(57)【要約】      （修正有）【課題】定盤上にシートを密着させることが可能な定盤ユニット及び該定盤上へのシートの密着方法を提供する。【解決手段】定盤ユニット３０は、シート１１が密着される密着面４ａと、密着面４ａを囲繞し密着面４ａよりも上方でシート１１の外周を吸引保持する保持面と、該保持面から密着面４ａに至る側面と、該保持面に開口する第１吸引口８と、一端が第１吸引口８に連通するとともに他端が吸引源１４に選択的に接続される第１吸引路１０と、密着面４ａ又は該側面の少なくとも一方に開口する第２吸引口１６と、一端が第２吸引口１６に連通するとともに他端が吸引源１４に選択的に接続される第２吸引路１８と、を有する定盤２と；該保持面に当接し、第１吸引口８と第２吸引口１６との間に立設する立設部２６と、天井部２８とを含み、定盤２上に載置されたシート１１上に密閉空間２５を形成可能に配設され、減圧路２７を有する密閉機構２４と；を備える。【選択図】図４
2014217929.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シートが密着される定盤ユニットであって、
シートが密着される密着面と、
該密着面を囲繞し該密着面よりも上方でシートの外周を吸引保持する保持面と、
該保持面から該密着面に至る側面と、
該保持面に開口する第１吸引口と、
一端が該第１吸引口に連通するとともに他端が吸引源に選択的に接続される第１吸引路と、
該密着面又は該側面の少なくとも一方に開口する第２吸引口と、
一端が該第２吸引口に連通するとともに他端が該吸引源に選択的に接続される第２吸引路と、を有する定盤と；
該保持面に当接し、該第１吸引口と該第２吸引口との間に立設する立設部と、天井部とを含み、該定盤上に載置されたシート上に密閉空間を形成可能に配設される密閉機構と；を備え、
該密閉機構は、一端が減圧源に接続され他端が該密閉空間に開口する減圧路を有することを特徴とする定盤ユニット。
【請求項２】
請求項１記載の定盤ユニットを用いてシートを該定盤に密着させるシートの密着方法であって、
定盤上にシートを載置して該第１吸引口を介して該シートの外周を吸引保持するシート保持ステップと、
該シート保持ステップを実施した後、該第２吸引口を介して該シートを吸引して該シートを該密着面に密着させる密着ステップと、
該密着ステップを実施した後、該密閉機構で該密着面上の該シート上に密閉空間を形成するとともに、該減圧源を作動させて該密閉空間内を減圧するとともに該第２吸引口からの吸引を実施することで、該密着面と該シートとの間に形成された気泡を該第２吸引路を介して除去する気泡除去ステップと、
を備えたことを特徴とするシートの密着方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シートが密着される定盤ユニット及び定盤上にシートを密着させるシートの密着方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエーハ（以下、ウエーハと略称することがある）には、例えばシリコン等の単結晶材料からなるものや、複数の元素を含有する化合物からなるもの等がある。これらのウエーハは、円柱状のインゴットに形成されてからワイヤーソー等によって薄くスライスされ、更に、ラッピング、エッチング等を施すことによりスライス時に発生したうねりや反りが除去されて平坦に加工される。
【０００３】
ウエーハにラッピング、エッチング等を施すことによりウエーハを平坦に加工する実施形態に替えて、うねりや反りを含むウエーハを研削して平坦に加工するために、ウエーハの片面に樹脂を被覆する樹脂被覆方法及び装置が特開２００９−１４８８６６号公報に開示されている。
【０００４】
この公開公報に開示された樹脂被覆方法では、定盤上に載置されたシート上に液状樹脂を塗布し、液状樹脂にウエーハを押圧して液状樹脂を硬化することでウエーハの片面に樹脂を被覆している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００９−１４８８６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１に開示されたような樹脂被覆装置において、定盤にシートが密着しておらずシートと定盤間に気泡が残存していると、気泡が残存している部分において局所的にシート上面の高さ位置が高くなる。
【０００７】
この状態で液状樹脂をシート上に塗付してウエーハを液状樹脂に押圧すると、局所的に液状樹脂が薄く形成され、ウエーハの片面に配設される液状樹脂の厚みがばらついてしまうという問題がある。
【０００８】
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、定盤上にシートを密着させることが可能な定盤ユニット及び該定盤上にシートを密着させるシートの密着方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
請求項１記載の発明によると、シートが密着される定盤ユニットであって、シートが密着される密着面と、該密着面を囲繞し該密着面よりも上方でシートの外周を吸引保持する保持面と、該保持面から該密着面に至る側面と、該保持面に開口する第１吸引口と、一端が該第１吸引口に連通するとともに他端が吸引源に選択的に接続される第１吸引路と、該密着面又は該側面の少なくとも一方に開口する第２吸引口と、一端が該第２吸引口に連通するとともに他端が該吸引源に選択的に接続される第２吸引路と、を有する定盤と；該保持面に当接し、該第１吸引口と該第２吸引口との間に立設する立設部と、天井部とを含み、該定盤上に載置されたシート上に密閉空間を形成可能に配設される密閉機構と；を備え、該密閉機構は、一端が減圧源に接続され他端が該密閉空間に開口する減圧路を有することを特徴とする定盤ユニットが提供される。
