(57)【要約】【課題】残留歪みの増加を抑制して、長期に渡って圧電素子の変位量の低下を抑制した信頼性の高い液体噴射ヘッド、液体噴射装置及びアクチュエーター装置を提供する。【解決手段】液体を吐出するノズル開口２１に連通する圧力発生室１２が設けられた流路形成基板１０と、該流路形成基板１０の一方面側に設けられた振動板５０、及び該振動板５０上に形成された複数の圧電素子３００を備えたアクチュエーター装置と、を具備し、前記アクチュエーター装置は、少なくとも一方向における前記圧力発生室１２の端部に相対向する位置に配置された２つの第１圧電素子３０１と、該第１圧電素子３０１の間に配置された第２圧電素子３０２と、を具備する。【選択図】      図３
2014172342.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出するノズル開口に連通する圧力発生室が設けられた流路形成基板と、
該流路形成基板の一方面側に設けられた振動板、及び該振動板上に形成された複数の圧電素子を備えたアクチュエーター装置と、を具備し、
前記アクチュエーター装置は、少なくとも一方向における前記圧力発生室の端部に相対向する位置に配置された２つの第１圧電素子と、
該第１圧電素子の間に配置された第２圧電素子と、を具備することを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
前記一方向が、前記ノズル開口の並設方向であることを特徴とする請求項１記載の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
前記一方向に直交する方向の前記圧力発生室の端部に相対向する領域には、第１圧電素子が設けられていることを特徴とする請求項１又は２記載の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
請求項１〜３の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
【請求項５】
前記第１圧電素子と前記第２圧電素子とに異なる駆動信号を供給する制御装置を具備することを特徴とする請求項４記載の液体噴射装置。
【請求項６】
空間部の一方面を画成する振動板と、該振動板上に形成された複数の圧電素子を備えたアクチュエーター装置であって、
少なくとも一方向における前記空間部の端部に相対向する位置に配置された２つの第１圧電素子と、
該第１圧電素子の間に配置された第２圧電素子と、を具備することを特徴とするアクチュエーター装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズル開口から液体を噴射する液体噴射ヘッド、液体噴射装置及びアクチュエーター装置に関し、特に液体としてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射ヘッド等に用いられる圧電素子は、電気機械変換機能を呈する圧電材料、例えば、結晶化した誘電材料からなる圧電体層を、２つの電極で挟んで構成されたものがある。なお、液体噴射ヘッドの代表例としては、例えば、インク滴を吐出するノズル開口と連通する圧力発生室の一部を振動板で構成し、この振動板を圧電素子により変形させて圧力発生室のインクを加圧してノズル開口からインク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッド等がある（特許文献１及び２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第３３８７３８０号公報
【特許文献２】特開平１１−１２９４６８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、圧電素子は、駆動初期の変位量に比べて、繰り返し駆動した際に圧電体層の結晶構造が変化し、変位量が低下してしまうという問題がある。
【０００５】
なお、このような問題は、インク以外の液体を吐出する液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。また、液体噴射ヘッドに搭載されるアクチュエーター装置に限定されず、他のデバイスに用いられるアクチュエーター装置においても同様に存在する。
【０００６】
本発明はこのような事情に鑑み、残留歪みの増加を抑制して、長期に渡って圧電素子の変位量の低下を抑制した信頼性の高い液体噴射ヘッド、液体噴射装置及びアクチュエーター装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決する本発明の態様は、液体を吐出するノズル開口に連通する圧力発生室が設けられた流路形成基板と、該流路形成基板の一方面側に設けられた振動板、及び該振動板上に形成された複数の圧電素子を備えたアクチュエーター装置と、を具備し、前記アクチュエーター装置は、少なくとも一方向における前記圧力発生室の端部に相対向する位置に配置された２つの第１圧電素子と、該第１圧電素子の間に配置された第２圧電素子と、を具備することを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、第１圧電素子と第２圧電素子とで互いに残留歪みの増大を阻害し合うため、繰り返し駆動による残留歪みの増大を抑制して、変位量の低下を抑制することができる。
【０００８】
ここで、前記一方向が、前記ノズル開口の並設方向であることが好ましい。これによれば、第１圧電素子と第２圧電素子とで振動板を効率よく変形させることができる。
【０００９】
また、前記一方向に直交する方向の前記圧力発生室の端部に相対向する領域には、第１圧電素子が設けられていてもよい。
【００１０】
また、本発明の他の態様は、上記態様の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、長期に渡って液体の吐出特性の変化を抑制して、信頼性を向上した液体噴射装置を実現できる。
【００１１】
また、前記第１圧電素子と前記第２圧電素子とに異なる駆動信号を供給する制御装置を具備することが好ましい。これによれば、第１圧電素子と第２圧電素子とを異なるタイミングで駆動して、液体の吐出に最適な駆動を行わせることができる。
