(57)【要約】      （修正有）【課題】蒸着室内部でリニアガイド等のガイド部材を使用することなく、蒸発源を２つの蒸着領域間の往復移動および各蒸着領域内部での往復直線運動が可能な蒸着装置を提供する。【解決手段】一の基板を蒸着する第一蒸着領域２及び他の基板を蒸着する第二蒸着領域３が並設された蒸着室４に、線形蒸発源５を設け、この線形蒸発源５を第一蒸着領域２の一の基板若しくは第二蒸着領域３の他の基板に対してその被蒸着面と平行に水平移動可能に構成した蒸着装置であって、蒸着室４に複数のリンク６を回動自在に連結して成るリンク機構を複数並設し、これら複数のリンク機構により線形蒸発源５を水平移動自在に支持するように構成し、これら複数のリンク機構を駆動する駆動機構を各リンク機構に夫々設ける。【選択図】図１
2014029000.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一の基板を蒸着する第一蒸着領域及び他の基板を蒸着する第二蒸着領域が並設された蒸着室に、前記基板の被蒸着面に蒸着材料を付着させる線形蒸発源を設け、この線形蒸発源を前記第一蒸着領域の前記一の基板若しくは前記第二蒸着領域の前記他の基板に対してその被蒸着面と平行に水平移動可能に構成した蒸着装置であって、前記蒸着室に複数のリンクを回動自在に連結して成るリンク機構を複数並設し、これら複数のリンク機構により前記線形蒸発源を水平移動自在に支持するように構成し、これら複数のリンク機構を駆動する駆動機構を各リンク機構に夫々設け、これら夫々独立に駆動制御される各リンク機構が協働して前記線形蒸発源を水平移動させることで、この線形蒸発源を、前記第一蒸着領域の前記一の基板及び前記第二蒸着領域の前記他の基板の被蒸着面に沿って移動し得るように構成すると共に、前記第一蒸着領域及び前記第二蒸着領域間を切り替え移動し得るように構成したことを特徴とする蒸着装置。
【請求項２】
複数の前記リンクを回動自在に連結して前記基板の蒸着面と平行な方向に屈曲開閉するように前記各リンク機構を構成し、これら各リンク機構の屈曲開閉度合いを前記駆動機構により夫々制御することで、前記線形蒸発源を、前記第一蒸着領域の前記一の基板及び前記第二蒸着領域の前記他の基板の被蒸着面に沿って移動し得るように構成すると共に、前記第一蒸着領域及び前記第二蒸着領域間を切り替え移動し得るように構成したことを特徴とする請求項１記載の蒸着装置。
【請求項３】
前記駆動機構を大気中に設けたことを特徴とする請求項１，２のいずれか１項に記載の蒸着装置。
【請求項４】
前記線形蒸発源を水平移動させて前記第一蒸着領域に前記線形蒸発源を配設し、この線形蒸発源を前記基板の被蒸着面に沿って移動させて第一の基板に蒸着している間、前記第二蒸着領域に搬入された第二の基板に蒸着前工程を行い、前記第一蒸着領域で前記第一の基板への蒸着が終了すると前記線形蒸発源を前記第二蒸着領域に切り替え移動させ、前記第二蒸着領域に前記線形蒸発源を配設し、この線形蒸発源を前記基板の被蒸着面に沿って移動させて前記第二の基板への蒸着を開始し、その間に前記第一蒸着領域において前記第一の基板を搬出し、この第一蒸着領域に新たな第三の基板を搬入して蒸着前工程を行い、これを繰り返すことで、常時、前記第一蒸着領域及び前記第二蒸着領域のいずれかで基板に蒸着し得るように構成したことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の蒸着装置。
【請求項５】
前記基板を前記蒸着室へ搬送する基板搬送機構を有する基板搬送室に、前記第一蒸着領域及び前記第二蒸着領域を有する蒸着室を複数接続し、前記基板搬送室に搬入された前記基板を前記基板搬送機構が前記蒸着室の各蒸着領域へ適宜振り分けるように構成し、１つの基板搬送室を複数の蒸着室で共有するように構成したことを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の蒸着装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、蒸着装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
