(57)【要約】【課題】プリアンプの入力容量を小さく保ちながら十分な静電気対策を施した放射線検出器を提供する。【解決手段】放射線検出器では、プリアンプ（増幅器）２に接続された接続線２２と他の接続線との間にキャパシタ５が接続されている。特に、放射線検出素子１に接続された接続線の内で信号線３との間の電気抵抗が最も低い接続線１１と接続線２２との間にキャパシタ５が接続されている。信号線３へ静電気による電流が流れることが防止され、静電気による信号線３又はプリアンプ２の損傷が防止される。信号線３には静電気対策用の回路素子は設けられておらず、プリアンプ２の入力容量は低く保たれる。従って、放射線検出器は、プリアンプ２の入力容量を小さく保ちながら、十分な静電気対策を施されている。【選択図】図１
2014021000.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
放射線検出素子と、該放射線検出素子からの信号を入力される増幅器と、前記放射線検出素子又は前記増幅器に接続されており、外部の電源又はグラウンドに接続されるための複数の接続線とを備える放射線検出器において、
前記複数の接続線の内の少なくとも一つの接続線と他の接続線との間に、静電容量を有する回路素子を接続してあること
を特徴とする放射線検出器。
【請求項２】
前記増幅器に接続された一つの接続線は、外部のグラウンドに接続されるための接続線であり、
前記放射線検出素子に接続された一又は複数の接続線の夫々と前記一つの接続線との間に前記回路素子を接続してあること
を特徴とする請求項１に記載の放射線検出器。
【請求項３】
前記増幅器には複数の接続線が接続されてあり、
前記一つの接続線と前記増幅器に接続された他の接続線との間に前記回路素子を接続してあること
を特徴とする請求項２に記載の放射線検出器。
【請求項４】
複数の基板を備え、
前記放射線検出素子及び前記増幅器は、一の基板に実装されており、
前記回路素子は、他の基板に実装されてあること
を特徴とする請求項１乃至３の何れか一つに記載の放射線検出器。
【請求項５】
前記回路素子は、
所定方向の直流電圧に対して所定の電圧値まで電流を流さず、パルス電圧に対して前記所定の電圧値よりも低い電圧値で電流を流す特性を有すること
を特徴とする請求項１乃至４の何れか一つに記載の放射線検出器。
【請求項６】
前記回路素子は、キャパシタ、ダイオード又はバリスタであること
を特徴とする請求項１乃至５の何れか一つに記載の放射線検出器。
【請求項７】
前記放射線検出素子、前記増幅器及び前記回路素子は、減圧状態又は不活性ガスを封入した状態の一つの密閉容器内に配置されていること
を特徴とする請求項１乃至６の何れか一つに記載の放射線検出器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、放射線検出素子と、プリアンプの一部又は全部として利用される増幅器とを備えた放射線検出器に関する。
【背景技術】
【０００２】
Ｘ線等の放射線を検出する放射線検出器は、ＳＤＤ（Silicon Drift Detector）等の放射線検出素子を備える。放射線検出素子は、検出した放射線に応じた電荷信号を出力し、電荷信号はプリアンプによって電圧信号に変換され、電圧信号に基づいてスペクトル生成等の信号処理が行われる。従来の放射線検出器には、放射線検出素子及びプリアンプを含んだユニット状に構成されたものがある。特許文献１には、ユニット状の放射線検出器の例が開示されている。
【０００３】
ユニット状の放射線検出器は、放射線検出素子及びプリアンプ以外に、電力を供給するために放射線検出素子及びプリアンプの夫々に接続された接続線を含んでいる。接続線は、接続端子を介して外部の電源又はグラウンドに接続される。また、ユニット状の放射線検出器には、プリアンプの回路の全てが含まれていないものもあり、このような放射線検出器には、プリアンプの一部が含まれている。例えば、プリアンプの一部であるＦＥＴ（Field effect transistor ）が放射線検出素子に接続されているものがある。このような放射線検出器では、ＦＥＴは、外部に存在するプリアンプのその他の部分に接続端子を介して接続される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第３１２７９３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