【００１２】
さらに本発明の他の態様は、空間部の一方面を画成する振動板と、該振動板上に形成された複数の圧電素子を備えたアクチュエーター装置であって、少なくとも一方向における前記空間部の端部に相対向する位置に配置された２つの第１圧電素子と、該第１圧電素子の間に配置された第２圧電素子と、を具備することを特徴とするアクチュエーター装置にある。
かかる態様では、第１圧電素子と第２圧電素子とで互いに残留歪みの増大を阻害し合うため、繰り返し駆動による残留歪みの増大を抑制して、変位量の低下を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】実施形態１に係る記録ヘッドの分解斜視図である。
【図２】実施形態１に係る記録ヘッドの要部平面図及び断面図である。
【図３】実施形態１に係る記録ヘッドの要部断面図である。
【図４】実施形態１に係る記録装置の概略斜視図である。
【図５】実施形態１に係る制御構成を示すブロック図である。
【図６】実施形態１に係る駆動信号を示す駆動波形である。
【図７】実施形態１に係る駆動信号の変形例を示す駆動波形である。
【図８】実施形態１に係る駆動信号の変形例を示す駆動波形である。
【図９】他の実施形態に係る記録ヘッドを示す要部平面図及び断面図である。
【図１０】他の実施形態に係る記録ヘッドを示す要部平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図であり、図２は、流路形成基板の圧電素子側の平面図及びそのＡ−Ａ′線に準ずる断面図であり、図３は、図２（ｂ）のＢ−Ｂ′線断面図である。
【００１５】
図示するように、本実施形態の液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドＩが備える流路形成基板１０は、本実施形態では、例えば、シリコン単結晶基板からなる。この流路形成基板１０には、複数の隔壁１１によって区画された圧力発生室１２が同じ色のインクを吐出する複数のノズル開口２１が並設される方向に沿って並設されている。以降、この方向を圧力発生室１２の並設方向、又は第１の方向Ｘと称する。また、この第１の方向Ｘと直交する方向を、以降、第２の方向Ｙと称する。
【００１６】
また、流路形成基板１０の圧力発生室１２の長手方向の一端部側、すなわち第１の方向Ｘに直交する第２の方向Ｙの一端部側には、圧力発生室１２を両側（第２の方向Ｙ）から絞ることで開口面積を小さくしたインク供給路１３と圧力発生室１２と略同じ幅（第２の方向Ｙ）を有する連通路１４とが複数の隔壁１１によって区画されている。連通路１４の外側（第２の方向Ｙにおいて圧力発生室１２とは反対側）には、各圧力発生室１２の共通のインク室（液体室）となるマニホールド１００の一部を構成する連通部１５が形成されている。すなわち、流路形成基板１０には、圧力発生室１２、インク供給路１３、連通路１４及び連通部１５からなる液体流路が設けられている。
【００１７】
流路形成基板１０の一方面側、すなわち圧力発生室１２等の液体流路が開口する面には、各圧力発生室１２に連通するノズル開口２１が穿設されたノズルプレート２０が、接着剤や熱溶着フィルム等によって接合されている。すなわち、ノズルプレート２０には、第１の方向Ｘにノズル開口２１が並設されている。
【００１８】
流路形成基板１０の他方面側には、振動板５０が形成されている。本実施形態では、振動板５０として、流路形成基板１０側に設けられた酸化シリコンからなる弾性膜５１と、弾性膜５１上に設けられた酸化ジルコニウムからなる絶縁体膜５２と、を設けるようにした。なお、圧力発生室１２等の液体流路は、流路形成基板１０を一方面側（ノズルプレート２０が接合された面側）から異方性エッチングすることにより形成されており、圧力発生室１２等の液体流路の他方面は、弾性膜５１によって画成されている。
【００１９】
ここで、振動板５０（積層膜の場合、電極形成側）は絶縁体であること、かつ圧電体層７０の形成時の温度（一般に５００℃以上）に耐えうることが必須であるほか、シリコンウェハーを流路形成基板１０に用いて、且つ圧力発生室１２等の流路を形成する際に、ＫＯＨ（水酸化カリウム）による異方性エッチングを用いる場合、振動板（積層の場合、シリコンウェハー側）はエッチングストップ層として機能することが必要である。また、振動板５０の一部に二酸化シリコンを使用した場合、圧電体層７０に含まれる鉛やビスマスなどが二酸化シリコンに拡散すると、二酸化シリコンが変質し、上層の電極や圧電体層７０が剥離する。このため、二酸化シリコンへの拡散防止層も必要となる。
【００２０】
二酸化シリコンと酸化ジルコニウムとを積層した振動板５０は、それぞれの材料が圧電体層７０を形成する際の温度に耐えて且つ、二酸化シリコンが絶縁層とエッチングストップ層を、酸化ジルコニウムが絶縁層と拡散防止層として機能するため、最も好適である。本実施形態では、この弾性膜５１及び絶縁体膜５２によって振動板５０が形成されるが、振動板５０として、弾性膜５１及び絶縁体膜５２の何れか一方のみを設けるようにしてもよい。更に流路形成基板１０の一部を薄化加工して振動板として使うことも可能である。
【００２１】
また、絶縁体膜５２上には、第１電極６０と、圧電体層７０と、第２電極８０とを有する圧電素子３００が形成されている。
【００２２】
具体的には、圧電素子３００は、第１の方向Ｘにおいて圧力発生室１２の端部に相対向する位置に設けられた２つの第１圧電素子３０１と、第１圧電素子３０１の間に設けられた第２圧電素子３０２と、を具備する。すなわち、１つの圧力発生室１２に対して、３つの圧電素子が形成されている。なお、以降、第１圧電素子３０１及び第２圧電素子３０２の総称として圧電素子３００とも言う。
【００２３】
ここで、第１圧電素子３０１は、第１の方向Ｘにおいて、圧力発生室１２の端部、つまり、圧力発生室１２とその隔壁１１との境界に跨って設けられている。
【００２４】
また、第２圧電素子３０２は、圧力発生室１２に相対向するように、すなわち、隔壁１１上には設けられておらず、圧力発生室１２の中央部に設けられている。
【００２５】
