(57)【要約】【課題】蒸着装置、有機発光ディスプレイ装置の製造方法及び有機発光ディスプレイ装置を提供する。【解決手段】着脱自在な基板が固定される移動部と、着脱自在な基板が固定された前記移動部を第１方向に移送する第１移送部と、前記基板が分離された前記移動部を前記第１方向の反対方向に移送する第２移送部と、を含み、前記移動部を、前記第１移送部と前記第２移送部とによって循環移送させる移送部と、前記第１移送部が、前記移動部に固定された基板を移送する間、前記基板から所定距離離隔され、前記基板に物質を蒸着する一つ以上の蒸着アセンブリと、チャンバとを含む蒸着部と、前記移動部に配置され、前記蒸着アセンブリから蒸着物質が単位時間当たりに発散される量に係るデータを獲得する発散データ獲得部と、前記移動部に配置され、前記発散データ獲得部で獲得したデータを無線送信する送信部と、を含む蒸着装置。【選択図】図５
2014218733.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
着脱自在な基板が固定される移動部と、着脱自在な基板が固定された前記移動部を第１方向に移送する第１移送部と、前記基板が分離された前記移動部を前記第１方向の反対方向に移送する第２移送部と、を含み、前記移動部を、前記第１移送部と前記第２移送部とによって循環移送させる移送部と、
前記第１移送部が、前記移動部に固定された基板を移送する間、前記基板から所定距離離隔され、前記基板に物質を蒸着する一つ以上の蒸着アセンブリと、チャンバとを含む蒸着部と、
前記移動部に配置され、前記蒸着アセンブリから蒸着物質が単位時間当たりに発散される量に係るデータを獲得する発散データ獲得部と、
前記移動部に配置され、前記発散データ獲得部で獲得したデータを無線送信する送信部と、
を含む蒸着装置。
【請求項２】
前記送信部で送信したデータを受信する受信部をさらに含むことを特徴とする、請求項１に記載の蒸着装置。
【請求項３】
前記受信部は、前記チャンバに配置されることを特徴とする、請求項２に記載の蒸着装置。
【請求項４】
前記受信部が受信したデータを、蒸着膜の厚みに係るデータに換算する厚みデータ変換部をさらに含むことを特徴とする、請求項２または３に記載の蒸着装置。
【請求項５】
前記蒸着アセンブリは、
蒸着物質を放射し、前記第１移送部が前記移動部に固定された基板を移送するとき、前記基板に順次接近するように、前記第１方向に配列された蒸着源と、
前記蒸着源の前記第１移送部方向に配置され、蒸着源ノズルが形成された蒸着源ノズル部と、
前記蒸着源ノズル部と対向されるように配置され、一方向に沿って、複数個のパターニングスリットが配置されるパターニングスリット・シートと、
を含むことを特徴とする、請求項１〜４のいずれかに記載の蒸着装置。
【請求項６】
前記蒸着アセンブリから蒸着物質が単位時間当たりに発散される量に係るデータを、リアルタイムで獲得することを特徴とする、請求項１〜５のいずれかに記載の蒸着装置。
【請求項７】
前記発散データ獲得部は、前記移動部の端部のうち少なくとも一つに配置されることを特徴とする、請求項１〜６のいずれかに記載の蒸着装置。
【請求項８】
前記発散データ獲得部は、２個以上であることを特徴とする、請求項７に記載の蒸着装置。
【請求項９】
移動部に基板が固定された状態で、チャンバを貫通するように設置された第１移送部で、移動部をチャンバ内に移送する段階と、
前記チャンバ内に配置された蒸着アセンブリと基板とが所定の距離離隔された状態で、第１移送部が、前記基板を前記蒸着アセンブリに対して相対的に移送しながら、前記蒸着アセンブリから発散された蒸着物質を前記基板に蒸着させて層を形成する段階と、
チャンバを貫通するように設置された第２移送部で、基板と分離された移動部を回送する段階と、を含み、
前記層を形成する段階は、
前記蒸着アセンブリから発散された前記蒸着物質を前記基板に蒸着させて層を形成しながら、前記移動部に配置された発散データ獲得部が、前記蒸着アセンブリから前記蒸着物質が、単位時間当たり発散される量に係るデータを獲得する段階と、
前記発散データ獲得部が獲得したデータを、前記移動部に配置された送信部が無線送信する段階と、
を含む有機発光ディスプレイ装置の製造方法。
【請求項１０】
前記送信部が送信したデータを受信部が受信する段階をさらに含むことを特徴とする、請求項９に記載の有機発光ディスプレイ装置の製造方法。
【請求項１１】
前記受信部が受信したデータを、蒸着膜の厚みに係るデータに換算する段階をさらに含むことを特徴とする請求項１０に記載の有機発光ディスプレイ装置の製造方法。
【請求項１２】
前記蒸着アセンブリは、
蒸着物質を放射し、第１移送部が、前記移動部に固定された基板を移送するとき、順次接近するように、第１方向に配列された蒸着源と、
前記蒸着源の前記第１移送部方向に配置され、蒸着源ノズルが形成された蒸着源ノズル部と、
前記蒸着源ノズル部と対向されるように配置され、一方向に沿って、複数個のパターニングスリットが配置されるパターニングスリット・シートと、を含むことを特徴とする請求項９〜１１のいずれかに記載の有機発光ディスプレイ装置の製造方法。
【請求項１３】
前記層を形成する段階は、前記蒸着アセンブリから蒸着物質が単位時間当たり発散される量に係るデータをリアルタイムで獲得して進められることを特徴とする、請求項９〜１２のいずれかに記載の有機発光ディスプレイ装置の製造方法。
【請求項１４】
前記発散データ獲得部は、前記移動部の端部のうち少なくとも一つに付着されることを特徴とする、請求項９〜１３のいずれかに記載の有機発光ディスプレイ装置の製造方法。
【請求項１５】
前記発散データ獲得部のセンサは、２個以上であることを特徴とする請求項１４に記載の有機発光ディスプレイ装置の製造方法。
【請求項１６】
基板と、
前記基板上に配置された、複数個の薄膜トランジスタと、
前記薄膜トランジスタに電気的に連結された複数個の画素電極と、
前記画素電極上に配置された蒸着層と、
前記蒸着層上に配置された対向電極と、を含み、
前記蒸着層のうち少なくとも１層は、請求項１〜８のうちいずれか１項に記載の蒸着装置を利用して形成された線形パターンである有機発光ディスプレイ装置。
【請求項１７】
前記基板は、４０インチ以上の大きさを有することを特徴とする、請求項１６に記載の有機発光ディスプレイ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、蒸着装置、有機発光ディスプレイ装置の製造方法及び有機発光ディスプレイ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ディスプレイ装置のうち、有機発光ディスプレイ装置は、視野角が広く、コントラストにすぐれているだけでなく、応答速度が速いという長所を有しており、次世代ディスプレイ装置として注目を集めている。
【０００３】
有機発光ディスプレイ装置は、互いに対向した第１電極と第２電極との間に発光層を含む中間層が介在された構成を有する。このとき、第１電極、第２電極及び中間層は、多くの方法によって形成されるが、そのうちの１つの方法が独立蒸着方式である。蒸着方法を利用して、有機発光ディスプレイ装置を製作するためには、中間層などが形成される基板に、形成される中間層などのパターンと同一／類似のパターンの開口を有するファインメタル・マスク（ＦＭＭ：fine metal mask）を密着させ、中間層などの材料を蒸着し、所定パターンの中間層などを形成する。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、このようなＦＭＭを利用する従来の蒸着方法では、大面積の基板を利用して大面積の有機発光ディスプレイ装置を製造したり、あるいは大面積のマザー基板（mother-substrate）を利用して、複数個の有機発光ディスプレイ装置を同時に製造するときに、大面積のＦＭＭを使用するしかなく、その場合、自重によってマスクの反り現象が発生し、事前に設定された正確なパターンの中間層などを形成することができないという問題点があった。さらに、大面積の基板と、大面積のＦＭＭとをアラインして密着させ、蒸着を行った後、さらに基板とＦＭＭとを分離させる過程で、相当な時間が必要となり、製造時間が長くなり、生産効率が低下するという問題点が存在した。
