(57)【要約】【課題】供試機器の誤動作や性能劣化を評価する上で、適正な離隔周波数の最大値を決定することができるようにする。【解決手段】周波数特定部１４が、電磁界強度分布記憶部１３に記憶されている試験信号の周波数が基準周波数ｆである場合の電磁界強度分布と、試験信号の周波数が基準周波数以外の周波数（ｆ＋ｎ・Δｆ）である場合の電磁界強度分布との一致度を判定し、試験信号の周波数が基準周波数ｆである場合の電磁界強度分布との一致度が所定値を上回っている電磁界強度分布に対応する試験信号の周波数（ｆ＋ｎ・Δｆ）の中で、基準周波数ｆと最も離れている周波数を特定する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
試験対象の機器である供試機器に対して、電磁ノイズである試験信号を注入する試験信号注入手段と、
上記供試機器から発生する電磁ノイズを検出する電磁ノイズ検出手段と、
上記試験信号注入手段により注入される試験信号の周波数を切り換える周波数制御手段と、
上記周波数制御手段により試験信号の周波数が切り換えられる毎に、上記電磁ノイズ検出手段又は上記供試機器を移動して、上記供試機器に対する上記電磁ノイズ検出手段の相対位置を順次切り換える走査手段と、
上記走査手段により相対位置が切り換えられる毎に、上記電磁ノイズ検出手段により検出された電磁ノイズの電磁界強度を測定して、上記供試機器から発生する電磁ノイズの電磁界強度分布を検出する電磁界強度分布検出手段と、
上記周波数制御手段により試験信号の周波数が切り換えられる毎に、上記電磁界強度分布検出手段により検出された電磁界強度分布を記憶する電磁界強度分布記憶手段と、
上記電磁界強度分布記憶手段に記憶されている試験信号の周波数が基準周波数である場合の電磁界強度分布と、試験信号の周波数が基準周波数以外の周波数である場合の電磁界強度分布との一致度を判定し、試験信号の周波数が基準周波数である場合の電磁界強度分布との一致度が所定値を上回っている電磁界強度分布に対応する試験信号の周波数の中で、上記基準周波数と最も離れている周波数を特定する周波数特定手段と
を備えた電磁界強度分布検出装置。
【請求項２】
周波数特定手段は、
走査手段により切り換えられる相対位置毎に、試験信号注入手段により基準周波数の試験信号が注入された場合の電磁界強度と、上記試験信号注入手段により基準周波数以外の周波数の試験信号が注入された場合の電磁界強度との差分を求めて、上記差分が所定範囲を逸脱しているか否かを判定し、
所定範囲を逸脱している差分の個数が所定数に満たなければ、電磁界強度分布記憶手段に記憶されている試験信号の周波数が基準周波数である場合の電磁界強度分布と、試験信号の周波数が基準周波数以外の周波数である場合の電磁界強度分布との一致度が所定値を上回っていると判定する
ことを特徴とする請求項１記載の電磁界強度分布検出装置。
【請求項３】
所定範囲の下限値が所定の一定値から所定の誤差許容値を減算した値であり、上記所定範囲の上限値が上記一定値に上記誤差許容値を加算した値であることを特徴とする請求項２記載の電磁界強度分布検出装置。
【請求項４】
周波数特定手段は、
走査手段により切り換えられる相対位置毎に、試験信号注入手段により試験信号が注入されていない場合の基準周波数の電磁界強度と、上記試験信号注入手段により基準周波数の試験信号が注入された場合の基準周波数の電磁界強度との差分を算出し、
上記差分が所定値以上である場合に限り、基準周波数の試験信号が注入されて当該相対位置で測定された電磁界強度と、基準周波数以外の周波数の試験信号が注入されて当該相対位置で測定された電磁界強度との差分を求めて、上記差分が所定範囲を逸脱しているか否かを判定し、
所定範囲を逸脱している差分の個数が所定数に満たなければ、電磁界強度分布記憶手段に記憶されている試験信号の周波数が基準周波数である場合の電磁界強度分布と、試験信号の周波数が基準周波数以外の周波数である場合の電磁界強度分布との一致度が所定値を上回っていると判定する
ことを特徴とする請求項１記載の電磁界強度分布検出装置。
【請求項５】
電磁界強度分布検出手段により検出された電磁ノイズの電磁界強度分布を表示する電磁界強度分布表示手段を備えたことを特徴とする請求項１から請求項４のうちのいずれか１項記載の電磁界強度分布検出装置。
【請求項６】
試験信号注入手段が、試験対象の機器である供試機器に対して、電磁ノイズである試験信号を注入する試験信号注入処理ステップと、
電磁ノイズ検出手段が、上記供試機器から発生する電磁ノイズを検出する電磁ノイズ検出処理ステップと、
周波数制御手段が、上記試験信号注入処理ステップで注入される試験信号の周波数を切り換える周波数制御処理ステップと、
走査手段が、上記周波数制御処理ステップで試験信号の周波数が切り換えられる毎に、上記電磁ノイズ検出手段又は上記供試機器を移動して、上記供試機器に対する上記電磁ノイズ検出手段の相対位置を順次切り換える走査処理ステップと、
電磁界強度分布検出手段が、上記走査処理ステップで相対位置が切り換えられる毎に、上記電磁ノイズ検出処理ステップで検出された電磁ノイズの電磁界強度を測定して、上記供試機器から発生する電磁ノイズの電磁界強度分布を検出する電磁界強度分布検出処理ステップと、
電磁界強度分布記憶手段が、上記周波数制御処理ステップで試験信号の周波数が切り換えられる毎に、上記電磁界強度分布検出処理ステップで検出された電磁界強度分布を記憶する電磁界強度分布記憶処理ステップと、
周波数特定手段が、上記電磁界強度分布記憶処理ステップで記憶されている試験信号の周波数が基準周波数である場合の電磁界強度分布と、試験信号の周波数が基準周波数以外の周波数である場合の電磁界強度分布との一致度を判定し、試験信号の周波数が基準周波数である場合の電磁界強度分布との一致度が所定値を上回っている電磁界強度分布に対応する試験信号の周波数の中で、上記基準周波数と最も離れている周波数を特定する周波数特定処理ステップと
を備えた電磁界強度分布検出方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、電磁ノイズである試験信号を電子機器（供試機器）に注入し、その電子機器の誤動作や性能劣化を評価するイミュニティ試験等に適用されるものであって、電子機器から発生する電磁ノイズの電磁界強度分布を検出する電磁界強度分布検出装置及び電磁界強度分布検出方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
