(57)【要約】【課題】  十分な信頼性があり、また、経済的な要求に十分にあう一方、より小さい接地用接点のデザインの提供【解決手段】  集積回路（ＩＣ）検査装置のグランド用の電気接点は、互いに向かって傾斜する２つの平表面を有する固定された下部材であって、前記下部材は、下端よりも上端が狭いくさび形状の一部分を形成し、前記下部材の上に跨がって延びる２つの腕部を有する柔軟に屈曲可能な上部材であって、前記上部材は、逆向きのＵ字形状を有し、前記腕部は、内向きの押圧力を有し、前記腕部のそれぞれの内表面は、前記平表面のそれぞれに圧接され、また、前記下部材の狭い方の端部と分岐内表面との間に位置する圧縮可能部材であって、分岐内表面は、上部材において２つの腕部が分岐するところの内表面である。下部材及び上部材は、導電材料により形成されている。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
集積回路検査装置に用いる電気接点であって、
２つの平表面（１２、１４）を有する固定された下部材（１０）であって、導電材料により形成されている下部材、
前記下部材の上に延びる２つの腕部（２２、２４）を有し、前記腕部は、内向きの押圧力を有し、前記腕部の内表面（２３、２５）が前記平表面（１２、１４）のそれぞれに圧接される柔軟に屈曲可能な上部材（２０）であって、導電材料により形成されている上部材、
前記下部材（１０）の上端（１６）と前記上部材（２０）の分岐内表面（２６）の間に位置する圧縮可能部材（３０）、
を有する電気接点。
【請求項２】
請求項１にかかる電気接点において、
前記圧縮可能部材（３０）は、円筒形状を有し、
前記下部材（１０）の前記上端（１６）は、
前記圧縮可能部材（３０）に合致し、受け止めるように調整されている、
電気接点。
【請求項３】
請求項２に係る電気接点において、
前記上部材（２０）の前記分岐内表面（２６）は、
前記圧縮可能部材（３０）に合致し、受け止めるように調整されている、
電気接点。
【請求項４】
請求項１に係る電気接点において、
２つの前記平表面（１２、１４）は、
互いに向かって傾斜している、
電気接点。
【請求項５】
請求項４に係る電気接点において、
傾斜している前記各平表面（１２、１４）の垂直に対する角度は、
０度から２０度の間である、
電気接点。
【請求項６】
請求項５に係る電気接点において、
傾斜している前記各平表面（１２、１４）の垂直に対する角度は、
１３度から１７度の間である、
電気接点。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、大まかには電気接点に関し、より詳細には、集積回路検査装置のグランド用の電気接点（ground electrical contact）に関する。
【背景技術】
【０００２】
集積回路の検査の分野では、集積回路（ＩＣ）デバイスのリードと検査装置とを電気的に接続するための多くの解決手段が存在する。現在の多くの解決手段は、とても小さいＩＣデバイスに適さない内部接続デザインである。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
これらのＩＣデバイスがだんだん小さくなっている傾向からすれば、より小さいＩＣデバイスを検査できる解決手段が求められている。現在のデザインがより小さいＩＣデバイスを検査できない主な理由の一つは、ソケットの限られたスペースの中で接地を得る方法を提供する必要があることにある。よって、十分な信頼性があり、また、経済的な要求に十分にあう一方、より小さい接地用接点のデザインが求められている。
【０００４】
ＩＣデバイスの検査において他に考慮する事項は、検査方法の組立時間である。現在の方法は、一般的に、組み立てなければならい３、４の構成要素を有しており、このために、時間がかかる。よって、検査手段をより早く組み立てできるデザインが求められている。
【０００５】
また、ＩＣデバイスの検査において他に考慮する事項は、検査中、ＩＣデバイス及び検査装置上の電気接点によってもたらされるグラム・フォース（gram force）である。グラム・フォースが小さくなればなるほど、検査装置の接点上の損傷も小さくなる。しかし、適切な検査を可能とするために必要とされる最小限のグラム・フォースがある。よって、グラム・フォースを制御することが求められている。
【発明の効果】
【０００６】
本発明は、垂直に配置されるグランド用接点のデザインを提供することによって、前述の不利益を克服しようとするものである。そのデザインは、優れた電気接点に最大領域の電気的接続性を提供する一方、最小限のスペースを必要とし、例えば、２ｍｍ×２ｍｍ、２ｍｍ×３ｍｍ、３ｍｍ×３ｍｍ、１．８ｍｍ×２．６ｍｍ、３．２ｍｍ×１．８ｍｍ等の大きさまで、ＩＣデバイスの検査を可能にし、同一平面に存在し、平均アシスト間隔（ＭＴＢＡ）及び平均破砕間隔（ＭＴＢＦ）を増加させた。本発明は、３つの構成要素を有し、短時間での組立を可能とするデザインであり、そのデザインに圧縮可能部材を配置することによって、グラム・フォースの制御を可能とする。
