(57)【要約】【課題】フィルタに留まった異物を排除できる液滴吐出ヘッドの提供を目的とする。【解決手段】液滴を吐出するノズルと、前記ノズルに液体を供給する個別液室と、前記個別液室の前記ノズルに対向する位置に設けられた振動板と、前記振動板の前記個別液室と対向する領域に設けられた圧電素子と、前記個別液室に液体を供給する液体供給路と、を有する液滴吐出チャンネルが、一列に配列して設けられた液滴吐出ヘッドであって、前記液滴吐出チャンネルの前記個別液室に、前記液体供給路を介して液体を供給する１つの共通液室と、前記共通液室と、前記液体供給路との間に設けられたフィルタと、前記液滴吐出チャンネル全てから液滴の吐出を開始させ、次いで、一列に配列された前記液滴吐出チャンネルのうち、該配列の中央部から、両端部の方向に向かって順次液滴の吐出を停止させる異物除去動作制御部と、を備えた液滴吐出ヘッド。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴を吐出するノズルと、
前記ノズルに液体を供給する個別液室と、
前記個別液室の前記ノズルに対向する位置に設けられた振動板と、
前記振動板の前記個別液室と対向する領域に設けられた圧電素子と、
前記個別液室に液体を供給する液体供給路と、を有する液滴吐出チャンネルが、一列に配列して設けられた液滴吐出ヘッドであって、
前記液滴吐出チャンネルの前記個別液室に、前記液体供給路を介して液体を供給する１つの共通液室と、
前記共通液室と、前記液体供給路との間に設けられたフィルタと、
前記液滴吐出チャンネル全てから液滴の吐出を開始させ、次いで、一列に配列された前記液滴吐出チャンネルのうち、該配列の中央部から、両端部の方向に向かって順次液滴の吐出を停止させる異物除去動作制御部と、を備えた液滴吐出ヘッド。
【請求項２】
液滴を吐出するノズルと、
前記ノズルに液体を供給する個別液室と、
前記個別液室の前記ノズルに対向する位置に設けられた振動板と、
前記振動板の前記個別液室と対向する領域に設けられた圧電素子と、
前記個別液室に液体を供給する液体供給路と、を有する液滴吐出チャンネルが、一列に配列して設けられた液滴吐出ヘッドであって、
前記液滴吐出チャンネルの前記個別液室に、前記液体供給路を介して液体を供給する１つの共通液室と、
前記共通液室と、前記液体供給路との間に設けられたフィルタと、
一列に配列された前記液滴吐出チャンネルの中央部と、その中央部が同じであり、前記液滴吐出チャンネルの一部をその範囲に含む、第１のエリア内の液滴吐出チャンネル全てから液滴の吐出を開始させ、
次いで一列に配列された前記液滴吐出チャンネルのうち、該配列の中央部から、両端部の方向に向かって順次液滴の吐出を停止させ、
液滴吐出チャンネルからの液滴吐出を停止させる際、前記第１のエリアよりも前記液滴吐出チャンネルの配列方向の両端部側にある液滴吐出チャンネルから、順次液滴の吐出を開始させる、異物除去動作制御部と、を備えた液滴吐出ヘッド。
【請求項３】
前記異物除去動作制御部の動作を繰り返し行わせる、異物除去動作繰り返し制御部をさらに備える請求項１または２に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項４】
前記フィルタは隣接する液滴吐出チャンネルに設けられたフィルタと同一平面上にある請求項１乃至３いずれか一項に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項５】
前記フィルタは、前記振動板と同一平面上に位置している請求項１乃至４いずれか一項に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項６】
一列に配列された前記液滴吐出チャンネルの列の両端部に隣接してダミーチャンネルが設けられており、
前記ダミーチャンネルは、ノズルと、個別液室と、液体供給路と、を有している請求項１乃至５いずれか一項に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項７】
一列に配列された液滴吐出チャンネルの列の両端部に隣接して異物搬出手段が設けられており、
前記異物搬出手段は、ノズルと、個別液室と、前記個別液室の前記ノズルと対向する位置に設けられた振動板と、前記振動板の前記個別液室と対向する位置に設けられた圧電素子と、前記共通液室と接続された液体供給路と、を有している請求項１乃至５いずれか一項に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項８】
前記異物搬出手段は、一列に配列された前記液滴吐出チャンネルの両端部のそれぞれに複数配置されている請求項７に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項９】
前記異物搬出手段のノズルのノズル径は、前記液滴吐出チャンネルのノズルのノズル径よりも大きい請求項７または８に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項１０】
請求項１乃至９いずれか一項に記載の液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
複数のノズルを備えており、該ノズルから液滴を吐出することにより、所定の媒体上に該液滴によるパターンを形成する液滴吐出ヘッドが従来から知られている。
【０００３】
近年、用途によっては液滴により形成するパターンの微細化、高精度化が求められており、これに応えるため、液滴吐出ヘッドは、ノズルが高密度に配置され、液滴吐出ヘッドのどのノズルからも同じ滴速度で液滴が吐出されることが求められている。
【０００４】
各ノズルから同じ滴速度で液滴を吐出させる際、液体に混入した異物が問題となる。各ノズルに液体を供給する個別液室内にまでこのような異物が到達すると、場合によってはノズルが異物により塞がれてしまい、各ノズル孔からの液滴の滴速度を一定にすることができなくなる。
【０００５】
このため、このような異物がノズルまで到達しないよう、例えば、共通液室と個別液室の境界部にフィルタを設置することで、異物が個別液室へ侵入する事を防止する対策を打たれてきた。
【０００６】
