(57)【要約】      （修正有）【課題】金属薄板の寸法を精度良く測定することのでき、メンテナンス作業を容易に行い得る金属薄板の寸法測定装置、及び、金属薄板の寸法測定方法を提供する。【解決手段】下側に凸の湾曲形状に撓み変形可能な引張板２１と、引張板２１に設けられており、下側に凸の湾曲形状に撓み変形された状態の引張板２１上において金属薄板３１の対向する両縁部領域を保持するようになっている一対の保持機構２２と、引張板２１の撓み変形からの復元力によって一対の保持機構２２の互いに対する距離を拡げることによって引張力を与えられた状態の金属薄板３１の少なくとも１つの寸法を測定する測定機構１３と、を備えたことを特徴とする金属薄板の寸法測定装置である。【選択図】図１
2014153218.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
下側に凸の湾曲形状に撓み変形可能な引張板と、
前記引張板に設けられており、下側に凸の湾曲形状に撓み変形された状態の前記引張板上において金属薄板の対向する両縁部領域を保持するようになっている一対の保持機構と、
前記引張板の撓み変形からの復元力によって前記金属薄板を保持した状態の前記一対の保持機構の互いに対する距離を拡げることによって引張力を与えられた状態の前記金属薄板の少なくとも１つの寸法を測定する測定機構と、
を備えたことを特徴とする金属薄板の寸法測定装置。
【請求項２】
前記測定機構は、前記引張力を与えられた状態の前記金属薄板の画像を撮像する測定用カメラと、撮像された画像を処理する画像処理装置と、を有している
ことを特徴とする請求項１に記載の金属薄板の寸法測定装置。
【請求項３】
前記引張力を与えられた状態の前記金属薄板に対して、前記測定用カメラとは反対の側に設けられた照明装置
を更に備えたことを特徴とする請求項２に記載の金属薄板の寸法測定装置。
【請求項４】
前記引張板には、帯電防止処理が施されている
ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の金属薄板の寸法測定装置。
【請求項５】
下側に凸の湾曲形状に撓み変形可能な複数の引張板と、
前記複数の引張板に設けられており、下側に凸の湾曲形状に撓み変形された状態の前記複数の引張板上において金属薄板の対向する両縁部領域を各対が保持するようになっている複数対の保持機構と、
前記複数の引張板の撓み変形からの復元力によって前記金属薄板を保持した状態の各対の保持機構の互いに対する距離を拡げることによって引張力を与えられた状態の前記金属薄板の少なくとも１つの寸法を測定する測定機構と、
を備えたことを特徴とする金属薄板の寸法測定装置。
【請求項６】
下側に凸の湾曲形状に撓み変形可能な引張板に設けられた一対の保持機構によって、下側に凸の湾曲形状に撓み変形された状態の前記引張板上において金属薄板の対向する両縁部領域を保持する工程と、
前記引張板の撓み変形からの復元力によって前記金属薄板を保持した状態の前記一対の保持機構の互いに対する距離を拡げることによって前記金属薄板に対し引張力を与える工程と、
測定機構によって前記引張力を与えられた状態の前記金属薄板の少なくとも１つの寸法を測定する工程と、
を備えたことを特徴とする金属薄板の寸法測定方法。
【請求項７】
前記測定する工程は、前記引張力を与えられた状態の前記金属薄板の画像を測定用カメラによって撮像する工程と、撮像された画像を処理する工程と、を含んでいる
ことを特徴とする請求項６に記載の金属薄板の寸法測定方法。
【請求項８】
前記測定する工程は、前記測定用カメラとは反対の側に設けられた照明装置によって前記引張力を与えられた状態の前記金属薄板を照らす工程を含んでいる
ことを特徴とする請求項７に記載の金属薄板の寸法測定方法。
【請求項９】
下側に凸の湾曲形状に撓み変形可能な複数の引張板に設けられた複数対の保持機構の各対によって、下側に凸の湾曲形状に撓み変形された状態の前記引張板上において金属薄板の対向する両縁部領域を保持する工程と、
前記複数の引張板の撓み変形からの復元力によって前記金属薄板を保持した状態の前記複数対の保持機構の各対の互いに対する距離を拡げることによって前記金属薄板に対し引張力を与える工程と、
測定機構によって前記引張力を与えられた状態の前記金属薄板の少なくとも１つの寸法を測定する工程と、
