(57)【要約】【課題】高いガスバリア性と透明性を得られるガスバリア性フィルムを提供する。【解決手段】基材１の少なくとも一方の面に、無機酸化物膜３と、金属薄膜４と、無機酸化物膜５とが、この順序で積層される。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材の少なくとも一方の面に、無機酸化物膜と、金属薄膜と、無機酸化物膜とが、この順序で積層されることを特徴とするガスバリア性フィルム。
【請求項２】
前記請求項１のガスバリア性フィルムにおいて、前記基材と無機酸化物膜との間にさらに有機物膜を設け、前記有機物膜がポリエステル樹脂、イソシアネート樹脂、ウレタン樹脂、アクリル樹脂、ビニルアルコール樹脂、エチレンビニルアルコール樹脂、ビニル変性樹脂、エポキシ樹脂から一つ、もしくは複数から選択されることを特徴とするガスバリア性フィルム。
【請求項３】
前記請求項１のガスバリア性フィルムにおいて、前記無機酸化物膜は、酸化珪素（ＳｉＯＸ  ）を指し、Ｘ＝１．５以上１．８以下であることを特徴とするガスバリア性フィルム。
【請求項４】
前記請求項１または前記請求項３のガスバリア性フィルムにおいて、前記無機酸化物膜は、総膜厚が１０ｎｍ以上１５０ｎｍ以下であることを特徴とするガスバリア性フィルム。
【請求項５】
前記請求項１のガスバリア性フィルムにおいて、前記金属薄膜は、アルミニウム（Ａｌ）であり、膜厚１ｎｍ以上４ｎｍ以下であることを特徴とするガスバリア性フィルム。
【請求項６】
前記請求項１のガスバリア性フィルムにおいて、透過率が４０％以上であることを特徴とするガスバリア性フィルム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガスバリア性および透明性に優れたフィルムに関する
【背景技術】
【０００２】
ガスバリア性フィルムは、ハードディスクや半導体モジュールなどの精密電子部品類、太陽電池のバックシート、食品や医薬品等の包装分野、あるいは非包装分野で酸素および水蒸気を遮断する必要がある部材の分野等に広く用いられている。
【０００３】
すなわち、精密電子部品類においては、金属部分の腐食や、絶縁不良などを防止するために、包装材料を透過する酸素や水蒸気、その他内容物を変質させる気体を遮断するガスバリア性を備える包装体が求められている。
【０００４】
特に、食品包装においては、蛋白質や油脂などの酸化や変質を抑制し、味や鮮度を保持することが必要である。また無菌状態での取り扱いが必要とされる医薬品類においては、有効成分の変質を抑制し、効能を維持することが必要である。
【０００５】
そのため、従来から温度、湿度などに影響されないアルミニウムなどの金属箔や、アルミニウム蒸着フィルムあるいは、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）、エチレン―ビニルアルコール共重合体（ＥＶＯＨ）、ポリ塩化ビニリデン（ＰＶＤＣ）、ポリアクリロニトリル（ＰＡＮ）などの樹脂フィルムや、これらの樹脂をラミネートまたはコーティングしたプラスチックフィルムなどが好んで用いられてきた。
【０００６】
しかし、ガスバリア性樹脂フィルムやガスバリア性樹脂をコーティングしたフィルムは、温度依存性が大きく、高いガスバリア性を維持できない。さらに、ＰＶＤＣやＰＡＮなどは使用後に廃棄し、焼却する際に有害物質が発生する原因となる可能性を有している。
【０００７】
アルミニウムなどの金属箔やアルミニウム蒸着フィルムを用いた包装材料は、ガスバリア性には優れるが、レトルト耐性がなく、不透明であるため、包装材料を透過して内容物を識別することが難しい。そればかりではなく、使用後の廃棄の際に不燃物として処理しなければならない点や、金属探知機による異物検査や、電子レンジでの加熱処理ができないなどの欠点を有していた。
【０００８】
また、これらの欠点を克服した包装用材料として、最近では酸化珪素、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化カルシウムなどの無機酸化物を、透明な基材フィルム上に蒸着したガスバリア性フィルムが上梓されている。これらのガスバリア性蒸着フィルムは透明性および金属蒸着フィルムほどではないが、酸素、水蒸気などのガス遮断性を有していることが知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００９−２３１１４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は、以上の従来技術の問題を解決しようとするものであり、高いガスバリア性と透明性を得られるガスバリア性フィルムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は係る課題に鑑みなされたものであり、請求項１の発明は、基材の少なくとも一方の面に、無機酸化物膜と、金属薄膜と、無機酸化物膜とが、この順序で積層されていることを特徴とするガスバリア性フィルムである。
