(57)【要約】【課題】コスト増加を抑えつつコンタクトの基板のパッド等に対する接触圧及び基板の反りへの追従性を十分に確保することのできるコネクタを提供すること。【解決手段】コネクタ１０は、ベース部材１００と、ベース部材１００の上下に突出するコンタクト２００とを備えている。ベース部材１００に設けられた開口部１１０は、コンタクト２００のピッチ方向と斜交する方向に延びている。コンタクト２００は、弾性支持体２２０と、弾性支持体２２０の上に貼り付けられたコンタクトフィルム２６０とを備えており、コンタクトフィルム２６０は、開口部１３０に面している。これにより、コンタクトフィルム２００の展開長をコンタクト２００のピッチ方向のサイズよりも大きくすることができ、且つ上下方向の接続対象物のパッド等のバラつきに対応することができる。【選択図】図１
2014007110.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１水平方向に複数の行を有し且つ第２水平方向に複数の列を有するマトリクス状に配置された複数のコンタクトと、前記複数のコンタクトを保持するベース部材とを備えるコネクタであって、
前記ベース部材には、前記マトリクス状に配置されたコンタクト取付部と、前記コンタクト取付部に対応する複数の開口部とが形成されており、
前記開口部の夫々は、前記第１水平方向及び前記第２水平方向の双方と直交する垂直方向において前記ベース部材を貫通していると共に、前記第１水平方向及び前記第２水平方向により規定される水平面内において前記第１水平方向及び前記第２水平方向の双方と斜交する所定方向へ延びており、
前記複数のコンタクトの夫々は、弾性支持体とコンタクトフィルムとを備えており、
前記弾性支持体は、前記垂直方向の両端である上端及び下端と、前記上端と前記下端との間に設けられ前記開口部に面する取付面と、前記所定方向において前記取付面の背側に位置する背面とを有し、且つ、前記ベース部材の上方及び下方に突出するようにして前記コンタクト取付部に取り付けられており、
前記コンタクトフィルムは、絶縁フィルムと、前記絶縁フィルム上に形成される導体部とを備えており、
前記導体部は、前記絶縁フィルムを介して、対応する前記弾性支持体の前記上端上、前記取付面上及び前記下端上に亘るように設けられ、且つ前記開口部に面している、
コネクタ。
【請求項２】
請求項１に記載のコネクタであって、
前記弾性支持体の少なくとも前記取付面は、前記所定方向において凸状の曲面である、
コネクタ。
【請求項３】
請求項１又は請求項２のいずれかに記載のコネクタであって、
前記ベース部材には、前記コンタクト取付部の夫々に対応する背側開口部が形成されており、
前記弾性支持体の前記背面は、前記背側開口部に面している、
コネクタ。
【請求項４】
請求項３に記載のコネクタであって、
一の前記コンタクト取付部の前記背面側に位置する前記背面開口部は、他の前記コンタクト取付部に対応する前記開口部と一体である、
コネクタ。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４のいずれかに記載のコネクタであって、
前記ベース部材は、前記弾性支持体と比較して、剛性の高い材質からなる、
コネクタ。
【請求項６】
請求項５に記載のコネクタであって、
前記剛性の高い材質は、金属である、
コネクタ。
【請求項７】
請求項６に記載のコネクタであって、
前記ベース部材は、前記金属表面に絶縁コーティングを施してなる、
コネクタ。
【請求項８】
請求項１乃至請求項７のいずれかに記載のコネクタであって、
前記ベース部材は、前記第１方向に延びる２辺と前記第２方向に延びる２辺とで構成される略四角形状を有している、
コネクタ。
【請求項９】
請求項１乃至請求項８のいずれかに記載のコネクタであって、
前記導体部の展開長は、前記第１水平方向及び前記第２水平方向における前記コンタクト取付部のピッチよりも長い
コネクタ。
【請求項１０】
請求項１乃至請求項９のいずれかに記載のコネクタであって、
前記開口部の前記所定方向におけるサイズは、前記第１水平方向及び前記第２水平方向における前記コンタクト取付部のピッチよりも大きい
コネクタ。
【請求項１１】
請求項１乃至請求項１０のいずれかに記載のコネクタであって、
前記第１水平方向と前記第２水平方向とは直交しており、
前記所定方向は、前記前記第１水平方向及び前記第２水平方向の双方と４５度をなして
いる
コネクタ。
【請求項１２】
請求項１乃至請求項１１のいずれかに記載のコネクタであって、
前記水平面内において前記ベース部材の外周を囲うように設けられたフレームを更に備
えている
コネクタ。
【請求項１３】
請求項１２に記載のコネクタであって、
前記ベース部材は、前記水平面内において前記複数の開口部が形成されている領域を取り囲むように形成されている周辺部を有しており、
前記周辺部には、位置決め孔が形成されており、
前記フレームには、前記位置決め孔に挿入される位置決め突起が形成されている
コネクタ。
【請求項１４】
ベース部材に弾性母材を形成する弾性母材形成工程であって、
前記ベース部材には、第１水平方向に複数の行を有し且つ第２水平方向に複数の列を有するマトリクス状に配置されたコンタクト取付部と、前記コンタクト取付部に対応する複数の開口部とが形成されており、
前記開口部の夫々は、前記第１水平方向及び前記第２水平方向の双方と直交する垂直方向において前記ベース部材を貫通していると共に、前記第１水平方向及び前記第２水平方向により規定される水平面内において前記第１水平方向及び前記第２水平方向の双方と斜交する所定方向へ延びており、
前記弾性母材は、２以上の前記コンタクト取付部の夫々を包囲する弾性支持体と前記弾性支持体の間を連結する連結部とを有しており、
前記弾性支持体は、前記垂直方向の両端である上端及び下端と、前記上端と前記下端との間に設けられ前記開口部に面する取付面とを有する、
弾性母材形成工程と、
形成された前記連結部を除去する連結部除去工程と、
絶縁体からなる導体支持部と、前記導体支持部上に形成された導体部とを有するコンタクトフィルムを複数用意する用意工程と、
前記連結部の除去された前記弾性支持体の夫々に対して、前記コンタクトフィルムを前記導体部が前記開口部に面するように且つ前記導体部が前記弾性支持体の前記上端と前記取付面と前記下端とに亘るようにして貼り付けることによって、前記複数のコンタクトを形成するコンタクト成形工程と
を備える製造方法。
