(57)【要約】【課題】カップからの液跳ねをより確実に防止すること。【解決手段】液処理装置は、被処理体Ｗを支持する支持部７０と、支持部７０で支持された被処理体Ｗに液体を供給する液体供給部４１，５１と、支持部７０で支持された被処理体Ｗを取り囲むカップ１０と、カップ１０の内面側に設けられたメッシュ部材１５と、を備えている。カップ１０の内面とメッシュ部材１５との間には、カップ１０の内面とメッシュ部材１５との間に所定の間隔を形成する複数の凸形状部１１が設けられている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理体を支持する支持部と、
前記支持部で支持された前記被処理体に液体を供給する液体供給部と、
前記支持部で支持された前記被処理体を取り囲むカップと、
前記カップの内面側に設けられたメッシュ部材と、
前記カップの内面と前記メッシュ部材との間に設けられ、前記カップの内面と前記メッシュ部材との間に所定の間隔を形成する複数の凸部と、
を備えたことを特徴とする液処理装置。
【請求項２】
前記複数の凸形状部の間の間隔が同一の距離であることを特徴とする請求項１に記載の液処理装置。
【請求項３】
前記複数の凸形状部は複数の線状突起であることを特徴とする請求項１又は２のいずれか１項に記載の液処理装置。
【請求項４】
前記複数の凸形状部は複数の点状突起であることを特徴とする請求項１又は２のいずれか１項に記載の液処理装置。
【請求項５】
前記凸形状部の頂点部は線形状になっていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の液処理装置。
【請求項６】
前記凸形状部の頂点部は面形状になっていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の液処理装置。
【請求項７】
前記凸形状部の頂点部は錐形状になっていることを特徴とする請求項１又は４のいずれか１項に記載の液処理装置。
【請求項８】
前記カップの内面と前記メッシュ部材との間の間隔の大きさは、０．３ｍｍ〜２．９ｍｍとなっていることを特徴とすることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載の液処理装置。
【請求項９】
前記メッシュ部材の目開き幅は、３００μｍ〜８００μｍとなっていることを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載の液処理装置。
【請求項１０】
前記液体は薬液を含み、
前記カップ及び前記メッシュ部材は、疎水性であって耐薬液性を有する材料からなることを特徴とする請求項１乃至９のいずれか１項に記載の液処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、支持部で支持された被処理体に液体を供給することで当該被処理体を処理する液処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、処理容器内の基板上に処理液を供給し、基板を回転させることで、処理液を基板上に拡散又は基板上から振り切るように構成された液処理装置が知られている。特許文献１に記載の液処理装置には、処理容器の内側に、基板から飛散した処理液の跳ね返りを抑制するためのメッシュ状の跳ね返り抑制体が設けられている。
【０００３】
この特許文献１には、跳ね返り抑制体との間及び外容器と跳ね返り抑制体との間にスペーサを兼ねた適宜の支持材が挟まれ、跳ね返り抑制体の間及び外容器と跳ね返り抑制体との間に空隙が形成されていることが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０００−１５０３６５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１では、跳ね返り抑制体との間及び外容器と跳ね返り抑制体との間にスペーサを兼ねた適宜の支持材が挟まれることが開示されるに留まり、支持材がどのようなものであるかについての開示はない。そして、特許文献１で提案されている内容では、カップからの液跳ねを十分に防止することができていない。
