(57)【要約】      （修正有）【課題】プランジャに対する圧縮コイルばねの座屈方向及び座屈角度を決定できるようにし、従来例よりも小さな接触圧でプランジャとバレル及び圧縮コイルばねとバレルとを接触させ、プローブピンの円滑で確実な作動を確保しつつ、プローブピンの耐久性を向上させる。【解決手段】圧縮コイルばね４は、その中心軸２３に直交する仮想平面を平面視したと仮定した場合、プランジャ３がコイル２２の端部に乗せられた際に、第１象限で、コイル２２の先端がプランジャ３の突起１７の側面１７ａとプランジャ４の端面１６に突き当って位置決めされ、第２象限で、コイル２２の外表面が突起１７の先端面１７ｂに当接し、第３象限乃至第４象限の範囲内で、コイル２２の外表面が端面１６に当接しないように隙間が設けられることによって、座屈方向及び座屈角度が定められる。【選択図】図４
2014102103.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
筒状の導電性を有するバレルと、
前記バレルの内部の端部側に大径部がスライド可能に収容され、小径部が前記バレルの
端部側から外方へ突出するようになっている導電性を有するプランジャと、
前記バレルの内部に収容され、前記プランジャを前記バレルから押し出す方向へ付勢す
る圧縮コイルばねと、
前記バレルの端部に位置し、前記圧縮コイルばねによって付勢された前記プランジャの
前記大径部の端部に当接して、前記プランジャが前記圧縮コイルばねのばね力で前記バレ
ルから押し出されるのを防止するストッパと、
を備えたプローブピンであって、
前記プランジャのうちの前記バレルの内部に位置する内側端部は、前記圧縮コイルばね
に対向する端面と、この端面よりも前記バレルの内方へ向かって出っ張る突起と、を有し
、
前記圧縮コイルばねは、
前記圧縮コイルばねの中心軸に直交する仮想平面を平面視したと仮定した場合、
前記プランジャが前記圧縮コイルばねを押し縮めた状態で前記バレルの内部に収容され
る過程において、前記中心軸を中心とする第１象限乃至第４象限のうちの第１象限と第２
象限のいずれか一方で、コイルの先端が前記突起の側面と前記端面に突き当って位置決め
され、前記第１象限と前記第２象限のいずれか他方で、前記コイルの外表面が前記突起の
先端面に当接し、前記第１象限乃至第４象限のうちの第３象限乃至第４象限の範囲内で、
前記コイルの外表面が前記端面に当接しない状態があり、
少なくとも、前記プランジャが前記圧縮コイルばねを押し縮めた状態で前記バレルの内
部に収容された段階において、前記中心軸を中心とする第１象限乃至第４象限のうちの第
１象限と第２象限のいずれか一方で、コイルの先端が前記突起の側面と前記端面に突き当
って位置決めされ、前記第１象限と前記第２象限のいずれか他方で、前記コイルの外表面
が前記突起の先端面に当接し、且つ、前記第１象限乃至第４象限のうちの第３象限乃至第
４象限の範囲内で、前記コイルの外表面が前記端面に当接することにより、
前記バレルの内部における座屈方向と座屈角度が定められ、前記プランジャを前記バレ
ルの内壁面に押し付け、座屈した状態で前記バレルに当接するようになっている、
ことを特徴とするプローブピン。
【請求項２】
筒状の導電性を有するバレルと、
前記バレルの内部の一端側に大径部がスライド可能に収容され、小径部が前記バレルの
一端側から外方へ突出するようになっている導電性を有する第１プランジャと、
前記バレルの内部の他端側に大径部がスライド可能に収容され、小径部が前記バレルの
他端側から外方へ突出するようになっている導電性を有する第２プランジャと、
前記バレルの内部で且つ前記第１プランジャと前記第２プランジャとの間に収容され、
前記第１プランジャと前記第２プランジャを前記バレルから押し出す方向へ付勢する圧縮
コイルばねと、
前記バレルの一端部に位置し、前記圧縮コイルばねによって付勢された前記第１プラン
ジャの前記大径部の端部に当接して、前記第１プランジャが前記圧縮コイルばねのばね力
で前記バレルから押し出されるのを防止する第１ストッパと、
前記バレルの他端部に位置し、前記圧縮コイルばねによって付勢された前記第２プラン
ジャの前記大径部の端部に当接して、前記第２プランジャが前記圧縮コイルばねのばね力
で前記バレルから押し出されるのを防止する第２ストッパと、
を備えたプローブピンであって、
前記第１プランジャ及び前記第２プランジャのうちの前記バレルの内部に位置する内側
端部は、前記圧縮コイルばねに対向する端面と、この端面よりも前記バレルの内方へ向か
って出っ張る突起と、を有し、
前記圧縮コイルばねは、
前記圧縮コイルばねの中心軸に直交する仮想平面を平面視したと仮定した場合、
前記第１プランジャ及び前記第２プランジャが前記圧縮コイルばねを押し縮めた状態で
前記バレルの内部に収容される過程において、前記中心軸を中心とする第１象限乃至第４
象限のうちの第１象限と第２象限のいずれか一方で、コイルの先端が前記突起の側面と前
記端面に突き当って位置決めされ、前記第１象限と前記第２象限のいずれか他方で、前記
コイルの外表面が前記突起の先端面に当接し、前記第１象限乃至第４象限のうちの第３象
限乃至第４象限の範囲内で、前記コイルの外表面が前記端面に当接しない状態があり、
少なくとも、前記第１プランジャ及び前記第２プランジャが前記圧縮コイルばねを押し
縮めた状態で前記バレルの内部に収容された段階において、前記中心軸を中心とする第１
象限乃至第４象限のうちの第１象限と第２象限のいずれか一方で、コイルの先端が前記突
起の側面と前記端面に突き当って位置決めされ、前記第１象限と前記第２象限のいずれか
他方で、前記コイルの外表面が前記突起の先端面に当接し、且つ、前記第１象限乃至第４
象限のうちの第３象限乃至第４象限の範囲内で、前記コイルの外表面が前記端面に当接す
ることにより、
前記バレルの内部における座屈方向と座屈角度が定められ、前記第１プランジャ及び前
記第２プランジャを前記バレルの内壁面に押し付け、座屈した状態で前記バレルに当接す
るようになっている、
ことを特徴とするプローブピン。
【請求項３】
絶縁性材料で形成されたプローブピン収容体と、
前記プローブピン収容体に形成された複数のプローブピン収容穴に収容される請求項１
又は２に記載のプローブピンと、
を備えたことを特徴とするプローブピンユニット。
【請求項４】
