(57)【要約】【課題】高い飽和磁束密度を有し、かつ鉄損を低減可能な磁心用軟磁性材料、また、これを用いた圧粉磁心、これを用いたコイル部材を提供する。【解決手段】磁心用軟磁性材料１は、絶縁性セラミックスまたは絶縁性ガラスよりなるマトリックス相１０１と、マトリックス相１０１中に複数分散された磁性金属よりなる磁性金属粒子１０２とを有する複合磁性粒子１０の集合体より構成されている。複合磁性粒子１０における磁性金属粒子１０２の平均結晶粒径は１０ｎｍ以下である。この磁心用軟磁性材料１を用いて圧粉磁心２を作製し、この圧粉磁心２をコイル部材３に用いる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶縁性セラミックスまたは絶縁性ガラスよりなるマトリックス相（１０１）と、該マトリックス相（１０１）中に複数分散された磁性金属よりなる磁性金属粒子（１０２）とを有する複合磁性粒子（１０）の集合体より構成されており、
上記磁性金属粒子（１０２）の平均結晶粒径は１０ｎｍ以下であることを特徴とする磁心用軟磁性材料（１）。
【請求項２】
上記磁性金属は、Ｆｅ、Ｆｅ合金、Ｃｒ、Ｃｒ合金、Ｃｏ、Ｃｏ合金、Ｎｉ、Ｎｉ合金、これら金属、合金に希土類元素が添加されたもの、上記金属、合金にメタロイド元素が添加されたもの、上記金属、合金に炭素が添加されたもの、上記金属、合金に窒素が添加されたものから選択される１種または２種以上であることを特徴とする請求項１に記載の磁心用軟磁性材料（１）。
【請求項３】
その５０％粒子径が１００ｎｍ以上１ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１または２に記載の磁心用軟磁性材料（１）。
【請求項４】
上記磁性金属粒子（１０２）は、等方形状を有することを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の磁心用軟磁性材料（１）。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載の磁心用軟磁性材料（１）を用いてなることを特徴とする圧粉磁心（２）。
【請求項６】
請求項５項に記載の圧粉磁心（２）を有することを特徴とするコイル部材（３）。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁心用軟磁性材料、圧粉磁心およびコイル部材に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、トランス、インダクタ、リアクトル等のコイル部材に用いられる磁心（コア）の材料として、電磁鋼板、鉄系ダスト材等の鉄系軟磁性材料や、フェライト等の酸化物系軟磁性材料が使用されている。また、近年では、新たな材料として、単ロール法や双ロール法によって製造されるアモルファスリボンや、アトマイズ法によって製造されるアモルファスダスト等のアモルファス系軟磁性材料の開発もなされている。
【０００３】
なお、磁心用軟磁性材料に関する技術文献ではないが、本願に先行する特許文献１には、電波吸収体に用いる複合磁性粒子として、Ｓｉ酸化物がＦｅ結晶粒界に分散しており、Ｆｅ粒子とＳｉ酸化物とが交互に層状に形成された扁平形状の複合磁性粒子が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第３９２５８３５号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従来の磁心用軟磁性材料は、以下の点で改善の余地がある。すなわち、近年、コイル部材を利用するスイッチング電源の高周波化に伴い、磁心における渦電流損失が増加している。そのため、フェライト等、電気抵抗の高い酸化物系軟磁性材料を磁心に用いることによって渦電流を低減し、渦電流損失の低減が図られている。
