(57)【要約】      （修正有）【課題】気体流による対象物へのストレスを緩和する技術を提供する。【解決手段】支持用エアプレートは、供給される気体流を絞って噴出する複数の噴出口を有する気体流抵抗器１４と、複数の気体流抵抗器１４が装着される複数の大径孔部１７ａを有する第１有孔板状部１１ｃと、第１有孔板状部１１ｃの支持面１１ａ側に隣接し、第１気体供給孔１７ａに対応する位置に、第１気体供給孔１７ａと連通し、気体流を圧縮気体層に向かって噴出する小径孔部１７ｂを有する第２有孔板状部１１ｄと、気体流抵抗器１４の気体流を絞って噴出する気体流抵抗器１４の噴出口に対面し、気体流抵抗器１４の噴出口から噴出した気体流を衝突させて拡散させる第１有孔板状部と第２の有孔板状部との境界部に位置する気体流対抗面１１ｅと、を有している。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持面を有し、前記支持面と支持対象物との間に圧縮気体層を形成し、前記支持対象物を前記支持面と非接触の状態で支持する支持用エアプレートであって、
供給される気体流を絞って噴出する複数の噴出口を有する気体流抵抗器と、
複数の前記気体流抵抗器が装着される複数の第１気体供給孔を有する第１有孔板状部と、
前記第１有孔板状部の前記支持面側に隣接し、前記第１気体供給孔に対応する位置に、前記第１気体供給孔の一部と重なって前記第１気体供給孔と連通し、前記気体流を前記圧縮気体層に向かって噴出する第２気体供給孔を有する第２有孔板状部と、
前記気体流を絞って噴出する前記気体流抵抗器の噴出口に対面し、前記気体流抵抗器の噴出口から噴出した気体流を衝突させて拡散させる前記第１有孔板状部と前記第２の有孔板状部との境界部に位置する気体流対向面と、
を有する支持用エアプレート。
【請求項２】
気体流が前記気体流抵抗器内の前記噴出口を通らずに前記圧縮気体層に漏れるのを防止するための封止部を更に有する、請求項１に記載の支持用エアプレート。
【請求項３】
前記封止部は、前記気体流抵抗器の前記第１気体供給孔の内周面と対面する外周面に設けられた周状突起であり、
前記気体流抵抗器が前記第１気体供給孔に取り付けられると、前記周状突起が前記第１気体供給孔の内周面に当接する、
請求項２に記載の支持用エアプレート。
【請求項４】
前記周状突起は、前記第１有孔板状部の厚さ方向の中央近傍で前記第１気体供給孔の前記内周面に当接する、
請求項３に記載の支持用エアプレート。
【請求項５】
前記第１有孔板状部の前記支持面の逆側にある面に隣接して設置され、前記第１有孔板状部の前記第１気体供給孔に取り付けられた前記気体流抵抗器に気体を供給する気体供給路を形成する平板を更に有し、
前記封止部は、前記気体流抵抗器の前記支持面側端面および前記支持面の逆側端面の少なくともいずれか一方に設けられた環状突起であり、前記気体流抵抗器が前記第１気体供給孔に挿入され、前記平板が前記第１有孔板状部に密接して設置されると、少なくとも前記支持面側端面の環状突起が前記気体流対向面に当接する、または少なくとも前記支持面の逆側端面の環状突起が前記平板に当接する、
請求項２に記載の支持用エアプレート。
【請求項６】
前記第１有孔板状部は、前記第１気体供給孔の前記支持面の逆側端部に座ぐり部を有し、
前記封止部は環状封止部材であり、
前記環状封止部材が前記座ぐり部に配置される、請求項２に記載の支持用エアプレート。
【請求項７】
前記気体流抵抗器は、
厚さ方向に気体の通る抵抗流路となる貫通孔と、前記抵抗流路の前記軸心方向の少なくとも一部に所定の断面積および所定の長さの抵抗部がある抵抗板と、
前記抵抗板を囲んで前記抵抗板と一体的に形成され、前記第１気体供給孔の内周面と一致する形状および寸法の外周面を有する管状部と、
を有する、請求項１から６のいずれか一項に記載の支持用エアプレート。
【請求項８】
前記抵抗部は、前記抵抗流路の前記軸心方向の噴出口側で最も大きな流路抵抗を有する、請求項７に記載の支持用エアプレート。
【請求項９】
前記第１有孔板状部に取り付けられ、前記圧縮気体層から吸い込む気体流を細める複数の吸込用気体流抵抗器を更に有する、請求項１から８のいずれか一項に記載の支持用エアプレート。
【請求項１０】
支持面と支持対象物との間に圧縮気体層を形成し、前記支持対象物を前記支持面から非接触の状態で支持する支持用エアプレートに用いられる気体流抵抗器において、
前記支持用エアプレートの装着部に装着され、供給される気体流を絞って、前記支持面に向かって間接的に噴出すことができる噴出口を有することを特徴とする気体流抵抗器。
【請求項１１】
貫通した孔からなる気体流を絞る作用を有する抵抗流路と当該抵抗流路の前記支持面側端部に前記噴出口とを有する抵抗板と、
内周面で前記抵抗板の外周面と当接し、前記抵抗板と一体的に形成された管状部と、
を有する、請求項１０に記載の気体流抵抗器。
【請求項１２】
前記抵抗流路の軸心方向の少なくとも一部に所定の断面積および所定の長さの抵抗部を有する、請求項１１に記載の気体流抵抗器。
【請求項１３】
前記抵抗部は、前記抵抗流路の前記軸心方向の噴出口側で最も大きな流路抵抗を有する、請求項１２に記載の気体流抵抗器。
【請求項１４】
気体流が前記気体流抵抗器内の前記噴出口を通らずに前記圧縮気体層に漏れるのを防止するための封止部を更に有する、請求項１１から１３のいずれか一項に記載の気体流抵抗器。
【請求項１５】
前記封止部は、前記管状部の外周面を一周する周状突起である、請求項１４に記載の気体流抵抗器。
【請求項１６】
前記封止部は、前記管状部の少なくともいずれか一方の端面に環状に設けられた環状突起である、
請求項１４に記載の気体流抵抗器。
【請求項１７】
前記抵抗板は、前記管状部の一方の端面から所定距離にある位置で前記管状部と接続されている、請求項１１から１６のいずれか一項に記載の気体流抵抗器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧縮気体層により非接触で対象物を支持する支持用エアプレートに関し、特に、フラットパネルディスプレイやソーラーパネル等に用いられるガラス基板等を非接触状態で支持する支持用エアプレートに関する。
【背景技術】
【０００２】
フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）やソーラーパネルの製造においては、パネル用ガラス板の薄肉化および大型化、搬送の高速化および高精度化、ガラス基板に対するストレスフリー化が求められる。そのような要求を満たすために、ガラス板を気体層によって浮上させ、搬送する非接触搬送装置が用いられる。例えば、長辺が２４００ｍｍもあるようなガラス板を３０±５μｍの高さおよび精度で浮上させるといったことが要求される。
【０００３】
特許文献１には、気体の旋回流を発生させてガラス板を支持する技術が開示されている。特許文献１の技術では、装置基体の搬送面に形成した凹部に旋回流形成体を収容し、その旋回流形成体の外周面を凹部の周囲に突設した盛上部によってかしめ接合している。本構成により搬送面上に気体の旋回流を発生させ、ガラス基板を非接触状態で支持する。
【０００４】
特許文献２には、気体の上昇流を発生させてガラス基板を支持する技術が開示されている。上昇流形成体は、環状鍔部を、搬送用基板の上板に形成された収容孔部の円筒壁面部に圧入嵌合し、係合垂下部の係合突起部を収容孔部の環状肩部に係合させることで、収容孔部に装着されている。本構成により、上板上に気体の上昇流を発生させ、ガラス基板を非接触状態で支持する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】国際公開第２００９／１１９３７７号パンフレット