基板上に設置されるソケット本体と、
前記ソケット本体内に収容される請求項３に記載のプローブピンユニットと、
前記プローブピンユニットの前記プローブピン収容穴に収容された前記プローブピンの
一端部にＩＣパッケージの端子を押圧し、前記ＩＣパッケージの前記端子と前記基板の通
電用電極とを前記プローブピンを介して電気的に接続できるようにするＩＣパッケージ押
圧手段と、
を備えたことを特徴とするＩＣソケット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、ＩＣパッケージの電気的テストに使用されるプローブピン、このプローブ
ピンを収容してなるプローブピンユニット、及びこのプローブピンユニットを備えたＩＣ
ソケットに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、ＩＣパッケージの電気的テストを行うために使用されるＩＣソケットは、ソ
ケット本体内に複数収容したプローブピンの一端側にＩＣパッケージの端子を押し付け、
ＩＣパッケージと外部電気的テスト回路とをプローブピンを介して電気的に接続するよう
になっている。
【０００３】
図１５は、このようなＩＣソケット１００に使用されるプローブピン１０１を示すもの
である。この図１５に示すプローブピン１０１は、導電性金属部材で形成された有底筒状
体（バレル）１０２と、この有底筒状体１０２の内部に収容された導電性金属部材で形成
された圧縮コイルばね１０３と、有底筒状体１０２の内部にスライド可能に収容され且つ
圧縮コイルばね１０３によって有底筒状体１０２の外方へ向けて常時付勢されるようにな
っているプランジャ１０４と、を備えている。
【０００４】
この図１５に示すプローブピン１０１において、プランジャ１０４は、大径部１０５の
一端側に小径部１０８が一体に形成され、この小径部１０８が有底筒状体１０２の開口部
１０６から外方へ突出するようになっている。また、プランジャ１０４は、大径部１０５
の他端側の面がプローブピン１０１の中心軸１１０に対して斜めに交差する傾斜面１１１
であり、その傾斜面１１１が圧縮コイルばね１０３のばね力によって常時押圧されている
ため、大径部１０５の外周面が有底筒状体１０２の内面に押し付けられると共に、大径部
１０５の一端側が有底筒状体１０２の縮径変形させられた開口部１０６の縁（ストッパ）
１０７に押し付けられている。このようなプローブピン１０１と同様の構造のものが、特
許文献１に開示されている。
【０００５】
図１５に示すように、プローブピン１０１は、例えば、ソケット本体１１２内に収容さ
れ、有底筒状体１０２の突起１１３が基板１１４の通電用電極１１５に接触し、プランジ
ャ１０４の小径部１０８の先端にＩＣパッケージ１１６の端子１１７が押し付けられるこ
とにより、プランジャ１０４が圧縮コイルばね１０３を押し縮めて有底筒状体１０２内に
押し込まれる。この際、圧縮コイルばね１０３は、プランジャ１０４によって押されて座
屈しており、その先端でプランジャ１０４の傾斜面１１１を押圧し、プランジャ１０４の
大径部１０５の外周面を有底筒状体１０２の内面に押し付けるようになっている。その結
果、ＩＣパッケージ１１６の端子１１７と基板１１４の通電用電極１１５（外部電気的テ
スト回路）は、プランジャ１０４と有底筒状体１０２を介して電気的に接続される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特許第３１９５２９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、図１５に示した従来のプローブピン１０１は、プランジャ１０４が有底
筒状体１０２内に押し込まれた際に、プランジャ１０４が圧縮コイルばね１０３との接触
部で滑りを生じ、プランジャ１０４が有底筒状体１０２の内面に当接するまで移動し、プ
ランジャ１０４が圧縮コイルばね１０３のばね力によって有底筒状体１０２の内面に押し
付けられるようにするため、傾斜面１１１の傾斜角度αを１０°〜３０°に設定している
。また、この従来のプローブピン１０１において、圧縮コイルばね１０３は、コイル１１
８の端部の片側だけがプランジャ１０４で押され、有底筒状体１０２内で座屈させられる
ようになっている。その結果、図１５に示した従来のプローブピン１０１は、プランジャ
１０４と有底筒状体１０２との接触部分及び圧縮コイルばね１０３と有底筒状体１０２と
の接触部分の摩擦力が大きくなりすぎ、これら接触部分の擦れ合いによって摩耗が生じ、
耐久性が低下するという問題を生じる。しかも、この従来のプローブピン１０１は、圧縮
コイルばね１０３の座屈角度が大きくなりすぎると、座屈した圧縮コイルばね１０３と有
底筒状体１０２との接触部分において滑り運動ができなくなり（スタックが生じ）、プラ
ンジャ１０４の円滑な作動が不可能になるという問題を生じる。
【０００８】
このような問題を解決するには、圧縮コイルばね１０３の座屈角度を小さくし、プラン
ジャ１０４と有底筒状体１０２との接触圧及び圧縮コイルばね１０３と有底筒状体１０２
との接触圧をなるべく小さく抑えた状態で、プランジャ１０４と有底筒状体１０２とを確
実に接触させる必要がある。
【０００９】
しかし、図１５に示した従来のプローブピン１０１は、圧縮コイルばね１０３の端部と
プランジャ１０４の傾斜面１１１との接触位置を定める手段（位置決め手段）がないため
、圧縮コイルばね１０３の端部とプランジャ１０４の傾斜面１１１との接触位置が製品毎
にばらつきを生じる。その結果、図１５に示した従来のプローブピン１０１は、圧縮コイ
ルばね１０３の中心軸１１０に直交する仮想平面を平面視したと仮定し、例えば、図１６
に示すように、圧縮コイルばね１０３のコイル１１８の先端１１８ａが第１象限にある場
合と、図１７に示すように、圧縮コイルばね１０３のコイル１１８の先端１１８ａが第３
象限にある場合（圧縮コイルばね１０３のコイル１１８の先端１１８ａが図１６の圧縮コ
イルばね１０３のコイル１１８の先端１１８ａと１８０°異なる場合）とを比較すると、
プランジャ１０４と圧縮コイルばね１０３の最初の接触位置１２０が異なり、有底筒状体
１０２内における圧縮コイルばね１０３の押し縮められ量（δ）が異なっている（図１８
参照）。なお、図１６〜図１８は、圧縮コイルばね１０３の端部にプランジャ１０４を乗
