(57)【要約】【課題】密閉機構を用いることなく、磁性体からなる粉塵を集塵することができる磁気式集塵装置を提供すること。【解決手段】本発明は、磁性体からなる粉塵を発生させる粉塵発生機構に対して設けられる磁気式集塵装置であって、磁性体からなる粉塵を引きつける吸引面を有する磁石装置と、前記磁石装置の前記吸引面に、当該吸引面とは逆側に粘着面が露出するように設置された粘着シートと、を備えたことを特徴とする磁気式集塵装置である。【選択図】図１
2014069101.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁性体からなる粉塵を発生させる粉塵発生機構に対して設けられる磁気式集塵装置であって、
磁性体からなる粉塵を引きつける吸引面を有する磁石装置と、
前記磁石装置の前記吸引面に、当該吸引面とは逆側に粘着面が露出するように設置された粘着シートと、
を備えたことを特徴とする磁気式集塵装置。
【請求項２】
前記磁石装置は、粉塵発生機構の方向に強い磁力を有する異方性磁石である
ことを特徴とする請求項１に記載の磁気式集塵装置。
【請求項３】
前記磁石装置は、電磁石装置である
ことを特徴とする請求項１に記載の磁気式集塵装置。
【請求項４】
前記粘着シートは、複数が積層された積層粘着シートである
ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の磁気式集塵装置。
【請求項５】
粉塵発生機構を覆うブース
を更に備えたことを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の磁気式集塵装置。
【請求項６】
前記粘着シートの前記粘着面は、前記ブースに覆われた空間の底面側に配置されている
を更に備えたことを特徴とする請求項５に記載の磁気式集塵装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁性体からなる粉塵を発生させる粉塵発生機構に対して設けられる磁気式集塵装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えばクリーンルームのように、内部における清浄雰囲気の維持が必要とされる空間がある。そのような空間内においても、製品製造や製品運搬などが行われる。その際、製品製造や製品運搬のために必要な機構、例えば金属製のギヤ駆動部から、当該金属の粉塵が発生することがある。このような粉塵は、清浄雰囲気の維持のために、当該空間内における飛散が防止されなければならない。
【０００３】
特許文献１に記載された集塵装置は、バキューム手段によって粉塵を吸引するタイプの集塵装置である。このようにバキューム手段を用いる集塵装置は、粉塵の種類を問わないことの他、集塵効率が高いという利点がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１０−１３８０８３
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、バキューム手段を用いる集塵装置は、吸引力が高すぎると、例えば吸引口の付近等において乱流が発生してしまって、当該乱流が粉塵の飛散を引き起こすという問題があった。
【０００６】
また、バキューム手段を用いる集塵装置は、吸引による集塵効率を上げるために、粉塵発生機構を密閉することが望まれるが、クリーンルーム内の狭い（限られた）空間では、そのような密閉機構（密閉ブース）を設置することが難しい場合がある。
【０００７】
本発明は、以上の知見に基づいて創案されたものである。本発明の目的は、密閉機構を用いることなく、磁性体からなる粉塵を集塵することができる磁気式集塵装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、磁性体からなる粉塵を発生させる粉塵発生機構に対して設けられる磁気式集塵装置であって、磁性体からなる粉塵を引きつける吸引面を有する磁石装置と、前記磁石装置の前記吸引面に、当該吸引面とは逆側に粘着面が露出するように設置された粘着シートと、を備えたことを特徴とする磁気式集塵装置である。
【０００９】
本発明によれば、磁石装置の吸引面に引きつけられた磁性体からなる粉塵が、当該吸引面に設置された粘着シートの粘着面によって吸着されてしまうため、その後に再び飛散することが確実に防止される。また、原理的に、密閉機構を必要としないため、クリーンルームのような狭い空間でも適用可能である。また、吸着された粉塵は、粘着シートごと廃棄することが可能であるため、作業者の作業も容易である。
