(57)【要約】【課題】  フィルム状物を高品質で搬送でき、メンテナンス性を向上させた浮揚搬送装置を提供する。【解決手段】  浮揚搬送装置１０は、流体を噴出する複数の開口部１６が設けられた搬送面１５を備えてなり、所定の幅を有するフィルム状物Ｆを前記複数の開口部１６から噴出する流体の圧力によって前記搬送面１５から浮揚させつつ搬送するものであって、前記複数の開口部１６における前記流体の圧力を調整するシート状部材１７を前記搬送面１５に沿って配置している。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体を噴出する複数の開口部が設けられた搬送面を備えてなり、所定の幅を有するフィルム状物を前記複数の開口部から噴出する流体の圧力によって前記搬送面から浮揚させつつ搬送する浮揚搬送装置であって、
前記複数の開口部における前記流体の圧力を調整するシート状部材を前記搬送面に沿って配置することを特徴とする、
浮揚搬送装置。
【請求項２】
前記搬送面を有するチャンバを備えることを特徴とする、
請求項１に記載の浮揚搬送装置。
【請求項３】
前記チャンバは、樹脂材料であることを特徴とする、
請求項１または請求項２に記載の浮揚搬送装置。
【請求項４】
前記シート状部材は、少なくとも前記複数の開口部と重畳して配置されたフィルタ部材であることを特徴とする、
請求項１から請求項３のいずれかに記載の浮揚搬送装置。
【請求項５】
前記複数の開口部は互いに離間して設けられ、前記シート状部材は前記複数の開口部に対して前記搬送面と略平行な方向に移動可能に取り付けられることを特徴とする、
請求項１から請求項４のいずれかに記載の浮揚搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フィルムや、金属箔、織物、紙、テープ、粘着テープなどのフィルム状の物体、あるいはガラス板（液晶用ガラス基板など）や金属板の板状物（シリコン基板やプリント基板なども含む）、更には板厚の厚めの物体（以下、これらをまとめて単にフィルム状物という。）を流体によって浮揚させつつ搬送する浮揚搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、フィルム状物をエアなどの流体によって浮揚させつつ搬送する浮揚搬送装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。この浮揚搬送装置は、金属製のチャンバを備え、搬送面となるチャンバの表面には液体または気体などの流体を噴出する複数の開口部が設けられている。
【０００３】
この浮揚搬送装置によれば、搬送面に沿ってフィルム状物を配置し、搬送面の開口部からフィルム状物から流体を噴出することでフィルム状物を浮揚させつつ搬送できる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０００−１６６４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
浮揚搬送装置は、溶液中でのフィルム状物の搬送に際しても使用される場合がある。しかし、アルカリ性溶液や酸性溶液中等でフィルム状物を搬送する場合に特許文献１に記載のような金属製のチャンバを採用すると、金属が腐食する問題があった。
【０００６】
耐アルカリ性または耐酸性を得るためチャンバをプラスチック等の樹脂材料で構成することも可能である。しかしその場合、フィルム状物を浮遊させるための流体を噴出させる開口部（以下、噴出孔という）の大きさ（開口面積）は、現状では加工上の制約から、その狭小化に限界がある。
【０００７】
噴出孔の大きさがある程度大きい（例えば、樹脂材料で加工可能な程度に大きい）と、搬送するフィルム状物への噴出圧が大きくなりすぎる場合がある。このことは、金属製チャンバであっても同様である。そして噴出圧が大きすぎる場合は、フィルム状物に噴出孔の痕跡が残るなど、品質（商品価値）を下げる問題がある。
【０００８】
さらに、チャンバを溶液中で使用した場合には、細菌（バクテリア）等がチャンバ内部に発生しやすくなる。細菌等が発生した場合には、浮揚搬送装置の稼働を停止し、その都度チャンバを取り外して洗浄等を行わなければならず、メンテナンス工数やランニングコストが増加してしまう問題もある。
【０００９】
本発明は、上記課題を鑑みてなされたものであり、フィルム状物を高品質で搬送でき、メンテナンス性を向上させた浮揚搬送装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
