(57)【要約】      （修正有）【課題】エネルギーロスの改善を図ることができるコーティング方法を提供する。【解決手段】コーティング方法は、被加工物１と放電加工用の回動電極１２との間に放電を発生させることにより発生した熱により放電加工用の回動電極１２の材料を被加工物１に移行堆積するコーティング方法であって、放電加工用の回動電極１２に正方向および逆方向の回転運動を交互に与える回動運動を行わせることにより、放電加工用の回動電極１２の材料を被加工物１に移行堆積するものである。【選択図】図２
2014128866.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物と放電加工用の回動電極との間に放電を発生させることにより発生した熱により前記放電加工用の回転電極の材料を前記被加工物に移行堆積するコーティング方法であって、
前記放電加工用の回動電極に正方向および逆方向の回転運動を交互に与える回動運動を行わせることにより、前記放電加工用の回動電極の材料を前記被加工物に移行堆積する
ことを特徴とするコーティング方法。
【請求項２】
回動電極の正方向の回転角と前記回動電極の逆方向の回転角を異ならせる
ことを特徴とする請求項１記載のコーティング方法。
【請求項３】
放電加工用の回動電極は、パルスモータにより回転し、
前記パルスモータを回転駆動源として、当該パルスモータに入力するパルス周波数お
よび正逆入力パルス数を設定することにより、電極のステップ応答速度および平均回転速
度を制御する
ことを特徴とする請求項１記載のコーティング方法。
【請求項４】
放電加工用の回動電極の正方向回転から逆方向回転の切換え時、又は、前記切換え時の前、又は、前記切換え時の後において、前記放電加工用の回動電極の放電電源を遮断するか、又は、被加工物の極性と放電加工用の回動電極の極性とを切替える
ことを特徴とする請求項１記載のコーティング方法。
【請求項５】
放電加工用を放電表面改質加工用としたことを特徴とする請求項１、請求項３、請求項４のいずれか１項に記載のコーティング方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、コーティング方法に係わり、特に、エネルギーロスの改善を図ることができ、良質の処理表面性を良好な作業性のもとに実施することができるコーティング方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、図１２及び図１３に示すように、被加工物１’と放電加工用（例えば、放電表面改質加工用）の回転電極１２’との間に放電を発生させることにより発生した熱により放電加工用（例えば、放電表面改質加工用）の回転電極１２’の材料を被加工物１’に移行堆積するコーティング方法がある。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、上記コーティング方法にあっては、放電加工用（例えば、放電表面改質加工用）の回転電極１２’の一方向のみの回転の場合、図１３に示すように、回転電極１２’の電極外周全てが高温領域になるため、エネルギーロスが生じるという問題点が生じた。
【０００４】
本発明は、上記の問題点を考慮してなされたもので、エネルギーロスの改善および改
質面性状の向上を図ることができるコーティング方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
請求項１記載のコーティング方法は、被加工物と放電加工用の回動電極との間に放電を発生させることにより発生した熱により前記放電加工用の回転電極の材料を前記被加工物に移行堆積するコーティング方法であって、前記放電加工用の回動電極に正方向および逆方向の回転運動を交互に与える回動運動を行わせることにより、前記放電加工用の回動電極の材料を前記被加工物に移行堆積するものである。
【０００６】
また、請求項２記載のコーティング方法は、請求項１記載のコーティング方法におい
て、回動電極の正方向の回転角と前記回動電極の逆方向の回転角を異ならせるものである
。
【０００７】
また、請求項３記載のコーティング方法は、請求項１記載のコーティング方法におい
て、放電加工用の回動電極は、パルスモータにより回転し、前記パルスモータを回転駆動源として、当該パルスモータに入力するパルス周波数および正逆入力パルス数を設定することにより、電極のステップ応答速度および平均回転速度を制御するものである。