電磁ノイズである試験信号を供試機器に注入して、その供試機器の誤動作や性能劣化を評価するイミュニティ試験では、例えば、ＩＳＯ１１４５２−４に記載されているバルク電流注入（ＢＣＩ）法などが用いられる。
バルク電流注入（ＢＣＩ）法によるイミュニティ試験は、電流プローブを用いて、電磁ノイズである試験信号を供試機器の接続ケーブルに注入することで、供試機器の誤動作や性能劣化を評価するものである。
【０００３】
イミュニティ試験で供試機器が不適合であると判定された場合、一般的に、不具合箇所を探して、何らかの対策を講じるようにしている。
しかし、このイミュニティ試験では、供試機器に注入された試験信号の伝搬経路を特定することができないため、不具合箇所を容易に探し出すことができない。
そのために、適切なノイズ対策を適用することができず、対策の策定が長期化してしまう傾向がある。
【０００４】
ここで、供試機器が動作している状態で、外部から注入された電磁ノイズだけを可視化する伝搬経路可視化方法を適用する電磁界強度分布検出装置が以下の特許文献１に開示されている。
この伝搬経路可視化方法は、供試機器から発生するノイズの周波数を検出し、そのノイズの周波数に近い周波数（識別可能な範囲で、ノイズの周波数から僅かにずらした周波数）の試験信号（印加ノイズ）を供試機器に注入することで、供試機器から発生するノイズと試験信号（印加ノイズ）を周波数で分離し、その試験信号（印加ノイズ）の分布を可視化対象の周波数の分布として表示するものである。
【０００５】
この伝搬経路可視化方法では、可視化対象の周波数の設定を行う主体はオペレータであり、オペレータが、供試機器に注入する試験信号（印加ノイズ）の周波数（ｆ＋Δｆ）を決定するが、スペクトルアナライザの周波数分解能帯域幅であるＲＢＷが離隔周波数Δｆより小さくなる条件の下で（ＲＢＷ＜Δｆ）、可視化対象の周波数に最も近い周波数を試験信号（印加ノイズ）の周波数（ｆ＋Δｆ）として選択するようにする。
したがって、供試機器から発生している信号の帯域幅が広い場合、離隔周波数Δｆが大きくなる場合も想定される。
しかし、高い離隔周波数Δｆを選択してしまうと、供試機器から発生するノイズの伝搬経路が、試験信号（印加ノイズ）を注入していない場合に供試機器から発生するノイズの伝搬経路と異なってしまうことがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１２−１４１２９３号公報（段落番号［０００７］）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
従来の電磁界強度分布検出装置は以上のように構成されているので、試験信号（印加ノイズ）の周波数（ｆ＋Δｆ）を決定する際、どこまで離隔周波数Δｆを大きくすると、供試機器から発生するノイズの伝搬経路が、試験信号（印加ノイズ）を注入していない場合に供試機器から発生するノイズの伝搬経路と異なるのかが分からず、試験信号（印加ノイズ）の周波数（ｆ＋Δｆ）を適切に決定することができないことがある課題があった。
【０００８】
この発明は上記のような課題を解決するためになされたもので、供試機器の誤動作や性能劣化を評価する上で、適正な離隔周波数の最大値を決定することができる電磁界強度分布検出装置及び電磁界強度分布検出方法を得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
この発明に係る電磁界強度分布検出装置は、試験対象の機器である供試機器に対して、電磁ノイズである試験信号を注入する試験信号注入手段と、供試機器から発生する電磁ノイズを検出する電磁ノイズ検出手段と、試験信号注入手段により注入される試験信号の周波数を切り換える周波数制御手段と、周波数制御手段により試験信号の周波数が切り換えられる毎に、電磁ノイズ検出手段又は供試機器を移動して、供試機器に対する電磁ノイズ検出手段の相対位置を順次切り換える走査手段と、走査手段により相対位置が切り換えられる毎に、電磁ノイズ検出手段により検出された電磁ノイズの電磁界強度を測定して、供試機器から発生する電磁ノイズの電磁界強度分布を検出する電磁界強度分布検出手段と、周波数制御手段により試験信号の周波数が切り換えられる毎に、電磁界強度分布検出手段により検出された電磁界強度分布を記憶する電磁界強度分布記憶手段とを設け、周波数特定手段が、電磁界強度分布記憶手段に記憶されている試験信号の周波数が基準周波数である場合の電磁界強度分布と、試験信号の周波数が基準周波数以外の周波数である場合の電磁界強度分布との一致度を判定し、試験信号の周波数が基準周波数である場合の電磁界強度分布との一致度が所定値を上回っている電磁界強度分布に対応する試験信号の周波数の中で、基準周波数と最も離れている周波数を特定するようにしたものである。
【発明の効果】
【００１０】
この発明によれば、走査手段により相対位置が切り換えられる毎に、電磁ノイズ検出手段により検出された電磁ノイズの電磁界強度を測定して、供試機器から発生する電磁ノイズの電磁界強度分布を検出する電磁界強度分布検出手段と、周波数制御手段により試験信号の周波数が切り換えられる毎に、電磁界強度分布検出手段により検出された電磁界強度分布を記憶する電磁界強度分布記憶手段とを設け、周波数特定手段が、電磁界強度分布記憶手段に記憶されている試験信号の周波数が基準周波数である場合の電磁界強度分布と、試験信号の周波数が基準周波数以外の周波数である場合の電磁界強度分布との一致度を判定し、試験信号の周波数が基準周波数である場合の電磁界強度分布との一致度が所定値を上回っている電磁界強度分布に対応する試験信号の周波数の中で、基準周波数と最も離れている周波数を特定するように構成したので、供試機器の誤動作や性能劣化を評価する上で、適正な離隔周波数の最大値を決定することができる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】この発明の実施の形態１による電磁界強度分布検出装置を示す構成図である。
【図２】この発明の実施の形態１による電磁界強度分布検出装置の処理内容（電磁界強度分布検出方法）を示すフローチャートである。
【図３】信号発生器３から発生される試験信号の関係を示す説明図である。
【図４】この発明の実施の形態２による電磁界強度分布検出装置の処理内容（電磁界強度分布検出方法）を示すフローチャートである。
【図５】この発明の実施の形態３による電磁界強度分布検出装置の処理内容（電磁界強度分布検出方法）を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
