(57)【要約】【課題】モールド成形品をモールド型から離型させる際に、モールド成形品にクラックやバリが生じる不具合を、モールド型の構造を複雑化することなく解消するすることのできるモールド成形品の製造装置を提供する。【解決手段】本発明は、離反可能でかつ対向面に転写面３aが形成されしかも転写面３aの間に存在する樹脂材料５を挟んで樹脂材料からなるモールド成形品１３を形成する一対の弾性変形可能なモールド型３をセットして一対のモールド型３の互いに対向する転写面３aに樹脂材料５を介在させて樹脂材料を硬化させて転写する転写硬化工程に用いる転写硬化装置１と、一対のモールド型３、３の端部３ｂを互いに反対方向に撓み変形させることにより中側に向かって樹脂材料５と一対のモールド型３、３との界面離型空間３ｃ’を生じさせつつ離型用の流体を供給する離型工程に用いる離型装置２とを有する。【選択図】図１７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
相対的に離反可能でかつ対向面に転写面が形成されしかも該転写面の間に存在する樹脂材料を挟んで樹脂材料からなるモールド成形品を形成する一対の弾性変形可能なモールド型を準備する工程と、
前記一対のモールド型の互いに対向する前記転写面に前記樹脂材料を介在させて該樹脂材料を硬化させて転写する転写硬化工程と、
前記一対のモールド型の端部を互いに反対方向に撓み変形させることにより中側に向かって樹脂材料と前記一対のモールド型との界面離型空間を生じさせつつ離型用の流体を供給する離型工程と、
を含むことを特徴とするモールド成形品の製造方法。
【請求項２】
前記転写硬化工程において、前記一対のモールド型の互いに対向する端部の対向間に、前記樹脂材料の硬化後に空隙が予め存在するようにして前記樹脂材料が硬化されることを特徴とする請求項１に記載のモールド成形品の製造方法。
【請求項３】
前記離型工程において、前記樹脂材料を加熱しつつ界面離型を進行させることを特徴とする請求項２に記載のモールド成形品の製造方法。
【請求項４】
前記転写硬化工程で用いる転写硬化装置と前記離型工程で用いる装置とに別々の装置を用いて前記モールド成形品を製造することを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか１項に記載のモールド成形品の製造方法。
【請求項５】
前記モールド成形品が平板形状のプラスチックスレンズアレイであることを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか１項に記載のモールド成形品の製造方法。
【請求項６】
相対的に離反可能でかつ対向面に転写面が形成されしかも該転写面の間に存在する樹脂材料を挟んで樹脂材料からなるモールド成形品を形成する一対の弾性変形可能なモールド型をセットして前記一対のモールド型の互いに対向する前記転写面に前記樹脂材料を介在させて該樹脂材料を硬化させて転写する転写硬化工程に用いる転写硬化装置と、前記一対のモールド型の端部を互いに反対方向に撓み変形させることにより中側に向かって樹脂材料と前記一対のモールド型との界面離型空間を生じさせつつ離型用の流体を供給する離型工程に用いる離型装置とを有するモールド成形品製造装置。
【請求項７】
前記転写硬化装置は、前記一対のモールド型の弾性変形を阻止すると共に、該一対のモールド型を真空吸着するバックアッププレートを備えていることを特徴とする請求項６に記載のモールド成形品製造装置。
【請求項８】
前記離型装置は、前記モールド型を載置する架台を有し、該架台のサイズは前記一対のモールド型の端部から反対方向に撓み変形可能とするために、前記モールド型のサイズよりも小さいことを特徴とする請求項７に記載のモールド成形品製造装置。
【請求項９】
前記架台が前記バックアッププレートに兼用され、前記モールド型の端部を撓み変形を許容する空間を形成するために、前記架台の外周部が前記モールド型から離間する方向に退避されることを特徴とする請求項８に記載のモールド成形品製造装置。
【請求項１０】