【特許文献２】特開２０１２−１７６８２２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１の旋回流形成体はガラス基板に対向する基体の搬送面に装着される。旋回流形成体を通った気体が旋回しながらガラス基板に当たるとともに、旋回流の内側にガラス基板を基体に引き寄せる方向の気体の流れを生じるようになっている。
【０００７】
また、特許文献２の上昇流形成体もガラス基板に対向する基板の搬送面に装着される。上昇流形成体から噴出した気体は直接に、あるいは気体同士が衝突した後に、あるいは上昇流形成体の内周の側壁に衝突した後に、ガラス基板に当たるようになっている。
【０００８】
しかしながら、近年では、ＦＰＤやソーラーパネルは益々大型化、薄型化し、それに伴って搬送装置が支持すべきガラス板も大型化、薄型化している。そのため、気体流によりガラス基板に加わるストレスの緩和や、それにより圧力の均一化が従来よりも一層求められるようになっている。
【０００９】
本発明の目的は、気体流による支持対象物へのストレスを緩和する技術を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の一態様による支持用エアプレートは、支持面を有し、前記支持面と支持対象物との間に圧縮気体層を形成し、前記支持対象物を前記支持面と非接触の状態で支持する支持用エアプレートであって、供給される気体流を絞って噴出する複数の噴出口を有する気体流抵抗器と、複数の前記気体流抵抗器が装着される複数の第１気体供給孔を有する第１有孔板状部と、前記第１有孔板状部の前記支持面側に隣接し、前記第１気体供給孔に対応する位置に、前記第１気体供給孔の一部と重なって前記第１気体供給孔と連通し、前記気体流を前記圧縮気体層に向かって噴出する第２気体供給孔を有する第２有孔板状部と、前記気体流を絞って噴出する前記気体流抵抗器の噴出口に対面し、前記気体流抵抗器の噴出口から噴出した気体流を衝突させて拡散させる前記第１有孔板状部と前記第２の有孔板状部との境界部に位置する気体流対向面と、を有している。
【００１１】
また、本発明の一態様による気体流抵抗器は、支持面と支持対象物との間に圧縮気体層を形成し、前記支持対象物を前記支持面から浮上させた非接触状態で支持する支持用エアプレートに用いられる気体流抵抗器において、前記支持用エアプレートの装着部に装着され、供給される気体流を絞って、前記支持面に向かって間接的に噴出すことができる噴出口を有することを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、支持用エアプレートから噴出された圧縮気体流の与える支持対象物へのストレスを緩和することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】第１の実施形態による浮上用エアプレートの概略的な断面図である。
【図２】気体経路プレート１２の表面の形状を示す図である。
【図３】体経路プレート１２の裏面の形状を示す図である。
【図４】ボトムプレート１３を表面側から見た図である。
【図５】第１の実施形態による浮上用エアプレートの概略的な分解断面図である。
【図６】噴出ペレット１４の平面図（Ａ）と側断面図（Ｂ）とを示す図である。
【図７】噴出ペレット１４が取り付けられたトッププレート１１の噴出孔１７の内部における気体の流れを示す図である。
【図８】吸引ペレット１５が取り付けられた気体経路プレート１２およびトッププレート１１の噴出孔１７の内部における気体の流れを示す図である。
【図９】噴出ペレット１４のオリフィス流路近傍の断面図である。
【図１０】第２の実施形態による浮上用エアプレートの概略的な断面図である。
【図１１】噴出ペレット３４が取り付けられたトッププレート３１の気体供給孔３７の内部における気体の流れを示す図である。
【図１２】第３の実施形態による浮上用エアプレートの概略的な断面図である。
【図１３】噴出ペレット３４が取り付けられたペレット装着プレート５２とトッププレート５１の内部における気体の流れを示す図である。
【図１４】第４の実施形態による浮上用エアプレートの噴出ペレット近傍の概略的な断面図である。
【図１５】第５の実施形態による浮上用エアプレートの噴出ペレット近傍の概略的な断面図である。
【図１６】第６の実施形態による浮上用エアプレートの概略的な断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
本発明の実施形態について図面を参照して説明する。以下の説明においては同一の部材や部分に対して同一の符号を付し、その説明を省略あるいは簡略化する場合がある。
【００１５】
（第１の実施形態）
【００１６】
図１は、第１の実施形態による浮上用エアプレート（支持用エアプレート）の概略的な断面図である。浮上用エアプレート１０は、支持面１１ａを有し、支持する対象物（支持対象物）であるガラス基板（不図示）と支持面１１ａとの間に圧縮気体層を形成し、ガラス基板を支持面１１ａから浮上させた非接触状態で支持するプレートである。
【００１７】
図１を参照すると、浮上用エアプレート１０は、トッププレート１１、気体経路プレート１２（平板）、ボトムプレート１３、噴出ペレット１４（気体流抵抗器）、および吸引ペレット１５（吸込用気体流抵抗器）を有している。
【００１８】
トッププレート１１、気体経路プレート１２、およびボトムプレート１３は、共に、アルミニウム等の金属材料で製作されている板形状の部材である。バイメタル効果により温度変化で反りが生じるのを防ぐため、トッププレート１１、気体経路プレート１２、およびボトムプレート１３を同じ材質に揃えるのが好ましい。それぞれ高精度に平面研削加工し、孔や溝を設けることにより、製作される。トッププレート１１、気体経路プレート１２、およびボトムプレート１３には不図示の組み付け用孔とタップ加工が施されており、ボルトによって互いに組み付けられる。更に、ガラス基板を搬送する不図示の搬送装置など相手フレームに組み付けるため、浮上用エアプレート１０にはボルト取り付け用孔が設けられている。
【００１９】
一方、噴出ペレット１４および吸引ペレット１５は樹脂材料等からなる射出成型品であり、トッププレート１１や気体経路プレート１２に設けられた孔に挿入される。
【００２０】
以下、それぞれについて詳細に説明する。
【００２１】
トッププレート１１は、板厚方向に貫通する複数の噴出孔１７と複数の吸引孔１８が交互に配置された有孔板状部材である。噴出孔１７は、支持面１１ａとガラス基板との間に圧縮気体を噴出して圧縮気体層を形成させてガラス基板を浮上させるための孔であり、吸引孔１８は、圧縮気体層から気体を吸引してガラス基板の浮上高さを安定させるための孔である。
【００２２】
噴出孔１７および吸引孔１８を配置するピッチは、支持する対象物であるガラス基板の厚さに合わせて設定される。薄いガラス基板には密なピッチ、厚いガラス基板には疎なピッチを採用するのが経済的にも変形を抑える上でも好ましい。トッププレート１１の一方の面が、ガラス基板を浮上させた非接触状態で支持するための支持面１１ａを構成する。以下、トッププレート１１における、ガラス基板を支持する一方の面である支持面１１ａの他方の面を裏面１１ｂということにする。
【００２３】
