(57)【要約】【課題】本発明は、測定しようとするサンプル試料の表面から深さ方向だけでなく水平方向に高い分解能を有する全反射が可能な光学映像装置及びこれを用いた光学映像方法を提供する。【解決手段】本発明の光学映像装置は、入射光を提供する光源部、複数のナノ構造を有するナノパターンチップ、前記複数のナノ構造の局所領域で表面プラズモン共鳴を発生するように前記入射光の水平方向及び深さ方向のうち少なくとも１つへの入射特性を変更する光源調整系、及び前記表面プラズモン共鳴によって前記局所領域に位置した試料で発生した蛍光信号を抽出し、映像化する映像検出部を含む。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
入射光を提供する光源部、
複数のナノ構造を有するナノパターンチップ、
前記複数のナノ構造の局所領域で表面プラズモン共鳴を発生するように前記入射光の水平方向及び深さ方向のうち少なくとも１つへの入射特性を変更する光源調整系、及び
前記表面プラズモン共鳴によって前記局所領域に位置した試料で発生した蛍光信号を抽出し、映像化する映像検出部を含む光学映像装置。
【請求項２】
前記入射特性は、前記入射光の横断面の大きさ、入射光の経路、入射方向及び入射角のうち複数であることを特徴とする請求項１に記載の光学映像装置。
【請求項３】
光源調整系は、
複数の光分解フィルタを含み、前記複数の光分解フィルタのうち一部の光分解フィルタを通じて前記入射光を透過させて前記入射光の横断面の大きさ及び入射光の経路を変更する空間光分配器を含むことを特徴とする請求項１に記載の光学映像装置。
【請求項４】
光源調整系は、
複数の光分解フィルタを含み、前記複数の光分解フィルタのうち一部の光分解フィルタを通じて前記入射光を反射させて前記入射光の横断面の大きさ及び入射光の経路を変更する空間光分配器を含むことを特徴とする請求項１に記載の光学映像装置。
【請求項５】
前記光分解フィルタは、ｎ角形（ｎは３以上自然数）または円形であることを特徴とする請求項３または４に記載の光学映像装置。
【請求項６】
前記光源調整系は、
水平回転により前記空間光分配器によって横断面の大きさ及び入射光の経路が変更された入射光を水平方向に回転させる光操向プリズムをさらに含む請求項３または４に記載の光学映像装置。
【請求項７】
前記垂直回転は、水平方向に０度〜３６０度のうちいずれか１つへの回転であることを特徴とする請求項６に記載の光学映像装置。
【請求項８】
前記空間光分配器によって横断面の大きさ及び入射光の経路が変更された入射光の入射角を変更する入射角調整系を含む請求項３又は４に記載の光学映像装置。
【請求項９】
前記入射角調整系は、
前記水平回転により前記空間光分配器によって横断面の大きさ及び入射光の経路が変更された入射光を水平方向に回転させる光操向プリズム、
前記光操向プリズムを通過した入射光を屈折させるレンズ群、及び
前記レンズ群によって屈折された入射光の入射角を垂直回転させて反射する全反射光学系のうち少なくとも複数を含む請求項８に記載の光学映像装置。
【請求項１０】
前記垂直回転は、０度〜８９度のうちいずれか１つへの回転であることを特徴とする請求項９に記載の光学映像装置。
【請求項１１】
前記光操向プリズムは、脱付着されることを特徴とする請求項１０に記載の光学映像装置。
【請求項１２】
前記入射角を０度に調整する場合、前記光操向プリズムは脱着されることを特徴とする請求項１１に記載の光学映像装置。
【請求項１３】
複数のナノ構造の局所領域で表面プラズモン共鳴を発生するように前記入射光の水平方向及び深さ方向のうち少なくとも１つへの入射特性を変更する段階、及び
前記表面プラズモン共鳴によって前記局所領域に位置した試料で発生した蛍光信号を抽出し、映像化する段階を含む光学映像方法。
【請求項１４】
前記入射特性を変更する段階は、
前記入射光の横断面の大きさ及び入射光の経路を変更する段階、及び
前記変更された入射光を水平方向に回転させる段階を含む請求項１３に記載の光学映像方法。
