(57)【要約】      （修正有）【課題】プログラム更新の失敗を防止する。【解決手段】操作画面を備えた操作部と、記録媒体を装備するための装着部と、制御手段と、を備えた基板処理装置であって、前記制御手段は、前記装着部にインストール用デバイスが装着されると起動プログラムを実行してコントロールユニットの状態を判定し、以前のバージョンがインストールされており、且つ前記操作画面が表示中であれば、前記起動プログラムを終了し、前記インストール用デバイスが間違ったコントロールユニットに装着されていれば、前記操作画面にメッセージを表示し、前記起動プログラムの終了を促し、インストールが必要な場合、インストール確認画面を表示し、インストール続行が選択されると、インストール用プログラムを前記コントロールユニットの所定の格納部に保存する。【選択図】図７
2014056403.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を処理するためのファイルの作成又は編集を行う操作画面を備えた操作部と、
前記ファイルを実行する際に生成されるデータを書き込む記録媒体を装備するための装着部と、
前記操作部及び装着部それぞれに接続され、前記ファイルを実行するよう制御する制御手段と、を備えた基板処理装置であって、
前記制御手段は、前記装着部にインストール用デバイスが装着されると起動プログラムを実行してコントロールユニットの状態を判定し、以前のバージョンがインストールされており、且つ前記操作画面が表示中であれば、前記起動プログラムを終了し、前記インストール用デバイスが間違ったコントロールユニットに装着されていれば、前記操作画面にメッセージを表示し、前記起動プログラムの終了を促し、
インストールが必要な場合、インストール確認画面を表示し、インストール続行が選択されると、インストール用プログラムを前記コントロールユニットの所定の格納部に保存することを特徴とする基板処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体基板やガラス基板等の基板を処理する基板処理装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
シリコンウエハ等の基板を処理する基板処理装置は、ＣＰＵ、メモリ、及びＨＤＤ等の記憶装置を備えたコントローラを有している。記憶装置は、基板処理装置に種々の機能を実現させるプログラムを格納している。プログラムは、記憶装置からメモリに読み出され、ＣＰＵにより実行される。
【０００３】
前記プログラムは、基板処理装置の機能拡張やバグ対処などの理由により、定期的または不定期にアップデート（バージョンアップ）される。従来、システムのプログラムを更新するには、パラメータのバックアップ、リストアやシステムの停止、インストール画面を操作するなど複雑な画面操作が必要であり、プログラム更新の失敗を防ぐために詳細な手順書を参照し、プログラム更新を行う必要があった。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、上述した背景からなされたものであり、基板処理装置内のコントローラで簡便にプログラム更新を行うことができる基板処理装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成するために、本発明に係る基板処理装置は、基板を処理するためのファイルの作成又は編集を行う操作画面を備えた操作部と、
前記ファイルを実行する際に生成されるデータを書き込む記録媒体を装備するための装着部と、前記操作部及び装着部それぞれに接続され、前記ファイルを実行するよう制御する制御手段と、を備えた基板処理装置であって、前記制御手段は、前記装着部にインストール用デバイスが装着されると起動プログラムを実行してコントロールユニットの状態を判定し、以前のバージョンがインストールされており、且つ前記操作画面が表示中であれば、前記起動プログラムを終了し、前記インストール用デバイスが間違ったコントロールユニットに装着されていれば、前記操作画面にメッセージを表示し、前記起動プログラムの終了を促し、インストールが必要な場合、インストール確認画面を表示し、インストール続行が選択されると、インストール用プログラムを前記コントロールユニットの所定の格納部に保存することを特徴とする基板処理装置である。
