(57)【要約】【課題】貫通孔を備えた樹脂製の筐体に光学部材又は基板を取り付けるときに筐体内に異物が侵入するのを抑制する。【解決手段】プリントヘッド２０の製造方法では、筐体２８のＸ方向で対向する内面２８Ｃ、２８Ｄの間隔を貫通孔３０の一方の開口端側で広げ、レンズアレイ２６を一方の開口端から貫通孔３０に挿入する。そして、筐体２８とレンズアレイ２６を接着剤Ｓで接着する。ここで、筐体２８の内面２８Ｃと内面２８Ｄの間隔が、レンズアレイ２６のＸ方向の幅よりも長くなっているので、レンズアレイ２６を貫通孔３０に挿入するとき、レンズアレイ２６が内面２８Ｃ、２８Ｄと接触しにくくなる。これにより、接触による筐体２８の削り屑の発生などが抑制されるので、筐体２８内に異物が侵入するのを抑制することができる。【選択図】図６
2014094506.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方向に延びた貫通孔が形成された樹脂製の筐体の前記一方向に直交する方向で対向する前記貫通孔の内面の間隔を前記貫通孔の一方の開口端側で広げ、光学部材を前記一方の開口端から前記貫通孔に挿入する光学部材挿入工程と、
前記筐体と前記光学部材を接着剤で接着する光学部材接着工程と、
を有する露光装置の製造方法。
【請求項２】
前記光学部材を前記接着剤で固定した前記筐体の前記内面の間隔を前記貫通孔の他方の開口端側で広げ、発光素子を備える基板を該発光素子と前記光学部材が対向するように前記他方の開口端から前記貫通孔に挿入する基板挿入工程と、
前記筐体と前記基板を接着剤で接着する基板接着工程と、
を有する請求項１に記載の露光装置の製造方法。
【請求項３】
一方向に延びた貫通孔が形成された樹脂製の筐体の前記一方向に直交する方向で対向する前記貫通孔の内面の間隔を前記貫通孔の一方の開口端側で広げ、発光素子を備える基板を前記一方の開口端から前記貫通孔に挿入する基板挿入工程と、
前記筐体と前記基板を接着剤で接着する基板接着工程と、
を有する露光装置の製造方法。
【請求項４】
前記基板を前記接着剤で固定した前記筐体の前記内面の間隔を前記貫通孔の他方の開口端側で広げ、光学部材を該光学部材と前記発光素子が対向するように前記他方の開口端から前記貫通孔に挿入する光学部材挿入工程と、
前記筐体と前記光学部材を接着剤で接着する光学部材接着工程と、
を有する請求項３に記載の露光装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、露光装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１の露光装置は、ノズルの先端部を挿入可能な挿入孔が、レンズアレイの長手方向両端部に筐体を切り欠いて設けられている。これにより、特許文献１の露光装置を製造するときは、最初にノズルから吐出される封止材で挿入孔を埋めてからレンズアレイの長手方向側部と筐体との接触部に封止材が塗布される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１２−０５１２５０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、貫通孔を備えた樹脂製の筐体に光学部材又は基板を取り付けるときに筐体内に異物が侵入するのを抑制することができる露光装置の製造方法を得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の請求項１に係る露光装置の製造方法は、一方向に延びた貫通孔が形成された樹脂製の筐体の前記一方向に直交する方向で対向する前記貫通孔の内面の間隔を前記貫通孔の一方の開口端側で広げ、光学部材を前記一方の開口端から前記貫通孔に挿入する光学部材挿入工程と、前記筐体と前記光学部材を接着剤で接着する光学部材接着工程と、を有する。
【０００６】
本発明の請求項２に係る露光装置の製造方法は、前記光学部材を前記接着剤で固定した前記筐体の前記内面の間隔を前記貫通孔の他方の開口端側で広げ、発光素子を備える基板を該発光素子と前記光学部材が対向するように前記他方の開口端から前記貫通孔に挿入する基板挿入工程と、前記筐体と前記基板を接着剤で接着する基板接着工程と、を有する。
【０００７】
本発明の請求項３に係る露光装置の製造方法は、一方向に延びた貫通孔が形成された樹脂製の筐体の前記一方向に直交する方向で対向する前記貫通孔の内面の間隔を前記貫通孔の一方の開口端側で広げ、発光素子を備える基板を前記一方の開口端から前記貫通孔に挿入する基板挿入工程と、前記筐体と前記基板を接着剤で接着する基板接着工程と、を有する。
【０００８】
本発明の請求項４に係る露光装置の製造方法は、前記基板を前記接着剤で固定した前記筐体の前記内面の間隔を前記貫通孔の他方の開口端側で広げ、光学部材を該光学部材と前記発光素子が対向するように前記他方の開口端から前記貫通孔に挿入する光学部材挿入工程と、前記筐体と前記光学部材を接着剤で接着する光学部材接着工程と、を有する。
【発明の効果】
【０００９】
請求項１の発明は、光学部材を貫通孔に挿入するときに筐体の内面の間隔を広げない方法に比べて、貫通孔を備えた樹脂製の筐体に光学部材を取り付けるときに筐体内に異物が侵入するのを抑制することができる。
【００１０】
請求項２の発明は、基板を貫通孔に挿入するときに筐体の内面の間隔を広げない方法に比べて、貫通孔を備えた樹脂製の筐体に光学部材を取り付けた後で基板を取り付けるときに筐体内に異物が侵入するのを抑制することができる。
【００１１】
請求項３の発明は、基板を貫通孔に挿入するときに筐体の内面の間隔を広げない方法に比べて、貫通孔を備えた樹脂製の筐体に基板を取り付けるときに筐体内に異物が侵入するのを抑制することができる。
【００１２】
