(57)【要約】【課題】レイアウト密度検証に伴う時間を削減できるレイアウト密度検証方法を提供する。【解決手段】レイアウト密度検証方法は、ウエハの検証領域Ａ１を複数の第１の区画Ａ２に細分化し、各々の第１の区画Ａ２に対してレイアウト密度検証を実行し、レイアウト密度が基準値内か否かを判定し、レイアウト密度が基準値内から外れる第１の区画Ａ２を特定し、レイアウト密度が基準値内から外れる第１の区画Ａ２を含む第２の区画Ａ３を設定し、第２の区画Ａ３のみに対してパターン密度検証を実行する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウエハの検証領域を複数の第１の区画に細分化し、各々の前記第１の区画に対してレイアウト密度検証を実行し、
レイアウト密度が基準値内か否かを判定し、前記レイアウト密度が前記基準値内から外れる第１の区画を特定し、
前記レイアウト密度が前記基準値内から外れる第１の区画を含む第２の区画を設定し、前記第２の区画のみに対してパターン密度検証を実行する、レイアウト密度検証方法。
【請求項２】
前記第１の区画及び前記第２の区画は矩形状であって、
前記第２の区画は、複数の前記第１の区画から成る、請求項１に記載のレイアウト密度検証方法。
【請求項３】
前記第２の区画を所定のステップ値で第１の辺の方向又は前記第１の辺の方向に直交する第２の辺の方向に移動させ、各々の前記第２の区画に対してレイアウト密度検証を実行し、
前記ステップ値は、前記第１の区画の第１の辺又は第２の辺の長さの整数倍である、請求項２に記載のレイアウト密度検証方法。
【請求項４】
全ての前記第２の区画で形成される領域である第３の区画は、前記レイアウト密度が前記基準値内から外れる第１の区画が中央に配置される、請求項３に記載のレイアウト密度検証方法。
【請求項５】
前記第１の区画のレイアウト密度検証の結果を記憶し、
前記第１の区画のレイアウト密度検証の結果を用いて、前記第２の区画のレイアウト密度検証を実行する、請求項１に記載のレイアウト密度検証方法。
【請求項６】
前記レイアウト密度が前記基準値内から外れる第１の区画が複数あり、複数の前記第２の区画が重なるとき、
重なった前記第２の区画のレイアウト密度検証は、一度のみ実行する、請求項１に記載のレイアウト密度検証方法。
【請求項７】
コンピュータに、
ウエハの検証領域を複数の第１の区画に細分化し、各々の前記第１の区画に対してレイアウト密度検証を実行する処理と、
レイアウト密度が基準値内か否かを判定し、前記レイアウト密度が前記基準値内から外れる第１の区画を特定する処理と、
前記レイアウト密度が前記基準値内から外れる第１の区画を含む第２の区画を設定し、前記第２の区画のみに対してレイアウト密度検証を実行する処理と、
を実行させる、プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レイアウト密度検証方法及びプログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば半導体集積回路の製造工程において、ウエハの平坦性が要求されている。そのため、ウエハの平坦性を検証するためのレイアウト密度検証が実行されている。
【０００３】
一般的なレイアウト密度検証方法は、ウエハの検証領域の全領域において所定の広さの区画を所定のステップ値で移動させながら、各々の区画のレイアウト密度を検証する（特許文献１及び２を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１１−７０６３０号公報
