(57)【要約】【課題】被着体と接着シートとの間に気泡が入ったり、接着シートに皺が入ったりすることなく接着シートを被着体に貼付することができるシート貼付装置を提供すること。【解決手段】シート貼付装置１は、剥離シートＲＬの一方の面に接着シートＡＳが仮着された原反ＲＳを繰り出す繰出手段２と、原反ＲＳを繰り出す過程で剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離する剥離手段３と、接着シートＡＳにおける被支持面ＡＢに当接して当該接着シートＡＳを支持する支持面４２を有する支持手段４と、剥離手段３と支持手段４とを相対移動させる移動手段５とを備え、支持面４２に支持される直前の被支持面ＡＢまたは被支持面ＡＢ部分が支持面４２に対して傾斜した状態で、接着シートＡＳを支持手４に受け渡し可能に設けられている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
剥離シートの一方の面に接着シートが仮着された原反を繰り出す繰出手段と、
前記原反を繰り出す過程で前記剥離シートから接着シートを剥離する剥離手段と、
前記接着シートにおける被支持面に当接して当該接着シートを支持する支持面を有する支持手段と、
前記剥離手段と前記支持手段とを相対移動させる移動手段とを備え、
前記支持面に支持される直前の被支持面または被支持面部分が当該支持面に対して傾斜した状態で、前記接着シートを支持手段に受け渡し可能に設けられていることを特徴とするシート貼付装置。
【請求項２】
前記剥離手段は、前記剥離シートを折り曲げることで前記接着シートを剥離する剥離板を含み、
前記剥離板が屈曲することで、前記被支持面または被支持面部分を前記支持面に対して傾斜させることが可能に構成されていることを特徴とする請求項１に記載のシート貼付装置。
【請求項３】
前記支持手段と剥離手段とを相対変位させて前記支持面を前記被支持面に対して傾斜させる傾斜姿勢維持手段を備えることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のシート貼付装置。
【請求項４】
剥離シートの一方の面に接着シートが仮着された原反を繰り出す工程と、
前記原反を繰り出す過程で前記剥離シートから接着シートを剥離する工程と、
前記接着シートにおける被支持面に当接して当該接着シートを支持する支持面を有する支持手段で前記接着シートを支持する工程とを備え、
前記支持面に支持される直前の被支持面または被支持面部分が当該支持面に対して傾斜した状態で、前記接着シートを支持手段に受け渡す工程をさらに備えることを特徴とするシート貼付方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート貼付装置および貼付方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、被着体に接着シートを貼付するシート貼付装置が利用されている（例えば、特許文献１参照）。
このシート貼付装置は、ピールプレート（剥離板）で剥離直前の接着シートを保持手段（支持手段）の吸着面（支持面）で吸着保持させ、剥離板を支持手段の下方から退避位置に移動させると同時に剥離シートを巻き取ることで、剥離板で剥離シートから剥離される接着シートを支持面で吸着保持して当該接着シートを被着体に貼付している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−１９５４０９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載されたような従来の装置では、支持手段として静電チャックや粘着部材を用いた場合、支持手段で接着シートを支持したときに、支持面と接着シートとの間に気泡が入りこむと、当該接着シートを被着体に貼付したときに、入り込んだ気泡の影響で当該被着体と接着シートとの間に気泡が入ったり、接着シートに皺が入ったりして貼付不良を招来するという不都合がある。また、支持手段として吸着保持を用いた場合でも、支持面と接着シートとの間に気泡（空間）が形成され、この気泡を支持手段が吸引すると、場合によっては接着シートに皺が入り、して貼付不良を招来するという不都合がある。
【０００５】