前記離型装置は、前記一対のモールド型の端部から該一対の端部に存在する空隙に進入して前記一対の端部を互いに反対方向に撓み変形させる爪部を有することを特徴とする請求項９に記載のモールド成形品装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、モールド成形品製造方法及びモールド成形品製造装置の改良に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、複数の微小レンズを配列して構成された平板形状のマイクロレンズアレイ等のモールド成形品が知られている。このマイクロレンズアレイは、例えば、液晶パネルに用いられ、各微小レンズによって各画素に入射する光を集光することによって、光利用効率が向上し、表示画面を明るくできるメリットがある。
【０００３】
また、携帯電話等の電子端末では、小型かつ薄型の撮像ユニットが搭載され、この種の撮像ユニットでは、そのコスト低減のため、製造工程の簡略化が求められ、例えば、面上に複数のレンズアレイを同時形成し、切断することによりその複数のレンズアレイをそれぞれ分離させて、レンズモジュールを量産している。
【０００４】
この方法によれば、一度に数百個から数千個のレンズアレイを一度に作製することができるため、量産効果が大きく、コスト低減を図ることができる。
この種のレンズアレイの製造方法として、あらかじめ所望のレンズ形状の転写面が複数形成された上モールド型と、下モールド型とを用意し、その転写面間に光硬化性の樹脂材料、又は、熱硬化性の樹脂材料を挟み込んでかつ圧力を加えて、上モールド型と下モールド型との転写面によって、プラスチックレンズアレイを作製している。
【０００５】
この種のレンズアレイの製造方法では、なるべく多くのレンズを同時加工することによって生産効率が向上し、コストの低減化を図ることができるので、できるだけ大きなサイズで、複数のレンズアレイを同時成形することが望まれる。
【０００６】
この場合、モールド型の転写面が大きくなるに伴って、モールド型の転写面と樹脂材料の接触面積がその分大きくなるため、転写後にモールド型から樹脂材料からなるモールド成形品をを離型する際に離型抵抗がその分大きくなり、その離型の際にモールド成形品にクラックや変形が生じる。
【０００７】
そこで、レンズアレイをモールド型から離型する際に、モールド型の内部に設けられた開閉部材を移動させて、モールド成形品に連通する開口を形成し、この開口部から流体をモールド成形品に導入して、モールド型とモールド成形品との間の界面からモールド成形品の一部に離型を生じさせる技術がある（特許文献１等参照）。
【０００８】
この技術によれば、モールド成形品に過大な大きな負荷を加えることなく、流体の供給によって、モールド型からモールド成形品を離型させることができ、離型の際にモールド成形品に変形や割れ等の損傷が生じるのを防止できる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、モールド型とモールド成形品との間の界面に流体を供給するだけでは、離型時にモールド成形品に加わる負荷を低減するには不十分である。
また、モールド成形品の全体をモールド型の転写面から完全に離型させるには、時間がかかり過ぎるという問題もある。
【００１０】
また、モールド型に開閉部材を設ける構成では、モールド型の構造が複雑になり、その製造コストが高くなり、モールド成形品のコストの低減を図り難い。
更に、モールド型の内部に開閉部材、すなわち、可動部材を設ける構造であるので、可動部材の摺動用のクリアランスを設けなければならず、その結果、転写時に圧力を加えたときに、そのクリアランスに樹脂材料が侵入し、バリが発生し、見栄えを悪くすると共に、離型の際の抵抗となる、開閉部材に樹脂だまりが生じて開閉部材の移動が困難になるという問題も生じる。
【００１１】
本発明は、上記の事情に鑑みて為されたもので、モールド成形品をモールド型から離型させる際に、モールド成形品にクラックやバリが生じる不具合を、モールド型の構造を複雑化することなく解消することのできるモールド成形品の製造方法及び製造装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明に係るモールド成形品の特徴は、相対的に離反可能でかつ対向面に転写面が形成されしかも該転写面の間に存在する樹脂材料を挟んで樹脂材料からなるモールド成形品を形成する一対の弾性変形可能なモールド型を準備する工程と、前記一対のモールド型の互いに対向する前記転写面に前記樹脂材料を介在させて該樹脂材料を硬化させて転写する転写硬化工程と、前記一対のモールド型の端部を互いに反対方向に撓み変形させることにより中側に向かって樹脂材料と前記一対のモールド型との界面離型空間を生じさせつつ離型用の流体を供給する離型工程と、を含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、モールド成形品の端部を離型の際に互いに反対方向に撓ませて、中側に向かって樹脂材料と一対のモールド型との界面離型空間を生じさせつつ離型用の流体を供給することにしたので、モールド型の端部から中側に向かって離型がスムーズに進行し、離型抵抗が軽減される。
【００１４】
その結果、モールド型の構造の複雑化を図ることなく、モールド成形品にクラックや変形が生じるのを防止できる。
また、離型時の抵抗が低減されるので、離型に要する時間を短縮でき、ひいては製造コストの低減をより一層図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】図１は本発明の実施例１に係るマイクロレンズアレイの製造方法の転写硬化工程に用いる転写硬化装置の構成を模式的に示す断面図である。
【図２】図２は本発明の実施例１に係るマイクロレンズアレイの製造方法の離型工程に用いる離型装置の構成を模式的に示す断面図である。
【図３】図３は図１に示すモールド型に熱硬化性樹脂材料を塗布した状態を示す断面図である。
【図４】図４は図３に示す熱硬化性樹脂材料を加圧してモールド成形品を転写硬化装置により形成した状態を示す断面図である。
【図５】図５は図４に示すモールド成形品を含む成形体を転写硬化装置から取り外す状態の直前状態を示す断面図である。
【図６】図６は図２に示す離型装置に図５に示す成形体をセットした状態を示す断面図である。
【図７】図７は図６に示す離型装置の上側の架台を成形体に接近させた状態を示す断面図である。
【図８】図８は図６に示す爪部材の爪部をモールド型の端部の空隙に挿入した状態を示す断面図である。
【図９】図９は図８に示す爪部を互いに反対方向に可動させてモールド型の一対の端部を互いに反対方向に撓ませた状態を示す断面図である。
【図１０】図１０はモールド型とマイクロレンズアレイとの離型状態を示す断面図である。
【図１１】図１１は実施例１に係るマイクロレンズアレイの説明図であって、（a）はその断面図、（ｂ）はその平面図である。
【図１２】図１２は本発明の実施例２に係るマイクロレンズアレイの製造方法に用いる転写硬化装置と離型装置との一体化を図った構造を模式的に示す断面図である。
【図１３】図１３は図１２に示すモールド型に熱硬化性樹脂材料を塗布した状態を示す断面図である。
【図１４】図１４は図１３に示す熱硬化性樹脂材料を加圧してマイクロレンズアレイを形成した状態を示す断面図である。
【図１５】図１５は図１４に示す架台のバックアッププレートに相当する外周部をモールド型から退避させた状態を示す断面図である。
【図１６】図１６は一対のモールド型の空隙に爪部を挿入した状態を示す断面図である。
【図１７】図１７は一対のモールド型の端部を爪部により互いに反対方向に撓ませた状態を示す断面図である。
【図１８】図１８はマイクロレンズアレイとモールド型とを離型させた状態を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【実施例】
【００１６】
以下に、本発明に係るモールド成形品の製造方法及びその製造方法に使用する製造装置の実施例について説明する。
（実施例１）
【００１７】
図１ないし図１１は、本発明に係るモールド成形品としてのマイクロレンズアレイの製造方法に使用する実施例１の製造装置の構成を模式的に示す説明図であって、図１は本発明に係るマイクロレンズアレイの製造方法の転写硬化工程で用いる転写硬化装置の概略構成を示す断面図、図２は本発明に係るマイクロレンズアレイの製造方法の離型工程で用いる離型装置の概略工程を示す断面図である。
【００１８】
ここでは、マイクロレンズアレイの製造に用いる樹脂材料には、熱硬化性樹脂材料を用いるものとする。
本発明に係る製造方法の工程は、弾性変形可能なモールド型を準備する工程と、熱硬化性樹脂材料を転写硬化する転写硬化工程と、一対のモールド型の端部を撓み変形させる離型工程とを含んでいる。
【００１９】
