(57)【要約】【課題】縦横に並設された試験ユニットの点検、調整を容易に実施することができ、作業時間を短縮し、試験能率の低下を最小限に抑え得る電子デバイス試験装置を提供する。【解決手段】分離可能な複数の分体２ａ〜２ｄに試験ユニット１を縦列毎に保持し、これらの分体２ａ〜２ｄを連結具２２により連結して試験ユニット１が縦横に並ぶ電子デバイス試験装置を構成する。分体２ｂ〜２ｄは、ガイドレール２０に沿って移動可能とし、この移動により分体２ａ〜２ｃ間に作業スペースを確保して、各分体２ａ〜２ｄが保持する試験ユニット１の側面に開閉可能に設けた点検口１１からの点検、調整作業を実行可能とする。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の試験ユニットを夫々の一面に設けた搬入出口を前側に向け、縦横に並べて架台に保持し、各試験ユニットに前記搬入出口を介して逐次搬入出される電子デバイスの電気的特性を試験する電子デバイス試験装置において、
前記試験ユニットの夫々は、前記一面と異なる面に開閉可能に形成された点検口を備えており、該点検口の形成面を相隣する試験ユニットから離反させるべく移動可能に支持してあることを特徴とする電子デバイス試験装置。
【請求項２】
前記架台は、相互に接離する方向に移動可能に支持され、前記試験ユニットを縦列単位で保持する複数の分体を備え、前記点検口は、前記分体の移動により離反する各試験ユニットの側面に形成してある請求項１に記載の電子デバイス試験装置。
【請求項３】
前記分体は、夫々との対向面に、接近時に直接接続され、離反時に延長コネクタを介して接続される接続部を備える請求項２に記載の電子デバイス試験装置。
【請求項４】
前記試験ユニットは、前記架台に縦横に並設された収容部の夫々に後方への引き出し移動可能に保持されており、前記点検口は、引き出しにより夫々の収容部から突出する各試験ユニットの上面に形成してある請求項１に記載の電子デバイス試験装置。
【請求項５】
前記試験ユニットは、前記収容部からの引き出し位置にて回転可能に支持してある請求項４に記載の電子デバイス試験装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の試験ユニットを縦横に並べて配置し、夫々の試験ユニット内に受け入れた電子デバイスの電気的な特性を試験するように構成された電子デバイス試験装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエハ等の電子デバイスの製造工程においては、製造された電子デバイスの不良を発見するための試験が実施されている。この試験は、試験対象となる電子デバイスに所定の試験信号を与え、この試験信号に対する出力信号を評価することによりなされる。
【０００３】
特許文献１，２には、加温部、試験部及び冷却部を備える試験ユニットにおいて電子デバイスの試験を実施するように構成された電子デバイス試験装置が開示されている。試験対象となる電子デバイスは、まず加温部において所定の試験温度になるまで加熱されて試験部に送り込まれる。試験部においては、送り込まれる電子デバイスの入出力端子をテスタに接続し、該テスタから与えられる試験信号に対する出力信号を評価する試験が行われる。試験を終えた電子デバイスは、冷却部において徐冷されて試験ユニットから搬出される。この装置においては、試験部での試験が高温下にある電子デバイスに対して実施されることにより、試験対象となる電子デバイスの電気的特性の良否を短時間で、正確に判定することができる。
【０００４】
このような電子デバイス試験装置においては、限られたスペース内で可及的に多くの電子デバイスの試験を可能とするため、前述した試験ユニットを矩形箱形をなす各別の筐体に収容し、これらを、共通の架台に縦横に並べて配置する構成が採用されている。試験ユニットは、筐体の一面に開設された搬入出口を有し、該搬入出口の開設面を同側（前側）に向けて並設されている。各試験ユニットにおいては、並設域の前側に配した搬送ロボットの動作により筐体前面の搬入出口を経て搬入、搬出される電子デバイスの試験が並行して実施される。
