(57)【要約】【課題】ワイピングに対する悪影響を廃し、小型化や位置決め精度向上に貢献する。【解決手段】複数のノズルを並べたノズル列を有するノズルプレートと、ノズルに液体を供給する流路を有する流路部材と、ノズルプレートのノズル開口面に接して、ノズルプレートと相対的に位置を変化させることによりノズル開口面を払拭するワイパーとを備え、ノズルプレートは、少なくとも一つのノズル列に平行する方向であってノズルプレートの表面に垂直な断面に射影したときに当該一つのノズル列を構成するノズルと重ならない位置に、ノズルとは異なる第一位置決め穴を有し、流路部材は、第一位置決め穴に対応する位置に第二位置決め穴を有し、ワイパーは、ノズル列と交差し第一位置決め穴を通過する軌跡の一端側と他端側とのうち第一位置決め穴との間にノズルが存在しない側へノズルプレートに対する位置を変化させる。【選択図】図６
2014172310.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を噴射するための複数のノズルを並べたノズル列を有するノズルプレートと、
上記ノズルに液体を供給する流路を有する流路部材と、
上記ノズルプレートの上記ノズルが開口するノズル開口面に接して、ノズルプレートと相対的に位置を変化させることにより当該ノズル開口面を払拭するワイパーと、を備え、
上記ノズルプレートは、少なくとも一つのノズル列に平行する方向であって上記ノズルプレートの表面に垂直な断面に射影したときに当該一つのノズル列を構成するノズルと重ならない位置に、ノズルとは異なる第一位置決め穴を有し、
上記流路部材は、上記第一位置決め穴に対応する位置に第二位置決め穴を有し、
上記ワイパーは、上記ノズル列と交差し上記第一位置決め穴を通過する軌跡の一端側と他端側とのうち上記第一位置決め穴との間に上記ノズルが存在しない側へ、上記ノズルプレートに対する位置を変化させる、
ことを特徴とする液体噴射装置。
【請求項２】
上記第二位置決め穴は、上記第一位置決め穴と連通する側と逆側の開口が封止されていることを特徴とする請求項１に記載の液体噴射装置。
【請求項３】
上記流路部材は、複数のノズルに共通して液体を供給する共通液体室を複数有し、上記第二位置決め穴は、共通液体室間に設けられることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の液体噴射装置。
【請求項４】
上記ノズルプレートは、上記ノズル列の外側にノズルとは異なる第三位置決め穴を有し、上記流路部材は、上記第三位置決め穴に対応する位置に第四位置決め穴を有することを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれかに記載の液体噴射装置。
【請求項５】
上記流路部材は、セラミックスにより生成されていることを特徴とする請求項１〜請求項４のいずれかに記載の液体噴射装置。
【請求項６】
上記ノズルプレートは、少なくとも一つのノズル列において、ノズル列方向に分割された複数のノズルグループであって異なる液体を噴射するノズルグループを有し、当該ノズル列の断面であって上記ノズルプレートに垂直な断面に射影したときに当該ノズル列を構成するノズルグループ間に収まる位置に、上記第一位置決め穴を有することを特徴とする請求項１〜請求項５のいずれかに記載の液体噴射装置。
【請求項７】
液体を噴射するための複数のノズルを並べたノズル列を有するノズルプレートと、
上記ノズルに液体を供給する流路を有する流路部材と、を備え、
上記ノズルプレートは、少なくとも一つのノズル列に平行する方向であって上記ノズルプレートの表面に垂直な断面に射影したときに当該一つのノズル列を構成するノズルと重ならない位置に、ノズルとは異なる第一位置決め穴を有し、
上記流路部材は、上記第一位置決め穴に対応する位置に第二位置決め穴を有し、
さらに上記第一位置決め穴の位置は、上記ノズル列と交差して上記第一位置決め穴を通過する軌跡の上記第一位置決め穴よりも一端側と上記第一位置決め穴よりも他端側との少なくとも一方にノズルが存在しない位置であることを特徴とする、流路ユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体噴射装置および流路ユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット式記録ヘッド等の液体噴射ヘッドを構成する流路ユニットは、インクを噴射するためのノズルを有するノズルプレートや、ノズルにインクを供給するための流路を有する流路部材を含む。このような流路ユニットの組み立て工程においては、ノズルプレートや流路部材といった各部品を要求される精度で位置合わせしつつ、各部品を接着する等して製品が完成する。当該位置合わせは、例えば、各部品を貫通する位置決め穴に杭を通して部品同士の位置関係を一時的に固定することにより、実現される。
【０００３】
