(57)【要約】【課題】絶縁破壊の発生を防止し得る、またはターゲット物質を適切に出力し得るターゲット供給装置を提供すること。【解決手段】ターゲット供給装置は、ノズルを備えたタンクと、第１貫通孔が設けられた第１電極と、第２貫通孔が設けられた第２電極と、前記タンク内部に設置された第３電極と、前記ノズルと前記第１電極との間の絶縁、前記ノズルと前記第２電極との間の絶縁、および、前記第１電極と前記第２電極との間の絶縁を維持するように、かつ、前記ノズルの中心軸が前記第１貫通孔内および前記第２貫通孔内に位置するように前記タンクと前記第１電極と前記第２電極とを固定する固定部と、前記第１電極と前記第２電極のうち少なくとも一方と一体的であって、前記ノズルに近づく方向に突起する第１突起部と、前記第１電極と前記第２電極のうち少なくとも第２電極と一体的であって、前記第１電極と前記第２電極との間に位置するように突起する第２突起部と、を備えてもよい。【選択図】図３
2014102980.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズルを備えたタンクと、
第１貫通孔が設けられた第１電極と、
第２貫通孔が設けられた第２電極と、
前記タンク内部に設置された第３電極と、
前記ノズルと前記第１電極との間の絶縁、前記ノズルと前記第２電極との間の絶縁、および、前記第１電極と前記第２電極との間の絶縁を維持するように、かつ、前記ノズルの中心軸が前記第１貫通孔内および前記第２貫通孔内に位置するように前記タンクと前記第１電極と前記第２電極とを固定する固定部と、
前記第１電極と前記第２電極のうち少なくとも一方と一体的であって、前記ノズルに近づく方向に突起する第１突起部と、
前記第１電極と前記第２電極のうち少なくとも第２電極と一体的であって、前記第１電極と前記第２電極との間に位置するように突起する第２突起部と、を備えるターゲット供給装置。
【請求項２】
請求項１に記載のターゲット供給装置において、
前記固定部は、前記ノズルからターゲット物質の引き出し方向に沿って延びる略筒状に形成され、
前記第１電極は、
前記第１貫通孔を有する略板状に形成され、その面方向外側の端部が前記固定部に固定された第１板状部と、
前記第１板状部と一体的であって、前記ノズルに近づく方向に延びる略筒状の第１筒状部と、
前記第１板状部と一体的であって、前記ノズルから離れる方向に延びる略筒状の第２筒状部とを備え、
前記第２電極は、
前記第２貫通孔を有する略板状に形成され、その面方向外側の端部が前記固定部に固定された第２板状部と、
前記第２板状部と一体的であって、前記ノズルに近づく方向に延びる略筒状の第３筒状部とを備え、
前記第１突起部は、前記第１筒状部により構成され、
前記第２突起部は、前記第２筒状部と前記第３筒状部とにより構成され、前記第２筒状部と前記第３筒状部のうち一方の延出方向の先端が他方の内部に位置するように設けられているターゲット供給装置。
【請求項３】
請求項１に記載のターゲット供給装置において、
前記第１電極は、
前記第１貫通孔を有する略板状の第１板状部と、
前記第１板状部と一体的であって、前記第２電極に近づく方向に延びる略筒状の第１筒状部とを備え、
前記第２電極は、
前記第２貫通孔を有し、平面形状が前記第１板状部よりも大きい略板状の第２板状部と、
前記第２板状部の面方向外側の端部から前記ノズルに近づく方向に延びる略筒状の第２筒状部と、
前記第２板状部と一体的であって、前記ノズルに近づく方向に延びる略筒状の第３筒状部とを備え、
前記固定部は、
前記ノズルが嵌合する嵌合孔を有する略板状または略筒状に形成され、その面方向外側の端部に前記第２電極の前記第２筒状部の延出方向の端部が固定された第１固定部材と、
前記第２電極から前記ノズルに近づく方向に延びる形状に形成され、その延出方向の端部に前記第１電極の前記第１板状部の面方向外側の端部が固定された第２固定部材とを備え、
前記第１突起部は、前記第２筒状部により構成され、
前記第２突起部は、前記第１筒状部と前記第３筒状部とにより構成され、前記第１筒状部と前記第３筒状部のうち一方の延出方向の先端が他方の内部に位置するように設けられるターゲット供給装置。
【請求項４】
請求項１に記載のターゲット供給装置において、
前記第１電極は、
前記第１貫通孔を有する略板状の第１板状部と、
前記第１板状部の面方向外側の端部から前記ノズルに近づく方向に延びる略筒状の第１筒状部とを備え、
前記第２電極は、
前記第２貫通孔を有し、平面形状が前記第１板状部よりも大きい略板状の第２板状部と、
前記第２板状部の面方向外側の端部から前記ノズルに近づく方向に延びる略筒状の第２筒状部とを備え、
前記固定部は、前記ノズルが嵌合する嵌合孔を有する略板状または略筒状に形成され、その面方向外側の端部に前記第２電極の前記第２筒状部の延出方向の端部が固定されるとともに、当該固定された部分よりも内側に前記第１電極の前記第１筒状部の延出方向の端部が固定され、
前記第１突起部は、前記第１筒状部により構成され、
前記第２突起部は、前記第２筒状部により構成されるターゲット供給装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、ターゲット供給装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、半導体プロセスの微細化に伴って、半導体プロセスの光リソグラフィにおける転写パターンの微細化が急速に進展している。次世代においては、７０ｎｍ〜４５ｎｍの微細加工、さらには３２ｎｍ以下の微細加工が要求されるようになる。このため、例えば３２ｎｍ以下の微細加工の要求に応えるべく、波長１３ｎｍ程度の極端紫外光（以下、ＥＵＶ光という場合がある。）を生成するための装置と縮小投影反射光学系とを組み合わせた露光装置の開発が期待されている。
【０００３】
ＥＵＶ光生成装置としては、ターゲット物質にレーザ光を照射することによって生成されるプラズマを用いたＬＰＰ（Ｌａｓｅｒ  Ｐｒｏｄｕｃｅｄ  Ｐｌａｓｍａ）方式の装置と、放電によって生成されるプラズマを用いたＤＰＰ（Ｄｉｓｃｈａｒｇｅ  Ｐｒｏｄｕｃｅｄ  Ｐｌａｓｍａ）方式の装置と、軌道放射光を用いたＳＲ（Ｓｙｎｃｈｒｏｔｒｏｎ  Ｒａｄｉａｔｉｏｎ）方式の装置との３種類の装置が知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】米国特許第７４０５４１６号明細書
【概要】
【０００５】
本開示の一態様によるターゲット供給装置は、ノズルを備えたタンクと、第１貫通孔が設けられた第１電極と、第２貫通孔が設けられた第２電極と、前記タンク内部に設置された第３電極と、前記ノズルと前記第１電極との間の絶縁、前記ノズルと前記第２電極との間の絶縁、および、前記第１電極と前記第２電極との間の絶縁を維持するように、かつ、前記ノズルの中心軸が前記第１貫通孔内および前記第２貫通孔内に位置するように前記タンクと前記第１電極と前記第２電極とを固定する固定部と、前記第１電極と前記第２電極のうち少なくとも一方と一体的であって、前記ノズルに近づく方向に突起する第１突起部と、前記第１電極と前記第２電極のうち少なくとも第２電極と一体的であって、前記第１電極と前記第２電極との間に位置するように突起する第２突起部と、を備えてもよい。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
本開示のいくつかの実施形態を、単なる例として、添付の図面を参照して以下に説明する。
【図１】図１は、例示的なＬＰＰ方式のＥＵＶ光生成装置の構成を概略的に示す。
【図２】図２は、第１実施形態に係るターゲット供給装置を含むＥＵＶ光生成装置の構成を概略的に示す。
【図３】図３は、第１実施形態に係るターゲット供給装置の構成を概略的に示す。
【図４】図４は、第１〜第５実施形態の課題を説明するための図であり、ターゲット供給装置がドロップレットを出力しているときの状態を示す。
【図５】図５は、第２実施形態に係るターゲット供給装置の構成を概略的に示す。
【図６】図６は、第３実施形態に係るターゲット供給装置の構成を概略的に示す。
【図７】図７は、第４実施形態に係るターゲット供給装置の構成を概略的に示す。
【図８】図８は、第４，第５実施形態の課題を説明するための図であり、ターゲット供給装置がドロップレットを出力しているときの状態を示す。
【図９】図９は、第５実施形態に係るターゲット供給装置の構成を概略的に示す。
【実施形態】
【０００７】
内容
１．概要
２．ＥＵＶ光生成装置の全体説明
２．１  構成
２．２  動作
３．ターゲット供給装置を含むＥＵＶ光生成装置
３．１  用語の説明
３．２  第１実施形態
３．２．１  概略
３．２．２  構成
３．２．３  動作
３．３  第２実施形態
３．３．１  概略
３．３．２  構成
３．３．３  動作
３．４  第３実施形態
３．４．１  概略
３．４．２  構成
３．４．３  動作
３．５  第４実施形態
３．５．１  概略
３．５．２  構成
３．５．３  動作
３．６  第５実施形態
３．６．１  構成
３．６．２  動作
３．７  変形例
【０００８】
以下、本開示の実施形態について、図面を参照しながら詳しく説明する。以下に説明される実施形態は、本開示のいくつかの例を示すものであって、本開示の内容を限定するものではない。また、各実施形態で説明される構成および動作の全てが本開示の構成および動作として必須であるとは限らない。なお、同一の構成要素には同一の参照符号を付して、重複する説明を省略する。
【０００９】
１．概要