【発明の詳細な説明】
【背景技術】
【０００１】
本発明は、基板のパッド同士の接続やＬＧＡ（Land Grid Array）パッケージと基板との接続に用いられるコネクタに関する。
【０００２】
この種のコネクタとしては、例えば、特許文献１乃至特許文献３に開示されたものがある。
【０００３】
特許文献１及び特許文献２に開示されたコネクタは、図２８及び図２９に示されるように、シート状の絶縁基体１上に導電体２を形成し、導電体２を絶縁基体１と共に折り曲げることで構成されている。
【０００４】
特許文献３のコネクタは、図３０に示されるように、凸部４を有する絶縁性の弾性シート５にスルーホール７を形成し、凸部４上からスルーホール７内を通って反対側の凸部４’上に至るように導体６をめっき等により形成してコンタクト３を構成している。特許文献３のコネクタにおいては、凸部４からスルーホール７までの距離を長くすることで対応する導体６（傾斜接続部）の長さを長くしてＩＣとの接続時にコンタクト３が受ける応力を軽減するために、凸部４からスルーホール７までの直線は斜め４５度に延びている（特許文献３の００４２段落）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００９−３８１７１号公報
【特許文献２】特開２００２−５７４１６号公報
【特許文献３】特開２０１１−８６５９０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１記載のコネクタの場合、各コンタクト（端子）の高さは折り返せる導電体２の長さ（展開長）によって決まり、更に、その展開長はコンタクトピッチによって決まっている。従って、狭ピッチ化が進んでいくと、十分なコンタクト高さを得ることができなくなり、コンタクトの十分な接触圧と基板が反った場合への追従性が確保できなくなる可能性がある。
【０００７】
特許文献２のコネクタの場合、配線パターンに起因して、ＬＧＡパッケージのパッドのようにマトリクス状に配置されたパッドとの接続に適さないという問題がある。
【０００８】
特許文献３のコネクタは、工程が複雑でコストが高く、接続時に導体６のスルーホール７の出口付近に応力が集中し導体が破断する危険性があったり、また実現可能性が低いという問題がある。
【０００９】
そこで、本発明は、コスト増加を抑えつつコンタクトの基板のパッド等に対する接触圧を十分に確保することができ、嵌合寿命の長いコネクタを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明によれば、第１のコネクタであって、第１水平方向に複数の行を有し且つ第２水平方向に複数の列を有するマトリクス状に配置された複数のコンタクトと、前記複数のコンタクトを保持するベース部材とを備えるコネクタであって、
前記ベース部材には、前記マトリクス状に配置されたコンタクト取付部と、前記コンタクト取付部に対応する複数の開口部とが形成されており、
前記開口部の夫々は、前記第１水平方向及び前記第２水平方向の双方と直交する垂直方向において前記ベース部材を貫通していると共に、前記第１水平方向及び前記第２水平方向により規定される水平面内において前記第１水平方向及び前記第２水平方向の双方と斜交する所定方向へ延びており、
前記複数のコンタクトの夫々は、弾性支持体とコンタクトフィルムとを備えており、
前記弾性支持体は、前記垂直方向の両端である上端及び下端と、前記上端と前記下端との間に設けられ前記開口部に面する取付面と、前記所定方向において前記取付面の背側に位置する背面とを有し、且つ、前記ベース部材の上方及び下方に突出するようにして前記コンタクト取付部に取り付けられており、
前記コンタクトフィルムは、絶縁フィルムと、前記絶縁フィルム上に形成される導体部とを備えており、
前記導体部は、前記絶縁フィルムを介して、対応する前記弾性支持体の前記上端上、前記取付面上及び前記下端上に亘るように設けられ、且つ前記開口部に面している、
コネクタが得られる。
【００１１】
また、本発明によれば、第２のコネクタとして、第１のコネクタであって、
前記弾性支持体の少なくとも前記取付面は、前記所定方向において凸状の曲面である、
コネクタが得られる。
【００１２】
また、本発明によれば、第３のコネクタとして、第１又は第２のいずれかのコネクタであって、
前記ベース部材には、前記コンタクト取付部の夫々に対応する背側開口部が形成されており、
前記弾性支持体の前記背面は、前記背側開口部に面している、
コネクタが得られる。
【００１３】
また、本発明によれば、第４のコネクタとして、第３のコネクタであって、
一の前記コンタクト取付部の前記背面側に位置する前記背面開口部は、他の前記コンタクト取付部に対応する前記開口部と一体である、
コネクタが得られる。
【００１４】
また、本発明によれば、第５のコネクタとして、第１乃至第４のいずれかのコネクタであって、
前記ベース部材は、前記弾性支持体と比較して、剛性の高い材質からなる、
コネクタが得られる。
【００１５】
また、本発明によれば、第６のコネクタとして、第５のコネクタであって、
前記剛性の高い材質は、金属である、
コネクタが得られる。
【００１６】
また、本発明によれば、第７のコネクタとして、第６のコネクタであって、
前記ベース部材は、前記金属表面に絶縁コーティングを施してなる、
コネクタが得られる。
【００１７】
また、本発明によれば、第８のコネクタとして、第１乃至第７のいずかのコネクタであって、
前記ベース部材は、前記第１方向に延びる２辺と前記第２方向に延びる２辺とで構成される略四角形状を有している、
コネクタが得られる。
【００１８】
また、本発明によれば、第９のコネクタとして、第１乃至第８のいずれかのコネクタであって、
前記導体部の展開長は、前記第１水平方向及び前記第２水平方向における前記コンタクト取付部のピッチよりも長い
コネクタが得られる。
【００１９】
また、本発明によれば、第１０のコネクタとして、第１乃至第９のいずれかのコネクタであって、
前記開口部の前記所定方向におけるサイズは、前記第１水平方向及び前記第２水平方向における前記コンタクト取付部のピッチよりも大きい
コネクタが得られる。
【００２０】
また、本発明によれば、第１１のコネクタとして、第１乃至第１０のいずれかのコネクタであって、
前記第１水平方向と前記第２水平方向とは直交しており、
前記所定方向は、前記前記第１水平方向及び前記第２水平方向の双方と４５度をなして
いる
コネクタが得られる。