【０００５】
半導体ウエハなどの電子デバイスの試験は、高集積化の進行に伴って個々の試験に時間を要するため、複数の試験ユニットでの試験を並行して実施することにより、待機のための無駄時間を排除して効率的な試験が可能となる。また複数の試験ユニットは縦横に並設してあるから、装置の設置に多大のスペースを要することがない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１０−１５６７０９号公報
【特許文献２】ＷＯ２００６／００９２８２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
さて、以上の如く構成された電子デバイス試験装置においては、例えば、試験ユニット内に逐次搬入、搬出される電子デバイスの試験が繰り返し実施される間に、加温部での発生熱が筐体内に籠もり、伝導熱の影響により試験部の動作に異常が発生する等の経時的な不具合が生じる虞れがあり、この不具合に対応するために、個々の試験ユニットの点検、調整が不可欠である。
【０００８】
しかしながら、試験ユニットは、前述の如く、共通の架台に縦横に並べて保持されており、所望の試験ユニットに接近することが難しいことから、点検、調整作業に多大の手間及び時間を要する上、この間、電子デバイス試験装置の動作が休止されるため、試験能率の低下を招来するという問題がある。
【０００９】
本発明は斯かる事情に鑑みてなされたものであり、縦横に並設された試験ユニットの点検、調整を容易に実施することができ、作業時間の短縮を図り、試験能率の低下を最小限に抑えることが可能な電子デバイス試験装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明に係る電子デバイス試験装置は、複数の試験ユニットを夫々の一面に設けた搬入出口を前側に向け、縦横に並べて架台に保持し、各試験ユニットに前記搬入出口を介して逐次搬入出される電子デバイスの電気的特性を試験する電子デバイス試験装置において、前記試験ユニットの夫々は、前記一面と異なる面に開閉可能に形成された点検口を備えており、該点検口の形成面を相隣する試験ユニットから離反させるべく移動可能に支持してあることを特徴とする。
【００１１】
本発明においては、縦横に並ぶ試験ユニットの搬入出口と異なる面に開閉可能な点検口を形成し、これらの試験ユニットを、点検口の形成面を他の試験ユニットを離反するように移動させ、点検口を開放するための作業スペースを確保し、開放された点検口から内部の点検、調整を実施する。
【００１２】
本発明に係る電子デバイス試験装置は、前記架台が、相互に接離する方向に移動可能に支持され、前記試験ユニットを縦列単位で保持する複数の分体を備え、前記点検口は、前記分体の移動により離反する各試験ユニットの側面に形成してあることを特徴とする。
【００１３】
本発明においては、各試験ユニットの側面に点検口を形成し、これらの試験ユニットを架台を構成する複数の分体に縦列単位で保持してあり、各分体を相互に接離する方向に移動させて各分体間に作業スペースを確保することにより、この作業スペースを利用して各試験ユニットに設けた点検口に接近し、該点検口を開放して試験ユニット内部の点検、調整を容易に実施可能とする。
【００１４】
本発明に係る電子デバイス試験装置は、前記分体は、夫々との対向面に、接近時に直接接続され、離反時に延長コネクタを介して接続される接続部を備えることを特徴とする。      
【００１５】
本発明においては、縦列単位で試験ユニットを保持する複数の分体が、夫々の接近時に直接的に接続される接続部を備えている。この接続部は、例えば、電源線、信号線、冷却用エアの給排管等の接続端を１箇所にまとめたものであり、各分体に保持された試験ユニットへの配線及び配管は、夫々の接続部との間で完結する。従って、分体の追加により試験ユニットの増設に容易に対応することができる。また接続部は、離反した分体間で延長コネクタを介して接続することができ、点検、調整後の試験ユニットの自己診断を実施することが可能となる。
