(57)【要約】【課題】不活性ガスの供給を停止した状態での点検作業に加えて、不活性ガスの供給が変更されることなく継続した状態での点検作業を行うことができる保管棚用の不活性ガス注入装置が求められる。【解決手段】停止無効指令が指令されていない通常停止状態において、点検扉の開状態が検出された場合は、容器５０に対する不活性ガスの供給を停止させ、停止無効指令が指令された停止無効状態において、点検扉５５の開状態が検出された場合は、直前供給パターンに基づく不活性ガスの供給を継続させると共に、直前供給パターンを定めるパラメータの人為操作による変更を禁止する保管棚用の不活性ガス注入装置。【選択図】図４
2014241377.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を収納する容器を収納する収納部を備え、外部と区画形成された保管空間内に設置された保管棚と、
前記収納部に収納された状態で排気口から容器内の気体を前記保管空間内に排出可能な前記容器を対象とし、当該容器の給気口から不活性ガスを前記容器の内部に注入する注入部と、を備えた保管棚用の不活性ガス注入装置であって、
予め設定されたパラメータにより定まる供給パターンに基づいて、前記注入部の作動を制御して前記容器に対する不活性ガスの供給を制御する注入制御部と、前記保管空間内に作業者が出入するための点検扉の開閉状態を検出する点検扉開閉検出部と、停止無効指令を指令する人為操作式の停止無効指令部と、を備え、
前記注入制御部は、
前記停止無効指令部から停止無効指令が指令されていない状態である通常停止状態において、前記点検扉開閉検出部により前記点検扉の開状態が検出された場合は、当該点検扉の開状態が検出される前に実行していた前記供給パターンである直前供給パターンに基づく不活性ガスの供給制御を中止して、前記容器に対する不活性ガスの供給を停止させ、
前記停止無効指令部から前記停止無効指令が指令された状態である停止無効状態において、前記点検扉開閉検出部により前記点検扉の開状態が検出された場合は、前記直前供給パターンに基づく不活性ガスの供給を継続させると共に、前記直前供給パターンを定めるパラメータの人為操作による変更を禁止する保管棚用の不活性ガス注入装置。
【請求項２】
前記注入制御部は、前記停止無効状態において、前記点検扉の開状態が検出された場合は、更に、外部からの遠隔操作による、前記直前供給パターンを定めるパラメータの変更を禁止する請求項１に記載の保管棚用の不活性ガス注入装置。
【請求項３】
前記保管空間内の酸素濃度を検出する酸素濃度検出センサを更に備え、
前記注入制御部は、前記停止無効状態において前記直前供給パターンに基づく不活性ガスの供給を継続させている場合に、前記酸素濃度検出センサにより検出される酸素濃度が予め定めた設定値未満になると、前記直前供給パターンに基づく不活性ガスの供給制御を中止して、前記容器に対する不活性ガスの供給を停止させる請求項１又は２に記載の保管棚用の不活性ガス注入装置。
【請求項４】
前記注入制御部は、前記停止無効状態において前記直前供給パターンに基づく不活性ガスの供給を継続させている場合は、不活性ガスの供給を継続することを作業者に通知する通知部を作動させる請求項１から３のいずれか一項に記載の保管棚用の不活性ガス注入装置。
【請求項５】
前記注入制御部は、前記停止無効指令部から前記停止無効指令が指令された場合に前記停止無効状態に設定し、前記停止無効状態に設定した後、予め定めた設定時間が経過しても、前記点検扉開閉検出部により前記点検扉の開状態が検出されない場合は、前記停止無効状態を解除して前記通常停止状態に切換える請求項１から４のいずれか一項に記載の保管棚用の不活性ガス注入装置。
【請求項６】
前記停止無効指令部は、操作体を操作解除位置又は無効指令位置に操作可能に構成されており、前記操作体が前記無効指令位置に操作されている場合に前記停止無効指令を指令し、前記操作体は、前記操作解除位置に復帰付勢されている請求項１から５のいずれか一項に記載の保管棚用の不活性ガス注入装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板を収納する容器を収納する収納部を備え、外部と区画形成された保管空間内に設置された保管棚と、前記収納部に収納された状態で排気口から容器内の気体を前記保管空間内に排出可能な前記容器を対象とし、当該容器の給気口から不活性ガスを前記容器の内部に注入する注入部と、を備えた保管棚用の不活性ガス注入装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
かかる保管棚用の不活性ガス注入装置は、基板（例えば、半導体ウェハ）にパーティクルが付着することを抑制し、また、酸素や湿度によって基板（例えば、半導体ウェハ）が適正状態から悪化することを抑制するために、基板を収納する容器に不活性ガスを注入することになる。
つまり、基板を収納する容器の給気口より不活性ガスを注入するに伴って、容器内の気体が排気口等より保管空間内に排出されて、注入される不活性ガスにて容器内が充満された状態となるため、基板（例えば、半導体ウェハ）にパーティクルが付着することや、酸素や湿度によって基板（例えば、半導体ウェハ）が適正状態から悪化することが抑制されることになる。
【０００３】
かかる保管用の不活性ガス注入装置の従来例として、箱形の保管庫内に、収納部としての保管部を縦横に並べて設け、各保管部に、不活性ガスとしての窒素ガスを供給するガス供給管を装備したものがある（例えば、特許文献１参照。）。
【０００４】
なお、特許文献１には詳細な説明はないが、箱形の保管庫内が、外部と区画形成された保管空間に相当することになり、この箱形の保管庫内に、容器から窒素ガスが排出されることになる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００１−３３８９７１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
保管棚用の不活性ガス注入装置においては、種々の点検作業を行うために、一般に、保管空間内に作業者が出入するための点検扉が設けられることになる。
そして、このように点検扉を設ける場合においては、作業者が保管空間内に位置するときには、収納部に収納されている容器の排気口より保管空間内に不活性ガスが排出することを抑制すべく、点検扉が開かれると、不活性ガスの供給を停止することが考えられる。
【０００７】
しかしながら、点検扉が開かれると、単に、不活性ガスの供給を停止すると、収納部に収納されている容器の給気口に対する不活性ガスの供給状態や、容器の排気口からの不活性ガスの排出状態等、不活性ガスが供給されている状態での点検を行えないものとなるため、点検扉が開かれると、不活性ガスの供給を停止することに加えて、点検扉が開かれても、不活性ガスの供給が継続される状態を現出できることも望まれる。
【０００８】
また、作業者が点検扉を開いて保管空間内に入り、不活性ガスの供給状態などを点検しているときに、例えば、作業者が認識していない状態で、不活性ガスの供給状態が変更されると、供給状態の点検が妨げられたり、保管空間内への不活性ガスの排出量が増加したりする恐れがある。
【０００９】
そこで、不活性ガスの供給を停止した状態での点検作業に加えて、不活性ガスの供給が点検作業中に変更されることがない状態での点検作業を行うことができる保管棚用の不活性ガス注入装置が求められる。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明に係る、基板を収納する容器を収納する収納部を備え、外部と区画形成された保管空間内に設置された保管棚と、
