(57)【要約】【課題】導電性グリスの漏れ故障を抑える。【解決手段】ハウジング保持部材３２０は、シーム溶接ローラ２００を保持するものであり、シーム溶接ローラ２００のシャフトを回転自在に保持するハウジング３１０と、シーム溶接ローラ２００を冷却するローラ冷却機構７００と、を備える。ハウジング３１０は、円筒状に形成され、中空部は、シーム溶接ローラ２００のシャフトの挿入孔となっている。また、挿入孔とシャフトとの隙間には、液体が充填される。ローラ冷却機構７００は、ハウジング３１０へ冷媒を供給するポンプを有する。ローラ冷却機構７００は、ハウジング３１０の冷却を介して、当該ハウジング３１０に保持されたシーム溶接ローラ２００を冷却する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
シーム溶接ローラを保持するシーム溶接ローラ保持ユニットであって、
前記シーム溶接ローラを回転自在に保持する保持機構と、
前記シーム溶接ローラを冷却するローラ冷却機構と、を備え、
前記保持機構は、
前記シーム溶接ローラのシャフトを回転自在に保持するシャフト保持具を有し、
前記シャフト保持具には、前記シーム溶接ローラのシャフトが挿入されるとともに前記シャフトとの隙間にグリスが充填されたシャフト挿入部が形成され、
前記ローラ冷却機構は、前記保持機構へ冷媒を供給する冷媒供給具を有し、前記冷媒供給具による前記保持機構の冷却を介して、当該保持機構によって回転自在に保持された前記シーム溶接ローラを冷却することを特徴とするシーム溶接ローラ保持ユニット。
【請求項２】
前記保持機構は前記シャフト保持具を保持するハウジングを有し、
前記冷媒供給具は前記冷媒を前記ハウジングへ供給し、
前記ローラ冷却機構は、前記冷媒供給具による前記ハウジングの冷却を介して前記シーム溶接ローラを冷却することを特徴とする請求項１記載のシーム溶接ローラ保持ユニット。
【請求項３】
前記シャフト保持具は、前記ハウジングに対し着脱自在であることを特徴とする請求項２記載のシーム溶接ローラ保持ユニット。
【請求項４】
前記シャフトは、
前記シーム溶接ローラが取り付けられたローラ取付部と、
前記ハウジングによって回転自在に保持される被保持部と、
前記被保持部が前記シャフト挿入部から脱落することを規制するストッパが取り付けられた抜け止め部と、を有することを特徴とする請求項３記載のシーム溶接ローラ保持ユニット。
【請求項５】
前記冷媒供給具は前記冷媒を前記シャフト保持具へ供給し、
前記ローラ冷却機構は、前記冷媒供給具による前記シャフト保持具の冷却を介して前記シーム溶接ローラを冷却することを特徴とする請求項１記載のシーム溶接ローラ保持ユニット。
【請求項６】
前記保持機構は、真空チャンバ内に配されたことを特徴とする請求項１ないし５のうちいずれか１項記載のシーム溶接ローラ保持ユニット。
【請求項７】
前記冷媒供給具は、
前記冷媒用のポンプと、
前記保持機構から前記ポンプまで延びる前記冷媒の流通路を形成する流通路形成部材と、を有することを特徴とする請求項１ないし６のうちいずれか１項記載のシーム溶接ローラ保持ユニット。
【請求項８】
前記ポンプは、真空チャンバの外に配されたことを特徴とする請求項７記載のシーム溶接ローラ保持ユニット。
【請求項９】
請求項１ないし８のうちいずれか１項記載のシーム溶接ローラ保持ユニットと、
前記シーム溶接ローラと、を備えることを特徴とするシーム溶接装置。
【請求項１０】
前記シーム溶接ローラは、前記真空チャンバ内において、溶接対象となるワークに設定された第１の溶接ラインを溶接するとともに、前記ワークに設定され前記第１の溶接ラインと異なる方向に延びる第２の溶接ラインを溶接することを特徴とする請求項９記載のシーム溶接装置。
【請求項１１】
前記ワークを冷却するワーク冷却機構を備え、
前記ワーク冷却機構による前記ワークの冷却は、前記第１の溶接ラインの溶接よりも後であって、前記第２の溶接ラインの溶接よりも前に行われることを特徴とする請求項１０記載のシーム溶接装置。
【請求項１２】