【００１６】
本発明に係る電子デバイス試験装置は、前記試験ユニットが、前記架台に縦横に並設された収容部の夫々に後方への引き出し移動可能に保持されており、前記点検口は、引き出しにより夫々の収容部から突出する各試験ユニットの上面に形成してあることを特徴とする。
【００１７】
本発明においては、各試験ユニットの上面に点検口を形成し、これらの試験ユニットを架台に縦横に並設された収容部の夫々に後方への引き出し移動可能に保持させてある。試験ユニットを各別の収容部から引き出し、点検口が設けられた上面を他の試験ユニットから離反させて作業スペースを確保し、この作業スペースを利用して点検口を開放して内部の点検、調整を容易に実施可能とする。
【００１８】
本発明に係る電子デバイス試験装置は、前記試験ユニットが、前記収容部からの引き出し位置にて回転可能に支持してあることを特徴とする。
【００１９】
本発明においては、試験ユニットを引き出し位置にて回転させ、例えば、点検口が設けられた上面を後方に向け、該点検口への接近を容易に行わせる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明に係る電子デバイス試験装置においては、縦横に並ぶ試験ユニットの移動により夫々に設けた点検口に接近し、該点検口を開放して試験ユニットの点検、調整を容易に実施することができ、点検、調整のための作業時間を短縮し、試験能率の低下を最小限に抑えることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】実施の形態１に係る電子デバイス試験装置を略示する斜視図である。
【図２】図１に示す電子デバイス試験装置を後側から見た斜視図である。
【図３】試験ユニットの点検、調整時の状態を示す説明図である。
【図４】点検、調整時の状態を後側から見た平面図である。
【図５】実施の形態２に係る電子デバイス試験装置を略示する斜視図である。
【図６】試験ユニットの点検、調整時の状態を示す説明図である。
【図７】実施の形態３に係る電子デバイス試験装置を略示する斜視図である。
【図８】実施の形態４に係る電子デバイス試験装置を略示する斜視図である。
【図９】試験ユニットの引き出し、回転手順の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、本発明をその実施の形態を示す図面に基づいて詳述する。
（実施の形態１）
図１は、実施の形態１に係る電子デバイス試験装置を略示する斜視図である。電子デバイス試験装置は、電子デバイスの電気的な特性を試験する機能を有する複数の試験ユニット１を備えている。
【００２３】
試験ユニット１は、矩形箱形をなす各別の筐体に収容され、格子状の架台２に縦横に各複数列（図においては、縦４列、横４列）に並べて設置されている。試験ユニット１の一面には、夫々に電子デバイスを搬入、搬出するための搬入出口１０が開設されており、架台２上の試験ユニット１は、搬入出口１０の開設面を同側（前側）に向け、縦横に近接して並設されている。
【００２４】
試験ユニット１を保持する架台２は、縦列毎に分離可能な４つの分体２ａ〜２ｄにより構成されている。１つの分体２ａは、床面上に移動不可に固定支持されている。残りの３つの分体２ｂ〜２ｄは、床面に敷設されたガイドレール２０，２０上に、これらの長さ範囲内で並設方向の移動を可能として支持されている。電子デバイスの試験は、図１に示すように、移動可能な分体２ｂ〜２ｄを分体２ａの側に移動させ、夫々が保持する試験ユニット１が縦横に近接する試験位置で拘束した状態で実施される。
【００２５】
以上の如き試験ユニット１の並設域の前方には、搬送ロボット３が配してある。搬送ロボット３は、床面上に敷設されたガイドレール３０上に、これに沿う移動及び鉛直軸周りでの回動を可能として支持された胴体部３１と、該胴体部３１から伸縮可能なアーム３２とを備えている。
【００２６】