【請求項１５】
前記水平方向に回転させる段階の以前または以後に、前記入射光の入射角を調整する段階をさらに含む請求項１４に記載の光学映像方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、超高解像度光学映像装置に係り、より詳しくは、試料の水平及び深さ方向への選択的測定が可能な光学映像装置及びこれを用いた光学映像方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
最近バイオ産業が未来をリードする次世代事業として浮上しており、これによって測定システム分野でも多様な生体映像法が開発されている。
【０００３】
全反射光学映像法は、光が全反射される時に形成されるエバネッセント波を用いて蛍光体を励起させる方法であって、エバネッセント波が表面から数百ナノメートルの間に形成されるため特定範囲内の蛍光体だけを選択的に励起させることができ、この特徴によって光学映像法の中でも細胞膜などの特定界面での相互作用を研究するのに主に用いられる。
【０００４】
従来の全反射光学顕微鏡は、試料と基板間の界面で入射光を全反射させて発生する、深さ方向に局所化されたエバネッセント波で試料に染色された蛍光体を励起（ｅｘｃｉｔａｔｉｏｎ）し、励起された蛍光体から放出した蛍光信号を検出し映像化する基本的構成を有している。
【０００５】
しかし、アッベ（Ａｂｂｅ）の回折方程式によって計算される水平方向への分解能限界より小さい分子または分子の移動経路などは、従来の全反射蛍光顕微鏡では検出することが不可能であったり、または難しい。
【０００６】
従って、深さ方向への高い分解能だけでなく、水平方向への高い分解能を有する全反射蛍光顕微鏡が必要である。
【０００７】
さらに、従来の全反射光学顕微鏡は同一表面内で選択的な励起が不可能な問題がある。
（例えば特許文献１参照）
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００４−１１７１８１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は前記のような点に鑑みてなされたものであって、本発明の目的は、測定しようとするサンプル試料の表面から深さ方向だけでなく水平方向に高い分解能を有する全反射が可能な光学映像装置及びこれを用いた光学映像方法を提供することにある。
【００１０】
これにより本発明は、ナノパターンチップ及び光源調整系基盤表面での選択的入射光源の励起を可能にすることができる。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
このような目的を達成するための、本発明の深さ方向だけでなく水平方向に高い分解能を有する全反射基盤の映像化が可能な光学映像装置の一実施例によると、入射光を提供する光源部、複数のナノ構造を有するナノパターンチップ、前記複数のナノ構造の局所領域で表面プラズモン共鳴を発生するように前記入射光の水平方向及び深さ方向のうち少なくとも１つへの入射特性を変更する光源調整系、及び前記表面プラズモン共鳴によって前記局所領域に位置した試料で発生した蛍光信号を抽出し、映像化する映像検出部を含む光学映像装置を提供することを特徴とする。
【００１２】
本発明の他側面によると、深さ方向だけでなく水平方向に高い分解能を有する全反射基盤の映像化が可能な光学映像方法を提供することを特徴とする。
【００１３】
本発明の一実施例によると、複数のナノ構造の局所領域で表面プラズモン共鳴を発生するように前記入射光の水平方向及び深さ方向のうち少なくとも１つへの入射特性を変更する段階、及び前記表面プラズモン共鳴によって前記局所領域に位置した試料で発生した蛍光信号を抽出し、映像化する段階を含む光学映像方法を提供することを特徴とする。
【００１４】
前記入射特性を変更する段階は、前記入射光の横断面大きさ及び入射光の経路を変更する段階、及び前記変更した入射光を水平方向に回転させる段階を含むことを特徴とする。
