(57)【要約】【課題】軽量小型で薄型の搬送物が移動、ズレることなく、或いは、搬送物を傷つけることなく搬送できるウイケットを提供する。【解決手段】長手形状の底板５３と、底板５３に固定され、搬送物６１の挿抜をガイドし搬送物６１の搬送物側部６５を支持する左ガイド部７１及び右ガイド部８１と、左ガイド部７１及び右ガイド部８１の間にある底板５３をカバーするとともに、左ガイド部７１及び右ガイド部８１の間において長手方向に搬送物６１の搬送物底部６３を支持するへこみ部４５を有するカバー板３０を備えることにより、軽量小型で薄型の搬送物６１が移動、ズレることがなく、搬送物６１を傷つけることなく搬送することが可能である。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
長手形状の底板と、
底板に固定され、搬送物の挿抜をガイドし搬送物の側部を支持する一対のガイド部と、
一対のガイド部の間にある底板をカバーするとともに、一対のガイド部の間において長手方向に搬送物の底部を支持するへこみ部を有するカバー板と
を備えたことを特徴とするウイケット。
【請求項２】
上記カバー板は、
長手方向と直交する断面の形状がＶ字状又はＵ字状の長尺の天カバー部を有することを特徴とする請求項１記載のウイケット。
【請求項３】
上記底板は、長手方向と直交する断面の形状がＬ字状の断面形状をしており、
上記底板は、
平行な一辺と他辺からなる２辺を有する長尺の底部と、
底部の他辺から底部に対して傾斜して設けられた長尺の後面部と
を有し、
上記カバー板は、長手方向と直交する断面の形状がＭ字状の断面形状をしており、
上記カバー板は、
天カバー部の一辺から前面の空間を覆うように底部の一辺に向かって設けられた長尺の前カバー部と、
天カバー部の他辺から後面部を覆うように底部の他辺に向かって設けられた長尺の後カバー部と
を有することを特徴とする請求項２記載のウイケット。
【請求項４】
上記底板は、長手方向に、一対のガイド部を複数対、取り付け、
上記カバー板は、ガイド部が背中合わせに存在する部分に、背中合わせに存在する２個のガイド部を通過させるガイド孔を有し、
上記カバー板は、上記底板に対して、上記カバー板の両端側部と上記カバー板のガイド孔の中央側部とのみで溶接されていることを特徴とする請求項１〜３いずれかに記載のウイケット。
【請求項５】
上記底板は、一対のガイド部の各ガイド部を取り付ける位置に凸部を有し、
上記一対のガイド部の各ガイド部は、
搬送物の側面を支持するサイド部と、
搬送物の前面を支持するとともに、風穴を有するフロント部と、
搬送物の後面を支持するとともに、風穴を有するリア部と、
上記サイド部とフロント部とリア部とのいずれかの下端に設けられ、上記底板の凸部が嵌め込まれる位置決め孔を有する床部と
を有することを特徴とする請求項１〜４いずれかに記載のウイケット。
【請求項６】
上記サイド部は、搬送物の側面をガイド部内にガイドする舌部と、搬送物の側面をガイド部内でスライドさせるサイド板とを有し、
上記フロント部とリア部との間隔は、ガイド部の中央に向かって次第に広くなっており、
上記フロント部及びリア部の上辺は、ガイド部の中央に向かって、
舌部によってガイドされた搬送物をガイド部の中央方向にガイドする傾斜辺と、
搬送物の側端辺がスライドする水平辺と、
搬送物が引っかからないようにしたテーパ辺と
を有することを特徴とする請求項５記載のウイケット。
【請求項７】
上記カバー板のへこみ部の傾斜面同士のなす角度は、１２０度以上１７０度以下であることを特徴とする請求項１〜６いずれかに記載のウイケット。
【請求項８】
上記カバー板のへこみ部の傾斜面同士のなす角度は、１５０度以上１６０度以下であることを特徴とする請求項１〜７いずれかに記載のウイケット。
【請求項９】
請求項１〜８いずれかに記載のウイケットをコンベアに複数取り付けて搬送物を搬送することを特徴とするウイケットコンベア。
【請求項１０】
請求項９のウイケットコンベアを用いて搬送物を乾燥することを特徴とするウイケットコンベア乾燥装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、基板等の搬送物を複数支持することができるウイケットに関するものである。そして、このウイケットをコンベアに複数搭載して搬送物を搬送して乾燥室で乾燥させる乾燥装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来のウイケットは、搬送物である基板の底部を支持する部分が平面である。（例えば、特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】実開昭６３−７７９５号公報
【特許文献２】特開昭６３−１０１２１３号公報
【特許文献３】特開平３−２８８７０９号公報
【特許文献４】実開平６−３２４２４号公報
【特許文献５】特開平９−２８０７３４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来のウイケットは、搬送物の底部を支持する部分が平面である為、搬送物が軽量で薄いものである場合に、搬送物が移動したり、ズレたりする恐れがあった。
【０００５】
本発明は、例えば、軽量小型で薄型の搬送物が移動、ズレることなく、或いは、搬送物を傷つけることなく搬送できるウイケットを提供することを主な目的とする。
【０００６】
また、本発明は、例えば、上記ウイケットを用いたウイケットコンベア及びウイケットコンベア乾燥装置を提供することを主な目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係るウイケットは、
長手形状の底板と、
底板に固定され、搬送物の挿抜をガイドし搬送物の側部を支持する一対のガイド部と、
一対のガイド部の間にある底板をカバーするとともに、一対のガイド部の間において長手方向に搬送物の底部を支持するへこみ部を有するカバー板と
を備えたことを特徴とする。
【０００８】
上記カバー板は、