搬送ロボット３は、試験前の電子デバイスＷを所定の受け取り位置（図示を省略する）にて受け取り、アーム３２の先端の把持部に把持して、本体部３１の移動及び回転とアーム３２の伸縮とにより、前述した試験位置にて縦横に並ぶ試験ユニット１のいずれかの搬入出口１０の前位置に搬送し、該搬入出口１０を経て試験ユニット１内に搬入するように動作する。
【００２７】
試験ユニット１は、加温部、試験部及び冷却部を備えており、搬入出口１０から搬入される電子デバイスＷは、加温部において所定温度に加熱されて試験部に送り込まれ、該試験部において試験信号に対する出力信号を評価する試験が実施された後、冷却部において徐冷されて搬入出口１０を経て搬出される。試験ユニット１が備える加温部、試験部及び冷却部は、従来公知のものであり、詳細な構成及び動作の説明は省略する。
【００２８】
搬送ロボット３は、試験ユニット１での試験を終え、搬入出口１０から搬出される電子デバイスＷを受け取り、アーム３２の伸縮と本体部３１の移動及び回転とにより同様に搬送して、所定の送出位置（図示を省略する）に送り出すように動作する。なお、試験対象となる電子デバイスＷとしては、集積回路が形成された半導体ウエハ、モールドパッキングされたＬＳＩチップ、複数の素子を基板上に搭載した装置等が挙げられる。
【００２９】
搬送ロボット３は、電子デバイスＷの試験工程全般を制御する制御装置（図示省略）からの制御指令に従って動作する。制御装置は、個々の電子デバイスＷに対し試験を行う試験ユニット１を逐次決定し、搬送ロボット３に制御信号を与える。搬送ロボット３は、制御装置から与えられる制御信号に従って動作し、決定された試験ユニット１に対し電子デバイスＷを搬入又は搬出する。制御装置は、複数の試験ユニット１を制御対象としており、夫々の試験ユニット１での試験開始、終了タイミングが異なるよう、各試験ユニット１に制御信号を与える。これにより、各試験ユニット１に対する電子デバイスＷの搬入出タイミングを異ならせることができ、搬入、搬出のための搬送ロボット３の前述した動作は問題なく実行される。
【００３０】
図２は、図１に示す電子デバイス試験装置を後側から見た斜視図である。本図に示す如く、架台２を構成する分体２ａ〜２ｄのうちの３つ（２ｂ〜２ｄ）は、夫々の後面下部に移動ハンドル２１を備えている。図示の移動ハンドル２１は、略水平な軸周りに回転可能な円環形のハンドルであり、分体２ｂ〜２ｄは、各別の移動ハンドル２１を作業者が回転操作することによりガイドレール２０，２０に沿って移動させることができる。
【００３１】
この移動は、例えば、移動ハンドル２１と連動回転するピニオンをガイドレール２０，２０と平行をなして床面上に敷設されたラック（図示を省略する）に噛合させてラックピニオン機構を構成し、移動ハンドル２１の回転をピニオン及びラックにより直線運動に変換することにより実現される。また移動ハンドル２１の代わりにモータを取付け、該モータによりピニオンを駆動し、分体２ａ〜２ｄを移動させるように構成してもよい。
【００３２】
また夫々の分体２ａ〜２ｄの間には、連結具２２が設けてある。連結具２２は、分体２ａ〜２ｄを互いに近接した状態で連結し、夫々に保持された試験ユニット１を前述した試験位置に位置決めする機能を果たすものである。分体２ａと分体２ｂとの間に設けられる連結具２２は、例えば、一端を分体２ａに回転自在に支持された係合体と、分体２ｂに突設された係合突起とを備え、係合体の他端部に設けた凹部を係合突起に係合せしめることにより連結状態を実現する掛け金として構成することができる。この連結により移動可能な分体２ｂは、固定支持された分体２ａを基準として位置決めされる。
【００３３】
分体２ｂと分体２ｃとの間の連結具２２、及び分体２ｃと分体２ｄとの間の連結具２２も同様に構成されている。架台２を構成する分体２ａ〜２ｄは、全ての連結具２２を連結することにより、分体２ａの位置を基準として相互に近接した状態に位置決めされ、各分体２ａ〜２ｄ上の試験ユニット１は、前述した試験位置となる。
【００３４】
