(57)【要約】【課題】排気路の外部への発塵異物の流出を効果的に防止できる排気装置、基板処理装置、及び、排気方法を提供すること。【解決手段】一端部から他端部まで筒状に延びる排気路と、前記排気路の他端部の上方領域に隣接するように設けられた第２排気路と、前記排気路内の上方領域において、当該排気路の一端部から他端部に向かう空気流を提供するように設けられた給気口と、前記給気口から提供された空気流を前記第２排気路へ案内するようになっている整流板と、を備えたことを特徴とする排気装置である。【選択図】図１
2014102026.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一端部から他端部まで筒状に延びる排気路と、
前記排気路の他端部の上方領域に隣接するように設けられた第２排気路と、
前記排気路内の上方領域において、当該排気路の一端部から他端部に向かう空気流を提供するように設けられた給気口と、
前記給気口から提供された空気流を前記第２排気路へ案内するようになっている整流板と、
を備えたことを特徴とする排気装置。
【請求項２】
一端部から他端部まで筒状に延びる排気路と、
前記排気路の他端部の下方領域に隣接するように設けられた第２排気路と、
前記排気路内の下方領域において、当該排気路の一端部から他端部に向かう空気流を提供するように設けられた給気口と、
前記給気口から提供された空気流を前記第２排気路へ案内するようになっている整流板と、
を備えたことを特徴とする排気装置。
【請求項３】
前記給気口は、加熱された空気流を提供するようになっている
ことを特徴とする請求項１または２に記載の排気装置。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれかに記載の排気装置と、
前記排気装置の排気路の一端部に接続された基板投入口を有する基板処理室と、
を備えたことを特徴とする基板処理装置。
【請求項５】
前記基板処理室の内部は陽圧にされるようになっている
ことを特徴とする請求項４に記載の基板処理装置。
【請求項６】
前記基板処理室の内部において基板を加熱する基板加熱装置
を更に備えたことを特徴とする請求項５に記載の基板処理装置。
【請求項７】
請求項１乃至３のいずれかに記載の排気装置を用いた排気方法であって、
前記給気口から前記排気路の一端部から他端部に向かう空気流が提供され、前記排気路内の空気が当該空気流によって押し流されて前記第２排気路から排出される
ことを特徴とする排気方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、排気装置、基板処理装置、及び、排気方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、熱処理、樹脂塗布、露光等の基板処理に用いられる基板処理装置においては、基板処理室が有する基板投入口が開閉式のシャッタによって密閉されると共に、基板処理室内に清浄な空気（熱風循環式熱処理装置の場合には、加熱された空気）が循環されるようになっており、これにより、基板処理室内は陽圧の所定の雰囲気に維持されるようになっている。
【０００３】
そのため、シャッタの開口時、基板処理室の内部と外部との圧力差によって、基板処理室内の発塵異物（例えば処理基板の表面から昇華された昇華成分）が、基板投入口から流出して、基板処理室の外部を汚染するおそれがある。
【０００４】
これを防ぐための方法として、図５に示すように、基板投入口１２２に排気路１１１の一端部が接続されると共に、当該排気路１１１の他端部の上方領域に隣接するように第２排気路１１２が設けられ、第２排気路１１２内が減圧されることにより、基板投入口１２２から排気路１１１内に流出する発塵異物が、排気路１１１内と第２排気路１１２内との圧力差によって、第２排気路１１２から強制的に排気されるという方法が知られている。図５の符号１４５は、発塵異物の流れを示している。
【０００５】
また、図６に示すように、排気路２１１の他端部の下方領域に隣接するように給気口２１３が設けられ、給気口２１３から上向きに空気流が供給されることにより、給気口２１３と第２排気路２１２との間にエアカーテン２４０が形成され、基板投入口２２２から排気路２１１内に流出する発塵異物が、エアカーテン２４０によって遮断されるという方法も知られている（特許文献１参照）。図６の符号２４５は、発塵異物の流れを示している。
