(57)【要約】【課題】吸気孔近傍における付着物の付着の有無を確実かつ容易に判定し得る球状体吸着ヘッドを提供する。【解決手段】内部空間２１を有する箱状に構成されると共に底壁２２に吸着孔２３が形成されて内部空間２１が減圧されたときに吸着孔２３の縁部に半田ボール３００を吸着可能に構成され、内部空間２１に光源２５が配設されている。付着物の付着の有無を判定するための画像を撮像するときに光源２５を発光させることで、付着物が付着していない吸着孔２３をその画像内で明るく写し出し、付着物が付着している吸着孔２３をその画像内で暗色に（暗く）写し出すことができるため、吸着孔２３の近傍における付着物の付着の有無を画像に基づいて確実かつ容易に判定することができる。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部空間を有する箱状に構成されると共に底壁に吸着孔が形成されて当該内部空間が減圧されたときに当該吸着孔の縁部に球状体を吸着可能に構成された球状体吸着ヘッドであって、
前記内部空間に光源が配設されている球状体吸着ヘッド。
【請求項２】
請求項１記載の球状体吸着ヘッドと、非吸引状態の前記球状体吸着ヘッドにおける付着物の付着の有無を判定するための第１の画像を撮像する撮像部と、前記撮像部を制御する制御部とを備えて、前記球状体吸着ヘッドによって吸着された球状体を搭載対象に搭載可能に構成された球状体搭載装置であって、
前記制御部は、前記第１の画像を前記撮像部に撮像させるときに前記光源を発光させる球状体搭載装置。
【請求項３】
前記球状体吸着ヘッドを照明する照明部を備え、
前記制御部は、前記球状体吸着ヘッドによる前記球状体の吸着状態の良否を判定するための第２の画像を前記撮像部に撮像させるときに前記照明部を点灯させ、前記第１の画像を前記撮像部に撮像させるときに前記照明部を消灯させる請求項２記載の球状体搭載装置。
【請求項４】
内部空間を有する箱状に構成されると共に底壁に吸着孔が形成された球状体吸着ヘッドにおける当該内部空間を減圧させて当該吸着孔の縁部に球状体を吸着させ、当該吸着させた球状体を搭載対象に搭載すると共に、非吸引状態の前記球状体吸着ヘッドを撮像した第１の画像に基づいて当該球状体吸着ヘッドにおける付着物の付着の有無を判定する球状体搭載方法であって、
前記内部空間に光源を配設した前記球状体吸着ヘッドを用いて、
前記第１の画像を撮像するときに前記光源を発光させる球状体搭載方法。
【請求項５】
前記球状体吸着ヘッドによる前記球状体の吸着状態の良否を判定するための第２の画像を撮像するときに当該球状体吸着ヘッドを照明する照明部を点灯させ、前記第１の画像を撮像するときに前記照明部を消灯させる請求項４記載の球状体搭載方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、球状体を吸着する球状体吸着ヘッド、その球状体吸着ヘッドを備えて球状体を搭載対象に搭載する球状体搭載装置、および球状体を搭載対象に搭載する球状体搭載方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種の球状体搭載装置として、特開２０１１−４０７０４号公報において出願人が開示した半田ボール搭載装置が知られている。この半田ボール搭載装置は、半田ボール（球状体）を吸着する吸着ヘッドを備えて、半田ボールを基板の端子に搭載可能に構成されている。この場合、この吸着ヘッドは、内部に空隙が形成された箱状に構成されると共に、空隙と連通する複数の吸気孔が底壁に形成されて、空隙が負圧状態となったときに、吸気孔の縁部で半田ボールを吸着することが可能となっている。また、この半田ボール搭載装置では、吸着ヘッドの底壁を外部から撮像するカメラを備えて、撮像された底壁の画像に基づき、搭載処理前の吸着ヘッドにおける半田ボールの過不足や、搭載処理後の吸着ヘッドにおけるフラックス等の付着物の付着の有無を判定することが可能となっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１１−４０７０４号公報（第６−８頁、第１−３図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、上記の半田ボール搭載装置には、改善すべき以下の課題が存在する。すなわち、この半田ボール搭載装置では、カメラによって撮像した吸着ヘッドの底壁の画像に基づいて吸着ヘッドにおける半田ボールの過不足やフラックス等の付着物の付着の有無を判定している。