(57)【要約】【課題】被粘着物を粘着保持することができるとともに、粘着保持されている被粘着物を容易に除去することができ、しかも被粘着物に対する粘着性を毎回の使用において維持することのできる保持治具、一組の保持治具及び被粘着物保持装置の提供。【解決手段】治具本体と、前記治具本体における表面に形成されて成る粘着弾性部材と、前記粘着弾性部材における前記治具本体側の面とは反対側の表面に形成されて成る熱発泡性粘着部材とを備えることを特徴とする保持治具。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
治具本体と、前記治具本体における表面に形成されて成る粘着弾性部材と、前記粘着弾性部材における前記治具本体側の面とは反対側の表面に形成されて成る熱発泡性粘着部材とを備えることを特徴とする保持治具。
【請求項２】
前記熱発泡性粘着部材が、前記粘着弾性部材に貼着される基材フィルムとその基材フィルムにおける粘着弾性部材に貼着される面とは反対側の面に形成された熱発泡性粘着層とを有してなる前記請求項１に記載の保持治具。
【請求項３】
請求項１に記載の保持治具、及び、請求項１に記載の保持治具、又は治具本体と前記治具本体における表面に形成されて成る粘着弾性部材とを有する保持治具を備えている一組の保持治具であって、
前記一組の保持治具のうちの請求項１に記載の保持治具における熱発泡性粘着層は、他方の保持治具における粘着弾性部材よりも大きな粘着力を有していることを特徴とする一組の保持治具。
【請求項４】
請求項３に記載の一組の保持治具を備えた被粘着物保持装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、保持治具、一組の保持治具及び被粘着物保持装置に関し、さらに詳しくは、常態では多数の被粘着物を均一な起立状態で安定して粘着保持することができ、加熱によりその被粘着物を容易に保持治具から離脱させることができ、しかも被粘着物を離脱した後においても被粘着物を再度粘着することができるように繰り返して使用をすることのできる保持治具、並びに、一方の保持治具に粘着保持した多数の被粘着物を他方の保持治具に所望のように移し替えることができるとともに、スクレーパ等の掻き取り部材を使用することなく被粘着物を容易に離脱させることができ、しかも被粘着物を除去した後に簡単な操作により被粘着物を粘着することのできる再生された保持治具とすることのできる一組の保持治具及び被粘着物保持装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば、チップコンデンサ等の小型部品等を製造する際等に、この小型部品等を製造可能な小型部品用部材等をその表面に粘着保持することのできる保持治具が用いられている。例えば、特許文献１に記載の保持治具は、「治具本体と、前記治具本体における表面に形成されて成る中間弾性部材と、前記中間弾性部材における治具本体が形成されている面とは反対側の表面に形成されて成る粘着弾性部材とを備え、前記中間弾性部材は前記粘着弾性部材よりも小さな硬度を有していることを特徴とする保持治具」である（特許文献１の請求項１参照）。
【０００３】
特許文献１に記載の保持治具は、「被粘着物の形状が薄板状の直方体であっても、多数の被粘着物を均一な起立状態で安定して粘着保持することができる」との優れた利点を有しているのであるが、この保持治具を繰り返し使用していると前記粘着弾性部材の粘着力が時間の経過と共に低下するとの問題を有する。
【０００４】
一方、特許文献２が開示する発明は「チップ状電子部品の外部電極形成方法」であり、この外部電極形成方法における第２貼付工程は、「第１粘着材に貼付された該複数のチップ状素子を、該第１外部電極側を接着面として、該第１粘着材よりも耐熱温度が低く且つ該第１粘着材よりも粘着力が強い第２粘着材に貼付するとともに、該第２粘着材によって該複数のチップ状素子を該第１粘着材から引張ることにより該第１粘着材から該複数のチップ状素子を剥離する」工程である（特許文献２の特許請求の範囲、請求項１参照）。そして、前記第２粘着材として熱発泡性粘着剤を含むことも特許文献２に開示されている（特許文献２の特許請求の範囲、請求項２参照）。
【０００５】
特許文献２に開示された「第２粘着材であるシート１７」は、「・・・ＰＥＴフィルム１８の表面に発泡性剥離粘着剤１６が塗布された平面形状が略矩形のシートであり、図示しないホルダーに固定されている。」（特許文献２の段落番号００１９参照）。
【０００６】
この発泡性剥離粘着材は加熱により発泡すると、その粘着力を失うので、繰り返してシート１７を使用することができない。したがって、一度使用された発泡性剥離粘着剤を有するＰＥＴフィルム１８を、接着剤等で固定されたホルダから引き剥がし、使用済みの発泡性剥離粘着材の除去されたホルダに接着材等で新たに未使用の発泡性剥離粘着剤が塗布されているＰＥＴフィルム１８を固定しなければならない。
【０００７】
【特許文献１】特開２００９−１０５３１２号公報
【特許文献２】特許第４４６２２１８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
この発明の課題は、被粘着物を粘着保持することができるとともに、粘着保持されている被粘着物を容易に除去することができ、しかも被粘着物に対する粘着性を毎回の使用において維持することのできる保持治具を提供することであり、被粘着物を粘着保持している第１の保持治具から第２の保持治具に粘着させることにより第１の保持治具から第２の保持治具へと被粘着物を移送させ、次いでその第２の保持治具から被粘着物を簡単な操作で分離する操作を、第２の保持治具における被粘着物に対する粘着性の低下をもたらすことなく、繰り返し行うことのできる一組の保持治具を提供することであり、この一組の保持治具を有する被粘着物保持装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記課題を解決するための手段として、
（１）  治具本体と、前記治具本体における表面に形成されて成る粘着弾性部材と、前記粘着弾性部材における前記治具本体側の面とは反対側の表面に形成されて成る熱発泡性粘着部材とを備えることを特徴とする保持治具。
（２）  前記熱発泡性粘着部材が、前記粘着弾性部材に貼着される基材フィルムとその基材フィルムにおける粘着弾性部材に貼着される面とは反対側の面に形成された熱発泡性粘着層とを有してなる前記（１）に記載の保持治具であり、
（３）  前記（１）に記載の保持治具、及び、前記（１）に記載の保持治具又は治具本体と前記治具本体における表面に形成されて成る粘着弾性部材とを有する保持治具を備えている一組の保持治具であって、
前記一組の保持治具のうちの（１）に記載された保持治具における熱発泡性粘着層は、他方の保持治具における粘着弾性部材よりも大きな粘着力を有していることを特徴とする一組の保持治具であり、
（４）  前記（３）に記載の一組の保持治具を備えた被粘着物保持装置、
である。
【発明の効果】
【００１０】
本発明に係る保持治具は、粘着弾性部材の表面に熱発泡性粘着部材を備えているので、常温で被粘着物を粘着させることができる。熱発泡性粘着部材が下面に位置するように保持治具を位置させると、常温下では熱発泡性粘着部材に被粘着物を懸垂状態にしつつ熱発泡性粘着部材に被粘着物を粘着保持することができる。このように被粘着物を懸垂状態で粘着保持している熱発泡性粘着部材を加熱すると、熱発泡性粘着部材内で発泡が起こり、熱発泡性粘着部材における被粘着物を粘着している表面が凹凸面に変わる。発泡性粘着部材における表面が凹凸面に変化すると、被粘着物が熱発泡性粘着部材の表面に接する面積が減少する。被粘着物が熱発泡性粘着部材に粘着保持される状態は被粘着物が熱発泡性粘着部材に接触している接触面積における粘着力に依存する。接触面積の減少は粘着力の減少をもたらす。その結果、懸垂状態となっていた被粘着物が自重により保持治具から落下する。したがって、この発明に係る保持治具によると、掻き取り部材例えばスクレーパ等により被粘着物を掻き取るという操作により、あるいは保持治具を振動させるという操作により、保持治具に粘着により保持されている被粘着物を、保持治具から除去する必要がなくなる。スクレーパ等の掻き取り部材あるいは加振装置等を使わずに、加熱するだけで被粘着物を保持治具から離脱させることができることは、装置構成の簡略化を実現し、コストの低減を実現することができる。
【００１１】
この発明における熱発泡性粘着部材は加熱後には被粘着部材を粘着する粘着性が失われているので、一度使用された保持治具は、被粘着物を粘着させることができない。つまり、使用済みの保持治具はそのままでは再利用することができない。
【００１２】
