(57)【要約】【課題】製造工程において警報が発生される事なく被処理物が放置されている状態を確実に検知し得る構成を提供する。【解決手段】生産管理システム１は、製造装置２０が動作しないことによって被処理物が放置されている状態を被処理物の放置状態として検出する放置状態検出部１０を備えている。そして、計時部１０によって計時された継続時間が許容時間以内で終了検出部１０によって被処理物の放置状態の終了が検出されず、且つ計時部１０によって計時された継続時間が許容時間を経過した場合に、報知部４０が製造装置２０の異常状態である旨を報知する。【選択図】図１
2014149684.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
最終製品を製造するための被処理物に所定の処理を施す複数の製造装置（２０）と、
前記製造装置（２０）と通信可能に構成され、前記製造装置（２０）に対する情報の送信又は前記製造装置（２０）からの情報の受信を行う制御部（１１）と、
前記製造装置（２０）が所定の正常動作を行わずに前記被処理物が放置状態となっていることを検出する放置状態検出部（１０）と、
前記被処理物の前記放置状態を許容する許容時間を記憶する許容時間記憶部（１５）と、
前記放置状態検出部（１０）によって前記放置状態が検出された後、当該放置状態が継続する継続時間を計時する計時部（１０）と、
前記被処理物の前記放置状態が終了したことを検出する終了検出部（１０）と、
前記計時部（１０）によって計時される前記継続時間が前記許容時間以内のときに前記終了検出部（１０）によって前記放置状態の終了が検出されず且つ前記計時部（１０）によって計時される前記継続時間が前記許容時間を経過した場合に所定の報知を行う報知部（４０）と、
を備えたことを特徴とする生産管理システム（１）。
【請求項２】
前記放置状態検出部（１０）は、前記被処理物を前記製造装置（２０）に仕掛け可能な所定の仕掛け可能条件が成立しており且つ前記被処理物が前記製造装置（２０）に仕掛けられていない状態を前記放置状態として検出し、
前記終了検出部（１０）は、前記被処理物が前記製造装置（２０）に仕掛けられた場合に、前記放置状態の終了を検出することを特徴とする請求項１に記載の生産管理システム（１）。
【請求項３】
前記放置状態検出部（１０）は、少なくとも前記製造装置（２０）に対する仕掛け可能な前記被処理物が存在し且つ前記製造装置（２０）において前記被処理物を仕掛けるスペースが空いていることを前記所定の仕掛け可能条件とすることを特徴とする請求項２に記載の生産管理システム（１）。
【請求項４】
前記放置状態検出部（１０）は、前記製造装置（２０）による前記被処理物への処理が所定の終了予定時間を経過しても終了しない状態を、前記被処理物の前記放置状態として検出し、
前記終了検出部（１０）は、前記製造装置（２０）による前記被処理物への処理が終了した場合に、前記被処理物の前記放置状態の終了を検出することを特徴とする請求項１に記載の生産管理システム（１）。
【請求項５】
前記放置状態検出部（１０）は、前記製造装置（２０）によって前記被処理物に対する処理が終了し且つ前記被処理物が前記製造装置（２０）から搬出されていない状態を前記被処理物の前記放置状態として検出し、
前記終了検出部（１０）は、前記製造装置（２０）から前記被処理物が搬出された場合に、前記被処理物の前記放置状態の終了を検出することを特徴とする請求項１に記載の生産管理システム（１）。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、生産管理システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、複数の製造装置によって構成され、予め決められた工程順序に従って製品を製造する製造工程において、工程の進捗状況や、特定の製造装置の処理停滞状況等を監視するシステムが知られている。そして、このような製造工程において、製造装置に不具合が発生して被処理物の処理が滞ってしまうような場合には、予めホストコンピュータ等に記憶された不具合の判定情報に基づいて、異常状態と判定して警報を発する構成となっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００１−７６２６９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
例えば、特許文献１で開示される稼働管理装置では、処理装置がワークの処理を開始してから次のワークの処理に移るまでの継続時間を計測する計測手段（１０１Ａ〜１０１Ｄ，１０３）と、処理装置がワークの処理を開始してから所定の警報を発するまでの設定時間を入力する警報時間入力手段（１０４）と、計測手段（１０１Ａ〜１０１Ｄ，１０３）により計測した計測時間が警報時間入力手段（１０４）により入力された設定時間を越えたときに警報を行う警報出力手段（１０７Ａ〜１０７Ｅ）とを備える構成となっている。