【０００５】
そこで、本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、本発明の目的とするところは、蒸着される薄膜厚や均一度を、リアルタイムで確認することが可能な、新規かつ改良された蒸着装置、有機発光ディスプレイ装置の製造方法及び有機発光ディスプレイ装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明のある観点によれば、着脱自在な基板が固定される移動部と、着脱自在な基板が固定された前記移動部を第１方向に移送する第１移送部と、前記基板が分離された前記移動部を前記第１方向の反対方向に移送する第２移送部と、を含み、前記移動部を、前記第１移送部と前記第２移送部とによって循環移送させる移送部と、前記第１移送部が、前記移動部に固定された基板を移送する間、前記基板から所定距離離隔され、前記基板に物質を蒸着する一つ以上の蒸着アセンブリと、チャンバとを含む蒸着部と、前記移動部に配置され、前記蒸着アセンブリから蒸着物質が単位時間当たりに発散される量に係るデータを獲得する発散データ獲得部と、前記移動部に配置され、前記発散データ獲得部で獲得したデータを無線送信する送信部と、を含む蒸着装置が提供される。
【０００７】
前記送信部で送信したデータを受信する受信部をさらに含んでもよい。
【０００８】
前記受信部は、前記チャンバに配置されてもよい。
【０００９】
前記受信部が受信したデータを、蒸着膜の厚みに係るデータに換算する厚みデータ変換部をさらに含んでもよい。
【００１０】
前記蒸着アセンブリは、蒸着物質を放射し、前記第１移送部が前記移動部に固定された基板を移送するとき、前記基板に順次接近するように、前記第１方向に配列された蒸着源と、前記蒸着源の前記第１移送部方向に配置され、蒸着源ノズルが形成された蒸着源ノズル部と、前記蒸着源ノズル部と対向されるように配置され、一方向に沿って、複数個のパターニングスリットが配置されるパターニングスリット・シートと、を含んでもよい。
【００１１】
前記蒸着アセンブリから蒸着物質が単位時間当たりに発散される量に係るデータを、リアルタイムで獲得してもよい。
【００１２】
前記発散データ獲得部は、前記移動部の端部のうち少なくとも一つに配置されてもよい。
【００１３】
前記発散データ獲得部は、２個以上であってもよい。
【００１４】
また、上記課題を解決するために、本発明の別の観点によれば、移動部に基板が固定された状態で、チャンバを貫通するように設置された第１移送部で、移動部をチャンバ内に移送する段階と、前記チャンバ内に配置された蒸着アセンブリと基板とが所定の距離離隔された状態で、第１移送部が、前記基板を前記蒸着アセンブリに対して相対的に移送しながら、前記蒸着アセンブリから発散された蒸着物質を前記基板に蒸着させて層を形成する段階と、チャンバを貫通するように設置された第２移送部で、基板と分離された移動部を回送する段階と、を含み、前記層を形成する段階は、前記蒸着アセンブリから発散された前記蒸着物質を前記基板に蒸着させて層を形成しながら、前記移動部に配置された発散データ獲得部が、前記蒸着アセンブリから前記蒸着物質が、単位時間当たり発散される量に係るデータを獲得する段階と、前記発散データ獲得部が獲得したデータを、前記移動部に配置された送信部が無線送信する段階と、を含む有機発光ディスプレイ装置の製造方法が提供される。
【００１５】
前記送信部が送信したデータを受信部が受信する段階をさらに含んでもよい。
【００１６】
前記受信部が受信したデータを、蒸着膜の厚みに係るデータに換算する段階をさらに含んでもよい。
【００１７】
前記蒸着アセンブリは、蒸着物質を放射し、第１移送部が、前記移動部に固定された基板を移送するとき、順次接近するように、第１方向に配列された蒸着源と、前記蒸着源の前記第１移送部方向に配置され、蒸着源ノズルが形成された蒸着源ノズル部と、前記蒸着源ノズル部と対向されるように配置され、一方向に沿って、複数個のパターニングスリットが配置されるパターニングスリット・シートと、を含んでもよい。
【００１８】
前記層を形成する段階は、前記蒸着アセンブリから蒸着物質が単位時間当たり発散される量に係るデータをリアルタイムで獲得して進められてもよい。
【００１９】
前記発散データ獲得部は、前記移動部の端部のうち少なくとも一つに付着されてもよい。
【００２０】
前記発散データ獲得部のセンサは、２個以上であってもよい。
【００２１】
また、上記課題を解決するために、本発明の別の観点によれば、基板と、前記基板上に配置された、複数個の薄膜トランジスタと、前記薄膜トランジスタに電気的に連結された複数個の画素電極と、前記画素電極上に配置された蒸着層と、前記蒸着層上に配置された対向電極と、を含み、前記蒸着層のうち少なくとも１層は、上述の蒸着装置のうちいずれか一つを利用して形成された線形パターン（linear pattern）である有機発光ディスプレイ装置が提供される。
【００２２】
前記基板は、４０インチ以上の大きさを有するものであってもよい。
【発明の効果】
【００２３】
以上説明したように本発明によれば、蒸着される薄膜厚や均一度をリアルタイムで確認することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の一実施形態に係る蒸着装置を概略的に図示する平面概念図である。
【図２】図１の蒸着装置の蒸着部を概略的に図示する側面概念図である。
【図３】図１の蒸着装置の蒸着部のうち一部を概略的に図示する斜視断面図である。
【図４】図１の蒸着装置の蒸着部のうち一部を概略的に図示する断面図である。
【図５】図１の蒸着装置の蒸着部のうち、蒸着アセンブリ、移動部及び発散データ獲得部を概略的に図示する側面概念図である。
【図６】本発明の他の一実施形態による発散データ獲得部のうちセンサを概略的に図示する分解斜視図である。
【図７】本発明のさらに他の一実施形態による発散データ獲得部のうちセンサを概略的に図示する分解斜視図である。
【図８】本発明のさらに他の一実施形態による移動部と、発散データ獲得部の一部とを概略的に図示する平面図である。
【図９】図１などの蒸着装置を利用して製造された有機発光ディスプレイ装置を概略的に図示する断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下に添付図面を参照しながら、本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の機能構成を有する構成要素については、同一の符号を付することにより重複説明を省略する。
【００２６】
本発明は、以下で開示される実施形態に限定されるものではなく、互いに異なる多様な形態で具現される。以下の実施形態は、本発明の開示を完全なものにし、当業者に発明の範疇を完全に知らせるために提供される。また、説明の便宜のために、図面では、構成要素がその大きさが誇張されたり縮小されたりしている。例えば、図面に示された各構成の大きさ及び厚みは、説明の便宜のために任意に示したものであり、本発明は、必ずしも図示されたところに限定されるものではない。
【００２７】