前記真空チャンバ内に設定されたワーク搬送路の上にて前記ワークを搬送させるワーク搬送機構と、
前記ワーク搬送路に配され、前記第１の溶接ラインを溶接する第１の前記シーム溶接ローラと、
前記ワーク搬送路に配され、前記第２の溶接ラインを溶接する第２の前記シーム溶接ローラと、
前記第１のシーム溶接ローラと前記第２のシーム溶接ローラとの間の前記ワーク搬送路に配され、前記ワークを冷却するワーク冷却機構と、を備えたことを特徴とする請求項１０または１１記載のシーム溶接装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シーム溶接ローラ保持ユニットおよびシーム溶接装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、電子部品のパッケージとリッドとを溶接する手段として、シーム溶接装置が用いられている。このシーム溶接装置は、一対の溶接ローラを備え、溶接ローラをパッケージとリッドの接触部分に押し付ける。そして、一対の溶接ローラにパルス状の電圧を印加すると、パッケージとリッドとの間に電流が流れ、この電流によって両者がシーム溶接される。
【０００３】
一般的に利用されているシーム溶接のヘッド部（以下、溶接ローラヘッドと称する）の構造を図８に示す。一対の溶接ローラヘッド８０は、ぞれぞれ、ローラシャフト８２と、ローラシャフト８２の先端に同軸状態で固定される溶接ローラ８４と、このローラシャフト８２を回転自在に保持するハウジング８５を備える。ローラシャフト８２は、ハウジング８５に形成された貫通孔に挿通され、滑り軸受によって回転自在に保持されている。各ヘッド８０は、ハウジング８５を上下方向に移動自在に案内する垂直スライダ８６によってフローティング状態で保持されている。この垂直スライダ８６には、特に図示しないバネ等の付勢手段が搭載されているため、電子部品に対して溶接ローラ８４を所定加重で押し付けることができる。左右の溶接ローラヘッド８０は独立して上下運動可能となっており、電子部品が変形していたり、電子部品の固定状態に誤差が生じたりしても、各溶接ローラ８４が個別に上下動してその誤差を吸収できる。左右の垂直スライダ８６の上端は、水平スライダ８８によって保持されている。従って、この水平スライダ８８によって、左右の溶接ローラ８４の相対距離を自在に調整することができる。溶接ローラヘッド８０、垂直スライダ８６及び水平スライダ８８を含めた全体は、基礎スライダ９０によって上下動することが可能となっている。
【０００４】
シーム溶接を行うための溶接電流は、電源ユニット９２から供給され、ハウジング８５およびローラシャフト８２を介して溶接ローラ８４へと導電される。ハウジング８５からローラシャフト８２への導電は、滑り軸受面を介して行われる。すなわち、互いに摺動しながら接触している界面を通じて導電されることから抵抗値が変化しやすく、これにより溶接電流が安定しないという問題があった。
【０００５】
そこで、図９に示すように、ローラシャフト８２の中央部分の一部の軸径を細くして隙間８５Ａを形成し、この隙間８５Ａに導電性および流動性を備える導電性充填材を充填する。これにより、ハウジング８５とローラシャフト８２間の摩擦抵抗を減少させると共に、ハウジング８５からローラシャフト８２への導電を安定させる試みが、従来行われていた（特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００９−９０３６２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１に記載のシーム溶接装置を用いてシーム溶接を行う場合、溶接ローラ８４のみならず、ハウジング８５、導電性グリスやローラシャフトにも溶接電流が流れるため、それぞれの部分において発熱する。このため、隙間８５Ａに充填された導電性グリスが膨張して、隙間８５Ａから漏れ出してしまう漏れ故障が多発してしまう。そして、この漏れ故障は、導電性グリスに限らず、通常の潤滑油でも発生する。
【０００８】