【０００５】
しかしながら、特許文献１の構成では、処理装置がワークの処理を開始してから次のワークの処理に移るまでの継続時間を計測して、警報を発するまでの設定時間と比較する構成となっており、所定のワークの処理を行う処理装置とその次のワークの処理を行う処理装置とが、距離的に離れて設置されているような場合（即ち、互いに連結して隣接する装置によって構成されるインライン工程でないような場合）に、所定のワークが終了してその次の処理装置にワークが到着するまでに長時間を要することとなるため、距離的に離れた位置であること等を考慮して設定時間を長くする必要がある。このような異常検出の方法では、仮に異常状態であったとしても、長めに設定された設定時間が終わるまでは最終的な異常判定結果を得ることができず、異常状態を迅速に報知することが難しかった。
【０００６】
本発明は、上述した課題を解決するためになされたものであり、被処理物に対する各製造装置での処理を管理し得る生産管理システムにおいて、製造装置で被処理物の放置が発生した場合により迅速に報知し得る構成を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するため、本発明は、
最終製品を製造するための被処理物に所定の処理を施す複数の製造装置（２０）と、
前記製造装置（２０）と通信可能に構成され、前記製造装置（２０）に対する情報の送信又は前記製造装置（２０）からの情報の受信を行う制御部（１１）と、
前記製造装置（２０）が所定の正常動作を行わずに前記被処理物が放置状態となっていることを検出する放置状態検出部（１０）と、
前記被処理物の前記放置状態を許容する許容時間を記憶する許容時間記憶部（１５）と、
前記放置状態検出部（１０）によって前記放置状態が検出された後、当該放置状態が継続する継続時間を計時する計時部（１０）と、
前記被処理物の前記放置状態が終了したことを検出する終了検出部（１０）と、
前記計時部（１０）によって計時される前記継続時間が前記許容時間以内のときに前記終了検出部（１０）によって前記放置状態の終了が検出されず且つ前記計時部（１０）によって計時される前記継続時間が前記許容時間を経過した場合に所定の報知を行う報知部（４０）と、
を備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
請求項１の発明では、放置状態検出部（１０）により、製造装置（２０）が所定の正常動作を行わずに被処理物が放置状態となっていることを検出可能とされており、更に、放置状態検出部（１０）によって放置状態が検出された後、当該放置状態が継続する継続時間を計時する計時部（１０）と、被処理物の放置状態が終了したことを検出する終了検出部（１０）と、計時部（１０）によって計時される継続時間が許容時間以内のときに終了検出部（１０）によって放置状態の終了が検出されず且つ計時部（１０）によって計時される継続時間が許容時間を経過した場合に所定の報知を行う報知部（４０）とが設けられている。このような構成によれば、製造装置毎に放置状態を判定することができ、「許容時間」についても製造装置単位で設定可能となる。特に、他の製造装置との関係を考慮して長い許容時間を設定する必要がないため、比較的短い許容時間でも適切に放置状態の判定を行いやすくなる。これにより、放置状態を早期に発見、報知しやすくなり、ひいては、製造装置の稼働率を効果的に高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】図１は、本発明の生産管理システムの全体構成図である。
【図２】図２は、図１の生産管理システムにおける上位ホストの電気的構成を概略的に例示するブロック図である。
【図３】図３は、図１の生産管理システムにおける上位ホストと製造設備との通信シーケンスの説明図である。
【図４】図４は、図１の生産管理システムで行われる仕掛時のダンマリ停止の判定処理の流れを例示するフローチャートである。
【図５】図５は、図１の生産管理システムで行われる処理中のダンマリ停止の判定処理の流れを例示するフローチャートである。
【図６】図６は、図１の生産管理システムで行われる搬出時のダンマリ停止の判定処理の流れを例示するフローチャートである。
【図７】図７は、図１の生産管理システムで用いられるロット情報データベースの一例を説明する説明図である。
【図８】図８は、図１の生産管理システムで用いられる設備情報データベースの一例を説明する説明図である。
