(57)【要約】【課題】  外部ハレーション照明によるハレーション実体顕微鏡【解決手段】  実体顕微鏡に装着できるハレーション照明により、実体顕微鏡倍率１０倍のハレーション像が双眼で観察可能になった、ハレーション実体顕微鏡。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
実体顕微鏡で外部照明によるハレーション像（正反射像）が観察出来る照明の構成方法である。
【請求項２】
外部ハレーション照明を用いた実体顕微鏡。
【請求項３】
請求項１および請求項２に、落射照明及び透過照明を兼ね備えたハレーション実体顕微鏡。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、実体顕微鏡の外部にハレーション照明を用いたハレーション実体顕微鏡に関するものである。
【背景技術】
【０００２】  ハレーション像（正反射像）で立体観察される顕微鏡は同軸落射照明によるものでハレーション立体顕微鏡であるが、次のような欠点がある。
鏡体内に、光源とハーフミラーが内蔵されているのでこれらによる接眼方向へのリーク光が画像を悪くする要因になっている。  もう一つは、ハレーション視野が対物レンズ径で照明幅が制限され視野が広がらないのである。【０００３】  図１の、従来の同軸落射照明リークの光路説明図を用いて説明をする。
光源１の照明Ａを鏡筒内のハーフミラー（半透鏡）１１で直角に反射しＡ１は被写体３を照射するが、照射光Ａがハーフミラー１１で分割され５０％Ａ１が被写体へ、５０％Ｒが直進し鏡筒壁を照射する。これは鏡筒壁の吸収材で吸収されるが１００％取り除くことはできずその残光Ｒａはハーフミラー１１を反射し、反射したＲｂは接眼レンズ６へと進み像に明かりが被る照明のリーク現象が起きる。
もう一つは、被写体を照らすＡ１は被写体３を反射し、反射したＡ２はハーフミラーで５０％はＡ２ａとして消滅し５０％はハーフミラー１１を透過し
光線Ａ３は画像を得る。
結局画像はコントラストの少ない画像を観ることになる。  ハーフミラー等による被写体像の反射によるロスは０％にすることは出来ないのが実情である。【０００４】  ハレーション像の視野であるが、図２の、従来の、同軸落斜照明の最大視野の光路図で説明する。  光源１よりの光束はハーフミラー１１を反射し対物レンズ４を通過し光線Ａ１は被写体３を反射する。  光線Ａ２は画像光線として対物レンズ４に進む。この場合、被写体を照射するＡ１は、最大視野範囲であり、正反射の範囲は対物レンズ径の約１／２になる。  これがハレーション視野の限界となり広視野を得られにくいのが理解できる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】  特許公開２００２−４０３３１
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】  解決しようとする問題点は、鏡筒内の照明のリークをなくすことと、ハレーション像視野の拡大の点である。  本発明により実体顕微鏡のようにロスのないハレーション画像で、液晶等薄膜透明膜（ＩＴＯ）の形成像等を立体で観る実体顕微鏡にするのが課題である。
【課題を解決するための手段】
【０００８】  本発明は、これらの問題を解決するためにハレーション照明を鏡筒外に設置することで解決することにある。【０００９】  鏡体は、ハレーション照明を装着可能な既存品の実体顕微鏡を用いる。
外部設置のハレーション照明は製作する。
【発明の効果】
【００１０】  本発明により、鏡筒内の照明リークはなくなり、且つ、ハレーション視野も広くなり鮮明な像を得ることができた。目的の、透明膜ＩＴＯの状態が把握でき、従来では上下位置の判断が認識不確実性であったが一目瞭然位置認識できるようになった。
キズ、クラック、欠け、打痕、歪み、汚れ、塵等と層間の認知等、ハレーション像（正反射像）を実体顕微鏡で観察できる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】  従来の、同軸落射照明リークの光路説明図である。
【図２】  従来の、同軸落斜照明の最大視野の光路図である。
【図３】  本発明に用いた、顕微鏡光軸へ接近させて照射する４５度屈折式照明の光路図である。
【図４】  本発明のハレーション実体顕微鏡のＸ方向の光路図である。（正立プリズムは省略する）
【図５】  本発明のハレーション実体顕微鏡のＹ方向の光路図である。（正立プリズムは省略する）
【図６】  ハレーション照明斜視図である。
【図７】  本発明のハレーション実体顕微鏡の側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】  先ず、照明の仕様は、ハレーション視野はＸ面（横方向）２０ｍｍの広視野とし、Ｙ面（奥行き方向）は５ｍｍ程度（広くするとハレーション効果が悪くなる）。
