(57)【要約】【課題】矩形平板状のガラス基板に熱処理を施す際、余計な応力を付加することなくガラス基板を支持することができ、ガラス基板に変形や歪や傷などが発生するのを効果的に防止することが可能なガラス基板、ガラス基板の熱処理方法、及びガラス基板支持ユニットを提供する。【解決手段】ガラス基板１の辺縁部１０ａには、他の領域に比べて板厚の厚い保持部１１を形成し、保持部１１を介してガラス基板１を保持しつつ、ガラス基板１に熱処理を施し、熱処理の終了後、保持部１１を含む所定の領域を、ガラス基板１より欠除する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
矩形平板状のガラス基板に熱処理を施す際の、ガラス基板の熱処理方法であって、
ガラス基板の辺縁部に、他の領域に比べて板厚の厚い保持部を形成し、
該保持部を介して前記ガラス基板を保持しつつ、前記ガラス基板に熱処理を施し、
該熱処理の終了後、前記保持部を含む所定の領域を、前記ガラス基板より欠除する、
ことを特徴とするガラス基板の熱処理方法。
【請求項２】
前記保持部は、前記ガラス基板に帯状の板ガラスを貼着することにより形成され、
前記ガラス基板と前記板ガラスとは、直接面接触される、
ことを特徴とする、請求項１に記載のガラス基板の熱処理方法。
【請求項３】
前記保持部は、前記ガラス基板より外部にはみ出して形成される、
ことを特徴とする、請求項２に記載のガラス基板の熱処理方法。
【請求項４】
前記ガラス基板は、前記保持部を挟持することによって保持される、
ことを特徴とする、請求項１〜請求項３の何れか一項に記載のガラス基板の熱処理方法。
【請求項５】
前記ガラス基板は、前記保持部を掛止することによって保持される、
ことを特徴とする、請求項１〜請求項３の何れか一項に記載のガラス基板の熱処理方法。
【請求項６】
前記ガラス基板は、懸吊された状態に保持される、
ことを特徴とする、請求項１〜請求項５の何れか一項に記載のガラス基板の熱処理方法。
【請求項７】
前記ガラス基板は、複数備えられ、
前記ガラス基板の板面と直交する方向に沿って、一直線状に並設される、
ことを特徴とする、請求項６に記載のガラス基板の熱処理方法。
【請求項８】
前記ガラス基板の下端近傍は、
前記ガラス基板の板面と直交する方向に沿って並設される、一対のガイド部材の間隙に配置される、
ことを特徴とする、請求項６または請求項７に記載のガラス基板の熱処理方法。
【請求項９】
矩形平板状のガラス基板と、
該ガラス基板の辺縁部に、他の領域に比べて板厚が厚く形成され、前記ガラス基板の熱処理時に保持される保持部と、
を備える、
ことを特徴とする保持部付ガラス基板。
【請求項１０】
前記保持部は、前記ガラス基板に帯状の板ガラスを貼着することにより形成され、
前記ガラス基板と前記板ガラスとは、直接面接触される、
ことを特徴とする、請求項９に記載の保持部付ガラス基板。
【請求項１１】
前記保持部は、前記ガラス基板の一辺の辺縁部に形成される、
ことを特徴とする、請求項９または請求項１０に記載の保持部付ガラス基板。
【請求項１２】
前記保持部は、前記ガラス基板より外部にはみ出して形成される、
ことを特徴とする、請求項１１に記載の保持部付ガラス基板。
【請求項１３】
前記ガラス基板と前記板ガラスとは、同一の材質によって形成される、
ことを特徴とする、請求項１０〜請求項１２の何れか一項に記載の保持部付ガラス基板。
【請求項１４】
請求項９〜請求項１３の何れか一項に記載のガラス基板と、
クランプ機構部を有し、該クランプ機構部によって前記保持部を挟持し、または該クランプ機構部に前記保持部を掛止することにより、前記ガラス基板を保持する保持治具と、
を備える、
ことを特徴とする、ガラス基板支持ユニット。
【請求項１５】
前記保持部は、前記ガラス基板において、対向する二辺の辺縁部、または四辺全ての辺縁部に形成され、
前記保持部を介して、前記ガラス基板は、縦姿勢、または平置き姿勢によって保持される、
ことを特徴とする、請求項１４に記載のガラス基板支持ユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、保持部を有する保持部付ガラス基板、ガラス基板に熱処理を施す際のガラス基板の熱処理方法、及びガラス基板と該ガラス基板を支持する支持手段とを備えるガラス基板支持ユニットの技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ディスプレイの高精細化は益々進み、該ディスプレイに用いられるガラス基板においては、歪やコンパクション（熱収縮）を低減するため、熱処理（アニール処理）が施されることが多い。
ここで、ガラス基板に熱処理を施す際は、該熱処理の実施によって、却ってガラス基板に変形や歪が発生しないように、余計な応力を付加することなくガラス基板を支持する必要がある。また、ガラス基板を支持する際は、傷などが発生しないように極力注意しなければならない。
このような点を踏まえて、熱処理を施す際のガラス基板を支持するための技術が、「特許文献１」及び「特許文献２」によって示されている。
【０００３】
具体的には、前記「特許文献１」には、ガラス製のディスプレイパネルの製造において、ガラスパネル（ガラス基板）を熱処理（焼成）する際に、直交する二つの軸方向に回転可能な幅狭の複数の支持部材によって、フラットで堅牢な支持プレート（セッター）を下方から支持し、この支持プレート上にガラスパネルを水平姿勢で載置して、支持プレートによりガラスパネルを全面的に支持するパネル支持アッセンブリー、及び支持プレートを使用することなく上記幅狭の複数の支持部材にガラスパネルを直接水平姿勢で載置して、前記複数の支持部材によりガラスパネルを局部的に支持するパネル支持アッセンブリーが開示されている。
また、前記「特許文献２」には、焼成炉（熱処理炉）内において、ガラス基板の下縁部をローラーの溝部で支持しつつ上縁部を一対のガイドローラーで挟持して垂直姿勢で搬送する搬送手段、及びガラス基板の上縁部及び下縁部の双方をローラーの溝部で支持して垂直姿勢で搬送する手段、並びにガラス基板の上縁部を吊金具によって吊支しつつ下縁部を一対のガイドローラーで挟持して搬送する搬送手段が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特表２０００−５０１３７３号公報
【特許文献２】特開２００６−０２９５９７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
前記「特許文献１」及び「特許文献２」によって示される技術によれば、ガラス基板に熱処理を施す際、余計な応力を付加することなくガラス基板を支持することができ、ガラス基板に変形や歪や傷などが発生するのを、効果的に防止することが可能であるとも思われる。
【０００６】
しかし、前記「特許文献１」に開示されるパネル支持アッセンブリーにおいては、水平姿勢のガラスパネル（ガラス基板）が、単に支持プレート（セッター）上に載置されたままの状態で支持されることから、ガラスパネルと支持プレートとの接触面での摺動等により傷が発生し、ガラスパネルの品位低下や不良品発生を招く恐れがあった。