なお、本実施形態では、振動板５０と、圧力発生室１２毎に設けられた２つの第１圧電素子３０１と、この２つの第１圧電素子３０１の間に設けられた第２圧電素子３０２と、によってアクチュエーター装置が構成されている。
【００２６】
また、圧電素子３００は、一般的には何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極を各圧力発生室１２毎又は第１圧電素子３０１毎や第２圧電素子３０２毎にパターニングして個別電極とする。そして、ここではパターニングされた何れか一方の電極及び圧電体層７０から構成され、両電極への電圧の印加により圧電歪みが生じる部分を能動部３２０という。
【００２７】
本実施形態では、第１電極６０を共通電極とし、第２電極８０を個別電極としているが、駆動回路や配線の都合でこれを逆にしても支障はない。ちなみに、本実施形態では、第１電極６０を複数の第１圧電素子３０１及び複数の第２圧電素子３０２に亘って連続して形成することで、共通電極としている。もちろん、第１電極６０は、これに限定されず、例えば、複数の第１圧電素子３０１に亘って連続して設けた第１圧電素子３０１専用の共通電極と、複数の第２圧電素子３０２に亘って連続して設けた第２圧電素子３０２専用の共通電極と、の２つの電極としてもよい。また、第２電極８０は、各第１圧電素子３０１及び各第２圧電素子３０２毎に独立して設けられているが、特にこれに限定されず、例えば、２つの第１圧電素子の第２電極８０を電気的に連続するように設けてもよい。
【００２８】
このような圧電素子３００に用いられる圧電体層７０としては、第１電極６０上に形成される分極構造を有する酸化物の圧電材料からなり、例えば、一般式ＡＢＯ３で示されるペロブスカイト型酸化物からなることができ、Ａは、鉛を含み、Ｂは、ジルコニウムおよびチタンのうちの少なくとも一方を含むことができる。前記Ｂは、例えば、さらに、ニオブを含むことができる。具体的には、圧電体層７０としては、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ３：ＰＺＴ）、シリコンを含むニオブ酸チタン酸ジルコン酸鉛（Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ，Ｎｂ）Ｏ３：ＰＺＴＮＳ）などを用いることができる。
【００２９】
また、圧電体層７０は、鉛を含まない非鉛系圧電材料、例えば、鉄酸ビスマスや鉄酸マンガン酸ビスマスと、チタン酸バリウムやチタン酸ビスマスカリウムとを含むペロブスカイト構造を有する複合酸化物などとしてもよい。
【００３０】
さらに、このような圧電素子３００の個別電極である各第２電極８０には、インク供給路１３側の端部近傍から引き出され、絶縁体膜５２上にまで延設される、例えば、金（Ａｕ）等からなるリード電極９０が接続されている。
【００３１】
このような圧電素子３００が形成された流路形成基板１０上、すなわち、振動板５０、第１電極６０及びリード電極９０上には、マニホールド１００の少なくとも一部を構成するマニホールド部３１を有する保護基板３０が接着剤３５を介して接合されている。このマニホールド部３１は、本実施形態では、保護基板３０を厚さ方向に貫通して圧力発生室１２の幅方向に亘って形成されており、上述のように流路形成基板１０の連通部１５と連通されて各圧力発生室１２の共通のインク室となるマニホールド１００を構成している。また、流路形成基板１０の連通部１５を圧力発生室１２毎に複数に分割して、マニホールド部３１のみをマニホールドとしてもよい。さらに、例えば、流路形成基板１０に圧力発生室１２のみを設け、流路形成基板１０と保護基板３０との間に介在する弾性膜５１及び絶縁体膜５２にマニホールドと各圧力発生室１２とを連通するインク供給路１３を設けるようにしてもよい。
【００３２】
保護基板３０には、圧電素子３００に対向する領域に、圧電素子３００の運動を阻害しない程度の空間を有する圧電アクチュエーター保持部３２が設けられている。なお、圧電アクチュエーター保持部３２は、圧電素子３００の運動を阻害しない程度の空間を有していればよく、当該空間は密封されていても、密封されていなくてもよい。
【００３３】
また、保護基板３０には、保護基板３０を厚さ方向に貫通する貫通孔３３が設けられている。そして、各圧電素子３００から引き出されたリード電極９０の端部近傍は、貫通孔３３内に露出するように設けられている。
【００３４】
また、保護基板３０上には、信号処理部として機能する駆動回路１２０が固定されている。駆動回路１２０としては、例えば、回路基板や半導体集積回路（ＩＣ）等を用いることができる。そして、駆動回路１２０とリード電極９０とは、貫通孔３３を挿通させたボンディングワイヤー等の導電性ワイヤーからなる接続配線１２１を介して電気的に接続されている。
【００３５】
保護基板３０としては、流路形成基板１０の熱膨張率と略同一の材料、例えば、ガラス、セラミック材料等を用いることが好ましく、本実施形態では、流路形成基板１０と同一材料のシリコン単結晶基板を用いて形成した。
【００３６】
また、保護基板３０上には、封止膜４１及び固定板４２とからなるコンプライアンス基板４０が接合されている。ここで、封止膜４１は、剛性が低く可撓性を有する材料、例えば、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）フィルムからなり、この封止膜４１によってマニホールド部３１の一方面が封止されている。また、固定板４２は、金属等の硬質の材料、例えば、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等で形成される。この固定板４２のマニホールド１００に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部４３となっているため、マニホールド１００の一方面は可撓性を有する封止膜４１のみで封止されている。
【００３７】
