(57)【要約】【課題】液体の圧力を測定する技術を提供する。【解決手段】測定対象の液体の圧力を測定する圧力測定装置であって、流路抵抗を有する流路と、流路の一端と連通する所定容積の液体収容室と、液体収容室の圧力を変更する圧力変更手段と、流路と液体収容室とに液体を収容した状態で、圧力変更手段の動作にともなう液体収容室内の圧力の挙動を測定する測定部と、圧力の挙動に基づいて、圧力を取得する取得部とを備える。【選択図】図１
2014081269.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定対象の液体の圧力を測定する圧力測定装置であって、
流路抵抗を有する流路と、
前記流路の一端と連通する所定容積の液体収容室と、
前記液体収容室の圧力を変更する圧力変更手段と、
前記流路と前記液体収容室とに前記液体を収容した状態で、前記圧力変更手段の動作にともなう前記液体収容室内の圧力の挙動を測定する測定部と、
前記圧力の挙動に基づいて、前記液体の圧力を取得する取得部と
を備える圧力測定装置。
【請求項２】
請求項１記載の圧力測定装置であって、
前記圧力の挙動は、前記圧力の変更によって、前記液体収容室の液体が所定の圧力になったときから、次に当該所定の圧力になるまでの期間である
圧力測定装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２記載の圧力測定装置であって、
前記圧力変更手段は、圧電素子を備え、前記圧電素子の歪力によって前記液体収容室の圧力を変更する
圧力測定装置。
【請求項４】
請求項３記載の圧力測定装置であって、
前記圧電素子は、さらに、前記液体収容室の圧力変化によって歪み、
前記測定部は、前記圧電素子の歪みに基づいて前記圧力の挙動を測定する
圧力測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体の圧力を測定する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、液体の圧力を測定する技術として、例えば、下記特許文献１の技術が知られている。特許文献１には、音叉型圧電振動子のＣＩ値（等価直列抵抗）によって圧力を計測する技術が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−８５３７７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、特許文献１の圧力測定の技術においては、ＣＩ値が音叉型圧電振動子の物性特性に大きく依存する。そのため、圧力を正確に測定するには、音叉型振動子の形状や大きさを高精度に制御する必要や、音叉型振動子の電気特性を正確に把握し制御する必要があるなど、製造時に非常に高い精度が要求されるといった問題が指摘されていた。また、使用する際にも頻繁にキャリブレーションを行う必要があるといった問題も指摘されていた。音叉型圧電振動子は、空気中の埃等の影響によっても挙動が変動するため、構造的にも精密な構造が要求されるとともに、使用環境が制限されるといった問題も指摘されていた。これらの問題は、液体の圧力を測定する技術一般に共通する問題であった。その他、液体の圧力を測定する装置においては、小型化、低コスト化、省資源化、製造の容易化、使い勝手の向上等が望まれていた。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態として実現することが可能である。
【０００６】