請求項４の発明は、光学部材を貫通孔に挿入するときに筐体の内面の間隔を広げない方法に比べて、貫通孔を備えた樹脂製の筐体に基板を取り付けた後で光学部材を取り付けるときに筐体内に異物が侵入するのを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】第１実施形態に係るプリントヘッドを有する画像形成装置の模式図である。
【図２】第１実施形態に係るプリントヘッドを示す分解斜視図である。
【図３】第１実施形態に係るプリントヘッドの平面図である。
【図４】（Ａ）、（Ｂ）第１実施形態に係るプリントヘッドの断面図（図２のＡ−Ａ´断面）である。
【図５】第１実施形態に係るプリントヘッド製造装置の説明図である。
【図６】（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）第１実施形態に係るプリントヘッドの筐体を広げてレンズアレイを挿入する状態を示す説明図である。
【図７】（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）、（Ｄ）第１実施形態に係るプリントヘッドの筐体にレンズアレイを挿入した後でプリント配線基板を挿入する手順を示す説明図である。
【図８】第１実施形態に係るプリントヘッド製造装置に設けられた抑え部材を示す斜視図である。
【図９】（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）、（Ｄ）第２実施形態に係るプリントヘッドの筐体にプリント配線基板を挿入した後でレンズアレイを挿入する手順を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
[第１実施形態]
本発明の第１実施形態に係る露光装置の製造方法の一例について説明する。
【００１５】
（画像形成装置の構成）
図１には、第１実施形態に係る露光装置の一例としてのプリントヘッド２０を有する画像形成装置１０が示されている。画像形成装置１０は、一例として、円筒状で回転可能に設けられた感光体１１と、帯電ロール１２と、プリントヘッド２０と、現像器１４と、転写ロール１６と、クリーニングブレード１８とを含んで構成されている。
【００１６】
帯電ロール１２は、電源（図示省略）から電圧が印加されており、感光体１１との電位差により感光体１１の外周面を帯電させる。プリントヘッド２０は、画像情報に基づいて感光体１１の外周面に露光する。これにより、感光体１１の外周面に潜像が形成される。そして、現像器１４は、トナー（図示省略）により潜像を顕在化させ、感光体１１の外周面にトナー画像を形成する。
【００１７】
感光体１１の外周面のトナー画像は、感光体１１と転写ロール１６との電位差により記録用紙Ｐ上に転写される。そして、記録用紙Ｐのトナー画像は、定着装置（図示省略）により記録用紙Ｐ上に定着される。一方、転写後の感光体１１の外周面に残留したトナーは、クリーニングブレード１８により掻き取られる。
【００１８】
（プリントヘッドの構成）
図２に示すように、プリントヘッド２０は、発光素子の一例としてのＬＥＤ（Light Emitting Diode）アレイ２２（発光ダイオードアレイ）が実装された基板の一例としてのプリント配線基板２４と、光学部材の一例としてのレンズアレイ２６とを有している。また、プリントヘッド２０は、プリント配線基板２４及びレンズアレイ２６が取り付けられる筐体２８を有している。
【００１９】
なお、感光体１１（図１参照）の軸方向に沿った方向をＹ方向、Ｙ方向と直交し筐体２８にプリント配線基板２４及びレンズアレイ２６を挿入する方向をＺ方向、Ｙ方向及びＺ方向と直交する方向をＸ方向とする。また、Ｘ、Ｙ、Ｚ方向において、一方側と他方側を区別する必要がある場合は、一方側をプラス（＋）、他方側をマイナス（−）とする。
【００２０】
（プリント配線基板）
プリント配線基板２４は、Ｘ方向を短手方向、Ｙ方向を長手方向、Ｚ方向を厚み方向とする長方形状に形成されている。そして、プリント配線基板２４の＋Ｚ方向側の面には、複数（一例として１２８個）の発光ダイオード（ＬＥＤ）が直線状に設けられた既述のＬＥＤアレイ２２が、千鳥状に実装されている。また、プリント配線基板２４の−Ｚ方向側の面には、ＬＥＤアレイ２２の発光を制御する電子部品２３（図４（Ｂ）参照）が実装されている。ここで、プリント配線基板２４のＸ方向の幅をＬ２とする。
【００２１】
（レンズアレイ）
レンズアレイ２６は、Ｘ方向を短手方向、Ｙ方向を長手方向、Ｚ方向を高さ方向として、直方体状に形成されている。また、レンズアレイ２６には、各々のＬＥＤアレイ２２の発光点（図示省略）から出射された光が各々透過する複数個のロッドレンズ２７が千鳥状に配置されている。これにより、ＬＥＤアレイ２２の発光点から出射されてロッドレンズ２７を透過した光は、感光体１１（図１参照）に結像するようになっている。
【００２２】
なお、図２では、ロッドレンズ２７を明確に示すために、実物のロッドレンズ２７（図３参照）に対して数を減らして示している。即ち、実際のロッドレンズ２７は、図３に示すように、図２よりも多く設けられている。ここで、図２に示すように、レンズアレイ２６のＸ方向の幅をＬ１（＜Ｌ２）とする。
【００２３】
（筐体）
筐体２８は、樹脂材料（一例として液晶ポリマー）で形成された樹脂製であり、図２に示すように、外形がＹ方向に延びるほぼ直方体形状とされている。また、筐体２８の＋Ｙ方向端部には、＋Ｙ方向側へ突出した直方体状の突出部３５が形成されている。そして、筐体２８の−Ｙ方向端部には、−Ｙ方向側へ突出した直方体状の突出部３６が形成されている。
【００２４】
ここで、図４（Ｂ）に示すように、筐体２８にレンズアレイ２６及びプリント配線基板２４が取り付けられた状態では、レンズアレイ２６とプリント配線基板２４のＬＥＤアレイ２２とが対向するようになっている。
【００２５】