噴出孔１７は、支持面１１ａ側と裏面１１ｂ側とで内径寸法が異なる貫通穴であり、支持面１１ａ側にある裏面１１ｂ側に設置された孔より内径寸法の小さな小径孔部１７ｂ（第２気体供給孔）と、裏面１１ｂ側にある小径孔部１７ｂに連接して小径孔部１７ｂより内径寸法の大きな大径孔部１７ａ（第１気体供給孔）とからなる段付き孔構造となっており、噴出孔１７の大径孔部１７ａに噴出ペレット１４が挿入される。一例として、大径孔部１７ａは内径φ８ｍｍであり、小径孔部１７ｂは内径φ２．５ｍｍである。
【００２４】
吸引孔１８も噴出孔１７と同様に、支持面１１ａ側が裏面１１ｂ側より内径の小さな小径孔部１８ｂと裏面１１ｂ側が小径孔１８ｂより内径の大きな大径孔部１８ａとが連接してなる段付き孔構造となっている。一例として、大径孔部１８ａは内径φ８ｍｍであり、小径孔部１８ｂは内径φ４ｍｍである。ただし、吸引孔１８にはペレットは挿入されないので段付き構造でなくてもよい。
【００２５】
気体経路プレート１２は、トッププレート１１の裏面１１ｂに密着させて設置される面である表面１２ａと、表面１２ａに対面する逆側の面である裏面１２ｂとを有する。
【００２６】
気体経路プレート１２の表面１２ａ部にはトッププレート１１の複数の噴出孔１７を互いに接続する給気溝２１（気体供給路）が形成されている。更に、気体経路プレート１２には、所定の位置で、給気溝２１と連通し、裏面１２ｂまで貫通する給気孔１９が設けられている。
【００２７】
また、気体経路プレート１２には、トッププレート１１の各吸引孔１８と連通する位置で表面１２ａから裏面１２ｂまで貫通する複数の吸引孔２０が設けられている。更に、気体経路プレート１２の裏面１２ｂには、複数の吸引孔２０を互いに連通させる吸引溝２２が形成されている。吸引孔２０は、裏面１２ｂ側と表面１２ａ側とで内径寸法が異なる貫通穴であり、裏面１２ｂ側にあり、表面１２ａ側に設置された孔より内径寸法の小さくなった小径孔部２０ｂと、表面１２ａ側にあり小径孔部２０ｂに連接して小径孔部２０ａより内径寸法の大きな大径孔部２０ａからなる段付き孔形状となっており、その吸引孔２０の大径孔部２０ａに吸引ペレット１５が挿入されている。
【００２８】
気体経路プレート１２の表面１２ａ部にある給気溝２１と裏面１２ｂ部にある吸引溝２２とは板厚方向において互いに干渉しない深さとなっている。一例として、給気溝２１および吸引溝２２がいずれも幅８ｍｍで、深さ３．５ｍｍであり、気体経路プレート１２の板厚は７ｍｍより大きい厚さである。
【００２９】
図２は、気体経路プレート１２の表面１２ａ側の形状を示す図である。
【００３０】
図２を参照すると、気体経路プレート１２の表面１２ａに、給気溝２１が網目状に形成されており、その給気溝２１の所定部位において裏面１２ｂまで貫通する給気孔１９が連通している。給気溝２１は、開口面２１ａがトッププレート１１の裏面１１ｂで塞がれ、トッププレート１１の各噴出孔１７と連通し、給気孔１９から供給される気体をトッププレート１１の噴出孔１７へ供給する経路をなす（図１参照）。
【００３１】
また、気体経路プレート１２の表面１２ａ部には、トッププレート１１の吸引孔１８と連通する位置に、裏面１２ｂまで貫通する吸引孔２０がある。
【００３２】
図３は、気体経路プレート１２の裏面１２ｂ側の形状を示す図である。
【００３３】
気体経路プレート１２の裏面１２ｂ部には、複数の吸引孔２０を互いに連通させる吸引溝２２が網目状に設けられている。吸引溝２２は、開口面２２ａがボトムプレート１３の表面１３ａで塞がれ、各吸引孔２０を通して吸引する気体の経路をなす（図１参照）。
【００３４】
ここでは一例として吸引溝２２は３つの系統に分割されている。ガラス基板を浮上させた状態で搬送する際、吸引溝２２で連通している全ての吸引孔１８の上方にガラス基板がある状態と、一部の吸引孔１８の上方だけにガラス基板があり、残りの吸引孔１８の上方が開放されている状態とでは、圧縮気体層によりガラス基板に加わる力が異なる。本実施形態では、吸引溝２２を３つの系統に分割することで、各系統によって連通されている全ての吸引孔１８が搬送されていくガラス基板によって早期に覆われ、搬送中のガラス基板に加わる力を安定させるようにしている。気体経路プレート１２における吸引溝２２の系統間は、図３のように完全に分離されて全く連通していなくてもよく、限られた部分だけで連通していてもよい。
【００３５】
また、気体経路プレート１２の裏面１２ｂ部には、表面１２ａ部の給気溝２１と連通する貫通孔である給気孔１９がある。
【００３６】
図４は、ボトムプレート１３を表面１３ａ側から見た図である。
【００３７】
ボトムプレート１３は、気体経路プレート１２の裏面１２ｂに密接させて設置される面である表面１３ａと、表面１３ａに対面する逆側の面である裏面１３ｂを有する（図１参照）。
【００３８】
ボトムプレート１３には、気体経路プレート１２の給気孔１９に圧縮気体を供給するための給気口２３が、給気孔１９と連通する所定位置に板厚方向に貫通した状態で形成されている。また、ボトムプレート１３には、各系統の吸引溝２２から気体を吸引するための吸引口２４が各系統の吸引溝２２と連通する所定位置に板厚方向に貫通した状態で形成されている。ボトムプレート１３の表面１３ａは気体経路プレート１２の裏面１２ｂに密接させた状態で設置しているため、吸引溝２２の開口面２２ａを塞ぐ蓋の役割を果たし、吸引口２４から各系統の全ての吸引溝２２の気体の吸引を可能にする。
【００３９】
給気口２３には不図示のポンプが接続され、ポンプから給気口２３に圧縮気体が供給される。給気口２３に供給された圧縮気体は、気体経路プレート１２の給気孔１９および給気溝２１を介してトッププレート１１の各噴出孔１７に送られ、噴出ペレット１４を通って圧縮気体層に供給される。
【００４０】
また、吸引口２４には不図示の真空ポンプが接続され、真空ポンプの吸気により、気体が圧縮気体層からトッププレート１１の吸引孔１８を通って吸引ペレット１５が取り付けられた気体経路プレート１２に吸引され、更にボトムプレート１３の吸引口２４から真空ポンプに吸引される。
【００４１】
図５は、第１の実施形態による浮上用エアプレートの概略的な分解断面図である。
【００４２】
噴出ペレット１４は、図５の矢印に示されるように、トッププレート１１の噴出孔１７に裏面１１ｂ側から挿入され、噴出孔１７の大径孔部１７ａ内部に取り付けられる。噴出ペレット１４の外径１４ｅと噴出孔１７の大径孔部１７ａの内径１７ｃは同一の寸法であるか、あるいは噴出ペレット１４の外径１４ｅが噴出孔１７の大径孔部１７ａの内径１７ｃよりも僅かに大きくなっており、噴出ペレット１４を噴出孔１７の大径孔部１７ａに挿入すると圧入状態となり、気体が漏れないように噴出ペレット１４の外周面１４ｆと噴出孔１７の大径孔部１７ａの内周面１７ａａの間が封止される。
【００４３】
図６は、噴出ペレット１４の平面図（Ａ）と側断面図（Ｂ）である。
【００４４】
図６を参照すると、噴出ペレット１４は、水平方向に配置された抵抗板１４ａと、抵抗板１４ａの外周面と内周面で当接し、抵抗板１４ａと一体的に形成された管形状、より具体的には円筒形状の管状部１４ｃとを有している。抵抗板１４ａには、複数の円環状のオリフィス流路１４ｂ（貫通孔）が板厚方向に貫通した状態で設置されている。
【００４５】
噴出ペレット１４は、抵抗板１４ａの裏面１４ａａ側から供給される気体流を、所望の流路抵抗を有する抵抗流路となるオリフィス流路１４ｂで絞って噴出すことにより、ガラス基板（不図示）とトッププレート１１の支持面１１ａとの間の圧縮気体層に所望の剛性を与えることを可能にする。噴出ペレット１４のオリフィス流路１４ｂの支持面１１ａ側の開口部、すなわち気体を噴出す噴出口１４ｂａは、噴出ペレット１４の中心軸１４ｄから所定距離以上離れた位置に設けてある。噴出口１４ｂａの噴出ペレット１４の中心軸１４ｄからの距離や噴出口１４ｂａの設置数は、オリフィス流路１４ｂの構成やガラス基板が許容するストレスなどに基づいて適宜選択すればよい。本実施形態では一例として、噴出口１４ｂａは、中心軸１４ｄからのピッチ直径（ＰＣＤ）が６ｍｍであり、個数は６個である。
