(57)【要約】      （修正有）【課題】ダイシングの際に発生するコンタミを効率よく除去し、ワークに再付着させない高品質なダイシングを行うダイシング装置を提供する。【解決手段】ダイシング装置１は、円盤状のブレード１０と、ブレード１０を回転させるスピンドル２２と、スピンドル２２に設けられ、ブレード１０を覆うカバー１１と、ブレード１０により切削加工されるワークＷを保持するワークテーブル２３と、ワークテーブル２３とブレード１０とを相対的に移動させる移動軸と、切削水ノズルと、吸引手段１３と、を備え、ブレード１０の回転方向の上流側に位置するノズルは下流側に位置するノズルよりも加工後の切削水の流量が多くなるように形成されている。【選択図】図１
2014112693.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
円盤状のブレードと、
前記ブレードを回転させるスピンドルと、
前記スピンドルに設けられ、前記ブレードを覆うカバーと、
前記ブレードにより切削加工されるワークを保持するワークテーブルと、
前記ワークテーブルと前記ブレードとを相対的に移動させる移動軸と、
前記ワークと前記ブレードとが接触する加工点付近へ切削液を噴射する切削水ノズルと、
前記ブレードの前記加工点における回転方向に対向した方向に導入口を向けて該ブレードの近傍に配置され、流体を噴出口に向けて噴射することにより加工後の切削液を前記導入口より吸引するノズルを複数備えた吸引手段と、を備え、
前記ブレードの回転方向の上流側に位置する前記ノズルは下流側に位置する前記ノズルよりも加工後の切削水の流量が多くなるように形成されていることを特徴とするダイシング装置。
【請求項２】
円盤状のブレードと、
前記ブレードを回転させるスピンドルと、
前記スピンドルに設けられ、前記ブレードを覆うカバーと、
前記ブレードにより切削加工されるワークを保持するワークテーブルと、
前記ワークテーブルと前記ブレードとを相対的に移動させる移動軸と、
前記ワークと前記ブレードとが接触する加工点付近へ切削液を噴射する切削水ノズルと、
前記ブレードの前記加工点における回転方向に対向した方向に導入口を向けて該ブレードの近傍に配置され、流体を噴出口に向けて噴射することにより加工後の切削液を前記導入口より吸引するノズルを複数備えた吸引手段と、を備え、
前記ブレードの回転方向の上流側に位置する前記ノズルは下流側に位置する前記ノズルよりも導入口から噴出口までの流路の径が大きいことを特徴とするダイシング装置。
【請求項３】
円盤状のブレードと、
前記ブレードを回転させるスピンドルと、
前記スピンドルに設けられ、前記ブレードを覆うカバーと、
前記ブレードにより切削加工されるワークを保持するワークテーブルと、
前記ワークテーブルと前記ブレードとを相対的に移動させる移動軸と、
前記ワークと前記ブレードとが接触する加工点付近へ切削液を噴射する切削水ノズルと、
前記ブレードの前記加工点における回転方向に対向した方向に導入口を向けて該ブレードの近傍に配置され、流体を噴出口に向けて噴射することにより加工後の切削液を前記導入口より吸引するノズルを複数備えた吸引手段と、を備え、
前記ブレードの回転方向の下流側に位置する前記ノズルは上流側に位置する前記ノズルよりも吸引力が高くなるように、
前記ブレードの回転方向の下流側に位置する前記ノズルの内部に向けて流体を噴出する噴射口を備え、
前記ブレードの回転方向の上流側に位置する前記ノズルの内部に向けて流体を噴出する噴射口を備え、
それぞれの噴射口の噴出角度を前記ノズルの流体の導入口から噴出口までの流路に対する角度としたときに、
前記ブレードの回転方向の下流側に位置する前記ノズルの内部に向けて流体を噴出しうる噴射口の噴射角度が、
前記ブレードの回転方向の上流側に位置する前記ノズルの内部に向けて流体を噴出しうる噴射口の噴射角度よりも鋭角であることを特徴とするダイシング装置。
【請求項４】
円盤状のブレードと、
前記ブレードを回転させるスピンドルと、
前記スピンドルに設けられ、前記ブレードを覆うカバーと、
前記ブレードにより切削加工されるワークを保持するワークテーブルと、
前記ワークテーブルと前記ブレードとを相対的に移動させる移動軸と、
前記ワークと前記ブレードとが接触する加工点付近へ切削液を噴射する切削水ノズルと、
前記ブレードの前記加工点における回転方向に対向した方向に導入口を向けて該ブレードの近傍に配置され、流体を噴出口に向けて噴射することにより加工後の切削液を前記導入口より吸引するノズルを複数備えた吸引手段と、を備え、
前記ノズルの噴出口側には、前記噴出口から噴出された加工後の前記切削液を所定の方向へ流す案内部材が設けられていることを特徴とするダイシング装置。
【請求項５】
前記案内部材は前記噴出口に向かって開口した吸引口を一端に備え前記吸引口から排出口に向って拡張するように内部が傾斜した筒状部材、または前記ワークテーブルと前記ノズルの噴出口の間に位置する隔壁であることを特徴とする請求項４に記載のダイシング装置。
【請求項６】
