(57)【要約】【課題】シリコンインゴットを切断してなる多数枚のウェハ群を液体通過後に確実に一枚ずつのウェハに分離して次工程に供給可能なウェハ分離装置及びこれを用いたウェハの製造方法を提供する。【解決手段】液槽内に、シリコンインゴットを切断して横置きに層状に積載された多数枚のウェハ群Ｗに向けて横方向に液流を噴射する液流噴射ノズル(50)と、液流噴射ノズルの下方に液流噴射ノズルとウェハ群Ｗとの間に気泡を吐出させ上昇させる気泡吐出装置(60)とを設ける。【選択図】図１
2014207250.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シリコンインゴットを切断してなる枚葉化した多数枚のウェハ群を横置きに層状に積載する積載台と、
前記積載台を着脱可能に支持する積載台支持部材と、
液体を収容した液槽と、
前記積載台支持部材を少なくとも前記液槽内で昇降させる昇降装置と、
前記液槽の上部開口部に位置して一端が液体に浸るように傾斜して設けられ、前記昇降装置により前記積載台支持部材とともに上昇した前記積載台に積載された前記ウェハ群を最上位層のウェハから順に前記一端にて搬送ベルトに吸引して他端へ搬送する搬送装置と、
前記液槽内に液体に浸るように設けられ、前記積載台に横置きに層状に積載された前記ウェハ群に向けて横方向に液流を噴射する液流噴射ノズルと、
前記液流噴射ノズルの下方に設けられ、前記液流噴射ノズルと前記ウェハ群との間を気泡が上昇するように該気泡を吐出させる気泡吐出装置と、
を備えることを特徴とするウェハ分離装置。
【請求項２】
前記液流噴射ノズルは、ウェハ群に対し左右に配置され、該左右の液流噴射ノズルからそれぞれ前記ウェハ群に向けて噴射される液流同士が所定の夾角を有するよう設けられていることを特徴とする、請求項１に記載のウェハ分離装置。
【請求項３】
前記液流噴射ノズルは、前記ウェハ群のうち少なくとも中央層より上位層のウェハ群に向けて液流を噴射することを特徴とする、請求項１または２に記載のウェハ分離装置。
【請求項４】
前記液流噴射ノズルは、下側噴射ノズルと上側噴射ノズルの上下２段からなることを特徴とする、請求項１乃至３のいずれかに記載のウェハ分離装置。
【請求項５】
前記下側噴射ノズルは、所定力以上の噴射強度で液流を噴射し、前記上側噴射ノズルは、所定力より小さい噴射強度で液流を噴射することを特徴とする、請求項４に記載のウェハ分離装置。
【請求項６】
前記下側噴射ノズルは、破損し割れたウェハを吹き飛ばすことが可能な所定力以上の噴射強度で液流を噴射することを特徴とする、請求項４または５に記載のウェハ分離装置。
【請求項７】
前記液流噴射ノズルとは別に、前記液槽内に液体に浸るように設けられ、前記ウェハ群に向けて斜め上方向に液流を噴射する第２液流噴射ノズルを備えることを特徴とする、請求項１乃至６のいずれかに記載のウェハ分離装置。
【請求項８】
請求項１乃至７のいずれかに記載のウェハ分離装置を用いたウェハの製造方法であって、
前記ウェハ群を前記積載台に横置きに層状に積載し、該積載台を前記積載台支持部材により支持して該積載台支持部材を前記液槽内で液体に通過させながら前記搬送装置に向けて前記昇降装置で上昇させ、
前記液流噴射ノズルにより前記ウェハ群に向けて横方向に液流を噴射しつつ前記気泡吐出装置により前記液流噴射ノズルと前記ウェハ群との間を気泡が上昇するよう該気泡を吐出させることを特徴とする、ウェハ分離装置を用いたウェハの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェハ分離装置及びこれを用いたウェハの製造方法に係り、シリコンインゴットを切断して枚葉化した多数枚のウェハを分離する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、発電時の環境への影響を少なくするべく、自然エネルギを利用した発電技術が種々開発されており、太陽光発電もその一つである。