【０００６】
本発明は、このような点に鑑みなされたものであり、カップからの液跳ねをより確実に防止することができる液処理装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明による液処理装置は、
被処理体を支持する支持部と、
前記支持部で支持された前記被処理体に液体を供給する液体供給部と、
前記支持部で支持された前記被処理体を取り囲むカップと、
前記カップの内面側に設けられたメッシュ部材と、
前記カップの内面と前記メッシュ部材との間に設けられ、前記カップの内面と前記メッシュ部材との間に所定の間隔を形成する複数の凸部と、
を備えている。
【０００８】
本発明による液処理装置において、
前記複数の凸形状部の間の間隔が同一の距離であってもよい。
【０００９】
本発明による液処理装置において、
前記複数の凸形状部は複数の線状突起であってもよい。
【００１０】
本発明による液処理装置において、
前記複数の凸形状部は複数の点状突起であってもよい。
【００１１】
本発明による液処理装置において、
前記凸形状部の頂点部は線形状になっていてもよい。
【００１２】
本発明による液処理装置において、
前記凸形状部の頂点部は面形状になっていてもよい。
【００１３】
本発明による液処理装置において、
前記凸形状部の頂点部は錐形状になっていてもよい。
【００１４】
本発明による液処理装置において、
前記カップの内面と前記メッシュ部材との間の間隔の大きさは、０．３ｍｍ〜２．９ｍｍとなっていてもよい。
【００１５】
本発明による液処理装置において、
前記メッシュ部材の目開き幅は、３００μｍ〜８００μｍとなっていてもよい。
【００１６】
本発明による液処理装置において、
前記液体は薬液を含み、
前記カップ及び前記メッシュ部材は、疎水性であって耐薬液性を有する材料からなってもよい。
【発明の効果】
【００１７】
カップの内面とメッシュ部材との間に、このカップの内面とメッシュ部材との間に所定の間隔を形成するための複数の凸形状部が設けられている。このため、本発明では、カップの内面とメッシュ部材との間に液体を侵入させることができる。この結果、カップに飛んできた液滴をカップの内面とメッシュ部材との間で捕捉することができ、カップからの液跳ねをより確実に防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】図１は、本発明の実施の形態による基板処理装置のカップ周辺の構成を示した概略正面図である。
【図２】図２は、本発明の実施の形態による基板処理装置の全体構成を示した概略構成図である。
【図３】図３は、本発明の実施の形態で用いられる薬液アーム及びリンス液アームの動きを示した上方平面図である。
【図４】図４（ａ）は、本発明の実施の形態の第１の態様において、頂点部が面形状になっている線状突起の側方断面図であり、図４（ｂ）は、当該線状突起の上方平面図である。
【図５】図５（ａ）は、本発明の実施の形態の第２の態様において、頂点部が面形状になっている点状突起の側方断面図であり、図５（ｂ）は、当該点状突起の上方平面図である。
【図６】図６（ａ）は、本発明の実施の形態の第１の態様において、頂点部が線形状になっている線状突起の側方断面図であり、図６（ｂ）は、当該線状突起の上方平面図である。
【図７】図７（ａ）は、本発明の実施の形態の第２の態様において、頂点部が線形状になっている点状突起の側方断面図であり、図７（ｂ）は、当該点状突起の上方平面図である。
【図８】図８（ａ）は、本発明の実施の形態の第２の態様において、頂点部が点形状になっている点状突起の側方断面図であり、図８（ｂ）は、当該点状突起の上方平面図である。
