(57)【要約】【課題】パーツ搬送動作を従来の装置に比べて高速化するとともにパーツ搬送装置を従来の装置に比べてより一層小型化する。【解決手段】パーツトレイ５００が載置されるパーツトレイ載置ステージ４００と、ｚ軸に沿った軸を中心に旋回可能で、かつ、ｚ軸に沿った方向に昇降可能なアーム群２１０及びアーム群２１０の先端部側に取り付けられ、パーツトレイ５００に収納されているパーツＰの保持及び解除が可能なパーツ保持部２２１が設けられているパーツ保持ヘッド２２０を有する多関節アームロボット装置２００と、パーツ保持部２２１が保持しているパーツの載置対象となる基板３１０を載置した状態で、ｚ軸に直交する平面上を直線移動可能な基板載置ステージ３００とを備え、パーツトレイ載置ステージ４００、多関節アームロボット装置２００のアーム群２１０及び基板載置ステージ３００は、ｚ軸に沿ってそれぞれ所定間隔を置いて積層配置されている。【選択図】図１
2014135460.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のパーツを収納可能なパーツトレイが載置されるパーツトレイ載置ステージと、
ｚ軸に沿った軸を中心に旋回可能で、かつ、前記ｚ軸に沿った方向に昇降可能なアーム群及び前記アーム群の先端部側に取り付けられ、前記パーツトレイに収納されているパーツの保持及び保持解除が可能なパーツ保持部が設けられているパーツ保持ヘッドを有する多関節アームロボット装置と、
前記パーツ保持部が保持しているパーツの載置対象となる基板を載置した状態で、前記ｚ軸に直交する平面上を直線移動可能な基板載置ステージと、
前記多関節アームロボット装置及び前記基板載置ステージを制御するパーツ搬送制御装置と、
を備え、
前記パーツトレイ載置ステージ、前記多関節アームロボット装置の前記アーム群及び前記基板載置ステージは、前記ｚ軸に沿って、それぞれ所定間隔を置いて積層配置されていることを特徴とするパーツ搬送装置。
【請求項２】
請求項１に記載のパーツ搬送装置において、
前記パーツトレイ載置ステージ、前記多関節アームロボット装置の前記アーム群及び前記基板載置ステージは、前記ｚ軸に沿って下から前記基板載置ステージ、前記パーツトレイ載置ステージ及び前記多関節アームロボット装置の前記アーム群の順でそれぞれが所定間隔を置いて積層配置されていることを特徴とするパーツ搬送装置。
【請求項３】
請求項２に記載のパーツ搬送装置において、
前記基板載置ステージ、前記パーツトレイ載置ステージ及び前記多関節アームロボット装置の前記アーム群を前記ｚ軸に沿って平面視したときに、前記アーム群における後端部側回転軸が、前記基板載置ステージの移動方向と直交する当該基板載置ステージの幅方向において前記基板載置ステージから外れない位置に存在するように配置されていることを特徴とするパーツ搬送装置。
【請求項４】
請求項２又は３に記載のパーツ搬送装置において、
前記パーツ搬送制御装置は、
前記基板載置ステージに載置されている前記基板が、前記パーツトレイ載置ステージから所定量だけ露出するように前記基板載置ステージを制御する機能と、
前記パーツトレイ載置ステージから露出している前記基板における複数のパーツ載置位置のうちの所定のパーツ載置位置に、前記パーツ保持部が保持しているパーツを載置するように前記多関節アームロボット装置を制御する機能と、を有することを特徴とするパーツ搬送装置。
【請求項５】
請求項４に記載のパーツ搬送装置において、
前記パーツトレイに収納されている複数のパーツを一括して撮像して、その撮像画像データを出力する第１撮像装置をさらに備え、
前記パーツ搬送制御装置は、前記第１撮像装置から出力される撮像画像データに基づいて、前記パーツトレイに収納されている複数のパーツの存在位置を示す位置情報を一括して取得することを特徴とするパーツ搬送装置。
【請求項６】
請求項４に記載のパーツ搬送装置において、
前記基板が前記パーツトレイ載置ステージから所定量だけ露出しているときの当該基板の露出している領域を一括して撮像して、その撮像画像データを出力する第１撮像装置をさらに備え、
前記パーツ搬送制御装置は、前記第１撮像装置から出力される撮像画像データに基づいて、前記基板の露出している領域における複数のパーツ載置位置を示す位置情報を一括して取得することを特徴とするパーツ搬送装置。
【請求項７】
請求項４に記載のパーツ搬送装置において、
前記パーツトレイに収納されている複数のパーツを一括して撮像するとともに、前記基板が前記パーツトレイ載置ステージから所定量だけ露出しているときの当該基板の露出している領域を一括して撮像して、その撮像画像データを出力する第１撮像装置をさらに備え、
前記パーツ搬送制御装置は、前記第１撮像装置から出力される撮像画像データに基づいて、前記パーツトレイに収納されている複数のパーツの存在位置を示す位置情報と前記基板の露出している領域における複数のパーツ載置位置を示す位置情報とを一括して取得することを特徴とするパーツ搬送装置。
【請求項８】
請求項４〜７のいずれかに記載のパーツ搬送装置において、
前記パーツ保持ヘッドに設けられ、前記パーツトレイに収納されている複数のパーツのうちの前記パーツ保持部に保持させるパーツを撮像して、その撮像画像データをパーツ撮像画像データとして出力するとともに、前記パーツ保持部が前記パーツを保持したのちに前記パーツ保持部が保持しているパーツを前記基板に載置する際に、前記基板における複数のパーツ載置位置のうちの所定のパーツ載置位置を撮像して、その撮像画像データを載置位置撮像画像データとして出力する第２撮像装置をさらに備え、
前記パーツ搬送制御装置は、前記第２撮像装置から出力されるパーツ撮像画像データに基づいて、前記パーツ保持部に保持させるパーツを保持するように前記多関節アームロボット装置を制御するとともに、前記パーツ保持部が前記パーツを保持したのちに、前記載置位置撮像画像データに基づいて、前記所定のパーツ載置位置に、前記パーツ保持部が保持しているパーツを載置するように前記多関節アームロボット装置を制御することを特徴とするパーツ搬送装置。
【請求項９】
請求項８に記載のパーツ搬送装置において、
前記アーム群の規定長さに対する伸縮量を検出するための基準点をさらに備え、
前記第２撮像装置は、前記基準点を撮像して、その撮像画像データを基準点撮像画像データとして出力可能であり、
前記パーツ搬送制御装置は、前記基準点撮像画像データに基づいて、前記アーム群の規定長さに対する伸縮量を検出し、検出した伸縮量を考慮して前記多関節アームロボット装置を制御することを特徴とするパーツ搬送装置。
【請求項１０】
請求項４〜７のいずれかに記載のパーツ搬送装置において、
前記基板載置ステージの近傍に設けられ、前記パーツ保持部が保持しているパーツを撮像して、その撮像画像データを出力する第３撮像装置をさらに備え、
前記パーツ搬送制御装置は、前記第３撮像装置から出力される撮像画像データに基づいて、前記基板におけるパーツ載置位置のうちの前記所定のパーツ載置位置に、前記パーツ保持部が保持しているパーツを載置するように前記多関節アームロボット装置を制御することを特徴とするパーツ搬送装置。
【請求項１１】
請求項４〜７のいずれかに記載のパーツ搬送装置において、
前記アーム群の規定の長さに対する伸縮量を検出するための基準点と、当該基準点を撮像して、その撮像画像データを基準点撮像画像データとして出力可能な第４撮像装置をさらに備え、
