(57)【要約】【課題】容器に電子部品が複数の列をなして載置されているときにも各電子部品の識別情報を認識できる電子部品搬送装置を提供する。【解決手段】電子部品１０が載置されるトレイ９を第１方向３ｃに移動する第１コンベア３と、電子部品１０に設置された個体識別番号を検出する撮像装置１７と、第１方向３ｃと交差する第２方向１４ａに撮像装置１７を移動するトレイ搬送部１１と、個体識別番号を用いて電子部品１０の識別情報を演算する個体識別番号演算部と、を備える。【選択図】図１
2014020985.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品に表示された識別情報を検出する識別情報検出部と、
前記識別情報を用いて前記電子部品の個体識別をする個体識別部と、
前記電子部品を所定の場所へ搬送することが可能である搬送機構と、を備えることを特徴とする電子部品搬送装置。
【請求項２】
請求項１に記載の電子部品搬送装置であって、
前記電子部品を第１方向及び前記第１方向と交差する第２方向に複数載置することが可能である容器と、
前記第１方向に前記容器を移動させる第１移動部と、
前記第２方向に前記識別情報検出部を移動させる第２移動部と、を備えることを特徴とする電子部品搬送装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の電子部品搬送装置であって、
前記個体識別部によって得られる識別結果に基づいて、前記電子部品を前記所定の場所へ搬送する、又は、搬送しないを切り換えることを特徴とする電子部品搬送装置。
【請求項４】
請求項２又は３に記載の電子部品搬送装置であって、
前記第２移動部は前記識別情報検出部を移動させるタイミングと異なるタイミングで前記第２方向に前記容器を移動させることが可能であることを特徴とする電子部品搬送装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一項に記載の電子部品搬送装置であって、
前記個体識別の結果を出力する情報出力部を有することを特徴とする電子部品搬送装置。
【請求項６】
請求項５に記載の電子部品搬送装置であって、
前記情報出力部は前記個体識別の結果を表示する情報表示部を有することを特徴とする電子部品搬送装置。
【請求項７】
請求項５に記載の電子部品搬送装置であって、
前記情報出力部は前記個体識別の結果を信号にして出力する出力インターフェイスを有することを特徴とする電子部品搬送装置。
【請求項８】
電子部品に表示された識別情報を画像として撮像する画像撮像部と、
前記画像撮像部によって撮像された前記識別情報を画像データに変換するデータ変換部と、
前記データ変換部により変換された画像データを用いて前記電子部品の個体識別をする個体識別部と、を備えることを特徴とする電子部品搬送装置。
【請求項９】
請求項８に記載の電子部品搬送装置であって、
前記識別情報は文字を含み、前記個体識別部は前記画像データを文字として認識する文字認識機能を有することを特徴とする電子部品搬送装置。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれか一項に記載の電子部品搬送装置であって、
前記識別情報はバーコードを含み、前記識別情報検出部は前記バーコードを読み取るバーコードリーダーを有することを特徴とする電子部品搬送装置。
【請求項１１】
請求項１〜１０のいずれか一項に記載の電子部品搬送装置であって、
前記識別情報と比較する比較情報を入力する情報入力部と、
前記比較情報と前記識別情報とが異なるときには警報情報を出力する警報出力部と、を有することを特徴とする電子部品搬送装置。
【請求項１２】
電子部品に表示された識別情報を検出する識別情報検出部と、
前記識別情報を用いて前記電子部品の個体識別をする個体識別部と、
前記電子部品を検査する検査部と、
前記電子部品を前記検査部に搬送する搬送機構と、を備えることを特徴とする電子部品検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品搬送装置および電子部品検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、電子部品を各種装置に給材し除材する電子部品搬送装置が用いられている。この電子部品搬送装置はＩＣ（Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ  Ｃｉｒｃｕｉｔ）ハンドラーとも称される。トレイに収納された電子部品を移動するＩＣハンドラーが特許文献１に開示されている。それによると、ＩＣハンドラーは電子部品をトレイから検査するテストヘッドに供給し、検査が終了した電子部品をトレイに収納していた。未検査トレイ収納部では未検査の電子部品がマトリックス状に載置されたトレイが複数重ねられている。そして、部品取出部が電子部品をトレイから移動し、部品供給部が電子部品をテストヘッドに供給する。
【０００３】
電子部品が移動された後の空のトレイをトレイ移送部が空トレイ収納部、良部品トレイ収納部、不良トレイ収納部へ移動する。この未検査トレイ収納部、空トレイ収納部、良部品トレイ収納部、不良トレイ収納部は直線上に沿って配置されている。そして、トレイ移送部は１方向に延在するレール部材に沿って移動することにより各トレイ収納部にトレイを移動することが可能になっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１０−１５１５８９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に示す従来のＩＣハンドラーにはＩＣ，ＣＩＳ（Ｃｏｎｔａｃｔ  Ｉｍａｇｅ  Ｓｅｎｓｏｒ）等の電子部品の識別番号を認識する機能がなかった。よって、間違った電子部品がＩＣハンドラーに入っても、そのまま検査装置に搬送され、検査される場合があり、正常な検査結果が得られない。そこで、本願発明は、個々のＩＣの識別番号を認識することで、間違った電子部品を流動させないことができる電子部品搬送装置を提供することになる。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上述の課題を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００７】
［適用例１］
本適用例にかかる電子部品搬送装置であって、電子部品に表示された識別情報を検出する識別情報検出部と、前記識別情報を用いて前記電子部品の個体識別をする個体識別部と、前記電子部品を所定の場所へ搬送することが可能である搬送機構と、を備えることを特徴とする。
【０００８】
本適用例によれば、電子部品には識別情報が設置され、識別情報検出部が識別情報を検出する。そして、個体識別部が識別情報から電子部品の識別情報を検出する。そして、搬送機構が電子部品を所定の場所へ搬送する。従って、電子部品搬送装置は電子部品の識別情報を認識することができる。その結果、電子部品搬送装置は間違った電子部品を所定の場所へ搬送することがないようにすることができる。
【０００９】
［適用例２］
上記適用例にかかる電子部品搬送装置において、前記電子部品を第１方向及び前記第１方向と交差する第２方向に複数載置することが可能である容器と、前記第１方向に前記容器を移動させる第１移動部と、前記第２方向に前記識別情報検出部を移動させる第２移動部と、を備えることを特徴とする。
【００１０】
本適用例によれば、容器に電子部品が載置され、その容器が電子部品搬送装置に設置される。容器には電子部品を第１方向及び第１方向と交差する第２方向に複数載置することが可能となっている。電子部品搬送装置は第１移動部及び第２移動部を備えている。第１移動部が容器を第１方向に移動する。第２移動部は第１方向と交差する第２方向に識別情報検出部を移動する。従って、第１移動部と第２移動部とを駆動することにより電子部品搬送装置は電子部品と識別情報検出部とを２次元において相対移動させることができる。従って、容器に電子部品が複数の列をなして載置されているときにも電子部品搬送装置は各電子部品の識別情報を認識することができる。その結果、容器に設置された電子部品の識別情報を総て認識することができる。
【００１１】
［適用例３］
