(57)【要約】【課題】アンモニアを有効に除去しつつ、酢酸の生成を抑えて、製品の品質を向上させるとともに、メンテナンスの手間およびコストを抑える。【解決手段】室内雰囲気の導入口１２および排出口１３を備えたケーシング１１Ａと、ケーシング１１Ａ内に設けられ、室内雰囲気に含まれるＰＧＭＥＡ（プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート）を少なくとも吸着する第一吸着材と、ケーシング１１Ａ内に設けられ、室内雰囲気に含まれるアンモニアを少なくとも吸着する第二吸着材と、を備えるようにした。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
室内雰囲気の導入口および排出口を備えたケーシングと、
前記ケーシング内に設けられ、前記室内雰囲気に含まれるプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを少なくとも吸着する第一吸着材と、
前記ケーシング内に設けられ、前記室内雰囲気に含まれるアンモニアを少なくとも吸着する酸性物質を添着した第二吸着材と、
を備えることを特徴とする浄化フィルタ装置。
【請求項２】
前記ケーシング内に、前記第一吸着材を備えた第一フィルタ部と、前記第二吸着材を備えた第二フィルタ部とが、前記導入口から前記排出口に向かう前記室内雰囲気の流れ方向に沿って、間隔を隔てて配置され、
前記第一フィルタ部が、前記室内雰囲気の流れ方向上流側に配置され、
前記第二フィルタ部が、前記室内雰囲気の流れ方向下流側に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の浄化フィルタ装置。
【請求項３】
前記ケーシング内に、前記第一吸着材と前記第二吸着材とを混合して備えたフィルタ部を備えていることを特徴とする請求項１に記載の浄化フィルタ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、空気中のケミカル物質を吸着剤により吸着除去する浄化フィルタ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
周知のように、半導体や液晶パネルの製造工場等におけるクリーンルームは高度の清浄度が要求されている。
そこで、外気をクリーンルーム内に導入するに際しては、粗塵フィルタ、中性能フィルタ、ＨＥＰＡ（High Efficiency Particulate Air Filter）フィルタあるいはＵＬＰＡ（Ultra Low Penetration Air Filter）フィルタ等により、外気中に混在する微粒子を除去している。
また、大気中に含まれたり、クリーンルーム内で発生する有機・無機のガス状物質も、品質に影響することがある。このようなガス状物質としては、例えば無機系としては、アンモニア、窒素酸化物、硫黄酸化物、塩化水素等があり、有機系としては、フタル酸エステル、リン酸エステル、有機酸等がある。これらのガス状物質の除去には、イオン交換繊維や活性炭等の吸着材により吸着するケミカルフィルタが一般に用いられている（例えば特許文献１参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００１−８２２号公報
【非特許文献】
【０００４】
【非特許文献１】鈴木庸子、野島康恵、武田収功、“Propylene glycol monomethylether acetate (PGMEA)の加水分解によるケミカルフィルタからの酢酸発生について”、空気清浄とコンタミネーションコントロール研究大会予稿集 (Y0789A)、日本空気清浄協会、平成１２年４月２０日、第１８回、１６９-１７１頁
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、上記したようなガス状物質の中でも、特に、アンモニアは、半導体や液晶パネルの製造工程中の「フォトリソグラフィ工程」で悪影響を与えることがあることから、濃度の低減が望まれる。このアンモニアは、外気に由来するものばかりではなく、一連の製造工程中、繰り返し行われる「洗浄工程」で用いられるアンモニア水や、作業員の体表面や呼気から放出されるものもある。
アンモニアはアルカリ性のガスであることから、硫酸、リン酸、シュウ酸等の不揮発性の酸性物質を付加した酸性物質添着吸着材を用いてアンモニアの吸着・除去を行っている。
