(57)【要約】【課題】簡易な構成によりオゾン発生を効果的に抑制することができるプラズマ発生装置を提供する。【解決手段】対向する一対の電極を備え、それら電極間に所定電圧が印加されてプラズマ放電するプラズマ発生装置であって、前記一対の電極が、一対の導体基板と、前記導体基板の対向面の少なくとも一方に形成された誘電体膜とを有するとともに、前記一対の電極の対応する箇所には、それぞれ流体流通孔が設けられ、これらが貫通するように構成してあり、前記誘電体膜の全表面積の３０％以上が、オゾン除去剤で覆われている。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
対向する一対の電極を備え、それら電極間に所定電圧が印加されてプラズマ放電するプラズマ発生装置であって、
前記一対の電極が、一対の導体基板と、前記導体基板の対向面の少なくとも一方に形成された誘電体膜とを有するとともに、前記一対の電極の対応する箇所に、それぞれ流体流通孔が設けられて、これらが貫通するように構成してあるものであり、
前記誘電体膜の全表面積の３０％以上が、オゾン除去剤で覆われていることを特徴とするプラズマ発生装置。
【請求項２】
前記電極間にスペーサが設けられている請求項１記載のプラズマ発生装置。
【請求項３】
前記スペーサの厚さが、１〜５００μｍである請求項２記載のプラズマ発生装置。
【請求項４】
前記誘電体膜が、前記オゾン除去剤を含有しない層と前記オゾン除去剤を含有する層とからなる２層構造を有する請求項１、２又は３記載のプラズマ発生装置。
【請求項５】
前記オゾン除去剤の平均粒子径が、０．１〜１００μｍである請求項１、２、３又は４記載のプラズマ発生装置。
【請求項６】
前記誘電体膜が、ＢａＴｉＯ３、ＳｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３、ＴｉＯ２、ＺｎＯ２、ＢＴＺ、ＢＣＴＺ、ランガサイト、Ｂｉ層状化合物、ＰＣＺ、ＰＣＺＴからなる群より選ばれる少なくとも１種の誘電体材料を含有する請求項１、２、３、４又は５記載のプラズマ発生装置。
【請求項７】
前記オゾン除去剤が、ＭｎＯ２、Ｆｅ２Ｏ２、Ｆｅ２Ｏ３、ＮｉＯからなる群より選ばれる少なくとも１種の化合物である請求項１、２、３、４、５又は６記載のプラズマ発生装置。
【請求項８】
前記誘電体膜中における前記オゾン除去剤の含有量が、１〜５０質量％である請求項１、２、３、４、５、６又は７記載のプラズマ発生装置。
【請求項９】
前記誘電体膜の表面粗さ（Ｒｚ）が、１μｍ以上である請求項１、２、３、４、５、６、７又は８記載のプラズマ発生装置。
【請求項１０】
前記誘電体膜が、発熱体を含有する請求項１、２、３、４、５、６、７、８又は９記載のプラズマ発生装置。
【請求項１１】
前記オゾン除去剤が、前記流体流通孔の開口周縁から５００μｍ以上離れた領域に分布している請求項１、４、５、６、７、８、９又は１０記載のプラズマ発生装置。
【請求項１２】
前記誘電体膜の膜厚は、前記流体流通孔の開口周縁からの距離が予め定めた所定値以上である領域の方が、前記流体流通孔の開口周縁からの距離が前記予め定めた所定値未満である領域より薄い請求項１、４、５、６、７、８、９、１０又は１１記載のプラズマ発生装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、プラズマ発生装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年のアトピー、ぜんそく、アレルギー症状保有者の増大や新型インフルエンザの爆発的流行等にみられる感染症のリスク増大等によって、生活環境における殺菌や脱臭等の空気質制御ニーズが高まっている。また、生活が豊かになるにつれて、保管食品の量の増大や食べ残し食品の保管機会が増加しており、冷蔵庫に代表される保管機器内の環境制御も重要性を増している。近時、このような現状に鑑み、大気中にプラズマを発生させ、そこで生成される化学的活性種を利用して、殺菌や脱臭が行われている。