放射線検出器では、放射線検出素子からプリアンプへの入力容量が大きいほど、出力する信号に含まれるノイズが大きくなり、ノイズが大きいほど放射線検出のエネルギー分解能が悪化する。放射線検出のエネルギー分解能を向上させるためには、プリアンプの入力容量を小さくしておく必要がある。放射線検出素子からプリアンプへ信号を入力するための信号線にキャパシタ等の静電気対策用の回路素子を設けた場合は、プリアンプの入力容量が大きくなってしまう。このため、入力容量を抑制するために信号線には不十分な静電気対策しか施されていないのが現状である。従って、従来の放射線検出器を取り扱う際に、接続端子及び接続線を経由して静電気により信号線又はプリアンプが損傷を受け、放射線検出器が故障する虞がある。
【０００６】
本発明は、斯かる事情に鑑みてなされたものであって、その目的とするところは、プリアンプの入力容量を小さく保ちながら十分な静電気対策を施した放射線検出器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係る放射線検出器は、放射線検出素子と、該放射線検出素子からの信号を入力される増幅器と、前記放射線検出素子又は前記増幅器に接続されており、外部の電源又はグラウンドに接続されるための複数の接続線とを備える放射線検出器において、前記複数の接続線の内の少なくとも一つの接続線と他の接続線との間に、静電容量を有する回路素子を接続してあることを特徴とする。
【０００８】
本発明に係る放射線検出器は、前記増幅器に接続された一つの接続線は、外部のグラウンドに接続されるための接続線であり、前記放射線検出素子に接続された一又は複数の接続線の夫々と前記一つの接続線との間に前記回路素子を接続してあることを特徴とする。
【０００９】
本発明に係る放射線検出器は、前記増幅器には複数の接続線が接続されてあり、前記一つの接続線と前記増幅器に接続された他の接続線との間に前記回路素子を接続してあることを特徴とする。
【００１０】
本発明に係る放射線検出器は、複数の基板を備え、前記放射線検出素子及び前記増幅器は、一の基板に実装されており、前記回路素子は、他の基板に実装されてあることを特徴とする。
【００１１】
本発明に係る放射線検出器は、前記回路素子は、所定方向の直流電圧に対して所定の電圧値まで電流を流さず、パルス電圧に対して前記所定の電圧値よりも低い電圧値で電流を流す特性を有することを特徴とする。
【００１２】
本発明に係る放射線検出器は、前記回路素子は、キャパシタ、ダイオード又はバリスタであることを特徴とする。
【００１３】
本発明に係る放射線検出器は、前記放射線検出素子、前記増幅器及び前記回路素子は、減圧状態又は不活性ガスを封入した状態の一つの密閉容器内に配置されていることを特徴とする。
【００１４】
本発明においては、放射線検出素子と増幅器とを備える放射線検出器は、放射線検出素子又は増幅器に接続されてあり外部に接続されるための複数の接続線の間に、静電容量を有する回路素子を接続してある。例えば、接続線間に、静電容量を有するキャパシタ、ダイオード又はバリスタ等の回路素子が接続されている。また例えば、接続線間の寄生容量を利用した回路素子が設けられている。回路素子によって、接続線を通じた静電気による損傷が抑制される。
【００１５】
また、本発明においては、放射線検出素子に接続された接続線と増幅器に接続されてあって外部のグラウンドへ接続されるための接続線との間に、静電容量を有する回路素子が接続されている。静電気による電流は回路素子を通じてグラウンドへ流れる。
【００１６】
また、本発明においては、増幅器に接続されてあって外部のグラウンドへ接続されるための接続線と増幅器に接続された他の接続線との間に、静電容量を有する回路素子が接続されている。増幅器に接続された接続線に発生した静電気による電流も、回路素子を通じてグラウンドへ流れる。
【００１７】
