(57)【要約】【課題】搬送面の強度を保つと共に、フィルム状物に痕が付くことを防止する。【解決手段】浮揚搬送装置１０は、流体を吐出する無数の開口部が設けられた搬送面１４を備え、無数の開口部から吐出する流体によって、フィルム状物Ｆ１を搬送面１４から浮揚させつつ搬送する。搬送面１４は、無数の開口部として無数の小孔２１ａが設けられ、流体の吐出量を制御する制御層２１と、無数の開口部として、小孔２１ａより大きい無数の大孔２３ａ，２４ａが設けられ、制御層２１の強度を補う補強層２３，２４と、が積層されたものである。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体を吐出する無数の開口部が設けられた搬送面を備え、前記無数の開口部から吐出する流体によって、フィルム状物を前記搬送面から浮揚させつつ搬送する浮揚搬送装置であって、
前記搬送面は、
前記無数の開口部として無数の小孔が設けられ、前記流体の吐出量を制御する制御層と、
前記無数の開口部として、前記小孔より大きい無数の大孔が設けられ、前記制御層の強度を補う補強層と、が積層されたものであることを特徴とする、
浮揚搬送装置。
【請求項２】
前記制御層は、金網又は金属不織布で構成されることを特徴とする、
請求項１に記載の浮揚搬送装置。
【請求項３】
前記小孔は、径が１μｍ以上１００μｍ以下であることを特徴とする、
請求項１又は２に記載の浮揚搬送装置。
【請求項４】
前記搬送面は、さらに、
前記無数の開口部として、前記小孔より大きくて前記大孔より小さい無数の中孔が設けられ、前記制御層を覆う被覆層が積層されたものであることを特徴とする、
請求項１〜３のいずれかに記載の浮揚搬送装置。
【請求項５】
前記搬送面を有するチャンバーを備え、
前記チャンバーは、前記搬送面が着脱可能に構成されることを特徴とする、
請求項１〜４のいずれかに記載の浮揚搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フィルムや、金属箔、織物、紙、テープ、粘着テープなどのフィルム状の物体、あるいはガラス板（液晶用ガラス基板など）や金属板（金属ストリップ）の板状物（シリコン基板やプリント基板なども含む）、更には板厚の厚めの物体（以下、これらをまとめて単にフィルム状物という。）を流体によって浮揚させつつ搬送する浮揚搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、フィルム状物をエアなどの流体によって浮揚させつつ搬送する浮揚搬送装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。この浮揚搬送装置は、流体を吐出する複数の孔が設けられた平面、または断面視で円弧形もしくは楕円弧形をなす曲面からなる搬送面を備えている。この搬送面には、複数の孔がパンチングされた金属板（以下、「パンチングメタル」という。）などが用いられる。また、パンチングメタルに代えて、多孔質焼結金属や多孔質プラスチックを用いることもある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−０４６２７２号公報（段落［０００２］参照）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
パンチングメタルの孔の径は、製造の都合、板厚より小さくすることが難しい。このため、ある程度の板厚として強度を保つ場合、孔の径を小さくすることに限界がある。このようなパンチングメタルを搬送面に用いる場合、孔から吐出する流体によって、搬送中のフィルム状物に筋などの痕が付くことがある。例えば、フィルム状物の表面に塗布された塗料が乾燥していない場合には、風紋が付く。
【０００５】
一方、多孔質焼結金属や多孔質プラスチックを搬送面に用いる場合、強度が十分ではなく、限られた用途にしか使用できない。
【０００６】
本発明は、上記課題を鑑みてなされたものであり、搬送面の強度を保つと共に、フィルム状物に痕が付くことを防止する浮揚搬送装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
