(57)【要約】【課題】フィルムを安定的に浮上させ、外乱による振動耐性を向上させる。【解決手段】ノズル板５５に気流制御排気部６０を設けて、送風ヘッド５０を構成する。ノズル板５５に、多数の吹き出し孔５５ｂを形成する。気流制御排気部６０を排気樋６１から構成する。排気樋６１を、フィルム３０の幅方向に、送風ヘッド５０の幅と同じ長さで形成する。送風ヘッド５０の吹き出し孔５５ｂから乾燥空気４９を吹き出して、フィルム３０を浮上させる。フィルム３０に当たった乾燥空気４９を排気樋６１により、フィルム３０の側方に排出する。フィルム３０近くで乾燥空気４９が滞留することがなくなる。外乱によりフィルム３０が振動しても、振動が抑えられ、振動耐性に優れる。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
帯状のフィルムのフィルム面に対面して配置され、前記フィルム面に向けてガスを吹き出すことができる吹き出し孔が複数配されるノズル面を有する送風ヘッドと、
前記フィルムの幅方向で前記ノズル面に配され、前記吹き出し孔からのガスを前記フィルムの側方に排出するための気流制御排気部と、
を備えるフィルム浮上装置。
【請求項２】
前記フィルムの搬送方向に、前記ノズル面と前記気流制御排気部とが交互に配置される請求項１記載のフィルム浮上装置。
【請求項３】
前記フィルムの搬送方向における前記ノズル面の長さをＷ４とし、前記フィルムの搬送方向における前記気流制御排気部の長さをＷ２とし、前記気流制御排気部の前記フィルムの搬送方向におけるピッチをＰ（Ｐ＝Ｗ２＋Ｗ４）としたときに、比（Ｗ２／Ｐ）が０．1以上０．３以下である請求項２記載のフィルム浮上装置。
【請求項４】
前記気流制御排気部は、
前記フィルム面に向かって突出し、互いにフィルム搬送方向に離間して配置される１対の仕切り板、
前記１対の仕切り板の間で、一方の前記仕切り板の突出端から他方の前記仕切り板の基端に向けて斜めに連続する１対のガイド板、
この１対のガイド板の先端の間に設けられる排気隙間
を有する排気樋と、
前記排気樋のフィルム幅方向の両側に開口する排気口と
を備える請求項３記載のフィルム浮上装置。
【請求項５】
前記排気樋のフィルム幅方向両端を塞ぐ側板と、前記側板に形成される排気孔とを有し、前記排気孔により前記排気口が構成される請求項４記載のフィルム浮上装置。
【請求項６】
前記吹き出し孔におけるガスの吹き出し圧力が３０Ｐａ以上１５０Ｐａ以下であり、前記吹き出し孔から前記フィルムまでの距離は２０ｍｍ以上１００ｍｍ以下である請求項１から５いずれか１項記載のフィルム浮上装置。
【請求項７】
前記ノズル面から２０ｍｍ離れた位置の圧力及び前記フィルム面から５ｍｍ離れた位置の圧力が５Ｐａ以上４０Ｐａ以下である請求項６記載のフィルム浮上装置。
【請求項８】
前記ノズル面から２０ｍｍ離れた位置の圧力及び前記フィルム面から５ｍｍ離れた位置の圧力の差が２Ｐａ以下である請求項７記載のフィルム浮上装置。
【請求項９】
請求項１から８いずれか１項記載のフィルム浮上装置と、
前記フィルムの両側縁部を保持部で保持し、この保持部をフィルムの搬送方向に循環移動させて前記フィルムを搬送するフィルム搬送装置とを備え、
前記ガスはフィルム中の溶媒を蒸発させるために温度調節された乾燥空気であるテンタ。
【請求項１０】
エンドレスに走行する支持体の上に、ポリマ及び溶媒を含むドープを流延して帯状の流延膜を形成した後に、支持体から流延膜を湿潤フィルムとして剥ぎ取る流延装置と、
前記流延装置からの前記湿潤フィルムを保持して搬送する請求項９記載のテンタと、
前記テンタから搬送されるフィルムを乾燥する乾燥装置と、
を備える溶液製膜設備。
【請求項１１】
エンドレスに走行する支持体の上に、ポリマ及び溶媒を含むドープを流延して帯状の流延膜を形成した後に、前記支持体から前記流延膜を湿潤フィルムとして剥ぎ取る流延工程と、
前記流延工程を経た前記湿潤フィルムの両側縁部を保持部により保持して搬送するフィルム搬送工程と、
前記フィルム搬送工程中の前記フィルム面に向けて複数の吹き出し孔を有するノズル面から乾燥ガスを送風ヘッドにより吹き出して前記湿潤フィルムを乾燥させ、この乾燥中に、フィルム搬送方向に離間し、前記ノズル面にフィルム幅方向に沿って配される気流制御排気部により、前記フィルム面に当たった後の乾燥ガスを前記フィルムの側方に排出するテンタ工程と、
前記テンタ工程を経たフィルムを乾燥する乾燥工程と
を含む溶液製膜方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、帯状のフィルムを浮上させるフィルム浮上装置、テンタ、溶液製膜設備及び方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ポリマフィルムは、優れた光透過性や柔軟性を有し、軽量薄膜化が可能であることから、光学機能性フィルムとして多岐に利用されている。この中でも、セルロースアシレート等を用いたセルロースエステル系フィルムは、前述の特性に加えて、さらに強靭性や低複屈折率を有している。このセルロースエステル系フィルムは、近年市場が拡大している液晶表示装置（ＬＣＤ）の構成部材である偏光板の保護フィルムや光学補償フィルムとして利用されている。
【０００３】
ポリマフィルムの製造方法の一つとしては、溶液製膜方法が挙げられる。溶液製膜方法では、ポリマと溶媒とが含まれたドープを流延ダイから支持体上に流延して流延膜を形成する。そして、流延膜がある程度に固まり自己支持性を有するものとなった後に、支持体から流延膜を湿潤フィルムとして剥ぎ取る。次に、テンタにより、湿潤フィルムの両側端部を把持して搬送し、その搬送中にフィルムの乾燥を行う。その後、サイドスリッタによりフィルムの両側端部が切断された後、フィルムは、乾燥装置を経て、巻取装置によって巻き取られる。
【０００４】
