(57)【要約】【課題】着色感光性組成物の全固形分に対する顔料の割合を２０質量％以上としたときにも、感度が高く、且つ現像性が良好な着色感光性組成物を提供する。【解決手段】（Ａ）酸の作用によりアルカリ現像液への溶解度が向上する樹脂、（Ｂ）顔料、（Ｃ）活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物及び（Ｄ）溶剤を含有し、着色感光性組成物の全固形分に対する前記（Ｂ）顔料の割合が２０質量％以上である、着色感光性組成物。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
（Ａ）酸の作用によりアルカリ現像液への溶解度が向上する樹脂、
（Ｂ）顔料、
（Ｃ）活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、及び
（Ｄ）溶剤、を含有し、
着色感光性組成物の全固形分に対する前記（Ｂ）顔料の割合が２０質量％以上である、着色感光性組成物。
【請求項２】
前記着色感光性組成物の全固形分に対する前記（Ｂ）顔料の割合が６０質量％以上である、請求項１に記載の着色感光性組成物。
【請求項３】
前記（Ａ）酸の作用によりアルカリ現像液への溶解度が向上する樹脂が、さらに、側鎖に、重量平均分子量が５００〜１００，０００であるオリゴマー又はポリマー鎖を有する、請求項１又は２に記載の着色感光性組成物。
【請求項４】
前記（Ａ）酸の作用によりアルカリ現像液への溶解度が向上する樹脂が、さらに酸基を有する、請求項１〜３のいずれか１項に記載の着色感光性組成物。
【請求項５】
前記酸基がカルボン酸基である、請求項４に記載の着色感光性組成物。
【請求項６】
前記（Ａ）酸の作用によりアルカリ現像液への溶解度が向上する樹脂が下記一般式（Ａ−Ｉ）で表される基を有する、請求項１〜６のいずれか１項に記載の着色感光性組成物。
一般式（Ａ−Ｉ）
【化１】
2014170189.tif 000032
（一般式（Ａ−Ｉ）中、Ａは酸の作用により脱離する基を表す。）
【請求項７】
前記重量平均分子量が５００〜１００，０００であるオリゴマー又はポリマー鎖が、前記一般式（Ａ−Ｉ）で表される基を有する、請求項６に記載の着色感光性組成物。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか１項に記載の着色感光性組成物を硬化してなる硬化膜。
【請求項９】
請求項１〜７のいずれか１項に記載の着色硬化性組成物を用いた着色層を有するカラーフィルタ。
【請求項１０】
前記着色層の厚さが０．２〜３．０μｍである、請求項９に記載のカラーフィルタ。
【請求項１１】
請求項１〜７のいずれか１項に記載の着色感光性組成物を、支持体上に塗布して着色層を形成する着色層形成工程と、
前記着色層を、マスクを介してパターン露光する露光工程と、
露光後の前記着色層を現像して着色パターンを形成する現像工程とを含む、カラーフィルタの製造方法。
【請求項１２】
請求項９又は１０に記載のカラーフィルタ又は請求項１１に記載のカラーフィルタの製造方法により製造されたカラーフィルタを有する液晶表示装置又は固体撮像素子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示装置（ＬＣＤ）や固体撮像素子（ＣＣＤ、ＣＭＯＳなど）等に用いられるカラーフィルタを作製するのに好適な着色感光性組成物、及び該着色感光性組成物により形成された着色領域を有するカラーフィルタ、及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
カラーフィルタは、液晶ディスプレイや固体撮像素子に不可欠な構成部品である。近年、液晶ディスプレイでは、従来のＴＶ用途・モニター用途のものに比し、より高度な画質が求められ、コントラスト及び色純度の向上が要求されている。カラーフィルタ製造用途の着色感光性組成物に関しては、使用する顔料の粒子サイズとして、より微小なものを用いることで、コントラストを向上させる試みがなされている（例えば特許文献１を参照。）。また、固体撮像素子用のカラーフィルタにおいても、高解像力化のために、色ムラの低減が必要な特性になっており、このために粒子サイズの小さな微細顔料を用いて、２次凝集体が無い状態に分散させることが重要になっている。
【０００３】
近年、特に液晶表示装置用のカラーフィルタでは、色純度の向上が要求され、このために顔料の充填量を増加させることが必要である。また、固体撮像素子用のカラーフィルタでは、解像力向上の手段の１つとして、散乱による迷光低減等が必要であるが、このためにも着色層を薄層にする要求が強く、固体撮像素子用のカラーフィルタ作成においても、顔料の充填量を増加させることが必要である。
【０００４】
顔料の充填量を増加させるには、着色感光性組成物中の顔料濃度を高める必要がある。しかし、顔料濃度を高めすぎると、必然的に着色感光性組成物中の分散樹脂や感光性成分（モノマー、重合開始剤等）の含有量が低下するため、現像性が悪化し、パターン形成性が不良になる問題が生じてしまう。特に、固体撮像素子用のカラーフィルタは、高画素化、小型化のために、パターンサイズが非常に小さくなり、現像性（未露光部の残渣抑制）の悪化が大きな問題となっていた。
一方、カチオン性基を有する幹ポリマーからなる櫛形樹脂や、ポリアリルアミンからなるグラフトポリマーを適用する技術が知られている（例えば特許文献２、３を参照）。また、パターンを形成する方法として、光酸発生剤及び酸の作用によりアルカリ現像液への溶解性が向上する樹脂を利用したポジ型パターン形成方法が知られている（例えば特許文献４を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００６−３０５４１号公報
【特許文献２】特開平９−１７６５１１号公報
【特許文献３】特開２００１−２７２５２４号公報
【特許文献４】特開２００８−１４５７１５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、着色感光性組成物の全固形分に対する顔料の割合を２０質量％以上としたときにも、感度が高く、且つ現像性が良好な着色感光性組成物を提供することを目的とする。また、前記着色感光性組成物を用いたカラーフィルタ及びカラーフィルタの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
かかる状況のもと本願発明者が鋭意検討を行った結果、着色感光性組成物中に、（Ａ）酸の作用によりアルカリ現像液への溶解度が向上する樹脂、（Ｂ）顔料、（Ｃ）活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物及び（Ｄ）溶剤を配合することにより、着色感光性組成物中の全固形分に対する（Ｂ）顔料の割合を２０質量％以上としたときにも、現像性及び感度が予想外に向上することを見出し、本発明を完成させるに至った。
具体的には、以下の手段＜１＞により、好ましくは、＜２＞〜＜１２＞により、上記課題は解決された。
＜１＞（Ａ）酸の作用によりアルカリ現像液への溶解度が向上する樹脂、
（Ｂ）顔料、
（Ｃ）活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、及び
（Ｄ）溶剤、を含有し、
着色感光性組成物の全固形分に対する前記（Ｂ）顔料の割合が２０質量％以上である、着色感光性組成物。
＜２＞前記着色感光性組成物の全固形分に対する前記（Ｂ）顔料の割合が６０質量％以上である＜１＞に記載の着色感光性組成物。
＜３＞前記（Ａ）酸の作用によりアルカリ現像液への溶解度が向上する樹脂が、さらに、側鎖に、重量平均分子量が５００〜１００，０００であるオリゴマー又はポリマー鎖を有する、＜１＞又は＜２＞に記載の着色感光性組成物。
＜４＞前記（Ａ）酸分解性樹脂が、さらに酸基を有する、＜１＞〜＜３＞のいずれかに記載の着色感光性組成物。
＜５＞前記酸基がカルボン酸基である、＜４＞に記載の着色感光性組成物。
＜６＞前記（Ａ）酸の作用によりアルカリ現像液への溶解度が向上する樹脂が下記一般式（Ａ−Ｉ）で表される基を有する、＜１＞〜＜５＞のいずれかに記載の着色感光性組成物。
一般式（Ａ−Ｉ）
【化１】
2014170189.tif 000002
（一般式（Ａ−Ｉ）中、Ａは酸の作用により脱離する基を表す。）
＜７＞前記重量平均分子量が５００〜１００，０００であるオリゴマー又はポリマー鎖が、前記一般式（Ａ−Ｉ）で表される基を有する、＜６＞に記載の着色感光性組成物。
＜８＞＜１＞〜＜７＞のいずれかに記載の着色感光性組成物を硬化してなる硬化膜。
＜９＞＜１＞〜＜７＞のいずれかに記載の着色硬化性組成物を用いた着色層を有するカラーフィルタ。
＜１０＞前記着色層の厚さが０．２〜３．０μｍである、＜９＞に記載のカラーフィルタ。
＜１１＞＜１＞〜＜７＞のいずれかに記載の着色感光性組成物を、支持体上に塗布して着色層を形成する着色層形成工程と、
前記着色層を、マスクを介してパターン露光する露光工程と、
露光後の前記着色層を現像して着色パターンを形成する現像工程とを含む、カラーフィルタの製造方法。
＜１２＞＜９＞又は＜１０＞に記載のカラーフィルタ又は＜１１＞に記載のカラーフィルタの製造方法により製造されたカラーフィルタを有する液晶表示装置又は固体撮像素子。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、着色感光性組成物の全固形分に対する顔料の割合を２０質量％以上としたときにも、感度が高く、且つ現像性が良好な着色感光性組成物を提供することができる。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下において、本発明の内容について詳細に説明する。
本願明細書において「〜」とはその前後に記載される数値を下限値及び上限値として含む意味で使用される。
本明細書における基（原子団）の表記において、置換及び無置換を記していない表記は、置換基を有さないものと共に置換基を有するものも包含する。例えば「アルキル基」とは、置換基を有さないアルキル基（無置換アルキル基）のみならず、置換基を有するアルキル基（置換アルキル基）も包含する。
本明細書中において、“（メタ）アクリレート”はアクリレート及びメタクリレートを表し、“（メタ）アクリル”はアクリル及びメタクリルを表し、“（メタ）アクリロイル”はアクリロイル及びメタクリロイルを表す。
本明細書中において、「着色層」は、カラーフィルタに用いられる画素を意味する。
本発明における顔料とは、例えば、溶剤に溶解しない不溶性の色素化合物を意味する。ここで、溶剤とは、後述する溶剤の欄で例示する溶剤が挙げられる。したがって、これらの溶剤に溶解しない色素化合物が本発明における顔料に該当する。
本明細書中において、着色領域とは、カラーフィルタにおける着色画素（着色パターン）領域、及び、遮光膜形成領域を包含するものである。
本明細書において、“Ｍｅ”はメチル基を表し、“Ｅｔ”はエチル基を表し、“Ｂｕ”はブチル基を表す。
【００１０】
本発明の着色感光性組成物（以下、「本発明の組成物」ともいう。）は、（Ａ）酸の作用によりアルカリ現像液への溶解度が向上する樹脂（以下、（Ａ）酸分解性樹脂ともいう）、（Ｂ）顔料、（Ｃ）活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、（Ｄ）溶剤、を含有する。以下、詳細に説明する。
本発明の組成物は、（Ａ）酸分解性樹脂と、（Ｃ）活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物とを組み合わせて使用することにより、例えば、本発明の組成物中の顔料濃度を高くした場合にも、高い感度を維持しつつ、現像性を良好にすることができる。したがって、本発明の組成物を用いた着色層をより薄膜化することができる。
【００１１】
＜（Ａ）酸の作用によりアルカリ現像液への溶解度が向上する樹脂＞
