(57)【要約】【課題】レーザガス容器の密閉性の程度を容易かつ正確に推定する。【解決手段】制御部５は、レーザ発振器２の起動前に、レーザガス容器１内のレーザガス圧が大気圧よりも低い第１ガス圧Ｇ０となり、レーザ発振器２の起動後、かつ、レーザ光が外部へ照射される前の準備段階において、レーザガス容器１内のレーザガス圧がレーザ光を発振可能な第２ガス圧Ｇ１となるように、圧力調整部を制御する圧力制御部５１と、準備段階において、レーザ発振器２が予め定められた発振条件に従いレーザ光を出力する初期動作を実行するようにレーザ発振器２を制御するレーザ制御部５２とを備え、レーザ検出部２６により検出された検出値Ｐａ１に基づき、レーザガス容器２の密閉性の程度を推定する。【選択図】図２
2014170885.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザガスが循環するガス流路を形成するレーザガス容器と、
前記ガス流路を流れるレーザガスを励起媒体としてレーザ光を発振するレーザ発振器と、
前記レーザガス容器内のレーザガス圧を検出するガス圧検出部と、
前記ガス圧検出部の検出結果に基づき、前記レーザガス容器内のレーザガス圧を調整する圧力調整部と、
前記レーザ発振器の起動前に、前記レーザガス容器内のレーザガス圧が大気圧よりも低い第１ガス圧となり、前記レーザ発振器の起動後、かつ、レーザ光が外部へ照射される前の準備段階において、前記レーザガス容器内のレーザガス圧がレーザ光を発振可能な第２ガス圧となるように、前記圧力調整部を制御する圧力制御部と、
前記準備段階において、前記レーザ発振器が予め定められた発振条件に従いレーザ光を出力する初期動作を実行するように前記レーザ発振器を制御するレーザ制御部と、
前記レーザ発振器の前記初期動作により出力されたレーザ光または該レーザ光と相関関係を有する物理量を検出するレーザ検出部と、
前記レーザ検出部により検出された検出値に基づき、前記レーザガス容器の密閉性の程度を推定する密閉推定部と、を備えることを特徴とするレーザ装置。
【請求項２】
請求項１に記載のレーザ装置において、
前記レーザ制御部は、前記レーザ検出部による検出値が所定値に達するまで前記初期動作を実行するように前記レーザ発振器を制御し、
前記密閉推定部は、前記初期動作の実行された回数または時間に応じて前記レーザガス容器の密閉性の程度を推定することを特徴とするレーザ装置。
【請求項３】
請求項２に記載のレーザ装置において、
前記初期動作の終了時に検出された前記レーザ検出部による検出値を記憶するレーザ出力記憶部をさらに有し、
前記所定値は、予め前記レーザ出力記憶部に記憶された検出値に基づいて設定されていることを特徴とするレーザ装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項に記載のレーザ装置において、
前記密閉推定部は、前記レーザ検出部により検出された検出値または前記初期動作の実行された回数もしくは時間と、予め定められた閾値とを比較して、前記レーザガス容器の密閉性の良否を判定することを特徴とするレーザ装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載のレーザ装置において、
前記初期動作は、第１のレーザ出力の指令を含む第１発振条件に従いレーザ光を出力する第１初期動作と、前記第１のレーザ出力よりも大きい第２のレーザ出力の指令を含む第２発振条件に従いレーザ光を出力する第２初期動作とを含み、
前記レーザ制御部は、前記準備段階において、前記第１初期動作を実行した後、前記第２初期動作を実行するように前記レーザ発振器を制御し、
前記密閉推定部は、少なくとも前記第２初期動作により出力されたレーザ光の検出値に基づき、前記レーザガス容器の密閉性の程度を推定することを特徴とするレーザ装置。
【請求項６】
請求項５に記載のレーザ装置において、
前記レーザ発振器の電源の切断指令が入力されたときの前記ガス圧検出部により検出されたレーザガス圧を記憶するガス圧記憶部と、
前記ガス圧記憶部に記憶されたレーザガス圧と前記レーザ発振器の起動後に前記ガス圧検出部により検出されたレーザガス圧との差圧を検出する差圧検出部をさらに有し、
前記レーザ制御部は、前記差圧検出部により検出された差圧が所定値以下のとき、前記第１初期動作を実行せずに前記第２初期動作を実行するように前記レーザ発振器を制御することを特徴とするレーザ装置。
【請求項７】
請求項５に記載のレーザ装置において、
前記レーザ発振器の起動前に前記ガス圧検出部により検出されたレーザガス圧を記憶するガス圧記憶部をさらに有し、
前記レーザ制御部は、前記ガス圧記憶部により記憶されたレーザガス圧が所定値以下のとき、前記第１初期動作を実行せずに前記第２初期動作を実行するように前記レーザ発振器を制御することを特徴とするレーザ装置。
【請求項８】
請求項６または７に記載のレーザ装置において、
前記レーザ制御部は、前記差圧検出部により検出された差圧が所定値より大きいとき、または、前記ガス圧記憶部により記憶されたレーザガス圧が所定値より大きいとき、前記第２初期動作を実行した後に、さらに第３のレーザ出力の指令を含む第３発振条件に従いレーザ光を出力する第３初期動作を、フィードバック制御により実行するように前記レーザ発振器を制御することを特徴とするレーザ装置。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか１項に記載のレーザ装置において、
前記レーザ発振器の電源が切断されてから前記レーザ発振器が起動を開始するまでの発振器停止時間を求める停止時間算出部をさらに有し、
前記密閉推定部は、前記レーザ検出部により検出された検出値と前記停止時間算出部で算出された発振器停止時間とに基づき、前記レーザガス容器の密閉性の程度を推定することを特徴とするレーザ装置。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれか１項に記載のレーザ装置において、
前記レーザガス容器内でレーザガスを循環させる送風機をさらに備え、
前記密閉推定部は、前記レーザ検出部により検出された検出値と前記送風機の回転と相関関係を有する物理量とに基づき、前記レーザガス容器の密閉性の程度を推定することを特徴とするレーザ装置。
【請求項１１】
請求項１〜１０のいずれか１項に記載のレーザ装置において、
前記レーザガス容器内のレーザガス温度と相関関係を有する物理量を検出する温度検出部をさらに備え、