前記ブレードの回転方向と同方向に向かう傾斜面が形成されたブロックが前記吸引手段下部に設けられていることを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載のダイシング装置。
【請求項７】
下方に向って流体を帯状または扇状に噴射する噴射口が形成されたブロックが前記吸引手段下部に設けられていることを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載のダイシング装置。
【請求項８】
前記カバーには、前記ブレードの回転面の両側に前記ブレードの回転面に向うように前記加工点付近へ帯状または扇状に流体を噴射する吸引補助ノズルが備えられていることを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載のダイシング装置。
【請求項９】
前記カバーには、該ブレードの厚みよりも広いスリットが形成された分離ブロックが、前記スリット内を該ブレードが通過するように且つ複数設けられた前記ノズルの中間に位置するように設けられていることを特徴とする請求項１から８のいずれか１項に記載のダイシング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体装置や電子部品が形成されたウェーハ等のワークを個々のチップに分割するダイシング装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置や電子部品が形成されたウェーハ等のワークに対して切断や溝入れ加工を施すダイシング装置は、少なくともスピンドルによって高速に回転されるブレードと、ワークを保持するワークテーブルと、ワークテーブルとブレードとの相対的位置を変化させるＸ、Ｙ、Ｚ、θの各移動軸とが設けられている。ワークを加工する際には、冷却や潤滑用の切削液が、回転するブレード、またはワークとブレードとが接触する加工点へノズルより供給され、各移動軸の動作によって切断や溝入れ加工がワークに施される。そして、この加工においてはワークから研削屑等の汚染物(コンタミ又はコンタミネーションと呼ばれる)が発生し、ワーク上に残留したコンタミは半導体装置や電子部品の品質を下げる大きな問題となる。
【０００３】
通常ダイシング装置には、ワークへ付着したコンタミを除去する為に、各種の洗浄液噴射ノズル、または洗浄装置が備えられている。しかし、発生したコンタミの一部は、ブレードの回転により切削液とともに飛散し霧状となって装置内を浮遊、またはコンタミを含んだ切削液がブレードと共に移動してワークに再び接触することにより、ワークを汚染する原因となっていた。
【０００４】
このような問題に対し、霧状になったコンタミを除去する排気ダクトへ使用済みの高圧エアーを送ることにより吸引力を高め、効率的に霧状のコンタミを排気する排気ダクトが備えられたダイシング装置が提案されている（例えば、特許文献１参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平１０−３０８３６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、特許文献１に記載されたダイシング装置では、排気ダクトの吸引口がダイシング装置正面から見て、ダイシングが行われる加工部の後部側に正面を向けて開口しているため、吸引力を増して霧状のコンタミを吸引する量が増えたとしても、回転するブレードから飛散するコンタミを含んだ切削液を吸引することは困難であった。このため、壁等に当たり霧状にならず直接跳ね返ったコンタミがワークに付着し、ワークを再び汚染する問題が発生していた。
【０００７】
また、吸引口付近にない霧状のコンタミは吸引されるまでに時間がかかり、吸引前にワーク上に落下し、再びワークを汚染する問題がある。更に、ブレードは高速に回転しているため、回転方向へ飛散するコンタミばかりでなく、コンタミが含まれる切削液がブレードとともに回転し、再びブレードに激しく当たりワークを汚染する問題もあった。
【０００８】
本発明はこのような問題に対して成されたものであり、ダイシングの際に発生するコンタミを効率よく除去し、ワークに再付着させない高品質なダイシングを行うダイシング装置及びダイシング方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために、本発明の一の態様に係るダイシング装置は、円盤状のブレードと、ブレードを回転させるスピンドルと、スピンドルに設けられ、ブレードを覆うカバーと、ブレードにより切削加工されるワークを保持するワークテーブルと、ワークテーブルとブレードとを相対的に移動させる移動軸と、ワークとブレードとが接触する加工点付近へ切削液を噴射する切削水ノズルと、ブレードの加工点における回転方向に対向した方向に導入口を向けて該ブレードの近傍に配置され、流体を噴出口に向けて噴射することにより加工後の切削液を導入口より吸引するノズルを複数備えた吸引手段と、を備え、ブレードの回転方向の上流側に位置するノズルは下流側に位置するノズルよりも加工後の切削水の流量が多くなるように形成されていることを特徴とする。
【００１０】
