(57)【要約】【課題】アクチュエータを備えた流体駆動装置の漏れ検出装置において、アクチュエータの動作への悪影響、及び製造コストやランニングコストを抑制すること。【解決手段】漏れ検出装置１は、流体駆動装置２におけるエアの漏れを検出する。流体駆動装置２は、エアによって駆動されるシリンダ機構４を備える。漏れ検出装置１は、シリンダ機構４にエアを供給するための主供給流路９をバイパスするバイパス流路１２と、バイパス流路１２に設けられた流量計１３と、演算手段１４と、判定手段１５とを備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体によって駆動されるアクチュエータを備えた流体駆動装置における流体の漏れを検出する漏れ検出装置であって、
前記アクチュエータに流体を供給するための流体供給流路をバイパスするバイパス流路と、該バイパス流路に設けられ、該バイパス流路の流体流量を検出する流量検出手段と、前記流量検出手段の検出結果に基づく流量データが所定値以上となった場合に、前記流体駆動装置における流体の漏れが発生したと判定する判定手段とを備えたことを特徴とする漏れ検出装置。
【請求項２】
前記流量検出手段からの信号数の積算値に基づいて前記流量データを演算する演算手段を備えた請求項１に記載の漏れ検出装置。
【請求項３】
前記流体供給流路の流体流量に対する前記バイパス流路の流体流量の比率が、１／８〜１／１２である請求項１又は２に記載の漏れ検出装置。
【請求項４】
前記アクチュエータがシリンダ機構である請求項１〜３の何れか１項に記載の漏れ検出装置。
【請求項５】
前記流体がエアである請求項１〜４の何れか１項に記載の漏れ検出装置。
【請求項６】
前記流量データの経時変化をグラフとして表示する表示手段を備えた請求項１〜５の何れか１項に記載の漏れ検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体によって駆動するシリンダ等のアクチュエータを備えた流体駆動装置における流体の漏れを検出する漏れ検出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば工場に配置された搬送装置には、流体によって駆動するシリンダ等のアクチュエータを備えた流体駆動装置が広く使用されている。
【０００３】
このような流体駆動装置は、長期に亘って使用されていると、例えば、アクチュエータの摺動部分のパッキンが摩耗することによって、使用されている流体が流体駆動装置から漏れるという事態が発生することがある。
【０００４】
この流体駆動装置における漏れを検出するための検出装置としては、例えば、アクチュエータに流体を供給する流体供給流路に、直列に流量検出手段を設け、所定流量以上の流量が検出された場合に、漏れが発生したと判定する装置が考えられる。
【０００５】
しかし、この場合には、流量計等の流量検出手段において、少なからず流量損失が発生するため、アクチュエータの動作の遅れ等が発生する可能性がある。そして、この流量損失を減少させるために、大流量用の流量検出手段を使用すると、小量の流量変化に対する検出精度が低下し、また、製造コストが上昇する。
【０００６】
このような問題に対して、例えば、特許文献１の機構では、次のように流体の漏れを検出している。漏れ検出の対象であるシステムは、シリンダへ流体を供給する供給流路を備える。この供給流路に、シリンダが駆動される時に流体が流れる駆動用流路と、シリンダの伸長状態あるいは縮退状態の時に駆動用流路から切り換えられる検出用流路とが、並列に設けられる。そして、検出用流路で所定の流量が検出された場合に、漏れが発生したと判定している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２０１１−１２７４６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、この構成の漏れ検出機構では次のような問題が生じる。すなわち、検出用流路の流量を検出するのはシリンダが伸長状態又は縮退状態の時なので、この検出時間を確保するために、シリンダが伸長状態又は縮退状態で一時停止する時間が長くなる。また、駆動用流路から検出用流路に切り換えるための切換手段が必要であるため、部品点数が増大し、あるいは切換手段のための電力等が必要となり、製造コストやランニングコストが増大する。