を備えたことを特徴とする金属薄板の寸法測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、金属薄板の寸法測定装置及び金属薄板の寸法測定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）用の蒸着マスクなどに用いられるメタルマスクは、厚さ数十μｍ〜数百μｍの金属薄板に、所望のパターンにエッチング（穴あけ）加工して開口部を形成することにより作製される。メタルマスクは、取り扱いやすいように、架張された状態で剛性のあるフレームに溶接される。
【０００３】
メタルマスクをフレームに溶接する際の作業不良を削減したりメタルマスクのパターン不良の有無を検査するために、メタルマスクの各種の寸法、例えば外形寸法、開口部の寸法、開口部のピッチ間隔等が、寸法測定装置を用いて測定されている。
【０００４】
例えば特許文献１（特許第５０５７４９１号公報）には、そのような寸法測定装置の従来例が開示されている。この寸法測定装置は、駆動システムの助力により引張力を与えられた状態の金属薄板のパターン不良の有無を検査する装置に関している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第５０５７４９１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１の寸法測定装置は、検査対象を安定的に検査できる状態にするため、金属薄板を支持する支持台に加えて、金属薄板に引張力を加えるための駆動システム（外的エネルギーを与えて引張力を発生させるシステム）を必要とし、部品点数が多く、高コストであり、またメンテナンス作業も容易ではない。
【０００７】
本発明は、このような点を考慮してなされたものであり、金属薄板の寸法を精度良く測定することのでき、メンテナンス作業を容易に行い得る金属薄板の寸法測定装置、及び、金属薄板の寸法測定方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、下側に凸の湾曲形状に撓み変形可能な引張板と、前記引張板に設けられており、下側に凸の湾曲形状に撓み変形された状態の前記引張板上において金属薄板の対向する両縁部領域を保持するようになっている一対の保持機構と、前記引張板の撓み変形からの復元力によって前記金属薄板を保持した状態の前記一対の保持機構の互いに対する距離を拡げることによって引張力を与えられた状態の前記金属薄板の少なくとも１つの寸法を測定する測定機構と、を備えたことを特徴とする金属薄板の寸法測定装置である。
【０００９】
本発明によれば、金属薄板は一対の保持機構によって保持されて引張力が与えられた状態で少なくとも１つの寸法が測定される。したがって、測定されるべき金属薄板が湾曲していたり浮き上がったりしていたとしても、そのような変形状態が除去ないし緩和された状態で金属薄板の寸法が測定されるため、測定精度が向上する。また、金属薄板に与えられる引張力には湾曲形状に撓み変形可能な引張板の復元力が利用されるため、金属薄板に引張力を与えるための駆動システムを必要としない。したがって、本発明の寸法測定装置は、安価に製造可能であり、メンテナンス作業も容易に行い得る。
【００１０】
好ましくは、前記測定機構は、前記引張力を与えられた状態の前記金属薄板の画像を撮像する測定用カメラと、撮像された画像を処理する画像処理装置と、を有している。この場合、金属薄板の寸法を容易に測定することができる。
【００１１】
また、好ましくは、前記金属薄板の寸法測定装置は、前記引張力を与えられた状態の前記金属薄板に対して、前記測定用カメラとは反対の側に設けられた照明装置を更に備えている。この場合、金属薄板の寸法をさらに精度良く測定することができる。
【００１２】
また、好ましくは、引張板には、帯電防止処理が施されている。この場合、金属薄板と引張板との間の摩擦力や静電気力等が抑制され、金属薄板が引張板上を滑らかに動くことができるため、金属薄板に張力が与えられる際、金属薄板に局所的な応力が生じることが抑制され、測定精度が向上する。
【００１３】
あるいは、本発明は、下側に凸の湾曲形状に撓み変形可能な複数の引張板と、前記複数の引張板に設けられており、下側に凸の湾曲形状に撓み変形された状態の前記複数の引張板上において金属薄板の対向する両縁部領域を各対が保持するようになっている複数対の保持機構と、前記複数の引張板の撓み変形からの復元力によって前記金属薄板を保持した状態の各対の保持機構の互いに対する距離を拡げることによって引張力を与えられた状態の前記金属薄板の少なくとも１つの寸法を測定する測定機構と、を備えたことを特徴とする金属薄板の寸法測定装置である。
