(57)【要約】【課題】本発明では、高速中性子を測定でき、製造が容易であるガイガーミュラー計数管の製造方法、ガイガーミュラー計数管、及び放射線検出器を提供する。【解決手段】ガイガーミュラー計数管の製造方法は、一対の電極及び中空の空間を有する封入管を用意する工程（Ｓ１０１）と、空間にハロゲン化有機物又はハロゲン化水素により構成されるハロゲン化物及び希ガス原子により構成されるペニングガスを封入する封入工程（Ｓ１０２、Ｓ１０３、Ｓ１０４）と、ハロゲン化物を、水素ガス及びハロゲンガスを含むように分解する分解工程（Ｓ１０５）と、を有する。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対の電極及び中空の空間を有する封入管を用意する工程と、
前記空間にハロゲン化有機物又はハロゲン化水素により構成されるハロゲン化物及び希ガス原子により構成されるペニングガスを封入する封入工程と、
前記ハロゲン化物を、水素ガス及びハロゲンガスを含むように分解する分解工程と、
を有するガイガーミュラー計数管の製造方法。
【請求項２】
前記ハロゲン化物はハロゲン化有機物であり、
前記分解工程では、前記ハロゲン化有機物が水素ガス、ハロゲンガス、及び炭素に分解される請求項１に記載のガイガーミュラー計数管の製造方法。
【請求項３】
前記分解工程は、前記封入管を２００℃から５００℃に加熱処理することにより行う請求項２に記載のガイガーミュラー計数管の製造方法。
【請求項４】
前記ハロゲン化物はハロゲン化水素であり、
前記分解工程は、前記一対の電極間に電圧をかけることにより前記ハロゲン化水素を水素ガスとハロゲンガスとに分解する請求項１に記載のガイガーミュラー計数管の製造方法。
【請求項５】
前記一対の電極間に電圧をかけて高速中性子を測定する検査工程を有し、
前記検査工程は、前記分解工程を兼ねている請求項４に記載のガイガーミュラー計数管の製造方法。
【請求項６】
密封された空間を有する封入管と、
前記空間に設置される電極と、
前記空間に封入される気体と、を含み、
前記気体は、ハロゲンガス、水素ガス、及び希ガス原子により構成されるペニングガスを含むガイガーミュラー計数管。
【請求項７】
前記空間には、さらに炭素が含まれる請求項６に記載のガイガーミュラー計数管。
【請求項８】
請求項６又は請求項７に記載のガイガーミュラー計数管と、
前記ガイガーミュラー計数管からのパルスを増幅する増幅器と、
前記増幅器に接続されたカウンターと、を備える放射線検出器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、高速中性子を検出できるガイガーミュラー計数管の製造方法、ガイガーミュラー計数管、及び放射線検出器に関する。
【背景技術】
【０００２】
ガイガーミュラー計数管（ＧＭ管）は、主に放射線検出器に用いられる部品である。ＧＭ管には陽極電極及び陰極電極が形成されており、ＧＭ管の中には放射線検出用のガスが封入されている。また、ＧＭ管の陽極電極及び陰極電極の間には高い電圧がかけられて使用される。ＧＭ管では、封入ガスを選択することにより高速中性子を検出することができる。例えば特許文献１には、アクリル樹脂、パラフィンなどの減速材とＨｅ−３（３Ｈｅ）計数管とが組み合わせられた高速中性子を検出する検出器が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平８−７４２３８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、特許文献１に示されるＨｅ−３（３Ｈｅ）は製造が困難であり、高価であるという問題がある。
【０００５】
本発明では、高速中性子を測定でき、製造が容易であるガイガーミュラー計数管の製造方法、ガイガーミュラー計数管、及び放射線検出器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
