(57)【要約】【課題】耐衝撃性を向上させることができる振動片および振動デバイスを提供すること。【解決手段】振動片２は、基部２７と、基部２７からＹ軸方向に延出するとともに、Ｙ軸方向に直交するＸ軸方向に並んで設けられた２つの振動腕２８、２９と、各振動腕２８、２９に対して離間して設けられ、各振動腕２８、２９がＸ軸方向に曲げ変形されたときに、２つの振動腕２８、２９のうちの少なくとも１つの振動腕に接触して、それ以上の曲げ変形を阻止する阻止部（腕部２４、２５の先端部）とを有し、阻止部の少なくとも振動腕２８、２９が接触する部分には、衝撃吸収性を有する緩衝部２４１、２５１が設けられている。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基部と、
前記基部から第１の方向に延出するとともに、該第１の方向に直交する第２の方向に並んで設けられた複数の振動腕と、
前記各振動腕に対して離間して設けられ、前記各振動腕が前記第２の方向に曲げ変形されたときに、前記複数の振動腕のうちの少なくとも１つの振動腕に接触して、前記振動腕の曲げ変形を阻止する阻止部とを有し、
前記阻止部の少なくとも前記振動腕が接触する部分には、衝撃吸収性を有する緩衝部が設けられていることを特徴とする振動片。
【請求項２】
前記阻止部は、前記基部に連結または一体化されている請求項１に記載の振動片。
【請求項３】
前記複数の振動腕に対して前記第２の方向での両外側に設けられ、前記基部から前記第１の方向に延出する１対の外側腕部を有し、
前記阻止部は、前記各外側腕部の少なくとも先端部に設けられている請求項２に記載の振動片。
【請求項４】
前記各外側腕部の先端部は、前記曲げ変形により前記振動腕の先端部に接触する請求項３に記載の振動片。
【請求項５】
前記第１の方向および前記第２の方向にそれぞれ直交する第３の方向から見たときに、前記複数の振動腕を囲むように形成された枠部を有し、
前記阻止部は、前記枠部の内周面に設けられている請求項２ないし４のいずれかに記載の振動片。
【請求項６】
隣り合う２つの前記振動腕同士の間に設けられ、前記基部から前記第１の方向に延出する内側腕部を有し、
前記阻止部は、前記内側腕部の少なくとも先端部に設けられている請求項３ないし５のいずれかに記載の振動片。
【請求項７】
前記基部および前記複数の振動腕は、パッケージ内に収容されるものであり、
前記阻止部は、前記複数の振動腕のうちの最も外側の振動腕が前記第２の方向に曲げ変形して前記パッケージの内壁面に接触するのを防止する請求項１ないし６のいずれかに記載の振動片。
【請求項８】
前記緩衝部は、前記阻止部の表面付近に成膜されたものである請求項１ないし７のいずれかに記載の振動片。
【請求項９】
前記各振動腕には、その振動の共振周波数を調整する調整膜が設けられており、該調整膜の構成材料と前記緩衝部の構成材料とが同種である請求項８に記載の振動片。
【請求項１０】
前記阻止部は、前記振動腕の前記曲げ変形により前記調整膜と接触する請求項９に記載の振動片。
【請求項１１】
前記阻止部は、前記振動腕の前記曲げ変形により前記振動腕と面接触するように構成されている請求項１ないし１０のいずれかに記載の振動片。
【請求項１２】
前記阻止部は、前記振動腕の前記曲げ変形により前記振動腕の長手方向における複数位置と接触するように構成されている請求項１ないし１０のいずれかに記載の振動片。
【請求項１３】
請求項１ないし１２のいずれかに記載の振動片と、
前記振動片を収納するパッケージとを有することを特徴とする振動デバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動片および振動デバイスに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
水晶発振器等の振動デバイスとしては、複数の振動腕を備える音叉型の振動片を備えるものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
例えば、特許文献１に記載の振動片は、基部と、この基部から互いに平行となるように延出する２つの振動腕とを有する。
このような振動片は、通常、パッケージ内に収納された状態で使用され、接着剤によりパッケージに固定される。
また、特許文献１に記載の振動片は、その厚さ方向（振動腕が並ぶ方向に直交する方向）に衝撃を受けたときに、その衝撃を緩和する衝撃緩和部を有する。これにより、振動片をパッケージに収納した状態の振動片デバイスに振動片の厚さ方向に衝撃を受けたとき、振動腕とパッケージとが接触するのを防止することができる。
【０００３】
しかし、特許文献１に記載の振動片では、振動腕が並ぶ方向に衝撃を受けたとき、振動腕が、振動片の振動腕以外の部分や、パッケージに接触する場合がある。また、特許文献１に記載の振動片では、このような接触が生じた場合に、振動腕に対する衝撃を緩和する構成を有していない。そのため、特許文献１に記載の振動片をパッケージに収納した状態の振動デバイスでは、振動腕が並ぶ方向に衝撃を受けたとき、振動腕に割れや欠け等の損傷が生じるおそれがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−４９７４８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の目的は、耐衝撃性を向上させることができる振動片および振動デバイスを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
［適用例１］
本発明の振動片は、基部と、
前記基部から第１の方向に延出するとともに、該第１の方向に直交する第２の方向に並んで設けられた複数の振動腕と、
前記各振動腕に対して離間して設けられ、前記各振動腕が前記第２の方向に曲げ変形されたときに、前記複数の振動腕のうちの少なくとも１つの振動腕に接触して、前記振動腕の曲げ変形を阻止する阻止部とを有し、
前記阻止部の少なくとも前記振動腕が接触する部分には、衝撃吸収性を有する緩衝部が設けられていることを特徴とする。
【０００７】
このような本発明によれば、阻止部が各振動腕の第２の方向での所定量以上の曲げ変形を防止することができる。そのため、振動片が大きな衝撃を受けたときに、各振動腕が折れるのを防止することができる。
また、阻止部が振動腕と接触した際、振動腕に対する衝撃が緩衝部により吸収（緩和）されるので、振動腕の割れ、欠け等の損傷を防止することができる。
このようなことから、本発明に係る振動片は、優れた耐衝撃性を有する。
【０００８】
［適用例２］
本発明の振動片では、前記阻止部は、前記基部に連結または一体化されていることが好ましい。
これにより、振動片をエッチング等により形成する際に、振動腕や基部と同時に阻止部を形成することができる。また、阻止部と振動腕との位置関係を高精度に規定することができる。
【０００９】
［適用例３］
本発明の振動片では、前記複数の振動腕に対して前記第２の方向での両外側に設けられ、前記基部から前記第１の方向に延出する１対の外側腕部を有し、
前記阻止部は、前記各外側腕部の少なくとも先端部に設けられていることが好ましい。