【図９】図９は、図１の生産管理システムで用いられる処理時間情報データベースの一例を説明する説明図である。
【図１０】図１０は、図１の生産管理システムで用いられる警報装置におけるポップアップ画面の表示の一例を説明する説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
[第１実施形態]
以下、本発明を具現化した第１実施形態について、図面を参照して説明する。生産管理システム１は、自動搬送を備えた製造工程において、被処理物の製造設備（製造装置）への搬入時、製造設備での処理中又は製造設備からの搬出時に、一定期間製造装置から応答がなかった場合に異常と判定して報知するシステムとして構成されている。図１に示すように、生産管理システム１は、上位ホスト１０、製造設備（製造装置）２０、自動搬送機３０、警報装置４０及び在庫ストア５０を備えている。
【００１１】
上位ホスト１０は、主に生産管理システム１全体の制御を行うように構成されている。また、上位ホスト１０は、図１に示すように、製造設備（製造装置）２０、自動搬送機３０、警報装置４０及び在庫ストア５０とＬＡＮによって互いに通信可能に接続されている。このような上位ホスト１０は、例えばコンピュータとして構成され、図２に示すように、ＣＰＵ１１、通信部１３、記憶部１５、表示部及び操作部等を備えた構成となっている。
【００１２】
ＣＰＵ１１は、各種情報処理を行うように構成されており、主に当該生産管理システム１全体の制御を行うように機能している。また、ＣＰＵ１１は、被処理物の放置状態が検出された時点からの継続時間を計時するように機能する。また、ＣＰＵ１１は、各製造設備２０にロットの仕掛指示と処理条件を通知する仕掛通知手段と、異常状態（被処理物の放置状態等）を検出した際に警報装置４０へ異常状態である旨を通知する異常通知手段と、を備えている。通信部１３は、外部装置と通信を行うための通信インターフェースとして構成され、ＣＰＵ１１からの指令に応じて、製造設備２０及び自動搬送機３０へ動作命令を送信すると共に、製造設備２０及び自動搬送機３０から設備状態等のデータを受信するように構成されている。記憶部１５は、ＲＯＭ、ＲＡＭ、不揮発性メモリ等の半導体メモリやハードディスク等により構成され、ロット情報データベース１５ａ、設備情報データベース１５ｂ及び処理時間情報データベース１５ｃ等を記憶するように構成されている。表示部は、液晶モニタ等によって構成され、上位ホスト１０の動作状態などを表示可能に構成されている。操作部は、キーボードやマウス等により構成され、例えば、ユーザ（システムの管理者など）が当該操作部を操作することにより記憶部１５に記憶されている各データベースに情報を入力し得るように構成されている。
【００１３】
なお、上位ホスト１０（具体的にはＣＰＵ１１）は、「制御部」の一例に相当し、製造設備（製造装置）２０と通信可能であり製造設備に対する情報の送信や製造設備からの情報の受信を行い、製造設備２０の動作を制御するように機能する。また、ＣＰＵ１１は、「計時部（タイマー）」の一例に相当し、ロットごとに、放置状態検出部によってロット（被処理物）の放置状態が検出された時点からの当該放置状態継続する継続時間を計時するように機能する。また、記憶部１５は、「許容時間記憶部」の一例に相当し、被処理物の放置状態を許容可能とする許容時間を記憶するように機能する。
【００１４】
製造設備（製造装置）２０は、被処理物に所定の処理を施して製品を製造するように構成されている。また、複数の製造設備（製造装置）２０が上位ホスト１０とＬＡＮによって互いに通信可能に接続されている。例えば、半導体素子やＩＣなどの半導体装置（半導体チップ等）を最終製品として製造する場合、フォトレジスト塗布装置、エッチング装置、拡散装置、イオン注入装置、スパッタリング装置、ウエハ検査装置等が製造設備２０として用いられる。そして、これら製造設備２０は、製品を製造するための各工程で被処理物の処理を実施する設備となっている。なお、所定の処理は、上記製造設備で実施される公知の処理である。例えば、フォトレジスト塗布装置では、ウエハに形成された酸化膜上にレジストを塗布する処理等である。また、スパッタリング装置では、電極配線用のアルミ金属膜を形成する処理等である。また、ウエハ検査装置では、ウエハをチップごとに試験して良品・不良品を確定する処理等である。これらの場合、各製造設備に投入されるウエハが「被処理物」の一例に相当する。
【００１５】
自動搬送機３０は、上位ホスト１０の指示によって、在庫ストア５０と製造設備２０間で被処理物を搬送するように機能する。具体的には、自動搬送機３０は、上位ホスト１０の指示によって、在庫ストア５０から製造設備２０へ被処理物を搬送し、製造設備２０によって被処理物の処理が終了し、製造設備２０から搬出された被処理物を在庫ストア５０へ搬送するように構成されている。