また、同文献に開示される他のパネル支持アッセンブリーにおいては、水平姿勢のガラスパネルが、幅狭の複数の支持部材上に直接載置され、ガラスパネルと各支持部材とが局部的に接触することから、例えば、０．７［ｍｍ］以下の厚みを有する超薄板のガラスパネルを搬送すると、過大な変形（反り）が生じ、その状態で熱処理すると、ガラスパネルの品位低下や不良品発生の問題がより一層顕著となる懸念があった。
【０００７】
一方、前記「特許文献２」に開示される搬送手段においては、ガラス基板を垂直姿勢で搬送する構成となっているが、例えば、前述した超薄板のガラス基板では、変形（反り）を十分に抑制することができないばかりか、そもそも座屈によって垂直姿勢を維持することができないため、ガラス基板を支持することが不可能である。
また、同文献に開示される他の搬送手段においては、ガラス基板の上縁部を吊金具で挟持しつつ吊支し、且つ下端部を一対のガイドローラーで挟持することによって、ガラス基板の垂直姿勢を保持しながら搬送する構成となっているが、例えば、前述した超薄板のガラス基板では強度が高くないため、吊金具による挟持箇所にクラック等が発生し、熱処理中にガラス基板が破損する可能性があった。
【０００８】
本発明は、以上に示した現状の問題点を鑑みてなされたものであり、矩形平板状のガラス基板に熱処理を施す際、余計な応力を付加することなくガラス基板を支持することができ、ガラス基板に変形や歪や傷などが発生するのを効果的に防止することが可能な保持部付ガラス基板、ガラス基板の熱処理方法、及びガラス基板支持ユニットを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。
【００１０】
即ち、本発明のガラス基板の熱処理方法は、矩形平板状のガラス基板に熱処理を施す際の、ガラス基板の熱処理方法であって、ガラス基板の辺縁部に、他の領域に比べて板厚の厚い保持部を形成し、該保持部を介して前記ガラス基板を保持しつつ、前記ガラス基板に熱処理を施し、該熱処理の終了後、前記保持部を含む所定の領域を、前記ガラス基板より欠除することを特徴とする。
【００１１】
上記構成において、前記保持部は、前記ガラス基板に帯状の板ガラスを貼着することにより形成され、前記ガラス基板と前記板ガラスとは、直接面接触されることが好ましい。
【００１２】
また、上記構成において、前記保持部は、前記ガラス基板より外部にはみ出して形成されることが好ましい。
【００１３】
また、上記構成において、前記ガラス基板は、前記保持部を挟持することによって保持されることが好ましい。
【００１４】
また、上記構成において、前記ガラス基板は、前記保持部を掛止することによって保持されることが好ましい。
【００１５】
また、上記構成において、前記ガラス基板は、懸吊された状態に保持されることが好ましい。
【００１６】
また、上記構成において、前記ガラス基板は、複数備えられ、前記ガラス基板の板面と直交する方向に沿って、一直線状に並設されることが好ましい。
【００１７】
また、上記構成において、前記ガラス基板の下端近傍は、前記ガラス基板の板面と直交する方向に沿って並設される、一対のガイド部材の間隙に配置されることが好ましい。
【００１８】
一方、本発明のガラス基板は保持部付ガラス基板であって、矩形平板状のガラス基板と、該ガラス基板の辺縁部に、他の領域に比べて板厚が厚く形成され、前記ガラス基板の熱処理時に保持される保持部と、を備えることを特徴とする。
【００１９】
上記構成において、前記保持部は、前記ガラス基板に帯状の板ガラスを貼着することにより形成され、前記ガラス基板と前記板ガラスとは、直接面接触されることが好ましい。
【００２０】
また、上記構成において、前記保持部は、前記ガラス基板の一辺の辺縁部に形成されることが好ましい。
【００２１】
また、上記構成において、前記保持部は、前記ガラス基板より外部にはみ出して形成されることが好ましい。
【００２２】
また、上記構成において、前記ガラス基板と前記板ガラスとは、同一の材質によって形成されることが好ましい。
【００２３】
さらに、本発明のガラス基板支持ユニットは、請求項９〜請求項１３の何れか一項に記載のガラス基板と、クランプ機構部を有し、該クランプ機構部によって前記保持部を挟持し、または該クランプ機構部に前記保持部を掛止することにより、前記ガラス基板を保持する保持治具と、を備えることを特徴とする。
【００２４】
また、上記構成において、前記保持部は、前記ガラス基板において、対向する二辺の辺縁部、または四辺全ての辺縁部に形成され、前記保持部を介して、前記ガラス基板は、縦姿勢、または平置き姿勢によって保持されることが好ましい。
【発明の効果】
【００２５】
本発明の効果として、以下に示すような効果を奏する。
即ち、請求項１におけるガラス基板の熱処理方法によれば、矩形平板状のガラス基板に熱処理を施す際、余計な応力を付加することなくガラス基板を支持することができ、ガラス基板に変形や歪や傷などが発生するのを効果的に防止することが可能になる。
従って、ガラス基板の品位向上及び不良品の低減を図ることができる。
【００２６】
また、請求項２におけるガラス基板の熱処理方法によれば、ガラス基板と板ガラスとの接着を、接着剤等を用いることなく常温で容易に行い、保持部を形成することができる。
【００２７】
また、請求項３におけるガラス基板の熱処理方法によれば、保持部のはみ出した箇所を介して、保持治具によって保持することが可能となり、ガラス基板の平面部と、保持治具とが干渉し、該ガラス基板に傷や破損等が生じるおそれを低減することができる。
【００２８】
また、請求項４におけるガラス基板の熱処理方法によれば、矩形平板状のガラス基板において、他の平面部の領域に比べて板厚の厚い保持部を挟持することによって、ガラス基板を保持することとなり、挟持箇所にクラック等が発生し、熱処理中にガラス基板が破損する可能性を低減することができる。
【００２９】
また、請求項５におけるガラス基板の熱処理方法によれば、保持治具によってガラス基板を保持する際に、保持部を挟持しないため、保持治具に対するガラス基板の位置が、あまり堅固に固定されることもなく、不意の外力によって、ガラス基板に、傷や破損等が生じるおそれを低減することができる。
【００３０】
また、請求項６におけるガラス基板の熱処理方法によれば、保持部を介してガラス基板を懸吊し、縦姿勢で保持することから、例え超薄板のガラス基板であっても、変形（反り）の発生を十分に抑制することができる。
【００３１】
また、請求項７におけるガラス基板の熱処理方法によれば、例えば熱処理炉内において、複数のガラス基板をコンパクトに効率よく収容することができる。
【００３２】
また、請求項８におけるガラス基板の熱処理方法によれば、ガイド部材によってガラス基板の下端近傍を規制することから、熱処理炉内の気流によって隣接するガラス基板同士が接触し、傷が付く事態を、効果的に防止することができる。
【００３３】