【０００６】
また、基板処理室内に循環される清浄な空気の流量が調整されて、基板処理室内が陰圧にされることにより、基板処理室の内部と外部との圧力差によって、発塵異物が基板投入口から流出することが防止されるという方法も知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００７−２４３７８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、一般的に排気路内にはシャッタ等の駆動機構が存在するため、排気路内の空間形状が複雑になっている。そのため、図５に示すような、第２排気路１１２から強制的に排気される方法では、排気路１１１内に空気の対流が生じるおそれがあり、これにより、排気路１１１内に発塵異物が滞留する箇所が発生してしまう。また、発塵異物が昇華成分を含む場合、強制的な排気によって第２排気路１１２の近傍の温度の低くなると、昇華成分が冷却されることによって析出するため、第２排気路１１２の近傍に多量の昇華物が堆積してしまう。
【０００９】
また、図６に示すような、エアカーテン２４０が形成される方法では、基板投入口２２２から基板が搬出・搬入される際に、排気路２１１内を移動する基板によってエアカーテン２４０が遮られるため、当該基板より上方に位置する発塵異物が、排気路２１１の外側に流出してしまう。
【００１０】
また、基板処理室内が陰圧にされる方法では、基板処理室の内部と外部との圧力差によって、基板搬送ロボットやシャッタからの発塵を基板処理室内に引き込んでしまう。また、熱処理装置の場合には、循環される空気の流量が調整されることにより、基板処理室内の温度分布が不安定になって、基板の熱処理にムラが生じてしまう。
【００１１】
本発明は、このような問題点に着目してなされたものであり、その目的は、排気路の外部への発塵異物の流出を効果的に防止できる排気装置、基板処理装置、及び、排気方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は、一端部から他端部まで筒状に延びる排気路と、前記排気路の他端部の上方領域に隣接するように設けられた第２排気路と、前記排気路内の上方領域において、当該排気路の一端部から他端部に向かう空気流を提供するように設けられた給気口と、前記給気口から提供された空気流を前記第２排気路へ案内するようになっている整流板と、を備えたことを特徴とする排気装置である。
【００１３】
本発明によれば、給気口と第２排気路とが両方とも排気路の上方領域に設けられていると共に、給気口から提供された空気流が整流板によって第２排気路へ案内されることにより、当該空気流は排気路内の上方領域を流れて、排気路内の下方領域には流れないようになっており、排気路内の下方領域を移動する基板によって当該空気流が遮られることがない。これにより、排気路内の発塵異物は当該空気流によって押し流されて第２排気路から排出され、排気路の外部への発塵異物の流出が効果的に防止される。また、当該空気流によって押し流されることにより、排気路内における空気の対流が防止され、排気路内に発塵異物が滞留する箇所が発生しなくなる。当該空気流が排気路内の上方領域を流れるため、発塵異物が排気路内の空気より軽い場合に、より効果的である。
【００１４】
また、本発明は、一端部から他端部まで筒状に延びる排気路と、前記排気路の他端部の下方領域に隣接するように設けられた第２排気路と、前記排気路内の下方領域において、当該排気路の一端部から他端部に向かう空気流を提供するように設けられた給気口と、前記給気口から提供された空気流を前記第２排気路へ案内するようになっている整流板と、を備えたことを特徴とする排気装置である。
【００１５】
本発明によれば、給気口と第２排気路とが両方とも排気路の下方領域に設けられていると共に、給気口から提供された空気流が整流板によって第２排気路へ案内されることにより、当該空気流は排気路内の下方領域を流れて、排気路内の上方領域には流れないようになっており、排気路内の上方領域を移動する基板によって当該空気流が遮られることがない。これにより、排気路内の発塵異物は当該空気流によって押し流されて第２排気路から排出され、排気路の外部への発塵異物の流出が効果的に防止される。また、当該空気流によって押し流されることにより、排気路内における空気の対流が防止され、排気路内に発塵異物が滞留する箇所が発生しなくなる。当該空気流が排気路内の下方領域を流れるため、発塵異物が排気路内の空気より重い場合に、より効果的である。