以下の実施形態で、ｘ軸、ｙ軸及びｚ軸は、直交座標系上の３つの軸に限定されるものではなく、それを含む広い意味に解釈される。例えば、ｘ軸、ｙ軸及びｚ軸は、互いに直交することもあるが、互いに直交しない互いに異なる方向を指すこともある。
【００２８】
一方、層、膜、領域、板のような各種構成要素が、異なる構成要素の「上」にあるというとき、それは、他の構成要素の「真上」にある場合だけではなく、その間に、他の構成要素が介在された場合も含む。
【００２９】
図１は、本発明の一実施形態に係る蒸着装置を概略的に図示する平面概念図であり、図２は、図１の蒸着装置の蒸着部を概略的に図示する側面概念図である。
【００３０】
図１及び図２を参照すれば、本発明の一実施形態による蒸着装置は、蒸着部１００、ローディング部２００、アンローディング部３００、移送部４００、着脱自在な基板２（図３）が固定される移動部４３０、パターニングスリット・シート交替部５００、発散データ獲得部６００（図５）及び送信部６１０（図５）を含む。移送部４００は、着脱自在な基板２（図３）が固定される移動部４３０を、第１方向に移送することができる第１移送部４１０と、基板２が分離された移動部４３０を第１方向の逆方向に移送することができる第２移送部４２０とを含む。
【００３１】
ローディング部２００は、第１ラック（rack）２１２、導入室２１４、第１反転室２１８及びバッファ室２１９を含む。
【００３２】
第１ラック２１２には、蒸着が行われる前の複数個の基板２が積載される。導入ロボットは、第１ラック２１２から基板２をホールディングし、第２移送部４２０が移送してきて導入室２１４内に位置した移動部４３０に、基板２を載置させる。基板２は、移動部４３０にクランプなどで固定され、基板２が固定された移動部４３０は、第１反転室２１８に移される。基板２を移動部４３０に固定するのに先立ち、基板２を移動部４３０に対するアライン過程を、必要によって経ることもあるということは、言うまでもない。
【００３３】
導入室２１４に隣接するように位置した第１反転室２１８では、第１反転ロボットが移動部４３０を反転させる。結局、導入ロボットは、移動部４３０の上面に基板２を載せ、基板２の移動部４３０側面の反対面が上方を向いた状態で移動部４３０は、第１反転室２１８に移送され、第１反転ロボットが第１反転室２１８を反転させることにより、基板２の移動部４３０側面の反対面は、下方を向くことになる。このような状態で、第１移送部４１０は、基板２が固定された移動部４３０を移送する。
【００３４】
アンローディング部３００の構成は、前述のローディング部２００の構成と、反対に構成される。すなわち、蒸着部１００を経た基板２及び移動部４３０を、第２反転室３２８で第２反転ロボットが反転させ、搬出室３２４に移送し、搬出室３２４で、基板２を移動部４３０から分離し、搬出ロボットなどが分離された基板２を、第２ラック３２２に積載する。第２移送部４２０は、基板２と分離された移動部４３０を移送し、ローディング部２００に回送する。
【００３５】
本発明が、必ずしもこのような構成に限定されるものではないということは、いうまでもなく、基板２が、移動部４３０に最初固定されるときから、移動部４３０の下面に固定され、そのまま移送される。その場合、例えば、第１反転室２１８の第１反転ロボットと、第２反転室３２８の第２反転ロボットとは不要である。また、第１反転室２１８の第１反転ロボットと、第２反転室３２８の第２反転ロボットは、第１反転室２１８や第２反転室３２８を反転させるのではなく、第１反転室２１８内や第２反転室３２８内で、基板２が固定された移動部４３０のみを反転させることができる。その場合、基板２が固定された移動部４３０を移送することができる反転室内移送部上に、移動部４３０が位置した状態で反転室内の移送部が１８０°回転する方式を取ることもでき、その場合、反転室内の移送部が、第１反転ロボットや第２反転ロボットの役割も行うと理解されてもよい。ここで、反転室内の移送部は、第１移送部の一部分でもあり、第２移送部の一部分でもある。
【００３６】
蒸着部１００は、図１及び図２に図示されているように、チャンバ１０１を具備し、そのチャンバ１０１内に複数の蒸着アセンブリ（例えば、蒸着アセンブリ１００−１〜１００−ｎ）が配置されてもよい。図１では、チャンバ１０１内に、第１蒸着アセンブリ１００−１〜第１１蒸着アセンブリ１００−１１の１１個の蒸着アセンブリが配置されていると図示されているが、その個数は、蒸着物質及び蒸着条件によって可変される。チャンバ１０１は、蒸着が進められる間、真空または真空に近い状態に維持される。
【００３７】
第１移送部４１０は、基板２が固定された移動部４３０を、少なくとも、蒸着部１００、望ましくは、ローディング部２００、蒸着部１００及びアンローディング部３００に順次移送し、第２移送部４２０は、アンローディング部３００で基板２と分離された移動部４３０を、ローディング部２００に送り戻す。それによって、移動部４３０は、第１移送部４１０と第２移送部４２０とによって循環移送される。
【００３８】
第１移送部４１０は、蒸着部１００を通過するとき、チャンバ１０１を貫通するように配置され、第２移送部４２０は、基板２が分離された移動部４３０を移送するように配置される。
【００３９】
そのとき、第１移送部４１０と第２移送部４２０とを上下に配置させることも可能である。それを介して、第１移送部４１０を通過しながら、基板２上に蒸着を行わせる移動部４３０が、アンローディング部３００で基板２と分離された後、第１移送部４１０の下部に配置された第２移送部４２０を介して、ローディング部２００に回送されるように形成されることにより、空間活用の効率が向上するという効果を得ることができる。ただし、図示されているところと異なり、第２移送部４２０が第１移送部４１０の上部に位置することもあるということは、いうまでもない。
【００４０】
一方、図１に図示されているように、蒸着部１００は、各蒸着アセンブリ１００−１の片側に配置された蒸着源交替部１９０を含む。図面には詳細には図示されていないが、蒸着源交替部１９０は、カセット形式で形成され、それぞれの蒸着アセンブリ１００−１から外部に引き出されるように形成される。それを介して、蒸着アセンブリ１００−１の蒸着源１１０（図３）の入れ替えが容易になる。
【００４１】
併せて、図１では、ローディング部２００、蒸着部１００、アンローディング部３００及び移送部４００を含む２つの蒸着装置が並んで配列されていると図示されている。その場合、パターニングスリット・シート交替部５００が、２つの蒸着装置間に配置される。すなわち、２つの蒸着装置が、パターニングスリット・シート交替部５００を共同で使用することにより、蒸着装置それぞれ、パターニングスリット・シート交替部５００を別途に具備する場合に比べ、空間活用の効率性を向上させることができる。
【００４２】
本実施形態による蒸着装置が具備する発散データ獲得部６００及び送信部６１０については後述する。
【００４３】
図３は、図１の蒸着装置の蒸着部のうち、一部を概略的に図示する斜視断面図であり、図４は、図１の蒸着装置の蒸着部のうち、一部を概略的に図示する断面図である。図３及び図４を参照すれば、本実施形態による蒸着装置の蒸着部１００は、チャンバ１０１と、一つ以上の蒸着アセンブリ１００−１とを含む。
【００４４】
チャンバ１０１は、中空のボックス状に形成され、その内部に、一つ以上の蒸着アセンブリ１００−１を収容する。ただし、図示されているように、移送部４００もまた、チャンバ１０１内に収容され、場合によっては、チャンバ１０１の内外にまたがってもよいということは、いうまでもない。
【００４５】
