(57)【要約】【課題】温度変化に伴う圧電体の圧電係数値の変化や時間経過に伴う押圧力変化等により圧電体から検出される振動電圧値と回転速度値の間に乖離が生じ、複数の超音波モータの速度を同一に保つことは困難となり、前記性能低下、騒音発生、寿命低下が避けられない課題となっていた。【解決手段】前記第１の駆動信号または／および前記第２の駆動信号は、前記第２の超音波モータに定在波を発生させ前記第１の超音波モータに進行波を発生させて検出した前記第１の超音波モータの特性と、前記第１の超音波モータに定在波を発生させ前記第２の超音波モータに進行波を発生させて検出した前記第２の超音波モータの特性と、から求められた値によって補正された値である。【選択図】図１
2014241713.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の駆動信号によって第１のギアを回転させる第１の超音波モータと、
第２の駆動信号によって第２のギアを回転させる第２の超音波モータと、
前記第１のギアと前記第２のギアを第３のギアに連結させることで回転する前記第３のギアによって駆動する被駆動部材と、を有する駆動制御装置であって、
前記第１の駆動信号は、前記第２の超音波モータに定在波を発生させ前記第１の超音波モータに進行波を発生させて検出した前記第１の超音波モータの特性、から求められた値によって補正されたことを特徴とする駆動制御装置。
【請求項２】
前記第２の駆動信号は、前記第１の超音波モータに定在波を発生させ前記第２の超音波モータに進行波を発生させて検出した前記第２の超音波モータの特性、から求められた値によって補正されたことを特徴とする請求項１記載の駆動制御装置。
【請求項３】
前記第１の超音波モータの特性は、
前記第２の超音波モータに定在波を発生させて、
前記第１の超音波モータに第３の駆動信号によって進行波を発生させた時の、前記第１の超音波モータの速度信号と前記第３の駆動信号との関係と、
前記第１の超音波モータに第４の駆動信号によって進行波を発生させた時の前記第１の超音波モータの速度信号と前記第４の駆動信号との関係から求められることを特徴とする請求項１記載の駆動制御装置。
【請求項４】
前記第２の超音波モータの特性は、
前記第１の超音波モータに定在波を発生させて、
前記第２の超音波モータに第５の駆動信号によって進行波を発生させた時の、前記第２の超音波モータの速度信号と前記第５の駆動信号との関係と、
前記第２の超音波モータに第６の駆動信号によって進行波を発生させた時の、前記第２の超音波モータの速度信号と前記第６の駆動信号との関係と、から求められることを特徴とする請求項２記載の駆動制御装置。
【請求項５】
前記第２の超音波モータに発生させる前記定在波は、前記第２のギアの軸トルクが小さくなるような位相差の第７の駆動信号により発生させることを特徴とする請求項３記載の駆動制御装置。
【請求項６】
前記第１の超音波モータに発生させる前記定在波は、前記第１のギアの軸トルクが小さくなるような位相差の第８の駆動信号により発生させることを特徴とする請求項４記載の駆動制御装置。
【請求項７】
第１の超音波モータに第１の駆動信号を与えて第１のギアを回転させ、第２の超音波モータに第２の駆動信号を与えて第２のギアを回転させ、前記第１のギアと前記第２のギアによって第３のギアを回転させることによって被駆動部材を駆動する駆動制御方法であって、
前記第１の駆動信号は、予め求められた補正値よって補正され、
前記補正値は、
前記第２の超音波モータに定在波を発生させ、前記第１の超音波モータに進行波を発生させて検出した前記第１の超音波モータの特性から求められた値であることを特徴とする駆動制御方法。
【請求項８】
前記第２の駆動信号は、予め求められた補正値よって補正され、
前記補正値は、
前記第１の超音波モータに定在波を発生させ、前記第２の超音波モータに進行波を発生させて検出した前記第２の超音波モータの特性から求められた値であることを特徴とする請求項７記載の駆動制御方法。
【請求項９】
前記第１の超音波モータの特性は、
前記第２の超音波モータに定在波を発生させて、
前記第１の超音波モータに第３の駆動信号によって進行波を発生させた時の、前記第１の超音波モータの速度信号と前記第３の駆動信号との関係と、
前記第１の超音波モータに第４の駆動信号によって進行波を発生させた時の前記第１の超音波モータの速度信号と前記第４の駆動信号との関係から求めることを特徴とする請求項７記載の駆動制御方法。
【請求項１０】
前記第２の超音波モータの特性は、
前記第１の超音波モータに定在波を発生させて、