本開示の実施形態においては、ターゲット供給装置は、ノズルを備えたタンクと、第１貫通孔が設けられた第１電極と、第２貫通孔が設けられた第２電極と、前記タンク内部に設置された第３電極と、前記ノズルと前記第１電極との間の絶縁、前記ノズルと前記第２電極との間の絶縁、および、前記第１電極と前記第２電極との間の絶縁を維持するように、かつ、前記ノズルの中心軸が前記第１貫通孔内および前記第２貫通孔内に位置するように前記タンクと前記第１電極と前記第２電極とを固定する固定部と、前記第１電極と前記第２電極のうち少なくとも一方と一体的であって、前記ノズルに近づく方向に突起する第１突起部と、前記第１電極と前記第２電極のうち少なくとも第２電極と一体的であって、前記第１電極と前記第２電極との間に位置するように突起する第２突起部と、を備えてもよい。
【００１０】
２．ＥＵＶ光生成装置の全体説明
２．１  構成
図１は、例示的なＬＰＰ方式のＥＵＶ光生成装置１の構成を概略的に示す。ＥＵＶ光生成装置１は、少なくとも１つのレーザ装置３と共に用いられてもよい。ＥＵＶ光生成装置１およびレーザ装置３を含むシステムを、以下、ＥＵＶ光生成システム１１と称する。図１を参照に、以下に詳細に説明されるように、ＥＵＶ光生成装置１は、チャンバ２を含んでもよい。チャンバ２は、密閉可能であってもよい。ＥＵＶ光生成装置１は、ターゲット供給装置７をさらに含んでもよい。ターゲット供給装置７は、例えばチャンバ２に取り付けられていてもよい。ターゲット供給装置７から供給されるターゲットの材料は、スズ、テルビウム、ガドリニウム、リチウム、キセノン、またはそれらのうちのいずれか２つ以上の組合せ等を含んでもよいが、これらに限定されない。
【００１１】
チャンバ２の壁には、少なくとも１つの貫通孔が設けられていてもよい。その貫通孔をレーザ装置３から出力されたパルスレーザ光３２が通過するように、レーザ装置３等が配置されてもよい。あるいは、チャンバ２には、その貫通孔を塞ぐように、かつ、レーザ装置３から出力されたパルスレーザ光３２が透過するように、少なくとも１つのウインドウ２１が設けられてもよい。チャンバ２の内部には例えば、回転楕円面形状の反射面を有するＥＵＶ集光ミラー２３が配置されてもよい。ＥＵＶ集光ミラー２３は、第１焦点および第２焦点を有し得る。ＥＵＶ集光ミラー２３の表面には例えば、モリブデンとシリコンとが交互に積層された多層反射膜が形成されてもよい。ＥＵＶ集光ミラー２３は、例えば、その第１焦点がプラズマ生成位置またはその近傍のプラズマ生成領域２５に位置し、その第２焦点が露光装置の仕様によって規定される所望の集光位置（中間焦点（ＩＦ）２９２）に位置するように配置されるのが好ましい。所望の集光位置は中間焦点（ＩＦ）２９２と呼んでもよい。なお、プラズマの生成については、後に説明する。ＥＵＶ集光ミラー２３の中央部には、貫通孔２４が設けられてもよい。ＥＵＶ集光ミラー２３は、パルスレーザ光３３が貫通孔２４を通過するように配置されてもよい。
【００１２】
ＥＵＶ光生成装置１は、ＥＵＶ光生成制御システム５を含んでいてもよい。また、ＥＵＶ光生成装置１は、ターゲットセンサ４を含んでもよい。ターゲットセンサ４は、ターゲットの存在、軌道、位置等を検出してもよい。ターゲットセンサ４は、撮像機能を有してもよい。
【００１３】
さらに、ＥＵＶ光生成装置１は、チャンバ２内部と露光装置６内部とを連通させるための接続部２９を含んでもよい。接続部２９内部には、アパーチャが形成された壁２９１が設けられてもよい。壁２９１は、そのアパーチャがＥＵＶ集光ミラー２３の第２焦点位置に位置するように配置されてもよい。
【００１４】
さらに、ＥＵＶ光生成装置１は、レーザ光進行方向制御部３４、レーザ光集光光学系２２、ドロップレット２７を回収するためのターゲット回収装置２８等を含んでもよい。レーザ光進行方向制御部３４は、レーザ光の進行方向を規定するための光学素子と、この光学素子の位置や姿勢等を調節するためのアクチュエータとを備えてもよい。
【００１５】
２．２  動作
図１を参照すると、レーザ装置３から出力されたパルスレーザ光３１は、レーザ光進行方向制御部３４を経て、パルスレーザ光３２としてウインドウ２１を透過して、チャンバ２に入射してもよい。パルスレーザ光３２は、少なくとも１つのレーザ光経路に沿ってチャンバ２内に進み、レーザ光集光光学系２２で反射されて、パルスレーザ光３３として少なくとも１つのドロップレット２７に照射されてもよい。
【００１６】
ターゲット供給装置７からは、ドロップレット２７がチャンバ２内部のプラズマ生成領域２５に向けて出力されてもよい。ドロップレット２７には、パルスレーザ光３３に含まれる少なくとも１つのパルスレーザ光が照射され得る。パルスレーザ光３３が照射されたドロップレット２７はプラズマ化し、そのプラズマからＥＵＶを含む光２５１（以下、「ＥＵＶ光を含む光」を「ＥＵＶ光」と表現する場合がある）が放射され得る。ＥＵＶ光２５１は、ＥＵＶ集光ミラー２３によって集光されるとともに反射されてもよい。ＥＵＶ集光ミラー２３で反射されたＥＵＶ光２５２（ＥＵＶ光を含む光２５２）は、中間焦点２９２を通って露光装置６に出力されてもよい。なお、１つのドロップレット２７に、パルスレーザ光３３に含まれる複数のパルスレーザ光が照射されてもよい。
【００１７】
ＥＵＶ光生成制御システム５は、ＥＵＶ光生成システム１１全体の制御を統括してもよい。ＥＵＶ光生成制御システム５は、ターゲットセンサ４によって撮像されたドロップレット２７のイメージデータ等を処理してもよい。ＥＵＶ光生成制御システム５は、例えば、ドロップレット２７を出力するタイミングやドロップレット２７の出力速度等を制御してもよい。また、ＥＵＶ光生成制御システム５は、例えば、レーザ装置３のレーザ発振タイミングやパルスレーザ光３２の進行方向やパルスレーザ光３３の集光位置等を制御してもよい。上述の様々な制御は単なる例示に過ぎず、必要に応じて他の制御を追加してもよい。
【００１８】
３．ターゲット供給装置を含むＥＵＶ光生成装置
３．１  用語の説明
以下、図２、図３、図４、図５，図６、図７、図８における紙面上方向を＋Ｚ方向と表現し、下方向を−Ｚ方向と表現し、上方向と下方向とをＺ軸方向と表現する場合がある。同様に、図２、図３、図４、図５，図６、図７、図８における紙面右方向を＋Ｘ方向と表現し、左方向を−Ｘ方向と表現し、右方向と左方向とをＸ軸方向と表現する場合がある。図９における紙面左斜め上方向を＋Ｚ方向と表現し、右斜め下方向を−Ｚ方向と表現し、左斜め上方向と右斜め下方向とをＺ軸方向と表現する場合がある。同様に、図９における紙面右斜め上方向を＋Ｘ方向と表現し、左斜め下方向を−Ｘ方向と表現し、右斜め上方向と左斜め下方向とをＸ軸方向と表現する場合がある。同様に、図２、図３、図４、図５，図６、図７、図８、図９における紙面手前方向を＋Ｙ方向と表現し、奥方向を−Ｙ方向と表現し、手前方向と奥方向とをＹ軸方向と表現する場合がある。なお、これらの表現は、重力方向１０Ｂとの関係を表すものではない。
【００１９】
３．２  第１実施形態
３．２．１  概略
本開示の第１実施形態のターゲット供給装置において、前記固定部は、前記ノズルからターゲット物質の引き出し方向に沿って延びる略筒状に形成され、前記第１電極は、前記第１貫通孔を有する略板状に形成され、その面方向外側の端部が前記固定部に固定された第１板状部と、前記第１板状部と一体的であって、前記ノズルに近づく方向に延びる略筒状の第１筒状部と、前記第１板状部と一体的であって、前記ノズルから離れる方向に延びる略筒状の第２筒状部とを備え、前記第２電極は、前記第２貫通孔を有する略板状に形成され、その面方向外側の端部が前記固定部に固定された第２板状部と、前記第２板状部と一体的であって、前記ノズルに近づく方向に延びる略筒状の第３筒状部とを備え、前記第１突起部は、前記第１筒状部により構成され、前記第２突起部は、前記第２筒状部と前記第３筒状部とにより構成され、前記第２筒状部と前記第３筒状部のうち一方の延出方向の先端が他方の内部に位置するように設けられていてもよい。
【００２０】
３．２．２  構成
図２は、第１実施形態に係るターゲット供給装置を含むＥＵＶ光生成装置の構成を概略的に示す。図３は、第１実施形態に係るターゲット供給装置の構成を概略的に示す。
ＥＵＶ光生成装置１Ａは、図２に示すように、チャンバ２と、ターゲット供給装置７Ａとを備えてもよい。ターゲット供給装置７Ａは、ターゲット生成部７０Ａと、ターゲット制御装置９０Ａとを備えてもよい。ターゲット制御装置９０Ａには、レーザ装置３と、ＥＵＶ光生成制御システム５Ａとが電気的に接続されてもよい。
【００２１】
ターゲット生成部７０Ａは、ターゲット生成器７１Ａと、圧力制御部７２Ａと、第１温度制御部７３Ａと、静電引出部７５Ａとを備えてもよい。
ターゲット生成器７１Ａは、内部にターゲット物質２７０を収容するためのタンク７１１Ａを備えてもよい。タンク７１１Ａは、筒状であってもよい。タンク７１１Ａには、当該タンク７１１Ａ内のターゲット物質２７０を、ドロップレット２７としてチャンバ２内に出力するためのノズル７１２Ａが設けられていてもよい。ターゲット生成器７１Ａは、タンク７１１Ａがチャンバ２外部に位置し、ノズル７１２Ａがチャンバ２内部に位置するように設けられてもよい。ノズル７１２Ａの軸は、図３に示すように、ドロップレット２７の設定軌道ＣＡと一致してもよい。設定軌道ＣＡは、Ｚ軸方向と一致してもよい。
【００２２】
ノズル７１２Ａは、図２および図３に示すように、ノズル本体７１３Ａと、出力部７１４Ａとを備えてもよい。
ノズル本体７１３Ａは、略円筒状に形成されてもよい。ノズル本体７１３Ａは、タンク７１１Ａの下面からチャンバ２内に突出するように設けられてもよい。
出力部７１４Ａは、略円板状に形成されてもよい。出力部７１４Ａの外径は、ノズル本体７１３Ａの外径と略等しくてもよい。出力部７１４Ａは、ノズル本体７１３Ａの先端面に密着するように設けられてもよい。出力部７１４Ａの中央部分には、円錐台状の突出部７１５Ａが設けられてもよい。突出部７１５Ａは、そこに電界が集中し易いようにするために設けられてもよい。突出部７１５Ａには、突出部７１５Ａにおける円錐台上面部を構成する先端部の略中央部に開口するノズル孔７１６Ａが設けられてもよい。ノズル孔７１６Ａの直径は、６μｍ〜１５μｍであってもよい。