上述のダイシング装置は、ワークテーブルに保持された半導体装置や電子部品が形成されたウェーハ等のワークとスピンドルにより高速に回転するブレードとをＸ、Ｙ、Ｚ、θの各移動軸により相対的に移動させ、切削水ノズルにより切削液を供給しながらワークを切断または溝入れ加工を行なう。ブレードはスピンドルに取り付けられたカバーに覆われている。ワークとブレードが接触する加工点の近傍には、流体を噴出口に向けて噴射することにより加工後の切削液を導入口より吸引するノズルを一つ以上備えた吸引手段が設けられている。
【００１１】
また、上述のダイシング装置は、複数設けられたノズルのうち、ブレード回転方向の上流側に位置するノズルは、吸引する切削水の流量が多い大容量タイプのノズルとなっている。これにより、上流側のノズルでは主に切削水を大量に吸引することが可能となる。
【００１２】
本発明の他の態様に係るダイシング装置は、円盤状のブレードと、ブレードを回転させるスピンドルと、スピンドルに設けられ、ブレードを覆うカバーと、ブレードにより切削加工されるワークを保持するワークテーブルと、ワークテーブルとブレードとを相対的に移動させる移動軸と、ワークとブレードとが接触する加工点付近へ切削液を噴射する切削水ノズルと、ブレードの加工点における回転方向に対向した方向に導入口を向けて該ブレードの近傍に配置され、流体を噴出口に向けて噴射することにより加工後の切削液を導入口より吸引するノズルを複数備えた吸引手段と、を備え、ブレードの回転方向の上流側に位置するノズルは下流側に位置するノズルよりも導入口から噴出口までの流路の径が大きいことを特徴とする。
【００１３】
上述のダイシング装置は、ワークテーブルに保持された半導体装置や電子部品が形成されたウェーハ等のワークとスピンドルにより高速に回転するブレードとをＸ、Ｙ、Ｚ、θの各移動軸により相対的に移動させ、切削水ノズルにより切削液を供給しながらワークを切断または溝入れ加工を行なう。ブレードはスピンドルに取り付けられたカバーに覆われている。ワークとブレードが接触する加工点の近傍には、流体を噴出口に向けて噴射することにより加工後の切削液を導入口より吸引するノズルを一つ以上備えた吸引手段が設けられている。
【００１４】
また、上述のダイシング装置は、上流側に位置するノズルの導入口から噴出口までの流路の径が下流側に位置するノズルよりも大きく形成されている。これにより、上流側のノズルでは主に切削水を大量に吸引することが可能となる。
【００１５】
本発明の他の態様に係るダイシング装置は、円盤状のブレードと、ブレードを回転させるスピンドルと、スピンドルに設けられ、ブレードを覆うカバーと、ブレードにより切削加工されるワークを保持するワークテーブルと、ワークテーブルとブレードとを相対的に移動させる移動軸と、ワークとブレードとが接触する加工点付近へ切削液を噴射する切削水ノズルと、ブレードの加工点における回転方向に対向した方向に導入口を向けて該ブレードの近傍に配置され、流体を噴出口に向けて噴射することにより加工後の切削液を導入口より吸引するノズルを複数備えた吸引手段と、を備え、ブレードの回転方向の下流側に位置するノズルは上流側に位置するノズルよりも吸引力が高くなるように、ブレードの回転方向の下流側に位置するノズルの内部に向けて流体を噴出する噴射口を備え、ブレードの回転方向の上流側に位置するノズルの内部に向けて流体を噴出する噴射口を備え、それぞれの噴射口の噴出角度をノズルの流体の導入口から噴出口までの流路に対する角度としたときに、ブレードの回転方向の下流側に位置するノズルの内部に向けて流体を噴出しうる噴射口の噴射角度が、ブレードの回転方向の上流側に位置するノズルの内部に向けて流体を噴出しうる噴射口の噴射角度よりも鋭角であることを特徴とする。
【００１６】
上述のダイシング装置は、ワークテーブルに保持された半導体装置や電子部品が形成されたウェーハ等のワークとスピンドルにより高速に回転するブレードとをＸ、Ｙ、Ｚ、θの各移動軸により相対的に移動させ、切削水ノズルにより切削液を供給しながらワークを切断または溝入れ加工を行なう。ブレードはスピンドルに取り付けられたカバーに覆われている。ワークとブレードが接触する加工点の近傍には、流体を噴出口に向けて噴射することにより加工後の切削液を導入口より吸引するノズルを一つ以上備えた吸引手段が設けられている。
【００１７】
また、上述のダイシング装置は、複数設けられたノズルのうち、ブレード回転方向の下流側に位置するノズルは、吸引力が高い高圧タイプのノズルとなっている。吸引力を高くする方法としては、下流側に位置するノズルの噴出口に向けて噴射する流体の導入口から噴出口までの流路に対する噴出角度が上流側に位置するノズルよりも鋭角になっている。これにより、下流側のノズルではコンタミを含むミストが主に吸引される。
【００１８】