【図９】図９（ａ）は、本発明の実施の形態において頂点部が面形状になっている凸形状部の側方断面図であり、図９（ｂ）は、頂点部が線形状になっている凸形状部の側方断面図であり、図９（ｃ）は、頂点部が点形状になっている凸形状部の側方断面図である。
【図１０】図１０は、メッシュ部材とカップの内面との間で液滴が落ちる様子を示した側方断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
第１の実施の形態
《構成》
以下、本発明に係る基板処理装置（特許請求の範囲の「液処理装置」に相当する。）の実施の形態について、図面を参照して説明する。ここで、図１乃至図１０は本発明の実施の形態を説明するための図である。
【００２０】
図１に示すように、本実施の形態の基板処理装置１００は、被処理体である半導体ウエハＷ（以下「ウエハＷ」という。）を支持して保持する保持部（特許請求の範囲の「支持部」に相当する。）７０と、保持部７０が設けられた保持プレート７２と、保持プレート７２の中心から下方に延びた駆動軸７３と、駆動軸７３を回転させる回転部７５と、保持部７０で保持されたウエハＷを囲むカップ１０と、ウエハＷに向かって供給された薬液及びリンス液等の液体を排出するための排出部７９と、を備えている。なお、本実施の形態では固定されているカップ１０を用いて説明しているが、このような態様に限られることはなく、例えば、本発明は自らが回転する回転カップに適用されてもよい。
【００２１】
上述した回転部７５が駆動軸７３を回転させることで、保持プレート７２とともに保持部７０が回転し、その結果、保持部７０で保持されたウエハＷが回転されることとなる。
【００２２】
図３に示すように、本実施の形態では、均等な間隔で設けられた３つの保持部７０が設けられており、当該保持部７０でウエハＷが保持されることとなる。なお、この図３は、本実施の形態で用いられる薬液アーム４７及びリンス液アーム５７の動きを示した上方平面図である。
【００２３】
図１及び図２に示すように、本実施の形態の基板処理装置１００は、ウエハＷに対してＳＣ１、ＳＣ２、硫酸加水等の薬液を供給する薬液供給ユニット４０と、ウエハＷに対して純水（ＤＩＷ）等のリンス液をリンス液供給ユニット５０と、を備えている。
【００２４】
図１及び図３に示すように、薬液供給ユニット４０は、水平方向に延びて、揺動軸４９を中心に水平方向に揺動可能な薬液アーム４７と、薬液アーム４７の先端から下方に向かって突出した薬液供給ノズル４６と、を有している。リンス液供給ユニット５０は、水平方向に延びて、揺動軸５９を中心に水平方向に揺動可能なリンス液アーム５７と、リンス液アーム５７の先端から下方に向かって突出したリンス液供給ノズル５６と、を有している。なお、薬液供給ノズル４６は保持部７０で保持されたウエハＷの略中心の上方に位置づけることができ、リンス液供給ノズル５６は保持部７０で保持されたウエハＷの略中心の上方に位置づけることができる。
【００２５】
図２に示すように、薬液供給ユニット４０は、保持部７０で保持されたウエハＷに薬液を供給する薬液供給部４１と、薬液供給部４１から供給された薬液を案内する薬液供給路４５と、を備えている。この薬液供給路４５は、薬液アーム４７内まで延びており、薬液供給路４５を経た薬液が薬液供給ノズル４６から供給されることとなる（図１参照）。
【００２６】
また、図２に示すように、リンス液供給ユニット５０は、保持部７０で保持されたウエハＷにリンス液を供給するリンス液供給部５１と、リンス液供給部５１から供給されたリンス液を案内するリンス液供給路５５と、を備えている。このリンス液供給路５５は、リンス液アーム５７内まで延びており、リンス液供給路５５を経たリンス液がリンス液ノズル５６から供給されることとなる（図１参照）。
【００２７】
なお、上述した薬液供給部４１とリンス液供給部５１とによって液体供給部４１，５１が構成されている。