一方、請求項９における保持部付ガラス基板によれば、矩形平板状のガラス基板に熱処理を施す際、余計な応力を付加することなくガラス基板を支持することができ、ガラス基板に変形や歪や傷などが発生するのを効果的に防止することが可能になる。
従って、ガラス基板の品位向上及び不良品の低減を図ることができる。
【００３４】
また、請求項１０における保持部付ガラス基板によれば、ガラス基板と板ガラスとの接着を、接着剤等を用いることなく常温で容易に行い、保持部を形成することができる。
【００３５】
また、請求項１１における保持部付ガラス基板によれば、保持部の形成される位置がガラス基板の辺縁部であることから、熱処理後に除去される領域（保持部）をできるだけ小さくとり、歩留まりの向上を図ることができる。
【００３６】
また、請求項１２における保持部付ガラス基板によれば、保持部のはみ出した箇所を介して、保持治具によって保持することが可能となり、ガラス基板の平面部と、保持治具とが干渉し、該ガラス基板に傷や破損等が生じるおそれを低減することができる。
【００３７】
また、請求項１３における保持部付ガラス基板によれば、ガラス基板と板ガラスとの熱膨張率が実質的に等しくなることから、例えば熱処理炉内で加熱される際においても、熱膨張差により生じた前記ガラス基板および前記板ガラスの反りや歪によって、ガラス基板から板ガラスが剥離したり、またはガラス基板や板ガラスが破損する事態を効果的に防止することができる。
【００３８】
さらに、請求項１４におけるガラス基板支持ユニットによれば、矩形平板状のガラス基板に熱処理を施す際、余計な応力を付加することなくガラス基板を支持することができ、ガラス基板に変形や歪や傷などが発生するのを効果的に防止することが可能になる。
従って、ガラス基板の品位向上及び不良品の低減を図ることができる。
【００３９】
また、請求項１５におけるガラス基板支持ユニットによれば、保持治具によって、ガラス基板の辺縁部より張力を付与しつつ、該ガラス基板を縦姿勢（垂直姿勢）、または平置き姿勢（水平姿勢）に保持することができるため、例え超薄板のガラス基板であっても、撓みなどが生じることもなく確実に保持することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明の第一実施形態に係るガラス基板支持ユニットの全体的な構成を示した斜視図。
【図２】第一実施形態に係るガラス基板支持ユニットが設置された熱処理炉を示した断面正面図。
【図３】同じく、熱処理炉を示した断面側面図。
【図４】本発明の第二実施形態に係るガラス基板支持ユニットの全体的な構成を示した斜視図。
【図５】同じく、第二実施形態に係るガラス基板支持ユニットを示した図であって、クランプ機構部を有する保持治具を備えることとした、ガラス基板支持ユニットの全体的な構成を示した斜視図。
【図６】本発明の第三実施形態に係るガラス基板支持ユニットの全体的な構成を示した斜視図。
【図７】第三実施形態に係るガラス基板支持ユニットにおいて、ガラス基板の保持部の近傍を示した拡大側面図。
【図８】同じく、第三実施形態に係るガラス基板支持ユニットを示した図であって、クランプ機構部を有する保持治具を備えることとした、ガラス基板支持ユニットの全体的な構成を示した斜視図。
【図９】本発明の第四実施形態に係るガラス基板支持ユニットの全体的な構成を示した図であって、（ａ）はガラス基板が垂直姿勢に保持された状態を示した斜視図、（ｂ）はガラス基板が水平姿勢に保持された状態を示した斜視図。
【図１０】本発明の第五実施形態に係るガラス基板支持ユニットの全体的な構成を示した図であって、（ａ）はガラス基板が垂直姿勢に保持された状態を示した斜視図、（ｂ）はガラス基板が水平姿勢に保持された状態を示した斜視図。
【図１１】本発明の第六実施形態に係るガラス基板支持ユニットの全体的な構成を示した図であって、（ａ）はガラス基板が垂直姿勢に保持された状態を示した斜視図、（ｂ）はガラス基板が水平姿勢に保持された状態を示した斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００４１】
次に、発明の実施の形態を説明する。
【００４２】
［ガラス基板１（第一実施形態）］
先ず、本発明を具現化する、第一実施形態に係るガラス基板１の構成について、図１乃至図３を用いて説明する。
なお、以下の説明に関しては便宜上、図１乃至図３の上下方向をガラス基板１（または、熱処理炉５０）の上下方向と規定して記述する。
また、図１及び図３においては、矢印Ａの方向を前方と規定して記述する。
【００４３】
本実施形態におけるガラス基板１は、例えば液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、及び有機ＥＬ等に代表されるフラットパネルディスプレイや、ソーラーパネルなどに用いられるものである。
ガラス基板１は保持部付ガラス基板であって、図１に示すように、基板本体１０を備え、該基板本体１０には保持部１１が形成される。
【００４４】
基板本体１０は、０．７［ｍｍ］以下（より具体的には、１０［μｍ］〜７００［μｍ］）の板厚からなる、矩形平板状の超薄板の板ガラスより形成される。
また、基板本体１０は、ガラス基板１に対してアニール処理（熱処理）を施す際、後述する保持治具２によって保持部１１を保持することにより懸吊され、前後方向（矢印Ａとの平行方向）に板面を向けつつ、上下方向（側面視にて、矢印Ａとの直交方向）に延出するような縦姿勢（垂直姿勢）に保持される。
【００４５】
そして、基板本体１０の表面（矢印Ａの方向側（前側）の板面）及び裏面（矢印Ａの対向方向側（後側）の板面）において、該基板本体１０の一辺の辺縁部である、上辺側の辺縁部（以下、「上側辺縁部」と記載）１０ａ・１０ａには、帯状の板ガラス１１ａ・１１ａが、前記上辺に沿って常温で各々貼着（接着）される。
【００４６】
このような、基板本体１０の表面及び裏面の上側辺縁部１０ａ・１０ａに各々設けられる板ガラス１１ａ・１１ａによって、保持部１１が構成される。
換言すると、基板本体１０の上端近傍（上側辺縁部１０ａ）には、他の領域に比べて板厚の厚い保持部１１が形成される。
【００４７】
なお、保持部１１の形成手段については、本実施形態に示されるような、板ガラス１１ａを用いることに限定されるものではない。
即ち、例えば、ガラス基板の製造工程においては、「オーバーフローダウンドロー法」、及び「フロート法」の何れの場合であっても、ガラスリボン（帯状の薄板ガラス）が、冷却ローラーやトップロール等によって幅方向に伸張されながら成形される。
この際、ガラスリボンの側端部は、他の領域に比べて厚み寸法が増加することとなり、このような側端部を保持部１１として利用することも可能である。
【００４８】
ところで、本実施形態におけるガラス基板１において、基板本体１０への板ガラス１１ａの接着については、両部材１０・１１ａ間の面接触に伴い発現する接着力が利用される。
