(57)【要約】      （修正有）【課題】幅の小さい副電極部における導通信頼性を高める圧電アクチュエータを提供する。【解決手段】圧電アクチュエータ２１は、流路ユニット２０の上面に、複数の圧力室２６を覆うように接合されている。圧電アクチュエータ２１は、３枚の圧電層４１〜４３からなる圧電体４０と、複数の個別電極４４、第１共通電極４５、及び、第２共通電極４６を備えている。個別電極４４を形成する工程が、主電極部５３ａとこの主電極部５３ａよりも幅が小さい副電極部５３ｂとを有する電極本体層５３を、スクリーン印刷によって形成する電極本体層形成工程と、副電極部５３ｂに重なるように、部分電極層５４をスクリーン印刷によって形成する部分電極層形成工程と、を含む。【選択図】図４
2014241316.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電層の一方の面に第１電極を形成する第１電極形成工程と、
前記圧電層の他方の面に、前記圧電層を挟んで前記第１電極と対向する第２電極を形成する第２電極形成工程と、を備え、
前記第１電極形成工程は、
前記圧電層の前記一方の面において、主電極部と、前記主電極部から前記圧電層の前記一方の面に沿った所定方向に延び、且つ、前記所定方向と直交する方向の幅が前記主電極部よりも小さい副電極部とを有する電極本体層を、スクリーン印刷によって形成する、電極本体層形成工程と、
前記圧電層の前記一方の面において、前記副電極部に重なるように、部分電極層をスクリーン印刷によって形成する、部分電極層形成工程と、
を含むことを特徴とする圧電アクチュエータの製造方法。
【請求項２】
前記部分電極層形成工程において、
前記部分電極層の、前記所定方向における長さが、前記副電極部の長さよりも短く、
前記部分電極層の、前記所定方向と直交する方向の幅が、前記副電極部の幅よりも小さくなるように、前記部分電極層を形成することを特徴とする請求項１に記載の圧電アクチュエータの製造方法。
【請求項３】
前記部分電極層形成工程において、
前記部分電極層が、前記副電極部から、前記主電極部と前記副電極部との接続部分を跨いで、前記主電極部の一部分にまで延びるように、前記部分電極層を形成することを特徴とする請求項１又は２に記載の圧電アクチュエータの製造方法。
【請求項４】
前記部分電極層形成工程において、
前記部分電極層の、前記副電極部から前記接続部分を跨いで前記主電極部まで延びた部分の先端が、前記主電極部の中央部までは達しないように、前記部分電極層を形成することを特徴とする請求項３に記載の圧電アクチュエータの製造方法。
【請求項５】
前記部分電極層形成工程において、
スクリーン印刷における位置ズレの許容公差をＡとしたときに、前記部分電極層の前記先端が、前記所定方向において前記接続部分から前記許容公差Ａの２倍の距離だけ離れた位置にくるように、前記部分電極層を形成することを特徴とする請求項３又は４に記載の圧電アクチュエータの製造方法。
【請求項６】
前記電極本体層形成工程及び前記部分電極層形成工程において、前記電極本体層と前記部分電極層とを、同じ電極材料で形成することを特徴とする請求項１〜５の何れかに記載の圧電アクチュエータの製造方法。
【請求項７】
前記電極本体層形成工程において、前記副電極部の前記所定方向における長さが、前記所定方向と直交する方向における幅の２倍以上であることを特徴とする請求項１〜６の何れかに記載の圧電アクチュエータの製造方法。
【請求項８】
前記圧力室を覆うように配置された圧電層と、前記圧電層の一方の面に設けられた第１電極と、前記圧電層の他方の面に前記圧電層を挟んで前記第１電極と対向するように設けられた第２電極と、を備え、
前記第１電極は、
主電極部と、前記主電極部から前記圧電層の前記一方の面に沿った所定方向に延び、且つ、前記所定方向と直交する方向の幅が前記主電極部よりも小さい副電極部と、を有する、電極本体層と、
前記副電極部に重ねて形成された部分電極層と、
を備えていることを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項９】
液体を吐出するノズル、及び、前記ノズルに連通する圧力室を有する流路構造体と、前記流路構造体に設けられた圧電アクチュエータと、を備え、
前記圧電アクチュエータは、
前記圧力室を覆うように配置された圧電層と、前記圧電層の前記流路構造体と反対側の面に設けられた第１電極と、前記圧電層の前記流路構造体側の面に前記第１電極と対向するように設けられた第２電極と、を備え、
前記第１電極は、
前記圧電層の前記流路構造体と反対側の面の、前記圧力室と対向する領域に配置された主電極部と、前記主電極部から前記圧力室と対向しない領域まで、前記圧電体の前記流路構造体と反対側の面に沿った所定方向に延び、且つ、前記所定方向と直交する方向の幅が前記主電極部よりも小さい副電極部と、を有する、電極本体層と、
前記副電極部に重ねて形成された部分電極層と、
を備えていることを特徴とする液体吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電アクチュエータの製造方法、圧電アクチュエータ、及び、液体吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、複数のノズルを含むインク流路が形成された流路ユニットと、前記複数のノズルからそれぞれインクを吐出させる圧電アクチュエータとを備えたインクジェットヘッドが開示されている。流路ユニットは、複数のノズルにそれぞれ連通した複数の圧力室を有する。圧電アクチュエータは、複数の圧力室を覆うように、流路ユニットに接合されている。
【０００３】
圧電アクチュエータは、圧電層と、複数の個別電極と、共通電極とを有する。複数の個別電極は、圧電層の、流路ユニットと反対側の面において、複数の圧力室にそれぞれ対応して設けられている。共通電極は、圧電層の、流路ユニット側の面において、複数の個別電極と圧電層を挟んで対向するように配置されている。各個別電極は、圧力室と対向する領域に配置された部分（以下、主電極部という）と、この主電極部から引き出されて圧力室の外側の領域まで延びる部分（以下、副電極部という）を有する。副電極部の幅は、主電極部の幅よりも狭くなっている。副電極部の先端部には接続端子が設けられており、接続端子には配線部材が接続される。
