(57)【要約】【課題】取り付け向きを変更することなく、所望の出力特性の信号を得ることができる流量センサを提供すること。【解決手段】流量センサ１０は、流路を流れるガスの流量を検出する検出部１３を備えている。検出部１３は、ガスの流れる方向に応じて出力値が異なる検出信号ＳＧ１を出力する。ここで、流量センサ１０は、出力モードを、検出信号ＳＧ１の出力特性と同一傾向の出力特性の第１処理信号ＳＧ２１を出力する第１モード、又は、検出信号ＳＧ１の出力特性とは反対の出力特性の第２処理信号ＳＧ２２を出力する第２モードに切替可能な信号処理部２０と、操作された場合に出力モードが切り替わる切替スイッチ２３と、を備えている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
流路を流れる流体の流量を検出するものであって、前記流体の流れる方向に応じて出力値が異なる検出信号を出力する検出部を備えた流量センサにおいて、
出力モードを、前記検出信号の出力特性と同一傾向の出力特性の信号を出力する第１モード、又は、前記検出信号の出力特性とは反対の出力特性の信号を出力する第２モードに切替可能な信号処理部と、
操作された場合に前記出力モードが切り替わる切替スイッチと、
を備えていることを特徴とする流量センサ。
【請求項２】
前記検出部は、第１方向の前記流量が大きくなるほど出力値が高くなり、第２方向の前記流量が大きくなるほど出力値が低くなるよう前記検出信号を出力し、
前記第１モードは、前記検出信号の出力値が高くなるほど出力値が高くなり、前記検出信号の出力値が低くなるほど出力値が低くなる信号を出力するモードであり、
前記第２モードは、前記検出信号の出力値が高くなるほど出力値が低くなり、前記検出信号の出力値が低くなるほど出力値が高くなる信号を出力するモードである請求項１に記載の流量センサ。
【請求項３】
前記流体の情報を表示する表示部を備え、
前記表示部は、前記第１モードである場合には、第１方向が正、第２方向が負として表示される一方、前記第２モードである場合には、前記第１方向が負、前記第２方向が正として表示される正負表示部を有する請求項１又は請求項２に記載の流量センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流量センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、例えば双方向の流体の流量を検出する流量センサが知られている（例えば特許文献１参照）。このような流量センサは、流体の流量に応じて、出力値が異なる出力特性の信号を出力する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００１−１６５７３４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ここで、流量センサに接続される他の機器との信号処理の関係や、所望の表示態様の関係等から、状況に応じて、ユーザにとって所望の出力特性が異なる場合がある。例えば、ある状況によっては、流体が第１方向に流れた場合に基準値よりも低い出力値の信号が出力される一方、流体が第２方向に流れた場合に基準値よりも高い出力値の信号が出力される出力特性の信号が欲しい場合がある。また、別の状況によっては、流体が第１方向に流れた場合に基準値よりも高い出力値の信号が出力される一方、流体が第２方向に流れた場合に基準値よりも低い出力値の信号が出力される出力特性の信号が欲しい場合がある。
【０００５】
この種の流量センサでは、取り付け向きによって、流体の流れる方向に対する出力特性が決まる。このため、出力特性を変更したい場合には、流量センサの取り付け向きを変更することも考えられる。しかしながら、欲しい出力特性に合わせて取り付け向きを変更しようとすることは煩雑である。また、設置スペースの関係上、取り付け向きを変更することが困難な場合もある。
【０００６】