前記密閉推定部は、前記レーザ検出部により検出された検出値と前記温度検出部により検出された物理量とに基づき、前記レーザガス容器の密閉性の程度を推定することを特徴とするレーザ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザガスが封入されるレーザガス容器の密閉性を推定可能なレーザ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、レーザ装置の電源を切る前の圧力を測定してメモリに記憶し、この記憶されたガス圧と、レーザ装置の電源を入れたときに測定したガス圧とを比較することで、レーザガス容器のガス漏れを検知するようにしたレーザ装置が知られている（例えば特許文献１参照）。この特許文献１記載の装置では、ガス圧を測定するときにガス温度も測定し、測定されたガス圧を基準温度における圧力に換算し、換算値を用いてガス漏れの検知を行う。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】実用新案登録第２５６１５１０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記特許文献１記載の装置は、ガス漏れが発生しやすい状況でガス漏れの検知を行うものではなく、ガス漏れを容易かつ正確に検知することが困難である。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明によるレーザ装置は、レーザガスが循環するガス流路を形成するレーザガス容器と、ガス流路を流れるレーザガスを励起媒体としてレーザ光を発振するレーザ発振器と、レーザガス容器内のレーザガス圧を検出するガス圧検出部と、ガス圧検出部の検出結果に基づき、レーザガス容器内のレーザガス圧を調整する圧力調整部と、レーザ発振器の起動前に、レーザガス容器内のレーザガス圧が大気圧よりも低い第１ガス圧となり、レーザ発振器の起動後、かつ、レーザ光が外部へ照射される前の準備段階において、レーザガス容器内のレーザガス圧がレーザ光を発振可能な第２ガス圧となるように、圧力調整部を制御する圧力制御部と、準備段階において、レーザ発振器が予め定められた発振条件に従いレーザ光を出力する初期動作を実行するようにレーザ発振器を制御するレーザ制御部と、レーザ発振器の初期動作により出力されたレーザ光または該レーザ光と相関関係を有する物理量を検出するレーザ検出部と、レーザ検出部により検出された検出値に基づき、レーザガス容器の密閉性の程度を推定する密閉推定部と、を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によれば、レーザ発振器の起動前にレーザガス容器内のガス圧を大気圧よりも低くしておき、レーザ発振器の起動時に、レーザ出力の検出値に基づきレーザガス容器の密閉性の程度を推定するようにしたので、レーザガス容器の密閉性の程度を容易かつ正確に推定することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】本発明の第１の実施形態に係るレーザ装置の構成を概略的に示す図。
【図２】本発明の第１の実施形態に係るレーザ装置の制御構成の一部を示すブロック図。
【図３】図２の制御部で実行される発振器停止処理の一例を示すフローチャート。
【図４】図２の制御部で実行される発振器起動処理の一例を示すフローチャート。
【図５】図４の変形例を示すフローチャート。
【図６】本発明の第２の実施形態に係るレーザ装置の制御部で実行される発振器起動処理の一例を示すフローチャート。
【図７】図６の変形例を示すフローチャート。
【図８】本発明の第３の実施形態に係るレーザ装置の制御部で実行される発振器起動処理の一例を示すフローチャート。
【図９】図８の変形例を示すフローチャート。
【図１０】図９の変形例を示すフローチャート。
【図１１】図１０の変形例を示すフローチャート。
【図１２】本発明の第４の実施形態に係るレーザ装置の制御部で実行される発振器電源投入処理の一例を示すフローチャート。
【図１３】本発明の第４の実施形態に係るレーザ装置の制御部で実行される発振器起動処理の一例を示すフローチャート。
【図１４】図１３の変形例を示すフローチャート。
【図１５】図１３の他の変形例を示すフローチャート。
【図１６】図１５の処理に対応したレーザ装置の制御構成を示すブロック図。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
−第１の実施形態−
以下、図１〜図５を参照して本発明の第１の実施形態について説明する。図１は、本発明の第１の実施形態に係るレーザ装置１００の構成を概略的に示す図である。このレーザ装置１００は、レーザガスが循環するガス流路１ａを形成するレーザガス容器１と、ガス流路１ａ上に配置されたレーザ発振器２および送風機３と、レーザ発振器２および送風機３を制御する制御部５とを備える。本実施の形態に係るレーザ装置１００は、加工、医療、計測等、幅広い分野で用いることができる。
【０００９】
レーザガス容器１は密閉された真空容器であり、レーザガス容器１には、所定のレーザガスが大気から遮断された状態で封入されている。レーザガスとしては、炭酸ガス、窒素ガス、アルゴンガス等のレーザ媒体を含んだレーザ発振用の媒質ガスが用いられる。
【００１０】
レーザ発振器２は、出力鏡２１と、リア鏡２２と、出力鏡２１とリア鏡２２との間に配置された放電管２３とを有する。放電管２３はガス流路１ａに連通し、放電管２３にレーザ電源２４から電力が供給される。レーザ電源２４から電力が供給されると、レーザガスは放電管２３を通過中に励起されてレーザ活性状態となる。放電管２３より生じた光は、出力鏡２１とリア鏡２２との間で増幅され、レーザ発振し、レーザ光が発生する。
【００１１】
出力鏡２１は部分透過鏡であり、出力鏡２１を通過したレーザ光は出力レーザ光２７となって外部に出力される。このレーザ光２７は、開閉可能なシャッター２５を通過し、対象物に照射される。リア鏡２２の側方には、リア鏡２２を透過したレーザ光２７の出力を検出するレーザ検出器２６が設けられている。レーザ検出器２６は、フォトダイオードやサーモバイル等により構成できる。
【００１２】
送風機３は、電動モータにより駆動するファンあるいはブロアにより構成される。送風機３には図示しない送風機インバータを介して電力が供給され、この電力により送風機３は回転し、ガス流路１ａに沿ってレーザガスを循環させる。送風機３の上流側および下流側のガス流路１にはそれぞれ第１熱交換機３１と第２熱交換機３２とが配設されている。各熱交換機３１，３２には所定の冷媒（例えば冷却水）が流される。レーザガスは、この冷媒との熱交換により熱交換器３１，３２の通過時に冷却され、所定温度に保たれる。
【００１３】