【０００４】
圧電アクチュエータを駆動するドライバＩＣから、配線部材を介して、個別電極に駆動信号が印加されると、個別電極と共通電極とに挟まれた圧電層の部分（以下、活性部ともいう）に印加される電圧が変化する。このとき、活性部に収縮が生じて圧電アクチュエータが変形するため、圧力室の容積が変化してインクに吐出エネルギーが付与される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１２−２０６４４２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、特許文献１に開示されている圧電アクチュエータの製造工程において、圧電層に電極を形成する方法として、スクリーン印刷が一般的に知られている。しかし、このスクリーン印刷による電極形成では、印刷のかすれによって電極に一部欠損等が生じることがある。そして、上述したように、副電極部の幅が主電極部と比べて小さいことから、上記の印刷のかすれによって、特に副電極部において断線等の導通不良が生じやすい。
【０００７】
本発明の目的は、幅の小さい副電極部における導通信頼性を高めることである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
第１の発明の圧電アクチュエータの製造方法は、圧電層の一方の面に第１電極を形成する第１電極形成工程と、前記圧電層の他方の面に、前記圧電層を挟んで前記第１電極と対向する第２電極を形成する第２電極形成工程と、を備え、
前記第１電極形成工程は、前記圧電層の前記一方の面において、主電極部と、前記主電極部から前記圧電層の前記一方の面に沿った所定方向に延び、且つ、前記所定方向と直交する方向の幅が前記主電極部よりも小さい副電極部とを有する電極本体層を、スクリーン印刷によって形成する、電極本体層形成工程と、前記圧電層の前記一方の面において、前記副電極部に重なるように、部分電極層をスクリーン印刷によって形成する、部分電極層形成工程と、を含むことを特徴とするものである。
【０００９】
本発明では、第１電極形成工程において、電極本体層をスクリーン印刷で形成し、また、この電極本体層の副電極部に重なるように、部分電極層を別のスクリーン印刷工程にて形成する。電極本体層と部分電極層をそれぞれスクリーン印刷で形成したときに、仮に、それぞれの工程で印刷のかすれが生じたとしても、全く同じ位置でかすれが生じる確率は低い。つまり、第１電極を２回の印刷工程で形成することで、１回目のスクリーン印刷でかすれが生じたとしても、２回目のスクリーン印刷で、１回目の印刷かすれによる欠損部分を補うことができる。従って、幅の小さい副電極部において断線が生じにくくなり、副電極部の導通信頼性が高まる。
【００１０】
第２の発明の圧電アクチュエータの製造方法は、前記第１の発明において、前記部分電極層形成工程において、前記部分電極層の、前記所定方向における長さが、前記副電極部の長さよりも短く、前記部分電極層の、前記所定方向と直交する方向の幅が、前記副電極部の幅よりも小さくなるように、前記部分電極層を形成することを特徴とするものである。
【００１１】
本発明によれば、部分電極層の、副電極部に対する位置が多少ずれても、部分電極層が電極本体層からはみださず、第１電極全体の電極面積が増加しない。従って、圧電層の第１電極と第２電極とに挟まれた部分である、活性部の静電容量は大きくならない。
【００１２】
第３の発明の圧電アクチュエータの製造方法は、前記第１又は第２の発明において、前記部分電極層形成工程において、前記部分電極層が、前記副電極部から、前記主電極部と前記副電極部との接続部分を跨いで、前記主電極部の一部分にまで延びるように、前記部分電極層を形成することを特徴とするものである。
【００１３】
主電極部と副電極部の接続部分では、電極幅が急激に変化するが故に応力が集中しやすい。本発明では、部分電極層を、副電極部から上記接続部分を跨いで主電極部の一部分まで延びるように形成するため、接続部分における破断が生じにくくなる。
【００１４】
第４の発明の圧電アクチュエータの製造方法は、前記第３の発明において、前記部分電極層形成工程において、前記部分電極層の、前記副電極部から前記接続部分を跨いで前記主電極部まで延びた部分の先端が、前記主電極部の中央部までは達しないように、前記部分電極層を形成することを特徴とするものである。
【００１５】
本発明では、部分電極層の先端が、主電極部の中央部までは達していないため、部分電極層によって、活性部の変形が阻害されにくくなる。
【００１６】
第５の発明の圧電アクチュエータの製造方法は、前記第３又は第４の発明において、前記部分電極層形成工程において、スクリーン印刷における位置ズレの許容公差をＡとしたときに、前記部分電極層の前記先端が、前記所定方向において前記接続部分から前記許容公差Ａの２倍の距離だけ離れた位置にくるように、前記部分電極層を形成することを特徴とするものである。
【００１７】
本発明では、部分電極層の、２つの電極部の接続部分を跨いで主電極部側へ延びる部分を、接続部分から、スクリーン印刷の位置ズレの許容公差Ａの２倍の距離だけ離れた位置まで延びるように形成する。これにより、仮に、部分電極層がその正規の位置に対して前記所定方向における一方側にずれ、且つ、副電極部がその正規の位置に対して前記所定方向における他方側にずれても、それぞれの位置ズレ量が共に、許容公差Ａの範囲内であれば、前記所定方向における、部分電極層の副電極部に対する位置ズレ量は、２Ａ以下となる。つまり、本発明のように、部分電極層の先端が、接続部分から２Ａの距離だけ離れた位置にあれば、部分電極層の先端位置が副電極部側にずれても、部分電極層が接続部分まで必ず形成されることになり、副電極部における断線が確実に防止される。また、逆に、部分電極層の先端位置が主電極部側にずれた場合でも、部分電極層の、接続部分を跨いで主電極部へ延びる部分の先端が、接続部分から最大でも、前記の２Ａの２倍、即ち、許容公差Ａの４倍離れるだけである。従って、部分電極層によって、活性部の変形が阻害されにくい。
