが押し付けられる。これにより、液状樹脂がウェーハＷの外縁まで行き渡る。
【００３３】
シートＳに対するウェーハＷの押し付けが完了すると、発光部６７からの光の照射により液状樹脂が硬化され、ウェーハＷとシートＳとの間に樹脂膜Ｌ（図５参照）が形成される。シートＳ付きのウェーハＷは、ウェーハ搬送手段３０によりステージ６２から取り出され、シート切断手段５０の下方に配置される。そして、シートＳ付きのウェーハＷは、シート切断手段５０においてウェーハＷの外形に沿って余分なシートＳが取り除かれ、ウェーハ搬入搬出手段２０によりシート切断手段５０から搬出側のカセット５に押し込まれる。
【００３４】
図２を参照して、ステージ６２について詳細に説明する。図２は、本実施の形態に係るステージ６２の模式図である。なお、図２Ａがステージ６２の上面模式図、図２Ｂが図２ＡのＡ−Ａ線に沿う断面図である。
【００３５】
図２Ａ及び図２Ｂに示すように、ステージ６２は、ガラス等の透光性材料により円板状に形成されており、上面の外周領域を除いて中央領域に凹部６２１が設けられている。ステージ６２には、凹部６２１を囲繞する外周領域にリング形状の第一の保持面６２２、凹部６２１の内底面に第二の保持面６２３、凹部６２１の内周面に第一の保持面６２２から第二の保持面６２３に至る側面６２４がそれぞれ形成される。第一の保持面６２２には、シートＳの外周領域を吸引保持する２つの第一の吸引口６２５が同心円状に形成されている。第二の保持面６２３と側面６２４との角部には、シートＳの中央領域を吸引する環状の第二の吸引口６２６が形成されている。
【００３６】
第一の吸引口６２５は、ステージ６２の内外に設けられた流路を通じて負圧生成源６３１に接続される。第二の吸引口６２６は、ステージ６２の内外に設けられた流路を通じて分岐配管６３２に連結し、分岐配管６３２を介して負圧生成源６３１及び圧縮エア供給源６３３に接続される。第一の吸引口６２５は、開閉バルブ６３４を介して負圧生成源６３１に連通されている。第二の吸引口６２６に連結した分岐配管６３２は、開閉バルブ６３５を介して負圧生成源６３１に連通され、開閉バルブ６３６を介して圧縮エア供給源６３３に連通されている。開閉バルブ６３４、６３５、６３６は、それぞれ制御手段６（図１参照）により開閉タイミングが制御されている。
【００３７】
また、第二の保持面６２３には、全域にわたって微細な凹凸６２７が形成されている。この微細な凹凸６２７は、例えばサンドブラストによって第二の保持面６２３が租面化されることで形成される。微細な凹凸６２７は、第二の保持面６２３にシートＳが保持された状態で第二の保持面６２３とシートＳの下面Ｓ１との間に隙間Ｇ（空隙）を形成する（図４参照）。第二の保持面６２３とシートＳの下面Ｓ１との間に微細な隙間Ｇが形成されることで、第二の保持面６２３の全域にエアの抜け路が確保される。
【００３８】
ステージ６２上にシートＳが載置されると、第一の吸引口６２５の吸引によって第一の保持面６２２にシートＳの外周領域が吸引保持される。これにより、シートＳの下面Ｓ１と第二の保持面６２３と側面６２４とによって閉空間６２８が形成される。第二の吸引口６２６によって、この閉空間６２８からエアが吸引されることで、シートＳの下面Ｓ１が第一の保持面６２２よりも凹んだ第二の保持面６２３に貼り付けられる。このとき、シートＳは、第一の保持面６２２と第二の保持面６２３との段差によって引き伸ばされつつ、平坦な第二の保持面６２３に沿って保持される。
【００３９】
上記したように、第二の保持面６２３の全体に微細な凹凸６２７が形成されているため、シートＳの下面Ｓ１と第二の保持面６２３との間に隙間Ｇが形成される（図４参照）。第二の保持面６２３にシートＳが保持された状態でも、隙間Ｇによって第二の保持面６２３の全体にエアの抜け路が確保されているため、負圧生成源６３１からの吸引力が第二の保持面６２３の全体に作用される。したがって、シートＳの下面Ｓ１と第二の保持面６２３との間に部分的に気泡が残ることがなく、ステージ６２上にシートＳを密着させることができる。このように、第二の保持面６２３に沿ってシートＳが平坦に保持されるため、シートＳに対してウェーハＷを良好に貼着することができる。