【０００６】
しかしながら、代表的な酸化物系軟磁性材料であるフェライトは、電磁鋼板、鉄系ダスト材等の鉄系軟磁性材料に比較して飽和磁束密度が低い。そのため、大電力を取り扱う場合には、コイル部材が大型化してしまうという欠点がある。
【０００７】
一方、電磁鋼板、鉄系ダスト材等の鉄系軟磁性材料は、飽和磁束密度が高いためコイル部材の小型化には有効である。しかし、電気抵抗が低いために渦電流損失と発熱が大きく、高周波域での使用は困難である。
【０００８】
また、近年開発されているアモルファス系材料は、鉄系軟磁性材料に比べ、比較的電気抵抗が高いため渦電流を比較的低減することができる。しかし、本質的に金属であることには変わりない。そのため、高周波域ではやはり渦電流が流れやすく、渦電流損失が増加してしまう。
【０００９】
高周波域において高効率で小型のコイル部材を実現するためには、高い飽和磁束密度を有し、かつ鉄損（渦電流損失とヒステリシス損失の和）を低減可能な磁心用軟磁性材料が求められている。
【００１０】
本発明は、上述した背景に鑑みてなされたものであり、高い飽和磁束密度を有し、かつ鉄損を低減可能な磁心用軟磁性材料、また、これを用いた圧粉磁心、これを用いたコイル部材を提供しようとして得られたものである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の一態様は、絶縁性セラミックスまたは絶縁性ガラスよりなるマトリックス相と、該マトリックス相中に複数分散された磁性金属よりなる磁性金属粒子とを有する複合磁性粒子の集合体より構成されており、
上記磁性金属粒子の平均結晶粒径は１０ｎｍ以下であることを特徴とする磁心用軟磁性材料にある。
【００１２】
本発明の他の態様は、上記磁心用軟磁性材料を用いてなることを特徴とする圧粉磁心にある。
【００１３】
本発明のさらに別の態様は、上記圧粉磁心を有することを特徴とするコイル部材にある。
【発明の効果】
【００１４】
上記磁心用軟磁性材料は、複合磁性粒子のマトリックス相中に複数分散された磁性金属粒子により、高い飽和磁束密度を実現することができる。また、上記磁心用軟磁性材料は、絶縁性のマトリックス相によって複合磁性粒子中の磁性金属粒子が覆われている。そのため、磁性金属粒子間の電気抵抗が高くなり、これによって複合磁性粒子内の渦電流を遮断し、渦電流損失を低減することができる。また、磁性金属粒子の平均結晶粒径は１０ｎｍ以下であるので、ヒステリシス損失の低減にも寄与できる。これは磁性金属粒子が単磁区粒径以下となるためであると考えられる。それ故、上記磁心用軟磁性材料は、低い鉄損（渦電流損失とヒステリシス損失の和）を実現することができる。
【００１５】
上記圧粉磁心は、高い飽和磁束密度を有し、かつ鉄損を低減可能な上記磁心用軟磁性材料を用いてなる。そのため、上記圧粉磁心は、コイル部材に適用した場合に、高周波域において高効率で小型のコイル部材の実現に寄与することができる。
【００１６】
上記コイル部材は、上記圧粉磁心を用いている。そのため、上記コイル部材は、高周波域において高効率化、小型化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】実施例１の磁心用軟磁性材料を模式的に示した図である。
【図２】実施例２の圧粉磁心を模式的に示した図である。
【図３】実施例３のコイル部材の一例を模式的に示した図である。
【図４】実験例において各試料の作製に用いたＦｅ粉末のＳＥＭ写真である。
【図５】実験例において各試料の作製に用いたＳｉＯ２粉末のＳＥＭ写真である。