（１）本発明は、流体を吐出する無数の開口部が設けられた搬送面を備え、前記無数の開口部から吐出する流体によって、フィルム状物を前記搬送面から浮揚させつつ搬送する浮揚搬送装置であって、前記搬送面は、前記無数の開口部として無数の小孔が設けられ、前記流体の吐出量を制御する制御層と、前記無数の開口部として、前記小孔より大きい無数の大孔が設けられ、前記制御層の強度を補う補強層と、が積層されたものであることを特徴とする、浮揚搬送装置である。なお、本願書類において、「孔」とは、向うまで突き抜けた所を意味する文言である。すなわち、本願書類において、「孔」は、打ち抜いて貫通させた部分を意味するだけでなく、ワイヤーを編み込んで結果として貫通している部分を意味する。
【０００８】
本発明によれば、流体の吐出量を制御する制御層を備えているので、搬送面から吐出する均一且つ安定した高圧力の流体の速度を抑え、静圧とすることができる。これにより、搬送中のフィルム状物に筋などの痕が付くことを防止できる。また、制御層の強度を補う補強層を備えているので、制御層の強度だけでは不十分な搬送面の強度（機械的強度、耐圧強度など）を保つことができる。結果、種々の用途に使用できる。なお、機械的強度とは、種々の加工（曲げ加工、機械加工、溶接などの加工）に対する強度である。
【０００９】
さらに、積層構造により、消音効果、流動効果、及び緩衝効果などの種々の効果が得られる。消音効果とは、搬送面から吐出する流体による音の発生を防止する効果のことであり、フィルム状物を静かに搬送することが可能になる。流動効果とは、流体の均一な吐出により、フィルム状物をスムーズに搬送することを可能にする効果のことであり、この結果、フィルム状物にシワなどが生じることがなくなる。緩衝効果とは、搬送面の内側から外側に吐出する流体の圧力変化を和らげる効果のことであり、流体の圧力変化によるフィルム状物への悪影響を排除する。
【００１０】
（２）本発明はまた、前記制御層は、金網又は金属不織布で構成されることを特徴とする、上記（１）に記載の浮揚搬送装置である。
【００１１】
上記発明によれば、制御層を安価で容易に製作することができる。また、パンチングメタルで構成される場合と比較して、最終の開口をより小さくより多くすることができる。すなわち、同じ厚みのパンチングメタルで構成される場合と比較して、流体の吐出量を多くしつつ静圧にすることができる。
【００１２】
（３）本発明はまた、前記小孔は、径が１μｍ以上１００μｍ以下であることを特徴とする、上記（１）又は（２）に記載の浮揚搬送装置である。
【００１３】
（４）本発明はまた、前記搬送面は、さらに、前記無数の開口部として、前記小孔より大きくて前記大孔より小さい無数の中孔が設けられ、前記制御層を覆う被覆層が積層されたものであることを特徴とする、上記（１）〜（３）のいずれかに記載の浮揚搬送装置である。
【００１４】
上記発明によれば、被覆層によって、制御層を露出させず保護することができる。これにより、制御層に傷が付くことを防止できる。
【００１５】
（５）本発明はまた、前記搬送面を有するチャンバーを備え、前記チャンバーは、前記搬送面が着脱可能に構成されることを特徴とする、上記（１）〜（４）のいずれかに記載の浮揚搬送装置である。
【００１６】
上記発明によれば、搬送面のメンテナンスや交換が可能になる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明の上記（１）〜（５）に記載の浮揚搬送装置によれば、搬送面の強度を保てると共に、フィルム状物に痕が付くことを防止できる。例えば、フィルム状物の表面に塗布された塗料が乾燥していない場合であっても、風紋が付くことを防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の実施形態に係る浮揚搬送装置の外観斜視図である。
【図２】同浮揚搬送装置の側面図である。
【図３Ａ】同浮揚搬送装置の分解斜視図である。
【図３Ｂ】同浮揚搬送装置の分解斜視図である。
【図４】同浮揚搬送装置の分解側面図である。
【図５】搬送面の断面図である。
【図６】吐出する流体の流れを説明する搬送面の概略断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、図面を参照して、本発明の実施形態に係る浮揚搬送装置について詳細に説明する。なお、本発明は、以下の実施形態にて説明する浮揚搬送装置１０の構成に限定されるものではない。
【００２０】