出力部７１４Ａは、出力部７１４Ａとターゲット物質２７０との接触角が９０°以上の材料で構成されるのが好ましい。あるいは、出力部７１４Ａの少なくとも表面が、当該接触角が９０°以上の材料でコーティングされてもよい。接触角が９０°以上の材料は、ＳｉＣ、ＳｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３、モリブデン、タングステンであってもよい。
【００２３】
タンク７１１Ａと、ノズル７１２Ａと、出力部７１４Ａとは、電気絶縁材料で構成されてもよい。これらが、電気絶縁材料ではない材料、例えばモリブデンなどの金属材料で構成される場合には、チャンバ２とターゲット生成器７１Ａとの間や、出力部７１４Ａと後述する第１電極７５１Ａおよび第２電極７５２Ａとの間に電気絶縁材料が配置されてもよい。この場合、タンク７１１Ａと後述するパルス電圧生成器７５５Ａとが電気的に接続されてもよい。
【００２４】
チャンバ２の設置形態によっては、予め設定されるドロップレット２７の出力方向（ノズル７１２Ａの軸方向（設定出力方向１０Ａと称する））は、必ずしも重力方向１０Ｂと一致するとは限らない。重力方向１０Ｂに対して、斜め方向や水平方向に、ドロップレット２７が出力されるよう構成されてもよい。なお、第１実施形態では、設定出力方向１０Ａが重力方向１０Ｂと一致するようにチャンバ２が設置されてもよい。
【００２５】
圧力制御部７２Ａは、アクチュエータ７２２Ａと、圧力センサ７２３Ａとを備えてもよい。アクチュエータ７２２Ａは、配管７２４Ａを介して、タンク７１１Ａの上端に連結されてもよい。アクチュエータ７２２Ａには、配管７２５Ａを介して、不活性ガスボンベ７２１Ａが接続されてもよい。アクチュエータ７２２Ａは、ターゲット制御装置９０Ａに電気的に接続されてもよい。アクチュエータ７２２Ａは、ターゲット制御装置９０Ａから送信される信号に基づいて、不活性ガスボンベ７２１Ａから供給される不活性ガスの圧力を制御して、タンク７１１Ａ内の圧力を調節するよう構成されてもよい。
圧力センサ７２３Ａは、配管７２５Ａに設けられてもよい。圧力センサ７２３Ａは、ターゲット制御装置９０Ａに電気的に接続されてもよい。圧力センサ７２３Ａは、配管７２５Ａ内に存在する不活性ガスの圧力を検出して、この検出した圧力に対応する信号をターゲット制御装置９０Ａに送信してもよい。
【００２６】
第１温度制御部７３Ａは、タンク７１１Ａ内のターゲット物質２７０の温度を制御するよう構成されてもよい。第１温度制御部７３Ａは、第１ヒータ７３１Ａと、第１ヒータ電源７３２Ａと、第１温度センサ７３３Ａと、第１温度コントローラ７３４Ａとを備えてもよい。
第１ヒータ７３１Ａは、タンク７１１Ａの外周面に設けられてもよい。
第１ヒータ電源７３２Ａは、第１温度コントローラ７３４Ａからの信号に基づいて、第１ヒータ７３１Ａに電力を供給して第１ヒータ７３１Ａを発熱させてもよい。それにより、タンク７１１Ａ内のターゲット物質２７０が、タンク７１１Ａを介して加熱され得る。
第１温度センサ７３３Ａは、タンク７１１Ａの外周面におけるノズル７１２Ａ側に設けられてもよいし、タンク７１１Ａ内に設けられてもよい。第１温度センサ７３３Ａは、タンク７１１Ａにおける主に第１温度センサ７３３Ａの設置位置およびその近傍の位置の温度を検出して、当該検出した温度に対応する信号を第１温度コントローラ７３４Ａに送信するよう構成されてもよい。第１温度センサ７３３Ａの設置位置およびその近傍の位置の温度は、タンク７１１Ａ内のターゲット物質２７０の温度とほぼ同一の温度となり得る。
第１温度コントローラ７３４Ａは、第１温度センサ７３３Ａからの信号に基づいて、ターゲット物質２７０の温度を所定温度に制御するための信号を第１ヒータ電源７３２Ａに出力するよう構成されてもよい。
【００２７】
静電引出部７５Ａは、第１電極７５１Ａと、第２電極７５２Ａと、第３電極７５３Ａと、固定部７５４Ａと、パルス電圧生成器７５５Ａと、電圧源７５６Ａとを備えてもよい。後に説明するように、静電引出部７５Ａは、第１電極７５１Ａの電位と第３電極７５３Ａの電位との間の電位差を利用して、ドロップレット２７を出力部７１４Ａのノズル孔７１６Ａから引き出してもよい。また、静電引出部７５Ａは、第１電極７５１Ａの電位と第２電極７５２Ａの電位との間の電位差を利用して、ノズル孔７１６Ａから引き出したドロップレット２７を加速して、チャンバ２内へ出力してもよい。
【００２８】
第１電極７５１Ａは、導電性を有する材料によって構成されてもよい。第１電極７５１Ａには、フィードスルー７５７Ａを介してパルス電圧生成器７５５Ａが電気的に接続されてもよい。第１電極７５１Ａは、第１板状部７６０Ａと、第１筒状部７６１Ａと、第２筒状部７６２Ａとを備えてもよい。
【００２９】
第１板状部７６０Ａは、略円板状に形成されてもよい。第１板状部７６０Ａの外径は、出力部７１４Ａの外径よりも大きくてもよい。第１板状部７６０Ａの中央には、円形状の第１貫通孔７６３Ａが形成されてもよい。第１板状部７６０Ａは、ノズル７１２Ａから所定距離離れた位置で当該ノズル７１２Ａと対向するように、面方向外側の端部が固定部７５４Ａに固定されてもよい。
【００３０】
第１筒状部７６１Ａは、第１板状部７６０Ａのノズル７１２Ａに近い側（＋Ｚ方向側）の第１面から、ノズル７１２Ａに近づく方向（＋Ｚ方向）に延びる略円筒状に形成されてもよい。
第２筒状部７６２Ａは、第１板状部７６０Ａの第１面と反対の第２面から、ノズル７１２Ａから離れる方向（−Ｚ方向）に延びる略円筒状に形成されてもよい。第２筒状部７６２Ａの軸は、第１筒状部７６１Ａの軸と略一致してもよい。第２筒状部７６２Ａの内径および外径は、第１筒状部７６１Ａの内径および外径とそれぞれ略等しくてもよい。第２筒状部７６２Ａの軸方向の寸法は、第１筒状部７６１Ａの軸方向の寸法よりも大きくてもよい。
【００３１】
第１貫通孔７６３Ａの縁は、滑らかな曲面状に形成されてもよい。第１筒状部７６１Ａの先端部７６４Ａおよび第２筒状部７６２Ａの先端部７６５Ａは、それぞれ滑らかな曲面状に形成されてもよい。このように、第１貫通孔７６３Ａの縁、第１筒状部７６１Ａの先端部７６４Ａ、および、第２筒状部７６２Ａの先端部７６５Ａを曲面状に形成することによって、当該各部分に電界が集中することを抑制できる。
なお、第１筒状部７６１Ａおよび第２筒状部７６２Ａのうち少なくとも一方は、第１板状部７６０Ａと別体で構成され、溶接などによって第１板状部７６０Ａと接合されてもよい。
【００３２】
第２電極７５２Ａは、導電性を有する材料によって構成されてもよい。第２電極７５２Ａは、接地されてもよい。第２電極７５２Ａは、第２板状部７７０Ａと、第３筒状部７７１Ａとを備えてもよい。
【００３３】
第２板状部７７０Ａは、略円板状に形成されてもよい。第２板状部７７０Ａの外径は、第１板状部７６０Ａの外径と略等しくてもよい。第２板状部７７０Ａの中央には、円形状の第２貫通孔７７２Ａが形成されてもよい。第２貫通孔７７２Ａの直径は、第１貫通孔７６３Ａの直径よりも大きくてもよい。第２板状部７７０Ａは、第１板状部７６０Ａから所定距離離れた位置で当該第１板状部７６０Ａと対向するように、面方向外側の端部が固定部７５４Ａに固定されてもよい。
【００３４】
第３筒状部７７１Ａは、第２板状部７７０Ａのノズル７１２Ａに近い側（＋Ｚ方向側）の第１面から、ノズル７１２Ａに近づく方向（＋Ｚ方向）に延びる略円筒状に形成されてもよい。第３筒状部７７１Ａの軸は、第２貫通孔７７２Ａの軸と略一致してもよい。第３筒状部７７１Ａの内径は、第２貫通孔７７２Ａの内径と略等しくてもよい。第３筒状部７７１Ａの外径は、第１電極７５１Ａの第１筒状部７６１Ａの内径よりも小さくてもよい。第３筒状部７７１Ａの軸方向の寸法は、第１筒状部７６１Ａの軸方向の寸法よりも大きくてもよい。第３筒状部７７１Ａの軸方向の寸法は、第２筒状部７６２Ａの軸方向の寸法よりも小さくてもよい。
【００３５】
第３筒状部７７１Ａの先端部７７３Ａは、滑らかな曲面状に形成されてもよい。このように、先端部７７３Ａを曲面状に形成することによって、当該部分に電界が集中することを抑制できる。
なお、第３筒状部７７１Ａは、第２板状部７７０Ａと別体で構成され、溶接などによって第２板状部７７０Ａと接合されてもよい。
【００３６】
第３電極７５３Ａは、タンク７１１Ａ内のターゲット物質２７０中に配置されてもよい。第３電極７５３Ａには、フィードスルー７５８Ａを介して電圧源７５６Ａが電気的に接続されてもよい。
【００３７】
固定部７５４Ａは、第１電極７５１Ａおよび第２電極７５２Ａをノズル７１２Ａに対して固定してもよい。固定部７５４Ａは、第１固定部材７９０Ａと、第２固定部材７９１Ａとを備えてもよい。
第１固定部材７９０Ａおよび第２固定部材７９１Ａは、絶縁性の材料によって、略円筒状に形成されてもよい。第１固定部材７９０Ａの内径および第２固定部材７９１Ａの内径は、ノズル本体７１３Ａの外径および出力部７１４Ａの外径と略等しくてもよい。第１固定部材７９０Ａの外径および第２固定部材７９１Ａの外径は、第１板状部７６０Ａの外径および第２板状部７７０Ａの外径と略等しくてもよい。第１固定部材７９０Ａの軸方向の寸法は、第２固定部材７９１Ａの軸方向の寸法よりも小さくてもよい。
【００３８】
第１固定部材７９０Ａは、当該第１固定部材７９０Ａの内部にノズル７１２Ａが嵌め込まれるように、ノズル７１２Ａに固定されてもよい。第１固定部材７９０Ａの下端は、突出部７１５Ａの先端よりも下方に位置してもよい。第１固定部材７９０Ａの下端には、第１電極７５１Ａの第１板状部７６０Ａが固定されてもよい。
このような固定によって、第１筒状部７６１Ａの軸と第２筒状部７６２Ａの軸と第１貫通孔７６３Ａの軸とは、ノズル７１２Ａの軸と略一致し得る。第１筒状部７６１Ａは、出力部７１４Ａから所定距離離れ得る。第１筒状部７６１Ａの先端部７６４Ａは、突出部７１５Ａの先端面７１７Ａより上方（＋Ｚ方向）に位置し得る。