本発明は、上述した事情を鑑みてなされたものであり、取り付け向きを変更することなく、所望の出力特性の信号を得ることができる流量センサを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成する流量センサは、流路を流れる流体の流量を検出するものであって、前記流体の流れる方向に応じて出力値が異なる検出信号を出力する検出部を備え、出力モードを、前記検出信号の出力特性と同一傾向の出力特性の信号を出力する第１モード、又は、前記検出信号の出力特性とは反対の出力特性の信号を出力する第２モードに切替可能な信号処理部と、操作された場合に前記出力モードが切り替わる切替スイッチと、を備えていることを特徴とする。
【０００８】
かかる構成によれば、切替スイッチが操作されることにより、信号処理部の出力モードが第１モード又は第２モードに切り替わる。これにより、ユーザが出力特性を選択することができる。例えば、出力モードを第１モードにすることにより、検出信号の出力特性と同一傾向の出力特性の信号を得ることができる一方、出力モードを第２モードにすることにより、検出信号とは反対の出力特性の信号を得ることができる。よって、ユーザが所望の出力特性の信号を得ることができる。
【０００９】
上記流量センサについて、前記検出部は、第１方向の前記流量が大きくなるほど出力値が高くなり、第２方向の前記流量が大きくなるほど出力値が低くなるよう前記検出信号を出力し、前記第１モードは、前記検出信号の出力値が高くなるほど出力値が高くなり、前記検出信号の出力値が低くなるほど出力値が低くなる信号を出力するモードであり、前記第２モードは、前記検出信号の出力値が高くなるほど出力値が低くなり、前記検出信号の出力値が低くなるほど出力値が高くなる信号を出力するモードであるとよい。かかる構成によれば、信号処理部から出力される信号の出力値は、検出信号の出力値に応じて変動する。当該検出信号の出力値は、流量に応じて変動するため、信号処理部から出力される信号の出力値に基づいて、流体の流れる方向及び流量を特定することができる。これにより、流体の流れる方向及び流量の特定を行うことを可能としつつ、第１モード又は第２モードに切り替えることを通じて、ユーザの所望の出力特性の信号を得ることができる。
【００１０】
上記流量センサについて、前記流体の情報を表示する表示部を備え、前記表示部は、前記第１モードである場合には、第１方向が正、第２方向が負として表示される一方、前記第２モードである場合には、前記第１方向が負、前記第２方向が正として表示される正負表示部を有するとよい。かかる構成によれば、流量センサの取り付け向きを変更することなく、第１方向及び第２方向のうちどちらの方向に流体が流れた場合に正表示となるのかを、ユーザが自由に選択することができる。これにより、所望の表示態様で流体に関する情報を表示させることができる。
【発明の効果】
【００１１】
この発明によれば、取り付け向きを変更することなく、所望の出力特性の信号を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】流量センサの分解斜視図。
【図２】流量センサの電気的構成を示すブロック図。
【図３】第１処理信号の出力特性を示すグラフ。
【図４】第２処理信号の出力特性を示すグラフ。
【図５】表示部を模式的に示す正面図。
【図６】別例の第１処理信号の出力特性を示すグラフ。
【図７】別例の第２処理信号の出力特性を示すグラフ。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、流量センサの一実施形態について説明する。なお、流量センサは、例えば真空吸着を行うためのガスの配管上に配置され、吸着及び吸着解除の確認に用いられる。
図１に示すように、流量センサ１０は、流体としてのガスが流れる流路１１ａが形成されたボディ１１と、ボディ１１に取り付けられ、バイパス流路が形成された流路ブロック１２と、抵抗体が架橋されたセンサ流路が形成された検出部１３とを備えている。検出部１３は、流路１１ａを流れる双方向のガスの流量（体積流量）を検出するものであって、流路１１ａにおけるガスの流れる方向、詳細には第１方向Ｘ１及び第１方向Ｘ１とは逆方向の第２方向Ｘ２に応じて、出力値が異なる検出信号を出力する。流量センサ１０は、検出部１３を固定するのに用いられるモジュール押さえ１４を備えている。検出部１３は、モジュール押さえ１４によって、シールパッキン１５を介してボディ１１に対して押さえつけられた状態で、ネジ１６を用いてモジュール押さえ１４を固定することにより、ボディ１１に取り付けられている。
