(57)【要約】【課題】接着剤供給硬化工程を１回にしながら圧電素子の搭載接合による位置決めを行わせることができ、且つ接着剤の流動を抑制可能とするヘッド・サスペンションの圧電素子接着方法等を提供する。【解決手段】キャリッジ側に取り付けられるベース部と、ベース部側に剛体部の基端側がばね部を介して支持され先端側のヘッド部に負荷荷重を与えるロード・ビームと、ヘッド部を支持しロード・ビームに取り付けられたフレキシャ７と、ヘッド部をベース部に対しスウェイ方向へ変位可能に支持する取付部１７と、電圧の印加状態に応じて変形してヘッド部をベース部に対しスウェイ方向へ変位させる圧電素子１５とを備えたヘッド・サスペンションの圧電素子接着方法であって、圧電素子１５は、取付部１７に接合テープ２７により接合した後に接着剤２９を充填して固定を行ったことを特徴とする。【選択図】図３
2014081975.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
旋回駆動用のキャリッジ側に取り付けられて軸回りに旋回駆動されるベース部と、
剛体部及びばね部を含み前記ベース部側に前記剛体部の基端側が前記ばね部を介して支持されると共に情報の書き込み，読み取りを行う先端側のヘッド部に負荷荷重を与えるロード・ビームと、
前記ヘッド部を支持して書き込み用及び読み取り用の配線に接続し前記ロード・ビームに取り付けられたフレキシャと、
前記ベース部及びヘッド部間に設けられ前記ヘッド部をベース部に対しスウェイ方向へ変位可能とする圧電素子の取付部と、
前記取付部に固定され電圧の印加状態に応じて変形して前記ヘッド部をベース部に対しスウェイ方向へ変位させる圧電素子とを備えたヘッド・サスペンションであって、
前記圧電素子は、前記取付部に接合テープによる接合及び接着剤による固定がなされた、
ことを特徴とするヘッド・スペンション。
【請求項２】
請求項１記載のヘッド・サスペンションであって、
前記接合テープは、前記圧電素子の周縁部に周回形状に形成された、
ことを特徴とするヘッド・スペンション。
【請求項３】
請求項１又は２記載のヘッド・サスペンションであって、
前記接合テープは、前記接着剤が固化した状態で粘弾性を有する、
ことを特徴とするヘッド・サスペンション。
【請求項４】
請求項１〜３の何れか１項記載のヘッド・サスペンションであって、
前記取付部には、前記ベース部及びヘッド部間方向の前後中間部に開口状の貫通部が形成され、
前記取付部は、厚み方向に沿った対向面と厚み方向に向いた搭載面とで形成される凹状の搭載支持部を前記貫通部の両側に有し、
前記圧電素子の電極面側の両縁部を、前記両側の搭載面に前記接合テープによりそれぞれ接合し、
前記圧電素子の縁部端面を、前記対向面に前記接着剤で固定した、
ことを特徴とするヘッド・サスペンション。
【請求項５】
請求項４記載のヘッド・サスペンションであって、
前記接合テープは、中央に端子接続のための穴部を有して前記圧電素子の電極面側に接合され、
前記フレキシャ側の端子を、前記貫通部を通して導電性接着剤により前記接合テープの穴部から前記圧電素子の電極面に接合させた、
ことを特徴とするヘッド・サスペンション。
【請求項６】
請求項４項記載のヘッド・サスペンションであって、
前記接合テープは、中央に端子接続のためのリング部を有して前記圧電素子の電極面側に接合され、
前記フレキシャ側の端子を、前記貫通部を通して導電性接着剤により前記接合テープのリング部から前記圧電素子の電極面側に接合させた、
ことを特徴とするヘッド・サスペンション。
【請求項７】
請求項４〜６の何れか１項記載のヘッド・サスペンションであって、
前記対抗面と前記搭載面とが別々の第１、第２プレートの接合により形成され、
前記接合テープの縁部を、前記圧電素子の縁部から突出させて前記第１、第２プレート間の合わせ目を塞ぐ、
ことを特徴とするヘッド・サスペンション。
【請求項８】
旋回駆動用のキャリッジ側に取り付けられて軸回りに回転駆動されるベース部と、
剛体部及びばね部を含み前記ベース部側に前記剛体部の基端側が前記ばね部を介して支持されると共に情報の書き込み，読み取りを行う先端側のヘッド部に負荷荷重を与えるロード・ビームと、
前記ヘッド部を支持し書き込み用及び読み取り用の配線に接続すると共に該ヘッド部を支持して前記ロード・ビームに取り付けられたフレキシャと、
前記ベース部及びヘッド部間に設けられ前記ヘッド部をベース部に対しスウェイ方向へ変位可能に支持する取付部と、
前記取付部に固定され電圧の印加状態に応じて変形して前記ヘッド部をベース部に対しスウェイ方向へ変位させる圧電素子とを備えたヘッド・サスペンションの圧電素子接着方法であって、
前記圧電素子は、前記取付部に接合テープにより接合した後に前記接着剤を充填して前記固定を行った、
ことを特徴とするヘッド・サスペンションの圧電素子接着方法。
【請求項９】
請求項８記載のヘッド・サスペンションの圧電素子接着方法であって、
前記取付部は、前記ベース部及びヘッド部間方向の前後中間部に開口状の貫通部が形成され、
前記取付部は、厚み方向に沿った対向面と厚み方向に向いた搭載面とで形成される凹状の搭載支持部を前記貫通部の両側に有し、
前記圧電素子の電極面側の両縁部を、前記両側の搭載面に前記接合テープによりそれぞれ固定し、
前記圧電素子の縁部端面を、前記対向面に前記接着剤で固定した、
ことを特徴とするヘッド・サスペンションの圧電素子接着方法。
【請求項１０】
請求項９記載のヘッド・サスペンションの圧電素子接着方法であって、
前記接合テープは、中央に端子接続のための穴部を有して前記圧電素子の電極面側に接合させ、
前記フレキシャ側の端子を、前記貫通部を通して導電性接着剤により前記穴部から前記圧電素子の電極面に接合させた、
ことを特徴とするヘッド・サスペンションの圧電素子接着方法。
【請求項１１】
請求項９記載のヘッド・サスペンションの圧電素子接着方法であって、
前記接合テープは、中央に端子接続のためのリング部を有して前記圧電素子の電極面側に接合させ、
前記フレキシャ側の端子を、前記貫通部を通して導電性接着剤により前記リング部から前記圧電素子の電極面側に接合させた、