【０００３】
放電により大気中にプラズマを発生させ、そこで生成されたイオンやラジカル等の活性種によって殺菌や脱臭を行う技術は、次の２つの形式に分類できる。
（１）大気中に浮遊する菌やウィルス（以下、浮遊菌という。）、又は、悪臭物質（以下、臭気という。）を装置内の限られた容積内で活性種と反応させる、いわゆる受動型のプラズマ発生装置（例えば、特許文献１参照）
（２）プラズマ発生部で生成された活性種を（１）よりも容積の大きな閉空間（例えば、居室、トイレ、乗用車の車内等）へ放出し、大気中で活性種と浮遊菌や臭気とを衝突させ反応させる、いわゆる能動型のプラズマ発生装置（例えば、特許文献２参照）
【０００４】
（１）の受動型のプラズマ発生装置の利点は、小容積内でプラズマを発生させて高濃度の活性種が生成されるため、高い殺菌効果及び脱臭効果が得られる点である。一方、欠点は、浮遊菌や臭気を装置内に導入する必要があるため、装置が大型化し、また、プラズマ発生の副生成物として人体に有害なオゾンが発生しやすく、オゾンを装置外に漏洩させないために、吸着又は分解するフィルターを別途設置する必要がある点である。
【０００５】
次に、（２）の能動型のプラズマ発生装置の利点は、装置を比較的小さくでき、浮遊菌の殺菌や空気中の臭気の分解に加え、衣類や生活用品の表面に付着した菌（以下、付着菌という。）の殺菌や表面に吸着した臭気の分解も期待できる点である。一方、欠点は、活性種が装置の体積に比べて非常に大きな閉空間内に拡散されるため濃度が低くなるので、寿命の長い活性種のみに殺菌や脱臭の効果を期待せざるを得ない点である。その結果、臭気濃度の高い空間（活性種濃度に対して１万倍程度高い濃度）においては、ほとんど脱臭効果が期待できないことになる。
【０００６】
以上のことから、受動型のプラズマ発生装置（１）では、当該装置に流入する空気流に含まれる浮遊菌や臭気に対してのみ効果が限定され、能動型のプラズマ発生装置（２）では濃度の低い浮遊菌、付着菌、臭気に対しての効果しか期待できない。すなわち、従来技術を利用して実現できることは、「浮遊菌の殺菌と脱臭」、又は、「濃度の低い浮遊菌、付着菌の殺菌及び付着臭気の脱臭」のどちらかに限定されることになる。
【０００７】
しかし、マイクロギャップ構造をもつプラズマ電極により、上記の受動型（１）と能動型（２）との両方の機能を兼ね備えたプラズマ発生装置が実現できることが判明している。しかし、プラズマ放電を起こす限り、オゾン発生をなくすことは不可能であり、オゾン発生により、オゾン臭による市場クレーム、更には規定以上のオゾン濃度の発生のリスクが生じる。よって、安全かつ信頼性の高い装置の供給のためには、オゾンを抑制する機構が必要となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００２−２２４２１１号公報
【特許文献２】特開２００３−７９７１４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
そこで本発明は、上記現状に鑑み、簡易な構成によりオゾン発生を効果的に抑制することができるプラズマ発生装置を提供すべく図ったものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
