(57)【要約】【課題】隔壁によって搬送装置ごとに炉内が複数の空間に仕切られたリフロー装置において、隔壁を介して隣り合う空間の間の温度干渉を抑制することで、複数の空間のそれぞれで、基板の温度制御を安定して行うことができるリフロー装置を提供する。【解決手段】リフロー装置は、複数のゾーンに分割されたリフロー炉内に、被加熱物を搬送する複数の搬送装置が、搬送方向に沿って並列に設けられ、複数の搬送装置によって搬送される複数の被加熱物をそれぞれ加熱し、隣り合う前記搬送装置の間に、断熱隔壁が設けられたものである。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のゾーンに分割されたリフロー炉内に、被加熱物を搬送する複数の搬送装置が、搬送方向に沿って並列に設けられ、前記複数の搬送装置によって搬送される複数の前記被加熱物をそれぞれ加熱し、隣り合う前記搬送装置の間に、断熱隔壁が設けられたリフロー装置。
【請求項２】
前記断熱隔壁の内部空間にガスが導入された請求項１に記載のリフロー装置。
【請求項３】
前記断熱隔壁の内部の壁に、フィンが設けられた請求項２に記載のリフロー装置。
【請求項４】
前記ガスは、リフロー炉の雰囲気ガスと同一種類のガスである請求項２〜３の何れかに記載のリフロー装置。
【請求項５】
前記断熱隔壁は、前記リフロー炉のヒートゾーンに対応する位置に、内部空間に導入されたガスを排出する排出口を備えた請求項３〜４の何れかに記載のリフロー装置。
【請求項６】
前記ガスは、Ｎ2ガスまたは大気ガスである請求項２〜５の何れかに記載のリフロー装置。
【請求項７】
前記断熱隔壁は、断熱材を含む請求項１に記載のリフロー装置。
【請求項８】
前記断熱隔壁の内部空間に断熱材が配され、
前記断熱材と前記隔壁の内面との間の空隙にガスが導入された請求項１に記載のリフロー装置。
【請求項９】
前記リフロー炉の炉体は、上部炉体と下部炉体とから構成され、
前記上部炉体は、開閉され、
前記断熱隔壁は、前記上部炉体内を仕切る第１の隔壁と、前記下部炉体内を仕切る第２の隔壁とを含む請求項１〜８の何れかに記載のリフロー装置。
【請求項１０】
前記第１の隔壁の対向端部および前記第２の隔壁の対向端部の一方が開放形状であり、
前記上部炉体が閉じた状態において、前記他方の対向端部が、前記一方の開放形状の対向端部に嵌合される請求項９に記載のリフロー装置。
【請求項１１】
前記断熱隔壁は、前記第１の隔壁および前記第２の隔壁の合わせ面の間に介在された耐熱性を有する弾性体をさらに含む請求項９〜１０の何れかに記載のリフロー装置。
【請求項１２】
前記耐熱性を有する弾性体は、空洞を有し、
前記空洞に、ガスが導入される請求項１１に記載のリフロー装置。
【請求項１３】
前記耐熱性を有する弾性体は、耐熱チューブ、耐熱パッキンまたは耐熱スポンジである請求項１１〜１２の何れかに記載のリフロー装置。
【請求項１４】
前記断熱隔壁は、前記一方の開口形状の対向端部の開口を覆うように設けられた耐熱性を有する弾性体をさらに含む請求項１０に記載のリフロー装置。
【請求項１５】
前記耐熱性を有する弾性体は、板ばね材である請求項１４に記載のリフロー装置。
【請求項１６】
前記他方の対向端部は、先細り形状である請求項１０〜１５の何れかに記載のリフロー装置。
【請求項１７】
前記断熱隔壁は、前記第１の隔壁および前記第２の隔壁の何れか一方の隔壁の内部空間に設けられた、構造物および該構造物を支持する弾性体をさらに含み、
前記一方の隔壁は、他方の隔壁の対向端面が密接する密接面を有し、
前記構造物の一端が前記炉体に固定され、前記構造物の他端と前記密接面との間に前記弾性体が配置され、
前記上部炉体が閉じた状態において、前記弾性体の変形に追従して、前記一方の隔壁の前記密接面に前記他方の隔壁の対向端面が密接した状態で、前記一方の隔壁が変位する請求項９〜１０の何れかに記載のリフロー装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本技術は、リフロー装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子部品またはプリント配線基板に対して、予めはんだ組成物を供給しておき、リフロー炉の中に基板を搬送コンベアで搬送し、はんだ付けを行ったり、熱硬化性接着剤によって電子部品を基板上に固定したりするために、リフロー装置が使用されている。リフロー装置の従来技術として、以下の技術が開示されている。
【０００３】
特許文献１のリフロー装置では、基板を加熱するリフロー炉の１つの加熱空間内に、基板を搬送する搬送コンベアを２つ搬送方向に沿って並列に設置し、複数の基板を並行して搬送しながら加熱することによって、面積生産性を向上している。
【０００４】
特許文献２および特許文献３のリフロー装置では、基板を搬送する搬送コンベアを２つ搬送方向に沿って並列に設置し、さらに２つの搬送コンベアの間に隔壁を設けて、基板を加熱する加熱炉の加熱空間を２つに仕切っている。このリフロー装置では、２つの搬送コンベアのそれぞれで搬送される基板の温度を、それぞれ独立した温度プロファイルに従って制御することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１１−１１９５４４号公報
【特許文献２】特開２０１１−１１９４６３号公報
【特許文献３】特開２０１１−１１９４６４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献２および特許文献３のリフロー装置では、隔壁を介して隣接する加熱空間の間で温度干渉が生じるため、基板の温度制御が不安定になってしまう。特に、２つの加熱空間の温度差が大きい場合、低い温度の加熱空間が高い温度の加熱空間から受ける温度干渉の影響が大きいため、低い温度側の加熱空間で搬送される基板の温度制御が不安定になってしまう。また、温度干渉のみならず、従来技術では隔壁を介して隣接する加熱空間の間での酸素濃度雰囲気干渉が生じるため、炉内の酸素濃度制御も不安定になってしまう。特に、２つの加熱空間の酸素濃度差が大きい場合、低酸素濃度雰囲気側の加熱空間が高酸素濃度（大気等）の加熱空間から受ける酸素濃度干渉の影響が大きいため、基板が搬送される、低酸素濃度雰囲気側の加熱空間で、酸素濃度制御が不安定になってしまう。
【０００７】