また、本発明においては、静電容量を有する回路素子は、放射線検出素子とは別の基板に実装されていることによって、放射線の検出に悪影響を及ぼすことのない位置に設けられている。
【００１８】
また、本発明においては、静電容量を有する回路素子は、直流電圧に対して所定の電圧値まで電流を流さず、パルス電圧に対してはより低い電圧値で電流を流すような特性を有する。このため、この回路素子は、放射線検出器の動作に必要な直流電圧が印加された状態では動作せず、静電気の発生時には低い電圧であっても動作して回路を保護する。
【００１９】
また、本発明においては、放射線検出素子、増幅器及び前記回路素子が密閉容器内に配置されて、放射線検出器が構成されている。
【発明の効果】
【００２０】
本発明にあっては、放射線検出素子が静電気から保護されている一方で、プリアンプの少なくとも一部として用いられる増幅器の入力容量は低く保たれる。従って、放射線検出器は、プリアンプの入力容量を小さく保ちながら、十分な静電気対策を施されている等、本発明は優れた効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の放射線検出器の模式的回路図である。
【図２】放射線検出器の構成例を示す模式的断面図である。
【図３】キャパシタの数を減少させた放射線検出器の例を示す模式的回路図である。
【図４】キャパシタの数を減少させた放射線検出器の例を示す模式的回路図である。
【図５】基板を一つにした放射線検出器の例を示す模式的回路図である。
【図６】プリアンプの一部を含んだ放射線検出器の例を示す模式的回路図である。
【図７】寄生容量を利用して静電気対策を施した放射線検出器の例を示す模式的斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下本発明をその実施の形態を示す図面に基づき具体的に説明する。
図１は、本発明の放射線検出器の模式的回路図である。放射線検出器は、Ｘ線等の放射線を検出するための放射線検出素子１を備えている。放射線検出素子１は、ＳＤＤ等の半導体検出素子である。放射線検出素子１は、放射線が入射した場合に、放射線のエネルギーに比例した電荷信号を発生する。放射線検出素子１の出力端には、信号線３が接続されている。放射線検出素子１は電荷信号を出力し、信号線３は出力された電荷信号を伝送する。放射線検出器は、プリアンプ２を備えており、プリアンプ２の入力端に信号線３が接続されている。プリアンプ２は本発明における増幅器であり、例えば集積回路で構成されている。放射線検出素子１から出力された電荷信号は信号線３を通じてプリアンプ２へ入力される。プリアンプ２は、入力された電荷信号を、放射線のエネルギーに比例した電圧信号に変換する。プリアンプ２の出力端には、出力線２１が接続されており、出力線２１には外部に接続するための接続端子６が接続されている。プリアンプ２は、出力線２１及び接続端子６を通じて、外部へ電圧信号を出力する。放射線検出素子１及びプリアンプ２は、基板４１上に実装されている。
【００２３】
放射線検出素子１には、信号線３以外に、接続線１１，１２が接続されている。接続線１１，１２は、夫々に接続端子６に接続されている。接続線１１，１２は、接続端子６を通じて外部の電源又はグラウンドに接続される。放射線検出素子１は、接続線１１，１２を通じて、動作に必要な電圧を外部から印加される。接続線１１と信号線３との間の電気抵抗は、放射線検出素子１に接続された他の接続線と信号線３との間の電気抵抗に比べて低い。即ち、信号線３が接続された放射線検出素子１の出力端と接続線１１が接続された接続端との間の経路の放射線検出素子１内での電気抵抗が、他の経路に比べて低くなっている。図１には、放射線検出素子１に二本の接続線が接続されている形態を示したが、放射線検出器は、放射線検出素子１に単数の接続線が接続されている形態であってもよく、三本以上の接続線が接続されている形態であってもよい。
【００２４】