せただけの（プランジャ１０４の自重だけが作用している）状態であって、圧縮コイルば
ね１０３を押し縮めてない状態を示している。また、図１８において、実線で示す圧縮コ
イルばね１０３は、図１６の圧縮コイルばね１０３に対応し、仮想線で示す圧縮コイルば
ね１０３は、図１７の圧縮コイルばね１０３に対応している。
【００１０】
また、図１５に示した従来のプローブピン１０１において、圧縮コイルばね１０３とプ
ランジャ１０４の接触状態は、図１９に示すように、プランジャ１０４の押し込み量（圧
縮コイルばね１０３の押し縮められ量）に応じて変化する。
【００１１】
すなわち、従来のプローブピン１０１は、図１９（ａ−１，ａ−２）に示すように、圧
縮コイルばね１０３の端部にプランジャ１０４が自重のみで乗った状態において、プラン
ジャ１０４と圧縮コイルばね１０３が１箇所Ｓ１０で接触している。次に、図１９（ｂ−
１，ｂ−２）に示すように、プランジャ１０４を少し押し込んで圧縮コイルばね１０３を
押し縮めた状態において、プランジャ１０４と圧縮コイルばね１０３が２箇所Ｓ１０，Ｓ
１１で接触している。次に、図１９（ｃ−１，ｃ−２）に示すように、プランジャ１０４
を更に押し込んで（図１９（ｂ−１）の状態から更にプランジャ１０４を押し込んで）圧
縮コイルばね１０３を押し縮めた状態において、プランジャ１０４と圧縮コイルばね１０
３とが２箇所Ｓ１０，Ｓ１１で接触しているものの、図１９（ｂ−２）の第２の接触箇所
Ｓ１１が第１の接触箇所Ｓ１０側へ近づくように移動している。その結果、図１９（ｃ−
１，ｃ−２）の圧縮コイルばね１０３の座屈方向は、図１９（ｂ−１，ｂ−２）の圧縮コ
イルばね１０３の座屈方向と異なっている。また、このように、プランジャ１０４に対す
る圧縮コイルばね１０３の座屈方向が異なると、プランジャ１０４の傾斜面１１１と圧縮
コイルばね１０３との接触状態が異なり、座屈角度が異なることになる。
【００１２】
しかも、圧縮コイルばね１０３として、例えば、クローズドエンド（無研削）のものは
、コイル１１８の端部の接地角度（コイル１１８の外表面と仮想水平面Ｈとのなす角度）
βが５°程度である（図１６，図１７参照）。したがって、図１５に示す従来のプローブ
ピン１０１は、プランジャ１０４の傾斜面１１１と圧縮コイルばね１０３との接触位置１
２０が異なる図１６の場合と図１７の場合とを比較すると、図１６の場合における圧縮コ
イルばね１０３のコイル１１８の端部とプランジャ１０４の傾斜面１１１とのなす角度θ
がα＋βとなり、図１７の場合における圧縮コイルばね１０３のコイル１１８の端部とプ
ランジャ１０４の傾斜面１１１とのなす角度θがα−βとなり、図１６の場合の方が図１
７の場合よりも角度θが大きくなる。その結果、従来のプローブピン１０１は、例えば、
図１６におけるプランジャ１０４の傾斜面１１１と圧縮コイルばね１０３との接触位置１
２０を基準にプランジャ１０４の傾斜面１１１の傾斜角度αや角度θを設計したとしても
、組立時や使用中に、図１７におけるプランジャ１０４の傾斜面１１１と圧縮コイルばね
１０３との接触位置１２０へ変化すると、圧縮コイルばね１０３のコイル１１８の端部と
プランジャ１０４の傾斜面１１１とのなす角度θが小さくなりすぎて、プランジャ１０４
の外表面と有底筒状体１０２の内面とが接触不良になる虞がある。一方、従来のプローブ
ピン１０１は、例えば、図１７におけるプランジャ１０４の傾斜面１１１と圧縮コイルば
ね１０３との接触位置１２０を基準にプランジャ１０４の傾斜面１１１の傾斜角度αや角
度θを設計したとしても、組立時や使用中に、図１６におけるプランジャ１０４の傾斜面
１１１と圧縮コイルばね１０３との接触位置１２０へ変化すると、圧縮コイルばね１０３
のコイル１１８の端部とプランジャ１０４の傾斜面１１１とのなす角度θが大きくなりす
ぎて（圧縮コイルばね１０３の座屈角度が大きくなりすぎて）、プランジャ１０４と有底
筒状体１０２との接触部分及び圧縮コイルばね１０３と有底筒状体１０２との接触部分の
摩擦力が大きくなりすぎ、これら接触部分の擦れ合いによって摩耗が生じ、耐久性が低下
したり、圧縮コイルばね１０３が有底筒状体１０２の内面との接触部分でスタックすると
いう問題を生じる。なお、圧縮コイルばね１０３の座屈が圧縮コイルばね１０３のコイル
１１８の端部とプランジャ１０４の傾斜面１１１とのなす角度θによって定まるため、角
度θを座屈角度と呼ぶこととする。
【００１３】
このように、図１５に示した従来のプローブピン１０１は、圧縮コイルばね１０３の座
屈角度θを所望の角度に設計することが困難であり、プランジャ１０４と有底筒状体１０
２との接触部分の接触圧及び圧縮コイルばね１０３と有底筒状体１０２との接触部分の接
触圧を所望の数値範囲に設計することが困難であった。
【００１４】
そこで、本発明は、プランジャに対する圧縮コイルばねの座屈方向及び座屈角度を定め
ることができるようにし、従来例よりも小さな接触圧でプランジャとバレル及び圧縮コイ
ルばねとバレルとを接触させ、プローブピンの円滑で確実な作動を確保しつつ、プローブ
ピンの耐久性を向上させることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明は、図１〜３，４，６，７及び９に示すように、（１）筒状の導電性を有するバ
レル２と、（２）前記バレル２の内部の端部側に大径部１１がスライド可能に収容され、
小径部１２が前記バレル２の端部側から外方へ突出するようになっている導電性を有する
プランジャ３と、（３）前記バレル２の内部に収容され、前記プランジャ３を前記バレル
２から押し出す方向へ付勢する圧縮コイルばね４と、（４）前記バレル２の端部に位置し
、前記圧縮コイルばね４によって付勢された前記プランジャ３の前記大径部１１の端部に
当接して、前記プランジャ３が前記圧縮コイルばね４のばね力で前記バレル２から押し出
されるのを防止するストッパ６と、を備えたプローブピン１に関するものである。
【００１６】
この発明において、前記プランジャ３のうちの前記バレル２の内部に位置する内側端部
は、前記圧縮コイルばね４に対向する端面１６と、この端面１６よりも前記バレル２の内
方へ向かって出っ張る突起１７と、を有している。
【００１７】
また、前記圧縮コイルばね４は、
・前記圧縮コイルばね４の中心軸２３に直交する仮想平面を平面視したと仮定した場合