（１）本発明は、流体を噴出する複数の開口部が設けられた搬送面を備えてなり、所定の幅を有するフィルム状物を前記複数の開口部から噴出する流体の圧力によって前記搬送面から浮揚させつつ搬送する浮揚搬送装置であって、前記複数の開口部における前記流体の圧力を調整するシート状部材を前記搬送面に沿って配置することを特徴とする、浮揚搬送装置である。
【００１１】
本発明によれば、シート状部材によりチャンバの内側から外側へ噴出する流体（気体又は液体）の圧力（噴出圧）を抑えることができるため、噴出孔の径（開口面積）が大きい場合であってもフィルム状物に噴出孔の痕跡を残すことなくこれを搬送できる。
【００１２】
また、噴出孔の大きさがある程度まで許容されるので、チャンバを樹脂材料で製造することができ、耐アルカリ性、耐酸性を高めることができる上、材料のコストが抑えられるため、浮揚搬送装置の製造コストを低減できる。
【００１３】
また、搬送するフィルム状物に応じてシート状部材を設定することで流体の噴出圧を変更できる。
【００１４】
（２）本発明はまた、前記搬送面を有するチャンバを備えることを特徴とする、上記（１）に記載の浮揚搬送装置である。
【００１５】
（３）本発明はまた、前記チャンバは、樹脂材料であることを特徴とする、上記（１）または（２）に記載の浮揚搬送装置である。
【００１６】
（４）本発明はまた、前記シート状部材は、少なくとも前記複数の開口部と重畳して配置されたフィルタ部材であることを特徴とする、上記（１）〜（３）のいずれかに記載の浮揚搬送装置である。
【００１７】
（５）本発明はまた、前記複数の開口部は互いに離間して設けられ、前記シート状部材は前記複数の開口部に対して前記搬送面と略平行な方向に移動可能に取り付けられることを特徴とする、上記（１）〜（４）のいずれかに記載の浮揚搬送装置である。
【００１８】
（６）本発明はまた、前記搬送面は曲面を含み、前記シート状部材は可撓性および復元性を有し、該シート状部材は前記曲面に合わせて撓ませた復元力で前記搬送面に当接して取り付けられることを特徴とする、上記（１）〜（５）のいずれかに記載の浮揚搬送装置である。
【発明の効果】
【００１９】
本発明の上記（１）〜（６）に記載の浮揚搬送装置によれば、フィルム状物を高品質で搬送でき、メンテナンス性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】（Ａ）は本発明の第１実施形態に係る浮揚搬送装置の正面図であり、（Ｂ）は浮揚搬送装置の外観斜視図である。
【図２】図１に示す浮揚搬送装置の断面図である。
【図３】図１に示す浮揚搬送装置の噴出孔の上面図である。
【図４】図１に示す浮揚搬送装置の搬送面の概略上面図であり、（Ａ）はシート状部材の使用開始時の状態を示し、（Ｂ）は所定期間使用後にシート状部材を移動した状態を示す。
【図５】図１に示す浮揚搬送装置の断面図である。
【図６】図１に示す浮揚搬送装置を適用した液中搬送システムに係る概略構成図である。
【図７】図１に示す浮揚搬送装置を適用した乾燥システムに係る概略構成図である。
【図８】本発明の第２実施形態に係る浮揚搬送装置を示す図であり（Ａ）搬送面の上面図であり、（Ｂ）浮揚搬送装置の概略断面図である。
【図９】本発明の第３実施形態に係る浮揚搬送装置の外観斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、図面を参照して、本発明の第１〜第４実施形態に係る浮揚搬送装置について詳細に説明する。
【００２２】
［第１実施形態］まず、図１〜図５を用いて第１実施形態に係る浮揚搬送装置１０の構成について説明する。図１（Ａ）は、浮揚搬送装置１０の正面図である。図１（Ｂ）は、浮揚搬送装置１０の外観斜視図である。図２は、図１（Ａ）のａ−ａ線における浮揚搬送装置１０の断面図である。図３は、搬送面１５に設けられた噴出孔１６の上面図であり、（Ａ）は、図１に示す浮揚搬送装置１０の噴出孔１６の上面図であり、（Ｂ）（Ｃ）はいずれも噴出孔１６の他の形態を示す上面図である。図４は、シート状部材の移動前後における搬送面の概略上面図であり、（Ａ）はシート状部材の使用開始時の状態を示し、（Ｂ）は所定期間使用後にシート状部材を移動した状態を示す。図５は、チャンバの内側にシート状部材を取り付けた様子を示す図１（Ａ）のａ−ａ線に相当する断面概要図である。なお、各図において、図面の簡略化のため、一部の構成の図示を適宜省略する。
【００２３】