【００１０】
好ましくは、前記磁石装置は、粉塵発生機構の方向に強い磁力を有する異方性磁石である。この場合、粉塵発生機構に対して、より強力に磁力を効かせることができる。
【００１１】
あるいは、好ましくは、前記磁石装置は、電磁石装置である。この場合、磁力の強度調整が容易である他、磁力のＯＮ−ＯＦＦ制御も容易であるから、例えば粘着シートの交換時に磁力をＯＦＦにするといったことも可能となる。
【００１２】
粘着シートとしては、それ自体公知の各種の粘着シートが利用され得る。一般には、粘着シートは、複数が積層された積層粘着シートが用いられるが、粘着面に粘着ジェルが塗布されたタイプのシートであってもよい。前者の場合、粉塵を吸着している最上位のシートを剥がすことによって、最上位のシートごと粉塵が除去され、次のシートの粘着面が露出される。後者の場合、例えば粘着ジェルと一緒に粉塵が拭き取られ、その後に再び新たな粘着ジェルが塗布されることで、繰り返しの利用に供される。
【００１３】
また、磁気式集塵装置は、粉塵発生機構を覆うブースを備えることが好ましい。ブースは、粉塵発生機構の周囲の空間を密閉するものであってもよいが、粉塵発生機構が発生する粉塵の飛散領域を制限する趣旨で設けられ、吸引効率を上げるために設けられるのではないため、必ずしも密閉までする必要はない。
【００１４】
もっとも、このようなブースが設けられる場合には、粉塵を飛散させない程度の弱い吸引力で空気を吸引排気する機構が併設されてもよい。
【００１５】
また、このようなブースが設けられる場合には、重力の作用を考慮して、前記粘着シートの前記粘着面は、前記ブースに覆われた空間の底面側に配置されていることが好ましい。もっとも、装置環境に応じて、例えば特殊な方向に発塵することが分かっている場合等には、前記粘着シートの前記粘着面が前記ブースに覆われた空間の側面側に配置されることも好適である。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、磁石装置の吸引面に引きつけられた磁性体からなる粉塵が、当該吸引面に設置された粘着シートの粘着面によって吸着されてしまうため、その後に再び飛散することが確実に防止される。また、原理的に、密閉機構を必要としないため、クリーンルームのような狭い空間でも適用可能である。また、吸着された粉塵は、粘着シートごと廃棄することが可能であるため、作業者の作業も容易である。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の一実施の形態の磁気式集塵装置の概略正面透視図である。
【図２】図１の磁気式集塵装置の概略側面透視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下に、添付の図面を参照して、本発明の実施の形態を詳細に説明する。
【００１９】
図１は、本発明の一実施の形態の磁気式集塵装置の概略正面透視図であり、図２は、図１の磁気式集塵装置の概略側面透視図である。
【００２０】
本実施の形態の磁気式集塵装置１０は、図１及び図２に示すように、例えばクリーンルーム内において各種製品を運搬するための運搬機構の一部である金属製ギヤ６０に対して設けられる装置であり、当該金属製ギヤ６０が発生させる磁性体からなる粉塵を集塵するための装置である。磁性体からなる粉塵とは、本実施の形態の場合、ステンレス鋼（ＳＵＳ３０４，ＳＵＳ３０５）、クロムモリブデン鋼（ＳＣＭ４１５）などからなる粉塵であり、対象とする粒径は、０．７μｍ以上である。もっとも、目視できるのは数十μｍ程度である。
【００２１】
本実施の形態の磁気式集塵装置１０は、図１及び図２に示すように、金属製ギヤ６０の上方及び側方を実質的に覆う略直方体形状のブース５０を備えている。本実施の形態のブース５０は、軽量かつ丈夫であって、内部がよく視認できる透明アクリル製である。ブース５０は、金属製ギヤ６０が発生する粉塵の飛散領域を制限する趣旨で設けられており、金属製ギヤ６０の周囲の空間を密閉までするものではなく、金属製ギヤ６０に接続された各軸部材との干渉を避けるための種々の開口部（不図示）を有している。ブース５０は、作業者によって容易に持ち上げて取り外すことが可能となっている。
【００２２】
