(57)【要約】【課題】ポンプの故障および寿命を予測する。【解決手段】ポンプ（１０４，２０２）を動作速度で最低動作間隔で動作させることによってポンプ（１０４，２０２）の機械動力指数（ＭＰＩ）を判定する。すなわち、ポンプ（１０４，２０２）をアプリケーション（１００）によって通常の動作で停止するとき、ポンプ速度を継続的にモニタリングする。ポンプ速度が動作速度に近い初期速度まで低下するときの時間を、初期時間として読み取る。ポンプ速度が臨界速度に近い最終ポンプ速度まで低下するとき、最終時間を読み取って、経過時間をΔｔ＝最終時間−初期時間として判定する。ＭＰＩは、初期ポンプ速度から最終ポンプ速度を減じて、Δｔで除した値として計算する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ポンプ（１０４，２０２）を試験する方法であって、
前記ポンプ（１０４，２０２）を動作速度で最低動作間隔で動作させるステップと、
ポンプ制動機能を開始するステップと、
ポンプ制動機能の開始から始めて、ポンプ速度を継続的にモニタリングするステップと、
前記ポンプ速度が前記動作速度に近く、かつ前記動作速度より小さい初期ポンプ速度まで低下させるときの初期時間ｔｉを読み取るステップと、
時間ｔｉの前記初期ポンプ速度を記憶するステップと、
前記ポンプ速度が臨界速度に近く、かつ前記臨界速度よりも大きい最終ポンプ速度まで低下するときの最終時間ｔｅを読み取るステップと、
機械動力指数（ＭＰＩ）を、
ＭＰＩ＝（初期ポンプ速度−最終ポンプ速度）／（ｔｅ−ｔｉ）
として判定するステップと、
前記ＭＰＩを使用して、前記ポンプ（１０４，２０２）の劣化状態を判定するステップと、
を含む方法。
【請求項２】
前記ポンプ制動機能を開始する前記ステップの前に、
前記ポンプ速度を動作速度まで上昇するステップと、
前記ポンプ速度を前記動作速度で全速フェーズ時間中維持するステップと、
前記ポンプ（１０４，２０２）を減速するステップを含む測定前自動サイクルを行うステップと、
前記測定前自動サイクルを所定の自動サイクル数繰り返すステップと、
をさらに含む請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記ポンプ速度をモニタリングする前記ステップは、
前記ポンプ（１０４，２０２）に配置されている加速度計から加速度計の出力値を読み取るステップ
を含む、請求項１または請求項２に記載の方法。
【請求項４】
経過時間Δｔ＝ｔｅ−ｔｉよりも大きい期間の一定時間間隔で複数の回転速度値を取得することによって時間対回転速度のグラフ（３００）を作成するステップと、
前記複数の回転速度値を前記対応する一定時間間隔で描くステップと、
をさらに含む、請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の方法。
【請求項５】
前記ポンプ（１０４，２０２）を動作させる前記ステップを、真空状態で最低動作間隔で行うステップ
をさらに含む、請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の方法。
【請求項６】
前記ＭＰＩを使用して前記ポンプの劣化状態を判定する前記ステップは、
前記ポンプ（１０４，２０２）を作動時間にわたり動作させるステップと、
前記作動時間後、前記ポンプ試験を行って２回目のＭＰＩを計算するステップと、
前記２回目のＭＰＩと前記最初のＭＰＩを比較するステップと、
前記２回目のＭＰＩが前記最初のＭＰＩよりも大きい場合、前記ポンプ（１０４，２０２）のポンプ劣化状態を示すステップと、
をさらに含む、請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の方法。
【請求項７】
ポンプ試験を行うシステム（２００）であって、
ポンプ試験を実行し、通信インターフェースを介してポンプ（１０４，２０２）にポンプ制御機能を通信するように構成されているコマンド信号を送信し、さらに前記通信インターフェースを介して前記ポンプ（１０４，２０２）から受信したデータを処理するように構成されているポンプコントローラ（２１０）と、