上記適用例にかかる電子部品搬送装置において、前記個体識別部によって得られる識別結果に基づいて、前記電子部品を前記所定の場所へ搬送する、又は、搬送しないを切り換えることを特徴とする。
【００１２】
本適用例によれば、個体識別部が電子部品の個体識別をする、そして、得られる識別結果に基づいて、電子部品に所定の処置を施すときには搬送機構が電子部品を前記所定の場所へ搬送する。電子部品に所定の処置を施さないときには、電子部品を搬送しない。従って、電子部品搬送装置は確実に間違った電子部品に所定の処置をして流動することがないようにすることができる。
【００１３】
［適用例４］
上記適用例にかかる電子部品搬送装置において、前記第２移動部は前記識別情報検出部を移動させるタイミングと異なるタイミングで前記第２方向に前記容器を移動させることが可能であることを特徴とする。
【００１４】
本適用例によれば、電子部品搬送装置は第２移動部を備えている。第２移動部は第２方向に容器を移動する。これにより、容器を第１移動部から除くことができる。そして、第２移動部は容器と識別情報検出部とを異なるタイミングにて移動させる。従って、容器を移動するための部位と識別情報検出部を移動するための部位との２つの部位を設置するときに比べて簡易な構造にすることができる。その結果、電子部品搬送装置を生産性良く製造することができる。
【００１５】
［適用例５］
上記適用例にかかる電子部品搬送装置において、前記個体識別の結果を出力する情報出力部を有することを特徴とする。
【００１６】
本適用例によれば、情報出力部が個体識別の結果を出力する。従って、電子部品の識別情報を活用することができる。
【００１７】
［適用例６］
上記適用例にかかる電子部品搬送装置において、前記情報出力部は前記個体識別の結果を表示する情報表示部を有することを特徴とする。
【００１８】
本適用例によれば、情報表示部が個体識別の結果を表示する。従って、操作者が電子部品の識別情報を確認して識別情報の表示に応じた対応をすることができる。
【００１９】
［適用例７］
上記適用例にかかる電子部品搬送装置において、前記情報出力部は前記個体識別の結果を信号にして出力する出力インターフェイスを有することを特徴とする。
【００２０】
本適用例によれば、出力インターフェイスが個体識別の結果を信号にして出力する。従って、信号を入力する機器が電子部品の個体識別の結果を確認して識別情報に応じた対応をすることができる。
【００２１】
［適用例８］
本適用例にかかる電子部品搬送装置であって、電子部品に表示された識別情報を画像として撮像する画像撮像部と、前記画像撮像部によって撮像された前記識別情報を画像データに変換するデータ変換部と、前記データ変換部により変換された画像データを用いて前記電子部品の個体識別をする個体識別部と、を備えることを特徴とする。
【００２２】
本適用例によれば、画像撮像部が電子部品に表示された識別情報を画像として撮像する。次に、データ変換部が画像撮像部によって撮像された識別情報をデータ変換する。続いて、個体識別部がデータ変換部により変換されたデータを用いて電子部品の個体識別をする。従って、電子部品搬送装置は電子部品の識別情報を認識することができる。その結果、電子部品搬送装置は間違った電子部品に所定の処置をして流動することがないようにすることができる。
【００２３】
［適用例９］
上記適用例にかかる電子部品搬送装置において、前記識別情報は文字を含み、前記個体識別部は前記画像データを文字として認識する文字認識機能を有することを特徴とする。
【００２４】
本適用例によれば、個体識別部は文字認識機能を有している。従って、識別情報が文字を含んでいるときに個体識別部は文字の画像データを文字として認識することができる。
【００２５】
［適用例１０］
上記適用例にかかる電子部品搬送装置において、前記識別情報はバーコードを含み、前記識別情報検出部は前記バーコードを読み取るバーコードリーダーを有することを特徴とする。
【００２６】
本適用例によれば、識別情報検出部はバーコードリーダーを有する。尚、バーコードリーダーが検出するバーコードは１次元のバーコードと２次元のバーコードとを含んでいる。従って、識別情報がバーコードを含んでいるときにも容易に識別情報から個体識別となる情報を読み取ることができる。
【００２７】
［適用例１１］
上記適用例にかかる電子部品搬送装置において、前記識別情報と比較する比較情報を入力する情報入力部と、前記比較情報と前記識別情報とが異なるときには警報情報を出力する警報出力部と、を有することを特徴とする。
【００２８】
本適用例によれば、情報入力部において比較情報が入力される。そして、個体識別部が個体識別をする。情報比較部が比較情報と識別情報を比較し、異なるときには警報情報を出力する。従って、電子部品搬送装置が扱う予定の電子部品と設置された電子部品が異なるときにはこの状況に応じた対応をすることができる。
【００２９】
［適用例１２］
本適用例にかかる電子部品検査装置であって、電子部品に表示された識別情報を検出する識別情報検出部と、前記識別情報を用いて前記電子部品の個体識別をする個体識別部と、前記電子部品を検査する検査部と、前記電子部品を前記検査部に搬送する搬送機構と、を備えることを特徴とする。
【００３０】
本適用例によれば、電子部品には識別情報が設置され、識別情報検出部が識別情報を検出する。そして、個体識別部が識別情報から電子部品の識別情報を検出する。そして、搬送機構が電子部品を所定の処置が施される位置へ搬送する。従って、電子部品搬送装置は電子部品の識別情報を認識することができる。搬送機構が電子部品を検査部に搬送し、検査部が電子部品を検査する。その結果、電子部品検査装置は間違った電子部品を検査することがないようにすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】第１の実施形態にかかわる部品検査装置の構造を示す模式平面図。
【図２】（ａ）及び（ｂ）は、部品検査装置の構造を示す模式側面図。
【図３】部品検査装置の構造を示す概略斜視図。
【図４】電子部品を説明するための模式平面図。
【図５】部品検査装置の電気制御ブロック図。
【図６】電子部品の検査方法を示すフローチャート。
【図７】電子部品の検査方法を説明するための模式図。
【図８】電子部品の検査方法を説明するための模式図。
【図９】第２の実施形態にかかわり、（ａ）は電子部品を説明するための模式平面図、（ｂ）は部品検査装置の構造を示す模式側面図。
【図１０】変形例にかかわる電子部品を説明するための模式平面図。
【発明を実施するための形態】
【００３２】
本実施形態では、部品搬送装置を備えた部品検査装置とこの部品搬送装置が部品を搬送する方法の特徴的な例について説明する。以下、実施形態について図面に従って説明する。尚、各図面における各部材は、各図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各部材毎に縮尺を異ならせて図示している。
（第１の実施形態）
第１の実施形態にかかわる部品検査装置について図１〜図８に従って説明する。
【００３３】
（部品検査装置）
図１は、部品検査装置の構造を示す模式平面図であり、カバーを外した図となっている。図２（ａ）及び図２（ｂ）は、部品検査装置の構造を示す模式側面図である。図３は、部品検査装置の構造を示す概略斜視図である。図１〜図３に示すように部品検査装置１は長方形の板状の基台２を備えている。基台２の平面視で基台２の直交する２辺が延在する方向をＸ方向とＹ方向とし、鉛直方向を−Ｚ方向とする。部品検査装置１は主に電子部品を検査する検査部１ａと検査部１ａに部品を搬送する部品搬送装置としての搬送部１ｂとから構成されている。
【００３４】
基台２上のＸ方向側にはＸ方向に長く延在する６つのベルトコンベアが設置されている。ベルトコンベアは−Ｙ方向側から順に第１移動部としての第１コンベア３、第２コンベア４、第３コンベア５、第４コンベア６、第５コンベア７、第６コンベア８となっている。第１コンベア３は給材用のベルトコンベアであり、第１コンベア３上には容器としてのトレイ９が載置されている。トレイ９は仕切板により５行５列のマトリックス状に区画されており、各区画には電子部品１０が載置されている。従って、トレイ９は直交する２方向に配列して電子部品１０を載置することが可能になっている。
【００３５】