【００１６】
好ましくは、前記給気口は、加熱された空気流を提供するようになっている。このような態様によれば、第２排気路の近傍が空気流によって加熱されるため、発塵異物の昇華成分が第２排気路の近傍に析出することが低減される。
【００１７】
また、本発明は、前記排気装置と、前記排気装置の排気路の一端部に接続された基板投入口を有する基板処理室と、を備えたことを特徴とする基板処理装置である。
【００１８】
本発明によれば、給気口と第２排気路とが両方とも排気路の上方領域または下方領域のいずれか一方の領域に設けられていると共に、給気口から提供された空気流が整流板によって第２排気路へ案内されることにより、当該空気流は排気路内の前記一方の領域を流れて、排気路内の他方の領域には流れないようになっており、排気路内の当該他方の領域を移動する基板によって当該空気流が遮られることがない。これにより、排気路内の発塵異物は当該空気流によって押し流されて第２排気路から排出され、排気路の外部への発塵異物の流出が効果的に防止される。また、当該空気流によって押し流されることにより、排気路内における空気の対流が防止され、排気路内に発塵異物が滞留する箇所が発生しなくなる。
【００１９】
具体的には、例えば、前記基板処理室の内部は陽圧にされるようになっている。
【００２０】
更に具体的には、例えば、前記基板処理室の内部において基板を加熱する基板加熱装置を更に備える。
【００２１】
また、本発明は、前記排気装置を用いた排気方法であって、前記給気口から前記排気路の一端部から他端部に向かう空気流が提供され、前記排気路内の空気が当該空気流と一緒に押し流されて前記第２排気路から排出されることを特徴とする排気方法である。
【００２２】
本発明によれば、給気口と第２排気路とが両方とも排気路の上方領域または下方領域のいずれか一方の領域に設けられていると共に、給気口から提供された空気流が整流板によって第２排気路へ案内されることにより、当該空気流は排気路内の前記一方の領域を流れて、排気路内の他方の領域には流れないようになっており、排気路内の当該他方の領域を移動する基板によって当該空気流が遮られることがない。これにより、排気路内の発塵異物は当該空気流によって押し流されて第２排気路から排出され、排気路の外部への発塵異物の流出が効果的に防止される。また、当該空気流によって押し流されることにより、排気路内における空気の対流が防止され、排気路内に発塵異物が滞留する箇所が発生しなくなる。
【発明の効果】
【００２３】
本発明の排気装置の一態様によれば、給気口と第２排気路とが両方とも排気路の上方領域に設けられていると共に、給気口から提供された空気流が整流板によって第２排気路へ案内されることにより、当該空気流は排気路内の上方領域を流れて、排気路内の下方領域には流れないようになっており、排気路内の下方領域を移動する基板によって当該空気流が遮られることがない。これにより、排気路内の発塵異物は当該空気流によって押し流されて第２排気路から排出され、排気路の外部への発塵異物の流出が効果的に防止される。また、当該空気流によって押し流されることにより、排気路内における空気の対流が防止され、排気路内に発塵異物が滞留する箇所が発生しなくなる。当該空気流が排気路内の上方領域を流れるため、発塵異物が排気路内の空気より軽い場合に、より効果的である。
【００２４】
また、本発明の排気装置の別の態様によれば、給気口と第２排気路とが両方とも排気路の下方領域に設けられていると共に、給気口から提供された空気流が整流板によって第２排気路へ案内されることにより、当該空気流は排気路内の下方領域を流れて、排気路内の上方領域には流れないようになっており、排気路内の上方領域を移動する基板によって当該空気流が遮られることがない。これにより、排気路内の発塵異物は当該空気流によって押し流されて第２排気路から排出され、排気路の外部への発塵異物の流出が効果的に防止される。また、当該空気流によって押し流されることにより、排気路内における空気の対流が防止され、排気路内に発塵異物が滞留する箇所が発生しなくなる。当該空気流が排気路内の下方領域を流れるため、発塵異物が排気路内の空気より重い場合に、より効果的である。
