(57)【要約】【課題】シール時に要するシリンダの推力を低減できる漏れ検査装置を提供する。【解決手段】ワークＷ１０の右側に配置されるプレート１０と、左右方向に沿ってプレート１０に対して相対的に移動可能に、プレート１０の左側に支持される摺動ユニット３０と、プレート１０を支持し、プレート１０および摺動ユニット３０をワークＷ１０に対して近接離間させるシリンダ４０と、を具備し、シリンダ４０を駆動させ、第二開口部Ｗ１２に摺動ユニット３０が当接するまでプレート１０をワークＷ１０に接近させ、検査流体Ｐ１０がワークＷ１０に導入されるときに、摺動ユニット３０を介して検査流体Ｐ１０を圧力室１２に導入し、圧力室１２からの検査流体Ｐ１０の圧力で摺動ユニット３０を押圧することで、第二開口部Ｗ１２をシールする。【選択図】図４
2014020834.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークの一側面に形成される開口部をシールして、前記ワークの漏れを検査する漏れ検査装置であって、
前記ワークの一側面に対して対向する側に配置されるプレートと、
前記ワークに対する近接離間方向に沿って前記プレートに対して相対的に移動可能に、前記プレートの前記ワークの一側面に対して対向する側に支持されるシール手段と、
前記プレートを支持し、前記プレートおよび前記シール手段を前記ワークに対して近接離間させる駆動手段と、
を具備し、
前記漏れ検査装置には、
前記シール手段が摺動可能に嵌入される圧力室が形成され、
前記シール手段は、
前記開口部と前記圧力室とを連通可能な形状に形成され、
前記漏れ検査装置は、
前記駆動手段を駆動させ、前記開口部に前記シール手段が当接するまで前記プレートを前記ワークに接近させ、
検査流体が前記ワークに導入されるときに、前記シール手段を介して前記検査流体を前記圧力室に導入し、前記圧力室からの前記検査流体の圧力で前記シール手段を押圧することで、前記開口部をシールする、
漏れ検査装置。
【請求項２】
前記ワークの一側面には、
前記開口部が複数形成され、
前記漏れ検査装置は、
前記各開口部のうち、少なくともいずれか一つを前記シール手段によってシールする、
請求項１に記載の漏れ検査装置。
【請求項３】
前記ワークには、
シール部の位置が前記プレートに対する近接離間方向に異なる少なくとも二つの開口部が形成される、
請求項２に記載の漏れ検査装置。
【請求項４】
前記駆動手段は、
一端部が前記プレートに連結されるロッドを備え、前記ロッドを所定の位置でロック可能なロックシリンダであり、
前記漏れ検査装置は、
全ての前記開口部を前記シール手段によってシールする、
請求項２から請求項３までのいずれか一項に記載の漏れ検査装置。
【請求項５】
前記ワークの一側面には、
前記開口部が一つだけ形成され、
前記駆動手段は、
一端部が前記プレートに連結されるロッドを備え、前記ロッドを所定の位置でロック可能なロックシリンダである、
請求項１に記載の漏れ検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークの一側面に形成される開口部をシールしてワークの漏れを検査する漏れ検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、ワークの一側面に形成される開口部をシールしてシリンダブロック等のワークの漏れを検査する漏れ検査装置は、エンジンの製造ライン等で用いられている（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１に開示される漏れ試験装置は、ワーク（被検測物）の一側面に対向配置される可動基盤に複数のマスキングシール等を設けるとともに、前記可動基盤をシリンダ等の駆動手段に連結し、前記可動基盤をワークに対して進退可能に構成する。
特許文献１に開示される漏れ試験装置は、前記駆動手段によって前記可動基盤をワークに接近させ、各マスキングシールによって複数の開口部を全てシールする。
【０００３】
特許文献１に開示される漏れ検査装置は、一つの前記駆動手段を駆動させて全てのマスキングシールを圧縮する都合上、複数の開口部の中で、所望の開口部だけを選択的にシールすることができない。
すなわち、前記駆動手段は、複数の開口部を順番に検査する場合でも、複数の開口部を同時にシールできる程度に大きな推力を発生させて各マスキングシールを圧縮する必要がある。
【０００４】
ここで、特許文献１に開示されるマスキングシールの構成としては、図１４（ａ）に示すように、例えば、可動基盤６１０に固定的に取り付けられる固定ゴム６２０、および可動基盤６１０にバネ６３０を介して取り付けられる可動ゴム６３１等が考えられる。
この場合、シリンダ６４０は、左方向へ推力を発生させて固定ゴム６２０およびバネ６３０（可動ゴム６３１）を圧縮する。
これにより発生する推力で、シリンダ６４０は、ワークＷ１０の上側に形成される第一開口部Ｗ１１、および第一開口部Ｗ１１の下方にて第一開口部Ｗ１１よりも左方向に所定の長さだけオフセットされた位置に配置される第二開口部Ｗ１２をシールする。
【０００５】
なお、以下では、第一開口部Ｗ１１をシールするために必要な推力をＦ１１、第二開口部Ｗ１２をシールするために必要な推力Ｆ１２とする。また、各推力Ｆ１１・Ｆ１２は、検査時の反力を含むものとする。
【０００６】
仮に、図１４（ｂ）に示すように、第二開口部Ｗ１２が、正規の寸法（図１４（ａ）に示す第二開口部Ｗ１２の寸法）よりも公差ｄだけ第一開口部Ｗ１１側から離れている場合、各ゴム６２０・６３１は、各開口部Ｗ１１・Ｗ１２に同時に当接する。
この場合、シリンダ６４０は、推力Ｆ１１＋Ｆ１２と同じ大きさの左方向への推力Ｎ６１を発生させることで、推力Ｆ１１・Ｆ１２を発生させて、各開口部Ｗ１１・Ｗ１２をシールする（図１４（ｂ）に示す右方向への反力Ｈ１１・Ｈ１２参照）。
【０００７】
一方、図１４（ｃ）に示すように、第二開口部Ｗ１２が正規の寸法（図１４（ａ）に示す第二開口部Ｗ１２の寸法）よりも公差ｄだけ第一開口部Ｗ１１側に接近している場合には、固定ゴム６２０が第一開口部Ｗ１１に当接する前に、可動ゴム６３１が第二開口部Ｗ１２に当接する。