本発明の他の態様に係るダイシング装置は、円盤状のブレードと、ブレードを回転させるスピンドルと、スピンドルに設けられ、ブレードを覆うカバーと、ブレードにより切削加工されるワークを保持するワークテーブルと、ワークテーブルとブレードとを相対的に移動させる移動軸と、ワークとブレードとが接触する加工点付近へ切削液を噴射する切削水ノズルと、ブレードの加工点における回転方向に対向した方向に導入口を向けて該ブレードの近傍に配置され、流体を噴出口に向けて噴射することにより加工後の切削液を導入口より吸引するノズルを複数備えた吸引手段と、を備え、ノズルの噴出口側には、噴出口から噴出された加工後の切削液を所定の方向へ流す案内部材が設けられていることを特徴とする。
【００１９】
上述のダイシング装置は、ワークテーブルに保持された半導体装置や電子部品が形成されたウェーハ等のワークとスピンドルにより高速に回転するブレードとをＸ、Ｙ、Ｚ、θの各移動軸により相対的に移動させ、切削水ノズルにより切削液を供給しながらワークを切断または溝入れ加工を行なう。ブレードはスピンドルに取り付けられたカバーに覆われている。ワークとブレードが接触する加工点の近傍には、流体を噴出口に向けて噴射することにより加工後の切削液を導入口より吸引するノズルを一つ以上備えた吸引手段が設けられている。
【００２０】
また、上述のダイシング装置は、ノズルの噴出口側には噴射させた加工後の切削液をワークに影響しない離れた場所または装置外へ導く案内部材が設けられている。これにより、導入口から吸引されて噴出口より噴射される加工後の切削液は装置内に飛散することがなく、コンタミがワークへ再付着することが無くなる。
【００２１】
望ましくは、案内部材は、噴出口に向かって開口した吸引口を一端に備え吸引口から排出口に向って拡張するように内部が傾斜した筒状部材、またはワークテーブルとノズルの噴出口の間に位置する隔壁である。
【００２２】
望ましくは、ブレードの回転方向と同方向に向かう傾斜面が形成されたブロックが吸引手段下部に設けられている。
【００２３】
望ましくは、下方に向って流体を帯状または扇状に噴射する噴射口が形成されたブロックが吸引手段下部に設けられている。
【００２４】
望ましくは、カバーには、ブレードの回転面の両側にブレードの回転面に向うように加工点付近へ帯状または扇状に流体を噴射する吸引補助ノズルが備えられている。
【００２５】
望ましくは、カバーには、該ブレードの厚みよりも広いスリットが形成された分離ブロックが、スリット内を該ブレードが通過するように且つ複数設けられたノズルの中間に位置するように設けられている。
【発明の効果】
【００２６】
以上説明したように、本発明のダイシング装置によれば、ダイシングの際に発生するコンタミを効率よく除去し、ワークに再付着させない高品質なダイシングを行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明に係わるダイシング装置の外観を示す斜視図。
【図２】ホイールカバーの構成を示す正面図。
【図３】ホイール本体の構成を示す正面図。
【図４】ノズルの構造を示す断面図。
【図５】ブロックの構造を示す正面断面図。
【図６】吸引補助ノズルの構造を示した側面断面図。
【図７】別の実施の形態によるホイールカバーの構成を示す正面図。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下添付図面に従って本発明に係るダイシング装置の好ましい実施の形態について詳説する。図１は、ダイシング装置の外観を示す斜視図、図２はホイールカバーの構成を示す正面図、図３はノズルの断面図である。
【００２９】
ダイシング装置１は、複数のワークＷが収納されたカセットを外部装置との間で受け渡すロードポート５１と、吸着部５４を有しワークＷを装置各部に搬送する搬送手段５３と、ワークＷを載置するワークテーブル２３と、ワークＷの加工が行なわれる加工部２０と、加工後のワークＷを洗浄し、乾燥させるスピンナ５２とを備えている。ダイシング装置１の各部の動作は制御手段としてのコントローラ９０により制御される。
【００３０】
加工部２０には、近傍にワークＷの表面を撮像する撮像手段８１が備えられ、内部には互いに対向配置され、先端に薄い円盤状のブレード１０と、ブレード１０を覆うカバーとしてのホイールカバー１１が取付けられた高周波モータ内蔵型のスピンドル２２、２２が設けられている。
【００３１】
スピンドル２２はどちらも３０，０００ｒｐｍ〜８０，０００ｒｐｍで高速回転されるとともに、不図示の移動軸により互いに独立して図のＹ方向のインデックス送りとＺ方向の切込み送りとがなされる。更に、ワークＷを吸着載置するワークテーブル２３が、不図示の移動軸によって図のＸ方向に研削送りされるように構成されており、これらの動作により高速に回転するブレード１０の加工点Ｂが、ワークＷへ接触し、ワークＷがＸ、Ｙ方向にダイシングされる。
【００３２】
ブレード１０は、ダイヤモンド砥粒やＣＢＮ砥粒をニッケルで電着した電着ブレードや、金属粉末を混入した樹脂で結合したメタルレジンボンドのブレード等が用いられる。また、ブレード１０の寸法は、加工内容によって種々選択されるが、通常の半導体ウェーハをワークとしてダイシングする場合は、直径５０ｍｍ、厚さ３０μｍ前後のものが用いられる。
【００３３】
ホイールカバー１１は、図２に示すように、フランジ３６に挟み込まれフランジ３６とともにスピンドル２２の回転軸３７へ固定されたブレード１０を覆うようにスピンドル２２へ取り付けられている。