テンタ、特に溶媒含有率の高い湿潤フィルムを乾燥するためのピンテンタでは、多数のピンを有するピンクリップを用いてフィルムの両側縁部にピンを突き刺して保持し、フィルムの下方及び上方に配置した送風ヘッドから乾燥風を吹き出して、フィルムを浮上させながら搬送し、フィルムを乾燥させている（特許文献１参照）。また、特許文献２では、フィルム搬送装置として、多数の吹き出し孔を有する多孔板ノズルを用いて、フィルムを浮上させた状態で搬送させている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−２６０７４１号公報
【特許文献２】特開２００８−２４７５０７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、近年のフラットパネルディスプレイの大型化や軽量化に伴い、製膜するフィルムの広幅化や薄手化が進み、従来のフィルム搬送時の浮上安定化方法では浮上の安定性が不足する場合が出てきた。例えば、フィルムの浮上が不安定になると、多孔板ノズルなどにフィルムが接触して擦り傷が発生したり、破損したりすることがある。擦り傷が発生すると、この部分は製品として使用することができなくなり、製品ロスが発生する。また、破損が酷い場合には、製膜ラインの停止にもつながることから、その後の立ち上げ処理などに多くの手間と時間とを要する。したがって、フィルムの広幅化や薄手化に対応する新たな浮上安定化方法が望まれている。
【０００７】
特許文献１の多孔板ノズルを用いたものでは、多孔板ノズルの吹き出し孔から均等に空気を吹き出して、フィルムの垂れ下がりを抑えて、安定的に浮上搬送させる。しかし、吹き出し圧力を均等にしているものの、フィルム下の圧力が小さいため、一度外乱により浮上が不安定になると、安定化しにくいという問題がある。また、特許文献２の多孔板ノズルでは、搬送方向に凸凹形状にすることにより、フィルム下の静圧を下げ、浮上量を抑えている。しかし、フィルム下の圧力が低いため、特許文献１と同様に、一度外乱により浮上が不安定になると、安定化しにくいという問題がある。
【０００８】
本発明は、外乱による影響を抑えてフィルムを安定的に浮上させることができるフィルム浮上装置、テンタ、溶液製膜設備及び方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために、本発明のフィルム浮上装置は、送風ヘッドと、気流制御排気部とを備える。送風ヘッドはノズル面を有する。ノズル面はフィルム面に対面して配置され、フィルム面に向けてガスを吹き出す吹き出し孔が複数配されている。気流制御排気部は、フィルムの幅方向でノズル面に配され、吹き出し孔からのガスをフィルムの側方に排出する。
【００１０】
なお、フィルムの搬送方向に、ノズル面と気流制御排気部とが交互に配置されることが好ましい。また、フィルムの搬送方向におけるノズル面の長さをＷ４とし、フィルムの搬送方向における気流制御排気部の長さをＷ２とし、気流制御排気部のフィルムの搬送方向におけるピッチをＰ（Ｐ＝Ｗ２＋Ｗ４）としたときに、比（Ｗ２／Ｐ）が０．１以上０．３以下であることが好ましい。
【００１１】
気流制御排気部は、排気樋と、この排気樋のフィルム幅方向の両側に開口する排気口とを有することが好ましい。排気樋は、１対の仕切り板を有することが好ましい。１対の仕切り板は、フィルム面に向かって突出し、互いにフィルム搬送方向に離間して配置される。この仕切り板の先端には、１対のガイド板が設けられる。ガイド板は、１対の仕切り板の間で、一方の仕切り板の突出端から他方の仕切り板の基端に向けて斜めに連続する。
【００１２】
排気樋には、フィルム幅方向両端を塞ぐ側板が設けられることが好ましい。この側板には排気孔が形成される。この排気孔により排気口が構成される。
【００１３】
吹き出し孔におけるガスの吹き出し圧力が３０Ｐａ以上１５０Ｐａ以下であり、吹き出し孔からフィルムまでの距離は２０ｍｍ以上１００ｍｍ以下であることが好ましい。また、ノズル面付近の圧力Ｐ１、より正確にはノズル面から２０ｍｍ上方に離れた位置の圧力Ｐ１、及びフィルム面付近の圧力、より正確にはフィルム面から５ｍｍ下方に離れた位置の圧力Ｐ２が５Ｐａ以上４０Ｐａ以下であることが好ましい。また、ノズル面から２０ｍｍ離れた位置の圧力Ｐ１及びフィルム面から５ｍｍ離れた位置の圧力Ｐ２の圧力差（Ｐ２−Ｐ１）が２Ｐａ以下であることが好ましい。
【００１４】
本発明のテンタは、上記のフィルム浮上装置と、フィルム搬送装置とを備える。フィルム搬送装置は、フィルムの両側縁部を保持部で保持し、この保持部をフィルムの搬送方向に循環移動させてフィルムを搬送する。ガスはフィルム中の溶媒を蒸発させるために温度調節された乾燥空気である。
【００１５】
本発明の溶液製膜設備は、流延装置と、この流延装置からの湿潤フィルムを保持して搬送する上記のテンタと、このテンタからのフィルムを乾燥する乾燥装置とを備える。流延装置は、エンドレスに走行する支持体の上に、ポリマ及び溶媒を含むドープを流延して帯状の流延膜を形成し、この流延膜を湿潤フィルムとして剥ぎ取る。
【００１６】
本発明の溶液製膜方法は、流延工程と、フィルム搬送工程と、テンタ工程と、テンタ工程を経たフィルムを乾燥する乾燥工程とを含む。流延工程は、エンドレスに走行する支持体の上に、ポリマ及び溶媒を含むドープを流延して帯状の流延膜を形成し、流延膜を湿潤フィルムとして支持体から剥ぎ取る。フィルム搬送工程は、流延工程を経た湿潤フィルムの両側縁部を保持部により保持し、フィルムを搬送する。テンタ工程は、フィルム搬送工程中のフィルム面に向けて、複数の吹き出し孔を有するノズル面から乾燥ガスを送風ヘッドにより吹き出して、湿潤フィルムを乾燥させる。この乾燥中に、気流制御排気部により、フィルム面に当たった後の乾燥ガスをフィルムの側方に排出する。気流制御排気部は、フィルム搬送方向に離間し、送風ヘッドにフィルム幅方向に沿って配されている。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、ノズル面の吹き出し孔からガスを吹き出し、かつ気流制御排気部によって吹き出し孔からのガスをフィルムの側方に排出することにより、フィルム面付近とノズル面付近との圧力をほぼ同じにすることができる。これにより、外乱によって浮上が不安定になることがなくなり、フィルムを安定的に浮上させることができる。また、フィルムを安定的に浮上させた状態で乾燥が進行することにより、フィルムの全面において、より均一な光学特性が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の溶液製膜設備の一例の概略を示す側面図である。