なお、治具基板上に、各圧電セラミック層の中央に対応する位置に円柱状の位置決め突起を設け、治具基板上にグリーンシートを積層し、これをレーザ等で分断した後に焼成する液体移送装置の製造方法が知られている（特許文献１参照）。当該文献１によれば、位置決め突起を設けたことによって、圧電セラミック層の焼成時の収縮による位置ずれを防止することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００５‐１１９２８９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
液体噴射ヘッドを搭載したインクジェットプリンターでは、ノズルが開口するノズル開口面を払拭する（ワイピングする）ためのワイパーを有することがある。ノズル開口面がワイピングされることにより、インク噴射後にノズル開口に残った余分なインクが拭き取られ、以降もノズルから適切にインク滴が噴射される状態が保たれる。
【０００６】
ここで、上記位置決め穴は、製品の組み立て工程に必要とされるものであるが、上記ワイピングとの関係では、不都合を生じさせるおそれがある。具体的には、ノズルプレートに位置決め穴が形成されている場合、ワイパーが当該位置決め穴の開口面を通過する際、当該位置決め穴よりもワイピング方向の上流側で拭き取られたインクが当該位置決め穴内に溜まることがある。このように溜まったインクは、乾燥し、当該位置決め穴の開口周縁で異物化する。かかる状態の位置決め穴の開口面を、以降、ワイパーが通過すると、ワイパーが当該異物化したインクの固まりに乗り上げたり、当該インクの固まりをワイピング方向下流側のノズルへ運んだりして、当該下流側のノズルに対するワイピングが適切に実行されない場合がある。
【０００７】
このような位置決め穴の存在によるワイピングへの悪影響を無くすための手法として、位置決め穴を、ワイピング時にワイパーが通過する範囲から完全に外れた位置に設けることが考えられる。しかしながら、位置決め穴をワイパーが通過する範囲から完全に外れた位置に設けるには、ノズルプレートや、ノズルプレートと位置決めされる他の部品を大型化させることとなる。また、位置決め穴をワイパーが通過する範囲から外れた位置だけに設けると、部品を焼成して生成する際の収縮のばらつきなどに起因して、位置決め穴を用いた部品間の位置決めが困難化するおそれがある。なお上記文献は、上述したようなノズルプレートの位置決め穴の位置に起因する各種課題を解決するものではない。
【０００８】
本発明は上述した課題の少なくとも一つを解決するためになされたものであり、ワイピングに対する悪影響を廃し、また、製品の小型化や位置決めの精度向上の実現に貢献する液体噴射装置および流路ユニットを提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の態様の一つは、液体噴射装置は、液体を噴射するための複数のノズルを並べたノズル列を有するノズルプレートと、上記ノズルに液体を供給する流路を有する流路部材と、上記ノズルプレートの上記ノズルが開口するノズル開口面に接して、ノズルプレートと相対的に位置を変化させることにより当該ノズル開口面を払拭する（ワイピングする）ワイパーとを備え、上記ノズルプレートは、少なくとも一つのノズル列の断面であって上記ノズルプレートに垂直な断面に射影したときに当該一つのノズル列を構成するノズルと重ならない位置に、ノズルとは異なる第一位置決め穴を有し、上記流路部材は、上記第一位置決め穴に対応する位置に第二位置決め穴を有し、上記ワイパーは、上記ノズル列と交差し上記第一位置決め穴を通過する軌跡の一端側と他端側とのうち上記第一位置決め穴との間に上記ノズルが存在しない側へ、上記ノズルプレートに対する位置を変化させる、構成としてある。なお、上記ノズルプレートは、少なくとも一つのノズル列に平行する方向であって上記ノズルプレートの表面に垂直な断面に射影したときに当該一つのノズル列を構成するノズルと重ならない位置に、ノズルとは異なる第一位置決め穴を有する、とも言える。
【００１０】
当該構成によれば、ノズル開口面に対してワイピングが行われる際、第一位置決め穴を通過したワイパーがノズルを通過することがないため、一部のノズルに対してワイピングを適切に実行できない、といった不都合が生じない。また、第一位置決め穴をワイパーが通過する範囲から外れた位置に設けるものではないため、製品の大型化に繋がらず、かつ、位置決め穴（第一位置決め穴および第二位置決め穴）を用いた部品間の位置決めも的確に行われている。
【００１１】
本発明の態様の一つは、上記第二位置決め穴は、上記第一位置決め穴と連通する側と逆側の開口が封止されているとしてもよい。
当該構成によれば、ノズル開口面に付着した液体が、第二位置決め穴の第一位置決め穴と連通する側と逆側の開口から漏れ出ることが防止される。
【００１２】
本発明の態様の一つは、上記流路部材は、複数のノズルに共通して液体を供給する共通液体室を複数有し、上記第二位置決め穴は、共通液体室間に設けられるとしてもよい。
当該構成によれば、第二位置決め穴は、共通液体室間に設けられる。そのため、圧電素子と回路等を接続する配線部分等に対する第二位置決め穴の干渉を避け、かつ、流路部材の強度向上にも貢献する。
【００１３】
本発明の態様の一つは、上記ノズルプレートは、上記ノズル列の外側にノズルとは異なる第三位置決め穴を有し、上記流路部材は、上記第三位置決め穴に対応する位置に第四位置決め穴を有するとしてもよい。