これにより、振動腕に対する阻止部の離間距離を変えなくても、各外側腕部の長さに応じて、阻止部と振動腕とが接触するときにおける振動腕の第２の方向での曲げ変形量を調整することができる。そのため、振動腕の損傷を確実に防止することができるとともに、振動片の設計自由度が増す。また、外側腕部の幅や長さ等によっては、緩衝部の衝撃吸収性に加えて、外側腕部の曲げ弾性による衝撃吸収性によって、振動腕に対する衝撃を吸収することもできる。
［適用例４］
本発明の振動片では、前記各外側腕部の先端部は、前記曲げ変形により前記振動腕の先端部に接触することが好ましい。
これにより、各振動腕の第２の方向での曲げ変形量を抑えることができる。
【００１０】
［適用例５］
本発明の振動片では、前記第１の方向および前記第２の方向にそれぞれ直交する第３の方向から見たときに、前記複数の振動腕を囲むように形成された枠部を有し、
前記阻止部は、前記枠部の内周面に設けられていることが好ましい。
これにより、パッケージの一部を枠部で構成して、いわゆるチップサイズパケージを実現することができる。
【００１１】
［適用例６］
本発明の振動片では、隣り合う２つの前記振動腕同士の間に設けられ、前記基部から前記第１の方向に延出する内側腕部を有し、
前記阻止部は、前記内側腕部の少なくとも先端部に設けられていることが好ましい。
これにより、複数の振動腕が第２の方向にそれぞれ曲げ変形したときに、隣り合う２つの振動腕同士が接触するのを防止することができる。
【００１２】
［適用例７］
本発明の振動片では、前記基部および前記複数の振動腕は、パッケージ内に収容されるものであり、
前記阻止部は、前記複数の振動腕のうちの最も外側の振動腕が前記第２の方向に曲げ変形して前記パッケージの内壁面に接触するのを防止することが好ましい。
これにより、振動片をパッケージに収容した状態で使用したときに、振動腕の割れ、欠け等の損傷を防止することができる。
【００１３】
［適用例８］
本発明の振動片では、前記緩衝部は、前記阻止部の表面付近に成膜されたものであることが好ましい。
これにより、所望の位置に緩衝部を比較的簡単に設けることができる。
［適用例９］
本発明の振動片では、前記各振動腕には、その振動の共振周波数を調整する調整膜が設けられており、該調整膜の構成材料と前記緩衝部の構成材料とが同種であることが好ましい。
これにより、調整膜と緩衝部とを同時に形成することができる。そのため、振動片の製造工程の簡略化を図り、その結果、振動片の低コスト化を図ることができる。
【００１４】
［適用例１０］
本発明の振動片では、前記阻止部は、前記振動腕の前記曲げ変形により前記調整膜と接触することが好ましい。
これにより、振動腕が阻止部（緩衝部）に接触したときの衝撃吸収性を優れたものとすることができる。
【００１５】
［適用例１１］
本発明の振動片では、前記阻止部は、前記振動腕の前記曲げ変形により前記振動腕と面接触するように構成されていることが好ましい。
これにより、振動腕と阻止部とが接触したときに、振動腕に対して衝撃が局所的に加わるのを防止または緩和することができる。
【００１６】
［適用例１２］
本発明の振動片では、前記阻止部は、前記振動腕の前記曲げ変形により前記振動腕の長手方向における複数位置と接触するように構成されていることが好ましい。
これにより、振動腕と阻止部とが接触したときに、振動腕に対して衝撃が局所的に加わるのを防止または緩和することができる。
【００１７】
［適用例１３］
本発明の振動デバイスは、本発明の振動片と、
前記振動片を収納するパッケージとを有することを特徴とする。
これにより、耐衝撃性に優れた振動デバイスを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の第１実施形態に係る振動デバイスを示す断面図である。
【図２】図１に示す振動デバイスに備えられた振動片を示す上面図である。
【図３】（ａ）は、図２中のＡ−Ａ線断面図、（ｂ）は、図２中のＢ−Ｂ線断面図である。
【図４】図２に示す振動片の作用を説明する上面図である。
【図５】本発明の第２実施形態に係る振動デバイスに備えられた振動片を示す上面図である。
【図６】本発明の第３実施形態に係る振動デバイスに備えられた振動片を示す上面図である。
【図７】本発明の第４実施形態に係る振動デバイスに備えられた振動片を示す上面図である。
【図８】本発明の第５実施形態に係る振動デバイスに備えられた振動片を示す上面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の振動片および振動デバイスを添付図面に示す実施形態に基づいて詳細に説明する。
＜第１実施形態＞
図１は、本発明の第１実施形態に係る振動デバイスを示す断面図、図２は、図１に示す振動デバイスに備えられた振動片を示す上面図、図３は（ａ）は、図２中のＡ−Ａ線断面図、図３（ｂ）は、図２中のＢ−Ｂ線断面図、図４は、図２に示す振動片の作用を説明する上面図である。
【００２０】
なお、各図１〜４では、説明の便宜上、互いに直交する３つの軸として、Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸を図示している。また、以下では、Ｘ軸に平行な方向（第２の方向）を「Ｘ軸方向」、Ｙ軸に平行な方向（第１の方向）をＹ軸方向、Ｚ軸に平行な方向（第３の方向）をＺ軸方向と言う。また、以下の説明では、説明の便宜上、図１中の上側を「上」、下側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言う。
図１に示す振動デバイス１は、振動片２と、この振動片２を収納するパッケージ３とを有する。
以下、振動デバイス１を構成する各部を順次詳細に説明する。
【００２１】
（振動片）
まず、振動片２について説明する。
振動片２は、図２に示すような音叉型の振動片である。この振動片２は、振動基板２１と、この振動基板２１上に設けられた励振電極群２２、２３および接続電極４１、４２とを有している。
【００２２】
振動基板２１は、基部２７と、２つ（１対）の振動腕２８、２９と、１対の腕部２５とを有している。
振動基板（圧電体基板）２１は、圧電体材料で構成されている。
例えば、かかる圧電体材料としては、水晶、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム、ホウ酸リチウム、チタン酸バリウム等が挙げられる。特に、振動基板２１を構成する圧電体材料としては水晶が好ましい。水晶で振動基板２１を構成すると、振動基板２１の振動特性を優れたものとすることができる。また、エッチングにより高い寸法精度で振動基板２１を形成することができる。
【００２３】
このような振動基板２１において、基部２７は、Ｚ軸方向を厚さ方向とする板状をなしている。
そして、基部２７には、２つの振動腕２８、２９および２つの腕部２４、２５が接続されている。
２つの振動腕２８、２９は、互いに平行となるように基部２７からそれぞれ延出して設けられている。より具体的には、２つの振動腕２８、２９は、基部２７からそれぞれＹ軸方向に延出するとともに、Ｘ軸方向に並んで設けられている。