【００１８】
第６の発明の圧電アクチュエータの製造方法は、前記第１〜第５の何れかの発明において、前記電極本体層形成工程及び前記部分電極層形成工程において、前記電極本体層と前記部分電極層とを、同じ電極材料で形成することを特徴とするものである。
【００１９】
電極本体層と部分電極層とで電極材料を変える必要がないことから、材料を変えるための手間等が省けるため、第１電極形成工程が簡単になる。また、電極本体層と部分電極層とが同じ材料で形成されていると、２つの層の密着性が良好であり、剥離が生じにくい。
【００２０】
第７の発明の圧電アクチュエータの製造方法は、前記第１〜第６の何れかの発明において、前記電極本体層形成工程において、前記副電極部の前記所定方向における長さが、前記所定方向と直交する方向における幅の２倍以上であることを特徴とするものである。
【００２１】
副電極部に配線部材を接合したときに、接合材料が主電極部まで流れ出しにくくするため、副電極部は長いことが好ましい。一方で、第１電極全体の電極面積を小さく抑えるために、副電極部の幅は小さくすることが好ましい。
【００２２】
第８の発明の圧電アクチュエータは、前記圧力室を覆うように配置された圧電層と、前記圧電層の一方の面に設けられた第１電極と、前記圧電層の他方の面に前記圧電層を挟んで前記第１電極と対向するように設けられた第２電極と、を備え、
前記第１電極は、主電極部と、前記主電極部から前記圧電層の前記一方の面に沿った所定方向に延び、且つ、前記所定方向と直交する方向の幅が前記主電極部よりも小さい副電極部と、を有する、電極本体層と、前記副電極部に重ねて形成された部分電極層と、を備えていることを特徴とするものである。
【００２３】
本発明では、第１電極の電極本体層の、主電極部よりも幅の小さい副電極部に対して、部分電極層が重ねて形成されているため、幅の小さい副電極部において断線が生じにくくなり、副電極部における導通信頼性が高まる。
【００２４】
第９の発明の液体吐出装置は、液体を吐出するノズル、及び、前記ノズルに連通する圧力室を有する流路構造体と、前記流路構造体に設けられた圧電アクチュエータと、を備え、前記圧電アクチュエータは、前記圧力室を覆うように配置された圧電層と、前記圧電層の前記流路構造体と反対側の面に設けられた第１電極と、前記圧電層の前記流路構造体側の面に前記第１電極と対向するように設けられた第２電極と、を備え、
前記第１電極は、前記圧電層の前記流路構造体と反対側の面の、前記圧力室と対向する領域に配置された主電極部と、前記主電極部から前記圧力室と対向しない領域まで、前記圧電体の前記流路構造体と反対側の面に沿った所定方向に延び、且つ、前記所定方向と直交する方向の幅が前記主電極部よりも小さい副電極部と、を有する、電極本体層と、前記副電極部に重ねて形成された部分電極層と、を備えていることを特徴とするものである。
【００２５】
本発明では、第１電極の電極本体層の、主電極部よりも幅の小さい副電極部に対して、部分電極層が重ねて形成されているため、幅の小さい副電極部において断線が生じにくくなり、副電極部における導通信頼性が高まる。
【発明の効果】
【００２６】
第１電極の電極本体層をスクリーン印刷で形成する。また、この電極本体層の、主電極部よりも幅の小さい副電極部に重なるように、部分電極層をスクリーン印刷で形成する。第１電極を２回の印刷工程で形成することで、１回目のスクリーン印刷でかすれが生じたとしても、２回目のスクリーン印刷で、１回目の印刷かすれによる欠損部分を補うことができる。従って、幅の小さい副電極部において断線が生じにくくなり、副電極部における導通信頼性が高まる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本実施形態に係るインクジェットプリンタの概略平面図である。
【図２】インクジェットヘッドの平面図である。
【図３】図２の一部拡大図である。
【図４】図３のIV-IV線断面図である。
【図５】図３のV-V線断面図である。
【図６】圧電体の３枚の圧電層のそれぞれについての上面図であり、（ａ）は最上層の圧電層、（ｂ）は中間層の圧電層、（ｃ）は最下層の圧電層をそれぞれ示す。
【図７】圧電アクチュエータの製造工程を説明する図である。
【図８】焼成時における、主電極部と副電極部の接続部分の応力集中を説明する図である。
【図９】変更形態の、個別電極形成工程を説明する図である。
【図１０】別の変更形態のインクジェットヘッドの一部拡大図である。
【図１１】さらに別の変更形態のインクジェットヘッドを示す図であり、（ａ）はインクジェットヘッドの一部拡大図、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ線断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
次に、本発明の実施の形態について説明する。本実施形態は、液体吐出装置としてのインクジェットプリンタに本発明を適用した一例である。図１は、本実施形態に係るインクジェットプリンタの概略平面図である。尚、以下では、図１の紙面手前側を上方、紙面向こう側を下方と定義して、適宜、「上」「下」の方向語を使用して説明する。図１に示すように、インクジェットプリンタ１は、プラテン２と、キャリッジ３と、インクジェットヘッド４と、搬送機構５等を備えている。
【００２９】
プラテン２の上面には、被記録媒体である記録用紙１００が載置される。プラテン２の上方には、図１に示す走査方向に沿って平行に延びる２本のガイドレール１０，１１が設けられている。キャリッジ３は、２本のガイドレール１０，１１に取り付けられている。また、キャリッジ３には無端ベルト１４が連結されている。キャリッジ駆動モータ１５によって無端ベルト１４が駆動されることで、キャリッジ３は２本のガイドレール１０，１１にガイドされながら走査方向に往復移動する。
【００３０】
