(57)【要約】【課題】高倍率光学系を用いた場合においても記録素子基板の位置合わせ時の支障を低減することができる液体吐出ヘッドおよびその製造方法を提供すること。【解決手段】基準指標がカメラに映らなくても基準指標との相対位置を示す補助指標を検出および認識することで、基準指標の位置を特定する。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出するための記録素子基板を備えた液体吐出ヘッドにおいて、
前記記録素子基板上に、該記録素子基板の位置合わせの際に基準として用いる少なくとも１つの基準指標と、
前記記録素子基板上に、前記基準指標に対応して、前記基準指標からの相対位置を示す情報を備えた補助指標と、を備えることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
１つの前記基準指標につき前記補助指標を１つ以上備えることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記基準指標と前記補助指標とは、異なる形状であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
複数の前記補助指標は、形状もしくは向きのいずれかが異なることを特徴とする請求項２または３に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記補助指標は、台形形状であることを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
前記基準指標は、前記台形形状の前記補助指標の２つの斜辺を延長した仮想線の交点に位置していることを特徴とする請求項５に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】
前記補助指標は、二等辺三角形形状であることを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項８】
前記基準指標は、前記二等辺三角形形状の補助指標の頂角が指す方向に位置していることを特徴とする請求項７に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項９】
前記基準指標と前記補助指標は、マトリックス状に配置されていることを特徴とする請求項１から８のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１０】
前記記録素子基板には液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生する複数の素子が形成されていることを特徴とする請求項１から９のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１１】
支持板上の所定位置に、液体を吐出するための記録素子基板を搭載する液体吐出ヘッドの製造方法において、
前記記録素子基板上に備えられた基準指標または該基準指標の近傍に備えられた補助指標を撮影する工程と、該撮影した画像より前記基準指標または前記補助指標を検出する工程と、前記撮影した画像内に前記基準指標が検出されなかった場合には検出された前記補助指標より前記基準指標の位置を特定する工程と、を含むことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１２】
前記基準指標および前記補助指標を検出する工程は、予め前記各指標の形状がパターン登録されているパターンサーチにより検出することを特徴とする請求項１１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１３】
前記基準指標の位置を特定する工程は、検出した前記補助指標の形状または向きより位置を特定することを特徴とする請求項１１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１４】
前記基準指標の位置を特定する工程は、撮影した前記補助指標の部分的画像より前記補助指標の傾きを検出する工程を含むことを特徴とする請求項１１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インク等を吐出して記録を行う記録装置に適用される液体吐出ヘッドおよびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体吐出記録装置（以下、単に記録装置ともいう）は、コンピュータ関係の出力機器等に幅広く利用されており、様々な種類の記録装置が商品化されている。このような記録装置の記録方式には、吐出エネルギー発生素子として電気熱変換素子を用いた方式がある。この方式を用いた記録装置に搭載される液体吐出ヘッドは、電気熱変換素子を記録素子基板の加圧室内に設け、この素子に吐出信号となる電気パルスを印加する事によりインク等の液体に熱エネルギーを与え、液体が沸騰する際の気泡圧力を利用して吐出を行なう。