電子デバイスＷの試験は、全ての分体２ａ〜２ｄを連結し、縦横に並ぶ複数の試験ユニット１，１…を試験位置に位置決めした状態で実施される。試験位置にある各試験ユニット１の位置情報、より詳しくは、夫々の試験ユニット１の搬入出口１０の位置情報は、前述した制御装置に記憶させてある。制御装置は、記憶した位置情報に基づいて搬送ロボット３に制御指令を与える。この制御指令に従って動作する搬送ロボット３は、所望の試験ユニット１に対する電子デバイスＷの搬出、搬入を誤りなく実行することができる。
【００３５】
試験ユニット１の夫々は、搬入される電子デバイスＷの試験を前述の如く実行し、試験を終えた電子デバイスＷを搬出する動作を繰り返す。この繰り返しにより試験ユニット１の各部の動作異常等の経時的な不具合が生じる虞れがあり、この不具合に対応するために、個々の試験ユニット１の点検、調整を実施する必要がある。
【００３６】
図２に示す如く、後側から見て最右側に位置する分体２ｄ上の試験ユニット１は、夫々の右側面に開閉可能な点検口１１を有しており、これらの試験ユニット１の点検、調整は、夫々の点検口１１を開放して実施される。図２には、最下列の点検口１１を開放した状態で示してある。
【００３７】
他の分体２ａ〜２ｃに保持された試験ユニット１の夫々も同様の点検口１１を備えており、これらの試験ユニット１の点検、調整も夫々の点検口１１を開放して実施される。図３は、試験ユニット１の点検、調整時の状態を示す説明図である。本図に示すように、分体２ｃに保持された試験ユニット１の点検、調整は、右側に相隣する分体２ｄを移動させ、分体２ｃと分体２ｄとの間に、分体２ｃの右側面に設けた点検口１１を開放し得る作業スペースを確保して実施される。
【００３８】
分体２ｄの移動は、連結具２２の操作により分体２ｃとの連結を解除した後、分体２ｄに設けた移動ハンドル２１を回転操作することにより実施することができる。図３に示す如く、作業者Ｓは、分体２ｄの移動により生じた作業スペースに進入し、点検口１１が設けられた試験ユニット１の右側面に接近することができ、縦列に並ぶ４つの試験ユニット１のいずれかの点検口１１を開放し、該試験ユニット１の点検、調整作業を実施する。図３には、最下列の点検口１１を開放した状態で示してある。
【００３９】
点検、調整作業を終えた作業者Ｓは、点検口１１を閉じ、作業スペースから出た後、移動ハンドル２１の操作により分体２ｄを逆向きに移動させて分体２ｃに近接させ、連結具２２の操作により分体２ｄと分体２ｃとを連結する。この連結により、分体２ｄが保持する試験ユニット１，１…を試験位置に正しく位置決めし、電子デバイスＷの試験を速やかに再開することができる。
【００４０】
なお、分体２ｃに保持された試験ユニット１の点検、調整の間においても、点検、調整中の試験ユニット１、及び分体２ｄに保持された試験ユニット１，１…を除く試験ユニット１，１…は試験位置を保っている。また、点検、調整のための全ての作業は、搬入出口１０が設けられ、また搬送ロボット３の動作域に面する試験ユニット１の前側ではなく、後側において実施される。従って、点検、調整作業中においても、試験位置を保つ試験ユニット１，１…を使用した電子デバイスＷの試験を継続して実施することができる。
【００４１】
分体２ｂに保持された試験ユニット１，１…の点検、調整は、同様に、右側に相隣する分体２ｃを右向きに移動させ、分体２ｂの右側に作業スペースを確保することにより実施することができる。分体２ｃは、分体２ｄとの連結を維持したまま該分体２ｄと共に移動させてもよく、また分体２ｄとの連結を解除し、分体２ｄと別個に移動させてもよい。
【００４２】
分体２ａに保持された試験ユニット１，１…の点検、調整も同様に、右側に相隣する分体２ｂ〜２ｄを右向きに移動させ、分体２ａの右側に作業スペースを確保して実施することができる。また、分体２ａに保持された試験ユニット１，１…については、夫々の左側面に点検口１１を設ければ、分体２ｄの場合と同様に、他の分体２ｂ〜２ｄを移動させずに実施することもできる。
【００４３】
