(57)【要約】【課題】ポンプ吸気口および／または排気口へのアクセスの自由度が向上し、またケーシングにパージ用の不活性ガスの供給口を別途設ける必要がない真空ポンプを提供する。【解決手段】対向して配置された一対のロータ２，２と、吸排気口を有し一対のロータ２，２の軸間距離を規定する第一の軸受３を有するケーシング１と、ロータ２，２を回転駆動するモータ部１０を備えた真空ポンプであって、ケーシング１の第一の軸受３の配置側に形成された吸気口もしくは排気口は複数箇所設けられている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
対向して配置された一対のロータと、吸排気口を有し前記一対のロータの軸間距離を規定する第一の軸受を有するケーシングと、前記ロータを回転駆動するモータ部を備えた真空ポンプであって、
前記ケーシングの第一の軸受の配置側に形成された吸気口もしくは排気口は複数箇所設けられていることを特徴とする真空ポンプ。
【請求項２】
前記複数箇所設けられた吸気口もしくは排気口は、前記ケーシングの第一の軸受の配置側の側面及び端面にあることを特徴とする請求項１に記載の真空ポンプ。
【請求項３】
対向して配置された一対のロータと、吸排気口を有し前記一対のロータの軸間距離を規定する第一の軸受を有するケーシングと、前記ロータを回転駆動するモータ部を備えた真空ポンプであって、
前記ケーシングの第一の軸受の配置側に複数個の排気口用ポートを形成し、そのうちの一つをガスのパージ用に使用し、残りを排気口として使用することを特徴とする真空ポンプ。
【請求項４】
対向して配置された一対のロータと、吸排気口を有し前記一対のロータの軸間距離を規定する第一の軸受を有するケーシングと、前記ロータを回転駆動するモータ部を備えた真空ポンプであって、
前記ケーシングの第一の軸受の配置側に複数個の吸気口用ポートを形成し、そのうちの一つには逆止弁を設け、残りを吸気口として使用することを特徴とする真空ポンプ。
【請求項５】
前記モータ部は、前記一対のロータをタイミングギヤを用いず互いに同期させて逆方向に回転させるマグネットカップリング型ＤＣブラシレスモータであることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の真空ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、気体を中真空から大気圧まで圧縮する取付姿勢の自由な真空ポンプに係り、特に軽量で簡易な構造の真空ポンプに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
スパッタリング装置、ヘリウムリークディテクター、ＳＥＭ等の分析装置等の用途に、気体を中真空から大気圧まで圧縮できる排気能力を持つ真空ポンプが用いられている。また、ターボ分子ポンプ等の高真空ポンプの粗引き用の真空ポンプとして、さらに、真空乾燥・真空張り合わせ装置等のように水蒸気等のガスを吸引する真空ポンプとしても、上記排気能力を持つ真空ポンプが用いられている。
【０００３】
小容量で小型軽量の真空ポンプとしては、油回転ポンプが主流である。しかしながら、真空チャンバーへの油蒸気の逆拡散（真空チャンバーやワークの油汚染）、排気ラインの油汚染（火災の危険）、環境汚染、油飛散による油の減少、水分混入等による油の劣化、定期的に必要な油補充・油交換等の種々の問題がある。特に、真空ポンプ用のフッ素系の油は高価であり、交換作業も面倒である。
【０００４】
