(57)【要約】【課題】レシピに基づいて再開動作を予め設定しておくことにより、処理が停止した後の再開動作時におけるオペレータの負担を軽減することができる。【解決手段】制御部５３は、レシピに基づきチャンバー１により基板Ｗを処理している際にアラームが発生した場合には、アラームと、アラームが発生した時のステップと、再開動作テーブルとに基づいてその基板Ｗの処理を再開させる。アラーム及びステップごとに再開動作が予め決められているので、処理が停止した後の再開動作時におけるオペレータの負担を軽減することができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に対して所定の処理を行う基板処理装置において、
基板を処理するための処理部と、
基板を処理するための処理手順である複数のステップを含むレシピと、各種のアラームに応じて前記ステップごとに再開動作を規定した再開動作テーブルとを予め記憶した記憶手段と、
前記レシピに基づき前記処理部により基板を処理している際にアラームが発生した場合には、アラームと、アラームが発生した時のステップと、前記再開動作テーブルとに基づいてその基板の処理を再開させる制御手段と、
を備えていることを特徴とする基板処理装置。
【請求項２】
請求項１に記載の基板処理装置において、
前記再開動作テーブルは、基板に対する処理をそのまま継続させる継続動作と、基板の処理を中断させて搬出させる搬出動作とを、少なくとも再開動作として規定することを特徴とする基板処理装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の基板処理装置において、
アラーム発生後にオペレータが動作の再開を指示するための指示手段をさらに備え、
前記制御手段は、アラームが発生した場合には、前記処理部による処理を中断させ、前記指示手段が操作された後、再開動作を決定することを特徴とする基板処理装置。
【請求項４】
請求項１から３のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記処理部におけるレシピによる処理の進捗状況を表示する表示手段をさらに備えていることを特徴とする基板処理装置。
【請求項５】
請求項４に記載の基板処理装置において、
前記表示手段は、アラーム発生時にアラームの内容を表示し、処理の進捗状況、前記アラームに対応した再開動作を表示することを特徴とする基板処理装置。
【請求項６】
基板に対して所定の処理を行う基板処理方法において、
基板を処理するための処理手順である複数のステップを含むレシピに基づき、処理部において基板を処理する過程と、
アラームの発生により前記処理部による処理を中断させる過程と、
再開を指示された際に、アラームと、アラームが発生した時のステップと、各種のアラームに応じて前記ステップごとに再開動作を規定した再開動作テーブルとに基づいて、その基板の再開動作を決定する過程と、
前記決定された再開動作を実行する過程と、
を備えていることを特徴とする基板処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハ、液晶ディスプレイ用基板、プラズマディスプレイ用基板、有機ＥＬ用基板、ＦＥＤ(Field Emission Display)用基板、光ディスプレイ用基板、磁気ディスク用基板、光磁気ディスク用基板、フォトマスク用基板、太陽電池用基板（以下、単に基板と称する）を処理する基板処理装置及びその方法に係り、特に、基板に対する処理が中断された後、その基板に対する処理を再開させるための技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の装置として、処理が中断された基板に対して、中断時専用の固定された処理を行わせるための中断時専用モードを能動化させる中断時専用モード能動化部と、処理が中断された基板に対して処理手順における任意の工程から処理を続行できる任意工程続行モードを能動化させる処理続行モード能動化部と、処理が中断された基板に対して処理手順における処理が中断された処理槽の次の処理槽に関する処理から続行できる処理槽続行モードを能動化させる処理槽続行モード能動化部と、基板に対する処理が中断された後に、中断時専用モード、処理続行モード、処理槽続行モードのいずれかによる処理再開を指定する指定部と、指定部による指定に基づき、中断専用モードによる処理再開または処理続行モードによる処理再開、処理槽続行モードによる処理再開のいずれかを要求する処理再開要求部と、を備えたものがある（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