【００３４】
ホイールカバー１１は、スピンドルに固定されるカバー本体３８、切削水飛散防止のためのプレート４４が備えられ正面よりカバー本体３８に取り付けられたカバー前部３１、カバー本体３８側面にマニホールド１２を介して取り付けられた吸引手段であるバキュームユニット１３、主に洗浄用を目的とした切削水を供給するカットノズル３４、主にブレードの冷却を目的とした切削水を供給する一対のブレードノズル３５、３９により構成される。
【００３５】
バキュームユニット１３をカバー本体３８へ取り付けるマニホールド１２には、図３に示すように、ワークＷを加工する際に発生するコンタミを含んだ切削水や霧状のコンタミを吸引するノズル１４、１５が取り付けられている。
【００３６】
ノズル１４、１５は、図４に示すように、ノズル本体１４Ａ、１５Ａの左右に導入口１４Ｂ、１５Ｂと噴出口１４Ｃ、１５Ｃが形成され、ノズル本体１４Ａ、１５Ａの中間部に噴出口１４Ｃ、１５Ｃに向って斜めにエアー等の流体を噴射する円形またはスリット状に形成された噴射口１４Ｄ、１５Ｄが設けられている。
【００３７】
ノズル１４、１５は、噴射口１４Ｄ、１５Ｄより流体を噴射することによりノズル１４、１５内部に負圧が生じ、導入口１４Ｂ、１５Ｂから流体を吸引して排出口１４Ｃ、１５Ｃより排出する。これにより、ノズル１４、１５は、マニホールド１２に取り付けられた継ぎ手４５から供給された流体によって、ホイールカバー１１から切削水や霧状のコンタミを吸引して筒状部材１３Ａへ排出する。
【００３８】
このとき、ブレード１０の回転方向Ａの上流側に位置するノズル１５は下流側に位置するノズル１４よりも導入口１５Ｂから噴出口１５Ｃまでの流路の径が大きく、加工後の切削水を吸引する流量が多くなるように形成されている。これにより、上流側のノズル１５では主に切削水を大量に吸引することが可能となる。
【００３９】
これに対し、下流側に位置するノズル１４は、導入口１４Ｂから噴出口１４Ｃまでの流路に対する噴射口１４Ｄの角度がノズル１５のよりも鋭角に形成されている。これにより、噴出口１４Ｃに向けて噴射する流体の流路に対する噴出角度がノズル１５よりも鋭角になり吸引力がより高くなる。よって、下流側のノズル１４ではコンタミを含むミストをより多く吸引することが可能となる。
【００４０】
筒状部材１３Ａは、図２に示すようにノズル１４、１５が設けられた吸引口側から反対側の排出口に向って拡張するように傾斜し、排出口の周縁には突出部１３Ｂが設けられている。これにより、ノズル１４、１５から排出された切削水は筒状部材１３Ａを伝って再び吸引口側へ戻ることはなく、排出される際に突出部１３Ｂで巻き上がり筒状部材１３Ａ内部の負圧を高めて切削水を吸引する効果を高める。
【００４１】
また、マニホールド１２には、ノズル１４、１５の中間に位置するようにブレード１０の厚みよりも広いスリットが形成された分離ブロック１６が、スリット内をブレード１０が通過するように設けられている。
【００４２】
分離ブロック１６は、ブレード１０が図３に示す矢印Ａ方向に回転してワークＷを加工する際に、加工点Ｂで発生してブレード１０の回転に伴って巻き上げられるコンタミを含む切削液をワークＷに再び接触する前にブレード１０上から除去する。分離された切削水は、分離ブロック１６よりもブレード１０の回転方向Ａに対し前にあるノズル１５より主に吸引され、分離ブロック１５よりも後にあるノズル１４からは残ったコンタミが含まれた霧状のコンタミ等が主に吸引される。
【００４３】
更に、マニホールド１２の下部には、ブレード１０の回転方向Ａと同方向に向かう傾斜面が形成されたブロック１７が取り付けられている。ブロック１７は、図５に示すように、ブレード１０の回転方向と同方向に向かって０度以上９０度以下に傾斜した傾斜面１７Ａが形成され、不図示の流路より供給される純水等の流体をウェーハＷ面に向って（矢印Ｃ方向に向かって）帯状に噴射する。また、ブロック１７の下面とウェーハＷとの間の間隔ｐは、加工の際にワークＷとブロック１７が接触しない最小の値よりも僅かに大きくなるように（例えば０．５ｍｍから５ｍｍ）ブロック１７が取り付けられている。
【００４４】
これにより、ワークＷとブロック１７との隙間が狭くなりコンタミを含んだ切削水がバキュームユニット１３より先にながれにくくなり、吸引効率を高められる。更に、帯状に噴射される流体でコンタミを含んだ切削水はせき止められ、傾斜面１７Ａを上がりノズル１４、１５により吸引されやすくなる。
【００４５】
続いて、カバー本体３８とカバー前部３１との下部には、図６に示すように、ブレード１０の回転面に向う（矢印Ｅ方向）ように加工点Ｂ付近へ帯状に流体を噴射する吸引補助ノズル１８、１８が設けられている。
【００４６】
これにより、不図示の供給手段より供給され吸引補助ノズル１８、１８から帯状に噴射される純水等の流体により加工点Ｂの両側には流体による壁が作られ、加工点Ｂで発生するコンタミを含んだ切削水は、ブレード１０の回転方向Ａの両側へ流れることなくバキュームユニット１３方向へ流れるようになり、ノズル１４、１５により吸引されやすくなる。なお、吸引補助ノズル１８、１８は、ブレードノズル３５、３９により代用することも可能である。
