(57)【要約】【課題】熟練を必要とすることなく、マスクホルダに対するマスクの正確な位置決めを行うことができ、併せて装置の大型化を防止することができるスクリーン印刷装置及びスクリーン印刷装置におけるマスク位置決め方法を提供することを目的とする。【解決手段】マスクホルダ５に対する規定の取付け位置に位置されたマスク６の後縁６Ｒを映し出すことができる所定の位置である撮像位置に位置した上方撮像カメラ３１の撮像視野内にマスク６の後縁６Ｒが入るように、マスクホルダ５に設けられた仮位置決め位置標示部（スケールＳＣ）によって標示される仮位置決め位置にマスク６の位置決め（仮位置決め）を行った後、ディスプレイ装置４１に表示される上方撮像カメラ３１の撮像画像Ｗを見ながら、マスク６の後縁６Ｒが後縁位置マークＭに合うようにマスクホルダ５上でマスク６を移動させてマスク６の位置決め（本位置決め）を行う。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
マスクホルダに保持されたマスクに基板を接触させ、前記基板と接触した前記マスク上でスキージを摺動させて前記基板にペーストを印刷するスクリーン印刷装置であって、
前記マスクホルダに対する規定の取付け位置に位置された前記マスクの後縁を映し出すことができる所定の位置に位置されて撮像を行う撮像手段と、
前記マスクホルダに設けられ、前記所定の位置に位置された前記撮像手段の撮像視野内に前記マスクの前記後縁が入る前記マスクの仮位置決め位置を標示する仮位置決め位置標示部と、
前記仮位置決め位置に前記マスクが位置決めされた状態で前記撮像手段の撮像画像を表示するとともに、その撮像画像内に、前記マスクが前記規定の取付け位置に位置決め位置された場合に前記マスクの前記後縁が位置すべき位置を示す後縁位置マークを表示する画像表示手段とを備えたことを特徴とするスクリーン印刷装置。
【請求項２】
マスクホルダに保持されたマスクに基板を接触させ、前記基板と接触した前記マスク上でスキージを摺動させて前記基板にペーストを印刷するスクリーン印刷装置におけるマスク位置決め方法であって、
前記マスクホルダに対する規定の取付け位置に位置された前記マスクの後縁を映し出すことができる所定の位置に位置した撮像手段の撮像視野内に前記マスクの前記後縁が入るように、前記マスクホルダに設けられた仮位置決め位置標示部によって標示される仮位置決め位置に前記マスクを位置決めする仮位置決め工程と、
前記マスクを前記仮位置決め位置に位置決めした状態で前記撮像手段の撮像画像を画像表示手段に表示するとともに、その撮像画像内に、前記マスクが前記規定の取付け位置に位置決めされた場合に前記マスクの前記後縁が位置すべき位置を示す後縁位置マークを表示する画像表示工程と、
前記画像表示手段に表示される前記撮像画像を見ながら前記マスクの前記後縁が前記後縁位置マークに合うように前記マスクホルダ上で前記マスクを移動させて前記マスクを位置決めする本位置決め工程とを含むことを特徴とするスクリーン印刷装置におけるマスク位置決め方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板と接触したマスク上でスキージを摺動させて基板にペーストを印刷するスクリーン印刷装置及びスクリーン印刷装置におけるマスク位置決め方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来のスクリーン印刷装置では、マスクをマスクホルダに対する規定の取付け位置に位置決めする場合には、マスクの前縁（オペレータから見たマスクの手前側の縁）が所定の目印と上下に一致するようにしていた。この場合目印はマスクと基板の位置合わせをする際に用いられるカメラの上面に設けられ、マスクの位置決めを行う前にカメラをオペレータの側に移動させるようにしていた（例えば特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−２３７６４７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記従来のマスクの位置決め方法では、マスクの前縁と目印とを上下に正確に一致させて規定の取付け位置にマスクを位置決めするには熟練が必要であった。また、カメラはマスクと基板の位置合わせ時における通常の使用の範囲を超えてオペレータ側に移動させる必要があることから、その分オペレータ側の領域にスペースが必要となってスクリーン印刷装置が大型化するという問題点もあった。