実施の形態１．
図１はこの発明の実施の形態１による電磁界強度分布検出装置を示す構成図である。
図１において、供試機器１は試験対象の電子機器である。
信号発生器３は制御部７により指示された周波数の試験信号（電磁ノイズ）を発生する信号源である。
アンプ４は信号発生器３から発生された試験信号を増幅し、増幅後の試験信号を注入プローブ５に出力する処理を実施する。
注入プローブ５は供試機器１の接続ケーブル２（例えば、電源ケーブル）が挿入されており、接続ケーブル２を介して、アンプ４により増幅された試験信号を供試機器１に注入する機器である。
ここでは、注入プローブ５が、供試機器１の接続ケーブル２にクランプするタイプのものを示しているが、試験信号を供試機器１に注入することができればよく、クランプするタイプに限るものではない。したがって、被接触型プローブでもよいし、接触型プローブでもよい。また、照射アンテナによる方法を用いても構わない。
なお、信号発生器３、アンプ４及び注入プローブ５から試験信号注入手段が構成されている。
【００１３】
検出プローブ６は可動部９に支持されており、供試機器１から発生する電磁ノイズを検出し、その電磁ノイズの検出信号を出力するセンサである。なお、検出プローブ６は電磁ノイズ検出手段を構成している。
制御部７は例えばＣＰＵを実装している半導体集積回路、あるいは、ワンチップマイコンなどから構成されており、信号発生器３から発生される試験信号の周波数を切り換える制御を実施するとともに、走査部８の走査方向を指示する処理を実施する。なお、制御部７は周波数制御手段を構成している。
制御部７は、電磁界強度分布検出部１２、電磁界強度分布記憶部１３及び周波数特定部１４を内蔵しており、これらの処理内容は後述する。
【００１４】
走査部８は例えばＣＰＵを実装している半導体集積回路、あるいは、ワンチップマイコンなどから構成されており、制御部７により試験信号の周波数が切り換えられる毎に、制御部７により指示された走査方向に可動部９を移動させて、供試機器１に対する検出プローブ６の相対位置（ｘ，ｙ）を順次切り換える処理を実施する。
ここでは、可動部９を移動させる例を示しているが、供試機器１を移動させて、供試機器１に対する検出プローブ６の相対位置（ｘ，ｙ）を順次切り換えるようにしてもよい。
可動部９は検出プローブ６を支持しており、走査部８から出力される制御信号が示す方向に移動する機構である。
なお、走査部８及び可動部９から走査手段が構成されている。
【００１５】
アンプ１０は検出プローブ６から出力された検出信号を増幅し、増幅後の検出信号を電磁界強度計１１に出力する処理を実施する。
電磁界強度計１１は可動部９により供試機器１に対する検出プローブ６の相対位置（ｘ，ｙ）が切り換えられる毎に、アンプ１０により増幅された検出信号から電磁ノイズの電磁界強度を測定する測定器である。
【００１６】
電磁界強度分布検出部１２は制御部７の一部を構成しており、供試機器１に対する検出プローブ６の相対位置（ｘ，ｙ）と電磁界強度計１１により測定された電磁界強度の組から、供試機器１から発生する電磁ノイズの電磁界強度分布を検出する処理を実施する。
ここでは、電磁界強度分布検出部１２が制御部７に内蔵されている例を示しているが、電磁界強度分布検出部１２が制御部７の外部に設置されて、制御部７とは無関係に所定の処理を実施するようにしてもよい。
なお、アンプ１０、電磁界強度計１１及び電磁界強度分布検出部１２から電磁界強度分布検出手段が構成されている。
【００１７】
電磁界強度分布記憶部１３は例えばＲＡＭなどの記憶装置から構成されており、試験信号の周波数が切り換えられる毎に、電磁界強度分布検出部１２により検出された電磁界強度分布を記憶する。
ここでは、電磁界強度分布記憶部１３が制御部７に内蔵されている例を示しているが、電磁界強度分布記憶部１３が制御部７の外部に設置されていてもよい。
なお、電磁界強度分布記憶部１３は電磁界強度分布記憶手段を構成している。
【００１８】
周波数特定部１４は電磁界強度分布記憶部１３に記憶されている試験信号の周波数が基準周波数ｆである場合の電磁界強度分布と、試験信号の周波数が基準周波数以外の周波数（ｆ＋ｎ・Δｆ）である場合の電磁界強度分布との一致度を判定し、その一致度が所定値を上回る電磁界強度分布に対応する試験信号の周波数（ｆ＋ｎ・Δｆ）の中で、基準周波数ｆと最も離れている周波数を特定する処理を実施する。ただし、ｎ＝１，２，・・・，Ｎである。
即ち、周波数特定部１４は走査部８により切り換えられる相対位置（ｘ，ｙ）毎に、信号発生器３から基準周波数ｆの試験信号が発生された場合の電磁界強度と、信号発生器３から基準周波数以外の周波数（ｆ＋ｎ・Δｆ）の試験信号が注入された場合の電磁界強度との差分を求めて、その差分が所定範囲（−ΔＶ〜＋ΔＶ）を逸脱しているか否かを判定し、所定範囲を逸脱している差分の個数が所定数に満たなければ、電磁界強度分布記憶部１３に記憶されている試験信号の周波数が基準周波数ｆである場合の電磁界強度分布と、試験信号の周波数が基準周波数以外の周波数である場合の電磁界強度分布（ｆ＋ｎ・Δｆ）との一致度が所定値を上回っていると判定し、試験信号の周波数が基準周波数ｆである場合の電磁界強度分布との一致度が所定値を上回っている電磁界強度分布に対応する試験信号の周波数（ｆ＋ｎ・Δｆ）の中で、基準周波数ｆと最も離れている周波数を特定する処理を実施する。
ここでは、周波数特定部１４が制御部７に内蔵されている例を示しているが、周波数特定部１４が制御部７の外部に設置されて、制御部７とは無関係に所定の処理を実施するようにしてもよい。
なお、周波数特定部１４は周波数特定手段を構成している。
【００１９】
データ処理部１５は例えばＣＰＵを実装している半導体集積回路、あるいは、ワンチップマイコンなどから構成されており、電磁界強度分布検出部１２と同様に、供試機器１から発生する電磁ノイズの電磁界強度分布を検出し、その電磁界強度分布を示すグラフ図や表図などを生成する処理を実施する。
ここでは、データ処理部１５が電磁ノイズの電磁界強度分布を検出するものとしているが、電磁界強度分布検出部１２により検出された電磁界強度分布を取得するようにしてもよい。
【００２０】
表示部１６は例えば液晶ディスプレイなどから構成されており、データ処理部１５により生成された電磁界強度分布を示すグラフ図や表図などを表示するとともに、周波数特定部１４により特定された周波数（基準周波数ｆと最も離れている周波数）を表示する処理を実施する。