ことを特徴とするヘッド・サスペンションの圧電素子接着方法。
【請求項１２】
請求項９〜１１の何れか１項記載のヘッド・サスペンションの圧電素子接着方法であって、
前記対抗面と前記搭載面とを別々の第１、第２プレートの接合により形成し、
前記接合テープの縁部を、前記圧電素子の縁部から突出させ、
前記接合テープが前記搭載面に接合されるとき前記第１、第２プレート間の合わせ目を前記接合テープの縁部で塞ぐ、
ことを特徴とするヘッド・サスペンションの圧電素子接着方法。
【請求項１３】
請求項７〜１２の何れか１項記載のヘッド・サスペンションの圧電素子接着方法であって、
前記圧電素子を、前記両側の搭載支持部に前記接合テープによりそれぞれ接合した後反転して前記フレキシャ側の端子の接合を行った、
ことを特徴とするヘッド・サスペンションの圧電素子接着方法。
【請求項１４】
請求項７〜１３の何れか１項記載のヘッド・サスペンションの圧電素子接着方法であって、
前記圧電素子の電極面側をテープ・シート上の接合テープに接合させて前記テープ・シートから前記圧電素子を前記接合テープと共に離脱させ、
前記接合テープを接合させた圧電素子により前記取付部への接合を行った、
ことを特徴とするヘッド・サスペンションの圧電素子接着方法。
【請求項１５】
基部及び可動部間に設けられ前記可動部を基部に対し変位可能に支持する取付部と、
前記取付部に固定され電圧の印加状態に応じて変形して前記可動部を基部に対し変位させる圧電素子とを備えたアクチュエータであって、
前記圧電素子は、前記取付部に接合テープによる接合及び接着剤による固定がなされた、
ことを特徴とするアクチュエータ。
【請求項１６】
請求項１５記載のアクチュエータであって、
前記接合テープは、前記圧電素子の周縁部に周回形状に形成された、
ことを特徴とするアクチュエータ。
【請求項１７】
請求項１５又は１６記載のアクチュエータであって、
前記接合テープは、前記接着剤が固化した状態で粘弾性を有する、
ことを特徴とするアクチュエータ。
【請求項１８】
基部及び可動部間に設けられ前記可動部を基部に対し変位可能に支持する取付部と、
取付部に接合テープによる接合及び接着剤による固定がなされ電圧の印加状態に応じて変形する圧電素子を備えたアクチュエータの圧電素子接着方法であって、
前記圧電素子は、前記取付部に接合テープにより接合した後に前記接着剤を充填して前記固定を行った、
ことを特徴とするアクチュエータの圧電素子接着方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電圧の印加状態に応じて変形する圧電素子が接着剤によって取り付けられたヘッド・サスペンション、アクチュエータ、及びその圧電素子接着方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のヘッド・サスペンション及び圧電素子接着方法としては、例えば図１５に示すようなものがある。
【０００３】
図１５（Ａ）は、取付部とフレキシャ側の接点との関係を示す断面図、（Ｂ）は、取付部に第１の接着剤を塗布した状態の断面図、（Ｃ）は、取付部に圧電素子を搭載接合した状態の断面図、（Ｄ）は、第１の接着剤が固化した状態を示す断面図、（Ｅ）は、圧電素子と取付部との間に第２の接着剤を充填した状態の断面図、（Ｆ）は、接着剤による圧電素子の固定を示す断面図である。
【０００４】
ヘッド・サスペンションへの圧電素子の接着は、例えば図１５（Ａ）〜図１５（Ｆ）のようにして行われる。
【０００５】
図１５（Ａ）のように、アクチュエータ・プレート１０１の取付部１０３には、中間部に開口１０５が形成され、凹状の搭載支持部１０７、１０９が形成されている。取付部１０３の開口１０５には、フレキシャ１１１の接点１１１ａが臨まされており、接点１１１ａに導電ペーストＥＰが塗布されている。
【０００６】
図１５（Ｂ）のように、搭載支持部１０７、１０９に第１の接着剤ＡＤ１が塗布され、図１５（Ｃ）のように、圧電素子１１３が第１の接着剤ＡＤ１を介し搭載支持部１０７、１０９上に搭載接合される。同時に圧電素子１１３の電極面には、フレキシャ１１１の接点１１１ａが導電ペーストＥＰにより導通接続される。
【０００７】
図１５（Ｄ）のように、第１の接着剤ＡＤ１が硬化した後、図１５（Ｅ）のように、搭載支持部１０７、１０９及び圧電素子１１３間に第２の接着剤ＡＤ２を充填し、図１５（Ｆ）のように、第２の接着剤ＡＤ２が第１の接着剤ＡＤ１に対し一体的に硬化し、取付部１０３への圧電素子１１３の固定が完了する。
【０００８】
したがって、第１の接着剤ＡＤ１により圧電素子１１３を搭載することで圧電素子１１３の位置決めを正確に行わせ、第１の接着剤ＡＤ１及び第２の接着剤ＡＤ２により取付部１０３への圧電素子１１３の固定を確実に行わせることができる。
【０００９】
しかし、第１の接着剤ＡＤ１を塗布し、圧電素子１１３搭載後に、第１の接着剤ＡＤ１を硬化させ、その後、搭載支持部１０７、１０９及び圧電素子１１３間に第２の接着剤ＡＤ２を充填し、この第２の接着剤ＡＤ２を硬化させる必要が有るため、時間のかかる接着剤の塗布硬化工程と充填硬化工程とが重なり、生産性向上の障害となっていた。 
【００１０】
また、接着剤硬化前や硬化時に、接着剤が圧電素子１１７とアクチュエータ・プレート１０１、ロード・ビーム、フレキシャ１０９等との相互の隙間に毛細管現象などにより流動して入り込むことが有り、製品剛性のバラつき問題を生じ、ばね荷重や動特性のバラつきの原因となっていた。 
【特許文献１】特開２００２−０５０１４０号公報
【特許文献２】特開２００２−１８４１４０号公報
【特許文献３】特開２０１０−７９９４４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