第１観点のガイガーミュラー計数管の製造方法は、一対の電極及び中空の空間を有する封入管を用意する工程と、空間にハロゲン化有機物又はハロゲン化水素により構成されるハロゲン化物及び希ガス原子により構成されるペニングガスを封入する封入工程と、ハロゲン化物を、水素ガス及びハロゲンガスを含むように分解する分解工程と、を有する。
【０００７】
第２観点のガイガーミュラー計数管の製造方法は、第１観点において、ハロゲン化物がハロゲン化有機物であり、分解工程ではハロゲン化有機物が水素ガス、ハロゲンガス、及び炭素に分解される。
【０００８】
第３観点のガイガーミュラー計数管の製造方法は、第２観点において、分解工程を、封入管を２００℃から５００℃に加熱処理することにより行う。
【０００９】
第４観点のガイガーミュラー計数管の製造方法は、第１観点において、ハロゲン化物がハロゲン化水素であり、分解工程では、一対の電極間に電圧をかけることによりハロゲン化水素を水素ガスとハロゲンガスとに分解する。
【００１０】
第５観点のガイガーミュラー計数管の製造方法は、第４観点において、一対の電極間に電圧をかけて高速中性子を測定する検査工程を有し、検査工程が分解工程を兼ねている。
【００１１】
第６観点のガイガーミュラー計数管は、密封された空間を有する封入管と、空間に設置される電極と、空間に封入される気体と、を含み、気体がハロゲンガス、水素ガス、及び希ガス原子により構成されるペニングガスを含む。
【００１２】
第７観点のガイガーミュラー計数管は、第６観点において、空間に、さらに炭素が含まれる。
【００１３】
第８観点の放射線検出器は、請求項６又は請求項７に記載のガイガーミュラー計数管と、ガイガーミュラー計数管からのパルスを増幅する増幅器と、増幅器に接続されたカウンターと、を備える。
【発明の効果】
【００１４】
本発明のガイガーミュラー計数管の製造方法、ガイガーミュラー計数管、及び放射線検出器によれば、高速中性子を測定でき、製造が容易である。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】放射線検出器１０の概略図である。
【図２】（ａ）は、ガイガーミュラー計数管１００の断面図である。  （ｂ）は、図２（ａ）のＡ−Ａ断面図である。
【図３】ハロゲン化有機物を用いたガイガーミュラー計数管１００の製造方法が示されたフローチャートである。
【図４】ハロゲン化水素を用いたガイガーミュラー計数管１００の製造方法が示されたフローチャートである。
【図５】（ａ）は、ガイガーミュラー計数管２００の分解断面図である。  （ｂ）は、ガイガーミュラー計数管２００の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の好適な実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、本発明の範囲は以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの形態に限られるものではない。
【００１７】
（第１実施形態）
＜放射線検出器１０の構成＞
図１は、放射線検出器１０の概略図である。放射線検出器１０は、主に測定部１１、信号処理部１２、及び測定部１１と信号処理部１２とを繋ぐケーブル１３を有している。測定部１１は放射線を受けてパルス信号を発生させる部分であり、後述されるガイガーミュラー計数管１００（図２（ａ）参照）が配置される。測定部１１において発生したパルス信号は、ケーブル１３を伝って信号処理部１２に送られる。信号処理部１２にはパルス信号を増幅する増幅器（不図示）及び増幅器に接続されパルス信号を数えるためのカウンター（不図示）等が備えられている。信号処理部１２ではパルス信号が放射線量に換算され、換算された放射線量は信号処理部１２に形成される結果表示部１４に表示される。
【００１８】
＜ガイガーミュラー計数管１００の構成＞