【００３９】
第２固定部材７９１Ａの上端は、第１板状部７６０Ａの下面に固定されてもよい。第２固定部材７９１Ａの下端には、第２電極７５２Ａの第２板状部７７０Ａが固定されてもよい。
このような固定によって、第３筒状部７７１Ａの軸と第２貫通孔７７２Ａの軸とは、ノズル７１２Ａの軸と略一致し得る。第２筒状部７６２Ａの先端部７６５Ａは、第２板状部７７０Ａから所定距離離れ得る。第２筒状部７６２Ａの先端部７６５Ａは、第３筒状部７７１Ａの先端部７７３Ａより下方（−Ｚ方向）に位置し得る。第２電極７５２Ａの第２板状部７７０Ａと第１電極７５１Ａの第１板状部７６０Ａとの距離は、突出部７１５Ａと第１板状部７６０Ａとの距離よりも大きくなり得る。
【００４０】
第１筒状部７６１Ａは、ノズル７１２Ａの先端と第１電極７５１Ａとの間におけるドロップレット２７の設定軌道ＣＡを囲み得る。第１筒状部７６１Ａは、本開示の第１突起部７０１Ａを構成し得る。
第２筒状部７６２Ａおよび第３筒状部７７１Ａは、第１電極７５１Ａと第２電極７５２Ａとの間におけるドロップレット２７の設定軌道ＣＡを囲み得る。第２筒状部７６２Ａおよび第３筒状部７７１Ａは、本開示の第２突起部７０２Ａを構成し得る。
【００４１】
パルス電圧生成器７５５Ａおよび電圧源７５６Ａは、接地されてもよい。パルス電圧生成器７５５Ａおよび電圧源７５６Ａには、ターゲット制御装置９０Ａが電気的に接続されてもよい。
【００４２】
ターゲット制御装置９０Ａは、第１温度コントローラ７３４Ａに信号を送信して、ターゲット生成器７１Ａ内のターゲット物質２７０の温度を制御してもよい。ターゲット制御装置９０Ａは、圧力制御部７２Ａのアクチュエータ７２２Ａに信号を送信して、ターゲット生成器７１Ａ内の圧力を制御してもよい。
【００４３】
３．２．３  動作
図４は、第１〜第５実施形態の課題を説明するための図であり、ターゲット供給装置がドロップレットを出力しているときの状態を示す。
なお、以下において、ターゲット物質２７０がスズの場合を例示して、ターゲット供給装置７Ａの動作を説明する。
【００４４】
まず、第１〜第５実施形態のターゲット供給装置が解決しようとする課題について説明する。
ＥＵＶ光生成装置のターゲット供給装置は、図４に示すように、第１電極７５１および第２電極７５２以外の構成については、第１実施形態のＥＵＶ光生成装置１Ａと同様のものを適用してもよい。
第１電極７５１は、第１貫通孔７６３Ａを有する第１板状部７６０Ａのみから構成されてもよい。第２電極７５２は、第２貫通孔７７２Ａを有する第２板状部７７０Ａのみから構成されてもよい。このような構成により、ノズル７１２Ａの先端と第１電極７５１との間におけるドロップレット２７の設定軌道ＣＡは、絶縁性を有する第１固定部材７９０Ａで囲まれ得る。第１電極７５１と第２電極７５２との間におけるドロップレット２７の設定軌道ＣＡは、絶縁性を有する第２固定部材７９１Ａで囲まれ得る。
【００４５】
このようなターゲット供給装置において、第１温度制御部は、ターゲット生成器内のターゲット物質２７０を当該ターゲット物質２７０の融点以上の所定の温度まで加熱してもよい。電圧源７５６Ａは、ターゲット生成器内のターゲット物質２７０に正極の高電圧（例えば、５０ｋＶ）を印加してもよい。
そして、ターゲット物質２７０に高電圧を印加した状態において、パルス電圧生成器７５５Ａは、第１電極７５１に印加する電圧を高電圧から低電圧（例えば、４５ｋＶ）に降下させ、所定時間保持して、再び高電圧に戻してもよい。このとき、第１電極７５１の電圧降下のタイミングに同期して、ターゲット物質２７０が静電気力によってドロップレット２７の形状で引き出され得る。ドロップレット２７は、正極に帯電し得る。そして、ドロップレット２７は、接地（０ｋＶ）された第２電極７５２によって加速し、第２電極７５２の第２貫通孔７７２Ａを通過し得る。第２貫通孔７７２Ａを通過したドロップレット２７は、プラズマ生成領域に到達したときにパルスレーザ光が照射され得る。
【００４６】
ここで、ターゲット物質２７０がノズル７１２Ａからドロップレット２７の形状で引き出されると、正極に帯電したターゲット物質のミスト２７９が生成され得る。ミスト２７９の大きさは、ドロップレット２７の大きさよりも小さくなり得る。ミスト２７９は、ノズル７１２Ａと第１電極７５１との間や第１電極７５１と第２電極７５２との間において、設定軌道ＣＡと略直交する方向（Ｚ軸方向と略直交する方向）に移動し得る。ミスト２７９は、第１固定部材７９０Ａの内周面や第２固定部材７９１Ａの内周面に付着し得る。第１固定部材７９０Ａの内周面や第２固定部材７９１Ａの内周面にミスト２７９が付着すると、これらの内周面が正極に帯電し得る。
この帯電によって、ノズル７１２Ａと第１電極７５１との間の電気絶縁耐圧、および、第１電極７５１と第２電極７５２との間の電気絶縁耐圧の少なくともいずれか一方が低下し、絶縁破壊を誘発し得る。ドロップレット２７の設定軌道ＣＡ上での電位分布が変化し、帯電したドロップレット２７の出力方向がＺ軸方向と略直交する方向に変化し得る。
このような課題を解決するため、図３に示すように、ターゲット供給装置７Ａに第１突起部７０１Ａおよび第２突起部７０２Ａを設けてもよい。
【００４７】
ターゲット供給装置７Ａにおいて、ターゲット物質２７０がドロップレット２７の形状で引き出されると、ミスト２７９が生成され得る。ノズル７１２Ａと第１電極７５１Ａとの間において、設定軌道ＣＡと略直交する方向に移動するミスト２７９は、設定軌道ＣＡと第１固定部材７９０Ａとの間に位置する第１筒状部７６１Ａに付着し得る。第１電極７５１Ａと第２電極７５２Ａとの間において、設定軌道ＣＡと略直交する方向に移動するミスト２７９は、設定軌道ＣＡと第２固定部材７９１Ａとの間に位置する第２筒状部７６２Ａおよび第３筒状部７７１Ａに付着し得る。その結果、第１突起部７０１Ａと第２突起部７０２Ａとは、ミスト２７９が第１固定部材７９０Ａおよび第２固定部材７９１Ａに付着することを防止し、第１固定部材７９０Ａの内周面および第２固定部材７９１Ａの内周面が正極に帯電することを防止し得る。
【００４８】
上述のように、ターゲット供給装置７Ａは、ノズル７１２Ａと第１電極７５１Ａとの間の電気絶縁耐圧、および、第１電極７５１Ａと第２電極７５２Ａとの間の電気絶縁耐圧が低下することを防止し、絶縁破壊の発生を防止し得る。また、ドロップレット２７の設定軌道ＣＡ上での電位分布の変化を防止し、帯電したドロップレット２７の出力方向の変化を抑制し得る。
【００４９】
３．３  第２実施形態
３．３．１  概略
本開示の第２実施形態のターゲット供給装置において、前記第１電極は、前記第１貫通孔を有する略板状の第１板状部と、前記第１板状部と一体的であって、前記第２電極に近づく方向に延びる略筒状の第１筒状部とを備え、前記第２電極は、前記第２貫通孔を有し、平面形状が前記第１板状部よりも大きい略板状の第２板状部と、前記第２板状部の面方向外側の端部から前記ノズルに近づく方向に延びる略筒状の第２筒状部と、前記第２板状部と一体的であって、前記ノズルに近づく方向に延びる略筒状の第３筒状部とを備え、前記固定部は、前記ノズルが嵌合する嵌合孔を有する略板状または略筒状に形成され、その面方向外側の端部に前記第２電極の前記第２筒状部の延出方向の端部が固定された第１固定部材と、前記第２電極から前記ノズルに近づく方向に延びる形状に形成され、その延出方向の端部に前記第１電極の前記第１板状部の面方向外側の端部が固定された第２固定部材とを備え、前記第１突起部は、前記第２筒状部により構成され、前記第２突起部は、前記第１筒状部と前記第３筒状部とにより構成され、前記第１筒状部と前記第３筒状部のうち一方の延出方向の先端が他方の内部に位置するように設けられてもよい。
【００５０】
３．３．２  構成
図５は、第２実施形態に係るターゲット供給装置の構成を概略的に示す。
第２実施形態のＥＵＶ光生成装置１Ｂは、図５に示すように、ターゲット供給装置７Ｂのターゲット生成部７０Ｂと、ターゲット制御装置９０Ｂと、観測部９１Ｂと、表示部９２Ｂ以外の構成については、第１実施形態のＥＵＶ光生成装置１Ａと同様のものを適用してもよい。
第２実施形態では、設定出力方向１０Ａが重力方向１０Ｂと一致するようにチャンバ２が設置されてもよい。
【００５１】
ターゲット生成部７０Ｂは、静電引出部７５Ｂ以外の構成については、第１実施形態のターゲット生成部７０Ａと同様のものを適用してもよい。
静電引出部７５Ｂは、第１電極７５１Ｂと、第２電極７５２Ｂと、固定部７５４Ｂ以外の構成については、第１実施形態の静電引出部７５Ａと同様のものを適用してもよい。
【００５２】
第１電極７５１Ｂは、導電性を有する材料によって構成されてもよい。第１電極７５１Ｂには、フィードスルー７５７Ａおよびフィードスルー７５９Ｂを介してパルス電圧生成器７５５Ａが電気的に接続されてもよい。第１電極７５１Ｂは、第１板状部７６０Ｂと、第１筒状部７６１Ｂとを備えてもよい。
【００５３】
第１板状部７６０Ｂは、略円板状に形成されてもよい。第１板状部７６０Ｂの外径は、出力部７１４Ａの外径よりも大きくてもよい。第１板状部７６０Ｂの中央には、円形状の第１貫通孔７６３Ｂが形成されてもよい。第１板状部７６０Ｂは、ノズル７１２Ａから所定距離離れた位置で当該ノズル７１２Ａと対向するように、面方向外側の端部が固定部７５４Ｂに固定されてもよい。
【００５４】
第１筒状部７６１Ｂは、ノズル７１２Ａから遠い側（−Ｚ方向側）の第２面から、ノズル７１２Ａから離れる方向（−Ｚ方向）に延びる略円筒状に形成されてもよい。
第１貫通孔７６３Ｂの縁、および、第１筒状部７６１Ｂの先端部７６４Ｂは、滑らかな曲面状に形成されてもよい。このように、第１貫通孔７６３Ｂの縁、および、第１筒状部７６１Ｂの先端部７６４Ｂを曲面状に形成することによって、当該各部分に電界が集中することを抑制できる。