そのため、近年、油回転ポンプに代替する真空ポンプとして、スクロール型ドライ真空ポンプが登場してきた。スクロール型ドライ真空ポンプは、オイルフリーであり、スクロールの揺動運動により真空から大気圧まで連続的に圧縮するので、真空運転時の動力が小さく、比較的真空到達性能がよい等の特徴を有する。しかしながら、スクロールの端部にチップシール（接触シール）を使用するので、チップシールが摩耗してパーティクルが発生し、真空チャンバー内部を汚染するという問題がある。また、チップシールが摩耗するので、経年的に真空性能が低下し、１年程度の連続運転でチップシールを交換しなくてはならない。さらに、チップシールの交換作業の際は真空ポンプを分解しなくてはならず、交換費用が高価になる。また、同容量の油回転ポンプと比較して、大型でコストが高い等の問題がある。
【０００５】
上記問題に対応可能な真空ポンプとして、特許文献１等に記載された真空ポンプがある。特許文献１の真空ポンプは、タイミングギヤを用いず互いに同期させて逆方向に回転させるマグネットカップリング型ＤＣブラシレスモータを採用している。そのため２軸のロータを同期させるタイミングギヤがなく、ポンプ構成は駆動・同期用のモータと、排気用のスクリューネジ部のみのシンプルな構成になっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１０−１２７１１９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献１に開示されている真空ポンプでは、ポンプ吸気口と排気口がケーシングの側面にそれぞれ一箇所設けられている。真空ポンプの吸気口および排気口は、それぞれの配管を介して他の機器（真空チャンバー、他の真気ポンプ、排ガス処理装置等）に接続される。この時、特許文献１に開示されているように、ポンプ吸気口と排気口がケーシングの側面にそれぞれ一箇所設けられている構成では、ユーザーにとって、アクセスの自由度が少なく、接続用の配管の取り回しが複雑になったり、排気系システムのレイアウトが限られてしまうという問題がある。
また、半導体デバイスや液晶パネル等を製造するための真空チャンバーでは反応性ガスや凝縮性ガスを用いて各種処理を行っているが、これら反応性ガスや凝縮性ガスを排気する真空ポンプにおいては真空ポンプ内部に反応性ガスや凝縮性ガスが付着することを防止するために、分圧を下げることを目的として不活性ガスによるパージが行う必要がある。そのため、真空ポンプのケーシングには、不活性ガスパージ用の供給口を別途設ける必要がある。
【０００８】
本発明は、上述の事情に鑑みなされたもので、ポンプ吸気口および／または排気口へのアクセスの自由度が向上し、またケーシングにパージ用の不活性ガスの供給口を別途設ける必要がない真空ポンプを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上述の目的を達成するため、本発明の第一の態様は、対向して配置された一対のロータと、吸排気口を有し前記一対のロータの軸間距離を規定する第一の軸受を有するケーシングと、前記ロータを回転駆動するモータ部を備えた真空ポンプであって、前記ケーシングの第一の軸受の配置側に形成された吸気口もしくは排気口は複数箇所設けられていることを特徴とする。
本発明によれば、真空ポンプの吸気口もしくは排気口が複数個あるため、ユーザーにとって、ポンプ吸気口もしくは排気口へのアクセスの自由度が向上する。また、排気口が複数となる場合には、一つを通常の排気口として使用し、もう一方をガスパージ用に使用できる。ガスパージの目的は、大気圧側（圧縮側）のガスの希釈（凝縮性ガスの分圧低下）、軸受への反応性ガス、水分を多く含んだガスの侵入の抑制などである。
【００１０】
本発明の好ましい態様によれば、前記複数箇所設けられた吸気口もしくは排気口は、前記ケーシングの第一の軸受の配置側の側面及び端面にあることを特徴とする。