第１コンベア３は内部にモーター、減速機、プーリー３ａを備え、減速機により減速された回転数でモーターがプーリーを回動する。そして、プーリーの外周と接触してベルト３ｂが設置され、モーターがプーリーを回動することにより、ベルトが移動するようになっている。そして、第１コンベア３上に載置されたトレイ９はベルトと共にＸ方向に往復移動される。第１コンベア３がトレイ９を移動するＸ方向を第１方向３ｃとする。第２コンベア４〜第６コンベア８は第１コンベア３と同じ構造となっており、第１コンベア３と同様にトレイ９をＸ方向に往復移動することが可能になっている。
【００３６】
第２コンベア４及び第３コンベア５は空のトレイ９を置く場所となっており、第４コンベア６は不良と判定された電子部品１０を格納するトレイ９を置く場所となっている。そして、第５コンベア７及び第６コンベア８は良品と判定された電子部品１０を格納するトレイ９を置く場所となっている。
【００３７】
電子部品１０の形態は特に限定されないが、本実施形態では、例えば、電子部品１０はフラットパッケージ等の各種のパッケージ形態のＩＣ（Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ  Ｃｉｒｃｕｉｔ）、ＣＩＳ、液晶パネル、液晶モジュール及び電子モジュール等を適応することができる。そして、部品検査装置１は電子部品１０の電気特性を検査して良品と不良品とを分別する装置となっている。
【００３８】
第１コンベア３〜第６コンベア８と対向する場所には第２移動部としてのトレイ搬送部１１が設置されている。トレイ搬送部１１は第１コンベア３〜第６コンベア８をまたいで設置された門型のトレイ搬送支持部１２を備えている。トレイ搬送支持部１２はＹ方向に長い形状であり、トレイ搬送支持部１２の−Ｘ方向側にはＹ方向に延在するレール１３が設置されている。
【００３９】
レール１３の−Ｘ方向側にはレール１３に沿って移動する移動機構としてのトレイ移動ステージ１４が設置されている。トレイ移動ステージ１４が移動するＹ方向を第２方向１４ａとする。第２方向１４ａは第１方向３ｃと直交する方向であり、第１方向３ｃ及び第２方向１４ａはトレイ９に電子部品１０が配列される方向となっている。トレイ搬送支持部１２の内部にはトレイ移動ステージ１４を移動させる直動機構が設置されている。この直動機構の種類は特に限定されず、リニアモーター、モーターとボールネジとの組合せ、ラック、ピニオン及びモーターの組合せ等各種の形態を用いることができる。本実施形態では、例えば、サーボモーターとボールネジの組合せを採用している。
【００４０】
トレイ移動ステージ１４の−Ｘ方向側の面にはトレイ把持支持部１５を介してトレイ把持部１６が設置されている。トレイ把持部１６は昇降装置と真空チャックとを備えている。真空チャックは吸盤を備え、吸盤が配管により真空ポンプと接続されている。そして、昇降装置は真空チャックを昇降させる機能を備えている。昇降装置が真空チャックを下降して真空チャックの吸盤をトレイ９に接触させる。そして、吸盤とトレイ９との間を真空にすることで真空チャックはトレイ９を把持する。その後、昇降装置がトレイ９を上昇させることによりトレイ９が第１コンベア３から離れて、トレイ移動ステージ１４がトレイ９をＹ方向に移動可能となる。トレイ搬送部１１はトレイ搬送支持部１２、レール１３、トレイ移動ステージ１４、トレイ把持支持部１５及びトレイ把持部１６等により構成されている。
【００４１】
トレイ移動ステージ１４の−Ｘ方向側の面にはトレイ把持部１６の他にも識別情報検出部及び画像撮像部としての撮像装置１７が設置されている。そして、トレイ移動ステージ１４は撮像装置１７を第２方向１４ａに往復移動する。トレイ移動ステージ１４が備える移動機構は撮像装置１７とトレイ把持部１６とを移動する。言い換えると、撮像装置１７とトレイ把持部１６とは共通の移動機構を有している。
【００４２】
撮像装置１７は内部に対物レンズ、オートフォーカス装置、同軸落射照明装置とＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ  Ｃｏｕｐｌｅｄ  Ｄｅｖｉｃｅ）撮像素子が組み込まれたものである。撮像装置１７は対物レンズが電子部品１０に向けて設置されている。まず、同軸落射照明装置から射出した光は電子部品１０を照射する。撮像装置１７は、電子部品１０で反射する光を対物レンズを通して入力する。そして、オートフォーカス装置がＣＣＤ撮像素子に結像する。ＣＣＤ撮像素子が画像を電気信号に変換することにより撮像装置１７は電子部品１０を撮像することが可能となっている。
【００４３】
第１コンベア３〜第６コンベア８の−Ｘ方向側には搬送機構としての部品除給材部２０が設置されている。部品除給材部２０は基台２上に設置された門型の部品搬送支持部２１を備えている。部品搬送支持部２１は基台２に立設された一対の支柱部２１ａと支柱部２１ａ間に架橋された架橋部材２１ｂから構成されている。架橋部材２１ｂの基台２側の面にはＹ方向に延在するレール２２が設置されている。そして、架橋部材２１ｂのレール２２に懸架して直方体状の給材Ｙステージ２３及び除材Ｙステージ２４が設置されている。架橋部材２１ｂには直動機構が内蔵され、この直動機構が給材Ｙステージ２３及び除材Ｙステージ２４をＹ方向に往復移動させる。尚、架橋部材２１ｂの直動機構はトレイ移動ステージ１４を駆動する直動機構と同様の機構を用いることができる。
【００４４】
給材Ｙステージ２３の基台２側にはＸ方向に延在する第１支持梁２５が設置され、第１支持梁２５にはＸ方向に延在するレール２６が設置されている。そして、第１支持梁２５のレール２６に懸架して直方体状の給材Ｘステージ２７が設置されている。第１支持梁２５には直動機構が内蔵され、この直動機構が給材部品把持部２８をＸ方向に往復移動させる。尚、第１支持梁２５の直動機構はトレイ移動ステージ１４を駆動する直動機構と同様の機構を用いることができる。給材Ｘステージ２７の基台２側には給材部品把持部２８が設置され、給材部品把持部２８は昇降装置及び真空チャックを備えている。この昇降装置及び真空チャックはトレイ把持部１６が備える昇降装置及び真空チャックと同様な構造であり説明を省略する。給材Ｙステージ２３、第１支持梁２５、給材Ｘステージ２７及び給材部品把持部２８等により搬送機構としての部品給材部２９が構成されている。
【００４５】
給材部品把持部２８では昇降装置が真空チャックを下降して真空チャックの吸盤を電子部品１０に接触させる。そして、吸盤と電子部品１０との間を真空にすることにより真空チャックは電子部品１０を把持する。その後、昇降装置が電子部品１０を上昇させることにより給材Ｙステージ２３及び給材Ｘステージ２７が電子部品１０をＸ方向及びＹ方向に移動することができる。
【００４６】
同様に、除材Ｙステージ２４の基台２側にはＸ方向に延在する第２支持梁３０が設置され、第２支持梁３０の基台２側にはＸ方向に延在するレール２６が設置されている。そして、第２支持梁３０のレール２６に懸架して直方体状の除材Ｘステージ３１が設置されている。第２支持梁３０には直動機構が内蔵され、この直動機構が除材Ｘステージ３１をＸ方向に往復移動させる。尚、第２支持梁３０の直動機構はトレイ移動ステージ１４を駆動する直動機構と同様の機構を用いることができる。除材Ｘステージ３１の基台２側には除材部品把持部３２が設置され、除材部品把持部３２は昇降装置及び真空チャックを備えている。この昇降装置及び真空チャックはトレイ把持部１６が備える昇降装置及び真空チャックと同様な構造であり説明を省略する。除材Ｙステージ２４、第２支持梁３０、除材Ｘステージ３１及び除材部品把持部３２等により部品除材部３３が構成されている。
【００４７】
除材部品把持部３２では昇降装置が真空チャックを下降して真空チャックの吸盤を電子部品１０に接触させる。そして、吸盤と電子部品１０との間を真空にすることにより真空チャックは電子部品１０を把持する。その後、昇降装置が電子部品１０を上昇させることにより除材Ｙステージ２４及び除材Ｘステージ３１が電子部品１０をＸ方向及びＹ方向に移動することができる。
【００４８】
部品搬送支持部２１の−Ｘ方向には基台２上に検査用ソケット３４が設置されている。検査用ソケット３４は電子部品１０を検査する場所である。検査用ソケット３４には電子部品１０の外形形状とほぼ同じ形状の凹部が形成され、この凹部に電子部品１０が設置可能になっている。そして、凹部には電子部品１０の端子と電気的に接触可能なプローブが設置されている。検査用ソケット３４には４つの凹部が設置され、４つの電子部品１０を同時に検査することができる。
