(57)【要約】【課題】圧電素子の電極に対する電気接続性を改善することが可能な電気音響変換器及び電子機器を提供する。【解決手段】電気音響変換器１００は、圧電素子２０と、第１弾性部材３０と、第２弾性部材４０と、支持部材５０と、第１導電体６０とを有する。圧電素子２０は、圧電特性を有する圧電膜２１と、圧電膜２１の一方の面に形成された第１電極２２と、圧電膜２１の他方の面に形成された第２電極２３とを有する。第１弾性部材３０は、圧電素子２０の第１電極２２側の面を支持する。第２弾性部材４０は、シート状に形成され、第１弾性部材３０を支持する。支持部材５０は、第２弾性部材４０の周縁部を支持する。第１導電体６０は、第１弾性部材３０を貫通するように第１弾性部材３０に設けられ、第１導電体６０は第１電極２２と接続されている。第２弾性部材４０には第１導電体６０を露出させる開口４１が形成されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電特性を有する圧電膜と、前記圧電膜の一方の面に形成された第１電極と、前記圧電膜の他方の面に形成された第２電極と、を有する圧電素子と、
前記圧電素子の前記第１電極側の面を支持する第１弾性部材と、
前記第１弾性部材を支持するシート状の第２弾性部材と、
前記第２弾性部材の周縁部を支持する支持部材と、
前記第１弾性部材を貫通するように前記第１弾性部材に設けられ、前記第１電極と接続された第１導電体と、
を有し、
前記第２弾性部材には前記第１導電体を露出させる開口が形成されている電気音響変換器。
【請求項２】
前記第１導電体は金属により構成されている請求項１に記載の電気音響変換器。
【請求項３】
前記第１導電体に対して接続された第１配線を有し、
前記第１配線と前記第１導電体とは、導電性接着剤を介して接続されているか、前記第１配線を前記第１導電体に対してテープにより貼り付けることによって接続されているか、又は、前記第１配線の一端が接続された導電性の第１バネ体を前記第１導電体に対して弾性的に押し付けることによって接続されている請求項１又は２に記載の電気音響変換器。
【請求項４】
前記第２電極上から前記第１弾性部材の外周面上に亘って形成された第２導電体を有する請求項１乃至３の何れか一項に記載の電気音響変換器。
【請求項５】
前記第２導電体は導電性ポリマーにより構成されている請求項４に記載の電気音響変換器。
【請求項６】
前記第２導電体に対して接続された第２配線を有し、
前記第２配線と前記第２導電体とは、導電性接着剤を介して接続されているか、前記第２配線を前記第２導電体に対してテープにより貼り付けることによって接続されているか、又は、前記第２配線の一端が接続された導電性の第２バネ体を前記第２導電体に対して弾性的に押し付けることによって接続されている請求項４又は５に記載の電気音響変換器。
【請求項７】
前記第１弾性部材は、
前記圧電素子を支持する支持部と、
前記支持部上に形成され、前記圧電素子の周囲を囲む壁状部と、
を有する請求項１乃至６の何れか一項に記載の電気音響変換器。
【請求項８】
前記第１弾性部材は、
前記圧電素子を支持する支持部と、
前記支持部上に形成され、前記圧電素子の周囲を囲む壁状部と、
を有し、
前記支持部の外周面は、裾広がりのテーパー形状に形成され、
前記壁状部の平面形状は、前記外周面の上端の平面形状と等しく、
前記壁状部の下端は、前記外周面の上端と連続的に形成されている請求項４乃至６の何れか一項に記載の電気音響変換器。
【請求項９】
前記第１弾性部材は前記第２弾性部材よりも高剛性の材質により構成されている請求項１乃至８の何れか一項に記載の電気音響変換器。
【請求項１０】
電気音響変換器を有し、
前記電気音響変換器は、
圧電特性を有する圧電膜と、前記圧電膜の一方の面に形成された第１電極と、前記圧電膜の他方の面に形成された第２電極と、を有する圧電素子と、
前記圧電素子の前記第１電極側の面を支持する第１弾性部材と、
前記第１弾性部材を支持するシート状の第２弾性部材と、
前記第２弾性部材の周縁部を支持する支持部材と、
前記第１弾性部材を貫通するように前記第１弾性部材に設けられ、前記第１電極と接続された第１導電体と、
を有し、
