(57)【要約】【課題】定量精度を高めることができる試料分析方法を提供する。【解決手段】  本発明に係る試料分析方法は、試料に電子線を照射し、当該試料から発生する特性Ｘ線を検出して、前記試料中に含まれる特定の元素に対応する複数の特性Ｘ線強度データを取得し、当該複数の特性Ｘ線強度データに基づいて、前記元素の定量分析を行う試料分析方法であって、前記複数の特性Ｘ線強度データのそれぞれについて、前記元素の定量値を算出する工程Ｓ２０と、前記複数の特性Ｘ線強度データに基づいて、各前記定量値ごとにそれぞれの重みを算出する工程Ｓ３０と、前記重みに基づいて、前記定量値の加重平均を算出する工程Ｓ４０と、を含む。【選択図】図４
2014153342.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料に電子線を照射し、当該試料から発生する特性Ｘ線を検出して、前記試料中に含まれる特定の元素に対応する複数の特性Ｘ線強度データを取得し、当該複数の特性Ｘ線強度データに基づいて、前記元素の定量分析を行う試料分析方法であって、
前記複数の特性Ｘ線強度データのそれぞれについて、前記元素の定量値を算出する工程と、
前記複数の特性Ｘ線強度データに基づいて、各前記定量値ごとにそれぞれの重みを算出する工程と、
前記重みに基づいて、前記定量値の加重平均を算出する工程と、
を含む、試料分析方法。
【請求項２】
請求項１において、
複数の分光器を備えた電子プローブマイクロアナライザーによって、前記試料から発生する特性Ｘ線を各前記分光器で検出して、前記複数の特性Ｘ線強度データを取得する工程を含む、試料分析方法。
【請求項３】
請求項１または２において、
前記重みは、前記元素に対応する特性Ｘ線のピーク強度である、試料分析方法。
【請求項４】
請求項１または２において、
前記重みは、前記元素に対応する特性Ｘ線のピーク強度に対する、バックグラウンド強度の比である、試料分析方法。
【請求項５】
試料に電子線を照射し、当該試料から発生する特性Ｘ線を検出して、前記試料中に含まれる特定の元素に対応する複数の特性Ｘ線強度データを取得し、当該複数の特性Ｘ線強度データに基づいて、前記元素の定量分析を行う試料分析装置であって、
前記複数の特性Ｘ線強度データのそれぞれについて、前記元素の定量値を算出する定量値算出部と、
前記複数の特性Ｘ線強度データに基づいて、各前記定量値ごとにそれぞれの重みを算出する重み算出部と、
前記重みに基づいて、前記定量値の加重平均を算出する加重平均算出部と、
を含む、試料分析装置。
【請求項６】
請求項５において、
複数の分光器を備え、各前記分光器を介して、前記複数の特性Ｘ線強度データを取得する、試料分析装置。
【請求項７】
請求項５または６において、
前記重みは、前記元素に対応する特性Ｘ線のピーク強度である、試料分析装置。
【請求項８】
請求項５または６において、
前記重みは、前記元素に対応する特性Ｘ線のピーク強度に対する、バックグラウンド強度の比である、試料分析装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、試料分析方法および試料分析装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子プローブマイクロアナライザー（Ｅｌｅｃｔｒｏｎ  Ｐｒｏｂｅ  Ｍｉｃｒｏ  Ａｎａｌｙｓｅｒ）の構成を備える試料分析装置は、電子線を試料に照射し、この電子線の照射に応じて試料から発生する特性Ｘ線を、Ｘ線分光器により検出し、その試料に含まれている特定の元素の定性分析または定量分析を行う。特性Ｘ線を検出するためのＸ線分光器としては、波長分散形Ｘ線分光器（Ｗａｖｅｌｅｎｇｔｈ−Ｄｉｓｐｅｒｓｉｖｅ  Ｘ−ｒａｙ  Ｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｅｒ、ＷＤＳ）、エネルギー分散形Ｘ線分光器（Ｅｎｅｒｇｙ  Ｄｉｓｐｅｒｓｉｖｅ  Ｘ−ｒａｙ  Ｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｅｒ、ＥＤＳ）が知られている。このような試料分析装置では、高い定量精度が望まれている。
【０００３】
例えば、特許文献１には、複数台のＸ線分光器を配置し、これら複数台のＸ線分光器の出力を合算して、表示、記録するようにしたＸ線分光分析装置が開示されている。特許文献１では、複数台のＸ線分光器を配置することで、検出感度を高めて、定量精度を向上させている。
【０００４】
また、例えば特許文献２には、ケミカルシフトの影響の少ない定量を行うために、定量分析の対象となる元素について、その対応する特性Ｘ線のＬα線、Ｌβ線、およびＬι線の検出強度に基づいて、定量分析を行うことが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開昭６１−８２１５０号公報
【特許文献２】特開２０１０−２２３８９８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ここで、例えば、複数のＸ線分光器を備えた試料分析装置において、各Ｘ線分光器により検出されたＸ線強度のそれぞれを、検量線を用いて濃度値に変換した場合、すなわち、各Ｘ線分光器ごとに濃度値を求めた場合、元のＸ線強度の大小にかかわらず、各Ｘ線分光器ごとに、濃度値（重量％または原子量％）が得られる。
【０００７】
このように各Ｘ線分光器ごとに濃度値を求めた場合、これらの合成濃度（すなわち、これらの平均濃度）を求める際に、各濃度値を加算してデータ数（濃度値の数）で割ることにより単純に平均値を求めると、当該合成濃度において、小さいＸ線強度から求められた濃度値が、大きいＸ線強度から求められた濃度値と同等に反映され、この結果、前者の濃度値を決定するＸ線強度（当該小さいＸ線強度）の単位強度あたりの寄与度が、後者の濃度を決定するＸ線強度（当該大きいＸ線強度）の単位強度あたりの寄与度に対して大きく反映されることとなる。これにより、定量精度が損なわれる場合がある。
【０００８】