【００４６】
トッププレート１１の噴出孔１７の近傍に着目すると、上述したように、噴出孔１７は内径の異なる２つの部分（大径孔部１７ａ、小径孔部１７ｂ）からなる段付き孔構造となっている。すなわち、トッププレート１１は、噴出ペレット１４の外径と一致するかまたは僅かに小さい内径の大径孔部１７ａを具備した裏面１１ｂ側の有孔板状部１１ｃ（第１有孔板状部）と、噴出ペレット１４の外径１４ｅよりも小さい内径の小径孔部１７ｂを具備した支持面１１ａ側の有孔板状部１１ｄ（第２有孔板状部）とからなっている。
【００４７】
噴出孔１７の段付き構成による大径孔部１７ａと小径孔部１７ｂの内径の相違により、中心軸１４ｄから所定距離以上離れた位置に設けられた噴出ペレット１４の噴出口１４ｂａに対向する大径孔部１７ａと小径孔部１７ｂの境界部に気体流対向面１１ｅが形成されている。すなわち、噴出ペレット１４の噴出口１４ｂａは、噴出孔１７の小径孔部１７ｂの内周面より外周側に位置している。噴出ペレット１４の噴出口１４ｂａから噴出した気体流は、気体流対向面１１ｅによって拡散され、噴出孔１７の小径孔部１７ｂから圧縮気体層に供給される。
【００４８】
図５に戻り、吸引ペレット１５は、気体経路プレート１２の吸引孔２０に表面１２ａ側から挿入され、吸引孔２０の大径孔部２０ａの内部に取り付けられる。吸引ペレット１５は、抵抗板１４ａと管状部１４ｃを有する噴出ペレット１４と同様の形状を有している。ただし、吸引ペレット１５の外径、長さ、抵抗板の位置、オリフィス流路の個数、位置、内径など各部の寸法は噴出ペレット１４の各寸法と異なっていてもよい。
【００４９】
図７は、噴出ペレット１４が取り付けられたトッププレート１１の噴出孔１７の内部における気体の流れを示す図である。図７を参照すると、トッププレート１１の裏面１１ｂ（図中の下側の面）から噴出孔１７の大径孔部１７ａに圧縮気体が供給される。この圧縮気体は、噴出ペレット１４のオリフィス流路１４ｂで絞られ、オリフィス流路１４ｂの噴出口１４ｂａから噴出する。オリフィス流路１４ｂの噴出口１４ｂａの上方には気体流対向面１１ｅがあるので、気体流はその気体流対向面１１ｅによって拡散される。拡散された気体流は噴出孔１７の小径孔部１７ｂを通って支持面１１ａの上方に噴出する。
【００５０】
具体的には、オリフィス流路１４ｂで細く絞られた気体流が気体流対向面１１ｅに突き当たる。気体流対向面１１ｅで気体流が拡散され、速度を落として噴出孔１７の小径孔部１７ｂに集約され、ガラス基板に向けて噴出する。
【００５１】
本実施形態によれば、オリフィスとなる多数の微細径の孔加工が必要な部分をオリフィスを具備した複数の樹脂射出成型品を用いることで、大きなプレートの全面に直接多数の微細な孔を加工する必要が無いため、製造が極めて容易であり、加工時間も短縮されている。
【００５２】
また、本実施形態によれば、オリフィス流路１４ｂによって所望値の流路抵抗が与えられた気体流が気体流対向面１１ｅによって拡散された後に支持面１１ａの上方の圧縮気体層に供給されるので、流路抵抗によって圧縮気体層に所望の剛性、すなわち均一な速度と圧力を与えるとともに、気体流対向面１１ｅでガラス基板へ与えるストレスを緩和することが可能となっている。
【００５３】
また、本実施形態では、図６に示したように、噴出ペレット１４において、抵抗板１４ａは、管状部１４ｃの上部側端面１４ｃａから管状部１４ｃの軸方向に所定距離だけ管状部１４ｃの下部側端面１４ｃｂ方向に入った位置にて、管状部１４ｃと接続されている。管状部１４ｃの上部側端面１４ｃａから軸方向に０．１〜０．２ｍｍだけ下部側端面１４ｃｂの方向に入った位置にて抵抗板１４ａを配置するのが好ましい。本構成により、図７に示したように、噴出ペレット１４を、噴出孔１７の段付き部分の段、すなわち大径孔部１７ａと小径孔部１７ｂの境界部分の段に突き当たるように取り付けることでオリフィス流路１４ｂから噴出した気体流を緩和するための空間を確保することが可能となっている。
【００５４】
なお、噴出ペレット１４およびオリフィス流路１４ｂの位置をできるだけ支持面１１ａの近くにすることで、気体流を絞って流路抵抗を加える効果を維持し、自励振動が起こるのを抑制することができる。一例として、トッププレート１１の有孔板状部１１ｄは５ｍｍ以下が好ましい。
【００５５】
図８は、吸引ペレット１５が取り付けられた気体経路プレート１２およびトッププレート１１のそれぞれの吸引孔２０、吸引孔１８の内部における気体の流れを示す図である。トッププレート１１の支持面１１ａから吸引孔１８に向けて吸引された気体は、吸引孔１８を通って気体経路プレート１２に達する。気体経路プレート１２に達した気体は吸引ペレット１５のオリフィス流路１５ａを通って絞られ、所望の流路抵抗が加えられ、吸引溝２２で形成された流路を経て、気体経路プレートの裏面１２ｂから吸引される。
【００５６】
吸引ペレット１５のオリフィス流路１５ａは、例えば噴出ペレット１４のオリフィス流路１４ｂからの気体の噴出量を相殺する吸引量の気体を吸引できるように設計されている。このときオリフィス流路１４ｂの内外の圧力バランスを考慮した設計が行われる。オリフィス流路１４ｂを通過して噴出孔１７から圧縮気体層に噴出された気体は噴出する前の噴出孔１７内にある気体よりも膨張しているので、吸引ペレット１５のオリフィス流路１５ａの断面積は噴出ペレット１４のオリフィス流路１４ｂの断面積よりも大きく設定される。
【００５７】
図９は、噴出ペレット１４のオリフィス流路１４ｂ近傍の断面図である。
【００５８】
噴出ペレット１４の抵抗板１４ａにはオリフィス流路１４ｂが抵抗板１４ａの板厚方向に貫通した状態で配置されている。オリフィス流路１４ｂは、所望値の流路抵抗を気体流に対して加える抵抗部となっており、本実施形態の例ではさらに第１抵抗部１４ｂＲ１と第２抵抗部１４ｂＲ２と抵抗部連結部１４ｂｂに分かれている。流路抵抗は、流路の入力側と出力側の圧力差と、気体の流量との比を表す。
【００５９】
第１抵抗部１４ｂＲ１は一例として円柱形であり、その流路抵抗ｒ１は第１抵抗部１４ｂＲ１の断面積Ｓ１および長さｄ１によって、ｒ１＝ａ１（ｄ１／Ｓ１）と表すことができる。また、同様に第２抵抗部１４ｂＲ２も円柱形の場合、その流路抵抗ｒ２は第２抵抗部１４ｂＲ２の断面積Ｓ２および長さｄ２によって、ｒ２＝ａ２（ｄ２／Ｓ２）と表すことができる。ａ１、ａ２は所定の係数である。なお、抵抗を段階的に大きくするためにここでは一例として、第１抵抗部１４ｂＲ１の流路抵抗ｒ１が第２抵抗部１４ｂＲ２の流路抵抗ｒ２よりも十分に小さくなるように設計する。例えば、第１抵抗部１４ｂＲ１の内径Ｒ１がφ１．０〜６．０ｍｍで、長さｄ１が１．０〜６．０ｍｍで、第２抵抗部１４ｂＲ２の内径Ｒ２がφ０．０５〜０．４ｍｍで、長さｄ２が０．２〜３．０ｍｍにて設定するのが好ましい。
【００６０】
また例えば同一形状のオリフィス流路１４ｂがｎ個ある場合、噴出ペレット１４所望の流路抵抗Ｒは、Ｒ＝ｒ２／ｎと表すことができる。本実施形態の例では、上述のようにｎ＝６個である。噴出ペレット１４におけるオリフィス流路１４ｂの個数ｎ、オリフィス流路１４ｂの抵抗部の断面積Ｓ１、Ｓ２および長さｄ１、ｄ２を適切に選択することにより、所望の流路抵抗Ｒを得ることができる。また、抵抗部連結部１４ｂｂは、第１抵抗部１４ｂＲ１と第２抵抗部１４ｂＲ２を連結させると共に、抵抗を流路抵抗ｒ１から流路抵抗ｒ２へ段階的に大きくする効果を有する。オリフィス流路１４ｂの抵抗を段階的に大きくすることで、所望の流路抵抗Ｒを得つつ、抵抗板１４ａを所望の厚みとして十分な強度を確保することができる。すなわち本実施形態の例では抵抗部を２段階としたが、３段階以上に設計してもよい。