前記第２弾性部材には前記第１導電体を露出させる開口が形成されている電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気音響変換器及び電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、携帯電話機に代表されるように、音響機能（音楽再生機能、ハンズフリー通話機能など）を有する各種の小型の電子機器が開発されている。それらの電子機器に対しては、更なる小型化・薄型化への強い要求が常に存在する。
【０００３】
音響機能を担う電気音響変換器に対しては、小型化・薄型化への要求に加えて、高音質化への要求もある。このような状況の中、動電型に代わる圧電型の電気音響変換器の開発が活発になされている。
【０００４】
特許文献１、２には、圧電素子と、圧電素子を支持する第１弾性部材と、振動膜としての第２弾性部材と、第２弾性部材の周縁部を支持する支持部材と、を有する電気音響変換器が記載されている。
【０００５】
圧電素子は、圧電特性を有する圧電膜と、圧電膜の表裏の面にそれぞれ設けられた電極と、を有している。電気音響変換器をスピーカとして用いる場合、圧電素子の電極に電気信号を印加することによって、圧電素子が振動し、圧電素子、第１弾性部材及び第２弾性部材から音波が発生する。
【０００６】
圧電素子の電極に対するリード線の電気的接続は、例えば特許文献１に記載されているように、はんだを用いてリード線を電極に接続することによりなされる。ただし、特許文献１には、圧電素子に対する電気的な接続の仕方について、それ以上の具体的な記載が無い。また、特許文献２には、圧電素子に対する電気的な接続の仕方について、何ら記載が無い。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２０１１−９７１４３号公報
【特許文献２】特開２０１１−１１４５９７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明者等の知見によれば、一般に、圧電型の電気音響変換器においては、圧電素子の電極に対する電気的な接続の仕方について、改善の余地がある。
【０００９】
本発明の目的は、圧電素子の電極に対する電気接続性を改善することが可能な電気音響変換器及び電子機器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、圧電特性を有する圧電膜と、前記圧電膜の一方の面に形成された第１電極と、前記圧電膜の他方の面に形成された第２電極と、を有する圧電素子と、
前記圧電素子の前記第１電極側の面を支持する第１弾性部材と、
前記第１弾性部材を支持するシート状の第２弾性部材と、
前記第２弾性部材の周縁部を支持する支持部材と、
前記第１弾性部材を貫通するように前記第１弾性部材に設けられ、前記第１電極と接続された第１導電体と、
を有し、
前記第２弾性部材には前記第１導電体を露出させる開口が形成されている電気音響変換器を提供する。
【００１１】
また、本発明は、電気音響変換器を有し、
前記電気音響変換器は、
圧電特性を有する圧電膜と、前記圧電膜の一方の面に形成された第１電極と、前記圧電膜の他方の面に形成された第２電極と、を有する圧電素子と、
前記圧電素子の前記第１電極側の面を支持する第１弾性部材と、
前記第１弾性部材を支持するシート状の第２弾性部材と、
前記第２弾性部材の周縁部を支持する支持部材と、
前記第１弾性部材を貫通するように前記第１弾性部材に設けられ、前記第１電極と接続された第１導電体と、
を有し、
前記第２弾性部材には前記第１導電体を露出させる開口が形成されている電子機器を提供する。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、圧電素子の電極に対する電気接続性を改善することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】実施形態に係る電気音響変換器の模式的な断面図である。
【図２】実施形態に係る電気音響変換器のより具体的な構成の例を示す模式的な断面図である。
【図３】実施形態に係る電気音響変換器の分解斜視図である。
【図４】実施形態に係る電子機器の模式的な正面図である。
【図５】実施形態に係る電子機器の要部の模式的な断面図である。