本発明の真空ポンプは、タイミングギヤを用いず互いに同期させて逆方向に回転させるマグネットカップリング型ＤＣブラシレスモータを採用する場合には、２軸のロータを同期させるタイミングギヤがなく、ポンプ構成は駆動・同期用のモータと、排気用のスクリューネジ部のみのシンプルな構成となる。従来のようなタイミングギヤがあると、その端面側には吸気口もしくは排気口を設けることはできないが、本発明の真空ポンプは、モータを配置した側と反対側の部分、すなわち、ケーシングの第一軸受の配置側の側面および端面は、構成がシンプルで、吸気口もしくは排気口を複数個設けることができる。
【００１１】
本発明の第二の態様は、対向して配置された一対のロータと、吸排気口を有し前記一対のロータの軸間距離を規定する第一の軸受を有するケーシングと、前記ロータを回転駆動するモータ部を備えた真空ポンプであって、前記ケーシングの第一の軸受の配置側に複数個の排気口用ポートを形成し、そのうちの一つをガスのパージ用に使用し、残りを排気口として使用することを特徴とする。
本発明によれば、ケーシングの第一の軸受の配置側にある二つのポートのうち、一方のポートをガスパージ用のポートとし、他方のポートを通常の排気口とすることができる。一方のポートから不活性ガスを排気部（大気圧側）に供給することにより腐食性，凝縮性ガスの希釈・排出促進を図ることができる。この構成により、不活性ガスパージ用のポート（供給口）を別途設ける必要がない。
【００１２】
本発明の第三の態様は、対向して配置された一対のロータと、吸排気口を有し前記一対のロータの軸間距離を規定する第一の軸受を有するケーシングと、前記ロータを回転駆動するモータ部を備えた真空ポンプであって、前記ケーシングの第一の軸受の配置側に複数個の吸気口用ポートを形成し、そのうちの一つには逆止弁を設け、残りを吸気口として使用することを特徴とする。
本発明によれば、大容量のチャンバ（大気圧）を排気する場合などに、ブースターポンプと後段の真空ポンプとの間に逆止弁を設けるが、この逆止弁を後段の真空ポンプの吸気口用ポートに設けることができるため、２台のポンプを接続する真空配管に逆止弁用のポートを形成する必要がなく、真空配管の構成が簡単かつ小型になる。設計によっては、真空配管を無くすこともできる。
【００１３】
本発明の好ましい態様によれば、前記モータ部は、前記一対のロータをタイミングギヤを用いず互いに同期させて逆方向に回転させるマグネットカップリング型ＤＣブラシレスモータであることを特徴とする。
本発明によれば、一対のポンプロータを同期させて逆方向に回転させるためのタイミングギヤ及び該タイミングギヤを潤滑するための潤滑油や潤滑系を省略できるから、ドライ真空ポンプ全体を更に軽量化することが可能となる。また、真空ポンプとして回転運転を行っている最中に発生する駆動力ロスをポンプロータの回転軸を支えるベアリングの回転摩擦ロスに限定し、モータ部の消費電力ロスを最小限にすることが可能となる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明は、以下に列挙する効果を奏する。
（１）真空ポンプの吸気口もしくは排気口が複数個あるため、ユーザーにとって、ポンプ吸気口もしくは排気口へのアクセスの自由度が向上する。また、排気口が複数となる場合には、一つを通常の排気口として使用し、もう一方をガスパージ用に使用できる。ガスパージの目的は、大気圧側（圧縮側）のガスの希釈（凝縮性ガスの分圧低下）、軸受への反応性ガス、水分を多く含んだガスの侵入の抑制などである。
（２）モータを配置した側と反対側部分のポートが吸気口となり、それが複数個となる場合、複数個のポートをすべて吸気口として使用すれば、ガスの流路面積は複数個になった分だけ大きくなり、コンダクタンスは大きくなり、ポンプ吸気口部での配管コンダクタンスによる性能ロスは小さくなる。