【００４９】
検査用ソケット３４のＸ方向には検査用ソケット３４と部品搬送支持部２１との間に一対のレール３５が設置されている。レール３５はＹ方向に延在して設置され、レール３５上にはレール３５に沿って移動する第１シャトルステージ３６が設置されている。基台２には一対のレール３５の間に直動機構が内蔵され、この直動機構が第１シャトルステージ３６をＹ方向に往復移動させる。尚、レール３５の間の直動機構にはトレイ移動ステージ１４を駆動する直動機構と同様の機構を用いることができる。
【００５０】
第１シャトルステージ３６のＺ方向を向く面には電子部品１０を設置するための凹部３７が８個設置されている。このうち４個の凹部３７は第１シャトルステージ３６の−Ｙ方向側に配置され、この凹部３７を給材用凹部３７ａとする。残りの４個の凹部３７は第１シャトルステージ３６のＹ方向側に配置され、この凹部３７を除材用凹部３７ｂとする。除材用凹部３７ｂが検査用ソケット３４の隣りに位置するとき、基台２の平面視で給材用凹部３７ａは部品給材部２９の給材部品把持部２８が移動可能な場所に位置する。同様に、給材用凹部３７ａが検査用ソケット３４の隣りに位置するとき、基台２の平面視で除材用凹部３７ｂは部品除材部３３の除材部品把持部３２が移動可能な場所に位置する。
【００５１】
検査用ソケット３４の−Ｘ方向には検査用ソケット３４と基台２の端との間に一対のレール４０が設置されている。レール４０はＹ方向に延在して設置され、レール４０上にはレール４０に沿って移動する第２シャトルステージ４１が設置されている。基台２には一対のレール４０の間に直動機構が内蔵され、この直動機構が第２シャトルステージ４１をＹ方向に往復移動させる。尚、レール４０の間の直動機構はトレイ移動ステージ１４を駆動する直動機構と同様の機構を用いることができる。
【００５２】
第２シャトルステージ４１のＺ方向を向く面には電子部品１０を設置するための凹部４２が８個設置されている。このうち４個の凹部４２は第２シャトルステージ４１の−Ｙ方向側に配置され、この凹部４２を給材用凹部４２ａとする。残りの４個の凹部４２は第２シャトルステージ４１のＹ方向側に配置され、この凹部４２を除材用凹部４２ｂとする。除材用凹部４２ｂが検査用ソケット３４の隣りに位置するとき、基台２の平面視で給材用凹部４２ａは部品給材部２９の給材部品把持部２８が移動可能な場所に位置する。同様に、給材用凹部４２ａが検査用ソケット３４の隣りに位置するとき、基台２の平面視で除材用凹部４２ｂは部品除材部３３の除材部品把持部３２が移動可能な場所に位置する。
【００５３】
第１シャトルステージ３６及び第２シャトルステージ４１と対向する場所には搬送機構としての部品押圧装置４３が設置されている。部品押圧装置４３は第１シャトルステージ３６及び第２シャトルステージ４１をまたいで設置された門型の押圧支持部４４を備えている。押圧支持部４４はＸ方向に長い形状であり、押圧支持部４４のＹ方向側にはＸ方向に延在するレール４５が設置されている。
【００５４】
レール４５のＹ方向側にはレール４５に沿って移動する測定Ｘステージ４６が設置されている。押圧支持部４４の内部には測定Ｘステージ４６を移動させる直動機構が設置されている。尚、測定Ｘステージ４６の直動機構はトレイ移動ステージ１４を駆動する直動機構と同様の機構を用いることができる。
【００５５】
測定Ｘステージ４６のＹ方向側には検査部品把持部４７が設置され、検査部品把持部４７は昇降装置及び真空チャックを備えている。この昇降装置及び真空チャックはトレイ把持部１６が備える昇降装置及び真空チャックと同様な構造であり説明を省略する。検査部品把持部４７の真空チャックは４つの吸盤を備え、４つの電子部品１０を１度に把持することができる。
【００５６】
検査部品把持部４７では昇降装置が真空チャックを下降して真空チャックの吸盤を電子部品１０に接触させる。そして、吸盤と電子部品１０との間を真空にすることにより真空チャックは電子部品１０を把持する。その後、昇降装置が電子部品１０を上昇させることにより測定Ｘステージ４６が電子部品１０をＸ方向に往復移動することができる。
【００５７】
そして、部品押圧装置４３は第１シャトルステージ３６の給材用凹部３７ａに載置された電子部品１０を把持して検査用ソケット３４に移動する。そして、部品押圧装置４３は電子部品１０を検査用ソケット３４に押圧する。このとき、電子部品１０の端子がプローブに押圧されるので、端子とプローブとは確実に電気的に接続される。この状態が維持され電子部品１０の電特検査が行われる。そして、電子部品１０の電特検査が終了した後、部品押圧装置４３は電子部品１０を第１シャトルステージ３６の除材用凹部３７ｂに移動する。同様の手順で、検査部品把持部４７は第２シャトルステージ４１に載置された電子部品１０を検査用ソケット３４まで移動し、電子部品１０を検査用ソケット３４に押圧することにより電特検査を補助する。
【００５８】
部品給材部２９、第１シャトルステージ３６、第２シャトルステージ４１及び部品押圧装置４３の搬送機構は所定の処置が施される位置へ搬送する。この所定の処置とは、電子部品１０を検査用ソケット３４に入れる為に電子部品１０の向きを変える、電子部品１０を検査用ソケット３４に挿入する、電子部品１０に検査電流を入れて検査する等の処置である。搬送部１ｂは、主に、ＩＣテストハンドラーに用いられるものであり、単純に、ＩＣをベルトコンベアで搬送する装置ではない。
【００５９】
基台２の−Ｘ方向側には電特検査装置５０が設置されている。電特検査装置５０は検査用ソケット３４に設置されたプローブと接続されている。そして、電特検査装置５０は電子部品１０と電気信号の交信を行い、電子部品１０の電気特性の良否判定を行う装置である。基台２のＸ方向側には制御部５１が設置されている。制御部５１は部品検査装置１の動作を制御する装置である。制御部５１には情報出力部、情報表示部及び警報出力部としての情報表示装置５１ａ及び情報入力部としての情報入力装置５１ｂが搭載されている。さらに、第３コンベア５のＺ方向に位置する場所には情報表示装置４８が設置されている。情報表示装置４８及び情報表示装置５１ａは液晶表示装置等の表示装置であり、操作者に知らせる情報を表示する装置である。情報入力装置５１ｂはキーボードやマウスパッド等の装置であり、操作者が制御部５１に指示する内容を入力するための装置である。さらに、情報入力装置５１ｂは外部機器と交信してデータを入力する機能を備えている。
【００６０】
基台２のＸ方向側且つＹ方向側の角には警告灯５２が設置されている。警告灯５２は検査する予定ではない電子部品１０が混入したとき、点滅して操作者に注意を促す装置である。部品検査装置１はＺ方向側にカバー５３が設置され、情報表示装置４８はカバー５３に固定されている。カバー５３は光を透過する樹脂により形成され、カバー５３を通して内部を観察可能になっている。そして、カバー５３は部品検査装置１に塵や埃が侵入することを防止している。
【００６１】
カバー５３のＺ方向側には空気供給部５４が設置されている。空気供給部５４は塵や埃の通過を防止するフィルターとファンとを備えている。そして、空気供給部５４は塵や埃が除去された空気を部品検査装置１に供給する。空気は空気供給部５４からカバー５３の内部に流入し、基台２及び基台２とカバー５３との間から流出する。これにより、部品検査装置１に塵や埃が侵入しないようになっている。
【００６２】
検査用ソケット３４はヒーターを備え、電子部品１０を加熱することが可能となっている。これにより、電子部品１０を所定の温度で検査することができる。そして、検査用ソケット３４及び部品押圧装置４３を囲んで仕切板５５が設置されている。仕切板５５が検査用ソケット３４の周囲から熱が放散することを抑制する。これにより、電子部品１０を加熱する熱が検査用ソケット３４の周囲に留まるようになっている。
【００６３】
部品検査装置１のうち検査用ソケット３４及び電特検査装置５０が検査部１ａを構成する。そして、部品検査装置１のうち電子部品１０をトレイ９と検査用ソケット３４との間で搬送する各ステージ及びコンベアが搬送部１ｂを構成する。
【００６４】