従って、第一開口部Ｗ１１をシールするためには、シリンダ６４０の左方向への推力でバネ６３０を押し切る必要がある。
仮に、バネ６３０のバネ定数をｋとした場合、シリンダ６４０は、推力Ｆ１１＋Ｆ１２と同じ大きさの左方向への推力に加えて、公差ｄを吸収するための推力２ｋｄがさらに必要となる（図１４（ｃ）に示す推力Ｎ６２参照）。
【０００８】
また、各開口部Ｗ１１・Ｗ１２をシールするための構成としては、例えば、図１５（ａ）および図１５（ｂ）に示すように、各開口部Ｗ１１・Ｗ１２をともに固定ゴム６２０・６５０によってシールする構成が考えられる。
この場合においても、図１５（ｃ）に示すように、第二開口部Ｗ１２が正規の寸法（図１５（ａ）に示す第二開口部Ｗ１２の寸法）よりも公差ｄだけ第一開口部Ｗ１１側に接近しているときに、シリンダ６４０は、公差ｄを吸収するための推力Ｇがさらに必要となる（図１５に示す推力Ｎ６４参照）。
【０００９】
ここで、図１６に示すように、固定ゴム６５０を圧縮することで発生する推力は、圧縮量が０から所定量までの間線形に増加し、前記所定量よりもさらに増加するときに非線形に増加する。
また、各ゴム６２０・６５０を圧縮する都合上、シリンダ６４０のストロークに基づいて、固定ゴム６５０の圧縮量を判断できない。
【００１０】
つまり、図１５に示すような構成では、推力Ｆ１２を発生させるために必要な固定ゴム６５０の圧縮量を把握できない。この場合には、固定ゴム６５０の自然長を長くして圧縮量を増やし、推力Ｆ１２を確保する必要がある（余裕代を設ける必要がある）。
すなわち、シリンダ６４０は、余裕代を押し切るための推力ΔＦがさらに必要となる（図１５に示す推力Ｎ６３・Ｎ６４参照）。
【００１１】
以上のように、特許文献１に開示される漏れ試験装置は、開口部をシールするための推力よりも大きな推力を有する駆動手段が必要であった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１２】
【特許文献１】特開２００２−３２８０６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
本発明は、以上の如き状況を鑑みてなされたものであり、シール時に要する駆動手段の推力を低減できる漏れ検査装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
請求項１においては、ワークの一側面に形成される開口部をシールして、前記ワークの漏れを検査する漏れ検査装置であって、前記ワークの一側面に対して対向する側に配置されるプレートと、前記ワークに対する近接離間方向に沿って前記プレートに対して相対的に移動可能に、前記プレートの前記ワークの一側面に対して対向する側に支持されるシール手段と、前記プレートを支持し、前記プレートおよび前記シール手段を前記ワークに対して近接離間させる駆動手段と、を具備し、前記漏れ検査装置には、前記シール手段が摺動可能に嵌入される圧力室が形成され、前記シール手段は、前記開口部と前記圧力室とを連通可能な形状に形成され、前記漏れ検査装置は、前記駆動手段を駆動させ、前記開口部に前記シール手段が当接するまで前記プレートを前記ワークに接近させ、検査流体が前記ワークに導入されるときに、前記シール手段を介して前記検査流体を前記圧力室に導入し、前記圧力室からの前記検査流体の圧力で前記シール手段を押圧することで、前記開口部をシールする、ものである。
【００１５】
請求項２においては、前記ワークの一側面には、前記開口部が複数形成され、前記漏れ検査装置は、前記各開口部のうち、少なくともいずれか一つを前記シール手段によってシールする、ものである。
【００１６】
請求項３においては、前記ワークには、シール部の位置が前記プレートに対する近接離間方向に異なる少なくとも二つの開口部が形成される、ものである。
【００１７】
請求項４においては、前記駆動手段は、一端部が前記プレートに連結されるロッドを備え、前記ロッドを所定の位置でロック可能なロックシリンダであり、前記漏れ検査装置は、全ての前記開口部を前記シール手段によってシールする、ものである。
【００１８】
請求項５においては、前記ワークの一側面には、前記開口部が一つだけ形成され、前記駆動手段は、一端部が前記プレートに連結されるロッドを備え、前記ロッドを所定の位置でロック可能なロックシリンダである、ものである。
【発明の効果】
【００１９】
本発明は、シール時に要する駆動手段の推力を低減できる、という効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】漏れ検査装置を示す断面図。（ａ）全体的な構成を示す図。（ｂ）摺動ユニットの受圧面積を示す図。
【図２】漏れ検査の手順を示すフローチャート図。
【図３】漏れ検査装置の動作を示す説明図。（ａ）移動前の図。（ｂ）移動後の図。
【図４】各開口部をシールする状態を示す図。
【図５】第一開口部に対する第二開口部の公差を吸収する状態を示す説明図。（ａ）公差がない第二開口部を示す図。（ｂ）第一開口部から離れている第二開口部を示す図。（ｃ）第一開口部に対して接近している第二開口部を示す図。
【図６】第二実施形態の漏れ検査装置の動作を示す図。
【図７】第三実施形態の漏れ検査装置で第一開口部をシールする状態を示す図。
【図８】第三実施形態の漏れ検査装置で第二開口部をシールする状態を示す図。
【図９】第三実施形態の漏れ検査装置で第三開口部をシールする状態を示す図。
【図１０】第四実施形態の漏れ検査装置の動作を示す図。（ａ）第一開口部をシールする状態を示す図。（ｂ）第二開口部をシールする状態を示す図。
【図１１】第五実施形態の漏れ検査装置の動作を示す図。（ａ）全体的な構成を示す図。（ｂ）各開口部をシールする状態を示す図。
【図１２】第五実施形態の漏れ検査装置で一つの開口部をシールする状態を示す図。（ａ）シール前の状態を示す図。（ｂ）シール時の状態を示す図。
【図１３】漏れ検査装置のユニット化に関する説明図。