前記第２の超音波モータに第５の駆動信号によって進行波を発生させた時の、前記第２の超音波モータの速度信号と前記第５の駆動信号との関係と、
前記第２の超音波モータに第６の駆動信号によって進行波を発生させた時の、前記第２の超音波モータの速度信号と前記第６の駆動信号との関係と、から求めることを特徴とする請求項８記載の駆動制御方法。
【請求項１１】
前記第２の超音波モータに発生させる前記定在波は、前記第２のギアの軸トルクが小さくなるような位相差の第７の駆動信号により発生させることを特徴とする請求項９記載の駆動制御方法。
【請求項１２】
前記第１の超音波モータに発生させる前記定在波は、前記第１のギアの軸トルクが小さくなるような位相差の第8の駆動信号により発生させることを特徴とする請求項１０記載の駆動制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の超音波モータからの駆動力を合成して被駆動部材を駆動制御する駆動制御方法および駆動制御装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、複数の超音波モータを用いてひとつの回転軸やその回転軸に連結する被駆動部材を駆動するときに回転速度が各超音波モータによって個体差を生じる場合があった。そのために、各モータの能力が十分に発揮できなかったり、あるいは回転速度差のために一部もしくは全部の超音波モータの内部摩擦接触部にすべりが発生し、騒音の発生や寿命の低下を招いていた（特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平７−０３９１７３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記従来例に係る超音波モータは、弾性体に固着された圧電体に交流電圧を印加して弾性体に楕円振動を発生させ、弾性体に押圧接触させた回転体を弾性体との間に働く摩擦力により回転運動させるものである。
【０００５】
従来は、弾性体の振動に伴い圧電体に発生する電圧値の大きさが超音波モータの回転速度と相関する性質を利用し、複数の超音波モータの回転速度が等しくなるように制御を行なっていた。これにより前記回転速度差に起因するモータ能力低下、騒音の発生、寿命の低下という課題に対して一定の効果が得られていた。
【０００６】
しかしながら、上記従来例においては速度を圧電体に生じる振動電圧値を速度値として代用しているに過ぎず、複数の超音波モータの速度を同一にすることにはなっていない。
【０００７】
たとえば、温度変化に伴う圧電体の圧電係数値の変化や時間経過に伴う押圧力変化等により機構圧電体から検出される振動電圧値と回転速度値の間に乖離が生じることになる。その結果、複数の超音波モータの速度を同一に保つことは困難となり、前術した性能低下、騒音発生、寿命低下が避けられない課題となっていた。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係る駆動制御装置は、第１の駆動信号によって第１のギアを回転させる第１の超音波モータと、第２の駆動信号によって第２のギアを回転させる第２の超音波モータと、前記第１のギアと前記第２のギアを第３のギアに連結させることで回転する前記第３のギアによって駆動する被駆動部材と、を有する駆動制御装置であって、前記第１の駆動信号は、前記第２の超音波モータに定在波を発生させ前記第１の超音波モータに進行波を発生させて検出した前記第１の超音波モータの特性、から求められた値によって補正されたことを特徴とする。
【０００９】
また、本発明に係る駆動制御方法は、第１の超音波モータに第１の駆動信号を与えて第１のギアを回転させ、第２の超音波モータに第２の駆動信号を与えて第２のギアを回転させ、前記第１のギアと前記第２のギアによって第３のギアを回転させることによって被駆動部材を駆動する駆動制御方法であって、前記第１の駆動信号は、予め求められた補正値よって補正され、前記補正値は、前記第２の超音波モータに定在波を発生させ、前記第１の超音波モータに進行波を発生させて検出した前記第１の超音波モータの特性から求められた値であることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、複数の超音波モータからの駆動力を合成して駆動するに当たり、構造の複雑化、外形寸法及び装置重量の増大やコストの上昇を招くことなく、モータの性能低下、騒音の発生、寿命の低下を抑制することが可能となる。また温度変化や駆動時間経過等により振動検出値と回転速度との間に乖離が生じた場合においてもモータの性能低下、騒音の発生や寿命の低下を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一実施例における超音波モータの駆動制御装置の構成例を説明するブロック図である。