なお、データ処理部１５及び表示部１６から電磁界強度分布表示手段が構成されている。
【００２１】
図１の例では、電磁界強度分布検出装置の構成要素である信号発生器３、アンプ４、注入プローブ５、検出プローブ６、制御部７、走査部８、可動部９、アンプ１０、電磁界強度計１１、データ処理部１５及び表示部１６のそれぞれが専用のハードウェアで構成されているものを想定しているが、電磁界強度分布検出装置の一部がコンピュータで構成されていてもよい。
電磁界強度分布検出装置の一部がコンピュータで構成されている場合（例えば、制御部７、走査部８、電磁界強度計１１、データ処理部１５及び表示部１６）、制御部７、走査部８、電磁界強度計１１、データ処理部１５及び表示部１６の処理内容を記述しているプログラムをコンピュータのメモリに格納し、当該コンピュータのＣＰＵが当該メモリに格納されているプログラムを実行するようにすればよい。
図２はこの発明の実施の形態１による電磁界強度分布検出装置の処理内容（電磁界強度分布検出方法）を示すフローチャートである。
【００２２】
次に動作について説明する。
制御部７は、信号発生器３から発生される試験信号の周波数を切り換える制御を実施する。
ここでは、説明の便宜上、可視化対象の周波数をｆに設定して、信号発生器３から発生される試験信号の周波数を基準周波数ｆ（可視化対象の周波数と等しい周波数）に設定したのち、試験信号の周波数を基準周波数以外の周波数（ｆ±ｎ・Δｆ）に設定するものとする。
図３は信号発生器３から発生される試験信号の関係を示す説明図である。
周波数（ｆ±ｎ・Δｆ）は、可視化対象の周波数である基準周波数ｆから僅かにずれた周波数である。
【００２３】
なお、周波数（ｆ±ｎ・Δｆ）の試験信号が供試機器１に注入されたときに、供試機器１から発生する電磁ノイズの電磁界強度分布が、基準周波数ｆの試験信号が供試機器１に注入されたときに、供試機器１から発生する電磁ノイズの電磁界強度分布と同じ傾向を示すようにするには、周波数（ｆ±ｎ・Δｆ）が、可視化対象の周波数ｆに近い周波数である必要がある。
このとき、電磁界強度計１１が、基準周波数ｆの電磁界強度と、周波数（ｆ＋ｎ・Δｆ）の電磁界強度とを分離して測定できるようにするために、電磁界強度計１１の周波数分解能帯域幅（ＲＢＷ）を離隔周波数Δｆよりも狭く設定する必要がある。
【００２４】
信号発生器３は、制御部７が試験信号の周波数を基準周波数ｆに設定すると（ステップＳＴ１）、周波数ｆの試験信号（電磁ノイズ）を発生する。
アンプ４は、信号発生器３から周波数ｆの試験信号を受けると、周波数ｆの試験信号を増幅し、増幅後の周波数ｆの試験信号を注入プローブ５に出力する。
注入プローブ５は、供試機器１の接続ケーブル２が挿入されており、アンプ４から増幅後の周波数ｆの試験信号を受けると、接続ケーブル２を介して、周波数ｆの試験信号を供試機器１に注入する。
ここでは、アンプ４が、周波数ｆの試験信号を増幅しているが、後述する検出プローブ６が、電磁ノイズとして試験信号を検出することができる程度に、周波数ｆの試験信号のレベルが高ければ、アンプ４を実装していなくてもよい。
【００２５】
制御部７は、試験信号の周波数を基準周波数ｆに設定したのち、走査部８の走査方向を指示する。
走査部８は、制御部７により指示された走査方向に可動部９を移動させて、供試機器１に対する検出プローブ６の相対位置（ｘ，ｙ）を順次切り換えるようにする。
即ち、走査部８は、制御部７の指示の下、検出プローブ６をＸ方向（横方向）、Ｙ方向（縦方向）、Ｚ方向（高さ方向）及びθ方向（回転方向）に移動させることで、供試機器１の全面を走査させる。
例えば、Ｚ方向（高さ方向）及びθ方向（回転方向）については一定にして、Ｘ方向（横方向）とＹ方向（縦方向）を下記のように切り換える走査が考えられる。
（ｘ１，ｙ１）→（ｘ２，ｙ１）→・・・→（ｘＭ，ｙ１）
→（ｘ１，ｙ２）→（ｘ２，ｙ２）→・・・→（ｘＭ，ｙ２）
：
→（ｘ１，ｙＮ）→（ｘ２，ｙＮ）→・・・→（ｘＭ，ｙＮ）
【００２６】
検出プローブ６は、可動部９が移動して、供試機器１に対する相対位置（ｘ，ｙ）が切り換わる毎に、供試機器１から発生する電磁ノイズを検出し、その電磁ノイズの検出信号をアンプ１０に出力する。
アンプ１０は、検出プローブ６から検出信号を受けると、その検出信号を増幅し、増幅後の検出信号を電磁界強度計１１に出力する。
電磁界強度計１１は、可動部９が移動して、供試機器１に対する相対位置（ｘ，ｙ）が切り換わる毎に、アンプ１０により増幅された検出信号から電磁ノイズの電磁界強度を測定する。
ここでは、アンプ１０が、検出信号を増幅しているが、電磁界強度計１１が検出信号から電磁ノイズの電磁界強度を測定することができる程度に、その検出信号のレベルが高ければ、アンプ１０を実装していなくてもよい。
【００２７】
制御部７の電磁界強度分布検出部１２は、供試機器１に対する検出プローブ６の相対位置（ｘ，ｙ）と電磁界強度計１１により測定された電磁界強度の組から、供試機器１から発生する電磁ノイズの電磁界強度分布を検出し、その電磁界強度分布を電磁界強度分布記憶部１３に格納する（ステップＳＴ２）。
即ち、電磁界強度分布検出部１２は、電磁界強度計１１から相対位置（ｘ１，ｙ１）〜（ｘＭ，ｙＮ）で測定された電磁界強度をそれぞれ取得して、それらの電磁界強度の集合である電磁界強度分布を検出し、その電磁界強度分布を電磁界強度分布記憶部１３に格納する。
【００２８】
制御部７は、電磁界強度分布記憶部１３が、試験信号の周波数が基準周波数ｆであるときの電磁界強度分布を記憶すると、信号発生器３から発生される試験信号の周波数を基準周波数以外の周波数（ｆ＋ｎ・Δｆ）に設定する（ステップＳＴ３）。ここでは、説明の便宜上、ｎ＝１とする。
この実施の形態１では、試験信号の周波数を周波数（ｆ＋ｎ・Δｆ）に設定する例を説明するが、試験信号の周波数を周波数（ｆ−ｎ・Δｆ）にも設定して、以下、同様の処理を実施する。
【００２９】
信号発生器３は、制御部７が試験信号の周波数を基準周波数以外の周波数（ｆ＋ｎ・Δｆ）に設定すると、周波数（ｆ＋ｎ・Δｆ）の試験信号（電磁ノイズ）を発生する。
アンプ４は、信号発生器３から周波数（ｆ＋ｎ・Δｆ）の試験信号を受けると、周波数（ｆ＋ｎ・Δｆ）の試験信号を増幅し、増幅後の周波数（ｆ＋ｎ・Δｆ）の試験信号を注入プローブ５に出力する。