【図６】配線と導電体との接続の手法の一例を説明するための電子機器の要部の模式的な断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の実施形態について、図面を用いて説明する。なお、すべての図面において、同様の構成要素には同一の符号を付し、適宜に説明を省略する。
【００１５】
図１は実施形態に係る電気音響変換器１００の模式的な断面図である。
【００１６】
本実施形態に係る電気音響変換器１００は、圧電素子２０と、第１弾性部材３０と、第２弾性部材４０と、支持部材５０と、第１導電体６０と、を有している。圧電素子２０は、圧電特性を有する圧電膜２１と、圧電膜２１の一方の面に形成された第１電極２２と、圧電膜２１の他方の面に形成された第２電極２３と、を有している。第１弾性部材３０は、圧電素子２０の第１電極２２側の面を支持している。第２弾性部材４０は、シート状に形成され、第１弾性部材３０を支持している。支持部材５０は、第２弾性部材４０の周縁部を支持している。第１導電体６０は、第１弾性部材３０を貫通するように第１弾性部材３０に設けられ、且つ、第１導電体６０は第１電極２２と接続されている。第２弾性部材４０には第１導電体６０を露出させる開口４１が形成されている。以下、詳細に説明する。
【００１７】
第１弾性部材３０は、板状ないしはシート状に形成されている。圧電素子２０の第１電極２２は、第１弾性部材３０の一方の面３０ａに対して接着固定されている。なお、第１電極２２と第１導電体６０との電気的接続を確保するために、この接着は、導電性ポリマーなどの導電性接着剤を用いて行うことが好ましい。
【００１８】
第１弾性部材３０には、その一方の面３０ａから他方の面３０ｂに亘って貫通する貫通孔３０ｃが形成されている。第１導電体６０は、貫通孔３０ｃに嵌め込まれて、第１弾性部材３０に対して固定されている。
これにより、第１導電体６０は、第１弾性部材３０をその一方の面３０ａから他方の面３０ｂに亘って貫通している。第１導電体６０において、第１弾性部材３０の他方の面３０ｂから露出している部分は、第２弾性部材４０の開口４１を介して露出している。
【００１９】
第１導電体６０は、例えば、第１弾性部材３０の貫通孔３０ｃの周壁に対して接着固定することができる。
【００２０】
第１導電体６０は、第１電極２２と電気的に接続されている。第１導電体６０は、例えば、金属により構成されている。
【００２１】
第１導電体６０は、第１電極２２に対して配線（後述する第１配線９１（図５））を接続する際の端子として機能する。ここで、第１電極２２が第１弾性部材３０の一方の面３０ａに接着固定されている、或いは、第１電極２２が導電性ポリマーなどの導電性接着剤により第１導電体６０に接着固定されている。よって、端子としての第１導電体６０を、はんだを用いずに、第１電極２２に対して電気的に接続することができる。
【００２２】
第１弾性部材３０は、第２弾性部材４０の一方の面に対して接着固定されている。第２弾性部材４０の開口４１の面積は、第１弾性部材３０の面積よりも小さい。例えば開口４１の面積は、第１弾性部材３０の面積よりも若干小さく設定されており、第２弾性部材４０は、第１弾性部材３０の周縁部を支持している。
【００２３】
支持部材５０は、例えば、筒状に形成されており、その内周面によって第２弾性部材４０の周縁部を支持している。
【００２４】
図２は実施形態に係る電気音響変換器１００のより具体的な構成の例を示す模式的な断面図である。
【００２５】
第１弾性部材３０は、例えば、圧電素子２０を支持する支持部３１と、支持部３１上に形成された壁状部３２と、を有している。壁状部３２は、圧電素子２０の周囲を囲んでいる。
【００２６】
壁状部３２が圧電素子２０の周囲を囲んでいることによって、第１弾性部材３０に対する圧電素子２０の位置ずれを抑制することができる。より具体的には、圧電素子２０をほぼ隙間無く壁状部３２の内側に嵌め込むことができるように、壁状部３２の寸法及び形状が設定されている。
【００２７】
支持部３１の外周面３１ａは、例えば、裾広がりのテーパー形状に形成されている。壁状部３２の平面形状は、支持部３１の外周面３１ａの上端の平面形状と等しい。そして、壁状部３２の下端は、外周面３１ａの上端と連続的に形成されている。
【００２８】
