(57)【要約】【課題】気体中の粒子（エアロゾル）と液体中の不溶性粒子とを短時間で検出すると共に稼働率を高めことが可能な粒子判別装置を提供する。【解決手段】気中液中粒子判別装置(1)は、検査対象空間からエアロゾルを導入して第１の気体流路(300a)に粒子を浮遊させる気体サンプリング手段(520)と、不溶性粒子を含む液体をエアロゾル化して第２の気体流路(300b)に不溶性粒子を浮遊させる液体サンプリング手段(200)と、気体中の粒子に励起光を照射して発生する散乱光及び蛍光のうち少なくともいずれかを検出する気中粒子判別手段(100)と、第１の気体流路又は第２の気体流路のエアロゾルを選択して気中粒子判別手段(100)に上記粒子として搬送する選択的搬送手段(V1,V2,130)と、を備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象の空間から第１の気体流路にエアロゾルを導入する気体サンプリング手段と、
検査対象となる不溶性粒子を含む液体をエアロゾル化して第２の気体流路に導入する液体サンプリング手段と、
エアロゾルに励起光を照射して発生する散乱光及び蛍光のうち少なくともいずれかを検出する気中粒子判別手段と、
前記第１の気体流路又は前記第２の気体流路を選択して前記エアロゾルを前記気中粒子判別手段に搬送する選択的搬送手段と、
を備えることを特徴とする気中液中粒子判別装置。
【請求項２】
更に、
前記気中粒子判別手段に搬送されるエアロゾルを捕集する捕集手段を備え、
前記気中粒子判別手段は、前記散乱光及び蛍光のうち少なくとも前記蛍光を検出するものであり、当該蛍光を検出したときに前記捕集手段を動作させる、ことを特徴とする請求項１に記載の気中液中粒子判別装置。
【請求項３】
前記選択的搬送手段は、前記第１及び第２の気体流路のいずれかを選択する選択手段と、選択された気体流路のエアロゾルを前記気中粒子判別手段に搬送する搬送手段と、を含む請求項１又は２に記載の気中液中粒子判別装置。
【請求項４】
前記気中粒子判別手段は、
前記エアロゾルに前記励起光を照射する手段と、
前記励起光の照射によって発生する当該エアロゾルからの散乱光の強度を検出する手段と、
前記励起光の照射によって発生する当該エアロゾルからの蛍光を検出する手段と、
を備える請求項１乃至３のいずれかに記載の気中液中粒子判別装置。
【請求項５】
前記気体サンプリング手段は第１の環境の雰囲気中から前記気体を導入し、
前記液体サンプリング手段は第１又は第２の環境に存在する液体を取り込む、
請求項１乃至４のいずれかに記載の気中液中粒子判別装置。
【請求項６】
前記気中粒子判別手段に搬送されるエアロゾルが前記励起光によって励起されて蛍光を発生する化学物質を含む蛍光性粒子を含む請求項１乃至５のいずれかに記載の気中液中粒子判別装置。
【請求項７】
一つの気中粒子判別装置によってエアロゾル及び液体中の不溶性粒子が微生物か微粒子かを判別する気中液中粒子判別方法であって、
前記エアロゾルを導入し、前記気中粒子判別装置によって当該エアロゾルが微粒子か微生物かを判別する過程と、
前記不溶性粒子を含む液体をエアロゾル化し、前記気中粒子判別装置によって当該エアロゾルが微粒子か微生物かを判別する過程と、
を含む気中液中粒子判別方法。
【請求項８】
更に、
前記気中粒子判別装置によって前記エアロゾルが微生物と判別されたとき、前記エアロゾルを捕集する捕集過程を備えることを特徴とする請求項７に記載の不溶性不純物判別方法。
【請求項９】
請求項７又は８に記載の気中液中粒子判別方法であって、
前記気中粒子判別装置は、
前記エアロゾルに励起光を照射して当該エアロゾルを励起する過程と、
前記エアロゾルが発生する散乱光の強度に基づいて前記エアロゾルの存在又は大きさを判別する過程と、
前記エアロゾルが発生する蛍光の強度に基づいて前記エアロゾルの生物又は非生物を判別する過程と、
