(57)【要約】【課題】複数のウェハを搭載可能であって、水平方向幅が広くなりにくい縦型ウェハ供給装置を提供することを課題とする。【解決手段】縦型ウェハ供給装置は、ウェハＷが縦置きされるスロットＳがＸ軸方向に複数並ぶウェハ収容部２０を有するマガジン２と、複数のスロットＳのうち所望のスロットＳから、ウェハＷをＹ軸方向に引き出すウェハ引出ユニット４と、ウェハ引出ユニットが引き出したウェハＷの、所定のダイＤを、Ｘ軸方向裏側からＸ軸方向表側に、突出させるダイ突出ユニット６と、ダイ突出ユニット６が突出させたダイＤを、Ｘ軸方向表側から取り出すダイ取出ユニット５と、を備えることを特徴とする。【選択図】図２
2014138034.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに直交する座標軸をＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸、かつ該Ｚ軸方向を上下方向として、
複数のダイを有するウェハが縦置きされるスロットが該Ｘ軸方向に複数並ぶウェハ収容部を有するマガジンと、
複数の該スロットのうち所望の該スロットから、該ウェハを該Ｙ軸方向に引き出すウェハ引出ユニットと、
該ウェハ引出ユニットが引き出した該ウェハの、所定の該ダイを、該Ｘ軸方向裏側から該Ｘ軸方向表側に、突出させるダイ突出ユニットと、
該ダイ突出ユニットが突出させた該ダイを、該Ｘ軸方向表側から取り出すダイ取出ユニットと、
を備える縦型ウェハ供給装置。
【請求項２】
前記スロットから前記Ｙ軸方向に引き出した前記ウェハを、前記マガジンの前記Ｘ軸方向幅以内の範囲で、該Ｘ軸方向に移動させるＸ軸移動機構を有する請求項１に記載の縦型ウェハ供給装置。
【請求項３】
前記ダイ取出ユニットは、前記ダイ突出ユニットが突出させた前記ダイを、前記Ｘ軸方向表側から吸着する吸着ノズルを有し、
さらに、該吸着ノズルが該ダイを吸着する際に該吸着ノズルの下側に配置される落下ダイ収容部を備える請求項１または請求項２に記載の縦型ウェハ供給装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、部品実装機などに取り付けられ、ダイを基板に装着する際に用いられる縦型ウェハ供給装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、ウェハ供給装置が開示されている。ウェハ供給装置は、部品実装機に取り付けられている。同文献記載のウェハ供給装置によると、複数のウェハは、マガジンに上下方向に並べられている。ウェハは、水平方向に延在している。ここで、近年、ウェハの外径は大型化している。同文献記載のウェハ供給装置によると、ウェハの外径の大型化に対応するためには、マガジンの水平方向寸法を、大型化する必要がある。すなわち、ウェハ供給装置のＸ軸方向幅（基板の搬送方向幅）を拡張する必要がある。
【０００３】
しかしながら、ウェハ供給装置のＸ軸方向幅を拡張すると、ウェハ供給装置が、部品実装機から、Ｘ軸方向にはみ出してしまうおそれがある。また、部品実装機には、ウェハ供給装置以外にも、用途に応じて、ＮＧ部品コンベアやテープフィーダなどの装置が取り付けられる場合がある。この場合、ウェハ供給装置を大型化すると、その分、他の装置の取付スペースが狭くなってしまう。
【０００４】
この点、特許文献２には、縦型ウェハ供給装置が開示されている。縦型ウェハ供給装置には、縦方向（上下方向）に立った状態でウェハが搭載されている。同文献記載の縦型ウェハ供給装置の場合、ウェハの外径が大型化しても、縦型ウェハ供給装置の上下方向幅が大きくなるだけである。すなわち、縦型ウェハ供給装置の高さが高くなるだけである。このため、縦型ウェハ供給装置のＸ軸方向幅を拡張する必要がない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１０−１２９９４９号公報
