(57)【要約】【課題】センサの長さを検出ストローク範囲と同等にすることが可能な磁気飽和方式センサを提供すること。【解決手段】磁石１１によって磁気飽和されるコア２０の長手方向に励磁コイル２１が巻回されるとともに、長手方向の一端には検出コイル２２が巻回され、さらに長手方向の他端には検出コイル２３が巻回されている。コア２０の長さによって磁気飽和方式センサ１の長さが規定され、その長さの規定された方向に沿って磁石１１が移動する範囲が検出ストローク範囲として規定される。コア３０とコア４０は共に磁石１１の検出ストローク範囲内に設定されるとともに、磁石１１が検出コイル２２に対向する位置を基準に、磁石１１が検出コイル３２に対向する位置及び磁石１３が検出コイル４２に対向する位置の双方がコア２０の長手方向に偏倚されている。【選択図】図１
2014240812.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
励磁コイル及び検出コイルの巻回されたコアの一部が磁石によって磁気飽和され、磁石の移動に伴い磁気飽和位置が移動したときの励磁コイルと検出コイルの相互インダクタンスの変化を監視しつつ磁石の位置を検出する磁気飽和方式センサにおいて、
第１の励磁コイル及び第１の検出コイルの巻回された第１のコアと、前記第１のコアに磁気飽和をもたらす第１の磁石とを備えるとともに、前記第１のコアの長さによって当該磁気飽和方式センサの長さが規定され、さらにその長さの規定された方向に沿って前記第１の磁石が移動する範囲が検出ストローク範囲として規定され、
第２の励磁コイル及び第２の検出コイルの巻回された第２のコアと、前記第２のコアに磁気飽和をもたらす第２の磁石とをさらに備え、前記第２のコアを前記検出ストローク範囲内に設定するとともに、前記第１の磁石が前記第１の検出コイルに対向する第１の位置を基準に、前記第２の磁石が前記第２の検出コイルに対向する第２の位置が前記長さの規定された方向に偏倚されている
ことを特徴とする磁気飽和方式センサ。
【請求項２】
前記第１のコアの長手方向に前記第１の励磁コイルが巻回されるとともに、長手方向の両端の少なくとも一方に前記第１の検出コイルが巻回され、
前記第１の検出コイルに対し、前記長手方向に偏倚された位置に前記第２の検出コイルが設定されている
請求項１に記載の磁気飽和方式センサ。
【請求項３】
前記第１のコアの長手方向に前記第１の励磁コイルが巻回されるとともに、長手方向の両端それぞれに前記第１の検出コイルが巻回され、
前記第１の磁石が一方の第１の検出コイルに対向する前記第１の位置を基準に、前記第２の磁石が前記第２の検出コイルに対向する前記第２の位置が前記長手方向に偏倚されるとともに、第３の励磁コイル及び第３の検出コイルの巻回された第３のコアと、前記第３のコアに磁気飽和をもたらす第３の磁石とをさらに備え、
前記第３のコアを前記検出ストローク範囲内に設定するとともに、前記第１の磁石が他方の第１の検出コイルに対向する前記第１の位置を基準に、前記第３の磁石が前記第３の検出コイルに対向する第３の位置が前記長手方向に偏倚されている
請求項１又は２に記載の磁気飽和方式センサ。
【請求項４】
前記第１の磁石が前記検出ストローク範囲の一端の前記第１の位置と他端の前記第１の位置との中間位置を移動したときの前記一方の第１の検出コイルと前記第１の励磁コイルの相互インダクタンスがリニアに変化するとともに、前記第１の磁石が前記中間位置を移動したときの前記他方の第１の検出コイルと前記第１の励磁コイルの相互インダクタンスがリニアに変化することを前提に、両相互インダクタンスの差を監視しつつ前記第１の磁石の位置を前記検出ストローク範囲のうち前記中間位置の範囲で検出する検出手段を備えた
請求項３に記載の磁気飽和方式センサ。
【請求項５】
前記第１の磁石の移動に伴い前記第２の磁石が移動したときの前記第２の検出コイルと前記第２の励磁コイルの相互インダクタンスがリニアに変化するとともに、前記第１の磁石の移動に伴い前記第３の磁石が移動したときの前記第３の検出コイルと前記第３の励磁コイルの相互インダクタンスがリニアに変化することを前提に、両相互インダクタンスの差を監視しつつ前記第１の磁石の位置を前記検出ストローク範囲の一端の前記第１の位置を含む範囲及び他端の前記第１の位置を含む範囲で検出する検出手段を備えた