ガス流路１ａには、レーザガスをガス流路１ａに給気するための給気流路１１と、ガス流路１ａからレーザガスを排気するための排気流路１２とが連通している。給気流路１１には給気装置１３が設けられ、給気装置１３を介して、レーザガスが貯留された高圧のタンク（不図示）からガス流路１ａ内にレーザガスが供給される。排気流路１２には排気装置１４が設けられ、排気装置１４を介してガス流路１ａからレーザガスが排気される。吸気装置１３および排気装置１４は、開閉弁を含んで構成される。
【００１４】
レーザ発振時には、給気流路１１と排気流路１２を介してガス流路１ａに常にレーザガスが給排され、レーザガス容器１内におけるレーザガスの微量の入れ替えが行われる。第１熱交換機３１の下流側かつ送風機３０の上流側には、ガス圧検出器３３が設けられ、レーザガス容器１内のガス圧はガス圧検出器３３により検出される。
【００１５】
以上のように構成されたレーザ装置１００において、レーザガス容器１は密閉されてはいるが、Ｏリング等のシール部材の劣化や継手の緩み等に起因して、レーザガス容器１からレーザガスがリークし、あるいはレーザガス容器１内に大気が混入し、レーザガスの品質を悪化させるおそれがある。レーザガスの品質が悪化すると、所望のレーザ出力を得ることができないため、レーザ照射前にレーザガス容器１の密閉性の程度を把握しておくことが好ましい。そこで、本実施形態では、レーザ発振器２の停止時および起動時に、制御部５で以下のような処理を実行し、密閉性の程度を推定する。
【００１６】
なお、レーザ発振器２の起動時とは、レーザ発振器２の起動開始から起動完了までの間、すなわち、レーザ発振器２の電源がオンされてからレーザ照射が指令されるまでの準備段階に相当する。このレーザ発振器２の起動時には、シャッター２５が閉じられ、外部へのレーザ照射は行われない。
【００１７】
図２は、本発明の第１の実施形態に係るレーザ装置１００の制御構成の一部を示すブロック図である。制御部５は、ＣＰＵ，ＲＯＭ，ＲＡＭ，その他の周辺回路などを有する演算処理装置を含んで構成され、レーザガス容器１内の圧力を制御する圧力制御部５１と、レーザ電源２４からレーザ発振器２に供給される電力を制御する電力制御部（レーザ制御部５２）とを有する。制御部５は、レーザ発振器２の停止処理（発振器停止処理）と、レーザ発振器２の起動処理（発振器起動処理）とを行う。
【００１８】
制御部５には、レーザ検出器２６と、ガス圧検出器３３と、ユーザが各種指令を入力する入力部４からの信号が入力される。制御部５は、レーザ電源２４と、送風機３（送風機インバータ）と、給気装置１３と、排気装置１４と、シャッター２５と、表示部６とにそれぞれ制御信号を出力し、これらの作動を制御する。
【００１９】
図３は、発振器停止処理の一例を示すフローチャートである。このフローチャートに示す処理は、例えば入力部４を介してレーザ発振器２の停止が指令されると開始される。ステップＳ１では、レーザ発振器２の電源（レーザ電源２４）をオフする。ステップＳ２では、送風機３の回転を停止する。これによりレーザガス容器１内のレーザガスの循環が停止する。
【００２０】
ステップＳ３では、ガス圧検出器３３により検出されるガス圧が、レーザ装置１００の周囲の大気圧よりも低い所定のガス圧Ｇ０（目標ガス圧）となるように、レーザガス容器１内のガス圧を調整する。この調整は、吸気装置１３および排気装置１４を制御して、レーザガス容器内にレーザガスを給排することで行う。ステップＳ４では、吸気装置１３の開閉弁と排気装置１４の開閉弁等、ガスレーザ容器１に接続された全ての弁を閉じる。これにより、レーザガス容器１が密閉状態とされる。以上で発振器停止処理を終了する。
【００２１】
レーザ発振中のガス圧（レーザガスが循環していないと仮定した場合のガス圧）が、大気圧より低い所定のガス圧Ｇａに制御されている場合、ステップＳ３の目標ガス圧Ｇ０を、このガス圧Ｇａに設定してもよい。これにより、単に吸気装置１３と排気装置１４の開閉弁を閉じてレーザガスの流れを遮断するだけで（ステップＳ４）、ガス圧を目標ガス圧Ｇ０に調整できる。
【００２２】
目標ガス圧Ｇ０は大気圧より低ければよく、例えば目標ガス圧Ｇ０をレーザ発振中のガス圧Ｇａより高い値に設定することもできる。この場合、レーザガス容器１内にレーザガスを充填して目標ガス圧Ｇ０に調整すればよい。一方、レーザ発振中のガス圧Ｇａが大気圧よりも高い場合、レーザガスをレーザガス容器１内から排気することで、ガス圧Ｐを目標ガス圧Ｇ０に調整できる。なお、ステップＳ３のガス圧の調整を、送風機３の停止後、ガス圧が安定するまで待機してから行うようにしてもよい。発振器停止処理後は、レーザガス容器１を密閉状態に保ち、レーザガス容器１内へのレーザガスの給排を行わない。したがって、レーザガスの給排を随時行うものに比べ、レーザガスの消費量を抑制できる。
【００２３】
発振器起動処理の終了後は、レーザガス容器１は密閉状態のまま放置される。このとき、密閉状態のガス圧を大気圧よりも低くしているので、レーザガス容器１のシール性に問題がある場合、レーザガス容器１内に大気が侵入する。これにより、レーザガスの品質が悪化し、レーザ出力が低下する。この点を考慮し、以下の発振器起動処理においては、レーザ発振器２の起動時に、レーザ出力の大きさに応じてレーザガス容器１の密閉性の程度を推定する。なお、目標ガス圧Ｇ０を大気圧よりも低くすればするほど、レーザガス容器１内に大気が侵入しやすくなり、密閉性の推定が容易になる。
【００２４】
図４は、発振器起動処理の一例を示すフローチャートである。例えば入力部４を介してレーザ発振器２（レーザ電源２４）の電源オンが指令されると、レーザ電源２４はオンとなり、レーザ発振器２の起動を受付可能となって、図４の処理が開始される。
【００２５】
ステップＳ１１では、送風機３に制御信号を出力し、送風機３を起動する。これによりレーザガス容器１内をレーザガスが循環する。ステップＳ１２では、ガス圧検出器３３により検出されるガス圧が所定のガス圧Ｇ１となるように、レーザガス容器１内のガス圧を調整する。この調整は、吸気装置１３および排気装置１４を制御して、レーザガス容器１内にレーザガスを給排することで行う。ガス圧Ｇ１は、レーザ発振させるのに最適なガス圧（レーザ照射時のガス圧）であり、例えば目標ガス圧Ｇ０よりも大きい。
【００２６】
ステップＳ１３では、レーザ電源２４に制御信号を出力し、所定の発振条件に従いレーザ発振器２からレーザ光を出力させる。すなわち、レーザ発振器２の初期動作として、レーザ発振を試験的に行う（レーザ発振試行）。例えばレーザ出力指令Ｐ１（Ｗ）、デューティ指令Ｄ１（％）のパルス指令によるレーザ発振試行をＴ１秒間だけ実施する。このとき、レーザ発振試行により生じたレーザ光の出力は、レーザ検出器２６により検出される。ステップＳ１４では、レーザ検出器２６により検出されたレーザ出力の代表値Ｐａ１をメモリに記憶する。例えば所定時間Ｔ１の間に検出されたレーザ出力の平均値、あるいは最後（Ｔ１秒後）に検出されたレーザ出力の値を、代表値Ｐａ１として記憶する。