【特許文献２】特表２００２−５０３８９１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献２の縦型ウェハ供給装置には、単一のウェハしか搭載することができない。このため、ダイが取り出されウェハが空になるたびに、作業者がウェハを補充する必要がある。
【０００７】
また、同文献記載の縦型ウェハ供給装置によると、複数種類のダイを基板に装着する場合、複数の縦型ウェハ供給装置を、Ｘ軸方向に並べる必要がある。この場合、ウェハからダイを取り出すユニットなどが、縦型ウェハ供給装置の数だけ、並べられることになる。このため、ウェハの供給に要するＸ軸方向幅が広くなってしまう。
【０００８】
そこで、本発明は、複数のウェハを搭載可能であって、水平方向幅が広くなりにくい縦型ウェハ供給装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
（１）上記課題を解決するため、本発明の縦型ウェハ供給装置は、互いに直交する座標軸をＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸、かつ該Ｚ軸方向を上下方向として、複数のダイを有するウェハが縦置きされるスロットが該Ｘ軸方向に複数並ぶウェハ収容部を有するマガジンと、複数の該スロットのうち所望の該スロットから、該ウェハを該Ｙ軸方向に引き出すウェハ引出ユニットと、該ウェハ引出ユニットが引き出した該ウェハの、所定の該ダイを、該Ｘ軸方向裏側から該Ｘ軸方向表側に、突出させるダイ突出ユニットと、該ダイ突出ユニットが突出させた該ダイを、該Ｘ軸方向表側から取り出すダイ取出ユニットと、を備えることを特徴とする。
【００１０】
本発明の縦型ウェハ供給装置によると、マガジンが複数の縦型のスロットを備えている。ウェハは、スロットに縦置きされている。言い換えると、ウェハは、スロットに、Ｚ軸成分を含む方向に置かれている。このため、外径が大きいウェハをマガジンに収容する場合であっても、マガジン、延いては縦型ウェハ供給装置の水平方向幅が広くなりにくい。
【００１１】
また、マガジンには、複数のウェハが並んで収容されている。このため、複数種類のダイを基板に装着することができる。また、複数のウェハに対して、ウェハ引出ユニット、ダイ突出ユニット、ダイ取出ユニットが共用化されている。この点においても、本発明の縦型ウェハ供給装置によると、縦型ウェハ供給装置の水平方向幅が広くなりにくい。
【００１２】
（２）好ましくは、上記（１）の構成において、前記スロットから前記Ｙ軸方向に引き出した前記ウェハを、前記マガジンの前記Ｘ軸方向幅以内の範囲で、該Ｘ軸方向に移動させるＸ軸移動機構を有する構成とする方がよい。
【００１３】
本構成によると、スロットから引き出したウェハを、Ｘ軸方向に動かすことができる。このため、スロットのＸ軸方向位置によらず、ウェハを所望の位置（例えば、ダイ取出ユニットがウェハからダイを取り出すダイ取出位置）まで移動させることができる。また、ウェハの移動範囲は、マガジンのＸ軸方向幅以内である。このため、縦型ウェハ供給装置の水平方向幅が広くなりにくい。
【００１４】
（３）好ましくは、上記（１）または（２）の構成において、前記ダイ取出ユニットは、前記ダイ突出ユニットが突出させた前記ダイを、前記Ｘ軸方向表側から吸着する吸着ノズルを有し、さらに、該吸着ノズルが該ダイを吸着する際に該吸着ノズルの下側に配置される落下ダイ収容部を備える構成とする方がよい。
【００１５】
本構成によると、吸着ノズルがダイの吸着を失敗した場合であっても、当該ダイは、自重により落下し、落下ダイ収容部に収容される。このため、当該ダイを、吸着ノズルが、誤って再吸着してしまうおそれが小さい。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によると、複数のウェハを搭載可能であって、水平方向幅が広くなりにくい縦型ウェハ供給装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の縦型ウェハ供給装置の一実施形態である縦型ウェハ供給装置の取付状態図である。
