(57)【要約】【課題】レーザ加工領域時に発生する煙を、加工領域から十分に除去できるレーザ加工煙清浄装置、レーザ加工装置を提供する。【解決手段】加工シートを送り方向Ｘ１に送りレーザ光によって加工シートＷを加工するレーザ加工装置１に、取り付けられる清浄装置１０であって、空気を、レーザ加工によって煙が発生する空間から、空気と煙とを流入し、軸方向が流れ方向になるように配置された筒の加工シートＷ側を開口した形状である流入部５０，８０を備える。【選択図】図１
2014217863.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
加工シートを送り方向に送りレーザ光によって前記加工シートを加工するレーザ加工機に、取り付けられるレーザ加工煙清浄装置であって、
空気を、レーザ加工によって煙が発生する空間から、空気と煙とを流入し、軸方向が流れ方向になるように配置された筒の加工シート側を開口した形状である流入部を備えること、
を特徴とするレーザ加工煙清浄装置。
【請求項２】
請求項１に記載のレーザ加工煙清浄装置において、
前記レーザ加工機は、前記加工シートの送り角度を、屈曲部で変化させるものであり、
前記流入部は、
前記屈曲部で送り角度が変化した前記加工シートの経路にも配置されており、
前記屈曲部で送り角度が変化した前記加工シート側も開口していること、
を特徴とするレーザ加工煙清浄装置。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載のレーザ加工煙清浄装置において、
前記流入部の先端は、煙が発生する空間を囲うように形成されていること、
を特徴とするレーザ加工煙清浄装置。
【請求項４】
請求項１から請求項３までのいずれかに記載のレーザ加工煙清浄装置と、
加工シートに対してレーザ光照射してレーザ加工を行うレーザ照射部と、
を備えるレーザ加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザ加工により発生する煙を除去するレーザ加工煙清浄装置、レーザ加工装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、シートのレーザ加工時に発生する煙を排煙する装置があった（例えば特許文献１）。
しかし、従来の装置は、排煙機能が不十分であった。このため、煙に含まれる微粒子がレーザ照射ヘッド周辺に付着してしまい、また、この堆積物がレーザ照射ヘッド周辺からシートに落下してしまう可能性があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−１６００８７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の課題は、レーザ加工領域時に発生する煙を、加工領域から十分に除去できるレーザ加工煙清浄装置、レーザ加工装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、以下のような解決手段により、課題を解決する。なお、理解を容易にするために、本発明の実施形態に対応する符号を付して説明するが、これに限定されるものではない。また、符号を付して説明した構成は、適宜改良してもよく、また、少なくとも一部を他の構成物に代替してもよい。
【０００６】
・第１の発明は、加工シート（Ｗ）を送り方向（Ｘ１）に送りレーザ光によって前記加工シートを加工するレーザ加工機（１）に、取り付けられるレーザ加工煙清浄装置（１０，６０，２１０，２６０）であって、空気を、レーザ加工によって煙が発生する空間から、空気と煙とを流入し、軸方向が流れ方向になるように配置された筒の加工シート側を開口した形状である流入部（５０，８０）を備えること、を特徴とするレーザ加工煙清浄装置である。
・第２の発明は、第１の発明のレーザ加工煙清浄装置において、前記レーザ加工機は、前記加工シート（Ｗ）の送り角度を、屈曲部（２ｂ）で変化させるものであり、前記流入部（５２）は、前記屈曲部で送り角度が変化した前記加工シートの経路にも配置されており、前記屈曲部で送り角度が変化した前記加工シート側も開口していること、を特徴とするレーザ加工煙清浄装置である。
・第３の発明は、第１又は第２の発明のレーザ加工煙清浄装置において、前記流入部（５１）の先端（５１ａ）は、煙が発生する空間（Ａ１）を囲うように形成されていること、を特徴とするレーザ加工煙清浄装置である。