【図１４】従来技術において、バネによって第二開口部をシールする場合の構成を示す断面図。（ａ）公差がない第二開口部を示す図。（ｂ）第一開口部から離れている第二開口部を示す図。（ｃ）第一開口部に対して接近している第二開口部を示す図。
【図１５】従来技術において、固定ゴムによって各開口部をシールする場合の構成を示す断面図。（ａ）公差がない第二開口部を示す図。（ｂ）第一開口部から離れている第二開口部を示す図。（ｃ）第一開口部に対して接近している第二開口部を示す図。
【図１６】ゴムの圧縮特性を示す図。
【図１７】個別のシリンダを用いて各開口部をシールする状態を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下では、漏れ検査装置について説明する。
【００２２】
本発明の漏れ検査装置は、ワークの一側面に形成される開口部をシールして、ワークの漏れを検査するためのものである。
【００２３】
なお、本実施形態において、ワークはシリンダブロックであるものとするが、これに限定されるものでない。
また、漏れ検査装置は、エンジンの製造ラインに設置されるものとする。
【００２４】
第一実施形態の漏れ検査装置１は、ワークＷ１０の右側面に形成される第一開口部Ｗ１１および第二開口部Ｗ１２をシールするためのものである（図４参照）。
【００２５】
まず、各開口部Ｗ１１・Ｗ１２について説明する。
【００２６】
図１（ａ）に示すように、第一開口部Ｗ１１は、ワークＷ１０の右側面より右方向に突出する部分の先端部にて、ワークＷ１０より外部に開口する。
【００２７】
第二開口部Ｗ１２は、ワークＷ１０の右側面における第一開口部Ｗ１１の下方の部分より右方向に突出する部分の先端部にて、ワークＷ１０より外部に開口する。第二開口部Ｗ１２は、第一開口部Ｗ１１よりも左方に配置される。
すなわち、第二開口部Ｗ１２は、第一開口部Ｗ１１よりも左方向に所定の長さだけオフセットされた位置に配置される。
【００２８】
このように、第一実施形態のワークＷ１０には、シール部（つまり、右端部）の位置が左右方向に異なる少なくとも二つの開口部Ｗ１１・Ｗ１２が形成される。
【００２９】
各開口部Ｗ１１・Ｗ１２は、シリンダブロックの内部で互いに連通している。従って、各開口部Ｗ１１・Ｗ１２は、検査時に同時にシールされる。
【００３０】
次に、第一実施形態の漏れ検査装置１の構成について説明する。
【００３１】
漏れ検査装置１は、プレート１０、固定ゴム２０、摺動ユニット３０、およびシリンダ４０を具備する。
【００３２】
プレート１０は、ワークＷ１０の右方に配置される。すなわち、プレート１０は、ワークＷ１０の右側面に対して対向する側に配置される。プレート１０は、略直方体状の部材の左側面を部分的に切り欠いたような形状に形成される。プレート１０は、当該切欠部分が凹部１１として形成される。
【００３３】
凹部１１は、左側面視略円状に形成される窪みである。凹部１１は、プレート１０の左側面からプレート１０の右側まで右方向に沿って延出する。
【００３４】
固定ゴム２０は、プレート１０の左側面の上側に固定される。固定ゴム２０の左方には、第一開口部Ｗ１１が位置する。固定ゴム２０は、圧縮されることで第一開口部Ｗ１１をシール可能な形状、例えば、第一開口部Ｗ１１の内径寸法よりも大きな外径寸法を有する略円板状や第一開口部Ｗ１１と略同一の形状（つまり、略リング状）に形成される。
【００３５】
シール手段としての摺動ユニット３０は、プレート１０の左側面の下側に配置される。摺動ユニット３０の左方には、第二開口部Ｗ１２が位置する。摺動ユニット３０は、摺動部材３１およびシール部材３２を備える。
【００３６】
摺動部材３１は、摺動ユニット３０の右側に配置される。図１に示すように、摺動部材３１は、左側部と右側部とで外径寸法が異なる略筒状の部材である。摺動部材３１の右側部の外径は左側部の外径よりも大径に形成されている。
摺動部材３１の右側部の外径寸法には、凹部１１の内径寸法と略同一の寸法が設定される。摺動部材３１の内径寸法には、第二開口部Ｗ１２の内径寸法と略同一の寸法が設定される。
【００３７】
摺動部材３１は、右側部の外周面にＯリングが取り付けられ、凹部１１に摺動可能に嵌入されている。摺動部材３１と凹部１１の底部（右側部）との間には、左右方向に沿った所定の隙間（空間）が形成される。
【００３８】
これにより、漏れ検査装置１は、凹部１１および摺動部材３１の左右方向に沿った隙間（空間）にエア等の検査流体Ｐ１０（図４参照）を封入可能に構成される。
【００３９】
第一実施形態において、前記隙間（空間）は、摺動部材３１が摺動可能に嵌入される圧力室１２として形成される。
また、摺動ユニット３０は、左右方向（つまり、ワークＷ１０に対する近接離間方向）に沿ってプレート１０に対して相対的に移動可能に、プレート１０の左側面（ワークＷ１０の右側面に対して対向する側）に支持される。
【００４０】
なお、圧力室を形成する手段は、第一実施形態に限定されるものでない。
すなわち、漏れ検査装置は、プレートに取り付けられる略筒状の連結部材に、摺動ユニットを摺動可能に嵌入し、プレート、連結部材、および摺動ユニットで囲まれる空間を圧力室として形成しても構わない（図１３に示す摺動ユニット３０、連結部材５１、プレート５１０参照）。
【００４１】
シール部材３２は、摺動ユニット３０の左側に配置される。シール部材３２は、左側部と右側部とで内径寸法が異なる略筒状の部材である。シール部材３２の右側部の内径は左側部の内径よりも大径に形成されている。シール部材３２は、右端部が摺動部材３１の左側部に挿入され、摺動部材３１と連通する。シール部材３２は、ゴム等の弾性体によって構成される。
シール部材３２の右端部は、圧縮されることで第二開口部Ｗ１２をシール可能な形状、例えば、第二開口部Ｗ１２と略同一の形状に形成される。
【００４２】
このように、摺動ユニット３０は、第二開口部Ｗ１２と当接したときに、第二開口部Ｗ１２と圧力室１２とを連通可能な形状に形成される。
【００４３】
なお、摺動ユニットは、摺動部材とシール部材とを一体的に構成しても構わない。
また、摺動ユニットは、圧力室と連通可能な形状であれば、その内側の形状は第一実施形態に限定されるものでない。
【００４４】
