(57)【要約】【課題】複数の接続端子を高密度に配置しつつも、隣接する接続端子間での離間距離を大きくすることが可能な、液体噴射装置を提供すること。【解決手段】インクジェットヘッドは、複数の圧電素子を含む圧電体４０と、圧電体４０の上面に沿って配置され、複数の圧電素子にそれぞれ接続された複数の接続端子４８と、複数の圧電素子をそれぞれ駆動するドライバＩＣ４６と、を備えている。ドライバＩＣ４６と複数の接続端子４８とは、複数の導電性ワイヤ４９によって接続されている。また、隣接する接続端子４８の間で、接続端子４８の前記圧電体４０の上面からの高さ位置が異なっている。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のノズルと、
これら複数のノズル内の液体にそれぞれ噴射エネルギーを付与する複数のエネルギー付与素子と、
所定の一平面に沿って配置され、前記複数のエネルギー付与素子にそれぞれ接続された複数の接続端子と、
前記複数のエネルギー付与素子をそれぞれ駆動するドライバＩＣと、を備え、
前記ドライバＩＣと前記複数の接続端子とが、複数の導電性ワイヤによって接続され、
隣接する前記接続端子の間で、前記接続端子の前記所定の一平面からの高さ位置が異なっていることを特徴とする液体噴射装置。
【請求項２】
前記所定の一平面に、複数の凸部と前記複数の凸部の間に形成された複数の凹部とを有する端子配置部が設けられ、
前記端子配置部の前記複数の凸部の頂面と前記複数の凹部の底面に、前記複数の接続端子がそれぞれ配置されていることを特徴とする請求項１に記載の液体噴射装置。
【請求項３】
前記複数の凸部と前記複数の凹部とが、前記所定の一平面に平行な方向に沿って交互に配置されていることを特徴とする請求項２に記載の液体噴射装置。
【請求項４】
前記端子配置部は、前記複数の接続端子にそれぞれ接続された複数の導通部を有し、
前記凸部と前記凹部の間で、前記導電性ワイヤ、前記接続端子、及び、前記導通部を含む導電経路の電気抵抗の総和が等しくなるように、前記凸部に配置された前記接続端子の導通部と前記凹部に配置された前記接続端子の導通部の形状が異なっていることを特徴とする請求項２又は３に記載の液体噴射装置。
【請求項５】
前記凸部の前記接続端子に接続される前記導電性ワイヤと、前記凹部の前記接続端子に接続される前記導電性ワイヤの長さが等しく、
前記凸部の前記接続端子に接続される前記導通部と、前記凹部の前記接続端子に接続される前記導通部は、電気抵抗が互いに等しいことを特徴とする請求項４に記載の液体噴射装置。
【請求項６】
前記凸部の前記接続端子に接続される前記導電性ワイヤと、前記凹部の前記接続端子に接続される前記導電性ワイヤの長さが異なっており、
前記凸部と前記凹部とで前記導電経路の電気抵抗の総和が等しくなるように、前記凸部の前記接続端子に接続される前記導通部の電気抵抗と、前記凹部の前記接続端子に接続される前記導通部の電気抵抗とが異なっていることを特徴とする請求項４に記載の液体噴射装置。
【請求項７】
前記所定の一平面に沿って、前記複数の凸部と前記複数の凹部が、千鳥状で且つ互い違いに配置され、
前記凸部の頂面に配置された前記接続端子は、別の前記凸部に近接する角部が面取りされた平面形状を有することを特徴とする請求項２〜６の何れかに記載の液体噴射装置。
【請求項８】
前記凹部の底面の面積は、前記凸部の頂面の面積よりも大きいことを特徴とする請求項２〜７の何れかに記載の液体噴射装置。
【請求項９】
前記凹部は、底面に向かうほど断面積が小さくなる先細りのテーパ形状に形成されていることを特徴とする請求項２〜８の何れかに記載の液体噴射装置。
【請求項１０】
前記端子配置部に配置された前記複数の接続端子は、前記所定の一平面に平行な方向に沿って配列され、
前記ドライバＩＣは、前記接続端子の配列方向と直交する方向において前記端子配置部と並んで配置されるとともに、前記配列方向に沿って配列された複数の出力端子を有し、
前記端子配置部は、前記配列方向において、前記ドライバＩＣの前記複数の出力端子の配置範囲を越えて配置されており、
前記端子配置部の、前記配列方向における前記複数の出力端子の配置範囲内に収まる部分においては、複数の第１凸部と複数の凹部が前記配列方向に交互に配置され、
前記端子配置部の、前記配列方向における前記複数の出力端子の配置範囲を越えた部分には、前記第１凸部よりも頂面の位置が高くなるように突出した、第２凸部が配置され、
前記複数の第１凸部、前記複数の凹部、及び、前記第２凸部には、前記複数の接続端子がそれぞれ配置され、これら複数の接続端子が前記ドライバＩＣの前記複数の出力端子と前記導電性ワイヤで接続されていることを特徴とする請求項２〜９の何れかに記載の液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体を噴射する液体噴射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、インクの液滴を噴射するインクジェットヘッドが開示されている。この特許文献１のインクジェットヘッドは、複数のノズルと、複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力発生室と、複数の圧力発生室内のインクにそれぞれ圧力を付与する複数の圧電素子と、複数の圧電素子を駆動するドライバＩＣとを備えている。