ここで、このような面接触部に生じる接着力は、両部材１０・１１ａの表面間における水素結合、またはファンデルワールス力に由来するものと考えられており、両部材１０・１１ａ間の接触面の表面粗さ（Ｒａ）が、２．０［ｎｍ］以下（好ましくは、０．５［ｎｍ］以下、更に好ましくは０．２［ｎｍ］）の場合に発現されることが知られている。
なお、基板本体１０への板ガラス１１ａの接着については、このような面接触に伴い発現する接着力を利用する態様に限定されるものではなく、既存の接着剤を使用しても構わない。
【００４９】
また、基板本体１０及び板ガラス１１ａの材質については、同一の材質に限られるものではないが、後述するように、熱処理炉５０（図２を参照）内において熱処理を施すことを考慮すれば、熱膨張率が実質的に相異せず、各々の昇温時または降温時の熱膨張量に差が生じにくいことから、同一の材質とすることが好ましい。
【００５０】
このような構成からなるガラス基板１の上方には、複数（本実施形態においては二個）の保持治具２・２が、ガラス基板１を支持する支持手段として、基板本体１０の上辺に沿って配設される。
そして、保持治具２には、クランプ機構部２１が備えられ、該クランプ機構部２１によって、基板本体１０の保持部１１を前後方向両側より挟持することにより、ガラス基板１は、保持治具２によって懸吊される。
【００５１】
以上のような構成からなるガラス基板１及び保持治具２により、ガラス基板支持ユニット１００が構成される。
なお、本実施形態におけるガラス基板支持ユニット１００において、保持治具２の個数は一個であってもよいし、三個以上であってもよい。
【００５２】
ところで、前述したように、常温状態のガラス基板支持ユニット１００において、保持治具２によって挟持される保持部１１は、基板本体１０に対して常温で接着される板ガラス１１ａによって構成される。
ここで、保持部１１が基板本体１０に対して常温で接着された後に、基板本体１０及び板ガラス１１ａの面接触部が、アニール工程を経ることで３００［℃］以上に加熱される場合、例えば、その加熱温度が、基板本体１０及び板ガラス１１ａの歪点のうち低い方の歪点未満であれば、両者の接着状態は、融着はしないものの「剥離不能な接着状態」となる。
また、前記加熱温度が、基板本体１０及び板ガラス１１ａのそれぞれの歪点及び軟化点のうち低い方の歪点以上で、且つ低い方の軟化点未満であれば、両者の接着状態は、「剥離不能、且つより強固な接着状態」となる。
【００５３】
このように、基板本体１０及び板ガラス１１ａの面接触部が３００［℃］以上に加熱されることにより、両者の接着状態が「剥離不能な接着状態」、または「剥離不能、且つより強固な接着状態」となった場合、保持部１１を剥離除去することができないため、基板本体１０の上側辺縁部１０ａの下方に位置する切断予定線１０ｂに沿って、基板本体１０を切断することで、保持部１１を含む所定の領域が除去（欠除）されるようになっている。
【００５４】
一方、基板本体１０の下辺側の辺縁部（以下、「下側辺縁部」と記載）１０ｃにおいて、例えばガラスブロックからなる錘（図示せず）を設けることは、保持治具２によって懸吊される、ガラス基板１の吊り下げ姿勢を保持するうえでより好ましい。
ここで、前記錘の基板本体１０への取り付け方法としては、例えば、錘であるガラスブロックの所定領域の表面粗さ（Ｒａ）を２．０［ｎｍ］（好ましくは、０．５［ｎｍ］以下）とし、前述した面接触に伴う接着力を利用して、前記所定領域を基板本体１０の下側辺縁部１０ｃに直接取り付ける方法が考えられる。
【００５５】
但し、基板本体１０に錘を取り付ける際は、該錘が直接取り付けられる部位を、基板本体１０の非有効領域とし、図示せぬ切断予定線に沿って、アニール工程後に該非有効領域を切断することが好ましい。
【００５６】
ガラス基板支持ユニット１００において、ガラス基板１の下部には、該ガラス基板１の前後方向への位置ズレを規制するためのガイド部材として、ガイドピン３が付設される。
具体的には、基板本体１０の下端近傍（非有効領域）の左右方向（平面視にて、矢印Ａとの直交方向）両側において、一対のガイドピン３・３が各々付設される。
この際、これら一対のガイドピン３・３は、図３に示すように、基板本体１０の下端近傍の表面側及び裏面側に、該基板本体１０の板面と直交する方向に間隙を有した状態で固定設置されることとなり、例えば、後述する熱処理を行う際に、有効に利用される。
【００５７】
以上のような構成からなるガラス基板支持ユニット１００は、例えば、熱処理炉５０内に投入され、熱処理を施される。
具体的には、熱処理炉５０内に投入された複数のガラス基板支持ユニット１００・１００・・・は、それぞれのガラス基板１・１・・・が、互いに並設された状態によって収容される。
つまり、複数のガラス基板１・１・・・は、板面と直交する方向に沿って、一直線状に並設される。
【００５８】
ここで、熱処理炉５０内において、各保持治具２は、クランプ機構部２１を下方に向けつつ、炉天井部に設置されるベース部材５１の下面に対して、マグネット等を介して着脱可能に吊設される。
そして、このような保持治具２によって、基板本体１０の保持部１１が挟持されることで、各ガラス基板１は、縦姿勢（垂直姿勢）で懸吊された状態に保持される。
【００５９】
また、熱処理炉５０内において、左右方向両側の炉壁下部には、一対のガイドピン３・３が、該熱処理炉５０の内部空間に対して出退可能に各々嵌設される。
そして、図２に示すように、ガラス基板１（より具体的には、基板本体１０）は、前記一対のガイドピン３・３によって、下端近傍の左右方向両端部を各々挟まれ、前述した保持治具２によって懸吊された状態に保持される。
【００６０】
このように、ガイドピン３によってガラス基板１の下端近傍を規制することにより、熱処理炉５０内の気流によるガラス基板１への悪影響を、効果的に防止することができる。
具体的には、熱処理炉５０内においては、熱処理炉内の温度差や、それによって生じた圧力差等により気流が発生しており、該気流の影響を受けて、ガラス基板１が、板面と直交する方向に揺動される場合がある。
しかしながら、本実施形態においては、ガイドピン３によってガラス基板１の下端近傍を規制しているため、前記気流の影響を受けて、ガラス基板１が揺動されることはないのである。
【００６１】
よって、ガラス基板１の不当な揺動は制限され、互いに隣り合うガラス基板１・１同士の接触による破損等が、効果的に防止される。
また、基板本体１０の保持部１１における、保持治具２によって挟持される箇所において、ガラス基板１の揺動に伴う摺動による摩耗や損傷、ひいては破損等が効果的に抑制される。
【００６２】
なお、前述したように、例えば、ガラス基板１の下端に、錘（図示せず）を設ける場合などにおいては、該錘による下方への引張力がガラス基板１に作用するため、該ガラス基板１の不当な揺動が、より一層制限される。
【００６３】
ところで、本実施形態におけるガラス基板１においては、基板本体１０及び板ガラス１１ａの何れもが、同一素材の無アルカリガラスによって形成されている。
従って、両部材１０・１１ａの熱膨張率は実質的に等しく、熱処理炉５０内で加熱される際においても、両者の熱膨張差により反りや歪が生じ、基板本体１０から板ガラス１１ａが剥離したり、または基板本体１０や板ガラス１１ａが破損したりする等のようなことは、殆どない。