長手方向と直交する断面の形状がＶ字状又はＵ字状の長尺の天カバー部を有することを特徴とする。
【０００９】
上記底板は、長手方向と直交する断面の形状がＬ字状の断面形状をしており、
上記底板は、
平行な一辺と他辺からなる２辺を有する長尺の底部と、
底部の他辺から底部に対して傾斜して設けられた長尺の後面部と
を有し、
上記カバー板は、長手方向と直交する断面の形状がＭ字状の断面形状をしており、
上記カバー板は、
天カバー部の一辺から前面の空間を覆うように底部の一辺に向かって設けられた長尺の前カバー部と、
天カバー部の他辺から後面部を覆うように底部の他辺に向かって設けられた長尺の後カバー部と
を有することを特徴とする。
【００１０】
上記底板は、長手方向に、一対のガイド部を複数対、取り付け、
上記カバー板は、ガイド部が背中合わせに存在する部分に、背中合わせに存在する２個のガイド部を通過させるガイド孔を有し、
上記カバー板は、上記底板に対して、上記カバー板の両端側部と上記カバー板のガイド孔の中央側部とのみで溶接されていることを特徴とする。
【００１１】
上記底板は、一対のガイド部の各ガイド部を取り付ける位置に凸部を有し、
上記一対のガイド部の各ガイド部は、
搬送物の側面を支持するサイド部と、
搬送物の前面を支持するとともに、風穴を有するフロント部と、
搬送物の後面を支持するとともに、風穴を有するリア部と、
上記サイド部とフロント部とリア部とのいずれかの下端に設けられ、上記底板の凸部が嵌め込まれる位置決め孔を有する床部と
を有することを特徴とする。
【００１２】
上記サイド部は、搬送物の側面をガイド部内にガイドする舌部と、搬送物の側面をガイド部内でスライドさせるサイド板とを有し、
上記フロント部とリア部との間隔は、ガイド部の中央に向かって次第に広くなっており、
上記フロント部及びリア部の上辺は、ガイド部の中央に向かって、
舌部によってガイドされた搬送物をガイド部の中央方向にガイドする傾斜辺と、
搬送物の側端辺がスライドする水平辺と、
搬送物が引っかからないようにしたテーパ辺と
を有することを特徴とする。
【００１３】
上記カバー板のへこみ部の傾斜面同士のなす角度は、１２０度以上１７０度以下であることを特徴とする。
【００１４】
上記カバー板のへこみ部の傾斜面同士のなす角度は、１５０度以上１６０度以下であることを特徴とする。
【００１５】
また、本発明に係るウイケットコンベアは、
上記ウイケットをコンベアに複数取り付けて搬送物を搬送することを特徴とする。
【００１６】
また、本発明に係るウイケットコンベア乾燥装置は、
上記ウイケットコンベアを用いて搬送物を乾燥することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１７】
本発明に係るウイケットは、搬送物の底部を支持するへこみ部が有ることにより、軽量小型で薄型の搬送物が移動、ズレることがなく、搬送物を傷つけることなく搬送することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】実施の形態１を示す図で、ウイケットの部分斜視図（分解図）。
【図２】実施の形態１を示す図で、ウイケットの組立後の部分斜視図。
【図３】実施の形態１を示す図で、ウイケットの取り付け状態を示す側面図。
【図４】実施の形態１を示す図で、ウイケットコンベア乾燥装置の側面図。
【図５】実施の形態１を示す図で、ウイケットコンベア乾燥装置の平面図。
【図６】実施の形態１を示す図で、ウイケットの全体図（（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図）。
【図７】実施の形態１を示す図で、支持スロットと搬送物とを示す図（（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）は搬送物の側面図）。
【図８】実施の形態１を示す図で、支持スロットの平面図。
【図９】実施の形態１を示す図で、カバー板の組立前の板金を示す図。
【図１０】実施の形態１を示す図で、底板の組立前の板金を示す図。
【図１１】実施の形態１を示す図で、右ガイド部の組立前の板金を示す図。
【図１２】実施の形態１を示す図で、ウイケットの断面を示す図。
【図１３】実施の形態１を示す図で、ウイケットの断面を示す図。
【図１４】実施の形態１を示す図で、天カバー部の角度φが鋭角の場合を示す図。
【図１５】実施の形態１を示す図で、天カバー部の角度φが鈍角の場合を示す図。
【図１６】実施の形態１を示す図で、最深部が天カバー部の中心から偏移している例を示す図。
【図１７】実施の形態２を示す図で、ウイケットの部分斜視図（分解図）。
【図１８】実施の形態３を示す図で、カバー板を示す図。
【図１９】実施の形態４を示す図で、ウイケットの部分斜視図（分解図）。
【図２０】実施の形態４を示す図で、ウイケットの断面を示す図。
【図２１】実施の形態４を示す図で、ウイケットの断面を示す図。
【図２２】実施の形態４を示す図で、ウイケットの断面を示す図。
【図２３】実施の形態４を示す図で、ウイケットの断面を示す図。
【図２４】実施の形態４を示す図で、ウイケットの断面を示す図。
【図２５】実施の形態４を示す図で、ウイケットの断面を示す図。
【図２６】実施の形態４を示す図で、ウイケットの断面を示す図。
【図２７】実施の形態４を示す図で、ウイケットの断面を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の実施の形態について、図を用いて説明する。なお、各実施の形態の説明において、「上」、「下」、「左」、「右」、「前」、「後」、「表」、「裏」といった方向は、説明の便宜上、そのように記しているだけであって、装置、器具、部品等の配置や向き等を限定するものではない。
【００２０】
実施の形態１．
（ウイケットの構成）
図１は、ウイケット９６の部分斜視図（分解図）である。
ウイケット９６は、長手形状の底板５３と複数のガイド対とカバー板３０とを備える。図１においてカバー板３０は取り外されている。なお、ガイド対とは、一対のガイド部（左ガイド部７１及び右ガイド部８１）のことである。