【０００９】
本発明は、上記事情に鑑み、アクチュエータを備えた流体駆動装置の漏れ検出装置において、アクチュエータの動作への悪影響、及び製造コストやランニングコストを抑制することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
前記課題を解決するための本発明の漏れ検出装置は、流体によって駆動されるアクチュエータを備えた流体駆動装置における流体の漏れを検出する漏れ検出装置であって、前記アクチュエータに流体を供給するための流体供給流路をバイパスするバイパス流路と、該バイパス流路に設けられ、該バイパス流路の流体流量を検出する流量検出手段と、前記流量検出手段の検出結果に基づく流量データが所定値以上となった場合に、前記流体駆動装置における流体の漏れが発生したと判定する判定手段とを備えたことを特徴とする。
【００１１】
この構成では、バイパス流路の流量を検出する時に、流体供給流路の流体の流れを確保できる。従って、流量検出時間を確保するために、アクチュエータが所定状態で一時停止する時間が長くなることはない。そして、この構成では、漏れ検出のために流路を切り換える必要は無く、そのための切換手段が不要である。従って、部品点数の増大や、消費電力等の増大を抑制できる。これによって、製造コストやランニングコストの増大を抑制することができる。
【００１２】
そして、この構成では、バイパス流路の流量を常時検出することによって、流体駆動装置における流体の漏れを常時検出することが可能となる。これにより、流体の漏れを早期に検出することができ、定期メンテナンス時等に漏れを修理することが可能となる。従って、アクチュエータの動作が遅延することやアクチュエータが動作不能となることを抑制できる。これにより、流体駆動装置の非常停止を抑制し、更には、工場の生産ラインが非常停止することを抑制できるので、予定生産数を生産できない事態を回避することができる。換言すれば、本発明の漏れ検出装置では、従来の事後保全に対して、予防保全を実施することが可能となる。
【００１３】
また、既存の流体駆動装置の流体供給流路にバイパス流路を取り付けても、バイパス流路の流量を少なくすれば、流体供給流路の流量損失、アクチュエータ動作の遅延等の悪影響を抑制できる。従って、本発明の漏れ検出装置は、容易に既存の流体駆動装置に設置することができる。
【００１４】
上記の構成において、前記流量検出手段からの信号数の積算値に基づいて前記流量データを演算する演算手段を備えてもよい。
【００１５】
この構成のような流量検出手段と演算手段を備えていれば、流量データは、この所定時間の流量に対応する。従って、この所定時間を変更することにより、流量データを任意の時間の流量に対応させることが可能となり、例えば、サイクルタイムを基準とした流量に対応させることも可能となる。また、所定時間を長くすれば、累積漏れ量が多くなるので、微少な漏れを検出することができるようになる。
【００１６】
上記の何れかの構成において、前記流体供給流路の流体流量に対する前記バイパス流路の流体流量の比率が、１／８〜１／１２であってもよい。
【００１７】
この構成であれば、流体供給流路の流量に比較して、流量検出手段として、小量の流量用のものが使用可能となる。従って、製造コストや保守費用を抑制でき、また、小量の流量変化に対する検出精度を向上できる。これらの効果は、少なくともアクチュエータの容量が３〜１００Ｌの範囲で享受できる。
【００１８】
上記の何れかの構成において、前記アクチュエータがシリンダ機構であってもよい。
【００１９】
この構成であれば、特に、シリンダ機構の摺動部に生じる摩耗による流体の漏れを検出することができる。
【００２０】
上記の何れかの構成において、前記流体がエアであってもよい。
【００２１】
エアは、安価で広く使用されているが、無臭かつ透明な気体であるため、人間の感覚では漏れに気付きにくい。この構成であれば、このような特徴を有するエアの漏れを検出の対象とすることができる。
【００２２】
上記の何れかの構成において、前記流量データの経時変化をグラフとして表示する表示手段を備えてもよい。
【００２３】