また、特許文献１には、ノズルと、圧力室と、供給口とを有する溝部よりなるインク流路と、共通インク室と、供給管と、共通インク室と供給管を連通するインク通路とが一体に設けたヘッド基板と、インク通路内に接合保持したフィルタと、を有するインクジェット記録ヘッドが開示されている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、近年は液滴吐出ヘッドのノズル及びこれに付帯する部材を高密度に配置、実装するため、フィルタ部に使用できる有効面積が小さくなっている。このため、特許文献１に開示されたインクジェット記録ヘッドのようにフィルタを設けただけの構成では、フィルタの目詰まりにより流体抵抗が大きく変化し、ノズルから吐出される液滴の滴速度が変化してしまうという課題があった。
【０００８】
そこで、本発明は上記従来技術の課題に鑑み、フィルタに留まった異物を排除できる液滴吐出ヘッドの提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するため、本発明は、液滴を吐出するノズルと、
前記ノズルに液体を供給する個別液室と、
前記個別液室の前記ノズルに対向する位置に設けられた振動板と、
前記振動板の前記個別液室と対向する領域に設けられた圧電素子と、
前記個別液室に液体を供給する液体供給路と、を有する液滴吐出チャンネルが、一列に配列して設けられた液滴吐出ヘッドであって、
前記液滴吐出チャンネルの前記個別液室に、前記液体供給路を介して液体を供給する１つの共通液室と、
前記共通液室と、前記液体供給路との間に設けられたフィルタと、
前記液滴吐出チャンネル全てから液滴の吐出を開始させ、次いで、一列に配列された前記液滴吐出チャンネルのうち、該配列の中央部から、両端部の方向に向かって順次液滴の吐出を停止させる異物除去動作制御部と、を備えた液滴吐出ヘッドを提供する。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、フィルタに留まった異物を排除できる液滴吐出ヘッドを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の第１の実施形態における液滴吐出ヘッドの組み立て斜視図。
【図２】図１のＡ−Ａ´線における断面図。
【図３】図２における個別液室、共通液室周辺の拡大図。
【図４】図３のＣ−Ｃ´線における断面図。
【図５】図１のＢ−Ｂ´線における断面図。
【図６】本発明の第１の実施形態における異物動作制御部の制御のフロー図。
【図７】本発明の第１の実施形態における異物動作制御部の制御のフロー図。
【図８】本発明の第１の実施形態において、滴速度が低下している液滴吐出チャンネルを検出した際に用いたｐｕｌｌ波形図。
【図９】本発明の第２の実施形態における液滴吐出チャンネル及び異物搬出手段の説明図。
【図１０】本発明の第２の実施形態における液滴吐出チャンネル及び異物搬出手段周辺の断面図。
【図１１】本発明の第２の実施形態における液滴吐出チャンネル及び異物搬出手段の他の構成の説明図。
【図１２】本発明の第２の実施形態における液滴吐出チャンネル及び異物搬出手段の他の構成の説明図。
【図１３】本発明の第２の実施形態における異物動作制御部の制御のフロー図。
【図１４】本発明の第２の実施形態における異物動作制御部の制御の他の構成のフロー図。
【図１５】本発明の第３の実施形態における異物動作制御部の制御の概略説明図。
【図１６】本発明の第３の実施形態における異物動作制御部の制御のフロー図。
【図１７】本発明の第３の実施形態における異物動作制御部の制御の他の構成のフロー図。
【図１８】本発明の第４の実施形態における液滴吐出装置の構成説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下に、発明を実施するための形態について図面を用いて説明するが、本発明はこれらの例によって限定されるものではない。
［第１の実施形態］
本実施形態では、本発明の液滴吐出ヘッドの構成例について説明する。
【００１３】
本実施形態の液滴吐出ヘッドは以下の各部材を有している。
【００１４】
液滴を吐出するノズルと、ノズルに液体を供給する個別液室と、個別液室のノズルに対向する位置に設けられた振動板と、振動板の個別液室と対向する領域に設けられた圧電素子と、個別液室に液体を供給する液体供給路と、を有する液滴吐出チャンネルを有する。液滴吐出ヘッド内に該液滴吐出チャンネルは一列に配列して設けられている。そして、液滴吐出チャンネルの個別液室に、液体供給路を介して液体を供給する１つの共通液室と、共通液室と液体供給路との間に設けられたフィルタと、を備えている。
【００１５】
さらに、複数の液滴吐出チャンネル全てから液滴の吐出を開始させ、次いで、一列に配列された複数の液滴吐出チャンネルのうち、該配列の中央部から、両端部の方向に向かって順次液滴の吐出を停止させる異物除去動作制御部を備えていることを特徴とする。
【００１６】
ここで、液滴吐出ヘッドの構成例について、図面を用いて説明する。図１は、本実施形態の液滴吐出ヘッドを示す組み立て斜視図、図２は図１のＡ−Ａ´線での断面図である。
【００１７】
図１に示すように、液滴吐出ヘッドは例えば以下の各基板、部材を積層した構造とすることができる。
【００１８】
液滴を吐出させるノズル１（１ｙ、１ｍ、１ｃ、１ｋ）が形成されたノズル板２。ノズル毎に設けられた個別液室３（３ｙ、３ｍ、３ｃ、３ｋ）が形成された個別液室形成基板１０１。個別液室３中の液体に圧力を加え、ノズル１から液滴を吐出させるための圧電素子１５（１５ｙ、１５ｍ、１５ｃ、１５ｋ）、及びそれに吐出信号を出力する駆動ＩＣチップ１０５（１０５a〜１０５ｄ）が形成されたアクチュエータ基板１４。駆動ＩＣチップ１０５a〜１０５ｄからの熱を伝達する放熱部材２０１（２０１a〜２０１ｄ）と、圧電素子１５ｙ、１５ｍ、１５ｃ、１５ｋを保護するサブフレーム１０２。共通液室が形成された共通液室形成基板１０３。インク供給孔１０７（１０７ｙ、１０７ｍ、１０７ｃ、１０７ｋ）が形成されているマニホールド１０４。さらに、ハウジング１０６を設けることができる。
【００１９】
なお、ここでは、液滴吐出ヘッドとして、４色のインクを吐出可能なインクジェットヘッドを例に説明しており、添字ｙ、ｍ、ｃ、ｋはそれぞれシアン、マゼンタ、イエロー、ブラックの各色に対応する。また、このため、ノズルや個別液室等や、これらを含む複数の液滴吐出チャンネルを、１列に配列し、該配列が４列設けられているが、係る形態に限定されるものではなく、用途等に応じて選択することができる。例えば１列のみでもよく、さらに複数列設けることもできる。
【００２０】