【００２５】
また、本発明の基板処理装置によれば、給気口と第２排気路とが両方とも排気路の上方領域または下方領域のいずれか一方の領域に設けられていると共に、給気口から提供された空気流が整流板によって第２排気路へ案内されることにより、当該空気流は排気路内の前記一方の領域を流れて、排気路内の他方の領域には流れないようになっており、排気路内の当該他方の領域を移動する基板によって当該空気流が遮られることがない。これにより、排気路内の発塵異物は当該空気流によって押し流されて第２排気路から排出され、排気路の外部への発塵異物の流出が効果的に防止される。また、当該空気流によって押し流されることにより、排気路内における空気の対流が防止され、排気路内に発塵異物が滞留する箇所が発生しなくなる。
【００２６】
また、本発明の排気方法によれば、給気口と第２排気路とが両方とも排気路の上方領域または下方領域のいずれか一方の領域に設けられていると共に、給気口から提供された空気流が整流板によって第２排気路へ案内されることにより、当該空気流は排気路内の前記一方の領域を流れて、排気路内の他方の領域には流れないようになっており、排気路内の当該他方の領域を移動する基板によって当該空気流が遮られることがない。これにより、排気路内の発塵異物は当該空気流によって押し流されて第２排気路から排出され、排気路の外部への発塵異物の流出が効果的に防止される。また、当該空気流によって押し流されることにより、排気路内における空気の対流が防止され、排気路内に発塵異物が滞留する箇所が発生しなくなる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明による排気装置の第一の実施の形態の概略側面図である。
【図２】図１の排気装置を備える基板処理装置の概略側面図である。
【図３】図１の排気装置を備える基板処理装置の概略平面図である。
【図４】本発明による排気装置の第二の実施の形態の概略側面図である。
【図５】第２排気路から強制的に排気される従来の方法を説明するための図である。
【図６】エアカーテンが形成される従来の方法を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下に、添付の図面を参照して、本発明の実施の形態を詳細に説明する。
【００２９】
図１は、本発明による排気装置の第一の実施の形態の概略側面図である。図２は、本実施の形態の排気装置を備える基板処理装置の概略側面図であり、図３は、当該基板処理装置の概略平面図である。
【００３０】
図２及び図３に示すように、本実施の形態の基板処理装置２０は、本発明の特徴である排気装置１０と、当該排気装置１０の排気路１１の一端部に接続された基板投入口２２を有する基板処理室２１と、を備えている。本実施の形態では、処理対象の基板４１は、例えばカラーフィルタが形成されるべきガラス基板であり、基板４１の表面には硬化前の樹脂材料が予め塗布されている。
【００３１】
図３に示すように、本実施の形態の基板投入口２２は横長形状を有しており、基板処理室２１の正面側壁を貫通するように設けられている。
【００３２】
一方、基板処理室２１の背面側壁には、基板処理室２１の内部において基板４１を加熱する基板加熱装置２５が設けられている。基板加熱装置２５は、具体的にはそれ自体は公知の熱風循環装置であり、基板処理室２１の内部に加熱された空気を循環させるようになっている。
【００３３】
基板処理室２１の内部には、複数枚の基板４１を保持する基板保持棚２３が配置されている。図２に示すように、基板保持棚２３は上下方向に積み重ねられた複数の基板保持空間を有しており、各基板保持空間に基板４１が一枚ずつ水平に収容されるようになっている。
【００３４】
基板保持棚２３の底面には昇降装置２４が接続されている。昇降装置２４は、具体的にはモータであり、基板保持棚２３を基板処理室２１内で昇降移動させるようになっている。昇降装置２４によって基板保持棚２３が昇降移動されることにより、各基板保持空間の側面が基板投入口２２と順番に対向されるようになっている。
【００３５】
