(57)【要約】【課題】押圧対象物に対して均等に押圧力を付与することができる押圧装置を提供すること。【解決手段】押圧装置３は、軸線方向に第１端部４１と第２端部４２とを有し押圧対象物ＡＳを押圧可能な押圧手段４と、第１端部４１側に位置し、押圧手段４の第１端部４１側に第１押圧力を付与可能な第１押圧力付与手段５Ａと、第２端部４２側に位置し、押圧手段４の第２端部４２側に第２押圧力を付与可能な第２押圧力付与手段５Ｂと、第１端部４１と第２端部４２との間に位置し、押圧手段４の中央部に第３押圧力を付与可能な第３押圧力付与手段５Ｃとを備える。【選択図】図２
2014172232.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
押圧対象物を押圧する押圧装置であって、
軸線方向に第１端部と第２端部とを有し前記押圧対象物を押圧可能な押圧手段と、
前記第１端部側に位置し、前記押圧手段の第１端部側に第１押圧力を付与可能な第１押圧力付与手段と、
前記第２端部側に位置し、前記押圧手段の第２端部側に第２押圧力を付与可能な第２押圧力付与手段と、
前記第１端部と前記第２端部との間に位置し、前記押圧手段の中央部に第３押圧力を付与可能な第３押圧力付与手段とを備えることを特徴とする押圧装置。
【請求項２】
前記第１ないし第３押圧力付与手段は、前記押圧手段に対し、前記押圧対象物方向への力の付与と、前記押圧対象物方向の反対方向への力の付与とが可能に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の押圧装置。
【請求項３】
押圧対象物としての接着シートを被着体に押圧して貼付するシート貼付装置であって、
前記接着シートを供給する供給手段と、
前記接着シートを前記被着体に押圧する押圧装置とを備え、
前記押圧装置は、軸線方向に第１端部と第２端部とを有し前記接着シートを押圧可能な押圧手段と、前記第１端部側に位置し、前記押圧手段の第１端部側に第１押圧力を付与可能な第１押圧力付与手段と、前記第２端部側に位置し、前記押圧手段の第２端部側に第２押圧力を付与可能な第２押圧力付与手段と、前記第１端部と前記第２端部との間に位置し、前記押圧手段の中央部に第３押圧力を付与可能な第３押圧力付与手段とを備えることを特徴とするシート貼付装置。
【請求項４】
押圧対象物を押圧する押圧方法であって、
軸線方向に第１端部と第２端部とを有し前記押圧対象物を押圧可能な押圧手段を用い、前記押圧手段の第１端部側に第１押圧力を付与し、前記押圧手段の第２端部側に第２押圧力を付与し、前記押圧手段の中央部に第３押圧力を付与する工程を有することを特徴とする押圧方法。
【請求項５】
押圧対象物としての接着シートを被着体に押圧して貼付するシート貼付方法であって、
前記接着シートを供給する工程と、
軸線方向に第１端部と第２端部とを有し前記押圧対象物を押圧可能な押圧手段を用い、前記押圧手段の第１端部側に第１押圧力を付与し、前記押圧手段の第２端部側に第２押圧力を付与し、前記押圧手段の中央部に第３押圧力を付与する工程とを有することを特徴とするシート貼付方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、押圧装置および押圧方法、並びに、シート貼付装置および貼付方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体製造工程において、半導体ウェハ（以下、単に「ウェハ」という場合がある）に接着シートを貼付するシート貼付装置に設けられた押圧装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１に記載の押圧装置は、ローラ（押圧手段）の軸線方向両端（第１、第２端部）側に設けられて押圧手段を加圧制御するサーボモータ（第１、第２押圧力付与手段）の駆動を制御することで、各押圧位置で略一定の押圧力を付