を含む気中液中粒子判別方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、エアロゾル（気体中を浮遊する浮遊性粒子）及び液体中に存在する不溶性不純物粒子を判別する評価技術に関し、特に、１つの計測装置でエアロゾル及び不溶性不純物粒子を迅速に判別する方法及びその装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
医薬品、電子工業、半導体製造などの分野においては、生産環境の空気中を漂う微粒子や微生物が少ない高度の清浄さが要求される。また、生産工程においては有機物や無機物などの不純物（微生物、微粒子）を除去した高純度の水（あるいは精製水）が必要とされている。この空気中の不純物は、不溶性不純物（微生物、微粒子）と可溶性不純物とに大別される。
【０００３】
特開２００３−１２１３１５号公報（特許文献１）に記載の発明は、液体中に存在する粒子に対して、液体パーティクルカウンタを用いた粒子数の計数を行う方法を提案している。この方法は、光散乱方式と呼ばれる、レーザ光を被測定媒体へ照射し、散乱した光の強度を測定し、散乱光の強度を粒子径に換算することで、被測定媒体中に存在する粒子を、粒子径毎に計数する方法である。液体に存在する不溶性不純物は、この方法を利用して、不溶性不純物の粒子径毎に計数することが可能である。
国際公開公報ＷＯ２０１０/０８０６４３に記載の発明はエアロゾルの非生物粒子（微粒子）、生物粒子（微生物）の判別を行う検出装置を提供している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−１２１３１５号公報
【特許文献２】ＷＯ２０１０/０８０６４３
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述のように高清浄度が求められる生産環境では空気の状態を計測して浮遊粒子の少ない状態を保たなければならない。また、生産過程で使用する純水などの液体の純度も保つようにしなければならない。このためには、上述したような液中専用の粒子検出装置と気中専用の粒子（エアロゾル）検出装置とを両方使用することが必要となる。
しかしながら、これら二種類の粒子検出装置を揃えると、例えば、粒子検出装置を稼動した後で、装置のメンテナンスが発生する際に、このメンテナンスのために粒子検出装置を停止する時間が、粒子検出装置の台数分だけ多く掛ってしまう可能性が高い。その一方、これら検出装置相互間には補完性がないためこれら装置を組み合わせた検出システムの稼働率が低い傾向がある。
よって、本発明は一台の装置で気中の粒子及び液中の粒子を判別する気中液中粒子判別方法及びその装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために本発明の一態様である気中液中粒子判別装置は、検査対象の空間から第１の気体流路にエアロゾルを導入する気体サンプリング手段と、検査対象となる不溶性粒子を含む液体をエアロゾル化して第２の気体流路に導入する液体サンプリング手段と、エアロゾルに励起光を照射して発生する散乱光及び蛍光のうち少なくともいずれかを検出する気中粒子判別手段と、上記第１の気体流路又は上記第２の気体流路を選択して上記エアロゾルを上記気中粒子判別手段に搬送する選択的搬送手段と、を備える。ここで、エアロゾル(aerosol)は、気体中に浮遊する微小な液体又は固体の粒子である。
【０００７】
また、本発明の一態様である液中粒子判別方法は、一つの気中粒子判別装置によってエアロゾル及び液体中の不溶性粒子が微生物か微粒子かを判別する気中液中粒子判別方法であって、上記エアロゾルを導入し、上記気中粒子判別装置によって当該エアロゾルが微粒子か微生物かを判別する過程と、上記不溶性粒子を含む液体をエアロゾル化し、上記気中粒子判別装置によって当該エアロゾルが微粒子か微生物かを判別する過程と、を含む。
