(57)【要約】【課題】半導体素子と実装基板とがＢｉを主成分とするはんだ材によって接合されている半導体装置の接合信頼性を向上させる。【解決手段】半導体素子１１における実装基板１５側の面上には、当該面に接するオーミックコンタクト層１２ａ、オーミックコンタクト層１２ａに接する金属拡散バリア層１２ｂ、金属拡散バリア層１２ｂに接するはんだ接合バリア層１２ｃ、及び、はんだ接合バリア層１２ｃに接するビスマス含有はんだ層１３が積層されている。はんだ接合バリア層１２ｃの側面は、金属拡散バリア層１２ｂの側面よりも外側に位置している。【選択図】図１
2014112572.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体素子と当該半導体素子を支える実装基板との接合構造を有する半導体装置であって、
前記半導体素子と前記実装基板とは、融点が２７０℃以上であり且つビスマスを主成分とするはんだ材によって接合されており、
前記半導体素子における前記実装基板側の面上には、金属拡散バリア層、前記金属拡散バリア層に接するはんだ接合バリア層、及び、前記はんだ接合バリア層に接するビスマス含有はんだ層が積層されており、
前記はんだ接合バリア層の側面は、前記金属拡散バリア層の側面よりも外側に位置していることを特徴とする半導体装置。
【請求項２】
請求項１に記載の半導体装置において、
前記半導体素子における前記実装基板側の前記面と前記金属拡散バリア層との間に、当該面及び前記金属拡散バリア層のそれぞれと接するオーミックコンタクト層が形成されており、
前記オーミックコンタクト層は、前記半導体素子における前記実装基板側の前記面の全体を覆うように形成されていることを特徴とする半導体装置。
【請求項３】
請求項２に記載の半導体装置において、
前記金属拡散バリア層は、前記オーミックコンタクト層における前記金属拡散バリア層側の面の全体を覆うように形成されていることを特徴とする半導体装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項に記載の半導体装置において、
前記はんだ接合バリア層は、前記金属拡散バリア層における前記はんだ接合バリア層側の面の全体を覆うように形成されていることを特徴とする半導体装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載の半導体装置において、
前記はんだ接合バリア層は銅からなることを特徴とする半導体装置。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか１項に記載の半導体装置において、
前記金属拡散バリア層はニッケルからなることを特徴とする半導体装置。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか１項に記載の半導体装置において、
前記はんだ接合バリア層の構成材料が、前記ビスマス含有はんだ層及び前記金属拡散バリア層のそれぞれの内部に拡散した場合にも、前記はんだ接合バリア層が存在することを特徴とする半導体装置。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか１項に記載の半導体装置において、
前記はんだ接合バリア層を含めた前記ビスマス含有はんだ層におけるビスマスの質量濃度は、５０％以上で且つ９９．５％以下であることを特徴とする半導体装置。
【請求項９】
半導体素子と当該半導体素子を支える実装基板との接合構造を有する半導体装置であって、
前記半導体素子と前記実装基板とは、融点が２７０℃以上であり且つビスマスを主成分とするはんだ材によって接合されており、
前記半導体素子における前記実装基板側の面上には、金属拡散バリア層、前記金属拡散バリア層に接するはんだ接合バリア層、及び、前記はんだ接合バリア層に接するビスマス含有はんだ層が積層されており、
前記ビスマス含有はんだ層の側面のうち少なくとも上部は、前記金属拡散バリア層の側面よりも内側に位置していることを特徴とする半導体装置。
【請求項１０】
請求項９に記載の半導体装置において、
前記半導体素子における前記実装基板側の前記面と前記金属拡散バリア層との間に、当該面及び前記金属拡散バリア層のそれぞれと接するオーミックコンタクト層が形成されており、
前記オーミックコンタクト層は、前記半導体素子における前記実装基板側の前記面の全体を覆うように形成されていることを特徴とする半導体装置。
【請求項１１】
請求項１０に記載の半導体装置において、
前記金属拡散バリア層は、前記オーミックコンタクト層における前記金属拡散バリア層側の面の全体を覆うように形成されていることを特徴とする半導体装置。
【請求項１２】
請求項９〜１１のいずれか１項に記載の半導体装置において、
前記はんだ接合バリア層は、前記金属拡散バリア層における前記はんだ接合バリア層側の面の全体を覆うように形成されていることを特徴とする半導体装置。
【請求項１３】
請求項９〜１２のいずれか１項に記載の半導体装置において、
前記はんだ接合バリア層は銅からなることを特徴とする半導体装置。
【請求項１４】
請求項９〜１３のいずれか１項に記載の半導体装置において、
前記金属拡散バリア層はニッケルからなることを特徴とする半導体装置。
【請求項１５】
請求項９〜１４のいずれか１項に記載の半導体装置において、
前記はんだ接合バリア層の構成材料が、前記ビスマス含有はんだ層及び前記金属拡散バリア層のそれぞれの内部に拡散した場合にも、前記はんだ接合バリア層が存在することを特徴とする半導体装置。
【請求項１６】
請求項９〜１５のいずれか１項に記載の半導体装置において、
前記はんだ接合バリア層の側部は、前記ビスマス含有はんだ層の側面のうち少なくとも上部を覆うように前記ビスマス含有はんだ層の方へ延びていることを特徴とする半導体装置。
【請求項１７】
請求項９〜１６のいずれか１項に記載の半導体装置において、