与するように構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−１９７５５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載のような押圧装置では、押圧手段が第１、第２端部側で付勢されるため、当該第１、第２端部側が力点、押圧対象物の両端部と押圧手段との両接点が支点となり、作用点となる押圧手段の中央部が各押圧手段の付勢方向に対して反対方向に撓んでしまい、当該中央部の押圧力が不足し、押圧対象物に対して均等に押圧力を付与できないという不都合がある。
【０００５】
本発明の目的は、押圧対象物に対して均等に押圧力を付与することができる押圧装置および押圧方法、並びに、シート貼付装置および貼付方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するために、本発明の押圧装置は、押圧対象物を押圧する押圧装置であって、軸線方向に第１端部と第２端部とを有し前記押圧対象物を押圧可能な押圧手段と、前記第１端部側に位置し、前記押圧手段の第１端部側に第１押圧力を付与可能な第１押圧力付与手段と、前記第２端部側に位置し、前記押圧手段の第２端部側に第２押圧力を付与可能な第２押圧力付与手段と、前記第１端部と前記第２端部との間に位置し、前記押圧手段の中央部に第３押圧力を付与可能な第３押圧力付与手段とを備える、という構成を採用している。
【０００７】
この際、本発明の押圧装置では、前記第１ないし第３押圧力付与手段は、前記押圧手段に対し、前記押圧対象物方向への力の付与と、前記押圧対象物方向の反対方向への力の付与とが可能に設けられている、ことが好ましい。
【０００８】
一方、本発明のシート貼付装置は、押圧対象物としての接着シートを被着体に押圧して貼付するシート貼付装置であって、前記接着シートを供給する供給手段と、前記接着シートを前記被着体に押圧する押圧装置とを備え、前記押圧装置は、軸線方向に第１端部と第２端部とを有し前記接着シートを押圧可能な押圧手段と、前記第１端部側に位置し、前記押圧手段の第１端部側に第１押圧力を付与可能な第１押圧力付与手段と、前記第２端部側に位置し、前記押圧手段の第２端部側に第２押圧力を付与可能な第２押圧力付与手段と、前記第１端部と前記第２端部との間に位置し、前記押圧手段の中央部に第３押圧力を付与可能な第３押圧力付与手段とを備える、という構成を採用している。
【０００９】
また、本発明の押圧方法は、押圧対象物を押圧する押圧方法であって、軸線方向に第１端部と第２端部とを有し前記押圧対象物を押圧可能な押圧手段を用い、前記押圧手段の第１端部側に第１押圧力を付与し、前記押圧手段の第２端部側に第２押圧力を付与し、前記押圧手段の中央部に第３押圧力を付与する工程を有する、という構成を採用している。
【００１０】
さらに、本発明のシート貼付方法は、押圧対象物としての接着シートを被着体に押圧して貼付するシート貼付方法であって、前記接着シートを供給する工程と、軸線方向に第１端部と第２端部とを有し前記押圧対象物を押圧可能な押圧手段を用い、前記押圧手段の第１端部側に第１押圧力を付与し、前記押圧手段の第２端部側に第２押圧力を付与し、前記押圧手段の中央部に第３押圧力を付与する工程とを有する、という構成を採用している。
【発明の効果】
【００１１】
以上のような本発明によれば、押圧手段の第１、第２端部側の位置に加え、中央部にも押圧力を付与するので、押圧対象物に対し均等に押圧力を付与することができる。
【００１２】
この際、第１ないし第３押圧力付与手段が、押圧手段に対し、押圧対象物方向および押圧対象物方向の反対方向への力を付与できるようにすれば、第１、第２端部側の押圧力に対して中央部の押圧力が小さい場合には、第３押圧力付与手段によって押圧対象物方向への力を付与し、逆に、第１、第２端部側の押圧力に対して中央部の押圧力が大きい場合には、第３押圧力付与手段によって押圧対象物方向の反対方向への力を付与することで、押圧対象物に対し均等に押圧力を付与することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の一実施形態に係るシート貼付装置の側面図。