本発明の目的は、被着体と接着シートとの間に気泡が入ったり、接着シートに皺が入ったりすることなく接着シートを被着体に貼付することができるシート貼付装置および貼付方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するために、本発明のシート貼付装置は、剥離シートの一方の面に接着シートが仮着された原反を繰り出す繰出手段と、前記原反を繰り出す過程で前記剥離シートから接着シートを剥離する剥離手段と、前記接着シートにおける被支持面に当接して当該接着シートを支持する支持面を有する支持手段と、前記剥離手段と前記支持手段とを相対移動させる移動手段とを備え、前記支持面に支持される直前の被支持面または被支持面部分が当該支持面に対して傾斜した状態で、前記接着シートを支持手段に受け渡し可能に設けられている、という構成を採用している。
【０００７】
この際、本発明のシート貼付装置では、前記剥離手段は、前記剥離シートを折り曲げることで前記接着シートを剥離する剥離板を含み、前記剥離板が屈曲することで、前記被支持面または被支持面部分を前記支持面に対して傾斜させることが可能に構成されている、ことが好ましい。
また、本発明のシート貼付装置では、前記支持手段と剥離手段とを相対変位させて前記支持面を前記被支持面に対して傾斜させる傾斜姿勢維持手段を備える、ことが好ましい。
【０００８】
一方、本発明のシート貼付方法は、剥離シートの一方の面に接着シートが仮着された原反を繰り出す工程と、前記原反を繰り出す過程で前記剥離シートから接着シートを剥離する工程と、前記接着シートにおける被支持面に当接して当該接着シートを支持する支持面を有する支持手段で前記接着シートを支持する工程とを備え、前記支持面に支持される直前の被支持面または被支持面部分が当該支持面に対して傾斜した状態で、前記接着シートを支持手段に受け渡す工程をさらに備える、という構成を採用している。
【発明の効果】
【０００９】
以上のような本発明によれば、接着シートの繰出方向先端部から当該接着シートを順次支持面で支持することができ、支持面と被支持面との間に介在する空気を追い出しながら、支持手段で接着シートを支持することができる。したがって、支持面と接着シートとの間に気泡が入ってしまうことを防止して、被着体と接着シートとの間に気泡が入ったり、接着シートに皺が入ったりすることなく接着シートを被着体に貼付することができる。
【００１０】
この際、剥離手段の剥離板が屈曲する構成、若しくは、傾斜姿勢維持手段を設ければ、例えば、特許文献１に記載された従来のシート貼付装置の一部を交換するだけの簡単な方法で、接着シートと被着体との間に気泡が入ったり、接着シートに皺が入ったりすることなく接着シートを被着体に貼付することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の第１実施形態に係るシート貼付装置の側面図。
【図２】本発明の第２実施形態に係るシート貼付装置の側面図。
【図３】本発明の第３実施形態に係るシート貼付装置の側面図。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
［第１実施形態］
以下、本発明の第１実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、各実施形態での同様の構成および動作については、詳細な説明を省略する。
なお、第１、第２、第３実施形態において、基準となる図を挙げることなく、例えば、上、下、左、右、または、手前、奥といった方向を示した場合は、全て図１を正規の方向（付した番号が適切な向きとなる方向）から観た場合を基準とし、上、下、左、右方向が紙面に平行な方向であり、手前、奥方向が紙面に直交する方向とする。
【００１３】
図１において、シート貼付装置１は、帯状の剥離シートＲＬの一方の面に接着面ＡＤを備えた接着シートＡＳが仮着された原反ＲＳを繰り出す繰出手段２と、原反ＲＳを繰り出す過程で剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離する剥離手段３と、接着シートＡＳにおける接着面ＡＤの反対側の被支持面ＡＢに当接して当該接着シートＡＳを支持する支持面４２を有する支持手段４と、剥離手段３と支持手段４とを相対移動させる移動手段であって駆動機器としてのリニアモータ５と、当該リニアモータ５のスライダ５１に支持され、接着シートＡＳを被着体としての半導体ウェハ（以下、単に「ウェハ」という場合がある）ＷＦに押圧して貼付する押圧手段であって駆動機器としての直動モータ６とを備え、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によってウェハＷＦを下面から支持する支持テーブル９の上方に設けられている。
【００１４】
