(57)【要約】【課題】液体噴射ヘッド１を加工及び組み立ての容易な構造とする。【解決手段】液体噴射ヘッド１は、液体を吐出する吐出溝７と液体を吐出しないダミー溝８とが基準方向Ｋに交互に配列する圧電プレート２と、吐出溝７に液体を供給する液体供給孔３ａを有し、圧電プレート２の一方面ＯＳに接合する液体供給プレート３と、吐出溝７から液体を排出する液体排出孔４ａを有し、圧電プレート２の他方面ＴＳに接合する液体排出プレート４と、複数のノズル９を有し、ノズル９が吐出溝７に連通し、圧電プレート２の側面ＳＳに接合するノズルプレート５と、を備える。吐出溝７は、ノズル９方向に液体を流す往吐出溝７ａと、往吐出溝７ａの基準方向Ｋに隣接しノズル９方向から液体を流す復吐出溝７ｂとを含み、往吐出溝７ａと復吐出溝７ｂとはノズル９の近傍において連通し、液体供給孔３ａが往吐出溝７ａに連通し、液体排出孔４ａが復吐出溝７ｂに連通する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出する吐出溝と液体を吐出しないダミー溝とが基準方向に交互に配列し、前記吐出溝の一方側が側面に開口する圧電プレートと、
前記吐出溝に液体を供給する液体供給孔を有し、前記圧電プレートの一方面に接合する液体供給プレートと、
前記吐出溝から液体を排出する液体排出孔を有し、前記圧電プレートの他方面に接合する液体排出プレートと、
基準方向に配列する複数のノズルを有し、前記ノズルが前記吐出溝に連通し、前記圧電プレートの側面に接合するノズルプレートと、を備え、
前記吐出溝は、前記ノズル方向に液体を流す往吐出溝と、前記往吐出溝の基準方向に隣接し前記ノズル方向から液体を流す復吐出溝とを含み、前記往吐出溝と前記復吐出溝とは前記ノズルの近傍において連通し、前記液体供給孔が前記往吐出溝に連通し、前記液体排出孔が前記復吐出溝に連通する液体噴射ヘッド。
【請求項２】
前記液体供給プレートと前記液体排出プレートとは構成が同一のプレートからなる請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
前記ノズルプレートは、前記ノズルと前記圧電プレートの側面に開口する前記往吐出溝と前記復吐出溝とを連通する第一連通路を備える請求項１又は２に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
前記ノズルプレートは、前記ノズルを有する第一ノズルプレートと、前記第一連通路を有する第二ノズルプレートとが積層する請求項３に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項５】
前記圧電プレートは、前記ノズルの近傍に前記往吐出溝と前記復吐出溝とを連通する第二連通路を有する請求項１〜４のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項６】
複数の前記液体供給孔に連通する液体供給路を有し、前記液体供給プレートに接合する液体供給流路部材を備える請求項１〜５のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項７】
前記液体供給路の一部が液体の圧力変動を緩和させる第一ダンパー膜により形成される請求項６に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項８】
複数の前記液体排出孔に連通する液体排出路を有し、前記液体排出プレートに接合する液体排出流路部材を備える請求項１〜７のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項９】
前記液体排出路の一部が液体の圧力変動を緩和させる第二ダンパー膜により形成される請求項８に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項１０】
前記吐出溝の他方側は前記圧電プレートの一方面の面内において終端し、前記ダミー溝の側面にアクティブ電極を備え、前記往吐出溝と前記復吐出溝の側面にコモン電極を備え、
前記圧電プレートの一方面に、前記コモン電極と電気的に接続するコモン端子と、前記アクティブ電極に電気的に接続するアクティブ端子とを有する請求項１〜９のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項１１】
前記圧電プレートの一方面に、隣接する前記ダミー溝の側面に形成される前記アクティブ電極を電気的に接続する配線電極を有する請求項１０に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項１２】
前記コモン端子と前記アクティブ端子の間の前記圧電プレートの一方面には前記コモン端子と前記アクティブ端子とを電気的に分離する分離溝が設置される請求項１０又は１１に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項１３】
請求項１〜５のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドからなる第１液体噴射ヘッド〜第ｎ液体噴射ヘッド（ｎは２以上の整数）が流路部材を挟んで積層される液体噴射ヘッド。
【請求項１４】
前記流路部材は、第ｋ（ｋは１≦ｋ＜ｎを満たす整数）液体噴射ヘッドの複数の液体排出孔に連通する液体排出路を有する液体排出流路部材と、第（ｋ＋１）液体噴射ヘッドの複数の液体供給孔に連通する液体供給路を有する液体供給流路部材とを備える請求項１３に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項１５】
前記流路部材は、前記液体排出流路部材と前記液体供給流路部材との間にスペーサを備え、
前記液体供給路の一部が液体の圧力変動を緩和させる第一ダンパー膜により形成され、
前記液体排出路の一部が液体の圧力変動を緩和させる第二ダンパー膜により形成され、
前記第一ダンパー膜と前記第二ダンパー膜とは前記スペーサを介して対面する請求項１４に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項１６】