当該構成によれば、ノズルプレートと流路部材とは、プレートや部材の中央に近い位置で第一位置決め穴および第二位置決め穴により位置決めされ、プレートや部材の外側に近い位置で第三位置決め穴および第四位置決め穴により位置決めされる。そのため、大型化を極力抑制しつつ、流路基板とノズルプレートとの相対的な傾き調整を含めた両者の位置決めが的確に実行される。
【００１４】
なお、上記流路部材は、セラミックスにより生成されるとしてもよい。流路部材をセラミックスを焼成して生成する場合、焼成時の収縮の影響で流路部材のサイズにばらつきが生じ得る。本発明の構成によれば、第一位置決め穴は、ワイパーが通過する範囲から外れた位置（ノズル列の外側）に設けられるものではないため、当該ばらつきがあったとしても、位置決め穴（第一位置決め穴および第二位置決め穴）を用いた部品間の位置決めが的確に行われている。
【００１５】
本発明の態様の一つは、上記ノズルプレートは、少なくとも一つのノズル列において、ノズル列方向に分割された複数のノズルグループであって異なる液体を噴射するノズルグループを有し、当該ノズル列の断面であって上記ノズルプレートに垂直な断面に射影したときに当該ノズル列を構成するノズルグループ間に収まる位置に、上記第一位置決め穴を有するとしてもよい。
当該構成によれば、互いに異なる液体を噴射するノズルグループ間に確保される領域を利用して、確実に第一位置決め穴を設けることができる。
【００１６】
本発明にかかる技術的思想は液体噴射装置という形態のみで実現されるものではなく、他の物によって具現化されてもよい。例えば、液体噴射装置の構成の一部である流路ユニットを一つの発明として捉えることが可能である。一例として、流路ユニットであって、液体を噴射するための複数のノズルを並べたノズル列を有するノズルプレートと、上記ノズルに液体を供給する流路を有する流路部材とを備え、上記ノズルプレートは、少なくとも一つのノズル列の断面であって上記ノズルプレートに垂直な断面に射影したときに当該一つのノズル列を構成するノズルと重ならない位置に、ノズルとは異なる第一位置決め穴を有し、上記流路部材は、上記第一位置決め穴に対応する位置に第二位置決め穴を有し、さらに上記第一位置決め穴の位置は、上記ノズル列と交差して上記第一位置決め穴を通過する軌跡の上記第一位置決め穴よりも一端側と上記第一位置決め穴よりも他端側との少なくとも一方にノズルが存在しない位置である構成を、一つの発明として捉えることができる。また、上述した液体噴射装置や流路ユニットを製造する方法の発明もそれぞれ一つの発明として捉えることが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】液体噴射ヘッドの主要構成の一部を例示する分解斜視図である。
【図２】流路プレートにおける流路の配置態様を例示する図である。
【図３】ノズルプレートにおけるノズルの配置態様を例示する図である。
【図４】Ａ‐Ａ´線による液体噴射ヘッドの断面を例示する断面図である。
【図５】液体噴射ヘッドとワイパーとの位置関係を例示する図である。
【図６】Ｂ‐Ｂ´線による液体噴射ヘッドの断面を例示する断面図である。
【図７】ノズルプレートにおけるノズルの配置態様の他の例を示す図である。
【図８】インクジェットプリンターの一例を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、図面を参照しながら本発明の実施形態を説明する。
図１は、本実施形態にかかる液体噴射ヘッド１０の主要構成の一部を、分解斜視図により例示している。液体噴射ヘッド１０は、本発明にかかる流路ユニットを含んで構成される。ここでは、液体噴射ヘッド１０は、インクを噴射（吐出）するインクジェット式記録ヘッドであるとして説明を行う。液体噴射ヘッド１０は、振動板２０、流路プレート３０、コンプライアンスプレート４０、ノズルプレート５０、といった各部材を含む。これら各部材は、それぞれが個別に生成されて積層等されるものであってもよいし、それら（あるいはそれらの一部）が一体的に生成されるものであってもよい。
【００１９】
振動板２０は、流路プレート３０の一方の面を封止する。振動板２０や流路プレート３０は、例えば、セラミックスやシリコン単結晶基板等で生成されるが、本実施形態では、振動板２０および流路プレート３０は、セラミックスの一種であるジルコニアを焼成することにより一体生成されているものとする。流路プレート３０は、液体の流路３１を複数有する。流路３１は、その長手方向をＸ方向と平行とした状態で、Ｘ方向に直交するＹ方向に並設されている。流路３１と流路３１との間には、隔壁３８が設けられている。本明細書において、液体噴射ヘッド１０の各構成の方向や位置や形状等について、平行、直交、垂直あるいは同一、等と表現した場合であっても、それらは厳密な平行、直交、垂直あるいは同一のみを意味するのではなく、製品性能上許容される程度の誤差や製品製造時に生じ得る程度の誤差も含む意味である。また、本明細書において、物と物とが「接する」とは、物と物との間に接着剤等が介在する状態と、介在する物が無い状態とのどちらをも含む意味である。
