(57)【要約】【課題】高解像度の有機発光表示装置を製造する時、蒸着信頼性が向上した単位マスクおよびマスク組立体を提供する。【解決手段】開口部を含むフレームに一方向に引っ張られて支持される単位マスクは、前記開口部に位置し、前記一方向に配置された前記フレームの一表面に固定される第１固定部と、前記第１固定部と離隔し、前記一方向に配置された前記フレームの他の表面に固定される第２固定部と、前記第１固定部と前記第２固定部との間で前記第１固定部および前記第２固定部のそれぞれに支持されたマスク部と、を含む。【選択図】図１
2014102501.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
開口部を含むフレームに一方向に引っ張られて支持される単位マスクにおいて、
前記開口部に位置し、前記一方向に配置された前記フレームの一表面に固定される第１固定部と、
前記第１固定部と離隔し、前記一方向に配置された前記フレームの他の表面に固定される第２固定部と、
前記第１固定部と前記第２固定部との間で前記第１固定部および前記第２固定部のそれぞれに支持されたマスク部と、を含むことを特徴とする単位マスク。
【請求項２】
前記マスク部の厚さは、前記第１固定部および前記第２固定部それぞれの厚さに比べて薄いことを特徴とする請求項１に記載の単位マスク。
【請求項３】
前記第１固定部は、前記開口部の下側方向に折曲延長された第１折曲延長部を含み、
前記第２固定部は、前記開口部の下側方向に折曲延長された第２折曲延長部を含み、
前記マスク部は、
前記一方向に延長された本体部と、
前記本体部から前記開口部の下側方向に折曲延長され、前記第１折曲延長部に対向する第１対向部と、
前記本体部から前記開口部の下側方向に折曲延長され、前記第２折曲延長部に対向する第２対向部と、を含むことを特徴とする請求項１に記載の単位マスク。
【請求項４】
前記フレームと前記第１折曲延長部との間に位置し、前記第１折曲延長部と接触する第１ブロックと、
前記第１折曲延長部および前記第１対向部を挟んで前記第１ブロックに対向し、前記第１対向部と接触する第２ブロックと、をさらに含むことを特徴とする請求項３に記載の単位マスク。
【請求項５】
前記第２ブロックの厚さは、前記第１ブロックの厚さに比べて厚いことを特徴とする請求項４に記載の単位マスク。
【請求項６】
前記第１折曲延長部と前記第１対向部との間に位置し、前記第１折曲延長部および前記第１対向部のそれぞれと接触する第３ブロックをさらに含むことを特徴とする請求項４に記載の単位マスク。
【請求項７】
前記第１折曲延長部、前記第１ブロック、前記第１対向部および前記第２ブロックを貫通し、前記第１折曲延長部、前記第１ブロック、前記第１対向部および前記第２ブロックのそれぞれを相互固定する第１締結部をさらに含むことを特徴とする請求項４に記載の単位マスク。
【請求項８】
前記第１折曲延長部と接触する前記第１ブロックの表面および前記第１対向部と接触する前記第２ブロックの表面それぞれは、凹凸形状を有することを特徴とする請求項４に記載の単位マスク。
【請求項９】
前記第１折曲延長部と接触する前記第１ブロックの表面、前記第１対向部と接触する前記第２ブロックの表面、および前記第１折曲延長部と前記第１対向部のそれぞれと接触する前記第３ブロックの表面それぞれは、凹凸形状を有することを特徴とする請求項６に記載の単位マスク。
【請求項１０】
前記第２ブロックの表面の凹凸形状は、前記マスク部の前記本体部から離隔することを特徴とする請求項８に記載の単位マスク。
【請求項１１】
前記第１折曲延長部は、前記第１ブロックの表面の凹凸形状に沿って凹凸形状を有し、
前記第１対向部は、前記第２ブロックの表面の凹凸形状に沿って凹凸形状を有することを特徴とする請求項８に記載の単位マスク。
【請求項１２】
前記第１折曲延長部は、前記第１対向部と接触することを特徴とする請求項８に記載の単位マスク。
