(57)【要約】【課題】基板搬送のための構造をシンプルにすることができると共に、成膜の効率を向上させることができる基板搬送トレイ及び成膜装置を提供する。【解決手段】基板搬送トレイ２０は、枠体２１の上端側に設けられる支持部２２を備えており、当該支持部２２は、搬送のための駆動力を付与する駆動ローラ６３と接触するレール部３１を有している。また、駆動ローラ６３や、当該駆動ローラ６３と接触する部分で膜剥がれ等によるパーティクルが発生するとしても、厚み方向に延びる下壁部３２が当該パーティクルを受けることが可能となる。このように、支持部２２のレール部３１を駆動ローラ６３に接触させるだけのシンプルな構造でありながら、基板１０１の搬送が可能となると共に、パーティクルの飛散も抑制することができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の厚み方向と交差する搬送方向に前記基板を搬送するときに、前記基板を保持可能な成膜装置用の基板搬送トレイであって、
前記基板を取り付け可能な枠体と、
前記枠体の一端側に設けられ、搬送時に前記枠体を支持する支持部と、を備え、
前記支持部は、
前記枠体の前記一端側に接続され、少なくとも前記枠体の厚み方向に延びる第１の部分と、
搬送のための駆動力を付与する駆動ローラと接触する第２の部分と、を有する基板搬送トレイ。
【請求項２】
前記搬送方向における前記第２の部分の端部は、前記搬送方向に向かうに従って幅が狭くなる形状を有する、請求項１に記載の基板搬送トレイ。
【請求項３】
前記枠体の他端側では、前記搬送方向における端部が、前記搬送方向に向かうに従って幅が狭くなる形状を有する、請求項１又は２に記載の基板搬送トレイ。
【請求項４】
前記第１の部分は、前記搬送方向から見てコ字形状に形成されており、当該コ字形状における内面には、前記第２の部材が取り付けられている、請求項１〜３の何れか一項に記載の基板搬送トレイ。
【請求項５】
請求項１〜４の何れか一項に記載された基板搬送トレイ、及び前記基板搬送トレイで保持された状態の前記基板を収容可能な真空チャンバと、
前記基板を直立させた状態又は直立させた状態から傾斜した状態で搬送する搬送部と、を備える成膜装置であって、
前記搬送部は、
前記真空チャンバの上側に配置され、前記基板搬送トレイに駆動力を付与する駆動ローラを有し、
前記駆動ローラは、前記支持部の前記第１の部分及び前記第２の部分に囲まれる空間内に配置されたときに、前記第２の部分と接触し、前記基板搬送トレイに駆動力を付与する、成膜装置。
【請求項６】
前記駆動ローラによって前記基板搬送トレイを支持及び駆動するときに、前記基板搬送トレイの下端部は、前記真空チャンバの底側の構造物から、上下方向において離間している、請求項５に記載の成膜装置。
【請求項７】
前記搬送部は、
前記基板搬送トレイの下端部側における両側面を支持する側面支持部を備える、請求項５又は６に記載の成膜装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、成膜装置用の基板搬送トレイ、及び成膜装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、成膜装置の真空チャンバ内で、基板を搬送する際に用いられる基板搬送トレイとして、特許文献１に示すものが知られている。この基板搬送トレイの搬送には、ラック・ピニオン方式が採用されている。すなわち、真空チャンバの上側にはピニオンを有する駆動部が設けられており、基板搬送トレイの上端側には、駆動部のピニオンと噛み合うように歯が直線状に並べられたラックが設けられている。このような構成により、基板搬送トレイで基板保持し、駆動部のピニオンを回転させることによってラックと共に当該基板搬送トレイが搬送方向へ移動する。これによって、成膜装置の真空チャンバ内で基板が基板搬送トレイに保持された状態で搬送される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平１−２６８８７０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上述のように基板搬送トレイの搬送方法として、ラック・ピニオン方式を採用した場合、成膜装置の搬送部の構造や基板搬送トレイの構造が複雑になってしまうという問題がある。また、一の真空チャンバから隣りの真空チャンバへ基板搬送トレイを搬送する際に、一の真空チャンバから搬送される基板搬送トレイが、隣りの真空チャンバ内で搬送される基板搬送トレイに追いつくことができるような制御（追いつき制御）を行う場合がある。ラック・ピニオン方式を採用した場合は、ラックの歯とピニオンの歯とが噛み合う関係で、基板搬送トレイが一の真空チャンバの駆動部と、他の真空チャンバの駆動部とに差し掛かっている状態では、各真空チャンバの駆動部の間で搬送速度の差を設けることができず、追いつき制御に対応することが困難であるという問題がある。追いつき制御に対応することが困難な場合は、成膜を行う部分において、基板搬送トレイ同士の間隔が大きくなる場合があり、成膜の効率に影響が及ぼされる。以上より、基板搬送の構造をシンプルにすると共に、成膜の効率を向上させることが求められていた。
【０００５】
本発明は、このような問題を解決するためになされたものであり、基板搬送のための構造をシンプルにすることができると共に、成膜の効率を向上させることができる基板搬送トレイ、及び成膜装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る基板搬送トレイは、基板の厚み方向と交差する搬送方向に基板を搬送するときに、基板を保持可能な成膜装置用の基板搬送トレイであって、基板を取り付け可能な枠体と、枠体の一端側に設けられ、搬送時に枠体を支持する支持部と、を備え、支持部は、枠体の一端側に接続され、少なくとも枠体の厚み方向に延びる第１の部分と、搬送のための駆動力を付与する駆動ローラと接触する第２の部分と、を有する。
【０００７】