請求項３又は４に記載の磁気飽和方式センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、励磁コイル及び検出コイルの巻回されたコアの一部が磁石によって磁気飽和され、磁石の移動に伴い磁気飽和位置が移動したときの励磁コイルと検出コイルの相互インダクタンスの変化を監視しつつ磁石の位置を検出する磁気飽和方式センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、コアの長手方向に励磁コイルを巻回するとともに、長手方向の両端に検出コイルを巻回した磁気飽和方式センサが開示されている。コアの長手方向に沿って検出対象である磁石が移動すると、磁気飽和位置が移動する。磁気飽和位置の移動に伴い、励磁コイルと検出コイルの相互インダクタンスがリニアに変化する。相互インダクタンスの変化を監視することによって、磁石の位置を検出することができる。この場合、磁気飽和方式センサは位置検出センサとして利用される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平８−６１９０６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
磁気飽和位置が検出コイルの内部に入ると、相互インダクタンスのリニアリティが崩れるため、検出コイルを検出ストローク範囲の外側に配置する必要がある。つまり、センサの長さが自ずと検出ストローク範囲よりも長くなる。
【０００５】
本発明は、このような問題点に着目してなされたものであって、その目的は、センサの長さを検出ストローク範囲と同等にすることが可能な磁気飽和方式センサを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決する磁気飽和方式センサは、励磁コイル及び検出コイルの巻回されたコアの一部が磁石によって磁気飽和され、磁石の移動に伴い磁気飽和位置が移動したときの励磁コイルと検出コイルの相互インダクタンスの変化を監視しつつ磁石の位置を検出する磁気飽和方式センサにおいて、第１の励磁コイル及び第１の検出コイルの巻回された第１のコアと、前記第１のコアに磁気飽和をもたらす第１の磁石とを備えるとともに、前記第１のコアの長さによって当該磁気飽和方式センサの長さが規定され、さらにその長さの規定された方向に沿って前記第１の磁石が移動する範囲が検出ストローク範囲として規定され、第２の励磁コイル及び第２の検出コイルの巻回された第２のコアと、前記第２のコアに磁気飽和をもたらす第２の磁石とをさらに備え、前記第２のコアを前記検出ストローク範囲内に設定するとともに、前記第１の磁石が前記第１の検出コイルに対向する第１の位置を基準に、前記第２の磁石が前記第２の検出コイルに対向する第２の位置が前記長さの規定された方向に偏倚されていることをその要旨としている。
【０００７】
この構成によれば、第１の磁石によって第１の検出コイルの内部に磁気飽和がもたらされることと、第２の磁石によって第２の検出コイルの内部に磁気飽和がもたらされることの双方が同時となることが避けられる。これにより、第１の磁石によって第１の検出コイルの内部に磁気飽和がもたらされているときには、第２の励磁コイルと第２の検出コイルの相互インダクタンスの変化を監視することによって、第１の磁石の位置を検出することができる。つまり、第１の検出コイルを検出ストローク範囲内に収めることができる。したがって、センサの長さを検出ストローク範囲と同等にすることができる。
【０００８】
上記磁気飽和方式センサについて、前記第１のコアの長手方向に前記第１の励磁コイルが巻回されるとともに、長手方向の両端の少なくとも一方に前記第１の検出コイルが巻回され、前記第１の検出コイルに対し、前記長手方向に偏倚された位置に前記第２の検出コイルが設定されていることとしてもよい。
【０００９】
この構成によれば、第１の磁石が第１の位置にあることを検出することができる。