【請求項１３】
前記フレームと前記第２折曲延長部との間に位置し、前記第２折曲延長部と接触する第４ブロックと、
前記第２折曲延長部および前記第２対向部を挟んで前記第４ブロックに対向し、前記第２対向部と接触する第５ブロックと、をさらに含むことを特徴とする請求項４に記載の単位マスク。
【請求項１４】
前記第２折曲延長部と前記第２対向部との間に位置し、前記第２折曲延長部および前記第２対向部のそれぞれと接触する第６ブロックをさらに含むことを特徴とする請求項１３に記載の単位マスク。
【請求項１５】
前記第２折曲延長部、前記第４ブロック、前記第２対向部および前記第５ブロックを貫通し、前記第２折曲延長部、前記第４ブロック、前記第２対向部および前記第５ブロックのそれぞれを相互固定する第２締結部をさらに含むことを特徴とする請求項１３に記載の単位マスク。
【請求項１６】
開口部を含むフレームと、
前記フレームに一方向に引っ張られて支持される１つ以上の請求項１から１５のいずれか１項に記載の単位マスクと、を含むことを特徴とするマスク組立体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、単位マスクおよびマスク組立体に関するものであって、より詳細には、フレームに支持される単位マスクおよびマスク組立体に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
平板表示装置の代表例として、有機発光表示装置（ｏｒｇａｎｉｃ  ｌｉｇｈｔ  ｅｍｉｔｔｉｎｇ  ｄｉｓｐｌａｙ）、液晶表示装置（ｌｉｑｕｉｄ  ｃｒｙｓｔａｌ  ｄｉｓｐｌａｙ）およびプラズマディスプレイパネル（ｐｌａｓｍａ  ｄｉｓｐｌａｙ  ｐａｎｅｌ）などがある。
【０００３】
このうち、有機発光表示装置を製造するためには、特定のパターンを有する電極と発光層などを形成しなければならず、その形成法としてマスク組立体を用いた蒸着法が適用可能である。
【０００４】
従来のマスク組立体は、開口部を備えたフレームと、開口部に対応して両端が引っ張られてフレームに固定される帯状の複数の単位マスクとからなる。単位マスクは、有機発光表示装置が製造されるマザー基板に複数の有機発光表示装置が製造できるように、有機発光表示装置の画素（ピクセル）に対応して開口したパターン開口部を含むことができる。単位マスクのパターン開口部は、１つの有機発光表示装置に対応することができ、有機発光表示装置に形成する電極または発光層に対応する形態で形成される。
【０００５】
近年、高解像度の有機発光表示装置が要求されるにつれ、単位マスクに微細（ｆｉｎｅ）な大きさのパターン開口部が形成されるが、蒸着工程の特性上、単位マスクに微細な大きさのパターン開口部を形成するためには、意図せぬ蒸着エラーを防止するために単位マスクの厚さが非常に薄くなければならない（μｍ単位）。
【０００６】
しかし、単位マスクの厚さが非常に薄くなる場合、単位マスクの両端をフレームに溶接して固定しにくい問題があった。
【０００７】
さらに、単位マスクの厚さが非常に薄い場合、引っ張られた状態でフレームに両端が固定された単位マスクが開口部の下に垂れたり、単位マスクに加えられる引張力によって単位マスクが変形する問題があった。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、上記の問題を解決するためのものであって、高解像度の有機発光表示装置を製造する時、蒸着信頼性が向上した単位マスクおよびマスク組立体を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の技術的課題を達成するための本発明の第１態様は、開口部を含むフレームに一方向に引っ張られて支持される単位マスクにおいて、前記開口部に位置し、前記一方向に配置された前記フレームの一表面に固定される第１固定部と、前記第１固定部と離隔し、前記一方向に配置された前記フレームの他の表面に固定される第２固定部と、前記第１固定部と前記第２固定部との間で前記第１固定部および前記第２固定部のそれぞれに支持されたマスク部と、を含む単位マスクを提供する。