まず、図１〜図５を用いて、浮揚搬送装置１０の構成について説明する。図１は、浮揚搬送装置１０の外観斜視図である。図２は、浮揚搬送装置１０の側面図である。図３Ａ及び図３Ｂは、浮揚搬送装置１０の分解斜視図である。図４は、浮揚搬送装置１０の分解側面図である。図５は、搬送面１４の断面図である。なお、各図において、図面の簡略化のため、一部の構成を適宜省略する。そして、各図において、部材の厚みや大きさなどを適宜誇張して表現する。
【００２１】
図１〜図４に示される浮揚搬送装置１０は、所定の幅を有するフィルム状物Ｆ１を流体（本実施形態では、エア）によって浮揚させつつ搬送する装置であり、走行するフィルム状物Ｆ１の途中に配置される。この浮揚搬送装置１０は、ブロア装置（図示省略）で圧縮されたエアの供給を受けて、当該エアをフィルム状物Ｆ１に向けて吐出する。フィルム状物Ｆ１は、チャンバー１１における幅方向の中心に配置される。
【００２２】
具体的に、浮揚搬送装置１０は、本体となるチャンバー１１と、このチャンバー１１にブロア装置（図示省略）からのエアを供給する供給管１２と、を備えている。なお、フィルム状物Ｆ１を走行させる駆動源（図示省略）としては、例えば、ＢＥＬＬＭＡＴＩＣ株式会社（東京都西多摩郡瑞穂町）が市販するサクションロールなどを採用できる。以下、浮揚搬送装置１０の各構成について説明する。
【００２３】
チャンバー１１は、側面視で９０度の略扇型をなす長尺形を呈する金属製である。このチャンバー１１は、本体１３と、フィルム状物Ｆ１を搬送する搬送面１４と、この搬送面１４を本体１３に固定する一対のピン１５と、を備えている。なお、チャンバー１１の本体１３は、金属製であることに限定されず、ポリ塩化ビニル製、ポリエチレン製、ポリプロピレン製などであってもよい。
【００２４】
本体１３における一方の側面には、供給管１２が接続される供給口（図示省略）が形成されている。チャンバー１１内には、供給管１２を通じて供給口から、ブロア装置（図示省略）で圧縮されたエアが供給される。本体１３に大きく設けられた開口（符号省略）は、搬送面１４を蓋として塞がれる。本体１３の開口を形成する周縁には、ゴムなどからなるパッキン（符号省略）が取り付けられている。パッキンは、本体１３と搬送面１４との隙間から流体が漏れることを防止する。
【００２５】
搬送面１４は、流体を吐出する無数の開口部（後述する中孔２０ａ、小孔２１ａ、中孔２２ａ、大孔２３ａ、大孔２３ａ）が設けられた面であり、当該無数の開口部から吐出する流体によって、フィルム状物Ｆ１を浮揚させつつ搬送する。この搬送面１４は、側面視で四半円弧形の曲面１４ａと、この曲面１４ａの上流及び下流に滑らかに連続する一対の平面１４ｂと、からなり、フィルム状物Ｆ１と対向する。この搬送面１４は、一方の平面１４ｂ、曲面１４ａ、他方の平面１４ｂの順に流れる方向を、フィルム状物Ｆ１の搬送方向とする。すなわち、搬送面１４は、搬送方向を、矢印Ａ１からＡ２の方向に９０度曲げる。
【００２６】
なお、本発明の搬送面は、搬送方向を折り曲げる角度が９０度に限定されず、３０度、６０度、１２０度など、どのような角度であってもよい。また、本発明の搬送面は、平面として、搬送方向を折り曲げないようにしてもよい。さらに、図５に示されるように、矢印Ｂ１からＢ２の方向（矢印Ａ１からＡ２の方向の縦方向とした場合の横方向）に曲げるようにしてもよい。すなわち、縦横何れの方向に曲げるようにしてもよい。
【００２７】
また、搬送面１４は、本体１３に対して着脱可能に構成されている。具体的に、搬送面１４の背面側には、ピン１５が貫通する孔１６ａを有する係合部１６が、互いに間隔を空けて複数設けられている。同様に、本体１３の外側には、ピン１５が貫通する孔１７ａを有する係合部１７が、互いに間隔を空けて複数設けられている。搬送面１４に設けられた複数の係合部１６、及び、本体１３に設けられた複数の係合部１７は、交互に配置され、孔１６ａ，１７ａが列となるように連続する。
【００２８】
ピン１５は、連続する孔１６ａ，１７ａに抜き差しされる。すなわち、ピン１５は、孔１６ａ，１７ａを交互に貫通することで、搬送面１４をチャンバー１１の本体１３に固定する。また、ピン１５は、孔１６ａ，１７ａから抜かれることで、搬送面１４をチャンバー１１の本体１３から取り外すことを可能にする。なお、本発明は、本実施形態における搬送面１４の着脱構造に限定されず、他の着脱構造であってもよい。また、本発明は、搬送面の着脱構造を採用している必要性はない。
【００２９】