解決しようとする問題点は、接着剤供給硬化工程が２回になり、生産性向上の障害となり、接着剤硬化前や硬化時に接着剤が流動して隙間に入り込むことなどが有り、製品剛性のバラつき等の問題を生じ、ばね荷重や動特性のバラつき等の原因となっていた点である。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は、接着剤供給硬化工程を１回にしながら圧電素子の搭載接合による位置決めを行わせることができ、且つ接着剤の流動を抑制可能とするために、旋回駆動用のキャリッジ側に取り付けられて軸回りに旋回駆動されるベース部と、剛体部及びばね部を含み前記ベース部側に前記剛体部の基端側が前記ばね部を介して支持されると共に情報の書き込み，読み取りを行う先端側のヘッド部に負荷荷重を与えるロード・ビームと、前記ヘッド部を支持して書き込み用及び読み取り用の配線に接続し前記ロード・ビームに取り付けられたフレキシャと、前記ベース部及びヘッド部間に設けられ前記ヘッド部をベース部に対しスウェイ方向へ変位可能とする圧電素子の取付部と、前記取付部に固定され電圧の印加状態に応じて変形して前記ヘッド部をベース部に対しスウェイ方向へ変位させる圧電素子とを備えたヘッド・サスペンションであって、前記圧電素子は、前記取付部に接合テープによる接合及び接着剤による固定がなされたことをヘッド・スペンションの特徴とする。
【００１３】
本発明は、旋回駆動用のキャリッジ側に取り付けられて軸回りに回転駆動されるベース部と、剛体部及びばね部を含み前記ベース部側に前記剛体部の基端側が前記ばね部を介して支持されると共に情報の書き込み，読み取りを行う先端側のヘッド部に負荷荷重を与えるロード・ビームと、前記ヘッド部を支持し書き込み用及び読み取り用の配線に接続すると共に該ヘッド部を支持して前記ロード・ビームに取り付けられたフレキシャと、前記ベース部及びヘッド部間に設けられ前記ヘッド部をベース部に対しスウェイ方向へ変位可能に支持する取付部と、前記取付部に固定され電圧の印加状態に応じて変形して前記ヘッド部をベース部に対しスウェイ方向へ変位させる圧電素子とを備えたヘッド・サスペンションの圧電素子接着方法であって、前記圧電素子は、前記取付部に接合テープにより接合した後に接着剤を充填して前記固定を行ったことをヘッド・サスペンションの圧電素子接着方法の特徴とする。
【００１４】
本発明は、基部及び可動部間に設けられ前記可動部を基部に対し変位可能に支持する取付部と、前記取付部に固定され電圧の印加状態に応じて変形し前記可動部を基部に対し変位させる圧電素子とを備えたアクチュエータであって、前記圧電素子は、前記取付部に接合テープによる接合及び接着剤による固定がなされたことをアクチュエータの特徴とする。
【００１５】
本発明は、基部及び可動部間に設けられ前記可動部を基部に対し変位可能に支持する取付部と、前記取付部に接合テープによる接合及び接着剤による固定がなされ電圧の印加状態に応じて変形する圧電素子を備えたアクチュエータの圧電素子接着方法であって、前記圧電素子は、前記取付部に接合テープにより接合され、その後前記接着剤を充填して前記固定を行ったことをアクチュエータの圧電素子接着方法の特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
本発明のヘッド・サスペンションは、上記構成であるから、接合テープによる接合及び接着剤による圧電素子の固定がなされ、接着剤供給硬化工程を１回にしながら圧電素子の搭載接合による位置決めを行わせることができ、且つ接着剤が隙間に入り込むことを抑制できる。このため、圧電素子の接合固定が正確に行われ、製品剛性のバラつき、ばね荷重や動特性のバラつきの抑制されたヘッド・サスペンションによりヘッド部の支持を行わせることができる。
【００１７】
本発明のヘッド・サスペンションの圧電素子接着方法は、上記構成であるから、取付部に接合テープにより接合した後に接着剤を充填して圧電素子の固定を行なうことで、接着剤供給硬化工程を１回にしながら圧電素子の搭載接合による位置決めを行わせることができ、生産性向上を図ることができる。また、接合テープによる接合を先に行うことで接着剤の流動を規制し、接着剤が隙間に入り込むことを抑制でき、製品剛性のバラつき、ばね荷重や動特性のバラつきの抑制されたヘッド・サスペンションを得ることができる。圧電素子の搭載接合を接合テープで行うから、取り扱いも容易となり、生産性向上に寄与する。
【００１８】
本発明のアクチュエータは、上記構成であるから、接合テープによる接合及び接着剤による圧電素子の固定がなされ、接着剤供給硬化工程を１回にしながら圧電素子の搭載接合による位置決めを行わせることができ、且つ接着剤が隙間に入り込むことを抑制できる。このため、圧電素子の接合固定が正確なアクチュエータによりヘッド・サスペンションのヘッド等の駆動を行わせることができる。
【００１９】
本発明のアクチュエータの圧電素子接着方法は、上記構成であるから、取付部に接合テープにより接合した後に接着剤を充填して圧電素子の固定を行なうことで、接着剤供給硬化工程を１回にしながら圧電素子の搭載接合による位置決めを行わせることができ、生産性向上を図ることができる。また、接合テープによる接合を先に行うことで接着剤の流動を規制し、製品剛性のバラつき等の抑制されたアクチュエータを得ることができる。圧電素子の搭載接合を接合テープで行うから、取り扱いも容易となり、生産性向上に寄与する。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】ヘッド・サスペンションの斜視図である。（実施例１）
【図２】フレキシャ等を透視して示すヘッド・サスペンションの一部省略平面図である。（実施例１）
【図３】圧電素子を取付部に取り付けた状態の断面図である。（実施例１）
【図４】ヘッド・サスペンションに組み込まれる圧電素子の斜視図である。（実施例１）
【図５】接合テープを取り付けた圧電素子の概略を示し、（Ａ）は、（Ｂ）のＶＡ−ＶＡ線における断面図、（Ｂ）は、接合テープ側から見た裏面図である。（実施例１）
【図６】（Ａ）は、取付部とフレキシャ側の接点との関係を示す断面図、（Ｂ）は、取付部に接合テープで圧電素子を搭載接合した状態の断面図、（Ｃ）は、圧電素子と取付部との間に接着剤を充填した状態の断面図、（Ｄ）は、接着剤による圧電素子の固定を示す断面図である。（実施例１）