この場合、底壁の表面に付着物が付着しているときには、その付着物を容易に判定することができる。しかしながら、底壁に形成されている吸気孔の内周面または吸気孔の縁部（以下、これらの部位を区別しないときには「吸気孔近傍」ともいう）に付着物が付着しているときには、吸気孔の内部が暗いため、吸気孔が暗色に写し出される結果、付着物を画像から見分けることが困難となる。このような吸気孔近傍に付着物が付着しているときには、半田ボールの吸着が正常に行われずに不足が生じる。そして、このような不足が連続して生じたときには、吸着ヘッドを分解して底壁の両面から照明光を照射して付着物の付着の有無を判定するような煩雑な作業を行う必要がある。このように、上記の半田ボール搭載装置には、吸気孔近傍に付着物が付着していることを判定するのが困難であるという課題が存在し、この点の改善が望まれている。
【０００５】
本発明は、かかる課題に鑑みてなされたものであり、吸気孔近傍における付着物の付着の有無を確実かつ容易に判定し得る球状体吸着ヘッド、球状体搭載装置および球状体搭載方法を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成すべく請求項１記載の球状体吸着ヘッドは、内部空間を有する箱状に構成されると共に底壁に吸着孔が形成されて当該内部空間が減圧されたときに当該吸着孔の縁部に球状体を吸着可能に構成された球状体吸着ヘッドであって、前記内部空間に光源が配設されている。
【０００７】
また、請求項２記載の球状体搭載装置は、請求項１記載の球状体吸着ヘッドと、非吸引状態の前記球状体吸着ヘッドにおける付着物の付着の有無を判定するための第１の画像を撮像する撮像部と、前記撮像部を制御する制御部とを備えて、前記球状体吸着ヘッドによって吸着された球状体を搭載対象に搭載可能に構成された球状体搭載装置であって、前記制御部は、前記第１の画像を前記撮像部に撮像させるときに前記光源を発光させる。
【０００８】
また、請求項３記載の球状体搭載装置は、請求項２記載の球状体搭載装置において、前記球状体吸着ヘッドを照明する照明部を備え、前記制御部は、前記球状体吸着ヘッドによる前記球状体の吸着状態の良否を判定するための第２の画像を前記撮像部に撮像させるときに前記照明部を点灯させ、前記第１の画像を前記撮像部に撮像させるときに前記照明部を消灯させる。
【０００９】
また、請求項４記載の球状体搭載方法は、内部空間を有する箱状に構成されると共に底壁に吸着孔が形成された球状体吸着ヘッドにおける当該内部空間を減圧させて当該吸着孔の縁部に球状体を吸着させ、当該吸着させた球状体を搭載対象に搭載すると共に、非吸引状態の前記球状体吸着ヘッドを撮像した第１の画像に基づいて当該球状体吸着ヘッドにおける付着物の付着の有無を判定する球状体搭載方法であって、前記内部空間に光源を配設した前記球状体吸着ヘッドを用いて、前記第１の画像を撮像するときに前記光源を発光させる。
【００１０】
また、請求項５記載の球状体搭載方法は、請求項４記載の球状体搭載方法において、前記球状体吸着ヘッドによる前記球状体の吸着状態の良否を判定するための第２の画像を撮像するときに当該球状体吸着ヘッドを照明する照明部を点灯させ、前記第１の画像を撮像するときに前記照明部を消灯させる。
【発明の効果】
【００１１】
請求項１記載の球状体吸着ヘッド、請求項２記載の球状体搭載装置、および請求項４記載の球状体搭載方法では、球状体吸着ヘッドの内部空間に光源が配設されている。したがって、球状体吸着ヘッドにおける付着物の付着の有無を判定するための画像（第１の画像）を撮像するときに光源を発光させ、その際に、付着物が付着していない吸着孔からは、光源の光が遮られることなく外部に漏れ、付着物が付着している吸着孔では、光源の光の外部への漏れが遮られる。このため、撮像した画像内で、付着物が付着していない吸着孔は明るく写し出され、付着物が付着している吸着孔は暗色に（暗く）写し出される。この結果、この球状体吸着ヘッド、球状体搭載装置および球状体搭載方法によれば、吸着孔近傍における付着物の付着の有無を撮像した画像に基づいて確実かつ容易に判定することができる。
【００１２】
また、請求項３記載の球状体搭載装置、および請求項５記載の球状体搭載方法によれば、付着物の付着の有無を判定するための画像（第１の画像）を撮像するときに照明部を消灯させることにより、照明部の照明光に影響されることなく、吸着孔から漏れる光源の光の多少により、付着物が付着していない吸着孔と付着物が付着している吸着孔とを明瞭に区別することができる結果、付着物の付着の有無をより確実に判定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】半田ボール搭載装置１の構成を示す構成図である。