【発明の効果】
【０００６】
本発明に係る基板処理装置によれば、表示された画面からアップデートを選択するだけで、複雑な手順を踏むことなく簡便にコントローラ内のシステム更新を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】本発明の実施形態に係る基板処理装置の斜視図である。
【図２】本発明の実施形態に係る基板処理装置の断面図である。
【図３】本発明の実施形態に係る基板処理装置の制御手段を中心とした構成の一例を示すブロック図である。
【図４】本発明の実施形態に係る基板処理装置の主表示画面において、最初に表示される操作画面を例示する図である。
【図５】インストール処理の際の表示例を示す図である。
【図６】バージョンアップ処理の際の表示例を示す図である。
【図７】バージョンアップのフロー図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、本発明を実施するための形態を図面に基づいて説明する。
図１には、基板処理装置１０が斜視図を用いて示されている。また、図２には、基板処理装置１０が側面透視図を用いて示されている。
基板処理装置１０は、基板として用いられるシリコン等からなるウエハ２００を処理する。
【０００９】
図１及び図２に示されているように、基板処理装置１０では、ウエハ２００を収納したウエハキャリアとして用いられるフープ（基板収容器。以下ポッドという）１１０が使用されている。また、基板処理装置１０は、基板処理装置本体１１１を備えている。
【００１０】
基板処理装置本体１１１の正面壁１１１ａの正面前方部にはメンテナンス可能なように設けられた開口部として用いられる正面メンテナンス口１０３が開設され、正面メンテナンス口１０３を開閉する正面メンテナンス扉１０４がそれぞれ建て付けられている。尚、図示しないが、上側の正面メンテナンス扉１０４近傍に副操作部としての副操作装置が設置される。主操作部としての主操作装置１６は、背面側のメンテナンス扉近傍に配置される。
【００１１】
基板処理装置本体１１１の正面壁１１１ａにはポッド搬入搬出口（基板収容器搬入搬出口）１１２が基板処理装置本体１１１の内外を連通するように開設されており、ポッド搬入搬出口１１２はフロントシャッタ（基板収容器搬入搬出口開閉機構）１１３によって開閉されるようになっている。
ポッド搬入搬出口１１２の正面前方側にはロードポート（基板収容器受渡し台）１１４が設置されており、ロードポート１１４はポッド１１０を載置されて位置合わせするように構成されている。ポッド１１０はロードポート１１４上に工程内搬送装置（図示せず）によって搬入され、ロードポート１１４上から搬出されるようになっている。
【００１２】
基板処理装置本体１１１内の前後方向の略中央部における上部には、回転式ポッド棚（基板収容器載置棚）１０５が設置されており、回転式ポッド棚１０５は複数個のポッド１１０を保管するように構成されている。すなわち、回転式ポッド棚１０５は垂直に立設されて水平面内で間欠回転される支柱１１６と、支柱１１６に上中下段の各位置において放射状に支持された複数枚の棚板（基板収容器載置台）１１７とを備えており、複数枚の棚板１１７はポッド１１０を複数個宛それぞれ載置した状態で保持するように構成されている。
【００１３】
基板処理装置本体１１１内におけるロードポート１１４と回転式ポッド棚１０５との間には、ポッド搬送装置（基板収容器搬送装置）１１８が設置されており、ポッド搬送装置１１８は、ポッド１１０を保持したまま昇降可能なポッドエレベータ（基板収容器昇降機構）１１８ａと搬送機構としてのポッド搬送機構（基板収容器搬送機構）１１８ｂとで構成されており、ポッド搬送装置１１８はポッドエレベータ１１８ａとポッド搬送機構１１８ｂとの連続動作により、ロードポート１１４、回転式ポッド棚１０５、ポッドオープナ（基板収容器蓋体開閉機構）１２１との間で、ポッド１１０を搬送するように構成されている。
【００１４】
