(57)【要約】      （修正有）【課題】使用限界を適切に識別できるドレッシング工具を提供する。【解決手段】研削ホイールの研削砥石をドレッシングするドレッシング工具２であって、研削砥石をドレッシングするドレッシングボード４と、ドレッシングボード４が上面６ａに固定された支持プレート６と、を備え、ドレッシングボード４は、該支持プレート６に接着される第一の層８と、研削砥石で研削される第二の層１０と、から構成され、該第一の層８と該第二の層１０とは異なる色相を示し、該第二の層１０の摩耗によって第一の層８が表出する事で使用限界を色によって識別できるように構成した。【選択図】図１
2014217935.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
研削ホイールの研削砥石をドレッシングするドレッシング工具であって、
該研削砥石をドレッシングするドレッシングボードと、
該ドレッシングボードが上面に固定された支持プレートと、を備え、
該ドレッシングボードは、
該支持プレートに接着される第一の層と、
該研削砥石で研削される第二の層と、から構成され、
該第一の層と該第二の層とは異なる色相を示し、
該第二の層の摩耗によって第一の層が表出する事で使用限界を色によって識別できることを特徴とするドレッシング工具。
【請求項２】
前記第二の層は、砥粒を含み、
前記第一の層は、該第二の層と接する砥粒を含む砥粒層と、砥粒を含まない非砥粒層と、から構成されることを特徴とする請求項１記載のドレッシング工具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、研削ホイールの砥石をドレッシングするために使用されるドレッシング工具に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、小型軽量なデバイスを実現するために、シリコンやサファイア等の材料でなるウェーハを薄く研削することが求められている。ウェーハの研削は、例えば、研削用の砥石（研削砥石）を備える研削ホイールを装着した研削装置で行われる。研削装置の保持テーブルにウェーハを保持させて、回転させた研削ホイールをウェーハの被加工面に押し付けることでウェーハは研削される。
【０００３】
上述の研削砥石は、例えば、ビトリファイドやレジノイド等の結合材に、ダイヤモンドやＣＢＮ等の砥粒を混合し、焼結することで形成される。この研削砥石でウェーハを摩擦すると、研削砥石の表面に露出された多数の砥粒がそれぞれ切れ刃として作用し、ウェーハの被加工面は削り取られる。
【０００４】
一方、研削の進行と共に研削砥石も摩耗し、ウェーハの被加工面と接触する研削砥石の表面には新たな砥粒が次々に現れる。この作用（自生発刃作用等と呼ばれる）によって、砥粒の目こぼれ、目詰まり、目つぶれ等による研削性能の低下を抑制し、良好な切削加工が実現される。
【０００５】
ところで、未使用の研削砥石は、砥粒が適切に表出されておらず、また、研削砥石の高さにもばらつきがある。そこで、砥粒を適切に表出させると共に、研削砥石の高さを揃えるために、ドレッシングボードを研削するドレッシング工程をウェーハの研削前に実施する（例えば、特許文献１参照）。
【０００６】
ドレッシングボードは、例えば、１ｍｍ〜５ｍｍ程度の厚みに形成されており、裏面側を樹脂製の支持プレートに接着されている。このドレッシングボードは、研削砥石との摩擦で摩耗し、ある程度まで薄くなると交換される。ドレッシングボードの交換時期は、目視等の方法で判断される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００９−１４２９０６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、上述した目視等の方法では、必ずしもドレッシングボードの交換時期を適切に判断することができない。そのため、限界（使用限界）まで摩耗されたドレッシングボードを交換せずに使用して誤って支持プレートを研削し、研削砥石を傷めてしまう恐れがある。
【０００９】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、使用限界を適切に識別できるドレッシング工具を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明によれば、研削ホイールの研削砥石をドレッシングするドレッシング工具であって、該研削砥石をドレッシングするドレッシングボードと、該ドレッシングボードが上面に固定された支持プレートと、を備え、該ドレッシングボードは、該支持プレートに接着される第一の層と、該研削砥石で研削される第二の層と、から構成され、該第一の層と該第二の層とは異なる色相を示し、該第二の層の摩耗によって第一の層が表出する事で使用限界を色によって識別できることを特徴とするドレッシング工具が提供される。
【００１１】
また、前記ドレッシング工具においては、前記第二の層は、砥粒を含み、前記第一の層は、該第二の層と接する砥粒を含む砥粒層と、砥粒を含まない非砥粒層と、から構成されることが好ましい。