【０００７】
・第４の発明は、第１から第３までのいずれかの発明のレーザ加工煙清浄装置と、加工シート（Ｗ）に対してレーザ光照射してレーザ加工を行うレーザ照射部（３，２０３）と、を備えるレーザ加工装置である。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、レーザ加工領域時に発生する煙を、加工領域から十分に除去できるレーザ加工煙清浄装置、レーザ加工装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】第１実施形態のレーザ加工機１を手前側Ｙ１から見た断面図である。
【図２】第１実施形態のレーザ加工機１の加工用紙Ｗよりも上側Ｚ２の一部を拡大した断面図である。
【図３】第１実施形態の清浄装置１０の周辺を、ノズル口３１を通る水平面で切断した断面を、上側Ｚ２から見た断面図である（図２の矢印３−３部断面図）。
【図４】第１実施形態のレーザ加工機１の加工用紙Ｗよりも下側Ｚ１の一部を拡大した断面図である。
【図５】比較例のレーザ加工機及び清浄装置１１０を手前側Ｙ１から見た断面図である。
【図６】第２実施形態のレーザ加工機２０１の斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、図面等を参照して、本発明の実施形態について説明する。
（第１実施形態）
図１は、第１実施形態のレーザ加工機１を手前側Ｙ１から見た断面図である。
図２は、第１実施形態のレーザ加工機１の加工用紙Ｗよりも上側Ｚ２の一部を拡大した断面図である。
図３は、第１実施形態の清浄装置１０の周辺を、ノズル口３１を通る水平面で切断した断面を、上側Ｚ２から見た断面図である（図２の矢印３−３部断面図）。
図４は、第１実施形態のレーザ加工機１の加工用紙Ｗよりも下側Ｚ１の一部を拡大した断面図である。
実施形態及び図面では、説明を明確にするために、便宜上、図１を基準にして、レーザ加工領域における左右方向を加工用紙Ｗの送り方向Ｘをとし、加工用紙Ｗの面方向のうち送り方向Ｘに直交する方向、つまり、加工用紙Ｗの幅方向を奥行方向Ｙとする。レーザ加工機１は、加工用紙Ｗの表面（ＸＹ平面）が水平面になるように、加工用紙Ｗを送ることとし、加工用紙Ｗの表面の法線方向を鉛直方向Ｚとする。
また、送り方向Ｘの上流側が右側Ｘ２であり、下流側が左側Ｘ１である。レーザ照射方向は、鉛直方向Ｚであり、上側Ｚ２から下側Ｚ１に向けて、加工用紙Ｗにレーザ照射するものとする。
なお、レーザ加工機１の配置は、上記構成に限定されず、例えば、レーザ加工機１の全体を、傾けて配置したりしてもよい。
【００１１】
図１に示すように、レーザ加工機１は、加工システムの一部を構成する装置である。
この加工システムは、加工用紙Ｗ（加工シート）を左側Ｘ１に送りながら、インラインでプリント、レーザ加工等をして、帳票等を製造するシステムである。
レーザ加工機１は、これらの加工のうち加工用紙Ｗに対してレーザ加工を行う。レーザ加工機１は、例えば、縦ミシン目加工、マーキング処理、ハーフカット加工等を行う。
【００１２】
レーザ加工機１は、ローラ２ａ，２ｂ（屈曲部）、照射ヘッド３（レーザ照射部）、清浄装置１０（レーザ加工煙清浄装置）を備える。
ローラ２ａ，２ｂは、レーザ加工を行う領域において、加工用紙Ｗを送るローラである。ローラ２ａ，２ｂは、レーザ加工機１の右側Ｘ２、左側Ｘ１にそれぞれ配置されている。
レーザ加工機１は、ローラ２ａ，２ｂ間では、加工用紙Ｗを水平方向に送る。そして、レーザ加工機１は、ローラ２ａ，２ｂを屈曲部として、加工用紙Ｗの送り方向を、水平方向から、下斜め方向に変化させる。
【００１３】
照射ヘッド３は、レーザ光３ａを照射する装置である。
照射ヘッド３は、レンズ収容ケース３ｂ、レンズ３ｃを備える。
レンズ収容ケース３ｂは、レンズ３ｃを収容する部材である。レンズ収容ケース３ｂは、奥行方向Ｙに駆動可能に駆動装置（図示せず）によって支持されている。レンズ収容ケース３ｂは、加工準備時にレーザ照射位置を調整したり、加工時にレーザ照射位置を微調整する場合等に、奥行方向Ｙに駆動される。
レンズ３ｃは、レーザ発振装置（図示せず）からレーザ光３ａが導かれ、加工用紙Ｗに向けてレーザ光３ａを照射する光学部材である。
【００１４】
清浄装置１０は、レーザ加工によって、加工用紙Ｗから発生する煙を清浄する装置である。
清浄装置１０は、上部清浄装置２０、下部清浄装置６０を備える。