圧電素子２０は、例えば、支持部３１の上面及び壁状部３２の内周面に対して接着固定されている。すなわち、第１電極２２が支持部３１の上面に対して接着固定され、圧電素子２０の外周面が壁状部３２の内周面に対して接着固定されている。なお、第１電極２２と支持部３１の上面との接着については、第１電極２２と第１導電体６０との電気的接続を確保するために、導電性ポリマーなどの導電性接着剤を用いて行う。一方、圧電素子２０の外周面と壁状部３２の内周面との接着については、第１電極２２と第２電極２３とが導通してしまうことが無いように、絶縁性接着剤を用いて行う。
【００２９】
ここで、図２の例では、支持部３１の上面が、第１弾性部材３０の一方の面３０ａであり、支持部３１の下面が、第１弾性部材３０の他方の面３０ｂである。図２の例では、一方の面３０ａよりも他方の面３０ｂの方が広い。
【００３０】
支持部３１と壁状部３２とは、一体成形されていても良いし、別個に成形した後で相互に接着固定されていても良い。
【００３１】
電気音響変換器１００は、更に、第２電極２３上から第１弾性部材３０の外周面上に亘って形成された第２導電体７０を有している。より具体的には、第２導電体７０は、第２電極２３上から、壁状部３２の外周面３２ａ上及び支持部３１の外周面３１ａ上に亘って連続的に形成されている。第２導電体７０は、例えば、配線のように、線状に引き回されている。第２導電体７０は、例えば、導電性ポリマーなどの導電性接着剤により構成されている。
【００３２】
第２導電体７０は、第２電極２３に対して配線（後述する第２配線９２（図５））を接続する際の端子として機能する。ここで、第２導電体７０は、導電性接着剤により構成され、第２電極２３の上面に対して接着されている。よって、端子としての第２導電体７０を、はんだを用いずに、第２電極２３に対して電気的に接続することができる。更に、第２導電体７０は、第１弾性部材３０の外周面上に引き出されているので、第２導電体７０に対して容易に第２配線９２を接続することができる。
【００３３】
第１弾性部材３０は第２弾性部材４０よりも高剛性の材質により構成されている。
【００３４】
図３は実施形態に係る電気音響変換器１００の圧電素子２０、第１弾性部材３０、第２弾性部材４０及び支持部材５０の分解斜視図である。
【００３５】
図３に示すように、例えば、圧電素子２０及び第１弾性部材３０はそれぞれ円板状に形成されている。壁状部３２はリング状に形成されている。貫通孔３０ｃは、例えば、円柱状に形成されている。なお、貫通孔３０ｃの形状に合わせて、第１導電体６０は円柱状に形成されている。第２弾性部材４０は、例えばドーナツ状に形成され、開口４１は例えば円形に形成されている。支持部材５０は、例えば、円筒状に形成されている。
【００３６】
ここで、電気音響変換器１００をスピーカとして用いる場合の構成の例についてより詳しく説明する。
【００３７】
第２弾性部材４０は、振動膜として機能するものであり、例えば、樹脂フィルムにより構成されている。
【００３８】
第１弾性部材３０は、圧電素子２０から発生した振動によって振動し、例えば周波数が２０ｋＨｚ以上の音波を発振する。圧電素子２０も、自身が振動することによって、例えば周波数が２０ｋＨｚ以上の音波を発振する。第２弾性部材４０も、圧電素子２０から発生した振動によって振動し、例えば周波数が２０ｋＨｚ以上の音波を発振する。
【００３９】
第１弾性部材３０は、圧電素子２０の基本共振周波数を調整する。機械振動子の基本共振周波数は、負荷重量と、コンプライアンスに依存する。コンプライアンスは振動子の機械剛性であるため、第１弾性部材３０の剛性を制御することにより、圧電素子２０の基本共振周波数を制御することができる。第１弾性部材３０の支持部３１の厚みは５μｍ以上５００μｍ以下であることが好ましい。第１弾性部材３０は、剛性を示す指標である縦弾性係数が１ＧＰａ以上５００ＧＰａ以下であることが好ましい。第１弾性部材３０を構成する材料は、金属や樹脂など、脆性材料である圧電素子２０に対して高い弾性率を持つ材料であれば特に限定されないが、加工性やコストの観点からリン青銅やステンレスなどが好ましい。
【００４０】
上記のように、圧電素子２０の平面形状は、例えば円形である。ただし圧電素子２０の平面形状は円形に限定されない。圧電素子２０は、第１弾性部材３０に対向する面の全面が接着剤によって第１弾性部材３０に固定されている。これにより、圧電素子２０の片面の全面が第１弾性部材３０によって拘束されている。
【００４１】