【０００３】
このような液体吐出記録装置に用いられる液体吐出ヘッドでは、複数の記録素子基板がベース板に整列および接着されている。各記録素子基板を精度良く配置するため、記録素子基板上には基準指標が設けられており、この基準指標を光学的に撮影および認識して位置合わせを行っている。位置合わせでは、記録素子基板を真空吸着フィンガー（以下、単にフィンガーとも称する）に吸着させ、上から２台のＣＣＤカメラを用いて撮影している。基準指標は、円形部と４つの矩形部から構成されており、これら全体を一つの指標としている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−７９６７６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
複数の記録素子基板をより高精度に配置するためには、光学系の撮影倍率を大きくすることが有効だが、撮影倍率を大きくすると、以下のような問題が生じる恐れがあった。
【０００６】
より高精度な位置合わせをするために光学系の撮影倍率を大きくすると、それに伴い撮影領域は狭くなる。また、記録素子基板外形サイズばらつきや、記録素子基板をフィンガーに吸着させるまでの記録素子基板搬送系の停止精度ばらつきなどにより、フィンガーと記録素子基板上に設けられた基準指標の相対位置関係にもばらつきが生じる。そのため、記録素子基板をフィンガーに吸着させた後の最初の撮影時に撮影領域が狭くなると、基準指標が撮影領域内に存在せず、記録素子基板の位置合わせをすることができなる恐れがあった。
【０００７】
また、撮影倍率を大きくして基準指標の一部である矩形部が撮影領域内にあっても、円形部がどの方向にあるのかを知ることができないため、記録素子基板の位置合わせに時間を要することになる。
【０００８】
なお、従来技術は、当時として望まれる画像品位を十分に満たすものであったが、近年、求められるようになった画像品位を満たすには更なる高精度位置決めが必要となった。
【０００９】
よって本発明は、上記問題点に鑑み、高倍率光学系を用いた場合においても記録素子基板の位置合わせ時の支障を低減することができる液体吐出ヘッドおよびその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
そのため本発明の液体吐出ヘッドは、液体を吐出するための記録素子基板を備えた液体吐出ヘッドにおいて、前記記録素子基板上に、該記録素子基板の位置合わせの際に基準として用いる少なくとも１つの基準指標と、前記記録素子基板上に、前記基準指標に対応して、前記基準指標からの相対位置を示す情報を備えた補助指標と、を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば液体吐出ヘッドは、基準指標と、基準指標の相対位置を示す補助指標と、を備えることにより、高倍率光学系を用いた場合においても記録素子基板の位置合わせ時の支障を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】液体吐出ヘッドの斜視図である。
【図２】（ａ）、（ｂ）は、記録素子ユニットの斜視図である。
【図３】（ａ）は記録素子基板の外観斜視図であり、（ｂ）は断面図である。
【図４】（ａ）、（ｂ）は、記録素子基板に形成された指標部周辺の拡大図である。
【図５】（ａ）から（ｄ）はそれぞれマウンタを示した図である。
【図６】記録素子基板を支持板に貼り合わせる工程を示したフローチャートである。
【図７】アライメント動作を示したフローチャートである。
【図８】（ａ）から（ｅ）は、カメラで撮影した撮影画像を示した図である。
【図９】（ａ）、（ｂ）は、記録素子基板の指標部付近を示した拡大図である。
【図１０】（ａ）、（ｂ）は、アライメント時の撮影画像の模式図である。
【図１１】（ａ）から（ｃ）は、記録素子基板の指標部付近を示した拡大図である。
【図１２】（ａ）から（ｄ）は、アライメント時の撮影画像の模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