前記通信インターフェースを介して前記ポンプ（１０４，２０２）と前記ポンプコントローラ（２１０）との間で通信するように構成されて、ポンプ速度を感知するために前記ポンプ（１０４，２０２）に近接して取り付けられている速度センサまでの速度感知信号路を備えるデータ取得・制御インターフェースとを備えており、
前記ポンプコントローラ（２１０）は、請求項１〜請求項６のいずれか１項に記載の前記ステップに従い前記ポンプ試験を行うように構成されているシステム（２００）。
【請求項８】
前記ポンプコントローラ（２１０）は、アプリケーション（１００）で前記ポンプ（１０４，２０２）を動作させるためにポンプ制御機能を行うように構成されている、請求項７に記載のシステム（２００）。
【請求項９】
前記ポンプコントローラ（２１０）は、前記アプリケーション（１００）のシステムコントローラと動作を統合するためのシステムインターフェースを備える、請求項８に記載のシステム（２００）。
【請求項１０】
前記ポンプコントローラ（２１０）は、前記ＭＰＩを前記ポンプ（１０４，２０２）の以前に測定したＭＰＩとともにメモリに記憶するように構成されている、請求項７から請求項９のいずれか１項に記載のシステム（２００）。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一般的にポンプを試験する方法およびシステムに関し、より具体的にはポンプの寿命および摩耗を予測する方法およびシステムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ポンプは液体（または気体）を収容するようになされている一種の導管から液体を移動するために多様な設定で使用される。いくつかの種類のポンプは、高精密で長い耐用時間を要する環境で使用される機器へと発展している。例えば、ターボ分子ポンプは、チャンバ内を真空にするために使用される。ターボ分子ポンプは、通例、高回転速度で動作し、真空チャンバから孤立分子を移動させる長時間動作させる必要があろう。通例、ターボ分子ポンプは、物質をチャンバから完全に移動させるため、気体をチャンバからバッキングポンプを有する導管に移動させる。真空が形成されると、ポンプは真空状態にとどまって真空を維持する必要がある。
【０００３】
他の機器と同様に、ターボ分子ポンプは、使用してある程度の時間が経過すると故障する。ターボ分子ポンプの故障は多大な費用を要するおそれがある。ポンプの交換には動作していたアプリケーションをシャットダウンする必要がある。アプリケーションが生産ラインに関わる場合には、シャットダウンは生産の遅延と生産量の減少を意味する。真空の低下で製品が使えなくなる場合には、故障により処分しなければならない製品の損失も招くであろう。他の種類のアプリケーションでも追加費用および非効率を伴う同様な状況が存在するであろう。
【０００４】
ターボ分子ポンプはポンプの設計および製造中に長期寿命の評価のために試験される。しかし、これらの試験は大量のサンプル量を伴い、統計上有意なサンプル量を得るためには１年またはそれ以上までの長期間を要し、市場への参入が遅れ、開発および製造の両方の費用が増すであろう。試験をすべてしても、個々のポンプを故障するときを判断することはやはり不可能である。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
前記事情に鑑みて、ポンプの故障および寿命を予測するポンプ試験法に継続的なニーズがある。
【０００６】
本発明は、ポンプを試験する方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のポンプの試験は、ポンプの機械動力指数（ＭＰＩ）の判定を含む。ＭＰＩはポンプをフル動作速度で最低動作間隔で動作させることにより判定する。ポンプを真空状態でアプリケーションにより通常の動作で停止するとき、ポンプの速度を継続的にモニタリングする。ポンプの速度が動作速度に近い初期速度に低下するとき、時間ｔ＝０の初期ポンプ速度を記憶する。ポンプ速度が臨界速度に近い最終ポンプ速度に低下するとき、経過時間を読み取り、ｔ＝Δｔとして記憶する。ＭＰＩは、初期ポンプ速度から最終ポンプ速度を引いて、Δｔで除して計算する。ＭＰＩはポンプの寿命の間、ポンプが劣化してきているときを判定するために使用することができる。
【０００８】