ここで、図１のＡ−Ａ´線の断面図である図２に示すように、圧電素子１５ｙ〜１５Ｋは、それぞれ、下部電極１１（１１ｙ〜１１ｋ）、圧電体１２（１２ｙ〜１２ｋ）、上部電極１３（１３ｙ〜１３ｋ）が積層された構造を有している。
【００２１】
外部駆動回路から例えば上部電極１３ｙ、１３ｍ、１３ｃ、１３ｋ、下部電極１１ｙ、１１ｍ、１１ｃ、１１ｋを介して圧電体１２ｙ、１２ｍ、１２ｃ、１２ｋに信号（電圧）を印加すると、圧電体１２ｙ、１２ｍ、１２ｃ、１２ｋが撓む。この際、圧電体の撓みにより個別液室と圧電素子間に設けた図示しない振動板により個別液室３ｙ、３ｍ、３ｃ、３ｋは収縮される。このため、個別液室３ｙ、３ｍ、３ｃ、３ｋ内の液体は加圧され、液滴がノズル（ノズル孔）１ｙ、１ｍ、１ｃ、１ｋより吐出される。
【００２２】
液滴吐出ヘッドを構成する、個別液室３、圧電素子１５を構成する圧電体１２と上部電極１３、下部電極１１、流体抵抗部１６とフィルタ６の関係を図３に示す。図３では、ブラック部分（添え字がｋの部分）のみを対象として拡大表示している。
【００２３】
図３に示すように、個別液室３（３ｋ）は、液体供給路を構成する導入路１８及び流体抵抗部１６を介して、共通液室４（４ｋ）と接続されるように構成することができる。そして、共通液室４（４ｋ）と、液体供給路との間、具体的には例えば図３に示すように、共通液室４（４ｋ）と、導入路１８との間にフィルタ６を配置することができる。
【００２４】
該フィルタ６の形成方法、設置場所は特に限定されるものではないが、フィルタは隣接する液滴吐出チャンネルに設けられたフィルタと同一平面上に配置していることが好ましい。また、図３に示すように例えば、振動板５と同一平面上に位置した構成とすることができる。すなわち、振動板５をフォトエッチングすることにより形成することができる。このように構成することにより、薄いフィルタとすることができるため、インクの流体抵抗を最小限に抑えることができる。
【００２５】
フィルタ６に形成される孔のサイズ（直径）は特に限定されるものではないが、ノズル（ノズル孔）１（１ｋ）を塞ぐ異物が個別液室３に侵入することを防止するため、ノズル１（１ｋ）の直径よりも小さいことが好ましい。
【００２６】
ここで、図４に図３のＣ−Ｃ´線での断面図を示す。図４においては、個別液室３やその周辺の構成が分かり易いように、サブフレーム１０２については記載を省略して示している。
【００２７】
図４に示すように個別液室３（３ｋ）は液滴吐出ヘッドに複数設けられており、１列に配列されている。また、ノズルと、個別液室３と、振動板５と、圧電素子１５と、液体供給路と、を有する液滴吐出チャンネルも図４に示す様に複数設けられ、一列に配列されている。
【００２８】
このような複数の個別液室３は、個別液室形成基板１０１に対して、フォトリソグラフィ技術により、所定の形状のレジストを形成した後、エッチングにより一度の操作により形成することができる。この際、液体供給路である導入路１８、流体抵抗部１６についても同様にして形成することができ、個別液室と同時に形成することができる。
【００２９】
また、圧電素子についても同様に、圧電素子を構成する下部電極、圧電体、上部電極の各層を形成し、所定のタイミングでフォトリソグラフィ技術によりレジストを形成し、エッチングにより所望のパターンを有する圧電素子を形成することができる。
【００３０】
そして、上述したように、図示していない共通液室４から、個別液室３へ連通する箇所に、フォトエッチング等により微細孔を複数設けて、それをフィルタ６とすることができる。
【００３１】
本実施形態の液滴吐出ヘッドにおいては、後述する異物除去動作制御部により、所定のタイミングで液滴吐出チャンネルから液滴の吐出、停止を行い、フィルタ近傍でインク流体の流れを形成する。そして、該流れを利用して各液滴吐出チャンネルのフィルタに保持された異物を、配列された複数の液滴吐出チャンネルの両端部側に移動させて、各液滴吐出チャンネルから吐出される液滴の滴速度を一定にするものである。
【００３２】
この際、配列された液滴吐出チャンネルの両端部についても、通常の液滴吐出チャンネルを設けておき、両端部の液滴吐出チャンネルを異物保持用とし、液滴吐出に供しない構成とすることもできる。
【００３３】
また、図４に示すように、一列に配列された前記液滴吐出チャンネルの列の両端部に隣接して、すなわち、液滴吐出チャンネルの両端部よりも外側に、移動した異物を保持しておくダミーチャンネル２２を設けておくこともできる。ダミーチャンネル２２については、移動させた異物を回収できるように構成されていれば良く、その構成は特に限定されるものではない。例えば、ダミーチャンネルは、ノズルと、個別液室と、液体供給路と、を有している構成とすることができる。なお、ここでいう液体供給路は、ダミーチャンネル２２に設けられた個別液室に液体を供給する経路であって、共通液室４とダミーチャンネル２２に設けられた個別液室とを接続することができる。例えば、液滴吐出チャンネルの場合と同様に、導入路及び流体抵抗部により構成できる。ダミーチャンネルについては、異物を回収するためのみのチャンネルであるため、上記構成のみから構成することができる。このため、フィルタ６を形成する際、ダミーチャンネル２２の共通液室４に対する開口部２２１は異物が入り易いよう、フィルタ６を設けずに、図４に示すようにフィルタ６の微細孔よりも大きな開口部２２１とすることが好ましい。なお、ダミーチャンネルの共通液室への開口部についても、例えばフォトエッチングにより形成することができ、フィルタ６の場合と同様に振動板５に形成することが好ましい。
【００３４】
図５に、図１のＢ−Ｂ´線における断面図を示す。図５においては、共通液室形成基板１０３、マニホールド１０４、ハウジング１０６については省略して示している。図４、図５に示すようにダミーチャンネル２２については、圧電素子１５を設けない構成とすることができる。
【００３５】
次に、異物除去動作制御部について説明する。異物除去動作制御部は例えばＣＰＵと、その制御内容を記憶したＲＯＭ等によりその機能を実現することができる。これらの構成については、液滴吐出ヘッド内に含んでいる構成とすることができる。
【００３６】
異物除去制御部は、複数の液滴吐出チャンネル全てから液滴の吐出を開始させ、次いで、一列に配列された複数の液滴吐出チャンネルのうち、該配列の中央部から、両端部の方向に向かって順次液滴の吐出を停止させる。具体的な制御内容について図６に示したフローチャートを用いて説明する。以下のフローは任意のタイミングで開始することができ、例えば予め定めた時間ごと、また、入力手段を設けておき、ユーザー等により入力手段を介して出された指令により開始することもできる。