インクジェットヘッド４はキャリッジ３に搭載されており、キャリッジ３とともに走査方向に移動する。インクジェットヘッド４の、図１における紙面向こう側の面である下面には、搬送方向に沿って４列に配列された複数のノズル２５が形成されている。尚、インクジェットヘッド４の構成の詳細については後述する。
【００３１】
プリンタ１のプリンタ本体１ａにはカートリッジホルダ９が設けられている。カートリッジホルダ９には、ブラック、イエロー、シアン及びマゼンタの、４色のインクがそれぞれ貯留された４つのインクカートリッジ１７が装着される。キャリッジ３に搭載されたインクジェットヘッド４とカートリッジホルダ９は、図示しないチューブによって接続されている。４つのインクカートリッジ１７にそれぞれ貯留された４色のインクは、チューブを介してインクジェットヘッド４に供給される。インクジェットヘッド４は、キャリッジ３と一体的に走査方向に移動しつつ、複数のノズル２５から、プラテン２に載置された記録用紙１００に対して４色のインクを吐出する。
【００３２】
搬送機構５は、搬送方向にプラテン２を挟むように配置された２つの搬送ローラ１８，１９を有する。２つの搬送ローラ１８，１９は、図示しないモータによって同期して駆動される。搬送機構５は、２つの搬送ローラ１８，１９によって、プラテン２に載置された記録用紙１００を搬送方向に搬送する。
【００３３】
次に、インクジェットヘッド４について説明する。図２は、インクジェットヘッドの平面図である。図３は、図２の一部拡大図である。図４は、図３のIV-IV線断面図、図５は、図３のV-V線断面図である。尚、図２、図４では、圧電アクチュエータ２１に接続されるＣＯＦ６３を二点鎖線で概略的に示している。また、図５では、図４においては示されている、圧力室２６よりも下側の流路構造の図示が省略されている。図２〜図５に示すように、インクジェットヘッド４は、流路ユニット２０と圧電アクチュエータ２１を備えている。流路ユニット２０は、それぞれ流路形成孔が形成された７枚のプレート３１〜３７が互いに積層されることによって形成されている。これら７枚のプレート３１〜３７が積層されたときにそれぞれの流路形成孔が連通することによって、流路ユニット２０には、以下に述べるようなインク流路が形成されている。
【００３４】
図２に示すように、流路ユニット２０の上面には、４つのインクカートリッジ１７（図１参照）と接続される４つのインク供給孔２３が形成されている。流路ユニット２０の内部には、４つのインク供給孔２３にそれぞれ接続された４本のマニホールド２４が形成されている。４本のマニホールド２４には、４つのインクカートリッジ１７の４色のインクがそれぞれ供給される。また、４本のマニホールド２４は、それぞれ搬送方向に延在している。
【００３５】
また、流路ユニット２０は、最下層のプレート３７に形成された複数のノズル２５と、最上層のプレート３１に形成された複数の圧力室２６を有する。図２に示すように、流路ユニット２０の下面（図３の紙面向こう側の面）において、複数のノズル２５は搬送方向に沿って配列され、４本のマニホールド２４にそれぞれ対応した４列のノズル列を構成している。各圧力室２６は、走査方向に長い、略矩形の平面形状を有する孔である。
【００３６】
複数の圧力室２６は、流路ユニット２０の上面に沿って平面的に配置されている。流路ユニット２０の上面に接合される圧電アクチュエータ２１によって、複数の圧力室２６は上方から覆われている。また、複数の圧力室２６は、４本のマニホールド２４、及び、４列のノズル列に対応して、４列に配列されている。各圧力室２６は、対応するマニホールド２４と絞り流路２７を介して連通している。一方で、各圧力室２６は、対応するノズル２５と連通流路２８を介して連通している。以上より、図４に示すように、流路ユニット２０には、マニホールド２４から分岐して、絞り流路２７、圧力室２６、及び、連通流路２８を経てノズル２５に至る、個別インク流路が複数形成されている。
【００３７】
圧電アクチュエータ２１は、流路ユニット２０の上面に、複数の圧力室２６を覆うように接合されている。圧電アクチュエータ２１は、３枚の圧電層４１〜４３からなる圧電体４０と、複数の個別電極４４、第１共通電極４５、及び、第２共通電極４６を備えている。図６は、圧電体の３枚の圧電層のそれぞれについての上面図であり、（ａ）は最上層の圧電層、（ｂ）は中間層の圧電層、（ｃ）は最下層の圧電層をそれぞれ示す。尚、図６（ａ）〜（ｃ）には、ノズル２５及び圧力室２６と、個別電極４４、第１共通電極４５、及び、第２共通電極４６との位置関係がわかりやすくなるように、複数のノズル２５と複数の圧力室２６がそれぞれ破線で示されている。
【００３８】
圧電体４０を構成する３枚の圧電層４１〜４３は、それぞれ、チタン酸鉛とジルコン酸鉛との混晶であるチタン酸ジルコン酸鉛を主成分とする圧電材料からなる。圧電層４１〜４３は、互いに積層された状態で、複数の圧力室２６を覆うように流路ユニット２０の上面に平面的に配置されている。
【００３９】
図３〜図６に示すように、複数の個別電極４４は、最上層の圧電層４１の上面に配置されている。第１共通電極４５は、最上層の圧電層４１と中間層の圧電層４２との間に配置されている。第２共通電極４６は、中間層の圧電層４２と最下層の圧電層４３との間に配置されている。３種類の電極４４，４５，４６には、ＣＯＦ（Chip On Film）６３に実装されたドライバＩＣ６２（図２参照）によって所定の電位が印加される。
【００４０】
図２、図６（ａ）に示すように、複数の個別電極４４は、複数の圧力室２６に対応して搬送方向に沿って配列され、４列の個別電極列を構成している。図３、図４に示すように、各個別電極４４は、電極本体層５３と部分電極層５４の、２層の電極層からなる。
【００４１】
電極本体層５３は、ＡｇやＡｇ−Ｐｄ等の電極材料からなり、スクリーン印刷によって形成される。図３、図４、図６（ａ）に示すように、電極本体層５３は、主電極部５３ａと副電極部５３ｂとを有する。主電極部５３ａは、圧力室２６と同じく、走査方向に長い略矩形の平面形状を有し、対応する圧力室２６のほぼ全域と対向している。副電極部５３ｂは、圧電層４１の上面において、主電極部５３ａの長手方向一端部から、走査方向に沿って、圧力室２６と対向しない領域まで延びている。図３に示すように、副電極部５３ｂの、その延在方向（ここでは走査方向）と直交する方向の幅Ｗ２は、主電極部５３ａの幅Ｗ１よりもかなり小さくなっている。また、副電極部５３ｂの幅Ｗ２は、この副電極部５３ｂの延在方向の長さＬ２よりも小さい。具体的には、副電極部５３ｂの長さＬ２は、幅Ｗ２の２倍以上である。つまり、副電極部５３ｂは走査方向に細長く延びた形状を有する。