前記パーツ搬送制御装置は、前記基準点撮像画像データに基づいて、前記アーム群の規定の長さに対する伸縮量を検出し、検出した伸縮量を考慮して前記多関節アームロボット装置を制御することを特徴とするパーツ搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、パーツ搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
所定位置に存在するパーツを多関節アームロボット装置によって搬送して基板に載置するパーツ搬送装置は従来から種々提案されている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
図４は、従来のパーツ搬送装置９００を説明するために示す図である。なお、図４に示すパーツ搬送装置９００は、特許文献１に記載されている補強板貼り付け装置を示すものである。特許文献１に記載されている補強板貼り付け装置は、パーツとしての補強板を搬送して基板に張り付ける場合について説明されているが、補強板のみならず、電子部品などのパーツを搬送して基板に載置するパーツ搬送装置としても使用可能であるため、ここでは、広い意味で「パーツ搬送装置９００」として説明する。このため、ここでは、補強板を「パーツ」と表記する。
【０００４】
従来のパーツ搬送装置９００は、図４に示すように、パーツ９１０を配置するパーツ配置台９２０と、基板９３０を配置する基板配置台９４０と、パーツ配置台９２０と基板配置台９４０との間に配置され、パーツ配置台９２０に配置されているパーツ９１０を基板配置台９４０に配置されている基板９３０上に載置するための多関節アームロボット装置９５０とを有する。これら、パーツ配置台９２０、基板配置台９４０及び多関節アームロボット装置９５０は基台テーブル９６０上に設置されている。
【０００５】
パーツ搬送装置９００がこのような構成となっているため、多関節アームロボット装置９５０を２次元直交座標上のｘ軸に沿った方向及びｙ軸に沿った方向に移動させることなく、多関節アームロボット装置９５０のアーム部（第１アーム９５１及び第２アーム９５２）の旋回動作のみで、パーツ配置台９２０に配置されているパーツ９１０を基板配置台９４０に配置されている基板９３０上に載置することができる。それによって、多関節アームロボット装置９５０を２次元直交座標上のｘ軸に沿った方向及びｙ軸に沿った方向に移動させる構造のものに比べて装置全体の小型化が可能となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１１−２５１４５３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、従来のパーツ搬送装置９００においては、多関節アームロボット装置９５０がパーツ配置台９２０と基板配置台９４０との間に配置されている構成となっていて、パーツ配置台９２０に配置されているパーツ９１０を、基板配置台９４０に配置されている基板９３０上に載置するように動作するものである。このため、多関節アームロボット装置９５０におけるアーム部（第１アーム９５１及び第２アーム９５２）の旋回角度が１８０度以上必要である。このように、従来のパーツ搬送装置９００は、多関節アームロボット装置９５０におけるアーム部の旋回角度が大きいことから、パーツの搬送動作をより一層高速化しようとする場合には課題が残る。
【０００８】
また、従来のパーツ搬送装置９００は、多関節アームロボット装置９５０がパーツ配置台９２０と基板配置台９４０との間に配置されている構成となっていることから、パーツ配置台９２０及び基板配置台９４０を設置するための基台テーブル９６０の幅Ｗの寸法を大きくとる必要がある。
【０００９】
特に、補強板貼り付け装置９００が、図４におけるｘ軸に沿った方向に基板９３０を搬送するための搬送路（図示せず。）を備えるような構成となっている場合には、多関節アームロボット装置９５０、補強板配置台９２０及び基板配置台９４０を設置するための基台テーブル９６０の幅Ｗを搬送路の幅（基板９３０の進行方向に直交する方向の幅）よりも大きく取る必要がある。このため、補強板貼り付け装置９００は、基板９３０の進行方向（ｘ軸に沿った方向）に直交する方向（ｙ軸に沿った方向）において、基台テーブル９６０が搬送路から出っ張りを有するものとなり、装置全体を小型化する上での支障となる。
【００１０】
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、パーツ搬送動作を従来の装置に比べて高速化することができるとともに、パーツ搬送装置を従来の装置に比べてより一層小型化することができるパーツ搬送装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
［１］本発明パーツ搬送装置は、複数のパーツを収納可能なパーツトレイが載置されるパーツトレイ載置ステージと、ｚ軸に沿った軸を中心に旋回可能で、かつ、前記ｚ軸に沿った方向に昇降可能なアーム群及び前記アーム群の先端部側に取り付けられ、前記パーツトレイに収納されているパーツの保持及び保持解除が可能なパーツ保持部が設けられているパーツ保持ヘッドを有する多関節アームロボット装置と、前記パーツ保持部が保持しているパーツの載置対象となる基板を載置した状態で、前記ｚ軸に直交する平面上を直線移動可能な基板載置ステージと、前記多関節アームロボット装置及び前記基板載置ステージを制御するパーツ搬送制御装置と、を備え、前記パーツトレイ載置ステージ、前記多関節アームロボット装置の前記アーム群及び前記基板載置ステージは、前記ｚ軸に沿って、それぞれ所定間隔を置いて積層配置されていることを特徴とする。
【００１２】
本発明のパーツ搬送装置によれば、パーツトレイ載置ステージ、多関節アームロボット装置の前記アーム群及び基板載置ステージが、ｚ軸に沿って、それぞれ所定間隔を置いて積層配置されている。このため、多関節アームロボット装置は、アーム群の旋回動作が小さな角度で済み、パーツ搬送動作を効率よく行うことができ、パーツ搬送動作を従来の装置に比べて高速化することがきるとともに、パーツ搬送装置を従来の装置に比べてより一層小型化することができる。
【００１３】
［２］本発明パーツ搬送装置においては、前記パーツトレイ載置ステージ、前記多関節アームロボット装置の前記アーム群及び前記基板載置ステージは、前記ｚ軸に沿って下から前記基板載置ステージ、前記パーツトレイ載置ステージ及び前記多関節アームロボット装置の前記アーム群の順でそれぞれが所定間隔を置いて積層配置されていることが好ましい。
【００１４】
このように、パーツトレイ載置ステージ、多関節アームロボット装置の前記アーム群及び前記基板載置ステージの積層の順番が、ｚ軸に沿って下から基板載置ステージ、パーツトレイ載置ステージ及び多関節アームロボット装置における前記アーム群の順となっていることにより、パーツトレイに収納されているパーツを基板に載置する際のアーム群の動きをより円滑にすることができ、それによって、パーツ搬送動作を効率的に行うことができる。
【００１５】
［３］本発明パーツ搬送装置においては、前記基板載置ステージ、前記パーツトレイ載置ステージ及び前記多関節アームロボット装置の前記アーム群を前記ｚ軸に沿って平面視したときに、前記アーム群における後端部側回転軸が、前記基板載置ステージの移動方向と直交する当該基板載置ステージの幅方向において前記基板載置ステージから外れない位置に存在するように配置されていることが好ましい。
