(57)【要約】【課題】  損失の増加を抑制可能な光学部品を提供する。【解決手段】  光スプリッタ１００においては、光導波路回路１５が形成された導波路チップ１０と、その光導波路回路１５に光学的に結合される光ファイバ２５を保持するファイバアレイ２０とが、傾斜したチップ端面１０ａと端面２０ａとを接着剤Ａにより接着することにより、互いに接着固定されている。特に、光スプリッタ１００においては、導波路チップ１０が、光導波回路１５が形成された回路基板１３と、回路基板１３上に配置されたリッド１７と、回路基板１３とリッド１７との間に配置された接着剤層１９とを有しており、チップ端面１０ａの傾斜が、回路基板１３からリッド１７に向かう方向に沿って回路基板１３及びリッド１７の寸法が小さくなるように設定されている。このような光スプリッタ１００によれば、損失の増加を抑制することができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光導波回路が形成された回路基板、前記回路基板上に配置されたリッド、及び、前記回路基板と前記リッドとの間に配置され前記回路基板と前記リッドとを互いに接着する接着剤層を有する導波路チップと、
前記光導波回路に光学的に接続された光ファイバを保持する保持部材と、を備え、
前記導波路チップは、前記回路基板及び前記リッドの寸法を規定するチップ端面を有し、
前記保持部材は、前記チップ端面に略平行に対向する部材端面を有し、
前記導波路チップと前記保持部材とは、前記チップ端面と前記部材端面とを接着剤により互いに接着することによって互いに固定されており、
前記チップ端面は、前記回路基板から前記リッドに向かう方向に沿って前記回路基板及び前記リッドの寸法が小さくなるように傾斜している、
ことを特徴とする光学部品。
【請求項２】
前記回路基板と前記リッドとは、互いに同一の材料から構成されている、ことを特徴とする請求項１に記載の光学部品。
【請求項３】
前記回路基板及び前記リッドを構成する材料は、ガラスである、ことを特徴とする請求項２に記載の光学部品。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光導波回路が形成された導波路チップと、光ファイバを保持する保持部材とを備える光学部品に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、光方向性結合器が記載されている。特許文献１に記載の光方向性結合器は、基板上のクラッド層中に光導波回路としてのコアを形成してなる基板構造と、その基板構造上に配置されたカバーとしてのリッドとを有している。基板構造とリッドとは、接着剤を用いずに互いに接合されている。また、特許文献１には、光ファイバを保持するコネクタが記載されている。これらの光方向性結合器とコネクタとは、接着剤等を用いて互いに光学的に連結されると共に機械的に固定されている。
【０００３】
一方、特許文献２には、基板上の下部クラッド層、及び、光導波路が形成され下部クラッド層上に配置されたコア層を備える光導波路半製品チップと、光ファイバを保持する光ファイバアレイとを備える光部品が記載されている。特許文献２に記載の光部品においては、光導波路半製品チップと光ファイバアレイとは、紫外線硬化樹脂によって互いに接着されている。特に、この光学部品においては、光導波路半製品チップと光ファイバアレイとの接着面が傾斜させられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−２９５０１９号公報
【特許文献２】特開平９−５５６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、例えば特許文献１に記載されているような光学部品においても、光方向性結合器といった導波路チップの光導波路回路と、コネクタといった保持部材の光ファイバとの光学的な結合を良好にするために、例えば特許文献２に記載されているように、それらの接着面を光軸に対して傾斜させることが好ましいと考えられる。しかながら、そのように傾斜させた接着面を介して導波路チップと保持部材とを互いに接着した光学部品においては、接着剤の硬化時の収縮に起因して、傾斜した接着面に沿って互いの位置ずれが生じる場合がある。そのような場合には、導波路チップの光導波回路と保持部材の光ファイバとの間の光軸ずれが大きくなり、損失が増加する。