かかる構成とすることによって、一つの気中粒子判別手段で、気体中の浮遊粒子及び液体中の不溶性不純物粒子の存在の有無、その大きさ、生物・非生物の判別（微粒子と微生物の区別）を迅速に行うことが可能となる。また、一つの気中粒子判別手段で２系統における粒子の測定を選択的にあるいは交互に行うことができるので気中粒子判別手段の稼働率を向上することが可能となる。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、一つの気中粒子判別手段によって空気中（気体中）の粒子の粒子検出装置及び液体中の粒子の粒子検出装置の２つの機能を果たすことができる。また、気中粒子判別装置及び液中粒子判別装置として使用することができるので稼働率が向上する。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】第１実施例を説明する説明図である。
【図２】エアロゾル発生部の構成例を説明する説明図である。
【図３】蛍光/散乱光検出部の構成例を説明する説明図である。
【図４】第２実施例を説明する説明図である。
【図５】エアロゾル発生部の一例を説明する説明図である。
【図６】エアロゾル発生部の一例を説明する説明図である。
【図７】エアロゾル発生部の一例を説明する説明図である。
【図８】エアロゾル発生部の一例を説明する説明図である。
【図９】エアロゾル発生部の一例を説明する説明図である。
【図１０】エアロゾル発生部の一例を説明する説明図である。
【図１１】比較例を説明する説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号で表している。但し、図面は模式的なものである。したがって、具体的な寸法等は以下の説明を照らし合わせて判断するべきものである。また、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることは勿論である。
【００１１】
発明者は以下の点に着目した。後述の参考例に示すように、微生物検出装置および微粒子検出装置は気中専用、液中専用となっており、お互いを補完しないために稼働率が損なわれている。例えば、レーザ光などの光源を用いたリアルタイム型の微生物検出装置の場合、短時間で管理上必要な検査が行なえるので、常時稼働させずに済むケースが多い。気中微生物の計測対象が生産ラインである場合、生産ラインが稼動しない洗浄時などにおいては気中微生物計測を行わない。また、液中微生物の計測においても常時稼動しているわけではない。
そこで、種々検討の結果、気中微生物検出装置および微粒子検出装置で液体中の不純物粒子の数及び種類（微生物と微粒子）をも検出する構成に思い至った。
【００１２】
（実施例１）
図１は、本発明の一態様である気中液中粒子判別装置の構成例を示している。同図に示すように、気中液中粒子判別装置１は、概略、気中粒子判別手段としての気中粒子判別装置１００、試料液体を霧化して気体（空気）中を浮遊する微粒子にする液体サンプリング手段としてのエアロゾル発生部２００、被測定環境中の空気を吸い込む気体サンプリング手段としての吸入口５２０、エアロゾルを気中粒子判別装置１００に搬送する気体流路３００（３００ａ、３００ｂ、３００ｃ）、液体サンプルとしてのエアロゾルと気体サンプルとしてのエアロゾルを選択する選択手段としてのゲートＶ１及びＶ２、エアロゾルを搬送する後述の送風機２３０、排風機１３０等によって構成される。
計測対象は、例えば、生産環境５００の屋内空間のエアロゾル（微生物、微粒子）、生産プロセスで使用される液体（例えば、純水、清浄水など）中の不溶性不純物（微生物、微粒子）である。
【００１３】
生産環境５００の製造装置５１０等で使用される液体はその一部が検査対象として配管を介してエアロゾル発生部２００に供給される。この液体には不溶性不純物が含まれる。前述したように不溶性不純物には、微粒子と微生物が含まれる。エアロゾル発生部２００は、液体を霧化(微粒子化)してエアロゾル（浮遊する粒子）とし、気体流路３００ｂに放出する。このエアロゾルには液体粒子、不溶性不純物（微生物、微粒子）が含まれるが、液体粒子は気体流路３００ｂにおいて蒸発して気体となり、不溶性不純物は不純物粒子となって気体流路３００ｂを浮遊する。