【００２４】
この振動腕２８、２９は、それぞれ、長手形状をなし、その基部２７側の端部（基端部）が固定端となり、基部２７と反対側の端部（先端部）が自由端となる。
また、振動腕２８、２９は、互いに同じ幅となるように形成されている。これにより、振動腕２８、２９を互いに反対方向に（逆相で）振動させたとき、振動漏れを少なくすることができる。
【００２５】
また、振動腕２８の先端部には、振動腕２８の振動の共振周波数を調整するための調整膜（重り）２８１が設けられている。同様に、振動腕２９の先端部には、振動腕２９の共振周波数を調整するための調整膜（重り）２９１が設けられている。この調整膜２８１、２９１の質量をそれぞれ調整することにより、振動腕２８、２９の共振周波数を調整することができる。
【００２６】
この各調整膜２８１、２９１は、振動腕２８、２９の先端部の表面に成膜された薄膜状をなしている。
また、各調整膜２８１、２９１の構成材料としては、振動腕２８、２９の先端部に成膜可能なものであれば特に限定されず、例えば、樹脂材料、金属材料を用いることができる。
【００２７】
なお、必要に応じて、振動腕２８、２９の各先端部には、基端部よりも横断面積が大きい質量部（ハンマーヘッド）を設けてもよい。この場合、振動片２をより小型なものとしたり、振動腕２８、２９の振動の周波数をより低めたりすることができる。
また、各振動腕２８、２９の横断面は、四角形をなしている。なお、各振動腕２８、２９の横断面形状は、四角形に限定されず、例えば、各振動腕２８、２９の上面および下面にＹ軸方向に沿った溝を形成することにより、Ｈ字状をなしていてもよい。
【００２８】
図３に示すように、このような振動腕２８上には、励振電極群２２が設けられ、また、振動腕２９上には、励振電極群２３が設けられている。
励振電極群２２は、通電により振動腕２８を屈曲振動（励振）させる機能を有する。また、励振電極群２３は、通電により振動腕２９を屈曲振動（励振）させる機能を有する。
このような励振電極群２２は、前述した振動腕２８の上面上に設けられた励振電極２２１と、振動腕２８の下面上に設けられた励振電極２２２と、振動腕２８の一方の側面上に設けられた励振電極２２３と、振動腕２８の他方の側面上に設けられた励振電極２２４とで構成されている。
【００２９】
励振電極２２１、２２２、２２３、２２４は、それぞれ、振動腕２８の基端付近から先端部付近まで延在している。また、励振電極２２１、２２２、２２３、２２４のＸ軸方向での幅が、それぞれ、Ｙ軸方向での全域に亘って一定となっている。
同様に、励振電極群２３は、前述した振動腕２９の上面上に設けられた励振電極２３１と、振動腕２９の下面上に設けられた励振電極２３２と、振動腕２９の一方の側面上に設けられた励振電極２３３と、振動腕２９の他方の側面上に設けられた励振電極２３４とで構成されている。
【００３０】
励振電極２３１、２３２、２３３、２３４は、それぞれ、振動腕２９の基端付近から先端部付近まで延在している。また、励振電極２３１、２３２、２３３、２３４のＸ軸方向での幅が、それぞれ、Ｙ軸方向での全域に亘って一定となっている。
このような励振電極２２１、２２２、２３３、２３４は、図示しない配線を介して後述する接続電極４１に電気的に接続されている。また、励振電極２２３、２２４、２３１、２３２は、図示しない配線を介して後述する接続電極４２に電気的に接続されている。
【００３１】
このような構成の振動片２においては、接続電極４１と接続電極４２との間に電圧を印加すると、励振電極２２１、２２２、２３３、２３４と、励振電極２２３、２２４、２３１、２３２が逆極性となるようにして、振動腕２８、２９にそれぞれＸ軸方向成分を含む方向の電圧が印加される。そして、圧電材料の逆圧電効果により、ある一定の周波数（共鳴周波数）で各振動腕２８、２９を屈曲振動させることができる。このとき、振動腕２８、２９は、互いに反対方向に屈曲振動される。
また、各振動腕２８、２９が屈曲振動すると、接続電極４１、４２間には、圧電材料の圧電効果により、ある一定の周波数で電圧が発生する。これらの性質を利用して、振動片２は、共鳴周波数で振動する電気信号を発生させることができる。
【００３２】
このような励振電極群２２、２３、接続電極４１、４２および配線（図示せず）は、それぞれ、アルミニウム、アルミニウム合金、銀、銀合金、金、金合金、クロム、クロム合金等の導電性に優れた金属材料により形成することができる。
また、これらの電極等の形成方法としては、スパッタリング法、真空蒸着法等の物理成膜法、ＣＶＤ等の化学蒸着法、インクジェット法等の各種塗布法等が挙げられる。
【００３３】
このような２つの振動腕２８、２９に対してＸ軸方向における両外側には、振動腕２８、２９と平行となるように、１対（２つ）の腕部（外側腕部）２４、２５が設けられている。
この２つの腕部２４、２５は、互いに平行となるように基部２７からそれぞれ延出して設けられている。より具体的には、２つの腕部２４、２５は、基部２７からそれぞれＹ軸方向に延出するとともに、Ｘ軸方向に並んで設けられている。
本実施形態では、腕部２４、２５は、その先端部が振動腕２８、２９の途中の部分に対向するような長さに設定されている。
また、腕部２４の先端部には、衝撃吸収性を有する緩衝部２４１が設けられている。同様に、腕部２５の先端部には、衝撃吸収性を有する緩衝部２５１が設けられている。
【００３４】
ここで、腕部２４、２５の先端部は、各振動腕２８、２９に対して離間して設けられ、各振動腕２８、２９がＸ軸方向に曲げ変形されたときに、振動腕２８、２９のうちの少なくとも１つの振動腕に接触して、それ以上の曲げ変形を阻止（規制）する阻止部（規制部）を構成する。
より具体的には、例えば、図４に示すように、パッケージ３がＸ軸方向の外力Ｆ（図４中左側から右側へ向かう方向の衝撃力）を受けたとき、振動腕２８、２９はＸ軸方向左側へ曲げ変形されるが、振動腕２８が腕部２４の先端部（阻止部）に接触して、それ以上の曲げ変形が阻止される。
このような腕部２４、２５の先端部（以下、単に「阻止部」とも言う）は、各振動腕２８、２９のＸ軸方向での所定量以上の曲げ変形を防止することができる。そのため、振動片２が大きな衝撃を受けたときに、各振動腕２８、２９が折れるのを防止することができる。
【００３５】
また、図４に示すように、この腕部２４の先端部（阻止部）の振動腕２８側の部分２４１１は、振動腕２８が腕部２４側にＸ軸方向に曲げ変形したときに、振動腕２８と接触する。同様に、腕部２５の先端部（阻止部）の振動腕２９側の部分２５１１は、振動腕２９が腕部２５側にＸ軸方向に曲げ変形したときに、振動腕２９と接触する。
このような腕部２４、２５の先端部（阻止部）の振動腕２８、２９が接触する部分２４１１、２５１１に衝撃吸収性を有する緩衝部２４１、２５１が設けられているので、腕部２４、２５の先端部（阻止部）が振動腕２８または２９と接触した際、振動腕２８、２９に対する衝撃が緩衝部２４１、２５１により吸収（緩和）されるので、振動腕２８、２９の割れ、欠け等の損傷を防止することができる。