この構成であれば、漏れが検出された場合に、グラフから修理が早急に必要であるかの判断や、漏れの原因の推定等を行なうことができる。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、アクチュエータを備えた流体駆動装置の漏れ検出装置において、アクチュエータの動作への悪影響、及び製造コストやランニングコストを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の実施形態に係る漏れ検出装置を概念的に示す図である。
【図２】本発明の実施形態に係る漏れ検出装置の動作を示すフローチャートである。
【図３】流量データの経時変化の一例をグラフとして示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、本発明を実施するための形態について図面に基づき説明する。
【００２７】
図１は、本発明の実施形態に係る漏れ検出装置を概念的に示す図である。この漏れ検出装置１は、流体駆動装置２における流体の漏れを検出する。この流体駆動装置２には、流体駆動装置２に流体を供給する流体供給装置３が付設される。
【００２８】
流体駆動装置２は、流体によって駆動されるアクチュエータとしてのシリンダ機構４と、マニホールド５とを主要な構成要素とする。流体供給装置３は、流体供給源６と、レギュレータ７とを主要な構成要素とする。また、これらの構成要素を接続する上流供給流路８と、主供給流路９と、第１及び第２下流供給流路１０ａ，１０ｂと、マニホールド５に接続される排出流路１１とが設けられている。本実施形態では、上流供給流路８と、主供給流路９と、第１及び第２下流供給流路１０ａ，１０ｂとが、シリンダ機構４にエアを供給するための流体供給流路である。そして、本実施形態では、流体としてエアが使用される。
【００２９】
シリンダ機構４は、シリンダ４ａと、シリンダ４ａ内部に摺動自在に配置されるピストン４ｂと、ピストン４ｂに一端が固定され、シリンダ４ａ外に延びるピストンロッド４ｃを有する。シリンダ４ａ内の空間は、ピストン４ｂによって、ピストンロッド４ｃが無い側の第１空間４ｄと、ピストンロッド４ｃが有る側の第２空間４ｅに２分される。シリンダ４ａには、第１空間４ｄに連通する第１下流供給流路１０ａと、第２空間４ｅに連通する第２下流供給流路１０ｂとが接続されている。
【００３０】
流体供給源６は、例えばエアコンプレッサであり、上流供給流路８によって、レギュレータ７と接続されている。レギュレータ７には、シリンダ機構４にエアを供給するための主供給流路９が接続される。レギュレータ７は、主供給流路９に流入するエアの圧力を調節する。
【００３１】
マニホールド５は、内部に、流路の切換手段として切換弁（不図示）を有する。マニホールド５には、第１下流供給流路１０ａと、第２下流供給流路１０ｂとが接続される。そして、マニホールド５には、主供給流路９と、シリンダ機構４から排出されるエアが流れる排出流路１１とが接続される。排出流路１１を流れたエアは、大気中に放出される。
【００３２】
マニホールド５の切換弁は、不図示の制御手段で制御される。この切換弁によって、主供給流路９、排出流路１１に対する第１及び第２下流供給流路１０ａ，１０ｂの接続が切り換えられ、シリンダ機構４が動作を行なう。
【００３３】
シリンダ機構４が伸長する場合には、マニホールド５の切換弁によって、主供給流路９に対して第１下流供給流路１０ａが接続されると共に、排出流路１１に対して第２下流供給流路１０ｂが接続される。従って、主供給流路９から第１下流供給流路１０ａを介して、シリンダ４ａの第１空間４ｄにエアが供給され、ピストン４ｂがピストンロッド４ｃと共に移動し、シリンダ機構４が伸長する。これに伴い、シリンダ４ａ内の第２空間４ｅのエアが、第２下流供給流路１０ｂと排出流路１１を介して排出される。
【００３４】
シリンダ機構４が縮退する場合には、マニホールド５の切換弁によって、主供給流路９に対して第２下流供給流路１０ｂが接続されると共に、排出流路１１に対して第１下流供給流路１０ａが接続される。従って、主供給流路９から第２下流供給流路１０ｂを介して、シリンダ４ａの第２空間４ｅにエアが供給され、ピストン４ｂがピストンロッド４ｃと共に移動し、シリンダ機構４が縮退する。これに伴い、シリンダ４ａ内の第１空間４ｄのエアが、第２下流供給流路１０ａと排出流路１１を介して排出される。
【００３５】
漏れ検出装置１は、本実施形態では、バイパス流路１２と、流量検出手段としての流量計１３と、演算手段１４と、判定手段１５と、報知手段１６と、表示手段１７と、制御手段１８とを主要な構成要素とする。