【００２１】
また、本発明によれば、第１２のコネクタとして、第１乃至第１１のいずれかのコネクタであって、
前記水平面内において前記ベース部材の外周を囲うように設けられたフレームを更に備
えている
コネクタが得られる。
【００２２】
また、本発明によれば、第１３のコネクタとして、第１２のコネクタであって、
前記ベース部材は、前記水平面内において前記複数の開口部が形成されている領域を取り囲むように形成されている周辺部を有しており、
前記周辺部には、位置決め孔が形成されており、
前記フレームには、前記位置決め孔に挿入される位置決め突起が形成されている
コネクタが得られる。
【００２３】
また、本発明によれば、ベース部材に弾性母材を形成する弾性母材形成工程であって、
前記ベース部材には、第１水平方向に複数の行を有し且つ第２水平方向に複数の列を有するマトリクス状に配置されたコンタクト取付部と、前記コンタクト取付部に対応する複数の開口部とが形成されており、
前記開口部の夫々は、前記第１水平方向及び前記第２水平方向の双方と直交する垂直方向において前記ベース部材を貫通していると共に、前記第１水平方向及び前記第２水平方向により規定される水平面内において前記第１水平方向及び前記第２水平方向の双方と斜交する所定方向へ延びており、
前記弾性母材は、２以上の前記コンタクト取付部の夫々を包囲する弾性支持体と前記弾性支持体の間を連結する連結部とを有しており、
前記弾性支持体は、前記垂直方向の両端である上端及び下端と、前記上端と前記下端との間に設けられ前記開口部に面する取付面とを有する、
弾性母材形成工程と、
形成された前記連結部を除去する連結部除去工程と、
絶縁体からなる導体支持部と、前記導体支持部上に形成された導体部とを有するコンタクトフィルムを複数用意する用意工程と、
前記連結部の除去された前記弾性支持体の夫々に対して、前記コンタクトフィルムを前記導体部が前記開口部に面するように且つ前記導体部が前記弾性支持体の前記上端と前記取付面と前記下端とに亘るようにして貼り付けることによって、前記複数のコンタクトを形成するコンタクト成形工程と
を備える製造方法が得られる。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、ベース部材に形成された弾性体にコンタクトフィルムを貼り付け（巻き付け）たため、特許文献３のコネクタにおいて問題となるようなコストの増加を抑えることができる。また、応力集中を提言でき、嵌合寿命を長くすることができる。
【００２５】
ベース部材に設けられた開口部がコンタクトのピッチ方向と斜交する方向に延びていること、及び、弾性支持体に取り付けられた導体部が開口部に面していることから、コンタクトフィルムの導体部の展開長は、コンタクトのピッチ方向のサイズよりも大きくすることができる。このため、コンタクトの高さ（垂直方向のサイズ）も大きくとることができる。
【００２６】
弾性支持体をベース部材の上下方向に突出する構成としていることから、上下に配置される接続対象物（基板等）のＺ方向における寸法バラつき等を特に吸収でき、各コンタクトは個々のパッド等と確実に接続することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明の第１の実施の形態によるコネクタを表す斜視図である。
【図２】図１のコネクタのベース部材を表す斜視図である。
【図３】図１のコネクタのベース部材及びコンタクトを表す斜視図である。
【図４】図３の所定方向Ｐに沿った切断面を部分的に表す断面図である。
【図５】図２のベース部材に弾性母材を形成した状態を表す上面図である。
【図６】図５のベース部材の斜視図である。
【図７】図５のベース部材から連結部を除去した状態を表す上面図である。
【図８】図７のベース部材の斜視図である。
【図９】絶縁フィルム母材上に導体部母材を形成した状態を表す斜視図である。
【図１０】図９の絶縁フィルム母材上に保護部材を形成した状態を表す斜視図である。
【図１１】コンタクトフィルム母材を表す斜視図である。
【図１２】図１１のコンタクトフィルム母材の一部を拡大して表した上面図である。
【図１３】櫛歯治具を表す斜視図である。
【図１４】曲げ治具により、コンタクトを形成する工程を表す断面図である。
【図１５】図３のベース部材及びコンタクトをフレームに固定する工程を表す斜視図である。
【図１６】図１のコネクタの使用方法を表す図である。コネクタは、上下の基板に挟まれるようにして接続される。
【図１７】図１６の使用方法に従った使用状態を表す断面図である。
【図１８】本発明の第２の実施の形態によるコネクタにおいて、ベース部材に弾性支持体を形成した状態を表す斜視図である。
【図１９】図１８の弾性支持体を形成する工程を表す上面図である。図において、ベース部材には弾性母材が形成されている。
【図２０】図１９の斜視図である。
【図２１】本発明の第３の実施の形態によるコネクタにおいて、ベース部材に弾性支持体を形成した状態を表す斜視図である。
【図２２】図２１の弾性支持体を形成する工程を表す上面図である。図において、ベース部材に弾性母材が形成されている。
【図２３】図２２の斜視図である。
【図２４】本発明の第４の実施の形態によるコネクタを表す斜視図である。コネクタの上側が図示されている。
【図２５】図２４のコネクタの下側を表す斜視図である。
【図２６】図２４のコネクタの使用方法を表す図である。
【図２７】図２６の使用方法に従った使用状態を表す断面図である。
【図２８】特許文献１に開示されているコネクタを表す図である。
【図２９】特許文献２に開示されているコネクタを表す図である。
【図３０】特許文献３に開示されているコネクタを表す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
（第１の実施の形態）
図１、図１６及び図２６を参照して、本発明の実施の形態によるコネクタ１０は、コネクタ１０の上側（＋Ｚ側）に配された基板９００のパッド（図示せず）又はＬＧＡパッケージ１０００のパッド（図示せず）などと、コネクタ１０の下側（−Ｚ側）に配された基板９５０のパッド９６０とを電気的に接続するためのものである。
【００２９】
図１に示されるように、本実施の形態によるコネクタ１０は、ベース部材１００と、ベース部材１００に保持されている複数のコンタクト２００と、ベース部材１００を保持しているフレーム３００とを備えている。なお、本実施の形態によるコネクタ１０のコンタクト２００は、Ｘ方向（第１水平方向）に複数の行を有し且つＹ方向（第２水平方向）に複数の列を有するマトリクス状に配置されている。具体的には、本実施の形態におけるコンタクト２００は、合計で４９個あり、７行ｘ７列のマトリクス状に配置されている。
