(57)【要約】      （修正有）【課題】反射部の振れ角を大きくすることができる圧電部品、それを用いた光源装置および印刷装置を提供する。【解決手段】圧電部品Ｘ１は、圧電素子２が設けられた支持部４と、光を反射するための反射部８と、支持部４と反射部８とを連結するとともに、第１方向Ｒ１に延びる連結部６と、を備え、連結部６は、第１方向Ｒ１に沿って延びる第１平面と、第１平面の反対側に位置し、第１方向Ｒ１に沿って延びる第２平面とを有しており、第１平面と第２平面との間に、第１方向Ｒ１に直交する第２方向Ｒ２に突出する突出部を有している。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電素子が設けられた支持部と、
光を反射するための反射部と、
前記支持部と前記反射部とを連結するための連結部と、を備え、
該連結部は、第１方向に沿って延びる第１平面と、該第１平面の反対側に位置し、前記第１方向に沿って延びる第２平面とを有しており、
前記第１平面と前記第２平面との間に、前記第１方向に直交する第２方向に突出する突出部を有していることを特徴とする圧電部品。
【請求項２】
前記突出部の縁は、前記第１方向から断面視して、曲線により構成されている、請求項１に記載の圧電部品。
【請求項３】
前記第１平面の幅と前記第２平面の幅とが略等しい、請求項１または２に記載の圧電部品。
【請求項４】
前記連結部は、前記第１方向から断面視して、前記連結部の前記第２方向の幅が、前記連結部の厚み方向の中央部に向かうにつれて、漸次大きくなっている、請求項１乃至３のいずれか１項に記載の圧電部品。
【請求項５】
前記連結部は、一端部にて前記支持部と連結され、他端部にて前記反射部と連結されており、
平面視して、前記一端部の幅が、平面視したときの中央部の幅よりも大きい、請求項１乃至４のいずれか１項に記載の圧電部品。
【請求項６】
前記連結部は、一端部にて前記支持部と連結され、他端部にて前記反射部と連結されており、
平面視して、前記他端部の幅が、平面視したときの中央部の幅よりも大きい、請求項１乃至５のいずれか１項に記載の圧電部品。
【請求項７】
平面視して、前記他端部の幅が、前記一端部の幅よりも大きい、請求項５または６に記載の圧電部品。
【請求項８】
光源と、
該光源から出射される光を前記反射部にて反射する請求項１乃至７のいずれか１項に記載の圧電部品と、
該圧電部品を制御する制御部と、を備えることを特徴とする光源装置。
【請求項９】
請求項８に記載の光源装置と、
感光体と、
前記光源から出射された光にて前記感光体を走査する光学系と、
前記静電潜像を記録媒体に転写する転写部と、を備え、
前記制御部が前記感光体に静電潜像を形成するよう制御することを特徴とする印刷装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電部品、光源装置および印刷装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、レーザープリンタ、あるいは投影型表示装置において、画像信号により変調されたレーザー光を反射部により反射して投影像を形成するための圧電部品が知られている。
【０００３】
圧電部品は、圧電素子が設けられた支持部と、光を反射するための反射部と、支持部と反射部とを連結するとともに、第１方向に延びる連結部と、を備えたものが知られている。そして、圧電素子を駆動させて支持部に振動を与え、支持部より連結部に回転トルクを与えて反射部に所定の振れ角をなした揺動を生じさせている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−８３６０３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載された圧電部品は、連結部に捩じれが生じにくく、反射部の振れ角が小さいという問題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一実施形態に係る圧電部品は、圧電素子が設けられた支持部と、光を反射するための反射部と、前記支持部と前記反射部とを連結するとともに、第１方向に延びる連結部とを備えている。また、該連結部は、第１方向に沿って延びる第１平面と、該第１平面の反対側に位置し、前記第１方向に沿って延びる第２平面とを有しており、前記第１平面と前記第２平面との間に、前記第１方向に直交する第２方向に突出する突出部を有している。