【００６４】
但し、熱処理炉５０内は、無アルカリガラスの歪点（より具体的には、約６００℃〜７００℃）よりも低い温度である約５４０℃に加熱されているため、基板本体１０と板ガラス１１ａとの面接触部は、熱処理後においては剥離不能となる。
これは、ガラスの温度が２５０℃〜３００℃を超えると、基板本体１０と板ガラス１１ａとの面接触部における水素結合部において脱水反応が進行し、当該面接触部の結合が、より強力な接着力を発生させる共有結合へと変化するためであると考えられている。
【００６５】
このように、熱処理が終了し、熱処理炉５０内よりガラス基板支持ユニット１００が取出された直後においては、基板本体１０と板ガラス１１ａとが剥離不能となっているため、クランプ機構部２１を開放し、保持治具２よりガラス基板１を脱着させた後、切断予定線１０ｂに沿って基板本体１０を切断する必要がある。
なお、基板本体１０の切断は、スクライブ形成後の折割り、レーザー割断、曲げ応力を付与した割断などにより行われる。
【００６６】
以上のような処理の実行によって、傷や歪を有しない高品位のガラス基板１が製造される。
なお、本実施形態においては、前述したように、炉天井部のベース部材５１の下面に吊設される保持治具２によって、ガラス基板１を、縦姿勢（垂直姿勢）で懸吊された状態に保持することとしているが、例えば、前記保持治具２に替わり、図示せぬ搬送手段によって懸吊した状態で、ガラス基板１を搬送させながら、熱処理や、他の加工処理などを行ってもよい。この場合、ガイドピン３を設ける必要がないのは言うまでもない。
これにより、複数のガラス基板１・１・・・を、縦姿勢で直列に配列させた状態で、連続して熱処理や検査処理などを行うことが可能となる。
【００６７】
［ガラス基板２０１（第二実施形態）］
次に、本発明を具現化する、第二実施形態に係るガラス基板２０１の構成について、図４及び図５を用いて説明する。
なお、以下の説明に関しては便宜上、図４及び図５の上下方向をガラス基板２０１の上下方向と規定して記述する。
また、図４及び図５においては、矢印Ａの方向を前方と規定して記述する。
【００６８】
第二実施形態におけるガラス基板２０１は、前述した第一実施形態におけるガラス基板１と略同等な構成を有する一方、基板本体２１０に形成される保持部２１１の構成について、前記ガラス基板１と相異する。
よって、以下の説明においては、主にガラス基板１（第一実施形態）との相異点について記載し、該ガラス基板１との同等な構成についての記載は省略する。
【００６９】
図４に示すように、基板本体２１０の表面及び裏面において、該基板本体２１０の一辺の辺縁部である、上辺側の辺縁部（以下、「上側辺縁部」と記載）２１０ａ・２１０ａには、帯状の板ガラス２１１ａ・２１１ａが、前記上辺に沿って常温で各々貼着（接着）される。
【００７０】
具体的には、各板ガラス２１１ａの長手方向の寸法は、基板本体２１０の上辺の寸法に比べて十分長く設定されている。
そして、板ガラス２１１ａは、基板本体２１０の上側辺縁部２１０ａにおいて、上辺に沿いつつ、長手方向の両側端部が該基板本体２１０の左右方向（平面視にて、矢印Ａとの直交方向）に向かって延出するようにして配設される。
【００７１】
このような、基板本体２１０の表面及び裏面の上側辺縁部２１０ａ・２１０ａに設けられる板ガラス２１１ａ・２１１ａによって、保持部２１１が構成される。
換言すると、基板本体２１０の上端近傍（上側辺縁部２１０ａ）には、他の領域に比べて板厚の厚い保持部２１１が形成される。また、前記保持部２１１は、基板本体２１０の左右方向両側へと延出するように、前記基板本体２１０より外部にはみ出して形成される。
【００７２】
そして、本実施形態においては、通常、複数（本実施形態においては二本）のビームからなる保持治具２０３・２０３が備えられ、該保持治具２０３・２０３によって、保持部２１１の左右方向両側の延出部を各々掛止することによって、ガラス基板２０１は、懸吊された状態に保持される。
ここで、保持治具２０３においては、予め上面に矩形状の溝部２０３ａを形成しておけば、該溝部２０３ａを介して、保持部２１１を掛止することによって、保持治具２０３に対するガラス基板２０１の位置ズレを規制することができるため、より好ましい。
【００７３】
このように、第二実施形態におけるガラス基板２０１においては、保持治具２０３によって保持される箇所が、基板本体２１０より離間された、保持部２１１の延出部であることから、例えば、該基板本体２１０の有効領域（切断予定線２１０ｂよりも下側の部位）に該保持治具２０２が干渉し、前記基板本体２１０に傷や破損等が生じるおそれもない。
【００７４】
ところで、図５に示すように、本実施形態におけるガラス基板２０１は、クランプ機構部２２１を備える保持治具２０２によって、懸吊された状態に保持される構成としてもよい。
この場合、具体的な構成としては、複数（本実施形態においては二個）の保持治具２０２・２０２を用いて、保持部２１１の左右方向両側の延出部を各々挟持し、ガラス基板２０１を懸吊された状態に保持することとなる。
【００７５】
以上のような構成からなるガラス基板２０１及び保持治具２０２（または２０３）により、ガラス基板支持ユニット２００が構成される。
なお、本実施形態におけるガラス基板支持ユニット２００において、保持治具２０２（または２０３）の個数は、三個（または三本）以上であってもよい。
【００７６】
［ガラス基板３０１（第三実施形態）］
次に、本発明を具現化する、第三実施形態に係るガラス基板３０１の構成について、
図６乃至図８を用いて説明する。
なお、以下の説明に関しては便宜上、図６乃至図８の上下方向をガラス基板３０１の上下方向と規定して記述する。
また、図６乃至図８においては、矢印Ａの方向を前方と規定して記述する。
【００７７】
第三実施形態におけるガラス基板３０１は、前述した第一実施形態におけるガラス基板１と略同等な構成を有する一方、基板本体３１０に形成される保持部３１１の構成について、前記ガラス基板１と相異する。
よって、以下の説明においては、主にガラス基板１（第一実施形態）との相異点について記載し、該ガラス基板１との同等な構成についての記載は省略する。
【００７８】
図６に示すように、基板本体３１０の表面及び裏面において、該基板本体３１０の一辺の辺縁部である、上辺側の辺縁部（以下、「上側辺縁部」と記載）３１０ａ・３１０ａには、複数の帯状の板ガラス３１１ａ・３１１ａ・・・が、常温で各々貼着（接着）される。
具体的には、基板本体３１０の各上側辺縁部３１０ａにおいて、一組（本実施形態においては三枚一組）の板ガラス３１１ａ・３１１ａ・３１１ａが、厚み方向に積層されつつ、前記上辺に沿って配設される。
【００７９】
このような、基板本体３１０の表面及び裏面の上側辺縁部３１０ａ・３１０ａに設けられる複数の板ガラス３１１ａ・３１１ａ・・・によって、保持部３１１が構成される。
