(57)【要約】【課題】ハウジングと駆動軸との間の隙間にある異物を効果的に回収できるシールユニットを提供すること。【解決手段】圧力の異なる２つの空間を隔てるシールユニットは、ハウジングと、ハウジングに少なくとも一部が対向して可動できる可動部材と、ハウジングおよび可動部材の間の隙間を封止する接触式シールと、接触式シールと異なる位置で前記隙間を封止する非接触式シールと、接触式シールから非接触式シールまでの間の前記隙間の区間に連通して前記隙間に所定の気体を導入するための通路となる導入路と、前記区間に連通して前記隙間から気体を排出するための通路となる排出路と、排出路から気体を吸引する吸引部とを備える。非接触式シールが配置される位置は、接触式シールが配置される位置よりも、２つの空間のうち低圧の空間に近い位置であり、排出路が、導入路よりも非接触式シール側に配置される。【選択図】図１
2014196821.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧力の異なる２つの空間を隔てるシールユニットであって、
ハウジングと、
前記ハウジングに少なくとも一部が対向して可動できる可動部材と、
前記ハウジングおよび前記可動部材の間の隙間を封止する接触式シールと、
前記接触式シールと異なる位置で前記隙間を封止する非接触式シールと、
前記接触式シールから前記非接触式シールまでの間の前記隙間の区間に連通して前記隙間に所定の気体を導入するための通路となる導入路と、
前記区間に連通して前記隙間から前記気体を排出するための通路となる排出路と、
前記排出路から前記気体を吸引する吸引部とを備え、
前記非接触式シールが配置される位置は、前記接触式シールが配置される位置よりも、前記２つの空間のうち低圧の空間に近い位置であり、
前記排出路が、前記導入路よりも前記非接触式シール側に配置されることを特徴とするシールユニット。
【請求項２】
ハウジングと、
前記ハウジングに挿通される駆動軸と、
前記駆動軸の軸方向の相互に異なる位置に配置されて前記ハウジングおよび前記駆動軸の間の隙間を封止する接触式シールおよび非接触式シールと、
前記接触式シールから前記非接触式シールまでの区間にて前記隙間に連通して前記隙間に所定の気体を導入するための通路となる導入路と、
前記区間にて前記隙間に連通して前記隙間から前記気体を排出するための通路となる排出路と、
前記排出路から前記気体を吸引する吸引部とを備えることを特徴とするシールユニット。
【請求項３】
ハウジングと、
前記ハウジングに挿通される駆動軸と前記駆動軸に対して直交する板状のフランジ部とを有し、前記ハウジングに前記フランジ部が対向して可動できる可動部材と、
前記ハウジングおよび前記フランジ部の間の隙間を封止する接触式シールと、
前記フランジ部と平行方向で前記接触式シールと異なる位置で前記隙間を封止する非接触式シールと、
前記接触式シールから前記非接触式シールまでの間の前記隙間の区間に連通して前記隙間に所定の気体を導入するための通路となる導入路と、
前記区間に連通して前記隙間から前記気体を排出するための通路となる排出路と、
前記排出路から前記気体を吸引する吸引部とを備えることを特徴とするシールユニット。
【請求項４】
圧力の異なる２つの空間を隔てるシールユニットであって、
前記非接触式シールが配置される位置は、前記接触式シールが配置される位置よりも、前記２つの空間のうち低圧の空間に近い位置であることを特徴とする請求項２または３に記載のシールユニット。
【請求項５】
前記排出路が、前記導入路よりも前記非接触式シール側に配置されることを特徴とする請求項４に記載のシールユニット。
【請求項６】
前記導入路に前記気体を供給する供給部を備えることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一つに記載のシールユニット。
【請求項７】
複数組の前記導入路および前記排出路が配置されることを特徴とする請求項１〜６のいずれか一つに記載のシールユニット。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか一つに記載のシールユニットを備えることを特徴とする搬送装置。
【請求項９】
請求項１〜７のいずれか一つに記載のシールユニットを備えることを特徴とする半導体製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、シールユニット、搬送装置および半導体製造装置に関し、さらに詳しくは、ハウジングと駆動軸との間の隙間にある異物を効果的に回収できるシールユニット、搬送装置および半導体製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年のシールユニットでは、シール性能を向上させるために、接触式シールおよび非接触式シールの２種類のシールを備える構成が採用されている。接触式シールは、駆動軸に接触してハウジングと駆動軸との間の隙間を封止するシールであり、非接触式シールは、駆動軸に接触すること無く、ハウジングと駆動軸との間の隙間を封止するシールである。かかる構成を採用する従来のシールユニットとして、特許文献１に記載される技術が知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−９９３９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ここで、上記のような接触式シールを有する構成では、接触式シールが駆動軸との接触により摩耗して異物を生じ得る。このため、この異物をハウジングと駆動軸との間の隙間から回収すべき課題がある。
【０００５】
そこで、この発明は、上記に鑑みてなされたものであって、ハウジングと駆動軸との間の隙間にある異物を効果的に回収できるシールユニット、搬送装置および半導体製造装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するため、この発明にかかるシールユニットは、圧力の異なる２つの空間を隔てるシールユニットであって、ハウジングと、前記ハウジングに少なくとも一部が対向して可動できる可動部材と、前記ハウジングおよび前記可動部材の間の隙間を封止する接触式シールと、前記接触式シールと異なる位置で前記隙間を封止する非接触式シールと、前記接触式シールから前記非接触式シールまでの間の前記隙間の区間に連通して前記隙間に所定の気体を導入するための通路となる導入路と、前記区間に連通して前記隙間から前記気体を排出するための通路となる排出路と、前記排出路から前記気体を吸引する吸引部とを備え、前記非接触式シールが配置される位置は、前記接触式シールが配置される位置よりも、前記２つの空間のうち低圧の空間に近い位置であり、前記排出路が、前記導入路よりも前記非接触式シール側に配置されることを特徴とする。
