(57)【要約】【課題】被測定物周辺の湿度が変化した場合でも、距離検出部により被測定物との間の距離を正確に検出することができる距離センサを提供する。【解決手段】被測定物１４との間の距離を検出するために被測定物１４との間の静電容量を感知する距離検出部１５を設ける。その距離検出部１５に隣接位置には、被測定物１４の周辺の湿度を検出するために被測定物１４の周辺の静電容量を感知する湿度検出部１６を設ける。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定物との間の距離検出のために被測定物との間の静電容量を感知する距離検出部を設けた距離センサにおいて、
前記距離検出部に隣接して、被測定物周辺の湿度検出のために被測定物周辺の静電容量を感知する湿度検出部を設けたことを特徴とする距離センサ。
【請求項２】
前記距離検出部及び湿度検出部をガラス基板の表面に設けたことを特徴とする請求項１に記載の距離センサ。
【請求項３】
前記距離検出部及び湿度検出部を複数組設けたことを特徴とする請求項１または２に記載の距離センサ。
【請求項４】
前記距離検出部を一直線上に３箇所以上設けたことを特徴とする請求項２または３に記載の距離センサ。
【請求項５】
前記距離検出部の位置検出のために被測定物周辺の温度を感知する温度検出部を設けたことを特徴とする請求項１〜４のうちのいずれか一項に記載の距離センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、被測定物との間の距離を検出する際に用いられる距離センサに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の距離センサとしては、例えば特許文献１に開示されるような構成が提案されている。この従来構成においては、検知電極と接地電極とからなる距離検出部が設けられている。そして、被測定物が距離検出部に近接するのに伴う静電容量の変化を距離検出部によって感知し、その静電容量の変化に基づいて被測定物との間の距離を検出するようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−１８８３９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、この従来の距離センサにおいては、被測定物周辺の湿度が変化すると、その湿度変化に伴って距離検出部により感知される静電容量も変化する。このため、被測定物との間の距離を距離検出部により正確に検出することができないという問題があった。
【０００５】
この発明は、このような従来の技術に存在する問題点に着目してなされたものである。その目的は、被測定物周辺の湿度が変化した場合でも、距離検出部により被測定物との間の距離を正確に検出することができる距離センサを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の目的を達成するために、この発明は、被測定物との間の距離検出のために被測定物との間の静電容量を感知する距離検出部を設けた距離センサにおいて、前記距離検出部に隣接して、被測定物周辺の湿度検出のために被測定物周辺の静電容量を感知する湿度検出部を設けたことを特徴としている。
【０００７】
従って、この発明の距離センサにおいては、距離検出部により被測定物との間の静電容量が感知されて、その静電容量に基づいて被測定物との間の距離が検出される。それとともに、湿度検出部により被測定物周辺の静電容量が感知されて、その静電容量に基づいて被測定物周辺の湿度が検出される。このため、湿度検出部で感知される静電容量の変化に応じて、距離検出部で感知される静電容量を補正制御すれば、被測定物周辺の湿度の変化に伴う距離検出部の検出誤差を是正することができる。よって、被測定物周辺の湿度が変化した場合でも、距離検出部により被測定物との間の距離を正確に検出することができる。
【０００８】
前記の構成において、前記距離検出部及び湿度検出部をガラス基板の表面に設けるとよい。
前記の構成において、前記距離検出部及び湿度検出部を複数組設けるとよい。
【０００９】
前記の構成において、前記距離検出部を一直線上に３箇所以上設けるとよい。
前記の構成において、前記距離検出部の位置検出のために被測定物周辺の温度を感知する温度検出部を設けるとよい。
【発明の効果】
【００１０】
以上のように、この発明によれば、被測定物周辺の湿度が変化した場合でも、距離検出部により被測定物との間の距離を正確に検出することができるという効果を発揮する。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】一実施形態の距離センサの使用状態を示す断面図。
【図２】図１の２−２線における断面図。
【図３】図２の距離センサの部分拡大底面図。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下に、この発明を具体化した距離センサの一実施形態を図面に従って説明する。
図１及び図２に示すように、この実施形態の距離センサ１１は、断面四角棒状のガラス基板１２を備えている。ガラス基板１２の表面には、複数の検出部１３がガラス基板１２の長さ方向に沿って一直線上で所定間隔おきに３箇所以上の複数箇所設けられている。各検出部１３には、平板状の被測定物１４との間の距離１４１を検出するために被測定物１４との間の静電容量を感知する距離検出部１５が設けられている。図３に示すように、距離検出部１５には、検出電極１５１と、その検出電極１５１を取り囲む遮蔽電極１５２が設けられている。
【００１３】
図２及び図３に示すように、前記各検出部１３における距離検出部１５の一側隣接位置には、被測定物１４の周辺の湿度を検出するために被測定物１４の周辺の静電容量を感知する湿度検出部１６が設けられている。各検出部１３における距離検出部１５の他側隣接位置には、距離検出部１５の位置を検出するために被測定物１４の周辺の温度を感知する温度検出部１７が設けられている。つまり、この実施形態においては、距離検出部１５、湿度検出部１６及び温度検出部１７が、ガラス基板１２の表面に複数組設けられている。
【００１４】
次に、前記のように構成された距離センサ１１を使用して、鋼材等からなる平板状の被測定物１４との間の距離１４１を検出することにより、その被測定物１４の表面の平行度を検査する場合の動作について説明する。
