(57)【要約】【課題】揮発速度が溶剤系に比べて遅い水系潤滑処理液を用いてロール状金型を表面処理する場合でも、ロール状金型表面の転写部でのシミの発生を抑制できるようにする。【解決手段】ロール状の金型本体６の表面を水系潤滑処理液２で被覆処理する方法は、金型本体６を処理液が溶解した水系潤滑処理液２に浸漬させる浸漬工程と、金型本体６に対して水系潤滑処理液２の液面を相対的に下降させて、金型本体６を水系潤滑処理液２の液面から露出させる取出し工程と、を含み、取出し工程の少なくとも一部では、金型本体６の表面の液面から露出すると同時に、露出した部分に向けて風を吹きつける。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ロール状の金型の表面を水溶性の処理剤で被覆処理する方法であって、
前記金型を処理剤が溶解した処理液に浸漬させる浸漬工程と、
前記金型に対して前記処理液の液面を相対的に下降させて、前記金型を前記処理液の液面から取り出す取出し工程と、を含み、
前記取出し工程において、前記金型の少なくとも一部が露出すると同時に、露出した部分に風を吹き付けることを含む、ロール状の金型の被覆処理方法。
【請求項２】
前記取出し工程では、前記金型を、中心軸の水平面に対する角度が２°以上になるように傾斜させる、請求項１に記載のロール状の金型の被覆処理方法。
【請求項３】
前記取出し工程では、前記処理液の液面が前記金型の中心の高さ近傍まで下降した時点以降、前記送風機により前記金型に送られる風の風速を低下させる、請求項１又は２に記載のロール状の金型の被覆処理方法。
【請求項４】
前記取出し工程では、前記処理液の液面が、前記金型の中心の高さ位置から、前記金型の最下部から金型の直径の１／１２の高さ位置までの範囲内の所定の高さまで下降した時点以降、前記金型に対する前記処理液の液面の下降速度を低下させる、請求項１から３のいずれか１項に記載のロール状の金型の被覆処理方法。
【請求項５】
ロール状の金型基材の表面に微細凹凸構造を形成し、ロール状の金型を作成する微細凹凸構造形成工程と、
微細凹凸構造を形成したロール状の金型の表面に処理液による被覆処理を行う被覆処理工程と、を含み、
前記被覆処理工程では、請求項１から４のいずれか１項に記載のロール状の金型の被覆処理方法により、被覆処理を行う、ロール状の金型の製造方法。
【請求項６】
微細凹凸構造形成工程では、陽極酸化処理により前記微細凹凸構造を形成する、請求項５に記載のロール状の金型の製造方法。
【請求項７】
基材と、前記基材表面に形成され、微細凹凸構造を有し、硬化性樹脂が硬化してなる硬化層とを備えた表面に微細凹凸構造を有する部材の製造方法であって、
前記基材表面に、硬化性樹脂を供給する樹脂供給工程と、
前記硬化性樹脂に、請求項５又は６に記載のロール状の金型の製造方法により得られたロール状金型の表面の微細凹凸構造を接触させる接触工程と、
前記硬化性樹脂を硬化させる硬化工程と、を備える、方法。
【請求項８】
ロール状の金型の表面を水溶性の処理液で被覆処理する装置であって、
内部に前記処理材が溶解した処理液が貯留される処理槽と、
前記処理槽内に設けられ、前記金型を前記処理液中に浸漬した状態で支持する支持機構と、
前記処理槽から前記処理液を抜液する抜液手段と、
前記支持機構により支持された前記金型に向けて風を吹きつける送風手段と、を備える、金型の被覆処理装置。
【請求項９】
前記支持機構は、前記金型を傾斜した状態で支持する、請求項８に記載された金型の被覆処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ロール状の金型の被覆処理方法、ロール状の金型の製造方法、表面に微細凹凸構造を有する部材の製造方法、及び金型の被覆処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
可視光波長以下の周期の微細凹凸構造を表面に有する光学フィルムは、反射防止機能等を発現することから、その有用性が注目されている。特に、モスアイ（Ｍｏｔｈ−Ｅｙｅ）構造と呼ばれる微細凹凸構造は、空気の屈折率から材料の屈折率に連続的に増大していくことで有効な反射防止機能を発現する。
【０００３】
このような、微細凹凸構造を表面に有する光学フィルムの製造方法としては、基材フィルム（被転写体）の表面に、金型表面に形成された微細凹凸構造を転写するインプリント法が挙げられる。この方法では、例えば、細孔を有する陽極酸化アルミナが外周面に形成されたロール状金型と、透明な基材フィルムとの間に、紫外線硬化性樹脂が介在した状態で、紫外線硬化性樹脂に紫外線を照射し、紫外線硬化性樹脂を硬化させて、陽極酸化アルミナの細孔が反転した複数の凸部を表面に有する硬化樹脂層を形成し、この硬化樹脂層とともに基材フィルムをロール状金型から剥離することにより、微細凹凸構造を表面に有する光学フィルムが得られる。
【０００４】
また、上記インプリント法で用いるロール状金型の製造方法としては、ロール状のアルミニウム基材を電解液中で陽極酸化して、アルミニウム基材の外周面に、複数の細孔を有する陽極酸化アルミナを形成する工程と、この細孔の径を拡大させる工程とを繰り返し行う方法がある。
【０００５】
上記方法により製造されたロール状金型は、通常、微細凹凸構造が形成された側の表面の離型性を向上させるために、処理液によってさらに被覆処理される。離型性を向上させるための金型の表面処理方法として、例えば、引用文献１に記載されているような、潤滑処理剤が溶解した潤滑処理液に浸漬させ、金型表面に離型成分の被覆層を設ける金型の表面処理方法が知られている。潤滑処理液は、フッ素樹脂系潤滑処理液などの有機溶剤系と、燐酸エステル系水溶液等の水系に分けられる。コスト面から潤滑処理液を選択すると、フッ素樹脂系潤滑処理液よりも燐酸エステル系水溶液を用いることが好ましい。
【０００６】
潤滑処理液は、通常、被覆層を形成する離型成分と、この離型成分を溶解するための溶媒とを含む。有機溶剤系の潤滑処理液における離型成分としてはフッ素樹脂が該当し、溶剤としてフッ素系溶剤が該当する。金型表面に付着したフッ素樹脂系潤滑処理液の溶剤が揮発することで、金型表面にフッ素樹脂の被覆層が形成される。水系の潤滑処理液における離型成分としては、燐酸エステルが該当し、溶剤として純水が該当する。同様に金型に付着した燐酸エステル系水溶液の溶剤(水)が揮発する事で金型表面に燐酸エステルの被覆層が形成される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平８−２６７４６４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところで、特許文献１に記載の表面処理方法を用いてロール状金型を表面処理する場合は、ロール状金型の中心軸を鉛直または水平にしてロール状金型を上下動させて、処理槽への浸漬および処理槽からの取り出しを行う。この際、ロール状金型の中心軸を鉛直にして表面処理をした場合には、ロール状金型の中心軸を水平にして表面処理する場合に比べて、潤滑処理液に浸漬させた状態からロール状金型を取り出すのにかかる時間が長時間となってしまう。さらに、ロール状金型の中心軸を鉛直にした場合には、処理槽も深くする必要があり、大型の設備が必要となる。このため、ロール状金型を水平にして潤滑処理液に浸漬することが望ましい。
【０００９】
しかし、処理液として、水系潤滑処理液を用いてロール状金型を表面処理する場合に、ロール状金型を水平状態で取り出すと、水系潤滑処理液は揮発速度が有機溶剤系に比べて遅いため、処理液がロール状金型の表面を伝って液だれする。この際、液だれ中の溶剤が揮発して液だれ内の処理液の濃度が高くなり、溶剤が完全に揮発した後に、液だれに沿ってシミ（処理液の厚さが他の箇所に比べて厚い部分）が生じてしまう。このような液だれによるシミＳは、図５に示すように、ロール状金型６０の表面に軸方向に延びるように発生する。
【００１０】
ロール状金型の表面に形成された微細凹凸構造の転写は、例えばロールｔｏロール法にて継ぎ目無く行われる。ロールｔｏロール法の特徴は、金型の全長が長いほど、大面積で且つ継ぎ目の無い転写が行え、生産性が高いことにある。ロールｔｏロール法の転写の場合、金型表面の全面を使用するのではなく、金型からの樹脂のはみ出しを防ぐために、図６に示すようにロール状金型６０の端部の表面（非転写部Ａ２）は転写に使用されず、中央部の表面（転写部Ａ１）が転写に使用される。
【００１１】
図５に示すように、ロール状金型６０の表面に軸方向に延びるように液だれによるシミＳが発生すると、転写部Ａ１内にもシミＳが存在してしまう。このようなシミＳの模様が成形品に転写されてしまうと、製品の欠陥となる。特にナノメートルオーダーの凹凸構造を転写するロール状金型の場合には、上記の問題が顕著となる。
【００１２】
