(57)【要約】【課題】本発明は、均一な塗布を実現できる塗布装置を提示することを目的とする。【解決手段】本発明における塗布装置は、一端から塗布液が供給される多孔質部材を備える。さらに、本発明における塗布装置は、前記多孔質部材の他端から前記塗布液が塗布される対象物と前記多孔質部材とを相対移動させる移動機構を備える。そして、本発明における塗布装置は、前記多孔質部材の相対移動方向両側領域の気泡径は中央領域の気泡径よりも大であることを特徴とする。【選択図】図１
2014120640.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一端から塗布液が供給される多孔質部材と、
前記多孔質部材の他端から前記塗布液が塗布される対象物と前記多孔質部材とを相対移動させる移動機構と、を備え、
前記多孔質部材の相対移動方向両側領域の気泡径は中央領域の気泡径よりも大である
ことを特徴とする塗布装置。
【請求項２】
前記多孔質部材は、前記相対移動方向両側の圧縮率が前記中央領域の圧縮率よりも小さくなるように保持部材で保持されている
請求項１に記載の塗布装置。
【請求項３】
前記保持部材は、その両側面が開放してなる、請求項２に記載の塗布装置。
【請求項４】
前記塗布液を供給するための塗布液供給部が、前記中央領域の真上にのみ配置される
請求項１〜３の何れかに記載の塗布装置。
【請求項５】
前記塗布液供給部は、一列に配列された複数の液供給口を有し、
前記複数個の液供給口のうち、列の中心部に位置する液供給口の径が、列の端に位置する液供給口の径よりも大である請求項４に記載の塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、塗布装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
図７に示す従来の塗布装置（例えば、特許文献１参照）が知られ、塗布液９を多孔質部材１４に浸透させ、多孔質部材１４をチップ１５に押し付けることにより塗布液９をチップ１５上に塗布する技術が開示される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開昭６３−２２９１６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来の技術では、多孔質部材の中央領域と外側領域とで、塗布液の供給量が異なる場合があり、均一な塗布を実現できないという課題があった。
【０００５】
そこで本発明は、上述の従来の課題を解決すべく、均一な塗布を実現できる塗布装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明の塗布装置は、一端から塗布液が供給される多孔質部材と、前記多孔質部材の他端から前記塗布液が塗布される対象物と前記多孔質部材とを相対移動させる移動機構と、を備え、前記多孔質部材の相対移動方向両側領域の気泡径は中央領域の気泡径よりも大であることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
以上のように、本発明の塗布装置によれば、多孔質部材の気泡径を内部で変化させることで、より均一な塗布を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の実施の形態１に係る塗布装置を示す模式図
【図２】実施の形態１に係る塗布装置における（ａ）図１の断面Ａにおける模式図、（ｂ）図１の断面Ｂの一部における模式図、（ｃ）（ｂ）において塗布液を浸透させた状態の模式図
【図３】実施の形態１に係る保持部材と多孔質部材との他の例を示す模式図
【図４】実施の形態１に係る保持部材と多孔質部材との更に他の例を示す模式図
【図５】実施の形態１に係る保持部材と多孔質部材と液供給口を示す模式図
【図６】実施の形態１に係る保持部材と多孔質部材との別の例を示す模式図
【図７】従来の塗布装置を示す模式図
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
【００１０】
（実施の形態１）
図１に、実施の形態１に係る塗布装置を示す。本塗布装置は、塗布液４を送り出すポンプ３、塗布液４を多孔質部材２へ供給する液供給口５、多孔質部材２を保持する保持部材１、基板６と多孔質部材２とを相対移動させる移動機構８を備える。ポンプ３には、チューブポンプやＣＴポンプのような一定量を安定して吐出できるものを採用する。ポンプ３と液供給口５とはパイプやチューブ等で接続される。液供給口５は、塗布液４を供給する塗布液供給部として、多孔質部材２の上方に配置される。基板６は塗布を実施される対象物の一例である。
【００１１】
塗布液４としてＩＰＡやエタノールを主成分とした数〜数十ｍＰａ・ｓの液体や数十〜数万ｍＰａ・ｓ程度のフォトレジスト液を使用する。多孔質部材２には発泡樹脂（メラミンフォームやウレタンフォームなど）を採用する。保持部材１は、ステンレス鋼やＡｌ等の金属で構成される。
【００１２】
多孔質部材２は、その下部が露出するように保持部材１で保持される。露出した多孔質部材２の領域を領域Ｘとする。露出した多孔質部材２が基板６と接触することで、基板６に塗布膜７が形成される。塗布膜７の特性は、多孔質部材２の基板６に接する側（領域Ｘ）の変形量（つぶし方）が影響するので、多孔質部材２と基板６との距離（高さ）を調整できる上下移動機構、多孔質部材２の基板６に対する傾きを調整できる角度調整機構を設ける。生産性を向上させるために、基板６における塗布すべき領域の幅と、多孔質部材２の幅とを一致させる。なお、幅とは、多孔質部材２と基板６とを相対移動させる方向と直交する方向における長さを示す。また、ここでは、基板６を移動機構８により図中の矢印の方向に移動させる。