【図６】実験例において作製した試料１の軟磁性粉末のＳＥＭ写真である。
【図７】実験例において作製した試料２の軟磁性粉末のＳＥＭ写真である。
【図８】実験例において作製した試料１の軟磁性粉末を構成する複合磁性粒子のＴＥＭ写真（３０ｋ倍）である。
【図９】実験例において作製した試料１の軟磁性粉末を構成する複合磁性粒子のＴＥＭ写真（１５０ｋ倍）である。
【図１０】図９に示す分析点Ａ１のＴＥＭ−ＥＤＸによる定性分析結果である。
【図１１】図９に示す分析点Ａ２のＴＥＭ−ＥＤＸによる定性分析結果である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
上記磁心用軟磁性材料は、複合磁性粒子の集合体より構成されている。つまり、磁心用軟磁性材料は、複合磁性粒子が集まってなる粉体材料ということができる。複合磁性粒子は、マトリックス相と、マトリックス相中に複数分散された磁性金属粒子とを有している。
【００１９】
上記複合磁性粒子において、マトリックス相は絶縁性セラミックスまたは絶縁性ガラスよりなる。マトリックス相を構成できる絶縁性セラミックスとしては、例えば、ＳｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３、ＺｎＯ、ＺｒＯ２、ＭｇＯ等の酸化物などを例示することができる。また、マトリックス相を構成できる絶縁性ガラスとしては、例えば、非晶質ＳｉＯ２、ソーダガラス、リン酸塩ガラスなどを例示することができる。マトリックス相は、１種類または２種以上の絶縁性セラミックスおよび／または絶縁性ガラスから構成することができる。マトリックス相としては、具体的には、電気抵抗が高く、渦電流損失を低減しやすい、資源枯渇の問題が少ないなどの観点から、ＳｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３などを好適に用いることができる。
【００２０】
上記複合磁性粒子において、磁性金属粒子は磁性金属（合金含む）よりなる。用いることができる磁性金属としては、例えば、Ｆｅ、Ｆｅ合金、Ｃｒ、Ｃｒ合金、Ｃｏ、Ｃｏ合金、Ｎｉ、Ｎｉ合金等の金属、合金、これら金属、合金に希土類元素が添加されたもの、上記金属、合金にメタロイド元素が添加されたもの、上記金属、合金に炭素が添加されたもの、上記金属、合金に窒素が添加されたものなどを例示することができる。これらは１種または２種以上併用することができる。
【００２１】
この場合は、高い飽和磁束密度を実現するのに有利である。また、比透磁率が高い、保持力が低いなどの利点がある。上記磁性金属としては、具体的には、例えば、Ｆｅ、Ｆｅ合金、Ｃｒ、Ｃｒ合金、Ｃｏ、Ｃｏ合金、Ｎｉ、Ｎｉ合金等の金属、合金、これら金属、合金にＮｄ、Ｐｒ、Ｌａ、Ｓｍ、Ｇｄ、Ｃｅ、Ｅｕ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、および、Ｅｒから選択される１種または２種以上の希土類元素が添加されたもの、これら金属、合金にＳｉ、Ｐ、Ｂ等のメタロイド元素、炭素、および、窒素から選択される１種または２種以上が添加されたものなどを挙げることができる。
【００２２】
マトリックス相中には、１種類の磁性金属粒子が分散されていてもよいし、２種以上の磁性金属粒子が分散されていてもよい。磁性金属粒子としては、より具体的には、Ｆｅ、Ｆｅ合金や、Ｆｅ、Ｆｅ合金にＮｄ、Ｐｒ、Ｌａ、Ｓｍ、Ｇｄ、Ｃｅ、Ｅｕ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、および、Ｅｒから選択される１種または２種以上の希土類元素が添加されたもの、Ｆｅ、Ｆｅ合金にＳｉ、Ｐ、Ｂ等のメタロイド元素、炭素、および、窒素から選択される１種または２種以上が添加されたもの等の磁性金属よりなる磁性金属粒子を特に好適に用いることができる。高い飽和磁束密度を実現しやすい、比透磁率が高い、保持力が低いなどの利点があるからである。