したがって、本技術の目的は、隔壁によって搬送装置ごとに炉内が複数の空間に仕切られたリフロー装置において、隔壁を介して隣り合う空間の間の温度干渉を抑制することで、複数の空間のそれぞれで、基板の温度制御を安定して行うことができるリフロー装置を提供することにある。さらに、隔壁を介して隣り合う空間の間の酸素濃度干渉を抑制することで、複数の空間のそれぞれで、酸素濃度制御を安定して行うことができるリフロー装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上述した課題を解決するために、本技術は、複数のゾーンに分割されたリフロー炉内に、被加熱物を搬送する複数の搬送装置が、搬送方向に沿って並列に設けられ、複数の搬送装置によって搬送される複数の被加熱物をそれぞれ加熱し、隣り合う搬送装置の間に、断熱隔壁が設けられたリフロー装置である。
【発明の効果】
【０００９】
本技術によれば、隔壁を介して隣り合う空間の間の温度干渉を抑制することで、複数の空間のそれぞれで、基板の温度制御を安定して行うことができる。さらに、隔壁を介して隣り合う空間の間の酸素濃度干渉を抑制することで、複数の空間のそれぞれで、酸素濃度制御を安定して行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】図１Ａは、リフロー装置を上方から見た略線図である。図１Ｂは、リフロー装置を側方から見た略線図である。
【図２】図２は、リフロー炉の構成を示す概略断面図である。
【図３】図３は、リフロー時の温度プロファイルの一例を示すグラフである。
【図４】図４は、リフロー装置の１つのゾーンの構成の一例を示す概略断面図である。
【図５】図５は、隔壁の構成例を示す概略断面図である。
【図６】図６Ａは、隔壁の嵌合構造を説明するための概略断面図である。図６Ｂは、隔壁の嵌合構造を説明するための概略断面図である。
【図７】図７Ａは、隔壁の嵌合構造を説明するための概略断面図である。図７Ｂは、隔壁の嵌合構造を説明するための概略断面図である。
【図８】図８は、隔壁の構成例を示す概略断面図である。
【図９】図９は、隔壁の第１の構成例を示す概略断面図である。
【図１０】図１０Ａは、隔壁の第２の構成例の１例を示す概略断面図である。図１０Ｂは、隔壁の第２の構成例の他の例を示す概略断面図である。
【図１１】図１１は、隔壁の第３の構成例の一例を示す概略断面図である。
【図１２】図１２Ａは、隔壁の第３の構成例の一例を示す概略断面図である。図１２Ｂは、隔壁の第３の構成例の他の例を示す概略断面図である。
【図１３】図１３Ａは、隔壁の第４の構成例の第１の例を示す概略断面図である。図１２Ｂは、隔壁の第４の構成例の第２の例を示す概略断面図である。
【図１４】図１４Ａは、隔壁の第４の構成例の第３の例を示す概略断面図である。図１４Ｂは、隔壁の第４の構成例の第４の例を示す概略断面図である。図１４Ｃは、隔壁の第４の構成例の第５の例を示す概略断面図である。図１４Ｄは、隔壁の第４の構成例の第６の例を示す概略断面図である。
【図１５】図１５Ａは、隔壁の第５の構成例の第１の例を示す概略断面図である。図１５Ｂは、隔壁の第５の構成例の第２の例を示す概略断面図である。
【図１６】図１６Ａは、隔壁の第５の構成例の第３の例を示す概略断面図である。図１６Ｂは、隔壁の第５の構成例の第４の例を示す概略断面図である。図１６Ｃは、隔壁の第５の構成例の第５の例を示す概略断面図である。図１６Ｄは、隔壁の第５の構成例の第６の例を示す概略断面図である。
【図１７】図１７Ａは、隔壁の第６の構成例の第１の例を示す概略断面図である。図１７Ｂは、隔壁の第６の構成例の第２の例を示す概略断面図である。
【図１８】図１８Ａは、隔壁の第６の構成例の第３の例を示す概略断面図である。図１８Ｂは、隔壁の第６の構成例の第４の例を示す概略断面図である。図１８Ｃは、隔壁の第６の構成例の第５の例を示す概略断面図である。図１８Ｄは、隔壁の第６の構成例の第６の例を示す概略断面図である。
【図１９】図１９Ａは、隔壁の第７の構成例の第１の例を示す概略断面図である。図１９Ｂは、隔壁の第７の構成例の第２の例を示す概略断面図である。図１９Ｃは、隔壁の第７の構成例の第３の例を示す概略断面図である。
【図２０】図２０Ａは、隔壁の第８の構成例の第１の例を示す概略断面図である。図２０Ｂは、隔壁の第８の構成例の第２の例を示す概略断面図である。図２０Ｃは、隔壁の第８の構成例の第３の例を示す概略断面図である。
【図２１】図２１Ａは、隔壁の第９の構成例の第１の例を示す概略断面図である。図２１Ｂは、隔壁の第９の構成例の第２の例を示す概略断面図である。図２１Ｃは、隔壁の第９の構成例の第３の例を示す概略断面図である。
【図２２】図２２Ａは第１０の構成例の隔壁の概略断面図である。図２２Ｂは第１０の構成例の隔壁を側方から見た概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本技術の実施の形態について図面を参照して説明する。なお、説明は、以下の順序で行う。
１．第１の実施の形態
２．第２の実施の形態
３．他の実施の形態（変形例）
【００１２】
１．第１の実施の形態
本技術の第１の実施の形態によるリフロー装置について、図面を参照しながら説明する。図１Ａおよび図１Ｂは、本技術の第１の実施の形態によるリフロー装置の外板を除いた全体構成を概略的に示す。図１Ａは、リフロー装置を上方から見た略線図である。図１Ｂは、リフロー装置を側方から見た略線図である。
【００１３】
図１Ａおよび図１Ｂに示すように、リフロー装置は、搬送方向に沿って並列に設置された、被加熱物Ｗを搬送する搬送装置である第１の搬送コンベア１０ａおよび第２の搬送コンベア１０ｂと、リフロー炉２とを備える。なお、以下では、第１の搬送コンベア１０ａと第２の搬送コンベア１０ｂとを区別しない場合は、搬送コンベア１０とする。
【００１４】
リフロー炉２は、被加熱物Ｗ（例えば、両面に表面実装用電子部品が搭載されたプリント配線基板）を上下から加熱し、加熱後に冷却するためのものである。搬送コンベア１０は、被加熱物Ｗをリフロー炉２内に搬送するためものである。
【００１５】
リフロー炉２の内部は、隔壁２０によって、第１の搬送コンベア１０ａ側の第１の空間４０ａと、第２の搬送コンベア１０ｂ側の第２の空間４０ｂとに仕切られている。隔壁２０は、断熱性を有する断熱隔壁である。隔壁２０は内部に空間を有し、リフロー炉２には、隔壁２０の内部空間に導通する複数のガス導入管２１が設けられ、このガス導入管２１からガスが、隔壁２０の内部空間に導入される。
【００１６】
図２は、リフロー炉の構成を示す概略断面図である。図２に示すように、被加熱物Ｗが、搬送コンベア１０の上に置かれ、搬入口１１からリフロー装置の炉体内に搬入される。搬送コンベア１０が所定速度で矢印方向（図の左から右方向）へ被加熱物Ｗを搬送し、被加熱物Ｗが搬出口１２から取り出される。