本発明の感光性組成物に用いられる（Ａ）酸分解性樹脂は、酸の作用によりアルカリ現像液への溶解度が向上する樹脂である。酸の作用によりアルカリ現像液への溶解度が向上とは、例えば、酸の種類、アルカリ現像液、温度等の条件を一定にしたときに、酸を作用させたときの方が、酸を作用させないときよりも、アルカリ現像液への溶解度が向上する樹脂をいう。
例えば、（Ａ）酸分解性樹脂は、酸の作用によりアルカリ現像液への溶解度が向上する基（以下、「酸分解性基」ともいう）を有することが好ましい。（Ａ）酸分解性樹脂は、その主鎖及び側鎖の少なくとも一方に、酸分解性基を有することが好ましい。
（Ａ）酸分解性樹脂は、酸の作用により分解し、アルカリ可溶性となる基（以下、「アルカリ可溶性基」ともいう）を生じる基を有することが好ましい。
本発明における「アルカリ可溶性」とは、例えば、本発明の組成物を基板上に塗布し、９０℃で２分間加熱することによって形成される本発明の組成物の塗膜（厚さ４μｍ）の、２３℃における０．４重量％テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液に対する溶解速度が、０．０１μｍ／秒以上であることをいう。
【００１２】
前記アルカリ可溶性基としては、フェノール性水酸基、カルボン酸基、フッ素化アルコール基、スルホン酸基、スルホンアミド基、スルホニルイミド基、（アルキルスルホニル）（アルキルカルボニル）メチレン基、（アルキルスルホニル）（アルキルカルボニル）イミド基、ビス（アルキルカルボニル）メチレン基、ビス（アルキルカルボニル）イミド基、ビス（アルキルスルホニル）メチレン基、ビス（アルキルスルホニル）イミド基、トリス（アルキルカルボニル）メチレン基、トリス（アルキルスルホニル）メチレン基を有する基等が挙げられる。
好ましいアルカリ可溶性基としては、カルボン酸基、フッ素化アルコール基（好ましくは、ヘキサフルオロイソプロパノール）、スルホン酸基が挙げられる。これらの中でも、カルボン酸基が特に好ましい。
【００１３】
酸分解性基は、前記アルカリ可溶性基の水素原子が酸の作用により脱離する基で保護されていることが好ましい。
例えば、酸分解性基は、下記一般式（Ａ−Ｉ）で表される基であることが好ましい。
一般式（Ａ−Ｉ）
【化２】
2014170189.tif 000003
（一般式（Ａ−Ｉ）中、Ａは酸の作用により脱離する基を表す。）
【００１４】
酸の作用により脱離する基としては、特に限定されないが、例えば、−Ｃ（Ｒ36）（Ｒ37）（Ｒ38）、−Ｃ（Ｒ36）（Ｒ37）（ＯＲ39）、−Ｃ（Ｒ01）（Ｒ02）（ＯＲ39）等が好ましい。
Ｒ36〜Ｒ39は、各々独立して、アルキル基、脂環基、アリール基、アラルキル基又はアルケニル基表す。Ｒ36とＲ37とは、互いに結合して環を形成してもよい。
Ｒ01、Ｒ02は、各々独立して、水素原子、アルキル基、脂環基、アリール基、アラルキル基又はアルケニル基を表す。
前記一般式（Ａ−Ｉ）で表される基は、好ましくは、クミルエステル基、エノールエステル基、アセタールエステル基、第二級アルキルエステル、第三級のアルキルエステル基等である。さらに好ましくは、第三級アルキルエステル基であり、脂環式の第三級アルキルエステル基がより好ましい。
【００１５】
また、酸の作用により脱離する基は、下記一般式（ｐＩ）〜（ｐＶ）から選ばれる構造も好ましい。
【化３】
2014170189.tif 000004
【００１６】
前記一般式（ｐＩ）〜（ｐＶ）中、Ｒ11は、直鎖状のアルキル基を表し、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、イソブチル基又はｓｅｃ−ブチル基が好ましい。
Ｚは、炭素原子とともに脂環基を形成するのに必要な原子団を表す。
Ｒ12〜Ｒ16は、各々独立に、水素原子、炭素数１〜４の、直鎖状もしくは分岐状のアルキル基又は脂環基を表す。
Ｒ17〜Ｒ21は、各々独立に、水素原子、炭素数１〜４の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基又は脂環基を表す。但し、Ｒ17〜Ｒ21のうち少なくとも１つは脂環基を表す。また、Ｒ19、Ｒ21のいずれかは炭素数１〜４個の、直鎖もしくは分岐のアルキル基又は脂環基を表す。
Ｒ22〜Ｒ25は、各々独立に、水素原子、炭素数１〜４個の、直鎖もしくは分岐のアルキル基又は脂環基を表す。但し、Ｒ22〜Ｒ25のうち少なくとも１つは脂環基を表す。また、Ｒ23とＲ24は、互いに結合して環を形成していてもよい。
【００１７】
Ｒ11〜Ｒ25における脂環基、又は、Ｚと炭素原子が形成する脂環基は、単環式でも、多環式でもよい。具体的には、炭素数５以上のモノシクロ、ビシクロ、トリシクロ、テトラシクロ構造等を有する基を挙げることができる。これらの脂環基の炭素数は、６〜３０が好ましく、特に、炭素数７〜２５が好ましい。これらの脂環基は、置換基を有していてもよいが、有していないことが好ましい。
【００１８】
好ましい脂環基としては、アダマンチル基、ノルアダマンチル基、デカリン残基、トリシクロデカニル基、テトラシクロドデカニル基、ノルボルニル基、セドロール基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基、シクロデカニル基、シクロドデカニル基等を挙げることができる。
より好ましくは、アダマンチル基、ノルボルニル基、シクロヘキシル基、シクロペンチル基、テトラシクロドデカニル基、トリシクロデカニル基を挙げることができる。
前記アルキル基及び脂環基が有していてもよい置換基としては、アルキル基（炭素数１〜４）、ハロゲン原子、水酸基、アルコキシ基（炭素数１〜４）、カルボキシル基、アルコキシカルボニル基（炭素数２〜６）が挙げられる。前記アルキル基、アルコキシ基、アルコキシカルボニル基等が、さらに有していてもよい置換基としては、水酸基、ハロゲン原子、アルコキシ基を挙げることができる。
【００１９】
前記酸の作用により脱離する基としては、前記一般式（ｐＩ）〜（ｐＩＩＩ）で表される構造が好ましい。
前記一般式（ｐＩ）で表される構造の好ましい形態は、前記一般式（ｐＩ）中、Ｚと炭素原子が形成する脂環基が、アダマンチル基、ノルボルニル基、シクロヘキシル基、シクロペンチル基、テトラシクロドデカニル基、トリシクロデカニル基であり、Ｒ11がメチル基又はエチル基である。
前記一般式（ｐＩＩ）で表される構造の好ましい形態は、前記一般式（ｐＩＩ）中、Ｒ12〜Ｒ14がメチル基である。
前記一般式（ｐＩＩＩ）で表される構造の好ましい形態は、前記一般式（ｐＩＩＩ）中、Ｒ15がメチル基又は脂環基であり、Ｒ16が水素原子である。
【００２０】
また、（Ａ）酸分解性樹脂は、下記一般式（Ａ−ＩＩａ）で表される繰り返し単位を有することが好ましい。
一般式（Ａ−ＩＩａ）
【化４】
2014170189.tif 000005
（前記一般式（Ａ−ＩＩａ）中、Ｒｘ１は、水素原子又はメチル基を表し、Ｌ1は、単結合又は二価の連結基を表し、Ａは、酸の作用により脱離する基を表す。）
前記一般式（Ａ−ＩＩａ）中、Ｌ1は、単結合又は二価の連結基を表す。二価の連結基としては、炭素数６〜１８のアリール基、−（ＣＨ2）m−（ｍは１〜１０の整数、好ましくは１〜６の整数）、−Ｏ−、−ＣＯＯ−、−Ｓ−、−Ｃ（ＯＨ）−、−ＣＯ−、等の組み合わせからなる基が好ましい。
前記一般式（Ａ−ＩＩａ）中、Ａは、前記一般式（Ｉ）中のＡ（酸の作用により脱離する基）と同義であり、好ましい範囲も同様である。
【００２１】
特に、（Ａ）酸分解性樹脂は、下記一般式（Ａ−ＩＩｂ）〜（Ａ−ＩＩｄ）で表される繰り返し単位を有することが好ましく、下記一般式（Ａ−ＩＩｂ）で表される繰り返し単位を有することがより好ましい。
【化５】
2014170189.tif 000006
（前記一般式（Ａ−ＩＩｂ）〜（Ａ−ＩＩｄ）中、Ｒｘ２１〜Ｒｘ２３は、それぞれ独立して水素原子又はメチル基を表し、Ａは、酸の作用により脱離する基を表す。）
前記一般式（Ａ−ＩＩｂ）中、Ａは、前記一般式（Ｉ）中のＡ（酸の作用により脱離する基）と同義であり、好ましい範囲も同様である。
【００２２】
以下に、前記一般式（Ａ−ＩＩｂ）〜（Ａ−ＩＩｄ）で表される繰り返し単位の具体例を以下に示すが、本発明はこれに限定されるものではない。
【化６】
2014170189.tif 000007
【００２３】
下記具体例中、Ｒｘ、Ｘａ1は、水素原子、ＣＨ3、ＣＦ3、又はＣＨ2ＯＨを表す。Ｒｘａ、Ｒｘｂはそれぞれ炭素数１〜４のアルキル基を表す。Ｚは、極性基を含む置換基を表し、複数存在する場合は各々独立である。ｐは０又は正の整数を表す。
【化７】
2014170189.tif 000008
【化８】
2014170189.tif 000009
【化９】
2014170189.tif 000010
【化１０】
2014170189.tif 000011
【化１１】
2014170189.tif 000012
【００２４】
前記（Ａ）酸分解性樹脂中には、酸分解性基を有する構成単位が１〜３０モル％含有されていることが好ましく、３〜２０モル％含有されることがより好ましく、３〜１５モル％含有されることがさらに好ましい。
なお、前記（Ａ）酸分解性樹脂中の全構成単位は、後述するように、重量平均分子量が５００〜１００，０００であるオリゴマー又はポリマー鎖に、酸分解性基を有する構成単位が含まれている場合、前記重量平均分子量が５００〜１００，０００であるオリゴマー又はポリマー鎖も含めた合計モル数を示す。
【００２５】
＜＜重量平均分子量が５００〜１００，０００であるオリゴマー又はポリマー鎖＞＞
前記（Ａ）酸分解性樹脂は、さらに、重量平均分子量が５００〜１００，０００であるオリゴマー又はポリマー鎖（立体反発基）を含有することが好ましい。いかなる理論にも拘束されるものではないが、前記（Ａ）酸分解性樹脂が、前記重量平均分子量が５００〜１００，０００であるオリゴマー又はポリマー鎖を有することにより、膜内で均一に分布することによって、本発明の組成物を膜状としたときに、膜全体での光パターニングが高効率で可能となるため、高顔料濃度条件下において、本発明の組成物の現像性をより向上させることができると推定される。
前記重量平均分子量が５００〜１００，０００であるオリゴマー又はポリマー鎖としては、公知のものを用いることができる。例えば、ポリアクリル系、ポリエステル系、ポリウレタン系、ポリアミド系、ポリイミド系等が挙げられ、ポリアクリル系及びポリエステル系の各オリゴマー又はポリマーが好ましい。特に、ポリ（メタ）アクリル酸メチル、ポリ（メタ）アクリル酸エチル、ポリ（ε−カプロラクトン）が好ましい。
例えば、前記重量平均分子量が５００〜１００，０００であるオリゴマー又はポリマー鎖は、炭化水素基又はこの炭化水素基と、−Ｏ−、−ＣＯＯ−、−Ｓ−、−ＣＯ−等との組み合わせからなる基が好ましい。炭化水素基としては、鎖状又は分岐状のアルキル基がより好ましく、鎖状又は分岐状の炭素数１〜６のアルキル基がさらに好ましく、直鎖状の炭素数１〜３のアルキル基が特に好ましい。
【００２６】
前記重量平均分子量が５００〜１００，０００であるオリゴマー又はポリマー鎖は、下記一般式（Ａ−ＩＩＩ）で表される構成単位を有することが好ましい。
一般式（Ａ−ＩＩＩ）
【化１２】
2014170189.tif 000013
（前記一般式（Ａ−ＩＩＩ）中、Ｒｘ３は、水素原子又はメチル基を表し、Ｙ1は、一価の置換基を表す。）
Ｙ1は、一価の置換基を表す。一価の置換基としては、炭化水素基又はこの炭化水素基と、−Ｏ−、−ＣＯＯ−、−Ｓ−、−ＣＯ−等との組み合わせからなる基が好ましい。炭化水素基としては、鎖状又は分岐状のアルキル基がより好ましく、鎖状又は分岐状の炭素数１〜６のアルキル基がさらに好ましく、直鎖状の炭素数１〜３のアルキル基が特に好ましい。
【００２７】
前記重量平均分子量が５００〜１００，０００であるオリゴマー又はポリマー鎖としては、例えば、下記例示化合物が挙げられるが、本発明はこれらに限定されるものではない。下記化合物中、Ｒｘ３１は、水素原子又はメチル基を表す。Ｙ11は、鎖状又は分岐状の炭素数１〜６のアルキル基を表し、直鎖状の炭素数１〜３のアルキル基が好ましい。
【化１３】
2014170189.tif 000014
【００２８】