【０００８】
また、請求項４記載のコーティング方法は、請求項１記載のコーティング方法におい
て、放電加工用の回動電極の正方向回転から逆方向回転の切換え時、又は、前記切換え時の前、又は、前記切換え時の後において、前記放電加工用の回動電極の放電電源を遮断するか、又は、被加工物の極性と放電加工用の回動電極の極性とを切替えるものである。
また、請求項５記載のコーティング方法は、請求項１、請求項３、請求項４のいずれか１項に記載のコーティング方法において、放電加工用を放電表面改質加工用としたものである。
【発明の効果】
【０００９】
請求項１記載のコーティング方法によれば、前記放電加工用の電極に正方向および逆方向の回転運動を交互に与える回動運動を行わせることにより、放電加工用の電極に対向する被加工物の加工面と向き合う電極の領域を限定することができ、つまり、放電加工用の回動電極の放電領域を制限して回動電極の表面の高温領域を従来の全周より狭くすることができ、エネルギーロスの改善を図ることができる。
【００１０】
また、請求項２記載のコーティング方法によれば、請求項１記載の発明の効果に加え
、回動電極の正方向の回転角と前記回動電極の逆方向の回転角を異ならせる、例えば、放
電加工用の回動電極の回転運動を交互に与える回動運動正方向回転角および逆方向回転角
を独立に制御し、両回転角の差に相当する回転角で放電加工用の回動電極全体が平均として一方向に回転して、被加工物と放電加工用の回動電極とが相対移動をするため、熟練をそれ程要しないでも、平坦化したコーティング層を形成することができる。
【００１１】
また、請求項３記載のコーティング方法によれば、請求項１記載の発明の効果に加え
、パルスモータを回転駆動源として、当該パルスモータに入力するパルス周波数および正
逆入力パルス数を設定することにより、電極のステップ応答速度および平均回転速度を制
御することにより、被加工物のコーティング層のニーズに対応する最適条件を選択するこ
とができる。
【００１２】
また、請求項４記載のコーティング方法によれば、請求項１記載の発明の効果に加え
、被加工物の極性と放電加工用の回動電極の極性とを切替える、あるいは放電電源を遮断することにより、堆積と除去を制御することができる。つまり、被加工物（−）、放電加工用の回動電極（＋）の場合、放電加工用の回動電極の材料を被加工物に移行堆積させ、逆に、被加工物（＋）、放電加工用の回動電極（−）の場合、あるいは電流値を下げるか放電電源を遮断した場合、被加工物上の移行堆積物を除去・平滑化し、コーティング層の微調整をすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】図１は、本発明の一実施例のコーティング方法を示す概略的図である。
【図２】図２は、図１の回動電極の概略的断面図である。
【図３】図３は、図１の回動電極の動作を示す概略的図である。
【図４】図４は、図１の回動電極を駆動するための概略的ブロック図である。
【図５】図５は、図１の回動電極の回転角度の概略的図で、横軸は時間、縦軸は角度  を示し、（ｂ）は図５の一部を拡大した概略的一部拡大図で、（ｃ）は図５の（ｂ）を拡大した概略的一部拡大図である。
【図６】図６は、図１の回動電極の回転振動の概略的図である。
【図７】図７は、図１の回動電極の回動幅（加熱領域）の概略的図である。
【図８】図８は、図１の回動電極の回動の速度及び移動の速度を示す概略的図である。
【図９】図９の左側は従来のコーティング方法によるコーティング（肉盛り）状態を、図９の右側は本発明の一実施例のコーティング方法によるコーティング（肉盛り）状態を、それぞれ示している。
【図１０】図１０は、従来のコーティング方法によるコーティング（肉盛り）表面のＳＥＭ像である。
【図１１】図１１は、本発明の一実施例のコーティング方法によるコーティング（肉盛り）表面のＳＥＭ像である。
【図１２】図１２は、従来のコーティング方法を示す概略的図である。
【図１３】図１３は、図１２の回転電極の概略的断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
本発明の一実施例のコーティング方法を図面（図１〜図１１）を参照して説明する。
本発明の一実施例のコーティング方法は、コンデンサ放電やトランジスタ放電電源を