【図２（ａ）】本発明の一実施例における補正処理前の複数の超音波モータの駆動周波数と回転速度の関係と複数のモータ間の速度差を示す図である。
【図２（ｂ）】本発明の一実施例における補正処理前の複数の超音波モータの駆動周波数と回転速度の関係を示す図である。
【図３（ａ）】本発明における超音波モータの駆動周波数と回転速度の関係式と駆動周波数補正式を示す図である。
【図３（ｂ）】本発明における超音波モータの駆動周波数と回転速度の関係式と駆動周波数補正式を示す図である。
【図４】本発明における超音波モータへの２相駆動電圧の位相差と超音波モータのトルクの関係を示す図である。
【図５（ａ）】本発明における被検出モータを超音波モータ１とした場合の速度特性取得の処理フローを示す図である。
【図５（ｂ）】本発明における図５（ａ）に記載の処理フローにおける被検出超音波モータ１以外の超音波モータ２の駆動条件取得フローを示す図である。
【図６】本発明における速度制御動作時の駆動周波数修正処理フローを示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
本発明を実施するための形態を、以下詳細に説明するが、本発明はかかる形態には限定されない。
【００１３】
図１は、本発明の一実施形態における超音波モータの駆動制御装置の構成例を説明するブロック図である。
【００１４】
図１には複数の超音波モータとして２つの超音波モータ（第１の超音波モータ、第２の超音波モータ）を用いた例を示しているが、必ずしも２つである必要はなく、３つ以上の超音波モータを組み合わせることもできる。
【００１５】
本実施形態の超音波モータの駆動装置は、電気−機械エネルギ変換素子への周波信号の印加によって振動を発生する振動体および該振動体に接触する接触体を備えている。そして、この振動体と接触体とが相対移動を行うように構成された複数の超音波モータからの駆動力を合成して被駆動部材に伝達する動力伝達機構を備えている。
【００１６】
具体的には、図１に示すように、第１の超音波モータ１−１の回転軸には第１のギア２−１が、第２の超音波モータ１−２の回転軸には第２のギア２−２が取り付けられている。
【００１７】
第１の超音波モータ１−１、第２の超音波モータ１−２はそれぞれ、圧電素子および弾性体からなる振動体と加圧機構からの加圧力を受けて振動体に圧接される接触体（回転体）を有している。ここで、圧電素子に対して位相の異なる周波信号を印加すると、振動体には進行性の振動波が発生し、振動体と接触体間の摩擦力によって接触体とともに回転軸が回転する。
【００１８】
なお、超音波モータとしては、いわゆる円環タイプや棒状タイプといった、いかなるタイプのものであってもよい。
【００１９】
第１のギア２−１、第２のギア２−２は、第３のギア４と噛み合っており、第３のギア４には出力軸５が設けられている。
【００２０】
各超音波モータの回転力はそれぞれの回転軸に取り付けられたギアを介して、第３のギア４に伝達され、第３のギア４において回転力が合成される。合成された回転力は出力軸５から出力される。
【００２１】
ここで、第１の超音波モータ１−１、第２の超音波モータ１−２は、第１のギア２−１、第２のギア２−２、および出力軸５を介して被駆動部材６に連結されている。このため、被駆動部材６は第１の超音波モータ１−１、第２の超音波モータ１−２からの合成された駆動力を受けることによって動作する。
【００２２】
出力軸５はロータリエンコーダ等の回転検出手段３に連結しており、パルス検出手段８を経て速度情報および位置情報として駆動コントロール回路９に送出されるようになっている。
【００２３】
本実施例の被駆動部材６は、搭載されたＴＶカメラ等を旋回させる電動雲台装置、半導体製造装置において直線動作を行なわせる電動ステージ等に適用することができる。そして、このような装置に適用された被駆動部材と超音波モータの駆動装置を備えることで、好適な超音波アクチュエータが実現可能となる。
【００２４】
駆動コントロール回路９は第１駆動電圧発生回路７−１を介して、第１の超音波モータ１−１の回転速度を制御する。
【００２５】
駆動コントロール回路９は、同様に、第２駆動電圧発生回路７−２を介して、第２の超音波モータ１−２の回転速度を制御するようになっている。
【００２６】
次に、駆動電圧発生回路７−１の構成と動作について説明する。