図２（ａ）は、ガイガーミュラー計数管１００の断面図である。ガイガーミュラー計数管１００は、円筒形の封入管１１０と、陽極電極１２０と、陰極電極１３０と、により構成されている。以下の説明では、封入管１１０が伸びる方向をＺ軸方向、封入管１１０を構成する円筒の直径方向でありＺ軸方向に垂直な方向をＸ軸方向、同じく、封入管１１０を構成する円筒の直径方向でありＸ軸方向及びＺ軸方向に垂直な方向をＹ軸方向とする。封入管１１０はガラスを基材としており、＋Ｚ軸側及び−Ｚ軸側の端部が封止されて封入管１１０内に空間１１４が形成されている。また、封入管１１０の＋Ｚ軸側の端には排気管１１２が取り付けられている。
【００１９】
陽極電極１２０は、封入管１１０の空間１１４でＺ軸方向に沿って伸びる棒状部１２１と、封入管１１０の−Ｚ軸側の端で支持されて封入管１１０に固定される第１金属リード部１２２と、を含んでいる。陽極電極１２０は、第１金属リード部１２２を介して空間１１４に挿入されており、第１金属リード部１２２と棒状部１２１とは電気的に接続されている。棒状部１２１と第１金属リード部１２２とは互いに別個に形成された後に溶接されて電気的に接続されてもよいし、初めから線状の導体として一体的に形成されてもよい。
【００２０】
陰極電極１３０は、封入管１１０の空間１１４で陽極電極１２０の棒状部１２１の周りを取り囲む環状部１３１と、封入管１１０の＋Ｚ軸側の端で支持されて封入管１１０に固定される第２金属リード部１３２と、を含んでいる。陰極電極１３０は第２金属リード部１３２を介して空間１１４に挿入されており、第２金属リード部１３２と環状部１３１とは電気的に接続されている。また、環状部１３１は、陽極電極１２０の棒状部１２１の先端が環状部１３１に囲まれる空間１１５の外側に配置されるように空間１１４に配置される。
【００２１】
図２（ｂ）は、図２（ａ）のＡ−Ａ断面図である。封入管１１０の空間１１４には、陽極電極１２０の棒状部１２１及び陰極電極１３０の環状部１３１が配置される。環状部１３１は、例えば鉄、ニッケル、コバルトの合金である金属コバール又はステンレスにより形成される円筒形の金属パイプにより構成され、棒状部１２１はこの金属パイプの中心軸上に配置されている。これにより、陰極電極１３０と陽極電極１２０との間に電圧がかかった場合には、Ｘ−Ｙ平面内において、環状部１３１に囲まれる空間１１５の電場が棒状部１２１を中心とした回転対称に形成される。実際の高速中性子の測定では、陰極電極１３０と陽極電極１２０との間に４６０から９００Ｖの電圧がかけられる。また、空間１１５を含む空間１１４には水素ガス、ハロゲンガス、及びペニングガスが封入されている。ハロゲンガスは、例えば、フッ素ガス（Ｆ２）、塩素ガス（Ｃｌ２）、ヨウ素ガス（Ｉ２）、又は臭素ガス（Ｂｒ２）である。また、ペニングガスは希ガス原子により構成されるガスである。ペニングガスは、例えば、ヘリウム及びネオン（Ｈｅ＋Ｎｅ）、ネオン及びアルゴン（Ｎｅ＋Ａｒ）、クリプトン及びキセノン（Ｋｒ＋Ｘｅ）等の２種類の希ガスによって構成されることができる。
【００２２】
高速中性子は、主にエネルギー値が０．１ＭｅＶよりも大きいものを指す。封入管１１０を介して空間１１５に侵入する高速中性子は、空間１１５の水素原子核に衝突することにより水素原子核を反跳させる。この反跳された水素原子核（反跳陽子）は空間１１５を走り、ペニングガスを構成する希ガス原子に衝突して希ガス原子をイオンと電子とに電離させる。また、陽極電極１２０と陰極電極１３０との間に例えば４６０から９００Ｖの電圧がかけられることにより空間１１５に電場が形成される。そのため、電離したイオン及び電子は、それぞれ陰極電極１３０及び陽極電極１２０に向かって加速する。加速されたイオンはさらに他の希ガス原子を電離させる。このような電離の繰り返しにより、空間１１５には雪崩状に電離したイオン及び電子が形成されパルス電流が流れる。ガイガーミュラー計数管１００を有する放射線検出器は、このようなパルス電流によるパルス信号のパルスの回数を計測することにより放射線量を測定することができる。