本発明は、このような点に鑑みてなされたものであり、本発明のいくつかの態様に係る目的の１つは、複数の特性Ｘ線強度データに基づく定量分析において、定量精度を高めることができる試料分析方法および試料分析装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
（１）本発明に係る試料分析方法は、
試料に電子線を照射し、当該試料から発生する特性Ｘ線を検出して、前記試料中に含まれる特定の元素に対応する複数の特性Ｘ線強度データを取得し、当該複数の特性Ｘ線強度データに基づいて、前記元素の定量分析を行う試料分析方法であって、
前記複数の特性Ｘ線強度データのそれぞれについて、前記元素の定量値を算出する工程と、
前記複数の特性Ｘ線強度データに基づいて、各前記定量値ごとにそれぞれの重みを算出する工程と、
前記重みに基づいて、前記定量値の加重平均を算出する工程と、
を含む。
【００１０】
このような試料分析方法によれば、複数の特性Ｘ線強度データのそれぞれについて特定の元素の定量値を算出し、当該定量値ごとにそれぞれの重みを算出して、加重平均を算出しているため、例えば複数の特性Ｘ線強度データから算出された複数の定量値を単純に平均する場合と比べて、各定量値に特性Ｘ線強度データに応じた重みづけがなされるので、定量精度を高めることができる。
【００１１】
さらに、例えば、複数の特性Ｘ線強度データが、定量分析の対象となる特定の元素の異なる種類の特性Ｘ線（例えばＫ線とＬ線）を検出して取得されたとしても、高い定量精度を有することができる。
【００１２】
（２）本発明に係る試料分析方法において、
複数の分光器を備えた電子プローブマイクロアナライザーによって、前記試料から発生する特性Ｘ線を各前記分光器で検出して、前記複数の特性Ｘ線強度データを取得する工程を含んでいてもよい。
【００１３】
（３）本発明に係る試料分析方法において、
前記重みは、前記元素に対応する特性Ｘ線のピーク強度であってもよい。
【００１４】
（４）本発明に係る試料分析方法において、
前記重みは、前記元素に対応する特性Ｘ線のピーク強度に対する、バックグラウンド強度の比であってもよい。
【００１５】
（５）本発明に係る試料分析装置は、
試料に電子線を照射し、当該試料から発生する特性Ｘ線を検出して、前記試料中に含まれる特定の元素に対応する複数の特性Ｘ線強度データを取得し、当該複数の特性Ｘ線強度データに基づいて、前記元素の定量分析を行う試料分析装置であって、
前記複数の特性Ｘ線強度データのそれぞれについて、前記元素の定量値を算出する定量値算出部と、
前記複数の特性Ｘ線強度データに基づいて、各前記定量値ごとにそれぞれの重みを算出する重み算出部と、
前記重みに基づいて、前記定量値の加重平均を算出する加重平均算出部と、
を含む。
【００１６】
このような試料分析装置によれば、複数の特性Ｘ線強度データのそれぞれについて特定の元素の定量値を算出し、当該定量値ごとにそれぞれの重みを算出して、加重平均を算出しているため、例えば複数の特性Ｘ線強度データから算出された複数の定量値を単純に平均する場合と比べて、各定量値に特性Ｘ線強度データに応じた重みづけがなされるので、定量精度を高めることができる。
【００１７】
さらに、例えば、複数の特性Ｘ線強度データが、定量分析の対象となる特定の元素の異なる種類の特性Ｘ線（例えばＫ線とＬ線）を検出して取得されたとしても、高い定量精度を有することができる。
【００１８】
（６）本発明に係る試料分析装置において、
複数の分光器を備え、各前記分光器を介して、前記複数の特性Ｘ線強度データを取得してもよい。
【００１９】
（７）本発明に係る試料分析装置において、
前記重みは、前記元素に対応する特性Ｘ線のピーク強度であってもよい。
【００２０】
（８）本発明に係る試料分析装置において、
前記重みは、前記元素に対応する特性Ｘ線のピーク強度に対する、バックグラウンド強度の比であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本実施形態に係る試料分析装置の構成を説明するための図。
【図２】本実施形態に係る試料分析装置の分光器の構成を説明するための図。
【図３】Ｘ線スペクトルの一例を示すグラフ。
【図４】本実施形態に係る試料分析装置の処理部の定量分析処理の一例を示すフローチャート。
【図５】面分析における定量分析（重みがピーク強度）について説明するための図。
【図６】面分析における定量分析（重みがＰ／Ｂ比）について説明するための図。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、本発明の好適な実施形態について図面を用いて詳細に説明する。なお、以下に説明する実施形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではない。また、以下で説明される構成の全てが本発明の必須構成要件であるとは限らない。
【００２３】
１．  試料分析装置の構成
まず、本実施形態に係る試料分析装置の構成について、図面を参照しながら説明する。図１は、本実施形態に係る試料分析装置１００の構成を説明するための図である。図２は、本実施形態に係る試料分析装置１００の分光器１０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄ，１０ｅの構成を説明するための図である。
【００２４】
本実施形態に係る試料分析装置１００は、図１に示すように、装置本体部１００ａと、処理部３０と、表示部４０と、操作部４２と、記憶部４４と、記録媒体４６と、を含んで構成されている。試料分析装置１００は、試料Ｓに電子線ＥＢを照射し、当該試料Ｓから発生する特性Ｘ線Ｘｒを複数の分光器１０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄ，１０ｅ（図２参照）で検出して、試料Ｓ中に含まれる特定の元素（分析対象元素）に対応する複数の特性Ｘ線強度データを取得し、当該複数の特性Ｘ線強度データに基づいて、当該特定の元素の定量分析を行うことができる。ここで、定量分析とは、元素分析において、分析領域中の元素の量を定量的に扱う分析方法である。定量分析の結果は、例えば、重量％、原子量％で表わすことができる。
【００２５】