駆動手段としてのシリンダ４０は、プレート１０の右方に配置され、所定の筐体に支持される。シリンダ４０は、その左側より突出するロッド４１を備える。シリンダ４０は、ロッド４１の左端部がプレート１０の右側面に連結されることにより、プレート１０を支持する。
すなわち、プレート１０および摺動ユニット３０は、シリンダ４０のロッド４１の伸縮動作によって、ワークＷ１０に対して近接離間可能に構成される。
【００４５】
プレート１０をワークＷ１０に接近させたとき、摺動ユニット３０は、固定ゴム２０が第一開口部Ｗ１１に当接する前に、シール部材３２が第二開口部Ｗ１２に当接するように、その配置位置が調整されている。
【００４６】
次に、第一実施形態の漏れ検査装置１の動作について説明する。
【００４７】
なお、以下では、第一開口部Ｗ１１をシールするために必要な推力をＦ１１、第二開口部Ｗ１２をシールするために必要な推力をＦ１２とする。また、各推力Ｆ１１・Ｆ１２は、検査時の反力を含むものとする。
【００４８】
まず、漏れ検査装置１は、図２に示すように、製造ラインより搬送されるワークＷ１０を加圧する（Ｓ１０）。
【００４９】
すなわち、漏れ検査装置１は、図３（ａ）に示すように、シリンダ４０を駆動させ（左方向への推力を発生させ）、プレート１０をワークＷ１０に接近させる。
このとき、固定ゴム２０が第一開口部Ｗ１１に当接する前に、シール部材３２は第二開口部Ｗ１２に当接する。
【００５０】
その後、図３（ｂ）に示すように、漏れ検査装置１は、プレート１０をさらにワークＷ１０に接近させ、固定ゴム２０を第一開口部Ｗ１１に当接させる。
このとき、摺動ユニット３０は、既に第二開口部Ｗ１２に当接しているため、凹部１１を右方向に所定量だけ摺動する。
【００５１】
これにより、漏れ検査装置１は、第一開口部Ｗ１１に固定ゴム２０を当接させるとともに、第二開口部Ｗ１２に摺動ユニット３０のシール部材３２を当接させる。
【００５２】
プレート１０を接近させた後で、図４に示すように、ワークＷ１０には、検査流体Ｐ１０が導入される。
【００５３】
このとき、第二開口部Ｗ１２と圧力室１２とが互いに連通されているため、検査流体Ｐ１０は、摺動ユニット３０を介して圧力室１２にも導入される。また、シリンダ４０は、左方向への推力を発生させ、プレート１０が右方向へ移動しないようにプレート１０を支持している。
従って、摺動ユニット３０は、左方向に押圧され、シール部材３２が第二開口部Ｗ１２に押し付けられる。
【００５４】
このように、漏れ検査装置１は、圧力室１２からの圧力で摺動ユニット３０を左方向に押圧することで、シール部材３２を圧縮して第二開口部Ｗ１２をシールする。
【００５５】
ここで、摺動ユニット３０を押圧する力は、摺動ユニット３０の受圧面積Ａ（摺動部材３１の右側面の面積（図１（ｂ）参照））と検査流体Ｐ１０の圧力との積によって決定する。
また、検査流体Ｐ１０の圧力は、試験に応じて予め所定の大きさが設定されている。
【００５６】
そこで、漏れ検査装置１は、第二開口部Ｗ１２をシールするための推力Ｆ１２を、検査流体Ｐ１０の圧力で除した結果を、摺動ユニット３０の受圧面積Ａとして設定している。
このため、漏れ検査装置１は、検査流体Ｐ１０が導入されたときに、推力Ｆ１２が発生する程度にシール部材３２を圧縮できる。つまり、漏れ検査装置１は、第二開口部Ｗ１２を最適な力でシールできる。
【００５７】
また、検査流体Ｐ１０が導入されるとき、シリンダ４０は、左方向への推力を発生させて固定ゴム２０を圧縮し、その推力で第一開口部Ｗ１１をシールする。
前述のように、漏れ検査装置１は、推力Ｆ１２を発生させて第二開口部Ｗ１２をシールしている。つまり、第二開口部Ｗ１２をシールするときにプレート１０に作用する右方向への反力は、推力Ｆ１２と同じ大きさである（図４に示す右方向への反力Ｈ１２参照）。
【００５８】
このため、シリンダ４０は、推力Ｆ１１＋Ｆ１２と同じ大きさの左方向への推力Ｎ１０を発生させるだけで、推力Ｆ１１が発生する程度に固定ゴム２０を圧縮できる（図４に示す右方向への反力Ｈ１１参照）。
【００５９】
漏れ検査装置１は、このようにして各開口部Ｗ１１・Ｗ１２をシールして、ワークＷ１０を加圧する。
【００６０】
ワークＷ１０を加圧した後で、漏れ検査装置１は、図２に示すように、所定の検出装置によってワークＷ１０の漏れ量を検出する（Ｓ２０）。
【００６１】
ワークＷ１０の漏れ量を検出した後で、漏れ検査装置１は、ワークＷ１０の漏れ量に基づいてワークＷ１０に漏れがあるかを判定する（Ｓ３０）。
【００６２】
仮に、ワークＷ１０の漏れ量が所定の閾値以下である場合、漏れ検査装置１は、ワークＷ１０の漏れがないと判定し、シリンダ４０を駆動させてプレート１０をワークＷ１０から離間させ、ワークＷ１０を次工程へ搬送する（Ｓ３０：Ｎｏ、Ｓ４０）。
【００６３】
一方、ワークＷ１０の漏れ量が所定の閾値を超えた場合、漏れ検査装置１は、ワークＷ１０に漏れがあると判定し、シリンダ４０を駆動させてプレート１０をワークＷ１０から離間させ、ワークＷ１０をＮＧワークとして製造ラインから払い出す（Ｓ３０：Ｙｅｓ、Ｓ５０）。つまり、漏れ検査装置１は、ワークＷ１０を次工程へ搬送しない。
【００６４】
漏れ検査装置１は、このようなステップＳ１０〜Ｓ５０を行うことで、ワークＷ１０の漏れを製造ラインで連続して検査する。
【００６５】
摺動ユニット３０には、両端部が凹部１１の底部および摺動部材３１の右側面に取り付けられ、摺動ユニット３０を左方向に付勢するバネが取り付けられている。
このため、プレート１０をワークＷ１０から離間させたとき、摺動ユニット３０は、バネによって左方向に付勢され、所定の位置（図１（ａ）に示す位置）に戻される。
【００６６】
ここで、例えば、第二開口部Ｗ１２が、正規の寸法（図５（ａ）に示す第二開口部Ｗ１２の寸法）よりも公差ｄだけ第一開口部Ｗ１１側から離れている場合、図５（ａ）および図５（ｂ）に示すように、第二開口部Ｗ１２は、摺動ユニット３０に対して最も離間する。
【００６７】
このような場合において、プレート１０接近時に、シール部材３２が比較的遅い段階で第二開口部Ｗ１２に当接するため、摺動ユニット３０の摺動量は、公差ｄだけ減少する（図５に示す矢印ｄ参照）。