本発明に係る基板搬送トレイは、枠体の一端側に設けられる支持部を備えており、当該支持部は、搬送のための駆動力を付与する駆動ローラと接触する第２の部分を有している。これによって、基板を取り付け可能な枠体は、第２の部分を有する支持部を介して、駆動ローラから駆動力を付与され、搬送方向に基板と共に移動することができる。また、支持部は、枠体に接続される第１の部分を有しており、当該第１の部分は、枠体の厚み方向に延びている。従って、駆動ローラや、当該駆動ローラと接触する部分で膜剥がれ等によるパーティクルが発生するとしても、厚み方向に延びる第１の部分が当該パーティクルを受けることが可能となる。このように、支持部の第２の部分を駆動ローラに接触させるだけのシンプルな構造でありながら、基板の搬送が可能となると共に、パーティクルの飛散も抑制することができる。また、ラック・ピニオン方式のようにラック側の歯とピニオン側の歯とを噛み合わせて駆動力を付与するものではなく、駆動ローラを用いることにより、一方の真空チャンバの駆動部と他の真空チャンバの駆動部との間に搬送速度の差があったとしても搬送可能であるため、追いつき制御に対応することができる。従って、効率よく基板を搬送できることが可能となり、成膜効率を向上させることができる。以上により、基板搬送のための構造をシンプルにすることができると共に、成膜の効率を向上させることができる。
【０００８】
本発明に係る基板搬送トレイにおいて、搬送方向における第２の部分の端部は、搬送方向に向かうに従って幅が狭くなる形状を有してよい。第２の部分は、搬送のための駆動力を付与する駆動ローラと接触するが、駆動ローラは、第２の部材を支持するために厚み方向における両端側に鍔部を有する場合がある。このような場合に、第２の部分の端部が搬送方向に向かうに従って幅が狭くなる形状を有することにより、第２の部分の端部は、駆動ローラの鍔部に干渉することなくスムーズに駆動ローラと接触することができる。
【０００９】
本発明に係る基板搬送トレイにおいて、枠体の他端側では、搬送方向における端部が、搬送方向に向かうに従って幅が狭くなる形状を有してよい。枠体の他端側では、当該枠体の他端側の両側面を支持するような側面支持部が設けられる場合がある。このような場合に、枠体の搬送方向における端部が、搬送方向に向かうに従って幅が狭くなる形状を有することにより、枠体の搬送方向における端部が、側面支持部に干渉することなくスムーズに搬送方向へ移動することができる。
【００１０】
本発明に係る基板搬送トレイにおいて、第１の部分は、搬送方向から見てコ字形状に形成されており、当該コ字形状における内面には、第２の部材が取り付けられていてよい。これによって、第１の部分のコ字形状によって、第２の部分に接触している駆動ローラを取り囲むことができる。従って、駆動ローラ付近で発生するパーティクルを確実に受けて飛散を抑制することができる。
【００１１】
本発明に係る成膜装置は、上述の基板搬送トレイ、及び基板搬送トレイで保持された状態の基板を収容可能な真空チャンバと、基板を直立させた状態又は直立させた状態から傾斜した状態で搬送する搬送部と、を備える成膜装置であって、搬送部は、真空チャンバの上側に配置され、基板搬送トレイに駆動力を付与する駆動ローラを有し、駆動ローラは、支持部の第１の部分及び第２の部分に囲まれる空間内に配置されたときに、第２の部分と接触し、基板搬送トレイに駆動力を付与する。
【００１２】
本発明に係る成膜装置では、真空チャンバの上側に配置された駆動ローラが、基板搬送トレイの支持部の第１の部分及び第２の部分に囲まれる空間内に配置されることで、第２の部分と接触して基板搬送トレイに駆動力を付与することが可能となる。このように、駆動ローラを支持部の第１の部分及び第２の部分に囲まれる空間に配置するだけのシンプルな構造にて、上述のような基板搬送トレイの効果を奏することができる。
【００１３】
本発明に係る成膜装置において、駆動ローラによって基板搬送トレイを支持及び駆動するときに、基板搬送トレイの下端部は、真空チャンバの底側の構造物から、上下方向において離間していてよい。このように、基板搬送トレイの重みを真空チャンバの上側の駆動ローラでぶら下げて支持するような構造とすることで、熱などにより基板搬送トレイが上下方向に伸びた場合の搬送への影響を無くすことができる。また、基板搬送トレイの下側で重みを支持する場合は、支持部の上側に基板搬送トレイの重心が位置する関係で、基板搬送トレイ自体の強度が高い構造としなくてはならないが、上側でのみ支持することで、支持部よりも下側に重心が位置し、基板搬送トレイの構造をシンプルなものとすることができる。
【００１４】
本発明に係る成膜装置において、搬送部は、基板搬送トレイの下端部側における両側面を支持する側面支持部を備えてよい。これによって、基板搬送トレイを支持している上端側とは反対側の下端部側では、厚み方向のふらつきが大きくなる場合があるが、側面支持部によって当該ふらつきを抑制することができる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、基板搬送のための構造をシンプルにすることができると共に、成膜の効率を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の実施形態に係る成膜装置の概略構成を示す平面図である。
【図２】本発明の実施形態に係る基板搬送トレイを蒸着源側から見た図である。
【図３】図２に示すＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿った断面図である。
【図４】図３に示す上部構造周辺の構成を示す拡大図である。
【図５】図３に示す下部構造周辺の構成を示す拡大図である。
【図６】駆動系の概略構成を上方から見た図である。
【図７】搬送方向におけるレール部の端部及び下端部側における枠体の端部の形状を示す概略図である。
【図８】変形例に係る基板搬送トレイの上部構造周辺の概略構成を示す拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、添付図面を参照しながら本発明による基板搬送トレイ、及び成膜装置の一実施形態を詳細に説明する。なお、図面の説明において同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
【００１８】
図１は、本実施形態に係る成膜装置１００の概略構成を示す平面図である。図１に示す成膜装置１００は、成膜対象物である基板１０１（例えばガラス基板）に対して成膜等の処理を施すためのものである。成膜装置１００は、例えばＲＰＤ法（反応性プラズマ蒸着法）による成膜を行う装置である。成膜装置１００は、プラズマを生成するプラズマガンを備え、生成されたプラズマを用いて、成膜材料（蒸着源１４０）をイオン化し、成膜材料の粒子を基板１０１の表面に付着させることにより成膜を行う。説明の便宜上、図１には、ＸＹＺ座標系を示す。Ｙ軸方向は、基板１０１が搬送される方向である。Ｘ軸方向は、基板１０１と蒸着源１４０とが対向する方向である。Ｚ軸方向は、Ｘ軸方向とＹ軸方向とに直交する方向である。本実施形態に係る成膜装置１００は、基板１０１の厚み方向が水平方向となるように、基板１０１を直立又は直立させた状態から傾斜した状態で、基板１０１が真空チャンバ内に配置されて搬送される、いわゆる縦型の成膜装置であり、Ｚ軸方向が上下方向に該当する。