【００１４】
本発明によれば、金属薄板に二次元的に（平面的に）引張力が与えられるため、金属薄板の変形状態が二次元的に除去ないし緩和され、測定精度がより一層向上する。
【００１５】
あるいは、本発明は、下側に凸の湾曲形状に撓み変形可能な引張板に設けられた一対の保持機構によって、下側に凸の湾曲形状に撓み変形された状態の前記引張板上において金属薄板の対向する両縁部領域を保持する工程と、前記引張板の撓み変形からの復元力によって前記金属薄板を保持した状態の前記一対の保持機構の互いに対する距離を拡げることによって前記金属薄板に対し引張力を与える工程と、測定機構によって前記引張力を与えられた状態の前記金属薄板の少なくとも１つの寸法を測定する工程と、を備えたことを特徴とする金属薄板の寸法測定方法である。
【００１６】
本発明によれば、金属薄板は一対の保持機構によって保持されて引張力が与えられた状態で少なくとも１つの寸法が測定される。したがって、測定されるべき金属薄板が湾曲していたり浮き上がったりしていたとしても、そのような変形状態が除去ないし緩和された状態で金属薄板の寸法が測定されるため、測定精度が向上する。また、金属薄板に与えられる引張力には湾曲形状に撓み変形可能な引張板の復元力が利用されるため、金属薄板に引張力を与えるための駆動システムを必要としない。したがって、本発明の寸法測定方法は、安価で製造可能でありメンテナンス作業が容易な装置を用いて行い得る。
【００１７】
好ましくは、前記測定する工程は、前記引張力を与えられた状態の前記金属薄板の画像を測定用カメラによって撮像する工程と、撮像された画像を処理する工程と、を含んでいる。この場合、金属薄板の寸法を容易に測定することができる。
【００１８】
また、好ましくは、前記測定する工程は、前記測定用カメラとは反対の側に設けられた照明装置によって前記引張力を与えられた状態の前記金属薄板を照らす工程を含んでいる。この場合、金属薄板の寸法をさらに精度良く測定することができる。
【００１９】
あるいは、本発明は、下側に凸の湾曲形状に撓み変形可能な複数の引張板に設けられた複数対の保持機構の各対によって、下側に凸の湾曲形状に撓み変形された状態の前記引張板上において金属薄板の対向する両縁部領域を保持する工程と、前記複数の引張板の撓み変形からの復元力によって前記金属薄板を保持した状態の前記複数対の保持機構の各対の互いに対する距離を拡げることによって前記金属薄板に対し引張力を与える工程と、測定機構によって前記引張力を与えられた状態の前記金属薄板の少なくとも１つの寸法を測定する工程と、を備えたことを特徴とする金属薄板の寸法測定方法である。
【００２０】
本発明によれば、金属薄板に二次元的に（平面的に）引張力を与えるため、金属薄板の変形状態が二次元的に除去ないし緩和され、測定精度がより一層向上する。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、金属薄板は一対の保持機構によって保持されて引張力が与えられた状態で少なくとも１つの寸法が測定される。したがって、測定されるべき金属薄板が湾曲していたり浮き上がったりしていたとしても、そのような変形状態が除去ないし緩和された状態で金属薄板の寸法が測定されるため、測定精度が向上する。また、金属薄板に与えられる引張力には湾曲形状に撓み変形可能な引張板の復元力が利用されるため、金属薄板に引張力を与えるための駆動システムを必要としない。したがって、本発明の寸法測定装置は、安価に製造可能であり、メンテナンス作業も容易に行い得る。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の第１の実施の形態による寸法測定装置の一例を概略的に示す斜視図。
【図２】寸法測定装置で測定される金属薄板の寸法の例を説明するための概略図。
【図３】寸法測定装置で測定される金属薄板の寸法の例を説明するための概略図。
【図４】本発明の第１の実施の形態による寸法測定装置における、引張板と、保持機構と、を概略的に示す平面図。
【図５】図４におけるＶ−Ｖ線断面図を概略的に示す図。
【図６】本発明の第１の実施の形態による寸法測定装置において金属薄板に引張力が与えられる様子を説明するための図。詳しくは、図６（ａ）が、引張力付与前の状態を示しており、図６（ｂ）が引張力付与時の状態を示している。
