(57)【要約】【課題】クリーニングのための放電が終了した後に、確実に排気装置の動作を終了させることができるクリーニング装置を提供する。【解決手段】  クリーニング装置１００は、試料Ｓが収容されるチャンバー１０と、チャンバー１０内で、試料Ｓをクリーニングするための放電を発生させる放電発生部２０と、チャンバー１０内を排気するための排気装置３０と、チャンバー１０、放電発生部２０、および排気装置３０を制御するための制御部８０と、を含み、制御部８０は、排気装置３０の動作を開始させる動作開始処理と、放電発生部２０を制御して、排気装置３０によって排気されているチャンバー１０内で、放電を開始させる放電開始処理と、放電発生部２０を制御して、放電を終了させる放電終了処理と、該放電終了処理の後に、排気装置３０の動作を終了させる動作終了処理と、を行う。【選択図】図１
2014207165.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料が収容されるチャンバーと、
前記チャンバー内で、前記試料をクリーニングするための放電を発生させる放電発生部と、
前記チャンバー内を排気するための排気装置と、
前記チャンバー、前記放電発生部、および前記排気装置を制御するための制御部と、
を含み、
前記制御部は、
前記排気装置の動作を開始させる動作開始処理と、
前記放電発生部を制御して、前記排気装置によって排気されている前記チャンバー内で、前記放電を開始させる放電開始処理と、
前記放電発生部を制御して、前記放電を終了させる放電終了処理と、
前記放電終了処理の後に、前記排気装置の動作を終了させる動作終了処理と、
を行う、クリーニング装置。
【請求項２】
請求項１において、
前記チャンバー内および前記排気装置にガスを導入するためのリーク弁を含み、
前記制御部は、前記放電終了処理の後に、前記リーク弁を制御して、前記チャンバー内および前記排気装置にガスを導入するベント処理を行う、クリーニング装置。
【請求項３】
請求項１または２において、
前記制御部は、前記放電開始処理からの経過時間に基づいて、前記放電終了処理を行う、クリーニング装置。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれか１項において、
前記排気装置は、油回転ポンプである、クリーニング装置。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれか１項において、
前記試料は、電子顕微鏡用の試料である、クリーニング装置。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれか１項において、
前記チャンバーは、電子顕微鏡用の試料ホルダーが装着可能に設けられており、
前記試料ホルダーを前記チャンバーに装着することで、前記チャンバー内に前記試料が導入される、クリーニング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、クリーニング装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
透過電子顕微鏡や走査電子顕微鏡等の電子顕微鏡において、試料表面に汚れ（カーボン、金属、油脂、水分、酸化物等）が付着していると試料の観察・分析等に支障を来すことは良く知られている。
【０００３】
この様な問題を避けるために、一般的に、観察に先立って、試料表面をクリーニングしている。
【０００４】
例えば、特許文献１には、試料を支持した試料ホルダーがセットされるチャンバー、該チャンバー内に放電用ガスを導入する手段、該チャンバー内を排気するための排気手段、該チャンバー内の圧力を検出する手段、該チャンバー内に試料表面をクリーニングするための放電を発生させるための放電発生手段を備えたクリーニング装置が開示されている。特許文献１では、排気手段としては、油回転ポンプが用いられている。また、放電発生手段は、電極と、該電極とチャンバーとの間に電圧を印加するための電源と、で構成されている。
【０００５】
特許文献１のクリーニング装置では、まず、油回転ポンプでチャンバー内を排気しつつ、混合ガスボンベからのアルゴンガスと酸素ガスをチャンバー内に導入して、チャンバー内が１０〜１００Ｐａ程度の圧力に維持されるようにする。
【０００６】