すなわち本発明に係るプラズマ発生装置は、対向する一対の電極を備え、それら電極間に所定電圧が印加されてプラズマ放電するプラズマ発生装置であって、前記一対の電極が、一対の導体基板と、前記導体基板の対向面の少なくとも一方に形成された誘電体膜とを有するとともに、前記一対の電極の対応する箇所に、それぞれ流体流通孔が設けられて、これらが貫通するように構成してあるものであり、前記誘電体膜の全表面積の３０％以上が、オゾン除去剤で覆われていることを特徴とする。
【００１１】
このようなものであれば、電極間で発生したオゾンを電極間で直ちに除去することができるので、オゾンの発生やオゾンの電極外への漏洩を効果的に抑制することができる。
【００１２】
対向する誘電体膜に含有されるオゾン除去剤同士が接触して導体基板間が導通するのを防ぐためには、前記電極間にスペーサを設けることが好ましい。
【００１３】
当該スペーサの厚さは、１〜５００μｍであることが好ましい。
【００１４】
一方、前記誘電体膜が、前記オゾン除去剤を含有しない層と前記オゾン除去剤を含有する層とからなる２層構造を有していれば、前記電極間にスペーサを設けなくとも、導体基板間の導通を防ぐことができる。
【００１５】
また、対向する誘電体膜に含有されるオゾン除去剤同士の接触を防ぐためには、平均粒子径が０．１〜１００μｍであるような小さなオゾン除去剤を用いてもよい。
【００１６】
前記誘電体膜が含有する誘電体材料としては、例えば、ＢａＴｉＯ３、ＳｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３、ＴｉＯ２、ＺｎＯ２、ＢＴＺ、ＢＣＴＺ、ランガサイト、Ｂｉ層状化合物、ＰＣＺ、ＰＣＺＴ等が挙げられる。
【００１７】
前記オゾン除去剤としては、例えば、ＭｎＯ２、Ｆｅ２Ｏ２、Ｆｅ２Ｏ３、ＮｉＯ等が挙げられる。
【００１８】
前記誘電体膜中における前記オゾン除去剤の含有量は、１〜５０質量％であることが好ましい。
【００１９】
前記誘電体膜の表面粗さ（Ｒｚ）が、１μｍ以上であれば、放電表面積及びオゾン発生を抑制できる領域の面積を増大することができる。
【００２０】
更に、前記誘電体膜が発熱体を含有すれば、オゾン分解効率が向上するとともに、低電圧でのプラズマ放電が可能となる。
【００２１】
前記オゾン除去剤が、前記流体流通孔の開口周縁から５００μｍ以上離れた領域に分布していると、効率的にオゾン発生を抑制することができる。
【００２２】
前記誘電体膜の膜厚は、前記流体流通孔の開口周縁からの距離が予め定めた所定値以上である領域の方が、前記流体流通孔の開口周縁からの距離が前記予め定めた所定値未満である領域より薄いように構成すれば、イオンやラジカル等の活性種が生成しやすい流体流通孔近傍で、選択的にプラズマ放電を起こすことができる。
【発明の効果】
【００２３】
このような構成を有する本発明によれば、殺菌・脱臭及びオゾン除去が１つの素子で可能となるため、部品点数が減ることにより安価となる。また、別途オゾン発生を抑制するための部品がいらないため、フレキシブルな構造とすることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明に係るプラズマ発生装置の一実施形態を示す模式図である。
【図２】同実施形態における電極部を示す平面図である。
【図３】同実施形態における電極部のＡＡ線断面図である。
【図４】同実施形態における電極部のＡＡ線断面の部分拡大図である。