【０００７】
また、この発明にかかるシールユニットは、ハウジングと、前記ハウジングに挿通される駆動軸と、前記駆動軸の軸方向の相互に異なる位置に配置されて前記ハウジングおよび前記駆動軸の間の隙間を封止する接触式シールおよび非接触式シールと、前記接触式シールから前記非接触式シールまでの区間にて前記隙間に連通して前記隙間に所定の気体を導入するための通路となる導入路と、前記区間にて前記隙間に連通して前記隙間から前記気体を排出するための通路となる排出路と、前記排出路から前記気体を吸引する吸引部とを備えることを特徴とする。
【０００８】
また、この発明にかかる搬送装置は、上記のシールユニットを備えることを特徴とする。
【０００９】
また、この発明にかかる半導体製造装置は、上記のシールユニットを備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
この発明にかかるシールユニット、搬送装置および半導体製造装置では、吸引部が、接触式シールから非接触式シールまでの区間の隙間から排出路を介して気体を吸引し、また、所定の気体が、導入路を介して上記の隙間に導入される。これにより、ハウジングと駆動軸との間の隙間にある異物が排出路を介して外部に排出されるので、隙間にある異物を効果的に回収できる利点がある。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】図１は、実施形態１にかかるシールユニットを示す構成図である。
【図２】図２は、図１に記載したシールユニットの変形例を示す説明図である。
【図３】図３は、図１に記載したシールユニットの適用例を示す説明図である。
【図４】図４は、実施形態２にかかるシールユニットを備えた半導体製造装置を示す図である。
【図５】図５は、図４に示したハウジングをチャンバ側から見た平面図である。
【図６】図６は、図４に示したシールユニットの断面の拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、この発明につき図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。また、この実施の形態の構成要素には、発明の同一性を維持しつつ置換可能かつ置換自明なものが含まれる。また、この実施の形態に記載された複数の変形例は、当業者自明の範囲内にて任意に組み合わせが可能である。
【００１３】
［実施形態１］
［シールユニット］
図１は、実施形態１にかかるシールユニットを示す構成図である。同図は、チャンバ１０に連結されたシールユニット１の軸方向断面図を示している。なお、図中の一点鎖線Ｏは、シールユニット１の駆動軸３の軸を示している。
【００１４】
このシールユニット１は、シール構造を備えた軸機構であり、例えば、真空チャンバなどの特殊環境下で使用される搬送装置、半導体製造装置、フラットパネルディスプレイ製造装置などに適用される。ここでは、一例として、シールユニット１がチャンバ１０に連結される例について、説明する。
【００１５】
シールユニット１は、ハウジング２と、駆動軸３とを備える（図１参照）。
【００１６】
ハウジング２は、駆動軸３を周方向から囲む部材であり、駆動軸３の周囲に密閉空間を形成する。このハウジング２は、駆動軸３を支持する軸受あるいは直動案内（図示省略）を有し得る。かかる軸受としては、例えば、駆動軸３を回転可能に支持する回転軸受、駆動軸３を軸方向に直線移動可能に支持するスラスト軸受などが挙げられる。
【００１７】
駆動軸３は、ハウジング２に挿入されてハウジング２を貫通する。また、駆動軸３は、例えば、搬送装置や半導体製造装置の駆動軸に連結されて、これらを動作させる。また、駆動軸３は、例えば、ベルト駆動装置、サーボモータ、ダイレクトドライブモータ、軸駆動装置などの動力装置（図示省略）に連結されて動力を供給される。また、駆動軸３は、回転方向に運動する回転軸であっても良いし、軸方向にスライドするスラスト軸であっても良い。また、駆動軸３の自由度には、特に限定がなく、例えば、回転方向あるいは軸方向にのみ変位できる１自由度、回転方向および軸方向の双方に変位できる２自由度のいずれの構成も採用され得る。
【００１８】
例えば、図１の構成では、ハウジング２が、全体として円筒形状を有し、一方の端部に取付用のフランジ部２１を有している。また、ハウジング２が、フランジ部２１をチャンバ１０の外部からチャンバ１０の開口部１０１の縁に当接させ、フランジ部２１にてチャンバ１０の壁面にボルト締結（図示省略）により固定されている。これにより、ハウジング２が、チャンバ１０の開口部１０１をチャンバ１０の外部から塞いで配置されている。また、駆動軸３が、ハウジング２に挿入されてハウジング２を貫通し、一方の端部をチャンバ１０の内部に位置させ、他方の端部をチャンバ１０の外部に位置させている。
【００１９】
また、チャンバ１０の内部と外部とは、相互に異なる雰囲気を有する。具体的には、チャンバ１０が密閉空間であり、チャンバ１０の内部に特殊環境が形成される。例えば、半導体製造装置では、チャンバ１０の内部に、真空環境、減圧環境、プロセスガス充填環境などが形成され得る。また、チャンバ１０の外部には、例えば、外気が導入される。このため、チャンバ１０の内部が、チャンバ１０の外部よりも低圧となる。
【００２０】
このシールユニット１は、上記のような特殊環境を有するチャンバ１０を密封するために、少なくとも、接触式シール４および非接触式シール５の２種類のシールを備える（図１参照）。
【００２１】
接触式シール４は、駆動軸３に接触してハウジング２と駆動軸３との間の隙間を封止するシールであり、例えば、Ｏリング、リップシールなどから構成される。ここでは、特に、接触式シール４として、樹脂、ゴム素材などから成る弾性体シールが採用される。また、接触式シール４は、例えば、外部電源、高圧気体、真空排気などの付加的作用を要すること無く、そのシール機能を発揮できることが好ましい。
【００２２】
非接触式シール５は、駆動軸３に接触することなくハウジング２と駆動軸３との間の隙間を封止するシールであり、例えば、オリフィスシール、ラビリンスシールなどから構成される。また、接触式シール４と非接触式シール５とは、駆動軸３の軸方向の相互に異なる位置に配置されて、ハウジング２と駆動軸３との間の隙間を相互に異なる位置で封止する。