【００４７】
また、カバー前部３１には切削水飛散防止のためのプレート４４が備えられ、ブレード１０回転面が２５％以上隠れるようにカバー前部３１を塞いでいる。更に、プレート４４とカバー前部３１は、図３に示すように、シャフト１９を回転軸として開閉可能にカバー本体３８に取り付けられている。これにより、加工点Ｂで発生しブレード１０の回転にともなって巻き上げられる切削水がカバー前部３１より正面側へ飛散することが無くなりノズル１４での吸引効率が向上するとともに、容易にカバー前部３１を開閉することが可能となりブレード１０の交換を容易にする。
【００４８】
このような構成のホイールカバー１１を備えたダイシング装置１により、ダイシングの際に発生するコンタミを効率よく除去し、ワークＷに再付着させない高品質なダイシングが可能となる。
【００４９】
なお、本発明では筒状部材１３Ａに代わり、図７に示すホイールカバー１１Ａのように、ノズル１４、１５の噴出口１４Ｃ、１５Ｃとワークテーブル２３との間に位置する隔壁６０を設ける形態であっても好適に実施可能である。これにより、噴出口１４Ｃ、１５Ｃより噴出されたコンタミを含んだ加工後の切削水は隔壁６０上に落ちてワークＷ上へ再び落ちることがなく、コンタミを含んだ切削液等の再付着が無い高品質なダイシングが行える。
【００５０】
次に本発明に係わるダイシング装置の作用について説明する。ダイシング装置１では、まず複数のワークＷが収納されたカセットが、不図示の搬送装置、または手動でロードポート５１に載置される。載置されたカセットからはワークＷが取り出され、搬送手段５３によりワークテーブル２３上に載置される。
【００５１】
ワークテーブル２３上に載置されたワークＷは、撮像手段８１により表面が撮像され、ワークＷ上のダイシングされるラインの位置とブレード１０との位置が、不図示のＸ，Ｙ、θの各移動軸によりワークテーブル２３を調整して合わせられる。
【００５２】
位置合わせが終了し、ダイシングが開始されると、スピンドル２２が回転を始め、ブレード１０が高速に回転するとともに、カットノズル３４、ブレードノズル３５、３９より切削液が供給されるとともに、ブロック１７、吸引補助ノズル１８、１８より流体が噴射される。この状態でワークＷは、ワークテーブル２３とともに不図示の移動軸によって、図１に示すＸ方向へ加工送りされるとともに、スピンドル２２が所定の高さまでＺ方向へ下がりダイシングが行われる。
【００５３】
ダイシングの際には切削屑等のコンタミが発生し、発生したコンタミは切削水と混ざりブレード１０の回転方向Ａに向かって飛散する、またはブレード１０とともに回転する。
【００５４】
このとき、ブレード１０の回転方向Ａに向かって飛散するコンタミを含んだ切削水は、バキュームユニット１３のノズル１４、１５によって吸引され、ダイシング装置１の外部、またはワークＷ上に再付着しない位置へ排出されていく。
【００５５】
ブレード１０とともに回転するコンタミを含んだ切削水は、分離ブロック１６によりブレード１０から除去され、ワークＷへ強く叩きつけられることなく、ノズル１４、１５のいずれか１方で吸引される。
【００５６】
更に、ワークＷ上の切削水はブロック１７、吸引補助ノズル１８、１８より噴射される流体によりせき止められ、加工部Ｂ周囲に流れ出すことなく回転方向Ａに向って巻き上がり、ノズル１４、１５によって効率的に吸引される。
【００５７】
これらにより、ダイシングによって発生し切削水と混ざったコンタミは、加工部２０内へ飛散して霧状となり漂うことがなく、ワークＷへ再び強く叩きつけられずにワークＷ外へ排出されるので、ワークＷに再付着することがない。
【００５８】
以上説明したように、本発明に係るダイシング装置によれば、ブレード１０により回転方向へ向かって飛散するコンタミを含んだ切削液が、飛散する方向に対向するように設けられた吸引手段により強制的にワークＷに影響しない離れた場所または装置外へ排出され、ブレード１０とともに回転するコンタミを含む切削液が、ワークに再び接触する前にブレード上から除去される。これにより、コンタミが効率よく除去され、装置内に飛散するコンタミが無くなり、コンタミがワークへ再付着することが無い高品質なダイシングが行える。
【００５９】
なお、本実施の形態では対向した二つのスピンドルを持つダイシング装置について説明したが、本発明はそれに限らず、スピンドルが並列に並べられたもの、または１つのスピンドルのみのダイシング装置においても好適に利用可能である。
【００６０】
また、本実施の形態では、バキュームユニット１３はマニホールド１２により取り付けられているが、本発明はこれに限らず、バキュームユニット１３の吸引口が、ブレード１０の回転により飛散するコンタミを含んだ切削液の方向に対して対向するように設けてあれば、いずれの場所に取り付けられていても好適に使用可能である。
（付記）
上記に詳述した実施形態についての記載から把握されるとおり、本明細書では以下に示す発明を含む多様な技術思想の開示を含んでいる。
【００６１】