【図２】同縦型ウェハ供給装置の斜視図である。
【図３】同縦型ウェハ供給装置のマガジンおよびベースの斜視図である。
【図４】同縦型ウェハ供給装置のウェハ引出ユニットの分解斜視図である。
【図５】同縦型ウェハ供給装置のダイ取出ユニットの分解斜視図である。
【図６】同縦型ウェハ供給装置のダイ突出ユニットの分解斜視図である。
【図７】ウェハの斜視図である。
【図８】ウェハ引出ステップ第一段階における同縦型ウェハ供給装置の上面図である。
【図９】同ステップ第二段階における同縦型ウェハ供給装置の右側から見た断面図である。
【図１０】同ステップ第三段階における同縦型ウェハ供給装置の右側から見た断面図である。
【図１１】ウェハ移動ステップにおける同縦型ウェハ供給装置の上面図である。
【図１２】ノズル−ピン移動ステップにおける同縦型ウェハ供給装置の上面図である。
【図１３】ダイ吸着ステップにおける同縦型ウェハ供給装置の上面図である。
【図１４】同ステップにおける同縦型ウェハ供給装置のダイ付近の拡大断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の縦型ウェハ供給装置の実施の形態について説明する。以下の図面において、左右方向（基板搬送方向）は本発明の「Ｘ軸方向」に、前後方向は本発明の「Ｙ軸方向」に、各々対応している。また、右側は本発明の「Ｘ軸方向表側」に、左側は本発明の「Ｘ軸方向裏側」に、各々対応している。
【００１９】
＜縦型ウェハ供給装置の構成＞
まず、本実施形態の縦型ウェハ供給装置の構成について説明する。図１に、本実施形態の縦型ウェハ供給装置の取付状態図を示す。図１に示すように、縦型ウェハ供給装置１は、台車１５に載置されている。縦型ウェハ供給装置１は、部品実装機９の前側に取り付けられている。部品実装機９の吸着ノズル９０は、Ｘ軸移動機構９１、Ｙ軸移動機構９２により、前後左右方向に移動可能である。また、吸着ノズル９０は、装着ヘッド９３に対して、下側に突出可能である。生産ライン（図略）には、複数の部品実装機９が左右方向に並んで配置されている。
【００２０】
図２に、本実施形態の縦型ウェハ供給装置の斜視図を示す。図２に示すように、本実施形態の縦型ウェハ供給装置１は、マガジン２と、ベース３と、ウェハ引出ユニット４と、ダイ取出ユニット５と、ダイ突出ユニット６と、Ｘ軸移動機構１０と、Ｙ軸移動機構１１Ｒ、１１Ｌと、Ｚ軸移動機構１２Ｒ、１２Ｌと、を備えている。
【００２１】
［マガジン２］
図３に、本実施形態の縦型ウェハ供給装置のマガジンおよびベースの斜視図を示す。なお、マガジン２を透過して示す。図３に示すように、マガジン２は、後側に開口する箱状を呈している。マガジン２は、ウェハ収容部２０とウェハ供給扉２１とを備えている。ウェハ収容部２０は、マガジン２の内部に配置されている。ウェハ収容部２０には、複数の縦型のスロットＳが区画されている。スロットＳは、上下方向に対向する一対の溝により、形成されている。ウェハ供給扉２１は、マガジン２の前側に配置されている。ウェハ供給扉２１は、開閉可能である。ウェハ供給扉２１を介して、作業者は、スロットＳに対して、ウェハＷを出し入れする。
【００２２】
［ベース３、Ｘ軸移動機構１０、Ｙ軸移動機構１１Ｒ、１１Ｌ］
図３に示すように、ベース３は、マガジン２の下壁の後側に連なっている。ベース３は、平板状を呈している。ベース３の上面の左右方向中央には、落下ダイ収容部３０が凹設されている。落下ダイ収容部３０は、後述するダイ取出時に落下したダイＤを、収容可能である。
【００２３】
ベース３の上面には、Ｘ軸移動機構１０の二つのＸ軸ガイド部１０ａが配置されている。Ｘ軸ガイド部１０ａは、マガジン２の左右方向幅だけ、左右方向に延在している。また、ベース３の上面には、Ｙ軸移動機構１１ＲのＹ軸ガイド部１１Ｒａが配置されている。Ｙ軸ガイド部１１Ｒａは、二つのＸ軸ガイド部１０ａの右側に配置されている。Ｙ軸ガイド部１１Ｒａは、前後方向に延在している。また、ベース３の上面には、Ｙ軸移動機構１１ＬのＹ軸ガイド部１１Ｌａが配置されている。Ｙ軸ガイド部１１Ｌａは、二つのＸ軸ガイド部１０ａの左側に配置されている。Ｙ軸ガイド部１１Ｌａは、前後方向に延在している。
