(57)【要約】【課題】  本発明の目的は、温度検出素子に直列接続される固定抵抗を集積回路へ集積化し、リファレンス抵抗や、固定抵抗をこのリファレンス抵抗に接続するための切り換えスイッチを不要にすることで、より小型で高精度な吸気温度センサ装置を提供することにある。【解決手段】  吸気温度に応じて抵抗値の変化する温度検出素子２と、温度検出素子２と電気的に接続された集積回路１と、集積回路１に集積化され、温度検出素子２と直列に接続された抵抗素子３と、抵抗素子３の抵抗値に応じた補正情報を記憶する書き込み可能メモリ７と、書き込み可能メモリ７に記憶された補正情報に基づいて、温度検出素子２の出力信号に含まれる、抵抗素子３の抵抗値に基づく誤差を補正する補正処理部６と、を有する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
吸気温度に応じて抵抗値の変化する温度検出素子と、
前記温度検出素子と電気的に接続された集積回路と、
前記集積回路に集積化され、前記温度検出素子と直列に接続された抵抗素子と、
前記抵抗素子の抵抗値に応じた補正情報を記憶する書き込み可能メモリと、
前記書き込み可能メモリに記憶された補正情報に基づいて、前記温度検出素子の出力信号に含まれる、前記抵抗素子の抵抗値に基づく誤差を補正する補正処理部と、
を有する吸気温度センサ装置。
【請求項２】
請求項１に記載の吸気温度センサ装置において、
前記補正処理部は、吸気温度に対する前記温度検出素子の出力信号の特性カーブの曲がりを補正することを特徴とする吸気温度センサ装置。
【請求項３】
請求項２に記載の吸気温度センサ装置において、
前記書き込み可能メモリに、前記特性カーブを直線化するための直線化情報を記憶すると共に、前記書き込み可能メモリに記憶された直線化情報に基づいて前記特性カーブを直線化する直線化処理部を備えたことを特徴とする吸気温度センサ装置。
【請求項４】
請求項２に記載の吸気温度センサ装置において、
前記集積回路の温度を検出する集積回路温度センサと、前記集積回路温度センサの出力から前記抵抗素子の抵抗値を推定する抵抗値推定処理部と、を備え、
前記補正処理部は、前記前記抵抗値推定処理部の出力に基づいて、前記特性カーブの曲がりを補正することを特徴とする吸気温度センサ装置。
【請求項５】
請求項４に記載の吸気温度センサ装置において、
前記書き込み可能メモリに、前記抵抗素子の抵抗温度係数に応じた情報を記憶したことを特徴とする吸気温度センサ装置。
【請求項６】
請求項４に記載の吸気温度センサ装置において、
前記集積回路温度センサによって検出する温度が前記抵抗素子の温度と実質的に一致する位置に前記集積回路温度センサが配置されるように、前記集積回路温度センサを前記抵抗素子に対して近接して配置したことを特徴とする吸気温度センサ装置。
【請求項７】
請求項２に記載の吸気温度センサ装置において、
前記抵抗素子は、拡散領域とコンタクトとで構成される単位抵抗が複数個直列接続されて構成されたことを特徴とする吸気温度センサ装置。
【請求項８】
発熱抵抗体を加熱制御して前記発熱抵抗体の周囲を流れる流体流量に基づいて流量検出を行う流量測定装置において、
請求項１乃至７のいずれか１項に記載の吸気温度センサ装置と、前記吸気温度センサ装置の出力を用いて流量出力の調整を行う流量信号調整処理部を備えたことを特徴とする流量測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は吸気温度を検出する吸気温度センサ装置及び吸気温度センサ装置を備えた流量測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、特開２００５−３５９６号公報（特許文献１）に記載された抵抗値測定装置、抵抗測定用集積回路及び抵抗測定方法が知られている。
【０００３】