（１）本発明の一形態によれば、測定対象の液体の圧力を測定する圧力測定装置が提供される。この圧力測定装置は、流路抵抗を有する流路と；前記流路の一端と連通する所定容積の液体収容室と；前記液体収容室の圧力を変更する圧力変更手段と；前記流路と前記液体収容室とに前記液体を収容した状態で、前記圧力変更手段の動作にともなう前記液体収容室内の圧力の挙動を測定する測定部と；前記圧力の挙動に基づいて、前記液体の圧力を取得する取得部と；を備える。この圧力測定装置によると、圧力変更手段による圧力の変更によって生じる液体の圧力の挙動に基づいて液体の圧力を測定するので、直接的に圧力を測定する際に必要な構造的制限を回避し、構造を簡易にすることができる。圧力の挙動とは、液体の流量、流速、移動度など、液体に関する種々のパラメーターから間接的に取得するものとしてもよい。
【０００７】
（２）上記形態の圧力測定装置において、前記圧力の挙動は、前記圧力の変更によって、前記液体収容室の液体が所定の圧力になったときから、次に当該所定の圧力になるまでの期間であるものとしてもよい。この圧力測定装置によると、液体収容室の液体が所定の圧力になったときから、次に当該所定の圧力になるまでの期間を測定することによって圧力を測定するので、比較的簡易な方法によって液体の圧力を測定することができる。
【０００８】
（３）上記形態の圧力測定装置において、前記圧力変更手段は、圧電素子を備え、前記圧電素子の歪力によって前記液体収容室の圧力を変更するものとしてもよい。この圧力測定装置によると、圧力の変化を電気的に制御することができる。
【０００９】
（４）上記形態の圧力測定装置において、前記圧電素子は、さらに、前記液体収容室の圧力変化によって歪み；前記測定部は、前記圧電素子の歪みに基づいて前記圧力の挙動を測定するものとしてもよい。この圧力測定装置によると、液体収容室の液体の圧力の変化と、圧力の挙動の測定とを、同じ圧電素子によって行うことができる。
【００１０】
上述した本発明の各形態の有する複数の構成要素はすべてが必須のものではなく、上述の課題の一部又は全部を解決するため、あるいは、本明細書に記載された効果の一部又は全部を達成するために、適宜、前記複数の構成要素の一部の構成要素について、その変更、削除、新たな他の構成要素との差し替え、限定内容の一部削除を行うことが可能である。また、上述の課題の一部又は全部を解決するため、あるいは、本明細書に記載された効果の一部又は全部を達成するために、上述した本発明の一形態に含まれる技術的特徴の一部又は全部を上述した本発明の他の形態に含まれる技術的特徴の一部又は全部と組み合わせて、本発明の独立した一形態とすることも可能である。また、このような形態によれば、装置の小型化や、低コスト化、省資源化、製造の容易化、使い勝手の向上等の種々の課題の少なくとも１つを解決することができる。
【００１１】
なお、本発明は、種々の態様で実現することが可能である。例えば、圧力計、水圧計、水深計、圧力測定システム、圧力測定方法などの形態で実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】測定システム１０を説明する説明図である。
【図２】駆動回路５０の構成を説明するブロック図である。
【図３】圧力信号Ｖｐおよび検出信号ＤＳを例示した説明図である。
【図４】負圧期間Ｔと容器２０内の圧力との関係を示す実測結果である。
【図５】変形例２としての圧力測定装置の態様を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
Ａ．第１実施形態：
（Ａ１）システム構成：
図１は、本発明の第１実施形態としての圧力測定装置３０を用いた測定システム１０を説明する説明図である。圧力測定装置３０は、液体の圧力を測定する装置である。測定システム１０は、測定対象の液体Ｌｑが収容された容器２０と、圧力測定装置３０とを備える。本実施形態においては、容器２０に収容されている液体Ｌｑは水である。容器２０の内部は、所定の圧力が保たれている。
【００１４】
