(57)【要約】【課題】ウエハおよびリングフレームの両方に対応可能であって、ユニットの共有化を図ることができるロードポートを提供すること。【解決手段】ロードポート１は、所定の収容物を収容可能な収容手段を載置可能な載置手段２０と、載置手段２０を支持する支持手段３０と、載置手段２０上に収容手段が載置されたことを検知可能な検知手段４０とを備え、検知手段４０は、半導体ウエハを収容可能な第１収容手段とリングフレームを収容可能な第２収容手段とを判別可能に設けられている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の収容物を収容可能な収容手段を載置可能な載置手段と、
前記載置手段を支持する支持手段と、
前記載置手段上に収容手段が載置されたことを検知可能な検知手段とを備えたロードポートであって、
前記検知手段は、半導体ウエハを収容可能な第１収容手段とリングフレームを収容可能な第２収容手段とを判別可能に設けられていることを特徴とするロードポート。
【請求項２】
前記第１収容手段および第２収容手段は、それぞれ半導体ウエハおよびリングフレームを取り出すための取出口を備え、
前記支持手段は、載置手段上に載置された収容手段の取出口に対向した開口部を有し、
前記第１収容手段および第２収容手段の取出口の大きさに対応して開口部の間口を拡大縮小可能な拡縮手段を備えていることを特徴とする請求項１に記載のロードポート。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ロードポートに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体製造工程において、半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」という場合がある）を保管する収容手段と半導体処理装置との間でウエハを出し入れするロードポートが知られている（例えば、特許文献１参照）。また、このようなロードポートを備えているダイシング装置が知られている（例えば、特許文献２参照）。
【０００３】
特許文献１に記載された従来のロードポートは、ドア部およびチャンバが閉じられた状態において、ＦＯＵＰ（Front-Opening Unified Pod）（第１収容手段）が載置台に載置されると、ドア部およびチャンバを開いて、第１収容手段に収容されたウエハを半導体製造装置内に順次移送するように構成されている。
特許文献２に記載された従来のダイシング装置は、リングフレームと一体化されたウエハを複数収容するフレームキャリア（第２収容手段）がロードポートに受け渡されると、エレベータが当該第２収容手段を収納部に収納し、この収納部に収納された第２収容手段からウエハを順次引き出して、切断部がダイシングするように構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１２−１９０４６号公報
【特許文献２】特開２００１−２４４２２０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１、２に記載された従来のロードポートでは、ウエハまたはリングフレーム専用となっているため、ユニットの共用化を図れないという不都合がある。
【０００６】
本発明の目的は、ウエハおよびリングフレームの両方に対応可能であって、ユニットの共有化を図ることができるロードポートを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記目的を達成するために、本発明のロードポートは、所定の収容物を収容可能な収容手段を載置可能な載置手段と、前記載置手段を支持する支持手段と、前記載置手段上に収容手段が載置されたことを検知可能な検知手段とを備えたロードポートであって、前記検知手段は、半導体ウエハを収容可能な第１収容手段とリングフレームを収容可能な第２収容手段とを判別可能に設けられている、という構成を採用している。
【０００８】
この際、本発明のロードポートでは、前記第１収容手段および第２収容手段は、それぞれ半導体ウエハおよびリングフレームを取り出すための取出口を備え、前記支持手段は、載置手段上に載置された収容手段の取出口に対向した開口部を有し、前記第１収容手段および第２収容手段の取出口の大きさに対応して開口部の間口を拡大縮小可能な拡縮手段を備えている、ことが好ましい。
【発明の効果】
【０００９】