そこで、この発明においては、使用済みの保持治具から熱発泡性粘着部材を剥離し、剥離によって露出する粘着弾性部材の表面に、未使用の熱発泡性粘着部材を貼着する。未使用の熱発泡性粘着部材を貼着してなる保持治具は、次の被粘着物の粘着に有効に利用することができる。そして、被粘着物を粘着した熱発泡性粘着部材から被粘着物を分離するには、前記した加熱操作を行う。
【００１３】
この発明に係る一組の保持治具にあっては、第２の保持治具は粘着弾性部材と熱発泡性粘着部材とを備え、第１の保持治具にあっては熱発泡性粘着部材を有さずに粘着弾性部材を備える。第２の保持治具における熱発泡性粘着部材の粘着性が第１の保持治具における粘着弾性部材よりも大きな粘着力を有している。
【００１４】
したがって、第１の保持治具の粘着弾性部材に粘着している被粘着物に、第２の保持治具における熱発泡性粘着部材を接触させ、熱発泡性粘着部材に被粘着物を粘着させてから第１の保持治具と第２の保持治具とが離れるようにそれぞれを移動させると、又はいずれかの保持治具を移動させると第２の保持治具における熱発泡性粘着部材に被粘着物が粘着し、第１の保持治具から第２の保持治具へ被粘着物が移行する。
【００１５】
被粘着物を粘着保持する第２の保持治具における熱発泡性粘着部材を加熱すると、熱発泡性粘着部材が発泡して熱発泡性粘着部材の表面が凹凸面になる。熱発泡性粘着部材の表面が凹凸面になると熱発泡性粘着部材と被粘着物との接触面積が減少する。接触面積の減少により熱発泡性粘着部材による被粘着物の粘着性が低下するので、熱発泡性粘着部材から容易に被粘着物を除去することができる。特に被粘着物が熱発泡性粘着部材に懸垂する状態となっているときには、熱発泡性粘着部材を加熱するだけで、懸垂状態で粘着保持されていた被粘着物が熱発泡性粘着部材から落下し、離脱する。
【００１６】
被粘着物が離脱した熱発泡性粘着部材は再度粘着性部材として使用することができない。そこで、加熱により発泡した熱発泡性粘着部材を粘着性弾性部材から剥離し、露出する粘着性弾性部材の表面に、新たに熱発泡性粘着部材を貼着する。これによって新たな第２の保持治具が得られる。この新たな第２の保持治具は、第１の保持治具と組合わせて被粘着物の移行に再度使用される。
【００１７】
以上に詳述したように、この発明によると、被粘着物を粘着保持することができるとともに、粘着保持されている被粘着物を容易に除去することができ、しかも被粘着物に対する粘着性を毎回の使用において維持することのできる保持治具を提供することができ、被粘着物を粘着保持している第１の保持治具から第２の保持治具に粘着させることにより第１の保持治具から第２の保持治具へと被粘着物を移送させ、次いでその第２の保持治具から被粘着物を簡単な加熱操作で分離する操作を、熱発泡性粘着部材の交換だけで、繰り返し行うことのできる一組の保持治具を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】図１は、この発明に係る保持治具の一例を示す斜視図である。
【図２】図２は、この発明に係る一組の保持治具の一実施例である一組の保持治具を示す概略斜視図である。
【図３】図３は、この発明に係る被粘着物保持装置の一実施例である被粘着物保持装置を示す概略説明図である。
【図４】図４は、この発明に係る被粘着物保持装置の一実施例である被粘着物保持装置における第１の粘着弾性部材に被粘着部材を立設状態で粘着させる手順を説明するための概略断面説明図である。
【図５】図５は、この発明に係る被粘着物保持装置の一実施例である被粘着物保持装置における第１の保持治具により被粘着部材を懸垂保持する状態を示す概略説明図である。
【図６】図６は、この発明に係る被粘着物保持装置の一実施例である被粘着物保持装置における第１の保持治具に、電極が形成された被粘着部材を、懸垂保持した状態を示す概略説明図である。
【図７】図７は、この発明に係る被粘着物保持装置の一実施例である被粘着物保持装置における第１の保持治具に懸垂保持された被粘着部材を、第２の保持治具に押圧した状態を示す概略説明図である。
【図８】図８は、この発明に係る被粘着物保持装置の一実施例である被粘着物保持装置における第２の保持治具に、両端部に電極を塗設して成る被粘着部材を懸垂保持する状態を示す概略説明図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
この発明に係る保持治具の一実施例である保持治具を、図を参照して、説明する。この保持治具１は、図１に示されるように、治具本体２と、治具本体２における表面の少なくとも一部に形成されて成る粘着弾性部材３と、この粘着弾性部材３の治具本体２側とは反対側の表面に形成されて成る熱発泡性粘着部材４とを有し、熱発泡性粘着部材４の粘着力で被粘着物を保持することができる。この保持治具は一組の保持治具のうち第２の保持治具に相当する。
【００２０】
この発明における被粘着物は、この発明に係る保持治具に粘着保持されることにより、小型部品を製造することのできる小型部品用部材、例えば、小型器具用部材、小型機械要素用部材及び小型電子部品用部材等が挙げられる。また、小型部品の製造には小型部品の搬送工程等も含まれるから、被粘着物は、小型部品そのもの、例えば、小型器具、小型機械要素及び小型電子部品等も含まれる。したがって、この発明においては、小型部品と小型部品用部材とは明確に区別される必要はない。これら被粘着物の中でも、この発明に係る保持治具が粘着保持するのに好適な被粘着物として、小型電子部品及び／又は小型電子部品用部材等が挙げられる。小型電子部品及び小型電子部品用部材としては、例えば、コンデンサチップ（チップコンデンサとも称されることがある。）、インダクタチップ、抵抗体チップ等の完成品若しくは未完成品等、及び／又は、これらを製造可能な例えば、角柱体若しくは円柱体、一端部に鍔を有する角柱体若しくは円柱体、両端部に鍔を有する角柱体若しくは円柱体等が挙げられる。
【００２１】
この発明に係る保持治具は、例えば、このような小型電子部品及び／又は小型電子部品用部材の粘着保持用器具として好適である。特に、この発明に係る保持治具は、少なくとも二箇所に導電性ペーストを塗布する必要のある小型電子部品用部材の粘着保持用として、さらに好適である。
【００２２】
被粘着物に着目すると、チップコンデンサの形状としては、角柱体（例えば、縦×横×高さ（ｍｍ）が０．５×０．５×１．０（ｍｍ））等が挙げられる。
【００２３】
前記保持治具１における前記治具本体２は、粘着弾性部材３と熱発泡性粘着部材４とを保持又は支持する。治具本体２は、粘着弾性部材３と熱発泡性粘着部材４とを保持又は支持することができる限り種々の設計変更に基づく各種の形態にすることができる。例えば、保持治具１における治具本体２は、図１に示されるように、方形を成す盤状体に形成されている。
【００２４】
治具本体２は、粘着弾性部材３と熱発泡性粘着部材４とを保持又は支持可能な厚さを有していればよいが、保持治具１の厚さを所定範囲に容易に調整することができる点で、治具本体２は平滑な表面を有しているのがよく、さらに、治具本体２は均一な厚さを有しているのがよい。
【００２５】
治具本体２は、粘着弾性部材３を形成する面に、粘着弾性部材３との密着性を向上させるために、プライマー処理、コロナ処理、エッチング処理及び／又はプラズマ処理等が施されるのが好ましい。
【００２６】
前記粘着弾性部材３は、前記治具本体２の表面の少なくとも一部に形成される。粘着弾性部材３は、熱発泡性粘着部材４を粘着により保持することができるように設計され、例えば、図１に示されるように、前記粘着弾性部材３における表面の全体に方形の盤状体に成形されている。
【００２７】
粘着弾性部材３Ｂは、被粘着物を粘着保持することのできる粘着力を有している。具体的には、粘着弾性部材３Ｂは、通常、１〜５０ｇ／ｍｍ２の粘着力を有しているのがよく、７〜５０ｇ／ｍｍ２の粘着力を有しているのがよりよい。
【００２８】
ここで、粘着弾性部材３Ｂの粘着力は、以下のようにして求める。以下の粘着力の測定方法は、出願人により案出されたので、信越ポリマー法と称する。
【００２９】
まず、粘着弾性部材３Ｂを水平に固定する吸着固定装置（例えば、商品名：電磁チャック、ＫＥＴ−１５３０Ｂ、カネテック（株）製）又は真空吸引チャックプレート等と、測定部先端に、直径１０ｍｍの円柱を成したステンレス鋼（ＳＵＳ３０４）製の接触子を取り付けたデジタルフォースゲージ（商品名：ＺＰ−５０Ｎ、（株）イマダ製）とを備えた荷重測定装置を用意する。次いで、この荷重測定装置における吸着固定装置又は真空吸引チャックプレート上に粘着弾性部材３Ｂを固定し、測定環境を２１±１℃、湿度５０±５％に設定する。次いで、２０ｍｍ／ｍｉｎの速度で粘着弾性部材３Ｂの被測定部位に接触するまで前記荷重測定装置に取り付けられた前記接触子を下降させ、次いで、この接触子を被測定部位に所定の荷重で被測定部に対して垂直に３秒間押圧する。ここで、前記所定の荷重を２５ｇ／ｍｍ２に設定する。次いで、１８０ｍｍ／ｍｉｎの速度で前記接触子を被測定部位から引き離し、このときに前記デジタルフォースゲージにより測定される引き離し荷重を読み取る。この操作を、被測定部位の複数箇所で行い、得られる複数の引き離し荷重を算術平均し、得られる平均値を粘着弾性部材３Ｂの粘着力とする。なお、この測定方法は、手動で行ってもよいが、例えば、テストスタンド（例えば、商品名：ＶＥＲＴＩＣＡＬ  ＭＯＤＥＬ  ＭＯＴＯＲＩＺＥＤ  ＳＴＡＮＤ  シリーズ、（株）イマダ製）等の機器を用いて、自動で行ってもよい。