太陽光発電には一般に太陽電池用シリコンウェハが使用され、太陽光発電の普及とともに太陽電池用シリコンウェハの需要が高まっている。
太陽電池用シリコンウェハは、従来の半導体用シリコンウェハと同様に、シリコンインゴットをワイヤソーで薄板状に切断し、枚葉化することで製造される。
【０００３】
ところで、シリコンインゴットを切断すると、切粉等がシリコンインゴットに付着していることから、例えば切断した直後の多数枚のウェハ群、或いは一旦枚葉化したウェハを立てた状態で並べた多数枚のウェハ群を液体の入った液槽に浸け、液体によって切粉等を洗い流すことが行われている。また、このような多数枚のウェハ群に対し、液体とともに微細気泡を用いて付着した切粉等を洗い流すことも種々行われている（特許文献１、２参照）。
しかしながら、太陽電池用シリコンウェハは、半導体用シリコンウェハと同様に極力薄肉に製造するのが好ましい一方、受光面積が大きい方がよいことから一枚毎の外形寸法は大きく、それ故、液槽に浸けた後、液体で互いに密着したウェハを一枚ずつ剥離し分離しようとすると、面積に比例して密着力は大きいために分離し難く、ウェハが破損し易いという問題がある。
【０００４】
そこで、枚葉化して立てた状態で並べたウェハ間に液槽の液体内において微細気泡を含ませ、これにより液体を通過した多数枚のウェハ群の分離性を高める装置が開発されている（特許文献３参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−１００７０３号公報
【特許文献２】特開２００６−３１０４５６号公報
【特許文献３】ＷＯ２０１０／０８２５６７号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、上記特許文献３に記載の装置では、立てた状態で並べたウェハ群を次工程に送る際、並べたウェハ群の全体を一旦横置きにして液面より上に出すようにし、この状態で最上位のウェハから順にウェハを搬送コンベアにローラで送り出すようにしている。
しかしながら、このように縦置きに並べたウェハ群を横置きにして且つ液面より上に出すようにすると、特に下位のウェハ間では、含ませた微細気泡の多くがウェハの重みで外部に押し出されて放散してしまう可能性が高いという問題がある。この点について、上記特許文献１、２では搬送についての明確な記載はないが、特許文献３と同様の搬送が行われるとすれば同様の問題が起こり得る。
【０００７】
このようにウェハ間の微細気泡が放散して減少してしまうと、結果的にウェハ同士の密着力が大きくなり、ウェハを十分に分離できなくなるおそれがあり、好ましいことではない。
本発明はこのような問題点を解決するためになされたもので、その目的とするところは、シリコンインゴットを切断してなる多数枚のウェハ群を液体通過後に確実に一枚ずつのウェハに分離して次工程に供給可能なウェハ分離装置及びこれを用いたウェハの製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するため、請求項１のウェハ分離装置は、シリコンインゴットを切断してなる枚葉化した多数枚のウェハ群を横置きに層状に積載する積載台と、前記積載台を着脱可能に支持する積載台支持部材と、液体を収容した液槽と、前記積載台支持部材を少なくとも前記液槽内で昇降させる昇降装置と、前記液槽の上部開口部に位置して一端が液体に浸るように傾斜して設けられ、前記昇降装置により前記積載台支持部材とともに上昇した前記積載台に積載された前記ウェハ群を最上位層のウェハから順に前記一端にて搬送ベルトに吸引して他端へ搬送する搬送装置と、前記液槽内に液体に浸るように設けられ、前記積載台に横置きに層状に積載された前記ウェハ群に向けて横方向に液流を噴射する液流噴射ノズルと、前記液流噴射ノズルの下方に設けられ、前記液流噴射ノズルと前記ウェハ群との間を気泡が上昇するように該気泡を吐出させる気泡吐出装置とを備えることを特徴とする。
