(57)【要約】【課題】安定したツェナーザップトリミングが可能なトリミング回路、集積回路装置、及びトリミング方法等を提供する。【解決手段】トリミング回路１００は、電源電圧Ｖ１が供給される電源ラインにアノード端子が接続されるツェナーダイオードＺＤ１と、ツェナーダイオードＺＤ１のカソード端子に接続される接続ノードＮＤ１に電流を供給する電流供給部１２０と、接続ノードＮＤ１の電圧に応じて調整される基準電圧を出力する基準電圧出力部１１０とを含む。ツェナーダイオードＺＤ１が破壊されないときは、接続ノードＮＤ１はＨレベル電圧となり、破壊されたときは短絡され、接続ノードＮＤ１はＬレベル電圧となる。このため、トリミング回路１００は、接続ノードＮＤ１の電圧に応じて調整される基準電圧を出力することができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の電源電圧が供給される第１の電源ラインにアノード端子が接続される１又は複数のツェナーダイオードと、
前記１又は複数のツェナーダイオードを構成する各ツェナーダイオードのカソード端子にそれぞれが接続される１又は複数の接続ノードに電流を供給する電流供給部と、
前記１又は複数の接続ノードの電圧に応じて調整される基準電圧を出力する基準電圧出力部とを含むことを特徴とするトリミング回路。
【請求項２】
前記電流供給部は、
第２の電源電圧が供給される第２の電源ラインに一端が接続される１又は複数の電流源と、
前記１又は複数の電流源を構成する各電流源の他端にそれぞれのアノード端子が接続される１又は複数のダイオードとを含み、
前記１又は複数のダイオードを構成する各ダイオードのカソード端子に、前記１又は複数の接続ノードを構成する各接続ノードが接続されることを特徴とする請求項１に記載のトリミング回路。
【請求項３】
前記基準電圧出力部は、
複数の基準電圧を生成する基準電圧生成部と、
前記１又は複数の接続ノードの電圧に応じて、前記複数の基準電圧のうち１つの基準電圧を出力する基準電圧選択部とを含むことを特徴とする請求項１又は２に記載のトリミング回路。
【請求項４】
前記基準電圧生成部は、
第３の電源電圧が供給される第３の電源ラインと前記第１の電源ラインとの間に挿入され直列に接続される複数の抵抗素子を含み、
前記複数の抵抗素子を構成する抵抗素子の一端の電圧を前記基準電圧として生成することを特徴とする請求項３に記載のトリミング回路。
【請求項５】
前記１又は複数の接続ノードの電圧に応じて、基準電圧選択信号を生成する基準電圧選択信号生成部を含み、
前記基準電圧選択部は、
前記基準電圧選択信号に基づいて前記複数の基準電圧の中から１つの基準電圧を出力する複数のスイッチ素子を含むことを特徴とする請求項３又は４に記載のトリミング回路。
【請求項６】
前記基準電圧生成部が、２Ｎ（Ｎは１以上の整数）種類の基準電圧を生成し、
Ｎ個のツェナーダイオードにより構成されることを特徴とする請求項３乃至５のいずれか１項に記載のトリミング回路。
【請求項７】
前記電流供給部は、
ツェナーダイオードの破壊電流値より小さい電流値を有する非破壊電流を前記１又は複数の接続ノードのそれぞれに供給することを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載のトリミング回路。
【請求項８】
前記１又は複数の接続ノードのそれぞれに接続される１又は複数の外部端子を含むことを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載のトリミング回路。
【請求項９】
前記各ツェナーダイオードのアノード端子に接続される外部端子を含むことを特徴とする請求項８に記載のトリミング回路。
【請求項１０】
請求項１乃至９のいずれか１項に記載のトリミング回路と、
前記トリミング回路から出力される基準電圧と、入力電圧とを比較するコンパレーター回路とを含むことを特徴とする集積回路装置。
【請求項１１】
第１の電源ラインにアノード端子が接続され非破壊電流が供給される接続ノードにカソード端子が接続されるツェナーダイオードを破壊して短絡させ、前記接続ノードの電圧に応じて基準電圧を調整することを特徴とするトリミング方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、トリミング回路、これを備えた集積回路装置、及びトリミング方法等に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、集積回路装置内の例えばコンパレーター回路の基準電圧のような設計値を高精度に制御したり、集積回路装置を構成する回路の汎用性を確保したりする手法として、抵抗トリミングが知られている。抵抗トリミングについて、例えば特許文献１には、複数のトリミング抵抗のそれぞれに並列にツェナーダイオードを接続しておき、選択的にツェナーダイオードを破壊することで設計値を高精度に調整するようにしたツェナーザップトリミングが開示されている。
【０００３】
図１２に、従来のツェナーザップトリミングによる設計値の調整が可能なトリミング回路の構成例を示す。図１２は、集積回路装置に内蔵され、コンパレーター回路の基準電圧を調整する場合のトリミング回路の構成例を表している。
【０００４】
集積回路装置２は、トリミング回路１０と、コンパレーター回路３０と、入力端子Ｔ１と、出力端子Ｔ２と、外部端子ＴＭ１０〜ＴＭ１３とを備えている。
【０００５】
トリミング回路１０は、外部端子ＴＭ１０〜ＴＭ１３のいずれかを介して破壊電流を流したツェナーダイオードを選択的に破壊することによって基準電圧を調整し、調整後の基準電圧を出力する。コンパレーター回路３０は、入力端子Ｔ１を介して入力された入力電圧と、トリミング回路１０によって調整された基準電圧とを比較し、比較結果に対応した出力電圧を出力端子Ｔ２に出力する。
【０００６】
トリミング回路１０は、基準電圧生成部２０と、ツェナーダイオードＺＤ１０〜ＺＤ１２とを備えている。
【０００７】
基準電圧生成部２０は、抵抗素子Ｒ１〜Ｒ５を備えている。抵抗素子Ｒ１〜Ｒ５は、直列に接続され、低電位側のＧＮＤレベルの電源電圧が供給される電源ラインと高電位側の電源電圧Ｖ１が供給される電源ラインとの間に挿入される。基準電圧生成部２０は、直列に接続される抵抗素子Ｒ１〜Ｒ５の接続ノードの電圧を基準電圧Ｖ１−１〜Ｖ１−４として生成する。
【０００８】
ツェナーダイオードＺＤ１０〜ＺＤ１２のそれぞれは、抵抗素子Ｒ２〜Ｒ４のそれぞれに並列に接続される。
【０００９】
抵抗素子Ｒ１，Ｒ２の接続ノードには、外部端子ＴＭ１０、コンパレーター回路３０の反転入力端子、及びツェナーダイオードＺＤ１０のカソード端子が接続される。抵抗素子Ｒ２，Ｒ３の接続ノードには、外部端子ＴＭ１１、ツェナーダイオードＺＤ１０のアノード端子、及びツェナーダイオードＺＤ１１のカソード端子が接続される。抵抗素子Ｒ３，Ｒ４の接続ノードには、外部端子ＴＭ１２、ツェナーダイオードＺＤ１１のアノード端子、及びツェナーダイオードＺＤ１２のカソード端子が接続される。抵抗素子Ｒ４，Ｒ５の接続ノードには、外部端子ＴＭ１３及びツェナーダイオードＺＤ１２のアノード端子が接続される。
【００１０】
トリミング回路１０では、外部端子ＴＭ１０〜ＴＭ１３のいずれかを介して、破壊対象のツェナーダイオードの両端に過電圧を与えてツェナーダイオードの破壊電流を流すことにより、選択的にツェナーダイオードを破壊して短絡させることができる。この結果、基準電圧Ｖ１−１〜Ｖ１−４の出力ノード間の抵抗値が調整される。
【００１１】
図１３に、図１２のトリミング回路１０の動作説明図を示す。図１３は、直列接続される抵抗素子Ｒ１〜Ｒ５の両端電圧をＶ１とし、ツェナーダイオードＺＤ１０〜ＺＤ１２の破壊状況に応じてトリミング回路１０が出力する基準電圧を表している。なお、図１３において、破壊対象のツェナーダイオードについては「Ｙ」と表記し、非破壊対象のツェナーダイオードについては「Ｎ」と表記している。
【００１２】
例えば、ツェナーダイオードＺＤ１０〜ＺＤ１２のすべてが「Ｎ」の場合、ツェナーダイオードＺＤ１０〜ＺＤ１２は非破壊対象である。そのため、コンパレーター回路３０の反転入力端子には、電圧Ｖ１を抵抗素子Ｒ１〜Ｒ５により抵抗分割した電圧のうち抵抗素子Ｒ１，Ｒ２の接続ノードの電圧が基準電圧として印加される。