【００３６】
バイパス流路１２は、流体駆動装置２の主供給流路９をバイパスする。主供給流路９におけるバイパス流路１２にバイパスされた領域９ａは、閉塞されることは無い。流量計１３は、バイパス流路１２に直列に配置され、バイパス流路１２のエアの流量を検出する。主供給流路９のエア流量に対するバイパス流路１２のエア流量の比率は、例えば１／８〜１／１２である。このエア流量の比率は、主供給流路９とバイパス流路１２を構成する管の径の大きさ等で調節することができる。
【００３７】
流量計１３は、本実施形態では、所定量のエアが流れることを検出するたびに、１つのパルス信号（以下、単にパルスと記す）を発信する。本実施形態では、この所定の流量は例えば０．１Ｌであるが、これに限定されるものではない。
【００３８】
演算手段１４は、流量計１３から所定時間の間に発信されたパルス数を積算し、このパルス数の積算値（以下、パルス積算値と記す）に基づいて流量データを演算する。この所定時間は、例えば、サイクルタイムを基準にして定める。例えば、サイクルタイム５秒の３６サイクル分で、１８０秒（３分）である。この場合、パルス積算値は、流量計１３の検出時間の３分ごとに１つ得られる。そして、バイパス流路１２における実際の３分間の流量は、パルス積算値×０．１Ｌとなる。
【００３９】
演算手段１４の演算は、本実施形態では、所定期間におけるパルス積算値のうち、最大値を抽出して流量データとするものである。この所定期間は、例えば、１日であり、この場合、流量データは、１日に１つ得られる。
【００４０】
判定手段１５は、流量計１３の検出結果に基づく流量データが所定値以上となった場合に、流体駆動装置２におけるエアの漏れが発生したと判定する。本実施形態では、判定手段１５は、演算手段１４の演算によって得られた流量データが所定値以上となった場合に、エアの漏れが発生したと判定する。この所定値（以下、閾値と記す）は、誤判定が生じないように適宜決めればよく、例えば、漏れが無い時の流量データを基準として、その１０６〜１１０％とすることが考えられる。また、漏れが無い時の流量データと、漏れが発生した時の流量データを予め調べて、それらの中間の値としてもよい。
【００４１】
演算手段１４は、流量計１３から所定時間の間に発信されたパルス積算値に基づいて流量データを演算する。このため、流量データは、この所定時間の間の流量に対応する。従って、この所定時間を変更することにより、流量データを任意の時間の流量に対応させることが可能となり、上述のように、サイクルタイムを基準とした流量に対応させることも可能となる。
【００４２】
演算手段１４の演算で、所定期間におけるパルス積算値のうち、最大値を抽出して流量データとする理由は、次のようなものである。
【００４３】
実際の工場の生産ラインでは、１日中、製品の流れが一定ということは少なく、製品が流れて、シリンダ機構４が動作している時だけでなく、製品が流れず、シリンダ機構４が動作を停止する時もある。そのため、１日の間では、主供給流路９およびバイパス流路１２の流量が変動する。
【００４４】
ここで、演算手段１４が、所定時間、例えば３分（５秒のサイクルタイム３６回分）の間のパルス数を積算するものとすると、このパルス積算値は、１日に４８０個（２４時間×６０分÷３分）得られる。
【００４５】
１日における４８０個のパルス積算値の中でも、シリンダ機構４の停止時間を含む３分の間に発信されたパルス数を積算したものは、その値が小さくなる。一方、シリンダ機構４が連続的に動作した３分の間に発信されたパルス数を積算したものは、４８０個のパルス積算値の中で最大値となる。このことは、別の日であっても同様である。この１日における４８０個のパルス積算値のうち、最大値を１日の代表値とする。すると、漏れが無い場合は、毎日の代表値は、相互に同じ値となる（変動しない）。そして、漏れが有る場合は、毎日の代表値は増大する。
【００４６】
従って、判定用データとして、演算手段１４の演算で、１日における４８０個のパルス積算値のうち、最大値を抽出して１日の代表値（流量データ）とすれば、漏れが無い場合には、毎日の代表値は、変動しない。そして、漏れがあれば、毎日の代表値は増大し、流量データが閾値以上となった場合に、流体駆動装置２におけるエアの漏れが発生したと判定手段１５が判定することができる。
【００４７】