【０００５】
そこで本発明は、熟練を必要とすることなく、マスクホルダに対するマスクの正確な位置決めを行うことができ、併せて装置の大型化を防止することができるスクリーン印刷装置及びスクリーン印刷装置におけるマスク位置決め方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１に記載のスクリーン印刷装置は、マスクホルダに保持されたマスクに基板を接触させ、前記基板と接触した前記マスク上でスキージを摺動させて前記基板にペーストを印刷するスクリーン印刷装置であって、前記マスクホルダに対する規定の取付け位置に位置された前記マスクの後縁を映し出すことができる所定の位置に位置されて撮像を行う撮像手段と、前記マスクホルダに設けられ、前記所定の位置に位置された前記撮像手段の撮像視野内に前記マスクの前記後縁が入る前記マスクの仮位置決め位置を標示する仮位置決め位置標示部と、前記仮位置決め位置に前記マスクが位置決めされた状態で前記撮像手段の撮像画像を表示するとともに、その撮像画像内に、前記マスクが前記規定の取付け位置に位置決め位置された場合に前記マスクの前記後縁が位置すべき位置を示す後縁位置マークを表示する画像表示手段とを備えた。
【０００７】
請求項２に記載のスクリーン印刷装置におけるマスク位置決め方法は、マスクホルダに保持されたマスクに基板を接触させ、前記基板と接触した前記マスク上でスキージを摺動させて前記基板にペーストを印刷するスクリーン印刷装置におけるマスク位置決め方法であって、前記マスクホルダに対する規定の取付け位置に位置された前記マスクの後縁を映し出すことができる所定の位置に位置した撮像手段の撮像視野内に前記マスクの前記後縁が入るように、前記マスクホルダに設けられた仮位置決め位置標示部によって標示される仮位置決め位置に前記マスクを位置決めする仮位置決め工程と、前記マスクを前記仮位置決め位置に位置決めした状態で前記撮像手段の撮像画像を画像表示手段に表示するとともに、その撮像画像内に、前記マスクが前記規定の取付け位置に位置決めされた場合に前記マスクの前記後縁が位置すべき位置を示す後縁位置マークを表示する画像表示工程と、前記画像表示手段に表示される前記撮像画像を見ながら前記マスクの前記後縁が前記後縁位置マークに合うように前記マスクホルダ上で前記マスクを移動させて前記マスクを位置決めする本位置決め工程とを含む。
【発明の効果】
【０００８】
本発明では、マスクホルダに対する規定の取付け位置に位置されたマスクの後縁を映し出すことができる所定の位置に位置した撮像手段の撮像視野内にマスクの後縁が入るように、マスクホルダに設けられた仮位置決め位置標示部によって標示される仮位置決め位置にマスクの位置決め（仮位置決め）を行った後、画像表示手段に表示される撮像手段の撮像画像を見ながら、マスクの後縁が後縁位置マークに合うようにマスクホルダ上でマスクを移動させてマスクの位置決め（本位置決め）を行うようになっており、マスクの位置決めに際してオペレータの個人差が生じる余地は少ないので、熟練を必要とすることなく、マスクホルダに対するマスクの正確な位置決めを行うことができる。また、マスクの後縁を映し出す撮像手段がマスクと基板との位置合わせをする際の位置合わせ用のカメラとしての用いられる場合には、位置合わせ時に必要な範囲を超えてオペレータ側に移動させる必要がないのでそのためのスペースが不要であり、スクリーン印刷装置の大型化を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置の側面図
【図２】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置の一部の平面図
【図３】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置の制御系統を示すブロック図