【０００７】
また、本発明の一実施形態に係る光源装置は、光源と、該光源から出射される光を前記反射部にて反射する上記に記載の圧電部品と、該圧電部品を制御する制御部とを備える。
【０００８】
また、本発明の一実施形態に係る印刷装置は、上記に記載の光源装置と、感光体と、前記光源から出射された光にて前記感光体を走査する光学系と、前記静電潜像を記録媒体に転写する転写部と、を備え、前記制御部が前記感光体に静電潜像を形成するよう制御する。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、連結部に捩じれが生じやすくなり、反射部の振れ角を大きくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】（ａ）は本発明の一実施形態に係る圧電部品の斜視図であり、（ｂ）は、（ａ）の平面図である。
【図２】（ａ）は連結部を拡大して示す断面斜視図、（ｂ）は第１方向から見た連結部の断面図である。
【図３】（ａ）は図１の連結部の変形例を示す断面図、（ｂ）は連結部の他の変形例を示す断面図である。
【図４】図１の連結部のさらに他の変形例を示す断面図である。
【図５】図１の圧電部品を備えた印刷装置の概略図である。
【図６】他の実施形態に係る圧電部品の分解斜視図である。
【図７】図６の圧電部品を構成する各部材を示し、（ａ）は第２部材の平面図、（ｂ）は第１部材の平面図、（ｃ）は第２部材の平面図である。
【図８】（ａ）は図７に示すＩ−Ｉ線断面図であり、（ｂ）は図３に示すＩＩ−ＩＩ線断面図である。
【図９】図６に示す第１部材の反射部および連結部を拡大して示す拡大平面図である。
【図１０】（ａ）は図９に示す第１部材の連結部の変形例を示す拡大平面図、（ｂ）は他の変形例を示す拡大平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
＜第１の実施形態＞
図１〜４を用いて第１の実施形態に係る圧電部品Ｘ１について説明する。
【００１２】
圧電部品Ｘ１は、圧電素子２が設けられた一対の支持部４と、光を反射するための反射部８と、支持部４と反射部８とを連結する一対の連結部６と、支持部４を固定する枠部１０とを備えている。なお、第１の実施形態では圧電部品Ｘ１は、枠部１０を備えているが、必ずしも枠部１０を設けなくともよい。
【００１３】
圧電素子２は、平板状の圧電セラミックスなどの圧電体（不図示）の一方の主面の略全面に電極（不図示）が形成されている。圧電体の他方の主面は、導電性接着剤１３（図８参照）を介して支持部４に電気的に接続されている。導電性接着剤１３としては、樹脂等の接着剤の内部に導電性粒子が混在した、周知のものを利用することができる。
【００１４】
圧電体としては、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）、チタン酸バリウム、ニオブ酸リチウム等の圧電材料を用いることができる。電極としては、Ａｕ、Ｐｔ、Ａｇ、Ｐｄ、Ｃｕなどの金属あるいは合金を使用することができる。電気抵抗率が小さい点から、Ａｕ、Ａｇ、Ｃｕなど金属あるいは合金を用いることが好ましい。なお、間に電極を挟んだ圧電体を複数積層してもよい。
【００１５】
圧電素子２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄは、一方の主面に設けられた電極がそれぞれ独立して外部に設けられた電源と、ワイヤボンディング等により電気的に接続されている。また、他方の主面に接続された支持部４ａ，４ｂはグランド電位に保持されている。そして、圧電素子２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄに設けられた電極に、電圧をそれぞれ独立した状態で印加することにより、圧電素子２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄの圧電体をそれぞれ独立して駆動することができる。