この抵抗値測定装置では、ＩＣ（集積回路）の外部に温度に応じて抵抗値が変化するサーミスタと高精度な抵抗値を有するリファレンス抵抗とが設けられている。サーミスタはＩＣの内部に設けたＡ／Ｄ変換器のチャンネルＣＨ１に接続され、リファレンス抵抗はＡ／Ｄ変換器のチャンネルＣＨｒｅｆに電気的に接続されている。サーミスタをチャンネルＣＨ１に接続する電気配線の途中には、スイッチＳＷ１を介してプルアップ抵抗Ｒ１が接続されている。リファレンス抵抗をチャンネルＣＨｒｅｆに接続する電気配線の途中には、スイッチＳＷ１とプルアップ抵抗Ｒ１との接続部から引き出された電気配線がスイッチＳＷ２を介して接続されている。プルアップ抵抗Ｒ１、スイッチＳＷ１及びスイッチＳＷ２はＩＣの内部に設けられている。
【０００４】
通常時は、スイッチＳＷ１がオン、スイッチＳＷ２がオフとなっており、スイッチＳＷ１とサーミスタとの接続点の電圧がＡ／Ｄ変換器のチャンネルＣＨ１に入力される。プルアップ抵抗Ｒ１の抵抗値補正時には、スイッチＳＷ１がオフ、スイッチＳＷ２がオンとなり、スイッチＳＷ２とリファレンス抵抗との接続点の電圧がＡ／Ｄ変換器のチャンネルＣＨｒｅｆに入力される。この抵抗値測定装置では、チャンネルＣＨ１に入力される電圧値とチャンネルＣＨｒｅｆに入力される電圧値とを演算することにより、プルアップ抵抗Ｒ１の抵抗値のばらつきや温度特性による抵抗値変化があっても、サーミスタの抵抗値を高精度に求めることができる（要約参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００５−３５９６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１に記載されている従来技術では、スイッチＳＷ１がオンされることによりサーミスタに直列接続されるプルアップ抵抗Ｒ１（固定抵抗）は、集積回路への集積化が可能である。しかし、リファレンス抵抗は集積回路へ集積化されておらず、集積回路へ集積化することは困難であった。また、サーミスタとリファレンス抵抗とを切り換えてプルアップ抵抗Ｒ１に直列接続するスイッチＳＷ１，ＳＷ２のオン抵抗はサーミスタの抵抗に比べて十分に小さくする必要があり、集積回路の大型化を招く。特に、サーミスタを使用した場合、高温では常温に比べて抵抗が２桁程度小さくなる。このため、高温での使用を考えた場合は、切り換えスイッチのサイズを十分に大きくして、オン抵抗を小さくする必要がある。また、切り換えスイッチが半導体スイッチで構成される場合、切り換えスイッチのオン抵抗は高温で大きくなる。このオン抵抗の変化はサーミスタの抵抗値測定に誤差を生じさる可能性がある。
【０００７】
例えば、上述したサーミスタとプルアップ抵抗（固定抵抗）とを用いて、吸気温度センサ装置を構成することができる。この場合、サーミスタは温度検出素子として用いられるが、温度検出素子としては、サーミスタに限定されるものではなく、温度によって抵抗値が変化するものであればよい。
【０００８】
本発明の目的は、温度検出素子に直列接続される固定抵抗を集積回路へ集積化し、リファレンス抵抗や、固定抵抗をこのリファレンス抵抗に接続するための切り換えスイッチを不要にすることで、より小型で高精度な吸気温度センサ装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために、本発明の吸気温度センサ装置は、吸気温度に応じて抵抗値の変化する温度検出素子と、前記温度検出素子の信号を処理する集積回路と、前記集積回路に集積化され前記温度検出素子に直列に接続された抵抗素子と、前記抵抗素子の抵抗値に関する情報を記憶する書き込み可能メモリとを備え、前記書き込み可能メモリに記憶された情報に基づいて前記温度検出素子で検出される信号を補正することにより達成される。このとき、前記温度検出素子で検出される信号の特性カーブの曲がりを補正するようにすると良い。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、集積回路に集積化され、温度検出素子に直列に接続された抵抗素子の抵抗値のバラツキを補正することができ、抵抗素子の抵抗値を補正するためのリファレンス抵抗を設ける必要がなくなる。これにより、抵抗素子を集積回路内に集積化した小型で高精度な吸気温度センサを提供することができる。