【００１４】
流量センサ１０は、ボディ１１とは別に各種部品を収容する直方体状のケース１７を備えており、当該ケース１７内には、検出部１３の検出信号に基づいて各種処理を行う信号処理部２０が収容されている。信号処理部２０は、矩形板状の実装基板２１に搭載されている。また、実装基板２１には、信号処理部２０の他に、コネクタ２２及び切替スイッチ２３等が搭載されている。切替スイッチ２３はケース１７のスイッチ開口部１７ａを介してケース１７外に露出しており、ユーザが操作可能となっている。
【００１５】
また、流量センサ１０は、ケース１７内に収容されるものとして、ガスの情報を表示する表示部２４を備えている。表示部２４は、ケース１７の表示開口部１７ｂを介して露出しており、ユーザが表示部２４を視認可能となっている。なお、実際には、表示部２４と実装基板２１との間にはスペーサが設けられており、両者の短絡が回避された状態で、表示部２４の位置が固定されている。
【００１６】
ちなみに、図１に示すように、コネクタ２２は、実装基板２１の長手方向の端部に配置されている。コネクタ２２は、ケース１７の側面、詳細にはケース１７においてガスの流れる方向に沿う方向の一側面に形成された配線開口部１７ｃを介して露出している。コネクタ付の配線Ｗは、上記配線開口部１７ｃから挿入されて、実装基板２１のコネクタ２２に接続されている。この場合、配線Ｗがケース１７の側面から突出している。
【００１７】
次に、図２を用いて流量センサ１０の電気的構成について説明する。図２に示すように、流量センサ１０は、主として、検出部１３、信号処理部２０、切替スイッチ２３、表示部２４及び演算部２５を備えている。検出部１３の検出信号ＳＧ１は、信号処理部２０に入力される。また、切替スイッチ２３は、操作された場合には切替信号を信号処理部２０に出力する。信号処理部２０は、処理信号ＳＧ２を出力する出力端子２０ａを備えているとともに、演算部２５に処理信号ＳＧ２を出力可能となっている。演算部２５は、信号処理部２０の処理信号ＳＧ２が入力されるものであり、信号処理部２０からの処理信号ＳＧ２に基づいてガスの流量及び正負を算出し、その算出結果を表示部２４に表示させる。
【００１８】
なお、図示は省略するが、実際には、流量センサ１０はアンプ回路を備えており、検出部１３からの検出信号ＳＧ１は、アンプ回路によって増幅された信号である。
ここで、既に説明した通り、ガスは第１方向Ｘ１又は第２方向Ｘ２に流れ得る。これに対して、本実施形態の流量センサ１０の信号処理部２０は、出力モードとして、第１方向Ｘ１及び第２方向Ｘ２の双方向のガスの流量を検出する双方向モードと、片方向のガスの流量を検出する片方向モードと、を備えている。この場合、双方向モードには、検出信号ＳＧ１の出力特性と同一傾向の出力特性を示す第１モードと、検出信号ＳＧ１の出力特性とは反対の出力特性を示す第２モードとがある。
【００１９】
信号処理部２０の第１モード及び第２モードについて、検出部１３からの検出信号ＳＧ１の詳細と合わせて説明する。図３の二点鎖線に示すように、検出信号ＳＧ１は、２．５Ｖを基準値とする０．５〜４．５Ｖの範囲の電圧である。詳細には、検出信号ＳＧ１は、第１方向Ｘ１の流量が大きくなるほど、電圧が高くなり、第２方向Ｘ２の流量が大きくなるほど、電圧が低くなるアナログ信号である。
【００２０】
これに対して、図３の実線に示すように、第１モードにおける信号処理部２０の処理信号ＳＧ２（以降単に第１処理信号ＳＧ２１という）は、検出信号ＳＧ１と同一傾向の出力特性を有する信号である。詳細には、第１処理信号ＳＧ２１は、３Ｖを基準値とする１〜５Ｖの範囲の電圧であり、検出信号ＳＧ１の電圧が低くなるほど電圧が低くなり、検出信号ＳＧ１の電圧が高くなるほど電圧が高くなっている。
【００２１】
一方、図４に示すように、第２モードにおける信号処理部２０の処理信号ＳＧ２（以降単に第２処理信号ＳＧ２２という）は、検出信号ＳＧ１の出力特性とは反対の出力特性の信号である。詳細には、第２処理信号ＳＧ２２は、３Ｖを基準値とする１〜５Ｖの範囲の電圧であり、検出信号ＳＧ１の電圧が低くなるほど電圧が高くなり、検出信号ＳＧ１の電圧が高くなるほど電圧が低くなっている。
【００２２】