【００２３】
例えば、図１の構成では、チャンバ１０の内部に真空環境ないしは減圧環境が形成され、チャンバ１０の外部が外気となっている。このため、チャンバ１０の内部が外部よりも低圧となっている。また、ハウジング２と駆動軸３との間の隙間において、接触式シール４が高圧側に配置され、非接触式シール５が低圧側に配置されている。
【００２４】
また、接触式シール４が、Ｏリングであり、ハウジング２の内周面に形成された周溝２２に嵌め込まれて保持され、駆動軸３の外周面に付勢している。また、非接触式シール５が、オリフィスシールであり、ハウジング２の内周面と駆動軸３の外周面とのクリアランスを１０［μｍ］程度の微少隙間とすることにより構成されている。これらにより、ハウジング２と駆動軸３との間の隙間が接触式シール４および非接触式シール５の２箇所で封止されて、気密性が確保されている。
【００２５】
また、ハウジング２のフランジ部２１が、隔壁１００との係合面に環状溝２１１を有し、この環状溝２１１にＯリング２１２が配置されている。これにより、フランジ部２１とチャンバ１０の壁面との隙間が封止されて、気密性が確保されている。
【００２６】
［シール間における給排気構造］
ここで、上記のような接触式シール４を有する構成では、接触式シール４が駆動軸３との接触により摩耗して異物を生じ得る。このため、この異物をハウジング２と駆動軸３との間の隙間から回収すべき課題がある。
【００２７】
そこで、このシールユニット１は、かかる課題を解決するために、導入路６１および排出路６２と、吸引部７とを備える（図１参照）。
【００２８】
導入路６１は、接触式シール４から非接触式シール５までの区間にてハウジング２と駆動軸３との間の隙間に連通して、この隙間に所定の気体を導入するための通路となる。排出路６２は、接触式シール４から非接触式シール５までの区間にてハウジング２と駆動軸３との間の隙間に連通して、この隙間から気体を排出するための通路となる。吸引部７は、例えば、ポンプであり、排出路６２から気体を吸引する。
【００２９】
例えば、図１の構成では、ハウジング２と駆動軸３との間の隙間が、接触式シール４から非接触式シール５までの区間に、気体を流通させ得る空間Ｓを有している。この空間Ｓは、非接触式シール５のクリアランスよりも十分に広い。また、導入路６１が、ハウジング２の内周面に形成されて空間Ｓに連通する周溝６１１と、ハウジング２の外部からハウジング２を貫通して周溝６１１に連通する通気孔６１２と、この通気孔６１２に接続された配管６１３とから構成されている。また、排出路６２が、ハウジング２の内周面に形成されて空間Ｓに連通する周溝６２１と、ハウジング２の外部からハウジング２を貫通して周溝６１１に連通する通気孔６２２と、この通気孔６２２に接続された配管６２３とから構成されている。また、排出路６２が、導入路６１よりも非接触式シール５側に配置されている。また、吸引部７が、真空ポンプであり、排出路６２の配管６２３に接続されている。
【００３０】
このシールユニット１では、吸引部７が、排出路６２を介して空間Ｓの気体を吸引することにより、空間Ｓが負圧となる。すると、所定の気体が、ハウジング２の外部から導入路６１を介して空間Ｓに吸い込まれる。すると、空間Ｓに気体が流通して、空間Ｓにある異物が排出路６２を介してハウジング２の外部に排出される。これにより、空間Ｓにある異物を効果的に回収できるので、異物が非接触式シール５を抜けてチャンバ１０の内部に侵入する事態が抑制される。
【００３１】
特に、上記の構成は、（１）チャンバ１０の内部が真空雰囲気を有する構成において、有益である。すなわち、導入路６１を有さない構成（図示省略）では、チャンバ１０の内部が真空雰囲気であると、ハウジング２と駆動軸３との隙間も、略真空雰囲気となる。すると、空間Ｓにおける気体の流通量が少ないため、排出路６２から気体を吸引して異物を回収することが難しい。この点において、上記の構成では、所定の気体が導入路６１から空間Ｓに導入されるので、空間Ｓに気体が流通して、空間Ｓにある異物を排出路６２から効率的に回収できる。
【００３２】
また、上記の構成は、（２）チャンバ１０の内部が数［Ｐａ］の低圧なガス雰囲気を有する構成においても、有益である。すなわち、導入路６１を有さない構成（図示省略）では、チャンバ１０内のガスが非接触式シール５を抜けて空間Ｓに流入する場合がある。このとき、上記の構成では、吸引部７がこのガスを吸引して回収することにより、ハウジング２の外部へのガスの漏出を抑制できる。
【００３３】
なお、図１の構成では、導入路６１を介して空間Ｓに導入される所定の気体が、チャンバ１０の外部にある空気であり、また、吸引部７により排出路６２から排出された気体が、チャンバ１０の外部にそのまま放出されている。また、チャンバ１０の外部に浄化装置（図示省略）が配置されて、チャンバ１０の外部の空気中にある異物が回収されている。
【００３４】
しかし、これに限らず、空間Ｓに導入される気体として、例えば、窒素などの特殊ガスが用いられても良い。かかる特殊ガスを空間Ｓ（導入路６１）に導入するための供給部としては、公知のガス供給装置を任意に採用できる。なお、近年では、多種多様なガス供給装置が提案されている。
【００３５】
また、図１の構成では、排出路６２が、導入路６１よりも非接触式シール５側に配置されている。したがって、接触式シール４、導入路６１、排出路６２および非接触式シール５が、この順で駆動軸３の軸方向に配置されている。かかる構成では、排出路６２が接触式シール４および導入路６１よりも非接触式シール５側に配置されるので、非接触式シール５側への異物の侵入が効果的に抑制される点で好ましい。特に、接触式シール４側が高圧となり非接触式シール５側が低圧となる構成では、排出路６２が導入路６１よりも低圧側に配置されることにより、空間Ｓにおける導入路６１から排出路６２への気体流れが安定する。
【００３６】
しかし、これに限らず、接触式シール４、排出路６２、導入路６１および非接触式シール５が、この順で駆動軸３の軸方向に配置されても良い（図示省略）。
【００３７】
また、図１の構成では、排出路６２側にのみ吸引部７が設置されて、気体の吸引が行われている。
【００３８】