装置本体部１００ａは、図１および図２に示すように、鏡筒１と、電子銃２と、集束レンズ４と、偏向器６と、対物レンズ８と、試料ステージ９と、分光器１０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄ，１０ｅと、駆動部２０，２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄ，２２ｅと、信号処理部２４と、を含んで構成されている。
【００２６】
電子銃２、集束レンズ４、偏向器６、対物レンズ８は、鏡筒１の内部に配置されている。鏡筒１の内部は、排気装置（図示せず）によって真空排気されている。
【００２７】
電子銃２は、電子線ＥＢを発生させる。電子銃２からは、所定の加速電圧により加速された電子線ＥＢが試料Ｓに向けて放出される。
【００２８】
集束レンズ４は、電子銃２の後段（電子線ＥＢの下流側）に配置されている。集束レンズ４は、電子線ＥＢを集束させるためのレンズである。
【００２９】
偏向器６は、集束レンズ４の後段に配置されている。偏向器６は、電子線ＥＢを偏向させることができる。
【００３０】
対物レンズ８は、偏向器６の後段に配置されている。対物レンズ８は、電子線ＥＢを試料Ｓ上で細く集束させて、電子線ＥＢを電子プローブとして試料Ｓに照射させるためのレンズである。
【００３１】
電子銃２、集束レンズ４、偏向器６、および対物レンズ８によって、装置本体部１００ａの電子光学系１０１が構成されている。電子光学系１０１は、駆動部２０により駆動される。駆動部２０による駆動制御により、電子銃２、集束レンズ４、偏向器６、および対物レンズ８の各動作が実行される。
【００３２】
試料ステージ９、分光器１０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄ，１０ｅは、試料室７内に配置されている。試料室７内は、排気装置（図示せず）によって真空排気されている。
【００３３】
試料ステージ９は、試料Ｓを支持することができる。試料ステージ９上には、試料Ｓが載置される。試料ステージ９は、図示はしないが、モーター等の駆動源を備えるステージ移動機構の駆動に基づいて移動する。当該ステージ移動機構は、制御部３８により制御される。試料ステージ９の移動により、電子プローブとして集束された電子線ＥＢが照射される試料Ｓ上での分析位置（分析箇所）を相対的に移動させることができる。
【００３４】
第１分光器１０ａは、例えば、波長分散形Ｘ線分光器（ＷＤＳ）である。第１分光器１０ａは、分光結晶１２ａと、分光結晶駆動機構１４ａと、Ｘ線検出器１６ａと、を含んで構成されている。
【００３５】
分光結晶１２ａは、結晶でのＸ線の回折現象を利用して分光を行うための結晶である。分光結晶１２ａは、例えば、ＬＩＦ（ｌｉｔｈｉｕｍ  ｆｌｕｏｒｉｄｅ）、ＴＡＰＨ、ＴＡＰ（ｔｈａｌｌｉｕｍ  ａｃｉｄ  ｐｈｔｈａｌａｔｅ）、ＳＴＥ（ｓｔｅａｒａｔｅ）等である。
【００３６】
分光結晶駆動機構１４ａは、モーター等からなる駆動源を備えている。分光結晶駆動機構１４ａは、駆動部２２ａにより駆動される。分光結晶駆動機構１４ａは、分光結晶１２ａを移動させるものであり、分光結晶１２ａの移動と連動してＸ線検出器１６ａも移動し、移動位置に対応する波長の特性Ｘ線がＸ線検出器１６ａで検出される。
【００３７】
Ｘ線検出器１６ａは、分光結晶１２ａで分光された特定波長のＸ線を検出する。Ｘ線検出器１６ａは、検出されたＸ線を、そのＸ線のエネルギーの強さに応じた波高のパルス信号に変換して出力する。
【００３８】
第２分光器１０ｂは、例えば、波長分散形Ｘ線分光器（ＷＤＳ）である。第２分光器１０ｂは、分光結晶１２ｂと、分光結晶駆動機構１４ｂと、Ｘ線検出器１６ｂと、を含んで
構成されている。第２分光器１０ｂの構成部材１２ｂ，１４ｂ，１６ｂは、上述した分光結晶１２ａの構成部材１２ａ，１４ａ，１６ａと同様であり、その説明を省略する。
【００３９】
図２に示すように、装置本体部１００ａは、さらに、第３分光器１０ｃ、第４分光器１０ｄ、第５分光器１０ｅを有している。第３分光器１０ｃ、第４分光器１０ｄ、第５分光器１０ｅは、第１分光器１０ａと同様に、波長分散形Ｘ線分光器（ＷＤＳ）である。第３分光器１０ｃ、第４分光器１０ｄ、第５分光器１０ｅの構成は、上述した第１分光器１０ａの構成と同様である。第１〜第５分光器１０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄ，１０ｅは、例えば、それぞれ異なる分光結晶を有している。なお、第１〜第５分光器１０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄ，１０ｅは、同じ分光結晶を有していてもよい。
【００４０】
試料分析装置１００では、電子線ＥＢが照射されて試料Ｓから発生する特性Ｘ線Ｘｒを、第１〜第５分光器１０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄ，１０ｅで同時に測定することができる。第１〜第５分光器１０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄ，１０ｅの分光結晶駆動機構は、それぞれ駆動部２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄ，２２ｅにより駆動される。各分光器１０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄ，１０ｅは、検出された特性Ｘ線Ｘｒを、その特性Ｘ線Ｘｒのエネルギーの強さに応じた波高のパルス信号に変換して出力する。当該パルス信号は、信号処理部２４でデジタルデータに変換される。
【００４１】
駆動部２０は、電子銃２、集束レンズ４、偏向器６、および対物レンズ８を備える装置本体部１００ａの電子光学系１０１を駆動させる。駆動部２０には、バスライン５０を介して制御部３８から駆動信号が供給される。駆動部２０は、供給された駆動信号に基づいて、電子光学系１０１の駆動を行う。
【００４２】
