(57)【要約】【課題】  本発明は、圧電センサの製造方法を提供する。【解決手段】  本発明の圧電センサの製造方法は、長尺状の圧電シートの一面に第一、第二積層シートを積層一体化させて圧電積層シートを製造し、この圧電積層シートにピアス端子を突き刺して第一積層シートの第一電極層と第二積層シートの第三電極層とを電気的に接続させた後、圧電積層シートを切断する圧電センサの製造方法において、第一積層シートの第一電極層は第一積層シートの長さ方向に連続していると共に、シグナル電極パターン又は上記シグナル電極パターン間にはピアス端子を回避するための回避部が形成され、第二積層シートの第三電極層には、回避部を視認可能な視認部が形成されており、視認部を通じて上記回避部を確認しながら、ピアス端子を上記圧電積層シートに突き刺すことを特徴とする。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
長尺状の圧電シートの一面に、合成樹脂シートの片面に第一グランド電極となる第一電極層と、シグナル電極パターンが上記合成樹脂シートの長さ方向に繰り返されてなる第二電極層とが電気絶縁層を介して積層一体化されてなる第一積層シートを、上記第二電極層が上記圧電シート側となるように第一固定剤層を介して積層一体化させると共に、上記圧電シートの他面に、透視な合成樹脂シートの片面に第二グランド電極となる第三電極層が積層一体化されてなる第二積層シートを、上記第三電極層が上記圧電シート側となるように第二固定剤層を介して積層一体化させて圧電積層シートを製造し、この圧電積層シートにピアス端子を突き刺して上記第一積層シートの第一電極層と上記第二積層シートの第三電極層とを電気的に接続させた後、上記圧電積層シートを長さ方向に所定間隔ごとに切断して、第一電極層を切断して形成された第一グランド電極と、シグナル電極パターンから形成されたシグナル電極と、第三電極層を切断して形成された第二グランド電極とを有する圧電センサの製造方法において、上記第一積層シートの第一電極層は上記第一積層シートの長さ方向に連続して形成されていると共に、上記シグナル電極パターン又は上記シグナル電極パターン間には上記ピアス端子を回避するための回避部が形成されており、上記第二積層シートの第三電極層には、上記圧電シートを通じて上記第一積層シートの回避部を視認可能な視認部が形成されており、この視認部を通じて上記回避部を確認しながら、上記ピアス端子を上記圧電積層シートに上記回避部において突き刺して、上記第一積層シートの第一電極層と、上記第二積層シートの第三電極層とを電気的に接続することを特徴とする圧電センサの製造方法。
【請求項２】
第二積層シートの第三電極層は、上記第二積層シートの長さ方向に所定間隔ごとに配列された複数の帯状導電部を有しており、帯状導電部間を視認部としていることを特徴とする請求項１に記載の圧電センサの製造方法。
【請求項３】
第二積層シートの第三電極層は、互いに隣接する帯状電極部同士を電気的に接続する接続導電部を有していることを特徴とする請求項２に記載の圧電センサの製造方法。
【請求項４】
第二積層シートの第三電極層は、上記第二積層シートの長さ方向に所定間隔ごとに配列された複数の第一帯状導電部と、上記第二積層シートの幅方向に所定間隔ごとに配列された複数の第二帯状導電部とを有しており、上記第一帯状導電部と上記第二帯状導電部とで囲まれた部分を視認部に形成していることを特徴とする請求項１に記載の圧電センサの製造方法。
【請求項５】
第二積層シートの第三電極層は、上記第二積層シートの長さ方向に帯状に連続的に延びる第三帯状導電部を有し、この第三帯状導電部に孔部が形成されており、この孔部を視認部としていることを特徴とする請求項１に記載の圧電センサの製造方法。
【請求項６】
孔部は、第二積層シートの長さ方向に連続的に伸びていることを特徴とする請求項５に記載の圧電センサの製造方法。
【請求項７】
孔部は、第二積層シートの長さ方向及び幅方向に点在して形成されていることを特徴とする請求項５に記載の圧電センサの製造方法。
【請求項８】
シグナル電極パターンが第二積層シートの長さ方向に間隔をおいて配列されており、シグナル電極パターン間を回避部としていることを特徴とする請求項１〜７の何れか１項に記載の圧電センサの製造方法。
【請求項９】
シグナル電極パターンの外周部に凹部が形成されており、この凹部を回避としていることを特徴とする請求項１〜７の何れか１項に記載の圧電センサの製造方法。
【請求項１０】
圧電積層シートにおいて、シグナル電極パターンに、第一積層シートの第一電極層及び第二積層シートの第三電極層から突出した突出部が形成されており、この突出部にピアス端子を突き刺すことを特徴とする請求項１〜９の何れか１項に記載の圧電センサの製造方法。