【０００６】
本発明は、そのような事情に鑑みてなされたものであり、損失の増加を抑制可能な光学部品を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明に係る光学部品は、光導波回路が形成された回路基板、回路基板上に配置されたリッド、及び、回路基板とリッドとの間に配置され回路基板とリッドとを互いに接着する接着剤層を有する導波路チップと、光導波回路に光学的に接続された光ファイバを保持する保持部材と、を備え、導波路チップは、回路基板及びリッドの寸法を規定するチップ端面を有し、保持部材は、チップ端面に略平行に対向する部材端面を有し、導波路チップと保持部材とは、チップ端面と部材端面とを接着剤により互いに接着することによって互いに固定されており、チップ端面は、回路基板からリッドに向かう方向に沿って回路基板及びリッドの寸法が小さくなるように傾斜している、ことを特徴とする。
【０００８】
この光学部品においては、光導波路回路が形成された導波路チップと、その光導波路回路に光学的に結合される光ファイバを保持する保持部材とが、傾斜したチップ端面と部材端面とを接着剤により接着することにより、互いに接着固定されている。特に、この光学部品においては、導波路チップが、光導波回路が形成された回路基板と、回路基板上に配置されたリッドと、回路基板とリッドとの間に配置された接着剤層とを有しており、チップ端面の傾斜が、回路基板からリッドに向かう方向（以下では仮に「上」方向と称する）に沿って回路基板及びリッドの寸法が小さくなるように設定されている。このような光学部品によれば、損失の増加を抑制することができる。本発明者らの知見によれば、この損失の増加の抑制は、以下のような理由により得られるものと考えられる。
【０００９】
すなわち、まず、この光学部品においては、導波路チップと保持部材とが、傾斜した接着面（チップ端面及び部材端面）を介して接着剤により固定されるので、その接着剤の硬化時の収縮に起因して、導波路チップと保持部材とに接着面に沿った位置ずれが生じる。ここで、導波路チップと保持部材との接着面の傾斜は、上方向に沿って回路基板及びリッドの寸法が小さくなるように設定されている。したがって、この接着剤の収縮に起因して生じる位置ずれは、導波路チップが接着面に沿って上側に移動すると共に、保持部材がその反対側に移動することにより生じる。つまり、導波路チップの光導波回路の光軸は、保持部材の光ファイバの光軸に対して、相対的に上側にずれることとなる。
【００１０】
これに対して、この光学部品においては、光導波回路が形成された回路基板の上に接着剤層が配置され、その上にさらにリッドが配置されている。したがって、回路基板の上の接着剤層が吸湿等の要因により膨張することによって、回路基板が下側に押し下げられることになる。この回路基板の下側への移動により、光導波路回路の光軸も相対的に下側にずれることとなる。このため、導波路チップと保持部材との間の接着剤の収縮に起因した光軸ずれが相殺される。その結果、この光学部品によれば、損失の増加を抑制することが可能となる。
【００１１】
本発明に係る光学部品においては、回路基板とリッドとは、互いに同一の材料から構成されているものとすることができる。このように、回路基板とリッドとを同一の材料から構成すれば、光軸ずれの挙動が接着剤層の配置に依存するため、損失の増加の抑制を好適に実現することが可能となる。
【００１２】
本発明に係る光学部品においては、回路基板及びリッドを構成する材料は、ガラスであるものとすることができる。このように、回路基板及びリッドを、光ファイバのコア等と同一のガラスから構成すれば、光導波回路の光軸と光ファイバの光軸とが温度変化に対して同一の挙動を示すことになる。したがって、例えば温度変化等に起因した光軸ずれが抑制される。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、損失の増加を抑制可能な光学部品を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の光学部品の一実施形態としての光スプリッタの構成を示す側面図である。
