(57)【要約】【課題】フライアイレンズへの入射光を遮光した場合でも照度ムラの発生を抑えること。【解決手段】光源たる放電灯２と、当該放電灯２の光を集光する集光光学系たる楕円反射鏡４と、前記楕円反射鏡４からの光束５が入射されるフライアイレンズ６とを備えた光学システム９であって、前記放電灯２と前記フライアイレンズ６の間の光路上に、複数の光通し孔２４が所定の配置間隔Ｐ２で設けられた減光板１２を備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源と、当該光源の光を集光する集光光学系と、前記集光光学系からの光束が入射されるフライアイレンズとを備えた光学システムであって、
前記光源と前記フライアイレンズの間の光路上に、複数の光通し孔が所定の配置間隔で設けられた減光板を備えることを特徴とする光学システム。
【請求項２】
前記減光板の各々の光通し孔から出射された光束の、前記フライアイレンズの入射面における径が、前記光通し孔の配置間隔よりも大きいことを特徴とする請求項１に記載の光学システム。
【請求項３】
前記減光板の光通し孔の配置間隔を、前記フライアイレンズを構成するリレーコンデンサー系要素の配置間隔の整数倍、及び、整数の逆数倍と異ならせたことを特徴とする請求項１又は２に記載の光学システム。
【請求項４】
前記減光板に、前記光通し孔の開口面積を異ならせることで減光量を異ならせた複数の減光領域を設け、前記集光光学系の光束を入射させる前記減光板の減光領域を変えて前記減光量を調整可能にしたことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の光学システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、照射装置の照度ムラの発生を抑制する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
ランプ光を集光反射鏡で集光しつつ、この集光反射鏡からの光束をフライアイレンズに通して、照射光の照度ムラや色ムラを打ち消す照射装置が知られている。この照射装置は、広い波長帯に亘って色ムラが抑えられ、なおかつ照度ムラも抑えられることから太陽電池の性能測定や加速劣化試験に用いる擬似太陽光照射装置や光照射試験機、あるいは各種の露光装置などに好適に用いられている（例えば、特許文献１、特許文献２参照）。
一方、光量を減光する手法としては、ＮＤフィルタ（減光フィルタ）、及び、スリットやピンホール等の絞り機構によって、フライアイレンズに入射する光を制限する手法が広く知られている（例えば、特許文献３参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−３３５１９９号公報
【特許文献２】特開２０１２−１３４５９号公報
【特許文献３】特開平９−２１０９１１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、ＮＤフィルタは、波長帯による透過率の変動が大きく、色ムラが生じてしまう、という問題がある。この問題は、可視域の波長帯では透過率の変動が少ない蒸着によるＮＤフィルタであっても例外ではなく、透過すべき透過波長が広範囲（例えば３５０ｎｍ（紫外）〜２５００ｎｍ（赤外））に及ぶ場合は、波長による透過率の差異が大きくなって色ムラが生じていた。
さらに、ＮＤフィルタは、時間とともにＮＤ効果が減少し透過率が上昇するといった経時変化が知られている。この経時変化は、ＮＤフィルタの温度が高くなるほど、及び露光装置のように入射光に紫外線を多く含むほど早まる傾向がある。
したがって、ＮＤフィルタは、広い波長帯の光を照射する擬似太陽光照射装置や光照射試験機の減光手段、及び、高出力及び紫外線を多く含む露光装置の減光手段として用いるには適していない。
【０００５】