本発明の他の機器、装置、システム、方法、特徴および利点は、以下の図面および詳細な説明を検討すると当業者には明らかである、または明らかになる。当該追加のシステム、方法、特徴および利点はすべて本明細書に含まれ、本発明の範囲内であり、添付の請求項によって保護されることが意図される。
【０００９】
本発明は、以下の図面を参照するとより一層理解できる。図面のコンポーネントは必ずしも縮尺通りではなく、むしろ本発明の原理を例示することを重要視している。図面において、同じ参照番号はさまざまな図を通して対応する部品を表す。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】ポンプ試験の実施態様を使用して、寿命中に試験してもよいポンプを実装しているアプリケーションの模式図である。
【図２】寿命動作中にポンプを試験するシステムの動作を示す模式図である。
【図３】図２を参照して説明されるポンプ試験を行った結果を示すグラフの一実施例である。
【図４】ポンプを試験する方法の動作を示すフローチャートである。
【図５】ポンプ試験中に取得したデータの分析を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
本明細書で使用する場合、「臨界速度」という用語は、ポンプの動作が不安定になるポンプの回転速度をいう。臨界速度では、ポンプの不安定性は閾値を超える不均衡のレベルに達している。
【００１２】
本明細書で使用する場合、「全速」という用語は、ポンプが１つの高速度で動作するように構成されている場合のポンプの動作速度をいう。
【００１３】
図１は、ポンプ試験の実施態様において、寿命動作(lifetime operation)中に試験されるポンプ１０４を実装するアプリケーション１００を示す模式図である。図１のアプリケーション１００はポンプ１０４を使用してチャンバ１０２を真空にする。ポンプ１０４は真空にするのに適したどのようなポンプでもよい。例示のために、本明細書のポンプはターボ分子ポンプを想定している。
【００１４】
ポンプ１０４はポンプハウジング１０６によって形成されているポンプチャンバ１１０を含む。ポンプチャンバ１１０はモータ１０７によって制御される複数の回転ブレード１１２を収容している。ポンプ１０４は回転ブレード１１２の回転運動を安定させる軸受（図示せず）を含む。
【００１５】
動作中、回転ブレード１１２はモータ１０７によって回転されて、気体１０８をチャンバ１０２からポンプチャンバ１１０に引き込む。回転ブレード１１２は気体１０８を、ポート１４０まで延びている導管１３０に移動させ、ポート１４０を通して気体１０８がチャンバ１０２から吐き出されることによって、チャンバ１０２を真空にする、および／または維持する。
【００１６】
ポート１４０から気体１０８の移動をさらに助けるために、導管１２０にバッキングポンプ１２０を追加してもよい。バッキングポンプ１２０は、第２のターボ分子ポンプとしてもよく、またはバッキングポンプとして作用する他の適したポンプとしてもよい。
【００１７】
通例、図１に図示する動作は、ポンプ１０４が高回転速度で動作する実質的な期間中、チャンバ１０２の真空を維持する必要性に基づく。実施態様では、ポンプ１０４は、ポンプ１０４の寿命を予測し、ポンプ１０４が劣化し始めているときを示すポンプ試験を行うように制御してもよい。ポンプ試験により、劣化してきているポンプの計画的な交換が行え、ポンプ１０４が動作中に故障する状況を避けるのに役立つ。
【００１８】
ポンプ試験は、ポンプ１０４がオンラインで動作中に行ってもよい。ポンプ試験を行うためのハードウェアおよびソフトウェアコンポーネント（図２を参照して以下説明する）は、ポンプ１０４の動作を制御するために設けられているハードウェアおよびソフトウェアと統合されてもよい。ポンプ試験は、ポンプ１０４を稼動させた後に、ポンプ１０４を制御するシステムに含めるための改造キットの一部にしてもよい。
【００１９】
図２は、寿命動作中にポンプ２０２を試験するシステム２００の動作を示す模式図である。図２のシステム２００はポンプコントローラ２１０と、データ取得・制御インターフェース２１２とを含む。ポンプ２０２は、バッキングポンプ２０４に物質を圧送するように構成されている状態を示す。
【００２０】