【００１５】
図２に示すように、上部清浄装置２０は、加工用紙Ｗの上側Ｚ２に発生した煙Ｓ１を清浄する装置である。
上部清浄装置２０は、筒部２１、上部流出部３０、筒内流出部４０、上部流入部５０を備える。
筒部２１は、照射ヘッド３のレンズ収容ケース３ｂの下端に配置され、ネジ止め等によってレンズ収容ケース３ｂに取り付けられる。筒部２１の上側Ｚ２は、作業者が着脱時等に、把持するためにフランジ部２１ａになっている。なお、筒部２１の上側Ｚ２は、フランジ部２１ａを設けた形態に限定されず、レンズ収容ケース３ｂと同じ外径にしてもよい。
筒部２１は、筒体であり、軸方向が鉛直方向Ｚであり、かつ、レーザ光３ａの光軸と同軸に配置される。
筒部２１は、内径及び外径が変化しない円筒状の部材である。このため、水平面を断面とする断面形状の外形は、鉛直方向Ｚのいずれでも、一定の大きさである。
筒部２１は、レーザ光３ａが通過できるように、筒部下端２１ｂが開口している。筒部下端２１ｂよりも下側Ｚ１の空間であって、上部流出部３０のノズル口３１（後述する）よりも左側Ｘ１の空間は、レーザ加工によって加工用紙Ｗの上側Ｚ２に煙が発生する空間（以下「上部煙発生空間Ａ１」という）である。
【００１６】
上部流出部３０は、上部煙発生空間Ａ１の煙を除去するために、上部煙発生空間Ａ１に向けて、空気を流出する部材である。上部流出部３０は、溶接等によって筒部２１に一体的に形成される。
なお、上部流出部３０と筒部２１とは、一体に限らず、分離した形態でもよい。
上部流出部３０は、空気を送出する送出管３０ａが接続されている。送出管３０ａは、ポンプ等の空気供給装置（図示せず）に接続されている。
上部流出部３０は、筒部下端２１ｂの右側Ｘ２の領域に配置されている。
上部流出部３０は、ノズル口３１を備える。
図３に示すように、ノズル口３１は、奥行方向Ｙに細長く、奥行方向Ｙの長さＷ３１は、筒部２１の外径ｄ２１よりも大きい。ノズル口３１の開口方向は、左側Ｘ１である。
【００１７】
上記構成により、上部流出部３０は、送出管３０ａから送られた空気を内部で圧縮した後、送り方向Ｘに沿った方向である左側Ｘ１に向けて、ノズル口３１から上部煙発生空間Ａ１に勢いよく流出する。
上側Ｚ２から見たときに（図３参照）、ノズル口３１から流出した空気は、移動空間Ａ３１に示すように、奥行方向Ｙに長さＷ３１の奥行がある態様で移動しようとする。このため、空気は、上部煙発生空間Ａ１の全領域を通る。つまり、空気は、筒部下端２１ｂよりも加工用紙Ｗ側の空間であり、筒部下端２１ｂの外形よりも広い領域（移動空間Ａ３１）を移動する。
【００１８】
図２に示すように、筒内流出部４０は、筒部２１の内部に空気を流出する部材である。
筒内流出部４０は、空気供給部（図示せず）から空気を送出する送出管４０ａが接続されている。
筒内流出部４０は、筒部２１の内部に空気を流出するノズル口４１を備える。
【００１９】
上部流入部５０は、上部流出部３０が流出した空気の移動先に配置され、レーザ加工により発生した煙を流入する装置である。上部流入部５０は、空気を吸入する吸入管５０ａが接続されている。吸入管５０ａは、ポンプ等の空気吸引装置（図示せず）に接続されている。
上部流入部５０の形状は、軸方向が送り方向Ｘになるように配置された円筒を、加工用紙Ｗに平行な面で切断して、加工用紙Ｗ側に開口したような形状である。
上部流入部５０は、上流部５１、下流部５２を備える。
【００２０】
上流部５１は、上部煙発生空間Ａ１の近傍からローラ２ｂまで間に、延在する（図１参照）。
上側Ｚ２から見たときに（図３参照）、上流部５１の右側先端５１ａは、筒部２１及び上部煙発生空間Ａ１の周囲を囲うような円弧状である。上流部５１の左側先端５１ａは、開口している。右側先端５１ａの開口は、ノズル口３１に対向配置されている。右側先端５１ａの開口の奥行方向Ｙの長さＷ５１ａ（奥行方向Ｙの長さ）は、筒部２１の外径ｄ２１よりも十分に大きく、また、ノズル口３１の奥行方向Ｙの長さＷ３１よりも大きい。
【００２１】
図１に示すように、下流部５２は、加工用紙Ｗの移動経路のうちローラ２ｂで送り角度が変化した部分に配置されている。下流部５２の下側Ｚ１（加工用紙Ｗ側）も、傾斜して送られる加工用紙Ｗに平行な切断面で切断され、開口している。下流部５２の左側Ｘ１は、吸入管５０ａに接続されている。
【００２２】
図４に示すように、下部清浄装置６０は、加工用紙Ｗの下側Ｚ１に発生した煙Ｓ２を清浄する装置である。