このような本実施形態のインクジェット式記録ヘッドＩでは、図示しない外部インク供給手段と接続したインク導入口からインクを取り込み、マニホールド１００からノズル開口２１に至るまで内部をインクで満たした後、駆動回路１２０からの記録信号に従い、圧力発生室１２に対応する第１圧電素子３０１及び第２圧電素子３０２を駆動することによって振動板５０を撓み変形させることにより、各圧力発生室１２内の圧力が高まりノズル開口２１からインク滴が吐出する。
【００３８】
ここで、このような本実施形態のインクジェット式記録ヘッドＩは、カートリッジ等と連通するインク流路を具備するヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置に搭載される。図４は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。
【００３９】
図４に示すように、インクジェット式記録ヘッドＩを有するヘッドユニット１は、インク供給手段を構成するカートリッジ２が着脱可能に設けられ、このヘッドユニット１を搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。このヘッドユニット１は、例えば、ブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。
【００４０】
そして、駆動モーター６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、ヘッドユニット１を搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４にはキャリッジ軸５に沿ってプラテン８が設けられており、図示しない給紙ローラーなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートＳがプラテン８に巻き掛けられて搬送されるようになっている。
【００４１】
また、インクジェット式記録装置ＩＩには、インクジェット式記録ヘッドＩの駆動を制御する制御装置（プリンターコントローラー）５００が搭載されている。
【００４２】
ここで、このようなインクジェット式記録ヘッドＩの駆動を制御する制御構成について図５を参照して説明する。なお、図５は、インクジェット式記録ヘッドの制御構成を示すブロック図である。
【００４３】
インクジェット式記録装置ＩＩは、図５に示すように、プリンターコントローラー５００とプリントエンジン６００とから概略構成されている。プリンターコントローラー５００は、外部インターフェース５０１（以下、外部Ｉ／Ｆ５０１という）と、各種データを一時的に記憶するＲＡＭ５０２と、制御プログラム等を記憶したＲＯＭ５０３と、ＣＰＵ等を含んで構成した制御部５０４と、クロック信号を発生する発振回路５０５と、インクジェット式記録ヘッドＩへ供給するための駆動信号を発生する駆動信号発生回路５０６と、駆動信号や印刷データに基づいて展開されたドットパターンデータ（ビットマップデータ）等をプリントエンジン６００に送信する内部インターフェース５０７（以下、内部Ｉ／Ｆ５０７という）と、を備えている。
【００４４】
外部Ｉ／Ｆ５０１は、例えば、キャラクタコード、グラフィック関数、イメージデータ等によって構成される印刷データを、図示しないホストコンピューター等から受信する。また、この外部Ｉ／Ｆ５０１を通じてビジー信号（ＢＵＳＹ）やアクノレッジ信号（ＡＣＫ）が、ホストコンピュータ等に対して出力される。ＲＡＭ５０２は、受信バッファー５０８、中間バッファー５０９、出力バッファー５１０、及び、図示しないワークメモリーとして機能する。そして、受信バッファー５０８は外部Ｉ／Ｆ５０１によって受信された印刷データを一時的に記憶し、中間バッファー５０９は制御部５０４が変換した中間コードデータを記憶し、出力バッファー５１０はドットパターンデータを記憶する。なお、このドットパターンデータは、階調データをデコード（翻訳）することにより得られる印字データによって構成してある。
【００４５】
また、ＲＯＭ５０３には、各種データ処理を行わせるための制御プログラム（制御ルーチン）の他に、フォントデータ、グラフィック関数等を記憶させてある。制御部５０４は、受信バッファー５０８内の印刷データを読み出すと共に、この印刷データを変換して得た中間コードデータを中間バッファー５０９に記憶させる。また、中間バッファー５０９から読み出した中間コードデータを解析し、ＲＯＭ５０３に記憶させているフォントデータ及びグラフィック関数等を参照して、中間コードデータをドットパターンデータに展開する。そして、制御部５０４は、必要な装飾処理を施した後に、この展開したドットパターンデータを出力バッファー５１０に記憶させる。
【００４６】
そして、インクジェット式記録ヘッドＩの１行分に相当するドットパターンデータが得られたならば、この１行分のドットパターンデータは、内部Ｉ／Ｆ５０７を通じてインクジェット式記録ヘッドＩに出力される。また、出力バッファー５１０から１行分のドットパターンデータが出力されると、展開済みの中間コードデータは中間バッファー５０８から消去され、次の中間コードデータについての展開処理が行われる。
【００４７】
また、駆動信号発生回路５０６は、詳しくは後述するが、本実施形態では、２つの駆動信号、すなわち、第１駆動信号（ＣＯＭ１）と第２駆動信号（ＣＯＭ２）とを生成する。
【００４８】
プリントエンジン６００は、インクジェット式記録ヘッドＩと、紙送り機構６０１と、キャリッジ機構６０２とを含んで構成してある。紙送り機構６０１は、紙送りモーターとプラテン８（図４参照）等から構成してあり、被記録媒体である記録シートＳをインクジェット式記録ヘッドＩの記録動作に連動させて順次送り出す。即ち、この紙送り機構６０１は、記録シートＳをインクジェット式記録ヘッドＩに対して副走査方向に相対移動させる。
【００４９】
キャリッジ機構６０２は、インクジェット式記録ヘッドＩを搭載可能なキャリッジ３と、このキャリッジ３を主走査方向に沿って走行させるキャリッジ駆動部とから構成してあり、キャリッジ３を走行させることによりインクジェット式記録ヘッドＩを主走査方向に移動させる。なお、キャリッジ駆動部は、上述した駆動モーター６及びタイミングベルト７（図４参照）等で構成されている。
【００５０】