【００１２】
請求項２の発明は、前記請求項１のガスバリア性フィルムにおいて、前記基材と無機酸化物膜との間にさらに有機物膜を設け、前記有機物膜が、ポリエステル樹脂、イソシアネート樹脂、ウレタン樹脂、アクリル樹脂、ビニルアルコール樹脂、エチレンビニルアルコール樹脂、ビニル変性樹脂、エポキシ樹脂から一つ、もしくは複数から選択されることを特徴とするガスバリア性フィルムである。
【００１３】
請求項３の発明は、前記請求項１のガスバリア性フィルムにおいて、前記無機酸化物膜は、酸化珪素（ＳｉＯＸ  ）を指し、ｘ＝１．５以上１．８以下であることを特徴とするガスバリア性フィルムである。
【００１４】
請求項４の発明は、前記請求項１または請求項３のガスバリア性フィルムにおいて、前記無機酸化物膜は、総膜厚が１０ｎｍ以上１５０ｎｍ以下であることを特徴とするガスバリア性フィルムである。
【００１５】
請求項５の発明は、前記請求項１のガスバリア性フィルムにおいて、前記金属薄膜はアルミニウム（Ａｌ）を指し、膜厚１ｎｍ以上４ｎｍ以下であることを特徴とするガスバリア性フィルムである。
【００１６】
請求項６の発明は、前記請求項１に示すガスバリア性フィルムにおいて、透過率が４０％以上であることを特徴とするガスバリア性フィルムである。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明における一実施形態に係る、ガスバリア性フィルムの断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の実施の形態について説明する。  
図１は、本発明のガスバリア性フィルムを説明する断面図である。  
ガスバリア性フィルムは、高分子フィルム基材１の上に有機物膜２と、無機酸化物膜３と、金属薄膜４さらに、無機酸化物膜５が積層されてなる。
【００１９】
高分子フィルム基材１は、特に制限を受けるものではなく公知のものを使用することができる。たとえば、ポリオレフィン系（ポリエチレン、ポリプロピレン等）、ポリエステル系（ポリエチレンナフタレート、ポリエチレンテレフタレート等）、ポリアミド系（ナイロン―６、ナイロン―６６等）、ポリスチレン、エチレンビニルアルコール、ポリ塩化ビニル、ポリイミド、ポリビニルアルコール、ポリカーボネイト、ポリエーテルスルホン、アクリル、セルロース系（トリアセチルセルロース、ジアセチルセルロース等）などの高分子のフィルム基材が挙げられるが、特に限定されない。
【００２０】
高分子フィルム基材１として、透明フィルムを用いることは、大量生産に適するため好ましい。また、厚みに関しては、特に制限を受けるものではなく、ガスバリア性フィルムを形成する蒸着加工などの加工性を考慮すると、実用的には１２μｍ以上１８８μｍ以下の範囲が好ましい。
【００２１】
高分子フィルム基材１上に無機酸化物膜３を形成するが、無機酸化物膜３と高分子フィルム基材１との密着性向上のため、高分子フィルム基材１上に有機物膜２としてアンカーコート層を設けることが好ましい。  
アンカーコート剤は、溶剤性または水溶性のポリエステル樹脂、イソシアネート樹脂、ウレタン樹脂、アクリル樹脂、ビニルアルコール樹脂、エチレンビニルアルコール樹脂、ビニル変性樹脂、エポキシ樹脂から一つ、もしくは複数から選択される。
【００２２】
上記有機物膜２の厚みは、通常０．０１〜３μｍ、好ましくは０．０５〜１μｍである。膜厚が３μｍを超える場合は、膜の内部応力により基材フィルムまたはシートから剥離し易くなる。０．０５μｍ未満になると、膜厚が均一にならない可能性がある。  
また、フィルムへの塗膜の接着性を向上させるため、塗布前に基材フィルムの表面に化学処理、放電処理などを施してもよい。塗工方法は、バーコーター、ナイフコート、ダイコート、グラビアコートなどが挙げられるが特に限定されない。
【００２３】
無機酸化物膜３、５と、金属薄膜４の成膜手段としては、真空蒸着方式のうち、好ましくは電子ビームやレーザービーム等による加熱蒸着法が用いられる。特に、電子ビーム加熱蒸着法が、成膜速度や無機酸化物蒸着用材料への昇温降温が短時間で行える点で有効である。
【００２４】
無機酸化物膜や金属薄膜に用いる金属は、珪素、アルミニウム、チタン、スズ、亜鉛、インジウム、マグネシウムの一群よりなる群のいずれか一つ、もしくは複数から選択される。
【００２５】