下部清浄装置６０は、下部流出部７０、下部流入部８０を備える。
下部流出部７０は、上部流出部３０と同様な部材である。すなわち、下部流出部７０は、加工用紙Ｗの下面側に配置され、空気を、右側Ｘ２から左側Ｘ１に向けて勢いよく流出し、奥行方向Ｙに奥行がある態様で流出する。
下部流入部８０は、下部流出部７０の空気の流出先に配置され、レーザ加工により下側Ｚ１に発生した煙を流入する装置である。下部流入部８０は、空気を吸入する吸入管８０ａが接続されている。吸入管８０ａは、ポンプ等の空気吸引装置（図示せず）に接続されている。
【００２３】
下部流入部８０は、上流部８１、下流部８２を備える。
上流部８１は、上流部５１と同様な部材である。すなわち、上流部８１は、軸方向が送り方向Ｘになるように配置された円筒を切断して、右側Ｘ２、上側Ｚ２（加工用紙Ｗ側）に開口した形状である。上流部８１は、加工用紙Ｗの下側Ｚ１で煙が発生する領域（以下、「下部煙発生空間Ａ２」という）の近傍からローラ２ｂの右側Ｘ２の近傍までの間に、延在している。
図示は省略するが、上部清浄装置２０と同様に、上流部８１の右側先端８１ａの開口の奥行方向Ｙの長さも、ノズル口７１の奥行方向Ｙの長さよりも大きい。
下流部８２は、上流部８１の左側Ｘ１に連続する部分である。下流部８２は、ローラ２ｂを逃げるとともに、上流部８１から左側Ｘ１に流れてきた空気を、吸入管８０ａが配置されている下側Ｚ１へと導く。このため、下流部８２は、斜めに傾いた断面形状を有する。下流部８２の下側Ｚ１は、吸入管８０ａに接続されている。
【００２４】
レーザ加工機１の空気の流れについて説明する。
なお、下記空気の流れの説明には、レーザ加工機１の構成から想定される形態を含み、実際の空気の流れは、下記形態に限定されない。
図１から図３に示すように、加工時には、上部流出部３０、筒内流出部４０、下部流出部７０は、空気が送出管３０ａ，４０ａ，７０ａから常時供給され、空気をノズル口３１，４１、７１から常時流出する。同様に、上部流入部５０、下部流入部８０は、空気が吸入管５０ａ，８０ａから常時吸引され、空気を開口から常時流入する。
（レーザ加工にともなう煙の発生）
レーザ加工機１の制御部（図示せず）は、加工用紙Ｗのマーキング等をセンサで読み取ると、レーザ照射部からレーザ光３ａを照射して、加工用紙Ｗにレーザ加工を行う。
加工用紙Ｗにレーザ光３ａが照射すると、煙Ｓ１，Ｓ２が加工用紙Ｗの上側Ｚ２、下側Ｚ１に発生する。
【００２５】
［加工用紙上側の空間の空気の流れ］
（上部煙発生空間Ａ１及びその周辺の空気の流れ）
図２に示すように、上部流出部３０は、上部煙発生空間Ａ１のうち筒部下端２１ｂから下側Ｚ１に１０ｍｍ程度の空間に向けて、左側Ｘ１に空気を流出する（矢印Ｆ１参照）。
また、加工用紙Ｗの直上では、加工用紙Ｗの送りにより、自然に、右側Ｘ２から左側Ｘ１に向けて空気が流れる。この空気の流れが影響して、上部煙発生空間Ａ１の全体において、右側Ｘ２から左側Ｘ１に向けて空気が流れる（図示は省略した）。
【００２６】
このため、上部煙発生空間Ａ１で上部流出部３０からの空気と、加工用紙Ｗの送りによる空気とが合流する。合流した空気の流れは、上部流出部３０から流出時の速度よりも速くなる。
これにより、空気の加工用紙Ｗに対する速度（相対速度）は、空気の実際の速度よりも遅くなる。このため、清浄装置は、加工用紙Ｗ上部における乱流の発生を抑制し、煙Ｓ１の滞留を抑制できる。
【００２７】
上部煙発生空間Ａ１では、上記空気に対して、さらに、筒内流出部４０が流出した空気が筒部２１の開口から流出して（矢印Ｆ２参照）、合流する。なお、筒部２１の内部の上側Ｚ２は、レンズ３ｃ等があり、密閉されているので、筒内流出部４０が流出した空気は、筒部下端２１ｂの開口から流出する。
このため、上部煙発生空間Ａ１では、空気は、左側Ｘ１に向かうに従って下側Ｚ１に降下するように流れる（矢印Ｆ３参照）。また、上部流出部３０は、移動空間Ａ３１（図４参照）となるように、空気を流出する。これにより、煙Ｓ１を、加工領域から十分に除去し、レーザ加工機１は、良好にレーザ加工することができる。
【００２８】
加工用紙Ｗの上面側の煙Ｓ１は、上側Ｚ２に立ち昇った後、この流れに乗って移動する。
このため、煙Ｓ１は、筒部２１の手前側Ｙ１及び奥側Ｙ２の空間に立ち上ったりすること、筒部２１の内部への流入等が抑制される。
また、上部煙発生空間Ａ１の空気は、左側Ｘ１に向かうに従って、降下するので、筒部下端２１ｂ等への接触が抑制される。
