(57)【要約】      （修正有）【課題】発光管の表面をカバーによって覆ったままランプを取付対象に取り付けることが可能で、しかも取付対象に取り付けたランプと取付対象の間に形成される隙間が狭い場合であっても放電ランプからカバーを容易に取り外すことが可能なランプ用保護カバー装置、カバー装置付ランプ、及びランプ用保護カバー装置のランプからの取り外し方法を提供する。【解決手段】一対の電極を内蔵する発光管１２を有するガラス管部１１を備えるランプ１０に対して着脱可能な保護カバー装置２０において、少なくとも発光管を覆う可撓性の筒状カバー２１と、カバーの表面に巻き付けることにより、カバーの発光管に対する装着状態を保持する紐２３と、カバーに巻き付けた紐に対して所定値以上の引張り力が掛からないときは紐のカバーに対する巻付状態を保持し、所定値以上の引張り力が掛かったときは巻付状態を解除する、紐に取り付けた仮固定手段２５、２９と、を備える。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対の電極を内蔵する発光管を有するガラス管部を備えるランプに対して着脱可能な保護カバー装置において、
少なくとも上記発光管を覆う可撓性の筒状カバーと、
該カバーの表面に巻き付けることにより、上記カバーの上記発光管に対する装着状態を保持する紐と、
上記カバーに巻き付けた上記紐に対して所定値以上の引張り力が掛からないときは上記紐の上記カバーに対する巻付状態を保持し、上記所定値以上の引張り力が掛かったときは上記巻付状態を解除する、上記紐に取り付けた仮固定手段と、
を備えることを特徴とするランプ用保護カバー装置。
【請求項２】
請求項１記載のランプ用保護カバー装置において、
上記紐が、
筒状をなす上記カバーの軸線方向を中心とする周方向に延び、かつ上記仮固定手段が取り付けられる横紐部と、
自由端である一方の端部が上記紐の一方の端部を構成し、上記横紐部に対して交差する方向に延び、かつ上記引張り力が掛けられる縦紐部と、
を備えるランプ用保護カバー装置。
【請求項３】
請求項２記載のランプ用保護カバー装置において、
上記仮固定手段が、
上記横紐部の一部との一体状態を保持する取付部と、
上記縦紐部に対して上記所定値以上の引張り力が掛からないときは上記横紐部の上記一部とは別の箇所と該一部との位置関係を固定し、かつ上記所定値以上の引張り力が掛かったときは該位置関係の固定状態を解除する仮固定部と、
を備えるランプ用保護カバー装置。
【請求項４】
請求項３記載のランプ用保護カバー装置において、
上記仮固定手段が、
上記横紐部の上記別の箇所を弾性的に挟持可能な上記仮固定部を有するクリップであるランプ用保護カバー装置。
【請求項５】
請求項２から４のいずれか１項記載のランプ用保護カバー装置において、
上記ガラス管部が、上記発光管の両側に位置する一対の被装着部を有し、
上記横紐部が、上記紐の互いに離間した二カ所を構成する第一横紐部及び第二横紐部を有し、
上記第一横紐部及び上記第二横紐部を、一対の上記被装着部をそれぞれ覆う上記カバーの二カ所にそれぞれ巻き付け、
上記第一横紐部及び第二横紐部に対して上記仮固定手段をそれぞれ取り付けたランプ用保護カバー装置。
【請求項６】
請求項５記載のランプ用保護カバー装置において、
一対の被装着部を結ぶ上記ランプの軸線方向に見たときに、上記第一横紐部と第二横紐部に設けた上記仮固定手段どうしが上記軸線を中心とする周方向に９０°以上かつ４０５°以下の範囲で離間するランプ用保護カバー装置。
【請求項７】
請求項１から６のいずれか１項記載のランプ用保護カバー装置において、
上記ランプが、
該ランプの一方の端部を構成する、一方の上記電極に対して電力を供給可能な第一口金と、
上記ランプの他方の端部を構成する、他方の上記電極に対して電力を供給可能な第二口金と、
を備え、
上記カバーが、上記第一口金と上記第二口金の少なくとも一方を覆うランプ用保護カバー装置。
【請求項８】
請求項１から７のいずれか１項記載の上記ランプ用保護カバー装置と、
上記ランプと、
を備えることを特徴とするカバー装置付ランプ。
【請求項９】
一対の電極を内蔵する発光管を有するガラス管部を備えるランプに対するランプ用保護カバー装置の取り外し方法において、
上記保護カバー装置が、
少なくとも上記発光管を覆う可撓性の筒状カバーと、
該カバーの表面に巻き付けることにより、上記カバーの上記発光管に対する装着状態を保持する紐と、