図５に示されるように、搬送面１４は、外側から順に、外側被覆層２０と、制御層２１と、内側被覆層２２と、第一補強層２３と、第二補強層２４と、が積層されたものである。すなわち、被覆層２０，２２は、制御層２１の両側に積層されている。また、補強層２３，２４は、複数（本実施形態では、二層）積層されている。
【００３０】
各層２０〜２４は、それぞれ、金属製（好例としては、ＳＵＳ製）のワイヤーを編み込んだ金網（符号省略）で構成されている。各金網におけるワイヤーの編込み形式は、特に限定されず、平織、綾織、畳織など、いずれであってもよい。ただし、各層２０〜２４固有の機能を維持できるものである必要がある。例えば、補強層２３，２４を構成する金網は、形式を畳織などとして強度を確保する必要がある。
【００３１】
各金網は、ワイヤー同士に焼結処理が施されていることが好ましい。また、積層された金網同士に対して焼結処理が施されていることが好ましい。焼結処理が施されることにより、一体化され、強度と耐食性が向上する。
【００３２】
なお、焼結処理とは、金網として編み込まれたワイヤーの集合体を、融点前後の温度で加熱して一定時間維持することにより、金属組織内の各接点間で原子拡散現象を生じさせ、接点間を跨いで結晶を形成させる処理のことをいう。
【００３３】
外側被覆層２０は、ワイヤーの編み込みによって、無数の中孔２０ａが形成されている。これら無数の中孔２０ａは、後述する制御層２１の小孔２１ａの径より大きくて、後述する第一補強層２３の大孔２３ａの径や、第二補強層２４の大孔２４ａの径より小さい径を有する。
【００３４】
制御層２１は、ワイヤーの編み込みによって、無数の小孔２１ａが形成されている。これら無数の小孔２１ａは、外側被覆層２０の小孔２０ａの径より小さくて、また、後述する内側被覆層２２の中孔２２ａの径より小さい径を有する。
【００３５】
具体的に、各小孔２１ａは、径が１μｍ以上１００μｍ以下であることが好ましい。あるいは、各小孔２１ａは、面積が０．２５πμｍ２以上２５００πμｍ２以下であること、すなわち、π≒３．１４であるから、面積が０．７８５μｍ２以上７８５０μｍ２以下であることが好ましい。
【００３６】
なお、制御層２１は、金網で構成されることに代えて、金属製（好例としては、ＳＵＳ製）の繊維からなるフェルト地（金属不織布）で構成されるようにしてもよい。そして、金属不織布の場合にも、金網の場合と同様、繊維同士に焼結処理が施されていることが好ましく、また、積層されている金網との間に対して焼結処理が施されていることが好ましい。
【００３７】
内側被覆層２２は、ワイヤーの編み込みによって、無数の中孔２２ａが形成されている。これら無数の中孔２２ａは、制御層２１の小孔２１ａの径より大きくて、後述する第一補強層２３の大孔２３ａの径や、第二補強層２４の大孔２４ａの径より小さい径を有する。
【００３８】
第一補強層２３は、ワイヤーの編み込みによって、無数の大孔２３ａが形成されている。これら無数の大孔２３ａは、外側被覆層２０の中孔２０ａの径や、内側被覆層２２の中孔２２ａの径より大きくて、また、後述する第二補強層２４の大孔２４ａの径より大きい径を有する。
【００３９】
第二補強層２４は、ワイヤーの編み込みによって、無数の大孔２４ａが形成されている。これら無数の大孔２４ａは、外側被覆層２０の中孔２０ａの径や、内側被覆層２２の中孔２２ａの径より大きくて、第一補強層２３の大孔２３ａの径より小さい径を有する。
【００４０】
各層２０〜２４の開口部は、制御層２１の小孔２１ａ→被覆層２０，２２の中孔２０ａ，２２ａ→第二補強層２４の大孔２４ａ→第一補強層２３の大孔２３ａの順に、径が徐々に大きくなるように設定されている。
【００４１】
なお、搬送面１４の表面（ひょうめん）は、平滑化処理（鏡面化処理でも可）が施され、ワイヤーによる凸凹が除去されている。
【００４２】
次に、図６を用いて、搬送面１４から吐出する流体の流れについて説明する。図６は、吐出する流体の流れを説明する搬送面１４の概略断面図である。
【００４３】
図６に示されるように、チャンバー１１内に供給された流体は、第二補強層２４の大孔２４ａ→第一補強層２３の大孔２３ａ→内側被覆層２２の中孔２２ａ→制御層２１の小孔２１ａ→外側被覆層２０の中孔２０ａの順に流れ、搬送面１４からチャンバー１１外に吐出する。搬送面１４から吐出した流体は、フィルム状物Ｆ１にぶつかって、当該フィルム状物Ｆ１を搬送面１４から浮揚させる。