【図７】個別貼り付けによる搭載工程を示し、（Ａ）は、テープ・シート上の接合テープの一つに1個の圧電素子を対向配置した第1工程、（Ｂ）は、テープ・シート上の接合テープの一つに1個の圧電素子を接合させた第２工程、（Ｃ）は、テープ・シート上から接合テープを付随させて圧電素子を上昇離脱させる第３工程、（Ｄ）は、取付部に接合テープで圧電素子を搭載接合する第４工程を示す説明図である。（実施例１）
【図８】テープ・シートへの圧電素子の接合を示す平面図である。（実施例１）
【図９】図８の圧電素子を一列一括して連鎖品へ搭載した状態の平面図である。（実施例１）
【図１０】（Ａ）は、接合テープを取り付けた圧電素子の裏面図、（Ｂ）は、取付部に接合テープで圧電素子を搭載接合すると共にフレキシャ側の接点を接合した後、圧電素子と取付部との間に接着剤を充填した状態の断面図、（Ｃ）は、接着剤による圧電素子の固定を示す断面図である。（実施例２）
【図１１】（Ａ）は、接合テープを取り付けた圧電素子の裏面図、（Ｂ）は、取付部に接合テープで圧電素子を搭載接合すると共にフレキシャ側の接点を接合した後、圧電素子と取付部との間に接着剤を充填した状態の断面図、（Ｃ）は、接着剤による圧電素子の固定を示す断面図である。（実施例２）
【図１２】（Ａ）は、接合テープを取り付けた圧電素子の裏面図、（Ｂ）は、取付部に接合テープで圧電素子を搭載接合すると共にフレキシャ側の接点を接合した後、圧電素子と取付部との間に接着剤を充填した状態の断面図、（Ｃ）は、接着剤による圧電素子の固定を示す断面図である。（実施例３）
【図１３】（Ａ）は、取付部に接合テープで圧電素子を搭載接合した後反転させると共にフレキシャ側の接点を対向させた状態の断面図、（Ｂ）は、圧電素子にフレキシャ側の接点を接合した断面図である。（実施例４）
【図１４】（Ａ）は、取付部とフレキシャ側の接点との関係を示す断面図、（Ｂ）は、取付部に接合テープで圧電素子を搭載接合した状態の断面図、（Ｃ）は、圧電素子と取付部との間に接着剤を充填した状態の断面図、（Ｄ）は、接着剤による圧電素子の固定を示す断面図である。
【図１５】Ａ）は、取付部とフレキシャ側の接点との関係を示す断面図、（Ｂ）は、取付部に第１の接着剤を塗布した状態の断面図、（Ｃ）は、取付部に圧電素子を搭載接合した状態の断面図、（Ｄ）は、第１の接着剤が固化した状態を示す断面図、（Ｅ）は、圧電素子と取付部との間に第２の接着剤を充填した状態の断面図、（Ｆ）は、接着剤による圧電素子の固定を示す断面図である。（従来例）
【発明を実施するための形態】
【００２１】
接着剤供給硬化工程を１回にしながら圧電素子の搭載接合による位置決めを行わせることができ、且つ接着剤の流動を抑制可能にするといった目的を、旋回駆動用のキャリッジ側に取り付けられて軸回りに回転駆動されるベース部１０と、剛体部２１及びばね部２３ａ、２３ｂを含みベース部１０側に剛体部２１の基端側がばね部２３ａ、２３ｂを介して支持されると共に情報の書き込み，読み取りを行う先端側のヘッド部２６に負荷荷重を与えるロード・ビーム５と、ヘッド部２６を支持し書き込み用及び読み取り用の配線に接続しロード・ビーム５に取り付けられたフレキシャ７と、ベース部１０及びヘッド部２６間に設けられヘッド部２６をベース部１０に対しスウェイ方向へ変位可能に支持する取付部１７と、取付部１７に固定され電圧の印加状態に応じて変形してヘッド部２６をベース部１０に対しスウェイ方向へ変位させる圧電素子１５とを備えたヘッド・サスペンション１の圧電素子接着方法であって、圧電素子１５は、取付部１７に接合テープ２７により接合した後に非導電性接着剤２９を充填して固定を行ったことによって実現した。
【実施例１】
【００２２】
［ヘッド・サスペンション］
図１は、実施例１に係るヘッド・サスペンションの斜視図、図２は、フレキシャ等を透視して示すヘッド・サスペンションの一部省略平面図である。なお、以下の説明で、ヘッド・サスペンションの旋回半径方向を長手方向又は前後方向、これに直交する方向を幅方向、旋回軸心方向を厚み方向とする。
【００２３】
図１、図２のように、ヘッド・サスペンション１は、ベース・プレート３と、ロード・ビーム５と、フレキシャ７とを備える他、アクチュエータ９が取り付けられている。
【００２４】
ベース・プレート３は、旋回駆動用のキャリッジ側に取り付けられて軸回りに旋回駆動される基部であるベース部１０側の構成部材であり、ボス部１１を有している。ベース・プレート３は、ボス部１１によりキャリッジ（図示せず）側へのボールカシメによる取り付けを可能としている。ベース・プレート３に、アクチュエータ９が一体的に取り付けられている。
【００２５】
アクチュエータ９は、アクチュエータ・プレート１３に圧電素子１５が取り付けられたものである。アクチュエータ・プレート１３は、補強部１６及び取付部１７を備えている。補強部１６は、ベース・プレート３に重ねられてレーザ・スポット溶接等により一体的に結合されてベース部１０が構成されている。取付部１７の前端１７ａに、ロード・ビーム５がレーザ・スポット溶接等により一体的に結合されている。
【００２６】
ロード・ビーム５は、剛体部２１及びばね部２３ａ、２３ｂを含み、ベース部１０側に剛体部２１の基端側がばね部２３ａ、２３ｂを介して支持されると共に情報の書き込み，読み取りを行う先端側の可動部であるヘッド部２６に負荷荷重を与えるものである。すなわち、ばね部２３ａ、２３ｂがアクチュエータ・プレート１３の取付部１７の前端１７ａに結合されている。剛体部２１には、フレキシャ７が取り付けられている。
【００２７】
フレキシャ７には、前端側にスライダ２５が設けられ、スライダ２５に読み取り用、書き込み用の素子が支持され、ヘッド部２６が構成されている。スライダ２５の読み取り用、書き込み用の素子は、フレキシャ７の書き込み用及び読み取り用の配線に接続されている。このフレキシャ７は、取付部１７を通ってベース・プレート３側へ延設されている。
【００２８】
取付部１７は、ベース部１０及びヘッド部２６間に設けられた構成であり、ロード・ビーム５を介してヘッド部２６をベース部１０に対しスウェイ方向へ変位可能とする。
【００２９】
図３は、圧電素子を取付部に取り付けた状態の幅方向に沿った断面図、図４は、ヘッド・サスペンションに組み込まれる圧電素子の斜視図である。
【００３０】