また、このような電流が連続的に流れるとパルスの回数を計測できなくなるが、ガイガーミュラー計数管１００ではこれを防ぐためにクエンチガスが水素ガス及びペニングガスと共に空間１１４に封入される。クエンチガスはイオンが有するエネルギーを失わせる働きをする。ガイガーミュラー計数管１００では、ハロゲンガスがクエンチガスとして導入されている。このように、ガイガーミュラー計数管１００では、水素ガス、ハロゲンガス及びペニングガスが封入されていることにより、高速中性子を検出することができる。
【００２３】
＜ガイガーミュラー計数管１００の製造方法＞
ガイガーミュラー計数管１００ではハロゲン化物を用いることにより水素ガス及びハロゲンガスを容易に封入することができる。以下に、ハロゲン化物にハロゲン化有機物を用いたガイガーミュラー計数管１００の製造方法、及びハロゲン化物にハロゲン化水素を用いたガイガーミュラー計数管１００の製造方法についてそれぞれ説明する。
【００２４】
＜＜ハロゲン化有機物を用いたガイガーミュラー計数管１００の製造方法＞＞
図３は、ハロゲン化有機物を用いたガイガーミュラー計数管１００の製造方法が示されたフローチャートである。以下に図３を参照してハロゲン化有機物を用いたガイガーミュラー計数管１００の製造方法を説明する。
【００２５】
図３のステップＳ１０１では、封入管１１０が用意される。ステップＳ１０１は封入管１１０を用意する工程である。ステップＳ１０１で用意される封入管１１０には、陽極電極１２０、陰極電極１３０及び排気管１１２が取り付けられている。ステップＳ１０１で用意されるガイガーミュラー計数管１１０は排気管１１２が封止されておらず、それ以外は図２（ａ）に示されるガイガーミュラー計数管１１０と同様である。
【００２６】
ステップＳ１０２では、封入管１１０が真空引きされる。ステップＳ１０２では、排気管１１２が真空ポンプ等に接続されて、封入管１１０の空間１１４が真空引きされる。
【００２７】
ステップＳ１０３では、封入管１１０にハロゲン化有機物及びペニングガスが導入される。ハロゲン化有機物及びペニングガスは、排気管１１２を介して封入管１１０の空間１１４に導入される。ハロゲン化有機物は炭化水素の一部の水素がハロゲン原子で置き換わった有機物であり、１以上の炭素原子と、１以上の水素原子と、１以上のハロゲン原子とを含んでいる。また、ハロゲン化有機物には、酸素原子等の炭素、水素、ハロゲン原子以外の原子が含まれていても良い。ハロゲン原子は、例えば、フッ素原子（Ｆ）、塩素原子（Ｃｌ）、臭素原子（Ｂｒ）、及びヨウ素原子（Ｉ）である。ハロゲン化有機物には、例えば、ブロモメタン（ＣＨ３Ｂｒ）、ジブロモメタン（ＣＨ２Ｂｒ２）、ブロモエタン（Ｃ２Ｈ５Ｂｒ）等の鎖式飽和炭化水素を用いることができる。また、環式、不飽和の炭化水素が用いられても良く、一部に酸素を含んだ臭化アセチル（Ｃ２Ｈ３ＢｒＯ）等であっても良い。以下の説明では、ハロゲン化有機物としてジブロモメタン（ＣＨ２Ｂｒ２）を用いた場合の例を説明する。
【００２８】
ステップＳ１０４では、封入管１１０が封止される。ステップＳ１０４の封止は、ガイガーミュラー計数管１００の空間１１４がジブロモメタン（ＣＨ２Ｂｒ２）及びペニングガスで満たされた状態で、排気管１１２を封止することにより行われる。ステップＳ１０２からステップＳ１０４は、封入管１１０の空間１１４にハロゲン化有機物及びペニングガスを封入する封入工程である。
【００２９】
ステップＳ１０５では、封入管１１０が加熱処理される。ステップＳ１０５では、ハロゲン化有機物が封入された封入管１１０を加熱処理することにより、ハロゲン化有機物を水素ガス、ハロゲンガス、及び炭素に分解する分解工程である。加熱処理は、例えば封入管１１０を２００℃から５００℃に加熱することにより行う。ハロゲン化有機物がジブロモメタン（ＣＨ２Ｂｒ２）である場合、ジブロモメタン（ＣＨ２Ｂｒ２）は加熱処理により臭化水素（ＨＢｒ）、炭素（Ｃ）、及び水素（Ｈ２）に分解し、さらに臭化水素（ＨＢｒ）が臭素（Ｂｒ２）及び水素（Ｈ２）に分解する。すなわち、ジブロモメタン（ＣＨ２Ｂｒ２）は加熱処理により、最終的に臭素（Ｂｒ２）、炭素（Ｃ）、及び水素（Ｈ２）に分解することになる。