【図２】吸着ヘッド２および供給部３の構成を示す断面図である。
【図３】吸着ヘッド２および整列用プレート４の構成を示す断面図である。
【図４】半田ボール搭載装置１の動作を説明する第１の説明図である。
【図５】半田ボール搭載装置１の動作を説明する第２の説明図である。
【図６】半田ボール搭載装置１の動作を説明する第３の説明図である。
【図７】半田ボール搭載装置１の動作を説明する第４の説明図である。
【図８】半田ボール搭載装置１の動作を説明する第５の説明図である。
【図９】半田ボール搭載装置１の動作を説明する第６の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、球状体吸着ヘッド、球状体搭載装置および球状体搭載方法の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。
【００１５】
最初に、図１に示す半田ボール搭載装置１の構成について説明する。半田ボール搭載装置１は、球状体搭載装置の一例であって、同図に示すように、吸着ヘッド２、供給部３、整列用プレート４、撮像部５、移動機構６および制御部７を備えて、後述する球状体搭載方法に従い、球状体の一例としての微小な球状粒体である半田ボール（マイクロボール）３００（図３参照）を搭載対象としての基板４００の端子４０１に搭載可能に構成されている。この場合、半田ボール３００は、直径Ｌ１（図３参照）が７０μｍ程度の球状に構成されている。また、半田ボール３００は、半田ボール搭載装置１によって基板４００の端子４０１に搭載された後に加熱溶融されることにより、基板４００上に半田ボールバンプやＣ４（Controlled Collapsed Chip Connection）バンプを構成する。
【００１６】
吸着ヘッド２は、球状体吸着ヘッドの一例であって、図２に示すように、内部に空間（内部空間２１）を有する箱状に構成されている。また、同図および図３に示すように、吸着ヘッド２の底壁２２には、内部空間２１に連通する吸着孔２３が、底壁２２の厚み方向に沿って複数（図３では、そのうちの１個のみを図示している）形成されている。
【００１７】
この場合、図３に示すように、吸着孔２３の直径Ｌ２は、半田ボール３００の直径Ｌ１（この例では、７０μｍ）よりも短い４０μｍ程度に規定されている。また、図２に示すように、吸着ヘッド２には、図外の吸気機構に接続されて内部空間２１の空気を排気するための排気孔２４が形成されている。この吸着ヘッド２では、内部空間２１の空気の排気によって内部空間２１が減圧され、それに伴って吸着孔２３からの吸気が行われることにより、吸着ヘッド２の底壁２２における吸着孔２３の縁部に半田ボール３００を吸着することが可能となっている（図３参照）。
【００１８】
また、図２に示すように、吸着ヘッド２の内部空間２１には、光源２５が配設されている。光源２５は、一例として、ＬＥＤ（Light Emitting Diode）で構成されて、制御部７の制御に従って発光および発光停止を行う。
【００１９】
供給部３は、制御部７の制御に従い、吸着ヘッド２に半田ボール３００を供給可能に構成されている。具体的には、供給部３は、図２に示すように、収容容器３１、吸着保持部３２および吸引部３３を備えて構成されている。収容容器３１は、半田ボール３００を収容可能に構成されている。吸着保持部３２は、収容容器３１に収容されている半田ボール３００をその先端部で吸着して保持可能に構成されると共に、基端部を中心として回動可能に構成されている。吸引部３３は、半田ボール３００を吸引可能に構成されている。
【００２０】
整列用プレート４は、吸着ヘッド２の各吸着孔２３に半田ボール３００を１つずつ吸着させる機能を有するプレートであって、図２に示すように、吸着ヘッド２の底壁２２が接触したときに吸着ヘッド２の吸着孔２３に連通する挿通孔４１が形成されている。この場合、図３に示すように、整列用プレート４の厚みＬ３は、吸着孔２３の縁部に吸着された半田ボール３００が下面から突出しない８０μｍ程度に規定されている。また、挿通孔４１の直径Ｌ４は、半田ボール３００が通過可能な９０μｍ程度に規定されている。
【００２１】