信号処理部２０は、切替スイッチ２３が操作されて切替信号が入力されることにより、双方向モード又は片方向モードに切り替わるとともに、さらに切替スイッチ２３が操作されることにより、第１モード又は第２モードに切り替わる。そして、信号処理部２０は、検出部１３から検出信号ＳＧ１が入力された場合には、現状の出力モードに対応した処理信号ＳＧ２を、出力端子２０ａから出力するとともに演算部２５に出力する。
【００２３】
なお、信号処理部２０は、現状の出力モードに関する情報も演算部２５に出力する。これにより、演算部２５は現状の出力モードについて把握可能となっている。
演算部２５は、信号処理部２０からの処理信号ＳＧ２に基づいて、ガスの流量及び正負を算出する。詳細には、演算部２５は、処理信号ＳＧ２の電圧が基準値である３Ｖよりも高い場合には、正であると判定するとともに、処理信号ＳＧ２の電圧に対応した流量を算出する。一方、演算部２５は、処理信号ＳＧ２の電圧が基準値である３Ｖよりも低い場合には、負であると判定するとともに、処理信号ＳＧ２の電圧に対応した流量を算出する。演算部２５は、上述した算出結果、及び、信号処理部２０の出力モードを表示部２４に表示させる。
【００２４】
表示部２４は、ガスの情報として、ガスの流量及びガスの流れる向きを表示する。詳細には、図５に示すように、表示部２４は、ガスの流量等が表示されるメイン画面３１と、サブ画面３２とを備えている。メイン画面３１は、ガスの流量を示すための数字表示部３１ａと、正負を示す正負表示部３１ｂとを有する。
【００２５】
ここで、第１モードでは、正負表示部３１ｂには、第１方向Ｘ１にガスが流れている場合に正（実際には無表示）が表示され、第２方向Ｘ２にガスが流れている場合に負（実際には−表示）が表示される。一方、第２モードでは、正負表示部３１ｂには、第１方向Ｘ１にガスが流れている場合に負が表示され、第２方向Ｘ２にガスが流れている場合に正が表示される。
【００２６】
図５に示すように、サブ画面３２は、両方向矢印が表示可能に構成されている。また、サブ画面３２は、その他に、向きが異なる２種類の片方向矢印（「→」又は「←」）を表示可能に構成されている。
【００２７】
ここで、サブ画面３２の表示態様は、信号処理部２０の出力モードに応じて変化するものである。詳細には、出力モードが双方向モードである場合には、サブ画面３２には、図５に示すような双方向矢印が表示される。一方、出力モードが片方向モードである場合には、サブ画面３２には片方向矢印が表示される。なお、サブ画面３２の表示態様は、切替スイッチ２３が操作される度に切り替わる。
【００２８】
次に本実施形態の作用について説明する。
信号処理部２０の出力モードとして、検出信号ＳＧ１の出力特性と同一傾向の出力特性の第１処理信号ＳＧ２１が出力される第１モードと、検出信号ＳＧ１の出力特性とは反対の出力特性の第２処理信号ＳＧ２２が出力される第２モードとが設定されている。これにより、出力モードを選択することにより、表示部２４において、第１方向Ｘ１を正として表示したり、第２方向Ｘ２を正として表示したりすることができる。
【００２９】
以上詳述した本実施形態によれば以下の優れた効果を奏する。
（１）流路１１ａを流れるガス（流体）の流量を検出する検出部１３を備えた流量センサ１０において、検出部１３は、ガスの流れる方向に応じて出力値としての電圧が異なる検出信号ＳＧ１を出力する。かかる構成において、流量センサ１０は、出力モードを、検出信号ＳＧ１の出力特性と同一傾向の出力特性の第１処理信号ＳＧ２１を出力する第１モード、又は、検出信号ＳＧ１の出力特性とは反対の出力特性の第２処理信号ＳＧ２２を出力する第２モードに切替可能な信号処理部２０を備えている。そして、流量センサ１０は、操作された場合に出力モードが切り替わる切替スイッチ２３を備えている。かかる構成によれば、ユーザが切替スイッチ２３を操作することにより出力モードを選択することができる。これにより、取り付け向きを変更することなく、ユーザの所望の出力特性の処理信号ＳＧ２を得ることができ、利便性の向上を図ることができる。
【００３０】