さらに、空気は、上部煙発生空間Ａ１を通過した後も、その勢いがある程度維持されて、上側Ｚ２への移動が抑制される（矢印Ｆ４参照）。このため、筒部２１の手前側Ｙ１及び奥側Ｙ２の空間に立ち上ったりすることも抑制される。
これにより、清浄装置１０は、筒部下端２１ｂや、筒部２１及び照射ヘッド３の外周面等への、煙Ｓ１の接触を抑制できる。
また、筒部２１は、円筒であるので、外周面が鉛直方向Ｚに平行に形成されており、フランジ部２１ａを除けば、下側Ｚ１に向いている面や、突起等の構成がない。このため、仮に、煙Ｓ１が筒部下端２１ｂから矢印Ｆ４の方向等に移動しても、筒部２１は、煙Ｓ１との接触が抑制される。この作用については、後述する比較例でも説明する。
【００２９】
（上部流入部５０及びその周辺の空気の流れ）
上部煙発生空間Ａ１を通ってきた空気は、上部流入部５０に流入する。
上部流入部５０の右側先端５１ａは、上部流出部３０を囲うように形成されている（図４参照）。このため、上部流入部５０は、右側先端５１ａ内の開口を流入口として、上部流出部３０が流出し上部煙発生空間Ａ１を通ってきた空気を、煙Ｓ１と一緒に、確実に流入できる。
【００３０】
なお、上部流入部５０の外形のうち煙Ｓ１と接触する可能性がある部分は、右側先端５１ａの縁部及び下側縁部５１ｂである。
しかし、開口の奥行方向Ｙの長さＷ５１ａが、上部煙発生空間Ａ１よりも十分に大きいので（図４参照）、右側先端５１ａの縁部及び下側縁部５１ｂは、煙Ｓ１との接触が抑制される。
加えて、煙Ｓ１の濃度は、加工用紙Ｗに近くなる程高くなるが、上部流入部５０は、下側Ｚ１が開口しているので、煙Ｓ１の濃度が高い空間には、上部流入部５０の構造物が存在しないことにもなる。
このため、上流部５１の外形には、煙Ｓ１が接触することが抑制される。
【００３１】
上流部５１に入った空気は、吸入管５０ａに向かって左側Ｘ１に移動する（矢印Ｆ５ａ〜Ｆ５ｃ参照）。このため、上流部５１の内壁５１ｃには、煙が接触し、煙に含まれる微粒子等が堆積する。しかし、仮に、この堆積物が落下したとしても、この堆積物は、上流部５１の内部の空気の流れに乗って、吸入管５０ａに吸入される。
【００３２】
加工用紙Ｗの直上の空気の流れについて説明する。
加工用紙Ｗの送りにともない、加工用紙Ｗの直上の空気が、加工用紙Ｗの直上の空間を、左側Ｘ１に移動する場合がある（矢印Ｆ６参照）。この空気は、上流部５１の下側縁部５１ｂの開口からの吸引力により、上側Ｚ２に移動する（矢印Ｆ７参照）。このため、仮に、煙Ｓ１がこの加工用紙Ｗの直上の空気の流れに乗ったとしても、上流部５１は、下側縁部５１ｂの開口を吸入口として、これを吸入できる。
なお、前述したように、上流部５１内壁の堆積した堆積物が加工用紙Ｗ上に落下したような場合であっても、上流部５１が、下側縁部５１ｂの開口から、この落下した堆積物を吸入できることも期待できる。
【００３３】
（下流部５２の空気の流れ）
図１に示すように、上流部５１から流れてきた空気は、下流部５２の内部に導かれる。このため、上流部５１から流れてきた空気は、突起等の構造物に衝突することなく、スムーズに下流部５２の内部に導かれ、さらに、吸入管５０ａに吸入される。
また、下流部５２は、下側Ｚ１が開口しているので、上流部５１と同様に、煙との接触が抑制される。
【００３４】
さらに、仮に、上流部５１の内壁に堆積した堆積物が加工用紙Ｗ上に落下したとしても、下流部５２が、上流部５１と同様に、この堆積物を吸入できることも期待できる。なお、加工用紙Ｗの送り経路がローラ２ｂの部分で左斜め下方向に屈曲しているので、落下した堆積物は、加工用紙Ｗから浮き上がりやすくなる（矢印Ａ参照）。このため、下流部５２は、落下した堆積物を吸入しやすくなる。
【００３５】
このように、上部清浄装置２０は、レーザ加工により加工用紙Ｗの上側Ｚ２に発生した煙Ｓ１を、レーザ加工機１の外形部分への接触を抑制しながら、上部流入部５０から流入できる。また、上部清浄装置２０は、加工用紙Ｗの直上には、上部流入部５０の構造物（筐体等）がない構造である。このため、加工用紙Ｗの直上には、微粒子が付着する構造物がないことになる。これにより、加工用紙Ｗ上に微粒子の堆積物が落下することを抑制できる。
また、下流部５２の加工用紙Ｗ側は、開口している。このため、上部清浄装置２０は、加工用紙Ｗの送り経路のうちより長い部分を、微粒子が付着する構造物がない構成にできる。これにより、上部清浄装置２０は、加工用紙Ｗ上に微粒子の堆積物が落下することを抑制できる。