【００１７】
搬入口１１から搬出口１２に至る搬送経路に沿って、リフロー炉が例えば９個のゾーンＺ１からＺ９に順次分割され、これらのゾーンＺ１〜Ｚ９がインライン状に配列されている。入り口側から８個のゾーンＺ１〜Ｚ８が加熱ゾーンであり、出口側の１個のゾーンＺ９が冷却ゾーンである。ゾーンＺ９に関連して強制冷却ユニット１３が設けられている。なお、ゾーン数は、一例であって、他の個数のゾーンを備えても良い。各ゾーンでは、上部炉体１７および下部炉体１８のそれぞれの温度が予め設定された温度となるように制御され、また、送風機の送風量も所定値とされる。
【００１８】
上述した複数のゾーンＺ１〜Ｚ９がリフロー時の温度プロファイルにしたがって被加熱物の温度を制御する。図３は、温度プロファイルの概略を示す。横軸が時間であり、縦軸が被加熱物Ｗ（例えば電子部品が実装されたプリント配線基板）の表面温度である。最初の区間が加熱によって温度が上昇する昇温部Ｒ１であり、次の区間が温度がほぼ一定のプリヒート（予熱）部Ｒ２であり、次の区間が本加熱部Ｒ３であり、最後の区間が冷却部Ｒ４である。
【００１９】
昇温部Ｒ１は、常温からプリヒート部Ｒ２（例えば１５０°Ｃ〜１７０°Ｃ）まで基板を加熱する期間である。プリヒート部Ｒ２は、等温加熱を行い、フラックスを活性化し、電極、はんだ粉の表面の酸化膜を除去し、また、プリント配線基板の加熱ムラをなくすための期間である。本加熱部Ｒ３（例えばピーク温度で２２０°Ｃ〜２４０°Ｃ）は、はんだが溶融し、接合が完成する期間である。本加熱部Ｒ３では、はんだの溶融温度を超える温度まで昇温が必要とされる。本加熱部Ｒ３は、プリヒート部Ｒ２を経過していても、温度上昇のムラが存在するので、はんだの溶融温度を超える温度までの加熱が必要とされる。最後の冷却部Ｒ４は、急速にプリント配線基板を冷却し、はんだ組成を形成する期間である。
【００２０】
図３において、曲線ａは、鉛フリーはんだの温度プロファイルを示す。共晶はんだの場合の温度プロファイルは、曲線ｂで示すものとなる。鉛フリーはんだの融点は、共晶はんだの融点より高いので、プリヒート部Ｒ２における設定温度が共晶はんだに比して高いものとされている。さらに、図３における曲線ｃは、電子部品をプリント配線基板に固定するための熱硬化性接着剤を硬化する場合のプロファイルを示す。はんだに比して接着剤は、設定温度が低く、また、複雑な温度制御が不要である。
【００２１】
使用されているはんだの種類（鉛フリーはんだと共晶はんだ）、プリント配線基板の種類等に応じてプロファイルが曲線ａおよび曲線ｂの何れかになるように温度制御がなされる。また、リフロー装置を接着剤の硬化工程に使用する場合には、曲線ｃのプロファイルが使用される。
【００２２】
リフロー装置では、図３における昇温部Ｒ１の温度制御を、主としてゾーンＺ１およびＺ２が受け持つ。プリヒート部Ｒ２の温度制御は、主としてゾーンＺ３、Ｚ４およびＺ５が受け持つ。本加熱部Ｒ３の温度制御は、ゾーンＺ６、Ｚ７およびＺ８が受け持つ。冷却部Ｒ４の温度制御は、ゾーンＺ９が受け持つ。
【００２３】
搬入口１１および搬出口１２のそれぞれには、リフロー炉２内の雰囲気ガスが外部に流出することを防止するガス流出制限部として、ガスシール機構１４および１５が設けられている。ガスシール機構１４および１５としては、例えばラビリンスシール機構を使用できる。搬出口１２側には、フラックス回収システム１６が設けられている。
【００２４】
このリフロー装置では、被加熱物Ｗが第１の搬送コンベア１０ａにより搬送され、第１の搬送コンベア１０ａ側の第１の空間４０ａを通る搬送路と、被加熱物Ｗが第２の搬送コンベア１０ｂにより搬送され、第２の搬送コンベア１０ｂ側の第２の空間４０ｂを通る搬送路とが設けられる。第１の搬送コンベア１０ａによる搬送路および第２の搬送コンベア１０ｂ側による搬送路では、それぞれ独立した温度プロファイルに従って、被加熱物Ｗの温度が制御される。
【００２５】
図４を参照してリフロー装置の一つのゾーンの構成の一例について説明する。なお、図４には、ゾーンＺ７を搬送方向に対して直交する面で切断した場合の断面が示されている。
【００２６】
図４に示すように、上部炉体１７と下部炉体１８との対向間隙内で、被加熱物Ｗが、搬送コンベア１０上に置かれて搬送される。
【００２７】
上部炉体１７内および下部炉体１８内は、雰囲気ガスである例えば窒素（Ｎ2）ガスが充満している。なお、雰囲気ガスは窒素（Ｎ2）ガスに代えて大気ガスであってもよい。上部炉体１７および下部炉体１８は、被加熱物Ｗに対して熱風（熱せられた雰囲気ガス）を噴出して被加熱物Ｗを加熱する。なお、熱風と共に赤外線を照射しても良い。
【００２８】
上部炉体１７および下部炉体１８内は、第１の搬送コンベア１０ａと第２の搬送コンベア１０ｂとの間に設けられた隔壁２０によって、第１の搬送コンベア１０ａ側の第１の空間４０ａと、第２の搬送コンベア側の第２の空間４０ｂとに仕切られている。
【００２９】
第１の空間４０ａにおいて、上部炉体１７は、例えばターボファンの構成の送風機３１と、ヒータ線を複数回折り返して構成したヒータ３２と、熱風が通過する多数の小孔を有するパネル（蓄熱部材）３３とを有し、パネル３３の小孔を通過した熱風が、第１の搬送コンベア１０ａによって搬送される被加熱物Ｗに対して上側から吹きつけられる。パネル３３は、例えばアルミニウムからなる。
【００３０】
第１の空間４０ａにおいて、下部炉体１８も上述した上部炉体１７と同様の構成を有する。すなわち、例えばターボファンの構成の送風機３１と、ヒータ線を複数回折り返して構成したヒータ３２と、熱風が通過する多数の小孔を有するパネル（蓄熱部材）３３とを有する。パネル３３の小孔を通過した熱風が、第１の搬送コンベア１０ａによって搬送される被加熱物Ｗに対して下側から吹きつけられる。
【００３１】
第２の空間４０ｂにおいて、上部炉体１７は、例えばターボファンの構成の送風機３１と、ヒータ線を複数回折り返して構成したヒータ３２と、熱風が通過する多数の小孔を有するパネル（蓄熱部材）３３とを有し、パネル３３の小孔を通過した熱風が、第２の搬送コンベア１０ｂによって搬送される被加熱物Ｗに対して上側から吹きつけられる。
【００３２】
第２の空間４０ｂにおいて、下部炉体１８も上述した上部炉体１７と同様の構成を有する。すなわち、例えばターボファンの構成の送風機３１と、ヒータ線を複数回折り返して構成したヒータ３２と、熱風が通過する多数の小孔を有するパネル（蓄熱部材）３３とを有する。パネル３３の小孔を通過した熱風が、第２の搬送コンベア１０ｂによって搬送される被加熱物Ｗに対して下側から吹きつけられる。
【００３３】