【００２８】
図１に示すように、本実施の形態のカップ１０の内面側には、メッシュ状のメッシュ部材１５が設けられている。また、図４（ａ）（ｂ）乃至図８（ａ）（ｂ）に示すように、本実施の形態のカップ１０の内面には複数の凸形状部１１（１１ａ〜１１ｅ）が形成されており、この複数の凸形状部１１によって、カップ１０の内面とメッシュ部材１５との間に間隙Ｇが形成されている（図９（ａ）−（ｃ）参照）。この間隙Ｇの大きさは、好ましくは０．３ｍｍ〜２．９ｍｍであり、より好ましくは０．５ｍｍ〜２．０ｍｍであり、さらにより好ましくは０．７ｍｍ〜１．５ｍｍである。ちなみに、カップ１０の「内面」とは、カップ１０の表面のうち保持部７０側に位置する表面のことを意味する（図１参照）。
【００２９】
メッシュ部材１５の目開き幅は３００μｍ〜８００μｍとなっていることが好ましい。
【００３０】
本実施の形態のカップ１０は、疎水性を有しかつ耐薬品性を有する材料からなっている。このような材料の一例としてはテフロン（登録商標）を挙げることができる。また、本実施の形態のメッシュ部材１５も、疎水性を有しかつ耐薬品性を有する材料から形成することができる。このような材料の一例としては、やはり、テフロン（登録商標）を挙げることができる。
【００３１】
本実施の形態では、複数の凸形状部１１が均一に配置されている。
【００３２】
より具体的には、本実施の形態の第１の態様によれば、図４及び図６に示すように、複数の凸形状部１１の各々が線状突起１１ａ，１１ｃとなっている。そして、線状突起１１ａ，１１ｃの各々はカップ１０の面方向において間隔を空けて配置されている。カップ１０の内面とメッシュ部材１５との間に形成される間隙Ｇが所定の間隔（詳細は後述する）で空いていればよく、より具体的には、線状突起１１ａ，１１ｃの各々が同一形状となり、かつ線状突起１１ａ，１１ｃの間の間隔が同一の距離であることが好ましい。すなわち、図４（ａ）（ｂ）に示した態様では、線状突起１１ａの各々は同じ高さ（図９（ａ）参照）かつ同じ幅Ｗ１を有し、線状突起１１ａの間の間隔は同一の距離Ｄ１となっていることが好ましい。同様に、図６（ａ）（ｂ）に示した態様では、線状突起１１ｃの各々は同じ高さ（図９（ｂ）参照）かつ同じ幅Ｗ３を有し、線状突起１１ｃの間の間隔は同一の距離Ｄ３となっていることが好ましい。ところで、本実施の形態の「線状突起」とは、カップ１０の面内で線状に延在し、カップ１０の内面から突出した部分のことを意味している。
【００３３】
ちなみに、線状突起１１ａ，１１ｃの間の間隔が大きくなりすぎるとメッシュ部材１５が撓んでしまい、間隙Ｇを所定の間隔に保つことができない。このため、幅Ｗ１が５ｍｍ程度である場合に距離Ｄ１は４０ｍｍ以下であることが好ましく、幅Ｗ３が５ｍｍ程度である場合に距離Ｄ３は４０ｍｍ以下であることが好ましい。
【００３４】
なお、この第１の態様において、線状突起（凸形状部）１１ａ，１１ｃの頂点部は、面形状になっていてもよいし、線形状になっていてもよい。
【００３５】
線状突起（凸形状部）１１ａの頂点部が面形状になっている態様の一例としては、線状突起１１ａが面方向（図４（ｂ）の上下方向）で延在し、当該線状突起１１ａを図４（ｂ）の左右方向で切断した横断面が正方形、長方形、台形等の四角形（図４（ａ）で示されたものは長方形）になっているものを挙げることができる。
【００３６】
線状突起（凸形状部）１１ｃの頂点部が線形状になっている態様の一例としては、線状突起１１ｃが面方向（図６（ｂ）の上下方向）で延在し、当該線状突起１１ｃを図６（ｂ）の左右方向で切断した横断面が三角形（図６（ａ）で示されたものは二等辺三角形）になっているものを挙げることができる。
【００３７】