【００３０】
ステップＳ１０６では、ガイガーミュラー計数管１００が検査される。ステップＳ１０６は、ガイガーミュラー計数管１００の検査工程である。検査工程は、ステップＳ１０５において加熱処理された封入管１１０により形成されるガイガーミュラー計数管１００の陽極電極１２０及び陰極電極１３０の間に電圧をかけて実際に高速中性子を測定することにより、製品として異常がないかどうかが確認される。
【００３１】
＜＜ハロゲン化水素を用いたガイガーミュラー計数管１００の製造方法＞＞
図４は、ハロゲン化水素を用いたガイガーミュラー計数管１００の製造方法が示されたフローチャートである。以下に図４を参照してハロゲン化水素を用いたガイガーミュラー計数管１００の製造方法を説明する。
【００３２】
図４のステップＳ２０１では封入管１１０が用意され、ステップＳ２０２では封入管１１０が真空引きされる。これらのステップは、図３のステップＳ１０１及びステップＳ１０２と同様である。
【００３３】
ステップＳ２０３では、封入管１１０にハロゲン化水素及びペニングガスが導入される。ハロゲン化水素及びペニングガスは、排気管１１２を介して封入管１１０の空間１１４に導入される。ハロゲン化水素は１つの水素原子と１つのハロゲン原子とが結合しており、ＨＸ（Ｘはフッ素（Ｆ）、塩素（Ｃｌ）、臭素（Ｂｒ）、又はヨウ素（Ｉ））の化学式で示される。以下の説明では、ハロゲン化水素として臭化水素（ＨＢｒ）を用いた場合の例を説明する。
【００３４】
ステップＳ２０４では、封入管１１０が封止される。ステップＳ２０４の封止は、封入管１１０の空間１１４が臭化水素（ＨＢｒ）及びペニングガスで満たされた状態で、排気管１１２を封止することにより行われる。ステップＳ２０２からステップＳ２０４は、封入管１１０の空間１１４にハロゲン化水素及びペニングガスを封入する封入工程である。
【００３５】
ステップＳ２０５では、ハロゲン化水素が分解されると共に、ガイガーミュラー計数管１００が検査される。すなわち、ステップＳ２０５では、ハロゲン化水素の分解工程を兼ねてガイガーミュラー計数管１００の検査工程が行われる。検査工程はガイガーミュラー計数管１００の陽極電極１２０及び陰極電極１３０の間に電圧をかけて実際に高速中性子を測定することにより、製品として異常がないかどうかを確認する。また、ハロゲン化水素は容易に電離してハロゲン原子と水素原子とに分解し、ハロゲンガス及び水素ガスになる。そのため、臭化水素（ＨＢｒ）では、容易に臭素（Ｂｒ２）及び水素（Ｈ２）が形成される。ハロゲン化水素は、ガイガーミュラー計数管１００の陽極電極１２０及び陰極電極１３０の間に電圧をかけることによって電離させることができるため、ステップＳ２０５では、ガイガーミュラー計数管１００の陽極電極１２０及び陰極電極１３０の間に電圧をかけて臭素（Ｂｒ２）及び水素（Ｈ２）を形成した後に、そのまま高速中性子を測定してガイガーミュラー計数管１００の検査工程を行うことができる。
【００３６】
以上のような工程により、ガイガーミュラー計数管１００が製造される。ガイガーミュラー計数管１００には、刺激臭を有して毒性がある臭素（Ｂｒ２）及び引火性がある水素（Ｈ２）が封入される。このような危険を伴う複数のガスの取り扱いは困難であるが、ガイガーミュラー計数管１００では、実際に作業で取り扱うガスがジブロモメタン（ＣＨ２Ｂｒ２）又は臭化水素（ＨＢｒ）の１種類のガスのみを取り扱うため、複数のガスを取り扱うよりも作業が容易になる。
【００３７】