撮像部５は、整列用プレート４の配置位置と基板４００の配置位置の間に配置されている。また、撮像部５は、図６に示すように、カメラ５１およびライト（照明部）５２を備えて構成されている。カメラ５１は、吸着ヘッド２の下方から吸着ヘッド２の底壁２２を撮像する。ライト５２は、制御部７の制御に従って点灯および消灯する。この場合、ライト５２が点灯したときには、照明光が吸着ヘッド２の下方から底壁２２に照射される（底壁２２が照明される）。
【００２２】
移動機構６は、制御部７の制御に従い、整列用プレート４の配置位置（供給部３の配置位置の上方の位置）と基板４００の配置位置との間で吸着ヘッド２を移動させる。また、移動機構６は、整列用プレート４に対して接離する方向、および整列用プレート４に平行な方向に沿って供給部３を移動させる。
【００２３】
制御部７は、半田ボール搭載装置１を構成する各構成要素を制御する。具体的には、制御部７は、吸着ヘッド２に配設されている光源２５の発光および発光停止を制御する。また、制御部７は、供給部３による吸着ヘッド２に対する半田ボール３００の供給を制御する。また、制御部７は、撮像部５のカメラ５１による撮像を制御する。また、制御部７は、移動機構６による吸着ヘッド２および供給部３の移動を制御する。
【００２４】
さらに、制御部７は、カメラ５１によって撮像された吸着ヘッド２における底壁２２の画像（第１の画像および第２の画像）に基づき、吸着ヘッド２による半田ボール３００の吸着状態の良否（半田ボール３００が過不足なく吸着されているか否か）を判定する第１の判定処理を搭載対象に対する半田ボール３００の搭載前に実行すると共に、吸着ヘッド２の非吸引状態における半田ボール３００（搭載されずに残留した半田ボール３００）やフラックス等の付着物の付着の有無（図９参照）を判定する第２の判定処理を搭載対象に対する半田ボール３００の搭載後に実行する。
【００２５】
次に、半田ボール搭載装置１を用いて、基板４００の端子４０１に半田ボール３００を搭載する方法（球状体搭載方法）、およびその際の半田ボール搭載装置１の動作について、図面を参照して説明する。なお、基板４００の端子４０１には、半田ボール３００の搭載前にフラックスが予め塗布されるものとする。
【００２６】
この半田ボール搭載装置１では、開始操作がされたときに、制御部７が、移動機構６を制御して、図２に示すように、整列用プレート４の配置位置に吸着ヘッド２を搬送させる。この際に、図３に示すように、吸着ヘッド２の底壁２２と整列用プレート４とが接触する。なお、この時点においては、半田ボール３００は吸着ヘッド２によって吸着されていない。
【００２７】
次いで、制御部７は、吸着ヘッド２の排気孔２４に接続されている図外の吸気機構による吸気を開始させる。この際に、吸着ヘッド２の内部空間２１の空気が排気孔２４から排出されて、内部空間２１が負圧状態となり、これ伴って吸着孔２３からの吸気が開始される。
【００２８】
続いて、制御部７は、供給部３を制御して半田ボール３００の供給を開始させる。この場合、供給部３では、吸着保持部３２が収容容器３１に収容されている半田ボール３００を先端部で吸着して保持する（図２参照）。次いで、吸着保持部３２は、先端部が上方を向く位置まで基端部を中心として回動する。
【００２９】
続いて、制御部７は、移動機構６を制御して、整列用プレート４（吸着ヘッド２の底壁２２）の一端側（例えば、図４における左端部）に吸着保持部３２の先端部を近接させる。この際に、吸着保持部３２の先端部に保持されている半田ボール３００が、吸着ヘッド２における底壁２２の吸着孔２３からの吸気に伴う吸引力によって吸着ヘッド２に引き寄せられて、吸着ヘッド２に供給される。また、図３に示すように、供給された半田ボール３００が、吸着孔２３に引き寄せられて、整列用プレート４の挿通孔４１を通って吸着孔２３の縁部に吸着される。
【００３０】
次いで、制御部７は、移動機構６を制御して、図４に示すように、吸着保持部３２の先端部を整列用プレート４に近接させた状態で、供給部３を整列用プレート４に沿って整列用プレート４の他端側（同図における右側）に向けて同図に矢印で示す方向に移動させる。この際に、上記したように、吸着保持部３２の先端部に保持されている半田ボール３００が、吸着ヘッド２の吸引力によって引き寄せられて吸着ヘッド２に供給され、整列用プレート４の各挿通孔４１を通って吸着ヘッド２における吸着孔２３の縁部に吸着される。
【００３１】