漏れ故障の主な発生原因として、例えば、次のようなものが考えられる。
【０００９】
水晶発振子、光デバイス、各種センサ、ＭＥＭＳ等、自身の内部が真空状態のまま封止されることが望ましい電子部品の場合には、電子部品のシーム溶接を真空中にて行う必要があるが、真空中では、熱伝導による冷却作用が期待できないため、熱が蓄積しやすい。この結果、漏れ故障がより起こりやすい。これが第１の発生原因である。
【００１０】
また、マトリックス状に配された複数の電子部品に対してシーム溶接を行う場合、一対の溶接ローラヘッド８０が、個々の電子部品に対して、順次シーム溶接を行うことが多い。このため、溶接ローラヘッド８０には、熱が蓄積しやすく、結果として、漏れ故障が起こりやすい。これが第２の発生原因である。
【００１１】
本発明は、このような問題点に鑑みてなされたものであり、前述の漏れ故障の発生を抑えることができるシーム溶接ローラ保持ユニットおよびシーム溶接装置を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明者の鋭意研究により、上記目的は以下の手段によって達成される。
【００１３】
本発明は、シーム溶接ローラを保持するシーム溶接ローラ保持ユニットであって、前記シーム溶接ローラを回転自在に保持する保持機構と、前記シーム溶接ローラを冷却するローラ冷却機構と、を備え、前記保持機構は、前記シーム溶接ローラのシャフトを回転自在に保持するシャフト保持具を有し、前記シャフト保持具には、前記シーム溶接ローラのシャフトが挿入されるとともに前記シャフトとの隙間にグリスが充填されたシャフト挿入部が形成され、前記ローラ冷却機構は、前記保持機構へ冷媒を供給する冷媒供給具を有し、前記冷媒供給具による前記保持機構の冷却を介して、当該保持機構によって回転自在に保持された前記シーム溶接ローラを冷却することを特徴とする。
【００１４】
前記保持機構は前記シャフト保持具を保持するハウジングを有し、前記冷媒供給具は前記冷媒を前記ハウジングへ供給し、前記ローラ冷却機構は、前記冷媒供給具による前記ハウジングの冷却を介して前記シーム溶接ローラを冷却することが好ましい。また、前記シャフト保持具は、前記ハウジングに対し着脱自在であることが好ましい。さらに、前記シャフトは、前記シーム溶接ローラが取り付けられたローラ取付部と、前記ハウジングによって回転自在に保持される被保持部と、前記被保持部が前記シャフト挿入部から脱落することを規制するストッパが取り付けられた抜け止め部と、を有することが好ましい。
【００１５】
前記冷媒供給具は前記冷媒を前記シャフト保持具へ供給し、前記ローラ冷却機構は、前記冷媒供給具による前記シャフト保持具の冷却を介して前記シーム溶接ローラを冷却することが好ましい。
【００１６】
前記保持機構は、真空チャンバ内に配されたことが好ましい。
【００１７】
前記冷媒供給具は、前記冷媒用のポンプと、前記保持機構から前記ポンプまで延びる前記冷媒の流通路を形成する流通路形成部材と、を有することが好ましい。また、前記ポンプは、真空チャンバの外に配されたことが好ましい。
【００１８】
本発明のシーム溶接装置は、上記のシーム溶接ローラ保持ユニットと、前記シーム溶接ローラと、を備えることを特徴とする。
【００１９】
前記シーム溶接ローラは、前記真空チャンバ内において、溶接対象となるワークに設定された第１の溶接ラインを溶接するとともに、前記ワークに設定され前記第１の溶接ラインと異なる方向に延びる第２の溶接ラインを溶接することが好ましい。
また、前記ワークを冷却するワーク冷却機構を備え、前記ワーク冷却機構による前記ワークの冷却は、前記第１の溶接ラインの溶接よりも後であって、前記第２の溶接ラインの溶接よりも前に行われることが好ましい。さらに、前記真空チャンバ内に設定されたワーク搬送路の上にて前記ワークを搬送させるワーク搬送機構と、前記ワーク搬送路に配され、前記第１の溶接ラインを溶接する第１の前記シーム溶接ローラと、前記ワーク搬送路に配され、前記第２の溶接ラインを溶接する第２の前記シーム溶接ローラと、前記第１のシーム溶接ローラと前記第２のシーム溶接ローラとの間の前記ワーク搬送路に配され、前記ワークを冷却するワーク冷却機構と、を備えたことが好ましい。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、前述の漏れ故障の発生を抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】シーム溶接装置の概要を示す正面図である。