隔壁２０は、上部炉体１７内を仕切る上部炉体１７側の隔壁２０ａと下部炉体１８内を仕切る下部炉体１８側の隔壁２０ｂとにより構成されている。隔壁２０ａおよび隔壁２０ｂは、例えば、それぞれ内部にガスが導入される空間を有する２枚の金属板状体（例えば、ステンレス板等）が対向するものである。隔壁２０ａは、パネル３３とほぼ同じ高さの位置で、ガスが導入される内部空間が形成された部分と、隔壁２０ｂに対向する対向端部とに分けられる。隔壁２０ｂは、パネル３３とほぼ同じ高さの位置で、ガスが導入される内部空間が形成された部分と、隔壁２０ａに対向する対向端部とに分けられる。なお、図４に示す隔壁２０では、ガスが導入される内部空間と対向端部の内部空間とが仕切られているが、仕切られていなくてもよい。
【００３４】
隔壁２０ａ、２０ｂの対向する対向端部の一方は先細り形状とされ、他方は開放形状とされている。先細り形状とされた一方の対向端部は、開放形状とされた他方の対向端部に嵌合されている。図５Ａは、嵌合部分の拡大断面図である。図４に示す例では、図５Ａに示すように、隔壁２０ａの対向端部が、断面下向コ字状とされることで、対向端面が開放された開放形状とされ、隔壁２０ｂの対向端部が先細り形状とされ、先細り形状の隔壁２０ｂの対向端部が、開放されている隔壁２０ａの対向端部に嵌合されている。なお、図５Ｂに示すように、隔壁２０ａの対向端部が先細り形状とされ、隔壁２０ｂの対向端部が、断面上向コ字状とされることで、開放形状とされ、先細り形状の隔壁２０ａの対向端部が、開放されている隔壁２０ｂの対向端部に嵌合されていてもよい。
【００３５】
このリフロー装置では、上部炉体１７は、昇降することによって開閉される。なお、図４、図５Ａおよび図５Ｂに示す例は上部炉体１７が閉じた状態である。上部炉体１７が閉じた状態において、先細り形状の隔壁２０ｂの対向端部は、開放されている隔壁２０ａの対向端部に嵌合されている。これにより、２つの隔壁２０ａと隔壁２０ｂとの設置位置のずれを吸収できる。例えば、上下方向の位置ずれおよび水平方向の位置のずれは、開閉時に先細り形状によって嵌合がスムーズになされて、隔壁の対向端部同士が隙間なく嵌合されることにより吸収される。これにより隔壁２０ａの対向端部と隔壁２０ｂの対向端部との間に隙間が生じてしまうことを防止して、雰囲気ガスが他の空間に流れてしまうことを抑制することで、第１の空間４０ａと第２の空間４０ｂとの間の温度干渉を抑制できる。
【００３６】
例えば、熱膨張により炉体が水平方向に変形した場合において、図６Ａに示す従来例では、水平方向において、隔壁１２０ａと隔壁１２０ｂとの設置位置のずれ（矢印で示す幅のずれ）が生じる。一方、図６Ｂに示す本技術では、熱膨張により炉体が水平方向に変形した場合において、熱膨張による水平方向の炉体変形に追従でき、隔壁２０ａと隔壁２０ｂとの嵌合がスムーズになされることにより、水平方向の設置位置のずれを吸収できる。
【００３７】
例えば、熱膨張により炉体が垂直方向に変形した場合において、図７Ａに示す従来例では、垂直方向において、隔壁１２０ａと隔壁１２０ｂとの設置位置のずれ（矢印で示す幅のずれ）により、隙間が生じて気密性が低下してしまう。一方、本技術では、熱膨張により炉体が垂直方向に変形した場合において、図７Ｂに示す本技術では、熱膨張による垂直方向の炉体変形に追従でき、隔壁２０ａと隔壁２０ｂとの嵌合がスムーズになされ、垂直方向の設置位置のずれを吸収できるため、隙間が生じることを抑制できる。
【００３８】
隔壁２０には、内部空間にガスを導入するためのガス導入口２２が設けられている。
【００３９】
ガスは、ガス導入管２１から導入され、ガス導入口２２を介して、隔壁２０の内部の空間に導入される。このガスとしては、Ｎ2ガス、大気ガス等を用いることができる。通常、ガスの温度は、例えば、第１の空間４０ａおよび第２の空間４０ｂの両方の温度より低い温度であり、例えば、常温または常温より低い温度等である。ガスが導入された隔壁２０は、断熱効果によって、第１の空間４０ａと第２の空間４０ｂと間の温度干渉を抑制する機能を有する。
【００４０】
ガスは、隔壁２０の内部空間に導入された後、リフロー炉２内に排出されてもよいので、炉内の雰囲気ガスと同じ種類のガスを用いることが好ましい。例えば、リフロー炉２の雰囲気ガスにＮ2ガスを用いる場合には、隔壁２０の内部空間に導入されるガスとしては、Ｎ2ガスを用い、リフロー炉２の雰囲気ガスに大気ガスを用いる場合には、隔壁２０に導入されるガスとしては、大気ガスを用いることが好ましい。
【００４１】
図８は、搬送方向に沿った隔壁２０の断面図である。隔壁２０は、例えば、ゾーンＺ１〜Ｚゾーン８の炉体内を、第１の搬送コンベア１０ａ側の第１の空間４０ａと、第２の搬送コンベア１０ｂ側の第２の空間４０ｂとの２つに仕切っている。なお、ゾーンＺ１〜Ｚゾーン９の炉体内を２つに仕切る構成としてもよい。
【００４２】
隔壁２０は、図８に示すように、３つに区切られている。なお、３つに区切られているのは、リフロー装置の構造に対応させたものであって、特にこのように区切られている必要はないし、区切る位置および数も上述の例に限定されない。
【００４３】
ガスは、矢印に示すように、３つのガス導入管２１から隔壁２０のガス導入口２２を介して、隔壁２０の内部の空間に導入される。ガスが雰囲気ガスと同一種類の場合、隔壁２０の内部の空間に導入されたガスは、炉内に排出されてもよい。例えば、部材間の隙間等から、炉内に排出されてもよい。また、ガスを炉内に排出するための排出口を設けて、この排出口から炉内にガスが排出されてもよい。
【００４４】
このリフロー装置では、ガスを通すことにより高めた隔壁２０の断熱効果によって、第１の空間４０ａと第２の空間４０ｂとの間の温度干渉を抑制することができる。したがって、第１の空間４０ａおよび第２の空間４０ｂのそれぞれで、被加熱物Ｗの温度制御を独立して且つ安定に行うことができる。
【００４５】
２．第２の実施の形態
第２の実施の形態によるリフロー装置について説明する。第２の実施の形態によるリフロー装置は、隔壁の構成を変えたこと以外は第１の実施の形態によるリフロー装置と同様である。したがって、以下では、隔壁の構成例について説明し、その他の構成は、第１の実施の形態と同様であるので、説明を適宜省略する。
【００４６】
（第１の構成例）
図９は、隔壁の第１の構成例の概略断面図である。隔壁２０は、内部に空間を有し、内部の壁に複数のフィン５１が設けられ、内部空間にガスが導入されたものである。ガスを通すことにより高めた隔壁２０の断熱効果によって、第１の空間４０ａと第２の空間４０ｂとの間の温度干渉を抑制することができる。なお、図示は省略するが、隔壁２０には、ヒートゾーン〔温度プロファイルの本加熱部Ｒ３の温度制御を受け持つゾーン（例えばゾーンＺ６〜Ｚ８）〕に対応する位置に、ガスを排出するガス排出口が設けられている。