図２に示すように、筐体２８には、一方向の一例としてのＹ方向に延びると共にＺ方向に貫通した貫通孔３０が形成されている。そして、図４（Ａ）に示すように、貫通孔３０は、レンズアレイ２６（図２参照）が挿入される第１孔部３０Ａと、第２孔部３０Ｂと、プリント配線基板２４（図２参照）が挿入される第３孔部３０Ｃと、を有している。なお、第１孔部３０Ａが＋Ｚ方向側となるように筐体２８を配置した状態では、第１孔部３０Ａが貫通孔３０の＋Ｚ方向側の開口端を含み、第３孔部３０Ｃが貫通孔３０の−Ｚ方向側の開口端を含んでいる。
【００２６】
また、筐体２８における第１孔部３０Ａの周縁を形成する部位が、レンズアレイ２６（図２参照）を保持するレンズ保持部２８Ａとなっている。さらに、筐体２８における第３孔部３０Ｃの周縁を形成する部位が、プリント配線基板２４（図２参照）を保持する基板保持部２８Ｂとなっている。なお、図４（Ａ）では、筐体２８が、レンズ保持部２８Ａを＋Ｚ方向側、基板保持部２８Ｂを−Ｚ方向側に配置した状態で示されている。
【００２７】
第１孔部３０Ａは、Ｙ方向中央部でＸ方向の間隔がＷ１となっている。即ち、第１孔部３０Ａにおいて、Ｘ方向で対向する筐体２８の貫通孔３０の内面２８Ｃ、２８ＤのＹ方向中央部での間隔がＷ１となっている。なお、間隔Ｗ１は、レンズアレイ２６（図２参照）のＸ方向の幅Ｌ１よりも短くなっている。これは、筐体２８が樹脂製で且つＹ方向に長く、Ｙ方向中央部で内面２８Ｃ、２８Ｄが近づく方向に撓ませているためである。
【００２８】
一例として、内面２８Ｃは、−Ｘ方向側に配置され、内面２８Ｄは、＋Ｘ方向側に配置されている。そして、第１孔部３０Ａの−Ｚ方向側に連続して第２孔部３０Ｂが形成されている。また、第１孔部３０Ａの−Ｚ方向端部には、Ｘ方向に沿って内側に突出した一対の突出部２９Ａが形成されている。一対の突出部２９Ａは、＋Ｚ方向側が平坦となっており、第１孔部３０Ａ内に挿入されたレンズアレイ２６（図２参照）を支持するようになっている。
【００２９】
第２孔部３０Ｂの＋Ｚ方向側の一部は、−Ｚ方向に向けて、Ｘ方向の内面の間隔が徐々に拡大されている。そして、第２孔部３０Ｂの−Ｚ方向端部に連続して、第３孔部３０Ｃが形成されている。なお、第２孔部３０Ｂの−Ｚ方向側における筐体２８の内面の間隔はＷ２（＞Ｗ１）となっている。
【００３０】
第３孔部３０Ｃは、＋Ｚ方向側でＸ方向の内面の間隔がＷ３（＞Ｗ２）となっている。即ち、第３孔部３０Ｃにおいて、Ｘ方向で対向する筐体２８の内面２８Ｅ、２８Ｆの間隔がＷ３となっている。なお、間隔Ｗ３は、プリント配線基板２４（図２参照）のＸ方向の幅Ｌ２よりも僅かに長くなっている。また、第３孔部３０Ｃの−Ｚ方向側では、プリント配線基板２４を挿入しやすくするために筐体２８の内面にテーパ面２８Ｇが形成されており、この内面の間隔が、間隔Ｗ３よりも広く（長く）なっている。
【００３１】
第３孔部３０Ｃの＋Ｚ方向端部には、Ｗ３−Ｗ２に相当する大きさの幅で段部２９Ｂが形成されている。段部２９Ｂは、−Ｚ方向側が平坦となっている。これにより、第３孔部３０Ｃ内に挿入されたプリント配線基板２４（図２参照）が、段部２９Ｂと接触して位置決めされるようになっている。
【００３２】
図３に示すように、第１孔部３０Ａの＋Ｙ方向側の端部及び−Ｙ方向側の端部は、Ｘ方向に拡幅されており、Ｘ方向で対向する内面の間隔がＷ４となっている。間隔Ｗ４の大きさは、一例として、間隔Ｗ２（図４（Ａ）参照）の大きさよりも大きく、間隔Ｗ３（図４（Ａ）参照）の大きさよりも小さくなっている。この第１孔部３０Ａの拡幅された部位には、筐体２８とレンズアレイ２６との隙間を封止する封止剤Ｆが充填されるようになっている。封止剤Ｆは、一例として、シリコン樹脂を用いている。
【００３３】
また、レンズ保持部２８Ａには、レンズアレイ２６をレンズ保持部２８Ａに固定する接着剤Ｓが充填される充填部３４が形成されている。充填部３４は、テーパ状とされている。また、充填部３４は、一例として、レンズ保持部２８Ａの＋Ｙ方向側に４箇所、−Ｙ方向側に４箇所形成されている。
【００３４】
（プリントヘッド製造装置）
図５には、プリントヘッド２０を製造する製造装置の一例として、プリントヘッド製造装置５０が示されている。なお、図５では、プリントヘッド製造装置５０の上下方向をＺ方向、後述するマニホールド５８Ａ、５８Ｂが対向する方向をＸ方向、後述する位置決めブロック５７Ａ、５７Ｂと可動部６４Ａとが対向する方向をＹ方向としている。即ち、プリントヘッド製造装置５０において、筐体２８を位置決めしたときの筐体２８の短手方向に沿う方向がＸ方向、長手方向に沿う方向がＹ方向、鉛直方向がＺ方向となっている。
【００３５】
プリントヘッド製造装置５０は、一例として、ベースとなる基台５２と、筐体２８が載せられる置台５４と、筐体２８の位置決めを行う位置決め部５６と、筐体２８の内面の間隔を吸引により短手方向に広げる吸引部５８とを有している。さらに、プリントヘッド製造装置５０は、各部の動作を制御する制御部（図示省略）を有している。
【００３６】
置台５４は、基台５２上にボルトで固定されており、置台５４の上部には、レンズ保持部２８Ａ、基板保持部２８Ｂの大きさに合わせた溝部（図示省略）が形成されている。これにより、筐体２８を置台５４上に置くときに、レンズ保持部２８Ａ、基板保持部２８Ｂのどちらを上にしても置けるようになっている。また、置台５４の上面には、Ｚ方向を軸方向とする円柱状の位置決めピン５５Ａ、５５Ｂ、５５Ｃ、５５Ｄと、直方体状の位置決めブロック５７Ａ、５７Ｂとが取り付けられている。
【００３７】
位置決めピン５５Ａ、５５Ｂは、置台５４上の−Ｙ方向側でＸ方向に間隔をあけて配置されており、位置決めピン５５Ｃ、５５Ｄは、置台５４上の＋Ｙ方向側でＸ方向に間隔をあけて配置されている。位置決めピン５５Ａと位置決めピン５５Ｂの間隔、及び位置決めピン５５Ｃと位置決めピン５５Ｄの間隔は、いずれも筐体２８のＸ方向の幅の大きさとほぼ同じ大きさとなっている。
【００３８】