前記収納部に収納された状態で排気口から容器内の気体を前記保管空間内に排出可能な前記容器を対象とし、当該容器の給気口から不活性ガスを前記容器の内部に注入する注入部と、を備えた保管棚用の不活性ガス注入装置の特徴構成は、
予め設定されたパラメータにより定まる供給パターンに基づいて、前記注入部の作動を制御して前記容器に対する不活性ガスの供給を制御する注入制御部と、前記保管空間内に作業者が出入するための点検扉の開閉状態を検出する点検扉開閉検出部と、停止無効指令を指令する人為操作式の停止無効指令部と、を備え、
前記注入制御部は、
前記停止無効指令部から停止無効指令が指令されていない状態である通常停止状態において、前記点検扉開閉検出部により前記点検扉の開状態が検出された場合は、当該点検扉の開状態が検出される前に実行していた前記供給パターンである直前供給パターンに基づく不活性ガスの供給制御を中止して、前記容器に対する不活性ガスの供給を停止させ、
前記停止無効指令部から前記停止無効指令が指令された状態である停止無効状態において、前記点検扉開閉検出部により前記点検扉の開状態が検出された場合は、前記直前供給パターンに基づく不活性ガスの供給を継続させると共に、前記直前供給パターンを定めるパラメータの人為操作による変更を禁止する点を特徴とする。
【００１１】
この特徴構成によれば、停止無効指令部にて停止無効指令が指令されていない通常停止状態においては、点検扉開閉検出部にて点検扉の開状態が検出されると、点検扉が開状態となる前に実行していた供給パターンに基づく不活性ガスの供給制御が中止されて、容器に対する不活性ガスの供給が停止されることになる。一方、停止無効指令部にて停止無効指令が指令された停止無効状態においては、点検扉開閉検出部にて点検扉の開状態が検出されても、点検扉が開状態となる前に実行していた供給パターンに基づく不活性ガスの供給が継続されると共に、供給パターンを定めるパラメータの人為操作による変更が禁止されることになる。
【００１２】
従って、点検作業として、収納部に収納されている容器の給気口に対する不活性ガスの供給状態や、容器の排気口からの不活性ガスの排出状態等、不活性ガスが供給されている状態での点検を行う際には、作業者が停止無効指令部を操作して停止無効指令を指令させることにより、点検扉が開かれても、点検扉が開状態となる前に実行していた供給パターンに基づく容器に対する不活性ガスの供給が継続される状態を実現して、容器に対する不活性ガスの供給が継続される供給パターンに基づく供給状態で点検作業を行うことができる。
【００１３】
この際、例えば、保管空間外にいる別の作業者が、不活性ガスの供給パターンを定めるパラメータを変更しようとしても、当該パラメータの変更が禁止されているので、不活性ガスの供給状態は変更されない。よって、保管空間内にいる作業者が認識していない状態で、不活性ガスの供給状態が変更されて、供給状態の点検が妨げられたり、保管空間内への不活性ガスの排出量が増加したりすることを防止できる。
【００１４】
一方、点検作業として、容器に対する不活性ガスの供給を必要としない場合には、作業者が、停止無効指令部に停止無効指令を指令させていない状態で点検扉を開くことにより、容器に対する不活性ガスの供給が停止され、容器に対する不活性ガスの供給を停止した状態で点検作業を行うことができる。
【００１５】
従って、不活性ガスの供給を停止した状態での点検作業に加えて、点検扉が開状態となる前に実行していた供給パターンに基づく不活性ガスの供給が点検作業中に変更されることなく継続した状態での点検作業を行うことができる保管棚用の不活性ガス注入装置を提供できる。
【００１６】
ここで、前記注入制御部は、前記停止無効状態において、前記点検扉の開状態が検出された場合は、更に、外部からの遠隔操作による、前記直前供給パターンを定めるパラメータの変更を禁止すると好適である。
【００１７】
外部からの遠隔操作では、作業者の作業状態を認識し難いので、作業者の作業状態とは関係なく、供給パターンを定めるパラメータが変更される可能性がある。このため、例えば、作業者が保管空間内にいるときに、外部からの遠隔操作により、保管空間内への不活性ガスの排出量が急増する事態が生じる恐れがある。上記の構成によれば、直前供給パターンに基づく容器に対する不活性ガスの供給が継続されている状態で、作業者が保管空間内で点検を行っている際に、外部からの遠隔操作により、直前供給パターンを定めるパラメータを変更しようとしても、当該パラメータの変更が禁止されているので、パラメータが変更されないようにできる。よって、作業者が全く認識していない状態で、外部からの遠隔操作により不活性ガスの供給状態が変更されて、供給状態の点検が妨げられたり、保管空間内への不活性ガスの排出量が増加したりすることを防止できる。
【００１８】
また、前記保管空間内の酸素濃度を検出する酸素濃度検出センサを更に備え、
前記注入制御部は、前記停止無効状態において前記直前供給パターンに基づく不活性ガスの供給を継続させている場合に、前記酸素濃度検出センサにより検出される酸素濃度が予め定めた設定値未満になると、前記直前供給パターンに基づく不活性ガスの供給制御を中止して、前記容器に対する不活性ガスの供給を停止させると好適である。
【００１９】
この構成によれば、停止無効状態において点検扉が開状態となる前に実行していた供給パターンに基づく不活性ガスの供給を継続している際に、酸度濃度検出センサにて検出される酸素濃度が設定値未満になると、点検扉が開状態となる前に実行していた供給パターンに基づく不活性ガスの供給制御が中止されて、容器に対する不活性ガスの供給が停止されることになる。
【００２０】
従って、停止無効状態において、容器の排気口などから不活性ガスが保管空間内に排出されることに起因して、保管空間内の酸素濃度が設定値未満になった場合には、容器に対する不活性ガスの供給を停止して、作業者の安全性を確保できる。
【００２１】
つまり、保管空間は、容器から排出される気体を外部に放出する都合上、完全に密閉されるものではなく、外部空間と通気できる状態に適宜開放されるものである。また、点検作業を行うときには、点検扉が開状態に維持される場合が多く、容器の排気口などから不活性ガスが保管空間内に排出されても、保管空間内の酸素濃度が極端に低下して、設定値未満になることはない。しかし、万が一、保管空間内の酸素濃度が設定値未満になった場合には、容器に対する不活性ガスの供給が停止させて、作業者の安全性を適切に確保することができる。
【００２２】
また、前記注入制御部は、前記停止無効状態において前記直前供給パターンに基づく不活性ガスの供給を継続させている場合は、不活性ガスの供給を継続することを作業者に通知する通知部を作動させると好適である。
【００２３】
この構成によれば、停止無効状態において、点検扉開閉検出部にて点検扉の開状態が検出されても、点検扉が開状態となる前に実行していた供給パターンに基づく不活性ガスの供給を継続する際には、通知部によって、不活性ガスの供給を継続することが、作業者に通知されることになる。
【００２４】
従って、作業者は、保管用空間内にて点検作業を行う際に、容器に対する不活性ガスの供給が継続されていることを的確に認識できるため、容器に対する不活性ガスの供給が継続されていることを認識した状態で点検作業を良好に行うことができる。
【００２５】
なお、通知部としては、作業者が携帯する携帯電話等の携帯端末に対して、不活性ガスの供給を継続することを通知する構成や、点検扉の近くに、スピーカを設けて、不活性ガスの供給を継続することを通知する構成等を用いることができる。