チャンバ１０１内には、下部ハウジング１０３と、上部ハウジング１０４とが収容される。具体的には、地面に固定されるフット（foot）１０２上に、下部ハウジング１０３が配置され、下部ハウジング１０３の上部に、上部ハウジング１０４が配置される。そのとき、下部ハウジング１０３と、チャンバ１０１との連結部が密封処理され、チャンバ１０１内部が外部と完全に遮断される。そのように、下部ハウジング１０３と上部ハウジング１０４とが地面に固定されたフット１０２上に配置されることにより、チャンバ１０１が収縮／膨脹を反復しても、下部ハウジング１０３と上部ハウジング１０４は、固定された位置を維持することができ、従って、下部ハウジング１０３と上部ハウジング１０４とが蒸着部１００内で、一種の基準フレーム（reference frame）の役割を行う。
【００４６】
上部ハウジング１０４の内部には、蒸着アセンブリ１００−１と、移送部４００の第１移送部４１０とが配置され、下部ハウジング１０３の内部には、移送部４００の第２移送部４２０が配置される。移動部４３０は、このような第１移送部４１０と第２移送部４２０とによって循環移送されながら、移動部４３０に固定された基板２上に、連続的に蒸着が行われる。そのように循環移送される移動部４３０は、キャリア４３１、及びそれと結合された静電チャック４３２を含む。
【００４７】
キャリア４３１は、本体部４３１ａ、ＬＭＳマグネット（linear motor system magnet）４３１ｂ、ＣＰＳモジュール（contactless power supply module）４３１ｃ、電源部４３１ｄ及びガイド溝４３１ｅを含む。必要によっては、キャリア４３１がカムフォロワなどをさらに含んでもよいということは、いうまでもない。
【００４８】
本体部４３１ａは、キャリア４３１の基底部をなし、鉄のような磁性体から形成される。このようなキャリア４３１の本体部４３１ａは、第１移送部４１０に具備された磁気浮上ベアリング（図示せず）との引力や斥力により、第１移送部４１０のガイド部４１２に対して、キャリア４３１が一定距離離隔される。同時に、本体部４３１ａの両側面には、ガイド溝４３１ｅが形成される。このようなガイド溝４３１ｅには、第１移送部４１０のガイド部４１２のガイド突起４１２ｄや、第２移送部４２０のローラガイド４２２が収容される。
【００４９】
さらに、本体部４３１ａは、進行方向（Ｙ軸方向）の中心線に沿って配置されたマグネチックレール４３１ｂを具備することができる。本体部４３１ａのマグネチックレール４３１ｂは、第１移送部４１０のコイル４１１と共に、リニアモータを構成することができ、このようなリニアモータによって、キャリア４３１、すなわち、移動部４３０がＡ方向に移送される。それによって、移動部４３０には、別途の電源がなくとも、第１移送部４１０のコイル４１１に印加される電流によって、移動部４３０が移送される。そのために、コイル４１１は、チャンバ１０１内に、複数個が（Ｙ軸方向に沿って）一定間隔に配置される。コイル４１１は、大気ボックス（atmosphere box）内に配置されるので、大気状態において設置される。
【００５０】
一方、本体部４３１ａは、マグネチックレール４３１ｂの一側と他側とに配置されたＣＰＳモジュール４３１ｃと、電源部４３１ｄとを具備することができる。電源部４３１ｄは、静電チャック４３２が、基板２をチャッキング（chucking）し、それを維持するように、電源を提供するための一種の充電用バッテリを有する。ＣＰＳモジュール４３１ｃは、そのような電源部４３１ｄの充電用バッテリを充電するための無線充電モジュールである。第２移送部４２０が具備するチャージング・トラック（charging track）４２３は、インバータ（inverter）（図示せず）と連結され、第２移送部４２０がキャリア４３１を移送するとき、チャージング・トラック４２３とＣＰＳモジュール４３１ｃとの磁場が形成され、ＣＰＳモジュール４３１ｃに電力を供給し、それを介して、電源部４３１ｄが充電される。
【００５１】
静電チャック（electrostatic chuck）４３２は、セラミックスから形成された本体と、その内部に埋め込まれた電源が印加される電極とを具備することができる。このような静電チャック４３２は、キャリア４３１の本体部４３１ａ内の電源部４３１ｄから、本体内部に埋め込まれた電極に高電圧が印加されることにより、本体の表面に基板２が付着する。
【００５２】
第１移送部４１０は、このような構成を有し、基板２が固定された移動部４３０を、第１方向（＋Ｙ方向）に移送することができる。第１移送部４１０は、前述のようなコイル４１１とガイド部４１２とを有するが、それ以外にも、磁気浮上ベアリングやギャップセンサなどをさらに含んでもよい。
【００５３】
コイル４１１とガイド部４１２は、それぞれ上部ハウジング１０４の内部面に配置され、例えば、コイル４１１は、上部ハウジング１０４の上側内部面に配置され、ガイド部４１２は、上部ハウジング１０４の両側内部面に配置される。
【００５４】
コイル４１１は、前述のように、移動部４３０の本体部４３１ａのマグネチックレール４３１ｂと共に、リニアモータを構成し、移動部４３０を動かすことができる。ガイド部４１２は、移動部４３０が動くとき、第１方向（Ｙ軸方向）に移送されるようにガイドすることができる。このようなガイド部４１２は、蒸着部１００を貫通するように配置される。
【００５５】
具体的には、ガイド部４１２は、移動部４３０のキャリア４３１の両側を収容し、キャリア４３１が、図３のＡ方向に沿って移動するように、ガイドすることができる。そのために、ガイド部４１２は、キャリア４３１の下側に配置される第１収容部４１２ａと、キャリア４３１の上側に配置される第２収容部４１２ｂと、第１収容部４１２ａと第２収容部４１２ｂとを連結する連結部４１２ｃと、を有することができる。第１収容部４１２ａ、第２収容部４１２ｂ及び連結部４１２ｃによって、収容溝が形成され、ガイド部４１２は、そのような収容溝内に、ガイド突起４１２ｄを有することができる。
【００５６】
磁気浮上ベアリング（図示せず）は、キャリア４３１の両側面に対応するように、ガイド部４１２の連結部４１２ｃ内にそれぞれ配置される。磁気浮上ベアリングは、キャリア４３１とガイド部４１２との間隔を生じさせ、キャリア４３１が移送されるとき、ガイド部４１２と接触されずに非接触方式で、ガイド部４１２に沿って移送される。磁気浮上ベアリングは、キャリア４３１の上部に位置するように、ガイド部４１２の第２収容部４１２ｂにも配置されるが、その場合、磁気浮上ベアリングは、キャリア４３１が第１収容部４１２ａや第２収容部４１２ｂに接触せず、それらと一定間隔を維持しながら、ガイド部４１２に沿って移動可能とすることができる。このようなキャリア４３１とガイド部４１２との間隔をチェックするために、ガイド部４１２は、キャリア４３１の下部に対応するように、第１収容部４１２ａ及び／または連結部４１２ｃに配置されるギャップセンサ（図示せず）を具備することもできる。このようなギャップセンサによって測定された値によって、磁気浮上ベアリングの磁力が変更され、キャリア４３１とガイド部４１２との間隔がリアルタイムで調節される。すなわち、磁気浮上ベアリングとギャップセンサとを利用したフィードバック制御によって、キャリア４３１が精密に移送されることになる。
【００５７】
第２移送部４２０は、蒸着部１００を通過しながら、蒸着が完了した後、アンローディング部３００で基板２が分離された移動部４３０を、ローディング部２００に回送する役割を行う。このような第２移送部４２０は、下部ハウジング１０３に配置されたコイル４２１、ローラガイド４２２、及び前述のところのようなチャージング・トラック４２３を含む。例えば、コイル４２１とチャージング・トラック４２３は、下部ハウジング１０３の上側内部面に配置され、ローラガイド４２２は、下部ハウジング１０３の両側内部面に配置される。ここで、図面には図示されていないが、コイル４２１は、第１移送部４１０のコイル４１１と同様に、大気ボックス内に配置される。