【００２７】
駆動コントロール回路９からの第１の電圧信号が増幅器７−１２を介して電圧制御型発振器７−１３に接続されており、電圧信号の大きさに応じた周波信号が電圧制御型発振器７−１３より出力される。
【００２８】
該周波信号は移相器７−１４１、７−１４２を通過することにより互いの相対位相差が略９０度もしくは０度となる２つの信号となる。そして、それぞれの信号が増幅器７−１５１、７−１５２を介して、第１の超音波モータへの２相駆動電圧信号（駆動信号）として給電され、第１の超音波モータが回転する。
【００２９】
また、前記周波信号の位相差は振動モード選択信号により９０度もしくは０度を選択できるほかに、移相値調整信号により９０度または０度の前後で調整することができる。
【００３０】
上記のように、駆動コントロール回路９からの電圧信号に応じて電圧制御型発振器７−１３の周波信号周波数は変化するので、その周波数に応じて第１の超音波モータ１−１の回転速度が制御される。
【００３１】
図２（ａ）に超音波モータの駆動電圧周波数と回転速度の関係を示した。
【００３２】
ここで示されている特性は本発明に固有の特性ではなく、従来例のものも同様の特性を有している。
【００３３】
第１の超音波モータと第２の超音波モータの間には、駆動電圧周波数に関して、次の２つの特性差が生じている。
【００３４】
第１に図上の横軸方向に生じるオフセットである。図に示すように、速度がゼロとなる周波数値が、第１と第２の超音波モータとの間にΔＦ０という差を生じている。
【００３５】
第２に周波数を変化させた場合の回転速度の変化量、すなわち周波数変化に対する回転速度曲線の勾配にも差が見られる。
【００３６】
その結果として、図中に示す通りそれぞれの超音波モータをＦ１１という同一の周波数で駆動した場合には、ΔＮ１という回転速度差を生じ、またＦ１２という同一の周波数で駆動した場合には、ΔＮ２という回転速度差を生じている。
【００３７】
この回転速度差は各超音波モータにおける振動体と回転体の接触界面にせん断方向のすべりを発生させるので、超音波モータ回転性能の低下や騒音の発生あるいは接触面の摩耗の増大による寿命の低下といった不都合が生じることになる。
【００３８】
これらの各超音波モータの間に存在する特性差は、振動体の加工時に生じる寸法誤差、あるいはモータ組立において生じる振動体と回転体間の加圧力誤差のために、振動体の駆動電圧周波数特性の個体差に起因するものである。
【００３９】
さらに、これらの個体差は駆動経過時間に伴い変化することがあるので、駆動開始初期においては前記個体差が許容できる程度であった場合においても、時間経過後は個体差が増加し、前記性能低下、騒音の発生、寿命の低下といった不都合が発生することがある。
【００４０】
以下に、上記不都合を解決する方法を本実施の形態により説明する。
【００４１】
図２（ａ）は、速度Ｎ１で動作する第１の超音波モータ１の駆動周波数がＦ１１であるのに対し、第２の超音波モータ２の駆動周波数はＦ２１であることを示している。また速度Ｎ２で動作する第１の超音波モータ１の駆動周波数がＦ１２であるのに対し、第２の超音波モータ２の駆動周波数がＦ２２であること示している。
【００４２】
このことは任意の指令速度に対応する駆動周波数が各超音波モータごとに一意的に存在することを意味している。
【００４３】
本発明の構成のように、任意の速度に対応する駆動周波数が一意的に存在する場合に、２つの既定速度（Ｎ１、Ｎ２）に対する駆動周波数値に基づき、任意の指令速度に対応する駆動周波数値を算出する方法を考案した。
【００４４】
超音波モータの速度特性曲線のオフセット量、勾配、曲率等の性質は、超音波モータの振動系特性を主要因として決まる。
そして、回転速度を決定付ける振動振幅は次式で表わされる。
振動振幅A=K/(1-ω２/ｐ2)
ω：  加振力振動数
ｐ：  モータ振動系固有振動数
Ｋ：  比例定数
製造上の誤差により前記オフセット量や勾配量のモータ間個体差が発生したとしても、回転速度特性曲線の基本形状は前記振動振幅式に従う形となる。
【００４５】
つまり、回転速度と駆動周波数の組合せ数値が曲線上の２点について得られれば、その２点以外の点についても回転速度と駆動周波数の関係が推定できることを意味している。
【００４６】
本実施形態においては以下に説明する方法を実施している。
【００４７】
図２（ａ）における第１の超音波モータ１と第２の超音波モータ２の駆動周波数と回転速度特性を説明を簡単にするため、形式を変えて図３（ａ）および３（ｂ）に示す。
【００４８】