前記流路部材は、第ｋ（ｋは１≦ｋ＜ｎを満たす整数）液体噴射ヘッドの複数の液体排出孔に連通する液体排出路を有する液体排出流路部材と、第（ｋ＋１）液体噴射ヘッドの複数の液体排出孔に連通する液体排出路を有する液体排出流路部材とを備える請求項１３に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項１７】
前記流路部材は、第ｋ（ｋは１≦ｋ＜ｎを満たす整数）液体噴射ヘッドの複数の液体供給孔に連通する液体供給路を有する液体供給流路部材と、第（ｋ＋１）液体噴射ヘッドの複数の液体供給孔に連通する液体供給路を有する液体供給流路部材とを備える請求項１３に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項１８】
前記第１液体噴射ヘッド〜前記第ｎ液体噴射ヘッドは、各基準方向が同一方向であり同一のノズルピッチを有し、第ｋ液体噴射ヘッドのノズルと第（ｋ＋１）液体噴射ヘッドのノズルとは基準方向に対して（１／ｎ）ピッチずれて設置される請求項１３〜１７のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項１９】
請求項１に記載の液体噴射ヘッドと、
前記液体噴射ヘッドと被記録媒体とを相対的に移動させる移動機構と、
前記液体噴射ヘッドに液体を供給する液体供給管と、
前記液体供給管に前記液体を供給する液体タンクと、を備える液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被記録媒体に液滴を噴射して記録する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、記録紙等にインク滴を吐出して文字や図形を記録する、或いは素子基板の表面に液体材料を吐出して機能性薄膜を形成するインクジェット方式の液体噴射ヘッドが利用されている。この方式は、インクや液体材料などの液体を液体タンクから供給管を介してチャンネルに導き、チャンネルに充填される液体に圧力を印加してチャンネルに連通するノズルから液体を吐出する。液体の吐出の際には、液体噴射ヘッドや被記録媒体を移動させて文字や図形を記録する、或いは所定形状の機能性薄膜を形成する。
【０００３】
この種の液体噴射ヘッドとして、チャンネルを構成する壁に圧電素子を用い、チャンネル内の液体を常時循環させるスルーフロータイプが知られている。スルーフロータイプは、液体中に気泡や異物が混入した場合でもチャンネル外に迅速に排出することができる。そのため、キャップ構造やサービスステーションを用いずにメンテナンスを実施することができ、メンテナンス時の液体の消費量が減少し、ランニングコストを抑えることができる。更に、吐出不良によって被記録媒体を無駄に消費するのを最小限に抑えることができる。
【０００４】
特許文献１には液体循環型の液体噴射ヘッドが記載される。図９は特許文献１に示される液体噴射ヘッドの分解斜視図である。液体噴射ヘッドは、２枚の圧電素子を重ねて３つの流路９０、９２、９４を構成するＰＺＴウエハ８８、８９と、流路９０と流路９４に連通する開口が形成され、流路９２を閉塞するマスクプレート１００と、流路９２を跨いで流路９０と流路９４を連通させる開口部が形成される開口プレート６６と、開口プレート６６の開口部に連通するノズル１０２が形成されるノズルプレート６４とを備える。液体は、矢印５２で示すように流路９０から開口プレート６６の開口部を経て流路９４に流れる。つまり、液体は流路９２の周りを循環する。２つの壁９６、９８の流路９２側の側面にはライン電極が、流路９０、９４側の側面にはアース電極が設けられ、これらの電極により壁９６、９８を駆動することにより、ノズル１０２から小液滴を吐出する。
【０００５】
特許文献２には他の液体循環型の液体噴射ヘッドが記載される。液体噴射ヘッドは、表面に複数の溝が設置される圧電プレートと、圧電プレートの表面に接合され、各溝の上部開口を覆うカバープレートと、圧電プレートの側面に設置され、各溝に連通する複数のノズルを有するノズルプレートとを備える。カバープレートは液体供給孔を備え、液体供給孔を介して各溝に液体が供給される。ノズルプレートの圧電プレート側の表面には各溝に対応する排出路が複数形成される。液体噴射ヘッドは、更に圧電プレートの裏面に液体排出室を備える流路部材が設置される。ノズルプレートに形成される排出路は、圧電プレートの表面に設置される溝と裏面に設置される液体排出室とを連通する。液体は、液体供給孔から各溝に分流し、各溝から対応する排出路を通って液体排出室で合流する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特表２００３−５０５２８１号公報
【特許文献２】特開２０１１−１３１５３３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献１に記載される液体噴射ヘッドは、２枚のＰＺＴウエハを重ねて３つの流路９０、９２、９４を単位とする複数の流路を構成し、その端面にマスクプレート１００、その上面に開口プレート６６、更にその上面にノズルプレート６４を設置し、その他図示されない流路部材等を必要とする。そのため、部品点数が多く、組み立ての際に高度な位置合わせを必要とする複雑な構造を備える。特許文献２に記載される液体噴射ヘッドは、ノズルプレートの圧電プレート側の表面に、ノズルと同じピッチでノズルと同数の排出路を形成しなければならず、構造が複雑で製造が極めて難しい。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の液体噴射ヘッドは、液体を吐出する吐出溝と液体を吐出しないダミー溝とが基準方向に交互に配列し、前記吐出溝の一方側が側面に開口する圧電プレートと、前記吐出溝に液体を供給する液体供給孔を有し、前記圧電プレートの一方面に接合する液体供給プレートと、前記吐出溝から液体を排出する液体排出孔を有し、前記圧電プレートの他方面に接合する液体排出プレートと、基準方向に配列する複数のノズルを有し、前記ノズルが前記吐出溝に連通し、前記圧電プレートの側面に接合するノズルプレートと、を備え、前記吐出溝は、前記ノズル方向に液体を流す往吐出溝と、前記往吐出溝の基準方向に隣接し前記ノズル方向から液体を流す復吐出溝とを含み、前記往吐出溝と前記復吐出溝とは前記ノズルの近傍において連通し、前記液体供給孔が前記往吐出溝に連通し、前記液体排出孔が前記復吐出溝に連通することとした。