このようにして、腕部２４、２５の先端部（阻止部）は、２つの振動腕２８、２９がＸ軸方向に曲げ変形してパッケージ３の内壁面に接触するのを防止する。これにより、振動片２をパッケージ３に収容した状態で使用したときに、振動腕２８、２９の割れ、欠け等の損傷を防止することができる。
【００３６】
また、腕部２４、２５の先端部（阻止部）は、その基部２７に連結または一体化されているので、振動片２をエッチング等により形成する際に、振動腕２８、２９や基部２７と同時に腕部２４、２５（阻止部）を形成することができる。また、腕部２４、２５と振動腕２８、２９との位置関係を高精度に規定することができる。
また、前述したような阻止部が各腕部２４、２５の少なくとも先端部に設けられていることにより、振動腕２８、２９に対する阻止部の離間距離を変えなくても、各腕部２４、２５の長さに応じて、阻止部と振動腕２８、２９とが接触するときにおける振動腕２８、２９のＸ軸方向での曲げ変形量を調整することができる。そのため、振動腕２８、２９の損傷を確実に防止することができるとともに、振動片２の設計自由度が増す。例えば、かかる曲げ変形量は、腕部２４、２５の長さを長くすれば、小さくなり、腕部２４、２５の長さを短くすれば、大きくなる。また、かかる曲げ変形量が同じであっても、腕部２４、２５の長さを短くすることにより、腕部２４と振動腕２８との離間距離、および、腕部２５と振動腕２９との離間距離をそれぞれ小さくすることができ、振動片２の小型化を図ることができる。また、腕部２４、２５の幅や長さ等によっては、緩衝部２４１、２５１の衝撃吸収性に加えて、腕部２４、２５の曲げ弾性による衝撃吸収性によって、振動腕２８、２９に対する衝撃を吸収することもできる。
【００３７】
また、腕部２４、２５の先端部（阻止部）の部分２４１１、２５１１は、それぞれ、振動腕２８、２９側を凸とする湾曲凸面をなしている。そのため、腕部２４の先端部（阻止部）は、前述したような振動腕２８の曲げ変形により振動腕２８と面接触する。同様に、腕部２５の先端部（阻止部）は、前述したような振動腕２９の曲げ変形により振動腕２９と面接触する。これにより、振動腕２８、２９と腕部２４、２５の先端部（阻止部）とが接触したときに、振動腕２８、２９に対して衝撃が局所的に加わるのを防止または緩和することができる。
【００３８】
また、緩衝部２４１、２５１は、腕部２４、２５の先端部（阻止部）の表面付近に成膜されたものである。これにより、所望の位置に緩衝部２４１、２５１を比較的簡単に設けることができる。
緩衝部２４１、２５１の形成方法としては、スパッタリング法、真空蒸着法等の物理成膜法、ＣＶＤ等の化学蒸着法、インクジェット法等の各種塗布法等が挙げられる。
【００３９】
また、各緩衝部２４１、２５１の構成材料としては、衝撃吸収性を有し、かつ、腕部２４、２５の表面に成膜可能なものであれば特に限定されず、例えば、樹脂材料、金属材料を用いることができる。
より具体的には、かかる樹脂材料としては、ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン−プロピレン共重合体、エチレン−酢酸ビニル共重合体（ＥＶＡ）等のポリオレフィン、環状ポリオレフィン、変性ポリオレフィン、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリスチレン、ポリアミド、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリカーボネート、ポリ−（４−メチルペンテン−１）、アイオノマー、アクリル系樹脂、ポリメチルメタクリレート、アクリロニトリル−ブタジエン−スチレン共重合体（ＡＢＳ樹脂）、アクリロニトリル−スチレン共重合体（ＡＳ樹脂）、ブタジエン−スチレン共重合体、ポリオキシメチレン、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）、エチレン−ビニルアルコール共重合体（ＥＶＯＨ）、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）、ポリシクロヘキサンテレフタレート（ＰＣＴ）等のポリエステル、ポリエーテル、ポリエーテルケトン（ＰＥＫ）、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリエーテルイミド、ポリアセタール（ＰＯＭ）、ポリフェニレンオキシド、変性ポリフェニレンオキシド、ポリサルフォン、ポリエーテルサルフォン、ポリフェニレンサルファイド、ポリアリレート、芳香族ポリエステル（液晶ポリマー）、ポリテトラフルオロエチレン、ポリフッ化ビニリデン、その他フッ素系樹脂、スチレン系、ポリオレフィン系、ポリ塩化ビニル系、ポリウレタン系、ポリエステル系、ポリアミド系、ポリブタジエン系、トランスポリイソプレン系、フッ素ゴム系、塩素化ポリエチレン系等の各種熱可塑性エラストマー、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、ユリア樹脂、メラミン樹脂、不飽和ポリエステル、シリコーン樹脂、ポリウレタン等、またはこれらを主とする共重合体、ブレンド体、ポリマーアロイ等が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて（例えば２層以上の積層体として）用いることができる。
また、かかる金属材料としては、アルミニウム、アルミニウム合金、銀、銀合金、金、金合金、クロム、クロム合金等が挙げられ、これらのうち１種または２種以上を組み合わせて（例えば２層以上の積層体として）用いることができる。
【００４０】
また、緩衝部２４１、２５１の構成材料は、前述した振動腕２８、２９に設けられた調整膜２８１、２９１の構成材料と同種であるのが好ましい。これにより、調整膜２８１、２９１と緩衝部２４１、２５１とを同時に形成することができる。そのため、振動片２の製造工程の簡略化を図り、その結果、振動片２の低コスト化を図ることができる。
また、緩衝部２４１、２５１の厚さ（平均厚さ）は、それぞれ、前述したような衝撃吸収性を発揮し得るものであれば、特に限定されないが、例えば、１〜１０００μｍであるのが好ましい。また、緩衝部２４１、２５１の厚さは、前述したように調整膜２８１、２９１と同時に形成する場合、調整膜２８１、２９１とほぼ同じにすることができる。
【００４１】
また、腕部２４と振動腕２８との離間距離、および、腕部２５と振動腕２９との離間距離は、それぞれ、振動腕２８、２９の所望の励振を妨げず、かつ、振動腕２８、２９の破損を防止し得るものであれば、特に限定されないが、例えば、振動腕２８、２９間の離間距離とほぼ等しく設定される。
このような腕部２４の下面上には、接続電極４２が設けられ、一方、腕部２５の下面上には、接続電極４１が設けられている。そして、後述するように、導電性接着剤３６ａ、３６ｂを介して電極３５ａ、３５ｂに電気的に接続されるとともに、パッケージ３のベース基板３１に固定されている。
【００４２】
（パッケージ）
次に、振動片２を収容・固定するパッケージ３について説明する。