図４は電子部品を説明するための模式平面図である。図４に示すように、電子部品１０にはメーカー名１０ａ、品種表示名１０ｂ、識別情報としての個体識別番号１０ｃを示す文字列が印刷されている。尚、識別情報とは、電子部品１０にマーキングされる、ロゴやマーク等の図形、メーカー名等の文字情報、電子部品の型番号やシリアル番号、ロット番号等の数字情報といった、該当する電子部品と他の電子部品とを識別できる情報である。文字の内容や配置等の属性は特に限定されず、電子部品１０毎に設定されている。メーカー名１０ａ、品種表示名１０ｂ、個体識別番号１０ｃの文字列は撮像装置１７で撮影可能な色調となっているのが好ましい。本実施形態では、例えば、背景が黒色であり、文字色が白色となっている。
【００６５】
図５は部品検査装置の電気制御ブロック図である。図５において、部品検査装置１は部品検査装置１の動作を制御する制御部５１を備えている。そして、制御部５１はプロセッサーとして各種の演算処理を行うＣＰＵ（中央演算処理装置）５８と、各種情報を記憶するメモリー５９とを備えている。さらに、ステージ駆動装置６０、コンベア駆動装置６１、把持部駆動装置６２、撮像装置１７、情報入力装置５１ｂ、情報表示装置４８、情報表示装置５１ａ、情報出力部及び出力インターフェイスとしての情報出力装置６５、電特検査装置５０は入出力インターフェイス６６及びデータバス６７を介してＣＰＵ５８に接続されている。
【００６６】
ステージ駆動装置６０はトレイ移動ステージ１４、トレイ把持部１６に設置されたトレイ昇降ステージ６８を駆動する。各ステージは位置を検出する装置を備えている。そして、ステージ駆動装置６０は移動目的の場所に到達するまでステージを移動することにより所望の場所にトレイ把持部１６を移動して停止させることができる。
【００６７】
さらに、ステージ駆動装置６０は給材Ｘステージ２７、給材Ｙステージ２３、給材部品把持部２８に設置された給材Ｚステージ６９を駆動する。さらに、ステージ駆動装置６０は除材Ｘステージ３１、除材Ｙステージ２４、除材部品把持部３２に設置された除材Ｚステージ７０を駆動する。そして、ステージ駆動装置６０は移動目的の場所に到達するまでステージを移動することにより所望の場所に給材部品把持部２８及び除材部品把持部３２を移動して停止させることができる。
【００６８】
さらに、ステージ駆動装置６０は第１シャトルステージ３６、第２シャトルステージ４１、測定Ｘステージ４６、検査部品把持部４７に設置された測定Ｚステージ７１を駆動する。そして、ステージ駆動装置６０は各ステージを駆動することにより第１シャトルステージ３６、第２シャトルステージ４１、検査用ソケット３４の間で電子部品１０を移動させることができる。
【００６９】
コンベア駆動装置６１は第１コンベア３〜第６コンベア８を駆動する。コンベア駆動装置６１は各コンベアを駆動してトレイ９が移動目的の場所に到達するまでコンベアを移動することにより所望の場所にトレイ９を移動して停止させることができる。
【００７０】
把持部駆動装置６２はトレイ把持部１６、給材部品把持部２８、除材部品把持部３２及び検査部品把持部４７を駆動する。把持部駆動装置６２は各把持部と接続された真空ポンプを駆動する。そして、各把持部と真空ポンプとの間に設置された弁を駆動し弁を開閉する。これにより、把持部駆動装置６２は各把持部に電子部品１０を把持させた後解放させることができる。情報出力装置６５は外部機器と接続され、外部機器に情報を電気信号にして出力するインターフェイス機能を有する装置である。
【００７１】
メモリー５９は、ＲＡＭ、ＲＯＭ等といった半導体メモリーや、ハードディスク、ＤＶＤ−ＲＯＭといった外部記憶装置を含む概念である。機能的には、部品検査装置１の動作の制御手順が記述されたプログラムソフト７２を記憶する記憶領域や、撮像装置１７が撮影する画像のデータである画像データ７３を記憶する記憶領域が設定される。他にも、電子部品１０が検査する予定の物か否かの判定に用いるデータである比較情報としての比較判定データ７４を記憶するための記憶領域が設定される。この比較判定データ７４には検査する予定の電子部品１０における個体識別番号１０ｃの一覧表を含んでいる。比較判定データ７４は情報入力装置５１ｂを用いて入力される。他にも、電子部品１０に設置された個体識別番号１０ｃを検出したデータである識別情報としての個体識別データ７５を記憶する記憶領域が設定される。他にも、ＣＰＵ５８のためのワークエリアやテンポラリーファイル等として機能する記憶領域やその他各種の記憶領域が設定される。
【００７２】
ＣＰＵ５８は、メモリー５９内に記憶されたプログラムソフト７２に従って、電子部品１０を検査する制御を行うものである。具体的な機能実現部としてステージ制御部７６を有する。ステージ制御部７６はステージ駆動装置６０と交信を行い各ステージの位置情報を取得する。そしてステージ制御部７６が希望する場所に各ステージを移動させて停止するようにステージ駆動装置６０に指令信号を出力する。さらに、ステージ制御部７６はコンベア駆動装置６１と交信を行い第１コンベア３〜第６コンベア８の位置情報を取得する。そしてステージ制御部７６が希望する場所に各コンベアを移動させて停止するようにコンベア駆動装置６１に指令信号を出力する。
【００７３】
他にも、ＣＰＵ５８は把持制御部７７を有する。把持制御部７７は把持部駆動装置６２にトレイ把持部１６、給材部品把持部２８、除材部品把持部３２、検査部品把持部４７を駆動させる。そして、各把持部に電子部品１０を吸着させる動作と解放する動作の制御を行う。そして、ステージ制御部７６と把持制御部７７とが連携して電子部品１０を搬送する。
【００７４】
他にも、ＣＰＵ５８はデータ変換部７８を有する。データ変換部７８は撮像装置１７が出力する電気信号をデジタルデータに変換して画像データ７３をメモリー５９に記憶する。他にも、ＣＰＵ５８は個体識別部としての個体識別番号演算部７９を有する。個体識別番号演算部７９は撮像装置１７が撮影して得られた画像データ７３を用いて個体識別データ７５を抽出する演算を行う。電子部品１０に設置された個体識別番号１０ｃは文字と数字とから構成されている。そして、個体識別番号演算部７９は個体識別番号１０ｃの画像データ７３を文字として認識し文字データに変換する文字認識機能を有し、算出した文字情報を含む個体識別データ７５をメモリー５９に記憶する。個体識別データ７５により電子部品１０は個体識別される。
【００７５】
他にも、ＣＰＵ５８は情報比較部としての個体識別番号判定部８０を有する。個体識別番号判定部８０は予めメモリー５９に記憶された比較判定データ７４と個体識別データ７５とを比較する。そして、算出した個体識別データ７５が比較判定データ７４と一致するか否かを判定する。個体識別データ７５が比較判定データ７４と一致しないときには警報情報を出力する。
【００７６】
他にも、ＣＰＵ５８は情報表示制御部８１を有する。情報表示制御部８１は情報表示装置４８及び情報表示装置５１ａに算出した個体識別データ７５を表示する。さらに、個体識別番号判定部８０が判定した結果を情報表示制御部８１は情報表示装置４８及び情報表示装置５１ａに表示する。個体識別データ７５が比較判定データ７４と一致しないとき、情報表示制御部８１は警告灯５２を点滅させる。そして、情報表示制御部８１は、個体識別データ７５が比較判定データ７４と一致しないことを示す警報情報を情報表示装置４８及び情報表示装置５１ａに表示して操作者に知らしめる。
【００７７】
他にも、ＣＰＵ５８は情報出力制御部８２を有する。情報出力制御部８２は情報出力装置６５を介して外部機器に個体識別データ７５及び個体識別番号判定部８０が判定した結果を出力する。これにより、外部機器は個体識別データ７５を活用し、個体識別番号判定部８０が判定した結果に対応した動作を行うことができる。
【００７８】
尚、本実施形態では、上記の各機能がＣＰＵ５８を用いてプログラムソフトで実現することとしたが、上記の各機能がＣＰＵ５８を用いない単独の電子回路（ハードウェア）によって実現できる場合には、そのような電子回路を用いることも可能である。
【００７９】
（電子部品の検査方法）
次に上述した部品検査装置１を用いて電子部品１０を検査する方法について図６〜図８にて説明する。図７及び図８は電子部品の検査方法を説明するための模式図である。
【００８０】