ウイケット９６の底板５３には、長手方向（行方向）に複数のガイド対が取り付けられている。ガイド対の数は限定されるものではない。
ガイド対は、底板５３に直線上に設けられている。底板５３は、底部５５と後面部５６とを有する。
底板５３は、ボルト９２により後述するチェーンコンベアに取り付けられる。そして、ウイケット９６は、矢印Ｓの方向（列方向）にコンベアにより移動する。
【００２１】
右ガイド部８１は、右フロント部８３と右リア部８４と右サイド部８２とによりコの字型の右ガイド溝８８を構成している。この右ガイド溝８８に搬送物が挿抜される。ここで、搬送物とは例えば、シリコンウェハなどの板状のものである。更に、右サイド部８２は、右サイド板８５と右舌部８６（右ガイド片）とを有している。また、右フロント部８３と右リア部８４とは、風穴４０を有している。この風穴４０の数は限定されるものではない。
そして、右ガイド部８１は、床部８７を有している。床部８７は、位置決め孔８９ａと位置決め孔８９ｂとを有する。位置決め孔８９ａは、底部５５に設けられた凸部８０ａと嵌合し、位置決め孔８９ｂは、底部５５に設けられた凸部８０ｂと嵌合する。そして、位置決め孔８９ａと位置決め孔８９ｂとの中央の溶接部４１ｂにて、床部８７と底部５５とが溶接により固定される。
また、溶接部４１ａにて、右フロント部８３と底部５５とが溶接により固定されてもよい。
なお、右ガイド部８１と底板５３とを溶接する箇所が増えると、例えば底板５３の変形が起こり易くなる為に、溶接する箇所は少ない方が望ましい。
そして、右ガイド部８１と底板５３とが溶接部４１ａと溶接部４１ｂとの２カ所のみで溶接されることにより、溶接する箇所が最小で、かつ、右ガイド部８１と底板５３との接合強度が最大となる。
【００２２】
左ガイド部７１の構造は、右ガイド部８１と同じである。すなわち、左ガイド部７１も右ガイド部８１と同様に、左フロント部７３と左リア部７４と左サイド部７２とによりコの字型の左ガイド溝７８を構成している。更に、左サイド部７２は、左サイド板７５と左舌部７６（左ガイド片）とを有している。
そして、図示は省略するが、左ガイド部７１も床部を有している。この底部の構造も右ガイド部８１と同じである。左ガイド部７１の床部と底部５５とが溶接により固定される。また、溶接部４１ｃにて、左フロント部７３と底部５５とが溶接により固定されてもよい。また、左フロント部７３と左リア部７４とは、風穴４０を有している。
なお以降で説明の図２、図６、図７、図８において、床部、位置決め孔、凸部の図示は省略している。
【００２３】
すなわち、ガイド対は、底板５３に固定される。そして、搬送物が支持される部分（空間）を支持スロット５１と称する。
このように、支持スロット５１は、左ガイド溝７８と右ガイド溝８８とが向かい合ったガイド対から構成されている。なお、以降、左ガイド溝７８と右ガイド溝８８とを総称して「ガイド溝」と記載する。これらの左ガイド部７１と右ガイド部８１は、前述の通り、底板５３、即ち、底部５５に溶接止めされている。そして、この溶接止めを補強するため、前カバー部３４と左ガイド部７１及び右ガイド部８１の側部とが溶接止めされる。また、左ガイド部７１と右ガイド部８１の側部は溶接部４１ａと溶接部４１ｃとで底部５５に溶接されてもよい。
【００２４】
カバー板３０は、前カバー部３４と後カバー部３１と天カバー部３６とを有する。天カバー部３６も長手方向に長尺である。そして、天カバー部３６は傾斜面３２と傾斜面３３とを有する。傾斜面３２と傾斜面３３とでへこみ部４５が形成され、傾斜面３２と傾斜面３３とが接する部分が、へこみ部４５のうち、中央の一番へこんでいる箇所である最深部３５となる。
また、カバー板３０は、ガイド孔４４ａとガイド孔４４ｂとを有する。なお、ガイド孔４４ａ及びガイド孔４４ｂ以外の図示を省略しているが、ガイド孔はガイド対と同じ数設けられる。図１に示すガイド孔４４ａは、背中合わせに存在する２個のガイド部（右ガイド部８１ａ及び左ガイド部７１ｂ）を通過させる。ここで、背中合わせに存在する２個のガイド部とは、サイド部同士が対向して配置される２個のガイド部である。その為、カバー板３０が底板５３に装着された場合に、２個のガイド部が背中合わせに存在する部分に、カバー板３０はガイド孔４４ａを有する。
また、カバー板３０は平行な２辺（カバー辺２８及びカバー辺２９）を有する。
【００２５】
図２は、ウイケット９６の組立後の部分斜視図である。
カバー板３０は、底板５３に固定される。より具体的には、カバー板３０は、底板５３に対して、カバー板３０の両端側部とカバー板３０のガイド孔４４ａの中央側部とガイド孔４４ｂの中央側部とのみで溶接されている。
ここで、図２において、カバー板３０の両端側部の溶接箇所は、溶接部４２ａと溶接部４２ｂである。なお、図２では、カバー板３０の両端側部のうちの一方の端のみ図示し、他方の端は図示を省略しているが、他方の端も同様である。
また、図２において、カバー板３０のガイド孔４４ａの中央側部の溶接箇所は、溶接部４２ｃ及び溶接部４２ｄとである。また、カバー板３０のガイド孔４４ａの中央側部の溶接箇所は溶接部４２ｅ及び溶接部４２ｆである。図２では、ガイド孔４４ａ、ガイド孔４４ｂのみを図示しているが、図示を省略しているガイド孔ごとに中央側部２ケ所が同様に溶接される。
前述と同様に、溶接する箇所が多いと例えば、カバー板３０及び底板５３の変形が生じ、ウイケット９６の長手方向の直線性が悪くなる。その為、溶接する箇所は少ない方が好ましい。そして、カバー板３０及び底板５３の両端側部と、ガイド孔の中央側部のみで溶接されることにより、溶接する箇所が最小で、かつ、カバー板３０と底板５３との接合強度が最大となる。
そして、カバー板３０の天カバー部３６は、ガイド対（左ガイド部７１及び右ガイド部８１）の間にある底板５３をカバーする。
【００２６】
１つの支持スロット５１は、ガイド対（左ガイド部７１及び右ガイド部８１）と天カバー部３６（へこみ部４５）とにより構成されている。
