(57)【要約】【課題】反りの発生を抑制することができるリードフレームの多面付け体、樹脂付きリードフレームの多面付け体、光半導体装置の多面付け体を提供する。【解決手段】リードフレームの多面付け体ＭＳは、複数の端子部１１、１２を有し、端子部１１、１２の表面側に突出するリフレクタ２０ａが形成され、端子部１１、１２のうち少なくとも一つの表面にＬＥＤ素子２が接続される光半導体装置１に用いられるリードフレーム１０が枠体Ｆに多面付けされたリードフレームの多面付け体ＭＳにおいて、枠体Ｆは、その裏面の少なくとも一部が、端子部１１、１２の裏面に対して窪んだ段部Ｄを有することを特徴とする。【選択図】図３
2014138108.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の端子部を有し、前記端子部の表面側に突出する樹脂部が形成され、前記端子部のうち少なくとも一つの表面に光半導体素子が接続される光半導体装置に用いられるリードフレームが枠体に多面付けされたリードフレームの多面付け体において、
前記枠体は、その裏面の少なくとも一部が、前記端子部の裏面に対して窪んだ段部を有すること、
を特徴とするリードフレームの多面付け体。
【請求項２】
請求項１に記載のリードフレームの多面付け体において、
前記段部は、前記枠体の四隅を避けるようにして形成されること、
を特徴とするリードフレームの多面付け体。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載のリードフレームの多面付け体において、
前記段部は、前記枠体の外周縁を避けるようにして形成されること、
を特徴とするリードフレームの多面付け体。
【請求項４】
請求項１から請求項３までのいずれか１項に記載のリードフレームの多面付け体において、
前記段部は、前記リードフレームの互いに対向する前記端子部間の領域の延長部分と前記枠体とが交差する位置に形成されること、
を特徴とするリードフレームの多面付け体。
【請求項５】
請求項１から請求項４までのいずれか１項に記載のリードフレームの多面付け体において、
前記段部は、多面付けされる前記各リードフレーム間の領域の延長部分と前記枠体とが交差する位置に形成されること、
を特徴とするリードフレームの多面付け体。
【請求項６】
請求項１から請求項５までのいずれか１項に記載のリードフレームの多面付け体において、
前記枠体は孔部を有し、
前記段部は、前記孔部及びその外周縁を避けるようにして形成されること、
を特徴とするリードフレームの多面付け体。
【請求項７】
請求項１から請求項６までのいずれか１項に記載のリードフレームの多面付け体と、
前記端子部の外周側面及び前記端子部間に形成され、また、前記リードフレームの前記光半導体素子が接続される側の面に突出して形成される樹脂層とを備え、
前記樹脂層は、前記枠体の段部にも形成されること、
を特徴とする樹脂付きリードフレームの多面付け体。
【請求項８】
請求項７に記載の樹脂付きリードフレームの多面付け体と、
前記樹脂付きリードフレームの多面付け体の前記各リードフレームの前記端子部のうち少なくとも一つに接続される光半導体素子と、
前記樹脂付きリードフレームの多面付け体の前記光半導体素子が接続される側の面に形成され、前記光半導体素子を覆う透明樹脂層とを備えること、
を特徴とする光半導体装置の多面付け体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光半導体素子を実装する光半導体装置用のリードフレームの多面付け体、樹脂付きリードフレームの多面付け体、光半導体装置の多面付け体に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、ＬＥＤ素子等の光半導体素子は、電気的に絶縁され、樹脂層で覆われた２つの端子部を有するリードフレームに固定され、その周囲を透明樹脂層によって覆い、光半導体装置として照明装置等の基板に実装されていた（例えば、特許文献１）。
このような光半導体装置の中には、端子部を覆う樹脂層が、光半導体素子を囲むようにして、光半導体素子の搭載面から突出するようにリフレクタが形成され、光半導体素子から発光する光の方向等を制御するものがある。このような光半導体装置は、多面付けされたリードフレーム（リードフレームの多面付け体）に樹脂層を形成して樹脂付きリードフレームの多面付け体を作製し、光半導体素子を電気的に接続し、透明樹脂層を形成して、パッケージ単位に切断することによって製造される。
ここで、このリードフレームは、銅などの金属により形成され、樹脂層は、熱硬化性樹脂等の樹脂により形成される。そのため、リードフレームの多面付け体には、リフレクタが形成される側の面が、その面とは反対側の面に比べ樹脂が多く形成されるため、この樹脂層の硬化過程において、金属及び樹脂の線膨張率の差によって、樹脂付きリードフレームの多面付け体に反りが生じてしまう場合があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１１−１５１０６９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の課題は、反りの発生を抑制することができるリードフレームの多面付け体、樹脂付きリードフレームの多面付け体、光半導体装置の多面付け体を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、以下のような解決手段により、前記課題を解決する。なお、理解を容易にするために、本発明の実施形態に対応する符号を付して説明するが、これに限定されるものではない。また、符号を付して説明した構成は、適宜改良してもよく、また、少なくとも一部を他の構成物に代替してもよい。
【０００６】
第１の発明は、複数の端子部（１１、１２）を有し、前記端子部の表面側に突出する樹脂部（２０ａ）が形成され、前記端子部のうち少なくとも一つの表面に光半導体素子（２）が接続される光半導体装置（１）に用いられるリードフレーム（１０）が枠体（Ｆ）に多面付けされたリードフレームの多面付け体（ＭＳ）において、前記枠体は、その裏面の少なくとも一部が、前記端子部の裏面に対して窪んだ段部（Ｄ）を有すること、を特徴とするリードフレームの多面付け体である。
第２の発明は、第１の発明のリードフレームの多面付け体（ＭＳ）において、前記段部（Ｄ）は、前記枠体（Ｆ）の四隅を避けるようにして形成されること、を特徴とするリードフレームの多面付け体である。
第３の発明は、第１の発明又は第２の発明のリードフレームの多面付け体（ＭＳ）において、前記段部（Ｄ）は、前記枠体（Ｆ）の外周縁を避けるようにして形成されること、を特徴とするリードフレームの多面付け体である。
第４の発明は、第１の発明から第３の発明のいずれかのリードフレームの多面付け体（ＭＳ）において、前記段部（Ｄ）は、前記リードフレーム（１０）の互いに対向する前記端子部（１１、１２）間の領域（Ｓ）の延長部分と前記枠体（Ｆ）とが交差する位置に形成されること、を特徴とするリードフレームの多面付け体である。
第５の発明は、第１の発明から第４の発明までのいずれかのリードフレームの多面付け体（ＭＳ）において、前記段部（Ｄ）は、多面付けされる前記各リードフレーム（１０）間の領域の延長部分と前記枠体（Ｆ）とが交差する位置に形成されること、を特徴とするリードフレームの多面付け体である。
第６の発明は、第１の発明から第５の発明までのいずれかのリードフレームの多面付け体（ＭＳ）において、前記枠体（Ｆ）は孔部（Ｈ）を有し、前記段部（Ｄ）は、前記孔部及びその外周縁を避けるようにして形成されること、を特徴とするリードフレームの多面付け体である。
第７の発明は、第１の発明から第６の発明までのいずれかのリードフレームの多面付け体（ＭＳ）と、前記端子部（１１、１２）の外周側面及び前記端子部間に形成され、また、前記リードフレーム（１０）の前記光半導体素子（２）が接続される側の面に突出して形成される樹脂層（２０）とを備え、前記樹脂層は、前記枠体（Ｆ）の段部（Ｄ）にも形成されること、を特徴とする樹脂付きリードフレームの多面付け体（Ｒ）である。
