(57)【要約】【課題】クリーンルーム内の装置が停止した際に迅速に外部の関係者に通知する。【解決手段】タッチパネル１ａと、タッチパネル１ａを操作する際に用いるタッチペン２と、延長コード３ａにより所定の範囲内で任意の位置に移動可能であり、使用者が保持する記録媒体から個人情報を取得するカードリーダ３と、使用者情報を記録する使用者情報記録手段１１と、クリーンルーム内の装置の関係者情報を記録する関係者情報記録手段１２と、個人情報と使用者情報とを照合して認証を行う認証手段１３と、正常に認証された場合に、当該認証された使用者による操作を受け付ける操作手段１４と、クリーンルーム内の装置が停止した場合等に、受け付けられたる操作に応じて、関係者情報記録手段１２に記録された該当する関係者に対して装置の状況を示すメールを送信するメール送信手段１５とを備えた。【選択図】図１
2014112305.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
クリーンルーム内に設置され、当該クリーンルーム内に設置された装置の状況を外部に通知するクリーンルーム用操作端末であって、
操作画面を表示するタッチパネルと、
前記タッチパネルを操作する際に用いるタッチペンと、
延長コードにより所定の範囲内で任意の位置に移動可能であり、使用者が保持する記録媒体から当該使用者に関する個人情報を取得するカードリーダと、
登録された使用者に関する情報を記録する使用者情報記録手段と、
前記クリーンルーム内に設置された装置の関係者に関する関係者情報を記録する関係者情報記録手段と、
前記カードリーダにより取得された個人情報と、前記使用者情報記録手段に記録された使用者情報とを照らし合わせて、認証を行う認証手段と、
前記認証手段により正常に認証された場合に、当該認証された使用者による前記タッチペンを用いた操作を受け付ける操作手段と、
前記クリーンルーム内に設置された装置が停止した場合等に、前記操作手段により受け付けられた操作に応じて、前記関係者情報記録手段に記録された該当する関係者に対して前記装置の状況を示すメールを送信するメール送信手段と
を備えたことを特徴とするクリーンルーム用操作端末。
【請求項２】
前記メール送信手段により送信されたメールに関するメール送信情報を記録するメール送信情報記録手段を備えた
ことを特徴とする請求項１記載のクリーンルーム用操作端末。
【請求項３】
クリーンルーム内に設置され、当該クリーンルーム内に設置された装置の状況を外部に通知する際に操作されるクリーンルーム用操作端末と、前記クリーンルーム用操作端末に対する操作に応じて動作するサーバとを備えたクリーンルーム用操作システムであって、
前記クリーンルーム用操作端末は、
操作画面を表示するタッチパネルと、
前記タッチパネルを操作する際に用いるタッチペンと、
延長コードにより所定の範囲内で任意の位置に移動可能であり、使用者が保持する記録媒体から当該使用者に関する個人情報を取得するカードリーダと、
前記タッチペンを用いた操作を受け付ける操作手段とを備え、
前記サーバは、
登録された使用者に関する情報を記録する使用者情報記録手段と、
前記クリーンルーム内に設置された装置の関係者に関する関係者情報を記録する関係者情報記録手段と、
前記カードリーダにより取得された個人情報と、前記使用者情報記録手段に記録された使用者情報とを照らし合わせて、認証を行う認証手段と、
前記クリーンルーム内に設置された装置が停止した場合等に、前記認証手段により正常に認証された使用者による前記操作手段に対する操作に応じて、前記関係者情報記録手段に記録された該当する関係者に対して前記装置の状況を示すメールを送信するメール送信手段とを備えた
ことを特徴とするクリーンルーム用操作システム。
【請求項４】
前記サーバは、
前記メール送信手段により送信されたメールに関するメール送信情報を記録するメール送信情報記録手段を備えた
ことを特徴とする請求項３記載のクリーンルーム用操作システム。
【請求項５】
クリーンルーム内に設置され、当該クリーンルーム内に設置された装置の状況を外部に通知するものであり、操作画面を表示するタッチパネルと、前記タッチパネルを操作する際に用いるタッチペンと、延長コードにより所定の範囲内で任意の位置に移動可能であり、使用者が保持する記録媒体から当該使用者に関する個人情報を取得するカードリーダとを備えたクリーンルーム用操作端末によるメール送信方法であって、
前記カードリーダにより取得された個人情報と、使用者情報記録手段に記録された登録された使用者に関する使用者情報とを照らし合わせて、認証を行う認証ステップと、
前記認証ステップにおいて正常に認証した場合に、当該認証された使用者による前記タッチペンを用いた操作を受け付ける操作ステップと、