【００１６】
なお、圧電素子２は、一方の主面および他方の主面に電極を設けてもよい。この場合、一方の主面に設けられた電極をそれぞれ独立した状態で外部に設けられた電源と接続し、他方の主面に設けられた電極をグランド電位に保持すればよく、その逆でもよい。また、その場合は、支持部４と圧電素子２とを絶縁性の接着剤により接続すればよい。
【００１７】
支持部４は、反射部８を挟持するように一対設けられており、一方の支持部４ａと他方の支持部４ｂとが、反射部８を中心に対称に設けられている。また、支持部４上には圧電素子２が設けられている。一方の支持部４ａ上には圧電素子２ａ，２ｂが、連結部６を中
心に対称に設けられている。他方の支持部４ｂ上には圧電素子２ｃ，２ｄが、連結部６を中心に対称に設けられている。
【００１８】
平面視して、支持部４は、第１方向Ｒ１に直交する第２方向Ｒ２に延びるように設けられている。一方の支持部４ａと他方の支持部４ｂとは、第２方向Ｒ２における中央部にて、連結部６と連結されている。支持部４は、一端部および他端部が枠部材１０に接続されており、支持部４上に設けられた圧電素子２を駆動させることにより、支持部４に湾曲を生じさせることができる。
【００１９】
連結部６は、第１方向Ｒ１に長く設けられており、第１方向Ｒ１に沿って伸びる第１平面７ｄと、第１平面７ｄの反対側に位置し、第１方向Ｒ１に沿って伸びる第２平面７ｅを備えている。また、第１平面７ｄと第２平面７ｅとの間に、第１方向Ｒ１に直交する第２方向Ｒ２に突出する突出部７を備えている。
【００２０】
連結部６は、第１方向Ｒ１において、反射部８を両側から挟持するように配置されている。一方の連結部６ａは、一端部６ａ１が支持部４ａの第２方向Ｒ２における中央部に連結され、他端部６ａ２が反射部８の第２方向Ｒ２における中央部に連結されている。また、他方の連結部６ｂは、一端部６ｂ１が支持部４ｂの第２方向Ｒ２における中央部に連結され、他端部６ｂ２が反射部８の第２方向Ｒ２における中央部に連結されている。
【００２１】
反射部８は、外部に設けられた光源（不図示）から出射された光を他の方向に反射する機能を有している。反射部８は、第２方向Ｒ２に長く形成されており、第２方向Ｒ２における中央部に連結部６が連結されており、それにより、支持部４に固定されている。そのため、反射部８は、図１のＴに示すように、連結部６を揺動軸として厚み方向Ｒ３に揺動することとなる。
【００２２】
反射部８は、光を反射するために一方の主面に鏡面加工が設けられていることが好ましい。また、光の反射損失を低減するために、一方の主面の表面に、ＡｌあるいはＡｇの薄膜を設けることが好ましい。
【００２３】
枠部１０は、支持部４、連結部６、反射部８を取り囲むように配置されており、支持部４を接続固定することにより、連結部６および反射部８を固定して保持する機能を有している。支持部４ａ，４ｂの一端部および他端部は、枠部１０に接続されている。そのため、支持部４ａ，４ｂは、一端部および他端部が固定端として機能することとなる。なお、枠部１０は、平面視して、ロの字状の形状をなしている例を示したが、例えば、支持部４ａ，４ｂの一端部同士、および支持部４ａ，４ｂの他端部同士を独立して接続した構成としてもよい。
【００２４】
支持部４、連結部６、反射部８、および枠部１０は、ステンレスの薄板、あるいはＡｌ、Ａｕ、Ｐｔ、Ａｇ、Ｐｄ、Ｃｕなどの金属または合金の薄板により一体的に形成することができる。なお、変形が生じる支持部４、および捩じれが生じる連結部６の厚みとしては、５０〜１２０μｍであることが好ましい。支持部４および連結部６の厚みが５０〜１２０μｍであると、反射部８の振れ角を大きくすることができるとともに、支持部４および連結部６の強度を保持することができる。
【００２５】