圧力測定装置３０は、筐体３２と、流路３４と、ダイアフラム３６と、圧電素子３８と、駆動回路５０とを備える。筐体３２は、内部にポンプ室４０を有する。ポンプ室４０は、筐体３２の内壁とダイアフラム３６とによって形成される。流路３４は、容器２０に接続されており、ポンプ室４０と容器２０とを連通している。よって、流路３４およびポンプ室４０には、測定対象の液体Ｌｑ（本実施形態では水）が充満している。ポンプ室４０は、液体Ｌｑを満たすために、測定前からポンプ室４０内に存在する空気を抜くための蓋付きの空気抜き穴を備えるとしてもよい。本実施形態においては、容器２０、および、筐体３２は、非常に固い部材で構成されている。例えば、ステンレス鋼を採用することができる。
【００１５】
圧電素子３８は、一端がダイアフラム３６に、他端が筐体３２の内壁に、それぞれ固定されている。本実施形態では、圧電素子３８として、積層型の圧電素子を用いる。また、それに限ることなく、モノモルフやバイモルフの圧電素子を採用するとしてもよい。圧電素子３８は、駆動回路５０と接続されており、駆動回路５０から印加される駆動信号（電力）によって伸張する。圧電素子３８は、伸張による歪力によってダイアフラム３６を押し引きし、ポンプ室４０の容積を変化させることによって、間接的にポンプ室４０内の水に対して、加圧および減圧を行う。ダイアフラム３６および圧電素子３８が、特許請求の範囲に記載の圧力変更手段に対応する。
【００１６】
駆動回路５０は、圧電素子３８に駆動信号を印加するとともに、ポンプ室４０の内部圧力の変化を検出する。具体的には、ポンプ室４０の圧力が変化すると、ダイアフラム３６を介して圧電素子３８に力が加わる。圧電素子３８は、圧電効果によって電圧を発生する。駆動回路５０は、圧電素子３８が発生した電圧を検出することによりポンプ室４０の内部圧力の変化を検出する。なお、本説明におけるポンプ室４０の「内部圧力」とは、基準となる圧力によって規定されていない相対的な内部圧力である。後述するように、駆動回路５０は、所定の条件の下で検出したポンプ室４０の内部圧力の変化に基づいて、測定対象である水の絶対的な圧力を測定する。
【００１７】
図２は、駆動回路５０の構成を説明するブロック図である。駆動回路５０は、駆動波形信号Ｖｉｎを出力する制御部５２と、駆動波形信号Ｖｉｎを増幅率Ｇで増幅して駆動信号Ｖｏｕｔを出力する増幅回路５４と、ポンプ室４０の内部圧力を検出する圧力検出部６０と、検出した内部圧力を所定の閾値と比較する比較部５６と、表示部７０とを備える。圧力検出部６０は、圧電素子３８の駆動電流を検出する電流検出回路６２と、検出した駆動電流を積分する積分回路６４と、積分回路６４の出力と駆動波形信号Ｖｉｎとの差分を出力する減算回路６６を備える。
【００１８】
駆動回路５０は、ポンプ室４０の内部圧力を示す圧力信号Ｖｐを、以下のようにして検出する。制御部５２は、駆動波形信号Ｖｉｎを出力する。駆動波形信号Ｖｉｎは増幅回路５４で増幅され、駆動信号Ｖｏｕｔとして圧電素子３８に印加される。このとき、圧電素子３８には、駆動信号Ｖｏｕｔに対応する駆動電流Ｉｏｕｔが流れ込む。圧電素子３８の他端には、電流検出用の抵抗ｒが接続されている。抵抗ｒの他端は接地されている。電流検出回路６２は、駆動電流Ｉｏｕｔによって生じる抵抗ｒ端子間の電位差を、抵抗ｒの抵抗値で除算することによって電流信号Ｖｉに変換し、積分回路６４に入力する。積分回路６４は、入力された電流信号Ｖｉを積分器で積分することによって、圧電素子３８に蓄えられた電荷量に対応する値である電荷信号Ｖｑを出力する。
【００１９】
