(57)【要約】      （修正有）【課題】より小さいフィーチャサイズ（１０μｍ未満）およびより複雑なチップ設計についての、アリールシクロブテンおよび他の有機コーティングの使用を可能にする接着促進剤とその使用方法の提供。【解決手段】コーティングされる表面を有するデバイス基体を提供する工程と、下記式で表わされるポリ（アルコキシシラン）と溶媒とを含む接着促進組成物で、前記コーティングされる表面を処理する工程で、前記ポリ（アルコキシシラン）が１モル％以下の水で加水分解され、及び前記組成物が１モル％以下の加水分解のアルコールを含む工程と、ポリアリーレンオリゴマー、ポリ（環状オレフィン）オリゴマー、アリールシクロブテンオリゴマー、ビニル芳香族オリゴマー及びそれらの混合物から選択されるオリゴマーを含むコーティング組成物を前記処理された表面上に配置する工程と、を含むデバイスの製造方法。2014128786.tif 000015【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
コーティングされる表面を有するデバイス基体を提供する工程と、
ポリ（アルコキシシラン）と溶媒とを含む接着促進組成物で、前記コーティングされる表面を処理する工程であって、前記ポリ（アルコキシシラン）が１モル％以下の水で加水分解されており、および前記組成物が１モル％以下の加水分解のアルコールを含む工程と、
ポリアリーレンオリゴマー、ポリ（環状オレフィン）オリゴマー、アリールシクロブテンオリゴマー、ビニル芳香族オリゴマーおよびそれらの混合物から選択されるオリゴマーを含むコーティング組成物を前記処理された表面上に配置する工程と
を含むデバイスを製造する方法。
【請求項２】
デバイス基体が電子デバイス基体である、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記電子デバイス基体が、シリコン、ガラス、セラミックおよび金属の１種以上を含む表面を含む、請求項２に記載の方法。
【請求項４】
加水分解される前の前記ポリ（アルコキシシラン）が、式：
【化１】
2014128786.tif 000011
を有し、
式中、各Ｒは、独立して、（Ｃ１−Ｃ６）アルキリデン、（Ｃ１−Ｃ６）アルキレン、（Ｃ６−Ｃ１０）アリーレンおよび（Ｃ２−Ｃ６）アルケニレンから選択され、
各Ｒ１は、独立して、Ｈ、（Ｃ１−Ｃ６）アルキルおよび（Ｃ１−Ｃ６）アシルから選択され、
各Ｚは、独立して、（Ｃ１−Ｃ６）アルキル、（Ｃ２−Ｃ６）アルケニルおよび−ＯＲ１から選択され、
Ｘ＝（Ｃ６−Ｃ１０）アリーレン、Ｏ、Ｓ、Ｓ−Ｓ、Ｓ−Ｓ−Ｓ、Ｓ−Ｓ−Ｓ−Ｓ、Ｎ（Ｙ）、Ｐ（Ｙ）または共有結合、
Ｙ＝Ｈ、（Ｃ１−Ｃ６）アルキル、（Ｃ１−Ｃ６）アルキレン−Ｎ（Ｙ１）２、（Ｃ２−Ｃ６）アルケニル、（Ｃ１−Ｃ６）アルキレン−Ｓｉ（Ｚ）２（ＯＲ１）またはアリール（メタ）アクリロイル、並びに
Ｙ１＝Ｈ、（Ｃ１−Ｃ６）アルキルまたは（Ｃ２−Ｃ６）アルケニル、
各Ｒは、場合により、（Ｃ１−Ｃ６）アルキリデン−Ｓｉ（Ｚ）２（ＯＲ１）および（Ｃ１−Ｃ６）アルキレン−Ｓｉ（Ｚ）２（ＯＲ１）の1つ以上で置換されている、
請求項１に記載の方法。
【請求項５】
前記ポリ（アルコキシシラン）が０．５モル％以下の水で加水分解されている、請求項１に記載の方法。
【請求項６】
前記アリールシクロブテンオリゴマーが、式：
【化２】
2014128786.tif 000012
を有し、
式中、Ｂはｎ価の結合基であり、
Ａｒは多価アリール基であり、およびシクロブテン環の炭素原子はＡｒの同じ芳香環上の隣接する炭素原子に結合されており、
ｍは１以上の整数であり、
ｎは１以上の整数であり、並びに、
Ｒ５は一価の基である、請求項１に記載の方法。
【請求項７】