各図より任意の指令速度Ｎ０で動作するための駆動周波数と動作速度の関係式は
第１の超音波モータ１についてはN0=(N2-N1)(F1-F12)/(F12-F11)
第２の超音波モータ２についてはN0=(N2-N1)(F2-F22)/(F22-F21)
で表わされる。
【００４９】
さらに上記の２つの式からＦ１とＦ２の関係を表す次の関係式が得られる。
F2＝(F22−F21)(F1−F12)/(F12−F11)+F22
【００５０】
本関係式の意義は、２つの既定速度（Ｎ１、Ｎ２）に対応する各超音波モータの駆動周波数の組み合わせ（Ｆ１１、Ｆ１２）と（Ｆ２１、Ｆ２２）を明らかにする。これが判明していれば、駆動周波数Ｆ１で回転するモータ１と同速度で回転させるためにはモータ２にはＦ２を与えれば良いということである。
【００５１】
この関係式を用いて図２（ａ）の補正計算を行なった例が図２（ｂ）である。
図中、駆動領域内において両超音波モータが略同一の速度で回転していることがわかる。
【００５２】
上述の各超音波モータの回転速度特性を検出するに当たり、下記の処理を行なうことにより機械的連結状態にある各超音波モータを個別的に精度良く検出するようにしている。本実施形態において使用している超音波モータは、２相の駆動電圧信号（駆動信号）を入力するようになっている。通常は２相の駆動電圧信号（駆動信号）の位相差を９０度に設定することにより超音波モータ振動体に生じる進行波振動が回転トルクを生み軸回転を行なうようになっている。
【００５３】
本実施形態において、通常は図１に示す７−１１および７−２１の振動モード切替手段を位相差９０度に設定し、第１の超音波モータ１および第２の超音波モータ２にともに進行波振動を作り出している。しかし、回転速度特性検出時においては検出対象以外の超音波モータのみを位相差０度に設定を切り替えるようにしている。位相差０度にすると超音波モータ振動体には定在波振動が生じ、回転トルクが消失するのみならず摩擦接触時間が大幅に減少することに伴い、回転方向の摩擦力も減少するので、検出対象モータから見た軸トルクが小さい（ゼロまたはゼロに近い）状態となる。
軸トルクがゼロの状態を示したのが図４における破線の特性曲線である。
この効果により、検出対象超音波モータが検出対象以外の超音波モータの軸トルクの影響を受けることなく、精度良く回転速度特性を検出することが可能となる。
【００５４】
しかしながら、現実の超音波モータにおいては、圧電素子の寸法誤差や位置ずれ誤差等の製造誤差により軸トルクがゼロとなる位相差に若干のずれを生じることがある。この状態が軸トルクがゼロに近い状態であり、この状態を示したのが図４における実線の特性曲線である。
【００５５】
本実施形態においては、後述の「速度特性取得の処理フロー」に示す通り、速度特性検出に先立ち「定在波駆動条件取得フロー」に示す処理により最適な定在波駆動条件の取得を行なう。そして得られた条件に基づいて検出対象以外のモータを駆動した状態で検出対象超音波モータの速度特性取得を行なうようにしている。
【００５６】
次に、本発明の駆動制御方法による駆動制御装置の一連動作について説明を行なう。  （１）駆動装置の電源を投入
＜第１の超音波モータ１の速度特性取得処理（２）〜（５）＞
（２）図５（ａ）記載の「速度特性取得の処理フロー」に従い、第１の超音波モータ１の速度特性取得動作を開始
（３）図５（ｂ）記載の「定在波駆動条件取得フロー」に従い、第２の超音波モータ２の定在波駆動条件取得動作実行
２相駆動電圧間位相差を０度前後で細かく走査し、第１の超音波モータ１の回転速度が最も大きくなる位相差(定在波駆動モータの軸トルクが小さい位相差（ゼロに近い位相差、より好ましくはゼロの位相差）)を超音波モータ２の定在波駆動条件とし記憶する。
（４）上記（３）で記憶された定在波駆動条件にて第２の超音波モータ２を定在波駆動し第１の超音波モータ１の速度特性取得を実行
本実施形態においては、外乱等による検出誤差を最小にするために図５（ａ）に示す平均化処理等を行なっているが、必須ではない。
（５）速度特性取得動作完了し、（３）と（４）で得られたデータを第１の超音波１モータの速度特性値として記憶
第１の超音波モータ１の記憶値は次の通りである。
回転速度Ｎ１に対応する駆動周波数値  Ｆ１１
回転速度Ｎ２に対応する駆動周波数値  Ｆ１２
＜第２の超音波モータ２の速度特性取得処理（６）〜（９）＞
（６）図５（ａ）記載の「速度特性取得の処理フロー」に従い、第２の超音波モータ２の速度特性取得動作を開始
（７）図５（ｂ）記載の「定在波駆動条件取得フロー」に従い、第１の超音波モータ１の定在波駆動条件取得動作実行
