(57)【要約】【課題】長尺状のロールからフィルムを繰り出す際の塵埃の発生が生じ難い真空成膜装置、並びに該塵埃の発生を効果的に抑制するロールずれ防止部材を提供する。【解決手段】長尺状のフィルム３ａが巻軸２に巻回されているフィルムロール３のずれを防止するためのロールずれ防止部材４であって、巻軸２に挿通されかつ該巻軸２の軸方向に移動しないように固定されており、フィルムロール３に対向する側の面４ｂに外周縁から巻軸２に挿通される中心側に向うにつれてフィルムロール３に近づくようにテーパーがつけられているロールずれ防止部材４、並びに該ロールずれ防止部材４によりロールずれが防止されているフィルムロール３と、成膜部５と、巻き取り軸７とを備える真空成膜装置１。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空槽と、
前記真空槽内に配置されており、長尺状のフィルムが巻回されている巻軸と、
前記巻軸に挿通されかつ該巻軸の軸方向に移動しないように固定され、外周縁から前記巻軸に挿通される中心側に向うに連れて前記フィルムロールに近づくように、前記フィルムロールに対向する側の面にテーパーが付けられているロールずれ防止部材と、
前記巻軸に巻回されているフィルムロールから繰り出されたフィルムの表面に真空下で成膜を行う成膜部と、
前記成膜部よりも下流側において、前記成膜部により形成された膜が片面に設けられているフィルムを巻き取る、巻き取り軸とを備える、真空成膜装置。
【請求項２】
前記ロールずれ防止部材が、平面視した場合、中心に前記巻軸が挿通される貫通孔を有し、全体が略円形の形状を有する、請求項１に記載の真空成膜装置。
【請求項３】
長尺状のフィルムが巻軸に巻回されているフィルムロールのずれを防止するためのロールずれ防止部材であって、
前記巻軸に挿通されかつ該巻軸の軸方向に移動しないように固定され、前記フィルムロールに対向する側の面に外周縁から前記巻軸に挿通される中心側に向うにつれて前記フィルムロールに近づくようにテーパーが付けられている、ロールずれ防止部材。
【請求項４】
前記ロールずれ防止部材を前記巻軸の軸方向に見たときに、中心に巻軸が挿通される貫通孔を有し、外周縁が円形の形状を有する、請求項３に記載のロールずれ防止部材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、長尺状のフィルムが巻軸に巻回されているフィルムロールからフィルムを繰り出し、真空下で成膜する真空成膜装置、並びに該真空成膜装置においてフィルムロールにおける巻ずれを防止するためのロールずれ防止部材に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、長尺状のフィルムや紙材は製品化にあたり、ロール状に巻回されることが多い。また、製造に際しても、原反ロールから長尺状のフィルムや紙材を繰り出し、製品単位のロールにすることがある。長尺状のフィルムや紙材を巻回するに際しては、巻ずれが生じないことが求められる。
【０００３】
下記の特許文献１には、このような巻ずれを防止するための巻ずれ防止部材が開示されている。特許文献１では、巻ずれ防止部材には、原反ロールの内周に挿入されるシャフト部材と、原反の側端部に配置される固定板とが備えられている。この固定板は、原反ロールの端面に接触する円板状の形状とされている。特許文献１では、一対の固定板間に原反ロールが配置され、それによって巻ずれが防止されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１１−２０７５８０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、基材フィルム上に薄膜形成法により薄膜を成膜する装置として、縦型搬送式真空成膜装置が知られている。縦型搬送式真空成膜装置では、基材フィルムが、幅方向が垂直方向となるようにして、原反ロールから繰り出される。特許文献１に記載の巻ずれ防止部材の固定板を用いれば、原反ロールの下方への移動が規制される。
【０００６】
しかしながら、円板状の固定板を用いた場合、基材フィルムを繰り出すに際し、基材フィルムの幅方向端部が固定板の特に下側に位置している固定板の上面と接触しがちであった。そのため、摩擦によりフィルム端部の材料の一部が塵埃として飛び散る恐れがあった。このような塵埃が基材表面に接触し、付着すると、成膜される薄膜に重大な欠陥を生じさせる。特に、ガスバリアフィルムなどの高度な性能を要求される薄膜の場合には、性能が大きく低下する。