上記カバーに巻き付けた上記紐に対して所定値以上の引張り力が掛からないときは上記紐の上記カバーに対する巻付状態を保持する、上記紐に取り付けた仮固定手段と、
を備え、
上記紐に対して上記所定値以上の引張り力を掛けることにより、上記仮固定手段によって保持されていた上記巻付状態を解除することを特徴とするランプ用保護カバー装置のランプからの取り外し方法。
【請求項１０】
請求項９記載のランプ用保護カバー装置のランプからの取り外し方法において、
筒状をなす上記カバーの軸線方向と上記引張り力の方向が互いに平行であるランプ用保護カバー装置のランプからの取り外し方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はランプ用保護カバー装置、カバー装置付ランプ、及びランプ用保護カバー装置のランプからの取り外し方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１は、放電ランプと、放電ランプに対して着脱可能なランプ用保護カバー装置を開示している。
この放電ランプは、陽極及び該陽極との間で放電を行う陰極を内蔵する発光管を有するガラス管部と、ガラス管部の両端部にそれぞれ接続する陽極側口金及び陰極側口金と、を具備している。発光管の内部には、大気圧より高圧の希ガスが封入されている。陽極側口金は陽極に対して電力を供給可能であり、陰極側口金は陰極に対して電力を供給可能である。
ランプ用保護カバー装置は、放電ランプに対して着脱可能な通気性シート（カバー）と、ガラス管部に装着した通気性シートの表面に巻き付けた糸と、を備えている。
【０００３】
通気性シートは、筒状状態でガラス管部の表面（並びに陽極側口金及び陰極側口金の表面に）装着してある。
糸は、ガラス管部（並びに陽極側口金及び陰極側口金）に装着したシートの表面に巻き付けてあり（又はシートに周方向に並べて形成した複数の孔に挿入してあり）、その両端部どうしを互いに結んでいる。そのため、糸によって通気性シートのガラス管部（並びに陽極側口金及び陰極側口金）に対する装着状態が保持されている。
また、糸の両端どうしの結び目を解くと、糸から通気性シートに及んでいた締付力が消失するので、通気性シートをガラス管部（並びに陽極側口金及び陰極側口金）から容易に取り外すことが可能になる。
【０００４】
運搬中に放電ランプを床面に落下させると、落下時の衝撃によって発光管が破損するおそれがある。また、放電ランプの運搬、交換時の取り扱いよって、発光管の表面に（小さな）傷が付いたり、発光管の表面に異物が付着することもあり、このような状況で放電ランプを点灯すると、放電ランプが発生する熱によって、この傷や異物を起点として発光管が破損するおそれがある。
このように発光管が破損すると、破損したガラス片が希ガスの（大気圧より高い）圧力によって周囲に飛散するおそれがある（なお、このような問題は、発光管の内部に封入した希ガスがランプ非点灯時においては大気圧より低いものの、ランプ点灯時には大気圧より高くなるタイプの放電ランプにおいても同様に生じる）。
さらに、半導体製造工場のクリーンルーム内に設けた半導体用露光装置にこの放電ランプ及びランプハウスを適用した場合に発光管が破損すると、破損したガラス片等によってクリーンルームの空気を汚染することになる。
【０００５】
また、高圧の希ガスが発光管の内部に封入されているので、放電ランプ製造時に生じた発光管の残留歪や発光管表面のマイクロクラックに起因して、放電ランプの非点灯時に発光管が破損し、ガラス片が周囲に飛散するおそれがある。
さらに、封入されたガス体が常温で大気圧以下の放電ランプであっても、点灯時に当該ガス体が大気圧より高圧になって、これらを起点としてガラス管が破裂することが経験的に知られている。
【０００６】
しかし特許文献１では、通気性シートによって放電ランプの表面を保護しているので、放電ランプの床面への落下や放電ランプ製造時に生じた発光管の残留歪やガラス管部表面のマイクロクラック等に起因して発光管が破損したとしても、上記問題は発生しない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特許第４５７８０１４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ランプハウスに放電ランプを取り付けると、両者の間に形成される隙間は微少なものとなる。従って、仮に通気性シートを装着したまま放電ランプをランプハウスに取り付けた場合は、ランプハウス内で糸の両端どうしの結び目を解く作業を行うのが極めて困難になる。