プリアンプ２には、信号線３及び出力線２１以外に、接続線２２，２３が接続されている。接続線２２，２３は、夫々に接続端子６に接続されている。接続線２２は、接続端子６を通じて外部のグラウンドに接続されるグラウンド線である。接続線２３は、接続端子６を通じて外部の電源に接続される。図１には、プリアンプ２に二本の接続線が接続されている形態を示したが、放射線検出器は、プリアンプ２に単数の接続線が接続されている形態であってもよく、三本以上の接続線が接続されている形態であってもよい。三本以上の接続線が接続されている場合は、各接続線は外部の電源又はグラウンドに接続される。
【００２５】
図２は、放射線検出器の構成例を示す模式的断面図である。基板４１、放射線検出素子１及びプリアンプ２は、密閉容器７３内に配置されている。複数の接続端子６の先端は、密閉容器７３外に突出している。密閉容器７３は、内部が減圧されている状態であるか、又は内部に不活性ガスが満たされて封入された状態になっている。密閉容器７３は、接着剤による接着、はんだ付け又はろう付け等の方法で密閉されており、簡単には開放することができない構造になっている。密閉容器７３には、窓部７４が設けられている。窓部７４は、放射線検出器が検出すべき放射線が透過する材料で形成されており、例えば、ダイヤモンド等のカーボン膜、ベリリウム膜又は高分子ポリマー膜で形成されている。また、窓部７４は、可視光が透過しないような処理が施されてあってもよい。
【００２６】
放射線検出素子１は、窓部７４の正面に位置するように、基板４１の一面に配置されている。放射線は、窓部７４を通過して放射線検出素子１へ入射し、検出される。プリアンプ２は、基板４１の他面に配置されており、放射線検出素子１に対して基板４１の裏側に位置している。信号線３は、基板４１に設けられたスルーホールを通って放射線検出素子１及びプリアンプ２に接続されている。接続線１１，１２，２２，２３及び出力線２１は、基板４１の表面又は内部に形成された配線、ボンディングパッド及びワイヤを含んで構成されている。
【００２７】
密閉容器７３内には、更に、放射線検出素子１を冷却する冷却部７１が備えられている。冷却部７１は、例えばペルチェ素子である。放射線検出器には、外部の電源に接続されて冷却部７１に外部から電力を供給するための図示しない接続部と図示しない放熱部とが設けられている。冷却部７１には伝熱部７２が連結しており、伝熱部７２は放射線検出素子１及び基板４１に接触している。放射線検出素子１及びプリアンプ２は、伝熱部７２及び基板４１を通じて冷却部７１によって冷却される。なお、伝熱部７２は基板４１の一部であってもよい。放射線検出素子１及びプリアンプ２の冷却が行われることによって、ノイズが低減される。
【００２８】
放射線検出器は、例えば、Ｘ線検出装置に備えられる。このとき、出力線２１は、接続端子６を介してＸ線検出装置内の信号処理部に接続される。また、接続線１１，１２はＸ線検出装置内の電源に接続され、接続線２２はＸ線検出装置内のグラウンドに接続され、接続線２３が電源に接続される。放射線検出素子１及びプリアンプ２に電力が供給され、放射線検出素子１及びプリアンプ２が動作する。放射線検出器は、出力線２１から電圧信号を出力し、電圧信号はＸ線検出装置内の信号処理部で処理される。例えば、信号処理部は、各値の電圧信号をカウントし、検出したＸ線のスペクトルを取得する処理を行う。また例えば、放射線検出器は、蛍光Ｘ線分析装置に備えられる。蛍光Ｘ線分析装置内では、放射線検出器は試料からの蛍光Ｘ線を検出し、試料の蛍光Ｘ線分析が行われる。また例えば、放射線検出器は光検出器であってもよい。
【００２９】
図１及び図２に示すように、放射線検出器は、基板４１以外に基板４２を備えている。基板４２は、密閉容器７３内に配置されており、図２に示す例では、基板４１に平行であり、冷却部７１を囲う位置に配置されている。グラウンド線になっている接続線２２と他の接続線の夫々との間に、キャパシタ５が接続されており、複数のキャパシタ５は基板４２に実装されている。即ち、接続線２２と接続線１１との間にキャパシタ５が接続され、接続線２２と接続線１２との間にキャパシタ５が接続され、接続線２２と接続線２３との間にキャパシタ５が接続されている。接続線１１，１２，２２，２３及び出力線２１は、基板４２の表面又は内部に形成された配線及びボンディングパッドを含んで構成されている。また、接続線２２と他の接続線との間にキャパシタ５を接続するための接続線の一部は、基板４２の内部に形成された配線で構成されており、この配線は図２中に破線で示されている。