【００２３】
上記複合磁性粒子において、磁性金属粒子の平均結晶粒径は１０ｎｍ以下とされる。磁性金属粒子の平均結晶粒径が１０ｎｍを超えると、ヒステリシス損を低減し難くなり、低い鉄損を実現し難くなる。磁性金属粒子の平均結晶粒径は、好ましくは１０ｎｍ未満、より好ましくは９ｎｍ以下、さらに好ましくは８ｎｍ以下とすることができる。なお、磁性金属粒子の平均結晶粒径の下限は、製造性、酸化抑制等の観点から、好ましくは１ｎｍ以上、より好ましくは２ｎｍ以上、さらに好ましくは３ｎｍ以上とすることができる。
【００２４】
なお、磁性金属粒子の平均結晶粒径は、次のようにして求めることができる。上記磁心用軟磁性材料を樹脂で固定し、ＦＩＢ（Focused Ion Beam）装置にて観察サンプルを作製する。その後、観察サンプルをＴＥＭ（透過型電子顕微鏡）観察し、複合磁性粒子のＴＥＭ画像を撮影する。併せて、ＥＤＸ（Energy Dispersive X-ray spectroscopy）装置等を用いて構成元素の定性分析を行うこともできる。得られたＴＥＭ画像における複合磁性粒子の面積範囲を画像解析ソフト（三谷商事（株）、「ＷｉｎＲＯＯＦ」）を用いて二値化処理し、複合磁性粒子に含まれる各磁性金属粒子の結晶粒径（円面積相当径）を測定して平均値を算出し、これを磁性金属粒子の平均結晶粒径とする。なお、二値化処理の手順は、ＷｉｎＲＯＯＦのユーザーマニュアルＶｅｒｓｉｏｎ５．８に従って実施することができる。
【００２５】
上記複合磁性粒子において、磁性金属粒子は等方形状を有していることが好ましい。なお、「等方形状」とは、扁平状、柱状等の異方形状に対する形状のことであり、典型的には、球や球状（球に近い形状）など、一方向に渦電流が流れ難い形状を意味する。
【００２６】
この場合は、複合磁性粒子の粒内における渦電流を遮断しやすくなるため、渦電流損失が増加し難く、低い鉄損を実現しやすくなる。
【００２７】
磁性金属粒子は、上記効果をより確実なものとする観点から、球状であることが好ましい。なお、上記と同様にして、複合磁性粒子のＴＥＭ画像を画像解析ソフト（三谷商事（株）、「ＷｉｎＲＯＯＦ」）を用いて二値化処理し、複合磁性粒子に含まれる各磁性金属粒子の円形度を測定して円形度０．８５以上のものが７０％以上のときに、全体として球状の磁性金属粒子で構成されていると判断する。
【００２８】
上記複合磁性粒子は、不定形等の形状であることができる。複合磁性粒子は、例えば、非扁平状とすることができる。複合磁性粒子が扁平状になると、形状磁気異方性による残留磁束密度の増加、透磁率の低下などのおそれがある。
【００２９】
上記磁心用軟磁性材料は、その５０％粒子径が１００ｎｍ以上１ｍｍ以下であるとよい。なお、「５０％粒子径」とは、レーザー回折・散乱法により測定した体積基準の累積度数分布が５０％を示すときの粒子径（直径）ｄ５０を意味する。
【００３０】
この場合は、適度な流動性を有するので、磁心製造時の成形性に優れる。そのため、複雑な形状の磁心であっても比較的容易に製造しやすい利点がある。
【００３１】
上記５０％粒子径は、流動性、製造性、取扱いの容易さ、複合の安定性などの観点から、好ましくは５００ｎｍ以上、より好ましくは１μｍ以上、さらに好ましくは１０μｍ以上とすることができる。上記５０％粒子径は、流動性などの観点から、好ましくは５００μｍ以下、より好ましくは２００μｍ以下、さらに好ましくは８０μｍ以下とすることができる。
【００３２】