【図２】シート貼付装置の正面図。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、水平面内の軸とし、Ｚ軸は、水平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。
【００１５】
図１、２において、シート貼付装置１は、押圧対象物としての接着シートＡＳを供給する供給手段２と、接着シートＡＳを被着体としてのウェハＷＦに押圧する押圧装置３とを備えている。
【００１６】
供給手段２は、一方の面が接着面ＡＤとされた接着シートＡＳが帯状の剥離シートＲＬ上に仮着された原反ＲＳを支持する支持ローラ２１と、原反ＲＳを案内する複数のガイドローラ２２と、剥離シートＲＬを折り返し当該剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離する剥離手段としての剥離板２３と、駆動機器としての回動モータ２４によって駆動する駆動ローラ２５との間に剥離シートＲＬを挟み込むピンチローラ２６と、図示しない駆動機器によって駆動し、剥離シートＲＬを回収する回収ローラ２７とを備え、その全体がフレーム２８に支持されている。
【００１７】
押圧装置３は、軸線方向（Ｙ軸方向）に第１端部４１と第２端部４２とを有し接着シートＡＳを押圧する押圧手段としての押圧ローラ４と、第１端部４１側に位置し、押圧ローラ４の第１端部４１側に第１押圧力を付与可能な第１押圧力付与手段５Ａと、第２端部４２側に位置し、押圧ローラ４の第２端部４２側に第２押圧力を付与可能な第２押圧力付与手段５Ｂと、第１端部４１と第２端部４２との間に位置し、押圧ローラ４の中央部４３に第３押圧力を付与可能な第３押圧力付与手段５Ｃと、ウェハＷＦを支持する支持手段６と、押圧ローラ４の押圧力を検知可能な押圧力検知手段７と、スライダ８１で支持手段６を支持し、押圧ローラ４と支持手段６とを相対移動させる移動手段であって駆動機器としてのリニアモータ８とを備えている。
【００１８】
第１、第２押圧力付与手段５Ａ、５Ｂは、押圧ローラ４の回転軸４４を出力軸５２Ａ、５２Ｂに支持された軸受５３Ａ、５３Ｂで回転可能に支持する駆動機器としての直動モータ５１Ａ、５１Ｂを備えている。
第３押圧力付与手段５Ｃは、圧接ローラ５４Ｃを出力軸５２Ｃに設けられたブラケット５３Ｃで回転可能に支持する駆動機器としての直動モータ５１Ｃを備えている。なお、圧接ローラ５４Ｃおよび押圧ローラ４は、一方が磁石（永久磁石や電磁石）で構成され、他方が当該磁石に磁着可能な例えば鉄を含むもの等で構成され、相互に磁着可能に設けられている。
これにより、第１ないし第３押圧力付与手段５Ａ〜５Ｃは、押圧ローラ４に対し、接着シートＡＳ方向（下方向）への力の付与と、接着シートＡＳ方向の反対方向（上方向）への力の付与とが可能に設けられている。
【００１９】
支持手段６は、上部に平面視すなわち上方から見た口形が矩形形状の開口部６２および、当該開口部６２内方に突出する複数のリブ６３を有する平面視矩形形状の外側テーブル６１と、図示しない減圧ポンプや真空エジェクタ等の吸引手段によってウェハＷＦを吸着保持可能な平面視矩形形状の載置面６６を有する内側テーブル６５と、リブ６３上に設けられ内側テーブル６５を下方から支持する付勢手段としてのばね６４とを備えている。なお、内側テーブル６５は、図示しない摺動手段によってＸ−Ｙ平面内での移動が規制され、Ｚ軸方向への移動が可能に設けられている。
【００２０】