図４は、以上の点検、調整時の状態を後側から見た平面図である。架台２の複数の分体２ａ〜２ｄは、夫々の両側面に接続ブロック２３，２３を備えている。この接続ブロック２３は、各分体２ａ〜２ｄが保持する試験ユニット１，１…を電源（ＡＣ及びＤＣ）に接続するための電源線、同じく前記制御装置と接続するための信号線、更には、内部冷却用のエアの給排管等の接続端を１箇所にまとめたものである。
【００４４】
各分体２ａ〜２ｄの接続ブロック２３は、夫々の対向側で相互に対応する位置に設けてあり、図４に示す如く、相互に連結された分体２ａ〜２ｃの接続ブロック２３，２３は、直接的に接続され、各分体２ａ〜２ｃが保持する試験ユニット１，１…は、例えば、分体２ａの他側の接続ブロック２３に前述した電源線、信号線及び給排管を接続することにより、電源、制御装置及びエアの給排源と接続され、前述した試験を実施することが可能である。
【００４５】
一方、点検、調整のために移動した分体２ｄの接続ブロック２３は、別途用意される延長コネクタ５を使用することにより、図４に示す如く、相隣する分体２ｃの接続ブロック２３と接続することができる。延長コネクタ５は、前記電源線、信号線に対応する延長ケーブルと、前記給排管に対応する延長配管とを一体にまとめ、両端に前記接続ブロック２３との接続が可能な接続端５０，５０を設けた構成となっている。
【００４６】
このような延長コネクタ５を使用した間接的な接続により、分体２ｄ上の試験ユニット１，１…は、電源の供給下での制御装置との間の信号の授受が可能となり、また冷却エアの給排による冷却も可能となるから、点検、調整後、試験位置に戻す前に、試験ユニット１の自己診断動作を行わせることができる。なお、点検、調整作業中には、延長コネクタ５を外しておくことにより、点検、調整中の試験ユニット１が不用意な動作をする虞れがなく、安全な作業が可能となる。
【００４７】
試験ユニット１，１…への配線及び配管は、夫々が保持された分体２ａ〜２ｄの接続ブロック２３との間で完結しており、分体２ａ〜２ｄ間での配線及び配管の連結は、夫々との対向面に設けた接続ブロック２３，２３同士の接続により完結する。従って、試験ユニット１の増設は、分体２ａ〜２ｄと同様の分体を新たに追加することにより容易に実現することができる。
【００４８】
（実施の形態２）
図５は、実施の形態２に係る電子デバイス試験装置を略示する斜視図、図６は、試験ユニット１の点検、調整時の状態を示す説明図である。実施の形態２の電子デバイス試験装置は、実施の形態１におけると同様、格子状の架台２に縦横に各複数列（図においては、縦４列、横４列）に並べて設置された試験ユニット１を備えている。
【００４９】
架台２は、実施の形態１におけると同様に、試験ユニット１を縦列毎に保持する４つの分体２ａ〜２ｄにより構成されている。これらのうちの２つの分体２ａ，２ｂは、床面に鉛直に立設された支柱２４に夫々の後端の境界部を連結して支持され、残りの２つの分体２ｃ，２ｄも、同様の支柱２４により支持されている。
【００５０】
実施の形態２に係る電子デバイス試験装置の他の構成は、電子デバイスＷの試験時の動作を含めて実施の形態１と同様であり、対応する構成部材に図１と共通する参照符号を付して説明を省略する。
【００５１】
一方試験ユニット１の点検、調整は、図６に示す如く実施される。分体２ａ，２ｂは、これらを前述の如く支持する支柱２４を中心として床面上を滑らすように回転移動させることが可能である。図６は、分体２ａを回転移動させた状態が示されている。なお、分体２ａの移動案内のために、実施の形態１と同様、床面上にガイドレールを設けてもよい。このガイドレールは、支柱２４を中心とする円弧状となる。
【００５２】
この回転移動により分体２ａは、図６に示すように、相隣する分体２ｂに対して前側を開くように離反した状態となり、両分体２ａ，２ｂ間には、前方から進入可能な大きい作業スペースが確保される。図６においては、図面の煩雑化を避けるべく、試験ユニット１の並設域の前位置で前述の如く動作する搬送ロボット３の図示を省略してある。
【００５３】
作業者（図示を省略する）は、分体２ａを回転移動させて分体２ｂと離反させることにより、両分体２ａ，２ｂ上で縦列に並ぶ各４つの試験ユニット１に接近し、いずれかの側面に設けられた点検口１１を開放して、当該試験ユニット１の点検、調整作業を実行することができる。他の２つの分体２ｃ，２ｄに保持された試験ユニット１の点検、調整も同様の手順で実行される。