【００４０】
また、ステージ６２上からシートＳを剥がす際には、シートＳの外周領域が第一の保持面６２２に保持された状態で、第二の吸引口６２６から閉空間６２８に圧縮エアが送り込まれる。これにより、シートＳの中央領域が第二の保持面６２３から剥がれる。このように、本実施の形態に係るステージ６２は、シートＳを第二の保持面６２３に対して密着させると共に、第二の保持面６２３に貼り付けられたシートＳを容易に剥がすことができる。
【００４１】
なお、微細な凹凸６２７の大きさは、シートＳの表面が凹凸６２７に倣って凹凸状に変形しない程度（例えば、表面粗さＲａ１μｍ）に形成されていればよい。これにより、シート上に液状樹脂を介してウェーハＷが貼着される場合に、液状樹脂に凹凸形状が転写された状態で硬化されることがなく、後工程の研削工程での不具合が抑制される。
【００４２】
図３を参照して、ステージに対するシートの貼り付け動作について説明する。図３は、本実施の形態に係るステージに対するシートの貼り付け動作の説明図である。図４は、図３Ｂの部分拡大図である。なお、図３に示すシートの貼り付け動作は一例に過ぎず、適宜変更が可能である。
【００４３】
図３Ａに示すように、シートＳが第一の保持面６２２に載置されると、開閉バルブ６３４が開かれて、第一の吸引口６２５が負圧生成源６３１に連通される。これにより、第一の吸引口６２５によって第一の保持面６２２にシートＳの外周領域が吸着される。このとき、シートＳの下面Ｓ１と第二の保持面６２３と側面６２４とによって閉空間６２８が形成される。
【００４４】
次に、ステージ６２上に閉空間６２８が形成されると、図３Ｂに示すように開閉バルブ６３５が開かれて第二の吸引口６２６が負圧生成源６３１に連通される。これにより、第二の吸引口６２６によって閉空間６２８からエアが吸引され、凹部６２１の段差によってシートＳが引き伸ばされながら第二の保持面６２３にシートＳが貼り付けられる。図４に示すように、第二の保持面６２３には微細な凹凸６２７が設けられており、この微細な凹凸６２７によって第二の保持面６２３とシートＳの下面Ｓ１との間にエアの抜け路となる隙間Ｇが形成されている。この場合、シートＳと第二の保持面６２３との間に一時的に気泡が存在していても、隙間Ｇを通じて第二の保持面６２３の全域からエアが引き込まれて、最終的にシートＳの下面Ｓ１と第二の保持面６２３との間に気泡が残ることがない。このようにして、第二の保持面６２３にシートＳが密着される。その後、シートＳに対して貼着装置６０（図１参照）による貼着動作が実施される。
【００４５】
なお、シートＳの貼り付け動作時においては、シート保持部８３（図１参照）によってシートＳの中央領域を第二の保持面６２３に押し付けるようにしてもよい。この場合、例えばシート保持部８３に設けた膨張膜をドーム状に膨らませて、シートＳを第二の保持面６２３に押し付けるようにする。
【００４６】
図５を参照して、ステージからのシート付きウェーハの引き剥がし動作について説明する。図５は、本実施の形態に係るステージからのシート付きのウェーハの引き剥がし動作の説明図である。なお、図５に示すシート付きウェーハの引き剥がし動作は一例に過ぎず、適宜変更が可能である。
【００４７】
図５Ａに示すように、ウェーハＷの貼着動作の直後は、開閉バルブ６３４、６３５が開かれており、第一、第二の吸引口６２５、６２６が負圧生成源６３１に連通されている。また、開閉バルブ６３６が閉じられており、第二の吸引口６２６が圧縮エア供給源６３３から遮断されている。この状態では、シートＳが第一の保持面６２２及び第二の保持面６２３に密着されている。
【００４８】
次に、図５Ｂに示すように、開閉バルブ６３５が閉じられて、第二の吸引口６２６が負圧生成源６３１から遮断される。同時に開閉バルブ６３６が開かれて、第二の吸引口６２６が圧縮エア供給源６３３に連通される。このとき、開閉バルブ６３４は開かれた状態で維持され、第一の保持面６２２によってシートＳの外周領域が吸引保持されている。このような制御により、圧縮エア供給源６３３から第二の吸引口６２６を介してシートＳの下面Ｓ１と第二の保持面６２３との間に圧縮エアが供給される。これにより、第二の保持面６２３によるシートＳの吸引保持が解除される。第二の保持面６２３とシートＳの下面Ｓ１との隙間Ｇに圧縮エアが入り込むことで、第二の保持面６２３からシートＳを容易に引き剥がすことが可能になっている。その後、ウェーハ搬送手段３０（図１参照）による搬送時に第一の保持面６２２の吸引保持が解除されて、シートＳ付きウェーハＷがステージ６２上から搬出される。