圧電素子３８に流れる駆動電流Ｉｏｕｔ（電流信号Ｖｉ）は圧電素子３８の変位速度に比例する。よって、圧電素子３８に蓄えられる電荷量（電荷信号Ｖｑ）は、圧電素子３８の変位に比例している。圧電素子３８が自由に伸縮可能な状態では、圧電素子３８の変位は駆動信号にほぼ比例する。一方、ポンプ室４０で内部圧力が変化すると、ダイアフラム３６を介して圧電素子３８が圧力の変化を受ける。このとき、圧電素子３８は受けた圧力の変化に比例して伸縮する（変位が変わる）ため、ポンプ室４０の圧力変化を受けた場合の圧電素子３８の変位と、本来の圧電素子３８の変位との差（圧力を受けていないときとの差）は、圧電素子３８が受けた圧力（ポンプ室４０の内部圧力）に比例する。
【００２０】
圧力検出部６０は、積分回路６４の積分器で得られた電荷信号Ｖｑを圧電素子３８の等価静電容量ｃ及び増幅回路５４の増幅率Ｇで除算して電圧信号Ｖｘを取得する。圧力検出部６０は、圧電素子３８の実変位に対応する電圧信号Ｖｘと、駆動波形信号Ｖｉｎとの差分を減算回路６６で算出することによって、ポンプ室４０の相対的な内部圧力に対応した圧力信号Ｖｐを取得する。
【００２１】
圧力検出部６０は、取得した圧力信号Ｖｐを、比較部５６に入力する。比較部５６は、所定の閾値と比較することにより、２値化された検出信号ＤＳを生成して、制御部５２に入力する。制御部５２は、ルックアップテーブルＬＵＴを備えている。制御部５２は、入力された検出信号ＤＳとルックアップテーブルＬＵＴに基づいて水の圧力を取得する。そして、取得した圧力値を表示部７０に、ユーザーが視認可能に表示する。なお、ルックアップテーブルＬＵＴ、および、検出信号ＤＳに基づいて圧力を取得する方法については後述する。
【００２２】
（Ａ２）圧力振動：
図３は、駆動信号Ｖｏｕｔを圧電素子３８に印加したときに、圧力検出部６０で得られた圧力信号Ｖｐ、および、比較部５６で得られた検出信号ＤＳを例示した説明図である。図３（ａ）は、圧電素子３８に印加する駆動信号Ｖｏｕｔを示している。図３（ｂ）は、圧力検出部６０で得られた圧力信号Ｖｐを示している。図３（ｃ）は、比較部５６で得られた検出信号ＤＳを示している。
【００２３】
図３（ａ）に示すように、本実施形態においては、制御部５２から１パルスのＶｉｎを出力し、圧電素子３８に駆動信号Ｖｏｕｔを印加する。圧電素子３８は、駆動信号Ｖｏｕｔの電圧（駆動電圧）が上昇すると伸張し、ダイアフラム３６を介してポンプ室４０の液体を加圧する。その結果、図３（ｂ）に示すように、駆動信号Ｖｏｕｔの電圧が立ち上がるとともに、ポンプ室４０の内部圧力が急激に上昇する。駆動電圧が最大電圧で保たれている間は、圧電素子３８の変位は変わらない。このため、ポンプ室４０の液体と容器２０の液体との間に圧力差が生じ、ポンプ室４０から容器２０に液体が流出する（図１参照）。ポンプ室４０の内部圧力は、液体が容器２０に流出するに従って減少する。このとき、流路３４のイナータンスによって流路３４を通過する液体に慣性力が働き、ポンプ室４０から容器２０へ液体が流れ続けようとする。その結果、ポンプ室４０の内部圧力は負圧となる。なお、イナータンスについては、後で詳しく説明する。
【００２４】
そして、ポンプ室４０は、内部圧力が負圧になると、容器２０から液体を吸入する。従って、容器２０からポンプ室４０へ液体が流入する。この場合も、上記説明したように流路のイナータンスに基づく慣性力によって、容器２０からポンプ室４０へ液体が流れ続けようとする。従って、図３（ｂ）に示すように、ポンプ室４０の内部圧力は上昇する。このように、流路３４のイナータンスに起因する慣性力によって、ポンプ室４０の内部圧力は振動する。図３（ｂ）から分かるように、ポンプ室４０の内部圧力の振動は所定の周期を有する。
【００２５】
ここで、図３（ｂ）に示すように、圧電素子３８への駆動信号Ｖｏｕｔの印加に伴うポンプ室４０の内部圧力の１回の上昇と下降とからなる圧力振動の波を第１波と呼ぶ。その後の第１波に続く圧力振動の波を、第２波、第３波、第４波・・・・と言ったように呼ぶ。図３（ｃ）に示すように、検出信号ＤＳは、ポンプ室４０の圧力振動の波（第１波、第２波・・・等）に対応した信号となる。各圧力振動に対応した検出信号ＤＳのパルスを、第１パルス、第２パルス・・・と言ったように呼ぶ。