、
・前記プランジャ３が前記圧縮コイルばね４を押し縮めた状態で前記バレル２の内部に
収容される過程において、前記中心軸２３を中心とする第１象限乃至第４象限のうちの第
１象限と第２象限のいずれか一方で、コイル２２の先端２２ａが前記突起１７の側面１７
ａと前記端面１６に突き当って位置決めされ、前記第１象限と前記第２象限のいずれか他
方で、前記コイル２２の外表面が前記突起１７の先端面１７ｂに当接し、前記第１象限乃
至第４象限のうちの第３象限乃至第４象限の範囲内で、前記コイル２２の外表面が前記端
面１６に当接しない状態があり、
・少なくとも、前記プランジャ３が前記圧縮コイルばね４を押し縮めた状態で前記バレ
ル２の内部に収容された段階において、前記中心軸２３を中心とする第１象限乃至第４象
限のうちの第１象限と第２象限のいずれか一方で、コイル２２の先端２２ａが前記突起１
７の側面１７ａと前記端面１６に突き当って位置決めされ、前記第１象限と前記第２象限
のいずれか他方で、前記コイル２２の外表面が前記突起１７の先端面１７ｂに当接し、且
つ、前記第１象限乃至第４象限のうちの第３象限乃至第４象限の範囲内で、前記コイル２
２の外表面が前記端面１６に当接することにより、
・前記バレル２の内部における座屈方向と座屈角度が定められ、前記プランジャ３を前
記バレル２の内壁面２ａに押し付け、座屈した状態で前記バレルに当接するようになって
いる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明は、プランジャに対する圧縮コイルばねの座屈方向及び座屈角度を定めることが
できるようにし、従来例よりも小さな接触圧でプランジャとバレル及び圧縮コイルばねと
バレルとを接触させ、プローブピンの円滑で確実な作動を確保しつつ、プローブピンの耐
久性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の実施形態に係るプローブピンを示すものであり、図１（ａ）がプローブピンの正面図であり、図１（ｂ）が図１（ａ）のプローブピンの上方から下方（−Ｚ方向）へ向かって見た状態を示す図（プローブピンの上面図）であり、図１（ｃ）が図１（ａ）のプローブピンの下方から上方（＋Ｚ方向）へ向かって見た状態を示す図（プローブピンの下面図）である。
【図２】図１（ａ）のＡ１−Ａ１線に沿ってバレルを破断した状態のプローブピンの図であり、プローブピンの内部構造を示す図である。
【図３】プランジャの端部形状を示す図であり、図３（ａ）がプランジャの端部側正面図であり、図３（ｂ）がプランジャの端部側下面図（端面図）である。
【図４】第１プランジャを圧縮コイルばねの一端部に乗せた状態を示す図であり、図４（ａ）が第１プランジャと圧縮コイルばねの一端部との関係を示す正面図であり、図４（ｂ）が第１プランジャと圧縮コイルばねの一端部との関係を示す平面図（ただし、第１プランジャを仮想線で示した平面図）である。
【図５】圧縮コイルばねの他端部を第２プランジャに乗せた状態を示す図であり、図５（ａ）が第２プランジャと圧縮コイルばねの他端部との関係を示す正面図であり、図５（ｂ）が第２プランジャと圧縮コイルばねの他端部との関係を示す平面図である。
【図６】プローブピン１の組立手順の一例を示す図である。
【図７】図７（ａ）は、図２のプローブピンにおける第１プランジャと圧縮コイルばねの一端部との関係を示す正面図である。図７（ｂ）は、図２のプローブピンにおける第１プランジャと圧縮コイルばねの一端部との関係を示す平面図（ただし、第１プランジャを仮想線で示した平面図）である。
【図８】図８（ａ）は、図２のプローブピンにおける第２プランジャと圧縮コイルばねの他端部との関係を示す正面図である。図８（ｂ）は、図２のプローブピンにおける第２プランジャと圧縮コイルばねの他端部との関係を示す平面図である。
【図９】図９（ａ）は、第１プランジャの突起の先端面と圧縮コイルばねのコイルの外表面との間に微小隙間が生じた状態を示す図である。図９（ｂ）は、第１プランジャの端面と圧縮コイルばねのコイルの先端との間に微小隙間が生じた状態を示す図である。
【図１０】第１プランジャ及び第２プランジャにおける端面側形状の第１の変形例を示す図であり、図１０（ａ）が第１プランジャ及び第２プランジャにおける端面側形状の正面図であり、図１０（ｂ）が第１プランジャ及び第２プランジャにおける端面側形状の下面図であり、図１０（ｃ）が図１０（ａ）に示した端面側形状の変形例を示す図である。
【図１１】第１プランジャ及び第２プランジャにおける端面側形状の第２の変形例を示す図であり、図１１（ａ）が第１プランジャ及び第２プランジャにおける端面側形状の正面図であり、図１１（ｂ）が第１プランジャ及び第２プランジャにおける端面側形状の下面図であり、図１１（ｃ）が図１１（ａ）に示した端面側形状の変形例を示す図である。
【図１２】第１プランジャ及び第２プランジャにおける端面側形状の第３の変形例を示す図であり、図１２（ａ）が第１プランジャ及び第２プランジャにおける端面側形状の正面図であり、図１２（ｂ）が第１プランジャ及び第２プランジャにおける端面側形状の下面図（又は平面図）である。
【図１３】第１プランジャ及び第２プランジャにおける端面側形状の第４の変形例を示す図であり、図１３（ａ）が第１プランジャ及び第２プランジャにおける端面側形状の正面図であり、図１３（ｂ）が第１プランジャ及び第２プランジャにおける端面側形状の下面図（又は平面図）である。
【図１４】本発明の実施形態に係るプローブピンを複数収容してなるプローブピンユニット、及びこのプローブピンユニットを備えたＩＣソケットを示す図（模式的に示すＩＣソケットの要部断面図）である。
【図１５】従来のプローブピンを示す図（有底筒状体を破断して示す構造図）である。
【図１６】従来のプローブピンにおけるプランジャと圧縮コイルばねとの第１の状態を示す図であり、図１６（ａ）がプランジャと圧縮コイルばねとの第１の状態を示す正面図であり、図１６（ｂ）がプランジャと圧縮コイルばねとの第１の状態を示す平面図（ただし、プランジャを仮想線で示した平面図）である。
【図１７】従来のプローブピンにおけるプランジャと圧縮コイルばねとの第２の状態を示す図であり、図１７（ａ）がプランジャと圧縮コイルばねとの第２の状態を示す正面図であり、図１７（ｂ）がプランジャと圧縮コイルばねとの第２の状態を示す平面図（ただし、プランジャを仮想線で示した平面図）である。