インクジェット式記録ヘッドＩは、副走査方向に沿って多数のノズル開口２１を有し、ドットパターンデータ等によって規定されるタイミングで各ノズル開口２１から液滴を吐出する。そして、このようなインクジェット式記録ヘッドＩの圧電素子３００には、図示しない外部配線を介して電気信号、例えば、後述する駆動信号（ＣＯＭ１及びＣＯＭ２）や印字データ（ＳＩ）等が供給される。なお、このように構成されるプリンターコントローラー５００及びプリントエンジン６００では、プリンターコントローラー５００と、駆動信号発生回路５０６から出力された所定の駆動波形を有する駆動信号を選択的に圧電素子３００に入力するシフトレジスター１２２、ラッチ１２３、レベルシフター１２４及びスイッチ１２５等を有する駆動回路１２０とが圧電素子３００に所定の駆動信号を印加する駆動手段となる。
【００５１】
なお、これらのシフトレジスター１２２、ラッチ１２３、レベルシフター１２４、スイッチ１２５及び圧電素子３００は、それぞれ、インクジェット式記録ヘッドＩの各ノズル開口２１毎に設けられており、これらのシフトレジスター１２２、ラッチ１２３、レベルシフター１２４及びスイッチ１２５は、駆動信号発生回路５０６が発生した吐出駆動信号や緩和駆動信号から駆動パルスを生成する。ここで、駆動パルスとは実際に圧電素子３００に印加される印加パルスのことである。
【００５２】
このようなインクジェット式記録ヘッドＩでは、最初に発振回路５０５からのクロック信号（ＣＫ）に同期して、ドットパターンデータを構成する印字データ（ＳＩ）が出力バッファー５１０からシフトレジスター１２２へシリアル伝送され、順次セットされる。この場合、まず、全ノズル開口２１の印字データにおける最上位ビットのデータがシリアル伝送され、この最上位ビットのデータシリアル伝送が終了したならば、上位から２番目のビットのデータがシリアル伝送される。以下同様に、下位ビットのデータが順次シリアル伝送される。
【００５３】
そして、当該ビットの印字データが全ノズル分が各シフトレジスター１２２にセットされたならば、制御部５０４は、所定のタイミングでラッチ１２３へラッチ信号（ＬＡＴ）を出力させる。このラッチ信号により、ラッチ１２３は、シフトレジスター１２２にセットされた印字データをラッチする。このラッチ１２３がラッチした印字データ（ＬＡＴｏｕｔ）は、電圧増幅器であるレベルシフター１２４に印加される。このレベルシフター１２４は、印字データが例えば「１」の場合に、スイッチ１２５が駆動可能な電圧値、例えば、数十ボルトまでこの印字データを昇圧する。そして、この昇圧された印字データは各スイッチ１２５に印加され、各スイッチ１２５は、当該印字データにより接続状態になる。
【００５４】
そして、各スイッチ１２５には、駆動信号発生回路５０６が発生した駆動信号（ＣＯＭ１、ＣＯＭ２）も印加されており、スイッチ１２５が選択的に接続状態になると、このスイッチ１２５に接続された圧電素子３００に選択的に駆動信号が印加される。このように、例示したインクジェット式記録ヘッドＩでは、印字データによって圧電素子３００に吐出駆動信号を印加するか否かを制御することができる。例えば、印字データが「１」の期間においてはラッチ信号（ＬＡＴ）によりスイッチ１２５が接続状態となるので、駆動信号（ＣＯＭｏｕｔ）を圧電素子３００に供給することができ、この供給された駆動信号（ＣＯＭｏｕｔ）により圧電素子３００が変位（変形）する。また、印字データが「０」の期間においてはスイッチ１２５が非接続状態となるので、圧電素子３００への駆動信号の供給は遮断される。なお、この印字データが「０」の期間において、各圧電素子３００は直前の電位を保持するので、直前の変位状態が維持される。
【００５５】
ここで、圧電素子３００に入力される本実施形態の駆動信号（ＣＯＭ）を表す駆動波形について説明する。なお、図６は、本実施形態の駆動信号を示す駆動波形である。
【００５６】
本実施形態では、圧電素子３００として、第１圧電素子３０１と、第２圧電素子３０２とが設けられており、第１圧電素子３０１には、第１駆動信号（ＣＯＭ１）が入力され、第２圧電素子３０２には第２駆動信号（ＣＯＭ２）が入力される。
【００５７】
これらＣＯＭ１及びＣＯＭ２は、図６に示すようなパルス波形であり、第１圧電素子３０１と第２圧電素子３０２とに異なるタイミングで印加される。
【００５８】
具体的には、第１駆動信号（ＣＯＭ１）は、第１圧電素子３０１の個別電極である第２電極８０に印加されるものであり、ＣＯＭ１は、図６（ａ）に示すように、１記録周期Ｔで発生する吐出パルスを具備する。このＣＯＭ１の吐出パルスは、基準電位Ｖ０から第１電位Ｖ１まで上昇させて圧力発生室１２を膨張させる第１膨張要素Ｐ０１と、第１電位Ｖ１を一定時間維持する第１ホールド要素Ｐ０２と、第１電位Ｖ１から基準電位Ｖ０まで降下させて圧力発生室１２を収縮させる第１圧縮要素Ｐ０３と、を具備する。
【００５９】
すなわち、第１圧電素子３０１は、図３に示すように、隔壁１１と圧力発生室１２とに跨って設けられているため、電圧が印加されると、振動板５０がノズルプレート２０とは反対側に凸となるように変形する。
【００６０】
一方、第２駆動信号（ＣＯＭ２）は、第２圧電素子３０２の個別電極である第２電極８０に印加されるものであり、ＣＯＭ２は、図６（ｂ）に示すように、１記録周期Ｔで発生する吐出パルスを具備する。このＣＯＭ２の吐出パルスは、基準電位Ｖ０から第１電位Ｖ１まで上昇させて圧力発生室１２を収縮させる第２圧縮要素Ｐ１１と、第１電位Ｖ１を一定時間維持する第２ホールド要素Ｐ１２と、第１電位Ｖ１から基準電位Ｖ０まで降下させて圧力発生室を膨張させる第２膨張要素Ｐ１３と、を具備する。
【００６１】
すなわち、第２圧電素子３０２は、圧力発生室１２に相対向する領域に設けられているため、電圧が印加されると、第１圧電素子３０１とは反対側に、つまり、振動板５０がノズルプレート２０側に凸となるように変形する。
【００６２】
そして、このようなＣＯＭ１及びＣＯＭ２がそれぞれ第１圧電素子３０１及び第２圧電素子３０２に印加されると、ＣＯＭ１の第１膨張要素Ｐ０１によって圧力発生室１２が膨張して、ノズル開口２１内のメニスカスが圧力発生室１２側に引き込まれる。次に、第１圧縮要素Ｐ０３によって圧力発生室１２が収縮すると共にＣＯＭ２の第２圧縮要素Ｐ１１によって圧力発生室１２が収縮する。この第１圧縮要素Ｐ０３及び第２圧縮要素Ｐ１１によって圧力発生室１２内のインクが加圧されてノズル開口２１内のメニスカスが圧力発生室１２側から大きく押し出され、ノズル開口２１からインクがインク滴として吐出される。その後、ＣＯＭ２の第２膨張要素Ｐ１３によって圧力発生室１２が基準容積まで復帰する。