【図４】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置のマスクホルダに対するマスクの位置決め手順を説明する図
【図５】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が備えるディスプレイ装置に表示される表示画面の一例を示す図
【図６】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置の動作説明図
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１に示すスクリーン印刷装置１は基板２に対する半田ペースト等のペーストＰｓｔのスクリーン印刷を繰り返し実行する装置であり、基台３上に設けられて基板２の保持及び移動を行う基板保持移動ユニット４、基板保持移動ユニット４の上方に設けられたマスクホルダ５、マスクホルダ５によって水平姿勢に保持されたマスク６、マスクホルダ５の上方に設けられたスキージユニット７及びマスクホルダ５の下方を移動自在に設けられたカメラユニット８を備えている。
【００１１】
図１において、基板保持移動ユニット４は、基台３上に設けられたＸＹθ移動機構１１によって水平面内方向移動と上下軸回り回転が可能なベーステーブル１２の上方に第１昇降テーブル１３と第２昇降テーブル１４が下方からこの順で設けられた構成を有する。
【００１２】
ＸＹθ移動機構１１は基台３上をＹ軸方向（図２に示すオペレータＯＰから見た前後方向であり、図１の紙面の左右方向）に延びたＹ軸テーブル１１ａ、Ｙ軸テーブル１１ａ上をＸ軸方向（オペレータＯＰから見た左右方向であり、図１の紙面に直交する方向）に延びて設けられたＸ軸テーブル１１ｂ及びＸ軸テーブル１１ｂ上に設けられたθテーブル１１ｃが段積みされて成り、Ｙ軸テーブル１１ａの駆動によりＸ軸テーブル１１ｂがＹ軸テーブル１１ａ上をＹ軸方向に移動し、Ｘ軸テーブル１１ｂの駆動によりθテーブル１１ｃがＸ軸テーブル１１ｂ上をＸ軸方向に移動し、θテーブル１１ｃの駆動によりベーステーブル１２が図１の紙面の上下方向の軸（Ｚ軸方向とする）回りに回転する。すなわちベーステーブル１２はＸＹθ移動機構１１によって水平面内で移動する。第１昇降テーブル１３は第１昇降テーブル昇降モータ１３ｍによってベーステーブル１２に対して昇降し、第２昇降テーブル１４は第２昇降テーブル昇降モータ１４ｍによって第１昇降テーブル１３に対して昇降する。
【００１３】
第１昇降テーブル１３からは一対のコンベア支持部材１５が第２昇降テーブル１４を貫通して上方に延びて設けられており、これら一対のコンベア支持部材１５によって、Ｘ軸方向に延びてＹ軸方向に対向配置された一対の搬送コンベア１６が支持されている。一対の搬送コンベア１６は基板２の両端部を下方から支持してＸ軸方向に搬送する。第２昇降テーブル１４の上面には下受け部材１７が設けられている。
【００１４】
一対の搬送コンベア１６の上方にはＹ軸方向に延びてＸ軸方向に対向配置された一対のクランプ部材（クランパ１８）が設けられている。一対のクランパ１８はクランパ開閉シリンダ１８ｓの作動によってＹ軸方向に開閉し、搬送コンベア１６上の基板２の両端部を挟んで保持（クランプ）する。
【００１５】
図１及び図２において、マスクホルダ５はＹ軸方向に延びてＸ軸方向に対向して配置された断面「Ｌ」字状の一対のマスク載置部材５ａと、各マスク載置部材５ａの上方に配置された複数のマスク固定シリンダ５ｂを有して成る。
【００１６】
図２において、マスク６はＸＹ平面に広がって延びた平板形状のプレート部６ａとプレート部６ａの外周を保持する枠状部６ｂから成り、枠状部６ｂによって囲まれたプレート部６ａの矩形の領域内には基板２上の電極２ａに対応するパターン孔６ｈが設けられている。マスク６は枠状部６ｂのＸ軸方向に対向する両辺がマスクホルダ５の一対のマスク載置部材５ａにＹ軸方向にスライド移動自在に支持されており、規定の取付け位置に位置決めされた状態で複数のマスク固定シリンダ５ｂによって上方からマスク載置部材５ａに押し付けられることでマスクホルダ５に保持される。マスクホルダ５に対するマスク６の取付け位置はスクリーン印刷の対象とする基板２の種類に応じて個別に規定されている。マスクホルダ５に対するマスク６の規定の取付け位置への位置決め手順については後述する。