【００１０】
前記マスク部の厚さは、前記第１固定部および前記第２固定部それぞれの厚さに比べて薄くなり得る。
【００１１】
前記第１固定部は、前記開口部の下側方向に折曲延長された第１折曲延長部を含み、前記第２固定部は、前記開口部の下側方向に折曲延長された第２折曲延長部を含み、前記マスク部は、前記一方向に延長された本体部と、前記本体部から前記開口部の下側方向に折曲延長され、前記第１折曲延長部に対向する第１対向部と、前記本体部から前記開口部の下側方向に折曲延長され、前記第２折曲延長部に対向する第２対向部と、を含むことができる。
【００１２】
前記フレームと前記第１折曲延長部との間に位置し、前記第１折曲延長部と接触する第１ブロックと、前記第１折曲延長部および前記第１対向部を挟んで前記第１ブロックに対向し、前記第１対向部と接触する第２ブロックと、をさらに含むことができる。
【００１３】
前記第２ブロックの厚さは、前記第１ブロックの厚さに比べて厚くなり得る。
【００１４】
前記第１折曲延長部と前記第１対向部との間に位置し、前記第１折曲延長部および前記第１対向部のそれぞれと接触する第３ブロックをさらに含むことができる。
【００１５】
前記第１折曲延長部、前記第１ブロック、前記第１対向部および前記第２ブロックを貫通し、前記第１折曲延長部、前記第１ブロック、前記第１対向部および前記第２ブロックのそれぞれを相互固定する第１締結部をさらに含むことができる。
【００１６】
前記第１折曲延長部と接触する前記第１ブロックの表面および前記第１対向部と接触する前記第２ブロックの表面それぞれは、凹凸形状を有することができる。
【００１７】
前記第１折曲延長部と接触する前記第１ブロックの表面、前記第１対向部と接触する前記第２ブロックの表面、および前記第１折曲延長部と前記第１対向部のそれぞれと接触する前記第３ブロックの表面それぞれは、凹凸形状を有することができる。
【００１８】
前記第２ブロックの表面の凹凸形状は、前記マスク部の前記本体部から離隔できる。
【００１９】
前記第１折曲延長部は、前記第１ブロックの表面の凹凸形状に沿って凹凸形状を有し、前記第１対向部は、前記第２ブロックの表面の凹凸形状に沿って凹凸形状を有することができる。
【００２０】
前記第１折曲延長部は、前記第１対向部と接触することができる。
【００２１】
前記フレームと前記第２折曲延長部との間に位置し、前記第２折曲延長部と接触する第４ブロックと、前記第２折曲延長部および前記第２対向部を挟んで前記第４ブロックに対向し、前記第２対向部と接触する第５ブロックと、をさらに含むことができる。
【００２２】
前記第２折曲延長部と前記第２対向部との間に位置し、前記第２折曲延長部および前記第２対向部のそれぞれと接触する第６ブロックをさらに含むことができる。
【００２３】
前記第２折曲延長部、前記第４ブロック、前記第２対向部および前記第５ブロックを貫通し、前記第２折曲延長部、前記第４ブロック、前記第２対向部および前記第５ブロックのそれぞれを相互固定する第２締結部をさらに含むことができる。
【００２４】
また、本発明の第２態様は、開口部を含むフレームと、前記フレームに一方向に引っ張られて支持される１つ以上の前記単位マスクとを含むマスク組立体を提供する。
【発明の効果】
【００２５】
このような本発明によれば、高解像度の有機発光表示装置を製造する時、蒸着信頼性が向上した単位マスクおよびマスク組立体が提供される。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明の第１実施形態にかかるマスク組立体を示す断面図である。
【図２】本発明の第２実施形態にかかるマスク組立体の一部分を示す断面図である。