前記はんだ接合バリア層を含めた前記ビスマス含有はんだ層におけるビスマスの質量濃度は、５０％以上で且つ９９．５％以下であることを特徴とする半導体装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体素子と当該半導体素子を支える実装基板との接合構造を有する半導体装置に関し、特に、半導体素子と実装基板とがビスマス（Ｂｉ）を主成分とするはんだ材によって接合されている半導体装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、少なくとも１つの半導体素子を、例えば、複数のリード端子を有するリードフレーム等の実装基板上に実装する場合、実装基板における半導体素子の実装箇所に、接合部材であるはんだを溶かした状態で付着させ、はんだを介して実装基板上に半導体素子を搭載した後、はんだの固化により半導体素子を実装基板上に固着させている。
【０００３】
図７は、第１の従来例（特許文献１参照）に係る半導体装置における半導体素子と実装基板との接合状態を示す断面図である。
【０００４】
図７に示すように、第１の従来例に係る半導体装置においては、半導体素子３１と実装基板３５との接合にＢｉ系はんだ層３３を用いている。ここで、半導体素子３１とＢｉ系はんだ層３３との間、及び実装基板３５とＢｉ系はんだ層３３との間にそれぞれ銀（Ａｇ）層３４が設けられている。また、半導体素子３１と実装基板３５との接合時、具体的には、Ｂｉ系はんだ層３３を溶かして広げた後に実装基板３５上の所定の位置に半導体素子３１を固着させる時、Ｂｉ系はんだ層３３の上下面にそれぞれ設けられているＡｇ層３４を構成するＡｇがＢｉ系はんだ層３３内に熱拡散する。
【０００５】
尚、Ａｇ層３４は、Ａｇ層３４の外側の構成層中の元素とＢｉ系はんだ層３３中のＢｉとの密接合を実現するために設けられているが、特許文献１にはＡｇ層３４を設けなくてもよいとの記載がされている。
【０００６】
また、半導体素子３１を実装するためにはんだを高温で溶融させた際に、リードフレームなどの実装基板３５に使われている金属が半導体素子３１中へ拡散することを防止するために、Ｂｉ系はんだ層３３の上面上に設けられたＡｇ層３４と半導体素子３１との間には金属拡散バリア層３２ｂが設けられている。ここで、金属拡散バリア層３２ｂには一般的にニッケル（Ｎｉ）が用いられている。また、半導体素子３１と金属拡散バリア層３２ｂとの間にはオーミックコンタクト層３２ａが形成されている。尚、金属拡散バリア層３２中のＮｉとＢｉ系はんだ層３３中のＢｉとが反応すると、ＢｉＮｉやＢｉ3 Ｎｉ等の金属間化合物が形成される。また、半導体素子３１と実装基板３５との接合構造における各構成層の熱膨張係数が異なることに起因して熱応力が発生した場合、前述の金属間化合物は脆いため、クラックが生じやすいので、接合信頼性が大幅に低下してしまう。
【０００７】
図８は、第２の従来例（特許文献２参照）に係る半導体装置における半導体素子と実装基板との接合状態を示す断面図である。尚、図８において、実装基板の図示を省略している。
【０００８】
図８に示すように、第２の従来例に係る半導体装置においては、半導体素子４１と実装基板との接合にＢｉ系はんだ層４３を用いている。ここで、半導体素子４１とＢｉ系はんだ層４３との間、及び実装基板とＢｉ系はんだ層４３との間にそれぞれ銅（Ｃｕ）層４２が設けられている。図８に示す接合構造によると、半導体素子４１及び実装基板のそれぞれとＢｉ系はんだ層４３との接合界面においてＣｕ層４２中のＣｕがＢｉ系はんだ層４３に拡散する結果、より強固な接合構造を有するデバイスを製造することが可能となる。
【０００９】
尚、第１及び第２の従来例において半導体モジュールの構成について説明したが、半導体モジュール以外の他の構成の場合も、半導体素子と実装基板とそれらの接合部材であるはんだ材との関係については同様である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特許第４４７９５７７号公報
【特許文献２】特開２００７−２８１４１２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
リフロー実装時に溶けない融点を持ち且つ満足すべき信頼性を持つ鉛フリー元素であるＢｉを主成分とするはんだ（つまりＢｉ系はんだ）を用いて半導体素子の実装を行う場合に当該半導体素子に必要な金属拡散バリア層の効果を得るためには、金属の拡散を確実に防止できるように金属拡散バリア層の厚さを設定する必要があると同時に、金属拡散バリア層の側面の露出部がＢｉ系はんだに接触しない構造を採用する必要がある。
【００１２】
しかしながら、特許文献１の接合構造において、Ａｇ層の厚さは特に規定されていない。また、半導体素子の裏面全面に形成されたＡｇ層とＢｉ系はんだ層との反応において２６２℃以上の温度で固液共存状態となるため、半導体素子の実装時に温度が３１０℃に達する場合や半導体装置の実装時に温度が２６２℃を超える場合、半導体素子の近傍に半導体素子の裏面全面を覆うように形成された金属拡散バリア層（つまりＮｉ層）とＢｉ系はんだ層とが反応してしまう。その結果、Ｎｉ層とＢｉ系はんだ層との接触面全面に、脆い金属間化合物であるＢｉＮｉやＢｉ3 Ｎｉ等が生成されてしまい、接合信頼性が低下してしまう。
【００１３】
また、特許文献１の接合構造においては、当該接合構造を構成する各層の側面の露出に対して何らの保護手段も取られていないので、半導体素子が個片化される前にＢｉ系はんだ層を形成した場合において半導体素子を個片化する際や半導体素子を実装基板上に実装する際に、Ｂｉ系はんだ層とＮｉ層とが接触してしまい、その結果、接合信頼性が低下する危険性がある。
【００１４】