図３、図４の圧電素子１５は、取付部１７に固定され電圧の印加状態に応じて変形して取付部１７を駆動し、ヘッド部２６をベース部１０に対しスウェイ方向へ変位させるものである。
【００３１】
圧電素子１５は、取付部１７に接合テープ２７による接合及び接着剤である非導電性接着剤２９による固定がなされている。
【００３２】
さらに説明すると、図１〜図３のように、取付部１７は、前後中間部に開口状の貫通部２０が形成され、貫通部２０の両側に搭載支持部３１、３３を有している。取付部１７の幅方向両側には、Ｕ字状に湾曲した左右一対の可撓部３４ａ，３４ｂが一体の形成されている。搭載支持部３１、３３は、幅方向における可撓部３４ａ，３４ｂの基部から取付部１７の前後部に渡って連続的に形成されている。この搭載支持部３１、３３には、厚み方向に沿った対向面３１ａ、３３ａと厚み方向に向いた搭載面３１ｂ、３３ｂとが直交して形成され凹状となっている。
【００３３】
なお、搭載支持部３１、３３は、可撓部３４ａ，３４ｂの基部のみ、或いは取付部１７の前後部のみ、さらには、可撓部３４ａ，３４ｂの基部と取付部１７の前後部との間の四隅のみの何れかに形成することもできる。対向面３１ａ、３３ａと搭載面３１ｂ、３３ｂとは、別々の板材を重ねて結合し構成することもできる。
【００３４】
圧電素子１５の電極面側である共通電極板３５側の両縁部が、両側の搭載面３１ｂ、３３ｂに接合テープ２７によりそれぞれ接合され、圧電素子１５の前後方向の縁部端面１５ａ、１５ｂの全体が、前後部側で対向面３１ａ、３３ａに非導電性接着剤２９で固定され、圧電素子１５の幅方向の縁部端面１５ｃ、１５ｄの一部が、幅方向で可撓部３４ａ，３４ｂ側の対向面３１ａ、３３ａに非導電性接着剤２９で固定されている。
【００３５】
接合テープ２７は、本実施例において、非導電性接着剤２９の硬化後も硬化しない。但し、接合テープ２７は、非導電性接着剤２９の硬化と共に硬化するものでも良い。
【００３６】
圧電素子１５の一側面の共通電極板３５の中央には、フレキシャ７の端子７ａが導電性接着剤であるシルバー・ペーストなどの導電ペースト３７により接合されている。圧電素子１５の他側面の一対の電極板３９ａ、３９ｂは、導電性接着剤４１ａ、４１ｂにより取付部１７の前端１７ａに接合されている。なお、図２では、導電性接着剤４１ａ、４１ｂの図示を省略している。
【００３７】
図４のように、圧電素子１５は、全体が矩形平板状に形成され、一対の圧電材部４３ａ、４３ｂを備え、この圧電材部４３ａ、４３ｂの一側面に前記共通電極板３５が接合され、他側面に、前記一対の電極板３９ａ、３９ｂが接合されたものである。
【００３８】
この圧電素子１５は、例えば共通電極板３５に電圧を印加すると一方の圧電材部４３ａ側が収縮し、他方の圧電材部４３ｂ側が伸長する。この伸長収縮により、圧電素子１５は、Ｚ方向に微少距離だけ変位することで、ベース部１０側に対しヘッド部２６側をＺ方向へ変位させることができる。
【００３９】
なお、上記とは逆に、共通電極板３５を電気的に接地する一方、一対の電極板３９ａ、３９ｂ７に所要の電圧を印加した場合には、−Ｚ方向（図４のＺ方向とは逆方向）に微少距離だけ変位することで、ベース部１０側に対しヘッド部２６側を図１のように−Ｚ方向へ変位させることができる。
【００４０】
このヘッド・サスペンション１は、ボス部１１を介したキャリッジ（図示せず）側への取り付けによりハード・ディスク・ドライブに組み込まれ、キャリッジ側のボイス・コイル・モータにより旋回駆動され、ヘッド部１９がハード・ディスク上を移動し、ハード・ディスクに対して情報の読み取り、書き込みを行わせることができる。
［圧電素子接着方法］
図５は、接合テープを取り付けた圧電素子の概略を示し、（Ａ）は、（Ｂ）のＶＡ−ＶＡ線における断面図、（Ｂ）は、接合テープ側から見た裏面図、図６（Ａ）は、取付部とフレキシャ側の接点との関係を示す断面図、（Ｂ）は、取付部に接合テープで圧電素子を搭載接合した状態の断面図、（Ｃ）は、圧電素子と取付部との間に接着剤を充填した状態の断面図、（Ｄ）は、接着剤による圧電素子の固定を示す断面図である。
【００４１】
図５のように、矩形板状の圧電素子１５の共通電極板側周縁部に、矩形枠状の単体の接合テープ２７が予め接合されている。
【００４２】
図６（Ａ）のように、圧電素子の取り付けに際しては、まず導電ペースト３７を乗せたフレキシャ７の端子７ａが取付部１７の貫通部２０から臨まされる。
【００４３】
図６（Ｂ）のように、共通電極板側に接合テープ２７を備えた圧電素子１５を取付部１７に配置し、圧電素子１５の幅方向の両縁部の一部が、可撓部３４ａ，３４ｂ側の搭載面３１ｂ、３３ｂに接合テープ２７により接合され、前後方向の両縁部の全体が、前後の搭載面３１ｂ、３３ｂに接合テープ２７により接合させる。フレキシャ７の端子７ａは、導電ペースト３７により共通電極板３５の中央に接合される。
【００４４】
なお、接合テープ２７を搭載面３１ｂ、３３ｂへ先に取り付けておき、搭載面３１ｂ、３３ｂの接合テープ２７上に後から圧電素子１５を接合する方法でも良い。
【００４５】
図６（Ｃ）のように、圧電素子１５の縁部端面１５ｃ、１５ｄと取付部１７の対向面３１ａ、３３ａとの間に、非導電性接着剤２９を充填する。同時に、図示はしていないが、圧電素子１５の縁部端面１５ａ、１５ｂと取付部１７の対向面３１ａ、３３ａとの間にも、非導電性接着剤２９が充填される。
【００４６】
この非導電性接着剤２９は流動性があるところ、接合テープ２７が圧電素子１５と搭載面３１ｂ、３３ｂとに接合することで流動が堰止められ、或いは毛細管現象による移動、染み出しが止められ、非導電性接着剤２９がフレキシャ７等へ至るのを抑制することができる。
【００４７】
こうして、接着剤硬化前や硬化時に、非導電性接着剤２９が圧電素子１５とアクチュエータ・プレート１３、ロード・ビーム５、フレキシャ７等との相互の隙間に毛細管現象などにより流動して入り込むことはなく、製品剛性のバラつき問題を防止し、ばね荷重や動特性のバラつきを抑制できる。
【００４８】