駆動部２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄ，２２ｅは、各分光器１０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄ，１０ｅを駆動させる。駆動部２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄ，２２ｅには、バスライン５０を介して制御部３８から駆動信号が供給される。駆動部２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄ，２２ｅは、供給された駆動信号に基づいて、分光結晶駆動機構の駆動を行う。
【００４３】
ここで、装置本体部１００ａの動作について説明する。
【００４４】
装置本体部１００ａの電子光学系１０１では、電子銃２から電子線ＥＢが所定の加速電圧で加速されて、試料Ｓに向けて放出される。電子銃２から放出された電子線ＥＢは、集束レンズ４、および対物レンズ８によるレンズ作用によって、細く集束される。これにより、試料Ｓ上には、集束された電子線ＥＢ（電子プローブ）が照射される。
【００４５】
このとき、電子線ＥＢは、偏向器６によって偏向され、試料Ｓ上において指定された分析箇所（分析位置）を照射する。このようにして、試料Ｓ上において電子線ＥＢが照射された分析箇所からは、特性Ｘ線Ｘｒが発生する。
【００４６】
第１分光器１０ａは、試料Ｓから発生する特性Ｘ線Ｘｒを、分光結晶１２ａで分光し、試料Ｓ中に含まれる定量分析の対象となる特定の元素（特定元素）に対応する特性Ｘ線ＸｒをＸ線検出器１６ａで検出する。ここで、分光結晶駆動機構１４ａは、分光結晶１２ａを移動させる。分光結晶１２ａの移動に伴ってブラッグ角が変化するため、検出される特性Ｘ線Ｘｒの波長が変化する。すなわち、Ｘ線検出器１６ａでは、分光結晶１２ａの移動位置に対応する波長の特性Ｘ線Ｘｒが検出される。このとき、他の分光器１０ｂ，１０ｃ，１０ｄ，１０ｅも、それぞれ、第１分光器１０ａと同様に、特性Ｘ線Ｘｒを検出する。
【００４７】
各分光器１０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄ，１０ｅは、検出した特性Ｘ線Ｘｒを、その
Ｘ線のエネルギーの強さに応じた波高のパルス信号に変換して出力する。当該パルス信号は、信号処理部２４でデジタルデータに変換される。信号処理部２４から出力されるデジタルデータは、バスライン５０を介して、スペクトル生成部３１に送られる。
【００４８】
そして、スペクトル生成部３１が、所定の演算処理を行い、当該デジタルデータから、横軸を波長（またはエネルギー、分光位置等）、縦軸を強度としたＸ線スペクトルを生成する処理を行うことで、特定元素のＸ線スペクトルが得られる。図３は、スペクトル生成部３１で生成されたＸ線スペクトルの一例を示すグラフである。図３に示すように、Ｘ線スペクトルは、定量分析の対象となる特定元素についてのピーク強度の情報、すなわち、特性Ｘ線強度データを含む。ここで、特定元素のピーク強度とは、定量分析の対象となる特定元素のＸ線スペクトルのピークの高さ、またはピークの面積をいう。ここでは、特性Ｘ線強度データは、定量分析の対象となる特定元素のピーク高さ（図３に示すＰ１）の情報である。なお、特性Ｘ線強度データとして、定量分析の対象となる特定元素のピーク面積の情報を用いてもよい。
【００４９】
上述したように、装置本体部１００ａでは、５つの分光器１０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄ，１０ｅを有するため、例えば試料Ｓから発生する特定元素の特性Ｘ線Ｘｒを、同時に、５つの分光器１０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄ，１０ｅで測定することができる。すなわち、装置本体部１００ａでは、例えば、１回の測定で、５つのＸ線スペクトル（特性Ｘ線強度データ）が得られる。
【００５０】
表示部４０は、バスライン５０を介して処理部３０から入力される表示信号に基づいて、処理部３０の処理結果等を文字やグラフその他の情報として表示するものである。表示部４０は、例えば、定量分析の対象となる特定元素の定量計算結果を表示することができる。表示部４０は、例えば、ＣＲＴ、ＬＣＤ、タッチパネル型ディスプレイなどである。
【００５１】
操作部４２は、ユーザーによる操作に応じた操作信号を取得し、バスライン５０を介して処理部３０に送る処理を行う。操作部４２は、例えば、ボタン、キー、タッチパネル型ディスプレイ、マイクなどである。
【００５２】
記憶部４４は、処理部３０が各種の計算処理や制御処理を行うためのプログラムやデータ等を記憶している。また、記憶部４４は、処理部３０の作業領域として用いられ、操作部４２から入力された操作信号、記録媒体４６から読み出されたプログラムやデータ、処理部３０が各種プログラムに従って実行した算出結果等を一時的に記憶するためにも使用される。記憶部４４は、バスライン５０に接続されている。
【００５３】
記録媒体４６は、各種のプログラムやデータを記憶するための、コンピューター読み取り可能な記録媒体である。また、記録媒体４６は、処理部３０の処理により生成されたデータのうち、長期的な保存が必要なデータを記録する記録部としても機能するようにしてもよい。記録媒体４６は、例えば、光ディスク（ＣＤ、ＤＶＤ）、光磁気ディスク（ＭＯ）、磁気ディスク、ハードディスク、磁気テープ、メモリー（ＲＯＭ、フラッシュメモリーなど）により実現することができる。記録媒体４６は、バスライン５０に接続されている。
【００５４】
処理部３０は、記憶部４４に記憶されているプログラムや記録媒体４６に記憶されているプログラムに従って、各種の計算処理を行う。処理部３０の機能は、各種プロセッサ（ＣＰＵ、ＤＳＰ等）、ＡＳＩＣ（ゲートアレイ等）などのハードウェアや、プログラムにより実現できる。処理部３０は、バスライン５０に接続されている。
【００５５】
本実施形態では、処理部３０は、記憶部４４に記憶されているプログラムを実行するこ