【００１３】
また、例えばツェナーダイオードＺＤ１０〜ＺＤ１２のうちツェナーダイオードＺＤ１１のみが「Ｙ」の場合、外部端子ＴＭ１１，ＴＭ１２を介して破壊電流を流し、ツェナーダイオードＺＤ１１は破壊状態となる。一方、ツェナーダイオードＺＤ１０，ＺＤ１２は非破壊状態のままである。そのため、ツェナーダイオードＺＤ１１は短絡状態となり、インピーダンスが高い抵抗素子Ｒ３には、電流が流れなくなる。従って、コンパレーター回路３０の反転入力端子には、電圧Ｖ１を抵抗素子Ｒ１，Ｒ２，Ｒ４，Ｒ５により抵抗分割した電圧のうち抵抗素子Ｒ１，Ｒ２の接続ノードの電圧が基準電圧として印加される。
【００１４】
図１３において、ツェナーダイオードＺＤ１０〜ＺＤ１２の他の場合についても同様である。このように、トリミング回路１０には、外部端子ＴＭ１０〜ＴＭ１３を介して外部から破壊電流を流すことによりツェナーダイオードを選択的に破壊することができる。その結果、トリミング回路１０は、ツェナーダイオードＺＤ１０〜ＺＤ１２の破壊状況に応じて調整された基準電圧を出力することができる。
【００１５】
ところで、ツェナーダイオードを選択的に破壊する場合、図１２に示すように、破壊対象のツェナーダイオードの両端に接続された外部端子に過電圧が印加される。このとき、基準電圧生成部２０を構成する抵抗素子Ｒ１〜Ｒ５の抵抗素子間がパンチスルーによって短絡し、ツェナーダイオードの破壊及び短絡ができず、安定したトリミングができなくなる事態を招く場合がある。この点、例えば特許文献２には、抵抗素子間の間隔を、空乏層の広がりが接触しないように離間させるようにすることで、過電圧を印加した際のパンチスルーによる抵抗素子間の短絡を防止するようにした手法が開示されている。
【００１６】
また、基準電圧生成部２０を構成する抵抗素子Ｒ１〜Ｒ５は、いわゆる島領域に形成され、この島領域には、当該島領域に電位を与えるための島電極が形成される。この島電極には、回路において最も高い電圧が供給される電源ラインが接続されるが、例えば過電圧を印加した際に漏れ電流が流れ、回路が誤動作する事態を招く場合がある。この点、例えば特許文献３には、抵抗を介して島領域の電位を電源ラインにより与えるように構成することで、抵抗素子から島領域に漏れ電流が流れることを防止するようにした手法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１７】
【特許文献１】特開平７−２５４７１９号公報
【特許文献２】特許第３４０２９０１号公報
【特許文献３】特許第３１９３２８４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１８】
しかしながら、特許文献１に開示されているようにツェナーダイオードが抵抗素子と並列に接続されるため、特に抵抗素子の抵抗値が小さい場合には、過電圧を印加する際に抵抗素子に過電流が流れてしまう。そのため、特許文献２や特許文献３に開示された手法であっても、ツェナーダイオードに並列に接続される抵抗素子の破壊に至る場合がある。従って、安定したトリミングを実現できず、ツェナーザップトリミングの信頼性を低下させてしまうという問題がある。
【００１９】
本発明は、以上のような技術的課題に鑑みてなされたものである。本発明の幾つかの態様によれば、安定したツェナーザップトリミングが可能なトリミング回路、集積回路装置、及びトリミング方法等を提供することができる。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
本発明の第１の態様は、トリミング回路が、第１の電源電圧が供給される第１の電源ラインにアノード端子が接続される１又は複数のツェナーダイオードと、前記１又は複数のツェナーダイオードを構成する各ツェナーダイオードのカソード端子にそれぞれが接続される１又は複数の接続ノードに電流を供給する電流供給部と、前記１又は複数の接続ノードの電圧に応じて調整される基準電圧を出力する基準電圧出力部とを含む。
【００２１】
本態様においては、第１の電源ラインにアノード端子が接続される１又は複数のツェナーダイオードのカソード端子にそれぞれが接続される１又は複数の接続ノードに電流を供給し、１又は複数の接続ノードの電圧に応じて調整される基準電圧を出力する。これにより、ツェナーダイオードの破壊状況に応じて１又は複数の接続ノードの電圧が異なるため、ツェナーダイオードの破壊状況に応じて調整される基準電圧を出力することができる。従って、破壊対象のツェナーダイオードに例えば基準電圧調整用の抵抗素子を接続する必要がなくなり、ツェナーダイオードを破壊する際に、破壊対象のツェナーダイオードのみに過電圧を印加することができるようになる。そのため、本態様によれば、ツェナーダイオードに接続される抵抗素子に過電圧が印加されることがなくなり、安定したトリミングを実現し、ツェナーザップトリミングの信頼性を向上させることができるようになる。
【００２２】
本発明の第２の態様は、集積回路装置が、上記の態様のトリミング回路と、前記トリミング回路から出力される基準電圧と、入力電圧とを比較するコンパレーター回路とを含む。
【００２３】
本態様によれば、安定したツェナーザップトリミングが可能なトリミング回路を備えた集積回路装置を提供することができるようになる。
【００２４】
本発明の第３の態様は、トリミング方法において、第１の電源ラインにアノード端子が接続され非破壊電流が供給される接続ノードにカソード端子が接続されるツェナーダイオードを破壊して短絡させ、前記接続ノードの電圧に応じて基準電圧を調整する。
【００２５】
本態様においては、第１の電源ラインにアノード端子が接続されるツェナーダイオードのカソード端子に接続される接続ノードに電流を供給し、ツェナーダイオードを破壊して短絡させて、接続ノードの電圧に応じて調整される基準電圧を出力する。これにより、破壊対象のツェナーダイオードと基準電圧調整用の抵抗素子とを接続する必要がなくなり、ツェナーダイオードを破壊する際に、破壊対象のツェナーダイオードのみに過電圧を印加することができるようになる。この結果、本態様によれば、ツェナーダイオードに接続される抵抗素子に過電圧が印加されることがなくなり、安定したトリミングを実現し、ツェナーザップトリミングの信頼性を向上させることができるようになる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明に係る第１の実施形態におけるトリミング回路の構成例を示す図。
【図２】図１のトリミング回路を用いたトリミング方法のフロー図。
【図３】図１のトリミング回路の動作説明図。
【図４】本発明に係る第２の実施形態におけるトリミング回路の構成例を示す図。
【図５】図４のトリミング回路の動作説明図。
【図６】本発明に係る第３の実施形態におけるトリミング回路の構成例を示す図。
【図７】本発明に係る第４の実施形態におけるトリミング回路の構成例を示す図。
【図８】本発明に係る第５の実施形態におけるトリミング回路の構成例を示す図。
【図９】本発明に係る第６の実施形態におけるトリミング回路の構成例を示す図。
【図１０】図１０（Ａ）、図１０（Ｂ）は図９の基準電圧出力部の動作説明図。
【図１１】本発明に係る第７の実施形態におけるトリミング回路の構成例を示す図。
【図１２】従来のトリミング回路の構成例を示す図。
【図１３】図１２のトリミング回路の動作説明図。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下、本発明の実施の形態について図面を用いて詳細に説明する。なお、以下に説明する実施の形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではない。また以下で説明される構成のすべてが本発明の課題を解決するために必須の構成要件であるとは限らない。
【００２８】
なお、以下では、ツェナーザップトリミングにより調整される設計値として基準電圧を例に説明する。
【００２９】
〔第１の実施形態〕
図１に、本発明に係る第１の実施形態におけるツェナーザップトリミングによる設計値の調整が可能なトリミング回路の構成例を示す。図１は、集積回路装置に内蔵され、コンパレーター回路の基準電圧を調整する場合のトリミング回路の構成例を表している。なお、図１において、図１２と同様の部分には同一符号を付し、適宜説明を省略する。