【００６８】
一方、図５（ｃ）に示すように、第二開口部Ｗ１２が、正規の寸法（図５（ａ）に示す第二開口部Ｗ１２の寸法）よりも公差ｄだけ第一開口部Ｗ１１側に接近している場合、シール部材３２が比較的早い段階で第二開口部Ｗ１２に当接するため、摺動ユニット３０の摺動量は、公差ｄだけ増加する（図５に示す矢印２ｄ参照）。
【００６９】
前述のように、摺動ユニット３０を押圧する力は、検査流体Ｐ１０の圧力と受圧面積Ａとによって決定する。
従って、図５（ｂ）および図５（ｃ）に示すように、漏れ検査装置１は、第二開口部Ｗ１２の公差ｄ（摺動ユニット３０の摺動量）に関わらず、ワークＷ１０に検査流体Ｐ１０が導入されたときに、推力Ｆ１２が発生する程度にシール部材３２を圧縮する（図５に示す推力Ｆ２１参照）。
【００７０】
また、固定ゴム２０は、第二開口部Ｗ１２の公差ｄに関わらず、同じように第一開口部Ｗ１１に当接している。従って、漏れ検査装置１は、推力Ｆ１１が発生させるために、左方向への大きな推力を発生させてシール部材３２を押し切る必要はない。
【００７１】
このため、シリンダ４０は、第二開口部Ｗ１２の公差ｄに関わらず、推力Ｆ１１＋Ｆ１２と同じ大きさの左方向への推力Ｎ１０を発生させるだけで、各開口部Ｗ１１・Ｗ１２をシールできる（図５に示す右方向への反力Ｈ１１・Ｈ１２参照）。
【００７２】
このように、漏れ検査装置１は、シール部の位置が左右方向に異なる各開口部Ｗ１１・Ｗ１２をシールする場合において、摺動ユニット３０の摺動量によって、第二開口部Ｗ１２の公差ｄを吸収できる。
従って、シリンダ４０は、従来技術にあるような公差ｄを吸収するための推力を排除できる（図１４（ｃ）に示す推力Ｎ６２および図１５（ｃ）に示す推力Ｎ６４参照）。
【００７３】
また、漏れ検査装置１は、摺動ユニット３０の受圧面積Ａおよび検査流体Ｐ１０の圧力に応じた力で、常にシール部材３２を圧縮できる。つまり、漏れ検査装置１は、常に推力Ｆ１２を発生させて第二開口部Ｗ１２をシールできる。
従って、漏れ検査装置１は、シール部材３２の圧縮特性を考慮する必要がなくなるため、従来技術にあるような余裕代を押し切るための推力ΔＦ（図１５および図１６参照）を排除できる。
【００７４】
つまり、漏れ検査装置１は、シール時に要するシリンダ４０の推力を低減できる。従って、漏れ検査装置１は、シリンダ４０およびシリンダ４０を支持する筐体を小型化できるとともに、コストを低減できる。
【００７５】
これによれば、漏れ検査装置１は、固定ゴム２０およびシール部材３２に対して過大な負荷がかかることを防止できる。
従って、漏れ検査装置１は、固定ゴム２０およびシール部材３２の劣化を抑制でき、劣化に起因するリークの発生を防止できる。
【００７６】
また、連続使用によって固定ゴム２０およびシール部材３２に永久ひずみが発生し、その自然長が変化した場合でも、漏れ検査装置１は、摺動ユニット３０の摺動量で永久ひずみによる圧縮量の変動に対応できる。
従って、シリンダ４０は、固定ゴム２０およびシール部材３２に永久ひずみが発生した場合でも、推力Ｆ１１＋Ｆ１２と同じ大きさの左方向への推力Ｎ１０を発生させるだけで、各開口部Ｗ１１・Ｗ１２をシールできる。
【００７７】
このため、漏れ検査装置１は、各開口部Ｗ１１・Ｗ１２を安定してシールできるとともに、固定ゴム２０およびシール部材３２の交換頻度を低減できる。
【００７８】
ここで、第二開口部Ｗ１２の公差ｄを吸収するために、図１７に示すように、二つのシリンダを用いて各開口部Ｗ２１・Ｗ２２を個別にシールするような構成が考えられる。このような構成においては、制御部によって二つのエア供給源を制御して、各シリンダを個々に駆動させて二つの可動ゴムを圧縮し、その推力で各開口部Ｗ１１・Ｗ１２をシールする。
この場合には、各シリンダを制御する制御部および、各シリンダにエアを供給する二つのエア供給源が必要となってしまう。
【００７９】
一方、漏れ検査装置１は、図４に示すように、一つのシリンダ４０によって各開口部Ｗ１１・Ｗ１２をシールできる。
従って、漏れ検査装置１は、個別にシリンダを用いて各開口部Ｗ１１・Ｗ１２をシールする場合と比較して、構成を簡素化できるとともに、コストを低減できる。
【００８０】
なお、漏れ検査装置は、第一開口部を摺動ユニットによってシールするとともに、第二開口部を固定ゴムによってシールしても構わない。すなわち、漏れ検査装置は、各開口部のうちいずれか一方を摺動ユニットによってシールすればよい。
【００８１】
次に、第二実施形態の漏れ検査装置１０１について説明する。
【００８２】
図６に示すように、第二実施形態の漏れ検査装置１０１は、外側開口部Ｗ２１と、外側開口部Ｗ２１の内側に形成される内側開口部Ｗ２２とをシールする点、および内側開口部Ｗ２２からワークＷ２０に検査流体Ｐ２２を導入する点が、第一実施形態の漏れ検査装置１と異なる点である。
【００８３】
各開口部Ｗ２１・Ｗ２２は、右側面視略円状に形成される。
内側開口部Ｗ２２は、外側開口部Ｗ２１よりも左方向に所定の長さだけオフセットされた位置に配置される。内側開口部Ｗ２２は、第一実施形態の第二開口部Ｗ１２と略同一の形状に形成される。
【００８４】
このような各開口部Ｗ２１・Ｗ２２は、シリンダブロックの内部で互いに連通していない。すなわち、各開口部Ｗ２１・Ｗ２２は、別々の系統である。
また、漏れ検査装置１０１は、各開口部Ｗ２１・Ｗ２２に対応する系統の漏れを同時に検査する。
【００８５】
第二実施形態の漏れ検査装置１０１は、外側開口部Ｗ２１を固定ゴム１２０によってシールするとともに、内側開口部Ｗ２２を摺動ユニット１３０によってシールする。
【００８６】
固定ゴム１２０は、外側開口部Ｗ２１をシールできるような略リング状に形成される点を除いて、第一実施形態の固定ゴム２０と同様に構成される。
【００８７】
摺動ユニット１３０は、第一実施形態の摺動ユニット３０と同様に構成される。
【００８８】
プレート１１０には、下面から圧力室１１２までを連通する連通孔１１３が形成される。
また、漏れ検査装置１０１は、連通孔１１３に接続される配管を介して、プレート１１０に検査流体Ｐ２２を導入可能に構成される。
