(57)【要約】【課題】記録媒体に塗布された液滴ドット形状を正確に検査する。【解決手段】記録媒体に対して塗布された機能液の塗布状態を検査する塗布検査装置であって、前記記録媒体を載置する載置面を有するステージと、前記ステージに載置された前記記録媒体に向けて光を照射する照射部と、前記記録媒体に塗布された前記機能液を撮像する撮像部と、を備え、前記載置面は、前記光を反射させる反射面である。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
記録媒体に対して塗布された機能液の塗布状態を検査する塗布検査装置であって、
前記記録媒体を載置する載置面を有するステージと、
前記ステージに載置された前記記録媒体に向けて光を照射する照射部と、
前記記録媒体に塗布された前記機能液を撮像する撮像部と、を備え、
前記載置面は、前記光を反射させる反射面であることを特徴とする塗布検査装置。
【請求項２】
請求項１に記載の塗布検査装置において、
前記ステージには、前記載置面において前記記録媒体を吸着固定する吸着部を備えたことを特徴とする塗布検査装置。
【請求項３】
記録媒体に対して塗布された機能液の塗布状態を検査する塗布検査方法であって、
光を反射する反射面に前記記録媒体を吸着させ、前記記録媒体を保持する保持工程と、
保持された前記記録媒体に向けて前記機能液を液滴として吐出し、前記記録媒体に前記機能液を塗布する塗布工程と、
前記機能液が塗布された前記記録媒体に向けて光を照射する照射工程と、
前記記録媒体に塗布された前記機能液を撮像する撮像工程と、を含むことを特徴とする塗布検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、塗布検査装置、塗布検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、液滴吐出ヘッドの吐出検査方法として、着弾液滴と同色の着弾許容範囲を含む被着弾面に向けて液滴を吐出し、着弾液滴が撮像によって画像認識されない場合には、着弾位置が着弾許容範囲内であると判断し、着弾液滴が撮像によって被着弾面に設けられた着弾許容範囲を外れて画像認識された場合には、着弾位置が着弾許容範囲外であると判断する方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１１−５１３０２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記液滴吐出ヘッドの吐出検査方法は、液滴吐出ヘッドにおける着弾精度に関して検査可能であるが、着弾された液滴の着弾面積等を検査する場合には、着弾液滴の色と被着弾面の色とが同色なので、着弾液滴とそれ以外の被着弾面とのコントラストが得られにくいため、検査精度が低下してしまう、という課題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００６】
［適用例１］本適用例にかかる塗布検査装置は、記録媒体に対して塗布された機能液の塗布状態を検査する塗布検査装置であって、前記記録媒体を載置する載置面を有するステージと、前記ステージに載置された前記記録媒体に向けて光を照射する照射部と、前記記録媒体に塗布された前記機能液を撮像する撮像部と、を備え、前記載置面は、前記光を反射させる反射面であることを特徴とする。
【０００７】
この構成によれば、ステージに設けられた反射面に機能液が塗布された記録媒体を載置させ、当該記録媒体に向けて光を照射することにより、記録媒体に入射した光が反射面によって反射される。これにより、塗布された機能液と機能液以外の部分とのコントラストが得られやすくなるため、検査精度を向上させることができる。
【０００８】
［適用例２］上記適用例にかかる塗布検査装置の前記ステージには、前記載置面において前記記録媒体を吸着固定する吸着部を備えたことを特徴とする。
【０００９】
この構成によれば、記録媒体を吸着固定することにより、記録媒体の平坦性を確実に保持することができる。これにより、焦点ずれ等が低減され、さらに検査精度を向上させることができる。
【００１０】
［適用例３］本適用例にかかる塗布検査方法は、記録媒体に対して塗布された機能液の塗布状態を検査する塗布検査方法であって、光を反射する反射面に前記記録媒体を吸着させ、前記記録媒体を保持する保持工程と、保持された前記記録媒体に向けて前記機能液を液滴として吐出し、前記記録媒体に前記機能液を塗布する塗布工程と、前記機能液が塗布された前記記録媒体に向けて光を照射する照射工程と、前記記録媒体に塗布された前記機能液を撮像する撮像工程と、を含むことを特徴とする。