【００６１】
また、図９の例では、オリフィス流路１４ｂの抵抗部連結部１４ｂｂがテーパ形状となっているが、抵抗を流路抵抗ｒ１から流路抵抗ｒ２へ段階的に大きくする効果を有している形状であれば、テーパ形状でなくてもよい。
【００６２】
また、上述した、絞り効果を維持して自励振動を抑制する効果をできるだけ高めるために、より抵抗の大きな第２抵抗部１４ｂＲ２を抵抗板１４ａの噴出口１４ｂａ側（支持面１１ａ側）に配置している。
【００６３】
なお、本実施形態の浮上用エアプレート１０は、噴出ペレット１４および吸引ペレット１５を備え、支持面１１ａから圧縮気体層に気体を噴出すとともに、圧縮気体層から気体を吸引することにより、支持された対象物の高さを安定させ、また制御ノイズや搬送等による振動に対する耐性を高めている。さらに、吸引孔１６にも流路抵抗を与える吸引ペレット１５を設けることで、吸引力の変化を抑える効果も得ている。しかしながら、本発明がこの構成に限定されることはない。他の例として、支持面１１ａから気体を噴出すのみの浮上用エアプレートにも本発明は適用することができる。
【００６４】
また、本実施形態では、気体経路プレート１２の吸引溝２２だけが三分割されているが、実施形態がこれに限定されることはない。例えば、給気溝２１も吸引溝２２と同様に複数に分割されていてもよく、あるいは給気溝２１だけが複数に分割されていてもよい。また、三分割ではなく、二分割あるいは四分割、またはそれ以上に分割してもよい。
【００６５】
また、本実施形態では、噴出孔１７の大径孔部１７ａと小径孔部１７ｂとが同心円である例を示したが、本発明がこれに限定されることはない。小径孔部１７ｂの軸心と大径孔部１７ａの軸心をずらして連通させてもよく、気体流対向面１１ｅが形成されていれば、どのような構成を採用してもよい。
【００６６】
また、本実施形態における噴出ペレット１４および吸引ペレット１５はトッププレート１１あるいは気体経路プレート１２に一旦取り付けた後に取り外すことが可能であってもよい。その場合、更に、取り外した噴出ペレット１４あるいは吸引ペレット１５を再び取り付けることが可能であってもよい。これにより、例えば設計時あるいは設置時に、気体流量や形状の異なる複数の噴出ペレット１４あるいは吸引ペレット１５を順次試し、良好な性能が得られるものを選択することが可能となる。また、例えばメンテナンスとして、噴出ペレット１４のオリフィス流路１４ｂあるいは吸引ペレット１５のオリフィス流路１５ａが目詰まりした場合に噴出ペレット１４あるいは吸引ペレット１５を取り外して清掃し、再び取り付けることが可能となる。
【００６７】
以上説明したように、本実施形態では、支持用エアプレートは、
支持面を有し、前記支持面と支持対象物との間に圧縮気体層を形成し、前記支持対象物を前記支持面と非接触の状態で支持する支持用エアプレートであって、
供給される気体流を絞って噴出する複数の噴出口を有する気体流抵抗器と、
複数の前記気体流抵抗器が装着される複数の第１気体供給孔を有する第１有孔板状部と、
前記第１有孔板状部の前記支持面側に隣接し、前記第１気体供給孔に対応する位置に、前記第１気体供給孔の一部と平面視において重なって前記第１気体供給孔と連通し、前記気体流を前記圧縮気体層に向かって噴出する第２気体供給孔を有する第２有孔板状部と、
前記気体流を絞って噴出する前記気体流抵抗器の噴出口に対面し、前記気体流抵抗器の噴出口から噴出した気体流を衝突させて拡散させる前記第１有孔板状部と前記第２の有孔板状部との境界部に位置する気体流対向面と、
を有するものとなっている。
【００６８】
また、本実施形態の気体流抵抗器は、
支持面と支持対象物との間に圧縮気体層を形成し、前記支持対象物を前記支持面から非接触の状態で支持する支持用エアプレートに用いられる気体流抵抗器において、
前記支持用エアプレートの装着部に装着され、供給される気体流を絞って、前記支持面に向かって間接的に噴出すことができる噴出口を有することを特徴とするものとなっている。
【００６９】
また、本実施形態の支持用エアプレートでは、前記気体流抵抗器は、
厚さ方向に気体の通る抵抗流路となる貫通孔と、前記抵抗流路の前記軸心方向の少なくとも一部に所定の断面積および所定の長さの抵抗部がある抵抗板と、
前記抵抗板を囲んで前記抵抗板と一体的に形成され、前記第１気体供給孔の内周面と一致する形状および寸法の外周面を有する管状部と、
を有する。
【００７０】
また、本実施形態の支持用エアプレートでは、前記抵抗部は、前記抵抗流路の前記軸心方向の噴出口側で最も大きな抵抗を有するものとなっている。
【００７１】
また、本実施形態の支持用エアプレートは、
前記第１有孔板状部に取り付けられ、前記圧縮気体層から吸い込む気体流を細める複数の吸込用気体流抵抗器を更に有する、ものとなっている。
【００７２】
また、本実施形態の気体流抵抗器は、
貫通した孔からなり、気体流を絞る作用を有する抵抗流路を有し、当該抵抗流路の前記支持面側端部に前記噴出口を有する抵抗板と、
内周面で前記抵抗板の外周面と当接し、前記抵抗板と一体的に形成された管状部と、
を有する、ものとなっている。
【００７３】
また、本実施形態の気体流抵抗器は、
前記抵抗流路の軸心方向の少なくとも一部に所定の断面積および所定の長さの抵抗部を有する。
【００７４】
また、本実施形態の気体流抵抗器は、
前記抵抗部は、前記抵抗流路の前記軸心方向の噴出口側で最も大きな抵抗を有するものとなっている。
【００７５】
また、本実施形態の気体流抵抗器では、
前記抵抗板は前記管状部の一方の端面から所定距離にある位置で前記管状部と接続されている。
【００７６】
（第２の実施形態）
【００７７】
図１０は、第２の実施形態による浮上用エアプレートの概略的な断面図である。第２の実施形態による浮上用エアプレート３０は、第１の実施形態のものと同様に、支持面３１ａを有し、ガラス基板９９と支持面３１ａとの間に圧縮気体層を形成し、ガラス基板９９を支持面３１ａから浮上させた非接触状態で支持するプレートである。
【００７８】
また、噴出ペレット３４と吸引ペレット３５共に、第１の実施形態の噴出ペレット１４、吸引ペレット１５とそれぞれ同様の構造を有している。
【００７９】
ただし、第２の実施形態による浮上用エアプレート３０は、噴出ペレット３４と吸引ペレット３５の双方ともに、支持面３１ａを形成するトッププレート３１に挿入される点で、第１の実施形態のものと異なっている。
【００８０】
図１０を参照すると、浮上用エアプレート３０は、トッププレート３１、気体経路プレート３２、ボトムプレート３３、噴出ペレット３４、および吸引ペレット３５を有している。
【００８１】
トッププレート３１は、第１の実施形態のトッププレート１１と同様に、複数の噴出孔３７と複数の吸引孔３８が交互に配置された有孔板状部材である。トッププレート３１の開放側表面が支持面３１ａを構成する。
【００８２】
噴出孔３７は、第１の実施形態の噴出孔１７と同様に、支持面３１ａ側と裏面３１ｂ側とで内径寸法の異なる貫通穴であり、支持面３１ａ側に裏面３１ｂ側に設置された孔より内径寸法の小さい小径孔部３７ｂと裏面３１ｂ側に小径孔部３７ｂに連接し小径孔部３７ｂより内径寸法の大きな大径孔部３７ａとからなる段付き孔構造となっており、その内径の大きな大径孔部３７ａに噴出ペレット３４が挿入されている。
【００８３】