【図７】本発明の第１の実施の形態による寸法測定装置において金属薄板に引張力が与えられる様子を説明するための図。詳しくは、図７（ａ）が、図６におけるＶＩＩａ−ＶＩＩａ線断面図を概略的に示す図であり、図７（ｂ）が、図６におけるＶＩＩｂ−ＶＩＩｂ線断面図を概略的に示す図である。
【図８】本発明の第２の実施の形態による寸法測定装置における、引張板と、保持機構と、を概略的に示す平面図である。
【図９】本発明の第２の実施の形態による寸法測定装置における保持機構を概略的に示す側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
【００２４】
図１は、本発明の第１の実施の形態による寸法測定装置を概略的に示す斜視図である。図１に示すように、本実施の形態の寸法測定装置１１は、下側に凸の湾曲形状に撓み変形可能な引張板２１と、引張板２１に設けられており、下側に凸の湾曲形状に撓み変形された状態の引張板２３上において金属薄板３１の対向する両縁部領域を保持するようになっている一対の保持機構２２と、引張力を与えられた状態の金属薄板３１の少なくとも１つの寸法を測定する測定機構１３と、を備えている。金属薄板３１に対する引張力は、引張板２３の撓み変形からの復元力によって金属薄板３１を保持した状態の一対の保持機構２２の互いに対する距離を拡げることによって与えられるようになっている。図１の例では、引張力を与えられた状態の金属薄板３１が並列に４枚並んでいる。
【００２５】
本実施の形態においては、測定機構１３は、引張力を与えられた状態の金属薄板３１の画像を撮像する測定用カメラ１３１と、撮像された画像を処理する画像処理装置１３２と、を有している。測定用カメラ１３１は、引張力を与えられた状態の金属薄板３１上を、鉛直方向、水平面内の縦方向及び横方向に、金属薄板３１に対して相対的に移動することができるようになっている。
【００２６】
また、本実施の形態においては、寸法測定装置１１には、引張力を与えられた状態の金属薄板３１に対して測定用カメラ１３１とは反対の側に、照明装置１５が設けられている。
【００２７】
測定機構１３によって測定される金属薄板３１の寸法とは、例えば金属薄板３１が有機ＥＬ用の蒸着マスクなどに用いられるメタルマスクの作製に用いられる場合、図２に示すように、メタルマスク３４が作製される領域であるメタルマスク作製領域３３の幅ａや、各メタルマスク３４の横幅ｂないし縦幅ｃである。あるいは、図３に示すように、メタルマスク開口部３５の横幅ｄないし縦幅ｅ、メタルマスク開口部３５の横方向のピッチ間隔ｆないし縦方向のピッチ間隔ｇ等である。あるいは、メタルマスク開口部３５の形状やメタルマスク開口部３５の端部位置、メタルマスク開口部３５以外の開口の有無などである。画像処理の際には、金属薄板３１に付された測定マーク３２の中心位置を割り出したり、パターンマッチング、濃淡処理、エッジ処理などを行うことにより、金属薄板３１の各寸法が決定（測定）される。
【００２８】
引張板２１は、本実施の形態では、図４に示すように、全体として矩形の平板な板状部材であるが、引張板２１の形状としては他の形状も採用可能である。引張板２１は、その長手方向の両縁部を単に持ち上げたり、あるいは外力を加えて当該両縁部の互いに対する距離を近づけたりすることなどにより下側に凸の湾曲形状に撓み変形し得る材料で形成されている。さらに、本実施の形態では、引張板２１は、光透過性を有する材料で形成されている。具体的には、本実施の形態においては、引張板２１は、樹脂で形成されている。なお、下側に凸の湾曲形状に撓み変形し得る他の材料としては、例えば、ガラスや金属等が挙げられる。
【００２９】
引張板２１の少なくとも上面２１ａ（金属薄板３１が保持される側の面）には、帯電防止処理が施されており、金属薄板３１が引張板２１上で滑らかに動くことができるようになっている。
【００３０】
引張板２１の長手方向（図４の左右方向）の各縁部領域には、保持機構２２が設けられており、この一対の保持機構２２によって金属薄板３１の対向する両端部領域を保持することができるようになっている。
【００３１】
各保持機構２２は、図４及び図５に示すように、全体として矩形の平板な板状部材である押付板２２１と、押付板２２１を引張板２１の上面２１ａ上に固定するボルト２２３と、を有している。
【００３２】