【００２６】
図３（ｃ）に示したように、検出信号ＤＳの第１パルスに続いて第２パルスが検出された場合、第１パルスが発生してから第２パルスが発生するまでの期間の長さは、送液ポンプ１００が液体を圧送する圧力に関する情報を有している。より具体的には、容器２０内の圧力に関する情報を有している。圧力信号Ｖｐの第２波は、流路３４内をポンプ室４０から容器２０に向かって流れる液体が、ポンプ室４０と容器２０との圧力差によってポンプ室４０に引き戻されることによって発生する。従って、ポンプ室４０と容器２０との圧力差が大きくなると、ポンプ室４０が容器２０内の液体Ｌｑを引き戻す力が大きくなるので、第２波が早く発生し、結果として、検出信号ＤＳにおける第２パルスも早く発生する。
【００２７】
図３（ｂ）から分かるように、第１波の発生後から第２波の発生までは、ポンプ室４０内は概ね負圧となっている。また、ポンプ室４０は、容器２０と連通する以外に液体Ｌｑの出入りがないので、第２波が発生するまでの期間にポンプ室４０の圧力が大きく変動することはない。このため、第１波が終了してから第２波が発生するまでの期間（以下、負圧期間Ｔとも呼ぶ）における容器２０とポンプ室４０との圧力差は、容器２０内の圧力が主に決定している。具体的には、容器２０内の圧力が高くなるにつれて、負圧期間Ｔは短くなる。換言すれば、負圧期間Ｔが短いほど、容器２０の圧力が高いと言うことができる。また、実験から、第１波が発生してから終了するまでの時間、すなわち、第１パルスのパルス幅は、ポンプ室４０の圧力に依存せず、ほとんど変化しないことが確かめられた。
【００２８】
次に、ポンプ室４０における負圧期間が容器２０の圧力に依存していることを実測によって示す。具体的には、容器２０内の圧力が高くなるにつれて、負圧期間は短くなることを示す。図４は、第１パルスから第２パルスまでの負圧期間Ｔと、容器２０内の圧力との関係を示す実測結果である。図４のグラフの横軸が負圧期間Ｔ、縦軸が容器２０の圧力となる。この実験においては、容器２０の圧力は、別個に設けた圧力計によって測定する。図４に示すように、容器２０の圧力が高くなるにつれて、負圧期間Ｔは短くなっていることが分かる。すなわち、負圧期間Ｔを検出することによって、測定対象の液体（本実施形態においては容器２０）の圧力を検出することができる。
【００２９】
（Ａ３）圧力測定：
圧力測定装置３０は、上記説明した図４のグラフに対応するルックアップテーブルＬＵＴを制御部５２に格納している（図２参照）。すなわち、制御部５２は、負圧期間Ｔの各値と、測定対象の圧力の実測に基づく値とを対応付けたルックアップテーブルＬＵＴを備える。実際に測定対象の液体の圧力を測定する際には、制御部５２は、圧電素子３８に対して１パルスの駆動信号Ｖｏｕｔを印加して、ポンプ室４０内に圧力振動を発生させ、検出した検出信号ＤＳから負圧期間Ｔを抽出する。そして、取得した負圧期間ＴをルックアップテーブルＬＵＴに入力する。制御部５２は、負圧期間Ｔに対応してルックアップテーブルＬＵＴから出力される圧力の値を取得する。
【００３０】
その後、制御部５２は、取得した圧力の値を、ユーザーに視認可能に表示部７０に表示する。制御部５２は、水、所定の油、所定の有機溶媒など、種々の液体についてのルックアップテーブルＬＵＴを備えるとしてもよい。各液体について、負圧期間Ｔと測定対象の液体の圧力との相関を実測しルックアップテーブルを生成することによって実現することが可能である。
【００３１】