すなわち、トッププレート３１は、噴出ペレット３４の外径と一致するかまたは僅かに小さい内径の大径孔部３７ａを有する裏面３１ｂ側の有孔板状部３１ｃと、噴出ペレット３４の外径よりも小さい内径の小径孔部３７ｂを有する支持面３１ａ側の有孔板状部３１ｄとからなっている。
【００８４】
噴出孔３７の大径孔部３７ａに噴出ペレット３４が圧入されることで、噴出孔３７の大径孔部３７ａの内周面３７ａ１と噴出ペレット３４の外周面３４ｃ１間は封止される。また、噴出ペレット３４の上部側端面３４ｃａ側から下部側端面３４ｃｂ側までの軸心方向の長さとトッププレート３１の大径孔部３７ａの長さとは一致している。そのため、トッププレート３１に噴出ペレット３４を挿入し、トッププレート３１の裏面３１ｂに気体経路プレート３２の表面３２ａを密接させると、噴出ペレット３４の軸心方向である厚さ方向の動きが規制され、安定する。
【００８５】
また、本実施形態のトッププレート３１にある吸引孔３８は、上述した噴出孔３７と同様に、支持面３１ａ側の内径が裏面３１ｂ側の内径よりも小さい段付き孔となっている。そして第１の実施形態とは異なり、トッププレート３１の吸引孔３８の大径孔部３８ａに吸引ペレット３５が挿入されている。吸引孔３８の大径孔部３８ａに吸引ペレット３５が圧入されることで、吸引孔３８の大径孔部３８ａの内周面３８ａ１と吸引ペレット３５の外周面３５ｃ１の間が封止される。
【００８６】
本第２の実施形態の気体経路プレート３２は、第１の実施形態の気体経路プレート１２と同様に、表面３２ａをトッププレート３１の裏面３１ｂに密接させて設置される。
【００８７】
気体経路プレート３２の表面３２ａには、トッププレート３１の複数の噴出孔３７を互いに接続する給気溝３９が網目状に形成されている。更に、気体経路プレート３２には、所定の位置で、給気溝３９と連通し、裏面３２ｂまで貫通する給気孔（不図示）が設けられている。
【００８８】
また、気体経路プレート３２には、トッププレート３１の各吸引孔３８と連通する位置で表面３２ａから裏面３２ｂまで貫通する複数の吸引孔４１が設けられている。更に、気体経路プレート３２の裏面３２ｂには、複数の吸引孔４１を互いに連通させる吸引溝４０が網目状に形成されている。
【００８９】
なお、給気溝３９または吸引溝４０のいずれか一方または両方は、第１の実施形態の吸引溝２２と同様に、複数に分割されていてもよい。
【００９０】
ボトムプレート３３は、表面３３ａを気体経路プレート３２の裏面３２ｂに密接させて設置される。ボトムプレート３３には、気体経路プレート３２の給気溝３９に気体を供給するための給気口（不図示）が給気溝３９と連通する所定位置に貫通した状態で設置されている。また、ボトムプレート３３には、吸引溝４０から気体を吸引するための吸引口（不図示）が吸引溝４０と連通する所定位置に貫通した状態で設置されている。給気口にはポンプが接続され、吸引口には真空ポンプが接続される。
【００９１】
なお、本実施形態の噴出ペレット３４は、図６に示した第１の実施形態のものと、形状、構造、および大きさが同じであるとする。
【００９２】
また、本実施形態の噴出ペレット３４のオリフィス流路の形状、構造、および大きさも、図９に示した第１の実施形態のものと同じであるとする。すなわち、オリフィス流路の一部が、所定の断面積および長さにより流路抵抗を規定する抵抗部となっている。
【００９３】
図１１は、噴出ペレット３４が取り付けられたトッププレート３１の噴出孔３７の内部における気体の流れを示す図である。
【００９４】
第１の実施形態と同じように、トッププレート３１が内径寸法が異なる噴出孔３７の大径孔部３７ａと小径孔部３７ｂをそれぞれ有する２つの有孔板状部３１ｄ、３１ｃで構成されているため、トッププレート３１の噴出孔３７は段付き孔となっており、その段付き構成により、中心軸３４ｄから所定距離以上離れた位置に設けられた、噴出ペレット３４の噴出口３４ｂａに対向する位置に気体流対向面３１ｅが構成されている。
【００９５】
トッププレート３１の裏面３１ｂ側から噴出孔３７に気体が供給されると、気体は、噴出ペレット３４の抵抗板３４ａを貫通しているオリフィス流路３４ｂを通過することにより絞られる。オリフィス流路３４ｂの噴出口３４ｂａの対向対抗する上方に気体流対向面３１ｅがあるので、気体流はその気体流対向面３１ｅによって拡散される。拡散された気体流は噴出孔３７の小径孔部３７ｂを通って支持面３１ａの上方に噴出する。
【００９６】
本第２の実施形態によっても、第１の実施形態と同様、オリフィス流路３４ｂによって所望値の流路抵抗が与えられた気体流が気体流対向面３１ｅによって拡散された後に圧縮気体層に供給されるので、流路抵抗によって圧縮気体層に所望の剛性、すなわち均一な速度と圧力を与えるとともに、気体流対向面３１ｅでガラス基板９９へ与えるストレスを緩和することが可能となっている。
【００９７】
（第３の実施形態）
【００９８】
図１２は、第３の実施形態による浮上用エアプレートの概略的な断面図である。第３の実施形態による浮上用エアプレート５０は、第２の実施形態のものと同様に、支持面５１ａを有し、ガラス基板９９と支持面５１ａとの間に圧縮気体層を形成し、ガラス基板９９を支持面５１ａから浮上させた非接触状態で支持するプレートである。噴出ペレット３４および吸引ペレット３５が同一のプレートに挿入される点も第２の実施形態と共通している。
【００９９】
ただし、第３の実施形態による浮上用エアプレート５０は、第２の実施形態におけるトッププレート３１に相当する部分が、第２の実施形態とは異なり、トッププレート５１とペレット装着プレート５２という２つの部材で構成されている。つまり、第２の実施形態のトッププレート３１における噴出ペレット３４の外径と一致するかまたは僅かに小さい内径の噴出孔３７を具備した裏面３１ｂ側の有孔板状部３１ｃと、噴出ペレット３４の外径よりも小さい内径の噴出孔３７を具備した支持面３１ａ側の有孔板状部３１ｄとが、第３の実施形態では、それぞれ別個の部材であるトッププレート５１と装着プレート５２とからなっている。
【０１００】
トッププレート５１の裏面５１ｂとペレット装着プレート５２の表面５２ａとを密接させると、トッププレート５１の小径孔部５３とペレット装着プレート５２の大径孔部５４とが連通し、第２の実施形態の噴出孔３７に相当する段付き孔が構成される。噴出ペレット３４は、ペレット装着プレート５２の大径孔部５４に装着される。
【０１０１】
吸引孔としても、トッププレート５１とペレット装着プレート５２が密接されると、第２の実施形態における吸引孔３８と同じ構成の段付き孔が形成され、そこに吸引ペレット３５が装着される。
【０１０２】
なお、本実施形態では、一例として、ペレット装着プレート５２の厚さと、噴出ペレット３４の厚さと、吸引ペレット３５の厚さが全て一致する。そのため、ペレット装着プレート５２に噴出ペレット３４および吸引ペレット３５を装着し、トッププレート５１、ペレット装着プレート５２、および気体経路プレート３２を互いに固定すると、気体流による圧力が加わる方向が逆である噴出ペレット３４と吸引ペレット３５の両方を同時に軸心方向である厚さ方向の動きを規制でき、安定させることができる。
【０１０３】
図１３は、噴出ペレット３４が取り付けられたペレット装着プレート５２とトッププレート５１の内部における気体の流れを示す図である。
【０１０４】
トッププレート５１の小径孔部５３およびペレット装着プレート５２の大径孔部５４で構成された段付き孔の段部境界部により、中心軸３４ｄから所定距離だけ離れた位置に設けられた、噴出ペレット３４の噴出口３４ｂａに対向する気体流対向面５１ｃが形成されている。
【０１０５】