【００３０】
集積回路装置５２は、トリミング回路１００と、コンパレーター回路３０と、入力端子Ｔ１と、出力端子Ｔ２と、外部端子ＴＭ１，ＴＭＧとを備えている。
【００３１】
トリミング回路１００は、外部端子ＴＭ１，ＴＭＧを介して破壊電流を流してツェナーダイオードを破壊するか否かを選択することによって基準電圧を調整し、調整後の基準電圧を出力する。コンパレーター回路３０は、入力端子Ｔ１を介して入力された入力電圧と、トリミング回路１００によって調整された基準電圧とを比較し、比較結果に対応した出力電圧を出力端子Ｔ２に出力する。
【００３２】
トリミング回路１００は、基準電圧出力部１１０と、電流供給部１２０と、基準電圧選択信号生成部１３０と、ツェナーダイオードＺＤ１とを備えている。トリミング回路１００は、ツェナーダイオードＺＤ１のカソード端子に接続され電流供給部１２０により動作電流が供給される接続ノードＮＤ１の電圧に応じて調整される基準電圧を出力する。
【００３３】
基準電圧出力部１１０は、基準電圧生成部１１２と、基準電圧選択部１１４とを備えている。基準電圧生成部１１２は、低電位側のＧＮＤレベルの電源電圧（第１の電源電圧）が供給される電源ライン（第１の電源ライン）と高電位側の電源電圧Ｖ１（第３の電源電圧）が供給される電源ライン（第３の電源ライン）との間に挿入され直列に接続される複数の抵抗素子を備えている。基準電圧生成部１１２は、複数の抵抗素子を構成する抵抗素子の一端の電圧を基準電圧として生成する。具体的には、基準電圧生成部１１２は、抵抗素子Ｒ１〜Ｒ３を備えている。抵抗素子Ｒ１〜Ｒ３は、直列に接続され、低電位側のＧＮＤレベルの電源電圧が供給される電源ラインと高電位側の電源電圧Ｖ１が供給される電源ラインとの間に挿入される。基準電圧生成部１１２は、直列に接続される抵抗素子Ｒ１〜Ｒ３の接続ノードの電圧を基準電圧Ｖ１−１，Ｖ１−２として生成する。
【００３４】
基準電圧選択部１１４は、基準電圧生成部１１２によって生成された基準電圧Ｖ１−１，Ｖ１−２の中から１つの基準電圧を出力するためのスイッチ素子ＳＷ１−１，ＳＷ１−２を備えている。スイッチ素子ＳＷ１−１，ＳＷ１−２は、基準電圧選択信号生成部１３０によって生成された基準電圧選択信号に基づいて、排他的にスイッチ制御される。
【００３５】
電流供給部１２０は、ツェナーダイオードＺＤ１のカソード端子に接続される接続ノードＮＤ１に動作電流を供給する。この動作電流は、ツェナーダイオードＺＤ１の破壊電流値を超えない電流値を有する非破壊電流である。具体的には、電流供給部１２０は、ツェナーダイオードＺＤ１に対応して設けられた電流源ＣＳ１と、電流源ＣＳ１に対応して設けられたダイオードＤ１とを備えている。電流源ＣＳ１の一端には、高電位側の電源電圧Ｖ２（第２の電源電圧）が供給される電源ライン（第２の電源ライン）が接続される。電源電圧Ｖ２は、電源電圧Ｖ１と同電位の電圧とすることができる。電流源ＣＳ１の他端には、ダイオードＤ１のアノード端子が接続される。ダイオードＤ１のカソード端子には、接続ノードＮＤ１が接続される。
【００３６】
ツェナーダイオードＺＤ１のアノード端子には、ＧＮＤレベルの電源電圧が供給される電源ライン、及び外部端子ＴＭＧが接続される。また、ツェナーダイオードＺＤ１のカソード端子には、接続ノードＮＤ１及び外部端子ＴＭ１が接続される。
【００３７】
基準電圧選択信号生成部１３０は、基準電圧生成部１１２によって生成された複数の基準電圧の１つを選択するための基準電圧選択信号を、接続ノードＮＤ１の電圧に基づいて生成する。図１では、基準電圧選択信号生成部１３０は、接続ノードＮＤ１における信号と、該接続ノードＮＤ１を入力とするインバーター回路の出力信号とを基準電圧選択信号として出力する。なお、図１の基準電圧選択信号生成部１３０は、必要に応じて接続ノードＮＤ１が入力に接続されるバッファー回路を介して基準電圧選択信号を出力するようにしてもよい。
【００３８】
図２に、図１のトリミング回路１００を用いたトリミング方法のフロー図を示す。
【００３９】
例えばトリミング回路１００を備えた集積回路装置５２の特性等を検査した結果、トリミング回路１００を用いたトリミングを行うか否かが判断される。トリミングを行うと判断されたとき（ステップＳ１：Ｙ）、破壊対象のツェナーダイオードに外部装置から過電圧を印加して、ツェナーダイオードに破壊電流を流し、当該ツェナーダイオード破壊する（ステップＳ２、破壊ステップ）。図１の場合、破壊対象のツェナーダイオードは、ツェナーダイオードＺＤ１であるが、外部装置は、外部端子ＴＭＧにＧＮＤレベルの電源電圧を印加した状態で外部端子ＴＭ１に所与の過電圧を印加して、ツェナーダイオードＺＤ１に破壊電流を流す。ステップＳ２では、電源電圧Ｖ２が供給される電源ラインはオープン状態で行われ、ダイオードＤ１には過電圧が印加されずにツェナーダイオードＺＤ１にのみ過電圧が印加される。
【００４０】
ステップＳ２に続いて、又はトリミングを行わないとき（ステップＳ１：Ｎ）、トリミング回路１００では、基準電圧生成部１１２が、複数の基準電圧を生成する（ステップＳ３、基準電圧生成ステップ）。図１では、基準電圧生成部１１２は、ＧＮＤレベルの電源電圧と電源電圧Ｖ１との間の電圧を抵抗素子Ｒ１〜Ｒ３により抵抗分割した基準電圧Ｖ１−１，Ｖ１−２を生成する。
【００４１】
その後、基準電圧選択信号生成部１３０は、ツェナーダイオードの破壊状況に応じて、接続ノードＮＤ１の電圧に基づいて、基準電圧選択信号を生成する（ステップＳ４、基準電圧選択信号生成ステップ）。
【００４２】
そして、基準電圧選択部１１４は、ステップＳ４において生成された基準電圧選択信号に基づいて、ステップＳ３において生成された複数の基準電圧の中から１つの基準電圧を選択する（ステップＳ５、基準電圧選択ステップ）。こうして選択された基準電圧は、コンパレーター回路３０の反転入力端子に供給され、一連の処理が終了する（エンド）。
【００４３】
図３に、図１のトリミング回路１００の動作説明図を示す。図３は、外部端子ＴＭ１，ＴＭＧ間の電圧Ｖに応じてトリミング回路１００が出力する基準電圧の例を表している。
【００４４】
トリミング回路１００では、外部端子ＴＭ１，ＴＭＧを介して、ツェナーダイオードＺＤ１の両端に過電圧Ｖｄｅｓｔを与えてツェナーダイオードＺＤ１の破壊電流を流すことにより、ツェナーダイオードＺＤ１を破壊して短絡させることができる。
【００４５】
ツェナーダイオードＺＤ１の両端電圧Ｖが過電圧Ｖｄｅｓｔ以上のとき、ツェナーダイオードＺＤ１が破壊され、接続ノードＮＤ１（ツェナーダイオードＺＤ１のカソード端子）の電圧はＬレベル電圧となる。このとき、基準電圧Ｖ１−１を出力するためのスイッチ素子ＳＷ１−１がオフ状態、基準電圧Ｖ１−２を出力するためのスイッチ素子ＳＷ１−２がオン状態となり、基準電圧選択部１１４は、基準電圧Ｖ１−２を出力する。
【００４６】
ツェナーダイオードＺＤ１の両端電圧Ｖが過電圧Ｖｄｅｓｔ未満のとき、ツェナーダイオードＺＤ１は非破壊状態のままで、接続ノードＮＤ１の電圧はＨレベル電圧となる。このとき、スイッチ素子ＳＷ１−１がオン状態、スイッチ素子ＳＷ１−２がオフ状態となり、基準電圧選択部１１４は、基準電圧Ｖ１−１を出力する。
【００４７】
このように、ツェナーダイオードＺＤ１のカソード端子が接続される接続ノードＮＤ１の電圧は、ツェナーダイオードＺＤ１の破壊状況に対応した電圧となる。そのため、基準電圧選択信号生成部１３０は、ツェナーダイオードＺＤ１の破壊状況に対応した基準電圧選択信号を生成することができる。この結果、トリミング回路１００は、ツェナーダイオードＺＤ１の破壊状況に応じた基準電圧を、コンパレーター回路３０の反転入力端子に出力することができる。
【００４８】
以上のように、トリミング回路１００は、アノード端子が接地されるツェナーダイオードＺＤ１と、接続ノードＮＤ１に電流を供給する電流供給部１２０と、接続ノードＮＤ１の電圧に応じて調整される基準電圧を出力する基準電圧出力部１１０とを含む。このような構成により、第１の実施形態では、アノード端子が接地され、非破壊電流が供給される接続ノードＮＤ１にカソード端子が接続されるツェナーダイオードＺＤ１を破壊して短絡させ、接続ノードＮＤ１の電圧に応じて基準電圧を調整することができる。