【００２４】
［ウェハ引出ユニット４］
図２に示すように、ウェハ引出ユニット４は、ベース３の上面に配置されている。図４に、本実施形態の縦型ウェハ供給装置のウェハ引出ユニットの分解斜視図を示す。図４に示すように、ウェハ引出ユニット４は、スライダ４０と、ウェハ保持部４１と、ウェハ引出アーム４２と、を備えている。
【００２５】
スライダ４０の下面には、Ｘ軸移動機構１０の二つのＸ軸被ガイド部１０ｂが配置されている。Ｘ軸被ガイド部１０ｂつまりスライダ４０は、Ｘ軸ガイド部１０ａに沿って、左右方向に移動可能である。
【００２６】
ウェハ保持部４１は、スライダ４０の上面に配置されている。ウェハ保持部４１は、前側（スロットＳ側）に開口する縦型のＣ字枠状を呈している。ウェハ保持部４１の上縁、下縁、後縁には、スロットＳから引き出したウェハＷを保持するための、溝が形成されている。図４に細線で示すように、ウェハ保持部４１の下縁内部には、一対の下側クランプ部材４１０が配置されている。一対の下側クランプ部材４１０は、左右方向幅を拡縮可能である。
【００２７】
ウェハ引出アーム４２は、ウェハ保持部４１の上縁内部に収容されている。ウェハ引出アーム４２は、ウェハ保持部４１の上縁に沿って、前後方向に移動可能である。ウェハ引出アーム４２の前端（先端）には、一対の上側クランプ部材４２０が配置されている。一対の上側クランプ部材４２０は、左右方向幅を拡縮可能である。また、一対の上側クランプ部材４２０は、スロットＳに進入可能である。
【００２８】
［ダイ取出ユニット５、Ｚ軸移動機構１２Ｒ］
図２に示すように、ダイ取出ユニット５は、ベース３の上面に配置されている。また、ダイ取出ユニット５は、ウェハ引出ユニット４の右側に配置されている。図５に、本実施形態の縦型ウェハ供給装置のダイ取出ユニットの分解斜視図を示す。図５に示すように、ダイ取出ユニット５は、スライダ５０と、立壁部５１と、スライダ５２と、ヘッド取付部５３と、装着ヘッド５４と、吸着ノズル５５と、カメラ５６と、を備えている。
【００２９】
スライダ５０の下面には、Ｙ軸移動機構１１ＲのＹ軸被ガイド部１１Ｒｂが配置されている。Ｙ軸被ガイド部１１Ｒｂつまりスライダ５０は、Ｙ軸ガイド部１１Ｒａに沿って、前後方向に移動可能である。
【００３０】
立壁部５１は、スライダ５０の上面に配置されている。立壁部５１は、上下方向に延在する長方形板状を呈している。立壁部５１の左面（左右方向内面）には、Ｚ軸移動機構１２ＲのＺ軸ガイド部１２Ｒａが配置されている。Ｚ軸ガイド部１２Ｒａは、上下方向に延在している。
【００３１】
スライダ５２の右面（左右方向外面）には、Ｚ軸移動機構１２ＲのＺ軸被ガイド部１２Ｒｂが配置されている。Ｚ軸被ガイド部１２Ｒｂつまりスライダ５２は、Ｚ軸ガイド部１２Ｒａに沿って、上下方向に移動可能である。ヘッド取付部５３は、スライダ５２の左面に配置されている。装着ヘッド５４は、揺動軸Ａを介して、ヘッド取付部５３に対して縦方向に揺動可能に配置されている。
【００３２】
吸着ノズル５５は、装着ヘッド５４の左面に配置されている。吸着ノズル５５は、装着ヘッド５４に対して、左側に突出可能である。また、吸着ノズル５５は、ウェハＷのダイＤを吸着可能である。カメラ５６は、装着ヘッド５４の左面に配置されている。カメラ５６は、ウェハＷのダイＤを撮像可能である。カメラ５６は、ＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ−Ｃｏｕｐｌｅｄ  Ｄｅｖｉｃｅ）イメージセンサである。
【００３３】
［ダイ突出ユニット６、Ｚ軸移動機構１２Ｌ］
図２に示すように、ダイ突出ユニット６は、ベース３の上面に配置されている。また、ダイ突出ユニット６は、ウェハ引出ユニット４の左側に配置されている。図６に、本実施形態の縦型ウェハ供給装置のダイ突出ユニットの分解斜視図を示す。図６に示すように、ダイ突出ユニット６は、スライダ６０と、立壁部６１と、スライダ６２と、ヘッド取付部６３と、大径部６４と、小径部６５と、ピン６６と、を備えている。