ペレット装着プレート５２の裏面５２ｂ側から大径孔部５４に圧縮気体が供給されると、この圧縮気体は、噴出ペレット３４のオリフィス流路３４ｂで絞られる。オリフィス流路３４ｂの噴出口３４ｂａの上方に気体流対向面５１ｃがあるので、オリフィス流路３４ｂで絞られた気体流はその気体流対向面５１ｃによって拡散される。拡散された気体流は小径孔部５３を通って支持面５１ａの上方に噴出する。
【０１０６】
（第４の実施形態）
【０１０７】
図１４は、第４の実施形態による浮上用エアプレートの噴出ペレット近傍の概略的な断面図である。本実施形態による浮上用エアプレートは、第３の実施形態の浮上用エアプレート５０とはペレット形状だけが異なっている。本実施形態のペレットはペレットの外周面を一周する突起を設けることで封止を実現する。噴出ペレットおよび吸引ペレットの両方とも第３の実施形態のものとは異なるが、どちらも同じ封止構造なので、ここでは噴出ペレット６１のみについて説明することにする。
【０１０８】
図１４を参照すると、噴出ペレット６１は、抵抗板６１ａ、管状部６１ｃ、および封止部６１ｄを有している。抵抗板６１ａには板厚方向に貫通した複数のオリフィス流路６１ｂが形成されている。
【０１０９】
オリフィス流路６１ｂの位置、形状、大きさ、個数は、一例として、図６および図９に示した第１の実施形態のものと同じである。
【０１１０】
噴出ペレット６１の管状部６１ｃの外周面６１ｃａの径は、ペレット装着プレート５２の大径孔部５４の内径よりも小さくなっている。管状部６１ｃの外周面６１ｃａには、噴出ペレット６１を一周する周状突起である封止部６１ｄが一体的に設けられている。封止部６１ｄの頂点での外径寸法は、ペレット装着プレート５２の大径孔部５４内径寸法よりも僅かに大きくなっており、噴出ペレット６１をペレット装着プレート５２の大径孔部５４に挿入すると、封止部６１ｄが大径孔部５４の内周面に当接し、噴出ペレット６１の管状部６１ｃの外周面６１ｃａと大径孔部５４の内周面５４ａとの間を封止する。
【０１１１】
そのため、気体流が噴出ペレット６１のオリフィス流路６１ｂを通らずに、支持面５１ａ上の圧縮気体層に漏れるのを防止することができる。それとともに、管状部６１ｃの外径寸法自体が大径孔部５４の内径寸法よりも小さいので、第１の実施形態と比べると、噴出ペレット６１を大径孔部５４に弱い力で圧入することが可能となる。このため、ペレット装着プレート５２の反りの原因となりうる、噴出ペレット６１を挿入するときに大径孔部５４を押し広げようとする力が低減されている。
【０１１２】
また、封止部６１ｄは、管状部６１ｃの外周面６１ｃａのどの位置に設置しても、目的を達成することは可能であるが、特に、本実施形態のように、噴出ペレット６１の軸心方向である高さ方向の中央近傍すなわちペレット装着プレート５２の厚さ方向の中央近傍で大径孔部５４の内周面に当接させると、ペレット装着プレート５２の表面５２ａ側と裏５２ｂ側とで大径孔部５４を広げようとする力の片寄りが小さく、ペレット装着プレート５２の反りの原因を低減させることができる。
また、本実施形態では、封止部６１ｄを１個設置しているが、複数個設置することも可能である。
【０１１３】
以上説明したように、本実施形態によれば、支持用エアプレートは、
気体流が前記気体流抵抗器内の前記噴出口を通らずに前記圧縮気体層に漏れるのを防止するための封止部を有するものとなっている。
【０１１４】
また、本実施形態の支持用エアプレートでは、
前記封止部は、前記気体流抵抗器の前記第１気体供給孔の内周面と対面する外周面に設けられた周状突起であり、
前記気体流抵抗器が前記第１気体供給孔に取り付けられると、前記周状突起が前記第１気体供給孔の内周面に当接する、ものである。
【０１１５】
また、本実施形態の支持用エアプレートでは、
前記周状突起は、前記第１有孔板状部の厚さ方向の中央近傍で前記第１気体供給孔の前記内周面に当接する、ものである。
【０１１６】
また、本実施形態の気体流抵抗器は、
気体流が前記気体流抵抗器内の前記噴出口を通らずに前記圧縮気体層に漏れるのを防止するための封止部を有する、ものとなっている。
【０１１７】
また、本実施形態の気体流抵抗器では、
前記封止部は、前記管状部の外周面を連続して一周する周状突起である。
【０１１８】
（第５の実施形態）
【０１１９】
図１５は、第５の実施形態による浮上用エアプレートの噴出ペレット近傍の概略的な断面図である。本実施形態の浮上用エアプレートは、第３の実施形態とはペレットだけが異なっている。本実施形態のペレットは、第４の実施形態のペレットと同様に封止のための構造を備えている。しかし、その構造は第３の実施形態のものとは異なっている。
【０１２０】
本実施形態のペレットは、管状部７１ｃの両端面をなす上部側端面７１ｃａおよび下部側端面７１ｃｂに設けた環状の突起で封止を実現するものである。なお、本実施形態の噴出ペレットと吸引ペレットは封止の構造が同じであるため、ここでは噴出ペレットのみについて説明することにする。
【０１２１】
図１５を参照すると、噴出ペレット７１は、抵抗板７１ａ、管状部７１ｃ、および封止部７１ｄ１、７１ｄ２を有している。抵抗板７１ａには、板厚方向に貫通している複数のオリフィス流路７１ｂが形成されている。
【０１２２】
オリフィス流路７１ｂの位置、形状、大きさ、個数は、一例として、図６および図９に示した第１の実施形態のものと同じである。
【０１２３】
噴出ペレット７１の管状部７１ｃの外径寸法は、ペレット装着プレート５２の大径孔部５４の内径寸法よりも小さくなっている。管状部７１ｃの軸心方向の厚さ７１ｃｃは、ペレット装着プレート５２の厚さ５２ｃと一致、あるいは僅かに小さくなっている。
【０１２４】
封止部７１ｄ１は、管状部７１ｃの上部側端面７１ｃａ（支持面側端面）に一体的に設けられた環状の突起（環状突起）である。封止部７１ｄ２は、管状部７１ｃの下部側端面７１ｃｂ（逆側端面）に一体的に設けられた環状の突起である。管状部７１ｃの軸心方向の厚さ７１ｃｃと、封止部７１ｄ１の高さ７１ｄ１ａと、封止部７１ｄ２の高さ７１ｄ２ａとの合計は、ペレット装着プレート５２の厚さ５２ｃより僅かに大きくなっている。そのため、噴出ペレット７１をペレット装着プレート５２に挿入し、トッププレート５１の裏面５１ｂとペレット装着プレート５２の表面５２ａを密接させ、ペレット装着プレート５２の裏面５２ｂと気体経路プレート３２（平板）の表面３２ａを密接させて固定すると、封止部７１ｄ１がトッププレート５１の裏面５１ｂに当接し、封止部７１ｄ２が気体経路プレート３２の表面３２ａと当接する。これにより、噴出ペレット７１の上部側端面７１ｃａおよび下部側端面７１ｃｂでの気体の漏れを防止する封止が実現される。
【０１２５】
なお、本実施形態では、噴出ペレット７１の上部側端面７１ｃａと下部側端面７１ｃｂの両方に封止部７１ｄ１、７１ｄ２を設ける例を示したが、本発明がこれに限定されることはない。噴出ペレット７１の上部側端面７１ｃａと下部側端面７１ｃｂのいずれか一方の端面のみに封止部を設けることにしてもよい。いずれか一方だけを封止すれば、オリフィス流路７１ｂを通らずに圧縮気体層に気体が漏れるのを防止することは可能である。
【０１２６】
以上説明したように、本実施形態によれば、支持用エアプレートは、
前記第１有孔板状部の前記支持面側の逆側にある面に隣接して設置され、前記第１有孔板状部の前記第１気体供給孔に取り付けられた前記気体流抵抗器に気体を供給する気体供給路を形成する平板を有し、
前記封止部は、前記気体流抵抗器の前記支持面側端面および前記支持面の逆側端面の少なくともいずれか一方に設けられた環状突起であり、前記気体流抵抗器が前記第１気体供給孔に挿入され、前記平板が前記第１有孔板状部に密接して設置されると、少なくとも前記支持面側端面の環状突起が前記気体流対向面に当接する、または少なくとも前記支持面の逆側端面の環状突起が前記平板に当接する、ものとなっている。