換言すると、基板本体３１０の上端近傍（上側辺縁部３１０ａ）には、他の領域に比べて板厚の厚い保持部３１１が形成される。また、保持部３１１は、基板本体３１０の表面側及び裏面側において、他の部材に掛止可能な程度の十分な厚み寸法を有して形成される。
【００８０】
そして、本実施形態においては、通常、複数（本実施形態においては二本）のビームからなる保持治具３０３・３０３が、保持部３１１に沿って備えられ、該保持治具３０３・３０３によって、保持部３１１を掛止することで、ガラス基板３０１は、懸吊された状態に保持される。
具体的には、図７に示すように、例えば、基板本体３１０の表面及び裏面において、断面視矩形状のビームからなる保持治具３０３・３０３が、保持部３１１の下方、且つ該保持部３１１に沿って配設される。また、各保持治具３０３の上面に、保持部３１１が下面を介して掛止される。これにより、ガラス基板３０１は、保持治具３０３・３０３によって懸吊された状態に保持される。
なお、保持治具３０３の支持方法としては、例えば、熱処理炉５０内の左右方向両側の炉壁上部において、断面視凹状の支持部材５２・５２を突設させ、該支持部材５２・５２によって、保持治具３０３の両端部を掛止させる手法が考えられる。
【００８１】
このように、第三実施形態におけるガラス基板３０１においては、保持治具３０３によって該ガラス基板３０１を支持する際に、保持部３１１を挟持しないため、保持治具３０３に対するガラス基板３０１の位置が、あまり堅固に固定されることもなく、不意の外力によって、ガラス基板３０１に、傷や破損等が生じるおそれもないのである。
【００８２】
なお、本実施形態においては、基板本体３１０の上辺と略同一の長手寸法からなる板ガラス３１１ａによって、保持部３１１を構成することとしているが、これに限定されるものではない。
即ち、前述した第二実施形態におけるガラス基板２０１と同様に、基板本体３１０の上辺に比べて十分長い長手寸法からなる板ガラスによって、保持部３１１を構成することとしてもよい。この場合、保持部３１１は、基板本体３１０の左右方向両側へと延出するようにはみ出して形成されることとなる。
よって、ガラス基板３０１は、基板本体３１０より左右方向に延出される、保持部３１１の両端部において、保持治具３０２のクランプ機構３２１の先端部によって掛止されつつ、懸吊された状態に保持されることが可能となる。
従って、基板本体３１０の有効領域に保持治具３０２が干渉し、該基板本体３１０に傷や破損等が生じるおそれはない。
【００８３】
ところで、図８に示すように、本実施形態におけるガラス基板３０１は、クランプ機構部３２１を備える保持治具３０２によって、懸吊された状態に保持される構成としてもよい。
この場合、具体的な構成としては、保持治具３０２のクランプ機構３２１の先端部によって、保持部３１１を掛止し、ガラス基板３０１を懸吊された状態に保持することとなる。
【００８４】
以上のような構成からなるガラス基板３０１及び保持治具３０２（または３０３）により、ガラス基板支持ユニット３００が構成される。
なお、本実施形態におけるガラス基板支持ユニット３００において、保持治具３０２（または３０３）の個数は一個（または一本）であってもよいし、三個（または三本）以上であってもよい。
【００８５】
［ガラス基板４０１（第四実施形態）］
次に、本発明を具現化する、第四実施形態に係るガラス基板４０１の構成について、図９を用いて説明する。
なお、以下の説明に関しては便宜上、図９の上下方向をガラス基板４０１の上下方向と規定して記述する。
また、図９においては、矢印Ａの方向を前方と規定して記述する。
【００８６】
第四実施形態におけるガラス基板４０１は、前述した第一実施形態におけるガラス基板１と略同等な構成を有する一方、基板本体４１０に形成される保持部４１１の構成について、前記ガラス基板１と相異する。
よって、以下の説明においては、主にガラス基板１（第一実施形態）との相異点について記載し、該ガラス基板１との同等な構成についての記載は省略する。
【００８７】
図９（ａ）に示すように、基板本体４１０の表面における対向する二辺の辺縁部、即ち上辺側の辺縁部（以下、「上側辺縁部」と記載）４１０ａと下辺側の辺縁部（以下、「下側辺縁部」と記載）４１０ｃ、及び前記基板本体４１０の裏面における対向する二辺の辺縁部、即ち上側辺縁部４１０ａと下側辺縁部４１０ｃには、帯状の板ガラス４１１ａ・４１１ａ・・・が、前記上辺及び下辺に沿って常温で各々貼着（接着）される。
【００８８】
このような、基板本体４１０の表面における上側辺縁部４１０ａと下側辺縁部４１０ｃ、及び前記基板本体４１０の裏面における上側辺縁部４１０ａと下側辺縁部４１０ｃにそれぞれ設けられる複数の板ガラス４１１ａ・４１１ａ・・・によって、保持部４１１・４１１が構成される。
換言すると、基板本体４１０の上端近傍（上側辺縁部４１０ａ）及び下端近傍（下側辺縁部４１０ｃ）には、他の領域に比べて板厚の厚い保持部４１１・４１１がそれぞれ形成される。
【００８９】
従って、第四実施形態におけるガラス基板４０１においては、複数の保持治具４０２・４０２・・・のクランプ機構部４２１・４２１・・・を用いて、基板本体４１０の上下方向（側面視にて、矢印Ａとの直交方向）両側の保持部４１１・４１１を同時に挟持し、ガラス基板４０１の懸吊された状態に保持することが可能となる。
つまり、ガラス基板４０１においては、基板本体４１０の上下方向両側の保持部４１１・４１１を介して、保持治具４０２によって支持することができるため、例えば、ガラス基板４０１が上下方向に延出する大型のガラス基板であっても、より堅固にガラス基板４０１の吊り下げ姿勢を保持することが可能となり、ガラス基板４０１の揺動を確実に防止することができるのである。
【００９０】
なお、本実施形態においては、ガラス基板４０１が垂直姿勢に保持されているが、これに限定されることはなく、例えば、図９（ｂ）に示すように、水平姿勢に保持される構成としてもよい。
この場合、保持治具４０２によって、前後方向（矢印Ａとの平行方向）に張力をかけることで、撓みなど生じることなくガラス基板４０１を確実に支持することができる。
【００９１】
以上のような構成からなるガラス基板４０１及び保持治具４０２により、ガラス基板支持ユニット４００が構成される。
なお、本実施形態におけるガラス基板支持ユニット４００において、基板本体４１０の各保持部４１１を支持する保持治具４０２の個数は三個以下であってもよいし、五個以上であってもよい。
【００９２】
［ガラス基板５０１（第五実施形態）］
次に、本発明を具現化する、第五実施形態に係るガラス基板５０１の構成について、図１０を用いて説明する。
なお、以下の説明に関しては便宜上、図１０の上下方向をガラス基板５０１の上下方向と規定して記述する。
また、図１０においては、矢印Ａの方向を前方と規定して記述する。
【００９３】
第五実施形態におけるガラス基板５０１は、前述した第一実施形態におけるガラス基板１と略同等な構成を有する一方、基板本体５１０に形成される保持部５１１の構成について、前記ガラス基板１と相異する。
よって、以下の説明においては、主にガラス基板１（第一実施形態）との相異点について記載し、該ガラス基板１との同等な構成についての記載は省略する。
