(57)【要約】      （修正有）【課題】膜厚を個別に制御可能な真空蒸着器を提供する。【解決手段】真空チャンバに設けられる大気圧状態のエアボックスを備え、エアボックスに設けられる駆動部１３０を備え、駆動部と連結されて線形運動する線形運動部１４０と、線形運動部と連結されて回転運動する回転運動部１５０と、回転運動部と連結されて回動するシャッター部１６０と、を備える真空蒸着器１００。【選択図】図１
2014177703.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
駆動部と、
前記駆動部と連結されて線形運動する線形運動部と、
前記線形運動部と連結されて回転運動する回転運動部と、
前記回転運動部と連結されて回動するシャッター部と、を備える真空蒸着器。
【請求項２】
前記シャッター部が回動自在に設けられ、前記線形運動部が摺動自在に連結される固定部をさらに備える請求項１に記載の真空蒸着器。
【請求項３】
前記固定部と前記線形運動部との間に設けられ、前記線形運動部の摺動をガイドする第１ガイドをさらに備える請求項２に記載の真空蒸着器。
【請求項４】
前記線形運動部は、
前記駆動部と連結されて線形運動する運動部と、
前記運動部と連結される伝達部と、
前記伝達部と連結されるように設けられる運動ブロックと、を備える請求項１に記載の真空蒸着器。
【請求項５】
前記回転運動部は、
前記線形運動部と連結されて前記線形運動部の運動時に回転する第１回転部と、
前記第１回転部及び前記シャッター部と連結され、前記第１回転部の回転を前記シャッター部に伝達する第２回転部と、を備える請求項１に記載の真空蒸着器。
【請求項６】
前記線形運動部に設けられる第１衝撃低減部をさらに備える請求項１に記載の真空蒸着器。
【請求項７】
前記第１衝撃低減部は、
前記線形運動部に固設される第１固定ブラケットと、
前記第１固定ブラケットに設けられる第１衝撃低減部材と、を備える請求項６に記載の真空蒸着器。
【請求項８】
前記線形運動部から離隔して設けられる第２衝撃低減部をさらに備える請求項７に記載の真空蒸着器。
【請求項９】
前記第２衝撃低減部は、
外部に固設される第２固定ブラケットと、
前記第２固定ブラケットに設けられる第２衝撃低減部材と、を備える請求項８に記載の真空蒸着器。
【請求項１０】
前記線形運動部に設けられて前記線形運動部の運動をガイドする第２ガイドをさらに備える請求項３に記載の真空蒸着器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空蒸着器に関する。
【背景技術】
【０００２】
移動性を有する移動型電子機器が幅広く使われている。移動型電子機器としては、モバイルフォンのような小型電子機器以外にも、最近はタブレットＰＣが広く使われている。
【０００３】
このような移動型電子機器は多様な機能を支援するために、イメージまたは映像のような視覚情報をユーザに提供するためにディスプレイ部を備える。最近、ディスプレイ部を駆動するためのその他の部品が小型化するにつれて、ディスプレイ部が電子機器に占める比重が益々増加しつつあり、平らな状態で所定の角度を持つように折り曲げられる構造も開発されている。
【０００４】
前記のようなディスプレイ部は、有機発光素子を備え、外部から印加される電流によって有機発光層が発光することで各種イメージ及び文字などを具現できる。この時、前記のような有機発光素子は、多様な方法で形成される。例えば、有機発光素子は、有機物蒸着方法、レーザー熱転写方法、プリントスクリーン方法などを用いて形成される。このうち有機物蒸着方法は、簡単な工程及び比較的安価で有機発光素子を形成することができ、頻繁に使われている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明が解決しようとする課題は、膜厚さを個別に制御可能な真空蒸着器を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一側面は、駆動部と、前記駆動部と連結されて線形運動する線形運動部と、前記線形運動部と連結されて回転運動する回転運動部と、前記回転運動部と連結されて回動するシャッター部と、を備える真空蒸着器を提供する。
【０００７】
また、前記シャッター部が回動自在に設けられ、前記線形運動部が摺動自在に連結される固定部をさらに備える。
【０００８】
また、前記固定部と前記線形運動部との間に設けられ、前記線形運動部の摺動をガイドする第１ガイドをさらに備える。
【０００９】