【００１６】
このような配置となっているため、パーツ搬送装置の幅（基板載置ステージの移動方向に直交する方向の幅）を小さくすることができ、パーツ搬送装をスリムでコンパクトなものとすることができる。
【００１７】
［４］本発明パーツ搬送装置においては、前記パーツ搬送制御装置は、前記基板載置ステージに載置されている前記基板が、前記パーツトレイ載置ステージから所定量だけ露出するように前記基板載置ステージを制御する機能と、前記パーツトレイ載置ステージから露出している前記基板における複数のパーツ載置位置のうちの所定のパーツ載置位置に、前記パーツ保持部が保持しているパーツを載置するように前記多関節アームロボット装置を制御する機能と、を有することが好ましい。
【００１８】
パーツ搬送制御装置がこのような機能を有することにより、パーツトレイ内に収納されているパーツを多関節アームロボット装置によって効率的に基板の所定位置に載置することができる。なお、「多関節アームロボット装置を制御する」というのは、具体的には、アーム群の旋回及び昇降を制御することである。
【００１９】
［５］本発明パーツ搬送装置においては、前記パーツトレイに収納されている複数のパーツを一括して撮像して、その撮像画像データを出力する第１撮像装置をさらに備え、前記パーツ搬送制御装置は、前記第１撮像装置から出力される撮像画像データに基づいて、前記パーツトレイに収納されている複数のパーツの存在位置を示す位置情報を一括して取得することが好ましい。
【００２０】
このように、パーツトレイに収納されている複数のパーツを一括して撮像して、その撮像画像データに基づいて、パーツトレイに収納されている複数のパーの存在位置を示す位置情報を一括して取得することができることから、パーツトレイに複数のパーツを収納する際に、個々のパーツを決められた位置に整列させた状態で並べる必要がない。このため、パーツトレイにパーツを収納する操作を簡素化できる。
なお、パーツ搬送制御装置は、第１撮像装置から出力される撮像画像データに基づいて、パーツトレイに収納されている複数のパーツの存在位置を示す位置情報のみならず、複数のパーツの姿勢（向き）及び形状などを示す情報をも取得するようにしてもよい。
【００２１】
［６］本発明パーツ搬送装置においては、前記基板が前記パーツトレイ載置ステージから所定量だけ露出しているときの当該基板の露出している領域を一括して撮像して、その撮像画像データを出力する第１撮像装置をさらに備え、前記パーツ搬送制御装置は、前記第１撮像装置から出力される撮像画像データに基づいて、前記基板の露出している領域における複数のパーツ載置位置を示す位置情報を一括して取得することも好ましい。
【００２２】
このように、基板の量出している領域を一括して撮像して、その撮像画像データに基づいて、基板における複数のパーツ載置位置を示す位置情報を一括して取得することができることから、基板の露出している領域における複数のパーツ載置位置を示す位置情報を効率的に取得することができる。
【００２３】
［７］本発明パーツ搬送装置においては、前記パーツトレイに収納されている複数のパーツを一括して撮像するとともに、前記基板が前記パーツトレイ載置ステージから所定量だけ露出しているときの当該基板の露出している領域を撮像して、その撮像画像データを出力する第１撮像装置をさらに備え、前記パーツ搬送制御装置は、前記第１撮像装置から出力される撮像画像データに基づいて、前記パーツトレイに収納されている複数のパーツの存在位置を示す位置情報と前記基板の露出している領域における複数のパーツ載置位置を示す位置情報とを一括して取得することも好ましい。
【００２４】
このように、パーツトレイに収納されている複数のパーツを一括して撮像するとともに、基板の量出している領域を一括して撮像して、その撮像画像データに基づいて、パーツトレイに収納されている複数のパーツの存在位置を示す位置情報と基板の露出している領域における複数のパーツ載置位置を示す位置情報を一括して取得することができることから、パーツトレイに複数のパーツを収納する際に、個々のパーツを決められた位置に整列させた状態並べる必要がなく、パーツトレイにパーツを収納する操作を簡素化できる。また、基板の露出している領域における複数のパーツ載置位置を示す位置情報を効率的に取得することができる。
【００２５】
［８］本発明パーツ搬送装置においては、前記パーツ保持ヘッドに設けられ、前記パーツトレイに収納されている複数のパーツのうちの前記パーツ保持部に保持させるパーツを撮像して、その撮像画像データをパーツ撮像画像データとして出力するとともに、前記パーツ保持部が前記パーツを保持したのちに前記パーツ保持部が保持しているパーツを前記基板に載置する際に、前記基板における複数のパーツ載置位置のうちの所定のパーツ載置位置を撮像して、その撮像画像データを載置位置撮像画像データとして出力する第２撮像装置をさらに備え、前記パーツ搬送制御装置は、前記第２撮像装置から出力されるパーツ撮像画像データに基づいて、前記パーツ保持部に保持させるパーツを保持するように前記多関節アームロボット装置を制御するとともに、前記パーツ保持部が前記パーツを保持したのちに、前記載置位置撮像画像データに基づいて、前記所定のパーツ載置位置に、前記パーツ保持部が保持しているパーツを載置するように前記多関節アームロボット装置を制御することが好ましい。
【００２６】
このように、パーツ保持部に保持させるパーツを撮像して得られたパーツ撮像画像データと、基板における複数のパーツ載置位置のうちの所定のパーツ載置位置を撮像して得られた載置位置撮像画像データとに基づいて、多関節アームロボット装置及び基板載置ステージの制御を行うことにより、実際にパーツ搬送動作を行う際に、パーツ搬送動作を効率的かつ高精度に行うことができる。
なお、パーツ搬送制御装置は、第２撮像装置から出力される撮像画像データに基づいて、パーツトレイに収納されている複数のパーツの存在位置を示す位置情報、複数のパーツの姿勢（向き）及び形状などを示す情報を取得するようにしてもよく、また、基板の露出している領域における複数のパーツ載置位置を示す位置情報をも取得するようにしてもよい。
【００２７】
［９］本発明パーツ搬送装置においては、前記アーム群の規定長さに対する伸縮量を検出するための基準点をさらに備え、前記第２撮像装置は、前記基準点を撮像して、その撮像画像データを基準点撮像画像データとして出力可能であり、前記パーツ搬送制御装置は、前記基準点撮像画像データに基づいて、前記アーム群の規定長さに対する伸縮量を検出し、検出した伸縮量を考慮して前記多関節アームロボット装置を制御することが好ましい。
【００２８】
これにより、アーム群が温度変化などにより膨張又は収縮することによって当該アーム群が規定の長さに対して伸縮したとしても、当該アーム群の規定の長さに対する伸縮量を検出することができる。アーム群の規定長さに対する伸縮量を検出することができることにより、温度変化などによりアーム群が膨張又は収縮したとしても、多関節アームロボット装置を高精度に制御することができる。
【００２９】