一方、特許文献２の接合構造においては、Ｂｉ系はんだ層とＣｕ層との関係では前述の特許文献１のＡｇ層とは違い、半導体素子の実装時に温度が３１０℃に達してもＣｕ層が溶けないため、ＢｉＮｉやＢｉ3 Ｎｉ等が生成されることはない。しかしながら、特許文献２の接合構造においては、当該接合構造のうち半導体素子の裏面上に形成されている各層の厚さや金属拡散バリア層について特段の記述がされていない。また、特許文献１の接合構造の場合と同様に、接合構造を構成する各層の側面の露出に対して何らの保護手段も取られていない。このため、特許文献２の接合構造においても、信頼性上の問題が発生することは避けられないと考えられる。
【００１５】
前記に鑑み、本発明は、半導体素子と実装基板とがＢｉを主成分とするはんだ材によって接合されている半導体装置の接合信頼性を向上させることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
前記の目的を達成するために、本願発明者らは、半導体素子と実装基板との接合構造に必要な金属拡散バリア層であるＮｉ層とＢｉはんだ層とをバリアするために、Ｎｉ層とＢｉはんだ層との間に、例えばＣｕからなるはんだ接合バリア層を介在させることを着想し、当該はんだ接合バリア層として必要な厚さについて、以下のような検討を行った。
【００１７】
図９は、Ｃｕ−Ｂｉ合金の状態図であり、図１０は、図９の状態図に基づいて半導体素子の実装温度近傍における１０μｍ厚のＢｉ層に対するＣｕ溶解量を算出した結果を示している。図１０に示すように、半導体素子の一般的な実装温度である３１０℃で、１０μｍ厚のＢｉ層に対するＣｕ溶解量が０．０３μｍ（溶解量に相当するＣｕ厚さ）であることから、１０μｍ厚のＢｉ層に対して必要なバリア層の厚さは０．０３μｍ以上となる。しかし、この値は理論値であり、バリア層にピンホールなどが生じる可能性も考えると、実際のバリア層の厚さをこの値の約数十〜数百倍に設定することが望まれる。
【００１８】
図１１（ａ）は、例えばＳｉ基板を用いて形成された半導体素子を、実装基板、例えばＣｕからなるリード端子上にＢｉを主成分とするはんだ材を用いて実装する際に、リード端子の実装面上に、Ｂｉ、Ｃｕ、Ａｇ、Ｎｉの各単一元素からなる層の積層体を介して半導体素子を搭載した様子を示す断面図である。また、図１１（ｂ）及び（ｃ）はそれぞれ、図１１（ａ）に示す構造のうちＢｉ層として１０μｍ厚のＢｉ層を用いたサンプルを３３０℃の環境下に５分間滞留させた時の接合度（バリア性）を、Ｃｕ厚とＡｇ厚とをパラメータとして求めた結果を示す表及びグラフである。ここで、接合度（バリア性）は、図１１（ａ）に示す接合構造の断面における接合部の割合（完全剥離の場合が０％、剥離なし場合が１００％）を用いて表されている。また、高温環境下での生産時の滞留マージンやはんだ材料の経時加速変化等を確認するために、３３０℃の環境下での５分間滞留を行っている。
【００１９】
図１１（ｂ）及び（ｃ）に示すように、接合構造中にＡｇ層がＮｉ層の近傍に設けられているサンプルの結果と、接合構造中にＡｇ層が設けられていないサンプルの結果とを比較すると、Ａｇ層がＮｉ層の近傍に設けられている場合、Ｃｕ厚が２．５μｍ以上ないと、３３０℃の環境下での滞留を行わなくても剥離が生じる。一方、Ａｇ層が設けられていない場合、Ｃｕ厚が３．５μｍ以上あれば、３３０℃の環境下での５分間滞留を行っても剥離が生じない。
【００２０】
以上のことから、金属拡散バリア層であるＮｉ層とＢｉはんだ層との間に、例えばＣｕからなるはんだ接合バリア層を介在させる場合、当該バリア層の厚さを３．５μｍ以上に設定すると共にＮｉ層とＢｉはんだ層との間にＡｇ層を介在させないことが望ましいということが判明した。
【００２１】
また、さらに、本願発明者らは、接合構造を構成する各層の側面の露出に対する１つの保護手段として、金属拡散バリア層であるＮｉ層とＢｉはんだ層との間にはんだ接合バリア層を介在させた構成において、はんだ接合バリア層の側面を、金属拡散バリア層であるＮｉ層の側面よりも外側に位置させることを着想した。これにより、半導体素子の実装時等におけるＮｉ層とＢｉはんだ層との接触をより確実に防止することができる。
【００２２】
さらに、本願発明者らは、接合構造を構成する各層の側面の露出に対する他の保護手段として、Ｂｉはんだ層の側面のうち少なくとも上部を、金属拡散バリア層であるＮｉ層の側面よりも内側に位置させることを着想した。これにより、半導体素子の実装時等におけＮｉ層とＢｉはんだ層との接触をより確実に防止することができる。
【００２３】
尚、Ｂｉはんだ層の濡れ拡がり量の制御が困難である場合には、リードフレーム等の実装基板とＢｉはんだ層との間に濡れ拡がり制御層としてＡｇ層を設けてもよい。
【００２４】
本発明は、以上の知見に基づいてなされたものであって、本発明に係る第１の半導体装置は、半導体素子と当該半導体素子を支える実装基板との接合構造を有する半導体装置であって、前記半導体素子と前記実装基板とは、融点が２７０℃以上であり且つビスマスを主成分とするはんだ材によって接合されており、前記半導体素子における前記実装基板側の面上には、金属拡散バリア層、前記金属拡散バリア層に接するはんだ接合バリア層、及び、前記はんだ接合バリア層に接するビスマス含有はんだ層が積層されており、前記はんだ接合バリア層の側面は、前記金属拡散バリア層の側面よりも外側に位置している。尚、本願において、「主成分」とは、対象となる部材（例えば半導体素子と実装基板との接合部）に含まれる元素のうち質量濃度が最も高い元素を意味する。
【００２５】
本発明に係る第１の半導体装置において、前記半導体素子と前記実装基板との接合構造における各層の平面形状が正方形又は長方形である場合、前記はんだ接合バリア層の４側面は、前記金属拡散バリア層の４側面よりも外側に位置していてもよい。
【００２６】
本発明に係る第１の半導体装置において、前記はんだ接合バリア層及び前記ビスマス含有はんだ層がそれぞれ単一元素（例えばＣｕとＢｉ）で構成されている場合、半導体素子実装時に前記はんだ接合バリア層中の元素が所定の割合で前記ビスマス含有はんだ層中に拡散してもよい。このようにすると、接合信頼性の高い半導体装置を安定して且つ安価に製造することができる。