【００５８】
コイル４２１は、コイル４１１と同様に、移動部４３０のキャリア４３１のマグネチックレール４３１ｂと共に、リニアモータを構成することができる。このようなリニアモータによって、第１方向（＋Ｙ方向）の反対方向（−Ｙ方向）に、移動部４３０が移送されるようにすることができる。
【００５９】
ローラガイド４２２は、キャリア４３１が第１方向の反対方向に移動されるようにガイドする役割を行う。このようなローラガイド４２２は、蒸着部１００を貫通するように配置される。ローラガイド４２２は、移動部４３０のキャリア４３１の両側に配置されたカムフォロワ（図示せず）を支持し、移動部４３０が第１方向（＋Ｙ方向）の反対方向（−Ｙ方向）に移送されるようにガイドする役割を行うことができる。
【００６０】
第２移送部４２０は、基板２と分離された移動部４３０を、ローディング部２００側に回送する役割を行うので、基板２上に蒸着が行われるように、基板２が固定された移動部４３０を移送する第１移送部４１０に比べ、移送される移動部４３０の位置精度が大きく要求されない。従って、移送される移動部４３０の高い位置精度が要求される第１移送部４１０には、磁気浮上機能を適用し、移動部４３０の高い位置精度を確保し、第２移送部４２０には、従来のローラ方式を適用し、蒸着装置の構成を単純化し、製造コストを節減することができる。必要によっては、第２移送部４２０にも、磁気浮上機能を適用することも可能であるということは、いうまでもない。
【００６１】
蒸着アセンブリ１００−１は、第１移送部４１０が移動部４３０に固定された基板２を第１方向（＋Ｙ方向）に移送する間、基板２と所定距離ほど離隔され、基板２に物質を蒸着する。以下では、蒸着アセンブリ１００−１の詳細構成について説明する。
【００６２】
各蒸着アセンブリ１００−１は、蒸着源１１０、蒸着源ノズル部１２０、パターニングスリット・シート１３０、遮断部材１４０、第１ステージ１５０、第２ステージ１６０、カメラ１７０、センサ１８０などを含む。ここで、図３及び図４に図示されたほとんどの構成は、適切な真空度が維持されるチャンバ１０１内に配置されることが望ましい。それは、蒸着物質の直進性を確保するためである。
【００６３】
蒸着源１１０は、蒸着物質を放射することができる。このような蒸着源１１０は、下部に配置され、内部に収納されている蒸着物質１１５が昇華／気化されることにより、基板２が位置した方向（例えば＋Ｚ方向である上方）に蒸着物質を放射することができる。具体的には、蒸着源１１０は、その内部に蒸着物質１１５が充填されたルツボ１１１と、ルツボ１１１を加熱させ、ルツボ１１１の内部に充填された蒸着物質１１５を蒸発させるためのヒータ１１２と、を含む。
【００６４】
蒸着源１１０の第１移送部４１０側（＋Ｚ方向）、すなわち、基板２側には、蒸着源ノズル１２１が形成された蒸着源ノズル部１２０が配置される。
【００６５】
パターニングスリット・シート１３０は、蒸着源ノズル部１２０と対向されるように配置されてもよいが、一方向（Ｘ軸方向）に沿って、複数個のパターニングスリットが形成された構造を有することができる。このようなパターニングスリット・シート１３０は、蒸着源１１０と基板２との間に位置する。蒸着源１１０で気化された蒸着物質１１５は、蒸着源ノズル部１２０及びパターニングスリット・シート１３０を通過し、被蒸着体である基板２上に蒸着される。基板２の全面に均一な蒸着層を形成する場合であるならば、パターニングスリット・シート１３０は、複数個のパターニングスリットではないＸ軸に沿って延長された開口を有することができるということは、いうまでもない。
【００６６】
パターニングスリット・シート１３０は、従来のファインメタル・マスク（ＦＭＭ）、特に、ストライプ・タイプ（stripe type）のマスクの製造方法に使用されるエッチングなどを介して製作される。このようなパターニングスリット・シート１３０は、蒸着源１１０（及びそれと結合された蒸着源ノズル部１２０）から一定距離ほど離隔されて配置される。
【００６７】
蒸着源１１０から放出された蒸着物質１１５が、蒸着源ノズル部１２０及びパターニングスリット・シート１３０を通過し、基板２に所望のパターンで蒸着されるようにするためには、基本的に、チャンバ（図示せず）内部は、ＦＭＭ蒸着の場合と同一／同様に、高振空状態を維持する必要がある。また、パターニングスリット・シート１３０の温度が、蒸着源１１０の温度より十分に低くなければならない（約１００℃以下）。パターニングスリット・シート１３０の温度が十分に低ければ、温度によるパターニングスリット・シート１３０の熱膨脹問題を最小化することができるからである。すなわち、パターニングスリット・シート１３０の温度が高くなれば、熱膨脹によって、パターニングスリット・シート１３０のパターニングスリットの大きさや位置などが変形され、基板２上に事前設定されたパターンと異なるパターンに蒸着されることもあるからである。
【００６８】
このようなチャンバ１０１内には、被蒸着体である基板２が配置される。基板２は、平板ディスプレイ装置用基板にもなるが、複数個の平板ディスプレイ装置を形成することができるマザーガラス（mother glass）のような大面積基板でもある。
【００６９】
前述のように、ＦＭＭを利用する従来の蒸着方法の場合、ＦＭＭの面積が基板の面積と同一でなければならなかった。従って、基板サイズが増大するほど、ＦＭＭも大型化されなければならず、それにより、ＦＭＭの製作が容易ではなく、ＦＭＭの自重によって、マスクの反り現象が発生するので、事前定された正確なパターンの中間層などを形成することができないという問題点があった。
【００７０】
しかし、本実施形態による蒸着装置の場合、蒸着アセンブリ１００−１と基板２とが互いに相対的に移動しながら、蒸着が行われる。具体的には、第１移送部４１０が、移動部４３０に固定された基板２を、第１方向（＋Ｙ方向）に移送する間、基板２と所定距離ほど離隔された蒸着アセンブリ１００−１が、基板２に物質を蒸着する。言い換えれば、蒸着アセンブリ１００−１と対向するように配置された基板２が、図３の矢印Ａ方向に移送されながら、スキャニング（scanning）方式で蒸着が行われる。図面では、基板２がチャンバ１０１内で＋Ｙ方向に移動しながら、蒸着が行われると図示されているが、本発明は、それに限定されるものではない。例えば、基板２は、位置が固定されており、蒸着アセンブリ１００−１が、−Ｙ方向に移動しながら蒸着を行うこともできるなど、多様な変形が可能である。
【００７１】
従って、本実施形態による蒸着装置の場合、パターニングスリット・シート１３０のサイズが、従来のＦＭＭのサイズに比べ、はるかに小さくすることができる。すなわち、本実施形態による蒸着装置の場合、基板２がＹ軸方向に沿って移動しながら、連続的に、すなわち、スキャニング方式で蒸着が行われるので、パターニングスリット・シート１３０のＹ軸方向の長さは、基板２のＹ軸方向の長さよりはるかに短くとも、蒸着が基板２の全面ほとんどに対して十分に行われる。
【００７２】
そのように、従来のＦＭＭのサイズに比べ、パターニングスリット・シート１３０のサイズをはるかに小さくすることができるので、パターニングスリット・シート１３０の製造が非常に容易になる。すなわち、パターニングスリット・シート１３０を設けるとき、エッチング作業やその後の精密引張り作業、溶接作業、移動作業及び洗浄作業など全ての工程で、小サイズのパターニングスリット・シート１３０が、大面積のＦＭＭに係る工程に比べて有利である。このような長所は、製造するディスプレイ装置が大型化されるほど、さらに有利になる。
【００７３】