【００３７】
本シーケンスは始めに、全液滴吐出チャンネルを駆動させる（Ｓ６１）。
【００３８】
以下の工程においては、Ｎが奇数か偶数かによって停止する液滴吐出チャンネルの計算式が異なるため、Ｓ６２において、Ｎが偶数であるかを判断するステップを設けている。ただし、液滴吐出チャンネルの数は変化しないため、液滴吐出チャンネルに応じて予め選択したＳ６３またはＳ６３´以下のフローを行うように設定しておけばよく、Ｓ６２を毎回行う必要はない。
【００３９】
そして、一定時間駆動させた後、配列された複数の液滴吐出チャンネルのうち、中央の液滴吐出チャンネルからの液滴吐出を停止する（Ｓ６３、Ｓ６３´）。この際停止するチャンネルは、Ｎが偶数の場合には、該液滴吐出チャンネルの一方の端部からＮ／２番目と、Ｎ／２＋１番目の液滴吐出チャンネルからの液滴吐出を停止することとなる（Ｓ６３）。また、Ｎが奇数の場合には、該液滴吐出チャンネルの一方の端部からＮ／２＋０．５番目の液滴吐出チャンネルからの液滴吐出を停止することとなる（Ｓ６３´）。Ｓ６１で全液滴吐出チャンネルから液滴との吐出を開始してから、Ｓ６３またはＳ６３´で吐出を停止するまでの時間は特に限定されるものではないが、例えば１秒とすることができる。
【００４０】
さらに中央から両端に向かって、１ｃｈずつ液滴吐出チャンネルからの液滴吐出を停止させる。
【００４１】
具体的には、Ｓ６４、Ｓ６４´において、例えばまず、ｉ＝０として開始する。そして、Ｓ６５、Ｓ６５´において、ｉにｉ＋１を代入する。次いで、Ｓ６６の場合、配列された液滴吐出チャンネルの一方の端部からＮ／２＋１＋ｉ番目と、Ｎ／２−ｉ番目の液滴吐出チャンネルからの液滴の吐出を停止する。Ｓ６６´の場合、配列された液滴吐出チャンネルの一方の端部からＮ／２＋０．５＋ｉ番目と、Ｎ／２＋０．５−ｉ番目の液滴吐出チャンネルからの液滴の吐出を停止する。そして、Ｓ６７において、ｉ＝Ｎ／２−１であるか判断し、満たさない場合にはＳ６５、Ｓ６６を繰り返し行う。Ｓ６７´においては、ｉ＝Ｎ／２−０．５であるかを判断し、満たさない場合にはＳ６５´、Ｓ６６´を繰り返し行う。
【００４２】
なお、液滴吐出チャンネルからの液滴吐出を停止した後、次の液滴吐出チャンネルからの液滴吐出を停止するまでの時間、すなわち、例えばＳ６３とＳ６６の間の時間や、Ｓ６６を行ってから、再度Ｓ６６を行うまでの時間は特に限定されるものではない。例えば、１秒とすることが好ましい。
【００４３】
そして、Ｓ６７またはＳ６７´の条件を満たした場合、すなわち、両端部の液滴吐出チャンネルからの液滴の吐出を停止しした場合には、上記制御フローを終了する。
【００４４】
さらに本実施形態の液滴吐出ヘッドは、異物除去動作制御部の動作を繰り返し行わせる、異物除去動作繰り返し制御部をさらに備えた構成とすることができる。この場合、異物除去動作繰り返し制御部からの指令により、異物除去動作制御部は複数回上記制御フローを繰り返すことができる。係る繰り返し実施する回数は特に限定されるものではなく、予め決めた任意の回数繰り返すように構成することができる。異物除去動作繰り返し制御部についてもＣＰＵによりその機能を実現することができる。
【００４５】
この場合、具体的には図７に示すフローにより実施することができる。フロー中のＳ６１〜Ｓ６８の各ステップを異物除去動作繰り返し制御部からの指令により指定回数繰り返すこととなる。Ｓ６２〜Ｓ６７、Ｓ６３´〜Ｓ６７´については上述のステップと同様であるためここでは説明を省略する。
【００４６】
このように、所定回数、上記異物除去動作を繰り返し行うことによって、フィルタに留まっている異物を除去できる可能性をより高めることが可能になる。
【００４７】
以上に説明してきた異物除去動作を実施する場所等については特に限定されるものではない。ただし、ノズルから吐出した液滴が外部を汚さないように、例えば後述する液滴吐出装置に装着されている場合には回復装置等、空吐出を行える場所に移動させてから行うことが好ましい。以下の他の実施形態で挙げた液滴吐出ヘッドの場合においても同様である。
【００４８】
上記のような動作により、本実施形態の液滴吐出ヘッドにおいてフィルタに留まった異物を移動できることの確認を行った。
【００４９】
まず、上述のような液滴吐出ヘッドを用い、一定時間ノズルから液滴を吐出させた。次いで、図８に示すようなｐｕｌｌ波形の２ｋＨｚを用いて、フィルタに留まった異物原因により滴速度が低下している液滴吐出駆動チャンネルを検出した。すると、１つの液滴吐出チャンネルにおいて、滴速度が低下していることが確認できた。なお、用いた液滴吐出ヘッドにおいては、マニホールド１０４を評価用に透明樹脂により成形しており、目視によっても実際に滴速度の変化とフィルタに留まっている異物の有無を確認することをできた。
【００５０】
そして、該液滴吐出ヘッドにおいて図６に示した上記制御フローを実施した所、滴速度が低下している現象が両端側へ移動していることが確認でき、最後に、異物がダミーチャンネルへ入ったことを確認した。また、この結果、初期に滴速度が低下していた液滴吐出ヘッドは正常な滴速度に戻っていることが確認できた。
【００５１】
以上説明してきたように、本実施形態の液滴吐出ヘッドにおいては、フィルタに留まった異物を排除できる。このため、各ノズルから吐出される液滴の滴速度を一定に保つことができ、微細なパターンを高精度で形成することが可能になる。
［第２の実施形態］
本実施形態においては、本発明の液滴吐出ヘッドの他の構成例について説明する。
【００５２】
本実施形態の液滴吐出ヘッドにおいては、第１の実施形態で説明した液滴吐出ヘッドのダミーチャンネル２２にかえて、異物搬出手段２３を有する構成となっている。この点について以下に説明する。
【００５３】
まず、本実施形態の液滴吐出ヘッドにおいては、一列に配列された液滴吐出チャンネルの列の両端部に隣接して異物搬出手段が設けられている。そして、異物搬出手段は、ノズルと、個別液室と、前記個別液室の前記ノズルと対向する位置に設けられた振動板と、前記振動板の前記個別液室と対向する位置に設けられた圧電素子と、前記共通液室と接続された液体供給路と、を有している。
【００５４】
この点について、図９、図１０を用いて説明する。
【００５５】