【００２７】
本発明に係る第１の半導体装置において、前記半導体素子における前記実装基板側の前記面と前記金属拡散バリア層との間に、当該面及び前記金属拡散バリア層のそれぞれと接するオーミックコンタクト層が形成されており、前記オーミックコンタクト層は、前記半導体素子における前記実装基板側の前記面の全体を覆うように形成されていてもよい。
【００２８】
本発明に係る第１の半導体装置において、前記金属拡散バリア層は、前記オーミックコンタクト層における前記金属拡散バリア層側の面の全体を覆うように形成されていてもよい。
【００２９】
本発明に係る第１の半導体装置において、前記はんだ接合バリア層は、前記金属拡散バリア層における前記はんだ接合バリア層側の面の全体を覆うように形成されていてもよい。
【００３０】
本発明に係る第１の半導体装置において、前記はんだ接合バリア層は銅から構成されていてもよい。
【００３１】
本発明に係る第１の半導体装置において、前記金属拡散バリア層はニッケルから構成されていてもよい。
【００３２】
本発明に係る第１の半導体装置において、前記はんだ接合バリア層の構成材料が、前記ビスマス含有はんだ層及び前記金属拡散バリア層のそれぞれの内部に拡散した場合にも、前記はんだ接合バリア層が存在してもよい。
【００３３】
本発明に係る第１の半導体装置において、前記はんだ接合バリア層を含めた前記ビスマス含有はんだ層におけるビスマスの質量濃度は、５０％以上で且つ９９．５％以下であってもよい。
【００３４】
本発明に係る第２の半導体装置は、半導体素子と当該半導体素子を支える実装基板との接合構造を有する半導体装置であって、前記半導体素子と前記実装基板とは、融点が２７０℃以上であり且つビスマスを主成分とするはんだ材によって接合されており、前記半導体素子における前記実装基板側の面上には、金属拡散バリア層、前記金属拡散バリア層に接するはんだ接合バリア層、及び、前記はんだ接合バリア層に接するビスマス含有はんだ層が積層されており、前記ビスマス含有はんだ層の側面のうち少なくとも上部は、前記金属拡散バリア層の側面よりも内側に位置している。
【００３５】
本発明に係る第２の半導体装置において、前記半導体素子と前記実装基板との接合構造における各層の平面形状が正方形又は長方形である場合、前記ビスマス含有はんだ層の４側面のうち少なくとも上部は、前記金属拡散バリア層の４側面よりも内側に位置していてもよい。
【００３６】
本発明に係る第２の半導体装置において、前記はんだ接合バリア層及び前記ビスマス含有はんだ層がそれぞれ単一元素（例えばＣｕとＢｉ）で構成されている場合、半導体素子実装時に前記はんだ接合バリア層中の元素が所定の割合で前記ビスマス含有はんだ層中に拡散してもよい。このようにすると、接合信頼性の高い半導体装置を安定して且つ安価に製造することができる。
【００３７】
本発明に係る第２の半導体装置において、前記半導体素子における前記実装基板側の前記面と前記金属拡散バリア層との間に、当該面及び前記金属拡散バリア層のそれぞれと接するオーミックコンタクト層が形成されており、前記オーミックコンタクト層は、前記半導体素子における前記実装基板側の前記面の全体を覆うように形成されていてもよい。
【００３８】
本発明に係る第２の半導体装置において、前記金属拡散バリア層は、前記オーミックコンタクト層における前記金属拡散バリア層側の面の全体を覆うように形成されていてもよい。
【００３９】
本発明に係る第２の半導体装置において、前記はんだ接合バリア層は、前記金属拡散バリア層における前記はんだ接合バリア層側の面の全体を覆うように形成されていてもよい。
【００４０】
本発明に係る第２の半導体装置において、前記はんだ接合バリア層は銅から構成されていてもよい。
【００４１】
本発明に係る第２の半導体装置において、前記金属拡散バリア層はニッケルから構成されていてもよい。
【００４２】
本発明に係る第２の半導体装置において、前記はんだ接合バリア層の構成材料が、前記ビスマス含有はんだ層及び前記金属拡散バリア層のそれぞれの内部に拡散した場合にも、前記はんだ接合バリア層が存在してもよい。
【００４３】
本発明に係る第２の半導体装置において、前記はんだ接合バリア層の側部は、前記ビスマス含有はんだ層の側面のうち少なくとも上部を覆うように前記ビスマス含有はんだ層の方へ延びていてもよい。ここで、前記半導体素子と前記実装基板との接合構造における各層の平面形状が正方形又は長方形である場合、前記はんだ接合バリア層の４側部は、前記ビスマス含有はんだ層の４側面のうち少なくとも上部を覆うように前記ビスマス含有はんだ層の方へ延びていてもよい。
【００４４】
本発明に係る第２の半導体装置において、前記はんだ接合バリア層を含めた前記ビスマス含有はんだ層におけるビスマスの質量濃度は、５０％以上で且つ９９．５％以下であってもよい。
【発明の効果】
【００４５】
本発明によると、半導体素子と実装基板とがＢｉを主成分とするはんだ材によって接合されている半導体装置の接合信頼性を向上させることができる。
【００４６】
また、本発明によると、半導体素子の実装温度やはんだ濡れ拡がりに影響されることなく、半導体素子を実装することができるので、従来の鉛はんだの代替が困難であった高温鉛フリーはんだを使用した半導体装置を得ることができる。
【００４７】
さらに、本発明によると、接合構造の各構成層が単一元素からなる場合にも前述の効果を得ることができるため、現行プロセスによる半導体装置製造が可能となるので、低コストプロセスを実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】図１は、第１の実施形態に係る半導体装置における半導体素子と実装基板との接合状態を示す断面図である。
【図２】図２（ａ）は、第１の実施形態に係る半導体装置における電極層及びＢｉ系はんだ層が設けられた半導体素子の実装前（但し個片化後）の断面写真であり、図２（ｂ）は、第１の実施形態に係る半導体装置における半導体素子を実装基板上に実装した後の断面写真である。