一方、前述のように、蒸着アセンブリ１００−１は、第１移送部４１０が、移動部４３０に固定された基板２を、第１方向（＋Ｙ方向）に移送する間、基板２と所定距離ほど離隔されて基板２に物質を蒸着する。それは、パターニングスリット・シート１３０が、基板２から一定距離離隔されるように配置されるということを意味するのである。ＦＭＭを利用した従来の蒸着装置の場合、ＦＭＭと基板とが接触して不良が発生するという問題点があったが、本実施形態による蒸着装置の場合、このような問題点を効果的に防止することができ、また工程で、基板とマスクとの密着のような時間が不要になるので、製造速度を画期的に速くすることができる。
【００７４】
上部ハウジング１０４は、図示されているように、蒸着源１１０及び蒸着源ノズル部１２０の両側に突き出された載置部１０４−１を有することができるが、このような載置部１０４−１上には、第１ステージ１５０と第２ステージ１６０とが配置され、パターニングスリット・シート１３０は、第２ステージ１６０上に配置される。
【００７５】
第１ステージ１５０は、パターニングスリット・シート１３０の位置を、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に調整することができる。すなわち、第１ステージ１５０は、複数個のアクチュエータを具備し、上部ハウジング１０４に対して、パターニングスリット・シート１３０の位置をＸ軸方向及びＹ軸方向に移動させることができる。第２ステージ１６０は、パターニングスリット・シート１３０の位置を、Ｚ軸方向に調整することができる。例えば、第２ステージ１６０は、アクチェエータを具備し、パターニングスリット・シート１３０の位置を、第１ステージ１５０に対して、すなわち、上部ハウジング１０４に対して、Ｚ軸方向に沿って調整することができる。
【００７６】
そのように、第１ステージ１５０と第２ステージ１６０とを介して、基板２に対するパターニングスリット・シート１３０の位置を調整することにより、基板２とパターニングスリット・シート１３０とのアラインは、特にリアルタイム・アライン（real-time align）が行われるようにする。
【００７７】
同時に、上部ハウジング１０４、第１ステージ１５０及び第２ステージ１６０は、蒸着源ノズル１２１を介して排出される蒸着物質が分散しないように、蒸着物質の移動経路をガイドする役割を同時に行うことができる。すなわち、上部ハウジング１０４、第１ステージ１５０及び第２ステージ１６０によって、蒸着物質の経路が限定され、蒸着物質のＸ軸方向での移動を制限することもできる。
【００７８】
一方、蒸着アセンブリ１００−１は、アラインのためのカメラ１７０及びセンサ１８０をさらに具備することができる。センサ１８０は、共焦点センサ（confocal sensor）でもある。カメラ１７０は、パターニングスリット・シート１３０に形成された第１マーク（図示せず）と、基板２に形成された第２マーク（図示せず）とをリアルタイムで確認し、パターニングスリット・シート１３０と基板２とをＸＹ平面で正確にアラインさせるためのデータを生成することができ、センサ１８０は、パターニングスリット・シート１３０と基板２との間隔に係るデータを生成し、適切な間隔で維持することができる。
【００７９】
このように、カメラ１７０及びセンサ１８０を利用して、リアルタイムで、基板２とパターニングスリット・シート１３０との間隔を測定することが可能になり、従って、リアルタイムで、基板２とパターニングスリット・シート１３０とをアラインすることが可能になることにより、パターンの位置精度がさらに向上する。
【００８０】
一方、パターニングスリット・シート１３０と蒸着源１１０との間には、基板２の非成膜領域に物質が蒸着されることを防止するために、遮断部材１４０が配置されることもある。図面には詳細に図示されていないが、遮断部材１４０は、互いに隣り合う２つのプレートで構成される。このような遮断部材１４０によって、基板２の非成膜領域が覆われることにより、別途の構造物なしにも、簡便に基板２の非成膜領域に物質が蒸着されることを効果的に防止することができる。
【００８１】
以下では、蒸着装置の構成要素である発散データ獲得部６００及び送信部６１０について、図５を参照して説明する。
【００８２】
図５は、図１の蒸着装置の蒸着部１００において、蒸着アセンブリ１００−１、移動部４３０及び発散データ獲得部６００を概略的に図示する側面概念図である。図５に図示されているように、発散データ獲得部６００は、移動部４３０に配置される。このような発散データ獲得部６００は、例えばセンサ６０１と、オシレータ６０３とを含む。送信部６１０も、移動部４３０に配置されてもよいが、具体的には、オシレータ６０３に付着される。発散データ獲得部６００のセンサ６０１は、例えば、移動部４３０の端部（エッジ）のうち、移動部４３０が移送される第１方向（＋Ｙ方向）の反対方向（−Ｙ方向）の端部（エッジ）に配置される。センサ６０１は、一般的に、クリスタルセンサが使用されるが、本発明は、それに限定されるものではない。
【００８３】
図示されているように、発散データ獲得部６００においてセンサ６０１は、移動部４３０のいずれか１つの端部（エッジ）に付着された形状を有することができる。また、発散データ獲得部６００においてオシレータ６０３は、移動部４３０のキャリア４３１上に付着される。具体的には、前記センサ６０１は、移動部４３０において、キャリア４３１及び静電チャック４３２のうちいずれか一つに付着される。
【００８４】
このような発散データ獲得部６００は、蒸着アセンブリ１００−１から蒸着物質１１５が単位時間当たり発散される量に係るデータを獲得することができる。このような発散データ獲得部６００によって、蒸着源１１０から放出された蒸着物質１１５が、移動部４３０に固定された基板２上に蒸着された厚みを測定することができる。
【００８５】
発散データ獲得部６００が、蒸着アセンブリ１００−１から単位時間当たり発散される蒸着物質１１５の量に係るデータを獲得すれば、送信部６１０がそれを無線で送信し、それは、チャンバ１０１の外壁を貫通する形態で、チャンバ１０１に付着された受信部６２０で受信される。従って、チャンバ１０１内で、送信部６１０が無線送信したデータを受信部６２０がリアルタイムで受信することができる。受信部６２０は、チャンバ１０１外部に位置したデータ変換部６４０と連結され、蒸着アセンブリ１００−１から単位時間当たり発散される蒸着物質１１５の量に係るデータを、厚みに係るデータに変換することができる。
【００８６】
発散データ獲得部６００が、蒸着アセンブリ１００−１から単位時間当たり発散される蒸着物質１１５の量に係るデータを獲得することは、多様な方式で具現される。例えば、蒸着アセンブリ１００−１から蒸着物質１１５が発散されれば、蒸着物質１１５が、移動部４３０に付着されたセンサ６０１でも感知される。そのとき、単位時間当たりセンサ６０１に蒸着される蒸着物質の量により、センサ６０１の振動数が異なることになる。従って、蒸着アセンブリ１００−１から単位時間当たり発散される蒸着物質１１５の量に係るデータは、単位時間当たり発散される蒸着物質の量によって異なるセンサ６０１の振動数でもある。
【００８７】
移動部４３０に付着されたオシレータ６０３は、このようなセンサ６０１の振動数を測定することができる。オシレータ６０３が測定したセンサ６０１の振動数は、必要によっては、Ａ／Ｄ（analog-to-digital）コンバータを介して、デジタルデータに変換され、送信部６１０に伝達される。送信部６１０は、伝達された振動数に係るデータを、無線通信で受信部６２０に伝達する。受信部６２０は、データを、チャンバ１０１の外部に位置したデータ変換部６４０に伝達することができ、データ変換部６４０は、必要によっては、Ｄ／Ａ（digital-to-analog）コンバータなどで、デジタルデータをアナログデータに変換することができ、センサ６０１の振動数に係るデータを、単位時間当たり蒸着される薄膜厚に係るデータに変換することができる。