【００３４】
スライダ６０の下面には、Ｙ軸移動機構１１ＬのＹ軸被ガイド部１１Ｌｂが配置されている。Ｙ軸被ガイド部１１Ｌｂつまりスライダ６０は、Ｙ軸ガイド部１１Ｌａに沿って、前後方向に移動可能である。
【００３５】
立壁部６１は、スライダ６０の上面に配置されている。立壁部６１は、上下方向に延在する長方形板状を呈している。立壁部６１の右面（左右方向内面）には、Ｚ軸移動機構１２ＬのＺ軸ガイド部１２Ｌａが配置されている。Ｚ軸ガイド部１２Ｌａは、上下方向に延在している。
【００３６】
スライダ６２の左面（左右方向外面）には、Ｚ軸移動機構１２ＬのＺ軸被ガイド部１２Ｌｂが配置されている。Ｚ軸被ガイド部１２Ｌｂつまりスライダ６２は、Ｚ軸ガイド部１２Ｌａに沿って、上下方向に移動可能である。ヘッド取付部６３は、スライダ６２の右面に配置されている。大径部６４は、ヘッド取付部６３の右面に配置されている。
【００３７】
小径部６５は、大径部６４の右面に配置されている。小径部６５は、大径部６４に対して、右側に突出可能である。小径部６５の右面には、複数の吸着孔６５０が、周方向に並んで開設されている。複数の吸着孔６５０は、後述するダイシングフィルムを吸着可能である。
【００３８】
ピン６６は、カム機構（図略）により、小径部６５に対して、右側に突出可能である。ピン６６は、小径部６５の径方向中心に配置されている。ピン６６は、ウェハＷのダイＤを右側に突き出し可能である。
【００３９】
＜ウェハの構成＞
次に、本実施形態の縦型ウェハ供給装置により供給されるウェハの構成について簡単に説明する。図７に、ウェハの斜視図を示す。図７に示すように、ウェハＷは、円形のダイシングフィルム８０の右面に貼着されている。ウェハＷは、多数の個片状のダイＤを備えている。ダイＤは、正方形状を呈している。ダイシングフィルム８０の外縁は、円環状のフレーム８１に固定されている。ウェハＷの径方向外側には、一対の拡張リング８２、８３が配置されている。大径の拡張リング８２は、ダイシングフィルム８０の右側に配置されている。小径の拡張リング８３は、ダイシングフィルム８０の左側に配置されている。拡張リング８２と拡張リング８３とは、リング間にダイシングフィルム８０が挟持された状態で、径方向に並んでいる。一対の拡張リング８２、８３は、ウェハＷを径方向に拡張している。一対の拡張リング８２、８３により、隣り合うダイＤの間に、隙間が区画されている。
【００４０】
＜縦型ウェハ供給装置の動き＞
次に、本実施形態の縦型ウェハ供給装置が実行するダイ取出方法について説明する。ダイ取出方法は、ウェハ引出ステップと、ウェハ移動ステップと、ノズル−ピン移動ステップと、ダイ吸着ステップと、を有している。
【００４１】
［ウェハ引出ステップ］
図８に、ウェハ引出ステップ第一段階における本実施形態の縦型ウェハ供給装置の上面図を示す。なお、マガジン２を断面で示す。図９に、同ステップ第二段階における同縦型ウェハ供給装置の右側から見た断面図を示す。図１０に、同ステップ第三段階における同縦型ウェハ供給装置の右側から見た断面図を示す。なお、図９、図１０は、図８のＩＸ−ＩＸ方向断面図に対応している。
【００４２】
本ステップにおいては、所望のウェハＷをスロットＳから引き出す。まず、図８に示すように、モータ（図略）の駆動力により、二つのＸ軸被ガイド部１０ｂ（図４参照）を動かす。そして、ウェハ引出ユニット４を、所望のスロットＳ（本例では一番右側のスロットＳ）の後側まで、移動させる。
【００４３】
次に、図９に示すように、モータ（図略）の駆動力により、ウェハ引出アーム４２をスロットＳの内部（具体的には、スロットＳを構成する上側の溝の内部）に挿入する。続いて、一対の上側クランプ部材４２０（図４参照）により、フレーム８１の上縁を、左右方向から把持する。
【００４４】