さらに、上部流入部５０は、開口縁部への微粒子の堆積を抑制できるため、空気の流入量（吸引力）の低下も少ない。
【００３６】
［加工用紙下側の空間の空気の流れ］
図４に示すように、下部流出部７０からの流出した空気は、上部流出部３０と同様に、加工用紙Ｗの送りにともなって移動する空気と合流し、奥行方向Ｙに幅がある態様で、左側Ｘ１に移動する（矢印Ｆ１１参照）。
また、下部流入部８０は、上側Ｚ２が開口しているので、下部煙発生空間Ａ２内の空気は、左側Ｘ１に移動するに従って下側Ｚ１に移動するように、移動する。このため、下部煙発生空間Ａ２内の空気は、右側先端８１ａの開口、又は上側縁部８１ｂ内の開口から、上流部８１に流入する（Ｆ１２参照）。
【００３７】
加工用紙Ｗの下側Ｚ１で発生した煙Ｓ２は、この空気に乗って、上流部８１に流入する。
煙Ｓ２は、上流部５１と同様に、上流部８１の外形（右側先端８１ａの縁部及び上側縁部８１ｂ）との接触が抑制されながら、上流部８１の内部に導かれる。このため、下部清浄装置６０は、上流部８１の外形への微粒子の堆積を抑制できる。
【００３８】
上流部８１に入った空気は、上流部５１と同様に、拡散しながら吸入管８０ａに向かって移動すると考えられる（矢印Ｆ１３ａ〜Ｆ１３ｃ参照）。
このとき、煙Ｓ２は、上流部８１の内壁８１ｃに接触するため、内壁８１ｃには微粒子が堆積する。しかし、加工用紙Ｗの下側Ｚ１においては、この堆積物は、上流部８１の底部８１ｄに落下するので、加工用紙Ｗに接触することはない。
【００３９】
また、加工用紙Ｗの直下においては、加工用紙Ｗの送りにともない流れる空気は、加工用紙Ｗの上側Ｚ２と同様に、上流部８１の上側縁部８１ｂ内の開口からの吸引力により、左側Ｘ１に移動するに従って下側Ｚ１に移動する（矢印Ｆ１４参照）。
このため、仮に、煙Ｓ２がこの空気の流れに乗ったとしても、上流部８１が、この煙Ｓ２を吸入できる。
【００４０】
図１に示すように、下流部８２の内壁８２ｃは、上流部８１の内壁８１ｃと同様に、煙が接触するため、微粒子が堆積する。しかし、下流部８２は、吸入管８０ａに接続されているので、堆積物が落下しても、吸入管８０ａにそのまま吸入する。
このように、下部清浄装置６０は、加工用紙Ｗの下側Ｚ１においても、堆積した微粒子が、加工用紙Ｗに付着することを抑制できる。
【００４１】
［比較例]
図５は、比較例のレーザ加工機及び清浄装置１１０を手前側Ｙ１から見た断面図である。
なお、比較例の説明及び図面において、実施形態と同様の機能を果たす部分には、同一の符号又は末尾（下２桁）に同一の符号を付して、重複する説明を適宜省略する。
清浄装置１１０は、保護カバー１２１、カバー内流出部１４０、上部流入部１５０、下部流入部１８０を備える。
保護カバー１２１は、レンズからのレーザ光路に対応した形状である。つまり、保護カバー１２１は、空洞の円錐状であり、下端にレーザ光を照射する開口１２１ａを備える。
【００４２】
上記形状により、保護カバー１２１の外周の断面形状は、上側Ｚ２に至るに従って外形が大きくなる。
カバー内流出部１４０は、保護カバー１２１内の空間に、空気を流出する部材である。カバー内流出部１４０に流出した空気は、保護カバー１２１の開口１２１ａから、下側Ｚ１に向けて流出する。
上部流入部１５０は、レーザ加工により加工用紙Ｗの上側Ｚ２に発生した煙Ｓ１を流入する。上部流入部１５０は、円筒状の部材である。上部流入部１５０は、上部煙発生空間Ａ１の左側Ｘ１に配置されている。
下部流入部１８０は、レーザ加工により加工用紙Ｗの下側Ｚ１に発生した煙Ｓ２を流入する。下部流入部１８０は、円筒状の部材である。下部流入部１８０は、上部煙発生空間Ａ１の左側Ｘ１に配置されている。
【００４３】
［比較例における加工用紙上側の空間の空気の流れ］
比較例の清浄装置１１０では、上部煙発生空間Ａ１に流出する空気は、保護カバー１２１の開口１２１ａからの空気のみである。また、比較例の清浄装置１１０の上部煙発生空間Ａ１内の空気は、上部流出部３０を備えていない。
このため、比較例の上部煙発生空間Ａ１内の空気は、実施形態のような上部煙発生空間Ａ１の全領域を左側Ｘ１に向けて通るような形態ではなく（図３参照）、保護カバー１２１の開口１２１ａから、単に降下しようとする。
一方、上部流入部１５０は、上部煙発生空間Ａ１内の空気を流入する。
【００４４】
このため、上部煙発生空間Ａ１内の空気は、左側Ｘ１に向かうに従って、下側Ｚ１に降下するように流れて、上部流入部１５０内に流入する（矢印Ｆ１０１参照）。