【請求項１１】
シグナル電極パターンの突出部が、圧電積層シートの幅方向に、第一積層シートの第一電極層及び第二積層シートの第三電極層から突出して形成されていることを特徴とする請求項１０に記載の圧電センサの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電センサの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、圧電シートを用いた圧力センサ、加速度センサ、アコースティック・エミッションセンサが医療施設や介護施設などにおいて用いられている。
【０００３】
圧電センサは、圧電シートの一面にシグナル電極及びグランド電極をこれらの電極同士が電気的に断絶させた状態に積層一体化されていると共に圧電シートの他面にグランド電極が積層一体化されて構成されている。
【０００４】
更に、圧電センサは、グランド電極に対してアースをとることによってグランド電極を基準電極とし、圧電シートにて発生した電圧をシグナル電極を通じて検出するが、グランド電極及びシグナル電極を通じて電圧を取り出すために、グランド電極及びシグナル電極のそれぞれに、グランド電極とシグナル電極とが互いに電気的に絶縁した状態にピアス端子を突き刺し、ピアス端子を介して圧電シートの電圧を取り出すことが行われている。
【０００５】
特許文献１には、圧電シートに、電極層が形成された合成樹脂シートをロールツーロール（role to role）にて積層一体化させて圧電センサを製造する方法が開示されているが、ピアス端子をグランド電極にシグナル電極から電気的に絶縁した状態に突き刺すための調整が容易ではないという問題点を有する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】ＷＯ０１／０２８２３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、グランド電極にピアス端子をシグナル電極から電気的に絶縁した状態に容易に突き刺して圧電センサを容易に製造することができる圧電センサの製造方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の圧電センサの製造方法は、長尺状の圧電シートの一面に、合成樹脂シートの片面に第一グランド電極となる第一電極層と、シグナル電極パターンが上記合成樹脂シートの長さ方向に繰り返されてなる第二電極層とが電気絶縁層を介して積層一体化されてなる第一積層シートを、上記第二電極層が上記圧電シート側となるように第一固定剤層を介して積層一体化させると共に、上記圧電シートの他面に、透視な合成樹脂シートの片面に第二グランド電極となる第三電極層が積層一体化されてなる第二積層シートを、上記第三電極層が上記圧電シート側となるように第二固定剤層を介して積層一体化させて圧電積層シートを製造し、この圧電積層シートにピアス端子を突き刺して上記第一積層シートの第一電極層と上記第二積層シートの第三電極層とを電気的に接続させた後、上記圧電積層シートを長さ方向に所定間隔ごとに切断して、第一電極層を切断して形成された第一グランド電極と、シグナル電極パターンから形成されたシグナル電極と、第三電極層を切断して形成された第二グランド電極とを有する圧電センサの製造方法において、上記第一積層シートの第一電極層は上記第一積層シートの長さ方向に連続して形成されていると共に、上記シグナル電極パターン又は上記シグナル電極パターン間には上記ピアス端子を回避するための回避部が形成されており、上記第二積層シートの第三電極層には、上記圧電シートを通じて上記第一積層シートの回避部を視認可能な視認部が形成されており、この視認部を通じて上記回避部を確認しながら、上記ピアス端子を上記圧電積層シートに上記回避部において突き刺して、上記第一積層シートの第一電極層と、上記第二積層シートの第三電極層とを電気的に接続することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の圧電センサの製造方法は、上述の如き構成を有していることから、圧電積層シートにピアス端子を突き刺して、第一積層シートの第一電極層と、第二積層シートの第三電極層とを電気的に接続させる際に、第二積層シートの第三電極層に形成された視認部を通じて、第一積層シートの第二電極層の回避部を容易に識別することができ、このシグナル電極パターンの回避部にピアス端子を突き刺すことによって、シグナル電極パターンに電気的に対して電気的に非接続状態としながら、第一積層シートの第一電極層と第二積層シートの第三電極層とをピアス端子を介して電気的に接続することができ、圧電センサを容易に製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】圧電積層シートを示した分解斜視図である。