注入プローブ５は、供試機器１の接続ケーブル２が挿入されており、アンプ４から増幅後の周波数（ｆ＋ｎ・Δｆ）の試験信号を受けると、接続ケーブル２を介して、周波数（ｆ＋ｎ・Δｆ）の試験信号を供試機器１に注入する。
【００３０】
制御部７は、試験信号の周波数を周波数（ｆ＋ｎ・Δｆ）に設定したのち、走査部８の走査方向を指示する。
走査部８は、制御部７により指示された走査方向に可動部９を移動させて、供試機器１に対する検出プローブ６の相対位置（ｘ，ｙ）を順次切り換えるようにする。
相対位置（ｘ，ｙ）を順次切り換える処理は、試験信号の周波数が基準周波数ｆに設定された場合と同様であり、同じ相対位置（ｘ，ｙ）に切り換えられる。
【００３１】
検出プローブ６は、可動部９が移動して、供試機器１に対する相対位置（ｘ，ｙ）が切り換わる毎に、供試機器１から発生する電磁ノイズを検出し、その電磁ノイズの検出信号をアンプ１０に出力する。
アンプ１０は、検出プローブ６から検出信号を受けると、その検出信号を増幅し、増幅後の検出信号を電磁界強度計１１に出力する。
電磁界強度計１１は、可動部９が移動して、供試機器１に対する相対位置（ｘ，ｙ）が切り換わる毎に、アンプ１０により増幅された検出信号から電磁ノイズの電磁界強度を測定する。
【００３２】
制御部７の電磁界強度分布検出部１２は、供試機器１に対する検出プローブ６の相対位置（ｘ，ｙ）と電磁界強度計１１により測定された電磁界強度の組から、供試機器１から発生する電磁ノイズの電磁界強度分布を検出し、その電磁界強度分布を電磁界強度分布記憶部１３に格納する（ステップＳＴ４）。
即ち、電磁界強度分布検出部１２は、電磁界強度計１１から相対位置（ｘ１，ｙ１）〜（ｘＭ，ｙＮ）で測定された電磁界強度をそれぞれ取得して、それらの電磁界強度の集合である電磁界強度分布を検出し、その電磁界強度分布を電磁界強度分布記憶部１３に格納する。
【００３３】
制御部７の周波数特定部１４は、電磁界強度分布記憶部１３から試験信号の周波数が基準周波数ｆである場合の電磁界強度分布と、試験信号の周波数が（ｆ＋ｎ・Δｆ）である場合の電磁界強度分布とを読み込み（ステップＳＴ５）、試験信号の周波数が基準周波数ｆである場合の電磁界強度分布と、試験信号の周波数が（ｆ＋ｎ・Δｆ）である場合の電磁界強度分布との一致度を判定する。
即ち、周波数特定部１４は、各々の相対位置（ｘ，ｙ）毎に、基準周波数ｆの試験信号が発生された場合の電磁界強度と、周波数（ｆ＋ｎ・Δｆ）の試験信号が注入された場合の電磁界強度との差分ｄｖを算出する（ステップＳＴ６）。
周波数特定部１４は、差分ｄｖを算出すると、その差分ｄｖが所定範囲（−ΔＶ〜＋ΔＶ）を逸脱しているか否かを判定し（ステップＳＴ７）、その差分ｄｖが所定範囲（−ΔＶ〜＋ΔＶ）を逸脱していれば、その差分ｄｖの算出元の電磁界強度の測定位置である相対位置（ｘ，ｙ）を記録する（ステップＳＴ８）。また、その差分ｄｖが所定範囲（−ΔＶ〜＋ΔＶ）を逸脱しなければ、相対位置（ｘ，ｙ）を記録せずにステップＳＴ９に進む。
なお、所定範囲（−ΔＶ〜＋ΔＶ）は、電磁界強度の変動や、繰り返し測定による変動の誤差範囲を鑑みて、オペレータ等に決定される値であり、例えば、３ｄＢの値などが考えられる。
【００３４】
周波数特定部１４は、全ての相対位置（ｘ，ｙ）について、電磁界強度の差分ｄｖが所定範囲（−ΔＶ〜＋ΔＶ）を逸脱しているか否かを判定すると（ステップＳＴ９）、ステップＳＴ８で記録している相対位置（ｘ，ｙ）の個数が所定数を超えているか否かを判定する（ステップＳＴ１０）。
ここでの所定数は、オペレータにより決定される値であり、例えば、電磁界強度の全測定位置の個数の２割の値などが考えられる。
周波数特定部１４は、ステップＳＴ８で記録している相対位置（ｘ，ｙ）の個数が所定数を超えていれば、試験信号の周波数が基準周波数ｆである場合の電磁界強度分布と、試験信号の周波数が（ｆ＋ｎ・Δｆ）である場合の電磁界強度分布との一致度が所定値を下回っていると判定する。
一方、ステップＳＴ８で記録している相対位置（ｘ，ｙ）の個数が所定数以下であれば、試験信号の周波数が基準周波数ｆである場合の電磁界強度分布と、試験信号の周波数が（ｆ＋ｎ・Δｆ）である場合の電磁界強度分布との一致度が所定値を上回っていると判定する。
ここで言う所定値とは、一致度を判定するための閾値であり、例えば、基板上の全ての相対位置数の８０％の値に設定する等が考えられる。
【００３５】
周波数特定部１４は、一致度が所定値を上回っていると判定すると、周波数（ｆ＋ｎ・Δｆ）を記録し（ステップＳＴ１１）、ｎの値を１だけ増やして（ステップＳＴ１２）、ステップＳＴ３の処理に戻るようにする。これにより、ステップＳＴ３〜ＳＴ１１の処理が繰り返し実施される。
周波数特定部１４は、一致度が所定値を下回っていると判定すると、ｎ・Δｆの大きさが限界に達していると判断し、ステップＳＴ１１で記録している周波数（ｆ＋ｎ・Δｆ）の中で、最も高い周波数（基準周波数ｆと最も離れている周波数）を特定し、その周波数におけるｎ・Δｆを離隔周波数の最大値に決定する（ステップＳＴ１３）。
例えば、周波数（ｆ＋Δｆ）、周波数（ｆ＋２・Δｆ）、周波数（ｆ＋３・Δｆ）が記録されていれば、３・Δｆを離隔周波数の最大値に決定する
【００３６】
ここでは、信号発生器３から周波数（ｆ＋ｎ・Δｆ）の試験信号が発生するようにしているため、周波数特定部１４が、ステップＳＴ１１で記録している周波数（ｆ＋ｎ・Δｆ）の中で、最も高い周波数を特定するようにしているが、信号発生器３から周波数（ｆ−ｎ・Δｆ）の試験信号が発生される場合、周波数特定部１４が、ステップＳＴ１１で周波数（ｆ−ｎ・Δｆ）を記録するため、ステップＳＴ１１で記録している周波数（ｆ−ｎ・Δｆ）の中で、最も低い周波数（基準周波数ｆと最も離れている周波数）を特定し、その周波数におけるｎ・Δｆを離隔周波数の最大値に決定する。
【００３７】
データ処理部１５は、電磁界強度分布検出部１２と同様に、供試機器１から発生する電磁ノイズの電磁界強度分布を検出し、その電磁界強度分布を示すグラフ図や表図などを生成する。あるいは、電磁界強度分布検出部１２により検出された電磁界強度分布を取得して、その電磁界強度分布を示すグラフ図や表図などを生成する。
表示部１６は、データ処理部１５により生成された電磁界強度分布を示すグラフ図や表図などを表示するとともに、周波数特定部１４により決定された離隔周波数の最大値を表示する。
なお、試験信号の周波数が（ｆ＋ｎ・Δｆ）である場合の電磁界強度分布を示すグラフ図等を表示することで、供試機器１から発生する電磁ノイズと同じ周波数の試験信号を注入した場合の電磁界強度分布を近似的に表現することが可能になる。