【図２】シーム溶接装置の概要を示す平面図である。
【図３】溶接ローラヘッドの概要を示す正面図である。
【図４】（ａ）は、溶接ローラヘッドによるシーム溶接の概要を示す正面図である。  （ｂ）は、溶接ローラヘッドによるシーム溶接の概要を示す側面図である。
【図５】（ａ）は、シーム溶接ローラ及びハウジングの概要を示す正面図である。  （ｂ）は、シーム溶接ローラ及びハウジングの概要を示す分解図である。
【図６】Ｘ方向の溶接ラインのシーム溶接を行うシーム溶接ユニットと、Ｙ方向の溶接ラインのシーム溶接を行うシーム溶接ユニットと、これらを収容する真空チャンバと、を備えたシーム溶接装置の概要を示す平面図である。
【図７】（Ａ）は、溶接ローラヘッドの概要を示す正面図であり、（Ｂ）は、溶接ローラヘッドの概要を示す分解図である。
【図８】従来のシーム溶接装置の概要を示す正面図である。
【図９】従来のシーム溶接装置に設けられた溶接ローラヘッドの概要を示す正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
従来のシーム溶接装置のヘッド部の概要を示す正面図である。
【００２３】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態の例について詳細に説明する。なお、以下の説明では、図に示したＸ、Ｙ、Ｚ軸を基準として方向を説明する。ここで、Ｘ軸及びＹ軸は、それぞれ水平軸であり、互いに直交する。また、Ｚ軸は、Ｘ軸及びＹ軸に対して直交する。
【００２４】
図１〜２に示すように、真空内溶接処理装置２は、内部を真空雰囲気に保つことが可能な箱状の真空チャンバ１００と、真空チャンバ１００に配されたシーム溶接ユニットＵＸと、を備える。また、シーム溶接ユニットＵＸは、一対のシーム溶接ローラ２００と、一対のシーム溶接ローラ２００を保持する溶接ローラヘッド３００と、溶接ローラヘッド３００をＹ方向へ移動可能なＹ軸ヘッド移動機構４００と、電子部品（以下、ワークと称する）Ｗが載置されるキャリア５００と、キャリア５００を搬送するキャリア搬送機構６００と、を備える。ここで、ワーク１０としては、水晶デバイス、ＭＥＭＳ、センサ、光素子などがある。
【００２５】
図３に示すように、溶接ローラヘッド３００は、シーム溶接ローラ２００を保持するハウジング３１０と、ハウジングの保持及び保持の解除が可能なハウジング保持部材３２０と、ハウジング保持部材３２０をＹ方向へ移動させるＹ軸移動機構３３０と、ハウジング保持部材３２０をＺ方向へ移動させるＺ軸移動機構３４０と、シーム溶接のための電流をシーム溶接ローラ２００へ出力する内蔵電源３５０と、を備える。Ｙ軸移動機構３３０やＺ軸移動機構３４０により、一対のシーム溶接ローラ２００は、それぞれ、Ｙ方向及びＺ方向について独立して移動自在となっている。
【００２６】
図４（ｂ）に示すように、ハウジング保持部材３２０は、固定部材３２１と開閉部材３２２と回動ピン３２３とを有し、固定部材３２１と開閉部材３２２を用いてハウジング３１０を挟持する。開閉部材３２２は、回動ピン３２３を介して固定部材３２１の背面に回動可能に配設されている。開閉部材３２２の回動により、ハウジング保持部材３２０は、ハウジング３１０を保持可能な保持状態と、ハウジング３１０の保持を解除する解除状態と、の間で切り替え可能となる。また、開閉部材３２２は、バネ等の付勢手段（図示省略）により、シーム溶接ローラ２００を保持する方向（閉じる方向）に付勢されている。
【００２７】