用いた気中放電加工法によって電極材料を被加工物表面に移行堆積する表面処理法に関す
る分野である。
本発明の一実施例のコーティング方法を説明する前に、放電表面処理加工の現状と問
題点を挙げれば、パルスアーク放電を用いた表面改質加工においては、放電点近傍の電極
材料を溶融し、対向する被加工面に移行堆積する現象を利用している。
このため、多量の電極材料を溶融する必要があり、気中放電の場合には、極間のエネ
ルギー配分の違いを利用して通常は電極側を正極として負極側に移行させる。
また、電極材料の見かけの融点および熱伝導率を低下させる目的で当該材料の粉末か
らなる圧粉体あるいは仮焼結体が用いられる場合もある。これらいずれの場合も放電点近
傍の温度上昇を早めて融点あるいは沸点に近い状態に至らしめる効果が大きい。
しかし、所望とする電極材料を上記のような圧粉体や仮焼結体として常に提供できる
とは限らない。
一方、直流アーク放電のような連続過熱方式を用いるならば、電極全体が急速に加熱
され容易に高温状態に至るが、放電点が固定されるために全体として温度の制御は不能に
なる。
したがって通常は放電の集中を防ぐために、パルス放電が用いられ、しかも電極を回
転させる。この場合の制御変数は放電パルス幅と放電電流値、放電休止時間および電極回
転速度（表面速度）である。
しかし、タングステンやモリブデンなどの高融点材料を電極材料とした場合は上記の
変数を実用の範囲内で変化させて最適条件を求めたとしても加工速度と表面粗さとを同時
に制御することは困難であり、極めて高い熟練を要する。
気中放電堆積加工を行う場合は、予め電極先端部を数百度以上に加熱し、しかも、常
にこの高温状態を維持することが必要である。このことは作業者に、さらに熟練を強いる
こととなり、また、直径数mm程度以上の電極を用いた場合、明らかにエネルギーの無駄遣いである。
なぜならば、放電改質加工の場合は必要とする高温部は放電点近傍の限られた領域で
十分であるからである。
しかも、回転電極を加工物表面上で走査して皮膜処理を行おうとすると加工初期に生
じた小さな凹凸が成長し一様な加工物表面を得ることが難しくなる。このことは電極先端
部の周方向全域にわたって高温になっているために、電極の回転に伴って常に被加工物側
の突起部近傍に、放電が集中する傾向があるためである。
【００１５】
本実施例のコーティング方法は、放電加工用（例えば、放電表面改質加工用）の回動電極１２を往復回転（回動）させる機構を採用する。
しかも、放電加工用（例えば、放電表面改質加工用）の回動電極１２の回転の往路と復路の回転角（回動電極１２の回転の往路と復路の回転角は、同じでも良いが、望ましくは、回動電極１２の正方向の回転角と回動電極１２の逆方向の回転角を異ならせるのが良い。）を独立に設定することにより、電極は平均としていずれか一方向に回転する機構とする。
【００１６】
この機能を実現するために、放電加工用（例えば、放電表面改質加工用）の回動電極１２の駆動源は、例えば、ステッピングモータ３であり、ステッピングモータ３は、往路と復路とに与えるパルス数を制御する。この機構をデジタル回転回動と称する。
【００１７】
回動電極１２と被加工物（ワーク）１との実質的な対向面は回動角度振幅と電極半径
との積に対応し、加熱領域はこの範囲に限定される。この領域が往復振幅の差（＝（正方
向回転角と負方向回転角の差）に比例して回転移動する。
これにより被加工物（ワーク）１の表面に対向する電極表面領域を任意に限定し所望
の温度状態に保つことが容易になる。しかも、回動電極１２表面の低温領域に回転移動す
ることにより、被加工物（ワーク）１の高温突起部位を電極の高硬度部位によって擦過し
、したがって平坦化することが可能になる。
上記回転回動において正方向回転から負方向回転に切り替わる時点においては、回動
電極１２の回転は停止する。回転方向が切替わる前後の時間において放電条件を変更し、
この間の放電集中などの異常放電を回避する。あるいは正方向または負方向の回転におい
て放電電気条件を変更することにより堆積と除去とを制御する。このように加工電気条件
の切換えを回転角パルス制御と同期して実行できる点が本発明の特徴である。
すなわち、本実施例のコーティング方法は電極材料の溶融移行堆積と、同一電極によ
る平坦化効果とを同時に実現制御するものである。左官による壁塗り作業のイメージに近
い。
【００１８】
図１において、１０は、放電加工に用いるデジタルアプリケータ先端の工具本体であ