【０００６】
ところで、上記したような酸性物質添着吸着材を用いてアンモニアの吸着・除去を行うと、酢酸が生成されることがある。これは、フォトリソグラフィ工程で用いられるレジスト液の主成分（溶剤）であるＰＧＭＥＡ（プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート）が気化したガスが、酸性物質添着吸着材との接触によって加水分解されることによる。ＰＧＭＥＡの加水分解の結果、揮発性の有機酸である酢酸と、アルコール基（ヒドロキシ基）を持つＰＧＭＥ（１−メトキシ−２−プロパノール）とが生成される（例えば非特許文献１）。
【０００７】
生成される酢酸は、酸性物質であることから、クリーンルーム内で製造される製品の品質への悪影響が懸念される。また、酢酸は、アンモニア等の塩基性ガスと反応して固体の塩を生成することから、フォトリソグラフィ装置等をはじめとする各種機器の光学系への悪影響を及ぼし、光学系のメンテナンス費用およびコストが嵩むおそれがある。
そこでなされた本発明の目的は、アンモニアを有効に除去しつつ、酢酸の生成を抑えて、製品の品質を向上させるとともに、メンテナンスの手間およびコストを抑えることのできる浄化フィルタ装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
請求項１に記載の発明は、室内雰囲気の導入口および排出口を備えたケーシングと、前記ケーシング内に設けられ、前記室内雰囲気に含まれるプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを少なくとも吸着する第一吸着材と、前記ケーシング内に設けられ、前記室内雰囲気に含まれるアンモニアを少なくとも吸着する酸性物質を添着した第二吸着材と、を備えることを特徴とする浄化フィルタ装置である。
【０００９】
このような浄化フィルタ装置は、半導体や液晶パネル等を製造するクリーンルームに設置されることによって、第二吸着材でアンモニアを吸着・除去し、製造条件を良好なものとすることができる。さらに、第一吸着材によりＰＧＭＥＡを少なくとも吸着することによって、ＰＧＭＥＡが酸性物質を添着した第二吸着材との接触によって加水分解するのを抑え、酢酸の発生を抑えることができる。
【００１０】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の浄化フィルタ装置であって、前記ケーシング内に、前記第一吸着材を備えた第一フィルタ部と、前記第二吸着材を備えた第二フィルタ部とが、前記導入口から前記排出口に向かう前記室内雰囲気の流れ方向に沿って、間隔を隔てて配置され、前記第一フィルタ部が、前記室内雰囲気の流れ方向上流側に配置され、前記第二フィルタ部が、前記室内雰囲気の流れ方向下流側に配置されていることを特徴とする。
【００１１】
これにより、ＰＧＭＥＡが上流側の第一フィルタ部で吸着されるので、下流側の第二吸着材とＰＧＭＥＡとの接触による酢酸の発生を有効に抑えることができる。
【００１２】
請求項３に記載の発明は、請求項１に記載の浄化フィルタ装置であって、前記ケーシング内に、前記第一吸着材と前記第二吸着材とを混合して備えたフィルタ部を備えていることを特徴とする。
【００１３】
これにより、第一吸着材によって、ＰＧＭＥＡの少なくとも一部が吸着される。第一吸着材に吸着されなかったＰＧＭＥＡが第二吸着材と接触して酢酸が発生しても、発生した酢酸が直ちに第一吸着材に吸着される。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、アンモニアを有効に除去しつつ、酢酸の生成を抑えて、製品の品質を向上させるとともに、メンテナンスの手間およびコストを抑えることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】第１の実施形態にかかるクリーンルーム内の雰囲気を浄化する浄化フィルタ装置の概略構成を示す断面図である。
【図２】第１の実施形態にかかるクリーンルーム内の雰囲気を浄化する浄化フィルタ装置の変形例の構成を示す断面図である。
【図３】第２の実施形態にかかるクリーンルーム内の雰囲気を浄化する浄化フィルタ装置の概略構成を示す断面図である。
【図４】実施例におけるＰＧＭＥＡ成分の除去率の変化を示す図である。
【図５】実施例におけるアンモニアの除去率の変化を示す図である。