前記クリーンルーム内に設置された装置が停止した場合等に、前記操作ステップにおいて受け付けた操作に応じて、前記関係者情報記録手段に記録されたクリーンルーム内に設置された装置の関係者に関する関係者情報のうち該当する関係者に対して前記装置の状況を示すメールを送信するメール送信ステップと
を有することを特徴とするクリーンルーム用操作端末によるメール送信方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、クリーンルーム内に配置され、当該クリーンルーム内に設置された装置の状況を外部に通知するクリーンルーム用操作端末、クリーンルーム用操作システムおよびメール送信方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、半導体装置等のような装置はクリーンルーム内に設置されている。また、クリーンルームでは１台の装置を複数の者が利用している。そのため、当該装置がトラブル等により停止した場合、クリーンルーム内の装置使用者は、外部の関係者（当該装置を管理する装置管理者や、当該装置を使用する資格を有する装置使用資格者等）に対して電話で装置停止を通知している。その後、通知を受けた装置管理者は装置の不具合対応を行い、装置使用資格者はスケジュールの調整を行う。
【０００３】
しかしながら、電話による通知では、装置管理者がつかまらず対応が遅れる場合があるという課題があった。また、装置使用資格者は非常に多く、連絡が遅れることによるスケジュール調整の遅れ等の課題があった。
【０００４】
一方、クリーンルーム内にタブレットＰＣを設け、外部のコンピュータとの間で通信を行うシステムが知られている（例えば特許文献１参照）。タブレットＰＣでは、タッチパネルが使え、かつ省スペースなどのメリットがあるため、生産現場でタッチパネルによるデータ投入やドキュメントの閲覧などに使われている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−３４８６０５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、クリーンルーム内では、ポケットのないクリーンウエアを着用し、さらに手袋をしているため、特許文献１に開示されるタブレットＰＣを用いたシステムでは、以下のような課題があった。
まず、タブレットＰＣを操作する際にユーザ認証を行う必要があるが、クリーンウエア内に収納されたカードを取り出すことができないため、使用者は、タブレットＰＣのカードリーダにカードを近づける際に無理な体勢をとる必要がある。
また、タブレットＰＣのタッチパネルは透明導電膜で生成され、指がタッチパネルに接触するときに指とタッチパネルの間に微弱な電流が流れることにより信号を送ることができる。しかしながら、クリーンルーム内では手袋を着用しているため、電流が流れにくく信号が非常に小さいため反応が悪くなる。
【０００７】
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたもので、タブレットＰＣを用い、クリーンルーム内の装置が停止した際に迅速に外部の関係者に通知することが可能なクリーンルーム用操作端末、クリーンルーム用操作システムおよびメール送信方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この発明に係るクリーンルーム用操作端末は、操作画面を表示するタッチパネルと、タッチパネルを操作する際に用いるタッチペンと、延長コードにより所定の範囲内で任意の位置に移動可能であり、使用者が保持する記録媒体から当該使用者に関する個人情報を取得するカードリーダと、登録された使用者に関する使用者情報を記録する使用者情報記録手段と、クリーンルーム内に設置された装置の関係者に関する関係者情報を記録する関係者情報記録手段と、カードリーダにより取得された個人情報と、使用者情報記録手段に記録された使用者情報とを照らし合わせて、認証を行う認証手段と、認証手段により正常に認証された場合に、当該認証された使用者によるタッチペンを用いた操作を受け付ける操作手段と、クリーンルーム内に設置された装置が停止した場合等に、操作手段により受け付けられた操作に応じて、関係者情報記録手段に記録された該当する関係者に対して装置の状況を示すメールを送信するメール送信手段とを備えたものである。
【０００９】
この発明に係るクリーンルーム用操作システムは、クリーンルーム内に設置され、当該クリーンルーム内に設置された装置の状況を外部に通知する際に操作されるクリーンルーム用操作端末と、クリーンルーム用操作端末に対する操作に応じて動作するサーバとを備え、クリーンルーム用操作端末は、操作画面を表示するタッチパネルと、タッチパネルを操作する際に用いるタッチペンと、延長コードにより所定の範囲内で任意の位置に移動可能であり、使用者が保持する記録媒体から当該使用者に関する個人情報を取得するカードリーダと、タッチペンを用いた操作を受け付ける操作手段とを備え、サーバは、登録された使用者に関する情報を記録する使用者情報記録手段と、クリーンルーム内に設置された装置の関係者に関する関係者情報を記録する関係者情報記録手段と、カードリーダにより取得された個人情報と、使用者情報記録手段に記録された使用者情報とを照らし合わせて、認証を行う認証手段と、クリーンルーム内に設置された装置が停止した場合等に、認証手段により正常に認証された使用者による操作手段に対する操作に応じて、関係者情報記録手段に記録された該当する関係者に対して装置の状況を示すメールを送信するメール送信手段とを備えたものである。