次に、本実施形態の説明に用いたイナータンスについて説明する。イナータンスとは、流路の特性値である。具体的には、流路の一端に圧力が加わったことによって流路内の流体が流れようとするときの、流体の流れやすさを示している。例えば、断面積がＳで、長さがＬの流路に、密度の流体（本実施形態では液体）が満たされており、流路の一端に圧力Ｐ（両端での圧力差）が加わったものとする。流路内の流体にはＰ×Ｓの力が作用する。その結果、流路内の液体が流れ出す。流体の加速度をａとすると、下記式（１）の運動方程式が成り立つ。
【００３２】
【数１】
2014081269.tif 000003
【００３３】
流路を流れる体積流量をＱ、流路を流れる流体の流速をｖとすると、下記式（２）および式（３）が得られる。
【００３４】
【数２】
2014081269.tif 000004
【数３】
2014081269.tif 000005
【００３５】
式（２）および式（３）から下記式（４）を得ることができる。
【００３６】
【数４】
2014081269.tif 000006
【００３７】
式（４）は、同じ圧力Ｐが加わるのであれば、（ρ×Ｌ／Ｓ）が小さくなるほど、ｄＱ／ｄｔが大きくなる（すなわち、流速が大きく変化すること）を表している。この（ρ×Ｌ／Ｓ）がイナータンスと呼ばれる値である。以上、イナータンスについて説明した。
【００３８】
以上説明したように、圧力測定装置３０は、容器２０とポンプ室４０との間における圧力振動を利用して測定対象の液体の圧力を測定することができる。よって、圧力測定装置３０においては、圧電素子３８に駆動信号を印加してポンプ室４０と容器２０との間に圧力振動を発生させ、ポンプ室４０の内部圧力（相対圧力）の変化を取得することができれば、測定対象の液体の圧力（絶対圧力）を測定することができる。従って、圧電素子のキャリブレーションを必要としない。また、簡易な構造によって圧力測定を行うことができる。結果として、圧力を測定する際に、外部の誇りや、温度変化など、圧力測定装置３０の外部の変化に影響を受けにくい耐久性の高い構成とすることが可能である。よって、比較的劣悪な測定環境においても圧力測定が可能であるので、工業用に最適な圧力計とすることができる。例えば、液体を収容する工業用のタンクや、工業用の液体流路としての配管には、通常、温度計の挿入用の貫通孔や、ドレイン抜き用の貫通孔が設けられている。このような貫通孔に圧力測定装置３０の流路３４を接続することによって、タンク内や配管内の圧力を測定することが可能となる。また、本実施形態においては、１つの圧電素子３８で、ポンプ室４０の加圧と、ポンプ室４０の内部圧力の測定を行うので、それぞれ別個の素子や装置によって行う場合と比較して、構造の簡易化、小型化、低コスト化を実現することができる。
【００３９】
特許請求の範囲との対応関係としては、ポンプ室４０が特許請求の範囲に記載の液体収容室に対応する。ダイアフラム３６および圧電素子３８が、特許請求の範囲に記載の圧力変更手段に対応する。液体の圧力振動が、特許請求の範囲に記載の圧力の挙動に対応する。圧電素子３８および駆動回路５０が、特許請求の範囲に記載の測定部に対応する。駆動回路５０（制御部５２）が、特許請求の範囲に記載の取得部に対応する。
【００４０】
Ｂ．変形例：
なお、この発明は上記の実施形態や実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の態様において実施することが可能であり、例えば次のような変形も可能である。
（Ｂ１）変形例１：
上記実施形態においては、容器２０内に収容された水の圧力を測定するとしたが、測定対象の液体は密閉された容器に収容されている場合に限らず、配管や、開放された容器に収容されているとしてもよい。このような場合にでも、圧力測定装置３０は、液体の圧力を測定することが可能である。
【００４１】
（Ｂ２）変形例２：