上記磁気飽和方式センサについて、前記第１のコアの長手方向に前記第１の励磁コイルが巻回されるとともに、長手方向の両端それぞれに前記第１の検出コイルが巻回され、前記第１の磁石が一方の第１の検出コイルに対向する前記第１の位置を基準に、前記第２の磁石が前記第２の検出コイルに対向する前記第２の位置が前記長手方向に偏倚されるとともに、第３の励磁コイル及び第３の検出コイルの巻回された第３のコアと、前記第３のコアに磁気飽和をもたらす第３の磁石とをさらに備え、前記第３のコアを前記検出ストローク範囲内に設定するとともに、前記第１の磁石が他方の第１の検出コイルに対向する前記第１の位置を基準に、前記第３の磁石が前記第３の検出コイルに対向する第３の位置が前記長手方向に偏倚されていることとしてもよい。
【００１０】
この構成によれば、第１の磁石が検出ストローク範囲の一端の第１の位置にあることを検出できるとともに、他端の第１の位置にあることを検出することができる。
上記磁気飽和方式センサについて、前記第１の磁石が前記検出ストローク範囲の一端の前記第１の位置と他端の前記第１の位置との中間位置を移動したときの前記一方の第１の検出コイルと前記第１の励磁コイルの相互インダクタンスがリニアに変化するとともに、前記第１の磁石が前記中間位置を移動したときの前記他方の第１の検出コイルと前記第１の励磁コイルの相互インダクタンスがリニアに変化することを前提に、両相互インダクタンスの差を監視しつつ前記第１の磁石の位置を前記検出ストローク範囲のうち前記中間位置の範囲で検出する検出手段を備えたこととしてもよい。
【００１１】
この構成によれば、共にリニアに変化する２つの相互インダクタンスの差を求めることで、より傾きの大きな直線が得られる。これにより、第１の磁石が検出ストローク範囲のうち中間位置の範囲にあることを前提に、第１の磁石の位置の検出について、分解能を高めることができる。
【００１２】
上記磁気飽和方式センサについて、前記第１の磁石の移動に伴い前記第２の磁石が移動したときの前記第２の検出コイルと前記第２の励磁コイルの相互インダクタンスがリニアに変化するとともに、前記第１の磁石の移動に伴い前記第３の磁石が移動したときの前記第３の検出コイルと前記第３の励磁コイルの相互インダクタンスがリニアに変化することを前提に、両相互インダクタンスの差を監視しつつ前記第１の磁石の位置を前記検出ストローク範囲の一端の前記第１の位置を含む範囲及び他端の前記第１の位置を含む範囲で検出する検出手段を備えたこととしてもよい。
【００１３】
この構成によれば、共にリニアに変化する２つの相互インダクタンスの差を求めることで、より傾きの大きな直線が得られる。これにより、第１の磁石が検出ストローク範囲の一端の第１の位置を含む範囲及び他端の第１の位置を含む範囲にあることを前提に、第１の磁石の位置の検出について、分解能を高めることができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、センサの長さを検出ストローク範囲と同等にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】磁気飽和方式センサの構成を示す断面図。
【図２】磁石が検出ストローク範囲の中間位置にあるときの相互インダクタンスを示すグラフ。
【図３】磁石が検出ストローク範囲の左右両端の位置にあるときの相互インダクタンスを示すグラフ。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、磁気飽和方式センサの一実施の形態について説明する。
図１に示すように、磁気飽和方式センサ１は、移動体の移動に伴い左右方向に変位するロッド１０に３つの磁石１１、１２、１３が固定されている。磁石１１はロッド１０の長手方向の中央に配置され、磁力がロッド１０の上側と下側の双方に及ぶように設けられている。磁石１２はロッド１０の長手方向の一端に配置され、磁力がロッド１０の下側に及ぶように設けられている。磁石１３はロッド１０の長手方向の他端に配置され、磁力がロッド１０の下側に及ぶように設けられている。
【００１７】