そのため、特許文献１の放電ランプをランプハウスに取り付ける場合は、ランプハウスへの取付け前に、予め糸の両端どうしの結び目を解いて放電ランプから通気性シートを取り外しておき、その後に放電ランプをランプハウスに取り付けることになる。
【０００９】
しかし、発光管の表面を剥き出しにしたまま放電ランプをランプハウスに取り付けることになる。そのため、放電ランプのランプハウスへの取り付け作業中に、発光管がランプハウスへ接触して発光管が破損し、破損したガラス片が周囲に飛散するおそれがある。
また、発光管の表面に（小さな）傷が付いたり、発光管の表面に異物が付着することがある。このような状況で放電ランプを点灯させると、上記したように、傷や異物を起点として発光管が破損し、破損したガラス片が周囲に飛散するおそれがある。
【００１０】
本発明は、発光管の表面をカバーによって覆ったままランプを取付対象に取り付けることが可能で、しかも取付対象に取り付けたランプと取付対象の間に形成される隙間が狭い場合であっても放電ランプからカバーを容易に取り外すことが可能なランプ用保護カバー装置、カバー装置付ランプ、及びランプ用保護カバー装置のランプからの取り外し方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明のランプ用保護カバー装置は、一対の電極を内蔵する発光管を有するガラス管部を備えるランプに対して着脱可能な保護カバー装置において、少なくとも上記発光管を覆う可撓性の筒状カバーと、該カバーの表面に巻き付けることにより、上記カバーの上記発光管に対する装着状態を保持する紐と、上記カバーに巻き付けた上記紐に対して所定値以上の引張り力が掛からないときは上記紐の上記カバーに対する巻付状態を保持し、上記所定値以上の引張り力が掛かったときは上記巻付状態を解除する、上記紐に取り付けた仮固定手段と、を備えることを特徴としている。
【００１２】
上記紐が、筒状をなす上記カバーの軸線方向を中心とする周方向に延び、かつ上記仮固定手段が取り付けられる横紐部と、自由端である一方の端部が上記紐の一方の端部を構成し、上記横紐部に対して交差する方向に延び、かつ上記引張り力が掛けられる縦紐部と、を備えてもよい。
この場合は、上記仮固定手段が、上記横紐部の一部との一体状態を保持する取付部と、上記縦紐部に対して上記所定値以上の引張り力が掛からないときは上記横紐部の上記一部とは別の箇所と該一部との位置関係を固定し、かつ上記所定値以上の引張り力が掛かったときは該位置関係の固定状態を解除する仮固定部と、を備えてもよい。
さらに、上記仮固定手段が、上記横紐部の上記別の箇所を弾性的に挟持可能な上記仮固定部を有するクリップであってもよい。
【００１３】
上記ガラス管部が、上記発光管の両側に位置する一対の被装着部を有し、上記横紐部が、上記紐の互いに離間した二カ所を構成する第一横紐部及び第二横紐部を有し、上記第一横紐部及び上記第二横紐部を、一対の上記被装着部をそれぞれ覆う上記カバーの二カ所にそれぞれ巻き付け、上記第一横紐部及び第二横紐部に対して上記仮固定手段をそれぞれ取り付けてもよい。
この場合は、一対の被装着部を結ぶ上記ランプの軸線方向に見たときに、上記第一横紐部と第二横紐部に設けた上記仮固定手段どうしが上記軸線を中心とする周方向に９０°以上かつ４０５°以下の範囲で離間してもよい。
【００１４】
上記ランプが、該ランプの一方の端部を構成する、一方の上記電極に対して電力を供給可能な第一口金と、上記ランプの他方の端部を構成する、他方の上記電極に対して電力を供給可能な第二口金と、を備え、上記カバーが、上記第一口金と上記第二口金の少なくとも一方を覆ってもよい。
【００１５】
本発明のカバー装置付ランプは、上記ランプ用保護カバー装置と、上記ランプと、を備えることを特徴としている。
【００１６】
本発明のランプ用保護カバー装置のランプからの取り外し方法は、一対の電極を内蔵する発光管を有するガラス管部を備えるランプに対するランプ用保護カバー装置の取り外し方法において、上記保護カバー装置が、少なくとも上記発光管を覆う可撓性の筒状カバーと、該カバーの表面に巻き付けることにより、上記カバーの上記発光管に対する装着状態を保持する紐と、上記カバーに巻き付けた上記紐に対して所定値以上の引張り力が掛からないときは上記紐の上記カバーに対する巻付状態を保持する、上記紐に取り付けた仮固定手段と、を備え、上記紐に対して上記所定値以上の引張り力を掛けることにより、上記仮固定手段によって保持されていた上記巻付状態を解除することを特徴としている。