【００４２】
副電極部５３ｂの、主電極部５３ａとは反対側の端部には、金などの導電性材料からなるバンプ５７が設けられている。図４に示すように、このバンプ５７には、配線部材であるＣＯＦ６３が押し付けられて接合される。これにより、副電極部５３ｂは、バンプ５７を介して、ＣＯＦ６３に形成された配線と電気的に接続される。また、図３、図４に示すように、副電極部５３ｂの端部に設けられたバンプ５７は、圧力室２６と対向していない。そのため、ＣＯＦ６３をバンプ５７に強い力で押し付けながら、異方性導電性材料やハンダ等の導電性接合材で確実に接合することができ、ＣＯＦ６３とバンプ５７との間の接続信頼性が向上する。
【００４３】
部分電極層５４は、電極本体層５３と同じく、ＡｇやＡｇ−Ｐｄ等の電極材料からなり、スクリーン印刷で形成される。図４に示すように、部分電極層５４は、圧電層４１の上面と電極本体層５３の副電極部５３ｂとの間に介在している。また、図３に示すように、部分電極層５４は、副電極部５３ｂと同様に、走査方向に細長く延びた形状を有し、副電極部５３ｂのほぼ全域と重なるように形成されている。但し、部分電極層５４の長さＬｐは、副電極部５３ｂの長さＬ２よりも少し短く、且つ、部分電極層５４の幅Ｗｐは、副電極部５３ｂの幅Ｗ２よりも少し小さい。
【００４４】
また、図３に示すように、部分電極層５４は、副電極部５３ｂと重なる領域から、主電極部５３ａと副電極部５３ｂの接続部分５３ｃ（図３に二点鎖線の太線で示す）を跨いで、主電極部５３ａと重なる領域まで延びている。但し、部分電極層５４は、主電極部５３ａの、副電極部５３ｂに近接するほんの一部分に入り込んでいるに過ぎず、主電極部５３ａの、面積中心Ｃを含む中央部までは達していない。
【００４５】
図４、図５、図６（ｂ）に示すように、第１共通電極４５は、複数の圧力室２６にそれぞれ対応した複数の第１定電位電極部４５ａと、複数の第１定電位電極部４５ａを互いに導通させる第１接続部４５ｂを有する。各第１定電位電極部４５ａは矩形の平面形状を有し、対応する圧力室２６の、搬送方向における中央部と対向している。複数の第１定電位電極部４５ａも、個別電極４４と同様に、複数の圧力室２６に対応して４列に配列されている。後述するように、第１共通電極４５の電位は、ドライバＩＣ６２（図２参照）により、所定の駆動電位に維持される。
【００４６】
図４、図５、図６（ｃ）に示すように、第２共通電極４６は、複数の圧力室２６にそれぞれ対応した複数の第２定電位電極部４６ａと、複数の第２定電位電極部４６ａを互いに導通させる第２接続部４６ｂを有する。各第２定電位電極部４６ａはＵ字形の平面形状を有し、圧力室２６の搬送方向における両端部と対向している。複数の第２定電位電極部４６ａも、個別電極４４と同様に、複数の圧力室２６に対応して４列に配列されている。後述するように、第２共通電極４６の電位は、ドライバＩＣ６２（図２参照）により、グランド電位に維持される。
【００４７】
図５に示すように、圧力室２６のほぼ全域を覆う個別電極４４の主電極部５３ａは、搬送方向における中央部において、第１定電位電極部４５ａと対向する。つまり、最上層の圧電層４１の、圧力室２６の中央部と対向する部分が、個別電極４４と第１定電位電極部４５ａに挟まれている。以下、圧電層４１の、個別電極４４と第１定電位電極部４５ａに挟まれた上記部分を第１活性部Ｒ１と呼ぶ。第１活性部Ｒ１は、圧電体４０の厚み方向に分極されている。
【００４８】
また、個別電極４４の主電極部５３ａは、搬送方向における両端部において、第２定電位電極部４６ａと対向する。つまり、上側２枚の圧電層４１，４２の、圧力室２６の搬送方向両端部と対向する部分が、個別電極４４と第２定電位電極部４６ａに挟まれている。以下、圧電層４１，４２の、個別電極４４と第２定電位電極部４６ａに挟まれた上記部分を第２活性部Ｒ２と呼ぶ。第２活性部Ｒ２も、第１活性部Ｒ１と同様、圧電体４０の厚み方向に分極されている。
【００４９】
図２、図６（ａ）に示すように、最上層の圧電層４１の上面には、第１共通電極４５用の第１接続端子４７と、第２共通電極４６用の第２接続端子４８が設けられている。第１接続端子４７は、圧電層４１に形成された複数のスルーホール５０を介して第１共通電極４５の第１接続部４５ｂと導通している。第２接続端子４８は、圧電層４１に形成された複数のスルーホール５１、及び、圧電層４２に形成された複数のスルーホール５２を介して、第２共通電極４６の第２接続部４６ｂと導通している。
【００５０】
図２、図６（ａ）に示すように、最上層の圧電層４１の上面に配置された、複数の個別電極４４の副電極部５３ｂ、第１接続端子４７、及び、第２接続端子４８には、ＣＯＦ６３との接続のためのバンプ５７，５８，５９がそれぞれ設けられている。
【００５１】
上記の圧電アクチュエータは、ＣＯＦ６３を介して、プリンタ１の、図示しない制御基板と接続されている。より詳細には、ＣＯＦ６３は、図２、図４に示すように、圧電アクチュエータ２１を上方から覆うように配置され、異方性導電性材料やハンダなどの導電性接合材によって、複数のバンプ５７，５８，５９と接合される。これにより、圧電体４０の上面の複数の個別電極４４の副電極部５３ｂ、第１共通電極４５用の第１接続端子４７、及び、第２共通電極４６用の第２接続端子４８が、バンプ５７，５８，５９を介して、ＣＯＦ６３に形成された配線（図示省略）と電気的に接続される。
【００５２】
図２に示すように、ＣＯＦ６３にはドライバＩＣ６２が設けられている。ドライバＩＣ６２は、ＣＯＦ６３に形成された配線を介して、個別電極４４、第１共通電極４５、及び、第２共通電極４６と接続されている。ドライバＩＣ６２は、複数の個別電極４４のそれぞれに印加する電位を、所定の駆動電位とグランド電位との間で切り換える。また、ドライバＩＣ６２は、第１共通電極４５の電位を、常時、駆動電位に維持する一方で、第２共通電極４６の電位については、常時、グランド電位に維持する。