ロッド１０の上側には、磁石１１によって磁気飽和されるコア２０がロッド１０の長手方向に延設されている。コア２０の長手方向には励磁コイル２１が巻回されるとともに、長手方向の一端には検出コイル２２が巻回され、さらに長手方向の他端には検出コイル２３が巻回されている。コア２０の長さによって磁気飽和方式センサ１の長さが規定され、その長さの規定された方向に沿って、当該長さと同等の範囲が磁石１１の移動する検出ストローク範囲として規定されている。磁石１１の検出ストローク範囲には、磁石１１が検出コイル２２に対向する位置及び磁石１１が検出コイル２３に対向する位置の双方が含まれる。
【００１８】
ロッド１０の下側には、磁石１２によって磁気飽和されるとともに磁石１１によっても磁気飽和されるコア３０と、磁石１３によって磁気飽和されるとともに磁石１１によっても磁気飽和されるコア４０とが、ロッド１０の長手方向の中央で離間しつつ延設されている。コア３０の長手方向には励磁コイル３１が巻回されるとともに、長手方向の両端のうちコア４０に近い側の端には検出コイル３２が巻回されている。コア４０の長手方向には励磁コイル４１が巻回されるとともに、長手方向の両端のうちコア３０に近い側の端には検出コイル４２が巻回されている。検出コイル３２と検出コイル４２との間には、干渉防止用の磁性体５０が配置されている。
【００１９】
コア３０とコア４０は共に磁石１１の検出ストローク範囲内に設定されている。磁石１１が検出コイル２２に対向する位置を基準に、磁石１１が検出コイル３２に対向する位置及び磁石１３が検出コイル４２に対向する位置の双方がコア２０の長手方向に偏倚されている。また、磁石１１が検出コイル２３に対向する位置を基準に、磁石１１が検出コイル４２に対向する位置及び磁石１２が検出コイル３２に対向する位置の双方がコア２０の長手方向に偏倚されている。
【００２０】
次に、磁気飽和方式センサ１の作用について説明する。
図２に示すように、磁石１１がロッド１０の上側でコア２０の長手方向の中央に対向しつつ、ロッド１０の下側で磁性体５０に対向するとき、磁石１２はコア３０に対向しないとともに、磁石１３はコア４０に対向しない。このとき、コア２０の長手方向の中央が磁気飽和領域となる。磁石１１の移動に伴いコア２０の磁気飽和位置が移動するとき、磁石１１がコア２０の長手方向の中央に対向する場合のように、磁石１１が検出ストローク範囲の一端と他端との中間位置にあることを前提に、励磁コイル２１と検出コイル２２の相互インダクタンスＭ１がリニアに変化する。また、同じ前提のもとでは、励磁コイル２１と検出コイル２３の相互インダクタンスＭ２がリニアに変化する。
【００２１】
磁石１１が左側から右側へ移動するとき、相互インダクタンスＭ１の傾きは正であり、一方、相互インダクタンスＭ２の傾きは負であるため、これらの差「Ｍ１−Ｍ２」を示す直線として、相互インダクタンスＭ１よりも大きな正の傾きを持つ直線が得られる。検出コイル２２と検出コイル２３の回路定数が等しいことを前提に、磁石１１がコア２０の長手方向の中央に対向するとき、２つの相互インダクタンスの差「Ｍ１−Ｍ２」はゼロとなる。この差「Ｍ１−Ｍ２」をＣＰＵ（Central Processing Unit ）６０によって監視することで、磁石１１の位置を中間位置の範囲で検出することができる。
【００２２】
中間位置の範囲は、左側の一点鎖線で示された位置と右側の一点鎖線で示された位置との間の範囲として規定される。左側の一点鎖線で示された位置は、磁石１１によって検出コイル２２の内部に磁気飽和がもたらされない限界の位置として規定され、右側の一点鎖線で示された位置は、磁石１１によって検出コイル２３の内部に磁気飽和がもたらされない限界の位置として規定される。
【００２３】
図３に示すように、磁石１１がロッド１０の上側で検出コイル２２に対向しつつ、ロッド１０の下側でコア３０のうち検出コイル３２のない位置に対向するとき、磁石１２はコア３０に対向しないとともに、磁石１３はコア４０のうち検出コイル４２のない位置に対向する。このとき、検出コイル２２の内部が磁気飽和領域になるとともに、コア３０のうち検出コイル３２のない位置が磁気飽和領域となり、さらにコア４０のうち検出コイル４２のない位置が磁気飽和領域となる。磁石１１の移動に伴いコア３０の磁気飽和位置が移動するとき、磁石１１がコア３０のうち検出コイル３２のない位置に対向することを前提に、励磁コイル３１と検出コイル３２の相互インダクタンスＭ２’がリニアに変化する。また、同じ前提のもとでは、磁石１３の移動に伴いコア４０の磁気飽和位置が移動しつつ、磁石１３がコア４０のうち検出コイル４２のない位置に対向し、励磁コイル４１と検出コイル４２の相互インダクタンスＭ１’がリニアに変化する。