【図３】図３は、第１の実施形態の変形例に係る半導体装置における半導体素子と実装基板との接合状態を示す断面図である。
【図４】図４は、第２の実施形態に係る半導体装置における半導体素子と実装基板との接合状態を示す断面図である。
【図５】図５（ａ）は、第２の実施形態に係る半導体装置における電極層及びＢｉ系はんだ層が設けられた半導体素子の実装前（但し個片化後）の断面写真であり、図５（ｂ）は、第２の実施形態に係る半導体装置における半導体素子を実装基板上に実装した後の断面写真である。
【図６】図６は、第２の実施形態の変形例に係る半導体装置における半導体素子と実装基板との接合状態を示す断面図である。
【図７】図７は、第１の従来例に係る半導体装置における半導体素子と実装基板との接合状態を示す断面図である。
【図８】図８は、第２の従来例に係る半導体装置における半導体素子と実装基板との接合状態を示す断面図である。
【図９】図９は、Ｃｕ−Ｂｉ合金の状態図である。
【図１０】図１０は、図９の状態図に基づいて半導体素子の実装温度近傍における１０μｍ厚のＢｉ層に対するＣｕ溶解量を本願発明者らが算出した結果を示す図である。
【図１１】図１１（ａ）は、実装基板上に単一元素からなる層の積層体を介して半導体素子を搭載した様子を示す断面図であり、図１１（ｂ）及び（ｃ）はそれぞれ、図１１（ａ）に示す構造を持つサンプルを３３０℃の環境下に５分間滞留させた時の接合度を求めた結果を示す表及びグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００４９】
（第１の実施形態）
以下、本発明の第１の実施形態に係る半導体装置について、図面を参照しながら説明する。
【００５０】
図１は、第１の実施形態に係る半導体装置における半導体素子と実装基板との接合状態を示す断面図である。
【００５１】
図１に示すように、例えばＣｕ合金により構成された厚さ約１００μｍの実装基板１５上に半導体素子１１が実装されている。半導体素子１１と実装基板１５との間には、半導体素子１１に近い方から、電極層１２、及び接合部材であるＢｉ系はんだ層１３が半導体素子１１の下面全面を覆うように形成されている。電極層１２は、半導体素子１１の下面に接し且つ当該下面全面を覆うオーミックコンタクト層１２ａ、オーミックコンタクト層１２ａの下面に接し且つ当該下面全面を覆う金属拡散バリア層１２ｂ、及び、金属拡散バリア層１２ｂの下面に接し且つ当該下面全面を覆うはんだ接合バリア層１２ｃが積層された構造を有している。
【００５２】
オーミックコンタクト層１２ａは、例えばクロム（Ｃｒ）、チタン（Ｔｉ）又は金（Ａｕ）合金からなり、約０．０１〜０．５μｍ程度の厚さ（例えば０．１μｍ程度の厚さ）を有している。また、半導体素子１１への金属の拡散を防止する金属拡散バリア層１２ｂは、例えばＮｉからなり、約０．１〜０．５μｍ程度の厚さ（例えば０．３μｍ程度の厚さ）を有している。また、はんだ接合バリア層１２ｃは、例えばＣｕからなり、約０．０１〜１０μｍ程度の厚さ（例えば５μｍ程度の厚さ）を有している。さらに、半導体素子１１と実装基板１５との接合部材であるＢｉ系はんだ層１３は、約５〜２００μｍ程度の厚さ（例えば１０μｍ程度の厚さ）を有している。
【００５３】
すなわち、図１に示す本実施形態の半導体装置においては、実装基板１５の材料として、一般的なＣｕ合金を用い、半導体素子１１を実装基板１５上に固着させるための接合部材として、比較的低温で溶融するはんだ材を用い、当該はんだ材として、融点が２７０℃以上であり且つビスマスを主成分とするＢｉ系はんだを用い、金属拡散バリア層の材料として、Ｎｉを用いている。ここで、電極層１２を構成する各層の金属材料の組合せによって様々な特性が変わることから、金属材料の組み合わせと各層の厚さとを適切に設定することによって、半導体素子１１と実装基板１５との接合構造中に脆弱な金属間化合物が生成されないようにする必要がある。また、各層の金属材料は、電気回路基板上に半導体装置を実装するための温度、例えば２６０℃よりも高い融点を持つ必要がある。２６０℃以下の融点を持つ金属材料を用いた場合、半導体素子１１と実装基板１５との接合構造が再溶融してしまい、実装基板１５上の設計外の位置に半導体素子１１が再配置されてしまったり、接合構造が再形成されてしまうので、電気特性や信頼性が悪化してしまう。
【００５４】
また、本実施形態において、接合部材として、Ｂｉを主成分とするＢｉ系はんだ層１３を用いる理由は、Ｂｉの融点が２７１．３℃であること、コスト、加工性及び環境負荷（安全性）の点で優れていること、並びに、Ｂｉ系はんだ層１３と接合する上下の部材との熱膨張係数の差が小さく、応力に起因する負荷が小さいことである。例えば、Ｂｉの熱膨張係数が１３×１０-6（／℃）であるのに対して、Ｃｕ（実装基板１５の構成材料）の熱膨張係数は１７×１０-6（／℃）であり、Ｓｉ（半導体素子１１の構成材料）の熱膨張係数は２．５×１０-6（／℃）である。
【００５５】
また、本実施形態において、接合部材であるＢｉ系はんだ層１３及び電極層１２の各層をそれぞれ単一金属元素により構成してもよいし、又は、融点が２６０℃以上であり且つ共晶成分が発生する接合部材を用いてもよい。但し、この場合、はんだ接合部の組成の不均一さに起因して接合性が低下するおそれがある。従って、単一金属元素からなる層の積層体（Ｂｉはんだ層を含む）を形成し、半導体素子実装時にＢｉはんだ層を溶融させ、Ｂｉはんだ層と接合する上下の部材中の金属元素をある一定量Ｂｉはんだ層中に拡散させることが望ましい。
【００５６】
以上に説明した本実施形態によると、金属拡散バリア層１２ｂとＢｉ系はんだ層１３との間にはんだ接合バリア層１２ｃを介在させているため、半導体素子１１の実装時にＢｉ系はんだ層１３が溶融した際にＢｉと金属拡散バリア層１２ｂ中のＮｉとが反応することを防止することが可能となる。従って、脆い金属間化合物であるＢｉＮｉやＢｉ3 Ｎｉ等が生成される事態を回避することができるので、半導体装置の接合信頼性を向上させることができる。