【００２７】
ステップＳ１５では、このレーザ出力値Ｐａ１に基づきレーザガス容器１の密閉性の程度を推定する。単位時間当たりのレーザガス容器１内の圧力変化を推定リークレートL１（単位はPa/hour）と定義すると、レーザ出力値Ｐａ１と推定リークレートＬ１との間には所定の相関関係がある。すなわち、推定リークレートＬ１が大きい状態とは、レーザガス容器１内に大気が混入してレーザガスの品質が悪化した状態であり、推定リークレートＬ１が大きくなると、レーザガス内の不純物の割合が増加し、レーザ出力値Ｐ１ａは小さくなる。そこで、レーザ出力値Ｐａ１と推定リークレートＬ１との関係、つまりレーザ出力値Ｐａ１の増加に伴い推定リークレートＬ１が減少するという関係を、予め実験等により求めてメモリに記憶しておき、ステップＳ１５では、この関係を用いて推定リークレートＬ１を求める。これによりレーザガス容器１の密閉性の程度を推定することができる。
【００２８】
ステップＳ１６では、表示部６に制御信号を出力し、レーザ出力値Ｐａ１に対応した推定リークレートＬ１を表示する。これによりユーザは、レーザガス容器１の密閉性の程度を容易に把握することができる。以上で、発振器起動処理を終了する。発振器起動処理が終了した段階では、レーザ発振器２の起動が完了しており、レーザ照射指令を受付可能な状態となる。この状態で、入力部４を介してレーザ照射が指令されると、シャッター２５が開放し、レーザ光が照射される。
【００２９】
このように第１の実施形態では、レーザ発振器２の停止時に、レーザガス容器１内のガス圧を大気圧よりも低い目標ガス圧Ｇ０に調整し（ステップＳ３）、レーザ発振器２の起動時に、レーザガス容器１内のガス圧をレーザ照射に適したガス圧Ｇ１に調整する（ステップＳ１２）。さらに、所定の発振条件の下でレーザ発振器２によりレーザ光を発振させ（ステップＳ１３）、このレーザ発振試行により得られたレーザ出力値Ｐａ１から推定リークレートＬ１を求め（ステップＳ１５）、表示部６に表示するようにした（ステップＳ１６）。
【００３０】
これによりレーザガスのリークが発生しやすい状況でリーク検知を行うため、ユーザは、レーザガス容器１の密閉性の程度を容易かつ正確に把握することができる。また、実際にレーザ発振器２を作動させながらリーク検知を行うため、レーザガス容器１の密閉性の程度を精度よく推定できる。さらに、リーク検知の際にガス温度を測定しないため、レーザ装置１００に温度検出器を設ける必要がなく、レーザ装置１００の価格上昇を抑えることもできる。
【００３１】
図５は、図４の変形例を示すフローチャートである。なお、図４と同一の箇所には同一の符号を付している。図５では、ステップＳ１４で、レーザ発振試行後のレーザ出力Ｐａ１をメモリに記憶した後、ステップＳ１７に進む。ステップＳ１７では、このレーザ出力Ｐａ１が、予め定めた基準値Ｐｔ１よりも小さいか否かを判定する。基準値Ｐｔ１は、密閉性の良否を判定するための閾値であり、シール部材の交換等、メンテナンスの要否の基準となる値に設定されている。
【００３２】
ステップＳ１７が肯定されるとステップＳ１８に進み、否定されるとステップＳ１８をパスして処理を終了する。ステップＳ１８では、表示部６に制御信号を出力し、密閉性が悪い旨の警告を表示する。これによりユーザは、レーザガス容器１の密閉性の良否を判断することができる。図５の例では、密閉性が悪い場合、すなわちレーザ出力に問題となるような影響を及ぼす場合にのみ警告を表示するので、密閉性の良否判断を容易に行うことができる。
【００３３】
−第２の実施形態−
図６、図７を参照して本発明の第２の実施形態について説明する。以下では、第１の実施形態との相違点を主に説明する。第２の実施形態が第１の実施形態と異なるのは、制御部５における発振器起動処理であり、発振器起動処理の前には、第１の実施形態と同様の発振器停止処理を行う。
【００３４】
図６は、第２の実施形態の制御部５で実行される発振器起動処理の一例を示すフローチャートである。図中のステップＳ２１、ステップＳ２２の処理は、図４のステップＳ１１、ステップＳ１２の処理と同一である。すなわち、ステップＳ２１で送風機３を起動し、ステップＳ２２でレーザガス圧をレーザ発振に最適なガス圧Ｇ１に調整する。ステップＳ２３では、レーザ発振試行の実施回数Ｎ１を１だけ加算してメモリに記憶する。なお、Ｎ１は初期状態では０に設定されている。ステップＳ２４では、図４のステップＳ１３と同様、所定のレーザ発振試行（レーザ出力指令Ｐ１、デューティ指令Ｄ１のパルス指令）を所定時間Ｔ１だけ実施する。
【００３５】
次いで、ステップＳ２５で、レーザ出力Ｐａ１が予め定めた基準値Ｐｔ１より小さいか否かを判定する。基準値Ｐｔ１は、例えば、レーザガスに不純物が混入していない正常状態でレーザ照射される場合のレーザ出力相当に設定されている。ステップＳ２５が肯定されるとステップＳ２３に戻る。これによりレーザ出力Ｐａ１が基準値Ｐｔ２に達するまでレーザ発振試行が繰り返され、レーザ発振試行の回数がカウントされる。レーザガスに不純物が含まれている場合、初期のレーザ出力Ｐａ１は小さいが、レーザ発振試行を繰り返す度にレーザ出力Ｐａ１は上昇する。レーザ出力Ｐａ１が基準値Ｐｔ１に達すると、ステップＳ２５が否定され、ステップＳ２６に進む。
【００３６】
ステップＳ２６では、レーザ発振試行の実施回数Ｎ１を用いて、レーザガス容器１の密閉性の程度を推定する。実施回数Ｎ１と推定リークレートＬ１との間には、実施回数Ｎ１が多いほど推定リークレートＬ１が大きいという所定の相関関係がある。この関係を予め実験等により求めてメモリに記憶しておき、ステップＳ２６では、この関係から実施回数Ｎ１に対応した推定リークレートＬ１を求める。ステップＳ２７では、図４のステップＳ１６と同様、推定リークレートＬ１を表示部６に表示し、発振器起動処理を終了する。
【００３７】
このように第２の実施形態では、発振器停止処理により、レーザガス容器１内のガス圧を大気圧より低いガス圧Ｇ０に調整し、その後、発振器起動処理により、レーザ出力Ｐａ１が基準値Ｐｔ１に達するまでレーザ発振試行を繰り返し（ステップＳ２３〜ステップＳ２５）、レーザ発振試行の実施回数Ｎ１から推定リークレートＬ１を求める（ステップＳ２６）。
【００３８】