（３）大容量のチャンバ（大気圧）を排気する場合などに、ブースターポンプと後段の真空ポンプとの間に逆止弁を設けるが、この逆止弁を後段の真空ポンプの吸気口用ポートに設けることができるため、２台のポンプを接続する真空配管に逆止弁用のポートを形成する必要がなく、真空配管の構成が簡単かつ小型になる。設計によっては、真空配管を無くすこともできる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】図１（ａ），（ｂ）は、本発明に係る真空ポンプの基本的構成を示す模式的断面図である。
【図２】図２は、本発明に係る真空ポンプの第１の実施形態を示す縦断面図である。
【図３】図３は、本発明に係る真空ポンプの第２の実施形態を示す縦断面図である。
【図４】図４は、ポンプケーシングの第一の軸受の配置側にある二つのポートのうち、一方のポートを通常の排気口とし、他方のポートをガスパージ用のポートとした実施形態を示す要部断面図である。
【図５】図５（ａ），（ｂ）は、吸気口が一個しかない従来の真空ポンプを用いた排気系システム（図５（ａ））と吸気口が複数ある本発明の真空ポンプを用いた排気系システム（図５（ｂ））とを比較して示す模式的断面図である。
【図６】図６（ａ），（ｂ），（ｃ），（ｄ）は、本発明の真空ポンプを示す図であり、図６（ａ）は真空ポンプの模式的縦断面図、図６（ｂ）は図６（ａ）の模式的側面図、図６（ｃ）は真空ポンプの模式的横断面図、図６（ｄ）は図６（ｃ）の模式的側面図である。
【図７】図７（ａ），（ｂ），（ｃ），（ｄ）は、本発明の真空ポンプを示す図であり、図７（ａ）は真空ポンプの模式的縦断面図、図７（ｂ）は図７（ａ）の模式的側面図、図７（ｃ）は真空ポンプの模式的横断面図、図７（ｄ）は図７（ｃ）の模式的側面図である。
【図８】図８（ａ），（ｂ）は、２台の真空ポンプを直列接続する場合の例を示す模式図である。
【図９】図９（ａ），（ｂ）は、２台の真空ポンプを直列接続する場合の別の例を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明に係る真空ポンプの実施形態を図１乃至図９を参照して説明する。図１乃至図９において、同一または相当する構成要素には、同一の符号を付して重複した説明を省略する。
図１（ａ），（ｂ）は、本発明に係る真空ポンプの基本的構成を示す模式的断面図である。図１（ａ），（ｂ）に示すように、ポンプケーシング１と、ポンプケーシング１内に対向して配置された一対のロータ２（図示例では一方のロータのみ示す）と、一対のロータ２を回転駆動するモータ部１０とを備えている。前記一対のロータは、ポンプケーシング１に固定された一対の第一の軸受３（図示例では一方の軸受のみ示す）と、ポンプケーシング１の開口端に設けられた軸受プレート４に支持された一対の第二の軸受５とにより回転自在に支承されている。一対のロータ２の軸間距離は、第一の軸受３の位置と第二の軸受５の位置を規定することにより所定の寸法に設定されている。
【００１７】
図１（ａ）に示す例においては、ポンプケーシング１の側面には、側面側吸気口ＳＰ１が設けられ、ポンプケーシング１の端面には、端面側吸気口ＳＰ２が設けられている。すなわち、真空ポンプには、二つの吸気口ＳＰ１，ＳＰ２が設けられている。また、ポンプケーシング１の側面には、一つの排気口ＤＰが設けられている。
図１（ｂ）に示す例においては、ポンプケーシング１の側面には、一つの吸気口ＳＰが設けられている。また、ポンプケーシング１の側面には、側面側排気口ＤＰ１が設けられ、ポンプケーシング１の端面には、端面側排気口ＤＰ２が設けられている。すなわち、真空ポンプには、二つの排気口ＤＰ１，ＤＰ２が設けられている。