【図１８】図１６（ａ）におけるプランジャと圧縮コイルばねとの第１の状態を示す図（実線で示す図）に、図１７（ａ）におけるプランジャと圧縮コイルばねとの第２の状態を示す図（仮想線で示す図）を重ね合わせて示す図であり、圧縮コイルばねのコイルの先端位置を一致させるようにして示す図である。
【図１９】従来のプローブピンにおけるプランジャと圧縮コイルばねの接触状態を示す図である。図１９（ａ−１）は、プランジャが自重のみで圧縮コイルばねに接触した状態を示す正面図である。図１９（ａ−２）は、図１９（ａ−１）の圧縮コイルばねを平面視した状態を示す図であり、プランジャとの接触点を示す図である。図１９（ｂ−１）は、プランジャを押し込んで圧縮コイルばねを押し縮めた状態を示す正面図である。図１９（ｂ−２）は、図１９（ｂ−１）の圧縮コイルばねを平面視した状態を示す図であり、プランジャとの接触点を示す図である。図１９（ｃ−１）は、プランジャを更に押し込んで圧縮コイルばねを更に押し縮めた状態を示す正面図である。図１９（ｃ−２）は、図１９（ｃ−１）の圧縮コイルばねを平面視した状態を示す図であり、プランジャとの接触点を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づき詳述する。
【００２１】
（プローブピンの構造）
図１乃至図２は、本実施形態に係るプローブピン１を示すものである。なお、図１にお
いて、図１（ａ）がプローブピン１の正面図であり、図１（ｂ）が図１（ａ）のプローブ
ピン１の上方から下方（−Ｚ方向）へ向かって見た状態を示す図（プローブピン１の上面
図）であり、図１（ｃ）が図１（ａ）のプローブピン１の下方から上方（＋Ｚ方向）へ向
かって見た状態を示す図（プローブピン１の下面図）である。また、図２は、図１（ａ）
のＡ１−Ａ１線に沿ってバレル２を破断した状態のプローブピン１の図であり、プローブ
ピン１の内部構造を示す図である。
【００２２】
これらの図に示すように、プローブピン１は、バレル２の内部に第１プランジャ３，圧
縮コイルばね４及び第２プランジャ５を収容し、バレル２の一端部側に第１ストッパ６を
有し、バレル２の他端部側に第２ストッパ７を有している。
【００２３】
図１乃至図２に示すように、バレル２は、導電性金属材料で円筒状に形成されている。
このバレル２は、一端部側が端部（上端部）へ向かうに従って直径を漸減するようなテー
パ状に縮径変形させられることにより、第１ストッパ６が一体に形成されている。また、
このバレル２は、他端部側が端部（下端部）へ向かうに従って直径を漸減するようなテー
パ状に縮径変形させられることにより、第２ストッパ７が一体に形成されている。その結
果、バレル２は、一端部側の開口部８の内径及び他端部側の開口部１０の内径が他部の内
径よりも小さくなっている。なお、バレル２は、第１ストッパ６及び第２ストッパ７を除
いた部分が同一内径となるように、パイプ状の導電性金属材料を素材として形成されてい
る。
【００２４】
図１乃至図２に示すように、第１プランジャ３は、丸棒状の導電性金属材料で形成され
、大径部１１と小径部１２とを有している。この第１プランジャ３は、大径部１１がバレ
ル２の内部にスライド可能に収容され、小径部１２がバレル２の一端部側の開口部８から
バレル２の外方へ突出するようになっている。また、この第１プランジャ３の小径部１２
の先端は、ＩＣパッケージ１３の端子１４に確実に接触させるため（図１４参照）、複数
の突起でクラウン状に形成されている。また、この第１プランジャ３の大径部１１と小径
部１２は、テーパ状の接続部分１５によって滑らかに接続されている。また、この第１プ
ランジャ３は、大径部１１の端面１６（圧縮コイルばね４に対向する側の端面１６）に突
起１７が一体に形成されている（図３参照）。
【００２５】
図２及び図３に示すように、突起１７は、端面１６から第１プランジャ３の中心軸１８
に沿って（バレル２の中心軸２０に沿って）突出しており、端面１６を平面視した場合（
図３の下方から＋Ｚ軸方向へ向かって見た場合）、Ｘ軸方向に沿った中心線Ｃ１と平行な
弦２１であって、且つ、＋Ｙ軸方向に沿った第１プランジャ３の大径部１１の半径を２分
するように位置する弦（突起１７の端縁）２１によって、端面１６と区画されている。ま
た、突起１７は、圧縮コイルばね４がクローズドエンド（無研削）の場合、圧縮コイルば
ね４のコイル２２の先端（上端）２２ａが突起１７の側面１７ａに突き当たると共に圧縮
コイルばね４のコイル２２の先端２２ａが端面１６に当接するように、第１プランジャ３
が圧縮コイルばね４の端部に乗せられ、且つ、第１プランジャ３の中心軸１８と圧縮コイ
ルばね４の中心軸２３とを同心となるように合わせた際に、突起１７の先端面１７ｂが圧
縮コイルばね４のコイル２２の外表面に当接する突出高さに形成されている（図４参照）
。この際の第１プランジャ３と圧縮コイルばね４の接触状態は、図４に示すように、圧縮
コイルばね２２の中心軸２３に直交する仮想平面を平面視したと仮定した場合、中心軸２
３を中心とする第１象限において、圧縮コイルばね４のコイル２２の先端２２ａが第１プ
ランジャ３の突起１７の側面１７ａと端面１６に当接し、中心軸２３を中心とする第２象
限において、圧縮コイルばね４のコイル２２の外表面が第１プランジャ３の突起１７の先
端面１７ｂに当接し、中心軸２３を中心とする第３象限及び第４象限において、第１プラ
ンジャ３と圧縮コイルばね４とが接触していない。すなわち、中心軸２３を中心とする第
３象限及び第４象限において、第１プランジャ３の端面１６と圧縮コイルばね４のコイル
２２の外表面との間には角度θ分の隙間が生じるようになっている。これによって、圧縮
コイルばね４のプランジャ３に対する座屈方向が一義的に定められる。また、この第１プ
ランジャ３の端面１６と圧縮コイルばね４のコイル２２の外表面との間における角度θ分
の隙間に応じ、圧縮コイルばね４の座屈角度が定められるようになっている（図４（ａ）
参照）。なお、座屈方向は、圧縮コイルばね４とプランジャ３との接触点Ｓ１，Ｓ２を結
ぶ仮想直線の中間と圧縮コイルばね４の中心軸２３とを結ぶ線分Ｆａの方向となっている
。また、本実施形態においては、圧縮コイルばね４のコイル２２の先端２２ａと第１プラ