【図３】本発明の第３実施形態にかかるマスク組立体の一部分を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下、添付した図面を参考にして、本発明の様々な実施形態について、本発明の属する技術分野における通常の知識を有する者が容易に実施できるように詳細に説明する。本発明は、種々の異なる形態で実現可能であり、ここで説明する実施形態に限定されない。
【００２８】
本発明を明確に説明するために説明上不必要な部分は省略し、明細書全体にわたって同一または類似の構成要素については同一の参照符号を付す。
【００２９】
また、様々な実施形態において、同一の構成を有する構成要素については同一の符号を用いて代表的に第１実施形態で説明し、その他の実施形態では第１実施形態と異なる構成についてのみ説明する。
【００３０】
さらに、図面に示された各構成の大きさおよび厚さは説明の便宜のために任意に示したため、本発明は必ずしもこれに限定されない。
【００３１】
図面において、様々な層および領域を明確に表現するために厚さを拡大して示した。そして、図面において、説明の便宜のために、一部の層および領域の厚さを誇張して示した。層、膜、領域、板などの部分が他の部分の「上に」あるとする時、これは、他の部分の「直上に」ある場合だけでなく、その中間にさらに他の部分がある場合も含む。
【００３２】
また、明細書全体において、ある部分がある構成要素を「含む」とする時、これは、特に反対となる記載がない限り、他の構成要素を除外するのではなく、他の構成要素をさらに包含できることを意味する。さらに、明細書全体において、「〜上に」とは、対象部分の上または下に位置することを意味するもので、必ずしも重力方向を基準として上側に位置することを意味するものではない。
【００３３】
以下、図１を参照して、本発明の第１実施形態にかかるマスク組立体を説明する。
【００３４】
図１は、本発明の第１実施形態にかかるマスク組立体を示す断面図である。
【００３５】
図１に示されるように、本発明の第１実施形態にかかるマスク組立体１０００は、フレーム１００と、単位マスク２００とを含む。
【００３６】
フレーム１００は、単位マスク２００の両端を固定および支持し、単位マスク２００を露出させる開口部１１０を含む。フレーム１００は、開口部１１０を挟んで単位マスク２００の延長方向である一方向Ｘに沿って互いに向かい合う一対の一支持部１２０と、開口部１１０を挟んで一方向Ｘと交差する他の方向に沿って互いに向かい合う一対の他の支持部（図示せず）とを含む。一支持部１２０には単位マスク２００の両端が固定される。本発明の第１実施形態にかかるマスク組立体１０００のフレーム１００において、一支持部１２０が四角形状を有し得るフレーム１００の長辺を構成し、他の支持部（図示せず）がフレーム１００の短辺を構成することができる。
【００３７】
また、本発明の他の実施形態にかかるマスク組立体のフレームは、多角形または円形の形状に構成され得る。
【００３８】
フレーム１００に固定される単位マスク２００は、引張力が印加された状態でフレーム１００に支持されるが、フレーム１００は、単位マスク２００に印加された引張力によって単位マスク２００の延長方向に沿って圧縮力が作用するため、単位マスク２００の圧縮力による変形が生じないように、剛性が大きいステンレス鋼（ｓｔａｉｎｌｅｓｓ  ｓｔｅｅｌ）などのような金属材料で形成できる。
【００３９】
単位マスク２００は、一方向Ｘに延長されて両端がフレーム１００に固定され、蒸着工程時、１つの有機発光表示装置に対応して、有機発光表示装置が形成されるマザー基板を蒸着手段に対して露出するパターン開口部ＰＯを含む。パターン開口部ＰＯは、有機発光表示装置を構成する配線または発光層などに対応するオープンパターンである。単位マスク２００は複数個であり得、複数の単位マスク２００が一方向Ｘと交差する他の方向に沿って配置可能である。