【図５】図４に示す実施形態からスペーサを取り除いた態様を示す模式図である。
【図６】オゾン発生濃度を０．０２ｐｐｍに調整した際のオゾン除去剤の有無によるイオン発生量を比較したグラフである。
【図７】オゾン発生濃度の電圧依存性をオゾン除去剤の有無により比較したグラフである。
【図８】他の実施形態における電極部のＡＡ線断面の部分拡大図である。
【図９】他の実施形態における電極部のＡＡ線断面の部分拡大図である。
【図１０】他の実施形態における電極部のＡＡ線断面の部分拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下に本発明を詳述する。
【００２６】
本発明に係るプラズマ発生装置は、対向する一対の電極を備え、それら電極間に所定電圧が印加されてプラズマ放電するものである。このようなプラズマ発生装置としては、例えば、図１に示すような実施形態のものが挙げられる。
【００２７】
当該実施形態に係るプラズマ発生装置１００は、例えば、冷蔵庫、洗濯機、食器洗浄機、衣類乾燥機、掃除機、空調機、空気清浄機等の家庭電化製品に用いられるものであり、当該家庭電化製品の内部又は外部の空気の脱臭やそれら製品内部又は外部の浮遊菌又は付着菌を殺菌するものである。
【００２８】
より詳細には、プラズマ発生装置１００は、図１に示すように、マイクロギャッププラズマ（Micro Gap Plasma）によりイオンやラジカル等の活性種を生成させるプラズマ電極部２と、プラズマ電極部２の外部に設けられてプラズマ電極部２に強制的に風（空気流）を送る送風機構３と、プラズマ電極部２に所定電圧を印加してプラズマ放電させる電圧印加手段４とを備えている。
【００２９】
プラズマ電極部２は、図２及び図３に示すように、導体基板２１ａ、２２ａの対向面に誘電体膜２１ｂ、２２ｂを設け、反対向面に絶縁体膜２１ｃ、２２ｃを設けた一対の電極２１、２２を有し、それら電極２１、２２間に電圧印加手段４により所定電圧が印加されてプラズマ放電するものである。各電極２１、２２は、平面視において（電極２１、２２の面板方向から見たときに）概略矩形状をなすものであり、電極部２の電極２１、２２の縁部には、電圧印加手段４からの電圧が印加される印加端子２Ｔが形成されている。
【００３０】
導体基板２１ａ、２２ａは、例えば、オーステナイト系、フェライト系、マルテンサイト系等のステンレス鋼や、鉄、銅、アルミニウム等の導体からなるものであり、一方、絶縁体膜２１ｃ、２２ｃは、例えば、酸化物、炭化物、窒化物、ホウ化物、ガラスや、エポキシ樹脂、ポリエステル樹脂、ポリエーテルサルホン（ＰＥＳ）樹脂、フッ素樹脂等の樹脂等からなるものである。
【００３１】
各電極２１、２２には、各電極２１、２２の対応する箇所にそれぞれ流体流通孔２１ｄ、２２ｄが設けられて、これらが連通して全体として貫通するように構成されている。
【００３２】
送風機構３は、プラズマ電極部２の電極２２に対向するように配置されており、プラズマ電極部２に形成された流体流通孔２１ｄ、２２ｄ（完全開口部）に向かって強制的に風を送る送風ファンを有するものである。
【００３３】
電圧印加手段４は、電源４１と当該電源４１からの電圧をパルス電圧に変換して各電圧を印加する駆動回路部４２とを備えている。
【００３４】
本実施形態に係るプラズマ発生装置１００は、２枚の対向した電極２１、２２の隙間にプラズマを発生させ、流体流通孔２１ｄ、２２ｄに送風機構３によって風を送り込み、電極２１、２２近傍で脱臭を行い、プラズマ中で生成された活性種を閉空間に放出し付着菌の殺菌を行う。
【００３５】