図５に示すように、ハウジング３１０は、円筒状に形成され、中空部分が挿入孔３１１となっている。挿入孔３１１には、滑り軸受（図示省略）が設けられる。また、ハウジング３１０の周面には、周方向に延びる溝３１２が形成される。ハウジング保持部材３２０に設けられた位置決め突起（図示省略）を溝３１２に収容させることにより、シーム溶接ローラ２００のＹ方向の位置決めが行われる。
【００２８】
シーム溶接ローラ２００は、回転するローラ状の溶接電極であり、ローラ本体２１０と、ローラシャフト２２０と、を有する。ローラシャフト２２０の中途部分には被保持部２２１が形成される。被保持部２２１は、ハウジング３１０に形成された挿入孔３１１に挿入される。また、被保持部２２１が挿入孔３１１に挿入された状態の一端部２２２には、ローラ本体２１０が設けられる。このため、シーム溶接ローラ２００は、滑り軸受により、ローラシャフト２２０を中心にして回転可能な状態で、ハウジング３１０に保持される。さらに、シーム溶接ローラ２００は、抜け止め具２３０を有する。抜け止め具２３０は、被保持部２２１が挿入孔３１１に挿入された状態の他端部２２３に設けられる。抜け止め具２３０により、シーム溶接ローラ２００は、ハウジング３１０から脱落せずに済む。
【００２９】
また、ハウジング保持部材３２０、ハウジング３１０、及びローラシャフト２２０は、導電性を有する材料から形成される。したがって、ハウジング３１０によって回転自在に保持されたシーム溶接ローラ２００は、内蔵電源３５０に対して電気的に接続される。そして、ローラシャフト２２０と挿入孔３１１との隙間には、充填剤、例えば、導電性を有する導電性グリスが充填される。この導電性グリスは、ある程度の流動性を有する半固体状の物体（グリス）に導電性を有する金属粒子等の導電性粒子が添加されたものである。導電性グリスを、ローラシャフト２２０とハウジング３１０の挿入孔３１１との隙間へ充填することにより、互いに回転摺動する両者の間における電気的接続を確保することができる。
【００３０】
図１〜２に示すように、キャリア５００は、真空チャンバ１００内部の底面に、Ｘ方向に直線移動可能に配設されている。キャリア５００の上面には、Ｘ方向およびＹ方向のマトリクス状に複数のワーク１０を保持したワークトレイ５１０が載置されている。ワークトレイ５１０は、複数のワーク１０を保持した状態で前工程から真空チャンバ１００内に搬送され、キャリア５００上に載置される。
【００３１】
キャリア搬送機構６００は、真空チャンバ１００の底面に配され、Ｘ方向に沿って互いに平行に配設された２本のガイドレール６１０を有する。２本のガイドレール６１０には、ガイドレール６１０に沿って直線移動する２つのスライダ６２０がそれぞれ組み合わされている。そして、キャリア５００は、この計４つのスライダ６２０に搭載されており、スライダ６２０と共にガイドレール６１０に沿ってＸ方向に直線移動可能となっている。
【００３２】
また、キャリア５００のＹ方向の一端には、交換用シーム溶接ローラユニットＫを保持する交換テーブル５２０が設けられている。交換テーブル５２０の上面には、複数の保持台５３０が配設されており、交換用シーム溶接ローラユニットＫは、対になった状態でこの保持台５３０上に載置される。つまり、この交換用シーム溶接ローラユニットＫも、キャリア駆動軸（図示しない）によってＸ方向に移動可能となっている。交換用シーム溶接ローラユニットＫは、シーム溶接ローラ２００（図５参照）と、ハウジング３１０（図５参照）とを備える。交換用シーム溶接ローラユニットＫのシーム溶接ローラ２００は、ローラシャフト２２０を中心にして回転可能な状態で、ハウジング３１０に保持されるとともに、抜け止め具２３０によってハウジング３１０から脱落しない状態となっている。
【００３３】