続いて、制御部７は、移動機構６を制御して、図５に示すように、供給部３を整列用プレート４に沿って同図に矢印で示す方向にさらに移動させる。この際に、同図に示すように、吸引部３３が吸着保持部３２と共に移動させられて、吸引部３３によって余剰な半田ボール３００が吸引される。このため、搭載対象の半田ボール３００と余剰な半田ボール３００とが互いに強く引き合っていたとしても、余剰な半田ボール３００が搭載対象の半田ボール３００から強制的に引き離されて吸着ヘッド２または整列用プレート４から確実に除去される。
【００３２】
次いで、制御部７は、移動機構６を制御して、供給部３を初期位置に移動させる。続いて、制御部７は、移動機構６を制御して、吸着ヘッド２を整列用プレート４から離反させ、次いで、吸着ヘッド２を撮像部５の上方に移動させる。
【００３３】
続いて、制御部７は、第１の判定処理を実行する。この第１の判定処理では、制御部７は、撮像部５のカメラ５１を制御して、吸着ヘッド２の底壁２２を撮像させる。また、制御部７は、カメラ５１による撮像に先立って撮像部５のライト５２を点灯させる。この際に、ライト５２の点灯によって底壁２２が照明され、これによって底壁２２に吸着されている半田ボール３００が撮像された画像内で明瞭に写し出される。また、制御部７は、この第１の判定処理において、吸着ヘッド２の光源２５を発光停止状態に維持する。
【００３４】
次いで、制御部７は、カメラ５１によって撮像された底壁２２の画像（第２の画像）に基づき、吸着ヘッド２による半田ボール３００の吸着状態の良否（半田ボール３００が過不足なく吸着されているか否か）を判定する。具体的には、制御部７は、底壁２２の画像を解析して、吸着ヘッド２における１つの吸着孔２３に複数の半田ボール３００が吸着されている状態（半田ボール３００が過剰な状態）が生じているか否か、および半田ボール３００が吸着されていない吸着孔２３が存在する状態（半田ボール３００が不足している状態）が生じているか否かを判定する。
【００３５】
ここで、例えば、図６に示すように、１つの吸着孔２３に複数の半田ボール３００が吸着されていたり、半田ボール３００が吸着されていない吸着孔２３が存在していたりするときには、制御部７は、その旨を判定して、図外の報知部にその旨を報知させる。この場合、このような半田ボール３００の過不足が生じているときには、吸着ヘッド２によって吸着されている半田ボール３００を除去した後に、吸着ヘッド２に半田ボール３００を吸着させる処理を再実行させる。なお、吸着ヘッド２から半田ボール３００を除去する処理を制御部７の制御に従って実行する除去部を設けて、除去する処理を自動的に行う構成および方法を採用することもできる。
【００３６】
一方、吸着ヘッド２によって半田ボール３００が過不足なく吸着されているときには、制御部７は、移動機構６を制御して、半田ボール３００を吸着している吸着ヘッド２を基板４００の配置位置に搬送させ、続いて、図７に示すように、吸着ヘッド２によって吸着されている半田ボール３００が基板４００の端子４０１に塗布されているフラックス（図示せず）に接触するように吸着ヘッド２を基板４００に向けて移動させる。
【００３７】
次いで、制御部７は、図外の吸気機構を制御して吸気を停止させる。この際に、図８に示すように、吸着ヘッド２による吸着が解除されて、半田ボール３００が基板４００の端子４０１に塗布されたフラックス（図示せず）の上に載置される。これにより、半田ボール３００の搭載が完了する。続いて、制御部７は、移動機構６を制御して、同図に示すように、吸着ヘッド２を上方に向けて移動させた後に、撮像部５の配置位置の上方に移動させる。
【００３８】
次いで、制御部７は、第２の判定処理を実行する。この第２の判定処理では、制御部７は、撮像部５のカメラ５１を制御して、吸着ヘッド２の底壁２２を撮像させる。また、制御部７は、この第２の判定処理において、撮像部５のライト５２を消灯させた状態に維持させると共に、カメラ５１による撮像に先立って吸着ヘッド２の光源２５を発光させる。
【００３９】
ここで、吸着ヘッド２によって吸着されていた半田ボール３００が基板４００の端子４０１に全て搭載されて吸着ヘッド２には半田ボール３００が残留しておらず、吸着孔２３の内周面や吸着孔２３の縁部にもフラックス等が付着していないとき（吸着孔２３近傍に付着物が付着していないとき）には、光源２５の光が吸着孔２３から吸着ヘッド２の外部に漏れる（射出される）ため、カメラ５１によって撮像された画像（第１の画像）内で吸着孔２３が明るく写し出される。
【００４０】