【００１０】
この発明に係るクリーンルーム用操作端末によるメール送信方法は、カードリーダにより取得された個人情報と、使用者情報記録手段に記録された登録された使用者に関する使用者情報とを照らし合わせて、認証を行う認証ステップと、認証ステップにおいて正常に認証した場合に、当該認証された使用者によるタッチペンを用いた操作を受け付ける操作ステップと、クリーンルーム内に設置された装置が停止した場合等に、操作ステップにおいて受け付けた操作に応じて、関係者情報記録手段に記録されたクリーンルーム内に設置された装置の関係者に関する関係者情報のうち該当する関係者に対して装置の状況を示すメールを送信するメール送信ステップとを有するものである。
【発明の効果】
【００１１】
この発明によれば、上記のように構成したので、タブレットＰＣを用い、クリーンルーム内の装置が停止した際に迅速に外部の関係者に通知することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】この発明の実施の形態１に係るクリーンルーム用操作端末の構成を示す図である。
【図２】この発明の実施の形態１におけるタブレットＰＣの構成を示すブロック図である。
【図３】この発明の実施の形態１における使用者情報記録手段に記録された使用者情報例を示す図である。
【図４】この発明の実施の形態１における関係者情報記録手段に記録された関係者情報例を示す図である。
【図５】この発明の実施の形態１におけるメール送信情報記録手段に記録されたメール送信情報例を示す図である。
【図６】この発明の実施の形態１に係るクリーンルーム用操作端末の動作を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、この発明の実施の形態について図面を参照しながら詳細に説明する。
実施の形態１．
図１はこの発明の実施の形態１に係るクリーンルーム用操作端末の構成を示す図である。
クリーンルーム用操作端末は、半導体装置等の装置が設置されたクリーンルーム内に設置されるものである。このクリーンルーム用操作端末は、操作画面を表示するタッチパネル１ａを有するタブレットＰＣ１（キーボードやマウスを必要としない端末）と、使用者がタッチパネル１ａを操作する際に使用するタッチペン２と、使用者が保持するカード（記録媒体）から当該使用者に関する情報（個人情報）を取得するカードリーダ３とから構成されている。なお、カードリーダ３は、延長コード３ａにより所定の範囲内で任意の位置に移動可能である。また、カードに記録されている個人情報には、例えば、当該カードを識別する固有ＩＤと保持している使用者の名前を示す情報が含まれている。
【００１４】
次に、タブレットＰＣ１の構成について、図２を参照しながら説明する。
タブレットＰＣ１は、図２に示すように、使用者情報記録手段１１、関係者情報記録手段１２、認証手段１３、操作手段１４、メール送信手段１５およびメール送信情報記録手段１６から構成されている。
【００１５】
使用者情報記録手段１１は、登録された使用者に関する情報（使用者情報）を記録するものである。この使用者情報には、図３に示すように、例えば、使用者が保持しているカードを識別する固有ＩＤと使用者の名前を示す情報が含まれている。
【００１６】
関係者情報記録手段１２は、クリーンルーム内に設置された装置の関係者に関する情報（関係者情報）を記録するものである。ここで、装置の関係者としては、例えば、当該装置を管理する装置管理者や、当該装置を使用する資格を有する装置使用資格者などが含まれる。また、関係者情報には、図４に示すように、例えば、当該装置を識別する装置ＩＤ、当該装置が設置されたクリーンルームの部屋名、当該装置の装置名、当該装置の関係者の名前、当該関係者のメールアドレスを示す情報が含まれている。
【００１７】
認証手段１３は、カードリーダ３により取得された個人情報と、使用者情報記録手段１１に記録された使用者情報とを照らし合わせて、認証を行うものである。
【００１８】
操作手段１４は、認証手段１３により正常に認証された後、当該認証された使用者による操作を受け付けるものである。この際、使用者はタッチペン２を用いてタッチパネル１ａに表示された操作画面を操作する。
【００１９】