また、支持部４、連結部６、反射部８、および枠部１０をシリコンなどの半導体材料、あるいは合成樹脂等により形成してもよい。合成樹脂等の絶縁性の材料により支持部４を形成する場合、圧電体の一方の主面および他方の主面に電極を形成して、圧電体から電極を引き出しやすくすることが好ましい。なお、支持部４、連結部６、反射部８、および枠部１０をそれぞれ別部材により作製した後、接着剤により連結してもよい。
【００２６】
以下、圧電部品Ｘ１の駆動について説明する。
【００２７】
圧電部品Ｘ１は、圧電素子２ａ，２ｃに外部から交流電圧が印加され、圧電素子２ｂ，２ｄに外部から上記の交流電圧とは逆位相の交流電圧が印加されると、圧電素子２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄは、外部からの交流電圧により圧電振動して、支持部４ａ，４ｂが上方あるいは下方に撓むこととなり、支持部４ａ，４ｂに変形が生じる。
【００２８】
支持部４ａ，４ｂが撓み変形を生じることにより、連結部６ａ，６ｂには回転トルクが与えられることとなり、連結部６ａ，６ｂに捩じれ変位が生じることとなる。連結部６ａ，６ｂに生じた捩じれ変位は、連結部６ａ，６ｂの内部で積み重なり、連結部６ａ，６ｂに接続された反射部８に回転モーメントとして伝わり、反射部８が、連結部６ａ，６ｂを揺動軸として、揺動振動することとなる。これにより、反射部８を所定の振れ角をなして揺動振動することとなる。
【００２９】
なお、振れ角とは、反射部８が揺動振動した際に、最も上方に大きく振れた際の反射部８の一端部と、連結部６a，６ｂと、最も下方に大きく振れた際の反射部８の一端部との
なす角を示す。
【００３０】
図２〜４を用いて連結部６について詳細に説明をする。なお図２（ｂ）、および図３，４において、ハッチングを省略して示している。
【００３１】
連結部６は、第１方向Ｒ１に沿って延びる第１平面７ｄと、第１平面７ｄの反対側に位置し、第１方向Ｒ１に沿って延びる第２平面７ｅとを有している。第１平面７ｄと第２平面７ｅとの間には、第２方向Ｒ２に向けて突出する突出部７が設けられており、厚み方向Ｒ３の中央部に突出端７ｃが配置されている。そのため、断面視して、連結部６は六角形状をなしている。
【００３２】
そのため、図２に示すように、厚み方向Ｒ３の上端部における第１平面７ｄの幅Ｌ１（以下、幅Ｌ１と称する場合がある）、および厚み方向Ｒ３の下端部における第２平面７ｅの幅Ｌ２（以下、幅Ｌ２と称する場合がある）が、厚み方向Ｒ３の中央部における幅Ｌ３（以下、幅Ｌ３と称する場合がある）よりも小さい構成となっている。
【００３３】
それにより、圧電部品Ｘ１は、支持部４の変形に起因して、連結部６に捩じれ変位が生じた場合に、突出部７により連結部６が捩じれやすくなり、連結部６に生じる捩じれ変位の量を大きくすることができる。また、連結部６は、第１方向Ｒ１に沿って延びる第１平面７ｄと、第１方向Ｒ１に沿って延びる第２平面７ｅとを有することから、連結部６の内部で効率よく捻じれ変位を積み重ねることができる。そのため、反射部８の振れ角を大きくすることができる。また、第２方向Ｒ２に生じる捩じれ変位を均一にすることができ、圧電部品Ｘ１の揺動を安定させることができる。
【００３４】
また、圧電部品Ｘ１は、幅Ｌ３が、幅Ｌ１および幅Ｌ２よりも長く、厚み方向Ｒ３における中央部に突出部７を有することから、支持部４と連結部６との接合面積が小さくなる可能性を低減することができる。そのため、支持部４と連結部６との接合強度が低下する可能性を低減することができる。
【００３５】
つまり、連結部６は、幅Ｌ１および幅Ｌ２が幅Ｌ３よりも短いことに起因して、同じ断面積を有するものに比べて、連結部６に捩じれ変位が生じやすくなるとともに、幅Ｌ３にて、連結部６と支持部４との接合面積を確保することにより、支持部４と連結部６との接合強度が低下する可能性を低減することができる。また、厚み方向Ｒ３の中央部にて、支
持部４と連結部６との接合面積を大きくすることにより、さらに、連結部６に生じる捩じれ変位の量を大きくすることができる。
【００３６】
また、連結部６は、幅Ｌ１と幅Ｌ２とが略等しい構成となっている。また、連結部６の断面積が、断面積の重心Ｇに対して、第２方向Ｒ２に線対称になっており、厚み方向Ｒ３においても線対称になっている。また、連結部６の断面積が、重心Ｇを中心として点対称となっている。
