(57)【要約】【課題】特定右収容溝（１４）とこれに対応する特定左収容溝（１６）との選定を誤ってフレーム（２２）或いはウエーハ（２６）を収容してしまうことが充分確実に防止される、新規且つ改良された収容カセットを提供する。【解決手段】右側壁（２）及び左側壁（４）の後端を連結する後壁（６）の内面における少なくとも左右方向中央領域に、右収容溝（１４）及び左収容溝（１６）に対応して上下方向に間隔をいて左右方向に平行に延びる複数個の後収容溝（１８）を形成する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定間隔をおいて平行に配設された右側壁及び左側壁、並びに該右側壁及び該左側壁の後端を連結する後壁を具備し、該右側壁の内面には上下方向に間隔をおいて前後方向に平行に延びる複数個の右収容溝が形成されていると共に、該右収容溝に対応して該左側壁の内面にも上下方向に間隔をおいて前後方向に平行に延びる複数個の左収容溝が形成されている収容カセットにして、
該後壁の内面における少なくとも左右方向中央領域には、該右収容溝及び該左収容溝に対応して上下方向に間隔をおいて左右方向に平行に延びる複数個の後収容溝が形成されている、ことを特徴とする収容カセット。
【請求項２】
該後壁の内面における左右方向中央領域に、上下方向に間隔をおいて左右方向に平行に延びる複数個の突出片が形成されており、該後収容溝は該突出片によって規定されている、請求項１記載の収容カセット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、中央部に形成されている開口内に装着テープを介してウエーハが装着されたフレーム或いはウエーハ自体を直接的に収容するための収容カセットに関する。
【背景技術】
【０００２】
当業者には周知の如く、中央部に形成されている開口内に装着テープを介してウエーハが装着されたフレーム或いはウエーハ自体を直接的に収容するための収容カセットとして、所定間隔をおいて平行に配設された両側壁、即ち右側壁及び左側壁、を備え、右側壁の内面には上下方向に間隔をおいて前後方向に平行に延びる複数個の右収容溝が形成されていると共に、かかる右収容溝に対応して左側壁の内面にも上下方向に間隔をおいて前後方向に平行に延びる複数個の左収容溝が形成されている形態の収容カセットが広く実用に供されている。
【０００３】
然るに、本発明者の経験によれば、上述したとおりの従来の収容カセットには、フレーム或いはウエーハを収容カセットに手動で収容する際に、右収容溝とこれに対応する左収容溝との選定を誤って、特定右収容溝とこの特定の右収容溝に対応する特定の左収容溝ではなくてその１個上又は下の左収容溝とを選定して、フレーム或いはウエーハを収容してしまう傾向があることが判明している。かように右収容溝と左収容溝との選定を誤ってフレーム或いはウエーハを収容した場合、フレーム或いはウエーハを収容する時にウエーハを損傷してしまう、或いは収容カセットからウエーハハンドリング機構によって自動的にフレーム或いはウエーハを取り出す際にフレーム或いはウエーハの取出に失敗し或いはウエーハを損傷してしまう虞がある。
【０００４】
従来の収容カセットに存在する上記のとおりの問題を解決するために、下記特許文献１には、収容カセットの右側壁及び左側壁の各々の内面において右収容溝及び左収容溝を規定している突出片の突出長さ又は着色を交互に変化せしめ、かくして右収容溝及び左収容溝の各々において隣接する収容溝を容易に識別できるようになすことが開示されている。また、下記特許文献２には、収容カセットの右側壁及び左側壁の各々の内面において右収容溝及び左収容溝を規定している突出片に、１個おきに前端部に切欠を形成し、かくして右収容溝及び左収容溝の各々において隣接する収容溝を容易に識別できるようになすことが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平７−１１７８１０号公報
【特許文献２】特開平９−２７５４３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
而して、上記特許文献１及び２に開示されている収容カセットにおいては、右収容溝及び左収容溝の各々において、突出長さ、色或いは切欠の有無に基いて隣接する溝を比較的容易に識別することが可能であるが、本発明者の経験によれば、未だ充分に満足し得るものではなく、特定右収容溝とこれに対応する特定左収容溝との選定を誤ってフレーム或いはウエーハを収容してしまう可能性が残留していることが判明している。