データ取得・制御インターフェース２１２は、ポンプ２０２とポンプコントローラ２１０との間の通信を提供する通信インターフェースの一部として実装してもよい。データ取得・制御インターフェース２１２は、ポンプの速度を感知するためにポンプ２０２の近傍に取り付けられているスピンセンサに接続されているスピン感知信号路を含む。実施態様では、スピンセンサは加速度計である。
【００２１】
ポンプコントローラ２１０は、アップグレード時または改造時に、すでに動作中のポンプに追加されるポンプ試験モジュールとして動作するように構成してもよい。ポンプコントローラ２１０は、ポンプ２０２を使用しているアプリケーション１００（図１）を実施するシステムによって使用するための一般ポンプ制御動作も含んでもよい。ポンプ試験機能はポンプコントローラ２１０の一般ポンプ制御動作と統合してもよく、これをさらに１製品としてポンプ２０２と統合してもよい。
【００２２】
ポンプ試験機能は、図１のチャンバ１０２の真空を要するアプリケーション１００の部分である高位システム制御動作でポンプコントローラ２１０によって行ってもよい。高位システム制御動作はポンプ２０２とインターフェースをとって、ポンプを制御するとともにポンプ２０２から情報（ポンプ速度など）を取得してもよい。
【００２３】
図２のポンプコントローラは、機械動力指数（ＭＰＩ；mechanical power index）を計算して、ポンプの状態、ポンプが劣化してきているかどうかを判定し、および／またはポンプの寿命を予測するために使用するポンプ試験機能を含む。
【００２４】
本明細書において、ＭＰＩとは、停止していくときに、機械動力に関して、ポンプ２０２内部で使用される軸受の状態を数値化する指標である。ＭＰＩは、真空状態でポンプ制動機能を働かせ、ポンプ２０２が停止していくときのポンプ２０２の回転速度を測定し、所定のポンプ速度間の時間間隔を判定することによって計算される。ポンプが減速するときに測定される回転速度を収集して、ＭＰＩの計算に使用されるデータとともに分析する。初期時間ｔｉは、初期ポンプ速度に到達する時間として識別され、初期ポンプ速度とはポンプ２０２の動作速度に近い所定の回転速度である。
【００２５】
初期ポンプ速度は、ポンプ２０２の寿命中にポンプ試験を行うときに使用するための所与のポンプ２０２について判定し、定義してもよい。ポンプ２０２の寿命の始めに動作のためにポンプ試験が組み込まれている実施態様では、初期ポンプ速度はポンプ２０２について判定される動作速度の関数として判定してもよい。動作中のポンプにポンプ試験が追加される実施態様では、初期ポンプ速度は動作中のポンプ速度をモニタリングすることによって判定してもよい。
【００２６】
ポンプ試験中、初期ポンプ速度が判定されたら、ポンプ速度が最終ポンプ速度に減速するまでの時間を測定する。最終時間ｔｅは、最終ポンプ速度に到達した時間として識別してもよい。最終ポンプ速度とは臨界速度に近いが、臨界速度よりも大きい速度である。臨界速度とは、ロータブレードの不均衡が不安定な動作を引き起こす速度である。初期ポンプ速度および最終ポンプ速度は、ポンプ２０２の寿命中にポンプ試験を行うときに使用するための所与のポンプ２０２について判定して、定義してもよい。
【００２７】
ポンプ２０２の寿命の始めに動作のためにポンプ試験が組み込まれている実施態様では、初期ポンプ速度はポンプ２０２について判定される動作速度の関数として判定してもよく、最終ポンプ速度はポンプ２０２について判定される臨界速度の関数として判定してもよい。動作中のポンプにポンプ試験が追加される実施態様では、初期ポンプ速度および最終ポンプ速度は、動作中にポンプ速度をモニタリングすることによって判定してもよい。
【００２８】
初期ポンプ速度および最終ポンプ速度は、それぞれ動作速度および臨界速度「に近い」速度にするべきであることに留意する。各パラメータに選択される実際の値は重要ではない。ポンプはポンプの寿命中に期待範囲内の動作速度を有すると評価または特徴付けされてもよい。初期ポンプ速度の値は、期待範囲に基づいた最低期待動作速度を下回ると判定されてもよい。同様に、ポンプの臨界速度は期待範囲内で変わると予想されてもよい。最終ポンプ速度の値は期待範囲に基づいた最高期待臨界速度よりも大きいと判定されてもよい。
【００２９】