【００５５】
第２電極７５２Ｂは、導電性を有する材料によって構成されてもよい。第２電極７５２Ｂは、接地されてもよい。第２電極７５２Ｂは、第２板状部７７０Ｂと、第２筒状部７７１Ｂと、第３筒状部７７２Ｂとを備えてもよい。
【００５６】
第２板状部７７０Ｂは、略円板状に形成されてもよい。第２板状部７７０Ｂの外径は、第１板状部７６０Ｂの外径よりも大きくてもよい。第２板状部７７０Ｂの中央には、円形状の第２貫通孔７７３Ｂが形成されてもよい。第２貫通孔７７３Ｂの直径は、第１貫通孔７６３Ｂの直径と略等しくてもよい。
【００５７】
第２筒状部７７１Ｂは、第２板状部７７０Ｂの面方向外側の端部から当該面方向と直交する方向に延びる略円筒状に形成されてもよい。第２筒状部７７１Ｂには、フィードスルー７５９Ｂが設けられてもよい。第２筒状部７７１Ｂには、貫通孔７７４Ｂが設けられてもよい。
第２筒状部７７１Ｂは、第２板状部７７０Ｂが第１板状部７６０Ｂから所定距離離れた位置で当該第１板状部７６０Ｂと対向するように、先端側が固定部７５４Ｂに固定されてもよい。
【００５８】
第３筒状部７７２Ｂは、第２板状部７７０Ｂのノズル７１２Ａに近い側（＋Ｚ方向側）の第１面から、ノズル７１２Ａに近づく方向（＋Ｚ方向）に延びる略円筒状に形成されてもよい。第３筒状部７７２Ｂの軸は、第２貫通孔７７３Ｂの軸と略一致してもよい。第３筒状部７７２Ｂの内径は、第２貫通孔７７３Ｂの直径よりも大きくてもよい。第３筒状部７７２Ｂの外径は、第１電極７５１Ｂの第１筒状部７６１Ｂの内径よりも小さくてもよい。第３筒状部７７２Ｂの軸方向の寸法は、第１筒状部７６１Ｂの軸方向の寸法と略等しくてもよい。第３筒状部７７２Ｂの軸方向の寸法は、第２筒状部７７１Ｂの軸方向の寸法よりも小さくてもよい。
【００５９】
第２貫通孔７７３Ｂの縁、および、第３筒状部７７２Ｂの先端部７７５Ｂは、滑らかな曲面状に形成されてもよい。このように、第２貫通孔７７３Ｂの縁、および、第３筒状部７７２Ｂの先端部７７５Ｂを曲面状に形成することによって、当該各部分に電界が集中することを抑制できる。
【００６０】
固定部７５４Ｂは、第１電極７５１Ｂおよび第２電極７５２Ｂをノズル７１２Ａに対して固定してもよい。固定部７５４Ｂは、第１固定部材７９０Ｂと、第２固定部材７９１Ｂとを備えてもよい。
【００６１】
第１固定部材７９０Ｂは、絶縁性の材料によって、略円板状に形成されてもよい。第２固定部材７９１Ｂは、絶縁性の材料によって、略円筒状に形成されてもよい。なお、第１固定部材７９０Ｂは、略円筒状に形成されてもよい。
第１固定部材７９０Ｂには、嵌合孔７９２Ｂが設けられてもよい。嵌合孔７９２Ｂの直径は、ノズル本体７１３Ａの外径および出力部７１４Ａの外径と略等しくてもよい。第１固定部材７９０Ｂの外径は、第２筒状部７７１Ｂの内径と略等しくてもよい。第１固定部材７９０Ｂの軸方向の寸法は、第２固定部材７９１Ｂの軸方向の寸法よりも小さくてもよい。
【００６２】
第２固定部材７９１Ｂの内径は、第１筒状部７６１Ｂの外径よりも大きくてもよい。第２固定部材７９１Ｂの外径は、第１板状部７６０Ｂの外径と略等しくてもよい。第２固定部材７９１Ｂの軸方向の寸法は、第１筒状部７６１Ｂの軸方向の寸法と第３筒状部７７２Ｂの軸方向の寸法とを加えた大きさ以下であってもよい。
【００６３】
第１固定部材７９０Ｂは、嵌合孔７９２Ｂの内部にノズル７１２Ａが嵌め込まれるように、ノズル７１２Ａに固定されてもよい。第１固定部材７９０Ｂの下面は、ノズル本体７１３Ａの先端よりも上方に位置してもよい。第２電極７５２Ｂは、第２筒状部７７１Ｂの内部に第１固定部材７９０Ｂが嵌め込まれるように、第１固定部材７９０Ｂに固定されてもよい。
このような固定によって、第３筒状部７７２Ｂの軸と第２貫通孔７７３Ｂの軸とは、ノズル７１２Ａの軸と略一致し得る。貫通孔７７４Ｂは、突出部７１５Ａの径方向外側に位置し得る。
【００６４】
第２固定部材７９１Ｂの下端は、第２板状部７７０Ｂの第１面に固定されてもよい。第２固定部材７９１Ｂは、第２筒状部７７１Ｂと第３筒状部７７２Ｂとの間に固定されてもよい。第２固定部材７９１Ｂの上端には、第１電極７５１Ｂの第１板状部７６０Ｂの面方向外側の端部が固定されてもよい。
このような固定によって、第１板状部７６０Ｂは、突出部７１５Ａの先端面７１７Ａより下方（−Ｚ方向）に位置し得る。第１筒状部７６１Ｂの軸と第１貫通孔７６３Ｂの軸とは、ノズル７１２Ａの軸と略一致し得る。第１筒状部７６１Ｂの先端部７６４Ｂは、第２板状部７７０Ｂから所定距離離れ得る。第１筒状部７６１Ｂの先端部７６４Ｂは、第３筒状部７７２Ｂの先端部７７５Ｂより下方（−Ｚ方向）に位置し得る。第２電極７５２Ｂの第２板状部７７０Ｂと第１電極７５１Ｂの第１板状部７６０Ｂとの距離は、突出部７１５Ａと第１板状部７６０Ｂとの距離よりも大きくなり得る。
【００６５】
第２筒状部７７１Ｂは、ノズル７１２Ａの先端と第１電極７５１Ｂとの間におけるドロップレット２７の設定軌道ＣＡを囲み得る。第２筒状部７７１Ｂは、本開示の第１突起部７０１Ｂを構成し得る。
第１筒状部７６１Ｂおよび第３筒状部７７２Ｂは、第１電極７５１Ｂと第２電極７５２Ｂとの間におけるドロップレット２７の設定軌道ＣＡを囲み得る。第１筒状部７６１Ｂおよび第３筒状部７７２Ｂは、本開示の第２突起部７０２Ｂを構成し得る。
【００６６】
観測部９１Ｂは、レンズ９１０Ｂと、撮影部９１１Ｂとを備えてもよい。
レンズ９１０Ｂは、第２電極７５２Ｂの第２筒状部７７１Ｂの外側に設けられてもよい。レンズ９１０Ｂは、当該レンズ９１０Ｂの軸が貫通孔７７４Ｂの軸と略一致するように設けられてもよい。
撮影部９１１Ｂは、ＣＣＤカメラであってもよい。撮影部９１１Ｂには、ターゲット制御装置９０Ｂが電気的に接続されてもよい。撮影部９１１Ｂは、レンズ９１０Ｂおよび貫通孔７７４Ｂを介して、突出部７１５Ａの先端に付着したドロップレット２７を撮影可能に設けられてもよい。撮影部９１１Ｂは、撮影した画像に対応する信号をターゲット制御装置９０Ｂに送信してもよい。
【００６７】
表示部９２Ｂには、ターゲット制御装置９０Ｂが電気的に接続されてもよい。
ターゲット制御装置９０Ｂは、撮影部９１１Ｂからの信号を受信して、当該信号に対応する画像を表示部９２Ｂに表示してもよい。
【００６８】
３．３．３  動作
以下において、第１実施形態と同様の動作については、説明を省略する。
ターゲット供給装置７Ｂにおいて、ターゲット物質２７０がドロップレット２７の形状で引き出されると、ノズル７１２Ａと第１電極７５１Ｂとの間を移動するミスト２７９は、第２筒状部７７１Ｂに付着し得る。第１電極７５１Ｂと第２電極７５２Ｂとの間を移動するミスト２７９は、第１筒状部７６１Ｂおよび第３筒状部７７２Ｂに付着し得る。その結果、第１突起部７０１Ｂと第２突起部７０２Ｂとは、ミスト２７９が第１固定部材７９０Ｂおよび第２固定部材７９１Ｂに付着することを防止し、第１固定部材７９０Ｂの下面および第２固定部材７９１Ｂの内周面が正極に帯電することを防止し得る。
【００６９】
上述のように、ターゲット供給装置７Ｂは、ノズル７１２Ａと第１電極７５１Ｂとの間の電気絶縁耐圧、および、第１電極７５１Ｂと第２電極７５２Ｂとの間の電気絶縁耐圧が低下することを防止し、絶縁破壊の発生を防止し得る。また、ドロップレット２７の設定軌道ＣＡ上での電位分布の変化を防止し、帯電したドロップレット２７の出力方向の変化を抑制し得る。
【００７０】
３．４  第３実施形態
３．４．１  概略
本開示の第３実施形態のターゲット供給装置において、前記第１電極は、前記第１貫通孔を有する略板状の第１板状部と、前記第１板状部の面方向外側の端部から前記ノズルに近づく方向に延びる略筒状の第１筒状部とを備え、前記第２電極は、前記第２貫通孔を有し、平面形状が前記第１板状部よりも大きい略板状の第２板状部と、前記第２板状部の面方向外側の端部から前記ノズルに近づく方向に延びる略筒状の第２筒状部とを備え、前記固定部は、前記ノズルが嵌合する嵌合孔を有する略板状または略筒状に形成され、その面方向外側の端部に前記第２電極の前記第２筒状部の延出方向の端部が固定されるとともに、当該固定された部分よりも内側に前記第１電極の前記第１筒状部の延出方向の端部が固定され、前記第１突起部は、前記第１筒状部により構成され、前記第２突起部は、前記第２筒状部により構成されてもよい。
【００７１】
３．４．２  構成
図６は、第３実施形態に係るターゲット供給装置の構成を概略的に示す。
第３実施形態のＥＵＶ光生成装置１Ｃは、図６に示すように、ターゲット供給装置７Ｃのターゲット生成部７０Ｃ以外の構成については、第１実施形態のＥＵＶ光生成装置１Ａと同様のものを適用してもよい。
第３実施形態では、設定出力方向１０Ａが重力方向１０Ｂと一致するようにチャンバ２が設置されてもよい。
【００７２】
ターゲット生成部７０Ｃは、静電引出部７５Ｃ以外の構成については、第１実施形態のターゲット生成部７０Ａと同様のものを適用してもよい。
静電引出部７５Ｃは、第１電極７５１Ｃと、第２電極７５２Ｃと、固定部７５４Ｃ以外の構成については、第１実施形態の静電引出部７５Ａと同様のものを適用してもよい。
【００７３】
第１電極７５１Ｃは、導電性を有する材料によって構成されてもよい。第１電極７５１Ｃは、第１板状部７６０Ｃと、第１筒状部７６１Ｃとを備えてもよい。
第１板状部７６０Ｃは、略円板状に形成されてもよい。第１板状部７６０Ｃの外径は、出力部７１４Ａの外径よりも大きくてもよい。第１板状部７６０Ｃの中央には、円形状の第１貫通孔７６３Ｃが形成されてもよい。
第１筒状部７６１Ｃは、第１板状部７６０Ｃの面方向外側の端部から当該面方向と直交する方向に延びる略円筒状に形成されてもよい。
第１筒状部７６１Ｃは、第１板状部７６０Ｃがノズル７１２Ａから所定距離離れた位置で当該ノズル７１２Ａと対向するように、先端側が固定部７５４Ｃの溝に固定されてもよい。