次に、電極とチャンバーとの間に電圧を印加して、グロー放電を発生させる。これにより、試料表面がグロー放電に基づくイオンによって分解され、試料がクリーニングされる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００２−１６２３２４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
このようなクリーニング装置では、放電発生手段がクリーニングのための放電を終了した後も、油回転ポンプ等の排気手段が動作していると、油回転ポンプの消耗や、消費電量の増大、オイルバック等をまねく恐れがある。
【０００９】
本発明は、このような点に鑑みてなされたものであり、本発明のいくつかの態様に係る目的の１つは、クリーニングのための放電が終了した後に、確実に排気装置の動作を終了させることができるクリーニング装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
（１）本発明に係るクリーニング装置は、
試料が収容されるチャンバーと、
前記チャンバー内で、前記試料をクリーニングするための放電を発生させる放電発生部と、
前記チャンバー内を排気するための排気装置と、
前記チャンバー、前記放電発生部、および前記排気装置を制御するための制御部と、
を含み、
前記制御部は、
前記排気装置の動作を開始させる動作開始処理と、
前記放電発生部を制御して、前記排気装置によって排気されている前記チャンバー内で、前記放電を開始させる放電開始処理と、
前記放電発生部を制御して、前記放電を終了させる放電終了処理と、
前記放電終了処理の後に、前記排気装置の動作を終了させる動作終了処理と、
を行う。
【００１１】
このようなクリーニング装置によれば、制御部が、放電終了処理の後に、排気装置の動作を終了させるため、クリーニングのための放電が終了した後に、確実に排気装置の動作を終了させることができる。したがって、例えば、排気装置の消耗や、消費電量の増大、オイルバック等を防ぐことができる。
【００１２】
また、このようなクリーニング装置によれば、ユーザーは排気装置の操作や、放電発生部の操作を行うことなく、試料のクリーニング処理を行うことができる。したがって、容易に試料のクリーニングを行うことができる。
【００１３】
（２）本発明に係るクリーニング装置において、
前記チャンバー内および前記排気装置にガスを導入するためのリーク弁を含み、
前記制御部は、前記放電終了処理の後に、前記リーク弁を制御して、前記チャンバー内および前記排気装置にガスを導入するベント処理を行ってもよい。
【００１４】
（３）本発明に係るクリーニング装置において、
前記制御部は、前記放電開始処理からの経過時間に基づいて、前記放電終了処理を行ってもよい。
【００１５】
（４）本発明に係るクリーニング装置において、
前記排気装置は、油回転ポンプであってもよい。
【００１６】
（５）本発明に係るクリーニング装置において、
前記試料は、電子顕微鏡用の試料であってもよい。
【００１７】
（６）本発明に係るクリーニング装置において、
前記チャンバーは、電子顕微鏡用の試料ホルダーが装着可能に設けられており、
前記試料ホルダーを前記チャンバーに装着することで、前記チャンバー内に前記試料が導入されてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本実施形態に係るクリーニング装置の構成を示す図。
【図２】本実施形態に係るクリーニング処理の一例を示すフローチャート。
【図３】本実施形態に係るクリーニング処理の一例を示すフローチャート。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の好適な実施形態について図面を用いて詳細に説明する。なお、以下に説明する実施形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではない。また、以下で説明される構成の全てが本発明の必須構成要件であるとは限らない。
【００２０】
１．  クリーニング装置の構成
まず、本実施形態に係るクリーニング装置の構成について、図面を参照しながら説明する。図１は、本実施形態に係るクリーニング装置１００の構成を示す図である。
【００２１】
クリーニング装置１００は、図１に示すように、チャンバー１０と、放電発生部２０と、排気装置３０と、真空計４０と、主弁５０と、リーク弁６０と、ガス導入弁７０と、制御部８０と、操作部８２と、を含んで構成されている。