る。工具本体１０は、シールドパイプ１１内に回動電極１２を有し、回動電極１２と被加
工物（ワーク）２にプラズマアークを発生させ、被加工物（ワーク）１に対して回動電極
１２の電極材料を堆積またはコーティングする。
このコーティング方法は、被加工物１と放電加工用（例えば、放電表面改質加工用）の回動電極１２との間に放電を発生させることにより発生した熱により放電加工用（例えば、放電表面改質加工用）の回転電極１２の材料を被加工物１に移行堆積するものである。なお、放電加工用（例えば、放電表面改質加工用）の回動電極１２の先端が被加工物１に接触しながら回転するため、回動電極１２の先端が被加工物１から離間する毎に、回動電極１２の先端から−側の被加工物１と＋側の回動電極１２との間に放電が生じ、該放電の熱により、回転電極１２の材料が溶融し、被加工物１に移行堆積していく。
【００１９】
図１において、回動電極１２とは、アプリケータに把持された棒状工具である。また
、電極材料は，ニッケル合金などの表面改質用材料、タングステンカーバイトなどのコー
ティング用の高硬度材料等である。
また，シールドガスは同軸シールドパイプ１１を通してアプリケータ本体（図示せず
）から噴射している（例えば，アルゴンガスである。）。
回動電極１２の回動幅に応じた領域に被加工物（ワーク）１間にプラズマアークが発
生する箇所の事である。また、被加工物（ワーク）１の表面層下側には拡散層２が形成さ
れている。
【００２０】
図１２及び図１３に示す従来の回転電極１２’の正回転のみによるコーティング方法
では，回転電極１２’外周全てが高温領域になる（図１３参照）。このため、コーティン
グのための条件を高く設定する必要がある。
一方、図１及び図２に示す本実施例の回動電極１２を用いるコーディング方法では、
高温領域を小さくすることが可能となり、コーティング条件を低く設定することができる
（図２参照）。
【００２１】
回動電極１２における回動とは、電極が正・負方向に回転振動することである。回転
回動は、正・負方向の回転角度が同じでも良いが、望ましくは、回転回動は、正・負方向
の回転角度が異なっており、正・負方向の回転角度の差によって回動中心が回転すること
である（図３参照）。例えば、正方向の回転角度３０°、負方向の回転角度２９°とした
場合、その差１°が一回の回動によって負方向へ移動することとなる。
【００２２】
回動電極１２の回転回動運動の概念は、図５に示すように、横軸に時間、縦軸に角度
をとり、その角度差を表したものである。図５において、正回転が右肩上がりで、負回転
が左肩下がりである。この時，入力角を拡大すると、図５（b）に示したようになる。ま
た、回動中心は右肩上がりに上昇する。これは，回動の中心が移動していることである。
なお、図５におけるFｍｖ回動振動数(Hz)は、Fｍｖ＝ ｆ/（nｒ ＋ nｌ）で示される。
ｆはステッピングモータ３の駆動（パルス）周波数で、例えば、５kHzである。また、  nｒ は、回動電極１２の負方向の回転数（ｒｐｍ）であり、nｌは、回動電極１２の正方向の回転数（ｒｐｍ）である。
【００２３】
回動電極１２の正回転・負回転の差によって回動電極１２の回動中心が移動（回転）
する。例えば、図６に示すように、ステッピングモータ３の正方向のパルスを９９パルス
、ステッピングモータ３の負方向のパルスを１００パルスとすれば、回動電極１２の１回
動で１パルス進むこととなる。
また、図５（ｂ）のステップ入力の周波数をfとし、回動電極１２の半径をr、回動電極１２の1回転あたりのパルス数をnとした場合，正負方向の回転周速度vは，
【数１】
2014128866.tif 000003
・・・・・・・・（１）
となる。
【００２４】
一方，回動電極１２の回転回動における、加熱領域とは、正・負方向へ回転させた領
域のことであり，正のパルス数nｒ≒負のパルス数nｌとし、
【数２】
2014128866.tif 000004
・・・・・・・・・（２）
となる。
【００２５】
加熱領域とは、回動電極１２と被加工物（ワーク）１が接触する領域であり、温度が
上昇する領域である。また，デジタルアプリケータの電極の回動幅である（図７参照）。
【００２６】
一方、回動電極１２を回転回動させた場合の回動電極１２の正方向をnｌ、回動電極
１２の負方向をnｒとした場合、平均回転数はFａｖ(rpm)、
【数３】
2014128866.tif 000005