【００２４】
磁石１１が左側から右側へ移動するとき、相互インダクタンスＭ２’の傾きは負であり、一方、相互インダクタンスＭ１’の傾きは正であるため、これらの差「Ｍ１’−Ｍ２’」を示す直線として、相互インダクタンスＭ１’よりも大きな正の傾きを持つ直線が得られる。２つの相互インダクタンスの差「Ｍ１’−Ｍ２’」をＣＰＵ６０によって監視することで、磁石１１の位置を検出ストローク範囲の左端の検出コイル２２に対向する位置を含む範囲で検出することができる。
【００２５】
この範囲は、左側の破線で示された位置と左側の一点鎖線で示された位置との間の範囲として規定される。左側の破線で示された位置は、磁石１１の検出ストローク範囲の左端の位置として規定され、左側の一点鎖線で示された位置は、磁石１１によって検出コイル３２の内部に磁気飽和がもたらされない限界の位置として規定される。
【００２６】
尚、磁石１１がロッド１０の上側で検出コイル２３に対向しつつ、ロッド１０の下側でコア４０のうち検出コイル４２のない位置に対向するとき、磁石１２はコア３０のうち検出コイル３２のない位置に対向するとともに、磁石１３はコア４０に対向しない。このとき、検出コイル２３の内部が磁気飽和領域になるとともに、コア４０のうち検出コイル４２のない位置が磁気飽和領域となり、さらにコア３０のうち検出コイル３２のない位置が磁気飽和領域となる。磁石１１の移動に伴いコア４０の磁気飽和領域が移動するとき、磁石１１がコア４０のうち検出コイル４２のない位置に対向することを前提に、励磁コイル４１と検出コイル４２の相互インダクタンスＭ１’がリニアに変化する。また、同じ前提のもとでは、磁石１２の移動に伴いコア３０の磁気飽和位置が移動しつつ、磁石１２がコア３０のうち検出コイル３２のない位置に対向し、励磁コイル３１と検出コイル３２の相互インダクタンスＭ２’がリニアに変化する。
【００２７】
磁石１１が左側から右側へ移動するとき、相互インダクタンスＭ１’の傾きは正であり、一方、相互インダクタンスＭ２’の傾きは負であるため、これらの差「Ｍ１’−Ｍ２’」を示す直線として、相互インダクタンスＭ１’よりも大きな正の傾きを持つ直線が得られる。２つの相互インダクタンスの差「Ｍ１’−Ｍ２’」をＣＰＵ６０によって監視することで、磁石１１の位置を検出ストローク範囲の右端の検出コイル２３に対向する位置を含む範囲で検出することができる。
【００２８】
この範囲は、右側の一点鎖線で示された位置と右側の破線で示された位置との間の範囲として規定される。右側の一点鎖線で示された位置は、磁石１１によって検出コイル４２の内部に磁気飽和がもたらされない限界の位置として規定され、右側の破線で示された位置は、磁石１１の検出ストローク範囲の右端の位置として規定される。
【００２９】
磁石１１の位置を検出するにあたり、図２に示す検出ストローク範囲の中間位置と、図３に示す検出ストローク範囲の左右両端の位置のどちらを選択するかの決定はＣＰＵ６０によって行われる。前者が選択されると、２つの相互インダクタンスの差「Ｍ１−Ｍ２」が参照されつつ磁石１１の位置が検出されるとともに、後者が選択されると、２つの相互インダクタンスの差「Ｍ１’−Ｍ２’」が参照されつつ磁石１１の位置が検出される。尚、相互インダクタンスＭ１は検出コイル２２の電圧に依存するとともに、相互インダクタンスＭ２は検出コイル２３の電圧に依存し、さらに相互インダクタンスＭ１’は検出コイル４２の電圧に依存するとともに、相互インダクタンスＭ２’は検出コイル３２の電圧に依存する。よって、各検出コイル２２、２３、３２、４２の電圧がＣＰＵ６０によって監視されつつ、２つの相互インダクタンスの差「Ｍ１−Ｍ２」や２つの相互インダクタンスの差「Ｍ１’−Ｍ２’」が監視され、それらの解析を経て磁石１１の位置が検出される。ＣＰＵ６０は「検出手段」に相当する。
【００３０】