基板処理装置本体１１１内の前後方向の略中央部における下部には、サブ筐体１１９が後端にわたって構築されている。サブ筐体１１９の正面壁１１９ａにはウエハ２００をサブ筐体１１９内に対して搬入搬出するためのウエハ搬入搬出口（基板搬入搬出口）１２０が一対、垂直方向に上下二段に並べられて開設されており、上下段のウエハ搬入搬出口１２０、１２０には一対のポッドオープナ１２１、１２１がそれぞれ設置されている。ポッドオープナ１２１はポッド１１０を載置する載置台１２２、１２２と、ポッド１１０のキャップ（蓋体）を着脱するキャップ着脱機構（蓋体着脱機構）１２３、１２３とを備えている。ポッドオープナ１２１は載置台１２２に載置されたポッド１１０のキャップをキャップ着脱機構１２３によって着脱することにより、ポッド１１０のウエハ出し入れ口を開閉するように構成されている。
【００１５】
サブ筐体１１９はポッド搬送装置１１８や回転式ポッド棚１０５の設置空間から流体的に隔絶された移載室１２４を構成している。移載室１２４の前側領域にはウエハ移載機構（基板移載機構）１２５が設置されており、ウエハ移載機構１２５は、ウエハ２００を水平方向に回転ないし直動可能なウエハ移載装置（基板移載装置）１２５ａ及びウエハ移載装置１２５ａを昇降させるためのウエハ移載装置エレベータ（基板移載装置昇降機構）１２５ｂとで構成されている。図２に模式的に示されているようにウエハ移載装置エレベータ１２５ｂは耐圧基板処理装置本体１１１右側端部とサブ筐体１１９の移載室１２４前方領域右端部との間に設置されている。これら、ウエハ移載装置エレベータ１２５ｂ及びウエハ移載装置１２５ａの連続動作により、ウエハ移載装置１２５ａのツイーザ（基板保持体）１２５ｃをウエハ２００の載置部として、ボート（基板保持具）２１７に対してウエハ２００を装填（チャージング）及び脱装（ディスチャージング）するように構成されている。
【００１６】
移載室１２４の後側領域には、ボート２１７を収容して待機させる待機部１２６が構成されている。待機部１２６の上方には、処理炉２０２が設けられている。処理炉２０２の下端部は、炉口シャッタ（炉口開閉機構）１４７により開閉されるように構成されている。
【００１７】
図１に模式的に示されているように、耐圧基板処理装置本体１１１右側端部とサブ筐体１１９の待機部１２６右端部との間にはボート２１７を昇降させるためのボートエレベータ（基板保持具昇降機構）１１５が設置されている。ボートエレベータ１１５の昇降台に連結された連結具としてのアーム１２８には蓋体としてのシールキャップ２１９が水平に据え付けられており、シールキャップ２１９はボート２１７を垂直に支持し、処理炉２０２の下端部を閉塞可能なように構成されている。
ボート２１７は複数本の保持部材を備えており、複数枚（例えば、５０〜１２５枚程度）のウエハ２００をその中心を揃えて垂直方向に整列させた状態で、それぞれ水平に保持するように構成されている。
【００１８】
また、図１に模式的に示されているように移載室１２４のウエハ移載装置エレベータ１２５ｂ側及びボートエレベータ１１５側と反対側である左側端部には、清浄化した雰囲気もしくは不活性ガスであるクリーンエア１３３を供給するよう供給ファン及び防塵フィルタで構成されたクリーンユニット１３４が設置されており、ウエハ移載装置１２５ａとクリーンユニット１３４との間には、図示はしないが、ウエハの円周方向の位置を整合させる基板整合装置としてのノッチ合わせ装置が設置されている。
【００１９】
クリーンユニット１３４から吹き出されたクリーンエア１３３は、ノッチ合わせ装置及びウエハ移載装置１２５ａ、待機部１２６にあるボート２１７に流通された後に、図示しないダクトにより吸い込まれて、基板処理装置本体１１１の外部に排気がなされるか、もしくはクリーンユニット１３４の吸い込み側である一次側（供給側）にまで循環され、再びクリーンユニット１３４によって、移載室１２４内に吹き出されるように構成されている。
【００２０】
次に、本発明の基板処理装置１０の動作について説明する。
図１及び図２に示されているように、ポッド１１０がロードポート１１４に供給されると、ポッド搬入搬出口１１２がフロントシャッタ１１３によって開放され、ロードポート１１４の上のポッド１１０はポッド搬送装置１１８によって基板処理装置本体１１１の内部へポッド搬入搬出口１１２から搬入される。