第１貫通孔７６３Ｃの縁は、滑らかな曲面状に形成されてもよい。このように、第１貫通孔７６３Ｃの縁を曲面状に形成することによって、当該部分に電界が集中することを抑制できる。
【００７４】
第２電極７５２Ｃは、導電性を有する材料によって構成されてもよい。第２電極７５２Ｃは、接地されてもよい。第２電極７５２Ｃは、第２板状部７７０Ｃと、第２筒状部７７１Ｃとを備えてもよい。
【００７５】
第２板状部７７０Ｃは、略円板状に形成されてもよい。第２板状部７７０Ｃの外径は、第１板状部７６０Ｃの外径よりも大きくてもよい。第２板状部７７０Ｃの中央には、円形状の第２貫通孔７７３Ｃが形成されてもよい。第２貫通孔７７３Ｃの直径は、第１貫通孔７６３Ｃの直径と略等しくてもよい。
【００７６】
第２筒状部７７１Ｃは、第２板状部７７０Ｃの面方向外側の端部から当該面方向と直交する方向に延びる略円筒状に形成されてもよい。第２筒状部７７１Ｃの軸方向の寸法は、第１筒状部７６１Ｃの軸方向の寸法よりも大きくてもよい。
第２筒状部７７１Ｃは、第２板状部７７０Ｃが第１板状部７６０Ｃから所定距離離れた位置で当該第１板状部７６０Ｃと対向するように、先端側が固定部７５４Ｃに固定されてもよい。
【００７７】
第２貫通孔７７３Ｃの縁は、滑らかな曲面状に形成されてもよい。このように、第２貫通孔７７３Ｃの縁を曲面状に形成することによって、当該部分に電界が集中することを抑制できる。
【００７８】
固定部７５４Ｃは、第１電極７５１Ｃおよび第２電極７５２Ｃをノズル７１２Ａに対して固定してもよい。
固定部７５４Ｃは、絶縁性の材料によって、略円板状に形成されてもよい。なお、固定部７５４Ｃは、略円筒状に形成されてもよい。
固定部７５４Ｃには、嵌合孔７９２Ｃが設けられてもよい。嵌合孔７９２Ｃの直径は、ノズル本体７１３Ａの外径および出力部７１４Ａの外径と略等しくてもよい。固定部７５４Ｃの外径は、第１筒状部７６１Ｃの外径より大きくてもよい。固定部７５４Ｃの外径は、第２筒状部７７１Ｃの外径と略等しくてもよい。
【００７９】
固定部７５４Ｃは、嵌合孔７９２Ｃの内部にノズル７１２Ａが嵌め込まれるように、ノズル７１２Ａに固定されてもよい。固定部７５４Ｃの下面は、出力部７１４Ａの先端よりも上方に位置してもよい。第１電極７５１Ｃは、固定部７５４Ｃに第１筒状部７６１Ｃが嵌め込まれるように、固定部７５４Ｃに固定されてもよい。第２電極７５２Ｃは、固定部７５４Ｃに第２筒状部７７１Ｃが嵌め込まれるように、固定部７５４Ｃに固定されてもよい。
このような固定によって、第１貫通孔７６３Ｃの軸と第２貫通孔７７３Ｃの軸とは、ノズル７１２Ａの軸と略一致し得る。第１板状部７６０Ｃは、突出部７１５Ａの先端面７１７Ａより下方（−Ｚ方向）に位置し得る。第２電極７５２Ｃの第２板状部７７０Ｃと第１電極７５１Ｃの第１板状部７６０Ｃとの距離は、突出部７１５Ａと第１板状部７６０Ｃとの距離よりも大きくなり得る。
【００８０】
第１筒状部７６１Ｃは、ノズル７１２Ａの先端と第１電極７５１Ｃとの間におけるドロップレット２７の設定軌道ＣＡを囲み得る。第１筒状部７６１Ｃは、本開示の第１突起部７０１Ｃを構成し得る。
第２筒状部７７１Ｃは、第１電極７５１Ｃと第２電極７５２Ｃとの間におけるドロップレット２７の設定軌道ＣＡを囲み得る。第２筒状部７７１Ｃは、本開示の第２突起部７０２Ｃを構成し得る。
【００８１】
３．４．３  動作
以下において、第１実施形態と同様の動作については、説明を省略する。
ターゲット供給装置７Ｃにおいて、ターゲット物質２７０がドロップレット２７の形状で引き出されると、ノズル７１２Ａと第１電極７５１Ｃとの間を移動するミスト２７９は、第１筒状部７６１Ｃに付着し得る。第１電極７５１Ｃと第２電極７５２Ｃとの間を移動するミスト２７９は、第２筒状部７７１Ｃに付着し得る。その結果、第１突起部７０１Ｃと第２突起部７０２Ｃとは、ミスト２７９が固定部７５４Ｃに付着することを防止し、固定部７５４Ｃの下面が正極に帯電することを防止し得る。
【００８２】
上述のように、ターゲット供給装置７Ｃは、ノズル７１２Ａと第１電極７５１Ｃとの間の電気絶縁耐圧、および、第１電極７５１Ｃと第２電極７５２Ｃとの間の電気絶縁耐圧が低下することを防止し、絶縁破壊の発生を防止し得る。また、ドロップレット２７の設定軌道ＣＡ上での電位分布の変化を防止し、帯電したドロップレット２７の出力方向の変化を抑制し得る。
【００８３】
３．５  第４実施形態
３．５．１  概略
本開示の第４実施形態のターゲット供給装置において、ノズルを備えたタンクと、第１貫通孔が設けられ、前記第１貫通孔内に前記ノズルの中心軸が位置するように設置された第１電極と、第２貫通孔が設けられた本体部、および、前記第２貫通孔の周縁から前記ノズルに近づく方向に延びる筒状に形成された捕集部を備え、前記第２貫通孔内に前記ノズルの中心軸が位置するように設置された第２電極と、前記タンク内部に設置された第３電極と、前記第２電極を加熱する加熱部と、を備えてもよい。
【００８４】
本開示の第４実施形態のターゲット供給装置において、前記第２電極は、前記本体部における前記捕集部の外側から前記捕集部と同じ方向に延びる筒状に形成され、その延出方向の先端が前記捕集部の延出方向の先端よりも前記ノズルの近くに位置するように設けられた電界緩和部を備えてもよい。
【００８５】
３．５．２  構成
図７は、第４実施形態に係るターゲット供給装置の構成を概略的に示す。
第４実施形態のＥＵＶ光生成装置１Ｄは、図７に示すように、ターゲット供給装置７Ｄのターゲット生成部７０Ｄ以外の構成については、第１実施形態のＥＵＶ光生成装置１Ａと同様のものを適用してもよい。
第４実施形態では、設定出力方向１０Ａが重力方向１０Ｂと一致するようにチャンバ２が設置されてもよい。
【００８６】
ターゲット生成部７０Ｄは、静電引出部７５Ｄと、第２温度制御部８０Ｄ以外の構成については、第１実施形態のターゲット生成部７０Ａと同様のものを適用してもよい。
静電引出部７５Ｄは、第２電極７５２Ｄ以外の構成については、第１実施形態の静電引出部７５Ａと同様のものを適用してもよい。
【００８７】
第２電極７５２Ｄは、導電性を有する材料によって構成されてもよい。第２電極７５２Ｄは、接地されてもよい。第２電極７５２Ｄは、本体部７７０Ｄと、捕集部７７１Ｄと、第３筒状部７７２Ｄとを備えてもよい。
【００８８】
本体部７７０Ｄは、第２板状部７７３Ｄと、第４筒状部７７４Ｄと、突出部７７５Ｄとを備えてもよい。
第２板状部７７３Ｄは、略円板状に形成されてもよい。第２板状部７７３Ｄの外径は、第１電極７５１Ａの第１板状部７６０Ａの外径と略等しくてもよい。
第４筒状部７７４Ｄは、第２板状部７７３Ｄの面方向内側から当該面方向と直交する方向（図７中下方）に延びる略円筒状に形成されてもよい。
突出部７７５Ｄは、第４筒状部７７４Ｄの内周面から突出するように設けられてもよい。突出部７７５Ｄは、略円環状に形成されてもよい。突出部７７５Ｄで囲まれる空間は、第２貫通孔７７６Ｄを構成してもよい。第２貫通孔７７６Ｄの直径は、第１電極７５１Ａの第１貫通孔７６３Ａの直径よりも大きくてもよい。
【００８９】
捕集部７７１Ｄは、突出部７７５Ｄにおけるノズル７１２Ａに近い側（＋Ｚ方向側）の第１面から、当該第１面と略直交する方向（＋Ｚ方向）に延びる略円錐台筒状に形成されてもよい。捕集部７７１Ｄの先端部７７７Ｄは、尖っていてもよい。ここで、先端部７７７Ｄの先端を尖らせないで平面状に形成した場合、設定軌道ＣＡから外れたドロップレット２７が先端部７７７Ｄに付着すると、当該ドロップレット２７は、そのまま先端部７７７Ｄ上に残り得る。これに対して、先端部７７７Ｄを尖らせることによって、設定軌道ＣＡから外れたドロップレット２７が先端部７７７Ｄに付着すると、当該ドロップレット２７は、捕集部７７１Ｄの外周面に沿って流れ、後述する溝部７７９Ｄ内に溜まり得る。
【００９０】
第３筒状部７７２Ｄは、本開示の電界緩和部であってもよい。第３筒状部７７２Ｄは、第２板状部７７３Ｄの面方向内側の端部から捕集部７７１Ｄと同じ方向（＋Ｚ方向）に延びる略円筒状に形成されてもよい。第３筒状部７７２Ｄの内径および外径は、第４筒状部７７４Ｄの内径および外径とそれぞれ等しくてもよい。第３筒状部７７２Ｄは、当該第３筒状部７７２Ｄの先端部７７８Ｄから捕集部７７１Ｄの先端部７７７Ｄが突出しないように形成されてもよい。
第３筒状部７７２Ｄの内周面および第４筒状部７７４Ｄの内周面と、捕集部７７１Ｄの外周面との間には、溝部７７９Ｄが形成され得る。溝部７７９Ｄには、設定軌道ＣＡから外れたドロップレット２７がターゲット物質２７１Ｄとして溜まり得る。
【００９１】
第２固定部材７９１Ａの下端には、第２電極７５２Ｄの第２板状部７７３Ｄが固定されてもよい。
このような固定によって、捕集部７７１Ｄの軸と第２貫通孔７７６Ｄの軸とは、ノズル７１２Ａの軸と略一致し得る。第２筒状部７６２Ａの先端部７６５Ａは、第２板状部７７３Ｄから所定距離離れ得る。第２筒状部７６２Ａの先端部７６５Ａは、第３筒状部７７２Ｄの先端部７７８Ｄより下方（−Ｚ方向）に位置し得る。第２電極７５２Ｄの第２板状部７７３Ｄと第１電極７５１Ａの第１板状部７６０Ａとの距離は、突出部７１５Ａと第１板状部７６０Ａとの距離よりも大きくなり得る。
第３筒状部７７２Ｄの先端部７７８Ｄおよび第４筒状部７７４Ｄの先端部７８０Ｄは、滑らかな曲面状に形成されてもよい。このように、先端部７７８Ｄおよび先端部７８０Ｄを曲面状に形成することによって、当該各部分に電界が集中することを抑制できる。
また、第３筒状部７７２Ｄの先端部７７８Ｄは、捕集部７７１Ｄの先端部７７７Ｄよりもノズル７１２Ａの近くに位置し得る。このように、先端部７７８Ｄを先端部７７７Ｄよりもノズル７１２Ａの近くに位置させることで、ドロップレット２７が先端部７７７Ｄ上に残らないように先端部７７７Ｄを尖らせた場合でも、当該先端部７７７Ｄに電界が集中することを緩和できる。