【図６】実施例におけるフィルタ部通過後の酢酸の濃度変化を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、添付図面を参照して、本発明による浄化フィルタ装置を実施するための形態を説明する。しかし、本発明はこれらの実施形態のみに限定されるものではない。
【００１７】
（第１の実施形態）
図１は、本実施形態にかかるクリーンルーム内の室内雰囲気を浄化する浄化フィルタ装置の概略構成を示す断面図である。
図１に示すように、浄化フィルタ装置１０Ａは、箱状のケーシング１１Ａと、ブロワ１５と、第一フィルタ部２０と、第二フィルタ部３０と、を備えている。
【００１８】
ケーシング１１Ａは、直方体状で、その一端側に気流の導入口１２が開口して形成され、他端側に気流の排出口１３が開口して形成されている。ケーシング１１Ａ内の導入口１２の近傍には、中央部に貫通孔１４ａを有した隔壁１４が設けられている。隔壁１４に対して導入口１２側には、ブロワ１５が設けられており、このブロワ１５は、導入口１２側から室内雰囲気を取り込み、貫通孔１４ａに接続された吐出口１５ａから排出口１３側に向けて室内雰囲気を吐出する。これにより、ケーシング１１Ａにおいては、導入口１２から排出口１３に向けて流れる気流が生じる。
【００１９】
第一フィルタ部２０、第二フィルタ部３０は、ケーシング１１Ａ内において、隔壁１４よりも排出口１３側に、気流の流れ方向に間隔を隔てて配置されている。
ここで、本実施形態において、第一フィルタ部２０は、気流の上流側（隔壁１４に近い側）に配置され、第二フィルタ部３０は、気流の下流側（排出口１３に近い側）に配置されている。
【００２０】
隔壁１４と第一フィルタ部２０との間、第一フィルタ部２０と第二フィルタ部３０との間は、それぞれ、第一フィルタ部２０、第二フィルタ部３０をメンテナンスするためのスペースＳ１、Ｓ２とされている。
【００２１】
第一フィルタ部２０、第二フィルタ部３０は、それぞれ、上下複数段に積層されたフィルタボックス３１を備えている。各段のフィルタボックス３１には、不図示のフィルタ保持部材が設けられており、このフィルタ保持部材により、上下２枚のフィルタ３２が、それぞれ気流の流れ方向に沿って傾斜して保持されるようになっている。ここで、下方のフィルタ３２は、気流の流れ方向に沿って上方から下方に傾斜し、上方のフィルタ３２は、気流の流れ方向に沿って下方から上方に傾斜して配置されている。これにより、各段のフィルタボックス３１において、上下２枚のフィルタ３２がＶ字状に配置されている。
各フィルタ３２は、通気性を有した袋体にイオン交換繊維や活性炭等の吸着材を収納し、この袋体を例えば樹脂製のトレー内に収容したケミカルフィルタである。
【００２２】
本実施形態において、気流の流れ方向上流側に位置する第一フィルタ部２０においては、各フィルタ３２の吸着材として、イオン交換繊維や活性炭等のＶＯＣ（Volatile Organic Compounds：揮発性有機化合物）吸着材（第一吸着材）を用い、ＶＯＣの吸着・除去を行う。
気流の流れ方向下流側に位置する第二フィルタ部３０においては、各フィルタ３２の吸着材として、硫酸、リン酸、シュウ酸等の不揮発性の酸性物質をイオン交換繊維や活性炭等の吸着材に付加した酸性物質添着吸着材（第二吸着材）を用い、アンモニアの吸着・除去を行う。
【００２３】
上記したような浄化フィルタ装置１０Ａは、ブロワ１５の作動により、導入口１２側からクリーンルーム内の室内雰囲気を取り込み、貫通孔１４ａに接続された吐出口１５ａから排出口１３側に向けて室内雰囲気を吐出する。すると、室内雰囲気は、気流の流れ方向上流側の第一フィルタ部２０を経ることで、ＶＯＣが除去される。さらに、室内雰囲気は、気流の流れ方向下流側の第二フィルタ部３０を経ることで、アンモニアが除去された後、排出口１３からクリーンルーム内に排出される。
【００２４】
このようにすると、浄化フィルタ装置１０Ａに取り込まれたクリーンルーム内の室内雰囲気から、まず、第一フィルタ部２０において、フォトリソグラフィ工程で用いられるレジスト液の主成分であるＰＧＭＥＡ（Propyleneglycol Monomethyl Ether Acetate，プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート）が除去された後、第二フィルタ部３０においてアンモニアが除去される。