これによりユーザは、第１の実施形態と同様、レーザガス容器１の密閉性の程度を容易かつ正確に把握することができるとともに、レーザ装置１００の価格上昇を抑えることができる。また、発振器起動処理が完了したとき、レーザ出力Ｐａ１は基準値Ｐｔ１以上となっているので、レーザ出力が安定しており、レーザ照射指令時に、即座に良好なレーザ光を照射することができる。なお、推定リークレートＬ１を表示する代わりに、図５と同様にして、レーザガス容器１の密閉性の良否判定を行うようにしてもよい。この場合、ステップＳ２６、ステップＳ２７の代わりに、レーザ発振試行の実施回数Ｎ１が予め定めた良否判定の基準となる回数Ｎｔ以上か否かを判定し、Ｎ１がＮｔ以上の場合に警告を表示するようにすればよい。
【００３９】
図７は、図６の変形例を示すフローチャートである。なお、図６と同一の箇所には同一の符号を付している。図７では、前回の発振起動処理におけるレーザ発振試行終了時のレーザ出力Ｐａを用いて、基準値Ｐｔ（図６の基準値Ｐｔ１）を設定する。すなわち、ステップＳ２９では、レーザ発振試行を繰り返してレーザ出力Ｐａ１が基準値Ｐｔ１に達した場合のレーザ出力を、前回の発振起動処理時のレーザ出力Ｐｐとしてメモリに記憶する。ステップＳ２８では、このレーザ出力Ｐｐを用いて、今回の発振起動処理時の基準値Ｐｔ１を設定する。例えば、Ｐｐに所定の係数（例えば０．９）を乗算したものを基準値Ｐｔ１として設定する。ステップＳ２９では、この基準値Ｐｔ１とレーザ出力Ｐａ１との大小を判定する。
【００４０】
図７では、レーザ発振試行によって得られた実際のレーザ出力Ｐａ１（Ｐｐ）を用いて、次回の発振器起動処理におけるレーザ発振試行の基準値Ｐｔ１を設定するので、レーザ装置１００ごとに特性のばらつきがある場合であっても、レーザ出力を精度よくレーザ照射に適した所望のレーザ出力まで高めることができる。
【００４１】
−第３の実施形態−
図８〜図１１を参照して本発明の第３の実施形態について説明する。以下では、第２の実施形態との相違点を主に説明する。第３の実施形態が第２の実施形態と異なるのは、制御部５における発振器起動処理であり、発振器起動処理の前には、第１の実施形態と同様の発振器停止処理を行う。第２の実施形態では、レーザ出力が基準値Ｐｔ１に達するまでレーザ発振試行を繰り返し行うようにしたが、第３の実施形態では、発振条件を複数設定し（第１発振条件、第２発振条件）、各発振条件によりそれぞれレーザ発振試行を繰り返す。なお、以下では、第１発振条件に対応したレーザ発振試行をレーザ発振試行１、第２発振条件に対応したレーザ発振試行をレーザ発振試行２と呼ぶ。
【００４２】
図８は、第３の実施形態の制御部５で実行される発振器起動処理の一例を示すフローチャートである。図８では、まず、ステップＳ３１〜ステップＳ３５において、図６のステップＳ２１〜ステップＳ２５と同一の処理を行う。すなわち、第１初期動作として、レーザ出力Ｐａ１が基準値Ｐｔ１（第１基準値）に達するまで、第１発振条件に従いレーザ発振試行１を繰り返す。レーザ発振試行１においては、レーザ出力指令Ｐ１（第１レーザ出力指令）、デューティ指令Ｄ１（第１デューティ指令）のパルス指令に応じて所定時間Ｔ１（第１所定時間）だけレーザ発振を行う。
【００４３】
レーザ出力Ｐａ１が第１基準値Ｐｔ１に達すると、ステップＳ３６に進み、第２初期動作として、レーザ出力（以下、これをＰａ２で表し、第１初期動作のレーザ出力Ｐａ１と区別する）が第２基準値Ｐｔ２に達するまで第２発振条件に従いレーザ発振試行２を行う。この場合、まず、ステップＳ３６でレーザ発振試行２の実施回数Ｎ２を１だけ加算する。なお、Ｎ２は初期状態では０に設定されている。次いで、ステップＳ３７で、予め定めた第２発振条件に従いレーザ発振試行２を実施する。すなわち、レーザ出力指令Ｐ２（第２レーザ出力指令）、デューティ指令Ｄ２（第２デューティ指令）のパルス指令に応じて所定時間Ｔ２（第２所定時間）だけレーザ発振を行わせる。
【００４４】
第２レーザ出力指令Ｐ２は、第１レーザ出力指令Ｐ１よりも大きな値に設定されている。これにより、レーザ発振試行２では、レーザ発振試行１よりも高出力のレーザ発振が可能である。なお、第２デューティ指令Ｄ２、第２所定時間ｔ２は、例えば第１ディーティ指令Ｄ１、第１所定時間Ｔ１と同一の値である。ステップＳ３８では、検出されたレーザ出力Ｐａ２が予め定めた第２基準値Ｐｔ２より小さいか否かを判定する。第２基準値Ｐｔ２は、第１基準値Ｐｔ１よりも大きい値に設定されている。ステップＳ３８が肯定されるとステップＳ３６に戻り、レーザ発振試行２の回数Ｎ２に１が加算される。レーザ出力Ｐａ２が基準値Ｐｔ２に達すると、ステップＳ３９に進む。
【００４５】
ステップＳ３９では、レーザ発振試行１の実施回数Ｎ１およびレーザ発振試行２の実施回数Ｎ２に基づき推定リークレートＬ２を求める。例えば予めＮ１とＮ２とを加算した総実施回数と推定リークレートＬ１との関係、具体的には、総実施回数が増加するほど推定リークレートＬ１が大きくなるような関係を、予め実験等により求めてメモリに記憶しておき、この関係を用いて実施回数Ｎ１、Ｎ２に対応した推定リークレートＬ１を求める。Ｎ１，Ｎ２にそれぞれ互いに異なる係数α、β（例えばα＜β）を乗算して、α×Ｎ１とβ×Ｎ２とを加算し、この加算値に対応した推定リークレートＬ１を求めるようにしてもよい。次いで、ステップＳ４０で、推定リークレートＬ１を表示部６に表示し、発振器起動処理を終了する。
【００４６】
第３の実施形態では、複数の発振条件（第１発振条件、第２発振条件）でレーザ発振試行（レーザ発振試行１、レーザ発振試行２）を順次行って、レーザ発振試行の実施回数Ｎ１，Ｎ２に基づき推定リークレートＬ１を求めるようにした。これにより第１および第２の実施形態と同様、レーザガス容器１の密閉性の程度を容易かつ正確に把握することができるとともに、レーザ装置１００の価格上昇を抑えることができる。また、レーザ発振試行の進展に伴い、レーザ出力指令を徐々に大きくするようにしたので（Ｐａ１＜Ｐａ２）、発振器起動処理時の異常放電を防止できる。
【００４７】
すなわち、レーザガス容器１に多くの大気が侵入している場合に、高いレーザ出力指令によってレーザ発振試行を行うと、異常放電が生じて放電管の破損等を引き起こすおそれがある。この点、第３の実施形態では、初めに低いレーザ出力指令でレーザ発振試行（レーザ発振試行１）を行うので、初期状態でレーザガスに混入した大気中の水分をある程度除去し、不純物の混入割合を低減することができる。したがって、その後、レーザ出力指令を高めてレーザ発振試行（レーザ発振試行２）を行った場合に、異常放電が生じることを防止できる。
【００４８】