【００２０】
それぞれの流路３１は、上流室３４と、くびれ部３５と、圧力室３６と、連通孔３７とを含んで構成される。上流室３４、くびれ部３５および圧力室３６は、流路プレート３０の上記一方の面において開口した状態で、この順序で流路３１の長手方向に連通している。連通孔３７は、流路３１の長手方向の一端側において圧力室３６と連通しており、かつ、流路プレート３０の他方の面において開口している。なお、流路プレート３０は、上流室３４、くびれ部３５、圧力室３６および共通供給孔３２を有する第一層３０１と、連通孔３７およびリザーバー３３を有する第二層３０２とにより構成される。
【００２１】
第一層３０１は、振動板２０に接する層であり、第二層３０２は、第一層３０１の振動板２０側とは逆側に位置する。共通供給孔３２は、流路プレート３０の上記一方の面において開口しており、リザーバー３３は、流路プレート３０の上記他方の面において開口している。共通供給孔３２は、流路３１の長手方向の他端側において上流室３４から所定距離離れた位置にスリット状に形成された溝であり、その長手方向をＹ方向と平行としている。共通供給孔３２に対しては、不図示のインク供給経路からインクが供給される。また共通供給孔３２は、リザーバー３３と連通する。リザーバー３３は、Ｙ方向において共通供給孔３２と同一程度の長さが確保された形状であり、かつ、流路３１の長手方向の他端側において、複数の流路３１の上流室３４と連通している。リザーバー３３は、共通インク室と呼ぶこともできる。
【００２２】
振動板２０は、流路プレート３０側と逆側の面に、圧電素子８０（図４，６参照）を搭載する。圧電素子８０は、後述するように、第一電極、一方側において第一電極と接する圧電体層および圧電体層の他方側と接する第二電極を有して構成される圧力発生手段である。図１では、圧電素子８０を構成する圧電体層８１を例示しており、圧電体層８１は、各流路３１の圧力室３６に対応して配置されている。
【００２３】
ノズルプレート５０は、インクを噴射するための貫通孔としてのノズル５１を複数有する。流路３１毎の各連通孔３７は、各圧力室３６と各ノズル５１とを一対一で連通させる。ただし図１の例では、流路プレート３０の上記他方の面と、ノズルプレート５０との間に、コンプライアンスプレート４０が介在する。コンプライアンスプレート４０は、一方の面を流路プレート３０の上記他方の面に対して接し、他方の面をノズルプレート５０の外部に露出する面（ノズル開口面）とは逆側の面に対して接する。
【００２４】
コンプライアンスプレート４０やノズルプレート５０は、例えば、セラミックスやシリコン単結晶基板等で生成されてもよいが、本実施形態では、コンプライアンスプレート４０およびノズルプレート５０はステンレス鋼により生成されているものとする。図１の例では、ノズルプレート５０は、ノズル５１がＹ方向に沿って所定の間隔で複数形成されたノズル列５２を有している。なお、ノズルプレート５０は、複数のノズル５１がＹ方向に沿って形成された複数のノズル列をＸ方向に並設し、一方のノズル列と他方のノズル列とをＹ方向においてずらして配置する（いわゆる千鳥配置とする）構成を採用してもよい。
【００２５】
コンプライアンスプレート４０は、複数の第二連通孔４１と、薄膜部４２とを有する。第二連通孔４１は、コンプライアンスプレート４０を貫通する。各第二連通孔４１は、各ノズル５１に一対一で連通する位置に配置されている。また、各第二連通孔４１は、各連通孔３７とも一対一で連通する。コンプライアンスプレート４０は、リザーバー３３の、共通供給孔３２および上流室３４と連通する側の面とは逆側の面を封止する。コンプライアンスプレート４０のリザーバー３３を封止する部分は上記薄膜部４２に該当する。薄膜部４２は、コンプライアンスプレート４０の他の部分と比較して、板厚が薄く形成されており、そのため薄膜部４２とノズルプレート５０との間には空間が確保される。薄膜部４２は弾性を有する。薄膜部４２は、リザーバー３３内の圧力変動に応じてノズルプレート側５０に撓むことにより、リザーバー３３内の圧力変動を和らげる役割を果たす。
【００２６】
このような構成において、少なくとも流路プレート３０は、特許請求の範囲における、ノズルに液体を供給する流路を有する流路部材の一例に該当する。コンプライアンスプレート４０も、当該流路部材の一例に該当する。また、圧電素子８０を搭載する振動板２０と流路プレート３０とをまとめて、アクチュエーター基板１１と呼ぶこともでき、アクチュエーター基板１１を流路部材の一例と捉えてもよい。液体噴射ヘッド１０は、図１に示した部材の一部を有さない構成であってもよいし、図１に示した部材以外の部材を含む構成であってもよい。例えば、コンプライアンスプレート４０を省略してノズルプレート５０を流路プレート３０に接合するとしてもよいし、コンプライアンスプレート４０に替えて（あるいはコンプライアンスプレート４０とともに）他のプレートを流路プレート３０とノズルプレート５０との間に介在させてもよい。また、当該他のプレートに、リザーバーや共通供給孔の機能を持たせても良い。
【００２７】