蒸着中の有機材料の変質を抑制し、安定した膜質を維持するために、ＯＬＥＤの製造ラインでは常に有機材料を加熱し蒸発させる。そのため、蒸着室に対して基板を搬入あるいは搬出し、基板の蒸着前工程を行う間も材料が蒸発し続けるので、材料が無駄に消費されてしまう。また、蒸着前工程を行う間は蒸着工程を進めることができず、タクトタイムが増大するという問題がある。
【０００３】
このような材料の浪費及びタクトタイムの増大を解消させるべく、例えば特許文献１，２に開示されるような技術が提案されている。
【０００４】
具体的には、特許文献１では、蒸着源が複数の蒸着室間を移動し、ある基板が搬入あるいは搬出される間に、別の蒸着室で別の基板の蒸着を行う構造が提案されている。特許文献２では、蒸着室内に、蒸着室内の第１基板蒸着領域と第２基板蒸着領域間を回転移動する蒸発源を備え、第１基板蒸着領域で一方の基板に蒸着をする間に第２基板蒸着領域では他方の基板の蒸着前工程を行う構造が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００６−２２２６号公報
【特許文献２】特開２０１１−６８９８０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、上記特許文献１，２では、いずれも蒸着室内にリニアガイド等のガイド部材が使用されており、ガイド部材からパーティクルやデガスが生じることで蒸着室内が汚染されてしまう懸念がある。
【０００７】
本発明は、上述のような現状に鑑みなされたもので、蒸着室内部でリニアガイド等のガイド部材を使用することなく、蒸発源を２つの蒸着領域間の往復移動および各蒸着領域内部での往復直線運動が可能な蒸着装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
添付図面を参照して本発明の要旨を説明する。
【０００９】
一の基板１を蒸着する第一蒸着領域２及び他の基板１を蒸着する第二蒸着領域３が並設された蒸着室４に、前記基板１の被蒸着面に蒸着材料を付着させる線形蒸発源５を設け、この線形蒸発源５を前記第一蒸着領域２の前記一の基板１若しくは前記第二蒸着領域３の前記他の基板１に対してその被蒸着面と平行に水平移動可能に構成した蒸着装置であって、前記蒸着室４に複数のリンク６を回動自在に連結して成るリンク機構を複数並設し、これら複数のリンク機構により前記線形蒸発源５を水平移動自在に支持するように構成し、これら複数のリンク機構を駆動する駆動機構を各リンク機構に夫々設け、これら夫々独立に駆動制御される各リンク機構が協働して前記線形蒸発源５を水平移動させることで、この線形蒸発源５を、前記第一蒸着領域２の前記一の基板１及び前記第二蒸着領域３の前記他の基板１の被蒸着面に沿って移動し得るように構成すると共に、前記第一蒸着領域２及び前記第二蒸着領域３間を切り替え移動し得るように構成したことを特徴とする蒸着装置に係るものである。
【００１０】
また、複数の前記リンク６を回動自在に連結して前記基板１の蒸着面と平行な方向に屈曲開閉するように前記各リンク機構を構成し、これら各リンク機構の屈曲開閉度合いを前記駆動機構により夫々制御することで、前記線形蒸発源５を、前記第一蒸着領域２の前記一の基板１及び前記第二蒸着領域３の前記他の基板１の被蒸着面に沿って移動し得るように構成すると共に、前記第一蒸着領域２及び前記第二蒸着領域３間を切り替え移動し得るように構成したことを特徴とする請求項１記載の蒸着装置に係るものである。
【００１１】
また、前記駆動機構を大気中に設けたことを特徴とする請求項１，２のいずれか１項に記載の蒸着装置に係るものである。
【００１２】