【００１１】
この構成によれば、記録媒体を吸着固定することにより、記録媒体の平坦性を確実に保持することができる。これにより、焦点ずれ等を低減し、検査精度を向上させることができる。さらに、記録媒体は、反射面に保持される。そして、記録媒体に向けて光を照射することにより、記録媒体に入射した光が反射面によって反射される。これにより、塗布された機能液と機能液以外の部分とのコントラストが得られやすくなり、さらに検査精度を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】塗布検査装置の構成を示す概略図。
【図２】塗布検査方法を示す工程図。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。なお、以下の各図においては、各部材等を認識可能な程度の大きさにするため、各部材等の尺度を実際とは異ならせて示している。
【００１４】
まず、塗布検査装置の構成について説明する。塗布検査装置は、記録媒体１に対して塗布された機能液の塗布状態を検査する装置である。図１は、塗布検査装置の構成を示す概略図である。
【００１５】
図１に示すように、塗布検査装置１０は、記録媒体１を載置する載置面２１を有するステージ２０と、ステージ２０に載置された記録媒体１に向けて光を照射する照射部４０と、記録媒体１に塗布された機能液を撮像する撮像部５０を備え、ステージ２０の載置面２１は、光を反射させる反射面２２である。なお、本実施形態では、ステージ２０に載置された記録媒体１に対して機能液を液滴として吐出する吐出ヘッド３０を備えている。また、上記部材等を制御する制御部（図示せず）等を備えている。
【００１６】
ステージ２０の載置面２１（反射面２２）は平坦である。また、ステージ２０には記録媒体１を吸着固定する吸着部２３が設置されている。具体的には、載置面２１には複数の吸引孔が設けられ、当該吸引孔はポンプに接続されている。そして、ポンプを駆動させることにより吸引孔から空気が吸引されるように構成されている。これにより、記録媒体１を載置面２１に載置して、ポンプを駆動させることにより負圧が生じ記録媒体１が載置面２１に吸着される。さらに、ステージ２０には、ステージ２０をＹ軸方向に沿って往復運動可能に移動手段（図示せず）が設けられている。移動手段としては、例えば、ボールねじとボールナットとを組み合わせた機構や、リニアガイド機構などが採用され得る。また、ステージ２０をＹ軸方向に沿って移動させるための動力源として、各種モーターを採用することができる。
【００１７】
反射面２２は、光を反射させる機能を有しており、ステージ２０の材質、工法等は特に限定されない。例えば、反射面２２の材質としてはアルミニウム、銀、金等を適用することができる。そして、例えば、載置面２１上に蒸着法やスパッタ法等を用いて反射面２２を形成することができる。また、載置面２１を鏡面加工することにより反射面２２を形成してもよい。
【００１８】
吐出ヘッド３０は、例えば、加圧手段としての圧電素子を備えたインクジェットヘッドである。そして、図示しない機能液貯留部から吐出ヘッド３０に機能液が供給され、圧電素子を駆動させることにより、吐出ヘッド３０のノズルから機能液が液滴として吐出されるように構成されている。また、吐出ヘッド３０は、吐出ヘッド３０をＸ軸方向に往復移動させる移動手段（図示せず）に接続されている。移動手段としては、例えば、ボールねじとボールナットとを組み合わせた機構や、リニアガイド機構などが採用され得る。また、吐出ヘッド３０をＸ軸方向に沿って移動させるための動力源として、各種モーターを採用することができる。
【００１９】
照射部４０は、ステージ２０の載置面と対向するように設置され、照射部４０を駆動させることによりステージ２０の方向に向けて光が照射されるように構成されている。本実施形態では、撮像部５０を環状に囲んだリング照明が設置されている。
【００２０】
撮像部５０は、例えば、ＣＣＤカメラであり、ステージ２０上に載置された記録媒体１を撮像可能に設置されている。撮像部５０は光学機構を含み、当該光学機構により撮像する対象物を拡大または縮小して撮像することができる。
【００２１】