本実施形態の液滴吐出ヘッドにおいても第１の実施形態の液滴吐出ヘッドと同様に複数の液滴吐出チャンネルが設けられ、一列に配列されている。該液滴吐出チャンネルの構成については、第１の実施形態で説明したものと同様の構成とすることができるため、ここでは説明を省略する。
【００５６】
そして、本実施形態の液滴吐出ヘッドにおいては、一列に配列された該液滴吐出チャンネルの両端部に、異物搬出手段２３が設けられている。該異物搬出手段２３の構成については特に限定されるものではないが、例えば、ノズル、個別液室、振動板、圧電素子、液体供給路により構成することができる。なお、ここでいう液体供給路は、異物搬出手段に設けられた個別液室に液体を供給する経路であって、共通液室４と異物搬出手段に設けられた個別液室とを接続することができる。例えば、液滴吐出チャンネルと同様に導入路及び流体抵抗部により構成することができる。
【００５７】
また、異物搬出手段２３の共通液室への開口部２３１については、ダミーチャンネルの場合と同様にフィルタを設けない形状とすることが好ましい。
【００５８】
そして、本実施形態の異物搬出手段に関しては、図１０に示したように、振動板の個別液室と対向する位置に圧電素子１５を有している。なお、図１０は本実施形態の液滴吐出ヘッドの場合の図１におけるＢ−Ｂ´線での断面図に当たる。
【００５９】
また、異物搬出手段のノズルのノズル径は、前記液滴吐出チャンネルのノズルのノズル径よりも大きいことが好ましい。異物搬出手段のノズルのノズル径のサイズは特に限定されるものではないが、例えば、液滴吐出チャンネルのノズルのノズル径の１．５倍以上とすることが好ましく、３倍以上とすることがより好ましい。圧電素子１５が駆動しない時に液滴が吐出されないサイズであればよく、サイズの上限は特に限定されるものではない。これは、異物搬出手段に移動した異物を液滴吐出ヘッド外に排出しやすくするためであり、異物搬出手段に設けられた圧電素子の駆動により搬出することもできる。また、該液滴吐出ヘッドを例えば液滴吐出記録装置に装着している場合に、液滴吐出記録装置に設けられた吸引手段により該ノズルから異物を搬出することもできる。
【００６０】
以上のような異物搬出手段における圧電素子や流体抵抗部の形成に関しても、第１の実施形態で説明したように、フォトエッチング技術により形成することができ、異物搬出手段についてもフォトマスクを変更するだけで容易に形成することができる。
【００６１】
また、本実施形態の液滴吐出ヘッドにおいては、上記異物搬出手段は、一列に配列された前記液滴吐出チャンネルの両端部のそれぞれに複数配置することもできる。
【００６２】
この場合、例えば、図１１に示すように、配列された液滴吐出チャンネルの両端部のそれぞれの外側に、第１の異物搬出手段２４、第２の異物搬出手段２５を配置した構成とすることができる。この場合の開口部２４１、２５１については、上記異物搬出手段と同様にフィルタを設けない構成とすることが好ましい。また、例えば、図１２に示すように、第１、第２の異物搬出手段への開口部を連結して大きな開口部２４２を形成することもできる。このような構成についても、上述のようにフォトマスクを変更するだけで容易に形成することができる。
【００６３】
上記のように配列された液滴吐出チャンネルの両端部にそれぞれ複数の異物搬出手段を有する構成とした場合、例えば第１の異物搬出手段２４に異物が入り、ノズルが塞がれた場合であっても、第２の異物搬出手段２５は液滴の吐出を継続できる。このため、第２の異物搬出手段２５がインクの流れを形成できるため、異物搬出手段としての機能の寿命を長くすることができる。なお、ここでは、配列された液滴吐出ヘッドの両端部にそれぞれ２つの異物搬出手段を設けた例を示したが、係る形態に限定されるものではなく、例えば両端部にそれぞれ３つ以上形成することもできる。
【００６４】
異物搬出手段についても第１の実施形態で説明した異物除去動作制御部において制御を行うことができる。異物搬出手段も含めた具体的な制御手順について、図１３のフローチャートを用いて説明する。以下のフローは任意のタイミングで開始することができ、例えば予め定めた時間ごと、また、入力手段を設けておき、ユーザー等により入力手段を介して出された指令により開始することもできる。
【００６５】
本シーケンスは初めに、全液滴吐出チャンネルを駆動させる（Ｓ１３１）。また、異物搬出手段を駆動させる（Ｓ１３２）。
【００６６】
そして、以下の工程においては、Ｎが奇数か偶数かによって停止する液滴吐出チャンネルが異なるため、Ｓ１３３において、Ｎが偶数であるかを判断するステップを設けている。ただし、液滴吐出チャンネルの数は変化しないため、液滴吐出チャンネルに応じて予め選択したＳ１３４またはＳ１３４´以下のフローを行うように設定しておけばよく、Ｓ１３３を毎回行う必要はない。
【００６７】
そして、一定時間駆動させた後、配列された複数の液滴吐出チャンネルのうち、中央の液滴吐出チャンネルからの液滴吐出を停止する（Ｓ１３４、Ｓ１３４´）。この際停止するチャンネルは、Ｎが偶数の場合には、該液滴吐出チャンネルの一方の端部からＮ／２番目と、Ｎ／２＋１番目の液滴吐出チャンネルからの液滴吐出を停止することとなる（Ｓ１３４）。また、Ｎが奇数の場合には、該液滴吐出チャンネルの一方の端部からＮ／２＋０．５番目の液滴吐出チャンネルからの液滴吐出を停止することとなる（Ｓ１３４´）。Ｓ１３１で全液滴吐出チャンネルから液滴との吐出を開始してから、Ｓ１３４またはＳ１３４´で吐出を停止するまでの時間は特に限定されるものではないが、例えば１秒とすることができる。
【００６８】
さらに中央から両端に向かって、１ｃｈずつ液滴吐出チャンネルからの液滴吐出を停止させる。
【００６９】
具体的には、Ｓ１３５、Ｓ１３５´において、例えばまず、ｉ＝０として開始する。そして、Ｓ１３６、Ｓ１３６´において、ｉにｉ＋１を代入する。次いで、Ｓ１３７の場合、配列された液滴吐出チャンネルの一方の端部からＮ／２＋１＋ｉ番目と、Ｎ／２−ｉ番目の液滴吐出チャンネルからの液滴の吐出を停止する。Ｓ１３７´の場合、配列された液滴吐出チャンネルの一方の端部からＮ／２＋０．５＋ｉ番目と、Ｎ／２＋０．５−ｉ番目の液滴吐出チャンネルからの液滴の吐出を停止する。そして、Ｓ１３８において、ｉ＝Ｎ／２−１であるか判断し、満たさない場合にはＳ１３６、Ｓ１３７を繰り返し行う。Ｓ１３８´においては、ｉ＝Ｎ／２−０．５であるかを判断し、満たさない場合にはＳ１３６´、Ｓ１３７´を繰り返し行う。
【００７０】