【００３０】
粘着弾性部材３Ｂは、所望の厚さを有していればよいが、保持治具１の厚さを所定範囲に容易に調整することができ、シート状の熱発泡性粘着部材４を均一に粘着保持することができる点で、粘着弾性部材３Ｂは平滑な表面を有しているのがよく、さらに、粘着弾性部材３Ｂは均一な厚さを有しているのがよい。
【００３１】
前記治具本体２は、粘着弾性部材を保持又は支持可能な材料で形成されればよく、例えば、ステンレス鋼及びアルミニウム等の金属製プレート、アルミニウム箔及び銅箔等の金属箔、ポリエステル、ポリテトラフルオロエチレン、ポリイミド、ポリフェニレンスルフィド、ポリアミド、ポリカーボネート、ポリスチレン、ポリプロピレン、ポリエチレン及びポリ塩化ビニル等の樹脂フィルム又は樹脂板、和紙、合成紙及びポリエチレンラミネート紙等の紙、並びに、布、ガラス繊維及びガラス板等のセラミックス、並びに、ガラスエポキシ樹脂板等の複合材料等を挙げることができる。さらに、治具本体２として、シート状物を複数積層して成る積層体とすることもできる。治具本体２は、金属、樹脂又はセラミックスからなる硬質材料で形成されるのが好適である。
【００３２】
前記粘着弾性部材３Ｂは、粘着弾性部材３Ｂに前記粘着力を付与することのできる粘着性材料、又は、この粘着性材料の硬化物で形成されていればよく、粘着材料として、例えば、フッ素系樹脂又はフッ素系ゴム、フッ素系樹脂又はフッ素系ゴムを含有するフッ素系組成物、シリコーン樹脂又はシリコーンゴム、シリコーン樹脂又はシリコーンゴムを含有するシリコーン組成物、ウレタン系エラストマー、天然ゴム、スチレン−ブタジエン共重合エラストマー等の各種エラストマー等が挙げられる。この中でも、シリコーンゴム、及び／又は、シリコーンゴムを含有する付加反応硬化型粘着性シリコーン組成物及び過酸化物硬化型粘着性シリコーン組成物が好ましい。
【００３３】
前記付加反応硬化型粘着性シリコーン組成物としては、シリコーン生ゴム（ａ）と、架橋成分（ｂ）と、粘着力向上剤（ｃ）と、触媒（ｄ）と、シリカ系充填材（ｅ）とを含有する粘着性組成物を挙げることができる。
【００３４】
前記シリコーン生ゴム（ａ）としては、（Ｒ２ＳｉＯ２／２）単位（Ｒは、炭化水素基を表す。）を含み、置換基を有していてもよいポリジメチルシロキサンの長鎖重合体等であればよく、例えば、付加反応により架橋可能なポリオルガノシロキサンを用いることができ、より具体的には、アルケニル基含有ポリオルガノシロキサンを用いることができ、特に、下記（１）式で示されるアルケニル基含有ポリオルガノシロキサンを好適に用いることができる。
【００３５】
Ｒ１（３−ａ）ＸａＳｉＯ−（Ｒ１ＸＳｉＯ）ｍ−（Ｒ１２ＳｉＯ）ｎ−ＳｉＲ１（３−ｂ）Ｘｂ                          （１）式
ただし、（１）式中、Ｒ１は脂肪族不飽和結合を有することのない１価の炭化水素基であり、それぞれ同一であっても異なっていてもよく、Ｘはアルケニル含有有機基であり、それぞれ同一であっても異なっていてもよい。また、ａは０〜３の整数、ｂは０〜３の整数、ｍは０以上の整数、ｎは１００以上の整数であり、ａ、ｂ及びｍは同時に０とはならない。
【００３６】
前記式（１）において、Ｒ１としては、炭素数１〜１０の前記炭化水素基が好ましく、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基等の直鎖又は分岐アルキル基、シクロヘキシル基等のシクロアルキル基、フェニル基、トリル基等のアリール基等が挙げられ、特にメチル基、フェニル基が好ましい。また、Ｘで示されるアルケニル基含有有機基としては、炭素数２〜１０のアルケニル基含有有機基が好ましく、例えば、ビニル基、アリル基、ヘキセニル基、オクテニル基等の炭素二重結合含有炭化水素基、アクリロイルプロピル基、アクリロイルメチル基、メタクリロイルプロピル基、メタクリロイルメチル基等の(メタ)アクリロイルアルキル基、シクロヘキセニルメチル基、シクロヘキセニルエチル基、シクロヘキセニルプロピル基等のシクロアルケニルアルキル基、ビニルオキシプロピル基等を挙げることができる。
【００３７】
シリコーン生ゴム（ａ）は、オイル状、粘土状の性状を有していてもよく、その粘度は２５℃において５０ｍＰａ・ｓ以上であるのが好ましく、特に１００ｍＰａ・ｓ以上であるのが好ましい。
【００３８】
シリコーン生ゴム（ａ）は、一種単独で用いてもよく、二種以上を混合して用いてもよい。
【００３９】
前記架橋成分（ｂ）は、前記シリコーン生ゴム（ａ）と架橋反応可能な成分であり、例えば、１分子中にＳｉ原子に結合したＨ原子を少なくとも２個以上、好ましくは３個以上有するＳｉＨ結合含有ポリオルガノシロキサン（以下、オルガノハイドロジェンポリシロキサンと称することもある。）を用いることができる。
【００４０】
このオルガノハイドロジェンポリシロキサンとしては、直鎖状、分枝状、環状のオルガノハイドロジェンポリシロキサンの中から適宜に選択して使用することができ、例えば、下記（２）式又は（３）式で示されるオルガノハイドロジェンポリシロキサンを好適例として挙げることができる。
【００４１】
ＨｃＲ１（３−ｃ）ＳｉＯ−（ＨＲ１ＳｉＯ）ｘ−（Ｒ１２ＳｉＯ）ｙ−ＳｉＲ１（３−ｄ）Ｈｄ                            （２）式
【００４２】
【化１】
2014120586.tif 000003
【００４３】
前記（２）式及び（３）式において、Ｒ１は前記と同様の１価の炭化水素基であり、同一であっても異なっていてもよい。また、ｃ及びｄは０〜３の整数、ｘ、ｙ及びｓは０以上の整数、ｒは１以上の整数であり、ｃ、ｄ及びｘは同時に０とはならず、さらに、ｘ＋ｙ≧０である。また、ｒ＋ｓ≧３、好ましくは８≧ｒ＋ｓ≧３である。
【００４４】
これらのオルガノハイドロジェンポリシロキサンの中でも、オイル状の性状を有し、粘度が２５℃において１〜５０００ｍＰａ・ｓであるオルガノハイドロジェンポリシロキサンが好ましい。
【００４５】
架橋成分（ｂ）は、一種単独で用いてもよく、二種以上を混合して用いてもよい。
【００４６】
架橋成分（ｂ）の配合割合は、適宜に選択可能であるが、前記シリコーン生ゴム（ａ）がアルケニル基を含有すると共に、前記架橋成分（ｂ）がＳｉＨ結合を含有する場合には、シリコーン生ゴム（ａ）中のアルケニル基に対する架橋成分（ｂ）中のＳｉＨ結合のモル比が０．５〜２０であるのが好ましく、特に１〜１５の範囲であるのが好ましい。このモル比が０．５未満では、後述する硬化後の架橋密度が低くなり、粘着弾性部材３Ｂの形状を保持しにくくなることがある。一方、前記モル比が２０を超えると、粘着弾性部材３Ｂの粘着力が低下することがある。
【００４７】
前記粘着力向上剤（ｃ）は、粘着力を向上するために配合される成分であり、例えば、ポリオルガノシロキサンを用いることができ、特に、Ｒ２３ＳｉＯ１／２単位及びＳｉＯ２単位（ただし、Ｒ２は脂肪族不飽和結合を有しない１価の炭化水素基である。）を含有するものを好適に用いることができる。ここで、Ｒ２としては、炭素数１〜１０の置換基が好ましく、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基等の直鎖又は分岐アルキル基、シクロヘキシル基等のシクロアルキル基、フェニル基、トリル基等のアリール基等を例示でき、特にメチル基、フェニル基が好ましい。
【００４８】
粘着力向上剤（ｃ）は、一般的に粘着性をより高度に確保するために、シリコーン生ゴム（ａ）及び架橋成分（ｂ）とともに架橋反応を生じない、又は、生じ難い構造を有するものが好ましい。
【００４９】
粘着力向上剤（ｃ）としてポリオルガノシロキサンを用いる場合は、Ｒ２３ＳｉＯ１／２単位／ＳｉＯ２単位のモル比が０．６〜１．７となるものが好ましい。このモル比が０．６未満では、粘着弾性部材３Ｂの粘着性が高くなり過ぎ、又はシリコーン生ゴム（ａ）と相溶し難くなって、シリコーン生ゴム（ａ）と粘着力向上剤（ｃ）とが分離して粘着性を発現しなくなることがある。一方、前記モル比が１．７を超えると粘着弾性部材３Ｂの粘着力が低下することがある。
【００５０】
なお、このポリオルガノシロキサンは、Ｓｉ原子に結合するＯＨ基を含有していてもよく、その場合、ＯＨ基含有量が０〜４．０モル％であるのが好ましい。
【００５１】