ここで中断時専用モードは、例えば、基板に水洗処理を行って乾燥させた後に基板を装置から払い出すモードである。また、処理続行モードは、例えば、処理手順における任意の工程から基板に対する処理を続行できるモードである。処理槽続行モードは、例えば、薬液処理槽での処理の後、水洗処理槽での処理から続行するモードである。
【０００４】
上記の装置によると、指定部による指定に基づき、処理が中断された基板に対する中断時専用モードによる処理再開と、任意工程続行モードによる処理再開と、処理槽続行モードによる処理再開とのいずれかを行うので、オペレータが行う簡単な指定のみで自動的に処理が再開される。したがって、停止した装置における処理再開を効率よく行うことができるようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００１−２２３１９９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、このような構成を有する従来例の場合には、次のような問題がある。
すなわち、従来の装置は、再開に係る各モードのいずれかの再開コマンドをオペレータが入力する必要がある。オペレータは、停止時のプロセスに基づいて適切な再開コマンドを選択する必要があるので、オペレータの負担が大きいという問題がある。
【０００７】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、レシピに基づいて再開動作を予め設定しておくことにより、処理が停止した後の再開動作時におけるオペレータの負担を軽減することができる基板処理装置及びその方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、請求項１に記載の発明は、基板に対して所定の処理を行う基板処理装置において、基板を処理するための処理部と、基板を処理するための処理手順である複数のステップを含むレシピと、各種のアラームに応じて前記ステップごとに再開動作を規定した再開動作テーブルとを予め記憶した記憶手段と、前記レシピに基づき前記処理部により基板を処理している際にアラームが発生した場合には、アラームと、アラームが発生した時のステップと、前記再開動作テーブルとに基づいてその基板の処理を再開させる制御手段と、を備えていることを特徴とするものである。
【０００９】
［作用・効果］請求項１に記載の発明によれば、制御手段は、レシピに基づき処理部により基板を処理している際にアラームが発生した場合には、アラームと、アラームが発生した時のステップと、再開動作テーブルとに基づいてその基板の処理を再開させる。アラーム及びステップごとに再開動作が予め決められているので、処理が停止した後の再開動作時におけるオペレータの負担を軽減することができる。
【００１０】
また、本発明において、前記再開動作テーブルは、基板に対する処理をそのまま継続させる継続動作と、基板の処理を中断させて搬出させる搬出動作とを、少なくとも再開動作として規定することが好ましい（請求項２）。
【００１１】
少なくともアラームごとに継続動作と搬出動作とを再開動作として規定しておくことにより、適切に基板の処理を再開させることができる。
【００１２】
また、本発明において、アラーム発生後にオペレータが動作の再開を指示するための指示手段をさらに備え、前記制御手段は、アラームが発生した場合には、前記処理部による処理を中断させ、前記指示手段が操作された後、再開動作を決定することが好ましい（請求項３）。
【００１３】
アラーム発生後に制御手段が処理を中断させるので、オペレータが状況を確認した後に指示手段で再開を指示することができる。したがって、中断の状況に応じた対処が可能となる。
【００１４】
また、本発明において、前記処理部におけるレシピによる処理の進捗状況を表示する表示手段をさらに備えていることが好ましい（請求項４）。