一方、図９に示すように、吸着孔２３に半田ボール３００が付着（吸着ヘッド２に半田ボール３００が残留）していたり、吸着孔２３内にフラックス等が付着していたりするとき（吸着孔２３近傍に付着物が付着しているとき）には、吸着孔２３から外部へ漏れる光源２５の光の量が少なく抑えられる（または、遮られる）ため、カメラ５１によって撮像された画像内でその吸着孔２３が暗色に（暗く）写し出される。このため、この半田ボール搭載装置１および球状体搭載方法では、半田ボール３００やフラックス等の付着物の付着の有無をカメラ５１によって撮像された画像に基づいて確実かつ容易に判定することが可能となっている。
【００４１】
また、この半田ボール搭載装置１および球状体搭載方法では、第２の判定処理において、撮像部５のライト５２を消灯させた状態に維持する。このため、この半田ボール搭載装置１および球状体搭載方法では、ライト５２の照明光に影響されることなく、吸着孔２３から漏れる光（光源２５からの光）の多少により、付着物が付着していない吸着孔２３と付着物が付着している吸着孔２３とが明瞭に区別される結果、付着物の付着の有無をより確実かつ容易に判定することが可能となっている。
【００４２】
この場合、上記したように付着物が付着しているときには、制御部７は、その旨を判定して、図外の報知部にその旨を報知させる。このときには、吸着ヘッド２の洗浄を行った後に、次の基板４００に対する半田ボール３００の搭載の処理を実行させる。なお、吸着ヘッド２を洗浄する処理を制御部７の制御に従って実行する洗浄部を設けて、洗浄する処理を自動的に行う構成および方法を採用することもできる。以後、制御部７は、新たな基板４００に対して半田ボール３００を搭載する際に、上記した第１の判定処理および第２の判定処理を実行する。
【００４３】
このように、この吸着ヘッド２、半田ボール搭載装置１および球状体搭載方法では、吸着ヘッド２の内部空間２１に光源２５が配設されている。したがって、吸着ヘッド２における付着物の付着の有無を判定するための画像（第１の画像）を撮像するときに光源２５を発光させ、その際に、付着物が付着していない吸着孔２３からは、光源２５の光が遮られることなく外部に漏れ、付着物が付着している吸着孔２３では、光源２５の光の外部への漏れが遮られる。このため、第１の画像内で、付着物が付着していない吸着孔２３は明るく写し出され、付着物が付着している吸着孔２３は暗色に（暗く）写し出される。この結果、この吸着ヘッド２、半田ボール搭載装置１および球状体搭載方法によれば、吸着孔２３近傍における付着物の付着の有無を撮像した第１の画像に基づいて確実かつ容易に判定することができる。
【００４４】
また、この吸着ヘッド２、半田ボール搭載装置１および球状体搭載方法によれば、付着物の付着の有無を判定するための画像（第１の画像）を撮像するときにライト５２を消灯させることにより、ライト５２の照明光に影響されることなく、吸着孔２３から漏れる光源２５の光の多少により、付着物が付着していない吸着孔２３と付着物が付着している吸着孔２３とを明瞭に区別することができる結果、付着物の付着の有無をより確実に判定することができる。
【００４５】
なお、球状体吸着ヘッド、球状体搭載装置および球状体搭載方法は、上記の構成および方法に限定されない。例えば、基板４００に半田ボール３００を搭載する処理を１回行う毎に第２の判定処理を実行する構成および方法について上記したが、半田ボール３００を搭載する処理を任意の複数回行った後に（複数毎に）第２の判定処理を実行する構成および方法を採用することもできる。また、ＬＥＤを光源として用いる構成および方法について上記したが、ＬＥＤ以外の光源（例えば、蛍光灯や白熱灯）を用いる構成および方法を採用することもできる。
【符号の説明】
【００４６】
１  半田ボール搭載装置
２  吸着ヘッド
５  撮像部
７  制御部
２１  内部空間
２２  底壁
２３  吸着孔
２５  光源
５１  カメラ
５２  ライト
３００  半田ボール
４００  基板
４０１  端子
【図１】
2014007338.tif 000003
【図２】
2014007338.tif 000004
【図３】
2014007338.tif 000005
【図４】
2014007338.tif 000006
【図５】
2014007338.tif 000007
【図６】
2014007338.tif 000008
【図７】
2014007338.tif 000009
【図８】
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【図９】
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