Ｓｉ原子に結合するＯＨ基を含有するものを用いる場合、前記シリコーン生ゴム（ａ）として、下記（４）式に示されるポリオルガノシロキサンを含有するときには、前記シリコーン生ゴム（ａ）と粘着力向上剤（ｃ）とが一部縮合反応物を形成していてもよい。
【００５２】
（ＯＨ）Ｒ１ＹＳｉＯ−（Ｒ１ＸＳｉＯ）ｐ−（Ｒ１２ＳｉＯ）ｑ−ＳｉＲ１２（ＯＨ）                                （４）式
ただし、（４）式中、Ｒ１は脂肪族不飽和結合を有することのない１価の前記炭化水素基であり、それぞれ同一であっても異なっていてもよく、ＹはＲ１又はアルケニル基含有有機基である。Ｘはアルケニル含有有機基である。また、ｐは１以上の整数、ｑは１００以上の整数である。１価の炭化水素基及びアルケニル基含有有機基は前記したのと同様である。
【００５３】
前記シリコーン生ゴム（ａ）と前記粘着力向上剤（ｃ）との縮合反応物を形成するには、トルエン等の溶剤に溶解したシリコーン生ゴム（ａ）及び粘着力向上剤（ｃ）の混合物を、アルカリ性触媒の存在下で、室温乃至還流下で反応させればよい。
【００５４】
粘着力向上剤（ｃ）は、一種単独で用いても、二種以上を混合して用いてもよい。
【００５５】
粘着力向上剤（ｃ）は、シリコーン生ゴム（ａ）／粘着力向上剤（ｃ）の質量比として２０／８０〜８０／２０の範囲で用いるのが好ましく、特に、３０／７０〜７０／３０とするのが好適である。この範囲を超えて粘着力向上剤（ｃ）が少ないと粘着性が不足しやすくなり、一方、多いと粘着弾性部材３Ｂが硬くなるとともに弾性力が強く、粘着弾性部材３Ｂが変形し難くなり、何れにおいても、小型電子部品を粘着保持しにくくなることがある。
【００５６】
前記触媒（ｄ）は、主として、前記シリコーン生ゴム（ａ）と前記架橋成分（ｂ）との架橋反応を促進する触媒であり、通常、ハイドロサイレーションの触媒として使用されるものであればよく、例えば、白金化合物等が挙げられる。白金化合物としては、塩化白金酸、塩化白金酸のアルコール溶液、塩化白金酸とアルコールとの反応物、塩化白金酸とオレフィン化合物との反応物、塩化白金酸とビニル基含有シロキサンとの反応物等が挙げられる。
【００５７】
触媒（ｄ）の配合割合は、前記シリコーン生ゴム（ａ）と前記架橋成分（ｂ）との合計質量に対し、白金成分として１〜５，０００ｐｐｍとするのが好ましく、特に５〜２，０００ｐｐｍとすることが好適である。配合割合が１ｐｐｍ未満では硬化性が低下して架橋密度が低くなって粘着弾性部材３Ｂの粘着力が低下することがあり、一方、５，０００ｐｐｍを超えると処理浴の使用可能時間が短くなる場合がある。
【００５８】
前記シリカ系充填材（ｅ）は、前記各成分とともに添加され、粘着弾性部材３Ｂの機械的強度を補強するとともに、粘着弾性部材３Ｂを構成する成分、特に、粘着性を付与する粘着力向上剤（ｃ）を粘着層に分散させて、小型電子部品の確実な粘着保持に寄与する成分である。
【００５９】
シリカ系充填材（ｅ）としては、シリカ、石英紛、珪藻土等が挙げられるが、好ましくはシリカである。好適なシリカとしては、ＢＥＴ法により測定されるその比表面積が５０ｍ２／ｇ以上、好ましくは１００〜４００ｍ２／ｇのシリカを挙げることができる。このような比表面積を有するシリカが付加反応硬化型粘着性シリコーン組成物に含まれていると、粘着弾性部材３Ｂの引っ張り強度等の機械的強度を向上させることができると共に粘着性を付与する成分が脱離し難くなり、微細な削りカスやのり残りが生じ難くなる。なお、比表面積が４００ｍ２／ｇを超えると、付加反応硬化型粘着性シリコーン組成物の流動特性が低下することがあり、粘着弾性部材３Ｂの製造に時間がかかると共にコストが増大することがある。
【００６０】
シリカ系充填材（ｅ）としては、例えば、ヒュームドシリカ、焼成シリカ等の乾式法により合成されたシリカ、沈降シリカ、シリカゲル等の湿式法により合成されたシリカを挙げることができる。これらの中でも、前記比表面積を有するシリカを得やすい点で、ヒュームドシリカ、沈降シリカが好ましい。
【００６１】
シリカ系充填材（ｅ）は、一種単独で用いても、二種以上を混合して用いてもよい。また、必要に応じて、シリカ系充填材（ｅ）の表面を、例えば、オルガノポリシロキサン、オルガノポリシラザン、クロロシラン、アルコキシシラン等の表面処理剤で処理したものを用いてもよい。
【００６２】
シリカ系充填材（ｅ）の配合割合は、前記シリコーン生ゴム（ａ）と前記粘着力向上剤（ｃ）との合計１００質量部に対して、１〜３０質量部とするのが好ましく、５〜２０質量部とするのがより好ましい。配合割合が１質量部未満であると、粘着弾性部材３Ｂの強度が低下して、十分な効果が得られ難くなり、また、使用時に微細な削りカスやのり残りが発生しやすくなることがある。一方、配合割合が３０質量部を超えると、粘着弾性部材３Ｂの粘着力が低下することがある。
【００６３】
さらに、この発明では、前記シリコーン生ゴム（ａ）から前記シリカ系充填材（ｅ）の他に、適宜、任意成分を添加することが可能である。
【００６４】
例えば、前記成分を混合する時の架橋反応を抑制するための反応制御剤を添加することができる。この反応制御剤としては、例えば、３−メチル−１−ブチン−３−オール、３−メチル−１−ペンチン−３−オール、３，５−ジメチル−１−ヘキシン−３−オール、１−エチニルシクロヘキサノール、３−メチル−３−トリメチルシロキシ−１−ブチン、３−メチル−３−トリメチルシロキシ−１−ペンチン、３，５−ジメチル−３−トリメチルシロキシ−１−ヘキシン、１−エチニル−１−トリメチルシロキシシクロヘキサン、ビス（２，２−ジメチル−３−ブチノキシ）ジメチルシラン、１，３，５，７−テトラメチル−１，３，５，７−テトラビニルシクロテトラシロキサン、１，１，３，３−テトラメチル−１，３−ジビニルジシロキサン等が挙げられる。
【００６５】
この反応制御剤を添加する場合、その配合割合は、前記シリコーン生ゴム（ａ）と前記粘着力向上剤（ｃ）との合計１００質量部に対して、０〜５．０質量部とすることができ、特に０．０５〜２．０質量部とするのが好ましい。この反応制御剤の配合割合が５．０質量部を超えると粘着性組成物の硬化時に硬化し難くなることがある。
【００６６】
また、この反応制御剤の他にも、適宜、任意成分を添加することが可能であり、例えば、ポリジメチルシロキサン、ポリジメチルジフェニルシロキサン等の非反応性のポリオルガノシロキサン、非粘着性のシリコーンゴム組成物、塗工の際の粘度を下げるための溶剤として、トルエン、キシレン等の芳香族系溶剤、ヘキサン、オクタン、イソパラフィン等の脂肪族系溶剤、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン等のケトン系溶剤、酢酸エチル、酢酸イソブチル等のエステル系溶剤、ジイソプロピルエーテル、１，４−ジオキサン等のエーテル系溶剤、又はこれらの混合溶剤、染料、顔料等を使用することができる。
【００６７】
前記シリコーン生ゴム（ａ）、架橋成分（ｂ）、粘着力向上剤（ｃ）、触媒（ｄ）及びシリカ系充填材（ｅ）を含有する組成物としては、適宜製造してもよく、市販品を使用してもよい。市販品としては、例えば、前記シリカ系充填材（ｅ）を含有しない組成物である信越化学工業株式会社製の商品名「ＫＥ１２１４」、「Ｘ−４０−３０９８」等の「Ｘ−４０系」及び「Ｘ−３４−６３２Ａ／Ｂ」等の「Ｘ−３４系」組成物等が入手可能である。
【００６８】
前記過酸化物硬化型粘着性シリコーン組成物は、シリコーン生ゴム（ａ）と、粘着力向上剤（ｃ）と、シリカ系充填材（ｅ）と、有機過酸化物（ｆ）とを含有する粘着性組成物を挙げることができる。
【００６９】
前記ゴムシリコーン生ゴム（ａ）としては、（Ｒ２ＳｉＯ２／２）単位（Ｒは、炭化水素基を表す。）を含み、置換基を有していてもよいポリシロキサンの長鎖重合体等であればよく、例えば、ポリジメチルシロキサン、その置換体等が挙げられる。このシリコーン生ゴム（ａ）の性状、粘度等は、前記付加反応硬化型粘着性組成物に含有されるシリコーン生ゴム（ａ）と基本的に同様である。シリコーン生ゴム（ａ）は、一種単独で用いてもよく、二種以上を混合して用いてもよい。
【００７０】
過酸化物硬化型粘着性シリコーン組成物に含有される粘着力向上剤（ｃ）及びシリカ系充填材（ｅ）は、それぞれ、前記付加反応硬化型粘着性組成物に含有される粘着力向上剤（ｃ）及びシリカ系充填材（ｅ）と基本的に同様である。
【００７１】
過酸化物硬化型粘着性シリコーン組成物に含有される有機過酸化物（ｆ）は、主として、シリコーン生ゴム（ａ）同士を、又は、シリコーン生ゴム（ａ）と粘着力向上剤（ｃ）とを架橋させる硬化剤であり、例えば、ベンゾイルパーオキサイド等のジアシルパーオキサイド類、ジ−ｔ−ブチルパーオキサイド等のジアルキルパーオキサイド類等が挙げられる。有機過酸化物（ｆ）としては、ジアシルパーオキサイド類が好ましく、ベンゾイルパーオキサイドが特に好ましい。