本例のコア２０は「第１のコア」に相当し、励磁コイル２１は「第１の励磁コイル」に相当し、検出コイル２２と検出コイル２３は共に「第１の検出コイル」に相当し、磁石１１は「第１の磁石」に相当する。コア３０とコア４０は共に「第２のコア」に相当し、励磁コイル３１と励磁コイル４１は共に「第２の励磁コイル」に相当し、検出コイル３２と検出コイル４２は共に「第２の検出コイル」に相当し、磁石１１と磁石１２と磁石１３はいずれも「第２の磁石」に相当する。
【００３１】
磁石１１が検出コイル２２に対向する位置と、磁石１１が検出コイル２３に対向する位置は共に「第１の位置」として規定される。磁石１１が検出コイル２２に対向する位置が「第１の位置」として規定されることを前提に、磁石１１が検出コイル３２に対向する位置と、磁石１３が検出コイル４２に対向する位置が共に「第２の位置」として規定される。また、磁石１１が検出コイル２３に対向する位置が「第１の位置」として規定されることを前提に、磁石１１が検出コイル４２に対向する位置と、磁石１２が検出コイル３２に対向する位置が共に「第２の位置」として規定される。
【００３２】
尚、検出コイル２２が「一方の第１の検出コイル」に相当し、検出コイル２３が「他方の第１の検出コイル」に相当する構成も想定される。この場合、磁石１１が検出コイル２２に対向する位置が「磁石１１の検出ストローク範囲の一端の第１の位置」として規定され、磁石１１が検出コイル２３に対向する位置が「磁石１１の検出ストローク範囲の他端の第１の位置」として規定される。磁石１１が検出コイル２２に対向することを前提に、磁石１１が検出コイル３２に対向する位置と、磁石１３が検出コイル４２に対向する位置が共に「第２の位置」として規定される。また、磁石１１が検出コイル２３に対向することを前提に、磁石１１が検出コイル４２に対向する位置と、磁石１２が検出コイル３２に対向する位置が共に「第３の位置」として規定される。この前提では、コア３０とコア４０が共に「第３のコア」に相当し、励磁コイル３１と励磁コイル４１が共に「第３の励磁コイル」に相当し、検出コイル３２と検出コイル４２が共に「第３の検出コイル」に相当し、磁石１１と磁石１２が共に「第３の磁石」に相当する。
【００３３】
以上説明したように、本実施の形態によれば、以下の効果を奏することができる。
（１）第１の磁石（１１）によって第１の検出コイル（２２、２３）の内部に磁気飽和がもたらされることと、第２の磁石（１１、１２、１３）によって第２の検出コイル（３２、４２）の内部に磁気飽和がもたらされることの双方が同時となることが避けられる。これにより、第１の磁石（１１）によって第１の検出コイル（２２、２３）の内部に磁気飽和がもたらされているときには、第２の励磁コイル（３１、４１）と第２の検出コイル（３２、４２）の相互インダクタンスの変化（Ｍ１’−Ｍ２’）を監視することによって、第１の磁石（１１）の位置を検出することができる。つまり、第１の検出コイル（２２、２３）を磁石１１の検出ストローク範囲内に収めることができる。したがって、磁気飽和方式センサ１の長さを磁石１１の検出ストローク範囲と同等にすることができる。
【００３４】
（２）第１のコア（２０）の長手方向に第１の励磁コイル（２１）が巻回されるとともに、長手方向の両端の少なくとも一方に第１の検出コイル（２２、２３）が巻回され、第１の検出コイル（２２、２３）に対し、コア２０の長手方向に偏倚された位置に第２の検出コイル（３２、４２）が設定されている。この構成によれば、第１の磁石（１１）が第１の位置（検出コイル２２に対向する位置、検出コイル２３に対向する位置）にあることを検出することができる。
【００３５】
（３）第１のコア（２０）の長手方向に第１の励磁コイル（２１）が巻回されるとともに、長手方向の一端には検出コイル２２が巻回され、他端には検出コイル２３が巻回されている。検出コイル２２に対し、コア２０の長手方向に偏倚された位置に第２の検出コイル（３２、４２）が設定され、また、検出コイル２３に対し、コア２０の長手方向に偏倚された位置に第３の検出コイル（３２、４２）が設定されている。この構成によれば、第１の磁石（１１）が検出ストローク範囲の一端の第１の位置（検出コイル２２に対向する位置）にあることを検出できるとともに、他端の第１の位置（検出コイル２３に対向する位置）にあることを検出することができる。
【００３６】