上記した以外の課題、構成及び効果は、以下の実施例の説明により明らかにされる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明に係る実施例１の吸気温度センサ装置の構成を示す図。
【図２】吸気温度とＶｓｅｎ／Ｖｒｅｆの関係を示す図。
【図３】曲がり補正処理６の入出力特性を示す図。
【図４】本発明に係る実施例２のセンサ装置の構成を示す図。
【図５】曲がり補正処理６及び直線化処理８の入出力特性を示す図。
【図６】本発明に係る実施例３のセンサ装置の構成を示す図。
【図７】抵抗素子３のパターンを示す図。
【図８】センサ装置の一例として、実施例３の吸気温度センサ装置を用いた空気流量測定装置の構成を示す図。
【図９】空気流量検出素子１７と空気流量信号調整回路１８とによって構成される流量検出部の構成を詳細に示した詳細図。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の実施例について、図面を参照して説明する。
【実施例１】
【００１３】
まず、本発明の第１の実施例である吸気温度センサ装置を図１〜３により説明する。なお、図１は本実施例における吸気温度センサ装置の構成を示す図である。図２は吸気温度とＶｓｅｎ／Ｖｒｅｆとの関係を示す図である。図３は曲がり補正処理部６の入出力特性を示す図である。
【００１４】
本実施例の吸気温度センサ装置は、吸気温度に応じて抵抗値の変化する温度検出素子２と、温度検出素子２の信号を処理する集積回路１と、温度検出素子２と直列接続され集積回路１に集積化された抵抗素子３と、温度検出素子２で検出される信号（温度検出素子２の両端電圧）をアナログ・デジタル変換するＡＤ変換器４と、抵抗素子３とＡＤ変換器４へ基準電圧Ｖｒｅｆを供給する基準電圧源５と、抵抗素子３の抵抗値に応じた情報を記憶する書き込み可能メモリ７と、ＡＤ変換器４の出力を書き込み可能メモリ（ＰＲＯＭ）７の情報に基づいて曲がり補正して吸気温度出力を出力する曲がり補正処理部６により構成される。なお、吸気温度に応じて抵抗値の変化する温度検出素子２にはサーミスタ、白金抵抗などがあるが本実施例ではサーミスタを例に挙げて説明する。
【００１５】
本実施例では、吸気温度に応じて抵抗値の変化する温度検出素子２と抵抗素子３とを直列に接続して、基準電圧源５から電圧Ｖｒｅｆを供給する。この時、温度検出素子２の両端電圧ＶｓｅnとＶｒｅｆとの比は吸気温度に応じて図２の様に変化するが、抵抗素子３の抵抗値Ｒｓの影響を受け特性（曲がり）が変化する。本実施例では、電圧Ｖｒｅｆを基準電圧として電圧Ｖｓｅｎをアナログ・デジタル変換するＡＤ変換器４でデジタル化し、このデジタル値を書き込み可能メモリ７の情報に基づいて、図３に示すカーブで曲がり補正を行う。この曲がり補正は、曲がり補正処理部６で実施する。この曲がり補正により、抵抗素子３の抵抗値Ｒｓの影響を無くす様にした。なお、曲がり補正処理部６の入出力特性（図３の特性）は、入力をＶｉｎ、出力をＶｏｕｔ、抵抗素子３の基準抵抗値をＲｒ、抵抗素子３の実際の抵抗値をＲｓとすると、
Ｖｏｕｔ＝Ｒｓ×Ｖｉｎ／｛Ｒｒ＋Ｖｉｎ×（Ｒｓ−Ｒｒ）｝…（１）式
の様に表わされ、デジタル演算で容易に計算できる。
【００１６】
つまり、抵抗素子３の実際の抵抗値Ｒｓを書き込み可能メモリ７に保存しておくことで、この情報に基づいて（１）式を計算することにより、抵抗素子３のバラツキによる特性変動を無くすことができる。
【００１７】
（１）式を用いて曲がり補正を行う場合、曲がり補正処理部６の入出力特性は図３のようになり、Ｒｓが標準値よりも大きい場合は、信号の入出力範囲において、上側に凸となる曲がりを与える補正を行うことになる。また、Ｒｓが標準値よりも小さい場合は、信号の入出力範囲において、下側に凸となる曲がりを与える補正を行うことになる。
【００１８】