詳述すると、ユーザとしては、例えば他の機器の信号処理や表示部２４の表示態様等との関係から、第１方向Ｘ１の流量が大きくなるほど電圧が高くなる出力特性で流量センサ１０を使用したい場合と、第２方向Ｘ２の流量が大きくなるほど電圧が高くなる出力特性で流量センサ１０を使用したい場合とがある。この場合、流量センサ１０の取り付け向きを変更することも考えられる。しかしながら、小型の流量センサ１０の着脱は煩雑である。また、設置スペースの関係上、流量センサ１０の取り付け向きを変更することができない場合がある。例えば、流量センサ１０のケース１７において配線Ｗが取り付けられている側面とは反対側の側面と他の機器とが近接している場合には、流量センサ１０の取り付け向きを変更しようとしても、配線Ｗが邪魔になる。
【００３１】
これに対して、本実施形態では、ユーザが切替スイッチ２３を操作することにより、取り付け向きを変更することなく、信号処理部２０から出力される処理信号ＳＧ２の出力特性を、容易に反転させることができる。これにより、ユーザとしては、欲しい出力特性を自由に選択することができ、利便性の向上を図ることができる。
【００３２】
（２）検出部１３は、第１方向Ｘ１の流量が大きくなるほど電圧が高くなり、第２方向Ｘ２の流量が大きくなるほど電圧が低くなるよう検出信号ＳＧ１を出力する。かかる構成において、第１モードは、検出信号ＳＧ１の電圧が高くなるほど電圧が高くなり、検出信号ＳＧ１の電圧が低くなるほど電圧が低くなる第１処理信号ＳＧ２１を出力するモードである。第２モードは、検出信号ＳＧ１の電圧が高くなるほど電圧が低くなり、検出信号ＳＧ１の電圧が低くなるほど電圧が高くなる第２処理信号ＳＧ２２を出力するモードである。かかる構成によれば、処理信号ＳＧ２の電圧は、検出信号ＳＧ１の電圧に応じて変動する。当該検出信号ＳＧ１の電圧は、流量に応じて変動する。これにより、処理信号ＳＧ２の電圧に基づいて、ガスの流れる方向及び流量を特定することができる。また、ユーザとしては、信号処理部２０から出力される処理信号ＳＧ２として、検出信号ＳＧ１の出力特性と同一傾向の出力特性の第１処理信号ＳＧ２１、又は、検出信号ＳＧ１の出力特性とは反対の出力特性の第２処理信号ＳＧ２２のいずれかを選択することができる。よって、ガスの流れる方向及び流量の特定を可能としつつ、第１モード又は第２モードに切り替えることを通じて、ユーザの所望の出力特性の処理信号ＳＧ２を得ることができる。
【００３３】
（３）ガスの情報を表示する表示部２４を備え、表示部２４は、第１モードである場合には、第１方向Ｘ１が正、第２方向Ｘ２が負として表示される一方、第２モードである場合には、第１方向Ｘ１が負、第２方向Ｘ２が正として表示される正負表示部３１ｂを有する。これにより、流量センサ１０の取り付け向きを変更することなく、第１方向Ｘ１及び第２方向Ｘ２のうちどちらの方向にガスが流れた場合に正表示となるのかを、ユーザが自由に選択することができる。よって、利便性の向上を図ることができる。
【００３４】
特に、演算部２５は、処理信号ＳＧ２の電圧が基準値よりも高い場合に正と判定する一方、処理信号ＳＧ２の電圧が基準値よりも低い場合には負と判定する。これにより、信号処理部２０の出力モードが切り替わることにより、自ずとガスの流れる方向に対する正負表示が反転する。よって、演算部２５としては、第１モードと第２モードとで、異なる処理を行う必要がない。したがって、演算部２５の構成の複雑化を抑制しつつ、所望の表示を実現できる。
【００３５】
なお、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
○  実施形態では、処理信号ＳＧ２は、検出信号ＳＧ１の電圧に対応したアナログ信号であったが、これに限られず、デジタル信号であってもよい。例えば、図６に示すように、第１モードは、検出部１３から基準値（例えば２．５Ｖ）よりも低い電圧の検出信号ＳＧ１が入力された場合にＬＯＷ信号（例えば１Ｖ）を出力し、検出部１３から基準値よりも高い電圧の検出信号ＳＧ１が入力された場合にＨＩ信号（例えば５Ｖ）を出力するモードであってもよい。そして、図７に示すように、第２モードは、検出部１３から基準値よりも低い電圧の検出信号ＳＧ１が入力された場合にＨＩ信号を出力し、検出部１３から基準値よりも高い電圧の検出信号ＳＧ１が入力された場合にＬＯＷ信号を出力するモードであってもよい。
【００３６】
○  実施形態では、検出信号ＳＧ１及び処理信号ＳＧ２の出力値は電圧であったが、これに限られず、電流であってもよい。例えば信号処理部２０は、４〜２０ｍＡの範囲内の電流を出力する構成であってもよい。要は、出力値とは電圧又は電流であればよい。