【００４９】
なお、第１の実施形態では、ツェナーダイオードＺＤ１が非破壊状態のとき基準電圧選択部１１４が基準電圧Ｖ１−１を出力するものとして説明したが、これに限定されるものではない。例えば、ツェナーダイオードＺＤ１が非破壊状態のとき基準電圧選択部１１４が基準電圧Ｖ１−２を出力し、ツェナーダイオードＺＤ１が破壊状態のとき基準電圧選択部１１４が基準電圧Ｖ１−１を出力するようにしてもよい。
【００５０】
以上説明したように、第１の実施形態においては、基準電圧出力部１１０の調整用の抵抗素子Ｒ１〜Ｒ３とツェナーダイオードＺＤ１とが分離して設けられる。そのため、設計値（基準電圧）を調整するための抵抗素子を選択するために、ツェナーダイオードを破壊する際に、ツェナーダイオードＺＤ１のみに過電圧を印加することができるようになる。これにより、抵抗素子に過電圧が印加されることがなくなり、安定したトリミングを実現し、ツェナーザップトリミングの信頼性を向上させることができるようになる。
【００５１】
〔第２の実施形態〕
第１の実施形態では、１個のツェナーダイオードにより２（＝２１）種類の基準電圧のいずれかを選択するものとして説明したが、本発明に係る実施形態は、これに限定されるものではない。本発明に係る実施形態では、Ｎ（Ｎは１以上の整数）個のツェナーダイオードにより２Ｎ種類の基準電圧のいずれかを選択することができる。第２の実施形態では、Ｎが２の場合について説明する。
【００５２】
図４に、本発明に係る第２の実施形態におけるツェナーザップトリミングによる設計値の調整が可能なトリミング回路の構成例を示す。図４は、集積回路装置に内蔵され、コンパレーター回路の基準電圧として、２個のツェナーダイオードにより４（＝２２）種類の基準電圧のいずれかを選択する場合のトリミング回路の構成例を表している。なお、図４において、図１と同様の部分には同一符号を付し、適宜説明を省略する。
【００５３】
集積回路装置５２ａは、トリミング回路１００ａと、コンパレーター回路３０と、入力端子Ｔ１と、出力端子Ｔ２と、外部端子ＴＭ１，ＴＭ２，ＴＭＧとを備えている。
【００５４】
トリミング回路１００ａは、外部端子ＴＭ１，ＴＭ２，ＴＭＧのいずれかを介して破壊電流を流してツェナーダイオードを選択的に破壊することによって基準電圧を調整し、調整後の基準電圧を出力する。コンパレーター回路３０は、入力端子Ｔ１を介して入力された入力電圧と、トリミング回路１００ａによって調整された基準電圧とを比較し、比較結果に対応した出力電圧を出力端子Ｔ２に出力する。
【００５５】
トリミング回路１００ａは、基準電圧出力部１１０ａと、電流供給部１２０ａと、基準電圧選択信号生成部１３０ａと、ツェナーダイオードＺＤ１，ＺＤ２とを備えている。トリミング回路１００ａは、ツェナーダイオードＺＤ１，ＺＤ２のそれぞれのカソード端子に接続され電流供給部１２０により動作電流が供給される接続ノードＮＤ１，ＮＤ２の電圧に基づいて調整された基準電圧を出力する。
【００５６】
基準電圧出力部１１０ａは、基準電圧生成部１１２ａと、基準電圧選択部１１４ａとを備えている。基準電圧生成部１１２ａは、抵抗素子Ｒ１〜Ｒ５を備えている。抵抗素子Ｒ１〜Ｒ５は、直列に接続され、低電位側のＧＮＤレベルの電源電圧が供給される電源ラインと高電位側の電源電圧Ｖ１が供給される電源ラインとの間に挿入される。基準電圧生成部１１２ａは、直列に接続される抵抗素子Ｒ１〜Ｒ５の接続ノードの電圧を基準電圧Ｖ１−１，Ｖ１−２，Ｖ１−３，Ｖ１−４として生成する。
【００５７】
基準電圧選択部１１４ａは、基準電圧生成部１１２ａによって生成された基準電圧Ｖ１−１〜Ｖ１−４の中から１つの基準電圧を出力するためのスイッチ素子ＳＷ１−１〜ＳＷ１−４を備えている。スイッチ素子ＳＷ１−１〜ＳＷ１−４は、基準電圧選択信号生成部１３０ａによって生成された基準電圧選択信号に基づいて、排他的にスイッチ制御される。
【００５８】
電流供給部１２０ａは、ツェナーダイオードＺＤ１，ＺＤ２のそれぞれのカソード端子が接続される接続ノードＮＤ１，ＮＤ２に動作電流を供給する。この動作電流は、ツェナーダイオードＺＤ１，ＺＤ２の破壊電流値を超えない電流値を有する非破壊電流である。電流供給部１２０ａは、電源電圧Ｖ２が供給される電源ラインに一端が接続される複数の電流源と、複数の電流源を構成する各電流源の他端にそれぞれのアノード端子が接続される複数のダイオードとを備えている。複数のダイオードを構成する各ダイオードのカソード端子に、上記の複数の接続ノードを構成する各接続ノードが接続される。具体的には、電流供給部１２０ａは、ツェナーダイオードＺＤ１に対応して設けられた電流源ＣＳ１及びダイオードＤ１に加えて、ツェナーダイオードＺＤ２に対応して設けられた電流源ＣＳ２及びダイオードＤ２を備えている。ダイオードＤ２は、電流源ＣＳ２に対応して設けられる。電流源ＣＳ２の一端には、電源電圧Ｖ２が供給される電源ラインが接続される。電流源ＣＳ２の他端には、ダイオードＤ２のアノード端子が接続される。ダイオードＤ２のカソード端子には、接続ノードＮＤ２が接続される。
【００５９】
ツェナーダイオードＺＤ２のアノード端子には、ＧＮＤレベルの電源電圧が供給される電源ライン、及び外部端子ＴＭＧが接続される。また、ツェナーダイオードＺＤ２のカソード端子には、接続ノードＮＤ２及び外部端子ＴＭ２が接続される。
【００６０】
基準電圧選択信号生成部１３０ａは、基準電圧生成部１１２ａによって生成された複数の基準電圧の１つを選択するための基準電圧選択信号を、接続ノードＮＤ１，ＮＤ２の電圧に基づいて生成する。図４では、基準電圧選択信号生成部１３０ａは、接続ノードＮＤ１，ＮＤ２における信号のデコード結果を基準電圧選択信号として出力する。
【００６１】
第２の実施形態では、図２と同様の方法で、図４のトリミング回路１００ａを用いたトリミング方法を実現することができる。この場合、破壊対象のツェナーダイオードは、ツェナーダイオードＺＤ１，ＺＤ２のいずれかである。例えばツェナーダイオードＺＤ２を破壊する場合、外部装置が、外部端子ＴＭＧにＧＮＤレベルの電源電圧を印加した状態で外部端子ＴＭ２に所与の過電圧を印加して、ツェナーダイオードＺＤ２に破壊電流を流す。このとき、電源電圧Ｖ２が供給される電源ラインはオープン状態で行われ、ダイオードＤ２には過電圧が印加されずにツェナーダイオードＺＤ２にのみ過電圧が印加される。
【００６２】
図５に、図４のトリミング回路１００ａの動作説明図を示す。図５は、外部端子ＴＭ１，ＴＭＧ間の電圧Ｖａ、外部端子ＴＭ２，ＴＭＧ間の電圧Ｖｂに応じてトリミング回路１００ａが出力する基準電圧の例を表している。
【００６３】
トリミング回路１００ａでは、外部端子ＴＭ１，ＴＭＧを介して、ツェナーダイオードＺＤ１の両端に過電圧Ｖｄｅｓｔを与えてツェナーダイオードＺＤ１の破壊電流を流すことにより、ツェナーダイオードＺＤ１を破壊して短絡させることができる。また、トリミング回路１００ａでは、外部端子ＴＭ２，ＴＭＧを介して、ツェナーダイオードＺＤ２の両端に過電圧Ｖｄｅｓｔを与えてツェナーダイオードＺＤ２の破壊電流を流すことにより、ツェナーダイオードＺＤ２を破壊して短絡させることができる。
【００６４】
ツェナーダイオードＺＤ１の両端電圧Ｖａが過電圧Ｖｄｅｓｔ以上のとき、ツェナーダイオードＺＤ１が破壊され、接続ノードＮＤ１の電圧はＬレベル電圧となる。ツェナーダイオードＺＤ１の両端電圧Ｖａが過電圧Ｖｄｅｓｔ未満のとき、ツェナーダイオードＺＤ１は非破壊状態のままで、接続ノードＮＤ１の電圧はＨレベル電圧となる。
【００６５】
同様に、ツェナーダイオードＺＤ２の両端電圧Ｖｂが過電圧Ｖｄｅｓｔ以上のとき、ツェナーダイオードＺＤ２が破壊され、接続ノードＮＤ２（ツェナーダイオードＺＤ２のカソード端子）の電圧はＬレベル電圧となる。ツェナーダイオードＺＤ２の両端電圧Ｖｂが過電圧Ｖｄｅｓｔ未満のとき、ツェナーダイオードＺＤ２は非破壊状態のままで、接続ノードＮＤ２の電圧はＨレベル電圧となる。
【００６６】
接続ノードＮＤ１，ＮＤ２の電圧がＬレベル電圧のとき、基準電圧Ｖ１−４を出力するためのスイッチ素子ＳＷ１−４がオン状態、他のスイッチ素子がオフ状態となる。このとき、基準電圧選択部１１４ａは、基準電圧Ｖ１−４を出力する。
【００６７】