【００３０】
図１及び図２に示されるように、ベース部材１００は、板状の形状を有している。具体的には、本実施の形態によるベース部材１００は、正方形のタイル状の形状を有しており、複数の開口部（開口部１１０及び背側開口部１２０：詳しくは後述する）と、複数のコンタクト取付部１３０とを備えている。コンタクト取付部１３０は、コンタクト２００と同様にマトリクス状に配置されるように形成されている。本実施の形態によるベース部材１００は、金属の表面に絶縁加工（絶縁コーティング加工等）を施してなるものである。
【００３１】
図２に示されるように、ベース部材１００には、コンタクト取付部１３０に夫々対応する複数の開口部１１０と背側開口部１２０とが形成されている。各開口部１１０及び各背側開口部１２０は、Ｚ方向においてベース部材１００を貫通している。
【００３２】
図２から理解されるように、本実施の形態においては、所定方向Ｐにおいて隣接するコンタクト取付部１３０が存在する場合、一のコンタクト取付部１３０に対応する開口部１１０と他のコンタクト取付部１３０に対応する背側開口部１２０とが一体となるように形成されている。換言すると、本実施の形態において、所定方向Ｐにおいて隣接するコンタクト取付部１３０が存在する場合、それらコンタクト取付部１３０の間に存在する貫通孔は、一方のコンタクト取付部１３０用の開口部１１０であると共に他方のコンタクト取付部１３０用の背側開口部１２０である。
【００３３】
更に換言すると、本実施の形態によるベース部材１００は、所定方向Ｐに延びる長い開口部が複数形成されており、１以上のコンタクト取付部１３０が各開口部内に設けられ、当該開口部を所定方向Ｐにおいて分断している、と見ることもできる。特に、複数のコンタクト取付部１３０が設けられている場合、それらのコンタクト取付部１３０は所定方向Ｐにおいて等間隔に並んでいる。これにより、各開口部は、複数の貫通孔（開口部１１０又は背側開口部１２０）に分けられている。
【００３４】
図１及び図２から理解されるように、上記所定方向Ｐは、ＸＹ面内においてＸ方向及びＹ方向の双方と斜交する方向であり、開口部１１０は、当該所定方向Ｐへ延びている。従って、開口部１１０の所定方向ＰにおけるサイズＬ１は、Ｘ方向及びＹ方向におけるコンタクト取付部１３０のピッチ（即ち、Ｘ方向及びＹ方向におけるコンタクト２００のピッチ）Ｌ２よりも大きい。
【００３５】
なお、本実施の形態における所定方向Ｐは、Ｘ方向及びＹ方向の双方と４５度をなしている。そのため、個々の開口部１１０の所定方向Ｐにおけるサイズを最も大きくとることができる。
【００３６】
図１、図３及び図４に示されるように、本実施の形態によるコンタクト２００は、略樽（俵）状の形状を有しおり、ベース部材１００のコンタクト取付部１３０に取付けられている。
【００３７】
図４に最も良く示されているように、コンタクト２００は、弾性支持体２２０と、コンタクトフィルム２６０とを備えている。弾性支持体２２０は、Ｚ方向（垂直方向）の両端である上端２２２及び下端２２４と、上端２２２と下端２２４との間に設けられた取付面２２６と、取付面２２６の背面２２８とを有している。
【００３８】
本実施の形態による弾性支持体２２０は、コンタクト取付部１３０が弾性支持体２２０の中心に位置するようにして、ベース部材１００に取付けられる。このように、ベース部材１００の一部であるコンタクト取付部１３０が弾性支持体２２０内に完全に埋没するように構成したことから、弾性支持体２２０のＸ方向及びＹ方向における位置決め（即ち、コンタクト２００のＸ方向及びＹ方向における位置決め）を行うことができ、且つ、弾性支持体２２０を強固に保持しつつ姿勢を維持することができる。
【００３９】
弾性支持体２２０は、ベース部材１００から＋Ｚ側（上方）及び−Ｚ側（下方）に突出している。即ち、弾性支持体２２０の上端２２２及び下端２２４は、Ｚ方向においてベース部材１００から離れて位置している。かかる構成から理解されるように、本実施の形態によるコネクタ１０は、上下に配置される接続対象物（基板９００、９５０等：図１６参照）のＺ方向における寸法バラつき等を特に吸収でき、各コンタクト２００は個々のパッドと確実に接続することができる。即ち、各コンタクト２０は、上下方向において接続対象物のパッド等のバラつきに対応することができる。
【００４０】
弾性支持体２２０の取付面２２６は開口部１１０に面しており、背面２２８は背側開口部１２０に面している。即ち、各弾性支持体２２０は、所定方向Ｐにおいて、開口部１１０と背側開口部１２０とに挟まれるようにしてコンタクト取付部１３０に取付けられている。
【００４１】
図３及び図４に示されているように、コンタクトフィルム２６０は、長方形形状を有しており、絶縁フィルム（導体支持部）２６２と、絶縁フィルム２６２上に形成されている導体部２６４とを備えている。導体部２６４は、絶縁フィルム２６２を介して、弾性支持体２２０の上端２２２上、取付面２２６上及び下端２２４上に亘るように設けられ、且つ開口部１１０に面している。これにより、弾性支持体２２０の上側と弾性支持体２２０の下側とを導体部２６４で接続することができる。
【００４２】
本実施の形態による導体部２６４の長さは、Ｘ方向及びＹ方向における弾性支持体２２０のピッチ（Ｌ２：図２参照）よりも長い。従って、弾性支持体２２０の高さ（即ち、コンタクト２００の高さ）を高くすることができる。従って、本実施の形態によれば、各コンタクト２００を上下の接続対象物（基板やＬＧＡパッケージのパッド等）に対して十分な接触圧をもって接触させることができる。
【００４３】
本実施の形態における弾性支持体２２０の取付面２２６は、所定方向Ｐにおいて凸状の曲面を有している。また、本実施の形態における背面２２８もまた所定方向Ｐにおいて凸状の曲面を有している。即ち、弾性支持体２２０の取付面２２６及び背面２２８は、所定方向Ｐと垂直方向（Ｚ方向）とで規定される面内において、いずれも円弧状の断面を有している。かかる曲面処理は、後述するように、コンタクトフィルム２６０をコンタクト取付部１３０に取り付ける際にコンタクトフィルム２６０の一部（例えば、導体部２６４）に対して応力が局所的に加わってしまうことを避けるために行われている。
【００４４】