前記接着促進組成物が動的光散乱により測定された場合１ｎｍ以下の平均粒径を有する、請求項１に記載の方法。
【請求項８】
前記処理工程後で、かつ前記コーティング工程前に、溶媒を除去する工程をさらに含む、請求項１に記載の方法。
【請求項９】
ポリアリーレンオリゴマー、ポリ（環状オレフィン）オリゴマー、アリールシクロブテンオリゴマー、ビニル芳香族オリゴマーおよびそれらの混合物から選択されるオリゴマー、
１モル％以下の水で加水分解されたポリ（アルコキシシラン）、ならびに
溶媒
を含む組成物であって、当該組成物が１モル％以下の加水分解のアルコールを含む、組成物。
【請求項１０】
前記ポリ（アルコキシシラン）が０．５モル％以下の水で加水分解されている、請求項９に記載の組成物。
【請求項１１】
加水分解される前の前記ポリ（アルコキシシラン）が、式：
【化３】
2014128786.tif 000013
を有し、
式中、各Ｒは、独立して、（Ｃ１−Ｃ６）アルキリデン、（Ｃ１−Ｃ６）アルキレン、（Ｃ６−Ｃ１０）アリーレンおよび（Ｃ２−Ｃ６）アルケニレンから選択され、
各Ｒ１は、独立して、Ｈ、（Ｃ１−Ｃ６）アルキルおよび（Ｃ１−Ｃ６）アシルから選択され、
各Ｚは、独立して、（Ｃ１−Ｃ６）アルキル、（Ｃ２−Ｃ６）アルケニルおよび−ＯＲ１から選択され、
Ｘ＝（Ｃ６−Ｃ１０）アリーレン、Ｎ（Ｙ）、または共有結合、
Ｙ＝Ｈ、（Ｃ１−Ｃ６）アルキル、（Ｃ１−Ｃ６）アルキレン−Ｎ（Ｙ１）２、（Ｃ２−Ｃ６）アルケニル、（Ｃ１−Ｃ６）アルキレン−Ｓｉ（Ｚ）２（ＯＲ１）またはアリール（メタ）アクリロイル、並びに
Ｙ１＝Ｈ、（Ｃ１−Ｃ６）アルキルまたは（Ｃ２−Ｃ６）アルケニル、
各Ｒは、場合により、（Ｃ１−Ｃ６）アルキリデン−Ｓｉ（Ｚ）２（ＯＲ１）および（Ｃ１−Ｃ６）アルキレン−Ｓｉ（Ｚ）２（ＯＲ１）の1つ以上で置換されている、
請求項９に記載の組成物。
【請求項１２】
前記アリールシクロブテンオリゴマーが、式：
【化４】
2014128786.tif 000014
を有し、
式中、Ｂはｎ価の結合基であり、
Ａｒは多価アリール基であり、およびシクロブテン環の炭素原子はＡｒの同じ芳香環上の隣接する炭素原子に結合されており、
ｍは１以上の整数であり、
ｎは１以上の整数であり、並びに、
Ｒ５は一価の基である、
請求項９に記載の組成物。
【請求項１３】
動的光散乱により測定された場合１ｎｍ以下の平均粒径を有する、請求項９に記載の組成物。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、コーティング組成物の分野に関し、より詳細には、基体への特定のコーティング組成物の接着を改善するための解決手段に関する。
【背景技術】
【０００２】
エレクトロニクス産業において、コーティング組成物は、種々の有機含有材料、例えば、ポリマー材料を、各種の基体上に堆積させるのに幅広く使用される。多くの場合、前記基体は、無機であるか、または、コートされる表面に無機の領域を有する。例えば、コーティング組成物、例えば、誘電性膜形成性組成物および、結合または接着組成物が、多くの場合、ガラス、金属の表面および／または、半導体表面、例えば、シリコン、ガリウム−ヒ素およびシリコン−ゲルマニウムに適用される。多くの有機材料は、無機表面を有する基体には、十分に接着しない。前記有機材料が、このような表面に親和性を有する基を含まないためである。このため、このような基体表面を、その上に有機含有コーティング組成物を配置する前に、接着促進剤で処理するのが、一般的な方法である。中でも、シランが、工業的に使用される最も一般的な接着促進剤である。
【０００３】