図１（ａ），（ｂ）に示すように、本発明の真空ポンプは、ポンプケーシング１の第一の軸受３の配置側に形成された吸気口ＳＰもしくは排気口ＤＰが複数箇所設けられている。
【００１８】
次に、図１（ａ），（ｂ）に示す本発明の真空ポンプをより具体化した真空ポンプの実施形態を説明する。
図２は、本発明に係る真空ポンプの第１の実施形態を示す縦断面図である。図２に示すように、真空ポンプは、ポンプケーシング１と、ポンプケーシング１内に対向して配置された一対のロータ２，２と、一対のロータ２，２を回転駆動するモータ部１０とを備えている。前記一対のロータ２，２は、ポンプケーシング１に固定された一対の第一の軸受３，３と、ポンプケーシング１の開口端に設けられた軸受プレート４に支持された一対の第二の軸受５，５とにより回転自在に支承されている。一対のロータ２，２の軸間距離Ｌは、第一の軸受３，３の位置と第二の軸受５，５の位置を規定することにより所定の寸法に設定されている。第一の軸受３，３の位置は、ポンプケーシング１に形成された円形孔からなる軸受支持部１ａ，１ａにより規定され、第二の軸受５，５の位置は、軸受プレート４に形成された円形孔からなる軸受支持部４ａ，４ａにより規定される。第二の軸受５，５は軸受プレート４に固定された軸受押さえ６により押さえられている。
【００１９】
図２に示すように、一対のロータ２，２は、軸部２Ａ，２Ａとスクリューネジ部２Ｓ，２Ｓとを一体化したスクリューロータから構成されている。すなわち、各ロータ２は、軸部２Ａとスクリューネジ部２Ｓとを嵌合して一体化している。以下の説明においては、ロータ２をスクリューロータ２とも適宜称する。スクリューロータ２，２とポンプケーシング１の内面との間には流体流路１ｆｐが形成されている。ポンプケーシング１の第一軸受３，３の配置側には、第一の吸気口もしくは排気口を構成する第一のポートＰ１と、第二の吸気口もしくは排気口を構成する第二のポートＰ２とが設けられている。第一のポートＰ１は、ポンプケーシング１の側面に設けられ、第二のポートＰ２は、ポンプケーシング１の端面に設けられている。第二のポートＰ２は第一の軸受の外周側に設置されている。また、ポンプケーシング１のモータ部１０の配置側には、吸気口もしくは排気口を構成するポートＰが設けられている。すなわち、ポートＰを吸気口とした場合には、第一のポートＰ１および第二のポートＰ２は、それぞれ第一の排気口および第二の排気口になる。また、ポートＰを排気口とした場合には、第一のポートＰ１および第二のポートＰ２は、それぞれ第一の吸気口および第二の吸気口になる。スクリューロータ２，２は、僅かなクリアランスを保って非接触で相互に反転し、吸気口から吸込まれた気体を排気口に移送するようになっている。
【００２０】
モータ部１０はマグネットカップリング型ＤＣブラシレスモータから構成されている。一対のロータ２，２の軸部２Ａ，２Ａの軸端には、それぞれ同一の構成を有する一対のマグネットロータ１１，１１が配置されており、ＤＣブラシレスモータとしてスクリューロータ２，２を反転駆動すると共に、マグネットカップリングによりスクリューロータ２，２を互いに同期させて逆方向に回転させるようになっている。各マグネットロータ１１は、磁性材のヨークの外周にリング形状のマグネットを周設している。本実施形態では、マグネットロータ１１の外周上には着磁したマグネットが周設され、互いのマグネットロータ１１，１１の異磁極が引き合うように対向し、且つクリアランスを保って配置されている。なお、マグネットロータ１１の極数は４，６，８・・・などの偶数である。
【００２１】