なお、液滴吐出チャンネルからの液滴吐出を停止しした後、次の液滴吐出チャンネルからの液滴吐出を停止するまでの時間、すなわち、例えばＳ１３４とＳ１３７の間の時間や、Ｓ１３７を行ってから、再度Ｓ１３７を行うまでの時間は特に限定されるものではない。例えば、１秒とすることが好ましい。
【００７１】
そして、Ｓ１３８またはＳ１３８´の条件を満たした場合、すなわち、両端部の液滴吐出チャンネルからの液滴の吐出を停止しした場合には、Ｓ１３９で両端部に設けられた異物搬出手段の駆動を停止し、上記制御フローを終了する。
【００７２】
なお、本実施形態の液滴吐出ヘッドにおいても、異物除去動作制御部の動作を繰り返し行わせる、異物除去動作繰り返し制御部をさらに備えた構成とすることができる。この場合、異物除去動作繰り返し制御部からの指令により、異物除去動作制御部は複数回上記制御フローを繰り返すことができる。係る繰り返し実施する回数は特に限定されるものではなく、予め決めた任意の回数繰り返すように構成することができる。異物除去動作繰り返し制御部についてもＣＰＵによりその機能を実現することができる。
【００７３】
この場合、フロー中のＳ１３１〜Ｓ１３９の各ステップを異物除去動作繰り返し制御部からの指令により指定回数繰り返すこととなる。
【００７４】
また、上記のように、異物搬出手段を液滴吐出チャンネルの両端部にそれぞれ複数チャンネル設けた場合についても同様に異物除去動作制御部において制御を行うことができる。この場合のフローチャートを図１４に示す。該フローチャートにおいては、異物搬出手段を液滴吐出チャンネルの配列の両端部にそれぞれ２つ設けた構成における制御例を示している。
【００７５】
この場合、図１３に示したフローチャートにおけるＳ１３２が、第１の異物搬出手段を駆動させるステップ（Ｓ１３２１）及び第２の異物搬出手段を駆動させるステップ（Ｓ１３２２）に変更される。また、Ｓ１３９が、第１の異物搬出手段を駆動停止させるステップ（Ｓ１３９１）及び第２の異物搬出手段を駆動停止させるステップ（Ｓ１３９２）に変更される。それ以外のステップについては、図１３に示したステップと同様にして行うことができる。
【００７６】
上記のような動作により、本実施形態の液滴吐出ヘッドにおいてフィルタに留まった異物を移動できることの確認を行った。
【００７７】
まず、上述のような異物搬出手段を液滴吐出チャンネルの両端部に１チャンネルずつ形成した液滴吐出ヘッドを用い、一定時間ノズルから液滴を吐出させた。次いで、図８に示すようなｐｕｌｌ波形の２ｋＨｚを用いて、フィルタに留まった異物原因により滴速度が低下している液滴吐出駆動チャンネルを検出した。すると、１つの液滴吐出チャンネルにおいて、滴速度が低下していることが確認できた。なお、用いた液滴吐出ヘッドにおいては、マニホールド１０４を評価用に透明樹脂により成形しており、目視によっても実際に滴速度の変化とフィルタに留まっている異物の有無を確認することをできた。
【００７８】
そして、該液滴吐出ヘッドにおいて図１３に示した上記制御フローを実施した所、滴速度が低下している現象が両端側へ移動していることが確認でき、最後に、異物が異物搬出手段２３へ入ったことを確認した。また、この結果、初期に滴速度が低下していた液滴吐出ヘッドは正常な滴速度に戻っている事が確認できた。
【００７９】
以上説明してきたように、本実施形態の液滴吐出ヘッドにおいては、フィルタに留まった異物を排除できる。このため、各ノズルから吐出される液滴の滴速度を一定に保つことができ、微細なパターンを高精度で形成することが可能になる。また、本実施形態の液滴吐出ヘッドにおいては、異物搬出手段を設けた事により、異物搬出手段が駆動することで、共通液室内のインク流体が異物搬出手段へ向かう流れが生じ、異物が異物搬出手段へ入りやすくなる。このため、異物の排除を促進させることができる。
［第３の実施形態］
本実施形態では、本発明の液滴吐出ヘッドの他の構成例について説明する。
【００８０】
本実施形態の液滴吐出ヘッドは以下の各部材を有している。
【００８１】
液滴を吐出するノズルと、ノズルに液体を供給する個別液室と、個別液室のノズルに対向する位置に設けられた振動板と、振動板の個別液室と対向する領域に設けられた圧電素子と、個別液室に液体を供給する液体供給路と、を有する液滴吐出チャンネルを有する。液滴吐出ヘッド内に該液滴吐出チャンネルは一列に配列して設けられている。そして、液滴吐出チャンネルの個別液室に、液体供給路を介して液体を供給する１つの共通液室と、共通液室と液体供給路との間に設けられたフィルタと、を備えている。
【００８２】
そしてさらに、以下の動作を制御する異物除去動作制御部を有していることを特徴とする。
【００８３】
まず、一列に配列された前記液滴吐出チャンネルの中央部と、その中央部が同じであり、前記液滴吐出チャンネルの一部をその範囲に含む、第１のエリア内の液滴吐出チャンネル全てから液滴の吐出を開始させる。
【００８４】
次いで一列に配列された前記複数の液滴吐出チャンネルのうち、該配列の中央部から、両端部の方向に向かって順次液滴の吐出を停止させる。そして、液滴吐出チャンネルからの液滴吐出を停止させる際、前記第１のエリアよりも前記液滴吐出チャンネルの配列方向の両端部側にある液滴吐出チャンネルから、順次液滴の吐出を開始させることを特徴とする。
【００８５】
係る異物除去動作制御部の制御の概要について図１５を用いて説明する。液滴吐出ヘッドの他の構成については、第１の実施形態、第２の実施形態で説明したものと同様の構成とすることができるため、ここでは説明を省略する。
【００８６】
図１５は複数の液滴吐出チャンネルが一列に配列されている状態を模式的に示しており、ここでは、２８の液滴吐出チャンネルが配列されている。なお、説明の便宜上、左側から順に丸付き数字で番号を付している。そして、液滴吐出チャンネルの配列の両端部に隣接して第２の実施形態で説明した異物搬出手段２３がそれぞれ設けられている。なお、異物搬出手段は第２の実施形態で説明したようにそれぞれの両端部に複数設けることもでき、第１の実施形態で説明したダミーチャンネルとすることもできる。
【００８７】
そして、このように配列された液滴吐出チャンネルの中央部（図中ブロック矢印で示した部分）と、その中央部を同じくし、配列された複数の液滴吐出チャンネルをその範囲を含む第１のエリアＸを有している。図１５においては、中央部から左右に液滴吐出チャンネルを１０チャンネルずつ含むように第１のエリアを選択しているが、係る形態に限定されず、任意にその範囲を選択することができる。