ンジャ３の突起１７の側面１７ａとの当接位置を、説明の便宜上、第１象限としている。
【００２６】
図２に示すように、第２プランジャ５は、丸棒状の導電性金属材料で形成され、大径部
２４と小径部２５とを有している。この第２プランジャ５は、大径部２４がバレル２の内
部にスライド可能に収容され、小径部２５がバレル２の他端部側の開口部１０からバレル
２の外方へ突出するようになっている。また、この第２プランジャ５の小径部２５の先端
側は、基板２６の通電用電極２７に確実に接触させるため、略円錐形状に形成されている
（図１４参照）。また、この第２プランジャ５の大径部２４と小径部２５は、テーパ状の
接続部分２８によって滑らかに接続されている。また、この第２プランジャ５は、大径部
２４の端面３０（圧縮コイルばね４に対向する側の端面３０）に突起３１が一体に形成さ
れている。
【００２７】
図２及び図３に示すように、突起３１は、端面３０から第２プランジャ５の中心軸３２
に沿って（バレル２の中心軸２０に沿って）突出しており、端面３０を平面視した場合（
図２の上方から−Ｚ軸方向へ向かって見た場合）、Ｘ軸方向に沿った中心線Ｃ１と平行な
弦３３であって、且つ、＋Ｙ軸方向に沿った第２プランジャ５の大径部２４の半径を２分
するように位置する弦（突起３１の端縁）３３によって、端面３０と区画されている。ま
た、突起３１は、圧縮コイルばね４がクローズドエンド（無研削）の場合、圧縮コイルば
ね４のコイル２２の先端（下端）２２ｂが突起３１の側面３１ａに突き当たると共に圧縮
コイルばね４のコイル２２の先端側外表面が端面３０に当接するように、圧縮コイルばね
４の端部が第２プランジャ５に乗せられ、且つ、第２プランジャ５の中心軸３２と圧縮コ
イルばね４の中心軸２３とを同心となるように合わせた際に、突起３１の先端面３１ｂが
圧縮コイルばね４のコイル２２の外表面に当接する突出高さに形成されている。この際の
第２プランジャ５と圧縮コイルばね４の接触状態は、図５に示すように、圧縮コイルばね
４の中心軸２３に直交する仮想平面を平面視したと仮定した場合、中心軸２３を中心とす
る第２象限において、圧縮コイルばね４のコイル２２の先端２２ｂが第２プランジャ５の
突起３１の側面３１ａと端面３０に当接し、中心軸２３を中心とする第１象限において、
圧縮コイルばね４のコイル２２の外表面が第２プランジャ５の突起３１の先端面３１ｂに
当接し、中心軸２３を中心とする第３象限及び第４象限において、第２プランジャ５と圧
縮コイルばね４とが接触していない。すなわち、中心軸２３を中心とする第３象限及び第
４象限において、第２プランジャ５の端面３０と圧縮コイルばね４のコイル２２の外表面
との間には隙間が生じるようになっている。これによって、圧縮コイルばね４の第２プラ
ンジャ５に対する座屈方向が一義的に定められる。そして、この第２プランジャ５の端面
３０と圧縮コイルばね４のコイル２２の外表面との間における角度θ分の隙間に応じ、圧
縮コイルばね４の座屈角度が定められるようになっている（図５（ａ）参照）。なお、座
屈方向は、圧縮コイルばね４と第２プランジャ５との接触点Ｓ３，Ｓ４を結ぶ仮想直線の
中間と圧縮コイルばね４の中心軸２３とを結ぶ線分Ｆｂの方向となっている。また、第２
プランジャ５の端面３０及び突起３１の形状は、第１プランジャ３の端面１６及び突起１
７の形状と同一である。そして、圧縮コイルばね４の一端部側の座屈角度と他端部側の座
屈角度が同一となるように、第１プランジャ３，第２プランジャ５，圧縮コイルばね４及
びバレル２が形成されている。
【００２８】
圧縮コイルばね４は、導電性金属材料で右巻きに形成されたものであって、クローズド
エンド（無研削）のものが使用されている。
【００２９】
なお、圧縮コイルばね４は、オープンエンド（無研削）のものを使用してもよい。但し
、この場合（圧縮コイルばね４がオープンエンド（無研削）の場合）、第１プランジャ３
の突起１７の高さ（端面１６からの中心軸１８に沿った高さ）と端面１６の形状及び第２
プランジャ５の突起３１の高さ（端面３０からの中心軸３２に沿った高さ）と端面３０の
形状は、圧縮コイルばね４の端部形状に合わせて決定する必要がある。
【００３０】
また、圧縮コイルばね４は、左巻きのものを使用してもよい。但し、この場合（圧縮コ
イルばね４が左巻きの場合）、圧縮コイルばね４のコイル２２の先端２２ａ側と第１プラ
ンジャ３との接触位置は、中心軸１８（２３）を中心とした第２象限である。また、第１
プランジャ３の突起１７の先端面１７ｂと圧縮コイルばね４のコイル２２の外表面との接
触位置は、中心軸１８（２３）を中心とした第１象限である。また、圧縮コイルばね４の
コイル２２の先端２２ｂ側と第２プランジャ５との接触位置は、中心軸３２（２３）を中
心とした第１象限である。また、第２プランジャ５の突起３１の先端面３１ｂと圧縮コイ
ルばね４のコイル２２の外表面との接触位置は、中心軸３２（２３）を中心とした第２象
限である。
【００３１】
（プローブピンの組立手順）
図６を参照して、プローブピン１の組立手順の一例を示す。先ず、図６（ａ）に示すよ
うに、第２ストッパ７が形成されたバレル２の内部には、第２プランジャ５の小径部２５
がバレル２の他端側の開口部１０からバレル２の外部に突出するように収容される。この
際、第２プランジャ５は、その大径部２５がバレル２の第２ストッパ７に当接した状態で
停止している。
【００３２】
次に、図６（ｂ）に示すように、バレル２の内部には、圧縮コイルばね４が収容される
。この圧縮コイルばね４は、他端側のコイル２２の先端２２ｂが第２プランジャ５の大径
部２４の端面３０に乗せられ、且つ第２プランジャ５の突起３１の側面３１ａに突き当て
られる。これによって、圧縮コイルばね４は、第２プランジャ５に対して位置決めされる
（図５参照）。また、圧縮コイルばね４は、コイル２２の外表面が突起３１の先端面３１
ｂに当接している（図５参照）。
【００３３】
次に、図６（ｃ）に示すように、バレル２の内部には、第１プランジャ３が大径部１１
を先に（下に）して挿入される。この際、第１プランジャ３は、その大径部１１の端面１
６を圧縮コイルばね４の一端側に乗せると共に、大径部１１の突起１７の側面１７ａを圧
縮コイルばね４のコイル２２の先端２２ａに突き当てる。これによって、第１プランジャ
３は、圧縮コイルばね４に対して位置決めされる（図４参照）。また、圧縮コイルばね４