蒸発した蒸着用材料によって有機物膜２の表面上に形成される無機酸化物膜３および無機酸化物膜５の厚さは、一般的には５ｎｍ以上３００ｎｍ以下の範囲内が望ましい。さらに好ましくは、１０ｎｍ以上１５０ｎｍ以下で、その値は適宜選択される。
【００２６】
ただし、無機酸化物膜３および無機酸化物膜５の厚みが５ｎｍ未満であると均一な膜が得られないことや、十分なバリア性能を発揮できない場合がある。また、膜厚が３００ｎｍを超える場合は、膜にフレキシビリティを保持させることができず、成膜後に折り曲げ、引張りなどの外的要因により、膜に亀裂が生じる恐れがある。
【００２７】
蒸発した金属アルミニウムからなる蒸着用材料によって無機酸化物膜３の表面上に形成される金属薄膜４の厚みは、一般的には１ｎｍ以上４ｎｍ以下の範囲内が望ましく、その値は適宜選択される。
【００２８】
ただし、金属薄膜４の厚みが１ｎｍ未満であると均一な膜が得られないことや、十分なバリア性能を発揮できない場合がある。また、膜厚が４ｎｍを超える場合は、ガスバリア性蒸着フィルムの透過率が低くなる恐れがある。
【実施例】
【００２９】
以下に、本発明の実施例を具体的に説明する。  
＜実施例１＞  
１６μｍのポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）上に、ウレタン樹脂をバーコーターにて塗工しウレタン樹脂膜を得た。蒸着材料の無機酸化物は金属珪素と二酸化珪素を用い、Ｏ／Ｓｉ比が１．５になるように混合した。
【００３０】
金属珪素は５０μｍ以下の径を有する粉末が９５％以上のものを使用し、二酸化珪素には結晶構造を９５％含み、５０μｍ以下の径を有する粉末が９５％以上のものを使用した。金属薄膜を成膜する蒸着材料としてアルミニウム（高純度化学（株）製  ＡＬＥ０３ＧＢ）を用いた。
【００３１】
つぎに、電子ビーム加熱方式の真空蒸着装置により、電子銃から放出する電子ビームを蒸着用材料に照射し蒸発させ、アンカーコート層上に厚み１５ｎｍの酸化珪素膜、厚み２ｎｍの金属アルミニウム膜、厚み１５ｎｍの酸化珪素膜の順に成膜し、ガスバリア性フィルムを得た。
【００３２】
＜実施例２＞  
金属アルミニウム膜の厚み３．５ｎｍを形成した以外は、実施例１と同様にしてガスバリア性フィルムを得た。
【００３３】
以下に本発明の比較例について説明する。  
＜比較例１＞  
金属アルミニウム膜の厚み５ｎｍ形成した以外は、実施例１と同様にしてガスバリア性フィルムを得た。
【００３４】
＜比較例２＞  
高分子フィルム基材として１６μｍのＰＥＴ上に厚み１５ｎｍの酸化珪素を２回積層し、厚み２ｎｍの金属アルミニウム膜の順に成膜し、ガスバリア性フィルムを得た。
【００３５】
＜比較例３＞  
高分子フィルム基材として１６μｍのＰＥＴ上に厚み１５ｎｍの酸化珪素を２回成膜し、ガスバリア性フィルムを得た。
【００３６】
上記実施例１，２および比較例１〜３のガスバリア性フィルムについて、以下の方法で、透過率、水蒸気透過率を測定評価した。
【００３７】
＜透過率について＞  
実施例１，２および比較例１〜３のガスバリア性蒸着フィルムを幅２０ｍｍ×長さ３０ｍｍの面積にカットし、これらのガスバリア性フィルムについて、分光光度計（ＳＨＩＭＡＤＺＵ  ＵＶ−２４５０）にて波長３５０ｎｍにおける透過率を測定した。透過率４０％以上のものを○、それ以下のものを×とした。
【００３８】
＜水蒸気バリア性について＞  
実施例１，２および比較例１〜３のガスバリア性蒸着フィルムの水蒸気バリア性を、モダンコントロール社製の水蒸気透過度測定装置（ＭＯＣＯＮ  ＰＥＲＭＡＴＲＡＮ  ３／２１）を用いて４０℃９０％ＲＨの雰囲気で測定した。
【００３９】
つぎの表１は、上記測定結果を示している。
【表１】
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【００４０】
＜評価＞  
表１のように、実施例１，２の透過率、レトルト耐性、水蒸気透過度は、比較例１，２の透過率、レトルト耐性、水蒸気透過度より優れる結果が得られた。比較例３の水蒸気透過度は実施例１，２より優れるが、透過率は比較例３より実施例１，２の結果が優れる結果が得られた。
【産業上の利用可能性】
【００４１】
本発明は、酸素、水蒸気などに対する高ガスバリア性を有し、食品、日用品、医療品などの包装分野あるいは包装分野以外での酸素および水蒸気の遮断が必要な部材分野に幅広く適応できる。
【符号の説明】
【００４２】
１…高分子フィルム基材、２…有機物膜、３…無機酸化物膜、４…金属薄膜、５…無機酸化物膜。
【図１】
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