各保持機構２２の近傍には、金属薄板３１の対向する両縁部領域の各々を各保持機構２２で保持する際に、両保持機構２２による金属薄板３１の保持姿勢（例えば引張板２１の長手方向軸に対する金属薄板３１の長手方向軸の角度）を案内するための案内ピン８１ａ，８１ｂが、引張板２１の上面２１ａから突出するように設けられている。
【００３３】
次に、このような構成からなる本実施の形態の作用について説明する。
【００３４】
まず、金属薄板３１が一対の保持機構２２によって保持される前、引張板２１からはボルト２２３及び押付板２２１が取り外されている。そして、引張板２１は、その長手方向の両縁部領域の各々が一対の支持部材２４の各々によって支持されて、重力により下側に凸の湾曲形状に撓み変形される。本実施の形態では、引張板２１の長手方向の両縁部領域の各々を一対の支持部材２４で支持する（持ち上げる）ことにより引張板２１を撓み変形させているが、引張板２１を下側に凸の湾曲形状に撓み変形させる態様としては、引張板２１の長手方向の両縁部領域に外力を加えて互いに対する距離を近づけるなど、他の態様も採用可能である。
【００３５】
金属薄板３１の撓み変形の程度は、金属薄板３１に付与すべき引張力の大きさによって適宜決定され、本実施の形態では、採用される支持部材２４の高さｈや当該支持部材２４の配置間隔ｗを変更することによって調節可能である。
【００３６】
次に、下側に凸の湾曲形状に撓み変形された状態の引張板２１上において、案内ピン８１によって金属薄板３１の一対の保持機構２２による保持姿勢が決定されながら、金属薄板３１の対向する両縁部領域の各々が、各保持機構２２によって保持される。具体的には、金属薄板３１の一側の縁部領域が案内ピン８１に当接された状態で、各保持機構２２において、金属薄板３１の各縁部領域が、引張板２１と押付板２２１とによって挟まれる。この状態で、押付板２２１が、ボルト２２３によって引張板２１に固定される（図５参照）。これによって押付板２２１が引張板２１に対して押圧され、引張板２１と押付板２２１との間に、金属薄板３１の縁部領域が、保持される。この際、本実施の形態では、金属薄板３１は、その中央領域（メタルマスクの作製領域３３を含む領域）が略水平になるように保持される（図７（ａ）参照）。
【００３７】
このように金属薄板３１の対向する両縁部領域が保持された状態で、引張板２１の長手方向の両縁部領域を支持していた支持部材２４が、引張板２１の下から取り除かれる。これにより、引張板２１は、撓み変形された状態から撓み変形前の平坦な状態に復元される。この引張板２１の撓み変形からの復元力によって、金属薄板３１を保持した状態の一対の保持機構２２の互いに対する距離が、拡げられる。これによって金属薄板３１に対し、引張力が与えられる。
【００３８】
その後、全体に亘ってほぼ均一に引張力を与えられた状態の金属薄板３１が、照明装置１５によって照らされて、金属薄板３１の画像が、測定用カメラ１３１によって取得される。そして、撮像された画像が画像処理装置１３２によって処理され、金属薄板３１の少なくとも１つの寸法が測定される。
【００３９】
本実施の形態によれば、金属薄板３１は一対の保持機構２２によって保持されて引張力が与えられた状態で少なくとも１つの寸法が測定される。したがって、測定されるべき金属薄板３１が湾曲していたり浮き上がったりしていたとしても、そのような変形状態が除去ないし緩和された状態で金属薄板３１の寸法が測定されるため、測定精度が向上する。また、金属薄板３１に与えられる引張力には湾曲形状に撓み変形可能な引張板２１の復元力が利用されるため、金属薄板３１に引張力を与えるための駆動システムを必要としない。したがって、本発明の寸法測定装置は、安価に製造可能であり、メンテナンス作業も容易に行い得る。
【００４０】
また、測定機構１３は、引張力を与えられた状態の金属薄板３１の画像を撮像する測定用カメラ１３１と、撮像された画像を処理する画像処理装置１３２と、を有している。したがって、金属薄板３１の寸法を容易に測定することができる。
【００４１】
また、金属薄板の寸法測定装置１１は、引張力を与えられた状態の金属薄板３１に対して、測定用カメラ１３１とは反対の側に設けられた照明装置１５を更に備えている。したがって、金属薄板３１の寸法をさらに精度良く測定することができる。
【００４２】
また、引張板２１には、帯電防止処理が施されている。この場合、金属薄板３１と引張板２１との間の摩擦力や静電気力等が抑制され、金属薄板３１が引張板２１上を滑らかに動くことができるため、金属薄板３１に張力が与えられる際、金属薄板３１に局所的な応力が生じることが抑制され、測定精度が向上する。