【００９４】
図１０（ａ）に示すように、基板本体５１０の表面における対向する二辺の辺縁部、即ち右辺側の辺縁部（以下、「右側辺縁部」と記載）５１０ｄと左辺側の辺縁部（以下、「左側辺縁部」と記載）５１０ｅ、及び前記基板本体５１０の裏面における対向する二辺の辺縁部、即ち右側辺縁部５１０ｄと左側辺縁部５１０ｅには、帯状の板ガラス５１１ａ・５１１ａ・・・が、前記右辺及び左辺に沿って常温で各々貼着（接着）される。
【００９５】
このような、基板本体５１０の表面における右側辺縁部５１０ｄと左側辺縁部５１０ｅ、及び前記基板本体５１０の裏面における右側辺縁部５１０ｄと左側辺縁部５１０ｅにそれぞれ設けられる複数の板ガラス５１１ａ・５１１ａ・・・によって、保持部５１１・５１１が構成される。
換言すると、基板本体５１０の右端近傍（右側辺縁部５１０ｄ）及び左端近傍（左側辺縁部５１０ｅ）には、他の領域に比べて板厚の厚い保持部５１１・５１１がそれぞれ形成される。
【００９６】
従って、第五実施形態におけるガラス基板５０１においては、複数の保持治具５０２・５０２・・・のクランプ機構部５２１・５２１・・・を用いて、基板本体５１０の左右方向（平面視にて、矢印Ａとの直交方向）両側の保持部５１１・５１１を同時に挟持し、ガラス基板５０１の姿勢を保持することが可能となる。
つまり、ガラス基板５０１においては、基板本体５１０の左右方向両側の保持部５１１・５１１を介して、保持治具５０２によって支持することができるため、例えば、ガラス基板５０１が左右方向に延出する大型のガラス基板であっても、より堅固にガラス基板５０１の姿勢を保持することが可能となり、ガラス基板５０１の揺動を確実に防止することができるのである。
【００９７】
なお、本実施形態においては、ガラス基板５０１が垂直姿勢に保持されているが、これに限定されることはなく、例えば、図１０（ｂ）に示すように、水平姿勢に保持される構成としてもよい。
この場合、ガラス基板５０１を保持する姿勢が、垂直姿勢、または水平姿勢の何れの場合であっても、保持治具５０２によって、左右方向に張力をかけることで、撓みなど生じることなくガラス基板５０１を確実に保持することができる。
【００９８】
以上のような構成からなるガラス基板５０１及び保持治具５０２により、ガラス基板支持ユニット５００が構成される。
なお、本実施形態におけるガラス基板支持ユニット５００において、基板本体５１０の各保持部５１１を支持する保持治具５０２の個数は三個以下であってもよいし、五個以上であってもよい。
【００９９】
［ガラス基板６０１（第六実施形態）］
次に、本発明を具現化する、第六実施形態に係るガラス基板６０１の構成について、図１１を用いて説明する。
なお、以下の説明に関しては便宜上、図９の上下方向をガラス基板６０１の上下方向と規定して記述する。
また、図１１においては、矢印Ａの方向を前方と規定して記述する。
【０１００】
第六実施形態におけるガラス基板６０１は、前述した第一実施形態におけるガラス基板１と略同等な構成を有する一方、基板本体６１０に形成される保持部６１１の構成について、前記ガラス基板１と相異する。
よって、以下の説明においては、主にガラス基板１（第一実施形態）との相異点について記載し、該ガラス基板１との同等な構成についての記載は省略する。
【０１０１】
図１１（ａ）に示すように、基板本体６１０の表面における四辺全ての辺縁部、即ち該基板本体６１０の上辺側の辺縁部（以下、「上側辺縁部」と記載）６１０ａと下辺側の辺縁部（以下、「下側辺縁部」と記載）６１０ｃ、及び右辺側の辺縁部（以下、「右側辺縁部」と記載）６１０ｄと左辺側の辺縁部（以下、「左側辺縁部」と記載）６１０ｅには、帯状の板ガラス６１１ａ・６１１ａ・・・が、前記上辺と下辺、及び前記右辺と左辺に沿って常温で各々貼着（接着）される。
また、基板本体６１０の裏面における四辺全ての辺縁部、即ち該基板本体６１０の上辺側の辺縁部（以下、「上側辺縁部」と記載）６１０ａと下辺側の辺縁部（以下、「下側辺縁部」と記載）６１０ｃ、及び右辺側の辺縁部（以下、「右側辺縁部」と記載）６１０ｄと左辺側の辺縁部（以下、「左側辺縁部」と記載）６１０ｅには、帯状の板ガラス６１１ａ・６１１ａ・・・が、前記上辺と下辺、及び前記右辺と左辺に沿って常温で各々貼着（接着）される。
【０１０２】
このような、基板本体６１０の表面における上側辺縁部６１０ａ、下側辺縁部６１０ｃ、右側辺縁部６１０ｄ、及び左側辺縁部６１０ｅ、並びに前記基板本体６１０の裏面における上側辺縁部６１０ａ、下側辺縁部６１０ｃ、右側辺縁部６１０ｄ、及び左側辺縁部６１０ｅにそれぞれ設けられる複数の板ガラス６１１ａ・６１１ａ・・・によって、保持部６１１・６１１・・・が構成される。
換言すると、基板本体６１０の上端近傍（上側辺縁部６１０ａ）、下端近傍（下側辺縁部１０ｃ）、右端近傍（右側辺縁部６１０ｄ）、及び左端近傍（左側辺縁部６１０ｅ）には、他の領域に比べて板厚の厚い保持部６１１・６１１・・・がそれぞれ形成される。
【０１０３】
従って、第六実施形態におけるガラス基板６０１においては、複数の保持治具６０２・６０２・・・のクランプ機構部６２１・６２１・・・を用いて、基板本体６１０の上下方向（側面視にて、矢印Ａとの直交方向）両側及び左右方向（平面視にて、矢印Ａとの直交方向）両側の保持部６１１・６１１・・・を同時に挟持し、ガラス基板６０１の姿勢を保持することが可能となる。
つまり、ガラス基板６０１においては、基板本体６１０の周囲に位置する保持部６１１・６１１・・・を介して、保持治具６０２によって支持することができるため、例えば、ガラス基板６０１が如何なる大型のガラス基板であっても、より堅固にガラス基板６０１の姿勢を保持することが可能となり、ガラス基板６０１の揺動を確実に防止することができるのである。
【０１０４】
なお、本実施形態においては、ガラス基板６０１が垂直姿勢に保持されているが、これに限定されることはなく、例えば、図１１（ｂ）に示すように、水平姿勢に保持される構成としてもよい。
但し、ガラス基板６０１を保持する姿勢が、垂直姿勢、または水平姿勢の何れの場合であっても、保持治具６０２によって、前後方向（矢印Ａとの平行方向）、且つ左右方向に張力をかけることで、撓みなど生じることなくガラス基板６０１を確実に保持することができる。
【０１０５】
以上のような構成からなるガラス基板６０１及び保持治具６０２により、ガラス基板支持ユニット６００が構成される。
なお、本実施形態におけるガラス基板支持ユニット６００において、基板本体６１０の各保持部６１１を支持する保持治具６０２の個数は七個以下であってもよいし、九個以上であってもよい。
また、本実施形態において、切断予定線６１０ｂの延長線上には、各保持部６１１が形成されていないことが好ましい。
【０１０６】
［検証実験］
次に、本発明を具現化する第一乃至第六実施形態に係るガラス基板支持ユニット１００・２００・・・６００について、その有効性を判断するために、本発明者らが行った検証実験について説明する。
【０１０７】
