(57)【要約】【課題】ノズルユニットの数を減らすことなく、実装ヘッドを小型化することができる技術を提供すること。【解決手段】本技術に係る実装ヘッドは、ヘッドユニットと、複数のノズルユニットとを具備する。前記ヘッドユニットは、複数の貫通孔を有する。前記複数のノズルユニットは、ノズル軸と、第１のホルダと、第２のホルダとをそれぞれ有する。前記第１のホルダは、前記貫通孔に挿通され、前記ヘッドユニットに対して回転可能であり、その内部において前記ノズル軸を軸方向に移動可能に保持する。前記第２のホルダは、前記貫通孔の径よりも大きな外径を有し、前記第１のホルダと連結され、その内部において、前記ノズル軸を軸方向に移動可能かつ回転方向に回転不能に保持する。【選択図】図７
2014135456.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の貫通孔を有するヘッドユニットと、
ノズル軸と、前記貫通孔に挿通され、前記ヘッドユニットに対して回転可能であり、その内部において前記ノズル軸を軸方向に移動可能に保持する第１のホルダと、前記貫通孔の径よりも大きな外径を有し、前記第１のホルダと連結され、その内部において、前記ノズル軸を軸方向に移動可能かつ回転方向に回転不能に保持する第２のホルダとをそれぞれ有する複数のノズルユニットと
を具備する実装ヘッド。
【請求項２】
請求項１に記載の実装ヘッドであって、
前記複数のノズルユニットは、それぞれ、前記軸方向で前記第１のホルダ及び前記第２のホルダの間に介在され、前記第１のホルダ及び前記第２のホルダを連結する連結部材をさらに有する
実装ヘッド。
【請求項３】
請求項２に記載の実装ヘッドであって、
前記第１のホルダは、前記軸方向に沿って第１の係合溝を有し、
前記連結部材は、前記第１の係合溝と係合する第１の係合部を有する
実装ヘッド。
【請求項４】
請求項３に記載の実装ヘッドであって、
前記第１の係合部は、前記第１の係合溝よりも大きい
実装ヘッド。
【請求項５】
請求項２に記載の実装ヘッドであって、
前記第２のホルダは、前記軸方向に沿って第２の係合溝を有し、
前記連結部材は、前記第２の係合溝と係合する第２の係合部を有する
実装ヘッド。
【請求項６】
請求項５に記載の実装ヘッドであって、
前記第２の係合部は、前記第２の係合溝よりも大きい
実装ヘッド。
【請求項７】
請求項２に記載の実装ヘッドであって、
前記連結部材は、樹脂により形成される
実装ヘッド。
【請求項８】
請求項１に記載の実装ヘッドであって、
前記ヘッドユニットは、回転軸を中心に回転可能であり、
前記複数の貫通孔は、前記回転軸の周囲に形成される
実装ヘッド。
【請求項９】
請求項８に記載の実装ヘッドであって、
前記ヘッドユニットと同軸で配置され、前記ヘッドユニットに対して独立して回転可能な駆動回転部をさらに具備し、
前記複数のノズルユニットは、それぞれ、前記第１のホルダの外周に固定され、前記駆動回転部の回転を前記ノズルユニットに伝達する伝達部をさらに有する
実装ヘッド。
【請求項１０】
ノズル軸と、
ヘッドユニットに設けられた貫通孔に挿通され、前記ヘッドユニットに対して回転可能であり、その内部において前記ノズル軸を軸方向に移動可能に保持する第１のホルダと、
前記貫通孔の径よりも大きな外径を有し、前記第１のホルダと連結され、その内部において、前記ノズル軸を軸方向に移動可能かつ回転方向に回転不能に保持する第２のホルダと
を具備するノズルユニット。
【請求項１１】
複数の貫通孔を有するヘッドユニットと、
ノズル軸と、前記貫通孔に挿通され、前記ヘッドユニットに対して回転可能であり、その内部において前記ノズル軸を軸方向に移動可能に保持する第１のホルダと、前記貫通孔の径よりも大きな外径を有し、前記第１のホルダと連結され、その内部において、前記ノズル軸を軸方向に移動可能かつ回転方向に回転不能に保持する第２のホルダとをそれぞれ有する複数のノズルユニットと
を備える実装ヘッドを具備する実装装置。
【請求項１２】
複数の貫通孔を有するヘッドユニットと、ノズル軸と、前記貫通孔に挿通され、前記ヘッドユニットに対して回転可能であり、その内部において前記ノズル軸を軸方向に移動可能に保持する第１のホルダと、前記貫通孔の径よりも大きな外径を有し、前記第１のホルダと連結され、その内部において、前記ノズル軸を軸方向に移動可能かつ回転方向に回転不能に保持する第２のホルダとをそれぞれ有する複数のノズルユニットとを具備する実装ヘッドの前記ノズル軸により電子部品を保持し、
前記ノズル軸に保持された電子部品を基板上に実装する
基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本技術は、抵抗、コンデンサ、インダクタなどの各種の電子部品を基板上に実装する実装ヘッドなどの技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、回転可能なロータリヘッドを備える部品実装機が知られている（例えば、下記特許文献１参照）。特許文献１のロータリヘッドでは、ロータリヘッドの回転円周上に、複数の吸着ノズルが上下方向に移動可能に取り付けられる。ロータリヘッドは、斜め方向に傾斜して配置された基軸の下側に固定される。基軸が回転されると、ロータリヘッドが回転され、ロータリヘッドの回転に伴って、ロータリヘッドに取り付けられた複数の吸着ノズルが一体的に回転される。
【０００３】
吸着ノズルは、吸着ノズルがとり得る複数のポジションのうち、特定の１つのポジションに位置されたときにのみ鉛直軸方向を向くように構成されている。複数の吸着ノズルのうち、この特定のポジションに位置された吸着ノズルによって、電子部品が吸着されたり電子部品が実装されたりする。
【０００４】
基軸は、基軸を回転可能に保持する回転筒の内部に配置される。回転筒は、基軸とは独立して回転可能とされており、その下端部には、回転円板が設けられる。吸着ノズルは、この回転円板に対応する位置に摩擦リングを有している。回転円板が回転すると、摩擦リングを介して吸着ノズルに回転力が加えられる。これにより吸着ノズルが回転し、吸着ノズルに吸着されている部品の向きが修正される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第３７５０１７０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