【００２６】
また、前記注入制御部は、前記停止無効指令部から前記停止無効指令が指令された場合に前記停止無効状態に設定し、前記停止無効状態に設定した後、予め定めた設定時間が経過しても、前記点検扉開閉検出部により前記点検扉の開状態が検出されない場合は、前記停止無効状態を解除して前記通常停止状態に切換えると好適である。
【００２７】
この構成によれば、停止無効指令部にて停止無効指令が指令されて、停止無効状態に設定されても、その後、設定時間が経過しても、点検扉開閉検出部にて点検扉の開状態が検出されないときには、停止無効状態が解除されて、通常停止状態に切換えられることになる。
【００２８】
従って、作業者が、容器に対する不活性ガスの供給を継続した状態での点検作業を行うために、停止無効指令部にて停止無効指令を指令しても、その後、都合により点検作業を中止した場合等において、自動的に、停止無効状態が解除されて通常停止状態に切換えられるため、不必要に停止無効状態が継続されることを回避できる。
【００２９】
停止無効状態が無制限に継続される構成であると、停止無効状態になっていることに気付いていない作業者が、通常停止状態であるから点検扉を開状態にすれば不活性ガスの供給が中止されるはずであると思い込んだまま、停止無効状態に気付かずに保管用空間内に進入する恐れある。このような場合、作業者が点検扉を開けても活性ガスの供給が中止されず容器に対する不活性ガスの供給が継続されている状態が意図せず発生する。この点、上記の構成によれば、停止無効状態に設定した後、そのまま点検扉が開状態となれることなく予め定めた設定時間が経過すると、停止無効状態を解除して通常停止状態に切換えるので、実際は停止無効状態であるにも関わらず作業者が停止無効状態であることに気付かずに保管用空間内に進入するという事態が発生することを抑制できる。
【００３０】
また、前記停止無効指令部は、操作体を操作解除位置又は無効指令位置に操作可能に構成されており、前記操作体が前記無効指令位置に操作されている場合に前記停止無効指令を指令し、前記操作体は、前記操作解除位置に復帰付勢されていると好適である。
【００３１】
この構成によれば、操作体を操作解除位置から無効指令位置に操作することによって、停止無効指令を指令することができる。また、無効指令位置に操作された操作体は、手指を離せば、操作解除位置に復帰付勢力にて戻ることになり、無効指令位置に操作された状態で放置されることを防止できる。よって、不必要に停止無効状態が継続されることを回避できる。
【００３２】
また、上記のように、停止無効状態の設定後、点検扉が開かれないまま設定時間が経過して、停止無効状態が解除されて通常停止状態に自動的に切換えられても、操作体が無効指令位置に保持されている場合には、作業者は、停止無効状態であると勘違いする恐れがある。しかし、上記の構成によれば、操作体は復帰付勢力により操作解除位置に戻るため、作業者が停止無効状態であると勘違いすることを回避できる。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本発明の実施形態に係る保管棚を備えた物品保管設備の縦断正面図である。
【図２】本発明の実施形態に係る物品保管設備の切欠き側面図である。
【図３】本発明の実施形態に係る収納部の斜視図である。
【図４】本発明の実施形態に係る注入部及び注入制御部の概略構成を示す説明図である。
【図５】本発明の実施形態に係る供給パターンを示す説明図である。
【図６】本発明の実施形態に係る注入制御部の処理を説明するためのフローチャートである。
【図７】本発明の実施形態に係る注入制御部の処理を説明するためのフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００３４】
本発明に係る保管棚用の不活性ガス注入装置１（以下、不活性ガス注入装置１と称す）の実施形態について説明する。
不活性ガス注入装置１は、基板を収容する搬送容器５０（以下、容器と略称する）を保管する保管棚１０と、保管棚１０に保管された容器５０の内部に不活性ガスを注入する注入部Ｎと、を備えている。本実施形態では、保管棚１０は、物品保管設備の一部を構成している。以下で詳細を説明する。
【００３５】
１．物品保管設備
物品保管設備は、図１及び図２に示すように、基板を密閉状態で収容する容器５０を保管する保管棚１０、搬送部としてのスタッカークレーン２０、及び、容器５０の入出庫部としての入出庫コンベヤＣＶを備えている。
保管棚１０及びスタッカークレーン２０が、壁体Ｋにて外部と区画形成された保管空間内に配設され、入出庫コンベヤＣＶが、壁体Ｋを貫通する状態で配設されている。
【００３６】
保管棚１０は、容器５０を支持する支持部としての収納部１０Ｓを、上下方向及び左右方向に並べる状態で複数備えて、複数の収納部１０Ｓの夫々に、容器５０を収納するように構成されており、その詳細は後述する。
【００３７】
そして、本実施形態においては、図１に示すように、物品保管設備が設置されたクリーンルームの天井部に敷設のガイドレールＧに沿って走行するホイスト式の搬送車Ｄが装備されて、このホイスト式の搬送車Ｄによって、入出庫コンベヤＣＶに対して容器５０が搬入及び搬出されるように構成されている。
【００３８】
１−１．容器５０
容器５０は、ＳＥＭＩ（Semiconductor Equipment and Materials Institute）規格に準拠した合成樹脂製の気密容器であり、基板としての半導体ウェハーＷ（図４参照）を収納するために用いられ、ＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）と呼称されている。そして、詳細な説明は省略するが、容器５０の前面には、着脱自在な蓋体にて開閉される基板出入用の開口が形成され、容器５０の上面には、図１に示すように、ホイスト式の搬送車Ｄにより把持されるトップフランジ５２（図４参照）が形成され、そして、容器５０の底面には、位置決めピン１０ｂ（図３参照）が係合する３つの係合溝（図示せず）が形成されている。
【００３９】
すなわち、容器５０は、図４に示すように、内部に上下方向に複数の半導体ウェハーＷを載置自在な基板支持体５３を備えたケーシング５１と、図示しない蓋体とから構成されて、ケーシング５１に蓋体を装着した状態においては、内部空間が気密状態に密閉されるように構成され、そして、収納部１０Ｓに収納された状態においては、位置決めピン１０ｂによって位置決めされるように構成されている。
【００４０】
容器５０には、不活性ガスとしての窒素ガスを注入するために、給気口５０ｉ、及び、排気口５０ｏが設けられている。そして、容器５０は、収納部１０Ｓに収納された状態において、給気口５０ｉから窒素ガスが注入された場合に、排気口５０ｏから容器内の気体を保管空間内に排出するように構成されている。
本実施形態では、給気口５０ｉ及び排気口５０ｏは、容器５０の底部に設けられ、そして、図示は省略するが、給気口５０ｉには、注入側開閉弁が設けられ、また、排気口５０ｏには、排出側開閉弁が設けられている。
【００４１】
注入側開閉弁は、スプリング等の付勢機構によって閉方向に付勢されて、給気口５０ｉに供給される窒素ガスの吐出圧力が大気圧よりも設定値高い設定開弁圧力以上となると、その圧力によって開き操作されるように構成されている。
また、排出側開閉弁は、スプリング等の付勢機構によって閉方向に付勢されて、容器５０内部の圧力が大気圧よりも設定値高い設定開弁圧力以上となったときに開き操作されるように構成されている。
【００４２】
１−２．スタッカークレーン２０