【００２１】
搬入されたポッド１１０は回転式ポッド棚１０５の指定された棚板１１７へポッド搬送装置１１８によって自動的に搬送されて受け渡され、一時的に保管された後、棚板１１７から一方のポッドオープナ１２１に搬送されて受け渡され、一時的に保管された後、棚板１１７から一方のポッドオープナ１２１に搬送されて載置台１２２に移載されるか、もしくは直接ポッドオープナ１２１に搬送されて載置台１２２に移載される。この際、ポッドオープナ１２１のウエハ搬入搬出口１２０はキャップ着脱機構１２３によって閉じられており、移載室１２４にはクリーンエア１３３が流通され、充満されている。例えば、移載室１２４にはクリーンエア１３３として窒素ガスが充満することにより、酸素濃度が２０ｐｐｍ以下と、基板処理装置本体１１１の内部（大気雰囲気）の酸素濃度よりも遥かに低く設定されている。
【００２２】
載置台１２２に載置されたポッド１１０はその開口側端面がサブ筐体１１９の正面壁１１９ａにおけるウエハ搬入搬出口１２０の開口縁辺部に押し付けられるとともに、そのキャップがキャップ着脱機構１２３によって取り外され、ウエハ出し入れ口を開放される。
ポッド１１０がポッドオープナ１２１によって開放されると、ウエハ２００はポッド１１０からウエハ移載装置１２５ａのツイーザ１２５ｃによってウエハ出し入れ口を通じてピックアップされ、図示しないノッチ合わせ装置にてウエハを整合した後、移載室１２４の後方にある待機部１２６へ搬入され、ボート２１７に装填（チャージング）される。ボート２１７にウエハ２００を受け渡したウエハ移載装置１２５ａはポッド１１０に戻り、次のウエハをボート２１７に装填する。
【００２３】
この一方（上段または下段）のポッドオープナ１２１におけるウエハ移載機構１２５によるウエハのボート２１７への装填作業中に、他方（下段または上段）のポッドオープナ１２１には回転式ポッド棚１０５から別のポッド１１０がポッド搬送装置１１８によって搬送されて移載され、ポッドオープナ１２１によるポッド１１０の開放作業が同時進行される。
【００２４】
予め指定された枚数のウエハ２００がボート２１７に装填されると、炉口シャッタ１４７によって閉じられていた処理炉２０２の下端部が、炉口シャッタ１４７によって、開放される。続いて、ウエハ２００群を保持したボート２１７はシールキャップ２１９がボートエレベータ１１５によって上昇されることにより、処理炉２０２内へ搬入（ローディング）されていく。
【００２５】
ローディング後は、処理炉２０２にてウエハ２００に任意の処理が実施される。
処理後は、図示しないノッチ合わせ装置でのウエハの整合工程を除き、概上述の逆の手順で、ウエハ２００及びポッド１１０は筐体の外部へ払い出される。
【００２６】
次に、図３を参照して、基板処理装置１０における主コントローラ１４を中心としたハードウエア構成について説明する。
図３に示されるように、基板処理装置１０の基板処理装置本体１１１内に、主コントローラ１４、スイッチングハブ１５とあわせて、搬送制御部２３０と、プロセス制御部２３２とが設けられている。搬送制御部２３０とプロセス制御部２３２とは、基板処理装置本体１１１内に設けることに替えて、基板処理装置本体１１１外に設けてもよい。
【００２７】
主制御部としての主コントローラ１４は、主操作部としての主操作装置１６と、例えば、ビデオケーブル２０を用いて接続されている。なお、主コントローラ１４と主操作装置１６とをビデオケーブル２０を用いて接続することに替えて、通信ネットワーク４０を介して、主コントローラ１４と主操作装置１６とを接続してもよい。
また、主コントローラ１４は、図示しない外部操作装置と、例えば、通信ネットワーク４０を介して接続される。このため、外部操作装置は、基板処理装置１０から離間した位置に配置することが可能である。例えば、基板処理装置１０がクリーンルーム内に設置されている場合であっても、外部操作装置はクリーンルーム外の事務所等に配置することが可能である。
主コントローラ１４には、例えばＵＳＢポートに対応するＯＳがインストールされており、ＵＳＢポートに対応する外部記憶装置（例えば、ＵＳＢフラッシュメモリ）を基板処理装置１０に挿入できる。