【図２】本発明のテンタの一例の概略を示す正面の断面図である。
【図３】下部送風ヘッドの一例を示す斜視図である。
【図４】同じく一部を断面で示す側面図である。
【図５】１ユニットの送風ヘッドからなるフィルム浮上装置の一例を示す斜視図である。
【図６】吹き出し孔からの乾燥空気の流れの一例を示すもので、図４におけるVI−VI線の断面図である。
【図７】吹き出し孔からの乾燥空気の流れの一例を示すもので、図４におけるVII−VII線の断面図である。
【図８】フィルムの浮上量及び浮上量変動を説明するための正面図である。
【図９】排気樋の形状を変えた別実施形態の送風ヘッドの一例の一部を断面で示す側面図である。
【図１０】同じくガイド板の形状を変更した別実施形態の排気樋の一例を示す断面図である。
【図１１】同じくガイド板の形状を変更した別実施形態の排気樋の一例を示す断面図である。
【図１２】排気樋に代えてノズル板を山形に配置した別実施形態の送風ヘッドの一例の一部を断面で示す側面図である。
【図１３】試験機の概略構成の一例を示す側面図である。
【図１４】実験６で用いた送風ヘッドを示す斜視図である。
【図１５】実験７で用いた送風ヘッドを示す斜視図である。
【図１６】実験８で用いた送風ヘッドを示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
図１は溶液製膜設備の一例を示しており、この溶液製膜設備１０は、流延装置１１と、ピンテンタ１３と、クリップテンタ１４と、サイドスリッタ１５ａ，１５ｂと、乾燥装置１６と、巻取装置１７とを備える。
【００２０】
流延装置１１は、ダイ２１、ドラム２２、剥取ローラ２３、減圧チャンバ２４を備える。ダイ２１は、ドープ製造設備２５から供給されたドープ２０をドラム２２の周面にビード２６にして流す。ドープ２０は、例えばセルロースアシレートを溶剤に溶解したものである。
【００２１】
ドラム２２はモータ２７により回転される。これにより、ドラム周面上にはビード２６が引き延ばされて、流延膜２８が形成される。減圧チャンバ２４はビード２６の背面側（ドラム２２の回転方向上流側）を減圧し、ビード２６の不安定な揺れを無くす。
【００２２】
ドラム２２には、伝熱媒体循環機２９が接続されている。伝熱媒体循環機２９は、冷却された伝熱媒体をドラム２２の内部に送り、ドラム２２の周面を一定温度に維持する。この冷却により、流延膜２８はドラム２２が約３／４周する間に、剥がしても自己支持性を有する程度に固化する。
【００２３】
ダイ２１に対し、ドラム２２の回転方向上流側でドラム２２の周面近くには、剥取ローラ２３が設けられる。剥取ローラ２３は、冷却により固化した流延膜２８を支持し、ドラム２２から流延膜２８を剥がす。剥がされた流延膜２８は湿潤フィルム３０として、渡りローラ１２を介してピンテンタ１３に送られる。
【００２４】
ピンテンタ１３は、フィルム搬送装置３５、フィルム浮上装置３６を備える。ピンテンタ１３では、フィルム搬送装置３５で湿潤フィルム３０を搬送しながら、フィルム浮上装置３６による乾燥風によって乾燥が進行する。
【００２５】
乾燥が進行したフィルム３０はサイドスリッタ１５ａに送られる。サイドスリッタ１５ａは、ピンテンタ１３のピン４４による保持跡を含む両側部を切除する。
【００２６】
クリップテンタ１４では、ピンテンタ１３で乾燥が進行したフィルム３０の両側縁部を把持して、フィルム幅方向及びフィルム搬送方向にフィルム３０を延伸する。この延伸により、所望の光学特性を有するフィルム３７となる。フィルム３７は、サイドスリッタ１５ｂにより両側部が切除された後に、乾燥装置１６に送られる。なお、フィルム３７の光学特性によっては、クリップテンタ１４は用いることなく、迂回して乾燥装置１６に直接に送ることもある。
【００２７】
乾燥装置１６では、多数のロール３８にフィルム３７を巻き掛けて搬送する。乾燥装置１６の内部の雰囲気は、温度や湿度などが図示しない温調機により調節されている。フィルム３７は搬送されている間に、溶剤が蒸発し乾燥する。この後、フィルム３７は、巻取装置１７によりロール状に巻き取られる。本発明により得られるロール状フィルム３９は、例えば位相差フィルムや偏光板保護フィルムに用いられる。
【００２８】
本発明のピンテンタ１３は、テンタ室３４と、フィルム搬送装置３５と、フィルム浮上装置３６とを有する。テンタ室３４は気密に構成されており、湿潤フィルム３０から乾燥した溶媒などが外部に洩れることがない。また、流延装置１１からピンテンタ１３への渡り部や、ピンテンタ１３からクリップテンタ１４への接続部、クリップテンタ１４から乾燥装置１６への接続部も、気密構造になっており、溶媒が外部に洩れることがない。
【００２９】
図２に示すように、フィルム搬送装置３５は、無端チェーン４０、レール４１、スプロケット４２（図１参照）、ピンプレート４３を有する。無端チェーン４０は湿潤フィルム３０の走行路の両側部に沿って配置され、１対設けられる。これら無端チェーン４０は、スプロケット４２に掛け渡されている。スプロケット４２の一つにはモータが連結されて
いる。モータはスプロケット４２を回転して、無端チェーン４０を循環走行させる。
【００３０】