図６は電子部品の検査方法を示すフローチャートである。図６において、ステップＳ１は比較情報入力工程に相当する。操作者が情報入力装置５１ｂを用いて比較判定データ７４を入力する工程である。次にステップＳ２に移行する。ステップＳ２はトレイ設置工程に相当する。この工程は、操作者が第１コンベア３にトレイ９を設置する工程である。次にステップＳ３に移行する。ステップＳ３はマーク撮像工程に相当する。この工程は、撮像装置１７が電子部品１０を撮影する工程である。次にステップＳ４に移行する。ステップＳ４は識別情報演算工程に相当する。この工程は、個体識別番号演算部７９が画像を用いて個体識別データ７５を演算する工程である。次にステップＳ５に移行する。
【００８１】
ステップＳ５は個体識別判定工程に相当する工程である。この工程では、個体識別番号判定部８０が比較判定データ７４と個体識別データ７５とを比較する。データが一致しないときステップＳ１０に移行する。データが一致したときステップＳ６に移行する。ステップＳ６は確認終了判定工程に相当する工程である。この工程では、ＣＰＵ５８がトレイ９に設置された電子部品１０を総て確認したかを判定する。トレイ９内に未確認の電子部品１０があるときステップＳ３に移行する。トレイ９内の電子部品１０を総て確認したときステップＳ７に移行する。
【００８２】
ステップＳ７は検査工程に相当する。この工程では、搬送部１ｂが電子部品１０を検査用ソケット３４に搬送し、検査部１ａが電子部品１０の電気特性を検査する。そして、検査された電子部品１０を搬送部１ｂがトレイ９に収納する工程である。次にステップＳ８に移行する。ステップＳ８は空トレイ移動工程に相当する。この工程は、第１コンベア３〜第６コンベア８の間でトレイ搬送部１１が空のトレイ９を移動する工程である。次にステップＳ９に移行する。ステップＳ９はトレイ除去工程に相当する。この工程は、操作者が第４コンベア６〜第６コンベア８から検査済みの電子部品１０が収納されたトレイ９を除去する工程である。ステップＳ５から移行するステップＳ１０は異常報知工程に相当する。この工程は比較判定データ７４と個体識別データ７５とが一致しなかったことを操作者に知らせる工程である。以上の工程にて電子部品１０を検査する工程が終了する。
【００８３】
次に、図７及び図８を用いて、図６に示したステップと対応させて、電子部品１０の検査方法を詳細に説明する。まず、ステップＳ１の比較情報入力工程では、操作者が情報入力装置５１ｂを用いて検査する予定の品種表示名１０ｂ及び個体識別番号１０ｃを入力する。入力されたデータは比較判定データ７４の一覧表としてメモリー５９に記憶される。
【００８４】
個体識別番号１０ｃは文字と数字とからなっている。１つのトレイ９に設置された複数の電子部品１０の個体識別番号１０ｃが連続した数字を含むときには、操作者が連続した数字の最初と最後との数字を入力し、ＣＰＵ５８が間の数字を演算して登録しても良い。他にも、すでに他の機器に個体識別番号１０ｃのデータが記憶されているときには、情報入力装置５１ｂを介して交信することによりデータを入力してメモリー５９に比較判定データ７４として記憶しても良い。
【００８５】
図７（ａ）はステップＳ２のトレイ設置工程に対応する図である。図７（ａ）に示すように、操作者はトレイ９に電子部品１０を配列して設置する。この電子部品１０は、ステップＳ１の比較情報入力工程で比較判定データ７４が登録されたものであり、これから電特検査を行う予定のものである。次に、操作者は電子部品１０が設置されたトレイ９を第１コンベア３に載置する。
【００８６】
図７（ｂ）及び図７（ｃ）はステップＳ３のマーク撮像工程に対応する図である。図７（ｂ）に示すように、ステップＳ３においてステージ制御部７６がコンベア駆動装置６１に第１コンベア３を駆動させる。そして、ステージ制御部７６は電子部品１０を第１方向３ｃに移動させる。さらに、ステージ制御部７６がステージ駆動装置６０にトレイ移動ステージ１４を駆動させる。そして、ステージ制御部７６は撮像装置１７を第２方向１４ａに移動させる。これにより、ステージ制御部７６は撮像装置１７と検査する対象の電子部品１０とを対向する場所に移動させることができる。次に、撮像装置１７は同軸落射照明装置に光を射出させて電子部品１０を照らし、オートフォーカス装置を駆動して電子部品１０に焦点を合わせる。そして、電子部品１０を撮影する。
【００８７】
その結果、図７（ｃ）に示すように、電子部品１０を撮影した画像８４が撮影される。画像８４にはメーカー名１０ａに対応するメーカー名像８４ａ、品種表示名１０ｂに対応する品種表示名像８４ｂ、個体識別番号１０ｃに対応する個体識別番号像８４ｃが写像されている。そして、データ変換部７８が画像を示すアナログの電気信号をデジタルデータに変換して画像データ７３とする。データ変換部７８は画像データ７３をメモリー５９に記憶させる。
【００８８】
ステップＳ４の識別情報演算工程では、まず、個体識別番号演算部７９が画像８４から個体識別番号像８４ｃを抽出する。個体識別番号像８４ｃの位置は予め設定されているので、所定のマスク画像と画像８４とを合わせることにより個体識別番号像８４ｃを抽出することができる。次に、個体識別番号演算部７９は個体識別番号像８４ｃの連続する線分を手がかりにして個体識別番号像８４ｃを個別の文字の像に分離する。続いて、文字の像が数字の”１”〜”９”とアルファベットの”Ａ”〜”Ｚ”のどの文字に近いかを判定する。このとき、文字の像に含まれる縦線の数、横線の数、斜め線の数、曲線の数、交点の数等の特徴量を算出する。予め、メモリー５９には各文字及び数字の特徴量が記憶されている。そして、文字の像の特徴量と既知の文字の特徴量とを比較して判定する。このようにして個体識別番号演算部７９は個体識別番号像８４ｃから個体識別データ７５を算出してメモリー５９に記憶する。尚、個体識別番号像８４ｃから個体識別データ７５を算出する方法はこの方法に限らず、公知の方法を用いることができる。
【００８９】
ステップＳ５の個体識別判定工程では、ステップＳ４にて算出した個体識別データ７５が比較判定データ７４の一覧表の中にあるか否かを検索する。個体識別データ７５が比較判定データ７４の中にあるとき、正常状態であると判断する。そして、ステップＳ６の確認終了判定工程に移行する。ステップＳ６では、トレイ９に設置された電子部品１０を総て確認したかを判断する。そして、トレイ９に設置された電子部品１０を総て確認するまでステップＳ３〜ステップＳ５を繰り返す。ステップＳ６にてトレイ９に設置された電子部品１０を総て確認したとき、ステップＳ７に移行する。
【００９０】
ステップＳ５において個体識別データ７５が比較判定データ７４の中にないとき、検査予定にない電子部品１０が混入した異常状態であると判断しステップＳ１０に移行する。ステップＳ１０の異常報知工程では、予定外の電子部品１０が混入したことを情報表示装置４８及び情報表示装置５１ａに表示する。さらに、警告灯５２を点滅して操作者に異常状態であることを知らせる。さらに、情報出力制御部８２から外部機器と交信して異常状態であることを知らせても良い。いずれの場合においても操作者は電子部品１０を入れ替える作業を行って、予定された電子部品１０がトレイ９に設置された正常状態に修正することができる。
【００９１】
図７（ｄ）〜図８（ｂ）はステップＳ７の検査工程に対応する図である。図７（ｄ）に示すようにステップＳ７においてステージ制御部７６はコンベア駆動装置６１に第１コンベア３を駆動させてトレイ９を部品除給材部２０に接近させる。次に、ステージ制御部７６はステージ駆動装置６０に第１シャトルステージ３６を移動させる。そして、給材用凹部３７ａを給材部品把持部２８の移動範囲内に移動させる。
【００９２】
続いて、ステージ制御部７６及び把持制御部７７はステージ駆動装置６０及び把持部駆動装置６２に部品給材部２９を駆動させて、トレイ９上の４個の電子部品１０を給材用凹部３７ａに移動させる。次に、図８（ａ）に示すようにステージ制御部７６はステージ駆動装置６０に第１シャトルステージ３６を移動させて、給材用凹部３７ａを検査用ソケット３４の横に移動させる。
【００９３】
続いて、ステージ制御部７６及び把持制御部７７はステージ駆動装置６０及び把持部駆動装置６２に部品押圧装置４３を駆動させる。そして、把持制御部７７は検査部品把持部４７に電子部品１０を把持させる。次に、ステージ制御部７６は測定Ｘステージ４６及び測定Ｚステージ７１を移動させて、電子部品１０を給材用凹部３７ａから検査用ソケット３４に移動させる。
【００９４】
続いて、ステージ制御部７６は部品押圧装置４３に電子部品１０を検査用ソケット３４に押圧させる。これにより、検査用ソケット３４のプローブが電子部品１０の端子と導通する。次に、電特検査装置５０が電子部品１０と交信して電子部品１０の電気特性を検査する。