それから、図１０に示すように、モータの駆動力により、ウェハ引出アーム４２を、ウェハ保持部４１の上縁内部に復動させる。すなわち、ウェハＷをウェハ保持部４１の内部に移動させる。そして、一対の下側クランプ部材４１０（図４参照）により、フレーム８１の下縁を、左右方向から把持する。このように、本ステップにおいては、所望のウェハＷをスロットＳから引き出し、ウェハ保持部４１に収容する。また、一対の上側クランプ部材４２０、一対の下側クランプ部材４１０により、フレーム８１をウェハ保持部４１に固定する。
【００４５】
［ウェハ移動ステップ］
図１１に、ウェハ移動ステップにおける本実施形態の縦型ウェハ供給装置の上面図を示す。なお、マガジン２を断面で示す。本ステップにおいては、引き出したウェハＷを、落下ダイ収容部３０の真上位置（ダイ取出位置）まで、移動させる。すなわち、モータの駆動力により、二つのＸ軸被ガイド部１０ｂ（図４参照）を動かす。そして、ウェハ引出ユニット４を、落下ダイ収容部３０の真上位置まで、移動させる。
【００４６】
このように、ウェハ引出ユニット４をベース３の左右方向中央に移動させることにより、ベース３の上面に、ダイ取出ユニット５およびダイ突出ユニット６の移動スペースを確保する。
【００４７】
［ノズル−ピン移動ステップ］
図１２に、ノズル−ピン移動ステップにおける本実施形態の縦型ウェハ供給装置の上面図を示す。なお、マガジン２を断面で示す。本ステップにおいては、ダイ取出ユニット５およびダイ突出ユニット６を、所望のダイＤの左右方向隣りまで移動させる。
【００４８】
すなわち、モータ（図略）の駆動力により、Ｙ軸被ガイド部１１Ｒｂ（図５参照）を動かす。また、モータ（図略）の駆動力により、Ｚ軸被ガイド部１２Ｒｂ（図５参照）を動かす。そして、ダイ取出ユニット５を、所望のダイＤの真右に吸着ノズル５５がセットされるように、移動させる。
【００４９】
また、モータ（図略）の駆動力により、Ｙ軸被ガイド部１１Ｌｂ（図６参照）を動かす。また、モータ（図略）の駆動力により、Ｚ軸被ガイド部１２Ｌｂ（図６参照）を動かす。そして、ダイ突出ユニット６を、所望のダイＤの真左に大径部６４の径方向中心（つまりピン６６）がセットされるように、移動させる。
【００５０】
［ダイ吸着ステップ］
図１３に、ダイ吸着ステップにおける本実施形態の縦型ウェハ供給装置の上面図を示す。なお、マガジン２を断面で示す。図１４に、同ステップにおける同縦型ウェハ供給装置のダイ付近の拡大断面図を示す。本ステップにおいては、吸着ノズル５５により、所望のダイＤをダイシングフィルム８０から取り出す。
【００５１】
まず、図１３に細線矢印で示すように、カメラ５６でダイＤを撮像する。そして、吸着ノズル５５、小径部６５（つまりピン６６）と、ダイＤと、の位置ずれをチェックする。位置ずれがある場合は、ダイ取出ユニット５を微量だけ移動させることにより、位置ずれを補正する。
【００５２】
位置ずれがない場合、または位置ずれを補正した場合は、モータ（図略）の駆動力により、装着ヘッド５４から、吸着ノズル５５を、左側に突出させる。そして、吸着ノズル５５の左端（先端）により、所望のダイＤを吸着する。
【００５３】
続いて、モータ（図略）の駆動力により、大径部６４から、小径部６５を、右側に突出させる。そして、小径部６５の右面（先端）を、ダイシングフィルム８０の左面（裏面）に押し付ける。すなわち、所望のダイＤを、左右両側から、小径部６５と吸着ノズル５５とにより挟み込む。それから、図１４に示すように、複数の吸着孔６５０から負圧を供給することにより、ダイシングフィルム８０を小径部６５の右面に吸着させる。
【００５４】
続いて、モータ（図略）の駆動力により、小径部６５から、ピン６６を、右側に突出させる。並びに、ピン６６の突出動作に同期して、吸着ノズル５５を、右側に退避させる。最後に、吸着ノズル５５の吸着力により、所望のダイＤをダイシングフィルム８０から剥離させる。
【００５５】
その後、モータ（図略）の駆動力により、揺動軸Ａを中心に、装着ヘッド５４を上方向に９０°だけ回転させる（図５参照）。最後に、上向きの吸着ノズル５５から、図１に示す部品実装機９の吸着ノズル９０により、ダイＤを取り出す。そして、吸着ノズル９０により、ダイＤを基板Ｂの所望の位置に装着する。