・・・・・・（３）
となる。回動振動数は，
【数４】
2014128866.tif 000006
・・・・・・（４）
となる。（図８参照）
【００２７】
次に、デジタルアプリケータを用いたコーティング・肉盛について、同一条件で、従
来の回動電極１２’の正方向の回転と本実施例の回動電極１２の回転回動の比較を行った
場合、コーティング・肉盛の様子を図９に示す。図９の左側が従来の回動電極１２’の正
回転のみの結果、右側が本実施例の回動電極１２の回転回動［正方向に１００パルス、負
方向に９９パルス、一回の往復によって加工される円弧長は、２．５mm（全周１２．５mm）］を用いた結果である。                                              
また、この時の放電条件は、電源電圧100V、コンデンサ容量100μF、電極直径φ3.2、振動周波数10kHz、アルゴンガス雰囲気中である。また、回動電極１２（回動電極１２’）の電極棒（直径４mm 1200rpm）にNi合金、被加工物（ワーク）１にSUS304を用いた。
回動電極１２（回動電極１２’）の１回転回動の正方向、負方向のパルス数は、100パル
ス，99パルスである。
【００２８】
本実施例のコーティング方法の利点について、列記すれば、
１、操作性
コーティング・肉盛の際にできた筋などを容易に補正ができる。これは、回動電極
１２の一方向のみの回転では、電極工具の回動電極１２が被加工物（ワーク）１に接
触した時に、弾かれてしまうためである。回動電極１２の回転回動は肉盛りを塗って
いるといったイメージである。
熟練を要しなくても容易に肉盛りが可能となる。また、回動電極１２の回転回動の
方が特定箇所への肉盛りが容易である。
２、面性状
表面の状態を比較した結果、本実施例の回動電極１２の回転回動の方が従来の回動
電極１２’の正方向のみの回転に比べて凹凸が小さく、面性状が良い（図９参照）。
３、研磨後の面性状
コーティング・肉盛後の表面を研磨し、堆積したNiの状態を観察した。肉盛り状      態に関して巣の多さ・大きさなどを評価する。回動電極１２’の正方向のみの表面      は，巣の大きさも大きく、また、放電痕の形に沿って巣の形成がみられた（図１０      参照）。
一方、本実施例の回動電極１２の回転回動の表面は、従来の回動電極１２’の正方
向のみの表面に比べて巣が小さい（図１０及び図１１参照）。また，巣の数も少なく
観察された（図１０及び図１１参照）。
【００２９】
本実施例のコーティング方法は、上述したように、被加工物１と放電加工用（例えば、放電表面改質加工用）の回動電極１２との間に放電を発生させることにより発生した熱により放電加工用（例えば、放電表面改質加工用）の回転電極１２の材料を被加工物１に移行堆積するコーティング方法であって、放電加工用（例えば、放電表面改質加工用）の回動電極１２に正方向および逆方向の回転運動を交互に与える回動運動を行わせることにより、放電加工用（例えば、放電表面改質加工用）の回動電極１２の材料を被加工物１に移行堆積するものである。
このコーティング方法によれば、放電加工用（例えば、放電表面改質加工用）の電極１２に正方向および逆方向の回転運動を交互に与える回動運動を行わせることにより、放電加工用（例えば、放電表面改質加工用）の電極１２に対向する被加工物１の加工面と向き合う電極１２の領域を限定することができ、つまり、放電加工用（例えば、放電表面改質加工用）の回動電極１２の放電領域を制限して回動電極１２の表面の高温領域を従来の全周より狭くすることができ、エネルギーロスの改善を図ることができる。
【００３０】
また、回動電極１２の正方向の回転角と回動電極１２の逆方向の回転角を異ならせる
、例えば、放電加工用（例えば、放電表面改質加工用）の回動電極１２の回転運動を交互に与える回動運動正方向回転角および逆方向回転角を独立に制御し、両回転角の差に相当する回転角で放電加工用（例えば、放電表面改質加工用）の回動電極１２全体が平均として一方向に回転して、被加工物１と放電加工用（例えば、放電表面改質加工用）の回動電極１２とが相対移動をするため、熟練を必要としなくとも、平坦化したコーティング層４を形成することができる。
【００３１】