【００４４】
このように、浮揚搬送装置１によれば、流体の吐出量を制御する制御層２１を備えているので、搬送面１４から吐出する均一且つ安定した高圧力の流体の速度を抑え、静圧とすることができる。これにより、搬送中のフィルム状物Ｆ１に筋などの痕が付くことを防止できる。また、制御層２１の強度を補う補強層２３，２４を備えているので、制御層２１の強度だけでは不十分な搬送面１４の強度（機械的強度、耐圧強度など）を保つことができる。結果、種々の用途に使用できる。さらに、積層構造により、消音効果、流動効果、及び緩衝効果などの種々の効果が得られる。
【００４５】
そして、制御層２１が金網で構成されているので、制御層２１を安価で容易に製作することができる。また、制御層２１がパンチングメタルで構成される場合と比較して、最終の開口をより小さくより多くすることができる。すなわち、同じ厚みのパンチングメタルで構成される場合と比較して、流体の吐出量を多くしつつ静圧にすることができる。なお、被覆層２０，２２及び補強層２３，２４についても、金網で構成されているので、制御層２１と同様の効果が得られる。
【００４６】
また、被覆層２０，２２によって、制御層２１を露出させず保護することができる。これにより、制御層２１に傷が付くことを防止できる。
【００４７】
さらに、搬送面１４から吐出する流体を、第二補強層２４の大孔２４ａ→第一補強層２３の大孔２３ａ→内側被覆層２２の中孔２２ａ→制御層２１の小孔２１ａ→外側被覆層２０の中孔２０ａの順にスムーズに流すことができる。これは、孔の大きさを段階的に変化させているからである。これにより、安定した吐出量（吐出圧）で流体を吐出することができる。結果として、搬送中のフィルム状物Ｆ１に筋などの痕が付くことを更に防止できる。
【００４８】
そして、補強層として、第一補強層２３及び第二補強層２４が積層されているので、補強層が一層の場合と比較して、搬送面１４の強度を更に向上させることができる。
【００４９】
また、搬送面１４が着脱可能に構成されているので、搬送面１４のメンテナンスや交換が可能になる。
【００５０】
さらに、搬送面１４をチャンバー１１の本体１３に固定するピン１５を備え、ピン１５の抜き差しにより搬送面１４の着脱を可能にしているので、搬送面１４のメンテナンスや交換が簡単になる。
【００５１】
本発明は、上記実施形態に限られるものではなく、その趣旨及び技術思想を逸脱しない範囲で種々の変形が可能である。
【００５２】
すなわち、上記実施形態において、各構成の位置、大きさ、厚み、形状、材質、向き、数量などは適宜変更できる。例えば、各層２０〜２４の厚みは、上記実施形態に限定されない。
【００５３】
また、各孔２０ａ〜２４ａの大きさは、上記実施形態に限定されない。具体的に、小孔２１ａは、大孔２３ａ，２４ａより小さければ、本発明は成立する。そして、中孔２２ａは、小孔２１ａより大きくて大孔２３ａ，２４ａより小さければ、本発明は成立する。また、大孔２３ａ，２４ａは、小孔２１ａより大きければ、本発明は成立する。
【００５４】
あるいは、上記実施形態において、搬送面１４は、５つの層が積層されているが、本発明は、制御層及び補強層の合計２つの層が積層されていればよい。
【００５５】
あるいは、上記実施形態では、気体（エア）内においてフィルム状物Ｆ１を搬送する場合を例に説明したが、液体内においてフィルム状物を搬送するようにしてもよい。この場合、搬送面からは、エアに代えて液体を吐出するようにすればよい。
【符号の説明】
【００５６】
１０  浮揚搬送装置
１１  チャンバー
１３  本体
１４  搬送面
１５  ピン
１６，１７  係合部
１６ａ，１７ａ  孔
２０  外側被覆層（被覆層）
２０ａ  中孔
２１  制御層
２１ａ  小孔
２２  内側被覆層（被覆層）
２２ａ  中孔
２３  第一補強層（補強層）
２３ａ  大孔
２４  第二補強層（補強層）
２４ａ  大孔
Ｆ１  フィルム状物
【図１】
2014101160.tif 000003
【図２】
2014101160.tif 000004
【図３Ａ】
2014101160.tif 000005
【図３Ｂ】
2014101160.tif 000006
【図４】
2014101160.tif 000007
【図５】
2014101160.tif 000008
【図６】
2014101160.tif 000009