外部照明でハレーションを得るには鏡筒軸を傾ける必要があるので最小角で何度にするかは上記の観察エリアから約５度の傾斜とする。
実体顕微鏡はズーム式の既存品を調達し一部改造する。  ハレーション照明は広視野を製作する。
照明については、光源は汎用品のパワーＬＥＤとする。
【００１３】  次に本発明の実施するための形態の一例を、図３〜図６について説明する。
【００１４】  図３は顕微鏡光軸に再接近させて被写体に向けて垂直の照射照明が必要でその照明の光路図である。  光源１より照射したａｂｃは４５度傾斜した屈折ガラス２を通過しａ２、ｂ２、ｃ２のａ、ｂ、ｃに平行な光束が得られる。
図３の屈折ガラス２は、屈折率１．５８で  長さ／厚さ＝４／１で入射角と照射角が平行になる。
実体顕微鏡の構造により図３の照明を用いるので光路は次の様になる。
【００１５】  図４と図５は、ハレーション照明の光路図であり正立プリズムは省略する。  この図のＸａとＹａが被写体のハレーション視野になる。  図４では、Ｘ方向の光路図でＸａのハレーション視野２０ｍｍを得るには光源１の長さが６０ｍｍ必要になる。
図４の光源１から光線Ｂは屈折ガラスを通過し、通過したＢ１光線は、矢印の後ろ端を正反射しＢ２が対物レンズ４Ｌで５Ｌの矢印の後ろ端を結像する。
屈折ガラスを通過した光線Ｅ１は、矢印の先端を正反射し、光線Ｅ２は対物レンズ４Ｌで５Ｌの矢印の先端を結像する。  同様に光線Ｃは５Ｒの矢印の先端を結像し、光線Ｄ１は、５Ｒの矢印の後ろ端を結像する。  然るに５Ｌと５Ｒの像は各別な角度で捉えた像で、接眼レンズ６Ｌと６Ｒで左右の瞳７Ｌと７ＲでＸ方向の立体像になる。
図５は、Ｙ方向を示す光路図で、光線ｂ２は、矢印の後ろ端を正反射し対物レンズ４で５の矢印の後ろ端を結像する。  同様に光線ｃ２は、矢印の先端を正反射し対物レンズ４で５の矢印の先端を結像する。  同様に左右の結像により瞳７でＹ方向の立体像になる。
【実施例】
【００１６】  図６〜図７は、ハレーション実体顕微鏡実施例の説明図です。
図６は、ハレーション照明８の斜視図であり内容は図３で説明したもので屈折ガラス２の長さ４０ｍｍにし、厚みは１０ｍｍとし幅は５６ｍｍとする。
光源の長さ７０ｍｍとしパワーＬＥＤを一列に整列したものである。
図７は、実体顕微鏡にハレーション照明を装着した側面図である。
実体顕微鏡は、鏡筒軸を傾斜するため鏡筒を支える垂直ポールの取付座に５度傾斜のスペーサー９を使用し顕微鏡全体を傾斜する。
照明８は、照射光の反射が顕微鏡光軸に一致する角度に設置しなければならない、即ち顕微鏡のフォーカス点に照明の光束が照らしその正反射光が顕微鏡の光軸へ進行する角度とその位置に合わせる必要がある。  この調整は、照明の取り付けネジ１０で締め付け位置と角度を合わせて固定する。
然るに、被写体に対する照射角θａと正反射して顕微鏡光軸へ向かう反射角θｂは等しくする（θａ＝θｂ）のが条件である。
【産業上の利用可能性】
【００１７】  本発明のハレーション実体顕微鏡は、従来観られなかった鮮明な画像で立体ハレーション像観察ができ、これに落射照明、透過照明を付加することで学術、科学、工業、産業用に幅広く利用される顕微鏡として貢献できる。
【符号の説明】
【００１８】１    光源
２    屈折ガラス（４５度）
２ｉｎ  屈折ガラスの入射面
２ｏｔ  屈折ガラスの照射面
３    被写体（矢印で示す）
４    対物レンズ
４Ｌ  左の対物レンズ
４Ｒ  右の対物レンズ
５    結像（矢印で示す）
５Ｌ  左の結像
５Ｒ  右の結像
６    接眼レンズ
６Ｌ  左の接眼レンズ
６Ｒ  右の接眼レンズ
７    瞳
７Ｌ  左の瞳
７Ｒ  右の瞳
８    ハレーション照明
９    ５度傾斜スペーサー
１０  照明固定ネジ
１１  半透鏡（ハーフミラー）
Ａ    光源から放射した光線
Ａ１  半透鏡を反射した光線
Ａ２  被写体を反射した光線
Ａ３  半透鏡を直接透過した光線
Ｒ    半透鏡を直接透過した光線
Ｒａ  鏡筒壁からの残光線
Ｒｂ  残光線が半透鏡を反射した光線
Ｂ    光源から放射した光線
Ｃ    光源から放射した光線
Ｂ１  屈折ガラスから照射した光線
Ｃ１  屈折ガラスから照射した光線
Ｄ１  屈折ガラスから照射した光線
Ｅ１  屈折ガラスから照射した光線
Ｂ２  被写体を反射した光線
Ｃ２  被写体を反射した光線
Ｄ２  被写体を反射した光線
Ｅ２  被写体を反射した光線
ａ    光源から放射した光線
ｂ    光源から放射した光線
ｃ    光源から放射した光線
ａ１  屈折ガラス内の光線
ｂ２  屈折ガラスから照射した光線
ｃ２  屈折ガラスから照射した光線
ｃ３  被写体を反射した光線
θａ  被写体の垂直線を中心にした入射角
θｂ  被写体の垂直線を中心にした反射角
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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