スタッカークレーン２０は、図１に示すように、保管棚１０の前面側の床部に設置された走行レールＥに沿って走行移動自在な走行台車２１と、その走行台車２１に立設されたマスト２２と、そのマスト２２に案内される状態で昇降移動自在な昇降台２４とを備えている。
なお、図示はしないが、マスト２２の上端に設けられた上部枠２３が、壁体Ｋにて外周部が覆われた保管空間の天井側に設けた上部ガイドレールに係合して移動するように構成されている。
【００４３】
昇降台２４には、収納部１０Ｓに対して容器５０を移載する移載装置２５が装備されている。
移載装置２５は、容器５０を載置支持する板状の載置支持体２５Ａを、収納部１０Ｓの内部に突出する突出位置と昇降台２４側に引退した引退位置とに出退自在に備えて、載置支持体２５Ａの出退作動及び昇降台２４の昇降作動により、載置支持体２５Ａに載置した容器５０を収納部１０Ｓに降ろす降し処理、及び、収納部１０Ｓに収納されている容器５０を取出す掬い処理を行うように構成されている。
なお、移載装置２５は、入出庫コンベヤＣＶに対しても、降ろし処理及び掬い処理を行って、入出庫コンベヤＣＶに対する移載作業を行うことになる。
【００４４】
スタッカークレーン２０には、図示はしないが、走行経路上の走行位置を検出する走行位置検出部、及び、昇降台２４の昇降位置を検出する昇降位置検出部が装備されており、スタッカークレーン２０の運転を制御するクレーンコントローラ（図示せず）が、走行位置検出部及び昇降位置検出部の検出情報に基づいて、スタッカークレーン２０の運転を制御するように構成されている。
【００４５】
すなわち、クレーンコントローラが、入出庫コンベヤＣＶに搬入された容器５０を収納部１０Ｓに収納する入庫作業、及び、収納部１０Ｓに収納されている容器５０を入出庫コンベヤＣＶに取出す出庫作業を行うように、走行台車２１の走行作動及び昇降台２４の昇降作動、並びに、移載装置２５における載置支持体２５Ａの出退作動を制御するように構成されている。
【００４６】
１−３．収納部１０Ｓ
図３及び図４に示すように、複数の収納部１０Ｓの夫々は、容器５０を載置支持する板状の載置支持部１０ａを備えている（図１参照）。
この載置支持部１０ａは、移載装置２５の載置支持体２５Ａが上下に通過する空間を形成すべく、平面視形状がＵ字状となるように形成され、そして、その上面には、上述の位置決めピン１０ｂが起立状態で装備されている。
また、載置支持部１０ａには、容器５０が載置されているか否か（つまり、容器５０が収納部１０Ｓに収納されているか否か）を検出する一対の在荷センサ１０ｚが設けられ、それらの検出情報は、後述するマスフローコントローラ４０の運転を管理する注入制御部Ｈ（図４参照）に入力されるように構成されている。
【００４７】
２．注入部Ｎ
注入部Ｎは、収納部１０Ｓに収納された状態で排気口５０ｏから容器内の気体を保管空間内に排出可能な容器５０を対象とし、容器５０の給気口５０ｉから不活性ガスとしての窒素ガスを容器５０の内部に注入する。
本実施形態では、注入部Ｎは、窒素ガス供給源、マスフローコントローラ４０及び吐出ノズル１０ｉを主要部として構成されている。
【００４８】
載置支持部１０ａには、不活性気体としての窒素ガスを容器５０の内部に供給する吐出ノズル１０ｉと、容器５０の内部から排出される気体を通流する排出用通気体１０ｏが設けられ、また、各収納部１０Ｓには、窒素ガスの供給を制御するマスフローコントローラ４０が装備されている（図２参照）。
そして、吐出ノズル１０ｉには、マスフローコントローラ４０からの窒素ガスを流動させる供給配管Ｌｉが接続され、排出用通気体１０ｏには、端部が開口された排出管Ｌｏが接続されている。
【００４９】
つまり、容器５０が載置支持部１０ａに載置支持されると、吐出ノズル１０ｉが容器５０の給気口５０ｉに嵌合状態に接続され、かつ、排出用通気体１０ｏが容器５０の排気口５０ｏに嵌合状態に接続されるように構成されている。
そして、容器５０が載置支持部１０ａに載置支持された状態において、吐出ノズル１０ｉから大気圧よりも設定値以上高い圧力の窒素ガスを吐出させることにより、容器５０の排気口５０ｏより容器内の気体を外部に排出させる状態で、容器５０の給気口５０ｉより窒素ガスを容器５０の内部に注入できるように構成されている。
【００５０】
なお、図３に示すように、供給配管Ｌｉには、手動操作式の開閉弁Ｖｉが装備されており、マスフローコントローラ４０が故障した緊急時等においては、窒素ガスの供給を停止する状態に切り替えることができるように構成されている。
【００５１】
＜マスフローコントローラ４０＞
図３及び図４に示すように、マスフローコントローラ４０は、流入側ポート４０ｉと吐出側ポート４０ｏとを備えており、吐出側ポート４０ｏには、上述した供給配管Ｌｉが接続され、流入側ポート４０ｉには、窒素ボンベ等の窒素ガス供給源（図示せず）からの窒素ガスを導く流入配管Ｌｓが接続されている。
なお、窒素ガス供給源には、窒素ガスの供給圧力を大気圧よりも設定値以上高い設定圧力に調整するガバナや、窒素ガスの供給を断続する手動操作式の開閉弁等が装備される。
【００５２】
マスフローコントローラ４０には、流入側ポート４０ｉから吐出側ポート４０ｏに向かう内部流路を流動する窒素ガスの流量（容器５０への供給流量）を変更調節する流量調節弁、内部流路を流動する窒素ガスの流量（容器５０への供給流量）を計測する流量センサ、及び、流量調節弁の作動を制御する内部制御部が装備されている。
【００５３】
そして、内部制御部が、流量センサの検出情報に基づいて、容器５０への供給流量を上述した注入制御部Ｈから指令される目標流量に調整すべく、流量調節弁を制御するように構成されている。
本実施形態においては、マスフローコントローラ４０は、内部流路を流動する窒素ガスの流量（容器５０への供給流量）を、ゼロから５０リットル／分の間で調節することになり、そして、本実施形態において用いるマスフローコントローラ４０は、全流量調節範囲において、注入制御部Ｈから指令される目標流量に高速（例えば、１秒以内）で調節するように構成されている。
【００５４】
３．注入制御部Ｈ
３−１．点検扉５５の閉状態における通常の供給制御
注入制御部Ｈは、予め設定されたパラメータにより定まる供給パターンに基づいて、注入部Ｎの作動を制御して容器５０に対する窒素ガスの供給を制御する注入制御を行う制御装置である。
注入制御部Ｈは、単数又は複数のＣＰＵ等の演算処理装置を中核部材として備えるとともに、当該演算処理装置からデータを読み出し及び書き込みが可能に構成されたＲＡＭ（ランダム・アクセス・メモリ）や、演算処理装置からデータを読み出し可能に構成されたＲＯＭ（リード・オンリ・メモリ）等の記憶装置等を有して構成されている。そして、注入制御部ＨのＲＯＭ等に記憶されたソフトウェア（プログラム）又は別途設けられた演算回路等のハードウェア、或いはそれらの両方により、注入制御部Ｈの各機能部が構成されている。
【００５５】
本実施形態では、注入制御部Ｈは、図４に示すように、コンピュータＣとプログラマブルロジックコントローラＰとを備えている。プログラマブルロジックコントローラＰは、マスフローコントローラ４０に接続されており、複数の収納部１０Ｓの夫々に対応して設置されたマスフローコントローラ４０に対して目標流量を指令する。
コンピュータＣは、注入制御を統合して実行する、注入制御部Ｈの主な演算処理機能部が備えられている。コンピュータＣは、プログラマブルロジックコントローラＰを介して、複数の収納部１０Ｓの夫々に対応して設置されたマスフローコントローラ４０に対して目標流量を指令する。