図１に示す浮揚搬送装置１０は、本体となるエアチャンバ１２と、このエアチャンバ１２にブロア装置１１からのエアを供給する供給管１３と、を備えている。エアチャンバ１２は、所定の幅を有する一のフィルム状物Ｆ（二点鎖線で示す）をエアによって浮揚させつつ搬送する装置であり、走行するフィルム状物Ｆの途中に配置される。エアチャンバ１２の表面の一部は、フィルム状物Ｆの搬送面１５であり、搬送面１５には、図１（Ａ）のハッチングを付した領域に多数の開口部（以下、噴出孔１６という）が設けられる。浮揚搬送装置１０は、ブロア装置１１で圧縮されたエアの供給を受けて、当該エアを、噴出孔１６を介してフィルム状物Ｆに噴き付ける。あるいは、浮揚搬送装置１０を溶液内で使用する場合は、圧縮された液体の供給を受けて、当該液体を噴出孔１６を介してフィルム状物Ｆに吹き付ける。
【００２４】
これによりフィルム状物Ｆは、浮揚搬送装置１０の搬送面１５から浮揚しつつ（搬送面１５に非接触で）、所定方向に搬送される。フィルム状物Ｆは、エアチャンバ１２における幅方向の中心に全体に満たされるように配置される。なお、フィルム状物Ｆを走行させる駆動源（図示省略）としては、ＢＥＬＬＭＡＴＩＣ株式会社（東京都西多摩郡瑞穂町）が市販するサクションローラなどを採用できる。以下、浮揚搬送装置１０の各構成について説明する。
【００２５】
エアチャンバ１２は、例えば、断面視で釣鐘型（半円形、円弧状、ドーム型、または略Ｕ字型）をなす長尺形を呈し、基材は樹脂材料（例えば、ポリ塩化ビニル、ポリエチレン、ポリプロピレンなど）や金属箔等である。このエアチャンバ１２は、一側面に設けられた供給口（不図示）と、フィルム状物Ｆを搬送する搬送面１５と、を備えている。
【００２６】
供給口には、供給管１３が接続される。エアチャンバ１２内には、供給管１３を通じて供給口から、ブロア装置１１で圧縮されたエアが供給される。エアチャンバの他の側面は、蓋部材１４などで閉塞（密閉）されている。蓋部材１４は、後述するシート状部材（ここでは不図示）の着脱などのために、エアチャンバ１２に対して閉塞または開放可能に設けられている。
【００２７】
この搬送面１５は、矢印Ａ１からＡ２に向かう方向を、フィルム状物Ｆの搬送方向とする。すなわち、搬送面１５は、搬送方向を、矢印Ａ１からＡ２の方向に略１８０°転換する。
【００２８】
エアチャンバ１２の表面は、フィルム状物Ｆの幅方向中央に対応して搬送方向（Ａ１→Ａ２）に延びる中央領域Ｐと、幅方向において中央領域Ｐの両脇にそれぞれ位置して搬送方向に延びる一対の脇領域Ｑ，Ｒと、を有してなる。
【００２９】
中央領域Ｐには多数の噴出孔１６が穿設されて搬送面１５となる。搬送面１５（中央領域Ｐ）の幅は、フィルム状物Ｆの幅と比較して広くなるように設定されている。
【００３０】
一方、中央領域Ｐ外側の一対の脇領域Ｑ，Ｒはそれぞれ同等の幅であり、噴出孔１６は設けられない領域である。中央領域Ｐおよび一対の脇領域Ｑ，Ｒの幅は、それぞれ、フィルム状物Ｆの幅などによって適宜設定される。
【００３１】
図２を参照して、搬送面１５は例えば、断面視で半円弧形の曲面１５ａと、この曲面１５ａに滑らかに連続する一対の平面１５ｂと、からなり、フィルム状物Ｆと対向する。ここでは平面１５ｂは互いに非平行であるが、この形状に限らず互いに平行な面になる断面形状であってもよい。
【００３２】
ここでは搬送面１５は、一方（例えば、図面における右側）の平面１５ｂ、曲面１５ａ、他方（例えば、図面における左側）の平面１５ｂの順に流れる方向を、フィルム状物Ｆの搬送方向とする。
【００３３】
搬送面１５に設けられる噴出孔１６は、例えば、プレス打ち抜き加工（パンチング加工）やレーザ加工などによりエアチャンバ１２の基材を外表面１２ａ側から内表面１２ｂ側まで貫通させた孔である。
【００３４】
エアチャンバ１２に供給されたエアは、噴出孔１６を介してフィルム状物Ｆに向かって噴き付けられる。すなわち、フィルム状物Ｆの主面に対する略直交方向で当該フィルム状物Ｆを押し上げる方向の流れを形成して、フィルム状物Ｆを押し上げる。
【００３５】
フィルム状物Ｆは駆動源により所定の方向に引かれており、浮揚搬送装置１０によって押し上げられることで、搬送面１５と非接触の状態で、ここでは矢印Ａ方向からＢ方向に搬送方向を変更しつつ、搬送される。
【００３６】
本実施形態の浮揚搬送装置１０は、エアチャンバ１２の内表面１２ｂ側に、シート状部材１７が設けられる。シート状部材１７は、噴出孔１６から噴出するエアの圧力（噴出圧）を調整するものであり、より詳細には、シート状部材１７が設けられない場合と比較して噴出圧を低減するものである。シート状部材１７は、例えば繊維を主材料としたフィルタ部材（不織布）である。シート状部材１７は少なくともすべての噴出孔１６と重畳するように、エアチャンバ１２の内表面１２ｂに当接するか、内表面１２ｂと非接触であるがそのごく近傍に取り付けられる。