【０００３】
複数の圧電素子は、複数の圧力発生室を覆う弾性膜の表面に配置されている。また、弾性膜の表面には、前記複数の圧電素子からそれぞれ引き出された複数のリード電極も形成されている。ドライバＩＣは複数の圧電素子の上方に配置され、このドライバＩＣと複数のリード電極とが、ワイヤで個別に接続されている（ワイヤボンディング）。また、弾性膜上において、複数の圧電素子がノズル配列方向に沿って配列されているのに対し、ドライバＩＣとワイヤで接続される、複数のリード電極の先端部（接続端子）は、ノズル配列方向と直交する方向に交互に位置がずれた、いわゆる、千鳥状に配置されている。これにより、複数の接続端子が直線的に配列される場合と比較して、隣接する接続端子の間隔が大きくなっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−２４０３１２号公報（図６）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ノズル及び圧電素子の高密度化に伴い、複数の圧電素子にそれぞれ接続される複数の接続端子にも高密度配置が要求される。しかし、複数の接続端子の間隔が狭くなるほど、隣接する接続端子間でマイグレーションや短絡が生じやすくなる。この点、前記特許文献１では、複数のリード電極の接続端子を千鳥状に配置することで、隣接する接続端子の間隔を多少は広げてはいる。しかし、上記手法で間隔を広げるにも限界があり、一層の高密度配置を実現することは困難である。
【０００６】
本発明の目的は、複数の接続端子を高密度に配置しつつも、隣接する接続端子間での離間距離を大きくすることが可能な、液体噴射装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
第１の発明の液体噴射装置は、複数のノズルと、これら複数のノズル内の液体にそれぞれ噴射エネルギーを付与する複数のエネルギー付与素子と、所定の一平面に沿って配置され、前記複数のエネルギー付与素子にそれぞれ接続された複数の接続端子と、前記複数のエネルギー付与素子をそれぞれ駆動するドライバＩＣと、を備え、
前記ドライバＩＣと前記複数の接続端子とが、複数の導電性ワイヤによって接続され、隣接する前記接続端子の間で、前記接続端子の前記所定の一平面からの高さ位置が異なっていることを特徴とするものである。
【０００８】
本発明では、所定の一平面に沿って配置された複数の接続端子が、ドライバＩＣと、導電性ワイヤによってそれぞれ接続されている。また、隣接する接続端子間で、前記一平面からの高さ位置が異なっている。これにより、隣接する接続端子の位置を高さ方向に離すことができるため、複数の接続端子を前記所定の一平面に沿って高密度に配置しつつも、隣接する接続端子間での短絡やマイグレーションを防止できる。
【０００９】
第２の発明の液体噴射装置は、前記第１の発明において、前記所定の一平面に、複数の凸部と前記複数の凸部の間に形成された複数の凹部とを有する端子配置部が設けられ、前記端子配置部の前記複数の凸部の頂面と前記複数の凹部の底面に、前記複数の接続端子がそれぞれ配置されていることを特徴とするものである。
【００１０】
端子配置部の複数の凸部と複数の凹部にそれぞれ接続端子が配置されることで、隣接する接続端子の、前記所定の一平面からの高さ位置が異なった構成が実現される。
【００１１】
第３の発明の液体噴射装置は、前記第２の発明において、前記複数の凸部と前記複数の凹部とが、前記所定の一平面に平行な方向に沿って交互に配置されていることを特徴とするものである。
【００１２】
所定の方向に沿って複数の凸部と複数の凹部とが交互に配置されていることで、その方向に沿って隣接する接続端子の、前記所定の一平面からの高さ位置が異なった構成が実現される。
【００１３】
第４の発明の液体噴射装置は、前記第２又は第３の発明において、前記端子配置部は、前記複数の接続端子にそれぞれ接続された複数の導通部を有し、前記凸部と前記凹部の間で、前記導電性ワイヤ、前記接続端子、及び、前記導通部を含む導電経路の電気抵抗の総和が等しくなるように、前記凸部に配置された前記接続端子の導通部と前記凹部に配置された前記接続端子の導通部の形状が異なっていることを特徴とするものである。
【００１４】