【図２】圧電積層シートを示した縦断面図である。
【図３】第一積層シートを示した縦断面図である。
【図４】シグナル電極パターンの一例を示した平面図である。
【図５】圧電積層シートを示した平面図である。
【図６】圧電積層シートを示した平面図である。
【図７】圧電センサを示した縦断面図である。
【図８】シグナル電極パターンの他の一例を示した平面図である。
【図９】シグナル電極パターンの他の一例を示した平面図である。
【図１０】シグナル電極パターンの他の一例を示した平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
本発明の圧電センサの製造方法の一例を図面を参照しながら説明する。本発明の圧電センサの製造方法で用いられる圧電シートとしては、図１及び図２に示したように、長尺であって、第二積層シートを積層した側から圧電シートを透して第一積層シートの第二電極層の回避部を視認することができれば、特に限定されない。ここで、「圧電シートを透して第一積層シートの第二電極層の回避部を視認できる」とは、シグナル電極パターンの回避部の位置が視認できればよく、シグナル電極パターンの回避部が明瞭に視認される必要はない。
【００１２】
長尺状の圧電シート１としては、外力が加えられることによって電荷を発生させることができるシートであり、例えば、合成樹脂シート（合成樹脂発泡シート又は合成樹脂非発泡シート）に電荷を注入してなる圧電シートが挙げられる。
【００１３】
合成樹脂シートに電荷を注入する方法としては、特に限定されず、例えば、（１）合成樹脂シートを一対の平板電極で挟持し、帯電させたい表面に接触させている平板電極を高圧直流電源に接続すると共に他方の平板電極をアースし、合成樹脂シートに直流又はパルス状の高電圧を印加して合成樹脂に電荷を注入して合成樹脂シートの表面を帯電させる方法、（２）電子線、Ｘ線などの電離性放射線や紫外線を合成樹脂シートの表面に照射して、合成樹脂シートの近傍部の空気分子をイオン化することによって合成樹脂の表面に電荷を注入して合成樹脂シートの表面を帯電させる方法、（３）合成樹脂シートの一面に、アースされた平板電極を密着状態に重ね合わせ、合成樹脂シートの他面側に所定間隔を存して直流の高圧電源に電気的に接続された針状電極又はワイヤー電極を配設し、針状電極の先端又はワイヤー電極の表面近傍への電界集中によりコロナ放電を発生させ、空気分子をイオン化させて、針状電極又はワイヤー電極の極性により発生した空気イオンを反発させて合成樹脂の他面に電荷を注入して合成樹脂シートの表面を帯電させる方法などが挙げられる。
【００１４】
長尺状の圧電シート１の一面に長尺状の第一積層シート２を積層一体化させる。図１及び図３に示したように、第一積層シート２は、長尺状の合成樹脂シート21の片面に、第一グランド電極となる第一電極層22と、シグナル電極23aとなるシグナル電極パターン23が合成樹脂シート21の長さ方向に繰返して形成されてなる第二電極層24とが電気的に非接続状態にて積層一体化されている。なお、図１においては、第一電極層22と第二電極層22とを理解しやすいように両者を分離させた状態で示している。
【００１５】
合成樹脂シート21を構成している合成樹脂としては、特に限定されず、例えば、ポリエチレンテレフタレートシート、ポリエチレンナフタレートシートなどが挙げられる。
【００１６】
第一電極層22は、合成樹脂シート21の幅方向の両端部を除いた部分に所定幅でもって帯状に合成樹脂シート21の長さ方向に連続的に（全面的に）形成されている。更に、第一電極層22上には、第二電極層24が電気的に非接続状態にて積層一体化されており、図１及び図３においては、接着剤層25及び長尺状の合成樹脂シート26を含む電気絶縁層を介して第一電極層22上に第二電極層24が積層一体化されている。なお、図１及び図３では、第一電極層22と第二電極層24との間に、接着剤層25及び合成樹脂シート26を含む電気絶縁層を介在させた場合を説明したが、第一電極層22と第二電極層24とが電気的に非接続状態となっておれば、第一電極層22と第二電極層24との間に介在している電気絶縁層の構成は特に限定されない。
【００１７】
合成樹脂シート26を構成している合成樹脂としては、特に限定されず、例えば、ポリエチレンテレフタレートシート、ポリエチレンナフタレートシートなどが挙げられる。
