(57)【要約】  【課題】電極膜の界面剥離を防止することが可能なアクチュエータ素子を提供する。  【解決手段】圧電体２０９と、圧電体２０９の下部に位置する下部電極２０８と、圧電体２０９の上部に位置する上部電極２１０とを有し、上部電極２１０は接続孔２１１を介して配線２０５と接続され、上部電極２１０と配線２０５とを同一材料で形成した。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電体と、前記圧電体の下部に位置する下部電極と、前記圧電体の上部に位置する上部電極とを有し、前記上部電極は接続孔を介して配線と接続され、前記上部電極と前記配線とが同一材料で形成されていることを特徴とするアクチュエータ素子。
【請求項２】
請求項１記載のアクチュエータ素子において、
前記上部電極は複数の層を有し、前記複数の層における前記配線と接する層が前記配線と同一材料で形成されていることを特徴とするアクチュエータ素子。
【請求項３】
請求項１または２記載のアクチュエータ素子において、
前記同一材料は白金またはアルミニウムであることを特徴とするアクチュエータ素子。
【請求項４】
請求項１ないし３の何れか一つに記載のアクチュエータ素子と、前記アクチュエータ素子に前記接続孔を介して接続される前記配線と、前記アクチュエータ素子の駆動によって振動する板と、前記板を介して前記アクチュエータ素子と対向する位置に設けられた液室とを有することを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項５】
請求項４記載の液滴吐出ヘッドにおいて、
前記配線に接続される他の配線をさらに有し、前記配線と前記他の配線とは互いに異なる材料によって形成されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項６】
請求項５記載の液滴吐出ヘッドを有することを特徴とするインクカートリッジ。
【請求項７】
請求項５記載の液滴吐出ヘッドを有することを特徴とする画像形成装置。
【請求項８】
請求項６記載のインクカートリッジを有することを特徴とする画像形成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、アクチュエータ素子に関する。
【背景技術】
【０００２】
プリンタ、ファクシミリ、複写機、プロッタ等の画像形成装置に用いられるインクジェット記録装置及びこれに用いられる液滴吐出ヘッドとして、インク液滴を吐出するノズルと、ノズルが連通する加圧室（インク流路、加圧液室、圧力室、吐出室、液室等とも称される）と、加圧室内のインクを加圧する圧電素子等の電気機械変換素子またはヒータ等の電気熱変換素子と、インク流路の壁面を形成する振動板とこれに対向する電極とからなるエネルギ発生手段とを備え、エネルギ発生手段において発生したエネルギにより加圧室内のインクを加圧することにより、ノズルからインク液滴を吐出させるものが知られている。
【０００３】
上述のインクジェット記録装置において、ピエゾ式のインクジェット式記録ヘッドには、圧電素子の軸方向に伸長及び伸縮する縦振動モードの圧電アクチュエータを使用したものと、ベントモードの圧電アクチュエータを使用したものとの２種類が知られており、ベントモード圧電素子のアクチュエータをさらに薄膜化した薄膜ピエゾアクチュエータが近年において実用化されている。一般的にこれ等の薄膜ピエゾアクチュエータは、基板上に種々の薄膜層を積層することによって形成されており、各薄膜層の界面の密着性を制御することが重要な技術となっている。
【０００４】
例えば「特許文献１」には、配線であるリード電極と上部電極とが接するコンタクトホール部分においてＰＺＴアクチュエータ部（圧電体能動部）に異常な応力が掛かってアクチュエータの特性劣化が発生することを防止すべく、有機導電体材料で配線を形成し、さらにコンタクトホールが形成される絶縁体層として有機物を用いる技術が開示されている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述した薄膜ピエゾアクチュエータの構成は、先ずシリコン基板上に振動板が形成され、その振動板上に下部電極及び圧電素子であるＰＺＴ膜及び上部電極が順次積層された構成となっている。また、ＰＺＴ膜を挟む下部電極及び上部電極は、電気特性のみならずＰＺＴ膜の圧電特性及び結晶性を確保するための材料特性が求められる。例えば、水分等によるＰＺＴ膜の還元作用等を防止することが望まれる。