以下、この製造方法の詳細を、図１に示す転写硬化装置、図２に示す離型装置を参照しながら説明する。
図１において、符合１は転写硬化装置、図２において、符合２は離型装置である。
【００２０】
転写硬化装置１は、プレス装置の一部を構成する一対のダイプレート１aとダイプレート１ｂとを有する。ダイプレート１aとダイプレート１ｂとは、この実施例では、上下方向に離反・接近可能に設けられている。
【００２１】
ここでは、ダイプレート１ｂは固定され、ダイプレート１aは加圧ロッド１ｃに取り付けられて、ダイプレート１ｂに対して相対的に離反・接近する方向に可動される。その加圧ロッド１ｃは、例えば、ダイレクトモータ（図示を略す）により駆動される。
【００２２】
ダイプレート１aは、そのダイレクトモータによって所定の上下方向位置に停止するように制御され、これにより、熱硬化性樹脂材料に加えられる圧力が調整可能とされている。この実施例では、ダイプレート１ｂに対してダイプレート１aを可動させる構成とされているが、ダイプレート１aを固定してダイプレート１ｂを可動させる構成、ダイプレート１a、ダイプレート１ｂの両方を可動させる構成としても良い。
また、この実施例では、ダイプレート１aとダイプレート１ｂとが上下方向から相対的に離反接近可能とされているが、これに限るものではない。
【００２３】
そのダイプレート１a、１ｂには、モールド型３の弾性変形を阻止するために剛性を有するバックアッププレート１ｄ、１eが設けられている。このバックアッププレート１ｄ、１eには真空吸着手段（図示を略す）に接続されてモールド型３を真空吸着する吸着パッド（図示を略す）と、加熱部材としてのカートリッジヒータ１ｆとが適宜設けられている。
【００２４】
モールド型３、３は、互いに対向する一対の弾性変形可能な薄板状部材から構成されている。そのモールド型３、３の互いに対向する対向面には、多数のマイクロレンズを形成するための転写面３aがそれぞれ形成されている。そのモールド型３、３のサイズはバックアッププレート１ｄ、１eのサイズと略同一である。
【００２５】
この実施例では、モールド型３，３として、厚さ０．６ｍｍのシリコン基板の面にフォトリソグラフィ法によって、所望のマイクロレンズに対応する反転形状の面を加工形成したものを準備した。
【００２６】
なお、モールド型３，３は、先に述べた加工方法によるものではなく、例えば、薄状金属板に転写面を形成したものを用いても良い。
このようなモールド型３、３は肉厚が厚い剛性金属板の表面側に機械加工によって転写面を形成した後、その剛性金属板の背面側を弾性変形可能な厚さにまで切削することによって作製できる。
【００２７】
モールド型３、３は、真空吸着によってバックアッププレート１ｄ、１eに吸着保持される。この一対のモールド型３，３の間には、図３に示すディスペンサ装置４を用いて熱硬化性樹脂材料５が塗布される。
【００２８】
離型装置２は、一対のモールド型３、３を保持する載置可能な架台８、８を有する。この架台８、８は可動ロッド９と一体のプレート１０、１０にそれぞれ固定されている。その架台５には硬化後の熱硬化樹脂材料５を加熱する加熱部材としてカートリッジヒータ８aが適宜設けられている。
【００２９】
その架台８のサイズは、図６ないし図１０に示すように、一対のモールド型３、３の端部３ｂが架台８の端縁部８ｂ、８ｂよりも外側にはみ出すように、一対のモールド型３，３のサイズよりも小さく形成されている。その端縁部８ｂ、８ｂはモールド型３、３の端部３ｂ、３ｂが撓み変形したときにその歪みが端縁部８ｂ、８ｂに極力集中しないようになめらかな湾曲形状とされている。なお、その架台８、８には、転写硬化装置と同様に吸着パッド（図示を略す）が設けられている。
【００３０】
そのプレート１０、１０には、架台８、８が間に介在するようにして、撓み変形用の爪部材１１、１１が設けられている。その爪部材１１、１１は上下方向（互いに接近・離反する方向）と左右方向（互いに接近・離反する方向と直交する方向又は水平方向）に可動する一対の可動ロッド１１aと、モールド型３、３の端部３ｂ、３ｂの間の空隙３ｃ（図６ないし図９参照）に進入して、その端部３ｂ、３ｂを互いに反対方向に撓み変形させる爪部１１ｂとを有する。
【００３１】