第一フィルタ部２０と第二フィルタ部３０の順序を入れ替えた場合は、上流側の酸性物質添着吸着材との接触によって、ＰＧＭＥＡが加水分解されて酢酸が生じるが、第一フィルタ部２０と第二フィルタ部３０とを本実施形態の配置として、上流側の第一フィルタ部でＰＧＭＥＡを除去することで、第二フィルタ部３０における酢酸の発生を抑えることができる。
また、ＰＧＭＥＡと、その分解生成物である酢酸およびＰＧＭＥとに対する、ＶＯＣ吸着材における吸着・除去能力を比較すると、ＶＯＣ吸着材は、分子量が大きく疎水性が高いＰＧＭＥＡに対して最も高く作用する。つまり、ＶＯＣ吸着材においては、ＰＧＭＥＡをその加水分解前の状態で吸着・除去した方が、その分解物である酢酸およびＰＧＭＥを吸着・除去するよりも効果的である。
このようにして、酢酸の抑制効果、ＰＧＭＥＡの吸着効果の双方において、第一フィルタ部２０にＶＯＣ吸着材を備え、第二フィルタ部３０に酸性物質添着吸着材を用いるのが好ましい。
【００２５】
上述したようにして、アンモニアを有効に除去しつつ、酢酸の生成を抑えて、製品の品質を向上させることが可能となる。また、酢酸の生成を抑えることによって、クリーンルーム内における酢酸による腐食を抑え、メンテナンスの手間およびコストを抑えることができる。
【００２６】
また、この浄化フィルタ装置１０Ａにおいては、第一フィルタ部２０と第二フィルタ部３０とが独立して設けられている。これにより、第一フィルタ部２０、第二フィルタ部３０のいずれか一方のみにおいて、フィルタ３２における吸着能力が低下した場合、吸着能力が低下したフィルタ３２のみを交換することができるため、経済性に優れる。
【００２７】
（第１の実施形態の変形例）
図２は、本実施形態にかかるクリーンルーム内の室内雰囲気を浄化する浄化フィルタ装置の変形例を示す断面図である。
図２に示すように、浄化フィルタ装置１０Ｂは、ケーシング１１Ｂの一側面１１ｓに、導入口１２と排出口１３とが上下に離間して形成されている。ケーシング１１Ｂ内には、上下方向中間部に、一側面１１ｓから水平方向に延びる仕切板１７が形成されている。仕切板１７の端部１７ａと、ケーシング１１Ｂの一側面１１ｓに対向する側面１１ｔとの間には隙間１８が形成されている。
【００２８】
そして、ケーシング１１Ｂ内において、仕切板１７の下方に、ブロワ１５、隔壁１４、第一フィルタ部２０が設けられ、仕切板１７の上方に第二フィルタ部３０が設けられている。
【００２９】
このような浄化フィルタ装置１０Ｂにおいては、上記浄化フィルタ装置１０Ａと同様、ブロワ１５の作動により、導入口１２側からクリーンルーム内の室内雰囲気を取り込み、貫通孔１４ａに接続された吐出口１５ａから排出口１３側に向けて室内雰囲気を吐出する。すると、室内雰囲気は、気流の流れ方向上流側の第一フィルタ部２０を経ることで、ＶＯＣが除去される。そして、第一フィルタ部２０を経た室内雰囲気は、隙間１８を通って仕切板１７の上方に流れ、第二フィルタ部３０を経ることで、アンモニアが除去された後、排出口１３からクリーンルーム内に排出される。
【００３０】
この浄化フィルタ装置１０Ｂにおいても、アンモニアを有効に除去しつつ、酢酸の生成を抑えて、製品の品質を向上させることが可能となる。また、酢酸の生成を抑えることによって、クリーンルーム内における酢酸による腐食を抑え、メンテナンスの手間およびコストを抑えることができる。
また、この浄化フィルタ装置１０Ｂにおいても、第一フィルタ部２０、第二フィルタ部３０のいずれか一方のみにおいて、フィルタ３２における吸着能力が低下した場合、吸着能力が低下したフィルタ３２のみを交換することができるため、経済性に優れる。
【００３１】
（第２の実施形態）
次に、本発明にかかる浄化フィルタ装置の第２の実施形態について説明する。なお、以下に説明する第２の実施形態においては、上記第１の実施形態と共通する構成については図中に同符号を付してその説明を省略する。
図３は、本実施形態にかかるクリーンルーム内の室内雰囲気を浄化する浄化フィルタ装置の概略構成を示す断面図である。
図３に示すように、浄化フィルタ装置１０Ｃは、箱状のケーシング１１Ｃと、ブロワ１５と、フィルタ部４０と、を備えている。
【００３２】
ケーシング１１Ｃは、直方体状で、その一端側に気流の導入口１２が開口して形成され、他端側に気流の排出口１３が開口して形成されている。ケーシング１１Ｃ内の導入口１２の近傍には、中央部に貫通孔１４ａを有した隔壁１４が設けられている。隔壁１４に対して導入口１２側には、ブロワ１５が設けられており、このブロワ１５は、導入口１２側から室内雰囲気を取り込み、貫通孔１４ａに接続された吐出口１５ａから排出口１３側に向けて室内雰囲気を吐出する。これにより、ケーシング１１Ｃにおいては、導入口１２から排出口１３に向けて流れる気流が生じる。