【００３７】
○  実施形態では、検出信号ＳＧ１の出力特性と第１処理信号ＳＧ２１の出力特性とで、基準値及び電圧範囲が０．５Ｖずれていたが、これに限られず、一致していてもよい。また、検出信号ＳＧ１の出力特性と、第１処理信号ＳＧ２１の出力特性とで、流量変化に対する電圧変化（詳細には図３のグラフの傾き）は同一であったが、これに限られず、多少変動していてもよい。つまり、同一傾向の出力特性とは、流量変化に対する電圧変化が同一の傾向を示していればよく、電圧範囲や傾き等が完全に一致している必要はない。
【００３８】
○  同様に、検出信号ＳＧ１の出力特性とは反対の出力特性とは、流量変化に対する電圧変化が、検出信号ＳＧ１の出力特性と逆であればよい。この場合、検出信号ＳＧ１の出力特性と、第２処理信号ＳＧ２２の出力特性とで、電圧範囲、基準値及び傾きの絶対値等は一致していてもよいし、ずれていてもよい。
【００３９】
○  実施形態では、正負表示部３１ｂにおける正負の具体的な表示態様は、正負を認識できれば任意である。例えば、正表示として「＋」を表示してもよい。
○  正負表示部３１ｂを省略してもよい。この場合、サブ画面３２の片方向矢印で、検出されているガスの流れる向きを示してもよい。
【００４０】
○  実施形態では、切替スイッチ２３によって、双方向モード又は片方向モードに切り替わるとともに、第１モード又は第２モードに切り替わる構成であったが、これに限られず、双方向モード又は片方向モードに切り替わるスイッチと、第１モード又は第２モードに切り替わるスイッチとを別々に設けてもよい。
【００４１】
○  実施形態では、流体としてガスが採用されていたが、これに限られず、流体であれば任意である。例えば油や水等であってもよい。
○  メイン画面３１は、数字表示可能であったが、流量が確認できればその具体的な態様は任意である。
【００４２】
○  実施形態では、片方向モードが設定されていたが、これに限られず、片方向モードを省略してもよい。
○  表示部２４にて、現状の出力モードが第１モードか第２モードかを示すようにしてもよい。
【００４３】
○  実施形態では、検出信号ＳＧ１は、第１方向Ｘ１に流れるガスの流量が大きくなるほど電圧が高くなり、第２方向Ｘ２に流れるガスの流量が大きくなるほど電圧が低くなっていたが、これに限られず、逆であってもよい。つまり、第１方向Ｘ１に流れるガスの流量が大きくなるほど電圧が低くなり、第２方向Ｘ２に流れるガスの流量が大きくなるほど電圧が高くなる検出信号を出力する検出部であってもよい。
【００４４】
○  流量センサ１０の適用対象は任意である。例えば、塗装エアの流量管理、静電気除去装置のイオンの供給管理、流量による容器の漏れ確認、エア消費流量の管理、半導体製造装置のパージガスの流量管理等に用いてもよい。
【００４５】
上記実施形態及び別例から把握される技術的思想について以下に記載する。
（イ）出力値とは電圧又は電流であるとよい。
（ロ）第１モードは、検出部から基準値よりも低い出力値の検出信号が入力された場合にＬＯＷ信号を出力し、検出部から基準値よりも高い出力値の検出信号が入力された場合にＨＩ信号を出力するモードであり、第２モードは、検出部から基準値よりも低い出力値の検出信号が入力された場合にＨＩ信号を出力し、検出部から基準値よりも高い出力値の検出信号が入力された場合にＬＯＷ信号を出力するモードであるとよい。
【００４６】
（ハ）信号処理部から出力された信号の出力値が基準値よりも高い場合に正と判定する一方、信号処理部から出力された信号の出力値が基準値よりも低い場合には負と判定する演算部を備え、正負表示部は演算部の演算結果に基づいて正負表示を行うとよい。
【符号の説明】
【００４７】
１０…流量センサ、１１ａ…流路、１３…検出部、２０…信号処理部、２３…切替スイッチ、２４…表示部、３１ｂ…正負表示部、Ｘ１…第１方向、Ｘ２…第２方向、ＳＧ１…検出信号、ＳＧ２…処理信号。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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