【００４３】
案内ピン８１を金属薄板３１の一側の縁部領域に当接させて金属薄板３１の一対の保持機構２２による保持姿勢を決定する代わりに、金属薄板３１に位置決めするための穴を設け、当該穴と案内ピン８１ａ，８１ｂとの位置を合わせながら金属薄板３１の一対の保持機構２２による保持姿勢を決定してもよい。
【００４４】
次に、図８により、本発明による寸法測定装置の第２の実施の形態について説明する。
【００４５】
図８は、保持機構２２と、引張板２１と、を概略的に示す平面図である。本実施の形態の寸法測定装置１１は、図８に示すように、下側に凸の湾曲形状に撓み変形可能な複数の引張板２１と、複数の引張板２１に設けられており、下側に凸の湾曲形状に撓み変形された状態の複数の引張板２１上において金属薄板３１の対向する両縁部領域を各対が保持するようになっている複数対の保持機構２２と、を備えている。本実施の形態においては、金属薄板３１に対する引張力は、複数の引張板２１の撓み変形からの復元力によって金属薄板３１を保持した状態の各対の保持機構２２の互いに対する距離を拡げることによって与えられる。
【００４６】
本実施の形態の寸法測定装置１１では、図８に示すように、引張板２１が、引張板２１の長手方向に垂直な方向（図８の上下方向）に並列に設けられている。
【００４７】
また、本実施の形態の保持機構２２は、図９に示すように、引張板２１と、引張板２１と協働して金属薄板３１を挟む押付板２２１と、押付板２２１を引張板２１に対して押圧する押圧レバー２２７と、押圧レバー２２７に押圧力を提供するようになっているワッシャー２２８及びコイルバネ２２９と、を有している。
【００４８】
その他の構成は、図１及び図４に示す第１の実施の形態と略同様である。図８において、図１及び図４に示す第１の実施の形態と同一の部分には同一の符号を付して詳細な説明は省略する。
【００４９】
次に、本実施の形態の作用について説明する。本実施の形態の寸法測定装置１１では、まず、複数の引張板２１の各々の長手方向の両縁部領域が一対の支持部材２４によって支持されて、全ての引張板２１が下側に凸の湾曲形状に撓み変形される。そして、金属薄板３１の対向する両縁部領域が、複数対の保持機構２２の各対によって保持される。具体的には、各保持機構２２において、ワッシャー２２８及びバネ２２９によって押圧レバー２２７に押圧力が提供され、押圧レバー２２７によって押付板２２１が引張板２１に対して押圧されることにより、引張板２１と押付板２２１との間に金属薄板３１の対向する両縁部領域が挟まれて保持される。
【００５０】
金属薄板３１が複数対の保持機構２２によって保持された後、複数の引張板２１の各々の長手方向の縁部領域を支持していた支持部材２４が、引張板２１の下から取り除かれ、全ての引張板２１が、撓み変形された状態から撓み変形前の平坦な状態に復元される。この引張板２１の撓み変形からの復元力によって、金属薄板３１を保持した状態の複数対の保持機構２２の各対の互いに対する距離が、拡げられる。これによって、金属薄板３１に対して二次元的に（平面的に）引張力が与えられる。
【００５１】
以上のように、本実施の形態によれば、金属薄板に二次元的に（平面的に）引張力が与えられるため、金属薄板の変形の状態が二次元的に除去ないし緩和され、測定精度がより一層向上する。
【符号の説明】
【００５２】
１１  寸法測定装置
１３  測定機構
１３１  測定用カメラ
１３２  画像処理装置
１５  照明装置
２１  引張板
２１ａ  引張板の上面
２２  保持機構
２２１  押付板
２２３  ボルト
２２４  貫通孔
２４  支持部材
２２５  支持棒
２２７  押圧レバー
２２８  ワッシャー
２２９  バネ
３１  金属薄板
３２  測定マーク
３３  メタルマスク作製領域
３４  メタルマスク
３５  メタルマスク開口部
８１  案内ピン
【図１】
2014153218.tif 000003
【図２】
2014153218.tif 000004
【図３】
2014153218.tif 000005
【図４】
2014153218.tif 000006
【図５】
2014153218.tif 000007
【図６】
2014153218.tif 000008
【図７】
2014153218.tif 000009
【図８】
2014153218.tif 000010
【図９】
2014153218.tif 000011