【０００７】
本発明の目的は、長尺状のロールからフィルムを繰り出す際の塵埃の発生が生じ難い真空成膜装置、並びに該塵埃の発生を効果的に抑制し得るロールずれ防止部材を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係る真空成膜装置は、真空槽と、前記真空槽内に配置されており、長尺状のフィルムが巻回されている巻軸と、前記巻軸に挿通されかつ該巻軸の軸方向に移動しないように固定され、外周縁から前記巻軸に挿通される中心側に向うに連れて前記フィルムロールに近づくように、該フィルムロールに対向している側の面にテーパーが付けられているロールずれ防止部材と、前記巻軸に巻回されているフィルムロールから繰り出されたフィルムの表面に真空下で成膜を行う成膜部と、前記成膜部よりも下流側において、前記成膜部により形成された膜が片面に設けられているフィルムを巻き取る巻き取り軸とを備える。
【０００９】
本発明に係る真空成膜装置のある特定の局面では、前記ロールずれ防止部材は、平面視した場合、中心に前記巻軸が挿通される貫通孔を有し、全体が略円形の形状を有する。
【００１０】
本発明に係るロールずれ防止部材は、長尺状のフィルムが巻軸に巻回されているフィルムロールのずれを防止するためのロールずれ防止部材である。このロールずれ防止部材には、前記巻軸が挿通されており、かつ該巻軸の軸方向に移動しないように固定されている。ロールずれ防止部材では、前記フィルムロールに対向する側の面に外周縁から前記巻軸に挿通される中心側に向うにつれて前記フィルムロールに近づくようにテーパーが付けられている。
【００１１】
本発明に係るロールずれ防止部材のある特定の局面では、前記ロールずれ防止部材を前記巻軸の軸方向に見たときに、中心に巻軸が挿通される貫通孔を有し、かつロールずれ防止部材の外周縁が円形の形状を有する。
【発明の効果】
【００１２】
本発明に係る真空成膜装置及びロールずれ防止部材によれば、ロールずれ防止部材の上記フィルムロールに対向する側の面に上記テーパーがつけられているため、フィルムとロールずれ防止部材との間に隙間が形成される。従って、フィルムをフィルムロールから繰り出す際に、フィルムロールの位置ずれを防止しつつ、フィルムの幅方向端部とロールずれ防止部材との接触を抑制することができる。よって、フィルムからの塵埃の発生を効果的に抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の一実施形態に係る真空成膜装置の略図的正面図である。
【図２】（ａ）及び（ｂ）は本発明の一実施形態に係るロールずれ防止部材の平面図及び正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。
【００１５】
図１は、本発明の一実施形態に係る真空成膜装置の略図的正面図である。真空成膜装置１は、真空槽１Ａを有する。真空槽１Ａ内にフィルムロール３が配置されている。フィルムロール３は、円柱状もしくは円筒状の巻軸２の外周面に基材フィルムを巻回することにより構成されている。
【００１６】
本実施形態では、上記基材フィルムとして、合成樹脂フィルムを用いる。もっとも、合成樹脂フィルム以外の長尺状の可撓性基材を基材フィルムとして用いてもよい。
【００１７】
真空成膜装置１では、上記巻軸２は上下方向を向くように配置されている。すなわち、長尺状の基材フィルム３ａの幅方向が、上下方向となるようにフィルムロール３が配置されている。このフィルムロール３の上記幅方向において対向し合う一対の端面の内、下方の端面側に、本発明の実施形態としてのロールずれ防止部材４が配置されている。
【００１８】
図２（ａ）及び（ｂ）に示すように、ロールずれ防止部材４は、外周縁が円形を有している。ロールずれ防止部材４の中央には貫通孔４ａが設けられている。この貫通孔４ａに、巻軸２が挿通される。ロールずれ防止部材４の上面４ｂにはテーパーがつけられている。このテーパーは、外周縁から巻軸が挿通される中心側に向うにつれて、上面４ｂがフィルムロール３側に近づくように形成されている。
【００１９】