【０００６】
また上述の電極材料は一般的なスパッタリング法で形成されるが、各膜界面の密着性が低いため形成工程の中でまたは駆動動作中に電極膜の膜界面が剥離するという不具合が発生している。このような膜界面の剥離は、配線またはパッシベーション膜が有する膜応力の影響が原因として挙げられる。
【０００７】
また、薄膜ピエゾアクチュエータの形成材料として、下部電極及び上部電極にＰｔ膜とＳＲＯ（ＳｒＲｕＯ３）の積層膜を配線として、コンタクトホールを介してＡｌ膜が用いられてきた。このような構成においては、Ｐｔ膜とＳＲＯ膜及びＡｌ膜の膜応力及び熱ストレスが異なることから、成膜以降の熱処理工程において応力バランスが崩れ、特に密着力が弱いとされるＰｔ膜とＳＲＯ膜との界面が剥離するという不具合が発生している。
【０００８】
本発明は上述の問題点を解消し、電極膜の界面剥離を防止することが可能なアクチュエータ素子の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
請求項１記載の発明は、圧電体と、前記圧電体の下部に位置する下部電極と、前記圧電体の上部に位置する上部電極とを有し、前記上部電極は接続孔を介して配線と接続され、前記上部電極と前記配線とが同一材料で形成されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、電極膜の界面剥離を防止することが可能なアクチュエータ素子を提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の第１の実施形態に用いられる液滴吐出ヘッドの概略斜視図である。
【図２】図１におけるＡ−Ａ断面図である。
【図３】（ａ）本発明の第１の実施形態に用いられるアクチュエータ素子の要部断面図（ｂ）従来のアクチュエータ素子の要部断面図である。
【図４】従来のアクチュエータ素子における（ａ）Ｐｔ膜の熱ストレス変化（ｂ）Ａｌ膜の熱ストレス変化をそれぞれ示す線図である。
【図５】本発明の第１の実施形態を適用した液液吐出ヘッドの製造工程を説明する概略図である。
【図６】本発明の第１の実施形態を適用した液液吐出ヘッドの製造工程を説明する概略図である。
【図７】本発明の第１の実施形態を適用した液液吐出ヘッドの製造工程を説明する概略図である。
【図８】本発明の第１の実施形態を適用した液液吐出ヘッドの製造工程を説明する概略図である。
【図９】本発明の第１の実施形態を適用した液液吐出ヘッドの製造工程を説明する概略図である。
【図１０】本発明の第１の実施形態を適用した液液吐出ヘッドの製造工程を説明する概略図である。
【図１１】本発明の第１の実施形態を適用した液液吐出ヘッドの製造工程を説明する概略図である。
【図１２】本発明の第１の実施形態を適用した液液吐出ヘッドの製造工程を説明する概略図である。
【図１３】本発明の第１の実施形態を適用した液液吐出ヘッドの製造工程を説明する概略図である。
【図１４】本発明の第１の実施形態を適用した液液吐出ヘッドの製造工程を説明する概略図である。
【図１５】本発明の第１の実施形態を適用した液液吐出ヘッドの製造工程を説明する概略図である。
【図１６】本発明の第１の実施形態を適用した液液吐出ヘッドの製造工程を説明する概略図である。
【図１７】本発明の第１の実施形態を適用した液液吐出ヘッドの製造工程を説明する概略図である。
【図１８】本発明の第１の実施形態を適用した液液吐出ヘッドの製造工程を説明する概略図である。
【図１９】本発明の第１の実施形態を適用した液液吐出ヘッドの製造工程を説明する概略図である。
【図２０】本発明の第２の実施形態に用いられる液滴吐出ヘッドの概略断面図である。
【図２１】本発明の第３の実施形態に用いられるインクジェット記録装置の概略正面図である。
【図２２】本発明の第３の実施形態に用いられるインクジェット記録装置の概略平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
図１は本発明の第１の実施形態に用いられる液滴吐出ヘッドの概略構成図を、図２は図１におけるＡ−Ａ断面図をそれぞれ示している。図１に示すように本発明の液滴吐出ヘッドであるインクジェットヘッド９９は、サブフレーム基板１００、アクチュエータ基板２００、ノズル基板３００をそれぞれ形成し、これ等を接着剤によって一体的に接合することによって形成されている。
【００１３】