【０００７】
第８の発明は、第７の発明の樹脂付きリードフレームの多面付け体（Ｒ）と、前記樹脂付きリードフレームの多面付け体の前記各リードフレーム（１０）の前記端子部（１１、１２）のうち少なくとも一つに接続される光半導体素子（２）と、前記樹脂付きリードフレームの多面付け体の前記光半導体素子が接続される側の面に形成され、前記光半導体素子を覆う透明樹脂層（３０）とを備えること、を特徴とする光半導体装置の多面付け体である。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、リードフレームの多面付け体、樹脂付きリードフレームの多面付け体、光半導体装置の多面付け体は、反りの発生を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】第１実施形態の光半導体装置１の全体構成を示す図である。
【図２】第１実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳの全体図である。
【図３】第１実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳの詳細を説明する図である。
【図４】第１実施形態の樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒの詳細を説明する図である。
【図５】第１実施形態のリードフレーム１０の製造過程を説明する図である。
【図６】第１実施形態の光半導体装置１の多面付け体を示す図である。
【図７】第１実施形態の光半導体装置１の製造過程を説明する図である。
【図８】トランスファ成形の概略を説明する図である。
【図９】インジェクション成形の概略を説明する図である。
【図１０】第２実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳの全体図である。
【図１１】第２実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳの詳細を説明する図である。
【図１２】第２実施形態の樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒの詳細を説明する図である。
【図１３】第３実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳの全体図である。
【図１４】第３実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳの詳細を説明する図である。
【図１５】第３実施形態の樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒの詳細を説明する図である。
【図１６】第４実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳの全体図及び樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒの詳細図である。
【図１７】第５実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳの詳細を説明する図である。
【図１８】第５実施形態の樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒの詳細を説明する図である。
【図１９】第６実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳの詳細を説明する図である。
【図２０】第６実施形態の樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒの詳細を説明する図である。
【図２１】第７実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳの詳細を説明する図である。
【図２２】第７実施形態の樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒの詳細を説明する図である。
【図２３】変形形態の光半導体装置の多面付け体を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
（第１実施形態）
以下、図面等を参照して、本発明の第１実施形態について説明する。
図１は、第１実施形態の光半導体装置１の全体構成を示す図である。
図１（ａ）は、光半導体装置１の平面図を示し、図１（ｂ）は、光半導体装置１の側面図を示し、図１（ｃ）は、光半導体装置１の裏面図を示す。図１（ｄ）は、図１（ａ）のｄ−ｄ断面図を示す。
図２は、第１実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳの全体図である。
図３は、第１実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳの詳細を説明する図である。
図３（ａ）、図３（ｂ）は、それぞれリードフレームの多面付け体ＭＳの図２のａ部拡大の平面図、裏面図を示し、図３（ｃ）、図３（ｄ）は、それぞれ図３（ａ）のｃ−ｃ断面図、ｄ−ｄ断面図を示す。
図４は、第１実施形態の光反射樹脂層２０が形成された樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒの詳細を説明する図である。
図４（ａ）、図４（ｂ）は、それぞれ、樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒの平面図、裏面図を示し、図４（ｃ）、図４（ｄ）は、それぞれ図４（ａ）のｃ−ｃ断面図と、ｄ−ｄ断面図を示す。
各図において、光半導体装置１の平面図における左右方向をＸ方向、上下方向をＹ方向、厚み方向をＺ方向とする。
【００１１】
光半導体装置１は、外部機器等の基板に取り付けられることによって、実装したＬＥＤ素子２が発光する照明装置である。光半導体装置１は、図１に示すように、ＬＥＤ素子２（光半導体素子）、リードフレーム１０、光反射樹脂層２０（樹脂層）、透明樹脂層３０を備える。
光半導体装置１は、多面付けされたリードフレーム１０（図２参照）に光反射樹脂層２０を形成して樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒ（図４参照）を作製し、ＬＥＤ素子２を電気的に接続し、透明樹脂層３０を形成して、パッケージ単位に切断（ダイシング）することによって同時に複数製造される（詳細は後述する）。
ＬＥＤ素子２は、発光層として一般に用いられるＬＥＤ（発光ダイオード）の素子であり、例えば、ＧａＰ、ＧａＡｓ、ＧａＡｌＡｓ、ＧａＡｓＰ、ＡｌＩｎＧａＰ等の化合物半導体単結晶、又は、ＩｎＧａＮ等の各種ＧａＮ系化合物半導体単結晶からなる材料を適宜選ぶことにより、紫外光から赤外光に渡る発光波長を選択することができる。
【００１２】
リードフレーム１０は、一対の端子部、すなわち、ＬＥＤ素子２が載置、接続される端子部１１と、ボンディングワイヤ２ａを介してＬＥＤ素子２に接続される端子部１２とから構成される。
端子部１１、１２は、それぞれ導電性のある材料、例えば、銅、銅合金、４２合金（Ｎｉ４０．５％〜４３％のＦｅ合金）等により形成されており、本実施形態では、熱伝導及び強度の観点から銅合金から形成されている。
端子部１１、１２は、図３に示すように、互いに対向する辺の間に空隙部Ｓが形成されており、電気的に独立している。端子部１１、１２は、１枚の金属基板（銅版）をプレス又はエッチング加工することにより形成されるため、両者の厚みは同等である。
【００１３】
端子部１１は、図１に示すように、その表面にＬＥＤ素子２が載置、接続されるＬＥＤ端子面１１ａが形成され、また、その裏面に外部機器に実装される外部端子面１１ｂが形成される、いわゆるダイパッドを構成する。端子部１１は、ＬＥＤ素子２が載置されるため、端子部１２に比べ、その外形が大きく形成されている。