【００９５】
電特検査装置５０が電子部品１０の電気特性を検査している間に、ステージ制御部７６は第１シャトルステージ３６を移動させて除材用凹部３７ｂを検査用ソケット３４の横に移動させる。続いて、ステージ制御部７６は第２シャトルステージ４１を移動させる。そして、給材用凹部４２ａを給材部品把持部２８の移動範囲内に移動させる。次に、ステージ制御部７６及び把持制御部７７はステージ駆動装置６０及び把持部駆動装置６２に部品給材部２９を駆動させて、トレイ９上の４個の電子部品１０を第２シャトルステージ４１の給材用凹部４２ａに移動させる。次に、ステージ制御部７６はステージ駆動装置６０に第２シャトルステージ４１を移動させて、給材用凹部４２ａを検査用ソケット３４の横に移動させる。そして、電子部品１０の検査が終了するまで搬送部１ｂは待機する。
【００９６】
電子部品１０の検査が終了した後、ステージ制御部７６はステージ駆動装置６０に測定Ｘステージ４６及び測定Ｚステージ７１を移動させて、電子部品１０を検査用ソケット３４から第１シャトルステージ３６の除材用凹部３７ｂに移動させる。
【００９７】
続いて、ステージ制御部７６及び把持制御部７７はステージ駆動装置６０及び把持部駆動装置６２に部品押圧装置４３を駆動させる。そして、把持制御部７７は検査部品把持部４７に給材用凹部４２ａに位置する電子部品１０を把持させる。次に、ステージ制御部７６はステージ駆動装置６０に測定Ｘステージ４６及び測定Ｚステージ７１を移動させて、電子部品１０を給材用凹部４２ａから検査用ソケット３４に移動させる。
【００９８】
続いて、ステージ制御部７６は検査部品把持部４７に電子部品１０を検査用ソケット３４に押圧させる。このとき、検査用ソケット３４のプローブと電子部品１０の端子とが導通する。次に、電特検査装置５０が電子部品１０と交信して電子部品１０の電気特性を検査する。
【００９９】
電特検査装置５０が電子部品１０の電気特性を検査している間に、ステージ制御部７６はステージ駆動装置６０に第２シャトルステージ４１を移動させる。そして、ステージ駆動装置６０は除材用凹部４２ｂを検査用ソケット３４の横に移動させる。次に、ステージ制御部７６はステージ駆動装置６０に第１シャトルステージ３６を移動させる。そして、ステージ駆動装置６０は除材用凹部３７ｂを除材部品把持部３２の移動範囲内に移動させる。続いて、ステージ制御部７６及び把持制御部７７は除材部品把持部３２に電子部品１０を把持させる。
【０１００】
電特検査の結果、検査した電子部品１０が良品のときステージ制御部７６は部品除材部３３に電子部品１０を第５コンベア７または第６コンベア８上のトレイ９に載置させる。電特検査の結果、電子部品１０が不良品のときステージ制御部７６は部品除材部３３に電子部品１０を第４コンベア６上のトレイ９に載置させる。
【０１０１】
次に、ステージ制御部７６はステージ駆動装置６０に第１シャトルステージ３６を駆動させて給材用凹部３７ａを給材部品把持部２８の移動範囲内に移動させる。このように、部品給材部２９、第１シャトルステージ３６、第２シャトルステージ４１、部品押圧装置４３が第１コンベア３上のトレイ９から電子部品１０を検査用ソケット３４に移動する。そして、検査用ソケット３４及び電特検査装置５０が電子部品１０の電気特性を検査する。次に、部品押圧装置４３が検査用ソケット３４から電子部品１０を第１シャトルステージ３６または第２シャトルステージ４１に移動する。
【０１０２】
図８（ｂ）に示すように、次に、部品除材部３３が第１シャトルステージ３６または第２シャトルステージ４１から電子部品１０を第４コンベア６〜第６コンベア８上のトレイ９に移動する。この動作を順次繰り返して電子部品１０の電特検査を行う。尚、各電子部品１０の電特検査の判定結果はメモリー５９に記憶され、情報表示装置４８及び情報表示装置５１ａに表示される。また、電特検査の判定結果はメモリー５９から情報出力装置６５により外部機器に出力することが可能になっている。
【０１０３】
図８（ｃ）はステップＳ８の空トレイ移動工程に対応する図である。図８（ｃ）に示すようにステップＳ８では、ステージ制御部７６がステージ駆動装置６０にトレイ移動ステージ１４を移動させて、コンベア駆動装置６１に第１コンベア３を駆動させる。そして、電子部品１０が移動されて空になったトレイ９とトレイ把持部１６とが対向するようにステージ制御部７６はトレイ９とトレイ把持部１６とを移動させる。
【０１０４】
次に、ステージ制御部７６はトレイ把持部１６に設置されたトレイ昇降ステージ６８をステージ駆動装置６０に駆動させてトレイ把持部１６を下降させる。続いて、ステージ制御部７６は把持部駆動装置６２に指令信号を出力してトレイ把持部１６にトレイ９を把持させる。次に、ステージ制御部７６はステージ駆動装置６０及び把持部駆動装置６２に指令信号を出力してトレイ９を第２コンベア４上または第３コンベア５上に移動させる。
【０１０５】
第４コンベア６〜第６コンベア８上のトレイ９に電子部品１０を載置する場所がなく、トレイ９を設置する場所があるとき、ステージ制御部７６はステージ駆動装置６０、コンベア駆動装置６１、把持部駆動装置６２に指令信号を出力する。そして、ステージ制御部７６は第２コンベア４及び第３コンベア５から第４コンベア６〜第６コンベア８上にトレイ９を移動させる。
【０１０６】
図８（ｄ）はステップＳ９のトレイ除去工程に対応する図である。図８（ｄ）に示すように、ステップＳ９において、ステージ制御部７６はコンベア駆動装置６１に指令信号を出力する。そして、ステージ制御部７６はコンベア駆動装置６１に第４コンベア６〜第６コンベア８を駆動させて、電子部品１０が載置されたトレイ９をカバー５３の外側に移動する。続いて、操作者は電子部品１０が載置されたトレイ９を部品検査装置１から除去し次工程の作業場所へ搬送する。以上の工程により電子部品１０を検査する工程を終了する。
【０１０７】
上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、トレイ９に電子部品１０が載置され、そのトレイ９が部品検査装置１に設置される。電子部品１０には個体識別番号１０ｃが設置され、撮像装置１７が個体識別番号１０ｃを撮影する。そして、個体識別番号演算部７９が撮影した個体識別番号１０ｃから電子部品１０の個体識別データ７５を演算する。従って、部品検査装置１は電子部品１０の個体識別データ７５を認識することができる。
【０１０８】
（２）本実施形態によれば、部品検査装置１は第１コンベア３及びトレイ搬送部１１を備えている。第１コンベア３がトレイ９を第１方向３ｃに移動する。トレイ搬送部１１は第１方向３ｃと交差する第２方向１４ａに撮像装置１７を移動する。従って、第１コンベア３とトレイ搬送部１１とを駆動することにより部品検査装置１はトレイ９と撮像装置１７とを２次元方向において相対移動させることができる。従って、トレイ９に電子部品１０がマトリックス状に複数列載置されているときにも部品検査装置１は各電子部品１０の個体識別データ７５を認識することができる。
【０１０９】
特許文献１のようなＩＣハンドラーでは、トレイ移送部は一方向のみの移動であるので、たとえ、トレイ移送部に検出手段を設けることができる場合であっても、ＩＣ全数を識別することはできなかった。部品検査装置１はトレイ９と撮像装置１７とを２次元方向において相対移動させることができる為、トレイに設置されたＩＣ全数を識別することができる。
【０１１０】
（３）本実施形態によれば、部品検査装置１は部品給材部２９及びトレイ搬送部１１を備えている。部品給材部２９は電子部品１０をトレイ９から順次移動する。これにより、トレイ９は電子部品１０が載置されていない状態となる。トレイ搬送部１１は第２方向１４ａにトレイ９を移動する。これにより、トレイ９を第１コンベア３から除くことができる。そして、空のトレイ９を移動する部位と撮像装置１７を移動する部位とは共通の移動機構を有するトレイ移動ステージ１４となっている。従って、空のトレイ９を移動するための移動機構と撮像装置１７を移動するための移動機構との２つの移動機構を設置するときに比べて簡易な構造にすることができる。
【０１１１】
（４）本実施形態によれば、情報表示装置４８、情報表示装置５１ａ及び情報出力装置６５が個体識別データ７５を出力する。従って、電子部品１０の個体識別データ７５を活用することができる。