上述したベース部材１００は金属製のものであったが、材料はこれに限定されるわけではなく、例えば、コンタクト２００を構成する弾性支持体２２０と比較して剛性の高い材料であれば、絶縁性材料（ポリイミドフィルム、樹脂シート等）で構成することとしてもよい。なお、本実施の形態による金属製のベース部材１００には、例えばコンタクト２００の導体部２６４等との短絡を防止するために金属の表面に絶縁加工を施している。
【００４５】
本実施の形態によるベース部材１００は、コンタクト取付部１３０の設けられている領域を取り囲む周辺部１５０を有しており、周辺部１５０には、８つの位置決め孔１５２が形成されている。詳しくは、周辺部１５０のうち、ベース部材１００の対角上に２つずつ、対辺の中央に２つずつの合計８つである。位置決め孔１５２は、後述するフレーム３００の位置決め突起３０２と対応している。図１及び図２から理解されるように、ベース部材１００は、互いに対角に位置する位置決め孔１５２を結ぶ直線に対して対称な構造を有している。また、本実施の形態によるコンタクト２００は、行数と列数とが同数であり、コネクタ１０を１８０度回転させてもコンタクト２００の配置には実質的に変更がないことから（図１参照）、位置決め孔１５２は少なくとも２つあればよい。なお、位置決め孔１５２は、３つ以上であってもよい。特に、コンタクト２００の行数と列数とが異なるような場合には、３つ以上の位置決め孔１５２を設けるか、位置決め孔１５２の個数が２つであったとしても２つの位置決め孔１５２を結ぶ直線に対してコネクタ１０が非対称であることが好ましい。
【００４６】
図１及び図１５に示されるように本実施の形態によるフレーム３００は、ベース部材１００を保持固定している。フレーム３００は、略正方形形状を有しており、中央が開口している。フレーム３００は、ベース部材１００を保持するために上面３０３よりも下方に窪んでいる受容部３４０を有している。受容部３４０には、８つの位置決め突起３０２が形成されている。位置決め突起３０２は、ベース部材１００の位置決め孔１５２に対応している。位置決め突起３０２は、フレーム３００の上面３０３以下であることが好ましい。更に、フレーム３００には、上方に配置される接続対象物（基板９００：図１６参照）との位置決めに用いられる２つの位置決め突起３１０と、下方の接続対象物（基板９５０：図１６参照）との位置合わせに用いられる２つの位置決め突起３２０とを有している。
【００４７】
本実施の形態によるベース部材１００は、剛性の高い金属で形成しているため、位置決め孔１５２を省略して、ベース部材１００のエッジと、フレーム３００の側面３０１（図１及び図１５参照）とを合わせることによって位置合わせをすることとしてもよい。この場合、受容部３４０の側面３０１は、ベース部材１００が隙間なく（がたつくことなく）納まる寸法とされていることが好ましい。なお、ベース部材１００を金属以外の絶縁材料（ポリイミドフィルム、樹脂シート等）で形成した場合、ベース部材１００とフレーム３００の側面３０１とを合わせる際にベース部材１００が撓む恐れのある場合には、ベース部材１００の位置決め孔１５２とフレーム３００の位置決め突起３０２とで位置合わせを行うことが好ましい。
【００４８】
以下、上述した構造を有するコネクタ１０の製造方法について図面を更に用いて説明する。
【００４９】
図２を参照して、まず、ベース部材１００の母材を打ち抜き加工等することによって略正方形形状の金属シートを得る。この金属シートに対して図２に示される位置決め孔１５２、開口部１１０及び背側開口部１２０を形成する。位置決め孔１５２、開口部１１０及び背側開口部１２０は、レーザー加工又はプレス加工等により形成することができる。なお、プレス加工等により、母材から金属シートを得る工程と、位置決め孔１５２、開口部１１０及び背側開口部１２０を形成する工程を一括して行うこととしてもよい。
【００５０】
次に、図５及び図６に示されるように、ベース部材１００に対して、射出形成法等により弾性母材２４０を形成する。図５によく示されるように、弾性母材２４０は、所定方向Ｐと直交する方向において一連に形成される。詳しくは、弾性母材２４０は、ベース部材１００のコンタクト取付部１３０の夫々を包囲するように形成される弾性支持体２２０と、所定方向Ｐと直交する方向において隣接する弾性支持体２２０同士を連結する連結部２３０とを有している。連結部２３０は、弾性支持体２２０と比べて細い。
【００５１】
続いて、図７及び図８に示されるように、形成された弾性母材２４０から連結部２３０を除去する。連結部２３０の除去は、レーザーによる切断やプレス加工等によって行うことができる。これにより、コンタクト取付部１３０に弾性支持体２２０が形成されたベース部材１００を得る。なお、図４から理解されるように、この状態においては、コンタクト取付部１３０が弾性支持体２２０の中心に位置するようにして、弾性支持体２２０がベース部材１００に取付けられる。即ち、ベース部材１００の一部であるコンタクト取付部１３０が弾性支持体２２０内に完全に埋没するように構成されている。なお、本実施の形態においては、一連の弾性母材２４０を形成し不要な部分（連結部２３０）を除去することとしたが、個々の弾性支持体２２０をコンタクト取付部１３０に直接に形成することとしてもよい。
【００５２】
次に、図７及び図８に示される弾性支持体２２０にコンタクトフィルム２６０を貼り付ける。本実施の形態においては、各弾性支持体２２０の上端２２２及び下端２２４に接着剤を塗布した後に、図４に示されているようにコンタクトフィルム２６０を貼り付けて両者を接着する。なお、コンタクトフィルム２６０の貼り付けは、複数のコンタクトフィルム２６０が形成された１枚のシートと治具とを用いて一括して貼り付けることとしてもよい。
【００５３】
具体的には、図９に示されているように、絶縁フィルム母材２７２の下面（即ち、絶縁フィルム母材２７２の２つの主面のうちの一方）上に複数の導体部母材２７４を含む導体パターンを形成する。本実施の形態における導体パターンは、フォトリソグラフィやメッキにより形成されたものであり、Ａｕ／Ｎｉ／Ｃｕといった多層膜（金属膜）からなる。図から明らかであるように、各導体部母材２７４は、所定方向Ｐに延びている。
【００５４】
次いで、図１０に示されるように、導体部母材２７４の保護のために、絶縁フィルム母材２７２に対して導体部母材２７４を覆うように保護部材２９０を貼付する。保護部材２９０は、片面に粘着剤が設けられた保護テープや保護シートなどからなるものである。この保護部材２９０の貼付により、総厚が増すことから取り扱い性も向上する。