本発明における誘電体膜は、誘電体材料とオゾン除去剤とを含有するものである。誘電体材料とオゾン除去剤とが混在することにより、プラズマ放電直後に発生したオゾンが直ちにオゾン除去剤と接触するので、効率的にオゾンを分解することができる。前記誘電体膜は、その全表面積の５０％以上がオゾン除去剤で覆われている。オゾン除去剤で覆われている表面積が５０％未満であると、オゾン除去効果が充分に発揮されない。好ましくは５０〜９０％である。
【００３６】
前記誘電体材料としては、例えば、ＢａＴｉＯ３、ＳｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３、ＴｉＯ２、ＺｎＯ２、ＢＴＺ（チタン酸ジルコン酸バリウム）、ＢＣＴＺ（チタン酸ジルコン酸バリウムカルシウム）、ランガサイト（Ｌａ３Ｇａ５ＳｉＯ１４）、Ｂｉ層状化合物、ＰＣＺ（ジルコン酸カルシウム鉛）、ＰＣＺＴ（チタン酸ジルコン酸カルシウム鉛）等が挙げられる。これらは単独で用いられてもよく、２種以上が併用されてもよい。
【００３７】
前記オゾン除去剤としては、例えば、ＭｎＯ２、Ｆｅ２Ｏ２、Ｆｅ２Ｏ３、ＮｉＯ等が挙げられる。これらは単独で用いられてもよく、２種以上が併用されてもよい。
【００３８】
前記誘電体膜におけるオゾン除去剤の存在状態としては、以下に第１〜４の態様として例示するような種々の態様を採用することができる。なお、本発明は以下の第１〜４の態様により何ら限定されるものではない。
【００３９】
＜第１の態様＞
第１の態様としては、図４に示すように、誘電体膜２１ｂ、２２ｂ中にオゾン除去剤５を分散させた態様が挙げられる。このように誘電体膜２１ｂ、２２ｂ中にオゾン除去剤５を分散させることにより、プラズマが発生する近傍でオゾンを分解することができる。
【００４０】
この際、図５に示すように、対向する誘電体膜２１ｂ、２２ｂ中のオゾン除去剤５が互いに接触すると、オゾン除去剤５により導体基板２１ａ、２２ａ間が導通してしまい、プラズマを発生させることができなくなることがある。このため、電極２１、２２間にスペーサ６を設けて、対向する誘電体膜２１ｂ、２２ｂ中のオゾン除去剤５同士が接触しないようにしてある。
【００４１】
第１の態様では、誘電体膜２１ｂ、２２ｂ中のオゾン除去剤５含有量は１〜５０質量％であることが好ましい。オゾン除去剤５含有量が１質量％未満であると、オゾン除去効果が充分に発揮されないことがあり、５０質量％を超えると、その分、誘電体材料の含有率が減るのでプラズマが発生しにくくなる。
【００４２】
第１の態様で誘電体膜２１ｂ、２２ｂを形成するには、誘電体材料にオゾン除去剤５を混合した後、得られた混合物を、導体基板２１ａ、２２ａ上に、真空蒸着、スパッタリング、溶射、印刷等する。
【００４３】
スペーサ６としては、厚さが１〜５００μｍであるものが好適に用いられる。スペーサの厚さが１μｍ未満であると、オゾン除去剤５同士の接触を充分に防ぐことができない場合もあり、一方、５００μｍを超えると、プラズマを発生させるために必要な電圧が大きくなり、オゾンが発生し易くなる。
【００４４】
当該スペーサ６としては、例えば、フッ素樹脂、エポキシ、ポリイミド、アルミナ、ガラス等からなるものが用いられる。当該スペーサ６の形成方法としては、蒸着法、ＣＶＤ法（Chemical Vapor Deposition）、スパッタ法、イオンプレーティング法等の薄膜形成方法；めっき法、溶射法、スプレーコーティング、スピンコート法、塗布法等が挙げられる。
【００４５】