基板の生産性を向上させるためには、吸着ノズルの数を増やすことが有効であると考えられる。また、基板の生産性を向上させるためには、実装ヘッドを小型化及び軽量化して実装ヘッドの移動速度を向上させることも有効であると考えられる。しかしながら、吸着ノズルを増やすことと、実装ヘッドを小さくすることとは相反する関係にあり、吸着ノズルの数を増やすと、実装ヘッドの小型化が難しくなるといった問題がある。
【０００７】
以上のような事情に鑑み、本技術の目的は、ノズルユニットの数を減らすことなく、実装ヘッドを小型化することができる技術を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本技術に係る実装ヘッドは、ヘッドユニットと、複数のノズルユニットとを具備する。
前記ヘッドユニットは、複数の貫通孔を有する。
前記複数のノズルユニットは、ノズル軸と、第１のホルダと、第２のホルダとをそれぞれ有する。
前記第１のホルダは、前記貫通孔に挿通され、前記ヘッドユニットに対して回転可能であり、その内部において前記ノズル軸を軸方向に移動可能に保持する。
前記第２のホルダは、前記貫通孔の径よりも大きな外径を有し、前記第１のホルダと連結され、その内部において、前記ノズル軸を軸方向に移動可能かつ回転方向に回転不能に保持する。
【０００９】
本技術では、ノズル軸を保持するホルダが第１のホルダと第２のホルダに分離して構成されている。第１のホルダは、ノズル軸を軸方向に移動可能に保持し、第２のホルダは、ノズル軸を軸方向に移動可能かつ回転方向に回転不能に保持する。第２のホルダは、第１のホルダが挿通されるヘッドユニットの貫通孔の径よりもその外径が大きい。つまり、第２のホルダの外径は、第１のホルダの外径よりも大きい（第２のホルダは、ノズル軸を回転不能に保持しなければいけないため）。本技術では、第２のホルダよりも外径が小さい第１のホルダがヘッドユニットの貫通孔に挿通される。これにより、ヘッドユニットに設けられる貫通孔の径を小さくすることができる。結果として、ノズルユニットの数を減らすことなく、実装ヘッドを小型化することができる。
【００１０】
上記実装ヘッドにおいて、前記複数のノズルユニットは、それぞれ、連結部材をさらに有していてもよい。
前記連結部材は、前記軸方向で前記第１のホルダ及び前記第２のホルダの間に介在され、前記第１のホルダ及び前記第２のホルダを連結する。
【００１１】
このような連結部材を用いることで、例えば、ネジ止め等の他の方法で第１のホルダと第２のホルダとを連結する場合に比べて、ノズルユニットを小型化することができる。
【００１２】
上記実装ヘッドにおいて、前記第１のホルダは、前記軸方向に沿って第１の係合溝を有していてもよい。
この場合、前記連結部材は、前記第１の係合溝と係合する第１の係合部を有していてもよい。
【００１３】
上記実装ヘッドにおいて、前記第１の係合部は、前記第１の係合溝よりも大きくてもよい。
【００１４】
これにより、第１の係合部が第１の係合溝に強い力で嵌まり込むため、第１のホルダと連結部材との間の連結力を向上させることができる。
【００１５】
上記実装ヘッドにおいて、前記第２のホルダは、前記軸方向に沿って第２の係合溝を有していてもよい。
この場合、前記連結部材は、前記第２の係合溝と係合する第２の係合部を有していてもよい。
【００１６】
上記実装ヘッドにおいて、前記第２の係合部は、前記第２の係合溝よりも大きくてもよい。
【００１７】
これにより、第２の係合部が第２の係合溝に強い力で嵌まり込むため、第２のホルダと連結部材との間の連結力を向上させることができる。
【００１８】
上記実装ヘッドにおいて、前記連結部材は、樹脂により形成されてもよい。
【００１９】
連結部材の材料として樹脂が用いられることで、第１のホルダと第２のホルダとを適切に連結することができる。
【００２０】
上記実装ヘッドにおいて、前記ヘッドユニットは、回転軸を中心に回転可能であってもよい。
この場合、前記複数の貫通孔は、前記回転軸の周囲に形成されてもよい。
【００２１】
上記実装ヘッドは、駆動回転部をさらに具備していてもよい。
前記駆動回転部は、前記ヘッドユニットと同軸で配置され、前記ヘッドユニットに対して独立して回転可能である。
この場合、前記複数のノズルユニットは、それぞれ、伝達部をさらに有していてもよい。
伝達部は、前記第１のホルダの外周に固定され、前記駆動回転部の回転を前記ノズルユニットに伝達する。
【００２２】
駆動回転部が回転されると、その回転が伝達部を介して第１のホルダに伝達される。第１のホルダ及び第２のホルダは連結されているので、第１のホルダ及び第２のホルダは一体的に回転する。第２のホルダはノズル軸を回転不能に保持しているので、ノズル軸は第１のホルダ及び第２のホルダの内部で回転しない。すなわち、ノズル軸は、第１のホルダ及び第２のホルダと一体的に回転する。
【００２３】
本技術に係るノズルユニットは、ノズル軸と、第１のホルダと、第２のホルダとを具備する。
前記第１のホルダは、ヘッドユニットに設けられた貫通孔に挿通され、前記ヘッドユニットに対して回転可能であり、その内部において前記ノズル軸を軸方向に移動可能に保持する。
前記第２のホルダは、前記貫通孔の径よりも大きな外径を有し、前記第１のホルダと連結され、その内部において、前記ノズル軸を軸方向に移動可能かつ回転方向に回転不能に保持する。
【００２４】
本技術に係る実装装置は、実装ヘッドを具備する。
前記実装ヘッドは、ヘッドユニットと、複数のノズルユニットとを備える。
前記ヘッドユニットは、複数の貫通孔を有する。
前記複数のノズルユニットは、ノズル軸と、第１のホルダと、第２のホルダとをそれぞれ有する。
前記第１のホルダは、前記貫通孔に挿通され、前記ヘッドユニットに対して回転可能であり、その内部において前記ノズル軸を軸方向に移動可能に保持する。
前記第２のホルダは、前記貫通孔の径よりも大きな外径を有し、前記第１のホルダと連結され、その内部において、前記ノズル軸を軸方向に移動可能かつ回転方向に回転不能に保持する。
【００２５】