【図２】図１に示された領域Ｒの拡大図である。
【図３】図１に示された光スプリッタの比較例を示す拡大図である。
【図４】図１に示された光スプリッタの比較例を示す拡大図である。
【図５】図１に示された光スプリッタの比較例を示す拡大図である。
【図６】図１に示された領域Ｒの拡大図である。
【図７】図１に示された領域Ｒの拡大図である。
【図８】図１に示された光スプリッタの変形例を示す側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の光学部品の一実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、図面の説明において、同一の要素同士、或いは、相当する要素同士には、互いに同一の符号を付し、重複する説明を省略する。また、各図における寸法比率等は、実際のものとは異なる場合がある。
【００１６】
図１は、本発明の光学部品の一実施形態としての光スプリッタの構成を示す側面図である。図２には、図１に示された領域Ｒの拡大図である。なお、以下の図面においては、直交座標系Ｓが示されている。図１，２に示されるように、光スプリッタ１００は、光導波回路１５が形成された導波路チップ１０と、光導波回路１５に光学的に接続された光ファイバ２５を保持するファイバアレイ（保持部材）２０と、光導波回路１５に光学的に接続された光ファイバ３５を保持するファイバアレイ（保持部材）３０とを備えている。
【００１７】
光スプリッタ１００は、ファイバアレイ２０の光ファイバ２５から入力された光を、導波路チップ１０の光導波回路１５によって分岐しつつ導波して、ファイバアレイ３０の光ファイバ３５から出力する。したがって、ファイバアレイ２０、導波路チップ１０、及び、ファイバアレイ３０は、導波路チップ１０を伝搬する光の方向（ｘ軸方向）に沿ってこの順に配列されている。
【００１８】
導波路チップ１０は、光導波回路１５が形成された回路基板１３と、回路基板１３上に配置されたリッド１７と、回路基板１３とリッド１７との間に配置され回路基板１３とリッド１７とを互いに接着する接着剤層１９とを有している。回路基板１３、接着剤層１９、及び、リッド１７は、光導波回路１５の光軸Ａ１５に交差（直交）する方向（ｚ軸方向）に沿って順に積層されている。
【００１９】
回路基板１３は、断面（側面視）略台形の板状を呈している。回路基板１３は、光導波回路１５の光軸Ａ１５に沿った方向（ｘ軸方向）についての寸法を規定する一対の端面１３ａ，１３ｂを有している。リッド１７は、断面（側面視）略台形の板状を呈している。リッド１７は、光導波回路１５の光軸Ａ１５に沿った方向についての寸法を規定する一対の端面１７ａ，１７ｂを有している。
【００２０】
回路基板１３の端面１３ａとリッド１７の端面１７ａとは、互いに連続するように形成されており、導波路チップ１０のチップ端面１０ａを構成している。また、回路基板１３の端面１３ｂとリッド１７の端面１７ｂとは、互いに連続するように形成されており、導波路チップ１０のチップ端面１０ｂを構成している。つまり、導波路チップ１０は、光導波回路１５の光軸Ａ１５に沿った方向についての回路基板１３及びリッド１７の寸法を規定する一対のチップ端面１０ａ，１０ｂを有している。
【００２１】
ここで、光導波回路１５は、通常、一方の端面、例えば１３ａ側に入力端を有し、他方の端面１３ｂ側に出力端を有し、そこで光導波回路１５と光ファイバ２５，３５それぞれが光学的に接続される。この接続境界面での反射戻り光抑制のため、回路基板１３の端面１３ａ，１３ｂについては、光軸Ａ１５に垂直な面に対して約８度傾けて形成される。後述する部材端面２０ａ，３０ａについても同様であり、チップ端面１０ａ，１０ｂも回路基板１３の端面１３ａ，１３ｂと連続であることから同様である。
【００２２】