【０１１２】
（５）本実施形態によれば、情報表示装置４８及び情報表示装置５１ａが個体識別データ７５を表示する。従って、操作者が電子部品１０の個体識別データ７５を確認して個体識別データ７５に応じた対応をすることができる。
【０１１３】
（６）本実施形態によれば、情報出力装置６５が個体識別データ７５を外部機器に出力する。従って、外部機器が電子部品１０の個体識別データ７５を確認して個体識別データ７５に応じた対応をすることができる。
【０１１４】
（７）本実施形態によれば、トレイ搬送部１１に撮像装置１７が設置されている。撮像装置１７はトレイ搬送部１１の他に部品給材部２９に設置することができる。部品給材部２９は電子部品１０を移動する部位である。電子部品１０の個数はトレイ９の個数より多いので、トレイ９を早く移動することにより早く電子部品１０を移動することが生産性の向上に寄与する。
【０１１５】
そして、部品給材部２９の給材Ｘステージ２７に撮像装置１７に設置するとき給材Ｘステージ２７が重くなるため移動速度が低下する。従ってこの構造では部品給材部２９が電子部品１０を移動するのに時間が長くかかる。この構造に比べて本実施形態ではトレイ搬送部１１に撮像装置１７が設置されているため、生産性良く電子部品１０を移動させることができる。
【０１１６】
（第２の実施形態）
次に、個体識別番号が表示された電子部品及び部品検査装置の一実施形態について図９を用いて説明する。図９（ａ）は電子部品を説明するための模式平面図であり、図９（ｂ）は部品検査装置の構造を示す模式側面図である。本実施形態が第１の実施形態と異なるところは、品種表示名１０ｂや個体識別番号１０ｃの表示にバーコードが用いられている点にある。尚、第１の実施形態と同じ点については説明を省略する。
【０１１７】
すなわち、本実施形態では図９（ａ）に示したように、電子部品８５にはメーカー名８５ａ、品種表示名８５ｂ、個体識別番号８５ｃを示す文字列が印刷されている。さらに、電子部品８５には品種表示名８５ｂをバーコードで表示した品種バーコード８５ｄと個体識別番号８５ｃをバーコードで表示した識別情報としての個体識別バーコード８５ｅが印刷されている。尚、文字やバーコードの内容や配置等の属性は特に限定されず、電子部品８５毎に設定されている。
【０１１８】
図９（ｂ）に示したように、部品検査装置８６にはトレイ移動ステージ１４にバーコードリーダー８７が設置されている。バーコードリーダー８７は品種バーコード８５ｄ及び個体識別バーコード８５ｅに光線８７ａを射出して走査する。そして、バーコードリーダー８７は反射光を受光し、反射光の光強度信号をバーコードが示す文字情報に変換する。この文字情報が個体識別データ７５である。ＣＰＵ５８はバーコードリーダー８７から文字情報を入力してメモリー５９に記憶する。
【０１１９】
上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、部品検査装置８６はバーコードリーダー８７を有する。従って、電子部品８５の識別情報がバーコードを含んでいるときにも容易に識別情報から個体識別データ７５を認識することができる。
【０１２０】
（２）本実施形態によれば、部品検査装置８６はバーコードリーダー８７を備えている。バーコードリーダー８７は撮像装置１７と個体識別番号演算部７９とで文字情報を認識するときに比べて簡便な装置となっている。従って、生産性良く部品検査装置８６を製造することができる。
【０１２１】
尚、本実施形態は上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想内で当分野において通常の知識を有する者により種々の変更や改良を加えることも可能である。変形例を以下に述べる。
（変形例１）
前記第２の実施形態では、電子部品８５に１次元の個体識別バーコード８５ｅが印刷されていた。バーコードは１次元に限らず、２次元のバーコードにしても良い。図１０は電子部品を説明するための模式平面図である。図１０に示すように電子部品８８にはメーカー名８８ａ、品種表示名８８ｂ、個体識別番号８８ｃを示す文字列が印刷されている。さらに、電子部品８８には品種表示名８８ｂを２次元バーコードで表示した品種バーコード８８ｄと個体識別番号８８ｃを２次元バーコードで表示した識別情報としての個体識別バーコード８８ｅが印刷されている。
【０１２２】
そして、バーコードリーダー８７は２次元のバーコードを文字データに変換する装置になっている。バーコードを１次元から２次元にすることにより、表示可能な文字数を増やすことができる。従って、電子部品８８に表示する情報量を多くすることができる。
【０１２３】
（変形例２）
前記第１の実施形態では、第１コンベア３〜第６コンベア８がトレイ９を移動した。コンベアに限らず直動機構を備えたステージがトレイ９を移動してもよい。ステージは位置精度良くトレイ９を移動することができる。他にも搬送車がトレイ９を移動してもよい。自由度の高い搬送路を設定することができる。
【０１２４】
（変形例３）
前記第１の実施形態では、撮像装置１７は内部にＣＣＤ撮像素子が組み込まれていた。画像を電気信号に変換する装置はＣＣＤ撮像素子に限定されない。撮像管やＣＭＯＳ（相補性金属酸化膜半導体）イメージセンサーを用いることができる。他にも赤外線イメージセンサーを用いることができる。撮影する環境や電子部品１０の印刷状況に合わせて選択しても良い。
【０１２５】
（変形例４）
前記第１の実施形態では、トレイ搬送部１１が撮像装置１７を移動させた。これに限らず、撮像装置１７を第２方向１４ａに移動する撮像装置移動部を設置してもよい。そして、撮像装置移動部が撮像装置１７を移動し、トレイ搬送部１１がトレイ把持部１６を移動するようにする。これにより、撮像装置１７が電子部品１０を撮影する工程とトレイ搬送部１１が空のトレイ９を移動する工程とを同時に行うことができる。従って、生産性良く工程を進めることができる。
【０１２６】
（変形例５）
前記第１の実施形態では、第２方向１４ａは第１方向３ｃと直交する方向となっていた。第１方向３ｃと第２方向１４ａとは必ずしも直交しなくてもよい。第１方向３ｃと第２方向１４ａとは交差する方向でもよい。この場合にも、撮像装置１７は複数列の電子部品１０を撮影することができる。そして、設計の自由度を高めることができる。
【０１２７】
（変形例６）
前記第１の実施形態では、ステップＳ３のマーク撮像工程〜ステップＳ６の確認終了判定工程を行ってからステップＳ７の検査工程に移行した。これに限らず、ステップＳ３のマーク撮像工程〜ステップＳ６の確認終了判定工程とステップＳ７の検査工程とを並行して行ってもよい。つまり、ステップＳ５の個体識別判定工程で個体識別データ７５が比較判定データ７４の一覧表に存在するときには個体識別番号１０ｃを検査した電子部品１０を順次ステップＳ７の検査工程を行っても良い。個体識別データ７５の確認と電特検査とが並行して行われるので、生産性良く検査を行うことができる。
【符号の説明】
【０１２８】
１ｂ…部品搬送装置としての搬送部、１，８６…部品検査装置、３…第１移動部としての第１コンベア、３ｃ…第１方向、９…容器としてのトレイ、１０…電子部品、１０ｃ…識別情報としての個体識別番号、１１…第２移動部としてのトレイ搬送部、１４…移動機構としてのトレイ移動ステージ、１４ａ…第２方向、１７…識別情報検出部及び画像撮像部としての撮像装置、２０…搬送機構としての部品除給材部、２９…搬送機構としての部品給材部、３６…搬送機構としての第１シャトルステージ、４１…搬送機構としての第２シャトルステージ、４３…搬送機構としての部品押圧装置、５１ａ…情報出力部、情報表示部及び警報出力部としての情報表示装置、５１ｂ…情報入力部としての情報入力装置、６５…情報出力部及び出力インターフェイスとしての情報出力装置、７４…比較情報としての比較判定データ、７５…識別情報としての個体識別データ、７８…データ変換部、７９…個体識別部としての個体識別番号演算部、８０…情報比較部としての個体識別番号判定部、８５ｅ，８８ｅ…識別情報としての個体識別バーコード、８７…バーコードリーダー。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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