特に、前記（Ａ）酸分解性樹脂は、前記重量平均分子量が５００〜１００，０００であるオリゴマー又はポリマー鎖が、酸分解性基を有することが好ましい。すなわち、酸分解性基が、前記重量平均分子量が５００〜１００，０００であるオリゴマー又はポリマー鎖に含有されていることが好ましい。
いかなる理論にも拘束されるものではないが、前記重量平均分子量が５００〜１００，０００であるオリゴマー又はポリマー鎖が、酸分解性基を含有することにより、前記酸分解性基が膜内で均一に分布することによって、本発明の組成物を膜状としたときに、膜全体での光パターニングが高効率で可能となるため、高顔料濃度条件下において、本発明の組成物の現像性をより向上させることができると推定される。
【００２９】
具体的に、前記重量平均分子量が５００〜１００，０００であるオリゴマー又はポリマー鎖が、酸分解性基を有する形態としては、以下の一般式（Ａ−ＩＶ）で表される構成単位を有することが好ましい。
一般式（Ａ−ＩＶ）
【化１４】
2014170189.tif 000015
（前記一般式（Ａ−ＩＶ）中、Ｒｘ４及びＲｘ５は、それぞれ独立して水素原子又はメチル基を表し、Ｙ2は、一価の置換基を表し、Ｌ2は、単結合又は二価の連結基を表し、Ａ2は、酸分解性基を表す。）
前記一般式（Ａ−ＩＶ）中、Ｙ2は、一価の置換基を表し、前記一般式（Ａ−ＩＩＩ）中のＹ1と同義であり、好ましい範囲も同様である。
前記一般式（Ａ−ＩＶ）中、Ｌ2は、単結合又は二価の連結基を表し、単結合であることが好ましい。二価の連結基としては、アリーレン基（好ましくはフェニレン基）、アルキレン基（好ましくは−（ＣＨ2）m−（ｍは１〜１０の整数、好ましくは１〜６の整数））、−Ｏ−、−ＣＯＯ−、−Ｓ−、−Ｃ（ＯＨ）−、−ＣＯ−、等又は、これらの組み合わせからなる基が好ましい。Ｌ２は−Ｌ３−ＣＯＯ− で表されることが特に好ましい（Ｌ３は単結合又はフェニレン基を表し、Ｌ３がポリマー鎖側である）。
前記一般式（Ａ−ＩＶ）中、Ａ2は、前記一般式（Ａ−Ｉ）で表される酸分解性基と同義であり、好ましい範囲も同様である。
前記一般式（Ａ−ＩＶ）中、ｃ3とｄ1とのモル比は、０．５〜１０：１が好ましく、１〜６：１がより好ましい。
【００３０】
以下に、前記重量平均分子量が５００〜１００，０００であるオリゴマー又はポリマー鎖の具体例を示すが、以下の具体例によって本発明が限定されるものではない。
【化１５】
2014170189.tif 000016
【００３１】
前記重量平均分子量が５００〜１００，０００であるオリゴマー又はポリマー鎖には、前記酸分解性基が、５〜６０モル％含有されていることが好ましく、１５〜５０モル％含有されることがより好ましい。
【００３２】
（ａ２）重量平均分子量が５００〜１００，０００であるオリゴマー又はポリマー鎖の重量平均分子量は、１，０００〜５０，０００が好ましく、２，０００〜１０，０００がより好ましく、３０００〜９，０００であることがさらに好ましく、３，０００〜７，０００が特に好ましい。
【００３３】
＜＜酸基＞＞
前記（Ａ）酸分解性樹脂は、さらに、酸基を有することが好ましい。前記（Ａ）酸分解性樹脂が、酸基を有することにより、顔料表面の塩基性部分に対して酸基が吸着して分散性が良好となることによって、本発明の組成物の保存安定性及び現像性をより向上させることができる。
ここで、酸基は、水温２５℃でのｐＫａが６以下である官能基を含有する基を表す。ｐＫａとは、化学便覧（ＩＩ）（改訂４版、１９９３年、日本化学会編、丸善株式会社）に記載されている定義のものである。本発明で用いられる酸基としては、化学吸着又は物理吸着によって顔料に吸着することができる基であり、ｐＫａが６以下である官能基を含有する基であれば、その構造などは特に限定されるものではない。具体的には、例えば、カルボン酸（ｐＫａ：３〜５程度）、スルホン酸（ｐＫａ：−３〜−２程度）、りん酸（ｐＫａ：２程度）等が好ましく、特にカルボン酸が好ましい。
【００３４】
前記酸基は、下記一般式（Ａ−Ｖ）で表される構成単位を有する構造が好ましい。
一般式（Ａ−Ｖ）
【化１６】
2014170189.tif 000017
（前記一般式（Ａ−Ｖ）中、Ｒｘ６は、水素原子又はメチル基を表し、Ｌ3は、単結合又は二価の連結基を表し、Ｘ1は、酸基を表す。）
前記一般式（Ａ−Ｖ）中、Ｌ3は、単結合又は二価の連結基を表す。−（ＣＨ2）m−（ｍは１〜１０の整数、好ましくは１〜６の整数）、フェニレン基、−Ｏ−、−ＣＯＯ−、−Ｓ−、−ＣＯ−、等又は、これらの組み合わせからなる基が好ましい。
前記一般式（Ａ−Ｖ）中、Ｘ1は、前記酸基を表す。酸基としては、カルボン酸基が好ましい。
酸基の具体例としては、例えば、国際公開ＷＯ２０１０／１１０４９１号明細書の段落番号００４７の記載を参酌でき、この内容は本願明細書に組み込まれる。
【００３５】
（Ａ）酸分解性樹脂中の前記酸基の酸価は、２０〜１４０ｍｇＫＯＨ／ｇが好ましく、２０〜１２０ｍｇＫＯＨ／ｇがより好ましく、２０〜１００ｍｇＫＯＨ／ｇがさらに好ましく、４０〜８０ｍｇＫＯＨ／ｇが特に好ましい。（Ａ）酸分解性樹脂中の酸基の酸価をこのような範囲にすることにより、本発明の組成物の現像性をさらに向上させることができる。
【００３６】
本発明に用いられる（Ａ）酸分解性樹脂の好ましい形態としては、以下が挙げられる。
（１）前記重量平均分子量が５００〜１００，０００であるオリゴマー又はポリマー鎖が、前記酸分解性基を有する形態。
（２）（Ａ）酸分解性樹脂が、さらに酸基を有する形態。
（３）前記（１）及び（２）の組み合わせからなる形態。
【００３７】
特に、本発明に用いられる（Ａ）酸分解性樹脂の好ましい形態としては、下記一般式（Ａ−ＶＩ）で表される構成単位を有する構造が好ましい。下記一般式（Ａ−ＶＩ）で表される構成単位を有する構造中、ａとｂが重合して同じ鎖を形成しており、また、ｃとｄが重合して同じ鎖を形成している。
一般式（Ａ−ＶＩ）
【化１７】
2014170189.tif 000018
（前記一般式（Ａ−ＶＩ）中、Ｒ1〜Ｒ4は、それぞれ独立して水素原子又はメチル基を表し、Ｘ2は酸基を表し、Ｌ4及びＬ5はそれぞれ独立して二価の連結基を表し、Ｙ3は一価の置換基を表し、Ａ3は酸の作用により脱離する基を表す。）
前記一般式（Ａ−ＶＩ）中、Ｘ2は、前記酸基を表し、前記一般式（Ａ−Ｖ）中のＸ1と同義である。
前記一般式（Ａ−ＶＩ）中、Ｌ4及びＬ5はそれぞれ独立して二価の連結基を表す。Ｌ4としては、−（ＣＨ2）m−（ｍは１〜１０の整数、好ましくは１〜６の整数）、−Ｏ−、−ＣＯＯ−、−Ｓ−、−Ｃ（ＯＨ）−、−ＣＯ−、等の組み合わせからなる基が好ましい。Ｌ5としては、前記一般式（Ａ−ＩＶＩ）中のＬ2と同義であり、好ましい範囲も同様である。
前記一般式（Ａ−ＶＩ）中、Ｙ3は、一価の置換基を表し、前記一般式（Ａ−ＩＩＩ）中のＹ1と同義であり、好ましい範囲も同様である。
前記一般式（Ａ−Ｖ）中、Ａ3は、前記一般式（Ｉ）中のＡと同義であり、好ましい範囲も同様である。
前記一般式（Ａ−ＶＩ）中、ａとｂとｃとｄとのモル比（ａ：ｂ：ｃ：ｄ）は、０．１〜５：２〜２０：０．５〜１０：１が好ましく、０．５〜３：４〜１０：１〜６：１がより好ましい。
【００３８】
本発明で用いられる（Ａ）酸分解性樹脂の重量平均分子量は、１０，０００〜５０，０００が好ましく、１５，０００〜３０，０００がより好ましい。（Ａ）酸分解性樹脂の重量平均分子量をこのような範囲とすることにより、現像性及び顔料分散安定性をより向上させることができる。
【００３９】
本発明の感光性組成物中における（Ａ）酸分解性樹脂の含有量は、本発明の感光性組成物中の全固形分に対し０．１〜２０質量％が好ましく、０．５〜１５質量％がより好ましく、１〜１０質量％がさらに好ましい。
【００４０】
＜（Ａ）酸分解性樹脂の合成方法＞
前記（Ａ）酸分解性樹脂の合成方法は、特に限定されないが、例えば、以下のようにして合成することが好ましい。
（Ｉ）酸分解性基を有するモノマーと、必要に応じてその他のモノマーとを重合させて合成する方法。
（ＩＩ）ポリマーに酸分解性基を導入して合成する方法。
これらのうち、特に（Ｉ）の方法が、酸分解性基の含有率をコントロールしやすく好ましい。重合方法は、公知の重合方法を選択することができ、例えばラジカル重合、アニオン重合、カチオン重合、重縮合、重付加等が挙げられ、特にラジカル重合が好ましい。
【００４１】
＜（Ｂ）顔料＞
本発明で用いられる顔料は、従来公知の種々の無機顔料又は有機顔料を用いることができる。
また、本発明で用いられる顔料は、なるべく微細なものが好ましい。ハンドリング性も考慮すると、本発明で用いられる顔料は、例えば、一次粒子径が１００ｎｍ以下であることが好ましく、５〜８０ｎｍであることがより好ましく、５〜５０ｎｍであることがさらに好ましい。顔料の一次粒子径は、例えば、電子顕微鏡等の公知の方法で測定することができる。
【００４２】
本発明の着色硬化性組成物に用いる無機顔料としては、金属酸化物、金属錯塩等で示される金属化合物を挙げることができる。具体的には、鉄、コバルト、アルミニウム、カドミウム、鉛、銅、チタン、マグネシウム、クロム、亜鉛、アンチモン等の金属酸化物、及び前記金属の複合酸化物を挙げることができる。
【００４３】
本発明の着色硬化性組成物に用いることができる有機顔料としては、例えば、
Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー  １，１：１，２，３，４，５，６，９，１０，１２，１３，１４，１６，１７，２４，３１，３２，３４，３５，３５：１，３６，３６：１，３７，３７：１，４０，４１，４２，４３，４８，５３，５５，６１，６２，６２：１，６３，６５，７３，７４，７５，８１，８３，８７，９３，９４，９５，９７，１００，１０１，１０４，１０５，１０８，１０９，１１０，１１１，１１６，１１７，１１９，１２０，１２６，１２７，１２７：１，１２８，１２９，１３３，１３４，１３６，１３８，１３９，１４２，１４７，１４８，１５０，１５１，１５３，１５４，１５５，１５７，１５８，１５９，１６０，１６１，１６２，１６３，１６４，１６５，１６６，１６７，１６８，１６９，１７０，１７２，１７３，１７４，１７５，１７６，１８０，１８１，１８２，１８３，１８４，１８５，１８８，１８９，１９０，１９１，１９１：１，１９２，１９３，１９４，１９５，１９６，１９７，１９８，１９９，２００，２０２，２０３，２０４，２０５，２０６，２０７，２０８；
【００４４】
Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ  １，２，５，１３，１６，１７，１９，２０，２１，２２，２３，２４，３４，３６，３８，３９，４３，４６，４８，４９，６１，６２，６４，６５，６７，６８，６９，７０，７１，７２，７３，７４，７５，７７，７８，７９；
Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド  １，２，３，４，５，６，７，８，９，１２，１４，１５，１６，１７，２１，２２，２３，３１，３２，３７，３８，４１，４７，４８，４８：１，４８：２，４８：３，４８：４，４９，４９：１，４９：２，５０：１，５２：１，５２：２，５３，５３：１，５３：２，５３：３，５７，５７：１，５７：２，５８：４，６０，６３，６３：１，６３：２，６４，６４：１，６８，６９，８１，８１：１，８１：２，８１：３，８１：４，８３，８８，９０：１，１０１，１０１：１，１０４，１０８，１０８：１，１０９，１１２，１１３，１１４，１２２，１２３，１４４，１４６，１４７，１４９，１５１，１６６，１６８，１６９，１７０，１７２，１７３，１７４，１７５，１７６，１７７，１７８，１７９，１８１，１８４，１８５，１８７，１８８，１９０，１９３，１９４，２００，２０２，２０６，２０７，２０８，２０９，２１０，２１４，２１６，２２０，２２１，２２４，２３０，２３１，２３２，２３３，２３５，２３６，２３７，２３８，２３９，２４２，２４３，２４５，２４７，２４９，２５０，２５１，２５３，２５４，２５５，２５６，２５７，２５８，２５９，２６０，２６２，２６３，２６４，２６５，２６６，２６７，２６８，２６９，２７０，２７１，２７２，２７３，２７４，２７５，２７６；