【００１７】
筒状をなす上記カバーの軸線方向と上記引張り力の方向が互いに平行であってもよい。
【発明の効果】
【００１８】
本発明では、ランプ（の少なくとも発光管）を覆うカバーに対して紐を巻き付け、かつ紐に対して仮固定手段を取り付けることにより、（紐に対して所定値以上の引張り力が掛からないときは）紐のカバーに対する巻付状態を保持している。そして、発光管の表面をカバーによって覆ったまま放電ランプを取付対象（ランプハウス等）に取り付けることが可能である。
そのため、仮に放電ランプの取付対象への取り付け作業中に、カバー（の発光管を覆っている部分）が取付対象へ接触することにより発光管が破損したとしても、破損したガラス片が周囲に飛散するのをカバーによって防ぐことが可能である。また、発光管が取付対象に接触することがないので発光管の表面に（小さな）傷が付いたり、発光管の表面に異物が付着するおそれを低減できる。そのため放電ランプを点灯させたときに、この傷や異物を起点として発光管が破損するおそれを小さくすることが可能である。
さらに、紐に対して上記所定値以上の引張り力を掛ければ、仮固定手段によって保持されていた紐のカバーに対する巻付状態が解除されるので、カバーを放電ランプから取り外すことができる。そして紐は狭いスペースにおいても引っ張ることが可能なので、取付対象に取り付けた放電ランプと取付対象の間に形成される隙間が狭い場合であっても、ランプからカバーを容易に取り外すことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明を適用した一実施形態の放電ランプ、保護カバー装置、及び半導体用露光装置に内蔵させたランプハウスのミラーの正面図である。
【図２】互いに分離したカバーと放電ランプの正面図である。
【図３】保護カバー装置を装着した放電ランプの正面図である。
【図４】（ａ）はカバーに巻き付けた紐と紐に取り付けた第一クリップ及び第二クリップの模式的な側面図であり、（ｂ）は第一クリップ及び第二クリップの模式的な平面図である。
【図５】放電ランプの下部に装着したカバーの下部、紐の下部、及び第二クリップの拡大正面図である。
【図６】縦紐部を引っ張ることにより第二クリップによる紐の挟持状態を解除したときの図５と同様の拡大正面図である。
【図７】第一クリップ及び第二クリップの拡大斜視図である。
【図８】第一クリップ及び第二クリップと紐の一部の拡大斜視図である。
【図９】放電ランプの上部に装着したカバーの上部、紐の上部、及び第一クリップの拡大正面図である。
【図１０】縦紐部を引っ張ることにより第一クリップによる紐の挟持状態を解除したときの図９と同様の拡大正面図である。
【図１１】第一の変形例の図４と同様の模式図である。
【図１２】第二の変形例の図４と同様の模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、図１から図１０を参照しながら本発明の一実施形態について説明する。
図２等に示す放電ランプ１０は、ガラス製のガラス管部１１と、ガラス管部１１の両端部に固定した第一口金１８及び第二口金１９と、を具備している。ガラス管部１１は、略球状をなす発光管１２と、発光管１２に対して互いに同軸状態で接続する一対の封止管１３（被装着部）と、を一体的に具備している。発光管１２の内部空間には大気圧より高圧の希ガス、もしくは希ガスを主成分とした混合ガスが封入してある。なお、封入されている希ガス、もしくは希ガスを主成分とした混合ガスの圧力は大気圧以下であっても良い。また発光管１２の内部空間には一対の電極（１５および１６）が固定状態で配設してある。
一方の封止管１３の端部には第一口金１８が固定してあり、他方の封止管１３の端部には第二口金１９が固定してある。第一口金１８及び第二口金１９は共に金属（導電性材料）により構成したものである。ガラス管部１１の内部には第一口金１８と電極１５を接続する導電部材（図示略）と、第二口金１９と電極１６を接続する導電部材（図示略）が配設してある。
【００２１】
放電ランプ１０に対して着脱可能な保護カバー装置２０は、カバー２１と紐２３と第一クリップ２５（仮固定手段）と第二クリップ２９（仮固定手段）とを具備している。