本技術に係る基板の製造方法は、複数の貫通孔を有するヘッドユニットと、ノズル軸と、前記貫通孔に挿通され、前記ヘッドユニットに対して回転可能であり、その内部において前記ノズル軸を軸方向に移動可能に保持する第１のホルダと、前記貫通孔の径よりも大きな外径を有し、前記第１のホルダと連結され、その内部において、前記ノズル軸を軸方向に移動可能かつ回転方向に回転不能に保持する第２のホルダとをそれぞれ有する複数のノズルユニットとを具備する実装ヘッドの前記ノズル軸により電子部品を保持するステップを含む。
前記ノズル軸に保持された電子部品が基板上に実装される。
【発明の効果】
【００２６】
以上のように、本技術によれば、ノズルユニットの数を減らすことなく、実装ヘッドを小型化することができる技術を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】実装装置を示す正面図である。
【図２】実装装置を示す平面図である。
【図３】実装装置を示す側面図である。
【図４】実装ヘッドの構成を示す側方断面図である。
【図５】実装ヘッドを示す斜視図である。
【図６】実装ヘッドを上方から見た断面図である。
【図７】ノズルユニットを示す側方断面図である。
【図８】ノズルユニットを示す側方断面図である。
【図９】ノズルユニットの一部拡大断面図である。
【図１０】ノズルユニットの一部分解斜視図である。
【図１１】第２のホルダ及びノズル軸を示す平面断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下、本技術に係る実施形態を、図面を参照しながら説明する。
《実装装置の全体構成及び各部の構成》
【００２９】
図１は、本技術の一実施形態に係る実装装置１００を示す正面図である。図２は、図１に示す実装装置１００の平面図であり、図３は実装装置１００の側面図である。
【００３０】
これらの図に示すように、実装装置１００は、フレーム構造体１０と、基板１を搬送する搬送部１５と、電子部品２を供給するテープフィーダ２１が搭載されるテープフィーダ搭載部２０と、電子部品２を基板１上に実装する実装ヘッド３０とを備える。なお、図示は省略してるいが、実装装置１００は、実装装置１００の各部を統括的に制御する制御部や、制御部の処理に必要な各種のプログラムが記憶された記憶部なども備えている。
【００３１】
フレーム構造体１０は、底部に設けられたベース１１と、ベース１１に固定された複数の支柱１２とを有する。複数の支柱１２の上部には、Ｘ軸に沿って２本のＸ軸ビーム１３が架け渡される。２本のＸ軸ビーム１３の間において、２本のＸ軸ビーム１３の下側の位置には、Ｙ軸に沿って１本のＹ軸ビーム１４が架け渡される。このＹ軸ビーム１４に実装ヘッド３０が取り付けられる。
【００３２】
Ｘ軸ビーム１３は、ボールネジ駆動機構などにより構成されたＸ軸移動機構を有している。このＸ軸駆動機構の駆動によって、Ｙ軸ビーム１４と、Ｙ軸ビーム１４に取り付けられた実装ヘッド３０とがＸ軸方向に沿って一体的に移動される。同様にＹ軸ビーム１４には、Ｙ軸駆動機構が設けられており、このＹ軸ビーム１４の駆動によって実装ヘッド３０がＹ軸に沿って移動される。
【００３３】
テープフィーダ搭載部２０は、実装装置１００の前方側及び後方側の両方に配置されている。テープフィーダ搭載部２０には、Ｘ軸方向に沿って複数のテープフィーダ２１が搭載される。なお、テープフィーダ２１は、前方側及び後方側のうち一方にのみ設けられていてもよい。
【００３４】
テープフィーダ２１は、キャリアテープが巻きつけられるリールや、キャリアテープをステップ送りで送り出す送り出し機構などを有している。キャリアテープは、その内部に同一種類の多数の電子部品２を収納している。キャリアテープに収納される電子部品２は、例えば、コンデンサ、抵抗、ＬＥＤ（Light Emitting Diode）、ＩＣ（Integrated Circuit）パッケージ等である。テープフィーダ２１の前端側の上面には供給窓２２が形成され、この供給窓２２を介して電子部品２が供給される。
【００３５】
搬送部１５は、Ｘ軸方向に沿って配設された２つのガイドレール１６と、２つのガイドレール１６にＸ軸方向に沿ってそれぞれ配設されたコンベアベルト１７とを有する。搬送部１５は、コンベアベルト１７の駆動により基板１を実装位置に搬送したり、電子部品２の実装が完了した基板１を排出したりすることが可能とされる。
【００３６】
２つのガイドレール１６のうち一方のガイドレール１６は、Ｙ軸方向に沿って移動可能とされる。基板１がコンベアベルト１７によって実装位置に搬送されたとき、一方のガイドがＹ軸方向に移動され、２つのガイドによって基板１が両側から挟みこまれる。これにより、実装位置において基板１の位置が固定される。この状態で、実装ヘッド３０により基板上に電子部品２が実装される。
【００３７】
［実装ヘッド３０の構成］
実装ヘッド３０は、Ｙ軸ビーム１４のＹ軸移動機構に接続された支持体３１と、この支持体３１に支持された基軸３５と、基軸３５の下端部に取り付けられたヘッドユニット５０とを備える。また、実装ヘッド３０は、ヘッドユニット５０の外周部に接続された複数のノズルユニット６０を備えている。ノズルユニット６０の数は、例えば、１０〜２０程度とされるが、これに限られない。
【００３８】
基軸３５は、Ｚ軸方向に対して傾いて配置される。基軸３５及びヘッドユニット５０は、その基軸３５を回転軸として一体的に回転可能とされている。ヘッドユニット５０は、回転軸の周囲に、ヘッドユニット５０を上下方向に貫通する複数の貫通孔５１（後述の図７、８参照）を有している。この複数の貫通孔５１に対して、複数のノズルユニット６０がセットされる。複数のノズルユニット６０は、ヘッドユニット５０の回転に応じて、回転軸の周囲の軌道上を回転可能とされる。
【００３９】
複数のノズルユニット６０は、それぞれ、基軸３５に対して所定の角度傾斜して配置される。基軸３５がＺ軸に対して傾く角度と、複数のノズルユニット６０が基軸３５に対して傾く角度とは同じとされる。複数のノズルユニット６０は、複数のノズルユニット６０のうち、特定の１つのポジション（図１において最も右側）に位置する１つのノズルユニット６０のみがＺ軸方向を向くように配列される。
【００４０】