【００１７】
図２において、基板２の対角位置には２つ一組の基板側マーク２ｍが設けられており、マスク６のプレート部６ａには基板側マーク２ｍに対応して配置された２つ一組のマスク側マーク６ｍが設けられている（図４（ｂ）も参照）。これら基板側マーク２ｍとマスク側マーク６ｍとが平面視において一致する状態で基板２をマスク６に接触させると、基板２の電極２ａとマスク６のパターン孔６ｈとが合致した状態となる。
【００１８】
図１において、スキージユニット７は、スキージベース２１の下方にＹ軸方向に対向配置された２つのスキージ２２を備えて成り、スキージユニット移動機構２３によってＹ軸方向に移動される。スキージユニット移動機構２３は、マスクホルダ５の上方をＹ軸方向に延びたスキージユニット移動ボール螺子２３ａ及びスキージユニット移動ボール螺子２３ａを回転駆動するスキージユニット移動モータ２３ｂから成り、スキージユニット移動ボール螺子２３ａはスキージベース２１に貫通螺入している。このためスキージユニット移動モータ２３ｂによりスキージユニット移動ボール螺子２３ａを正逆回転させるとこれに応じてスキージベース２１がＹ軸方向に往復移動する。２つのスキージ２２はスキージベース２１に設けられたスキージ昇降シリンダ２４によってスキージベース２１に対して個別に昇降される。
【００１９】
図１及び図２において、カメラユニット８は撮像視野を上方に向けた上方撮像カメラ３１と撮像視野を下方に向けた下方撮像カメラ３２を有して成り、カメラユニット８はカメラユニット移動機構３３によって水平面内で移動自在になっている。カメラユニット移動機構３３は、マスクホルダ５の下方をＹ軸方向に延びて設けられたＹ軸ガイド３４、Ｙ軸ガイド３４に一端が取付けられてＸ軸方向に延びたＸ軸ガイド３５、Ｘ軸ガイド３５をＹ軸ガイド３４に沿って移動させるＹ軸駆動モータ３４ｍ及びＸ軸ガイド３５に設けられたカメラユニット８をＸ軸ガイド３５に沿って移動させるＸ軸駆動モータ３５ｍから成り、カメラユニット８は、Ｙ軸駆動モータ３４ｍによるＸ軸ガイド３５のＹ軸方向への移動と、Ｘ軸駆動モータ３５ｍの駆動によるカメラユニット８自身のＸ軸方向への移動との組み合わせによって水平面内で移動される。
【００２０】
基板保持移動ユニット４が備える搬送コンベア１６による基板２のＸ軸方向への搬送動作、第２昇降テーブル昇降モータ１４ｍによる第２昇降テーブル１４の昇降動作（後述する基板２の下面の支持動作）、クランパ開閉シリンダ１８ｓによるクランパ１８の基板クランプ動作、ＸＹθ移動機構１１による基板２の水平面内での移動動作及び第１昇降テーブル昇降モータ１３ｍによる第１昇降テーブル１３の昇降動作（後述するクランプされた基板２の昇降動作）の各制御は、スクリーン印刷装置１が備える制御装置４０が行う（図３）。また、スキージユニット移動モータ２３ｂによるスキージユニット７のＹ軸方向への移動動作及びスキージ昇降シリンダ２４による各スキージ２２の昇降動作の各制御も制御装置４０が行う（図３）。更に、複数のマスク固定シリンダ５ｂによるマスクホルダ５へのマスク６の固定動作も、制御装置４０が各マスク固定シリンダ５ｂを作動させることによってなされる（図３）。
【００２１】
Ｙ軸駆動モータ３４ｍとＸ軸駆動モータ３５ｍによるカメラユニット８の水平面内での移動動作、カメラユニット８が備える上方撮像カメラ３１の撮像動作及び下方撮像カメラ３２の撮像動作の各制御は制御装置４０によってなされる。上方撮像カメラ３１の撮像動作によって得られた画像データ及び下方撮像カメラ３２の撮像動作によって得られた画像データはそれぞれ制御装置４０に入力され、画像認識部４０ａにおいて画像認識処理される（図３）。また、上方撮像カメラ３１の撮像画像は制御装置４０の表示制御部４０ｂを通じて制御装置４０に繋がるディスプレイ装置４１に表示される（図３）。
【００２２】
図２及び図４（ａ），（ｂ）において、マスクホルダ５の一方のマスク載置部材５ａの前方位置（オペレータＯＰの側の位置）にはＹ軸方向に目盛が刻まれたスケールＳＣがＹ軸方向（マスクホルダ５に対するマスク６のスライド移動可能な方向）に延びて設けられている。
【００２３】