各マグネットロータ１１の外周面の一部に近接して、鉄心１２ａと巻線１２ｂからなる三相（Ｕ，Ｖ，Ｗ）のモータステータ１２が配置されている。対をなす三相のモータステータ１２，１２は一対のマグネットロータ１１，１１同士がマグネットカップリングする側とは回転軸に関して反対側に配置されている。これにより、マグネットロータ１１，１１が互いに吸引するマグネットカップリング力をマグネットロータ１１とモータステータ鉄心１２ａに作用する吸引力でキャンセルすることができる。また、三相のモータステータ磁極は、マグネットロータ１１の磁極数に対応し、マグネットロータ１１の各極に磁界をかけるようにしている。三相の巻線１２ｂに所要の直流電流を供給することで、任意の回転数で一対のロータ２，２を同期反転駆動することができる。
【００２２】
図３は、本発明に係る真空ポンプの第２の実施形態を示す縦断面図である。本実施形態においては、ポンプケーシング１の第一の軸受３，３の配置側にある第二の吸気口もしくは排気口を構成する第二のポートＰ２は、一対の第一の軸受３，３の間に形成されている。その他の構成は図２に示す真空ポンプと同様である。
【００２３】
本発明の真空ポンプは、タイミングギヤを用いず互いに同期させて逆方向に回転させるマグネットカップリング型ＤＣブラシレスモータを採用している。そのため２軸のロータを同期させるタイミングギヤがなく、ポンプ構成は駆動・同期用のモータと、排気用のスクリューネジ部のみのシンプルな構成である。特にモータを配置した側と反対側は、スクリューネジの端部と、軸を支持する軸受のみが配置されている。このスクリューネジの端部には、ポンプの吸気口もしくは排気口を配置することができ、どちらにするかは任意である。ロータの回転方向で選択できるからである。このモータを配置した側と反対側部分は、上述のとおり構成がシンプルで、吸気口もしくは排気口を複数個設けることができる。例えば、従来のようなタイミングギヤがあると、その端面側には吸気口もしくは排気口を設けることはできない。タイミングギヤ部には齧り防止のため油が供給されているためである。真空ポンプの吸気口もしくは排気口が複数個あることのメリットは、ユーザーにとって、ポンプ吸気口もしくは排気口へのアクセスの自由度が上がることである。また、その他の効果としては、排気口が複数となる場合には、一つを通常の排気口として使用し、もう一方をガスパージ用に使用できることである。ガスパージの目的は、大気圧側（圧縮側）のガスの希釈（凝縮性ガスの分圧低下）、軸受への反応性ガス、水分を多く含んだガスの侵入の抑制などである。
【００２４】
図４は、ポンプケーシング１の第一の軸受３，３の配置側にある二つのポートのうち、一方のポートを通常の排気口とし、他方のポートをガスパージ用のポートとした実施形態を示す要部断面図である。図４に示すように、ポンプケーシング１の第一の軸受３，３の配置側にある二つのポートのうち、第一のポートＰ１を通常の排気口とし、第二のポートＰ２をガスパージ用のポートとしている。第二のポートＰ２から不活性ガスを排気部（大気圧側）に供給することにより腐食性，凝縮性ガスの希釈・排出促進を図ることができる。図４に示す構成により、不活性ガスパージ用のポート（供給口）を別途設ける必要がない。なお、パージ用の不活性ガスには、Ｎ２を用いてもよいし、Ｎ２以外でも凝縮性ガス等と反応しないガスであればよく、例えば、Ｈｅ，Ａｒ，Ｋｒ等の希ガスやＣＯ２などでもかまわない。
【００２５】
モータを配置した側と反対側部分のポートが吸気口となり、それが複数個となる場合、すなわち、図２および図３に示す例において第一のポートＰ１と第二のポートＰ２を吸気口とする場合には、以下のメリットがある。吸気口の場合、雰囲気は真空となっており大気圧側に比べコンダクタンスが小さくなっている。複数個のポートをすべて吸気口として使用すれば、ガスの流路面積は複数個になった分だけ大きくなり、コンダクタンスは大きくなり、ポンプ吸気口部での配管コンダクタンスによる性能ロスは小さくなる。