【００４９】
以上のように、本実施の形態に係るウェーハ貼着方法によれば、シートＳをステージ６２に載置する際には、第一の保持面６２２にシートの外周が保持されたまま、シートＳと側面６２４と第二の保持面６２３とに囲まれた閉空間６２８から第二の吸引口６２６によってエアが吸引される。このとき、第二の保持面６２３に微細な凹凸６２７が形成されているため、シートＳが第二の保持面６２３に保持されることで隙間Ｇが形成される。微細な凹凸６２７による隙間Ｇによって第二の保持面６２３の全域にエアの抜け路が確保されているため、気泡を残すことなくステージ６２にシートＳを密着させることができる。特に、ウェーハＷが大口径化してステージ６２とシートＳとの接触面積が大きくなる場合であっても、シートＳの中央箇所に気泡を残すことなくステージ６２にシートＳを密着させることができる。
【００５０】
なお、本発明は上記実施の形態に限定されず、種々変更して実施することが可能である。上記実施の形態において、添付図面に図示されている大きさや形状などについては、これに限定されず、本発明の効果を発揮する範囲内で適宜変更することが可能である。その他、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施することが可能である。
【００５１】
例えば、本実施の形態では、ステージ６２の第二の保持面６２３に微細な凹凸６２７が形成される構成としたが、この構成に限定されない。微細な凹凸は、ステージ６２の第二の保持面６２３及びシートＳのステージ６２側の下面Ｓ１の少なくとも一方に形成されていればよい。例えば、図６に示すように、シートＳの下面Ｓ１に微細な凹凸６２９が形成される場合であっても、第二の保持面６２３とシートＳの下面Ｓ１との間にエアの抜け路となる隙間Ｇを形成することが可能である。この場合、シートＳの外周領域には微細な凹凸６２９を設けないようにする。なお、シートＳの微細な凹凸６２９は、サンドブラストによって形成されてもよいし、コロナ処理で形成されてもよい。
【００５２】
また、本実施の形態では、第二の保持面６２３と側面６２４との角部に第二の吸引口６２６を形成したが、これに限定されない。第二の吸引口６２６は、少なくとも第二の保持面６２３及び側面６２４の一方に形成されていればよい。
【００５３】
また、本実施の形態では、第一、第二の吸引口６２５、６２６が同一の負圧生成源６３１に接続される構成としたが、この構成に限定されない。第一、第二の吸引口６２５、６２６は、異なる負圧生成源、すなわち第一、第二の負圧生成源に接続されてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００５４】
以上説明したように、本発明は、ウェーハが大口径化する場合であっても、ステージ上にシート全面を密着させることができるという効果を有し、特に、ウェーハメイキング工程においてシートに液状樹脂を介して半導体ウェーハを貼着するウェーハ貼着方法に有用である。
【符号の説明】
【００５５】
１  ウェーハ貼着装置
３０  ウェーハ搬送手段
６０  貼着装置
６１  基台
６２  ステージ
６３  樹脂供給手段
６４  押圧手段
６２１  凹部
６２２  第一の保持面
６２３  第二の保持面
６２４  側面
６２５  第一の吸引口
６２６  第二の吸引口
６２７、６２９  凹凸
６２８  閉空間
６３１  負圧生成源
６３２  分岐配管
６３３  圧縮エア供給源
Ｇ  隙間
Ｓ  シート
Ｓ１  ウェーハの下面
Ｗ  ウェーハ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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