【０００７】
本発明は、集積回路（ＩＣ）検査装置のグランド用の電気接点に関し、互いに向かって傾斜する２つの平表面を有する固定された下部材であって、下部材は、上側に向かって面する、くさびの狭い方の端部を有する、くさび形状の一部分を形成し、前記下部材の上に跨がって伸びる２つの腕部を有する柔軟に屈曲可能な（flexible）上部材であって、上部材は、逆向きのＵ字形状を形成し、下部材に跨がって位置するときに、内向きの押圧力（inwards bias）を有する２つの腕部であって、各腕部の内表面は、それぞれの平表面に圧接され、前記下部材の狭い方の端部と、２つの腕部が上部材において分岐するところの分岐内表面との間に位置する圧縮可能部材、を有する。平表面の垂直に対する傾斜角度は、好ましくは０度から２０度の間であり、より好ましくは１３度から１７度であり、より好ましくは約１５度である。下部材及び上部材は、導電材料により形成されている。圧縮可能部材は、シリコンゴムのようなエラストマー材料を含むあらゆる圧縮可能材料により形成できるが、それらに限定されない。
【０００８】
２つの腕部の内向きの押圧力は、以下のように形成される。上部材は、２つの腕部が柔軟に屈曲するようにデザインされている。前記腕部は、力がかかっていないときには互いに所定距離離れ、２つの腕部が下部材に跨がって配置されるときには、内向きの押圧力が形成されるようにデザインされている。この結果、左の前記腕部の内表面は左の前記平表面に圧接され、また、右の前記腕部の内表面は右の前記平表面に圧接される。
【０００９】
上記は好ましい実施例ではあるが、２つの平表面が互いに向かって傾斜せず、互いに平行な実施例も存在する。この実施例では、下部材に対する２つの腕部の内向き押圧力は、ＩＣデバイスの検査の間、即ち、上部材が下部材に向かって押し下げられているとき、上部材と下部材との間の接触を持続させる。
【００１０】
好ましい実施例では、圧縮可能部材は、水平面内の軸、即ち、ＩＣデバイスの検査の間に、自らにかかる力に対して垂直な軸を有する円筒形状を有している。この実施例では、下部材の狭い方の端部は、圧縮可能部材の円筒形状を受け止めるように湾曲する上縁を有している。また、この実施例では、分岐内表面である、２つの腕部が分岐する上部材の内表面も、圧縮可能部材の円筒形状に合致し、受け止めるように調整され、又は、湾曲している。
【００１１】
その他の目的、及び、効果は、以下の開示、及び、添付の特許請求の範囲から、十分に明らかである。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の一実施例のグランド用の接点の斜視図である。
【図２】本発明の一実施例のグランド用の接点であり、非圧縮状態の断面図である。
【図３】本発明の一実施例のグランド用の接点であり、圧縮状態の断面図である。
【図４】本発明の一実施例のグランド用の接点であり、キャビティ及びコンタクト・ハウジングに組み込まれたものの斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【実施例１】
【００１３】
以下の詳細な説明は、集積回路検査装置のグランド用の電気接点を対象とし、特別なサイズや構成に制限されないが、実際には、以下の記述の一般的な範囲内での多様なサイズや構成に制限されることに、注意すべきである。
【００１４】
図１及び図２に、集積回路（ＩＣ）検査装置のグランド用の電気接点を示す。互いに向かって傾斜する左平表面（１２）及び右平表面（１４）を有する固定された下部材（１０）であって、下端よりも狭い上端（１６）を有して、くさび形状の一部分を形成するものが示されている。平表面（１２、１４）の垂直に対する傾斜角度は、約１５度であるが、０度から２０度の間でもよい。前記下部材（１０）の上に跨がって伸びる２つの腕部、左腕部（２２）、及び、右腕部（２４）を有する上部材（２０）であって、下部材（１０）を留める逆向きのＵ字形状を形成するものも示されている。上部材（２０）は、逆向きのＵ字形状の上部付近で２つの腕部（２２、２４）が柔軟に屈曲するようにデザインされている。前記２つの腕部（２２、２４）は、互いに所定の距離離れるようにデザインされ、２つの腕部（２２、２４）が下部材（１０）に跨がって位置するときに、内向きの押圧力が生成される。それにより、前記左腕部（２２）の内表面（２３）は、前記左平表面（１２）に圧接され、また、前記右腕部（２４）の内表面（２５）は、前記右平表面（１４）に圧接される。前記下部材（１０）の前記狭い方の端部（１６）と分岐内表面（２６）の間に位置する圧縮可能部材（３０）も示されている。分岐内表面（２６）は、前記２つの腕部（２２、２４）が上部材（２０）において分岐するところの内表面である。下部材（１０）及び上部材（２０）は、導電材料により形成されている。
【００１５】