以降では、Ｚ軸を向くノズルユニット６０の位置を操作位置と呼ぶ。この操作位置に位置するノズルユニット６０が上下方向に移動されることで、供給窓２２から供給される電子部品２がノズルユニット６０に吸着されたり、ノズルユニット６０に吸着された電子部品２が基板１上に実装されたりする。操作位置に位置するノズルユニット６０は、ヘッドユニット５０の回転により順次切り換え可能とされる。
【００４１】
実装ヘッド３０は、Ｘ軸ビーム１３及びＹ軸ビーム１４の駆動により、Ｘ軸及びＹ軸に沿って移動可能とされる。実装ヘッド３０は、テープフィーダ２１の供給窓２２から供給される電子部品２を吸着する吸着工程と、吸着された電子部品２を基板１上に実装する実装する実装工程を繰り返す。これにより、必要な電子部品２が基板１上に実装され、基板１が製造される。
【００４２】
図４は、実装ヘッド３０の構成を示す側方断面図である。図５は、実装ヘッド３０を示す斜視図である。図６は、実装ヘッド３０を上方から見た断面図である。図６では、バルブ４７を省略して図示している。
【００４３】
図４を参照して、実装ヘッド３０は、上述のようにＹ軸ビーム１４のＹ軸移動機構に接続された支持体３１を備えている。支持体３１は、基軸３５の上部側をベアリング３８を介して回転可能に支持する上部支持部３２と、基軸３５の下部側をベアリング３９を介して回転可能に支持する下部支持部３３とを有する。
【００４４】
上部支持部３２には、負圧路５の一部を構成する第１の負圧路５ａが形成されている。この第１の負圧路５ａには図示しない減圧器が接続されており、この減圧器の駆動により負圧路５内が負圧とされる。
【００４５】
一方、下部支持部３３には、正圧路６の一部を構成する第１の正圧路６ａが形成されている。例えば、第１の正圧路６ａには図示しない加圧器が接続されており、この加圧器の駆動により、正圧路６内が正圧とされる。
【００４６】
基軸３５の内部には、その軸方向に沿って貫通穴３５ａが形成される。基軸３５の上端には、貫通穴３５ａを密閉するキャップ３７が装着される。貫通穴３５ａは、負圧路５の一部を構成する上側の第２の負圧路５ｂと、正圧路６の一部を構成する下側の第２の正圧路６ｂとに分離される。
【００４７】
基軸３５の上部と、上部支持部３２との間には、筒状のマニホールド３６が介在される。マニホールド３６の外周には、外周の全周に亘って周溝３６ａが形成され、また、マニホールド３６の内周にも内周の全周に亘って周溝３６ｂが形成される。これらの２つの周溝３６ａ、３６ｂによって、基軸３５を中心とした２重のリング状の空間がマニホールド３６内に形成される。マニホールド３６には、周方向に９０°の間隔で、径方向にマニホールド３６を連通する４つの開口３６ｃが形成される。この４つの開口３６ｃによってリング状の２重の空間が連通される。
【００４８】
基軸３５の上部においてマニホールド３６に対応する位置には、周方向に９０°の間隔で、径方向に基軸３５を連通する４つの開口３５ｂが形成される。マニホールド３６に形成された４つの開口３６ｃと、基軸３５に設けられた４つの開口３５ｂとを介して、上部支持部３２内の第１の負圧路５ａと、基軸３５内の第２の負圧路５ｂとが連通される。
【００４９】
基軸３５の内部において、基軸３５の貫通穴３５ａの下側の位置には、筒体４５が挿嵌される。この筒体４５によって、貫通穴３５ａが第２の負圧路５ｂと第２の正圧路６ｂとに分離される。筒体４５には、第２の負圧路５ｂの下端部に対応する位置に、径方向に筒体４５を連通する開口４５ａが形成される。また、筒体４５には、第２の正圧路６ｂの上端部に対応する位置に、径方向に筒体４５を連通する開口４５ｂが形成される。基軸３５は、筒体４５に設けられた開口４５ａ、４５ｂに対応する位置に、基軸３５を径方向に連通する開口３５ｃ、３５ｄを有している。
【００５０】
ヘッドユニット５０の内部には、負圧路５の一部を構成する第３の負圧路５ｃと、正圧路６の一部を構成する第３の正圧路６ｃが形成される。第３の負圧路５ｃ及び第３の正圧路６ｃは、ヘッドユニット５０の内周面から外周面まで貫通している。また、第３の負圧路５ｃ及び第３の正圧路６ｃは、基軸３５の軸方向から見て放射状にそれぞれ複数（ノズルユニット６０の数の分）設けられている。
【００５１】
基軸３５内の第２の負圧路５ｂは、筒体４５に設けられた開口４５ａと、基軸３５に設けられた開口３５ｃとを介して、ヘッドユニット５０内の第３の負圧路５ｃに連通している。また、基軸３５内の第２の正圧路６ｂは、筒体４５に設けられた開口４５ｂと、基軸３５に設けられた開口３５ｄとを介して、ヘッドユニット５０内の第３の正圧路６ｃに連通している。また、第３の負圧路５ｃ及び第３の正圧路６ｃは、バルブ４７と連結されている。
【００５２】
図４及び図５を参照して、ヘッドユニット５０の外周面側には、ノズルユニット６０に供給される気体の負圧及び正圧の状態を切り換える複数のバルブ４７が設けられる。１つのバルブ４７は、１つのノズルユニット６０に対応して設けられている。すなわち、ノズルユニット６０の数と、バルブ４７の数とは同じとされる。
【００５３】
バルブ４７は、ケージング４８と、ケージング４８に対して上下方向に移動可能に設けられた可動部４９とを有する。ケージング４８は、ヘッドユニット５０の外周面に対して固定される。可動部４９は、上下方向に移動されることで、ノズルユニット６０に供給される気体の負圧及び正圧の状態を切り換えることが可能とされる。可動部４９は、図示しない昇降機構によって上下方向に移動される。昇降機構は、例えば、操作位置（図４において最も右側）に位置するノズルユニット６０に対応する位置に配置される。
【００５４】
図４を参照して、基軸３５の外周面には、外筒４０が接続されている。外筒４０は、ベアリング４３及びベアリング４４を介して基軸３５に接続されており、外筒４０は基軸３５に対して回転可能とされている。基軸３５と外筒４０との間には、ベアリング４３、４４を保持するカラー４６が配置されている。外筒４０の上部側には、プーリ、ベルト及びモータによる図示しない回転駆動機構が接続されている。基軸３５の上部側にも、プーリ、ベルト及びモータによる図示しない回転駆動機構が接続されている。
【００５５】