そして、金属製ギヤ６０の下方に、ブース５０と対向するように、磁性体からなる粉塵を引きつける吸引面２１を有する磁石装置２０が設けられている。本実施の形態の吸引面２１は、ブース５０に覆われた空間の底面側に配置されている。また、本実施の形態の磁石装置２０は、金属製ギヤ６０の方向に強い磁力を有する異方性磁石で構成されている。具体的には、ニチレイマグネット株式会社製の商品名「マグタックテープ  ロール  １．５ｍｍ×１９ｍｍ」（品番：０００２２８）が用いられている。あるいは、株式会社マグナ製の商品名「ネオジムマグネットシート  １．０ｍｍ×２００ｍｍ」も用いられ得る。
【００２３】
そして、当該吸引面２１の上面に、粘着シート３０が設けられている。本実施の形態では、複数が積層された積層粘着シートが用いられている。具体的には、３０層積層タイプの、アズワン株式会社製の商品名「アズピュアクリーンマット」（品番：１−４７３１−６３  白  ４５０×９００）が、設置場所のサイズに合わせて切断されて用いられている。
【００２４】
その他、本実施の形態の磁気式集塵装置１０は、磁石装置２０の側方に、粉塵を飛散させない程度の弱い吸引力で空気を吸引排気する吸引排気機構４０が併設されている。吸引排気機構４０の先には、公知のフィルタリング機構（不図示）が設けられている。
【００２５】
次に、本実施の形態の磁気式集塵装置１０の作用について説明する。本実施の形態の磁気式集塵装置１０は、図１及び図２に示すように、金属製ギヤ６０の上方及び側方を実質的に略直方体形状のブース５０で覆った状態で用いられる。
【００２６】
クリーンルーム内において各種製品を運搬するための運搬機構の一部である金属製ギヤ６０は、動作の結果として、ステンレス鋼（ＳＵＳ３０４，ＳＵＳ３０５）やクロムモリブデン鋼（ＳＣＭ４１５）などからなる粉塵を発生させる。発生された粉塵は、金属製ギヤ６０から飛散するが、主として重力の作用を受けて落下して、一部は吸引排気機構４０から排出されるが、一部は更に磁石装置２０の磁力の作用を受けて当該磁石装置２０の吸引面２１上の粘着シート３０によって吸着される。吸着された粉塵は、粘着シート３０の粘着力によって、その後に再び飛散することが確実に防止される。
【００２７】
金属製ギヤ６０の所定時間の運転の後、金属製ギヤ６０の運転が停止されると、作業者によってブース５０が取り外されて、作業者によって粘着シート３０が剥がされることによって粘着シート３０に吸着された粉塵が粘着シート３０ごと廃棄される。この作業の際に、粉塵は、粘着シート３０に吸着されたまま飛散することがないため、作業者による作業は容易である。また、粘着シート３０が積層粘着シートからなるため、粉塵を吸着した最上位のシートが剥がされることで、次のシートの粘着面が簡便に露出される。
【００２８】
その後、再びブース５０が取り付けられて、金属製ギヤ６０の運転が再開される。
【００２９】
以上の通り、本実施の形態によれば、磁石装置２０の吸引面２１に引きつけられた磁性体からなる粉塵が、当該吸引面２１に設置された粘着シート３０の粘着面によって吸着されることにより、その後に再び飛散することが確実に防止される。
【００３０】
また、ブース５０は、空間を密閉するものではなく、金属製ギヤ６０に接続された各軸部材との干渉を避けるための種々の開口部（不図示）を有することができるため、クリーンルーム内の狭い空間でも適用可能である。
【００３１】
また、吸着された粉塵は、粘着シート３０ごと廃棄することが可能であるため、作業者の作業も容易である。
【００３２】
また、磁石装置２０は、金属製ギヤ６０の方向に強い磁力を有する異方性磁石であるため、当該金属製ギヤ６０に対して、より強力に磁力を効かせることができる。
【００３３】
なお、磁石装置２０は、電磁石装置によって置換することが可能である。この場合、磁力の強度調整が容易である他、磁力のＯＮ−ＯＦＦ制御も容易となる。従って、例えば粘着シートの交換時に磁力をＯＦＦにして、吸引排気機構４０からの吸引作用を優先させるといったことも可能となる。
【００３４】
また、粘着シートとして、前記実施の形態では積層粘着シートが用いられたが、粘着面に粘着ジェルが塗布されたタイプのシートであってもよい。この場合、例えば粘着ジェルと一緒に粉塵が拭き取られ、その後に再び新たな粘着ジェルが塗布されることで、当該粘着シートは繰り返しの利用に供される。
【符号の説明】
【００３５】
１０  磁気式集塵装置
２０  磁石装置
２１  吸引面
３０  粘着シート
４０  吸引排気機構
５０  ブース
６０  金属製ギヤ
【図１】
2014069101.tif 000003
【図２】
2014069101.tif 000004