図面に示されている好ましい実施形態では、前記圧縮可能部材（３０）は、円筒形状を有している。この円筒の軸は、水平面内、つまり、ＩＣデバイスの検査の間、自らにかかる力に垂直な方向に存在する。下部材（１０）の上端（１６）は、圧縮可能部材（３０）の円筒形状に合致し、受け止めるように調整されている。言い換えれば、下部材（１０）の上端（１６）は、圧縮可能部材（３０）の円筒形状を受け止めるように湾曲する上縁を有している。上部材の分岐内表面（２６）、即ち、２つの腕部（２２、２４）が分岐するところも、同様に、圧縮可能部材（３０）の円筒形状に合致し、受け止めるように調整され、又は、湾曲している。上部材（２０）の上側の部分は、ＩＣデバイスが上部材（２０）と接するように圧力を加える力を吸収し、その力を、圧縮可能部材（３０）の中に消失する。
【００１６】
図２及び図３は、それぞれ、非圧縮状態、圧縮状態にある、本発明に係るグランド用の接点を示している。これらの図に示すように、ＩＣデバイスの検査中、上部材（２０）は、まず、上のＩＣデバイスから下向きの力を受ける。このとき、圧縮可能部材（３０）は、圧縮し、前記上部材（２０）を下部材（１０）に向かって近づくように移動させる。このように、前記腕部（２２、２４）の内表面（２３、２５）は、傾斜している平表面（１２、１４）に沿って下向きにスライドし、上部材の２つの腕部（２２、２４）は、外側に向かって屈曲し、前記下部材（１０）の前記平表面（１２、１４）上の内向きの圧力を維持する。検査装置から上部材（２０）が持ち上げられて、取り外されると、圧縮可能部材（３０）は、前記下部材（１０）から上部材（２０）を引き離す。このように、下部材（１０）の前記平表面（１２、１４）に作用する、２つの腕部（２２、２４）の内向きの圧力によって、各腕部の内表面（２３、２５）は、前記下部材（１０）の前記平表面（１２、１４）に接し続ける。これにより、検査期間を通して、電気的接触が維持される。
【００１７】
図４に、キャビティ（４０）及びソケット・ハウジング（５０）に組み込まれている本発明の一実施例に係るグランド用接点を示す。キャビティ（４０）は、下部の構成要素が適切かつ安全に配置されるように提供される。ソケット・ハウジング（５０）は、ＩＣデバイスの検査中、グランド用の接点をガイドし、保持し、また、事前にテンションをかけることに利用される。ハード・ストッパ（５２）は、圧縮可能部材（３０）の上向きの押圧力に沿って、各検査の後、上部材が垂直方向に向いていることを可能とするために提供される。また、このハード・ストッパ（５２）によって、グランド用の接点がデザイン上の最大高さを超えないようにできる。前述の非圧縮状態にあるアッセンブリー全体は、上部材（２０）上のソケット・ハウジング（５０）の作用によって、わずかながら事前にテンションがかけられており、それによって、わずかに圧縮可能部材（３０）が圧縮されている。検査中、ＩＣデバイスが上部材（２０）まで低く配置されるに従い、上部材は、下部材（１０）に向かって下向きに移動し、圧縮可能部材（３０）をさらに圧縮する。ソケット・ハウジングは、上部材（２０）を一直線にし、そのため、上部材は、検査中、横方向に移動しない。
【００１８】
２つの腕部（２２、２４）の前記内表面（２３、２５）は、グランド用接点が非圧縮状態にあるとき、下部材（１０）の前記平表面（１２、１４）と同じ角度にはないので、ＩＣデバイスを検査し、また、完全な電気的な接続が求められるとき、グランド用接点が圧縮状態にあるとき、内表面（２３、２５）の角度は、最大限の電気的接触を可能とするために、平表面（１２、１４）に対してより平行となる。
【００１９】
本発明に関するその他の態様は、グランド用接点が組み込まれる方法である。本発明に関するデザインは、まず、ソケット・ハウジング（５０）内に上部材（２０）を挿入する必要がある。そして、圧縮可能部材（３０）をキャビティ（４０）内に挿入し、最後に下部材（１０）を挿入し、完全な組み込みを形成する。下部材（１０）の狭い側の端部（１６）の湾曲した上縁は、円筒形状の圧縮可能部材（３０）が、組み込み中に、落ちたり、そうでなければ、取り除かれたりすることを防止する。
【００２０】
本発明に関するいくつかの特別な好ましい実施形態を記載し、図示する一方、発明の本質及び範囲から外れることなく、様々な変更、修正が可能であることは、当業者には明らかである。よって、以下の特許請求の範囲は、このような変更、修正、及び、本発明の範囲内にある応用の範囲を包含することを目的とする。
【符号の説明】
【００２１】
下部材（１０）
下部材の左平表面（１２）
下部材の右平表面（１４）
下部材の上端（１６）
上部材（２０）
上部材の左腕部（２２）
上部材の左腕部の内表面（２３）
上部材の右腕部（２４）
上部材の右腕部の内表面（２５）
上部材の分岐内表面（２６）
圧縮可能部材（３０）
キャビティ（４０）
ソケット・ハウジング（５０）
ハード・ストッパ（５２）
【図１】
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【図２】
2014081375.tif 000004
【図３】
2014081375.tif 000005
【図４】
2014081375.tif 000006
【外国語明細書】
2014081375000001.pdf