【００１６】
警報装置４０は、「報知部」の一例に相当し、例えばコンピュータとして構成され、ＣＰＵ、通信部、記憶部、表示部及び操作部等を備えた構成となっている。そして、上位ホスト１０が検出した異常を受信し、異常内容を表示部に表示し、シグナルタワー（ＬＥＤ等）の点滅やブザーの鳴動を行うように機能する。
【００１７】
在庫ストア５０は、被処理物を保管しておく倉庫等の建物やその他の設備である。また、自動搬送機３０によって在庫ストア５０から被処理物が搬出されるように構成されている。
【００１８】
（通信シーケンス）
次に、生産管理システム１における上位ホスト１０と製造設備２０との通信シーケンスについて図３を参照して説明する。
図３に示すように、始めに、上位ホスト１０は、製造設備２０に対して被処理物の仕掛けをするように指示を送信する。また、自動搬送機３０によって製造設備２０へ被処理物の搬入が完了した場合には、製造設備２０は、上位ホスト１０に対して搬入が完了した旨の通知を送信する。そして、上位ホスト１０は、製造設備２０に対して被処理物の処理条件を送信し、製造設備２０は、被処理物に対して当該製造設備２０で予定された処理を開始した場合に、その通知を上位ホスト１０へ送信する。その後、製造設備２０によって被処理物の処理が終了した場合には、製造設備２０は、上位ホスト１０に対して被処理物の処理が終了した旨の通知を送信すると共に、被処理物を製造設備２０から搬出する要求を送信する。そして、上位ホスト１０は、製造設備２０及び自動搬送機３０に対して被処理物を製造設備２０から搬出するように指示を送信する。また、自動搬送機３０によって製造設備２０から被処理物の搬出が完了した場合には、製造設備２０は、上位ホスト１０に対して搬出が完了した旨の通知を送信する。
【００１９】
（仕掛時の判定処理）
次に、生産管理システム１で行われる仕掛時のダンマリ停止の判定処理の流れについて、図４に示すフローチャートを用いて説明する。
始めに、上位ホスト１０は、製造設備２０に仕掛け可能なロットが存在するか否か判定する（ステップＳ１）。ここで「ロット」とは、製品を搬送及び製造する際にグループ分けされた被処理物の集まりの単位である。仕掛け可能なロットが存在するか否かを確認する方法として、図７に示すような、上位ホスト１０の記憶部１５に記憶されたロット情報データベース１５ａを参照する。ここで、上位ホスト１０（具体的にはＣＰＵ１１）は、処理前のロットの中で仕掛け可能なロットを検出する仕掛可能ロット検出部を備え、仕掛け可能ロット検出部によって検出された情報に基づいてロット情報データベース１５ａが作成される。図７のデータベースでは、全ロットの位置情報（物理的な位置）と、処理状態（処理中、処理前、停止中）とが記録され、具体的には、各ロットに対して、ロット番号、カセットＩＤ、ウエハ枚数、現工程、作業状態、停止状態、カセット位置、存在設備コード、存在ストア、作業対象設備コード等の情報が含まれている。ここで、「カセット」とは、ウエハ（製品）を複数枚収納するケースのことである。また、「存在ストア」とは、ロットが保管されている在庫ストア５０であり、（ブランク）とは、ロットが保管されていないことを意味している。また、製造設備２０に仕掛け可能なロットの定義は、作業状態が「作業前」、且つ停止状態が「流動中」、且つカセット位置が「ストア内」又は「搬送中」のロットである。従って、図７では、ＬＯＴ００３、ＬＯＴ００５が仕掛け可能なロットである。
【００２０】
Ｓ１において製造設備２０に仕掛け可能なロットが存在していない場合は、判定処理を終了する（Ｓ１でＮｏ）。一方、製造設備２０に仕掛け可能なロットが存在する場合には、Ｓ１でＹｅｓに進み、上位ホスト１０は、製造設備２０おいて当該ロットを投入するスペースが空いているか（稼動していないか）否かを判定する（Ｓ２）。製造設備２０が空いているか否かを確認する方法として、図８に示すような、上位ホスト１０の記憶部１５に記憶された設備情報データベース１５ｂを参照する。ここで、上位ホスト１０（具体的にはＣＰＵ１１）は、各製造設備２０の中で放置されている設備（空いている、又は稼動していない設備）であるか否かを判定する設備放置監視手段を備え、設備放置監視手段によって検出された情報に基づいて設備情報データベース１５ｂが作成される。図８のデータベースでは、各設備コードに対して、設備名称、設備状態、停止状態、設備モード等の情報が含まれている。そして、上位ホスト１０は、フルオートで仕掛け可能な製造設備２０、即ち、図８のデータベースにおいて、製造状態が「空き」で、且つ停止状態が「仕掛可」で、且つ設備モードが「フルオート」である製造設備２０を検索する。従って、図８では、設備コードが「ＰＨＯＴ２」で示される製造設備２０がフルオートで仕掛け可能な製造設備２０である。また、ロット情報データベース１５ａ及び設備情報データベース１５ｂによると、ロット番号が「ＬＯＴ００５」で示されるロットが、設備コードが「ＰＨＯＴ２」で示される製造設備２０に仕掛け可能である。