【００７２】
有機過酸化物（ｆ）の配合割合は、シリコーン生ゴム（ａ）と粘着力向上剤（ｃ）との合計質量に対し、０．２〜５．０質量部とするのが好ましく、特に０．５〜２．５質量部とすることが好適である。配合割合が、０．２質量部未満では硬化性が低下して架橋密度が低くなって粘着層の粘着力が低下することがあり、一方、５．０質量部を超えると、粘着性組成物によって形成される粘着弾性部材３Ｂの硬度が高くなり、粘着力が低下するという欠点が生じる場合がある。
【００７３】
過酸化物硬化型粘着性シリコーン組成物には、さらに、シリコーン生ゴム（ａ）、粘着力向上剤（ｃ）、シリカ系充填材（ｅ）及び前記有機過酸化物（ｆ）の他に、適宜、任意成分を添加することが可能である。任意成分としては、前記付加反応硬化型粘着性組成物で例示した成分が挙げられる。
【００７４】
このような過酸化物硬化型粘着性シリコーン組成物としては、適宜製造してもよく、市販品を使用してもよい。市販品としては、例えば、前記有機過酸化物（ｆ）を含有しない組成物である、信越化学工業株式会社製の商品名「ＫＲ−１０１−１０」、「ＫＲ−１２０」、「ＫＲ−１３０」及び「ＫＲ−１４０」等が入手可能である。
【００７５】
例えば、粘着弾性部材３Ｂが前記付加反応硬化型粘着性シリコーン組成物で形成される場合には、通常、８０〜１３０℃で３〜４０分加熱することにより、硬化される。また、粘着弾性部材３Ｂが前記過酸化物硬化型粘着性シリコーン組成物で形成される場合には、通常、１００〜１５０℃で５〜２０分加熱することにより、硬化される。なお、このようにして硬化された付加反応硬化型粘着性シリコーン組成物及び過酸化物硬化型粘着性シリコーン組成物は、さらに、１７０〜２２０℃、２〜１０時間の条件で二次加熱されてもよい。
【００７６】
図１に示されるように、保持治具１における熱発泡性粘着部材４は、基材フィルム４Ａとその基材フィルム４Ａの表面に熱発泡性粘着剤で形成された熱発泡性粘着層４Ｂとを有する。
【００７７】
基材フィルム４Ａとしては、例えば、ポリエチレンテレフタレートフィルム等のポリエステルフィルム；ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム等のオレフィン系樹脂フィルム；ポリ塩化ビニルフィルム；ポリイミドフィルム；ナイロンフィルムなどのポリアミドフィルム；レーヨンフィルムなどのプラスチック系基材フィルム（合成樹脂フィルム）が挙げられる。また、紙製基材（上質紙、和紙、クラフト紙、グラシン紙、合成紙、トップコート紙など紙類から構成される基材）が用いられていてもよい。中でも、ポリエチレンテレフタレートフィルム等のポリエステルフィルムが好適に用いられる。
【００７８】
熱発泡性粘着剤としては、アクリル系モノマーをモノマー主成分とするアクリル系ポリマーをベースポリマーとする熱発泡剤含有粘着剤組成物が好ましい。特に、ビニル系モノマー混合物又はその部分重合物、光重合開始剤又は熱重合開始剤、熱発泡剤、多官能（メタ）アクリレートから構成される熱発泡剤含有粘着剤組成物が好ましい。
【００７９】
前記ビニル系モノマーとしては、不飽和二重結合を有し、ラジカル重合が可能なモノマー（ラジカル重合性モノマー）であれば特に制限されないが、反応性の点からアクリル系モノマーが好ましく、特にアクリル系モノマーの中でも、炭素数２〜１８のアルキル基を有するアルキル（メタ）アクリレートが好ましい。すなわち、熱発泡剤含有粘着剤組成物に用いられるビニル系モノマー混合物又はその部分重合物の主成分としては、アクリル系モノマーが好ましく、特に炭素数２〜１８のアルキル基を有するアルキル（メタ）アクリレートが好ましい。
【００８０】
光重合開始剤としては、特に制限されず、例えば、ベンゾインエーテル系光重合開始剤、アセトフェノン系光重合開始剤、α−ケトール系光重合開始剤、芳香族スルホニルクロリド系光重合開始剤、光活性オキシム系光重合開始剤、ベンゾイン系光重合開始剤、ベンジル系光重合開始剤、ベンゾフェノン系光重合開始剤、ケタール系光重合開始剤、チオキサントン系光重合開始剤などを用いることができる。
【００８１】
熱重合開始剤としては、熱重合開始剤としては、例えば、２，２´−アゾビスイソブチロニトリル、２，２´−アゾビス−２−メチルブチロニトリル、２，２´−アゾビス（２−メチルプロピオン酸）ジメチル、４，４´−アゾビス−４−シアノバレリアン酸、アゾビスイソバレロニトリル、２，２´−アゾビス（２−アミジノプロパン）ジヒドロクロライド、２，２´−アゾビス［２−（５−メチル−２−イミダゾリン−２−イル）プロパン］ジヒドロクロライド、２，２´−アゾビス（２−メチルプロピオンアミジン）二硫酸塩、２，２´−アゾビス（Ｎ，Ｎ´−ジメチレンイソブチルアミジン）ジヒドロクロライドなどのアゾ系熱重合開始剤；ジベンゾイルペルオキシド、ｔｅｒｔ−ブチルペルマレエートなどの過酸化物系熱重合開始剤；レドックス系熱重合開始剤などが挙げられる。熱重合開始剤の使用量としては、特に制限されず、従来、熱重合開始剤として利用可能な範囲であればよい。
【００８２】
熱発泡剤としては、特に制限されず、例えば公知の熱発泡剤を適宜選択して用いることができるが、中でもマイクロカプセル化されている発泡剤を好適に用いることができる。このようなマイクロカプセル化されている発泡剤としては、例えば、イソブタン、プロパン、ペンタンなどの加熱により容易にガス化して膨脹する物質を、弾性を有する殻内に内包させた微小球（「熱膨張性微小球」と称する場合がある）が挙げられる・
多官能（メタ）アクリレートとしては、例えば、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタンテトラアクリレート、ペンタエリスリトールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、１，２−エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、１，４−ブチレングリコールジ（メタ）アクリレート、１，６−ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、１，１２−ドデカンジオールジ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールモノヒドロキシペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、（ポリ）エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、（ポリ）プロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタントリ（メタ）アクリレート、アリル（メタ）アクリレート、ビニル（メタ）アクリレート、エポキシアクリレート、ポリエステルアクリレート、ウレタンアクリレート、末端に（メタ）アクリロイル基を複数個有する反応性ハイパーブランチポリマー［例えば、商品名「ＣＮ２３００」「ＣＮ２３０１」「ＣＮ２３２０」（ＳＡＲＴＯＭＥＲ社製）など］などが挙げられる。なお、多官能（メタ）アクリレートは、単独で又は２種以上を組み合わせて使用することができる。
【００８３】
この発明における熱発泡性粘着剤は、常温では通常の粘着力を発揮し、所定温度以上に加熱されると発泡剤が発泡することにより粘着面積が低下すると共に熱発泡性粘着層の表面が凹凸になることにより、粘着力が失われ、被粘着物が熱発泡性粘着層から分離可能になる。粘着力は、他方の保持治具における粘着弾性部材の粘着力よりも大きく、発泡温度はこの熱発泡性粘着部材の耐熱温度よりも低く調整される。
【００８４】
このような熱発泡性粘着部材４として、日東電工株式会社製の商品名「リバアルファ」を使用することができる。
【００８５】
保持治具１は、治具本体２の表面の少なくとも一部に粘着弾性部材３を前記粘着性材料で形成し、さらに前記粘着弾性部材３の表面の少なくとも一部に熱発泡性粘着部材４を形成して製造することができる。例えば、保持治具１は、前記ゴム組成物と前記粘着性材料とを各々成形してシート状成形体を作製し、前記ゴム組成物により形成されたシート状成形体の両面、及び前記粘着性材料により形成されたシート状成形体の片面を研磨して、各々の研磨された面に接着剤又はプライマーを、スプレー法、浸漬法等によって塗布した後に接合し、次いで、この前記ゴム組成物により形成されたシート状成形体と前記粘着性材料により形成されたシート状成形体とが接合されて成るシート状成形体を治具本体２の表面の少なくとも一部に貼り付けることにより製造してもよい。また、保持治具１は、前記ゴム組成物と前記粘着性材料とを積層して加硫することによりシート状積層成形体を形成した後に、前記シート状積層成形体の両表面を研磨して、ゴム組成物により形成されて成る表面に接着剤又はプライマーを、スプレー法、浸漬法等によって塗布した後に、治具本体２の表面の少なくとも一部に前記シート状積層成形体を貼り付けて、製造されてもよい。さらに、保持治具１は、治具本体２と粘着弾性部材３Ｂとをトランスファー成形により一体に成型してもよい。