【００１５】
前記水平方向に回転させる段階以前または以後に、前記入射光の入射角を調整する段階をさらに含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の一実施例による超高解像度光学映像装置及びこれを用いた光学映像方法を提供することによって、測定しようとするサンプル試料の表面から深さ方向だけでなく水平方向に高い分解能を有する全反射が可能になる利点がある。
【００１７】
また、本発明はナノパターンチップ及び光源調整系基盤サンプル試料内で選択的入射光源の励起を可能にすることもできる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】は、本発明の一実施例による光学映像装置のブロック図である。
【図２】は、本発明の一実施例による光学映像装置の詳細構造を示した図面である。
【図３】は、本発明の一実施例による空間光分配器の構造を示した図面である。
【図４】は、本発明の一実施例による空間光分配器の動作を説明するために示した図面である。
【図５】は、本発明の一実施例による空間光分配器の動作を説明するために示した図面である。
【図６】は、本発明の一実施例による光操向プリズムの動作を説明するために示した図面である。
【図７】は、本発明の一実施例による入射角調整系の動作を説明するために示した図面である。
【図８】は、本発明の一実施例による動的動きを有するサンプル試料に対する超高分解能映像復元法を説明するために示した図面である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
本発明は多様な変換を加えることができ、様々な実施例を有するので、特定実施例を図面に例示して詳細な説明により具体的に説明することにする。
【００２０】
しかし、これは本発明を特定の実施形態に限定しようとするものではなく、本発明の思想及び技術範囲に含まれる全ての変換、均等物乃至代替物を含むものとして理解するべきである。本発明を説明する際、関連する公知技術に関する具体的な説明が本発明の要旨を不明瞭にすると判断される場合には、その詳細な説明を省略する。
【００２１】
第１、第２等の用語は多様な構成要素を説明するのに用いるが、上記構成要素が上記用語によって限定されてはならない。上記用語は１つの構成要素を他の構成要素と区別する目的でのみ用いられる。
【００２２】
本出願で用いた用語は単に特定の実施例を説明するために用いられたもので、本発明を限定しようとする意図はない。単数の表現は、文脈上明確に異なるように意味しない限り複数の表現を含む。本出願において「含む」または「有する」などの用語は、明細書上に記載された特徴、数字、段階、動作、構成要素、部品またはこれらを組み合わせたものが存在することを指定するために用いるのであって、１つまたはそれ以上の異なる特徴や数字、段階、動作、構成要素、部品またはこれらを組み合わせたものの存在または付加可能性を予め排除しないものと理解されるべきである。
【００２３】
以下では、本発明の実施例を添付した図面を参照して詳細に説明する。
【００２４】
図１は、本発明の一実施例による光学映像装置のブロック図であり、図２は、本発明の一実施例による光学映像装置の詳細構造を示した図面であり、図３は、本発明の一実施例による空間光分配器の構造を示した図面であり、図４及び図５は、本発明の一実施例による空間光分配器の動作を説明するために示した図面であり、図６は、本発明の一実施例による光操向プリズムの動作を説明するために示した図面であり、図７は、本発明の一実施例による入射角調整系の動作を説明するために示した図面であり、図８は、本発明の一実施例による動的動きを有するサンプル試料に対する超高分解能映像復元法を説明するために示した図面である。
【００２５】
図１を参照すると、本発明の一実施例による光学映像装置は、ナノパターンチップ１２０、光源部１４０、光源調整系１３０及び映像検出部１１０を含んで構成される。