この離型装置２には、公知の流体供給装置が設けられ、その端部３ｂ、３ｂの空隙３ｃから一対のモールド型３、３と熱硬化性樹脂材料５との界面離型空間を生じさせつつ離型を進行させる離型用の流体を供給する役割を果たす。
【００３２】
その図２には、その流体を撓み変形された一対の端部３ｂ、３ｂに流体を供給する供給ノズル１２が示されている。この供給ノズル１２は、水平方向からモールド型３、３の端部３ｂ、３ｂに離反接近可能な構成とされている。
【００３３】
次に、この転写硬化装置１と離型装置２とを用いたレンズアレイの製造方法を図３ないし図１０を参照しつつ説明する。
まず、マイクロレンズアレイの成形用の弾性変形可能なモールド型３、３をバックプレート１ｄ、１eに真空吸着によって保持固定する。
【００３４】
次いで、ディスペンサ装置４によって、熱硬化性樹脂材料５をモールド型３に塗布する。そのモールド型３に対する熱硬化性樹脂材料５は、図３に示すように、所定量の熱硬化性樹脂材料５を一箇所に集中的に塗布しても良いが、形成すべきマイクロレンズアレイのパターンや熱硬化性樹脂材料５の流動性に応じて、適宜分散させて塗布しても良い。
【００３５】
次に、ダイプレート１aをダイプレート１ｂに向かって下降させ、モールド型３、３を互いに接近させ、熱硬化性樹脂材料５をモールド型３、３により挟み込んでこの熱硬化性樹脂材料５を加圧しつつ押し広げ、転写面３aの凹処に熱硬化性樹脂材料５を充填し、熱硬化性樹脂材料５に転写面３aの形状を転写可能状態とする。
【００３６】
その熱硬化性樹脂材料５のモールド型３に対する塗布量は、一対のモールド型３、３の端部３ｂ、３ｂ間に、図４に示すように、熱硬化性樹脂材料５の硬化後に空隙３ｃが形成される程度とされている。
【００３７】
これにより、離型工程において使用する爪部材１１の爪部１１ｂの先端１１ｂ’の端部３ｂ、３ｂに対する進入の容易化が図られる。ついで、カートリッジヒータ１ｆに通電して、熱硬化性樹脂材料５を硬化温度以上に加熱することにより、加圧力と加熱とによって熱硬化性樹脂材料５を硬化させる。
【００３８】
この加圧力を加えることによって、確実に、転写面３aの形状を熱硬化性樹脂材料５に転写させることができる。
ついで、一対のモールド型３に対するバックアッププレート１ｄによる真空吸着を解除した後、ダイプレート１aを図５に示すように上方に移動させ、一対のモールド３、３にモールド成形品としてマイクロレンズアレイ１３が挟み込まれた成形体１４を転写硬化装置１から取り外す。
【００３９】
次いで、図６に示すように、この成形体１４を離型装置２の下側の架台８にセットする。
次に、図７に示すように、上側のプレート１０を成形体１４に向かって下降させて、上側の架台８をこの成形体１４に向かって接近させる。なお、両架台８には予めカートリッジヒータ８aにより加熱され、所定温度に保持されている。
【００４０】
その際、成形体１４の上側のモールド型３と上側の架台８とがたとえ接しても加圧力がモールド型３、３に加わらない程度にして、上側の架台８をモールド型３に近接させるのが望ましい。
一対のモールド型３、３に圧力を加えると、硬化している熱硬化性樹脂材料５に歪みが生じ、光学部品としてのマイクロレンズアレイ１３の光学特性が劣化することになるからである。
【００４１】
ついで、上側の爪部材１１の可動ロッド１１aを下降させる一方下側の爪部材１１の可動ロッド１１aを上昇させて、各爪部１１ｂを一対のモールド型３、３の端部３ｂ、３ｂの空隙３ｃに臨ませた後、図８に示すように、可動ロッド１１a、１１aを水平方向に可動させて空隙３ｃに各爪部１１ｂの先端１１ｂ’を空隙３ｃに挿入する。
【００４２】
その後、図９に示すように、上側の可動ロッド１１aを上昇させ、下側の可動ロッド１１aを下降させることにより、一対のモールド型３、３の端部３ｂ、３ｂを互いに反対方向に撓み変形させることにより中側に向かってマイクロレンズアレイ１３と一対のモールド型３、３との界面離型空間３ｃ’を生じさせる。
なお、モールド型３、３の撓み変形量は、モールド型３、３に使用する材料の弾性変形復帰可能範囲内とする。
【００４３】
ついで、供給ノズル１２を上下に対向する一対の爪部１１ｂ、１１ｂの間から界面離型空間３ｃ’に臨ませ、この界面離型空間３ｃ’、３ｃ’に加熱温度と同程度の温度の流体を吐出させる。この流体の供給により、モールド成形品としてのマイクロレンズアレイ１３とモールド型３、３との界面に流体が進入し、その結果、離型抵抗が低減されつつ、モールド型３、３とマイクロレンズアレイ１３との離型がスムーズに進行される。