本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、揮発速度が溶剤系に比べて遅い水系潤滑処理液を用いてロール状金型を表面処理する場合でも、ロール状金型表面の転写部でのシミの発生を抑制できるようにすることにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明のロール状の金型の被覆処理方法は、ロール状の金型の表面を水溶性の処理剤で被覆処理する方法であって、金型を処理剤が溶解した処理液に浸漬させる浸漬工程と、金型に対して処理液の液面を相対的に下降させて、金型を処理液の液面から取り出す取出し工程と、を含み、取出し工程の少なくとも一部では、金型の表面の液面から露出した部分に向けて風を吹きつける。
【００１４】
このような構成の本発明によれば、揮発速度が遅い水系潤滑処理液を用いてロール状金型を表面処理する場合であっても、送風機により金型の表面の液面から露出した部分に向けて風を吹きつけることにより、金型の表面に付着した水系潤滑処理液が押しやられるため、ロール状金型表面におけるシミの発生を抑制できる。
【００１５】
本発明のロール状の金型の被覆処理方法において、取出し工程では、金型を、中心軸の水平面に対する角度が２°以上になるように傾斜させることが好ましい。
【００１６】
このような構成の本発明によれば、金型が水系潤滑処理液の液面から引き離される際の液残りが、金型の一方の側部の表面の一箇所に集中させることができるため、転写部にシミが発生することを防止できる。
【００１７】
本発明のロール状の金型の被覆処理方法において、取出し工程では、処理液の液面が金型の中心の高さ近傍まで下降した時点以降、送風機により金型に送られる風の風速を低下させることが好ましい。
【００１８】
このような構成の本発明によれば、風による水系潤滑処理液の液面の波立ちを抑止し、これにより、一度乾燥した部分に再度、水系潤滑処理液が接触し、金型に波打ち跡のシミが残ってしまうことを防止することができる。
【００１９】
本発明のロール状の金型の被覆処理方法において、取出し工程では、処理液の液面が、金型の中心の高さ位置から、金型の最下部から金型の直径の１／１２の高さ位置までの範囲内の所定の高さまで下降した時点以降、金型に対する処理液の液面の下降速度を低下させることが好ましい。
【００２０】
このような構成の本発明によれば、液面が、金型の最下部から金型の直径の１／１２の高さ以下の範囲に位置する場合に、水系潤滑処理液と金型との界面でメニスカスを維持することができる。これにより、金型の表面上の水系潤滑処理液を表面張力により確実に取り除くことができる。
【００２１】
また、本発明のロール状の金型の製造方法は、ロール状の金型基材の表面に微細凹凸構造を形成し、ロール状の金型を作成する微細凹凸構造形成工程と、微細凹凸構造を形成したロール状の金型の表面に処理液による被覆処理を行う被覆処理工程と、を含み、被覆処理工程では、上記のロール状の金型の被覆処理方法により、被覆処理を行う。
【００２２】
本発明のロール状の金型の製造方法において、微細凹凸構造形成工程では、陽極酸化処理により微細凹凸構造を形成することが望ましい。
【００２３】
また、本発明の微細凹凸構造を有する部材の製造方法は、基材と、基材表面に形成され、微細凹凸構造を有し、硬化性樹脂が硬化してなる硬化層とを備えた表面に微細凹凸構造を有する部材の製造方法であって、基材表面に、硬化性樹脂を供給する樹脂供給工程と、硬化性樹脂に、上記のロール状の金型の製造方法により得られたロール状金型の表面の微細凹凸構造を接触させる接触工程と、硬化性樹脂を硬化させる硬化工程と、を備える。
【００２４】
また、本発明の金型の被覆処理装置は、ロール状の金型の表面を水溶性の処理液で被覆処理する装置であって、内部に処理材が溶解した処理液が貯留される処理槽と、処理槽内に設けられ、金型を処理液中に浸漬した状態で支持する支持機構と、処理槽から処理液を抜液する抜液手段と、支持機構により支持された金型に向けて風を吹きつける送風手段と、を備える。
【００２５】
また、本発明の金型の被覆処理装置において、好ましくは支持機構は、金型を傾斜した状態で支持する。
【発明の効果】
【００２６】
本発明によれば、揮発速度が遅い水系潤滑処理液を用いてロール状金型を表面処理する場合であっても、ロール状金型表面の転写部でのシミの発生を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明の一実施形態による被覆処理方法で用いられる装置の概略構成図である。
【図２】図１に示す装置により得られたロール状金型を模式的に示す斜視図である。
【図３】本発明の一実施形態による被覆処理方法により得られたロール状金型を備えた、微細凹凸構造を表面に有するシート状部材の製造装置を示す概略構成図である。
【図４】図３に示す装置により得られた微細凹凸構造を表面に有するシート状部材の断面図である。
【図５】従来の方法により得られた表面処理後のロール状金型の一例を模式的に示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下、本発明のロール状の金型の被覆処理方法、ロール状の金型の製造方法、微細凹凸構造を表面に有するシート状部材の製造方法、及び金型の被覆処理装置の一実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。
なお、以下の説明において、「（メタ）アクリレート」は「アクリレートおよび／またはメタクリレート」を、「（メタ）アクリロイル基」は「メタクリロイル基および／またはアクリロイル基」をそれぞれ意味する。
また、「活性エネルギー線」とは、電子線、紫外線、可視光線、プラズマ、赤外線などの熱線等を意味する。
【００２９】
［ロール状金型の製造方法］
まず、ロール状の金型の被覆処理方法及びこの処理方法を利用したロール状の金型の製造方法について説明する。
本実施形態のロール状金型の製造方法は、ロール状の金型基材の表面に微細凹凸構造を形成する微細凹凸構造形成工程と、ロール状の金型本体の微細凹凸構造が形成された表面を水系潤滑処理液で処理する被覆処理工程とを含む。
【００３０】
＜微細凹凸構造形成工程＞
本工程は、ロール状の金型基材の表面に微細凹凸構造が形成されたロール状の金型本体を作製する工程である。金型基材の材質としては、純アルミニウム、アルミニウム合金等、一般に金型として用いることができる。
【００３１】
本実施形態では、金型基材の表面に微細凹凸構造を形成する方法として陽極酸化を利用し、アルミニウム基材の表面に複数の細孔（凹部）を有する陽極酸化アルミナ（アルミニウムの多孔質の酸化皮膜：アルマイト）を形成する方法を用いている。この方法は、シームレスでロール状の金型本体を簡便に製造できるという点で好ましい。なお、これに限らず、金型基材の表面に微細凹凸構造を形成する方法として、干渉レーザーを用いた方法などを用いてもよい。
【００３２】
表面に陽極酸化アルミナを有する金型本体は、例えば、
（ａ）ロール状のアルミニウムからなる金型基材（以下、アルミニウム基材という）を電解液中、定電圧下で陽極酸化して表面に酸化皮膜を形成する工程と、
（ｂ）酸化皮膜の少なくとも一部を除去し、陽極酸化の細孔発生点を形成する工程と、
（ｃ）ロール状のアルミニウム基材を電解液中、再度陽極酸化し、細孔発生点に細孔を有する酸化皮膜を形成する工程と、
（ｄ）細孔の径を拡大させる工程と、
（ｅ）前記（ｃ）工程と（ｄ）工程を繰り返し行う工程と、を行うことにより形成することができる。以下、（ａ）〜（ｅ）の各工程について詳細に説明する。
【００３３】
（ａ）工程では、ロール状のアルミニウム基材を電解液中、定電圧下で陽極酸化して酸化皮膜を形成する。アルミニウム基材を陽極酸化すると、基材表面に細孔を有する酸化皮膜が形成される。
アルミニウム基材の純度は、９９％以上が好ましく、９９．５％以上がより好ましく、９９．８％以上が特に好ましい。アルミニウム基材の純度が低いと、陽極酸化した時に、不純物の偏析により可視光を散乱する大きさの凹凸構造が形成されたり、陽極酸化で得られる細孔の規則性が低下したりする。
【００３４】
電解液としては、硫酸、シュウ酸、リン酸等を用いることができる。
シュウ酸を電解液として用いる場合には、シュウ酸の濃度は、０．７Ｍ以下が好ましい。シュウ酸の濃度が０．７Ｍを超えると、電流値が高くなりすぎて酸化皮膜の表面が粗くなることがある。また、化成電圧を３０〜６０Ｖにすると、周期が１００ｎｍの規則性の高い細孔を有する陽極酸化アルミナを得ることができる。化成電圧がこの範囲より高くても低くても規則性が低下する傾向にある。また、電解液の温度は、６０℃以下が好ましく、４５℃以下がより好ましい。電解液の温度が６０℃を超えると、いわゆる「ヤケ」といわれる現象がおこり、細孔が壊れたり、表面が溶けて細孔の規則性が乱れたりすることがある。
【００３５】
硫酸を電解液として用いる場合には、硫酸の濃度は０．７Ｍ以下が好ましい。硫酸の濃度が０．７Ｍを超えると、電流値が高くなりすぎて定電圧を維持できなくなることがある。また、化成電圧を２５〜３０Ｖにすると、周期が６３ｎｍの規則性の高い細孔を有する陽極酸化アルミナを得ることができる。化成電圧がこの範囲より高くても低くても規則性が低下する傾向がある。また、電解液の温度は、３０℃以下が好ましく、２０℃以下がよりに好ましい。電解液の温度が３０℃を超えると、いわゆる「ヤケ」といわれる現象がおこり、細孔が壊れたり、表面が溶けて細孔の規則性が乱れたりすることがある。