図９は、図８の変形例を示すフローチャートである。なお、図８と同一の箇所には同一の符号を付している。図９では、レーザガスの状態に応じて第１初期動作を省略する。図９の処理を行うにあたっては、予め、レーザ発振器２の電源オフ指令が出力された際に、レーザ発振器２の電源をオフする前のガス圧の検出値Ｇｓ０を、前回のレーザ運転時のガス圧としてメモリに記憶しておく。その後、レーザ発振器２の電源オンが指令された際、その直後のガス圧（起動処理を開始する前のガス圧）の検出値Ｇｓ１とＧｓ０との差圧Ｇｄ（＝Ｇｓ１−Ｇｓ０）、すなわちガス圧差Ｇｄをメモリに記憶する。この状態で、図９の発振器起動処理を行う。
【００４９】
この場合、まず、送風機３を起動し（ステップＳ３１）、ガス圧を所定のガス圧Ｇ１（ステップＳ３２）に調整する。次いで、ステップＳ４１で、ガス圧差Ｇｄが予め定めたガス圧差の基準値Ｇｄｓより大きいか否かを判定する。基準値Ｇｄｓは、第１初期動作を行うか否かを判断するための閾値である。すなわち、差圧Ｇｄが大きいと、レーザガスに多くの大気が混入していると考えられるため、差圧Ｇｄに応じて第１初期動作の要否を判定する。ステップＳ４１が肯定されるとステップＳ３４に進み、否定されるとステップＳ３４をパスしてステップＳ３６に進む。
【００５０】
ステップＳ３４では、第１発振条件の下でレーザ発振試行１を行い、ステップＳ３６に進む。これにより、差圧Ｇｄが大きい場合に、小さなレーザ出力指令Ｐ１でレーザ発振試行１が実施されるので、レーザ発振試行時の異常放電を防止できる。一方、差圧Ｇｄが小さい場合には、レーザ発振試行１を省略するので、効率的なレーザ発振試行を実施できる。
【００５１】
その後、ステップＳ３６〜ステップＳ３８で、レーザ出力Ｐａ２が第２基準値Ｐｔ２となるまで、レーザ発振試行２を繰り返す。次いで、ステップＳ４２で、レーザ発振試行２の実施回数Ｎ２を用いて、レーザ発振器２の推定リークレートＬ１を推定する。この場合、実施回数Ｎ２が大きいほど推定リークレートＬ１が大きいという関係を予め実験等により求めてメモリに記憶しておき、この関係を用いて推定リークレートＬ１を求める。なお、図９では、Ｇｄ＞Ｇｄｓのときにレーザ発振試行１を１回だけ行うようにしているが、ガス圧差Ｇｄが基準値Ｇｄｓに達するまでレーザ発振試行１を繰り返すようにしてもよい。この場合、ステップＳ４２で、図８のステップＳ３９と同様、レーザ発振試行１とレーザ発振試行２の実施回数Ｎ１、Ｎ２を用いて推定リークレートＬ１を求めればよい。
【００５２】
レーザガスに多くの大気が混入していると、レーザ発振器起動前のガス圧が大きくなる。そこで、ガス圧差Ｇｄを用いる代わりに、レーザ発振器２の電源オン指令後かつレーザ発振器２の起動前のガス圧Ｇｓ１を用いて第１初期動作の要否を判定してもよい。図１０は、その場合の処理の一例を示すフローチャートである。なお、図９と同一の箇所には同一の符号を付している。
【００５３】
図１０では、図９のステップＳ４１の代わりに、ステップＳ４３で、ガス圧Ｇｓ１が予め定めた基準値Ｇｓｓより大きいか否かを判定する。基準値Ｇｓｓは、第１初期動作を行うか否かを判断するための閾値であり、ステップＳ４３が肯定されるとステップＳ３４に進み、第１初期動作を実行する。これにより、ガス圧Ｇｓ１大きい場合に、小さなレーザ出力指令Ｐ１でレーザ発振試行１が実施されるので、レーザ発振試行時の異常放電を防止できる。
【００５４】
ところで、発振器起動処理の完了後、レーザ照射が指令されると、制御部５は、レーザ出力値とレーザ出力指令との偏差に基づきレーザ電源２４への供給電力を増減させるような制御、すなわちフィードバック制御を行う。したがって、発振器起動処理の完了前に、フィードバックを有効にしてレーザ出力を確認しておくことで、レーザ照射指令時に、より確実に所望のレーザ出力を得ることができる。この点を考慮したのが図１１である。なお、図１１は、図１０の変形例であり、図１０と同一の箇所には同一の符号を付している。
【００５５】
図１１において、第２初期動作が終了すると、ステップＳ３８からステップＳ４５に進む。ステップＳ４５では、ステップＳ４３と同様、ガス圧Ｇｓ１が基準値Ｇｓｓより大きいか否かを判定する。ステップＳ４５が肯定されるとステップＳ４６に進み、否定されるとステップＳ４２に進む。ステップＳ４６では、予め定めた第３発振条件に従いレーザ発振試行３を実施する。すなわち、レーザ出力指令Ｐ３（第３レーザ出力指令）、デューティ指令Ｄ３（第３デューティ指令）のパルス指令に応じて所定時間Ｔ３（第３所定時間）だけレーザ発振を行わせる。このステップＳ４６の処理は、レーザ出力指令へのフィードバックを有効にして行う。なお、レーザ出力指令Ｐ３は、例えばレーザ出力指令Ｐ２よりも大きな値に設定されている。
【００５６】
次いで、ステップＳ４７で、検出されたレーザ出力Ｐａ３が予め定めた第３基準値Ｐｔ３よりも小さいか否かを判定する。第３基準値Ｐｔ３は、例えば第２基準値Ｐｔ２よりも大きい値に設定されている。ステップＳ４７が肯定されるとステップＳ４６に戻る。これによりレーザ出力Ｐａ３が基準値Ｐｔ３に達するまでレーザ発振試行３が繰り返される。ステップＳ４７が否定されるとステップＳ４２に進む。
【００５７】
なお、図１１では、ガス圧Ｇｓ１が基準値Ｇｓｓよりも大きい場合、すなわち発振器起動処理の開始時にレーザガスに多くの大気が混入していた場合に、フィードバックを有効にしてレーザ発振試行３を実施するようにした。これは、レーザガスに多くの大気が混入していると、レーザ出力指令とレーザ出力とのずれが大きく、フィードバックの効果が高いと考えられるからである。しかしながら、これに限らず、第２初期動作後に常にフィードバックを有効にしてレーザ発振試行３を実施するようにしてもよい。
【００５８】
−第４の実施形態−
図１２〜図１６を参照して本発明の第４の実施形態について説明する。以下では、第１の実施形態との相違点を主に説明する。第１の実施形態では、レーザ出力Ｐａ１からレーザ発振器２の推定リークレートＬ１を求めるようにしたが（図４のステップＳ１５）、第４の実施形態では、予め他の方法で基準となるリークレートＬｃを求め、このリークレートＬｃとレーザ出力Ｐａ１から推定リークレートＬ１を求める。
【００５９】
リークレートＬｃを求める場合、制御部５は、予めレーザ発振器２の電源オフが指令されたときのガス圧Ｇｓ０および時刻Ｔｓ０をそれぞれメモリに記憶しておく。次いで、レーザ発振器２の電源オンが指令された際に、制御部５は、例えば図１２に示す処理（発振器電源投入処理）を行う。図１２に示すように、ステップＳ５１では、発振器電源投入処理の開始直後に検出されたガス圧Ｇｓ１をメモリに記憶する。ステップＳ５２では、ガス圧Ｇｓ１と電源オフ指令時のガス圧Ｇｓ０との差圧、すなわちガス圧差Ｇｄ（＝Ｇｓ１−Ｇｓ０）を算出する。ステップＳ５３では、現在の時刻Ｔｓ１をメモリに記憶する。