この真空内溶接処理装置２では、キャリア５００をＸ方向に移動させると共に、溶接ローラヘッド３００をＹ方向に移動させることで、ワークトレイ５１０上にマトリクス状に配列された任意のワーク１０の上に一対のシーム溶接ローラ２００を配置することが可能となっている。また、真空内溶接処理装置２は、キャリア５００をＸ方向に移動させると共に、溶接ローラヘッド３００をＹ方向に移動させることで、交換テーブル５２０上の任意の保持台５３０の上において、使用済みのシーム溶接ローラ２００を開放したり、交換用シーム溶接ローラユニットＫ、すなわち新品のシーム溶接ローラ２００を保持したりすることが可能となっている。これにより、真空内溶接処理装置２は、ワークトレイ５１０上の全てのワーク１０を自動的に処理（シーム溶接）することが可能であると共に、摩耗等によって交換頻度の高いシーム溶接ローラ２００を、真空チャンバ１００内で自動交換することが可能となっている。
【００３４】
さらに、真空内溶接処理装置２は、図１、３に示すように、シーム溶接ローラ２００を冷却するローラ冷却機構７００を備える。ローラ冷却機構７００は、シーム溶接ローラ２００を冷却するものであり、冷媒の温度を所定の温度（例えば、６０℃〜８０℃）に調節する温度調節器７１０と、一方のハウジング保持部材３２０へ冷媒を供給するための冷媒ポンプ７２０と、それぞれのハウジング保持部材３２０に設けられ冷媒の流通路となる流通孔７３０と、冷媒ポンプ７２０から送り出された冷媒を一方のハウジング保持部材３２０の流通孔７３０へ供給するための冷媒供給管７４０と、一対の流通孔７３０同士をつなぐ直列接続管７５０と、他方のハウジング保持部材３２０の流通孔７３０から出た冷媒を温度調節器７１０へ戻す冷媒回収管７６０と、温度調節器７１０から出た冷媒を冷媒ポンプ７２０へ送る送り管７７０と、を有する。
【００３５】
冷媒ポンプ７２０は、真空チャンバ１００の外に配される。そして、真空チャンバ１００には、冷媒供給管７４０や冷媒回収管７６０が挿入される管挿入孔がそれぞれ形成される。冷媒供給管７４０や冷媒回収管７６０が挿入される管挿入孔には、シール部材（図示しない）が設けられる。シール部材により、冷媒供給管７４０や冷媒回収管７６０が管挿入孔に挿入された状態であっても、真空チャンバ１００内の気密性が保たれる。なお、冷媒が油である場合、冷媒ポンプとして、油拡散ポンプを用いることが好ましい。
【００３６】
流通孔７３０は、固定部材３２１に設けられる（図４（ｂ）参照）。なお、流通孔７３０の形成位置は、ハウジング保持部材３２０であれば、固定部材３２１以外の場所（例えば、開閉部材３２２）であってもよい。
【００３７】
冷媒供給管７４０、直列接続管７５０及び冷媒回収管７６０は、それぞれ、可撓性を有することが好ましい。また、直列接続管７５０は、一対のシーム溶接ローラ２００の上方に配されることが好ましい。
【００３８】
次に、真空内溶接処理装置２によるシーム溶接の手順について説明する。
【００３９】
ワーク１０は、パッケージ１２の上にリッド１４が載置または仮付けされた状態で、ワークトレイ５１０に形成された複数の窪み５１２内に収容されている（図４（ａ）参照）。
【００４０】
次に、図２に示すように、溶接ローラヘッド３００をＹ方向、キャリア５００をＸ方向に移動させて、所定の位置のワーク１０の直上に一対のシーム溶接ローラ２００を配置する。そして、図４（ａ）に示すように、溶接ローラヘッド３００は、１対のシーム溶接ローラ２００を下降（Ｚ方向に移動）させて、所定の圧力でローラ本体２１０をリッド１４の対向する２つの端縁に接触させる。次に、ローラ本体２１０にパルス状の電圧を印加すると共に、図４（ｂ）に示すように、キャリア５００をＸ方向に移動させる。キャリア５００の移動に伴ってローラ本体２１０は転動しながらリッド１４の端縁に沿って相対的に移動する。これにより、リッド１４の対向する２つの端縁に沿って、リッド１４とパッケージ１２が溶接される。キャリア５００はそのまま移動を続け、Ｘ方向に並んだワーク１０が連続的に溶接される。こうして、シーム溶接ユニットＵＸは、ワーク１０に設定されたＸ方向に延びる溶接ラインに対し、シーム溶接を行う。
【００４１】