接続ノードＮＤ１の電圧がＬレベル電圧、接続ノードＮＤ２の電圧がＨレベル電圧のとき、基準電圧Ｖ１−３を出力するためのスイッチ素子ＳＷ１−３がオン状態、他のスイッチ素子がオフ状態となる。このとき、基準電圧選択部１１４ａは、基準電圧Ｖ１−３を出力する。
【００６８】
接続ノードＮＤ１の電圧がＨレベル電圧、接続ノードＮＤ２の電圧がＬレベル電圧のとき、基準電圧Ｖ１−２を出力するためのスイッチ素子ＳＷ１−２がオン状態、他のスイッチ素子がオフ状態となる。このとき、基準電圧選択部１１４ａは、基準電圧Ｖ１−２を出力する。
【００６９】
接続ノードＮＤ１，ＮＤ２の電圧がＨレベル電圧のとき、基準電圧Ｖ１−１を出力するためのスイッチ素子ＳＷ１−１がオン状態、他のスイッチ素子がオフ状態となる。このとき、基準電圧選択部１１４ａは、基準電圧Ｖ１−１を出力する。
【００７０】
このように、ツェナーダイオードＺＤ１，ＺＤ２のそれぞれのカソード端子が接続される接続ノードＮＤ１，ＮＤ２の電圧は、ツェナーダイオードＺＤ１，ＺＤ２の破壊状況に対応した電圧となる。そのため、基準電圧選択信号生成部１３０ａは、ツェナーダイオードＺＤ１，ＺＤ２の破壊状況に対応した基準電圧選択信号を生成することができる。この結果、トリミング回路１００ａは、ツェナーダイオードＺＤ１，ＺＤ２の破壊状況に応じた基準電圧を、コンパレーター回路３０の反転入力端子に出力することができる。
【００７１】
以上のように、トリミング回路１００ａは、アノード端子が接地される複数のツェナーダイオードＺＤ１，ＺＤ２と、各ツェナーダイオードのカソード端子にそれぞれが接続される複数の接続ノードＮＤ１，ＮＤ２に電流を供給する電流供給部１２０ａと、接続ノードＮＤ１，ＮＤ２の電圧に応じて調整される基準電圧を出力する基準電圧出力部１１０ａとを含む。このような構成により、第２の実施形態では、アノード端子が接地され、非破壊電流が供給される接続ノードＮＤ１，ＮＤ２のそれぞれにカソード端子が接続されるツェナーダイオードＺＤ１，ＺＤ２の少なくとも１つを破壊して短絡させ、接続ノードＮＤ１，ＮＤ２の電圧に応じて基準電圧を調整することができる。
【００７２】
なお、第２の実施形態において、基準電圧選択信号生成部１３０ａは、図４に示す構成を有するものに限定されるものではない。基準電圧選択信号生成部１３０ａは、基準電圧生成部１１２ａにおいて生成された基準電圧Ｖ１−１〜Ｖ１−４の中から１つの基準電圧を、接続ノードＮＤ１，ＮＤ２の電圧に基づいて選択するように基準電圧選択信号を生成するものであればよい。
【００７３】
以上説明したように、第２の実施形態においては、基準電圧出力部１１０ａの調整用の抵抗素子Ｒ１〜Ｒ５とツェナーダイオードＺＤ１，ＺＤ２とが分離して設けられる。そのため、設計値を調整するための抵抗素子を選択するために、ツェナーダイオードを選択的に破壊する際に、ツェナーダイオードＺＤ１，ＺＤ２のみに過電圧を印加することができるようになる。これにより、抵抗素子に過電圧が印加されることがなくなり、安定したトリミングを実現し、ツェナーザップトリミングの信頼性を向上させることができるようになる。
【００７４】
また、基準電圧生成部１１２ａが２Ｎ（Ｎは２以上の整数）種類の基準電圧を生成する場合、ツェナーダイオードの個数はＮ個で済み、外部端子数を削減することができる。例えば、図１２に示す集積回路装置２では、基準電圧Ｖ１−１〜Ｖ１−４から１つの基準電圧を出力するために３個のツェナーダイオードと４個の外部端子を用いて構成される。これに対して、図４に示す集積回路装置５２ａでは、基準電圧Ｖ１−１〜Ｖ１−４から１つの基準電圧を出力するために２個のツェナーダイオードと３個の外部端子を用いて構成される。
【００７５】
〔第３の実施形態〕
第１の実施形態では、外部端子ＴＭＧを介してツェナーダイオードＺＤ１のアノード端子にＧＮＤレベルの電源電圧を供給して、ツェナーダイオードＺＤ１を破壊するものとして説明したが、これに限定されるものではない。
【００７６】
図６に、本発明に係る第３の実施形態におけるツェナーザップトリミングによる設計値の調整が可能なトリミング回路の構成例を示す。図６は、集積回路装置に内蔵され、コンパレーター回路の基準電圧を調整する場合のトリミング回路の構成例を表している。なお、図６において、図１と同様の部分には同一符号を付し、適宜説明を省略する。
【００７７】
集積回路装置５２ｂの構成が図１に示す集積回路装置５２の構成と異なる点は、外部端子ＴＭＧが省略された点である。この場合、ツェナーダイオードＺＤ１のアノード端子は、集積回路装置５２ｂの他の回路にＧＮＤレベルの電源電圧を供給する電源ラインに接続される。
【００７８】
以上説明したように、第３の実施形態によれば、第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。そして、ツェナーダイオードを破壊する際にＧＮＤレベルの電源電圧の変動が小さい場合に、外部端子ＴＭＧを省略して、より一層の低コスト化に寄与することができるようになる。なお、第２の実施形態における集積回路装置５２ａの外部端子ＴＭＧも、図６のように省略するようにしてもよい。
【００７９】
〔第４の実施形態〕
第１の実施形態〜第３の実施形態では、１又は複数のツェナーダイオードのカソード端子のそれぞれが接続される１又は複数の接続ノードの電圧をデコードして基準電圧選択信号を生成することで、ツェナーダイオードや外部端子の数を削減していた。これに対して、第４の実施形態では、基準電圧を出力するスイッチ素子毎に、ツェナーダイオード及びこれに対応する外部端子を設けることで、基準電圧選択信号の生成を不要にする。
【００８０】
図７に、本発明に係る第４の実施形態におけるツェナーザップトリミングによる設計値の調整が可能なトリミング回路の構成例を示す。図７は、集積回路装置に内蔵され、コンパレーター回路の基準電圧として、図１と同様に２種類の基準電圧のいずれかを選択する場合の構成例を表している。なお、図７において、図１又は図４と同様の部分には同一符号を付し、適宜説明を省略する。
【００８１】
集積回路装置５２ｃは、トリミング回路１００ｃと、コンパレーター回路３０と、入力端子Ｔ１と、出力端子Ｔ２と、外部端子ＴＭ１，ＴＭ２，ＴＭＧとを備えている。
【００８２】
トリミング回路１００ｃは、外部端子ＴＭ１，ＴＭ２，ＴＭＧのいずれかを介して破壊電流を流してツェナーダイオードを選択的に破壊することによって基準電圧を調整し、調整後の基準電圧を出力する。コンパレーター回路３０は、入力端子Ｔ１を介して入力された入力電圧と、トリミング回路１００ｃによって調整された基準電圧とを比較し、比較結果に対応した出力電圧を出力端子Ｔ２に出力する。
【００８３】
トリミング回路１００ｃは、基準電圧出力部１１０と、電流供給部１２０ａと、ツェナーダイオードＺＤ１，ＺＤ２とを備えている。
【００８４】
基準電圧出力部１１０を構成する基準電圧選択部１１４におけるスイッチ素子ＳＷ１−１は、接続ノードＮＤ１の電圧に基づいてスイッチ制御される。また、スイッチ素子ＳＷ１−２は、接続ノードＮＤ２の電圧に基づいてスイッチ制御される。
【００８５】
トリミング回路１００ｃの構成が図１のトリミング回路１００の構成と異なる点は、ツェナーダイオードが２個となる一方、図１の基準電圧選択信号生成部１３０が省略された構成を有する点である。
【００８６】
接続ノードＮＤ１の電圧がＬレベル電圧のとき、スイッチ素子ＳＷ１−１はオフ状態となり、接続ノードＮＤ１の電圧がＨレベル電圧のとき、スイッチ素子ＳＷ１−１はオン状態となる。同様に、接続ノードＮＤ２の電圧がＬレベル電圧のとき、スイッチ素子ＳＷ１−２はオフ状態となり、接続ノードＮＤ２の電圧がＨレベル電圧のとき、スイッチ素子ＳＷ１−２はオン状態となる。
【００８７】
第４の実施形態では、図２と同様の方法で、図７のトリミング回路１００ｃを用いたトリミング方法を実現することができる。この場合、破壊対象のツェナーダイオードは、ツェナーダイオードＺＤ１，ＺＤ２のいずれかである。
【００８８】
このように、ツェナーダイオードＺＤ１，ＺＤ２のそれぞれのカソード端子が接続される接続ノードＮＤ１，ＮＤ２の電圧は、ツェナーダイオードＺＤ１，ＺＤ２の破壊状況に対応した電圧となる。そのため、スイッチ素子ＳＷ１−１，ＳＷ１−２は、ツェナーダイオードＺＤ１，ＺＤ２の破壊状況に応じた基準電圧を出力することができる。この結果、トリミング回路１００ｃは、ツェナーダイオードＺＤ１，ＺＤ２の破壊状況に応じた基準電圧を、コンパレーター回路３０の反転入力端子に出力することができる。