繰出手段２は、原反ＲＳを支持する支持ローラ２１と、原反ＲＳを案内するガイドローラ２２と、駆動機器としての回動モータ２３によって駆動する駆動ローラ２４との間に剥離シートＲＬを挟み込むピンチローラ２５と、図示しない駆動機器によって剥離シートＲＬを回収する回収ローラ２６とを備え、その全体がフレーム２７に支持されている。
【００１５】
剥離手段３は、剥離縁３２側が左斜め上方に屈曲する剥離板３１と、図示しないブラケットに支持され、原反ＲＳを剥離縁３２の屈曲開始位置３５方向に押し付ける上押さえローラ３６とを備えている。剥離板３１の上面は、屈曲開始位置３５を境に、右側に第１面３３が形成され、左側に第１面３３に対して傾斜した第２面３４が形成されている。
【００１６】
支持手段４は、直動モータ６の出力軸６１に支持され、静電気によって接着シートＡＳを引きつける静電チャック４３を有する支持プレート４１を備えている。
【００１７】
以上のシート貼付装置１において、ウェハＷＦに接着シートＡＳを貼付する手順を説明する。
先ず、図１中右側の二点鎖線で示すように、支持プレート４１が剥離板３１上に位置する状態（初期状態）で、オペレータが原反ＲＳを同図に示すようにセットした後、図示しない操作パネル等を介して運転開始の信号を入力する。すると、繰出手段２が回動モータ２３および図示しない駆動機器を駆動し、原反ＲＳを繰り出す。そして、接着シートＡＳの繰出方向先端部が剥離縁３２手前の第２面３４上の停止位置に到達したことが図示しない検知手段に検知されると、繰出手段２が回動モータ２３および図示しない駆動機器の駆動を停止してスタンバイ状態となる。これにより、接着シートＡＳの繰出方向の先端側が第２面３４に沿って傾斜し、支持面４２に支持される直前の被支持面ＡＢ部分が当該支持面４２に対して傾斜した状態となり、接着シートＡＳを支持プレート４１に受け渡す準備ができる。なお、接着シートＡＳの繰出方向において、第２面３４の長さよりも被支持面ＡＢの長さが短い場合、支持面４２に支持される直前の被支持面ＡＢが当該支持面４２に対して傾斜した状態となる。
【００１８】
次いで、図示しない搬送手段が支持テーブル９の支持面にウェハＷＦを載置すると、支持テーブル９が図示しない吸引手段を駆動し、ウェハＷＦを吸着保持する。そして、支持手段４が静電チャック４３を駆動した後、繰出手段２が回動モータ２３および図示しない駆動機器を駆動し、原反ＲＳを繰り出す。次いで、移動手段がリニアモータ５を駆動し、原反ＲＳの繰出速度に合わせて支持プレート４１を左方向に移動させると、接着シートＡＳがその繰出方向先端部から順次支持面４２で支持される。これにより、支持面４２と被支持面ＡＢとの間に介在する空気を追い出しながら、支持プレート４１で接着シートＡＳを支持することができる。そして、支持プレート４１が図１中左上の二点鎖線で示す位置に到達したことが図示しない検知手段に検知されると、移動手段がリニアモータ５の駆動を停止する。なお、支持プレート４１で支持された接着シートＡＳが剥離シートＲＬから離間した後は、その接着シートＡＳに続く次の接着シートＡＳの繰出方向先端部が停止位置に到達したことが図示しない検知手段に検知されると、繰出手段２が回動モータ２３および図示しない駆動機器の駆動を停止して再びスタンバイ状態となる。その後、押圧手段が直動モータ６を駆動し、図１中左下の二点鎖線で示すように、支持プレート４１を下降させ、接着シートＡＳをウェハＷＦに押圧して貼付した後、支持手段４が静電チャック４３の駆動を停止し、接着シートＡＳの支持を解除する。次いで、押圧手段および移動手段が直動モータ６およびリニアモータ５を駆動し、支持プレート４１を初期状態の位置に復帰させる。その後、接着シートＡＳが貼付されたウェハＷＦは、図示しない搬送手段等によって次工程に搬送され、以降上述と同様の動作が繰り返される。
【００１９】
以上のような第１実施形態によれば、支持面４２と接着シートＡＳとの間に気泡が入ってしまうことを防止して、ウェハＷＦと接着シートＡＳとの間に気泡が入ったり、接着シートＡＳに皺が入ったりすることなく接着シートＡＳをウェハＷＦに貼付することができる。
【００２０】
［第２実施形態］
次に、本発明の第２実施形態について説明する。
図２に示すように、第２実施形態のシート貼付装置１Ａは、第１実施形態のシート貼付装置１に対し、剥離手段３の代わりに、上面が第１面３３のみから構成される剥離板３１Ａを有する剥離手段３Ａを設けるとともに、支持手段４と剥離手段３Ａとを相対変位させて支持プレート４１の支持面４２を接着シートＡＳの被支持面ＡＢに対して傾斜させる傾斜姿勢維持手段７Ａを設けた点が相違する。