【００２６】
ナノパターンチップ１２０は複数のナノ構造を有する。ここで、複数のナノ構造は不規則に配列されたナノ島、ナノ柱またはナノホールであってもよい。これに限定されずに、複数のナノ構造は一定の周期によって規則的に配列された構造であってもよい。不規則なナノ構造は、銀（Ａｇ）薄膜上に銀（Ａｇ）からなる金属層を薄く形成した後、１５０〜２００℃で加熱することによって形成される。また、ナノ構造は不規則なナノホール構造金属薄膜上に形成された金属層（例えば、Ａｇ層）を適宜加熱することによって形成される。
【００２７】
他の例として、規則的に配列されたナノホール構造は、例えば、銀（Ａｇ）薄膜上で電子ビームリソグラフィを用いて製造される。
例えば、ナノ島、ナノ柱またはナノホールのようなナノ構造は多角形形状を有することができる。ここで、多角形は、例えば三角形、長方形、正方形、菱形または円形などのような多様な形状であってもよい。
【００２８】
ナノパターンチップ１２０において複数のナノ構造は、銀（Ａｇ）、金（Ａｕ）、白金（Ｐｔ）またはアルミニウム（Ａｌ）のうち少なくとも１つからなり、または複数のナノ構造はそれぞれ相違する金属のうち互いに異なる金属からなる。
【００２９】
光源部１４０は、ナノパターンチップ１２０に入射する光源を提供するための手段である。即ち、光源部１４０によって出射した入射光はナノパターンチップ１２０に提供され、複数のナノ構造の局所領域で表面プラズモン共鳴（ＳＰＲ：ｓｕｒｆａｃｅ  ｐｌａｓｍｏｎ  ｒｅｓｏｎａｎｃｅ）を発生させる。
【００３０】
理解と説明の便宜を図るために、表面プラズモン共鳴に関して簡略に説明する。
【００３１】
ナノパターンチップ１２０で表面プラズモン共鳴現象を発生する条件は、ＲＣＷＡ（ｒｉｇｏｒｏｕｓ  ｃｏｕｐｌｅｄ  ｗａｖｅ  ａｎａｌｙｓｉｓ）またはＦＤＴＤ（ｆｉｎｉｔｅ  ｄｉｆｆｅｒｅｎｃｅ  ｔｉｍｅ  ｄｏｍａｉｎ）を通じた計算によって求めることができる。ナノパターンチップ１２０を形成する方法に用いられる工程を適用することができる。
【００３２】
プラズモンは金属内の自由電子が集団的に振動する類似粒子を意味し、ナノパターンチップ１２０ではプラズモンが表面に局部的に存在するため表面プラズモンという。複数のナノ構造上に存在する表面プラズモンが入射光（光子）と結合して強化した電場が発生する現象を表面プラズモン共鳴といい、本実施例でのように局所領域で表面プラズモン共鳴が発生する場合、これを局所表面プラズモン共鳴（Ｌｏｃａｌｉｚｅｄ  ＳＰＲ）という。
【００３３】
本発明の一実施例によって入射光がナノパターンチップ１２０下部で全反射され、全反射によって発生したエバネッセント波により局所領域で表面プラズモン共鳴現象が発生する。
このように、表面プラズモン共鳴のために全反射が用いられるという点で本発明の一実施例による光学映像装置は全反射光学顕微鏡であると云える。
【００３４】
本発明の一実施例によるナノパターンチップ１２０上には蛍光物質が染色された試料が配置され、表面プラズモン共鳴が発生した局所領域に位置した試料（蛍光体）が励起されて蛍光信号を放出する。
【００３５】
映像検出部１１０は、ナノパターンチップ１２０上の局所領域で発生した蛍光信号を抽出し、これを映像化するための手段である。
【００３６】
光源調整系１３０は、光源部１４０で出射した入射光の入射特性を変更するための手段である。ここで、入射特性は、入射光の横断面の大きさ、入射光の経路、入射方向及び入射角のうち複数であってもよい。即ち、光源調整系１３０は入射特性を変更した入射光をナノパターンチップ１２０に伝達することができる。
【００３７】
即ち、光源調整系１３０はナノパターンチップ１２０の複数のナノ構造のうち少なくとも１つに、入射光の横断面の大きさと入射光の経路が変更され、水平方向及び垂直方向のうち少なくとも１つへ入射特性を変更した入射光を提供することによって、複数のナノ構造のうち一部ナノ構造に入射光を選択的に入射してナノ構造上の局所領域の数及び位置を選択的に調整し、水平方向及び垂直方向の変更を通じた多様な局所領域で表面プラズモン共鳴を発生するようにできる利点を有する。