【００１５】
表示手段に処理の進捗状況が表示されるので、アラーム発生時の状況をオペレータが確認することができる。
【００１６】
また、本発明において、前記表示手段は、アラーム発生時にアラームの内容を表示し、処理の進捗状況、前記アラームに対応した再開動作を表示することが好ましい（請求項５）。
【００１７】
アラームの内容、処理の進捗状況、アラームに対応した再開動作が表示手段に表示されるので、それらを見てオペレータが処置を判断することができる。
【００１８】
また、請求項６に記載の発明は、基板に対して所定の処理を行う基板処理方法において、基板を処理するための処理手順である複数のステップを含むレシピに基づき、処理部において基板を処理する過程と、アラームの発生により前記処理部による処理を中断させる過程と、再開を指示された際に、アラームと、アラームが発生した時のステップと、各種のアラームに応じて前記ステップごとに再開動作を規定した再開動作テーブルとに基づいて、その基板の再開動作を決定する過程と、前記決定された再開動作を実行する過程と、を備えていることを特徴とするものである。
【００１９】
［作用・効果］請求項６に記載の発明によれば、レシピに基づいて処理部で基板を処理し、アラームの発生により処理部による処理を中断し、再開が指示された際に、再開動作テーブルに基づいて再開動作を決定し、その再開動作を実行する。したがって、処理が停止した後の再開動作時におけるオペレータの負担を軽減することができる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明に係る基板処理装置によれば、制御手段は、レシピに基づき処理部により基板を処理している際にアラームが発生した場合には、再開動作テーブルを参照し、予めそのアラームに対応された再開動作によりその基板の処理を再開させる。アラーム及びステップごとに再開動作が予め決められているので、処理が停止した後の再開動作時におけるオペレータの負担を軽減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】実施例に係る基板処理装置の概略構成を示す図である。
【図２】レシピ及び再開動作テーブルを示す模式図である。
【図３】処理の進捗状況例を表示した状態を示す模式図である。
【図４】アラーム発生時のアラーム表示例を示す模式図である。
【図５】アラーム発生時に再開動作例を表示した状態を示す模式図である。
【図６】基板処理装置の動作を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、図面を参照して本発明の一実施例について説明する。
図１は、実施例に係る基板処理装置の概略構成を示す図である。
【００２３】
本実施例に係る基板処理装置は、基板Ｗに対して各種の処理を施すための装置である。この基板処理装置は、例えば、２個のチャンバー１，２を備えている。但し、発明の理解を容易にするために、チャンバー１のみを詳細に説明し、チャンバー２については簡略化してある。各チャンバー１，２は、基板Ｗを回転させつつ処理を行う枚葉式の処理ユニットである。なお、実際には、チャンバー１，２の間に両者を仕切る部材が配置されているが、その図示は省略してある。
【００２４】
チャンバー１は、スピンベース３と、飛散防止カップ５と、雰囲気遮断板７と、供給部９とを備えている。スピンベース３は、スピンチャック１１と、回転軸１３と、回転モータ１５とを備えている。スピンチャック１１は、基板Ｗを水平姿勢で保持する。回転軸１３は、スピンチャック１１の下面に一端側が連結され、他端側が回転モータ１５に連結されている。回転モータ１５は、回転軸１３を回転駆動して、スピンチャック１１ごと基板Ｗを水平面内で回転させる。
【００２５】
飛散防止カップ５は、スピンチャック１１の側方を囲って配置されている。飛散防止カップ５は、上部に開口を備え、側方に形成された内側下向きの傾斜面により、回転する基板Ｗから周囲に飛散する処理液を受け止めて回収する。上述したスピンベース３は、飛散防止カップ５から突出した「受け渡し位置」と、飛散防止カップ５内に収容された「処理位置」とにわたって昇降可能に構成されている。
【００２６】