【００２１】
製造設備２０が空いていない場合には、判定処理を終了し（Ｓ２でＮｏ）、製造設備２０が空いている場合には、Ｓ２でＹｅｓに進み、上位ホスト１０は、当該製造設備２０を放置設備と判定し、この放置発見時刻（即ち、ロットを製造設備２０に仕掛け可能な所定の仕掛け可能条件が成立した時刻）をタイマーの開始時刻として設定し（Ｓ３）、当該仕掛け可能ロットに関してタイマーをスタートしてロットの放置状態が検出された時点からの継続時間を計時する（Ｓ４）。ここで、所定の仕掛け可能条件の成立とは、製造設備２０に仕掛け可能なロットがあり、且つ製造設備２０がロットを仕掛け可能な状態となることである。なお、このようなロット及び製造設備の状態を、それぞれ放置ロット及び放置設備と定義する。また、製造設備２０に仕掛け可能なロットがあるという場合には、同条件で複数のロットを同時に処理する製造設備２０において、所定数のロットが製造設備２０に仕掛け可能である場合も含まれる。なお、上位ホスト１０は、製造設備２０が放置設備から非放置設備（放置設備以外の製造設備）へと変わった場合に、タイマーの開始時刻をクリアするように構成されている。より具体的には、本構成では、被処理物を製造設備２０に仕掛け可能な所定の仕掛け可能条件が成立している場合とは、カセット位置（当該被処理物の位置）が当該製造設備２０に投入するための在庫ストア５０に存在している場合か、又はこの在庫ストア５０から当該製造設備２０へと搬送されている場合であって、且つ当該製造設備２０が流動中である場合（停止中でない場合）を意味している。また、製造設備２０に対する仕掛け可能な被処理物とは、当該製造設備２０に投入するための在庫ストア５０に存在している被処理物又はこの在庫ストア５０から当該製造設備２０へと搬送されている被処理物である。
【００２２】
そして、タイマーがスタートした後、上位ホスト１０は、当該製造設備２０にそのロットが仕掛けられたか否か判定する（Ｓ５）。当該製造設備２０にそのロットが仕掛けられた場合は（Ｓ５でＹｅｓ）、上位ホスト１０は、ロットの放置状態の終了を検出し、判定処理を終了する。製造設備２０にロットが仕掛けられない場合には、Ｓ５でＮｏに進み、タイマーの計時する継続時間が許容時間を超過しているか否か判定し（Ｓ６）、継続時間が許容時間を超過していない場合は（Ｓ６でＮｏ）、再び製造設備２０にロットが仕掛けられたか否か判定し（Ｓ５）、継続時間が許容時間を超過するまでの間はＳ５の判定処理を繰り返す。ここで、所定の仕掛け可能条件の成立時点から上位ホスト１０がダンマリ停止と判定するまでの許容時間（ロットの放置状態を許容可能とする許容時間）と継続時間との比較は、上位ホスト１０の記憶部１５に記憶された仕掛可能ロット放置許容時間定義ファイルを参照して行われる。また、この定義ファイルには、製造設備２０毎の許容時間が定義されている。そして、Ｓ４以降で計測されるタイマーの継続時間が、仕掛可能ロット放置許容時間定義ファイルに定義してある対応する製造設備２０（タイマーの計時対象となっている当該ロットを仕掛けようとしている製造設備）の許容時間に達した場合には、上位ホスト１０が、その製造設備２０のダンマリ停止を検知し（Ｓ７）、上位ホスト１０は、当該製造設備２０が異常状態であると判定し、警報装置４０に異常内容を通知し（Ｓ８）、判定処理を終了する。ここで、当該製造設備２０の上記異常状態は、製造設備２０から警報等の報告がなく、且つ製造設備２０が空きの状態であり、このような状態をダンマリ停止と定義する。
【００２３】
また、Ｓ８の処理後、警報装置４０は、上位ホスト１０によって通知された異常内容に基づいて、図１０（Ａ）に示すような、ポップアップ画面を表示部に表示するようになっている。図１０（Ａ）に示すポップアップ画面には、製造設備（製造装置）名、その製造設備（製造装置）に仕掛け可能なロット名、放置時間、発生日時等の情報が表示されるようになっている。また、警報装置４０は、ポップアップ画面の表示と同時に、シグナルタワー（ＬＥＤ等）の点滅やブザーの鳴動を行うようになっている。そして、オペレータ等が、仕掛け可能な状態でダンマリ停止した製造設備２０に対して即座に対応することができ、当該製造設備２０にロットを仕掛けることで製造設備２０が被処理物の処理を開始し、装置の稼働率を向上させることができる。なお、以上の判定処理（Ｓ１〜Ｓ８）は、所定の時間間隔で定期的に実行されるように構成されている（例えば数分おきにＳ１の処理を開始する）。
【００２４】