【００１９】
成膜装置１００は、ロードロックチャンバ１２１、バッファチャンバ１２２、成膜チャンバ１２３、バッファチャンバ１２４、ロードロックチャンバ１２５を備えている。これらのチャンバ１２１〜１２５は、この順に並んで配置されている。全てのチャンバ１２１〜１２５が真空チャンバ１５０として構成され、チャンバ１２１〜１２５の出入口には、チャンバゲート１３５が設けられている。成膜装置１００は、バッファチャンバ１２２，１２４、成膜チャンバ１２３が複数並べられている構成でもよい。また、一連のチャンバによって構成されている成膜装置でもよい。
【００２０】
各真空チャンバ１２１〜１２５には、内部を適切な圧力とするための真空ポンプ（不図示）が接続されている。また、各真空チャンバ１２１〜１２５には、チャンバ内の圧力を監視するための真空計（不図示）が設置されている。各チャンバ１２１〜１２５には、真空ポンプに接続された真空排気管が連通され、この真空排気管に真空計が設置されている。
【００２１】
成膜装置１００には、基板１０１を保持する基板搬送トレイ２０を搬送するための搬送部１０が設けられている。搬送部１０は、真空チャンバ１２１〜１２５内で、基板１０１及び基板搬送トレイ２０を直立させた状態で搬送する機能を有している。なお、搬送部１０及び基板搬送トレイ２０の詳細な構成については、後述する。
【００２２】
成膜装置１００では、一の真空チャンバ１５０の出口側が、チャンバゲート１３５を介して、基板１０１の搬送方向Ｄ１に隣り合う他の真空チャンバ１５０の入口側に接続されている。一の真空チャンバ１５０は、チャンバゲート１３５を開放することで、隣り合う他の真空チャンバ１５０と連通される。また、基板１０１及び基板搬送トレイ２０は、開放されたチャンバゲート１３５を通過することによって、一の真空チャンバ１５０から、隣り合う他の真空チャンバ１５０へ移動する。基板１０１及び基板搬送トレイ２０の移動が完了した後、チャンバゲート１３５は閉じられる。
【００２３】
次に、図２〜図６を参照して、本実施形態に係る基板搬送トレイ２０、及び成膜装置１００の搬送部１０について説明する。基板搬送トレイ２０は、基板１０１を直立させた状態で搬送する際に、基板１０１を保持可能である。基板１０１を直立させた状態とは、基板１０１の厚み方向Ｄ２が水平方向となる状態である（この場合、厚み方向Ｄ２はＸ軸方向と一致する）。このとき、基板１０１の成膜面１０１ｅは、上下方向に沿って配置される。なお、基板１０１が直立した状態から傾斜した状態で、基板１０１を保持する構成でもよい。基板１０１の厚み方向Ｄ２が略水平な方向でもよく、水平方向より傾斜していてもよい。なお、基板１０１の搬送方向Ｄ１（Ｙ軸方向と一致する）は、基板の厚み方向Ｄ２と直交すると共に水平な方向である。なお、厚み方向Ｄ２のうち、基板１０１の成膜面１０１ｅが向く側を「前側」とし、基板１０１の裏面１０１ｆが向く側を、「後側」とする。
【００２４】
（真空チャンバ）
図２及び図３に示すように、真空チャンバ１５０は、基板搬送トレイ２０を収容可能な箱型を成し、上壁部５１、下壁部５２、前壁部（不図示）、後壁部５４、入側端壁部５５、及び出側端壁部５６を備えている。上壁部５１及び下壁部５２は、上下方向に対向して配置された壁体である。入側端壁部５５及び出側端壁部５６は、搬送方向Ｄ１に対向して配置された壁体である。入側端壁部５５は、基板１０１及び基板搬送トレイ２０が真空チャンバ１５０内に搬入される側である入口側の壁体である。出側端壁部５６は、基板１０１及び基板搬送トレイ２０が真空チャンバ１５０外へ搬出される側である出口側の壁体である。前壁部及び後壁部５４は、基板１０１の厚み方向Ｄ２に対向して配置された壁体である。入側端壁部５５には、基板１０１及び基板搬送トレイ２０を通過させるための孔部５７が形成されている。出側端壁部５６には、基板１０１及び基板搬送トレイ２０を通過させるための孔部５８が形成されている。
【００２５】
（基板搬送トレイ）
図２及び図３に示すように、基板搬送トレイ２０は、基板１０１を取り付け可能な枠体２１と、枠体２１の上端側に設けられる支持部２２と、を備えている。本実施形態の基板搬送トレイ２０は、１枚の基板１０１を保持するように構成されている。基板搬送トレイ２０は、複数（例えば２枚）の基板１０１を保持可能な構成でもよい。基板搬送トレイ２０は、基板１０１の縁部の全周を保持するものでもよく、基板１０１の縁部を部分的に保持するものでもよい。基板搬送トレイ２０の材質としては、例えばステンレス鋼を用いることができる。
【００２６】
枠体２１は、基板１０１の厚み方向Ｄ２から見て、当該基板１０１よりも大きな外周を有すると共に、基板１０１よりも小さな開口部２３を有する矩形環状の部材である。枠体２１は、基板１０１の上端部１０１ａを保持する上端部保持部２１Ａと、基板１０１の下端部１０１ｂを保持する下端部保持部２１Ｂと、基板１０１の側端部１０１ｃ，１０１ｄを保持する側端部保持部２１Ｃ，２１Ｄと、を備えている。
【００２７】
上端部保持部２１Ａは、基板１０１の成膜面１０１ｅとは反対側から、当該基板１０１の上端部１０１ａの一部を支持する支持板２４Ａを備えている。支持板２４Ａは、基板１０１の上端部１０１ａ側において、搬送方向Ｄ１に沿って延びる板材である。支持板２４Ａの厚み方向は基板１０１の厚み方向Ｄ２と一致しており、少なくとも基板１０１よりも厚い。支持板２４Ａは、下端側の縁部にて基板１０１の上端部１０１ａを支持する。支持板２４Ａには、成膜面１０１ｅ側から基板１０１の上端部１０１ａを押さえる基板押さえ部材２６（図４参照）が設けられている。これにより、基板１０１の上端部１０１ａは、厚み方向Ｄ２の両側から、支持板２４Ａ及び基板押さえ部材２６によって挟まれて支持される。
【００２８】
下端部保持部２１Ｂは、基板１０１の成膜面１０１ｅとは反対側から、当該基板１０１の下端部１０１ｂの一部を支持する支持板２４Ｂを備えている。支持板２４Ｂは、基板１０１の下端部１０１ｂ側において、搬送方向Ｄ１に沿って延びる板材である。支持板２４Ｂの厚み方向は基板１０１の厚み方向Ｄ２と一致しており、少なくとも基板１０１よりも厚い。支持板２４Ｂは、上端側の縁部にて基板１０１の下端部１０１ｂを支持する。支持板２４Ｂには、成膜面１０１ｅ側から基板１０１の下端部１０１ｂを押さえる基板押さえ部材２６（図５参照）が設けられている。これにより、基板１０１の下端部１０１ｂは、厚み方向Ｄ２の両側から、支持板２４Ｂ及び基板押さえ部材２６によって挟まれて支持される。
【００２９】