【００３６】
（ｂ）工程では、（ａ）工程で形成された酸化皮膜の少なくとも一部を除去し、陽極酸化の細孔発生点を形成する。陽極酸化の細孔発生点を形成することで細孔の規則性を向上することができる。
酸化皮膜を除去する方法としては、アルミニウムを溶解せず、酸化皮膜を選択的に溶解する溶液に溶解させて除去する方法が挙げられる。このような溶液としては、例えばクロム酸／リン酸混合液等が挙げられる。
【００３７】
（ｃ）工程では、酸化皮膜の少なくとも一部を除去したアルミニウム基材を電解液中、再度陽極酸化し、細孔発生点に円柱状の細孔を有する酸化皮膜を形成する。陽極酸化は、（ａ）工程と同様な条件で行えばよい。陽極酸化の時間を長くするほど深い細孔を得ることができる。
【００３８】
（ｄ）工程では、（ｃ）工程で形成された酸化皮膜の細孔の径を拡大させる処理（以下、「細孔径拡大処理」という。）を行う。細孔径拡大処理は、酸化皮膜を溶解する溶液に浸漬して陽極酸化で得られた細孔の径を拡大させる処理である。このような溶液としては、例えば５質量％程度のリン酸水溶液等が挙げられる。細孔径拡大処理の時間を長くするほど、細孔径は大きくなる。
【００３９】
（ｅ）工程では、（ｃ）工程の陽極酸化と、（ｄ）工程の細孔径拡大処理を繰り返す。すると、直径が開口部から深さ方向に連続的に減少する形状の細孔を有する陽極酸化アルミナが形成され、アルミニウム基材の表面に陽極酸化アルミナを有するロール状の金型本体が得られる。
繰り返し回数は、合計で３回以上が好ましく、５回以上がより好ましい。繰り返し回数が２回以下では、非連続的に細孔の直径が減少するため、このような細孔を有する陽極酸化アルミナを用いて製造された微細凹凸構造の反射率低減効果は不十分となる場合がある。
【００４０】
このようにしてロール状の金型本体の表面に、複数の細孔（凹部）からなる凹凸構造を形成することができる。凹凸構造の凹部の形状としては、円錐状・釣鐘状・先鋭状など、深さ方向と直交する方向の凹部の断面積が最表面から深さ方向に連続的または階段状に減少する形状が好ましい。
【００４１】
凹凸構造の隣り合う凹部の平均間隔は４００ｎｍ以下が好ましく、２５０ｎｍ以下がより好ましい。隣り合う凹部の平均間隔が４００ｎｍより大きいと可視光を散乱するため、ロール状金型を用いて微細凹凸構造を転写した成形体を反射防止物品として使用する場合、透明性が低下する場合がある。
また、凹部の平均深さは、凹部の平均間隔が１００ｎｍの場合は、８０〜５００ｎｍが好ましく、１２０〜４００ｎｍがより好ましく、１５０〜３００ｎｍが特に好ましい。
【００４２】
＜被覆処理工程＞
被覆処理工程では、微細凹凸構造形成工程で得られた金型本体の微細凹凸構造が形成された表面を水系潤滑処理液で被覆処理する。このように金型本体の表面を被覆処理することにより、離型性が向上され、ロール状金型の微細凹凸構造を転写する際に、転写に用いる樹脂材料が微細凹凸構造の凹部に詰まるのを抑制できる。特に、表面にナノメートルオーダーの微細な凹凸構造が形成されたロール状金型を転写に用いる場合には、一旦、樹脂材料が凹部に詰まると除去するのが難しいため、金型本体の表面を被覆処理しておく必要がある。なお、金型本体の表面を被覆処理する前に、表面状態を清浄な状態にしておくことが好ましく、特にシミ、異物等の付着がある場合は、これらを除去しておくのが好ましい。
【００４３】
以下、被覆処理工程について詳細に説明する。
被覆処理工程は、金型本体を処理液が溶解した潤滑処理液に浸漬させる浸漬工程と、金型本体に対して処理液の液面を相対的に下降させて、金型本体を処理液の液面から露出させる取出し工程と、を含む。
【００４４】
（潤滑処理液への金型本体の浸漬工程）
金型本体を潤滑処理液へ浸漬させる方法について、図１を参照しながら以下説明する。なお、本発明の金型本体を潤滑処理液へ浸漬させる方法は、以下の方法に限定されない。
図１は、本実施形態の被覆処理方法で用いられる被覆処理装置の概略構成図である。この被覆処理装置１は、潤滑処理液２を収容する処理槽４と、処理槽４内に設置され、金型本体６を傾斜させて支持する支持機構８と、水系潤滑処理液２を処理槽４の底部から抜液する抜液手段９と、送風機（不図示）に接続され、処理槽４の上方に配置されたノズル２４と、を備える。さらに、本実施形態の被覆処理装置１は、処理槽４から抜液された水系潤滑処理液２を受取る受取槽１０を備える。
【００４５】
処理槽４には、周囲に外槽１２が隣接して設けられており、処理槽４からあふれ出た潤滑処理液２を外槽１２が受け止めることができる。さらに、外槽１２と処理槽４の底部とを結ぶように配管１４が設けられており、この配管１４には循環ポンプ１６及びフィルター１７が設けられている。循環ポンプ１６を駆動することにより、外槽１２に溜まった潤滑処理液２を処理槽４に供給できる。
【００４６】
支持機構８は、一対の支持部材１８ａ，１８ｂと、これら支持部材１８ａ，１８ｂの上端部に取り付け可能なシャフト２０ａ，２０ｂと、を含む。また、シャフト２０ａ，２０ｂの端部には、金型本体６の両端面に装着可能な装着部材２２ａ，２２ｂが設けられている。金型本体６の両側に装着部材２２ａ、２２ｂを装着し、シャフト２０ａ，２０ｂを支持部材１８ａ，１８ｂにより夫々支持することにより、金型本体６を処理槽４内で処理液中に浸漬した状態で支持することができる。また、支持部材１８ａ，１８ｂはそれぞれ高さを調節することができ、これにより、金型本体６の中心軸を所望の傾斜角度に傾いた状態で保持することができる。
【００４７】
浸漬工程では、まず、潤滑処理液２が処理槽４に充填されていない状態で、被覆処理装置１に金型本体６を設置する。被覆処理装置１に金型本体６を配置する方法としては特に限定されないが、例えば、金型本体６の両端に、装着部材２２ａ，２２ｂによりシャフト２０ａ，２０ｂを装着し、金型本体６の傾斜角度（中心軸と水平面のなす角度）に応じて、それぞれ高さを調節しておいた支持部材１８ａ，１８ｂにシャフト２０ａ，２０ｂを取り付ければよい。
【００４８】
金型本体６を支持機構８に設置した後、処理槽４に水系潤滑処理液２を供給して、金型本体６を水系潤滑処理液２に浸漬させる。処理槽４への水系潤滑処理液２の供給は、まず、外槽１２へ水系潤滑処理液２を注ぎ込み、次いで、循環ポンプ１６により外槽１２から処理槽４へ水系潤滑処理液２を供給することにより行う。
【００４９】
なお、水系潤滑処理液２は、本実施形態にように、処理槽４の底部から供給されるのが好ましい。また、外槽１２から水系潤滑処理液２を供給する際は、処理槽４に蓋を被せてもよい。蓋を被せることにより、水系潤滑処理液２の供給に伴う、金型本体６の表面への飛び散りを防ぐことができ、これに起因する金型本体６の表面のシミを抑制することができる。
【００５０】
また、循環ポンプ１６により、外槽１２から処理槽４へ水系潤滑処理液２を供給し続けることにより、水系潤滑処理液２は処理槽４から外槽１２へあふれ出し（オーバーフロー）、外槽１２にあふれ出した水系潤滑処理液２は循環ポンプ１６により再び処理槽４へ供給される。このように外槽１２は、オーバーフローの受槽、及び水系潤滑処理液２を処理槽４へ供給するためのバッファ槽としての役割がある。
【００５１】
ここで、処理槽４から外槽１２へ水系潤滑処理液２をオーバーフローさせると、被覆処理装置１の各部材（処理槽４や配管など）、及び金型本体６などに付着していた、または、水系潤滑処理液２に含まれていた小片、ゴミ等の異物も水系潤滑処理液２とともに外槽１２へ流れ込む。
【００５２】
これに対して、本実施形態では、外槽１２から水系潤滑処理液２を供給する際にフィルター１７を通して水系潤滑処理液２を濾過してから、処理槽４へ供給している。このため水系潤滑処理液２を濾過して異物を除去し、清浄な水系潤滑処理液２を処理槽４へ供給することができる。特に、液面に浮遊する異物は、金型本体６を取り出す際に、金型本体６の表面に付着することが多く、特にナノメートルオーダーの凹凸構造を転写する金型の場合には金型表面に付着した異物はシミ等の原因となる。これに対して、本実施形態では、処理槽４から水系潤滑処理液２をオーバーフローさせているため、液面に浮いた異物をより確実に処理槽４から除去することができる。
【００５３】
また、このように水系潤滑処理液２に異物が含まれるとシミ等の原因となるため、循環ポンプ１６の接液部や配管、槽、治具類などの水系潤滑処理液２と接触する部材は、異物を発生させにくい材質であることが望まれ、耐潤滑処理液性を有する材質が好ましい。水系潤滑処理液２にリン酸エステル系水溶液を用いる場合、具体的には塩ビ等の樹脂材や金属では、ＳＵＳが適している。
【００５４】
また、同様の理由から、循環ポンプ１６は摺動部によるパーティクル発生が少ないものが好ましい。また、フィルター１７は異物を濾過させるために、目の細かいものほど好ましい。フィルター孔は、好ましくは孔径０．４５μｍ以下であり、より好ましくは孔径０．２μｍ以下である。
【００５５】