【００５３】
次に、ドライバＩＣ６２によって個別電極４４の電位が切り換えられたときの、圧電アクチュエータ２１の動作について、図５を参照して説明する。
【００５４】
個別電極４４の電位がグランド電位である状態では、個別電極４４と第１共通電極４５の第１定電位電極部４５ａとの間に電位差が生じて、第１活性部Ｒ１に、第１定電位電極部４５ａから個別電極４４に向かう、厚み方向の電界が作用する。このとき、第１活性部Ｒ１に作用する電界の方向と分極方向とが平行となることから、第１活性部Ｒ１が厚み方向に延びて面方向に収縮する。圧力室２６の中央部と対向する第１活性部Ｒ１の収縮により、圧電体４０が圧力室２６側に凸となるように撓んだ状態となる。尚、このとき、個別電極４４と第２共通電極４６の第２定電位電極部４６ａとの間には電位差が生じないことから、第２活性部Ｒ２には面方向の収縮は生じていない。
【００５５】
この状態から、個別電極４４の電位が駆動電位に切り換えられると、個別電極４４と第１定電位電極部４５ａとの間に電位差がなくなり、第１活性部Ｒ１の収縮が解消される。これにより、圧電体４０がほぼ平坦な状態となり、上記の個別電極４４に駆動電位が印加されている場合と比べて圧力室２６の容積が増加する。尚、個別電極４４と第２定電位電極部４６ａとの間においては逆に電位差が発生し、第２活性部Ｒ２には、個別電極４４から第２定電位電極部４６ａに向かう電界が作用する。この電界の方向は第２活性部Ｒ２の分極方向と平行となることから、第２活性部Ｒ２は面方向に収縮することになる。
【００５６】
このように、個別電極４４の電位を駆動電位とグランド電位との間で切り換えると、圧力室２６と対向する領域において圧電体４０が上下に変位するため圧力室２６の容積が変化する。この容積変化によって、圧力室２６内のインクに圧力（吐出エネルギー）が付与され、圧力室２６に連通するノズル２５からインクが吐出される。
【００５７】
また、個別電極４４の電位がグランド電位から駆動電位に切り換えられて、第１活性部Ｒ１の収縮が解消するときに、第２活性部Ｒ２は逆に面方向に収縮する。つまり、第１活性部Ｒ１の収縮解消による伸びと、第２活性部Ｒ２の収縮とが相殺される。逆に、個別電極４４の電位が駆動電位からグランド電位に切り換えられる場合では、第１活性部Ｒ１の収縮と、第２活性部Ｒ２の収縮解消による伸びとが相殺される。つまり、個別電極４４の電位が変化したときの、圧電体４０の、１つの圧力室２６を覆う部分全体で、面方向の収縮量の変化が小さく抑えられる。これにより、ある圧力室２６における圧電体４０の変形が、隣接する別の圧力室２６に伝わる現象、いわゆるクロストークが抑制される。
【００５８】
次に、上記のインクジェットヘッド４の製造方法について説明する。本実施形態では、流路ユニット２０と圧電アクチュエータ２１をそれぞれ別々に作製し、その後、両者を接合するという方法を採用する。
【００５９】
（流路ユニット製造工程）
複数枚のプレートが積層された構造を有する流路ユニット２０の作製については、従来から知られている技術であり、図４を参照して簡単に述べる。まず、流路ユニットを構成するプレート３１〜３７に、それぞれ、ノズル２５、圧力室２６、マニホールド２４等の流路部分となる孔をエッチングやレーザー加工等の公知の加工技術を用いて形成する。次に、プレート３１〜３７を互いに積層して熱硬化性接着剤等で接合することにより、流路ユニット２０を得る。
【００６０】
（アクチュエータ製造工程）
図７は、圧電アクチュエータの製造工程を説明する図である。まず、それぞれ圧電層４１，４２，４３となる３枚のグリーンシートを準備する。図７（ａ）に示すように、圧電層４１には、個別電極４４、第１接続端子４７、及び、第２接続端子４８（図６（ａ）参照）を含む導電パターンを形成する。図７（ｂ）に示すように、圧電層４２には、第１共通電極４５を形成する。図７（ｃ）に示すように、圧電層４３には、第２共通電極４６を形成する。これら３枚の圧電層４１〜４３への電極等の形成は、それぞれスクリーン印刷によって行う。尚、上記では、３枚の圧電層４１，４２，４３に３種類の電極４５、４６，４７をそれぞれ形成するとしているが、１枚の圧電層の両面、より具体的には、圧電層４１又は圧電層４２の何れか一方の両面に、２種類の電極を形成してもよい。例えば、圧電層４１の２つの面に、個別電極４４と第１共通電極４５をそれぞれ形成してもよい。圧電層４１〜４３への電極の形成が完了したら、図７（ｄ）に示すように、圧電層４１〜４３を積層してから、所定温度で所定時間加熱する。これにより、圧電層４１〜４３及び３種類の電極４４〜４６の焼成を同時に行う。
【００６１】
図７（ａ）に示す個別電極４４の形成工程について、さらに詳細に説明する。まず、未焼成のグリーンシートである圧電層４１の一表面に、ＡｇやＡｇ−Ｐｄ等の電極材料を用いて、スクリーン印刷により部分電極層５４を形成する。部分電極層５４は、次の工程で形成される電極本体層５３の、副電極部５３ｂが配置される領域に形成する。また、図３に示すように、部分電極層５４は、後で形成する副電極部５３ｂよりも長さが短く、且つ、幅も小さくなるように形成する。さらに、部分電極層５４は、電極本体層５３の主電極部５３ａと副電極部５３ｂの接続部分５３ｃが形成される位置（図７に二点鎖線Ｐ１で示す位置）を跨いで、図中左側の主電極部５３ａが形成される領域まで延びるように形成する。但し、部分電極層５４が、二点鎖線Ｐ１で示す位置を跨いで、主電極部５３ａのほんの一部分のみと重なるように、部分電極層５４の、主電極部５３ａの形成領域側へ延びる部分の長さは短くしておく。具体例を挙げると、図３において、部分電極層５４の接続部分５３ｃを超えて主電極部５３ａ側へ延びる部分の長さΔＬは、主電極部５３ａの長さＬ１の５％程度とする。
【００６２】