図１に戻って、本実施の形態による排気装置１０は、一端部から他端部まで筒状に延びる排気路１１と、排気路１１の他端部の上方領域に隣接するように設けられた第２排気路１２と、排気路１１内の上方領域において、当該排気路１１の一端部から他端部に向かう空気流を提供するように設けられた給気口１３と、給気口１３から提供された空気流を第２排気路１２へ案内するようになっている整流板１４ａ〜１４ｃと、を備えている。
【００３６】
本実施の形態において、排気路１１内の下方領域とは、処理対象の基板４１が通過する領域である。すなわち、処理対象の基板４１は、排気路１１内の下方領域を移動されることにより、基板投入口２２を通過されるようになっている。
【００３７】
例えば、本実施の形態では、排気路１１の内部空間の全体の高さが２０ｃｍであり、そのうち天井から１０ｃｍ下方までの領域が上方領域であり、それより下方の領域が下方領域である。排気路１１内の上方領域と下方領域との間の境界面３０を、図１内に一点鎖線で参考のために示しておく。例えば、当該境界面３０は、基板投入口２２の下端より１０ｃｍ上方に位置している。
【００３８】
排気路２２内の一端部の上方領域には、直線状の給気管１５が基板投入口２２の長手方向と平行に延びるように設けられており、本実施の形態の給気口１３は当該給気管１５の底面において当該給気管１５の長手方向に並んで複数個が設けられている。
【００３９】
給気管１５の一端部には、当該給気管１５内に加熱された空気を提供する給気装置１７が接続されている。給気装置１７から給気管１５内に加熱された空気が提供されることにより、給気管１５の底面の各給気口１３から、排気路１１内の一端部から他端部に向けて加熱された空気流が提供されるようになっている。
【００４０】
一方、図３に示すように、第２排気路１２の両端部には、排気装置１６がそれぞれ接続されている。各排気装置１６が動作されることにより、第２排気路１２内が減圧されるようになっている。
【００４１】
図１に戻って、第２排気路１２は、側面視「コ」字状を有しており、開口部が下方に向けられた状態で、排気路１１の他端部の上方領域に隣接して設けられている。
【００４２】
本実施の形態では、排気路１１内の上方領域に３枚の整流板１４ａ〜１４ｃが設けられている。各整流板１４ａ〜１４ｃは、排気路１１内の上方領域に設けられていることにより、排気路１１内の下方領域を移動する基板４１や搬送ロボットのハンドと干渉しないようになっている。以後の説明では、３枚の整流板１４ａ〜１４ｃをそれぞれ第１〜第３整流板と呼ぶ。
【００４３】
第１整流板１４ａは、給気管１５の各給気口１３と対向する配置され、一端部が真空処理室２１の正面側壁に固定されている。給気口１３から排気路１１内に提供される空気流は、第１整流板１４ａに案内されることにより、排気路１１内の上方領域を一端部から他端部に向かって流れることが促され、排気路１１内の下方領域に流れることが抑制されている
第２整流板１４ｂは、第２排気路１２の内側下端部１２ｂと給気口１３との間に掛け渡されるように配置され、第２整流板１４ｂの一端部が第２排気路１２の内側下端部１２ｂに固定されている。排気路１１内を一端部から他端部に向かって流れる空気流は、第２整流板１４ｂに案内されることにより、第２整流板１４ｂより上方の空間に流入して対流が生成されることが防止されるようになっている。
【００４４】
第３整流板１４ｃは、第２排気路１２の開口部と対向するように配置され、一端部が第２排気路１２の外側下端部１２ａに固定されている。排気路１１内を一端部から他端部に向かって流れる空気流は、第３整流板１４ｃに案内されることにより、第２排気路１２内に向かって流れることが促され、排気路１１の他端部から外部に流出することが防止されている。
【００４５】
本実施の形態では、排気路１１内の下方領域に、開閉可能なシャッタ１８が配置されている。シャッタ１８は板状を有しており、基端部が排気路２２の底面にヒンジ結合されている。シャッタ１８が基端部を中心に左回りに回動され、先端部が第２排気路１２の内側下端部１２ｂに当接されることにより、排気路２２の他端部がシャッタ１８によって密閉されるようになっている。また、シャッタ１８が基端部を中心に右回りに回動され、先端部が第２排気路１２の内側下端部１２ｂから離間されることにより、排気路２２の他端部が開放されるようになっている。
【００４６】
次に、このような構成からなる本実施の形態の作用について説明する。
【００４７】