位置決めブロック５７Ａ、５７Ｂは、置台５４上で位置決めピン５５Ａ、５５Ｂよりも−Ｙ方向側でＸ方向に間隔をあけて配置されている。位置決めブロック５７Ａ、５７Ｂの間隔は、突出部３６のＸ方向の幅とほぼ同じ大きさ（長さ）となっている。また、置台５４よりも＋Ｙ方向側には、可動部６４ＡがＹ方向を軸方向とする円柱状に形成され、且つ＋Ｙ方向、−Ｙ方向に移動可能とされたエアシリンダ６４が設けられている。さらに、置台５４よりも−Ｘ方向側には、Ｙ方向に間隔をあけて２箇所、押付部６２が設けられている。
【００３９】
位置決め部５６は、位置決めピン５５Ａ、５５Ｂ、５５Ｃ、５５Ｄ、位置決めブロック５７Ａ、５７Ｂ、プリント配線基板２４を押さえる押付部６２、及びエアシリンダ６４を含んで構成されている。なお、プリントヘッド製造装置５０には、エアシリンダ６４を移動させるための操作ボタン（図示省略）、後述する吸引パッド部材５９を操作するための操作ボタン（図示省略）、及び制御部（図示省略）が設けられている。そして、制御部は、これらの操作ボタンの操作に基づいて、プリントヘッド製造装置５０の各部の動作を制御するようになっている。
【００４０】
図８に示すように、押付部６２は、支持部７２Ａ、７２Ｂと、支持部７２Ａ、７２Ｂにより支持された軸部７４と、可動ブロック７６と、可動ブロック７６に固定された押え部材７８とを有している。
【００４１】
支持部７２Ａ、７２Ｂは、可動ブロック７６の大きさに合わせてＹ方向に間隔をあけると共に基台５２上に固定されている。また、支持部７２Ａ、７２Ｂには、Ｙ方向に貫通し軸部７４が挿入される貫通孔７３が形成されている。そして、軸部７４は、貫通孔７３に挿入され、Ｙ方向を軸方向として支持部７２Ａ、７２Ｂに支持されている。
【００４２】
可動ブロック７６は、−Ｙ方向に見てＬ字状に形成されており、Ｘ方向に沿って延び軸部７４が連結される連結部７６Ａと、連結部７６Ａの＋Ｘ方向端部でＺ方向に直立する取付部７６Ｂとが一体化されている。そして、可動ブロック７６は、軸部７４を中心として、Ｘ−Ｚ面内で円弧状に移動可能となっている。さらに、取付部７６Ｂの上面には、ネジ７７を用いて押え部材７８の−Ｘ方向側端部が固定されている。
【００４３】
押え部材７８は、Ｘ方向に延びる板状部材の＋Ｘ方向側端部が、Ｘ−Ｚ面で見てクランク状に折り曲げられた形状となっている。そして、押え部材７８の＋Ｘ方向側の先端部７８Ａは、プリント配線基板２４を−Ｚ方向側に押さえ付けるようになっている。
【００４４】
図５に示すように、吸引部５８は、電磁弁（図示省略）を備えたマニホールド５８Ａ、５８Ｂと、マニホールド５８Ａ、５８Ｂから空気を吸引する吸引ポンプ（図示省略）と、複数の吸引パッド部材５９とを含んで構成されている。
【００４５】
マニホールド５８Ａ、５８Ｂは、筐体２８を挟むようにＹ方向に間隔をあけて対向配置されている。また、マニホールド５８Ａ、５８Ｂは、自動ステージ（図示省略）に取り付けられており、Ｘ方向で互いに近づく方向又は互いに離れる方向に移動可能となっている。さらに、一例として、マニホールド５８Ａ、５８Ｂは、それぞれ流路が３つに分岐されており、それぞれ３つの吸引パッド部材５９がＹ方向に間隔をあけて設けられている。
【００４６】
吸引パッド部材５９は、マニホールド５８Ａ、５８Ｂからそれぞれ筐体２８に向けて＋Ｘ方向又は−Ｘ方向に突出した管状部５９Ａと、各管状部５９Ａの筐体２８側に取り付けられたゴム製の吸引パッド５９Ｂと、を有している。なお、複数の吸引パッド部材５９は、筐体２８のＹ方向中央部と対向する位置のみに配置されており、筐体２８の＋Ｙ方向端部及び−Ｙ方向端部と対向する位置には設けられていない。
【００４７】
（作用）
次に、第１実施形態の作用について説明する。
【００４８】
第１実施形態のプリントヘッド２０の製造方法では、図５に示すプリントヘッド製造装置５０の置台５４上に筐体２８を載せる。詳細には、筐体２８を位置決めピン５５Ａと位置決めピン５５Ｂとの間、及び位置決めピン５５Ｃと位置決めピン５５Ｄとの間に挿入する。これにより、筐体２８がＸ方向で位置決めされる。なお、図５では、筐体２８の基板保持部２８Ｂ側を＋Ｚ方向側とした状態が示されているが、ここでは、レンズ保持部２８Ａが＋Ｚ方向側に配置されているものとする。また、筐体２８のＺ方向の位置決めは、作業者が筐体２８を置台５４に押し付けることで行われる。
【００４９】
続いて、置台５４上では、筐体２８の突出部３６を位置決めブロック５７Ａと位置決めブロック５７Ｂとの間に挿入する。そして、可動部６４Ａを−Ｙ方向に移動させて突出部３５に接触させる。これにより、筐体２８の突出部３５を除いた−Ｙ方向端面が、位置決めブロック５７Ａ、５７Ｂの＋Ｙ方向側の側面に押し付けられ、筐体２８がＹ方向で位置決めされる。なお、レンズ保持部２８Ａが＋Ｚ方向側に配置されているときは、押付部６２は使用しない。
【００５０】
ここで、図６（Ａ）に示すように、筐体２８は、樹脂製で、Ｘ方向の長さに比べてＹ方向の長さが長い形状とされ、さらに貫通孔３０が形成されている。そして、既述のように、筐体２８は、Ｙ方向の中央部で内面２８Ｃ、２８Ｄが近づく方向に撓ませている。即ち、筐体２８では、Ｙ方向の中央部における＋Ｘ方向側の部位と−Ｘ方向側の部位とが、貫通孔３０の内側へ向けて近づく。これにより、筐体２８では、Ｙ方向の中央部における貫通孔３０のＸ方向の幅（間隔）が、レンズアレイ２６（図２参照）のＸ方向の幅よりも狭くなる。
【００５１】
続いて、筐体２８にマニホールド５８Ａ、５８Ｂ（図５参照）を近づけ、筐体２８におけるレンズ保持部２８Ａまたはその近傍のＸ方向両側面に複数の吸引パッド５９Ｂを押し付ける。そして、操作者が吸引開始ボタン（図示省略）を押すと、制御部（図示省略）が吸引ポンプ（図示省略）を動作させ、吸引パッド５９Ｂを介した吸引が開始される。さらに、制御部は、マニホールド５８Ａ、５８Ｂをそれぞれ離れる方向に移動させる。
【００５２】