高さ位置の異なる接続端子との間で、ドライバＩＣからの導電経路の電気抵抗が異なっていると、複数のエネルギー付与素子の駆動特性が異なり、ノズル間で噴射特性にばらつきが生じる。そこで、本発明では、凸部と凹部とで導通部の形状を異ならせることによって導通部の電気抵抗を調整し、凸部と凹部の間で導電経路の電気抵抗の総和が等しくされている。
【００１５】
第５の発明の液体噴射装置は、前記第４の発明において、前記凸部の前記接続端子に接続される前記導電性ワイヤと、前記凹部の前記接続端子に接続される前記導電性ワイヤの長さが等しく、前記凸部の前記接続端子に接続される前記導通部と、前記凹部の前記接続端子に接続される前記導通部は、電気抵抗が互いに等しいことを特徴とするものである。
【００１６】
凸部と凹部との間での接続端子の配置面の高さが違うことから、これら凸部と凹部に形成される導通部の電気抵抗はそもそも異なりやすい。しかし、本発明では、凸部に配置された接続端子と凹部に配置された接続端子とで、接続される導電性ワイヤの長さ、即ち、電気抵抗が等しくなっている。そこで、凸部の導通部と凹部の導通部についても、それらの形状を調整することによって電気抵抗が互いに等しくなっている。
【００１７】
第６の発明の液体噴射装置は、前記第４の発明において、前記凸部の前記接続端子に接続される前記導電性ワイヤと、前記凹部の前記接続端子に接続される前記導電性ワイヤの長さが異なっており、前記凸部と前記凹部とで前記導電経路の電気抵抗の総和が等しくなるように、前記凸部の前記接続端子に接続される前記導通部の電気抵抗と、前記凹部の前記接続端子に接続される前記導通部の電気抵抗とが異なっていることを特徴とするものである。
【００１８】
本発明では、凸部に配置された接続端子と凹部に配置された接続端子とで、接続される導電性ワイヤの長さ、即ち、電気抵抗が異なっている。そこで、凸部の導通部と凹部の導通部の形状を調整することによって、凸部と凹部との間で導通部の電気抵抗を異ならせている。これにより、凸部と凹部との間のワイヤの電気抵抗の違いを相殺して導電経路の電気抵抗の総和を等しくすることができる。
【００１９】
第７の発明の液体噴射装置は、前記第２〜第６の何れかの発明において、前記所定の一平面に沿って、前記複数の凸部と前記複数の凹部が、千鳥状で且つ互い違いに配置され、前記凸部の頂面に配置された前記接続端子は、別の前記凸部に近接する角部が面取りされた平面形状を有することを特徴とするものである。
【００２０】
複数の凸部と複数の凹部が千鳥状に配置されている場合に、斜めに隣接する２つの凸部の頂面にそれぞれ配置された２つの接続端子間で、角部同士が近接し、短絡やマイグレーションが生じる虞がある。本発明では、凸部に配置される接続端子の角部が面取りされていることで、斜めに隣接する２つの凸部に設けられた２つの接続端子間の距離が大きくなり、短絡やマイグレーションが生じにくくなる。
【００２１】
第８の発明の液体噴射装置は、前記第２〜第７の何れかの発明において、前記凹部の底面の面積は、前記凸部の頂面の面積よりも大きいことを特徴とするものである。このように、凹部の底面積が大きいと、凹部の底面に配置された接続端子に導電性ワイヤを接続しやすくなる。
【００２２】
第９の発明の液体噴射装置は、前記第２〜第８の何れかの発明において、前記凹部は、底面に向かうほど断面積が小さくなる先細りのテーパ形状に形成されていることを特徴とするものである。このように  凹部が先細りのテーパ形状に形成されていると、凹部の底面に配置された接続端子に導電性ワイヤを接続しやすくなる。
【００２３】
第１０の発明の液体噴射装置は、前記第２〜第９の何れかの発明において、前記端子配置部に配置された前記複数の接続端子は、前記所定の一平面に平行な方向に沿って配列され、前記ドライバＩＣは、前記接続端子の配列方向と直交する方向において前記端子配置部と並んで配置されるとともに、前記配列方向に沿って配列された複数の出力端子を有し、前記端子配置部は、前記配列方向において、前記ドライバＩＣの前記複数の出力端子の配置範囲を越えて配置されており、前記端子配置部の、前記配列方向における前記複数の出力端子の配置範囲内に収まる部分においては、複数の第１凸部と複数の凹部が前記配列方向に交互に配置され、前記端子配置部の、前記配列方向における前記複数の出力端子の配置範囲を越えた部分には、前記第１凸部よりも頂面の位置が高くなるように突出した、第２凸部が配置され、前記複数の第１凸部、前記複数の凹部、及び、前記第２凸部には、前記複数の接続端子がそれぞれ配置され、これら複数の接続端子が前記ドライバＩＣの前記複数の出力端子と前記導電性ワイヤで接続されていることを特徴とするものである。
【００２４】
本発明では、複数の接続端子とドライバＩＣの複数の出力端子とが平行に配列され、且つ、複数の接続端子の配置範囲が、ドライバＩＣ側の複数の出力端子の配置範囲を越えている構成を前提とする。このとき、出力端子の配置範囲を越えた部分に配置される接続端子は、出力端子の配置範囲内にある接続端子と比べて、ドライバＩＣの出力端子からの距離がかなり遠くなる。そこで、本発明では、端子配置部の、出力端子の配置範囲を越えた部分には、出力端子の配置範囲内にある第１凸部よりも高い第２凸部が設けられる。第１凸部よりも第２凸部の高さが高い分、ドライバＩＣからの距離を短くすることができる。これにより、複数の接続端子に接続されるワイヤの長さを揃えやすくなる。