【００８８】
前述の過程を介して、チャンバ１０１内で、リアルタイムで蒸着厚を測定することができ、チャンバ１０１内で蒸着される薄膜厚について、チャンバ１０１外部で、リアルタイムでモニタリングすることができる。
【００８９】
従来の蒸着装置の場合には、蒸着が行われるチャンバ内で、蒸着される薄膜厚をリアルタイムで確認することができなかった。例えば、蒸着装置を利用して、有機発光ディスプレイ装置を製造する場合、有機発光ディスプレイ装置の製造を中断し、蒸着される薄膜厚を測定するためのテスト基板を蒸着装置に供給し、各テスト基板に１つの蒸着層を形成させた。その後、それを蒸着装置の外部に排出し、光学的な方法で蒸着された薄膜厚を測定した。そのように、従来の蒸着装置の場合、チャンバ内で蒸着される薄膜厚を測定するためには、有機発光ディスプレイ装置の製造を中断しなければならないという問題点があった。
【００９０】
さらに、１つの蒸着装置が、複数個の蒸着源を具備し、１枚の基板上に多層薄膜が形成される場合、従来の光学的な厚み測定方法を利用するときには、蒸着された多層薄膜を、単に１枚の単一膜として認識するという問題点があった。従って、１つの蒸着装置に、複数個の蒸着源が配置された場合、各蒸着源に異なるテスト基板を使用して、各蒸着源による単一蒸着層を、各テスト基板に形成させた後、各テスト基板に蒸着された蒸着層の厚みを、それぞれ測定しなければならないという問題点があった。
【００９１】
しかし、本実施形態による蒸着装置の場合、チャンバ１０１内で、蒸着物質１１５が基板２に蒸着されると同時に、リアルタイムで、蒸着アセンブリ１００−１から単位時間当たり発散される蒸着物質の量を測定することができるので、有機発光ディスプレイ装置の製造を中断せずとも、基板２に蒸着される薄膜厚を測定することができる。
【００９２】
また、前述のところのように、蒸着された薄膜厚を測定するために、光学的方法を利用する場合、１つの蒸着装置に複数個の蒸着源が配置され、多層薄膜が形成されるようにするとき、複数個のテスト基板が必要であった。しかし、本実施形態による蒸着装置の場合には、１つのセンサ６０１が複数個のセンシング部６０２−１ないし６０２−１１（図７）を有するから、１つの蒸着装置に複数個の蒸着源が具備された場合にも、複数個のテスト基板を必要としない。また、本実施形態による蒸着装置の場合には、基板２に薄膜が蒸着される間、チャンバ１０１内で、リアルタイムで測定が行われるようにすることができるので、基板２に薄膜を蒸着し、有機発光ディスプレイ装置を製造しながらも、蒸着アセンブリ１００−１から、蒸着物質１１５が単位時間当たり発散される量に係るデータ、すなわち、蒸着アセンブリ１００−１によって蒸着される薄膜厚に係るデータを確保することができる。
【００９３】
そのように、本実施形態による蒸着装置の場合には、従来の蒸着装置より蒸着される薄膜厚の確認に必要となる時間を画期的に短縮することができる。
【００９４】
一方、前述のデータ変換部６４０以外に、データ比較部（図示せず）をさらに具備することもできる。データ変換部６４０で変換されたデータ、または変換過程で生成されたデータは、データ比較部にフィードバックされ、データ比較部は、フィードバックされたデータと以前データとを比較分析し、同一であるか否かを分析することができる。
【００９５】
図６及び図７は、本発明の発散データ獲得部６００においてセンサ６０１を概略的に図示する分解斜視図である。
【００９６】
図６及び図７を参照すれば、センサ６０１は、周波数獲得部６０１ａと、周波数獲得部６０１ａを移動部４３０に連結する連結部６０１ｂと、カバープレート６０１ｃと、を具備する。カバープレート６０１ｃは、中央から外れた位置に形成された開口であるセンシングホール６０１ｄを有することができる。また、図７に図示されているように、センサ６０１の周波数獲得部６０１ａの底面には、第１センシング部６０２−１〜第１１センシング部６０２−１１の１１個のセンシング部が配置される。ただし、その個数が蒸着アセンブリの個数及び蒸着物質によって可変されるものであるということは、いうまでもない。例えば１１個の蒸着アセンブリ１００−１〜１００−１１（図１）と、１１個のセンシング部６０２−１〜６０２−１１参照とが、一対一にマッチングされ、１つのセンシング部６０２−１が、１つの蒸着アセンブリ１００−１から単位時間当たり放出される蒸着物質の量を測定することができる。
【００９７】
カバープレート６０１ｃに形成されたセンシングホール６０１ｄを介して、複数個のセンシング部６０２−１〜６０２−１１のうち１つのセンシング部６０２−１に、１つの蒸着アセンブリ１００−１から放出される蒸着物質１１５、または１つの蒸着アセンブリ１００−１の複数個の蒸着源のうち１つの蒸着源から放出される蒸着物質１１５が到逹するようにすることができる。そのとき、カバープレート６０１ｃは、他のセンシング部６０２−２〜６０２−１１に蒸着物質１１５が到逹しないように、他のセンシング部６０２−２〜６０２−１１を遮蔽することにより、１つのセンサ６０１を利用して、複数個の蒸着アセンブリ、または複数個の蒸着源から単位時間当たり放出される蒸着物質の量を測定することができる。
【００９８】
周波数獲得部６０１ａには、複数個のセンシング部６０２−１〜６０２−１１が具備され、例えば、図７に図示されているように、第１センシング部６０２−１〜第１１センシング部６０２−１１以外に、ダミーセンシング部６０２−０がさらに具備されてもよい
【００９９】
一方、前述のように、１つのセンサ６０１が、複数個の蒸着アセンブリ、または複数個の蒸着源について、単位時間当たり発散される蒸着物質の量を認識することができる。例えば、前者の場合、移動部４３０に付着されたセンサ６０１が、第１蒸着アセンブリ１００−１と、第２蒸着アセンブリ１００−２との間を通過する間には、第１蒸着アセンブリ１００−１から発散される蒸着物質と、第２蒸着アセンブリ１００−２から発散される蒸着物質とが混合し、センサ６０１に到逹し、従って、測定に誤差が発生することがある。従って、センサ６０１が、第１蒸着アセンブリ１００−１と、第２蒸着アセンブリ１００−２とのを通過する間には、ダミーセンシング部６０２−０を露出させ、測定しようとする蒸着アセンブリの上部を通過する間には、測定しようとする蒸着アセンブリに対応する当該センサを露出させ、蒸着アセンブリ１００−１から単位時間当たり発散される蒸着物質１１５の量をさらに正確に測定することができるのである。
【０１００】
図８は、移動部４３０と、発散データ獲得部６００の一部とを概略的に図示する平面図である。図示されているように、センサ６０１は、例えば、移動部４３０の端部（エッジ）のうち、移動部４３０が移送される第１方向（＋Ｙ方向）の反対方向（−Ｙ方向）の端部（エッジ）に配置され、場合によっては、複数のセンサ６０１−１〜６０１−ｎが配置される。センサ６０１は、移動部４３０において、キャリア４３１または静電チャック４３２に配置されることもある。
【０１０１】
薄膜を蒸着する蒸着装置の場合には、均一な厚みの薄膜を蒸着することが重要である。移動部４３０に固定された基板２内の蒸着位置によって、蒸着される薄膜の均一度が異なることもあるが、図８のように、第１センサ６０１−１と第２センサ６０１−２とを互いに異なる位置に配置させ、２個のセンサ６０１で、薄膜厚を測定することにより、基板２に蒸着される薄膜の均一度を測定することができ、同時に、その平均値でもって測定の正確度を高めることもできる。
【０１０２】
複数個のセンサが配置される位置は、それらに限定されるものではなく、複数のセンサ６０１−１〜６０１−ｎが、移動部４３０の４つの端部（エッジ）にいずれも配置されることも可能であるということは、いうまでもない。