次に、スクリーン印刷装置１によるスクリーン印刷作業に先立って行われるマスクホルダ５に対するマスク６の位置決め作業の実行手順（マスク位置決め方法）とその後のマスクホルダ５へのマスク６の固定作業の実行手順について説明する。オペレータＯＰは、マスク６の位置決め作業を行うには、先ず、制御装置４０に繋がる入力部４２（図３）から、これから取付けようとするマスク６の種類を指定したマスク位置決め作業開始操作を行う。
【００２４】
制御装置４０は、オペレータＯＰによるマスク位置決め作業開始の操作入力を受けたら、カメラユニット移動機構３３を構成するＹ軸駆動モータ３４ｍ及びＸ軸駆動モータ３５ｍの作動制御を行ってカメラユニット８を水平面内で移動させ、マスクホルダ５に対する規定の取付け位置に位置したマスク６の後縁６Ｒ（オペレータＯＰから見たマスク６の枠状部６ｂの奥側の縁）を下方から映し出すことができる所定の位置（「撮像位置」と称する）に上方撮像カメラ３１を位置させたうえで（図４（ａ））、上方撮像カメラ３１の撮像画像Ｗ（動画）をディスプレイ装置４１の表示画面４１ａ（図５）に表示させる。このように上方撮像カメラ３１は、マスクホルダ５に対する規定の取付け位置に位置されたマスク６の後縁６Ｒを映し出すことができる所定の位置（撮像位置）に位置されて撮像を行う撮像手段となっている。なお、上方撮像カメラ３１が位置される撮像位置はスクリーン印刷作業の対象とする基板２の種類（したがってマスク６の種類）によって異なるが、制御装置４０はオペレータＯＰが入力操作で指定したマスク６の種類に応じて適宜選択して設定する。
【００２５】
図５に示すように、ディスプレイ装置４１に表示される上方撮像カメラ３１の撮像画像Ｗ内には、マスク６の後縁６Ｒの延びる方向（Ｘ軸方向）と平行な直線から成る後縁位置マークＭが表示される。この後縁位置マークＭは、マスク６がマスクホルダ５に対する規定の取付け位置に位置決めされた場合にマスク６の後縁６Ｒが位置すべき位置を示す。
【００２６】
制御装置４０の制御によって上方撮像カメラ３１が撮像位置に移動され、上方撮像カメラ３１の撮像視野内の画像である撮像画像Ｗがディスプレイ装置４１の表示画面４１ａに表示される状態となったら、オペレータＯＰは、マスクホルダ５の一対のマスク載置部材５ａ上でマスク６の枠状部６ｂの左右両辺をスライドさせるようにしてマスクホルダ５上にマスク６を載置する。そして、マスクホルダ５上でマスク６をスライド移動させ、撮像位置に位置した上方撮像カメラ３１の撮像視野内にマスク６の後縁６Ｒが入るように、スケールＳＣによって標示される仮位置決め位置にマスク６を位置決め（仮位置決め）する（図４（ｂ）。仮位置決め工程）。
【００２７】
ここで、上記仮位置決め位置は、マスクホルダ５に対するマスク６の前縁６Ｆ（オペレータＯＰから見たマスク６の枠状部６ｂの手前側の縁）の位置によって規定される。仮位置決め位置は基板２の種類に応じて予め定められており、オペレータＯＰはその位置をスケールＳＣの目盛から読み取る。そして、マスク６の前縁６Ｆをそのマスク６に対応した仮位置決め位置に位置させる。このように本実施の形態において、スケールＳＣは、マスクホルダ５に設けられ、撮像位置に位置された上方撮像カメラ３１の撮像視野内にマスク６の後縁６Ｒが入るマスク６の仮位置決め位置を標示する仮位置決め位置標示部となっている。
【００２８】
ここで、基板２の種類に応じたマスク６の仮位置決め位置（マスク６の前縁６Ｆの位置）がスケールＳＣの目盛のどの位置に対応するかについての情報は、図５に示すように、ディスプレイ装置４１の表示画面４１ａ内の仮位置決め位置画像表示部４１ｂに画像表示される。このとき制御装置４０は、オペレータＯＰが入力部４２から指定した基板２の種類に対応するマスク６の仮位置決め位置の情報を記憶部４０ｃ（図３）から読みだしてディスプレイ装置４１に表示する。仮位置決め位置画像表示部４１ｂ中に示す目盛はスケールＳＣ上の目盛に対応したものとなっており、このためオペレータＯＰは、ディスプレイ装置４１の表示画面４１ａを見ながら仮位置決め時におけるマスク６の仮位置決め位置を確認することができる。
【００２９】