【００８８】
そして、本実施形態において異物除去動作制御部は、まず、第１のエリア内にある全ての液滴吐出チャンネルからの液滴吐出を開始する。図１５の例であれば、配列された液滴吐出チャンネルの一方の端部から、５番目から２４番目までの液滴吐出チャンネル全てから液滴を吐出する。
【００８９】
次に、配列された液滴吐出チャンネルの中央部側から両端部側に向かって順次液滴吐出チャンネルからの液滴吐出を停止させる。この際、液滴吐出を停止したチャンネル数に応じて、第１のエリアよりも外側、すなわち液滴吐出チャンネルの配列の両端部側に向かって液滴吐出チャンネルからの液滴吐出を開始する。
【００９０】
すなわち、図１５の場合、まず配列された液滴吐出チャンネルのうち最も中央側に位置する１４番目と、１５番目の液滴吐出チャンネルからの液滴吐出を停止する。この際これにあわせて、第１のエリアよりも外側にある液滴吐出チャンネル、すなわち、４番目と２５番目の液滴吐出チャンネルからの液滴吐出を開始する。その後は同様に液滴吐出チャンネルからの液滴吐出の開始及び停止を行っていく。図１５の場合、１番目と２８番目の液滴吐出チャンネルからの液滴吐出を開始した後には、両端部に配置した異物搬出手段２３からの液滴吐出を開始する。なお、異物搬出手段を両端部にそれぞれ複数設けた場合には、配列の中央部側から順に液滴吐出を開始する。
【００９１】
そして、上記のように順番に液滴吐出チャンネルからの液滴吐出を停止し、両端部の液滴吐出チャンネルからの液滴吐出が停止された場合、異物搬出手段からの液滴吐出を停止し、制御を終了する。異物搬出手段を設けていない場合には、両端部の液滴吐出チャンネルからの液滴吐出が停止された際に制御を終了する。
【００９２】
以上のような操作によって、異物を液滴吐出ヘッドの両端側、すなわち図１５の場合であれば、異物搬出手段２３にまで搬出することができる。
【００９３】
上記操作のフローチャートを図１６に示す。図１６に示したフローチャートにおいては、上記の説明と同様に液滴吐出チャンネルの配列の中央部から左右に１０チャンネルずつの範囲を含む範囲を第１のエリアとして示している。以下のフローは任意のタイミングで開始することができ、例えば予め定めた時間ごと、また、入力手段を設けておき、ユーザー等により入力手段を介して出された指令により開始することもできる。
【００９４】
図１６に示したフローチャートにおいては、まず、液滴吐出チャンネルの数Ｎが奇数か偶数かによって吐出を開始または停止する液滴吐出チャンネルの計算式が異なるため、Ｓ１６１において、Ｎが偶数であるかを判断するステップを設けている。ただし、液滴吐出チャンネルの数は変化しないため、液滴吐出チャンネルに応じて予め選択したＳ１６２またはＳ１６２´以下のフローを行うように設定しておけばよく、Ｓ１６１を毎回行う必要はない。
【００９５】
そして、液滴吐出チャンネルの中央部から１０チャンネルの範囲、すなわち第１のエリア内の全ての液滴吐出チャンネルから液滴吐出を開始する（Ｓ１６２、Ｓ１６２´）。なお、第１のエリアの範囲は上記範囲に限定されるものではなく、任意に選択することができる。
【００９６】
次に、配列された液滴吐出ヘッドの中央部側から両端部側に向かって順に液滴吐出チャンネルからの液滴吐出を停止する。また、この際、第１のエリアよりも外側にある液滴吐出チャンネルについて、液滴吐出チャンネルの配列の中央部側から両端部側に向かって順次液滴吐出を開始する。
【００９７】
具体的には、以下の各ステップを順に実施することにより達成することができる。
【００９８】
まず、中央の液滴吐出チャンネルからの液滴吐出を停止する（Ｓ１６３、Ｓ１６３´）。この際停止するチャンネルは、Ｎが偶数の場合には、該液滴吐出チャンネルの一方の端部からＮ／２番目と、Ｎ／２＋１番目の液滴吐出チャンネルからの液滴吐出を停止することとなる（Ｓ１６３）。また、Ｎが奇数の場合には、該液滴吐出チャンネルの一方の端部からＮ／２＋０．５番目の液滴吐出チャンネルからの液滴吐出を停止することとなる（Ｓ１６３´）。Ｓ１６２で第１のエリア内の全液滴吐出チャンネルから液滴との吐出を開始してから、Ｓ１６３またはＳ１６３´で吐出を停止するまでの時間は特に限定されるものではないが、例えば１秒とすることができる。
【００９９】
さらに中央から両端に向かって、１ｃｈずつ液滴吐出チャンネルからの液滴吐出を停止させる。
【０１００】
具体的には、Ｓ１６４、Ｓ１６４´において、例えばまず、ｉ＝０として開始する。そして、Ｓ１６５、Ｓ１６５´において、ｉにｉ＋１を代入する。
【０１０１】
ここで、本フローチャートの制御の対象としている液滴吐出ヘッドは異物搬出手段を有する構成を例に説明しているため、第１のエリアよりも外側に配置された液滴吐出ヘッドについて、液滴吐出の開始を一度行っているか否かの判断を行う（Ｓ１６６、Ｓ１６６´）。具体的には、Ｎが偶数の場合には、Ｎ／２−９−ｉ＞０を満たす場合には、まだ本フロー内において、液滴吐出を開始したことのない液滴吐出チャンネルが残っていると判断され、Ｓ１６７に進む。上記式を満たしていないと判断された場合には、液滴吐出を開始する対象となる液滴吐出チャンネルが残っていないことから、異物搬出手段からの液滴吐出を開始するＳ１６８に進む。
【０１０２】
Ｎが奇数の場合には、Ｎ／２−９．５−ｉ＞０を満たす場合には、まだ本フロー内において、液滴吐出を開始したことのない液滴吐出チャンネルが残っていると判断され、Ｓ１６７´に進む。上記式を満たしていないと判断された場合には、液滴吐出を開始する対象となる液滴吐出チャンネルが残っていないことから、異物搬出手段からの液滴吐出を開始するＳ１６８´に進む。
【０１０３】
次いで、Ｓ１６７に進んだ場合、配列された液滴吐出チャンネルの一方の端部からＮ／２−９−ｉ番目と、Ｎ／２＋１０＋ｉ番目の液滴吐出チャンネルからの液滴の吐出を開始する。次いでＳ１６９で、配列された液滴吐出チャンネルの一方の端部からＮ／２＋１＋ｉ番目と、Ｎ／２−ｉ番目の液滴吐出チャンネルからの液滴の吐出を停止し、Ｓ１７０に進む。
【０１０４】
Ｓ１６７´の場合、配列された液滴吐出チャンネルの一方の端部からＮ／２−９．５−ｉ番目と、Ｎ／２＋９．５＋ｉ番目の液滴吐出チャンネルからの液滴の吐出を開始する。次いで、Ｓ１６９´で配列された液滴吐出チャンネルの一方の端部からＮ／２＋０．５＋ｉ番目と、Ｎ／２＋０．５−ｉ番目の液滴吐出チャンネルからの液滴の吐出を停止し、Ｓ１７０´に進む。
【０１０５】