傾斜姿勢維持手段７Ａは、直動モータ６の出力軸６１に支持されたベースプレート７１Ａと、ベースプレート７１Ａの右端に設けられ、出力軸７３Ａで支持プレート４１上面に設けられたブラケット４４Ａを支持する駆動機器としての回動モータ７２Ａとを備えている。
【００２１】
以上のシート貼付装置１Ａにおいては、先ず、図１中右側の二点鎖線で示すように、支持プレート４１が剥離板３１上でベースプレート７１Ａと平行となった状態（初期状態）で、オペレータが原反ＲＳを同図に示すようにセットした後、運転開始の信号を入力する。すると、繰出手段２が原反ＲＳの繰り出し、図２に示すように、接着シートＡＳの繰出方向先端部が剥離縁３２手前の第１面３３上の停止位置に到達すると原反ＲＳの繰り出しを停止する。次いで、傾斜姿勢維持手段７Ａが回動モータ７２Ａを駆動し、支持プレート４１を図２中右側の二点鎖線で示すように傾斜させる。このとき接着シートＡＳを支持面４２に当接させてもよいし、所定の間隔をあけておいてもよい。これにより、支持面４２が傾斜し、支持面４２に支持される直前の被支持面ＡＢが当該支持面４２に対して傾斜した状態となり、接着シートＡＳを支持プレート４１に受け渡す準備ができる。
【００２２】
次いで、支持テーブル９がウェハＷＦを吸着保持すると、支持手段４が静電チャック４３を駆動した後、繰出手段２が原反ＲＳを繰り出す。次いで、移動手段および押圧手段がリニアモータ５および直動モータ６を駆動し、原反ＲＳの繰出速度に合わせて支持プレート４１を左斜め下方向に移動させると、接着シートＡＳがその繰出方向先端部から順次支持面４２で支持される。これにより、支持面４２と被支持面ＡＢとの間に介在する空気を追い出しながら、支持プレート４１で接着シートＡＳを支持することができる。
そして、支持プレート４１が図２中実線で示す位置に到達すると、傾斜姿勢維持手段７Ａが回動モータ７２Ａを駆動し、支持プレート４１を回動させて支持面４２とウェハＷＦの上面とを平行にする。次いで、押圧手段が支持プレート４１を下降させ、接着シートＡＳをウェハＷＦに押圧して貼付した後、支持手段４が接着シートＡＳの支持を解除する。
次いで、押圧手段および移動手段が支持プレート４１を初期状態の位置に復帰させる。その後、接着シートＡＳが貼付されたウェハＷＦは、次工程に搬送され、以降上述と同様の動作が繰り返される。
【００２３】
［第３実施形態］
次に、本発明の第３実施形態について説明する。
図３に示すように、第３実施形態のシート貼付装置１Ｂは、第１実施形態のシート貼付装置１に対し、剥離手段３の代わりに、第２実施形態の剥離手段３Ａを設けるとともに、支持手段４と剥離手段３Ａとを相対変位させて支持面４２を被支持面ＡＢに対して傾斜させる傾斜姿勢維持手段７Ｂを設けた点が相違する。
傾斜姿勢維持手段７Ｂは、例えば、図示しないフレームに固定され、出力軸７２Ｂでフレーム２７上部に設けられたブラケット２８Ｂを介して繰出手段２を支持する駆動機器としての回動モータ７１Ｂを備えている。
【００２４】
以上のシート貼付装置１Ｂにおいては、先ず、図１中右側の二点鎖線で示すように、支持プレート４１が左右方向に向けられた剥離板３１Ａ上に位置する状態（初期状態）で、オペレータが原反ＲＳを同図に示すようにセットした後、運転開始の信号を入力すると、第２実施形態と同様の動作で、接着シートＡＳの繰出方向先端部が剥離縁３２手前の第１面３３上の停止位置に停止する。次いで、傾斜姿勢維持手段７Ｂが回動モータ７１Ｂを駆動し、図３中実線で示すように、剥離板３１Ａの剥離縁３２が支持面４２の下方所定位置に位置するように繰出手段２を傾斜させる。このとき接着シートＡＳを支持面４２に当接させてもよいし、所定の間隔をあけておいてもよい。これにより、接着シートＡＳが傾斜し、支持面４２に支持される直前の被支持面ＡＢが当該支持面４２に対して傾斜した状態となり、接着シートＡＳを支持プレート４１に受け渡す準備ができる。なお、原反ＲＳの繰り出し前に剥離板３１Ａを傾斜させてもよいし、原反ＲＳを繰り出しながら剥離板３１Ａを傾斜させてもよい。
【００２５】
次いで、支持テーブル９がウェハＷＦを吸着保持すると、第１実施形態と同様の動作で、支持面４２と被支持面ＡＢとの間に介在する空気を追い出しながら、支持プレート４１で接着シートＡＳを支持した後、当該接着シートＡＳをウェハＷＦに貼付する。
【００２６】
以上のような第２、３実施形態によっても、第１実施形態の効果を奏することができる。