【００４０】
単位マスク２００は、一方向Ｘに引っ張られた状態で両端がフレーム１００に固定され、第１固定部２１０と、第２固定部２２０と、マスク部２３０と、第１ブロック２４１と、第２ブロック２４２と、第３ブロック２４３と、第１締結部２５０と、第４ブロック２４４と、第５ブロック２４５と、第６ブロック２４６と、第２締結部２６０とを含む。
【００４１】
第１固定部２１０は、開口部１１０に位置し、一方向Ｘに配置されたフレーム１００の一支持部１２０の一表面に固定される。第１固定部２１０は、溶接などの固定方法によってフレーム１００の一支持部１２０の一表面に固定され、一支持部１２０の一表面から開口部１１０の下側方向に折曲延長された第１折曲延長部２１１を含む。
【００４２】
第２固定部２２０は、第１固定部２１０と離隔し、一方向Ｘに配置されたフレーム１００の一支持部１２０の他の表面に固定される。第２固定部２２０は、溶接などの固定方法によってフレーム１００の一支持部１２０の他の表面に固定され、一支持部１２０の他の表面から開口部１１０の下側方向に折曲延長された第２折曲延長部２２１を含む。
【００４３】
マスク部２３０は、第１固定部２１０と第２固定部２２０との間で第１固定部２１０および第２固定部２２０のそれぞれに支持されており、パターン開口部ＰＯが形成されて一方向Ｘに延長された本体部２３１と、本体部２３１の一端から開口部１１０の下側方向に折曲延長され、第１折曲延長部２１１に対向する第１対向部２３２と、本体部２３１の他端から開口部１１０の下側方向に折曲延長され、第２折曲延長部２２１に対向する第２対向部２３３とを含む。マスク部２３０の本体部２３１、第１固定部２１０および第２固定部２２０は平坦（フラット）な仮想の一直線上に配置され、蒸着工程時、マスク部２３０の本体部２３１上には被蒸着体のマザー基板が配置可能である。この時、マザー基板が本体部２３１、第１固定部２１０、第２固定部２２０と接触することができ、マスク部２３０の本体部２３１、第１固定部２１０および第２固定部２２０が平坦（フラット）な仮想の一直線上に配置されることにより、単位マスク１００とマザー基板との間に段差が発生しない。これは、マスク組立体１０００を用いた蒸着信頼性が向上する要因として作用する。
【００４４】
マスク部２３０は、第１固定部２１０および第２固定部２２０に比べて薄い厚さを有することができ、マスク部２３０が薄い厚さを有することにより、パターン開口部ＰＯを微細な大きさに形成することができる。これにより、高解像度の有機発光表示装置を製造する時、シャドウ（ｓｈａｄｏｗ）などの意図せぬ蒸着エラーの発生が最小化される。
【００４５】
また、第１固定部２１０および第２固定部２２０のそれぞれは、マスク部２３０に比べて厚い厚さを有することができ、第１固定部２１０および第２固定部２２０のそれぞれが厚い厚さを有することにより、溶接工程を利用して第１固定部２１０および第２固定部２２０のそれぞれをフレーム１００に固定することができる。これにより、パターン開口部ＰＯの大きさに応じたマスク部２３０の厚さとは関係なく、単位マスク２００を溶接を利用してフレーム１００に強固に固定することができる。
【００４６】
つまり、蒸着工程時に用いられる微細な大きさのパターン開口部ＰＯはマスク部２３０に形成され、フレーム１００に対する単位マスク２００の固定は、第１固定部２１０および第２固定部２２０をフレーム１００に溶接して行うことにより、溶接を利用して単位マスク２００をフレーム１００に強固に固定すると共に、高解像度の有機発光表示装置を製造する時、蒸着信頼性が向上したマスク組立体１０００が提供される。
【００４７】
第１ブロック２４１は、フレーム１００と第１折曲延長部２１１との間に位置し、第１折曲延長部２１１と接触している。
【００４８】