また、被加工物１の極性と放電加工用（例えば、放電表面改質加工用）の回動電極１２の極性とを切替えることにより、堆積と除去を行うことができる。つまり、被加工物１（−）、放電加工用（例えば、放電表面改質加工用）の回動電極１２（＋）の場合、放電加工用（例えば、放電表面改質加工用）の回動電極１２の材料を被加工物１に移行堆積させ、逆に、被加工物１（＋）、放電加工用（例えば、放電表面改質加工用）の回動電極１２（−）の場合、被加工物１に移行堆積させしたものを放電加工用（例えば、放電表面改質加工用）の回動電極１２の側へ移行させ、コーティング層４の微調整をすることができる。
【００３２】
これは、例えば、図４に示すブロック図に記載されたもので、実施することができる
。１００は給電回路、１０１は、回動電極１の極と被加工物（ワーク）１の極に印加する
電圧の極性を反転させる極性反転回路、１０２は、モータ３を制御するモータ制御手段、
１０３は出力電圧手段である。
即ち、回動電極１２の極と被加工物（ワーク）１の極の間には、出力電圧手段１０３
により高電圧が印加されている。
極性反転制御手段１０１は、放電加工用（例えば、放電表面改質加工用）の回動電極１２の正方向回転から逆方向回転の切換えを検知し、極性反転手段１０１により、回動電極１２の極と被加工物（ワーク）１の極に印加する電圧の極性を反転させる。
つまり、回動電極１２の極が＋、被加工物（ワーク）の極が−で、放電表面改質加工用の回動電極１２が正方向回転から逆方向回転に切り替わると、回動電極１２の極が−、被加工物（ワーク）１の極が＋へと反転することとなる。
回動電極１２は、モータ制御手段１０２により、コントロールされたモータ３（望ま
しくは、ステッピングモータ）の回転方向、回転速度によって制御されるようになってい
る。
なお、上述した実施例においては、放電加工用（例えば、放電表面改質加工用）の回動電極１２の正方向回転から逆方向回転の切換え時に被加工物１の極性と放電加工用（例えば、放電表面改質加工用）の回動電極１２の極性とを切替えるようにしたが、
本願発明にあっては、これに限らず、前記切換え時の前、又は、前記切換え時の後に
おいて、放電加工用（例えば、放電表面改質加工用）の回動電極１２の放電電源を遮断するか、又は、被加工物１の極性と放電加工用（例えば、放電表面改質加工用）の回動電極１２の極性とを切替えるようにしても良い。
【００３３】
また、パルスモータ３を回転駆動源として、当該パルスモータに入力するパルス周波
数および正逆入力パルス数を設定することにより、（１）式の従う電極の回動速度および
（3）式に従う平均回転速度を制御する。また特に微細加工においては１ステップ角毎の
ステップ応答速度が放電分散をもたらし精細加工に寄与する。
このコーティング方法によれば、パルスモータを回転駆動源として、当該パルスモー
タに入力するパルス周波数および正逆入力パルス数を設定することにより、電極のステッ
プ応答速度、回動速度および平均回転速度を制御し、これによって被加工物に対するコー
ティング層のさまざまなニーズに対応することができる。
なお、一般にパルス放電加工では、極短時間の放電が概ね周期的に発生する。この入熱は個々の放電による加工効果と周辺領域への拡散効果との和になる。拡散効果は多数の放電によって重畳蓄積される。
すなわち、放電点近傍の温度はパルス放電によって急激に上昇して融点を超えるに至り溶融離脱し加工効果となる。これにより当該点の温度は低下に転ずる。一方、入力エネルギーの一部は熱伝導によって周囲に拡散しその温度を上昇させる。
従来の一方向回転の場合は、放電点は電極の回転に伴って電極表面を移動するので拡散域の冷却が速い。
これに対して回動電極の場合は、加工物表面との対向面が狭いために拡散域が狭まり熱はこの狭い領域に限定される。したがって当該域表面は個々の放電入熱の拡散が重畳した結果他の領域に比べて高温を保ち、個々の放電によって容易に溶融に至る。他の領域は低温度故に表面硬度を維持し、回転回動によって擦過効果をもたらす。
【符号の説明】
【００３４】
１      被加工物
１２    回動電極 
【図４】
2014128866.tif 000007
【図１】
2014128866.tif 000008
【図２】
2014128866.tif 000009
【図３】
2014128866.tif 000010
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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