図２は、流路プレート３０の上記一方の面（振動板２０側の面）を例示した図である。流路プレート３０は、複数の流路３１がＹ方向に並ぶ流路列を複数有する。図２では、流路列３１１および流路列３１２を示している。ここで、流路列３１２に対しては、流路列３１２に含まれる全ての流路３１に共通のインクを供給するための共通供給孔３２が設けられている。一方、流路列３１１は、列方向（Ｙ方向）において流路３１が複数のグループに分けられており、グループ毎に共通供給孔３２が設けられている。例えば、流路列３１１は、グループＧ１，Ｇ２，Ｇ３に分けられる。そして、グループＧ１の各流路３１に共通のインクを供給するための共通供給孔３２、グループＧ２の各流路３１に共通のインクを供給するための共通供給孔３２、グループＧ３の各流路３１に共通のインクを供給するための共通供給孔３２、がそれぞれ設けられている。
【００２８】
図３は、ノズルプレート５０の流路プレート３０側の面（ノズル開口面と逆側の面）を例示した図である。ノズルプレート５０は、複数のノズル列５２（ノズル列５２０，５２１）を有する。つまり、図２と図３との関係においては、ノズル列５２０は各ノズル５１が流路列３１１の各流路３１と連通し、ノズル列５２１は各ノズル５１が流路列３１２の各流路３１と連通する。従って、ノズル列５２０は、流路列３１１と同様に列方向（Ｙ方向）においてノズル５１が複数のグループに分けられ、図２の例に従えば、グループＧ１，Ｇ２，Ｇ３に分けられる。
【００２９】
図４は、Ａ‐Ａ´線（図２，３参照）による液体噴射ヘッド１０の断面を例示している。当該断面はＹ方向に垂直な面である。なお、Ｘ方向およびＹ方向に垂直な方向は、Ｚ方向と表す。Ｚ方向は、アクチュエーター基板１１やノズルプレート５０等を積層する方向でもある。図４の例では、ノズル列５２０かつグループＧ１に属するノズル５１に繋がる流路３１等と、ノズル列５２１に属するノズル５１に繋がる流路３１等とが、Ｘ方向において対称な形状で配置されている。図４に示すように、一つの圧力室３６は、連通孔３７および第二連通孔４１を介して、一つのノズル５１に連通する。また、振動板２０の流路プレート３０と接する面と逆側の面には、圧電素子８０が圧力室３６に対応する位置に接合している。圧電素子８０は、第一電極８２、圧電体層８１および第二電極８３が順に積層されて構成される。例えば、第一電極８２は、圧力室３６に対応する圧電素子８０毎に設けられた個別電極である。一方、第二電極８３は、複数の圧電素子８０に共通して設けられた（複数の圧電素子８０が共有する）共通電極である。
【００３０】
第一電極８２には、導電膜（ACF：Anisotropic Conductive Film等）７０やケーブル類（フレキシブル基板等）９０等を介して制御回路基板１００が接続され、制御回路基板１００から駆動電圧が印加される。導電膜７０は、接着性を有し、第一電極８２とフレキシブル基板９０とを電気的に接続する。第二電極８３は電位が所定レベル（例えばグラウンドレベル）に保持される。かかる構成により、圧電素子８０が駆動電圧に応じて変形する。リザーバー３３へは、連通する共通供給孔３２からインクが供給される。リザーバー３３へ供給されたインクは、連通する各上流室３４へ供給される。上流室３４のインクは、くびれ部３５を通過して圧力室３６へ供給される。上述のような圧電素子８０の変形に伴い振動板２０が撓むことにより、圧力室３６内で圧力が高まり、かかる圧力の高まりに応じて圧力室３６内のインクがノズル５１から噴射される。このような共通供給孔３２からノズル５１に亘る流路は、共通供給孔３２側が上流側であり、ノズル５１側が下流側である。なお、くびれ部３５は流路の断面積が、圧力室３６や上流室３４や上流室３４よりも上流側の各流路の断面よりも狭く構成されている。くびれ部３５においてインクの流れに対する抵抗を高めることにより、圧力室３６から上流室３４側へ逆流するインク量を一定量以下に抑えている。
【００３１】
図２に示した複数の共通供給孔３２は、それぞれ異なる種類のインクの供給を不図示のインク供給経路から受ける。例えば、流路列３１２に対応する共通供給孔３２はブラックインクの供給を受け、グループＧ１，Ｇ２，Ｇ３に対応する各共通供給孔３２は、それぞれ異なる有彩色（シアン、マゼンダ、イエロー等）インクの供給を受ける。従って、ノズル列５２１のノズル５１、グループＧ１のノズル５１、グループＧ２のノズル５１、グループＧ３のノズル５１からはそれぞれ異なる種類のインクが噴射される。なお図２では、グループＧ１に属する各流路３１と共通供給孔３２とを繋ぐリザーバー３３と、グループＧ２に属する各流路３１と共通供給孔３２とを繋ぐリザーバー３３を図示しているが、これら以外のリザーバー３３の図示は省略している。また図１は、図２，３に示した構成の一部範囲（例えば、グループＧ１に該当する各流路３１および各ノズル５１）を含んで描いたものである。
【００３２】