【００２８】
主操作装置１６は、基板処理装置１０（もしくは処理炉２０２及び基板処理装置本体１１１）近傍に配置されている。主操作装置１６は、この実施形態のように基板処理装置本体１１１に装着するようにして、基板処理装置１０と一体として固定する。
ここで、主操作装置１６が、基板処理装置１０（もしくは処理炉２０２及び基板処理装置本体１１１）近傍に配置されているとは、基板処理装置１０の状態を操作者が確認できる位置に主操作装置１６が配置されていることをいう。例えば、基板処理装置本体１１１が設置されているクリーンルーム内に設置される。
主操作装置１６は主表示装置１８を有する。主表示装置１８は、例えば、液晶表示パネルであり、主表示装置１８には、基板処理装置１０を操作するための操作画面などが表示される。操作画面を介して、基板処理装置１０内で生成される情報を表示させ、表示された情報を、基板処理装置１０に挿入されたＵＳＢフラッシュメモリなどに出力させることができる。
【００２９】
副操作装置５０は副表示装置５２を有する。主表示装置１８と同様、副表示装置５２は、例えば、液晶表示パネルであり、副表示装置５２には、基板処理装置１０を操作するための操作画面などが表示される。副表示装置５２で表示される操作画面は、主表示装置１８で表示される操作画面と同様の機能を有する。したがって、基板処理装置１０内で生成される情報が表示され、この情報を、基板処理装置１０に挿入されたＵＳＢフラッシュメモリなどに出力させることができる。
【００３０】
搬送制御部２３０は、例えばＣＰＵ等からなる搬送系コントローラ２３４を有し、プロセス制御部２３２は、例えばＣＰＵ等からなるプロセス系コントローラ２３６を有する。
搬送系コントローラ２３４とプロセス系コントローラ２３６とは、スイッチングハブ１５を介して、主コントローラ１４にそれぞれ接続されている。
また、主コントローラ１４には、外部記憶装置としての記録媒体であるＵＳＢフラッシュメモリ等の装着及び取外しを行う着脱部としてのポート１３が設けられている。
【００３１】
また、図３に示されるように、主操作装置１６内には、主表示装置１８の表示を制御するため等に用いられる主表示制御部２４０が設けられている。主表示制御部２４０は、例えば、ビデオケーブル２０を用いて、主コントローラ１４に接続されている。
【００３２】
また、図３に示されるように、副操作装置５０内には、副表示装置５２の表示を制御するため等に用いられる副表示制御部２４２が設けられている。なお、副表示制御部２４２は、図示された形態に限らず、通信ネットワーク４０を介して、主コントローラ１４に接続されてもよい。
【００３３】
図４は、主表示装置１８及び副表示装置５２に最初に表示される操作画面の例である。
ここで、操作画面は、タイトルパネル６１と、インフォメーションパネル６２と、ナビゲーションパネル６３と、図示しないコマンドパネルとにより構成される。
タイトルパネル６１は、操作画面の最上部にあり、インフォメーションパネル６２及び図示しないコマンドパネルの上部の領域にあたる。タイトルパネル６１は常時表示され、例えば、オンライン通信されている場合、上位コントローラとの通信状況、日付、時刻、ログインボタン、ログアウトボタン及びエラーメッセージを表示する。なお、操作効率を向上させるため、これら以外の項目を任意に表示させることも可能である。
インフォメーションパネル６２には、各機能領域に一つ又は複数の情報又はグラフィック画面が表示される。インフォメーションパネル６２には、必要な制御又はモニタを行うために、グラフィックその他のディスプレイオブジェクトが配置される。なお、機能領域内のインフォメーションパネル６２において、適宜、複数の情報を一度に表示させることも可能である。
【００３４】
ナビゲーションパネル６３は、操作画面の最下部に各種ナビゲーションボタンが配置される領域にあたる。ナビゲーションボタンには文字ラベルが貼り付けられ、その機能を画像（アイコン）として表示することもできる。警告や注意を通知する際に、画面上にダイアログボックスが表示される場合、ダイアログボックスは、ナビゲーションパネル６３に重ならないよう表示される。さらに、使用者がすぐに操作して各種情報にアクセスすることが可能になっている。また、ナビゲーションパネル６３には、装置の安全のための操作を確実に実施するための情報にアクセスするボタンが配置される。例えば、発生したアラーム、警告及び現時点で取得済みのイベントログを確認し、アラーム及び警告を解除するための情報にアクセスするためのアラームボタンが配置される。