【００２２】
クリーニング装置１００は、透過電子顕微鏡や走査電子顕微鏡等の電子顕微鏡用の試料Ｓに付着した汚れを分解、除去するための装置である。
【００２３】
チャンバー１０には、試料Ｓが収容される。図示の例では、チャンバー１０は、電子顕微鏡用の試料ホルダー１１０が装着可能に設けられている。具体的には、チャンバー１０には、試料ホルダー１１０が挿入される挿入孔が設けられている。試料ホルダー１１０をチャンバー１０（挿入孔）に装着することで、チャンバー１０内に試料Ｓが導入される。なお、チャンバー１０に試料Ｓを収容する方法は、特に限定されない。例えば、試料Ｓをチャンバー１０内の試料載置台（図示せず）に載置してもよい。チャンバー１０内は、排気装置３０によって、真空排気される。
【００２４】
放電発生部２０は、チャンバー１０内で、試料Ｓをクリーニングするための放電を発生させる。図示の例では、放電発生部２０は、第１電極２２と、第２電極２４と、電極２２，２４間に電圧を印加するための電源２６と、を含んで構成されている。放電発生部２０は、チャンバー１０内が所定の圧力の放電ガス雰囲気になった状態で、電源２６が電極２２，２４間に、例えば、３００Ｖ程度の電圧を印加して、電極２２，２４間にグロー放電を発生させる。これにより、試料Ｓに付着した汚れが放電によって生成されたプラズマ中のイオンにより分解される。そのため、試料Ｓに付着した汚れが分解、除去され、試料Ｓがクリーニングされる。電源２６は、制御部８０によって制御される。
【００２５】
なお、図示の例では、電源２６が第１電極２２と第２電極２４との間に電圧を印加して放電を発生させたが、図示はしないが、電源２６が第１電極２２とチャンバー１０との間に電圧を印加してもよい。これにより、第１電極２２とチャンバー１０との間に、試料Ｓをクリーニングするための放電を発生させることができる。
【００２６】
排気装置３０は、チャンバー１０内を排気することができる。排気装置３０は、例えば、油回転ポンプである。排気装置３０は、管２によって、チャンバー１０に接続されている。管２には、主弁５０が設けられている。また、管２に設けられた主弁５０とチャンバー１０との間には、真空計４０が接続されている。排気装置３０は、制御部８０によって制御される。
【００２７】
真空計４０は、チャンバー１０内の圧力を測る計器である。真空計４０は、管２に接続されている。真空計４０は、例えば、ピラニ真空計である。真空計４０の計測結果は、制御部８０に送られる。
【００２８】
主弁５０は、管２に設けられている。主弁５０は、例えば、電磁弁である。主弁５０の開閉は、制御部８０によって制御される。
【００２９】
リーク弁６０は、管２に接続された管４に設けられている。リーク弁６０を開くことにより、管４から管２を介して排気装置３０にガスが供給され、かつ、管４から細管８および管６を介してチャンバー１０内にガスが供給される（ベント）。リーク弁６０は、例えば、電磁弁である。リーク弁６０の開閉は、制御部８０によって制御される。なお、管４の端部は、外部に開放されていてもよいし、ベント用の不活性ガス等が充填されたボンベ
（図示せず）に接続されていてもよい。
【００３０】
ガス導入弁７０は、チャンバー１０に接続された管６に設けられている。管６は、ガスボンベ７４とチャンバー１０とを接続する管である。ガス導入弁７０を開くことにより、ガスボンベ７４から放電用ガス（例えば、アルゴンガス、またはアルゴンと酸素の混合ガス等）が、チャンバー１０内に供給される。なお、放電用ガスの流量は、管６に設けられた流量調整弁７２で調整される。また、放電用ガスとして、大気を用いてもよい。すなわち、チャンバー１０内に大気を導入して、放電させてもよい。
【００３１】
制御部８０は、放電発生部２０、排気装置３０、主弁５０、リーク弁６０、ガス導入弁７０を制御する。具体的には、制御部８０は、排気装置３０の動作を開始させる動作開始処理、放電発生部２０を制御して、排気されたチャンバー１０内で、放電を開始する放電開始処理、放電発生部２０を制御して、放電を終了させる放電終了処理、放電終了処理の後に、排気装置３０の動作を終了させる動作終了処理等の処理を行う。
【００３２】