図５は、液体噴射ヘッド１０とワイパー１１０との位置関係を例示している、液体噴射ヘッド１０を搭載する液体噴射装置は、ワイパー１１０を有する。ワイパー１１０とは、ノズルプレート５０のノズル開口面５０ａに接して、ノズルプレート５０と相対的に位置を変化させることによりノズル開口面５０ａを払拭する部品である。ワイパー１１０は、ゴムやエラストマー等の弾性部材により構成される。液体噴射ヘッド１０は、不図示のキャリッジに搭載され、Ｘ方向に沿ったキャリッジの往復移動に伴い移動（主走査）可能である。ワイパー１１０は、例えば、液体噴射ヘッド１０の主走査範囲内の端部位置に設けられる。ワイパー１１０は、当該端部位置において、液体噴射ヘッド１０のノズル開口面５０ａに対して移動方向ＭＤに沿って進退可能とされている。つまり、ワイパー１１０は、ワイピングを実行する場合には、ノズル開口面５０ａに先端が接触可能な位置まで移動方向ＭＤに沿って進出し、ワイピングを実行しない場合には、ノズル開口面５０ａに接触しない位置へ移動方向ＭＤに沿って退避する。
【００３３】
液体噴射装置では、ワイパー１１０が先端をノズル開口面５０ａに接触させた状態で、液体噴射ヘッド１０が一定方向ＳＤ（キャリッジの往路方向あるいは復路方向）に移動したときに、ワイパー１１０がノズル開口面５０ａを払拭し、ワイピングが実現される。このとき、液体噴射ヘッド１０の位置を基準としてワイパー１１０の位置を考えると、ワイピングの実行に伴ってワイパー１１０は一定方向ＳＤの逆方向へ位置を変化させていくと言える。図５（および図３，６，７）では、当該方向を、ワイピング方向ＷＤとして示している。なお、液体噴射ヘッド１０の移動が停止しているタイミングで、ワイパー１１０をワイピング方向ＷＤに移動させてワイピングを実行するとしてもよい。ワイピングにかかる機構については、特開２０１１‐７７８号公報を適宜参照してもよい。
【００３４】
図６は、Ｂ‐Ｂ´線（図２，３参照）による液体噴射ヘッド１０の断面を例示している。当該断面は図４と同様にＹ方向に垂直な面である。Ｂ‐Ｂ´線は、図２，３から明らかなように、グループＧ１とグループＧ２の間、つまりノズル列５２０に属するノズル５１（および当該ノズル５１に連通する流路３１やリザーバー３３や共通供給孔３２）が存在しない位置であって、ノズル列５２１に属するノズル５１は存在する位置を通過している。そのため、図６では、ノズル列５２１に属するノズル５１に繋がる流路３１等は示されているが、ノズル列５２０に属するノズル５１に繋がる流路３１等は示されていない。
【００３５】
ここで図６は、位置決め穴１２，５３を示している。位置決め穴５３はノズルプレート５０をＺ方向に貫通しており、位置決め穴１２は流路部材（ここでは、振動板２０、流路プレート３０およびコンプライアンスプレート４０）をＺ方向に貫通している。位置決め穴５３は、特許請求の範囲における第一位置決め穴の一例に該当し、位置決め穴１２は、特許請求の範囲における第二位置決め穴の一例に該当する。位置決め穴１２については図２、位置決め穴５３については図３もそれぞれ参照のこと。位置決め穴１２，５３は、液体噴射ヘッド１０の組み立て工程の際に、ノズルプレート５０とこれに積層される各部品とを接合する際の位置決めに用いられる（杭等を通す）穴である。
【００３６】
すなわち本実施形態では、ノズルプレート５０は、少なくとも一つのノズル列（５２０）の断面であってノズルプレート５０に垂直な断面に射影したときに当該ノズル列（５２０）を構成するノズル５１と重ならない位置に、ノズルとは異なる位置決め穴５３を有している。このような位置決め穴５３の位置は、具体的には、図３内にて鎖線で囲った範囲Ｒ（グループＧ１とグループＧ２との間、あるいはグループＧ２とグループＧ３との間）に属する位置である。つまりノズルプレート５０は、少なくとも一つのノズル列（５２０）の断面であってノズルプレート５０に垂直な断面に射影したときに当該ノズル列（５２０）を構成するノズルグループ（グループＧ１のノズル５１、グループＧ２のノズル５１、グループＧ３のノズル５１）間に収まる位置に、位置決め穴５３を有する。加えて、位置決め穴５３の位置は、ノズル列方向（Ｙ方向）と交差して当該位置を通過するワイパー１１０の軌跡の当該位置よりも一端側と他端側との少なくとも一方にノズル５１が存在しない位置である。つまり、位置決め穴５３は、当該位置を通過するワイピング方向ＷＤの軌跡の下流側にノズル５１が存在しないような位置に形成されている。流路部材側の位置決め穴１２は、ノズルプレート５０と流路部材とが積層された状態においては、位置決め穴５３と連通している。
【００３７】
なお、液体噴射ヘッド１０の組み立て工程における、ノズルプレート５０とこれに積層される各部品とを接合する際の位置決めは、２箇所以上で行う必要がある。そのため、ノズルプレート５０は、位置決め穴５３とは別に、ノズルプレート５０をＺ方向に貫通する位置決め穴５４を有している（図３参照）。また、流路部材は、流路部材（ここでは、振動板２０、流路プレート３０およびコンプライアンスプレート４０）をＺ方向に貫通して位置決め穴５４と連通して位置決めに用いられる位置決め穴１３を有している（図２参照）。位置決め穴５４は、特許請求の範囲における第三位置決め穴の一例に該当し、位置決め穴１３は、特許請求の範囲における第四位置決め穴の一例に該当する。
【００３８】