しかし、これに限らず、図１の構成において、さらに、導入路６１に気体を供給する供給部（図示省略）が設置されても良い。この供給部は、例えば、導入路６１の配管６１３上に設置されて、導入路６１に所定の気体を所定の流量で送り込むポンプなどにより構成され得る。また、この供給部と吸引部７とは、相互に独立したポンプを有しても良いし、１つのポンプを共用しても良い。
【００３９】
また、図１の構成において、さらに、導入路６１における気体の流量を調整する流量調整部（図示省略）が設置されても良い。この流量調整部は、例えば、導入路６１の配管６１３に設置された流量調整弁（図示省略）などにより構成され得る。かかる構成では、流量調整部が導入路６１における気体の流量を調整することにより、空間Ｓにおける気体の流れを適正に制御できる。具体的には、空間Ｓにある塵を排出路６２に流すために必要な流量（空間Ｓにおける気体の流れが粘性流となる程度の流量が好ましい。）を確保しつつ、空間Ｓへの気体の供給量をなるべく小さく設定することが好ましい。
【００４０】
［変形例］
図２は、図１に記載したシールユニットの変形例を示す説明図である。同図において、図１に記載した構成要素と同一の構成要素には、同一の符号を付し、その説明を省略する。
【００４１】
図１の構成では、一対の導入路６１および排出路６２のみが、接触式シール４と非接触式シール５との間の空間Ｓに配置されている。かかる構成では、空間Ｓにおける気体流れを容易に制御できる点で好ましい。
【００４２】
しかし、これに限らず、複数組の導入路６１および排出路６２が、空間Ｓに配置されても良い。例えば、図２の構成では、シールユニット１が、２つの導入路６１、６１と、２つの排出路６２、６２よび２つのポンプ７、７とを備えている。また、高圧側から低圧側に向かって、接触式シール４、第一の導入路６１、第一の排出路６２、第二の導入路６１、第二の排出路６２、非接触式シール５の順で配置されている。このように、複数組の導入路６１および排出路６２が多段構造で設置されることにより、チャンバ１０への異物の侵入が効果的に抑制されている。
【００４３】
［適用例］
図３は、図１に記載したシールユニットの適用例を示す説明図である。同図は、駆動軸３が直線運動するシールユニット１の具体例を示している。同図において、図１に記載した構成要素と同一の構成要素には、同一の符号を付し、その説明を省略する。
【００４４】
図３の構成では、作業用のテーブル１１がチャンバ１０の内部に設置され、このテーブル１１の底面に駆動軸３の端部が固定される。また、駆動軸３が、軸駆動装置８に連結される。軸駆動装置８は、チャンバ１０の外部に設置されて駆動軸３を駆動する装置であり、モータ８１と、ボールネジ８２およびナット８３と、Ｌ字状の連結部材８４と、複数組のスライダ８５およびガイドレール８６とを備える。また、モータ８１とボールネジ８２とが、相互に連結され、回転軸方向をシールユニット１の駆動軸３の軸方向に揃えて配置される。また、ナット８３がボールネジ８２に螺合され、また、ナット８３および複数のスライダ８５が連結部材８４に固定されて一体化される。また、スライダ８５およびガイドレール８６がリニアガイドを構成し、ガイドレール８６がスライダ８５をボールネジ８２の軸方向に移動可能に支持する。また、連結部材８４が、シールユニット１の駆動軸３に連結される。
【００４５】
この軸駆動装置８では、モータ８１がボールネジ８２を回転駆動させると、ナット８３が送られて軸方向に移動する。すると、連結部材８４が、リニアガイド（スライダ８５およびガイドレール８６）により軸方向にガイドされつつ移動する。すると、シールユニット１の駆動軸３が、連結部材８４と共に軸方向に直線移動する。また、モータ８１が回転方向を切り替えることにより、駆動軸３が軸方向に進退できる。これにより、駆動軸３が、直線移動軸として機能する。
【００４６】
以上説明したように、このシールユニット１は、ハウジング２と、ハウジング２に挿通される駆動軸３と、駆動軸３の軸方向の相互に異なる位置に配置されてハウジング２および駆動軸３の間の隙間を封止する接触式シール４および非接触式シール５と、接触式シール４から非接触式シール５までの区間にて前記隙間（図１における空間Ｓ）に連通して前記隙間に所定の気体を導入するための通路となる導入路６１と、前記区間にて前記隙間に連通して前記隙間から気体を排出するための通路となる排出路６２と、排出路６２から気体を吸引する吸引部７とを備える（図１参照）。
【００４７】
かかる構成では、吸引部７が、接触式シール４から非接触式シール５までの区間の隙間から排出路６２を介して気体を吸引し、また、所定の気体が、導入路６１を介して上記の隙間に導入される。これにより、ハウジング２と駆動軸３との間の隙間（図１における空間Ｓ）にある異物が排出路６２を介して外部に排出されるので、隙間にある異物を効果的に回収できる利点がある。
【００４８】
また、上記の構成では、接触式シール４および非接触式シール５の２種類のシールが配置されるので、単一あるいは複数の非接触式シールのみを備える構成を比較して、シール性が高いという利点がある。例えば、複数の非接触式シールを有すると共に排気ポンプを用いて非接触式シール間の空気を排気する差動排気シールを備える構成（図示省略）では、例えば、排気ポンプへの電源供給の停止時にて、シール性能が一時的に低下するため、好ましくない。
【００４９】
また、このシールユニット１では、排出路６２が、導入路６１よりも非接触式シール側に配置される（図１参照）。かかる構成では、排出路６２が接触式シール４および導入路６１よりも非接触式シール５側に配置されることにより、隙間にある異物を効果的に回収できる利点がある。
【００５０】
また、このシールユニット１は、接触式シール４側を高圧側（チャンバ１０の外部）とすると共に非接触式シール５側を低圧側（チャンバ１０の内部）として設置される（図１参照）。これにより、非接触式シール５が異物の通過を阻害するので、接触式シール４から低圧側への異物の漏出が抑制される利点がある。
【００５１】
また、このシールユニット１は、導入路６１に気体を供給する供給部（図示省略）を備える。かかる構成では、導入路６１に積極的に気体を送り込む（圧送する）ことにより、隙間にある異物を効果的に回収できる利点がある。
【００５２】
また、このシールユニット１では、複数組の導入路６１および排出路６２が、駆動軸３の軸方向に配置される（図２参照）。かかる構成では、複数組の導入路６１および排出路６２が多段構造で設置されることにより、隙間にある異物を効果的に回収できる利点がある。
【００５３】
［実施形態２］
［半導体製造装置］