本実施の形態の第２の態様によれば、複数の凸形状部１１の各々が点状突起１１ｂ，１１ｄ，１１ｅとなっている。そして、点状突起１１ｂ，１１ｄ，１１ｅの各々はカップ１０の面方向において間隔を空けて配置されている。カップ１０の内面とメッシュ部材１５との間に形成される間隙Ｇが所定の間隔で空いていればよく、より具体的には、点状突起１１ｂ，１１ｄ，１１ｅの各々が同一形状となり、かつ点状突起１１ｂ，１１ｄ，１１ｅの間の間隔が同一の距離であることが好ましい。すなわち、図５（ａ）（ｂ）に示した態様では、点状突起１１ｂの各々は同じ高さ（図９（ａ）参照）かつ同じ幅Ｗ２を有し、点状突起１１ｂの間の間隔は同一の距離Ｄ２となっていることが好ましい。同様に、図７（ａ）（ｂ）に示した態様では、点状突起１１ｄの各々は同じ高さ（図９（ｂ）参照）かつ同じ幅Ｗ４を有し、点状突起１１ｄの間の間隔は同一の距離Ｄ４となっていることが好ましい。同様に、図８（ａ）（ｂ）に示した態様では、点状突起１１ｅの各々は同じ高さ（図９（ｃ）参照）かつ同じ幅Ｗ５を有し、点状突起１１ｅの間の間隔は同一の距離Ｄ５となっていることが好ましい。ところで、本実施の形態の「点状突起」とは、カップ１０の面内で点在し、カップ１０の内面から突出した部分のことを意味している。
【００３８】
ちなみに、線状突起１１ｂ，１１ｄ，１１ｅの間の間隔が大きくなりすぎるとメッシュ部材１５が撓んでしまい、間隙Ｇを所定の間隔に保つことができない。このため、幅Ｗ２が５ｍｍ程度である場合に距離Ｄ２は４０ｍｍ以下であることが好ましく、幅Ｗ４が５ｍｍ程度である場合に距離Ｄ４は４０ｍｍ以であることが好ましく、幅Ｗ５が５ｍｍ程度である場合に距離Ｄ５は４０ｍｍ以下であることが好ましい。
【００３９】
なお、この第２の態様でも、点状突起（凸形状部）１１ｂ，１１ｄの頂点部は、面形状になっていてもよいし、線形状になっていてもよい。また、点状突起（凸形状部）１１ｅが錐形状となり、点状突起１１ｅの頂点部が錐形状になっていてもよい。
【００４０】
点状突起（凸形状部）１１ｂの頂点部が面形状になっている態様の一例としては、点状突起１１ｂを図５（ｂ）の左右方向又は上下方向で切断した断面が正方形、長方形、台形等の四角形（図５（ａ）で示されたものは長方形）になっているものを挙げることができる。
【００４１】
点状突起（凸形状部）１１ｄの頂点部が線形状になっている態様の一例としては、点状突起１１ｄを図７（ｂ）の左右方向で切断した横断面が三角形（図７（ａ）で示されたものは二等辺三角形）になっているものを挙げることができる。
【００４２】
点状突起（凸形状部）１１ｅは錐形状となっている態様の一例としては、点状突起１１ｅが四角錐になっているものを挙げることができる。この点状突起１１ｅを、図８（ｂ）の左右方向又は上下方向で切断した断面は、三角形（図８（ａ）で示されたものは二等辺三角形）になっている。
【００４３】
《作用・効果》
次に、上述した構成からなる本実施の形態による作用・効果について説明する。
【００４４】
本実施の形態では、疎水性であるカップ１０の内面に複数の凸形状部１１が形成されており、この複数の凸形状部１１によって、カップ１０の内面とメッシュ部材１５との間に間隙Ｇが形成されている。このため、カップ１０の内面とメッシュ部材１５との間に液体を侵入させることができ、メッシュ部材１５を通過することで液滴となった液体をカップ１０の内面とメッシュ部材１５との間に橋架した状態で捕捉することができる。そして捕捉した液滴は、カップ１０の内面とメッシュ部材１５を伝って自重によりカップ１０の下方へ落ちる（図１０参照）。この結果、カップ１０からウエハＷへの液跳ねをより確実に防止することができる。
【００４５】
すなわち、本願の発明者らが鋭意検討した結果、疎水性のカップ１０を用いた場合であっても、カップ１０の内面に複数の凸形状部１１を形成し当該凸形状部１１の上にメッシュ部材１５を設けることで、親水性の性質をカップ１０に持たせることができることが分かった。これは、カップ１０の内面に複数の凸形状部１１を形成し当該凸形状部１１の上にメッシュ部材１５を設けることで、カップ１０の内面とメッシュ部材１５との間に液体を侵入させることができ、メッシュ部材１５を通過することで液滴となった液体をカップ１０の内面とメッシュ部材１５との間に橋架した状態で捕捉することができるためである。そして、捕捉された液滴はカップ１０の内面とメッシュ部材１５を伝って自重によりカップ１０の下方へ落ちる（図１０参照）。この結果、カップ１０から保持部７０で保持されたウエハＷへの薬液やリンス液等の液跳ねをより確実に防止することができる。