【００６３】
このようにＣＯＭ２の第２圧縮要素Ｐ１１が印加されるタイミングは、ＣＯＭ１の第１圧縮要素Ｐ０３が印加されるタイミングと同じとなっている。つまり、第１圧電素子３０１が圧力発生室１２の容積を収縮するのと同時に、第２圧電素子３０２が圧力発生室１２の容積を収縮することで、圧力発生室１２の容積を急激に減少させると共に、その減少量（排除体積）を大きくすることができる。すなわち、第１圧電素子３０１及び第２圧電素子３０２の何れか一方のみを使用してインク滴を吐出する場合に比べて、第１圧電素子３０１及び第２圧電素子３０２の両方の圧電歪みを利用してインク滴を吐出させることで、比較的低い電圧で圧力発生室１２の容積の減少量（排除体積）や単位時間当たりの減少率を大きくして、インク滴の吐出特性を向上することができる。
【００６４】
また、一般的に圧電素子は、繰り返し駆動を行うことによって結晶構造が変化し、変位量が低下してしまう。このような圧電素子の繰り返し駆動による変位低下の主要因は、残留歪みの増加（残留分極の増加、たわみ量の増加）に起因する。なお、残留歪みとは、圧電素子（圧電体層）に印加していた電界を解除した際に、圧電体層が脱分極されずに残留する歪み（変位量）のことである。
【００６５】
しかしながら、本実施形態では、第１圧電素子３０１の残留歪みの方向、つまり残留歪みによって変形する方向は、ノズルプレート２０とは反対側に凸となる方向であるのに対し、第２圧電素子３０２の残留歪みの方向、つまり残留歪みによって変形する方向は、ノズルプレート２０側に凸となる方向であり、第１圧電素子３０１と第２圧電素子３０２とは残留歪みによって変形する方向が互いに反転する方向となっている。このように第１圧電素子３０１と第２圧電素子３０２とは、互いに残留歪みによる変形を阻害し合う関係となるため、第１圧電素子３０１と第２圧電素子３０２とは互いに残留歪みの増加を抑制し合って、繰り返し駆動に伴う変位低下を抑制することができる。
【００６６】
ちなみに、第１圧電素子３０１のみを設けた場合には、繰り返し駆動を行うことによって振動板５０がノズルプレート２０とは反対側に凸となる残留歪みが生じ、変位低下が生じる。同様に、第２圧電素子３０２のみを設けた場合には、繰り返し駆動を行うことによって振動板５０がノズルプレート２０側に凸となる残留歪みが生じ、変位低下が生じる。
【００６７】
本実施形態では、第１圧電素子３０１と第２圧電素子３０２とが互いに残留歪みを阻害し合うため、第１圧電素子３０１及び第２圧電素子３０２の残留歪みが増大し難く、繰り返し駆動によって変位量が低下するのを抑制することができる。
【００６８】
また、本実施形態では、第１圧電素子３０１に電圧を印加した際に第２圧電素子３０２に電圧を印加せず、第２圧電素子３０２に電圧を印加した際に第１圧電素子３０１に電圧を印加しないようにした。このため、第１圧電素子３０１により変形する方向は、ノズルプレート２０とは反対側に凸となる方向であるのに対し、第２圧電素子３０２の残留歪みの方向、つまり残留歪によって変形する方向は、ノズルプレート２０側に凸となる方向であり、第１圧電素子３０１と第２圧電素子３０２とは駆動により変形する方向と残留歪みによって変形する方向が互いに反転する方向となっている。このように第１圧電素子３０１と第２圧電素子３０２とは、互いに駆動による変形が他方の残留歪みによる変形を阻害し合う関係となるため、第１圧電素子３０１と第２圧電素子３０２とは互いに残留歪みの増加を抑制し合って、繰り返し駆動に伴う変位低下を抑制することができる。
【００６９】
このように、第１圧電素子３０１と第２圧電素子３０２とを設け、これらを駆動してインク滴を吐出させることで、第１圧電素子３０１と第２圧電素子３０２との残留歪みが増大するのを抑制して、繰り返し駆動による変位低下を抑えることができる。したがって、長期に渡ってインク滴の吐出特性に変化が生じ難く、信頼性を向上することができる。
【００７０】
なお、本実施形態では、第１駆動信号（ＣＯＭ１）及び第２駆動信号（ＣＯＭ２）としてパルス波形を例示したが、特にこれに限定されるものではない。ここで、駆動信号の変形例について図７を参照して説明する。
【００７１】
第１駆動信号（ＣＯＭ１）は、第１圧電素子３０１の個別電極である第２電極８０に印加されるものであり、ＣＯＭ１は、図７（ａ）に示すように、１記録周期Ｔで発生する吐出パルスを具備する。このＣＯＭ１の吐出パルスは、中間電位ＶＭを維持した状態から第１電位Ｖ１まで上昇させて圧力発生室１２を膨張させる第１膨張要素Ｐ２１と、第１電位Ｖ１を一定時間維持する第１ホールド要素Ｐ２２と、第１電位Ｖ１から第２電位Ｖ２まで降下させて圧力発生室１２を収縮させる第１圧縮要素Ｐ２３と、第２電位Ｖ２を一定時間維持する第２ホールド要素Ｐ２４と、第２電位Ｖ２から中間電位ＶＭまで上昇させて圧力発生室１２を膨張させる第２膨張要素Ｐ２５と、を具備する。なお、ＣＯＭ１の第２電位Ｖ２は、第１圧電素子３０１の抗電界が好ましい。
【００７２】
一方、第２駆動信号（ＣＯＭ２）は、第２圧電素子３０２の個別電極である第２電極８０に印加されるものであり、ＣＯＭ２は、図７（ｂ）に示すように、１記録周期Ｔで発生する吐出パルスを具備する。このＣＯＭ２の吐出パルスは、第２電位Ｖ２を維持した状態から第１電位Ｖ１まで上昇させて圧力発生室１２を収縮させる圧縮要素Ｐ３１と、第１電位Ｖ１を維持するホールド要素Ｐ３２と、第１電位Ｖ１から第２電位Ｖ２まで降下させて圧力発生室１２を膨張させる膨張要素Ｐ３３と、を具備する。なお、ＣＯＭ２の第１電位Ｖ１は、上述したＣＯＭ１の第１電位Ｖ１と同じ電位であるのが好ましい。また、ＣＯＭ２の第２電位Ｖ２は、第２圧電素子３０２の抗電界であるのが好ましい。
【００７３】