【００１８】
第二電極層24は、長尺状の合成樹脂シート26の片面にシグナル電極パターン23が合成樹脂シート26の長さ方向に繰り返されることによって形成されている。シグナル電極パターン23の形状は特に限定されず、圧電センサＡの用途に応じて適宜、設定されればよい。
【００１９】
シグナル電極パターン23は、合成樹脂シート26の長さ方向に同一形状である必要はなく、例えば、図４に示したように、互いに隣接するシグナル電極パターン23同士が互いに点対称となるように形成されていてもよく、互いに隣接するシグナル電極パターン同士が接続していてもよい。
【００２０】
第一積層シート２のシグナル電極パターン23には凹部が形成されており、この凹部が回避部232となる。なお、シグナル電極パターン23に凹部を形成することなく、図４に示したように、シグナル電極パターン23、23間の隙間を回避部232としてもよく、又、シグナル電極パターン23にその厚み方向に貫通する孔部を形成し、この孔部を回避部としてもよい。
【００２１】
更に、シグナル電極パターン23には、後述する圧電積層シートＢにおいて、第一電極層22及び後述する第三電極層32から第一積層シート２及び第二積層シート３の幅方向に突出した突出部231が形成されている。
【００２２】
次に、第一積層シート２の製造方法を説明する。長尺状の合成樹脂シート21の片面に第一電極層22を一体的に形成すると共に、長尺状の合成樹脂シート26の片面に第二電極層24を一体的に形成する。
【００２３】
なお、本発明において、合成樹脂シートの片面に電極層（第一〜三電極層）を形成する方法としては、例えば、（１）合成樹脂シート上に、バインダー中に導電性微粒子を含有させてなる導電ペーストを塗布、乾燥させて電極層を一体的に形成する方法、（２）合成樹脂シート上に蒸着によって電極層を一体的に形成する方法、（３）合成樹脂シート上に、銅フィルムなどの金属フィルムを積層一体化する方法などが挙げられる。
【００２４】
そして、片面に第一電極層22が積層一体化されてなる合成樹脂シート21の第一電極層22上に汎用の接着剤25を用いて、片面に第二電極層24が積層一体化されてなる合成樹脂シート26を積層一体化することによって第一積層シート２を製造することができる。なお、第一電極層22と第二電極層24との間に合成樹脂シート26が介在した状態となるようにする。なお、接着剤としては、電気絶縁性を有している接着剤であれば汎用の接着剤を用いることができる。
【００２５】
長尺状の圧電シート１の一面に第一積層シート２を積層一体化させる要領を説明する。第一積層シート２の第二電極層24上に固定剤を塗布する。しかる後、圧電シート１の一面に第一積層シート２を固定剤の塗布面が圧電シート１側となるように重ね合わせて重合シートを形成し、この重合シートを厚み方向に押圧することによって、圧電シート１の一面に第一積層シート２を固定剤層４を介して積層一体化させる。なお、第一積層シート２の第二電極層24上に固定剤を塗布する代わりに、圧電シート１の一面に固定剤を塗布してもよい。
【００２６】
固定剤は、反応系・溶剤系・水系・ホットメルト系の接着剤又は粘着剤から構成されており、圧電シート１の感度を維持する観点から、誘電率の低い固定剤が好ましい。
【００２７】
更に、長尺状の圧電シート１の他面に第二積層シート３を積層一体化させて圧電積層シートを製造する。図１に示したように、第二積層シート３は、長尺状の透視可能な合成樹脂シート31の片面における幅方向の両端部を除いた部分に、第二グランド電極となる第三電極層32が積層一体化されている。
【００２８】
合成樹脂シート31は、該合成樹脂シート31を透して後述する圧電積層シートＢのシグナル電極パターン23の回避部232を視認することができる程度の透光性を有しておればよく、合成樹脂シート31を構成している合成樹脂としては、特に限定されず、例えば、ポリエチレンテレフタレートシート、ポリエチレンナフタレートシートなどが挙げられる。
【００２９】
第三電極層32は、複数の帯状導電部321と、互いに隣接する帯状導電部321、321同士を電気的に接続する接続導電部322とを有している。帯状導電部321は、一定幅を有し且つ合成樹脂シート31の幅方向に長い平面矩形状に形成され、これら帯状導電部321が合成樹脂シート31の長さ方向に所定間隔をおいて形成されており、互いに隣接する帯状導電部321、321間に視認部33が形成されている。帯状導電部321、321間の間隔は、視認部33を通じてシグナル電極パターン23の回避部232を視認可能で且つ圧電積層シートＢの幅方向の両端部を除いた任意の部分に後述するピアス端子６の針部62を突き刺しても何れかの帯状導電部にピアス端子６が接触する程度の間隔となるように調整されている。