また、前記線形運動部は、前記駆動部と連結されて線形運動する運動部と、前記運動部と連結される伝達部と、前記伝達部と連結されるように設けられる運動ブロックと、を備える。
【００１０】
また、前記回転運動部は、前記線形運動部と連結されて前記線形運動部の運動時に回転する第１回転部と、前記第１回転部及び前記シャッター部と連結され、前記第１回転部の回転を前記シャッター部に伝達する第２回転部と、を備える。
【００１１】
また、前記線形運動部に設けられる第１衝撃低減部をさらに備える。
【００１２】
また、前記第１衝撃低減部は、前記線形運動部に固設される第１固定ブラケットと、前記第１固定ブラケットに設けられる第１衝撃低減部材と、を備える。
【００１３】
また、前記線形運動部から離隔して設けられる第２衝撃低減部をさらに備える。
【００１４】
また、前記第２衝撃低減部は、外部に固設される第２固定ブラケットと、前記第２固定ブラケットに設けられる第２衝撃低減部材と、を備える。
【００１５】
また、前記線形運動部に設けられて前記線形運動部の運動をガイドする第２ガイドをさらに備える。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の実施形態は、シャッター部を通じて蒸着物質の主材料のソース部と補助材料のソース部とを同時に加熱することで作業効率を高める。また、真空蒸着器は、シャッター部を完全に開放する時にソース部から放出される蒸着物質の蒸着角度を妨げず、安定して広い範囲の蒸着角度を確保する。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の一実施形態による真空蒸着器を示す斜視図である。
【図２】図１のＡ部分を拡大して示す部分斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
本発明は、添付する図面と共に詳細に後述されている実施形態を参照すれば、明らかになる。しかし、本発明は、以下で開示される実施形態に限定されるものではなく、互いに異なる多様な形態で具現され、単に本実施形態は本発明の開示を完全にし、当業者に発明の範疇を完全に知らせるために提供されるものであり、本発明は請求項の範疇によって定義されるだけである。一方、本明細書で使われた用語は、実施形態を説明するためのものであり、本発明を制限しようとするものではない。本明細書で、単数型は文章で特に言及しない限り複数型も含む。明細書で使われる“含む”及び／または“備える”は、言及された構成要素、段階、動作及び／または素子以外にも、一つ以上の他の構成要素、段階、動作及び／または素子の存在または追加を排除しない。第１、第２などの用語は、多様な構成要素の説明時に使われるが、構成要素は用語によって限定されてはならない。用語は、一つの構成要素を他の構成要素から区別する目的のみで使われる。
【００１９】
図１は、本発明の一実施形態による真空蒸着器１００を示す斜視図である。図２は、図１のＡ部分を拡大して示す部分斜視図である。
【００２０】
図１及び図２を参考にすれば、真空蒸着器１００は、内部が真空状態に維持されるチャンバ（図示せず）を備える。また、真空蒸着器１００は、蒸着物質を加熱して噴射するソース部（図示せず）と、前記ソース部が設けられるリフレクター１１１とを備える。
【００２１】
真空蒸着器１００は、リフレクター１１１と連結される側面防着板１１２を備える。真空蒸着器１００は、前記ソース部の間に設けられて前記ソース部から噴射される蒸着物質の噴射角度を制限する角度制限板１１３を備える。また、真空蒸着器１００は、前記チャンバの内部に固設される固定フレーム１１４を備える。
【００２２】
一方、真空蒸着器１００は、前記チャンバに設けられるエアボックス（図示せず）を備える。また、真空蒸着器１００は、前記エアボックスに設けられる駆動部１３０を備える。この時、前記エアボックスは、大気圧状態を維持し、前記駆動部１３０は、可変長のアクチュエータ（図示せず）を備える。特に前記駆動部１３０は、空圧または油圧で作動するシリンダ１３１及びシリンダ１３１に設けられて線形運動するシャフト１３２を備える。この時、前記駆動部１３０は、前記に限定されず、可変長の、他の器具または物体を線形運動させる構造をいずれも備える。但し、以下では説明の便宜上、前記駆動部１３０が油圧で作動するシリンダ１３１及びシャフト１３２を備える場合を中心として詳細に説明する。
【００２３】