パッケージ３は、図１に示すように、板状のベース基板３１と、枠状の枠部材３２と、板状の蓋部材３３とを有している。ベース基板３１、枠部材３２および蓋部材３３は、下側から上側へこの順で積層されており、ベース基板３１と枠部材３２、および、枠部材３２と蓋部材３３は、それぞれ、接着剤あるいはろう材等により接合されている。そして、パッケージ３は、ベース基板３１、枠部材３２および蓋部材３３で画成された内部空間３７に、振動片２を収納している。なお、パッケージ３内には、振動片２の他、振動片２を駆動する電子部品等を収納することもできる。
【００４３】
ベース基板３１の構成材料としては、絶縁性（非導電性）を有しているものが好ましく、例えば、各種ガラス、酸化物セラミックス、窒化物セラミックス、炭化物系セラミックス等の各種セラミックス材料、ポリイミド等の各種樹脂材料などを用いることができる。
また、枠部材３２および蓋部材３３の構成材料としては、例えば、ベース基板３１と同様の構成材料、Ａｌ、Ｃｕのような各種金属材料、各種ガラス材料等を用いることができる。特に、蓋部材３３の構成材料として、ガラス材料等の光透過性を有するものを用いた場合、振動片２に予め金属被覆部（図示せず）を形成しておくと、振動片２をパッケージ３内に収容した後であっても、蓋部材３３を介して前記金属被覆部にレーザーを照射し、前記金属被覆部を除去して振動片２の質量を減少させることにより（質量削減方式により）、振動片２の周波数調整を行うことができる。
【００４４】
また、ベース基板３１の上面には、一対のマウント電極３５ａ、３５ｂが内部空間３７に露出するように形成されている。このマウント電極３５ａ、３５ｂの上には、それぞれ、導電性粒子を含有するエポキシ系、ポリイミド系等の導電性接着剤３６ａ、３６ｂが塗布されて（盛られて）おり、さらに、この導電性接着剤３６ａ、３６ｂ上に、前述した振動片２が載置されている。これにより、振動片２（基部２７）がマウント電極３５ａ、３５ｂ（ベース基板３１）に確実に固定される。
【００４５】
なお、この固定は、導電性接着剤３６ａが振動片２の接続電極４１に接触するとともに、導電性接着剤３６ｂが振動片２の接続電極４２に接触するように、振動片２を導電性接着剤３６ａ、３６ｂ上に載置して行う。これにより、導電性接着剤３６ａ、３６ｂを介して、振動片２がベース基板３１に固定されるとともに、接続電極４１とマウント電極３５ａが導電性接着剤３６ａを介して電気的に接続されるとともに、接続電極４２とマウント電極３５ｂが導電性接着剤３６ｂを介して電気的に接続される。
この導電性接着剤３６ａ、３６ｂは、Ｚ軸方向から見たときに、振動片２の重心を通りＸ軸方向に延びる線分上に位置している。これにより、振動片２をＹ軸方向における一部分にてパッケージ３に対して固定する場合であっても、振動片２をパッケージ３に対して安定的に固定することができる。
【００４６】
また、ベース基板３１の下面には、４つの外部端子３４ａ、３４ｂ、３４ｃ、３４ｄが設けられている。
これら４つの外部端子３４ａ〜３４ｄのうち、外部端子３４ａ、３４ｂは、それぞれ、ベース基板３１に形成されたビアホールに設けられた導体ポスト（図示せず）を介してマウント電極３５ａ、３５ｂに電気的に接続されたホット端子である。また、他の２つの外部端子３４ｃ、３４ｄは、それぞれ、パッケージ３を実装用基板に実装するときに、接合強度を高めたり、パッケージ３と実装用基板との間の距離を均一化するためのダミー端子である。
このようなマウント電極３５ａ、３５ｂおよび外部端子３４ａ〜３４ｄは、それぞれ、例えば、タングステンおよびニッケルメッキの下地層に、金メッキを施すことで形成することができる。
【００４７】
なお、マウント電極３５ａ、３５ｂと接続電極４１、４２とを例えばワイヤーボンディング技術により形成された金属ワイヤー（ボンディングワイヤー）を介して電気的に接続してもよい。この場合、導電性接着剤３６ａ、３６ｂに代えて、導電性を有しない接着剤を介して、振動片２をベース基板３１に対して固定することができる。また、パッケージ３内部に電子部品を収納した場合、ベース基板３１の下面には、必要に応じて、電子部品の特性検査や、電子部品内の各種情報（例えば、振動デバイスの温度補償情報）の書き換え（調整）を行うための書込端子が形成されていてもよい。また、パッケージ３に対する振動片２の固定位置は、前述した腕部２４、２５に限定されず、例えば、基部２７であってもよい。
【００４８】
以上説明したような第１実施形態によれば、腕部２４、２５の先端部（阻止部）が各振動腕２８、２９のＸ軸方向での所定量以上の曲げ変形を防止することができる。そのため、振動片２が大きな衝撃を受けたときに、各振動腕２８、２９が折れるのを防止することができる。
また、この腕部２４、２５の先端部（阻止部）の振動腕２８または２９が接触する部分に衝撃吸収性を有する緩衝部２４１、２５１が設けられているので、腕部２４、２５の先端部（阻止部）が振動腕２８または２９と接触した際、振動腕２８、２９に対する衝撃が緩衝部２４１、２５１により吸収（緩和）されるので、振動腕２８、２９の割れ、欠け等の損傷を防止することができる。
このようなことから、振動片２は、優れた耐衝撃性を有する。
また、このような振動片２をパッケージ３内に収納した振動デバイス１も、優れた耐衝撃性を有する。
【００４９】
＜第２実施形態＞
次に、本発明の振動デバイスの第２実施形態について説明する。
図５は、本発明の第２実施形態に係る振動デバイスに備えられた振動片を示す上面図である。
以下、第２実施形態の振動デバイスについて、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
【００５０】
第２実施形態の振動デバイスは、阻止部および緩衝部の構成が異なる以外は、第１実施形態とほぼ同様である。なお、図５では、前述した実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。
本実施形態の振動デバイス１Ａは、図５に示すように、パッケージ３内に収納された振動片２Ａを有する。
【００５１】
この振動片２Ａでは、２つの振動腕２８、２９に対してＸ軸方向における両外側に、振動腕２８、２９と平行となるように、１対（２つ）の腕部（外側腕部）２４Ａ、２５Ａが設けられている。
この２つの腕部２４Ａ、２５Ａは、基部２７からそれぞれＹ軸方向に延出するとともに、Ｘ軸方向に並んで設けられている。
本実施形態では、腕部２４Ａ、２５Ａは、その先端部が振動腕２８、２９の先端部に対向するような長さに設定されている。
また、腕部２４Ａの先端部には、衝撃吸収性を有する緩衝部２４１Ａが設けられている。同様に、腕部２５Ａの先端部には、衝撃吸収性を有する緩衝部２５１Ａが設けられている。
【００５２】
ここで、腕部２４Ａ、２５Ａの先端部は、各振動腕２８、２９に対して離間して設けられ、各振動腕２８、２９がＸ軸方向に曲げ変形されたときに、振動腕２８、２９のうちの少なくとも１つの振動腕に接触して、それ以上の曲げ変形を阻止（規制）する阻止部（規制部）を構成する。
また、腕部２４Ａの先端部（阻止部）の振動腕２８側の部分２４１１Ａは、振動腕２８が腕部２４Ａ側にＸ軸方向に曲げ変形したときに、振動腕２８と接触する。同様に、腕部２５Ａの先端部（阻止部）の振動腕２９側の部分２５１１Ａは、振動腕２９が腕部２５Ａ側にＸ軸方向に曲げ変形したときに、振動腕２９と接触する。