カバー２１は柔軟な（可撓性を有する）布や薄肉の樹脂材により構成した、両端が開口する筒状部材である（図２参照）。カバー２１の内径は発光管１２の最大径部より大きい。またカバー２１は無色透明であるのが好ましいが、有色であってもよいし、さらに通気性があっても良い。
紐２３は伸縮性と可撓性を有する材料により構成したものである。
第一クリップ２５及び第二クリップ２９は同じ構造であり、合成樹脂や金属等によって構成した一体成形品である。図７及び図８に示すように、第一クリップ２５及び第二クリップ２９は、矩形形状の枠体２６と、枠体２６の内周面の一部から突出する舌片２７（仮固定部）と、を一体的に具備している。舌片２７は、その基端部を支点にして弾性変形可能であり、舌片２７が自由状態にあるとき舌片２７は枠体２６と同一平面上に位置する（図７参照）。さらに舌片２７には貫通孔２８（取付部）が形成してある。
図９等に示すように、第一クリップ２５の舌片２７の貫通孔２８には紐２３の一端が挿入及び固定してある。紐２３の一端の舌片２７（貫通孔２８）への固定は、テープ、接着、結びつけ等によって行うことが可能である。また図５及び図６等に示すように、第二クリップ２９の舌片２７の貫通孔２８には紐２３の一部（他端近傍の一部）がスライド自在に挿入（貫通）している（一体状態で取り付けてある）。紐２３、第一クリップ２５、及び第二クリップ２９はこのようにして一体化させてある。
【００２２】
図１及び図３に示すように、カバー２１は放電ランプ１０のガラス管部１１及び第二口金１９に対して装着可能である。
ガラス管部１１及び第二口金１９に対して装着したカバー２１の表面には紐２３、第一クリップ２５、及び第二クリップ２９の一体物が取り付けてある。即ち、カバー２１の上部（第一口金１８側の封止管１３を覆っている部分）の表面上には第一クリップ２５が位置させてあり、第一クリップ２５から延びる紐２３の一端近傍部を構成する第一横紐部２３ａが上下方向（放電ランプ１０の軸線方向）を中心とする周方向（又は略周方向）に延びかつ舌片２７と枠体２６の間に挟まれている。このとき第一クリップ２５の舌片２７は弾性変形しており（図８参照）、舌片２７と枠体２６の間には所定の挟持力が発生している。そのため第一横紐部２３ａに対して所定値以上の大きさの引張り力が掛からないときは、第一クリップ２５の舌片２７と枠体２６は第一横紐部２３ａを挟持し続ける。このようにカバー２１の上部（第一口金１８側の封止管１３を覆っている部分）に巻き付けられた第一横紐部２３ａがカバー２１の上部に締め付け力を及ぼしており、さらに第一クリップ２５の枠体２６と舌片２７が第一横紐部２３ａを挟持しているので、第一横紐部２３ａに対して所定値以上の大きさの引張り力が掛からない限り、カバー２１の上部の第一口金１８側の封止管１３に対する装着状態が保持される。
紐２３の第一横紐部２３ａに連なる部分である中間部２３ｂは、正面視で傾斜しながら下方に延びている。
紐２３の中間部２３ｂに連なる部分である第二横紐部２３ｃは、第二クリップ２９の枠体２６と舌片２７とによって挟持され、かつ上記周方向に延びている。第二横紐部２３ｃの一部は、カバー２１の下部（第二口金１９側の封止管１３を覆っている部分）の表面上に位置させた第二クリップ２９の舌片２７の先端近傍部と枠体２６によって挟持されており、第二横紐部２３ｃの他の一部は舌片２７の基端近傍部と枠体２６によって挟持されかつ貫通孔２８を貫通している。図４等に示すように、一対の封止管１３を結ぶ放電ランプ１０の軸線方向（上下方向）に見たときに、第一クリップ２５と第二クリップ２９はランプ中心軸を中心としてランプ周方向にα°の範囲で互いに離間している（図４（ｂ）参照）。第二クリップ２９の舌片２７は弾性変形しているので（図８参照）、舌片２７と枠体２６の間には所定の挟持力が発生している。そのため第二横紐部２３ｃに対して所定値以上の大きさの引張り力が掛からないときは、第二クリップ２９の舌片２７の先端近傍部と枠体２６は第二横紐部２３ｃを挟持し続ける。このようにカバー２１の下部（第二口金１９側の封止管１３を覆っている部分）に巻き付けられた第二横紐部２３ｃがカバー２１の下部に締め付け力を及ぼしており、さらに第二クリップ２９の枠体２６と舌片２７が第二横紐部２３ｃを挟持しているので、第二横紐部２３ｃに対して所定値以上の大きさの引張り力が掛からない限り、カバー２１の下部の第二口金１９側の封止管１３に対する装着状態が保持される。
第二横紐部２３ｃの貫通孔２８を通り抜けた部分は、重力によって下向き（第一横紐部２３ａ及び第二横紐部２３ｃに対して交差する方向）に延びる縦紐部２３ｄを構成している。