【００８９】
次に、第二実施形態の漏れ検査装置１０１の動作について説明する。
【００９０】
なお、以下では、外側開口部Ｗ２１をシールするために必要な推力をＦ２１、内側開口部Ｗ２２をシールするために必要な推力をＦ２２とする。また、各推力Ｆ２１・Ｆ２２は、検査時の反力を含むものとする。
【００９１】
漏れ検査装置１０１は、シリンダ１４０を駆動させてプレート１１０をワークＷ２０に接近させ、各開口部Ｗ２１・Ｗ２２に固定ゴム１２０およびシール部材１３２を当接させる。
その後、漏れ検査装置１０１は、連通孔１１３に検査流体Ｐ２２を導入する。検査流体Ｐ２２は、連通孔１１３、圧力室１１２、摺動ユニット１３０の内側を順に通って内側開口部Ｗ２２に導入される。同時に、検査流体Ｐ２１は、外側開口部Ｗ２１に対応する系統に導入される。
このとき、シリンダ１４０は、左方向への推力を発生させ、プレート１１０が右方向へ移動しないようにプレート１１０を支持するとともに、固定ゴム１２０を圧縮して外側開口部Ｗ２１をシールする（図６に示す右方向への反力Ｈ２１・Ｈ２２参照）。
【００９２】
これにより、漏れ検査装置１０１は、圧力室１１２を内側開口部Ｗ２２に導入される検査流体Ｐ２２の入り口として機能させつつ、圧力室１１２からの検査流体Ｐ２２の圧力で摺動ユニット１３０を左方向に押圧する（図６に示す推力Ｆ２２参照）。
漏れ検査装置１０１は、このようにして、シール部材１３２を圧縮し、その推力Ｆ２２で内側開口部Ｗ２２をシールする。
【００９３】
このように、摺動ユニット１３０は、検査流体Ｐ２２が導入される内側開口部Ｗ２２をシール可能である。
また、摺動ユニット１３０の摺動量で外側開口部Ｗ１１に対する内側開口部Ｗ２２の公差を吸収できるため、シリンダ１４０は、前記公差に関わらず、推力Ｆ２１＋Ｆ２２と同じ大きさの左方向への推力Ｎ２０を発生させるだけで、外側開口部Ｗ２１をシールできる（図６に示す右方向への反力Ｈ２１参照）。
【００９４】
ここで、従来技術にあるようなバネを用いて内側開口部Ｗ２２をシールする場合や個別にシリンダを用いた場合、その構造上、内側開口部Ｗ２２に検査流体Ｐ２２を導入できない（図１４および図１７参照）。
【００９５】
従って、従来技術においては、二つの固定ゴムを用いて各開口部Ｗ２１・Ｗ２２をシールする必要がある（図１５参照）。
この場合には、推力Ｆ２１＋Ｆ２２と同じ大きさの左方向への推力Ｎ２０に加えて、前記公差を吸収するための推力、および余裕代を押し切るための推力を有する大きなシリンダを用いる必要がある（図１５に示す推力Ｎ６３・Ｎ６４参照）。
【００９６】
つまり、漏れ検査装置１０１は、ワークＷ２０の右側面に複数形成される各開口部Ｗ２１・Ｗ２２のうち、少なくともいずれか一つを摺動ユニット１３０によってシールすることで、バネおよび個別にシリンダを用いてシールできないような開口部をシールできる。
これによれば、漏れ検査装置１０１は、前記公差を吸収するための推力および余裕代を押し切るための推力を排除できるため、シール時に要するシリンダ１４０の推力を大きく低減できる。
【００９７】
次に、第三実施形態の漏れ検査装置２０１について説明する。
【００９８】
図７から図９に示すように、第三実施形態の漏れ検査装置２０１は、第一開口部Ｗ３１から第三開口部Ｗ３３までを順番にシールする点が、第一実施形態の漏れ検査装置１と異なる点である。
【００９９】
図７に示すように、第一開口部Ｗ３１および第二開口部Ｗ３２は、第一実施形態の各開口部Ｗ１１・Ｗ１２と略同一の形状に形成される。
【０１００】
第三開口部Ｗ３３は、第二開口部Ｗ３２の下方に配置されるとともに第二開口部Ｗ３２と略同一の形状に形成され、左右方向において第二開口部Ｗ３２と同じ位置に位置する。つまり、第三開口部Ｗ３３は、第一開口部Ｗ３１よりも左方向に所定の長さだけオフセットされた位置に配置される。
【０１０１】
このような各開口部Ｗ３１〜Ｗ３３は、シリンダブロックの内部で互いに連通していない。すなわち、各開口部Ｗ３１〜Ｗ３３は、別々の系統である。
【０１０２】
第三実施形態の漏れ検査装置２０１は、第一開口部Ｗ３１を固定ゴム２２０によってシールし、第二開口部Ｗ３２および第三開口部Ｗ３３を摺動ユニット２３０・２５０によってシールする。
【０１０３】
プレート２１０には、凹部２１１の下方に、凹部２１３が形成される。凹部２１３は、第三開口部Ｗ３３の右方に配置される点を除いて第一実施形態の凹部１１と同様に構成される。
【０１０４】
固定ゴム２２０は、第一実施形態の固定ゴム２０と同様に構成される。
【０１０５】
摺動ユニット２３０は、第一実施形態の摺動ユニット３０と同様に構成される。
【０１０６】
摺動ユニット２５０は、凹部２１３を摺動する点を除いて、第一実施形態の摺動ユニット３０と同様に構成される。
【０１０７】
すなわち、漏れ検査装置２０１には、摺動ユニット２３０が摺動可能に嵌入される圧力室２１２、および摺動ユニット２５０が摺動可能に嵌入される圧力室２１４が形成される。
【０１０８】
このように、左右方向において同じ位置に配置される第二開口部Ｗ３２および第三開口部Ｗ３３を摺動ユニット２３０・２５０によってシールすることで、漏れ検査装置２０１は、第一開口部Ｗ３１に対する第二開口部Ｗ３２および第三開口部Ｗ３３の公差を、摺動ユニット２３０・２５０の摺動量で吸収する構成としている（図３参照）。
【０１０９】
次に、第三実施形態の漏れ検査装置２０１の動作について説明する。
【０１１０】
なお、以下では、第一開口部Ｗ３１をシールするために必要な推力をＦ３１、第二開口部Ｗ１２をシールするために必要な推力をＦ３２、第三開口部Ｗ３３をシールするために必要な推力をＦ３３とする。また、各推力Ｆ３１〜Ｆ３３は、検査時の反力を含むものとする。
【０１１１】
漏れ検査装置２０１は、シリンダ２４０を駆動させてプレート２１０をワークＷ３０に接近させ、各開口部Ｗ３１〜Ｗ３３に固定ゴム２２０およびシール部材２３２・２５２を当接させる。
【０１１２】
その後、漏れ検査装置２０１は、第一開口部Ｗ３１に対応する系統を加圧して、第一開口部Ｗ３１に対応する系統の漏れを検査する。
【０１１３】