【０００９】
また、前記液体供給プレートと前記液体排出プレートとは構成が同一のプレートからなることとした。
【００１０】
また、前記ノズルプレートは、前記ノズルと前記圧電プレートの側面に開口する前記往吐出溝と前記復吐出溝とを連通することとした。
【００１１】
また、前記ノズルプレートは、前記ノズルを有する第一ノズルプレートと、前記第一連通路を有する第二ノズルプレートとが積層することとした。
【００１２】
また、前記圧電プレートは、前記ノズルの近傍に前記往吐出溝と前記復吐出溝とを連通する第二連通路を有することとした。
【００１３】
また、複数の前記液体供給孔に連通する液体供給路を有し、前記液体供給プレートに接合する液体供給流路部材を備えることとした。
【００１４】
また、前記液体供給路の一部が液体の圧力変動を緩和させる第一ダンパー膜により形成されることとした。
【００１５】
また、複数の前記液体排出孔に連通する液体排出路を有し、前記液体排出プレートに接合する液体排出流路部材を備えることとした。
【００１６】
また、前記液体排出路の一部が液体の圧力変動を緩和させる第二ダンパー膜により形成されることとした。
【００１７】
また、前記吐出溝の他方側は前記圧電プレートの一方面の面内において終端し、前記ダミー溝の側面にアクティブ電極を備え、前記往吐出溝と前記復吐出溝の側面にコモン電極を備え、前記圧電プレートの一方面に、前記コモン電極と電気的に接続するコモン端子と、前記アクティブ電極に電気的に接続するアクティブ端子とを有することとした。
【００１８】
また、前記圧電プレートの一方面に、隣接する前記ダミー溝の側面に形成される前記アクティブ電極を電気的に接続する配線電極を有することとした。
【００１９】
また、前記コモン端子と前記アクティブ端子の間の前記圧電プレートの一方面には前記コモン端子と前記アクティブ端子とを電気的に分離する分離溝が設置されることとした。
【００２０】
また、上記いずれかに記載の液体噴射ヘッドからなる第１液体噴射ヘッド〜第ｎ液体噴射ヘッド（ｎは２以上の整数）が流路部材を挟んで積層されることとした。
【００２１】
また、前記流路部材は、第ｋ（ｋは１≦ｋ＜ｎを満たす整数）液体噴射ヘッドの複数の液体排出孔に連通する液体排出路を有する液体排出流路部材と、第（ｋ＋１）液体噴射ヘッドの複数の液体供給孔に連通する液体供給路を有する液体供給流路部材とを備えることとした。
【００２２】
また、前記流路部材は、前記液体排出流路部材と前記液体供給流路部材との間にスペーサを備え、前記液体供給路の一部が液体の圧力変動を緩和させる第一ダンパー膜により形成され、前記液体排出路の一部が液体の圧力変動を緩和させる第二ダンパー膜により形成され、前記第一ダンパー膜と前記第二ダンパー膜とは前記スペーサを介して対面することとした。
【００２３】
また、前記流路部材は、第ｋ（ｋは１≦ｋ＜ｎを満たす整数）液体噴射ヘッドの複数の液体排出孔に連通する液体排出路を有する液体排出流路部材と、第（ｋ＋１）液体噴射ヘッドの複数の液体排出孔に連通する液体排出路を有する液体排出流路部材とを備えることとした。
【００２４】
また、前記流路部材は、第ｋ（ｋは１≦ｋ＜ｎを満たす整数）液体噴射ヘッドの複数の液体供給孔に連通する液体供給路を有する液体供給流路部材と、第（ｋ＋１）液体噴射ヘッドの複数の液体供給孔に連通する液体供給路を有する液体供給流路部材とを備えることとした。
【００２５】
また、前記第１液体噴射ヘッド〜前記第ｎ液体噴射ヘッドは、各基準方向が同一方向であり同一のノズルピッチを有し、第ｋ液体噴射ヘッドのノズルと第（ｋ＋１）液体噴射ヘッドのノズルとは基準方向に対して（１／ｎ）ピッチずれて設置されることとした。
【００２６】
本発明の液体噴射装置は、上記の液体噴射ヘッドと、前記液体噴射ヘッドと被記録媒体とを相対的に移動させる移動機構と、前記液体噴射ヘッドに液体を供給する液体供給管と、前記液体供給管に前記液体を供給する液体タンクと、を備えることとした。
【発明の効果】
【００２７】
本発明による液体噴射ヘッドは、液体を吐出する吐出溝と液体を吐出しないダミー溝とが基準方向に交互に配列し、吐出溝の一方側が側面に開口する圧電プレートと、吐出溝に液体を供給する液体供給孔を有し、圧電プレートの一方面に接合する液体供給プレートと、吐出溝から液体を排出する液体排出孔を有し、圧電プレートの他方面に接合する液体排出プレートと、基準方向に配列する複数のノズルを有し、ノズルが吐出溝に連通し、圧電プレートの側面に接合するノズルプレートと、を備える。吐出溝は、ノズル方向に液体を流す往吐出溝と、往吐出溝の基準方向に隣接しノズル方向から液体を流す復吐出溝とを含み、往吐出溝と復吐出溝とはノズルの近傍において連通し、液体供給孔が往吐出溝に連通し、液体排出孔が復吐出溝に連通する。これにより、液体噴射ヘッドの構造が単純となり、組み立てが容易となってコストを削減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明の第一実施形態に係る液体噴射ヘッドの部分分解斜視図である。
【図２】本発明の第一実施形態に係る液体噴射ヘッドの説明図である。
【図３】本発明の第二実施形態に係る液体噴射ヘッドの往吐出溝の長手方向に沿う断面模式図である。
【図４】本発明の第三実施形態に係る液体噴射ヘッドの圧電プレート、ノズルプレート及び液体排出プレートの部分分解斜視図である。
【図５】本発明の第四実施形態に係る液体噴射ヘッドを説明するための図である。
【図６】本発明の第五実施形態に係る液体噴射ヘッドの往吐出溝の断面模式図である。
【図７】本発明の第六実施形態に係る液体噴射ヘッドの基準方向の断面模式図である。
【図８】本発明の第七実施形態に係る液体噴射装置の模式的な斜視図である。