【００８６】
前記プライマーとしては、特に限定されず、例えば、シランカップリング系プライマー等が挙げられる。また、接着剤としては、特に制限されないが、例えば、アルキッド樹脂、フェノール変性・シリコーン変性等のアルキッド樹脂変性物、オイルフリーアルキッド樹脂、アクリル樹脂、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂、フッ素樹脂、フェノール樹脂、ポリアミド樹脂、ウレタン樹脂及びこれらの混合物が挙げられる。これらの中でも、アミノ基及び／又は水酸基を有する接着剤が好適である。また、これらの樹脂を硬化させるための架橋剤として、イソシアネート化合物、メラミン化合物、エポキシ化合物、過酸化物、フェノール化合物、ハイドロジェンシロキサン化合物等が用いられる。
【００８７】
保持治具１の厚さを均一にするには、例えば、治具本体２を研磨、研削又は切削等により、治具本体２の厚さを均一にする方法、前記ゴム組成物及び前記粘着性材料からシート状成形体を作製し、このシート状成形体から均一な厚さを有する部分を切り出し、治具本体２に貼り付ける方法、粘着弾性部材３を表面処理する方法、並びに、これらの方法を組み合わせた方法等が挙げられる。
【００８８】
この発明に係る一組の保持治具の一実施例である一組の保持治具を、図を参照して、説明する。一組の保持治具５は、図２に示されるように、第１の保持治具１ａと第２の保持治具１Ａとを備えている。
第１の保持治具１ａは、第２の治具本体２Ａと同様に、前記第１の治具本体２ａの表面の少なくとも一部に形成されて成る、被粘着物を粘着保持可能な粘着弾性部材３を備えて成り、第２の保持治具１Ａは、第２の治具本体２Ａと、前記第２の治具本体２Ａの表面の少なくとも一部に形成されて成る、被粘着物を粘着保持可能な粘着弾性部材３と、この粘着弾性部材３の表面であって前記第２の治具本体２Ａとは反対側に設けられた熱発泡性粘着部材４とを備えて成る。
【００８９】
熱発泡性粘着部材４は、基材フィルム４Ａとその基材フィルム４Ａの表面に形成された熱発泡性粘着層４Ｂとを有する。
【００９０】
第１の保持治具１ａ及び第２の保持治具１Ａは、熱発泡性粘着部材４以外は、前記保持治具１と基本的に同様に構成されており、粘着弾性部材３の硬度は熱発泡性粘着層４Ｂよりも大きく設定されている。
【００９１】
粘着弾性部材３と熱発泡性粘着層４Ｂとは、被粘着物を粘着保持することのできる粘着力、通常、１〜５０ｇ／ｍｍ２の粘着力を有しているのがよく、７〜５０ｇ／ｍｍ２の粘着力を有しているのが特によい。
【００９２】
そして、第２の保持治具１Ａにおける熱発泡性粘着層４Ｂは、第１の保持治具１ａにおける粘着弾性部材３の粘着力よりも大きな粘着力を有する。熱発泡性粘着層４Ｂ及び粘着弾性部材３がこのような粘着力の関係を有することにより、第１の保持治具１ａにおける粘着弾性部材３から第２の保持治具１Ａにおける熱発泡性粘着層４Ｂに被粘着物を移し替えることができる。粘着弾性部材３から熱発泡性粘着層４Ｂに被粘着物を脱落することなくスムーズに移し替えることができる点で、粘着弾性部材３と熱発泡性粘着層４Ｂとの粘着力の差は１５〜４３ｇ／ｍｍ２であるのが好ましく、１８〜３５ｇ／ｍｍ２であるのがより好ましく、２０〜３０ｇ／ｍｍ２であるのが特に好ましい。
【００９３】
一組の保持治具５は、被粘着物を、第１の保持治具１ａに粘着保持させ、次いで、第２の保持治具１Ａに移し替えて粘着保持させるのに好適に使用され、特に、形状が薄板状の直方体である小型電子部品用部材及び／又は小型電子部品を、第１の保持治具１ａに粘着保持させ、次いで、第２の保持治具１Ａに移し替えて粘着保持させるのに好適に使用される。
【００９４】
図２に示した例においては、第２の保持治具１Ａは、本発明に係る保持治具１を使用しており、一組の保持治具５において、第１の保持治具１ａは、熱発泡性粘着層４を有しておらず、治具本体の表面に直接に粘着弾性部材が形成されて成る保持治具である。
【００９５】
この発明に係る一実施例である被粘着物保持装置を、図を参照して、説明する。被粘着物保持装置１０は、図３に示されるように、第１の保持治具１ａ及び第２の保持治具１Ａを含む一組の保持治具を備え、被粘着物を粘着保持すると共に、第１の保持治具１ａから第２の保持治具１Ａに被粘着物を移し替えることのできる装置である。被粘着物保持装置１０が備える一組の保持治具は、前記一組の保持治具５と同様に構成されており、第１の保持治具１ａ及び第２の保持治具１Ａのいずれもが前記保持治具１とされる例である。この被粘着物としては、小型電子部品用部材及び／又は小型電子部品が好適に使用される。
【００９６】
被粘着物保持装置１０は、図３に示されるように、第１の保持治具１ａと第２の保持治具１Ａとが、第１の粘着弾性部材３と熱発泡性粘着部材４とが相対向するように配置可能に成っている。第２の保持治具１Ａは水平移動可能に、及び上下動可能になっており、第１の保持治具１ａは第２の保持治具１Ａに向かって上下動可能に、また、第２の保持治具１Ａの直下から退避した位置へと水平移動可能になっている。なお、第１の保持治具１ａの上下動は機械的手段により実現することができ、また手動により実現することができる。これにより、第１の保持治具１ａに粘着保持された被粘着物を第２の保持治具１Ａに粘着保持された状態に移し替えることができる。
【００９７】
図３に示されるように、第１の保持治具１ａは、治具本体２ａにおける粘着弾性部材３とは反対側の表面側が、保持治具変位手段１２から下方に延在する支持アーム１３の先端に設けられた支持部材１４に固定され、保持治具変位手段１２に支持されている。
【００９８】
この保持治具変位手段１２は、レール１１に取り付けられ、このレール１１に沿って水平方向に移動可能に構成されると共に、支持アーム１３を上下方向に昇降可能に構成されている。したがって、この保持治具変位手段１２に支持された第１の保持治具１ａは、保持治具変位手段１２によって、水平方向及び上下方向に自在に移動可能と成っている。すなわち、この保持治具変位手段１２によって、被粘着物を懸垂保持する粘着弾性部材３を有する第１の保持治具１ａは、例えば、導電性ペースト浴の上方に、又はその位置から導電性ペースト浴の上方以外の適宜の位置、例えば、第２の保持治具１Ａの上方となる位置に移動することができると共に、第１の保持治具１ａは、第２の保持治具１Ａに向けて下降し、また第２の保持治具１Ａの熱発泡性粘着性部材４に被粘着物を保持させ替えた後、第１の保持治具１ａを第２の保持治具１Ａから離れるように上昇移動させることができる。
【００９９】
さらに、この保持治具変位手段１２は、レール１１を中心軸にして軸回りに回転運動可能に構成されてもいる。保持治具変位手段１２がこのように回転運動可能であると、第１の保持治具１ａの状態を、被粘着物を粘着弾性部材３により懸垂保持する状態、及び、被粘着物を粘着弾性部材３の上面に立設保持する状態のいずれにも所望のように変えることができるようになる。
【０１００】
また、図３に示されるように、第２の保持治具１Ａは、第１の治具本体２Ａにおける粘着弾性部材３が形成されていない表面側が、保持治具変位手段１６から上方に延在する支持アーム１７の先端に設けられた支持部材１８に固定され、保持治具変位手段１６に支持されている。
【０１０１】
この保持治具変位手段１６は、レール１１の下方であるとともに、上から見るとこのレール１１と直交し、あるいは交差するレール１５に取り付けられ、このレール１５に沿って水平方向に移動可能に構成されると共に、支持アーム１７を上下方向に伸縮可能に又は移動可能に有している。したがって、この保持治具変位手段１６に支持された第２の保持治具１Ａは、保持治具変位手段１６によって、水平方向及び上下方向に自在に移動可能となっている。すなわち、第２の保持治具１Ａは、適宜の位置、例えば、第１の保持治具１ａの直下の位置に移動することができると共に、第２の保持治具１Ａは、第１の保持治具１ａに向けて上昇し、また前記第１の保持治具１ａにおける粘着弾性部材３に粘着保持された被粘着物を熱発泡性粘着部材４に保持させ替えた後、第２の保持治具１Ａを第１の保持治具１ａから遠ざかるように下降させることができる。
【０１０２】
さらに、この保持治具変位手段１６は、レール１５を中心軸にして軸回りに回転可能に構成されている。保持治具変位手段１６がこのように回転可能であると、第２の保持治具１Ａの状態を、被粘着物を熱発泡性粘着部材４により立設保持する正立状態、及び、被粘着物を第１の熱発泡性粘着部材４により懸垂保持する倒立状態に、所望のように変えることができるようになる。