図３に示すように、曲がり補正処理部６の入出力特性は、Ｒｓが標準値からずれた場合に、曲線を描くようになり、Ｒｓが標準値の場合の直線に対してずれている。すなわち、曲がり補正処理部６では、この入出力特性により、Ｒｓにおける標準値からのバラツキの大きさに応じて、吸気温度に対して温度検出素子２の出力信号が有する特性曲線の曲がりを補正する。Ｒｓにバラツキが生じていても、特性曲線の曲がりを補正することにより、標準値の特性曲線に一致させることができる。
【００１９】
なお、（１）式の計算はマップを利用して計算することも可能である。なお、書き込み可能メモリ７としてＰＲＯＭを用いているが、ＰＲＯＭに限られるものではなく、書き込み可能なメモリであれば良い。
【実施例２】
【００２０】
次に、本発明の第２の実施例であるセンサ装置を図４，５により説明する。なお、図４は本実施例における吸気温度センサ装置の構成を示す図である。図５は曲がり補正処理部６及び直線化処理部８の入出力特性を示す図である。
【００２１】
本実施例の吸気温度センサ装置は、実施例１の吸気温度センサ装置と基本的に同じ構成であるが、以下の改良を加えた。なお、実施例１と同じ構成には同じ符号を付しており、これらについては説明を省略する。
【００２２】
本実施例では、曲がり補正処理部６の後に直線化処理部８を設けて、図２に示した吸気温度に対して非線形な特性を直線化した。抵抗素子３の抵抗値Ｒｓが変化すると、直線化処理部８の入出力特性は図５に示す様に変化する。温度検出素子２にサーミスタを用いた場合、サーミスタの特性は指数関数なので直線化処理部８ではマップ処理を採用する。このマップ処理に用いるマップは、直線化処理部８の入力と出力との関係を表す。マップ処理を採用した場合、抵抗値Ｒｓの変化（物のバラツキや温度変化による抵抗変化）に応じてマップを変更する必要があり非常に複雑な処理を必要する。しかし、本実施例の様に曲がり補正処理部６により抵抗素子３のバラツキによる曲がりの補正を事前に行うことで、直線化処理部８を単純なマップ演算で実現できる。
【００２３】
なお、マップ処理に用いるマップは書き込み可能メモリ７に保存しておく。
【実施例３】
【００２４】
次に、本発明の第３の実施例である吸気温度センサ装置を図６，７により説明する。なお、図６は本実施例における吸気温度センサ装置の構成を示す図である。図７は抵抗素子３のパターンを示す図である。
【００２５】
本実施例の吸気温度センサ装置は、実施例１の吸気温度センサ装置と基本的に同じ構成であるが、以下の改良を加えた。なお、他の実施例と同じ構成には同じ符号を付しており、これらについては説明を省略する。
【００２６】
本実施例では、集積回路１の温度を検出する集積回路温度センサ（ＬＳＩ温度センサ）９と、抵抗素子３の抵抗値と抵抗温度係数に応じた情報を記憶する書き込み可能メモリ１０と、集積回路温度センサ９と書き込み可能メモリ１０に記憶した情報に基づいて抵抗素子３の抵抗値を推定する抵抗値推定部（Ｒｓの推定部）１１を設けた。なお、集積回路温度センサ９と抵抗素子３とは近接して配置し、集積回路温度センサ９と抵抗素子３の温度が実質的に同じになる様にした。この場合、「集積回路温度センサ９と抵抗素子３の温度が実質的に同じ」であるとは、集積回路温度センサ９により検出した温度を用いて推定した抵抗素子３の抵抗値が、曲がり補正処理部６における曲がり補正に使用できる程度の許容誤差範囲内に収まるよう、抵抗素子３の温度を集積回路温度センサ９により検出できることを意味する。
【００２７】
一般に、集積回路における抵抗素子は１０００〜３０００ｐｐｍ／℃の抵抗温度係数を持つ。この為、周囲温度の変化や集積回路１自体の自己発熱により、抵抗素子３の温度は１００℃以上変化するので、抵抗素子３の抵抗値は１０〜３０％変化する。このことにより吸気温度センサ装置の出力に誤差を生じさせてしまう。そこで、本実施例では、書き込み可能メモリ１０に抵抗素子３の抵抗値Ｒｓと抵抗温度係数ＴＣＲに応じた情報を記憶させ、この情報に基づいて抵抗値推定部処理１１により抵抗素子３の抵抗値Ｒｓを推定する。そして、推定した抵抗値Ｒｓを用いて曲がり補正処理部６で曲がり補正を実施することで、抵抗素子３の抵抗値Ｒｓの影響を無くす様にした。なお、抵抗値推定処理部１１の出力Ｒｓは０℃での抵抗素子３の抵抗値をＲｓ０、抵抗素子３の抵抗温度係数をＴＣＲ、集積回路温度センサ９の出力をＴｌｓｉとすると、