なお、本判定処理では、上位ホスト１０（具体的にはＣＰＵ１１）が、「放置状態検出部」の一例に相当し、製造設備２０が所定の正常動作を行わずに被処理物が放置状態となっていることを検出する機能を有する。具体的には、例えば、被処理物（ロット）を製造設備２０に仕掛け可能な所定の仕掛け可能条件が成立している状態を放置状態（所定の正常動作を行わずに被処理物が放置されている状態）として検出するように機能する。また、上位ホスト１０（具体的にはＣＰＵ１１）が、「終了検出部」の一例に相当し、被処理物（ロット）が製造設備２０に仕掛けられた場合に、被処理物の放置状態の終了を検出するように機能する。
【００２５】
（処理中の判定処理）
次に、生産管理システムで１で行われる処理中のダンマリ停止の判定処理の流れについて、図５に示すフローチャートを用いて説明する。
始めに、上位ホスト１０は、製造設備２０よりロットの処理が開始された旨の通知がなされたか否かを判定する（Ｓ２１）。上位ホスト１０が、処理開始の通知がなされていないと判定した場合には、判定処理を終了し（Ｓ２１でＮｏ）、処理開始の通知がなされたと判定した場合には（Ｓ２１でＹｅｓ）、上位ホスト１０は、製造設備２０よりロットの処理が終了した旨の通知がなされたか否かを判定する（Ｓ２２）。上位ホスト１０が、処理終了の通知がされたと判定した場合には、判定処理を終了し（Ｓ２２でＹｅｓ）、処理開始の通知がされていないものと判定した場合には（Ｓ２２でＮｏ）、上位ホスト１０は、製造設備２０の処理が処理終了予定時刻に到達したか否か判定する（Ｓ２３）。上位ホスト１０が、製造設備２０の処理が処理終了予定時刻に到達していないと判定した場合は（Ｓ２３でＮｏ）、上位ホスト１０は、再び製造設備２０より処理が終了した旨の通知がなされたか否かを判定し（Ｓ２２）、処理終了予定時刻に到達するまでの間はＳ２２の判定処理を繰り返す。
【００２６】
ここで、製造設備２０の処理が処理終了予定時刻に到達したか否かの判定は、図９に示すような、上位ホスト１０の記憶部１５に記憶された処理時間情報データベース１５ｃを参照して行われる。図９のデータベースでは、各製造設備２０に対して、処理条件、単位処理時間、処理区分等の情報が含まれている。ここで「処理条件」は、上位ホスト１０から各製造設備２０へ送られる任意の文字列であり、製造設備２０の内部に文字列に該当する処理条件で処理を実施する構成となっている。また、「処理区分」は、各製造設備２０における被処理物の処理単位を示しており、「枚葉」は、ウエハを１枚ずつ処理する装置であり、「バッチ」は、カセット単位で処理を行う装置である。「単位処理時間（秒）」は、「処理区分」が「枚葉」であれば、１枚当たりに要する処理時間を意味し、「処理区分」が「バッチ」であれば カセット単位の処理時間を意味する。このデータベースを利用して上位ホスト１０は総処理時間を算出し、例えば、製造設備２０のフォト１において処理条件ＡＡＡでウエハが５枚入ったカセットを仕掛けた場合、総処理時間は１５０（秒）×５（枚）＝７５０（秒） となる。また、処理時間情報データベース１５ｃは、例えば、ある製造設備２０がある処理条件αで処理された場合に、その処理に要した時間をデータベースに格納し、最新Ｎロット分の処理に要した時間の平均値を製造設備Ａの処理条件αの処理時間として保持するように構成されている。そして、上位ホスト１０は、このデータベースを参照することによって、ロットの処理が終了する予定時刻と処理開始からの継続時間とから、処理終了予定時刻に到達したか否かを判定する。
【００２７】
製造設備２０からロットの処理終了が上位ホスト１０に通知されずに、処理終了予定時刻に到達したと判定した場合には、Ｓ２３でＹｅｓに進み、上位ホスト１０は、当該製造設備２０を放置設備と判定し、放置発見時刻（即ち、処理終了予定時刻）をタイマーの開始時刻として設定し（Ｓ２４）、当該処理中ロットに関してタイマーをスタートしてロットの放置状態が検出された時点からの継続時間を計時する（Ｓ２５）。
【００２８】
そして、タイマーがスタートした後、上位ホスト１０は、製造設備２０より処理終了の通知がなされた否かを判定する（Ｓ２６）。上位ホスト１０に製造設備２０より処理終了の通知がなされた場合は（Ｓ２６でＹｅｓ）、上位ホスト１０は、ロットの放置状態の終了を検出し、判定処理を終了する。上位ホスト１０に製造設備２０より処理終了の通知がされない場合には、タイマーの計時する継続時間が許容時間を超過しているか否か判定し（Ｓ２７）、継続時間が許容時間を超過していない場合は（Ｓ２７でＮｏ）、再び上位ホスト１０は、製造設備２０より処理終了の通知がなされた否かを判定し（Ｓ２６）、継続時間が許容時間を超過するまでの間はＳ２６の判定処理を繰り返す。