【００３８】
以上で明らかなように、この実施の形態１によれば、走査部８により相対位置（ｘ，ｙ）が切り換えられる毎に、検出プローブ６により検出された電磁ノイズの電磁界強度を測定して、供試機器１から発生する電磁ノイズの電磁界強度分布を検出する電磁界強度分布検出部１２と、制御部７により試験信号の周波数が切り換えられる毎に、電磁界強度分布検出部１２により検出された電磁界強度分布を記憶する電磁界強度分布記憶部１３とを設け、周波数特定部１４が、電磁界強度分布記憶部１３に記憶されている試験信号の周波数が基準周波数ｆである場合の電磁界強度分布と、試験信号の周波数が基準周波数以外の周波数（ｆ＋ｎ・Δｆ）である場合の電磁界強度分布との一致度を判定し、試験信号の周波数が基準周波数ｆである場合の電磁界強度分布との一致度が所定値を上回っている電磁界強度分布に対応する試験信号の周波数（ｆ＋ｎ・Δｆ）の中で、基準周波数ｆと最も離れている周波数を特定するように構成したので、供試機器１の誤動作や性能劣化を評価する上で、適正な離隔周波数の最大値を決定することができる効果を奏する。
【００３９】
実施の形態２．
図４はこの発明の実施の形態２による電磁界強度分布検出装置の処理内容（電磁界強度分布検出方法）を示すフローチャートである。この実施の形態２では、周波数（ｆ＋ｎ・Δｆ）の試験信号を注入したときの電磁界強度分布の最大値〜最小値の範囲が、全ての相対位置（ｘ，ｙ）において、相対的に−ΔＶ〜＋ΔＶの範囲にあればよい。即ち、所定範囲を（Ｖｃ−ΔＶ〜Ｖｃ＋ΔＶ）のように設定してもよい。
上記実施の形態１では、周波数特定部１４が、２つの電磁界強度の差分ｄｖが所定範囲（−ΔＶ〜＋ΔＶ）を逸脱しているか否かを判定するものを示したが、この実施の形態２では、予め所定範囲を（Ｖｃ−ΔＶ〜Ｖｃ＋ΔＶ）のように設定して、周波数特定部１４が、２つの電磁界強度の差分ｄｖが所定範囲（Ｖｃ−ΔＶ〜Ｖｃ＋ΔＶ）を逸脱しているか否かを判定し（ステップＳＴ２０）、その差分ｄｖが所定範囲（Ｖｃ−ΔＶ〜Ｖｃ＋ΔＶ）を逸脱していれば、その差分ｄｖの算出元の電磁界強度の測定位置である相対位置（ｘ，ｙ）を記録するようにしてもよい。
【００４０】
ここで、Ｖｃは一定の値であり、例えば、試験信号の伝搬経路となることが分かっている相対位置（ｘ，ｙ）において、試験信号の周波数が基準周波数ｆである場合の電磁界強度と、試験信号の周波数が（ｆ＋ｎ・Δｆ）である場合の電磁界強度との差分などが該当する。
また、ΔＶは電磁界強度の変動や、繰り返し測定による変動の誤差範囲を鑑みて、オペレータ等に決定される値であり、例えば、３ｄＢの値などが考えられる。
【００４１】
以上で明らかなように、この実施の形態２によれば、周波数特定部１４が、周波数（ｆ＋ｎ・Δｆ）の試験信号を注入したときの電磁界強度分布の最大値〜最小値の範囲が、全ての相対位置（ｘ，ｙ）において、相対的に−ΔＶ〜＋ΔＶの範囲内となるように、予め所定範囲を（Ｖｃ−ΔＶ〜Ｖｃ＋ΔＶ）のように設定し、２つの電磁界強度の差分ｄｖが所定範囲（Ｖｃ−ΔＶ〜Ｖｃ＋ΔＶ）を逸脱しているか否かを判定し、その差分ｄｖが所定範囲（Ｖｃ−ΔＶ〜Ｖｃ＋ΔＶ）を逸脱していれば、その差分ｄｖの算出元の電磁界強度の測定位置である相対位置（ｘ，ｙ）を記録するように構成したので、上記実施の形態１と同様に、供試機器１の誤動作や性能劣化を評価する上で、適正な離隔周波数の最大値を決定することができるほか、各々の相対位置（ｘ，ｙ）において、試験信号の周波数が基準周波数ｆである場合の電磁界強度と、試験信号の周波数が（ｆ＋ｎ・Δｆ）である場合の電磁界強度とのレベルが異なる場合でも、離隔周波数の最大値を決定することができる効果を奏する。
【００４２】
実施の形態３．
上記実施の形態１，２では、周波数特定部１４が、各々の相対位置（ｘ，ｙ）毎に、基準周波数ｆの試験信号が発生された場合の電磁界強度と、周波数（ｆ＋ｎ・Δｆ）の試験信号が注入された場合の電磁界強度との差分ｄｖを算出し、その差分ｄｖが所定範囲（（−ΔＶ〜＋ΔＶ）又は（Ｖｃ−ΔＶ〜Ｖｃ＋ΔＶ））を逸脱しているか否かを判定するものを示したが、周波数特定部１４が、各々の相対位置（ｘ，ｙ）毎に、試験信号が注入されていない場合の基準周波数ｆの電磁界強度と、基準周波数ｆの試験信号が注入された場合の基準周波数ｆの電磁界強度との差分ｄｖ’を算出し、その差分ｄｖ’が所定の判定値以上である場合に限り、基準周波数ｆの試験信号が発生された場合の電磁界強度と、周波数（ｆ＋ｎ・Δｆ）の試験信号が注入された場合の電磁界強度との差分ｄｖを算出し、その差分ｄｖが所定範囲（（−ΔＶ〜＋ΔＶ）又は（Ｖｃ−ΔＶ〜Ｖｃ＋ΔＶ））を逸脱しているか否かを判定するようにしてもよい。
【００４３】
具体的には、以下の通りである。
図５はこの発明の実施の形態３による電磁界強度分布検出装置の処理内容（電磁界強度分布検出方法）を示すフローチャートである。
まず、制御部７は、可視化対象の周波数をｆに設定し、信号発生器３から試験信号が発生されないように制御する（ステップＳＴ３１）。
次に、制御部７は、上記実施の形態１と同様に、走査部８の走査方向を指示する。
走査部８は、制御部７により指示された走査方向に可動部９を移動させて、供試機器１に対する検出プローブ６の相対位置（ｘ，ｙ）を順次切り換えるようにする。
相対位置（ｘ，ｙ）を順次切り換える処理は、上記実施の形態１と同様である。
【００４４】
検出プローブ６は、可動部９が移動して、供試機器１に対する相対位置（ｘ，ｙ）が切り換わる毎に、供試機器１から発生する電磁ノイズを検出し、その電磁ノイズの検出信号をアンプ１０に出力する。
アンプ１０は、検出プローブ６から検出信号を受けると、その検出信号を増幅し、増幅後の検出信号を電磁界強度計１１に出力する。
電磁界強度計１１は、可動部９が移動して、供試機器１に対する相対位置（ｘ，ｙ）が切り換わる毎に、アンプ１０により増幅された検出信号から電磁ノイズ（暗ノイズ）の電磁界強度を測定する。
【００４５】
制御部７の電磁界強度分布検出部１２は、供試機器１に対する検出プローブ６の相対位置（ｘ，ｙ）と電磁界強度計１１により測定された電磁界強度の組から、供試機器１から発生する電磁ノイズ（暗ノイズ）の電磁界強度分布を検出し、その電磁界強度分布を電磁界強度分布記憶部１３に格納する（ステップＳＴ３２）。
即ち、電磁界強度分布検出部１２は、電磁界強度計１１から相対位置（ｘ１，ｙ１）〜（ｘＭ，ｙＮ）で測定された電磁界強度（暗ノイズ）をそれぞれ取得して、それらの電磁界強度（暗ノイズ）の集合である電磁界強度分布を検出し、その電磁界強度分布を電磁界強度分布記憶部１３に格納する。