一方、絞り機構は、光を全く通さない遮光板を用いることから、ＮＤフィルタのような色ムラの発生や経年変化は回避される。しかしながら、絞り機構は、絞り開口の周囲の光を全て遮蔽することで、当該絞り機構から出射される光束の径を縮小してしまう。このため、フライアイレンズへの入射面積が小さくなることから、当該フライアイレンズによる混合効果が薄れ、照射面で照度ムラが生じやすくなる、という問題を生じる。
なお、ランプの電源をコントロールして当該ランプを減光することもできる。しかしながら、ランプがキセノンランプ等の放電灯の場合、電源のコントロールによる減光は、光量１００％に対し７０％程度が限界であるため、それ以上に減光しようとすると不点灯が生じる、あるいはランプ寿命が短くなる等の問題が発生する。
【０００６】
本発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであり、フライアイレンズに入射する光を遮光する場合でも照度ムラの発生を抑えることができる光学システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明は、光源と、当該光源の光を集光する集光光学系と、前記集光光学系からの光束が入射されるフライアイレンズとを備えた光学システムであって、前記光源と前記フライアイレンズの間の光路上に、複数の光通し孔が所定の配置間隔で設けられた減光板を備えることを特徴とする。
【０００８】
また本発明は、上記光学システムにおいて、前記減光板の各々の光通し孔から出射された光束の、前記フライアイレンズの入射面における径が、前記光通し孔の間隔よりも大きいことを特徴とする。
【０００９】
また本発明は、上記光学システムにおいて、前記減光板の光通し孔の配置間隔を、前記フライアイレンズを構成するリレーコンデンサー系要素の配置間隔の整数倍、及び、整数の逆数倍と異ならせたことを特徴とする。
【００１０】
また本発明は、上記光学システムにおいて、前記減光板に、前記光通し孔の開口面積を異ならせることで減光量を異ならせた複数の減光領域を設け、前記集光光学系の光束を入射させる前記減光板の減光領域を変えて前記減光量を調整可能にしたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、フライアイレンズの入射面には、所定の配置間隔で配置された複数の光通し孔の各々から出射した光が入射する。したがって、本発明によれば、一個の絞り開口を通して減光する絞り機構に比べて、フライアイレンズの入射面の広い範囲に亘って光が入射するため、フライアイレンズによる光の混合効果の低下が抑えられ、照射面での照度ムラの発生が抑えられる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の実施形態に係る照射装置の構成を示す模式図である。
【図２】フライアイレンズの構成を示す模式図である。
【図３】減光板の構成を示す模式図である。
【図４】減光板とフライアイレンズとの間の光学的作用の説明図である。
【図５】本発明の変形例に係る減光板の構成を示す模式図である。
【図６】本発明の他の変形例に係る減光板の構成を示す模式図である。
【図７】本発明の変形例に係る照射装置の構成を示す模式図である。
【図８】本発明の他の変形例に係る照射装置の構成を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。
図１は、本実施形態に係る照射装置１の構成を示す模式図である。
照射装置１は、太陽電池の性能測定や加速劣化試験に用いる擬似太陽光照射装置の他、光照射試験機、各種の露光装置に用いられる装置であり、紫外から赤外に亘る広い波長帯を含む光を、照度ムラを抑えながら高出力で照射する。
照射装置１は、図１に示すように、放電灯２と、当該放電灯２の光を集光する集光光学系の一態様たる楕円反射鏡４と、当該楕円反射鏡４からの光束５が入射されるフライアイレンズ６と、コリメータレンズ８と、照射光量を減光する減光板１２とを備えた光学システム９を有し、コリメータレンズ８による平行光を照射面１０に照射する。