制御部８０は、専用回路により実現して上述した処理や制御を行うようにしてもよい。また、制御部８０は、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）が記憶部（図示せず）等に記憶された制御プログラムを実行することによりコンピューターとして機能し、上述した処理や各種制御を行うようにしてもよい。
【００３３】
操作部８２は、ユーザーによる操作に応じた操作信号を取得し、制御部８０に送る処理を行う。操作部８２は、例えば、ボタン、キー、タッチパネル型ディスプレイ、マイクなどである。操作部８２は、図示はしないが、クリーニング装置１００を待機状態にする電源ボタン、放電を開始させるスタートボタン、放電を中止するストップボタン、放電時間を設定するためのタイマー等を含んで構成されている。
【００３４】
２．  クリーニング処理
次に、本実施形態に係るクリーニング装置におけるクリーニング処理について、図面を参照しながら説明する。図２および図３は、本実施形態に係るクリーニング装置におけるクリーニング処理の一例を示すフローチャートである。
【００３５】
まず、図１に示すように、試料Ｓがチャンバー１０内に導入される。そして、操作部８２の電源ボタンが押されることにより、クリーニング装置１００は待機状態となる（Ｓ１０）。待機状態では、排気装置３０および放電発生部２０は動作していない。また、待機状態では、リーク弁６０は開いており、主弁５０およびガス導入弁７０は閉じられている。
【００３６】
そして、制御部８０は、スタートボタンが押されたか否かの判定を行う（Ｓ１１）。
【００３７】
スタートボタンが押されたと判定されると（Ｓ１１でＹｅｓ）、制御部８０は、真空計４０が断線しているか否かの判定を行う（Ｓ１２）。そして、真空計４０が断線していると判定された場合（Ｓ１２でＹｅｓ）、制御部８０はクリーニング処理を終了する。このとき、制御部８０は、ランプ（図示せず）の点灯や、ブザーの鳴動により、ユーザーに真空計４０が断線していることを通知してもよい。
【００３８】
真空計４０が断線していないと判定された場合（Ｓ１２でＮｏ）、制御部８０は、リーク弁６０を閉じて、主弁５０を開く（Ｓ１３）。このとき、ガス導入弁７０は閉じられた状態のままである。
【００３９】
次に、制御部８０は、排気装置３０の動作を開始させる（動作開始処理Ｓ１４）。これ
により、チャンバー１０内の排気が開始される。なお、ここでは、ステップＳ１３の処理の後に、ステップＳ１４の処理を行う場合について説明したが、ステップＳ１４の処理の後に、ステップＳ１３の処理を行ってもよいし、ステップＳ１３の処理とステップＳ１４の処理とを同時に行ってもよい。
【００４０】
次に、制御部８０は、真空計４０から、チャンバー１０内の圧力の情報を取得して、チャンバー１０内の圧力が所定の圧力（例えば３０Ｐａ）より小さいか否かの判定を行う（Ｓ１５）。
【００４１】
チャンバー１０内の圧力が所定の圧力より小さくないと判定された場合（Ｓ１５でＮｏ）、制御部８０は、所定の時間（例えば５分）経過したか否かの判定を行う（Ｓ１７）。
【００４２】
所定の時間経過していないと判定された場合（Ｓ１７でＮｏ）、制御部８０は、再び、チャンバー１０内の圧力が所定の圧力より小さいか否かの判定を行う（Ｓ１５）。
【００４３】
一方、所定の時間経過したと判定された場合（Ｓ１７でＹｅｓ）、制御部８０は、ガス導入弁７０を閉じ、主弁５０を閉じ、リーク弁６０を開く（Ｓ１８）。このとき、制御部８０は、ランプ（図示せず）の点灯や、ブザーの鳴動により、ユーザーにエラーによりクリーニング処理が終了することを通知してもよい。そして、制御部８０は、クリーニング処理を終了する。
【００４４】
チャンバー１０内の圧力が所定の圧力より小さいと判定された場合（Ｓ１５でＹｅｓ）、制御部８０は、ガス導入弁７０を開く（Ｓ１６）。これにより、チャンバー１０内に、ガスボンベ７４から放電用ガスが供給される。
【００４５】
次に、制御部８０は、所定の時間（例えば６０秒）経過したか否かの判定を行う（Ｓ１９）。
【００４６】
所定の時間経過していないと判定された場合（Ｓ１９でＮｏ）、制御部８０は、再び、所定の時間が経過したか否かの判定を行う（Ｓ１９）。
【００４７】
一方、所定の時間経過したと判定された場合（Ｓ１９でＹｅｓ）、制御部８０は、放電発生部２０を制御して、排気装置３０によって排気されているチャンバー１０内で、放電を開始させる（放電開始処理Ｓ２０）。具体的には、制御部８０は、電源２６を制御して、電極２２，２４間に所定の電圧を印加する。これにより、電極２２，２４間にグロー放電が発生し、試料Ｓに付着した汚れがプラズマ中のイオンにより分解される。