上記磁心用軟磁性材料は、例えば、次のようにして製造することができる。すなわち、上記磁心用軟磁性材料は、絶縁性セラミックスまたは絶縁性ガラスの粉末と、磁性金属の粉末とをメカニカルアロイング法によって処理することにより製造することができる。絶縁性セラミックスまたは絶縁性ガラスの粉末としては、例えば、５０％粒子径が１ｎｍ〜０．５μｍ程度ものを使用することができる。磁性金属の粉末としては、例えば、５０％粒子径が０．１〜８０μｍ程度のものを使用することができる。これら絶縁性セラミックスまたは絶縁性ガラスの粉末と磁性金属の粉末との質量比は、例えば、１０：９０〜５０：５０程度とすることができる。メカニカルアロイング法ではボールミルを用いることができ、ボールと粉末の質量比は、８０：１〜５０：１程度、ボールミルの回転速度は、２５０〜５００ｒｐｍ程度、処理時間は２４〜１００時間程度、処理雰囲気は、窒素、アルゴン等の不活性ガス雰囲気などとすることができる。
【００３３】
上記圧粉磁心は、上記磁心用軟磁性材料を用いてなる。上記圧粉磁心は、具体的には、例えば、上記磁心用軟磁性材料（必要に応じてバインダーを添加可能）を圧縮成形し、必要に応じてこれを熱処理することなどによって製造することができる。上記圧粉磁心は、絶縁性セラミックスまたは絶縁性ガラスよりなるマトリックス相と、該マトリックス相中に複数分散された磁性金属よりなる磁性金属粒子とを有する複合磁性粒子の集合体より構成される上記磁心用軟磁性材料を用いているので、圧縮成形時に複合磁性粒子間の絶縁を不要とすることができる。そのため、バインダー量を低減、あるいは不要とすることができ、バインダーによって使用温度が制限され難く、耐熱性向上に有利である。なお、圧粉磁心の形状は、適用するコイル部材に最適な形状とすることができ、特に限定されるものではない。
【００３４】
上記コイル部材は、上記圧粉磁心を有している。コイル部材は、具体的には、例えば、トランス、インダクタ、リアクトル等を例示することができる。
【実施例】
【００３５】
実施例の磁心用軟磁性材料、圧粉磁心、コイル部材について、図面を用いて説明する。なお、同一部材については同一の符号を用いて説明する。
【００３６】
（実施例１）
実施例１の磁心用軟磁性材料１は、図１に示すように、絶縁性セラミックスまたは絶縁性ガラスよりなるマトリックス相１０１と、マトリックス相１０１中に複数分散された磁性金属よりなる磁性金属粒子１０２とを有する複合磁性粒子１０の集合体より構成されており、磁性金属粒子１０２の平均結晶粒径は１０ｎｍ以下とされている。
【００３７】
本例では、具体的には、マトリックス相１０１は、ＳｉＯ２である。磁性金属粒子１０２は、球状のＦｅ粒子である。また、本例の磁心用軟磁性材料１は、その５０％粒子径が２０〜５０μｍの範囲にある。
【００３８】
（実施例２）
実施例２の圧粉磁心２は、図２に示すように、実施例１の磁心用軟磁性材料１を用いてなる。本例では、具体的には、圧粉磁心２は、圧縮成形によって磁心用軟磁性材１を固めたものである。なお、磁心用軟磁性材料１における複合磁性粒子１０の表面は、従来のＦｅ粉末等の軟磁性材料にて行われる絶縁被覆処理が施されていない。
【００３９】
（実施例３）
実施例３のコイル部材３は、図３に示すように、実施例１の磁心用軟磁性材料１を用いてなる圧粉磁心２を有している。本例では、コイル部材３は、具体的には、トランスである。トランス３は、ギャップを有する圧粉磁心２と、圧粉磁心２の一部の周囲を取り巻くように導体線２２０を巻いてなる一次コイル２２と、圧粉磁心２の一部の周囲を取り巻くように導体線２２０を巻いてなるとともに一次コイル２２への通電により発生する磁束の誘導起電力によって電流が流れるよう構成されている二次コイル２３とを有している。一次コイル２２に取り巻かれてなる圧粉磁心２の一部と二次コイル２３に取り巻かれてなる圧粉磁心２の一部との間に、ギャップ２４が形成されている。