［１０］本発明パーツ搬送装置においては、前記基板載置ステージの近傍に設けられ、前記パーツ保持部が保持しているパーツを撮像して、その撮像画像データを出力する第３撮像装置をさらに備え、前記パーツ搬送制御装置は、前記第３撮像装置から出力される撮像画像データに基づいて、前記基板におけるパーツ載置位置のうちの前記所定のパーツ載置位置に、前記パーツ保持部が保持しているパーツを載置するように前記多関節アームロボット装置を制御することが好ましい。
【００３０】
このように、パーツ搬送制御装置は、第３撮像装置から出力される撮像画像データ、すなわち、パーツ保持部が保持しているパーツを撮像して得られた撮像画像データにより、パーツがどのような姿勢（向き）でパーツ保持部に保持されているかを認識し、当該認識結果に基づいて、多関節アームロボット装置を制御することにより、実際にパーツ搬送動作を行う際に、パーツ保持部が保持しているパーツの姿勢（向き）を考慮した多関節アームロボット装置の制御を行うことができる。これによって、パーツ保持部が保持しているパーツをより高精度に基板に載置することができる。
【００３１】
また、パーツ搬送制御装置は、第３撮像装置から出力される撮像画像データ、すなわち、パーツ保持部が保持しているパーツを撮像して得られた撮像画像データにより、パーツ保持部がパーツのどの位置を保持しているか認識することも可能である。当該認識結果に基づいて多関節アームロボット装置を制御することにより、実際にパーツ搬送動作を行う際に、パーツ保持部が保持しているパーツの位置を考慮した多関節アームロボット装置の制御を行うことができる。これによっても、パーツ保持部が保持しているパーツをより高精度に基板に載置することができる。
【００３２】
［１１］本発明パーツ搬送装置においては、前記アーム群の規定の長さに対する伸縮量を検出するための基準点と、当該基準点を撮像して、その撮像画像データを基準点撮像画像データとして出力可能な第４撮像装置をさらに備え、前記パーツ搬送制御装置は、前記基準点撮像画像データに基づいて、前記アーム群の規定の長さに対する伸縮量を検出し、検出した伸縮量を考慮して前記多関節アームロボット装置を制御することが好ましい。
【００３３】
これにより、アーム群が温度変化などにより膨張又は収縮することによって当該アーム群が規定の長さに対して伸縮したとしても、当該アーム群の規定の長さに対する伸縮量を検出することができる。アーム群の規定長さに対する伸縮量を検出することができることにより、温度変化などによりアーム群が膨張又は収縮したとしても、多関節アームロボット装置を高精度に制御することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】実施形態に係るパーツ搬送装置１０を説明するために示す図である。
【図２】実施形態に係るパーツ搬送装置１０の制御系の構成を説明するためのブロック図である。
【図３】実施形態に係るパーツ搬送装置のパーツ搬送動作を説明するために示す図である。
【図４】従来のパーツ搬送装置９００を説明するために示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００３５】
以下、本発明に係るパーツ搬送装置を説明する。
図１は、実施形態に係るパーツ搬送装置１０を説明するために示す図である。図１（ａ）はパーツ搬送装置１０を模式的に示す側面図であり、図１（ｂ）は図１（ａ）に示すパーツ搬送装置１０のａ−ａ矢視面図である。
【００３６】
実施形態に係るパーツ搬送装置１０は、図１に示すように、ｘｙ平面（水平面）上に設置されている基台１１０を有する基台テーブル１００と、基台１１０に設置され、アーム群２１０を有する多関節アームロボット装置２００と、基台１１０上をｘ軸に沿って往復動可能に設けられ、基板３１０が載置される基板載置ステージ３００と、基板載置ステージ３００の上方で、かつ、当該基板載置ステージ３００に対して所定間隔を置いて平行配置されているパーツトレイ載置ステージ４００と、パーツトレイ載置ステージ４００上に載置されるパーツトレイ５００と、パーツ搬送装置１０の制御を行うパーツ搬送制御装置６００と、基台テーブル１００上に載置され、天板７１０が設けられている上部枠体７００と、特定箇所をそれぞれ撮像して撮像画像データを出力する複数の撮像装置（第１撮像装置Ｃ１、第２撮像装置Ｃ２及び第３撮像装置Ｃ３）と、多関節アームロボット装置２００におけるアーム群２１０の規定の長さに対する伸縮量を検出するための基準点ＳＰが設けられている。
【００３７】
多関節アームロボット装置２００はスカラロボットと呼ばれているものである。当該多関節アームロボット装置２００は、アーム群２１０と、アーム群２１０の先端部に設けられ、パーツＰを保持及び保持解除が可能なパーツ保持部２２１を有するパーツ保持ヘッド２２０と、アーム群２１０を水平面（ｘｙ平面）に直交するｚ軸に沿った方向に昇降する昇降部２３０と、昇降部２３０の昇降をガイドするガイドレール２４０とを有する。
【００３８】
また、図１においては図示を省略するが、多関節アームロボット装置２００には、アーム群２１０を旋回させる旋回駆動装置２６０（図２参照。）と、昇降部２３０を昇降させるための昇降駆動装置２７０（図２参照。）とが設けられている。
【００３９】
また、実施形態に係るパーツ搬送装置１０においては、多関節アームロボット装置２００は、アーム群２１０として、第１アーム２１１及び第２アーム２１２の２つのアームを有しているものとする。
【００４０】
第１アーム２１１は、当該第１アーム２１１の後端部側回転軸２１１ａが昇降部２３０に回転自在に取り付けられている。そして、第１アーム２１１は、旋回駆動装置２６０のうちの第１アーム旋回駆動装置２６１（図２参照。）によって、図１に示すｘｙ平面（水平面）上で時計方向及び反時計方向に旋回可能となっているとともに、昇降部２３０の昇降動作によって、図１に示すｚ軸に沿った方向（上下方向）に昇降可能となっている。
【００４１】
なお、昇降部２３０は昇降駆動装置２７０（図２参照。）により昇降動作を行い、当該昇降部２３０の昇降動作によって、第１アーム２１１がｚ軸に沿った方向に昇降動作し、それによって、アーム群２１０全体がｚ軸に沿った方向に昇降動作する。これら第１アーム旋回駆動装置２６１及び昇降駆動装置２７０は公知の技術を使用することができるため、その構成及び動作は図示を省略する。
【００４２】
第２アーム２１２は、当該第２アーム２１２の後端部側が第１アーム２１１の先端部側に回転軸２１２ａによって回転自在に取り付けられており、旋回駆動装置２６０のうちの第２アーム旋回駆動装置２６２（図２参照。）によって、ｘｙ平面上（水平面上）で時計方向及び反時計方向に旋回可能となっている。この第２アーム旋回駆動装置２６２も第１アーム旋回駆動装置２６１と同様、公知の技術を使用することができるため、その構成及び動作は図示を省略する。
【００４３】
パーツ保持ヘッド２２０は、アーム群２１０の先端部側すなわち第２アーム２１２の先端部側に取り付けられており、パーツトレイ載置ステージ４００に対向する側の面（下面）には、パーツＰの保持及び保持解除が可能なパーツ保持部２２１と、第２撮像装置Ｃ２とが設けられている。パーツ保持部２２１は、パーツＰを吸着及び吸着解除することによってパーツＰの保持及び保持解除を可能とする。
【００４４】
基板載置ステージ３００は、ｚ軸に直交するｘｙ平面（水平面）上で移動可能となっている。具体的には、基板載置ステージ３００は、基板載置ステージ駆動装置３５０（図２参照。）によって、基台１１０上をｘ軸に沿って直線的に往復動可能となっている。なお、基板載置ステージ駆動装置３５０は、公知の技術を使用することができるため、その構成及び動作は図示を省略する。