なお、マスク６の仮位置決め位置は、上記のようにディスプレイ装置４１の表示画面４１ａに画像表示する代わりに、スケールＳＣにマーク等を書き込んで標示するようにしてもよい。また、基板２の種類とスケールＳＣの目盛の位置との対応を記した対応表を用意してこれをオペレータＯＰの見やすい位置に取付けておくようにしてもよい。或いは、スケールＳＣを用いることなく、マスクホルダ５のマスク載置部材５ａの前方の上面位置（スケールＳＣが取付けられる位置）に仮位置決め位置がマーク等により標示されるのであってもよい。
【００３０】
オペレータＯＰが上記のようにしてマスク６の仮位置決めを行うと、上方撮像カメラ３１の撮像視野内にマスク６の後縁６Ｒが入り、ディスプレイ装置４１に表示される上方撮像カメラ３１の撮像画像Ｗ内にマスク６の後縁６Ｒとともに上記後縁位置マークＭが映し出される（図５）。すなわち、制御装置４０は、マスク６が仮位置決め位置に位置決め（仮位置決め）された状態で上方撮像カメラ３１の撮像画像Ｗをディスプレイ装置４１に表示するとともに、その撮像画像Ｗ内に、マスク６が規定の取付け位置に位置決めされた場合にマスク６の後縁６Ｒが位置すべき位置を示す後縁位置マークＭを表示する（画像表示工程）。このときディスプレイ装置４１は、仮位置決め位置にマスク６が位置決め（仮位置決め）された状態で上方撮像カメラ３１の撮像画像Ｗを表示するとともに、その撮像画像Ｗ内に、マスク６が規定の取付け位置に位置決め位置された場合にマスク６の後縁６Ｒが位置すべき位置を示す後縁位置マークＭを表示する画像表示手段として機能する。
【００３１】
ディスプレイ装置４１に表示される上方撮像カメラ３１の撮像画像Ｗ内にマスク６の後縁６Ｒが後縁位置マークＭとともに映し出されたら、オペレータＯＰは、ディスプレイ装置４１に表示される撮像画像Ｗを見ながら、マスク６の後縁６Ｒが後縁位置マークＭに合うようにマスクホルダ５上でマスク６を移動させてマスク６の位置決め（本位置決め）を行う（本位置決め工程）。
【００３２】
上記本位置決め工程が終了してマスクホルダ５に対するマスク６の位置決め作業が完了したら、オペレータＯＰはマスクホルダ５に対するマスク６の固定作業を行う。オペレータＯＰは、マスク６の位置決め作業の後、そのままマスク６の固定作業に移るのであればディスプレイ装置４１の表示画面４１ａに表示された実行ボタン４１ｃ（図５）を操作し、マスク６の固定作業に移らないのであれば表示画面４１ａに表示された中断ボタン４１ｄ（図５）を操作する。制御装置４０は、実行ボタン４１ｃの操作入力を受けたらマスク固定シリンダ５ｂを作動させ、マスク６をマスクホルダ５に固定する。これによりマスクホルダ５へのマスク６の固定作業が終了する。
【００３３】
上記のようにしてマスクホルダ５に対するマスク６の固定作業が終了したら、オペレータＯＰは入力部４２から所定のスクリーン印刷作業開始操作を行う。スクリーン印刷作業開始操作を受けた制御装置４０は、スクリーン印刷装置１の外部から投入された基板２を搬送コンベア１６により受け取って搬送し、一対のクランパ１８の間の下方の作業位置に基板２を位置決めする。そして、第２昇降テーブル１４を第１昇降テーブル１３に対して上昇させ、下受け部材１７により基板２の下面を支持した後、第２昇降テーブル１４を上昇させて基板２を搬送コンベア１６から持ち上げ、一対のクランパ１８により基板２の両端部をＹ軸方向からクランプして保持する。
【００３４】
制御装置４０は基板２をクランプしたら、カメラユニット８をマスク６の下方領域内に移動させ、基板２に設けられた基板側マーク２ｍを基板２の上方から下方撮像カメラ３２により撮像して基板側マーク２ｍの画像データを取得し、次いでマスク６に設けられたマスク側マーク６ｍをマスク６の下方から上方撮像カメラ３１により撮像してマスク側マーク６ｍの画像データを取得する。そして、得られた基板側マーク２ｍの画像データに基づく画像認識を行って基板２の位置を算出するとともに、マスク側マーク６ｍの画像データに基づく画像認識を行ってマスク６の位置を算出する。
【００３５】
制御装置４０は、基板２の位置とマスク６の位置を算出したら、カメラユニット８をマスク６の下方領域から外れた位置に移動させる。そして、ＸＹθ移動機構１１の作動制御を行って、基板側マーク２ｍがマスク側マーク６ｍの直下に位置するように基板２を移動させる。これによりマスク６に対する基板２の位置合わせがなされる。
【００３６】