【００４６】
また、メッシュ部材１５が疎水性を有する材料からなっている場合には、カップ１０の内面とメッシュ部材１５で捕捉された液滴は、カップ１０の下方へ落ちやすくなる。
【００４７】
なお、このような液滴を捕捉するためには、カップ１０の内面に、直接、複数の凸形状部１１を形成し、カップ１０の内面とメッシュ部材１５との間に所定の間隔を保った間隙Ｇをカップ１０の内面とメッシュ部材１５との間に確実に形成することが重要なポイントとなっている。ここで「所定の間隔を保つ」とは、カップ１０の内面とメッシュ部材１５の間に液滴を橋架できる間隔であって、かつこの間隔をカップ１０の内面全体に保っている状態のことである。
【００４８】
この点、確かに特許文献１には、跳ね返り抑制体との間及び外容器と跳ね返り抑制体との間にスペーサを兼ねた適宜の支持材が挟まれることが開示されている。しかしながら、特許文献１では「適宜の支持材が挟まれる」ことを提案するに留まり、疎水性であるカップ１０の内面に複数の凸形状部１１が形成されている点については、何ら記載されていないことには留意が必要である。
【００４９】
ちなみに、カップ１０に親水性を持たせることを目的とするならば、最初から親水性の材料でカップ１０を製造すればよいではないかという考えもあるかもしれないが、現時点で発明者は耐薬液性を有する親水性の材料を見つけることはできなかった。このため、本実施の形態では、疎水性の材料からなるカップ１０を用いることを前提に説明している。しかしながら、これに限られることはなく、親水性の材料からなるカップ１０を用いることは当然可能である。なお、カップ１０の内面とメッシュ部材１５の間に液滴を橋架できる間隔の大きさは、液体に対するカップ１０及びメッシュ部材１５の濡れ性によって異なることから、親水性の材料からなるカップ１０を用いる場合には、液体に対するカップ１０及びメッシュ部材１５の濡れ性を考慮した上で、凸形状部の大きさを決定する必要はある。
【００５０】
また、本実施の形態では、複数の凸形状部１１の各々は同一形状で、かつ間隔は同一の距離で配置されている。このため、カップ１０の内面とメッシュ部材１５との間に、所定の間隔を保った間隙Ｇをより確実に形成することができる。この結果、液滴を捕捉することができ、カップ１０からの液跳ねをムラ無く防止することができる。
【００５１】
つまり、間隙Ｇが所定の間隔を保っていないと、カップ１０の内面とメッシュ部材１５が液滴を捕捉することができない箇所が発生しうる。そして、このように間隙Ｇが液滴を捕捉することができない間隔だとメッシュ部材１５又はカップ内面１０のいずれかに液滴が付着した状態となる。その結果、液滴はメッシュ部材１５又はカップ内面から離れ易く、液跳ねの原因となってしまう。この点、本実施の形態では複数の凸形状部１１の各々は同一形状で、かつ間隔は同一の距離で配置されていることから、所定の間隔を保った間隙Ｇを形成することができ、カップ１０の内面とメッシュ部材１５でムラ無く液滴を捕捉することができる。このため、カップ１０からの液跳ねをムラ無く防止することができる。
【００５２】
複数の凸形状部１１の各々が線状突起１１ａ，１１ｃとなっている第１の態様によれば（図４（ａ）（ｂ）及び図６（ａ）（ｂ）参照）、メッシュ部材１５がカップ１０の内面側に撓みにくく、カップ１０の内面とメッシュ部材１５との間の間隙Ｇを所定の間隔に保ちやすいという点で有益である。そして、このようにカップ１０の内面とメッシュ部材１５との間の間隙Ｇを所定の間隔に保つことで、カップ１０の内面とメッシュ部材１５との間で液滴を捕捉することができ、カップ１０からの液跳ねをムラ無く防止することができる。