雰囲気遮断板７は、スピンチャック１１の上方に大きく離れた「上方位置」と、スピンチャック１１に保持された基板Ｗの上面に近接した「近接位置」とに昇降自在に構成されている。また、雰囲気遮断板７は、回転軸１３と同じ方向に回転可能に構成されている。さらに、雰囲気遮断板７は、下面の中央部にノズル１７が形成されている。
【００２７】
供給部９は、各種のガスや処理液をスピンベース３側に対して供給する。ガス供給管１９は、その一端側が雰囲気遮断板７のノズル１７に連通接続され、他端側が窒素ガス供給源に連通接続されている。ガス供給管１９は、窒素ガスの供給及び流量を調整するための制御弁２１を取り付けられている。オゾン水供給管２３は、一端側が供給ノズル２５の基端部に連通接続され、他端側がオゾン水供給源（図中ではＯ３供給源）に連通接続されている。オゾン水供給源は、オゾン（Ｏ３）と純水とを混合して、オゾン水供給管２３に供給する。オゾン水供給管２３は、オゾン水の供給及び流量を調整するための制御弁２７が取り付けられている。炭酸水供給管２９は、一端側が供給ノズル３１に連通接続され、他端側が炭酸水供給源（図中ではＣＯ２供給源）に連通接続されている。炭酸水供給源は、二酸化炭素（ＣＯ２）を純水に溶存させた炭酸水を炭酸水供給管２９に供給する。炭酸水供給管２９は、炭酸水の供給及び流量を調整するための制御弁３３を取り付けられている。フッ化水素酸供給管３５は、一端側が供給ノズル３７に連通接続され、他端側がフッ化水素酸供給源（図中ではＨＦ供給源）に連通接続されている。フッ化水素酸供給管３５は、フッ化水素酸の供給及び流量を調整するための制御弁３９を取り付けられている。ＩＰＡ（イソプロピルアルコール）供給管４１は、一端側が供給ノズル４３に連通接続され、他端側がＩＰＡ供給源に連通接続されている。ＩＰＡ供給管４１は、ＩＰＡの供給及び流量を調整するための制御弁４４を取り付けられている。
【００２８】
なお、チャンバー２は、上述したチャンバー１の供給部９と同様の構成を備えている。ここでは発明の理解を容易にするために、ＳＣ１供給系だけを備えているものとする。ＳＣ１供給管４５は、一端側が供給ノズル４７に連通接続され、他端側がＳＣ１供給源に連通接続されている。ＳＣ１供給源は、水酸化アンモニウムと過酸化水素水から成る洗浄液をＳＣ１液として供給する。ＳＣ１供給管４５は、ＳＣ１液の供給及び流量を調整するための制御弁４９を取り付けられている。
【００２９】
なお、上述したチャンバー１，２が本発明における「処理部」に相当する。
【００３０】
上述した各供給ノズル２５，３１，３７，４３，４７は、スピンベース３の回転中心の上方にあたる「供給位置」と、供給位置から側方に離れた「待機位置」とにわたって進退可能に構成されている。
【００３１】
チャンバー１，２と、図示しない処理部や載置台との間で基板Ｗを搬送するために搬送アーム５１が設けられている。この搬送アーム５１は、基板Ｗの下面に当接して、基板Ｗを水平姿勢で搬送する。この搬送アーム５１は、飛散防止カップ５から側方に離れた「待機位置」と、飛散防止カップ５の開口上方にあたる「受け渡し位置」とにわたって進退可能に構成されている。
【００３２】
上述した各部は、制御部５３により統括的に制御される。制御部５３は、ＣＰＵやメモリによって構成されている。制御部５３には、記憶部５５が接続されている。記憶部５５は、レシピと再開動作テーブルとを予め記憶している。レシピは、基板Ｗを処理するための処理手順である複数のステップを含むものである。再開動作テーブルは、詳細を後述するが、アラームと、アラームが発生した際のレシピのステップとをマトリクス状に構成し、アラーム及びステップごとに再開動作を規定したものである。この例における再開動作としては、例えば、基板Ｗに対する処理をそのまま継続させる「継続動作」と、基板Ｗの処理を中断させて搬出させる「搬出動作」とが挙げられる。
【００３３】
なお、上述した制御部５３が本発明における「制御手段」に想到し、記憶部５５が本発明における「記憶手段」に相当する。
【００３４】
アラーム検知部５７は、各部で発生した異常などに関するアラームを検出し、それを制御部５３に報告する。
【００３５】