２相駆動電圧間位相差を０度前後で細かく走査し、第１の超音波モータ１の回転速度が最も大きくなる位相差(定在波駆動モータの軸トルクが小さい位相差（ゼロに近い位相差、より好ましくはゼロの位相差）)を第１の超音波モータ１の定在波駆動条件とし記憶する。
（８）上記（３）で記憶された定在波駆動条件にて第１の超音波モータ１を定在波駆動し第２の超音波モータ２の速度特性取得を実行
本実施例においては、外乱等による検出誤差を最小にするために図５（ａ）に示す平均化処理等を行なっているが、必須ではない。
（９）速度特性取得動作完了し、（７）と（８）で得られたデータを第２の超音波モータ２の速度特性値として記憶
第２の超音波モータ２の記憶値は次の通りである。
回転速度Ｎ１に対応する駆動周波数値  Ｆ２１
回転速度Ｎ２に対応する駆動周波数値  Ｆ２２
＜第１の超音波モータ１および第２の超音波モータ２の制御動作（１０）〜（１３）＞
（１０）外部指令もしくは動作開始条件満足により、振動モード切替手段により第１の超音波モータ１および第２の超音波モータ２をともに進行波振動モードに設定し、速度制御開始
（１１）速度検出信号（速度信号）検出開始
（１２）図６記載の「駆動周波数修正処理フロー」に従い、第１の超音波モータ１および第２の超音波モータ２の制御動作を実行
具体的には、速度検出信号（速度信号）により第１の超音波モータ１の速度を検出し、目標の速度となるように周波数更新値（補正値）Ｆ１を計算する。
そして、補正計算式
F2＝(F22−F21)(F1−F12)/(F12−F11)+F22
により第２の超音波モータ２の補正計算後の周波数更新値（補正値）Ｆ２を計算する。
そして、第１の超音波モータ１へ周波数更新値（補正値）Ｆ１を、第２の超音波モータ２へ周波数更新値（補正値）Ｆ２を出力する。
ここでは、第１の超音波モータ１へ補正値Ｆ１を出力し、第２の超音波モータ２へ補正値Ｆ２を出力する例を示したが、第１の超音波モータ１と第２の超音波モータ２の速度が等しくなるように回転させるだけでも本発明の効果を得ることはできる。その場合は、Ｆ１は第１の超音波モータ１の検出した速度（速度信号）とし、補正計算式で計算した周波数更新値Ｆ２だけを第２の超音波モータ２へ出力すればよい。
（１３）外部からの停止指令もしくは停止条件満足により制御動作を終了し動作停止
以上が一連の動作の流れであるが、（２）〜（９）の速度特性取得動作は毎回行なう必要はない。
一定時間の経過後もしくは一定動作回数の実行後にのみ処理を行ない、速度特性値の更新を行なうことにより、超音波モータの速度特性に変化があった場合においても特性の低下、異音の発生、寿命の低下等の不具合を回避することができる。
【産業上の利用可能性】
【００５７】
本発明は、複数個の超音波モータを駆動制御する超音波モータの駆動制御方法および超音波モータの駆動制御装置に関するものである。
【符号の説明】
【００５８】
１−１、１−２：超音波モータ
２−１、２−２：ギア
３：回転検出手段
４：ギア
５：出力軸
６：被駆動部材
７−１、７−２：駆動電圧発生回路
７−１１、７−２１：振動モード切替手段
７−１２、７−２２：増幅器
７−１３、７−２３：電圧制御型発振器
７−１４１、７−１４２、７−２４１、７−２４２：移相器
７−１５１、７−１５２、７−２５１、７−２５２：増幅器
８：パルス検出手段
９：駆動コントロール回路
【図１】
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【図２（ａ）】
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【図２（ｂ）】
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【図３（ａ）】
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【図３（ｂ）】
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【図４】
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【図５（ａ）】
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【図５（ｂ）】
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【図６】
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