前述の通り、ガイド対により形成されるガイド溝に搬送物６１が挿抜される。すなわち、ガイド対は、搬送物６１の挿抜をガイドし、搬送物６１の側部（搬送物側部６５）を支持する。
そして、ガイド対（左ガイド部７１及び右ガイド部８１）の間において、カバー板３０が有するへこみ部４５が長手方向に搬送物６１の底部（搬送物底部６３）を支持する。
左フロント部７３と左リア部７４は、ともに左サイド板７５の面垂直方向から外側に約１５度開いている。このように、１５度開いて左フロント部７３と左リア部７４が取り付けられている理由は、ガイド溝によって支持される搬送物６１が左フロント部７３と左リア部７４と面接触しないようにするためである。１５度の角度をもって開いていることにより、左フロント部７３又は左リア部７４は、搬送物６１と面接触することはなく、左フロント部７３、左リア部７４は、搬送物６１の搬送物側部６５と点で接触することになる。右フロント部８３及び右リア部８４も同様である。
より具体的には、図２に示す左フロント部７３ｂは、搬送物６１の側端辺６６ａと点で接触し、右フロント部８３ｂは、搬送物６１の側端辺６６ｂと点で接触する。ここで、搬送物６１の側端辺とは、搬送物６１の搬送物側部６５と搬送物６１の前面（搬送物前面６７）とが接する辺、もしくは、搬送物６１の搬送物側部６５と搬送物６１の後面（搬送物後面６８）とが接する辺である。
右フロント部８３と搬送物６１の側端辺６６ｂとの点接触の例を改めて後述する。
なお、右フロント部８３ａと前カバー部３４とは溶接部４２ｍにて溶接される。ただし、右フロント部８３と底部５５とが前述の溶接部４１ａにて溶接されている場合は、溶接部４２ｍにて溶接されなくてもよい。左フロント部７３ａと前カバー部３４とは溶接部４２ｎにて溶接される。ただし、右フロント部７３ａと底部５５とが前述の溶接部４１ｃにて溶接されている場合は、溶接部４２ｎにて溶接されなくてもよい。
【００２７】
（ウイケット９６の取り付け状態）
図３は、ウイケット９６の取り付け状態を示す側面図である。
ウイケット９６は、列方向の間隔Ｋを例えば２５．４ｍｍとしてチェーンコンベアに取り付けられる。即ち、チェーンコンベアのチェーンは２５．４ｍｍのサイズで１つの単位を構成している。ウイケット９６は、後ろ側に７５度の角度で傾けられてチェーンベルトに取り付けられる。このように、ウイケット９６が７５度の傾斜をつけて取り付けられているのは、搬送物６１の乾燥を効率よく行うためである。
【００２８】
（ウイケットコンベア乾燥装置９９の説明）
図４は、ウイケットコンベア乾燥装置９９の側面図である。
図５は、ウイケットコンベア乾燥装置９９の平面図である。
【００２９】
ウイケットコンベア乾燥装置９９は、乾燥室９５とウイケットコンベア９８から構成されている。ウイケットコンベア９８は、複数のウイケット９６とコンベア９７から構成されている。コンベア９７は、チェーンコンベアを用いている。チェーンコンベアの各チェーンには、ウイケット９６が１つずつ取り付けられている。即ち、コンベア９７の周囲全体に複数のウイケット９６が取り付けられ、コンベア９７の循環移動によりウイケット９６も循環移動し、搬送物６１を搬送するようになっている。
挿入位置センサ９３は、搬送物６１の挿入位置を検出するために、コンベア９７の側部に設けられている。挿入位置センサ９３は、搬送物６１が水平方向に挿入できるウイケット９６の位置を検出する。即ち、図４に示すように、角度θ、或いは、高さＨの部分にウイケット９６がきたことを検出し、コンベア９７を停止させる。搬送物６１は、コンベア９７が停止している間に支持スロット５１に挿入される。
一方、搬送物６１を支持スロット５１から抜き取る場合には、抜去位置センサ９４によりウイケット９６が角度θ、或いは、高さＨになったことを検出し、コンベア９７を停止させる。コンベア９７が停止している間に、搬送物６１が抜き取られる。
挿入位置センサ９３によるコンベア９７の停止と抜去位置センサ９４によるコンベア９７の停止とは、それぞれ正確な挿抜ができるようにするために、個別に交互に行われる。
【００３０】
乾燥室９５の内部においては、搬送物６１が熱風や温風や送風により乾燥される。
これらの乾燥のための気流の送風は、支持スロット５１の上部から支持スロット５１の下部に向かって、或いは、支持スロット５１の下部から支持スロット５１の上部に向かって行われる。このように、上下の方向に送風するのは、複数の搬送物６１を均等に乾燥させるためである。左右方向（長手方向）から送風すると、両端の搬送物６１が乾燥しやすくなり、中央部分の搬送物６１が乾燥しにくいという欠点があるため、上下方向に送風することにより複数の搬送物６１が均等に乾燥される。
さらに、左フロント部７３及び左リア部７４、右フロント部８３及び右リア部８４は、風穴４０を有しており、気流が風穴４０を通ることにより、搬送物６１が乾燥しやすくなる。
【００３１】
（ウイケット９６の詳細説明）
図６は、ウイケット９６の全体図である（図６の（ａ）は平面図、図６の（ｂ）は正面図）。
図７は、支持スロット５１と搬送物６１とを示す図である（図７の（ａ）は平面図、図７の（ｂ）は正面図、図７の（ｃ）は搬送物６１の側面図）。
図８は、支持スロット５１の平面図である。
なお、図６の（ｂ）は、搬送物６１がガイド溝に挿入されたまま、ウイケット９６が水平に傾けられた状態である。すなわち、図４において、角度θ、或いは、高さＨの部分にウイケット９６がある状態と同じである。
【００３２】
図６の（ｂ）に示すように、１つのウイケット９６には、長手方向に４つの支持スロット５１（ガイド対）が設けられている。即ち、１つのウイケット９６で４つの搬送物６１を搬送することができる。なお、前述の通り、１つのウイケット９６に設けられる支持スロット５１（ガイド対）の数は限定されるものではない。
ネジ孔９０は、例えば図１のボルト９２が嵌めこまれる孔である。
右舌部８６は、図６の（ｂ）に示すように、右サイド板８５の面から外側上方に１５度開いた格好で取り付けられている。このように、右舌部８６が外側上方に開いているのは、搬送物６１がガイド溝に入りやすいように搬送物６１の挿入時に、搬送物６１の挿入位置を調整するためである。左舌部７６も同様である。