図１を参照し、シャッタ１８が基端部を中心に左回りに回動され、排気路１１の他端部が密閉された状態で、基板加熱装置２５によって基板処理室２１内に加熱された空気が循環され、基板処理室２１内は陽圧に維持されている。基板処理室２１内と排気路１１内とは基板投入口２２を介して連通されているため、排気路１１内も陽圧にされている。
【００４８】
基板保持棚２３には複数枚の基板４１が保持されている。各基板４１は基板処理室２１内に循環される空気によって熱処理され、各基板４１の表面の樹脂材料から昇華成分が昇華される。これにより、各基板４１の表面の樹脂材料が硬化される。
【００４９】
次に、熱処理済みの基板４１が基板処理室２１から搬出される工程を説明する。
【００５０】
まず、昇降装置２４によって基板保持棚２３が昇降移動され、搬出されるべき基板４１が収容された基板保持空間の側面が基板投入口２２と対向される。
【００５１】
給気装置１７によって給気口１３から排気路１１内に加熱された空気流が提供され始めると共に、排気装置１６によって第２排気路１２内が減圧され始める。そして、シャッタ１８が基端部を中心に右回りに回動され、排気路１１の他端部が開放される。
【００５２】
このとき、排気路１１内の空気は、給気口１３から提供された空気流によって、排気路１１の一端部から他端部に向かって押し流されて、第２排気路から排出される。これにより、排気路１１内の圧力が低下する。
【００５３】
排気路１１内と基板処理室２１内との圧力差により、基板処理室２１内の発塵異物（例えば基板４１の表面から昇華した昇華成分）が基板投入口２２を通って排気路１１内に流出する。しかしながら、本実施の形態では、排気路１１内の一端部から他端部に向けて給気口１３から空気流が提供されているため、排気路１１内の発塵異物も、当該空気流によって押し流されて、第２排気路１３から排出される。符号４５は、発塵異物の流れを示している。
【００５４】
給気口１３から提供された空気流は、整流板１４ａ〜１４ｃによって第２排気路へ案内されるため、排気路１１内における対流の生成が防止され、これにより、排気路１１内に発塵異物が滞留することが防止される。
【００５５】
また、給気口１３から加熱された空気流が提供されているため、第２排気路１２の近傍は当該加熱された空気流によって加熱される。これにより、発塵異物に含まれる昇華成分が、第２排気路１２の近傍で冷却されて析出することが低減される。
【００５６】
次に、排気路１１の他端部の下方領域から不図示の基板搬送ロボットのハンドが挿入され、搬送路１１内を他端部から一端部に向けて水平に移動され、基板投入口２２を通って基板処理室２１内に挿入される。そして、基板保持棚２３に保持された基板４１が当該ハンドに乗せられる。次に、当該ハンドが基板４１と一緒に基板処理室２１内から基板投入口２２を通って引き出され、搬送路１１内の下方領域を一端部から他端部に向けて水平に移動され、排気路１１の他端部の下方領域から外部に引き出される。
【００５７】
本実施の形態では、給気口１３と第２排気路１２とが両方とも排気路１１の上方領域に設けられていると共に、給気口１３から提供された空気流が整流板１４ａ〜１４ｃによって第２排気路１２へ案内されることにより、当該空気流は排気路１１内の上方領域を流れて、排気路１１内の下方領域には流れないようなっており、当該空気流が排気路１１内の下方領域を移動する基板４１や基板搬送ロボットのハンドによって遮られることが防止されている。そのため、排気路１１内の下方領域を基板４１や基板搬送ロボットのハンドが移動する際に、搬送路１１の他端部から外部に発塵異物が流出することはない。
【００５８】
なお、基板搬送ロボットのハンドの駆動部から排気路１１内に放出される発塵異物も、給気口１３から提供された空気流によって押し流されて、第２排気路から排出される。
【００５９】
次に、シャッタ１８が基端部を中心に左回りに回動され、排気路１１の他端部が密閉される。給気口１３からの空気流の提供と、第２排気路１２からの排気とが停止される。
【００６０】
その後、以上のような熱処理済みの基板４１が基板処理室２１から搬出される工程と同様にして、熱処理前の別の基板４１が、基板搬送ロボットのハンドによって、排気路１１内の下方領域を他端部から一端部に向けて移動され、基板投入口２２を通って基板処理室２１内に搬入され得る。基板処理室２１からの基板４１の搬出・搬入に伴って、シャッタ１８は例えば１分毎に開閉され得る。
【００６１】