【００４０】
本例では、圧粉磁心２は、具体的には、互いに対向させた断面略Ｅ字形状の一対のコア部２１を組み合わせてなる。そして、一対のコア部２１はそれぞれ、平板状の底面部２１０と、底面部２１０の端縁から垂直に立ち上がる側面部２１１と、底面部２１０の略中央に形成された中央磁脚２１２とを有する。一次コイル２２は、一次コイル２２の導体線２２０が中央磁脚２１２の外周を取り巻いてなる。二次コイル２３は、ギャップ２４の周囲を取り巻くように平板状の導体線を円環状に一回巻いてなる。
【００４１】
（実験例）
次に、上記実施例をさらに具体的に説明するために試料１の軟磁性粉末と、試料２の軟磁性粉末とを作製し、両者の比較を行った。以下、これについて説明する。
【００４２】
＜試料１＞
ガスアトマイズ法によるＦｅ粉末（ｄ５０＝５μｍ、図４参照）と、ＳｉＯ２粉末（ｄ５０＝０．３μｍ、電気化学工業（株）製、超微粒子球状タイプ「ＳＦＰ−２０Ｍ」、図５参照）とジルコニアボール（直径１５ｍｍ）とを、ジルコニア製ボールミル内に入れ、ボールミルを３００ｒｐｍの回転速度で５０時間回転させることにより、メカニカルアロイング法による処理（以下、「ＭＡ処理」ということがある。）を行い、試料１の軟磁性粉末を得た。この際、Ｆｅ粉末：ＳｉＯ２粉末の質量比は、７０：３０とした。また、ジルコニアボール：粉末（Ｆｅ粉末およびＳｉＯ２粉末）の質量比は、８０：１とした。
【００４３】
＜試料２＞
ボールミルを１００ｒｐｍの回転速度で５時間回転させることにより、メカニカルミリング法による処理（以下、「ＭＭ処理」ということがある。）を行った点、ジルコニアボール：粉末（Ｆｅ粉末およびＳｉＯ２粉末）の質量比を、１０：１とした点以外は、試料１の軟磁性粉末の作製と同様にして、試料２の軟磁性粉末を得た。
【００４４】
＜ＳＥＭ観察＞
得られた各試料の微細構造をＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）にて観察した。その結果を図６および図７に示す。図７に示すように、ＭＭ処理にて作製した試料２の軟磁性粉末は、球状のＳｉＯ２粒子が球状を保ったまま残っていることがわかる。つまり、試料２の粉末は、Ｆｅ粒子とＳｉＯ２粒子との混合粉末であるといえる。これに対し、図６に示すように、ＭＡ処理にて作製した試料１の軟磁性粉末は、不定形の粒子の集合体より構成されており、ＳｉＯ２粒子が球状を保ったまま残っていないことがわかる。この結果から、試料１の軟磁性粉末を構成する粒子は、ＦｅとＳｉＯ２とが複合化された複合磁性粒子（コンポジット粒子）であるといえる。
【００４５】
＜ＴＥＭ観察およびＥＤＸによる点分析＞
次に、試料１の軟磁性粉末を樹脂で固定し、ＦＩＢ装置にて観察サンプルを作製した。次いで、得られた観察サンプルについて、試料１の軟磁性粉末を構成する複合磁性粒子の粒内の微細構造をＴＥＭ（透過型電子顕微鏡）にて観察するとともに、ＥＤＸを用いて粒内を点分析した。図８および図９にＴＥＭ観察結果を示す。また、図１０および図１１に、図９のＴＥＭ画像で示した分析点Ａ１および分析点Ａ２の定性分析結果を示す。
【００４６】