【００５６】
＜作用効果＞
次に、本実施形態の縦型ウェハ供給装置の作用効果について説明する。本実施形態の縦型ウェハ供給装置１によると、図３に示すように、マガジン２が複数の縦型のスロットＳを備えている。ウェハＷは、スロットＳに縦置きされている。このため、外径が大きいウェハＷをマガジン２に収容する場合であっても、マガジン２、延いては縦型ウェハ供給装置１の左右方向幅が広くなりにくい。したがって、図１に示す部品実装機９の左右方向幅内に、縦型ウェハ供給装置１が収まりやすい。また、縦型ウェハ供給装置１の設置幅が狭いため、その分、部品実装機９に、ＮＧ部品コンベアやテープフィーダなどの他の装置を取り付けやすい。
【００５７】
また、図３に示すように、マガジン２には、複数のウェハＷが、左右方向に並んで収容されている。このため、複数種類のダイＤを基板Ｂに装着することができる。また、図２に示すように、複数のウェハＷに対して、ウェハ引出ユニット４、ダイ突出ユニット６、ダイ取出ユニット５が共用化されている。この点においても、本実施形態の縦型ウェハ供給装置１によると、縦型ウェハ供給装置１の左右方向幅が広くなりにくい。
【００５８】
また、本実施形態の縦型ウェハ供給装置１は、Ｘ軸移動機構１０を備えている。このため、図１１に示すように、スロットＳから引き出したウェハＷを、マガジン２の左右方向幅以内の範囲で、左右方向に移動させることができる。したがって、縦型ウェハ供給装置１の左右方向幅が広くなりにくい。また、スロットＳの左右方向位置によらず、ウェハＷをダイ取出位置（図１１参照）まで移動させることができる。
【００５９】
また、特許文献１に記載されているような従来のウェハ供給装置の場合、ダイの吸着位置がダイシングフィルムの真上に設定されている。このため、吸着ノズルがダイの吸着を失敗した場合、ダイは、自重により落下し、再びダイシングフィルムに貼り付いてしまうおそれがある。この場合、吸着に失敗したダイを、吸着ノズルが、誤って再吸着してしまうおそれがある。例えば、正方形のダイの場合、落下時に９０°向きが変わってしまっても、形状的には、他のダイと何等違いはない。このため、当該ダイを、吸着ノズルが誤って再吸着し、基板に装着してしまうと、装着不良が発生してしまう。
【００６０】
この点、本実施形態の縦型ウェハ供給装置１の場合、図１３に示すように、ダイＤの吸着位置がダイシングフィルム８０の真右（水平方向）に設定されている。また、ダイＤの吸着位置の真下には、落下ダイ収容部３０が配置されている。このため、吸着ノズル５５がダイＤの吸着を失敗した場合であっても、ダイＤは、自重により落下し、落下ダイ収容部３０に収容される。したがって、吸着に失敗したダイＤを、吸着ノズル５５が、誤って再吸着してしまうおそれが小さい。
【００６１】
また、特許文献１に記載されているような従来のウェハ供給装置の場合、上下方向に積層された複数のウェハから所望のウェハを引き出すために、マガジンを上下方向に移動させる必要がある。しかしながら、マガジンは重量物であるため、高速移動が困難である。このため、ダイの搭載に要するサイクルタイムが長くなる。また、マガジンの移動に要する電力が大きくなる。
【００６２】
この点、本実施形態の縦型ウェハ供給装置１の場合、マガジン２は不動である。また、図８〜図１１に示すように、マガジン２の代わりに、ウェハ引出ユニット４が移動している。ウェハ引出ユニット４には、単一のウェハＷが収容されている。このため、マガジン２と比較して、ウェハ引出ユニット４は軽量である。したがって、ウェハ引出ユニット４は、高速移動が容易である。よって、ダイＤの搭載に要するサイクルタイムを短縮することができる。また、移動に要する電力を小さくすることができる。また、ウェハ引出ユニット４駆動用のモータを小型化することができる。
【００６３】
また、マガジン２は不動である。このため、縦型ウェハ供給装置１の運転中（基板Ｂの生産中）であっても、作業者は、図１に示すウェハ供給扉２１を開けて、簡単にウェハＷを出し入れすることができる。