入力部８０（図５）は、圧電素子２０にパラメトリックスピーカ用の変調信号を入力することによって、圧電素子２０より超音波を発振させる。変調信号の輸送波は、例えば、周波数が２０ｋＨｚ以上の超音波であり、具体的には、例えば１００ｋＨｚの超音波である。入力部８０は、所定の発振出力となるように圧電素子２０を制御する。
【００４２】
圧電膜２１は厚さ方向に分極している。圧電膜２１を構成する材料は、圧電効果を有する材料であれば、無機材料及び有機材料のいずれであってもよい。ただし、圧電膜２１を構成する材料は、電気機械変換効率が高い材料、例えばジルコン酸チタン酸塩（ＰＺＴ）やチタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ３）であるのが好ましい。圧電膜２１の厚さは、例えば１０μｍ以上１ｍｍ以下である。
【００４３】
第１電極２２及び第２電極２３を構成する材料は特に限定されないが、例えば、銀や銀／パラジウムを使用することができる。銀は低抵抗で汎用的な電極材料として使用されているため、製造プロセスやコストなどに利点がある。銀／パラジウムは耐酸化に優れた低抵抗材料であるため、信頼性の観点から利点がある。また、第１電極２２及び第２電極２３の厚さは特に限定されないが、その厚さが１μｍ以上５０μｍ以下であるのが好ましい。
【００４４】
パラメトリックスピーカは、複数の発振源それぞれからＡＭ変調やＤＳＢ変調、ＳＳＢ変調、ＦＭ変調をかけた超音波（輸送波）を空気中に放射し、超音波が空気中に伝播する際の非線形特性により、可聴音を出現させるものである。ここでの非線形とは、流れの慣性作用と粘性作用の比で示されるレイノルズ数が大きくなると、層流から乱流に推移することを示す。音波は流体内で微少にじょう乱しているため、音波は非線形で伝播している。特に超音波周波数帯では音波の非線形性が容易に観察できる。そして超音波を空気中に放射した場合、音波の非線形性に伴う高調波が顕著に発生する。また音波は、空気中において分子密度に濃淡が生じる疎密状態である。そして空気分子が圧縮するよりも復元するのに時間を要した場合、圧縮後に復元できない空気が、連続的に伝播する空気分子と衝突し、衝撃波が生じる。この衝撃波により可聴音が発生する。
【００４５】
図４は実施形態に係る電子機器１５０の模式的な正面図である。
【００４６】
図４に示すように、電子機器１５０は、内部に図示しない回路基板を有する筐体１５１と、筐体１５１内に設けられた電気音響変換器１００と、を有する。電子機器１５０は、例えば、携帯電話機或いはその他の携帯端末である。
【００４７】
図５は実施形態に係る電子機器１５０の要部の模式的な断面図である。
【００４８】
図５に示すように、電気音響変換器１００の支持部材５０は、例えば、筐体１５１の内面に対して直接又は間接に固定されている。筐体１５１において、圧電素子２０と対向する面には、電気音響変換器１００から出力される音波を筐体１５１の外部に放音するための音孔１５２が形成されている。
【００４９】
図５に示すように、電気音響変換器１００は、圧電素子２０にパラメトリックスピーカ用の変調信号を入力する入力部８０を更に有している。入力部８０は、圧電素子２０の第１電極２２及び第２電極２３に対し、パラメトリックスピーカ用の変調信号を入力する。
【００５０】
より具体的には、電気音響変換器１００は、例えば、第１配線９１と、第２配線９２と、第１端子９３と、第２端子９４と、第３配線９５と、第４配線９６と、を有している。
【００５１】
図６は第１配線９１と第１導電体６０との接続の手法の一例、並びに、第２配線９２と第２導電体７０との接続の手法の一例を説明するための電子機器１５０の要部の模式的な断面図である。
第１配線９１の一端部は、第１導電体６０において第１弾性部材３０の他方の面３０ｂより露出している部分に対して接続されている。第１配線９１の一端部と第１導電体６０との接続は、以下の（１）〜（３）の何れか１つの手法により実現することができる。
（１）第１配線９１の一端部と第１導電体６０とを導電性ポリマーなどの導電性接着剤を介して相互に接続する。
（２）第１配線９１の一端部を接着テープ（テープ）によって第１導電体６０に対して貼り付けて固定する。