また、図３の製造工程で使用されるハロゲン化有機物は、毒性がハロゲン化水素よりも低く取り扱いが容易である。例えば、ジブロモメタン（ＣＨ２Ｂｒ２）は毒性がハロゲンガスである臭素（Ｂｒ２）及び臭化水素（ＨＢｒ）よりも低い。また、ジブロモメタン（ＣＨ２Ｂｒ２）には水素ガスのように引火性がないことも取り扱いが容易である一つの理由になっている。
【００３８】
一方、図４の製造工程では、分解工程と検査工程とを同時に行うことができて作業工程を短くすることができるため好ましい。また、図４の製造工程で使用されるハロゲン化水素からは炭素が発生しない。炭素の存在は炭素を起点とした異常放電を引き起こし、高速中性子の正確な測定を妨げる可能性があるが、ハロゲン化水素を使用した図４の製造工程では炭素が発生しないため、炭素を起点とした異常放電を防ぐことができて好ましい。
【００３９】
（第２実施形態）
ガイガーミュラー計数管には、金属を基材とした封入管が用いられてもよい。以下に、金属製の封入管が用いられたガイガーミュラー計数管２００について説明する。また、以下の説明では、第１実施形態と同じ部分に関しては同じ符号を用いてその説明を省略する。
【００４０】
＜ガイガーミュラー計数管２００の構成＞
図５（ａ）は、ガイガーミュラー計数管２００の分解断面図である。ガイガーミュラー計数管２００は、円筒形の封入管２１０と、キャップ２２０と、により構成されている。以下の説明では第１実施形態と同様に、封入管２１０が伸びる方向をＺ軸方向、封入管２１０を構成する円筒の直径方向でありＺ軸方向に垂直な方向をＸ軸方向、同じく、封入管２１０を構成する円筒の直径方向でありＸ軸方向及びＺ軸方向に垂直な方向をＹ軸方向とする。
【００４１】
封入管２１０は、円筒状の側面２１１と、側面２１１の−Ｚ軸側の端に側面２１１から連側的に繋がって形成されている底面２１２と、により構成されている。側面２１１及び底面２１２は、例えばステンレス又は金属コバールにより形成されている。また、封入管２１０には側面２１１と底面２１２とにより囲まれて形成される空間２１４が形成されており、側面２１１の＋Ｚ軸側の端は開口された開口部２１３となっている。さらに、封入管２１０の側面２１１の空間２１４側及び底面２１２の空間２１４側の面には耐腐食膜２３０が形成されている。耐腐食膜２３０は、例えば表面が酸化されたクロム（Ｃｒ）のメッキ膜、又は、樹脂膜、塗料膜等が用いられる。ガイガーミュラー計数管２００では、封入管２１０が陰極電極の役割を担っている。
【００４２】
キャップ２２０は、円盤状に形成されており、キャップ２２０の外周に形成され封入管２１０に接合される環状枠２２３と、環状枠２２３の内側に形成され、線状に形成された陽極電極２２１が中心を貫通する内周部２２２と、により構成されている。環状枠２２３は、例えば金属コバール又はステンレスにより形成され、内周部２２２は例えばコバールガラスにより形成される。金属コバールは鉄、ニッケル、コバルトの合金であり、コバールガラスはホウ珪酸ガラスである。また、キャップ２２０の−Ｚ軸側の面にも耐腐食膜２３０が形成されている。
【００４３】
キャップ２２０は、封入管２１０の開口部２１３に接合されて封入管２１０の空間２１４を密封する。そのため、キャップ２２０の中心を貫いている陽極電極２２１は、陽極電極２２１の先端が陰極電極となる封入管２１０の側面２１１に囲まれた空間２１４に配置される。このように陽極電極２２１の先端が陰極電極に囲まれて配置されると陽極電極２２１の先端から放電が起こる場合がある。ガイガーミュラー計数管２００では、このような放電を防止するために、陽極電極２２１の先端に絶縁体２３１が形成されている。絶縁体２３１は、例えばガラス等の材料により形成される。
【００４４】
図５（ｂ）は、ガイガーミュラー計数管２００の断面図である。図５（ｂ）は、図５（ａ）のＢ−Ｂ断面に相当する断面図となる。封入管２１０の中心軸上には、陽極電極２２１が配置される。また、空間２１４には第１実施形態と同様に水素ガス、ハロゲンガス、及びペニングガスが封入される。空間２１４の周りには図５（ａ）にも示されるように、耐腐食膜２３０が形成されている。ハロゲンガスは金属を腐食させる性質を有しているが、空間２１４に耐腐食膜２３０が形成されていることにより、封入管２１０及びキャップ２２０の腐食が防がれ、ハロゲンガスが腐食により消費されることがふせがれている。