また、前記線形蒸発源５を水平移動させて前記第一蒸着領域２に前記線形蒸発源５を配設し、この線形蒸発源５を前記基板１の被蒸着面に沿って移動させて第一の基板１に蒸着している間、前記第二蒸着領域３に搬入された第二の基板１に蒸着前工程を行い、前記第一蒸着領域２で前記第一の基板１への蒸着が終了すると前記線形蒸発源５を前記第二蒸着領域３に切り替え移動させ、前記第二蒸着領域３に前記線形蒸発源５を配設し、この線形蒸発源５を前記基板１の被蒸着面に沿って移動させて前記第二の基板１への蒸着を開始し、その間に前記第一蒸着領域２において前記第一の基板１を搬出し、この第一蒸着領域に新たな第三の基板１を搬入して蒸着前工程を行い、これを繰り返すことで、常時、前記第一蒸着領域２及び前記第二蒸着領域３のいずれかで基板１に蒸着し得るように構成したことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の蒸着装置に係るものである。
【００１３】
また、前記基板１を前記蒸着室４へ搬送する基板搬送機構を有する基板搬送室13に、前記第一蒸着領域２及び前記第二蒸着領域３を有する蒸着室４を複数接続し、前記基板搬送室13に搬入された前記基板１を前記基板搬送機構が前記蒸着室４の各蒸着領域へ適宜振り分けるように構成し、１つの基板搬送室13を複数の蒸着室４で共有するように構成したことを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の蒸着装置に係るものである。
【発明の効果】
【００１４】
本発明は上述のように構成したから、蒸着室内部でリニアガイド等のガイド部材を使用することなく、蒸発源を２つの蒸着領域間の往復移動および各蒸着領域内部での往復直線運動が可能な蒸着装置となる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本実施例の要部の概略説明平面図である。
【図２】本実施例の要部の概略説明側面図である。
【図３】本実施例の蒸着工程説明図である。
【図４】本実施例の蒸着工程説明図である。
【図５】本実施例の蒸着工程説明図である。
【図６】本実施例の蒸着工程説明図である。
【図７】別例の要部の概略説明平面図である。
【図８】別例の要部の概略説明側面図である。
【図９】別例の蒸着工程説明図である。
【図１０】別例の蒸着工程説明図である。
【図１１】別例の蒸着工程説明図である。
【図１２】別例の蒸着工程説明図である。
【図１３】真空室の配置構成図である。
【図１４】真空室の配置構成図である。
【図１５】真空室の配置構成図である。
【図１６】真空室の配置構成図である。
【図１７】構成例の要部の概略説明平面図である。
【図１８】構成例の要部の概略説明側面図である。
【図１９】構成例の蒸着工程説明図である。
【図２０】構成例の蒸着工程説明図である。
【図２１】構成例の蒸着工程説明図である。
【図２２】構成例の蒸着工程説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
好適と考える本発明の実施形態を、図面に基づいて本発明の作用を示して簡単に説明する。
【００１７】
線形蒸発源５を支持する複数のリンク機構を駆動制御して線形蒸発源５を、第一蒸着領域２、若しくは、第二蒸着領域３に位置せしめ、第一蒸着領域２の一の基板１の被蒸着面に沿って移動させ、一の基板１に蒸着材料を蒸着する。
【００１８】
この際、複数のリンク機構により、第一蒸着領域２、若しくは、第二蒸着領域３での蒸着を終えた線形蒸発源５を第二蒸着領域３、若しくは、第一蒸着領域２に切り替え移動させ、上記同様に第二蒸着領域３の他の基板１に蒸着材料を蒸着することができ、反対側の蒸着領域において蒸着を続行することができる。
【００１９】
