(57)【要約】【課題】本発明は、特定の傾斜角度でのみ観察可能である板状基板表面の傷や異物の撮影において、手振れの防止、傾斜角度の調整・固定を可能とした固定用治具を提供することを課題とする。【解決手段】特定の傾斜角度でのみ観察可能である板状基板表面の傷や異物を撮影するための固定用治具であって、面の傾斜角度を調整・固定することが可能な基板保持部を有し、前記基板保持部の四つ角部分に前記板状基板を接触させて載置させる固定用治具を提供する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
特定の傾斜角度でのみ観察可能である板状基板表面の傷や異物を撮影するための固定用治具であって、面の傾斜角度を調整・固定することが可能な基板保持部を有し、前記基板保持部の四つ角部分に前記板状基板を接触させて載置させることを特徴とする固定用治具。
【請求項２】
前記基板保持部と支柱とをヒンジを介して連結し、前記ヒンジの折り曲げ角度を調整することで前記基板保持部の傾斜角度を調整・固定することを特徴とする請求項１記載の固定用治具。
【請求項３】
前記基板保持部を樹脂材料で構成し、該基板保持部の面を前記板状基板の面の方向とは異なる方向を向かせたことを特徴とする請求項２記載の固定用治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、特定の傾斜角度でのみ観察可能である板状基板表面の傷や異物の撮影において、手振れの防止、傾斜角度の調整・固定を可能とした固定用治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、板状基板、例えばフォトマスク用ブランクス（以下マスクブランクと記す）の製造工程において、ガラス基板へのクロムを成膜後のマスクブランク表面上の傷、異物検査が行われている。先ず、マスクブランクにおける傷、異物を撮影し、その画像により、マスクブランク表面上の傷、異物の特徴を把握し、それらの欠陥の発生原因を究明し、それにより工程を改善している。
【０００３】
マスクブランクやガラス基板表面上の傷や異物は、特定の傾斜角度でのみ観察可能なものが多い。そのため、従来は、斜めに立てるラックを使用したり、手で持つハンドラーを用いてマクロ検査を行うことが提案されていた。
【０００４】
しかし、斜めに立てるラックでは傾斜角度を調整することが出来ないため、それを改善した特許文献１では、被検体基板に照明光を照射する照明ユニットと、マスクブランク等のガラス基板を固定する保持部を有し、マスクブランクを固定した保持部をマクロ検査に適した傾斜角度に回動する機構を設けたマクロ検査装置の技術が開示されていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００６−２５０７８３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
マスクブランク表面上の傷や異物は、特定の傾斜角度でのみ観察可能なものが多いため、マスクブランクのマクロ検査を行う際には、速やかに特定の傾斜角度にまでマスクブランクの面を傾けてマクロ検査を行うことが望ましい。しかし、特許文献１のマクロ検査装置では、検査対象のガラス基板は液晶ディスプレイのマザーガラスのように大型のガラス基板であり、検査装置は大きく、その設備を設置するために大きな床面積が必要とされる問題があった。また、そのマクロ検査装置の操作も大掛かりであるので、マスクブランクの傷や異物等の各々の種別の欠陥に応じて種々の特定の傾斜角度でマスクブランクを観察するために頻繁に速やかにマスクブランクの傾斜角度を変えることができない欠点があった。
【０００７】
速やかにマスクブランクの傾斜角度を変えることができるためには、従来通り、手で持つハンドラーを使用してマクロ検査を行うことが望ましかった。しかし、手で持つハンドラーでは手ぶれを起こし、傷、異物を撮影するためにマスクブランクを所定の角度で一定時間固定することが困難である問題があった。
【０００８】
そのため、本発明の課題は、マスクブランクのような小型基板を、速やかに傾斜角度を変えることができる機構を備え、かつ、特定の傾斜角度でのみ観察可能な傷や異物を観察して撮影するためにマスクブランクを所定の角度で一定時間固定することができ、そして、設備を設置する床面積の占有面積も最低限に狭くして検査を行なうことができる固定治具を得ることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、上記課題を解決するために、特定の傾斜角度でのみ観察可能である板状基板表面の傷や異物を撮影するための固定用治具であって、面の傾斜角度を調整・固定することが可能な基板保持部を有し、前記基板保持部の四つ角部分に前記板状基板を接触させて載置させることを特徴とする固定用治具である。
【００１０】
また、本発明は、前記基板保持部と支柱とをヒンジを介して連結し、前記ヒンジの折り曲げ角度を調整することで前記基板保持部の傾斜角度を調整・固定することを特徴とする上記の固定用治具である。
【００１１】