次に、圧電層の一表面に、ＡｇやＡｇ−Ｐｄ等の電極材料を用いて、電極本体層５３をスクリーン印刷で形成する。ここでは、電極本体層５３を、副電極部５３ｂが部分電極層５４に重なり、且つ、主電極部５３ａと副電極部５３ｂの接続部分５３ｃが二点鎖線Ｐ１の位置にくるように形成する。また、副電極部５３ｂは、部分電極層５４よりも一回り大きく形成して、部分電極層５４を電極本体層５３で完全に覆う。図３に示すように、部分電極層５４の長さＬｐ及び幅Ｗｐは、それぞれ副電極部５３ｂの長さＬ２及び幅Ｗ２よりも小さいため、部分電極層５４と電極本体層５３の相対位置が少しずれたとしても、副電極部５３ｂから部分電極層５４がはみ出すことがない。また、先の工程で、部分電極層５４を、二点鎖線Ｐ１の位置を跨ぐように形成しているため、部分電極層５４は、主電極部５３ａと副電極部５３ｂの接続部分５３ｃを跨いで主電極部５３ａの一部分まで延びることになる。
【００６３】
尚、電極本体層５３と部分電極層５４は、同じ電極材料で形成してもよいし、異なる電極材料で形成してもよい。但し、２つの電極層５３，５４を同じ電極材料で形成する方が、材料を変えるための手間等が省けるため、個別電極４４の形成工程が簡単になる。また、電極本体層５３と部分電極層５４とが同じ材料で形成されていると、２つの層の密着性が良好であり、剥離が生じにくいという利点もある。
【００６４】
（接合工程）
流路ユニット２０と圧電アクチュエータ２１の作製が完了したら、圧電アクチュエータ２１を、流路ユニット２０の上面に熱硬化性接着剤を用いて貼り付ける。この接合後、圧電アクチュエータ２１の副電極部５３ｂの先端部に、バンプ５７（図４参照）をスクリーン印刷で形成する。そして、圧電アクチュエータ２１の複数のバンプ５７にＣＯＦ６３を押し付けながら、異方性導電性材料やハンダなどの導電性接合材によって、ＣＯＦ６３とバンプ５７とを接合して導通させる。
【００６５】
以上説明したように、本実施形態では、個別電極４４の形成工程において、電極本体層５３をスクリーン印刷で形成し、また、この電極本体層５３の副電極部５３ｂに重なるように、部分電極層５４を別のスクリーン印刷工程にて形成する。ここで、スクリーン印刷による電極形成では、印刷のかすれによって電極の一部欠損が生じる虞がある。しかしながら、仮に、各々の印刷工程で印刷のかすれが生じたとしても、２回の印刷工程で、全く同じ位置でかすれが生じる確率は低い。つまり、個別電極４４を２回の印刷工程で形成することで、１回目のスクリーン印刷でかすれが生じたとしても、２回目のスクリーン印刷で、１回目の印刷かすれによる欠損部分を補うことができる。従って、印刷のかすれが生じたとしても幅の小さい副電極部５３ｂに断線が生じにくくなり、副電極部５３ｂにおける導通信頼性が高まる。
【００６６】
尚、個別電極４４をＣＯＦ６３と接続するための、副電極部５３ｂの面積が大きいと、その分、個別電極４４全体の電極面積が大きくなる。従って、個別電極４４と第１共通電極４５とに挟まれる、第１活性部Ｒ１の静電容量が大きくなる。第１活性部Ｒ１の静電容量が大きくなると、第１活性部Ｒ１を変形させたときの発熱量が大きくなるし、電力消費が無駄に増えるという問題もある。しかし、副電極部５３ｂの面積を小さくするために、副電極部５３ｂの長さを短くすると、副電極部５３ｂにＣＯＦ６３を接合したときに、導電性接合材が主電極部５３ａに流れ出して第１活性部Ｒ１の変形を阻害する虞がある。そこで、本実施形態では、副電極部５３ｂが、その幅が長さよりも小さい細長い形状となっている。具体的には、副電極部５３ｂの長さＬ２が、幅Ｗ２の２倍以上である。このように、副電極部５３ｂの幅が小さくなっているが故に、主電極部５３ａと比べて、副電極部５３ｂにおいて断線が生じやすくなると言える。
【００６７】
また、本実施形態では、部分電極層５４の長さＬｐが副電極部５３ｂの長さＬ２よりも短く、且つ、部分電極層５４の幅Ｗｐが副電極部５３ｂの幅Ｗ２よりも小さくなるように、部分電極層５４を形成する。これにより、部分電極層５４の、副電極部５３ｂに対する位置が多少ずれても、部分電極層５４が電極本体層５３からはみださない。つまり、個別電極４４全体の電極面積が増加しないため、第１活性部Ｒ１の静電容量が大きくならない。
【００６８】
電極本体層５３と部分電極層５４との位置ズレは、主に、圧電体４０（圧電層４１〜４３）と印刷用スクリーン製版との間の位置ズレに起因する。また、圧電体４０と印刷用スクリーン製版との位置ズレの要因としては、製版の位置決めのためのマークを画像認識する際の誤差や、製版を何度も使用することによる製版自体の変形、あるいは、印刷時の液体の滲み等を挙げることができる。
【００６９】
主電極部５３ａと副電極部５３ｂの接続部分５３ｃでは、電極幅が急激に変化している。そのため、第１活性部Ｒ１及び第２活性部Ｒ２の収縮等によって力が作用したときに、接続部分５３ｃに応力が集中して破断する虞がある。また、以下のように、圧電層４１〜４３の焼成時にも、接続部分５３ｃにおいて破断する場合がある。図８は、焼成時における、主電極部と副電極部の接続部分の応力集中を説明する図である。説明の便宜上、図８では、個別電極４４の全領域を、その短手方向において、主電極部５３ａから副電極部５３ｂまで繋がった領域Ｘと、主電極部５３ａのみが形成されている領域Ｙとに分ける。ここで、圧電層４１〜４３及び電極４４〜４６の焼成時には、熱膨張係数の大きい金属材料を含む電極４４〜４６が大きく収縮する。このとき、領域Ｘと領域Ｙとで、図中左右方向における電極長さが異なることにより、領域Ｘと領域Ｙとの間で、左右方向における収縮量に差が出るため、領域Ｘと領域Ｙの境目に位置する、主電極部５３ａと副電極部５３ｂの接続部分５３ｃに応力が集中して破断する虞がある。
【００７０】
この点、本実施形態では、部分電極層５４を、副電極部５３ｂから上記接続部分５３ｃを跨いで主電極部５３ａの一部分まで延びるように形成するため、接続部分５３ｃにおける破断が生じにくくなる。一方で、部分電極層５４の、接続部分５３ｃを跨いで主電極部５３ａへ延びる部分の先端は、主電極部５３ａのほんの一部分に入り込んでいるだけであり、主電極部５３ａの中央部までは達していない。従って、部分電極層５４によって、活性部Ｒ１，Ｒ２の変形が阻害されにくい。
【００７１】