各スプロケット４２間の無端チェーン４０は、レール４１により支持される。無端チェーン４０には、一定ピッチでピンプレート４３が取り付けられている。ピンプレート４３には、多数のピン４４が突出して形成されている。ピン４４は湿潤フィルム３０の両側縁部を突き刺して、湿潤フィルム３０を支持する。
【００３１】
図１に示すように、本実施形態では設備効率の観点からフィルム搬送路が例えば３段になるように途中で折り返される。これに伴い、無端チェーン４０もスプロケット４２で折り返される。
【００３２】
ピンテンタ１３のフィルム導入部には、図示しないフィルム押さえブラシが配されている。フィルム押さえブラシは、フィルム側縁部をピン４４の根元側に押し、ピン４４が湿潤フィルム３０に確実に食い込むようにしている。ピン４４により両側縁部が保持された湿潤フィルム３０は、無端チェーン４０の循環走行によりＸ方向に送られる。
【００３３】
図２に示すように、フィルム浮上装置３６は、送風ヘッド５０，５１、送風ダクト５２、送風機５３、温度調節機５４を有する。下部送風ヘッド５０は、フィルム３０を挟むようにフィルム３０の下方に、上部送風ヘッド５１はフィルム３０の上方に配される。
【００３４】
図３及び図４に示すように、下部送風ヘッド５０は、ノズル板５５、底板５６、両側板５７、両端板５８を有し、略箱状に構成される。ノズル板５５は、湿潤フィルム３０の搬送路に対面するように配される。ノズル面５５ａには、多数の吹き出し孔５５ｂが形成されている。ノズル板５５の両端は、両端板５８から少し延ばしてある。この延設部分により、取付端縁部５５ｃが形成してある。この取付端縁部５５ｃの吹き出し孔５５ｂは送風ヘッド５０の内部とは連通していないため、吹き出しには寄与していない。なお、この取付端縁部５５ｃは省略してもよい。
【００３５】
図４に示すように、底板５６はフィルム搬送方向中央部５６ａがノズル面５５ａに対して平行になっている。また、フィルム搬送方向中央部５６ａと両端板５８を連結する連結部５６ｂは、端板５８に向かうに従いノズル面５５ａとの距離が小さくなるように傾斜している。
【００３６】
一方の側板５７にはダクト接続筒５７ａが形成されている。このダクト接続筒５７ａを介して、送風ダクト５２（図２参照）が連結される。なお、必要に応じて送風ヘッド５１内には、整流板が配置される。この整流板は、各吹き出し孔５５ｂからの空気吹き出し圧力をほぼ一定にする。
【００３７】
ノズル面５５ａには、フィルム幅方向に排気樋６１が配される。この排気樋６１は、フィルム搬送方向に一定ピッチで例えば４個配される。これにより、ノズル板５５と排気樋６１とがフィルム搬送方向に交互に配置される。
【００３８】
図３に示すように、排気樋６１は、底板６２と１対の仕切り板６３とから、略Ｕ字形に構成されている。仕切り板６３は、底板６２のフィルム搬送方向両端縁に連続し、フィルム面３０ａに向かって突出している。この排気樋６１は、吹き出し孔５５ｂからのガスがフィルム面３０ａに当たった後に、フィルム３０の両側方に排出するための吹き出しガスの気流制御排気部６０を構成する。
【００３９】
仕切り板６３の先端にはガイド板６４が連続して接続される。ガイド板６４は、排気樋６１の内側で、先端が斜め下に向かう。この１対のガイド板６４により、Ｖ字形の排気溝６５が形成される。また、１対のガイド板６４の先端縁は互いに密着することなく、排気隙間６６になっている。
【００４０】
図６及び図７に示すように、排気樋６１のフィルム幅方向両端部は側板６７で閉じられている。図３に示すように、側板６７は、底板６２と仕切り板６３とガイド板６４との側縁に連結されている。側板６７の下部には排気口６８が開口している。排気口６８は、水平方向に長い長方形に形成されている。吹き出し孔５５ｂから吹き出してフィルム３０に当たった空気は、排気樋６１の排気溝６５や排気口６８を通り、送風ヘッド５１の両側方に送られる。これにより、吹き出し孔５５ｂから吹き出してフィルム３０に当たった空気はフィルム３０付近で滞留することがない。
【００４１】
なお、排気口６８には、開口面積調節絞りや排気ファンなどの流量調整機構を設けもよい。この流量調整機構は、排気口６８からの排気量を微調整する。これにより、吹き出し孔５５ｂから吹き出してフィルム３０に当たった空気の排出量が調節される。また、本第１実施形態では、排気口６８を排気溝６５の両側に設けたが、片方にのみ排気口６８を設けてもよい。この場合には、排気口が形成されない側の排気隙間６６の開口幅Ｗ３を排気口側の排気隙間６６の開口幅Ｗ３よりも漸増するように次第に幅Ｗ３を広げることにより、幅方向でむらなく排気を行うことができる。
【００４２】
吹き出し孔５５ｂにおける乾燥空気４９の吹き出し圧力Ｐ０は、２０Ｐａ以上１５５Ｐａ以下が好ましい。特に好ましくは２０Ｐａ以上１２０Ｐａ以下である。吹き出し圧力Ｐ０が２０Ｐａ以上であると、フィルム３０が自重に負けることなく安定的な浮上となる。１５５Ｐａ以下であると、フィルム３０の直下の圧力が大きくなり過ぎない。また、外乱による振動が起きて振動が増大したとしても、振動を抑えることができ、浮上が安定する。吹き出し孔５５ｂからフィルム３０までの距離である浮上高さＨＦは２０ｍｍ以上１００ｍｍ以下であることが好ましく、特に好ましくは４０ｍｍ以上１００ｍｍ以下である。この浮上高さＨＦが２０ｍｍ以上１００ｍｍ以下であると、フィルム下の圧力が均一になり、浮上中の振動が少なくなる。
【００４３】
ノズル面５５ａから２０ｍｍ上方に離れた位置の圧力Ｐ１及びフィルム面３０ａから５ｍｍ下方に離れた位置の圧力Ｐ２が５Ｐａ以上４０Ｐａ以下であることが好ましい。特に、好ましくは１０Ｐａ以上２５Ｐａ以下である。これらの圧力Ｐ１，Ｐ２が５Ｐａ以上であると、フィルム３０の自重に負けることなく、浮上搬送が可能になる。また、これらの圧力Ｐ１，Ｐ２が４０Ｐａ以下であると、フィルム３０が幅方向にゆるやかな凸形状に膨らむことがなく、浮上量過多や外乱耐性不足にならない。
【００４４】