【０００９】
請求項２のウェハ分離装置では、請求項１において、前記液流噴射ノズルは、ウェハ群に対し左右に配置され、該左右の液流噴射ノズルからそれぞれ前記ウェハ群に向けて噴射される液流同士が所定の夾角を有するよう設けられていることを特徴とする。
請求項３のウェハ分離装置では、請求項１または２において、前記液流噴射ノズルは、前記ウェハ群のうち少なくとも中央層より上位層のウェハ群に向けて液流を噴射することを特徴とする。
【００１０】
請求項４のウェハ分離装置では、請求項１乃至３のいずれかにおいて、前記液流噴射ノズルは、下側噴射ノズルと上側噴射ノズルの上下２段からなることを特徴とする。
請求項５のウェハ分離装置では、請求項４において、前記下側噴射ノズルは、所定力以上の噴射強度で液流を噴射し、前記上側噴射ノズルは、所定力より小さい噴射強度で液流を噴射することを特徴とする。
【００１１】
請求項６のウェハ分離装置では、請求項４または５において、前記下側噴射ノズルは、破損し割れたウェハを吹き飛ばすことが可能な所定力以上の噴射強度で液流を噴射することを特徴とする。
請求項７のウェハ分離装置では、請求項１乃至６のいずれかにおいて、前記液流噴射ノズルとは別に、前記液槽内に液体に浸るように設けられ、前記ウェハ群に向けて斜め上方向に液流を噴射する第２液流噴射ノズルを備えることを特徴とする。
【００１２】
請求項８のウェハ分離装置を用いたウェハの製造方法は、請求項１に記載のウェハ分離装置を用いたウェハの製造方法であって、前記ウェハ群を前記積載台に横置きに層状に積載し、該積載台を前記積載台支持部材により支持し該積載台支持部材を前記液槽内で液体に通過させながら前記搬送装置に向けて前記昇降装置で上昇させ、前記液流噴射ノズルにより前記ウェハ群に向けて横方向に液流を噴射しつつ前記気泡吐出装置により前記液流噴射ノズルと前記ウェハ群との間を気泡が上昇するよう該気泡を吐出させることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の請求項１のウェハ分離装置によれば、シリコンインゴットを切断して横置きに層状に積載された多数枚のウェハ群に向けて横方向に液流を噴射する液流噴射ノズルを設け、液流噴射ノズルの下方に液流噴射ノズルとウェハ群との間に気泡を吐出させ上昇させる気泡吐出装置を設けるようにしたので、ウェハ群の各ウェハ間に気泡を液流で押し込み、容易にウェハを剥離し易いようにできる。従って、ウェハ群の液体通過後、ウェハを一枚ずつ確実に分離させて次工程に供給することができる。また、各ウェハ間に気泡を液流で押し込むことで、各ウェハの洗浄作用を促進することもできる。
【００１４】
請求項２のウェハ分離装置によれば、液流噴射ノズルは左右に配置されるので、ウェハをさらに安定的に剥離し易くすることができ、ウェハの姿勢を安定させることができる。
請求項３のウェハ分離装置によれば、ウェハ群のうち少なくとも中央層より上位層のウェハ群に向けて液流を噴射するので、搬送装置に近い範囲において効率良く気泡をウェハ間に押し込むことができる。
【００１５】
請求項４のウェハ分離装置によれば、液流噴射ノズルは下側噴射ノズルと上側噴射ノズルの上下２段からなるので、下側噴射ノズルから噴射される液流と上側噴射ノズルから噴射される液流とで噴射強度の調整及び数値管理を行うことができる。