【００４５】
パーツトレイ載置ステージ４００は、基板載置ステージ３００の上方で当該基板載置ステージ３００に対して所定間隔を置いて当該基板載置ステージ３００に平行配置されている。具体的には、パーツ搬送装置１０を平面視した場合、図１（ｂ）に示すように、パーツトレイ載置ステージ４００が基板載置ステージ３００を跨ぐように配置され、当該パーツトレイ載置ステージ４００の上面にはパーツトレイ５００が載置される構成となっている。また、多関節アームロボット装置２００は、当該多関節アームロボット装置２００のアーム群２１０（第１アーム２１１及び第２アーム２１２）が、図１（ａ）及び図１（ｂ）に示すように、パーツトレイ載置ステージ４００の上方に配置される構成となっている。
【００４６】
より具体的には、多関節アームロボット装置２００は、基板載置ステージ３００、パーツトレイ載置ステージ４００、多関節アームロボット装置２００のアーム群２１０をｚ軸に沿って平面視したときに（図１（ｂ）参照。）、アーム群２１０における後端部側回転軸２１１ａが、基板載置ステージ３００の移動方向と直交する当該基板載置ステージ３００の幅方向（図１（ｂ）におけるｙ軸に沿った方向）から外れない位置に存在するように配置されていることが好ましい。
【００４７】
実施形態に係るパーツ搬送装置１０においては、図１（ｂ）に示すように、基板載置ステージ３００のｘ軸に沿った中心軸Ｌ１と、パーツトレイ載置ステージ４００のｘ軸に沿った中心軸Ｌ２とが一致し、かつ、多関節アームロボット装置２００における第１アーム２１１の後端部側回転軸２１１ａの中心軸Ｌ３が中心軸Ｌ１，Ｌ２上に存在するような配置となっている。なお、中心軸Ｌ１，Ｌ２及び中心軸Ｌ３の一致の度合いは厳密なものではなく、所定のずれがあってもよい。
【００４８】
このような配置とすることによって、基板載置ステージ３００、パーツトレイ載置ステージ４００、多関節アームロボット装置２００などのパーツ搬送装置１０の主要構成物を載置する基台テーブル１００における基台１１０の幅Ｗ（基板載置ステージ３００の移動方向と直交する方向の幅Ｗ）を小さくすることができ、パーツ搬送装置１０をスリムでコンパクトなものとすることができる。
【００４９】
次に、第１撮像装置Ｃ１、第２撮像装置Ｃ２及び第３撮像装置Ｃ３について説明する。第１撮像装置Ｃ１は、天板７１０の下面側に取り付けられており、図１における破線枠Ｆで囲まれる範囲を撮像可能とするように撮像範囲が設定されている。すなわち、パーツトレイ５００に収納されている複数のパーツＰ，Ｐ，・・・を一括して撮像可能とするとともに、基板３１０がパーツトレイ載置ステージ４００から所定量だけ露出しているときの当該基板３１０の露出している領域を一括して撮像可能とするように撮像範囲が設定されている。
【００５０】
具体的には、図１（ｂ）に示すように、パーツトレイ５００においてパーツＰが存在する領域を含む領域（パーツトレイの全体領域という。）と、基板３１０の露出している領域Ａ１とを撮像可能とするように撮像範囲が設定されている。第１撮像装置Ｃ１から出力される撮像画像データはパーツ搬送制御装置６００に与えられる。
【００５１】
第２撮像装置Ｃ２は、パーツ保持ヘッド２２０の下面側に設けられている。第２撮像装置Ｃ２は、パーツトレイ５００に散在した状態で収納されているパーツ（以下、「散在しているパーツ」というように表記する場合もある。）のうちのパーツ保持部２２１に保持させるパーツを詳細に撮像して、その撮像画像データを「パーツ撮像画像データ」として出力する。また、第２撮像装置Ｃ２は、パーツ保持部２２１が保持しているパーツを基板３１０に所定位置に載置する際に、基板３１０における複数のパーツ載置位置のうちの所定のパーツ載置位置（パーツ保持部２２１が保持しているパーツを載置すべきパーツ載置位置）を詳細に撮像して、その撮像画像データを「載置位置撮像画像データ」として出力する。
【００５２】
また、第２撮像装置Ｃ２は、基台１１０上に設けられている基準点ＳＰを撮像可能に設定されており、基準点ＳＰを撮像した場合、その撮像画像データを「基準点撮像画像データ」として出力する。
【００５３】
第２撮像装置Ｃ２から出力される各撮像画像データ（パーツ撮像画像データ、載置位置撮像画像データ及び基準点撮像画像データ）は、それぞれパーツ搬送制御装置６００に与えられる。なお、パーツ搬送制御装置６００は、パーツＰに表裏（基板３１０に載置したときに基板３１０に接触する側の面を裏面とする。）がある場合には、パーツ撮像画像データに基づいてパーツの表裏を判定する処理も行う。
【００５４】
第３撮像装置Ｃ３は、基台１１０における基板載置ステージ３００の近傍に設けられている。第３撮像装置Ｃ３は、パーツ保持部２２１が保持しているパーツを撮像して、その撮像画像データを出力する。具体的には、基板載置ステージ３００の近傍で、かつ、多関節アームロボット装置２００におけるパーツ保持ヘッド２２０の到達可能範囲内に設けられており、パーツ保持部２２１に保持（吸着）された状態のパーツＰを下方側から撮像可能とするように設定されている。第３撮像装置Ｃ３から出力される撮像画像データも、パーツ搬送制御装置６００に与えられる。
【００５５】
図２は、実施形態に係るパーツ搬送装置１０の制御系の構成を説明するためのブロック図である。実施形態に係るパーツ搬送装置１０の制御系の構成としては、図２に示すように、パーツ搬送装置１０における各部の制御を行うパーツ搬送制御装置６００と、各部の制御に必要なデータを記憶する記憶装置６１０と、パーツ搬送制御装置６００によって制御される旋回駆動装置２６０（第１アーム旋回駆動装置２６１及び第２アーム旋回駆動装置２６２）と、昇降駆動装置２７０及び基板載置ステージ駆動装置３５０とを有している。
【００５６】
なお、パーツ搬送制御装置６００は、第１撮像装置Ｃ１、第２撮像装置Ｃ２及び第３撮像装置Ｃ３の撮像開始及び撮像終了を制御する機能と、これら第１撮像装置Ｃ１、第２撮像装置Ｃ２及び第３撮像装置Ｃ３から出力された撮像画像データを必要に応じて記憶装置６２０に記憶させる機能と、第１撮像装置Ｃ１、第２撮像装置Ｃ２及び第３撮像装置Ｃ３から出力される撮像画像データ及び記憶装置６１０がすでに記憶しているデータの少なくとも一方に基づいて、旋回駆動装置２６０（第１アーム旋回駆動装置２６１及び第２アーム旋回駆動装置２６２）と、昇降駆動装置２７０及び基板載置ステージ駆動装置３５０とを制御する機能とを有している。
【００５７】
図３は、実施形態に係るパーツ搬送装置１０のパーツ搬送動作を説明するために示す図である。図３（ａ）〜図３（ｃ）は各工程を模式的に示す図である。
【００５８】
図３（ａ）〜図３（ｃ）に示すようなパーツ搬送動作を行う前段階の動作として、まず、図１（ｂ）における破線枠Ｆで囲まれる範囲を第１撮像装置Ｃ１により撮像し、その撮像画像データをパーツ搬送制御装置６００に与える。この場合、基板３１０の全体領域を一度に撮像できない場合には、基板３１０を前方（図１における矢印ｘ’方向）に所定量移動させて、基板３１０がパーツトレイ載置ステージ４００から進行方向（矢印ｘ’方向）において所定量だけ露出した状態とし、当該露出している領域ごとに順次撮像する。
【００５９】