【００４７】
隔壁２０では、隔壁２０の内部空間に導入されたガスが、図中の矢印に示すように、温度の低いゾーンから温度の高いゾーンに向かって流動し、ガス排出口から炉内（ヒートゾーン）に排出される。
【００４８】
複数のフィン５１を設けることによって、隔壁２０の内部のガスの流動経路が、蛇行するように形成され、流動経路がより長いものとされている。このようなガスの流動経路では、ガスは温度の低いゾーンから温度の高いゾーンに向かって流動し、各ゾーンの熱で徐々に昇温された後、最終的に、ヒートゾーンに対応する位置に設けられたガス排出口から炉内（ヒートゾーン）に排出される。ヒートゾーンに排出されるガスは、排出時に炉内の温度と同程度に昇温されている。したがって、隔壁２０内に導入されて排出されるガスが炉内温度に与える影響を、低減できる。
【００４９】
（第２の構成例）
第２の構成例では、隔壁２０自体が断熱材で構成されている。この場合、隔壁２０の内部にガスを導入する必要はないので、隔壁２０にはガス導入口が設けられていなくてもよい。
【００５０】
具体的には、例えば、図１０Ａに示すように、隔壁２０ａおよび隔壁２０ｂの内部空間に、断熱材２０ｄ１が充填されている。第１の実施の形態と同様、隔壁２０ａの対向端部が、断面下向コ字状とされることで、開放形状とされ、隔壁２０ｂの対向端部が先細り形状とされ、先細り形状の隔壁２０ｂの対向端部が、開放されている隔壁２０ａの対向端部に嵌合されている。なお、図１０Ｂに示すように、隔壁２０ａの対向端部が先細り形状とされ、隔壁２０ｂの対向端部が、断面上向コ字状とされることで、開放形状とされ、先細り形状の隔壁２０ａの対向端部が、開放されている隔壁２０ｂの対向端部に嵌合されていてもよい。
【００５１】
第２の構成例の隔壁２０を備えたリフロー装置では、断熱材で構成された隔壁２０の断熱効果によって、第１の空間４０ａと第２の空間４０ｂとの間の温度干渉を抑制することができる。したがって、第１の空間４０ａおよび第２の空間４０ｂのそれぞれで、被加熱物Ｗの温度制御を安定して行うことができる。
【００５２】
（第３の構成例）
図１１は、隔壁の第３の構成例の概略断面図である。図１１に示すように、隔壁２０では、内部空間の中心部分に、隔壁２０の厚みより小さい厚みの断熱材２０ｄ１が配され、断熱材２０ｄ１と隔壁２０の内面との間に空隙２０ｄ２が形成されている。空隙２０ｄ２は、断熱材２０ｄ１を挟んで２つ形成され、この２つの空隙２０ｄ２の両方には、ガスが導入されている。なお、ガスが一方の空隙２０ｄ２のみに導入されるようにしてもよい。この場合、例えば、隔壁２０で仕切られる２つの空間の温度が低い方の空間に面した空隙２０ｄ２に対して、ガスが導入されることが好ましい。
【００５３】
図１２Ａに示すように、第１の実施の形態と同様、隔壁２０ａの対向端部が、断面下向コ字状とされることで、開放形状とされ、隔壁２０ｂの対向端部が先細り形状とされ、先細り形状の隔壁２０ｂの対向端部が、開放されている隔壁２０ａの対向端部に嵌合されている。なお、図１２Ｂに示すように、隔壁２０ａの対向端部が先細り形状とされ、隔壁２０ｂの対向端部が、断面上向コ字状とされることで、開放形状とされ、先細り形状の隔壁２０ａの対向端部が、開放されている隔壁２０ｂの対向端部に嵌合されていてもよい。
【００５４】
第３の構成例の隔壁を備えたリフロー装置では、隔壁２０の断熱効果によって、第１の空間４０ａと第２の空間４０ｂとの間の温度干渉を抑制することができる。したがって、第１の空間４０ａおよび第２の空間４０ｂのそれぞれで、被加熱物Ｗの温度制御を安定して行うことができる。
【００５５】
（第４の構成例）
図１３Ａは、第４の構成例の隔壁の概略断面図である。第１の実施の形態と同様、隔壁２０は、上部炉体１７内を仕切る上部炉体１７側の隔壁２０ａと下部炉体１８内を仕切る下部炉体１８側の隔壁２０ｂとにより構成されている。隔壁２０ａおよび隔壁２０ｂは、例えば、それぞれ内部にガスが導入される空間を有する２枚の金属板状体（例えば、ステンレス板等）が対向するものである。隔壁２０ａおよび隔壁２０ｂの内部の空間には、ガスが導入される。このガスとしては、Ｎ2ガス、大気ガス等を用いることができる。
【００５６】
隔壁２０ａの対向端部が断面Ｍ字状とされることで、対向端面が開放された開放形状とされ、隔壁２０ｂの対向端部が先細り形状とされている。上部炉体１７が閉じた状態において、先細り形状の隔壁２０ｂの対向端部は、開放されている隔壁２０ａの対向端部に嵌合されている。なお、図１３Ｂに示すように、隔壁２０ａの対向端部が先細り形状とされ、隔壁２０ｂの対向端部が、断面Ｍ字状とされることで、開放形状とされ、先細り形状の隔壁２０ａの対向端部が、開放されている隔壁２０ｂの対向端部に嵌合されていてもよい。
【００５７】
なお、図１４Ａ〜図１４Ｂに示すように、隔壁２０ａ、２０ｂの内部空間に断熱材２０ｄ１が充填されていてもよい。また、図１４Ｃ〜図１４Ｄに示すように、隔壁２０ａ、２０ｂは、それぞれ、内部空間の中心部分に、隔壁２０ａおよび２０ｂのそれぞれの厚みより小さい厚みの断熱材２０ｄ１が配され、断熱材２０ｄ１と隔壁２０の内面との間に空隙２０ｄ２が形成されていてもよい。空隙２０ｄ２は、断熱材２０ｄ１を挟んで２つ形成され、この２つの空隙２０ｄ２の少なくとも一方には、ガスが導入されている。なお、図に示す例では、２つの空隙２０ｄ２の両方にガスが導入されている。
【００５８】
第４の構成例の隔壁を備えたリフロー装置では、隔壁２０の断熱効果によって、第１の空間４０ａと第２の空間４０ｂとの間の温度干渉を抑制することができる。したがって、第１の空間４０ａおよび第２の空間４０ｂのそれぞれで、被加熱物Ｗの温度制御を安定して行うことができる。
【００５９】
（第５の構成例）
図１５Ａは、第５の構成例の隔壁の概略断面図である。第１の実施の形態と同様、隔壁２０は、上部炉体１７内を仕切る上部炉体１７側の隔壁２０ａと下部炉体１８内を仕切る下部炉体１８側の隔壁２０ｂとから構成されている。隔壁２０ａは、例えば、内部にガスが導入される空間を有する板状体２０ｄ４（例えばステンレス板等の金属板状体等）と板状のガイドプレート２０ｄ５（例えばステンレス板等の金属板状体等）とから構成されている。隔壁２０ｂは、例えば、内部にガスが導入される空間を有する板状体（例えばステンレス板等の金属板状体等）で構成されている。隔壁２０ａ、２０ｂの内部の空間には、ガスが導入される。このガスとしては、Ｎ2ガス、大気ガス等を用いることができる。