【図９】従来公知の液体噴射ヘッドの分解斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
（第一実施形態）
図１は本発明の第一実施形態に係る液体噴射ヘッド１の部分分解斜視図であり、図２は液体噴射ヘッド1の説明図である。
【００３０】
図１及び図２に示すように、液体噴射ヘッド１は、圧電プレート２と、圧電プレート２の一方面ＯＳに接合する液体供給プレート３と、圧電プレート２の他方面ＴＳに接合する液体排出プレート４と、圧電プレート２の側面に接合するノズルプレート５とを備える。圧電プレート２は、液体を吐出する吐出溝７と液体を吐出しないダミー溝８とが基準方向Ｋに交互に配列し、吐出溝７の一方側が側面ＳＳに開口する。液体供給プレート３は吐出溝７に液体を供給する液体供給孔３ａを有し、側面を圧電プレート２の側面ＳＳに面一に構成して圧電プレート２の一方面ＯＳに接合する。液体排出プレート４は吐出溝７から液体を排出する液体排出孔４ａを有し、側面を圧電プレート２の側面ＳＳと面一に構成して圧電プレート２の他方面ＴＳに接合する。ノズルプレート５は、基準方向Ｋに配列する複数のノズル９を有し、ノズル９が吐出溝７に連通する。
【００３１】
ここで、吐出溝７は、ノズル９方向に液体を流す往吐出溝７ａと、往吐出溝７ａの基準方向Ｋに隣接しノズル９方向から液体を流す復吐出溝７ｂとを含み、往吐出溝７ａと復吐出溝７ｂとはノズル９の近傍において連通する。具体的には、ノズルプレート５は、ノズル９を有する第一ノズルプレート５ａと第一連通路１１ａを有する第二ノズルプレート５ｂとが積層する。ノズル９と第一連通路１１ａは連通し、第一連通路１１ａは圧電プレート２の側面ＳＳに開口する往吐出溝７ａとその隣に開口する復吐出溝７ｂを連通する。また、液体供給プレート３の液体供給孔３ａは往吐出溝７ａに連通し、液体排出プレート４の液体排出孔４ａは復吐出溝７ｂに連通する。
【００３２】
具体的に説明する。圧電プレート２は、ＰＺＴセラミックスなどの圧電体セラミックスからなり、予め一方面ＯＳの垂直方向に分極処理が施されている。圧電プレート２には基準方向Ｋに往吐出溝７ａ及び復吐出溝７ｂからなる吐出溝７とダミー溝８とが交互に形成され、吐出溝７の一方側（ノズルプレート５側）が側面ＳＳに開口し他方側（ノズルプレート５とは反対側）が一方面ＯＳ及び他方面ＴＳの各面内において終端する。ダミー溝８は一方側及び他方側が圧電プレート２の両側面に開口する。往吐出溝７ａ、復吐出溝７ｂ及びダミー溝８は圧電プレート２の一方面ＯＳから他方面ＴＳに貫通する。往吐出溝７ａ及び復吐出溝７ｂのダミー溝８側の側面の上半分（上端から略１／２の深さ）までコモン電極１８が形成され、ダミー溝８の両側面には溝の深さの上半分までアクティブ電極１６が形成される。なお、往吐出溝７ａ及び復吐出溝７ｂの他方側の側面が傾斜しているが、これは、溝をダイシングブレードの外周歯により形成するためである。往吐出溝７ａ及び復吐出溝７ｂの他方側を垂直な側面としてもよい。
【００３３】
図２（ａ）は往吐出溝７ａに沿う断面模式図であり、図２（ｂ）は復吐出溝７ｂに沿う断面模式図であり、図２（ｃ）は圧電プレート２の上面模式図である。図２（ａ）に示すように、液体供給プレート３の液体供給孔３ａは往吐出溝７ａの他方側の端部において連通する。更に、図２（ｂ）に示すように、液体排出プレート４の液体排出孔４ａは復吐出溝７ｂの他方側の端部において連通する。液体供給プレート３は、溝方向の長さが圧電プレート２よりも短く、圧電プレート２の一方面ＯＳにその他方側を露出して接合される。なお、液体供給プレート３及び液体排出プレート４は圧電プレート２と同じ材料、つまりＰＺＴセラミックスなどの圧電体セラミックスを使用することができる。また、圧電プレート２と同程度の熱膨張係数を有するマシナブルセラミックスを使用してもよい。また、圧電プレート２と液体排出プレート４とは同一板から一体的に構成することができる。つまり、圧電プレート２よりも厚い板（例えばＰＺＴセラミックス）を用意し、往吐出溝７ａ、復吐出溝７ｂ及びダミー溝８を溝とは反対側の表面に貫通しない深さまで形成する。そして、溝を形成した側とは反対側にサンドブラスト法やダイシングブレードにより復吐出溝７ｂに連通させて液体排出孔４ａを形成すればよい。この場合は、吐出溝７やダミー溝８が形成されない部分が液体排出プレート４となる。
【００３４】
なお、図２においては、液体供給孔３ａの一方側（ノズルプレート５側）の端部よりも液体排出孔４ａの一方側の端部がノズルプレート５側に位置するが、好ましくは、液体供給孔３ａの一方側の端部の位置と液体排出孔４ａの一方側の端部の位置とは溝方向において一致させる。これにより、液体供給孔３ａの開口端とノズルプレート５の間の距離と、液体排出孔４ａの開口端とノズルプレート５の間の距離とが一致し、溝内に効率よく圧力波を生成することができる。
【００３５】
更に、液体供給プレート３の液体供給孔３ａと液体排出プレート４の液体排出孔４ａとを同じ大きさで溝方向の位置を同じ位置とすることができる。これにより、液体排出プレート４を液体供給プレート３により兼用することができる。つまり、圧電プレート２の他方面ＴＳに接合する液体排出プレート４と圧電プレート２の一方面ＯＳに接合する液体供給プレート３とは構成が同一のプレートを使用することができる。具体的には、液体供給プレート３を圧電プレート２の他方面ＴＳに接合する際に、一方面ＯＳに接合される液体供給プレート３に対して、仕切り壁２２ｃの壁厚及び往吐出溝７ａ（又は復吐出溝７ｂ）の溝幅を加えた距離を基準方向Ｋにずらして接合すればよい。なお、図２において往吐出溝７ａ及び復吐出溝７ｂの他方側の側面が傾斜しているが、この側面の傾斜角（一方面ＯＳに対する角度）は、ダイシングブレードを圧電プレート２に深く入れる等により容易に大きくすることができる。また、液体供給プレート３としてＰＺＴセラミックスやマシナブルセラミックスを使用する場合でも、液体供給孔３ａはダイシングブレードやサンドブラスト等により容易に形成することができる。
【００３６】