外筒４０の下側の端部には、フランジ４０ａが形成されている。このフランジ４０ａは、ヘッドユニット５０と同軸で配置された駆動ギア４２（駆動回転部）に対して、ボルト４１を介して連結される。これにより、外筒４０と駆動ギア４２とが一体的に回転する。なお、外筒４０及び駆動ギア４２は、基軸３５及びヘッドユニット５０とは別個に独立して回転可能とされる。
【００５６】
図４及び図６を参照して、駆動ギア４２は、ノズルユニット６０の上部寄りに形成されたギア部８０（伝達部）と噛み合っている。したがって、駆動ギア４２が回転することにより、駆動ギア４２に噛み合うギア部８０が回転し、これにより、各ノズルユニット６０が回転する。
【００５７】
ギア部８０は、全てのノズルユニット６０に対して同じ高さに設けられているわけではなく、ギア部８０は、互いに隣り合うノズルユニット６０に対して高さが異なるように配置されている。典型的には、ギア部８０は、互いに隣り合うノズルユニット６０に対して上下方向でジグザグ状にずれて配置されている。これにより、ノズルユニット６０の配列密度を高めることができ、実装ヘッド３０の小型化を実現することができる。
【００５８】
［ノズルユニット６０の構成］
次に、本実施形態に係るノズルユニット６０の構成について詳細に説明する。図７及び図８は、ノズルユニット６０を示す側方断面図である。図７は、ノズルユニット６０が通常の位置に位置するときの様子を示す側方断面図であり、図８は、ノズルユニット６０が下降されたときの様子を示す側方断面図である。図９は、ノズルユニット６０の一部拡大断面図である。図１０は、ノズルユニット６０の一部分解斜視図である。
【００５９】
これらの図に示すように、ノズルユニット６０は、ノズル軸６１と、このノズル軸６１の外周を覆う第１のホルダ６５及び第２のホルダ７０と、第１のホルダ６５及び第２のホルダ７０を連結する連結部材７５とを有する。また、ノズルユニット６０は、ソケット８１と共に第１のホルダ６５の外周に固定されるギア部８０と、ノズル軸６１の上端部及び第２のホルダ７０の間に介在されたばね部材８５とを有する。
【００６０】
ノズル軸６１は、先端部に電子部品２を吸着する吸着部６２を有しており、上端部にばね部材８５を固定するためのフランジ６３を有している。吸着部６２の中心には、軸方向に沿って吸着孔６１ａが形成される。ノズル軸６１の内部において下側の領域には、軸方向に沿って、吸着孔６１ａと連通する作動室６１ｂが形成される。作動室６１ｂの上端部の近傍には、周方向に９０°の間隔で、径方向にノズル軸６１を連通する４つの開口６１ｃが形成される（図９参照）。
【００６１】
第１のホルダ６５は、筒状の部材であり、その内部において、ノズル軸６１を軸方向に移動可能に保持することが可能とされる。第１のホルダ６５は、ベアリング５２及びベアリング５３を介してヘッドユニット５０に取り付けられており、ヘッドユニット５０に対して回転可能とされる。
【００６２】
第１のホルダ６５は、下側の端部にフランジ６６を有している。このフランジ６６の上面がヘッドユニット５０の下面に当接することにより、第１のホルダ６５がヘッドユニット５０に対して回転するときに、第１のホルダ６５がヘッドユニット５０に対して位置決めされる。
【００６３】
第１のホルダ６５は、軸方向において中央近傍の位置に、その内周面の全周に亘って内周溝６５ａを有している（図９参照）。内周溝６５ａは、ノズル軸６１に形成された開口６１ｃに対応する位置に形成される。第１のホルダ６５に形成された内周溝６５ａによって、ノズル軸６１と第１のホルダ６５との間にリング状の空間７が形成される。このリング状の空間７を以降では、第１の空間７と呼ぶ。第１の空間７と、ノズル軸６１内に形成された作動室６１ｂとは、ノズル軸６１に形成された開口６１ｃを介して連通される。
【００６４】
第１の空間７の軸方向での長さ（つまり、内周溝６５ａの長さ）は、ノズル軸６１の上下方向の移動距離に応じて設定される。すなわち、ノズル軸６１が通常の位置に位置する場合（図７）でも、ノズル軸６１が下降された場合（図８）でも、ノズル軸６１に形成された開口６１ｃを介して、第１の空間７と作動室６１ｂとを連通することができるように、第１の空間７の軸方向での長さが設定される。
【００６５】
これにより、ノズル軸６１が通常の位置に位置する場合でも、ノズル軸６１が下降された場合でも、ノズル軸６１の開口６１ｃを介して、作動室６１ｂと第１の空間７とを適切に連通させることができる。結果として、ノズル軸６１の先端部に設けられた吸着孔６１ａの圧力を適切に制御することができる。
【００６６】
さらに、第１のホルダ６５は、内周溝６５ａに対応する位置において、外周面の全周に亘って外周溝６５ｂを有している。また、第１のホルダ６５は、内周溝６５ａ及び外周溝６５ｂに対応する位置に、周方向に９０°の間隔で、第１のホルダ６５を径方向に連通する４つの開口６５ｃを有している。
【００６７】
ヘッドユニット５０は、ベアリング５２及びベアリング５３の間に筒体５４を有している。第１のホルダ６５は、この筒体５４の内部に挿通される（すなわち、第１のホルダ６５は、ヘッドユニット５０に設けられた貫通孔５１に挿通される）。
【００６８】
筒体５４は、第１のホルダ６５の外周溝６５ｂに対応する位置に、内周の全周に亘って内周溝５４ａを有している。第１のホルダ６５に設けられた外周溝６５ｂと、筒体５４に設けられた内周溝５４ａによって、第１のホルダ６５と、筒体５４との間にリング状の空間８が形成される。このリング状の空間８を以降では、第２の空間８と呼ぶ。この第２の空間８と、第１の空間７とは、第１のホルダ６５に設けられた開口６５ｃによって連通されている。
【００６９】
第１のホルダ６５の周囲にリング状の第２の空間８を形成することによって、第１のホルダ６５の周囲に気体を留める空間を確保することができる。これにより、ヘッドユニット５０に対して第１のホルダ６５が回転し、第１のホルダ６５に形成された開口６５ｃの位置が変化した場合でも、開口６５ｃを介して第１の空間７と第２の空間８とを適切に連通させることができる。結果として、ノズル軸６１の先端部に設けられた吸着孔６１ａの圧力を適切に制御することができる。
【００７０】
筒体５４において、ヘッドユニット５０の外周側の位置には、筒体５４を径方向で連通する開口５４ｂが形成されている。また、ヘッドユニット５０の外壁部５５には、筒体５４に形成された開口５４ｂに対応する位置に開口５５ａが設けられている。ヘッドユニット５０の外壁部５５に形成された開口５５ａは、ヘッドユニット５０の外周に取り付けられたバルブ４７に繋がっている。