（３）図６に示すように第１配線９１の一端が接続された導電性の第１バネ体９８を第１導電体６０に対して弾性的に押し付ける。この場合、より具体的には、例えば、板バネなどの第１バネ体９８の一端部が第１導電体６０に対して弾性的に押し付けられるように、第１バネ体９８の他端部を支持部材５０の内面などに固定することが挙げられる。第１バネ体９８は、金属により構成することが好ましい。圧電素子２０及び第１弾性部材３０とともに第１導電体６０が振動する際にも、第１バネ体９８と第１導電体６０との電気的接続を維持することができる。
上記（１）又は（２）の場合、第１配線９１は、開口４１を介して、第２弾性部材４０を基準として第１弾性部材３０側（第１導電体６０側）の領域から、その反対側の領域へと導かれている。
上記（３）の場合、例えば、第１バネ体９８は、開口４１を介して、第２弾性部材４０を基準として第１弾性部材３０側（第１導電体６０側）の領域から、その反対側の領域へと延在している。
第１配線９１の他端部には、第１端子９３が接続されている。
【００５２】
第２配線９２の一端部は、第２導電体７０に対して接続されている。
第２配線９２の一端部と第２導電体７０との接続は、以下の（４）〜（６）の何れか１つの手法により実現することができる。
（４）第２配線９２の一端部と第２導電体７０とを導電性ポリマーなどの導電性接着剤を介して相互に接続する。なお、第２導電体７０を構成する導電性接着剤に第２配線９２の一端部を埋め込み固定しても良い。
（５）第２配線９２の一端部を接着テープ（テープ）によって第２導電体７０に対して貼り付けて固定する。
（６）図６に示すように第２配線９２の一端が接続された導電性の第２バネ体９７を第２導電体７０に対して弾性的に押し付ける。この場合、より具体的には、例えば、板バネなどの第２バネ体９７の一端部が第２導電体７０に対して弾性的に押し付けられるように、第２バネ体９７の他端部を支持部材５０の内面などに固定することが挙げられる。第２バネ体９７は、金属により構成することが好ましい。圧電素子２０及び第１弾性部材３０とともに第２導電体７０が振動する際にも、第２バネ体９７と第２導電体７０との電気的接続を維持することができる。
上記（４）又は（５）の場合、第２配線９２の一端部は、例えば、第２導電体７０において、支持部３１のテーパー状の外周面３１ａ上に位置する部分に対して接続する。
上記（６）の場合、第２バネ体９７の一端部を、例えば、第２導電体７０において、支持部３１のテーパー状の外周面３１ａ上に位置する部分に対して押し付ける。
第２配線９２は、支持部材５０に形成された開口（図示略）を通して、支持部材５０の外部へ導かれている。第２配線９２の他端部には、第２端子９４が接続されている。
【００５３】
入力部８０は、第３配線９５を介して第１端子９３に対して変調信号を入力するとともに、第４配線９６を介して第２端子９４に対して変調信号を入力する。
【００５４】
以上のような実施形態によれば、電気音響変換器１００は、第１弾性部材３０を貫通するように第１弾性部材３０に設けられ、圧電素子２０の第１電極２２と接続された第１導電体６０を有している。そして、第１弾性部材３０を支持する第２弾性部材４０には、第１導電体６０を露出させる開口４１が形成されている。よって、開口４１を通して配線等を第１導電体６０に接続することによって、容易に、圧電素子２０の第１電極２２に対する電気接続を行うことができる。すなわち、圧電素子２０の電極に対する電気接続性を改善することができる。よって、電気音響変換器１００の製造が容易になるとともに、電気音響変換器１００の品質の信頼性を高めることができる。
【００５５】
第１導電体６０は金属により構成されているため、第１導電体６０の高い耐久性が得られる。
【００５６】
第１配線９１と第１導電体６０との接続を上記（１）〜（３）の何れか１つの手法により行うので、はんだ接続を行うことなく、第１配線９１を第１導電体６０に対して接続することができる。これにより、電気音響変換器１００の製造が容易になる。
【００５７】
電気音響変換器１００は、第２電極２３上から第１弾性部材３０の外周面上に亘って形成された第２導電体７０を有するので、配線等を第２導電体７０に接続することによって、容易に、圧電素子２０の第２電極２３に対する電気的接続を行うことができる。よって、電気音響変換器１００の製造が容易になるとともに、電気音響変換器１００の品質の信頼性を高めることができる。
【００５８】