下端部保持部２１Ｂの支持板２４Ｂの下端部２４Ｂａには、フレーム部材２７Ｂが設けられている。フレーム部材２７Ｂは、支持板２４Ｂの下端部２４Ｂａの全域を支持するように搬送方向Ｄ１に延びる。フレーム部材２７Ｂは、厚み方向Ｄ２へ延びる断面長方形状をなしており、上面２７Ｂａの厚み方向Ｄ２における中央位置にて、支持板２４Ｂの下端部２４Ｂａに固定される（図５参照）。
【００３０】
側端部保持部２１Ｃ，２１Ｄは、基板１０１の成膜面１０１ｅとは反対側から、当該基板１０１の側端部１０１ｃ，１０１ｄの一部を支持する支持板２４Ｃ，２４Ｄをそれぞれ備えている。支持板２４Ｃ，２４Ｄは、基板１０１の側端部１０１ｃ，１０１ｄ側において、上下方向に沿って延びる板材である。支持板２４Ｃ，２４Ｄの厚み方向は基板１０１の厚み方向Ｄ２と一致しており、少なくとも基板１０１よりも厚い。支持板２４Ｃ，２４Ｄは、開口部２３側の縁部にて基板１０１の側端部１０１ｃ，１０１ｄを支持する。支持板２４Ｃ，２４Ｄには、成膜面１０１ｅ側から基板１０１の側端部１０１ｃ，１０１ｄを押さえる基板押さえ部材（図示されていないが、基板押さえ部材２６と同様な構成を有する）が設けられている。これにより、基板１０１の側端部１０１ｃ，１０１ｄは、厚み方向Ｄ２の両側から、支持板２４Ｃ，２４Ｄ及び基板押さえ部材によって挟まれて支持される。
【００３１】
側端部保持部２１Ｃ，２１Ｄの支持板２４Ｃ，２４Ｄの外側の側端部２４Ｃａ，２４Ｄａには、フレーム部材２７Ｃ、２７Ｄが設けられている。フレーム部材２７Ｃ，２７Ｄは、支持板２４Ｃ，２４Ｄの側端部２４Ｃａ，２４Ｄａの全域を支持するように上下方向に延びる。フレーム部材２７Ｃ，２７Ｄは、厚み方向Ｄ２へ延びる断面長方形状をなしており、内側面２７Ｃａ，２７Ｄａの厚み方向Ｄ２における中央位置にて、支持板２４Ｃ，２４Ｄの側端部２４Ｃａ，２４Ｄａに固定される。
【００３２】
なお、上述の支持板２４Ａ，２４Ｂ，２４Ｃ，２４Ｄは、一枚の板材に開口部２３を設けることで一体的に構成されていてもよく、個々の板材を互いに連結させてもよい。
【００３３】
次に、図２及び図４を参照して、基板搬送トレイ２０の支持部２２の構成について説明する。図２及び図４に示すように、支持部２２は、枠体２１の上端側に設けられ、基板１０１の搬送時に枠体２１を支持するためのものである。支持部２２は、枠体２１に連結される本体部（第１の部分）３０と、搬送部１０の駆動ローラ６３（詳細な構造は後述する）と接触するレール部（第２の部分）３１と、を備えている。
【００３４】
図４に示すように、本体部３０は、搬送方向Ｄ１から見て断面コ字形状に形成され、枠体２１の上端側において搬送方向Ｄ１に延びる部材である。具体的には、本体部３０は、枠体２１の上側保持部２１Ａの支持板２４Ａの上端部２４Ａａに固定されると共に厚み方向Ｄ２に延びる下壁部３２と、下壁部３２における前側の端部３２ａから上方へ向かって延びる前壁部３３と、前壁部３３の上端部３３ａから後側へ厚み方向Ｄ２に延びる上壁部３４と、を備えている。下壁部３２、前壁部３３、及び上壁部３４は、枠体２１の搬送方向Ｄ１における一方の端部から他方の端部に至る全域にわたって、搬送方向Ｄ１に延びている（図２参照）。
【００３５】
図４に示すように、下壁部３２は、下面３２ｂの厚み方向Ｄ２における略中央位置にて、支持板２４Ａの上端部２４Ａａに固定される。本実施形態では、下壁部３２の後側における端部３２ｃは、フレーム部材２７Ｃ（及びフレーム部材２７Ｄ）の端部２７Ｃｂと、厚さ方向Ｄ２において同位置に配置されているが、同位置でなくともよい。また、下壁部３２の前側の端部３２ａ（すなわち、前壁部３３の前面３３ｂ）は、フレーム部２７Ｃ（及びフレーム部２７Ｄ）の端部２７Ｃｃよりも、厚さ方向Ｄ２において前側に配置されているが、駆動ローラ６３の大きさ次第でどこに配置されていてもよい。
【００３６】
上壁部３４は、下壁部３２と上下方向に対向するように設けられており、その下面３４ａには、レール部３１が取り付けられている。上壁部３４とレール部３１との固定方法は特に限定されないが、本実施形態ではボルトによって固定されている。上壁部３４の後側における端部３４ｂは、下壁部３２の端部３２ｃよりも前側に配置されているが、レール部３１との固定代を十分に確保することができ、且つ、取付部材７３と干渉しない限り、どこに配置されていてもよい。
【００３７】
レール部３１は、厚み方向Ｄ２に延びる断面矩形状の形状をなしており、本体部３０の上壁部３４の下面３４ａに沿って搬送方向Ｄ１に延びる。レール部３１は、本体部３０の上壁部３４の搬送方向Ｄ１における一方の端部から他方の端部に至る全域にわたって延びている。レール部３１の上面３１ａは上壁部３４の下面３４ａと接触し、レール部３１の下面３１ｂは駆動ローラ６３の外周面６３ａと接触する。
【００３８】
（搬送部）
図２及び図３に示すように、搬送部１０は、真空チャンバ１５０の上端側の領域に設けられた上部構造６０と、真空チャンバ１５０の下端側の領域に設けられた下部構造６１と、を備えている。上部構造６０は、基板１０１を保持した基板搬送トレイ２０を吊り下げる態様で支持すると共に基板搬送トレイ２０に駆動力を付与する機能を有する。下部構造６１は、基板搬送トレイ２０の下端部側の移動をガイドすると共に、厚さ方向Ｄ２への移動を規制する機能を有している。
【００３９】
図４を参照して、搬送部１０の上部構造６０の詳細な構造について説明する。図４に示すように、上部構造６０は、基板搬送トレイ２０に駆動力を付与する駆動ローラ６３と、駆動ローラ６３を回転可能に支持する軸部６４と、真空チャンバ１５０の後壁部５４の貫通部分において軸部６４を回転可能に支持する第１の軸受部６６と、真空チャンバ１５０内において軸部６４を回転可能に支持する第２の軸受部６７と、軸部６４を介して駆動ローラ６３を回転駆動させる駆動系６８と、を備えている。なお、上部構造６０では、駆動ローラ６３、軸部６４、第１の軸受部６６及び第２の軸受部６７が一組のローラーユニット７０を構成している。ローラーユニット７０は、互いに所定の間隔をあけて搬送方向Ｄ１に沿って複数設けられている（図２参照）。各ローラーユニット７０は、上下方向において同位置に配置されている。
【００４０】
駆動ローラ６３は、真空チャンバ１５０内の上側に配置されており、厚み方向Ｄ２に平行に延びる軸線ＣＬ１を中心として回転可能な円筒状の部材である。駆動ローラ６３は、真空チャンバ１５０の上壁部５１から下方に離間すると共に、後壁部５４から厚み方向Ｄ２に離間するように配置されている。駆動ローラ６３は、基板搬送トレイ２０の支持部２２のレール部３１と接触する外周面６３ａを有する。駆動ローラ６３の外周面６３ａは、レール部３１の下面３１ｂと接触すると共に、レール部３１を介して基板搬送トレイ２０に搬送方向Ｄ１への駆動力を付与する。駆動ローラ６３の軸線方向の両端部には、レール部３１の厚み方向Ｄ２の移動を規制する鍔部７１が形成されている。鍔部７１は、外周面６３ａよりも大きな外径を有するように外周側へ広がっている。各鍔部７１は、レール部３１の厚さ方向Ｄ２における両端部とそれぞれ対向している。鍔部７１同士の間の厚み方向Ｄ２における寸法は、レール部３１の厚み方向Ｄ２における寸法よりも大きい。