【発明の効果】
【００１２】
本発明のドレッシング工具は、異なる色相を示す第一の層と第二の層とで構成されたドレッシングボードを備えるので、ドレッシング工具が使用限界に達したか否かをドレッシングボードの色相に基づき適切に識別できる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】図１（Ａ）は、本実施の形態に係るドレッシング工具の構成例を模式的に示す斜視図であり、図１（Ｂ）は、本実施の形態に係るドレッシング工具の構成例を模式的に示す断面図である。
【図２】本実施の形態に係るドレッシング工具の使用状態を模式的に示す側面図である。
【図３】図３（Ａ）は、第２の態様に係るドレッシング工具の構成例を模式的に示す斜視図であり、図３（Ｂ）は、第２の態様に係るドレッシング工具の構成例を模式的に示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、添付図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。図１（Ａ）は、本実施の形態に係るドレッシング工具の構成例を模式的に示す斜視図であり、図１（Ｂ）は、本実施の形態に係るドレッシング工具の構成例を模式的に示す断面図である。
【００１５】
図１に示すように、本実施の形態に係るドレッシング工具２は、平坦な円盤状に形成されたドレッシングボード４を備えている。ドレッシングボード４の下面４ｂには、ドレッシングボード４を支持する支持プレート６が接着されている。
【００１６】
支持プレート６は、樹脂等の材料で形成されている。また、支持プレート６は、ドレッシングボード４の全体を支持できるように、ドレッシングボード４より大径の円盤状に形成されている。
【００１７】
ドレッシングボード４は、支持プレート６の上面６ａに接着される下面４ｂ側の第一の層８と、上面４ａ側の第二の層１０との少なくとも２種類の層を含んでいる。このドレッシングボード４と研削ホイール１８（図２参照）とを回転させながら、研削砥石２６（図２参照）をドレッシングボード４の上面４ａに押し付けることで、研削砥石２６はドレッシングされる。
【００１８】
上面４ａ側の第二の層１０は、例えば、ビトリファイド、レジノイド等の結合材にホワイトアランダム（ＷＡ）、グリーンカーボン（ＧＣ）等の砥粒が混合された混合材料を用いて形成される。ただし、第二の層１０を構成する結合材及び砥粒は、研削砥石２６の構成等に応じて変更される。
【００１９】
下面４ｂ側の第一の層８は、少なくとも第二の層１０との界面の近傍の領域（以下、界面領域）において第二の層１０と類似の構成を有している。具体的には、第一の層８の界面領域は、第二の層１０と同じ砥粒が含まれる砥粒層である。ただし、この砥粒層の示す色相は、第二の層１０の示す色相とは異なっている。第一の層８の他の領域は、砥粒が含まれない非砥粒層となっている。
【００２０】
このように、第一の層８の界面領域に砥粒を含ませることで、ドレッシングボード４の摩耗が進行し、研削砥石２６と接触するドレッシングボード４の上面４ａ側に第一の層８が表出されても、ドレッシング工程を適切に継続できる。なお、第一の層８の全体に砥粒が含まれていても良い。
【００２１】
第一の層８及び第二の層１０の一方又は双方には、所定の色相（色）を付与する顔料等が添加されている。具体的には、第一の層８の示す色相と第二の層１０の示す色相とが異なるように、第一の層８及び第二の層１０の一方又は双方に顔料等が添加される。
【００２２】
また、第一の層８及び第二の層１０の厚みは、ドレッシング工具２が使用限界に到達すると、研削砥石２６と接触するドレッシングボード４の上面４ａ側に第一の層８が表出されるように調整されている。よって、ドレッシングボード４の上面４ａ側において表出される第一の層８の色相に基づいて、ドレッシング工具２が使用限界に達したことを容易に識別できる。
【００２３】
第一の層８と第二の層１０とは、少なくとも一方が明度の高い明色を示すように構成されることが好ましい。また、第一の層８と第二の層１０とは、少なくとも一方が、赤、青、緑のいずれかを示すように構成されることが好ましい。このような色は視認性が高いので、使用限界を識別する用途に適している。
【００２４】
上述したドレッシングボード４は、従来のドレッシングボードの製造方法に類似する製造方法で製造できる。例えば、上述した混合材料に任意の顔料を添加して第一の層８と第二の層１０とを個別に成形し、これらを連結させた後に焼結させることで本実施の形態のドレッシングボード４を製造できる。また、第一の層８と第二の層１０とを個別に成形して焼結させた後に、これらを接着剤等で接着しても良い。
【００２５】
次に、本実施の形態のドレッシング工具２を使用する研削砥石２６のドレッシング工程について説明する。図２は、本実施の形態に係るドレッシング工具の使用状態を模式的に示す側面図である。
【００２６】