【０１０３】
前記保持治具変位手段１２及び前記保持治具変位手段１６における運動機構は、特に限定されず、例えば、駆動力を発生する駆動手段、例えば、モータと、このモータの出力をレール１１又は１５、及び、支持アーム１３又は１７に伝達する動力伝達手段、例えば、歯車、ワイヤ等とを備えた運動機構が挙げられる。この運動機構は、通常のパソコン等によって、制御しても、手動で制御してもよい。
【０１０４】
図３に示されるように、この被粘着物保持装置１０は、レール１１とレール１５が上から見て直交し、ないし交差する位置近傍で、第１の保持治具１ａと第２の保持治具１Ａとが、粘着弾性部材３と熱発泡性粘着部材４とが相対向するように配置可能に成っている。これにより、第１の保持治具１ａに粘着保持された被粘着物を第２の保持治具１Ａに移し替えることができる。
【０１０５】
次に、この発明に係る被粘着物保持装置１０を用いて、小型電子部品用部材に電極を形成して、小型電子部品を製造する方法について説明し、併せてこの被粘着物保持装置１０の作用について説明する。
【０１０６】
この発明の一例である被粘着物保持装置を用いて、小型電子部品用部材に電極を以下のようにして形成する。
【０１０７】
先ず、図３に示された保持治具変位手段１２を、レール１１を中心軸にして軸回りに回転運動させ、図４に示されるように、粘着弾性部材３を上にした第１の保持治具１ａ上に立設配置板２０を重ねる。この立設配置板２０には、上部開口部に表面にかけて拡径したテーパ面２１が形成されて成り、小型電子部品用部材６を収容可能な貫通孔である複数の配設孔２２が形成されている。この立設配置板２０の上面に多数の小型電子部品用部材６を乱雑状態に頒布する。この立設配置板２０に振動を加えると、小型電子部品用部材６がテーパ面２１に案内されるようにして配設孔２２に収まる。
【０１０８】
次いで、図４に示されるように、平坦なプレス板２３で、多数の小型電子部品用部材６全ての突出頭部を、押圧する。そうすると、配設孔２２に収容されている小型電子部品用部材６の下端面が粘着弾性部材３に僅かにめり込むと共に粘着弾性部材３の粘着力により小型電子部品用部材６の下端部が粘着弾性部材３に粘着する。このとき、粘着弾性部材３における多数の小型電子部品用部材６は、それらの突出端面の位置がほぼ同一平面内にある。その後、立設配置板２０を除去する。次いで、保持治具変位手段１２（図３参照）を、レール１１を中心軸にして軸回りに回転運動させ、図５に示されるように、第１の保持治具１ａを回転させて粘着弾性部材３を下側に向けると、粘着弾性部材３の下側面に多数の小型電子部品用部材６が懸垂保持された状態になる。
【０１０９】
次いで、保持治具変位手段１２（図３参照）をレール１１（図３参照）に沿って水平方向に運動させて、多数の小型電子部品用部材６を粘着弾性部材３に懸垂保持された状態のまま第１の保持治具１ａを導電性ペースト浴（図示せず。）の上方に水平移動させる。その後、保持治具変位手段１２により支持アーム１３（図３参照）を下方向に伸長させて、導電性ペースト浴に向かって第１の保持治具１ａを下降させる。第１の保持治具１ａを下降させて導電性ペースト浴に小型電子部品用部材６の下端部を、浸漬させる。このとき、
粘着弾性部材３の表面に粘着保持された小型電子部品用部材６の下端部、すなわち、粘着端面とは反対側の端面がいずれも同一平面に位置しているから、多数の小型電子部品用部材６それぞれは、それらの下端部における一定部分が導電性ペースト浴に浸漬される。浸漬後に、保持治具変位手段１２により支持アーム１３を上方向に上昇させて、第１の保持治具１ａを上昇させる。そうすると、図６に示されるように、粘着弾性部材３に懸垂保持された各小型電子部品用部材６の下端部にほぼ均等な厚さの電極７が形成される。
【０１１０】
次いで、保持治具変位手段１２をレール１１に沿って水平方向に運動させて、第２の保持治具１Ａにおける熱発泡性粘着部材４の上方に、下端部に電極７を塗設した多数の小型電子部品用部材６を粘着弾性部材３に懸垂保持した第１の保持治具１ａを、水平移動させる。粘着弾性部材３が熱発泡性粘着部材４の上方に向かう位置に第１の保持治具１ａが到着すると、粘着弾性部材３の小型電子部品用部材６を粘着保持する平面を下面となるように、かつ下方に位置する保持部材１Ａの熱発泡性粘着部材４と対面するように第１の保持部材１ａを位置させる。次いで、図７に示されるように、保持治具変位手段１２（図３参照）により支持アーム１３を下方向に伸長乃至下降させて、第２の保持治具１Ａに向かって第１の保持治具１ａを下降させる。なお、この第２の保持治具１Ａは熱発泡性粘着部材４を上に向けた状態で配置されている。
【０１１１】
図７に示されるように、保持治具変位手段１２（図３参照）により支持アーム１３を下方向に運動させて、第１の保持治具１ａを下降させ、第２の保持治具１Ａにおける熱発泡性粘着部材４に、第１の保持治具１ａにおける粘着弾性部材３に懸垂保持された多数の小型電子部品用部材６の、電極７が形成された下端部を、粘着させる。このとき、熱発泡性粘着部材４における熱発泡性粘着層は、粘着弾性部材３の粘着力よりも大きな粘着力を有すると共に、第１の保持治具１ａにおける粘着弾性部材３の表面に粘着保持された小型電子部品用部材６の粘着端面とは反対側の端面が、いずれも同一平面に位置しているから、図７に示されるように、粘着弾性部材３に粘着保持されている多数の小型電子部品用部材６はそれぞれ、それらの自由端、すなわち、底面がほぼ均一に熱発泡性粘着部材４に押圧される。このとき、小型電子部品用部材６を熱発泡性粘着部材４に押圧することにより粘着弾性部材３の厚さ方向及びこの厚さ方向に垂直な表面方向に生じた歪が速やかに回復し、粘着弾性部材３の表面は平滑さを維持することができるので、小型電子部品用部材６が転倒又は傾倒することが防止され、均一な起立状態で安定して第２の保持治具１Ａに粘着保持することができる。次いで、保持治具変位手段１２（図示せず。）により支持アーム１３（図示せず。）を上方向に運動させて、第１の保持治具１ａを上昇させると、小型電子部品用部材６は電極７を介して熱発泡性粘着部材４に強固に粘着されているので、第１の保持治具１ａにおける粘着弾性部材３に小型電子部品用部材６が残存することなく離脱する。このようにして、第１の保持治具１ａから第２の保持治具１Ａに多数の小型電子部品用部材６を脱落することなく所望のように移し替えることができる。
【０１１２】
次いで、保持治具変位手段１６（図示せず。）をレール１５（図示せず。）を中心軸にして軸回りに回転運動させ、図８に示されるように、第２の保持治具１Ａにおける熱発泡性粘着部材４に電極７を介して小型電子部品用部材６を立設した状態で粘着保持している第２の保持治具１Ａが、回転されて小型電子部品用部材６が懸垂保持された状態にされる。
【０１１３】
次いで、保持治具変位手段１６（図示せず。）をレール１５（図示せず。）に沿って水平方向に運動させて、多数の小型電子部品用部材６を熱発泡性粘着部材４に懸垂保持された状態のまま第２の保持治具１Ａを導電性ペースト浴（図示せず。）の上方に水平移動させる。その後、保持治具変位手段１６（図示せず。）により支持アーム１７（図示せず。）を下方向に運動させて、導電性ペースト浴に向かってこの第２の保持治具１Ａを下降させる。第２の保持治具１Ａを下降させて導電性ペースト浴に小型電子部品用部材６の下端部を、浸漬させる。このとき、第２の保持治具１Ａは、前記範囲の面精度を有しているから、多数の小型電子部品用部材６それぞれは、それらの下端部における一定部分が導電性ペースト浴に浸漬される。浸漬後に、保持治具変位手段１６（図示せず。）により支持アーム１７（図示せず。）を上方向に運動させて、第２の保持治具１Ａを上昇させる。そうすると、図８に示されるように、第２の保持治具１Ｂにおける熱発泡性粘着部材４に懸垂保持された各小型電子部品用部材６の下端部にほぼ均等な厚さの電極７が形成される。
【０１１４】
第２の保持治具１Ａにおける熱発泡性粘着部材４には、小型電子部品用部材６それぞれの両端部にほぼ均等な大きさの電極７が形成され、懸垂された状態で粘着保持されている。
【０１１５】
次いでこの第２の保持治具１Ａの熱発泡性粘着部材４を加熱ヒータ（図示せず）により加熱する。そうすると熱発泡性粘着部材４における熱発泡性粘着層４Ｂ内の発泡剤が発泡し、発泡により生じた気泡が熱発泡性粘着層４Ｂの表面を凹凸にする。熱発泡性粘着層４Ｂの表面が凹凸になると、この熱発泡性粘着層４Ｂに粘着保持されていた小型電子部品用部材６と熱発泡性粘着層４Ｂとの接触面積が低下する。この接触面積の低下により小型電子部品用部材６の自重が粘着力に打ち勝ち、小型電子部品用部材６が熱発泡性粘着部材４から落下する。
【０１１６】
第２の保持治具１Ａにおける熱発泡性粘着部材４が加熱された後においては熱発泡性粘着部材４における熱発泡性粘着層４Ｂは十分な粘着力を有していない。