【００２３】
このように一体化された放電ランプ１０及び保護カバー装置２０は、保護カバー装置２０を放電ランプ１０に対して装着したままの状態で、半導体用露光装置（図示略）に内蔵させたランプハウス（取付対象）に対して装着可能である。このランプハウスは、ミラー３０と、ランプ固定部３４と、第一給電ケーブル３５と、第二給電ケーブル３６と、を具備している。すり鉢状（縦断面形状は楕円形）のミラー３０の下端には下端開口３１が形成してあり、ミラー３０の上端には下端開口３１より大径の上端開口３２が形成してある。ランプ固定部３４は、ミラー３０の直上に固定状態で配設してある。第一給電ケーブル３５の一端は電源（直流電源、又は交流電源）の一方の電極に接続しており、第一給電ケーブル３５の他端はランプ固定部３４に接続している。
一体化された放電ランプ１０及び保護カバー装置２０は、第一口金１８側を上方に位置させた状態でミラー３０の下方から下端開口３１を通してミラー３０の内部空間に挿入可能であり、第一口金１８をランプ固定部３４に対して固定状態で接続可能である。放電ランプ１０をランプ固定部３４に接続すると、第一口金１８と第一給電ケーブル３５がランプ固定部３４を介して電気的に導通可能となり、さらに図１に示すように第二口金１９及びカバー２１の下端部（第二口金１９を覆っている部分）が下端開口３１の下方に位置する。
【００２４】
このようにして放電ランプ１０をランプハウスに接続したら、紐２３の縦紐部２３ｄに対して下向き（上下方向と平行又は略平行）の上記所定値以上の引張り力を掛ける。すると、この引張り力が第二横紐部２３ｃ（の縦紐部２３ｄ側の端部）から第二クリップ２９の貫通孔２８の下縁部に及ぶので、第二クリップ２９全体が下方に引き下げられる。その結果、第二クリップ２９の舌片２７の先端近傍部と枠体２６による第二横紐部２３ｃの挟持状態が解除される（図６参照）ので、第二横紐部２３ｃからカバー２１の下部（第二口金１９側の封止管１３を覆っている部分）に及んでいた締め付け力が消失する。
すると第二クリップ２９と第二横紐部２３ｃがカバー２１から脱落し、縦紐部２３ｄに及ぼした上記所定値以上の引張り力が中間部２３ｂに及ぶので、第一クリップ２５の舌片２７と枠体２６による第一横紐部２３ａの挟持状態が解除される（図１０参照）。その結果、第一横紐部２３ａからカバー２１の上部（第一口金１８側の封止管１３を覆っている部分）に及んでいた締め付け力が消失するので、紐２３、第一クリップ２５、及び第二クリップ２９が重力に従って下端開口３１を通ってミラー３０の下方に落下する。
従って、カバー２１を放電ランプ１０の表面から取り外すことが可能になる（又は、重力に従ってカバー２１が放電ランプ１０の表面から落下する）。
カバー２１を放電ランプ１０の表面から取り外したら、放電ランプ１０の第二口金１９に第二給電ケーブル３６の一端を接続し、さらに第二給電ケーブル３６の他端を上記電源の他方の電極に接続する。
【００２５】
このようにして放電ランプ１０から保護カバー装置２０を取り外した後に、半導体用露光装置に設けたＯＮ／ＯＦＦ制御スイッチをＯＮ状態に切り換えると、電極１５と電極１６の間で放電が発生し放電ランプ１０が点灯する。すると放電ランプ１０から出射された光がミラー３０によって上方に反射され、上端開口３２及び上端開口３２の上方に配置した光学系（図示略）を通り抜けて半導体（図示略）の表面に照射されるので、半導体の表面に所望パターンの回路が形成される。
一方、ＯＮ／ＯＦＦ制御スイッチをＯＦＦ状態に切り換えれば放電ランプ１０が消灯する。
【００２６】
以上説明したように本実施形態では、ガラス管部１１及び第二口金１９をカバー２１で覆ったまま放電ランプ１０を取付対象であるランプハウス（ランプ固定部３４）に取り付けることが可能である。
そのため、仮に、放電ランプ１０のランプハウスへの取り付け作業中に、カバー２１（の発光管１２を覆っている部分）がミラー３０へ接触することにより発光管１２が破損したとしても、破損したガラス片が周囲に飛散するのをカバー２１によって防ぐことが可能である。また、発光管１２がミラー３０に接触することがないので発光管１２の表面に（小さな）傷が付いたり、発光管１２の表面に異物が付着するおそれを低減できる。そのため放電ランプ１０を点灯させたときに、この傷や異物を起点として発光管１２が破損するおそれを小さくすることが可能である。