また、電極本体層５３に部分電極層５４を重ね合わせることにより、次のような効果も得られる。圧電層及び電極の焼成時に、圧電層と電極との間の熱膨張係数の違いによって、電極に挟まれる活性部には残留圧縮応力が生じる。この残留圧縮応力は活性部の圧電特性を低下させることが知られている。この点、本実施形態では、図３に示すように、副電極部５３ｂと重なる部分電極層５４の大部分は、圧力室２６の外側に位置している。つまり、部分電極層５４を設けることによって、圧力室２６の外側の領域における電極材料の量が増える。そのため、焼成時に、上記の圧力室２６の外側にある電極材料の収縮量が大きくなる。これにより、活性部Ｒ１、Ｒ２のうちの、圧力室２６と対向する部分に、外側から引っ張るような力が作用する。この作用により、活性部Ｒ１，Ｒ２の、圧力室２６と対向する部分の残留圧縮応力が低減され、圧電特性の低下が抑えられる。
【００７２】
尚、本実施形態の個別電極４４が、本発明の「第１電極」に相当する。本実施形態の第１共通電極４１及び第２共通電極４２が、本発明の「第２電極」に相当する。本実施形態の流路ユニット２０が、本発明の「流路構造体」に相当する。
【００７３】
次に、前記実施形態に種々の変更を加えた変更形態について説明する。但し、前記実施形態と同様の構成を有するものについては、同じ符号を付して適宜その説明を省略する。
【００７４】
１］前記実施形態では、圧電層４１の上面に部分電極層５４を形成してから、その上に電極本体層５３を形成していたが、図９に示すように、電極本体層５３を先に形成してから部分電極層５４を形成してもよい。つまり、電極本体層５３の副電極部５３ｂの上に、部分電極層５４が積層されてもよい。
【００７５】
２］副電極部５３ｂに重なる部分電極層５４の形状、形成位置等は、例えば、以下のように変更可能である。
【００７６】
幅の小さい副電極部５３ｂにおける断線の発生を確実に防止するには、部分電極層５４の、主電極部５３ａ側の端は少なくとも、主電極部５３ａと副電極部５３ｂとの接続部分５３ｃまで達していることが好ましい。この観点では、図１０（ａ）に示すように、部分電極層５４の、主電極部５３ａ側の先端が、前記接続部分５３ｃにちょうど位置するように、部分電極層５４を形成してもよい。
【００７７】
但し、スクリーン印刷によって電極本体層５３及び部分電極層５４を形成する際に、それぞれの層の位置がずれることがある。そのため、図１０（ａ）のように、部分電極層５４の先端位置が接続部分５３ｃの位置にくるように、部分電極層５４を形成しても、スクリーン印刷での位置ズレにより、実際に形成された部分電極層５４が接続部分５３ｃまで達しないこともあり得る。そこで、図１０（ｂ）に示すように、スクリーン印刷における位置ズレの許容公差をＡとしたときに、部分電極層５４の主電極部５３ａ側の先端が、接続部分５３ｃから許容公差Ａの２倍の距離だけ離れた位置にくるように、部分電極層５４を形成してもよい。
【００７８】
この場合、仮に、部分電極層５４がその正規の位置に対して図中左右方向の一方側にずれ、且つ、副電極部５３ｂがその正規の位置に対して左右方向の他方側にずれても、それぞれの位置ズレ量が共に、許容公差Ａの範囲内であれば、左右方向における、部分電極層５４の副電極部５３ｂに対する位置ズレ量は、２Ａ以下となる。つまり、部分電極層５４の先端が、接続部分５３ｃから２Ａの距離だけ離れた位置にあれば、部分電極層５４の先端位置が副電極部５３ｂ側にずれても、部分電極層５４が接続部分５３ｃまで必ず形成されることになり、副電極部５３ｂにおける断線が確実に防止される。また、逆に、部分電極層５４の先端位置が主電極部５３ａ側にずれた場合でも、部分電極層５４の、接続部分５３ｃを跨いで主電極部５３ａへ延びる部分の先端が、接続部分５３ｃから最大でも、前記の２Ａの２倍、即ち、許容公差Ａの４倍離れるだけである。従って、部分電極層５４によって、活性部の変形が阻害されにくい。
【００７９】
また、図１０（ｃ）に示すように、部分電極層５４を、副電極部５３ｂの、長手方向における途中部とのみ重なるように形成してもよい。この場合、部分電極層５４の主電極部５３ａ側の端が、接続部分５３ｃまで達していない。また、図示は省略するが、部分電極層５４の幅と長さの少なくとも一方が、副電極部５３ｂと比べて多少大きくてもよい。
【００８０】
３］前記実施形態の圧電アクチュエータは、個別電極４４と２種類の共通電極４５，４６を有するものであったが、本発明の適用対象は、上記構成の圧電アクチュエータには限られない。例えば、図１１に示す圧電アクチュエータは、圧電層８１，８２と、圧電層８１を挟んで対向する個別電極８４と１種類の共通電極８５を有する。そして、個別電極８４が、主電極部９３ａと副電極部９３ｂとを有する電極本体層９３と、部分電極層９４の２層で構成されている。
【００８１】
以上説明した実施形態及びその変更形態は、本発明を、記録用紙にインクを吐出するインクジェットヘッドの圧電アクチュエータに適用したものであるが、液体吐出以外の用途に使用するアクチュエータにも本発明を適用することができる。
【符号の説明】
【００８２】
４  インクジェットヘッド
２０  流路ユニット
２１  圧電アクチュエータ
２５  ノズル
２６  圧力室
４１，４２，４３  圧電層
４４  個別電極
４５  第１共通電極
４６  第２共通電極
５３  電極本体層
５３ａ  主電極部
５３ｂ  副電極部
５３ｃ  接続部分
５４  部分電極層
８１，８２  圧電層
８４  個別電極
８５  共通電極
９３  電極本体層
９３ａ  主電極部
９３ｂ  副電極部
９４  部分電極層
【図１】
2014241316.tif 000003
【図２】
2014241316.tif 000004
【図３】
2014241316.tif 000005
【図４】
2014241316.tif 000006
【図５】
2014241316.tif 000007
【図６】
2014241316.tif 000008
【図７】
2014241316.tif 000009
【図８】
2014241316.tif 000010
【図９】
2014241316.tif 000011
【図１０】
2014241316.tif 000012
【図１１】
2014241316.tif 000013