即ち、例えば、前記第一蒸着領域２に前記線形蒸発源５を配設し、この線形蒸発源５を前記基板１の被蒸着面に沿って移動させて第一の基板１に蒸着している間、前記第二蒸着領域３に搬入された第二の基板１に蒸着前工程を行い、前記第一蒸着領域２で前記第一の基板１への蒸着が終了すると前記線形蒸発源５を前記第二蒸着領域３に切り替え移動させ、前記第二蒸着領域３に前記線形蒸発源５を配設し、この線形蒸発源５を前記基板１の被蒸着面に沿って移動させて前記第二の基板１への蒸着を開始し、その間に前記第一蒸着領域２において前記第一の基板１を搬出し、この第一蒸着領域に新たな第三の基板１を搬入して蒸着前工程を行い、これを繰り返すことで、常時、前記第一蒸着領域２及び前記第二蒸着領域３のいずれかで基板１に蒸着することが可能となる。
【００２０】
従って、蒸着室４への基板１の搬入搬出時間中や、基板１とマスクとの蒸着前工程（例えば、アライメント。）時間中にも他の基板１に蒸着することができ、材料の無駄を低減することができることになる。
【００２１】
また、リンク機構を駆動するアクチュエータを大気中、例えば、蒸着室４の外部に設置できるため、装置のメンテナンスやアクチュエータの交換が、アクチュエータが蒸着室内部に設置される場合と比較して容易となる。
【００２２】
また、線形蒸発源５を移動させる動力が回転運動のみによって伝達され、リニアガイドや円弧状ガイドを使用しないため、パーティクルやデガスの発生が抑制され、それだけ蒸着室内部の清浄な真空を保つことができることになる。
【実施例】
【００２３】
本発明の具体的な実施例について図面に基づいて説明する。
【００２４】
本実施例は、一の基板１を蒸着する第一蒸着領域２及び他の基板１を蒸着する第二蒸着領域３が並設された蒸着室４に、前記基板１の被蒸着面に蒸着材料を付着させる線形蒸発源５を設け、この線形蒸発源５を前記第一蒸着領域２の前記一の基板１若しくは前記第二蒸着領域３の前記他の基板１に対してその被蒸着面と平行に水平移動可能に構成した蒸着装置であって、蒸着室４内部でリニアガイド等のガイド部材を使用することなく、蒸発源を２つの蒸着領域間の往復移動および各蒸着領域内部での往復直線運動が可能としたものである。
【００２５】
具体的には、本実施例は、前記蒸着室４に複数のリンク６を回動自在に連結して成るリンク機構を複数並設し、これら複数のリンク機構により前記線形蒸発源５を水平移動自在に支持するように構成し、これら複数のリンク機構を駆動する駆動機構を各リンク機構に夫々設けている。そして、これら夫々独立に駆動制御される各リンク機構が協働して前記線形蒸発源５を水平移動させることで、この線形蒸発源５を、前記第一蒸着領域２の前記一の基板１及び前記第二蒸着領域３の前記他の基板１の被蒸着面に沿って移動し得るように構成すると共に、前記第一蒸着領域２及び前記第二蒸着領域３間を切り替え移動し得るように構成している。
【００２６】
更に具体的に説明すると、本実施例は、図１，２に図示したように、線形蒸発源５に、一端側が駆動機構の回転軸８に連結されるリンク機構の他端側が回動自在に連結されたもので、駆動機構により各リンク機構を駆動制御して、線形蒸発源５を、例えば第一及び第二蒸着領域２，３間を往復させる等、任意の水平方向に移動させるものである。
【００２７】
即ち、本実施例は、複数のリンク機構の協働により、線形蒸発源５を、基板１の長辺方向若しくは短辺方向に移動させて基板１の被蒸着面の略全面に蒸着できると共に、同じ蒸着室４内にある２枚の基板１，１に交互に蒸着できるようにしたものである。図中符号７はリンク６同士及びリンク６と線形蒸発源５とを夫々回動自在に連結する関節部、11はゲートバルブである。
【００２８】
各部を具体的に説明する。
【００２９】
蒸着室４は真空ポンプ等の適宜な排気機構を備えた真空室であり、基板搬送機構としてのロボットハンド14を備えた基板搬送室13とは、開閉機構であるゲートバルブ11を介して接続されている（図１９〜２２参照）。本実施例においては、ゲートバルブ11は、第一蒸着領域２及び第二蒸着領域３への搬入出に対応して第一蒸着領域２側と第二蒸着領域３側に夫々１つずつ設けられている。
【００３０】
第一蒸着領域２及び第二蒸着領域３は、明確に物理的に分離してはいないが、蒸着室４内の左側寄りに一の基板１が配設される第一蒸着領域２、右側寄りに他の基板１が配設される第二蒸着領域３が設けられる（例えば、図１参照）。