なお、ナビゲーションパネル６３において破線で表示されるボタンは、押下できない状態（無効）であることを意味する。操作画面の内容及び使用者の動作などに応じて、各ボタンは、無効となったり、有効となったりする。例えば、使用者が基板処理装置１０にＵＳＢフラッシュメモリを挿入した場合、デバイスを取り外すための確認を行うための確認部としての取外しボタン６５は有効になり、使用者が基板処理装置１０からＵＳＢフラッシュメモリを取り出した場合、取外しボタン６５は無効になる。ナビゲーションパネル６３に取外しボタン６５を設けることにより、この取外しボタン６５を確実に押下するよう作業者に促すことができる。したがって、特にＵＳＢフラッシュメモリでは、データの破損や主コントローラ１４のＯＳへの影響を回避することができる。
【００３５】
以上説明したように、本願発明の実施形態は、ナビゲーションパネル６３にポート１３に取り付けられたデバイスを取外しする際に確認を行う確認部としての取外しボタン６５を設けた点に特徴がある。ここで、デバイスとは、ＵＳＢフラッシュメモリ等の外部記憶媒体だけではなく、プリンタなどの出力手段及びキーボードやマウスなどの入力手段なども含む総称である。
【００３６】
以下に本願発明における具体的な実施例を説明する。
インストールＣＤからの操作
コントロールユニットのポート１３と１２のＣＤドライブに記録媒体としてのバージョンアップ用のインストールＣＤを挿入する。挿入されたインストールＣＤ内のプログラムが立ち上がり、自動的に起動し、現在インストール済みのプログラムのバージョンと挿入されたインストールＣＤのプログラムのバージョンを比較する。プログラムを比較した結果インストール済みのプログラムが古いバージョンのものであり、かつ画面が表示中（すなわち、基板処理装置が基板処理を実行中）であれば、自動的に起動したプログラムを終了し、基板処理が終了するまで、そのまま待機する。
バージョンアップ用のインストールＣＤが挿入されたコントロールユニットが間違っていた（別の種類のユニットであった）場合、図５−（ａ）に示すメッセージを表示する。操作者からのＹＥＳの支持後、プログラムを終了する。
前記以外の場合には、図５−（ｂ）に示すインストール確認画面が表示される。ここで、インストール続行が選択された場合、インストールＣＤからインストーラをコントロールユニット内のローカルドライブ内にコピーし、インストーラを起動後、自動的にインストールＣＤを排出する。
【００３７】
（２）表示画面からのインストール操作（ネットワーク内検索によるインストール操作）
古いバージョンのプログラムがインストールされており、かつ画面が表示中であれば、図６−（ａ）に示す表示を行い、アップデートボタンを押下する。操作者により、アップデートボタンが押下された場合、画面プログラムは、ローカルのＣＤドライブや予め定義されたネットワークドライブより、特定の名称（例：ＳｙｓｔｅｍＩｎｓｔａｌｌｅｒ）のフォルダを検索する。フォルダが見つかった場合、そのフォルダ内にインストーラがあれば、インストール確認画面（図６−（ｂ））を表示する。インストールを選択された場合、インストーラをフォルダごとローカルドライブにコピーし、このインストーラを起動する。
【００３８】
（３）インストールの実行
図７に示すフローを利用して、インストールの実行について説明する。インストーラは、既存のプログラムがインストールされている場合（Ｓ１０１  ＹＥＳ）、動作中のシステムを完全に停止するため、まず自動起動の設定を削除し（Ｓ１０２）、コントロールユニットの再起動（リブート）を行う（Ｓ１０３）。再起動後、インストールを続行し、既存のプログラムを削除する（Ｓ１０５）。この時、システムで作成したパラメータファイルなどは削除されないようにしておく。既存のプログラムの削除後、新しいプログラムを配置し（Ｓ１０６、Ｓ１０７）、再度自動起動の設定を行う。この時、パラメータファイルは上書きしないようにしておく。次に、再びコントロールユニットの再起動を行い（Ｓ１０８）、自動的に新しいプログラムでシステムが動作（Ｓ１１０）することにより、インストールの完了となる。