一方、真空蒸着器１００は、前記駆動部１３０と連結されて運動する線形運動部１４０を備える。また、真空蒸着器１００は、線形運動部１４０と連結されて回転運動する回転運動部１５０を備える。特に回転運動部１５０は、線形運動部１４０の線形運動を回転運動に変換させる。
【００２４】
この時、線形運動部１４０は、前記駆動部１３０と連結されて線形運動する運動部１４１を備える。また、線形運動部１４０は、運動部１４１と連結される伝達部１４２、及び伝達部１４２と連結される運動ブロック１４３を備える。
【００２５】
特に運動部１４１は、前記駆動部１３０の作動によって上下に線形運動でき、伝達部１４２は、運動ブロック１４３に運動部１４１の運動を伝達する。また、運動ブロック１４３は、伝達部１４２から伝達される運動部１４１の運動によって運動部１４１と共に線形運動する。
【００２６】
この時、回転運動部１５０は、線形運動部１４０と連結されて、線形運動部１４０の運動時に回転する第１回転部１５１を備える。また、回転運動部１５０は、第１回転部１５１及びシャッター部１６０に連結され、第１回転部１５１の回転をシャッター部１６０に伝達する第２回転部１５２を備える。
【００２７】
特に第１回転部１５１及び第２回転部１５２は、外面がギア状に形成される。具体的に、第１回転部１５１及び第２回転部１５２は、スパーギア（Ｓｐｕｒ  ｇｅａｒ、平歯車）を備える。この時、運動ブロック１４３は、スパーギアに対応するラックギアを備える。
【００２８】
一方、真空蒸着器１００は、回転運動部１５０と連結されて回動するシャッター部１６０を備える。この時、シャッター部１６０の表面は、メッシュ状に形成される。特に、メッシュ状のシャッター部１６０の表面は、後述する蒸着物質をシャッター部１６０表面に容易に蒸着させることで、前記ソース部へのシャッター部１６０表面の蒸着物質の落下を防止する。
【００２９】
前記のようなシャッター部１６０は、第１シャッターボディ部１６１及び第２シャッターボディ部１６２を含む。また、シャッター部１６０は、第１シャッターボディ部１６１と第２シャッターボディ部１６２とを連結する補強リブ１６３を備える。
【００３０】
この時、第１シャッターボディ部１６１と第２シャッターボディ部１６２とは所定の角度を形成する。特に第２シャッターボディ部１６２は、シャッター部１６０の回転時に外部装置との干渉を最小化するように、第１シャッターボディ部１６１と直角をなす。
【００３１】
また、補強リブ１６３は複数形成され、複数の補強リブ１６３は、互いに離隔して形成される。特に補強リブ１６３は、第１シャッターボディ部１６１と第２シャッターボディ部１６２とが接続される箇所に形成され、外部環境において第１シャッターボディ部１６１と第２シャッターボディ部１６２とが形成する角度及び形状を維持させる。
【００３２】
一方、真空蒸着器１００は、シャッター部１６０が回動自在に設けられ、線形運動部１４０が摺動自在に連結される固定部１７０を備える。特に固定部１７０と線形運動部１４０との間には第１ガイド１８１が設けられ、線形運動部１４０の運動をガイドする。この時、第１ガイド１８１は、ＬＭガイド（Ｌｉｎｅａｒ  ｍｏｔｉｏｎ  ｇｕｉｄｅ）形態に形成される。また、第１ガイド１８１は複数備えられ、複数の第１ガイド１８１は、固定部１７０と運動ブロック１４３とを連結して運動ブロック１４３の運動経路のずれを防止する。
【００３３】
真空蒸着器１００は、線形運動部１４０に設けられる第１衝撃低減部１９１と、線形運動部１４０から離隔して設けられる第２衝撃低減部１９２とを備える。このとき、第１衝撃低減部１９１及び第２衝撃低減部１９２は、シャッター部１６０の回転によって線形運動部１４０に加えられる衝撃を低減させる。特に第１衝撃低減部１９１及び第２衝撃低減部１９２は、シャッター部１６０の動作による伝達部１４２の運動を低減させる。
【００３４】
前記のような第１衝撃低減部１９１は、線形運動部１４０に設けられる第１固定ブラケット１９１ａを備える。この時、第１固定ブラケット１９１ａは、伝達部１４２に固設される。また、第１衝撃低減部１９１は、第１固定ブラケット１９１ａに設けられる第１衝撃低減部材１９１ｂを備える。この時、第１衝撃低減部材１９１ｂは、多様な形態に形成される。例えば、第１衝撃低減部材１９１ｂは、ボールフリンガー（Ｂａｌｌ  ｆｌｉｎｇｅｒ）を備え、ゴム、バネなどを備える。
【００３５】
第２衝撃低減部１９２は、外部に固設される第２固定ブラケット１９２ａを備える。特に第２固定ブラケット１９２ａは、固定フレーム１１４に固設される。また、第２衝撃低減部１９２は、第２固定ブラケット１９２ａに設けられる第２衝撃低減部材１９２ｂを備える。この時、第２衝撃低減部材１９２ｂは、第１衝撃低減部材１９１ｂと互いに同一または類似して形成されるので、詳細な説明は略する。