すなわち、左舌部７６と右舌部８６とは、搬送物６１の搬送物側部６５をガイド部内（ガイド溝内）にガイドする。
また、ウイケット９６が傾いて、搬送物６１がガイド部内で移動する場合などに、左サイド板７５の表面を搬送物６１の搬送物側部６５がスライドする。すなわち、左サイド板７５は、搬送物６１の搬送物側部６５をガイド部内でスライドさせる。右サイド板８５も同様である。
【００３３】
更に、右フロント部８３の上辺は、支持スロット５１（ガイド対）の中央に向かって、傾斜辺３９と水平辺３８とテーパ辺３７とを有する。左フロント部７３、左リア部７４、右リア部８４も同様であり、ここでは、右フロント部８３を例に説明する。
搬送物６１が支持スロット５１（ガイド対）に挿入される場合に、右舌部８６によってガイドされた搬送物６１は、側端辺６６ｂが傾斜辺３９によってスライドして、支持スロット５１（ガイド対）の中央方向に移動する。すなわち、傾斜辺３９は、右舌部８６によってガイドされた搬送物６１を支持スロット５１（ガイド対）の中央方向にガイドする。
また、振動などにより、搬送物６１が支持スロット５１内（ガイド対内）で長手方向に移動する場合に、搬送物６１の側端辺６６ｂが水平辺３８にあたりながらスライドする。すなわち、水平辺３８は、搬送物６１の側端辺６６ｂがスライドする辺である。
【００３４】
ここで、図７を用いて、搬送物６１がスライドする様子を説明する。
図７（ａ）は、図６の（ａ）の支持スロット５１と同じものである。
そして、図７の（ｃ）では、搬送物６１と天カバー部３６のみを図示している。図７の（ｃ）は、図７の（ａ）の側面図である。
図７の（ｃ）に示すように、搬送物６１の搬送物底部６３は、へこみ部４５によって支持されている。そして、ウイケット９６が水平に傾けられることによって、搬送物６１はフロント側（右フロント部８３側）に傾いている。
そして、図７の（ａ）の搬送物６１の斜線部分は、図７の（ｂ）及び図７の（ｃ）のＤ−Ｄ箇所の断面を図示している。そして、搬送物６１がフロント側に傾いていることにより図７の（ａ）において搬送物後面６８が見える状態になっている。
なお、図６の（ａ）の搬送物６１も同様である。
【００３５】
そして、例えば、図７の（ａ）もしくは図７の（ｂ）に示すように、搬送物６１が支持スロット５１の中心ではなく、右ガイド部８１側にずれて挿入された場合でも、例えば搬送中の振動などによって、搬送物６１の側端辺６６ｂが傾斜辺３９によって、図７の（ａ）もしくは図７の（ｂ）に示す黒矢印の方向にスライドする。そして、搬送物６１の側端辺６６ｂは、水平辺３８の部分に移動する。
【００３６】
なお、図６の（ｂ）に示すように、左ガイド部７１の水平辺３８と右ガイド部８１の水平辺３８との内側端点距離（最短距離）Ｎは、搬送物６１の幅Ｉよりも小さく、左ガイド部７１の水平辺３８と右ガイド部８１の水平辺３８との外側端点距離（最長距離）Ｍは、搬送物６１の幅Ｉよりも大きい。これにより、搬送物６１の側端辺６６ａは、左ガイド部７１の水平辺３８の範囲内に収まり、搬送物６１の側端辺６６ｂは、右ガイド部８１の水平辺３８の範囲内に収まる。
【００３７】
また、テーパ辺３７は、搬送物６１が支持スロット５１（ガイド対）に挿入される場合などに、搬送物６１が引っかからないように、右フロント部８３の角が面取りされた部分である。これにより、搬送物６１に傷がつきにくくなる。
【００３８】
図６の（ｂ）に示すように、左ガイド部７１と右ガイド部８１の距離Ｇは、搬送物６１の幅Ｉよりも小さい。また、左サイド板７５と右サイド板８５の間隔Ｊは、搬送物６１の幅Ｉよりも大きい。
また、図６の（ａ）に示すように、左サイド板７５と右サイド板８５の幅Ｗは、搬送物６１の厚さよりも広い。このようにして、左ガイド部７１と右ガイド部８１で作られるガイド溝は、搬送物６１の幅と厚さよりも余裕のあるものとなる。即ち、搬送物６１は、左ガイド部７１と右ガイド部８１により固定されているのではなく、余裕を持って保持されている状態となる。従って、搬送物６１が支持スロット５１（ガイド対）に挿入された時点、或いは、搬送されている時点においては、搬送物６１が支持スロット５１（ガイド対）に対して斜めの状態（図７で説明の状態）、或いは、ねじれた状態で保持されている場合がある。或いは、コンベアの移動とともに、その振動を受けて搬送物６１が支持スロット５１（ガイド対）の内部で移動する場合がある。
【００３９】
図６の（ｂ）に示すように、左ガイド部７１と右ガイド部８１との高さＥは、搬送物６１の高さＦの５０％以上あればよい。しかし、搬送物６１の高さＦ以上に左ガイド部７１と右ガイド部８１との高さＥがある必要はなく、左ガイド部７１と右ガイド部８１の高さＥは、搬送物６１の高さＦの７０％前後が望ましい。その理由は、搬送物６１の挿入及び抜き取りが容易になること、及び、左ガイド部７１と右ガイド部８１による乾燥妨害が少なくなることからである。
【００４０】
また、左ガイド部７１と右ガイド部８１の高さＥは、搬送物６１の高さＦの７０％前後が望ましいのは、搬送物６１が取り出されるとき、左フロント部７３、右フロント部８３に搬送物６１の搬送物側部６５が確実に点接触できるようにするためである。
改めて、図７を用いて、右フロント部８３と搬送物６１の側端辺６６ｂとの点接触の例を説明する。なお、右リア部８４及び左フロント部７３及び左リア部７４も同様である。
図７の（ａ）に示すように、右フロント部８３と搬送物６１の側端辺６６ｂとが接触箇所Ｔ（破線の丸部ｂ）で接触している。なお、前述の通り、図７の（ａ）の搬送物６１の斜線部分は図７の（ｂ）及び図７の（ｃ）のＤ−Ｄ箇所の断面を図示しており、図７の（ｂ）及び図７の（ｃ）に示すように、搬送物６１は、接触箇所Ｔよりも高く突き出している。
そして、図７の（ａ）の平面図で見ても、図７の（ｃ）の側面図で見ても、接触箇所Ｔは１点であり、搬送物６１（搬送物側部６５もしくは側端辺６６ｂ）が右フロント部８３（右フロント部８３の傾斜辺３９）と点接触していることが分かる。