【００３７】
そのため、連結部６の第１方向Ｒ１および第２方向Ｒ２に生じる捩じれ変位を、均一に近づけることができる。それにより、連結部６が、図１に示すＴ方向と、Ｔ方向と逆向きのＴ´方向に生じる捩じれ変位が均一に近づくこととなり、Ｔ方向に生じる反射部８の振れ角と、Ｔ方向と逆向きのＴ´方向に生じる反射部８の振れ角とを均一に近づけることができる。なお、幅Ｌ１と幅Ｌ２とが略等しいとは、±１０％以内の範囲を含み、製造誤差を含む概念である。
【００３８】
また、連結部６は、厚み方向Ｒ３における上端部から突出部７の突出端７ｃまでの厚みＤ１（以下、厚みＤ１と称する場合がある）と、厚み方向Ｒ３における下端部から突出部７の突出端７ｃまでの厚みＤ２（以下、厚みＤ２と称する場合がある）とが、略同じ厚みを有している。そして、突出部７の突出端７ｃが、厚み方向Ｒ３の中央部に配置されている。そのため、厚み方向Ｒ３に生じる連結部６の捩じれ変位を、均一に近づけることができる。なお、連結部６が厚み方向Ｒ３の中央部に突出部７を有するとは、突出端７ｃが連結部６の上端から連結部６の厚みの４０〜６０％までの領域に位置していることを示している。
【００３９】
図３〜４を用いて連結部６の変形例について説明する。
【００４０】
図３（ａ）に示すように、連結部６は、幅Ｌ１が幅Ｌ２と異なる長さであってもよい。また、突出部７の突出端７ｃが、厚み方向Ｒ３の中央部に配置されていなくてもよい。このような場合においても、幅Ｌ１および幅Ｌ２が、幅Ｌ３よりも小さい構成となっているため、連結部６に捩じれ変位が生じやすい構成となり、反射部８（図１参照）の振れ角を大きくすることができる。
【００４１】
図３（ｂ）に示すように、連結部６は、第１方向Ｒ１から断面視して、突出部７の縁７ａ，７ｂが曲線により構成されていてもよい。それにより、連結部６の剛性を高めることができ、連結部６に破損が生じる可能性を低減することができる。
【００４２】
また、連結部６は、断面視して、厚み方向Ｒ３の幅が、厚み方向Ｒ３の両端部から中央部に向かうにつれて、漸次大きくなっていることが好ましい。つまり、幅Ｌ３が幅Ｌ１および幅Ｌ２に向けて漸次小さくなることが好ましい。それにより、連結部６の剛性を高めることができ、連結部６に破損が生じる可能性を低減することができる。また、連結部６の剛性を高めることができることから、連結部６の厚みを薄くすることができる。
【００４３】
さらに、図４に示すように、断面視して、突出部７の突出端７ｃが曲線により滑らかに構成されることが好ましい。これにより、突出端７ｃと、支持部４または反射部８との接合部に応力が集中する可能性を低減することができる。図４のように、突出部７を構成する縁７ａ，７ｂおよび突出端７ｃが、曲線により構成されており、突出部７の縁７ａ，７ｂおよび突出端７ｃが連なって設けられることにより、連結部６に捩じれ応力が生じた場合においても、連結部６に破損が生じる可能性を低減することができる。
【００４４】
なお、連結部６の上端と突出部７の縁７ａとの接合部、および連結部６の下端と突出部
７の縁７ｂとの接合部においても、曲線により構成されていることが好ましい。それにより、連結部６に捩じれ応力が集中する部位が生じる可能性を低減することができ、連結部６に破損が生じる可能性を低減することができる。
【００４５】
上述した圧電部品Ｘ１は、例えば、以下のようにして作製することができる。
【００４６】
まず、５０〜１２０μｍのステンレス板の上の全面にわたってフォトレジストを形成し、フォトリソグラフィ技術により、支持部４、連結部６、反射部８、および枠部１０が形成される領域上にフォトレジストが残るようにパターニングを行う。
【００４７】
パターニングは、連結部６が第１方向Ｒ１に長く設けられるように行う。次に、パターニングされた領域を酸によりエッチング処理を施して、支持部４、連結部６、反射部８、および枠部１０を作製する。なお、連結部６は、断面視して幅Ｌ３が幅Ｌ１および幅Ｌ２よりも長い構成となるように、フォトレジストのパターン、あるいはエッチングを行う時間を適宜調整する。
【００４８】