【００３６】
前記のような第１衝撃低減部材１９１ｂは、シャッター部１６０の回転時に線形運動部１４０が過度な範囲で運動することを防止する。例えば、第１衝撃低減部材１９１ｂは、シャッター部１６０が開かれる場合に固定フレーム１１４と接触し、シャッター部１６０の荷重によって線形運動部１４０が運動範囲を超えることを防止する。また、第２衝撃低減部材１９２ｂは、シャッター部１６０が閉じられる場合に伝達部１４２と接触し、シャッター部１６０の荷重によって線形運動部１４０が運動範囲を超えることを防止する。
【００３７】
真空蒸着器１００は、前記の構成以外にも線形運動部１４０に設けられて線形運動部１４０の運動をガイドする第２ガイド１８２を備える。この時、第２ガイド１８２は、固定フレーム１１４と伝達部１４２との間に設けられ、伝達部１４２は、第２ガイド１８２に沿って線形運動する。
【００３８】
一方、前記のような真空蒸着器１００の作動を説明すれば、まず前記チャンバの内部を大気圧と同一に形成して基板をローディングした後、前記チャンバの内部を真空状態に維持させる。
【００３９】
前記のように前記チャンバの内部が真空を維持された状態で、前記ソース部を作動させて蒸着物質を蒸発させ、基板（図示せず）に供給する。この時、前記ソース部は複数備えられ、複数の前記ソース部には、蒸着物質の主材料及び補助材料がそれぞれ保存される。それだけではなく、複数の前記ソース部は、前記のような場合に同時に加熱される。前記のように前記ソース部の加熱が完了すれば、シャッター部１６０は、前記ソース部を開放することで蒸着物質を前記基板に供給させる。
【００４０】
具体的に前記のような場合、既定の制御信号によって前記駆動部１３０が作動する。前記駆動部１３０が作動して線形運動部１４０を線形運動させる。特に前記駆動部１３０が作動して線形運動部１４０を昇降させる。但し、以下では、説明の便宜上、線形運動部１４０が下降する場合、シャッター部１６０が開放されることを中心として詳細に説明する。
【００４１】
例えば、前記駆動部１３０の長さが小さくなる場合、前記駆動部１３０は運動部１４１を下降させる。この時、運動部１４１は、下降しつつ伝達部１４２を下降させ、伝達部１４２は再び運動ブロック１４３を下降させる。特に運動ブロック１４３は、前述したように第１ガイド１８１によって固定部１７０を摺動する。
【００４２】
前記のように運動ブロック１４３が下降する場合、運動ブロック１４３は、第１回転部１５１を時計回り方向に回転させる。この時、第１回転部１５１は再び第２回転部１５２を逆時計回り方向に回転させる。
【００４３】
前記のように第２回転部１５２が逆時計回り方向に回転する場合、第２回転部１５２に連結されるシャッター部１６０は、前記ソース部を開放させるように回動する。この時、シャッター部１６０は、一定の速度で前記ソース部を開放する。
【００４４】
前記のようにシャッター部１６０が回転する場合、シャッター部１６０は特定の角度以上回転すれば、シャッター部１６０の自重によって回転速度が増加する。この時、シャッター部１６０の回転速度によって第２回転部１５２の回転速度も増加する。また、第２回転部１５２の回転速度の増加は第１回転部１５１の回転速度を増加させ、運動ブロック１４３に力を加える。
【００４５】
前記のように運動ブロック１４３に力が加えられる場合、運動ブロック１４３に連結された伝達部１４２及び運動部１４１の下降速度も増加する。この時、第１衝撃低減部材１９１ｂが固定フレーム１１４に接触すれば、第１衝撃低減部材１９１ｂは、線形運動部１４０の下降力を一部吸収する。それだけではなく、第１衝撃低減部材１９１ｂは線形運動部１４０の下降速度を低減させることで、シャッター部１６０の回転速度の増加を防止する。
【００４６】
一方、前記のように蒸着物質を前記ソース部から前記基板に供給して前記基板に蒸着物質を蒸着させる。この時、シャッター部１６０は、蒸着物質を完全に前記基板に蒸着させる間に開放状態を維持する。
【００４７】
前記の過程が完了すれば、前記基板に蒸着された蒸着物質の状態を点検する。特に前記基板の蒸着物質の状態を点検した後、場合によっては蒸着物質を再び前記基板に供給する。この時、蒸着物質のうち主材料の厚さまたは補助材料の厚さを測定し、主材料または補助材料を供給する前記ソース部を開閉することで前記基板の蒸着物質の蒸着程度を補正する。
【００４８】