【００３８】
図２は、本発明の一実施例による光学映像装置の詳細構造を示した図面である。
【００３９】
図２に示したように、光学映像装置は、光源部２１０、偏光フィルタ２１５、複数の空間光分配器２２０、ミラー２２５、光操向プリズム２３０、レンズ群２３５、全反射光学系２４０、ナノパターンチップ２４５、対物レンズ２５０及びカメラ２５５を含む。
【００４０】
光源部２１０によって所定波長のレーザー光（入射光）を出射し、出射された入射光は偏光フィルタ２１５によってＴＭ（Ｔｒａｎｓｖｅｒｓｅ  Ｍａｇｎｅｔｉｃ）モードに偏光される。図２には詳細に示していないが、光源部２１０によって出射された入射光は偏光フィルタ２１５を通過する以前にビーム拡張器（図示せず）を通過することもできる。
【００４１】
偏光フィルタ２１５を通過した入射光は、光源調整系１３０によって入射光の横断面の大きさと入射方向及び入射角のうち少なくとも１つを調整することができる。
【００４２】
光源調整系１３０は、複数の空間光分配器２２０、ミラー２２５、光操向プリズム２３０及びレンズ群２３５のうち少なくとも１つを含む。
【００４３】
図２には空間光分配器２２０が複数示されているが、本発明の一実施例による光源調整系１３０は１つの空間光分配器２２０で動作することができる。
【００４４】
即ち、図２のように複数の空間光分配器２２０が具備される場合、複数の空間光分配器のうちいずれか１つだけで動作することができる。
【００４５】
また、図２のように空間光分配器が複数具備される場合、複数の空間光分配器のうちいずれか１つは入射光を透過させ、他の１つは入射光を反射させる機能を行うことができる。
【００４６】
空間光分配器２２０は、偏光フィルタ２１５を通過した入射光の、横断面の大きさ及び入射光の経路（ｐａｔｈ）を変更するための手段である。空間光分配器２２０は図３に示したように、複数の光分配フィルタを具備する。
【００４７】
ここで、光分配フィルタは、円形またはｎ角形（ｎは３以上の自然数）で構成することができる。空間光分配器２２０は１つの入射光の横断面の大きさを変更できるように少なくとも１つの光分配フィルタを具備し、光分配フィルタを通過した入射光は横断面が減少した複数の入射光経路を有するようになる。
【００４８】
図４に示したように、空間光分配器２２０に具備された複数の光分配フィルタ４１０は，ナノパターンチップ２４５のナノ構造のうち一部ナノ構造だけに入射光を入射するように光分配フィルタのうち一部のみを活性化させて入射光を透過させたり反射させることができる。
【００４９】
図４には入射光がナノ構造のうち一部ナノ構造だけに入射するように空間光分配器２２０の複数の光分配フィルタ４１０のうち一部が入射光を透過させる例が示されている。
【００５０】
図５には入射光がナノ構造のうち一部ナノ構造だけに入射するように空間光分配器２２０の複数の光分配フィルタ４１０のうち一部が入射光を反射する例が示されている。
【００５１】
図４及び図５に示したように、空間光分配器２２０は複数の光分配フィルタ４１０のうち一部または全部を選択的に活性化させて入射光を透過または反射させて入射光の入射経路を変更し、また、入射光の横断面の大きさを減少することができる（図４参照）。
【００５２】
図４及び図５においては空間光分配器２２０に具備された光分配フィルタがｎ角形であると仮定しているが、光分配フィルタは円形で構成することも当然可能である。
【００５３】
結果的に、空間光分配器２２０を通じて横断面の大きさが減少され入射光の経路が変更された入射光は、ナノパターンチップ２４５のナノ構造のうち一部ナノ構造だけに入射光が入射されて局所領域で表面プラズモン共鳴を発生する。
【００５４】