【００３１】
具体的には、一の基板１と他の基板１とが他の領域において蒸着を行う際に影響を受けない程度に所定間隔をおいて並設状態に配設されるように、第一蒸着領域２及び第二蒸着領域３を設定する。
【００３２】
なお、蒸着室４において、基板１は蒸着室４の天面側に、線形蒸発源５及びリンク機構は蒸着室４の底面側に夫々配設される。
【００３３】
線形蒸発源５は、基板１の蒸着面に蒸着材料を付着させる一般的なラインソースである。本実施例においては、線形蒸発源５は細長い枢形状で、その上面に枢形の長手方向に延設される直線状でスリット状の蒸着口12が設けられるものとしている。この蒸着口12から蒸着材料が基板１の被蒸着面に向かって放出される。なお、蒸着口12の形状は、スリット状に限定されるものではなく、円形や角形の蒸着口が複数個直線状に並んでいる構成としても良い。
【００３４】
本実施例においては、基板１の長辺方向に沿って（図１中上下方向に）、前記蒸着口12が基板１の長辺方向と直交する状態で線形蒸発源５を移動させるように構成している。この線形蒸発源５の蒸着口12は、基板１の短辺方向の略全域に蒸着材料を付着し得る長さに設定している。
【００３５】
従って、リンク機構により、第一蒸着領域２若しくは第二蒸着領域３に配置して線形蒸発源５を基板１の長辺方向に沿って移動させながら基板１に蒸着材料を蒸着することで、基板１の略全面に成膜し得ることになる。
【００３６】
本実施例においては、２つの金属製の板状のリンク６を相対回動自在に連結して基板１の蒸着面と平行な方向に屈曲開閉するように各リンク機構を構成している。このリンク機構の一端側が蒸着室４の底面側に設けられる駆動機構の回転軸８に連結され、他端側が線形蒸発源５の下面である蒸着室４の底面との対向面に回動自在に連結されている。
【００３７】
また、本実施例においては、リンク機構を３つ備えた構成とし、各リンク機構の一端側に連結される各駆動機構の回転軸８を、三角形の各頂点に位置するように配設している。具体的には、各駆動機構の回転軸８を、図１中、第一蒸着領域２の左端下方側隅部、第二蒸着領域３の右端下方側隅部、第一蒸着領域２と第二蒸着領域３との間の境界部の上方端側に位置するように配設している。また、各リンク機構の他端側が線形蒸発源５の下面において三角形の各頂点に位置するように配設している。
【００３８】
駆動機構は、モータ本体９が蒸着室４の外部に配置され、その回転軸８のリンク６側が蒸着室４の内部に配設されるように構成している。回転軸８が挿通する蒸着室４の底面に設けた挿通孔は適宜シールされる。
【００３９】
従って、駆動機構の回転軸８の回転量に応じてリンク６の屈曲開閉を制御することができ、リンク機構のリンク６同士を閉じるように曲げることで線形蒸発源５を蒸着室４との連結点側に引き込み、リンク６同士を開くように伸ばすことで線形蒸発源５を蒸着室との連結点から離れるように押し込むことができ、よって、各リンク機構の屈曲開閉度合いを制御して複数のリンク機構による線形蒸発源５の引き込みや押し込み動作を組み合わせることで、線形蒸発源５を水平移動させることが可能となる。
【００４０】
よって、本実施例は、以下のように蒸着を行うことが可能となる。
【００４１】
即ち、各リンク機構の協働により、前記第一蒸着領域２に前記線形蒸発源５を配設し、この線形蒸発源５を前記基板１の長辺方向（若しくは短辺方向）に沿って移動させて第一の基板１に蒸着している間、前記第二蒸着領域３に第二の基板１を搬入すると共に（図３参照）、この搬入された第二の基板１に蒸着前工程を行う（図４参照）。続いて、前記第一蒸着領域２で前記第一の基板１への蒸着が終了すると前記線形蒸発源５を前記第二蒸着領域３に切り替え移動させ、前記第二蒸着領域３に前記線形蒸発源５を配設し、この線形蒸発源５を前記基板１の長辺方向（若しくは短辺方向）に沿って移動させて前記第二の基板１への蒸着を開始し、その間に前記第一蒸着領域２において前記第一の基板１を搬出する（図５参照）。続いて、この第一蒸着領域に新たな第三の基板１を搬入して蒸着前工程を行う（図６参照）。この様に、上記処理を繰り返すことで、常時、前記第一蒸着領域２及び前記第二蒸着領域３のいずれかで基板１に蒸着し得ることになる。