【０００７】
本発明は上記事実に鑑みてなされたものであり、その主たる技術的課題は、特定右収容溝とこれに対応する特定左収容溝との選定を誤ってフレーム或いはウエーハを収容してしまうことが充分確実に防止される、新規且つ改良された収容カセットを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明によれば、右側壁及び左側壁の後端を連結する後壁の内面における少なくとも左右方向中央領域に、右収容溝及び左収容溝に対応して上下方向に間隔をおいて左右方向に平行に延びる複数個の後収容溝を形成することによって、上記主たる技術的課題が達成される。
【０００９】
即ち、本発明によれば、上記主たる技術的課題を達成する収容カセットとして、所定間隔をおいて平行に配設された右側壁及び左側壁、並びに該右側壁及び該左側壁の後端を連結する後壁を具備し、該右側壁の内面には上下方向に間隔をおいて前後方向に平行に延びる複数個の右収容溝が形成されていると共に、該右収容溝に対応して該左側壁の内面にも上下方向に間隔をおいて前後方向に平行に延びる複数個の左収容溝が形成されている収容カセットにして、
該後壁の内面における少なくとも左右方向中央領域には、該右収容溝及び該左収容溝に対応して上下方向に間隔をおいて左右方向に平行に延びる複数個の後収容溝が形成されている、ことを特徴とする収容カセットが提供される。
【００１０】
好ましくは、該後壁の内面における左右方向中央領域に、上下方向に間隔をおいて左右方向に平行に延びる複数個の突出片が形成されており、該後収容溝は該突出片によって規定されている。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の収容カセットにおいては、特定右収容溝とこれに対応する特定左収容溝とが正しく選定された場合には、フレーム或いはウエーハの右側部及び左側部が夫々右収容溝及び左収容溝内に挿入されると共に、フレーム或いはウエーハの後端部が後収容溝に挿入されて、フレーム或いはウエーハが収容カセットに所要とおりに収容される。一方、特定右収容溝とこの特定の右収容溝に対応する特定の左収容溝ではなくてその１個上又は下の左収容溝を誤って選定してフレーム或いはウエーハを収容せんとした場合には、フレーム或いはウエーハの後端部が後収容溝に対して傾斜した状態になり、フレーム或いはウエーハの後端部を後収容溝内に挿入することができず、これに起因してフレーム或いはウエーハを収容カセットに対して所要位置まで後方に挿入することができず、フレーム或いはウエーハの前端部が例えば収容カセットの前面から突出した状態になり、これによって操作者は右収容溝と左収容溝との選定を誤ったことを認識し、右収容溝と左収容溝との選定を是正することができる。かくして、右収容溝と左収容溝の選定を誤ってフレーム又はウエーハを収容することが充分確実に防止される。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明に従って構成された収容カセットの好適実施形態を、一部を切り欠いて示す斜面図。
【図２】図１に示す収容カセットの正面図。
【図３】ウエーハが装着されたフレームの典型例を示す斜面図。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、添付図面を参照して、本発明に従って構成された収容カセットの好適実施形態について更に詳細に説明する。
【００１４】
図１及び図２を参照して説明すると、図示の収容カセットは全体として直方体形状であり、左右方向に所定間隔をおいて配設され実質上鉛直に延在する矩形状の一対の側壁、即ち右側壁２及び左側壁４、右側壁２の後端と左側壁４の後端とを連結する、実質上鉛直に延在する矩形状の後壁６、実質上水平に延在する矩形状の上壁８、及び右側壁２と左側壁４との下端間を延在する下壁１０を有する。図示の実施形態においては、右側壁２、左側壁４、及び後壁６は矩形状であり、収容カセットの右側面、左側面及び後面は完全に閉じられている。一方、上壁８はその前端部に台形状の切欠９が形成されていて、収容カセットの上面は前端部が開放されている。また、下壁１０は右側壁２及び左側壁４の前後方向中間領域間を実質上水平に延びる帯形状であり、収容カセットの下面の前端部及び後端部は解放されている。上壁８の上面には収容カセットを搬送する際に把持することができるゲート状把持片１２が付設されている。収容カセットの前面はその全体が開放されている。かような収容カセットは、その全体を適宜の合成樹脂から一体に成形する、或いは適宜の合成樹脂から成型された複数個の部品を適宜に接合することによって好都合に形成することができる。