【００３０】
更に、第三電極層32は、帯状導電部321の配列方向、即ち、合成樹脂シート31の長さ方向に延びる接続導電部322を有しており、この接続導電部322を介して互いに隣接する帯状導電部321、321同士が互いに電気的に接続されている。なお、接続導電部232を形成することなく、圧電センサの製造後に互いに隣接する帯状導電部321、321同士を汎用の方法で電気的に接続させてもよい。
【００３１】
長尺状の圧電シート１の他面に第二積層シート３を積層一体化させる要領を説明する。第二積層シート３の第三電極層32上に固定剤を塗布する。しかる後、圧電シート１の他面に第二積層シート３を固定剤の塗布面が圧電シート１側となるように重ね合わせて重合シートを形成し、この重合シートを厚み方向に押圧することによって、圧電シート１の他面に第二積層シート３を固定剤層５を介して積層一体化させる。なお、第二積層シート３の第三電極層32上に固定剤を塗布する代わりに、圧電シート１の他面に固定剤を塗布してもよい。なお、固定剤層５を構成している固定剤は上記と同様であるのでその説明を省略する。
【００３２】
上記では、圧電シート１の一面に第一積層シート２を積層一体化した後に、圧電シート１の他面に第二積層シート３を積層一体化した場合を説明したが、圧電シート１の他面に第二積層シート３を積層一体化した後に、圧電シート１の一面に第一積層シート２を積層一体化してもよい。
【００３３】
上述の如くして製造された圧電積層シートＢは、圧電シート１の一面に固定剤層４を介して第一積層シート２が積層一体化されている共に、圧電シート１の他面に固定剤層５を介して第二積層シート３が積層一体化されている。
【００３４】
次に、図５に示した圧電積層シートＢの第一電極層22と第三電極層32とを電気的に接続するために、ピアス端子６を圧電積層シートＢに第二電極層24の回避部232において突き刺す。なお、ピアス端子６は、基端部61と、この基端部61から突出した針部62とを有し、基端部61及び針部62は導電性を備えており、針部62を圧電積層シートＢに突き刺す（図６参照）。
【００３５】
この時、図５に示したように、第二積層シート３の第三電極層32は、その帯状導電部321、321間に複数の視認部33が合成樹脂シート31の長さ方向に所定間隔毎に繰返し形成されていることから、透視可能な合成樹脂シート31、視認部33及び圧電シート１を透してシグナル電極パターン23の回避部232を容易に視認することができる。
【００３６】
従って、図６に示したように、ピアス端子６の針部62を圧電積層シートＢにシグナル電極パターン23の回避部232において突き刺すことができ、ピアス端子６の針部62をシグナル電極パターン23に接触させることなく、圧電積層シートＢの第一電極層22と第三電極層32とをピアス端子６を介して電気的に接続することができる。
【００３７】
第一電極層22は、合成樹脂シート21の片面における幅方向の両端部を除いた部分に一定幅でもって合成樹脂シート21の長さ方向に連続的に（全面的に）形成されているので、圧電積層シートＢの何れの箇所にピアス端子６の針部62を突き刺しても、ピアス端子６の針部62によって第一電極層22を確実に突き刺すことができる。
【００３８】
更に、第三電極層32の複数の帯状導電部321は、合成樹脂シート31の長さ方向に所定間隔毎に繰返し形成されていることから、ピアス端子６の針部62を圧電積層シートＢの何れの部分に突き刺してもピアス端子６と第三電極層32の帯状導電部321とを電気的に接触させた状態にすることができる。
【００３９】
従って、ピアス端子６を圧電積層シートＢにその厚み方向の全長に亘って突き刺すことによって、シグナル電極パターン23と、第一電極層及び第三電極層とを電気的に非接触状態としながら、圧電積層シートＢの第一電極層22と第三電極層32とをピアス端子６によって電気的に容易に且つ確実に接続することができる。
【００４０】
又、第二電極層24のシグナル電極パターン23の突出部231が、圧電積層シートＢの幅方向に、第一電極層22及び第三電極層32の端縁から突出した状態となっている。そして、ピアス端子６を圧電積層シートＢにその厚み方向の全長に亘ってシグナル電極パターン23の突出部231において突き刺す。このとき、シグナル電極パターン23の突出部231は、第一電極層22及び第三電極層32の端縁から突出しているので、シグナル電極パターン23の突出部231に突き刺したピアス端子６は、第一電極層22及び第三電極層32と電気的に非接続状態となっており、シグナル電極パターン23の突出部231と、第一電極層22及び第三電極層32とは、電気的に接続されていない。