請求項５のウェハ分離装置によれば、下側噴射ノズルは所定力以上の噴射強度で液流を噴射し、前記上側噴射ノズルは所定力より小さい噴射強度で液流を噴射するので、下側噴射ノズルからの強い液流によってウェハ群の各ウェハ間に先ず隙間を形成でき、上側噴射ノズル５２から噴射される緩やかな液流によって、気泡を上記形成された各ウェハ間の隙間に押し込んで均一に整え、各ウェハ間の隙間を徐々に拡大するようにできる。
請求項６のウェハ分離装置によれば、下側噴射ノズルにより破損し割れたウェハを吹き飛ばして排除することができるので、ジャミングによって装置が停止することを防止でき、装置の稼働率を向上させることができる。
【００１６】
請求項７のウェハ分離装置によれば、液流噴射ノズルとは別にウェハ群に向けて斜め上方向に液流を噴射する第２液流噴射ノズルを備えるので、第２液流噴射ノズルから噴射される液流によりウェハ群の最上位置のウェハを斜めに浮かせながら極めて滑らかに剥離させて傾斜した搬送装置にスムーズに受け渡すようにでき、より一層確実にウェハを分離させることができる。
請求項８のウェハ分離装置を用いたウェハの製造方法によれば、搬送装置に向けて昇降装置で積載台を上昇させる間に、積載台に積載されたウェハ群の各ウェハ間に気泡を液流で押し込むようにでき、容易にウェハを剥離し易いようにできる。従って、ウェハ群の液体通過後、ウェハを一枚ずつ確実に分離させて次工程に供給することができる。また、各ウェハ間に気泡を液流で押し込むことで、各ウェハの洗浄作用を促進することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明に係るウェハ分離装置の全体構成を示すウェハ分離装置の正面図である。
【図２】図１の矢視Ａ方向から視たウェハ分離装置の側面図である。
【図３】図１のＢ−Ｂ線に沿うウェハ分離装置の平断面図である。
【図４】図３のＣ部拡大図である。
【図５】バスケットの平面図である。
【図６】バスケットの正面図である。
【図７】バスケットの側面図である。
【図８】流噴射ノズルと気泡吐出装置とバスケットに載置されたウェハ群とを拡大して示す模式図である。
【図９】第２液流噴射ノズルと第１コンベアとバスケットに載置されたウェハ群とを拡大して示す模式図である。
【図１０】本発明の他の実施形態を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、図面に基づき本発明の実施形態について説明する。
図１は本発明に係るウェハ分離装置の全体構成を示すウェハ分離装置の正面図であり、図２は図１の矢視Ａ方向から視たウェハ分離装置の側面図であり、図３は図１のＢ−Ｂ線に沿うウェハ分離装置の平断面図であり、図４は図３のＣ部拡大図である。
本発明に係るウェハ分離装置は、シリコンインゴットを切断して層状に積載した多数枚のウェハ群を液体洗浄した後、ウェハを一枚ずつに分離して次工程に供給するための装置であり、図１に示すように、大きくは、洗浄液の収容された液槽２と、多数枚のウェハ群Ｗを液槽２内で昇降させる昇降装置１０と、昇降装置１０で上昇したウェハ群Ｗを最上位置のウェハから順に搬送するベルトコンベア（搬送装置）２０と、昇降装置１０で昇降するウェハ群Ｗを貯留しておく貯留装置３０とから構成されている。
【００１９】
液槽２内に収容された洗浄液は、例えば水（水道水、純水等）であり、これによりシリコンインゴットの切断時に発生しウェハに付着した切粉等を洗い流すことが可能である。液槽２には、洗浄液の汚れを検知する汚れセンサ３が設けられており、この汚れセンサ３からの情報に基づき洗浄液の汚れの度合いを監視することができる。