また、上述した制御部５３は、警報などのアラームが発生したことをアラーム検知部５７から受信した後、各部の動作を中断させる。次に、アラームと、アラームが発生した時のステップと、再開動作テーブルとに基づいて再開動作を決定し、オペレータの指示を待ってその再開動作で基板Ｗの処理を再開させる。
【００３６】
上述した制御部５３には、表示部５９と指示部６１とが接続されている。表示部５９は、制御部５３がレシピに基づき各部を制御する際に、各ステップのうち実行しているステップを表示したり、総ステップ数のうちの何ステップ目を実行中であるかを表示したりして、処理の進捗状況を表示する。また、表示部５９は、アラーム検知部５７によって検知されたアラームを全て表示したり、オペレータが指示部６１により指示したアラームに対応する再開動作を表示したりする。この実施例における指示部６１は、例えば、表示部５９の表示面に一体的に構成されたタッチパネルで構成されている。また、指示部６１は、アラーム発生により中断された処理の再開指示を行うためにオペレータによって操作される。
【００３７】
なお、上述した表示部５９が本発明における「表示手段」に想到し、指示部６１が本発明における「指示手段」に相当する。
【００３８】
ここで、図２を参照する。なお、図２は、レシピ及び再開動作テーブルを示す模式図である。なお、このレシピ及び再開動作テーブルは、チャンバー１における基板Ｗの処理に関するものである。
【００３９】
この例におけるレシピは、ステップ総数が２５であり、ステップごとに時間１、時間２、回転数１、回転数２、薬液１、薬液２が規定されている。時間１は、回転数１に達するまでの加減速時間であり、時間２は、回転数１を保持する時間である。また、回転数１は、スピンベース３の回転数であり、回転数２は、雰囲気遮断板７の回転数である。薬液１，２は、基板Ｗに対して供給される処理液を表している。
【００４０】
レシピについて簡単に説明する。このレシピは、基板Ｗに対して洗浄処理を行うものである。まず、ステップ１，２において、基板Ｗを回転させつつ供給ノズル２５からオゾン水を供給させ、基板Ｗの表面を酸化させて薄い酸化膜を形成させる。ステップ３〜５において、基板Ｗを回転させつつ供給ノズル３１から炭酸水を供給させる。ステップ６，７において、基板Ｗを回転させつつ供給ノズル３７からフッ化水素酸を供給させ、薄く形成された酸化膜を除去させる。ステップ８〜１５において、静電気の発生によりデバイスに悪影響が及ぶことを抑制するために供給ノズル３１から炭酸水を供給させつつ、基板Ｗの回転数を徐々に低下させ、１０ｒｐｍとなった後に炭酸水の供給を停止させる。ステップ１６〜２０において、供給ノズル４３からＩＰＡを供給させつつ、基板Ｗの回転数を徐々に上げ、５００ｒｐｍとなった後にＩＰＡの供給を停止させ、炭酸水をＩＰＡで置換させる。また、ステップ２１において、雰囲気遮断板７を近接位置に下降させる。ステップ２２〜２５において、雰囲気遮断板７から窒素ガスを供給させつつ、基板Ｗの回転数を一時的に上げた後、ステップ２４において基板Ｗの回転を停止させ、ステップ２５において窒素ガスの供給を停止させ、基板Ｗの表面を乾燥させる。
【００４１】
この例における再開動作テーブルは、アラームとしてスピンベース速度異常、ＨＦ温度上昇異常、ＩＰＡ温度計異常、ＳＣ１供給不可を含む。スピンベース速度異常は、例えば、レシピで規定された回転モータ１５の回転数１を維持できない場合や、加減速時間どおりに回転モータ１５を制御できない状態が発生した場合である。ＨＦ温度上昇異常は、例えば、フッ化水素酸を温調するための温調ユニット（不図示）における温調範囲を超える温度となった場合である。ＩＰＡ温度計異常は、例えば、ＩＰＡを温調する温調ユニット（不図示）における温度計に異常が発生した場合である。ＳＣ１供給不可は、例えば、ＳＣ１供給管４５にＳＣ１液を圧送するポンプ（不図示）に故障が生じた場合である。
【００４２】
再開動作テーブルは、図２の右側に示すように、レシピのステップごとに、各アラームがマトリクス状に構成されている。図中における「○」と「×」が再開動作を表している。ここで「○」は、基板Ｗに対する処理をそのまま継続させる「継続動作」であり、アラームにより中断したステップの途中、または次のステップから処理を再開する。「×」は、基板Ｗに対する処理を中断させる「搬出動作」であり、アラームにより中断したステップ以降の全ステップを省略して搬出する。なお、ここでは、再開動作として継続動作と搬出動作の二つだけとしたが、再開動作としては、例えば、薬液処理のステップで中断した場合に、純水処理を行った後に搬出動作を行わせるような、洗浄後搬出動作などを加えてもよい。