第２導電体７０は、導電性ポリマーにより構成されているので、複雑な形状の面に沿って容易に第２導電体７０を引き回すことができる。
【００５９】
第２配線９２と第２導電体７０との接続を上記（４）〜（６）の何れか１つの手法により行うので、はんだ接続を行うことなく、第２配線９２を第２導電体７０に対して接続することができる。これにより、電気音響変換器１００の製造が容易になる。
【００６０】
第１弾性部材３０は、圧電素子２０を支持する支持部３１と、支持部３１上に形成された壁状部３２と、を有し、壁状部３２は圧電素子２０の周囲を囲んでいる。この壁状部３２により、第１弾性部材３０に対する圧電素子２０の位置ずれを抑制することができる。
【００６１】
特に、導電性ポリマーからなる第２導電体７０を壁状部３２から支持部３１に亘って形成することにより、振動時に応力が集中する圧電素子２０の端部近傍の補強を行うことができ、圧電素子２０の端部近傍の機械的強度を高めることができる。
【００６２】
支持部３１の外周面３１ａは、裾広がりのテーパー形状に形成されている。そして、壁状部３２の平面形状は、外周面３１ａの上端の平面形状と等しく、壁状部３２の下端は、外周面３１ａの上端と連続的に形成されている。これにより、第２導電体７０を第２電極２３上から第１弾性部材３０の外周面上（外周面３２ａ及び外周面３１ａ）に亘って形成した構造において、壁状部３２と支持部３１との境界部において第２導電体７０を鋭角に屈曲させずに済む。よって、第２導電体７０に加わる機械的なストレスを低減することができる。第２導電体７０が導電性ポリマーなどにより形成されている場合、特に、このようなストレス低減効果を有効に得られる。
【００６３】
上記の実施形態では、第２導電体７０を導電性ポリマーにより構成する例を説明したが、第２導電体７０は金属により構成しても良い。
【００６４】
また、上記の実施形態では、支持部３１の外周面３１ａが裾広がりのテーパー状である例を説明したが、支持部３１は、単純な平板状であって良い。
【００６５】
また、上記の実施形態では、第１弾性部材３０が壁状部３２を有する例を説明したが、第１弾性部材３０は壁状部３２を有していなくても良い。
【００６６】
なお、上記実施形態では、電気音響変換器１００が第１導電体６０を有する例を説明したが、電気音響変換器１００は第１導電体６０を有していなくても良い。すなわち、上記実施形態には以下の発明が開示されている。
（付記１）
圧電特性を有する圧電膜と、前記圧電膜の一方の面に形成された第１電極と、前記圧電膜の他方の面に形成された第２電極と、を有する圧電素子と、
前記圧電素子の前記第１電極側の面を支持する第１弾性部材と、
前記第１弾性部材を支持するシート状の第２弾性部材と、
前記第２弾性部材の周縁部を支持する支持部材と、
前記第２電極上から前記第１弾性部材の外周面上に亘って形成された導電体（上記実施形態の第２導電体７０に相当）と、
を有する電気音響変換器。
（付記２）
電気音響変換器を有し、
前記電気音響変換器は、
圧電特性を有する圧電膜と、前記圧電膜の一方の面に形成された第１電極と、前記圧電膜の他方の面に形成された第２電極と、を有する圧電素子と、
前記圧電素子の前記第１電極側の面を支持する第１弾性部材と、
前記第１弾性部材を支持するシート状の第２弾性部材と、
前記第２弾性部材の周縁部を支持する支持部材と、
前記第２電極上から前記第１弾性部材の外周面上に亘って形成された導電体（上記実施形態の第２導電体７０に相当）と、
を有する電子機器。
【符号の説明】
【００６７】
２０ 圧電素子
２１ 圧電膜
２２ 第１電極
２３ 第２電極
３０ 第１弾性部材
３０ａ 一方の面
３０ｂ 他方の面
３０ｃ 貫通孔
３１ 支持部
３１ａ 外周面
３２ 壁状部
３２ａ 外周面
４０ 第２弾性部材
４１ 開口
５０ 支持部材
６０ 第１導電体
７０ 第２導電体
８０ 入力部
９１ 第１配線
９２ 第２配線
９３ 第１端子
９４ 第２端子
９５ 第３配線
９６ 第４配線
９８ 第１バネ体
９７ 第２バネ体
１００ 電気音響変換器
１５０ 電子機器
１５１ 筐体
１５２ 音孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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