【０１２７】
また、本実施形態の気体流抵抗器では、
前記封止部は、前記管状部のいずれか一方または両方の端面に環状に設けられた環状突起である。
【０１２８】
（第６の実施形態）
【０１２９】
図１６は、第６の実施形態による浮上用エアプレートの概略的な断面図である。第６の実施形態による浮上用エアプレート８０は、ペレットを装着する部分が支持面を提供する部材と一体である点では第２の実施形態と共通する。また、本実施形態による浮上用エアプレート８０は、噴出ペレット７１の上部側端面７１ｃａと下部側端面７１ｃｂにそれぞれ封止用の環状突起７１ｄ１と環状突起７１ｄ２が設けてあり、吸引ペレット７２の上部側端面７２ｃａと下部側端面７２ｃｂにそれぞれ封止用の環状突起７２ｄ１と環状突起７２ｄ２が設けてある点では第５の実施形態と共通する。ただし、更にＯリング（環状封止部材）による封止が追加されている点において、第２、５の実施形態のいずれとも異なる。
【０１３０】
図１６を参照すると、浮上用エアプレート８０は、トッププレート８１、気体経路プレート３２、ボトムプレート３３、噴出ペレット７１、吸引ペレット７２、およびＯリング８２を有している。
【０１３１】
噴出ペレット７１は、第５の実施形態において説明したものと同じものである。また、吸引ペレット７２は、基本的には噴出ペレット７１と同様のものである。ただし、オリフィス流路の位置、形状、寸法、個数などは、適宜異なるものを選択してもよい。
【０１３２】
本実施形態の支持面８１ａを提供するトッププレート８１は、第２の実施形態のトッププレート３１と類似しているが、裏面８１ｂ側にある噴出孔８３を囲む縁の部分（裏面端部あるいは逆側端部）に座ぐり部８１ｃが形成されている点で第２の実施形態のものと異なっている。すなわち、トッププレート８１の噴出孔８３の裏面８３ｂ側の縁が階段状になっている。
【０１３３】
そして、この座ぐり部８１ｃによって、トッププレート８１と噴出ペレット７１と気体経路プレート３２とで囲まれる空間が形成される。その空間に、ゴム製のＯリング８２が配置されている。Ｏリング８２は、トッププレート８１、噴出ペレット７１、および気体経路プレート３２の全てに当接して変形し、気体の漏れを防止する封止を実現する。
【０１３４】
また、トッププレート８１の吸引孔８４にも裏面８１ｂ側端部に座ぐり部８４ａが形成されている。すなわち、トッププレート８１の吸引孔８４の裏面８１ｂ側の縁も階段状になっている。そして、この座ぐり部８４ａによって形成されるトッププレート８１と吸引ペレット７２と気体経路プレート３２とで囲まれる空間には、やはり、Ｏリング８２が配置されている。
【０１３５】
なお、本実施形態では、噴出ペレット７１の管状部７１ｃの上部側端面７１ｃａおよび下部側端面７１ｃｂならびに吸引ペレット７２の管状部７２ｃの上部側端面７２ｃａおよび下部側端面７２ｃｂに設けられたそれぞれの環状突起による封止部７１ｄ１、７１ｄ２、および７２ｄ１、７２ｄによる封止に加えて、Ｏリング８２による封止を追加的に備える例を示したが、本発明がこれに限定されることはない。他の例として、第２の実施形態の噴出ペレット３４および吸引ペレット３５と同様のペレットを採用し、本実施形態のＯリングによって封止を実現することにしてもよい。
【０１３６】
また、本実施形態では、トッププレート８１の噴出孔８３の裏面８１ｂ側端部に設けた座ぐり部８１ｃにＯリング８２を配置する例を示した。この構成は、トッププレート８１に対する簡単な加工でＯリング８２を配置する空間を形成できる点でメリットがあるが、必ずしも本発明がこれに限定されることを意味するものではない。他のいかなる構成を採用してＯリング８２を配置する空間を確保することにしてもよい。
【０１３７】
以上説明したように、本実施形態の支持用エアプレートでは、
前記第１有孔板状部は、前記第１気体供給孔の前記支持面の逆側端部に座ぐり部を有し、
前記封止部は環状封止部材であり、
前記環状封止部材が前記座ぐり部に配置される。
【０１３８】
上述した各実施形態では、ガラスを水平に浮上させて支持する浮上用エアプレートを例に説明を行ったが、本発明がこれらに限定されることはない。他の例として、ガラスを垂直に支持する支持用エアプレートは、所定の角度に保って支持する支持用エアプレートにも本発明を適用することができる。
【０１３９】
また、上述した本発明の各実施形態は、本発明の説明のための例示であり、本発明の範囲をそれらの実施形態にのみ限定する趣旨ではない。当業者は、本発明の要旨を逸脱することなしに、他の様々な態様で本発明を実施することができる。
【符号の説明】
【０１４０】
１０…浮上用エアプレート、１１…トッププレート、１１ａ…支持面、１１ｂ…裏面、１１ｃ…有孔板状部、１１ｄ…有孔板状部、１１ｅ…気体流対向面、１２…気体経路プレート、１２ａ…表面、１２ｂ…裏面、１３…ボトムプレート、１３ａ…表面、１３ｂ…裏面、１４…噴出ペレット、１４ａ…抵抗板、１４ａａ…裏面、１４ａｂ…表面、１４ｂ…オリフィス流路、１４ｂａ…噴出口、１４ｂｂ…抵抗部連結部、１４ｂｃ…表面側端面部、１４ｂＲ１…第１抵抗部、１４ｂＲ２…第２抵抗部、１４ｃ…管状部、１４ｃａ…上部側端面、１４ｃｂ…下部側端面、１４ｄ…中心軸、１４ｅ…外径、１４ｆ…外周面、１５…吸引ペレット、１５ａ…オリフィス流路、１７…噴出孔、１７ａ…大径孔部、１７ａａ…内周面、１７ｂ…小径孔部、１７ｃ…内径、１８…吸引孔、１８ａ…大径孔部、１８ｂ…小径孔部、１９…給気孔、２０…吸引孔、２０ａ…大径孔部、２０ｂ…小径孔部、２１…給気溝、２１ａ…開口面、２２…吸引溝、２２ａ…開口面、２３…給気口、２４…吸引口、３０…浮上用エアプレート、３１…トッププレート、３１ａ…支持面、３１ｂ…裏面、３１ｃ…有孔板状部、３１ｄ…有孔板状部、３１ｅ…気体流対向面、３２…気体経路プレート、３２ａ…表面、３２ｂ…裏面、３３…ボトムプレート、３３ａ…表面、３４…噴出ペレット、３４ａ…抵抗板、３４ｂ…オリフィス流路、３４ｂａ…噴出口、３４ｃ１…外周面、３４ｃａ…上部側端面、３４ｃｂ…下部側端面、３４ｄ…中心軸、３５…吸引ペレット、３５ｃ１…外周面、３７…噴出孔、３７ａ…大径孔部、３７ａ１…内周面、３７ｂ…小径孔部、３８…吸引孔、３８ａ…大径孔部、３８ａ１…外周面、３９…給気溝、４０…吸引溝、４１…吸引孔、５０…浮上用エアプレート、５１…トッププレート、５１ａ…支持面、５１ｂ…裏面、５１ｃ…気体流対向面、５２…ペレット装着プレート、５２ａ…表面、５２ｂ…裏面、５２ｃ…厚さ、５３…小径孔部、５４…大径孔部、５４ａ…内周面、６１…噴出ペレット、６１ａ…抵抗板、６１ｂ…オリフィス流路、６１ｃ…管状部、６１ｃａ…外周面、６１ｄ…封止部、７１…噴出ペレット、７１ｄ１…封止部、７１ｄ１ａ…高さ、７１ｄ２…封止部、７１ｄ２ａ…高さ、７１ａ…抵抗板、７１ｂ…オリフィス流路、７１ｃ…管状部、７１ｃａ…上部側端面、７１ｃｂ…下部側端面、７１ｃｃ…厚さ、７２…吸引ペレット、７２ｃａ…上部側端面、７２ｃｂ…下部側端面、８０…浮上用エアプレート、８１…トッププレート、８１ａ…支持面、８１ｂ…裏面、８１ｃ…座ぐり部、８２…Ｏリング、８３…噴出孔、８３ｂ…裏面、８４…吸引孔、８４ａ…座ぐり部、９９…ガラス基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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