なお、第１撮像装置Ｃ１によって図１（ｂ）における破線枠Ｆで囲まれる範囲を撮像する際においては、アーム群２１０（第１アーム２１１及び第２アーム２１２）の存在が撮像の邪魔になる場合がある。このような場合には、アーム群２１０が撮像範囲から外れるように、アーム群２１０を退避させる。
【００６０】
アーム群２１０の退避させ方の例としては、第２アームが第１アーム２１１の下側に重なるように第２アーム２１２を旋回させたのち、第１アーム２１１を旋回させて第１アーム２１１がｙ軸に沿った方向を向くように位置させた状態とする。このようにすることにより、図１（ｂ）における破線枠Ｆで囲まれる範囲にアーム群２１０が存在しない状態となるため、第１撮像装置Ｃ１によって図１（ｂ）における破線枠Ｆで囲まれる範囲を撮像することができる。
【００６１】
このように、アーム群２１０が撮像範囲から外れるようにアーム群２１０を退避させたのちに、第１撮像装置Ｃ１により撮像を行う。ここで、初期において露出している領域が第１領域Ａ１（図１（ｂ）参照。）であるとすると、第１撮像装置Ｃ１の撮像範囲（図１における破線枠Ｆで囲まれる範囲）は、当該第１領域Ａ１とパーツトレイ５００の全体領域とを含む領域（図１における破線枠Ｆで囲まれる範囲）を撮像し、その撮像データをパーツ搬送制御装置６００に与える。
【００６２】
続いて、基板３１０を矢印ｘ’方向に所定量進行させる。このときの第１撮像装置Ｃ１の撮像範囲（図１における破線枠Ｆで囲まれる範囲）は、基板３１０における第１領域Ａ１の後方に続く第２領域Ａ２（図示せず。）とパーツトレイ５００全体とを含む領域であり、当該第２領域Ａ２とパーツトレイ５００全体とを含む領域を撮像し、その撮像データをパーツ搬送制御装置６００に与える。このような動作を基板３１０全体の領域に対して順次行う。なお、基板３１０の各領域（第１領域Ａ１、第２領域Ａ２、・・・は、各々隣接する領域間において重複する部分が存在していてもよい。
【００６３】
このように、まずは、基板３１０を順次所定量だけ進行させて、所定の領域を露出させた状態として、第１撮像装置Ｃ１によって、パーツトレイ５００の全体領域と、基板３１０の露出している領域とを撮像する動作を順次行い、それぞれの撮像画像データをパーツ搬送制御装置６００に順次与える。なお、基板３１０のサイズによっては、一度の撮像によって基板３１０の全体の位置情報が取得できる場合もあり、このような場合には、上記のように、基板を所定領域ずつ露出させて撮像を行うというような動作を行う必要はない。
【００６４】
一方、パーツ搬送制御装置６００においては、第１撮像装置Ｃ１から与えられた撮像画像データに基づいて、パーツトレイ５００に散在している複数のパーツの存在位置を示す位置情報（座標情報）と、基板３１０における複数のパーツ載置位置を示す位置情報（座標情報）とを取得し、取得した位置情報を記憶装置６１０に記憶させておく。なお、このとき、個々のパーツには、搬送順序などを示す符号（番号）が与えられている。
【００６５】
なお、「パーツトレイ５００に散在している複数のパーツの存在位置」というのは、パーツトレイ５００に散在している個々のパーツのパーツトレイ５００上における位置であり、「基板３１０における複数のパーツ載置位置」というのは、基板３１０に設定されている個々のパーツに対応するパーツ載置位置である。
【００６６】
ところで、実施形態１に係るパーツ搬送装置１０においては、上記したように、第１撮像装置Ｃ１により、パーツトレイ５００に収納されている複数のパーツを一括して撮像するとともに、基板３１０がパーツトレイ載置ステージ４００から所定量だけ露出しているときの当該基板３１０の露出している領域を一括して撮像して、その撮像画像データをパーツ搬送制御装置６００に与え、パーツ搬送制御装置６００においては、第１撮像装置Ｃ１からの撮像画像データに基づいて、パーツトレイ５００に収納されている複数のパーツの存在位置を示す位置情報と前記基板の露出している領域における複数のパーツ載置位置を示す位置情報とを一括して取得するようにしている。
【００６７】
このように、パーツトレイ５００に収納されている複数のパーツＰ，Ｐ，・・・を一括して撮像するとともに、基板３１０の量出している領域を一括して撮像して、その撮像画像データに基づいて、パーツトレイに収納されている複数のパーツの存在位置を示す位置情報と基板の露出している領域における複数のパーツ載置位置を示す位置情報を一括して取得することができることから、パーツトレイ５００に複数のパーツを収納する際に、個々のパーツを決められた位置に整列させた状態並べる必要がなく、パーツトレイにパーツを収納する操作を簡素化できる。また、基板３１０の露出している領域における複数のパーツ載置位置を示す位置情報を効率的に取得することができる。
【００６８】
以上説明したように、パーツ搬送動作を行う前の段階として、まずは、パーツトレイ５００に散在している複数のパーツの存在位置を示す位置情報と基板３１０の露出している領域における複数のパーツ載置位置を示す位置情報とを取得して、取得した位置情報を記憶装置６１０に記憶させたのちに、図３（ａ）〜図３（ｃ）の動作を行う。
【００６９】
図３（ａ）はパーツトレイ５００に複数のパーツが散在している状態を示している。図３（ａ）に示すように、各パーツＰはパーツトレイ５００に散在した状態で収納されている。このとき、各パーツＰは重ならないようにすることが好ましい。
【００７０】
また、パーツＰに表裏がある場合には、パーツトレイ５００上においてはすべてのパーツが表面を向くようにすることが好ましいが、裏面となっているパーツが存在する場合もあり得る。また、各パーツＰの姿勢（向き）は様々であってよい。なお、実施形態に係るパーツ搬送装置１０においては、パーツＰは微細な電子部品であるとし、当該電子部品を基板３１０の所定位置に載置するものとする。
【００７１】
図３（ａ）に示すような状態から、パーツ搬送制御装置６００は、搬送順序を示す番号として１番（＃１とする）が与えられているパーツ（パーツＰ（＃１）とする。）を保持するように、多関節アームロボット装置２００を制御する。
【００７２】
なお、「多関節アームロボット装置を制御する」というのは、前記したように、アーム群２１０の旋回及び昇降を制御することであり、具体的には、旋回駆動装置２６０（図２参照。）及び昇降駆動装置２７０（図２参照。）を制御することである。これにより、第１アーム２１１及び第２アーム２１２は、第２アーム２１２の先端に取り付けられているパーツ保持ヘッド２２０のパーツ保持部２２１が「＃１」の順番が与えられているパーツＰ（＃１）の位置となるように動作する。このとき、パーツ保持部２２１に保持させるパーツＰ（＃１）を第２撮像装置Ｃ２により撮像し、その撮像画像データをパーツ撮像画像データとしてパーツ搬送制御装置６００に与える。
【００７３】
パーツ搬送制御装置６００においては、第２撮像装置Ｃ２から与えられたパーツ撮像画像データに基づいて、パーツＰ（＃１）を保持（吸着）するようにパーツ保持部２２１を動作させる。このとき、パーツ搬送制御装置６００は、第２撮像装置Ｃ２から与えられているパーツ撮像画像データに基づいて、パーツ保持部２２１に保持させるパーツを特定するとともに、パーツ保持部２２１に保持させるパーツの裏表を判定する。そして、パーツ保持部２２１に保持させるパーツが表向きの状態で吸着されていると判定した場合のみ、パーツ保持部２２１によって当該パーツＰ（＃１）を保持する。
【００７４】