更に、図２（ｃ）に示すように、ダミー溝８ａ、８ｂの側面にアクティブ電極１６を備え、往吐出溝７ａと復吐出溝７ｂのダミー溝８側の側面にコモン電極１８を備える。圧電プレート２の一方面ＯＳに、コモン電極１８と電気的に接続するコモン端子１９を備え、隣接するダミー溝８ａ、８ｂの側面に形成されるアクティブ電極１６を電気的に接続する配線電極２０を備える。なお、本実施形態では配線電極２０がアクティブ端子１７として機能する。
【００３７】
第一ノズルプレート５ａ及び第二ノズルプレート５ｂはポリイミド膜により形成することができる。また、他の高分子材料や金属材料を使用することができる。第一ノズルプレート５ａに形成するノズル９は、第二ノズルプレート５ｂに形成する第一連通路１１ａの、基準方向Ｋにおいて略中央に位置する。なお、ノズルプレート５は第一及び第二ノズルプレート５ａ、５ｂの二層構造に代えて、第三実施形態において説明するように仕切り壁２２ｃの先端部を研削して第二連通路を形成すれば、ノズルプレート５は第一ノズルプレート５ａのみとすることができる。また、第一及び第二ノズルプレート５ａ、５ｂを一体化した単層のノズルプレート５としてもよい。
【００３８】
液体噴射ヘッド１は次のように動作する。まず、液体は、矢印ＩＮで示すように液体供給プレート３の液体供給孔３ａから往吐出溝７ａに流入し、第二ノズルプレート５ｂの第一連通路１１ａを通して復吐出溝７ｂに流入し、矢印ＯＵＴで示すように液体排出プレート４の液体排出孔４ａから排出される。駆動時は液体を上記ルートで常時循環させる。一方、ダミー溝８は液体供給孔３ａ及び液体排出孔４ａのいずれにも連通せず、液体は流入しない。そして、アクティブ端子１７とコモン端子１９に駆動信号を与えて両壁２２ａ、２２ｂの厚さ方向に電界を印加する。つまり、ダミー溝８ａのアクティブ電極１６と往吐出溝７ａのコモン電極１８との間の壁２２ａと、ダミー溝８ｂのアクティブ電極１６と復吐出溝７ｂのコモン電極１８との間の壁２２ｂに駆動信号を与える。すると、壁２２ａ、２２ｂは厚みすべり変形し、往吐出溝７ａ及び復吐出溝７ｂの容積を瞬間的に変化させる。これにより往吐出溝７ａ及び復吐出溝７ｂの液体に圧力波が発生してノズル９から液滴が吐出される。その他の往吐出溝７ａ、復吐出溝７ｂ及びダミー溝８も同様に駆動する。
【００３９】
なお、往吐出溝７ａと復吐出溝７ｂとを仕切る仕切り壁２２ｃは液体の流れを仕切るために設けている。そのため、壁２２ａや壁２２ｂとは異なり任意の厚さに設定することができる。液体噴射ヘッド１のノズル９のピッチは１つのダミー溝８と１つの吐出溝７により定まる。そして、仕切り壁２２ｃの厚さのみを変更し、ダミー溝８、吐出溝７及び壁２２ａ、２２ｂの幅を変更することなくノズル９のピッチを調整することができる。
【００４０】
また、仕切り壁２２ｃは駆動に寄与しない壁なので圧電体である必要はない。そのため、液体供給プレート３に仕切り壁２２ｃを設け、圧電プレート２の吐出溝７を広く形成し、液体供給プレート３を圧電プレート２に接合したときに吐出溝７を往吐出溝７ａと復吐出溝７ｂに分割するように構成してもよい。また、圧電プレート２の全体を圧電体セラミックスから形成することに代えて、壁２２ａ、２２ｂを圧電体セラミックスにより形成し、その他の領域を絶縁体材料により形成してもよい。また、ダミー溝８ａ、８ｂは圧電プレート２の一方側の側面から他方側の側面までストレートに形成したが、これに代えて、ダミー溝８ａ、８ｂの他方端を吐出溝７の他方端と同様に一方面ＯＳ及び他方面ＴＳの面内において終端させてもよい。また、液体を液体噴射ヘッド１の上面に設置した液体供給プレート３側から供給し、液体噴射ヘッド１の下面に設置した液体排出プレート４側から排出することに代えて、液体を液体排出プレート４側から供給し、液体供給プレート３側から排出してもよい。
【００４１】
以上説明したように、本実施形態に係る液体噴射ヘッド１は、液体を圧電プレート２の一方面ＯＳの側から流入し、圧電プレート２の他方面ＴＳの側に流出するようにしたので、液体供給孔３ａに液体を供給する流路部材や液体排出孔４ａから液体を排出する流路部材の構成を簡素化することができる。また、液体は基準方向Ｋに隣接する往吐出溝７ａと復吐出溝７ｂを循環するので、液体内に気泡や異物が混入しても、迅速に外部に排出することができる。更に、液体噴射ヘッド１の構造が単純となり、高度な加工や位置合わせを必要とせず、組み立てが容易となってコストを削減することができる。
【００４２】
（第二実施形態）
図３は本発明の第二実施形態に係る液体噴射ヘッドの往吐出溝７ａの長手方向に沿う断面模式図である。第一実施形態と異なる点は液体供給流路部材１２ａと液体排出流路部材１２ｂを設置したことであり、その他の構成は第一実施液体と同様である。従って、以下、第一実施形態と異なる部分について説明し、同一の部分は説明を省略する。同一の部分又は同一の機能を有する部分には同一の符号を付している。
【００４３】
図３に示すように、液体噴射ヘッド１は、液体供給プレート３の上面に接合する液体供給流路部材１２ａと液体排出プレート４の下面に接合する液体排出流路部材１２ｂを備える。液体供給流路部材１２ａは、複数の液体供給孔３ａに連通する液体供給路１３ａと液体供給路１３ａに連通し外部から液体が供給される供給接続部２１ａを備える。液体排出流路部材１２ｂは、複数の液体排出孔４ａに連通する液体排出路１３ｂと液体排出路１３ｂに連通し外部に液体を排出する排出接続部２１ｂを備える。つまり、液体は、供給接続部２１ａから供給され、液体供給路１３ａから複数の液体供給孔３ａを介して複数の往吐出溝７ａに流入する。液体は、更に、各往吐出溝７ａのそれぞれに連通する第一連通路１１ａを介して対応する各復吐出溝７ｂに流入し、複数の液体排出孔４ａを介して液体排出路１３ｂにおいて合流し、排出接続部２１ｂから排出される。その他の構成及び動作は第一実施形態と同様なので説明を省略する。
【００４４】
このように、液体供給プレート３の上面に液体供給流路部材１２ａを、液体排出プレート４の下面に液体排出流路部材１２ｂを分離して設けるので、流路部材の構成が簡素化される。また、第一実施形態と同様に、液体は基準方向Ｋに隣接する往吐出溝７ａと復吐出溝７ｂを循環するので、液体内に気泡や異物が混入しても、迅速に外部に排出することができる。更に、液体噴射ヘッド１の構造が単純となり、高度な加工や位置合わせを必要とせず、組み立てが容易となってコストを削減することができる。