とで、以下に説明する、スペクトル生成部３１、定量値算出部３２、重み算出部３４、加重平均算出部３６、制御部３８、として機能する。あるいは、有線又は無線の通信ネットワークに接続されたサーバーから当該プログラムを受信し、記憶部４４や記録媒体４６に記憶させて実行するようにしてもよい。ただし、処理部３０の少なくとも一部をハードウェア（専用回路）で実現してもよい。
【００５６】
スペクトル生成部３１は、分光器１０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄ，１０ｅの検出結果から、Ｘ線スペクトルを生成する処理を行う。スペクトル生成部３１では、分光器１０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄ，１０ｅごとに、Ｘ線スペクトル（図３参照）を生成する。スペクトル生成部３１は、生成したＸ線スペクトルを、バスライン５０を介して、記憶部４４に記憶させる処理を行う。
【００５７】
定量値算出部３２は、定量分析の対象となる特定元素についての複数の特性Ｘ線強度データのそれぞれについて、特定元素の定量値を算出する処理を行う。定量値算出部３２は、スペクトル生成部３１が生成したＸ線スペクトルから、特定元素のピーク強度Ｉｎｔｉを算出して、特定元素の定量値を算出する。ここで、ピーク強度Ｉｎｔｉは、例えば、ピーク高さＰｉ（例えば図３に示すＰ１）であってもよいし、ピーク面積であってもよい。
【００５８】
ここで、特定元素の定量値の算出方法の一例について説明する。分光器ｉで得られたＸ線スペクトルにおいて、特定元素に対応するピーク強度Ｉｎｔｉは、下記式（１）で表される。
【００５９】
【数１】
2014153342.tif 000003
【００６０】
ここで、Ｃｏｎｃｉは、特定元素の定量値（濃度値）である。また、ＡｉおよびＢｉは、特定元素の検量線係数である。なお、i＝１，２，・・・，ｎ（ｎは、分光器の数）である。特定元素の検量線係数Ａｉ，Ｂｉは、分光器１０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄ，１０ｅごとに設定される。検量線係数Ａｉ，Ｂｉは、例えば、各分光器１０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄ，１０ｅで、特定元素と同じ元素を含み、当該元素の濃度が既知である標準試料を測定することにより得られる。特定元素の検量線係数Ａｉ，Ｂｉは、例えば、予め記憶部４４に記憶されている。
【００６１】
上記（１）式から、特定元素の定量値（濃度値）Ｃｏｎｃｉは、下記式（２）で表される。
【００６２】
【数２】
2014153342.tif 000004
【００６３】
定量値算出部３２は、Ｘ線スペクトルから特定元素のピーク強度Ｉｎｔｉを算出し、上記式（２）により、特定元素の定量値Ｃｏｎｃｉを算出する。定量値算出部３２では、ｎ個のＸ線スペクトル（特性Ｘ線強度データ）のそれぞれから、特定元素の定量値Ｃｏｎｃ１，Ｃｏｎｃ２，Ｃｏｎｃ３，・・・，Ｃｏｎｃｎを算出する。
【００６４】
重み算出部３４は、複数の特性Ｘ線強度データに基づいて、各定量値Ｃｏｎｃｉごとにそれぞれの重みを算出する処理を行う。本実施形態では、重みは、Ｘ線スペクトルにおけ
る特定元素のピーク強度Ｉｎｔｉである。重み算出部３４は、ｎ個のＸ線スペクトルのそれぞれから、ピーク強度Ｉｎｔ１，Ｉｎｔ２，Ｉｎｔ３，・・・，Ｉｎｔｎを算出する処理を行う。
【００６５】
加重平均算出部３６は、重み算出部３４で算出された重みに基づいて、特定元素の定量値の加重平均Ｃｏｎｃｔｏｔａｌを算出する処理を行う。ここで、加重平均とは、各項の数値にその重要度に比例した重みをつけて、平均することをいう。加重平均算出部３６は、例えば、下記式（３）により、加重平均Ｃｏｎｃｔｏｔａｌを算出する。
【００６６】
【数３】
2014153342.tif 000005
【００６７】
なお、上記式（３）は、以下のように表すこともできる。
【００６８】
【数４】
2014153342.tif 000006
【００６９】
制御部３８は、装置本体部１００ａの電子光学系１０１の制御を行う。制御部３８は、例えば、駆動部２０に駆動信号を送ることにより、装置本体部１００ａの電子光学系１０１を動作させる。また、制御部３８は、分光器１０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄ，１０ｅ（分光結晶駆動機構）の制御を行う。制御部３８は、駆動部２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄ，２２ｅに駆動信号を送ることにより、分光器１０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄ，１０ｅ（分光結晶駆動機構）を動作させる。
【００７０】
２．  試料分析装置の処理部の動作
次に、試料分析装置１００の処理部３０の定量分析処理について説明する。
【００７１】
処理部３０が定量分析処理を行う前に、装置本体部１００ａが、試料Ｓの測定を行う。具体的には、まず、ユーザーが、定量分析の対象となる特定元素を選択する。また、ユーザーは、例えば、各分光器１０ａ，１０ｂ，１０ｅ，１０ｄごとに、定量分析の対象となる特定元素のＸ線名、Ｘ線の次数を選択する。ここでは、ユーザーが、すべての分光器１０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄ，１０ｅにおいて、元素としてＦｅ（鉄）、Ｘ線名としてＫα線、次数として１（Ｆｅ−Ｌα１）を選択したものとする。例えば、ユーザーが操作部４２を操作することによって、定量分析の対象となる特定元素の条件（Ｆｅ−Ｌα１）が選択されると、制御部３８は、装置本体部１００ａの電子光学系１０１や、分光器１０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄ，１０ｅを制御して、試料Ｓの測定を行う。
【００７２】
測定の結果、スペクトル生成部３１によって、第１分光器１０ａで測定された特定元素ＦｅのＬα１線のＸ線スペクトルＳＰ１、第２分光器１０ｂで測定された特定元素ＦｅのＬα１線のＸ線スペクトルＳＰ２、第３分光器１０ｃで測定された特定元素ＦｅのＬα１線のＸ線スペクトルＳＰ３、第４分光器１０ｄで測定された特定元素ＦｅのＬα１線のＸ線スペクトルＳＰ４、および第５分光器１０ｅで測定された特定元素ＦｅのＬα１線のＸ線スペクトルＳＰ５が、記憶部４４に記憶される。