点接触する理由は、搬送物６１の下端（搬送物底部６３）が天カバー部３６のＶ字（へこみ部４５）の中央に有るからである。この天カバー部３６のＶ字（へこみ部４５）が無ければ、搬送物６１の側端辺６６ｂは、右フロント部８３と線接触になる可能性がある。
【００４１】
図６の（ｂ）は、搬送物６１が支持スロット５１（ガイド対）に斜めに挿入された状態（搬送物６１の側端辺６６ａが左フロント部７３に点接触しており、搬送物６１の側端辺６６ｂが右フロント部８３に点接触している状態）である。他に、搬送物６１が支持スロット５１（ガイド対）に斜めに挿入された状態として、搬送物６１がガイド溝にねじれたまま挿入されている状態も想定される。
そして、搬送物６１が支持スロット５１（ガイド対）に斜めに挿入された状態で搬送された場合に、搬送物６１の搬送物側部６５とガイド溝との摩擦により、或いは、搬送物６１の搬送物底部６３と底部５５との摩擦により搬送物６１が斜めに挿入されたまま（ねじれて挿入されたまま）抜き取られようとすると、抜き取り装置の構造によっては抜き取ることができない場合がある。このため、搬送物６１の上部をなるべく（搬送物６１の高さＦの３０％〜５０％）露出させておき、ウイケット９６が図４の矢印Ｄのように水平方向に傾いてきた場合には、搬送物６１の上部の自重により搬送物６１が自動的に左フロント部７３、右フロント部８３に点接触するようにする。
こうして、搬送物６１は、全て支持スロット内の同位置にくるので、抜き取りに失敗がなくなる。
【００４２】
図８に示すように、左フロント部７３と左リア部７４とは、ともに左サイド板７５の面垂直方向から外側に約１５度開いている。同様に右フロント部８３と右リア部８４とは、ともに右サイド板８５の面垂直方向から外側に約１５度開いている。
すなわち、左フロント部７３と左リア部７４との間隔は、ガイド対の中央に向かって次第に広くなっている。右フロント部８３と右リア部８４との間隔も同様である。
【００４３】
また、ガイド対に左サイド部７２（左サイド板７５）と右サイド部８２（右サイド板８５）とを設けているのは、挿入された搬送物６１が左右に移動して隣の搬送物６１と重ならないようにするためである。１つのウイケットで１つの基板を搬入する場合は、隣り合う基板同士が重なってしまう恐れがないため、左サイド部７２（左サイド板７５）と右サイド部８２（右サイド板８５）とを設ける必要がなかった。
すなわち、左サイド部７２と右サイド部８２とは、搬送物６１の側面（搬送物側部６５）を支持する。
【００４４】
また、ガイド対に左リア部７４、右リア部８４を設けているのは、挿入された搬送物６１が後ろ側に倒れないようにするためである。すなわち、左リア部７４と右リア部８４とは、搬送物６１の搬送物後面６８を支持する。
また、ガイド対に左フロント部７３、右フロント部８３を設けているのは、挿入した搬送物６１が前方に倒れないようにするためである。特に、図４の矢印Ｄに示すように、回転によりウイケット９６が前方に倒れかけてきた場合に、ウイケット９６が抜去位置センサ９４により水平になることが検出されるまでの間、搬送物６１が前方に落下してしまうことを防止している。左フロント部７３、右フロント部８３がなければ、搬送物６１は、約９０度垂直方向から水平方向に回転して落下することになる。シリコンウェハのように薄い基板が、９０度回転して落下した場合には、基板が破損する可能性がある。この基板の破損を防ぐために、左フロント部７３と右フロント部８３とにより基板の前方落下を防止しているのである。すなわち、左フロント部７３と右フロント部８３とは、搬送物６１の搬送物前面６７を支持する。
大型の基板を搬送するウイケットの場合には、基板が壊れることを余り意識していなかった。従って、基板を前方で支えるという考えはなかった。
【００４５】
（カバー板３０の説明）
図９は、カバー板３０の組立前の板金を示す図である。
例えば、図１のカバー板３０の折れ曲がり部分を全て平らにしたものが図９に示すカバー板３０である。
カバー板は、前述の通り、後カバー部３１、天カバー部３６（傾斜面３２及び傾斜面３３）、前カバー部３４、ガイド孔４４を有する。
そして、天カバー部３６は、平行な２辺（カバー辺２８及びカバー辺２９）を有する。
また、前カバー部３４は、長手方向に長尺であり、天カバー部３６の一辺（カバー辺２９）から設けられている。また、後カバー部３１は、長手方向に長尺であり、天カバー部３６の他辺（カバー辺２８）から設けられている。
【００４６】
（底板５３の説明）
図１０は、底板５３の組立前の板金を示す図である。
例えば、図１の底板５３の折れ曲がり部分を全て平らにしたものが図１０に示す底板５３である。
底板５３は前述の通り、底部５５、後面部５６を有する。
底部５５は、長手方向に長尺であり、平行な２辺（底板辺５８及び底板辺５９）を有する。換言すると、底部５５は、平行な、一辺（底板辺５９）と他辺（底板辺５８）からなる２辺を有する。
また、後面部５６は、長手方向に長尺であり、底部５５の他辺（底板辺５８）から設けられている。
更に、底部５５（底板５３）は、各ガイド部（左ガイド部７１及び右ガイド部８１）を取り付ける位置に凸部８０を有する。
【００４７】
（ガイド部の説明）
図１１は、右ガイド部８１の組立前の板金を示す図である。
例えば、図１の右ガイド部８１の折れ曲がり部分を全て平らにしたものが図１１に示す右ガイド部８１である。
ここでは、右ガイド部８１を例に説明を進めるが、左ガイド部７１も同様である。
右ガイド部８１は、前述の通り、右サイド部８２（右サイド板８５及び右舌部８６）、右フロント部８３、右リア部８４、床部８７を有する。
床部８７は、底部５５に設けられた凸部８０ａが嵌め込まれる位置決め孔８９ａと、底部５５に設けられた凸部８０ｂが嵌め込まれる位置決め孔８９ｂとを有する。
そして、図１１の例では、床部８７は、右リア部８４の下端に設けられているが、床部８７は、右サイド部８２と右フロント部８３と右リア部８４とのいずれかの下端に設けられていればよい。
そして、溶接部４１ｂにて床部８７と底板５３の底部５５とが溶接される。
【００４８】
（ウイケット９６の断面形状の説明）