【００４５】
Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット  １，１：１，２，２：２，３，３：１，３：３，５，５：１，１４，１５，１６，１９，２３，２５，２７，２９，３１，３２，３７，３９，４２，４４，４７，４９，５０；
Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー  １，１：２，９，１４，１５，１５：１，１５：２，１５：３，１５：４，１５：６，１６，１７，１９，２５，２７，２８，２９，３３，３５，３６，５６，５６：１，６０，６１，６１：１，６２，６３，６６，６７，６８，７１，７２，７３，７４，７５，７６，７８，７９，７９のＣｌ置換基をＯＨに変更したもの；  Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン  １，２，４，７，８，１０，１３，１４，１５，１７，１８，１９，２６，３６，４５，４８，５０，５１，５４，５５；
Ｃ．Ｉ．ピグメントブラウン  ２３，２５，２６；
Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック  １，７；
カーボンブラック、アセチレンブラック、ランプブラック、ボーンブラック、黒鉛、鉄黒、アニリンブラック、シアニンブラック、チタンブラック等を挙げることができる。
【００４６】
本発明では、特に顔料の構造式中に塩基性のＮ原子を有するものが好ましい。塩基性のＮ原子を有する顔料は、本発明の着色硬化性組成物中で良好な分散性を示す。その原因については十分解明されていないが、感光性の重合成分と顔料との親和性の良さが影響しているものと推定される。
【００４７】
本発明において好ましく用いることができる顔料として、以下のものを挙げることができる。但し本発明は、これらに限定されるものではない。
【００４８】
Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー  １１，２４，１０８，１０９，１１０，１３８，１３９，１５０，１５１，１５４，１６７，１８０，１８５；
Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ  ３６，７１；
Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド  １２２，１５０，１７１，１７５，１７７，２０９，２２４，２４２，２５４，２５５，２６４；
Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット  １９，２３，３２；
Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー  １５：１，１５：３，１５：６，１６，２２，６０，６６，
Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン  ７，３６，３７，５５；
Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック  １
【００４９】
これら有機顔料は、単独若しくは色純度を上げるため種々組合せて用いることができる。有機顔料の好ましい使用態様と組合せの具体例について以下に示す。
例えば、赤の顔料としては、アントラキノン系顔料、ペリレン系顔料、ジケトピロロピロール系顔料を単独で、又は、それらの少なくとも１種と、ジスアゾ系黄色顔料、イソインドリン系黄色顔料、キノフタロン系黄色顔料、又はペリレン系赤色顔料との混合などを用いることができる。
例えば、アントラキノン系顔料としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７７が挙げられ、ペリレン系顔料としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１５５、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２２４が挙げられ、ジケトピロロピロール系顔料としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２５４が挙げられ、色分解性の点でＣ．Ｉ．ピグメントイエロー１３９との混合が好ましい。
また、赤色顔料と黄色顔料との質量比は、光透過率と色分解能との関係から、１００：５〜１００：５０が好ましく、１００：１０〜１００：３０の範囲がより好ましい。
なお、赤色顔料同士の組み合わせの場合は、求める分光に併せて顔料の質量比を調整することができる。
【００５０】
また、緑の顔料としては、ハロゲン化フタロシアニン系顔料を単独で、又は、これとジスアゾ系黄色顔料、キノフタロン系黄色顔料、アゾメチン系黄色顔料、若しくはイソインドリン系黄色顔料と、の混合を用いることができる。例えば、このような例としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン７、３６、３７と、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー８３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３８、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３９、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５０、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１８０、又はＣ．Ｉ．ピグメントイエロー１８５と、の混合が好ましい。
緑色顔料と黄色顔料との質量比は、１００：５〜１００：１５０が好ましく、１００：３０〜１００：１２０の範囲がより好ましい。
【００５１】
青の顔料としては、フタロシアニン系顔料を単独で、若しくはこれとジオキサジン系紫色顔料との混合を用いることができる。例えばＣ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６とＣ．Ｉ．ピグメントバイオレット２３との混合が好ましい。
青色顔料と紫色顔料との質量比は、１００：５〜１００：１５０が好ましく、１００：２０〜１００：１００の範囲がより好ましい。
【００５２】
また、ブラックマトリックス用の顔料としては、カーボン、チタンブラック、酸化鉄、酸化チタンを単独で、又は混合して用いられ、カーボンとチタンブラックとの組合せが好ましい。
ここで、カーボンとチタンブラックとの質量比は、１００：０〜１００：６０の範囲が好ましい。
【００５３】
＜顔料分散組成物＞
本発明の着色硬化性組成物の調整する際には、予め顔料を分散して、顔料分散組成物としておくことが好ましい。
顔料分散組成物は、（Ａ）酸分解性樹脂、（Ｂ）顔料、及び（Ｅ）溶剤を分散させる。さらに、顔料分散組成物には、必要に応じてさらに顔料誘導体など他の成分を用いてもよい。
（Ａ）酸分解性樹脂は、顔料を分散する際に添加してもよく、顔料分散液に後添加して使用しても良い。
【００５４】
＜＜顔料分散組成物の調製＞＞
本発明の顔料分散組成物の調製方法は、特に制限されないが、例えば、前記（Ａ）酸分解性樹脂、（Ｂ）顔料、及び（Ｅ）溶剤を、縦型もしくは横型のサンドグラインダー、ピンミル、スリットミル、超音波分散機等を用いて、０．０１〜１ｍｍの粒径のガラス、ジルコニア等でできたビーズで微分散処理を行なうことにより得ることができる。
ビーズ分散を行なう前に、二本ロール、三本ロール、ボールミル、トロンミル、ディスパー、ニーダー、コニーダー、ホモジナイザー、ブレンダー、単軸もしくは２軸の押出機等を用いて、強い剪断力を与えながら混練分散処理を行なうことも可能である。
混練、分散処理の時間は、特に限定されないが、例えば、２時間以上が好ましい。
なお、混練、分散についての詳細は、Ｔ．Ｃ．Ｐａｔｔｏｎ著”Ｐａｉｎｔ  Ｆｌｏｗ  ａｎｄ  Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｄｉｓｐｅｒｓｉｏｎ”（１９６４年  Ｊｏｈｎ  Ｗｉｌｅｙ  ａｎｄ  Ｓｏｎｓ社刊）等の記載を参酌できる。
【００５５】
＜＜顔料濃度＞＞
顔料分散組成物中における顔料の割合としては、該組成物の全固形分（質量）に対して、２０質量％以上であり、４０質量％以上がより好ましく、６０質量％以上がさらに好ましく、７５質量％以上が特に好ましい。顔料の割合が前記範囲内であると、色濃度が充分で優れた色特性を確保することができる。また、顔料の顔料分散組成物中における含有量の上限は、特に限定されないが、９５質量％以下が好ましく、８０質量％以下がより好ましい。
【００５６】
＜＜分散剤＞＞
顔料分散組成物は、さらに分散剤を含有してもよい。分散剤を含有することにより、顔料の分散性が向上する。
分散剤としては、例えば、公知の顔料分散剤や界面活性剤を適宜選択して用いることができる。
【００５７】
具体的には、多くの種類の化合物を使用可能であり、例えば、オルガノシロキサンポリマーＫＰ３４１（信越化学工業（株）製）、（メタ）アクリル酸系（共）重合体ポリフローＮo.７５、Ｎo.９０、Ｎo.９５（共栄社化学工業（株）製）、Ｗ００１（裕商（株）社製）等のカチオン系界面活性剤；ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリエチレングリコールジラウレート、ポリエチレングリコールジステアレート、ソルビタン脂肪酸エステル等のノニオン系界面活性剤；Ｗ００４、Ｗ００５、Ｗ０１７（裕商（株）社製）等のアニオン系界面活性剤；ＥＦＫＡ−４６、ＥＦＫＡ−４７、ＥＦＫＡ−４７ＥＡ、ＥＦＫＡポリマー１００、ＥＦＫＡポリマー４００、ＥＦＫＡポリマー４０１、ＥＦＫＡポリマー４５０（いずれもチバ・スペシャルテイケミカル社製）、ディスパースエイド６、ディスパースエイド８、ディスパースエイド１５、ディスパースエイド９１００（いずれもサンノプコ社製）等の高分子分散剤；ソルスパース３０００、５０００、９０００、１２０００、１３２４０、１３９４０、１７０００、２４０００、２６０００、２８０００などの各種ソルスパース分散剤（日本ルーブリゾール（株）社製）；アデカプルロニックＬ３１，Ｆ３８，Ｌ４２，Ｌ４４，Ｌ６１，Ｌ６４，Ｆ６８，Ｌ７２，Ｐ９５，Ｆ７７、Ｐ８４、Ｆ８７、Ｐ９４，Ｌ１０１，Ｐ１０３，Ｆ１０８、Ｌ１２１、Ｐ−１２３（旭電化（株）製）及びイソネットＳ−２０（三洋化成（株）製）、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ  １０１，１０３，１０６，１０８，１０９，１１１，１１２，１１６，１３０，１４０，１４２，１６２，１６３，１６４，１６６，１６７，１７０，１７１，１７４，１７６，１８０，１８２，２０００，２００１，２０５０，２１５０（ビックケミー（株）社製）が挙げられる。その他、アクリル系共重合体など、分子末端もしくは側鎖に極性基を有するオリゴマーもしくはポリマーが挙げられる。
【００５８】
顔料分散組成物中における（Ａ）主鎖にアミノ基を有する分散樹脂と上記したその他の分散剤との合計含有量は、顔料の合計質量に対して、１〜１００質量％が好ましく、３〜７０質量％がより好ましい。
【００５９】
＜顔料誘導体＞
本発明の顔料分散液は、さらに顔料誘導体を含有していてもよい。
顔料誘導体は、有機顔料、アントラキノン類又はアクリドン類の一部分を酸性基、塩基性基又はフタルイミドメチル基で置換した構造が好ましい。顔料誘導体を構成する有機顔料としては、ジケトピロロピロール系顔料、アゾ、ジスアゾ、ポリアゾ等のアゾ系顔料、銅フタロシアニン、ハロゲン化銅フタロシアニン、無金属フタロシアニン等のフタロシアニン系顔料、アミノアントラキノン、ジアミノジアントラキノン、アントラピリミジン、フラバントロン、アントアントロン、インダントロン、ピラントロン、ビオラントロン等のアントラキノン系顔料、キナクリドン系顔料、ジオキサジン系顔料、ペリノン系顔料、ペリレン系顔料、チオインジゴ系顔料、イソインドリン系顔料、イソインドリノン系顔料、キノフタロン系顔料、スレン系顔料、金属錯体系顔料等が挙げられる。