押圧力検知手段７は、押圧ローラ４の第１端部４１側に付与された第１押圧力を検知可能な第１検知手段７Ａと、押圧ローラ４の第２端部４２側に付与された第２押圧力を検知可能な第２検知手段７Ｂと、押圧ローラ４の中央部４３に付与された第３押圧力を検知可能な第３検知手段７Ｃとを備えている。第１、第２、第３検知手段７Ａ、７Ｂ、７Ｃは、ローラ７１Ａ、７１Ｂ、７１Ｃを回転可能に支持するブラケット７２Ａ、７２Ｂ、７２Ｃを支持する第１、第２、第３ロードセル７３Ａ、７３Ｂ、７３Ｃと、スライダ７５Ａ、７５Ｂ、７５Ｃによって第１、第２、第３ロードセル７３Ａ、７３Ｂ、７３Ｃを支持する駆動機器としてのリニアモータ７４Ａ、７４Ｂ、７４Ｃとを備えている。なお、各ローラ７１Ａ〜７１Ｃは、それらの最上部で内側テーブル６５を支持し、当該最上部がＹ軸に沿って一直線上に並ぶように、各リニアモータ７４Ａ〜７４Ｃによって移動可能に設けられている。
【００２１】
以上のシート貼付装置１において、ウェハＷＦに接着シートＡＳを貼付する手順を説明する。
先ず、オペレータが原反ＲＳを図１に示すようにセットした後、図示しない操作パネル等を介して接着シートＡＳを押圧する押圧力の設定値を入力し、運転開始の信号を入力する。すると、供給手段２が回動モータ２４および図示しない駆動機器を駆動し、原反ＲＳを繰り出す。そして、接着シートＡＳの繰出方向先端部が剥離板２３によって所定量剥離されたことが図示しない検知手段に検知されると、供給手段２が回動モータ２４および図示しない駆動機器の駆動を停止し、スタンバイ状態となる。なお、押圧ローラ４の最下部と載置面６６との間隔は、ウェハＷＦの厚みと接着シートＡＳの厚みとを合わせた厚み以下に設定されている。
【００２２】
そして、図示しない搬送手段が載置面６６上にウェハＷＦを載置すると、支持手段６が図示しない吸引手段を駆動し、ウェハＷＦを吸着保持した後、移動手段がリニアモータ８を駆動し、支持手段６を左方向に搬送する。そして、ウェハＷＦが所定の位置に到達したことが図示しない検知手段に検知されると、供給手段２が回動モータ２４および図示しない駆動機器を駆動し、ウェハＷＦの搬送速度に合わせて接着シートＡＳを繰り出し、押圧ローラ４が接着シートＡＳをウェハＷＦに押圧して貼付する。
【００２３】
ここで、押圧ローラ４の最下部である押圧位置４Ｐと、各ローラ７１Ａ〜７１Ｃ（図１では、ローラ７１Ａのみ図示）の最上部である受圧位置７ＰとがＺ軸に沿う一直線ＬＺ上に位置すると、図１中二点鎖線で示すように、押圧力検知手段７が各リニアモータ７４Ａ〜７４Ｃを駆動し、押圧位置４Ｐと受圧位置７Ｐとが一直線ＬＺ上から位置ずれしないように、それらリニアモータ７４Ａ〜７４Ｃに対してスライダ７５Ａ〜７５Ｃを右方向に移動させる。そして、押圧ローラ４と各ローラ７１Ａ〜７１Ｃとで接着シートＡＳおよびウェハＷＦを挟み込むと、第１〜第３ロードセル７３Ａ〜７３Ｃがそれぞれ第１〜第３押圧力を検知し、この検知データを基にして第１〜第３押圧力付与手段５Ａ〜５Ｃが直動モータ５１Ａ〜５１Ｃを駆動し、第１〜第３押圧力が設定値と等しくなるように所定の制御を行う。
すなわち、第１ロードセル７３Ａが検知した第１押圧力を基にして第１押圧力付与手段５Ａが直動モータ５１Ａを駆動し、当該第１押圧力が設定値と等しくなるように制御を行う。また、第２ロードセル７３Ｂが検知した第２押圧力を基にして第２押圧力付与手段５Ｂが直動モータ５１Ｂを駆動し、当該第２押圧力が設定値と等しくなるように制御を行う。さらに、第３ロードセル７３Ｃが検知した第３押圧力を基にして第３押圧力付与手段５Ｃが直動モータ５１Ｃを駆動し、当該第３押圧力が設定値と等しくなるように制御を行う。
【００２４】
ここで、押圧力の設定値が押圧ローラ４の自重だけでは足りない場合、第１〜第３押圧力付与手段５Ａ〜５Ｃは、押圧ローラ４を下方へ付勢する。すると、第１、第２端部４１、４２側が力点、接着シートＡＳの両端部ＡＳ１、ＡＳ２と押圧ローラ４との両接点が支点となり、作用点となる押圧ローラ４の中央部４３が第１、第２押圧力付与手段５Ａ、５Ｂの付勢方向（下方向）に対して反対方向（上方向）に撓んでしまい、当該中央部４３の押圧力が不足する。