即ち、空間光分配器２２０は入射光の横断面の大きさを減少させると同時に入射光の経路を変更することによって、ナノパターンチップ２４５上に生成されるホットスポットの数（局所領域の数）を調整することができる。
【００５５】
図４及び図５を参照すると、空間光分配器２２０の光分配フィルタを制御して入射光の経路と入射光の横断面の大きさを変更した例が示されている。
【００５６】
図４及び図５は入射光の経路がそれぞれ３つの経路に変更された例を示したものであって、入射光の経路が多様に変更できることは当然である。
【００５７】
このように、空間光分配器２２０によって入射光の経路及び横断面の大きさが変更された入射光はミラー２２５によって反射され光操向プリズム２３０に入射される。
【００５８】
光操向プリズム２３０は、水平回転を通じて入射光を水平方向に回転させるための手段である。ここで、水平回転は０度から３６０度まで設定できる。光操向プリズム２３０の回転を通じて空間光分配器２２０によって、ナノパターンチップ２４５上の選択されたナノ構造上にホットスポットの局所領域の位置を水平方向に制御できる。
【００５９】
図６を参照すると、光操向プリズム２３０の水平回転を通じてナノ構造上の水平方向へのホットスポットの位置を制御した一例が示されている。即ち、図６の６１０は光操向プリズム２３０の回転によって１つのナノ構造にホットスポットの位置が水平方向に変化されることを示した図面である。
【００６０】
これによって、本発明の一実施例によると、空間光分配器２２０を通じて入射光の横断面の大きさ及び入射光の経路（ホットスポットの数）を変更して所望のナノ構造だけに選択的に入射光を入射するようにしてナノ構造上のホットスポットの数を調整することができ、光操向プリズム２３０は空間光分配器２２０によって横断面の大きさ及び入射方向が変更された入射光を回転させてナノ構造のホットスポットの局所領域の位置を水平方向に変更できる。
【００６１】
このように、光操向プリズム２３０によって水平方向に回転された入射光はレンズ群２３５を通過した後、全反射光学系２４０を通過してナノパターンチップ２４５に伝達される。
以上、入射光の経路及び横断面の大きさを変更した後、水平方向への回転のための構成を中心に説明した。
【００６２】
図２には示していないが、光操向プリズム２３０、レンズ群２３５及び全反射光学系２４０のうち一部の選択的組合わせによって入射光の垂直方向への入射角を調整することができる。
【００６３】
即ち、光操向プリズム２３０の操向角度調整とレンズ群２３５の焦点長さ調整を通じて垂直方向への入射角を調整することができる。ここで、垂直方向への入射角は０度から８９度のうちのいずれか１つである（図７参照）。
【００６４】
本明細書では理解と説明の便宜を図るために光操向プリズム２３０、レンズ群２３５及び全反射光学系２４０を１つのグループとし、入射角調整系と総称して説明する。入射角調整系を調整することによって、結果的にホットスポットの位置を垂直面で調整してサンプル試料の所望の高さ情報を得ることができる。
【００６５】
例えば、垂直方向に０度に入射角を調整する場合、入射角調整系のうち光操向プリズム２３０を脱着させて入射光がレンズ群２３５を通過した後、全反射光学系を通じてナノパターンチップに入射するように調整することができる。
【００６６】
この他にも、垂直方向に入射角を調整する場合、光操向プリズム２３０を付着させた後、光操向プリズム２３０、レンズ群２３５及び全反射光学系２４０の制御を通じて入射角を所望の角度に調整することができる。
【００６７】
図７は、入射角調整系の調整によって垂直方向に入射角を調整し、ナノ構造の垂直方向にホットスポットの位置を変化させた一例を示したものである。
【００６８】
このように、光源調整系１３０は偏光フィルタ２１５を通過した入射光の横断面の大きさと入射光の経路を調整し、水平及び垂直方向への入射方向を変更してナノ構造のホットスポットの局所領域の位置を水平方向に移動させることによって、水平及び深さ方向への高分解能を有する光学映像を取得できるようにする。