【００６０】
顔料誘導体が有する酸性基としては、スルホン酸、カルボン酸及びその４級アンモニウム塩が好ましい。また、顔料誘導体が有する塩基性基としては、アミノ基が好ましく、三級アミノ基が最も好ましい。
【００６１】
顔料誘導体の使用量は、特に制限されないが、顔料に対して５〜５０質量％用いることが好ましく、１０〜３０質量％用いることがさらに好ましい。
【００６２】
＜＜溶剤＞＞
顔料分散組成物における溶剤としては、特に限定されないが、例えば、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）、１−メトキシ−２−プロピルアセテート、１−メトキシ−２−プロパノール、エチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、酢酸エチル、酢酸ブチル、乳酸エチル、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、ｎ−プロパノール、２−プロパノール、ｎ−ブタノール、シクロヘキサノール、エチレングリコール、ジエチレングリコール、トルエン、キシレンなどの溶剤を挙げることができる。
【００６３】
顔料分散組成物における溶剤の含有量は、顔料分散組成物の用途などに応じて適宜選択される。顔料分散組成物が後述する着色感光性組成物の調製に用いられる場合には、取り扱い性の観点から、顔料及び顔料分散剤を含む固形分濃度が５〜５０質量％となるように含有することができる。
【００６４】
＜（Ｃ）活性光線の照射により酸を発生する化合物＞
本発明の組成物は、（Ｃ）活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物（以下、（Ｃ）光酸発生剤ともいう）を含有する。（Ｃ）光酸発生剤は、波長３００ｎｍ以上、好ましくは波長３００〜４５０ｎｍの活性光線に感応し、酸を発生する化合物が好ましいが、その化学構造に制限されるものではない。また、波長３００ｎｍ以上の活性光線に直接感応しない光酸発生剤についても、増感剤と併用することによって波長３００ｎｍ以上の活性光線又は放射線に感応し、酸を発生する化合物であれば、増感剤と組み合わせて好ましく用いることができる。例えば、（Ｃ）光酸発生剤としては、オニウム塩、スルホン酸、ビス（アルキルスルホニル）イミド、又はトリス（アルキルスルホニル）メチドのような有機酸を発生する化合物が好ましい。また、（Ｃ）光酸発生剤としては、トリクロロメチル−ｓ−トリアジン類、スルホニウム塩やヨードニウム塩、第四級アンモニウム塩類、ジアゾメタン化合物、イミドスルホネート化合物、及び、オキシムスルホネート化合物なども好ましい。
これらの（Ｃ）光酸発生剤の中では、トリス（アルキルスルホニル）メチドが好ましい。
【００６５】
具体的には、（Ｃ）光酸発生剤としては、例えば、下記一般式（ＺＩ）、（ＺＩＩ）、（ＺＩＩＩ）で表される化合物を挙げることができる。
【化１８】
2014170189.tif 000019
【００６６】
上記一般式（ＺＩ）において、Ｒ201、Ｒ202及びＲ203は、各々独立に、有機基を表す。
Ｒ201、Ｒ202及びＲ203としての有機基の炭素数は、一般的に１〜３０、好ましくは１〜２０である。
また、Ｒ201〜Ｒ203のうち２つが結合して環構造を形成してもよく、環内に酸素原子、硫黄原子、エステル結合、アミド結合、カルボニル基を含んでいてもよい。Ｒ201〜Ｒ203の内の２つが結合して形成する基としては、アルキレン基（例えば、ブチレン基、ペンチレン基）を挙げることができる。
Ｚ-は、非求核性アニオン（求核反応を起こす能力が著しく低いアニオン）を表す。
【００６７】
Ｒ201、Ｒ202及びＲ203の有機基としては、アリール基、アルキル基、シクロアルキル基などが挙げられる。
Ｒ201、Ｒ202及びＲ203のうち、少なくとも１つがアリール基であることが好ましく、三つ全てがアリール基であることがより好ましい。アリール基としては、フェニル基、ナフチル基などの他に、インドール残基、ピロール残基などのヘテロアリール基であってもよい。
Ｒ201〜Ｒ203のアルキル基及びシクロアルキル基としては、好ましくは、炭素数１〜１０の直鎖状又は分岐状のアルキル基、炭素数３〜１０の環状のアルキル基を挙げることができる。直鎖状又は分岐状のアルキル基として、より好ましくはメチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、ｉ−プロピル基、ｎ−ブチル基等を挙げることができる。環状のアルキル基として、より好ましくは、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロへプチル基等を挙げることができる。
これらの基はさらに置換基を有していてもよい。その置換基としては、ニトロ基、フッ素原子などのハロゲン原子、カルボキシル基、水酸基、アミノ基、シアノ基、アルコキシ基（好ましくは炭素数１〜１５）、環状のアルキル基（好ましくは炭素数３〜１５）、アリール基（好ましくは炭素数６〜１４）、アルコキシカルボニル基（好ましくは炭素数２〜７）、アシル基（好ましくは炭素数２
〜１２）、アルコキシカルボニルオキシ基（好ましくは炭素数２〜７）等が挙げられるが、これらに限定されるものではない。
【００６８】
非求核性アニオンとしては、例えば、スルホン酸アニオン（脂肪族スルホン酸アニオン、芳香族スルホン酸アニオン、カンファースルホン酸アニオンなど）、カルボン酸アニオン（脂肪族カルボン酸アニオン、芳香族カルボン酸アニオン、アラルキルカルボン酸アニオンなど）、スルホニルイミドアニオン、ビス（アルキルスルホニル）イミドアニオン、トリス（アルキルスルホニル）メチドアニオン等が挙げられる。
脂肪族スルホン酸アニオン及び脂肪族カルボン酸アニオンにおける脂肪族部位は、直鎖状、分岐状又は環状のアルキル基のいずれであってもよく、好ましくは炭素数１〜３０の直鎖状又は分岐状のアルキル基及び炭素数３〜３０の環状のアルキル基が挙げられる。
芳香族スルホン酸アニオン及び芳香族カルボン酸アニオンにおける芳香族基としては、好ましくは炭素数６〜１４のアリール基、例えば、フェニル基、トリル基、ナフチル基等を挙げることができる。
【００６９】
上述した直鎖状、分岐状又は環状のアルキル基、及び、アリール基は、置換基を有していてもよい。置換基の具体例としては、ニトロ基、フッ素原子などのハロゲン原子、カルボキシル基、水酸基、アミノ基、シアノ基、アルコキシ基（好ましくは炭素数１〜１５）、環状のアルキル基（好ましくは炭素数３〜１５）、アリール基（好ましくは炭素数６〜１４）、アルコキシカルボニル基（好ましくは炭素数２〜７）、アシル基（好ましくは炭素数２〜１２）、アルコキシカルボニルオキシ基（好ましくは炭素数２〜７）、アルキルチオ基（好ましくは炭素数１〜１５）、アルキルスルホニル基（好ましくは炭素数１〜１５）、アルキルイミノスルホニル基（好ましくは炭素数２〜１５）、アリールオキシスルホニル基（好ましくは炭素数６〜２０）、アルキルアリールオキシスルホニル基（好ましくは炭素数７〜２０）、シクロアルキルアリールオキシスルホニル基（好ましくは炭素数１０〜２０）、アルキルオキシアルキルオキシ基（好ましくは炭素数５〜２０）、シクロアルキルアルキルオキシアルキルオキシ基（好ましくは炭素数８〜２０）等を挙げることができる。
アラルキルカルボン酸アニオンにおけるアラルキル基としては、好ましくは炭素数６〜１２のアラルキル基、例えば、ベンジル基、フェネチル基、ナフチルメチル基、ナフチルエチル基、ナフチルブチル基等を挙げることができる。
スルホニルイミドアニオンとしては、例えば、サッカリンアニオンを挙げることができる。
ビス（アルキルスルホニル）イミドアニオン、トリス（アルキルスルホニル）メチドアニオンにおけるアルキル基は、炭素数１〜５のアルキル基が好ましい。これらのアルキル基の置換基としてはハロゲン原子、ハロゲン原子で置換されたアルキル基、アルコキシ基、アルキルチオ基、アルキルオキシスルホニル基、アリールオキシスルホニル基、シクロアルキルアリールオキシスルホニル基等を挙げることができ、フッ素原子又はフッ素原子で置換されたアルキル基が好ましい。
また、ビス（アルキルスルホニル）イミドアニオンにおけるアルキル基は、互いに結合して環構造を形成してもよい。これにより、酸強度が増加する。
【００７０】
非求核性アニオンとしては、特に、脂肪族スルホン酸アニオンであって、脂肪族部位が、炭素数１〜３０の直鎖状又は分岐状のアルキル基であり、このアルキル基が全てフッ素原子で置換されているものが好ましい。具体的には、Ｃ3Ｆ7ＳＯ3-、Ｃ4Ｆ9ＳＯ3-、Ｃ5Ｆ9ＳＯ3-などが好ましい。
【００７１】
前記一般式（ＺＩＩ）、（ＺＩＩＩ）中、Ｒ204〜Ｒ207は、各々独立に、アリール基、直鎖状、分岐状又は環状のアルキル基を表す。
【００７２】
Ｒ204〜Ｒ207のアリール基、直鎖状、分岐状又は環状のアルキル基としては、前記化合物（ＺＩ）におけるＲ201〜Ｒ203と同義であり、好ましい範囲も同様である。
Ｒ204〜Ｒ207のアリール基、直鎖状、分岐状又は環状のアルキル基は、置換基を有していてもよい。この置換基は、前記化合物（ＺＩ）におけるＲ201〜Ｒ203と同義であり、好ましい範囲も同様である。
Ｚ-は、非求核性アニオンを表し、前記一般式（ＺＩ）におけるＺ-と同義であり、好ましい範囲も同様である。
（Ｃ）光酸発生剤の具体例としては、例えば、特開２０１２−１３７６８６号公報の段落番号０１４９〜０１５１、段落番号０１７０〜０１７１及び特開２０１２−２０８４４７号公報の段落番号０２４３〜０２４７に記載の化合物が例示でき、これらの内容は本願明細書に組み込まれる。
【００７３】
また（Ｃ）光酸発生剤としては、トリクロロメチル−ｓ−トリアジン類、スルホニウム塩やヨードニウム塩、第四級アンモニウム塩類、ジアゾメタン化合物、イミドスルホネート化合物、及び、オキシムスルホネート化合物なども好ましい。これらの中でも、絶縁性の観点から、オキシムスルホネート化合物も好ましい。具体例としては、特開２０１１−２２１４９４号公報の段落番号００８３〜００８８に記載の化合物が例示でき、これらの内容は本願明細書に組み込まれる。
【００７４】
オキシムスルホネート化合物、すなわち、オキシムスルホネート構造を有する化合物としては、下記一般式（Ｂ１−１）で表されるオキシムスルホネート構造を含有する化合物が好ましく例示できる。
【００７５】
一般式（Ｂ１−１）
【化１９】
2014170189.tif 000020
（一般式（Ｂ１−１）中、Ｒ21は、アルキル基又はアリール基を表す。波線は他の基との結合を表す。）
【００７６】
いずれの基も置換されてもよく、Ｒ21におけるアルキル基は直鎖状でも分岐状でも環状でもよい。許容される置換基は以下に説明する。
Ｒ21のアルキル基としては、炭素数１〜１０の、直鎖状又は分岐状アルキル基が好ましい。Ｒ21のアルキル基は、ハロゲン原子、炭素数６〜１１のアリール基、炭素数１〜１０のアルコキシ基、又は、シクロアルキル基（７，７−ジメチル−２−オキソノルボルニル基などの有橋式脂環基を含む、好ましくはビシクロアルキル基等）で置換されてもよい。
Ｒ21のアリール基としては、炭素数６〜１１のアリール基が好ましく、フェニル基又はナフチル基がより好ましい。Ｒ21のアリール基は、低級アルキル基、アルコキシ基あるいはハロゲン原子で置換されてもよい。
上記一般式（Ｂ１−１）で表される化合物の具体例及び好ましいオキシムスルホネート化合物の具体例としては、特開２０１２−１６３９３７号公報の段落番号００８０〜００８２の記載を参酌でき、この内容は本願明細書に組み込まれる。
【００７７】
これらの（Ｃ）光酸発生剤は、単独で又は２種類以上を組み合わせて用いることができる。