夫々の接続線と接続線２２との間にキャパシタ５が接続されているので、何れの接続端子６で静電気が発生したとしても、静電気による電流は、キャパシタ５を通じてグラウンドへ流れることになり、接続線を通じて信号線３を流れることは無い。このため、信号線３又はプリアンプ２が静電気によって損傷を受けることは無く、放射線検出器は静電気から保護される。キャパシタ５の静電容量は、静電気による電流が接続線を通じて信号線３を流れることを防止するために十分な静電容量である必要がある。例えば、キャパシタ５の静電容量は１００ｐＦ以上であることが望ましい。キャパシタ５の静電容量が１００ｐＦである場合は、電圧５０Ｖの静電気から放射線検出器を保護することができる。
【００３０】
放射線検出器では、放射線検出素子１に接続された接続線の内で信号線３との間の電気抵抗が最も低い接続線１１を通じて信号線３へ静電気による電流が流れた場合に、信号線３又はプリアンプ２の損傷が最大となる。このため、放射線検出器は、接続線１１を通じた静電気に対して最も脆弱である。本発明では、接続線１１と接続線２２との間にキャパシタ５が接続されていることによって、接続線１１を通じて信号線３へ静電気による電流が流れることが防止されるので、静電気による信号線３又はプリアンプ２の損傷が効果的に防止される。また、接続線２２と接続線２３との間にもキャパシタ５が接続されているので、接続線２３で静電気により発生した電流はキャパシタ５を通じてグラウンドへ流れる。プリアンプ２に接続された接続線からプリアンプ２又は信号線３へ静電気による電流が流れることが防止され、同様に静電気による信号線３又はプリアンプ２の損傷が防止される。
【００３１】
また、本実施の形態では、信号線３には静電気対策用の回路素子は設けられていないので、回路素子に起因してプリアンプ２の入力容量が大きくなることが無く、プリアンプ２の入力容量は低く保たれる。従って、本発明の放射線検出器は、プリアンプの入力容量を小さく保ちながら、十分な静電気対策を施されている。このため、放射線検出器は、高いエネルギー分解能で放射線検出が可能であると共に、静電気に対する耐久性に優れている。
【００３２】
また、本実施の形態では、複数のキャパシタ５は、放射線検出素子１及びプリアンプ２が実装された基板４１とは別の基板４２に実装されている。キャパシタ５は、放射線の検出に悪影響を及ぼすことのない位置に設けられている必要がある。例えば、キャパシタ５は、放射線が当たらない位置、又はキャパシタ５に放射線が当たることによって発生した放射線が放射線検出素子１へ入射することが無い位置に設けられている。図２に示す例では、窓部７４と基板４２との間に、基板４１及び放射線検出素子１が配置されており、窓部７４を通過した放射線はほぼ放射線検出素子１へ入射し、キャパシタ５には入射し難いようになっている。基板４１とは別の基板４２に複数のキャパシタ５を実装してあることによって、放射線の検出に悪影響を及ぼすことのない位置に設けられるようにキャパシタ５の配置を工夫することが容易となる。また、放射線検出素子１及びプリアンプ２の配置を変えずにキャパシタ５の配置を工夫することができるので、既存の放射線検出器の回路のレイアウトを利用して本発明の放射線検出器を構成することが容易となる。
【００３３】
次に、放射線検出器の他の構成例を説明する。図３及び図４は、キャパシタ５の数を減少させた放射線検出器の例を示す模式的回路図である。図３に示した例では、接続線１１と接続線２２との間にキャパシタ５が接続されており、他にはキャパシタ５は設けられていない。この例でも、接続線１１を通じて信号線３へ静電気による電流が流れることが、キャパシタ５によって防止されている。この例では、放射線検出器の静電気に対して最も脆弱な部分がキャパシタ５によって重点的に保護されており、少数のキャパシタ５で最大限の静電気対策が施されている。図３に示したように、放射線検出器は、放射線検出素子１に接続された接続線の内で信号線３との間の電気抵抗が最も低い接続線１１と他の接続線との間にキャパシタ５が接続されてあって他のキャパシタ５が省略された形態であってもよい。