コンピュータＣには、ユーザインターフェイス装置として、各種の情報を入出力するための操作卓ＨＳ及び表示装置ＤＳが接続されている。操作卓ＨＳ及び表示装置ＤＳは、保管棚１０の外壁面に取り付けるのが好ましい。その場合、床面から作業者の背丈に基づいた高さだけ上方位置する高さに設置するのが好ましい。
【００５６】
本実施形態では、注入制御部Ｈは、収納部１０Ｓに収納された各容器５０に対応する注入部Ｎ（マスフローコントローラ４０）それぞれに対して、個別に供給パターンを設定するように構成されている。
また、本実施形態では、注入部Ｎは、収納部１０Ｓに容器５０が収容されていない状態でも、容器５０に窒素ガスを注入する吐出ノズル１０ｉに対して、窒素ガスを供給できるように構成されている。そして、注入制御部Ｈは、収納部１０Ｓに容器５０が収納されていない状態の注入部Ｎそれぞれに対しても、個別に供給パターンを設定するように構成されている。
注入制御部Ｈは、容器５０の収容の有無に関わらず、各注入部Ｎ（マスフローコントローラ４０）に対して設定された供給パターンに基づいて、各注入部Ｎ（マスフローコントローラ４０）の作動を制御して、吐出ノズル１０ｉに対する窒素ガスの供給を制御するように構成されている。
【００５７】
供給パターンは、窒素ガスの供給流量のパターンとされている。図５に示すように、供給パターンは、時間経過に対する目標流量の変化のパターンが含まれる。パラメータにより、供給開始時からの経過時間と目標流量との関係が定められている。例えば、パラメータは、経過時間と目標流量との関係を設定したテーブルデータとされる。なお、供給パターンには、時間が経過しても目標流量を変化させない、すなわち、目標流量を一定値に設定するパターンも含まれる。
また、供給パターンは、予め定められた条件（イベント）の成立に連動した、目標流量の変化のパターン（イベント起動型の供給パターンと称す）とされる場合もある。
【００５８】
このような、経過時間と目標流量との関係を設定したデータや、イベント（条件）は、供給パターンを定めるパラメータであり、作業者が操作卓ＨＳを操作することにより変更可能に構成され、また、後述する管理システムによる遠隔操作によっても変更可能に構成されている。
【００５９】
本実施形態では、注入制御部Ｈは、自動運転モードとマニュアル運転モードとを切り替え可能に備えている。運転モードの設定は、作業者による操作や外部からの遠隔操作により変更される。
＜自動運転モード＞
【００６０】
注入制御部Ｈは、自動運転モードが設定されている場合は、イベント起動型の供給パターンを設定するように構成されている。本実施形態では、複数のイベントと、各イベントに対応した目標流量の変化のパターンが設定されるように構成されている。各目標流量の変化のパターンは、経過時間と目標流量との関係を設定したデータにより定められる。
【００６１】
本実施形態では、自動運転モードにおけるイベント起動型の供給パターンとして、初期パージパターン、保管用パージパターン、ノズルパージパターンなどが設定される。
初期パージパターンは、在荷センサ１０ｚの検出信号により容器５０が収納部１０Ｓに収容されたと判定した場合に、イベントが成立したとして、例えば、図５（ａ）（ｂ）に示すように、容器５０内を窒素ガスで急速に満たすために大流量に設定された初期目標流量（Ｌ１）を初期期間（Ｔ１）だけ設定するパターンである。
保管用パージパターンは、イニシャルパージパターンが終了した場合に、イベントが成立したとして、例えば、容器５０内を窒素ガスで満たした状態を維持するために比較的低流量に設定された保管目標流量（Ｌ２）を連続的に設定する（図５（ａ）参照）、又は保管目標流量（Ｌ３）をオン期間（Ｔ２）だけ設定した後、ゼロの目標流量をオフ期間（Ｔ３）だけ設定するサイクルを繰り返し設定する（図５（ｂ）参照）パターンである。
ノズルパージパターンは、容器５０が入出庫コンベヤＣＶに搬入され、収納される収納部１０Ｓが決定された場合に、イベントが成立したとして、例えば、図５（ｃ）に示すように、容器５０が収納部１０Ｓに収納される直前に吐出ノズル１０ｉを清浄化するために設定されたノズル浄化目標流量（Ｌ４）を浄化期間（Ｔ４）だけ設定するパターンである。
これらの初期目標流量（Ｌ１）、保管目標流量（Ｌ２、Ｌ３）、ノズル浄化目標流量（Ｌ４）、初期期間（Ｔ１）、オン期間（Ｔ２）、オフ期間（Ｔ３）、及び浄化期間（Ｔ４）や、各イベント（条件）が、供給パターンを定めるパラメータに該当する。
【００６２】
＜マニュアル運転モード＞
注入制御部Ｈは、マニュアル運転モードが設定されている場合は、イベント起動型でない通常の供給パターンを設定するように構成されている。
本実施形態では、マニュアル運転モードにおいて設定される供給パターンとして、直接入力パターンや、停止パターンや、クリーニングパターンなどの複数の規定の供給パターンが用意されており、複数の規定の供給パターンの何れか一つが、作業者による操作や外部からの遠隔操作により選択されて、供給パターンとして設定されるように構成されている。各規定の供給パターンは、経過時間と目標流量の関係を設定したパラメータにより定められる。
直接入力パターンは、作業者による操作卓ＨＳの操作、又は管理システムにより遠隔操作により設定されたマニュアル目標流量を連続的に設定するパターンである。
停止パターンは、目標流量をゼロに連続的に設定するパターンである。
クリーニングパターンは、図５（ｄ）に示すように、保管棚１０の設置時や注入部Ｎの交換時等において、クリーニング用に設定されたクリーニング目標流量（Ｌ５）をクリーニング期間（Ｔ５）だけ設定するパターンである。
これらのマニュアル目標流量、クリーニング目標流量（Ｌ５）、及びクリーニング期間（Ｔ５）が、供給パターンを定めるパラメータに該当する。
【００６３】
また、自動運転モードとマニュアル運転モードとの切り替え設定や、マニュアル運転モードにおける直接入力パターン、停止パターン、クリーニングパターンとの間の切り替え設定なども、供給パターンを定めるパラメータである。
なお、上記した初期パージパターン、保管用パージパターン、ノズルパージパターン、クリーニングパターンなどは一例であり、任意の目標流量の変化のパターンやイベント（条件）が設定されてもよい。
【００６４】
３−２．点検扉５５の開状態における供給制御
不活性ガス注入装置１は、図２及び図４に示すように、点検扉５５の開閉状態を検出する点検扉開閉検出部としての点検扉開閉検出センサＳ１と、停止無効指令を指令する人為操作式の停止無効指令部としての停止無効指令スイッチＳＷと、を設けている。
【００６５】
＜点検扉開閉検出センサＳ１＞
点検扉開閉検出センサＳ１は、点検扉５５にて押圧操作されるリミットスイッチ等によって構成されて、点検扉５５が全閉位置である閉状態であるか、点検扉５５が全閉位置から開き側に操作された開状態であるかを検出して、その検出情報を注入制御部Ｈに出力するように構成されている。
【００６６】
＜停止無効指令スイッチＳＷ＞
停止無効指令スイッチＳＷは、作業者が点検扉５５を開いて保管空間内に入る前に操作するように、例えば、図２に示すように、壁体Ｋの外面部における点検扉５５の近くに設置される。
停止無効指令スイッチＳＷは、図４に示すように、操作体５６を操作解除位置Ａ又は無効指令位置Ｂに操作可能に構成されている。停止無効指令スイッチＳＷは、操作体５６が無効指令位置Ｂに操作されている場合に停止無効指令を注入制御部Ｈに指令し、操作体５６が操作解除位置Ａに操作されている場合には、停止無効指令を注入制御部Ｈに指令しないように構成されている。
本実施形態では、操作体５６は、ばねなどの弾性体により操作解除位置Ａに復帰付勢されている。これにより、操作体５６が無効指令位置Ｂに操作されたままの状態に放置され、点検扉５５が開かれた際に、作業者の意図とは異なり、窒素ガスの供給が停止されない事態を防止することができる。