サブフレーム基板１００は、アクチュエータ基板２００との接合面にアクチュエータ保護キャビティ１０１及びサブフレーム接合面１０２を有している。またサブフレーム基板１００には、インクを供給するためのインク供給孔、外部への電気配線の取り回し用開口、アクチュエータ基板２００とのアライメント用マーク等が形成されているが、ここでは図示及び説明を省略する。
【００１４】
アクチュエータ基板２００は、振動板２０３、振動板２０３の一方の面に設けられたアクチュエータ素子２０１を有している。アクチュエータ素子２０１は下部電極２０８、圧電体であるＰＺＴ素子２０９、上部電極２１０を積層して構成されている。下部電極２０８はＴｉＯ２膜とＰｔ膜とＳＲＯ膜との３層で構成され、ＰＺＴ素子２０９はゾルゲル法により薄膜状に形成され、上部電極２１０はＳＲＯ膜とＰｔ膜とによって構成されている。
【００１５】
このように構成されたアクチュエータ素子２０１上には、図３（ａ）に示すようにＡｌ２Ｏ３膜２０４ａとシリコン酸化膜２０４ｂとからなる層間絶縁膜２０４が形成されている。ただし、アクチュエータ素子２０１が変位する領域のシリコン酸化膜２０４ｂは、変位の妨げとなることから除去されている。また、外部駆動回路からの信号を伝達するための配線としてのメタル配線２０５が接続孔であるコンタクトホール２１１を介して上部電極２１０のＰｔ膜と当接して設けられており、その上部にはパッシベーション保護膜２０６が形成されている。振動板２０３の他方の面には、加圧液室２０２、加圧液室２０２を区画する隔壁２０７が設けられている。
【００１６】
ノズル基板３００は、プレス加工またはニッケル電鋳工法等によって形成されたノズル孔３０１を複数有しており、アクチュエータ基板２００の加圧液室２０２面と接着剤によって接合される。
【００１７】
上述のように形成されたインクジェットヘッド９９は、図示しない外部の駆動回路から入力された電気信号がメタル配線２０５よりコンタクトホール２１１を介してアクチュエータ素子２０１に伝達される。信号を受けたアクチュエータ素子２０１が変形することにより振動板２０３が変位し、加圧液室２０２内のインクに圧力が作用してノズル孔３０１より所望のインク液滴が吐出される。
【００１８】
次に、コンタクトホール２１１近傍の構成について説明する。図３（ａ）は本発明の第１の実施形態におけるアクチュエータ素子２０１の断面図を示している。同図において、上部電極２１０は下層にＳＲＯ膜２１０ａを上層にＰｔ膜２１０ｂを有しており、コンタクトホール２１１を介してＰｔ膜２１０ｂにメタル配線２０５が接触している。ここで本発明では、メタル配線２０５として上部電極２１０の上層と同一材料であるＰｔ膜が用いられている。このように、上部電極２１０の最上層とメタル配線２０５とを同一材料で形成することにより、コンタクトホール２１１近傍、特に接触界面近傍での熱ストレスの変化の影響が低減される。これにより、後工程で熱が加えられた際にも界面での応力バランスが崩れず、下層であるＳＲＯ膜２１０ａ界面へのストレスの作用を防止することができる。
【００１９】
本発明の構成に対し、図３（ｂ）は従来構成におけるアクチュエータ素子２２１の断面図を示している。このアクチュエータ素子２２１において、上部電極２２２は上部電極２１０と同様に下層にＳＲＯ膜２２２ａを上層にＰｔ膜２２２ｂを有しているが、メタル配線２２３がＡｌ膜によって形成されていた。このような構成の場合、図４（ａ），（ｂ）に示すようにＰｔ膜とＡｌ膜との熱ストレスにおいてそれぞれ挙動が異なることから、膜界面の応力バランスが崩れる要因となっていた。特に、コンタクトホール近傍では応力が集中することから、図３（ｂ）に符号２１３で示すように電極膜の界面剥離が生じていた。Ｐｔ膜は常温から４００℃の間では常時引張応力であるのに対し、Ａｌ膜は常温では引張応力であるものの５０℃付近から圧縮応力へと変化する。この応力バランスの変化が電極膜のＰｔ膜とＳＲＯ膜との界面での剥離の要因となっている。このような電極膜の界面剥離はメタル配線とのコンタクトホール近傍において発生する傾向があり、コンタクトホール内の応力集中に加えて、膜間の応力バランスが崩れることにより剥離に至ると推定されている。本発明では、上述の膜応力を何れも引張方向の応力または圧縮方向の応力とすることにより、コンタクトホール部分での応力バランスの変化を回避して界面剥離の発生を防止している。すなわち本発明の第１の実施形態によれば、電極膜の界面剥離を防止することが可能なアクチュエータ素子を提供することが可能となる。
【００２０】