【００５４】
（実施の形態３）
図７は、実施の形態３に係る電子デバイス試験装置を略示する斜視図である。本図は、実施の形態１における図２、図３と同様、電子デバイス試験装置を後側から見た状態を示してある。
【００５５】
実施の形態３に係る電子デバイス試験装置は、実施の形態１、２と同様に、縦、横各４列に並ぶ試験ユニット１，１…を備えている。各試験ユニット１は、矩形箱形をなす筐体内に加温部、試験部及び冷却部を有し、前面に開設された搬入出口（図示を省略する）から搬入される電子デバイスＷの電気的な特性を試験し、前記搬入出口から搬出する動作をなす。
【００５６】
以上のような試験ユニット１は、架台４に保持されている。架台４は、各試験ユニット１に対応する収容部４０を縦横に区画分けした枠体として構成されており、複数の試験ユニット１，１…は、各別の収容部４０に後方への引き出し可能に保持されている。図７中には、右側の最下列及び左側の最上列の試験ユニット１が収容部４０から引き出された状態で示してある。
【００５７】
残りの試験ユニット１は、各別の収容部４０内に押し込まれ、夫々の収容部から後面のみが露出した状態で示してある。収容部４０内に押し込まれた試験ユニット１は、前面に開設された搬入出口を架台４の前側で所定の位置関係を保って縦横に並べた状態となり、実施の形態１で説明した搬送ロボット（図示を省略する）の動作により、各搬入出口に対して電子デバイスの搬入、搬出がなされ、各試験ユニット１内で試験が実施される。
【００５８】
引き出された試験ユニット１は、収容部４０の両側壁にスライダ４１（片側のみ図示）を介して支持される。スライダ４１は、収容部４０の側壁に前後方向へのスライド移動可能に取付けてあり、試験ユニット１は、スライダ４１に同方向へのスライド移動可能に取付けてある。図７に示すように試験ユニット１は、スライダ４１に対する自身の移動と、収容部４０に対するスライダ４１の移動とにより、収容部４０の後側に全体を引き出すことができ、この状態から収容部４０内に全体を押し込むことができる。
【００５９】
各試験ユニット１は、夫々の後面に把手１３を有しており、各試験ユニット１の前述した引き出し及び押し込みは、把手１３を把持した作業者により、架台４の後側から実施される。なお、試験ユニット１に移動力を加えるモータを夫々の収容部４０内に組み込み、該モータの動作により各試験ユニット１を移動させるように構成してもよい。
【００６０】
試験ユニット１は、夫々の上面に開閉可能に形成された点検口１４を有しており、図７に示す如く後方に引き出された試験ユニット１の点検、調整は、夫々の点検口１４を開放して実施される。
【００６１】
図７は、右下の試験ユニット１の点検口１４を開放した状態を示してある。前述のように試験ユニット１は、収容部４０の後側に全体を引き出すことができ、作業者は、この状態で上面の点検口１４を開放することにより、試験ユニット１の内部全体を見通し、各部の点検、調整を容易に実施することができる。
【００６２】
点検、調整作業を終えた作業者は、点検口１４を閉じ、試験ユニット１を収容部４０に押し込むことにより試験位置に位置決めし、電子デバイスＷの前述した試験を速やかに再開することができる。なお、実施の形態１の連結具２２と同様の連結具を夫々の試験ユニット１と収容部４０との間に設け、収容部４０内に押し込んだ試験ユニット１に係合させて移動不可に拘束することにより、試験位置への位置決めをより確実にすることが可能となる。
【００６３】
なお、架台４の後側に引き出した試験ユニット１の点検、調整の間においても、残りの試験ユニット１は試験位置を保っており、また、点検、調整のための全ての作業は、搬送ロボット３の動作域に面する前側ではなく、後側において実施されるから、点検、調整作業中においても、他の試験ユニット１，１…を使用した電子デバイスＷの試験を継続して実施することができる。
【００６４】
（実施の形態４）