Ｘ方向の一列のワーク１０の溶接が全て完了した場合には、溶接ローラヘッド３００は、一対のシーム溶接ローラ２００を上昇（Ｚ方向に移動）させると共にＹ方向に移動して、隣の列のワーク１０の直上に一対のシーム溶接ローラ２００を配置する。そして、上記同様にこのＸ方向の一列のワーク１０の溶接を連続的に行う。これを繰り返すことにより、ワークトレイ５１０上に保持された全てのワーク１０のＸ方向端縁が溶接される。
【００４２】
次に、ローラ冷却機構７００の作用を説明する。
【００４３】
まず、温度調節器７１０は、冷媒を所定の温度に調節する。冷媒ポンプ７２０の運転により、温度調節がなされた冷媒は、冷媒供給管７４０を介して一方の流通孔７３０へ供給されるとともに、一方の流通孔７３０から出た冷媒は、直列接続管７５０を介して、他方の流通孔７３０へ供給される。そして、他方の流通孔７３０から出た冷媒は、冷媒回収管７６０を介して、温度調節器７１０に戻って、再び所定の温度に調節される。
【００４４】
このように、ローラ冷却機構７００によれば、ハウジング保持部材３２０に設けられた流通孔７３０へ冷媒を供給するため、当該ハウジング保持部材３２０が冷却される。そして、ハウジング保持部材３２０の冷却により、ハウジング保持部材３２０に保持されたハウジング３１０や、シーム溶接ローラ２００が冷却される。
【００４５】
このように、ローラ冷却機構７００によれば、ハウジング３１０やシーム溶接ローラ２００の冷却を介して、挿入孔３１１に充填された導電性充電材の温度上昇が抑えられるため、導電性充電材の漏れ故障を防止することができる。
【００４６】
上記実施形態では、一方のハウジング保持部材３２０の冷却に用いられた冷媒を、そのまま他方のハウジング保持部材３２０の冷却に用いたが、本発明はこれに限られない。例えば、一方のハウジング保持部材３２０に対して第１の冷媒を供給するとともに、一方のハウジング保持部材３２０から出た第１の冷媒を回収する第１のローラ冷却機構と、他方のハウジング保持部材３２０に対して第２の冷媒を供給するとともに、他方のハウジング保持部材３２０から出た第２の冷媒を回収する第２のローラ冷却機構と、を併用してもよい。
【００４７】
上記実施形態では、冷媒が供給される流通孔７３０を、ハウジング保持部材３２０に形成したが、本発明はこれに限られず、ハウジング３１０に設けてもよい。この場合には、シーム溶接ローラ２００（図５参照）単体を交換単位とすればよい。
【００４８】
なお、ワーク１０のＹ方向端縁を溶接する場合は、シーム溶接ユニットＵＹを用いてもよい。シーム溶接ユニットＵＹは、一対のシーム溶接ローラ２００と、一対のシーム溶接ローラ２００を保持する溶接ローラヘッド３００との向きが、Ｘ−Ｙ平面において９０°回転したこと以外は、シーム溶接ユニットＵＸと同様の構造を有する。
【００４９】
また、真空チャンバ１００において、シーム溶接ユニットＵＸとともに、ワーク１０に設定されたＹ方向に延びる溶接ラインに対し、シーム溶接を行うシーム溶接ユニットＵＹを設けてもよい（図６参照）。この場合には、真空チャンバ１００に設定されたワークトレイ５１０の搬送路Ｒにおいて、シーム溶接ユニットＵＸとシーム溶接ユニットＵＹとを順次設置すればよい。なお、シーム溶接ユニットＵＸとシーム溶接ユニットＵＹとのうちいずれを上流側に配置してもよい。これにより、１つの真空チャンバ１００において、ワーク１０に設定されたＸ方向及びＹ方向に延びる溶接ラインのそれぞれに対し、シーム溶接を行うことができる。
【００５０】
さらに、搬送路Ｒにおいて、シーム溶接ユニットＵＸとシーム溶接ユニットＵＹとの間において、ワーク１０を冷却するワーク冷却機構Ｃを設けてもよい。このようなワーク冷却機構Ｃによれば、シーム溶接ユニットＵＸとシーム溶接ユニットＵＹとのうち上流側の溶接ユニットのシーム溶接によって上昇したワーク１０の温度を下降させることができる。
【００５１】
なお、ワークトレイ５１０をキャリア５００の上面に載置したが、本発明はこれに限られず、ワークトレイ５１０を、Ｘ−Ｙ面において９０°に回転自在なターンテーブルの上に載置してもよい。そして、ワーク１０に設定されたＸ方向に延びる溶接ラインのシーム溶接を行った後に、ターンテーブルを９０°回転させれば、そのまま、ワーク１０に設定されたＹ方向に延びる溶接ラインのシーム溶接を行うことができる。これにより、１つの真空チャンバ１００において、ワーク１０に設定されたＸ方向及びＹ方向に延びる溶接ラインのそれぞれに対し、シーム溶接を行うことができる。