【００３７】
エアチャンバ１２内のエアはシート状部材１７を通過して噴出孔１６から排出されるが、シート状部材１７を通過する際に圧力損失が生じるため、噴出孔１６における噴出圧は、シート状部材１７を配置しない場合と比較して、低減する。
【００３８】
より詳細に説明すると、図２において、フィルム状物Ｆの一端（例えば、Ａ１側）を固定し、他端（例えば、Ａ２側）に加重してエアチャンバ１２の外表面１２ａにフィルム状物Ｆを密着させたと仮定する。この場合、エアチャンバ１２内（搬送面１５の内面）は静圧が掛かり、噴出孔１６の周辺はフィルム状物Ｆで塞がれているため静圧と動圧が掛かる。
【００３９】
この状態で、エアチャンバ１２の内表面１２ｂにシート状部材（フィルタ部材）１７を当接させて配置し、フィルム状物Ｆの加重を開放すると、エアチャンバ１２内に掛かっていた静圧（わずかな動圧も加わる）がエアがシート状部材１７を介して噴出孔１６から漏れ出し、その漏れ出したエアによってフィルム状物Ｆが搬送面１５から浮上する。
【００４０】
つまりエアチャンバ１２に供給されたエアは、シート状部材１７を通過した後、噴出孔１６を介してフィルム状物Ｆを静圧のみに近い状態で押し上げる。これにより、フィルム状物Ｆを安定して浮揚搬送することができる。換言すると、本実施形態では、フィルム状物Ｆを静圧のみに近い状態で押し上げられる程度に圧力損失を生じるシート状部材（フィルタ部材）１７が適宜選択される。
【００４１】
噴出孔１６の大きさ（開口面積または開口径）はエアの噴出圧に関わり、適切な範囲がある。駆動源にてフィルム状物Ｆが移動される場合、浮揚搬送装置１０は、フィルム状物Ｆが搬送面１５から浮揚して非接触な状態となっていれば十分である。搬送するフィルム状物Ｆに対して、噴出孔１６が大きすぎると噴出圧が大きくなりすぎ、フィルム状物Ｆに噴出痕が残るなど搬送製品の品質を劣化させる場合もあるため、噴出孔１６は必要最小限の大きさとすることが望ましい。
【００４２】
しかし、加工上の制約等により、噴出孔１６の開口面積の狭小化に限界がある場合がある。具体的には、エアチャンバ１２の基材が例えば樹脂材料の場合には、加工上可能な限り噴出孔１６の開口面積を小さくしたとしても、フィルム状物Ｆによっては噴出圧が大きすぎ、搬送によって噴出孔１６の痕跡（噴出痕）が残る場合がある。
エアチャンバ１２の基材が金属製であれば、噴出痕が残らない程度の小さな噴出孔１６を加工することも可能である。しかし、浮揚搬送装置１０を、アルカリ性溶液や酸性溶液などの薬液中で使用するような場合には、金属製のエアチャンバ１２では腐食してしまう問題がある。
【００４３】
本実施形態では、エアチャンバ１２の内側に設けたシート状部材１７によって、噴出孔１６から噴出するエアの圧力を抑制することができる。つまり、噴出孔１６が（噴出痕が残る可能性がある程度に）大きい場合（例えば、噴出孔１６の開孔率が５０％程度の場合）であっても、噴出圧を抑えて、噴出痕を残すことなくフィルム状物Ｆを高品質な状態で搬送することが可能となる。ここで、開孔率とは、全ての噴出孔１６の面積の合計を中央領域Ｐの面積で除してから１００を乗じた値とする。
【００４４】
したがって、噴出孔１６の狭小化には限界がある樹脂材料等でエアチャンバ１２を製造することができ、浮揚搬送装置１０として耐アルカリ性または耐酸性を高めることができる上、材料のコストが抑えられるため、浮揚搬送装置１０の製造コストを低減できる。
【００４５】
耐アルカリ性または耐酸性を有する樹脂材料でエアチャンバ１２を製造した場合、メッキライン等における使用も可能である。また、一例としてエアチャンバ１２がポリ塩化ビニル製の場合、常温（例えば５０℃〜６０℃）の環境下で使用でき、耐熱性のポリ塩化ビニル製の場合は８０℃程度までの環境下で使用できる。
【００４６】
また、エアチャンバ１２の基材が金属材料であっても、噴出圧の小さい噴出孔１６を加工するには、専用の装置が必要であるなどコストが高くなる場合がある。本実施形態によれば、噴出孔１６をある程度大きくできるので、製造コストを抑えることができる。
【００４７】