これにより、図６（Ｂ）に示すように、筐体２８は、Ｘ方向で対向する内面２８Ｃ、２８ＤのＹ方向の中央部の間隔が、貫通孔３０の一方の開口端側（レンズ保持部２８Ａ側）で広げられる（この間隔をＷ５とする）。間隔Ｗ５は、第１孔部３０ＡのＹ方向の中央部での間隔Ｗ１（図４（Ａ）参照）及びレンズアレイ２６（図２参照）のＸ方向の幅Ｌ１よりも長くなっている。なお、間隔Ｗ５は、マニホールド５８Ａ、５８Ｂの移動を規制するストッパー（図示省略）を用いて管理されており、一例として、幅Ｌ２（図２参照）に対して、＋Ｘ方向、−Ｘ方向にそれぞれ０．５[ｍｍ]ずつ広げられている。
【００５３】
続いて、図６（Ｃ）及び図７（Ａ）に示すように、レンズアレイ２６を一方の開口端側（レンズ保持部２８Ａ側）から貫通孔３０に挿入する（光学部材挿入工程の一例）。ここで、筐体２８の内面２８Ｃと内面２８Ｄの間隔が、Ｙ方向全体に亘ってレンズアレイ２６のＸ方向の長さよりも長くなるので、レンズアレイ２６を貫通孔３０（第１孔部３０Ａ）に挿入するとき、レンズアレイ２６が内面２８Ｃ、２８Ｄと接触しにくくなる。これにより、異物（接触による筐体２８の削り屑や埃など）の発生が抑制されるので、筐体２８内に異物が侵入することが抑制される。なお、レンズアレイ２６は、突出部２９Ａにより支持されているため、−Ｚ方向に落下することはない。
【００５４】
続いて、操作者が吸引終了ボタン（図示省略）を押すと、制御部が吸引ポンプ（図示省略）の動作を停止させ、吸引パッド５９Ｂを介した吸引が終了する。そして、筐体２８からマニホールド５８Ａ、５８Ｂ（図５参照）が遠ざかる。これにより、図７（Ｂ）に示すように、レンズアレイ２６がレンズ保持部２８Ａにより挟まれる。この状態で、作業者が接着剤Ｓを充填部３４（図３参照）に充填することで、筐体２８とレンズアレイ２６に跨って接着剤Ｓが塗布される。なお、接着剤Ｓは、一例として、紫外線の照射により硬化する紫外線硬化型アクリル系接着剤である。
【００５５】
続いて、レンズアレイ２６の位置調整を行った後、筐体２８とレンズアレイ２６に跨って塗布した接着剤Ｓに対して、ＵＶ照射装置（図示省略）を用いてＵＶ照射し、接着剤Ｓを硬化させ、筐体２８とレンズアレイ２６を接着する（光学部材接着工程の一例）。なお、接着剤Ｓの硬化後、接着剤Ｓを覆い、かつ、レンズアレイ２６と筐体２８を跨るようにレンズアレイ２６の周りに（周縁部に沿って）封止剤Ｆ（図３参照）を塗布することで、レンズアレイ２６と筐体２８との隙間が封止される。そして、図５に示すプリントヘッド製造装置５０において、可動部６４Ａを＋Ｘ方向に移動させ、置台５４上から筐体２８を取り出す。
【００５６】
続いて、図５に示すように、筐体２８の基板保持部２８Ｂを上側にして（筐体２８を上下逆にして）、筐体２８を置台５４上に載せる。筐体２８は、位置決めピン５５Ａ、５５Ｂ、５５Ｃ、５５ＤによりＸ方向で位置決めされる。そして、可動部６４Ａを−Ｙ方向に移動させることで、筐体２８がＹ方向で位置決めされる。なお、筐体２８のＺ方向の位置決めは、作業者が筐体２８を置台５４に押し付けることで行われる。
【００５７】
続いて、筐体２８にマニホールド５８Ａ、５８Ｂを近づけ、レンズ保持部２８ＡのＸ方向両側面に複数の吸引パッド５９Ｂを押し付ける。そして、操作者が吸引開始ボタン（図示省略）を押すと、制御部が吸引ポンプ（図示省略）を動作させ、吸引パッド５９Ｂを介した吸引が開始される。
【００５８】
これにより、図７（Ｃ）に示すように、筐体２８は、Ｘ方向で対向する内面２８Ｅ、２８Ｆの間隔が、貫通孔３０の他方の開口端側（基板保持部２８Ｂ側）で広げられる。なお、広げられた内面２８Ｅ、２８Ｆの間隔の長さは、第３孔部３０ＣのＹ方向の中央部の間隔Ｗ３（図４（Ａ）参照）及びプリント配線基板２４（図２参照）のＸ方向の幅Ｌ２よりも長くなっている。そして、広げる間隔は、ストッパー（図示省略）を用いて管理されており、一例として、幅Ｌ２に対して、＋Ｘ方向、−Ｘ方向にそれぞれ０．５[ｍｍ]ずつ広げられている。また、筐体２８では、基板保持部２８Ｂ側のみ内面の間隔を広げているので、既に固定したレンズアレイ２６側（レンズ保持部２８Ａ側）を広げる力が作用しにくくなっている。
【００５９】
続いて、図７（Ｃ）に示すように、プリント配線基板２４を他方の開口端側（基板保持部２８Ｂ側）から、レンズアレイ２６とＬＥＤアレイ２２が対向するように、貫通孔３０に挿入する（基板挿入工程の一例）。ここで、筐体２８の内面２８Ｅと内面２８Ｆの間隔が、Ｙ方向全体に亘ってプリント配線基板２４のＸ方向の長さよりも長くなっている。このため、プリント配線基板２４を貫通孔３０（第３孔部３０Ｃ）に挿入するとき、プリント配線基板２４が内面２８Ｅ、２８Ｆと接触しにくくなる。これにより、異物（接触による筐体２８の削り屑、プリント配線基板２４の削り屑、埃など）の発生が抑制されるので、筐体２８内に異物が侵入することが抑制される。
【００６０】
その後、図８に示すように、可動ブロック７６を＋Ｘ方向側（手前側）へ倒すと、押え部材７８の先端部７８Ａが、プリント配線基板２４の上面（Ｙ方向両端部）を押さえる。これにより、プリント配線基板２４は、Ｚ方向の反り及び＋Ｚ方向の位置ずれが抑制され、Ｚ方向で位置決めされる。
【００６１】
続いて、図５に示すプリントヘッド製造装置５０において、操作者が吸引終了ボタン（図示省略）を押すと、制御部が吸引ポンプ（図示省略）の動作を停止させ、吸引パッド５９Ｂを介した吸引が終了する。そして、筐体２８からマニホールド５８Ａ、５８Ｂが遠ざかる。これにより、図７（Ｄ）に示すように、プリント配線基板２４が基板保持部２８Ｂにより挟まれる。この状態で、筐体２８とプリント配線基板２４に跨って接着剤Ｓが部分的に（所定の間隔で）塗布される。
【００６２】