Ｓ１６８、Ｓ１６８´に進んだ場合には、異物搬出手段からの液滴吐出を開始し、Ｓ１７０、Ｓ１７０´に進む。
【０１０６】
Ｓ１７０、Ｓ１７０´においては、本フロー内で液滴吐出を開始した全ての液滴吐出チャンネルからの液滴吐出が停止されたかを判断する。具体的には、Ｎが偶数の場合、Ｓ１７０でｉ＝Ｎ／２−１を満たすか否かを判断し、満たしていた場合には、Ｓ１７１で異物搬出手段からの液滴吐出を停止させた後、フローを終了する。満たしていない場合には、Ｓ１６５に戻り、Ｓ１６５〜Ｓ１６９を繰り返し実施する。
Ｎが奇数の場合、Ｓ１７０´でｉ＝Ｎ／２−０．５を満たすか否かを判断し、満たしていた場合には、Ｓ１７１で異物搬出手段からの液滴吐出を停止させた後、フローを終了する。満たしていない場合には、Ｓ１６５´に戻り、Ｓ１６５´〜Ｓ１６９´を繰り返し実施する。
【０１０７】
なお、第１の実施形態で説明した液滴吐出ヘッドのように、異物搬出手段を備えていない液滴吐出ヘッドにおいては、図１７に示すように、図１６のＳ１６６（Ｓ１６６´）、Ｓ１６８（Ｓ１６８´）、Ｓ１７１を省略したフローに従って制御を行うことができる。
【０１０８】
また、本実施形態の液滴吐出ヘッドにおいてもさらに、異物除去動作繰り返し制御部をさらに備えることができ、この場合、異物除去動作繰り返し制御部からの指令により上記フローを複数回繰り返すように構成することができる。
【０１０９】
上記のような動作により、本実施形態の液滴吐出ヘッドにおいてフィルタに留まった異物を移動できることの確認を行った。
【０１１０】
まず、異物搬出手段を液滴吐出チャンネルの両端部に１チャンネルずつ形成した液滴吐出ヘッドを用い、一定時間ノズルから液滴を吐出させた。次いで、図７に示すようなｐｕｌｌ波形の２ｋＨｚを用いて、フィルタに留まった異物原因により滴速度が低下している液滴吐出駆動チャンネルを検出した。すると、１つの液滴吐出チャンネルにおいて、滴速度が低下していることが確認できた。なお、用いた液滴吐出ヘッドにおいては、マニホールド１０４を評価用に透明樹脂により成形しており、目視によっても実際に滴速度の変化とフィルタに留まっている異物の有無を確認することをできた。
【０１１１】
そして、該液滴吐出ヘッドにおいて図１６に示した上記制御フローを実施したところ、滴速度が低下している現象が両端側へ移動していることが確認でき、最後に、異物が異物搬出手段２３へ入ったことを確認した。また、この結果、初期に滴速度が低下していた液滴吐出ヘッドは正常な滴速度に戻っていることが確認できた。
【０１１２】
以上説明してきたように、本実施形態の液滴吐出ヘッドにおいては、フィルタに留まった異物を排除できる。このため、各ノズルから吐出される液滴の滴速度を一定に保つことができ、微細なパターンを高精度で形成することが可能になる。また、本実施形態の液滴吐出ヘッドにおいては、異物除去動作を行う際に、液滴吐出を継続する液滴吐出チャンネルの数を少なくすることが可能であるため、液滴吐出ヘッドから供給される液体の消費量を削減することができる。
［第４の実施形態］
本実施形態では、第１〜第３の実施形態において説明したいずれかの液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置の構成例について説明する。
【０１１３】
図１８は、液滴吐出装置であるインクジェット記録装置１０００内の要部の構成を示した概略斜視図である。
【０１１４】
インクジェット記録装置１０００には、装置本体１００１の内部に、印字機構部１００２などが収納されている。この印字機構部１００２は、走査方向に移動可能なキャリッジ１００３にインクカートリッジ１００４が搭載されており、インクカートリッジ１００４の下に第１〜第３の実施形態で説明したいずれかの液滴吐出ヘッドが搭載されている。
【０１１５】
また、上記異物除去動作制御部による制御動作の間、液滴吐出ヘッドから吐出された液体（インク）が周囲に付着しないように、キャリッジ１００３の移動方向端部の記録領域を外れた位置に回復装置１００５を配置していることが好ましい。
【０１１６】
回復装置１００５はキャップ手段と吸引手段とクリーニング手段を有しており、
キャップ手段で液滴吐出ヘッドのダミーチャンネルや異物搬出手段等のノズルを密封し、チューブを通して吸引手段で吐出口からインクとともに異物等を吸い出す。また、吸引されたインクは、本体下部に設置された廃インク溜（不図示）に排出され、廃インク溜内部のインク吸収体に吸収保持される。
【０１１７】
これにより、周囲を汚すことなく、上記液滴吐出ヘッドから搬出された異物を除去し、各ノズルから吐出される液滴の滴速度を一定に保つことができる。
【符号の説明】
【０１１８】
１、１ｋ、１ｃ、１ｍ、１ｙ            ノズル
３、３ｋ、３ｃ、３ｍ、３ｙ            個別液室
５                                    振動板
６                                    フィルタ
１５、１５ｙ、１５ｍ、１５ｃ、１５ｋ  圧電素子
２２                                  ダミーチャンネル  
２３                                  異物搬出手段
【先行技術文献】
【特許文献】
【０１１９】
【特許文献１】特開平４−３４５９５３号公報
【図１】
2014177035.tif 000003
【図２】
2014177035.tif 000004
【図３】
2014177035.tif 000005
【図４】
2014177035.tif 000006
【図５】
2014177035.tif 000007
【図６】
2014177035.tif 000008
【図７】
2014177035.tif 000009
【図８】
2014177035.tif 000010
【図９】
2014177035.tif 000011
【図１０】
2014177035.tif 000012
【図１１】
2014177035.tif 000013
【図１２】
2014177035.tif 000014
【図１３】
2014177035.tif 000015
【図１４】
2014177035.tif 000016
【図１５】
2014177035.tif 000017
【図１６】
2014177035.tif 000018
【図１７】
2014177035.tif 000019
【図１８】
2014177035.tif 000020