【００６０】
隔壁２０ａと隔壁２０ｂとは対向している。隔壁２０ａは、板状体２０ｄ４の両側面のそれぞれに、板状のガイドプレート２０ｄ５が付設されたものである。ガイドプレート２０ｄ５は、板状体２０ｄ４の長手方向に沿って付設され、一部が板状体２０ｄ４の端部から突き出るようにされる。対向する突き出た部分は、それぞれ内側に向かって傾斜しており、対向する突き出た部分の間には、空隙が形成される。対向する突き出た部分の先端の間隔は、隔壁２０ｂの先端の幅より広い幅とされ、これにより、隔壁２０ａの対向端部には、隔壁２０ｂの対向端部が入り込める大きさの幅を有する、開放形状が形成される。上部炉体１７が閉じた状態において、隔壁２０ｂの対向端部は、開放されている隔壁２０ａの対向端部に嵌合される。なお、図１５Ｂに示すように、隔壁２０ｂが板状体２０ｄ４と板状のガイドプレート２０ｄ５とから構成され、隔壁２０ａが内部にガスが導入される空間を有する板状体で構成され、隔壁２０ａの対向端部が、開放されている隔壁２０ｂの対向端部に嵌合されるようにしてもよい。
【００６１】
なお、図１６Ａ〜図１６Ｂに示すように、隔壁２０ａ、２０ｂの内部空間に断熱材２０ｄ１が充填されていてもよい。また、図１６Ｃ〜図１６Ｄに示すように、隔壁２０ａ、２０ｂは、それぞれ、内部空間の中心部分に、隔壁２０の厚みより小さい厚みの断熱材２０ｄ１が配され、断熱材２０ｄ１と隔壁２０の内面との間に空隙２０ｄ２が形成されていてもよい。空隙２０ｄ２は、断熱材２０ｄ１を挟んで２つ形成され、この２つの空隙２０ｄ２の少なくとも一方には、ガスが導入されている。なお、図に示す例では、２つの空隙２０ｄ２の両方にガスが導入されている。
【００６２】
第５の構成例の隔壁を備えたリフロー装置では、隔壁２０の断熱効果によって、第１の空間４０ａと第２の空間４０ｂとの間の温度干渉を抑制することができる。したがって、第１の空間４０ａおよび第２の空間４０ｂのそれぞれで、被加熱物Ｗの温度制御を安定して行うことができる。
【００６３】
（第６の構成例）
図１７Ａは、第６の構成例の隔壁の概略断面図である。第１の実施の形態と同様、隔壁２０は、上部炉体１７内を仕切る上部炉体１７側の隔壁２０ａと下部炉体１８内を仕切る下部炉体１８側の隔壁２０ｂとから構成されている。隔壁２０ａは、例えば、内部にガスが導入される空間を有する板状体２０ｄ４（例えばステンレス板等の金属板状体等）と板状のガイドプレート２０ｄ５（例えばステンレス板等の金属板状体等）とから構成されている。隔壁２０ｂは、例えば、内部にガスが導入される空間を有する板状体（例えばステンレス板等の金属板状体等）で構成されている。隔壁２０ａ、２０ｂの内部の空間には、ガスが導入される。このガスとしては、Ｎ2ガス、大気ガス等を用いることができる。
【００６４】
隔壁２０ａと隔壁２０ｂとは対向している。隔壁２０ａは、板状体２０ｄ４の両側面のそれぞれに、板状のガイドプレート２０ｄ５が付設されたものである。ガイドプレート２０ｄ５は、板状体２０ｄ４の長手方向に沿って付設され、一部が板状体２０ｄ４の端部から突き出るようにされる。対向する突き出た部分は、それぞれ外側に向かって傾斜しており、対向する突き出た部分の間には、空隙が形成される。対向する突き出た部分の先端の間隔は、隔壁２０ｂの先端の幅より広い幅とされ、これにより、隔壁２０ａの対向端部には、隔壁２０ｂの対向端部が入り込める大きさの幅を有する、開放形状が形成される。上部炉体１７が閉じた状態において、隔壁２０ｂの対向端部は、開放されている隔壁２０ａの対向端部に嵌合される。なお、図１６Ｂに示すように、隔壁２０ｂが板状体２０ｄ４と板状のガイドプレート２０ｄ５とから構成され、隔壁２０ａが内部にガスが導入される空間を有する板状体で構成され、隔壁２０ａの対向端部が、開放されている隔壁２０ｂの対向端部に嵌合されるようにしてもよい。
【００６５】
なお、図１８Ａ〜図１８Ｂに示すように、隔壁２０ａ、２０ｂの内部空間に断熱材２０ｄ１が充填されていてもよい。また、図１８Ｃ〜図１８Ｄに示すように、隔壁２０ａ、２０ｂは、それぞれ、内部空間の中心部分に、隔壁２０の厚みより小さい厚みの断熱材２０ｄ１が配され、断熱材２０ｄ１と隔壁２０の内面との間に空隙２０ｄ２が形成されていてもよい。空隙２０ｄ２は、断熱材２０ｄ１を挟んで２つ形成され、この２つの空隙２０ｄ２の少なくとも一方には、ガスが導入されている。なお、図に示す例では、２つの空隙２０ｄ２の両方にガスが導入されている。
【００６６】
第６の構成例の隔壁を備えたリフロー装置では、隔壁２０の断熱効果によって、第１の空間４０ａと第２の空間４０ｂとの間の温度干渉を抑制することができる。したがって、第１の空間４０ａおよび第２の空間４０ｂのそれぞれで、被加熱物Ｗの温度制御を安定して行うことができる。
【００６７】
（第７の構成例）
図１９Ａは、第７の構成例の隔壁の概略断面図である。隔壁２０は、上部炉体１７内を仕切る上部炉体１７側の隔壁２０ａと下部炉体１８内を仕切る下部炉体１８側の隔壁２０ｂと、フッ素ゴム等の耐熱性を有する弾性体とにより構成されている。耐熱性を有する弾性体は、隔壁２０ａの対向端面と隔壁２０ｂとの対向端面との間に配置されている。図１９Ａの例では、耐熱性を有する弾性体として、隔壁２０ａの対向端面と隔壁２０ｂとの対向端面との間に、耐熱チューブ２０ｅ１が配置されている。なお、耐熱性を有する弾性体は、耐熱チューブ２０ｅ１に限定されるものではない。例えば、耐熱性を有する弾性体は、図１９Ｂおよび図１９Ｃに示すように、種々の形状の耐熱パッキン２０ｅ２であってもよい。また、耐熱性を有する弾性体は、耐熱スポンジ等であってもよい。また、図１９Ａ〜図１９Ｃに示す耐熱チューブ２０ｅ１および耐熱パッキン２０ｅ２のように、耐熱性を有する弾性体が空洞を有する場合、空洞にガスを導入するようにしてもよい。このガスとしては、Ｎ2ガス、大気ガス等を用いることができる。
【００６８】
隔壁２０ａおよび隔壁２０ｂは、例えば、それぞれ内部にガスが導入される空間を有する２枚の金属板状体（例えば、ステンレス板等）が、耐熱性を有する弾性体を介して、対向するものである。隔壁２０ａおよび隔壁２０ｂの内部の空間には、ガスが導入される。このガスとしては、Ｎ2ガス、大気ガス等を用いることができる。
【００６９】
なお、隔壁２０ａ、２０ｂの内部空間に断熱材が充填されていてもよい。また、隔壁２０ａ、２０ｂは、それぞれ、内部空間の中心部分に、隔壁２０ａおよび２０ｂのそれぞれの厚みより小さい厚みの断熱材が配され、断熱材と隔壁の内面との間に空隙が形成されていてもよい。空隙は、断熱材を挟んで２つ形成され、この２つの空隙の少なくとも一方には、ガスが導入されている。