続いて、プリント配線基板２４の位置調整を行った後、筐体２８とプリント配線基板２４に跨って塗布した接着剤Ｓに対してＵＶ照射装置（図示省略）を用いてＵＶ照射し、接着剤Ｓを硬化させ、筐体２８とプリント配線基板２４を接着する（基板接着工程の一例）。なお、接着剤Ｓの硬化後、接着剤Ｓを覆い、かつ、プリント配線基板２４と筐体２８を跨るようにプリント配線基板２４の周りに（周縁部に沿って）封止剤Ｆ（図３参照）を塗布することで、プリント配線基板２４と筐体２８との隙間が封止される。そして、図５に示すプリントヘッド製造装置５０において、可動部６４Ａを＋Ｙ方向に移動させ、置台５４上から筐体２８を取り出す。
【００６３】
出来上がったプリントヘッド２０では、貫通孔３０がレンズアレイ２６及びプリント配線基板２４により閉じられており、筐体２８内が封止剤Ｆにより密閉空間となっている。ここで、レンズアレイ２６及びプリント配線基板２４の取り付けにおいて、筐体２８内への異物の侵入が抑制されているので、筐体２８内に侵入した異物がＬＥＤアレイ２２から出射された光の一部を遮るという不具合の発生を抑制できる。
【００６４】
[第２実施形態]
次に、本発明の第２実施形態に係る露光装置の製造方法の一例について説明する。なお、前述した第１実施形態と基本的に同一の部材及び部位には、前記第１実施形態と同一の符号を付与してその説明を省略する。
【００６５】
第２実施形態のプリントヘッド２０の製造方法では、先にプリント配線基板２４を取り付け、その後、レンズアレイ２６を取り付ける手順となっている。このため、プリントヘッド２０の各部材、及びプリントヘッド製造装置５０については、第１実施形態と同様である。
【００６６】
（作用）
次に、第２実施形態の作用について説明する。
【００６７】
第２実施形態のプリントヘッド２０の製造方法では、図５に示すように、筐体２８の基板保持部２８Ｂを上側にして、筐体２８を置台５４上に載せる。筐体２８は、位置決めピン５５Ａ、５５Ｂ、５５Ｃ、５５ＤによりＸ方向で位置決めされる。そして、可動部６４Ａを−Ｙ方向に移動させることで、筐体２８がＹ方向で位置決めされる。
【００６８】
続いて、筐体２８にマニホールド５８Ａ、５８Ｂを近づけ、基板保持部２８ＢのＸ方向両側面に複数の吸引パッド５９Ｂを押し付ける。そして、操作者が吸引開始ボタン（図示省略）を押すと、制御部が吸引ポンプ（図示省略）を動作させ、吸引パッド５９Ｂを介した吸引が開始される。
【００６９】
これにより、図９（Ａ）に示すように、筐体２８は、内面２８Ｅ、２８Ｆの間隔が広げられる。なお、内面２８Ｅ、２８Ｆの間隔の長さは、第３孔部３０ＣのＹ方向の中央部の間隔Ｗ３（図４（Ａ）参照）及びプリント配線基板２４（図２参照）のＸ方向の幅Ｌ２よりも長くなっている。
【００７０】
続いて、図９（Ｂ）に示すように、プリント配線基板２４を基板保持部２８Ｂ側から貫通孔３０に挿入する（基板挿入工程の一例）。ここで、既述のように、プリント配線基板２４を貫通孔３０に挿入するとき、プリント配線基板２４が内面２８Ｅ、２８Ｆと接触しにくくなる。これにより、接触による筐体２８の削り屑の発生、プリント配線基板２４の削り屑の発生、埃の発生などが抑制されるので、筐体２８内に異物が侵入することが抑制される。
【００７１】
その後、図８に示すように、可動ブロック７６を＋Ｘ方向側（手前側）へ倒すと、押え部材７８の先端部７８Ａが、プリント配線基板２４の上面（Ｙ方向両端部）を押さえる。これにより、プリント配線基板２４は、Ｚ方向の反り及び＋Ｚ方向の位置ずれが抑制され、Ｚ方向で位置決めされる。
【００７２】
続いて、図５に示すプリントヘッド製造装置５０において、操作者が吸引終了ボタン（図示省略）を押すと、制御部が吸引ポンプ（図示省略）の動作を停止させ、吸引パッド５９Ｂを介した吸引が終了する。そして、筐体２８からマニホールド５８Ａ、５８Ｂが遠ざかる。これにより、図９（Ｂ）に示すように、プリント配線基板２４が基板保持部２８Ｂにより挟まれる。そして、筐体２８とプリント配線基板２４に跨って接着剤Ｓが部分的に（所定の間隔で）塗布される。
【００７３】
ここで、レーザー測長器（図示省略）を用いて、筐体２８の位置基準となるデータム面（図示省略）からプリント配線基板２４までの距離を測定する。そして、測定された距離が設定距離となるように、プリント配線基板２４の位置を調整する。なお、プリント配線基板２４の位置調整は、ＸＹＺステージなどを用いて調整してもよい。
【００７４】
続いて、筐体２８とプリント配線基板２４に跨って塗布した接着剤Ｓに対して、ＵＶ照射装置（図示省略）を用いてＵＶ照射し、接着剤Ｓを硬化させ、筐体２８とプリント配線基板２４を接着する（基板接着工程の一例）。なお、接着剤Ｓの硬化後、接着剤Ｓを覆い、かつ、プリント配線基板２４と筐体２８を跨るようにプリント配線基板２４の周りに（周縁部に沿って）封止剤Ｆ（図３参照）を塗布することで、プリント配線基板２４と筐体２８との隙間が封止される。そして、図５に示すプリントヘッド製造装置５０において、押付部６２による押し付けを解除し、可動部６４Ａを＋Ｙ方向に移動させ、置台５４上から筐体２８を取り出す。
【００７５】
続いて、図５に示すプリントヘッド製造装置５０の置台５４上に筐体２８を載せる。詳細には、筐体２８を位置決めピン５５Ａと位置決めピン５５Ｂとの間、及び位置決めピン５５Ｃと位置決めピン５５Ｄとの間に挿入する。これにより、筐体２８がＸ方向で位置決めされる。なお、ここでは、レンズ保持部２８Ａが＋Ｚ方向側に配置されている。
【００７６】
続いて、筐体２８の突出部３６を位置決めブロック５７Ａと位置決めブロック５７Ｂとの間に挿入する。そして、可動部６４Ａを−Ｙ方向に移動させて突出部３５に接触させる。これにより、筐体２８の突出部３５を除いた−Ｙ方向端面が、位置決めブロック５７Ａ、５７Ｂの＋Ｙ方向側の側面に押し付けられ、筐体２８がＹ方向で位置決めされる。
【００７７】
続いて、筐体２８にマニホールド５８Ａ、５８Ｂを近づけ、レンズ保持部２８Ａまたはその近傍のＸ方向両側面に複数の吸引パッド５９Ｂを押し付ける。そして、操作者が吸引開始ボタン（図示省略）を押すと、制御部が吸引ポンプ（図示省略）を動作させ、吸引パッド５９Ｂを介した吸引が開始される。