このように本実施形態によれば、液体噴射装置では、ノズルプレート５０を貫通する位置決め穴５３，５４の少なくとも一つの位置決め穴５３の位置を、ノズル列５２を構成するノズル５１とノズル５１との間であって、ワイピング方向ＷＤの下流側にノズル５１が存在しない位置とした。従って、ノズル開口面５０ａに対するワイピングが行われる際、位置決め穴５３を通過したワイパー１１０の部分がノズル５１を通過することがない。そのため、位置決め穴５３の開口周縁で異物化したインクの存在に起因してワイピング方向ＷＤの下流側のノズル５１に対するワイピングが適切に実行されない、といった事象がそもそも生じなくなる。
【００３９】
また、位置決め穴５３は、ノズル５１とノズル５１との間に設けられ、ノズル開口面５０ａ内のワイパー１１０が通過する範囲から外れた位置に設けられるものではない。そのため、位置決め穴を全てノズル開口面５０ａ内のワイパー１１０が通過する範囲から外れた位置に設ける場合と比較して、ノズルプレート５０およびこれに積層される各部品の大型化を抑制でき、製品の小型化およびコストダウンに貢献する。
【００４０】
また、本実施形態における各位置決め穴の位置は、ノズルプレート５０と流路部材との位置決め精度を向上させる上でも好ましいと言える。上述したように流路部材がセラミックスを焼成することにより生成される場合、当該焼成時の素材の収縮率のばらつきにより、流路部材が設計上予定されていたサイズと異なるサイズで生成されることがある。例えば、流路部材のＹ方向の長さが、設計上予定されていた長さよりも長くなることがある。このような場合、ノズルプレート５０と流路部材とを位置合わせする際、それぞれの部材の端部（例えばＹ方向における端部）ではお互いの位置ずれの量が多くなる一方、部材の中央領域では位置ずれの量が少ない。そのため、部材間の位置合わせの精度を高めるためには、一つの位置決め穴については、位置合わせする各部材の中央領域に設けることが好ましい。かかる観点において本実施形態は、位置決め穴５３を、ノズル列５２の外側（ノズル列５２の端部のノズル５１よりもＹ方向において外側）では無くノズル列５２を構成するノズル５１とノズル５１との間に設けた。そのため、位置決め穴５３やそれと連通する位置決め穴１２は、各部材の中央付近に形成され易く、結果、それら位置決め穴５３，１２を用いることにより精度の高い位置決めを行うことが可能となる。
【００４１】
また、本実施形態における各位置決め穴の位置は、ノズルプレート５０と流路部材との相対的な傾き調整を行う上でも好ましいと言える。傾き調整とは、ノズルプレート５０と流路部材との一方を他方に対して、面同士の平行を保った上で回転させ、部材同士の辺を若干交差させることを言う。かかる傾き調整により、各ノズル５１とそれらに繋がる各流路との位置関係が総合的に良好になるように調整される。２箇所の位置決め穴の距離（位置決め穴５３と位置決め穴５４との距離。あるいは、位置決め穴１２と位置決め穴１３との距離。）は、離れていた方が当該調整作業が容易であり、調整精度に有利に働く。かかる観点において本実施形態は、位置決め穴５４を、ノズル列５２の外側（ノズル列５２の端部のノズル５１よりもＹ方向において外側）に設けた。そのため、２箇所の位置決め穴の距離が長く確保されやすく、傾き調整を容易かつ精度良く行うことが可能となる。
【００４２】
なお、図３，２では、位置決め穴５３，１２を、グループＧ１とグループＧ２の間に形成したが、グループＧ２とグループＧ３の間に形成してもよい。その場合、位置決め穴５４，１３の位置は、図にあるようなグループＧ３の端部よりも外側ではなく、グループＧ１の端部よりも外側とすることで、２箇所の位置決め穴の距離を長く保つものとする。また、位置決め穴の形状については、図２，３に例示したように、長穴状（位置決め穴５４，１３）とすることにより、傾き調整が可能なようにする。
【００４３】
さらに本実施形態における特徴的事項について述べる。
上述したようにノズルプレート５０は、図３に例示する範囲Ｒに属する位置に位置決め穴５３を設けたものであるが、当該範囲Ｒの中でも特に、位置決め穴１２がＸ方向においてリザーバー３３とリザーバー３３との間に位置するように、位置決め穴５３，１２を設けている。図４，６から判るように、仮に位置決め穴５３，１２を圧力室３６や連通孔３７に近い側に設けると、位置決め穴１２と、圧電素子８０と制御回路基板１００との配線部分との干渉を避けることが困難化するおそれがある。そのため、位置決め穴１２がＸ方向においてリザーバー３３とリザーバー３３との間に位置するように設けることで、このような配線の困難化や複雑化を避ける事が可能となる。また、圧電素子８０の変形に伴う強い圧力変化を受ける圧力室３６近傍を避け、リザーバー３３近傍に位置決め穴１２を設けることにより、流路部材の強度向上にも繋がる。
【００４４】
また本実施形態では、図６に示すように、位置決め穴１２は、位置決め穴５３と連通する側と逆側の開口１２ａが封止されている。開口１２ａを封止する素材は種々考えられるが、一例として、接着性を有する導電膜７０と同じ素材で封止する。かかる構成とすれば、振動板２０上に導電膜７０を成膜する際に、同一工程で開口１２ａを封止することができ効率的である。また、開口１２ａを封止することにより、ノズル開口面５０ａに付着したインクが、位置決め穴５３および位置決め穴１２を通って振動板２０側に漏れることが防止される。むろん、位置決め穴１３の、位置決め穴５４と連通する側と逆側の開口についても、開口１２ａと同様に封止するとしてもよい。