【００４５】
（第三実施形態）
図４は、本発明の第三実施形態に係る液体噴射ヘッド１の圧電プレート２、ノズルプレート５及び液体排出プレート４の部分分解斜視図である。第一実施形態と異なる点は、ノズルプレート５と、往吐出溝７ａと復吐出溝７ｂが圧電プレート２の側面ＳＳに開口する開口部の構造であり、その他の構成は第一実施形態と同様である。従って、以下、第一実施形態と異なる部分について説明し、同一の部分は説明を省略する。同一の部分又は同一の機能を有する部分には同地の符号を付している。
【００４６】
図４に示すように、圧電プレート２は、往吐出溝７ａと復吐出溝７ｂが側面ＳＳに開口する開口部、つまりノズル９の近傍に往吐出溝７ａと復吐出溝７ｂを連通する第二連通路１１ｂを備える。具体的には、往吐出溝７ａと復吐出溝７ｂに挟まれる仕切り壁２２ｃのノズルプレート５側の先端部を削除する。そして、ノズルプレート５は第一ノズルプレート５ａのみが側面ＳＳに接合される。これにより、往吐出溝７ａの液体は第二連通路１１ｂを介して復吐出溝７ｂに流入する。その結果、ノズルプレート５を単層とすることができ、部品数が減少して組み立てが一層容易となる。
【００４７】
（第四実施形態）
図５は本発明の第四実施形態に係る液体噴射ヘッド１を説明するための図である。図５（ａ）は液体噴射ヘッド１の圧電プレート２と液体排出プレート４の部分斜視図である。図５（ｂ）は圧電プレート２にフレキシブル基板２３を接合した部分平面模式図である。第一実施形態における圧電プレート２と異なる点は、圧電プレート２の一方面ＯＳの他方側（ノズルプレートとは反対側）に分離溝２４を有する点であり、その他の構成は第一実施形態と同様である。同一の部分又は同一の機能を有する部分には同一の符号を付している。
【００４８】
図５に示すように、圧電プレート２の一方面ＯＳには、基準方向Ｋに交互に配列する吐出溝７とダミー溝８が形成される。吐出溝７は往吐出溝７ａと復吐出溝７ｂとを含む。ダミー溝８は、一方面ＯＳの一方側（ノズルプレート側）の側面ＳＳから他方側の側面まで形成される。往吐出溝７ａ及び復吐出溝７ｂは一方側が圧電プレート２の側面ＳＳに開口し、他方側が一方面ＯＳの面内において終端する。ダミー溝８の側面にアクティブ電極１６を備え、往吐出溝７ａ及び復吐出溝７ｂのダミー溝８側の側面にコモン電極１８を備える。
【００４９】
圧電プレート２の一方面ＯＳに、隣接する２つのダミー溝８の側面に形成されるアクティブ電極１６を電気的に接続する配線電極２０を有し、アクティブ端子１７として機能する。更に、往吐出溝７ａ及び復吐出溝７ｂの他方端近傍の一方面ＯＳに、往吐出溝７ａ及び復吐出溝７ｂのそれぞれの側面に形成されるコモン電極１８と電気的に接続するコモン端子１９を有する。そして、コモン端子１９とアクティブ端子１７の間の一方面ＯＳには分離溝２４が設置される。分離溝２４は基準方向Ｋに直線状に形成され、アクティブ端子１７とコモン端子１９は分離溝２４を介して電気的に分離される。
【００５０】
フレキシブル基板２３は圧電プレート２のアクティブ端子１７とコモン端子１９の上部に設置される。フレキシブル基板２３は共通電極２３ａと個別電極２３ｂを備え、共通電極２３ａが各コモン端子１９に共通に電気的に接続し、個別電極２３ｂが各アクティブ端子１７に個別に電気的に接続する。共通電極２３ａは、コモン端子１９との接続部を除いて、分離溝２４の上部に配置される。その結果、共通電極２３ａは、ダミー溝８に形成されるアクティブ電極１６との交差部においてアクティブ電極１６から離間し、共通電極２３ａの表面に厚い絶縁膜を形成するなどの絶縁対策が緩和される。
【００５１】
（第五実施形態）
図６は本発明の第五実施形態に係る液体噴射ヘッド１の往吐出溝７ａの断面模式図である。第二実施形態と異なる点は液体供給流路部材１２ａと液体排出流路部材１２ｂの構造であり、その他の構成は第二実施形態と同様である。従って、以下、主に異なる部分について説明し、同一の部分については説明を省略する。同一の部分又は同一の機能を有する部分には同一の符号を付している。
【００５２】
図６に示すように、液体噴射ヘッド１は、圧電プレート２と、圧電プレート２の一方面ＯＳに接合する液体供給プレート３と、液体供給プレート３の上面に接合する液体供給流路部材１２ａと、圧電プレート２の他方面ＴＳに接合する液体排出プレート４と、液体排出プレート４の下面に接合する液体排出流路部材１２ｂとを備える。液体供給流路部材１２ａは、複数の液体供給孔３ａに連通する液体供給路１３ａと、液体供給路１３ａに連通し外部から液体が供給される供給接続部２１ａと、液体供給路１３ａの一部を構成し液体の圧力変動を緩和させる第一ダンパー膜１４ａと、第一ダンパー膜１４ａの上部の空気層２５ａと、空気層２５ａと大気とを連通する連通孔２６ａとを備える。
【００５３】
液体排出流路部材１２ｂは、複数の液体排出孔４ａに連通する液体排出路１３ｂと液体排出路１３ｂに連通し外部に液体を排出する排出接続部２１ｂと、液体排出路１３ｂの一部を構成し液体の圧力を緩和させる第二ダンパー膜１４ｂと、第二ダンパー膜１４ｂの下部の空気層２５ｂと、空気層２５ｂと大気とを連通する連通孔２６ｂとを備える。
【００５４】
液体は、供給接続部２１ａから供給され、液体供給路１３ａから複数の液体供給孔３ａを介して複数の往吐出溝７ａに流入する。液体は、更に、各往吐出溝７ａのそれぞれに連通する第一連通路１１ａを介して対応する各復吐出溝７ｂに流入し、複数の液体排出孔４ａを介して液体排出路１３ｂにおいて合流し、排出接続部２１ｂから排出される。
【００５５】