また、非導電性接着剤２９の充填は、接合テープ２７が接着剤であった場合に必要となるその硬化時間を待つ必要がなく、図６（Ｂ）のように、圧電素子１５を接合した後、直ちに行うことができ、時間のかかる接着剤供給硬化工程が１回となり、生産性を向上することができる。
【００４９】
図６（Ｄ）のように、非導電性接着剤２９が硬化し、圧電素子１５の縁部端面１５ｃ、１５ｄの一部、及び図２で示す縁部端面１５ａ、１５ｂが、対向面３１ａ、３３ａに非導電性接着剤２９で固定される。
【００５０】
図７は、個別貼り付けによる搭載工程を示し、（Ａ）は、テープ・シート上の接合テープの一つに1個の圧電素子を対向配置した第1工程、（Ｂ）は、テープ・シート上の接合テープの一つに1個の圧電素子を接合させた第２工程、（Ｃ）は、テープ・シート上から接合テープを付随させて圧電素子を上昇離脱させる第３工程、（Ｄ）は、取付部に接合テープで圧電素子を搭載接合する第４工程を示す説明図、図８は、テープ・シートへの圧電素子の接合を示す平面図、図９は、図８の圧電素子を一列一括して連鎖品へ搭載した状態の平面図である。
【００５１】
図６で行った接合テープ２７による圧電素子１５の搭載は、図７のように個別に行わせ、或いは図８、図９のように一括して行わせることもできる。
【００５２】
図７の個別貼り付けでは、図７（Ａ）の第１工程でテープ・シート４５上の接合テープ２７に対し圧電素子１５を個別に１：１で対向させ、図７（Ｂ）の第２工程のように、圧電素子１５を下降させて対応する接合テープ２７上に接合させる。
【００５３】
図７（Ｃ）の第３工程では、圧電素子１５を接合テープ２７と共に上昇させ、図７（Ｄ）の第４工程のように、圧電素子１５を接合テープ２７により搭載面３１ｂ、３３ｂ上に接合させる。
【００５４】
図７（Ｄ）の第４工程は、図６（Ｂ）に対応している。
【００５５】
図８、図９の一括貼り付けでは、まず図８のテープ・シート４５Ａ上の一列の接合テープ２７群に対し圧電素子１５をそれぞれ接合させる。なお、図８では、接合テープ２７は、圧電素子１５に隠れて見えないが、説明の便宜上圧電素子１５と共に図示し、符号を括弧に入れて示した。
【００５６】
次いで、ヘッド・サスペンション１の半製品の連鎖品１Ａに対して一列の接合テープ２７群を一括して接合させる。但し、図８のテープ・シート４５Ａ上の複数の圧電素子１５を１個ずつ連鎖品１Ａに対して組み付けることも可能である。
［作用効果］
本発明実施例のヘッド・サスペンション１は、旋回駆動用のキャリッジ側に取り付けられて軸回りに旋回駆動されるベース部１０と、剛体部２１及びばね部２３ａ、２３ｂを含みベース部１０側に剛体部２１の基端側がばね部２３ａ、２３ｂを介して支持されると共に情報の書き込み，読み取りを行う先端側のヘッド部２６に負荷荷重を与えるロード・ビーム５と、ヘッド部２６を支持して書き込み用及び読み取り用の配線に接続しロード・ビーム５に取り付けられたフレキシャ７と、ベース部１０及びヘッド部２６間に設けられヘッド部２６をベース部１０に対しスウェイ方向へ変位可能とする圧電素子１５の取付部１７と、取付部１７に固定され電圧の印加状態に応じて変形しヘッド部２６をベース部１０に対しスウェイ方向へ変位させる圧電素子１５とを備えたヘッド・サスペンション１であって、圧電素子１５は、取付部１７に接合テープ２７による接合及び非導電性接着剤２９による固定がなされた。
【００５７】
このため、接着剤供給硬化工程を１回にしながら圧電素子１５の搭載接合による位置決めを行わせることができる。したがって、時間のかかる接着剤の硬化工程を１回にすることができ、生産性を向上させることができる。
【００５８】
しかも、硬化前の非導電性接着剤２９の流動が接合テープ２７で阻止されるから、圧電素子１５とアクチュエータ・プレート１３、ロード・ビーム５、フレキシャ７等との相互の隙間に毛細管現象などにより流動して入り込むことを抑制できる。
【００５９】
このため、圧電素子１５の接合固定が正確に行われ、製品剛性のバラつき、ばね荷重や動特性のバラつきの抑制されたヘッド・サスペンション１によりヘッド部２６の支持を行わせることができる。
【００６０】
特に、取付部１７は、ベース部１０及びヘッド部２６間方向の前後中間部に開口状の貫通部２０が形成され、この取付部１７は、厚み方向に沿った対向面３１ａ、３３ａと厚み方向に向いた搭載面３１ｂ、３３ｂとで形成される凹状の搭載支持部３１、３３を貫通部２０の両側に有し、圧電素子１５の共通電極板３５側の両縁部を、両側の搭載面３１ｂ、３３ｂに接合テープ２７によりそれぞれ接合し、圧電素子１５の縁部端面１５ａ、１５ｂの全体及び縁部端面１５ｃ、１５ｄの一部を、対向面３１ａ、３３ａに非導電性接着剤２９で固定した。
【００６１】
このため、圧電素子１５を接合テープ２７により搭載面３１ｂ、３３ｂに接合し、非導電性接着剤２９により対向面３１ａ、３３ａに固定することができ、凹状の搭載支持部３１、３３に対する圧電素子１５の正確な取り付けを、生産性よく実現することができる。
【００６２】
本発明実施例のヘッド・サスペンション１の圧電素子接着方法では、圧電素子１５は、取付部１７に接合テープ２７により接合した後に非導電性接着剤２９を充填して固定を行った。
【００６３】
このため、接着剤供給硬化工程を非導電性接着剤２９での１回にしながら圧電素子１５の搭載接合による位置決めを行わせることができ、生産性向上を図ることができる。また、接合テープ２７による接合を先に行うことで非導電性接着剤２９の流動を規制し、非導電性接着剤２９が前記隙間に入り込むことを抑制でき、製品剛性のバラつき、ばね荷重や動特性のバラつきの抑制されたヘッド・サスペンション１を得ることができる。
【００６４】
圧電素子１５の電極面側をテープ・シート４５上の接合テープ２７に接合させてテープ・シート４５から圧電素子１５を接合テープ２７と共に離脱させ、接合テープ２７を接合させた圧電素子１５により取付部１７への接合を行った。
【００６５】
このため、取付部１７に対して接合テープ２７を単体で取り扱う必要がなく、接合テープ２７の搭載面３１ｂ、３３ｂへの組み込みを簡単に行わせることができる。
【００６６】