【００５５】
次いで、図１１に示されるように、絶縁フィルム母材２７２の上面（即ち、絶縁フィルム母材２７２の２つの主面のうちの導体部母材２７４が形成されていない面）に対して切り込み２８０を入れると共に位置決め孔２９２及び角孔２８８を形成する。より具体的には、絶縁フィルム母材２７２の上面に対してプレス加工やレーザー加工により複数の切り込み２８０を形成すると共に、位置決め孔２９２及び角孔２８８に対応するように切り込みを入れて孔内の不要な部分を除去することにより位置決め孔２９２及び角孔２８８を構成する。切り込み２８０は、ベース部材１００の開口部１１０（図２参照）に対応するように配置されており、角孔２８８は、背側開口部１２０（開口部１１０とは共通化されていないもの）に対応するように配置されている。なお、位置決め孔２９２は、ベース部材１００の対角上に位置する位置決め孔１５２と対応している。
【００５６】
詳しくは、図１２に示されるように、切り込み２８０は、コの字状の形状を有している。切り込み２８０のコの字状の２辺は、所定方向Ｐに延びており、切り込み２８０のコの字状の残りの１辺は、導体部母材２７４と交差しつつ前述の２辺を繋いでいる。この切り込み２８０により、導体部母材２７４は分割され、複数の導体部２６４が形成される。これら導体部２６４は、上述したように、弾性支持体２２０の夫々に対応している。なお、以下に続く説明においては、切り込み２８０で３方を囲まれた領域（コの字領域の内側）を小片部２８４と呼び、小片部２８４と連続している部位を固定部２８２と呼び、各固定部２８２と連続し且つ所定方向Ｐに延びる部位を支持帯２８６と呼ぶ。なお、小片部２８４及び固定部２８２は、弾性支持体２２０に貼り付けられるコンタクトフィルム２６０に対応する。
【００５７】
図１２に示されるように、絶縁フィルム母材２７２と導体部母材２７４とに切り込み２８０を入れることによって、絶縁フィルム２６２及び導体部２６４を備えるコンタクトフィルム２６０が複数形成されたコンタクトフィルム母材２７０を得る。その後、弾性支持体２２０の上端２２２及び下端２２４に接着剤を塗布し、下端２２４へコンタクトフィルム母材２７０の固定部２８２を接着する。この際、コンタクトフィルム母材２７０の位置決め孔２９２と、ベース部材１００の位置決め孔１５２とを重ねることによって、位置合わせをすることができるが、他の方法によって下端２２４と固定部２８２との位置合わせをしてもよい。本実施の形態において、接着剤は熱硬化型のものを用いたが、本発明はこれに限定されるわけではなく、他の接着剤を用いることとしてもよい。また、弾性を有する接着剤を用いてもよい。
【００５８】
その後、図１３に示されるような櫛歯治具７００をコンタクトフィルム母材２７０の下面側にセットする。詳しくは、櫛歯治具７００は、正方形の板状の台７１０と、台７１０から＋Ｚ方向（上方）に突出した複数の櫛歯７２０及び位置決め突起７３０とを有している。櫛歯７２０は、開口部１１０に対応して設けられている。即ち、Ｘ方向に複数の行を有し且つＹ方向に複数の列を有するマトリクス状に配置されている。各櫛歯７２０は、ＸＹ平面内において所定方向Ｐに長手を有する長方形形状の断面を有しており、上端近傍には櫛歯７２０を開口部１１０に挿入しやすくするためのベベル部７２５が形成されている。位置決め突起７３０の突出量は、櫛歯７２０の突出量以下である。位置決め突起７３０は、位置決め孔２９２に対応して設けられており、櫛歯７２０のマトリクスの対角線を延長した線上に位置している。
【００５９】
図１２乃至図１４に示されるように、櫛歯治具７００の櫛歯７２０をベース部材１００の開口部１１０に対して下側（−Ｚ側）から挿入すると共に位置決め突起７３０をコンタクトフィルム母材２７０の位置決め孔２９２（図１１参照）及びベース部材１００の対角上に位置する位置決め孔１５２に挿入する。このとき、小片部２８４は、櫛歯７２０により取付面２２６（図４参照）に沿って上方（＋Ｚ方向）に向かうように曲げられ、図１４に示されるように櫛歯７２０よりも上方（＋Ｚ側）に部分的に突出する。このようにして、コンタクト２００の下半分（−Ｚ側半分）の形成が行われる。
【００６０】
次いで、図１４に示されるように、少なくとも平らで且つ十分に広い底面を有する曲げ治具８００を櫛歯治具７００の櫛歯７２０上でスライドさせることにより、小片部２８４の突出していた部位を弾性支持体２２０側に曲げることにより小片部２８４の端部を弾性支持体２２０の上端２２２に接着させる。ここで、曲げ治具８００のスライドをスムーズに行うため、曲げ治具８００のスライドをガイドするガイド部材を用いることとしてもよい。曲げ治具８００ですべての櫛歯７２０を覆った状態で固定し、弾性支持体２２０の上端２２２及び下端２２４に塗布した接着剤を固化させる。上述したように、本実施の形態における接着剤は熱硬化型のものであるため、具体的には、櫛歯治具７００と曲げ治具８００とでコネクタ１０を挟んだ状態でクリップ等のようなもので固定し、加熱して接着剤を固化させる。その後、櫛歯治具７００と曲げ治具８００とを取り外す。
【００６１】
図１４においてコンタクトフィルム母材２７０が櫛歯治具７００の台７１０上に位置していることから理解されるように、この状態においては、コンタクトフィルム母材２７０の固定部２８２と支持帯２８６とは接続されたままである。本実施の形態においては、上記コの字の切り込み２８０が所定方向に沿って入れられており、且つ、所定方向Ｐにおける小片部２８４の長さを固定部２８２の長さよりも大きくすることにより（即ち、固定部２８２と支持帯２８６との接続をわずかな部分で行うことにより）櫛歯治具７００を取り外した後に支持帯２８６を所定方向Ｐに沿ってはがせば、固定部２８２と支持帯２８６とを一括して分離することができる。このようにして、図１５に示されるように、フレーム３００に取付ける前のベース部材１００及びコンタクト２００の構造体を得る。
【００６２】
図１５に示されるように、フレーム３００の各位置決め突起３０２をベース部材１００の対応する位置決め孔１５２に挿入することによって、ベース部材１００とフレーム３００との位置決めが行われる。ベース部材１００をフレーム３００に固定する方法としては、圧入、レーザー溶接、接着剤のポッティング又は接着剤で直接貼り付ける方法がある。
【００６３】