例えば、フォトレジストのパターンとして、幅Ｌ１よりも長くなるように、フォトレジストのパターンをステンレス板の上面に設けるとともに、幅Ｌ２よりも長くなるように、フォトレジストのパターンをステンレス板の下面に設ける。このステンレス板を一定時間エッチングした後に、エッチング液から取り出して、洗浄および乾燥を行う。その後、連結部６となる幅Ｌ１のフォトレジストのパターンをステンレス板の上面に設けるとともに、連結部６となる幅Ｌ２のフォトレジストのパターンをステンレス板の下面に設けた後、エッチングを行うことにより作製することができる。なお、エッチングは、ウェットエッチングでもドライエッチングでもよい。
【００４９】
なお、圧電部品Ｘ１では、支持部４ａ，４ｂ上にそれぞれ圧電素子２を２つずつ上面に設けた例を示したが、これに限定されるものではない。圧電素子２を１つのみ設けてもよく、３つ以上設けてもよい。
【００５０】
図５を用いて圧電部品Ｘ１を用いた印刷装置Ｚ１について説明する。印刷装置Ｚ１は、光源２２と、感光体２８と、圧電部品Ｘ１と、光源２２から出射された光にて感光体２８を走査する凹面鏡２６と、感光体２８に静電潜像を形成するように、圧電部品Ｘ１を制御する制御部３０と、静電潜像を記録媒体３４に転写する転写部（不図示）と、を備えている。
【００５１】
印刷装置Ｚ１は、画像を形成するための変調信号を入力した光源２２からレーザービームを圧電部品Ｘ１に照射する。圧電部品Ｘ１の反射部（不図示）に入射した光は、反射部により反射され走査される。この際、制御部３０は、反射部により反射される光の走査方向を所定の方向にするように、反射部を制御する。走査されたレーザービームは、凹面鏡２６により反射されて感光体２８に出射され、照射された感光体２８の部位の電圧を変化させる。
【００５２】
電圧の変化に起因して、トナーが静電気力により付着し、静電潜像が形成される。感光体２８に形成された静電潜像は、感光体２８とは逆の電圧が掛けられた転写部により記録媒体３４に複写されている。このようにして、印刷装置Ｚ１は、記録媒体３４に印刷を行っている。
【００５３】
印刷装置Ｚ１において、光源２２と、光源２２から出射される光を反射部にて反射する圧電部品Ｘ１と、圧電部品Ｘ１を制御する制御部３０とは光源装置として機能している。なお、光源装置として、レーザープリンタに用いられるものについて説明したが、光源装
置は、反射部にて反射された光の走査方向が、所定の方向に反射するように制御するものであればよく、例えば、バーコード読取装置に用いられてもよい。また、光源装置は、プロジェクターなどの投影型表示装置に用いられてもよく、網膜に光を走査する網膜走査型表示装置に用いられてもよい。
【００５４】
＜第２の実施形態＞
図６〜９を用いて、第２の実施形態に係る圧電部品Ｘ２について説明する。圧電部品Ｘ２は、支持部４、反射部８、連結部９および枠部１０が、ステンレスにより一体的に形成された第１部材１２と、第１部材１２を保持しており、ステンレスにより形成された一対の第２部材１４を備えている。なお、圧電部品Ｘ１と同様の部材については、同様の番号を付するものとし、説明は省略する。
【００５５】
第２部材１４は、第１部材１２の上面と下面に配置されており、第１部材１２と接着剤１１を介して接続されている。第２部材１４ａは、平面視して、ロの字形状をなしており、枠部１６ａを有している。同様に、第２部材１４ｂは、平面視して、ロの字形状をなしており、枠部１６ｂを有している。
【００５６】
接着剤１１は、第１部材１２と第２部材１４とを固定するために設けられており、エポキシ系の樹脂を用いることができる。接着剤１１は、必ずしも導電性を有する必要はないが、接着剤１１として、圧電素子２を接着する導電性接着剤１３を用いてもよい。この場合、第１部材１２と第２部材１４とを電気的に接続することができ、圧電体（不図示）を第１部材１２または第２部材１４のどちらからでも、グランド電位に接続することができる。
【００５７】
圧電部品Ｘ２は、第１部材１２に第２部材１４が接続されている。そのため、圧電部品Ｘ２の強度を向上させることができ、圧電部品Ｘ２のハンドリング性を向上させることができる。また、支持部４の固定を強固なものとすることができ、支持部４の撓みを大きくすることができる。