ＭＰＩは、初期速度と最終速度の差を、ポンプ２０２が動作速度に近い速度を有するときの時間ｔｉからポンプ速度が臨界速度に近い最終ポンプ速度に到達したときの時間ｔｅまでの経過時間で除した値と定義される。ＭＰＩは当初、ポンプが設置もしくは製造され、または出荷前に試験するときの基準の測定のために判定してもよい。ＭＰＩは、ポンプを所定の期間、または作動時間の間動作中であった後の後の時点で判定してもよい。その後、２回目のＭＰＩの測定値を最初のＭＰＩと比較してもよい。２回目のＭＰＩが最初のＭＰＩよりも大きい場合、機械動力指数は増え、ポンプの軸受が劣化してきていることを示す。
【００３０】
図３は、図２を参照して説明したポンプ試験を行った結果を示すグラフの一実施例を示す。図３のグラフ３００は、回転速度を測定した対応時間に対する回転速度のプロット図である。時間の値はｙ軸３０２に示し、回転速度はｘ軸３０４に示す。描かれた各曲線は、個々のＭＰＩ測定値に関する回転速度の測定値の集合を表す。ＭＰＩはポンプの寿命中の選択された時点において個々のポンプについて判定してもよい。選択される時点は定期的な間隔であってもよく、またはポンプを停止する時点であってもよい。
【００３１】
ＭＰＩの判定に加えて、時間対速度の測定値を記憶して、曲線を構成するために使用し、これを図３のグラフ３００に追加してもよい。曲線が追加されるとき、各曲線の勾配が増え続ける範囲は、ポンプ２０２が軸受ですり減ってきている範囲を示す。図３のグラフ３００は、ポンプ２０２がどの程度働いているかを示す一目で分かる表示を提供するために使用してもよい。
【００３２】
測定したＭＰＩは、ポンプ２０２が劣化してきている範囲を示す履歴アーカイブを保存するためにも記憶してもよい。ＭＰＩ測定値および図３のグラフ３００は、ポンプ２０２の予想残存寿命を予測するために使用してもよい。このデータは他の同様なポンプ（同じモデルのポンプなど）からのデータと組み合わせて、当該ポンプの予想寿命のより定量的な評価を提供してもよい。
【００３３】
図４は、ポンプを試験する方法の動作を示すフローチャートである。フローチャート４００は、図２を参照して説明したシステムが行う方法として以下に説明する。図４に示していないコンポーネントの参照は、特記しない限り、図２に示すコンポーネントをいう。
【００３４】
フローチャート４００に示す方法は、オンライン動作の作動時間の後に行ってもよい。ポンプの寿命の初期に少なくとも１つのＭＰＩがすでに判定されている。初期ポンプ速度および最終ポンプ速度は、図２を参照して上記説明したように判定されている。
【００３５】
フローチャート４００に示す方法は、ポンプ２０２の通常の動作のためのステップ４０２で開始される。ポンプコントローラ２１０はポンプ２０２の動作を初期化して、アプリケーションに必要なようにポンプ２０２を動作させる。ポンプ２０２の動作中、真空下のポンプ制動機能、またはＭＰＩの判定による試験の特別な要求が、ＭＰＩを判定するためのステップを開始してもよい。ステップ４０４で、ポンプ２０２は真空状態でフル動作速度まで上昇される。ステップ４０４は、ポンプ制動機能または試験要求が開始される前の通常の動作を表してもよい。ＭＰＩ測定プロセスは、所定の回数行われる測定前自動サイクルを含んでもよい。測定前自動サイクルは、軸受内部に安定した最適なグリースの分布を得るために所定の回数行ってもよい。
【００３６】
測定前自動サイクルは、３フェーズのポンプ動作を伴う。最初のフェーズは、ポンプ２０２をフル動作速度まで上昇することである。２番目のフェーズは、所定の期間フル動作速度を維持することである。３番目のフェーズは真空状態でポンプを減速することである。
【００３７】
図４のフローチャート４００に示す方法では、ステップ４０４は最初のフェーズを表す。ステップ４０６で、ポンプは所定の期間フル動作速度で維持され、それによって第２ステップを実施する。ステップ４０８で、ポンプ制動機能を働かせて、ポンプは３番目のフェーズのために減速し始める。
【００３８】
測定前自動サイクルは、所定の時間数で所定の回数行われる。ある実施例では、測定前自動サイクルは１８時間かけて８回行ってもよい。サイクル数および時間数はポンプによって変えてもよい。
【００３９】
決定ブロック４１０で、十分な測定前自動サイクル数が行われたどうかを判定するためのチェックが行われる。行われていない場合、決定ブロック４１０は「いいえ」となり制御をステップ４０４に戻す。十分なサイクル数が行われ、決定ブロック４１０が「はい」となる場合、制御はステップ４１２に移り、ポンプ制動機能として減速が行われている間のポンプ速度をモニタリングする。