【００４３】
ここで、図３〜図５を参照する。なお、図３は、処理の進捗状況例を表示した状態を示す模式図であり、図４は、アラーム発生時のアラーム表示例を示す模式図であり、図５は、アラーム発生時に再開動作例を表示した状態を示す模式図である。
【００４４】
レシピに基づいて処理を実行している際には、表示部５９は、進捗表示領域７１に、レシピの総ステップ数に対する実行したステップ数を表示する（図３）。また、表示部５９は、レシピ表示領域７３に、レシピの各ステップのうち、現在実行しているステップをハイライト表示（図３中のハッチング領域）で示す。
【００４５】
アラームが発生した際には、表示部５９は、アラーム表示領域７５に、アラーム検知部５７によって検知されたアラームを全て表示する（図４）。また、アラーム表示領域７５は、アラームが発生したチャンバー１，２などの基板処理装置が備える処理ユニットの名称や発生時刻なども同時に表示する。このとき、表示部５９は、詳細情報表示７７と、システム再開７９を表示する。これらはオペレータによって操作され、詳細情報表示７７に触れられた場合には、図５に示すような表示に切り替わる。すると、表示部５９は、アラーム詳細表示領域８１にアラームの内容を表示する。また、再開動作表示領域８３に進捗状況と再開動作を表示する。このように表示部５９に表示がされた状態にて、オペレータがシステム再開７９に触れると、中断されていた処理が再開動作により再開される。
【００４６】
次に、図６を参照して、上述した基板処理装置の動作について説明する。なお、図６は、基板処理装置の動作を示すフローチャートである。以下の説明においては、チャンバー１において基板Ｗを処理する場合を例にとって説明する。
【００４７】
ステップＳ１
制御部５３は、記憶部５５からレシピを読み出し、ステップ１からステップ２５まで順に実行するように、各部の操作を開始する。
【００４８】
ステップＳ２
制御部５３は、アラーム検知部５７からのアラーム発生を待つ。
【００４９】
ステップＳ３
ここでは、例えば、図３に示すように、チャンバー１のステップ３を実行中に図４に示すようなスピンベース速度異常のアラームが発生したとする。制御部５３は、回転モータ１５を停止させるとともに、供給ノズル３１からの炭酸水の供給を中断させる。
【００５０】
ステップＳ４
ここでは、例えば、図４に示すように、制御部５３が表示部５９の表示をアラーム表示に切り替えた状態で、オペレータの指示を待っているものとする。このとき、制御部５３は、記憶部５５の再開動作テーブルを参照し、中断したステップ３とアラームとの対応関係に基づいて再開動作を決定する。この場合には、ステップ３におけるスピンベース速度異常は、再開動作が「×」の搬出動作となっている。したがって、制御部５３は、再開動作を搬出動作に決定する。
【００５１】
ステップＳ５
制御部５３は、再開動作を搬出動作として決定した後、図５または図６における表示が表示部５９にされている状態で、オペレータによりシステム再開７９が操作されるまで待機する。
【００５２】
ステップＳ６
制御部５３は、オペレータによりシステム再開７９が操作されると、再開動作テーブルに基づき決定した再開動作である搬出動作を行わせる。具体的には、スピンベース３を処理位置から待機位置に上昇させ、搬送アーム５１によりスピンチャック１１に載置されている基板Ｗを搬出させる。
【００５３】
なお、レシピのステップ１から２５までの間に、スピンベース速度異常というアラームが発生した場合には、このレシピが回転動作を伴う処理であるので、再開動作が全て「×」の搬出動作とされている。したがって、この場合にシステム再開７９が操作されると、制御部５３は、基板Ｗを搬出させる。
【００５４】
また、レシピのステップ１から７までの間に、ＨＦ温度上昇異常というアラームである場合には、フッ化水素酸を供給するまでのステップまたは供給中のステップであるので、再開動作が「×」の搬出動作とされている。したがって、制御部５３が処理中の基板Ｗを搬出させる。一方、レシピのステップ８から２５までの間に、ＨＦ温度上昇異常というアラームである場合には、既にフッ化水素酸の供給を終えた後であるので、再開動作が「○」の継続動作とされている。したがって、制御部５３は、中断したステップまたは次のステップから処理を開始する。