（４）共にリニアに変化する２つの相互インダクタンスの差「Ｍ１−Ｍ２」を求めることで、より傾きの大きな直線が得られる。これにより、第１の磁石（１１）が検出ストローク範囲のうち中間位置の範囲にあることを前提に、第１の磁石（１１）の位置の検出について、分解能を高めることができる。
【００３７】
（５）共にリニアに変化する２つの相互インダクタンスの差「Ｍ１’−Ｍ２’」を求めることで、より傾きの大きな直線が得られる。これにより、第１の磁石（１１）が検出ストローク範囲の一端の第１の位置（検出コイル２２に対向する位置）を含む範囲及び他端の第１の位置（検出コイル２３に対向する位置）を含む範囲にあることを前提に、第１の磁石（１１）の位置の検出について、分解能を高めることができる。
【００３８】
尚、上記実施の形態は、次のように変更して具体化することも可能である。
・検出コイル２３、コア４０、励磁コイル４１、検出コイル４２、磁性体５０、磁石１２、磁石１３がそれぞれ割愛された構成であってもよい。この場合、磁石１１が検出コイル２２に対向する位置を基準に、磁石１１が検出コイル３２に対向する位置がコア２０の長手方向に偏倚されるため、磁気飽和方式センサ１の長さを磁石１１の検出ストローク範囲と同等にすることができる。
【００３９】
・検出コイル２２、コア３０、励磁コイル３１、検出コイル３２、磁性体５０、磁石１２、磁石１３がそれぞれ割愛された構成であってもよい。この場合、磁石１１が検出コイル２３に対向する位置を基準に、磁石１１が検出コイル４２に対向する位置がコア２０の長手方向に偏倚されるため、磁気飽和方式センサ１の長さを磁石１１の検出ストローク範囲と同等にすることができる。
【００４０】
・検出コイル２３、コア３０、励磁コイル３１、検出コイル３２、磁性体５０、磁石１２がそれぞれ割愛された構成であってもよい。この場合、磁石１１が検出コイル２２に対向する位置を基準に、磁石１３が検出コイル４２に対向する位置がコア２０の長手方向に偏倚されるため、磁気飽和方式センサ１の長さを磁石１１の検出ストローク範囲と同等にすることができる。尚、磁石１１はロッド１０の上側に磁力を及ぼせば足りる。
【００４１】
・検出コイル２２、コア４０、励磁コイル４１、検出コイル４２、磁性体５０、磁石１３がそれぞれ割愛された構成であってもよい。この場合、磁石１１が検出コイル２３に対向する位置を基準に、磁石１２が検出コイル３２に対向する位置がコア２０の長手方向に偏倚されるため、磁気飽和方式センサ１の長さを磁石１１の検出ストローク範囲と同等にすることができる。尚、磁石１１はロッド１０の上側に磁力を及ぼせば足りる。
【００４２】
・磁石１２、磁石１３がそれぞれ割愛された構成であってもよい。この場合、磁石１１の位置を検出するにあたり、検出ストローク範囲の中間位置では、２つの相互インダクタンスの差「Ｍ１−Ｍ２」が用いられるとともに、磁石１１が検出コイル２２に対向する位置では、相互インダクタンスＭ２’が用いられ、磁石１１が検出コイル２３に対向する位置では、相互インダクタンスＭ１’が用いられる。
【００４３】
・コア２０〜４０や磁石１１〜１３の配置について、ロッド１０の上下に配置する構成に限定されない。例えば、ロッド１０の下側と手前側に配置してもよい。第１の磁石（１１）が第１の検出コイル（２２、２３）に対向する位置を基準に、第２の磁石（１１、１２、１３）が第２の検出コイル（３２、４２）に対向する位置がコア２０の長手方向に偏倚されていればよい。
【００４４】
・ロッド１０の上側と下側の双方に磁力を及ぼす磁石１１に代えて、ロッド１０の上側に磁力を及ぼす磁石とロッド１０の下側に磁力を及ぼす磁石の双方を独立させてもよい。この場合、合計４つの磁石が用いられる。
【符号の説明】
【００４５】
１…磁気飽和方式センサ、１０…ロッド、１１…磁石、１２…磁石、１３…磁石、２０…コア、２１…励磁コイル、２２…検出コイル、２３…検出コイル、３０…コア、３１…励磁コイル、３２…検出コイル、４０…コア、４１…励磁コイル、４２…検出コイル、５０…磁性体、６０…ＣＰＵ（検出手段）。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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