【００４８】
制御部８０は、放電開始処理Ｓ２０が開始されると同時に、設定された放電時間のカウントダウンを開始する（Ｓ２１）。
【００４９】
次に、制御部８０は、放電時間が変更されたか否かの判定を行う（Ｓ２２）。放電時間が変更されたと判定された場合（Ｓ２２でＹｅｓ）、再び、変更された放電時間のカウントダウンを開始する（Ｓ２１）。
【００５０】
放電時間が変更されなかったと判定された場合（Ｓ２２でＮｏ）、制御部８０は、真空計４０が断線しているか否かの判定を行う（Ｓ２３）。
【００５１】
真空計４０が断線していると判定された場合（Ｓ２３でＹｅｓ）、制御部８０は、放電発生部２０を制御して、放電を終了させる処理（Ｓ２４）を行う。次に、制御部８０は、ガス導入弁７０を閉じ、主弁５０を閉じ、リーク弁６０を開く（Ｓ２５）。このとき、制
御部８０は、ランプ（図示せず）の点灯や、ブザーの鳴動により、ユーザーにエラーによりクリーニング処理が終了することを通知してもよい。そして、制御部８０は、クリーニング処理を終了する。
【００５２】
一方、真空計４０が断線していないと判定された場合（Ｓ２３でＮｏ）、制御部８０は、真空計４０から、チャンバー１０内の圧力の情報を取得して、チャンバー１０内の圧力が所定の圧力（例えば１００Ｐａ）より大きいか否かの判定を行う（Ｓ２６）。
【００５３】
チャンバー１０内の圧力が所定の圧力より大きいと判定された場合（Ｓ２６でＹｅｓ）、制御部８０は、上述したステップＳ２４、ステップＳ２５の処理を行い、クリーニング処理を終了する。
【００５４】
一方、チャンバー１０内の圧力が所定の圧力より大きくないと判定された場合（Ｓ２６でＮｏ）、制御部８０は、放電時間が終了したか否かの判定を行う（Ｓ２７）。制御部８０は、放電開始処理Ｓ２０からの経過時間に基づいて、放電時間が終了したか否かの判定（カウントダウンが終わったか否かの判定）を行う。
【００５５】
放電時間が終了していないと判定された場合（Ｓ２７でＮｏ）、制御部８０は、再び、上述したステップＳ２２〜ステップＳ２６の処理を行う。
【００５６】
一方、放電時間が終了していると判定された場合（Ｓ２７でＹｅｓ）、制御部８０は、放電発生部２０を制御して、放電を終了させる（放電終了処理Ｓ２８）。具体的には、制御部８０は、電源２６を制御して、電極２２，２４間の電圧の印加を停止する。このとき、制御部８０は、ランプ（図示せず）の点灯（消灯）や、ブザーの鳴動により、ユーザーに放電処理が終了したことを通知してもよい。
【００５７】
次に、制御部８０は、ガス導入弁７０を閉じ、主弁５０を閉じ、リーク弁６０を開く（ベント処理Ｓ２９）。これにより、管４から管２を介して排気装置３０にガスが供給され、かつ、管４から細管８および管６を介してチャンバー１０内にガスが供給される（ベント）。ここで、チャンバー１０内には、細管８を介して、ガスが供給されるので、チャンバー１０内の圧力が急激に上昇することを防ぐことができる。
【００５８】
次に、制御部８０は、排気装置３０の動作を終了させる（動作終了処理Ｓ３０）。制御部８０は、放電終了処理Ｓ２８を行った後、所定の時間内に、排気装置３０の動作終了処理Ｓ３０を行う。これにより、排気装置（油回転ポンプ）３０の消耗を防ぎ、かつ、消費電力の低減を図ることができる。さらに、オイルバックを防止することができる。ここで、オイルバックとは、例えば、油回転ポンプ等の油を使用している排気装置において、熱せられた油蒸気がチャンバー側に漏れ出す現象をいう。
【００５９】
なお、ここでは、ステップＳ２９の処理の後に、ステップＳ３０の処理を行う場合について説明したが、ステップＳ３０の処理の後に、ステップＳ２９の処理を行ってもよいし、ステップＳ２９の処理とステップＳ３０の処理とを同時に行ってもよい。
【００６０】
次に、制御部８０は、スタートボタンが押されたか否かの判定を行う（Ｓ３１）。
【００６１】
スタートボタンが押されたと判定された場合（Ｓ３１でＹｅｓ）、制御部８０は、再び、ステップＳ１２に戻り、ステップＳ１２〜Ｓ３０の処理を行う。
【００６２】
一方、スタートボタンが押されていないと判定された場合（Ｓ３１でＮｏ）、制御部８０は、所定の時間（チャンバー１０内のベントが終了する時間、例えば９０秒）経過した
か否かの判定を行う（Ｓ３２）。