【特許文献２】特開２００５−２２８２０８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１及び２のレイアウト密度検証方法は、ウエハの検証領域の全領域において所定の広さの区画を所定のステップ値で移動させるので、重複して検証する面積が広い。ここで、レイアウト密度検証に伴う計算量は、面積に比例する。そのため、特許文献１及び２のレイアウト密度検証方法は、計算量が多くなり、レイアウト検証に費やす時間が嵩む。
その他の課題と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本形態に係るレイアウト検証方法は、ウエハの検証領域を複数の第１の区画に細分化し、レイアウト密度が基準値内から外れる第１の区画を含む第２の区画のみに対してパターン密度検証を実行する。
【０００７】
本形態に係るプログラムは、コンピュータに、ウエハの検証領域を複数の第１の区画に細分化し、レイアウト密度が基準値内から外れる第１の区画を含む第２の区画のみに対してパターン密度検証を実行する処理を実行させる。
【発明の効果】
【０００８】
レイアウト密度検証に伴う時間を削減できる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】コンピュータシステムを概略的に示すブロック図である。
【図２】実施形態１に係るレイアウト密度検証方法の流れを示すフローチャートである。
【図３】検証領域内の第１の区画を概略的に示す図である。
【図４】第１の区画のレイアウト密度を概略的に示す図である。
【図５】レイアウト密度が基準値内から外れる第１の区画を概略的に示す図である。
【図６】レイアウト密度が基準値内から外れる第１の区画を含む第２の区画を概略的に示す図である。
【図７】レイアウト密度が基準値内から外れる第１の区画を含む第２の区画を概略的に示す図である。
【図８】レイアウト密度が基準値内から外れる第１の区画を含む第２の区画を概略的に示す図である。
【図９】レイアウト密度が基準値内から外れる第１の区画が複数ある場合を概略的に示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、レイアウト密度検証方法及びプログラムの実施形態について説明する。但し、以下の実施形態に限定される訳ではない。また、説明を明確にするため、以下の記載及び図面は、適宜、簡略化されている。ちなみに、以下の説明における上下左右方向は、図面を正面視した際の方向である。
【００１１】
＜実施形態１＞
実施形態１のレイアウト密度検証方法及びプログラムを説明する。本実施形態のレイアウト密度検証方法は、典型的なコンピュータシステムによって実現することができる。図１は、コンピュータシステムの一例を示している。コンピュータシステムは、記憶部１、演算処理部２、表示部３及び操作部４を備えており、バス５を介して相互に接続されている。そして、一般的なコンピュータシステムを用いたプログラム処理と同様に、記憶部１に格納されているプログラムを演算処理部２が読み出し、演算処理部２がレイアウト密度検証方法を実行する。
【００１２】
レイアウト密度検証方法は、以下の流れで実行される。図２は、レイアウト密度検証方法の流れを示すフローチャートである。先ず、検証領域Ａ１を設定する（Ｓ１）。詳細には、コンピュータシステムを起動させて、レイアウト密度検証方法を実行するためのプログラムを起動させる。そして、演算処理部２は、記憶部１に格納されている例えば半導体集積回路のレイアウト情報を読み出し、当該レイアウト情報に基づいてウエハにおける検証領域Ａ１（図３を参照）を設定する。つまり、演算処理部２は、例えば半導体集積回路が形成される全ての領域を検証領域Ａ１に設定する。演算処理部２は、設定した検証領域Ａ１を示す情報を記憶部１に格納する。ここで、レイアウト情報は、ウエハに形成されたパターンの図形情報である。
【００１３】