上記ロールずれ防止部材４は、金属、セラミックスまたは合成樹脂などの剛性材料により形成されている。また、図１では、巻軸２に対して、ロールずれ防止部材４が、上下方向に位置ずれを起こさないようにロールずれ防止部材４が固定されている。従って、フィルムロール３の下方への位置ずれが防止されている。
【００２０】
また、図１から明らかなように、ロールずれ防止部材４の上面４ｂと、フィルムロール３との間には隙間Ａが存在する。すなわち、上面４ｂに上記テーパーがつけられているため、フィルムロール３に外周に近づくほど大きくなる隙間Ａが形成されている。
【００２１】
よって、フィルムロール３は下方に位置ずれしないようにロールずれ防止部材４によって規制されているが、フィルムロール３における基材フィルム３ａの幅方向端部と上面４ｂとが接触しない。
【００２２】
真空槽１Ａにおいては、上記フィルムロール３よりも下流側に、成膜部５が設けられている。成膜部５は、スパッタリング装置や、ＣＶＤ装置などの適宜の薄膜形成装置により構成される。本実施形態では、ガスバリアフィルムを成膜するために、上記成膜部５はガスバリア性無機材料からなるターゲットを用いたスパッタリング装置により構成されている。
【００２３】
ガスバリアフィルム６は、本実施形態では、ＳｉＯＸからなる。もっとも、ガスバリアフィルム６は、他のガスバリア性材料により形成されてもよい。
【００２４】
上記成膜部５の下流側には、巻き取り軸７が配置されている。巻き取り軸７は、図示しない回転駆動装置に連結されており、基材フィルム３ａ上にガスバリア膜６が積層されている積層フィルムを巻回するように構成されている。巻き取り軸７においても、下方に、ロールずれ防止部材４が配置されている。
【００２５】
本実施形態の真空成膜装置１では、フィルムロール３から基材フィルム３ａが図示の矢印方向に繰り出される。基材フィルム３ａは幅方向が上下方向となるようにして搬送される。
【００２６】
成膜部５においてガスバリアフィルム６が基材フィルム３ａの片面に形成される。このようにして、基材フィルム３ａの片面にガスバリアフィルム６が成膜される。基材フィルム３ａと、ガスバリアフィルム６の積層膜が、巻き取り軸７を巻回することにより、巻き取られる。
【００２７】
本実施形態では、フィルムロール３から基材フィルム３ａの繰り出しに際し、上記隙間Ａが設けられているため、基材フィルム３ａの幅方向端部がロールずれ防止部材４の上面４ｂと接触しない。従って、基材フィルム３ａから塵埃が発生し難い。よって、ガスバリアフィルム６を成膜した場合、ガスバリアフィルム６に欠陥が生じ難い。従って、ガスバリア性に優れたガスバリア６を成膜することができる。
【００２８】
さらに、本実施形態では、巻き取り軸７においても、該巻き取り軸７にロールずれ防止部材４が固定されているため、巻き取りに際しても、ガスバリアフィルム６の幅方向端部とロールずれ防止部材４の上面４ｂとの接触が生じ難い。従って、カールやしわが少ないガスバリアフィルム６を得ることができる。
【００２９】
上記のように、本実施形態の真空成膜装置１及びロールずれ防止部材４では、上記ロールずれ防止部材４の上面４ｂに上記テーパーがつけられているため、塵埃の発生を効果的に抑制することが可能となる。
【００３０】
なお、上記実施形態では、フィルムロール３の下方にのみロールずれ防止部材４を配置したが、上方にもロールずれ防止部材４を、上記テーパーがつけられている面がフィルムロール３側に位置するように配置してもよい。
【００３１】
また、本発明のロールずれ防止部材は、上記のような真空成膜装置に限らず、縦型にフィルムロールを配置する様々な用途に用いることができる。また、フィルムロールに巻回されるフィルムについても、上記基材フィルムに限らず、紙材などであってもよい。
【００３２】
さらに、本発明では、ガスバリアフィルムに限らず、真空成膜装置の成膜部においては、様々な薄膜を形成してもよい。いずれにしても、塵埃の発生を抑制し得るため、成膜されたフィルムにおける重大な構造欠陥の発生を確実に抑制することができる。
【符号の説明】
【００３３】
１…真空成膜装置
１Ａ…真空槽
２…巻軸
３…フィルムロール
３ａ…基材フィルム
４…ロールずれ防止部材
４ａ…貫通孔
４ｂ…上面
５…成膜部
６…ガスバリアフィルム
７…巻き取り軸
Ａ…隙間
【図１】
2014177671.tif 000003
【図２】
2014177671.tif 000004