次に、本発明の第１の実施形態におけるアクチュエータ基板２００の形成方法について説明する。  
先ず、図５に示すシリコン基板２１４を用意し、図６に示すようにこのシリコン基板２１４の上面に振動板２０３を形成する。振動板２０３は、熱酸化によるシリコン酸化膜、ＬＰＣＶＤによるシリコン窒化膜、シリコン酸化膜、ポリシリコン膜を順次積層して形成する。
【００２１】
次に図７に示すように、振動板２０３上に下部電極２０８としてＴｉＯ２膜、Ｐｔ膜、ＳＲＯ膜をスパッタリング法により順次積層する。そして、圧電素子２０９としてＰＺＴ膜をゾルゲル法によるスピンコートと熱焼成の繰り返しとによって形成し、さらに上部電極２１０としてＳＲＯ膜及びＰｔ膜を順次形成する。
【００２２】
次に図８に示すように、積層形成された上部電極２１０、圧電素子２０９、下部電極２０８を、レジストパターン２１２を用いてリソグラフィ及びエッチングにより所望のパターンに形成する。そして図９に示すように、所望のパターンに形成されたアクチュエータ素子２０１上に層間絶縁膜２０４を形成する。層間絶縁膜２０４は、下層に蒸着法によってＡｌ２Ｏ３膜２０４ａを上層にＣＶＤ法によってシリコン酸化膜２０４ｂをそれぞれ形成する。
【００２３】
次に図１０及び図１１に示すように、レジストパターン２１２を用いて上部電極２１０及び下部電極２０８とメタル配線２０５とを接触させるコンタクトホール２１１を層間絶縁膜２０４に形成する。なお、下部電極２０８のコンタクトホールは図示していない。次に図１２及び図１３に示すように、レジストパターン２１２を用いて層間絶縁膜２０４上にメタル配線２０５を形成する。メタル配線２０５は上部電極２１０と同様にＰｔ膜で形成されており、コンタクトホール２１１内に入り込むように形成されている。ここで、コンタクトホール２１１内のメタル配線２０５はコンタクトホール２１１のテーパ形状に倣うため、下側に設けられた上部電極２１０に対する応力集中を緩和することができる。
【００２４】
次に、図１４及び図１５に示すように、メタル配線２０５上にレジストパターン２１２を用いてパッシベーション保護膜２０６を形成する。パッシベーション保護膜２０６にはＣＶＤ法によりシリコン窒化膜が形成されている。また、アクチュエータ素子２０１上のパッシベーション保護膜２０６及び層間絶縁膜２０４のシリコン酸化膜２０４ｂはアクチュエータ素子２０１の変位を阻害するため、リソグラフィ法やエッチング法により取り除かれている。
【００２５】
次に図１６に示すように、シリコン基板２１４の振動板２０３側とは反対側の面を、加圧液室２０２を形成するために研磨加工によって所望の厚さに加工する。本形態では、加圧液室の高さとして７５μｍの厚さとしている。次に図１７及び図１８に示すように、加圧液室２０２を形成するためのレジストパターン２１２を形成し、ドライエッチング法によって加圧液室２０２及び隔壁２０７を形成する。以上の工程により、図１９に示すようにアクチュエータ基板２００が形成される。なお、詳細には外部からインクを導入するためのインク供給孔等が必要であるが、本形態では図示及び説明を省略している。上述した構成では、上部電極２１０の最上層及びメタル配線２０５としてＰｔ膜を用いたが、これ等をそれぞれＡｌ膜としても同様の作用効果を得ることができる。
【００２６】
また、コンタクトホール２１１近傍では上部電極２１０及びメタル配線２０５を互いに同一材料としているが、アクチュエータ素子２０１から離れた領域においてメタル配線２０５の材質を変えた構成も同様の作用効果を得ることができる。図２０は本発明の第２の実施形態を示している。同図に示すように、アクチュエータ素子２０１近傍のコンタクトホール２１１内では、上部電極２１０及びメタル配線２０５共にＰｔを使用している。しかし、アクチュエータ素子２０１から離れた領域におけるコンタクトホール２１５内では、Ａｌを用いたメタル配線２１６を用いている。この構成によっても、上述した第１の実施形態と同様の作用効果を得ることができる。
【００２７】
次に本発明の第３の実施形態として、液滴吐出ヘッドである記録ヘッドを備えた画像形成装置の一例を図２１及び図２２に基づいて説明する。図２１は画像形成装置の全体構成を説明する概略正面図、図２２は同平面図である。同図において画像形成装置９８は、図示しない左右の側板に掛け渡されたガイド部材であるガイドロッド１とガイドレール２とによってキャリッジ３を主走査方向に摺動自在に保持している。そして、主走査モータ４によりタイミングベルト５を介してキャリッジ３を矢印で示す主走査方向に移動走査する。