前記のように前記基板の蒸着物質の蒸着程度を補正する場合、シャッター部１６０を通じて複数の前記ソース部のうち少なくとも一つを閉鎖させる。この時、前記駆動部１３０を作動させることで線形運動部１４０を作動させ、線形運動部１４０を通じてシャッター部１６０を閉鎖させるように作動させる。
【００４９】
具体的に前記駆動部１３０の長さが増える場合、前記駆動部１３０は運動部１４１を上昇させる。運動部１４１は、上昇しつつ伝達部１４２を上昇させる。この時、伝達部１４２は運動部１４１の運動を運動ブロック１４３に伝達して運動ブロック１４３を上昇させる。特に運動ブロック１４３は、前述したように、第１ガイド１８１によって固定部１７０を摺動する。
【００５０】
前記のように運動ブロック１４３が上昇する場合、運動ブロック１４３は、第１回転部１５１を逆時計回り方向に回転させる。この時、第１回転部１５１の回転によって第２回転部１５２は時計回り方向に回転する。
【００５１】
前記のように第２回転部１５２が回転する場合、第２回転部１５２に連結されたシャッター部１６０は一方向に回動する。特にシャッター部１６０は、前記ソース部を閉鎖させるように回転する。
【００５２】
この時、前記のようにシャッター部１６０が作動する場合、シャッター部１６０は回転しつつ一定地点を通る時、シャッター部１６０の荷重によって下降速度が増加する。前記のようにシャッター部１６０の下降速度が増加する場合、シャッター部１６０は第２回転部１５２の回転速度を増加させる。また、第２回転部１５２は、第１回転部１５１の回転速度を増加させ、第１回転部１５１は、運動ブロック１４３の上昇速度を増加させる。
【００５３】
前記のように運動ブロック１４３の上昇速度が増加する場合、線形運動部１４０が運動経路を離脱するか、または連結された他の構成要素に衝撃を加える。この時、伝達部１４２が一定ほど上昇する場合、第２衝撃低減部材１９２ｂは伝達部１４２と接触することで伝達部１４２の上昇速度を低減させ、他の構成要素に加えられる衝撃を低減させる。それだけではなく、第２ガイド１８２は、伝達部１４２の昇降時に伝達部１４２の昇降経路をガイドすることで、伝達部１４２の歪みまたは昇降経路の離脱を防止する。
【００５４】
一方、前記のような真空蒸着器１００の場合、シャッター部１６０の回動時にシャッター部１６０に蒸着された蒸着物質が前記ソース部に離脱する。特にシャッター部１６０が前記ソース部を閉鎖するとき、またはシャッター部１６０が過度に速く回転するときには、蒸着物質がシャッター部１６０の表面から離脱する。前記のように蒸着物質がシャッター部１６０の表面を離脱して前記ソース部に流れ込む場合、前記ソース部の作動を妨げる。しかし、本発明の実施形態によるシャッター部１６０の表面に形成されているメッシュ構造は、蒸着物質とシャッター部１６０表面との吸着力を増大させることで、前記のような問題が発生することを防止する。
【００５５】
したがって、真空蒸着器１００は、シャッター部１６０を通じて蒸着物質の主材料の前記ソース部と補助材料の前記ソース部とを同時に加熱することで作業効率を高める。また、真空蒸着器１００は、シャッター部１６０を完全に開放する時に前記ソース部から放出される蒸着物質の蒸着角度を妨げず、安定して広い範囲の蒸着角度を確保する。
【００５６】
たとえ本発明が前述した実施形態に関して説明されたとしても、発明の趣旨及び範囲を逸脱せずに多様な修正や変形を行える。したがって、特許請求の範囲には本発明の趣旨に属する限り、これらの修正や変形を含む。
【産業上の利用可能性】
【００５７】
本発明は、真空蒸着器関連の技術分野に好適に用いられる。
【符号の説明】
【００５８】
１００  真空蒸着器、
１１１  リフレクター、
１１２  側面防着板、
１１３  角度制限板、
１１４  固定フレーム、
１３０  駆動部、
１３１  シリンダ、
１３２  シャフト、
１４０  線形運動部、
１４１  運動部、
１４２  伝達部、
１４３  運動ブロック、
１５０  回転運動部、
１５１  第１回転部、
１５２  第２回転部、
１６０  シャッター部、
１６１  第１シャッターボディ部、
１６２  第２シャッターボディ部、
１６３  補強リブ、
１７０  固定部、
１８１  第１ガイド、
１８２  第２ガイド、
１９１  第１衝撃低減部、
１９１ａ  第１固定ブラケット、
１９１ｂ  第１衝撃低減部材、
１９２  第２衝撃低減部、
１９２ａ  第２固定ブラケット、
１９２ｂ  第２衝撃低減部材。
【図１】
2014177703.tif 000003
【図２】
2014177703.tif 000004