【００４５】
＜ガイガーミュラー計数管２００の製造方法＞
ガイガーミュラー計数管２００は、基本的には図３又は図４のフローチャートに沿って作製することができる。以下に、ハロゲン化有機物を用いたガイガーミュラー計数管２００の製造方法を、図３を参照して説明する。
【００４６】
図３のステップＳ１０１では、封入管２１０が用意される。ガイガーミュラー計数管２００の製造におけるステップＳ１０１では、封入管２１０と共にキャップ２２０が用意される。ステップＳ１０１で用意される封入管２１０及びキャップ２２０は、５（ａ）に示されるように耐腐食膜２３０が形成されている封入管２１０及びキャップ２２０である。
【００４７】
ステップＳ１０２では、封入管２１０が真空引きされる。封入管２１０及びキャップ２２０はチャンバー（不図示）の中に配置され、チャンバー内を真空引きすることにより封入管２１０の空間２１４が真空引きされる。
【００４８】
ステップＳ１０３では、封入管２１０にハロゲン化有機物及びペニングガスが導入される。ステップＳ１０３では、チャンバーにハロゲン化有機物及びペニングガスを入れることにより、ハロゲン化有機物及びペニングガスを封入管２１０の空間２１４に導入する。
【００４９】
ステップＳ１０４では、封入管２１０が封止される。ステップＳ１０４では、キャップ２２０が封入管２１０の開口部２１３を塞ぐように重ね合され接合される。接合は、キャップ２２０の環状枠２２３と、側面２１１の＋Ｚ軸側端部との抵抗溶接により行うことができる。この接合により空間２１４が密封される。ステップＳ１０２からステップＳ１０４は、封入管１１０の空間１１４にハロゲン化有機物及びペニングガスを封入する封入工程である。
【００５０】
ステップＳ１０５では、封入管２１０が加熱処理される。ステップＳ１０５では、キャップ２２０が接合された封入管２１０を２００℃から５００℃に加熱処理することにより、空間２１４に封入されたハロゲン化有機物を水素ガス、ハロゲンガス、及び炭素に分解する。
【００５１】
ステップＳ１０６では、ガイガーミュラー計数管２００が検査される。ステップＳ１０６は検査工程であり、陽極電極２２１と陰極電極となる封入管２１０との間に電圧をかけて実際に高速中性子を測定することにより、製品として異常がないかどうかが確認される。
【００５２】
ガイガーミュラー計数管２００は、ハロゲン化有機物の代わりにハロゲン化水素を用いて製造することもできる。その場合は、図４のフローチャートに従って製造される。
【００５３】
以上、本発明の最適な実施形態について詳細に説明したが、当業者に明らかなように、本発明はその技術的範囲内において実施形態に様々な変更・変形を加えて実施することができる。
【符号の説明】
【００５４】
１０  …  放射線検出器
１１  …  測定部
１２  …  信号処理部
１３  …  ケーブル
１４  …  結果表示部
１００、２００  …  ガイガーミュラー計数管
１１０、２１０  …  封入管
１１２  …  排気管
１１４、１１５、２１４  …  空間
１２０、２２１  …  陽極電極
１２１  …  棒状部
１２２  …  第１金属リード部
１３０  …  陰極電極
１３１  …  環状部
１３２  …  第２金属リード部
２１１  …  封入管２１０の側面
２１２  …  封入管２１０の底面
２２０  …  キャップ
２２２  …  内周部
２２３  …  環状枠
２３０  …  耐腐食膜
２３１  …  絶縁体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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