図２に示すように、ドレッシング工程で使用される研削装置１２は、スピンドル１４を回転可能に支持する円筒状のスピンドルハウジング１６を備えている。スピンドルハウジング１６は、移動機構（不図示）を介して研削装置１２の支持柱（不図示）に取り付けられており、上下方向に移動する。
【００２７】
スピンドル１４の下端側には、研削ホイール１８を装着するホイールマウント２０が固定されている。スピンドル１４の上端側にはモータ等を含む回転機構２２が連結されており、ホイールマウント２０に装着された研削ホイール１８は、回転機構２２から伝達される回転力で回転する。
【００２８】
研削ホイール１８は、アルミニウム、ステンレス等の金属材料で形成された円筒状のホイール基台２４を備えている。このホイール基台２４の円環状の下面には、全周にわたって複数の研削砥石２６が固定されている。
【００２９】
ホイールマウント２０の下方には、保持テーブル２８が設けられている。保持テーブル２８は、モータ等の回転機構（不図示）と連結されており、スピンドル１４の軸方向に対して平行な回転軸の周りに回転する。
【００３０】
保持テーブル２８の表面２８ａは、ウェーハ等の被加工物を吸引保持する保持面となっている。保持面には、保持テーブル２２の内部に形成された流路（不図示）を通じて吸引源（不図示）の負圧が作用し、被加工物を吸引する吸引力が発生する。
【００３１】
この保持テーブル２８に、支持プレート６の下面６ｂ側を吸着させた状態で、研削ホイール１８と保持テーブル２８とを回転させ、スピンドルハウジング１６を下降させる。ドレッシングボード４の上面４ａに研削砥石２６の下面（先端）を押し付けるようにスピンドルハウジング１６の下降量を調節すれば、研削砥石２６はドレッシングされる。
【００３２】
上述した研削砥石２６のドレッシングによりドレッシングボード４が摩耗すると、第二の層１０は徐々に薄くなる。ドレッシング工具２が使用限界に達し、第二の層１０が完全に失われると、ドレッシングボード４の上面４ａ側に第二の層１０とは色相の異なる第一の層８が表出される。
【００３３】
以上のように、本実施の形態のドレッシング工具２は、異なる色相を示す第一の層８と第二の層１０とで構成されドレッシングボード４を備えるので、ドレッシング工具２が使用限界に達したか否かをドレッシングボード４の色相に基づき適切に識別できる。
【００３４】
なお、本発明は上記実施の形態の記載に限定されず、種々変更して実施可能である。例えば、上記実施の形態では、ドレッシング工具２が使用限界に達すると、上面４ａ側の全体に第一の層８が表出されるように、第一の層８と第二の層１０とを同径にしているが、ドレッシング工具２の構成はこれに限られない。
【００３５】
図３（Ａ）は、第２の態様に係るドレッシング工具の構成例を模式的に示す斜視図であり、図３（Ｂ）は、第２の態様に係るドレッシング工具の構成例を模式的に示す断面図である。なお、図３（Ａ）では、第一の層８の形状等を理解できるように、第一の層８の輪郭等を破線で示している。また、図３（Ｂ）は、図３（Ａ）のＡＡ´断面を示している。
【００３６】
図３に示すように、第２の態様に係るドレッシング工具２は、円盤状の３個の第一の層８と、第一の層８を覆う円盤状の第二の層１０とを含むドレッシングボード４を備えている。第二の層１０は、第一の層８より厚く、大径に形成されている。
【００３７】
第一の層８は、支持ボード６の表面６ａ側と接触するように、ドレッシングボード４の下面４ｂ側に配置されている。この構成では、ドレッシングボード４が摩耗すると、上面４ａ側の一部にのみ第一の層８が表出される。
【００３８】
なお、図３では、３個の第一の層８を含むドレッシング工具２について示したが、ドレッシングボード４に含まれる第一の層８の数量は特に限定されない。また、第一の層８及び第二の層１０の平面形状も特に限定されず、例えば、楕円形、多角形等としても良い。
【００３９】
また、本発明に係るドレッシング工具２は、研削砥石２６の整形を目的に使用されても良いし、研削砥石２６の目立てを目的に使用されても良い。研削砥石２６の整形の用途には、比較的大きなサイズの砥粒を含むドレッシングボード４を用い、研削砥石２６の目立ての用途には、比較的小さなサイズの砥粒を含むドレッシングボード４を用いれば良い。
【００４０】
その他、上記実施の形態に係る構成、方法などは、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。
【符号の説明】
【００４１】
２  ドレッシング工具
４  ドレッシングボード
４ａ  上面
４ｂ  下面
６  支持プレート
６ａ  上面
６ｂ  下面
８  第一の層
１０  第二の層
１２  研削装置
１４  スピンドル
１６  スピンドルハウジング
１８  研削ホイール
２０  ホイールマウント
２２  回転機構
２４  ホイール基台
２６  研削砥石
２８  保持テーブル
２８ａ  表面
【図１】
2014217935.tif 000003
【図２】
2014217935.tif 000004
【図３】
2014217935.tif 000005