【００７１】
ヘッドユニット５０の外壁部５５に形成された開口５５ａと、筒体５４に形成された開口５４ｂと、第２の空間８と、第１のホルダ６５に形成された開口６５ｃと、第１の空間７と、ノズル軸６１に形成された開口６１ｃ、作動室６１ｂ及び吸着孔６１ａとによって、一連の気体の流路が形成される。この一連の気体の流路は、バルブ４７の切り換えに応じて、負圧又は正圧に切り換えられる。これにより、ノズル軸６１の先端部に電子部品２を吸着したり、吸着した電子部品２の保持状態を維持したり、吸着した電子部品２を離脱したりすることができる。
【００７２】
第１のホルダ６５は、上側の一部がヘッドユニット５０から上方に突出している。すなわち、第１のホルダ６５は、ヘッドユニット５０に設けられた貫通孔５１よりも長い。第１のホルダ６５の上部において、その外周面には、ソケット８１及びギア部８０が固定されている。ソケット８１は、筒状の部材であり、ソケット８１の下側の面は、ギア部８０と連結される。
【００７３】
ギア部８０は、駆動ギア４２の回転をノズルユニット６０に伝達する。上述のように、ギア部８０は、互いに隣り合うノズルユニット６０に対して上下方向でジグザグ状にずれて配置されている。従って、ギア部８０は、上下方向の位置に応じて、位置が高いバージョンと、低いバージョンの２種類がある。図７及び図８では、ギアの位置が低いバージョンが示されている。
【００７４】
図１０を参照して、第１のホルダ６５の上端部及びソケット８１の上端部には、軸方向に沿って、それぞれ第１の係合溝６７が形成される。第１の係合溝６７は、例えば、周方向に１８０°の間隔で２つ形成される。
【００７５】
連結部材７５は、軸方向で第１のホルダ６５及び第２のホルダ７０の間に介在され、第１のホルダ６５及び第２ホルダを連結する。連結部材７５は、連結部材本体７６と、第１の係合部７７と、カバー部７８と、第２の係合部７９とを有する。連結部材７５の材料としては、例えば、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリオキシメチレン（ＰＯＭ）等の樹脂が用いられる。なお、連結部材７５の材料としては、金属などの他の材料を用いることも可能である。
【００７６】
連結部材本体７６は、軸方向に短い筒状の部材であり、内部にノズル軸６１を挿通することが可能とされる。第１の係合部７７は、第１のホルダ６５及びソケット８１に設けられた第１の係合溝６７と係合する。第１の係合部７７は、第１の係合溝６７に対応する位置において、連結部材本体７６から下側に向けて突出するように形成される。例えば、第１の係合部７７は、周方向に１８０°の間隔で２つ形成される。第１の係合部７７の大きさは、第１の係合溝６７よりも若干大きい程度の大きさとされる。これにより、第１の係合部７７が第１の係合溝６７に強い力で嵌まり込むため、第１のホルダ６５と連結部材７５との間の連結力を向上させることができる。
【００７７】
カバー部７８は、連結部材本体７６の外周側において、連結部材本体７６から下側に向けて突出するように形成される。このカバー部７８は、ソケット８１の上端においてソケット８１の周囲を覆うことが可能とされる。
【００７８】
第２のホルダ７０の下端部には、軸方向に沿って、第２の係合溝７１が形成される。第２の係合溝７１は、例えば、周方向に１８０°の間隔で２つ形成される。
【００７９】
連結部材７５の第２の係合部７９は、第２のホルダ７０に形成された第２の係合溝７１と係合する。第２の係合部７９は、第２の係合溝７１に対応する位置において、連結部材本体７６から上側に向けて突出するように形成される。例えば、第２の係合部７９は、周方向に１８０°の間隔で２つ形成される。第２の係合部７９の大きさは、第２の係合溝７１よりも若干大きい程度の大きさとされる。これにより、第２の係合部７９が第２の係合溝７１に強い力で嵌まり込むため、第２のホルダ７０と連結部材７５との間の連結力を向上させることができる。
【００８０】
図に示す例では、第１の係合部７７及び第２の係合部７９が、外周側から見て矩形の形状を有している場合が示されている。しかし、第１の係合部７７及び第２の係合部７９の形状は、これに限られない。例えば、第１の係合部７７は、下側に向かうに従って周方向の幅が広くなるように形成されていてもよい。同様に、第２の係合部７９も上側に向かうに従って周方向の幅が広くなるように形成されていてもよい。これにより、連結部材７５による連結力を向上させることができる。
【００８１】
また、図に示す例では、第１の係合部７７と第２の係合部７９とが軸方向で直線的な位置に配置される場合が示されている。しかし、第１の係合部７７と第２の係合部７９とは、軸方向でずれた位置に配置されていてもよい。
【００８２】
本実施形態に係る連結部材７５が用いられることによって、例えば、ネジやボルトなどが用いられる場合に比べて、ノズルユニット６０の外径を小さくすることができる。特に、本実施形態では、ノズルユニット６０の数を減らすことなく、実装ヘッド３０を小型化することを目的の一つとしているため、ノズルユニット６０間の距離が狭くなり易い。従って、連結部材７５によってノズルユニット６０の外径を小さくすることが特に有効とされる。
【００８３】
第２のホルダ７０は、その内部において、ノズル軸６１を軸方向に移動可能かつ回転方向に回転不能に保持することが可能とされる。第２のホルダ７０は、典型的には、ボールスプラインナットにより構成される。
【００８４】
図１１は、第２のホルダ７０及びノズル軸６１を示す平面断面図である。ノズル軸６１は、その外周面に軸方向に沿って形成された溝６４を有している。図に示す例では、溝６４の数が４つとされているが、溝６４の数は特に限定されない。ノズル軸６１は、長さ方向の全体に亘ってこの溝６４を有しているわけではなく、第２のホルダ７０によって保持される部分に対応する位置に溝６４を有している。なお、図７及び図８に示すように、ノズル軸６１は、第２のホルダ７０に対して軸方向に移動可能であるため、溝６４の長さは、ノズル軸６１の移動に応じた適切な長さに設定されている。
【００８５】