【００７０】
第７の構成例の隔壁を備えたリフロー装置では、隔壁２０の断熱効果によって、第１の空間４０ａと第２の空間４０ｂとの間の温度干渉を抑制することができる。したがって、第１の空間４０ａおよび第２の空間４０ｂのそれぞれで、被加熱物Ｗの温度制御を安定して行うことができる。また、第７の構成例では、耐熱性を有する弾性体を備えているので、第１の空間４０ａおよび第２の空間４０ｂのそれぞれで、気密性を確保することができる。例えば、各空間ごとの酸素濃度雰囲気を維持することができる。例えば、一方の空間を通る搬送路では大気状態で加熱し、他方の空間を通る搬送路では酸素濃度が５０ｐｐｍ等での加熱等を行う場合において、２つの空間の間での酸素濃度雰囲気の干渉を抑制することができる。
【００７１】
（第８の構成例）
図２０Ａは、第８の構成例の隔壁の概略断面図である。図２０Ａは、第８の構成例の隔壁の概略断面図である。隔壁２０は、上部炉体１７内を仕切る上部炉体１７側の隔壁２０ａと下部炉体１８内を仕切る下部炉体１８側の隔壁２０ｂと、フッ素ゴム等の耐熱性を有する弾性体とにより構成されている。
【００７２】
隔壁２０ａおよび隔壁２０ｂは、例えば、それぞれ内部にガスが導入される空間を有する２枚の金属板状体（例えば、ステンレス板等）が対向するものである。隔壁２０ａおよび隔壁２０ｂの内部の空間には、ガスが導入される。このガスとしては、Ｎ2ガス、大気ガス等を用いることができる。
【００７３】
図２０Ａに示すように、隔壁２０ａの対向端部が、断面下向コ字状とされることで、開放形状とされ、隔壁２０ｂの対向端部が先細り形状とされ、先細り形状の隔壁２０ｂの対向端部が、開放されている隔壁２０ａの対向端部に嵌合されている。コ字状の両側壁を連結する連結壁２０ａ１と、先細り形状の隔壁２０ｂの対向端面との間には、耐熱性を有する弾性体が介在されている。図２０Ａの例では、耐熱性を有する弾性体として、耐熱チューブ２０ｅ１が介在されている。なお、耐熱性を有する弾性体は、耐熱チューブ２０ｅ１に限定されるものではない。例えば、耐熱性を有する弾性体は、図２０Ｂおよび図２０Ｃに示すように、種々の形状の耐熱パッキン２０ｅ２であってもよい。また、耐熱性を有する弾性体は、耐熱スポンジ等であってもよい。図２０Ａ〜図２０Ｃに示す耐熱チューブ２０ｅ１および耐熱パッキン２０ｅ２のように、耐熱性を有する弾性体が空洞を有する場合、空洞にガスを導入するようにしてもよい。このガスとしては、Ｎ2ガス、大気ガス等を用いることができる。
【００７４】
なお、隔壁２０ａ、２０ｂの内部空間に断熱材が充填されていてもよい。また、隔壁２０ａ、２０ｂは、それぞれ、内部空間の中心部分に、隔壁２０ａおよび２０ｂのそれぞれの厚みより小さい厚みの断熱材が配され、断熱材と隔壁の内面との間に空隙が形成されていてもよい。空隙は、断熱材を挟んで２つ形成され、この２つの空隙の少なくとも一方には、ガスが導入されている。
【００７５】
第８の構成例の隔壁を備えたリフロー装置では、隔壁２０の断熱効果によって、第１の空間４０ａと第２の空間４０ｂとの間の温度干渉を抑制することができる。したがって、第１の空間４０ａおよび第２の空間４０ｂのそれぞれで、被加熱物Ｗの温度制御を安定して行うことができる。また、第８の構成例では、耐熱性を有する弾性体を備えているので、第１の空間４０ａおよび第２の空間４０ｂのそれぞれで、気密性を確保することができる。例えば、各空間ごとの酸素濃度雰囲気を維持することができる。例えば、一方の空間に設けられる搬送路では大気状態で加熱し、他方の空間に設けられた搬送路では酸素濃度が５０ｐｐｍ等での加熱等を行う場合において、隔壁２０で仕切られた２つの空間の間での酸素濃度雰囲気の干渉を抑制することができる。
【００７６】
（第９の構成例）
図２１Ａは、第９の構成例の隔壁の概略断面図である。隔壁２０は、上部炉体１７内を仕切る上部炉体１７側の隔壁２０ａと下部炉体１８内を仕切る下部炉体１８側の隔壁２０ｂと、板ばね材２０ｆ１とにより構成されている。
【００７７】
隔壁２０ａおよび隔壁２０ｂは、例えば、それぞれ内部にガスが導入される空間を有する２枚の金属板状体（例えば、ステンレス板等）が対向するものである。隔壁２０ａおよび隔壁２０ｂの内部の空間には、ガスが導入される。このガスとしては、Ｎ2ガス、大気ガス等を用いることができる。
【００７８】
隔壁２０ａは対向端面に開口を有し、板ばね材２０ｆ１は隔壁２０ａの対向端面の開口を覆うように設けられている。板ばね材２０ｆ１としては、例えば、耐熱フィルム等の耐熱性を有する弾性体を用いることができる。
【００７９】
隔壁２０ｂの対向端部は先細り形状とされている。上部炉体１７が閉じた状態において、板ばね材２０ｆ１は隔壁２０ｂの対向端部によって押し込まれることにより、Ｖ字曲線状に湾曲する。隔壁２０ｂの対向端部は、板ばね材２０ｆ１がＶ字曲線状に湾曲することにより形成された空間（凹部）に入りこむ。これにより、先細り形状の隔壁２０ｂの対向端部は、隔壁２０ａの対向端部に嵌合される。なお、図２１Ｂの例では、上部炉体１７が閉じた状態において、板ばね材２０ｆ２は、隔壁２０ｂの対向端部によって押し込まれることによりＶ字状に屈曲し、隔壁２０ｂの対向端部は、板ばね材２０ｆ２がＶ字状に屈曲することにより形成された空間（凹部）に入りこむ。これにより、先細り形状の隔壁２０ｂの対向端部は、隔壁２０ａの対向端部に嵌合される。
【００８０】
第９の構成例の隔壁を備えたリフロー装置では、隔壁２０の断熱効果によって、第１の空間４０ａと第２の空間４０ｂとの間の温度干渉を抑制することができる。したがって、第１の空間４０ａおよび第２の空間４０ｂのそれぞれで、被加熱物Ｗの温度制御を安定して行うことができる。また、第９の構成例では、板ばね材を備えているので、第１の空間４０ａおよび第２の空間４０ｂのそれぞれで、気密性を確保することができる。例えば、各空間ごとの酸素濃度雰囲気を維持することができる。例えば、一方の空間に設けられた搬送路では大気状態で加熱し、他方の空間に設けられた搬送路では酸素濃度が５０ｐｐｍ等での加熱等を行う場合において、隔壁２０で仕切られた２つの空間の間での酸素濃度雰囲気の干渉を抑制することができる。
【００８１】
（第１０の構成例）
図２２Ａは第１０の構成例の隔壁の概略断面図である。図２２Ｂは第１０の構成例の隔壁を側方から見た概略図である。隔壁２０は、上部炉体１７内を仕切る上部炉体１７側の隔壁２０ａと下部炉体１８内を仕切る下部炉体１８側の隔壁２０ｂと、隔壁２０ａの内部空間に配置された弾性体２０ｇおよび構造物２０ｈとにより構成されている。