【発明の効果】
【００２５】
本発明によれば、隣接する接続端子の位置を高さ方向に離すことができるため、複数の接続端子を平面的に高密度に配置しつつ、隣接する接続端子間での短絡やマイグレーションを防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本実施形態に係るインクジェットプリンタの概略平面図である。
【図２】インクジェットヘッドの平面図である。
【図３】（ａ）は図２のＡ部拡大図、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ線断面図である。
【図４】端子配置部とドライバＩＣの斜視図である。
【図５】図４の端子配置部のV-V線断面図である。
【図６】変更形態に係る端子配置部の断面図である。
【図７】別の変更形態に係る端子配置部とドライバＩＣの斜視図である。
【図８】別の変更形態に係る端子配置部の一部拡大断面図である。
【図９】別の変更形態に係るインクジェットヘッドの断面図である。
【図１０】別の変更形態に係る端子配置部の斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
次に、本発明の実施の形態について説明する。図１は、本実施形態のインクジェットプリンタの概略平面図である。まず、図１を参照してインクジェットプリンタ１の概略構成について説明する。尚、以下では、図１の紙面手前側を上方、紙面向こう側を下方と定義して、適宜、「上」「下」の方向語を使用して説明する。図１に示すように、インクジェットプリンタ１は、プラテン２と、キャリッジ３と、インクジェットヘッド４と、搬送機構５等を備えている。
【００２８】
プラテン２の上面には、被記録媒体である記録用紙１００が載置される。キャリッジ３は、プラテン２と対向する領域において２本のガイドレール１０，１１に沿って走査方向に往復移動可能に構成されている。キャリッジ３には無端ベルト１４が連結され、キャリッジ駆動モータ１５によって無端ベルト１４が駆動されることで、キャリッジ３は走査方向に移動する。
【００２９】
インクジェットヘッド４（液体噴射装置）は、キャリッジ３に取り付けられており、キャリッジ３とともに走査方向に移動する。インクジェットヘッド４は、プリンタ１に装着されたインクカートリッジ（図示省略）と、チューブによって接続されている。また、インクジェットヘッド４の下面（図１の紙面向こう側の面）には、複数のノズル１６が形成されている。そして、このインクジェットヘッド４は、インクカートリッジから供給されたインクを、複数のノズル１６からプラテン２に載置された記録用紙１００に対して噴射する。
【００３０】
搬送機構５は、搬送方向にプラテン２を挟むように配置された２つの搬送ローラ１８，１９を有する。搬送機構５は、２つの搬送ローラ１８，１９によって、プラテン２に載置された記録用紙１００を搬送方向に搬送する。
【００３１】
インクジェットプリンタ１は、プラテン２上に載置された記録用紙１００に対して、キャリッジ３とともに走査方向に往復移動するインクジェットヘッド４からインクを吐出させる。これとともに、２つの搬送ローラ１８，１９によって記録用紙１００を搬送方向に搬送する。以上の動作によって記録用紙１００に画像や文字等が記録される。
【００３２】
次に、インクジェットヘッド４について説明する。図２はインクジェットヘッドの平面図である。また、図３（ａ）は図２のＡ部拡大図、図３（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ線断面図である。尚、図３（ｂ）では、インク流路内に充填されているインクを符号“Ｉ”で示している。図２、図３に示すように、インクジェットヘッド４は、流路ユニット２０と、圧電アクチュエータ２１等を備えている。
【００３３】
図４に示すように、流路ユニット２０は、それぞれ流路形成孔が形成された５枚のプレート３０〜３４が積層された構造を有する。これら５枚のプレート３０〜３４が積層されたときにそれぞれの流路形成孔が連通することによって、流路ユニット２０には、以下に述べるようなインク流路が形成されている。尚、５枚のプレート３０〜３４の材質は特に限定はされないが、例えば、ステンレス鋼やニッケル合金鋼等の金属プレートを採用することができる。
【００３４】
図２に示すように、流路ユニット２０の上面には、図示しないインクカートリッジと接続されるインク供給孔２６が形成されている。流路ユニット２０の内部には、それぞれ搬送方向に延在する２本のマニホールド２５が形成されている。２本のマニホールド２５は１つのインク供給孔２６に共通に接続されており、インクカートリッジから供給されたインクが２本のマニホールド２５にそれぞれ供給される。