このような状況であっても、第１〜第３ロードセル７３Ａ〜７３Ｃが第１〜第３押圧力を検知しているので、第３ロードセル７３Ｃの検知データを基にして第３押圧力付与手段５Ｃが直動モータ５１Ｃを駆動し、圧接ローラ５４Ｃを下降させて第３押圧力を増大させる。これにより、接着シートＡＳに対し均等に押圧力を付与することができる。このとき、第３押圧力の増大に伴って、第１、第２押圧力も増大したことが第１、第２ロードセル７３Ａ、７３Ｂによって検知された場合、第１、第２押圧力付与手段５Ａ、５Ｂが直動モータ５１Ａ、５１Ｂを駆動し、押圧ローラ４の第１、第２端部４１、４２側を上昇させて第１、第２押圧力を減少させてもよい。
逆に、押圧力の設定値が押圧ローラ４の自重をかけてしまうと過多となってしまう場合、第１〜第３押圧力付与手段５Ａ〜５Ｃは、押圧ローラ４を上方へ付勢する。すると、押圧ローラ４の中央部４３には何も支えがないことから、当該中央部４３の押圧力が第１、第２端部４１、４２側の押圧力よりも大きくなってしまう。このような状況であっても、上述と同様、第３ロードセル７３Ｃの検知データを基にして第３押圧力付与手段５Ｃが直動モータ５１Ｃを駆動し、圧接ローラ５４Ｃを上昇させて第３押圧力を減少させる。これにより、接着シートＡＳに対し均等に押圧力を付与することができる。このとき、第３押圧力の減少に伴って、第１、第２押圧力も減少した場合、押圧ローラ４の第１、第２端部４１、４２側を下降させて第１、第２押圧力を増大させてもよい。
【００２５】
その後、接着シートＡＳが貼付されたウェハＷＦは、図示しない搬送手段等によって次工程へ搬送され、内側テーブル６５が図１に示す位置に復帰し、以降上述と同様の動作が繰り返される。
【００２６】
以上のような実施形態によれば、押圧ローラ４の第１、第２端部４１、４２側の位置に加えて、中央部４３にも押圧力を付与するので、接着シートＡＳに対し均等に押圧力を付与することができる。
【００２７】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【００２８】
例えば、第１〜第３押圧力付与手段として、気体の噴出や、押圧ローラ４を直接的にまたは間接的に押圧可能な駆動機器の駆動により、押圧ローラ４が接着シートＡＳ方向への力を付与する構成を用いてもよいし、気体の吸引や、押圧ローラ４を直接的にまたは間接的に引き上げ可能な駆動機器の駆動により、押圧ローラ４が接着シートＡＳ方向の反対方向への力を付与する構成を用いてもよい。
また、圧接ローラ５４Ｃと押圧ローラ４とを互いに異なる極性の磁石で構成し、圧接ローラ５４Ｃが押圧ローラ４を磁着保持可能に構成してもよい。
さらに、第３押圧力付与手段は、接着シートＡＳ方向の反対方向への力を付与する機能を有していなくてもよく、例えば、上記実施形態において、磁力により圧接ローラ５４Ｃが押圧ローラ４を保持できない構成とし、接着シートＡＳ方向の反対方向への力を付与できないようにしてもよい。
また、第３押圧力付与手段は、２個以上設けてもよい。
さらに、剥離手段は、丸棒やローラ等で構成してもよい。
また、付勢手段は、ゴムや樹脂等の弾性部材で構成してもよい。
【００２９】
さらに、内側テーブル６５が一体物の場合、例えば、第１押圧力を検知する第１ロードセル７３Ａの押圧力データが第３押圧力に影響されたり、第３押圧力を検知する第３ロードセル７３Ｃの押圧力データが第１、第２押圧力に影響されたりするため、内側テーブル６５を樹脂、ゴム、薄い金属板等の弾性部材で構成したり、第１、第２端部４１、４２側および中央部４３に対応させて分割（３分割）した構成としたりしてもよい。
また、押圧力検知手段７は、設けなくてもよいし、第３押圧力を検知可能な第３検知手段７Ｃだけでもよい。押圧力検知手段７を設けない場合は、圧接ローラ５４Ｃを昇降させる構成を除くことができ、第３検知手段７Ｃだけ設けた場合は、第１、第２押圧力に対する第３押圧力の過不足から、第３押圧力付与手段５Ｃを制御すればよい。