【００４１】
基板搬送トレイ２０が搬送部１０の駆動ローラ６３に支持されている状態、すなわち、駆動ローラ６３の外周面６３ａがレール部３１の下面３１ｂと接触している状態では、駆動ローラ６３の下端と下壁部３２の上面３２ｄとの間には、隙間が設けられる。駆動ローラ６３の先端と前壁部３３の後面３３ｃとの間には、隙間が設けられる。
【００４２】
なお、図７（ａ）に示すように、レール部３１の端部３１ｃ側は、駆動ローラ６３の鍔部７１に引っ掛からないように、船底形状となっている。すなわち、レール部３１の端部３１ｃは、搬送方向Ｄ１の先端側に向かうに従って幅（厚さ方向Ｄ２の大きさ）が狭くなる形状を有する。レール部３１の端部３１ｃ側には、搬送方向へ向かって傾斜するような傾斜面３１ｄ，３１ｄが形成される。
【００４３】
図４に示すように、軸部６４は、軸線ＣＬ１を中心として厚み方向Ｄ２に延びる円形の棒状部材である。軸部６４は、真空チャンバ１５０の後壁部５４を貫通している。軸部６４は、真空チャンバ１５０の内側の端部で駆動ローラ６３と固定され、外側の端部で駆動系６８に接続されている。軸部６４は、駆動系６８からの駆動力によって駆動ローラ６３と共に回転する。
【００４４】
第１の軸受部６６は、真空チャンバ１５０の後壁部５４における軸部６４が貫通する部分に設けられている。第１の軸受部６６として磁性流体軸受などが用いられる。これによって、第１の軸受部６６は、軸部６４を回転可能に支持すると共に、後壁部５４における軸部６４が貫通する部分の気密性を確保することができる。
【００４５】
第２の軸受部６７は、軸部６４の先端側を回転可能に支持する。第２の軸受部６７は、軸部６４を回転可能に支持する軸受７２と、軸受７２を取り付けるための取付部材７３と、を備えている。取付部材７３は、真空チャンバ１５０の上壁部５１から下方へ延びて、下端側に軸受７２が取り付けられる。取付部材７３の上端部は、上壁部５１に固定された板状部材７４に接続されている。軸受７２及び取付部材７３は、駆動ローラ６３よりも後側に配置されている。これによって、真空チャンバ１５０の上壁部５１は、基板搬送トレイ２０を支持することによって駆動ローラ６３及び軸部６４にかかる荷重を、第２の軸受部を介して支持することができる。
【００４６】
駆動系６８は、各ローラーユニット７０の軸部６４及び駆動ローラ６３に回転駆動力を付与するものである。駆動系６８は、真空チャンバ１５０の外側に配置されている。駆動系６８は、各ローラーユニット７０の軸部６４及び駆動ローラ６３を回転駆動させることが出来るものであれば特に構成は限定されないが、一のモータによる駆動力を各軸部６４及び駆動ローラ６３に等速配分するような構成が好ましい。
【００４７】
具体的には、図６に示すように、モータ７６は、歯付きベルト７７と歯付きプーリー７８を用いて、各ローラーユニット７０の軸部６４及び駆動ローラ６３を同時に等速に回転させる。軸部６４の真空チャンバ１５０の外側の端部には、歯付きプーリー７８が取り付けられ、搬送方向Ｄ１に隣り合う軸部６４の歯付きプーリー７８同士が、歯付きベルト７７で連結される。なお、軸部６４の端部には歯付きプーリー７８が厚み方向Ｄ２に二段設けられており、搬送方向Ｄ１に隣り合う他のローラーユニット７０と連結するための歯付きベルト７７と、搬送方向Ｄ１と反対側で隣合う他のローラーユニット７０と連結するための歯付きベルト７７とが、厚さ方向Ｄ２で互い違いとなる。なお、隣り合うローラーユニット７０同士の間に、歯付きベルト７７のテンションを調整するテンショナー（不図示）を設けてもよい。
【００４８】
搬送方向Ｄ１における最も下流側のローラーユニット７０は、モータ７６から駆動力を付与される（ただし、最も上流側のローラーユニット７０、中間位置におけるローラーユニット７０でもよい）。モータ７６は、ローラーユニット７０の下側（上側や横側でもよい）に配置され、図示されないブラケットを介して真空チャンバ１５０の壁部に固定される。モータ７６の軸部の先端には歯付きプーリーが設けられ、当該モータ７６の歯付きプーリーは、歯付きベルト７９を介してローラーユニット７０の軸部６４の歯付きプーリー７８と連結される。ただし、ローラーユニット７０の軸部６４とモータ７６の軸部とが軸線方向に連結され、モータ７６がローラーユニット７０の軸部６４に直接駆動力を付与してもよい。
【００４９】
なお、駆動系６８におけるモータ７６は、ローラーユニット７０の軸部６４に回転力を付与できるものであれば、どのような態様で取り付けられていてもよい。例えば、モータ７６の軸部が上下方向に延び、傘歯車を介してローラーユニット７０の軸部６４に駆動力を付与してもよい。
【００５０】
図５を参照して、搬送部１０の下部構造６１の詳細な構造について説明する。図５に示す。下部構造６１は、基板搬送トレイ２０の下端部側における厚み方向Ｄ２に対向する両側面を支持する側面支持部８１と、側面支持部８１を固定するための台座部８２と、を備えている。なお、下部構造６１では、側面支持部８１及び台座部８２の組が、互いに所定の間隔をあけて搬送方向Ｄ１に沿って複数設けられている（図２参照）。
【００５１】
台座部８２は、真空チャンバ１５０の下壁部５２から上方へ延びると共に、厚み方向Ｄ２に延びる直方体状の部材である。台座部８２は、駆動ローラ６３で支持されている状態の基板搬送トレイ２０の下方に配置されている。台座部８２の厚み方向Ｄ２における一方の端部８２ｂは、基板搬送トレイ２０の前側の側面（ここでは、フレーム部材２７Ｂの側面２７Ｂｂ）よりも前側に延びており、他方の端部８２ｃは、基板搬送トレイ２０の後側の側面（ここでは、フレーム部材２７Ｂの側面２７Ｂｃ）よりも後側へ延びている。台座部８２の上面８２ａには、側面支持部８１が設けられる。
【００５２】
側面支持部８１は、厚み方向Ｄ２における、基板搬送トレイ２０の下端側の領域の移動を規制すると共に、基板搬送トレイ２０の下端側の領域の搬送方向Ｄ１への移動をガイドする機能を有する。側面支持部８１は、厚み方向Ｄ２に間隔を設けて配置される一対のアイドラーベアリング８３Ａ，８３Ｂと、アイドラーベアリング８３Ａ，８３Ｂをそれぞれ支持する一対の軸部８４Ａ，８４Ｂと、を備えている。アイドラーベアリング８３Ａ，８３Ｂは、上下方向に鉛直に延びる軸線ＣＬ２，ＣＬ３を中心として、外周面８３Ａａ，８３Ｂａ側の部分が回転可能である。軸部８４Ａ，８４Ｂは、中心軸線ＣＬ２，ＣＬ３のそれぞれを中心として上下方向に延びる円柱状の部材である。軸部８４Ａ，８４Ｂの上端部は、アイドラーベアリング８３Ａ，８３Ｂの内周面８３Ａｂ，８３Ｂｂ側の部分に嵌め込まれている。軸部８４Ａ，８４Ｂの下端部は、台座部８２の上面８２ａに固定されている。