なお、エアロゾル発生部２００は他の環境や装置など(第２の環境)から供給される液体を検査対象としても良い。配管接続の切換や液体容器によってそのような液体を供給することができる。検査装置の稼働率を上げることが可能となる利点がある。
【００１４】
図２は、エアロゾル発生部２００の構成例を示している。エアロゾル発生部２００は、例えば、ネブライザによって構成することができる。同図は、コリジョン・ネブライザ（Collison nebulizer）をエアロゾル発生部２００とする例である。コリジョン・ネブライザは、液体を微小管で吸い上げ、容器壁面に噴射することでエアロゾル（噴霧液滴）を発生させる。ネブライザへの供給空気の圧力を調整することにより、空気の流量を調節することができる。空気圧が高いほど粒子径は細かくなる。発生した噴霧液滴を配管３００ｂ内で乾燥エアーと混合し、噴霧液滴を蒸発気化させる。壁面に沿った空気流で壁面への水滴の付着を防止している。エアロゾルは、更に、配管（流路）３００ｃを介して蛍光/散乱光検出部１１２に供給される。
【００１５】
ネブライザは内部の液溜に生産環境５００から供給される計測対象の液体２１０を貯留する。なお、上記のように配管によらず、容器に採取したサンプル液体を供給しても良い。また、ネブライザには送風機２３０からＨＥＰＡフィルタ（High Efficiency Particulate Air Filter）２３２等によって不純物粒子が除かれた清浄気体（空気）がキャリアガスや乾燥空気として供給される。ネブライザは、加圧（あるいは圧縮）気体によって液体２１０を微小管で吸い上げてジェットノズル（微小孔）から容器内壁に噴射して霧化液滴（ミスト）を発生させる。このようにして発生したエアロゾルは配管３００ｂ、指令信号ｂに応じて流路３００ｂを開閉するゲートＶ２を介して気体流路３００ｃに搬送される。
【００１６】
気体流路３００ｂは筒状の金属体（例えば、ステンレス等であるが、これに限定されるものではない。）であり、その一端部中央部に配管３１０が接続され、霧化液滴が導入される。また、気体流路３００ｂの一端部の配管３１０の外周側に複数の空気配管３２０が環状に接続される。空気配管３２０から流路３００ｂ内に図示しない乾燥機で乾燥された乾燥空気を導入することができる（必須ではない）。環状に配置された空気配管３２０の出口から噴射される乾燥空気が壁面に沿って流れる。乾燥空気は霧化液滴を蒸発気化させると共に、液滴の気化によって析出した不純物粒子（エアロゾル）を気中微生物判別装置１００に搬送するキャリアガスとして機能する。気化した水分の粒子は、０．０００４μｍ程度の大きさになって不純物粒子（０．１μｍ以上）から分離可能である。もっとも気化した水粒子はエアロゾル発生部２００の噴霧システムと乾燥過程のの効率等で粒子径が変わり、場合によっては０．５μｍ程度の大きさとなるが、ノズル、液体流量、気体流量、乾燥効率などのプロセパラメータの調整によって気中粒子検出器の仕様もしくは使用者の都合にあわせて適宜な大きさになるように調整される。
【００１７】
なお、必要により、流路３００の壁面に霧化液滴が付着し難いように整流板によって流路内の気流を整流することとしてもよい。霧化液滴や不純物粒子等とキャリアガスとの化学反応を抑制したい場合には窒素ガスなどの不活性ガスをキャリアガスとして使用することが可能である。
【００１８】
一方、生産環境５００の空間を浮遊するエアロゾル（微生物、微粒子）は、吸入口５２０から気体流路３００ａ内に導入される。このエアロゾルは指令信号ａに応じて流路３００ａを開閉するゲートＶ１を介して気体流路３００ｃに搬送される。後述する制御部１１０によってゲートＶ１及びＶ２の開閉を制御することによって環境中の液体由来のエアロゾルと気体由来のエアロゾルを選択的に気体流路３００ｃに搬送し、気中粒子判別装置１００で計測を行う。なお、生産環境５００の圧力が、気体流路内の圧力よりも相対的に高い場合、排風機などの吸入する手段が無くとも、生産環境５００の空間を浮遊するエアロゾル（微生物、微粒子）は、吸入口５２０から気体流路３００ａ内に導入される。