放電灯２は、照射装置１の光源であり、照射光量の高出力化を容易にするために、発光管が大きな直管型のランプが用いられている。また、放電灯２には、太陽光と同様に、紫外域から赤外域に亘る広い波長帯の成分を含む光を照射可能にすべく、キセノンランプやハロゲンランプ（本実施形態では、キセノンランプ）が好適に用いられる。
この放電灯２は、楕円反射鏡４の光軸Ｋ１と同軸に、発光管の発光点２Ａ（図４）が楕円反射鏡４の第１焦点Ｆ１に位置するように配置されている。これにより、放電灯２が放射する光が楕円反射鏡４の第２焦点ｆ２で焦点を結ぶように集光され、この集光される光が光束５としてフライアイレンズ６に入射される。
【００１４】
図２はフライアイレンズ６の構成を示す模式図である。
フライアイレンズ６は、インテグレータ光学素子と称され、放電灯２の発光点の輝度ムラに起因して生じる光束５の断面内の光量ムラを均一化するものである。
具体的には、フライアイレンズ６は、図２に示すように、所定の配置間隔Ｐ１で正面視格子状に上下左右に並列に配列された多数のドラムレンズ７を備えている。ドラムレンズ７は、入射面７Ａと出射端面７Ｂとが凸レンズ形状を成し、入射面７Ａがコンデンサレンズとして機能し、出射端面７Ｂがリレーレンズとして機能して、入射面７Ａに入射する像の共役像を照射面１０に作るリレーコンデンサー系要素を構成する。このドラムレンズ７が並列に多数配列されることで、光束５の断面内に光量ムラがある場合でも、ドラムレンズ７の各々の共役像が照射面１０で重なり合うことにより光量ムラが相殺されて均一化されることとなる。
フライアイレンズ６は、前掲図１に示すように、楕円反射鏡４の開口端４Ａと第２焦点ｆ２の間であって、第２焦点ｆ２の手前側に配置されている。
コリメータレンズ８は、フライアイレンズ６からの光を平行光にするコリメーション光学系である。
【００１５】
図３は減光板１２の構成を示す模式図である。
減光板１２は、フライアイレンズ６の入射面６Ａに対面配置され、フライアイレンズ６に入射する光束５の光量を減じることで照射光量を減光する部材である。減光板１２は、図３に示すように、光束５の断面径よりも大きな面積を有する減光部材２１と、当該減光部材２１を支持するフレーム２２とを備えている。減光部材２１は、金属等の線材２３を網目状に織り込んで構成したもの（いわゆる金網）である。図４に示すように、減光部材２１の個々の目は光の光通し孔２４となるから、減光部材２１の目が細かいほど（小さいほど）減光量が大きくなり、この減光板１２では、最大７５％程度の遮蔽率が得られる。
【００１６】
減光板１２は、放電灯２とフライアイレンズ６との間の光路上に配置されていれば良く、例えば楕円反射鏡４の中に配置することも可能である。しかしながら、楕円反射鏡4の中に減光板１２を配置すると、楕円反射鏡４の反射面に入射させるべき光も減光されてしまい、光の利用効率が低下する。したがって、減光板１２は、楕円反射鏡４の開口端４Ａとフライアイレンズ６との間に配置されることが好ましい。
また減光板１２の減光部材２１は、楕円反射鏡４からの光束５の断面よりも大きな面積である必要がある。これらのことから、この照射装置１では、楕円反射鏡４の開口端４Ａとフライアイレンズ６との間のうち、フライアイレンズ６の入射面６Ａに近い側（楕円反射鏡４の開口端４Ａから離れた所）に減光板１２が配置されており、減光部材２１の面積を抑えて減光板１２のコンパクト化が実現されている。
【００１７】
図４は、減光板１２とフライアイレンズ６との間の光学的作用の説明図である。
光源が放電灯２である場合、光源の大きさは発光点２Ａの大きさと見なせ、発光点２Ａの大きさは発光管内部の電極間距離に相当し、通常は、発光素子（例えばＬＥＤ）等の点光源よりも大きくなる。
この場合、図４に示すように、楕円反射鏡４の反射面の１点である点Ｑからフライアイレンズ６に照射される光線３０の光線角度δは、点Ｑから発光点２Ａまでの距離をｄ１、当該発光点２Ａの大きさ（光軸Ｋ１方向の長さ）をｄ２とし、かつ、光線角度δとｄ２、ｄ１の関係をδ＝ｄ２／ｄ１と近似した場合、フライアイレンズ６にて十分に照度ムラが除去されるように光学系が設計されていると、０．０３＜δ＜０．０８の範囲になる。