次に、塗布検査方法について説明する。塗布検査方法は、記録媒体に対して塗布された機能液の塗布状態を検査する塗布検査方法であって、光を反射する反射面に記録媒体を吸着させ、記録媒体を保持する保持工程と、保持された記録媒体に向けて機能液を液滴として吐出し、記録媒体に機能液を塗布する塗布工程と、機能液が塗布された記録媒体に向けて光を照射する照射工程と、記録媒体に塗布された機能液を撮像する撮像工程と、を含むものである。以下、具体的に説明する。なお、本実施形態では、塗布検査装置１０を用いた場合について説明する。
【００２２】
図２は、塗布検査方法を示す工程図である。図２（ａ）に示すように、まず、保持工程では、記録媒体１を載置面２１としての反射面２２に載置する。
【００２３】
なお、本実施形態における記録媒体１は、図２に示すように、基材２と基材２上に形成された浸透層４とを備えている。基材２は、例えば、ＰＥＴ等のプラスチックフィルムやシートの他、紙、布等を適用することができる。また、基材２の厚みや大きさについては、特に限定されず、取り扱いや製造工数等に応じて適宜設定することができる。
【００２４】
浸透層４は、塗布された機能液を浸透させるものであり、本実施形態では、例えば、シリカやアルミナ等の無機粒子が敷き詰められた空隙層であり、透明性を有する層である。そして、所望する浸透層４の平坦度に応じて、適宜無機粒子の粒径を設定することができる。浸透層４は、例えば、塗工により基材２上に形成することができる。
【００２５】
そして、記録媒体１の基材２の面が反射面２２側に接触するように載置する。次いで、ステージ２０に設けられたポンプを駆動させ、吸引孔から空気を吸引させる。これにより、記録媒体１が吸着されるとともに、ステージ２０の反射面２２に保持される。
【００２６】
次いで、図２（ｂ）に示すように、塗布工程では、吐出ヘッド３０を記録媒体１に対向する所定位置に移動させるとともに、吐出ヘッド３０のノズルから機能液を液滴Ｄとして吐出させる。これにより、吐出された液滴Ｄがドット形状で記録媒体１の浸透層４に付着する。浸透層４に付着された機能液Ｉ（液滴ドット）は浸透層４の内部に浸透する。なお、本実施形態にかかる塗布検査に適用される機能液は特に限定されない。例えば、カラーインクであってもよいし、透明インクであってもよい。また、配向膜形成インクや導電性膜形成インク等であってもよい。
【００２７】
次いで、図２（ｃ）に示すように、照射工程では、例えば、ステージ２０を照射部４０及び撮像部５０と対向する位置まで移動させる。そして、照射部４０を駆動させ、記録媒体１に向けて光を照射させる。照射された光は、浸透層４の表面、機能液Ｉの表面及び反射面２２において反射する。そして、撮像工程では、記録媒体１に光が照射された状態において塗布された機能液Ｉ（液滴ドット）を撮像する。
【００２８】
以上の工程を経ることにより、記録媒体１に対して塗布された機能液Ｉの塗布状態、例えば、液滴Ｄの塗布量、機能液Ｉの平面積や記録媒体１に対する液滴Ｄの着弾精度等を検査することができる。
【００２９】
以上、上記実施形態によれば、以下の効果を得ることができる。
【００３０】
ステージ２０の載置面２１は反射面２２に形成され、当該反射面２２に機能液が塗布された記録媒体１を載置させ、当該記録媒体１に向けて光を照射することにより、記録媒体１に入射した光が反射面２２によって反射される。これにより、塗布された機能液と機能液以外の部分とのコントラストが得られやすくなるため、検査精度を向上させることができる。また、ステージ２０には記録媒体を吸着固定する吸着部２３により、記録媒体１が確実に保持される。これにより、平坦性が確保され、焦点ずれ等が低減され、さらに検査精度を高めることができる。
【００３１】
なお、本発明は上記した実施形態に限定されず、種々の変更や改良などを加えることが可能である。変形例を以下に述べる。
【００３２】
（変形例）上記実施形態では、ステージ２０に反射面２２を設けたが、これに限定されず、必要に応じて記録媒体１の基材２の一部に光を反射させる反射層を設けてもよい。この場合、例えば、ステージ２０の反射面２２に記録媒体１を載置したとき、反射面２２に設けられた吸引孔の開口部に対応する記録媒体１の基材２の一部に反射層を設ける。このようにすれば、記録媒体１に光を照射した際、吸引孔の設置に伴う反射効率の低下を防止でき、確実に検査精度を確保することができる。
【符号の説明】
【００３３】
１…記録媒体、２…基材、４…浸透層、１０…塗布検査装置、２０…ステージ、２１…載置面、２２…反射面、２３…吸着部、３０…吐出ヘッド、４０…照射部、５０…撮像部、Ｄ…液滴、Ｉ…塗布された機能液。
【図１】
2014094535.tif 000003
【図２】
2014094535.tif 000004