上述した気体流路３００ａ、３００ｂ及び３００ｃは、例えば、ステンレス管で構成することができる。更に、表面が研磨されたサニタリー配管とすることができる。
【００１９】
図１に示すように、気中粒子判別装置１００は、各部の動作などを適宜に制御する制御部１１０、エアロゾルの粒子に励起光を照射して発生する蛍光や散乱光を検出する蛍光/散乱光検出部１１２、検出結果からエアロゾルが微粒子か、微生物かを判別する判別部１２０を備えている。蛍光/散乱光検出部１１２へのエアロゾルの搬送は排風機１３０によって気体（空気）を吸引することによって行われる。計測後のエアロゾルはＨＥＰＡフィルタやＵＬＰＡフィルタ(Ultra Low Penetration Air Filter)によって気体から除去される。濾過された清浄な気体のみが装置１００の外部に排出される。
【００２０】
また、必要により、気体流路３００ｃにエアサンプラー７００、サンプリング用の流路、この流路を開閉するゲートＶ３が設けられる。それにより、判別器１２０においてエアロゾルが微生物であることを検出したとき、エアサンプラー７００を起動し、制御部１１０を介してゲートＶ３を開いて微生物を採取する。例えば、エアサンプラー７００を動作させて微生物をメンブレンフィルタ上に捕集する。メンブレンフィルタに捕集された微生物は培地で培養されてコロニーを形成し、目視あるいは顕微鏡で観察される。また、カメラなどによってコロニーを撮影して画像処理によって微生物の種類の判別を行っても良い。それにより、検出（採取）した微生物が何であるかを具体的に特定することができる。
【００２１】
エアロゾルは空気と共に気体流路３００（３００ａ〜３００ｃ）を経て気中粒子判別装置１００の試料導入部に導出される。不純物粒子を空気と共に移動させるために気中粒子判別装置１００の試料排出口には排風機１３０が接続されている。
【００２２】
図３は、気中粒子判別装置１００の蛍光/散乱光検出部１１２の構成の概略を説明する図である。同図（Ａ）は上面図、同図（Ｂ）は正面図である。図に示されるように、装置１１２は、レーザ光源１０、集光レンズ１１、試料流路１２、集光レンズ１３、散乱光を計測する光検出器１４、蛍光を集める集光ミラー１５、蛍光を通過し他の光を除去するフィルタ１６、蛍光を検出する蛍光検出器（高感度光検出器）１７等によって構成される。レーザ光源１０は、固体レーザ光源、ガスレーザ光源、半導体レーザ光源など各種のものを使用可能である。なお、励起光源は微生物（粒子）から蛍光及び散乱光を得ることができる励起光を発生するものであれば良く、レーザ光源等の特定のものに限定されるものではない。ＬＥＤ（発光ダイオード）光源などであってもよい。
【００２３】
試料流路１２は、入口側ノズル１２ａ、観察部１２ｂ、出口側ノズル１２ｃからなる。試料流路１２の一端に流路３００ｃが接続され、他端に排風機１３０が接続され、試料流路１２に試料ガス（不純物粒子）が流れる。排風機１３０や調圧器（図示せず）等によって試料ガスは一定の流量に調整されている。
【００２４】
上述の構成においてレーザ光源１０から出射したレーザ光（励起光）２１は、観察部１２ｂにおける試料ガスの粒子流径に対して適当な大きさの光スポット径に調整される。レーザ光２１が試料ガス中の粒子を照射すると、粒子において光散乱が発生する。この散乱光の強度は光検出器１４によって検出され、散乱光検出信号としてコンピュータシステムによって構成される判別装置１２０に送られる。判別部１２０はエアロゾル粒子の有無を判断し、粒子の大きさ、粒子の数等を計算する。散乱光の強度と粒子の大きさには関連性がある。
【００２５】