【００１８】
点Ｑから放射される光線３０の像は発光点２Ａの共役像であるから、発光点２Ａの輝度ムラに応じた光量ムラを含むものの、通常は、光線３０がフライアイレンズ６の入射面に到達するまでに十分に広がり複数のドラムレンズ７に入射することで、これらドラムレンズ７の出射光の重なりにより光量ムラが相殺され均一化される。
しかしながら、図４に示すように、照射装置１では、減光板１２がフライアイレンズ６の入射面６Ａと楕円反射鏡４の間に配置されているため、フライアイレンズ６には、減光板１２から出射する光線３１が入射される。この光線３１は、後述する光線角度δ’を有し、減光板１２から出射する光線３１も光線角度δ’で広がりながらフライアイレンズ６に入射するものの、減光板１２は、楕円反射鏡４よりもフライアイレンズ６の近くに配置されているため、フライアイレンズ６に入射する際の広がりは小さい。
したがって、光線３１の光束がフライアイレンズ６の複数のドラムレンズ７に入射することによる光量ムラの均一化効果は薄く、減光板１２の遮蔽材たる線材２３の影が照射面１０に生じる虞もある。
そこで、この照射装置１は、フライアイレンズ６の入射面６Ａにおいて、減光板１２から出た光線３１の隣り合う光束の一部を互いに重複させることで、減光板１２を放電灯２とフライアイレンズ６の間に配置した場合であっても、照度ムラの発生が抑えられるようになっている。
【００１９】
詳述すると、光通し孔２４から出射される光線３１の上述の光線角度δ’は、光軸Ｋ１から光通し孔２４までの距離に応じて異なるものの、それらの光線角度δ’は、照射装置１の光学系がフライアイレンズ６にて十分に照度ムラが除去されるように光学系が設計されている限りにおいては、光線角度δの０．７〜７．０倍の範囲に収まっており、δ’＝３δの倍率近傍の光束が主要な光束となっている。
フライアイレンズ６の入射面６Ａでの光線３１の光束断面径Ｒは、光線３１の光線角度δ’の基準をδ’＝３δとおいて考えると、光通し孔２４からフライアイレンズ６の入射面６Ａまでの距離をｄ３として、光通し孔２４の開口径ｒ、及び距離ｄ３に基づいて決定され、これらを調整することで、光束断面径Ｒが任意に設定される。
【００２０】
ただし、光通し孔２４の開口径ｒは、所望の減光量により決定され、また距離ｄ３を適宜に調整することは、減光できる範囲が限定され現実的ではないため、本実施形態では、減光板１２における隣り合う光通し孔２４の配置間隔Ｐ２を調整することとしている。
詳細には、先ず、フライアイレンズ6の入射面６Ａにおいて、隣り合う光線３１の光束同士が少なくとも一部重複する光束断面径Ｒをドラムレンズ７の配置間隔Ｐ１に応じて設定する。次いで、この光束断面径Ｒが得られる光線角度δ’を減光板１２の光通し孔２４の開口径ｒ、減光板１２とフライアイレンズ６の間の距離ｄ３に基づいて求める。このとき、減光板１２に開口径ｒが異なる光通し孔２４が混在している場合は、光通し孔２４の開口径ｒの最小値が用いられる。
光線角度δ’は、上述の通り、光線３０の光線角度δとの関係で表すことができ、発光点２Ａの大きさｄ２と、発光点２Ａから楕円反射鏡４の反射面の点Ｑまでの距離ｄ１とで規定される。
光通し孔２４の配置間隔Ｐ２は、減光板１２による照度ムラの発生を抑えるには、光線角度δ’と距離ｄ３で決まる光束断面径Ｒより小さい事が必要条件となり、この配置間隔Ｐ２が光束断面径Ｒより小さいほど減光板１２による照度ムラの発生が低減される。
すなわち、上記光線角度δ’、及び距離ｄ３から光束断面径Ｒを求め、この光束断面径Ｒよりも小さくなる配置間隔Ｐ２を決定する。この決定に際し、配置間隔Ｐ２により減光板１２の減光量が大きく変わる場合には、所望の減光量が維持されるように、光通し孔２４の開口径ｒを再度変更して配置間隔Ｐ２を決める。
これにより、減光板１２から出た光線３１の隣り合う光束の一部、もしくは大部分が互いに重複することととなり、減光板１２を放電灯２とフライアイレンズ６の間に配置した場合であっても、照度ムラの発生が効果的に抑えられる。
【００２１】