【００６４】
また、本実施形態の縦型ウェハ供給装置１のダイ取出ユニット５は、図５に示すように、縦方向に揺動可能な吸着ノズル５５を備えている。ダイシングフィルム８０に対するダイＤの貼着方向と、基板Ｂに対するダイＤの装着方向と、が表裏反対の場合は、吸着ノズル５５を上向きに９０°揺動させ、吸着ノズル９０で当該ダイＤを吸着することにより、ダイＤの表裏を反転させることができる。
【００６５】
一方、ダイシングフィルム８０に対するダイＤの貼着方向と、基板Ｂに対するダイＤの装着方向と、が表裏同一の場合は、吸着ノズル５５を下向きに９０°揺動させ、ベース３上面などに設定されるダイ中継位置にダイＤを一旦載置し、吸着ノズル９０で当該ダイＤを吸着することにより、ダイＤの表裏の反転を防止することができる。
【００６６】
＜その他＞
以上、本発明の縦型ウェハ供給装置の実施の形態について説明した。しかしながら、実施の形態は上記形態に特に限定されるものではない。当業者が行いうる種々の変形的形態、改良的形態で実施することも可能である。
【００６７】
上記実施形態においては、ダイＤを表裏反転して基板Ｂに装着した。しかしながら、ダイＤを表裏反転しないで基板Ｂに装着してもよい。上記実施形態においては、図４に示すように、ウェハ引出アーム４２をウェハ引出ユニット４に配置した。しかしながら、ウェハ引出アーム４２を、ダイ取出ユニット５やダイ突出ユニット６に配置してもよい。
【００６８】
上記実施形態においては、図３に示すように、右側が表側になるように、ウェハＷをスロットＳに収容した。しかしながら、左側が表側になるように、ウェハＷをスロットＳに収容してもよい。この場合、ダイ取出ユニット５とダイ突出ユニット６との位置関係を左右逆にしてもよい。また、図５に示すカメラ５６の種類は特に限定しない。ＣＭＯＳ（Ｃｏｍｐｌｅｍｅｎｔａｒｙ  Ｍｅｔａｌ−Ｏｘｉｄｅ  Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）イメージセンサであってもよい。
【００６９】
また、ダイ取出ユニット５用のＸ軸移動機構１０や、ダイ突出ユニット６用のＸ軸移動機構１０を配置してもよい。また、図３に示す落下ダイ収容部３０を、図４に示すウェハ保持部４１の下縁やスライダ４０に配置してもよい。すなわち、落下ダイ収容部３０は、図１３、図１４に示すダイ吸着ステップにおいて、ダイＤの真下に配置されていればよい。
【符号の説明】
【００７０】
１：縦型ウェハ供給装置、１０：Ｘ軸移動機構、１０ａ：Ｘ軸ガイド部、１０ｂ：Ｘ軸被ガイド部、１１Ｌ：Ｙ軸移動機構、１１Ｌａ：Ｙ軸ガイド部、１１Ｌｂ：Ｙ軸被ガイド部、１１Ｒ：Ｙ軸移動機構、１１Ｒａ：Ｙ軸ガイド部、１１Ｒｂ：Ｙ軸被ガイド部、１２Ｌ：Ｚ軸移動機構、１２Ｌａ：Ｚ軸ガイド部、１２Ｌｂ：Ｚ軸被ガイド部、１２Ｒ：Ｚ軸移動機構、１２Ｒａ：Ｚ軸ガイド部、１２Ｒｂ：Ｚ軸被ガイド部、１５：台車。
２：マガジン、２０：ウェハ収容部、２１：ウェハ供給扉。
３：ベース、３０：落下ダイ収容部。
４：ウェハ引出ユニット、４０：スライダ、４１：ウェハ保持部、４１０：下側クランプ部材、４２：ウェハ引出アーム、４２０：上側クランプ部材。
５：ダイ取出ユニット、５０：スライダ、５１：立壁部、５２：スライダ、５３：ヘッド取付部、５４：装着ヘッド、５５：吸着ノズル、５６：カメラ。
６：ダイ突出ユニット、６０：スライダ、６１：立壁部、６２：スライダ、６３：ヘッド取付部、６４：大径部、６５：小径部、６５０：吸着孔、６６：ピン。
８０：ダイシングフィルム、８１：フレーム、８２：拡張リング、８３：拡張リング。
９：部品実装機、９０：吸着ノズル、９１：Ｘ軸移動機構、９２：Ｙ軸移動機構、９３：装着ヘッド。
Ａ：揺動軸、Ｂ：基板、Ｄ：ダイ、Ｓ：スロット、Ｗ：ウェハ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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