第２のホルダ７０は、その内周側において、ノズル軸６１に形成された溝６４に対応する位置にボール７２を有している。ボール７２は、第２のホルダ７０の内周側において軸方向に沿って配列される。ノズル軸６１が軸方向に移動されると、ノズル軸６１の溝６４にはまり込むボール７２が回転しながら第２のホルダ７０内を循環する。これにより、摩擦を低減しつつノズル軸６１を軸方向に移動させることが可能となる。一方、ボール７２がノズル軸６１の溝６４にはまり込んでいるため、第２のホルダ７０内におけるノズル軸６１の回転は規制される。
【００８６】
図７及び図８を参照して、ノズル軸６１の上端部に形成されたフランジ６３と、第２のホルダ７０の上端部との間には、ばね部材８５が介在される。図７に示すようにノズル軸６１が通常の位置に位置するとき、ばね部材８５は、第２のホルダ７０を上方から付勢することによって、第２のホルダ７０、連結部材７５、ソケット８１及びギア部８０を第１のホルダ６５側に向けて押し付けている。これにより、第２のホルダ７０、連結部材７５、ソケット８１及びギア部８０が第１のホルダ６５から外れてしまうことが防止される。
【００８７】
また、図８に示すようにノズル軸６１が下側に押し下げられ、その後、ノズル軸６１の押圧状態が解除され場合、ばね部材８５は、その弾性力によってノズル軸６１を上方に移動させ、ノズル軸６１を通常の位置にまで戻す。
【００８８】
ここで、第２のホルダ７０の外周は、第１のホルダ６５が挿通されるヘッドユニット５０の貫通孔５１の径よりも大きくされている。すなわち、第２のホルダ７０の外周は、第１のホルダ６５の外周よりも大きい。例えば、第２のホルダ７０の外周は、９ｍｍ程度とされ、第１のホルダ６５の外周は、６ｍｍ程度とされる。また、ヘッドユニット５０の貫通孔５１の径は、６ｍｍよりも若干大きい程度の大きさとされる。なお、ここで挙げた数値は単なる例示であり、もちろん、他の値も取り得る。
【００８９】
上述のように、第１のホルダ６５は、ノズル軸６１を軸方向に移動可能に保持する部材である。一方、第２のホルダ７０は、ノズル軸６１を軸方向に移動可能に保持することに加えて、ノズル軸６１を回転方向に回転不能に保持する部材である。従って、第２のホルダ７０は、第１のホルダ６５よりも太くなる傾向にある。
【００９０】
そこで、本実施形態では、太くなり易い部分を第２のホルダ７０として、第１のホルダ６５から分離し、第２のホルダ７０よりも外径が小さい第１のホルダ６５をヘッドユニット５０の貫通孔５１に挿通することとしている。これにより、ヘッドユニット５０に設けられる貫通孔５１の径を小さくすることができる。結果として、ノズルユニット６０の数を減らすことなく、実装ヘッド３０を小型化することができる。あるいは、実装ヘッド３０を大きくすることなく、ノズルユニット６０の数を増やすことができる。
【００９１】
《動作説明》
次に、ノズルユニット６０の動作について説明する。
【００９２】
基軸３５及びヘッドユニット５０による回転量と、外筒４０及び駆動ギア４２による回転量との間に差がある場合、ヘッドユニット５０に対して駆動ギア４２が回転する。駆動ギア４２が回転すると、ヘッドユニット５０に設けられたギア部８０に対して、駆動ギア４２の回転力が伝達され、ギア部８０が回転する。ギア部８０は、第１のホルダ６５の外周に固定されているため、ギア部８０の回転によって第１のホルダ６５が回転する。
【００９３】
第１のホルダ６５と、第２のホルダ７０とは、連結部材７５を介して連結されているため、第１のホルダ６５が回転すると、第１のホルダ６５と第２のホルダ７０とが一体的に回転する。なお、第１のホルダ６５と第２のホルダ７０を連結する連結部材７５がポリエーテルエーテルケトン、ポリオキシメチレン等の樹脂によって構成されている場合、軸心を適切に保持させたまま第１のホルダ６５と第２のホルダ７０を一体的に回転させることができる。
【００９４】
第２のホルダ７０はノズル軸６１を回転不能に保持しているため、第２のホルダ７０が回転すると、第２のホルダ７０の回転に応じてノズル軸６１も回転する。これにより、ノズルユニット６０を構成する各部材が一体的に回転する。
【００９５】
なお、駆動ギア４２は全てのノズルユニット６０のギア部８０と噛み合っているため、駆動ギア４２が回転すると全てのノズルユニット６０が回転する。
【００９６】
ノズル軸６１が上方から力を受けた場合、ノズル軸６１は、第１のホルダ６５及び第２のホルダ７０の内部で摺動されながら下方に移動される。ノズル軸６１の押圧状態が解除されると、ばね部材８５の弾性力によって、ノズル軸６１が第１のホルダ６５及び第２のホルダ７０の内部で摺動されながら上方に移動される。これにより、ノズル軸６１が通常の位置へと戻る。
【００９７】
連結部材７５によって、第１のホルダ６５及び第２のホルダ７０の軸心が保たれているため、ノズル軸は、第１のホルダ６５及び第２のホルダ７０の内部で適切に上下方向に移動可能とされる。
【００９８】
《作用等》
以上説明したように、本実施形態では、ノズル軸６１を保持するホルダが、外径が相対的に小さい第１のホルダ６５と、外径が相対的に大きい第２のホルダ７０とに分離して構成される。そして、第２のホルダ７０よりも外径が小さい第１のホルダ６５がヘッドユニット５０の貫通孔５１に挿通される。これにより、ヘッドユニット５０に設けられる貫通孔５１の径を小さくすることができる。これにより、本実施形態では、ヘッドユニット５０に設けられる貫通孔５１の径を小さくすることができる。結果として、ノズルユニット６０の数を減らすことなく、実装ヘッド３０を小型化することができる。あるいは、実装ヘッド３０を大きくすることなく、ノズルユニット６０の数を増やすことができる。
【００９９】
さらに、本実施形態では、第１のホルダ６５及び第２のホルダ７０を連結する連結部材７５として、軸方向に伸びる係合部を有する連結部材７５が用いられる。これにより、例えば、ネジやボルトなどが用いられる場合に比べて、ノズルユニット６０の外径を小さくすることができる。特に、本実施形態では、ノズルユニット６０の数を減らすことなく、実装ヘッド３０を小型化することを目的の一つとしているため、ノズルユニット６０間の距離が狭くなり易い。従って、連結部材７５によってノズルユニット６０の外径を小さくすることが特に有効とされる。
【０１００】