【００４４】
その後、図１０に示すように、架台８、８の吸着パッド（図示を略す）によりモールド型３、３を保持して、上側のプレート１０を上昇させる一方、下側のプレート１０を下降させる。
マイクロレンズアレイ１３とモールド型３、３との界面には流体が介在しているので、密着抵抗がなく、モールド型３、３はこの動作により変形前の平坦状態に復帰する。
【００４５】
そのマイクロレンズアレイ１３は、図示を略すロボットアーム等によって離型装置から取り出され、これによって、図１１（a）、（ｂ）に示すように、複数のマイクロレンズ１３aが形成された円盤状のマイクロレンズアレイ１３が作製される。
【００４６】
この実施例によれば、以上説明したように、モールド型３、３の端部３ｂ、３ｂに空隙３ｃ、３ｃを形成し、この端部３ｂ、３ｂを互いに反対方向に撓み変形させつつ流体を供給して、モールド型３、３とマイクロレンズアレイ１３との離型を進行させることにしたので、モールド型を複雑な構造とすることなく、マイクロレンズアレイ１３の離型の容易化を図ることができ、モールド成形品にクラックや歪み変形が生じるのを防止できる。
更に、モールド型３、３に摺動部構造を必要としないため、モールド成形品にバリが発生する要因もないことは言うまでもない。
【００４７】
また、モールド型３、３の大きさは、架台８、８の端縁部８ｂ、８ｂよりも大きく、端部３ｂ、３ｂの変形領域はマイクロレンズ１３aの形成領域よりも外側に存在し、かつ、マイクロレンズ１３aの形成領域は架台８、８の端縁部８ｂ、８ｂよりも中側に存在しているので、離型の際にマイクロレンズ１３aに応力が発生してその形が変化するのも防止できる。
【００４８】
更に、架台８、８の端縁部８ｂ、８ｂが滑らかな湾曲形状（R形状）になっているので、モールド型３、３を撓み変形させたときに、架台８、８の端縁部８ｂ、８ｂに対するモールド型３、３の接触する部分に応力が集中して、モールド型３、３が破損することも防止できる。
【００４９】
更に、架台８、８にカートリッジヒータ８a等の加熱部材が設けられ、離型中にマイクロレンズアレイ１３の温度低下に伴うモールド型３、３と熱硬化性樹脂材料との収縮率の相違による応力の発生を防止でき、マイクロレンズアレイ１３に離型前にクラックが発生するのを防止できる。
【００５０】
なお、この実施例１では、転写硬化装置と離型装置とを別々に設けて、転写硬化工程と、離型工程とを別々に行っているが、一対のモールド型３、３を複数個準備し、転写硬化工程と離型工程とを同時に並行して行うことにより、生産性を向上させることができる。
【００５１】
この実施例１では、転写硬化工程ではバックアッププレート１ｄ、１eに吸着パッドによってモールド型３、３を保持固定する構成としたが、バックアッププレート１ｄ、１eによる固定保持はこれに限定されるものではない。
しかし、真空吸着によれば、モールド型３、３とバックアッププレート１ｄ、１eの着脱の容易化を図ることができる。
【００５２】
（実施例２）
図１２ないし図１４は、本発明に係るモールド成形品としてのマイクロレンズアレイの製造方法に使用する実施例２の製造装置の構成を模式的に示す説明図である。
この実施例２では、転写硬化装置と離型装置とが一体に形成されている。
【００５３】
この実施例２では、プレート１０に、バックアッププレート１ｄ、１eと架台８、８とが設けられている。ここでは、架台８、８の外周部に可動ロッド８’、８’が設けられ、架台８、８の外周部が架台８、８の中央部に対して独立に上下方向に可動可能とされている。この外周部がバックアッププレート１ｄ、１eに兼用されている。
【００５４】
ここでは、架台８、８の外周部と中央部とに吸着パッド（図示を略す）が設けられていると共に、架台８、８の中央部にカートリッジヒータ８aが設けられている。架台８、８の中央部の端縁部８ｂ、８ｂは実施例１と同様に滑らかな湾曲形状とされている。プレート１０、１０には実施例１と同様に爪部材１１が設けられている。
【００５５】
転写硬化工程では、図１２、図１３に示すように、架台８、８の中央部と外周部とは面一とされ、モールド型３、３がその架台８、８の中央部と外周部とに真空吸着パッド（図示を略す）により保持固定されている。
【００５６】