圧力測定装置３０の態様は、図１に示した態様に限らず、種々の態様を採用することができる。図５は、変形例２としての圧力測定装置の態様を示す説明図である。図示するように流路３４の先端が鋭利な形状をしており、容器２０に突き刺して使用する態様となっている。測定対象の液体Ｌｑが収容されている容器２０には、流路３４を突き刺して容器２０の内部と連通させるため挿入部２２が設けられている。挿入部２２は、肉厚のゴム部材からなる。流路３４を抜いた後に形成された挿入部２２の穴は、ゴム部材の弾性力により塞がれる。
【００４２】
図示するように、圧力測定装置３０は、表示部７０と、測定の開始のためのスタートボタンや、測定値の記録を指示するための操作ボタンなど、種々の操作ボタン７２を有する。表示部７０には、測定された圧力の値がユーザーに視認可能に表示される。圧力測定装置３０をこのような態様とすることで、ユーザーは簡易に容器２０に収容されている液体Ｌｑの圧力を測定することができる。
【００４３】
（Ｂ３）変形例３：
上記実施形態においては、圧電素子３８が、圧力振動を生じさせるとともに、ポンプ室４０の内部圧力（相対圧力）を測定したが、それぞれ、別個の圧電素子を用いてもよい。つまり、圧力測定装置３０は、圧力差発生部としての圧電素子と、測定部としての圧電素子とを、各々、別個に備えるとしてもよい。また、上記実施形態においては、圧力差発生部として圧電素子を採用したが、圧電素子に換えて磁歪素子など、ポンプ室４０と容器２０との間に圧力差を生じさせることが可能な素子や装置を用いるとしてもよい。磁歪素子は歪みによる変位が大きいので、より大きい圧力振動を生じさせることができる。このようにしても、上記実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００４４】
（Ｂ４）変形例４：
上記実施形態においては、ルックアップテーブルＬＵＴを用いて負圧期間Ｔから液体の圧力を取得するとしたが、他の方法によって、圧力を取得するとしてもよい。例えば、図４のグラフに示す負圧期間Ｔと圧力との相関を示す所定の関数を用いるとしてもよい。制御部５２が、負圧期間Ｔを所定の関数に代入して液体の圧力を算出することにより実現することができる。
【００４５】
（Ｂ５）変形例５：
上記実施形態においては、液体として水を採用したが、それに限ることなく、所定の油（例えば、シリコンオイル）や、所定の有機溶媒（例えば、アルコール）など、種々の液体を採用することができる。この場合、制御部５２が、水に加え、所定の油、所定の有機溶媒など、種々の液体についてのルックアップテーブルＬＵＴを備えることで実現可能である。
【００４６】
（Ｂ６）変形例６：
上記実施形態においては、圧力変更手段として、圧電素子３８およびダイアフラム３６を採用したが、それに限らず、ポンプ室４０の圧力を変更させることができる種々の構成を採用することができる。例えば、ポンプ室４０に外部から液体を注入することによって、ポンプ室４０の圧力を変更するとしてもよい。そのほか、ポンプ室４０内にレーザー射出部を備え、ポンプ室４０内の水にレーザーを照射することによって気泡を発生させ、この気泡によって圧力を変更するとしてもよい。このようにしても、上記実施形態と同様の効果を得ることができる。
【符号の説明】
【００４７】
１０…測定システム
２０…容器
２２…挿入部
３０…圧力測定装置
３２…筐体
３４…流路
３６…ダイアフラム
３８…圧電素子
４０…ポンプ室
５０…駆動回路
５２…制御部
５４…増幅回路
５６…比較部
６０…圧力検出部
６２…電流検出回路
６４…積分回路
６６…減算回路
７０…表示部
７２…操作ボタン
１００…送液ポンプ
Ｌｑ…液体
ＬＵＴ…ルックアップテーブル
【図１】
2014081269.tif 000007
【図２】
2014081269.tif 000008
【図３】
2014081269.tif 000009
【図４】
2014081269.tif 000010
【図５】
2014081269.tif 000011