【００３９】
なお、本発明は、基板処理装置１０として、例えば、半導体装置（ＩＣ）の製造方法を実施する半導体製造装置として構成されているが、半導体製造装置だけでなくＬＣＤ装置のようなガラス基板を処理する装置にも適用することができる。
【００４０】
基板処理装置１０で行われる成膜処理には、例えば、ＣＶＤ、ＰＶＤ、ＡＬＤ、Ｅｐｉ、その他酸化膜、窒化膜を形成する処理、金属を含む膜を形成する処理がある。更に、アニール処理、酸化処理、拡散処理等の処理でも構わない。
また、本実施形態では、基板処理装置が縦型処理装置１０であるとして記載したが、枚葉装置についても同様に適用することができ、さらに、エッチング装置、露光装置、リソグラフィ装置、塗布装置、モールド装置、現像装置、ダイシング装置、ワイヤボンディング装置、検査装置等にも同様に適用することができる。
【００４１】
また、複数の基板処理装置１０に通信回線を介して接続され、複数の基板処理装置１０の状態を管理する群管理装置（管理サーバ）及びこのような基板処理装置及び群管理装置を含む基板処理システムにも適用することができる。尚、群管理装置は、基板処理装置と同じフロア（クリーンルーム）に配置する必要はなく、例えば、ＬＡＮ接続され、事務所に配置してもよい。また群管理装置において、格納部（データベース）や制御部と操作部や表示部を一体にする必要はなく、それぞれを別体にしてもよく、クリーンルーム上に配置されたデータベース内のデータを遠隔で事務所に配置された端末装置による操作画面上の操作（例えばインストール作業等）を行えるように構成しても良い。
【００４２】
なお、前述のプログラムとは、例えば、コンピュータ読み取り可能なハードディスク、フレキシブルディスク、コンパクトディスクなどのコンピュータに読み取り可能な記憶媒体に記録されていたものであって、その記憶媒体からシステムの制御部にインストールされたものであっても良い。
【００４３】
本発明は、特許請求の範囲に記載した事項を特徴とするが、さらに次に付記した事項も含まれる。
【００４４】
[付記１]
基板を処理するためのプログラムの更新方法であって、コントロールユニットのドライブにバージョンアップ用のインストールプログラムを挿入工程と、挿入されたインストールプログラム内のプログラムが立ち上がり、自動的に起動する工程と、現在インストール済みのプログラムのバージョンと挿入されたインストールプログラムのバージョンを比較する工程と、プログラムを比較した結果インストール済みのプログラムが古いバージョンのものであり、かつ画面が表示中であれば、自動的に起動したプログラムを終了する工程と、基板処理が終了するまで、そのまま待機する工程と、インストール確認画面が表示され、インストール続行が選択された場合、インストールプログラムからインストーラをコントロールユニット内のローカルドライブ内にコピーする工程と、インストーラを起動後、自動的にインストールプログラムを排出する工程を有する基板処理装置のプログラム更新方法。
[付記２]
付記１に記載のプログラム更新方法を基板処理装置によって実行させるために、当該基板処理装置を制御する制御装置のコンピュータ上で動作するプログラム。
[付記３]
付記２に記載のプログラムを格納した読み取り可能なコンピュータ記憶媒体。
【符号の説明】
【００４５】
１０    基板処理装置
１４    主コントローラ
１６    主操作装置
１８    主表示装置
５０    副操作装置
５２    副表示装置
２００  ウエハ
２０２  処理室
２４０  主表示制御部
２４２  副表示制御部
【図１】
2014056403.tif 000003
【図２】
2014056403.tif 000004
【図３】
2014056403.tif 000005
【図４】
2014056403.tif 000006
【図５】
2014056403.tif 000007
【図６】
2014056403.tif 000008
【図７】
2014056403.tif 000009