液体供給路１３ａは一部が第一ダンパー膜１４ａにより形成され、液体排出路１３ｂは一部が第二ダンパー膜１４ｂにより形成されるので、液体噴射ヘッド１の移動に伴って流路内の液体の慣性により発生する圧力変動や、他の吐出溝７の液体が吐出される際に発生する圧力波が液体供給孔３ａや液体排出孔４ａに伝達される場合でも、この圧力変動は第一ダンパー膜１４ａや第二ダンパー膜１４ｂにより緩衝され、往吐出溝７ａや復吐出溝７ｂへのクロストークやセルフトークを軽減する。連通孔２６ａ、２６ｂは空気層２５ａ、２５ｂが密閉されるのを防ぎ、第一及び第二ダンパー膜１４ａ、１４ｂが自由に振動できるようにするために設けてある。なお、ノズルプレート５や圧電プレート２について、第三実施形態や第四実施形態のノズルプレート５や圧電プレート２を適用することができることは説明するまでもない。
【００５６】
（第六実施形態）
図７は本発明の第六実施形態に係る液体噴射ヘッド１の基準方向Ｋの断面模式図である。液体噴射ヘッド１は第一液体噴射ヘッド１ａ、第二液体噴射ヘッド１ｂ及び第三液体噴射ヘッド１ｃが流路部材１２、１２’を挟んで積層する構造を備える。同一の部分又は同一の機能を有する部分には同一の符号を付している。
【００５７】
図７に示すように、第一〜第三液体噴射ヘッド１ａ、１ｂ、１ｃのそれぞれは第一実施形態と同様の構造を有する。第一液体噴射ヘッド１ａの液体供給プレート３の上面には液体供給流路部材１２ａが設置される。第一液体噴射ヘッド１ａの液体排出プレート４と第二液体噴射ヘッド１ｂの液体供給プレート３の間に流路部材１２が設置される。第二液体噴射ヘッド１ｂの液体排出プレート４と液体噴射ヘッド１ｃの液体供給プレート３の間に流路部材１２’が設置される。液体噴射ヘッド１ｃの液体排出プレート４の下面には液体排出流路部材１２ｂが設置される。なお、液体供給流路部材１２ａ及び液体排出流路部材１２ｂの基本構成は第五実施形態の液体供給流路部材１２ａ及び液体排出流路部材１２ｂと同じである。また、第一〜第三液体噴射ヘッド１ａ〜１ｃは、いずれも液体供給プレート３から液体を排出し、液体排出プレート４から液体を供給してもよく、上下を反転させても等価である。
【００５８】
第一液体噴射ヘッド１ａのノズル９ａは基準方向ＫにピッチＰの等間隔で配列する。第二液体噴射ヘッド１ｂのノズル９ｂは、基準方向ＫにピッチＰの等間隔で配列し、第一液体噴射ヘッド１ａのノズル９ａに対して基準方向ＫにＰ／３ずれて配列する。第三液体噴射ヘッド１ｃのノズル９ｃは、基準方向ＫにピッチＰの等間隔で配列し、第二液体噴射ヘッド１ｂのノズル９ｂに対して基準方向ＫにＰ／３ずれて配列する。従って、基準方向Ｋに対する記録密度は一台の液体噴射ヘッドの３倍に向上する。
【００５９】
流路部材１２は、第一液体噴射ヘッド１ａの複数の液体排出孔４ａに連通する液体排出路１３ｄを有する液体排出流路部材１２ｄと、第二液体噴射ヘッド１ｂの複数の液体供給孔３ａに連通する液体供給路１３ｃを有する液体供給流路部材１２ｃとを備える。流路部材１２は、更に、液体排出流路部材１２ｄと液体供給流路部材１２ｃとの間にスペーサ１５を備える。液体供給路１３ｃはその一部が液体の圧力変動を緩和させる第一ダンパー膜１４ｃにより形成され、液体排出路１３ｄはその一部が液体の圧力変動を緩和させる第二ダンパー膜１４ｄにより形成され、第一ダンパー膜１４ｃと第二ダンパー膜１４ｄとは、スペーサ１５を介し、空気層２５を挟んで対面する。流路部材１２’も流路部材１２と同様の構造を有する。なお、空気層２５は外気に連通する。
【００６０】
液体は、第一液体噴射ヘッド１ａには矢印で示すように液体供給流路部材１２ａから流入し液体排出流路部材１２ｄから流出し、第二液体噴射ヘッド１ｂには矢印で示すように液体供給流路部材１２ｃから流入し液体排出流路部材１２ｄ’から流出し、第三液体噴射ヘッド１ｃには矢印で示すように液体供給流路部材１２ｃ’から流入し液体排出流路部材１２ｂから流出する。つまり、液体は各液体噴射ヘッド１ａ、１ｂ、１ｃに並列に流入し並列に流出する。これにより、第一〜第三液体噴射ヘッド１ａ、１ｂ、１ｃにおいて液体の条件を同一に揃えることができる。また、各流路部材の流路にダンパー膜を設けたので、流路内の液体の慣性により発生する圧力変動や、吐出溝７から液体を吐出する際に発生する圧力波が緩衝される。また、流路部材１２は空気層２５を挟んで液体排出流路部材１２ｄと液体供給流路部材１２ｃが積層し、流路部材１２’は空気層２５’を挟んで液体排出流路部材１２ｄ’と液体供給流路部材１２ｃ’が積層する。そのため、第一液体噴射ヘッド１ａから排出される液体の圧力変動や圧力波が、第二液体噴射ヘッド１ｂに流入する液体に伝達されず、第二液体噴射ヘッド１ｂに流入する液体の圧力変動や圧力波が第一液体噴射ヘッド１ａから排出される液体に伝達されない。第二液体噴射ヘッド１ｂと第三液体噴射ヘッド１ｃの間においても同様である。その結果、第一〜第三液体噴射ヘッド１ａ、１ｂ、１ｃは同一条件で液滴を吐出することができる。
【００６１】
本実施形態では、第一液体噴射ヘッド１ａの液体排出プレート４と第二液体噴射ヘッド１ｂの液体供給プレート３が対向し、第二液体噴射ヘッド１ｂの液体排出プレート４と第三液体噴射ヘッド１ｃの液体供給プレート３が対向する構成であるが、これに代えて、第一液体噴射ヘッド１ａの液体排出プレート４に第二液体噴射ヘッド１ｂの液体排出プレート４を対向させ、第二液体噴射ヘッド１ｂの液体供給プレート３に第三液体噴射ヘッド１ｃの液体供給プレート３を対向する構成としてもよい。つまり、流路部材１２は２層の液液体排出流路部材１２ｄがスペーサ１５と空気層２５を挟んで積層し、流路部材１２’は２層の液体供給流路部材１２ｃ’がスペーサ１５’と空気層２５’を挟んで積層する構成とする。これにより、流路部材１２においては第一液体噴射ヘッド１ａから排出される液体と第二液体噴射ヘッド１ｂから排出される液体が合流する一つの排出接続部（図６を参照）を設置すればよい。流路部材１２’においても同様に、第二液体噴射ヘッド１ｂに供給する液体と第三液体噴射ヘッド１ｃに供給する液体に分割される一つの供給接続部（図６を参照）を設置すればよい。その結果、各流路部材１２、１２’の構成を簡素化することができる。
【００６２】