操作体５６として、図４に示すような抜き差し可能な鍵が用いられてもよいし、操作つまみが常設されている、いわゆるセレクタスイッチが用いられてもよい。
【００６７】
３−２−１．通常停止状態又は停止無効状態の設定
本実施形態では、注入制御部Ｈは、基本的に、停止無効指令スイッチＳＷから停止無効指令が指令された場合に、停止無効状態であると判定して停止モードを停止無効状態に設定し、停止無効指令スイッチＳＷから停止無効指令が指令されていない場合に、通常停止状態であると判定して停止モードを通常停止状態に設定するように構成されている。
本実施形態では、注入制御部Ｈは、停止無効状態に設定した後、予め定めた設定時間（例えば、５分）が経過しても、点検扉開閉検出センサＳ１により点検扉５５の開状態が検出されない場合は、停止無効状態を解除して停止モードを通常停止状態に切換えるように構成されている。つまり、作業者が、点検作業を行うために停止無効指令スイッチＳＷを操作した後、その点検作業を中止するような場合において、不必要に停止無効状態が継続することを回避できるように構成されている。
【００６８】
また、本実施形態では、上記のように、操作体５６が操作解除位置Ａに復帰付勢されているので、作業者が操作体５６を無効指令位置Ｂに操作した後、手を離して保管空間内に入った場合に、操作体５６が操作解除位置Ａに自動的に戻り、停止無効指令スイッチＳＷは停止無効指令を指令し続けないように構成されている。
よって、本実施形態では、注入制御部Ｈは、通常停止状態が設定されている状態で、停止無効指令スイッチＳＷから停止無効指令が指令された場合に、停止モードを停止無効状態に設定し、予め定めた解除条件が成立した場合に、停止無効状態を解除して停止モードを通常停止状態に設定するように構成されている。
【００６９】
上記解除条件は、停止無効状態が設定された後、予め定めた設定時間が経過しても点検扉開閉検出センサＳ１により点検扉５５の開状態が検出されない場合、又は停止無効状態の設定後予め定めた設定時間が経過する前に点検扉開閉検出センサＳ１により点検扉５５の開状態が検出され、その後点検扉５５の閉状態が検出された場合に、成立するように構成されている。
【００７０】
３−２−２．通常停止状態における供給制御
注入制御部Ｈは、停止無効指令スイッチＳＷから停止無効指令が指令されていない状態である通常停止状態において、点検扉開閉検出センサＳ１により点検扉５５の開状態が検出された場合は、当該点検扉５５の開状態が検出される前に各注入部Ｎに対して実行していた供給パターンである直前供給パターンに基づく窒素ガスの供給制御を中止して、全ての容器５０に対する窒素ガスの供給を強制的に停止させるように、各注入部Ｎの作動を制御するように構成されている。本実施形態では、容器５０の収容の有無に関わらず、全ての注入部Ｎ（マスフローコントローラ４０）に対して窒素ガスの供給を停止させるように構成されている。
【００７１】
本実施形態では、注入制御部Ｈは、直前供給パターンに基づく各マスフローコントローラ４０に対する目標流量の設定制御を中止し、全てのマスフローコントローラ４０に対して指令する目標流量をゼロに設定して、窒素ガスを供給する全ての流量調節弁を強制的に閉じさせる。なお、この場合は、作業者による操作（人為操作）や外部からの遠隔操作による、供給パターンを定めるパラメータの変更を禁止するように構成されている。これにより、強制的な供給停止が解除されて、窒素ガスの供給が行われないようにできる。
【００７２】
本実施形態では、注入制御部Ｈは、通常停止状態において点検扉５５の開状態が検出された場合は、強制的に、全てのマスフローコントローラ４０に対する運転モードをマニュアル運転モードに設定すると共に停止パターンに設定して、全てのマスフローコントローラ４０に対する目標流量をゼロに設定する。そして、注入制御部Ｈは、作業者による操作や外部からの遠隔操作により、停止パターンにおける目標流量の設定値や、運転モードの切り替え設定や、規定の供給パターンの選択設定などが変更されないようにロックする。
【００７３】
＜復帰処理＞
注入制御部Ｈは、点検扉５５が閉状態であると判定した場合に、窒素ガスの供給停止を終了して、直前供給パターンに基づく窒素ガスの供給制御を再開すると共に、供給パターンを定めるパラメータの変更禁止を解除してパラメータの変更の受け付けを開始するように構成されている。
本実施形態では、注入制御部Ｈは、点検扉開閉検出センサＳ１により点検扉５５の閉状態が検出された場合に、点検扉５５が閉状態であると判定するように構成されている。
或いは、注入制御部Ｈは、点検扉開閉検出センサＳ１により点検扉５５の閉状態が検出されており、且つ作業者が操作卓ＨＳにより窒素ガスの供給停止を解除する解除操作を行った場合に、点検扉５５が閉状態であると判定するように構成されてもよい。このように、作業者による操作卓ＨＳの確認操作を必要とすることで、作業者が、保管空間内にいる状態で、点検扉５５が閉じられた場合に、窒素ガスの供給が再開させることを防止できる。
【００７４】
３−２−３．停止無効状態における供給制御
一方、注入制御部Ｈは、停止無効指令スイッチＳＷから停止無効指令が指令された状態である停止無効状態において、点検扉開閉検出センサＳ１により点検扉５５の開状態が検出された場合は、当該点検扉５５の開状態が検出される前に各注入部Ｎに対して実行していた供給パターンである直前供給パターンに基づく各容器５０に対する窒素ガスの供給を継続させると共に、直前供給パターンを定めるパラメータの人為操作による変更を禁止するように構成されている。
【００７５】
本実施形態では、注入制御部Ｈは、容器５０の収納の有無に関わらず、全てのマスフローコントローラ４０のそれぞれに対応して設定されていた直前供給パターンを保持する。そして、注入制御部Ｈは、各直前供給パターンに基づいて、各マスフローコントローラ４０に対する目標流量の設定を行うように構成されている。
【００７６】
例えば、注入制御部Ｈは、点検扉５５の開状態が検出される前に、あるマスフローコントローラ４０に対して、自動運転モードが設定されており、初期パージパターン、保管用パージパターン、及びノズルパージパターンが設定されている場合は、点検扉５５の開状態が検出された後も、これら自動運転モード、初期パージパターン、保管用パージパターン、及びノズルパージパターンが設定されている状態を保持し、これらの直前供給パターンに基づくマスフローコントローラ４０に対する目標流量の設定を継続する。
あるいは、注入制御部Ｈは、点検扉５５の開状態が検出される前に、あるマスフローコントローラ４０に対して、マニュアル運転モードが設定されており、直接入力パターンが設定されている場合は、点検扉５５の開状態が検出された後も、マニュアル運転モード、直接入力パターンが設定されている状態を保持し、この直接入力パターンに基づくマスフローコントローラ４０に対する目標流量の設定を継続する。
【００７７】
また、本実施形態では、注入制御部Ｈは、各マスフローコントローラ４０に対応して設定されている直前供給パターンを定めるパラメータをユーザが操作卓ＨＳにより変更できないようにロックする。
本実施形態では、変更がロックされるパラメータは、直前供給パターンとされた供給パターンを規定する、初期目標流量や初期期間などの経過時間と目標流量との関係を設定したデータや、容器５０が収納部１０Ｓに収容されたことなどのイベント（条件）である。また、変更がロックされるパラメータは、自動運転モードとマニュアル運転モードとの切り替え設定や、マニュアル運転モードにおける直接入力パターン、停止パターン、クリーニングパターンとの間の切り替え設定である。