【００２６】
また、複数のポートを吸気口とする場合、例えば、図２および図３に示す例において第一のポートＰ１と第二のポートＰ２を吸気口とする場合、一つのポートに逆止弁を設けることができる。
図５（ａ），（ｂ）は、吸気口が一個しかない従来の真空ポンプを用いた排気系システム（図５（ａ））と吸気口が複数ある本発明の真空ポンプを用いた排気系システム（図５（ｂ））とを比較して示す模式的断面図である。
図５（ａ）においては、従来の真空ポンプＶＡＣは、２軸のロータを同期させるタイミングギヤを必要とするモータを用いた真空ポンプを図示している。図５（ｂ）においては、本発明の真空ポンプＶＡＣは、図２に示す真空ポンプを簡略化して示している。
【００２７】
図５（ａ），（ｂ）に示すように、上流側にブースターポンプＢＰを設け、大容量のチャンバ（大気圧）を排気する場合など、1段目のブースターポンプＢＰの方が、後段の真空ポンプＶＡＣに比べ排気速度が大きいため、一気に大流量のガスが後段の真空ポンプＶＡＣへ圧縮・排気されて来る。後段の真空ポンプＶＡＣの吸気口圧力は一瞬圧力が上昇し、1段目のブースターポンプＢＰは高圧力状態での運転となり、非常に大きな運転動力を必要とする。上述の状態を回避する方法として、両ポンプの接続間に逆止弁Ｖ１を設け、過圧縮状態（大気圧以上）になった場合に、強制的にガスを抜く手法が取られている。そのため、図５（ａ）に示す従来の排気系システムにおいては、ブースターポンプＢＰと真空ポンプＶＡＣとを接続する真空配管２０の部分には逆止弁Ｖ１を設けるための接続ポート２０Ｐが必要となる。
【００２８】
これに対し、図５（ｂ）に示す本発明の真空ポンプＶＡＣは、一対のロータを、タイミングギヤを用いず互いに同期させて逆方向に回転させるマグネットカップリング型ＤＣブラシレスモータを採用しているので、タイミングギヤがある構成に比べ、ポンプの一方側（モータが配置されている方の逆側）の構成が非常にシンプルになっている。このシンプルな構成のポンプ端面にポートＰ２を設け、このポートＰ２に上述の目的の逆止弁Ｖ１を設けることにより、２台のポンプを接続する真空配管２０の構成も非常にシンプル・小型に設計可能となる。設計によっては、真空配管を無くし、２台のポンプの排気口と吸気口とを直接接続することもできる。
【００２９】
次に本発明の真空ポンプの更なる特徴について説明する。
図６（ａ），（ｂ），（ｃ），（ｄ）は、本発明の真空ポンプを示す図であり、図６（ａ）は真空ポンプの模式的縦断面図、図６（ｂ）は図６（ａ）の模式的側面図、図６（ｃ）は真空ポンプの模式的水平断面図、図６（ｄ）は図６（ｃ）の模式的側面図である。
図６（ａ）〜（ｄ）において、太い実線で示す面を基準面Ａとし、吸気口および排気口の位置について、図６（ａ）〜（ｄ）に示す状態を第一の状態（基本形）とする。
【００３０】
図７（ａ），（ｂ），（ｃ），（ｄ）は、本発明の真空ポンプを示す図であり、図７（ａ）は真空ポンプの模式的縦断面図、図７（ｂ）は図７（ａ）の模式的側面図、図７（ｃ）は真空ポンプの模式的水平断面図、図７（ｄ）は図７（ｃ）の模式的側面図である。
図７（ａ）〜（ｄ）において、太い実線で示す面は上記基準面Ａ（図６の基準面Ａと同一）であり、左右の２本のスクリューロータ（一対のロータ）２はそのままとし、モータ部１０及びケーシング１を１８０度反転させて組み立てることにより、左右のロータの回転方向が逆転するのでガスの排気方向（圧縮方向）が逆転する。これにより、ポンプの吸気口と排気口の位置を図６（ａ）〜（ｄ）の位置と逆にすることができる。この方法は、吸気口と排気口の位置を部品を変更することなく変えることができ、非常に簡単である。
【００３１】