ここでは、ウェハ群Ｗは規格が統一されたバスケット（積載台）４０に横置きに層状に積載されている。詳しくは、ウェハ群Ｗは周縁が切除されて四角形状に加工されており、図４及び図５にバスケット４０の平面図を示し、図６にバスケット４０の正面図を示し、図７にバスケット４０の側面図を示すように、バスケット４０はウェハ群Ｗの積載方向に延びる右側壁４１、左側壁４２及び後部側壁４３を有し、四角形状のウェハ群Ｗを適切に位置決め可能であるとともに、一側方及び上方が開放されるように規格が統一されている。これによりウェハ群Ｗを一側方及び上方からバスケット４０に投入できるとともに、バスケット４０に積載されたウェハ群Ｗに対し一側方及び上方からアプローチすることが可能である。また、バスケット４０には、右側取っ手４４及び左側取っ手４５も設けられている。
【００２０】
より詳しくは、右側壁４１は比較的広い幅の板部材からなる一方、左側壁４２は右側壁４１の幅よりも狭い幅（例えば、右側壁４１の幅の約半分の寸法）の部材からなり、上記開放された一側方寄りに配置されている。また、後部側壁４３は左側壁４２の幅よりもさらに狭い幅（例えば、左側壁４２の幅の約半分の寸法）の部材からなり、右側方寄りに配置されている。即ち、左側壁４２と後部側壁４３とは、左側壁４２と後部側壁４３との間隔が右側壁４１と後部側壁４３との間隔よりも十分に広くなるように配置されている。さらに、右側取っ手４４は逆Ｕ字状の棒部材で構成されている一方、左側取っ手４５は後方が開放されたＦ字状の棒部材で構成されている。
このように左側壁４２と後部側壁４３との間隔が広くされ、左側取っ手４５の後方が開放されていることにより、図中矢印で方向を示し詳しくは後述するように、破損したウェハをこの開放空間を通過させて排除することが可能である。
【００２１】
昇降装置１０は、図２に示すように、左右一対の昇降ユニット１１、１２からなり、左右一対の昇降ユニット１１、１２の各々がウェハ群Ｗの積載されたバスケット４０を昇降可能である。昇降ユニット１１、１２は、例えばステッピングモータでボールねじを回転させることで昇降可能である。詳しくは、昇降ユニット１１、１２には昇降ユニット１１、１２と一体にバスケット支持部材（積載台支持部材）１３、１４が設けられており、昇降ユニット１１、１２は、バスケット支持部材１３、１４上にバスケット４０を支持し、バスケット４０ごとウェハ群Ｗをそれぞれ独立して昇降可能である。
【００２２】
また、昇降装置１０には昇降ユニット１１、１２をそれぞれ貯留装置３０側からベルトコンベア２０側へ或いはその逆方向へ独立して移動させることが可能にスライドユニット１５、１６も設けられている。スライドユニット１５、１６も、例えばステッピングモータでボールねじを回転させることで作動可能である。
これにより、昇降ユニット１１、１２は、図１に矢印で動きを示すように、バスケット４０ごとウェハ群Ｗを液槽２内でそれぞれ独立して２軸方向に移動させることが可能である。
【００２３】
ベルトコンベア２０は、第１コンベア２１と第２コンベア２２とから構成されている。第１コンベア２１は、一対の無端状のベルトが走行し、一対の無端状のベルトの間に一端から所定範囲に亘ってバキュームユニット２３が設けられ、一端が液体に浸るように水平に対し所定の角度（０°より大）をもって傾斜して構成されている。これにより、第１コンベア２１は、液体内でバキュームユニット２３によりウェハ群Ｗの最上位置のウェハを吸引してベルトに押し付けて搬送し、他端において第２コンベア２２に受け渡すことが可能である。
なお、液槽２には、バスケット４０に積載したウェハ群Ｗの最上位置のウェハが第１コンベア２１の一端の近傍となるように最上位置のウェハの高さ位置を検知する最上位置センサ４が設けられている。最上位置センサ４としては例えば光電センサが採用される。これにより、第１コンベア２１はウェハ群Ｗの最上位置のウェハをバキュームユニット２３によって良好に吸引可能である。
そして、第２コンベア２２は、同様に一対の無端状のベルトが走行するよう傾斜して構成されており、第１コンベア２１から受け取ったウェハをさらに次工程に搬送することが可能である。