【００７８】
なお、注入制御部Ｈは、操作卓ＨＳによる変更をロックしている間、「窒素ガスの供給停止の解除状態で作業者入室中、窒素ガスの供給パターンの変更禁止」などの窒素ガスの供給を継続している共に変更を禁止している状態を表す案内を、表示装置ＤＳに表示させたり、音声により報知させたりしてもよい。
【００７９】
これにより、保管空間外にいる作業者が、保管空間外に設置された操作卓ＨＳにより、保管空間内にいる作業者が認識していない状態で、各容器５０に対する窒素ガスの供給状態が変更されることを防止できる。例えば、保管空間内にいる作業者が認識していない状態で、窒素ガスの供給流量が増加されて、保管空間内の酸素濃度が低下したり、窒素ガスの供給流量が増減されて窒素ガスの供給状態の検査が妨げられたりすることを防止できる。
【００８０】
＜遠隔操作の禁止＞
本実施形態では、注入制御部Ｈは、有線又は無線通信で接続された外部の管理システムから遠隔操作可能に構成されている。なお、注入制御部Ｈは、１つの不活性ガス注入装置１に対して１つずつ設けられ、対応する不活性ガス注入装置１に近接した位置に配置されている。一方、管理システムは、複数の不活性ガス注入装置１を集中管理するために、各不活性ガス注入装置１と通信ネットワークにより接続されており、不活性ガス注入装置１から比較的離れた位置に配置されている。管理システムは、各不活性ガス注入装置１における各注入部Ｎの作動を、注入制御部Ｈによる制御に代えて、遠隔操作により強制的に制御可能に構成されている。
【００８１】
そこで、注入制御部Ｈは、停止無効状態において点検扉５５の開状態が検出された場合は、更に、外部から遠隔操作による、直前供給パターンを定めるパラメータの変更を禁止するように構成されている。
本実施形態では、注入制御部Ｈは、各マスフローコントローラ４０に対応して設定されている直前供給パターンを定めるパラメータを、外部の管理システムから通信ネットワークを介した遠隔操作により変更できないようにロックする。変更がロックされるパラメータは、上記した、作業者による操作の場合と同様とされる。
例えば、管理システムにおいて、対応する不活性ガス注入装置１に係るパラメータを変更する操作を受け付けないように構成したり、管理システムにおいて、対応する不活性ガス注入装置１に係るパラメータが変更されても、注入制御部Ｈ側で変更を受け付けないように構成したりする。この際、管理システムにおいて、上記のような窒素ガスの供給を継続している共に変更を禁止している状態を表す案内を、管理システムの表示装置に表示させたり、音声により報知させたりしてもよい。
これにより、不活性ガス注入装置１側の作業者が認識していない状態で、各容器５０に対する窒素ガスの供給状態が変更されることを防止できる。
【００８２】
＜通知部＞
本実施形態では、注入制御部Ｈは、停止無効状態において、容器５０に対する窒素ガスの供給を継続させている場合は、図４に示すように、窒素ガスの供給を継続することを作業者に通知する通知部としての無線式の通信器５７Ａを作動させるように構成されている。
本実施形態では、通信器５７Ａは、作業者が携帯する携帯電話等の携帯端末５７Ｂに対して、窒素ガスの供給を継続することを示すメッセージを通信するように構成され、そして、携帯端末５７Ｂが、受信したメッセージを、携帯端末５７Ｂの表示画面に表示する、または、音声にて出力することにより、作業者に窒素ガスの供給が継続されている状態であることを報知するように構成されている。
【００８３】
＜復帰処理＞
注入制御部Ｈは、点検扉５５が閉状態であると判定した場合は、直前供給パターンに基づく窒素ガスの供給制御を継続させると共に、作業者による操作（人為操作）や外部からの遠隔操作による供給パターンを定めるパラメータの変更の禁止を解除して供給パターンを定めるパラメータの変更の受け付けを開始し、通知部による作業者への通知を停止するように構成されている。
本実施形態では、注入制御部Ｈは、上記の通常停止状態と同様に、点検扉開閉検出センサＳ１により点検扉５５の閉状態が検出された場合に、点検扉５５が閉状態であると判定するように構成されている。
或いは、注入制御部Ｈは、上記の通常停止状態と同様に、点検扉開閉検出センサＳ１により点検扉５５の閉状態が検出されており、且つ作業者が操作卓ＨＳによりパラメータの変更禁止を解除する解除操作を行った場合に、点検扉５５が閉状態であると判定するように構成されてもよい。
【００８４】
＜酸素濃度の低下による供給停止＞
本実施形態では、不活性ガス注入装置１は、図２に示すように、壁体Ｋにて外部と区画された保管空間内の酸素濃度を検出する酸素濃度検出センサＳ２を設けており、図４に示すように、この酸素濃度検出センサＳ２の検出情報が注入制御部Ｈに入力されている。
【００８５】
そして、注入制御部Ｈは、停止無効状態において直前供給パターンに基づく窒素ガスの供給を継続させている場合に、酸素濃度検出センサＳ２により検出される酸素濃度が予め定めた設定値未満になると、通常停止状態と同様に、直前供給パターンに基づく窒素ガスの供給制御を中止して、全ての容器５０に対する窒素ガスの供給を強制的に停止させるように、各注入部Ｎの作動を制御するように構成されている。
【００８６】
本実施形態では、注入制御部Ｈは、停止無効状態において酸素濃度が予め定めた設定値未満になると、停止無効状態を解除して停止モードを通常停止状態に設定するように構成されている。この停止無効状態の解除により、注入制御部Ｈは、通常停止状態において点検扉５５の開状態が検出された状態になるので、直前供給パターンに基づく窒素ガスの供給制御を中止して、全ての容器５０に対する窒素ガスの供給を強制的に停止させる。
この場合も、作業者による操作（人為操作）や外部からの遠隔操作による、供給パターンを定めるパラメータの変更を禁止するように構成されている。
【００８７】
なお、複数の酸素濃度検出センサＳ２が、保管空間の内部の複数箇所に分散して設置されてもよい。この場合は、注入制御部Ｈは、複数の酸素濃度検出センサＳ２のいずれか一つの酸素濃度が設定値未満になると、上記のように、窒素ガスの供給を強制的に停止させるように構成されてもよい。
【００８８】
３−３．フローチャート
以上で説明した本実施形態に係る窒素ガスの供給制御の処理を、図６及び図７に示すフローチャートの例に示すように構成することができる。
図６のフローチャートは、通常停止状態又は停止無効状態の設定処理を示し、図７のフローチャートは、窒素ガスの供給制御の処理を示す。
注入制御部Ｈは、図６及び図７のフローチャートに示す処理を、所定の演算周期（例えば、１００ｍｓ）毎に実行するように構成されている。
【００８９】
３−３−１．通常停止状態又は停止無効状態の設定処理
まず、図６のフローチャートについて説明する。
注入制御部Ｈは、停止モードに通常停止状態が設定されている場合（ステップ♯０１：Ｙｅｓ）は、停止無効指令スイッチＳＷから停止無効指令が指令されていないか判定する（ステップ♯０２）。注入制御部Ｈは、停止無効指令が指令されていると判定した場合（ステップ♯０２：Ｙｅｓ）は、停止モードを停止無効状態に設定する（ステップ♯０３）。一方、注入制御部Ｈは、停止無効指令が指令されていないと判定した場合（ステップ♯０２：Ｎｏ）は、停止モードを通常停止状態に設定したままにする。
【００９０】