報知手段１６は、流体駆動装置２におけるエアの漏れが発生したと判定手段１５が判定したことを、周囲に報知するものであり、例えば、ランプ等である。表示手段１７は、流量データの経時変化をグラフとして表示するもので、例えば、液晶モニタ等である。制御手段１８は、報知手段１６や表示手段の動作等を制御するものである。
【００４８】
以上の構成の漏れ検出装置１の動作を、図２を参照しながら以下に説明する。
【００４９】
流体駆動装置２は、例えば、２４時間稼動する工場の生産ラインに合わせて、適宜、シリンダ機構４を動作させる。漏れ検出装置１は、常に、漏れを検出可能な状態とする。
【００５０】
まず、ステップＳ１として、流量計１３が、バイパス流路１２を所定量のエアが流れることを検出し、検出するたびにパルスを発信する。そして、所定時間が経過したか否かを判断する（ステップＳ２）。所定時間が経過するまでは、このステップＳ１が繰り返される。所定時間が経過したら、ステップＳ３として、演算手段１４が、流量計１３から所定時間の間に発信されたパルス数を積算する。
【００５１】
そして、所定期間が経過したか否かを判断する（ステップＳ４）。所定期間が経過するまでは、これらのステップＳ１〜Ｓ３が繰り返される。所定期間が経過したら、ステップＳ５として、演算手段１４は、所定期間におけるパルス積算値のうち、最大値を抽出して流量データとする演算を行なう。
【００５２】
そして、ステップＳ６として、判定手段１５は、演算手段１４の演算によって得られた流量データが閾値以上となったか否かを判定する。流量データが閾値以上となっていない場合は、判定手段１５は、エアの漏れが発生していないと判定し、ステップＳ１〜Ｓ５が繰り返される。
【００５３】
ステップＳ６で流量データが閾値以上となった場合は、判定手段１５は、エアの漏れが発生したと判定する。すると、制御手段１８が、報知手段１６を作動させ、エアの漏れが発生したことを、周囲に報知する（ステップＳ７）。そして、報知手段１６の作動に気付いた作業者が、制御手段１８によって、表示手段１７に、流量データの経時変化をグラフとして表示させ、グラフから修理が早急に必要であるかの判断や、漏れの原因の推定等を行なう（ステップＳ８）。
【００５４】
流量データの経時変化の一例をグラフとして図３に示す。ここでは、判定手段１５の判定基準となる閾値は、漏れがない時の流量データを６０パルスとし、この１０８％の６５パルスとした。
【００５５】
図３に示すように、最初、流量データは、約６０パルスで推移するが、Ａの時点で閾値６５パルス以上の６８パルスとなる。しかし、流量データは、すぐに、閾値６５パルス未満となって、再び約６０パルスで推移する。しばらく経過後、流量データはＢの時点で、再び閾値６５パルス以上となる。この後、流量データは、閾値６５パルスを越えたまま、約７０パルスで推移している。そして、Ｃの時点で、漏れの修理が行なわれ、その後Ｄの時点で閾値６５パルスを下回り、再び約６０パルスで推移するようになる。
【００５６】
このように、Ａの時点、Ｂの時点において、閾値の６５パルス以上となるので、判定手段１５は漏れが発生したと判定し、これに伴い、報知手段１６が作動する。なお、Ａの時点の漏れでは、流量データの増大が一時的であるが、これは、パッキン等の摩耗のみに起因するものではなく、パッキン等が一時的によじれたことが主な原因と考えられる。このような漏れを検出しないように、流量データが、所定時間以上の間、閾値以上となった場合に、漏れが発生したと判定するように判定手段１５を構成してもよい。また、報知手段１６の作動に気付いた作業者が、表示手段１７に流量データの経時変化をグラフとして表示させた際に、Ａの時点のように一時的な流量データの増大と考えられる場合に、報知手段１６を停止してしばらく様子を見るということにしてもよい。
【００５７】
本実施形態の漏れ検出装置１では、以下の効果を享受できる。
【００５８】
バイパス流路１２の流量を検出する時に、主供給流路９におけるバイパス流路１２でバイパスされた領域９ａを閉塞せず、主供給流路９のエアの流れを確保できる。従って、流量検出時間を確保するために、シリンダ機構４が伸長状態や縮退状態で一時停止する時間が長くなることはない。そして、漏れ検出のために流路を切り換える必要は無く、そのための切換手段が不要である。従って、部品点数の増大や、消費電力等の増大を抑制できる。これによって、製造コストやランニングコストの増大を抑制することができる。
【００５９】