【００７８】
これにより、図９（Ｃ）に示すように、筐体２８は、Ｘ方向で対向する内面２８Ｃ、２８Ｄの間隔が、貫通孔３０のレンズ保持部２８Ａ側で広げられる。なお、内面２８Ｃ、２８Ｄの間隔の長さは、第１孔部３０ＡのＹ方向の中央部における元の間隔及びレンズアレイ２６のＸ方向の長さよりも長くなっている。また、筐体２８では、レンズ保持部２８Ａ側のみ内面の間隔を広げているので、既に固定したプリント配線基板２４側（基板保持部２８Ｂ側）を広げる力が作用しにくくなっている。
【００７９】
続いて、レンズアレイ２６とＬＥＤアレイ２２が対向するように、レンズアレイ２６をレンズ保持部２８Ａ側から貫通孔３０に挿入する（光学部材挿入工程の一例）。ここで、既述のように、筐体２８の内面２８Ｃと内面２８Ｄの間隔が、レンズアレイ２６のＸ方向の長さよりも長いので、レンズアレイ２６を貫通孔３０に挿入するとき、レンズアレイ２６が内面２８Ｃ、２８Ｄと接触しにくくなる。これにより、接触による筐体２８の削り屑の発生、埃の発生などが抑制されるので、筐体２８内に異物が侵入することが抑制される。なお、広げた状態での内面２８Ｃと内面２８ＤのＸ方向の間隔は、レンズアレイ２６が落下しない程度の大きさとなっている。
【００８０】
続いて、操作者が吸引終了ボタン（図示省略）を押すと、制御部が吸引ポンプ（図示省略）の動作を停止させ、吸引パッド５９Ｂを介した吸引が終了する。そして、筐体２８からマニホールド５８Ａ、５８Ｂ（図５参照）が遠ざかる。これにより、図９（Ｄ）に示すように、レンズアレイ２６がレンズ保持部２８Ａにより挟まれる。この状態で、接着剤Ｓを充填部３４（図３参照）に充填することで、筐体２８とレンズアレイ２６に跨って接着剤Ｓが塗布される。
【００８１】
続いて、レンズアレイ２６の位置調整を行った後、筐体２８とレンズアレイ２６に跨って塗布した接着剤Ｓに対して、ＵＶ照射装置（図示省略）を用いてＵＶ照射し、接着剤Ｓを硬化させ、筐体２８とレンズアレイ２６を接着する（光学部材接着工程の一例）。なお、接着剤Ｓの硬化後、接着剤Ｓを覆い、かつ、レンズアレイ２６と筐体２８を跨るようにレンズアレイ２６の周りに（周縁部に沿って）封止剤Ｆ（図３参照）を塗布することで、レンズアレイ２６と筐体２８との隙間が封止される。そして、図５に示すプリントヘッド製造装置５０において、可動部６４Ａを＋Ｙ方向に移動させ、置台５４上から筐体２８を取り出す。このようにして、プリントヘッド２０が出来上がる。
【００８２】
出来上がったプリントヘッド２０では、レンズアレイ２６及びプリント配線基板２４の取り付けにおいて、筐体２８内への異物の侵入が抑制されているので、筐体２８内に侵入した異物がＬＥＤアレイ２２から出射された光の一部を遮るという不具合の発生を抑制できる。
【００８３】
なお、本発明は上記の実施形態に限定されない。
【００８４】
筐体２８について、内面２８Ｃと内面２８Ｄ、内面２８Ｅと内面２８Ｆをそれぞれ同時に広げておき、レンズアレイ２６及びプリント配線基板２４を同時に筐体２８に挿入してもよい。この場合、筐体２８への挿入後にレンズアレイ２６及びプリント配線基板２４の位置調整を行えばよい。
【００８５】
また、筐体２８は、封止剤Ｆの溜り部や充填部３４が形成されていないものであってもよい。さらに、プリントヘッド製造装置５０において、レンズアレイ２６のＺ方向の位置決めをする押え部材を設けてもよい。
【００８６】
加えて、光学部材挿入工程及び光学部材接着工程と、基板挿入工程及び基板接着工程とは、プリントヘッド２０の製造工程のように両方実施しなくてもよい。例えば、筐体２８とレンズアレイ２６が既に一体となっているものについては、光学部材挿入工程及び光学部材接着工程無しで、基板挿入工程及び基板接着工程を行えばよい。また、筐体２８とプリント配線基板２４が既に一体となっているものについては、基板挿入工程及び基板接着工程無しで、光学部材挿入工程及び光学部材接着工程を行えばよい。
【符号の説明】
【００８７】
２０  プリントヘッド（露光装置の一例）
２２  ＬＥＤアレイ（発光素子の一例）
２４  プリント配線基板（基板の一例）
２６  レンズアレイ（光学部材の一例）
２８  筐体
３０  貫通孔
Ｓ  接着剤
【図１】
2014094506.tif 000003
【図２】
2014094506.tif 000004
【図３】
2014094506.tif 000005
【図４】
2014094506.tif 000006
【図５】
2014094506.tif 000007
【図６】
2014094506.tif 000008
【図７】
2014094506.tif 000009
【図８】
2014094506.tif 000010
【図９】
2014094506.tif 000011
【手続補正書】
【提出日】平成25年2月22日(2013.2.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方向に延びた貫通孔が形成された樹脂製の筐体の前記一方向に直交する方向で対向する前記貫通孔の内面の間隔を前記貫通孔の一方の開口端側で広げ、光学部材を露光用の光が該光学部材に対して前記貫通孔の内側から貫通方向に入射される配置となるように前記一方の開口端から前記貫通孔に挿入する光学部材挿入工程と、
前記筐体と前記光学部材を接着剤で接着する光学部材接着工程と、
を有する露光装置の製造方法。
【請求項２】
前記光学部材を前記接着剤で固定した前記筐体の前記内面の間隔を前記貫通孔の他方の開口端側で広げ、前記露光用の光を発する発光素子を備える基板を該発光素子と前記光学部材が対向するように前記他方の開口端から前記貫通孔に挿入する基板挿入工程と、
前記筐体と前記基板を接着剤で接着する基板接着工程と、
を有する請求項１に記載の露光装置の製造方法。