メール送信手段１５は、クリーンルーム内に設置された装置がトラブル等により停止した場合等に、操作手段１４により受け付けられた操作に応じて、関係者情報記録手段１２に記録された該当する関係者に対して当該装置の状況を示すメールを送信するものである。
【００２０】
メール送信情報記録手段１６は、メール送信手段１５により送信されたメールに関する情報（メール送信情報）を記録するものである。このメール送信情報には、図５に示すように、例えば、送信されたメールを識別するＩＤ、停止した装置を識別する装置ＩＤ、当該装置が設置されたクリーンルームの部屋名、当該装置の装置名、メール送信時間、メールを送信した使用者の名前、当該装置の状況を示す情報が含まれている。
【００２１】
次に、上記のように構成されたクリーンルーム用操作端末の動作について、図６を参照しながら説明する。
クリーンルーム内に設置された装置がトラブル等により停止した場合、当該装置を使用している装置使用資格者（使用者）は、まず、クリーンルーム用操作端末のカードリーダ３をクリーンウエア内に収納されたカードに近づける。これにより、図６に示すように、カードリーダ３は、カードに記録された個人情報を取得し、認証手段１３に通知する（ステップＳＴ１）。この際、カードリーダ３は延長コード３ａにより任意の位置に移動可能であり、容易にクリーンウエア内のカードに近づけることができるため、使用者が無理な体勢を取る必要はない。
【００２２】
次いで、認証手段１３は、カードリーダ３により取得された個人情報と、使用者情報記録手段１１に記録された使用者情報とを照らし合わせて、認証を行う（ステップＳＴ２、認証ステップ）。
【００２３】
このステップＳＴ２による認証が正常に行われた場合には、操作手段１４は、当該認証された使用者による操作を受け付ける（ステップＳＴ３、操作ステップ）。この際、使用者は、タッチペン２を用いてタッチパネル１ａ上に表示された操作画面を操作することで、クリーンルーム内で手袋をした状態であっても、容易に操作を行うことが可能となる。
そして、装置停止を外部に通知する際のメール送信操作では、タッチパネル１ａ上の操作画面に従って、まず、停止した装置が設置されているクリーンルームの部屋名を選択する。次いで、停止した装置の装置名を選択する。最後に、メール送信ボタンを押す。
【００２４】
次いで、メール送信手段１５は、操作手段１４により受け付けられた操作に応じて、関係者情報記録手段１２に記録された関係者情報のうち該当する関係者に対して、装置停止を示すメールを送信する（ステップＳＴ４、メール送信ステップ）。この際、停止した装置の関係者（装置管理者や装置使用資格者など）に対して、装置停止を通知する。このようにメールにより外部の関係者に装置停止を通知することで、従来の電話による通知に対して迅速に連絡を取ることが可能となる。その結果、装置管理者は装置トラブルに対する対応の遅れを抑制することができ、また、装置使用資格者はいち早くスケジュール調整を行うことができる。
【００２５】
その後、メール送信情報記録手段１６は、メール送信手段１５により送信されたメールに関する情報を記録する（ステップＳＴ５、メール送信情報記録ステップ）。このように、クリーンルーム用操作端末内にメール送信情報を保管することで、装置トラブルの記録が容易となる。
【００２６】
以上のように、この実施の形態１によれば、タブレットＰＣ１にタッチペン２と延長コード３ａを有するカードリーダ３を設けたので、カードリーダ３をクリーンウエア内にあるカードに容易に近づけることができ、楽な体勢で認証をすることができ、また、タッチパネル１ａの操作性が向上する。その結果、タブレットＰＣ１を用いて、クリーンルーム内の装置が停止した際に迅速に外部の関係者にメールで通知することが可能となる。
【００２７】
なお図２では、クリーンルーム用操作端末のタブレットＰＣ１内に、使用者情報記録手段１１、関係者情報記録手段１２、認証手段１３、メール送信手段１５およびメール送信情報記録手段１６を設けた場合を示した。それに対して、上記各機能部を外部のサーバに設け、クリーンルーム内に設置された装置の状況を外部に通知する際に操作されるクリーンルーム用操作端末と、クリーンルーム用操作端末に対する操作に応じて動作する上記サーバとからなるクリーンルーム用操作システムを構築するようにしてもよい。
【００２８】
なお、本願発明はその発明の範囲内において、実施の形態の任意の構成要素の変形、もしくは実施の形態の任意の構成要素の省略が可能である。
【符号の説明】
【００２９】
１  タブレットＰＣ
１ａ  タッチパネル
２  タッチペン
３  カードリーダ
３ａ  延長コード
１１  使用者情報記録手段
１２  関係者情報記録手段
１３  認証手段
１４  操作手段
１５  メール送信手段
１６  メール送信情報記録手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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