【００４６】
制御部７は、電磁界強度分布記憶部１３が、試験信号が発生されてないときの電磁界強度分布を記憶すると、信号発生器３から発生される試験信号の周波数を基準周波数ｆに設定する（ステップＳＴ３３）。
信号発生器３は、制御部７が試験信号の周波数を基準周波数ｆに設定すると、周波数ｆの試験信号（電磁ノイズ）を発生する。
アンプ４は、信号発生器３から周波数ｆの試験信号を受けると、周波数ｆの試験信号を増幅し、増幅後の周波数ｆの試験信号を注入プローブ５に出力する。
注入プローブ５は、供試機器１の接続ケーブル２が挿入されており、アンプ４から増幅後の周波数ｆの試験信号を受けると、接続ケーブル２を介して、周波数ｆの試験信号を供試機器１に注入する。
【００４７】
制御部７は、試験信号の周波数を基準周波数ｆに設定したのち、走査部８の走査方向を指示する。
走査部８は、制御部７により指示された走査方向に可動部９を移動させて、供試機器１に対する検出プローブ６の相対位置（ｘ，ｙ）を順次切り換えるようにする。
相対位置（ｘ，ｙ）を順次切り換える処理は、試験信号が注入されていない場合と同様であり、同じ相対位置（ｘ，ｙ）に切り換えられる。
【００４８】
検出プローブ６は、可動部９が移動して、供試機器１に対する相対位置（ｘ，ｙ）が切り換わる毎に、供試機器１から発生する電磁ノイズを検出し、その電磁ノイズの検出信号をアンプ１０に出力する。
アンプ１０は、検出プローブ６から検出信号を受けると、その検出信号を増幅し、増幅後の検出信号を電磁界強度計１１に出力する。
電磁界強度計１１は、可動部９が移動して、供試機器１に対する相対位置（ｘ，ｙ）が切り換わる毎に、アンプ１０により増幅された検出信号から電磁ノイズの電磁界強度を測定する。
【００４９】
制御部７の電磁界強度分布検出部１２は、供試機器１に対する検出プローブ６の相対位置（ｘ，ｙ）と電磁界強度計１１により測定された電磁界強度の組から、供試機器１から発生する電磁ノイズの電磁界強度分布を検出し、その電磁界強度分布を電磁界強度分布記憶部１３に格納する（ステップＳＴ３４）。
即ち、電磁界強度分布検出部１２は、電磁界強度計１１から相対位置（ｘ１，ｙ１）〜（ｘＭ，ｙＮ）で測定された電磁界強度をそれぞれ取得して、それらの電磁界強度の集合である電磁界強度分布を検出し、その電磁界強度分布を電磁界強度分布記憶部１３に格納する。
【００５０】
制御部７の周波数特定部１４は、各々の相対位置（ｘ，ｙ）毎に、試験信号が注入されていない場合の周波数ｆの電磁界強度と、基準周波数ｆの試験信号を注入した場合の周波数ｆの電磁界強度との差分ｄｖ’（絶対値）を算出し（ステップＳＴ３５）、その差分ｄｖ’が所定の判定値以上であるか否かを判定する（ステップＳＴ３６）。
周波数特定部１４は、その差分ｄｖ’が所定の判定値以上の場合、その差分ｄｖ’の算出元の電磁界強度の測定位置である相対位置（ｘ，ｙ）を記録して（ステップＳＴ３７）、ステップＳＴ３８の処理に移行する。
一方、その差分ｄｖ’が所定の判定値未満の場合、相対位置（ｘ，ｙ）を記録せずにステップＳＴ３８の処理に移行する。
ここでの所定の判定値は、試験信号の周波数がｆである場合の電磁界強度が試験信号が無い場合の電磁界強度にほぼ一致することを考慮して、ゼロに近い正の値が設定されている。
全ての測定点の判定が完了するまで、ステップＳＴ３５〜ＳＴ３７の処理を繰り返し実施し、全ての測定点の判定が完了すると、ステップＳＴ３９の処理に移行する。
【００５１】
制御部７は、全ての測定点の判定が完了すると、信号発生器３から発生される試験信号の周波数を基準周波数以外の周波数（ｆ＋ｎ・Δｆ）に設定する（ステップＳＴ３９）。ここでは、説明の便宜上、ｎ＝１とする。
この実施の形態３では、試験信号の周波数を周波数（ｆ＋ｎ・Δｆ）に設定する例を説明するが、試験信号の周波数を周波数（ｆ−ｎ・Δｆ）にも設定して、以下、同様の処理を実施する。
【００５２】
信号発生器３は、制御部７が試験信号の周波数を基準周波数以外の周波数（ｆ＋ｎ・Δｆ）に設定すると、周波数（ｆ＋ｎ・Δｆ）の試験信号（電磁ノイズ）を発生する。
アンプ４は、信号発生器３から周波数（ｆ＋ｎ・Δｆ）の試験信号を受けると、周波数（ｆ＋ｎ・Δｆ）の試験信号を増幅し、増幅後の周波数（ｆ＋ｎ・Δｆ）の試験信号を注入プローブ５に出力する。
注入プローブ５は、供試機器１の接続ケーブル２が挿入されており、アンプ４から増幅後の周波数（ｆ＋ｎ・Δｆ）の試験信号を受けると、接続ケーブル２を介して、周波数（ｆ＋ｎ・Δｆ）の試験信号を供試機器１に注入する。
【００５３】
制御部７は、試験信号の周波数を周波数（ｆ＋ｎ・Δｆ）に設定したのち、走査部８の走査方向を指示する。
走査部８は、制御部７により指示された走査方向に可動部９を移動させて、供試機器１に対する検出プローブ６の相対位置（ｘ，ｙ）を順次切り換えるようにする。
相対位置（ｘ，ｙ）を順次切り換える処理は、試験信号の周波数が基準周波数ｆに設定された場合と同様であり、同じ相対位置（ｘ，ｙ）に切り換えられる。
【００５４】
検出プローブ６は、可動部９が移動して、供試機器１に対する相対位置（ｘ，ｙ）が切り換わる毎に、供試機器１から発生する電磁ノイズを検出し、その電磁ノイズの検出信号をアンプ１０に出力する。
アンプ１０は、検出プローブ６から検出信号を受けると、その検出信号を増幅し、増幅後の検出信号を電磁界強度計１１に出力する。
電磁界強度計１１は、可動部９が移動して、供試機器１に対する相対位置（ｘ，ｙ）が切り換わる毎に、アンプ１０により増幅された検出信号から電磁ノイズの電磁界強度を測定する。
【００５５】
制御部７の電磁界強度分布検出部１２は、供試機器１に対する検出プローブ６の相対位置（ｘ，ｙ）と電磁界強度計１１により測定された電磁界強度の組から、供試機器１から発生する電磁ノイズの電磁界強度分布を検出し、その電磁界強度分布を電磁界強度分布記憶部１３に格納する（ステップＳＴ４０）。
即ち、電磁界強度分布検出部１２は、電磁界強度計１１から相対位置（ｘ１，ｙ１）〜（ｘＭ，ｙＮ）で測定された電磁界強度を取得して、それらの電磁界強度の集合である電磁界強度分布を検出し、その電磁界強度分布を電磁界強度分布記憶部１３に格納する。
【００５６】
制御部７の周波数特定部１４は、電磁界強度分布記憶部１３から試験信号が注入されていない場合の電磁界強度分布と、試験信号の周波数が基準周波数ｆである場合の電磁界強度分布と、試験信号の周波数が（ｆ＋ｎ・Δｆ）である場合の電磁界強度分布とを読み込む処理を実施する（ステップＳＴ４１）。