【００３５】
また、図２、図３に示すように、流路ユニット２０は、最下層のノズルプレート３４に形成されて流路ユニット２０の下面に開口する複数のノズル１６と、複数のノズル１６にそれぞれ連通した複数の圧力室２４を有する。図２に示すように、流路ユニット２０の下面（図２の紙面向こう側の面）において、複数のノズル１６は搬送方向に沿って２列に配列されている。尚、複数のノズル１６の配置は、左右２列のノズル列の間でノズル１６の位置が搬送方向に互いにずれた、いわゆる、千鳥状の配置となっている。
【００３６】
複数の圧力室２４は、それぞれ、走査方向に長い略楕円形の平面形状を有する。複数の圧力室２４は平面的に配置され、これら複数の圧力室２４は、最上層のプレートである振動板３０によって上方から覆われている。また、複数の圧力室２４は、複数のノズル１６にそれぞれ対応して、搬送方向に沿って千鳥状に２列に配列されている。各圧力室２４は、その長手方向一端部において対応するノズル１６と連通している。
【００３７】
図２に示すように、２列の圧力室列は、２本のマニホールド２５とそれぞれ重なる位置に配置され、各圧力室２４は、その直下に位置するマニホールド２５に連通している。これにより、図３（ｂ）に示すように、流路ユニット２０には、マニホールド２５から分岐して、圧力室２４を経てノズル１６に至る、個別インク流路２７が複数形成されている。
【００３８】
次に、圧電アクチュエータ２１について説明する。圧電アクチュエータ２１は、流路ユニット２０の最上層に位置するプレートである、振動板３０の上面に配置されている。図２、図３に示すように、圧電アクチュエータ２１は、圧電体４０と、複数の個別電極４２と、共通電極４３とを有する。
【００３９】
図３（ｂ）に示すように、振動板３０の上面には、合成樹脂材料等の絶縁材料からなる絶縁膜４４がほぼ全面に形成されている。この絶縁膜４４で覆われた振動板３０の上面に、それぞれ矩形の平面形状を有する２つの圧電体４０が配置されている。各圧電体４０は、チタン酸鉛とジルコン酸鉛との固溶体である、強誘電性のチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）を主成分とする圧電材料で形成されている。図２に示すように、２つの圧電体４０は、２列の圧力室列をそれぞれ覆うように、それらの長手方向がノズル配列方向と平行となるように配置されている。
【００４０】
複数の個別電極４２は、圧電体４０の上面の、複数の圧力室２４とそれぞれ対向する領域に形成されている。その結果、複数の個別電極４２は、複数の圧力室２４と同様、ノズル配列方向に沿って２列に配列されている。各個別電極４２は、圧力室２４よりも一回り小さい略楕円の平面形状を有し、対応する圧力室２４の中央部と対向するように配置されている。共通電極４３は絶縁膜４４で覆われた振動板３０の上面のほぼ全域に形成されている。
【００４１】
図４に示すように、圧電体４０の、１つの個別電極４２と共通電極４３とに挟まれる部分（以下、「圧電素子４１」ともいう）は、次に説明するように、個別電極４２に駆動電圧が印加されたときに変形して、１つの圧力室２４内のインクに噴射エネルギーを付与する部分となる。即ち、圧電素子４１が、本発明のエネルギー付与素子に相当する。本実施形態では、１つの圧電体４０が１列の圧力室列に属する複数の圧力室２４に跨って配置されることで、１列の圧力室列に対応する複数の圧電素子４１が一体化された構成となっている。また、複数の圧電素子４１の各々は、その厚み方向に分極されている。
【００４２】
図２に示すように、絶縁膜４４で覆われた振動板３０の上面の、２つの圧電体４０の走査方向における一方側（図中右側）には、２つのドライバＩＣ４６がそれぞれ配置されている。各ドライバＩＣ４６は矩形の平面形状を有し、その矩形の長手方向がノズル配列方向に沿うように配置されている。また、図３に示すように、各ドライバＩＣ４６の上面には、その長手方向に沿って、複数の個別電極４２にそれぞれ対応した複数の出力端子５６が設けられている。ドライバＩＣ４６の内部には、圧電素子４１を駆動するための各種回路が組み込まれている。２つのドライバＩＣ４６は、図示しない制御基板と接続されており、制御基板から２つのドライバＩＣ４６に対して各種制御信号が送られる。
【００４３】
各ドライバＩＣ４６は、振動板３０の上面に形成された共通電極４３と接続されており、共通電極４３は、ドライバＩＣ４６を経由して常にグランド電位に保持されている。また、後で詳述するが、各ドライバＩＣ４６の複数の出力端子５６は、対応する圧電体４０に形成された複数の個別電極４２と電気的に接続されている。そして、ドライバＩＣ４６は、制御基板から入力された制御信号に基づいて生成した駆動信号を、複数の個別電極４２に対して出力し、複数の圧電素子４１を個別に駆動する。