【０１０３】
以上、蒸着装置についてのみ主に説明したが、本発明は、それに限定されるものではない。例えば、このような蒸着装置を利用した有機発光ディスプレイ装置の製造方法も、本発明の範囲に属するものである。
【０１０４】
本発明の他の一実施形態による有機発光ディスプレイ装置の製造方法の場合、移動部４３０に、基板２が固定された状態で、チャンバ１０１を貫通するように設置された第１移送部４１０で、移動部４３０をチャンバ１０１内に移送する段階を経て、その後、チャンバ１０１内に配置された蒸着アセンブリ１００−１と、基板２とが所定距離ほど離隔された状態で、第１移送部４１０で、基板２を蒸着アセンブリ１００−１に対して相対的に移送しながら、蒸着アセンブリ１００−１から発散された蒸着物質を基板２に蒸着させ、層を形成する段階を経ることができる。その後、チャンバ１０１を貫通するように設置された第２移送部４２０で、基板２と分離された移動部４３０を回送する段階を経て、移動部４３０を、第１移送部４１０と第２移送部４２０とによって循環移送させることができる。
【０１０５】
このような有機発光ディスプレイ装置の製造方法において、蒸着アセンブリは、前述の実施形態による蒸着装置で説明された蒸着アセンブリの構成を有することができる。その場合、前記層を形成する段階は、蒸着アセンブリ１００−１から発散された蒸着物質１１５が、基板２に蒸着されるようにし、層を形成しながら、移動部４３０に配置された発散データ獲得部６００が、蒸着アセンブリ１００−１から蒸着物質１１５が単位時間当たり発散される量に係るデータを獲得する段階、及び発散データ獲得部６００が獲得したデータを移動部４３０に配置された送信部６１０が、無線送信する段階を含む。その場合、前記層を形成する段階は、送信部６１０が送信したデータを、受信部６２０が受信する段階をさらに含むということは、いうまでもない。
【０１０６】
一方、前記層を形成する段階は、例えば、図５に図示されているように、受信部６２０が受信したデータを、蒸着膜の厚みに係るデータに換算する段階をさらに含む。
【０１０７】
このような方法を介して、基板２上に蒸着膜を形成すると同時に、リアルタイムで、蒸着膜の厚みを測定することができる。
【０１０８】
図９は、図１などの蒸着装置を利用して製造された、本発明のさらに他の一実施形態による有機発光ディスプレイ装置を概略的に図示する断面図である。
【０１０９】
図９を参照すれば、有機発光ディスプレイ装置の各種構成要素は、基板５０上に形成される。ここで、基板５０は、図３などで言及した基板２自体でもあり、その基板２が切断された一部分でもある。基板５０は、透明な素材、例えば、ガラス材、プラスチック材、または金属材によって形成される。
【０１１０】
基板５０上には、バッファ層５１、ゲート絶縁膜５３、層間絶縁膜５５のような共通層が、基板５０の全面に形成され、チャンネル領域５２ａ、ソースコンタクト領域５２ｂ及びドレインコンタクト領域５２ｃを含むパターニングされた半導体層５２が形成され、このようなパターニングされた半導体層と共に、薄膜トランジスタＴＦＴの構成要素になるゲート電極５４、ソース電極５６及びドレイン電極５７が形成される。
【０１１１】
また、このような薄膜トランジスタＴＦＴを覆う保護膜５８と、保護膜５８上に位置し、その上面がほぼ平坦な平坦化膜５９とが基板５０の全面に形成される。このような平坦化膜５９上には、パターニングされた画素電極６１、基板５０の全面にほぼ対応する対向電極６３、そして画素電極６１と対向電極６３との間に介在され、発光層を含む多層構造の中間層６２を含む有機発光素子ＯＬＥＤが位置するように形成される。中間層６２は、図示されているところと異なり、一部層が、基板５０の全面にほぼ対応する共通層でもあり、他の一部層が、画素電極６１に対応するようにパターニングされたパターン層でもあるということは、いうまでもない。画素電極６１は、ビアホールを介して、薄膜トランジスタＴＦＴに電気的に連結される。画素電極６１のエッジを覆い、各画素領域を定義する開口を有する画素定義膜６０が基板５０の全面にほぼ対応するように、平坦化膜５９上に形成される。
【０１１２】
このような有機発光ディスプレイ装置の場合、前述の実施形態による蒸着装置を利用して、各構成要素のうち少なくとも一部が形成される。
【０１１３】
例えば、前述の実施形態による蒸着装置を利用して、中間層６２を形成することができる。例えば、中間層６２が含むホール注入層（ＨＩＬ：hole injection layer）、ホール輸送層（ＨＴＬ：hole transport layer）、発光層（ＥＭＬ：emission layer）、電子輸送層（ＥＴＬ：electron transport layer）、電子注入層（ＥＩＬ：electron injection layer）などを、前述の実施形態による蒸着装置を利用して形成することができる。
【０１１４】
すなわち、中間層６２の各層を形成するとき、蒸着源、蒸着源ノズル部及びパターニングスリット・シートを有する蒸着アセンブリが、被蒸着用基板、具体的には、画素電極６１まで形成された基板と、所定間隔離隔されるように配置された状態で、蒸着アセンブリ及び基板のうち、いずれか一方が他の一方に対して相対的に移動しながら、蒸着が行われるようにすることができる。
【０１１５】
前述のように、図１などの蒸着装置は、大面積基板に蒸着するとき、蒸着が事前に設定された領域に正確に行われるようにすることができるが、例えば、４０インチ以上の大きさの基板を有する有機発光ディスプレイ装置であるとしても、正確に中間層６２が形成されるようにし、高品質の有機発光ディスプレイ装置を具現することができる。
【０１１６】
本発明は、図面に図示された実施形態を参照にして説明されたが、それらは例示的なものに過ぎず、当技術分野で当業者であるならば、それらから多様な変形及び均等な他の実施形態が可能であるという点を理解するであろう。従って、本発明の真の技術的保護範囲は、特許請求の範囲の技術的思想によって決まらなければならないのである。
【０１１７】
以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について詳細に説明したが、本発明はかかる例に限定されない。本発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者であれば、特許請求の範囲に記載された技術的思想の範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、これらについても、当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
【産業上の利用可能性】
【０１１８】
本発明は、例えば、ディスプレイ関連の技術分野に効果的に適用可能である。
【符号の説明】
【０１１９】
２      基板
１００−１    蒸着アセンブリ
１００    蒸着部
１０１    チャンバ
１１０    蒸着源
１２０    蒸着源ノズル部
１３０    パターニングスリット・シート
２００    ローディング部
３００    アンローディング部
４００    移送部
４１０    第１移送部
４２０    第２移送部
４３０    移動部
６００    発散データ獲得部
６０１    センサ
６０３    オシレータ
６１０    送信部
６２０    受信部
６４０    データ変換部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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