金型本体６の水系潤滑処理液２への浸漬時間は特に限定されないが、水系潤滑処理液２として前述したリン酸エステル系水溶液を用いる場合は、５分以上２時間以下が好ましい。また、水系潤滑処理液２の温度は、リン酸エステル系水溶液を用いる場合、１６℃以上３０℃未満、より好ましくは１６℃以上２５℃未満、更に好ましくは１６℃以上２０℃未満である。なお、５０℃以上とすると、水系潤滑処理液２の変性が生じるため、望ましくない。
【００５６】
なお、本発明における金型本体６の水系潤滑処理液２への浸漬方法は、上述した方法に限定されない。例えば、シャフト２０ａ，２０ｂを装着した金型本体６を支持部材１８ａ，１８ｂに取り付けた後で、支持部材１８ａ，１８ｂの高さを個々に調節して、金型本体６の傾斜角度を調整してもよい。この場合、傾斜角度の調整は、処理槽４に水系潤滑処理液２を供給する前でもよいし、供給した後（例えば、金型本体６を水系潤滑処理液２から取り出すとき）でもよい。
【００５７】
また、上述した方法では、被覆処理装置１の支持機構８に金型本体６を設置した後、水系潤滑処理液２を処理槽４に供給しているが、処理槽４に水系潤滑処理液２が収容された状態で、支持機構８に金型本体６を設置してもよい。
【００５８】
（潤滑処理液からの金型本体の取り出す取出し工程）
次に、水系潤滑処理液２に浸漬された金型本体６を、水系潤滑処理液２から取り出す取出し工程について説明する。
取出し工程では、まず、金型本体６は水平面に対して傾斜した状態を保ったまま、抜液手段９のバルブ９Ａを開放することにより、処理槽４から水系潤滑処理液２を排出する。このように処理槽４から抜液された水系潤滑処理液２は、受取槽１０に回収される。これにより、水系潤滑処理液２の液面が金型本体６に対して相対的に下降する。
なお、抜液方法は、特に限定されず、自然落差抜液でもよいし、定量抜液でもよい。
【００５９】
自然落差抜液は、本実施形態のように、処理槽４の底部にバルブ９Ａを設けることにより、重力を利用して抜液を行う方法であり、構造が単純であり低コストである。自然落差抜液は、バルブ９Ａの開度が一定の場合、水系潤滑処理液２の液面の高さに応じて抜液流量が変化する。つまり、抜液始めは水系潤滑処理液２の液面の高さが高いため、液圧が高く、抜液流量が多い（すなわち、金型本体６に対する水系潤滑処理液２の液面の下降速度が速い）。対して、抜液終盤は水系潤滑処理液２の液面の高さが低いため、抜液流量が小さい（すなわち、金型本体６に対する水系潤滑処理液２の液面の下降速度が遅い）。なお、抜液流量はバルブ９Ａの開度を調整することにより変更することが可能である。
【００６０】
一方、定量抜液は、例えば、バルブ９Ａに代えて、定量ポンプを設けることにより、定量的に抜液を行う方法である。定量抜液に用いるポンプは、水系潤滑処理液２の液面が波立たないように、ポンプ入り側の液脈動が少ないものが好ましい。また、ポンプの接液部は水系潤滑処理液２に耐性のある材質で構成されているものが好ましく、例えば、バイトン（登録商標）、ポリ４フッ化エチレン、塩ビなどが挙げられる。
【００６１】
なお、金型本体６に対する水系潤滑処理液２の液面の下降速度の切替は、自然落差抜液の場合は、バルブ９Ａの開度にて調整を行ったり、抜液経路を少なくしたりすることなどで行うことができる。また、定量抜液の場合は、抜液に用いる定量ポンプの流量を変更させることで行うことができる。
【００６２】
水系潤滑処理液２の液面を金型本体６に対して下降させることにより、金型本体６の頂部（最も高い位置）が水系潤滑処理液２の液面から露出する。このように、金型本体６の頂部が液面から露出したら、金型本体６の液面から露出している部分に対してノズル２４からの送風を開始する。そして、このように金型本体６の液面から露出している部分に対してノズル２４から送風を続けながら、さらに、水系潤滑処理液２の液面を金型本体６に対して下降させる。
【００６３】
このように水系潤滑処理液２の液面を金型本体６に対して下降させ、金型本体６の一部を露出させるとともに、金型本体６の液面から露出した部分に風を吹きつけることにより、水系潤滑処理液２の溶剤である水を金型本体６の表面から押しのけることができる。さらに、風を吹き付けることにより、金型本体６の表面に残存する水の揮発を早めることができるため、金型表面の液残りを抑制することができる。このように、金型本体６の表面から水を押しのけ、さらに、金型本体６の表面に残存する水の揮発を早めることにより、液ダレ中の処理剤の濃度が高くなり、金型表面の液ダレに起因するシミが発生することを抑止できる。なお、金型本体６の頂部が露出した後に、時間をあけて露出した部分に送風すると、水の揮発が進行しているため、金型表面にわずかに水系潤滑処理液２が残存していた場合でも、シミが残りやすいため、金型本体６の頂部が露出したのと同時に送風を開始することが望ましい。
【００６４】
この際、ノズル２４から金型本体６に送風される風の風速は、６ｍ／ｓ以上、１０．５ｍ／ｓ以下であることが好ましく、７ｍ／ｓ以上、１０．５ｍ／ｓ以下であることがより好ましい。風速が６ｍ／ｓ未満であると、水系潤滑処理液２を十分に押しのけることができず、金型本体６の表面に水系潤滑処理液２が残ってしまうおそれがある。また、風速が１０．５ｍ／ｓ超であると、処理槽４内の水系潤滑処理液２が金型本体６に飛散し、金型本体６にシミが発生してしまう恐れがある。
【００６５】
金型本体６の頂部が露出した後、さらに、金型本体６に対して水系潤滑処理液２の液面を下降させていく。この際、ノズル２４からの風の送風を停止すると、金型本体６の表面に付着する水系潤滑処理液２の量及び水系潤滑処理液２における水の揮発量が大きく変化し、付着する被覆処理剤が不均一になってしまう。このため、金型本体６に対して水系潤滑処理液２の液面を下降させる際には、金型本体６の長手方向全体に亘って、周方向に風が流れるように、ノズル２４から金型本体６に風を送風する。この際の風の強さは、金型本体６の頂部が露出した時点と同様に、６ｍ／ｓ以上、１０．５ｍ／ｓ以下であることが好ましく、７ｍ／ｓ以上、１０．５ｍ／ｓ以下であることがより好ましい。風速が６ｍ／ｓ未満であると、水系潤滑処理液２を十分に押しのけることができず、金型本体６の表面に水系潤滑処理液２が残ってしまうおそれがある。また、風速が１０．５ｍ／ｓ超であると、処理槽４内の水系潤滑処理液２が金型本体６に飛散し、金型本体６にシミが発生してしまう恐れがある。
【００６６】
ノズル２４からの風を金型長手方向全体に亘って周方向に行き渡るようにするためには、例えば、エアノズルを金型上方に設置させ、吹き付ければよい。なお、ノズル２４の形状は特に限定するものでは無く、フラット、円形等状態でも良い。また、ノズル２４としては、ノズルの開口幅が長手方向の幅より小さいものを複数並べても良いし、開口幅が金型本体６の長手方向の幅よりも大きいものを一つ設けてもよい。ノズルの角度、金型表面とノズル先端の距離、ノズル設置間隔（複数のノズルを用いる場合）は、本実施形態に限定されるものではない。なお、ノズル２４から均等に風量を供給し、かつ風量の切替ができるよう、各ノズルには流量計と流量調節器又は圧力計と圧力調節器が備えられている事が望ましい。
【００６７】
このように、金型本体６に対して水系潤滑処理液２の液面を下降させ、金型本体６の鉛直方向上半分程度が露出した時点で、ノズル２４からの風の風量（風速）を低下させる。そして、ノズル２４からの風の風量（風速）が低下した状態を保ったまま、さらに、金型本体６に対して水系潤滑処理液２の液面を下降させ、金型本体６の下半分を露出させていく。このように、金型上半分の液だれ防止のために金型本体６上半分が露出した後も送風を続けるのは、途中で送風を停止すると金型本体６の表面に付着する水系潤滑処理液２の量及び水系潤滑処理液２における水の揮発量が大きく変わり、付着する被覆処理剤が不均一になってしまうためである。なお、金型の中心の高さとは、金型を傾けた状態で鉛直方向上半分と下半分との境界に相当する高さをいう。
【００６８】
また、上記のように、金型表面の処理液２を押しのける程度の強さで行うと、金型本体６の下半分を露出させる際に、風により処理槽４内の水系潤滑処理液２の液面が波立ち、一度乾燥した部分に水系潤滑処理液２が付着してしまい、金型表面に波打ち跡のシミが残ってしまうおそれがある。そこで、水系潤滑処理液２の液面の位置が金型本体６の中心付近まで下降し、金型本体６の上半分が液面から露出された時点で、風速を水系潤滑処理液２の液面が波立たない程度に弱める必要がある。このような、切り替え後の風速としては、２ｍ／ｓ以上、５ｍ／ｓ以下であることが好ましく、３ｍ／ｓ以上、４ｍ／ｓ以下であることがより好ましい。このように金型本体６の下半分を露出させる際に風速を低下させても、金型本体６の下半分は下方に向いている（すなわち、液面と対面している）ため、金型本体６の表面と水系潤滑処理液２との間にメニスカスが維持され、表面張力で金型表面に付着した処理液が処理槽４内の処理液２に引っ張られるため、シミのない乾燥が可能になる。