すなわち、シリンダ２４０は、左方向への推力を発生させて固定ゴム２２０を圧縮し、第一開口部Ｗ３１をシールする（図７に示す右方向への反力Ｈ３１参照）。
このとき、圧力室２１２・２１４に検査流体Ｐ３２・Ｐ３３（図８および図９参照）が導入されていないため、摺動ユニット２３０・２５０は、固定ゴム２２０の圧縮量だけ凹部２１１・２１３を右方向に摺動する。つまり、シール部材２３２・２５２は、固定ゴム２２０とともに圧縮されない。
【０１１４】
従って、シリンダ２４０は、第一開口部Ｗ３１に対応する系統を検査するときに、推力Ｆ３１と同じ大きさの左方向への推力Ｎ３１を発生させるだけで、第一開口部Ｗ３１をシールできる。
【０１１５】
次に、漏れ検査装置２０１は、図８に示すように、第一開口部Ｗ３１に対応する系統への加圧を終了して大気開放し、第二開口部Ｗ３２に対応する系統の漏れを検査する。
【０１１６】
すなわち、漏れ検査装置２０１は、第二開口部Ｗ３２に対応する系統に検査流体Ｐ３２を導入することで、圧力室２１２からの検査流体Ｐ３２の圧力で摺動ユニット２３０を左方向に押圧して第二開口部Ｗ３２をシールする（図８に示す推力Ｆ３２参照）。
このとき、摺動ユニット２３０は、シール部材２３２の圧縮量だけ、プレート２１０（固定ゴム２２０）および摺動ユニット２５０に対して相対的に左方向に移動する。
【０１１７】
従って、シリンダ２４０は、第二開口部Ｗ３２に対応する系統を検査するときに、推力Ｆ３２と同じ大きさの左方向への推力Ｎ３２を発生させるだけで、第二開口部Ｗ３２をシールできる（図８に示す推力Ｆ３２および右方向への反力Ｈ３２参照）。
これは、第三開口部Ｗ３３をシールする場合においても同様である（図９に示す検査流体Ｐ３３、推力Ｆ３３、右方向への反力Ｈ３３、および推力Ｎ３３参照）。
【０１１８】
このように、漏れ検査装置２０１は、摺動ユニット２３０・２５０によって第二開口部Ｗ３２および第三開口部Ｗ３３をシールすることで、各開口部Ｗ３１〜Ｗ３３を選択的にシールできる。
【０１１９】
これによれば、漏れ検査装置２０１は、シール時に要するシリンダ２４０の推力を低減できる。具体的には、漏れ検査装置２０１は、シリンダ２４０の推力を、各推力Ｆ３１〜Ｆ３３の最大値と同一の大きさの推力まで低減できる。
【０１２０】
なお、漏れ検査装置は、三つの摺動ユニットによって各開口部をシールした場合でも、各開口部を選択的にシールできる。
つまり、漏れ検査装置は、全ての開口部、あるいは、一つの系統に対応する開口部を除く開口部を、摺動ユニットでシールすることで、開口部の漏れを系統毎に検出する場合において、各開口部を選択的にシールできる。
【０１２１】
次に、第四実施形態の漏れ検査装置３０１について説明する。
【０１２２】
図１０に示すように、第四実施形態の漏れ検査装置３０１は、負圧検査が行われる第一開口部Ｗ４１と、正圧検査が行われる第二開口部Ｗ４２と、を順番にシールする点が、第一実施形態の漏れ検査装置１と異なる点である。
【０１２３】
第一開口部Ｗ４１は、内径寸法が第一実施形態の第一開口部Ｗ１１の内径寸法よりも大きい点を除いて、第一実施形態の第一開口部Ｗ１１と同様に構成される。
【０１２４】
第二開口部Ｗ４１は、第一実施形態の第二開口部Ｗ１１と同様に構成される。
【０１２５】
このような各開口部Ｗ４１・Ｗ４２は、シリンダブロックの内部で互いに連通していない。すなわち、各開口部Ｗ４１・Ｗ４２は、別々の系統である。
【０１２６】
第四実施形態の漏れ検査装置３０１は、第一開口部Ｗ４１を固定ゴム３２０によってシールし、第二開口部Ｗ４２を摺動ユニット３３０によってシールする。
【０１２７】
固定ゴム３２０は、第一開口部Ｗ４１をシールできるような形状に形成される点を除いて、第一実施形態の固定ゴム２０と同様に構成される。
【０１２８】
摺動ユニット３３０は、第一実施形態の摺動ユニット３０と同様に構成される。
【０１２９】
次に、第四実施形態の漏れ検査装置３０１の動作について説明する。
【０１３０】
なお、以下では、第二開口部Ｗ４２をシールするために必要な推力をＦ４２とする。また、推力Ｆ４２は、検査時の反力を含むものとする。
【０１３１】
図１０（ａ）に示すように、漏れ検査装置３０１は、シリンダ３４０を駆動させてプレート３１０をワークＷ４０に接近させ、各開口部Ｗ４１・Ｗ４２に固定ゴム３２０およびシール部材３３２を当接させる。
【０１３２】
その後、漏れ検査装置３０１は、第一開口部Ｗ４１に対応する系統を減圧して、第一開口部Ｗ４１に対応する系統の漏れを検査する。
【０１３３】
このとき、プレート３１０が第一開口部Ｗ４１より吸引され、固定ゴム３２０は、第一開口部Ｗ４１に押し付けられて圧縮される。
また、圧力室３１２に検査流体Ｐ４２が導入されていないため、摺動ユニット３３０は、固定ゴム３２０の圧縮量に応じて凹部３１１を右方向に摺動する。つまり、シール部材３３２は、負圧検査時に圧縮されない。
【０１３４】
このため、漏れ検査装置３０１は、第一開口部Ｗ４１に対応する系統を検査するときに、減圧による吸引力Ｑだけで第一開口部Ｗ４１をシールできる。
従って、第一開口部Ｗ４１に対応する系統を検査するとき、シリンダ３４０は駆動しない。
【０１３５】
次に、漏れ検査装置３０１は、図１０（ｂ）に示すように、第二開口部Ｗ４２に対応する系統の漏れを検査する。
【０１３６】
すなわち、漏れ検査装置３０１は、第二開口部Ｗ４２に対応する系統に検査流体Ｐ４２を導入することで、圧力室３１２からの検査流体Ｐ４２の圧力で摺動ユニット３３０を左方向に押圧して第二開口部Ｗ４２をシールする（図１０（ｂ）に示す推力Ｆ４２参照）。
【０１３７】
漏れ検査装置３０１は、第一開口部Ｗ４１に対応する系統を減圧したままで、このような第二開口部Ｗ４２に対応する系統の漏れを検査する。
【０１３８】
これによれば、漏れ検査装置３０１は、第二開口部Ｗ４２をシールするときに、プレート３１０に対して作用する右方向への反力Ｈ４２を、吸引力Ｑで打ち消すことができる。
従って、シリンダ３４０は、推力Ｆ４２から吸引力Ｑを減じた大きさの左方向への推力Ｎ４０を発生させるだけで、第二開口部Ｗ４２をシールできる。
【０１３９】