これら圧力Ｐ１，Ｐ２の圧力差（Ｐ２−Ｐ１）は２Ｐａ以下であることが好ましい。この圧力差（Ｐ２−Ｐ１）が２Ｐａ以下であると、圧力がほぼ均一となり外乱による振動でフィルム３０の浮上が不安定となることもない。
【００４５】
図８に示すように、フィルム３０は、吹き出し孔からのガスの吹き出しにより、ガス吹き出し方向に突出して膨らんだ形状となる。したがって、フィルム面３０ａを基準にして圧力Ｐ２を測定するとその都度変動した位置で測定することになる。これを避けるために、フィルム面３０ａを基準にする場合には、実際にはピンプレート４３のピン４４によるフィルム保持面（以下、基準面という）３０ｂをフィルム面３０ａとし、この基準面３０ｂからの距離で圧力Ｐ２の測定点を特定する。なお、図８においては、フィルム３０の浮上量Ｕ１及び浮上量変動ΔＵを説明するために、フィルム３０の膨らみ形状を実際のものよりも誇張して描いてある。また、上側の送風ヘッドは図示を省略している。
【００４６】
フィルム３０の浮上量Ｕ１は、ガスの吹き出しによってフィルム３０が浮上した時のフィルム３０の幅方向中央における基準面３０ｂからの高さの平均値を言う。この浮上量Ｕ１は、例えば１０秒以上６０秒以下の時間における高さの平均値である。浮上量変動ΔＵは、浮上量Ｕ１を求める時のフィルム３０の幅方向中央の浮上量Ｕ１の変動幅の最大値をいう。フィルム振動との違いは周波数であり、フィルム振動は吹き出し空気の周波数に依存し、１５Ｈｚ以上２００Ｈｚ以下程度であり、浮上量変動ΔＵの周波数は０．０１Ｈｚ以上５Ｈｚ以下程度である。
【００４７】
図４に示すように、排気樋６１の幅Ｗ２と、排気樋６１のピッチＰとの比（Ｗ２／Ｐ）が０．1以上０．３以下であることが好ましい。なお、ピッチＰは、送風ヘッド５０のノズル面上にフィルム搬送方向に排気樋６１を離して並べた時の各排気樋６１間の間隔を言う。各排気樋６１間のノズル面５５ａの幅（ノズル面５５ａのフィルム搬送方向における長さ）をＷ４としたときにピッチＰは（Ｗ２＋Ｗ４）である。このピッチＰに対する排気樋６１の幅が占める割合である比（Ｗ２／Ｐ）が０．１以上であると排気の効果が増し、外乱耐性が後述する実験１の多孔板に比べて強くなる。また、０．３倍以下であると、給気風量不足となることがなく、浮上が安定化する。なお、気流制御排気部６０としての排気樋６１を図示する関係から、図２〜図９では、排気樋６１のサイズをノズル面５５ａに比べて拡大し、排気樋６１を誇張した図面としてある。このため、これらの図２〜図９では、上記のＷ２／Ｐの関係を満たす寸法とはなっていない。
【００４８】
また、ガイド板６４の先端同士の隙間である排気隙間６６の幅をＷ３としたときに排気樋６１の上端における幅Ｗ２に対する比であるＷ３／Ｗ２は０．０２以上０．０５以下が好ましい。０．０２以上であると排気の効果により外乱耐性が増す。また、０．０５以下であると、排気の効果が大きくなることがなく、フィルム下の圧力がほぼ均一となる。
【００４９】
図３に示すように、排気樋６１の長さＬ２は送風ヘッド５０の幅Ｗ１と同じであることが好ましい。この場合には、フィルム３０の浮上エリア内でフィルム面３０ａに当たった乾燥空気４９を効率良く排気樋６１によりフィルム幅方向両側に逃がすことができる。
【００５０】
排気樋６１の仕切り板６３の高さＨ２は、吹き出し孔５５ｂの直径Ｄ１の２倍以上２５倍以下が好ましい。２倍以上であると排気溝６５へ気流が流れて、排気の効果が得られる。また、２５倍以下であると、ノズル板５５からの噴出し風の減衰が小さくなり、浮上が安定する。
【００５１】
図４に示すように、ガイド板６４のノズル面５５ａに対する傾斜角度θ１は５°以上３０°以下が好ましい。傾斜角度θ１が５°以上であると気流が排気溝６５に入り易くなる。また、３０°以下であると排気樋６１の周辺の圧力が均一になる。
【００５２】
図２に示すように、上部送風ヘッド５１も、下部送風ヘッド５０と同じに構成されており、同一構成部材には同一符号を付して、重複した説明を省略している。図５に示すように、本実施形態では、上下の送風ヘッド５０，５１を１組としてこれらを３個並べたものを１ユニットとしている。そして、フィルム搬送装置３５のフィルム搬送長さに応じて、必要なユニット数分だけ設けることにより、フィルム浮上装置３６が構成される。
【００５３】
次に、本実施形態の作用を説明する。図２に示すように、ピンテンタ１３において、湿潤フィルム３０はその両側縁部にピン４４が突き刺さることにより、両側縁部が保持される。ピン４４はピンプレート４３に保持されており、ピンプレート４３は回転走行する無端チェーン４０に固定されている。無端チェーン４０はレール４１により支持された状態でスプロケット４２（図１参照）により回転される。これにより、湿潤フィルム３０はピンテンタ１３内をＸ方向に走行する。
【００５４】
走行する湿潤フィルム３０には、送風ヘッド５０，５１の吹き出し孔５５ｂから乾燥空気４９が送られる。この乾燥空気４９は、図６に示すようにフィルム面３０ａに当たった後に、図７に示すように、排気樋６１からフィルム３０の両側方に排出される。したがって、吹き出し孔５５ｂ付近の静圧と、フィルム面３０ａ近くの静圧との圧力差が無くなり、フィルム３０が外乱によって乱れても、直ぐに乱れが抑えられ、大きな乱れに発展することが無い。したがって、フィルム面３０ａがバタ付くことも無く、フィルム３０を安定して浮上させることができる。これにより、フィルム面３０ａに送風ヘッド５０，５１が接触して擦り傷が発生したり、破れたりすることが無くなる。また、フィルム３０が安定的に浮上した状態で乾燥が進行するため、フィルム３０の全面において、より均一な光学特性が得られる。
【００５５】
特に、気流制御排気部６０はフィルム幅方向に沿って長く配置され、その排気口６８がフィルム幅方向両端部に位置しているため、フィルム３０を浮上させるために吹き出した乾燥空気４９を効率良くフィルム浮上範囲エリアからフィルム両側方に送り出すことができる。これにより、吹き出し孔５５ｂが形成されているノズル面５５ａ付近の圧力とフィルム面３０ａ付近の圧力の差を、より小さくすることができる。したがって、外乱によるフィルム３０の振動に対して、振動を大きくすることなく抑えることができ、振動耐性が向上する。