図１６及び図１７に示されるように、コネクタ１０は、基板９００と基板９５０との間に挟むようにして使用される。このとき、フレーム３００の位置決め突起３１０は基板９００の位置決め孔９２０に挿入され、位置決め突起３２０は基板９５０の位置決め孔９７０に挿入される。図１７によく示されるように、基板９００の各パッド９１０及び基板９５０の各パッド９６０は、対応する同一のコンタクト２００の導体部２６４（図４参照）に接続されるため、パッド９１０、導体部２６４及びパッド９６０が電気的に接続される。更に、基板９００の上と基板９５０の下から圧力を加えるとコンタクト２００が変形し、その反力として十分な接触圧が得られる。この際、コンタクト２００に対して開口部１１０と背側開口部１２０とが設けられていることからコンタクト２００は、所定方向Ｐの前後の両方において変形することができることから、変形時のコンタクト２００の開口部１１０内における変形量（張出量）を背側に分散させることができ、従って、コンタクト２００の変形に伴う断線のおそれを抑制することができる。なお、接続状態を維持するために、コンタクト２００が変形した状態（縮んだ状態）を維持するための手段を更に設けてもよい。
【００６４】
（第２の実施の形態）
図１８乃至図２０に示されるように、本発明の第２の実施の形態は、第１の実施の形態によるコンタクト２００の弾性支持体２２０（図１参照）の形状に関する変形例である。従って、コンタクトフィルム２６０、ベース部材１００及びフレーム３００（図示せず）は第１の実施の形態のものと同一のものを用いることができるため、これらについては構造の説明を省略する。また、製造方法についても、ベース部材１００の製造方法と、弾性支持体２２０ａをコンタクト取付部１３０に取付ける工程以降の工程とは、第１の実施の形態と同様の工程を行うことができるため、ベース部材１００に弾性母材２４０ａを形成して弾性支持体２２０ａを形成するまでの工程を説明する。
【００６５】
図１８に示されるように、本実施の形態による弾性支持体２２０ａは、略楕円柱状の形状を有しており、ベース部材１００のコンタクト取付部１３０に取付けられている。弾性支持体２２０ａは、Ｚ方向（垂直方向）の両端である上端２２２ａ及び下端（図示せず）と、上端２２２ａと下端との間に設けられた取付面２２６ａと、取付面２２６ａの背面２２８ａとを有している。本実施の形態において、弾性支持体２２０ａは、Ｚ方向及び所定方向Ｐで規定される平面と平行な側面２２９ａを有している。
【００６６】
本実施の形態においても、弾性支持体２２０ａは、ベース部材１００から＋Ｚ側（上方）及び−Ｚ側（下方）に突出しており、換言すれば、弾性支持体２２０ａの上端２２２ａ及び下端は、Ｚ方向においてベース部材１００から離れて位置している。これにより、上下に配される接続対象物（基板９００、９５０等：図１６参照）のＺ方向における寸法バラつき等を特に吸収でき、各コンタクト２００（図１参照）は個々のパッドと確実に接続することができる。弾性支持体２２０ａの取付面２２６ａは開口部１１０に面しており、背面２２８ａは背側開口部１２０に面している。即ち、各弾性支持体２２０ａは、所定方向Ｐにおいて、開口部１１０と背側開口部１２０とに挟まれるようにしてコンタクト取付部１３０に取付けられている。
【００６７】
かかる弾性支持体２２０ａは次のようにして製造される。図１９及び図２０に示されるように、ベース部材１００に対して、射出形成法等により弾性母材２４０ａを形成する。図１９によく示されるように、弾性母材２４０ａは、所定方向Ｐと直交する方向において一連に形成され、ベース部材１００のコンタクト取付部１３０の夫々を包囲するように形成される弾性支持体２２０ａと、所定方向Ｐと直交する方向において隣接する弾性支持体２２０ａ同士を連結する連結部２３０ａとを有している。本実施の形態による連結部２３０ａは、弾性支持体２２０ａと同一の径（形状）を有している。
【００６８】
続いて、形成された弾性母材２４０ａから連結部２３０ａを除去する。連結部２３０ａの除去は、図１９に示される切断線ｃ１に沿ってレーザーによる切断やプレス加工等によって行うことができる。これにより、図１８に示されるコンタクト取付部１３０に弾性支持体２２０ａが形成されたベース部材１００を得る。なお、本実施の形態においても、ベース部材１００の一部であるコンタクト取付部１３０が弾性支持体２２０ａ内に完全に埋没するように構成したことから、弾性支持体２２０ａのＸ方向及びＹ方向における位置決め（即ち、コンタクト（図示せず）のＸ方向及びＹ方向における位置決め）を行うことができ、且つ、弾性支持体２２０ａを強固に保持しつつ姿勢を維持することができる。更に、一連の弾性母材２４０ａを形成した後に不要な部分（連結部２３０ａ）を除去する方法の他にも、個々の弾性支持体２２０ａをコンタクト取付部１３０に直接に形成することとしてもよい。
【００６９】
（第３の実施の形態）
図２１乃至図２３に示されるように、本発明の第３の実施の形態は、第１の実施の形態によるコンタクト２００の弾性支持体２２０（図１参照）の形状に関する変形例である。従って、コンタクトフィルム２６０、ベース部材１００及びフレーム３００（図示せず）は第１の実施の形態のものと同一のものを用いることができるため、これらについては説明を省略する。また、製造方法についても、ベース部材１００の製造方法と、弾性支持体２２０ｂをコンタクト取付部１３０に取付ける工程以降の工程とは、第１の実施の形態と同様の工程を行うことができるため、ベース部材１００に弾性母材２４０ｂを形成して弾性支持体２２０ｂを形成するまでの工程を説明する。
【００７０】
図２１に示されるように、本実施の形態による弾性支持体２２０ｂは、直方体形状を有している。本実施の形態による弾性支持体２２０ｂも、Ｚ方向（垂直方向）の両端である上端２２２ｂ及び下端２２４ｂと、上端２２２ｂと下端２２４ｂとの間に設けられた取付面２２６ｂと、取付面２２６ｂの背面２２８ｂとを有している。本実施の形態において、弾性支持体２２０ｂは、Ｚ方向及び所定方向Ｐで規定される平面と平行な側面２２９ｂとを有している。
【００７１】
本実施の形態においても、弾性支持体２２０ｂは、ベース部材１００から＋Ｚ側（上方）及び−Ｚ側（下方）に突出しており、換言すれば、弾性支持体２２０ｂの上端２２２ｂ及び下端２２４ｂは、Ｚ方向においてベース部材１００から離れて位置している。これにより、上下に配される接続対象物（基板９００、９５０等：図１６参照）のＺ方向における寸法バラつき等を特に吸収でき、各コンタクト２００（図１参照）は個々のパッドと確実に接続することができる。弾性支持体２２０ｂの取付面２２６ｂは開口部１１０に面しており、背面２２８ｂは背側開口部１２０に面している。即ち、各弾性支持体２２０ｂは、所定方向Ｐにおいて、開口部１１０と背側開口部１２０とに挟まれるようにしてコンタクト取付部１３０に取付けられている。