【００５３】
アイドラーベアリング８３Ａは、基板搬送トレイ２０の前側の側面（ここでは、フレーム部材２７Ｂの側面２７Ｂｂ）を支持し、アイドラーベアリング８３Ｂは、基板搬送トレイ２０の後側の側面（ここでは、フレーム部材２７Ｂの側面２７Ｂｃ）を支持する。アイドラーベアリング８３Ａ，８３Ｂは、駆動ローラ６３で支持されている状態の基板搬送トレイ２０の下端側のフレーム部材２７Ｂと、上下方向において同位置に配置されている。また、アイドラーベアリング８３Ａ，８３Ｂは、厚み方向Ｄ２においてフレーム部材２７Ｂを挟むように配置されている。アイドラーベアリング８３Ａの外周面８３Ａａと、フレーム部材２７Ｂの側面２７Ｂｂとは、僅かな隙間をあけて厚み方向Ｄ２に対向する。アイドラーベアリング８３Ｂの外周面８３Ｂａと、フレーム部材２７Ｂの側面２７Ｂｃとは、僅かな隙間をあけて厚み方向Ｄ２に対向する。
【００５４】
駆動ローラ６３によって基板搬送トレイ２０が支持され、駆動力を付与されるとき、基板搬送トレイ２０の下端部（本実施形態では、フレーム部材２７Ｂの下面２７Ｂｄ）は、真空チャンバ１５０の底側の構造物（ここでは台座部８２であるが、真空チャンバの底面側から上方へ突出している構造物が設けられている場合であっても、それらの構造物から上下方向に離間する）から、上下方向において離間している。すなわち、基板搬送トレイ２０の重さ、上端側において上部構造６０のみによって支持されており、下端側においては、真空チャンバ１５０に設けられる部材によって支持されておらず、宙に浮いたような状態となっている。本実施形態では、基板搬送トレイ２０の下端部に該当するフレーム部材２７Ｂの下面２７Ｂｄは、真空チャンバ１５０の底側に設けられる台座部８２の上面８２ａから離間している。なお、アイドラーベアリング８３Ａ，８３Ｂは、基板搬送トレイ２０を厚み方向Ｄ２には支持（厚み方向Ｄ２の移動を規制）することはできるが、基板搬送トレイ２０の重量を支持するものではない。
【００５５】
なお、図７（ｂ）に示すように、フレーム部材２７Ｂの端部２７Ｂｅ側は、アイドラーベアリング８３Ａ，８３Ｂ同士の間にスムーズに入り込めるように、船底形状となっている。すなわち、フレーム部材２７Ｂの端部２７Ｂｅは、搬送方向Ｄ１の先端側に向かうに従って幅（厚さ方向Ｄ２の大きさ）が狭くなる形状を有する。フレーム部材２７Ｂの端部２７Ｂｅ側には、搬送方向Ｄ１へ向かって傾斜するような傾斜面２７Ｂｆ，２７Ｂｆが形成される。
【００５６】
次に、本実施形態に係る成膜装置１００及び基板搬送トレイ２０の作用・効果について説明する。
【００５７】
従来、成膜装置において基板を搬送する機構として、ラック・ピニオン方式が採用されている。すなわち、真空チャンバの上側にはピニオンを有する駆動部が設けられており、基板搬送トレイの上端側には、駆動部のピニオンと噛み合うように歯が直線状に並ぶように形成されたラックが設けられている。このような構成により、基板搬送トレイで基板保持し、駆動部のピニオンを回転させることによってラックと共に当該基板搬送トレイが搬送方向へ移動する。これによって、成膜装置の真空チャンバ内で基板が基板搬送トレイに保持された状態で搬送される。しかしながら、このようにラック・ピニオン方式を採用した場合は、基板搬送トレイ自体の構造も複雑になると共に、当該基板搬送トレイに駆動力を付与する駆動部側の構造も複雑になり、全体的な構造が複雑且つ、大掛かりになるという問題がある。
【００５８】
一方、本実施形態に係る基板搬送トレイ２０は、枠体２１の上端側に設けられる支持部２２を備えており、当該支持部２２は、搬送のための駆動力を付与する駆動ローラ６３と接触するレール部３１を有している。これによって、基板１０１を取り付け可能な枠体２１は、レール部３１を有する支持部２２を介して、駆動ローラ６３から駆動力を付与され、搬送方向Ｄ１に基板１０１と共に移動することができる。また、支持部２２は、枠体２１に接続される本体部３０を有しており、当該本体部３０のうち枠体２１に接続されている下壁部３２（その上面３２ｄ）は、枠体２１の厚み方向Ｄ２に延びている。従って、駆動ローラ６３や、当該駆動ローラ６３と接触する部分で膜剥がれ等によるパーティクルが発生するとしても、厚み方向に延びる下壁部３２が当該パーティクルを受けることが可能となる。このとき、下壁部３２の面のうち、少なくとも、厚み方向Ｄ２に延びる上面３２ｄと、駆動系６８側へ向いている端部３２ｃがパーティクル受面として機能する。パーティクル受面でパーティクルを受けることにより、基板１０１の成膜面にパーティクルが付着すること、当たることによって成膜面の質が低下することを抑制することができる。このように、支持部２２のレール部３１を駆動ローラ６３に接触させるだけのシンプルな構造でありながら、基板１０１の搬送が可能となると共に、パーティクルの飛散も抑制することができる。
【００５９】
また、図１に示すような成膜装置１００においては、一の真空チャンバ１５０から隣りの真空チャンバ１５０へ基板搬送トレイ２０を搬送する際に、一の真空チャンバ１５０から搬送される基板搬送トレイ２０が、隣りの真空チャンバ１５０内で搬送される基板搬送トレイ２０に追いつくことができるような制御（追いつき制御）を行う場合がある。具体的には、成膜チャンバ１２３では、均一な膜厚を得るために基板搬送トレイ２０を一定速度（膜が堆積時間を確保するために、成膜チャンバ１２３での速度は、他の真空チャンバ１５０での速度よりも低速である）で搬送する必要がある。一方、バッファチャンバ１２２から成膜チャンバ１２３へ基板搬送トレイ２０を搬送する場合、既に成膜チャンバ１２３内に搬送されて一定速度で搬送されている基板搬送トレイ２０との間の間隔が大きくならないように（先行する基板搬送トレイ２０に追いつくように）、基板搬送トレイ２０を加速させてバッファチャンバ１２２から成膜チャンバ１２３内へ搬送することが好ましい。
【００６０】
ここで、従来のようなラック・ピニオン方式を採用した場合、ラックの歯とピニオンの歯とが噛み合う関係で、一の真空チャンバ１５０の駆動部と、他の真空チャンバ１５０の駆動部との間で搬送速度の差を設けることができず、追いつき制御に対応することが困難（例えば、構造が極めて複雑になるなどにより）であるという問題がある。追いつき制御に対応することが困難な場合は、成膜を行う部分において、基板搬送トレイ同士の間隔が大きくなる場合があり、成膜の効率に影響が及ぼされる。