一方、注入制御部Ｈは、停止モードに停止無効状態が設定されている場合（ステップ♯０１：Ｎｏ）は、酸素濃度検出センサＳ２により検出される酸素濃度が予め定めた設定値未満になっていないか判定する（ステップ♯０４）。注入制御部Ｈは、酸素濃度が予め定めた設定値未満になっていると判定した場合（ステップ♯０４：Ｙｅｓ）は、停止無効状態を解除して停止モードを通常停止状態に設定する（ステップ♯０８）。一方、注入制御部Ｈは、酸素濃度が予め定めた設定値未満になっていないと判定した場合（ステップ♯０４：Ｎｏ）は、点検扉開閉検出センサＳ１により点検扉５５の開状態が検出されていないか判定する（ステップ♯０５）。注入制御部Ｈは、点検扉５５が開状態であると判定した場合（ステップ♯０５：Ｙｅｓ）は、停止モードを停止無効状態に設定したままにする。
【００９１】
注入制御部Ｈは、点検扉５５が閉状態であると判定した場合（ステップ♯０５：Ｎｏ）は、停止無効状態の設定後、点検扉５５が閉状態のままで予め定めた設定時間経過したか否か判定する（ステップ♯０６）。注入制御部Ｈは、点検扉５５が閉状態のままで予め定めた設定時間経過したと判定した場合（ステップ♯０６：Ｙｅｓ）は、停止無効状態を解除して停止モードを通常停止状態に設定する（ステップ♯０８）。
注入制御部Ｈは、点検扉５５が閉状態のままで予め定めた設定時間経過していないと判定した場合（ステップ♯０６：Ｎｏ）は、点検扉５５が開状態から閉状態に変化したか否か判定する（ステップ♯０７）。具体的には、注入制御部Ｈは、前回の演算周期の時には、点検扉５５が開状態であると検出されており、今回の演算周期で点検扉５５が閉状態であると検出されていないか判定する。注入制御部Ｈは、点検扉５５が開状態から閉状態に変化したと判定した場合（ステップ♯０７：Ｙｅｓ）は、停止無効状態を解除して停止モードを通常停止状態に設定する（ステップ♯０８）。注入制御部Ｈは、点検扉５５が開状態から閉状態に変化していないと判定した場合（ステップ♯０７：Ｎｏ）は、停止モードを停止無効状態に設定したままにする。
【００９２】
３−３−２．窒素ガスの供給制御の処理
次に、図７のフローチャートについて説明する。
注入制御部Ｈは、ステップ♯１１で点検扉５５が開状態であるか閉状態であるか判定する。本実施形態では、注入制御部Ｈは、点検扉開閉検出センサＳ１の検出情報により点検扉５５が閉状態から開状態に変化した場合に、点検扉５５の開閉状態を開状態に設定して開状態であると判定し、その後、点検扉開閉検出センサＳ１により点検扉５５の閉状態が検出されており、且つ操作卓ＨＳにより作業者の解除操作が行われた場合に、点検扉５５の開閉状態を閉状態に設定して閉状態であると判定するように構成されている。
注入制御部Ｈは、点検扉５５が閉状態であると判定している場合（ステップ♯１１：Ｎｏ）は、予め設定されたパラメータにより定まる供給パターンに基づいて、注入部Ｎの作動を制御して容器５０に対する窒素ガスの供給を制御する通常の供給処理を行う（ステップ♯１２）。そして、注入制御部Ｈは、作業者による操作（人為操作）や外部からの遠隔操作により、供給パターンを定めるパラメータの変更要求があった場合に、当該パラメータの変更を受け付ける受付処理を行う（ステップ♯１３）。
【００９３】
一方、注入制御部Ｈは、点検扉５５が開状態であると判定している場合（ステップ♯１１：Ｙｅｓ）は、ステップ♯１４に進む。注入制御部Ｈは、停止モードが通常停止状態に設定されている場合（ステップ♯１４：Ｙｅｓ）は、直前供給パターンに基づく窒素ガスの供給制御を中止して、窒素ガスの供給を強制的に停止させる供給停止処理を行う（ステップ♯１５）。そして、注入制御部Ｈは、作業者による操作（人為操作）や外部からの遠隔操作による、供給パターンを定めるパラメータの変更を禁止して、窒素ガスの供給停止の解除を禁止する処理を行う（ステップ♯１６）。
注入制御部Ｈは、停止モードが停止無効状態に設定されている場合（ステップ♯１４：Ｎｏ）は、直前供給パターンに基づく各容器５０に対する窒素ガスの供給を継続させる処理を行う（ステップ♯１７）。そして、注入制御部Ｈは、作業者による操作（人為操作）や外部からの遠隔操作による、直前供給パターンを定めるパラメータの変更を禁止する処理を行う（ステップ♯１８）。また、注入制御部Ｈは、窒素ガスの供給を継続することを通知部により作業者に通知する処理を行う（ステップ♯１９）。
【００９４】
〔その他の実施形態〕
最後に、本発明のその他の実施形態について説明する。なお、以下に説明する各実施形態の構成は、それぞれ単独で適用されるものに限られず、矛盾が生じない限り、他の実施形態の構成と組み合わせて適用することも可能である。
【００９５】
（１）上記実施形態では、不活性ガスとして、窒素ガスを用いる場合を例示したが、不活性ガスとしては、アルゴン等の種々のガスを使用できるものである。なお、本発明における不活性ガスとは、酸素含有量が低く、絶対湿度が低いガスである必要がある。
【００９６】
（２）上記実施形態では、窒素ガス供給源、吐出ノズル１０ｉ及びマスフローコントローラ４０を主要部として、注入部Ｎを構成する場合、つまり、マスフローコントローラ４０を用いて注入部Ｎを構成する場合を例示したが、例えば、マスフローコントローラ４０を設置せずに、容器５０への供給流量を変更調節する流量調節弁、及び、容器５０への供給流量を計測する流量センサを、窒素ガスの供給路中に設けて、注入制御部Ｈが、流量センサの検出情報に基づいて、流量調節弁の作動を制御する形態で実施してもよい。
この場合、窒素ガス供給源、吐出ノズル１０ｉ及び流量調節弁を主要部として、注入部Ｎが構成されることになる。
【００９７】
（３）上記実施形態では、通常停止状態において点検扉５５が開かれると、複数の収納部１０Ｓの夫々に対応して設置されるマスフローコントローラ４０にて窒素ガスの供給を停止することにより、容器５０に対する窒素ガスの供給を停止させるようにしたが、例えば、窒素供給源に装備した供給断続弁を閉じ操作して、容器５０に対する窒素ガスの供給を停止する等、容器５０に対する窒素ガスの供給を停止する構成は、種々の構成を適用できるものである。
【００９８】
（４）上記実施形態では、不活性ガスの供給を継続することを作業者に通知する通知部として、作業者の携帯端末５７Ｂにメッセージを通信する通信器５７Ａを例示したが、例えば、点検扉５５の近くに、通知部として、上記メッセージを音声にて出力するスピーカを設置する等、通知部の具体構成は変更できるものである。
【００９９】
（５）上記実施形態では、操作体５６は、ばねなどの弾性体により操作解除位置Ａに復帰付勢されているようにしたが、操作体５６は、操作解除位置Ａに復帰付勢されていなくともよい。
【０１００】
（６）上記実施形態では、停止無効指令部は、機械式の停止無効指令スイッチＳＷとされているようにしたが、タッチパネルや操作卓ＨＳにより操作したり、暗証番号の入力により操作したりする電子式のスイッチとされてもよい。
【符号の説明】
【０１０１】
１        ：保管棚用の不活性ガス注入装置
１０      ：保管棚
１０Ｓ    ：収納部
５０      ：容器（搬送容器）
５０ｉ    ：給気口
５０ｏ    ：排気口
５５      ：点検扉
５６      ：操作体
５７Ａ    ：通信器（通知部）
５７Ｂ    ：携帯端末（通知部）
Ａ        ：操作解除位置
Ｂ        ：無効指令位置
Ｈ        ：注入制御部
Ｎ        ：注入部
Ｓ１      ：点検扉開閉検出センサ（点検扉開閉検出部）
Ｓ２      ：酸素濃度検出センサ
ＳＷ      ：停止無効指令スイッチ（停止無効指令部）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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