【００３３】
隔壁１４とフィルタ部４０との間は、フィルタ部４０をメンテナンスするためのスペースＳ３とされている。
【００３４】
フィルタ部４０は、上下複数段に積層されたフィルタボックス３１を備えている。各段のフィルタボックス３１には、不図示のフィルタ保持部材が設けられており、このフィルタ保持部材により、上下２枚のフィルタ３２が、それぞれ気流の流れ方向に沿って傾斜して保持されるようになっている。ここで、下方のフィルタ３２は、気流の流れ方向に沿って上方から下方に傾斜し、上方のフィルタ３２は、気流の流れ方向に沿って下方から上方に傾斜して配置されている。これにより、各段のフィルタボックス３１において、上下２枚のフィルタ３２がＶ字状に配置されている。
各フィルタ３２は、後に詳述する吸着材を収納し、この袋体を例えば樹脂製のトレー内に収容したケミカルフィルタである。
【００３５】
本実施形態において、フィルタ部４０においては、各フィルタ３２の吸着材として、イオン交換繊維や活性炭等のＶＯＣ吸着材と、硫酸、リン酸、シュウ酸等の不揮発性の酸性物質をイオン交換繊維や活性炭等の吸着材に付加した酸性物質添着吸着材と、を混合したものを用いる。
【００３６】
上記したような浄化フィルタ装置１０Ｃは、ブロワ１５の作動により、導入口１２側からクリーンルーム内の室内雰囲気を取り込み、貫通孔１４ａに接続された吐出口１５ａから排出口１３側に向けて室内雰囲気を吐出する。すると、室内雰囲気は、気流の流れ方向上流側のフィルタ部４０を経ることで、ＶＯＣ吸着材によりＶＯＣが除去され、酸性物質添着吸着材によりアンモニアが除去された後、排出口１３からクリーンルーム内に排出される。
【００３７】
本実施形態では、フィルタ部４０において、ＶＯＣ吸着材において、ＰＧＭＥＡの一部を吸着する。ここで、酸性物質を添着していないＶＯＣ吸着材の方が、酸性物質添着吸着材よりも、ＰＧＭＥＡの吸着サイトが多いので、酸性物質添着吸着材よりも、ＶＯＣ吸着材が優先的にＰＧＭＥＡを吸着する。
また、酸性物質添着材には、ＶＯＣ吸着材に吸着されなかったＰＧＭＥＡが接触し、加水分解されて酢酸が生じるが、同じフィルタ部４０にＶＯＣ吸着材があるために、発生した酢酸は直ちに吸着される。
このようにして、フィルタ部４０よりも気流の下流側における酢酸の発生を抑えることができる。
【００３８】
上述したようにして、アンモニアを有効に除去しつつ、酢酸の生成を抑えて、製品の品質を向上させることが可能となる。また、酢酸の生成を抑えることによって、クリーンルーム内における酢酸による腐食を抑え、メンテナンスの手間およびコストを抑えることができる。
【００３９】
また、このような浄化フィルタ装置１０Ｃは、一つのフィルタ部４０で室内雰囲気の浄化処理を行うことができるので、装置の小型化、省スペース化を図ることができる。また、第一フィルタ部２０、第二フィルタ部３０を２段に備える構成に比較し、１段のみのフィルタ部４０のみを備えることで、フィルタによる流動抵抗を抑え、ブロワ１５の小型化、およびそれによる省スペース化、低コスト化を図ることができる。
【００４０】
さらに、このような浄化フィルタ装置１０Ｃは、一つのフィルタ部４０のみを備えるため、既存の浄化フィルタ装置に対しても、フィルタを上記実施形態で示した構成のものに交換するのみで、上記と同様の作用効果を得ることが可能となる。
【００４１】
ところで、フィルタ部４０に、ＶＯＣ吸着材と酸性物質添着吸着材とを混合して備えているため、吸着性能の低下に伴い、そのいずれか一方のみを交換することはできない。そこで、事前に、室内雰囲気中のＰＧＭＥＡ濃度やアンモニア濃度に応じて、ＶＯＣ吸着材と酸性物質添着吸着材との混合比を調整し、その双方を同じタイミングで交換すれば良いようにするのが好ましい。
【００４２】
（その他の実施形態）
なお、本発明の浄化フィルタ装置は、図面を参照して説明した上述の各実施形態に限定されるものではなく、その技術的範囲において様々な変形例が考えられる。
例えば、第一フィルタ部２０、第二フィルタ部３０、フィルタ部４０の具体的構成については、上記に例示したものに限らず、適宜他の構成としてもよい。
また、ブロワ１５の配置や設置構造、ケーシング１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃの形状等についても、適宜他の構成とすることが可能である。