【００５８】
第１部材１２は、支持部４と、反射部８と、連結部９と、枠部１０とを有しており、圧電部品Ｘ１と連結部９の構成が異なっている。
【００５９】
図９に示すように、連結部９は、第１方向Ｒ１に延びるように設けられており、第１方向Ｒ１の両側から反射部８を挟持するように配置されており、一方の連結部９ａと他方の連結部９ｂとにより形成されている。一方の連結部９ａは、支持部４ａに接続される一端部９ａ１と、反射部８に接続される他端部９ａ２とを有している。そして、一端部９ａ１は幅広部１５ａ１を有しており、他端部９ａ２は幅広部１５ａ２を有している。同様に、他方の連結部９ｂは、支持部４ｂに接続される一端部９ｂ１と、反射部８に接続される他端部９ｂ２とを有している。そして、一端部９ｂ１は幅広部１５ｂ１を有しており、他端部９ｂ２は幅広部１５ｂ２を有している。
【００６０】
そのため、一方の連結部９ａは、平面視したときの一端部９ａ１の幅Ｗ１（以下、幅Ｗ１と称する場合がある）と、平面視したときの他端部９ａ２の幅Ｗ２（以下、幅Ｗ２と称する場合がある）とが、平面視したときの中央部の幅Ｗ３（以下、幅Ｗ３と称する場合がある）よりも大きい構成となっている。
【００６１】
同様に、他方の連結部９ｂは、平面視したときの一端部９ｂ１の幅Ｗ４（以下、幅Ｗ４と称する場合がある）と、平面視したときの他端部９ｂ２の幅Ｗ５（以下、幅Ｗ５と称する場合がある）とが、平面視したときの中央部の幅Ｗ６（以下、幅Ｗ６と称する場合がある）よりも大きい構成となっている。なお、幅Ｗ３および幅Ｗ６は略同じ長さである。
【００６２】
圧電部品Ｘ２は、幅Ｗ１が幅Ｗ３よりも長く、また、幅Ｗ４が幅Ｗ６よりも長いことから、支持部４にて生じた撓み変形を効率よく連結部９に回転トルクとして伝えることができる。そのため、連結部９に生じる捩じれを大きくすることができ、反射部８の振れ角を大きくすることができる。
【００６３】
さらに、圧電部品Ｘ２は、幅Ｗ２が幅Ｗ３よりも長く、また、幅Ｗ５が幅Ｗ６よりも長いことから、連結部９に生じた捩じれを効率よく反射部８に伝えることができ、反射部８の振れ角を大きくすることができる。
【００６４】
連結部９は第１方向Ｒ１に沿って延びており、幅Ｗ３が、幅Ｗ１および幅Ｗ２よりも小さく、幅Ｗ６が、幅Ｗ４および幅Ｗ５よりも小さいことから、連結部６に生じる捩じれ変位を小さくすることなく、反射部８に回転モーメントを効率よく伝えることができ、反射部８の振れ角を大きくすることができる。つまり、圧電部品Ｘ２は、連結部９の第１方向Ｒ１における長さの長い中央部の幅Ｗ１，Ｗ４を小さくすることにより、効率よく捩じれ変位を伝達することができるとともに、支持部４および反射部８との接合強度を強固なものとすることができる。
【００６５】
また、幅広部１５ａ１，１５ｂ１により、支持部４と連結部９との接合面積を増加させることができ、支持部４と連結部９との接合強度を向上させることができる。また、幅広部１５ａ２，１５ｂ２により、反射部８と連結部９との接合面積を増加させることができ、反射部８と連結部９との接合強度を向上させることができる。
【００６６】
なお、平面視したときの中央部とは、平面視したときの連結部９のうち一端部９ａ１，９ｂ１および他端部９ａ２，９ｂ２を除く領域である。中心から、８０〜９４％の領域を示している。
【００６７】
圧電部品Ｘ２は、圧電部品Ｘ１と同様の方法により作製することができる。具体的には、第１部材１２は、エッチングする際のフォトレジストをパターニングする際に、幅広部１５が形成されるようにパターニングする。第２部材１４ａ，１４ｂは、ステンレス板に打ち抜き加工を行って作製する。そして、第１部材１２の上方に第２部材１４ａを配置し、第１部材１２の下方に第２部材１４ｂを配置して接着剤１１により接続することにより作製することができる。
【００６８】
なお、第１部材１２を圧電部品Ｘ１により形成した例を示したが、これに限定されるものではない。例えば、第１部材１２として、枠部１０が支持部４ａと支持部４ｂとの間にのみ設けられたものを用いてもよい。また、第２部材１４を第１部材１２の上下に設けた例を示したが、第１部材１２の上方のみに設けてもよく、下方にのみ設けてもよい。