【００６１】
例えば、図１に示すように、成膜チャンバ１２３が、バッファチャンバ１２２から基板搬送トレイ２０を受け取る受け取り領域ＥＡ１と、蒸着源１４０と対向する位置で基板搬送トレイ２０を一定速度で搬送する一定速度領域ＥＡ２と、バッファチャンバ１２４へ基板搬送トレイ２０を受け渡す受け渡し領域ＥＡ３と、を有しており、各領域ＥＡ１，ＥＡ２，ＥＡ３がそれぞれ独立して駆動する駆動系６８を有しているものとする。このような構成で追いつき制御を行う場合、一定速度領域ＥＡ２では駆動系６８は一定速度で基板搬送トレイ２０を搬送する一方、受け取り領域ＥＡ１及バッファチャンバ１２２の駆動系６８は、速やかに成膜チャンバ１２３へ入れるために基板搬送トレイ２０を加速させるように動作する。しかしながら、ラック・ピニオン方式を採用した場合、一定速度領域ＥＡ２で搬送されている基板搬送トレイ２０のラックの歯が一部でも受け取り領域ＥＡ１でのピニオンの歯と噛み合っている場合、受け取り領域ＥＡ１も一定速度領域ＥＡ２の速度に合わせる必要がある。従って、基板搬送トレイ２０が完全に一定速度領域ＥＡ２側へ移動するのを待たなくては、受け取り領域ＥＡ１及びバッファチャンバ１２２での駆動系６８は、基板搬送トレイ２０を加速させることはできない。このように、従来のラック・ピニオン方式では追いつき制御に対応することが困難であった。
【００６２】
一方、本実施形態に係る基板搬送トレイ２０は、駆動ローラ６３によって駆動力を付与されることによって、搬送される。従って、一定速度領域ＥＡ２で搬送されている基板搬送トレイ２０の一部が受け取り領域ＥＡ１での駆動ローラ６３に差し掛かっている状態で、受け取り領域ＥＡ１及びバッファチャンバ１２２の駆動ローラ６３を加速させたとしても、一定速度で搬送されている基板搬送トレイ２０の一部と接触している駆動ローラ６３は単に滑って空回りするだけであって、ラック・ピニオン方式のように搬送不能となることはない。従って、先行する基板搬送トレイ２０が完全に一定速度領域ＥＡ２へ搬送されることを待たなくとも、後続の基板搬送トレイ２０をバッファチャンバ１２２から成膜チャンバ１２３へ速やかに加速させて搬送することができる。このように、本実施形態では、駆動ローラ６３を用いることにより、一方の真空チャンバ１５０の駆動系６８と他の真空チャンバ１５０の駆動系６８との間に搬送速度の差があったとしても搬送可能であるため、追いつき制御に対応することができる。従って、効率よく基板１０１を搬送できることが可能となり、成膜効率を向上させることができる。以上により、基板搬送のための構造をシンプルにすることができると共に、成膜の効率を向上させることができる。
【００６３】
また、成膜装置１００では、真空チャンバ１５０の上側に配置された駆動ローラ６３が、基板搬送トレイ２０の支持部２２の下壁部３２、前壁部３３、上壁部３４及びレール部３１に囲まれる空間内に配置されることで、レール部３１と接触して基板搬送トレイ２０に駆動力を付与することが可能となる。このように、駆動ローラ６３を支持部２２内の空間に配置するだけのシンプルな構造にて、上述のような基板搬送トレイ２０の効果を奏することができる。
【００６４】
また、本実施形態に係る基板搬送トレイ２０において、搬送方向Ｄ１におけるレール部３１の端部３１ｃは、搬送方向Ｄ１に向かうに従って幅が狭くなる形状を有している。これによって、レール部３１の端部３１ｃは、駆動ローラ６３の鍔部７１に干渉することなくスムーズに駆動ローラ６３と接触することができる。
【００６５】
本実施形態に係る基板搬送トレイ２０において、枠体２１の下端側では、搬送方向Ｄ１における進行方向における端部２７Ｂｅが、搬送方向Ｄ１に向かうに従って幅が狭くなる形状を有している。これによって、枠体２１の搬送方向Ｄ１における端部２７Ｂｅが、側面支持部８１に干渉することなくスムーズに搬送方向へ移動することができる。
【００６６】
本実施形態に係る基板搬送トレイ２０において、本体部３０は、搬送方向Ｄ１から見てコ字形状に形成されており、当該コ字形状における内面（ここでは上壁部３４の下面３４ａ）には、レール部３１が取り付けられている。これによって、本体部３０のコ字形状によって、レール部３１に接触している駆動ローラ６３を取り囲むことができる。従って、駆動ローラ６３付近で発生するパーティクルを確実に受けて基板１０１の成膜面１０１ｅへの飛散を抑制することができる。この場合、本体部３０のうち、少なくとも、下壁部３２の上面３２ｄ及び端部３２ｃと、前壁部３３の内面３３ｃと、上壁部３４の下面３４ａの一部がパーティクル受面として機能する。このようなパーティクル受面でパーティクルを受けることにより、基板１０１の成膜面にパーティクルが付着すること、当たることによって成膜面の質が低下することを抑制することができる。
【００６７】
本実施形態に係る成膜装置１００において、駆動ローラ６３によって基板搬送トレイ２０を支持し、駆動力を付与するときに、基板搬送トレイ２０の下端部は、真空チャンバの底側の構造物から、上下方向において離間している。このように、基板搬送トレイ２０の重みを真空チャンバ１５０の上側の駆動ローラ６３でぶら下げて支持するような構造とすることで、熱などにより基板搬送トレイ２０が上下方向に伸びた場合の搬送への影響を無くすことができる。また、例えば、基板搬送トレイ２０の下側で重みを支持する場合は、基板搬送トレイ２０の支持点よりも上側に基板搬送トレイ２０の重心が位置するため、不安定（振動が発生しやすい状態）になる。また、基板搬送トレイ２０を下側で支持すると、基板搬送トレイ２０が自重に耐えなければならない（自重による曲げに耐えなければならない）ため、強度を高くする必要がある。しかし、本実施形態では、真空チャンバ１５０の上側でのみ基板搬送トレイ２０を支持することで、基板搬送トレイ２０の支持部２２よりも下側に重心が位置するため、安定的に支持することができる。また、基板搬送トレイ２０の自重による変形を過度に考慮する必要がなくなるため強度を高くする必要がなく、基板搬送トレイ２０の構造をシンプルなものとすることができる。
【００６８】
本実施形態に係る成膜装置１００において、搬送部１０は、基板搬送トレイ２０の下端部側における両側面２７Ｂｂ，２７Ｂｃを支持する側面支持部８１を備えている。基板搬送トレイ２０を支持している上端側とは反対側の下端部側では、厚み方向Ｄ２のふらつきが大きくなる場合があるが、側面支持部８１によって当該ふらつきを抑制することができる。
【００６９】