Ｒｓ＝Ｒｓ0×｛１＋ＴＣＲ×Ｔｌｓｉ｝…（２）式
の様に表わされ、デジタル演算で容易に計算できる。
【００２８】
つまり、抵抗素子３の０℃での抵抗値Ｒｓ０と抵抗温度係数ＴＣＲを書き込み可能メモリ１０に保存しておくことで、この情報に基づいて（２）式を計算することで抵抗素子３のバラツキおよび温度変化による抵抗変化によって生じる吸気温度センサ装置の特性変動を無くすことができる。このことにより、吸気温度検出素子に直列接続される固定抵抗などを集積回路へ集積化できる。
【００２９】
また、本実施例では、抵抗素子３のパターンを図７に示す様にした。抵抗素子３は、拡散領域１３とコンタクト１２，１４とで構成される単位抵抗パターンを複数設け、これらの単位抵抗パターンをアルミ配線１５，１６で接続することで構成した。拡散領域の抵抗温度係数は１００〜３０００ｐｐｍ／℃であるが、コンタクトの抵抗の抵抗温度係数は−３０００ｐｐｍ／℃と負の値を持つ。この為、本実施例の様に単位抵抗パターンを複数設けて抵抗素子３を構成することで、コンタクト抵抗の影響を大きくして、抵抗素子３の抵抗温度係数を小さくすることができる。このことにより、抵抗素子３の抵抗値の温度変化を小さくできるので抵抗値推定処理部１１の推定精度の向上を図ることができ、より高精度に吸気温度を検出することができる。
【実施例４】
【００３０】
次に、センサ装置の一実施例として、実施例３の吸気温度センサ装置を用いた空気流量測定装置の実施例（実施例４）を、図８，９により説明する。なお、図８は本実施例における空気流量測定装置の構成を示す図である。図９は空気流量検出素子１７と空気流量信号調整回路１８とによって構成される流量検出部の構成を詳細に示した詳細図である。
【００３１】
本実施例のセンサ装置は、実施例３の吸気温度センサ装置と基本的に同じ構成の吸気温度センサ装置を備えている。さらに、本実施例では、空気流量測定装置を構成するために、吸気の空気流量を検出する空気流量検出素子１７と、集積回路１に内蔵（集積化）され空気流量検出素子１７の出力を調整（処理）して流量出力を出力する空気流量信号調整処理部１８とを設けている。
【００３２】
なお、本実施例では、吸気温度センサ装置として実施例３の装置を用いているが、実施例１又は２の吸気温度センサ装置を用いても良い。
【００３３】
本実施例の空気流量測定装置は、発熱体（発熱抵抗体）を加熱制御することにより発熱させて空気流量を測定する熱式の測定装置である。熱式の空気流量測定装置では、流れる空気の温度を検出する必要があり、上述の実施例に記載した吸気温度センサ装置を用いて空気温度を検出する。本実施例では、空気（特に、内燃機関に吸入される吸気）を測定対象としているが、その他の流体を測定対象とする熱式の流体流量測定装置としても良い。また、熱式以外の流体流量測定装置であっても、流体の温度を検出する場合に、上述の各実施例の吸気温度センサ装置を組み合わせて使用することにより、流体温度を高精度に検出し、かつ装置を小型化することができる。以下の説明では、空気流量測定装置、空気流量信号調整処理部１８及び空気流量検出素子１７をそれぞれ流量測定装置、流量信号調整処理部１８及び流量検出素子１７として説明する。
【００３４】
流量検出素子１７には、発熱体２１と、発熱体２１の温度に応じて抵抗値の変化するヒータ温度検出抵抗２３と固定抵抗２４，２５，２６とで構成されるヒータ温度検出ブリッジ回路２２と、発熱体２１の風上に配置される温度検出抵抗２８，３１と風下に配置される温度検出抵抗２９，３０とで構成され、発熱体２１の風上と風下の温度差を検出する温度差検出ブリッジ回路９とが配置されている。また、集積回路１に集積化された流量信号調整処理部１８には、ヒータ温度検出ブリッジ回路２２の出力を受けて発熱体２に駆動電圧Ｖｈを供給する差動増幅器３２と、温度差検出ブリッジ回路９の出力を受けて流量出力を生成する差動増幅器３４とが配置されている。