【００２４】
貯留装置３０は、バスケット４０を支持する複数のＬ字状の腕部材３２が懸架された回転盤３１をステッピングモータ３３で回転可能に構成されている。詳しくは、図３に示すように、腕部材３２は、例えば６個からなり、バスケット４０の開放された一側方が放射状にして外方を向くようにして６０°毎の等間隔に配設されている。
そして、本発明に係るウェハ分離装置では、図１〜図４に示すように、バスケット４０の開放された一側方に離間して位置するようにして、液流噴射ノズル５０が設けられている。
【００２５】
液流噴射ノズル５０は、下側噴射ノズル５１と上側噴射ノズル５２の上下２段からなり、それぞれバスケット４０に積載されたウェハ群Ｗの一側方の面に向けて横方向から液流を噴射するように構成されている。これら下側噴射ノズル５１及び上側噴射ノズル５２は液流発生装置５４に接続されている。実際には、図３、図４に示すように、下側噴射ノズル５１及び上側噴射ノズル５２は、ウェハ群Ｗの中央層より上位層のウェハ群Ｗに対し、四角形状のウェハ群Ｗの一側方の一方の角部に向けて斜めに液流を噴射するように配設されている。
詳しくは、下側噴射ノズル５１は、所定力以上の噴射強度で液流を強く噴射するように設定されており、一方上側噴射ノズル５２は、噴射口が上下方向に広がり、所定力よりも小さい噴射強度で緩やかに液流を噴射するように設定されている。
【００２６】
さらに、液流噴射ノズル５０の下方には、液流噴射ノズル５０とウェハ群Ｗとの間を気泡が上昇するように該気泡を吐出させる気泡吐出装置６０が設けられている。気泡吐出装置６０は気泡発生装置６２に接続されている。
また、液流噴射ノズル５０とは別に、バスケット４０に積載されたウェハ群Ｗの一側方の面に向けて斜め上方向に液流を噴射するよう、一対の第２液流噴射ノズル７０、７０が設けられている。一対の第２液流噴射ノズル７０、７０も上記液流発生装置５４に接続されている。
【００２７】
なお、図示していないが、ウェハ分離装置は、制御装置を備えており、昇降装置１０、ベルトコンベア２０、貯留装置３０、液流発生装置５４及び気泡発生装置６２は、汚れセンサ３、最上位置センサ４等のセンサ類からの出力信号に基づき、制御装置によって適宜作動制御される。
以下、このように構成された本発明に係るウェハ分離装置の作用、即ち本発明に係るウェハ分離装置を用いたウェハの製造方法について説明する。
【００２８】
作業者によってウェハ群Ｗがバスケット４０に積載されると、ウェハ群Ｗの積載されたバスケット４０は、作業者が取っ手４４、４５を持って運ぶことで、貯留装置３０のＬ字状の腕部材３２に載置される。
貯留装置３０は、図３に示す位置に腕部材３２が６０°ずつ矢印方向に回転して停止するよう構成されており、腕部材３２が停止した状態で、昇降装置１０の昇降ユニット１１及び昇降ユニット１２が、腕部材３２に載置されたバスケット４０を交互に受け取るように作動する。これにより、バスケット４０がそれぞれ昇降ユニット１１のバスケット支持部材１３、昇降ユニット１２のバスケット支持部材１４に順次支持される。
【００２９】
バスケット４０を受け取った昇降ユニット１１及び昇降ユニット１２は、スライドユニット１５、１６の作動と相俟って、当該バスケット４０を液体内で図１中に矢印で示すように移動させ、ウェハ群Ｗを洗浄しながら、最上位置センサ４からの情報に基づきウェハ群Ｗの最上位置のウェハの高さ位置が第１コンベア２１の一端の近傍となるようにバスケット４０を位置させる。
これにより、ウェハ群Ｗの最上位置のウェハが順次バキュームユニット２３により吸引され、第１コンベア２１によって第２コンベア２２に搬送される。