また、本実施形態に係る成膜装置１００では、駆動ローラ６３を真空チャンバ１５０の後壁部５４側で支持する片持ち構造とし、このような駆動ローラ６３に基板搬送トレイ２０を引っ掛けるような構造である。従って、駆動関係の構造物（例えば、駆動ローラ６３を支持する第２の軸受部６７や駆動系６８など）を基板搬送トレイ２０よりも後側へ寄せておくことが可能となり、基板１０１の成膜面１０１ｅの上方に駆動部や摺動部を設けなくともよく、それらの構造物から膜剥がれによって発生したパーティクルが成膜面１０１ｅへ向かうことを抑制できる。
【００７０】
本発明は上述の実施形態に限定されるものではない。例えば、枠体の形状・大きさや駆動ローラの個数や配置等は一例に過ぎず、基板の大きさや形状、及び成膜装置の大きさやタイプなどによって適宜変更してもよい。例えば、図８に示すようなボール状のローラーユニット２７０を採用してもよい。それに対応して、基板搬送トレイ側の本体部２７０の形状も、当該ボール状のローラーに対応する形状になる。
【符号の説明】
【００７１】
１０…搬送部、２０…基板搬送トレイ、２１…枠体、２２…支持部、３０…本体部（第１の部分）、３１…レール部（第２の部分）、６１…駆動ローラ、８１…側面支持部、１００…成膜装置、１５０…真空チャンバ。
【図１】
2014177683.tif 000003
【図２】
2014177683.tif 000004
【図３】
2014177683.tif 000005
【図４】
2014177683.tif 000006
【図５】
2014177683.tif 000007
【図６】
2014177683.tif 000008
【図７】
2014177683.tif 000009
【図８】
2014177683.tif 000010
【手続補正書】
【提出日】平成26年6月3日(2014.6.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の厚み方向と交差する搬送方向に前記基板を搬送するときに、前記基板を保持可能な成膜装置用の基板搬送トレイであって、
前記基板を取り付け可能な枠体と、
前記枠体の一端側に設けられ、搬送時に前記枠体を支持する支持部と、を備え、
前記支持部は、
前記枠体の前記一端側に接続され、少なくとも前記枠体の厚み方向に延びる第１の部分と、
搬送のための駆動力を付与する駆動ローラと接触する第２の部分と、を有する基板搬送トレイ。
【請求項２】
前記搬送方向における前記第２の部分の端部は、前記搬送方向に向かうに従って幅が狭くなる形状を有する、請求項１に記載の基板搬送トレイ。
【請求項３】
前記枠体の他端側では、前記搬送方向における端部が、前記搬送方向に向かうに従って幅が狭くなる形状を有する、請求項１又は２に記載の基板搬送トレイ。
【請求項４】
前記第１の部分は、前記搬送方向から見てコ字形状に形成されており、当該コ字形状における内面には、前記第２の部分が取り付けられている、請求項１〜３の何れか一項に記載の基板搬送トレイ。
【請求項５】
請求項１〜４の何れか一項に記載された基板搬送トレイ、及び前記基板搬送トレイで保持された状態の前記基板を収容可能な真空チャンバと、
前記基板を直立させた状態又は直立させた状態から傾斜した状態で搬送する搬送部と、を備える成膜装置であって、
前記搬送部は、
前記真空チャンバの上側に配置され、前記基板搬送トレイに駆動力を付与する駆動ローラを有し、
前記駆動ローラは、前記支持部の前記第１の部分及び前記第２の部分に囲まれる空間内に配置されたときに、前記第２の部分と接触し、前記基板搬送トレイに駆動力を付与する、成膜装置。
【請求項６】
前記駆動ローラによって前記基板搬送トレイを支持及び駆動するときに、前記基板搬送トレイの下端部は、前記真空チャンバの底側の構造物から、上下方向において離間している、請求項５に記載の成膜装置。
【請求項７】
前記搬送部は、
前記基板搬送トレイの下端部側における両側面を支持する側面支持部を備える、請求項５又は６に記載の成膜装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明に係る基板搬送トレイにおいて、搬送方向における第２の部分の端部は、搬送方向に向かうに従って幅が狭くなる形状を有してよい。第２の部分は、搬送のための駆動力を付与する駆動ローラと接触するが、駆動ローラは、第２の部分を支持するために厚み方向における両端側に鍔部を有する場合がある。このような場合に、第２の部分の端部が搬送方向に向かうに従って幅が狭くなる形状を有することにより、第２の部分の端部は、駆動ローラの鍔部に干渉することなくスムーズに駆動ローラと接触することができる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明に係る基板搬送トレイにおいて、第１の部分は、搬送方向から見てコ字形状に形成されており、当該コ字形状における内面には、第２の部分が取り付けられていてよい。これによって、第１の部分のコ字形状によって、第２の部分に接触している駆動ローラを取り囲むことができる。従って、駆動ローラ付近で発生するパーティクルを確実に受けて飛散を抑制することができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
各チャンバ１２１〜１２５には、内部を適切な圧力とするための真空ポンプ（不図示）が接続されている。また、各チャンバ１２１〜１２５には、チャンバ内の圧力を監視するための真空計（不図示）が設置されている。各チャンバ１２１〜１２５には、真空ポンプに接続された真空排気管が連通され、この真空排気管に真空計が設置されている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
成膜装置１００には、基板１０１を保持する基板搬送トレイ２０を搬送するための搬送部１０が設けられている。搬送部１０は、チャンバ１２１〜１２５内で、基板１０１及び基板搬送トレイ２０を直立させた状態で搬送する機能を有している。なお、搬送部１０及び基板搬送トレイ２０の詳細な構成については、後述する。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５０】
図５を参照して、搬送部１０の下部構造６１の詳細な構造について説明する。図５に示す下部構造６１は、基板搬送トレイ２０の下端部側における厚み方向Ｄ２に対向する両側面を支持する側面支持部８１と、側面支持部８１を固定するための台座部８２と、を備えている。なお、下部構造６１では、側面支持部８１及び台座部８２の組が、互いに所定の間隔をあけて搬送方向Ｄ１に沿って複数設けられている（図２参照）。