制御装置４０は、マスク６に対する基板２の位置合わせを行ったら、基板保持移動ユニット４の第１昇降テーブル１３をベーステーブル１２に対して上昇させて（図６中に示す矢印Ａ）、基板２の上面及びクランパ１８の上面をマスク６の下面に接触させる（図６）。これにより基板２の電極２ａとマスク６のパターン孔６ｈが合致した状態となる。
【００３７】
制御装置４０は、マスク６に基板２を接触させたら、一方のスキージ２２をスキージベース２１に対して下降させてその下端部をマスク６上に当接させ、スキージベース２１をＹ軸方向に移動させることによって（図６中に示す矢印Ｂ）、スキージ２２をマスク６上で摺動させる。これにより予めマスク６上に供給しておいたペーストＰｓｔがスキージ２２によって掻き寄せられ、マスク６上のペーストＰｓｔが基板２の電極２ａに転写される。
【００３８】
上記ペーストＰｓｔの転写工程では、制御装置４０は、スキージベース２１をスクリーン印刷装置１の前方から後方に（図６では紙面の左方から右方に）移動させるときには前方（図６の紙面の左側）に位置するスキージ２２をマスク６に当接させ、スキージベース２１をスクリーン印刷装置１の後方から前方に（図６では紙面の右方から左方に）移動させるときには後方（図６の紙面に右側））に位置するスキージ２２をマスク６に当接させる。
【００３９】
制御装置４０は、上記ペーストＰｓｔの転写作業が終了したら、第１昇降テーブルの１３を下降させ、マスク６から基板２を離間させることによって版離れを行い、更に、一対のクランパ１８による基板２の保持（クランプ）を解除した後、第２の昇降テーブル１４を下降させて、基板２を搬送コンベア１６に下す。そして、搬送コンベア１６を作動させてスクリーン印刷装置１の外部に基板２を搬出する。これにより基板２の１枚当たりのスクリーン印刷作業が終了する。
【００４０】
以上説明したように、本実施の形態におけるスクリーン印刷装置１及びスクリーン印刷装置１におけるマスク位置決め方法では、マスクホルダ５に対する規定の取付け位置に位置されたマスク６の後縁６Ｒを映し出すことができる所定の位置（撮像位置）に位置した上方撮像カメラ３１の撮像視野内にマスク６の後縁６Ｒが入るように、マスクホルダ５に設けられた仮位置決め位置標示部（スケールＳＣ）によって標示される仮位置決め位置にマスク６の位置決め（仮位置決め）を行った後、ディスプレイ装置４１に表示される上方撮像カメラ３１の撮像画像Ｗを見ながら、マスク６の後縁６Ｒが後縁位置マークＭに合うようにマスクホルダ５上でマスク６を移動させてマスク６の位置決め（本位置決め）を行うようになっており、マスク６の位置決めに際してオペレータＯＰの個人差が生じる余地は少ないので、熟練を必要とすることなく、マスクホルダ５に対するマスク６の正確な位置決めを行うことができる。また、マスク６の後縁６Ｒを映し出す上方撮像カメラ３１はマスク６と基板２との位置合わせをする際の位置合わせ用のカメラとしても用いられているが、位置合わせ時に必要な範囲を超えてオペレータＯＰ側に移動させる必要がないのでそのためのスペースが不要であり、スクリーン印刷装置１の大型化を防止することができる。
【産業上の利用可能性】
【００４１】
熟練を必要とすることなく、マスクホルダに対するマスクの正確な位置決めを行うことができ、併せて装置の大型化を防止することができるスクリーン印刷装置及びスクリーン印刷装置におけるマスク位置決め方法を提供する。
【符号の説明】
【００４２】
１  スクリーン印刷装置
２  基板
５  マスクホルダ
６  マスク
６Ｆ  前縁
６Ｒ  後縁
２２  スキージ
３１  上方撮像カメラ（撮像手段）
４１  ディスプレイ装置（画像表示手段）
ＳＣ  スケール（仮位置決め位置標示部）
Ｍ  後縁位置マーク
Ｗ  撮像画像
Ｐｓｔ  ペースト
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
2014144571.tif 000006
【図５】
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【図６】
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