【００６９】
再度図２を参照すると、光操向プリズム２３０を通過した入射光はレンズ群２３５を透過した後、全反射光学系２４０によって全反射されてナノパターンチップ２４５に入射される。
【００７０】
このように、光源調整系１３０を通じてナノパターンチップ２４５の所定のナノ構造の局所領域位置の水平方向及び深さ方向のうち１つまたは全てに入射特性が変更されて選択的に局所表面プラズモン共鳴を発生することができる。
【００７１】
光源調整系１３０を通過した入射光は、全反射光学系２４０によって全反射されてナノパターンチップ２４５に入射され、所定のナノ構造の局所領域で選択的に局所表面プラズモン共鳴が発生するようになる。
【００７２】
これによって、図８に示したように、動的動きを有するサンプル試料に対する超高分解能映像の復元が可能になる。
【００７３】
このように、ナノパターンチップ２４５の所定のナノ構造の局所領域で選択的に発生した局所表面プラズモン共鳴によって、試料の蛍光信号は対物レンズ２５０を通じてカメラ２５５（ＣＣＤ）によって映像化することができる。
【００７４】
一方、本発明の実施例による水平及び深さ方向への高分解能を有する超高解像度光学映像方法は、多様な電子的情報処理手段を通じて行われるプログラム命令形態で具現して格納媒体に記録されることができる。
【００７５】
格納媒体は、プログラム命令、データファイル、データ構造などを単独または複数組み合わせて含むことができる。
【００７６】
格納媒体に記録されるプログラム命令は、本発明のために特別に設計して構成されたものであったり、ソフトウェア分野の当業者に公知で使用可能なものであってもよい。
【００７７】
格納媒体としては、例えば、ハードディスク、フロッピー（登録商標）ディスク及び磁気テープのような磁気媒体（ｍａｇｎｅｔｉｃ  ｍｅｄｉａ）、ＣＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤのような光記録媒体（ｏｐｔｉｃａｌ  ｍｅｄｉａ）、フロプティカルディスク（ｆｌｏｐｔｉｃａｌ  ｄｉｓｋ）のような磁気−光媒体（ｍａｇｎｅｔｏ−ｏｐｔｉｃａｌ  ｍｅｄｉａ）及びロム（ＲＯＭ）、ラム（ＲＡＭ）、フラッシュメモリなどのようなプログラム命令を格納して遂行するように特別に構成されたハードウェア装置が含まれる。プログラム命令としては、例えば、コンパイラによって作られる機械語コードだけでなくインタープリターなどを用いて電子的に情報を処理する装置、例えば、コンピュータによって実行される高級言語コードを含む。
【００７８】
上述したハードウェア装置は本発明の動作を遂行するために１つ以上のソフトウェアモジュールで作動するように構成することができ、その逆も可能である。
【００７９】
以上、本発明の好ましい実施例を参照して説明したが、該当技術分野の当業者は特許請求の範囲に記載された本発明の思想及び領域から逸脱しない範囲内で本発明を多様に修正及び変更させることができる。
【産業上の利用可能性】
【００８０】
本発明は、試料の水平及び深さ方向への選択的測定ができる光学映像装置及びこれを用いた光学映像方法に関する分野に適用できる。
【符号の説明】
【００８１】
２１０  光源部
２１５  偏光フィルタ
２２０  空間光分配器
２２５  ミラー
２３０  光操向プリズム
２３５  レンズ群
２４０  全反射光学系
２４５  ナノパターンチップ
２５０  対物レンズ
２５５  ＣＣＤ
【図１】
2014149295.tif 000003
【図２】
2014149295.tif 000004
【図３】
2014149295.tif 000005
【図４】
2014149295.tif 000006
【図５】
2014149295.tif 000007
【図６】
2014149295.tif 000008
【図７】
2014149295.tif 000009
【図８】
2014149295.tif 000010