第２ブロック２４２は、第１折曲延長部２１１および第１対向部２３２を挟んで第１ブロック２４１に対向し、第１対向部２３２と接触している。第２ブロック２４２の厚さＤ２は、第１ブロック２４１の厚さＤ１に比べて厚く形成されている。第２ブロック２４２の厚さＤ２が第１ブロック２４１の厚さＤ１に比べて厚く形成されることにより、マスク部２３０が第１固定部２１０に比べて薄い厚さを有しても、第１固定部２１０の上面とマスク部２３０の上面との間に段差が発生しないと共に、第１固定部２１０に比べて厚さの薄いマスク部２３０の強度が補強される。
【００４９】
第３ブロック２４３は、第１折曲延長部２１１と第１対向部２３２との間に位置し、第１折曲延長部２１１および第１対向部２３２のそれぞれと接触している。
【００５０】
第１ブロック２４１、第２ブロック２４２および第３ブロック２４３のそれぞれは、弾性を有することができる。
【００５１】
第１締結部２５０は、第１ブロック２４１、第１折曲延長部２１１、第３ブロック２４３、第１対向部２３２および第２ブロック２４２を貫通し、第１ブロック２４１、第１折曲延長部２１１、第３ブロック２４３、第１対向部２３２および第２ブロック２４２のそれぞれを相互固定する。第１締結部２５０は、スクリュー（ｓｃｒｅｗ）の形態を有することができ、第１ブロック２４１、第１折曲延長部２１１、第３ブロック２４３、第１対向部２３２および第２ブロック２４２のそれぞれには、第１締結部２５０と貫通する螺旋が形成できる。
【００５２】
第１ブロック２４１、第２ブロック２４２、第３ブロック２４３および第１締結部２５０によって第１固定部２１０にマスク部２３０が支持されることにより、第１固定部２１０およびマスク部２３０の強度が補強されると共に、第１固定部２１０にマスク部２３０が強固に支持される。
【００５３】
第４ブロック２４４は、フレーム１００と第２折曲延長部２２１との間に位置し、第２折曲延長部２２１と接触している。
【００５４】
第５ブロック２４５は、第２折曲延長部２２１および第２対向部２３３を挟んで第４ブロック２４４に対向し、第２対向部２３３と接触している。第５ブロック２４５は、第４ブロック２４４に比べて厚い厚さを有し、第５ブロック２４５が第４ブロック２４４に比べて厚い厚さを有することにより、マスク部２３０が第２固定部２２０に比べて薄い厚さを有しても、第２固定部２２０の上面とマスク部２３０の上面との間に段差が発生しないと共に、第２固定部２２０に比べて厚さの薄いマスク部２３０の強度が補強される。
【００５５】
第６ブロック２４６は、第２折曲延長部２２１と第２対向部２３３との間に位置し、第２折曲延長部２２１および第２対向部２３３のそれぞれと接触している。
【００５６】
第４ブロック２４４、第５ブロック２４５および第６ブロック２４６のそれぞれは、弾性を有することができる。
【００５７】
第２締結部２６０は、第４ブロック２４４、第２折曲延長部２２１、第６ブロック２４６、第２対向部２３３および第５ブロック２４５を貫通し、第４ブロック２４４、第２折曲延長部２２１、第６ブロック２４６、第２対向部２３３および第５ブロック２４５のそれぞれを相互固定する。第２締結部２６０は、スクリュー（ｓｃｒｅｗ）の形態を有することができ、第４ブロック２４４、第２折曲延長部２２１、第６ブロック２４６、第２対向部２３３および第５ブロック２４５のそれぞれには、第２締結部２６０と貫通する螺旋が形成できる。
【００５８】
第４ブロック２４４、第５ブロック２４５、第６ブロック２４６および第２締結部２６０によって第２固定部２２０にマスク部２３０が支持されることにより、第２固定部２２０およびマスク部２３０の強度が補強されると共に、第２固定部２２０にマスク部２３０が強固に支持される。
【００５９】