【００６９】
図１０を用いて圧電部品Ｘ２の変形例について説明する。図１０に示す圧電部品Ｘ２は、連結部９の形状が異なっており、その他の構成は圧電部品Ｘ２と同じである。
【００７０】
図１０（ａ）に示す連結部９ａは、他端部９ａ２の幅Ｗ２が、一端部９ａ１の幅Ｗ１よりも大きい構成となっている。そして、一端部９ａ１の幅Ｗ１および他端部９ａ２の幅Ｗ２は中央部の幅Ｗ３よりも大きい構成となっている。同様に、連結部９ｂは、他端部９ｂ２の幅Ｗ５が、一端部９ｂ１の幅Ｗ４よりも大きい構成となっている。そして、一端部１ｂ１の幅Ｗ４および他端部９ｂ２の幅Ｗ５は中央部の幅Ｗ６よりも大きい構成となっている。
【００７１】
ここで、支持部４の撓み変形は、反射部９の揺動に比べて小さいものであり、連結部９
に伝えにくい構成となっている。しかしながら、圧電部品Ｘ２は、連結部９の他端部９ａ２，９ｂ２の幅Ｗ２，Ｗ５が、一端部９ａ１，９ｂ１の幅Ｗ１，Ｗ４よりも大きいこととなり、支持部４の撓み変形を効率よく連結部９に伝えることができ、反射部８の振れ角を大きくすることができる。
【００７２】
連結部９の他端部９ａ２，９ｂ２の幅Ｗ２，Ｗ５は、一端部９ａ１，９ｂ１の幅Ｗ１，Ｗ４の１．０３倍以上あることが好ましい。それにより、効率よく支持部４の撓み変形を伝えることができる。
【００７３】
なお、一方の連結部９ａおよび他方の連結部９ｂともに、他端部９ａ２，９ｂ２の幅Ｗ２，Ｗ５が、一端部９ａ１，９ｂ１の幅Ｗ１，Ｗ４よりも大きい構成を有する例を示したが、どちらか片方だけでも良い。第１方向Ｒ１の両側から与えられる回転モーメントを均一なものに近づけることが好ましいことから、一方の連結部９ａおよび他方の連結部９ｂともに他端部９ａ２，９ｂ２の幅Ｗ２，Ｗ５が、一端部９ａ１，９ｂ１の幅Ｗ１，Ｗ４よりも大きい構成とすることが好ましい。
【００７４】
図１０（ｂ）を用いてさらに他の変形例について説明する。図１０（ｂ）に示す連結部９は、幅広部１５の縁が、平面視して、曲線により構成されている。そのため、幅広部１５に生じる応力を緩和することができる。連結部９は、反射部８を揺動させるために捩じれ変位が生じるため、支持部４および反射部８と連結部９との連結部に大きな応力が生じることとなるが、幅広部１５の縁が、平面視して、曲線により構成されているため、連結部９が、支持部８または反射部８から剥離が生じる可能性を低減することができる。
【００７５】
幅広部１５の縁は、他端部９ａ２，９ｂ２に設けられた幅広部１５ａ２，１５ｂ２の縁の曲率が、一端部９ａ１，９ｂ１に設けられた幅広部１５ａ１，１５ｂ１の縁の曲率よりも大きいことが好ましい。それにより、揺動により変形の大きな反射部８に接合される他端部９ａ２，９ｂ２に設けられた幅広部１５ａ２，１５ｂ２に生じる応力を緩和することができる。
【００７６】
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて種々の変更が可能である。例えば、第１の実施形態である圧電部品Ｘ１を用いた印刷装置Ｚ１を示したが、これに限定されるものではなく、圧電部品Ｘ２を用いてもよい。また、複数の実施形態である圧電部品Ｘ１，Ｘ２を組み合わせてもよく、本明細書に記載されているものとする。
【００７７】
また、本実施の形態では支持部４の上面のみに圧電素子２が配置されたユニモルフ構造で説明しているが、支持板４の上面および下面に圧電素子２を配置したバイモルフ構造としてもよい。
【符号の説明】
【００７８】
Ｘ１，Ｘ２  圧電部品
Ｚ１  印刷装置
Ｒ１  第１方向
Ｒ２  第２方向
Ｒ３  厚み方向
２  圧電素子
４  支持部
６，９  連結部
７  突出部
７ａ  縁
７ｂ  縁
７ｃ  突出端
７ｄ  第１平面
７ｅ  第２平面
８  反射部
１０  枠部
１１  接着剤
１２  第１部材
１３  導電性接着剤
１４  第２部材
１５  幅広部
１６  枠部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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