【００１５】
右側壁２の内面には、上下方向に等間隔をおいて前後方向に実質上水平に延びる複数個の平行右収容溝１４が形成され、同様に左側壁４の内面にも、右収容壁１４に対応して前後方向に実質上水平に延びる平行左収容溝１６が形成されている。右収容溝１４と左収容溝１６とは対応して配設されており、右収容溝１４と左収容溝１６とは右側壁２と左側壁４とに平行に両者間の中間を延在する中間面に関して面対称である。
【００１６】
本発明に従って構成された収容カセットにおいては、後壁６の内面においても、少なくともその左右方向中央領域に、上記右収容溝１４及び上記左収容溝１６に対応して上下方向に間隔をおいて左右方向に実質上水平に延びる後収容溝１８が形成されていることが重要である。図示の実施形態においては、後壁６の左右方向中間領域において、後壁６の内面に上下方向に等間隔をおいて実施上水平に延びる複数個の平行突出片２０が形成されており、かかる突出片２０間に後収容溝１８が規定されている。後収容溝１８の各々の上下方向位置及び上下方向幅は、右収容溝１４及び左収容溝１６の各々の上下方向位置及び上下方向幅と合致せしめられている。所望ならば、後壁６の左右方向中央領域のみならず後壁６の左右方向全体に渡って延びる後収容溝１８を形成することもできる。
【００１７】
図３には、図１及び図２に図示する収容カセットに収容される、それ自体は周知の形態であるフレーム２２が図示されている。適宜の合成樹脂或いは金属薄板から形成することができるフレーム２２の中央には円形の開口２４が形成されており、この開口２４内には略円形のウエーハ２６が装着されている。更に詳述すると、フレーム２２の裏面及びウエーハ２６の裏面には連続して延在する装着テープ２８が貼着されており、かかる装着テープ２８を介してフレーム２２にウエーハ２６が装着されている。
【００１８】
図１及び図２に二点鎖線２２Ａで示すとおり、フレーム２２は、収容カセットの開放されている前面から収容カセット内に挿入して、その右側部を特定の右収容溝１４に収容し、その左側部を特定の右収容溝１４に対応する特定の左収容溝１６に収容し、そして更にその後端部を特定の右収容溝１４及び特定の左収容溝１６に対応する特定の後収容溝１８に収容することによって、収容カセットに収容される。一方、図１及び図２に二点鎖線２２Ｂで示すとおり、特定の右収容溝１４に対応する特定の左収容溝１６の選定を誤って、例えば１個下の左収容溝１６を選定して収容カセットにフレーム２２を収容せんとした場合、フレーム２２は左に向かって下方に傾斜する状態で収容カセットに挿入される。この場合、フレーム２２が傾斜した状態で収容カセットに挿入される故に、後壁６に形成されている後収容溝１８にフレーム２２の後端部を収容することができず、図１に二点鎖線２２Ｂで示す如く、フレーム２２の前端の位置が正常位置よりも前方になり、フレーム２２の前端部が例えば収容カセットの前面から前方に突出してしまう事態が発生する。それ故に、操作者は左収容溝１６（或いは右収容溝１４）の選定を誤ったことを明確に認識することができ、左収容溝１６（或いは右収容溝１４）の選定を是正し、適切な左収容溝１６（或いは右収容溝１４）を選定してフレーム２２を所要とおりに収容カセットに挿入することができる。かくして、左収容溝１６（或いは右収容溝１４）の設定を誤って不適切な状態、即ち左右方向に傾斜した状態、でフレームを収容カセット内に挿入してしまうことが確実に防止される。
【００１９】
以上、添付図面を参照して、本発明に従って構成された収容カセットの好適実施形態について詳細に説明したが、本発明はかかる実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲を逸脱することなく種々の修正乃至変形が可能であることは多言を要しない。例えば、ウエーハが装着されたフレームを収容する収容カセットについて説明したが、本発明はウエーハそれ自体を直接的に収容する収容カセットにも適用できるものである。
【符号の説明】
【００２０】
２：右側壁
４：左側壁
６：後壁
８：上壁
１０：下壁
１４：右収容溝
１６：左収容溝
１８：後収容溝
２０：突出片
２２：フレーム
２６：ウエーハ
２８：装着テープ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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