【００４４】
前記の駆動信号が入力されたときの圧電素子４１の動作について説明する。ある個別電極４２に対してドライバＩＣ４６から駆動信号が入力されると、この個別電極４２と共通電極４３の間に電位差が生じて、２つの電極４２，４３の間の圧電体４０の部分（圧電素子４１）に厚み方向の電界が作用する。この電界の方向は、圧電素子４１の分極方向と平行であるから、圧電素子４１は厚み方向に伸長するとともに面方向に収縮する。この圧電素子４１の面方向の収縮によって、圧力室２４を覆っている振動板３０が圧力室２４側に凸となるように撓み、圧力室２４の容積が減少する。その際に圧力室２４内のインクに圧力（噴射エネルギー）が付与され、ノズル１６からインクの液滴が噴射される。
【００４５】
次に、ドライバＩＣ４６と複数の個別電極４２との接続構造について詳細に説明する。図２、図３に示すように、各圧電体４０の上面には、複数の個別電極４２にそれぞれ接続された複数の配線部４７が形成されている。複数の配線部４７は、対応する個別電極４２の長手方向一端部（図中右端部）から、その長手方向に沿って互いに平行に引き出されている。
【００４６】
また、各圧電体４０の上面には、ノズル配列方向に沿って配列された複数の接続端子４８が配置される、端子配置部５０が接合されている。図４は、端子配置部とドライバＩＣの斜視図である。図５は、図４のV-V線断面図である。
【００４７】
図４、図５に示すように、端子配置部５０は、シリコン等の半導体材料、あるいは、合成樹脂等の絶縁材料で形成されている。この端子配置部５０は、ノズル配列方向に沿って延びる細長い形状を有し、複数の配線部４７に跨って配置されている。また、端子配置部５０は、走査方向においてドライバＩＣ４６と並んで配置されている。図２、図４、図５から理解されるように、端子配置部５０のノズル配列方向における長さは、これに平行に配置されているドライバＩＣ４６よりも長く、端子配置部５０は、ドライバＩＣ４６の長手方向両端を越えてさらに延びている。
【００４８】
端子配置部５０の上面は凹凸形状に形成されている。まず、端子配置部５０の中央部、即ち、ノズル配列方向においてドライバＩＣ４６の複数の出力端子５６の配置領域内に収まる部分には、複数の凸部５１（第１凸部）と複数の凹部５２がノズル配列方向に沿って交互に配置されている。また、端子配置部５０の、両端部、即ち、ノズル配列方向においてドライバＩＣ４６の複数の出力端子５６の配置領域を越えた部分には、凸部５１の頂面５１ａよりも高く突出した端側凸部５３，５４（第２凸部）が、複数の凸部５１と複数の凹部５２を挟むように配置されている。最も端に位置する端側凸部５４は、それよりも内側に位置する端側凸部５３よりも高くなっている。端子配置部５０の凸部５１及び端側凸部５３，５４の頂面５１ａ，５３ａ，５４ａと、凹部５２の底面５２ａには、それぞれ、接続端子４８が配置されている。これにより、複数の接続端子４８は、圧電体４０の上面においてノズル配列方向に沿って配列された上で、基準面である圧電体４０の上面からの高さ位置が、隣接する接続端子４８の間で異なった構成となっている。
【００４９】
図５に示すように、端子配置部５０の凸部５１、端側凸部５３，５４、及び、凹部５２には、それらの頂面あるいは底面に配置された接続端子４８に導通する導通部５５が形成されている。尚、図では、凸部５１，５３，５４及び凹部５２の内部に導通部５５が形成されているが、凸部５１，５３，５４及び凹部５２の側面に導通部５５が形成されてもよい。複数の接続端子４８にそれぞれ導通する複数の導通部５５は、端子配置部５０の裏面において複数の配線部４７と接続されている。これにより、接続端子４８は、導通部５５及び配線部４７を介して、対応する個別電極４２と接続されている。
【００５０】
端子配置部５０に配置された複数の接続端子４８は、ドライバＩＣ４６の上面に設けられた複数の出力端子５６と、導電性を有する複数のワイヤ４９によってそれぞれ接続される（ワイヤボンディング）。ワイヤ４９は、Ａｕ等の金属材料で形成されている。また、図３（ｂ）に示すように、ワイヤ４９、接続端子４８、及び、出力端子５６の保護や短絡防止等の目的で、ドライバＩＣ４６と端子配置部５０とに跨って絶縁材５７が注入されている。尚、図面の簡単化のため、図２、図３（ａ）、図４、及び、図５においては、絶縁材５７の図示は省略されている。
【００５１】
本実施形態では、図４、図５に示すように、隣接する接続端子４８の間で、圧電体４０の上面からの高さ位置が異なっている。従って、複数の接続端子４８を圧電体４０の上面において平面的に高密度に配置しつつ、隣接する接続端子４８の位置を高さ方向にずらすことにより、隣接する接続端子４８間での短絡やマイグレーションを確実に防止できる。
【００５２】