上記特徴を用いることにより、例えば２台のポンプを直列接続する場合、効率的に接続することができ、更に、吸気・排気口を複数個設けておく特徴を加えることにより、コンパクトでアクセス性のよい排気ユニットを構成することができる。以下に、これらの構成例を示す。
図８（ａ），（ｂ）は、２台の真空ポンプを直列接続する場合の例を示す模式図である。直列接続する２台の真空ポンプの吸気口および排気口の位置関係（ガスの圧縮方向）が同一で、なにも工夫なく接続すると、図８（ａ）に示すようになる。すなわち、真空ポンプＶＡＣ１の排気口と真空ポンプＶＡＣ２の吸気口が軸方向の反対位置になり、２台のポンプＶＡＣ１，ＶＡＣ２の吸気口と排気口を接続する長い真空配管２０が必要となる。また、２台の直列接続されたポンプを、ポンプユニットと呼ぶこととすると、ポンプユニットの全体の吸気・排気口は上下面の２方向に配置されることとなる。
【００３２】
次に、図８（ｂ）に示すように、２台のポンプＶＡＣ１，ＶＡＣ２のうち上方にあるポンプＶＡＣ１におけるケーシング及びモータ部を１８０度反転させて組み立てる。左右のスクリューロータはそのままとする。そうすると、ガスの圧縮方向が図８（ａ）とは逆になり、吸気口・排気口の位置も変わる。こうすると、２台のポンプＶＡＣ１，ＶＡＣ２の接続が非常に簡易になり、接続用の真空配管２０を短くすることができる。ただし、ポンプユニットの全体の吸気口・排気口の位置は、上下面の２方向になる。
【００３３】
図９（ａ），（ｂ）は、２台の真空ポンプを直列接続する場合の別の例を示す模式図である。図９（ａ）に示す例においては、２台のポンプＶＡＣ１，ＶＡＣ２の吸気・排気口は側面側に形成されている。この側面側の吸気口・排気口は、両側面に形成しておいて一つを閉止しておかないと、上下のケーシングの共通化は図れない。この場合のメリットは、ポンプユニットの吸気口・排気口が側面側へそろい、接続用の真空配管２０が短くなり、１方向アクセスが可能となる点である。
図９（ｂ）に示す例においては、２台のポンプＶＡＣ１，ＶＡＣ２のケーシングの端面側に吸気・排気口を設ける。この場合、必要以上の吸気・排気口を形成しておかなくても、２台のポンプのケーシングの共通化は図られており、またポンプユニットの吸気・排気口へは１方向からのアクセスが可能となっている。これら２台のポンプのケーシング及びモータ部は部品の共通化を図ることができる。スクリューロータについては、当然共通化が図れるが、例えばスクリューロータの性能を変更するために別仕様にすることは特に問題ない。ロータの軸長、外径が同じであればケーシングは変更する必要はない。
【００３４】
これまで本発明の実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態に限定されず、その技術思想の範囲内において、種々の異なる形態で実施されてよいことは勿論である。
【符号の説明】
【００３５】
１  ポンプケーシング
１ａ  軸受支持部
１ｆｐ  流体流路
２  ロータ，スクリューロータ
２Ａ  軸部
２Ｓ  スクリューネジ部
３  第一の軸受
４  軸受プレート
４ａ  軸受支持部
５  第二の軸受
６  軸受押さえ
１０  モータ部
１１  マグネットロータ
１２  モータステータ
１２ａ  鉄心
１２ｂ  巻線
２０  真空配管
ＢＰ  ブースターポンプ
ＳＰ  吸気口
ＤＰ  排気口
ＳＰ１，ＳＰ２  吸気口
ＤＰ１，ＤＰ２  側面側排気口
Ｐ  ポート
Ｐ１  第一のポート
Ｐ２  第二のポート
ＶＡＣ，ＶＡＣ１，ＶＡＣ２  真空ポンプ
Ｖ１  逆止弁
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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