【００３４】
図４に示した例では、接続線１１と接続線１２との間にキャパシタ５が接続されており、他にはキャパシタ５は設けられていない。この例でも、接続線１１を通じて信号線３へ静電気による電流が流れることがキャパシタ５によって抑制される。図４に示したように、放射線検出器は、接続線２２以外の接続線と接続線１１との間にキャパシタ５が接続された形態であってもよい。また、放射線検出器は、接続線１１と他の複数の接続線の夫々との間にキャパシタ５が接続された形態であってもよい。接続線１１と他の接続線との間にキャパシタ５が接続されてあれば、静電気に対して最も脆弱な部分が重点的に保護され、放射線検出器は静電気に対する耐久性を有する。また、放射線検出器は、接続線１１以外の接続線間にキャパシタ５が接続された形態であってもよい。この形態においても、キャパシタ５が接続された接続線を通じて信号線３へ静電気による電流が流れることが抑制される。
【００３５】
図５は、基板を一つにした放射線検出器の例を示す模式的回路図である。図５に示すように、放射線検出器は、放射線検出素子１及びプリアンプ２が実装された基板４１に静電気対策用のキャパシタ５が更に実装された形態であってもよい。また、放射線検出器は、基板にキャパシタ５が実装されているのではなく、接続線にキャパシタ５が直接に設けられている形態であってもよい。また、放射線検出器は、夫々の接続線が接続された接続端子６の間にキャパシタ５が接続された形態であってもよい。
【００３６】
また、放射線検出器は、プリアンプの一部として用いられる増幅器を備えた形態であってもよい。図６は、プリアンプの一部を含んだ放射線検出器の例を示す模式的回路図である。図６に示す例では、放射線検出器はＦＥＴ２０を備えており、ＦＥＴ２０は増幅器に対応する。ＦＥＴ２０には、信号線３が接続されており、更に出力線２１及び接続線２２が接続されている。接続線２２は、グラウンド線である。出力線２１は、接続端子６を介して、外部に設けられたプリアンプの他の部分に接続される。放射線検出器は、例えば、プリアンプの他の部分を備えたＸ線検出装置に備えられる。ＦＥＴ２０は、信号線３を通じて放射線検出素子１から信号を入力され、適宜信号の増幅を行い、出力線２１を通じてプリアンプの他の部分へ信号を出力する。また、接続線１１と接続線２２との間にキャパシタ５が接続されており、接続線１２と接続線２２との間にキャパシタ５が接続されている。この形態においても、放射線検出器は、キャパシタ５によって静電気から保護されている。
【００３７】
なお、放射線検出器は、静電容量を有する回路素子であれば、静電気対策用の回路素子としてキャパシタ以外の回路素子を用いた形態であってもよい。例えば、放射線検出器は、静電気対策用の回路素子としてダイオード又はバリスタを用いてもよい。放射線検出素子１は半導体検出素子であるので、動作時には一定の直流電圧が印加されている。このため、静電気対策用の回路素子は、放射線検出素子１に動作時に印加される電圧では動作しないことが必要である。一方で、静電気による電流によって信号線３及びプリアンプ２が損傷することを効果的に防止するためには、静電気対策用の回路素子は、低い電圧であっても静電気の発生時には動作することが望ましい。従って、ダイオード又はバリスタ等の静電気対策用の回路素子は、直流電圧に対して所定の電圧値まで電流を流さず、パルス電圧に対してはより低い電圧値で電流を流すような特性を有していることが望ましい。また、ダイオード又はバリスタ等の回路素子の静電容量は、静電気による電流が接続線を通じて信号線３を流れることを防止するために十分な静電容量である必要がある。
【００３８】
また、放射線検出器は、一箇所で複数の回路素子を用いて静電気対策を施した形態であってもよい。例えば、放射線検出器は、接続線１１と接続線２２との間に複数のキャパシタ５が接続された形態であってもよい。また例えば、放射線検出器は、キャパシタを含む複数種類の回路素子で構成された静電気対策用の回路が接続線１１と接続線２２との間に設けられた形態であってもよい。一箇所に設けられた複数の回路素子の組み合わせによって得られる静電容量は、静電気による電流が接続線を通じて信号線３を流れることを防止するために十分な静電容量である必要がある。