【００４２】
本実施例においては、基板１への蒸着は、線形蒸発源５を前記基板１の長辺方向に、例えば、一回往復移動させることで完了するように構成している。従って、蒸着材料が無駄に消費されるのは線形蒸発源５の切り替え移動時のみであり、極めて効率的に蒸着材料を使用可能となる。
【００４３】
なお、基板１に対する蒸着前工程とは、例えば、メタルマスクと基板１とのアライメント工程等、基板１を蒸着室４に搬入してから蒸着を開始するまでに行う準備工程である。
【００４４】
また、本実施例においては、上述のように３つのリンク機構を用いた場合について説明しているが、図７〜１２に図示した別例のように、２つのリンク機構を用いる構成としても良い。この別例においても、２つのリンク６から成るリンク機構を用いているが、一方のリンク機構Ａのリンク６同士は、アクチュエータ10を介して連結している。即ち、図７のリンク機構Ａは、回転軸８により一方のリンク６を回動できると共に、この一方のリンク６の先端のアクチュエータ10により他方のリンク６も回動させることができ、リンク機構を減らした分、自由度を増やすようにしている。この別例において、アクチュエータ10に内蔵されたモータを大気雰囲気に保持するために、リンク６及び回転軸８を中空とし、関節部10からモータ本体９に至る回動部分に真空シールを配置している。
【００４５】
従って、この別例の場合も、本実施例と同様に以下のように蒸着を行うことが可能となる。
【００４６】
即ち、各リンク機構の協働により、前記第一蒸着領域２に前記線形蒸発源５を配設し、この線形蒸発源５を前記基板１の長辺方向（若しくは短辺方向）に沿って移動させて第一の基板１に蒸着している間、前記第二蒸着領域３に第二の基板１を搬入すると共に（図９参照）、この搬入された第二の基板１に蒸着前工程を行う（図１０参照）。続いて、前記第一蒸着領域２で前記第一の基板１への蒸着が終了すると前記線形蒸発源５を前記第二蒸着領域３に切り替え移動させ、前記第二蒸着領域３に前記線形蒸発源５を配設し、前記第一蒸着領域２において第一の基板１を搬出する（図１１参照）。続いて、この線形蒸発源５を前記基板１の長辺方向（若しくは短辺方向）に沿って移動させて前記第二の基板１への蒸着を開始し、その間に第一蒸着領域２に新たな第三の基板１を搬入して蒸着前工程を行う（図１２参照）。この様に、上記処理を繰り返すことで、常時、前記第一蒸着領域２及び前記第二蒸着領域３のいずれかで基板１に蒸着し得ることになる。
【００４７】
また、本実施例は、前記基板１を前記蒸着室４へ搬送する基板搬送機構としてのロボットハンド14を有する基板搬送室13に、前記第一蒸着領域２及び前記第二蒸着領域３を有する蒸着室４を複数（例えば、２つ）接続し、前記基板搬送室13に搬入された前記基板１を前記基板搬送機構が前記蒸着室４の各蒸着領域へ適宜振り分けるように構成し、１つの基板搬送室13を複数の蒸着室４で共有するように構成している。なお、基板搬送室13にも適宜な排気機構が設けられる。
【００４８】
基板搬送室13の周囲には、蒸着室４に限らず他の真空室を接続しても良く、例えば図１３〜１６に示すように構成することができる。図中、基板が搬送される軌跡をＡライン、Ｂラインとして矢印で示した。Ａライン、Ｂラインは夫々独立した基板の搬送ラインである。また、接続する真空室の数等に応じて、基板搬送室13の平面視形状は、多角形状を適宜設定し得る。図中、15は搬入室、16は搬出室、17，18，19，20は新しいメタルマスク21、あるいは、使用済みのメタルマスク21が保管されるマスクストック室である。なお、蒸着室４内のマスクとマスクストック室のマスクはロボットハンド14により適宜交換される。また、搬入室15や搬出室16には適宜基板の向きを回転させる基板回転機構を設ける構成としても良い。更に、マスクストック室に限らず、他の成膜室・処理室を設ける構成としても良い。