は、コイル２２の外表面が突起１７の先端面１７ｂに当接している（図４参照）。
【００３４】
次に、図６（ｄ）〜（ｅ）に示すように、第１プランジャ３が圧縮コイルばね２２を押
し縮めながらバレル２の内部に所定量だけ押し込まれ、バレル２の一端部が縮径変形させ
られて第１ストッパ６が形成される。その後、第１プランジャ３をバレル２の内部に押し
込む力が解除されると、第１プランジャ３の大径部１１が圧縮コイルばね４のばね力で第
１ストッパ６に押し付けられる。これによって、プローブピン１の組立作業が完了する（
図２参照）。
【００３５】
そして、図７に示すように、プローブピン１の組立作業が完了した段階において、第１
プランジャ３と圧縮コイルばね４の接触状態は、圧縮コイルばね４の中心軸２３に直交す
る仮想平面を平面視したと仮定した場合、中心軸２３を中心とする第１象限において、圧
縮コイルばね４の一端部側におけるコイル２２の先端２２ａが第１プランジャ３の突起１
７の側面１７ａと端面１６に当接し、中心軸２３を中心とする第２象限において、圧縮コ
イルばね４のコイル２２の外表面が第１プランジャ３の突起１７の先端面１７ｂに当接し
、中心軸２３を中心とする第１象限，第４象限及び第３象限にわたる範囲（図７の円弧状
点線３４ａで示す範囲）内において、圧縮コイルばね４のコイル２２の外表面が第１プラ
ンジャ３の端面１６に線状に当接している。その結果、圧縮コイルばね４は、第１プラン
ジャ３によって座屈角度が所定角度（θ）に制限される。そして、座屈した圧縮コイルば
ね４は、一端部側から他端側方向へ向かって離れた位置でバレル２の内壁面２ａに当接し
、一端部側が第１プランジャ３をバレル２の内壁面２ａに押し付け、第１プランジャ３と
バレル２とを確実に接触させる（図２参照）。
【００３６】
また、図８に示すように、プローブピン１の組立作業が完了した段階において、第２プ
ランジャ５と圧縮コイルばね４の接触状態は、圧縮コイルばね４の中心軸２３に直交する
仮想平面を平面視したと仮定した場合、中心軸２３を中心とする第２象限において、圧縮
コイルばね４の他端部側におけるコイル２２の先端２２ｂが第２プランジャ５の突起３１
の側面３１ａと端面３０に当接し、中心軸２３を中心とする第１象限において、圧縮コイ
ルばね４のコイル２２の外表面が第２プランジャ５の突起３１の先端面３１ｂに当接し、
中心軸２３を中心とする第２象限から第４象限にわたる範囲（図８の円弧状点線３４ｂで
示す範囲）内において、圧縮コイルばね４のコイル２２の外表面が第２プランジャ５の端
面３０に線状に当接している。その結果、圧縮コイルばね４は、第２プランジャ５によっ
て座屈角度が所定角度（θ）に制限される。そして、座屈した圧縮コイルばね４は、他端
部側から一端側方向へ向かって離れた位置でバレル２の内壁面２ａに当接し、他端部側が
第２プランジャ５をバレル２の内壁面２ａに押し付け、第２プランジャ５とバレル２とを
確実に接触させる（図２参照）。
【００３７】
なお、図４（ａ）において、第１プランジャ３及び圧縮コイルばね４の製造誤差等によ
って、図９（ａ）に示すように、第１プランジャ３の突起１７の先端面１７ｂと圧縮コイ
ルばね４のコイル２２の外表面との間に微小隙間δ１が生じたり、図９（ｂ）に示すよう
に、第１プランジャ３の端面１６と圧縮コイルばね４のコイル２２の先端２２ａとの間に
微小隙間δ２が生じる場合がある。しかしながら、図６（ｃ）〜（ｄ）に示すプローブピ
ン１の組立過程において、圧縮コイルばね４が第１プランジャ３によって押し縮められる
ため、図９（ａ）に示した微小隙間δ１、又は図９（ｂ）に示した微小隙間δ２がなくな
り、図４（ａ）に示す状態になる。また、図５（ａ）において、第２プランジャ５及び圧
縮コイルばね４の製造誤差等によって、第２プランジャ５の突起３１の先端面３１ｂと圧
縮コイルばね４のコイル２２の外表面との間に微小隙間が生じたり、第２プランジャ５の
端面３０と圧縮コイルばね４のコイル２２の先端２２ｂとの間に微小隙間が生じたとして
も、図６（ｃ）〜（ｄ）に示すプローブピン１の組立過程において、圧縮コイルばね４が
第１プランジャ３によって押し縮められるため、上述の第１プランジャ３と圧縮コイルば
ね４との関係と同様に、上記微小隙間がなくなり、図５（ａ）に示す状態になる。
【００３８】
（プローブピンの作用・効果）
以上のように、本実施形態に係るプローブピン１は、圧縮コイルバネ４の一端側におけ
るコイル２２の先端２２ａと第１プランジャ３との接点を位置決めでき、圧縮コイルばね
４の第１プランジャ３に対する座屈方向を定めることができるため、圧縮コイルばね４の
一端側の座屈角度を所定角度（θ）に定めることができる。したがって、本実施形態に係
るプローブピン１は、従来例と比較して、第１プランジャ３とバレル２との接触圧及び圧
縮コイルばね４とバレル２との接触圧を小さくしても、第１プランジャ３とバレル２を確
実に接触させることができる。
【００３９】
また、本実施形態に係るプローブピン１は、圧縮コイルバネ４の他端側におけるコイル
２２の先端２２ｂと第２プランジャ５との接点を位置決めでき、圧縮コイルばね４の第２
プランジャ５に対する座屈方向を定めることができるため、圧縮コイルばね４の他端側の
座屈角度を所定角度（θ）に定めることができる。したがって、本実施形態に係るプロー
ブピン１は、従来例と比較して、第２プランジャ５とバレル２との接触圧及び圧縮コイル
ばね４とバレル２との接触圧を小さくしても、第２プランジャ５とバレル２を確実に接触
させることができる。
【００４０】
その結果、本実施形態に係るプローブピン１は、第１プランジャ３，第２プランジャ５
とバレル２の接触部における摩耗を低減でき、圧縮コイルばね４とバレル２の接触部にお
ける摩耗を低減できるため、円滑な作動を長期間確保することができ、耐久性を向上させ
ることが可能になる。
【００４１】
また、本実施形態に係るプローブピン１は、従来例と比較して、圧縮コイルばね４が第
１プランジャ３及び第２プランジャ５を付勢するばね力のばらつきを少なくすることがで
きるため、ＩＣパッケージ１３の端子１４と第１プランジャ３との接触圧を一定化できる
と共に、基板２６の通電用電極２７と第２プランジャ５との接触圧を一定化することがで
き、ＩＣパッケージ１３の電気的テストを高精度に且つ安定して行うことができる。