次に、検証領域Ａ１を複数の第１の区画Ａ２に細分化し、各々の第１の区画Ａ２に対してレイアウト密度検証を実行するための密度情報を取得する（Ｓ２）。ここで、図３は、検証領域Ａ１における第１の区画Ａ２（ハッチング部分）を示しており、カッコ内の数字は検証領域Ａ１の左下を原点とする第１の区画Ａ２の位置を示している。例えば、Ａ２（ａ、ｂ）は、Ｘ軸方向にａ番目であって、Ｙ軸方向にｂ番目に位置する第１の区画Ａ２である。なお、ａは１からｎまで、ｂは１からｍまでの値をとる。また、Ｌ１ｘは第１の区画Ａ２のＸ軸方向の幅（即ち、Ｘ軸方向の一辺の長さ）であり、Ｌ１ｙは第１の区画Ａ２のＹ軸方向の幅（即ち、Ｙ軸方向の一辺の長さ）である。
【００１４】
詳細には、演算処理部２は、記憶部１から検証領域Ａ１を示す情報を読み出し、予め設定された幅で検証領域Ａ１をＸ軸方向及びＹ軸方向に格子状に細分化し、各々の格子内の領域を第１の区画Ａ２に設定する。ここで、予め設定された幅は、整数倍することでステップ値Ｓとなる幅であり、ステップ値Ｓであることが好ましい。ステップ値Ｓについては後述する。これにより、第１の区画Ａ２は、一辺の長さＬ１ｘ及びＬ１ｙがステップ値Ｓである正方形状に設定され、複数の第１の区画Ａ２で検証領域Ａ１が構成される。演算処理部２は、設定した第１の区画Ａ２を示す情報を記憶部１に格納する。
【００１５】
そして、演算処理部２は、記憶部１からレイアウト情報及び第１の区画Ａ２を示す情報を読み出し、レイアウト情報に基づいて各々の第１の区画Ａ２のレイアウト密度情報を取得する。ここで、図４は、各々の第１の区画Ａ２のレイアウト密度Ｄを示しており、カッコ内の数字は、検証領域Ａ１の左下を原点とする第１の区画Ａ２の位置を示している。例えば、Ｄ（ａ、ｂ）は、Ｘ軸方向にａ番目であって、Ｙ軸方向にｂ番目に位置する第１の区画Ａ２のレイアウト密度である。演算処理部２は、取得した第１の区画Ａ２のレイアウト密度情報を記憶部１に格納する。
【００１６】
次に、第１の区画Ａ２のレイアウト密度が基準値内か否かを判定する（Ｓ３）。詳細には、演算処理部２は、記憶部１から全ての第１の区画Ａ２のレイアウト密度情報及び基準値情報を読み出し、当該レイアウト密度が基準値内か否かを判定し、判定情報を記憶部１に格納する。ここで、基準値情報は予め記憶部１に格納されており、指定密度値以上を許可、指定密度値以下を許可、指定密度値１以上かつ指定密度値２以下を許可など様々な形式で設定されている。そして、判定情報は、各々の第１の区画Ａ２のレイアウト密度が基準値内か否かを示す情報である。
【００１７】
次に、Ｓ３の判定の結果、レイアウト密度が基準値から外れる第１の区画Ａ２が存在すると（Ｓ３のＹＥＳ）、レイアウト密度が基準値内から外れる第１の区画Ａ２を特定し、レイアウト密度が基準値内から外れる第１の区画Ａ２を含む第２の区画Ａ３を設定する（Ｓ４）。ここで、図５は、レイアウト密度が基準値内から外れる第１の区画Ａ２を示している。図示例では、第１の区画Ａ２（ｋ、ｌ）のレイアウト密度が基準値から外れている。なお、ｋは１からｎまで、ｌは１からｍまでの値をとる。
【００１８】
詳細には、演算処理部２は、記憶部１から判定情報を読み出し、当該判定情報に基づいてレイアウト密度が基準値内から外れる第１の区画Ａ２を特定し、特定したレイアウト密度が基準値内から外れる第１の区画Ａ２を示す情報を記憶部１に格納する。
【００１９】
そして、演算処理部２は、記憶部１から第１の区画Ａ２を示す情報、レイアウト密度が基準値内から外れる第１の区画Ａ２を示す情報及びレイアウト情報を読み出し、第１の区画Ａ２を含む第２の区画Ａ３を設定し、設定した第２の区画Ａ３を示す情報を記憶部１に格納する。
【００２０】
第２の区画Ａ３は、ウエハの平坦性を満たすためにレイアウト密度を基準値内とする必要がある領域であり、適宜設定される。ここで、図６〜図８は設定された第２の区画Ａ３の一例を示している。なお、Ｌ２ｘは第２の区画Ａ３のＸ軸方向の幅（即ち、第２の区画Ａ３のＸ軸方向の一辺の長さ）であり、Ｌ２ｙは第２の区画Ａ３のＹ軸方向の幅（即ち、第２の区画Ａ３のＹ軸方向の一辺の長さ）である。