また、搬送するフィルム状物Ｆに応じて、シート状部材１７、すなわちフィルタ部材の材質や目の粗さ（対象粒子径）等を適宜設定することで差圧が変更できるので、１つのエアチャンバ１２において、噴出孔１６からの噴出圧を容易に変更できる。つまり、シート状部材１７を交換することで、静圧の大きさ（噴出孔１６を介して漏れ出すエアの量）が選択可能となるため、搬送面１５からのフィルタ状物Ｆの浮揚量を可変にすることができる。シート状部材１７の着脱（交換）は、エアチャンバ１２側面の蓋部１４（図１参照）を開放して容易に行うことができる。
【００４８】
更に、浮揚搬送装置１０を特に溶液中で使用する場合には、エアチャンバ１２の内部に細菌（バクテリア）等が発生しやすくなるが、本実施形態によればシート状部材（フィルタ部材）１７によりこれを捕集することができる。シート状部材１７は容易に交換可能であり、その都度、浮揚搬送装置１０の稼働を停止し、エアチャンバ１２を取り外して洗浄等を行う場合と比較してメンテナンス性を格段に向上させることができ、ひいてはランニングコストも低減できる。
【００４９】
図３および図４を参照して噴出孔１６について説明する。
【００５０】
まず図３（Ａ）を参照して、噴出孔１６はそれぞれ、上面視において略円形を呈し、互いに所定の間隔を空けて設けられている。各噴出孔１６の大きさは、特に限定されないが、例えばそれぞれ、面積０．２５πｍｍ２以上２５πｍｍ２以下であること、すなわち、π≒３．１４とすると、面積が０．７８５ｍｍ２以上７８．５ｍｍ２以下であることが好ましい。あるいは、径の最大値が１ｍｍ以上１０ｍｍ以下であることが好ましい。
【００５１】
噴出孔１６の開孔率は、所定の強度を維持する観点から８０％を超えないことが好ましく、６０％以下であることがより好ましい。
【００５２】
噴出孔１６は、行方向および列方向にそれぞれピッチを１つ分ずつずらした斜め配置また千鳥配置とする。なお、噴出孔１６の配置はこの例に限らず、例えば図３（Ｂ）の如く、搬送方向（Ａ１→Ａ２）において、同一線上に重なる噴出孔１６ができる限り少なくなるような斜め配置としてもよい。搬送方向において同一線上に重なる噴出孔１６を少なくすることで、フィルム状物Ｆに筋状に噴出痕が残ることをさらに抑制できる。また噴出孔１６の形状もこの例に限らず、例えば図３（Ｃ）の如く、搬送方向（Ａ１→Ａ２）に対して横長の角丸四角形状または楕円形状その他の丸形形状としてもよい。あるいは図示は省略するが、三角形、四角形などの多角形状としたり、スリットを構成するようにしてもよい。この場合も、搬送方向において同一線上に重なる噴出孔１６ができる限り少なくなるような配置とすると望ましい。
【００５３】
図４を参照して、本実施形態の噴出孔１６はその開口径と略同等の間隔ｐ１（ｐ２）で互いに離間して設けられ、シート状部材１７は噴出孔１６の全てと重畳するように取り付けられる。これにより図４（Ａ）で示すように、噴出孔１６からシート状部材１７（ここでは、ドットのハッチングを付して示している）が露出する状態となる。そして、シート状部材１７は搬送面１５（噴出孔１６）に対して搬送面１５と略平行な方向（搬送方向（Ａ１→Ａ２）、またはその逆方向（Ａ１←Ａ２））に移動可能に取り付けられる。
【００５４】
図４（Ａ）の状態で所定時間、浮揚搬送装置１０を稼働させることによってシート状部材１７の目詰まりが生じた場合には、図４（Ｂ）の如く、シート状部材１７を噴出孔１６の１ピッチ分移動させることにより、目詰まりが生じていない他の領域（図４（Ａ）において中央領域Ｐの噴出孔１６が形成されていない領域と重畳していた領域）を噴出孔１６と重畳させることができる。これにより、シート状部材１７の交換回数を低減することができる。
【００５５】
図５を参照して、シート状部材１７の取り付け方法について説明する。シート状部材１７は所定の可撓性および復元性を有しており、エアチャンバ１２の内表面１２ｂの形状に沿って変形が可能であるとともに、外力が加わっていない場合には、略平面状を維持する。これにより搬送面１５が曲面１５ａを含む場合であっても、搬送面１５に沿って取り付けることができる。
【００５６】
また取り付けの際には、搬送面１５（エアチャンバ１２の内表面１２ｂ）に合わせてシート状部材１７を撓ませてエアチャンバ１２内に挿入すると、シート状部材１７はその復元力によって搬送面１５の内表面１２ｂの少なくとも一部と当接する。これにより別途の固定部材等を用いることなくシート状部材１７を取り付けることができ、その着脱も容易となる。
【００５７】
尚、シート状部材１７はねじまたはビスなどの固定部材によって、エアチャンバ１２に機械的に固定されるものであってもよい。またその場合には、シート状部材１７は、復元力を持たない不織布などであってもよい。
【００５８】
次に、図６および図７を参照して、浮揚搬送装置１０の用途例について説明する。