ところで、ウェハ群Ｗの最上位置のウェハが第１コンベア２１の一端の近傍となるようにバスケット４０が位置しているとき、気泡吐出装置６０からは気泡が吐出されており、当該気泡は液流噴射ノズル５０とウェハ群Ｗとの間を上昇している。また、このとき、液流噴射ノズル５０からは、液流がウェハ群Ｗに向けて噴射されている。
【００３０】
図８を参照すると、液流噴射ノズル５０と気泡吐出装置６０とバスケット４０に載置されたウェハ群Ｗとが拡大して模式的に示されており、気泡及び液流噴射ノズル５０から噴射される液流の作用について同図に基づき詳細に説明する。
同図に示すように、気泡が液流噴射ノズル５０とウェハ群Ｗとの間を上昇し、液流噴射ノズル５０である下側噴射ノズル５１と上側噴射ノズル５２から液流が矢印のようにウェハ群Ｗに向けて噴射されていると、気泡Ｐが液流によってウェハ群Ｗの各ウェハ間に押し込まれる。
この際、噴射ノズルが下側噴射ノズル５１と上側噴射ノズル５２の上下２段から構成されているので、下側噴射ノズル５１から噴射される液流と上側噴射ノズル５２から噴射される液流とによって噴射強度の調整及び数値管理を行うことができる。
【００３１】
下側噴射ノズル５１から噴射される液流は所定力以上の噴射強度で強く液流を噴射するように設定されている。これにより、下側噴射ノズル５１からの液流によってウェハ群Ｗの各ウェハ間に先ず隙間が形成される。
特に、ここでは、下側噴射ノズル５１から噴射される液流は、破損し割れたウェハを吹き飛ばすことが可能な所定力以上の噴射強度に設定されている。従って、このとき破損したウェハがあると、このように破損して分割されたウェハは、もはや右側壁４１、左側壁４２及び後部側壁４３によって規制されず、下側噴射ノズル５１から噴射される液流によって左側壁４２と後部側壁４３及び左側取っ手４５の後方の開放された空間を通って後方に吹き飛ばされ、排除される。このように、破損したウェハを容易に排除できることで、ジャミングによって装置が停止することが防止され、装置の稼働率を向上させることができる。
【００３２】
一方、上側噴射ノズル５２から噴射される液流は所定力よりも小さい噴射強度で液流を噴射するように設定されている。これにより、上側噴射ノズル５２から噴射される液流によって、気泡Ｐが緩やかに下側噴射ノズル５１からの液流によって形成された各ウェハ間の隙間に押し込まれて均一に整えられ、各ウェハ間の隙間が徐々に拡大される。
特に、下側噴射ノズル５１及び上側噴射ノズル５２は、ウェハ群Ｗのうち少なくとも中央層より上位層のウェハ群Ｗに向けて液流を噴射するので、第１コンベア２１に近い範囲において効率良く気泡Ｐをウェハ間に押し込むことができる。
このように各ウェハ間の隙間に気泡Ｐが十分に押し込まれることで、ウェハを気泡Ｐの存在により浮かせて剥離し易い状態にできる。これにより、最上位置のウェハを滑らかに剥離させてバキュームユニット２３の吸引によりベルトに押し付けるようにでき、ウェハを一枚ずつ確実に分離させて次工程に搬送することができる。
【００３３】
図９を参照すると、第２液流噴射ノズル７０と第１コンベア２１とバスケット４０に載置されたウェハ群Ｗとが拡大して模式的に示されており、第２液流噴射ノズル７０から噴射される液流の作用について同図に基づき詳細に説明する。
上述の如く各ウェハ間の隙間に気泡Ｐが押し込まれた状態では、ウェハは各ウェハ間の隙間に気泡Ｐが存在していることで剥離し易くなっていることから、この状態で第２液流噴射ノズル７０から液流が斜め上方向に向けて噴射されると、第２液流噴射ノズル７０からの液流によって、ウェハは第２液流噴射ノズル７０側で大きく剥離し、即ちウェハは０°より大きな仰角をもって第２液流噴射ノズル７０側が高くなるように傾斜する。この際、第１コンベア２１は一端が液体に浸るように水平に対し所定の角度（０°より大）をもって傾斜していることから、ウェハは容易にして傾斜した第１コンベア２１のベルトに沿うよう接近する。これにより、ウェハ群Ｗの最上位置のウェハだけがバキュームユニット２３によりスムーズに吸引されてベルトに押し付けられ、第１コンベア２１によって順次第２コンベア２２に搬送される。