【００５３】
この第１の態様において頂点部が線形状になっている線状突起１１ｃでは（図６（ａ）（ｂ）参照）、線状突起１１ｃとメッシュ部材１５との接触面積を減らすことができ、液滴をメッシュ部材１５とカップ１０との間に誘導しやすくなっている。この結果、カップ１０からの液跳ねを防止する点では有益なものとなっている。
【００５４】
他方、頂点部が面形状になっている線状突起１１ａでは（図４（ａ）（ｂ）参照）、線状突起１１ａとメッシュ部材１５との接触面積が大きくなるものの、メッシュ部材１５がカップ１０の内面側に撓みにくくなることから、カップ１０の内面とメッシュ部材１５との間の間隙Ｇを所定の間隔に保ちやすく、ひいては、カップ１０からの液跳ねをよりムラ無く防止することができる。
【００５５】
複数の凸形状部１１の各々が点状突起１１ｂ，１１ｄ，１１ｅとなっている第２の態様によれば（図５（ａ）（ｂ）、図７（ａ）（ｂ）及び図８（ａ）（ｂ）参照）、第１の態様のものと比較して、凸形状部１１とメッシュ部材１５との接触面積を格段に減らすことができ、液滴をメッシュ部材１５とカップ１０との間に格段に誘導しやすくなっている。この結果、このような態様によれば、カップ１０からの液跳ねを防止することができる点で有益なものとなっている。
【００５６】
また、錐形状となり頂点部が点形状となっている点状突起１１ｅでは（図８（ａ）（ｂ）参照）、点状突起１１ｅとメッシュ部材１５との接触面積をさらに減らすことができ、液滴をメッシュ部材１５とカップ１０との間にさらに誘導しやすくなっている。この結果、カップ１０からの液跳ねをさらに確実に防止することを期待することができる。
【００５７】
しかしながら、頂点部が点形状となっている点状突起１１ｅでは、点状突起１１ｅの頂点部がメッシュ部材１５の穴に入り込んでしまう可能性がある。このように点状突起１１ｅの頂点部がメッシュ部材１５の穴に入り込んでしまうと、点状突起１１ｅとメッシュ部材１５との接触面積は大きくなってしまううえ、カップ１０の内面とメッシュ部材１５との間の間隙Ｇを所定の間隔に保つことができないことから好ましくない。
【００５８】
この点、頂点部が線形状になっている点状突起１１ｄでは（図７（ａ）（ｂ）参照）、点状突起１１ｄとメッシュ部材１５との接触面積を減らしつつ、点状突起１１ｄの頂点部がメッシュ部材１５の穴に入り込んでしまう可能性も低い。このため、頂点部が線形状になっている点状突起１１ｄでは、液滴をメッシュ部材１５とカップ１０との間に効率よく誘導することで液跳ねを防止することと、カップ１０の内面とメッシュ部材１５との間の間隙Ｇを所定の間隔に保つことでカップ１０からの液跳ねをムラ無く防止することとをバランスよく達成することができる。
【００５９】
また、カップ１０の内面とメッシュ部材１５との間の間隙Ｇを所定の間隔に保つことを重視する場合には、頂点部が面形状になっている点状突起１１ｂを採用すればよい（図５（ａ）（ｂ）参照）。この場合には、点状突起１１ｂとメッシュ部材１５との接触面積が多少は大きくなるが、カップ１０の内面とメッシュ部材１５との間の間隙Ｇを所定の間隔に保つことでカップ１０からの液跳ねをムラ無く防止することをより確実に実現することができる。なお、この態様において点状突起１１ｂとメッシュ部材１５との接触面積が大きくなると言っても、第１の態様と比較すればその接触面積は小さく、第１の態様に比べて、液滴をメッシュ部材１５とカップ１０との間に効率よく誘導することができる点には留意が必要である。
【００６０】
なおこのように、第２の態様によれば、第１の態様に比べて、液滴をメッシュ部材１５とカップ１０との間に効率よく誘導することができるが、他方、第１の態様によれば、第２の態様に比べて、カップ１０の内面とメッシュ部材１５との間の間隙Ｇをより確実に所定の間隔に保つことができる。このように、第１の態様及び第２の態様の各々に固有の利点があることには留意が必要である。