【００４５】
本発明は上述の実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の態様において実施することが可能であり、例えば、さらに以下のような実施形態も可能である。これまでに述べた実施形態や以下に述べる実施形態を適宜組み合わせた内容も、本発明の開示範囲に含まれる。
【００４６】
図７は、ノズルプレート５０の流路プレート３０側の面（ノズル開口面と逆側の面）を例示した図であり、図３とは異なる例である。ノズルプレート５０は、複数のノズル列５２，５２を有する。また、ノズル列５２，５２はそれぞれ、列方向（Ｙ方向）においてノズル５１が複数のグループに分けられ、例えば、一方のノズル列５２は、グループＧ１，Ｇ２に分けられ、他方のノズル列５２は、グループＧ３，Ｇ４に分けられる。かかる構成においては、グループＧ１，Ｇ２，Ｇ３，Ｇ４毎に異なる種類のインクが噴射される。また、当該図７の例では、グループＧ１とグループＧ２との間であり、かつグループＧ３とグループＧ４との間である範囲Ｒに属する位置に、位置決め穴５３が形成されている。かかる構成によれば、位置決め穴５３（および位置決め穴５３と連通する第二位置決め穴）の位置を、よりノズルプレート５０（およびノズルプレート５０と積層する流路部材）の中央位置に設けることができ、位置決め精度を向上させることができる。
【００４７】
また、液体噴射ヘッド１０は、インクカートリッジ等と連通するインク供給経路を具備するインクジェット式記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェットプリンター２００に搭載される。インクジェットプリンター２００は液体噴射装置の一例である。
【００４８】
図８は、インクジェットプリンター２００の一例を示す概略図である。インクジェットプリンター２００において、複数の液体噴射ヘッド１０を有するインクジェット式記録ヘッドユニット（以下、ヘッドユニット２０２）には、例えば、インクカートリッジ２０２Ａ，２０２Ｂ等が着脱可能に設けられる。ヘッドユニット２０２を搭載したキャリッジ２０３は、装置本体２０４に取り付けられたキャリッジ軸２０５に軸方向移動自在に設けられている。そして、駆動モーター２０６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト２０７を介してキャリッジ２０３に伝達されることで、キャリッジ２０３はキャリッジ軸２０５に沿って移動する。
【００４９】
装置本体２０４にはキャリッジ軸２０５に沿ってプラテン２０８が設けられており、図示しないローラー等により供給された印刷媒体Ｓがプラテン２０８上を搬送される。そして、搬送される印刷媒体Ｓに対して、液体噴射ヘッド１０のノズル６１からインクが噴射され任意の画像が印刷媒体Ｓに印刷される。なお、インクジェットプリンター２００は、ヘッドユニット２０２が上記のように移動するものだけでなく、例えば、液体噴射ヘッド１０が固定されて、印刷媒体Ｓを移動させるだけで印刷を行ういわゆるラインヘッド型のプリンターであってもよい。
【００５０】
また本発明は、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドや液体噴射装置にも適用することができる。例えば、液体噴射ヘッドとしては、液晶ディスプレー等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレーやＦＥＤ（電解放出ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオチップ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられ、かかる液体噴射ヘッドを搭載した液体噴射装置にも本発明を適用することができる。
【符号の説明】
【００５１】
１０…液体噴射ヘッド、１１…アクチュエーター基板、１２，１３…位置決め穴、１２ａ…開口、２０…振動板、３０…流路プレート、３１…流路、３２…共通供給孔、３３…リザーバー、３４…上流室、３５…くびれ部、３６…圧力室、３７…連通孔、４０…コンプライアンスプレート、４１…第二連通孔、４２…薄膜部、５０…ノズルプレート、５１…ノズル、５２，５２０，５２１…ノズル列、５３，５４…位置決め穴、７０…導電膜、８０…圧電素子、８１…圧電体層、８２…第一電極、８３…第二電極、９０…ケーブル類（フレキシブル基板）、１００…制御回路基板、１１０…ワイパー、２００…インクジェットプリンター
【図１】
2014172310.tif 000003
【図２】
2014172310.tif 000004
【図３】
2014172310.tif 000005
【図４】
2014172310.tif 000006
【図５】
2014172310.tif 000007
【図６】
2014172310.tif 000008
【図７】
2014172310.tif 000009
【図８】
2014172310.tif 000010