【００８９】
以上のように、トリミング回路１００ｃは、アノード端子が接地される複数のツェナーダイオードＺＤ１，ＺＤ２と、各ツェナーダイオードのカソード端子にそれぞれが接続される複数の接続ノードＮＤ１，ＮＤ２に電流を供給する電流供給部１２０ａと、接続ノードＮＤ１，ＮＤ２の電圧に応じて調整される基準電圧を出力する基準電圧出力部１１０とを含む。このような構成により、第４の実施形態では、アノード端子が接地され、非破壊電流が供給される接続ノードＮＤ１，ＮＤ２のそれぞれにカソード端子が接続されるツェナーダイオードＺＤ１，ＺＤ２の少なくとも１つを破壊して短絡させ、接続ノードＮＤ１，ＮＤ２の電圧に応じて基準電圧を調整することができる。
【００９０】
以上説明したように、第４の実施形態においては、第１の実施形態と同様に、ツェナーダイオードを選択的に破壊する際に、ツェナーダイオードＺＤ１，ＺＤ２のみに過電圧を印加することができるようになる。これにより、抵抗素子に過電圧が印加されることがなくなり、安定したトリミングを実現し、ツェナーザップトリミングの信頼性を向上させることができるようになる。
【００９１】
また、同じ２種類の基準電圧のいずれかを出力する図１の構成と比較して、１個のツェナーダイオード及びこれに動作電流を供給する回路と、１個の外部端子とを追加する必要があるものの、基準電圧選択信号生成部１３０を省略することができる。特に、基準電圧生成部において生成される基準電圧の種類が増える程、基準電圧選択信号生成部を省略できる効果は大きくなる。
【００９２】
なお、図７において、基準電圧選択信号生成部を設け、必要に応じてツェナーダイオードのカソード端子に接続される接続ノードが入力に接続されるバッファー回路を介して、スイッチ素子を制御するようにしてもよい。
【００９３】
〔第５の実施形態〕
第４の実施形態では、２個のツェナーダイオードにより２種類の基準電圧のいずれかを選択するものとして説明したが、本発明に係る実施形態は、これに限定されるものではない。
【００９４】
図８に、本発明に係る第５の実施形態におけるツェナーザップトリミングによる設計値の調整が可能なトリミング回路の構成例を示す。図８は、集積回路装置に内蔵され、コンパレーター回路の基準電圧として、４個のツェナーダイオードにより４種類の基準電圧のいずれかを選択する場合の構成例を表している。なお、図８において、図４と同様の部分には同一符号を付し、適宜説明を省略する。
【００９５】
集積回路装置５２ｄは、トリミング回路１００ｄと、コンパレーター回路３０と、入力端子Ｔ１と、出力端子Ｔ２と、外部端子ＴＭ１〜ＴＭ４，ＴＭＧとを備えている。
【００９６】
トリミング回路１００ｄは、外部端子ＴＭ１〜ＴＭ４，ＴＭＧのいずれかを介して破壊電流を流してツェナーダイオードを選択的に破壊することによって基準電圧を調整し、調整後の基準電圧を出力する。コンパレーター回路３０は、入力端子Ｔ１を介して入力された入力電圧と、トリミング回路１００ｄによって調整された基準電圧とを比較し、比較結果に対応した出力電圧を出力端子Ｔ２に供給する。
【００９７】
トリミング回路１００ｄは、基準電圧出力部１１０ａと、電流供給部１２０ｄと、ツェナーダイオードＺＤ１〜ＺＤ４とを備えている。
【００９８】
電流供給部１２０ｄは、ツェナーダイオードＺＤ１〜ＺＤ４のそれぞれのカソード端子に動作電流を供給する。この動作電流は、ツェナーダイオードＺＤ１〜ＺＤ４の破壊電流値を超えない電流値を有する非破壊電流である。具体的には、電流供給部１２０ｄは、電流源ＣＳ１，ＣＳ２及びダイオードＤ１，Ｄ２に加えて、電流源ＣＳ３，ＣＳ４及びダイオードＤ３，Ｄ４を備えている。電流源ＣＳ３は、ツェナーダイオードＺＤ３に対応して設けられ、ダイオードＤ３は、電流源ＣＳ３に対応して設けられる。電流源ＣＳ４は、ツェナーダイオードＺＤ４に対応して設けられ、ダイオードＤ４は、電流源ＣＳ４に対応して設けられる。電流源ＣＳ３の一端には、電源電圧Ｖ２が供給される電源ラインが接続される。電流源ＣＳ３の他端には、ダイオードＤ３のアノード端子が接続される。ダイオードＤ３のカソード端子には、接続ノードＮＤ３が接続される。電流源ＣＳ４の一端には、電源電圧Ｖ２が供給される電源ラインが接続される。電流源ＣＳ４の他端には、ダイオードＤ４のアノード端子が接続される。ダイオードＤ４のカソード端子には、接続ノードＮＤ４が接続される。
【００９９】
ツェナーダイオードＺＤ３のアノード端子には、ＧＮＤレベルの電源電圧が供給される電源ライン、及び外部端子ＴＭＧが接続される。また、ツェナーダイオードＺＤ３のカソード端子には、接続ノードＮＤ３及び外部端子ＴＭ３が接続される。ツェナーダイオードＺＤ４のアノード端子には、ＧＮＤレベルの電源電圧が供給される電源ライン、及び外部端子ＴＭＧが接続される。また、ツェナーダイオードＺＤ４のカソード端子には、接続ノードＮＤ４及び外部端子ＴＭ４が接続される。
【０１００】
基準電圧選択部１１４ａにおけるスイッチ素子ＳＷ１−１は、接続ノードＮＤ１の電圧に基づいてスイッチ制御される。また、スイッチ素子ＳＷ１−２は、接続ノードＮＤ２の電圧に基づいてスイッチ制御される。また、スイッチ素子ＳＷ１−３は、接続ノードＮＤ３の電圧に基づいてスイッチ制御される。更に、スイッチ素子ＳＷ１−４は、接続ノードＮＤ４の電圧に基づいてスイッチ制御される。
【０１０１】
このようにトリミング回路１００ｄの構成が図４のトリミング回路１００ａの構成と異なる点は、ツェナーダイオードが４個となる一方、図４の基準電圧選択信号生成部１３０ａが省略された構成を有する点である。
【０１０２】
スイッチ素子ＳＷ１−１，ＳＷ１−２については、図７と同様の動作を行う。同様に、接続ノードＮＤ３の電圧がＬレベル電圧のとき、スイッチ素子ＳＷ１−３はオフ状態となり、接続ノードＮＤ３の電圧がＨレベル電圧のとき、スイッチ素子ＳＷ１−３はオン状態となる。接続ノードＮＤ４の電圧がＬレベル電圧のとき、スイッチ素子ＳＷ１−４はオフ状態となり、接続ノードＮＤ４の電圧がＨレベル電圧のとき、スイッチ素子ＳＷ１−４はオン状態となる。
【０１０３】
第５の実施形態では、図２と同様の方法で、図８のトリミング回路１００ｄを用いたトリミング方法を実現することができる。この場合、破壊対象のツェナーダイオードは、ツェナーダイオードＺＤ１〜ＺＤ４のいずれかである。
【０１０４】
このように、ツェナーダイオードＺＤ１〜ＺＤ４のそれぞれのカソード端子が接続される接続ノードＮＤ１〜ＮＤ４の電圧は、ツェナーダイオードＺＤ１〜ＺＤ４の破壊状況に対応した電圧となる。そのため、スイッチ素子ＳＷ１−１〜ＳＷ１−４は、ツェナーダイオードＺＤ１〜ＺＤ４の破壊状況に応じた基準電圧を出力することができる。この結果、トリミング回路１００ｄは、ツェナーダイオードＺＤ１〜ＺＤ４の破壊状況に応じた基準電圧を、コンパレーター回路３０の反転入力端子に出力することができる。
【０１０５】
以上のように、トリミング回路１００ｄは、アノード端子が接地される複数のツェナーダイオードＺＤ１〜ＺＤ４と、各ツェナーダイオードのカソード端子にそれぞれが接続される複数の接続ノードＮＤ１〜ＮＤ４に電流を供給する電流供給部１２０ｄと、接続ノードＮＤ１〜ＮＤ４の電圧に応じて調整される基準電圧を出力する基準電圧出力部１１０ａとを含む。このような構成により、第５の実施形態では、アノード端子が接地され、非破壊電流が供給される接続ノードＮＤ１〜ＮＤ４のそれぞれにカソード端子が接続されるツェナーダイオードＺＤ１〜ＺＤ４の少なくとも１つを破壊して短絡させ、接続ノードＮＤ１〜ＮＤ４の電圧に応じて基準電圧を調整することができる。
【０１０６】
以上説明したように、第５の実施形態においては、第２の実施形態と同様に、ツェナーダイオードを選択的に破壊する際に、ツェナーダイオードＺＤ１〜ＺＤ４のみに過電圧を印加することができるようになる。これにより、抵抗素子に過電圧が印加されることがなくなり、安定したトリミングを実現し、ツェナーザップトリミングの信頼性を向上させることができるようになる。
【０１０７】