【００６０】
ステップＳ５４では、Ｔｓ１からＴｓ０を減算し、レーザ発振器２の停止時間Ｔｓ（発振器停止時間）を算出する。ステップＳ５５では、ガス圧差Ｇｄを発振器停止時間Ｔｓで除算してリークレートＬｃ（単位はPa/hour）を算出する。ステップＳ５６では、レーザ発振器２の電源（レーザ電源２４）をオンし、発振器電源投入処理を終了する。これによりレーザ発振器２の起動を受付可能な状態となる。
【００６１】
図１３は、第４の実施形態に係る発振器起動処理の一例を示すフローチャートである。図１３の処理は、発振器電源投入処理が終了すると開始される。ステップＳ６１〜ステップＳ６４では、図４のステップＳ１１〜ステップＳ１４と同一の処理を行う。すなわち、ステップＳ６１で送風機３を起動し、ステップＳ６２でレーザガス圧を所定値Ｇ１に調整し、ステップＳ６３でレーザ発振施行を実施し、ステップＳ６４でそのときのレーザ出力Ｐａ１をメモリに記憶する。
【００６２】
次いで、ステップＳ６５で、予め発振器電源投入処理により算出したリークレートＬｃとレーザ出力Ｐａ１とに基づき推定リークレートＬ１を求める。例えば、図４のステップＳ１５と同様にしてレーザ出力Ｐａ１からリークレートを求め、このリークレートとリークレートＬｃとの平均値を推定リークレートして算出する。ステップＳ６６では、推定リークレートＬ１を表示部６に表示し、発振器起動処理を終了する。
【００６３】
第４の実施形態では、レーザ発振器２の停止時間中に計測されたガス圧差Ｇｄを停止時間Ｔｓで除算して基準となるリークレートＬｃを算出し、このリークレートＬｃとレーザ出力Ｐａ１とから推定リークレートＬ１を算出するようにした。これにより簡易計算によって求めたリークレートＬｃをレーザ出力によるリークレートで修正できるため、より正確な推定リークレートＬ１を求めることができる。
【００６４】
なお、ステップＳ５５で、ガス圧差と発振器停止時間ＴｓとによりリークレートＬｃを求める代わりに、レーザ発振器２の起動前のガス圧Ｇｓ１と発振器停止時間ＴｓとによりリークレートＬｃを求め、ステップＳ６５で、このリークレートＬｃとレーザ出力Ｐａ１とから推定リークレートＬ１を算出するようにしてもよい。推定リークレートＬ１を表示する代わりに、推定リークレートＬ１に基づきレーザガス容器１の密閉性の良否を判断し、警告を表示するようにしてもよい。
【００６５】
ガス圧差Ｇｄやガス圧Ｇｓ１ではなく、他の物理量を監視して推定リークレートＬ１を求める、あるいは密閉性の良否を判定するようにしてもよい。図１４は、図１３の変形例を示すフローチャートである。なお、図１３と同一の箇所には同一の符号を付している。図１４では、レーザガス容器１の密閉性が悪いと送風機３のインバータ電力が大きくなる点を考慮し、インバータ電力を監視する。なお、図１４では、発振器停止時間Ｔｓを用いずに密閉性の良否を判定するため、発振器起動処理の開始前に図１２の発振器電源投入処理を行わない。
【００６６】
図１４において、ステップＳ６１で送風機を起動した後、ステップＳ６７で、送風機駆動用のインバータの電力Ｅｂをメモリに記憶する。インバータ電力Ｅｂは制御部５（レーザ制御部５２）で取得することができる。次いで、ステップＳ６２でレーザガス圧を所定値Ｇ１に調整し、ステップＳ６３でレーザ発振試行を実施し、ステップＳ６４でレーザ出力Ｐａ１をメモリに記憶した後、ステップＳ６８で、図５のステップＳ１７と同様、レーザ出力Ｐａ１が基準値Ｐｔ１より小さいか否かを判定する。
【００６７】
ステップＳ６８が否定されるとステップＳ６９に進み、肯定されるとステップＳ６９をパスしてステップＳ７０に進む。ステップＳ６９では、インバータ電力Ｅｂが予め定めた基準値Ｅｂｓより大きいか否かを判定する。基準値Ｅｂｓは、密閉性の良否を判断するための閾値であり、予め実験等により求めた値である。ステップＳ６９が肯定されるとステップＳ７０に進み、否定されるとステップＳ７０をパスして処理を終了する。ステップＳ７０では、表示部６にレーザガス容器１の密閉性が悪い旨の警告を表示する。
【００６８】
図１４の例では、レーザ出力Ｐａ１が基準値Ｐｔ１より小さい場合または送風機３のインバータ電力Ｅｂが基準値Ｅｂｓより大きい場合に、警告を表示する。このため、レーザガス容器１の密閉性の良否を、より確実に判断することができる。なお、密閉性の良否を判断する代わりに、推定リークレートＬ１を求めてこれを表示するようにしてもよい。この場合、例えばインバータ電力Ｅｂとリークレートとの関係を予め実験等により求めて記憶しておき、この関係からインバータ電力Ｅｂに対応したリークレートを算出し、このリークレートとレーザ出力Ｐａ１から求めたリークレートとの平均値を、推定リークレートＬ１としてもよい。
【００６９】
図１５は、図１３の他の変形例を示すフローチャートである。なお、図１３と同一の箇所には同一の符号を付している。図１５では、レーザ発振器２の温度（発振器温度）が低いとレーザ出力が低くなる点を考慮し、発振器温度を監視する。すなわち、密閉性に問題がない場合であっても、発振器温度Ｔｍが低いことに起因してレーザ出力が低くなる場合があり、この場合に密閉性が悪いと誤って判断することを防止するようにしたのが図１５の例である。なお、図１５でも、発振器停止時間Ｔｓを用いずに密閉性の良否を判定するため、発振器起動処理の開始前に図１２の発振器電源投入処理を行わない。
【００７０】
図１６は、図１５の処理に対応したレーザ装置１００のブロック図である。図１６に示すように、制御部５には、レーザ発振器２の温度を検出する温度検出器８が接続されている。なお、温度検出器８の代わりに温度スイッチ等、他の温度検出部を用いることもできる。
【００７１】
図１５において、ステップＳ６４でレーザ発振試行時のレーザ出力Ｐａ１を記憶するとステップＳ７１に進み、温度検出器７により検出された発振器温度Ｔｍをメモリに記憶する。ステップＳ７２では、レーザ出力Ｐａ１が基準値Ｐｔ１より小さいか否かを判定し、肯定されるとステップＳ７３に進む。ステップＳ７３では、発振器温度Ｔｍが予め定めた基準値Ｔｍｓより高いか否かを判定する。基準値Ｔｍｓは、密閉性の良否判定を有効に行うことができるか否かを判断するための閾値であり、実験等により予め求めることができる。
【００７２】
ステップＳ７３が肯定されるとステップＳ７４に進み、表示部６に警告を表示する。これにより、発振器温度Ｔｍが低い場合は、レーザ出力Ｐａ１が基準値Ｐｔ１より小さい場合であっても警告表示を行わないので、密閉性の良否を誤って判定することを防止できる。
【００７３】
（変形例）