端子部１２は、その表面にＬＥＤ素子２のボンディングワイヤ２ａが接続されるＬＥＤ端子面１２ａが形成され、また、その裏面に外部機器に実装される外部端子面１２ｂが形成される、いわゆるリード側端子部を構成する。
端子部１１、１２は、その表面及び裏面にめっき層Ｃが形成されており（図５（ｅ）参照）、表面側のめっき層Ｃは、ＬＥＤ素子２の発する光を反射する反射層としての機能を有し、裏面側のめっき層Ｃは、外部機器に実装されるときの半田の溶着性を高める機能を有する。
【００１４】
端子部１１、１２は、図３に示すように、それぞれの裏面側の外周部に、厚みの薄くなる凹部Ｍが設けられている。
凹部Ｍは、リードフレーム１０の裏面側から見て、各端子部１１、１２の外周部に形成された窪みであり、その窪みの厚みは、端子部１１、１２の厚みの１／３〜２／３程度に形成されている。
【００１５】
リードフレーム１０は、端子部１１、１２の周囲や、端子部１１、１２間の空隙部Ｓ等に、光反射樹脂層２０を形成する樹脂が充填される場合に、図４に示すように、凹部Ｍにも樹脂が充填され、光反射樹脂層２０と各端子部１１、１２との接触面積を大きくしている。また、厚み（Ｚ）方向において、リードフレーム１０と光反射樹脂層２０とを交互に構成することができる。これにより、凹部Ｍは、光反射樹脂層２０が、平面方向（Ｘ方向、Ｙ方向）及び厚み方向において、リードフレーム１０から剥離してしまうのを抑制することができる。
【００１６】
連結部１３は、枠体Ｆ内に多面付けされた各リードフレーム１０の端子部１１、１２を、隣接する他のリードフレーム１０の端子部や、枠体Ｆに連結している。連結部１３は、多面付けされた各リードフレーム１０上にＬＥＤ素子２等が搭載され、光半導体装置１の多面付け体（図６参照）が形成された場合に、リードフレーム１０を形成する外形線（図３（ａ）、図３（ｂ）中の破線）でダイシング（切断）される。
連結部１３は、端子部１１、１２を形成する各辺のうち、端子部１１、１２が対向する辺を除いた辺に形成されている。
【００１７】
具体的には、連結部１３ａは、図３（ａ）に示すように、端子部１２の右（＋Ｘ）側の辺と、右側に隣接する他のリードフレーム１０の端子部１１の左（−Ｘ）側の辺とを接続し、また、端子部１１の左側の辺と、左側に隣接する他のリードフレーム１０の端子部１２の右側の辺とを接続している。枠体Ｆに隣接する端子部１１、１２に対しては、連結部１３ａは、端子部１１の左側の辺又は端子部１２の右側の辺と、枠体Ｆとを接続している。
【００１８】
連結部１３ｂは、端子部１１の上（＋Ｙ）側の辺と、上側に隣接する他のリードフレーム１０の端子部１１の下（−Ｙ）側の辺とを接続し、また、端子部１１の下側の辺と、下側に隣接する他のリードフレーム１０の端子部１１の上側の辺とを接続する。枠体Ｆに隣接する端子部１１に対しては、連結部１３ｂは、端子部１１の上側又は下側の辺と、枠体Ｆとを接続している。
連結部１３ｃは、端子部１２の上側の辺と、上側に隣接する他のリードフレーム１０の端子部１２の下側の辺とを接続し、また、端子部１２の下側の辺と、下側に隣接する他のリードフレーム１０の端子部１２の上側の辺とを接続する。枠体Ｆに隣接する端子部１２に対しては、連結部１３ｃは、端子部１２の上側又は下側の辺と、枠体Ｆとを接続している。
【００１９】
連結部１３ｄ（補強部）は、端子部１１及び端子部１２間の空隙部Ｓの延長上を横切るようにして形成される。ここで、空隙部Ｓの延長上とは、空隙部Ｓを上下（Ｙ）方向に延長させた領域をいう。本実施形態では、連結部１３ｄは、一の端子部（１２、１１）と、その端子部の空隙部Ｓを挟んだ対向する側に位置し、上又は下に隣接する他のリードフレームの端子部（１１、１２）とを連結するために、端子部１１の上側の辺及び端子部１２の下側の辺に対して、傾斜（例えば、４５度）した形状に形成される。
具体的には、連結部１３ｄは、端子部１２の上側の辺と、上側に隣接する他のリードフレーム１０の端子部１１の下側の辺とを接続し、また、端子部１１の下側の辺と、下側に隣接する他のリードフレーム１０の端子部１２の上側の辺とを接続する。また、枠体Ｆに隣接する端子部１１、１２に対しては、連結部１３ｄは、端子部１２の上側の辺又は端子部１１の下側の辺と、枠体Ｆとを接続している。
【００２０】
連結部１３ｄが設けられることによって、リードフレームの多面付け体ＭＳは、光反射樹脂層２０を形成する工程において、端子部１１と端子部１２との間隔がずれたり、各端子部１１、１２が枠体Ｆに対して捩れたりするのを抑制することができる。また、連結部１３ｄは、光半導体装置１の空隙部Ｓの強度を向上させることができ、空隙部Ｓにおいて破損してしまうのを抑制することができる。
【００２１】
なお、端子部１１、１２は、連結部１３によって、隣り合う他のリードフレーム１０の端子部１１、１２と電気的に導通されるが、光半導体装置１の多面付け体を形成した後に、光半導体装置１の外形に合わせて各連結部１３を切断（ダイシング）することによって絶縁される。また、個片化された場合に、各々の個片を同じ形状にすることができる。
【００２２】
連結部１３は、図３（ｃ）、図３（ｄ）に示すように、端子部１１、１２の厚みよりも薄く、かつ、その表面が端子部１１、１２の表面と同一平面内に形成されている。具体的には、連結部１３は、その裏面が、各端子部１１、１２の凹部Ｍの底面（窪んだ部分）と略同一面内に形成されている。これにより、光反射樹脂層２０の樹脂が充填された場合に、図４（ｃ）、図４（ｄ）に示すように、連結部１３の裏面にも樹脂が流れ込み、光反射樹脂層２０がリードフレーム１０から剥離してしまうのを抑制することができる。
また、光反射樹脂層２０が形成されたリードフレーム１０の裏面には、図４（ｂ）に示すように、矩形状の外部端子面１１ｂ、１２ｂが表出することとなり、光半導体装置１の外観を向上させることができることに加え、半田で基板に実装する場合に、基板側への半田印刷を容易にしたり、半田を均一に塗布したり、リフロー後に半田内へのボイドの発生を抑制したりすることができる。また、光半導体装置１の面内（ＸＹ平面内）の中心線に対して線対称であることから、熱応力等に対する信頼性を向上させることができる。
【００２３】
リードフレームの多面付け体ＭＳは、上述のリードフレーム１０を枠体Ｆ内に多面付けしたものをいう。本実施形態では、図２及び図３に示すように、縦横に複数個、連結部１３によって連結されたリードフレーム１０の集合体を、複数組（本実施形態では４組）、左右方向に配列させて枠体Ｆ内に形成したものである。
枠体Ｆは、リードフレーム１０の集合体Ｇ毎に、リードフレーム１０を固定する部材である。枠体Ｆは、図３（ｂ）〜図３（ｄ）に示すように、その裏面全面が、端子部１１、１２の外部端子面１１ｂ、１２ｂに対して窪むように段部Ｄが形成されている。より具体的には、枠体Ｆの段部Ｄは、その窪んだ面が、連結部１３の裏面と同一平面を形成するように形成されている。
【００２４】
光反射樹脂層２０は、図４に示すように、各端子部１１、１２の外周側面（リードフレーム１０の外周及び各端子部間の空隙部Ｓ）と、各端子部に設けられた凹部Ｍと、連結部１３の裏面とに充填された樹脂の層である。
また、光反射樹脂層２０には、リードフレーム１０の表面（ＬＥＤ素子２が載置される側の面）に、ＬＥＤ素子２から発光する光の方向等を制御するリフレクタ２０ａが形成されている。リフレクタ２０ａは、端子部１１、１２のＬＥＤ端子面１１ａ、１２ａを囲むようにして、リードフレーム１０の表面側に突出しており、ＬＥＤ端子面１１ａに接続されるＬＥＤ素子２から発光する光を反射させて、光半導体装置１から光を効率よく照射させる。リフレクタ２０ａは、その厚み（高さ）寸法が、ＬＥＤ端子面１１ａに接続されるＬＥＤ素子２の厚み寸法よりも大きい寸法で形成される。
【００２５】
更に、光反射樹脂層２０は、図４（ｂ）〜図４（ｄ）に示すように、枠体Ｆの段部Ｄ（裏面全面）にも形成される。
ここで、リードフレーム１０は銅などの金属により形成され、光反射樹脂層２０は熱硬化性樹脂等の樹脂により形成され、また、両者の材料の線膨張率には差がある。リードフレームの多面付け体ＭＳは、上述したように表面側にリフレクタ２０ａが形成されることから裏面側に比べ表面側に樹脂が多く形成される。そのため、仮に、段部Ｄに光反射樹脂層２０が形成されていない場合、この樹脂の硬化過程において、上記線膨張率の差によって樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒ（リードフレームの多面付け体ＭＳ）に反りが発生してしまうこととなる。