（第１の実施形態）
以下、図面を参照して本発明第１の実施形態について説明する。  
図１は、本実施形態における、インク等の液体を吐出する液体吐出ヘッド（以下、記録ヘッドともいう）の斜視図であり、図２（ａ）、（ｂ）は、記録ヘッドを構成している記録素子ユニットの斜視図である。記録ヘッド１は、複数のインクタンク４を収容するタンクホルダ３に記録素子ユニット２が組み付けられて構成されている。記録素子ユニット２は、図２（ａ）に示すように、インク供給口５が形成された支持板６に補助板７および２枚の記録素子基板８と電気配線板９が接着されている。これらの接着が完了すると図２（ｂ）のようになる。図２（ｂ）の１０は、電気配線板９の電気接続部（不図示）と、記録素子基板８の電気接続部（不図示）を電気接続した箇所を保護するために塗布した封止剤である。なお、図２の記録素子ユニット２では同じ形状の記録素子基板８を２枚搭載しているが、異なる形状を搭載した記録ヘッドでも良く、また、枚数も２枚に限らず１枚または３枚以上であってもよい。
【００１４】
次に、記録素子基板について図３を用いて説明する。図３（ａ）は、記録素子基板の外観斜視図であり、図３（ｂ）は、図３（ａ）のＡ−Ａ断面を示す模式的断面図である。記録素子基板８は、シリコン基板２０から成り、その中央部にはシリコン基板２０の表面から裏面に貫通するインク供給口２１が設けられている。また、表面には液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生する素子である複数の電気熱変換素子２２が配置され、その電気熱変換素子２２に対応するように発泡室２３や吐出口２４が樹脂等の材料で形成されている。さらに、記録素子基板８の端部には、記録素子基板８を支持板６に接着する際の位置合わせに使用する指標部３０、３１が形成されている。なお、記録素子基板８は、８インチサイズの略円形シリコンウエハに多数個を形成し、切断装置を用いて個々の記録素子基板８になるように切断されている。
【００１５】
次に指標部３０および３１について説明する。図４は、記録素子基板上に形成された指標部周辺の拡大図であり、図４（ａ）は指標部３０の周辺、図４（ｂ）は、指標部３１の周辺を拡大して示している。基準指標３２は、記録素子基板８を支持板６に接着する際に位置合わせをするための指標となり、後述する光学系にて撮影および認識される。補助指標３３〜３５は、基準指標の近傍で、基準指標に対して１つ以上備えられており、基準指標３２からの相対位置を示す指標となっている。基準指標３２に対し、補助指標３３はＸ方向に、補助指標３４はＹ方向に、そして補助指標３５はＸ、Ｙ両方向にそれぞれ所定距離離れた位置に設けられている。この所定距離については、光学系の説明と併せて後述する。
【００１６】
基準指標３２と補助指標３３〜３５とは、図のようにマトリックス状に配置されており、補助指標３３〜３５は基準指標３２を囲むように配置されている。また、基準指標３２および補助指標３３〜３５は、アルミ材を蒸着することにより形成されている。なお、本実施形態では基準指標３２と補助指標３３〜３５は同一面上に形成されているが、補助指標の全部または一部を吐出口２４の形成と同様に樹脂等で形成しても良い。ただし、この場合は基準指標３２と樹脂で形成された補助指標の高さに差があるため、後述するアライメントにおいて指標部を撮影した際のフォーカスがあまくなってしまう。そのため、各指標は同一面上に形成することが好ましい。
【００１７】
次に、液体吐出ヘッドの製造において用いる記録素子基板８を支持板上に貼り合わせる装置（以下、マウンタとも称する）について図５を用いて説明する。図５（ａ）は、マウンタの構成概略を示す平面図であり、マウンタは、支持板搬送部４０、支持板固定部５０、基板搬送部６０に大別される。貼り合わせ前の支持板６は、支持板トレイ４１に複数個が整列されており、支持板搬送ロボット４２にて１枚ずつ支持板トレイ４１から支持板固定治具５１上に移載される。なお本実施形態では、支持板６は予め接着剤が塗布された状態で支持板トレイ４１に整列されるが、このマウンタ内で塗布するようにしても良い。図５（ｂ）は、支持板固定部５０を示した図である。支持板固定部５０は、ＸＹステージ５３上に支持板固定治具５１が取り付けられており、支持板をピン５２に突き当てて固定する。図５（ｃ）は、基板搬送部６０を示した図である。基板搬送部６０は、支持板固定部５０と基板トレイ６１の上空を往復移動する基板搬送ロボット６２の可動テーブル６３にＺステージ６４、Ｘステージ６５、Ｙステージ６６、θｚステージ６７が上から順に搭載されている。