（付記１）円盤状のブレードと、前記ブレードを回転させるスピンドルと、前記スピンドルに設けられ、前記ブレードを覆うカバーと、前記ブレードにより切削加工されるワークを保持するワークテーブルと、前記ワークテーブルと前記ブレードとを相対的に移動させる移動軸と、前記ワークと前記ブレードとが接触する加工点付近へ切削液を噴射する切削水ノズルと、前記ブレードの前記加工点における回転方向に対向した方向に導入口を向けて該ブレードの近傍に配置され、流体を噴出口に向けて噴射することにより加工後の切削液を前記導入口より吸引するノズルを一つ以上備えた吸引手段と、を備えたことを特徴とするダイシング装置。
【００６２】
付記１に記載のダイシング装置は、ワークテーブルに保持された半導体装置や電子部品が形成されたウェーハ等のワークとスピンドルにより高速に回転するブレードとをＸ、Ｙ、Ｚ、θの各移動軸により相対的に移動させ、切削水ノズルにより切削液を供給しながらワークを切断または溝入れ加工を行なう。ブレードはスピンドルに取り付けられたカバーに覆われている。ワークとブレードが接触する加工点の近傍には、流体を噴出口に向けて噴射することにより加工後の切削液を導入口より吸引するノズルを一つ以上備えた吸引手段が設けられている。
【００６３】
このとき、ブレードにより回転方向へ向かって飛散するコンタミを含んだ切削液は、ブレードの加工点における回転方向に対向した方向に向けられたノズルの導入口に向かって飛散する。これにより、コンタミを含んだ切削液は吸引手段によって強制的にワークに影響しない離れた場所または装置外へ排出され、装置内に飛散するコンタミが無くなり、コンタミのワークへの再付着が無い高品質なダイシングが行える。
【００６４】
（付記２）円盤状のブレードと、前記ブレードを回転させるスピンドルと、前記スピンドルに設けられ、前記ブレードを覆うカバーと、前記ブレードにより切削加工されるワークを保持するワークテーブルと、前記ワークテーブルと前記ブレードとを相対的に移動させる移動軸と、前記ワークと前記ブレードとが接触する加工点付近へ切削液を噴射する切削水ノズルと、前記ブレードの前記加工点における回転方向に対向した方向に導入口を向けて該ブレードの近傍に配置され、流体を噴出口に向けて噴射することにより加工後の切削液を前記導入口より吸引するノズルを複数備えた吸引手段と、を備え、前記カバーには、該ブレードの厚みよりも広いスリットが形成された分離ブロックが、前記スリット内を該ブレードが通過するように且つ複数設けられた前記ノズルの中間に位置するように設けられていることを特徴とするダイシング装置。
【００６５】
付記２に記載のダイシング装置は、ワークテーブルに保持された半導体装置や電子部品が形成されたウェーハ等のワークとスピンドルにより高速に回転するブレードとをＸ、Ｙ、Ｚ、θの各移動軸により相対的に移動させ、切削水ノズルにより切削液を供給しながらワークを切断または溝入れ加工を行なう。ブレードはスピンドルに取り付けられたカバーに覆われている。ワークとブレードが接触する加工点の近傍には、流体を噴出口に向けて噴射することにより加工後の切削液を導入口より吸引するノズルを一つ以上備えた吸引手段が設けられている。
【００６６】
このとき、ブレードにより回転方向へ向かって飛散するコンタミを含んだ切削液は分離ブロックに当ることにより分離ブロックの前後でコンタミを含んだ切削水とコンタミを含むミストとに分離される。
【００６７】
これにより、分離ブロックよりも回転方向に対し上流側にあるノズルからはコンタミを含んだ切削水が吸引され、分離ブロックよりも回転方向に対し下流側にあるノズルからはコンタミを含むミストが吸引される。コンタミを含んだ切削液とミストは吸引手段によって強制的にワークに影響しない離れた場所または装置外へ排出され、装置内に飛散するコンタミが無くなり、コンタミのワークへの再付着が無い高品質なダイシングが行える。
【００６８】
（付記３）付記２に記載のダイシング装置において、前記ブレードの回転方向の上流側に位置する前記ノズルは下流側に位置する前記ノズルよりも加工後の切削水の流量が多くなるように形成されていることを特徴としている。
【００６９】
（付記４）付記３に記載のダイシング装置において、前記ブレードの回転方向の上流側に位置する前記ノズルは下流側に位置する前記ノズルよりも導入口から噴出口までの流路の径が大きいことを特徴としている。
【００７０】
付記３及び付記４に記載のダイシング装置によれば、複数設けられたノズルのうち、ブレード回転方向の上流側に位置するノズルは、吸引する切削水の流量が多い大容量タイプのノズルとなっている。流量を多くする方法としては、上流側に位置するノズルの導入口から噴出口までの流路の径が下流側に位置するノズルよりも大きく形成されている。これにより、上流側のノズルでは主に切削水を大量に吸引することが可能となる。
【００７１】
（付記５）付記２に記載のダイシング装置において、前記ブレードの回転方向の下流側に位置する前記ノズルは上流側に位置する前記ノズルよりも吸引力が高くなるように形成されていることを特徴としている。
【００７２】