【００２６】
上記反りの発生を抑制するために、光反射樹脂層２０の樹脂中に特定のフィラー（粉末）を含有させて線膨張率を、リードフレーム１０の金属に近づけることも可能である。しかし、光反射樹脂層２０の光反射特性を維持するために、フィラーの含有量は、制限されてしまい、樹脂の線膨張率を十分に金属に近づけられない場合がある。また、樹脂に熱可塑性樹脂を使用した場合は、線膨張率の調整自体をすることができない。
そのため、本実施形態では、段部Ｄに光反射樹脂層２０を形成することによって、リードフレーム１０の表面及び裏面に形成される樹脂の量を均等または略均等にする。これにより、本実施形態の樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒは、樹脂の硬化過程において、上述の反りが発生してしまうのを抑制することができる。
なお、光反射樹脂層２０の裏面は、端子部１１、１２の外部端子面１１ｂ、１２ｂと略同一平面に形成される。これにより、光半導体装置１の製造過程において、樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒは、その裏面が平坦となるので、特殊な固定治具を必要とすることなく、搬送装置等に載置することができる。
【００２７】
光反射樹脂層２０は、リードフレーム１０に載置されるＬＥＤ素子２の発する光を反射させるために、光反射特性を有する熱可塑性樹脂や、熱硬化性樹脂が用いられる。
光反射樹脂層２０を形成する樹脂は、凹み部分への樹脂充填に関しては、樹脂形成時には流動性が高いことが、凹み部分での接着性に関しては、分子内に反応基を導入しやすいためにリードフレームとの化学接着性を得られることが必要なため、熱硬化性樹脂が望ましい。
例えば、熱可塑性樹脂としては、ポリアミド、ポリフタルアミド、ポリフェニレンサルファイド、液晶ポリマー、ポリエーテルサルホン、ポリブチレンテレフタレート、ポリオレフィン等を用いることができる。
また、熱硬化性樹脂としては、シリコーン、エポキシ、ポリエーテルイミド、ポリウレタン及びポリブチレンアクリレート等を用いることができる。
さらに、これらの樹脂中に光反射材として、二酸化チタン、二酸化ジルコニウム、チタン酸カリウム、窒化アルミニウム及び窒化ホウ素のうちいずれかを添加することによって、光の反射率を増大させることができる。
また、ポリオレフィンなどの熱可塑性樹脂を成形した後に、電子線を照射することで架橋させる方法を用いた、いわゆる電子線硬化樹脂を使用してもよい。
【００２８】
透明樹脂層３０は、リードフレーム１０上に載置されたＬＥＤ素子２を保護するとともに、発光したＬＥＤ素子２の光を外部に透過させるために設けられた透明又は略透明に形成された樹脂層である。透明樹脂層３０は、光反射樹脂層２０のリフレクタ２０ａによって囲まれたＬＥＤ端子面１１ａ、１２ａ上に形成される。
透明樹脂層３０は、光の取り出し効率を向上させるために、ＬＥＤ素子２の発光波長において光透過率が高く、また、屈折率が高い材料を選択するのが望ましい。例えば、耐熱性、耐光性、及び機械的強度が高いという特性を満たす樹脂として、エポキシ樹脂や、シリコーン樹脂を選択することができる。特に、ＬＥＤ素子２に高輝度ＬＥＤ素子を用いる場合、透明樹脂層３０は、強い光にさらされるため、高い耐光性を有するシリコーン樹脂からなることが好ましい。また、波長変換用の蛍光体を使用してもよく、透明樹脂に分散させてもよい。
【００２９】
次に、リードフレーム１０の製造方法について説明する。
図５は、第１実施形態のリードフレーム１０の製造過程を説明する図である。
図５（ａ）は、レジストパターンを形成した金属基板１００を示す平面図と、その平面図のａ−ａ断面図とを示す。図５（ｂ）は、エッチング加工されている金属基板１００を示す図である。図５（ｃ）は、エッチング加工後の金属基板１００を示す図である。図５（ｄ）は、レジストパターンが除去された金属基板１００を示す図である。図５（ｅ）は、めっき処理が施された金属基板１００を示す図である。
なお、図５においては、１枚のリードフレーム１０の製造過程について図示するが、実際には、１枚の金属基板１００からリードフレームの多面付け体ＭＳが製造される。
【００３０】
リードフレーム１０の製造において、金属基板１００を加工してリードフレーム１０を形成するが、その加工は、プレス加工でも良いが、薄肉部を形成しやすいエッチング処理が望ましい。以下にエッチング処理によるリードフレーム１０の製造方法について説明する。
【００３１】
まず、平板状の金属基板１００を用意し、図５（ａ）に示すように、その表面及び裏面のエッチング加工を施さない部分にレジストパターン４０ａ、４０ｂを形成する。なお、レジストパターン４０ａ、４０ｂの材料及び形成方法は、エッチング用レジストとして従来公知の技術を用いる。
次に、図５（ｂ）に示すように、レジストパターン４０ａ、４０ｂを耐エッチング膜として、金属基板１００に腐食液でエッチング処理を施す。腐食液は、使用する金属基板１００の材質に応じて適宜選択することができる。本実施形態では、金属基板１００として銅板を使用しているため、塩化第二鉄水溶液を使用し、金属基板１００の両面からスプレーエッチングすることができる。
【００３２】
ここで、リードフレーム１０には、端子部１１、１２の外周部や、各端子部１１、１２間の空隙部Ｓのように貫通した空間と、凹部Ｍや、連結部１３の裏面、枠体Ｆの段部Ｄのように貫通せずに厚みが薄くなった窪んだ空間とが存在する（図３参照）。本実施形態では、金属基板１００の板厚の半分程度までをエッチング加工する、いわゆるハーフエッチング処理を行い、貫通した空間に対しては、金属基板１００の両面にレジストパターンを形成しないようにし、金属基板１００の両面からエッチング加工して、貫通した空間を形成する。また、窪んだ空間に対しては、厚みが薄くなる側とは反対側の面にのみレジストパターンを形成して、レジストパターンがない面のみをエッチング加工して、窪んだ空間を形成する。
エッチング処理により金属基板１００には、図５（ｃ）に示すように、凹部Ｍが形成された端子部１１、１２が形成され、金属基板１００上にリードフレーム１０が形成される。
【００３３】
次に、図５（ｄ）に示すように、金属基板１００（リードフレーム１０）からレジストパターン４０を除去する。
そして、図５（ｅ）に示すように、リードフレーム１０が形成された金属基板１００にめっき処理を行い、端子部１１、１２にめっき層Ｃを形成する。めっき処理は、例えば、シアン化銀を主成分とした銀めっき液を用いた電界めっきを施すことにより行われる。
なお、めっき層Ｃを形成する前に、例えば、電解脱脂工程、酸洗工程、銅ストライク工程を適宜選択し、その後、電解めっき工程を経てめっき層Ｃを形成してもよい。
以上により、リードフレーム１０は、図２及び図３に示すように、枠体Ｆに多面付けされた状態で製造される。なお、図２及び図３において、めっき層Ｃは省略されている。
【００３４】
次に、光半導体装置１の製造方法について説明する。
図６は、第１実施形態の光半導体装置１の多面付け体を示す図である。
図７は、第１実施形態の光半導体装置１の製造過程を説明する図である。
図７（ａ）は、光反射樹脂層２０が形成されたリードフレーム１０の断面図であり、図７（ｂ）は、ＬＥＤ素子２が電気的に接続されたリードフレーム１０の断面図を示す。図７（ｃ）は、透明樹脂層３０が形成されたリードフレーム１０の断面図を示す。図７（ｄ）は、ダイシングにより個片化された光半導体装置１の断面図を示す。
なお、図７においては、１台の光半導体装置１の製造過程について図示するが、実際には、１枚の金属基板１００から複数の光半導体装置１が製造されるものとする。また、図７（ａ）〜（ｄ）は、それぞれ図５（ａ）の断面図に基づくものである。
【００３５】