【００９２】
第１筒状部７６１Ａは、第１実施形態と同様に、本開示の第１突起部７０１Ｄを構成し得る。
第２筒状部７６２Ａ、捕集部７７１Ｄおよび第３筒状部７７２Ｄは、第１電極７５１Ａと第２電極７５２Ｄとの間におけるドロップレット２７の設定軌道ＣＡを囲み得る。第２筒状部７６２Ａ、捕集部７７１Ｄおよび第３筒状部７７２Ｄは、本開示の第２突起部７０２Ｄを構成し得る。
なお、捕集部７７１Ｄ、第３筒状部７７２Ｄ、第４筒状部７７４Ｄのうち少なくとも１つは、第２板状部７７３Ｄと別体で構成され、溶接などによって第２板状部７７３Ｄと接合されてもよい。
【００９３】
第２温度制御部８０Ｄは、本開示の加熱部であってもよい。第２温度制御部８０Ｄは、第２電極７５２Ｄの温度を制御するよう構成されてもよい。第２温度制御部８０Ｄは、第２ヒータ８０１Ｄと、第２ヒータ電源８０２Ｄと、第２温度センサ８０３Ｄと、第２温度コントローラ８０４Ｄと、円環部材８０５Ｄとを備えてもよい。
【００９４】
第２ヒータ８０１Ｄは、第２板状部７７３Ｄにおけるノズル７１２Ａから遠い側（−Ｚ方向）の第２面に設けられてもよい。
第２ヒータ電源８０２Ｄは、第２温度コントローラ８０４Ｄからの信号に基づいて、第２ヒータ８０１Ｄを発熱させてもよい。それにより、捕集部７７１Ｄの先端部７７７Ｄに付着したドロップレット２７や、溝部７７９Ｄ内に溜まったターゲット物質２７１Ｄが、第２電極７５２Ｄを介して加熱され得る。
第２温度センサ８０３Ｄは、第４筒状部７７４Ｄの外周面に設けられてもよいし、捕集部７７１Ｄの内周面や溝部７７９Ｄ内に設けられてもよい。第２温度センサ８０３Ｄは、第２電極７５２Ｄにおける主に第２温度センサ８０３Ｄの設置位置およびその近傍の位置の温度を検出して、当該検出した温度に対応する信号を第２温度コントローラ８０４Ｄに送信するよう構成されてもよい。第２温度センサ８０３Ｄの設置位置およびその近傍の位置の温度は、溝部７７９Ｄ内のターゲット物質２７１Ｄの温度とほぼ同一の温度となり得る。
第２温度コントローラ８０４Ｄは、第２温度センサ８０３Ｄからの信号に基づいて、先端部７７７Ｄに付着したドロップレット２７や溝部７７９Ｄ内に溜まったターゲット物質２７１Ｄの温度を所定温度に制御するための信号を第２ヒータ電源８０２Ｄに出力するよう構成されてもよい。
円環部材８０５Ｄは、第２板状部７７３Ｄと略等しい略円環状に形成されてもよい。円環部材８０５Ｄは、第２板状部７７３Ｄとの間に第２ヒータ８０１Ｄを挟み込むように設けられてもよい。
【００９５】
ターゲット制御装置９０Ｄは、第２温度コントローラ８０４Ｄに信号を送信して、先端部７７７Ｄに付着したドロップレット２７や溝部７７９Ｄ内に溜まったターゲット物質２７１Ｄの温度を制御してもよい。
【００９６】
３．５．３  動作
図８は、第４，第５実施形態の課題を説明するための図であり、ターゲット供給装置がドロップレットを出力しているときの状態を示す。
以下において、第１実施形態と同様の動作については、説明を省略する。
【００９７】
まず、第４，第５実施形態のターゲット供給装置が解決しようとする課題について説明する。
図８に示すターゲット供給装置は、図４に示すターゲット供給装置と同様の構成を有してもよい。
ターゲット生成器内のターゲット物質２７０がノズル７１２Ａからドロップレット２７の形状で引き出されるとき、ドロップレット２７の軌道が設定軌道ＣＡからＺ軸方向と略直交する方向にずれることがあり得る。ドロップレット２７の軌道が設定軌道ＣＡからずれる原因は、以下のように推測し得る。
【００９８】
ドロップレット２７が生成されるとき、突出部７１５Ａの先端面７１７Ａのうち内縁側の円環状の領域には、ドロップレット２７と接触する領域と、ドロップレット２７と接触しない領域とが存在し得る。この場合、先端面７１７Ａにおける内縁側の円環状の領域のうちドロップレット２７と接触した領域は、ターゲット物質２７０が濡れやすくなり得る。その結果、ドロップレット２７の中心位置が設定軌道ＣＡから例えば左側（−Ｘ方向）にずれ得る。
この設定軌道ＣＡから中心位置がずれたドロップレット２７を第１電極７５１によって引き出すと、ドロップレット２７の軌道ＣＡ１が設定軌道ＣＡより左側にずれ得る。軌道ＣＡ１が設定軌道ＣＡからずれると、ドロップレット２７は、静電力によって第２貫通孔７７２Ａの外縁側に引き寄せられ、第２板状部７７０Ａ上に付着し得る。一旦、ドロップレット２７が第２板状部７７０Ａに付着すると、ターゲット物質が固化し得る。固化したターゲット物質には電界が集中し、次に出力されるドロップレット２７を当該固化したターゲット物質に引き寄せる力が発生し得る。この発生した力によってドロップレット２７が樹枝状に堆積し、ドロップレット２７が第２貫通孔７７２Ａを通過してターゲット供給装置から出力されなくなり得る。
この図８に示す課題および図４に示す課題を解決するために、図７に示すように、ターゲット供給装置７Ｄに捕集部７７１Ｄ、第２温度制御部８０Ｄ、第１突起部７０１Ｄ、第２突起部７０２Ｄを設けてもよい。
【００９９】
ターゲット供給装置７Ｄにおいて、第２温度制御部８０Ｄは、第２電極７５２Ｄをターゲット物質２７０の融点以上の所定の温度まで加熱してもよい。ターゲット供給装置７Ｄは、ターゲット生成器７１Ａ内のターゲット物質２７０をドロップレット２７の形状で引き出してもよい。
ノズル７１２Ａからドロップレット２７が引き出されたとき、ドロップレット２７の軌道が設定軌道ＣＡからＺ軸方向と略直交する方向にずれることがあり得る。このドロップレット２７は、捕集部７７１Ｄの外周面に付着し得る。捕集部７７１Ｄがターゲット物質２７０の融点以上の所定の温度まで加熱されているため、ドロップレット２７は、捕集部７７１Ｄに付着すると、固化することなく重力によって流れ得る。その結果、ターゲット物質２７１Ｄが液体の状態で溝部７７９Ｄ内に溜まり得る。これにより、次に出力されるドロップレット２７を捕集部７７１Ｄに引き寄せる力の発生が防止され得る。
【０１００】
その後、ドロップレット２７が連続して引き出されると、先端面７１７Ａにおける内縁側の円環状の領域のうち、ドロップレット２７と接触する領域が徐々に広がり得る。当該円環状の領域の全てにドロップレット２７が接触していない状態では、ドロップレット２７の中心位置が設定軌道ＣＡからＺ軸方向と略直交する方向にずれるため、ノズル７１２Ａから引き出されたドロップレット２７の軌道が設定軌道ＣＡからずれてしまい、ドロップレット２７は溝部７７９Ｄ内に溜まり得る。このとき、ターゲット物質２７１Ｄが液体の状態で溝部７７９Ｄ内に溜まり得るため、第２電極７５２Ｄ上にドロップレット２７が樹枝状に堆積することが防止され得る。その結果、次に出力されるドロップレット２７を捕集部７７１Ｄに引き寄せる力の発生が防止され得る。
そして、ドロップレット２７が先端面７１７Ａにおける内縁側の円環状の領域の全てに接触すると、ドロップレット２７の中心位置が設定軌道ＣＡと略一致し得る。その結果、ドロップレット２７は、捕集部７７１Ｄと接触せずに第２貫通孔７７６Ｄを通過して、ターゲット供給装置７Ｄから出力され得る。
【０１０１】
ドロップレット２７の引き出しの際に発生するミスト２７９は、第１筒状部７６１Ａ、第２筒状部７６２Ａ、捕集部７７１Ｄ、第３筒状部７７２Ｄに付着し得る。その結果、第１突起部７０１Ｄを構成する第１筒状部７６１Ａと、第２突起部７０２Ｄを構成する第１筒状部７６１Ａ、捕集部７７１Ｄおよび第３筒状部７７２Ｄとは、ミスト２７９が固定部７５４Ａに付着することを防止し、固定部７５４Ａが正極に帯電することを防止し得る。
【０１０２】
上述のように、ターゲット供給装置７Ｄは、ノズル７１２Ａと第１電極７５１Ａとの間の電気絶縁耐圧、および、第１電極７５１Ａと第２電極７５２Ｄとの間の電気絶縁耐圧が低下することを防止し、絶縁破壊の発生を防止し得る。また、帯電したドロップレット２７の出力方向の変化を抑制し得る。
さらに、ターゲット供給装置７Ｄは、捕集部７７１Ｄおよび第２温度制御部８０Ｄによって、固体のターゲット物質が第２電極７５２Ｄ上に樹枝状に堆積することを防止し得る。このため、ターゲット供給装置７Ｄは、ドロップレット２７を適切に出力し得る。
【０１０３】
３．６  第５実施形態
３．６．１  構成
図９は、第５実施形態に係るターゲット供給装置の構成を概略的に示す。
第５実施形態のＥＵＶ光生成装置１Ｅは、図９に示すように、ターゲット供給装置７Ｅのターゲット生成部７０Ｅ以外の構成については、第１実施形態のＥＵＶ光生成装置１Ａと同様のものを適用してもよい。
第５実施形態では、設定出力方向１０Ａが重力方向１０Ｂに対して斜めとなるようにチャンバ２が設置されてもよい。
【０１０４】
ターゲット生成部７０Ｅは、静電引出部７５Ｅと、第２温度制御部８０Ｅ、ターゲット制御装置９０Ｅ以外の構成については、第３実施形態のターゲット生成部７０Ｃと同様のものを適用してもよい。
静電引出部７５Ｅは、第２電極７５２Ｅ以外の構成については、第３実施形態の静電引出部７５Ｃと同様のものを適用してもよい。
【０１０５】
第２電極７５２Ｅは、導電性を有する材料によって構成されてもよい。第２電極７５２Ｅは、接地されてもよい。第２電極７５２Ｅは、本体部７７０Ｅと、第２筒状部７７１Ｃと、捕集部７７１Ｅと、電界緩和部７７２Ｅとを備えてもよい。
【０１０６】
本体部７７０Ｅは、第２板状部７７３Ｅと、第３筒状部７７４Ｅとを備えてもよい。
第２板状部７７３Ｅは、略円板状に形成されてもよい。第２板状部７７３Ｅの外径は、第３実施形態の第２板状部７７０Ｃの外径と略等しくてもよい。第２板状部７７３Ｅの中央には、円形状の第２貫通孔７７６Ｅが形成されてもよい。第２貫通孔７７６Ｅの内径は、第１電極７５１Ｃの第１貫通孔７６３Ｃの内径よりも大きくてもよい。
第３筒状部７７４Ｅは、第２板状部７７３Ｅの面方向内側の端部より若干外側から当該面方向と直交する方向（図９中右斜め下方向）に延びる略円筒状に形成されてもよい。