【００２８】
キャリッジ３には、例えばイエロ（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｂｋ）の各色のインク液滴を吐出する４個の記録ヘッド７が配設されている。各記録ヘッド７は、複数のインク吐出口を主走査方向と直交する方向に配列されており、インク液滴吐出方向を下方に向けて装着されている。記録ヘッド７を構成する液滴吐出ヘッドは、圧電素子等の圧電アクチュエータが用いられている。キャリッジ３には、記録ヘッド７に各色インクを供給するための各色のサブタンク８が搭載されている。サブタンク８には図示しないインク供給チューブを介してメインタンク（インクカートリッジ）からインクが補充供給される。本実施形態では、サブタンク８と記録ヘッド７とで本発明に係る液滴吐出装置を構成している。しかし、記録ヘッド７をインクジェットヘッド９９と同様に構成し、別途サブタンク８を設ける構成、サブタンク８を設けずにインクカートリッジを搭載する構成とすることも可能である。
【００２９】
一方、給紙カセット１０等の用紙積載部（圧板）１１上に積載した用紙１２を給紙する給紙部が設けられている。給紙部は、用紙積載部１１から用紙１２を１枚ずつ分離する給紙ローラ１３及びこれに対向配置され摩擦係数の大きな部材からなる分離パッド１４を備え、分離パッド１４は給紙ローラ１３側に付勢されている。給紙部から給送された用紙１２を記録ヘッド７の下方に搬送する搬送部として、搬送ベルト２１、カウンタローラ２２、搬送ガイド２３、先端加圧コロ２５等が設けられている。搬送ベルト２１は用紙１２を静電吸着して搬送し、カウンタローラ２２は給紙部からガイド１５を介して送られる用紙１２を搬送ベルト２１との間に挟んで搬送する。搬送ガイド２３はほぼ鉛直上方に送られる用紙１２をほぼ９０°方向転換させて搬送ベルト２１上に倣わせ、先端加圧コロ２５は押さえ部材２４によって搬送ベルト２１側に付勢されている。また搬送部には、搬送ベルト２１の表面を帯電させるための帯電手段である帯電ローラ２６が設けられている。
【００３０】
搬送ベルト２１は無端状ベルトであり、搬送ローラ２７とテンションローラ２８との間に掛け渡されて副走査モータ３１からタイミングベルト３２及びタイミングローラ３３を介して搬送ローラ２７が回転される。これにより、副走査方向であるベルト搬送方向に搬送ベルト２１が周回移動する。なお、搬送ベルト２１の裏面側には、記録ヘッド７による画像形成領域に対してガイド部材２９が設けられている。
【００３１】
搬送ローラ２７の軸にはスリット円板３４が取り付けられており、スリット円板３４の近傍の位置にはスリット円板３４のスリットを検知するセンサ３５が設けられている。これ等スリット円板３４及びセンサ３５により、エンコーダ３６が構成されている。帯電ローラ２６は、搬送ベルト２１の表層に接触して搬送ベルト２１の回転に従動して回転するように構成され、加圧力として軸の両端にそれぞれ２．５Ｎが掛けられている。
【００３２】
キャリッジ３の前方側にはスリットを形成したエンコーダスケール４２を設け、キャリッジ３の前面側にはエンコーダスケール４２のスリットを検出する透過型フォトセンサからなるエンコーダセンサ４３を設ける。そしてこれ等により、キャリッジ３の主走査方向位置（ホーム位置に対する位置）を検知するためのエンコーダ４４を構成している。
【００３３】
さらに、記録ヘッド７で記録された用紙１２を排紙するための排紙部として、搬送ベルト２１から用紙１２を分離するための分離部と、排紙ローラ５２及び排紙コロ５３と、用紙１２をストックする排紙トレイ５４とが設けられている。また背部には、両面給紙ユニット６１が着脱自在に装着されている。両面給紙ユニット６１は、搬送ベルト２１の逆方向回転で戻される用紙１２を取り込み、反転させて再度カウンタローラ２２と搬送ベルト２１との間に給紙する。
【００３４】
上述のように構成された画像形成装置９８では、給紙部から用紙１２が１枚ずつ分離給送され、ほぼ鉛直上方に給紙された用紙１２はガイド１５で案内され、搬送ベルト２１とカウンタローラ２２との間に挟まれて搬送される。そして、さらに先端を搬送ガイド２３で案内され、先端加圧コロ２５で搬送ベルト２１に押し付けられ、ほぼ９０°搬送方向を転換される。このとき、図示しない制御回路によって高圧電源から帯電ローラ２６に対して、プラス出力とマイナス出力とが交互に繰り返される交番電圧が印加される。これにより、搬送ベルト２１が交番する帯電電圧パターン、すなわち周方向である副走査方向にプラスとマイナスとが所定の幅で帯状に交互に帯電されたものとなる。