図７（ａ）に示すように、金属基板１００上にエッチング加工により形成されたリードフレーム１０の外周等に上述の光反射特性を有する樹脂を充填し、光反射樹脂層２０を形成する。光反射樹脂層２０は、例えば、トランスファ成形や、インジェクション成形（射出成形）のように、樹脂成形金型にリードフレーム１０（金属基板１００）をインサートし、樹脂を注入する方法や、リードフレーム１０上に樹脂をスクリーン印刷する方法等によって形成される。このとき、樹脂は、各端子部１１、１２の外周側から凹部Ｍや、連結部１３の裏面、枠体Ｆの段部Ｄ（裏面全面）へと流れ込み、リードフレーム１０と光反射樹脂層２０とを接合している。
また、光反射樹脂層２０は、その表面側にリフレクタ２０ａが各端子部１１、１２のＬＥＤ端子面１１ａ、１２ａを囲むように形成される。これにより、光反射樹脂層２０の表面及び裏面には、それぞれ、各端子部１１、１２のＬＥＤ端子面１１ａ、１２ａと、外部端子面１１ｂ、１２ｂとが表出する（図４（ａ）、図４（ｂ）参照）。
以上により、図４に示す樹脂付きのリードフレームの多面付け体Ｒが形成される。
【００３６】
次に、図７（ｂ）に示すように、端子部１１のＬＥＤ端子面１１ａに、ダイアタッチペーストや半田等の放熱性接着剤を介してＬＥＤ素子２を載置し、また、端子部１２のＬＥＤ端子面１２ａに、ボンディングワイヤ２ａを介してＬＥＤ素子２を電気的に接続する。ここで、ＬＥＤ素子２とボンディングワイヤ２ａは複数あってもよく、一つのＬＥＤ素子２に複数のボンディングワイヤ２ａが接続されてもよく、ボンディングワイヤ２ａをダイパッドに接続させてもよい。また、ＬＥＤ素子２を載置面で電気的に接続してもよい。ここで、ボンディングワイヤ２ａは、例えば、金（Ａｕ）、銅（Ｃｕ）、銀（Ａｇ）等の導電性の良い材料からなる。
【００３７】
そして、図７（ｃ）に示すように、リフレクタ２０ａに囲まれたＬＥＤ素子２を覆うようにして透明樹脂層３０を形成する。
透明樹脂層３０は平坦な形状のほかレンズ形状、屈折率勾配等、光学的な機能を持たせてもよい。以上により、図６に示すように、光半導体装置の多面付け体が形成される。
最後に、図７（ｄ）に示すように、光半導体装置１の外形に合わせて、光反射樹脂層２０及び透明樹脂層３０とともに、リードフレーム１０の連結部１３を切断（ダイシング、パンチング、カッティング等）して、１パッケージに分離（個片化）された光半導体装置１（図１参照）を得る。
【００３８】
次に、上述の図７（ａ）におけるリードフレーム１０に光反射樹脂層２０を形成するトランスファ成形及びインジェクション成形について説明する。
図８は、トランスファ成形の概略を説明する図である。図８（ａ）は、金型の構成を説明する図であり、図８（ｂ）〜図８（ｉ）は、樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒが完成するまでの工程を説明する図である。
図９は、インジェクション成形の概略を説明する図である。図９（ａ）〜図９（ｃ）は、樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒが完成するまでの工程を説明する図である。
なお、図８及び図９において、説明を明確にするために、リードフレーム１０の単体に対して光反射樹脂層２０が成形される図を示すが、実際には、リードフレームの多面付け体ＭＳに対して光反射樹脂層２０が形成される。
【００３９】
（トランスファ成形）
トランスファ成形は、図８（ａ）に示すように、上型１１１及び下型１１２等から構成される金型１１０を使用する。
まず、作業者は、上型１１１及び下型１１２を加熱した後、図８（ｂ）に示すように、上型１１１と下型１１２との間にリードフレームの多面付け体ＭＳを配置するとともに、下型１１２の設けられたポット部１１２ａに光反射樹脂層２０を形成する樹脂を充填する。
そして、図８（ｃ）に示すように、上型１１１及び下型１１２を閉じて（型締め）、樹脂を加熱する。樹脂が十分に加熱されたら、図８（ｄ）及び図８（ｅ）に示すように、プランジャー１１３によって樹脂に圧力をかけて、樹脂を金型１１０内へと充填（トランスファ）させ、所定の時間その圧力を一定に保持する。
【００４０】
所定の時間の経過後、図８（ｆ）及び図８（ｇ）に示すように、上型１１１及び下型１１２を開き、上型１１１に設けられたイジェクターピン１１１ａにより、上型１１１から光反射樹脂層２０が成形されたリードフレームの多面付け体ＭＳを取り外す。その後、図８（ｈ）に示すように、上型１１１の流路（ランナー）部等の余分な樹脂部分を、製品となる部分から除去し、図８（ｉ）に示すように、光反射樹脂層２０が形成された樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒが完成する。
【００４１】
（インジェクション成形）
インジェクション成形は、図９（ａ）に示すように、上から順に、ノズルプレート１２１、スプループレート１２２、ランナープレート１２３（上型）、下型１２４等から構成される金型１２０を使用する。
まず、作業者は、ランナープレート１２３及び下型１２４間にリードフレームの多面付け体ＭＳを配置して、金型１２０を閉じる（型締め）。
そして、図９（ｂ）に示すように、ノズル１２５をノズルプレート１２１のノズル穴に配置して、光反射樹脂層２０を形成する樹脂を金型１２０内に射出する。ノズル１２５から射出された樹脂は、スプループレート１２２のスプルー１２２ａを通過し、ランナープレート１２３のランナー１２３ａ及びゲートスプルー１２３ｂを通過した上で、リードフレームの多面付け体ＭＳが配置された金型１２０内へと樹脂が充填される。
【００４２】
樹脂が充填されたら所定の時間保持した後に、作業者は、図９（ｃ）に示すように、ランナープレート１２３を下型１２４から開き、下型１２４に設けられたイジェクターピン１２４ａによって、光反射樹脂層２０が形成されたリードフレームの多面付け体ＭＳを下型１２４から取り外す。そして、光反射樹脂層２０が形成されたリードフレームの多面付け体ＭＳから余分なバリなどを除去して樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒが完成する。
【００４３】
なお、本実施形態のインジェクション成形の金型１２０は、樹脂の流路が、一つのスプルーからランナーを介して複数のゲートへと分岐されているので、リードフレームの多面付け体ＭＳに対して、複数個所から均等に樹脂を射出するようにしている。これにより、リードフレームの多面付け体ＭＳの各リードフレーム１０に対して、樹脂を適正に充填させることができ、樹脂ムラのない樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒを得ることができる。
【００４４】
本実施形態の発明には、以下のような効果がある。
（１）リードフレームの多面付け体ＭＳ（樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒ）は、枠体Ｆの裏面に段部Ｄを形成し、枠体Ｆの裏面全面に光反射樹脂層２０を形成する樹脂を充填することができるので、樹脂の成形過程において発生する成形収縮による反りが生じてしまうのを抑制することができる。
また、電子線硬化樹脂を用いた場合、成形加工後の電子線照射による硬化収縮が大きいが、成形時に枠体Ｆの裏面にも光反射樹脂層２０の樹脂が充填されているため、成形過程だけでなく、電子線照射による硬化時においての反りの発生も抑制することが可能である。
（２）また、樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒの裏面（ＬＥＤ素子２が接続される側とは反対側の面）を、平坦にすることができ、特殊な治具を必要とすることなく、搬送装置等に載置することができる。
【００４５】
（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態について説明する。
図１０は、第２実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳの全体図である。図１０（ａ）、図１０（ｂ）は、それぞれ、リードフレームの多面付け体ＭＳの平面図、裏面図である。