光束断面径Ｒが上記ドラムレンズ７の配置間隔Ｐ１に対して大きいほど、また減光板１２の光通し孔２４の配置間隔Ｐ２が小さいほど、フライアイレンズ６による光量ムラの抑制効果が得られる。
そこで、光線３１の光束断面径Ｒを上記減光板１２の光通し孔２４の配置間隔Ｐ２の２倍〜１０倍の範囲、望ましくは５倍とすれば、フライアイレンズ６による十分な光量ムラの抑制効果を得つつ、放電灯２の発光点２Ａの大きさｄ１、及び楕円反射鏡４の距離ｄ２を十分に実用的な範囲に収められるとの知見を得た。本実施形態の照射装置１は、この知見に基づき、光線３１の光束断面径Ｒが上記光通し孔２４の配置間隔Ｐ２の５倍となるように減光板１２とフライアイレンズ６の間の距離ｄ３が決められている。
【００２２】
しかしながら、光通し孔２４の配置間隔Ｐ２がドラムレンズ７の配置間隔Ｐ１と同期した場合（すなわち、Ｐ１＝ｍ×Ｐ２、又は、Ｐ１＝（１／ｍ）×Ｐ２（ただし、ｍは１以上の整数）の関係が成りたつ場合）、減光板１２の遮光部分である線材２３の影が照射面１０に生じる虞がある。
そこで、本実施形態では、減光板１２の光通し孔２４の配置間隔Ｐ２を、ドラムレンズ７の配置間隔Ｐ１の整数倍、及び整数の逆数倍からずらすことで、減光部を形成する線材２３の影が生じることを防止し、照射面１０での照度ムラの発生を抑えることとしている。
【００２３】
以上説明した本実施形態によれば、次の効果を奏する。
すなわち、本実施形態では、減光手段として、複数の光通し孔２４が所定の配置間隔Ｐ２で設けられた減光板１２を用いる構成とした。この構成によれば、一個の絞り開口を通して減光する絞り機構に比べ、フライアイレンズ６の入射面６Ａの広い範囲に光が入射するため、フライアイレンズ６による光の混合効果の低下が抑えられ、照射面１０での照度ムラの発生が抑えられる。
【００２４】
また本実施形態によれば、減光板１２の光通し孔２４の配置間隔Ｐ２を、光線角度δ’と距離ｄ３で決まる光束断面径Ｒよりも小さくする構成とした。
これにより、フライアイレンズ６で照度ムラが十分に打ち消されるように光学設計されている照射装置１において、減光板１２をフライアイレンズ６の入射面側に配置した場合に、この減光板１２による照度ムラの発生が抑えられる。
この構成において、減光板１２の各々の光通し孔２４から出射された光線３１の、フライアイレンズ６の入射面６Ａにおける光束断面径Ｒが、フライアイレンズ６を構成するドラムレンズ７の配置間隔Ｐ１よりも大きくしたため、減光板１２の個々の光通し孔２４から出た各光線３１は、少なくとも1ケ以上のドラムレンズ７に入射し、これらのドラムレンズ７で光が混合される効果が生じ、照度ムラの発生がより少なく抑えられる。
【００２５】
また本実施形態によれば、減光板１２の光通し孔２４の配置間隔Ｐ２を、フライアイレンズ６のドラムレンズ７の配置間隔Ｐ１の整数倍、及び、整数の逆数倍からずらして異ならせる構成とした。この構成により、減光板１２の光通し孔２４の間の遮蔽部分（すなわち、本実施形態では線材２３）の影による照度ムラの発生が抑えられる。
【００２６】
なお、上述した実施形態は、あくまでも本発明の一態様を例示するものであって、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で任意に変形、及び応用が可能である。
【００２７】
例えば、上述した実施形態において、照射光量の減光量を可変にしても良い。すなわち、減光板１２の面内に、光通し孔２４の開口面積を異ならせることで減光量を異ならせた複数の減光領域を設け、楕円反射鏡４からの光束５が入射する減光領域を、当該光束５の光軸Ｋ１に垂直な面内での減光板１２の移動により設定可能に構成する。
【００２８】
図５は、本変形例に係る減光板２１２の構成を示す模式図である。