【００７３】
図４は、処理部３０の定量分析処理の一例を示すフローチャートである。
【００７４】
定量値算出部３２は、記憶部４４に記憶されているＸ線スペクトルＳＰ１から、特定元素ＦｅのＬα線のピーク強度Ｉｎｔ１を取得する処理を行う（特性Ｘ線強度データ取得処理Ｓ１０）。ここでは、ピーク強度Ｉｎｔ１は、ピーク高さＰ１（図３参照）である。定量値算出部３２は、同様に、Ｘ線スペクトルＳＰ１からピーク強度Ｉｎｔ２を取得し、Ｘ線スペクトルＳＰ２からピーク強度Ｉｎｔ２を取得し、Ｘ線スペクトルＳＰ３からピーク強度Ｉｎｔ３を取得し、Ｘ線スペクトルＳＰ４からピーク強度Ｉｎｔ４を取得し、Ｘ線スペクトルＳＰ５からピーク強度Ｉｎｔ５を取得する。
【００７５】
次に、定量値算出部３２は、取得したピーク強度Ｉｎｔ１から、上記式（２）を用いて、特定元素Ｆｅの定量値Ｃｏｎｃ１を算出する処理を行う（定量値算出処理Ｓ２０）。なお、第１分光器１０ａにおける特定元素ＦｅのＬα１線の検量線係数Ａ１，Ｂ１は、予め第１分光器１０ａで元素Ｆｅの標準試料を測定することで得られ、記憶部４４に記憶されている。
【００７６】
定量値算出部３２は、同様に、ピーク強度Ｉｎｔ２から定量値Ｃｏｎｃ２を算出し、ピーク強度Ｉｎｔ３から定量値Ｃｏｎｃ３を算出し、ピーク強度Ｉｎｔ４から定量値Ｃｏｎｃ４を算出し、ピーク強度Ｉｎｔ５から定量値Ｃｏｎｃ５を算出する。
【００７７】
次に、重み算出部３４は、Ｘ線スペクトルＳＰ１に基づいて、定量値算出部３２で算出された特定元素Ｆｅの定量値Ｃｏｎｃ１の重みを算出する処理を行う（重み算出処理Ｓ３０）。ここでは、定量値Ｃｏｎｃ１の重みは、特定元素ＦｅのＬα１線のピーク強度Ｉｎｔ１である。重み算出部３４は、同様に、定量値Ｃｏｎｃ２の重みＩｎｔ２を算出し、定量値Ｃｏｎｃ３の重みＩｎｔ３を算出し、定量値Ｃｏｎｃ４の重みＩｎｔ４を算出し、定量値Ｃｏｎｃ５の重みＩｎｔ５を算出する。
【００７８】
次に、加重平均算出部３６は、重み算出部３４で算出された重みＩｎｔ１，Ｉｎｔ２，Ｉｎｔ３，Ｉｎｔ４，Ｉｎｔ５に基づいて、特定元素Ｆｅの定量値Ｃｏｎｃ１，Ｃｏｎｃ２，Ｃｏｎｃ３，Ｃｏｎｃ４，Ｃｏｎｃ５の加重平均Ｃｏｎｃｔｏｔａｌを算出する処理を行う（加重平均算出処理Ｓ４０）。例えば、加重平均算出部３６は、まず、重みＩｎｔ１，Ｉｎｔ２，Ｉｎｔ３，Ｉｎｔ４，Ｉｎｔ５の総和Ｉｎｔｔｏｔａｌを算出する。次に、加重平均算出部３６は、総和Ｉｎｔｔｏｔａｌ、重みＩｎｔ１，Ｉｎｔ２，Ｉｎｔ３，
Ｉｎｔ４，Ｉｎｔ５、定量値Ｃｏｎｃ１，Ｃｏｎｃ２，Ｃｏｎｃ３，Ｃｏｎｃ４，Ｃｏｎｃ５から、式（３）を用いて、加重平均Ｃｏｎｃｔｏｔａｌを算出する。
【００７９】
以上の処理の結果、特定元素（Ｆｅ）の定量値（加重平均Ｃｏｎｃｔｏｔａｌ）が得られる。
【００８０】
本実施形態に係る試料分析装置１００は、例えば、以下の特徴を有する。
【００８１】
試料分析装置１００では、複数の特性Ｘ線強度データのそれぞれについて、特定元素の定量値を算出する定量値算出部３２と、複数の特性Ｘ線強度データに基づいて、特定元素の定量値ごとにそれぞれの重みを算出する重み算出部３４と、当該重みに基づいて、定量値の加重平均を算出する加重平均算出部３６と、を含む。そのため、試料分析装置１００によれば、複数の特性Ｘ線強度データのそれぞれについて特定元素の定量値を算出し、当該定量値ごとにそれぞれの重みを算出して、加重平均を算出しているため、例えば複数の特性Ｘ線強度データから算出された複数の定量値を単純に平均する場合と比べて、各定量値に特性Ｘ線強度データに応じた重みづけがなされるので、定量精度を高めることができる。
【００８２】
試料分析装置１００によれば、複数の分光器１０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄ，１０ｅを備え、各分光器１０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄ，１０ｅを介して、複数の特性Ｘ線強度データを取得することができる。これにより、測定時間の短縮や、感度の向上を図ることができる。
【００８３】
なお、ここでは、すべての分光器１０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄ，１０ｅが、特定元素ＦｅのＬα１線を検出して特性Ｘ線強度データを取得し、定量分析を行う場合について説明したが、各分光器１０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄ，１０ｅが、特定元素Ｆｅの異なる種類のＸ線を検出して特性Ｘ線強度データを取得し、定量分析を行ってもよい。すなわち、例えば、第１分光器１０ａが特定元素ＦｅのＬα１線を検出し、第２分光器１０ｂが特定元素ＦｅのＬβ１線を検出し、第３分光器１０ｃが特定元素ＦｅのＫα１線を検出し、第４分光器１０ｄが特定元素ＦｅのＫβ１線を検出してもよい。
【００８４】
このように、試料分析装置１００によれば、例えば、複数の特性Ｘ線強度データが、定量分析の対象となる特定元素の異なる種類の特性Ｘ線を検出して取得されたとしても、高い定量精度を有することができる。例えば、複数台のＸ線分光器を配置し、これら複数台のＸ線分光器の出力を合算する場合、同じ種類のＸ線を検出しなければならない。試料分析装置１００によれば、このような問題が生じないため、例えば、各分光器１０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄ，１０ｅの分光結晶として、互いに異なる物質を用いることができる。
【００８５】
３．  変形例
次に、本実施形態に係る試料分析装置１００の処理部３０の定量分析処理の変形例について説明する。なお、上述した処理部３０の定量分析処理と異なる点について説明し、同様の点については詳細な説明を省略する。
【００８６】