【００３５】
このプラスマイナス交互に帯電した搬送ベルト２１上に用紙１２が給送されると、用紙１２が搬送ベルト２１に静電力で吸着され、搬送ベルト２１の周回移動によって用紙１２が副走査方向に搬送される。そこで、キャリッジ３を移動させつつ画像信号に応じて記録ヘッド７を駆動することにより、停止している用紙１２にインク液滴を吐出して１行分を記録し、用紙１２を所定量搬送した後に次の行の記録を行う。記録終了信号または用紙１２の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了して用紙が排紙トレイ５４に排出される。
【００３６】
また両面画像形成の場合には、表面（最初に画像形成する面）の記録が終了したときに搬送ベルト２１を逆回転させることで、記録済みの用紙１２を両面給紙ユニット６１内に送り込む。そして用紙１２を反転させて（裏面が記録面となる状態）再度カウンタローラ２２と搬送ベルト２１との間に給紙し、タイミング制御を行い上述と同様に搬送ベルト２１上に搬送して裏面に記録を行った後、排紙トレイ５４上に排出する。
【００３７】
上述の構成により、この第３の実施形態によれば、第１の実施形態と同様に、コンタクトホール近傍、特に接触界面近傍での熱ストレスの変化の影響が低減される。これにより、後工程で熱が加えられた際にも界面での応力バランスが崩れず、下層であるＳＲＯ膜界面へのストレスの作用を防止することができる。従って、界面剥離の発生を防止することが可能な液滴吐出ヘッドを備えた画像形成装置を提供することができる。
【００３８】
上述した画像形成装置９８では、本発明の液滴吐出ヘッド９９を搭載しているので、安定したインク吐出特性を得ることができ、画像品質を向上させることができる。上述の説明では液滴吐出ヘッド９９としてインクを吐出するものを示したが、本発明が適用可能な液滴はインクには限られず、例えばパターニング用の液体レジストを吐出する装置に液滴吐出ヘッド９９を適用してもよい。さらには遺伝子分析試料を吐出する装置に液滴吐出ヘッド９９を適用してもよい。また、本発明が適用可能な画像形成装置はプリンタには限られず、ファクシミリ、複写装置、プロッタ、これ等の複合機にも本発明は適用可能である。
【符号の説明】
【００３９】
９８  画像形成装置
９９  液滴吐出ヘッド
２０１  アクチュエータ素子
２０２  加圧液室
２０３  振動板
２０５  配線（メタル配線）
２０８  下部電極
２０９  圧電体（ＰＺＴ素子）
２１０  上部電極
２１１  コンタクトホール
３０１  ノズル孔
【先行技術文献】
【特許文献】
【００４０】
【特許文献１】特開２００７−４８８１６号公報
【図１】
2014170833.tif 000003
【図２】
2014170833.tif 000004
【図３】
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【図４】
2014170833.tif 000006
【図５】
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【図６】
2014170833.tif 000008
【図７】
2014170833.tif 000009
【図８】
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【図９】
2014170833.tif 000011
【図１０】
2014170833.tif 000012
【図１１】
2014170833.tif 000013
【図１２】
2014170833.tif 000014
【図１３】
2014170833.tif 000015
【図１４】
2014170833.tif 000016
【図１５】
2014170833.tif 000017
【図１６】
2014170833.tif 000018
【図１７】
2014170833.tif 000019
【図１８】
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【図１９】
2014170833.tif 000021
【図２０】
2014170833.tif 000022
【図２１】
2014170833.tif 000023
【図２２】
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