その後、パーツＰ（＃１）を保持した状態で、パーツ保持ヘッド２２０を第３撮像装置Ｃ３の位置まで移動させるように多関節アームロボット装置２００を制御し、保持したパーツＰ（＃１）を第３撮像装置Ｃ３に対向させる（図３（ｂ）参照。）。この状態で、第３撮像装置がパーツＰ（＃１）を撮像し、その撮像画像データをパーツ搬送制御装置６００に与える。
【００７５】
パーツ搬送制御装置６００においては、第３撮像装置Ｃ３から与えられた撮像画像データに基づいて、パーツ保持部２２１が保持しているパーツＰ（＃１）の姿勢（向き）を認識し、その認識結果に基づいて、多関節アームロボット装置２００を制御する。
【００７６】
すなわち、パーツ搬送制御装置６００は、第３撮像装置Ｃ３から与えられた撮像画像データに基づいて、パーツ保持部２２１が保持しているパーツＰ（＃１）の姿勢（向き）を認識すると、その認識結果に基づいて、当該パーツＰ（＃１）が基板３１０上の所定の載置位置となるように多関節アームロボット装置２００を制御する（図３（ｃ）参照。）。当該認識結果に基づいて、多関節アームロボット装置２００を制御することにより、実際にパーツ搬送動作を行う際に、パーツ保持部２２１が保持しているパーツの姿勢（向き）を考慮した多関節アームロボット装置２００の制御を行うことができる。これによって、パーツ保持部２２１が保持しているパーツをより高精度に基板に載置することができる。
【００７７】
また、パーツ搬送制御装置は、第３撮像装置Ｃ３から与えられた撮像画像データに基づいて、パーツ保持部２２１がパーツのどの位置を保持しているか認識することも可能である。当該認識結果に基づいて多関節アームロボット装置２００を制御することにより、実際にパーツ搬送動作を行う際に、パーツ保持部２２１が保持しているパーツの位置を考慮した多関節アームロボット装置２００の制御を行うことができる。これによっても、パーツ保持部２２１が保持しているパーツをより高精度に基板に載置することができる。
【００７８】
このとき、パーツ搬送制御装置６００は、第２撮像装置Ｃ２から与えられている載置位置撮像画像データに基づいて、当該パーツを基板３１０の所定のパーツ載置位置に載置するように多関節アームロボット装置２００を制御する。なお、パーツを基板３１０上に載置する際には、必要に応じて基板載置ステージ駆動装置３５０を制御して、基板３１０の載置位置が適切な位置となるようにする。
【００７９】
このような動作を行うことにより、パーツ保持部２２１が保持しているパーツＰ（＃１）は、基板３１０の所定位置に適正な姿勢で載置され、この状態でパーツ保持部２２１の保持動作を解除させる。これにより、パーツＰ（＃１）は、パーツ保持部２２１から解放された状態で基板３１０上に載置された状態となる。
【００８０】
続いて、搬送順序を示す番号として２番（＃２とする。）が与えられているパーツに対する搬送動作を行い、さらに続いて、搬送順序を示す番号として３番（＃３とする。）、４番（＃４とする。）、・・・が与えられているパーツに対する搬送動作を順次行う。これらの動作は、パーツＰ（＃１）に対する搬送動作と同様に行うことができるため、その説明は省略する。
【００８１】
また、パーツ搬送制御装置６００は、アーム群２１０の規定の長さに対する伸縮量を検出する機能を有している。すなわち、パーツ搬送制御装置６００は、パーツ保持ヘッド２２０に設けられている第２撮像装置Ｃ２を基準点ＳＰの位置にまで移動させるように多関節アームロボット装置２００を制御する。
【００８２】
そして、第２撮像装置Ｃ２により基準点ＳＰを撮像し、その撮像画像データは基準点撮像画像データとしてパーツ搬送制御装置６００に与えられる。パーツ搬送制御装置６００は、基準点撮像画像データに基づいて、アーム群２１０の規定の長さに対する伸縮量（「ずれ」）を検出し、検出した伸縮量に基づいて、多関節アームロボット装置２００を制御する。なお、このようなアーム群２１０の伸縮量を検出するタイミングは、例えば、「一定時間ごと」というように、任意に設定することができる。
【００８３】
なお、「アーム群２１０の規定の長さに対する伸縮量」というのは、アーム群２１０が温度変化などにより膨張又は収縮することによって、当該アーム群が規定の長さに対してどれだけ伸縮したかを示すものである。
【００８４】
このように、パーツ搬送制御装置６００は、検出された伸縮量に基づいて、多関節アームロボット装置２００を制御することにより、温度変化などによりアーム群２１０が膨張又は収縮することによって当該アーム群２１０が規定の長さに対して伸縮したとしても、当該アーム群２１０の規定の長さに対する伸縮量を考慮したパーツ搬送動作が可能となる。それによって、微細なパーツを基板に高精度に載置する場合であっても、当該パーツを高精度に載置することができる。
【００８５】
以上説明したように、実施形態に係るパーツ搬送装置１０は、図１に示すように、ｚ軸に沿って下から基板載置ステージ３００、パーツトレイ載置ステージ４００、多関節アームロボット装置２００のアーム群２１０の順でそれぞれが所定間隔を置いて積層配置されている構成となっている。このため、アーム群（第１アーム２１１及び第２アーム２１２）は、大きな角度での旋回動作を行う必要がなくなり、パーツ搬送動作を効率よく行うことができ、パーツ搬送動作を従来の装置に比べて高速化することがきるとともに、パーツ搬送装置を従来の装置に比べてより一層小型化することができる。
【００８６】
特に、実施形態に係るパーツ搬送装置１０においては、図１（ｂ）に示すように、多関節アームロボット装置２００は、基板載置ステージ３００、パーツトレイ載置ステージ４００、多関節アームロボット装置２００のアーム群２１０をｚ軸に沿って平面視したときに、アーム群２１０における後端部側回転軸２１１ａが、基板載置ステージ３００の移動方向と直交する当該基板載置ステージ３００の幅方向（図１（ｂ）におけるｙ軸に沿った方向）から外れない位置に存在するように配置されている。
【００８７】
このような配置となっているため、パーツ搬送装置１０の幅（基板載置ステージ３００の移動方向に直交する方向の幅）Ｗを小さくすることができ、パーツ搬送装置１０をスリムでコンパクトなものとすることができる。
【００８８】
また、パーツトレイ５００に散在している複数のパーツの存在位置を示す位置情報（座標情報）と基板３１０における複数のパーツ載置位置を示す位置情報（座標情報）とを取得するための第１撮像装置Ｃ１と、パーツトレイ５００内に散在している個々のパーツＰを詳細に撮像可能とするとともに、基板３１０上の所定位置（パーツＰを載置すべき位置）を詳細に撮像可能とする第２撮像装置Ｃ２と、パーツ保持ヘッド２２０のパーツ保持部２２１が保持しているパーツＰを下方側から撮像可能とする第３撮像装置Ｃ３を有し、これら第１撮像装置Ｃ１、第１撮像装置Ｃ２及び第３撮像装置Ｃ３から出力される撮像画像データに基づいたパーツ搬送制御を行うことにより、高精度でかつ効率的なパーツ搬送が可能となる。
【００８９】
また、第２撮像装置Ｃ２は、基台１１０上に設けられている基準点ＳＰを撮像可能となっているため、当該基準点ＳＰを撮像して得られた基準点撮像画像データに基づいて、アーム群２１０の規定の長さに対する伸縮量を検出することができる。アーム群２１０の規定の長さに対する伸縮量が検出されることにより、アーム群２１０の伸縮量を考慮した多関節アームロボット装置２００の制御が可能となる。これにより、温度変化などによりアーム群２１０が膨張又は収縮したとしても、高精度な多関節アームロボット装置２００の制御が可能となる。