上述した実施形態では、各定量値Ｃｏｎｃｉの重みは、定量分析の対象となる特定元素に対応する特性Ｘ線のピーク強度Ｉｎｔｉであった。これに対して、本変形例では、各定量値Ｃｏｎｃｉの重みは、特定元素に対応する特性Ｘ線のピーク強度Ｉｎｔｉ（ピーク高さＰｉ）に対する、バックグラウンド強度Ｂｉの比（Ｐ／Ｂ比）である。
【００８７】
重み算出部３４は、複数の特性Ｘ線強度データに基づいて、各定量値Ｃｏｎｃｉごとに
それぞれの重みを算出する処理を行う。具体的には、重み算出部３４は、ｎ個の特性Ｘ線強度データのそれぞれから、ピーク高さＰ１，Ｐ２，Ｐ３，・・・，Ｐｎを取得する処理を行う。また、重み算出部３４は、ｎ個のバックグラウンド強度データのそれぞれから、バックグラウンド強度Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３，・・・，Ｂｎを取得する処理を行う。
【００８８】
ここで、Ｘ線スペクトルは、バックグラウンド強度Ｂｉ（例えば図３に示すＢ１）の情報、すなわち、バックグラウンド強度データを含む。そのため、重み算出部３４は、Ｘ線スペクトルから、バックグラウンド強度データを取得することができる。
【００８９】
そして、重み算出部３４は、ピーク高さＰ１，Ｐ２，Ｐ３，・・・，Ｐｎ、およびバックグラウンド強度Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３，・・・，Ｂｎから、定量値Ｃｏｎｃ１の重み（Ｐ／Ｂ比）Ｐ１／Ｂ１、定量値Ｃｏｎｃ２の重みＰ２／Ｂ２、定量値Ｃｏｎｃ３の重みＰ３／Ｂ３、・・・、定量値Ｃｏｎｃｎの重みＰｎ／Ｂｎ、を算出する処理を行う。
【００９０】
加重平均算出部３６は、重み算出部３４で算出された重みに基づいて、特定の元素の定量値の加重平均Ｃｏｎｃｔｏｔａｌを算出する処理を行う。加重平均算出部３６は、例えば、下記式（４）により、加重平均Ｃｏｎｃｔｏｔａｌを算出する。
【００９１】
【数５】
2014153342.tif 000007
【００９２】
なお、上記式（３）は、以下のように表すこともできる。
【００９３】
【数６】
2014153342.tif 000008
【００９４】
次に、本変形例に係る処理部３０の定量分析処理について説明する。なお、本変形例に係る処理部３０の定量分析処理は、上述した本実施形態に係る定量分析処理と、重み算出処理Ｓ３０、加重平均算出処理Ｓ４０が異なっている。そのため、以下では、重み算出処理Ｓ３０、加重平均算出処理Ｓ４０について説明し、その他の処理Ｓ１０，Ｓ２０についてはその説明を省略する。
【００９５】
まず、重み算出部３４は、Ｘ線スペクトルＳＰ１に基づいて、定量値算出部３２で算出された特定元素Ｆｅの定量値Ｃｏｎｃ１の重みを算出する処理を行う（重み算出処理Ｓ３０）。具体的には、定量値算出部３２は、Ｘ線スペクトルＳＰ１（図３参照）から、ピーク高さＰ１およびバックグラウンド強度Ｂ１を算出し、重みＰ１／Ｂ１を算出する。重み算出部３４は、同様に、Ｘ線スペクトルＳＰ２に基づいて、定量値Ｃｏｎｃ２の重みＰ２／Ｂ２を算出し、Ｘ線スペクトルＳＰ３に基づいて、定量値Ｃｏｎｃ３の重みＰ３／Ｂ３を算出し、Ｘ線スペクトルＳＰ４に基づいて、定量値Ｃｏｎｃ４の重みＰ４／Ｂ４を算出し、Ｘ線スペクトルＳＰ５に基づいて、定量値Ｃｏｎｃ５の重みＰ５／Ｂ５を算出する。
【００９６】
次に、加重平均算出部３６は、重みＰ１／Ｂ１，Ｐ２／Ｂ２，Ｐ３／Ｂ３，Ｐ４／Ｂ４，Ｐ５／Ｂ５に基づいて、特定元素Ｆｅの定量値Ｃｏｎｃ１，Ｃｏｎｃ２，Ｃｏｎｃ３，Ｃｏｎｃ４，Ｃｏｎｃ５の加重平均Ｃｏｎｃｔｏｔａｌを算出する処理を行う（加重平均算出処理Ｓ４０）。例えば、加重平均算出部３６は、まず、重みＰ１／Ｂ１，Ｐ２／Ｂ２，Ｐ３／Ｂ３，Ｐ４／Ｂ４，Ｐ５／Ｂ５の総和Ｐ／Ｂｔｏｔａｌを算出し、総和Ｐ／Ｂｔｏｔａｌ、重みＰ１／Ｂ１，Ｐ２／Ｂ２，Ｐ３／Ｂ３，Ｐ４／Ｂ４，Ｐ５／Ｂ５、定量値Ｃｏｎｃ１，Ｃｏｎｃ２，Ｃｏｎｃ３，Ｃｏｎｃ４，Ｃｏｎｃ５から、式（４）を用いて、加重平均Ｃｏｎｃｔｏｔａｌを算出する。
【００９７】
以上の処理の結果、特定元素Ｆｅの定量値（加重平均Ｃｏｎｃｔｏｔａｌ）が得られる。
【００９８】
本変形例では、各定量値Ｃｏｎｃｉの重みは、特定元素に対応する特性Ｘ線のピーク強度ｉｎｔｉ（ピーク高さＰｉ）に対する、バックグラウンド強度Ｂｉの比（Ｐ／Ｂ比）であるため、例えばピーク強度ｉｎｔｉを重みとして用いる場合と比べて、より定量精度を高めることができる。
【００９９】
なお、上述した実施形態および変形例は、一例であってこれらに限定されるわけではない。
【０１００】
例えば、試料分析装置１００では、特定元素の定量値（加重平均）Ｃｏｎｃｔｏｔａｌの面分析（定量マッピング）を行うことができる。ここで、定量マッピングとは、マッピング（面分析）を行う際に、一点ごとに定量分析を行い、元素濃度の２次元的な分布を得る方法である。
【０１０１】
図５は、面分析における定量分析について説明するための図である。図５に示す面分析結果ｍａｐ１は、第１分光器１０ａの検出結果から特定元素のピーク強度Ｉｎｔ１の分布
を算出したものであり、面分析結果ｍａｐ２は、第２分光器１０ｂの検出結果から特定元素のピーク強度Ｉｎｔ２の分布を算出したものであり、面分析結果ｍａｐ３は、第３分光器１０ｃの検出結果から特定元素のピーク強度Ｉｎｔ３の分布を算出したものであり、面分析結果ｍａｐ４は、第４分光器１０ｄの検出結果から特定元素のピーク強度Ｉｎｔ４の分布を算出したものであり、面分析結果ｍａｐ５は、第５分光器１０ｅの検出結果から特定元素のピーク強度Ｉｎｔ５の分布を算出したものである。
【０１０２】
ここで、特定元素の定量値の面分析を行うための処理部３０の処理について説明する。ここでは、重みとして、ピーク強度Ｉｎｔｉを用いる場合について説明する。
【０１０３】
ユーザーが、図５に示すように、例えば操作部４２に表示された面分析結果ｍａｐ１の所望の座標（ｘ，ｙ）を選択すると、処理部３０は、各面分析結果ｍａｐ１，ｍａｐ２，ｍａｐ３，ｍａｐ４，ｍａｐ５の座標（ｘ，ｙ）での特定元素のピーク強度Ｉｎｔ１，Ｉｎｔ２，Ｉｎｔ３，Ｉｎｔ４，Ｉｎｔ５を記憶部４４に記憶させる処理を行う。定量値算出部３２、重み算出部３４、および加重平均算出部３６は、このピーク強度Ｉｎｔ１，Ｉｎｔ２，Ｉｎｔ３，Ｉｎｔ４，Ｉｎｔ５を用いて、上述した図４に示す定量分析処理を行う。これにより、重みをピーク強度Ｉｎｔｉとした、座標（ｘ，ｙ）での特定元素の定量値（加重平均）Ｃｏｎｃｔｏｔａｌが算出される。