導波路チップ１０のチップ端面１０ａは、光導波回路１５の光軸Ａ１５に対して傾斜している。より具体的には、チップ端面１０ａは、導波路チップ１０における回路基板１３からリッド１７に向かう方向（ｚ軸正方向：以下、この方向を仮に「上」方向と称する場合がある）に沿って、光導波回路１５の光軸Ａ１５に沿った方向についての回路基板１３及びリッド１７の寸法が小さくなるように傾斜している。
【００２３】
また、導波路チップ１０のチップ端面１０ｂも、光導波回路１５の光軸Ａ１５に対して傾斜している。より具体的には、チップ端面１０ｂも、回路基板１３からリッド１７に向かう方向に沿って、光導波回路１５の光軸Ａ１５に沿った方向についての回路基板１３及びリッド１７の寸法が小さくなるように傾斜している。
【００２４】
したがって、導波路チップ１０は、側面視において、リッド１７の上面を上底とし回路基板１３の下面を下底とした台形状を呈している。また、導波路チップ１０のチップ端面１０ａとチップ端面１０ｂとは、その台形状が上方向に狭まるようなハの字状を成している。このため、導波路チップ１０においては、その台形状が狭まる方向に沿って、回路基板１３（光導波回路１５）、接着剤層１９及びリッド１７の順に配置されることとなる。
【００２５】
回路基板１３及びリッド１７は、例えば、互いに同一の材料から構成されている。回路基板１３及びリッド１７を構成する材料としては、例えば、ガラス、シリコン、セラミック、及び樹脂等を用いることができる。特に、回路基板１３及びリッド１７を、光ファイバ２５，３５のコア等と同一のガラスから構成すれば、光導波回路１５の光軸Ａ１５と光ファイバ２５，３５の光軸Ａ２５，Ａ３５とが温度変化に対して同一の挙動を示すことになる。したがって、例えば温度変化等に起因した光軸ずれが抑制される。また、回路基板１３及びリッド１７を構成する材料としてシリコンを用いれば、加工が容易となりコストを低減することができる。
【００２６】
ファイバアレイ２０は、光ファイバ２５が配置されるＶ溝が形成されたＶ溝基板２１と、Ｖ溝基板２１上に配置された蓋部材２３とを有しており、Ｖ溝基板２１と蓋部材２３とによって光ファイバ２５を挟持して保持している。ファイバアレイ２０は、入力側の光ファイバとして、例えば１芯の光ファイバ２５を保持している。
【００２７】
ファイバアレイ２０は、光ファイバ２５の光軸２５Ａに対して傾斜した端面（部材端面）２０ａを有している。端面２０ａは、導波路チップ１０のチップ端面１０ａに略平行となるようにチップ端面１０ａに対向している。導波路チップ１０とファイバアレイ２０とは、チップ端面１０ａと端面２０ａとを接着剤Ａにより接着することにより、互いに接着固定されている。その状態において、導波路チップ１０の光導波回路１５の光軸Ａ１５と、ファイバアレイ２０の光ファイバ２５の光軸Ａ２５とは、略一致している。
【００２８】
ファイバアレイ３０は、光ファイバ３５が配置されるＶ溝が形成されたＶ溝基板３１と、Ｖ溝基板３１上に配置された蓋部材３３とを有しており、Ｖ溝基板３１と蓋部材３３とによって光ファイバ３５を挟持して保持している。ファイバアレイ３０は、出力側の光ファイバとして、例えば８芯の光ファイバ３５を保持している。
【００２９】
ファイバアレイ３０は、光ファイバ３５の光軸Ａ３５に対して傾斜した端面（部材端面）３０ｂを有している。端面３０ｂは、導波路チップ１０のチップ端面１０ｂに略平行となるようにチップ端面１０ｂに対向している。導波路チップ１０とファイバアレイ３０とは、チップ端面１０ｂと端面３０ｂとを接着剤Ｂにより接着することにより、互いに接着固定されている。その状態において、導波路チップ１０の光導波回路１５の光軸Ａ１５と、ファイバアレイ３０の光ファイバ３５の光軸Ａ３５とは、略一致している。
【００３０】
なお、回路基板１３からリッド１７に向かう方向についての接着剤層１９の厚さＴ１９は、導波路チップ１０のチップ端面１０ａ及びファイバアレイ２０端面２０ａの法線方向についての接着剤Ａの厚さＴＡの２倍から１０倍程度である（接着剤Ｂについても同様である）。また、接着剤層１９の材料と接着剤Ａ，Ｂの材料とは、互いに同一であってもよいし、互いに異なっていてもよい。
【００３１】