【００２７】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【００２８】
例えば、第１実施形態において、上押さえローラ３６の代わりにエアブローで上から接着シートＡＳを押さえる構成や、剥離板３１に吸引手段を設け第１、第２面３３、３４から剥離シートＲＬを吸引する構成を採用してもよい。また、静電チャック４３による引きつけ力が小さい場合には、上押さえローラ３６を設けなくてもよい。
また、第１実施形態において、剥離板３１の第２面３４を構成する部分が手動または駆動機器によって自動的に屈曲するように構成してもよい。
さらに、第３実施形態において、傾斜姿勢維持手段７Ｂで繰出手段２を支持することなく、傾斜姿勢維持手段７Ｂでリニアモータ５を支持したり、傾斜姿勢維持手段７Ｂで繰出手段２を支持するとともに、別の傾斜姿勢維持手段７Ｂでリニアモータ５を支持したりして、支持面４２を被支持面ＡＢに対して傾斜させる構成としてもよいし、傾斜姿勢維持手段７Ｂを設けずに、フレーム２７を図３中実線で示すように固定してもよい。
また、各実施形態（第１〜第３実施形態）において、支持プレート４１に静電チャック４３の代わりに、粘着や接着によって接着シートＡＳを保持するようにしたり、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって接着シートＡＳを吸着保持するようにしたりしてもよい。
さらに、各実施形態において、移動手段は、支持プレート４１を移動させずに、繰出手段２を右方に移動させてもよいし、支持プレート４１を左方に移動させるとともに繰出手段２を右方に移動させてもよい。
また、各実施形態において、剥離板３１、３１Ａの代わりに、丸棒やローラを複数設け、当該複数の丸棒やローラによって、図１〜図３に示すように、接着シートＡＳの被支持面ＡＢが支持プレート４１の支持面４２に対して傾斜するようにしてもよい。
さらに、第１〜第３実施形態における「支持面に支持される直前の被支持面または被支持面部分が当該支持面に対して傾斜した状態で、接着シートを支持手段に受け渡し可能にする」構成をランダムに組み合わせてもよい。すなわち、第１実施形態の剥離手段３を第２、第３実施形態の剥離手段３Ａの代わりに設けてもよいし、第２実施形態の傾斜姿勢維持手段７Ａを第１、第３実施形態のシート貼付装置１、１Ｂにさらに設けてもよいし、第３実施形態の傾斜姿勢維持手段７Ｂを第１、第２実施形態のシート貼付装置１、１Ａにさらに設けてもよい。
【００２９】
また、本発明における接着シートＡＳおよび被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳは、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態に限定されることはなく、感熱接着性のものが採用された場合は、当該接着シートＡＳを加熱する適宜な加熱手段を設ければよい。また、このような接着シートＡＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するもの、基材シートの上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材シートを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウェハや化合物半導体ウェハ等の半導体ウェハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体に貼付することができる。
【００３０】
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、繰出手段は、剥離シートの一方の面に接着シートが仮着された原反を繰り出すものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（他の手段および工程についての説明は省略する）。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
【符号の説明】
【００３１】
１、１Ａ、１Ｂ…シート貼付装置
２…繰出手段
３、３Ａ…剥離手段
４…支持手段
５…リニアモータ（移動手段）
７Ａ、７Ｂ…傾斜姿勢維持手段
４２…支持面
ＲＬ…剥離シート
ＲＳ…原反
ＡＳ…接着シート
ＡＢ…被支持面
ＷＦ…ウェハ（被着体）
【図１】
2014177300.tif 000003
【図２】
2014177300.tif 000004
【図３】
2014177300.tif 000005