【００５６】
なお、上記実施形態では、図４に示すように、排気樋６１の仕切り板６３をノズル面５５ａに直交させて配置したが、これに限らず、図９に示すように、仕切り板７０を排気樋７１の内側に向けて傾斜角度θ２で傾斜させて配置した送風ヘッド７２を用いてもよい。なお、各実施形態において、図１〜図７に示す実施形態と同一構成部材には同一符号を付して重複した説明を省略している。
【００５７】
図１０は、１対のガイド板７４ａ，７４ｂの一方を他方のものよりも長く形成した別実施形態の排気樋７４を示している。図１１は、１対のガイド板７７ａ，７７ｂを下方に向かって湾曲させた別実施形態の排気樋７７を示している。排気隙間６６の開口幅Ｗ３は、図１０の場合には、短いガイド板７４ａの先端から、長いガイド板７４ｂまでの隙間である。図１１の場合には、ガイド板７７ａ，７７ｂの先端同士の隙間が排気隙間６６の開口幅Ｗ３となる。
【００５８】
図１２は、個別の排気樋６１，７１に代えて、多数の吹き出し孔７５ｂを有するノズル板７５を山形に配置した別実施形態の送風ヘッド７６を示している。この場合には、山形同士の間の谷部分の吹き出し孔７５ｂを無くして、この谷部分により、気流制御排気部７５ｃを構成している。なお、谷部分の吹き出し孔７５ｂの単位面積当たりの開口率を山頂部分のものに比べて小さくすることにより、吹き出し風を弱くして、この弱くした部分を気流制御排気部としてもよい。
【００５９】
上記実施形態ではフィルム３０に対面させて送風ヘッド５０，５１を配置したが、上部送風ヘッド５１は省略して下部送風ヘッド５０のみで浮上搬送させることもできる。しかし、外乱による振動耐性を考慮すると、上下に送風ヘッド５０，５１を設けることが好ましい。
【００６０】
上記実施形態では、ピンテンタ１３のフィルム浮上装置３６として説明したが、これに限らず、クリップテンタ１４やその他のフィルム搬送装置に用いることができる。また、フィルム搬送に限らず、他の帯状材の浮上搬送に用いてもよい。
【００６１】
本発明の溶液製膜設備１０において、製品としてのフィルムの幅は、６００ｍｍ以上であることが好ましく、１４００ｍｍ以上２５００ｍｍ以下であることがより好ましい。なお、フィルムの幅が２５００ｍｍより大きい場合にも効果がある。またフィルムの膜厚は、１５μｍ以上８０μｍ以下であることが好ましい。ポリマフィルムの原料となるポリマは、特に限定されず、例えば、セルロースアシレートや環状ポリオレフィン等がある。
【００６２】
本発明のセルロースアシレートに用いられるアシル基は１種類だけでも良いし、あるいは２種類以上のアシル基が使用されていても良い。２種類以上のアシル基を用いるときは、その１つがアセチル基であることが好ましい。セルロースの水酸基をカルボン酸でエステル化している割合、すなわち、アシル基の置換度が下記式（Ｉ）〜（ＩＩＩ）の全てを満足するものが好ましい。なお、以下の式（Ｉ）〜（ＩＩＩ）において、Ａ及びＢは、アシル基の置換度を表わし、Ａはアセチル基の置換度、またＢは炭素原子数３〜２２のアシル基の置換度である。また、トリアセチルセルロース（ＴＡＣ）の９０重量％以上が０．１ｍｍ〜４ｍｍの粒子であることが好ましい。
（Ｉ）      ２．０≦Ａ＋Ｂ≦３．０
（ＩＩ）    １．０≦  Ａ  ≦３．０
（ＩＩＩ）  ０    ≦  Ｂ  ≦２．９
【００６３】
アシル基の全置換度Ａ＋Ｂは、２．２０以上２．９０以下であることがより好ましく、２．４０以上２．８８以下であることが特に好ましい。また、炭素原子数３〜２２のアシル基の置換度Ｂは、０．３０以上であることがより好ましく、０．５以上であることが特に好ましい。
【００６４】
セルロースアシレートの詳細については、特開２００５−１０４１４８号の［０１４０］段落から［０１９５］段落に記載されている。これらの記載も本発明にも適用できる。また、溶剤及び可塑剤，劣化防止剤，紫外線吸収剤（ＵＶ剤），光学異方性コントロール剤，レターデーション制御剤，染料，マット剤，剥離剤，剥離促進剤などの添加剤についても、同じく特開２００５−１０４１４８号の［０１９６］段落から［０５１６］段落に詳細に記載されている。
【００６５】
本発明のフィルム浮上装置３６による効果を確認するために、図１３に示すように試験機７８を用いて、試験した。先ず、帯状フィルム７９の一端をクリップ８０に固定し、他端に錘８１を取り付けて、ローラ８２で帯状フィルム７９を水平に支持した。この帯状フィルム７９を挟むように上下に送風ヘッド５０，５１を配置し、これを一組としてフィルム搬送方向（長手方向）に３組並べて１ユニットとした。この１ユニットの各送風ヘッド５０，５１に空気を送り、帯状フィルム７９を浮上させた。帯状フィルム７９は、厚みが２５μｍ、幅が１８００ｍｍのＴＡＣフィルムを用いた。
【実施例】
【００６６】
（実験１）
実験１では、直径Ｄ１が２.５ｍｍの吹き出し孔５５ｂを多数配列して単位面積当たりの開口率を１０％としたパンチング板からなるノズル板５５を有する図３に示す送風ヘッド５０，５１を用いた。ノズル板５５にフィルム搬送方向にピッチＰを５００ｍｍとして４個の排気樋６１を設けた。排気樋６１の長さＬ２を帯状フィルム７９の幅に合わせて１８００ｍｍとし、排気樋６１の幅Ｗ２を１５０ｍｍとし、高さＨ２を４５ｍｍとした。比（Ｗ２／Ｐ）は０．３である。ガイド板６４のノズル面５５ａに対する傾斜角度θ１は６°とした。排気隙間６６の開口幅Ｗ３は４ｍｍで、その開口面積は７２００ｍｍ２とした。ガス吹き出し圧力Ｐ０は９０Ｐａとし、ノズル面５５ａから帯状フィルム７９までの距離である浮上高さＨＦは９０ｍｍとした。
【００６７】