第１の態様において、誘電体膜２１ｂ、２２ｂ中にオゾン除去剤５を３０質量％含有させた場合と、オゾン除去剤５を含有させなかった場合とで、それぞれ図１に示すようなプラズマ発生装置１００を構成し、送風機構３からプラズマ電極部２に風を送り、排出された空気中のイオンをイオンカウンターで測定し、オゾン除去剤５の有無による影響を調べた。この結果の一例を図６及び図７に示す。図６は、オゾン発生濃度を０．０２ｐｐｍに調整した際のオゾン除去剤５の有無によるイオン発生量を比較したグラフであり、図７は、オゾン発生濃度の電圧依存性をオゾン除去剤５の有無により比較したグラフである。
【００４６】
図６に示すように、誘電体膜２１ｂ、２２ｂ中にオゾン除去剤５を３０質量％含有させることにより、イオン数を約５倍以上に増加させることができた。また、図７に示すように、誘電体膜２１ｂ、２２ｂ中にオゾン除去剤５を３０質量％含有させることにより、オゾンが発生しだす電圧を２００Ｖ以上上昇させることができた。
【００４７】
＜第２の態様＞
第２の態様としては、図８に示すように、誘電体膜２１ｂ、２２ｂが、オゾン除去剤５を含有する層２１ｂ１、２２ｂ１とオゾン除去剤５を含有しない層２１ｂ２、２２ｂ２との２層構造を有する態様が挙げられる。このように誘電体膜２１ｂ、２２ｂが２層構造を有することによって、スペーサ６を用いなくとも導体基板２１ａ、２２ａ間の絶縁性が保たれ、プラズマの発生を担保することができる。
【００４８】
第２の態様で誘電体膜２１ｂ、２２ｂを形成するには、まず、導体基板２１ａ、２２ａ上に、誘電体材料を、真空蒸着、スパッタリング、溶射、印刷等し、オゾン除去剤５を含有しない層２１ｂ２、２２ｂ２を形成する。次いで、誘電体材料にオゾン除去剤５を混合し、得られた混合物を、オゾン除去剤５を含有しない層２１ｂ２、２２ｂ２上に、真空蒸着、スパッタリング、溶射、印刷等し、オゾン除去剤５を含有する層２１ｂ１、２２ｂ１を形成する。
【００４９】
＜第３の態様＞
第３の態様としては、図９に示すように、オゾン除去剤５として粒子径が小さいものを使用する態様が挙げられる。このように粒子径が小さいオゾン除去剤５を使用することにより、対向する誘電体膜２１ｂ、２２ｂ中のオゾン除去剤５同士が接触しないようにして、導体基板２１ａ、２２ａ間の導通を防ぎ、プラズマの発生を担保するようにしている。
【００５０】
このような粒子径の小さなオゾン除去剤としては、平均粒子径が０．１〜１００μｍであるものが好ましい。平均粒子径が０．１μｍ未満であると、誘電体膜２１ｂ、２２ｂの材料作成工程において、オゾン除去剤５が分散困難となり、所望の配合で作成することが困難になる。一方、１００μｍを超えると、オゾン除去剤５同士の接触を充分に防ぐことができない場合もある。なお、オゾン除去剤５の平均粒子径は、粒度分布測定装置（例えば島津製作所社製  レーザー回折式粒度分布測定装置  ＳＡＬＤ−２３００）により求めることができる。
【００５１】
＜第４の態様＞
第４の態様としては、図１０に示すように、流体流通孔２１ｄ、２２ｄの近傍では誘電体膜２１ｂ、２２ｂの膜厚を厚くし、流体流通孔２１ｄ、２２ｄから離れた領域では誘電体膜２１ｂ、２２ｂの膜厚を薄くし、かつ、流体流通孔２１ｄ、２２ｄから離れた領域の各誘電体膜２１ｂ、２２ｂ表面にオゾン除去剤５が配置されている態様が挙げられる。
【００５２】
流体流通孔２１ｄ、２２ｄからの距離とプラズマ放電により発生する化学種には相関があり、流体流通孔２１ｄ、２２ｄ近傍ではイオンやラジカル等の活性種が優勢に生成し、流体流通孔２１ｄ、２２ｄから離れた領域ではオゾンが優勢に発生する。このため、流体流通孔２１ｄ、２２ｄからの距離に応じて、誘電体膜２１ｂ、２２ｂの厚さを変えて、誘電体膜２１ｂ、２２ｂ間の距離を変えることにより、プラズマ放電を起こす領域を選択することが可能となり、その結果、オゾンの発生を抑制することができる。