このようにして構成される光スプリッタ１００によれば、挿入損失の増加を抑制することができる。以下では、光スプリッタ１００が挿入損失の増加を抑制することができる理由について、本発明者らの見解を説明する。図３は、比較例に係る光スプリッタの拡大図である。図３は、図１の領域Ｒに相当する領域の拡大図である。
【００３２】
図３に示される比較例の光スプリッタは、導波路チップ１０に代えて導波路チップ５０を備えている点で光スプリッタ１００と相違している。導波路チップ５０は、導波路チップ１０と同様に、回路基板１３、リッド１７、及び接着剤層１９を有しているが、その位置関係、或いは、チップ端面の傾斜の態様が導波路チップ１０と異なる。
【００３３】
導波路チップ５０においては、そのチップ端面５０ａ（端面１３ａ，１７ａ）が、リッド１７から回路基板１３に向かう方向に沿って回路基板１３及びリッド１７の寸法が小さくなるように傾斜している。換言すれば、導波路チップ５０においては、その台形状の狭まる方向（上方向：ｚ軸正方向）に沿って、リッド１７、接着剤層１９、及び、回路基板１３の順に配置されている（つまり、回路基板１３（光導波回路１５）の下に接着剤層１９及びリッド１７が配置されている）。
【００３４】
このような比較例の光スプリッタにおいては、導波路チップ５０とファイバアレイ２０とを接着固定するために、導波路チップ５０のチップ端面５０ａとファイバアレイ２０の端面２０ａとの間に接着剤Ａを配置して硬化させる。そのとき、接着剤Ａの収縮に起因して、導波路チップ５０及びファイバアレイ２０には、それぞれ、互いの接着面（チップ端面５０ａ及び端面２０ａ）の法線方向Ｄに沿った方向の力Ｆ５０及び力Ｆ２０が生じる。
【００３５】
導波路チップ５０に生じる力Ｆ５０は、上方向（ｚ軸正方向）の成分を有しており、ファイバアレイ２０に生じる力Ｆ２０は、下方向（ｚ軸負方向）の成分を有している。このため、接着剤Ａの硬化・収縮に伴い、導波路チップ５０は接着面に沿って上側に移動し、ファイバアレイ２０は接着面に沿って下側に移動することとなる。このため、図４に示されるように、導波路チップ５０の光導波回路１５の光軸Ａ１５が、ファイバアレイ２０の光ファイバ２５の光軸Ａ２５に対して相対的に上側にずれることにより、光軸Ａ１５と光軸Ａ２５との間に光軸ずれＧが生じる。
【００３６】
さらに、この比較例に係る光スプリッタにおいては、例えば、その劣化時に接着剤層１９が吸湿して（特に図４の矢印Ｈ方向に）膨張することにより、図５に示されるように、接着剤層１９の上側にある光導波回路１５（回路基板１３）が上側に移動させられる。このため、この比較例に係る光スプリッタにおいては、接着剤Ａの硬化・収縮時に生じた光軸ずれＧが、接着剤層１９の膨張によりさらに拡大する。
【００３７】
これに対して、本実施形態に係る光スプリッタ１００においては、図６に示されるように、導波路チップ１０とファイバアレイ２０とを接着固定するために、導波路チップ１０のチップ端面１０ａと端面２０ａとの間の接着剤Ａを硬化させたときに、接着剤Ａの収縮に起因して、導波路チップ１０及びファイバアレイ２０に対して、それぞれ、互いの接着面（チップ端面１０ａ及び端面２０ａ）の法線方向Ｄに沿った方向の力Ｆ１０及び力Ｆ２０が生じる。
【００３８】
したがって、光スプリッタ１００においても、図７に示されるように、接着剤Ａの硬化・収縮に伴い、導波路チップ１０が接着面に沿って上側に移動し、ファイバアレイ２０が接着面に沿って下側に移動するおそれがある。そのような場合には、導波路チップ１０の光導波回路１５の光軸Ａ１５が、ファイバアレイ２０の光ファイバ２５の光軸Ａ２５に対して相対的に上側にずれることにより、光軸Ａ１５と光軸Ａ２５との間に光軸ずれＧが生じるおそれがある。
【００３９】
しかしながら、そのような光軸ずれＧが生じた場合であっても、光スプリッタ１００においては、例えば、その劣化時に接着剤層１９が吸湿して（特に図７の矢印Ｈ方向に）膨張することにより、接着剤層１９の下側にある光導波回路１５（回路基板１３）が下側に移動させられる。このため、光スプリッタ１００においては、接着剤Ａ（及び接着剤Ｂ）の硬化・収縮時に生じた光軸ずれＧが、接着剤層１９の膨張により相殺されて減少する。本実施形態に係る光スプリッタ１００によれば、以上のような理由により、挿入損失の増加を抑制可能であると考えられる。