以上のような本発明によれば、第１収容手段と第２収容手段とを判別可能な検知手段を有するため、ウエハおよびリングフレームの両方に対応可能であって、ユニットの共有化を図ることができる。
【００１０】
この際、第１収容手段および第２収容手段の取出口の大きさに対応して開閉可能な開閉手段を設ければ、第１収容手段と第２収容手段の取出口の大きさに差があっても、ロードポートと収容手段との密閉性を確保すことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一実施形態に係るロードポートの斜視図。
【図２】（Ａ）、（Ｂ）はロードポートに第１収容手段が載置されたときの説明図。
【図３】（Ａ）、（Ｂ）はロードポートに第２収容手段が載置されたときの説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、水平面内の軸とし、Ｚ軸は、水平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な矢印ＡＲ方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。
【００１３】
図１〜３において、ロードポート１は、所定の収容物を収容可能な収容手段ＲＢを載置可能な載置手段２０と、載置手段２０を支持する支持手段３０と、載置手段２０上に収容手段ＲＢが載置されたことを検知可能な検知手段４０とを備え、収容手段ＲＢの収容物としての例えばウエハＷＦとリングフレームＲＦとを接着シートを介して一体化するマウント装置ＭＳに組み込まれ、収容手段ＲＢを着脱可能に支持する装置である。
【００１４】
収容手段ＲＢは、ウエハＷＦを収容可能な第１収容手段ＲＷと、リングフレームＲＦを収容可能な第２収容手段ＲＲとを含む。
第１収容手段ＲＷは、図２（Ａ）、（Ｂ）に示すように、後方向側に開口する取出口ＲＷ１を有する略箱状に形成され、その内部においてウエハＷＦを上下方向に多段に収容可能（図２（Ｂ）では、２枚のウエハＷＦのみを図示）なケースＲＷ２と、取出口ＲＷ１を塞ぐことでケースＲＷ２内を外気から遮断可能な遮蔽部材ＲＷ３と、ケースＲＷ２の下面に形成され、検知手段４０との接触を回避可能な少なくとも１個の凹穴ＲＷ４と、ケースＲＷ２の下面に形成され、当該第１収容手段ＲＷの位置決めが可能な複数の位置決め穴ＲＷ５とを備えている。凹穴ＲＷ４の数および位置は、第１収容手段ＲＷに収容されるウエハＷＦのサイズに対応して異なっている。
第２収容手段ＲＲは、図３（Ａ）、（Ｂ）に示すように、後方向側に開口する取出口ＲＲ１を有する略箱状に形成され、その内部においてリングフレームＲＦを上下方向に多段に収容可能（図３（Ｂ）では、２枚のリングフレームＲＦのみを図示）なケースＲＲ２と、取出口ＲＲ１を塞ぐことでケースＲＲ２内を外気から遮断可能な遮蔽部材ＲＲ３と、ケースＲＲ２の下面に形成され、当該第２収容手段ＲＲの位置決めが可能な複数の位置決め穴ＲＲ５とを備えている。
なお、第１および第２収容手段ＲＷ、ＲＲの取出口ＲＷ１、ＲＲ１の周囲には、当該第１および第２収容手段ＲＷ、ＲＲ内部と、マウント装置ＭＳの内部との密閉性を確保する図示しないパッキンが設けられている。また、遮蔽部材ＲＷ３、ＲＲ３には、それぞれケースＲＷ２、ＲＲ２との固定が可能な図示しないロック機構が設けられている。
ここで、本実施形態の場合、第２収容手段ＲＲは、アダプタＡＰを介して載置手段２０上に載置される構成が採用されている。アダプタＡＰは、その上面ＡＰ１から突出し、第２収容手段ＲＲの位置決め穴ＲＲ５に入り込む複数の位置決めピンＡＰ２と、当該アダプタＡＰの下面ＡＰ３に形成され、当該アダプタＡＰの位置決めが可能な複数の位置決め穴ＡＰ４とを備えている。
【００１５】
載置手段２０は、上面が載置面２１Ａとされた載置プレート２１と、載置面２１Ａ上で上方に突起した位置決めピン２２と、載置面２１Ａ上に載置された収容手段ＲＢを固定する図示しない固定手段とを備えている。
【００１６】
支持手段３０は、そのスライダ３１Ａで載置プレート２１を下方から支持する駆動機器としての直動モータ３１と、直動モータ３１を下方から支持する横フレーム３２Ａおよび横フレーム３２Ａを支持する縦フレーム３２Ｂとからなるフレーム３２と、縦フレーム３２Ｂの上部に設けられ、載置手段上に載置された第１および第２収容手段ＲＷ、ＲＲの取出口ＲＷ１、ＲＲ１に対向する開口部３３と、開口部３３を開閉可能な開閉手段３４と、第１および第２収容手段ＲＷ、ＲＲの取出口ＲＷ１、ＲＲ１の大きさに対応して開口部３３の間口を拡大縮小可能な拡縮手段３５とを備えている。