図１１は、第２実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳの詳細を説明する図である。図１１（ａ）、図１１（ｂ）は、それぞれリードフレームの多面付け体ＭＳの図１０（ａ）のａ部拡大の平面図、裏面図を示し、図１１（ｃ）、図１１（ｄ）は、それぞれ図１１（ａ）のｃ−ｃ断面図、ｄ−ｄ断面図を示す。
図１２は、第２実施形態の樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒの詳細を説明する図である。図１２（ａ）、図１２（ｂ）は、それぞれ樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒの平面図、裏面図を示し、図１２（ｃ）、図１２（ｄ）は、それぞれ図１２（ａ）のｃ−ｃ断面図、ｄ−ｄ断面図を示す。
なお、以下の説明及び図面において、前述した第１実施形態と同様の機能を果たす部分には、同一の符号又は末尾に同一の符号を付して、重複する説明を適宜省略する。
【００４６】
第２実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳは、枠体Ｆの段部Ｄの形状が、第１実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳと相違する。
段部Ｄは、図１０及び図１１に示すように、枠体Ｆの四隅を避けるように形成されている。すなわち、枠体Ｆは、裏面の四隅を除いた部分が、端子部１１、１２の外部端子面１１ｂ、１２ｂから窪んだ状態に形成されており、四隅のみ端子部１１、１２の最大の厚みと同等の厚みで形成されている。
光反射樹脂層２０は、図１２に示すように、端子部１１、１２の外周側面等に形成されるだけでなく、枠体Ｆの裏面の四隅を除いた部分にも形成される。これにより、樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒの裏面には、図１２（ｂ）に示すように、リードフレームの多面付け体ＭＳの外部端子面１１ｂ、１２ｂ及び枠体Ｆの四隅の部分のみが、光反射樹脂層２０から表出することとなる。
【００４７】
以上の構成により、本実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳは、上述の第１実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳと同様の効果を奏することができる。
また、枠体Ｆの四隅を避けるように段部Ｄを形成することによって、光反射樹脂層２０を形成する工程において、リードフレームの多面付け体ＭＳを金型で挟み込む場合に、挟み込みにより跳ね上がり易い枠体Ｆの四隅を金型で押さえ付けることができる。これにより、樹脂を充填して光反射樹脂層２０を成形した場合に、樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒにバリが発生するのを抑制することができ、リードフレームの多面付け体ＭＳの裏面に確実に光反射樹脂層２０を配置することができる。
【００４８】
（第３実施形態）
次に、本発明の第３実施形態について説明する。
図１３は、第３実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳの全体図である。図１３（ａ）、図１３（ｂ）は、それぞれ、リードフレームの多面付け体ＭＳの平面図、裏面図である。
図１４は、第３実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳの詳細を説明する図である。図１４（ａ）、図１４（ｂ）は、それぞれリードフレームの多面付け体ＭＳの図１３（ａ）のａ部拡大の平面図、裏面図を示し、図１４（ｃ）、図１４（ｄ）は、それぞれ図１４（ａ）のｃ−ｃ断面図、ｄ−ｄ断面図を示す。
図１５は、第３実施形態の樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒの詳細を説明する図である。図１５（ａ）、図１５（ｂ）は、それぞれ樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒの平面図、裏面図を示し、図１５（ｃ）、図１５（ｄ）は、それぞれ図１５（ａ）のｃ−ｃ断面図、ｄ−ｄ断面図を示す。
なお、以下の説明及び図面において、前述した第１実施形態と同様の機能を果たす部分には、同一の符号又は末尾に同一の符号を付して、重複する説明を適宜省略する。
【００４９】
第３実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳは、枠体Ｆの段部Ｄの形状が、第１実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳと相違する。
段部Ｄは、図１３及び図１４に示すように、枠体Ｆの外周縁を避けるようにして形成されている。すなわち、枠体Ｆは、裏面の外周縁を除いた部分が、端子部１１、１２の外部端子面１１ｂ、１２ｂから窪むように形成されており、外周縁の部分のみが端子部１１、１２の最大の厚みと同等の厚みで形成されている。
光反射樹脂層２０は、図１５に示すように、端子部１１、１２の外周側面等に形成されるだけでなく、枠体Ｆの段部Ｄ、すなわち、枠体Ｆの裏面の外周縁を除いた部分にも形成される。これにより、樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒの裏面には、図１５（ｂ）に示すように、リードフレームの多面付け体ＭＳの外部端子面１１ｂ、１２ｂ及び枠体Ｆの外周縁のみが、光反射樹脂層２０から表出することとなる。
【００５０】
以上の構成により、本実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳは、上述の第１実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳと同様の効果を奏することができる。
また、枠体Ｆの裏面の外周縁を避けるようにして段部Ｄを形成することによって、光反射樹脂層２０を形成する工程において、樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒの周側縁に樹脂のバリが発生するのを抑制することができる。
更に、枠体Ｆの外周縁が端子部１１、１２の最大厚みと同等の厚みとなることで、第１実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳに比べ枠体Ｆの強度を向上させることができ、ハンドリング時において、リードフレームの多面付け体ＭＳが変形してしまうのを抑制することができる。
【００５１】
（第４実施形態）
次に、本発明の第４実施形態について説明する。
図１６は、第４実施形態のリードフレーム及び樹脂付きリードフレームの多面付け体ＭＳの全体図である。図１６（ａ）、図１６（ｂ）は、それぞれ、リードフレームの多面付け体ＭＳの平面図、裏面図である。図１６（ｃ）は、光反射樹脂層２０が形成された樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒの裏面の拡大図であり図４（ｂ）に対応する図である。
なお、以下の説明及び図面において、前述した第１実施形態と同様の機能を果たす部分には、同一の符号又は末尾に同一の符号を付して、重複する説明を適宜省略する。
【００５２】
第４実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳは、枠体Ｆの段部Ｄの形状が、第１実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳと相違する。
本実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳは、図１６（ａ）に示すように、多面付けされたリードフレーム１０の集合体Ｇが枠体Ｆ内に複数組（例えば、４組）形成されている。