【００１３】
多孔質部材２は、中央領域の気泡径が、その両側に位置する領域の気泡径よりも小さくなるように構成されている。具体的には、図２（ａ）に示すような構造である。図２（ａ）は、図１の断面Ａを示す模式図である。
【００１４】
図２（ａ）に示すように、保持部材１の内部空間は、中央領域１１での空間が外側領域１２における空間よりも狭い構造である。この保持部材１に多孔質部材２を充填した場合、中央領域１１でより強く多孔質部材２が圧縮される。このため、多孔質部材２の中央領域の気泡径が、この中央領域の両側に位置する領域（相対移動方向両側領域）の気泡径よりも小さくなる。中央領域１１での多孔質部材２の気泡径は約１０〜３０μｍ、外側領域１２での気泡径は約５０〜２００μｍである。
【００１５】
ここで、保持部材１の内部で気泡径を変化させた多孔質部材２の作用について説明する。
【００１６】
まず、塗布液４が供給される前の状態として図２（ｂ）を示す。図２（ｂ）は、図１の断面Ｂの一部を示す模式図でもある。図２（ｂ）では、一方の外側領域１２を省略している。ここでは多孔質部材２の気泡の大きさとしては大きく３種類存在している。中央領域１１で最も気泡径が小さく、次いで外側領域１２、そして、保持部材１から露出した領域Ｘで気泡径が最も大きくなる。
【００１７】
次に、液供給口５から多孔質部材２に塗布液４を供給した状態を図２（ｃ）に示す。多孔質部材２の上方から塗布液４が供給され、多孔質部材２内に濡れ広がる。中央領域１１では気泡径が小さいため、ほぼ全体に塗布液４が広がる。一方、外側領域１２では気泡径が大きいために、毛細管現象の逆の現象が生じ、横方向に塗布液４が広がりにくくなっている。結果として、多孔質部材２の外側領域１２では中央領域１１より塗布液４の保持量が少なくなる。このため、領域Ｘにおいても、外側領域１２の下部の領域では、中央領域１１の下部の領域よりも塗布液４の保持量が少なくなる。
【００１８】
ところで、多孔質部材２の端面部１０では、その部分が角部であるため、基板６に押付けた際に他の部分より縦方向の圧縮度が増加し、結果的に、基板６に付着する塗布液４の量が多くなってしまい、これにより、塗布膜７（特に、塗布膜７の最外周部）の盛り上がりを発生させる場合があった。
【００１９】
これに対して、本実施の形態のように、領域Ｘにおいて、外側領域１２の下部の領域では、中央領域１１の下部の領域よりも塗布液４の保持量が少ないため、端面部１０で強い圧縮力が付与されても、中央領域１１と外側領域１２で同程度の塗布液４を基板６に塗布できる。このため、均一な塗布膜７を形成することができる。
【００２０】
なお、本実施の形態において、厚みが一定の同一の多孔質部材２を用い、中央領域１１と外側領域１２で保持部材１中の空間の形状（容積）を変化させることで多孔質部材２の気泡の径を調節している。その代わりに、図３に示すように、保持部材１中の空間を一定として、多孔質部材２自身の厚みを、中央領域１１で厚く、外側領域１２で薄くしても良い。つまり、外側領域１２の圧縮率が中央領域１１の圧縮率よりも小さくなるように多孔質部材２を保持部材１で圧縮すればよい。
【００２１】
また、図４に示すように、保持部材１を、図１の基板６の移動方向（相対移動方向）から見た両側面が開放してなるように構成してもよい。これにより、より、均一な塗布膜７を形成できる。
【００２２】
ここで、塗布液供給部としての液供給口５の配置について説明する。図５のように、液供給口５を、中央領域１１の真上にのみ配置する。これにより、多孔質部材２の外周部への液供給量を抑制できるため、塗布膜７の最外周部の盛り上がりをより軽減することができる。
【００２３】
さらに、塗布液供給部は一列に配列された複数個の液供給口５を有することが望ましい。この場合、複数個の液供給口５のうち、列の中心部に位置する液供給口５ａの径が、列の端に位置する液供給口５ｂの径よりも大であることが好適である。これにより、多孔質部材２の外周部への液供給量をより抑制できるため、より均一な塗布膜７を形成できる。
【００２４】
なお、図６のように、保持部材１の外側領域１２において外側に向かって空間を次第に拡大していくことにより、徐々に多孔質部材２の気泡径を大きくしても良い。これにより、多孔質部材２の外側部への液供給量を徐々に減少させ、結果として、塗布膜７の最外周部の盛り上がりをより滑らかに抑制することができる。この場合、図４のように、保持部材１の両端を開放してもよい。
【００２５】
なお、図２（ｃ）の端面部１０をＣ面取りしてもよい。これにより、より均一な塗布膜７を形成できる。
【産業上の利用可能性】
【００２６】
本発明は、太陽電池カバーガラスやディスプレイパネル、照明用シーリングカバー、カーポートなど、曲面も含めたガラス基板や樹脂基板、金網や網戸等の空隙率の多い部材へのレジスト膜、反射防止膜、波長調整膜、保護膜等の形成に適用できる。
【符号の説明】
【００２７】
１  保持部材
２  多孔質部材
３  ポンプ
４  塗布液
５  液供給口
６  基板
７  塗布膜
８  移動機構
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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