本発明の感光性組成物における（Ｃ）光酸発生剤の含有量は、本発明の感光性組成物中の全固形分に対し１〜３０質量％が好ましく、２〜２０質量％がより好ましく、２〜１０質量％がさらに好ましい。
【００７８】
＜（Ｅ）溶剤＞
本発明の着色硬化性組成物は、（Ｅ）溶剤を含有する。
（Ｅ）溶剤としては、以下に示される有機溶剤から選択される液体が挙げられ、顔料分散液中に含まれる各成分の溶解性や、着色硬化性組成物に応用した場合の塗布性などを考慮して選択されるものであり、これら所望の物性を満足すれば基本的に特には限定されないが、安全性を考慮して選ばれることが好ましい。
【００７９】
溶剤の具体例としては、エステル類、例えば、酢酸エチル、酢酸−ｎ−ブチル、酢酸イソブチル、ギ酸アミル、酢酸イソアミル、プロピオン酸ブチル、酪酸イソプロピル、酪酸エチル、酪酸ブチル、オキシ酢酸メチル、オキシ酢酸エチル、オキシ酢酸ブチル、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、３−オキシプロピオン酸メチル、３−オキシプロピオン酸エチル、３−メトキシプロピオン酸メチル、３−メトキシプロピオン酸エチル、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、２−オキシプロピオン酸メチル、２−オキシプロピオン酸エチル、２−オキシプロピオン酸プロピル、２−メトキシプロピオン酸メチル、２−メトキシプロピオン酸エチル、２−メトキシプロピオン酸プロピル、２−エトキシプロピオン酸メチル、２−エトキシプロピオン酸エチル、２−オキシ−２−メチルプロピオン酸メチル、２−オキシ−２−メチルプロピオン酸エチル、２−メトキシ−２−メチルプロピオン酸メチル、２−エトキシ−２−メチルプロピオン酸エチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、２−オキソブタン酸メチル、２−オキソブタン酸エチル等；
【００８０】
エーテル類、例えば、ジエチレングリコールジメチルエーテル、テトラヒドロフラン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、メチルセロソルブアセテート（エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート）、エチルセロソルブアセテート（エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート）、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、プロピレングリコールメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールプロピルエーテルアセテート等；ケトン類、例えば、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、２−ヘプタノン、３−ヘプタノン等；芳香族炭化水素類、例えば、トルエン、キシレン等；が好ましい。
【００８１】
これらの中でも、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、エチルセロソルブアセテート、乳酸エチル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、酢酸ブチル、３−メトキシプロピオン酸メチル、２−ヘプタノン、シクロヘキサノン、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、プロピレングリコールメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）等がより好ましい。
【００８２】
本発明の着色硬化性組成物における（Ｅ）溶剤の含有量としては、５０〜９０質量％が好ましく、６０〜９５質量％がより好ましく、７０〜９０質量％が最も好ましい。溶剤の含有量が前記範囲内であることにより、異物の発生抑制の点で有利である。
【００８３】
＜その他の成分＞
＜＜染料＞＞
本発明の組成物は、さらに染料を含有していてもよい。
染料は、特に制限はなく、従来カラーフィルタ用として公知の染料が使用できる。例えば、ピラゾールアゾ系、アニリノアゾ系、トリフェニルメタン系、アントラキノン系、アンスラピリドン系、ベンジリデン系、オキソノール系、ピラゾロトリアゾールアゾ系、ピリドンアゾ系、シアニン系、フェノチアジン系、ピロロピラゾールアゾメチン系、キサテン系、フタロシアニン系、ベンゾピラン系、インジゴ系、ピロメテン系、メチン系等の染料が使用できる。また、これらの染料の多量体を用いてもよい。
また、水又はアルカリ現像を行う場合、現像により光未照射部のバインダー及び／又は染料を完全に除去するという観点では、酸性染料及び／又はその誘導体が好適に使用できる場合がある。
その他、直接染料、塩基性染料、媒染染料、酸性媒染染料、アゾイック染料、分散染料、油溶染料、食品染料、及び／又は、これらの誘導体等も有用に使用することができる。
また、染料としては、例えば、特開２０１２−１８１５１２号公報、特開昭６４−９０４０３号公報、特開昭６４−９１１０２号公報、特開平１−９４３０１号公報、特開平６−１１６１４号公報、特許第２５９２２０７号公報、特開平５−３３３２０７号公報、特開平６−３５１８３号公報、特開平６−５１１１５号公報、特開平６−１９４８２８号公報、特開平８−２１１５９９号公報、特開平４−２４９５４９号公報、特開平１０−１２３３１６号公報、特開平１１−３０２２８３号公報、特開平７−２８６１０７号公報、特開２００１−４８２３号公報、特開平８−１５５２２号公報、特開平８−２９７７１号公報、特開平８−１４６２１５号公報、特開平１１−３４３４３７号公報、特開平８−６２４１６号公報、特開２００２−１４２２０号公報、特開２００２−１４２２１号公報、特開２００２−１４２２２号公報、特開２００２−１４２２３号公報、特開平８−３０２２２４号公報、特開平８−７３７５８号公報、特開平８−１７９１２０号公報、特開平８−１５１５３１号公報等に記載の色素を用いることができ、これらの内容は本願明細書に組み込まれる。
本発明の着色硬化性組成物における染料の含有量としては、０〜５０質量％が好ましく、０〜３０質量％がより好ましく、０〜１０質量％がさらに好ましく、０質量％が特に好ましい。
前記顔料と染料を併用する場合は、本発明の着色硬化性組成物の全固形分に対して、顔料と染料の含有量が６０質量％以上であることが好ましい。
【００８４】
＜＜界面活性剤＞＞
本発明の組成物には、塗布性をより向上させる観点から、各種の界面活性剤を添加してもよい。界面活性剤としては、フッ素系界面活性剤、ノニオン系界面活性剤、カチオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤、シリコーン系界面活性剤などの各種界面活性剤を使用できる。
特に、本発明の組成物は、フッ素系界面活性剤を含有することで、塗布液として調製したときの液特性（特に、流動性）がより向上することから、塗布厚の均一性や省液性をより改善することができる。
即ち、フッ素系界面活性剤を含有する着色感光性組成物を適用した塗布液を用いて膜形成する場合においては、被塗布面と塗布液との界面張力を低下させることにより、被塗布面への濡れ性が改善され、被塗布面への塗布性が向上する。このため、少量の液量で数μｍ程度の薄膜を形成した場合であっても、厚みムラの小さい均一厚の膜形成をより好適に行える点で有効である。
フッ素系界面活性剤中のフッ素含有率は、３％〜４０質量％が好適であり、より好ましくは５％〜３０質量％であり、特に好ましくは７％〜２５質量％である。フッ素含有率がこの範囲内であるフッ素系界面活性剤は、塗布膜の厚さの均一性や省液性の点で効果的であり、着色感光性組成物中における溶解性も良好である。
フッ素系界面活性剤としては、例えば、メガファックＦ１７１、同Ｆ１７２、同Ｆ１７３、同Ｆ１７６、同Ｆ１７７、同Ｆ１４１、同Ｆ１４２、同Ｆ１４３、同Ｆ１４４、同Ｒ３０、同Ｆ４３７、同Ｆ４７５、同Ｆ４７９、同Ｆ４８２、同Ｆ５５４、同Ｆ７８０、同Ｆ７８１（以上、ＤＩＣ（株）製）、フロラードＦＣ４３０、同ＦＣ４３１、同ＦＣ１７１（以上、住友スリーエム（株）製）、サーフロンＳ−３８２、同ＳＣ−１０１、同ＳＣ−１０３、同ＳＣ−１０４、同ＳＣ−１０５、同ＳＣ１０６８、同ＳＣ−３８１、同ＳＣ−３８３、同Ｓ３９３、同ＫＨ−４０（以上、旭硝子（株）製）等が挙げられる。
ノニオン系界面活性剤として具体的には、特開２０１２−２０８４９４号公報段落０５５３（対応する米国特許出願公開第２０１２／０２３５０９９号明細書の[０６７９]）等に記載のノニオン系界面活性剤が挙げられ、これらの内容は本願明細書に組み込まれる。
カチオン系界面活性剤として具体的には、特開２０１２−２０８４９４号公報段落０５５４（対応する米国特許出願公開第２０１２／０２３５０９９号明細書の[０６８０]）に記載のカチオン系界面活性剤が挙げられ、これらの内容は本願明細書に組み込まれる。
アニオン系界面活性剤として具体的には、Ｗ００４、Ｗ００５、Ｗ０１７（裕商（株）社製）等が挙げられる。
シリコーン系界面活性剤としては、例えば、特開２０１２−２０８４９４号公報段落０５５６（対応する米国特許出願公開第２０１２／０２３５０９９号明細書の[０６８２]）等に記載のシリコーン系界面活性剤が挙げられ、これらの内容は本願明細書に組み込まれる。
界面活性剤は、１種のみを用いてもよいし、２種類以上を組み合わせてもよい。
界面活性剤の添加量は、着色感光性組成物の全質量に対して、０．００１％〜２．０質量％が好ましく、より好ましくは０．００５％〜１．０質量％である
【００８５】
＜＜有機アミノ化合物＞＞
本発明の組成物は、さらに有機アミノ化合物を含有していてもよい。前記有機アミノ化合物としては、分子中に１個以上のアミノ基を有する、脂肪族アミンあるいはフェニル基含有アミンが好ましく、フェニル基含有アミンがより好ましいい。
前記脂肪族アミンとしては、例えば、特開２０１０−４９１６１号公報の段落０１２０〜０１２３の記載を参酌でき、この内容は本願明細書に組み込まれる。
フェニル基含有アミンとしては、例えば、アミノ基が直接フェニル基に結合した化合物、アミノ基が２価の炭素鎖を介してフェニル基に結合した化合物等を挙げることができる。
フェニル基含有アミンとしては、例えば、アニリン、ｏ−メチルアニリン、ｍ−メチルアニリン、ｐ−メチルアニリン、ｐ―エチルアニリン、１−ナフチルアミン、２−ナフチルアミン、Ｎ，Ｎ−ジメチルアニリン、Ｎ，Ｎ−ジエチルアニリン、ｐ−メチル−Ｎ，Ｎ−ジメチルアニリンの如き芳香族アミン；
ｏ−アミノベンジルアルコール、ｍ−アミノベンジルアルコール、ｐ−アミノベンジルアルコール、ｐ−ジメチルアミノベンジルアルコール、ｐ−ジエチルアミノベンジルアルコールの如きアミノベンジルアルコール；
ｏ−アミノフェノール、ｍ―アミノフェノール、ｐ―アミノフェノール、ｐ−ジメチルアミノフェノール、ｐ−ジエチルアミノフェノールの如きアミノフェノール；
ｍ−アミノ安息香酸、ｐ―アミノ安息香酸、ｐ−ジメチルアミノ安息香酸、ｐ−ジエチルアミノ安息香酸の如きアミノ安息香酸等を挙げることができる。
前記有機アミノ化合物は、単独でまたは２種以上混合して使用することができる。
本発明の感光性組成物における有機アミノ化合物の使用量は、本発明の感光性組成物中の全固形分に対し０．００１〜１質量％が好ましく、０．００５〜０．５質量％がより好ましい。
【００８６】
また、本発明の組成物は、さらに、必要に応じて、上述した以外の他の成分を含有していてもよい。これらの成分については、例えば、特開２０１０−８５４５２号公報の段落番号０１８７〜０２００の記載を参酌でき、この内容は本願明細書に組み込まれる。
【００８７】
［カラーフィルタ及びその製造方法］
次に、本発明のカラーフィルタ及びその製造方法について説明する。
本発明のカラーフィルタは、支持体上に、本発明の着色硬化性組成物を用いてなる着色パターンを有することを特徴とする。以下、本発明のカラーフィルタについて、その製造方法（本発明のカラーフィルタの製造方法）を通じて詳述する。