図１２は、ウイケット９６の断面を示す図である。
図６のＡ−Ａ断面を示したものが図１２である。ここでＡ−Ａ断面は、ウイケット９６の長手方向と直交する断面である。
底板５３は、底部５５と後面部５６とにより、Ｌ字状の断面形状をしている。
底部５５に対する後面部５６の傾斜は、「１８０度−７５度＝１０５度」である。
【００４９】
一方、カバー板３０は、後カバー部３１と天カバー部３６（傾斜面３２及び傾斜面３３）と前カバー部３４とによりＭ字状の断面形状をしている。
そして、天カバー部３６（傾斜面３２及び傾斜面３３）は、Ｖ字状の断面形状をしている。なお、天カバー部３６の断面形状はＵ字状であってもよい。すなわち、天カバー部３６によりへこみ部４５が形成されればよい。
前カバー部３４は天カバー部３６の一片（カバー辺２９）から前面の空間１００を覆うように底部５５の一辺（底板辺５９）に向かって設けられ、後カバー部３１は天カバー部３６の他辺（カバー辺２８）から後面部５６を覆うように底部５５の他辺（底板辺５８）に向かって設けられている。後カバー部３１は、前カバー部３４よりも高さが低い。
そして、天カバー部３６（傾斜面３２及び傾斜面３３）によりへこみ部４５が形成されている。傾斜面３２と傾斜面３３とは角度φをなす。
また、傾斜面３３は、底部５５と平行な面（水平面）に対して、角度αをなし、傾斜面３２は、底部５５と平行な面に対して、角度βをなす。角度βは０（ゼロ）度以上であり、角度αは角度βよりも大きい。すなわち、「角度α＞角度β＞０（ゼロ）」の関係である。
角度βが０（ゼロ）度以上であることにより、搬送物６１がリア側（右リア部８４）にズレにくくなる。
【００５０】
図１３は、ウイケット９６の断面を示す図である。
図６のＢ−Ｂ断面を示したものが図１３である。
底部５５に設けられた凸部８０ａが位置決め孔８９ａに嵌め込まれる。
【００５１】
図１４は、天カバー部３６の角度φが鋭角の場合を示す図である。
図１５は、天カバー部３６の角度φが鈍角の場合を示す図である。
図１４と図１５とは、図６のＣ−Ｃ断面に対応する。
図１４と図１５とに示すように、へこみ部４５は搬送物６１の搬送物底部６３を支持する。
そして、コンベア９７によりウイケット９６が搬送される際に、ウイケット９６内の搬送物６１は振動もしくは移動する。そして、角度φが鋭角の場合（図１４）、搬送物６１と天カバー部３６との摩擦が大きくなり、搬送物６１の搬送物底部６３にクラックが発生しやすくなる。特に、搬送物６１の底端辺６９ａと底端辺６９ｂとでクラックが発生しやすくなる。
一方、角度φが鈍角の場合（図１５）、搬送物６１と天カバー部３６との摩擦が緩和され、クラックの発生を防止することが可能である。
具体的には、角度φは、１２０度以上１７０度以下であればよい。更には、角度φは、１５０度以上１６０度以下であることが望ましい。そして、角度φは、１５４度であることが最適である。
【００５２】
図１６は、最深部３５が天カバー部３６の中心から偏移している例を示す図である。
図１６に示すように、最深部３５は天カバー部３６の中心から偏移していてもよい。例えば、最深部３５は天カバー部３６の中心からフロント側（右フロント部８３側）に偏移していてもよい。このようにすることで、搬送物６１はリア側（右リア部８４側）に傾きやすくなる。そして、全ての支持スロット５１において、搬送物６１がリア側に傾いていれば（搬送物６１の傾き方向が統一されていれば）、搬送物６１の抜き取り作業がしやすくなる。
【００５３】
（実施の形態１の効果）
ウイケット９６が搬送物６１の搬送物底部６３を支持するへこみ部４５を有することにより、軽量小型で薄型の搬送物６１が支持スロット５１内で移動、ズレることがない。そして、搬送物６１を支持スロット５１内で傷つけることなく搬送することが可能である。
また、カバー板３０の後カバー部３１と前カバー部３４とが、支持スロットと支持スロットとの間にも有ることにより、ウイケット９６全体が補強され、ウイケット９６のねじれなどの変形が起こりにくくなる。
【００５４】
上記実施の形態では、ウイケット９６が４つの支持スロット５１（ガイド対）を有している場合を示したが、２以上の支持スロット５１（ガイド対）があればよい。
また、この実施の形態においては、底板５３が底部５５を兼ねる場合を示したが、底板５３以外に底部５５を別途設けても構わない。
また、ウイケット９６の材料は、乾燥室９５の熱に耐えうるものであればどのようなものでもよいが、特にステンレスを用いることが望ましい。ステンレスは錆びにくいし、また、基板の挿抜の際に基板の側部との摩擦が小さいので、挿抜がしやすいという利点がある。
【００５５】
また、この実施の形態では、チェーンコンベアを用いる場合を示したが、他のコンベアを用いる場合でも構わない。
また、この実施の形態では、乾燥装置の場合を示したが、洗浄装置や塗布装置や、単なる搬送装置の場合であっても構わない。
また、この実施の形態では、シリコンウェハを搬送する場合を示したが、セラミック基板やプリント基板やその他の基板を搬送する場合でもよいし、その他の金属板やプラスチック板や樹脂板等を支持スロット５１（ガイド対）に挿入可能なものであればどのようなものを扱うものであっても構わない。
また、搬送物の形状も、矩形のものに限らず、多角形や円形やその他複雑な形状をしたものでもよい。
【００５６】
実施の形態２．
本実施の形態について、主に実施の形態１との差異を説明する。
図１７は、ウイケット９６の部分斜視図（分解図）である。
実施の形態２のウイケット９６は、カバー板３０のみが実施の形態１と異なる。
実施の形態２のカバー板３０は、左ガイド部７１と右ガイド部８１との間にのみ固定される。そして、１つのウイケット９６に対し、支持スロット５１（ガイド対）の個数と同じ個数のカバー板３０が設けられる。
そして、カバー板３０は、前カバー部３４と前面部５４とが少なくとも１ケ所溶接され、後カバー部３１と後面部５６とが少なくとも１ケ所溶接されることで底板５３に固定される。