開閉手段３４は、開閉ボード３４Ａと、開閉ボード３４Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段に連通された吸着パッド３４Ｂと、開閉ボード３４ＡをＹ軸方向とＺ軸方向とに移動可能な駆動機器としての図示しない直動モータと、開閉ボード３４Ａの上面における左右２箇所に設けられ、第１および第２収容手段ＲＷ、ＲＲ内のウエハＷＦやリングフレームＲＦの姿勢（傾き）や枚数あるいは収容位置を検知可能な光学センサ、リミットスイッチ、撮像手段等で構成された収容物検知手段３４Ｃと、各遮蔽部材ＲＷ３、ＲＲ３と各ケースＲＷ２、ＲＲ２との固定と固定の解除が可能な図示しないロック開閉手段とを備えている。
拡縮手段３５は、開口部３３の左右両側に設けられ、蝶番３５Ａによって縦フレーム３２Ｂに対して回動可能に支持されたスイングボード３５Ｂと、スイングボード３５Ｂを回動させる駆動機器としての回動モータ３５Ｃとを備えている。
【００１７】
検知手段４０は、載置面２１Ａに対して昇降可能に設けられるとともに、載置面２１Ａ上に載置された第１収容手段ＲＷを検知可能な複数（本実施形態では３体）の昇降ピン４１と、載置面２１Ａに対して昇降可能に設けられるとともに、載置面２１Ａ上に載置された第２収容手段ＲＲを検知可能な複数（本実施形態では２体）の昇降ピン４２と、各昇降ピン４１、４２の昇降を検知可能な光学センサ、リミットスイッチ、圧力センサ、重量センサ、撮像手段等の図示しないセンサとを備えている。
【００１８】
以上のロードポート１が２体設けられたマウント装置ＭＳを用いて、当該ロードポート１の動作手順を説明する。
先ず、図１に示すように、左側に設けられたロードポート１の位置決めピン２２に位置決め穴ＡＰ４を嵌合させ、載置プレート２１上にアダプタＡＰを載置する。これにより、図３（Ｂ）に示すように、昇降ピン４１、４２全てがアダプタＡＰの下面ＡＰ３に押されて下降し、それらが下降したことを図示しないセンサが検知して左側に設けられたロードポート１には、第２収容手段ＲＲが載置されることを図示しない制御手段が認識をする。なお、アダプタＡＰの下面ＡＰ３に昇降ピン４２が下降することを防止する凹穴を１または２個設けることで、凹穴のないアダプタＡＰと合わせて４種類の第２収容手段ＲＲの判別が行えるので、例えば、昇降ピン４２の昇降パターンに応じてリングフレームの大きさや規格等を図示しない制御手段が認識できるようにすることができる。
次いで、右側のロードポート１の位置決めピン２２に位置決め穴ＲＷ５を嵌合させ、載置プレート２１上にウエハＷＦが収容された第１収容手段ＲＷを載置するとともに、アダプタＡＰの位置決めピンＡＰ２に位置決め穴ＲＲ５を嵌合させ、その上面ＡＰ１上にリングフレームＲＦが収容された第２収容手段ＲＲを載置すると、各載置手段２０が図示しない固定手段を駆動し、第１および第２収容手段ＲＷ、ＲＲを固定する。なお、第１収容手段ＲＷの下面に形成された凹穴ＲＷ４によって、昇降ピン４１が下降することが防止されるため、昇降ピン４１の昇降パターンに応じてウエハＷＦの大きさや規格等を図示しない制御手段が認識できるようになっている。
【００１９】
次いで、各支持手段３０が直動モータ３１を駆動し、第１および第２収容手段ＲＷ、ＲＲを後方向に移動させ、図２、図３に示すように、第１および第２収容手段ＲＷ、ＲＲの開口端を各縦フレーム３２Ｂに密着させると、各遮蔽部材ＲＷ３、ＲＲ３が吸着パッド３４Ｂに当接する。
次に、各開閉手段３４が図示しない減圧手段およびロック開閉手段を駆動し、各吸着パッド３４Ｂで各遮蔽部材ＲＷ３、ＲＲ３を吸着保持させた後、各遮蔽部材ＲＷ３、ＲＲ３と各ケースＲＷ２、ＲＲ２との固定を解除する。そして、各開閉手段３４が図示しない直動モータを駆動し、各開閉ボード３４Ａを後方向に移動させた後、下降させることで、第１および第２収容手段ＲＷ、ＲＲ内部とマウント装置ＭＳ内部とが連通する。なお、各開閉ボード３４Ａを下降させる際、各開閉手段３４が各収容物検知手段３４Ｃを介して第１および第２収容手段ＲＷ、ＲＲ内のウエハＷＦ、リングフレームＲＦの姿勢（傾き）や枚数あるいは収容位置を検知する。
【００２０】