また、同じ４種類の基準電圧のいずれかを出力する図４の構成と比較して、２個のツェナーダイオード及びこれに動作電流を供給する回路と、２個の外部端子とを追加する必要があるものの、基準電圧選択信号生成部１３０ａを省略することができる。特に、基準電圧生成部において生成される基準電圧の種類が増える程、基準電圧選択信号生成部を省略できる効果は大きくなる。
【０１０８】
なお、図８において、基準電圧選択信号生成部を設け、必要に応じてツェナーダイオードのカソード端子に接続される接続ノードが入力に接続されるバッファー回路を介して、スイッチ素子を制御するようにしてもよい。
【０１０９】
〔第６の実施形態〕
第１の実施形態〜第５の実施形態では、基準電圧出力部が、基準電圧生成部によって生成された複数の基準電圧の１つを基準電圧選択部が選択して出力するものとして説明したが、本発明に係る実施形態は、これに限定されるものではない。
【０１１０】
図９に、本発明に係る第６の実施形態におけるツェナーザップトリミングによる設計値の調整が可能なトリミング回路の構成例を示す。図９は、集積回路装置に内蔵され、２個のツェナーダイオードのカソード端子に接続される接続ノードＮＤ１，ＮＤ２の電圧に応じてコンパレーター回路の基準電圧を生成する場合の構成例を表している。なお、図９において、図４と同様の部分には同一符号を付し、適宜説明を省略する。
【０１１１】
集積回路装置５２ｅは、トリミング回路１００ｅと、コンパレーター回路３０と、入力端子Ｔ１と、出力端子Ｔ２と、外部端子ＴＭ１，ＴＭ２，ＴＭＧとを備えている。
【０１１２】
トリミング回路１００ｅは、外部端子ＴＭ１，ＴＭ２，ＴＭＧのいずれかを介して破壊電流を流してツェナーダイオードを選択的に破壊することによって基準電圧を調整し、調整後の基準電圧を出力する。コンパレーター回路３０は、入力端子Ｔ１を介して入力された入力電圧と、トリミング回路１００ｅによって調整された基準電圧とを比較し、比較結果に対応した出力電圧を出力端子Ｔ２に出力する。
【０１１３】
トリミング回路１００ｅは、基準電圧出力部１１０ｅと、電流供給部１２０ａと、ツェナーダイオードＺＤ１，ＺＤ２とを備えている。
【０１１４】
基準電圧出力部１１０ｅは、基準電圧生成部１１２ａが有する抵抗素子Ｒ１〜Ｒ５に加えて、スイッチ素子ＳＷ１ｅ，ＳＷ２ｅを備えている。抵抗素子Ｒ１〜Ｒ５は、図４と同様に、直列に接続され、低電位側のＧＮＤレベルの電源電圧が供給される電源ラインと高電位側の電源電圧Ｖ１が供給される電源ラインとの間に挿入される。スイッチ素子ＳＷ１ｅは、抵抗素子Ｒ１，Ｒ２の接続ノードＴＤ１と、抵抗素子Ｒ２，Ｒ３の接続ノードＴＤ２と、コンパレーター回路３０の反転入力端子との間に設けられる。スイッチ素子ＳＷ１ｅは、接続ノードＮＤ１の電圧に応じて、接続ノードＴＤ１，ＴＤ２のいずれか一方を、コンパレーター回路３０の反転入力端子に接続する。スイッチ素子ＳＷ２ｅは、抵抗素子Ｒ３，Ｒ４の接続ノードＴＤ３と、抵抗素子Ｒ４，Ｒ５の接続ノードＴＤ４と、コンパレーター回路３０の反転入力端子との間に設けられる。スイッチ素子ＳＷ２ｅは、接続ノードＮＤ２の電圧に応じて、接続ノードＴＤ３，ＴＤ４のいずれか一方を、コンパレーター回路３０の反転入力端子に接続する。
【０１１５】
このようにトリミング回路１００ｅの構成が図４のトリミング回路１００ａの構成と異なる点は、接続ノードＮＤ１，ＮＤ２に応じて基準電圧そのものを変更するようにした点である。
【０１１６】
図１０（Ａ）、図１０（Ｂ）に、図９の基準電圧出力部１１０ｅの動作説明図を示す。図１０（Ａ）は、スイッチ素子ＳＷ１ｅ，ＳＷ２ｅにより、コンパレーター回路３０の反転入力端子が、接続ノードＴＤ１，ＴＤ４と接続された場合の動作説明図を表す。図１０（Ｂ）は、スイッチ素子ＳＷ１ｅ，ＳＷ２ｅにより、コンパレーター回路３０の反転入力端子が、接続ノードＴＤ２，ＴＤ３と接続された場合の動作説明図を表す。なお、図１０（Ａ）及び図１０（Ｂ）において、図９と同様の部分には同一符号を付し、適宜説明を省略する。
【０１１７】
例えば接続ノードＮＤ１がＬレベル電圧、接続ノードＮＤ２がＨレベル電圧のとき、図１０（Ａ）に示すように、スイッチ素子ＳＷ１ｅ，ＳＷ２ｅにより、コンパレーター回路３０の反転入力端子が、接続ノードＴＤ１，ＴＤ４と接続されるものとする。このとき、電源電圧Ｖ１が供給される電源ラインと、ＧＮＤレベルの電源電圧が供給される電源ラインとの間には、電流経路Ｐ１が形成される。従って、コンパレーター回路３０の反転入力端子の電圧Ｖ−は、次式のようになる。
【数１】
2014103276.tif 000003
【０１１８】
これに対して、例えば接続ノードＮＤ１がＨレベル電圧、接続ノードＮＤ２がＬレベル電圧のとき、図１０（Ｂ）に示すようにスイッチ素子ＳＷ１ｅ，ＳＷ２ｅにより、コンパレーター回路３０の反転入力端子が、接続ノードＴＤ２，ＴＤ３と接続されるものとする。このとき、電源電圧Ｖ１が供給される電源ラインと、ＧＮＤレベルの電源電圧が供給される電源ラインとの間には、電流経路Ｐ２が形成される。従って、コンパレーター回路３０の反転入力端子の電圧Ｖ−は、次式のようになる。
【数２】
2014103276.tif 000004
【０１１９】
接続ノードＮＤ１，ＮＤ２の電圧が他の場合も、形成される電流経路に応じて上記の式のように求められる電圧Ｖ−が、コンパレーター回路３０の反転入力端子に出力される。
【０１２０】
第６の実施形態では、図２と同様の方法で、図９のトリミング回路１００ｅを用いたトリミング方法を実現することができる。この場合、破壊対象のツェナーダイオードは、ツェナーダイオードＺＤ１，ＺＤ２のいずれかである。
【０１２１】
以上のように、トリミング回路１００ｅは、アノード端子が接地される複数のツェナーダイオードＺＤ１，ＺＤ２と、各ツェナーダイオードのカソード端子にそれぞれが接続される複数の接続ノードＮＤ１，ＮＤ２に電流を供給する電流供給部１２０ａと、接続ノードＮＤ１，ＮＤ２の電圧に応じて調整される基準電圧を出力する基準電圧出力部１１０ｅとを含む。このような構成により、第６の実施形態では、アノード端子が接地され、非破壊電流が供給される接続ノードＮＤ１，ＮＤ２のそれぞれにカソード端子が接続されるツェナーダイオードＺＤ１，ＺＤ２の少なくとも１つを破壊して短絡させ、接続ノードＮＤ１，ＮＤ２の電圧に応じて基準電圧を調整することができる。
【０１２２】
なお、第６の実施形態において、スイッチ素子ＳＷ１ｅ，ＳＷ２ｅが、上記の動作を行うものに限定されるものではない。基準電圧出力部１１０ｅは、接続ノードＮＤ１，ＮＤ２の電圧に応じて、異なる基準電圧を出力するものであればよい。
【０１２３】
以上説明したように、第６の実施形態によれば、第２の実施形態と同様の効果を得ることができる。また、第２の実施形態と比較して、スイッチ素子数を削減し、基準電圧選択信号生成部１３０を不要にすることができる。
【０１２４】
なお、図９において、基準電圧選択信号生成部を設け、必要に応じてツェナーダイオードのカソード端子に接続される接続ノードが入力に接続されるバッファー回路を介してスイッチ素子を制御するようにしてもよい。
【０１２５】
〔第７の実施形態〕
外部端子の数を削減するために、トリミング回路の構成として次のような構成を採用するようにしてもよい。
【０１２６】
図１１に、本発明に係る第７の実施形態におけるツェナーザップトリミングによる設計値の調整が可能なトリミング回路の構成例を示す。図１１は、集積回路装置に内蔵され、コンパレーター回路の基準電圧を調整する場合の構成例を表している。なお、図１１において、図９と同様の部分には同一符号を付し、適宜説明を省略する。
【０１２７】
集積回路装置５２ｆは、トリミング回路１００ｆと、コンパレーター回路３０と、入力端子Ｔ１と、出力端子Ｔ２と、外部端子ＴＭ１〜ＴＭ３，ＴＭＧとを備えている。
【０１２８】
トリミング回路１００ｆは、外部端子ＴＭ１〜ＴＭ３，ＴＭＧのいずれかを介して破壊電流を流してツェナーダイオードを選択的に破壊することによって基準電圧を調整し、調整後の基準電圧を出力する。コンパレーター回路３０は、入力端子Ｔ１を介して入力された入力電圧と、トリミング回路１００ｆによって調整された基準電圧とを比較し、比較結果に対応した出力電圧を出力端子Ｔ２に出力する。
【０１２９】
トリミング回路１００ｆは、基準電圧出力部１１０ｆと、電流供給部１２０ｆと、ツェナーダイオードＺＤ１〜ＺＤ３とを備えている。