【００４０】
図４のフローチャート４００は、ポンプ２０２が減速している過程にあるときに必要なデータパラメータを識別することによって、ＭＰＩを判定する機能を行うことを説明している。あるいは、ポンプ２０２は、ポンプ２０２の回転速度を一定時間間隔で測定しながら減速し、ポンプ２０２が停止するまで各時間間隔の回転速度を収集するようにされてもよい。それから、回転速度および時間間隔を分析して、ＭＰＩを判定するために使用するデータパラメータを判定してもよい。
【００４１】
図４のステップ４１４で、初期ポンプ速度が測定される初期時間はｔｉとして識別される。ステップ４１４は、ＭＰＩのすべての判定について所定の初期ポンプ速度を使用して、結果の再現性を提供する。
【００４２】
ステップ４１６で、ポンプが減速し続けて、ポンプ速度が最終ポンプ速度であると測定されるときの経過時間を記録する。最終ポンプ速度は、ポンプ２０２の臨界速度に近いポンプ速度と定義される。ステップ４１６は、ＭＰＩのすべての判定について所定の最終ポンプ速度を使用する。
【００４３】
ステップ４１８で、ＭＰＩは初期ポンプ速度と最終ポンプとの差を計算して、ポンプ速度の差を、初期ポンプ速度の到達から最終ポンプ速度の到達までの経過時間で除して判定する。ステップ４２０で、ポンプの軸受が劣化してきているかを判定するために、ＭＰＩを前回のＭＰＩと比較する。決定ブロック４２２で、ＭＰＩをチェックして前回のＭＰＩよりも大きいかを確認する。ＭＰＩが以前のＭＰＩよりも大きい場合、ステップ４２４でポンプ２０２は劣化している軸受があると識別される。図５を参照して説明するように、その寿命中にポンプのＭＰＩの履歴を考慮して、ステップ４２４で測定したＭＰＩの分析を行ってもよい。ステップ４２６で、制動機能が完了すると、ポンプの減速が完了する。
【００４４】
図５は、ポンプ試験中に取得したデータの分析を示すフローチャートである。ステップ５０２で、ポンプが属するポンプのファミリーについて、統計的に有意な基準を判定する。基準は、ポンプファミリーの性能仕様の範囲内で十分に動作している試験中のポンプと同じファミリーのポンプのサンプルのＭＰＩ値から判定されるＭＰＩ値であってもよい。同じファミリーのポンプのサンプルは、同じ製品ライン、分類、または他の適したカテゴリのポンプとしてもよい。
【００４５】
ステップ５０４で、試験中のポンプのＭＰＩ、ＭＰＩｐｕｔを、そのポンプファミリーの基準ＭＰＩと比較する。試験中のポンプのＭＰＩが決定ブロック５０６で判定したポンプファミリーのＭＰＩ基準の範囲内にない場合、ステップ５１０で試験中のポンプは機能不全とみなされる。試験中のポンプが基準のＭＰＩの範囲内にある場合、ステップ５０８で、試験中のポンプについて測定したＭＰＩ、ＭＰＩｐｕｔをポンプファミリーのより広いＭＰＩと比較する。ファミリーのＭＰＩ、ＭＰＩｆａｍｉｌｙは、ポンプの寿命が残っているとみなされるファミリー内のすべてのポンプのＭＰＩ測定値の履歴データに基づいてもよい。
【００４６】
決定ブロック５１２は、ＭＰＩｐｕｔとＭＰＩｆａｍｉｌｙとの比較により、試験中のポンプのポンプ軸受が過度に摩耗していないことが示される場合、ステップ５１６で、試験中のポンプは稼動寿命が残っているとみなされる。決定ブロック５１２での比較から、試験中のポンプの摩耗が過度であると判定されると、さらに試験を行ってもよい。例えば、軸受潤滑油分析を行ってもよい。ステップ５１６での分析は、例えば、熱重量分析（ＴＧＡ）を含んでもよい。
【００４７】
本発明のさまざまな側面または詳細は、本発明の範囲から逸脱することなく変更してもよいことは理解されるであろう。また、前述の説明は単に例示の目的であり、制限を目的とするものではなく、本発明は請求項によって定義される。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【外国語明細書】
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【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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