（付記６）付記５に記載のダイシング装置において、前記ブレードの回転方向の下流側に位置する前記ノズルは、噴出口に向けて噴射する前記流体の導入口から噴出口までの流路に対する噴出角度が上流側に位置する前記ノズルよりも鋭角であることを特徴としている。
【００７３】
付記５及び付記６に記載のダイシング装置によれば、複数設けられたノズルのうち、ブレード回転方向の下流側に位置するノズルは、吸引力が高い高圧タイプのノズルとなっている。吸引力を高くする方法としては、下流側に位置するノズルの噴出口に向けて噴射する流体の導入口から噴出口までの流路に対する噴出角度が上流側に位置するノズルよりも鋭角になっている。これにより、下流側のノズルでは分離ブロックにより分離されたコンタミを含むミストが主に吸引される。
【００７４】
（付記７）付記１または付記２に記載のダイシング装置において、前記ノズルの噴出口側には、前記噴出口から噴出された加工後の前記切削液を所定の方向へ流す案内部材が設けられていることを特徴としている。
【００７５】
付記７に記載のダイシング装置によれば、ノズルの噴出口側には噴射させた加工後の切削液をワークに影響しない離れた場所または装置外へ導く案内部材が設けられている。これにより、導入口から吸引されて噴出口より噴射される加工後の切削液は装置内に飛散することがなく、コンタミがワークへ再付着することが無くなる。
【００７６】
（付記８）付記１または付記２に記載のダイシング装置において、前記案内部材は前記噴出口に向かって開口した吸引口を一端に備え前記吸引口から排出口に向って拡張するように内部が傾斜した筒状部材、または前記ワークテーブルと前記ノズルの噴出口の間に位置する隔壁であることを特徴としている。
【００７７】
付記８によれば、案内部材はノズルの噴出口に向かって開口した吸引口から排出口に向って拡張するように内部が傾斜した筒状部材、またはワークテーブルとノズルの噴出口の間に位置し水平に横方向へ伸びる隔壁の形状を成す。
【００７８】
排出口に向かって拡張した形状であることにより切削液が吸引手段を戻ることがなく加工後の切削液はワーク上へ再び落ちることがない。また、ワークテーブルとノズルの噴出口の間に位置し水平に横方向へ伸びるので、噴出口より噴射された加工後の切削液はワーク上へ再び落ちることがなく、これらにより再付着が無い高品質なダイシングが行える。
【００７９】
（付記９）付記１または付記２に記載のダイシング装置において、前記ブレードの回転方向と同方向に向かう傾斜面が形成されたブロックが前記吸引手段下部に設けられていることを特徴としている。
【００８０】
付記９のダイシング装置によれば、吸引手段下部には回転方向と同方向に向かって０度以上９０度以下に傾斜した傾斜面が形成されたブロックが設けられている。
【００８１】
これにより、ワークと吸引手段との隙間が狭くなりコンタミを含んだ切削水が吸引手段より先にながれにくくなるとともに、傾斜面によって吸引手段により吸引されやすくなるため吸引効率を高められる。
【００８２】
（付記１０）付記１または付記２に記載のダイシング装置において、下方に向って流体を帯状または扇状に噴射する噴射口が形成されたブロックが前記吸引手段下部に設けられていることを特徴としている。
【００８３】
付記１０に記載のダイシング装置によれば、吸引手段下部には、ワークテーブルのある下方に向って帯状または扇状に水等の流体を噴射する噴射口が形成されたブロックが設けられている。
【００８４】
これにより、ワークと吸引手段との隙間が狭くなりコンタミを含んだ切削水が吸引手段より先にながれにくくなるとともに、帯状に噴射される流体でもコンタミを含んだ切削水がせき止められ、吸引手段により切削水が吸引されやすくなるため吸引効率が高められる。
【００８５】
（付記１１）付記１または付記２に記載のダイシング装置において、前記カバーには、前記ブレードの回転面の両側に前記ブレードの回転面に向うように前記加工点付近へ帯状または扇状に流体を噴射する吸引補助ノズルが備えられていることを特徴としている。
【００８６】
付記１１に記載のダイシング装置によれば、加工点付近へブレードの両側より吸引補助ノズルによって帯状または扇状の水等の流体が噴射される。これによりコンタミを含んだ切削水はブレード回転方向の両側へ流れることなく吸引手段方向へ流れるようになり、吸引手段により吸引されやすくなる。
【符号の説明】
【００８７】
１…ダイシング装置，１０…ブレード，１１…ホイールカバー，１２…マニホールド，１３…バキュームユニット（吸引手段），１３Ａ…筒状部材，１３Ｂ…突出部，１４、１５…ノズル，１６…分離ブロック，１７…ブロック，１８…吸引補助ノズル，２０…加工部，２２…スピンドル，２３…ワークテーブル，３１…カバー前部，３４…カットノズル，３５、３９…ブレードノズル，３６…フランジ，３７…回転軸，３８…カバー本体，４４…プレート，５１…ロードポート，５２…スピンナ，５３…搬送手段，５４…吸着部，６０…隔壁，８１…撮像手段，９０…コントローラ，Ｗ…ワーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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