そして、ＣＯＭ２の圧縮要素Ｐ３１、ホールド要素Ｐ３２、膨張要素Ｐ３３は、ＣＯＭ１の第２ホールド要素Ｐ２４の間に行われるようになっている。すなわち、一方の駆動信号が圧電素子３００に抗電界（第２電位Ｖ２）を印加しているときのみに、他方の駆動信号は圧電素子に最大の電界（第１電位Ｖ１）を印加するようになっている。このように各圧電素子３００に電界を印加することで、圧電素子３００の歪みを最大限利用して、インク滴の吐出に利用することができると共に、残留歪みの増大を抑制することができる。なお、上述した例では、ＣＯＭ２の圧縮要素Ｐ３１、ホールド要素Ｐ３２、膨張要素Ｐ３３は、ＣＯＭ１の第２ホールド要素Ｐ２４の間に行われるようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、ＣＯＭ２の膨張要素Ｐ３３が第２電位Ｖ２に降下するタイミングと、ＣＯＭ１の第２膨張要素Ｐ２５が中間電位ＶＭに上昇するタイミングとが同じタイミングとなるようにしても特に問題はない。
【００７４】
そして、このようなＣＯＭ１及びＣＯＭ２がそれぞれ第１圧電素子３０１及び第２圧電素子３０２に出力されると、ＣＯＭ１の第１膨張要素Ｐ２１によって第１圧電素子３０１が圧力発生室１２の容積を膨張させる方向に変形して、ノズル開口２１内のメニスカスが圧力発生室１２側に引き込まれる。次いで、第１圧縮要素Ｐ２３によって、第１圧電素子３０１が圧力発生室１２の容積を収縮させる方向に変形する。次いで、ＣＯＭ２の圧縮要素Ｐ３１によって第２圧電素子３０２が圧力発生室１２の容積を収縮させる方向に変形する。つまり、ＣＯＭ１の第１圧縮要素Ｐ２３によって収縮した圧力発生室１２の容積を、ＣＯＭ２の圧縮要素Ｐ３１によってさらに収縮させる。これにより、圧力発生室１２のインクが加圧されて、ノズル開口２１内のメニスカスが圧力発生室１２側から大きく押し出され、ノズル開口２１からインクがインク滴として吐出される。その後は、ＣＯＭ２の膨張要素Ｐ３３によって圧力発生室１２の容積が、ＣＯＭ１の第１圧縮要素Ｐ２３によって収縮した状態まで復帰し、ＣＯＭ１の第２膨張要素Ｐ２５によって圧力発生室１２は、中間電位ＶＭとなる基準体積まで復帰する。
【００７５】
また、図７（ｂ）に示すＣＯＭ２と同じ波形を第１圧電素子３０１に印加するようにしてもよい。この場合の駆動信号を図８に示す。
【００７６】
第１駆動信号（ＣＯＭ１）は、第１圧電素子３０１の個別電極である第２電極８０に印加されるものであり、ＣＯＭ１は、図８（ａ）に示すように、１記録周期Ｔで発生する吐出パルスを具備する。ＣＯＭ１の吐出パルスは、第２電位Ｖ２を維持した状態から第１電位Ｖ１まで上昇させて圧力発生室１２を膨張させる膨張要素Ｐ４１と、第１電位Ｖ１を維持するホールド要素Ｐ４２と、第１電位Ｖ１から第２電位Ｖ２まで降下させて圧力発生室１２を収縮させる圧縮要素Ｐ４３と、を具備する。なお、ＣＯＭ１の第２電位Ｖ２は、第１圧電素子３０１の抗電界であるのが好ましい。
【００７７】
一方、第２駆動信号（ＣＯＭ２）は、第２圧電素子３０２の個別電極である第２電極８０に印加されるものであり、ＣＯＭ２は、図８（ｂ）に示すように、１記録周期Ｔで発生する吐出パルスを具備する。ＣＯＭ２の吐出パルスは、中間電位ＶＭを維持した状態から第２電位Ｖ２まで降下させて圧力発生室１２を膨張させる第１膨張要素Ｐ５１と、第２電位Ｖ２を一定時間維持する第１ホールド要素Ｐ５２と、第２電位Ｖ２から第１電位Ｖ１まで上昇させて圧力発生室１２を収縮させる第１圧縮要素Ｐ５３と、第１電位Ｖ１を一定時間維持する第２ホールド要素Ｐ５４と、第１電位Ｖ１から中間電位ＶＭまで降下させて圧力発生室１２を膨張させる第２膨張要素Ｐ５５と、を具備する。なお、ＣＯＭ２の第２電位Ｖ２は、第２圧電素子３０２の抗電界が好ましい。
【００７８】
そして、ＣＯＭ１の膨張要素Ｐ４１、ホールド要素Ｐ４２及び圧縮要素Ｐ４３は、ＣＯＭ２の第１ホールド要素Ｐ５２の間に行われるようになっている。すなわち、一方の駆動信号が圧電素子３００に抗電界（第２電位Ｖ２）を印加しているときのみに、他方の駆動信号は圧電素子に最大の電界（第１電位Ｖ１）を印加するようになっている。このように各圧電素子３００に電界を印加することで、圧電素子３００の歪みを最大限利用して、インク滴の吐出に利用することができると共に、残留歪みの増大を抑制することができる。
【００７９】
なお、上述した図７に示す駆動信号では、ＣＯＭ２の第２電位Ｖ２を第２圧電素子３０２の抗電界とし、図８に示す駆動信号では、ＣＯＭ１の第２電位Ｖ２を第１圧電素子３０１の抗電界としたが、特にこれに限定されず、第２電位Ｖ２を０Ｖ又は印加をオフにするようにしてもよい。この場合、マイナス電位を生成する回路が不要となって、コストを低減することができる。
【００８０】
（他の実施形態）
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。
【００８１】
例えば、上述した実施形態１では、第１の方向Ｘで第１圧電素子３０１と第２圧電素子３０２とを並設するようにしたが、特にこれに限定されない。ここで、アクチュエーター装置の他の例を図９に示す。なお、図９は、インクジェット式記録ヘッドの変形例を示す流路形成基板の平面図及びそのＣ−Ｃ′線断面図である。
【００８２】
図９に示すように、圧力発生室１２の第２の方向Ｙの両端部に相対向する位置に第１圧電素子３０１が形成されている。また、２つの第１圧電素子３０１の間に第２圧電素子３０２が形成されている。このような構成であっても、上述した実施形態１と同様に、第１圧電素子３０１と第２圧電素子３０２とが互いに残留歪みを打ち消しあう配置となるため、残留歪みの増加を抑制して、長期に渡って繰り返し駆動しても変位量が低下するのを抑制することができる。
【００８３】
また、図１０に示すように、１つの圧力発生室１２に対して、上述した実施形態１の第１の方向Ｘに並設した圧電素子３００と、図９に示す第２の方向Ｙに並設した圧電素子３００とを組み合わせるようにしてもよい。なお、図１０は、インクジェット式記録ヘッドの変形例を示す流路形成基板の平面図である。
【００８４】
すなわち、図１０に示すように、圧力発生室１２の第１の方向Ｘの両端部に相対向する領域に第１圧電素子３０１が設けられている。また、圧力発生室１２の第２の方向Ｙの両端部に相対向する領域に第１圧電素子３０１が設けられている。すなわち、１つの圧力発生室１２に対して４つの第１圧電素子３０１が形成されている。そして、これら４つの第１圧電素子３０１の間に第２圧電素子３０２が１つ形成されている。