バイパス流路１２の流量を常時検出することによって、流体駆動装置２におけるエアの漏れを常時検出することが可能となる。これにより、エアの漏れを早期に検出することができ、定期メンテナンス時等に漏れを修理することが可能となる。従って、シリンダ機構４の動作が遅延することやシリンダ機構４が動作不能となることを抑制できる。これにより、流体駆動装置２の非常停止を抑制し、更には、工場の生産ラインが非常停止することを抑制できるので、予定生産数を生産できない事態を回避することができる。換言すれば、漏れ検出装置１では、従来の事後保全に対して、予防保全を実施することが可能となる。
【００６０】
また、既存の流体駆動装置２の主供給流路９にバイパス流路１２を取り付けても、主供給流路９の流量損失、シリンダ機構４の動作遅延等の悪影響を抑制できる。従って、漏れ検出装置１は、容易に既存の流体駆動装置２に設置することができる。
【００６１】
また、漏れ検出装置１では、シリンダ機構４の摺動部に限らず、第１及び第２下流供給流路１０ａ，１０ｂやマニホールド５の内部の漏れも検出可能である。
【００６２】
そして、主供給流路９のエア流量に対するバイパス流路１２のエア流量の比率が例えば１／８〜１／１２であれば、主供給流路９の流量に比較して、流量計１３として、小量の流量用のものが使用可能となる。従って、製造コストや保守費用を抑制でき、また、小量の流量変化に対する検出精度を向上できる。これらの効果は、少なくともシリンダ機構４の容量が３〜１００Ｌの範囲で享受できる。
【００６３】
上記実施形態では、流量計１３が、所定量のエアを検出するたびに、信号を発信し、この信号に基づいて流量データを演算する演算手段１４を備えていたが、本発明は、これに限定させるものではない。例えば、演算手段１４を省略し、流量計１３が、単位時間（単位期間）当たりの流量を検出し、この検出された流量を流量データとして、判定手段１５が漏れの判定を行なってもよい。
【００６４】
しかし、この場合、流量計１３がパルスを発信せず、演算手段１４が無いため、パルス数の積算や、積算値の最大値抽出処理ができない。このため、例えば、日によってシリンダ機構４の稼動状況によってバイパス流路１２の流量が変動すると、流量計１３による１日の流量データが、漏れが無くても変動する。このような場合、流体駆動装置２が稼動中に、流量計１３による１日の流量データを毎日の判定用データとして、漏れを検出することはできない。従って、このような構成の漏れ検出装置１は、定期メンテナンスで流体駆動装置２が停止している時に使用することが考えられる。
【００６５】
つまり、シリンダ機構４が伸長状態あるいは縮退状態で停止している状態、かつ、シリンダ機構４にエアが供給されている状態で、漏れ検出装置１を作動させる。この状態で、漏れが無い場合は、主供給流路９とバイパス流路１２に、エアは流れない。そして、漏れが有る場合は、バイパス流路１２とバイパス流路１２にエアが流れ、流量計１３で検出された流量データが閾値以上となった場合、漏れが発生したと判定手段１５が判定する。故に、定期メンテナンス等装置が停止している状態で、漏れ検出をする必要がある。
【００６６】
すなわち、漏れ検出装置１において、流量計１３が所定量のエアを検出するたびに信号を発信し、演算手段１４を備えていれば、定期メンテナンスに必要な労力や時間を低減でき、更には、定期メンテナンスで漏れ検出を行なう必要が無くなる。
【００６７】
以上の説明では、漏れ検出の対象は、エアであったが、流体であればよく、例えば油等でもよい。また、流体駆動装置のアクチュエータは、シリンダ機構であったが、流体で駆動されるものであればよく、ロータリアクチュエータ等でもよい。また、流体供給流路に接続されたアクチュエータは１つであったが、複数であってもよい。
【符号の説明】
【００６８】
１      漏れ検出装置
２      流体駆動装置
３      流体供給装置
４      シリンダ機構（アクチュエータ）
８      上流供給流路（流体供給流路）
９      主供給流路（流体供給流路）
１０ａ，１０ｂ         下流供給流路（流体供給流路）
１２    バイパス流路
１３    流量計（流量検出手段）
１４    演算手段
１５    判定手段
【図１】
2014032036.tif 000003
【図２】
2014032036.tif 000004
【図３】
2014032036.tif 000005