以上のように、本発明の第１実施形態にかかるマスク組立体１０００は、第１固定部２１０、第２固定部２２０、マスク部２３０、第１ブロック２４１、第２ブロック２４２、第３ブロック２４３、第１締結部２５０、第４ブロック２４４、第５ブロック２４５、第６ブロック２４６、第２締結部２６０を含む単位マスク２００が一方向Ｘに引っ張られた状態で両端の第１固定部２１０および第２固定部２２０がフレーム１００に固定されることにより、溶接を利用して単位マスク２００がフレーム１００に強固に固定されると共に、高解像度の有機発光表示装置を製造する時、蒸着信頼性が向上する。
【００６０】
また、本発明の第１実施形態にかかるマスク組立体１０００は、実質的に引張力が加えられる単位マスク２００のマスク部２３０の全長が単位マスク２００の全長に比べて短いため、マスク部２３０の厚さが薄くても、マスク部２３０が引っ張られた状態で開口部１１０の下に垂れることが抑制される。つまり、蒸着工程時、蒸着信頼性が向上したマスク組立体１０００が提供される。
【００６１】
さらに、本発明の第１実施形態にかかるマスク組立体１０００は、実質的にパターン開口部ＰＯが形成されたマスク部２３０が弾性を有し得る第１ブロック２４１、第２ブロック２４２、第３ブロック２４３、第４ブロック２４４、第５ブロック２４５および第６ブロック２４６によって第１固定部２１０および第２固定部２２０それぞれの間に支持されることにより、マスク部２３０に加えられる引張力が第１ブロック２４１、第２ブロック２４２、第３ブロック２４３、第４ブロック２４４、第５ブロック２４５および第６ブロック２４６のそれぞれによって分散するため、単位マスク２００全体に加えられる引張力によってマスク部２３０が変形することが抑制される。つまり、引張力によって単位マスク２００の全体的な変形が最小化される。
【００６２】
以下、図２を参照して、本発明の第２実施形態にかかるマスク組立体を説明する。
【００６３】
以下、第１実施形態と区別される特徴的な部分のみを抜粋して説明し、説明が省略された部分は第１実施形態に従う。そして、本発明の第２実施形態では、説明の便宜のために、同一の構成要素については本発明の第１実施形態と同一の参照番号を用いて説明する。
【００６４】
図２は、本発明の第２実施形態にかかるマスク組立体の一部分を示す断面図である。
【００６５】
図２に示されるように、本発明の第２実施形態にかかるマスク組立体１００２の単位マスク２００は、一方向Ｘに引っ張られた状態で両端がフレーム１００に固定され、第１固定部２１０と、第２固定部２２０と、マスク部２３０と、第１ブロック２４１と、第２ブロック２４２と、第３ブロック２４３と、第１締結部２５０と、第４ブロック２４４と、第５ブロック２４５と、第６ブロック２４６と、第２締結部２６０とを含む。
【００６６】
第１折曲延長部２１１と接触する第１ブロック２４１の表面、第１対向部２３２と接触する第２ブロック２４２の表面、および第１折曲延長部２１１と前記第１対向部２３２のそれぞれと接触する前記第３ブロック２４３の表面それぞれは、凹凸形状を有している。第４ブロック２４４、第５ブロック２４５、および第６ブロック２４６それぞれの表面も、凹凸形状を有することができる。
【００６７】
第１ブロック２４１の表面、第２ブロック２４２の表面および第３ブロック２４３の表面それぞれの凹凸形状は、第１折曲延長部２１１および第１対向部２３２を挟んで歯車のような形状で互いに噛み合っている。
【００６８】
第１ブロック２４１の表面、第２ブロック２４２の表面および第３ブロック２４３の表面それぞれが凹凸形状を有することにより、第１折曲延長部２１１は、第１ブロック２４１の表面の凹凸形状に沿って凹凸形状を有し、第１対向部２３２は、第２ブロック２４２の表面の凹凸形状に沿って凹凸形状を有する。
【００６９】
第２ブロック２４２の表面の凹凸形状はマスク部２３０の本体部２３１から離隔しており、第１ブロック２４１の表面の凹凸形状も第１固定部２１０の上面から離隔している。第２ブロック２４２の表面の凹凸形状がマスク部２３０の本体部２３１から離隔することにより、第２ブロック２４２の表面の凹凸形状によってマスク部２３０の本体部２３１にシワが発生することが防止される。