【００５９】
［第１の用途例］まず、浮揚搬送装置の第１の用途例について、図６に基づいて説明する。図６は、浮揚搬送装置２０（２０Ａ〜２０Ｃ）を適用した液中搬送システム２６に係る概略構成図である。なお、浮揚搬送装置２０へのエアの供給経路の図示は適宜省略する。
【００６０】
図６に示す液中搬送システム２６は、所定の幅を有する一のフィルム状物Ｆを、酸性やアルカリ性を示す水溶液などの液体Ｌ中を浮揚搬送するシステムである。この場合、フィルム状物Ｆは、不図示の駆動源（例えば、サクションロール等）によって搬送方向（Ａ１→Ａ２）に移動する。浮揚搬送装置２０は、ポンプ２９で圧縮された液体Ｌの供給を受けて、当該液体Ｌをフィルム状物Ｆに噴き付ける。あるいは不図示のブロア装置で圧縮されたエアの供給を受けて、当該エアをフィルム状物Ｆに噴き付ける。なお、浮揚搬送装置２０の基本構成は、図１に示す本実施形態の浮揚搬送装置１０と同様であるので説明は省略する。
【００６１】
液中搬送システム２６は、システムの中核をなす液槽２８と、この液槽２８内に適宜配置され、液体に浸された複数の浮揚搬送装置２０Ａと、液槽２８から液体Ｌを回収し、回収した液体Ｌを各浮揚搬送装置２０Ａに供給するポンプ２９と、液槽２８内の液体面上方に適宜配置された二つの浮揚搬送装置２０Ｂと、液槽２８外に適宜配置された二つの浮揚搬送装置２０Ｃと、各浮揚搬送装置２０Ｂ、２０Ｃにエアを供給するブロア装置（図示省略）と、を備えている。
【００６２】
複数の浮揚搬送装置２０Ａは、液槽２８内に、上下に平行に、かつ、上下が互い違いとなるようにそれぞれ配置されている。これら複数の浮揚搬送装置２０Ａには、フィルム状物ＦがＳ字形を描くように巻き付けられる。これにより、液槽２８の省スペースを実現する。各浮揚搬送装置２０Ａに供給された液体Ｌは、フィルム状物Ｆに噴き付けられる。
【００６３】
液槽２８内の二つの浮揚搬送装置２０Ｂ、および液槽２８外の二つの浮揚搬送装置２０Ｃは、液槽２８におけるフィルム状物Ｆの入口２８ａまたは出口２８ｂの傍らに、それぞれ配置されている。各浮揚搬送装置２０Ｂ、２０Ｃは、それぞれ、断面視で９０°の円弧形を呈する曲面からなる搬送面（符号省略）を備え、各浮揚搬送装置２０Ｂ、２０Ｃには、フィルム状物ＦがＬ字形を描くように巻き付けられる。各浮揚搬送装置２０Ｂ、２０Ｃに供給されたエアは、フィルム状物Ｆに噴き付けられる。
【００６４】
このように、酸性やアルカリ性を示す水溶液などの液体Ｌによって浮揚搬送するシステムでは、溶液中で用いられる浮揚搬送装置２０Ａのチャンバの基材として、耐薬品性を有する樹脂材料が採用される。
【００６５】
樹脂材料の場合、噴出孔１６の狭小化には限界があり、フィルム状物Ｆに対して噴出圧が大きすぎる場合はフィルム状物Ｆに噴出痕を残す恐れがある。しかし本実施形態の浮揚搬送装置２０によれば、シート状部材１７により噴出圧を抑制することができ、高品質な状態を維持してフィルム状物Ｆを搬送することができる。
【００６６】
なお、ここで説明した液中搬送システム以外にも、洗浄、改質、またはメッキを行う装置などにも適用できる。
【００６７】
［第２の用途例］次に、浮揚搬送装置の第２の用途例について、図７に基づいて説明する。図７は、浮揚搬送装置３０（３０Ａ、３０Ｂ）を適用した乾燥システム３６に係る概略構成図である。なお、浮揚搬送装置３０へのエアの供給経路の図示は適宜省略する。
【００６８】
図７に示す乾燥システム３６は、フィルム状物Ｆをエアによって浮揚搬送しつつ乾燥させるシステムである。この乾燥システム３６は、システムの中核をなす乾燥炉３１と、この乾燥炉３１内に適宜配置された複数の浮揚搬送装置３０Ａと、これら複数の浮揚搬送装置３０Ａと共に乾燥炉３１内に適宜配置された二つの浮揚搬送装置３０Ｂと、乾燥炉３１からエアを回収し、回収したエアを圧縮してから各浮揚搬送装置３０に供給するブロア装置３５と、このブロア装置３５が回収するエアを濾過するフィルタ３２と、各浮揚搬送装置３０に供給されるエアを加熱するヒーター３３と、各浮揚搬送装置３０に供給されるエアの圧力を計測する圧力計３４と、を備えている。
【００６９】
複数の浮揚搬送装置３０Ａは、乾燥炉３１内に、上下に平行に、かつ、上下が互い違いとなるようにそれぞれ配置されている。これら複数の浮揚搬送装置３０Ａには、フィルム状物ＦがＳ字形を描くように巻き掛けられる。これにより、乾燥炉３１の省スペースを実現する。二つの浮揚搬送装置３０Ｂは、乾燥炉３１におけるフィルム状物Ｆの入口３１ａまたは出口３１ｂの傍らに、それぞれ配置されている。これら二つの浮揚搬送装置３０Ｂには、フィルム状物ＦがＬ字形を描くように巻き掛けられる。各浮揚搬送装置３０に供給されたエアは、フィルム状物Ｆに噴き付けられる。