さらに、押圧力検知手段７は、２体でもよいし４体以上でもよい。
また、押圧力検知手段７は、第１〜第３ロードセル７３Ａ〜７３Ｃに代えて圧力センサ、光学センサや撮像手段等の他の検知手段を採用してもよい。
さらに、押圧力検知手段７は、支持手段６の移動方向と平行なライン状の検知手段を外側テーブル６１内に固定したものを採用してもよい。
また、フレーム状の部材を載置するテーブルを内側テーブル６５を囲むように設け、フレーム状の部材に対してウェハＷＦを昇降させるようにしてもよい。この場合、接着シートＡＳを介してウェハＷＦとフレーム状の部材とが一体化するようにシート貼付装置１が構成される。
また、１のリニアモータのスライダで各ローラ７１Ａ〜７１Ｃを支持する構成としてもよい。
さらに、移動手段は、支持手段６を停止させておいて押圧ローラ４を移動させてもよいし、押圧ローラ４と支持手段６との両方を移動させてもよい。
【００３０】
さらに、本発明における接着シートＡＳ、押圧対象物、被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳは、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態に限定されることはなく、感熱接着性のものが採用された場合は、当該接着シートＡＳを加熱する適宜な加熱手段を設ければよい。また、このような接着シートＡＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するもの、基材シートの上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材シートを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、押圧対象物としては、粘土状の食品や容器用の樹脂等、押圧力の付与対象となる任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。また、被着体としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウェハや化合物半導体ウェハ等の半導体ウェハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体に貼付することができる。
また、押圧装置３は、シート貼付装置１以外に塗布装置、検査装置等の他の装置に採用してもよい。塗布装置や検査装置の場合、塗布する塗布手段が被塗布物に対して付与する押圧力や、検査する検査手段が被検査物に対して付与する押圧力が均等にならないと、正確な塗布や検査ができないが、押圧装置３を塗布装置や検査装置に採用することで、被塗布物や被検査物に対する押圧力を均等にすることができ、正確な塗布や検査を行うことができる。
【００３１】
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、押圧手段は、軸線方向に第１端部と第２端部とを有し前記押圧対象物を押圧可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（他の手段および工程についての説明は省略する）。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
【符号の説明】
【００３２】
１…シート貼付装置
２…供給手段
３…押圧装置
４…押圧ローラ（押圧手段）
４１…第１端部
４２…第２端部
５Ａ、５Ｂ、５Ｃ…第１、第２、第３押圧力付与手段
ＡＳ…接着シート（押圧対象物）
ＷＦ…ウェハ（被着体）
【図１】
2014172232.tif 000003
【図２】
2014172232.tif 000004