制御部７は、当該相対位置（ｘ，ｙ）がステップＳＴ３７で記録している相対位置（ｘ，ｙ）と一致しているか否かを判定し（ステップＳＴ４２）、一致していれば、ステップＳＴ４６の処理に移行し、一致していなければ、ステップＳＴ４３の処理に移行する。
【００５７】
周波数特定部１４は、当該相対位置（ｘ，ｙ）において、２つの電磁界強度がほぼ一致しているために、その差分ｄｖ’が所定の判定値に満たない場合、試験信号の周波数が基準周波数ｆである場合の試験信号の伝搬経路ではないことが想定されるため、試験信号の周波数が基準周波数ｆである場合の電磁界強度分布と、試験信号の周波数が（ｆ＋ｎ・Δｆ）である場合の電磁界強度分布との一致度を判定する処理を省略する。
【００５８】
周波数特定部１４は、２つの電磁界強度がほぼ一致していないために、その差分ｄｖ’が所定の判定値以上である場合、上記実施の形態１，２と同様に、当該相対位置（ｘ，ｙ）において、基準周波数ｆの試験信号が発生された場合の電磁界強度と、周波数（ｆ＋ｎ・Δｆ）の試験信号が注入された場合の電磁界強度との差分ｄｖを算出する（ステップＳＴ４３）。
周波数特定部１４は、差分ｄｖを算出すると、上記実施の形態１，２と同様に、その差分ｄｖが所定範囲（（−ΔＶ〜＋ΔＶ）又は（Ｖｃ−ΔＶ〜Ｖｃ＋ΔＶ））を逸脱しているか否かを判定し（ステップＳＴ４４）、その差分ｄｖが所定範囲（（−ΔＶ〜＋ΔＶ）又は（Ｖｃ−ΔＶ〜Ｖｃ＋ΔＶ））を逸脱していれば、その差分ｄｖの算出元の電磁界強度の測定位置である相対位置（ｘ，ｙ）を記録する（ステップＳＴ４５）。
【００５９】
周波数特定部１４は、全ての相対位置（ｘ，ｙ）について、電磁界強度の差分ｄｖが所定範囲を逸脱しているか否かを判定すると（ステップＳＴ４６）、上記実施の形態１，２と同様に、ステップＳＴ４５で記録している相対位置（ｘ，ｙ）の個数が所定数を超えているか否かを判定する（ステップＳＴ４７）。
周波数特定部１４は、ステップＳＴ４５で記録している相対位置（ｘ，ｙ）の個数が所定数を超えていれば、試験信号の周波数が基準周波数ｆである場合の電磁界強度分布と、試験信号の周波数が（ｆ＋ｎ・Δｆ）である場合の電磁界強度分布との一致度が所定値を下回っていると判定する。
一方、ステップＳＴ４５で記録している相対位置（ｘ，ｙ）の個数が所定数以下であれば、試験信号の周波数が基準周波数ｆである場合の電磁界強度分布と、試験信号の周波数が（ｆ＋ｎ・Δｆ）である場合の電磁界強度分布との一致度が所定値を上回っていると判定する。
【００６０】
周波数特定部１４は、一致度が所定値を上回っていると判定すると、周波数（ｆ＋ｎ・Δｆ）を記録し（ステップＳＴ４８）、ｎの値を１だけ増やして（ステップＳＴ４９）、ステップＳＴ３５の処理に戻るようにする。これにより、ステップＳＴ３５〜ＳＴ４８の処理が繰り返し実施される。
周波数特定部１４は、一致度が所定値を下回っていると判定すると、ｎ・Δｆの大きさが限界に達していると判断し、ステップＳＴ４８で記録している周波数（ｆ＋ｎ・Δｆ）の中で、最も高い周波数（基準周波数ｆと最も離れている周波数）を特定し、その周波数におけるｎ・Δｆを離隔周波数の最大値に決定する（ステップＳＴ５０）。
例えば、周波数（ｆ＋Δｆ）、周波数（ｆ＋２・Δｆ）、周波数（ｆ＋３・Δｆ）が記録されていれば、３・Δｆを離隔周波数の最大値に決定する。
【００６１】
ここでは、信号発生器３から周波数（ｆ＋ｎ・Δｆ）の試験信号が発生するようにしているため、周波数特定部１４が、ステップＳＴ４８で記録している周波数（ｆ＋ｎ・Δｆ）の中で、最も高い周波数を特定するようにしているが、信号発生器３から周波数（ｆ−ｎ・Δｆ）の試験信号が発生される場合、周波数特定部１４が、ステップＳＴ４８で周波数（ｆ−ｎ・Δｆ）を記録するため、ステップＳＴ４８で記録している周波数（ｆ−ｎ・Δｆ）の中で、最も低い周波数（基準周波数ｆと最も離れている周波数）を特定し、その周波数におけるｎ・Δｆを離隔周波数の最大値に決定する。
【００６２】
データ処理部１５は、電磁界強度分布検出部１２と同様に、供試機器１から発生する電磁ノイズの電磁界強度分布を検出し、その電磁界強度分布を示すグラフ図や表図などを生成する。あるいは、電磁界強度分布検出部１２により検出された電磁界強度分布を取得して、その電磁界強度分布を示すグラフ図や表図などを生成する。
表示部１６は、データ処理部１５により生成された電磁界強度分布を示すグラフ図や表図などを表示するとともに、周波数特定部１４により決定された離隔周波数の最大値を表示する。
【００６３】
以上で明らかなように、この実施の形態３によれば、周波数特定部１４が、各々の相対位置（ｘ，ｙ）毎に、試験信号が注入されていない場合の周波数ｆの電磁界強度と、試験信号の周波数が基準周波数ｆである場合の周波数ｆの電磁界強度との差分ｄｖ’（絶対値）を算出し、その差分ｄｖ’が所定の判定値に満たない場合、試験信号の周波数が基準周波数ｆである場合の電磁界強度分布と、試験信号の周波数が（ｆ＋ｎ・Δｆ）である場合の電磁界強度分布との一致度を判定する処理を省略するように構成したので、ノイズ伝搬経路の評価時間を短縮することができる効果を奏する。
【００６４】
なお、本願発明はその発明の範囲内において、各実施の形態の自由な組み合わせ、あるいは各実施の形態の任意の構成要素の変形、もしくは各実施の形態において任意の構成要素の省略が可能である。
【符号の説明】
【００６５】
１  供試機器、２  供試機器の接続ケーブル、３  信号発生器（試験信号注入手段）、４  アンプ（試験信号注入手段）、５  注入プローブ（試験信号注入手段）、６  検出プローブ（電磁ノイズ検出手段）、７  制御部（周波数制御手段）、８  走査部（走査手段）、９  可動部（走査手段）、１０  アンプ（電磁界強度分布検出手段）、１１  電磁界強度計（電磁界強度分布検出手段）、１２  電磁界強度分布検出部（電磁界強度分布検出手段）、１３  電磁界強度分布記憶部（電磁界強度分布記憶手段）、１４  周波数特定部（周波数特定手段）、１５  データ処理部（電磁界強度分布表示手段）、１６  表示部（電磁界強度分布表示手段）。
【図１】
2014149269.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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