【００５３】
このような振動片２Ａにあっては、衝撃を受けたとき、腕部２４Ａ、２５Ａの先端部が振動腕２８、２９の先端部に接触するので、各振動腕２８、２９のＸ軸方向での曲げ変形量を抑えることができる。また、腕部２４Ａ、２５Ａの曲げ剛性を高く設定すれば、腕部２４Ａ、２５Ａの先端部と振動腕２８、２９とが接触するときにおける振動腕２８、２９のＸ軸方向での曲げ変形量を高精度に規定することができる。一方、腕部２４Ａ、２５Ａの曲げ剛性を低く設定すれば、緩衝部２４１Ａ、２５１Ａの衝撃吸収性に加えて、腕部２４Ａ、２５Ａの曲げ弾性による衝撃吸収性によって、振動腕２８、２９に対する衝撃を効果的に吸収することもできる。また、腕部２４Ａ、２５Ａの曲げ剛性を低く設定すれば、振動腕２８、２９との接触あるいは外力により腕部２４Ａ、２５Ａを曲げ変形させた状態で振動腕２８、２９と面接触させることもできる。
【００５４】
また、前述したように、腕部２４Ａ、２５Ａの先端部が振動腕２８、２９の先端部に対向するので、腕部２４Ａ、２５Ａの先端部（阻止部）は、前述したような振動腕２８、２９のＸ軸方向での曲げ変形により振動腕２８、２９の調整膜２８１、２９１と接触する。これにより、振動腕２８、２９が阻止部（緩衝部２４１Ａ、２５１Ａ）に接触したときの衝撃吸収性を優れたものとすることができる。
以上説明したような第２実施形態によれば、前述した第１の実施形態と同様の効果を奏することができる。
【００５５】
＜第３実施形態＞
次に、本発明の振動デバイスの第３実施形態について説明する。
図６は、本発明の第３実施形態に係る振動デバイスに備えられた振動片を示す上面図である。
以下、第３実施形態の振動デバイスについて、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
第３実施形態の振動デバイスは、阻止部および緩衝部の構成が異なる以外は、第１実施形態とほぼ同様である。なお、図６では、前述した実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。
【００５６】
本実施形態の振動デバイス１Ｂは、図６に示すように、パッケージ３内に収納された振動片２Ｂを有する。
この振動片２Ｂでは、２つの振動腕２８、２９に対してＸ軸方向における両外側に、振動腕２８、２９と平行となるように、１対（２つ）の腕部（外側腕部）２４Ｂ、２５Ｂが設けられている。
この２つの腕部２４Ｂ、２５Ｂは、基部２７からそれぞれＹ軸方向に延出するとともに、Ｘ軸方向に並んで設けられている。
【００５７】
本実施形態では、腕部２４Ｂ、２５Ｂは、その先端部が振動腕２８、２９の先端部に対向するような長さに設定されている。
また、腕部２４Ｂ、２５Ｂは、互いの離間距離が基端側よりも先端側の方が広くなっている。
また、腕部２４Ｂの先端部には、衝撃吸収性を有する緩衝部２４１Ｂが設けられ、腕部２４Ｂの途中にも、衝撃吸収性を有する緩衝部２４２Ｂが設けられている。同様に、腕部２５Ｂの先端部には、衝撃吸収性を有する緩衝部２５１Ｂが設けられ、腕部２５Ｂの途中にも、衝撃吸収性を有する緩衝部２５２Ｂが設けられている。
【００５８】
ここで、腕部２４Ｂ、２５Ｂの先端部および途中部分は、各振動腕２８、２９に対して離間して設けられ、各振動腕２８、２９がＸ軸方向に曲げ変形されたときに、振動腕２８、２９のうちの少なくとも１つの振動腕に接触して、それ以上の曲げ変形を阻止（規制）する阻止部（規制部）を構成する。
また、腕部２４Ｂの先端部（阻止部）の振動腕２８側の部分２４１１Ｂは、振動腕２８が腕部２４Ｂ側にＸ軸方向に曲げ変形したときに、振動腕２８と接触する。これと同時に、腕部２４Ｂの途中（阻止部）の振動腕２８側の部分２４２１Ｂは、振動腕２８が腕部２４Ｂ側にＸ軸方向に曲げ変形したときに、振動腕２８と接触する。
同様に、腕部２５Ｂの先端部（阻止部）の振動腕２９側の部分２５１１Ｂは、振動腕２９が腕部２５Ｂ側にＸ軸方向に曲げ変形したときに、振動腕２９と接触する。これと同時に、腕部２５Ｂの途中（阻止部）の振動腕２９側の部分２５２１Ｂは、振動腕２９が腕部２５Ｂ側にＸ軸方向に曲げ変形したときに、振動腕２９と接触する。
【００５９】
このように、腕部２４Ｂ、２５Ｂの部分２４１１Ｂ、２４２１Ｂ、２５１１Ｂ、２５２１Ｂ（阻止部）は、前述したような振動腕２８、２９の曲げ変形により振動腕２８、２９の長手方向における複数位置と接触するように構成されている。これにより、振動腕２８、２９と腕部２４Ｂ、２５Ｂの部分２４１１Ｂ、２４２１Ｂ、２５１１Ｂ、２５２１Ｂ（阻止部）が接触したときに、振動腕２８、２９に対して衝撃が局所的に加わるのを防止または緩和することができる。
【００６０】
また、腕部２４Ｂ、２５Ｂの途中（阻止部）の部分２４２１Ｂ、２５２１Ｂは、それぞれ、振動腕２８、２９側を凸とする湾曲凸面をなしている。そのため、腕部２４Ｂの途中（阻止部）の部分２４２１Ｂは、前述したような振動腕２８の曲げ変形により振動腕２８と面接触する。同様に、腕部２５Ｂの途中（阻止部）の部分２５２１Ｂは、前述したような振動腕２９の曲げ変形により振動腕２９Ｂと面接触する。これにより、振動腕２８、２９と腕部２４Ｂ、２５Ｂの途中（阻止部）の部分２４２１Ｂ、２５２１Ｂとが接触したときに、振動腕２８、２９に対して衝撃が局所的に加わるのを防止または緩和することができる。
以上説明したような第３実施形態によれば、前述した第１の実施形態と同様の効果を奏することができる。
【００６１】
＜第４実施形態＞
次に、本発明の振動デバイスの第４実施形態について説明する。
図７は、本発明の第４実施形態に係る振動デバイスに備えられた振動片を示す上面図である。
以下、第４実施形態の振動デバイスについて、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
第４実施形態の振動デバイスは、阻止部および緩衝部の構成が異なる以外は、第１実施形態とほぼ同様である。なお、図７では、前述した実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。
【００６２】
本実施形態の振動デバイス１Ｃは、図７に示すように、パッケージ３内に収納された振動片２Ｃを有する。
この振動片２Ｃでは、２つの振動腕２８、２９の間に、振動腕２８、２９と平行となるように、基部２７からＹ軸方向に延出する１つの腕部（内側腕部）２６が設けられている。なお、前述した第１実施形態と同様、２つの振動腕２８、２９に対してＸ軸方向における両外側には、振動腕２８、２９と平行となるように、１対（２つ）の腕部（外側腕部）２４Ａ、２５Ａが設けられている。
【００６３】
本実施形態では、腕部２６は、その先端部が振動腕２８、２９の先端部に対向するような長さに設定されている。
また、腕部２６の先端部には、衝撃吸収性を有する緩衝部２６１が設けられている。
ここで、腕部２６の先端部は、各振動腕２８、２９に対して離間して設けられ、各振動腕２８、２９がＸ軸方向に曲げ変形されたときに、振動腕２８、２９のうちの少なくとも１つの振動腕に接触して、それ以上の曲げ変形を阻止（規制）する阻止部（規制部）を構成する。