図４は、実施形態２にかかるシールユニットを備えた半導体製造装置を示す図である。半導体製造装置２００は、シールユニット１Ａと、チャンバ１０と、駆動装置９とを含む。半導体製造装置２００は、チャンバ１０の内部を真空環境、減圧環境、プロセスガス充填環境にした上で、チャンバ１０の内部にある被搬送物（例えば、半導体）を移動させる必要がある。しかし、移動させるため、駆動装置９と後述する可動部材とを備える搬送装置をチャンバ１０の内部に設置すると、駆動装置９の動作により異物が発生するため好ましくない場合がある。そこで、半導体製造装置２００は、チャンバ１０の内部に可動部材を残したまま、駆動装置９をチャンバ１０の外部に設置する。そして、チャンバ１０の内部とチャンバ１０の外部を隔てながら、チャンバ１０の外部に設置された駆動装置９の動力をチャンバ１０の内部に伝えるため、シールユニット１Ａが必要となる。また、駆動装置９は、例えば、ベルト駆動装置、サーボモータ、ダイレクトドライブモータ、軸駆動装置などである。
【００５４】
［シールユニット］
シールユニット１Ａは、チャンバ１０の内部と外部とを隔てる密封装置である。シールユニット１Ａは、真空チャンバなどの特殊環境下で使用される半導体製造装置のほかに、例えば、フラットパネルディスプレイ製造装置などに適用される。ここでは、一例として、チャンバ１０が開口部１０１を有する場合、シールユニット１Ａが開口部１０１を密封する例について説明する。図４に示すように、シールユニット１Ａは、ハウジング２Ａと、可動部材３Ａと、軸受１３とを含む。なお、図中の一点鎖線ＯＡは、シールユニット１Ａの可動部材３Ａの軸ＯＡを示している。図４は、軸ＯＡを含む平面で半導体製造装置２００を切断した断面図を示している。
【００５５】
図５は、図４に示したハウジングをチャンバ側から見た平面図である。例えば、ハウジング２Ａは、円柱状の開口部２６を有しており、全体として筒状である。また、チャンバ１０は、円形の開口部１０１を有する。ハウジング２Ａは、チャンバ１０と締結されるフランジ部２１Ａと、軸受１３を保持するための軸受保持部２５とを有する。フランジ部２１Ａと軸受保持部２５とは、軸ＯＡ方向に沿って、チャンバ１０に近い側からフランジ部２１Ａ、軸受保持部２５の順で配置される。例えば、フランジ部２１Ａは、板状であり、開口部１０１よりも面積の大きい円盤形状である。ハウジング２Ａは、フランジ部２１Ａをチャンバ１０の外部からチャンバ１０の開口部１０１を覆うようにあてがい、フランジ部２１Ａとチャンバ１０の壁面とをボルト締結することでチャンバ１０に固定されている。これにより、ハウジング２Ａは、チャンバ１０の開口部１０１をチャンバ１０の外部から塞ぐことができる。
【００５６】
図５に示すように、周溝２２Ａ、周溝６３１、周溝６４１および環状溝２１１は、フランジ部２１Ａのチャンバ１０と対向する表面にある環状の凹みである。また、周溝２２Ａ、周溝６３１、周溝６４１および環状溝２１１は、軸ＯＡを中心とした同心円を描くように形成されている。また、周溝２２Ａ、周溝６３１、周溝６４１および環状溝２１１は、フランジ部２１Ａの径方向内側から、周溝２２Ａ、周溝６３１、周溝６４１、環状溝２１１の順に配置される。また、環状溝２１１は、フランジ部２１Ａの表面で、隔壁１００とフランジ部２１Ａとが軸ＯＡ方向に重なる位置に形成される。周溝２２Ａ、周溝６３１、周溝６４１および環状溝２１１は、後述するように、シールユニット１Ａに気密性能を発揮させるために用いられる。
【００５７】
可動部材３Ａは、軸ＯＡを中心に回転する部材である。可動部材３Ａは、フランジ部３１と、テーブル３２と、駆動軸３３とを含む。駆動軸３３は、軸ＯＡ方向に沿ってハウジング２Ａの開口部２６に挿入されてハウジング２Ａを貫通する。駆動軸３３の一方の端部は、チャンバ１０の内部に位置し、他方の端部は、チャンバ１０の外部に位置する。フランジ部３１は、駆動軸３３と直交する板状であり、円盤形状の板材が駆動軸３３に取り付けられ駆動軸３３と一体となっている。フランジ部３１は、フランジ部２１Ａに対して軸ＯＡ方向に対向するように配置されている。フランジ部３１の外周は、図５中の二点鎖線で示され、フランジ部２１Ａの外周より小さく、かつ開口部２６の外周より大きい。このため、開口部２６の径方向外側かつフランジ部３１の径方向内側の範囲で、フランジ部２１Ａとフランジ部３１が軸ＯＡ方向に重なり、重なる部分にフランジ部２１Ａとフランジ部３１との間の隙間が形成される。また、チャンバ１０の内部側にある駆動軸３３の端部は、テーブル３２の底面に接続され、チャンバ１０の外部側にある駆動軸３３の端部は、駆動装置９に接続される。例えば、可動部材３Ａは、モータ９１とシャフト９２とを含む駆動装置９によって動力を供給される。チャンバ１０の外部側にある駆動軸３３の端部がシャフト９２に接続されることにより、モータ９１によって発生したトルクが、シャフト９２を介して可動部材３Ａに伝わる。
【００５８】
図６は、図４に示したシールユニットの断面の拡大図である。例えば、可動部材３Ａは、軸受１３によって、ハウジング２Ａに対して回転可能に支持されている。図６に示すように、軸受１３の外輪１３ｏは、軸受保持部２５の内壁に形成された凹部２３に嵌め込まれ、軸ＯＡ方向に位置決めされている。また、軸受保持部２５は、外輪押え１４を有する。そして、軸受保持部２５は、軸ＯＡ方向でフランジ部２１Ａと反対側の端部に切欠部２４を有する。外輪押え１４は、切欠部２４に嵌め込まれてボルト締結により軸受保持部２５に固定されることで、外輪１３ｏを軸ＯＡ方向に支持する。このようにして、外輪１３ｏは、軸受保持部２５に固定される。
【００５９】
また、可動部材３Ａは、円筒形状の間座１２、１６と、内輪固定ナット１５とを備える。間座１２は、駆動軸３３の外周に嵌め合わされ、フランジ部３１と内輪１３ｉとの間に配置される。間座１６は、駆動軸３３の外周に嵌め合わされ、間座１２と共に内輪１３ｉを軸ＯＡ方向から挟むように配置される。また、チャンバ１０の外部側にある駆動軸３３の端部には、ネジ山が形成されている。内輪固定ナット１５は、当該ネジ山に嵌め合わされて固定されることで、間座１６を介して内輪１３ｉを駆動軸３３に固定する。これにより、軸受１３の内輪１３ｉは、間座１２と間座１６との間に挟まれ、駆動軸３３の外周に嵌め合わされる。また、間座１２がフランジ部３１と内輪１３ｉとの長さを規制するので、間座１２の軸ＯＡ方向の寸法が決まると、フランジ部３１の軸ＯＡ方向の位置が調節される。
【００６０】