【００５７】
特に、本実施形態においては、図１に示すように、はんだ接合バリア層１２ｃの側面（はんだ接合バリア層１２ｃの平面形状が正方形又は長方形である場合には４側面）を、金属拡散バリア層１２ｂの側面（金属拡散バリア層１２ｂの平面形状が正方形又は長方形である場合には４側面）よりも外側に位置させている。このため、半導体素子１１の実装時等における金属拡散バリア層１２ｂ中のＮｉとＢｉ系はんだ層１３中のＢｉとの反応をより確実に防止することができる。
【００５８】
また、本実施形態によると、半導体素子１１の実装温度やはんだ濡れ拡がりに影響されることなく、半導体素子１１を実装することができる。従って、従来の鉛はんだの代替が困難であった高温鉛フリーはんだを使用して、温度サイクル試験を満足し、且つ実装時や高温動作時等におけるはんだ再溶融に起因する接合信頼性の悪化のない半導体装置を得ることができる。また、接合構造の各構成層が単一元素からなる場合にも前述の効果を得ることができるため、現行プロセスによる半導体装置製造が可能となるので、安定した低コストプロセスを実現することができる。すなわち、接合部材として高温鉛フリーはんだを用いることによって、安価なリフロー実装対応可能な完全鉛フリー半導体装置を実現することができる。
【００５９】
尚、半導体素子１１の実装時等に、はんだ接合バリア層１２ｃの構成材料が、Ｂｉ系はんだ層１３及び金属拡散バリア層１２ｂのそれぞれの内部に拡散した場合にも、はんだ接合バリア層１２ｃが層として存在することが好ましい。
【００６０】
図２（ａ）は、電極層１２及びＢｉ系はんだ層１３が設けられた半導体素子１１の実装前（但し個片化後）の断面写真であり、図２（ｂ）は、半導体素子１１を実装基板１５上に実装した後の断面写真である。図２（ａ）及び図２（ｂ）において、上から、「Ｓｉ」は半導体素子１１であり、「Ｃｒ／Ｎｉ」はオーミックコンタクト層１２ａ／金属拡散バリア層１２ｂであり、「Ｃｕ」ははんだ接合バリア層１２ｃであり、「Ｂｉ」はＢｉ系はんだ層１３である。尚、図２（ｂ）の「Ａｇ」及びその下の「Ｃｕ」はそれぞれ、濡れ拡がり制御層及び実装基板１５である。すなわち、本実施形態の変形例として、図３に示すように、Ｂｉ系はんだ層１３と実装基板１５との間に、例えば銀（Ａｇ）からなる厚さ約１〜５μｍ程度の濡れ拡がり制御層１４を形成してもよい。このようにすると、Ｂｉ系はんだ層１３の濡れ拡がり量の制御が容易になる。特に、濡れ拡がり制御層１４の側面（濡れ拡がり制御層１４の平面形状が正方形又は長方形である場合には４側面）を、半導体素子１１の側面（半導体素子１１の平面形状が正方形又は長方形である場合には４側面）よりも外側に位置させることによって、Ｂｉ系はんだ層１３の濡れ性を向上させることが可能となる。
【００６１】
尚、本実施形態において、オーミックコンタクト層１２ａは、半導体素子１１における実装基板１５側の面の全体を覆うように形成されていてもよい。また、金属拡散バリア層１２ｂは、オーミックコンタクト層１２ａにおける金属拡散バリア層１２ｂ側の面の全体を覆うように形成されていてもよい。また、はんだ接合バリア層１２ｃは、金属拡散バリア層１２ｂにおけるはんだ接合バリア層１２ｃ側の面の全体を覆うように形成されていてもよい。
【００６２】
また、オーミックコンタクト層１２ａを設けずに、半導体素子１１と実装基板１５との間を放熱経路としてのみ用いてもよい。すなわち、電極層１２に代えて、金属拡散バリア層１２ｂ及び接合バリア層１２ｃの積層体を設けてもよい。
【００６３】
また、本実施形態において、はんだ接合バリア層１２ｃの材料として、Ｃｕを用いたが、これに代えて、例えば銀（Ａｇ）又はコバルト（Ｃｏ）等を用いてもよい。
【００６４】
また、本実施形態において、金属拡散バリア層１２ｂの材料として、Ｎｉを用いたが、これに代えて、例えばバナジウム（Ｖ）等を用いてもよい。
【００６５】
また、本実施形態において、はんだ接合バリア層１２ｃを含めたＢｉ系はんだ層１３におけるＢｉの質量濃度は、５０％以上で且つ９９．５％以下であってもよい。また、濡れ拡がり制御層１４を形成する場合には、はんだ接合バリア層１２ｃ及び濡れ拡がり制御層１４を含めたＢｉ系はんだ層１３におけるＢｉの質量濃度は、３５％以上で且つ９７％以下であってもよい。
【００６６】
以下、前述の本実施形態に係る半導体装置の製造方法について説明する。
【００６７】
この製造方法においては、半導体素子１１を個片化する前に電極層１２及びＢｉ系はんだ層１３を例えば蒸着法又はめっき法を用いて形成した後、半導体素子１１を個片化する際に電極層１２に触れないように例えばダイヤモンド砥石のついたブレードを用いて切削を行い、その後、へき開によって半導体素子１１を完全に個片化する。続いて、例えば水素ガスなどの還元ガスの雰囲気中で例えば３１０℃程度に加熱した実装基板１５上に半導体素子１１を搭載した後、冷却して半導体素子１１を実装基板１５に固着させる。
【００６８】
尚、この製造方法においては、半導体素子１１を個片化する際に、はんだ接合バリア層１２ｃの側部の突き出し長さに若干バラツキが生じることもあるが、半導体素子１１と電極層１２との接合状態を損なうことなく半導体素子１１を個片化することができる。
【００６９】
（第２の実施形態）
以下、本発明の第２の実施形態に係る半導体装置について、図面を参照しながら説明する。
【００７０】
図４は、第２の実施形態に係る半導体装置における半導体素子と実装基板との接合状態を示す断面図である。
【００７１】