本発明実施例のアクチュエータ９は、べース部１０及びヘッド部２６間に設けられヘッド部２６をベース部１０に対し変位可能に支持する取付部１７と、取付部１７に固定され電圧の印加状態に応じて変形してヘッド部２６をベース部１０に対し変位させる圧電素子１５とを備えたアクチュエータ９であって、圧電素子１５は、取付部１７に接合テープ２７による接合及び非導電性接着剤２９による固定がなされた。
【００６７】
このため、接着剤供給硬化工程を１回にしながら圧電素子１５の搭載接合による位置決めを行わせることができ、且つ接着剤が隙間に入り込むことを抑制できる。したがって、圧電素子１５の接合固定を正確に行わせることができる。
【００６８】
本発明実施例のアクチュエータ９の圧電素子接着方法では、圧電素子１５は、取付部１７に接合テープ２７により接合され、その後非導電性接着剤２９を充填して固定を行った。
【００６９】
このため、接着剤供給硬化工程を１回にしながら圧電素子１５の搭載接合による位置決めを行わせることができ、生産性向上を図ることができる。また、接合テープ２７による接合を先に行うことで非導電性接着剤２９の流動を規制し、製品剛性のバラつき等の抑制されたアクチュエータ９を得ることができる。
【実施例２】
【００７０】
図１０は、本発明の実施例２に係り、（Ａ）は、接合テープを取り付けた圧電素子の裏面図、（Ｂ）は、取付部に接合テープで圧電素子を搭載接合すると共にフレキシャ側の接点を接合した後、圧電素子と取付部との間に接着剤を充填した状態の断面図、（Ｃ）は、接着剤による圧電素子の固定を示す断面図である。なお、基本的な構成は実施例１と同様であり、同一構成部分には同符号を付し、対応する構成部分には、同符号にＢを付し、重複した説明は省略する。
【００７１】
本実施例のヘッド・サスペンション及びその圧電素子接着方法では、図１０のように、接合テープ２７Ｂは、中央に端子接続のための穴部２７Ｂａを有し、圧電素子１５の電極面側である共通電極板側に接合された。
【００７２】
圧電素子１５の組み付け順序は、図６と同様であり、図１０（Ｂ）が図６（Ｃ）に、図１０（Ｃ）が図６（Ｄ）にそれぞれ対応している。本実施例では、フレキシャ７側の端子７ａが、貫通部２０を通して導電ペースト３７により接合テープ２７Ｂの穴部２７Ｂａから圧電素子１５の共通電極板３５の中央に接合される。
【００７３】
この接合で、端子７ａの導電ペースト３７が穴部２７Ｂａで囲まれ、導電ペースト３７の流れ止めを行わせることができる。また、接合テープ２７Ｂが、非導電性接着剤２９の硬化後も硬化しない場合、フレキシャ７側の導電ペースト３７に対する応力を緩和することができる。
【００７４】
その他、本実施例でも、実施例１と同様な作用効果を奏することができる。
【００７５】
図１１は、変形例に係り、（Ａ）は、接合テープを取り付けた圧電素子の裏面図、（Ｂ）は、取付部に接合テープで圧電素子を搭載接合すると共にフレキシャ側の接点を接合した後、圧電素子と取付部との間に接着剤を充填した状態の断面図、（Ｃ）は、接着剤による圧電素子の固定を示す断面図である。なお、基本的な構成は実施例１と同様であり、同一構成部分には同符号を付し、対応する構成部分には、同符号にＣを付し、重複した説明は省略する。
【００７６】
図１１（Ａ）のように、この変形例では、図１０の穴部２７Ｂａに代え、リング部２７Ｃａを有する接合テープ２７Ｃを採用した。
【００７７】
接合テープ２７Ｃの基本形態は、実施例１の接合テープ２７と同様であり、本実施例では、加えて中央にリング部２７Ｃａを備えた。
【００７８】
図７、図８のテープ・シート４５、４５Ａの段階で、リング部２７Ｃａが形成されており、圧電素子１５をテープ・シート上で接合テープ２７Ｃに接合させることでリング部２７Ｃａも圧電素子１５側に接合される。
【００７９】
圧電素子１５の組み付け順序は、図６と同様であり、図１１（Ｂ）が図６（Ｃ）に、図１１（Ｃ）が図６（Ｄ）にそれぞれ対応している。
【００８０】
したがって、端子７ａの導電ペースト３７がリング部２７Ｃａで囲まれ、導電ペースト３７の流れ止めを行わせることができる。しかも、余計な接合テープの露出を抑制できる。また、接合テープ２７Ｃが、非導電性接着剤２９の硬化後も硬化しない場合、フレキシャ７側の導電ペースト３７に対する応力を緩和することができる。
【実施例３】
【００８１】
図１２は、本発明の実施例３に係り、（Ａ）は、接合テープを取り付けた圧電素子の裏面図、（Ｂ）は、取付部に接合テープで圧電素子を搭載接合すると共にフレキシャ側の接点を接合した後、圧電素子と取付部との間に接着剤を充填した状態の断面図、（Ｃ）は、接着剤による圧電素子の固定を示す断面図である。なお、基本的な構成は実施例１と同様であり、同一構成部分には同符号を付し、対応する構成部分には、同符号にＤを付し、重複した説明は省略する。
【００８２】
本実施例のヘッド・サスペンション及びその圧電素子接着方法では、図１２（Ａ）のような接合テープ２７Ｄを採用した。接合テープ２７Ｄは、幅方向の両側部２７Ｄａ、２７Ｄｂの幅を実施例１に比較して大きくした。これに応じてアクチュエータ・プレート１３Ｄにおける取付部１７Ｄの搭載面３１Ｄｂ、３３Ｄｂの幅方向の幅も、実施例１に対して拡大している。接合テープ２７Ｄの材質は粘弾性体であり、非導電性接着剤２９の硬化後も粘弾性を有している。
【００８３】
圧電素子１５の組み付け順序は、図６と同様であり、図１２（Ｂ）が図６（Ｃ）に、図１２（Ｃ）が図６（Ｄ）にそれぞれ対応している。
【００８４】
本実施例では、両側部２７Ｄａ、２７Ｄｂの幅を実施例１に比較して大きくした接合テープ２７Ｄにより、幅を拡大した搭載面３１Ｄｂ、３３Ｄｂに接合することができる。この幅の大きな両側部２７Ｄａ、２７Ｄｂにより、圧電素子１５のストロークを阻害せず搭載面３１Ｄｂ、３３Ｄｂの振動抑制を確実に図ることができる。
【００８５】
なお、上記実施例１、２及び下記実施例４においても、接合テープの材質を粘弾性体とすることができる。すなわち、図１０の例では、接合テープ２７Ｂの材質を、接合テープ２７Ｄと同様の粘弾性体にすると共に、搭載面３１ｂ、３３ｂの幅を拡大する。図１１の例では、接合テープ２７Ｃの材質を、接合テープ２７Ｄと同様の粘弾性体にすると共に、接合テープ２７Ｃの両側部及び搭載面３１ｂ、３３ｂの幅を拡大する。この接合テープ２７Ｂ、２７Ｃの材質を、粘弾性体とした図１０、図１１の例では、フレキシャ７側の振動抑制を図ることもできる。