【００６４】
また、腕部２６の先端部（阻止部）の振動腕２８側の部分２６１１は、振動腕２８が腕部２６側にＸ軸方向に曲げ変形したときに、振動腕２８と接触する。同様に、腕部２６の先端部（阻止部）の振動腕２９側の部分２６１２は、振動腕２９が腕部２６側にＸ軸方向に曲げ変形したときに、振動腕２９と接触する。
このような緩衝部２６１を有する腕部２６を振動腕２８、２９同士の間に設けることによって、振動腕２８、２９がＸ軸方向にそれぞれ曲げ変形したときに、隣り合う２つの振動腕２８、２９同士が接触するのを防止することができる。
以上説明したような第４実施形態によれば、前述した第１の実施形態と同様の効果を奏することができる。
【００６５】
＜第５実施形態＞
次に、本発明の振動デバイスの第５実施形態について説明する。
図８は、本発明の第５実施形態に係る振動デバイスに備えられた振動片を示す上面図である。
以下、第５実施形態の振動デバイスについて、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
第５実施形態の振動デバイスは、阻止部および緩衝部の構成が異なる以外は、第１実施形態とほぼ同様である。なお、図５では、前述した実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。
【００６６】
本実施形態の振動デバイスは、図８に示すように、パッケージ３内に収納された振動片２Ｄを有する。
この振動片２Ｄは、Ｚ軸方向から見たときに、基部２７と一体的に形成され、２つの振動腕２８、２９を囲むように形成された枠部３０を有する。
この枠部３０は、Ｚ軸方向から見たときに、Ｙ軸方向に平行な１対の辺およびＸ軸方向に平行な１対の辺で構成された四角環状をなしている。
【００６７】
この枠部３０のＹ軸方向に平行な１対の辺には、それぞれ、内側に突出する突出部３０１、３０２が設けられている。
この突出部３０１、３０２は、振動腕２８、２９の途中の部分に対向している。そして、突出部３０１には、衝撃吸収性を有する緩衝部３０３が設けられている。同様に、突出部３０２には、衝撃吸収性を有する緩衝部３０４が設けられている。
また、枠部３０の振動腕２８、２９の先端部に対向する部分３０５１、３０６１には、衝撃吸収性を有する緩衝部３０５、３０６が設けられている。
【００６８】
ここで、突出部３０１、３０２および枠部３０の振動腕２８、２９の先端部に対向する部分は、各振動腕２８、２９に対して離間して設けられ、各振動腕２８、２９がＸ軸方向に曲げ変形されたときに、振動腕２８、２９のうちの少なくとも１つの振動腕に接触して、それ以上の曲げ変形を阻止（規制）する阻止部（規制部）を構成する。
また、突出部３０１（阻止部）の振動腕２８側の部分３０３１は、振動腕２８が突出部３０１側にＸ軸方向に曲げ変形したときに、振動腕２８と接触する。これと同時に、枠部３０の振動腕２８に対向する部分３０５１は、振動腕２８が部分３０５１側にＸ軸方向に曲げ変形したときに、振動腕２８と接触する。
同様に、突出部３０２（阻止部）の振動腕２９側の部分３０４１は、振動腕２９が突出部３０２側にＸ軸方向に曲げ変形したときに、振動腕２９と接触する。これと同時に、枠部３０の振動腕２９に対向する部分３０６１は、振動腕２９が部分３０６１側にＸ軸方向に曲げ変形したときに、振動腕２９と接触する。
【００６９】
このような振動片２Ｄにあっては、前述したような阻止部が枠部３０の内周面に設けられているので、例えば、前述した第１実施形態のパッケージ３の枠部材３２の一部または全部を枠部３０とすることにより、振動デバイスの平面視での大きさを振動片２Ｄの平面視での大きさと同じにすることができる。これにより、いわゆるチップサイズパケージを実現することができる。
以上説明したような第５実施形態によれば、前述した第１の実施形態と同様の効果を奏することができる。
【００７０】
以上説明したような各実施形態の振動デバイスは、各種の電子機器に適用することができ、得られる電子機器は、信頼性の高いものとなる。
本発明の振動デバイスを備える電子機器としては、特に限定されないが、例えば、パーソナルコンピュータ（モバイル型パーソナルコンピュータ）、携帯電話機、ディジタルスチルカメラ、インクジェット式吐出装置（例えばインクジェットプリンタ）、ラップトップ型パーソナルコンピュータ、テレビ、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニタ、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシミュレータ等が挙げられる。
【００７１】
以上、本発明の振動片および振動デバイスを、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に、他の任意の構成物が付加されていてもよい。また、本発明は、前記各実施形態のうちの、任意の２以上の構成（特徴）を組み合わせたものであってもよい。
【００７２】
例えば、前述した実施形態では、振動片が２つの振動腕を有する場合を例に説明したが、阻止部は、複数の振動腕のうちの最も外側の振動腕がＸ軸方向に曲げ変形してパッケージの内壁面に接触するのを防止することができれば、これに限定されず、振動腕の数は、３以上であってもよい。
また、前述した実施形態では、阻止部が基部と一体的に形成された場合を例に説明したが、阻止部は、基部２７とは別体で構成されていてもよい。また、例えば、阻止部は、パッケージのベース基板上にＺ軸方向に突出する突起で構成されていてもよい。
【００７３】
また、前述した実施形態では、各振動腕が圧電体材料で構成され、各振動腕上に設けた励振電極に通電することにより各振動腕を励振させる構成を例に説明したが、これに限定されず、例えば、各振動腕上に、電極層、圧電体層、電極層をこの順で積層してなる圧電素子を設け、その圧電素子の伸縮により振動腕を振動させる構成であってもよい。
また、振動腕の振動方向は、前述した実施形態のものに限定されず、任意の振動方向の振動腕を有する振動片に本発明を適用することができる。
また、本発明の振動デバイスは、水晶発振器（ＳＰＸＯ）、電圧制御水晶発振器（ＶＣＸＯ）、温度補償水晶発振器（ＴＣＸＯ）、恒温槽付水晶発振器（ＯＣＸＯ）等の圧電発振器の他、ジャイロセンサー、弾性表面波（ＳＡＷ）フィルター等に適用される。
【符号の説明】
【００７４】