【０１０７】
第２筒状部７７１Ｃは、第２板状部７７３Ｅの面方向外側の端部に設けられてもよい。第２筒状部７７１Ｃと第２板状部７７３Ｅとが交差する部分は、貯留部７８２Ｅを構成してもよい。
捕集部７７１Ｅは、第２板状部７７３Ｅにおける第２貫通孔７７６Ｅの周縁から、第２筒状部７７１Ｃと同じ方向（＋Ｚ方向）に延びる略円錐台筒状に形成されてもよい。捕集部７７１Ｅの先端部７７７Ｅは、尖っていてもよい。このように先端部７７７Ｅを尖らせることによって、先端部７７７Ｅは、第４実施形態の先端部７７７Ｄと同様の作用効果を奏し得る。
【０１０８】
電界緩和部７７２Ｅは、第２板状部７７３Ｅにおける捕集部７７１Ｅの外側から、捕集部７７１Ｅと同じ方向（＋Ｚ方向）に延びる略円筒状に形成されてもよい。電界緩和部７７２Ｅの内径および外径は、第３筒状部７７４Ｅの内径および外径とそれぞれ等しくてもよい。電界緩和部７７２Ｅは、当該電界緩和部７７２Ｅの先端部７７８Ｅから捕集部７７１Ｅの先端部７７７Ｅが突出しないように形成されてもよい。
電界緩和部７７２Ｅの内周面と、捕集部７７１Ｅの外周面との間には、溝部７７９Ｅが形成され得る。
電界緩和部７７２Ｅの基端には、溝部７７９Ｅ内に流入したドロップレット２７を溝部７７９Ｅから排出するための貫通孔７８１Ｅが設けられてもよい。貫通孔７８１Ｅから排出されたドロップレット２７は、重力によって第２板状部７７３Ｅに沿って流れ、ターゲット物質２７１Ｅとして貯留部７８２Ｅに溜まり得る。
【０１０９】
第２電極７５２Ｅは、第３実施形態の第２電極７５２Ｃと同様に、第２筒状部７７１Ｃが固定部７５４Ｃに固定されてもよい。
このような固定によって、捕集部７７１Ｅの軸と第２貫通孔７７６Ｅの軸とは、ノズル７１２Ａの軸と略一致し得る。第２電極７５２Ｅの第２板状部７７３Ｅと第１電極７５１Ｃの第１板状部７６０Ｃとの距離は、突出部７１５Ａと第１板状部７６０Ｃとの距離よりも大きくなり得る。
電界緩和部７７２Ｅの先端部７７８Ｅおよび第３筒状部７７４Ｅの先端部７８０Ｅは、滑らかな曲面状に形成されてもよい。このように、先端部７７８Ｅおよび先端部７８０Ｅを曲面状に形成することによって、当該各部分に電界が集中することを抑制できる。
また、先端部７７８Ｅを先端部７７７Ｅよりもノズル７１２Ａの近くに位置させることで、先端部７７７Ｅを尖らせた場合でも、先端部７７７Ｅに電界が集中することを緩和できる。
【０１１０】
第１筒状部７６１Ｃは、第３実施形態と同様に、本開示の第１突起部７０１Ｅを構成し得る。
第２筒状部７７１Ｃ、捕集部７７１Ｅおよび電界緩和部７７２Ｅは、第１電極７５１Ｃと第２電極７５２Ｅとの間におけるドロップレット２７の設定軌道ＣＡを囲み得る。第２筒状部７７１Ｃ、捕集部７７１Ｅおよび電界緩和部７７２Ｅは、本開示の第２突起部７０２Ｅを構成し得る。
【０１１１】
第２温度制御部８０Ｅは、本開示の加熱部であってもよい。第２温度制御部８０Ｅは、第２電極７５２Ｅの温度を制御するよう構成されてもよい。第２温度制御部８０Ｅは、第２ヒータ８０１Ｄと、第２ヒータ電源８０２Ｄと、第２温度センサ８０３Ｄと、第２温度コントローラ８０４Ｄと、第３ヒータ８０５Ｅとを備えてもよい。
【０１１２】
第２ヒータ８０１Ｄは、第２板状部７７３Ｅにおけるノズル７１２Ａから遠い側（−Ｚ方向側）の第２面に設けられてもよい。第３ヒータ８０５Ｅは、第２筒状部７７１Ｃの外周面における重力方向１０Ｂ側に設けられてもよい。
第２ヒータ電源８０２Ｄは、第２温度コントローラ８０４Ｄからの信号に基づいて、第２ヒータ８０１Ｄおよび第３ヒータ８０５Ｅに電力を供給してもよい。それにより、捕集部７７１Ｅの先端部７７７Ｅに付着したドロップレット２７や、貯留部７８２Ｅ内に溜まったターゲット物質２７１Ｅが、第２電極７５２Ｅを介して加熱され得る。
第２温度センサ８０３Ｄは、第２板状部７７３Ｅにおける第３筒状部７７４Ｅの近傍に設けられてもよい。第２温度センサ８０３Ｄは、検出した温度に対応する信号を第２温度コントローラ８０４Ｄに送信するよう構成されてもよい。第２温度センサ８０３Ｄが検出した温度は、貯留部７８２Ｅ内のターゲット物質２７１Ｅの温度とほぼ同一の温度となり得る。
【０１１３】
ターゲット制御装置９０Ｅは、第２温度コントローラ８０４Ｄに信号を送信して、先端部７７７Ｅに付着したドロップレット２７や貯留部７８２Ｅ内に溜まったターゲット物質２７１Ｅの温度を制御してもよい。
【０１１４】
３．６．２  動作
以下において、第１，第４実施形態と同様の動作については、説明を省略する。
ターゲット供給装置７Ｅにおいて、第２温度制御部８０Ｅは、第２電極７５２Ｅをターゲット物質２７０の融点以上の所定の温度まで加熱してもよい。ターゲット供給装置７Ｅは、ターゲット生成器７１Ａ内のターゲット物質２７０をドロップレット２７の形状で引き出してもよい。
ドロップレット２７の軌道が設定軌道ＣＡからずれた場合、このドロップレット２７は、捕集部７７１Ｅの外周面に付着し得る。ドロップレット２７は、捕集部７７１Ｅに付着すると、固化することなく重力によって流れ、溝部７７９Ｅ内に流入し得る。そして、溝部７７９Ｅ内に流入したドロップレット２７は、重力によって貫通孔７８１Ｅから排出され、液体のターゲット物質２７１Ｅとして貯留部７８２Ｅに溜まり得る。その結果、次に出力されるドロップレット２７を捕集部７７１Ｅに引き寄せる力の発生が防止され得る。
【０１１５】
その後、ドロップレット２７が連続して引き出されると、ドロップレット２７が先端面７１７Ａにおける内縁側の円環状の領域の全てと接触するまでは、ドロップレット２７の軌道が設定軌道ＣＡからずれ得る。しかし、設定軌道ＣＡから外れたドロップレット２７は、液体の状態で貯留部７８２Ｅ内に溜まり得るため、第２電極７５２Ｅ上にドロップレット２７が樹枝状に堆積することが防止され得る。その結果、次に出力されるドロップレット２７を捕集部７７１Ｅに引き寄せる力の発生が防止され得る。
ノズル７１２Ａの先端に付着したドロップレット２７の中心位置が設定軌道ＣＡと略一致すると、ドロップレット２７は、捕集部７７１Ｅと接触せずに第２貫通孔７７６Ｅを通過して、ターゲット供給装置７Ｅから出力され得る。
【０１１６】
ミスト２７９は、第１筒状部７６１Ｃ、第２筒状部７７１Ｃ、捕集部７７１Ｅ、電界緩和部７７２Ｅに付着し得る。その結果、第１突起部７０１Ｅを構成する第１筒状部７６１Ｃと、第２突起部７０２Ｅを構成する第２筒状部７７１Ｃ、捕集部７７１Ｅおよび電界緩和部７７２Ｅとは、ミスト２７９が固定部７５４Ｃに付着することを防止し、固定部７５４Ｃが正極に帯電することを防止し得る。
【０１１７】
上述のように、ターゲット供給装置７Ｅは、ノズル７１２Ａと第１電極７５１Ｃとの間の電気絶縁耐圧、および、第１電極７５１Ｃと第２電極７５２Ｅとの間の電気絶縁耐圧が低下することを防止し、絶縁破壊の発生を防止し得る。また、帯電したドロップレット２７の出力方向の変化を抑制し得る。
さらに、ターゲット供給装置７Ｅは、固体のターゲット物質が第２電極７５２Ｅ上に樹枝状に堆積することを防止し、ドロップレット２７を適切に出力し得る。
【０１１８】
３．７  変形例
なお、ターゲット供給装置としては、以下のような構成としてもよい。
第１，第４実施形態において、固定部７５４Ａを第１固定部材７９０Ａと第２固定部材７９１Ａとの２つの略円筒状の部材で構成したが、１つの略円筒状の部材で構成し、当該略円筒状の部材の内周面に第１電極７５１を固定してもよい。
第１実施形態において、第２筒状部７６２Ａの外径を第３筒状部７７１Ａの内径よりも小さくして、第３筒状部７７１Ａ内に第２筒状部７６２Ａが位置するように構成してもよい。第２，第４実施形態においても、同様の構成を適用してもよい。
第１実施形態において、第１貫通孔７６３Ａ、先端部７６４Ａ、先端部７６５Ａ、先端部７７３Ａを曲面状に形成しなくてもよい。第２〜第５実施形態においても、同様の構成を適用してもよい。
【０１１９】
上記の説明は、制限ではなく単なる例示を意図したものである。従って、添付の特許請求の範囲を逸脱することなく本開示の実施形態に変更を加えることができることは、当業者には明らかであろう。
【０１２０】
本明細書及び添付の特許請求の範囲全体で使用される用語は、「限定的でない」用語と解釈されるべきである。例えば、「含む」又は「含まれる」という用語は、「含まれるものとして記載されたものに限定されない」と解釈されるべきである。「有する」という用語は、「有するものとして記載されたものに限定されない」と解釈されるべきである。また、本明細書及び添付の特許請求の範囲に記載される修飾句「１つの」は、「少なくとも１つ」又は「１又はそれ以上」を意味すると解釈されるべきである。
【符号の説明】
【０１２１】
７Ａ，７Ｂ，７Ｃ，７Ｄ，７Ｅ…ターゲット供給装置、７０１Ａ，７０１Ｂ，７０１Ｃ，７０１Ｄ，７０１Ｅ…第１突起部、７０２Ａ，７０２Ｂ，７０２Ｃ，７０２Ｄ，７０２Ｅ…第２突起部、７１１Ａ…タンク、７１２Ａ…ノズル、７５１Ａ，７５１Ｂ，７５１Ｃ…第１電極、７５２Ａ，７５２Ｂ，７５２Ｃ，７５２Ｄ，７５２Ｅ…第２電極、７５３Ａ…第３電極、７５４Ａ，７５４Ｂ，７５４Ｃ…固定部、７６０Ａ，７６０Ｂ，７６０Ｃ…第１板状部、７６１Ａ，７６１Ｂ，７６１Ｃ…第１筒状部、７６２Ａ，７７１Ｂ，７７１Ｃ…第２筒状部、７６３Ａ，７６３Ｂ，７６３Ｃ…第１貫通孔、７７０Ａ，７７０Ｂ，７７０Ｃ，７７３Ｄ，７７３Ｅ…第２板状部、７７１Ａ，７７２Ｂ，７７２Ｄ…第３筒状部、７７２Ａ，７７３Ｂ，７７３Ｃ，７７６Ｄ，７７６Ｅ…第２貫通孔、７９０Ａ，７９０Ｂ…第１固定部材、７９１Ａ，７９１Ｂ…第２固定部材、７９２Ｂ，７９２Ｃ…嵌合孔。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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