また、レーザ光２１がエアロゾル粒子を照射すると、エアロゾルが蛍光性化学物質を含む蛍光性粒子である場合、例えば、微生物や生物由来の微粒子（細胞断片など）である場合に微粒子が蛍光２３を発生する。例えば、生物細胞に存在するアミノ酸の一種であるトリプトファン、代謝物質であるＮＡＤＨ(Nicotinamide Adenine Dinucleotide)、リボフラビン等が蛍光を発生することが知られている。微弱な自家蛍光２３を集光ミラー１５で集め、バンドパスフィルタ１６で集光光から蛍光以外の光成分を除去して蛍光検出器１７に送る。蛍光検出器１７は蛍光を検出すると蛍光検出信号を判別部１２０に送る。判別部１２０は、蛍光検出信号により検出した粒子が微生物であるか否かを判断する。また、判別部１２０は検出粒子の大きさと検出粒子が微生物であることから予め記憶されたデータベースを参照して微生物の種類（細菌、真菌）を推測することができる。判別部１２０は、例えば、検出した微生物の数、微粒子（非生物）の数を図示しない液体（純水）を使用する製造設備のプロセス制御装置に伝達する。プロセス制御装置は微生物の数が規定値を超えるときには、殺菌設備の殺菌機能を強化する。また、微粒子の数が規定値を超えるときには、フィルタの交換や濾過回数を増加するなどの対応を行う。
【００２６】
このような構成によって、一つの気中粒子判別装置によって対象環境の気体中のエアロゾルのみならず液体中の不溶性不純物が微粒子（非生物）か微生物かを判別することが可能となる。製造プロセスやクリーンルーム等の環境を適切に制御することが可能となる。
また、気中粒子判別装置１００で液体試料中の粒子判別を行わない場合には、クリーンルームの気中の浮遊粒子（微粒子、細菌、カビ胞子等）をモニタすることができるので、気中粒子判別装置１００の使用効率（稼働率）を向上させることができる利点がある。また、所定時間毎にクリーンルームのモニタと液体（純水）設備のモニタとを交互に切り換えて行うこととしても良い。
【００２７】
（実施例２）
図４は、第２の実施例を示している。同図において図１と対応する部分には同一符号を付し、かかる部分の説明は省略する。
この実施例では、図４に示すように、気体流路３００の３つの流路(３００ａ〜３００ｃ)が交差する位置に一つの三方向ゲートＶ４が設けられており、制御部１１０から供給される信号ｄによって制御される。ゲートＶ４は信号ｄに応じて気体流路３００ａ又は３００ｂのいずれかを選択する。選択された気体流路のエアロゾルは気中粒子判別装置１００に搬送されて計測が行われる。また、この例では、エアサンプラー７００は除かれているが、必要により図１の構成と同様に設けることができる。他の構成は図１と同様である。
【００２８】
第２の実施例では、第１の実施例と比べて一つのゲートＶ４でエアロゾルの選択を行うことができるという利点がある。
【００２９】
(比較例)
図１１は、本発明の実施例の効果を説明するための比較例を示している。同図において図１と対応する部分には同一符号を付し、かかる部分の説明は省略する。
比較例では、生産環境５００の計測を行うために、気中微生物検出装置１００と、液中微生物検出装置６００の２つの装置を使用している。気中微生物検出装置１００は空気中のエアロゾルを計測するが、液中の微粒子・微生物を計測することはできない。液中微生物検出装置６００は液体中の微粒子・微生物を計測するが、気中の微粒子・微生物を計測することはできない。したがって、一方が使用できないときに他方がこれを補完することはできない。
【００３０】
これに対して、本発明の実施例の構成によれば、一つの気中粒子判別装置によって気中及び液中の微粒子・微生物を検出することができるので比較的に高価な気中粒子判別装置の稼働率を高めることができる。また、一つの気中粒子判別装置によって気中及び液中の両方の微粒子・微生物を検出することができるので比較例のように二つの検出装置(気中、液中検査装置)を用いる場合に比べてシステムの構成を安価にすることができる。
【００３１】
図５乃至図１０はエアロゾル発生部２００の他の構成例を説明する説明図である。
図５は、エアロゾル発生部２００としてジェットネブライザを使用する例を示している。この例では、計測対象の液体を毛細管現象で吸い上げ、加圧空気とともに噴射する。加圧空気の圧力を調整することにより、空気の流量を調節することが可能である。空気圧が高いほど噴霧液滴（ミスト）の粒子径は細かくなる。発生したミストは流路（配管）３００ｂ内で乾燥空気と混合されて蒸発気化する。