また、比較例の上部煙発生空間Ａ１内の空気は、実施形態のような上部流出部３０を備えていないので、実施形態の清浄装置１０に比べると、流速が遅くなる。このため、比較例の清浄装置１１０は、発生した煙Ｓ１のうち上部流入部１５０内に流入できるものが、実施形態の清浄装置１０に比べると、少なくなる。
上部流入部１５０内に流入できなかった煙Ｓ１は、拡散しながら上部煙発生空間Ａ１外の空間に移動する。
【００４５】
上部煙発生空間Ａ１の上側Ｚ２に移動した煙Ｓ１の一部は、保護カバー１２１の左側Ｘ１に移動することになる。前述したように、保護カバー１２１の外周は、断面形状が上側Ｚ２に至るに従って外形が大きくなる。つまり、保護カバー１２１の外周面１２１ｂは、斜め下方向に向いているので、上側Ｚ２に移動した煙に接触しやすい。このため、保護カバー１２１の外周面１２１ｂのうち左側Ｘ１の面には、煙Ｓ１に含まれる微粒子Ｐが堆積する。
これに対して、実施形態の筒部２１は、外周面が鉛直方向Ｚに平行方向に形成されているので、煙Ｓ１との接触が抑制され、微粒子Ｐが堆積も抑制できるわけである。
【００４６】
また、比較例では、上部煙発生空間Ａ１の上側Ｚ２に移動した煙Ｓ１の他の一部は、上部流入部１５０の左側端部１５０ａの縁部に接触する。このため、上部流入部１５０の左側端部１５０ａの縁部にも、微粒子Ｐが堆積する。
【００４７】
なお、上部流入部１５０は、実施形態の上部流入部５０のような下側Ｚ１が開口したような形状ではなく、円筒状の部材である。このため、上部流入部１５０の外周面のうち右側先端１５０ａ側の下面にも、微粒子Ｐが堆積する。
また、比較例では、保護カバー１２１の開口１２１ａから流出した空気は、単に降下しようとするので、煙Ｓ１は、上部煙発生空間Ａ１の手前側Ｙ１及び奥側Ｙ２にも移動しやすい（図示は省略した）。
このため、上部流入部１５０の右側先端１５０ａは、全周に渡って微粒子Ｐが堆積する。
【００４８】
このように、加工用紙Ｗの上側Ｚ２では、保護カバー１２１の周囲、上部流入部１５０の右側先端１５０ａの全周に渡って微粒子Ｐが堆積する。
微粒子Ｐは、ある程度の量だけ堆積すると、自重等によって落下する。このうち、保護カバー１２１の周囲や、上部流入部１５０の外周のうち下側Ｚ１に付着した堆積物は、加工用紙Ｗ上に落下してしまう。この場合には、加工用紙Ｗを汚してしまうし、また、次の工程でもレーザ加工等を行う場合には、落下した堆積物にレーザ光が照射されてしまい、加工不良の原因になる。
【００４９】
［比較例における加工用紙下側の空間の空気の流れ］
比較例の清浄装置１１０は、実施形態のような下部流出部７０を備えていない。
このため、下部煙発生空間Ａ２の空気も、上部煙発生空間Ａ１と同様に、実施形態の清浄装置１０に比べると流速が遅くなり、かつ、下部煙発生空間Ａ２の全領域を左側Ｘ１に向けて通るような形態ではない。
そのため、下部流入部１８０は、上部流入部１５０と同様に、右側先端１８０ａに微粒子Ｐが堆積する。
【００５０】
このうち、保護カバー１２１の周囲や、上部流入部１５０の外周のうち下側Ｚ１に付着した堆積物は、ある程度の大きさになると、加工用紙Ｗに接触して汚してしまうし、この場合には、加工用紙Ｗの上側Ｚ２と同様に、加工不良の原因となる。
このように、比較例の清浄装置１１０は、実施形態の清浄装置１０よりも、煙を除去する機能が低く、加工用紙Ｗの汚れ等を発生しやすい。
【００５１】
以上説明したように、本実施形態の清浄装置１０は、レーザ加工により発生した煙を、確実に除去できる。これにより、製品の品質を向上できる。また、加工中に作業者による清掃作業の回数も減らせるので、製造効率を向上できる。
【００５２】
（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態について説明する。
なお、以下の説明及び図面において、前述した第１実施形態と同様の機能を果たす部分には、同一の符号又は末尾（下２桁）に同一の符号を付して、重複する説明を適宜省略する。
図６は、第２実施形態のレーザ加工機２０１の斜視図である。
レーザ加工機２０１は、照射ヘッド２０３、清浄装置２１０を備える。
照射ヘッド２０３は、ガルバノ光学系を備えている。照射ヘッド２０３は、左側Ｘ１に送られる加工用紙Ｗに対して、レーザ光２０３ａの照射先を照射範囲２０３ｂ内で送り方向Ｘ及び奥行方向Ｙに移動させながら、レーザ加工を行う。