先ず始めに、本発明者らは、本発明の実施形態のサンプルとして、実施例１、２、３、４なるガラス基板を用意した。また、これらのサンプルの比較対象として、比較例１、２、３、４、５なるガラス基板を用意した。
【０１０８】
ここで、実施例１、３、４、及び比較例１、２、３、４のガラス基板については、無アルカリガラス（日本電気硝子（株）製：ＯＡ−１１）を使用する一方、実施例２、及び比較例５のガラス基板については、無アルカリガラス（日本電気硝子（株）製：ＯＡ−１０Ｇ）を使用することとした。
また、この際のガラス基板のサイズについては、実施例１、２、３、４、及び比較例４、５において、横：７３０［ｍｍ］、縦１０２０［ｍｍ］とする一方、比較例１、２、３において、横：７３０［ｍｍ］、縦９２０［ｍｍ］とすることとした。
【０１０９】
なお、ガラス基板のサイズが異なるのは、該ガラス基板の支持方法が異なるためであり、吊り下げ支持の場合は、熱処理後に保持部を切断する必要があるため、縦方向の寸法を大きく設定することとした。
但し、この際のガラス基板の厚みについては、実施例１、３、４、及び比較例１、２、４において、０．５［ｍｍ］とする一方、実施例２、及び比較例３、５において、０．３［ｍｍ］とすることとした。
【０１１０】
ガラス基板の支持方法について、実施例１、２、３、４においては、前述した面接触に伴い発現する接着力を利用して、基板本体の上端近傍に帯状の板ガラスを貼着させて保持部を形成し、複数の保持治具によって該保持部を挟持（または掛止）しつつ、ガラス基板を懸吊支持することとした。
【０１１１】
この際、実施例１、２においては、基板本体の表面及び裏面の各々の上側辺縁部に対して、７０［ｍｍ］の幅寸法を有する帯状の板ガラス（日本電気硝子（株）製：ＯＡ−１０Ｇ、厚み０．５［ｍｍ］）を各々貼着させることによって、保持部を形成することとした。
また、前記保持部を挟持する保持治具としては、前記保持部と接触するクランプ機構部の先端面の形状が、１辺５０［ｍｍ］の正方形状となっているものを採用することとした。
【０１１２】
また、実施例３においては、基板本体の表面及び裏面の各々の上側辺縁部に対して、７０［ｍｍ］の幅寸法を有する帯状の板ガラス（日本電気硝子（株）製：ＯＡ−１０Ｇ、厚み０．５［ｍｍ］）を三枚一組として積層しつつ、各々貼着させることによって、保持部を形成することとした。
但し、保持治具による支持方法としては、前記保持部と基板本体との段差を利用して、クランプ機構部の先端部によって前記保持部を掛止することとした。
【０１１３】
さらに、実施例４においては、基板本体の表面及び裏面の各々の上側辺縁部に対して、５０［ｍｍ］の幅寸法を有する帯状の板ガラス（日本電気硝子（株）製：ＯＡ−１０Ｇ、厚み０．５［ｍｍ］）を、前記基板本体の幅方向両側に向かって各々５０［ｍｍ］延出するようにして貼着させることにより、保持部を形成することとした。
また、保持治具による支持方法としては、前記保持部の延出部位を保持治具に掛止することとした。
【０１１４】
一方、比較例１においては、ガラス基板の周囲寸法（縦寸法、及び横寸法）に比べて、各々１０［ｍｍ］ずつ大きな寸法からなる結晶化ガラス製の支持板（セッター）を用意し、該支持板上に載置することにより、ガラス基板を水平姿勢に支持することとした。
また、比較例２、３においては、結晶化ガラス製の支持部材を用意し、該支持部材に対して立てかけることにより、ガラス基板を垂直姿勢に支持することとした。
さらに、比較例４、５においては、複数の保持治具によって、基板本体の上側辺縁部を直接挟持しつつ、ガラス基板を懸吊支持することとした。
なお、比較例４、５における、保持治具のクランプ機構部の先端面の形状は、前述した実施例１、２において採用される保持治具と同等とした。
【０１１５】
以上に示した、実施例１、２、３、４、及び比較例１、２、３、４、５による各々のガラス基板に対して、昇温速度１０［℃／ｍｉｎ］、熱処理温度５４０［℃］なる条件の下、熱処理を施した。
また、熱処理後は、三段階に分けて温度を室温にまで低下させた。
なお、実施例２、及び比較例５については、他の実施例、及び比較例に比べて、十分に時間をかけながら温度を低下させた。
【０１１６】
そして、実施例１、２、３、４、及び比較例４、５については、室温にまで温度を低下させた後、保持治具によって支持されていた上側辺縁部を、レーザー割断によって切り落とすことにより、所定のサイズ（横：７３０［ｍｍ］、縦９２０［ｍｍ］）からなるガラス基板を得ることとした。
【０１１７】
このようにして得られた、実施例１、２、３、４、及び比較例１、２、３、４、５による所定のサイズのガラス基板に対して、有効領域内における表面上の傷の有無や、熱処理中に発生したクラックに起因する把持部の破損の有無や、座屈によるガラス基板の変形の有無について評価し、［表１］及び［表２］によって示される結果を得ることができた。
なお、評価結果において、〇は良品レベル、×は不良品レベルであることを示す。
【０１１８】
【表１】
2014205579.tif 000003
【表２】
2014205579.tif 000004
【０１１９】
［表１］に示すように、実施例１、２、３、４においては、傷や破損や変形の有無について、何れにおいても問題は見られなかった。
しかしながら、［表２］に示すように、比較例１、２、３、４、５においては、何れにおいても何かしらの問題が見られた。
【０１２０】
以上の結果より、本発明を具現化する第一乃至第六実施形態に係るガラス基板支持ユニット１００・２００・・・６００を用いて熱処理を行うことにより、傷や破損や変形の何れも発生しない良質なガラス基板を製造できることが明確となった。
【符号の説明】
【０１２１】
１    ガラス基板
１０ａ    辺縁部（上側辺縁部）
１１    保持部
２０１    ガラス基板
２１０ａ    辺縁部（上側辺縁部）
２１１    保持部
３０１    ガラス基板
上側辺縁部）
３１１    保持部
４０１    ガラス基板
４１０ａ    辺縁部（上側辺縁部）
４１０ｃ    辺縁部（下側辺縁部）
４１１    保持部
５０１    ガラス基板
５１０ｄ    辺縁部（右側辺縁部）
５１０ｅ    辺縁部（左側辺縁部）
５１１    保持部
６０１    ガラス基板
６１０ａ    辺縁部（上側辺縁部）
６１０ｃ    辺縁部（下側辺縁部）
６１０ｄ    辺縁部（右側辺縁部）
６１０ｅ    辺縁部（左側辺縁部）
６１１    保持部
【図１】
2014205579.tif 000005
【図２】
2014205579.tif 000006
【図３】
2014205579.tif 000007
【図４】
2014205579.tif 000008
【図５】
2014205579.tif 000009
【図６】
2014205579.tif 000010
【図７】
2014205579.tif 000011
【図８】
2014205579.tif 000012
【図９】
2014205579.tif 000013
【図１０】
2014205579.tif 000014
【図１１】
2014205579.tif 000015