【００３２】
図６は、エアロゾル発生部２００として超音波ネブライザを使用する例を示している。超音波ネブライザは計測対象溶液中の超音波振動素子の振動によって発生した微小液滴（ミスト）を乾燥空気に乗せてエアロゾルを形成する。液滴の発生量、風量を変更することで噴霧量を変更することができる。
【００３３】
図７は、エアロゾル発生部２００としてピエゾ素子ネブライザを使用する例を示している。インクジェットヘッドなどで液滴（インク）吐出素子として使用されるピエゾ素子を用いて微小液滴を発生させるものである。液滴の発生量、風量を変更することで噴霧量を変更することができる。乾燥配管３００ｂ及び配管３００ｃを経て蛍光/散乱光検出部１１２に噴霧液滴が供給される。
【００３４】
図８は、エアロゾル発生部２００として遠心分離ネブライザを使用する例を示している。遠心分離ネブライザは、回転円盤(遠心円盤)上に噴霧溶液を滴下し、遠心力によって円盤から液滴を飛散させることで噴霧液滴を形成する。回転数や風量を変更することで含む量を変更することができる。
【００３５】
図９は、エアロゾル発生部２００として二流体ノズルを使用する例を示している。二流体ノズルでは、噴霧する液体と加圧空気とを別々にノズル部に供給し、ノズル部内部で混合する。配管３００ｂ内にノズルを配置してミストを発生させている。二流体ノズルは、一般的に小流量のものから大流量のものまで入手が容易であり、また、発生機構ごとオートクレーブ（高圧蒸気による滅菌）を行うことが可能である等の利点がある。
【００３６】
図１０は、エアロゾル発生部２００としてミニアトマイズノズルを使用する例を示している。ミニアトマイズノズルは、ノズルを配管内に配置してミストを発生させることができ、発生機構ごとオートクレーブを行うことが可能である利点がある。また、ミニアトマイズノズルは、粒子径が小さい、液体吐出口の口径が大きく、詰まりにくい、高粘度液体を自吸して噴霧が可能である等の利点も有する。
【００３７】
上述各種ノズルを検討した結果、二流体ノズルは選択できる種類が多い。ミニアトマイズノズルは５０ｍｍ径の配管内で壁面に液滴が付着し、噴霧した全量を乾燥させるのが難しい。コリジョン・ネブライザ（Collison nebulizer）は、噴霧したミストの配管内付着は見られない。噴霧流量はノズルの数で変更することが可能である。例えば、６ｊｅｔで２２ｍｌ/ｈのサンプル液を噴霧可能である。
【００３８】
ジェットネブライザは、噴霧したミストの配管内付着は見られなかった。噴霧流量の変更は難しい。例えば、５ｍｌ/ｈのサンプル液を噴霧可能である。
【００３９】
以上説明したように、本発明の実施例の気中液中粒子判別装置（方法）は、液体中の不純物粒子を噴霧して液体を蒸発気化させ、気化して浮遊する粒子（エアロゾル）を気中微生物検出装置に導出することにより、空気中に存在している微粒子と微生物の検出に加えて、液体中に存在している微粒子と微生物とを検出することが可能となる。よって、一つの気中微生物検出装置でクリーンルームなどの環境中（空気中）の微生物等の検査と液体製造設備で製造される液体や設備で使用される液体中の微生物等の計測を選択的に行うことができるから、測定設備が２台の粒子検出装置を使用する場合に比べて安くすみ、相対的に稼働率も高くなって具合が良い。
【符号の説明】
【００４０】
１００  気中粒子判別装置
１１０  制御部
１１２  蛍光散乱光検出部
１２０  判別部
１３０  排風機(搬送手段)
２００  エアロゾル発生部
２３０  送風機(搬送手段)
３００、３００ａ、３００ｂ、３００ｃ  気体流路
５００  生産環境
７００  エアサンプラー
Ｖ１〜Ｖ３  ゲート（選択手段）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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