次いで、図１３に示すディスペンサ装置４によって、所定量の熱硬化性樹脂材料５が下側の架台８に塗布される。
その後、上側のプレート１０を下降させて、図１４に示すように所定下降位置で停止させると共に、下側のプレート１０を上昇させて所定位置で停止させ、モールド型３、３により所定の加圧力を熱硬化性樹脂材料５に加える。
【００５７】
これにより、図１４に示すように、熱硬化性樹脂材料５がモールド型３により押し広げられると同時に、熱硬化性樹脂材料５にモールド型３、３の転写面３aの形状が転写される。
次いで、架台８の中央部に配置されたカートリッジヒーター８aによってモールド型３、３が加熱され、熱硬化性樹脂材料５がその硬化温度以上に加熱されて、熱硬化性樹脂材料５が硬化される。
【００５８】
その際、熱硬化性樹脂材料５には所定の加圧力が負荷として加えられているので、精密でかつ確実な転写を実現できる。
次いで、架台８の外周部（バックアッププレート１ｄ、１e）のモールド型３、３に対する真空吸着保持を解除し、図１５に示すように、架台８の外周部（バックアッププレート１ｄ、１e）をモールド型３、３から離間するように互いに反対方向に可動させる。
【００５９】
モールド型３、３と熱硬化性樹脂材料からなる成形体１４は、架台８、８の中央部により保持固定された状態となる。
ついで、実施例１と同様に、上側の爪部材１１の可動ロッド１１aを下降させる一方、下側の爪部材１１の可動ロッド１１aを上昇させて、各爪部１１ｂを一対のモールド型３、３の端部３ｂ、３ｂの空隙３ｃに臨ませた後、図１６に示すように、可動ロッド１１a、１１aを水平方向に可動させて空隙３ｃに各爪部１１ｂの先端１１ｂ’を空隙３ｃに挿入する。
【００６０】
その後、実施例１と同様に、図１７に示すように、上側の可動ロッド１１aを上昇させ、下側の可動ロッド１１aを下降させることにより、一対のモールド型３、３の端部３ｂ、３ｂを互いに反対方向に撓み変形させることにより中側に向かってマイクロレンズアレイ１３と一対のモールド型３、３との界面離型空間３ｃ’を生じさせる。
【００６１】
以後、図１７、図１８に示すように、実施例１と同様の工程を経て、モールド型３、３とマイクロレンズアレイ１３との離型がスムーズに進行される。
この実施例２によれば、転写硬化装置と離型装置とを一体構造とすることができるので、装置のコンパクト化を図ることができ、装置の設置スペースを小さくできる。
【００６２】
また、これらの実施例では、樹脂材料として熱硬化性樹脂材料５を用いた場合について説明したが、本発明は樹脂材料はこれに限られるものではなく、紫外線硬化性樹脂材料を用いる場合にも、本発明を適用できるものである。
【００６３】
なお、紫外線硬化樹脂材料を用いてモールド成形品を形成する場合には、少なくとも一つのモールド型３、３の一方を紫外線透過性部材により形成して、紫外線透過性部材を通じて紫外線を紫外線硬化樹脂材料に照射して硬化させるのが望ましい。
【００６４】
その紫外線透過部材として、例えばガラス材料を用いることができる。その紫外線硬化性樹脂材料を用いた場合には、熱膨張をほとんど考慮する必要がなく、しかも、大きな加圧力を紫外線硬化樹脂材料に加えなくとも転写面３a、３aによる転写が可能であり、紫外線を透過する透明プラスチックやシリコーン樹脂等の材料をモールド型３、３として用いることもできる。
【００６５】
また、以上の実施例においては、マイクロレンズアレイ１３の成形について述べたが、マイクロレンズアレイ１３に限られるものではなく、本発明は扁平状のモールド成形品、例えば、扁平形状の微細構造のパターン転写等にも適用できる。
【符号の説明】
【００６６】
１…転写硬化装置
２…離型装置
１a、１ｂ…ダイプレート
１ｄ、１e…バックアッププレート
１ｆ、８a…カートリッジヒータ
３、３…モールド型
３a…転写面
５…熱硬化性樹脂材料（樹脂材料）
８…架台
１１…爪部材
１３…マイクロレンズアレイ（モールド成形品）
【先行技術文献】
【特許文献】
【００６７】
【特許文献１】特開２０１１−０６２８７８号公報
【図１】
2014069556.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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