【００２１】
第２の区画Ａ３は、複数の第１の区画Ａ２によって構成されていることが好ましい。つまり、第２の区画Ａ３は、第１の区画Ａ２より広い。そして、第２の区画Ａ３は、第２の区画Ａ３のＸ軸方向の一辺の長さＬ２ｘが第１の区画Ａ２のＸ軸方向の一辺の長さＬ１ｘの整数倍であり、且つ第２の区画Ａ３のＹ軸方向の一辺の長さＬ２ｙが第１の区画Ａ２のＹ軸方向の一辺の長さＬ１ｙの整数倍である矩形状であることが好ましい。本実施形態の第２の区画Ａ３は、Ｘ軸方向に４個、Ｙ軸方向に４個、合計１６個の第１の区画Ａ２によって構成されており、一辺の長さＬ２ｘ及びＬ２ｙが第１の区画Ａ２の一辺の長さＬ１ｘ及びＬ１ｙの４倍である正方形状とされている。
【００２２】
このような第２の区画Ａ３は、以下のように次々と設定される。例えば、演算処理部２は、図６に示すように、第１の区画Ａ２が配置される１６個の区画にうち、右上の区画にレイアウト密度が基準値内から外れる第１の区画Ａ２が配置されるように、第２の区画Ａ３を設定し、設定した第２の区画Ａ３を示す情報を記憶部１に格納する。
【００２３】
次に、演算処理部２は、図７に示すように、第２の区画Ａ３を所定のステップ値Ｓで右方向に移動させ、新たな位置での第２の区画Ａ３を設定し、新たに設定した第２の区画Ａ３を示す情報を記憶部１に格納する。ここで、第１の区画Ａ２の一辺の長さＬ１ｘとステップ値Ｓとを等しくすると、第２の区画Ａ３は、第１の区画Ａ２分右側に移動することになる。ちなみに、ステップ値Ｓは、第２の区画Ａ３の広さ等を考慮して、適宜設定される。
【００２４】
その後、演算処理部２は、第２の区画Ａ３を所定のステップ値ＳでＸ軸方向及びＹ軸方向に移動させて、次々と新たな位置での第２の区画Ａ３を設定する。ここで、第１の区画Ａ２の一辺の長さＬ１ｘ及びＬ１ｙとステップ値Ｓとを等しくすると、第２の区画Ａ３は、Ｘ軸方向又はＹ軸方向に第１の区画Ａ２分移動した形態で次々と設定され、各々の第２の区画Ａ３は、複数の第１の区画Ａ２で構成される。そして、図８に示すように、全ての第２の区画Ａ３によって形成される領域である第３の区画Ａ４の中央にレイアウト密度が基準値から外れる第１の区画Ａ２が配置される。
【００２５】
次に、演算処理部２は、設定した第２の区画Ａ３を示す情報、基準値情報及び各々の第２の区画Ａ３内における第１の区画Ａ２のレイアウト密度情報を記憶部１から読み出し、各々の第２の区画Ａ３のレイアウト密度が基準値内か否かを判定して、基準値内から外れる第２の区画Ａ３を特定する（Ｓ５）。このとき、上述のように第１の区画Ａ２の一辺の長さＬ１ｘ及びＬ１ｙとステップ値Ｓとを等しくすると、各々の第２の区画Ａ３を複数の第１の区画Ａ２で構成することができる。そのため、各々の第２の区画Ａ３のレイアウト密度が基準値内か否かを判定する際に、第１の区画Ａ２のレイアウト密度情報を用いて簡単に判定することができる。
そして、演算処理部２は、特定した基準値内から外れる第２の区画Ａ３を示す情報をエラー情報として記憶部１に格納する（Ｓ６）。
【００２６】
一方、Ｓ３の判定の結果、レイアウト密度が基準値から外れる第１の区画Ａ２が存在しないと（Ｓ３のＮＯ）、レイアウト密度検証を終了する。つまり、本来的にレイアウト密度検証を実行したいのは、第２の区画Ａ３の広さであるが、第２の区画Ａ３内の全ての第１の区画Ａ２のレイアウト密度が基準値内であると、必然的に当該第２の区画Ａ３もレイアウト密度が基準値内となるからである。
【００２７】