【００４２】
（第１プランジャ及び第２プランジャの変形例）
図１０乃至図１３は、第１プランジャ３及び第２プランジャ５の端面１６，３０側の形
状の変形例を示すものである。
【００４３】
すなわち、図１０（ａ）〜（ｂ）及び図１１（ａ）〜（ｂ）に示すように、第１プラン
ジャ３及び第２プランジャ５は、端面１６，３０のうちの突起１７，３１に隣接する部分
を突起１７，３１の弦２１，３３と平行に凹ませて凹部３５とし、この凹部３５が座屈し
た圧縮コイルばね４と接触しないようにして、端面１６，３０と圧縮コイルばね４との接
触範囲を狭くしている。このような本変形例に係る第１プランジャ３及び第２プランジャ
５を使用したプローブピン１は、圧縮コイルばね４と端面１６，３０との接触範囲が、第
４象限，第３象限の一部に限定される（図７，図８参照）。なお、図１０（ｃ）及び図１
１（ｃ）に示すように、第１プランジャ３及び第２プランジャ５は、突起１７，３１の先
端面１７ｂ，３１ｂを弦２１，３３に沿って切り欠いて、先端面１７ｂ，３１ｂを略線状
の微小先端面とし、端面１６，３０を弦２９，３９に沿って切り欠いて、端面１６，３０
を略線状の微小端面としてもよい。
【００４４】
また、図１２及び図１３に示すように、第１プランジャ３及び第２プランジャ５は、座
屈した圧縮コイルばね４のコイル２２の先端２２ａ，２２ｂと突起１７，３１の側面１７
ａ，３１ａとの接触位置から座屈した圧縮コイルばね４のコイル２２の外表面と突起１７
，３１の先端面１７ｂ，３１ｂとの接触位置までの全域（第１象限の一部、第２象限の一
部、第３及び第４象限の全域）において、座屈した圧縮コイルばね４のコイル２２の外表
面が端面１６，３０によって支持されるようになっている（図７，図８参照）。なお、図
１２は、第１プランジャ３及び第２プランジャ４の大径部１１，２４が中実丸棒形状の場
合を示している。また、図１３は、第１プランジャ３及び第２プランジャ５の大径部１１
，２４が中空丸棒形状又は中心に円形の穴（凹み）３６がある場合を示している。
【００４５】
（プローブピンユニット及びこれを備えたＩＣソケット）
図１４は、本実施形態に係るプローブピン１を備えたプローブピンユニット４０及びこ
のプローブピンユニット４０を組み込んでなるＩＣソケット４１を示すものである。
【００４６】
この図１４に示すように、プローブピンユニット４０は、絶縁性樹脂材料で形成された
プローブピン収容体４２に複数のプローブピン収容穴４３を所定のピッチで形成し、本実
施形態に係るプローブピン１を各プローブピン収容穴４３にそれぞれ収容できるようにな
っている。プローブピン収容体４２のプローブピン収容穴４３に収容されたプローブピン
１は、バレル２の一端（図１４の上端）がプローブピン収容体４２の抜け止め突起４４に
押し当てられる。そして、プローブピン収容体４２のプローブピン収容穴４３に収容され
たプローブピン１は、第１プランジャ３の小径部１２がプローブピン収容穴４３の一端部
側開口部４５からプローブピン収容体４２の外方へ突出するようになっている。
【００４７】
また、図１４に示すように、ＩＣソケット４１は、ソケット本体４７のプローブピンユ
ニット収容部４８内にプローブピンユニット４０が収容されている。そして、このＩＣソ
ケット４１に収容されたプローブピンユニット４０のプローブピン１は、第２プランジャ
５の小径部２５の先端が基板２６上の通電用電極２７に押圧され、第１プランジャ３の小
径部１２の先端にＩＣパッケージ１３の端子１４がＩＣパッケージ押圧手段５０によって
押し付けられるようになっている。この際、図２及び図１４に示したプローブピン１は、
第１プランジャ３がＩＣパッケージ１３で押されてバレル２内に押し込まれ、圧縮コイル
ばね４がバレル２内で押し縮められる。そして、第１プランジャ３と第２プランジャ５は
、バレル２内で座屈した圧縮コイルばね４のばね力によってバレル２の内壁面２ａに押し
付けられた状態になっている。このような状態において、ＩＣソケット４１は、ＩＣパッ
ケージ１３の端子１４と基板２６の通電用電極２７とがプローブピン１の第１プランジャ
３，バレル２及び第２プランジャ５を介して電気的に接続され、ＩＣパッケージ１３の電
気的テストを長期間にわたって確実に実行できるようになっている。
【００４８】
（その他の変形例）
図６に示したように、バレル２は、予め第２ストッパ７を形成しておき、後に第１スト
ッパ６を形成するようになっているが、これに限定されず、予め第１ストッパ６を形成し
ておき、後に第２ストッパ７を形成するようにしてもよい。ただし、この場合、バレル２
には、第１プランジャ３，圧縮コイルばね４，第２プランジャ５の順で収容されることに
なる。また、第１，第２ストッパ６，７を同時に形成してもよい。
【００４９】
また、本発明は、第２プランジャ５がバレル２に固定され、第１プランジャ３がバレル
２に対してスライド移動できるようになっているプローブピン（例えば、図１５に示すプ
ローブピン１０１参照）にも適用できる。なお、この場合、第１プランジャ３における圧
縮コイルばね４の支持構造は、図４及び図７に示した構造となる。一方、第２プランジャ
５における圧縮コイルばね４の支持構造は、図５及び図８に示した構造に限定されない。
例えば、第２プランジャ５における圧縮コイルばね４の支持面を平坦面又は円錐面にして
もよい。
【符号の説明】
【００５０】
１……プローブピン、２……バレル、２ａ……内壁面、３……第１プランジャ（プラン
ジャ）、４……圧縮コイルばね、５……第２プランジャ、６……第１ストッパ（ストッパ
）、７……第２ストッパ、１１，２４……大径部、１２，２５……小径部、１３……ＩＣ
パッケージ、１４……端子、１６，３０……端面、１７，３１……突起、１７ａ，３１ａ
……側面、１７ｂ，３１ｂ……先端面、２２……コイル、２２ａ，２２ｂ……先端、２３
……中心軸、２６……基板、２７……通電用電極、４０……プローブピンユニット、４１
……ＩＣソケット、４２……プローブピン収容体、４３……プローブピン収容穴、４７…
…ソケット本体、５０……ＩＣパッケージ押圧手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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