【００５３】
第４の態様では、誘電体膜２１ｂ、２２ｂ間が近接している流体流通孔２１ｄ、２２ｄの近傍のみでプラズマ放電が起こるように、放電領域を制限することができるので、余分なオゾンの発生を回避することができる。一方、流体流通孔２１ｄ、２２ｄから離れた領域では、プラズマ放電は起こらないうえ、オゾン除去剤５によるオゾン分解作用のみが働くので、更にオゾン分解を加速させることができる。
【００５４】
第４の態様の電極を作製するには、例えば、以下のような工程を行えばよい。
（１）導体基板２１ａ、２２ａ上の流体流通孔２１ｄ、２２ｄから離れた領域に、誘電体材料を、真空蒸着、スパッタリング、溶射、印刷等し、膜厚が薄い誘電体膜２１ｂ３、２２ｂ３を形成する。
（２）導体基板２１ａ、２２ａ上のうち（１）の工程で誘電体膜２１ｂ、２２ｂを形成しなかった箇所、すなわち流体流通孔２１ｄ、２２ｄの近傍に、誘電体材料を、真空蒸着、スパッタリング、溶射、印刷等し、膜厚が厚い誘電体膜２１ｂ４、２２ｂ４を形成する。
（３）誘電体膜２１ｂ、２２ｂの表面に凹凸を作成するために、サンドブラスト等の表面処理を行う。
（４）流体流通孔２１ｄ、２２ｄから離れた領域に形成された膜厚が薄い誘電体膜２１ｂ３、２２ｂ３の表面に、真空蒸着、スパッタリング、ゾルゲル等により、オゾン除去剤５を付着させる。
【００５５】
上記（３）の工程で、誘電体膜２１ｂ、２２ｂの表面に凹凸を形成するにあたっては、誘電体膜２１ｂ、２２ｂの表面粗さ（Ｒｚ）が１μｍ以上となるようにすることが好ましく、より好ましくは１〜１００μｍである。この範囲の表面粗さ（Ｒｚ）であれば、放電面積及びオゾン除去剤を付着する領域の面積を増やすことができる。なお、上記の第１〜３の態様においても、表面粗さ（Ｒｚ）が１μｍ以上となるように、誘電体膜２１ｂ、２２ｂの表面に凹凸を形成してもよい。
【００５６】
上記（４）の工程においてオゾン除去剤５を付着させる領域は、流体流通孔２１ｄ、２２ｄの開口周縁から５００μｍ以上離れた領域であることが好ましい。そして、誘電体膜２１ｂ、２２ｂの膜厚の大小の境も流体流通孔２１ｄ、２２ｄの開口周縁から５００μｍ程度であることが好ましい。なお、上記の第１〜３の態様においても、オゾン除去剤５が分布する領域を、流体流通孔２１ｄ、２２ｄの開口周縁から５００μｍ以上離れた領域に限定してもよい。
【００５７】
更に、本発明における誘電体膜は、その内部又は表面に発熱体を含有していてもよい。ここで、発熱体とは、抵抗加熱により誘電体膜を加熱するものであり、例えば、Ｎｉ−Ｃｒ系発熱体、二珪化モリブデン発熱体、炭化ケイ素発熱体、黒鉛発熱体等の発熱抵抗体、バリスタ素子、赤外線ＬＥＤ等が用いられる。この発熱体の発熱温度は１５０℃以下であることが好ましい。
【００５８】
前記誘電体膜の内部又は表面に発熱体を含有させることにより、オゾン分解効率が向上し、また、発熱体に放電電流が流れるときに生じるジュール熱によって、放電面（誘電体膜表面）の温度が上昇し、比誘電率が増加し、これに伴い低電圧でのプラズマ放電が可能となる。
【符号の説明】
【００５９】
２…プラズマ電極部
２１ａ、２２ａ…導体基板
２１ｂ、２２ｂ…誘電体膜
２１ｄ、２２ｄ…流体流通孔
５…オゾン除去剤
１００…プラズマ発生装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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