この減光板２１２は、リング状フレーム２２２に円板状の遮光部材２２１を嵌め込み固定したものであり、遮光部材２２１の中心Ｏを回動軸にして回動自在に光学システム９に設けられる。遮光部材２２１の面内には、楕円反射鏡４からの光束５の全部を通すための全透過開口２５０が形成され、また、この全透過開口２５０を起点にして周方向Ｗに沿って次第に減光量が大きくなるように開口面積が次第に小さくなる多数の光通し孔２４が形成されている。すなわち、減光板２１２の遮光部材２２１には、中心Ｏを中心とした周方向で減光量が連続的に異なる減光領域が形成され、減光板１２を回動させることで、減光量ゼロ（全透過）から上記開口面積の最小値で規定される所定の減光量まで連続的に調整可能となる。
【００２９】
なお、減光板２１２は円板状に限らず、図６に示すように、矩形状のとしても良い。同図に示す減光板３１２では、矩形状フレーム３２２に遮光部材３２１を嵌め込み固定したものであり、この遮光部材３２１の面内に、長手方向Ｙの一端から他端にかけて次第に減光量が大きくなるように開口面積が次第に小さくなる多数の光通し孔２４が形成されている。この減光板３１２は、遮光部材３２１の面を光軸Ｋ１が垂直に交差するように光学システム９に設けられ、減光板３１２を長手方向Ｙに沿って移動させることで減光量の調整が行われる。
また、これら減光板１２、２１２、３１２において、ガラス等の透明基板の面上に、蒸着等により金属などの不透明素材を網目状（メッシュ状）に設けた遮光部を構成しても良い。また、減光板１２を幾重にも重ねて減光率を高めても良い。
このように、蒸着等により減光部を構成し、或いは、減光板１２を幾重にも重ねることで、９９％程度の高い減光率を得ることもできる。
【００３０】
また、上述した実施形態では、フライアイレンズ６として、ドラムレンズ７をリレーコンデンサー系要素に用いた構成を例示したが、これに限らない。すなわち、図７に示すように、コンデンサレンズ４５２Ａを所定の配置間隔Ｐ１で格子状に配置したコンデンサレンズアレイ４５２と、リレーレンズ４５３Ａを所定の配置間隔Ｐ１で格子状に配置したリレーレンズアレイ４５３とを所定間隔で対面配置した構成のフライアイレンズ４０６を用いることもできる。この場合、１対のコンデンサレンズ４５２Ａとリレーレンズ４５３Ａで上記リレーコンデンサー系要素が構成される。
【００３１】
また、図７の照射装置４０１の光学システム４０９に示すように、楕円反射鏡４とフライアイレンズ４０６の間の光路上にコリメートレンズ４６０を設け、光束５を平行光化してフライアイレンズ４０６に入射させる構成として、光の利用効率を高めても良い。
コリメートレンズ４６０は、図７に示すように、楕円反射鏡４と減光板１２の間の光路上に配置されるが、これに代えて、図８の照射装置５０１の光学システム５０９に示すように、減光板１２とフライアイレンズ６の間の光路上に配置されても良い。
【００３２】
また図８の光学システム５０９に示すように、集光反射鏡として、楕円反射鏡４に代えて、放物面反射鏡５０４、及び、当該放物面反射鏡５０４の光軸Ｋ１上に配置した集光レンズ５５５から成る集光光学系５５６を用いても良い。
【００３３】
また、減光板１２の光通し孔２４の開口形状は、四角形に限らず、円形や三角形などの任意の形状であっても良い。また、減光板１２は、線材２３を網目状に織り込む構成に代えて、例えば遮蔽性能を有する板材に多数の光通し孔２４をパンチング加工等で形成して構成しても良い。
【符号の説明】
【００３４】
１、４０１、５０１  照射装置
２  放電灯（光源）
２Ａ  発光点
４  楕円反射鏡（集光光学系）
５  光束
６、４０６  フライアイレンズ
７  ドラムレンズ（リレーコンデンサー系要素）
９、４０９、５０９  光学システム
１０  照射面
１２、２１２、３１２  減光板
４５２  コンデンサレンズアレイ（リレーコンデンサー系要素）
４５３  リレーレンズアレイ（リレーコンデンサー系要素）
４６０  コリメートレンズ
５０４  放物面反射鏡
５５５  集光レンズ
５５６  集光光学系
Ｐ１  リレーコンデンサー系要素の配置間隔
Ｐ２  光通し孔２４の配置間隔
Ｒ  光束断面径
ｒ  開口径
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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