また、チャンバ１０の内部と外部とは、相互に異なる雰囲気を有する。具体的には、チャンバ１０が密閉空間であり、チャンバ１０の内部に特殊環境が形成される。例えば、上述したように、半導体製造装置２００では、チャンバ１０の内部に、真空環境、減圧環境、プロセスガス充填環境などが形成され得る。また、チャンバ１０の外部には、例えば、外気が導入される。このため、チャンバ１０の内部が、チャンバ１０の外部よりも低圧となる。
【００６１】
上述したように、軸受１３の外輪１３ｏがハウジング２Ａに固定され、内輪１３ｉが駆動軸３３に固定されている。そして、駆動軸３３は、軸受１３以外の部分でハウジング２Ａと接触しないように、図６に示すようにハウジング２Ａとの間に空間Ｃを設けて配置される。空間Ｃにはチャンバ１０の外部の外気が軸受１３を通過して流入するため、空間Ｃは、チャンバ１０の外部と同じ圧力となる。気体は高圧側から低圧側に移動するので、空間Ｃにある外気は、フランジ部２１Ａとフランジ部３１との隙間を通過してチャンバ１０の内部に流入する可能性がある。
【００６２】
シールユニット１Ａは、特殊環境を有するチャンバ１０を密閉するために、少なくとも、接触式シール４Ａおよび非接触式シール５Ａの２種類のシールを備える。
【００６３】
接触式シール４Ａは、フランジ部３１に接触してフランジ部２１Ａとフランジ部３１との間の隙間を封止するシールであり、例えば、Ｏリング、リップシールなどから構成される。ここでは、特に、接触式シール４Ａとして、樹脂、ゴム素材などから成る弾性体シールが採用される。また、接触式シール４Ａは、例えば、外部電源、高圧気体、真空排気などの付加的作用を要すること無く、そのシール機能を発揮できることが好ましい。
【００６４】
非接触式シール５Ａは、フランジ部３１に接触することなくフランジ部２１Ａとフランジ部３１との間の隙間を封止するシールであり、例えば、オリフィスシール、ラビリンスシールなどから構成される。また、図５に示すように、接触式シール４Ａと非接触式シール５Ａとは、フランジ部３１の径方向の相互に異なる位置に配置されて、フランジ部２１Ａとフランジ部３１との間の隙間を相互に異なる位置で封止する。このようにすることで、接触式シール４Ａと非接触式シール５Ａとが軸ＯＡ方向の相互に異なる位置に配置される場合に比べて、シールユニット１Ａは、軸ＯＡ方向のシールユニット１Ａ全体の長さを抑制できる。
【００６５】
また、接触式シール４Ａが配置される位置は、非接触式シール５Ａが配置される位置よりも、チャンバ１０の外部と同じ圧力である空間Ｃに近い位置である。すなわち、フランジ部２１Ａとフランジ部３１との間の隙間において、非接触式シール５Ａが配置される位置は、接触式シール４Ａが配置される位置よりも、低圧の空間であるチャンバ１０の内部に近い位置である。
【００６６】
また、接触式シール４Ａが、リップシールであり、フランジ部２１Ａの表面に形成された周溝２２Ａに嵌め込まれて保持され、フランジ部３１の表面に付勢している。接触式シール４Ａは、周溝２２Ａに嵌め込まれるため、軸ＯＡを中心とする円を描く形状となる。また、図６に示すように、非接触式シール５Ａが、オリフィスシールであり、フランジ部２１Ａとフランジ部３１とのクリアランスを高さΔ１が１０μｍ程度の微小隙間とすることにより構成されている。当該微小隙間は、フランジ部２１Ａの径方向に所定の幅を有する。また、図５に示すように、非接触式シール５Ａは、周溝６４１の外周に沿って配置される。このため、非接触式シール５Ａは、軸ＯＡを中心とする円を描く形状となる。このように、フランジ部２１Ａとフランジ部３１との間の隙間が接触式シール４Ａおよび非接触式シール５Ａの２箇所で封止されて、気密性が確保されている。
【００６７】
また、フランジ部２１Ａが、チャンバ１０との接触部に環状溝２１１を有し、この環状溝２１１にＯリング２１２が配置されている。これにより、フランジ部２１Ａとチャンバ１０との隙間が封止されて、気密性が確保されている。
【００６８】
［シール間における給排気構造］
ここで、上記のような接触式シール４Ａを有する構成では、接触式シール４Ａがフランジ部３１との接触により摩耗して異物を生じ得る。このため、この異物をフランジ部２１Ａとフランジ部３１との間の隙間から回収すべき課題がある。
【００６９】
そこで、このシールユニット１Ａは、かかる課題を解決するために、導入路６３および排出路６４と、吸引部７とを備える。
【００７０】
導入路６３は、接触式シール４Ａから非接触式シール５Ａまでの区間にてフランジ部２１Ａとフランジ部３１との間の隙間に連通して、この隙間に所定の気体を導入するための通路となる。排出路６４は、接触式シール４Ａから非接触式シール５Ａまでの区間にてフランジ部２１Ａとフランジ部３１との間の隙間に連通して、この隙間から気体を排出するための通路となる。吸引部７は、例えば、ポンプであり、排出路６４から気体を吸引する。
【００７１】
例えば、フランジ部２１Ａとフランジ部３１との間の隙間が、接触式シール４Ａから非接触式シール５Ａまでの区間に、気体を流通させ得る空間Ｓを有している。この空間Ｓの高さは、高さΔ１よりも十分に大きい。また、導入路６３が、フランジ部２１Ａの表面に形成されて空間Ｓに連通する周溝６３１と、ハウジング２Ａの外部からハウジング２Ａを貫通して周溝６３１に連通する通気孔６３２と、この通気孔６３２に接続された配管６３３とから構成されている。また、排出路６４が、フランジ部２１Ａの表面に形成されて空間Ｓに連通する周溝６４１と、ハウジング２Ａの外部からハウジング２Ａを貫通して周溝６４１に連通する通気孔６４２と、この通気孔６４２に接続された配管６４３とから構成されている。また、排出路６４が、導入路６３よりも非接触式シール５Ａ側に配置されている。また、吸引部７が、真空ポンプであり、排出路６４の配管６４３に接続されている。
【００７２】
シールユニット１Ａでは、吸引部７が、排出路６４を介して空間Ｓの気体を吸引することにより、空間Ｓが負圧となる。すると、所定の気体が、ハウジング２Ａの外部から導入路６３を介して空間Ｓに吸い込まれる。すると、空間Ｓに気体が流通して、空間Ｓにある異物が排出路６４を介してハウジング２Ａの外部に排出される。これにより、空間Ｓにある異物を効果的に回収できるので、異物が非接触式シール５Ａを抜けてチャンバ１０の内部に侵入する事態が抑制される。
【００７３】