なお、金型本体６の上半分を取り出す際には、風速が６ｍ／ｓ以上１０．５ｍ／ｓ以下であれば、処理槽内４の水系潤滑処理液２が波立ち、金型表面と潤滑処理剤との界面付近で金型本体６に水系潤滑処理剤２に付着したとしても、金型本体６の上方から供給される風により、潤滑処理液２が強制的に除去され、さらに、金型本体６から外方に向かって風が流れるため金型本体６に波が寄せることを抑制することができる。
【００６９】
また、金型本体６の下半分を露出させる際に、メニスカスが確実に維持されるように、金型本体６に対する水系潤滑処理液２の液面の下降速度を遅くするとよい。特に、液面が、金型本体６の最下部から金型本体６の直径の１／１２の高さ以下の範囲に位置する場合には、金型本体６の上半分を露出させる際と同等の液面の下降速度では、水系潤滑処理液２と金型本体６との界面でメニスカスを維持しにくくなる。さらに、ノズル２４からの風は、金型本体６により遮られており、わずかにしか金型本体６の液面近傍の高さまで到達しないため、水系潤滑処理液２の乾燥速度も低下している。
【００７０】
このため、本実施形態では、水系潤滑処理液２の液面が、金型本体６の中心の高さ位置から金型本体６の最下部から金型本体６の直径の１／１２の高さ位置までの範囲内の所定の高さまで到達したら、メニスカスが維持されるように、さらに、金型本体６に対する水系潤滑処理液２の液面の下降速度を低下させる。水系潤滑処理液２の液面が所定の高さ位置まで到達した後の液面の下降速度は、０．５ｍｍ／ｍ以上、２．５ｍｍ／ｍ以下であることが好ましく、１．０ｍｍ／ｍ以上、１．７ｍｍ／ｍ以下であることがより好ましい。なお、０．５ｍｍ／ｍ以下の下降速度でも、メニスカスを維持することはできるが、金型本体６の取り出しに時間がかかってしまう。
【００７１】
ここで、「メニスカス」とは、金型本体６の表面と、この表面に触れている水系潤滑処理液２の表面張力とで形成される水系潤滑処理液２の凹状に湾曲した液面を意味する。メニスカスが維持された状態で金型本体６に対して、水系潤滑処理液２の液面を下降させると、水系潤滑処理液２が金型本体６の表面に均一に付着しつつ、水系潤滑処理液２が液面から離れた部分から徐々に乾燥していき、ロール状の金型本体６に対して均一に被覆処理を行うことができる。金型本体６に対する水系潤滑処理液２の水面の下降速度が速い場合は、表面張力が途切れメニスカスが維持されないので、金型本体６に表面張力が分断されてしまい、金型本体６の表面に水系潤滑処理液２の水滴等が残存し、これが乾燥することにより金型本体６にシミ等が生じてしまう。メニスカスを維持するための要因としては、主に金型本体６に対する水系潤滑処理液２の液面の下降速度以外に、金型本体６の材質、水系潤滑処理液２の種類なども影響するため、金型本体６に対する水系潤滑処理液２の液面の下降速度はこれらを考慮して決定するとよい。
【００７２】
さらに、金型本体６に対して水系潤滑処理液２の液面を下降させることにより、金型本体６の全体が水系潤滑処理液２から取り出される。この際、支持機構８により、金型本体６が所望の傾斜角度に傾いた状態で保持されているため、金型本体６の一方の側部の下方に位置した部分が、最後に水系潤滑処理液２の液面から露出する。このため、金型本体６が水系潤滑処理液２の液面から引き離される際の液残りが、金型本体６の一方の側部の表面の一箇所に集中する。よって、図２に示すように、液残りに起因したシミＳの発生は、ロール状金型（金型本体）６の端部の表面（非転写部Ａ２）の一箇所で起こり、中央部の表面（転写部Ａ１）でのシミの発生を防ぐことができる。上述したように、ロールｔｏロール法の転写では、ロール状金型６の中央部の表面（転写部Ａ１）が転写に使用され、端部の表面（非転写部Ａ２）は転写に使用されない。このため、非転写部Ａ２にシミＳが発生しても、このシミＳの模様が成形品に転写されることを防止できる。
【００７３】
なお、金型本体６の傾斜角度、すなわち金型本体６の中心軸と水平面のなす角度は、２°以上が好ましく、３度以上がより好ましい。傾斜角度が２°以上であれば、金型本体６が水系潤滑処理液２の液面から引き離される際の液残りが、金型本体６の一方の端部の表面の一箇所に確実に集中するため、転写部Ａ２にシミが発生するのを効果的に防止できる。
【００７４】
以上説明したように、本実施形態のロール状金型の被覆処理方法及びこれを利用した製造方法によれば、金型本体６が水系潤滑処理液２の液面から露出を開始した直後は、金型表面に水系潤滑処理液２が残りやすいが、ノズル２４から金型表面の液を押しのける程度の強さで風を金型本体６に吹き付けることにより、金型表面に付着した水系潤滑処理液２を迅速に乾燥させることができ、シミＳの発生を抑制することができる。
【００７５】
また、金型本体６の上半分が露出され、液面の位置が金型本体６の中心付近に到達した時点において風速を弱めることにより、風による水系潤滑処理液２の液面の波立ちを抑止し、これにより、一度乾燥した部分に再度、水系潤滑処理液２が接触し、金型表面に波打ち跡のシミが残ってしまうことを防止することができる。
【００７６】
また、金型本体６を完全に取り出す際、特に、液面が、金型本体６の最下部から金型本体６の直径の１／１２の高さ以下の範囲に位置する場合に、金型本体６の水系潤滑処理液２の液面に対する下降速度をさらに低下させることにより、水系潤滑処理液２と金型本体６との界面でメニスカスを維持することができる。これにより、金型本体６の表面上の不要な水系潤滑処理液２を表面張力により確実に取り除くことができる。
【００７７】
さらに、金型本体６を傾斜させているため、金型本体６が潤滑処理液２の液面から引き離される際の液残りが、金型本体の一方の側部の表面の一箇所（すなわち、最後まで潤滑処理液に触れている部分）に集中させることにより転写部Ａ１にシミが発生することを防止できる。
【００７８】
また、本実施形態によれば、金型本体６を略水平に保持しているため、特に全長が長いロール状金型を製造する場合に好適であり、金型本体６の中心軸を鉛直にして表面処理する場合のように処理槽４を金型本体６の全長に併せて深くする必要がない。
【００７９】
なお、本実施形態では、抜液手段９のバルブ９Ａを開放し、処理槽４から水系潤滑処理液２を排出することにより、金型本体６に対して水系潤滑処理液２の液面を下降させているが、これに限らず、金型本体６を鉛直上方に移動させてもよく、また、金型本体６を鉛直上方に移動させながら、処理槽４から水系潤滑処理液２を抜液してもよい。ただし、金型本体６に対する水系潤滑処理液２の液面の下降速度を容易に調整できるため、処理槽４から水系潤滑処理液２を抜液する方法が好ましい。傾斜した金型本体６をそのまま鉛直上方に移動させ場合は、金型本体６の引き上げに用いる搬送冶具にノズルを取り付けることにより、金型本体とノズルの相対位置を変える事無く、風の供給が可能となる。
【００８０】
また、本実施形態では、被覆処理装置１の支持機構８を用いて金型本体６を傾斜させていたが、例えばシャフト２０ａ，２０ｂに長さの異なる鎖を梁などに吊り下げるなどの方法を用いてもよい。
【００８１】
また、本実施形態では、金型本体６を水系潤滑処理液２に金型本体６を浸漬させる前に予め傾斜させていたが、これに限らず、水系潤滑処理液２に金型本体６を浸漬させた状態で金型本体６を傾斜させてもよいし、水系潤滑処理液２から取り出す直前に金型本体６を傾斜させてもよい。なお、作業性を考慮すると、例えば図１に示す被覆処理装置１を用いて、水系潤滑処理液２への浸漬前に金型本体６を傾斜させておくのが好ましい。また、水系潤滑処理液２への浸漬前に金型本体６を傾斜させておけば、金型本体６を取り出す際に、金型本体６を傾斜させる必要がなく、風速と金型本体６と水系潤滑処理液２の液面の相対移動速度を変更させるだけで図２に示すように、転写部Ａ２でのシミの発生を容易に防ぐことができる。
【００８２】
［表面に微細凹凸構造を有する部材の製造方法］
以下、本実施形態の表面に微細凹凸構造を有する部材の製造方法について説明する。
本実施形態の表面に微細凹凸構造を有する部材の製造方法は、例えば、ロール状金型と透明基材の間に未硬化の活性エネルギー線硬化性樹脂組成物を供給する樹脂供給工程と、ロール状金型表面の微細凹凸構造に活性エネルギー線硬化性樹脂組成物を接触させる接触工程と、活性エネルギー線硬化性樹脂組成物がロール状金型表面に接触した状態で、活性エネルギー線を照射して活性エネルギー線硬化性樹脂組成物を硬化させる硬化工程と、硬化工程の後にロール状金型を離型する離型工程とを含む。これによって、透明基材の表面に、活性エネルギー線硬化性樹脂組成物が硬化してなる表面に微細凹凸構造が形成された硬化樹脂層を備える部材を製造できる。このようにして、製造された部材の表面の微細凹凸構造は、ロール状金型の微細凹凸構造に対して反転した構造（すなわち、鍵と鍵穴の関係で転写された構造）となる。
【００８３】
＜透明基材＞
透明基材としては、活性エネルギー線を、透明基材を透過させて活性エネルギー線硬化性樹脂組成物へ照射するため、活性エネルギー線の透過を著しく阻害しないものが好ましい。透明基材の材料としては、例えばポリエステル樹脂（ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート等）、ポリメタクリレート樹脂、ポリカーボネート樹脂、塩化ビニル樹脂、ＡＢＳ樹脂、スチレン樹脂、ガラス等が挙げられる。