【００５５】
また、レシピのステップ１から２０までの間に、ＩＰＡ温度計異常というアラームである場合には、ＩＰＡを供給するまでのステップまたは供給中のステップであるので、再開動作が「×」の搬出動作とされている。したがって、制御部５３は処理中の基板Ｗを搬出させる。一方、レシピのステップ２１から２５までの間に、ＩＰＡ温度計異常というアラームである場合には、既にＩＰＡを供給した後であるので、再開動作が「○」の継続動作とされている。したがって、制御部５３は、中断したステップまたは次のステップから処理を開始する。
【００５６】
また、レシピのステップ１から２５までの間に、ＳＣ１供給不可というアラームが発生した場合には、チャンバー１ではＳＣ１液を使用しないので再開動作が「○」の継続動作とされている。したがって、この場合にシステム再開７９が操作されると、制御部５３は、中断したステップまたは次のステップから処理を開始する。
【００５７】
上述した実施例によると、制御部５３は、レシピに基づきチャンバー１により基板Ｗを処理している際にアラームが発生した場合には、アラームと、アラームが発生した時のステップと、再開動作テーブルとに基づいてその基板Ｗの処理を再開させる。アラーム及びステップごとに再開動作が予め決められているので、処理が停止した後の再開動作時におけるオペレータの負担を軽減することができる。
【００５８】
また、再開動作テーブルは、少なくともアラームごとに継続動作と搬出動作とを再開動作として規定しておくことにより、適切に基板の処理を再開させることができる。
【００５９】
さらに、アラーム発生後に制御部５３が処理を中断させるので、オペレータが状況を確認した後にシステム再開７９で再開を指示することができる。したがって、中断の状況に応じた対処が可能となる。
【００６０】
また、表示部５９には、処理の進捗状況が表示されるので、アラーム発生時の状況をオペレータが確認することができる。さらに、表示部５９には、アラーム発生時にアラームの内容、処理の進捗状況、アラームに対応した再開動作が表示されるので、それらを見てオペレータが処置を判断することができる。
【００６１】
本発明は、上記実施形態に限られることはなく、下記のように変形実施することができる。
【００６２】
（１）上述した実施例では、処理部であるチャンバー１，２が枚葉式の処理を行うものとして説明したが、本発明における処理部は枚葉式に限定されるものではない。例えば、複数枚の基板Ｗを一括して処理するバッチ式の処理部であっても本発明を適用することができる。
【００６３】
（２）上述した実施例では、図２に示す再開動作テーブルを例に挙げたが、本発明はこのような再開動作テーブルに限定されるものではない。
【００６４】
（３）上述した実施例では、アラームの発生により処理が中断された際には、指示手段である指示部６１の指示を待って再開動作を実行した。しかしながら、アラームの発生後に所定時間（例えば３０秒間）のアラームを報知した後、対応する再開動作を自動的に行うようにしてもよい。
【００６５】
（４）上述した実施例では、表示手段である表示部５９と指示部６１とが一体化されている構成であるが、本発明はこのような構成に限定されるものではない。つまり、表示部５９と指示部６１とを別体の構成としてもよい。
【符号の説明】
【００６６】
Ｗ  …  基板
１，２  …  チャンバー
３  …  スピンベース
９  …  供給部
１９  …  ガス供給管
２５，３１，３７，４３  …  供給ノズル
２９  …  炭酸水供給管
３５  …  フッ化水素酸供給管
５１  …  搬送アーム
５３  …  制御部
５５  …  記憶部
５７  …  アラーム検知部
５９  …  表示部
６１  …  指示部
【図１】
2014120645.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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