【００３９】
また、放射線検出器は、ディスクリートの回路素子を用いて静電気対策を施した形態に限るものではなく、寄生容量を静電気対策用の静電容量として利用した回路素子を設けた形態であってもよい。図７は、寄生容量を利用して静電気対策を施した放射線検出器の例を示す模式的斜視図である。図７には、放射線検出器の一部を示している。絶縁性の基板４１上に、放射線検出素子１が実装されており、導電性の配線により接続線１１が形成されている。接続線１１は、ボンディングパッド及びワイヤを介して放射線検出素子１及び接続端子６と接続されている。基板４１は多層基板であり、内部に導電性の配線層が設けられている。基板４１内の配線層により接続線１２が形成されている。図７には接続線１２を破線で示している。接続線１２は、基板４１上に設けられているボンディングパッドとビアによって接続されており、ボンディングパッド及びワイヤを介して放射線検出素子１及び接続端子６と接続されている。なお、接続線１２は、基板４１の裏面に形成されていてもよい。
【００４０】
接続線１１の途中には、矩形状の平板部１１１が設けられている。平板部１１１は、ある程度の面積を有している金属板である。また、接続線１２の途中にも、矩形状の平板部１２１が設けられている。平板部１２１は、平板部１１１と同等の面積を有している金属板である。また、平板部１２１は、平板部１１１の真下、即ち、基板４１の表面に垂直に投影したときに平板部１１１に重なる位置に設けられている。平板部１１１及び平板部１２１は、ほぼ平行になっている。なお、平板部１１１及び平板部１２１の形状は、矩形以外の形状であってもよい。
【００４１】
導電性の平板部１１１及び平板部１２１の間に、絶縁性の基板４１の一部が存在するので、平板部１１１及び平板部１２１の間に寄生容量が発生する。この状態は、接続線１１と接続線１２との間に、基板４１の一部を誘電体として平板部１１１及び平板部１２１を一対の電極としたキャパシタが接続された状態と同様である。即ち、図７に示した放射線検出器の回路は、図４に示したような、接続線１１と接続線１２との間にキャパシタ５が接続された回路と同等である。この形態でも、図４に示した例と同様に、放射線検出器は、静電気から保護される。平板部１１１及び平板部１２１の大きさは、静電気による電流が接続線を通じて信号線３を流れることを防止するために十分な静電容量が得られる大きさになっている。
【００４２】
平板部１１１及び平板部１２１を一対の電極としたキャパシタは、接続線１１と接続線１２との間に接続された静電容量を有する回路素子である。このように、接続線間に接続された静電気対策用の回路素子は、ディスクリートの回路素子に限るものではなく、接続線間の寄生容量を静電容量として接続線の一部を含んで構成された回路素子であってもよい。同様にして、寄生容量を利用した回路素子を用いて図７に示した例以外の静電気対策を施すことも可能である。例えば、接続線１１と接続線２２との間に寄生容量を利用した回路素子を設けることによって、静電気対策を施してもよい。また、放射線検出器は、寄生容量を利用した回路素子とディスクリートの回路素子とを組み合わせて静電気対策を施した形態であってもよい。
【００４３】
なお、図１〜図７においては、放射線検出器の最小構成を示しており、放射線検出器は、静電気対策以外の用途で、図示していない他の回路素子又は配線を含んだ形態であってもよい。
【符号の説明】
【００４４】
１  放射線検出素子
１１、１２  接続線
１１１、１２１  平板部
２  プリアンプ（増幅器）
２０  ＦＥＴ
２１  出力線
２２、２３  接続線
３  信号線
４１、４２  基板
５  キャパシタ
６  接続端子
７１  冷却部
７３  密閉容器
７４  窓部
【図１】
2014021000.tif 000003
【図２】
2014021000.tif 000004
【図３】
2014021000.tif 000005
【図４】
2014021000.tif 000006
【図５】
2014021000.tif 000007
【図６】
2014021000.tif 000008
【図７】
2014021000.tif 000009