上下の送風ヘッド５０，５１に乾燥風を供給した。先ず、下の送風ヘッド５０からの乾燥風の吹き出しによって、帯状フィルム７９を浮上させる。また、上の送風ヘッド５１からの乾燥風の吹き出しによって、帯状フィルム７９の上方への膨らみを抑えて、浮上量Ｕ１を小さくする。このため、下の送風ヘッド５０の送風量を、帯状フィルム７９の自重分を考慮して浮上させられる風量に決める。また、上の送風ヘッド５１の送風量は、吹き出し圧力が５Ｐａ程度である。そして、浮上量Ｕ１が大きい場合に、上の送風ヘッド５１の送風量を徐々に上げていく（例えば、下の送風ヘッド５０の送風量の１／５程度）。なお、浮上量Ｕ１と浮上量変動ΔＵを加えたもの（Ｕ１＋ΔＵ）が、上下の送風ヘッド５０，５１の隙間｛２×（ＨＦ−Ｈ２）｝よりも小さい範囲内になるように、送風量を決定する。これにより、送風ヘッド５０，５１に帯状フィルム７９が接触することが無くなる。
【００６８】
ノズル面５５ａ付近の風圧はノズル面５５ａから噴出した気流が十分減衰した距離（ノズル面５５ａから２０ｍｍ離した位置）において、長野計器（株）製の圧力センサＧＣ３０を用いて測定した。同様にして、帯状フィルム７９下の風圧を、帯状フィルム７９の近く（図８に示す基準面３０ｂから５ｍｍ離した位置）にセンサを配置して測定した。
【００６９】
帯状フィルム７９の振動試験は、歪みゲージ８５とパソコン８６とを用いて測定した。パソコン８６には、歪みゲージ８５からの信号に基づき、歪み振動を高速フーリェ変換（ＦＦＴ）して周波数解析を行い、振動のピークを測定するためのアプリケーションがインストールされている。歪みゲージ８５は、帯状フィルム７９の長さ方向及び幅方向の中央部に貼り付けてある。この歪みゲージ８５を用いて、風圧変動により振動した帯状フィルム７９の振動数を測定し、その振動ピークの大きさによって、４つに段階付けして評価した。歪みゲージ８５は、（株）東京測器研究所製のＹＥＦＬＡ−２を用いた。また、歪み振動によって振動ピークを求めるアプリケーションとして、歪み変動値をＦＦＴで周波数解析するマクロを用いた。また、図８における浮上量Ｕ１及び浮上量変動ΔＵは、株式会社キーエンス製のレーザー変位計ＬＫＧ−３０００を用いて測定した。
【００７０】
外乱耐性試験は、帯状フィルム７９の長さ方向中央位置にて、フィルム面３０ａに直交する鉛直方向に上下の送風ヘッド５０，５１の隙間である９０ｍｍの振幅を１回加えた際のフィルム振動が減衰するまでの時間ｓ（秒）によって、段階付けして評価した。
【００７１】
（実験２）
実験２は、図９に示すように、排気樋７１の仕切り板７０を内側に傾斜させた送風ヘッド７２を用いた以外は実験１と同じ条件にした。鉛直線に対する仕切り板７０の傾斜角度θ２を１０°とし、排気溝６５の排気隙間６６の開口幅Ｗ３を４ｍｍとした。
【００７２】
（実験３）
実験３は、図１０に示すような長さの異なるガイド板７４ａ，７４ｂを有する排気樋７４を用いた以外は実験１と同じ条件にした。
【００７３】
（実験４）
実験４は、図１１に示すように内側に凸になるように湾曲したガイド板７７ａ，７７ｂを有する排気樋７７を用いた以外は実験１と同じ条件にした。
【００７４】
（実験５）
実験５は、図１２に示すように、吹き出し孔７５ｂを有するノズル板７５を水平線に対して傾斜させて山形とした送風ヘッド７６を用いた以外は実験１と同じ条件にした。吹き出し孔７５ｂの直径は２．５ｍｍ、単位面積当たりの開口率は１０％でノズル板７５の水平線に対する傾斜角度を３０°とした。
【００７５】
（実験６）
実験６は、図１４に示すように、図３の送風ヘッド５１から排気樋６１を無くして全面に多数の吹き出し孔１００ａを形成したノズル板１００を有する多孔送風ヘッド１０１を用いた。それ以外は実験１と同じ条件にした。ノズル板１００の吹き出し孔１００ａの直径Ｄ１は２．５ｍｍで、その単位面積当たりの開口率は１０％とした。
【００７６】
（実験７）
実験７は、図１５に示すように、フィルム幅方向にスリット状開口１０５を有するノズル１０６をフィルム搬送方向にピッチＰを５００ｍｍとして４列配置した送風ヘッド１１０を用いた。それ以外は実験１と同じ条件にした。
【００７７】
（実験８）
実験８は、実験７のスリット状開口１０５を有するノズル１０６に代えて、図１６に示すように、多数の吹き出し孔１１５ｂの直径Ｄ１が２．５ｍｍで、単位面積当たりの開口率が１０％のノズル板１１５を，開口位置に有するノズル１１６を、フィルム搬送方向にピッチＰを５００ｍｍとして４列配置した凹凸状の送風ヘッド１２０を用いた。それ以外は実験１と同じ条件にした。
【００７８】
実施結果を下記の表１に示す。
【表１】
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【００７９】
フィルム振動試験の評価基準は、「Ａ」が０を超えて１００με以下、「Ｂ」が１００μεを超えて２５０με以下、「Ｃ」が２５０μεを超えて４００με以下、「Ｄ」が４００μεを超えたものとした。このフィルム振動試験の結果は、実験１では５０μεとなり、優（Ａ）となった。また、実験２は１１０μεとなり、良（Ｂ）となった。実験３は６０μεとなり、優（Ａ）となった。実験４は４５μεとなり、優（Ａ）となった。実験５は２００μεとなり、良(Ｂ)となった。実験６では３００μεとなり不可（Ｃ）、実験７では５５０μεとなり不可（Ｄ）、実験８では３００μεとなり不可（Ｃ）となった。なお、実験６，８の評価（Ｃ）はフィルム厚みが２５μｍ、フィルム幅が１８００ｍｍの薄く広幅のフィルムに対しての評価であり、フィルム厚みが厚くなり、また、フィルム幅も狭くなるに従い、例えばフィルム厚みが６０μｍ、フィルム幅が１８００ｍｍのように少し厚みのあるフィルムでは可となる可能性があり、実験７の不可（Ｄ）の評価とは異なる評価となった。
【００８０】