さらに、連結部材７５がポリエーテルエーテルケトン、ポリオキシメチレン等の樹脂によって構成されている場合、軸心を適切に保持させたまま第１のホルダ６５と第２のホルダ７０を一体的に回転させることができる。
【０１０１】
《各種変形例》
以上の説明では、第２のホルダ７０がボールスプラインナットにより構成される場合について説明した。しかし、第２のホルダ７０は、ノズル軸６１を軸方向に移動可能かつ回転方向に回転不能に保持することができる形態であれば、ボールスプラインナットに限られない。例えば、ボールスプラインナット内のボール７２の代わりに、ノズル軸６１に設けられた溝６４と係合する突起が設けられる形態であっても構わない。
【０１０２】
以上の説明では、ノズルユニット６０を回転させる部材として、駆動ギア４２を例に挙げて説明した。しかし、駆動ギア４２の代わりに、外周面に所定の摩擦力を有する回転体（駆動回転部）が用いられてもよい。この場合、ノズルユニットのギア部８０の代わりに摩擦リング（伝達部）が用いられてもよい。
【０１０３】
以上の説明では、ヘッドユニット５０が基軸３５を中心軸として回転可能である形態について説明した。しかし、ヘッドユニット５０は、必ずしも回転可能でなくてもよい。この場合、ヘッドユニット５０は、Ｘ軸方向及び／又はＹ軸方向に沿って並べられた複数の貫通孔５１を有する。本技術では、貫通孔５１の径を小さくすることができるため、このような場合にも、ノズルユニット６０の数を減らすことなく、実装ヘッド３０を小型化することができる。あるいは、実装ヘッド３０を大きくすることなく、ノズルユニット６０の数を増やすことができる。
【０１０４】
本技術では、以下の構成を採用することもできる。
（１）複数の貫通孔を有するヘッドユニットと、
ノズル軸と、前記貫通孔に挿通され、前記ヘッドユニットに対して回転可能であり、その内部において前記ノズル軸を軸方向に移動可能に保持する第１のホルダと、前記貫通孔の径よりも大きな外径を有し、前記第１のホルダと連結され、その内部において、前記ノズル軸を軸方向に移動可能かつ回転方向に回転不能に保持する第２のホルダとをそれぞれ有する複数のノズルユニットと
を具備する実装ヘッド。
（２）  上記（１）に記載の実装ヘッドであって、
前記複数のノズルユニットは、それぞれ、前記軸方向で前記第１のホルダ及び前記第２のホルダの間に介在され、前記第１のホルダ及び前記第２のホルダを連結する連結部材をさらに有する
実装ヘッド。
（３）  上記（２）に記載の実装ヘッドであって、
前記第１のホルダは、前記軸方向に沿って第１の係合溝を有し、
前記連結部材は、前記第１の係合溝と係合する第１の係合部を有する
実装ヘッド。
（４）  上記（３）に記載の実装ヘッドであって、
前記第１の係合部は、前記第１の係合溝よりも大きい
実装ヘッド。
（５）  上記（２）〜（４）のうち何れか１つに記載の実装ヘッドであって、
前記第２のホルダは、前記軸方向に沿って第２の係合溝を有し、
前記連結部材は、前記第２の係合溝と係合する第２の係合部を有する
実装ヘッド。
（６）  上記（５）に記載の実装ヘッドであって、
前記第２の係合部は、前記第２の係合溝よりも大きい
実装ヘッド。
（７）  上記（２）〜（６）のうち何れか１つに記載の実装ヘッドであって、
前記連結部材は、樹脂により形成される
実装ヘッド。
（８）  上記（１）〜（７）のうち何れか１つに記載の実装ヘッドであって、
前記ヘッドユニットは、回転軸を中心に回転可能であり、
前記複数の貫通孔は、前記回転軸の周囲に形成される
実装ヘッド。
（９）  上記（８）に記載の実装ヘッドであって、
前記ヘッドユニットと同軸で配置され、前記ヘッドユニットに対して独立して回転可能な駆動回転部をさらに具備し、
前記複数のノズルユニットは、それぞれ、前記第１のホルダの外周に固定され、前記駆動回転部の回転を前記ノズルユニットに伝達する伝達部をさらに有する
実装ヘッド。
（１０）ノズル軸と、
ヘッドユニットに設けられた貫通孔に挿通され、前記ヘッドユニットに対して回転可能であり、その内部において前記ノズル軸を軸方向に移動可能に保持する第１のホルダと、
前記貫通孔の径よりも大きな外径を有し、前記第１のホルダと連結され、その内部において、前記ノズル軸を軸方向に移動可能かつ回転方向に回転不能に保持する第２のホルダと
を具備するノズルユニット。
（１１）複数の貫通孔を有するヘッドユニットと、
ノズル軸と、前記貫通孔に挿通され、前記ヘッドユニットに対して回転可能であり、その内部において前記ノズル軸を軸方向に移動可能に保持する第１のホルダと、前記貫通孔の径よりも大きな外径を有し、前記第１のホルダと連結され、その内部において、前記ノズル軸を軸方向に移動可能かつ回転方向に回転不能に保持する第２のホルダとをそれぞれ有する複数のノズルユニットと
を備える実装ヘッドを具備する実装装置。
（１２）複数の貫通孔を有するヘッドユニットと、ノズル軸と、前記貫通孔に挿通され、前記ヘッドユニットに対して回転可能であり、その内部において前記ノズル軸を軸方向に移動可能に保持する第１のホルダと、前記貫通孔の径よりも大きな外径を有し、前記第１のホルダと連結され、その内部において、前記ノズル軸を軸方向に移動可能かつ回転方向に回転不能に保持する第２のホルダとをそれぞれ有する複数のノズルユニットとを具備する実装ヘッドの前記ノズル軸により電子部品を保持し、
前記ノズル軸に保持された電子部品を基板上に実装する
基板の製造方法。
【符号の説明】
【０１０５】
１…基板
２…電子部品
１０…フレーム構造体
１５…搬送部
２０…テープフィーダ搭載部
３０…実装ヘッド
３５…基軸
４２…駆動ギア
４７…バルブ
６０…ノズルユニット
６１…ノズル軸
６１ａ…吸着孔
６５…第１のホルダ
６７…第１の係合溝
７０…第２のホルダ
７１…第２の係合溝
７５…連結部材
７７…第１の係合部
７９…第２の係合部
８０…ギア部
８１…ソケット
８５…ばね部材
１００…実装装置
【図１】
2014135456.tif 000003
【図２】
2014135456.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図６】
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