図４に示すように、例えばＣｕ合金により構成された厚さ約１００μｍの実装基板２５上に半導体素子２１が実装されている。半導体素子２１と実装基板２５との間には、半導体素子２１に近い方から、電極層２２、及び接合部材であるＢｉ系はんだ層２３が半導体素子２１の下面全面を覆うように形成されている。電極層２２は、半導体素子２１の下面に接し且つ当該下面全面を覆うオーミックコンタクト層２２ａ、オーミックコンタクト層２２ａの下面に接し且つ当該下面全面を覆う金属拡散バリア層２２ｂ、及び、金属拡散バリア層２２ｂの下面に接し且つ当該下面全面を覆うはんだ接合バリア層２２ｃが積層された構造を有している。
【００７２】
オーミックコンタクト層２２ａは、例えばＣｒ、Ｔｉ又はＡｕ合金からなり、約０．０１〜０．５μｍ程度の厚さ（例えば０．１μｍ程度の厚さ）を有している。また、半導体素子２１への金属の拡散を防止する金属拡散バリア層２２ｂは、例えばＮｉからなり、約０．１〜０．５μｍ程度の厚さ（例えば０．３μｍ程度の厚さ）を有している。また、はんだ接合バリア層２２ｃは、例えばＣｕからなり、約０．０１〜１０μｍ程度の厚さ（例えば５μｍ程度の厚さ）を有している。さらに、半導体素子２１と実装基板２５との接合部材であるＢｉ系はんだ層２３は、約５〜２００μｍ程度の厚さ（例えば１０μｍ程度の厚さ）を有している。
【００７３】
すなわち、図４に示す本実施形態の半導体装置においては、実装基板２５の材料として、一般的なＣｕ合金を用い、半導体素子２１を実装基板２５上に固着させるための接合部材として、比較的低温で溶融するはんだ材を用い、当該はんだ材として、融点が２７０℃以上であり且つビスマスを主成分とするＢｉ系はんだを用い、金属拡散バリア層の材料として、Ｎｉを用いている。ここで、電極層２２を構成する各層の金属材料の組合せによって様々な特性が変わることから、金属材料の組み合わせと各層の厚さとを適切に設定することによって、半導体素子２１と実装基板２５との接合構造中に脆弱な金属間化合物が生成されないようにする必要がある。また、各層の金属材料は、電気回路基板上に半導体装置を実装するための温度、例えば２６０℃よりも高い融点を持つ必要がある。２６０℃以下の融点を持つ金属材料を用いた場合、半導体素子２１と実装基板２５との接合構造が再溶融してしまい、実装基板２５上の設計外の位置に半導体素子２１が再配置されてしまったり、接合構造が再形成されてしまうので、電気特性や信頼性が悪化してしまう。
【００７４】
また、本実施形態において、接合部材として、Ｂｉを主成分とするＢｉ系はんだ層２３を用いる理由は、Ｂｉの融点が２７１．３℃であること、コスト、加工性及び環境負荷（安全性）の点で優れていること、並びに、Ｂｉ系はんだ層２３と接合する上下の部材との熱膨張係数の差が小さく、応力に起因する負荷が小さいことである。例えば、Ｂｉの熱膨張係数が１３×１０-6（／℃）であるのに対して、Ｃｕ（実装基板２５の構成材料）の熱膨張係数は１７×１０-6（／℃）であり、Ｓｉ（半導体素子２１の構成材料）の熱膨張係数は２．５×１０-6（／℃）である。
【００７５】
また、本実施形態において、接合部材であるＢｉ系はんだ層２３及び電極層２２の各層をそれぞれ単一金属元素により構成してもよいし、又は、融点が２６０℃以上であり且つ共晶成分が発生する接合部材を用いてもよい。但し、この場合、はんだ接合部の組成の不均一さに起因して接合性が低下するおそれがある。従って、単一金属元素からなる層の積層体（Ｂｉはんだ層を含む）を形成し、半導体素子実装時にＢｉはんだ層を溶融させ、Ｂｉはんだ層と接合する上下の部材中の金属元素をある一定量Ｂｉはんだ層中に拡散させることが望ましい。
【００７６】
以上に説明した本実施形態によると、金属拡散バリア層２２ｂとＢｉ系はんだ層２３との間にはんだ接合バリア層２２ｃを介在させているため、半導体素子２１の実装時にＢｉ系はんだ層２３が溶融した際にＢｉと金属拡散バリア層２２ｂ中のＮｉとが反応することを防止することが可能となる。従って、脆い金属間化合物であるＢｉＮｉやＢｉ3 Ｎｉ等が生成される事態を回避することができるので、半導体装置の接合信頼性を向上させることができる。
【００７７】
特に、本実施形態においては、図４に示すように、Ｂｉ系はんだ層２３の側面（Ｂｉ系はんだ層２３の平面形状が正方形又は長方形である場合には４側面）のうち少なくとも上部を、金属拡散バリア層２２ｂの側面（金属拡散バリア層２２ｂの平面形状が正方形又は長方形である場合には４側面）よりも内側に位置させている。より具体的には、はんだ接合バリア層２２ｃの側部（はんだ接合バリア層２２ｃの平面形状が正方形又は長方形である場合には４側部）は、Ｂｉ系はんだ層２３の側面（Ｂｉ系はんだ層２３の平面形状が正方形又は長方形である場合には４側面）のうち少なくとも上部を覆うようにＢｉ系はんだ層２３の方へ例えば約０．１〜８μｍ程度延びている。これにより、Ｂｉ系はんだ層２３が溶融した際にＢｉがはんだ接合バリア層２２ｃの側面をはい上がる事態を阻止できる。このため、半導体素子２１の実装時等における金属拡散バリア層２２ｂ中のＮｉとＢｉ系はんだ層２３中のＢｉとの反応をより確実に防止することができる。
【００７８】
また、本実施形態によると、半導体素子２１の実装温度やはんだ濡れ拡がりに影響されることなく、半導体素子２１を実装することができる。従って、従来の鉛はんだの代替が困難であった高温鉛フリーはんだを使用して、温度サイクル試験を満足し、且つ実装時や高温動作時等におけるはんだ再溶融に起因する接合信頼性の悪化のない半導体装置を得ることができる。また、接合構造の各構成層が単一元素からなる場合にも前述の効果を得ることができるため、現行プロセスによる半導体装置製造が可能となるので、安定した低コストプロセスを実現することができる。すなわち、接合部材として高温鉛フリーはんだを用いることによって、安価なリフロー実装対応可能な完全鉛フリー半導体装置を実現することができる。
【００７９】
尚、半導体素子２１の実装時等に、はんだ接合バリア層２２ｃの構成材料が、Ｂｉ系はんだ層２３及び金属拡散バリア層２２ｂのそれぞれの内部に拡散した場合にも、はんだ接合バリア層２２ｃが層として存在することが好ましい。
【００８０】