【００１５】
さて、この距離センサ１１の使用時には、図１及び図２に示すように、距離センサ１１の検出部１３が被測定物１４の表面に対して所定距離１４１を隔てた位置に配置され、この状態でガラス基板１２が被測定物１４に対して検出部１３の配置方向と直交する方向へ相対移動される。そして、このガラス基板１２の移動中に、各検出部１３における距離検出部１５により被測定物１４との間の静電容量が感知されて、その静電容量に基づいて被測定物１４との間の距離１４１が検出される。
【００１６】
このとき、各検出部１３における湿度検出部１６により被測定物１４の周辺の静電容量が感知されて、その静電容量に基づいて被測定物１４の周辺の湿度が検出される。そして、この湿度検出部１６で感知される静電容量の変化に応じて、距離検出部１５で感知される静電容量が補正制御されて、被測定物１４の周辺の湿度の変化に伴う距離検出部１５での距離１４１の検出誤差が是正される。
【００１７】
それとともに、各検出部１３における温度検出部１７により被測定物１４の周辺の温度が感知されて、その温度に基づいて距離検出部１５を支持するガラス基板１２の温度変形に伴う距離検出部１５の位置変化が検出される。そして、この温度検出部１７により検出される距離検出部１５の位置変化に応じて、距離検出部１５により検出される被測定物１４との間の距離１４１が補正制御されて、被測定物１４の周辺の温度の変化に伴う距離検出部１５での距離１４１の検出誤差が是正される。
【００１８】
このように、ガラス基板１２が被測定物１４に対して相対移動されながら、各検出部１３の距離検出部１５により被測定物１４との間の距離１４１が検出されることによって、被測定物１４の表面の平行度が検査される。この場合、湿度検出部１６及び温度検出部１７の検出結果に応じて、被測定物１４の周辺の湿度及び温度の変化に伴う距離検出部１５の検出誤差が是正される。このため、被測定物１４の周辺の湿度及び温度の変化に拘わらず、被測定物１４との間の距離１４１を正確に検出することができて、被測定物１４の表面の平行度検査を高精度に行うことができる。
【００１９】
従って、この実施形態によれば、以下のような効果を得ることができる。
（１）  この距離センサにおいては、被測定物１４との間の距離１４１を検出するために被測定物１４との間の静電容量を感知する距離検出部１５が設けられている。距離検出部１５に隣接する位置には、被測定物１４の周辺の湿度を検出するために被測定物１４の周辺の静電容量を感知する湿度検出部１６が設けられている。
【００２０】
このため、この距離センサ１１の使用時には、距離検出部１５により被測定物１４との間の静電容量が感知されて、その静電容量に基づいて被測定物１４との間の距離１４１が検出される。それとともに、湿度検出部１６により被測定物１４の周辺の静電容量が感知されて、その静電容量に基づいて被測定物１４の周辺の湿度が検出される。よって、湿度検出部１６で感知される静電容量の変化に応じて、距離検出部１５で感知される静電容量を補正制御すれば、被測定物１４の周辺の湿度の変化に伴う距離検出部１５の検出誤差を是正することができる。従って、被測定物１４の周辺の湿度が変化した場合でも、距離検出部１５により被測定物１４との間の距離１４１を正確に検出することができる。
【００２１】
（２）  この距離センサにおいては、前記距離検出部１５及び湿度検出部１６がガラス基板１２の表面に設けられている。このため、距離検出部１５及び湿度検出部１６を隣接状態に安定して保持することができるとともに、ガラス基板１２を被測定物１４に対して相対移動させることにより、両検出部１５，１６で被測定物１４との間の静電容量及び被測定物１４の周辺の静電容量を適正に感知することができる。
【００２２】
（３）  この距離センサにおいては、前記距離検出部１５及び湿度検出部１６が複数組設けられている。このため、被測定物１４が平板状に構成されている場合でも、複数組の距離検出部１５及び湿度検出部１６により、被測定物１４との間の距離１４１を容易に検出することができる。
【００２３】
（４）  この距離センサにおいては、前記距離検出部１５が一直線上に３箇所以上設けられている。このため、平板状の被測定物１４との間の距離１４１を検出する場合、一直線上に３箇所以上配置された距離検出部１５を被測定物１４に対して、距離検出部１５の配置方向と直交する方向へ相対移動させることにより、被測定物１４との間の距離１４１を広範囲にわたって同時に検出することができる。よって、平板状の被測定物１４の表面の平行度を検出する場合に適応することができる。
【００２４】
（５）  この距離センサにおいては、前記距離検出部１５の位置を検出するために被測定物１４の周辺の温度を感知する温度検出部１７が設けられている。このため、距離検出部１５による被測定物１４との間の距離検出時には、温度検出部１７により被測定物１４の周辺の温度が感知されて、その温度に基づいて距離検出部１５を支持するガラス基板１２の温度変形に伴う距離検出部１５の位置変化が検出される。よって、この温度検出部１７により検出される距離検出部１５の位置変化に応じて、距離検出部１５により検出される被測定物１４との間の距離１４１を補正制御すれば、被測定物１４の周辺の温度の変化に伴う距離検出部１５の検出誤差を是正することができる。よって、被測定物１４の周辺の温度が変化した場合でも、距離検出部１５により被測定物１４との間の距離１４１を正確に検出することができる。
【００２５】
（変更例）
なお、この実施形態は、次のように変更して具体化することも可能である。
・  前記実施形態において、ガラス基板１２上の各検出部１３における温度検出部１７を省略すること。
【００２６】
・  前記実施形態において、距離検出部１５の構成を任意に変更すること。例えば、渦電流の検出によって距離を検出する構成とすること。
【符号の説明】
【００２７】
１１…距離センサ、１２…ガラス基板、１４…被測定物、１４１…距離、１５…距離検出部、１６…湿度検出部、１７…温度検出部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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