【００６１】
カップ１０の内面とメッシュ部材１５との間の間隙Ｇは、好ましくは０．３ｍｍ〜２．９ｍｍであり、より好ましくは０．５ｍｍ〜２．０ｍｍであり、さらにより好ましくは０．７ｍｍ〜１．５ｍｍである（図９（ａ）−（ｃ）参照）。カップ１０の内面とメッシュ部材１５との間の間隙Ｇが０．３ｍｍより小さいと、カップ１０の内面とメッシュ部材１５との間に液滴が入り込むことができず、カップ１０からの液跳ねを防止することができない。他方、カップ１０の内面とメッシュ部材１５との間の間隙Ｇが２．９ｍｍよりも大きいと、メッシュ部材１５に付着した液滴がカップ１０の内面に接触することができないことから、間隙Ｇにおいて液滴が捕捉されにくくなってしまう。
【００６２】
この観点からすると、親水性の液体でウエハＷを処理する場合には、メッシュ部材１５は疎水性を有する材料からなっていることが好ましい。つまり、ウエハＷを処理する液体が親水性でありメッシュ部材１５が疎水性を有する材料からなっている場合には、メッシュ部材１５から逃げるように液滴がカップ１０の内面へ向けて広がることから、間隙Ｇにおいて液滴を捕捉しやすくなるためである。
【００６３】
また、メッシュ部材１５の目開き幅は３００μｍ〜８００μｍとなっていることが好ましい。
【００６４】
メッシュ部材１５の目開き幅が３００μｍより小さいと、カップ１０の内面とメッシュ部材１５との間に液滴が入り込むことができない、又は、液滴が入り込む速度が遅くなることから、カップ１０からの液跳ねを防止することができない。また、このようにメッシュ部材１５の目開き幅が狭い態様において、カップ１０の内面に沿った方向で液滴が飛んできた場合には、当該液滴がメッシュ部材１５の表面で滑ってしまい、やはり液跳ねの原因になってしまう。
【００６５】
他方、メッシュ部材１５の目開き幅が８００μｍより大きいと、カップ１０の内面とメッシュ部材１５で液滴を捕捉できたしても、液滴を押さえるメッシュ部材１５の面積が少ないため、ウエハＷ側へ液跳ねしやすくなる。
【００６６】
これらに対して、メッシュ部材１５の目開き幅が３００μｍ〜８００μｍとなっている場合には、カップ１０の内面とメッシュ部材１５との間に液滴が入り込みやすく、液滴が捕捉されやすい。また、カップ１０の内面とメッシュ部材１５との間に入り込んだ液滴をメッシュ部材１５で適度に押さえることができ、ウエハＷ側へ液跳ねしにくくなる。
【００６７】
本実施の形態では、カップ１０の内面に複数の凸形状部１１を形成したが、カップ１０の内面とメッシュ部材１５との間が所定の間隔を保っていればよく、メッシュ部材１５に複数の凸形状部１１を形成してもよい。
【００６８】
最後になったが、上述した実施の形態の記載、各実施例の記載及び図面の開示は、特許請求の範囲に記載された発明を説明するための一例に過ぎず、上述した実施の形態の記載又は図面の開示によって特許請求の範囲に記載された発明が限定されることはない。
【符号の説明】
【００６９】
１０            カップ
１１ａ          線状突起（凸形状部）
１１ｂ          点状突起（凸形状部）
１１ｃ          線状突起（凸形状部）
１１ｄ          点状突起（凸形状部）
１１ｅ          点状突起（凸形状部）
１５            メッシュ部材
４１            薬液供給部（液体供給部）
５１            リンス液供給部（液体供給部）
７０            保持部（支持部）
Ｇ              間隙
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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