枠体Ｆの段部Ｄは、図１６（ｂ）に示すように、枠体Ｆの裏面の外周縁と、上述のリードフレーム１０の集合体Ｇの外形線の延長線Ｇ１とが交差する部分を除いた部分に形成されている。すなわち、枠体Ｆは、枠体Ｆの裏面の外周縁と、リードフレーム１０の集合体Ｇの外形線の延長線Ｇ１とが交差する部分のみ、端子部１１、１２の最大厚みと同等の厚みで形成される。
光反射樹脂層２０は、図１６（ｃ）に示すように、端子部１１、１２の外周側面等に形成されるだけでなく、枠体Ｆの段部Ｄにも形成される。これにより、樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒの裏面には、リードフレームの多面付け体ＭＳの外部端子面１１ｂ、１２ｂと、上述の枠体Ｆと集合体Ｇの外形線の延長線Ｇ１とが交差する部分とが、光反射樹脂層２０から表出することとなる。
【００５３】
以上の構成により、本実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳは、上述の第１実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳと同様の効果を奏することができる。
また、枠体Ｆは、その裏面において、外周縁と、リードフレーム１０の集合体Ｇの外形線の延長線Ｇ１とが交差する部分を除いた部分に段部Ｄを形成する。これにより、樹脂を充填して光反射樹脂層２０を成形した場合に、樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒの上記集合体Ｇ毎に樹脂のバリが発生するのを抑制することができる。
【００５４】
（第５実施形態）
次に、本発明の第５実施形態について説明する。
図１７は、第５実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳの詳細を説明する図である。図１７（ａ）、図１７（ｂ）は、それぞれリードフレームの多面付け体ＭＳの平面図、裏面図を示し、図１７（ｃ）、図１７（ｄ）は、それぞれ図１７（ａ）のｃ−ｃ断面図、ｄ−ｄ断面図を示す。
図１８は、第５実施形態の樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒの詳細を説明する図である。図１８（ａ）、図１８（ｂ）は、それぞれ樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒの平面図、裏面図を示し、図１８（ｃ）、図１８（ｄ）は、それぞれ図１８（ａ）のｃ−ｃ断面図、ｄ−ｄ断面図を示す。
なお、以下の説明及び図面において、前述した第１実施形態と同様の機能を果たす部分には、同一の符号又は末尾に同一の符号を付して、重複する説明を適宜省略する。
【００５５】
第５実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳは、枠体Ｆ及び段部Ｄの形状が、第１実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳと相違する。
枠体Ｆは、図１７に示すように、表面から裏面に貫通する孔部Ｈが形成されている。
孔部Ｈは、リードフレームの多面付け体ＭＳを搬送する場合に使用したり、光半導体装置１の製造過程において、リードフレームの多面付け体ＭＳのアライメント（位置決め）に使用したりする円形状の孔である。孔部Ｈは、図１７中では、１つ形成されているが、枠体Ｆ上に複数個、例えば、枠体Ｆの上辺及び下辺に等間隔に３つずつ形成される。
段部Ｄは、枠体Ｆの裏面において、枠体Ｆの孔部Ｈ及びその外周縁を避けるようにして形成されている。こうすることで、リードフレームの多面付け体ＭＳに、光反射樹脂層２０を形成する樹脂が充填された場合に、樹脂が孔部Ｈに入り込んで、孔部Ｈを塞いでしまうのを防止することができる。
光反射樹脂層２０は、図１８に示すように、端子部１１、１２の外周側面等に形成されるだけでなく、枠体Ｆの段部Ｄ、すなわち、枠体Ｆの裏面の孔部Ｈ及びその外周縁を除いた部分にも形成される。これにより、樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒの裏面には、図１８（ｂ）に示すように、リードフレームの多面付け体ＭＳの外部端子面１１ｂ、１２ｂ及び枠体Ｆの孔部Ｈ及びその外周縁のみが、光反射樹脂層２０から表出することとなる。
【００５６】
以上の構成により、本実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳは、上述の第１実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳと同様の効果を奏することができる。
また、孔部Ｈ及び孔部Ｈの外周縁を除いた部分に段部Ｄが形成されるので、枠体Ｆに光反射樹脂層２０を形成する樹脂が充填された場合に、樹脂が孔部Ｈに流れ込んで、孔部Ｈが塞がれてしまうのを防止することができる。これにより、光反射樹脂層２０の形成後に、樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒに、改めて孔部を形成する工程が発生してしまうのを防ぐことができる。また、改めて孔部を形成した場合には、位置精度の加工公差が累積されてしまうため、孔部を用いた樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒの位置決めや画像アライメントが必要となる工程において精度不足となる問題を生じるおそれがある。しかし、本実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳでは、このような問題の発生も防ぐことができる。
【００５７】
（第６実施形態）
次に、本発明の第６実施形態について説明する。
図１９は、第６実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳの詳細を説明する図である。図１９（ａ）、図１９（ｂ）は、それぞれリードフレームの多面付け体ＭＳの平面図、裏面図を示し、図１９（ｃ）、図１９（ｄ）は、それぞれ図１９（ａ）のｃ−ｃ断面図、ｄ−ｄ断面図を示す。
図２０は、第６実施形態の樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒの詳細を説明する図である。図２０（ａ）、図２０（ｂ）は、それぞれ樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒの平面図、裏面図を示し、図２０（ｃ）、図２０（ｄ）は、それぞれ図２０（ａ）のｃ−ｃ断面図、ｄ−ｄ断面図を示す。
なお、以下の説明及び図面において、前述した第１実施形態と同様の機能を果たす部分には、同一の符号又は末尾に同一の符号を付して、重複する説明を適宜省略する。
【００５８】
第６実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳは、枠体Ｆの段部Ｄの形状が、第１実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳと相違する。
枠体Ｆは、図１９に示すように、その裏面に溝状の段部Ｄが形成されている。
段部Ｄは、枠体Ｆの裏面において、リードフレーム１０の端子部１１、１２間の空隙部Ｓの延長部分と枠体Ｆとが交差する位置に形成されている。ここで、空隙部Ｓの延長部分とは、空隙部Ｓを上下（Ｙ）方向（端子部１１、１２の配列方向とは直交する方向）に延長させた領域をいう。
光反射樹脂層２０は、図２０に示すように、端子部１１、１２の外周側面等に形成されるだけでなく、枠体Ｆの段部Ｄにも形成される。
【００５９】
以上の構成により、本実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳは、上述の第１実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳと同様の効果を奏することができる。