図８〜図１１に示されるように、試料１の軟磁性粉末を構成する複合磁性粒子の粒内における薄い灰色の部分（分析点Ａ１で代表される部分）はＳｉＯ２、黒点（分析点Ａ２で代表される部分）はＦｅであった。この結果から、試料１の軟磁性粉末を構成する複合磁性粒子は、絶縁性のＳｉＯ２を主体とするマトリックス相と、このマトリックス中に複数分散された微細なＦｅ粒子とを有していることが確認された。さらに、上述した方法によってＴＥＭ画像からＦｅ粒子の平均結晶粒径を測定した結果、Ｆｅ粒子の平均結晶粒径は、１０ｎｍであった。なお、二値化処理の手順は、上述したソフトウェアの基本機能だけを用い、ＷｉｎＲＯＯＦのユーザーマニュアルＶｅｒｓｉｏｎ５．８に従って実施した。また、上述した方法によってＴＥＭ画像から複合磁性粒子に含まれる各Ｆｅ粒子の円形度を測定した結果、円形度が０．８５以上のものが７２％以上あった。そのため、複合磁性粒子に含まれるＦｅ粒子は、球状であると判断した。
【００４７】
＜磁気測定＞
各試料を交流ＢＨトレーサーを用いて交流磁気特性を測定するとともに、ＶＳＭを用いて直流磁気特性を測定した。表１に磁気測定結果を、表２に鉄損Ｐｃｖの周波数依存性を示す。なお、表２における磁場はいずれも０．０３Ｔである。表１によれば、試料１の軟磁性粉末は、試料２の軟磁性粉末に比べ、高い飽和磁束密度Ｂｓを有し、かつ、１００ｋＨｚの高周波域でも鉄損Ｐｃｖが低減されていることがわかる。また、表２によれば、試料１の軟磁性粉末は、いずれの周波数域においても、試料２の軟磁性粉末に比べて鉄損Ｐｃｖが低減されていることがわかる。
【００４８】
【表１】
2014207288.tif 000003
【００４９】
【表２】
2014207288.tif 000004
【００５０】
以上の結果に示されるように、試料１の軟磁性粉末は、複合磁性粒子のマトリックス相中に複数分散された磁性金属粒子により、高い飽和磁束密度を実現することができた。また、試料１の軟磁性粉末は、絶縁性のマトリックス相によって複合磁性粒子中の磁性金属粒子が覆われている。そのため、磁性金属粒子間の電気抵抗が高くなり、これによって複合磁性粒子内の渦電流を遮断し、渦電流損失を低減することができた。また、試料１の軟磁性粉末は、磁性金属粒子の平均結晶粒径が１０ｎｍ以下であるので、ヒステリシス損失の低減にも寄与できる。これは磁性金属粒子が確実に単磁区粒径以下となるためであると考えられる。それ故、試料１の軟磁性粉末は、低い鉄損（渦電流損失とヒステリシス損失の和）を実現することができた。したがって、試料１の軟磁性粉末は、磁心用として好適であるといえる。
【００５１】
また、高い飽和磁束密度を有し、かつ鉄損が低減された上記軟磁性粉末を用いて圧粉磁心を作製することにより、コイル部材に適用した場合に、高周波域において高効率で小型のコイル部材の実現に寄与することができるといえる。
【００５２】
また、上記圧粉磁心を有するコイル部材は、高周波域において高効率化、小型化を図ることができるといえる。
【００５３】
以上、本発明の実施例について詳細に説明したが、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本発明の趣旨を損なわない範囲内で種々の変更が可能である。
【符号の説明】
【００５４】
１  磁心用軟磁性材料
１０  複合磁性粒子
１０１  マトリックス相
１０２  磁性金属粒子
２  圧粉磁心
３  コイル部材
【図１】
2014207288.tif 000005
【図２】
2014207288.tif 000006
【図３】
2014207288.tif 000007
【図１０】
2014207288.tif 000008
【図１１】
2014207288.tif 000009
【図４】
2014207288.tif 000010
【図５】
2014207288.tif 000011
【図６】
2014207288.tif 000012
【図７】
2014207288.tif 000013
【図８】
2014207288.tif 000014
【図９】
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