仮に、吸引力Ｑの大きさが推力Ｆ４２以上の大きさである場合、漏れ検査装置３０１は、第二開口部Ｗ４２をシールするときに、シリンダ３４０を駆動させる必要がなくなる。
つまり、この場合、シリンダ３４０は、プレート３１０を移動できる程度の推力を発生可能であればよい。
【０１４０】
このように、漏れ検査装置３０１は、負圧検査および正圧検査を行う場合において、負圧検査時の吸引力Ｑを保持した状態で、正圧検査を行う第二開口部Ｗ４２を摺動ユニット３３０によってシールすることで、シリンダ３４０の推力を効果的に低減できる。
これによれば、漏れ検査装置３０１は、シリンダヘッドのように正圧検査および負圧検査を行うワークＷ４０を検査する場合において、シール時に要するシリンダ３４０の推力を効果的に低減できる。
特に、吸引力Ｑの大きさが推力Ｆ４２以上の大きさである場合、漏れ検査装置３０１は、プレート３１０を移動可能な推力までシリンダ３４０の推力を低減できる。
【０１４１】
次に、第五実施形態の漏れ検査装置４０１について説明する。
【０１４２】
図１１に示すように、第五実施形態の漏れ検査装置４０１は、シリンダ４４０としてロックシリンダを採用している点、および各開口部Ｗ５１・Ｗ５２をともに摺動ユニット４３０・４５０によってシールする点が、第一実施形態の漏れ検査装置１と異なる点である。
【０１４３】
各開口部Ｗ５１・Ｗ５２は、第一実施形態の各開口部Ｗ１１・Ｗ１２と略同一の形状に形成される。
【０１４４】
プレート４１０には、凹部４１１・４１３が形成される。凹部４１１は、第一開口部Ｗ４１の右方に配置される点を除いて第一実施形態の凹部１１と同様に構成される。凹部４１３は、第一実施形態の凹部１１と同様に構成される。
【０１４５】
摺動ユニット４３０は、凹部４１１を摺動する点を除いて、第一実施形態の摺動ユニット３０と同様に構成される。
【０１４６】
摺動ユニット４５０は、第一実施形態の摺動ユニット３０と同様に構成される。
【０１４７】
すなわち、漏れ検査装置４０１には、摺動ユニット４３０が摺動可能に嵌入される圧力室４１２および摺動ユニット４５０が摺動可能に嵌入される圧力室４１４が形成される。
【０１４８】
次に、第五実施形態の漏れ検査装置４０１の動作について説明する。
【０１４９】
なお、以下では、第一開口部Ｗ５１をシールするために必要な推力をＦ５１、第二開口部Ｗ５２をシールするために必要な推力をＦ５２とする。また、各推力Ｆ５１・Ｆ５２は、検査時の反力を含むものとする。
【０１５０】
図１１（ａ）に示すように、漏れ検査装置４０１は、シリンダ４４０を駆動させてプレート４１０をワークＷ５０に接近させ、各開口部Ｗ５１・Ｗ５２にシール部材４３２・４５２を当接させる。
その後、図１１（ｂ）に示すように、漏れ検査装置４０１は、シリンダ４４０のロッド４４１を右方向へ移動不能にロックする（図１１（ｂ）に示すロック４４２参照）。
【０１５１】
シリンダ４４０のロッド４４１をロックした後で、漏れ検査装置４０１は、ワークＷ５０に検査流体Ｐ５０を導入し、圧力室４１２・４１４からの検査流体Ｐ５０の圧力で摺動ユニット４３０・４５０を左方向に押圧して各開口部Ｗ５１・Ｗ５２をシールする（図１１（ｂ）に示す推力Ｆ５１・Ｆ５２参照）。
【０１５２】
これによれば、漏れ検査装置４０１は、各開口部Ｗ５１・Ｗ５２をシールするときに、プレート４１０に対して作用する右方向への反力Ｈ５１・Ｈ５２を、ロック４４２で受けることができる。
【０１５３】
従って、漏れ検査装置４０１は、各開口部Ｗ５１・Ｗ５２をシールするときに、シリンダ４４０を駆動させる必要がなくなる。
つまり、漏れ検査装置４０１は、プレート４１０を移動可能な推力までシリンダ４４０の推力を低減できる。
【０１５４】
このように、シリンダ４４０は、左端部がプレート４１０に連結されるロッド４４１を備え、ロッド４４１を所定の位置でロック可能なロックシリンダである。
また、漏れ検査装置４０１は、全ての開口部Ｗ５１・Ｗ５２を、摺動ユニット４３０・４５０によってシールする。
【０１５５】
なお、図１２に示すように、シリンダ４４０がロックシリンダである場合、ワークＷ５０の右側面に第一開口部Ｗ５１だけが形成される（一側面に開口部が一つだけ形成される）場合においても、漏れ検査装置４０１は、第一開口部Ｗ５１をシールするときに、シリンダ４４０を駆動させる必要がなくなる。
つまり、漏れ検査装置４０１は、プレート４１０を移動可能な推力までシリンダ４４０の推力を低減できる。
【０１５６】
また、漏れ検査装置は、図１３に示すように、受圧面積Ａ毎に摺動ユニット３０を標準化し、右端部にフランジ部が形成される略筒状の連結部材５１を介してプレート５１０に取り付ける構成であっても構わない（図１３に示すユニット５０Ａ・５０Ｂ参照）。
【０１５７】
これによれば、漏れ検査装置は、開口部をシールするために必要な推力からユニット５０Ａ・５０Ｂを選定できるため、設計工程を短縮できる。また、漏れ検査装置は、そのコストを低減できるとともに、既存の設備に対して容易に展開できる。
【符号の説明】
【０１５８】
１      漏れ検査装置
１０    プレート
１２    圧力室
３０    摺動ユニット（シール手段）
４０    シリンダ（駆動手段）
Ｐ１０  検査流体
Ｗ１０  ワーク
Ｗ１２  第二開口部（開口部）
【図１】
2014020834.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
2014020834.tif 000012
【図１１】
2014020834.tif 000013
【図１２】
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【図１３】
2014020834.tif 000015
【図１４】
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【図１５】
2014020834.tif 000017
【図１６】
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【図１７】
2014020834.tif 000019