【００３４】
即ち、最上位置のウェハと直下のウェハとの隙間に上側噴射ノズル５２から噴射された液流によって押し込まれた気泡Ｐが多く存在していることで、第２液流噴射ノズル７０から噴射される液流により、最上位置のウェハをさらに浮かせて極めて滑らかに剥離させてバキュームユニット２３の吸引によりベルトに押し付けるようにでき、ウェハを一枚ずつより一層確実に分離させて次工程に搬送することができる。
また、下側噴射ノズル５１及び上側噴射ノズル５２により液流を噴射して各ウェハ間に気泡Ｐを押し込むことにより、各ウェハの洗浄作用を促進することもできる。
なお、ウェハが第１コンベア２１に受け渡される毎に、最上位置センサ４からの情報に基づき昇降ユニット１１及び昇降ユニット１２を作動させてバスケット４０をウェハの厚み分上昇させるようにする。これにより、ウェハ群Ｗの最上位置のウェハの位置を常に第１コンベア２１の一端の近傍位置に維持させることができる。
【００３５】
また、第２液流噴射ノズル７０からの液流の噴射は、例えば第１コンベア２１のベルトの走行速度等に合わせて一定周期で間欠的に行うのがよく、これによりタイミングよくウェハを第１コンベア２１に受け渡すことが可能である。
上記実施形態では、四角形状のウェハ群Ｗの一側方の一方の角部に向けて斜めに液流を噴射するよう、液流噴射ノズル５０である下側噴射ノズル５１と上側噴射ノズル５２とをそれぞれ一つずつ配設し、これに合わせて気泡吐出装置６０を一つ配設するようにしたが、他の実施形態として、図１０に示すように、下側噴射ノズル５１と上側噴射ノズル５２とをさらにウェハ群Ｗの一側方の一方のみならず他方の角部に向けて互いに所定の夾角（例えば、２０°〜１８０°）を有して斜めに液流を噴射するよう例えば左右対称に二つ配設し、これに合わせて気泡吐出装置６０を二つ配設するようにしてもよい。
【００３６】
これより、より一層多くの気泡を各ウェハ間の隙間に存在させるようにでき、ウェハをさらに安定的に浮かせて剥離し易くすることができる。また、ウェハ群Ｗに向けて斜め左右方向の二方向から液流を噴射することになるので、ウェハの姿勢を安定させることができる。
以上で本発明に係るウェハ分離装置及びこれを用いたウェハの製造方法の説明を終えるが、本発明は上記実施形態に限られるものではない。
【００３７】
例えば、上記実施形態では、液流噴射ノズル５０を下側噴射ノズル５１と上側噴射ノズル５２とで構成しているが、液流噴射ノズル５０は一つだけであっても本発明の効果を得ることができる。
また、上記実施形態では、一対の第２液流噴射ノズル７０、７０を設けるようにしているが、第２液流噴射ノズル７０は一つだけであっても本発明の効果を得ることができる。
また、液流噴射ノズル５０だけでもウェハを浮かせて剥離し易くできることから、第２液流噴射ノズル７０については必ずしも設ける必要はなく、この場合であっても本発明の効果を得ることができる。
【符号の説明】
【００３８】
２    液槽
１０    昇降装置
１３、１４    バスケット支持部材（積載台支持部材）
２０    ベルトコンベア（搬送装置）
４０    バスケット（積載台）
５０    液流噴射ノズル
５１    下側噴射ノズル
５２    上側噴射ノズル
５４    液流発生装置
６０    気泡吐出装置
６２    気泡発生装置
７０    第２液流噴射ノズル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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