【００９０】
なお、本発明は上述の実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変形実施可能となるものである。たとえば、下記に示すような変形実施も可能である。
【００９１】
（１）上記実施形態においては、基板載置ステージ３００、パーツトレイ載置ステージ４００、多関節アームロボット装置２００のアーム群２１０の配置は、ｚ軸に沿って下から基板載置ステージ３００、パーツトレイ載置ステージ４００、多関節アームロボット装置２００のアーム群２１０の順としたが、これに限られるものではない。例えば、パーツ載置ステージを基板載置ステージの下側に設けるような配置としてもよい。すなわち、ｚ軸に沿って下からパーツトレイ載置ステージ４００、基板載置ステージ３００、多関節アームロボット装置２００のアーム群２１０の順としてもよい。要は、ｚ軸に沿って、基板載置ステージ３００、パーツトレイ載置ステージ４００、多関節アームロボット装置２００のアーム群２１０が所定間隔を置いて積層配置されている構成となっていればよい。
【００９２】
（２）上記実施形態においては、第１撮像装置Ｃ１は、パーツトレイ５００に収納されている複数のパーツＰ，Ｐ，・・・を一括して撮像するとともに、基板３１０がパーツトレイ載置ステージ４００から所定量だけ露出しているときの当該基板３１０の露出している領域を一括して撮像し、その撮像画像データをパーツ搬送制御装置６００に与え、パーツ搬送制御装置６００においては、第１撮像装置Ｃ１から出力される撮像画像データに基づいて、パーツトレイ５００に収納されている複数のパーツの存在位置を示す位置情報と基板３１０における複数のパーツ載置位置を示す位置情報とを一括して取得するようにしたが、これに限られるものではない。
【００９３】
例えば、パーツトレイ５００に収納されている複数のパーツＰ，Ｐ，・・・のみを一括して撮像するようにして、その撮像画像データをパーツ搬送制御装置６００に与え、パーツ搬送制御装置６００においては、第１撮像装置Ｃ１から出力される撮像画像データに基づいて、パーツトレイ５００に収納されている複数のパーツの存在位置を示す位置情報を一括して取得するようにしてもよい。
【００９４】
また、基板３１０がパーツトレイ載置ステージ４００から所定量だけ露出しているときの当該基板３１０の露出している領域のみを撮像して、その撮像画像データをパーツ搬送制御装置６００に与え、パーツ搬送制御装置６００においては、第１撮像装置から出力される撮像画像データに基づいて、基板３１０における複数のパーツ載置位置を示す位置情報を一括して取得するようにしてもよい。
【００９５】
（３）上記実施形態においては、パーツ搬送制御装置は、第１撮像装置Ｃ１から出力される撮像画像データに基づいて、パーツトレイ５００に収納されている複数のパーツの存在位置を示す位置情報と基板３１０の露出している領域における複数のパーツ載置位置を示す位置情報とを取得するようにしたが、これに限られるものではなく、複数のパーツの姿勢（向き）及び形状などを示す情報をも取得するようにすることも可能である。
【００９６】
また、パーツ搬送制御装置は、第２撮像装置Ｃ２から出力されるパーツ撮像画像データに基づいて、パーツ保持部２２１に保持させるパーツを保持するように多関節アームロボット装置を制御するとともに、パーツ保持部２２１がパーツを保持したのちに、載置位置撮像画像データに基づいて、所定のパーツ載置位置に、パーツ保持部が保持しているパーツを載置するように多関節アームロボット装置２００を制御するようにしたが、これに限られるものではなく、パーツ搬送制御装置６００は、第２撮像装置Ｃ２から出力される撮像画像データに基づいて、パーツトレイに収納されている複数のパーツの存在位置を示す位置情報、複数のパーツの姿勢（向き）及び形状などを示す情報を取得するようにしてもよく、また、基板３１０の露出している領域における複数のパーツ載置位置を示す位置情報をも取得するようにしてもよい。
【００９７】
このようにすることにより、第１撮像装置Ｃ１が第２撮像装置Ｃ２の役目を果たすことも可能であり、逆に、第２撮像装置Ｃ２が第１撮像装置Ｃ１の役目を果たすことも可能である。これにより、撮像装置の数を削減することも可能となる。
【００９８】
（４）上記実施形態においては、第２撮像装置Ｃ２でパーツトレイ５００と基板３１０とを詳細に撮像したのちに、第３撮像装置Ｃ３によってパーツ保持部２２１が保持しているパーツを撮像して、第３撮像装置Ｃ３から出力される撮像画像データに基づいて、パーツ搬送制御装置６００パーツの姿勢（向き）やパーツ保持部２２１によるパーツの保持位置を認識するようにしているが、第２撮像装置Ｃ２からの撮像画像データに基づいて、パーツ搬送制御装置６００がパーツの姿勢（向き）やパーツ保持部２２１によるパーツの保持位置を認識できれば、第３撮像装置Ｃ３を省略することもできる。
【００９９】
（５）上記実施形態においては、多関節アームロボット装置２００のアーム群２１０は第１アーム２１１及び第２アーム２１２の２つのアームにより構成されている場合を例示したが、３つ以上のアームにより構成されていてもよい。また、多関節アームロボット装置２００の形状なども図１に示すような形状のものに限られるものではない。
【０１００】
（６）上記実施形態において説明したパーツ搬送動作（例えば図３参照。）は、一例であって、上記実施形態において説明したパーツ搬送動作に限定されるものではない。また、パーツ搬送制御装置６００が行う制御（例えば、多関節アームロボット装置２００の制御など）は、上記実施形態で説明した制御に限られるものではなく、種々の変形実施が可能である。
【０１０１】
（７）上記実施形態においては、基準点ＳＰを撮像する撮像装置として、第２撮像装置Ｃ２を用いる場合を例示したが、第２撮像装置Ｃ２とは別に基準点ＳＰを撮像するための撮像装置を第４撮像装置としてアーム群２１０に設けるようにしてもよい。
【０１０２】
（８）上記実施形態においては、パーツとしては電子部品としたが、これに限られるものではなく、補強板などであってもよい。
【符号の説明】
【０１０３】
１０・・・パーツ搬送装置、１００・・・基台テーブル、１１０・・・基台、２００・・・多関節アームロボット装置、２１０・・・アーム群、２１１・・・第１アーム、２１１ａ・・・後端部側回転軸、２１２・・・第２アーム、２２０・・・パーツ保持ヘッド、２２１・・・パーツ保持部、２３０・・・昇降部、２４０・・・ガイドレール、３００・・・基板載置ステージ、３１０・・・基板、４００・・・パーツトレイ載置ステージ、５００・・・パーツトレイ、６００・・・パーツ搬送制御装置、７００・・・上部枠体、Ａ１・・・基板３１０の第１領域、Ｃ１・・・第１撮像装置、Ｃ２・・・第２撮像装置、Ｃ３・・・第３撮像装置、Ｆ・・・第１撮像装置の撮像範囲、Ｌ１・・・基板載置ステージ３００の中心軸、Ｌ２・・・パーツトレイ載置ステージ４００の中心軸、Ｌ３・・・後端部側回転軸２１１ａの中心軸、Ｐ・・・パーツ、ＳＰ・・・基準点
【図１】
2014135460.tif 000003
【図２】
2014135460.tif 000004
【図３】
2014135460.tif 000005
【図４】
2014135460.tif 000006