【００８２】
隔壁２０ａおよび隔壁２０ｂは、例えば、それぞれ内部にガスが導入される空間を有する２枚の金属板状体（例えば、ステンレス板等）が対向するものである。隔壁２０ａおよび隔壁２０ｂの内部の空間には、ガスが導入される。このガスとしては、Ｎ2ガス、大気ガス等を用いることができる。
【００８３】
図２２Ａに示すように、隔壁２０ａの対向端部が、断面下向コ字状とされることで、開放形状とされ、隔壁２０ｂの対向端部が先細り形状とされ、先細り形状の隔壁２０ｂの対向端部が、開放されている隔壁２０ａの対向端部に嵌合されている。
【００８４】
隔壁２０ａは、コ字状の両側面を連結する連結壁２０ａ１によって２つの空間に仕切られ、上側の空間には、構造物２０ｈおよび構造物２０ｈを支持する弾性体２０ｇが配置されている。弾性体２０ｇの上端は、コ字状の両側面を連結する連結壁２０ａ１に固定され、弾性体２０ｇの下端は構造物２０ｈの下端面に固定されている。図２２Ｂに示すように、隔壁２０ａの両側面のそれぞれには、２つの長孔２０ｉが設けられ、構造物２０ｈに取り付けられたネジ２０ｊが長孔２０ｉに挿入され、弾性体２０ｇの変形に追従して、隔壁２０ａが長孔２０ｉの範囲で上下方向に変位する構成とされている。
【００８５】
構造物２０ｈは、例えば、板状またはブロック状等の部材である。構造物２０ｈは、特に限定されないが、例えば、金属板等である。図示は省略するが、構造物２０ｈの上端面は炉体内部の上壁面に密接および固定されており、構造物２０ｈの上端面と、炉体内部の上壁面との間に、隙間が生じない構成とされている。また、上部炉体が閉じた状態において、隔壁２０ｂの上端面は、隔壁２０ａの連結壁２０ａ１に密接しており、構造物２０ｈの上端面と隔壁２０ａの連結壁２０ａ１との間に隙間が生じない構成とされている。
【００８６】
なお、隔壁２０は、上部炉体１７内を仕切る上部炉体１７側の隔壁２０ａと下部炉体１８内を仕切る下部炉体１８側の隔壁２０ｂと、隔壁２０ｂの内部空間に配置された弾性体２０ｇおよび構造物２０ｈとにより構成されていてもよい。この場合、隔壁２０ｂの対向端部が、断面上向コ字状とされることで、開放形状とされ、隔壁２０ａの対向端部が先細り形状とされ、先細り形状の隔壁２０ａの対向端部が、開放されている隔壁２０ｂの対向端部に嵌合される。
【００８７】
第１０の構成例の隔壁を備えたリフロー装置では、隔壁２０の断熱効果によって、第１の空間４０ａと第２の空間４０ｂとの間の温度干渉を抑制することができる。したがって、第１の空間４０ａおよび第２の空間４０ｂのそれぞれで、被加熱物Ｗの温度制御を安定して行うことができる。
【００８８】
また、第１０の構成例の隔壁を備えたリフロー装置では、例えば、加熱により炉体のソリ等の上下方向の変形が発生した場合、炉体の変形に伴い、弾性体２０ｇも上下方向に変形する。そして、弾性体２０ｇの上下方向の変形に追従して、隔壁２０ｂの上端面と隔壁２０ａの連結壁２０ａ１とが密接した状態で、隔壁２０ａが上下方向に変位する。これにより、加熱により炉体のソリ等の上下方向の変形が発生した場合でも、構造物２０ｈの上端面と炉体内部の上壁面とが密接した状態および隔壁２０ｂの上端面と隔壁２０ａの連結壁２０ａ１とが密接した状態を維持することができる。したがって、加熱することにより炉体に変形が生じた場合でも、隔壁２０ａによって仕切られた各空間の気密性を確保することができる。例えば、各空間の酸素濃度雰囲気を維持することができる。例えば、一方の空間を通る搬送路では大気状態で加熱し、他方の空間を通る搬送路では酸素濃度が５０ｐｐｍ等での加熱等を行う場合において、２つの空間の間での酸素濃度雰囲気の干渉を抑制することができる。
【００８９】
３．他の実施の形態
本技術は、上述した本技術の実施の形態に限定されるものでは無く、本技術の要旨を逸脱しない範囲内で様々な変形や応用が可能である。
【００９０】
例えば、上述の実施の形態および実施例において挙げた数値、構造、形状、材料、原料、製造プロセス等はあくまでも例に過ぎず、必要に応じてこれらと異なる数値、構造、形状、材料、原料、製造プロセス等を用いてもよい。
【００９１】
また、上述の実施の形態および実施例の構成、方法、工程、形状、材料および数値等は、本技術の主旨を逸脱しない限り、互いに組み合わせることが可能である。
【００９２】
例えば、リフロー装置に設ける搬送コンベア１０の数は２つに限られず、さらに多数の搬送コンベア１０を設けて、同時により多くの基板のはんだ付けを行うことができるようにしてもよい。この場合、隣り合う搬送コンベア１０の間に隔壁２０が設けられ、多数の搬送コンベア１０ごとに、炉体内が複数の空間に仕切られる。各空間は、第１の空間４０ａと同様の構成を有する。すなわち、各空間において、上部炉体１７は、例えばターボファンの構成の送風機３１と、ヒータ線を複数回折り返して構成したヒータ３２と、熱風が通過する多数の小孔を有するパネル（蓄熱部材）３３とを有し、パネル３３の小孔を通過した熱風が、搬送コンベア１０によって搬送される被加熱物Ｗに対して上側から吹きつけられる。パネル３３は、例えばアルミニウムからなる。
【００９３】
各空間において、下部炉体１８も上述した上部炉体１７と同様の構成を有する。すなわち、例えばターボファンの構成の送風機３１と、ヒータ線を複数回折り返して構成したヒータ３２と、熱風が通過する多数の小孔を有するパネル（蓄熱部材）３３とを有する。パネル３３の小孔を通過した熱風が、搬送コンベア１０によって搬送される被加熱物Ｗに対して下側から吹きつけられる。
【符号の説明】
【００９４】
２・・・リフロー炉
１０・・・搬送コンベア
１０ａ・・・第１の搬送コンベア
１０ｂ・・・第２の搬送コンベア
１１・・・搬入口
１２・・・搬出口
１３・・・強制冷却ユニット
１４・・・ガスシール機構
１６・・・フラックス回収システム
１７・・・上部炉体
１８・・・下部炉体
２０・・・隔壁
２０ａ・・・隔壁
２０ａ１・・・連結壁
２０ｂ・・・隔壁
２０ｄ１・・・断熱材
２０ｄ２・・・空隙
２０ｄ４・・・板状体
２０ｄ５・・・ガイドプレート
２０ｅ１・・・耐熱チューブ
２０ｅ２・・・耐熱パッキン
２０ｆ１、２０ｆ２・・・板ばね材
２０ｈ・・・構造物
２１・・・ガス導入管
２２・・・ガス導入口
３１・・・送風機
３２・・・ヒータ
３３・・・パネル
４０ａ・・・第１の空間
４０ｂ・・・第２の空間
５１・・・フィン
Ｗ・・・被加熱物
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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