【００７２】
かかる弾性支持体２２０ｂは次のようにして製造される。図２２及び図２３に示されるように、ベース部材１００に対して、射出形成法等により弾性母材２４０ｂを形成する。本実施の形態による弾性母材２４０ｂは、所定方向Ｐと平行な方向に一連に形成され、ベース部材１００のコンタクト取付部１３０の夫々を包囲するように形成される弾性支持体２２０ｂと、所定方向Ｐにおいて隣接する弾性支持体２２０ｂ同士を連結する連結部２３０ｂとを有している。本実施の形態による連結部２３０ｂは、弾性支持体２２０ｂと同一の径（形状）を有している。
【００７３】
続いて、形成された弾性母材２４０ｂから連結部２３０ｂを除去する。連結部２３０ｂの除去は、図２２に示される切断線ｃ２に沿ってレーザーによる切断やプレス加工等によって行うことができる。これにより、図２１に示されるコンタクト取付部１３０に弾性支持体２２０ｂが形成されたベース部材１００を得る。なお、本実施の形態においても、ベース部材１００の一部であるコンタクト取付部１３０が弾性支持体２２０ｂ内に完全に埋没するように構成したことから、弾性支持体２２０ｂのＸ方向及びＹ方向における位置決め（即ち、コンタクト（図示せず）のＸ方向及びＹ方向における位置決め）を行うことができ、且つ、弾性支持体２２０ｂを強固に保持しつつ姿勢を維持することができる。更に、一連の弾性母材２４０ｂを形成した後に不要な部分（連結部２３０ｂ）を除去する方法の他にも、個々の弾性支持体２２０ｂをコンタクト取付部１３０に直接に形成することとしてもよい。
【００７４】
（第４の実施の形態）
第２及び第３の実施の形態は、いずれも第１の実施の形態によるコンタクト２００を構成する弾性支持体２２０（図１参照）の変形例であった。第４の実施の形態は、コネクタ１０のフレーム３００の変形例に関するものである。図２４乃至図２７に示されるように、コネクタ１０ａは、フレーム３００ａを備えている。なお、ベース部材１００及びコンタクト２００は、第１の実施の形態によるコネクタ１０（図１参照）のものと同様のものを用いることができるため、同一の参照符号を付して構造及び製造方法の説明を省略する。
【００７５】
フレーム３００ａは、上面３０３側にＬＧＡパッケージ１０００用の受容部３５０を備えており、下面３０５側に受容部３４０ａを有している。図２６に示されるように、受容部３５０内にＬＧＡパッケージ１０００を受容させることにより、ＬＧＡパッケージ１０００のパッド１０１０とコンタクト２００との位置決めも行われる。この状態において、基板９５０の下側とＬＧＡパッケージ１０００の上側から圧力を加えるとコンタクト２００が変形し、その反力として十分な接触圧が得られ、パッド９６０とパッド１０１０とがコンタクト２００により電気的に接続される。
【００７６】
上述した第１、第２及び第４の実施の形態によるコンタクトは、弾性支持体のうち、コンタクトフィルムが取り付けられる取付面は曲面であることから、対象物との接続前後において、コンタクトフィルムの導体部に加わる応力をより小さくする（より分散させる）ことができることから、断線の生じる恐れを低減することができる。
【符号の説明】
【００７７】
１０，１０ａ，１０ｂ        コネクタ
１００        ベース部材
１１０        開口部
１２０        背側開口部
１３０        コンタクト取付部
１５０        周辺部
１５２        位置決め孔
２００、２００ａ、２００ｂ        コンタクト
２２０、２２０ａ、２２０ｂ        弾性支持体
２２２、２２２ａ、２２２ｂ        上端
２２４、２２２ｂ        下端
２２６、２２６ａ、２２６ｂ        取付面
２２８、２２８ａ、２２７ｂ        背面
２２９ａ、２２９ｂ        側面
２３０、２３０ａ、２３０ｂ        連結部
２４０、２４０ａ、２４０ｂ        弾性母材
２６０        コンタクトフィルム
２６２        絶縁フィルム（導体支持部）
２６４        導体部
２７０        コンタクトフィルム母材
２７２        絶縁フィルム母材
２７４        導体部母材
２８０        切り込み
２８２        固定部
２８４        小片部
２８６        支持帯
２８８        角孔
２９０        保護部材
２９２        位置決め孔
３００、３００ａ        フレーム
３０１        側面
３０３        上面
３０５        下面
３１０、３０２、３２０、３３０        位置決め突起
３４０、３４０ａ、３５０        受容部
７００        櫛歯治具
７１０        台
７２０        櫛歯
７２５        ベベル部
７３０        位置決め突起
８００        曲げ治具
９００、９５０        基板
９１０、９６０        パッド
９２０、９７０        位置決め孔
１０００        ＬＧＡパッケージ
１０１０        パッド
【図１】
2014007110.tif 000003
【図２】
2014007110.tif 000004
【図３】
2014007110.tif 000005
【図４】
2014007110.tif 000006
【図５】
2014007110.tif 000007
【図６】
2014007110.tif 000008
【図７】
2014007110.tif 000009
【図８】
2014007110.tif 000010
【図９】
2014007110.tif 000011
【図１０】
2014007110.tif 000012
【図１１】
2014007110.tif 000013
【図１２】
2014007110.tif 000014
【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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