【００８４】
＜活性エネルギー線硬化性樹脂組成物＞
活性エネルギー線硬化性樹脂組成物の充填方法としては、ロール状金型と透明基材の間に活性エネルギー線硬化性樹脂組成物を供給した後に圧延して充填する方法、活性エネルギー線硬化性樹脂組成物を塗布したロール状金型上に透明基材をラミネートする方法、及びあらかじめ透明基材上に活性エネルギー線硬化性樹脂組成物を塗布してロール状金型にラミネートする方法等が挙げられる。
【００８５】
活性エネルギー線硬化性樹脂組成物を用いる方法によれば、熱硬化性樹脂組成物を用いる方法に比べて加熱や硬化後の冷却を必要としないため、短時間で微細凹凸構造を転写することができる。このため、活性エネルギー線硬化性樹脂組成物は、量産に好適である。
【００８６】
活性エネルギー線硬化性樹脂組成物は、重合反応性化合物と、活性エネルギー線重合開始剤とを含有する。上記の他に、用途に応じて非反応性のポリマーや活性エネルギー線ゾルゲル反応性成分が含まれていてもよく、増粘剤、レベリング剤、紫外線吸収剤、光安定剤、熱安定剤、溶剤、無機フィラー等の各種添加剤が含まれていてもよい。
【００８７】
重合反応性化合物としては、分子中にラジカル重合性結合および／またはカチオン重合結合を有するモノマー、オリゴマー、反応性ポリマー等が挙げられる。
ラジカル重合性結合を有するモノマーとしては、単官能モノマー、多官能モノマーが挙げられる。
【００８８】
ラジカル重合性結合を有する単官能モノマーとしては、（メタ）アクリレート誘導体（メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、プロピル（メタ）アクリレート、ｎ−ブチル（メタ）アクリレート、ｉ−ブチル（メタ）アクリレート、ｓ−ブチル（メタ）アクリレート、ｔ−ブチル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、ラウリル（メタ）アクリレート、アルキル（メタ）アクリレート、トリデシル（メタ）アクリレート、ステアリル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、フェノキシエチル（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート、グリシジル（メタ）アクリレート、テトラヒドロフルフリル（メタ）アクリレート、アリル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、２−メトキシエチル（メタ）アクリレート、２−エトキシエチル（メタ）アクリレート等）、（メタ）アクリル酸、（メタ）アクリロニトリル、スチレン誘導体（スチレン、α−メチルスチレン等）、（メタ）アクリルアミド誘導体（（メタ）アクリルアミド、Ｎ−ジメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−ジエチル（メタ）アクリルアミド、ジメチルアミノプロピル（メタ）アクリルアミド等）等が挙げられる。これらは、１種を単独で用いてもよく、２種類以上を組み合わせて用いてもよい。
【００８９】
ラジカル重合性結合を有する多官能モノマーとしては、二官能性モノマー（エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、イソシアヌール酸エチレンオキサイド変性ジ（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、１，６−ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、１，５−ペンタンジオールジ（メタ）アクリレート、１，３−ブチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリブチレングリコールジ（メタ）アクリレート、２，２−ビス（４−（メタ）アクリロキシポリエトキシフェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（メタ）アクリロキシエトキシフェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（３−（メタ）アクリロキシ−２−ヒドロキシプロポキシ）フェニル）プロパン、１，２−ビス（３−（メタ）アクリロキシ−２−ヒドロキシプロポキシ）エタン、１，４−ビス（３−（メタ）アクリロキシ−２−ヒドロキシプロポキシ）ブタン、ジメチロールトリシクロデカンジ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＡのエチレンオキサイド付加物ジ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＡのプロピレンオキサイド付加物ジ（メタ）アクリレート、ヒドロキシピバリン酸ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ジビニルベンゼン、メチレンビスアクリルアミド等）、三官能モノマー（ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンエチレンオキサイド変性トリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンプロピレンオキシド変性トリアクリレート、トリメチロールプロパンエチレンオキシド変性トリアクリレート、イソシアヌール酸エチレンオキサイド変性トリ（メタ）アクリレート等）、四官能以上のモノマー（コハク酸／トリメチロールエタン／アクリル酸の縮合反応混合物、ジペンタエリストールヘキサ（メタ）アクリレート、ジペンタエリストールペンタ（メタ）アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラアクリレート、テトラメチロールメタンテトラ（メタ）アクリレート等）、二官能以上のウレタンアクリレート、二官能以上のポリエステルアクリレート等が挙げられる。これらは、１種を単独で用いてもよく、２種類以上を組み合わせて用いてもよい。
【００９０】
カチオン重合性結合を有するモノマーとしては、エポキシ基、オキセタニル基、オキサゾリル基、ビニルオキシ基等を有するモノマーが挙げられ、エポキシ基を有するモノマーが特に好ましい。
【００９１】
分子中にラジカル重合性結合および／またはカチオン重合性結合を有するオリゴマーまたは反応性ポリマーとしては、不飽和ジカルボン酸と多価アルコールとの縮合物等の不飽和ポリエステル類；ポリエステル（メタ）アクリレート、ポリエーテル（メタ）アクリレート、ポリオール（メタ）アクリレート、エポキシ（メタ）アクリレート、ウレタン（メタ）アクリレート、カチオン重合型エポキシ化合物、側鎖にラジカル重合性結合を有する上述のモノマーの単独または共重合ポリマー等が挙げられる。
【００９２】
活性エネルギー線重合開始剤としては、公知の重合開始剤を用いることができ、活性エネルギー線硬化性樹脂組成物を硬化させる際に用いる活性エネルギー線の種類に応じて適宜選択することが好ましい。
【００９３】
光硬化反応を利用する場合、光重合開始剤としては、カルボニル化合物（ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、ベンジル、ベンゾフェノン、ｐ−メトキシベンゾフェノン、２，２−ジエトキシアセトフェノン、α，α−ジメトキシ−α−フェニルアセトフェノン、メチルフェニルグリオキシレート、エチルフェニルグリオキシレート、４，４’−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニルプロパン−１−オン等）、硫黄化合物（テトラメチルチウラムモノスルフィド、テトラメチルチウラムジスルフィド等）、２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド、ベンゾイルジエトキシフォスフィンオキサイド等が挙げられる。これらは、１種を単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
【００９４】