【００４１】
次に、圧電積層シートＢを第二電極層24のシグナル電極パターン23間のそれぞれにおいて圧電積層シートＢの厚み方向の全長に亘って切断することによって圧電センサＣを製造することができる。
【００４２】
図７に示したように、圧電センサＣは、その圧電シート１の一面に、シグナル電極パターン23から形成されたシグナル電極23a、及び、第一電極層22を切断して形成された第一グランド電極22aがこの順序で積層一体化されていると共に、圧電シート１の他面に、第三電極層32を切断して形成された第二グランド電極32aが積層一体化されている。そして、第一グランド電極22aとシグナル電極23aとの間には、合成樹脂シート26及び接着剤層25が電気絶縁層として介在しており、第一グランド電極22aとシグナル電極23aとは電気的に絶縁されている。
【００４３】
圧電センサＣを使用するにあたっては、第一、第二グランド電極22a、32aを電気的に接続しているピアス端子６と、シグナル電極23aに電気的に接続されているピアス端子６とのそれぞれに導電線を電気的に接続し、第一、第二グランド電極22a、32aを電気的に接続しているピアス端子６に接続した導電線にアースをとって基準電極とし、シグナル電極23aの電圧をこれに電気的に接続させた導電線を通じて測定することができる。
【００４４】
上記では、第三電極層は、複数の帯状導電部321と、これらの帯状導電部321同士を電気的に接続させている接続導電部322とを有している場合を説明したが、この形態に限定されるものではなく、下記の如き形態であってもよい。
【００４５】
図８に示したように、合成樹脂シート31の片面における幅方向の両端部を除いた部分に、格子状に第三電極層32が一体的に形成されていてもよい。即ち、第三電極層32は、一定幅を有し且つ合成樹脂シート31の幅方向に長い複数の第一帯状導電部34が合成樹脂シート31の長さ方向に所定間隔をおいて繰返し形成されていると共に、一定幅を有し且つ合成樹脂シート31の長さ方向に延びる複数の第二帯状導電部35が合成樹脂シート31の幅方向に所定間隔をおいて繰返し形成されており、第一帯状導電部34と第二帯状導電部35とで囲まれた孔部を視認部33としている。
【００４６】
又、合成樹脂シート31の片面における幅方向の両端部を除いた部分に、一定幅でもって合成樹脂シート31の長さ方向に連続的に延びる第三帯状導電部36が一体的に形成されており、この第三帯状導電部36に孔部が形成され、この孔部を視認部33としてもよい。
【００４７】
第三帯状導電部36の孔部33は、合成樹脂シート31の長さ方向に連続的に延びた形態であっても、合成樹脂シート31の長さ方向及び幅方向に所定間隔を存して点在した形態であってもよい。
【００４８】
第三帯状導電部36の孔部33が合成樹脂シート31の長さ方向に連続的に延びた形態としては、図９に示したように波形形状であっても、又は、直線状であってもよい。
【００４９】
第三帯状導電部36の孔部33が合成樹脂シート31の長さ方向及び幅方向に所定間隔を存して点在した形態としては、図１０に示したように、合成樹脂シート31の長さ方向及び幅方向に所定間隔ごとに碁盤目状に規則的に形成されていてもよいし、又は、不規則に形成されていてもよい。
【符号の説明】
【００５０】
１     圧電シート
２     第一積層シート
３     第二積層シート
４     固定剤層
５     固定剤層
６     ピアス端子
61     基端部
62     針部
21     合成樹脂シート
22     第一電極層
22a    第一グランド電極
23     シグナル電極パターン
231    突出部
232    回避部
23a    シグナル電極
24     第二電極層
25     接着剤層
26     合成樹脂シート
31     合成樹脂シート
32     第三電極層
321    帯状導電部
322    接続導電部
32a    第二グランド電極
33     視認部
34     第一帯状導電部
35     第二帯状導電部
36     第三帯状導電部
Ａ     圧電センサ
Ｂ     圧電積層シート
Ｃ     圧電センサ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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