１‥‥振動デバイス  １Ａ‥‥振動デバイス  １Ｂ‥‥振動デバイス  １Ｃ‥‥振動デバイス  ２‥‥振動片  ２Ａ‥‥振動片  ２Ｂ‥‥振動片  ２Ｃ‥‥振動片  ２Ｄ‥‥振動片  ３‥‥パッケージ  ２１‥‥振動基板  ２２‥‥励振電極群  ２３‥‥励振電極群  ２４‥‥腕部  ２４Ａ‥‥腕部  ２４Ｂ‥‥腕部  ２５‥‥腕部  ２５Ａ‥‥腕部  ２５Ｂ‥‥腕部  ２６‥‥腕部  ２７‥‥基部  ２８‥‥振動腕  ２９‥‥振動腕  ２９Ｂ‥‥振動腕  ３０‥‥枠部  ３１‥‥ベース基板  ３２‥‥枠部材  ３３‥‥蓋部材  ３４ａ‥‥外部端子  ３４ｂ‥‥外部端子  ３４ｃ‥‥外部端子  ３４ｄ‥‥外部端子  ３５ａ‥‥マウント電極  ３５ｂ‥‥マウント電極  ３６ａ‥‥導電性接着剤  ３６ｂ‥‥導電性接着剤  ３７‥‥内部空間  ４１‥‥接続電極  ４２‥‥接続電極  ２２１‥‥励振電極  ２２２‥‥励振電極  ２２３‥‥励振電極  ２２４‥‥励振電極  ２３１‥‥励振電極  ２３２‥‥励振電極  ２３３‥‥励振電極  ２３４‥‥励振電極  ２４１‥‥緩衝部  ２４１Ａ‥‥緩衝部  ２４１Ｂ‥‥緩衝部  ２４２Ｂ‥‥緩衝部  ２５１‥‥緩衝部  ２５１Ａ‥‥緩衝部  ２５１Ｂ‥‥緩衝部  ２５２Ｂ‥‥緩衝部  ２６１‥‥緩衝部  ２８１‥‥調整膜  ２９１‥‥調整膜  ３０１‥‥突出部  ３０２‥‥突出部  ３０３‥‥緩衝部  ３０４‥‥緩衝部  ３０５‥‥緩衝部  ３０６‥‥緩衝部  ２４１１‥‥部分  ２４１１Ａ‥‥部分  ２４１１Ｂ‥‥部分  ２４２１Ｂ‥‥部分  ２５１１‥‥部分  ２５１１Ａ‥‥部分  ２５１１Ｂ‥‥部分  ２５２１Ｂ‥‥部分  ２６１１‥‥部分  ２６１２‥‥部分  ３０３１‥‥部分  ３０４１‥‥部分  ３０５１‥‥部分  ３０６１‥‥部分  Ｆ‥‥外力
【図１】
2014131352.tif 000003
【図２】
2014131352.tif 000004
【図３】
2014131352.tif 000005
【図４】
2014131352.tif 000006
【図５】
2014131352.tif 000007
【図６】
2014131352.tif 000008
【図７】
2014131352.tif 000009
【図８】
2014131352.tif 000010
【手続補正書】
【提出日】平成26年4月18日(2014.4.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基部と、
前記基部から延出し、先端部を有している一対の振動腕と、
固定部を有し、平面視で、前記一対の振動腕を間に挟み、且つ、前記一対の振動腕と離間して配置され、前記振動腕の延出方向に沿って前記固定部から延出している一対の腕部と、
を含み、
前記腕部は、前記先端部と対向していることを特徴とする振動片。
【請求項２】
請求項１において、
前記腕部の先端領域は緩衝作用を有することを特徴とする振動片。
【請求項３】
請求項１又は２において、
前記一対の振動腕は、互いに接近と離反とを交互に繰り返して屈曲振動することを特徴とする振動片。
【請求項４】
請求項３において、
前記腕部の先端領域は、
前記振動腕の前記屈曲振動の振幅の範囲外、
且つ、前記振動腕が前記振幅の範囲を越えて変位したときに前記振動腕と接触する位置に配置されていることを特徴とする振動片。
【請求項５】
請求項１乃至４の何れか一項において、
前記振動腕は、
前記先端部と前記基部との間に、平面視で、前記先端部よりも前記延出方向と交差する方向に沿った幅が小さい基部側領域を含むことを特徴とする振動片。
【請求項６】
請求項１乃至５の何れか一項において、
前記振動腕の互いに表裏の関係にある第１の主面及び第２の主面の少なくとも一方の主面には、前記延出方向に沿って溝が設けられていることを特徴とする振動片。
【請求項７】
請求項１乃至６の何れか一項において、
前記腕部の側面は、前記振動腕の前記先端部側に突出している部分を含むことを特徴とする振動片。
【請求項８】
請求項１乃至７の何れか一項に記載の振動片と、
前記振動片が配置されていると共に、前記固定部が取り付けられている基板と、
を備えていることを特徴とする振動子。
【請求項９】
請求項１乃至７の何れか一項に記載の振動片を備えていることを特徴とする発振器。
【請求項１０】
請求項１乃至７の何れか一項に記載の振動片を備えていることを特徴とするジャイロセンサー。
【請求項１１】
請求項１乃至７の何れか一項に記載の振動片を備えていることを特徴とする電子機器。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、振動片、振動子、発振器、ジャイロセンサーおよび電子機器に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
本発明の目的は、耐衝撃性を向上させることができる振動片、振動子、発振器、ジャイロセンサーおよび電子機器を提供することにある。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
本発明のある実施形態に係る振動片は、基部と、前記基部から延出し、先端部を有している一対の振動腕と、固定部を有し、平面視で、前記一対の振動腕を間に挟み、且つ、前記一対の振動腕と離間して配置され、前記振動腕の延出方向に沿って前記固定部から延出している一対の腕部と、を含み、前記腕部は、前記先端部と対向していることを特徴とする。
本発明のある別の実施形態に係る振動片では、前記腕部の先端領域は緩衝作用を有することを特徴とする。
本発明のある別の実施形態に係る振動片では、前記一対の振動腕は、互いに接近と離反とを交互に繰り返して屈曲振動することを特徴とする。
本発明のある別の実施形態に係る振動片では、前記腕部の先端領域は、前記振動腕の前記屈曲振動の振幅の範囲外、且つ、前記振動腕が前記振幅の範囲を越えて変位したときに前記振動腕と接触する位置に配置されていることを特徴とする。
本発明のある別の実施形態に係る振動片では、前記振動腕は、前記先端部と前記基部との間に、平面視で、前記先端部よりも前記延出方向と交差する方向に沿った幅が小さい基部側領域を含むことを特徴とする。
本発明のある別の実施形態に係る振動片では、前記振動腕の互いに表裏の関係にある第１の主面及び第２の主面の少なくとも一方の主面には、前記延出方向に沿って溝が設けられていることを特徴とする。
本発明のある別の実施形態に係る振動片では、前記腕部の側面は、前記振動腕の前記先端部側に突出している部分を含むことを特徴とする。
本発明のある実施形態に係る振動子は、前記振動片が配置されていると共に、前記固定部が取り付けられている基板と、を備えていることを特徴とする。
本発明のある実施形態に係る発振器は、本発明の振動片を備えていることを特徴とする。
本発明のある実施形態に係るジャイロセンサーは、本発明の振動片を備えていることを特徴とする。
本発明のある実施形態に係る電子機器は、本発明の振動片を備えていることを特徴とする。
［適用例１］
本発明の振動片は、基部と、
前記基部から第１の方向に延出するとともに、該第１の方向に直交する第２の方向に並んで設けられた複数の振動腕と、
前記各振動腕に対して離間して設けられ、前記各振動腕が前記第２の方向に曲げ変形されたときに、前記複数の振動腕のうちの少なくとも１つの振動腕に接触して、前記振動腕の曲げ変形を阻止する阻止部とを有し、
前記阻止部の少なくとも前記振動腕が接触する部分には、衝撃吸収性を有する緩衝部が設けられていることを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
［適用例１３］
振動デバイスは、本発明の振動片と、
前記振動片を収納するパッケージとを有することを特徴とする。
これにより、耐衝撃性に優れた振動デバイスを提供することができる。