電子線硬化反応を利用する場合、重合開始剤としては、ベンゾフェノン、４，４−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、２，４，６−トリメチルベンゾフェノン、メチルオルソベンゾイルベンゾエート、４−フェニルベンゾフェノン、ｔ−ブチルアントラキノン、２−エチルアントラキノン、チオキサントン（２，４−ジエチルチオキサントン、イソプロピルチオキサントン、２，４−ジクロロチオキサントン等）、アセトフェノン（ジエトキシアセトフェノン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニルプロパン−１−オン、ベンジルジメチルケタール、１−ヒドロキシシクロヘキシル−フェニルケトン、２−メチル−２−モルホリノ（４−チオメチルフェニル）プロパン−１−オン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン等）、ベンゾインエーテル（ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル等）、アシルホスフィンオキサイド（２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド、ビス（２，６−ジメトキシベンゾイル）−２，４，４−トリメチルペンチルホスフィンオキサイド、ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）−フェニルホスフィンオキサイド等）、メチルベンゾイルホルメート、１，７−ビスアクリジニルヘプタン、９−フェニルアクリジン等が挙げられる。これらは、１種を単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
【００９５】
活性エネルギー線硬化性樹脂組成物における活性エネルギー線重合開始剤の含有量は、重合反応性化合物１００質量部に対して、０．１〜１０質量部が好ましい。これは、活性エネルギー線重合開始剤が０．１質量部未満では、重合が進行しにくく、また、活性エネルギー線重合開始剤が１０質量部を超えると、硬化樹脂が着色したり、機械強度が低下したりすることがあるためである。
【００９６】
非反応性のポリマーとしては、アクリル樹脂、スチレン系樹脂、ポリウレタン樹脂、セルロース樹脂、ポリビニルブチラール樹脂、ポリエステル樹脂、熱可塑性エラストマー等が挙げられる。
活性エネルギー線ゾルゲル反応性成分としては、例えば、アルコキシシラン化合物、アルキルシリケート化合物等が挙げられる。
【００９７】
アルコキシシラン化合物としては、ＲxＳｉ（ＯＲ’）yで表されるものが挙げられる。ＲおよびＲ’は炭素数１〜１０のアルキル基を表し、ｘおよびｙはｘ＋ｙ＝４の関係を満たす整数である。具体的には、テトラメトキシシラン、テトラ−ｉｓｏ−プロポキシシラン、テトラ−ｎ−プロポキシシラン、テトラ−ｎ−ブトキシシラン、テトラ−ｓｅｃ−ブトキシシラン、テトラ−ｔｅｒｔ−ブトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、メチルトリプロポキシシラン、メチルトリブトキシシラン、ジメチルジメトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン、トリメチルエトキシシラン、トリメチルメトキシシラン、トリメチルプロポキシシラン、トリメチルブトキシシラン等が挙げられる。
【００９８】
アルキルシリケート化合物としては、Ｒ1Ｏ［Ｓｉ（ＯＲ3）（ＯＲ4）Ｏ］zＲ2で表されるものが挙げられる。Ｒ1〜Ｒ4はそれぞれ炭素数１〜５のアルキル基を表し、ｚは３〜２０の整数を表す。具体的にはメチルシリケート、エチルシリケート、イソプロピルシリケート、ｎ−プロピルシリケート、ｎ−ブチルシリケート、ｎ−ペンチルシリケート、アセチルシリケート等が挙げられる。
【００９９】
＜製造装置＞
表面に微細凹凸構造を有する部材は、例えば、図３に示す製造装置３０を用いて製造される。
製造装置３０は、表面に微細凹凸構造を有するロール状金型（金型本体）６と、活性エネルギー線硬化性樹脂組成物３６を供給するタンク３４と、活性エネルギー線硬化性樹脂組成物３６をロール状金型６に押し付ける押圧装置３８と、活性エネルギー線を照射する活性エネルギー線照射装置４６と、活性エネルギー線硬化性樹脂組成物３６をロール状金型６から剥離させる剥離ロール５２と、を備える。
【０１００】
ロール状金型６は、上記の製造方法で得られたロール状金型の製造方法により得られた金型本体である。
タンク３４は、フィルム３２とロール状金型６との間に活性エネルギー線硬化性樹脂組成物３６を供給する。
【０１０１】
活性エネルギー線照射装置４６としては、例えば、高圧水銀ランプ、メタルハライドランプ等が挙げられる。活性エネルギー線の照射量は、活性エネルギー線硬化性樹脂組成物の硬化が進行するエネルギー量であればよく、通常、１００〜１００００ｍＪ／ｃｍ2程度である。
【０１０２】
押圧装置３８は、空気圧シリンダ４０と、シリンダ４０に取り付けられたニップロール４２とを有し、空気圧シリンダ４０が伸張することにより、ニップロール４２が活性エネルギー線硬化性樹脂組成物３６をロール状金型６に押し付ける。
【０１０３】
以下、製造装置３０により、表面に微細凹凸構造を有する部材を製造する方法について説明する。
図３に示すように、フィルム送り装置（不図示）により、無色透明のフィルム３２が、ニップロール４２とロール状金型６との間に送られている。このフィルム３２上面に、タンク３４により活性エネルギー線硬化性樹脂組成物３６を供給する（樹脂供給工程）。
【０１０４】
フィルム３２上面に供給された活性エネルギー線硬化性樹脂組成物３６は、押圧装置３８のニップロール４２と、ロール状金型６との間に送られる。押圧装置３８は、空気圧シリンダ４０を伸張させることにより、ニップロール４２によりフィルム３２および活性エネルギー線硬化性樹脂組成物３６をロール状金型６に向けて接触させ、押し付ける（接触工程）。これにより、活性エネルギー線硬化性樹脂組成物３６が、フィルム３２とロール状金型６との間に均一に行き渡らせると同時に、ロール状金型６０の微細凹凸構造の凹部内に充填される。
【０１０５】
次に、ロール状金型６の下方に設置された活性エネルギー線照射装置４６により、フィルム３２を透過させ、活性エネルギー線硬化性樹脂組成物３６に活性エネルギー線を照射する。これにより、活性エネルギー線硬化性樹脂組成物３６を硬化され（硬化工程）、ロール状金型６の表面の微細凹凸構造が転写された硬化樹脂層４８が形成される。
次に、剥離ロール５２により、表面に硬化樹脂層４８が形成されたフィルム３２をロール状金型６から剥離する（離型工程）。これにより、フィルム３２の表面に微細凹凸構造が転写された硬化樹脂層４８が設けられたシート状の部材５０を得ることができる。
【０１０６】
＜表面に微細凹凸構造を有する部材＞
図４は上記の方法により製造されたシート状部材５０である。同図に示すように、シート状部材は、フィルム３２（透明基材）の表面に硬化樹脂層４８が形成されてなる。
硬化樹脂層４８は、活性エネルギー線硬化性樹脂組成物の硬化物からなる膜であり、表面に微細凹凸構造を有する。シート状部材５０の硬化樹脂層４８は表面に、ロール状金型６の表面の微細凹凸構造を転写することにより形成された複数の凸部４８Ａを有する。
【０１０７】
微細凹凸構造としては、略円錐形状、角錐形状等の突起（凸部）が複数並んだ、いわゆるモスアイ構造が好ましい。突起間の間隔が可視光の波長以下であるモスアイ構造は、空気の屈折率から材料の屈折率へと連続的に屈折率が増大していくことで有効な反射防止の手段となることが知られている。
【０１０８】
本発明の製造方法によって製造された表面に微細凹凸構造を有する部材は、表面の微細凹凸構造によって、反射防止性能、撥水性能等の種々の性能を発揮する。微細凹凸構造を表面に有する物品がシート状またはフィルム状の場合には、反射防止膜として、例えば、画像表示装置（テレビ、携帯電話のディスプレイ等）、展示パネル、メーターパネル等の対象物の表面に貼り付けたり、インサート成形したりして用いることができる。また、撥水性能を活かして、風呂場の窓や鏡、太陽電池部材、自動車のミラー、看板、メガネのレンズ等、雨、水、蒸気等にさらされるおそれのある対象物の部材としても用いることができる。
【０１０９】
微細凹凸構造を表面に有する部材が立体形状の場合には、用途に応じた形状の透明基材を用いて反射防止物品を製造しておき、これを上記対象物の表面を構成する部材として用いることもできる。
【０１１０】
また、対象物が画像表示装置である場合には、その表面に限らず、その前面板に対して、微細凹凸構造を表面に有する部材を貼り付けてもよいし、前面板そのものを、微細凹凸構造を表面に有する部材から構成することもできる。例えば、イメージを読み取るセンサーアレイに取り付けられたロッドレンズアレイの表面、ＦＡＸ、複写機、スキャナ等のイメージセンサーのカバーガラス、複写機の原稿を置くコンタクトガラス等に、微細凹凸構造を表面に有する物品を用いても構わない。また、可視光通信等の光通信機器の光受光部分等に、微細凹凸構造を表面に有する部材を用いることによって、信号の受信感度を向上させることもできる。
【０１１１】
また、微細凹凸構造を表面に有する部材は、上述した用途以外にも、光導波路、レリーフホログラム、光学レンズ、偏光分離素子等の光学用途や、細胞培養シートとしての用途に展開できる。
【０１１２】
以上説明した本発明の、表面に微細凹凸構造を有する部材の製造方法にあっては、本発明のロール状金型の製造方法で得られたロール状金型を用いているため、シミの模様が転写されず、高品質の物品が得られる。また、ロール状金型の表面はフッ素樹脂系潤滑処理液で表面処理されているので離型性に優れる。よって、表面に微細凹凸構造を有する部材を生産性よく製造できる。
【実施例】
【０１１３】