上記実施形態では、第１熱交換器３１の下流側かつ送風機３０の上流側にガス圧検出器３３を設けるようにしたが、レーザガス容器１内のレーザガス圧を検出するのであれば、ガス圧検出部を他の位置に設けてもよい。ガス圧検出器３３の検出結果に基づき吸気装置１３および排気装置１４を制御してレーザガス圧を所定値Ｇ１に調整するようにしたが、圧力調整部の構成はこれに限らない。レーザ発振器２の起動前に、レーザガス圧が大気圧よりも低い目標ガス圧（第１ガス圧）となり、レーザ発振器２の起動かつレーザ照射前の準備段階において、レーザガス圧がレーザ光を照射可能な所定値Ｇ１（第２ガス圧）となるように圧力調整部を制御するのであれば、圧力制御部５１の構成はいかなるものでもよい。
【００７４】
準備段階において、レーザ発振器２が予め定められた発振条件に従いレーザ光を出力する初期動作（レーザ発振試行）を実行するようにレーザ発振器２を制御するのであれば、レーザ制御部５２の構成もいかなるものでもよい。レーザ出力部としてのレーザ検出器２６により検出された検出値Ｐａ１に基づき、レーザガス容器１の密閉性の程度を推定するのであれば、密閉推定部としての制御部５の構成もいかなるものでもよい。
【００７５】
上記実施形態（図４）では、レーザ発振試行時に検出されたレーザ出力Ｐａ１を用いて推定リークレートＬ１を求めるようにしたが、レーザ出力Ｐａ１と相関関係を有する他の物理量（例えばレーザ電源２４の電流、電圧、電力等）を用いて推定リークレートＬ１を算出してもよい。したがって、レーザ検出部を、レーザ検出器３６以外により構成してもよい。上記実施形態（図６）では、レーザ発振試行の実施回数Ｎ１に応じてレーザガス容器の密閉性の程度を推定するようにしたが、レーザ発振試行の実施された時間（トータルの時間）に応じてこれを推定するようにしてもよい。
【００７６】
上記実施形態（図７）では、初期動作の終了時に検出されたレーザ出力Ｐａ１をレーザ出力記憶部としての制御部５のメモリに記憶し、この記憶された値Ｐｐ（＝Ｐａ１）を用いてレーザ発振試行時の基準値Ｐｔ１（所定値）を設定するようにしたが、所定値の設定の仕方はこれに限らない。上記実施形態（図５）では、検出されたレーザ出力Ｐａ１と閾値Ｐｔ１とを比較して密閉性の良否を判定するようにしたが、レーザ出力Ｐａ１が所定値Ｐｔ１になるまでレーザ発振試行を繰り返し、そのときのレーザ発振試行の行われた回数または時間と閾値とを比較して密閉性の良否を判定してもよい。
【００７７】
上記実施形態（図８）では、第１発振条件に従いレーザ光を出力するレーザ発振試行１（第１初期動作）と、第２発振条件に従いレーザ光を出力するレーザ発振試行２（第２初期動作）とを実行するようにしたが、これより多くの発振条件を設定し、レーザ発振試行を行うようにしてもよい。図９〜図１１と同様、第２初期動作により出力されたレーザ光の検出値Ｐａ２に基づき推定リークレートＬ１を求めるようにしてもよい。
【００７８】
上記実施形態（図９）では、レーザ発振器２の電源の切断指令が入力されたときのガス圧の検出値Ｇｓ０を、ガス圧記憶部としての制御部５のメモリに記憶し、このガス圧Ｇｓ０とレーザ発振器２の起動後に検出されたガス圧Ｇｓ１との差圧Ｇｄを、差圧検出部としての制御部５で検出するようにしたが、ガス圧記憶部および差圧検出部の構成はこれに限らない。上記実施形態（図１０）では、レーザ発振器２の発振器起動処理開始前に検出されたガス圧Ｇｓ１を、ガス圧記憶部としての制御部５のメモリに記憶したが、ガス圧記憶部の構成はこれに限らない。
【００７９】
上記実施形態（図１１）では、ガス圧Ｇｓ１が基準値Ｇｓｓより大きいときに、第３発振条件に従い第３初期動作をフィードバック制御により実行するようにしたが、フィードバックを有効にして他の初期動作を行うようにしてもよい。上記実施形態（図１２）では、レーザ発振器２の電源が切断されてからレーザ発振器２が起動を開始するまでの時間（発振器停止時間Ｔｓ）を制御部５で算出するようにしたが、停止時間算出部の構成はこれに限らない。発振器停止時間Ｔｓを用いて算出したリークレートＬｃとレーザ出力Ｐａ１から求めたリークレートとを平均して推定リークレートを求めるようしたが、発振器停止時間Ｔｓと検出されたレーザ出力Ｐａ１とに基づき密閉性の程度を推定するのであれば、制御部５の構成はいかなるものでもよい。
【００８０】
上記実施形態（図１４）では、送風機３のインバータ電力Ｅｂと基準値Ｅｂｓとの大小を比較して密閉性の程度を推定するようにしたが、送風機３の回転と相関関係を有する他の物理量（例えば送風機３の電圧、電力、吐出圧力、吸入圧力等）を用いて密閉性の程度を推定してもよい。この場合、送風機３の回転と相関関係を有する複数の物理量を用いて密閉性の程度を推定してもよい。上記実施形態（図１５）では、レーザ発振器２の温度Ｔｍを温度検出器８により検出するようにしたが、レーザガス容器１内のレーザガス温度と相関関係を有する他の物理量を検出し、この検出値とレーザ出力Ｐａ１とに基づき密閉性の程度を推定することもできる。
【００８１】
以上の説明はあくまで一例であり、本発明の特徴を損なわない限り、上述した実施形態および変形例により本発明が限定されるものではない。上記実施形態および変形例の構成要素には、発明の同一性を維持しつつ置換可能かつ置換自明なものが含まれる。すなわち、本発明の技術的思想の範囲内で考えられる他の形態についても、本発明の範囲内に含まれる。また、上記実施形態と変形例の１つまたは複数を任意に組み合わせることも可能である。
【符号の説明】
【００８２】
１    レーザガス容器
２    レーザ発振器
３    送風機
５    制御部
６    表示部
１３    吸気装置
１４    排気装置
２４    レーザ電源
２６    レーザ検出器
５１    圧力制御部
５２    レーザ制御部
【図１】
2014170885.tif 000003
【図２】
2014170885.tif 000004
【図３】
2014170885.tif 000005
【図４】
2014170885.tif 000006
【図５】
2014170885.tif 000007
【図６】
2014170885.tif 000008
【図７】
2014170885.tif 000009
【図８】
2014170885.tif 000010
【図９】
2014170885.tif 000011
【図１０】
2014170885.tif 000012
【図１１】
2014170885.tif 000013
【図１２】
2014170885.tif 000014
【図１３】
2014170885.tif 000015
【図１４】
2014170885.tif 000016
【図１５】
2014170885.tif 000017
【図１６】
2014170885.tif 000018