また、図３（ｂ）、図４、図５から理解されるように、ワイヤボンディングは、本来、高さ位置の異なる２点を接続する際に好適な接続方法である。従って、隣接する接続端子４８の間で高さ位置が大きくずれていても、長さの異なるワイヤ４９を使用する、あるいは、ワイヤ４９の曲げ方を変える等の工夫によって、隣接する接続端子４８の高さ位置の違いを簡単に吸収できる。つまり、隣接する接続端子４８の間の高さ位置を大きく異ならせることが可能であり、これによって、短絡やマイグレーションを確実に防止することができる。
【００５３】
尚、高さ位置の異なる接続端子４８の間で、ドライバＩＣ４６から個別電極４２に至る導電経路の電気抵抗が異なっていると、複数の圧電素子４１の駆動特性が異なり、ノズル１６間で噴射特性にばらつきが生じる。具体的には、ドライバＩＣ４６から複数の個別電極４２のそれぞれに対して駆動信号が供給されたときに、個別電極４２に至るまでの導電経路の電気抵抗が異なっていると、ＲＣ時定数の違い等によって個別電極４２に出力される駆動信号の波形が変化してしまう。そこで、ドライバＩＣ４６から、ワイヤ４９、接続端子４８、及び、導通部５５を経て個別電極３２に至る、複数の導電経路の電気抵抗の総和が互いに等しいことが好ましい。
【００５４】
例えば、高さ位置の異なる複数の接続端子４８にそれぞれ接続される複数のワイヤ４９は、長さ、太さ、材質が同一のものを使用する。これにより、複数のワイヤ４９の電気抵抗が互いに等しくなる。尚、複数の接続端子４８の高さ位置が異なるということは、複数のワイヤ４９の一端部の接続位置の高さが異なるということを意味する。しかし、接続位置の高さが違っても、図５に示すように、ワイヤ４９の曲げ方を工夫して曲げの頂点部分の高さを変えることにより、同じ長さのワイヤ４９を、ドライバＩＣ４６から端子配置部５０の異なる高さ位置に接続することは特に難しいことではない。
【００５５】
但し、図４、図５に示すように、複数の接続端子４８のうち、ノズル配列方向両端側にある一部の接続端子４８は、ノズル配列方向において、ドライバＩＣ４６の複数の出力端子５６の配置範囲を越えている。これらの接続端子４８では、出力端子５６の配置範囲内にある中央側の接続端子４８と比べると、ドライバＩＣ４６の出力端子５６からの距離がかなり遠くなる。そこで、本実施形態では、端子配置部５０の、出力端子５６の配置範囲を越えた部分には、出力端子５６の配置範囲内にある凸部５１よりも高い端側凸部５３，５４が設けられる。凸部５１よりも端側凸部５３，５４の高さが高い分、ドライバＩＣ４６からの距離を短くすることができる。これにより、複数の接続端子４８に接続されるワイヤ４９の長さを揃えやすくなる。
【００５６】
また、複数の導通部５５の間で形状を互いに異ならせることにより、導通部５５の電気抵抗が等しくなるように調整されている。例えば、図５のように、導通部５５を上下貫通形状に形成した場合、圧電体４０の上面から接続端子４８までの距離が遠くなるほど、導通部５５の長さが長くなる。そこで、前記距離が最も短い凹部５２において導通部５５の太さを最も細く、前記距離が長くなる順、即ち、凸部５１、端側凸部５３、端側凸部５４の順に、導通部５５の太さを太くすれば、全ての導通部５５の電気抵抗を等しくことが可能である。
【００５７】
以上のように、複数のワイヤ４９の電気抵抗を互いに等しくし、また、複数の導通部５５の電気抵抗も互いに等しくすることで、ドライバＩＣ４６から個別電極に至る複数の導電経路について、電気抵抗の総和を全て等しくすることが可能である。
【００５８】
次に、前記実施形態に種々の変更を加えた変更形態について説明する。但し、前記実施形態とほぼ同様の構成を有するものについては、同じ符号を付して適宜その説明を省略する。
【００５９】
１］前記実施形態では、複数の接続端子４８にそれぞれ接続されるワイヤ４９の長さが全て等しい形態を例示したが、図６に示すように、凸部５１と凹部５２の間で、接続端子４８に接続されるワイヤ４９の長さが異なっていてもよい。例えば、複数のワイヤ４９の曲げの頂点の高さ位置を揃えたい場合などに、図６の構成を好適に採用できる。尚、ワイヤ４９の長さを異ならせてよいのであれば、端側に位置する接続端子４８には長いワイヤ４９を使用すればよく、この端側の接続端子４８の高さ位置を、中央側の接続端子４８に比べて高くする必要性はなくなる。従って、図６に示すように、前記実施形態の端側凸部５３，５４は省略でき、端子配置部５０が、交互に配置された複数の凸部５１と複数の凹部５２のみを有する構成であってもよい。
【００６０】
また、図６のように、凸部５１と凹部５２との間でワイヤ４９の長さが異なる場合には、凸部５１の導通部５５と凹部５２の導通部５５の形状を調整して、凸部５１の導通部５５と凹部５２の導通部５５の電気抵抗を異ならせることが好ましい。これにより、凸部５１と凹部５２との間のワイヤ４９の電気抵抗の違いを相殺して導電経路の電気抵抗の総和を等しくすることができる。例えば、長いワイヤ４９が接続される接続端子４８の導通部５５は、短いワイヤ４９が接続される接続端子４８の導通部５５よりも、導通部５５の太さを太くするなど形状を異ならせて電気抵抗を小さくする。