さらに、紐２３の縦紐部２３ｄに対して上記所定値以上の引張り力を掛ければ、第一クリップ２５及び第二クリップ２９によって保持されていた紐２３のカバー２１に対する巻付状態が解除されるので、カバー２１を放電ランプ１０から取り外すことができる。そして下端開口３１から下方に延びている縦紐部２３ｄは、放電ランプ１０とランプハウスの間に形成された狭いスペースにおいても容易に引っ張ることが可能なので、放電ランプ１０からカバー２１を容易に取り外すことができる。
【００２７】
さらに筒状部材からなるカバー２１は、放電ランプ１０から取り外したときにカバー２１からほぼ真下に向かって落下するので、落下時にカバー２１がミラー３０に接触する可能性は低い。そのため、ミラー３０に傷やクラックが生じたり、ミラー３０に異物が付着するおそれは殆どない。
【００２８】
さらに放電ランプ１０にカバー２１を被せたときにカバー２１の下部が第二口金１９を覆いかつカバー２１の下部が下端開口３１の下方に位置する。そのため放電ランプ１０をランプハウスに取り付ける作業者は、放電ランプ１０のランプハウスへの取付作業が完了したときに、まだ保護カバー装置２０が放電ランプ１０に装着されたままであることを容易に認識できる。従って、保護カバー装置２０を放電ランプ１０に装着したまま放電ランプ１０を点灯させてしまい、放電ランプ１０が発生する熱によってカバー２１が溶けてガラス管部１１の表面に付着する（さらに、付着することによりガラス管部１１の破裂等を誘因する）リスクを低減できる。
【００２９】
さらに紐２３が伸縮性を有しているので、仮に縦紐部２３ｄに対して大きな引張り力を勢いよく掛けても、この引張り力の一部が紐２３によって吸収されるので、紐２３から放電ランプ１０に対して過剰な力が掛かることはない。そのため、このような場合であってもガラス管部１１等が破損するおそれは小さい。
【００３０】
以上、上記実施形態を利用して本発明を説明したが、本発明は様々な変形を施しながら実施可能である。
例えば、図１１や図１２に示す変形例の態様で実施してもよい。
図１１の変形例は、紐２３に対して第一クリップ２５及び第二クリップ２９の代わりに、第一クリップ２５に対応する第一磁石４０（仮固定手段）及び第二磁石４１（仮固定手段）と、第二クリップ２９に対応する第三磁石４２（仮固定手段）及び第四磁石４３（仮固定手段）を固定したものである。第一磁石４０は第一横紐部２３ａの一端に固定してあり、第二磁石４１は第一横紐部２３ａの他端に固定してある。第三磁石４２は第二横紐部２３ｃの一端に固定してあり、第四磁石４３は第二横紐部２３ｃの他端に固定してある。第一磁石４０と第二磁石４１の対向面の一方はＮ極を構成しており、対向面の他方はＳ極を構成している。同様に、第三磁石４２と第四磁石４３の対向面の一方はＮ極を構成しており、対向面の他方はＳ極を構成している。
従って、第一横紐部２３ａをカバー２１の上部（第一口金１８側の封止管１３を覆っている部分）に巻き付けた上で第一磁石４０と第二磁石４１を吸着させ、かつ、第二横紐部２３ｃをカバー２１の下部（第二口金１９側の封止管１３を覆っている部分）に巻き付けた上で第三磁石４２と第四磁石４３を吸着させれば、カバー２１を放電ランプ１０のガラス管部１１及び第二口金１９に対して装着できる。さらに、縦紐部２３ｄに対して所定値以上の引張り力を掛ければ、第一磁石４０と第二磁石４１の吸着状態、及び、第三磁石４２と第四磁石４３の吸着状態が解除されるので、放電ランプ１０からカバー２１を容易に取り外すことができる。
【００３１】
図１２の変形例は、第一磁石４０、第二磁石４１、第三磁石４２、第四磁石４３の代わりに、紐２３に対して第一面ファスナ４５（仮固定手段）、第二面ファスナ４６（仮固定手段）、第三面ファスナ４７（仮固定手段）、第四面ファスナ４８（仮固定手段）を固定したものである。
従って、第一横紐部２３ａをカバー２１の上部（第一口金１８側の封止管１３を覆っている部分）に巻き付けた上で第一面ファスナ４５と第二面ファスナ４６を貼り合わせ、かつ、第二横紐部２３ｃをカバー２１の下部（第二口金１９側の封止管１３を覆っている部分）に巻き付けた上で第三面ファスナ４７と第四面ファスナ４８を貼り合わせれば、カバー２１を放電ランプ１０のガラス管部１１及び第二口金１９に対して装着できる。さらに、縦紐部２３ｄに対して所定値以上の引張り力を掛ければ、第一面ファスナ４５と第二面ファスナ４６の貼り合わせ状態、及び、第三面ファスナ４７と第四面ファスナ４８の貼り合わせ状態が解除されるので、放電ランプ１０からカバー２１を容易に取り外すことができる。