【００７０】
第１ブロック２４１、第２ブロック２４２および第３ブロック２４３それぞれの表面が凹凸形状を有し、第１折曲延長部２１１および第１対向部２３２のそれぞれが第１ブロック２４１、第２ブロック２４２および第３ブロック２４３のそれぞれと接触した状態で凹凸形状を有することにより、単位マスク２００に加えられる引張力によって第１ブロック２４１および第２ブロック２４２のそれぞれから第１固定部２１０およびマスク部２３０のそれぞれが離脱することが抑制される。
【００７１】
つまり、蒸着信頼性が向上したマスク組立体１００２が提供される。
【００７２】
以下、図３を参照して、本発明の第３実施形態にかかるマスク組立体を説明する。
【００７３】
以下、第１実施形態と区別される特徴的な部分のみを抜粋して説明し、説明が省略された部分は第１実施形態に従う。そして、本発明の第３実施形態では、説明の便宜のために、同一の構成要素については本発明の第１実施形態と同一の参照番号を用いて説明する。
【００７４】
図３は、本発明の第３実施形態にかかるマスク組立体の一部分を示す断面図である。
【００７５】
図３に示されるように、本発明の第３実施形態にかかるマスク組立体１００３の単位マスク２００は、一方向Ｘに引っ張られた状態で両端がフレーム１００に固定され、第１固定部２１０と、第２固定部２２０と、マスク部２３０と、第１ブロック２４１と、第２ブロック２４２と、第１締結部２５０と、第４ブロック２４４と、第５ブロック２４５と、第２締結部２６０とを含む。
【００７６】
第１折曲延長部２１１と接触する第１ブロック２４１の表面および第１対向部２３２と接触する第２ブロック２４２の表面それぞれは、凹凸形状を有している。
【００７７】
第１折曲延長部２１１は第１対向部２３２と接触しており、第２折曲延長部２２１および第２対向部２３３も相互接触していてもよい。
【００７８】
第１ブロック２４１の表面、第２ブロック２４２の表面それぞれの凹凸形状は、第１折曲延長部２１１および第１対向部２３２を挟んで歯車のような形状で互いに噛み合っている。
【００７９】
第１ブロック２４１の表面、第２ブロック２４２の表面それぞれが凹凸形状を有することにより、第１折曲延長部２１１は、第１ブロック２４１の表面の凹凸形状に沿って凹凸形状を有し、第１対向部２３２は、第２ブロック２４２の表面の凹凸形状に沿って凹凸形状を有する。
【００８０】
第２ブロック２４２の表面の凹凸形状はマスク部２３０の本体部２３１から離隔しており、第１ブロック２４１の表面の凹凸形状も第１固定部２１０の上面から離隔している。第２ブロック２４２の表面の凹凸形状がマスク部２３０の本体部２３１から離隔することにより、第２ブロック２４２の表面の凹凸形状によってマスク部２３０の本体部２３１にシワが発生することが防止される。
【００８１】
第１ブロック２４１および第２ブロック２４２それぞれの表面が凹凸形状を有し、第１折曲延長部２１１および第１対向部２３２のそれぞれが相互接触した状態で凹凸形状を有することにより、単位マスク２００に加えられる引張力が第１固定部２１０および第２固定部２２０のそれぞれからマスク部２３０に容易に伝達される。
【００８２】
つまり、蒸着信頼性が向上したマスク組立体１００３が提供される。
【００８３】
本発明を上述のように好ましい実施形態を通じて説明したが、本発明は、これに限定されず、以下に記載する特許請求の範囲の概念と範囲を逸脱しない限り、多様な修正および変形が可能であることを、本発明の属する技術分野に従事する者は容易に理解するはずである。
【符号の説明】
【００８４】
１００：フレーム
１１０：開口部
２００：単位マスク
２１０：第１固定部
２２０：第２固定部
２３０：マスク部
【図１】
2014102501.tif 000003
【図２】
2014102501.tif 000004
【図３】
2014102501.tif 000005