【００６１】
２］導通部５５の電気抵抗の調整は、導通部５５の太さを異ならせる形態には限られない。例えば、導通部５５をジグザグに屈曲した形状に形成することで導通部５５を長くし、直線的に形成された導通部５５と比べて電気抵抗を高くすることができる。また、抵抗率が異なる金属材料を用いて導通部５５を形成することにより電気抵抗を異ならせてもよい。
【００６２】
３］図７に示すように、２列以上の接続端子４８の列が隣接して配置されていてもよい。この場合、一方の列の接続端子４８と他方の列の接続端子４８との間でも、隣接する接続端子４８の高さ位置を異ならせるために、図７に示すように、複数の凸部５１と複数の凹部５２とが、千鳥状で且つ互い違いに配置された、いわゆる、市松模様の配置であることが好ましい。尚、図７では、２列の接続端子４８の列が、２つのドライバＩＣ４６にそれぞれ接続された構成が開示されているが、２列に配列された全ての接続端子４８が、１つのドライバＩＣ４６に接続されていてもよい。
【００６３】
また、図７の形態において、斜めに隣接する２つの凸部５１の頂面５１ａにそれぞれ配置された、２つの接続端子４８では角部間が近接していることから、短絡やマイグレーションが生じる虞がある。そこで、図７に示されるように、凸部５１の頂面に配置される接続端子４８は、別の凸部５１に近接する角部が面取りされた平面形状であることが好ましい。これにより、斜めに隣接する２つの凸部５１に設けられた２つの接続端子４８の離間距離が大きくなり、短絡やマイグレーションが生じにくくなる。
尚、凸部５１とは違って、凹部５２は、斜めに近接する別の凹部５２とは壁で隔てられることから、２つの凹部５２に配置された２つの接続端子４８の間では、凸部５１と比べると短絡やマイグレーションは生じにくいとは言える。とはいえ、凸部５１と同様、凹部５２の底面５２ａに配置された接続端子４８についても、別の凹部５２に近接する角部が面取りされていてもよい。
【００６４】
４］凹部５２の底面に配置された接続端子４８は、凸部５１の頂面に配置された接続端子４８と比べると、ワイヤ４９を接続するのがやや難しい。そこで、図８（ａ）に示すように、凹部５２の底面５２ａの面積が、凸部５１の頂面５１ａの面積よりも大きくてもよい。あるいは、凹部５２が、底面５２ａに向かうほど断面積が小さくなる先細りのテーパ形状に形成されていてもよい。このように、凹部５２の底面積が大きい、あるいは、凹部５２が先細りのテーパ形状に形成されていると、凹部５２の底面に配置された接続端子４８にワイヤ４９を接続しやすくなる。
【００６５】
５］複数の個別電極４２に接続される複数の接続端子４８（端子配置部５０）が設けられる基材は、圧電体４０には限られない。例えば、図９に示すように、複数の接続端子４８が振動板３０に配置されてもよい。図９では、圧電体４０の上面に共通電極４３、圧電体４０の下面に個別電極４２が配置され、絶縁膜４４で覆われた振動板３０の上面に、個別電極４２から引き出された配線部４７が形成されている。その上で、端子配置部５０は、配線部４７を覆うように振動板３０の上面に配置される。尚、端子配置部５０が配置される部材は特に限定はされないが、図３（ｂ）、図９のように、個別電極４２が形成される面（図３（ｂ）では圧電体４０の上面、図９では振動板３０の上面）に端子配置部５０が配置されていると、個別電極４２からその配置面に沿って引き出された配線部４７によって、個別電極４２と端子配置部５０の接続端子４８を簡単に接続できる。
【００６６】
６］前記実施形態では、凹凸形状を有する端子配置部５０が、圧電体４０とは別に作製された上で、圧電体４０の上面に接合されていたが、端子配置部５０が圧電体４０等の基材と一体形成されていてもよい。また、図１０に示すように、凹部５２が圧電体４０の上面において凹むように形成されて、凹部５２の底面に配置された接続端子４８が、圧電体４０の上面に配置された接続端子４８よりも、低い位置に配置されてもよい。
【００６７】
７］複数の接続端子４８が同一の部材に設けられている必要もない。即ち、ある基準面に対して高さ位置が異なるように配置された複数の基材に、複数の接続端子４８がそれぞれ設けられることによって、隣接する接続端子４８の間で前記基準面に対する高さ位置が異なった構成であってもよい。
【符号の説明】
【００６８】
４  インクジェットヘッド
１６  ノズル
４０  圧電体
４１  圧電素子
４６  ドライバＩＣ
４８  接続端子
４９  ワイヤ
５０  端子配置部
５１  凸部（第１凸部）
５１ａ  頂面
５２  凹部
５２ａ  底面
５３，５４  端側凸部（第２凸部）
５５  導通部
５６  出力端子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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