【００４９】
従って、ある蒸着室４がメンテナンスや不具合のためにやむを得ず停止する場合でも、蒸着室４と基板搬送室13との間に設けたゲートバルブ11を閉じることで、同一の基板搬送室13に接続された別の蒸着室４は稼働を続けることができ、メンテナンス時や不具合時の蒸着装置ラインの稼働率の低下を抑制することが可能となる。
【００５０】
なお、図１７〜２２に、本発明に係る実施例ではない構成例を示す。この構成例は、平行な２つのリンク56を用いて線形蒸発源55を、蒸着室54の第一蒸着領域52と第二蒸着領域53との間を往復回動移動できるようにし、基板51は基板搬送機構62により水平搬送するように構成したものである。この構成例では、一方のリンク56の一端部を駆動機構としてのモータ本体59の回転軸58を連結し、他端部を線形蒸発源55の下面に回動自在に連結し、他方のリンク56の一端部を蒸着室54の底面に回動自在に連結し、他端部を線形蒸発源55の下面に回動自在に連結している。従って、一方のリンク56の回動駆動に伴い他方のリンク56も回動して線形蒸発源55を第一蒸着領域52及び第二蒸着領域53に切り替え移動することができる。
【００５１】
従って、この構成例の場合は以下のように蒸着を行う。
【００５２】
即ち、平行なリンク56と基板搬送機構62とを用いて、前記第一蒸着領域52に前記線形蒸発源55を配設し（図１９参照）、この線形蒸発源55に対して前記基板51をその長辺方向（若しくは短辺方向）に沿って移動させて第一の基板51に蒸着している間、前記第二蒸着領域53に搬入された第二の基板51に蒸着前工程を行う（図２０参照）。続いて、前記第一蒸着領域52で前記第一の基板51への蒸着が終了すると前記線形蒸発源55を前記第二蒸着領域53に切り替え移動させ、前記第二蒸着領域53に前記線形蒸発源55を配設する（図２１参照）。続いて、この線形蒸発源55を前記基板51の長辺方向（若しくは短辺方向）に沿って移動させて前記第二の基板51への蒸着を開始し、その間に前記第一蒸着領域52において前記第一の基板51を搬出し、この第一蒸着領域52に新たな第三の基板51を搬入して蒸着前工程を行う（図２２参照）。この様に、上記処理を繰り返すことで、常時、前記第一蒸着領域52及び前記第二蒸着領域53のいずれかで基板51に蒸着し得ることになる。
【００５３】
本実施例は上述のように構成したから、蒸着室内部でリニアガイド等のガイド部材を使用することなく、蒸発源を２つの蒸着領域間の往復移動および各蒸着領域内部での往復直線運動が可能なものとなる。
【００５４】
なお、本発明は、本実施例に限られるものではなく、各構成要件の具体的構成は適宜設計し得るものである。
【符号の説明】
【００５５】
１  基板
２  第一蒸着領域
３  第二蒸着領域
４  蒸着室
５  線形蒸発源
６  リンク
13  基板搬送室
【図１】
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【図２】
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【図７】
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【図８】
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【図１７】
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【図１８】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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