さらにθｚステージ６７には、アーム６８が取り付けられ、その先端には記録素子基板８を吸着把持するフィンガー６９が付けられている。記録素子基板８は、基板トレイ６１に整列されており、フィンガー６９にて１枚ずつ吸着把持され、支持板固定治具５１の上空まで搬送される。図５（ｄ）は、支持板固定治具５１上空のレンズ５４およびカメラ５５を示した図である。支持板固定治具５１の上空には、フィンガー６９に吸着把持された記録素子基板８上に形成されている指標部３０および３１を撮影するためのレンズ５４およびカメラ５５が２組設置されている。このカメラ５５ａおよび５５ｂの設置位置は、両カメラ５５ａおよび５５ｂの中央にそれぞれ基準指標３２が映った際の記録素子基板位置が、支持板６との接着位置となるように正確に調整されている。また、光学系の仕様は、高精度な位置合わせを実現するために、カメラ５５は撮影素子のセルサイズが７．４μｍ角で、Ｘ方向の有効画素数が６５６画素、Ｙ方向の有効画素数が４９２画素を有するカメラを使用している。このカメラに搭載するレンズ５４は６倍に拡大できるレンズを搭載している。この仕様の場合、撮影分解能はＸ，Ｙ両方向とも１画素あたり約１．２３μｍであり、高精度な位置合わせが可能である。また、撮影領域サイズはＸ方向が約０．８ｍｍ、Ｙ方向が約０．６ｍｍである。
【００１８】
ここで、記録素子基板８の指標部３０および３１の基準指標３２と補助指標３３〜３５の位置関係について図４を用いて説明する。基準指標３２の中心と補助指標３３の中心の位置関係はＸ方向に０．６ｍｍ離れている。また、補助指標３４と３５の位置関係も同様に、Ｘ方向に０．６ｍｍ離れており、基準指標３２と補助指標３４はＹ方向に０．４ｍｍ離れている。そして、補助指標３３、３４については、補助指標の凸形状の先に基準指標３２が設けられており、補助指標３５については、矩形に欠けた部分の先（斜め方向）に基準指標３２が設けられている。つまり、補助指標は基準指標との相対位置を示す情報を備えている。
【００１９】
このような位置関係であれば、先述した仕様の光学系で指標部３０および３１を撮影した場合、少なくともカメラ５５ａ、５５ｂどちらかの撮影画像には基準指標３２および補助指標３３〜３５のいずれか一つは撮影されることになる。
【００２０】
図６は、記録素子基板８を支持板６に貼り合わせる工程を示したフローチャートである。以下、このフローチャートに沿って記録素子基板８を支持板６に貼り合わせる工程を説明する。記録素子基板８を支持板６に貼り合わせる工程が開始されると、ステップＳ１で、支持板搬送ロボット４２にて支持板トレイ４１に整列されている支持板６をピックアップして支持板固定治具５１上に搭載する。次にステップＳ２で、基板搬送ロボット６２を動作させ可動テーブル６３を基板トレイ６１上空まで移動させて記録素子基板８をフィンガー６９に吸着把持する。その後ステップＳ３にて記録素子基板８の位置合わせを行う。なお、このステップＳ３の詳細は別途後述する。次にステップＳ４にてＺステージ６４を下降させて記録素子基板８を支持板６に貼り合わせる。本実施形態の記録ヘッドは記録素子基板８が２枚あることから、ステップＳ２〜ステップＳ４を２回行う。なお、２枚目を貼る前には、支持板固定部５０のＸＹステージ５３を動作させ、所定位置に２枚目の記録素子基板８が貼られるように支持板６を移動する。最後にステップＳ５にて、支持板搬送ロボット４２にて貼り付け完了後の支持板６を支持板トレイ４１に排出して完了となる。
【００２１】
図７は、図６のステップＳ３におけるアライメント動作を示したフローチャートであり、図８（ａ）から（ｅ）は、アライメント時にカメラ５５ａおよび５５ｂで撮影している画像を表す模式図である。ここで、図６のステップＳ３のアライメント動作の詳細について、図７および図８を用いて説明する。
【００２２】
図８（ａ）から（ｅ）において、破線の四角で示した撮影画像６０は、カメラ５５ａで撮影した画像であり、破線の四角で示した撮影画像６１は、カメラ５５ｂで撮影した画像を表している。図８（ａ）は、図７のフローチャートにおける処理が全て完了した状態を示しており、撮影画像６０の略中央に指標部３０の基準指標３２が映り、撮影画像６１の略中央に指標部３１の基準指標３２が映るように、記録素子基板６の位置が調整されている。なお、各指標３２〜３５は、不図示の画像処理装置に事前にそれぞれの形状をパターン登録しておき、この画像処理装置のパターンサーチ機能により撮影画像内のどこにどの指標が存在しているかを検出および認識している。
【００２３】