【００３５】
差動増幅器３２は、ヒータ温度検出抵抗２３と固定抵抗２４との接続部３５の電圧Ｖ１と、固定抵抗２５と固定抵抗２６との接続部３６の電圧Ｖ２との電圧差を増幅して発熱体２への駆動電圧Ｖｈを発生する。差動増幅器３４は、温度検出抵抗２８と温度検出抵抗２９との接続部３７の電圧Ｖ３と、温度検出抵抗３０と温度検出抵抗３１との接続部３８の電圧Ｖ４との電圧差を増幅して流量出力を生成する。
【００３６】
流量信号調整処理部１８には、差動増幅器３４の出力に対して補正や調整を行うために、演算器を含む流量信号処理部３９が設けられている。流量信号処理部３９で行う補正及び調整には、信号の線形化処理や種々の誤差要因に対する補正処理が含まれる。検出される流量信号は吸気温度の影響を受ける場合がある。特に発熱抵抗体を用いて検出される流量信号は吸気温度の影響を受け易い。そこで、吸気温度センサ装置の吸気温度出力を流量信号処理部３９に入力し、流量信号処理部３９で差動増幅器３４の出力に対して吸気温度の影響に対する補正及び調整を行った後、流量出力として出力する。
【００３７】
発熱体を用いた流量検出素子１７としては、上述した構成以外にも、発熱体やブリッジ回路の構成を変えた素子が存在しており、他の構成の流量検出素子を用いても良い。
【００３８】
本実施例では、高精度に調整された吸気温度出力信号を持つので、この吸気温度出力信号を使用して空気流量信号を高精度に調整することができる。
【００３９】
上述の各実施例によれば、温度検出素子に直列接続される抵抗素子として特に高精度な抵抗素子を用いる必要がなく、抵抗素子を集積回路内に集積化することができる。また、抵抗素子の抵抗値を補正するためのリファレンス抵抗を設ける必要もない。これにより、抵抗素子を集積回路内に集積化した小型で高精度な吸気温度センサを提供することができる。
【００４０】
なお、本発明は上記した各実施例に限定されるものではなく、様々な変形例が含まれる。例えば、上記した実施例は本発明を分かりやすく説明するために詳細に説明したものであり、必ずしも全ての構成を備えるものに限定されるものではない。また、ある実施例の構成の一部を他の実施例の構成に置き換えることが可能であり、また、ある実施例の構成に他の実施例の構成を加えることも可能である。また、各実施例の構成の一部について、他の構成の追加・削除・置換をすることが可能である。例えば、実施例２で説明した直線化処理部８を、実施例３及び４に追加してもよい。
【００４１】
また、上記の各構成、機能、処理部、処理手段等は、それらの一部又は全部を、例えば集積回路で設計する等によりハードウェアで実現してもよい。また、上記の各構成、機能等は、プロセッサがそれぞれの機能を実現するプログラムを解釈し、実行することによりソフトウェアで実現してもよい。各機能を実現するプログラム、テーブル、ファイル等の情報は、メモリや、ハードディスク、ＳＳＤ（Ｓｏｌｉｄ  Ｓｔａｔｅ  Ｄｒｉｖｅ）等の記録装置、または、ＩＣカード、ＳＤカード、ＤＶＤ等の記録媒体に置くことができる。
【００４２】
また、制御線や情報線は説明上必要と考えられるものを示しており、製品上必ずしも全ての制御線や情報線を示しているとは限らない。実際には殆ど全ての構成が相互に接続されていると考えてもよい。
【符号の説明】
【００４３】
１…集積回路、２…温度検出素子、３…抵抗素子、４…ＡＤ変換器、５…基準電圧源、６…曲がり補正処理部、７…書き込み可能メモリ、８…直線化処理部、９…集積回路温度センサ、１０…書き込み可能メモリ、１１…抵抗値推定処理部、１２…コンタクト、１３…拡散領域、１４…コンタクト、１５…アルミ配線、１６…アルミ配線、１７…空気流量検出素子、１８…空気流量信号調整処理部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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