また、本発明は、前記基板保持部を樹脂材料で構成し、該基板保持部の面を前記板状基板の面の方向とは異なる方向を向かせたことを特徴とする上記の固定用治具である。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、特定の傾斜角度でのみ観察可能である板状基板表面の傷や異物の撮影において、手振れの防止、傾斜角度の調整・固定ができ、傷や異物の深さや大きさに関わらずに容易に傷や異物の撮影を行なうことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の固定用治具全体の概要を説明する斜視図である。
【図２】本発明の固定用治具の可動面に対して平行な側面図である。
【図３】本発明の固定用治具の可動面に対して垂直な側面図である。
【図４】本発明の固定用治具の上面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
本発明の固定用冶具の実施の形態について図面を用いて詳細に説明する。図１は、本発明の固定用冶具の全体の概要を説明するための斜視図である。図２は、稼動面に対して平行な側面図である。図３は、稼動面に対して垂直な側面図である。図４は、上面図である。
【００１５】
固定用冶具は、樹脂製の土台となる１７ｃｍ×２２ｃｍ×０．５ｃｍの長方形の土台板１と、支柱となる１５．５ｃｍ×１５ｃｍ×０．５ｃｍの長方形の支柱板２、補強のための４ｃｍ×４ｃｍの直角二等辺三角形の補強板７、回転軸３ａを中心に折り曲げられるヒンジ（蝶番）３、基板保持部４、低密度ポリエチレン製の支持ピン６を有する基板滑り止めバンド５から成る。そして、固定用治具の土台となる土台板１の中央に支柱となる支柱板２を設置し、支柱板２の先端にヒンジ３を設置する。
【００１６】
基板保持部４は、図１のようにＹ方向の折り曲げ線４ｃを中心にして、折り曲げ線４ｃの右側の片４ａと、折り曲げ線４ｃの左側の片４ｂとが数度の角度を成すように折り曲げ、その上側に凹面を形成するようにする。折り曲げ線４ｃの方向は、図１のようなＹ方向に限定されず、Ｘ方向の折り曲げ線４ｃを用いることもでき、あるいは、Ｘ方向の折り曲げ線４ｃとＹ方向の折り曲げ線４ｃを混在させても良い。これらの折り曲げ線４ｃで基板保持部４の面を折り曲げることで、基板保持部４の面を、その基板保持部４上に設置するマスクブランク等の透明な板状基板８の面の方向とは異なる方向を向かせる。
【００１７】
板状基板８は、以下のようにして、基板保持部４の四つ角部分に接触させて載置する。すなわち、基板保持部４の、板状基板８が接触する四つ角部分には、支持ピン６を有する基板滑り止めバンド５を設置する。そして、基板保持部４の上面に設置した支持ピン６の上の滑り止めバンド５上に、寸法が１５．２ｃｍ×１５．２ｃｍ×６．３５±０．１ｍｍのマスクブランク等の板状基板８の下面を接触させて板状基板８を基板保持部４の四つ角
部分に固定して保持する。基板保持部４および支柱板２などの固定用治具本体の素材は樹脂製とすることが望ましい。
【００１８】
ヒンジ３は基板保持部４、及び板状基板８の重心位置に配置し、支柱板２にヒンジ３の一方の可動片を固定し、ヒンジ３の他方の可動片を基板保持部４に固定することで、ヒンジ３を介して支柱板２と基板保持部４を連結する。そして、図１〜４のように、ヒンジ３の回転軸３ａをＸ軸方向に向ける。すなわち、ヒンジ３を、その回転軸３ｃを中心にしてＹＺ面内で回転させ、そのヒンジ３の一方の可動片を固定した基板保持部４に設置した板状基板８の面の傾斜を、水平状態から±約６０度の範囲で可変に動かして調整できるようにする。また、折り曲げ回転したヒンジ３の角度を固定する固定機構（図示せず）を設ける。
【００１９】
基板保持部４を折り曲げ線４ｃを中心にして数度の角度で折り曲げることで、基板保持部４の面の方向を、その上に設置する板状基板８の面の方向と異ならせる。そうすることで、光源からの光がマスクブランク等の透明な板状基板８の面から反射する方向と、その透明な板状基板８を透過した光が基板保持部４の面から反射する方向とを異ならせることができる。それにより、光源からの光のマスクブランク等の板状基板８からの反射光を観察する際に、基板保持部４の表面で反射した光が観察光に混じって観察を妨害する問題を防ぐことができる効果がある。
【００２０】
（変形例１）
この基板保持部４の面の、板状基板８の面に対する傾斜を得るために、基板保持部４の面を折返し線４ｃで折り返す以外の方法として以下の変形例１の方法もある。すなわち、基板保持部４の面を板状基板８の面から傾けて傾斜面を形成することで、基板保持部４の面を板状基板８の表面とは異なる方向を向かせるようにすることもできる。
【符号の説明】
【００２１】
１・・・土台板
２・・・支柱板
３・・・ヒンジ（蝶番）
３ａ・・・ヒンジの回転軸
４・・・基板保持部
４ａ・・・基板保持部の右側の片
４ｂ・・・基板保持部の左側の片
４ｃ・・・折り曲げ線
５・・・滑り止めバンド
６・・・支持ピン
７・・・補強板
８・・・板状基板
Ｘ・・・Ｘ方向
Ｙ・・・Ｙ方向
Ｚ・・・Ｚ方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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