吸引部７が、排出路６４を介して空間Ｓの気体を吸引するとき、非接触式シール５Ａは高さΔ１が１０μｍ程度の微小隙間であるため、空間Ｓへ流入する外気のほとんどの量は、排出路６４を介してハウジング２Ａの外部に排出される。これにより、非接触式シール５Ａを通過してチャンバ１０の内部へ流入する外気の量は、極めて微量となる。したがって、チャンバ１０の内部は、気密的に隔離された状態を得ることができる。このように、非接触式シール５Ａは、フランジ部３１に接触することなくフランジ部２１Ａとフランジ部３１との間の隙間を封止する。
【００７４】
また、フランジ部２１Ａにおいて、周溝６３１が周溝２２Ａより径方向外側に形成されている。また、フランジ部２１Ａにおいて、周溝６３１と周溝２２Ａとが径方向に離れている。このため、図６に示すように、周溝６３１と周溝２２Ａとの間に絞り部Ｎ１が形成される。例えば、絞り部Ｎ１は、高さΔ２が１０μｍ程度の微小隙間である。一方、絞り部Ｎ１は、例えば、高さΔ２が０．１ｍｍ以上の隙間であってもよい。ただし、絞り部Ｎ１を高さΔ２が１０μｍ程度の隙間とすることにより、接触式シール４Ａが摩耗することで発生する異物は、空間Ｓに侵入しにくくなる。したがって、接触式シール４Ａが摩耗することで発生する異物は、チャンバ１０の内部にも侵入しにくくなる。なお、非接触式シール５Ａが気密性能を発揮するためには、高さΔ１は１０μｍ程度である必要がある。非接触式シール５Ａが気密性能を発揮するための適切な高さΔ１は、非接触式シール５Ａ全体の形状や吸引部７の性能によって異なるが、５μｍ以上３０μｍ以下であることが好ましく、５μｍ以上１５μｍ以下であることがより好ましい。
【００７５】
また、図６を用いて上述したように、間座１２がフランジ部３１と内輪１３ｉとの長さを規制するので、間座１２の軸ＯＡ方向の寸法が決まると、フランジ部３１の軸ＯＡ方向の位置が調節される。このため、シールユニット１Ａは、非接触式シール５Ａの高さΔ１の寸法精度を高くできる。
【００７６】
また、フランジ部２１Ａにおいて、周溝６４１が周溝６３１より径方向外側に形成されている。また、フランジ部２１Ａにおいて、周溝６４１と周溝６３１とが径方向に離れている。このため、図６に示すように、周溝６４１と周溝６３１との間に絞り部Ｎ２が形成される。絞り部Ｎ２は、高さΔ３を有する隙間である。高さΔ３は高さΔ１に比べて十分に大きいため、絞り部Ｎ２には気体が流通する。なお、高さΔ３が周溝６４１や周溝６３１の深さと同程度である場合、周溝６３１に流入した外気が、フランジ部３１の表面まで届かずに排出路６４に導かれる可能性がある。この場合、フランジ部３１の表面付近にある異物が回収されにくくなる。このため、周溝６３１に流入した外気がフランジ部３１の表面に導かれるように、高さΔ３は、周溝６４１や周溝６３１の深さよりも小さい方が好ましい。
【００７７】
特に、導入路６３および排出路６４を有するシールユニット１Ａは、チャンバ１０の内部が真空雰囲気を有する場合、有益である。導入路６３を有しておらずかつチャンバ１０の内部が真空雰囲気である場合、フランジ部２１Ａとフランジ部３１との間の隙間も、略真空雰囲気となる。すると、空間Ｓにおける気体の流通量が少ないため、排出路６４から気体を吸引して異物を回収することが難しい。シールユニット１Ａは、所定の気体が導入路６３から空間Ｓに導入されるので、空間Ｓに気体が流通して、空間Ｓにある異物を排出路６４から効率的に回収できる。
【００７８】
また、導入路６３および排出路６４を有するシールユニット１Ａは、チャンバ１０の内部が数［Ｐａ］の低圧なガス雰囲気を有する場合、有益である。導入路６３を有さない場合、チャンバ１０内のガスが非接触式シール５Ａを抜けて空間Ｓに流入する場合がある。シールユニット１Ａは、吸引部７がこのガスを吸引して回収することにより、ハウジング２Ａの外部へのガスの漏出を抑制できる。
【００７９】
なお、実施形態２にかかるシールユニット１Ａでは、導入路６３を介して空間Ｓに導入される所定の気体が、チャンバ１０の外部にある空気であり、また、吸引部７により排出路６４から排出された気体が、チャンバ１０の外部にそのまま放出されている。また、チャンバ１０の外部に浄化装置が配置されて、チャンバ１０の外部の空気中にある異物が回収されている。
【００８０】
しかし、これに限らず、空間Ｓに導入される気体として、例えば、窒素などの特殊ガスが用いられても良い。かかる特殊ガスを空間Ｓ（導入路６３）に導入するための供給部としては、公知のガス供給装置を任意に採用できる。なお、近年では、多種多様なガス供給装置が提案されている。
【００８１】
また、実施形態２にかかるシールユニット１Ａでは、排出路６４が、導入路６３よりも非接触式シール５Ａ側に配置されている。したがって、接触式シール４Ａ、導入路６３、排出路６４および非接触式シール５Ａが、この順で軸ＯＡ方向に配置されている。かかる構成では、排出路６４が接触式シール４Ａおよび導入路６３よりも非接触式シール５Ａ側に配置されるので、非接触式シール５Ａ側への異物の侵入が効果的に抑制される点で好ましい。特に、非接触式シール５Ａが配置される位置が、接触式シール４Ａが配置される位置よりも低圧の空間に近い位置であるため、排出路６４が導入路６３よりも低圧側に配置されることになり、空間Ｓにおける導入路６３から排出路６４の気体流れが安定する。
【００８２】
しかし、これに限らず、接触式シール４Ａ、排出路６４、導入路６３および非接触式シール５Ａが、フランジ部２１Ａの径方向内側から、接触式シール４Ａ、排出路６４、導入路６３、非接触式シール５Ａの順で配置されても良い。
【００８３】
また、実施形態２にかかるシールユニット１Ａでは、排出路６４側にのみ吸引部７が設置されて、気体の吸引が行われている。
【００８４】
しかし、これに限らず、実施形態２において、さらに、導入路６３に気体を供給する供給部が設置されても良い。この供給部は、例えば、導入路６３の配管６３３上に設置されて、導入路６３に所定の気体を所定の流量で送り込むポンプなどにより構成され得る。また、この供給部と吸引部７とは、相互に独立したポンプを有しても良いし、１つのポンプを共用しても良い。
【００８５】
また、実施形態２において、さらに、導入路６３における気体の流量を調整する流量調整部が設置されても良い。この流量調整部は、例えば、導入路６３の配管６３３に設置された流量調整弁などにより構成され得る。かかる構成では、流量調整部が導入路６３における気体の流量を調整することにより、空間Ｓにおける気体の流れを適正に制御できる。具体的には、空間Ｓにある塵を排出路６４に流すために必要な流量（空間Ｓにおける気体の流れが粘性流となる程度の流量が好ましい。）を確保しつつ、空間Ｓへの気体の供給量をなるべく小さく設定することが好ましい。
【００８６】