なお対をなす面ファスナ（第一面ファスナ４５と第二面ファスナ４６、及び、第三面ファスナ４７と第四面ファスナ４８）を互いに着脱可能な点ファスナ（スナップロック。仮固定手段）により構成してもよい。
【００３２】
また、第一クリップ２５と第二クリップ２９のランプ中心軸を中心としてランプ周方向の離間角度α°の大きさを（９０≦α≦４０５）としてもよい。
図５、図６、図９、図１０に示すように、カバー２１を放電ランプ１０に巻き付けるとカバー２１の表面には略上下方向に延びるしわ（凹凸）が多数生じる。そのため、仮に中間部２３ｂが上下方向に延びている場合は、中間部２３ｂがこれらのしわから大きな抵抗を受け易く、第一クリップ２５による第一横紐部２３ａの挟持状態を解除するためには縦紐部２３ｄを強い力で引っ張らなければならない。
しかしこの変形例では、中間部２３ｂが上記しわを横断することになるので、中間部２３ｂがこれらのしわから大きな抵抗を受け難く、それ故、縦紐部２３ｄを小さい力で引っ張るだけで第一クリップ２５による第一横紐部２３ａの挟持状態を解除できる。
【００３３】
なお、第二横紐部２３ｃ側の仮固定手段（ただし第二クリップ２９を除く）を上記実施形態とは逆方向（放電ランプ１０を上方から見たときに反時計方向）に第一横紐部２３ａ側の仮固定手段（ただし第一クリップ２５を除く）に対してα°の範囲で周方向位置をずらしてもよい。
【００３４】
さらにカバー２１を筒状ではなく二次元形状（例えば矩形形状）とし、カバー２１の一方の側縁部を他方の側縁部に対して重ね合わせることにより、カバー２１を筒状に変形させてもよい。
また第一クリップ２５と第二クリップ２９をカバー２１に固定してもよい。同様に、第一磁石４０と第三磁石４２をカバー２１に固定したり、第一面ファスナ４５と第三面ファスナ４７をカバー２１に固定してもよい。
また紐２３の中間部２３ｂと第二横紐部２３ｃを非連続にしてもよい（紐２３を２本の紐に分けても良い）。この場合は、中間部２３ｂを引っ張ることにより第一横紐部２３ａ側の仮固定手段による仮固定状態を解除し、縦紐部２３ｄを引っ張ることにより第二横紐部２３ｃ側の仮固定手段による仮固定状態を解除する。さらに、中間部２３ｂと縦紐部２３ｄを結ぶ等して２本の紐（中間部２３ｂと縦紐部２３ｄ）を一体化し、中間部２３ｂ（又は／及び縦紐部２３ｄ）を引っ張ることにより第一横紐部２３ａ側の仮固定手段及び第二横紐部２３ｃ側の仮固定手段による仮固定状態を解除してもよい。
【００３５】
また、カバー２１は少なくとも発光管１２を覆うものであればよく、封止管１３や第二口金１９を覆う必要はない。その一方で、カバー２１によって第一口金１８を覆ってもよい。
さらに筒状にしたカバー２１（最初から筒状の場合も、二次元形状のカバー２１を筒状にした場合も）の両端部を閉じたり、一方の端部のみを閉じても良い。
第一横紐部２３ａと第二横紐部２３ｃの一方のみをカバー２１に対して巻き付けても良い。
さらに第一横紐部２３ａと第二横紐部２３ｃの巻き付け部位を上記部分から変更してもよく、例えば、カバー２１の第一口金１８又は第二口金１９に装着した部分に巻き付けても良い。
【符号の説明】
【００３６】
１０    放電ランプ（ランプ）
１１    ガラス管部
１２    発光管
１３    封止管（ステム）（被装着部）
１５    電極
１６    電極
１８    第一口金
１９    第二口金
２０    保護カバー装置
２１    カバー
２３    紐
２３ａ  第一横紐部
２３ｂ  中間部
２３ｃ  第二横紐部
２３ｄ  縦紐部
２５    第一クリップ（仮固定手段）
２６    枠体
２７    舌片（仮固定部）
２８    貫通孔（取付部）
２９    第二クリップ（仮固定手段）
３０    ミラー
３１    下端開口
３２    上端開口
３４    ランプ固定部
３５    第一給電ケーブル
３６    第二給電ケーブル
４０    第一磁石（仮固定手段）
４１    第二磁石（仮固定手段）
４２    第三磁石（仮固定手段）
４３    第四磁石（仮固定手段）
４５    第一面ファスナ（仮固定手段）
４６    第二面ファスナ（仮固定手段）
４７    第三面ファスナ（仮固定手段）
４８    第四面ファスナ（仮固定手段）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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