【００８８】
本発明のカラーフィルタの製造方法は、支持体上に、本発明の着色硬化性組成物を塗布して該着色硬化性組成物からなる着色層を形成する着色層形成工程と、前記着色層をマスクを介して露光する露光工程と、露光後の着色層を現像して着色パターンを形成する現像工程とを含む。
以下、本発明のカラーフィルタの製造方法における各工程について説明する。
【００８９】
＜着色層形成工程＞
着色層形成工程では、支持体上に、本発明の着色硬化性組成物を塗布して該着色硬化性組成物からなる着色層を形成する。
支持体としては、例えば、液晶表示装置等に用いられる無アルカリガラス、ソーダガラス、パイレックス（登録商標）ガラス、石英ガラス及びこれらに透明導電膜を付着させたものや、固体撮像素子等に用いられる光電変換素子基板、例えばシリコン基板等や、相補性金属酸化膜半導体（ＣＭＯＳ）等が挙げられる。これらの基板は、各画素を隔離するブラックストライプが形成されている場合もある。
また、これらの支持体上には、必要により、上部の層との密着改良、物質の拡散防止又は基板表面の平坦化のために下塗り層を設けてもよい。
【００９０】
支持体上への本発明の着色硬化性組成物の塗布方法としては、スリット塗布、インクジェット法、回転塗布、流延塗布、ロール塗布、スクリーン印刷法等の各種の塗布方法を適用することができ、スリット塗布及び回転塗布がより好ましい。
着色硬化性組成物の塗布直後の膜厚としては、塗布膜の膜厚均一性、塗布溶剤の乾燥のしやすさの観点から、０．１〜１０μｍが好ましく、０．２〜５μｍがより好ましく、０．２〜３μｍがさらに好ましい。
【００９１】
基板上に塗布された着色層（着色硬化性組成物層）の乾燥（プリベーク）は、ホットプレート、オーブン等で５０℃〜１４０℃の温度で１０〜３００秒で行うことができる。
【００９２】
基板上に塗布された着色層の厚さ、すなわち、着色硬化性組成物の乾燥後の塗布膜厚（以下、適宜、「乾燥膜厚」と称する）としては、ＬＣＤ用カラーフィルタとして用いるためには、ＬＣＤ薄型化に対応でき、色濃度確保の観点から、０．１以上２．０μｍ未満が好ましく、０．２〜３．０μｍがより好ましい。
また、固体撮像素子用カラーフィルタとして用いるためには、色濃度確保の観点、斜め方向の光が受光部に到達せず、また、デバイスの端と中央とで集光率の差が顕著になる等の不具合を低減する観点から、０．０５μｍ以上１．０μｍ未満が好ましく、０．１〜０．８μｍがより好ましく、０．２〜０．７μｍが特に好ましい。
【００９３】
＜露光工程＞
露光工程では、前記着色層形成工程において形成された着色層（硬化性組成物層）を、所定のマスクパターンを有するマスクを介して露光する。
本工程における露光においては、塗布膜のパターン露光は、所定のマスクパターンを介して露光し、光照射された塗布膜部分だけを硬化させることによりことにより行うことができる。露光に際して用いることができる放射線としては、特に、ｇ線、ｈ線、ｉ線等の紫外線が好ましく用いられる。照射量は５〜１５００ｍＪ／ｃｍ2が好ましく１０〜１０００ｍＪ／ｃｍ2がより好ましく、１０〜５００ｍＪ／ｃｍ2が最も好ましい。
本発明のカラーフィルタが液晶表示素子用である場合は、上記範囲の中で５〜２００ｍＪ／ｃｍ2が好ましく１０〜１５０ｍＪ／ｃｍ2がより好ましく、１０〜１００ｍＪ／ｃｍ2がさらに好ましい。また、本発明のカラーフィルタが固体撮像素子用である場合は、上記範囲の中で３０〜１５００ｍＪ／ｃｍ2が好ましく、５０〜１０００ｍＪ／ｃｍ2がより好ましく、８０〜５００ｍＪ／ｃｍ2がさらに好ましい。
【００９４】
＜現像工程＞
次いでアルカリ現像処理（現像工程）を行うことにより、上記露光により光未照射部分をアルカリ水溶液に溶出させ、光硬化した部分だけが残る。現像液で現像して、各色（３色あるいは４色）の画素からなるパターン状皮膜を形成することにより行うことができる。現像液としては、下地の回路などにダメージを起さない、有機アルカリ現像液が望ましい。現像温度としては通常２０〜３０℃であり、現像時間は２０〜９０秒である。
【００９５】
現像液に用いるアルカリ剤としては、例えば、アンモニア水、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、１，８−ジアザビシクロ−［５、４、０］−７−ウンデセンなどの有機アルカリ性化合物、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム等の無機化合物等が挙げられ、これらのアルカリ剤を濃度が０．００１〜１０質量％、好ましくは０．０１〜１質量％となるように純水で希釈したアルカリ性水溶液が現像液として好ましく使用される。なお、このようなアルカリ性水溶液からなる現像液を使用した場合には、一般に現像後純水で洗浄（リンス）する。
次いで、余剰の現像液を洗浄除去し、乾燥を施す。
【００９６】
なお、本発明の製造方法においては、上述した、着色層形成工程、露光工程、及び現像工程を行った後に、必要により、形成された着色パターンを加熱（ポストベーク）及び／又は露光により硬化する硬化工程を含んでいてもよい。
【００９７】
ポストベークは、硬化を完全なものとするための現像後の加熱処理であり、通常１００℃〜２４０℃の熱硬化処理を行う。基板がガラス基板又はシリコン基板の場合は上記温度範囲の中でも２００℃〜２４０℃が好ましい。
このポストベーク処理は、現像後の塗布膜を、上記条件になるようにホットプレートやコンベクションオーブン（熱風循環式乾燥機）、高周波加熱機等の加熱手段を用いて、連続式あるいはバッチ式で行うことができる。
【００９８】
以上説明した、着色層形成工程、露光工程、及び現像工程（更に、必要により硬化工程）を所望の色相数だけ繰り返すことにより、所望の色相よりなるカラーフィルタが作製される。
【００９９】
本発明の着色硬化性組成物の用途として、主にカラーフィルタの画素への用途を主体に述べてきたが、カラーフィルタの画素間に設けられるブラックマトリックスにも適用できることは言うまでもない。ブラックマトリックスは、本発明の着色硬化性組成物に着色剤として、カーボンブラック、チタンブラックなどの黒色の顔料を添加したものを用いる他は、上記画素の作製方法と同様に、パターン露光、アルカリ現像し、更にその後、ポストベークして膜の硬化を促進させて形成させることができる。
【０１００】
本発明のカラーフィルタは露光感度に優れた本発明の着色硬化性組成物を用いて製造されるため、露光部における硬化した組成物は基板との密着性及び耐現像性に優れ、形成された着色パターンと支持体基板との密着性は高く、また、かつ、所望の断面形状を与えるパターンは高解像度となる。
また、本発明の固体撮像素子は、前記本発明のカラーフィルタの製造方法によって製造された本発明のカラーフィルタを備えることを特徴とする。
従って、具体的には、本発明のカラーフィルタを液晶表示装置やＣＣＤ等の固体撮像素子に好適に用いることができ、特に１００万画素を超えるような高解像度のＣＣＤ素子やＣＭＯＳ等に好適である。本発明のカラーフィルタは、例えば、ＣＣＤ素子を構成する各画素の受光部と集光するためのマイクロレンズとの間に配置されるカラーフィルタとして用いることができる。
本発明のカラーフィルタを用いた液晶表示装置及び固体撮像素子については、例えば、特開２０１２−２０８４９４号公報段落０６０１〜０６０６（対応する米国特許出願公開第２０１２／０２３５０９９号明細書の[０７６８]〜[０７８０]）の記載を参酌することができ、これらの内容は本願明細書に組み込まれる。
【実施例】
【０１０１】
以下に実施例を挙げて本発明をさらに具体的に説明する。以下の実施例に示す材料、使用量、割合、処理内容、処理手順等は、本発明の趣旨を逸脱しない限り、適宜、変更することができる。従って、本発明の範囲は以下に示す具体例に限定されるものではない。
【０１０２】
＜（Ａ）酸分解性樹脂＞
（合成例１）
【化２０】
2014170189.tif 000021
【０１０３】
三口フラスコにメタクリル酸メチル３３９．３ｇ（３．３９ｍｏｌ）と、メタクリル酸ｔ−ブチル１６０．７ｇ（１．１３ｍｏｌ）と、２−メルカプトプロピオン酸１２．０ｇ（０．１１３ｍｏｌ）と、１−メトキシ−２−プロパノール１１６７ｇを添加し、窒素気流下７５℃に加熱した。その後、２，２’−ビスイソ酪酸ジメチル（Ｖ−６０１、和光純薬製）２．６０ｇ（０．１１３ｍｏｌ）を添加し、２時間加熱した。その後、２，２’−ビスイソ酪酸ジメチル２．６０ｇ（０．１１３ｍｏｌ）を添加し、２時間加熱した。その後、１００℃で２時間加熱した。次に、メタクリル酸グリシジル１７．７ｇ（０．１２４ｍｏｌ）、テトラエチルアンモニウムブロミド２．６１ｇ（０．０１２４ｍｏｌ）を添加し、１００℃で２４時間加熱した。その後、室温まで冷却後、メタノール１１６７ｇを添加し、得られた溶液を水５Ｌに滴下して再沈した。得られた固体を４０℃の送風乾燥機で乾燥することで（ｍ１）を５０１ｇ得た。マクロモノマー（ｍ１）の重量平均分子量は４，２００であった。
【０１０４】
（合成例２〜１０）
合成例１と同様の操作を行い、以下のマクロモノマー（ｍ２）〜（ｍ１０）を合成した。なお、下記構造式中、例えばａ及びｂは、構成単位のモル比を表す。
【化２１】
2014170189.tif 000022
【０１０５】
（合成例１１）
＜樹脂（Ｊ１）の合成＞
【化２２】
2014170189.tif 000023
【０１０６】
三口フラスコにメタクリル酸１０ｇと、マクロモノマー（ｍ１）９０ｇと、ドデシルメルカプタン１．５ｇと、プロピレングリコール１−モノメチルエーテル２−アセテート２３３ｇを添加し、窒素気流下７５℃で１時間加熱した。次に、２，２’−ビスイソ酪酸ジメチル０．３０ｇを添加し２時間加熱した。その後、２，２’−ビスイソ酪酸ジメチル０．３０ｇを添加し２時間加熱した後、９０℃で２時間加熱し、樹脂（Ｊ１）のプロピレングリコール１−モノメチルエーテル２−アセテート３０質量％溶液を得た。樹脂（Ｊ１）の重量平均分子量は２２，０００、酸価は６５ｍｇＫＯＨ／ｇであった。
【０１０７】
（合成例１２〜３０）
＜樹脂（Ｊ２）〜（Ｊ２４）及び樹脂（Ｂ１）の合成＞
合成例１１と同様の操作を行い、下記表に記載の化合物を配合した樹脂（Ｊ２）〜（Ｊ２４）及び樹脂（Ｂ１）を合成した。樹脂（Ｊ２）〜（Ｊ２４）は、酸分解性基を有している樹脂である。また、樹脂（Ｂ１）は、酸分解性基を有していない樹脂である。以下に、樹脂（Ｊ１１）、（Ｊ１２）及び（Ｊ２２）の構造を示す。
【化２３】
2014170189.tif 000024
【０１０８】
【表１】
2014170189.tif 000025
【０１０９】
前記表中の略号は以下の化合物を表す。
（ｍ１）〜（ｍ１１）：上述したマクロモノマー（ｍ１）〜（ｍ１１）
（ｍ１２）：下記化合物
【化２４】
2014170189.tif 000026
モノマー：下記化合物
【化２５】
2014170189.tif 000027
【０１１０】
＜顔料分散液の調整＞
（調製例１）
顔料としてＣ．Ｉ．ピグメントグリーン３６を３０質量部（二次粒子径６０ｎｍ（動的散乱法）、５５ｎｍ（ＴＥＭにより二次粒子を５０個観察して算出した平均値）、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン１５０を１０質量部（二次粒子径５０ｎｍ（動的散乱法）、４５ｎｍ（ＴＥＭにより二次粒子を５０個観察して算出した平均値））、樹脂（Ｊ１）８３質量部（固形分換算２５質量部）及びプロピレングリコール１−モノメチルエーテル２−アセテート６７質量部からなる混合液を、ビーズミル（ジルコニアビーズ０．３ｍｍ径）により３時間混合、分散して、顔料分散液を調製した。
顔料分散液について、顔料の平均１次粒子径を動的光散乱法（Ｍｉｃｒｏｔｒａｃ Ｎａｎｏｔｒａｃ ＵＰＡ−ＥＸ１５０（日機装社製）を用いて、顔料分散液をさらに希釈することなく測定した）により測定したところ、２５ｎｍであった。
【０１１１】
＜着色感光性組成物の調製＞
下記組成比となるように前記顔料分散液を攪拌、混合して着色感光性組成物（Ｃ１）を調製した。