ここで、放置発見時刻（処理終了予定時刻）から上位ホスト１０がダンマリ停止と判定するまでの許容時間（ロットの放置状態を許容可能とする許容時間）と継続時間との比較は、上位ホスト１０の記憶部１５に記憶された処理中ロット放置許容時間定義ファイルを参照して行われる。また、この定義ファイルには、製造設備２０毎の許容時間が定義されている。そして、タイマーの継続時間が処理中ロット放置許容時間定義ファイルに定義してある対応する製造設備２０（即ち、図５の処理の対象となる製造設備）の許容時間に達した場合には、上位ホスト１０が、製造設備２０のダンマリ停止を検知し（Ｓ２８）、上位ホスト１０は、当該製造設備２０が異常状態であると判定し、警報装置４０に異常内容を通知し（Ｓ２９）、判定処理を終了する。ここで、当該製造設備２０の上記異常状態は、製造設備２０から警報等の報告がなく、且つ製造設備２０が処理停止中の状態であり、このような状態をダンマリ停止と定義する。
【００２９】
また、Ｓ２９の処理後、警報装置４０は、上位ホスト１０によって通知された異常内容に基づいて、図１０（Ｂ）に示すような、ポップアップ画面を表示するようになっている。図１０（Ｂ）に示すポップアップ画面には、製造設備（製造装置）名、その製造設備で処理中のロット名、処理終了予定時刻からの継続時間、発生日時等の情報が表示されるようになっている。
また、警報装置４０は、ポップアップ画面の表示と同時に、シグナルタワー（ＬＥＤ等）の点滅やブザーの鳴動を行うようになっている。そして、オペレータ等が、製造設備２０の不具合に即座に対応することができるようになり、製造設備２０によって被処理物の処理を完了させ、製造設備２０に次の被処理物を仕掛けることが可能となり、製造設備２０の稼働率を向上させることができる。なお、以上の判定処理（Ｓ２１〜Ｓ２９）は、所定の時間間隔で定期的に実行されるように構成されている（例えば数分おきにＳ２１の処理を開始する）。
【００３０】
なお、本判定処理では、ＣＰＵ１１が、「放置状態検出部」の一例に相当し、製造設備２０によって被処理物（ロット）の処理が所定の終了予定時間を経過しても終了しない場合に、被処理物の放置状態として検出するように機能する。また、ＣＰＵ１１が、「終了検出部」の一例に相当し、製造設備２０によって被処理物（ロット）の処理が終了した場合に、被処理物の放置状態の終了を検出するように機能する。
【００３１】
（搬出時の判定処理）
次に、生産管理システム１で行われる搬出時のダンマリ停止の判定処理の流れについて、図６に示すフローチャートを用いて説明する。
始めに、上位ホスト１０は、製造設備２０よりロットの処理が終了した旨の通知がなされたか否かを判定する（Ｓ３１）。上位ホスト１０が、処理終了の通知がなされていないと判定した場合には、判定処理を終了し（Ｓ３１でＮｏ）、処理終了の通知がなされたと判定した場合には、Ｓ３１でＹｅｓに進み、上位ホスト１０は、当該製造設備２０を放置設備と判定し、放置発見時刻（即ち、製造設備２０から上位ホスト１０にロットの処理終了の通知がなされた時刻（処理終了発生時刻））をタイマーの開始時刻として設定し（Ｓ３２）、当該処理済ロットに関してタイマーをスタートしてロットの放置状態が検出された時点からの継続時間を計時する（Ｓ３３）。
【００３２】
そして、タイマーがスタートした後、上位ホスト１０は、製造設備２０よりロットの搬出が完了した旨の通知がなされた否かを判定する（Ｓ３４）。上位ホスト１０に製造設備２０より搬出完了の通知がなされた場合は（Ｓ３４でＹｅｓ）、上位ホスト１０は、ロットの放置状態の終了を検出し、判定処理を終了する。上位ホスト１０に製造設備２０より搬出完了の通知がされない場合には、タイマーの計時する継続時間が許容時間を超過しているか否か判定し（Ｓ３５）、継続時間が許容時間を超過していない場合は（Ｓ３５でＮｏ）、再び上位ホスト１０は、製造設備２０より搬出完了の通知がなされた否かを判定し（Ｓ３４）、継続時間が許容時間を超過するまでの間はＳ３４の判定処理を繰り返す。ここで、放置発見時刻（処理終了発生時刻）から上位ホスト１０がダンマリ停止と判定するまでの許容時間（ロットの放置状態を許容可能とする許容時間）と継続時間との比較は、上位ホスト１０の記憶部１５に記憶された処理済ロット放置許容時間定義ファイルを参照して行われる。また、この定義ファイルには、製造設備２０毎の許容時間が定義されている。そして、タイマーの継続時間が処理済ロット放置許容時間定義ファイルに定義してある対応する製造設備２０（図６の処理の対象となる製造設備）の許容時間に達した場合には、上位ホスト１０が、製造設備２０のダンマリ停止を検知し（Ｓ３６）、上位ホスト１０は、当該製造設備２０が異常状態であると判定し、警報装置４０に異常内容を通知し（Ｓ３７）、判定処理を終了する。ここで、当該製造設備２０の上記異常状態は、製造設備２０から警報等の報告がなく、且つ製造設備２０に搬出されないロットが放置されている状態であり、このような状態をダンマリ停止と定義する。