【００４０】
実際に、上記比較例に係る光スプリッタと本実施形態に係る光スプリッタ１００とを加速劣化試験により比較した結果、次のような結果が得られた。なお、ここでは、加速劣化試験として、（８５℃／８５％ＲＨ）の高温高湿試験２０００時間に相当するプレッシャークッカー試験（ＰＣＴ：Pressure  Cooker  Test）を行った。
【００４１】
その結果、比較例に係る光スプリッタにおいては最大損失増加量が約０．４［ｄＢ］であったのに対して、本実施形態に係る光スプリッタ１００においては最大損失増加量が約０．１［ｄＢ］であった。この結果からも、本実施形態に係る光スプリッタ１００によれば、挿入損失の増加を抑制可能であることがわかる。
【００４２】
以上の実施形態は、本発明に係る光学部品の一実施形態について説明したものである。したがって、本発明に係る光学部品は、上述した光スプリッタ１００に限定されるものではない。本発明に係る光学部品は、各請求項の要旨を変更しない範囲において、上述した光スプリッタ１００を任意に変更し、或いは、他のものに適用することができる。
【００４３】
例えば、本発明に係る光学部品は、図８の（ａ）に示される光スプリッタ１００Ａに適用することができる。光スプリッタ１００Ａは、上記実施形態の光スプリッタ１００に対して、ファイバアレイ２０に代えてキャピラリ（保持部材）２０Ａを備えている点で相違している。キャピラリ２０Ａは、光ファイバ２５を貫通孔に挿通した状態で保持している。
【００４４】
また、キャピラリ２０Ａは、ファイバアレイ２０と同様に、導波路チップ１０のチップ端面１０ａに略平行となるようにチップ端面１０ａに対向する端面（部材端面）２０ａを有しており、その端面２０ａと導波路チップ１０のチップ端面１０ａとを接着剤Ａによって互いに接着することにより、導波路チップ１０に固定されている。
【００４５】
このように、本発明に係る光学部品は、ファイバアレイ２０に代えて光ファイバ２５を保持すると共に、傾斜した接着面を介して導波路チップ１０に接着固定され得る任意の保持部材を備えるものに適用することができる。
【００４６】
さらに、本発明に係る光学部品は、図８の（ｂ）に示される光スプリッタ１００Ｂに適用することができる。光スプリッタ１００Ｂは、光スプリッタ１００と比較して、回路基板１３及びリッド１７の位置関係と、チップ端面１０ａ，１０ｂの傾斜方向とが異なっている。ただし、光スプリッタ１００Ｂにおいても、回路基板１３（光導波回路１５）及びリッド１７の位置関係とチップ端面１０ａ，１０ｂの傾斜方向との関係は光スプリッタ１００と同様である。
【００４７】
つまり、光スプリッタ１００Ｂにおいては、上方向（ｚ軸正方向）に向かってリッド１７、接着剤層１９、及び回路基板１３が順に配置されると共に、導波路チップ１０のチップ端面１０ａ，１０ｂが、上側に向けて広がる逆ハの字となるように傾斜している。したがって、光スプリッタ１００Ｂにおいても、チップ端面１０ａ，１０ｂは、回路基板１３からリッド１７に向かう方向に沿って回路基板１３及びリッド１７の寸法が小さくなるように傾斜している。
【００４８】
このように、本発明に係る光学部品は、光導波回路１５が形成された回路基板１３と、接着剤層１９を介して回路基板１３に接着されるリッド１７との位置関係と、導波路チップ１０のチップ端面１０ａ，１０ｂの傾斜方向とが上述した関係を満たす任意のものに適用することができる。
【００４９】
なお、光スプリッタ１００Ｂにおいても、ファイバアレイ２０に代えてキャピラリ２０Ａを用いることができる。
【符号の説明】
【００５０】
１０…導波路チップ、１０ａ，１０ｂ…チップ端面、１３…回路基板、１５…光導波回路、１７…リッド、１９…接着剤層、２０，３０…ファイバアレイ（保持部材）、２０Ａ…キャピラリ（保持部材）、２０ａ，３０ａ…端面（部材端面）、２５，３５…光ファイバ、１００，１００Ａ，１００Ｂ…光スプリッタ（光学部品）。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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