・前記顔料分散液：２００質量部（顔料４０質量部、樹脂（Ｊ１）２５質量部を含有）
・光酸発生剤（Ｈ１）：５．０質量部
・Ｎ，Ｎ−ジエチルアニリン：０．０１質量部
・フッ素系界面活性剤（Ｆ−４７５、ＤＩＣ（株）製）：０．１質量部
・溶剤（プロピレングリコール１−モノメチルエーテル２−アセテート）：１６２質量部
【０１１２】
（調製例２〜２６）
調製例１と同様にして下記表に記載の着色感光性組成物（Ｃ２）〜（Ｃ２６）を調製した。
【０１１３】
（調製例２７）
調整例１の樹脂（Ｊ１）を前記樹脂（Ｂ１）に変更したこと以外は同様にして顔料分散液を調製した。この顔料分散液を用いて、下記組成比となるように攪拌混合して着色感光性組成物（Ｃ２７）を調製した。
・前記顔料分散液：２００質量部（顔料４０質量部、樹脂（Ｂ１）２５質量部）
・光酸発生剤（Ｈ１）：５．０質量部
・前記樹脂（Ｊ２３）：６７質量部（固形分換算２０）質量部
・溶剤（プロピレングリコール１−モノメチルエーテル２−アセテート）：９５質量部
【０１１４】
（調製例２８、２９）
樹脂（Ｊ２３）を樹脂（Ｊ２４）及び（Ｊ２５）に変更したこと以外は調整例２７と同様にして着色感光性組成物（Ｃ２８）（Ｃ２９）を調製した。
【０１１５】
（調製例３０）
調製例１の（Ｊ１）を３３質量部（固形分換算１０質量部）に変更した以外は同様にして着色感光性組成物（Ｃ３０）を調製した。
【０１１６】
（調製例３１）
顔料としてＣ．Ｉ．ピグメントグリーン３６を３０質量部（二次粒子径６０ｎｍ（動的散乱法）、５５ｎｍ（ＴＥＭにより二次粒子を５０個観察して算出した平均値）、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン１５０を１０質量部（二次粒子径５０ｎｍ（動的散乱法）、４５ｎｍ（ＴＥＭにより二次粒子を５０個観察して算出した平均値））、樹脂（Ｂ１）３３質量部（固形分換算１０質量部）およびプロピレングリコール１−モノメチルエーテル２−アセテート１２７質量部からなる混合液を、ビーズミル（ジルコニアビーズ０．３ｍｍ径）により３時間混合、分散して、顔料分散液を調製した。
顔料分散液について、顔料の平均１次粒子径を動的光散乱法（Ｍｉｃｒｏｔｒａｃ Ｎａｎｏｔｒａｃ ＵＰＡ−ＥＸ１５０（日機装社製）を用いて、顔料分散液をさらに希釈することなく測定した）により測定したところ、２５ｎｍであった。
【０１１７】
＜着色感光性組成物の調製＞
下記組成比となるように前記顔料分散液を攪拌、混合して着色感光性組成物（Ｃ３１）を調製した。
・前記顔料分散液：２００質量部（顔料４０質量部、樹脂（Ｂ１）１０質量部を含有）
・ラジカル重合開始剤（ＢＡＳＦ社製 ＩｒｕｇａｃｕｒｅＯＸＥ０１）：２．５質量部
・エチレン性不飽和二重結合含有化合物（ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート）：２．５質量部
・フッ素系界面活性剤（Ｆ−４７５、ＤＩＣ（株）製）：０．１質量部
・溶剤（プロピレングリコール１−モノメチルエーテル２−アセテート）：１６２質量部
【０１１８】
【表２】
2014170189.tif 000028
【０１１９】
前記表中の略号は以下の化合物を表す。
ＰＧ３６：              Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン  ３６
ＰＲ２５４：            Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド  ２５４
ＰＹ１３９：            Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー  １３９
ＰＹ１５０：            Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー  １５０
ＰＢ１５：６：          Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー  １５：６
（Ｈ１）〜（Ｈ３）：    下記化合物
【化２６】
2014170189.tif 000029
【０１２０】
＜液晶表示装置用カラーフィルタの作成＞
上記で調製した着色感光性組成物（Ｃ１）〜（Ｃ２９）をレジスト溶液として、５５０ｍｍ×６５０ｍｍのガラス基板に下記条件でスリット塗布した後、真空乾燥とプリベーク（ｐｒｅｂａｋｅ）（１００℃８０秒）を施して、ガラス基板上に着色感光性組成物の塗布膜（着色感光性組成物層）を形成した。
【０１２１】
＜＜スリット塗布条件＞＞
・塗布ヘッド先端の開口部の間隙：        ５０μｍ
・塗布速度：                            １００ｍｍ／秒
・基板と塗布ヘッドとのクリアランス：    １５０μｍ
・乾燥膜厚：                            １．７５μｍ
・塗布温度：                            ２３℃
【０１２２】
＜＜露光処理、現像処理＞＞
前記着色感光性組成物の塗布膜を、線幅２０μｍのフォトマスクを介して、日立ハイテクノロジー社製のＬＥ４０００Ａを用いて、１〜３ｋＷの超高圧水銀灯により、パターン状に１００ｍＪ／ｃｍ2露光した。露光後、塗布膜の全面を無機系現像液（商品名：ＣＤＫ−１、富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ（株）製）の１％水溶液で被い、６０秒間静止した。
【０１２３】
＜＜加熱処理＞＞
静止後、純水をシャワー状に噴射して現像液を洗い流し、露光（光硬化）処理及び現像処理を施した塗布膜を２２０℃のオーブンにて１時間加熱処理した（ポストベーク）。これにより、ガラス基板上に着色感光性組成物のパターン（着色層）を形成したカラーフィルタを得た。
【０１２４】
＜＜性能評価＞＞
上記で調製された着色感光性組成物の現像性及び露光感度を評価した。また、着色感光性組成物を用いてガラス基板上に形成された感光性組成物塗布膜（着色層）のコントラストを評価した。
評価方法及び基準は以下の通りである。結果を下記表に示す。
【０１２５】
＜＜現像性＞＞
前記＜露光処理、現像処理＞において、現像処理を行った後、２０個の現像部（未露光部）をＳＥＭで観察し、残渣の個数を数えた。残渣が少ないほど現像性が良好であることを示す。
【０１２６】
＜＜露光感度＞＞
前記＜露光処理、現像処理＞において、１０〜５００ｍＪ／ｃｍ2の範囲で種々の露光量に変更して露光を行い、ポストベーク後のパターン線幅が２０μｍとなる露光量を露光感度として評価した。露光感度の値が小さいほど感度が高いことを示す。
【０１２７】
【表３】
2014170189.tif 000030
【０１２８】
＜液晶表示装置の作製＞
＜＜液晶表示装置用カラーフィルタの作製＞＞
実施例２で作製した緑色（Ｇ）の着色パターンを有するガラス基板上に、前記赤色（Ｒ）用着色感光性組成物（Ｃ２６）を用いて、線幅２０μｍのライン状の赤色（Ｒ）の着色パターンを形成した。さらに、同様にして青色（Ｂ）用着色感光性組成物分散液（Ｃ２５）を用いて線幅２０μｍのライン状の青色（Ｂ）の有彩色着色パターンを形成して液晶表示装置用のブラックマトリクスを有するカラーフィルタを作製した。
【０１２９】
＜液晶表示装置の評価＞
フルカラーのカラーフィルタにＩＴＯ透明電極、配向膜等の加工を施し、液晶表示装置を設けた。本発明の着色感光性組成物は塗布面の均一性が良好で、液晶表示装置は表示ムラもなく、画質は良好であった。
【０１３０】
＜固体撮像素子用カラーフィルタの作成＞
＜＜下塗り層用レジスト液の調製＞＞
下記組成の成分を混合して溶解し、レジスト液を調製した。
・溶剤（プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート）：１９．２０部
・溶剤（乳酸エチル）：３６．６７部
・アルカリ可溶性樹脂：メタクリル酸ベンジル／メタクリル酸／メタクリル酸−２−ヒドロキシエチル共重合体（モル比＝６０／２２／１８、重量平均分子量１５，０００、重量平均分子量９，０００）の４０％ＰＧＭＥＡ溶液 ３０．５１部
・エチレン性不飽和二重結合含有化合物（ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート）：１２．２０部
・重合禁止剤（ｐ−メトキシフェノール）：０．００６１部
・フッ素系界面活性剤（Ｆ−４７５、ＤＩＣ（株）製）：０．８３部
・光重合開始剤：トリハロメチルトリアジン系の光重合開始剤 ０．５８６部
（ＴＡＺ−１０７、みどり化学社製）
【０１３１】
＜＜下塗り層付シリコン基板の作製＞＞
６インチシリコンウエハをオーブン中で２００℃のもと３０分加熱処理した。次いで、このシリコンウエハ上に、前記レジスト液を乾燥膜厚が１．５μｍになるように塗布し、更に２２０℃のオーブン中で１時間加熱乾燥させて下塗り層を形成し、下塗り層付シリコンウエハ基板を得た。
【０１３２】
＜着色感光性組成物によるカラーフィルタの作製及び評価＞
＜＜パターン形成＞＞
上記のように調製した着色感光性組成物を、前記下塗り層付シリコンウエハの下塗り層上に塗布し、着色感光性組成物層（塗布膜）を形成した。そして、この塗布膜の乾燥膜厚が０．５μｍになるように、１００℃のホットプレートを用いて１２０秒間加熱処理（プリベーク）を行なった。
【０１３３】
次いで、ｉ線ステッパー露光装置ＦＰＡ−３０００ｉ５＋（Ｃａｎｏｎ（株）製）を使用して３６５ｎｍの波長でパターンが１．２μｍ四方のＢａｙｅｒパターンマスクを通して５０〜１２００ｍＪ／ｃｍ2の種々の露光量で露光した。その後、照射された塗布膜が形成されているシリコンウエハ基板をスピン・シャワー現像機（ＤＷ−３０型、（株）ケミトロニクス製）の水平回転テーブル上に載置し、ＣＤ−２０００（富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ（株）製）を用いて２３℃で６０秒間パドル現像を行ない、シリコンウエハ基板に着色パターンを形成した。
【０１３４】
着色パターンが形成されたシリコンウエハを、真空チャック方式で前記水平回転テーブルに固定し、回転装置によって該シリコンウエハ基板を回転数５０ｒ．ｐ．ｍ．で回転させつつ、その回転中心の上方より純水を噴出ノズルからシャワー状に供給してリンス処理を行ない、その後スプレー乾燥した。その後、測長ＳＥＭ「Ｓ−９２６０Ａ」（日立ハイテクノロジーズ（株）製）を用いて、着色パターンのサイズを測定した。パターンサイズが１．２μｍとなる露光量を露光感度として評価した。
【０１３５】
＜性能評価＞
以上のようにして調製された着色感光性組成物の露光感度及び現像性を下記のようにして評価した。結果を下記表に示す。
【０１３６】
＜＜現像性＞＞
前記＜着色感光性組成物によるカラーフィルタの作製及び評価＞において、現像を行った後、現像部（未露光部）をＳＥＭで２０個観察し、残渣の個数を数えた。残渣が少ないほど現像性が良好であることを示す。
【０１３７】
＜＜露光感度＞＞
露光量を１０〜５００ｍＪ／ｃｍ2の種々の露光量に変更して露光し、ポストベーク後のパターン線幅が１．２μｍとなる露光量を露光感度として評価した。露光感度の値が小さいほど感度が高いことを示す。
【０１３８】
【表４】
2014170189.tif 000031
【０１３９】
＜固体撮像素子の作製＞
＜＜固体撮像素子用カラーフィルタの作製＞＞
前記実施例３２で作製した緑色（Ｇ）の着色パターンを有するウエハ上に、前記赤色（Ｒ）用着色感光性組成物（Ｃ２６）を用いて、１．２μｍ×１．２μｍの赤色（Ｒ）の着色パターンを形成した。さらに、青色（Ｂ）用着色感光性組成物（Ｃ２５）を用いて１．２μｍ×１．２μｍの青色（Ｂ）の着色パターンを形成して固体撮像素子用のカラーフィルタを作製した。
【０１４０】
＜＜固体撮像素子用カラーフィルタの評価＞＞
前記固体撮像素子用のカラーフィルタを固体撮像素子に組み込んだところ、該固体撮像素子は、ブラックマトリックスの遮光性が高く、高解像度で色分離性に優れることが確認された。