なお、本実施形態では液体噴射ヘッド１を３層に積層したが、更に多数の液体噴射ヘッド１を積層することができる。即ち、液体噴射ヘッドを第１液体噴射ヘッド〜第ｎ液体噴射ヘッド（ｎは２以上の整数）が流路部材１２を挟んで積層する構成とすることができる。この場合、第１液体噴射ヘッド〜第ｎ液体噴射ヘッドは、基準方向Ｋと同一方向であり同一のノズルピッチＰを有し、第ｋ液体噴射ヘッド（ｋは１≦ｋ＜ｎを満たす整数）のノズルと第（ｋ＋１）液体噴射ヘッドのノズルとは基準方向Ｋに対して（Ｐ／ｎ）ピッチずらして設置することができる。これにより、一個の液体噴射ヘッドに対して基準方向Ｋの記録密度をｎ倍とすることができる。
【００６３】
また、流路部材１２は、第ｋ液体噴射ヘッドの複数の液体排出孔４ａに連通する液体排出路１３ｂを有する液体排出流路部材１２ｄと、第（ｋ＋１）液体噴射ヘッドの複数の液体排出孔４ａに連通する他の液体排出路１３ｄを有する他の液体排出流路部材１２ｄとを備えるようにできる。流路部材１２’は、第（ｋ＋１）液体噴射ヘッドの複数の液体供給孔３ａに連通する液体供給路１３ｃを有する液体供給流路部材１２ｃと、第（ｋ＋２）液体噴射ヘッドの複数の液体供給孔３ａに連通する他の液体供給路１３ｃを有する他の液体供給流路部材１２ｃとを備えるようにできる。
【００６４】
（第七実施形態）
図８は本発明の第七実施形態に係る液体噴射装置３０の模式的な斜視図である。液体噴射装置３０は、液体噴射ヘッド１、１’を往復移動させる移動機構４０と、液体噴射ヘッド１、１’に液体を供給し、液体噴射ヘッド１、１’から液体を排出する流路部３５、３５’と、流路部３５、３５’に連通する液体ポンプ３３、３３’及び液体タンク３４、３４’とを備えている。各液体噴射ヘッド１、１’は、圧電プレート２と、ノズルプレート５と、流路部材１２とを備える。液体ポンプ３３、３３’として、流路部３５、３５’に液体を供給する供給ポンプとそれ以外に液体を排出する排出ポンプのいずれかもしくは両方を設置し、液体を循環させる。また、図示しない圧力センサーや流量センサーを設置し、液体の流量を制御することもある。液体噴射ヘッド１、１’は、吐出溝７とダミー溝８が交互に配列し、各吐出溝７は往吐出溝７ａと復吐出溝７ｂを含み、往吐出溝７ａと復吐出溝７ｂはノズル９の近傍において連通し、液体が循環可能に構成されている。液体噴射ヘッド１、１’は、既に説明した第一〜第六実施形態のいずれかを使用することができる。
【００６５】
液体噴射装置３０は、紙等の被記録媒体４４を主走査方向に搬送する一対の搬送手段４１、４２と、被記録媒体４４に液体を吐出する液体噴射ヘッド１、１’と、液体噴射ヘッド１、１’を載置するキャリッジユニット４３と、液体タンク３４、３４’に貯留した液体を流路部３５、３５’に押圧して供給する液体ポンプ３３、３３’と、液体噴射ヘッド１、１’を主走査方向と直交する副走査方向に走査する移動機構４０とを備えている。図示しない制御部は液体噴射ヘッド１、１’、移動機構４０、搬送手段４１、４２を制御して駆動する。
【００６６】
一対の搬送手段４１、４２は副走査方向に延び、ローラ面を接触しながら回転するグリッドローラとピンチローラを備えている。図示しないモータによりグリッドローラとピンチローラを軸周りに移転させてローラ間に挟み込んだ被記録媒体４４を主走査方向に搬送する。移動機構４０は、副走査方向に延びた一対のガイドレール３６、３７と、一対のガイドレール３６、３７に沿って摺動可能なキャリッジユニット４３と、キャリッジユニット４３を連結し副走査方向に移動させる無端ベルト３８と、この無端ベルト３８を図示しないプーリを介して周回させるモータ３９を備えている。
【００６７】
キャリッジユニット４３は、複数の液体噴射ヘッド１、１’を載置し、例えばイエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの４種類の液滴を吐出する。液体タンク３４、３４’は対応する色の液体を貯留し、液体ポンプ３３、３３’、流路部３５、３５’を介して液体噴射ヘッド１、１’に供給する。各液体噴射ヘッド１、１’は駆動信号に応じて各色の液滴を吐出する。液体噴射ヘッド１、１’から液体を吐出させるタイミング、キャリッジユニット４３を駆動するモータ３９の回転及び被記録媒体４４の搬送速度を制御することにより、被記録媒体４４上に任意のパターンを記録することできる。
【００６８】
なお、本実施形態は、移動機構４０がキャリッジユニット４３と被記録媒体４４を移動させて記録する液体噴射装置３０であるが、これに代えて、キャリッジユニットを固定し、移動機構が被記録媒体を２次元的に移動させて記録する液体噴射装置であってもよい。つまり、移動機構は液体噴射ヘッドと被記録媒体とを相対的に移動させるものであればよい。
【符号の説明】
【００６９】
１  液体噴射ヘッド、１ａ  第一液体噴射ヘッド、１ｂ  第二液体噴射ヘッド、１ｃ  第三液体噴射ヘッド
２  圧電プレート
３  液体供給プレート、３ａ  液体供給孔
４  液体排出プレート、４ａ  液体排出孔
５  ノズルプレート、５ａ  第一ノズルプレート、５ｂ  第二ノズルプレート
７  吐出溝、７ａ  往吐出溝、７ｂ  復吐出溝
８、８ａ、８ｂ  ダミー溝
９、９ａ、９ｂ、９ｃ  ノズル
１１ａ  第一連通路、１１ｂ  第二連通路
１２、１２’  流路部材、１２ａ、１２ｃ、１２ｃ’  液体供給流路部材、１２ｂ、１２ｄ、１２ｄ’  液体排出流路部材
１３ａ、１３ｃ  液体供給路、１３ｂ、１３ｄ  液体排出路
１４ａ、１４ｃ、１４ｃ’  第一ダンパー膜、１４ｂ、１４ｄ、１４ｄ’  第二ダンパー膜
１５、１５’  スペーサ
１６  アクティブ電極
１７  アクティブ端子
１８  コモン電極
１９  コモン端子
２０  配線電極
２１ａ  供給接続部、２１ｂ  排出接続部
２２ａ、２２ｂ  壁、２２ｃ  仕切り壁
２３  フレキシブル基板、２３ａ  共通電極、２３ｂ  個別電極
２４  分離溝
２５、２５’、２５ａ、２５ｂ  空気層
２６ａ、２６ｂ  連通孔
ＳＳ  側面、ＯＳ  一方面、ＴＳ  他方面、Ｋ  基準方向、Ｐ  ピッチ
【図１】
2014177077.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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