図５（ａ）は、電極層２２及びＢｉ系はんだ層２３が設けられた半導体素子２１の実装前（但し個片化後）の断面写真であり、図５（ｂ）は、半導体素子２１を実装基板２５上に実装した後の断面写真である。図５（ａ）及び図５（ｂ）において、上から、「Ｓｉ」は半導体素子２１であり、「Ｃｒ／Ｎｉ」はオーミックコンタクト層２２ａ／金属拡散バリア層２２ｂであり、「Ｃｕ」ははんだ接合バリア層２２ｃであり、「Ｂｉ」はＢｉ系はんだ層２３である。尚、図５（ｂ）の「Ａｇ」及びその下の「Ｃｕ」はそれぞれ、濡れ拡がり制御層及び実装基板２５である。すなわち、本実施形態の変形例として、図６に示すように、Ｂｉ系はんだ層２３と実装基板２５との間に、例えばＡｇからなる厚さ約１〜５μｍ程度の濡れ拡がり制御層２４を形成してもよい。このようにすると、Ｂｉ系はんだ層２３の濡れ拡がり量の制御が容易になる。特に、濡れ拡がり制御層２４の側面（濡れ拡がり制御層２４の平面形状が正方形又は長方形である場合には４側面）を、半導体素子２１の側面（半導体素子２１の平面形状が正方形又は長方形である場合には４側面）よりも外側に位置させることによって、Ｂｉ系はんだ層２３の濡れ性を向上させることが可能となる。
【００８１】
尚、本実施形態において、オーミックコンタクト層２２ａは、半導体素子２１における実装基板２５側の面の全体を覆うように形成されていてもよい。また、金属拡散バリア層２２ｂは、オーミックコンタクト層２２ａにおける金属拡散バリア層２２ｂ側の面の全体を覆うように形成されていてもよい。また、はんだ接合バリア層２２ｃは、金属拡散バリア層２２ｂにおけるはんだ接合バリア層２２ｃ側の面の全体を覆うように形成されていてもよい。
【００８２】
また、オーミックコンタクト層２２ａを設けずに、半導体素子２１と実装基板２５との間を放熱経路としてのみ用いてもよい。すなわち、電極層２２に代えて、金属拡散バリア層２２ｂ及び接合バリア層２２ｃの積層体を設けてもよい。
【００８３】
また、本実施形態において、はんだ接合バリア層２２ｃの材料として、Ｃｕを用いたが、これに代えて、例えばＡｇ又はＣｏ等を用いてもよい。
【００８４】
また、本実施形態において、金属拡散バリア層２２ｂの材料として、Ｎｉを用いたが、これに代えて、例えばバナジウム（Ｖ）等を用いてもよい。
【００８５】
また、本実施形態において、はんだ接合バリア層２２ｃを含めたＢｉ系はんだ層２３におけるＢｉの質量濃度は、５０％以上で且つ９９．５％以下であってもよい。また、濡れ拡がり制御層２４を形成する場合には、はんだ接合バリア層２２ｃ及び濡れ拡がり制御層２４を含めたＢｉ系はんだ層２３におけるＢｉの質量濃度は、３５％以上で且つ９７％以下であってもよい。
【００８６】
以下、前述の本実施形態に係る半導体装置の製造方法について説明する。
【００８７】
この製造方法においては、半導体素子２１を個片化する前に電極層２２を形成した後、半導体素子２１を個片化する際に電極層２２に完全に接触するように例えばダイヤモンド砥石のついたブレードを用いて切削を行う。ここで、へき開は行わない。続いて、例えば水素ガスなどの還元ガスの雰囲気中で例えば３１０℃程度に加熱した実装基板２５上に、溶融させたＢｉ系はんだ層２３を介して半導体素子２１を搭載した後、冷却して半導体素子２１を実装基板２５に固着させる。
【００８８】
また、この製造方法は、半導体素子２１を個片化する際の条件によってはんだ接合バリア層２２ｃの側部を下方に延ばすように切削を行う技術であるため、半導体素子２１に電極層２２及びＢｉ系はんだ層２３を設けた状態で切削を行うことが望ましいが、この場合、ブレードの磨耗度が高くなることに注意する必要がある。
【００８９】
尚、第１及び第２の実施形態において、Ｂｉ系はんだ層１３及び２３をＢｉのみから構成した場合、Ｂｉ系はんだ層１３及び２３のそれぞれの上下の部材から、図９のＣｕ−Ｂｉ合金の状態図に示す関係に従ってＣｕが所定量拡散する。従って、半導体素子実装条件を用いてＣｕの拡散量をコントロールできるので、はんだ接合部の組成の不均一性を低減することができる。
【００９０】
また、第１及び第２の実施形態において、１つの半導体素子を接合部材によって実装基板上に実装する場合を説明したが、複数の半導体素子を実装基板上に実装する場合にも本発明を適用可能であることは言うまでもない。また、第１及び第２の実施形態において、リード端子等の実装基板（又はその一部）に対するワイヤー接続、及び当該ワイヤー等を保護する樹脂封止構造等の説明を省略しているが、こられの構成要素を半導体装置に設けてもよいことは言うまでもない。
【産業上の利用可能性】
【００９１】
本発明に係る半導体装置、具体的には、半導体素子と実装基板との接合構造を有する半導体装置は、半導体素子のデバイス特性を劣化させないようにするバリア層として例えばＮｉからなる金属拡散バリア層と例えばＣｕからなるはんだ接合バリア層とを備えており、脆弱な金属間化合物が形成されないようにはんだ接合バリア層とビスマス含有はんだ層とを配置することによって、従来の鉛を多く含有するはんだの代替として十分な信頼性を有する鉛フリーはんだを用いた接合構造を実現するものであり、小型の半導体装置においてもリフロー実装に対応できる点で極めて有用である。
【符号の説明】
【００９２】
１１、２１、３１、４１    半導体素子
１２ａ、２２ａ、３２ａ    オーミックコンタクト層
１２ｂ、２２ｂ、３２ｂ    金属拡散バリア層
１２ｃ、２２ｃ    はんだ接合バリア層
１３、２３、３３、４３    Ｂｉ系はんだ層
１４、２４    濡れ拡がり制御層
１５、２５、３５    実装基板
３４    Ａｇ層
４２    Ｃｕ層
【図１】
2014112572.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図２】
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【図５】
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