アライメントが開始されると、先ずステップＳ１１で、記録素子基板６を矢印Ｘ方向に調整する。図８（ｂ）に最初に指標部３０および３１を撮影した状態の一例を示す。この図では、記録素子基板８が右側にずれている状態の例であり、撮影画像６０内には基準指標３２および補助指標３３〜３５のいずれも撮影されておらず、撮影画像６１には補助指標３３が映っている。このような事象は、記録素子基板８をフィンガー６９に吸着把持した際の相対位置関係によるものであり、その要因については以下のことが挙げられる。先述したように、記録素子基板８はシリコンウエハを切断したものであるが、その切断精度によって個々の記録素子基板８の外形サイズにばらつきが生じている。そのため、記録素子基板８を基板トレイ６１に載せた際にはトレイ内での記録素子基板８の位置ばらつきがあり、その結果として記録素子基板８とフィンガー６９の相対位置にばらつきが生じる。このばらつき量が、光学系の撮影領域よりも若干大きいため、基準指標３２が撮影画像６０または６１に映らない事象が生じることがある。
【００２４】
また、図８（ｃ）は、記録素子基板８が右側に加え、上側にもずれている状態を示しており、この場合は撮影領域６１内に補助指標３５が映っている。図８（ｂ）または（ｃ）のような場合は、記録素子基板８を左側に移動すべくＸステージ６５を制御し、撮影画像６１内に基準指標３２または３４が映るようにする。なお、上記例は、記録素子基板８が右側にずれていた場合について説明したが、左側にずれていた場合は、この逆となり、撮影画像６０内に基準指標３２または補助指標３４が映るようにする。
【００２５】
次にステップＳ１２では、記録素子基板８をＹ方向に移動させる。図８（ｄ）は、撮影画像６１内に補助指標３４が映っている状態を示しており、この場合はＹステージ６６を制御して記録素子基板８を下側に動かして撮影画像６１内に基準指標３２が映るようにする。逆に図８（ｅ）のように撮影画像６０内に補助指標３４が映っていた場合は、Ｙステージ６６を上側に動かして撮影画像６０内に基準指標３２が映るようにする。
【００２６】
次にステップＳ１３にて回転（θｚ）方向の調整を行い、撮影画像６０および６１の両方とも基準指標３２が映るようθｚステージ６７を調整する。最後にステップＳ１４にて図８（ａ）のように両基準指標３２が撮影画像６０および６１の中央に映るように各ステージ６５〜６７を微調整してアライメントが完了する。
【００２７】
これによって、初回の撮影時に基準指標がカメラに映らなくても補助指標を検出および認識することで、アライメント動作が中断することなく、記録素子基板の位置合わせ時の支障を低減することができる液体吐出ヘッドを実現することができた。
【００２８】
（第２の実施形態）
以下、図面を参照して本発明の第２の実施形態を説明する。なお、本実施形態の基本的な構成は第１の実施形態と同様であるため、以下では特徴的な構成についてのみ説明する。
【００２９】
第１の実施形態では、各補助指標の形状を画像処理装置にパターン登録して、それぞれをパターンサーチしていたが、本実施形態においては、各補助指標のパターン登録およびパターンサーチを行わない例について説明する。本実施形態の構成は、第１の実施形態に対して、記録素子基板８の指標部３０および３１内の補助指標が異なる。
【００３０】
図９は、本実施形態の記録素子基板８の指標部付近を示した拡大図であり、補助指標７１〜７３はそれぞれ同一の台形形状をしており、それらの向きが異なっている。図９（ｂ）は、さらに基準指標３２および補助指標７１の一部を拡大した図であり、補助指標７１の台形形状の斜辺傾きは、両斜辺を延長した仮想線７４の交点が基準指標３２の中心３２ａと一致するようになっている。
【００３１】
次に、本実施形態のアライメントについて説明する。図１０は、アライメント時の撮影画像の模式図であり、アライメント完了時には、図１０（ａ）に示すように、撮影画像６０および６１の中央には各基準指標３２が映っている状態となる。図１０（ｂ）は最初に撮影した際の撮影画像の一例を示しており、撮影画像６０には補助指標７２の一部（部分的画像）が映っている。このような場合、図１０（ｂ）に示すように、画像処理装置のコントラスト差を検出するエッジ検出機能を用いて補助指標７２の斜辺を検出し、その斜辺の延長線７５および７６が交差する交点位置を算出する。先述したように、この交点位置は基準指標３２の中心位置と同じであるため、この交点位置が撮影画像中心となるような各ステージ６５〜６７の移動量が求められ、速やかにアライメントを行うことができる。
【００３２】