外乱耐性試験の評価基準は、Ａが０を超えて２０ｓ（秒）以下、Ｂが２０ｓを超えて５０ｓ以下、Ｃが５０ｓを超えて１２０ｓ以下、Ｄが１２０ｓを超えたもの、または振動が減衰しないものとした。この外乱耐性試験の結果は、実験１では１０ｓとなり、優（Ａ）となった。また、実験２では３０ｓとなり、良（Ｂ）となった。実験３，４では１０ｓとなり、優（Ａ）となった。実験５では３０ｓとなり、良（Ｂ）となった。実験６では６５ｓとなり、不可（Ｃ）、実験７では振動が増大し、減衰しない結果となり、不可（Ｄ）、実験８では１８０ｓとなり、不可（Ｄ）となった。なお、実験６の評価（Ｃ）はフィルム厚みが２５μｍ、フィルム幅が１８００ｍｍの薄く広幅のフィルムに対しての評価であり、フィルム厚みが例えば６０μｍ程度に厚くなり、また、フィルム幅が狭くなるに従い、実用レベルでは可となる可能性があり、実験７，８の不可（Ｄ）の評価とは異なる評価となった。
【００８１】
上記実験１〜８により、排気樋の形状が異なる場合の評価が得られた。そして、フィルム振動試験及び外乱耐性試験で、共に評価が良（Ｂ）以上のもの、または一方の試験の評価が不可（Ｃ）で他方の試験の評価が良（Ｂ）のものを総合評価で良とし、それ以外を不可とした。この結果、実験１〜５が良となり、実験６〜８が不可となった。
【００８２】
（実験１１〜１３）
実験１１〜１３では、実験１の送風ヘッド５０を用いて、ガス吹き出し圧力Ｐ０の適正範囲を確認した。ガス吹き出し圧力Ｐ０を変えて上記フィルム振動試験及び外乱耐性試験を行った。実験１１は、ガス吹き出し圧力Ｐ０を３０Ｐａに変えた以外は実験１と略同じ条件にした。ガス吹き出し圧力Ｐ０が変わるとノズル付近圧力Ｐ１、フィルム下圧力Ｐ２、その差（Ｐ２−Ｐ１）が変わるため、実験１と全く同じ条件と言い難いため、略同じ条件との表現を用いている。以下の各実験においても同様である。実験１２は、ガス吹き出し圧力Ｐ０を１５０Ｐａに変えた以外は実験１と略同じ条件にした。実験１３は、ガス吹き出し圧力Ｐ０を１５５Ｐａに変えた以外は実験１と略同じ条件にした。実験結果を下記表２に示す。これらの実験１１〜１３によって、ガス吹き出し圧力Ｐ０の適正範囲が３０Ｐａ以上１５０Ｐａ以下であることが判る。
【００８３】
（実験２１〜２３）
実験２１〜２３では、実験１の送風ヘッド５０を用いて、ノズル付近圧力Ｐ１を変えて、フィルム振動試験及び外乱耐性試験を行い、ノズル付近圧力Ｐ１の適正範囲を確認した。実験２１は、ノズル付近圧力Ｐ１を５Ｐａに変えた以外は実験１と略同じ条件にした。但し、ノズル付近圧力Ｐ１を変えるために、ガス吹き出し圧力Ｐ０を変更した。この変更に伴い、フィルム下圧力Ｐ２、その差（Ｐ２−Ｐ１）が実験１に対し変化した。実験２２は、ノズル付近圧力Ｐ１を４０Ｐａとし、このためガス吹き出し圧力Ｐ０を変えた以外は実験１と略同じ条件にした。同様にして、実験２３は、ノズル付近圧力Ｐ１を４５Ｐａにし、このためガス吹き出し圧力Ｐ０も変えた以外は実験１と略同じにした。実験結果を下記表２に示す。これらの実験２１〜２３によって、ノズル付近圧力Ｐ１の適正範囲が５Ｐａ以上４０Ｐａ以下であることが判る。
【００８４】
（実験３１〜３３）
実験３１〜３３では、実験１の送風ヘッド５０を用いて、フィルム下圧力Ｐ２を変えて、フィルム振動試験及び外乱耐性試験を行い、フィルム下圧力Ｐ２の適正範囲を確認した。実験３１は、フィルム下圧力Ｐ２を５Ｐａに変えた以外は実験１と略同じ条件にした。但し、フィルム下圧力Ｐ２を変えるために、ガス吹き出し圧力Ｐ０を変更した。この変更に伴い、ノズル付近圧力Ｐ１、その差（Ｐ２−Ｐ１）が実験１に対し変化した。実験３２は、フィルム下圧力Ｐ２を４０Ｐａとし、このためガス吹き出し圧力Ｐ０を変えた以外は実験１と略同じ条件にした。同様にして、実験２３は、フィルム下圧力Ｐ２を４５Ｐａにし、このためガス吹き出し圧力Ｐ０も変えた以外は実験１と略同じにした。実験結果を下記表２に示す。これらの実験３１〜３３によって、フィルム下圧力Ｐ２の適正範囲が５Ｐａ以上４０Ｐａ以下であることが判る。
【００８５】
（実験１，４１〜４３）
実験１，４１〜４３では、実験１の送風ヘッド５０を用いて、比（Ｗ２／Ｐ）を変えて、フィルム振動試験及び外乱耐性試験を行い、比（Ｗ２／Ｐ）の適正範囲を確認した。実験４１は、比（Ｗ２／Ｐ）を０．３に変えた以外は実験１と同じ条件にした。但し、比（Ｗ２／Ｐ）を変えて浮上高さＨＦを一定にしたため、ガス吹き出し圧力Ｐ０やノズル付近圧力Ｐ１、フィルム下圧力Ｐ２、差（Ｐ２−Ｐ１）も変わった。実験４２は、比（Ｗ２／Ｐ）を０．４に変えた以外は実験４１と同じ条件にした。同様に実験４３は、比（Ｗ２／Ｐ）を０．０５に変えた以外は実験４１と同じ条件にした。ただし、実験４１と同じように比（Ｗ２／Ｐ）を変えて浮上高さＨＦを一定にしたため、ガス吹き出し圧力Ｐ０やノズル付近圧力Ｐ１、フィルム下圧力Ｐ２、差（Ｐ２−Ｐ１）も変わった。実験結果を下記表３に示す。これらの実験１，４１〜４３によって、比（Ｗ２／Ｐ）の適正範囲が０．１以上０．３以下であることが判る。
【００８６】
【表２】
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なお、ノズル付近圧力Ｐ１、フィルム下圧力Ｐ２の圧力差（Ｐ２−Ｐ１）の適正範囲の確認の実験は、特に行っていない。しかし、上記各実験の結果から、圧力差（Ｐ２−Ｐ１）が２Ｐａ以下のときに、フィルム振動や外乱耐性が良いことが判る。
【符号の説明】
【００８７】
１０  溶液製膜設備
１３  ピンテンタ
１４  クリップテンタ
３０  湿潤フィルム
３４  テンタ室
３５  フィルム搬送装置
３６  フィルム浮上装置
３７  フィルム
４３  ピンプレート
５０，５１  送風ヘッド
５２  送風ダクト
５５ａ  ノズル面
５５ｂ  吹き出し孔
５５  ノズル板
５６  底板
５７  側板
５８  端板
６０  気流制御排気部
６１  排気樋
６３  仕切り板
６４  ガイド板
６５  排気溝
６６  排気隙間
６７  側板
６８  排気口
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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