以下、本発明を実施例により具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
［実施例１］
以下のようにして、（ａ）〜（ｅ）工程を行い、ロール状金型を製造した。なお、金型基材として、ロール状のアルミニウム基材（純度：９９．９９％、直径２００ｍｍ、全長：３２０ｍｍ）を用意した。
【０１１４】
＜微細凹凸構造形成工程＞
（ａ）工程では、ロール状のアルミニウム基材に対して、０．３Ｍシュウ酸水溶液中で、直流４０Ｖ、温度１６℃の条件で３０分間陽極酸化を行った。
（ｂ）工程では、酸化皮膜が形成されたアルミニウム板を、６質量％リン酸／１．８質量％クロム酸混合水溶液に６時間浸漬して、酸化皮膜を除去した。
（ｃ）工程では、アルミニウム基材に対して、０．３Ｍシュウ酸水溶液中、直流４０Ｖ、温度１６℃の条件で３０秒間陽極酸化を行った。
（ｄ）工程では、酸化皮膜が形成されたアルミニウム基材を、３２℃の５質量％リン酸水溶液に８分間浸漬して、細孔径拡大処理を行った。
（ｅ）工程では、前記（ｃ）工程および（ｄ）工程を合計で４回繰り返し、最後に工程（ｄ）を行い、平均間隔：１００ｎｍ、深さ:１８０ｎｍの略円錐形状の細孔（凹部）を有する陽極酸化アルミナが表面に形成されたロール状の金型本体を得た。
【０１１５】
＜被覆処理工程＞
上記の微細凹凸構造形成工程で得られた金型本体を純水により洗浄し、表面にシミや異物付着のない状態にした。この金型本体を図１に示す被覆処理装置１を用いて、以下のようにして被覆処理した。なお、水系潤滑処理液２としては、リン酸エステル系である日本サーファクタント工業社製の「ＮＩＫＫＯＬ  ＴＤＰ８」を純水にて１０００倍に希釈したものを使用した。
【０１１６】
まず、金型本体６の両端に装着部材２２ａ，２２ｂを介してシャフト２０ａ，２０ｂを装着し、金型本体６の傾斜角度が５°になるように（すなわち、金型本体６の中心軸が水平状態から５°傾斜するように）調整した後、予め個々に高さを調節しておいた支持部材１８ａ，１８ｂにシャフト２０ａ，２０ｂを取り付け、金型本体６を支持機構８に設置した。なお、このとき、処理槽４には、水系潤滑処理液２は供給されていない。
【０１１７】
ついで、恒温槽と熱交換器を備えた温度調整機構（図示略）により、液温を２０℃に調整した水系潤滑処理液２を外槽１２へ供給し、外槽１２から処理槽４へ循環ポンプ１６（イワキ社製のマグネットポンプ「ＭＤ−５５Ｒ−Ｍ」）を用いて水系潤滑処理液２を処理槽４の底部から供給し、金型本体６を水系潤滑処理液２へ１０分間浸漬させた。
【０１１８】
なお、外槽１２から水系潤滑処理液２を供給する際は、フィルター１７（アドバンテック社製のＰＥＳメンブレンカートリッジフィルター「ＴＣＳ−Ｅ０２０−Ｓ１ＦＥ」）を通して水系潤滑処理液２を濾過してから、処理槽４へ供給した。
【０１１９】
また、水系潤滑処理液２を処理槽４から外槽１２へオーバーフローさせ、処理槽４の液面に浮いた異物を除去した。外槽１２へオーバーフローした水系潤滑処理液２をフィルター１７で濾過して再び処理槽４に供給し、水系潤滑処理液２を外槽と処理槽４の間で循環させた。
【０１２０】
その後、水系潤滑処理液２の循環を停止した。抜液を開始する前に、金型本体の重力方向上方から、風を金型長手方向全体に行き渡るように予め供給した。風の供給には、スプレーイングシステムスジャパン製の樹脂製フラットＡＡＢ７２７７ノズル２４を用いた。ノズル２４は、金型長手方向とノズル幅方向が垂直になるように、金型傾斜方向と同じ方向に水平方向に６０°傾斜させて、１０ｃｍ間隔で４つ設置した。風速は金型表面に直接接する部分で７ｍ／ｓ以上にて行った。
【０１２１】
次に、処理槽４の底部に設けられたバルブ９Ａを開栓して、抜液手段９より水系潤滑処理液２を抜液することで、金型本体６を水系潤滑処理液２から取り出し、金型本体６を順次露出させ取り出した。
【０１２２】
そして、抜液して行き、完全に露出して取り出すまでの途中で、風量の切替、及び、金型本体６に対する水系潤滑処理液２の液面の下降速度の切替を、それぞれ１回ずつ行った。風量の切替は、液面が金型中心の高さ付近に到達した時点で各ノズルの風量調節器を操作することにより行い、切替前の７ｍ／ｓから４ｍ／ｓに切り替えた。また、金型本体６に対する水系潤滑処理液２の液面の下降速度の切替は、液面が、金型本体６の中心の高さ位置から、金型本体６の最下部から金型本体６の直径の１／１２の高さ位置までの範囲内の所定の高さに到達した時に行った。切替前の液面の下降速度は、３．４ｍｍ／ｍｉｎとし、切替後の液面の下降速度は１．７ｍｍ／ｍｉｎとした。
【０１２３】
なお、切替後の相対移動速度１．７ｍｍ／ｍｉｎは、金型本体６の表面とフッ素樹脂系潤滑処理液２の液面との間にメニスカスを維持した状態で、金型本体６を水系潤滑処理液２から取り出すことが可能な速度である。また、抜液手段９としては、ＳＵＳ製のフレキシブル配管を用いた。金型本体６の傾斜角度は２°にした。
【０１２４】
水系潤滑処理液から金型本体６を取り出し、表面処理したロール状金型を得た。実施例の方法で水系潤滑処理液を用いて処理を行なう場合、風を供給しない場合に比べて約１２倍も処理速度を向上させる事が可能となった。
【０１２５】
また、以下に説明するように比較例１−５についても金型本体を製造した。
【０１２６】
［比較例１］
比較例１では、露出後開始前の風速を５．５ｍ／ｓとした。その他の条件に関しては、実施例１と同様にしてロール状金型を製造した。
【０１２７】
［比較例２］
比較例２では、金型本体の露出した後、５秒の時間をあけて風の吹きつけを開始した。その他の条件に関しては、実施例１と同様にしてロール状金型を製造した。
【０１２８】
［比較例３］
比較例３では、金型本体の上半分がほぼ露出された後も風量を弱めなかった（風量切り替え無し）。その他の条件に関しては、実施例１と同様にしてロール状金型を製造した。
【０１２９】
［比較例４］
比較例４では、液面が所定高さに達しても、液面の下降速度を変更しなかった(つまり、下降速度は３．４ｍｍ／ｍｉｎのままとした)。その他の条件に関しては、実施例１と同様にしてロール状金型を製造した。
【０１３０】
［比較例５］
比較例５では、金型本体の傾斜角度を０．５°とした。その他の条件に関しては、実施例１と同様にしてロール状金型を製造した。
【０１３１】
上記のようにして製造した、実施例１及び比較例１−５について、以下のロール状金型の細孔の測定及びシミ発生の評価を行った。
［測定・評価］
（１）ロール状金型の細孔の測定
陽極酸化ポーラスアルミナからなるロール状金型の一部の縦断面を１分間Ｐｔ蒸着し、電界放出形走査電子顕微鏡（日本電子社製、「ＪＳＭ−７４００Ｆ」）により加速電圧３．００ｋＶで観察し、隣り合う細孔の間隔（周期）及び細孔の深さを測定した。具体的にはそれぞれ１０点ずつ測定し、その平均値を測定値とした。
【０１３２】
（２）シミ発生の評価
ＬＥＤライト（日亜化学工業社製、１．５ＷパワーＬＥＤ搭載）をロール状金型の表面に照射して、目視にてシミの発生場所とシミの状態を確認した。なお、シミの状態は、ライトを照射することにより、フッ素系樹脂の被覆層の厚み斑による干渉縞で判断した。
【０１３３】
さらに、国際公開第２０１１／１１８５９６号に記載されたロール状金型表面の反射光をＲＧＢ信号として撮像する方法を用いてロール状金型表面に形成されている細孔の形状を検査する事で、シミの状態を確認した。離型剤が凝集して厚く塗られている場合には、細孔の形状の深さが変化することで形状が変化するため、撮像した画像においてシミを確認することができる。
【０１３４】
実施例１及び比較例１−５についてのロール状金型の細孔の測定及びシミ発生の評価の結果は、以下の表の通りである。
【表１】
2014069533.tif 000003
【０１３５】
実施例１のロール状金型は、端部の表面（非転写部Ａ２）に一箇所シミが発生したが、転写部Ａ１におけるシミの発生を防止できた。なお、このようにシミの発生場所が転写に用いられない金型端部であるため、転写には影響しない。
【０１３６】
比較例１のロール状金型は、風速が弱いため、水系潤滑処理液を十分に乾燥させる事でできず、転写部に液残りによる乾燥跡のシミが発生した。
比較例２のロール状金型は、転写部に乾燥跡のシミがわずかに発生した。
比較例３のロール状金型は、転写部に処理液の波型のシミがわずかに発生した。
比較例４のロール状金型は、転写部に筋状のシミがわずかに発生した。
比較例５のロール状金型は、転写部に筋状のシミがわずかに発生した。
【符号の説明】
【０１３７】
１  非膜処理装置
２  水系潤滑処理液
４  処理槽
６  金型本体（ロール状金型）
８  支持機構
９  抜液手段
２４  ノズル
３２  フィルム
３６  活性エネルギー線硬化性樹脂組成物
４６  活性エネルギー線照射装置
４８  硬化樹脂層
５０  部材（シート状部材）
【図１】
2014069533.tif 000004
【図２】
2014069533.tif 000005
【図３】
2014069533.tif 000006
【図４】
2014069533.tif 000007
【図５】
2014069533.tif 000008