このような構成においても、ウイケット９６が搬送物６１の搬送物底部６３を支持するへこみ部４５を有することにより、軽量小型で薄型の搬送物６１が移動、落下することがない。そして、搬送物６１を破壊することなく搬送することが可能である。
【００５７】
実施の形態３．
本実施の形態について、主に実施の形態１との差異を説明する。
図１８は、カバー板３０を示す図である。
実施の形態３のウイケット９６は、カバー板３０のみが実施の形態１と異なる。
実施の形態３のカバー板３０は、左ガイド部７１の左ガイド溝７８と右ガイド部８１の右ガイド溝８８とが合致する形状のガイド孔４４を有する。
換言すると、天カバー部３６が左ガイド部７１と右ガイド部８１とに合致する形状である。
天カバー部３６（ガイド孔４４）がこのような形状であることによって、搬送物６１の搬送物底部６３を支持する長さが長くなる。その為、天カバー部３６から搬送物６１に加わるストレスが分散されるとともに、搬送物６１が安定して支持される。
また、天カバー部３６（ガイド孔４４）がこのような形状であることにより、カバー板３０を底板５３に固定した際に、左ガイド部７１（左サイド部７２、左フロント部７３、左リア部７４）と右ガイド部８１（右サイド部８２、右フロント部８３、右リア部８４）とが変形しにくくなる。換言すると、左ガイド溝７８と右ガイド溝８８とが変形しにくくなる。また、左ガイド部７１と右ガイド部８１とに加わるストレスが、カバー板３０にも分散される。
そして、より安定して搬送物６１を搬送することが可能である。
【００５８】
実施の形態４．
本実施の形態について、主に実施の形態１との差異を説明する。
図１９は、ウイケットの部分斜視図（分解図）である。
図２０は、ウイケット９６の断面を示す図である。
実施の形態１で説明した図１２と同様に、図２０は、ウイケット９６の長手方向と直交する断面を示す。後述の図２１〜図２７も同様である。
実施の形態１の底板５３は、底部５５と後面部５６とにより、Ｌ字状の断面形状をしているが、図１９と図２０とに示すように、底板５３は、底板５３は、底部５５と後面部５６とにより、コ字状の断面形状をしていてもよい。すなわち、底板５３は、底部５５と前面部５４と後面部５６とを有していてもよい。前面部５４は、長手方向に長尺であり、底部５５の一辺（底板辺５９）から設けられている。
前面部５４は、所定の高さで底部５５に対して傾斜して設けられている。また、後面部５６は、前面部５４よりも高さが低く、底部５５に対して傾斜して設けられている。
底部５５に対する前面部５４の傾斜は、図３に示すウイケット９６の傾斜（７５度）とも略同等である。
前面部５４は、底板５３が曲げられて形成される。そして、前面部５４と左ガイド部７１及び右ガイド部８１の側部とが溶接止めされてもよい。
このような構成にすることで、ウイケット９６の強度が向上する。
【００５９】
図２１は、ウイケット９６の断面を示す図である。
図２１に示すように、底板５３は、底板５３は、底部５５と前面部５４とにより、Ｌ字状の断面形状をしていてもよい。
【００６０】
図２２は、ウイケット９６の断面を示す図である。
図２２に示すように、底板５３は、底部５５のみで構成されていてもよい。
【００６１】
図２３は、ウイケット９６の断面を示す図である。
図２３に示すように、カバー板３０は、天カバー部３６と後カバー部３１とにより構成されていてもよい。
【００６２】
図２４は、ウイケット９６の断面を示す図である。
図２４に示すように、カバー板３０は、天カバー部３６と前カバー部３４とにより構成されていてもよい。
【００６３】
図２５は、ウイケット９６の断面を示す図である。
図２５に示すように、カバー板３０は、天カバー部３６のみで構成されていてもよい。
【００６４】
図２６は、ウイケット９６の断面を示す図である。
図２６に示すように、底板５３は、後面部５６と底部５５とから構成され、かつ、カバー板３０は、天カバー部３６と前カバー部３４とから構成されていてもよい。
【００６５】
図２７は、ウイケット９６の断面を示す図である。
図２７に示すように、底板５３は、前面部５４と底部５５とから構成され、かつ、カバー板３０は、天カバー部３６と後カバー部３１とから構成されていてもよい。
【００６６】
以上、本発明の実施の形態について説明したが、これらの実施の形態のうち、２つ以上を組み合わせて実施しても構わない。あるいは、これらの実施の形態のうち、１つを部分的に実施しても構わない。あるいは、これらの実施の形態のうち、２つ以上を部分的に組み合わせて実施しても構わない。なお、本発明は、これらの実施の形態に限定されるものではなく、必要に応じて種々の変更が可能である。
【符号の説明】
【００６７】
２８  カバー辺、２９  カバー辺、３０  カバー板、３１  後カバー部、３２  傾斜面、３３  傾斜面、３４  前カバー部、３５  最深部、３６  天カバー部、３７  テーパ辺、３８  水平辺、３９  傾斜辺、４０  風穴、４１〜４２  溶接部、４４  ガイド孔、４５  へこみ部、５１  支持スロット、５３  底板、５４  前面部、５５  底部、５６  後面部、５８  底板辺、５９  底板辺、６１  搬送物、６３  搬送物底部、６５  搬送物側部、６６  側端辺、６７  搬送物前面、６８  搬送物後面、６９  底端辺、７１  左ガイド部、７２  左サイド部、７３  左フロント部、７４  左リア部、７５  左サイド板、７６  左舌部、７８  左ガイド溝、８０  凸部、８１  右ガイド部、８２  右サイド部、８３  右フロント部、８４  右リア部、８５  右サイド板、８６  右舌部、８７  床部、８８  右ガイド溝、８９  位置決め孔、９０  ネジ孔、９２  ボルト、９３  挿入位置センサ、９４  抜去位置センサ、９５  乾燥室、９６  ウイケット、９７  コンベア、９８  ウイケットコンベア、９９  ウイケットコンベア乾燥装置、１００  空間。
【図１】
2014101155.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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