【０１１７】
そこで、この第２の保持治具１Ａを再利用するときには、加熱後の熱発泡性粘着部材４を粘着弾性部材３Ｂから剥離し、露出する粘着弾性部材３の表面に新たな熱発泡性粘着部材４を貼着し、新たに貼着された熱発泡性粘着部材４を有する第２の保持治具１Ａを利用する。
【０１１８】
このように、この発明に係る保持治具１又は一組の保持治具５を用いることにより、第１の保持治具１ａに粘着保持した多数の小型電子部品用部材６を脱落することなく第２の保持治具１Ａに所望のように移し替えることができると共に、均等な厚さを有する電極７が両端部に形成された品質精度の高い小型電子部品用部材６を容易に製造することができる。
【０１１９】
この発明に係る保持治具１、一組の保持治具５及び被粘着物保持装置１０はそれぞれ、前記した実施例に限定されることはなく、本願発明の目的を達成することができる範囲において、種々の変更が可能である。
【０１２０】
例えば、前記保持治具１においては、治具本体２、粘着弾性部材３はいずれも矩形に形成されているが、この発明において、治具本体及び粘着弾性部材は、小型部品の製造に適した形状であればよく、被粘着物の形状、被粘着物保持装置の形状、製造工程、作業性等に応じて、任意の形状とされる。例えば、保持治具は、正方形、長方形、五角形、六角形等の多角形、円形、楕円形、不定形、又は、これらを組み合わせた形状等の板状体が挙げられる。また、治具本体２における粘着弾性部材３が形成されない一方の面側は、平面形状であっても、半円筒体等の立体形状であってもよい。前記保持治具１に粘着保持される被粘着物は、底面が正方形の角柱体及び円柱体等種々の形状を有する小型部品及び小型部品用部材等を挙げることができる。また、この発明に係る保持治具は、被粘着物の製造工程に加えて、搬送工程等において被粘着物を粘着保持する必要がある場合にも使用されることができる。
【０１２１】
前記一組の保持治具５においては、第１の保持治具１ａと第２の保持治具１Ａとを備えているが、これらの保持治具に加えて、第３の保持治具等を備えていてもよい。
【０１２２】
被粘着物保持装置１０においては、第１の保持治具１ａと第２の保持治具１Ａとを備えているが、３種類以上の保持治具を備えていてもよい。第３の保持治具は、治具本体と粘着弾性部材とにより形成されて成る従来の保持治具であってもよく、また、前記保持治具１であってもよいが、前記保持治具１であるのが好ましい。被粘着物保持装置１０において粘着保持される被粘着物は、底面が正方形の角柱体及び円柱体等種々の形状を有する小型部品及び小型部品用部材等を挙げることができる。
【０１２３】
さらに、被粘着物保持装置１０においては、レール１１とレール１５とがほぼ直角に交差するように配設されているが、レールとレールとは略平行に配設されていてもよい。
【０１２４】
また、被粘着物保持装置１０においては、保持治具変位手段１２及び１６はレール１１及び１５を中心軸にして軸回りに回転運動可能に構成されているが、これらの保持治具変位手段は回転運動不能に構成されてもよい。この場合には、第１の粘着弾性部材に被粘着物を粘着保持させた第１の保持治具を保持治具変位手段に支持させればよく、第２の粘着弾性部材に被粘着物を粘着保持した第２の保持治具を保持治具変位手段から取り外して、被粘着物を第２の粘着弾性部材から取り外せばよい。
【実施例】
【０１２５】
（実施例１）
ステンレス鋼板（ＳＵＳ３０４製、厚さ０．５ｍｍ）から、一辺の長さが１２０ｍｍである正方形の盤状体を切り出した。この盤状体における一方の表面をアセトン等の有機溶媒で脱脂処理した後、シリコーンゴム接着用プライマー（商品名「Ｘ−３３−１５６−２０」、信越化学工業株式会社製）を適量塗布して、治具本体Ａを作製した。
【０１２６】
前記シリコーン生ゴム（ａ）、架橋成分（ｂ）、粘着力向上剤（ｃ）及び触媒（ｄ）を含有するシリコーンゴム（商品名「Ｘ−３４−６３２  Ａ／Ｂ」、信越化学工業株式会社製）９９質量％及び（ｅ）成分としてシリカ系充填材（株式会社龍森製、商品名「クリスタライト」）１質量％を含有する付加反応硬化型粘着性シリコーン組成物と、粘着力調整組成物として液状シリコーンゴム組成物（商品名「ＫＥ−１９５０／３０  Ａ／Ｂ」、信越化学工業株式会社製）とを配合した粘着性シリコーン組成物（付加反応硬化型粘着性シリコーン組成物：液状シリコーンゴム組成物＝５０：５０）を、１０ＭＰａの加圧下、１２０℃でプレス成形し、次いで、２００℃、４時間の条件下、さらに硬化させて、一辺の長さが１１０ｍｍ、厚さ１．５ｍｍの正方形になるように、粘着弾性部材Ａを製造した。
【０１２７】
次いで、製造した粘着弾性部材Ａの両面を各々平面研削盤で研磨した。
【０１２８】
次いで、前記治具本体Ａのシリコーンゴム接着用プライマー（商品名「Ｘ−３３−１５６−２０」、信越化学工業株式会社製）が塗布された面に、粘着弾性部材Ａを接着した。次いで、この粘着弾性部材Ａの表面に、日東電工株式会社製の「リバアルファ―」（商品番号：Ｎｏ.３１５９ ＨＳ）を貼着することにより、第２の保持治具である保持治具Ａを製造した。
【０１２９】
この保持治具Ａを用いて図３に示される被粘着物保持装置を組み立てた。被粘着物は、０．５×０．５×１．０（ｍｍ）である小型電子部品用部材６を用いた。また、４，０００個の配設孔２２が形成された厚さ０．４ｍｍの立設配置板２０を準備した。この立設配置板２０の各配設孔２２は、縦０．９ｍｍ×横２ｍｍであり、その上部開口部に表面にかけて拡径したテーパ面２１を有している。
【０１３０】
第１の保持治具１ａにおける第１の粘着弾性部材３上にこの立設配置板２０を重ね、立設配置板２０の上面に多数の小型電子部品用部材６を乱雑状態に頒布した。この状態で立設配置板２０に振動を加え、小型電子部品用部材６を配設孔２２内に落下させた。このとき、小型電子部品用部材６は、電極７を形成する前の側面を被粘着面として第１の粘着弾性部材上に位置し、かつ、前記被粘着面に対して反対側の面が立設配置板２０の上端面から突出した状態になっていた。次いで、図４に示されるように、平坦なプレス板２３で小型電子部品用部材６全ての突出頭部を、粘着弾性部材３に小型電子部品用部材６が１００μｍ沈み込むように、３秒間押圧した。この後、プレス板２３及び立設配置板２０を小型電子部品用部材６及び粘着弾性部材３から離して、粘着弾性部材３に４，０００個の小型電子部品用部材６をほぼ等間隔で立設保持した。
【０１３１】
次いで、第１の粘着弾性部材３に粘着保持された小型電子部品用部材６が懸垂状態になるように第１の保持治具１ａを回転させた（すなわち、図５に示される第１の保持治具１Ａと同じ状態である。）。次いで、第１の保持治具１ａを第２の保持治具１Ａに向かって下降させ、第１の保持治具１ａに粘着保持された小型電子部品用部材６を、第２の保持治具１Ａにおける第２の粘着弾性部材３ｂに小型電子部品用部材６が１００μｍ沈み込むように、押圧した。押圧後３秒が経過してから、第１の保持治具１ａを３ｍｍ／ｓｅｃの速度で上方に持ち上げて、第２の保持治具１Ａから引き離した。
【０１３２】
次いで、第２の保持治具１Ａにおける熱発泡性粘着部材をドライヤーで１６０℃に加熱した。そうすると、第２の保持治具１Ａに保持されていた小型電子部品用部材６全てが落下した第２の保持治具１Ａから分離した。
【符号の説明】
【０１３３】
１              保持治具
１ａ            第１の保持治具
１Ａ            第２の保持治具
２              治具本体
２ａ            第１の治具本体
２Ａ            第２の治具本体
３              粘着弾性部材
４              熱発泡性粘着部材
４Ａ            基材フィルム
４Ｂ            熱発泡性粘着層
５              一組の保持治具
６              小型電子部品用部材
７              電極
８              小型電子部品
１０            被粘着物保持装置
１１            レール
１２            保持治具変位手段
１３            支持アーム
１４            支持部材
１５            レール
１６            保持治具変位手段
１７            支持アーム
１８            支持部材
２０            立設配置板
２１            テーパ面
２２            配設孔
２３            プレス板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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