【００１０】
請求項２記載の発明によると、請求項１記載の定盤ユニットを用いてシートを該定盤に密着させるシートの密着方法であって、定盤上にシートを載置して該第１吸引口を介して該シートの外周を吸引保持するシート保持ステップと、該シート保持ステップを実施した後、該第２吸引口を介して該シートを吸引して該シートを該密着面に密着させる密着ステップと、該密着ステップを実施した後、該密閉機構で該密着面上の該シート上に密閉空間を形成するとともに、該減圧源を作動させて該密閉空間内を減圧するとともに該第２吸引口からの吸引を実施することで、該密着面と該シートとの間に形成された気泡を該第２吸引路を介して除去する気泡除去ステップと、を備えたことを特徴とするシートの密着方法が提供される。
【発明の効果】
【００１１】
シートサイズが大きい場合には、シートと密着面間に気泡が形成されると、第２吸引路からの気泡の吸引除去が難しいが、本発明の定盤ユニットは密着機構を備えるため、密着ステップを実施した後、第１吸引口と第２吸引口との間に立設する立設部と天井部とを有する密閉機構で密着面上のシート上に密閉空間を形成するとともに密閉空間内を減圧する。
【００１２】
この状態で第２吸引路からシートの吸引を実施するため、シートと密着面間に気泡が形成されたとしても、第２吸引路を介して気泡が除去される。よって、定盤上にシートを密着させることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明実施形態に係る定盤の縦断面図である。
【図２】シート保持ステップを示す定盤の縦断面図である。
【図３】密着ステップを示す定盤の縦断面図である。
【図４】気泡除去ステップを示す定盤ユニットの縦断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図１を参照すると、本発明実施形態に係る定盤２の縦断面図が示されている。定盤２はその上面に円形凹部４を有しており、円形凹部４の底面が密着面４ａとして形成されている。
【００１５】
定盤２は、円形凹部４を囲繞する環状の保持面６を有しており、この保持面６に第１吸引口８が開口している。第１吸引口８には第１吸引路１０の一端が連通しており、第１吸引路１０の他端は電磁切替弁１２を介して吸引源１２に選択的に接続される。
【００１６】
密着面４ａには第２吸引口１６が開口しており、第２吸引路１８の一端が第２吸引口１６に連通するとともにその他端は電磁切替弁２０を介して吸引源１６に選択的に接続されている。図示した実施形態では、第２吸引口１６は密着面４ａに開口しているが、第２吸引口１６を側面（段差部）４ｂに開口するようにしてもよい。
【００１７】
以下、定盤２を使用したシートの密着方法について図２乃至図４を参照して説明する。まず、図２に示すように、定盤２上にシート１１を載置する。そして、電磁切替弁１２を連通位置に切り替えて、第１吸引口８を介してシート１１の外周を吸引保持する（シート保持ステップ）。
【００１８】
シート保持ステップ実施後、図３に示すように、電磁切替弁２０も連通位置に切り替えて、第２吸引口１６を介してシート１１を吸引してシート１１を密着面４ａに密着させる密着ステップを実施する。この密着ステップを実施すると、特にシート１１のサイズが大きい場合には、シート１１と密着面４ａ間に気泡２２が形成され易い。
【００１９】
そこで、本発明のシートの密着方法では、この気泡２２を除去する気泡除去ステップを実施する。気泡除去ステップでは、図４に示すように、第１吸引口８と第２吸引口１６との間に立設して保持面６上のシート１１に当接する立設部２６と、立設部２６に連結された天井部２８とを含み、定盤２上に載置されたシート１１上に密閉空間２５を形成する密閉機構２４を定盤２上に載置する。定盤２と密閉機構２４とで定盤ユニット３０を構成する。
【００２０】
定盤ユニット３０を使用した気泡除去ステップでは、密閉機構２４の天井部２８に形成された貫通穴２７を減圧手段３２に接続し、減圧手段３２を作動させて密閉空間２５内を減圧するとともに、第２吸引口１６からの吸引を同時に実施することで、密着面４ａとシート１１との間に形成された気泡２２を第２吸引路１８を介して除去する。
【００２１】
気泡除去ステップでは、密閉空間２５内を減圧しながら第２吸引口１６からシート１１を吸引するため、例え気泡２２が形成されたとしても、この気泡２２を第２吸引路１８を介して除去することができる。
【００２２】
その結果、シート１１を定盤２の密着面４ａに密着させた状態で、液状樹脂をシート１１上に塗付し、シート１１上の液状樹脂にウエーハを押圧して液状樹脂を硬化させると、一様な厚みの樹脂層をウエーハの一面に貼着することができる。
【符号の説明】
【００２３】
２    定盤
４    円形凹部
４ａ    密着面
６    保持面
８    第１吸引口
１０    第１吸引路
１１    シート
１２，２０    電磁切替弁
１４    吸引源
１６    第２吸引口
１８    第２吸引路
２２    気泡
２４    密閉機構
２５    密閉空間
３０    定盤ユニット
３２    減圧手段
【図１】
2014217929.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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