このようなレイアウト密度検証方法及びプログラムは、先ず検証領域Ａ１を複数の第１の区画Ａ２に細分化して、第１の区画Ａ２のレイアウト密度が基準値内か否かを判定する。そして、レイアウト密度が基準値内から外れる第１の区画Ａ２を含む第２の区画Ａ３のみを所定のステップ値Ｓで設定し、各々の第２の区画Ａ３のレイアウト密度が基準値内か否かを判定する。そのため、一般的なレイアウト検証方法に比べて、重複して計算する面積を削減することができ、結果としてレイアウト密度を検証する面積を削減することができる。よって、計算量を削減することができ、レイアウト密度検証に伴う時間を削減できる。
【００２８】
しかも、第２の区画Ａ３のレイアウト密度の検証は、既に記憶部１に格納されている第１の区画Ａ２のレイアウト密度情報を用いると簡単に実行することができる。
【００２９】
＜実施形態２＞
実施形態１では、レイアウト密度が基準値内から外れる第１の区画Ａ２が一個の場合を説明したが、レイアウト密度が基準値内から外れる第１の区画Ａ２が複数ある場合も同様に実施することができる。
【００３０】
ここで、図９は、レイアウト密度が基準値内から外れる第１の区画Ａ２が複数ある場合を示している。このように、レイアウト密度が基準値内から外れる第１の区画Ａ２を含む第２の区画Ａ３が重なる場合がある。このような場合は、一方の第２の区画Ａ３のレイアウト密度の検証のみを実行して、他方の第２の区画Ａ３のレイアウト密度の検証を実行しない。つまり、完全に重なる第２の区画Ａ３のレイアウト密度の検証は一度のみ実行すればよい。これにより、レイアウト密度の検証に伴う計算量の増加を抑制することができる。
【００３１】
＜実施形態３＞
上述の実施形態では、ソフトウェアの構成として説明したが、ハードウェアの構成として実現してもよい。
【００３２】
以上、本発明者によってなされた発明を実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
【００３３】
プログラムは、様々なタイプの非一時的なコンピュータ可読媒体（non-transitory computer readable medium）を用いて格納され、コンピュータに供給することができる。非一時的なコンピュータ可読媒体は、様々なタイプの実体のある記録媒体（tangible storage medium）を含む。非一時的なコンピュータ可読媒体の例は、磁気記録媒体（例えばフレキシブルディスク、磁気テープ、ハードディスクドライブ）、光磁気記録媒体（例えば光磁気ディスク）、ＣＤ−ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＣＤ−Ｒ、ＣＤ−Ｒ／Ｗ、半導体メモリ（例えば、マスクＲＯＭ、ＰＲＯＭ（Programmable ROM）、ＥＰＲＯＭ（Erasable PROM）、フラッシュＲＯＭ、ＲＡＭ（random access memory））を含む。また、プログラムは、様々なタイプの一時的なコンピュータ可読媒体（transitory computer readable medium）によってコンピュータに供給されてもよい。一時的なコンピュータ可読媒体の例は、電気信号、光信号、及び電磁波を含む。一時的なコンピュータ可読媒体は、電線及び光ファイバ等の有線通信路、又は無線通信路を介して、プログラムをコンピュータに供給できる。
【符号の説明】
【００３４】
１  記憶部
２  演算処理部
３  表示部
４  操作部
５  バス
Ａ１  検証領域
Ａ２  第１の区画
Ａ３  第２の区画
Ａ４  第３の区画
Ｄ  レイアウト密度
Ｓ  ステップ値
Ｌ１ｘ  第１の区画のＸ軸方向の幅
Ｌ１ｙ  第１の区画のＹ軸方向の幅
Ｌ２ｘ  第２の区画のＸ軸方向の幅
Ｌ２ｙ  第２の区画のＹ軸方向の幅
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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