【０１３０】
基準電圧出力部１１０ｆは、基準電圧出力部１１０ｅが有する抵抗素子Ｒ１〜Ｒ５に加えて、スイッチ素子ＳＷ１ｆ〜ＳＷ５ｆを備えている。抵抗素子Ｒ１〜Ｒ５は、図９と同様に、直列に接続され、低電位側のＧＮＤレベルの電源電圧が供給される電源ラインと高電位側の電源電圧Ｖ１が供給される電源ラインとの間に挿入される。
【０１３１】
スイッチ素子ＳＷ１ｆの一端には、接続ノードＴＤ１が接続される。スイッチ素子ＳＷ２ｆの一端には、接続ノードＴＤ２が接続される。スイッチ素子ＳＷ３ｆの一端には、接続ノードＴＤ３が接続される。スイッチ素子ＳＷ４ｆの一端には、接続ノードＴＤ４が接続される。スイッチ素子ＳＷ１ｆの他端には、スイッチ素子ＳＷ４ｆの他端が接続される。スイッチ素子ＳＷ２ｆの他端には、スイッチ素子ＳＷ３ｆの他端が接続される。スイッチ素子ＳＷ５ｆは、スイッチ素子ＳＷ１ｆ，ＳＷ４ｆの他端及びスイッチ素子ＳＷ２ｆ，ＳＷ３ｆの他端と、コンパレーター回路３０の反転入力端子との間に設けられる。
【０１３２】
スイッチ素子ＳＷ１ｆ，ＳＷ２ｆは、接続ノードＮＤ１の電圧に基づいてスイッチ制御される。例えば接続ノードＮＤ１の電圧がＬレベル電圧のとき、スイッチ素子ＳＷ１ｆ，ＳＷ２ｆがオフ状態となり、接続ノードＮＤ１の電圧がＨレベル電圧のとき、スイッチ素子ＳＷ１ｆ，ＳＷ２ｆがオン状態となる。
【０１３３】
スイッチ素子ＳＷ３ｆ，ＳＷ４ｆは、接続ノードＮＤ２の電圧に基づいてスイッチ制御される。例えば接続ノードＮＤ２の電圧がＬレベル電圧のとき、スイッチ素子ＳＷ３ｆ，ＳＷ４ｆがオフ状態となり、接続ノードＮＤ２の電圧がＨレベル電圧のとき、スイッチ素子ＳＷ３ｆ，ＳＷ４ｆがオン状態となる。
【０１３４】
スイッチ素子ＳＷ５ｆは、接続ノードＮＤ３の電圧に応じて、スイッチ素子ＳＷ１ｆ、ＳＷ４ｆの他端、又はスイッチ素子ＳＷ２ｆ，ＳＷ３ｆの他端を、コンパレーター回路３０の反転入力端子に接続する。スイッチ素子ＳＷ５ｆは、例えば接続ノードＮＤ３の電圧がＬレベル電圧のとき、スイッチ素子ＳＷ１ｆ，ＳＷ４ｆの他端をコンパレーター回路３０の反転入力端子に接続する。また、スイッチ素子ＳＷ５ｆは、例えば接続ノードＮＤ３の電圧がＨレベル電圧のとき、スイッチ素子ＳＷ２ｆ，ＳＷ３ｆの他端をコンパレーター回路３０の反転入力端子に接続する。
【０１３５】
電流供給部１２０ｆは、ツェナーダイオードＺＤ１〜ＺＤ３のそれぞれのカソード端子に動作電流を供給する。この動作電流は、ツェナーダイオードＺＤ１〜ＺＤ３の破壊電流値を超えない電流値を有する非破壊電流である。具体的には、電流供給部１２０ｆは、ツェナーダイオードＺＤ１〜ＺＤ３のそれぞれに対応して、電流源ＣＳ１〜ＣＳ３及びダイオードＤ１〜Ｄ３を備えている。
【０１３６】
第７の実施形態では、図２と同様の方法で、図１１のトリミング回路１００ｆを用いたトリミング方法を実現することができる。この場合、破壊対象のツェナーダイオードは、ツェナーダイオードＺＤ１〜ＺＤ３のいずれかである。
【０１３７】
以上のように、トリミング回路１００ｆは、アノード端子が接地される複数のツェナーダイオードＺＤ１〜ＺＤ３と、各ツェナーダイオードのカソード端子にそれぞれが接続される複数の接続ノードＮＤ１〜ＮＤ３に電流を供給する電流供給部１２０ｆと、接続ノードＮＤ１〜ＮＤ３の電圧に応じて調整される基準電圧を出力する基準電圧出力部１１０ｆとを含む。このような構成により、第７の実施形態では、アノード端子が接地され、非破壊電流が供給される接続ノードＮＤ１〜ＮＤ３のそれぞれにカソード端子が接続されるツェナーダイオードＺＤ１〜ＺＤ３の少なくとも１つを破壊して短絡させ、接続ノードＮＤ１〜ＮＤ３の電圧に応じて基準電圧を調整することができる。
【０１３８】
なお、第７の実施形態において、基準電圧出力部１１０ｆの構成は、図１１に示す構成に限定されるものではない。基準電圧出力部１１０ｆは、接続ノードＮＤ１〜ＮＤ３の電圧に応じて、異なる基準電圧を出力するものであればよい。
【０１３９】
以上説明したように、第７の実施形態によれば、第２の実施形態の構成に対し、基準電圧選択信号生成部１３０を不要にすることができる。
【０１４０】
なお、図１１において、基準電圧選択信号生成部を設け、必要に応じてツェナーダイオードのカソード端子に接続される接続ノードが入力に接続されるバッファー回路を介してスイッチ素子を制御するようにしてもよい。
【０１４１】
以上、本発明に係るトリミング回路、集積回路装置、及びトリミング方法等を上記のいずれかの実施形態に基づいて説明したが、本発明は上記のいずれかの実施形態に限定されるものではない。例えば、その要旨を逸脱しない範囲において種々の態様において実施することが可能であり、次のような変形も可能である。
【０１４２】
（１）上記の実施形態では、基準電圧生成部が２種類又は４種類の基準電圧を生成するものとして説明したが、本発明は、これに限定されるものではない。
【０１４３】
（２）上記の実施形態における基準電圧選択信号生成部の構成に、本発明は、限定されるものではなく、ツェナーダイオードのカソード端子に接続される接続ノードの電圧に応じて異なる基準電圧を出力することができればよい。
【０１４４】
（３）上記の実施形態では、基準電圧生成部が、直列に接続された複数の抵抗素子によりその両端電圧を抵抗分割によって複数の基準電圧を生成するものとして説明したが、本発明は、これに限定されるものではない。本発明に係るトリミング回路が備える基準電圧生成部は、上記の実施形態において説明した構成とは異なる構成により複数の基準電圧を生成するようにしてもよい。
【０１４５】
（４）上記の実施形態では、電流供給部が、電流源とダイオードとを備えるものとして説明したが、本発明は、これに限定されるものではない。本発明に係るトリミング回路が備える電流供給部は、上記の実施形態において説明した構成とは異なる構成により、対応するツェナーダイオードに動作電流を供給するようにしてもよい。
【０１４６】
（５）上記の実施形態では、トリミング回路により調整可能な設計値が基準電圧であるものとして説明したが、本発明は、これに限定されるものではない。例えば、本発明に係るトリミング回路が、基準電圧以外の電圧や、電流、周波数、抵抗値、容量値等の他の設計値を調整するものであってもよい。
【０１４７】
（６）上記の実施形態において、本発明をトリミング回路、集積回路装置、及びトリミング方法等として説明したが、これに限定されるものではなく、本発明は、例えば上記の実施形態における基準電流生成方法であってもよい。
【符号の説明】
【０１４８】
２，５２，５２ａ，５２ｂ，５２ｃ，５２ｄ，５２ｅ，５２ｆ…集積回路装置、
１０，１００，１００ａ，１００ｃ，１００ｄ，１００ｅ，１００ｆ…トリミング回路、
２０，１１２，１１２ａ…基準電圧生成部、  ３０…コンパレーター回路、
１１０，１１０ａ，１１０ｅ，１１０ｆ…基準電圧出力部、
１１４，１１４ａ…基準電圧選択部、
１２０，１２０ａ，１２０ｄ，１２０ｆ…電流供給部、
１３０，１３０ａ…基準電圧選択信号生成部、  ＣＳ１〜ＣＳ４…電流源、
Ｄ１〜Ｄ４…ダイオード、  ＮＤ１〜ＮＤ４，ＴＤ１〜ＴＤ４…接続ノード、
Ｒ１〜Ｒ５…抵抗素子、  ＳＷ１−１〜ＳＷ１−４，ＳＷ１ｅ，ＳＷ２ｅ，ＳＷ１ｆ〜ＳＷ５ｆ…スイッチ素子、  Ｔ１…入力端子、  Ｔ２…出力端子、
ＴＭ１〜ＴＭ４，ＴＭ１０〜ＴＭ１３，ＴＭＧ…外部端子、
Ｖ１−１〜Ｖ１−４…基準電圧、
ＺＤ１〜ＺＤ４，ＺＤ１０〜ＺＤ１２…ツェナーダイオード
【図１】
2014103276.tif 000005
【図２】
2014103276.tif 000006
【図３】
2014103276.tif 000007
【図４】
2014103276.tif 000008
【図５】
2014103276.tif 000009
【図６】
2014103276.tif 000010
【図７】
2014103276.tif 000011
【図８】
2014103276.tif 000012
【図９】
2014103276.tif 000013
【図１０】
2014103276.tif 000014
【図１１】
2014103276.tif 000015
【図１２】
2014103276.tif 000016
【図１３】
2014103276.tif 000017