このため、レーザ加工機２０１の上部煙発生空間、下部煙発生空間は、照射範囲２０３ｂの上側Ｚ２の空間、下側Ｚ１の空間である。
【００５３】
清浄装置２１０は、上部清浄装置２２０、下部清浄装置２６０を備える。
上部清浄装置２２０は、上部流出部２３０、上部流入部２５０を備える。
上部流出部２３０のノズル口２３１は、奥行方向Ｙの長さが、照射範囲２０３ｂよりも大きい。
同様に、上部流入部２５０のノズル口２５１は、奥行方向Ｙの長さが、照射範囲２０３ｂよりも大きい。
このため、上側Ｚ２から見たときに、加工用紙Ｗの上側Ｚ２において、上部流出部２３０から流出した空気は、奥行方向Ｙに奥行がある態様で移動して、上部流入部２５０に流入する（矢印Ｆ２０１ａ〜Ｆ２０１ｃ参照）。そのため、上部流出部２３０から流出した空気は、照射範囲２０３ｂの全領域、つまり、上部煙発生空間の全領域を通ることになる。
これにより、加工用紙Ｗの上側Ｚ２において、レーザ加工により発生した煙は、上部煙発生空間を通る間に、この空気に乗って、上部流入部２５０に流入する。
【００５４】
下部清浄装置２６０は、上部清浄装置２２０と同様に、下部流出部２７０、下部流入部２８０を備える。
そして、下部清浄装置２６０は、加工用紙Ｗの下側Ｚ１において、レーザ加工により発生した煙を、下部煙発生空間を通る間に、上部清浄装置２２０と同様に、下部流入部２８０に流入する。
【００５５】
以上説明したように、本実施形態の清浄装置２１０は、ガルバノ光学系を備えたレーザ加工機２０１においても、レーザ加工により発生した煙を、第１実施形態と同様に、確実に除去できる。これにより、製品の品質を向上できるし、また、製造効率を向上できる。
【００５６】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は前述した実施形態に限定されるものではなく、後述する変形形態のように種々の変形や変更が可能であって、それらも本発明の技術的範囲内である。また、実施形態に記載した効果は、本発明から生じる最も好適な効果を列挙したに過ぎず、本発明による効果は、実施形態に記載したものに限定されない。なお、前述した実施形態及び後述する変形形態は、適宜組み合わせて用いることもできるが、詳細な説明は省略する。
【００５７】
（変形形態）
（１）本実施形態において、清浄装置は、煙発生空間の右側には流出部を、左側には流入部を、それぞれ設けた例を示したが、これに限定されない。これらの一方のみを備えてもよい。
例えば、比較例の清浄装置に対して、実施形態の流出部のみを設けた形態にしてもよい。この場合にも、実施形態と同様に、煙発生空間に対して、奥行方向に幅の態様で、空気を移動できるので、煙清浄の効果を期待できる。
また、例えば、比較例の清浄装置に対して、実施形態の流入部のみを設けた形態にしてもよい。この場合にも、実施形態と同様に、煙発生空間を囲うように、流入口を配置でき、かつ、下側（又は上側）が開口しているので、煙清浄の効果を期待できる。
【００５８】
（２）本実施形態において、流入口は、奥行方向に長く開口した形状である例を説明したが、これに限定されない。例えば、複数の小さいノズル口を奥行方向に配列した形態としてもよい。この場合にも、奥行方向に幅の態様で、空気を移動させることができる。また、ノズル口の大きさを調整すれば、奥行方向に位置に応じて、空気の移動速度や供給量を調整できる。例えば、煙の濃度の高い空間のみ、空気の移動速度を速くしたり、空気の供給量を多くするように調整したりできる。
【００５９】
（３）第１実施形態において、流入口は、ローラ２ｂ（屈曲部）以降も設けられている例を説明したが、これに限定されない。例えば、流入口は、ローラ２ｂの手前側（上流側Ｘ２）にのみ設けてもよい。
【符号の説明】
【００６０】
１，２０１  レーザ加工機
１０，２１０  清浄装置
２１  筒部
３０，２３０  上部流出部
３１，４１，７１，２３１，２５１  ノズル口
４０  筒内流出部
５０，２５０  上部流入部
５１，８１  上流部
５２，８２  下流部
７０，２７０  下部流出部
８０，２８０  下部流入部
Ａ１  上部煙発生空間
Ａ２  下部煙発生空間
Ａ３１  移動空間
Ｐ  微粒子
Ｗ  加工用紙
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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