また、段部Ｄが、端子部１１、１２間の空隙部Ｓの延長部分と枠体Ｆとが交差する位置に形成されているので、樹脂付きリードフレームの中でも、金属部分が最も少ない部分である空隙部Ｓの位置に対応させて、枠体Ｆの裏面に樹脂を充填することができる。これにより、リードフレームの多面付け体ＭＳの枠体Ｆ部分とリードフレーム１０部分との変形の度合いを合わせることができるため、樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒ（リードフレームの多面付け体ＭＳ）の反り及び微小な歪をより効果的に抑制することができる。
【００６０】
（第７実施形態）
次に、本発明の第７実施形態について説明する。
図２１は、第７実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳの詳細を説明する図である。図２１（ａ）、図２１（ｂ）は、それぞれリードフレームの多面付け体ＭＳの平面図、裏面図を示し、図２１（ｃ）、図２１（ｄ）は、それぞれ図２１（ａ）のｃ−ｃ断面図、ｄ−ｄ断面図を示す。
図２２は、第７実施形態の樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒの詳細を説明する図である。図２２（ａ）、図２２（ｂ）は、それぞれ樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒの平面図、裏面図を示し、図２２（ｃ）、図２２（ｄ）は、それぞれ図２２（ａ）のｃ−ｃ断面図、ｄ−ｄ断面図を示す。
なお、以下の説明及び図面において、前述した第１実施形態と同様の機能を果たす部分には、同一の符号又は末尾に同一の符号を付して、重複する説明を適宜省略する。
【００６１】
第７実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳは、枠体Ｆの段部Ｄの形状が、第１実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳと相違する。
枠体Ｆは、図２１に示すように、その裏面に溝状の段部Ｄが形成されている。
段部Ｄは、枠体Ｆの裏面において、多面付けされた各リードフレーム１０間の空隙となる領域の延長部分と枠体Ｆとが交差する位置に形成されている。また、段部Ｄは、リードフレーム１０及び枠体Ｆ間の空隙となる領域の延長部分と枠体Ｆとが交差する位置にも形成されている。
【００６２】
ここで、各リードフレーム１０間の空隙となる領域の延長部分とは、左右（Ｘ）方向（端子部１１、１２の配列方向）に隣接するリードフレーム１０間の空隙となる領域を上下（Ｙ）方向（端子部１１、１２の配列方向とは直交する方向）に延長させた領域と、上下方向に隣接するリードフレーム１０間の空隙となる領域を左右方向に延長させた領域とをいう。また、リードフレーム１０及び枠体Ｆ間の空隙となる領域の延長部分とは、左右方向に隣接する枠体Ｆ及びリードフレーム１０間の空隙となる領域を上下方向に延長させた領域と、上下方向に隣接する枠体Ｆ及びリードフレーム１０間の空隙となる領域を左右方向に延長させた領域とをいう。
光反射樹脂層２０は、図２２に示すように、端子部１１、１２の外周側面等に形成されるだけでなく、枠体Ｆの段部Ｄにも形成される。
【００６３】
以上の構成により、本実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳは、上述の第１実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳと同様の効果を奏することができる。
また、上述したように、段部Ｄは、各リードフレーム１０間の空隙となる領域の延長部分と枠体Ｆとが交差する位置と、リードフレーム１０及び枠体Ｆ間の空隙となる領域の延長部分と枠体Ｆとが交差する位置とに形成されている。そのため、樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒは、リフレクタ２０ａが存在する部分、すなわち、最も光反射樹脂層２０が厚くなる部分に対応させて、枠体Ｆの裏面に光反射樹脂層２０を形成することができる。これにより、樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒ（リードフレームの多面付け体ＭＳ）の反りをより効果的に抑制することができる。特に、光反射樹脂層２０にゴムのような柔らかい樹脂が使用されている場合、反りの抑制を更に効果的にすることができる。
【００６４】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は前述した実施形態に限定されるものではなく、後述する変形形態のように種々の変形や変更が可能であって、それらも本発明の技術的範囲内である。また、実施形態に記載した効果は、本発明から生じる最も好適な効果を列挙したに過ぎず、本発明による効果は、実施形態に記載したものに限定されない。なお、前述した実施形態及び後述する変形形態は、適宜組み合わせて用いることもできるが、詳細な説明は省略する。
【００６５】
図２３は、本発明の変形形態を示す図である。
（変形形態）
（１）各実施形態においては、リードフレーム１０は、端子部１１及び端子部１２を備える例を示したが、リードフレームは、２以上の端子部を備えていてもよい。例えば、図２３に示すように、端子部を３つ設け、その１つ（２１１）にはＬＥＤ素子を実装し、他の２つ（２１２）にはボンディングワイヤ２ａを介してＬＥＤ素子２と接続してもよい。
【００６６】
（２）各実施形態において、リードフレーム１０は、ＬＥＤ素子２を載置、接続するダイパッドとなる端子部１１と、ＬＥＤ素子２とボンディングワイヤ２ａを介して接続されるリード側端子部となる端子部１２とから構成する例を説明したが、これに限定されない。例えば、ＬＥＤ素子２が２つの端子部を跨ぐようにして載置、接続されるようにしてもよい。この場合、２つの端子部のそれぞれの外形は、同等に形成されてもよい。
（３）各実施形態においては、リードフレーム１０は、ＬＥＤ素子２等の光半導体素子を接続する光半導体装置１に使用する例を示したが、光半導体素子以外の半導体素子を用いた半導体装置にも使用することができる。
（４）第５実施形態において、孔部Ｈは、円形状の孔の例を示したが、これに限定されるものでなく、楕円や、矩形状の孔であってもよい。
【符号の説明】
【００６７】
１  光半導体装置
２  ＬＥＤ素子
１０  リードフレーム
１１  端子部
１２  端子部
１３  連結部
２０  光反射樹脂層
２０ａ  リフレクタ
３０  透明樹脂層
Ｄ  段部
Ｆ  枠体
Ｇ  集合体
Ｍ  凹部
ＭＳ  リードフレームの多面付け体
Ｒ  樹脂付きリードフレームの多面付け体
Ｓ  空隙部
【図１】
2014138108.tif 000003
【図２】
2014138108.tif 000004
【図３】
2014138108.tif 000005
【図４】
2014138108.tif 000006
【図５】
2014138108.tif 000007
【図６】
2014138108.tif 000008
【図７】
2014138108.tif 000009
【図８】
2014138108.tif 000010
【図９】
2014138108.tif 000011
【図１０】
2014138108.tif 000012
【図１１】
2014138108.tif 000013
【図１２】
2014138108.tif 000014
【図１３】
2014138108.tif 000015
【図１４】
2014138108.tif 000016
【図１５】
2014138108.tif 000017
【図１６】
2014138108.tif 000018
【図１７】
2014138108.tif 000019
【図１８】
2014138108.tif 000020
【図１９】
2014138108.tif 000021
【図２０】
2014138108.tif 000022
【図２１】
2014138108.tif 000023
【図２２】
2014138108.tif 000024
【図２３】
2014138108.tif 000025