図８は、実施の形態４に係る電子デバイス試験装置を略示する斜視図である。本図は、実施の形態１における図２、図３、実施の形態３における図７と同様に、電子デバイス試験装置を後側から見た状態を示してある。
【００６５】
実施の形態４の電子デバイス試験装置は、実施の形態３と同様に、複数の試験ユニット１，１…を、架台４を縦横に区画分けして構成された夫々の収容部４０に後側への引き出し可能に収容して構成されている。
【００６６】
各試験ユニット１は、実施の形態３におけると同様に、夫々の収容部４０の両側壁にスライダ４１（片側のみ図示）を介して支持されている。スライダ４１は、収容部４０の側壁に前後方向へのスライド移動可能に取付けてある。スライダ４１の先端部には、略水平な軸周りに回転可能な支持環４２が設けてあり、試験ユニット１は、支持環４２を介してスライダ４１に支持されている。
【００６７】
このように取付られた試験ユニット１は、スライダ４１に対する自身の移動と、収容部４０に対するスライダ４１の移動とにより、収容部４０の後側に全体を引き出すことができ、この状態から収容部４０内に全体を押し込むことができる。また引き出された試験ユニット１は、支持環４２を中心とし、後端が下向きとなるまで略９０°回転させることができる。各試験ユニット１は、夫々の後面に把手１３を有しており、各試験ユニット１の引き出し、押し込み、更に引き出し位置での回転は、把手１３を把持した作業者により、架台４の後側から実施される。
【００６８】
図８において、右側の最下列の試験ユニット１は、収容部４０から引き出された状態で示してあり、また左側の最上列の試験ユニット１は、収容部４０から引き出された状態を実線により示し、引き出し後に回転させた状態を２点鎖線により示してある。実施の形態３におけると同様に、各試験ユニット１は、上面に開閉可能な点検口１４を有している。この点検口１４は、試験ユニット１を引き出し後に回転させることにより、後方に向かうように位置決めすることが可能であり、作業者は、高位置（左上）にある試験ユニット１であっても、架台４の後側で点検口１４を開放して内部を見通し、点検、調整を無理なく実施することができる。低位置（右下）にある試験ユニット１の点検、調整は、後方に引き出された状態で点検口１４を開放し、上方から実施してもよい。
【００６９】
図９は、試験ユニット１の引き出し、回転手順の説明図である。本図には、最上列及び最下列の試験ユニット１が収容部４０から引き出された状態を実線により、引き出し後に回転させた状態を２点鎖線により夫々示してある。
【００７０】
本図に示す如く、試験ユニット１を支持するスライダ４１は、夫々の収容部４０からの突出長さを異ならせ、上列のスライダ４１の突出長は短く、下列のスライダ４１の突出長は長くしてあり、夫々の先端の支持環４２は、上列の試験ユニット１の前端部近傍に連結され、下列の試験ユニット１の後端部近傍に連結してある。
【００７１】
このような取付けにより、引き出し、回転後の試験ユニット１の高さ位置は、上列、下列の如何に拘らず架台４の高さ範囲内に収まり、作業者は、後側からの点検、調整作業を容易に実施することが可能となる。
【００７２】
なお、この明細書に開示された実施の形態はすべての点で例示であって、制限的なものでは無いと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した意味では無く、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【符号の説明】
【００７３】
１    試験ユニット
２    架台
２ａ〜２ｄ  分体
４    架台
５    延長コネクタ
１１  点検口
１４  点検口
２０  ガイドレール
２３  接続ブロック（接続部）
４０  収容部
４１  スライダ
４２  支持環
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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