【００８５】
このような構成によれば、圧電素子３００の駆動面積を増やして、インク吐出特性を向上することができる。
【００８６】
なお、１つの圧力発生室１２に対して設けられた複数の第１圧電素子３０１には、同時に同じ駆動信号（ＣＯＭ１）が印加されるため、個別電極である第２電極８０は、複数の第１圧電素子３０１に亘って連続して設けられていてもよい。
【００８７】
また、個別電極である第２電極８０で能動部３２０の範囲を規定すれば、第１圧電素子３０１同士だけでなく、第１圧電素子３０１と第２圧電素子３０２とで圧電体層７０を連続して設けるようにしてもよい。
【００８８】
さらに、上述した実施形態１では、第１圧電素子３０１と第２圧電素子３０２とを駆動することで、インク滴を吐出するようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、第１圧電素子３０１及び第２圧電素子３０２の何れか一方の圧電素子３００のみを使用してインク滴を吐出するようにしてもよい。この場合、他方の圧電素子３００は、インク滴の吐出とは関係ないところで、インク滴を吐出しない程度に変形させる、いわゆる微振動駆動や、非印刷領域、つまり記録シートＳに相対向しない領域でインク滴を吐出させてクリーニングを行う、いわゆるフラッシング等によって駆動すればよい。このように、第１圧電素子３０１及び第２圧電素子３０２の他方をインク滴に吐出しないようにすると、上述した実施形態１に比べて吐出特性が低下するものの、第１圧電素子３０１及び第２圧電素子３０２は互いに残留歪みの増大を阻害し合うため、繰り返し駆動による変位量の低下を抑制することができる。
【００８９】
さらに、例えば、上述した実施形態１では、酸化シリコンからなる弾性膜５１と、酸化ジルコニウムからなる絶縁体膜５２とを設けるようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、弾性膜５１として、窒化シリコン膜、ポリシリコン膜、有機膜（ポリイミド、パリレンなど）等の材料を用いるようにしてもよい。また、絶縁体膜５２としては、酸化チタン（ＴｉＯ２）、酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）、酸化ハフニウム（ＨｆＯ２）、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）、アルミン酸ランタン（ＬａＡｌＯ３）等の材料を用いるようにしてもよい。
【００９０】
また、上述した実施形態１では、ノズル開口２１からインク滴を吐出する圧力発生手段として、薄膜型の圧電素子３００を用いて説明したが、特にこれに限定されるものではなく、例えば、グリーンシートを貼付する等の方法により形成される厚膜型の圧電アクチュエーターや、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させる積層圧電アクチュエーターを用いてもよい。
【００９１】
また、上述したインクジェット式記録装置ＩＩでは、インクジェット式記録ヘッドＩ（ヘッドユニット１）がキャリッジ３に搭載されて主走査方向に移動するものを例示したが、特にこれに限定されず、例えば、インクジェット式記録ヘッドＩが固定されて、紙等の記録シートＳを副走査方向に移動させるだけで印刷を行う、所謂ライン式記録装置にも本発明を適用することができる。
【００９２】
また、上述した例では、インクジェット式記録装置ＩＩは、液体貯留手段であるカートリッジ２がキャリッジ３に搭載された構成であるが、特にこれに限定されず、例えば、インクタンク等の液体貯留手段を装置本体４に固定して、貯留手段とインクジェット式記録ヘッドＩとをチューブ等の供給管を介して接続してもよい。また、液体貯留手段がインクジェット式記録装置に搭載されていなくてもよい。
【００９３】
なお、上記実施の形態においては、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを、また液体噴射装置の一例としてインクジェット式記録装置を挙げて説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド及び液体噴射装置全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドや液体噴射装置にも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられ、かかる液体噴射ヘッドを備えた液体噴射装置にも適用できる。
【００９４】
また、本発明は、インクジェット式記録ヘッドに代表される液体噴射ヘッドに搭載されるアクチュエーター装置に限られず、超音波発信機等の超音波デバイス、超音波モーター、圧力センサー、焦電センサー等他の装置に搭載されるアクチュエーター装置にも適用することができる。
【符号の説明】
【００９５】
Ｉ  インクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッド）、  ＩＩ  インクジェット式記録装置（液体噴射装置）、  １０  流路形成基板、  １２  圧力発生室、  １３  インク供給路、  １４  連通路、  １５  連通部、  ２０  ノズルプレート、  ２１  ノズル開口、  ３０  保護基板、  ４０  コンプライアンス基板、  ５０  振動板、  ６０  第１電極、  ７０  圧電体層、  ８０  第２電極、  ９０  リード電極、  １００  マニホールド、  １２０  駆動回路、  ３００  圧電素子、  ３０１  第１圧電素子、  ３０２  第２圧電素子、  ５００  制御装置（プリンターコントローラー）、  ６００  プリントエンジン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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