本実施の形態によれば、給気口１３と第２排気路１２とが両方とも排気路１１の上方領域に設けられていると共に、給気口１３から提供された空気流が整流板１４ａ〜１４ｃによって第２排気路１２へ案内されることにより、当該空気流は排気路１１内の上方領域を流れて、排気路１１内の下方領域には流れないようになっており、排気路１１内の下方領域を移動する基板４１によって当該空気流が遮られることはない。これにより、排気路１１内の発塵異物は当該空気流によって押し流されて第２排気路１２から排出され、排気路１１の外部への発塵異物の流出が効果的に防止される。また、当該空気流によって押し流されることにより、排気路１１内における空気の対流が防止され、排気路１１内に発塵異物が滞留する箇所が発生しなくなる。当該空気流が排気路１１内の上方領域を流れるため、発塵異物が排気路１１内の空気より軽い場合に、より効果的である。
【００６２】
また、本実施の形態によれば、給気口１３は、加熱された空気流を提供するようになっていることにより、第２排気路１２の近傍が空気流によって加熱されるため、発塵異物の昇華成分が第２排気路１２の近傍に析出することが低減される。
【００６３】
なお、本実施の形態の排気装置１０は、基板処理室２１の正面側壁に１つだけ設けられていたが、これに限定されず、基板処理室２１の正面側壁に複数個が設けられていてもよい。
【００６４】
また、本実施の形態のシャッタ１８は、排気路１１の底面にヒンジ結合されて回動されるようになっていたが、これに限定されず、例えば鉛直に立てられた状態のまま上下方向にスライドされるようになっていてもよい。
【００６５】
また、本実施の形態のシャッタ１８は、排気路１１の他端部に設けられていたが、これに限定されず、例えば排気路１１の一端部に基板投入口２２に隣接して設けられていてもよい。
【００６６】
次に、図４を参照し、本発明による排気装置の第二の実施の形態について説明する。
【００６７】
図４において、排気装置１０’は、給気口１３と第２排気路１２とが排気路１１内の下方領域に設けられていると共に、シャッタ１８が排気路１１の上方領域に設けられている点が異なるのみであり、その他の構成は図１に示す実施の形態と同様である。
【００６８】
図４において、図１に示す第一の実施の形態と同一の部分には同一の符号を付して詳細な説明は省略する。
【００６９】
図４に示す排気装置１０’では、給気口１３から提供された空気流によって、排気路１１内の発塵異物が、排気路１１の一端部から他端部に向かって押し流されて、第２排気路から排出される。給気口１３と第２排気路１２とが両方とも排気路の下方領域に設けられていると共に、給気口１３から提供された空気流が整流板１４ａ〜１４ｃによって第２排気路１２へ案内されることにより、給気口１３から提供された空気流は、排気路１１内の下方領域を流れて、排気路１１内の上方領域には流れないようになっており、排気路１１内の上方領域を移動する基板４１や基板搬送ロボットのハンドによって空気流が遮られることがない。これにより、排気路１１内の発塵異物は当該空気流によって押し流されて第２排気路１２から排出され、排気路１１の外部への発塵異物の流出が効果的に防止される。
【００７０】
以上のような第二の実施の形態によっても、第一の実施の形態と同様の作用効果が得られる。給気口１３から提供された空気流が排気路１１内の下方領域を流れるため、発塵異物が排気路１１内の空気より重い場合に、より効果的である。
【符号の説明】
【００７１】
１０、１０’  排気装置
１１  排気路
１２  第２排気路
１３  給気口
１４ａ〜１４ｃ  整流板
１５  給気管
１６  排気装置
１７  給気装置
１８  シャッタ
２０  基板処理装置
２１  基板処理室
２２  基板投入口
２３  基板保持棚
２４  昇降装置
３０  境界面
４１  基板
４５  発塵異物の流れ
１１１  排気路
１１２  第２排気路
１２２  基板投入口
１４５  発塵異物の流れ
２１１  排気路
２１２  第２排気路
２１３  給気口
２２２  基板投入口
２４０  エアカーテン
２４５  発塵異物の流れ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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