上記の例は、補助指標７２の一部が映った場合において説明したが、他の補助指標７１または７３の一部が映っている場合においても同様に、斜辺の延長線の交点を算出すれば基準指標３２の位置が求められる。
【００３３】
これによって、初回の撮影時に基準指標がカメラに映らなくても、補助指標の斜辺の傾きを検出することにより、基準指標の位置を特定できるため、記録素子基板の位置合わせ時の支障を低減することができる液体吐出ヘッドを実現することができた。
【００３４】
（第３の実施形態）
以下、図面を参照して本発明の第３の実施形態を説明する。なお、本実施形態の基本的な構成は第１の実施形態と同様であるため、以下では特徴的な構成についてのみ説明する。
【００３５】
第１の実施形態および第２の実施形態では、記録素子基板上に２つの指標部が存在する例について説明したが、本実施形態においては指標部が１つのみ存在する例について説明する。本実施形態の構成は、第１の実施形態に対して、記録素子基板８の指標部は指標部３０のみで、その内の補助指標が異なることと、アライメント方法が異なること以外は、第１の実施形態と同様である。
【００３６】
図１１（ａ）は、第３の実施形態の記録素子基板８の指標部３０付近拡大図であり、補助指標の形状は８０〜８７に示すように同一の二等辺三角形形状をしており、それらの向きが全て異なっている。各補助指標８０〜８７の向きは、二等辺三角形の頂角（等辺に挟まれた角）が基準指標３２を指すように形成されている。各指標サイズは図１１（ｂ）および（ｃ）に示すように、基準指標３２サイズはＸ，Ｙ両方向とも最外サイズが５０μｍであり、補助指標８０〜８７については、底辺が３０μｍ、高さが４０μｍである。また、基準指標３２と補助指標８０〜８７の各指標間距離は、Ｘ方向距離は全て０．７ｍｍ、Ｙ方向距離は全て０．５ｍｍに統一されており、これら９個の指標は略マトリックス状に形成されている。なお、これらの指標間距離は、基準指標３２はその中央、補助指標８０〜８７は頂角までの距離である。このような指標サイズおよび位置関係であれば、指標部３０を撮影した場合には、基準指標３２または補助指標８０〜８７のうち、少なくともいずれか１個の指標が撮影されることになる。
【００３７】
本実施形態では、画像処理装置に基準指標３２の形状、および、補助指標８０〜８７の形状である二等辺三角形の両形状をパターン登録しておき、撮影画像内において両パターンをパターンサーチする。ここで行うサーチは、登録した形状であればどんな向きに映っていても検出できるサーチであり、検出したパターンの向きもサーチ結果として得ることができる。
【００３８】
次に、本実施形態のアライメントについて、アライメント時の撮影画像の模式図である図１２を参照して説明する。図１２（ａ）は、最初に指標部３０を撮影した際の撮影画像の一例を示しており、撮影画像６０には補助指標８０が映っている。この場合、パターンサーチ結果より、補助指標８０の頂角が図の下側に向いていることが認識できるため、記録素子基板８を上方向に１画角分移動させることによって、基準指標３２を映すことができる。また、図１２（ｂ）のように補助指標８２が検出された場合は記録素子基板８を右側に、図１２（ｃ）のように補助指標８１が検出された場合は記録素子基板８を右側と上側に、それぞれ１画角分ずつ移動させることにより、基準指標３２を映すことができる。基準指標３２が検出できた後は、図１２（ｄ）のように撮影画像６０の略中央に基準指標３２が映るように記録素子基板８位置を微調整する。
【００３９】
上記の例は、補助指標８０，８１，８２が映った場合について説明したが、他の補助指標８３〜８７が映っている場合においても同様に、二等辺三角形の頂角の向きより、記録素子基板８を移動させる方向が決められる。
【００４０】
これによって、初回の撮影時に基準指標がカメラに映らなくても、補助指標の頂角の向きを検出することにより、基準指標の位置を特定できるため、記録素子基板の位置合わせ時の支障を低減することができる液体吐出ヘッドを実現することができた。
【符号の説明】
【００４１】
１  記録ヘッド
８  記録素子基板
３０  指標部
３１  指標部
３２  基準指標
３３  補助指標
３４  補助指標
３５  補助指標
６０  撮影画像
６１  撮影画像
７１  補助指標
７２  補助指標
７３  補助指標
８０  補助指標
８１  補助指標
８２  補助指標
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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