【００７０】
［第２実施形態］次に、図８を用いて、第２実施形態に係る浮揚搬送装置４０の構成について説明する。図８（Ａ）は、浮揚搬送装置４０の１つの搬送面４５の上面図であり、図８（Ｂ）は、図８（Ａ）のＢ−Ｂ線断面図である。
【００７１】
なお、ここでは第２実施形態に係る浮揚搬送装置４０の特徴部分のみを説明し、第１実施形態に係る浮揚搬送装置１０と同様の構成、作用、および効果についての説明は省略する。
【００７２】
浮揚搬送装置４０は、一のフィルム状物Ｆをエアによって浮揚させつつ方向を変えることなく例えばＡ１からＡ２の方向に搬送する装置である。この浮揚搬送装置４０は、エアチャンバ４２と、供給管４３とを備えている。
【００７３】
図８（Ａ）を参照して、エアチャンバ４２は直方体の形を呈する。すなわちエアチャンバ４２の搬送面４５は、略平板（平面）状であり、フィルム状物Ｆと対向する。搬送面４５には複数の噴出孔４６が設けられる。
【００７４】
図８（Ｂ）を参照して、第２実施形態のエアチャンバ４２は、フィルム状物Ｆを挟んで対向配置される２つのエアチャンバ４２Ａ，４２Ｂからなる。エアチャンバ４２Ａ，４２Ｂの構成は同様である。エアチャンバ４２（４２Ａ，４２Ｂ）は、供給口（図示省略）と、フィルム状物Ｆを搬送する搬送面４５とを備えている。供給口には、供給管４３が接続される。エアチャンバ４２内には、供給管４３を通じて供給口から、ブロア装置４１で圧縮されたエアが供給される。そしてエアチャンバ４２ｂの内表面４２ｂ側に当接してシート状部材４７が取り付けられる。
【００７５】
エアチャンバ４２に供給されたエアは、シート状部材４７を通過し、圧力が抑制された状態で噴出孔４６を介してフィルム状物Ｆに噴き付けられる。
【００７６】
図示の如く、エアチャンバ４２内には、シート状部材４７をエアチャンバ４２の内表面４２ｂに当接させる補強部材４８を配置する。これにより、ブロア装置４１からエアチャンバ４２内にエアが供給されない状態においても、シート状部材４７をエアチャンバ４２内に固定しておくことができる。ブロア装置４１からエアチャンバ４２内にエアが供給されると、エアチャンバ４２の内圧が上昇し、エアチャンバ４２の内表面４２ｂにシート状部材４７が密着（当接）する。なお、補強部材４８は、全ての噴出孔４６から噴出するエアの圧力を均一に保つため、噴出孔４６を塞がない位置に設けることが望ましい。
【００７７】
また、補強部材４８を設けず、シート状部材１７をねじまたはビスなどの固定部材によってエアチャンバ１２に機械的に取り付けてもよい。またその場合、シート状部材４７は、可撓性や復元性を有さない部材（例えば、復元力を持たない不織布など）でもよい。
【００７８】
なお、第２実施形態では、２つのエアチャンバ４２Ａ、４２Ｂを対向配置した場合を例に示したが、いずれか一方のエアチャンバのみを設ける構成であってもよい。
【００７９】
［第３実施形態］次に、図９を用いて、第３実施形態に係る浮揚搬送装置５０の構成について説明する。図９は、浮揚搬送装置５０の外観斜視図である。
【００８０】
なお、ここでは第３実施形態に係る浮揚搬送装置５０の特徴部分のみを説明し、第１実施形態に係る浮揚搬送装置１０と同様の構成、作用、および効果についての説明は省略する。
【００８１】
図９に示す浮揚搬送装置５０は、螺旋状に巻き付けた一のフィルム状物Ｆをエアによって浮揚させつつ搬送する装置であり、ブロア装置５４Ａ，５４Ｂ，５４Ｃで圧縮されたエアの供給を受けて、当該エアをフィルム状物Ｆに噴き付ける。
【００８２】
この浮揚搬送装置５０は、本体となる第１エアチャンバ５２１と、この第１エアチャンバ５２１と共に本体となる一対の第２エアチャンバ５２２と、第１エアチャンバ５２１にブロア装置５４Ａからのエアを供給する供給管５３Ａと、一対の第２エアチャンバ５２２にブロア装置５４Ｂ，５４Ｃからのエアを供給する供給管５３Ｂ、５３Ｃと、を備えている。
【００８３】
第１エアチャンバ５２１は、円柱形を呈する。この第１エアチャンバ５２１は、供給口（図示省略）と、フィルム状物Ｆを搬送する搬送面５５１と、を備えている。
【００８４】
搬送面５５１は、円柱面５５ａの一部に螺旋状に設けられ、フィルム状物Ｆと対向する。搬送面５５１には複数の噴出孔５６が設けられる。そして第１エアチャンバ５２１の内表面５２１ｂ側にシート状部材５７Ａが取り付けられる。シート状部材５７Ａは、少なくともすべての噴出孔５６と重畳するように設けられる。すなわち、搬送面５５１に対応して長尺のシート状部材５７Ａを螺旋状に取り付けてもよいし、第１エアチャンバ５２１と同様の円筒形状のシート状部材５７Ａを、第１エアチャンバ５２１の内表面５２１ｂに沿って取り付けてもよい。