さらに、ＶＯＣ吸着材と、酸性物質添着吸着材は、それぞれ、少なくともＰＧＭＥＡ、アンモニアを吸着できるのであれば、上記に例示した以外の構成のものを採用してもよい。
これ以外にも、本発明の主旨を逸脱しない限り、上記実施の形態で挙げた構成を取捨選択したり、他の構成に適宜変更することが可能である。
【実施例】
【００４３】
次に、上記第１、第２実施形態の構成の浄化フィルタ装置１０Ａ，１０Ｃにおける室内雰囲気の浄化性能について確認するための実証実験を行ったので、その結果を示す。
＜実施例１＞
第一フィルタ部の吸着材として、ＶＯＣ吸着材としてヤシ殻活性炭を４ｃｍ３備え、第二フィルタ部の吸着材として、酸性物質として硫酸を添着させたヤシ殻活性炭を４ｃｍ３備え、気流の流れ方向に沿って、第一フィルタ部、第二フィルタ部の順に配置した。
＜実施例２＞
フィルタ部として、ＶＯＣ吸着材としてのヤシ殻活性炭４ｃｍ３と、酸性物質添着吸着材としての硫酸を添着させたヤシ殻活性炭４ｃｍ３とを、混合して備えた。
＜比較例＞
フィルタ部に、酸性物質添着吸着材としての硫酸を添着させたヤシ殻活性炭８ｃｍ３を備えた。
【００４４】
実施例１、実施例２、比較例のそれぞれにおいて、ブロワにより、ＰＧＭＥＡ蒸気を付加し、ＴＶＯＣ（Total Volatile Organic Compounds：総揮発性有機化合物）濃度が３０００〜６０００μｇ／ｍ３（ＶＯＣ成分のうちＰＧＭＥＡが９９％以上）と、アンモニア濃度が２〜５μｇ／ｍ３、酢酸濃度が２０〜４０μｇ／ｍ３、とした室内空気を、通気量４０００ｃｍ３／分、ＳＶ値（空間速度）３００００ｈ−１の条件で、各フィルタ部を通過させた。
【００４５】
そして、実施例１、実施例２、比較例のそれぞれにおいて、各フィルタ部を通過した室内空気におけるＴＶＯＣ除去率を測定した。図４は、その結果を示すものである。
この図４に示すように、比較例に対し、実施例１、２の方が、ＶＯＣ除去率が高く、ＶＯＣ吸着材と、酸性物質添着吸着材とを用いることで、ＶＯＣ成分を確実に除去できることが確認された。
【００４６】
また、実施例１、実施例２、比較例のそれぞれにおいて、各フィルタ部を通過した室内空気におけるアンモニア濃度を測定した。図５は、その結果を示すものである。
この図５に示すように、比較例に対して、酸性物質添着吸着材の量が半分しかない実施例１、２においても、比較例と同等のアンモニア除去率であり、アンモニアの高い吸着能力を有することが確認された。
【００４７】
加えて、実施例１、実施例２、比較例のそれぞれにおいて、各フィルタ部を通過した室内空気における酢酸濃度を測定した。図６は、その結果を示すものである。
この図６に示すように、比較例に対し、実施例１、２の方が、酢酸濃度が大幅に低く、酢酸の発生を有効に抑えることが確認された。
なお、実施例２においては、実験後半で酢酸濃度の上昇がみられた。本実証実験で用いたヤシ殻活性炭は、疎水性の高いガスに対する吸着容量が大きく、親水性の高いガスは吸着容量が小さくなる。２種類の吸着材を混合した実施例２においては、２種類の吸着材をそれぞれ独立してフィルタ部に設けた実施例１に対し、ＰＧＭＥＡガスと酸性物質添着吸着材との接触による加水分解を受けやすい。そして、酢酸とＰＧＭＥは、いずれも親水性が高い揮発性の有機化合物であるため、加水分解前のＰＧＭＥＡよりも吸着されにくく、その結果、実験後半で酢酸濃度が上昇したものと推察される。
【符号の説明】
【００４８】
１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ  浄化フィルタ装置
１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃ  ケーシング
１２  導入口
１３  排出口
２０  第一フィルタ部
３０  第二フィルタ部
３１  フィルタボックス
３２  フィルタ
４０  フィルタ部
【図１】
2014217811.tif 000003
【図２】
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【図３】
2014217811.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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