そして、図１中符号ＡＡで示すように、左側のロードポート１の拡縮手段３５が回動モータ３５Ｃを駆動し、左右のスイングボード３５Ｂを実線で示す位置から二点鎖線で示す位置まで回動させる。このように、拡縮手段３５を設けたことで、図２（Ａ）に示すように、左右幅の狭い第１収容手段ＲＷに対しては、スイングボード３５Ｂを閉じておくことで第１収容手段ＲＷの取出口ＲＷ１の脇から外気が当該第１収容手段ＲＷ内部やマウント装置ＭＳ内部に侵入することを防止することができる上、スイングボード３５Ｂを開くことでウエハＷＦよりも左右幅の広いリングフレームＲＦを第２収容手段ＲＲから取り出すことができるようになる。
次いで、マウント装置ＭＳの図示しない搬送手段が、昇降ピン４１、４２、各収容物検知手段３４ＣによるウエハＷＦ、リングフレームＲＦの大きさや規格、各収容手段ＲＢ内でのそれらの姿勢、枚数あるいは収容位置の検知結果に基づいて、第１および第２収容手段ＲＷ、ＲＲからウエハＷＦ、リングフレームＲＦを取り出す。その後、マウント装置ＭＳの図示しない貼付手段が、接着シートを介してウエハＷＦおよびリングフレームＲＦを一体化した一体物を、図示しない搬送手段が次工程に搬送する。なお、図示しない搬送手段が一体物を第２収容手段ＲＲに戻してもよい。
【００２１】
次いで、第１または第２収容手段ＲＷ、ＲＲ内の全てのウエハＷＦまたはリングフレームＲＦを全て使い終わると、開閉手段３４が図示しない直動モータを駆動し、開閉ボード３４Ａを上昇させた後、前方に移動させる。次いで、開閉手段３４が図示しないロック開閉手段を駆動し、遮蔽部材ＲＷ３またはＲＲ３と各ケースＲＷ２またはＲＲ２とを固定した後、図示しない減圧手段の駆動を停止する。左側のロードポート１の場合、拡縮手段３５が回動モータ３５Ｃを駆動し、左右のスイングボード３５Ｂを回動させ図１中符号ＡＡで示す実線位置に復帰させる。そして、支持手段３０が直動モータ３１を駆動し、第１または第２収容手段ＲＷ、ＲＲを前方向に移動させた後、載置手段２０が図示しない固定手段を駆動し、第１または第２収容手段ＲＷ、ＲＲの固定を解除する。その後、第１または第２収容手段ＲＷ、ＲＲをウエハＷＦが収容された新しいものに交換し、以降上記同様の動作が繰り返される。
【００２２】
以上のような実施形態によれば、第１収容手段ＲＷと第２収容手段ＲＲとを判別可能な検知手段４０を有するため、ウエハＷＦおよびリングフレームＲＦの両方に対応可能であって、ユニットの共有化を図ることができる。
【００２３】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【００２４】
例えば、ロードポート１の開口部３３の大きさを上記実施形態より大きくして、第２収容手段ＲＲの取出口ＲＲ１に対応する大きさとするとともに、第１収容手段ＲＷの取出口ＲＷ１の大きさを取出口ＲＲ１と等しいかそれ以上の大きさとすれば、拡縮手段３５を設ける必要がなくなる。
さらに、拡縮手段３５は、スイングボード３５Ｂが左右方向にスライドしたり、アコーデオンカーテンのように折りたためたりするようにしてもよいし、手作業で開閉できるようにしてもよい。また、拡縮手段３５は、開口部３３の上下側に設けられてもよい。
さらに、アダプタＡＰを設けずに、第２収容手段ＲＲの下面に位置決め穴や昇降ピン４１、４２との接触を回避可能な凹穴を設けてもよい。
また、昇降ピン４１、４２の代わりに、静電容量方式や電磁誘導方式等の各種方式の検知手段を適用してもよい。
さらに、本発明におけるウエハの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等も対象とすることができる。
【００２５】
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、検知手段は、半導体ウエハを収容可能な第１収容手段とリングフレームを収容可能な第２収容手段とを判別可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（他の手段および工程についての説明は省略する）。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
【符号の説明】
【００２６】
１…ロードポート
２０…載置手段
３０…支持手段
３３…開口部
３５…拡縮手段
４０…検知手段
ＲＢ…収容手段
ＲＦ…リングフレーム
ＲＷ、ＲＲ…第１、第２収容手段
ＲＷ１、ＲＲ１…取出口
ＷＦ…ウエハ
【図１】
2014241333.tif 000003
【図２】
2014241333.tif 000004
【図３】
2014241333.tif 000005