【００８５】
第１エアチャンバ５２１に供給されたエアは、シート状部材５７Ａを通過し、圧力が抑制された状態で噴出孔５６を介してフィルム状物Ｆに噴き付けられる。
【００８６】
第１エアチャンバ５２１はその形状によって、シート状部材５７Ａに外力を与えることも可能であるため、シート状部材５７Ａが可撓性および復元性を有する部材であれば、固定部材を用いることなく、第１エアチャンバ５２１に取り付けることも可能である。この場合、シート状部材５７Ａは、全ての噴出孔５６と重畳するように、螺旋状の搬送面５５１の幅Ｗよりも広い幅の長尺部材とする。また、シート状部材５７Ａと噴出孔５６とのずれを防止するため、固定部材でシート状部材を第１エアチャンバ５２１に取り付ける構成であってもよい。
【００８７】
第２エアチャンバ５２２は、断面視において４分の１円弧の扇形を呈する。この第２エアチャンバ５２２は、供給口（図示省略）と、フィルム状物Ｆを搬送する搬送面５５２、５５３をそれぞれ備え、フィルム状物Ｆの搬送方向を９０°転換する。
【００８８】
搬送面５５２、５５３は円弧状の曲面５５ａからなり、フィルム状物Ｆと対向する。搬送面５５２、５５３には複数の噴出孔５６が設けられる。そしてエアチャンバ５２２の内表面５２２ｂ側にシート状部材５７Ｂが取り付けられる。シート状部材５７Ｂの取り付け方法は、第１エアチャンバ５２１のシート状部材５７Ａと同様であり、少なくともすべての噴出孔５６と重畳するように設けられる。エアチャンバ５２１に供給されたエアは、シート状部材５７Ｂを通過し、圧力が抑制された状態で噴出孔５６を介してフィルム状物Ｆに噴き付けられる。
【００８９】
以上、複数の実施形態について説明したが、本発明は、上記各実施形態および上記用途例に限られるものではなく、その趣旨および技術思想を逸脱しない範囲で種々の変形が可能である。
【００９０】
すなわち、上記各実施形態において、搬送面は、流体を噴出する複数の開口部が設けられた平面、または、断面視で円弧形をなす曲面からなるが、円柱面、楕円柱面、または、断面視で楕円弧形をなす曲面からなるようにしてもよい。
【００９１】
あるいは、上記各実施形態において、互いに異なる所定の幅を有する二つ以上のフィルム状物から選択された一のフィルム状物を、浮揚させつつ搬送するようにしてもよい。
【００９２】
あるいは、上記各実施形態において、エアチャンバの内部の空間を、複数の領域の各々に対応するように仕切る仕切板（図示省略）を備えるようにしてもよい。この場合、各空間に対し、専用のブロア装置で圧縮されたエアを個別に供給することで、エアの供給を各領域の状況に応じて個別に制御できる。
【００９３】
あるいは、上記の実施形態において、エアの量を調整する複数の電磁弁と制御ユニットを備えるようにしてもよい。制御ユニットは、複数の電磁弁を制御する。電磁弁は、制御ユニットによる制御下において開閉され、各ブロア装置から供給されるエアの量を調節する。
【００９４】
あるいは、上記の実施形態においては、シート状部材１７は不織布等のフィルタ部材としたが、ネット（網）部材であってもよい。また、例えば、シート状部材１７に、エアチャンバ１２と同程度のサイズの通過孔を同等の間隔で複数形成し、エアチャンバ１２の１つの噴出孔１６の一部と１つの通過孔の一部とが重畳するようにシート状部材１７を配置して、結果として噴出孔１６を通過するエアの量を抑える構成としてもよい。この場合、シート状部材１７の移動量（噴出孔１６からのずらし量）によって噴出圧を容易に変更することができる。
【００９５】
あるいは、上記各実施形態および上記各用途例の構成を、可能な範囲で他の実施形態または他の用途例に適用してもよい。
【符号の説明】
【００９６】
１０，２０，３０，４０，５０  浮揚搬送装置
１２、４２、５２１、５２２  エアチャンバ
１５，２５，３５，４５，５５１，５５２，５５３  搬送面
１５ａ，５５ａ  曲面
１５ｂ  平面
１６、４６、５６、６６    噴出孔
１７、４７、５７Ａ、５７Ｂ  シート状部材
Ｆ１  フィルム状物
Ａ１，Ａ２  搬送方向
Ｐ  中央領域
Ｑ，Ｒ，  脇領域
Ｌ  液体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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