【００３３】
また、Ｓ３７の処理後、警報装置４０は、上位ホスト１０によって通知された異常内容に基づいて、図１０（Ｃ）に示すような、ポップアップ画面を表示するようになっている。図１０（Ｃ）に示すポップアップ画面には、製造装置（製造設備）名、その製造設備で処理済のロット名、処理済ロットの放置時間、発生日時等の情報が表示されるようになっている。また、警報装置４０は、ポップアップ画面の表示と同時に、シグナルタワー（ＬＥＤ等）の点滅やブザーの鳴動を行うようになっている。そして、オペレータ等が、製造設備２０の不具合に即座に対応することができるようになり、製造設備２０から被処理物を搬出させることで、製造設備２０に次の被処理物を仕掛けることが可能となり、製造設備２０の稼働率を向上させることができる。なお、以上の判定処理（Ｓ３１〜Ｓ３７）は、所定の時間間隔で定期的に実行されるように構成されている（例えば数分おきにＳ３１の処理を開始する）。
【００３４】
なお、本判定処理では、ＣＰＵ１１が、「放置状態検出部」の一例に相当し、製造設備２０によって被処理物（ロット）の処理が終了した場合に、被処理物の放置状態として検出するように機能する。また、ＣＰＵ１１が、「終了検出部」の一例に相当し、製造設備２０からロットが搬送された場合に、ロットの放置状態の終了を検出するように機能する。
【００３５】
以上の通り、本実施形態では、製造設備（製造装置）が動作しないことによって被処理物が放置されている状態を放置状態検出部によって検出し、その時点から放置状態の経過を計時して予め定められた許容時間内でその放置状態が終了しない場合で、且つ継続時間が許容時間を経過した場合に、異常状態として報知部（警報装置４０等）によって報知する構成となっている。そのため、本来気づくことのできないダンマリ停止（警報等を発することなく製造設備に不具合が発生する状態）を検出して報知することができる。これによって、ダンマリ停止した製造設備に即座に対処することができるため、生産管理システムにおける製造設備の稼働率を向上させることができる。そして、このような製造設備の稼働率の向上によって、電力コストの低減及び二酸化炭素等の温室効果ガスの排出削減を図ることができる。また、特に、工程上連続する製造設備間の距離が大きく離れているような場合（インライン工程ではないような場合）においても、被処理物が搬出されずに放置されている状態を放置状態検出部によって検出して異常状態の判定を行うため、搬出作業に長時間を要する場合にも被処理物が放置されている状態として異常状態と判定する誤りがなくなる。また、自動化が進んだ生産工場においては、ダンマリ停止を見落とす頻度が高くなるが、上記の構成を適用することによって、製造設備の異常が検出し易くなり、稼動率を向上させることができるため、生産性をより向上させることができる。
【００３６】
［他の実施形態]
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれる。
【００３７】
上記実施形態では、自動搬送機３０が、上位ホスト１０の指示によって、在庫ストア５０から製造設備２０へ被処理物を搬送し、製造設備２０によって被処理物の処理が終了し、製造設備２０から搬出された被処理物を在庫ストア５０へ搬送するような構成をしめしたが、自動搬送機３０を利用せず、在庫ストア５０から製造設備２０へ被処理物を手動で搬送し、製造設備２０によって被処理物の処理が終了した後、製造設備２０から手動で被処理物を搬出し、在庫ストア５０へ手動で搬送するような構成としてもよい。この場合、例えば製造設備２０にクライアントコンピュータを設ける構成とし、そのクライアントコンピュータの表示部や上位ホスト１０の表示部１７に、上位ホスト１０による製造設備２０に対する被処理物の仕掛け指示を表示することで、オペレータに被処理物の手動による搬入を要求する構成としてもよい。また、上位ホスト１０による製造設備２０に対する被処理物の搬出指示を、製造設備２０に設けられたクライアントコンピュータの表示部や上位ホスト１０の表示部１７に表示することで、オペレータに被処理物の搬出を要求する構成としてもよい。
【符号の説明】
【００３８】
１…生産管理システム
１０…上位ホスト（放置状態検出部、計時部、終了検出部）
１１…ＣＰＵ（制御部）
１５…記憶部（許容時間記憶部）
２０…製造設備（製造装置）
４０…警報装置（報知部）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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