【請求項３】
一方向に延びた貫通孔が形成された樹脂製の筐体の前記一方向に直交する方向で対向する前記貫通孔の内面の間隔を前記貫通孔の一方の開口端側で広げ、発光素子を備える基板を該発光素子から発せられた露光用の光が前記貫通孔の内側を貫通方向に通る配置となるように前記一方の開口端から前記貫通孔に挿入する基板挿入工程と、
前記筐体と前記基板を接着剤で接着する基板接着工程と、
を有する露光装置の製造方法。
【請求項４】
前記基板を前記接着剤で固定した前記筐体の前記内面の間隔を前記貫通孔の他方の開口端側で広げ、光学部材を該光学部材と前記発光素子が対向するように前記他方の開口端から前記貫通孔に挿入する光学部材挿入工程と、
前記筐体と前記光学部材を接着剤で接着する光学部材接着工程と、
を有する請求項３に記載の露光装置の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
本発明の請求項１に係る露光装置の製造方法は、一方向に延びた貫通孔が形成された樹脂製の筐体の前記一方向に直交する方向で対向する前記貫通孔の内面の間隔を前記貫通孔の一方の開口端側で広げ、光学部材を露光用の光が該光学部材に対して前記貫通孔の内側から貫通方向に入射される配置となるように前記一方の開口端から前記貫通孔に挿入する光学部材挿入工程と、前記筐体と前記光学部材を接着剤で接着する光学部材接着工程と、を有する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
本発明の請求項２に係る露光装置の製造方法は、前記光学部材を前記接着剤で固定した前記筐体の前記内面の間隔を前記貫通孔の他方の開口端側で広げ、前記露光用の光を発する発光素子を備える基板を該発光素子と前記光学部材が対向するように前記他方の開口端から前記貫通孔に挿入する基板挿入工程と、前記筐体と前記基板を接着剤で接着する基板接着工程と、を有する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明の請求項３に係る露光装置の製造方法は、一方向に延びた貫通孔が形成された樹脂製の筐体の前記一方向に直交する方向で対向する前記貫通孔の内面の間隔を前記貫通孔の一方の開口端側で広げ、発光素子を備える基板を該発光素子から発せられた露光用の光が前記貫通孔の内側を貫通方向に通る配置となるように前記一方の開口端から前記貫通孔に挿入する基板挿入工程と、前記筐体と前記基板を接着剤で接着する基板接着工程と、を有する。
【手続補正書】
【提出日】平成25年4月9日(2013.4.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方向に延びた貫通孔が形成された樹脂製の筐体の前記一方向に直交する直交方向で対向する前記貫通孔の内面の間隔を、前記一方向全体に亘って、光学部材の前記直交方向の長さよりも長くなるように前記貫通孔の一方の開口端側で広げ、前記光学部材を露光用の光が該光学部材に対して前記貫通孔の内側から貫通方向に入射される配置となるように前記一方の開口端から前記貫通孔に挿入する光学部材挿入工程と、
前記筐体と前記光学部材を接着剤で接着する光学部材接着工程と、
を有する露光装置の製造方法。
【請求項２】
前記光学部材を前記接着剤で固定した前記筐体の前記内面の間隔を前記貫通孔の他方の開口端側で広げ、前記露光用の光を発する発光素子を備える基板を該発光素子と前記光学部材が対向するように前記他方の開口端から前記貫通孔に挿入する基板挿入工程と、
前記筐体と前記基板を接着剤で接着する基板接着工程と、
を有する請求項１に記載の露光装置の製造方法。
【請求項３】
一方向に延びた貫通孔が形成された樹脂製の筐体の前記一方向に直交する直交方向で対向する前記貫通孔の内面の間隔を、前記一方向全体に亘って、発光素子を備える基板の前記直交方向の長さよりも長くなるように前記貫通孔の一方の開口端側で広げ、前記基板を前記発光素子から発せられた露光用の光が前記貫通孔の内側を貫通方向に通る配置となるように前記一方の開口端から前記貫通孔に挿入する基板挿入工程と、
前記筐体と前記基板を接着剤で接着する基板接着工程と、
を有する露光装置の製造方法。
【請求項４】
前記基板を前記接着剤で固定した前記筐体の前記内面の間隔を前記貫通孔の他方の開口端側で広げ、光学部材を該光学部材と前記発光素子が対向するように前記他方の開口端から前記貫通孔に挿入する光学部材挿入工程と、
前記筐体と前記光学部材を接着剤で接着する光学部材接着工程と、
を有する請求項３に記載の露光装置の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
本発明の請求項１に係る露光装置の製造方法は、一方向に延びた貫通孔が形成された樹脂製の筐体の前記一方向に直交する直交方向で対向する前記貫通孔の内面の間隔を、前記一方向全体に亘って、光学部材の前記直交方向の長さよりも長くなるように前記貫通孔の一方の開口端側で広げ、前記光学部材を露光用の光が該光学部材に対して前記貫通孔の内側から貫通方向に入射される配置となるように前記一方の開口端から前記貫通孔に挿入する光学部材挿入工程と、前記筐体と前記光学部材を接着剤で接着する光学部材接着工程と、を有する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明の請求項３に係る露光装置の製造方法は、一方向に延びた貫通孔が形成された樹脂製の筐体の前記一方向に直交する直交方向で対向する前記貫通孔の内面の間隔を、前記一方向全体に亘って、発光素子を備える基板の前記直交方向の長さよりも長くなるように前記貫通孔の一方の開口端側で広げ、前記基板を前記発光素子から発せられた露光用の光が前記貫通孔の内側を貫通方向に通る配置となるように前記一方の開口端から前記貫通孔に挿入する基板挿入工程と、前記筐体と前記基板を接着剤で接着する基板接着工程と、を有する。