また、実施形態２にかかるシールユニット１Ａでは、一対の導入路６３および排出路６４のみが、接触式シール４Ａと非接触式シール５Ａとの間に配置されている。このような配置は、周溝６３１、絞り部Ｎ２および周溝６４１における気体の流れを容易に制御できるため好ましい。しかし、これに限らず、複数組の導入路６３および排出路６４が、接触式シール４Ａと非接触式シール５Ａとの間に配置されても良い。複数組の導入路６３および排出路６４が多段構造で設置されることにより、チャンバ１０の内部への異物の侵入が効果的に抑制される。
【００８７】
以上説明したように、圧力の異なる２つの空間を隔てるシールユニット１Ａは、ハウジング２Ａと、ハウジング２Ａに少なくとも一部が対向して可動できる可動部材３Ａとを備える。シールユニット１Ａは、ハウジング２Ａおよび可動部材３Ａの間の隙間を封止する接触式シール４Ａと、接触式シール４Ａと異なる位置で前記隙間を封止する非接触式シール５Ａとを備える。シールユニット１Ａは、接触式シール４Ａから非接触式シール５Ａまでの間の前記隙間の区間に連通して前記隙間に所定の気体を導入するための通路となる導入路６３と、前記区間に連通して前記隙間から前記気体を排出するための通路となる排出路６４と、排出路６４から前記気体を吸引する吸引部７とを備える。シールユニット１Ａは、非接触式シール５Ａが配置される位置が、接触式シール４Ａが配置される位置よりも、２つの空間のうち低圧の空間に近い位置であり、排出路６４が、導入路６３よりも非接触式シール５Ａ側に配置されることを特徴とする。
【００８８】
かかる構成では、吸引部７が、接触式シール４Ａから非接触式シール５Ａまでの区間の隙間から排出路６４を介して気体を吸引し、また、所定の気体が、導入路６３を介して上記の隙間に導入される。これにより、シールユニット１Ａは、フランジ部２１Ａとフランジ部３１との間の隙間（図６における空間Ｓ）にある異物が排出路６４を介して外部に排出されるので、隙間にある異物を効果的に回収できる利点がある。
【００８９】
また、シールユニット１Ａは、接触式シール４Ａおよび非接触式シール５Ａの２種類のシールが配置されるので、単一あるいは複数の非接触式シールのみを備える構成を比較して、シール性が高いという利点がある。例えば、複数の非接触式シールを有すると共に排気ポンプを用いて非接触式シール間の空気を排気する差動排気シールを備える構成は、排気ポンプへの電源供給の停止時にて、シール性能が一時的に低下するため、好ましくない。
【００９０】
また、シールユニット１Ａは、ハウジング２Ａと、ハウジング２Ａに挿通される駆動軸３３と駆動軸３３に対して直交する板状のフランジ部３１とを有し、ハウジング２Ａにフランジ部３１が対向して可動できる可動部材３Ａとを備える。シールユニット１Ａは、ハウジング２Ａおよびフランジ部３１の間の隙間を封止する接触式シール４Ａと、フランジ部３１と平行方向で接触式シール４Ａと異なる位置で前記隙間を封止する非接触式シールと５Ａとを備える。シールユニット１Ａは、接触式シール４Ａから非接触式シール５Ａまでの間の前記隙間の区間に連通して前記隙間に所定の気体を導入するための通路となる導入路６３と、前記区間に連通して前記隙間から前記気体を排出するための通路となる排出路６４と、排出路６４から前記気体を吸引する吸引部７とを備える。
【００９１】
かかる構成では、フランジ部３１の位置調整が容易であるため、シールユニット１Ａは、微小隙間である非接触式シール５Ａの高さΔ１の寸法精度を高くできる利点がある。また、シールユニット１Ａは、接触式シール４Ａと非接触式シール５Ａとが駆動軸３３の軸ＯＡ方向の相互に異なる位置に配置される場合に比べて、シールユニット１Ａ全体の軸ＯＡ方向の長さを抑制できる利点がある。
【００９２】
また、圧力の異なる２つの空間を隔てるシールユニット１Ａでは、非接触式シール５Ａが配置される位置は、接触式シール４Ａが配置される位置よりも、２つの空間のうち低圧の空間に近い位置である。これにより、非接触式シール５Ａが異物の通過を阻害するので、接触式シール４Ａから低圧の空間側への異物の漏出が抑制される利点がある。
【００９３】
また、シールユニット１Ａでは、排出路６４が、導入路６３よりも非接触式シール５Ａ側に配置される。かかる構成では、シールユニット１Ａは、排出路６４が接触式シール４Ａおよび導入路６３よりも非接触式シール５Ａ側に配置されることにより、隙間にある異物を効果的に回収できる利点がある。
【００９４】
また、シールユニット１Ａは、導入路６３に気体を供給する供給部を備えることが好ましい。かかる構成では、シールユニット１Ａは、導入路６３に積極的に気体を送り込む（圧送する）ことにより、隙間にある異物を効果的に回収できる利点がある。
【００９５】
また、シールユニット１Ａは、複数組の導入路６３および排出路６４が配置されることが好ましい。かかる構成では、シールユニット１Ａは、複数組の導入路６３および排出路６４が多段構造で設置されることにより、隙間にある異物を効果的に回収できる利点がある。
【符号の説明】
【００９６】
１、１Ａ  シールユニット
２、２Ａ  ハウジング
２１１  環状溝
２１２  Ｏリング
３、３３  駆動軸
３Ａ  可動部材
４、４Ａ  接触式シール
５、５Ａ  非接触式シール
７  吸引部
８  軸駆動装置
９  駆動装置
１０  チャンバ
１１  テーブル
１２  間座
１３  軸受
１４  外輪押え
１５  内輪固定ナット
１６  間座
２１、２１Ａ  フランジ部
２２、２２Ａ  周溝
２３  凹部
２４  切欠部
２５  軸受保持部
２６  開口部
３１  フランジ部
３２  テーブル
６１、６３  導入路
６１１、６３１  周溝
６１２、６３２  通気孔
６１３、６３３  配管
６２、６４  排出路
６２１、６４１  周溝
６２２、６４２  通気孔
６２３、６４３  配管
８１、９１  モータ
８２  ボールネジ
８３  ナット
８４  連結部材
８５  スライダ
８６  ガイドレール
９２  シャフト
１００  隔壁
１０１  開口部
２００  半導体製造装置
Ｃ、Ｓ  空間
Ｎ１、Ｎ２  絞り部
Ｏ、ＯＡ  軸
【図１】
2014196821.tif 000003
【図２】
2014196821.tif 000004
【図３】
2014196821.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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