【００６３】
所定の時間経過していないと判定された場合（Ｓ３２でＮｏ）、制御部８０は、再び、所定の時間経過したか否かの判定を行う。
【００６４】
一方、所定の時間経過していると判定された場合（Ｓ３２でＹｅｓ）、制御部８０は、ランプ（図示せず）の点灯や、ブザーの鳴動により、ユーザーに、チャンバー１０のベントが終了したことを通知する（Ｓ３３）。これにより、チャンバー１０から試料Ｓを取り出すことが可能になったことが通知される。
【００６５】
次に、制御部８０は、クリーニング装置１００を上述した待機状態とする（Ｓ３４）。
【００６６】
次に、制御部８０は、スタートボタンが押されたか否かの判定を行う（Ｓ３５）。
【００６７】
スタートボタンが押されたと判定された場合（Ｓ３５でＹｅｓ）、制御部８０は、再び、ステップＳ１２に戻り、ステップＳ１２〜Ｓ３４の処理を行う。
【００６８】
スタートボタンが押されなかった判定された場合（Ｓ３５でＮｏ）、制御部８０は、クリーニング処理を終了する。
【００６９】
クリーニング装置１００は、例えば、以下の特徴を有する。
【００７０】
クリーニング装置１００では、制御部８０は、排気装置３０の動作を開始させる動作開始処理Ｓ１４と、放電発生部２０を制御して、排気装置３０で排気されているチャンバー１０内で、放電を開始させる放電開始処理Ｓ２０と、放電発生部２０を制御して、放電を終了させる放電終了処理Ｓ２８と、放電終了処理Ｓ２８の後に、排気装置３０の動作を終了させる動作終了処理Ｓ３０と、を行う。これにより、クリーニングのための放電が終了した後に、確実に排気装置３０の動作を終了させることができる。また、ユーザーは、排気装置３０の操作や、放電発生部２０の操作を行うことなく、試料Ｓのクリーニング処理を行うことができる。例えば、上述した図２および図３に示すクリーニング処理では、ユーザーがスタートボタンを押すだけで、図２および図３に示す処理が制御部８０によって行われる。したがって、容易に試料Ｓのクリーニングを行うことができる。
【００７１】
さらに、制御部８０は、放電終了処理Ｓ２８の後、所定の時間内に、排気装置３０の動作終了処理Ｓ３０を行うことができる。これにより、排気装置（油回転ポンプ）３０の消耗を防ぎ、かつ、消費電力の低減を図ることができる。さらに、オイルバックを防止することができる。
【００７２】
クリーニング装置１００によれば、チャンバー１０内および排気装置３０にガスを導入するためのリーク弁６０を含み、制御部８０は、放電終了処理Ｓ２８の後に、リーク弁６０を制御して、チャンバー１０内および排気装置３０にガスを導入するベント処理Ｓ２９を行う。これにより、ユーザーがベント処理を行う手間を省くことができる。また、放電終了処理Ｓ２８の後、すぐに（短時間で）、ベント処理Ｓ２９を行うことで、クリーニング処理の終了後、すぐに（短時間で）チャンバー１０内から試料Ｓを取り出すことができる。
【００７３】
クリーニング装置１００によれば、試料Ｓは、電子顕微鏡用の試料であるため、電子顕微鏡での観察時に、試料Ｓの表面に汚れが試料の観察・分析等に影響を与えることを防ぐことができる。
【００７４】
クリーニング装置１００によれば、チャンバー１０は、電子顕微鏡用の試料ホルダー１１０が装着可能に設けられており、試料ホルダー１１０をチャンバー１０に装着することで、チャンバー１０内に試料Ｓが導入される。このため、試料Ｓを試料ホルダー１１０から取り外すことなく、試料Ｓのクリーニングを行うことができる。
【００７５】
本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成（例えば、機能、方法および結果が同一の構成、あるいは目的及び効果が同一の構成）を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。
【符号の説明】
【００７６】
２，４，６…管、８…細管、１０…チャンバー、２０…放電発生部、２２…第１電極、２４…第２電極、２６…電源、３０…排気装置、４０…真空計、５０…主弁、６０…リーク弁、７０…ガス導入弁、７２…流量調整弁、７４…ガスボンベ、８０…制御部、８２…操作部、１００…クリーニング装置、１１０…試料ホルダー
【図１】
2014207165.tif 000003
【図２】
2014207165.tif 000004
【図３】
2014207165.tif 000005