【０１０４】
さらに、この処理を、例えば所与の領域内のすべての座標について行うことで、図５に示すように、特定元素の定量値（加重平均）Ｃｏｎｃｔｏｔａｌの面分析結果ｍａｐｃｏｎｃを得ることができる。
【０１０５】
次に、特定元素の定量値の面分析を行うための処理部３０の処理の変形例について説明する。ここでは、重みとして、Ｐ／Ｂ比を用いる場合について説明する。
【０１０６】
図６は、面分析における定量分析について説明するための図である。図６に示す面分析結果ｍａｐ１＿Ｂは、第１分光器１０ａの検出結果からバックグラウンド強度Ｂ１の分布を算出したものであり、面分析結果ｍａｐ２＿Ｂは、第２分光器１０ｂの検出結果からバックグラウンド強度Ｂ２の分布を算出したものであり、面分析結果ｍａｐ３＿Ｂは、第３分光器１０ｃの検出結果からバックグラウンド強度Ｂ３の分布を算出したものであり、面分析結果ｍａｐ４＿Ｂは、第４分光器１０ｄの検出結果からバックグラウンド強度Ｂ４の分布を算出したものであり、面分析結果ｍａｐ５＿Ｂは、第５分光器１０ｅの検出結果からバックグラウンド強度Ｂ５の分布を算出したものである。
【０１０７】
ユーザーが、図６に示すように、例えば操作部４２に表示された面分析結果ｍａｐ１の所望の座標（ｘ，ｙ）を選択すると、処理部３０は、各面分析結果ｍａｐ１，ｍａｐ２，ｍａｐ３，ｍａｐ４，ｍａｐ５の座標（ｘ，ｙ）での特定元素のピーク高さＰ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４，Ｐ５を記憶部４４に記憶させる処理を行う。さらに、処理部３０は、各面分析結果ｍａｐ１＿Ｂ，ｍａｐ２＿Ｂ，ｍａｐ３＿Ｂ，ｍａｐ４＿Ｂ，ｍａｐ５＿Ｂの座標（ｘ，ｙ）でのバックグラウンド強度Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３，Ｂ４，Ｂ５を記憶部４４に記憶させる処理を行う。定量値算出部３２、重み算出部３４、および加重平均算出部３６は、ピーク高さＰ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４，Ｐ５およびバックグラウンド強度Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３，Ｂ４，Ｂ５を用いて、定量分析処理を行う。これにより、重みをＰ／Ｂ比とした、座標（ｘ，ｙ）での特定元素の定量値（加重平均）Ｃｏｎｃｔｏｔａｌが算出される。
【０１０８】
さらに、この処理を、例えば所与の領域内のすべての座標について行うことで、図６に示すように、特定元素の定量値（加重平均）Ｃｏｎｃｔｏｔａｌの面分析結果ｍａｐｃｏｎｃを得ることができる。
【０１０９】
なお、線分析の定量分析についても、同様の処理で、行うことができる。
【０１１０】
また、例えば、上述した実施形態および変形例では、装置本体部１００ａで測定した結果から、定量分析を行ったが、本発明に係る試料分析装置では、他の電子プローブマイクロアナライザーで測定した結果から、定量分析を行ってもよい。この場合、本発明に係る試料分析装置は、装置本体部１００ａを有していなくてもよい。
【０１１１】
また、例えば、上述した実施形態および変形例では、試料Ｓに電子線ＥＢを照射し、当該試料Ｓから発生する特性Ｘ線Ｘｒを複数の分光器１０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄ，１０ｅで検出して、特定元素に対応する複数の特性Ｘ線強度データを取得して、定量分析を行ったが、試料Ｓから発生する特性Ｘ線Ｘｒを１つの分光器（例えば、第１分光器１０ａ）で複数回測定して、特定元素に対応する複数の特性Ｘ線強度データを取得して、定量分析を行ってもよい。
【０１１２】
また、例えば、上述した実施形態および変形例では、図４に示すように、定量値算出処理Ｓ２０の後に、重み算出処理Ｓ３０を行っていたが、重み算出処理Ｓ３０の後に、定量値算出処理Ｓ２０を行ってもよい。
【０１１３】
また、例えば、上述した実施形態および変形例では、分光器１０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｅ，１０ｄが波長分散形Ｘ線分光器（ＷＤＳ）である場合について説明したが、分光器１０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｅ，１０ｄは、エネルギー分散形Ｘ線分光器（ＥＤＳ）であってもよい。
【０１１４】
本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成（例えば、機能、方法および結果が同一の構成、あるいは目的及び効果が同一の構成）を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。
【符号の説明】
【０１１５】
１…鏡筒、２…電子銃、４…集束レンズ、６…偏向器、７…試料室、８…対物レンズ、９…試料ステージ、１０ａ…第１分光器、１０ｂ…第２分光器、１０ｃ…第３分光器、１０ｄ…第４分光器、１０ｅ…第５分光器、１２ａ…分光結晶、１４ａ…分光結晶駆動機構、１６ａ…Ｘ線検出器、１２ｂ…分光結晶、１４ｂ…分光結晶駆動機構、１６ｂ…Ｘ線検出器、２０，２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄ，２２ｅ…駆動部、２４…信号処理部、３０…処理部、３１…スペクトル生成部、３２…定量値算出部、３４…重み算出部、３６…加重平均算出部、３８…制御部、４０…表示部、４２…操作部、４４…記憶部、４６…記録媒体、５０…バスライン、１００…試料分析装置
【図１】
2014153342.tif 000009
【図２】
2014153342.tif 000010
【図３】
2014153342.tif 000011
【図４】
2014153342.tif 000012
【図５】
2014153342.tif 000013
【図６】
2014153342.tif 000014