【実施例４】
【００８６】
図１３は、本発明の実施例４に係り、（Ａ）は、取付部に接合テープで圧電素子を搭載接合した後反転させると共にフレキシャ側の接点を対向させた状態の断面図、（Ｂ）は、圧電素子にフレキシャ側の接点を接合した断面図である。なお、基本的な構成は実施例１と同様であり、同一構成部分には同符号を付し、重複した説明は省略する。
【００８７】
本実施例のヘッド・サスペンションの圧電素子接着方法では、圧電素子１５を、両側の搭載支持部３１、３３の搭載面３１ｂ、３３ｂに、接合テープ２７Ｅにより図６（Ｂ）のように接合（但し、この例ではこの段階でフレキシャ７側の端子７ａ接合は無い。）した後反転して図１３（Ａ）の状態とする。
【００８８】
接合テープ２７Ｅは、図１０と同様に、中央に端子接続のための穴部２７Ｅａを有している。
【００８９】
次いで、圧電素子１５の共通電極板の中央に導電ペースト３７を乗せ、図１３（Ｂ）のように、フレキシャ７を置くようにして端子７ａを導電ペースト３７により共通電極板３５に接合することができる。このとき、この接合で、端子７ａの導電ペースト３７が穴部２７Ｅａで囲まれ、導電ペースト３７の流れ止めを行わせることができる。
【００９０】
このように、接合テープ２７Ｅにより圧電素子１５の搭載直後に反転することができ、フレキシャ７の端子７ａの導通接続を圧電素子１５に置くようにして容易に行わせることができる。
【００９１】
なお、実施例４の方法は、図１０〜図１２の例にも適用することができる。
【実施例５】
【００９２】
図１４は、本発明の実施例５に係り、（Ａ）は、取付部に接合テープで圧電素子を搭載接合した後反転させると共にフレキシャ側の接点を対向させた状態の断面図、（Ｂ）は、圧電素子にフレキシャ側の接点を接合した断面図である。なお、基本的な構成は実施例１と同様であり、同一構成部分には同符号を付し、重複した説明は省略する。
【００９３】
本実施例のヘッド・サスペンション及びその圧電素子接着方法では、アクチュエータ・プレート１３Ｆを対向面３１ａ、３３ａを備えた第１プレート１３Ｆａと搭載面３１ｂ、３３ｂを備えた第２プレート１３Ｆｂとを重ねて結合した。
【００９４】
接合テープ２７Ｆは、その外周縁の輪郭を、圧電素子１５の外周縁の輪郭より大きく形成し、取付部１７の内周の輪郭と同一に形成した。接合テープ２７Ｆの縁部が、圧電素子１５から突出する形態となる。
【００９５】
圧電素子１５の組み付け順序は、図６と同様であり、図１４（Ａ）〜図１４（Ｄ）が図６（Ａ）〜（Ｄ）にそれぞれ対応している。
【００９６】
したがって、接合テープ２７Ｆの縁部が、第１、第２プレート１３Ｆａ、１３Ｆｂ間の合わせ目を塞ぐ形態となり、図１４（Ｃ）のように非導電性接着剤２９を充填したときに、非導電性接着剤２９が第１、第２プレート１３Ｆａ、１３Ｆｂ間の合わせ目から毛細管現象により第１、第２プレート１３Ｆａ、１３Ｆｂ間に浸み込むことを防止できる。
【００９７】
なお、図１４（Ｂ）の工程で接合テープ２７Ｆの縁部を搭載面３１ｂ、３３ｂに確実に密着させるために、圧電素子１５からはみ出た接合テープ２７Ｆの縁部にエアを吹き付けて搭載面３１ｂ、３３ｂに確実に密着させ、第１、第２プレート１３Ｆａ、１３Ｆｂ間の合わせ目を確実に塞ぐようにすることもできる。
【００９８】
圧電素子１５からはみ出た接合テープ２７Ｆの縁部の図上上面に、接合のための粘着剤が存在しない場合は、図１４（Ｂ）の工程でこの部分をジグで押さえ、第１、第２プレート１３Ｆａ、１３Ｆｂ間の合わせ目を確実に塞ぐようにすることもできる。
【００９９】
圧電素子１５からはみ出た接合テープ２７Ｆの縁部は、第１、第２プレート１３Ｆａ、１３Ｆｂ間の合わせ目を塞ぐことができればよく、前後方向又は幅方向の何れか一方にのみ形成することもできる。
【０１００】
接合テープ２７Ｆを搭載面３１ｂ、３３ｂへ先に取り付けて第１、第２プレート１３Ｆａ、１３Ｆｂ間の合わせ目を塞ぎ、この搭載面３１ｂ、３３ｂの接合テープ２７上に後から圧電素子１５を接合する方法でも良い。
【０１０１】
なお、実施例５の構造及び方法は、図１０〜図１３の例にも適用することができる。
［その他］
上記実施例では、ベース・プレート３とアクチュエータ・プレート１３とを別構成の板材で形成したが、一体の板材により形成することもできる。
【０１０２】
アクチュエータ９は、一対の圧電素子を別個にして併設する構成に適用することもできる。
【０１０３】
アクチュエータ９は、ヘッド・サスペンション以外のものにも適用することができる。
【符号の説明】
【０１０４】
１  ヘッド・サスペンション
３  ベース・プレート
５  ロード・ビーム
７  フレキシャ
７ａ  端子
９  アクチュエータ
１０  ベース部
１３、１３Ｄ、１３Ｆ  アクチュエータ・プレート
１３Ｆａ  第１プレート
１３Ｆｂ  第２プレート
１５  圧電素子
１７、１７Ｄ  取付部
２１  剛体部
２３ａ、２３ｂ  ばね部
２６  ヘッド部
２７、２７Ｂ、２７Ｃ、２７Ｄ、２７Ｅ、２７Ｆ  接合テープ
２７Ｂａ、２７Ｅａ  穴部
２７Ｃａ  リング部
２９  非導電性接着剤（接着剤）
３１、３１Ｄ、３３、３３Ｄ  搭載支持部
３１ａ、３１Ｄａ、３３ａ、３３Ｄａ  対向面
３１ｂ、３１Ｄｂ、３３ｂ、３３Ｄｂ  搭載面
３５  共通電極版（電極面側）
３７  導電ペースト（導電性接着剤）
【図１】
2014081975.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
2014081975.tif 000013
【図１２】
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【図１３】
2014081975.tif 000015
【図１４】
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【図１５】
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