【００５２】
上記実施形態では、溶接ローラヘッド３００が、ハウジング３１０の保持が可能なハウジング保持部材３２０（図４参照）を備えていたが、本発明はこれに限られない。溶接ローラヘッド３００は、ハウジング保持部材３２０の代わりに、例えば、図７に示すハウジング保持部材８２０を備えていてもよい。
【００５３】
ハウジング保持部材８２０は、ブロック状のハウジング本体８２１を有する。ハウジング本体８２１には、ローラシャフト２２０が挿入される挿入孔８２２が形成されている。挿入孔８２２に挿入されたローラシャフト２２０は、回転可能な状態となっている。すなわち、このような挿入孔８２２をハウジング本体８２１に設けることによって、シーム溶接ローラ２００は、ローラシャフト２２０を中心に回転可能な状態でハウジング保持部材８２０に保持される。そして、抜け止め具２３０により、シーム溶接ローラ２００は、ハウジング本体８２１から脱落せずに済む。なお、シーム溶接ローラ２００の交換を行う場合には、ローラシャフト２２０から抜け止め具２３０を外すことにより、ローラシャフト２２０を挿入孔８２２から取り出すことができる。
【００５４】
さらに、冷媒の流通路となる流通孔７３０がハウジング本体８２１に設けられる。そして、流通孔７３０には、冷媒供給管７４０、直列接続管７５０及び冷媒回収管７６０等を介して、所定の温度の冷媒が流通する。
【００５５】
この流通孔７３０の形成により、ハウジング本体８２１やシーム溶接ローラ２００を冷却することができる。この結果、挿入孔３１１に充填された導電性充電材の温度上昇が抑えられるため、導電性充電材の漏れ故障を防止することができる。
【００５６】
以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明は、上記した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。
【００５７】
上記実施形態では、ローラシャフト２２０と挿入孔３１１との隙間に導電性を有する導電性充填材を充填したが、本発明はこれに限れず、ローラシャフト２２０と挿入孔３１１との隙間に充填された潤滑油でもよい。すなわち、本発明によれば、導電性充填材の漏れ故障に限られず、潤滑油の漏れ故障に対しても抑制効果が得られる。
【産業上の利用可能性】
【００５８】
本発明は、電子機器や電子部品もしくはその他の各種物品の製造、または物流の分野において利用することができる。
【符号の説明】
【００５９】
２    真空内溶接処理装置
１０    ワーク
１００    真空チャンバ
２００    シーム溶接ローラ
２１０    ローラ本体
２２０    ローラシャフト
２２１    被保持部
２２２    一端部
２２３    他端部
２３０    抜け止め具
３００    溶接ローラヘッド
３１０    ハウジング
３１１    挿入孔
３１２    溝
３２０    ハウジング保持部材
３２１    固定部材
３２２    開閉部材
３２３    回動ピン
３３０    Ｙ軸移動機構
３４０    Ｚ軸移動機構
３５０    内蔵電源
４００    Ｙ軸ヘッド移動機構
５００    キャリア
６００    キャリア搬送機構
７００    ローラ冷却機構
７１０    温度調節器
７２０    冷媒ポンプ
７３０    流通孔
７４０    冷媒供給管
７５０    直列接続管
７６０    冷媒回収管
７７０    送り管
Ｋ    交換用シーム溶接ローラユニット
Ｒ    搬送路
ＵＸ、ＵＹ    シーム溶接ユニット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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