アリールシクロブテンベースの材料は、その優れた誘電特性、優れたギャップ充填および平坦化、ならびに、低吸湿性であるために、エレクトロニクス産業において、広く各種の用途に使用されてきた。アリールシクロブテン材料を、例えば、中間誘電体の用途およびウエハ結合用途に使用するために、種々の基体（例えば、シリコン、窒化シリコン、金および銅）に対する前記アリールシクロブテン材料の適切な接着が必要である。アリールシクロブテン材料自身は、これらの基体に対する十分な接着性を有していない。したがって、前記アリールシクロブテン材料をコーティングする前に、接着を向上するために、通常、接着促進剤が適用される。
【０００４】
種々の接着促進剤が、アリールシクロブテンとともに使用するのに公知である。例えば、米国特許第５，６６８，２１０号（特許文献１）には、特定のアルコキシシランが、アリールシクロブテン用の接着促進剤として開示されている。この特許には、モノシランのみが開示されている。これらのアルコキシシランは、１０から８０％の化学量論量（すなわち、モル％）の水で加水分解される。しかしながら、従来の接着促進剤は、頻繁に層間剥離または他の接着不良をもたらす、より小さいフィーチャサイズ（１０μｍ未満）およびより複雑なチップ設計についての、エレクトロニクス産業においてますます高まる要求を、満足させられない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】米国特許第５，６６８，２１０号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
より小さいフィーチャサイズ（１０μｍ未満）およびより複雑なチップ設計についての、アリールシクロブテンおよび他の有機コーティングの使用を可能にする接着促進剤についての必要性が残っている。本発明は、１つ以上のこれらの欠点を解決する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、コーティングされる表面を有するデバイス基体を提供する工程と；ポリ（アルコキシシラン）と溶媒とを含む接着促進組成物で、前記コーティングされる表面を処理する工程であって、前記ポリ（アルコキシシラン）が、１モル％以下の水で加水分解されており、および前記組成物が１モル％以下の加水分解のアルコールを含む工程と；ポリアリーレンオリゴマー、ポリ（環状オレフィン）オリゴマー、アリールシクロブテンオリゴマー、ビニル芳香族オリゴマーおよびそれらの混合物から選択されるオリゴマーを含むコーティング組成物を前記処理された表面上に配置する工程とを含む、デバイスを製造する方法を提供する。前記デバイス基体は、電子デバイス基体であることが好ましい。
【０００８】
本発明は、ポリアリーレンオリゴマー、ポリ（環状オレフィン）オリゴマー、アリールシクロブテンオリゴマーおよびそれらの混合物から選択されるオリゴマー；１モル％以下の水で加水分解されたポリ（アルコキシシラン）；ならびに溶媒を含む接着促進組成物であって、当該組成物が１モル％以下の加水分解のアルコールを含む、接着促進組成物も提供する。好ましくは、前記組成物は、動的光散乱により測定された場合、１ｎｍ以下の平均粒径を有する。
【０００９】
さらに、本発明は、コーティングされる表面を有するデバイス基体を提供する工程と；ポリアリーレンオリゴマー、ポリ（環状オレフィン）オリゴマー、アリールシクロブテンオリゴマー、ビニル芳香族オリゴマーおよびそれらの混合物から選択されるオリゴマー；１モル％以下の水で加水分解されたポリ（アルコキシシラン）；ならびに溶媒を含むコーティング組成物であって、当該組成物が１モル％以下の加水分解のアルコールを含むコーティング組成物を堆積させる工程とを含む、デバイスを製造する方法を提供する。
【００１０】
１モル％以下の水で加水分解されたポリ（アルコキシシラン）が、電子デバイスの製造に使用されるポリアリーレンオリゴマー、ポリ（環状オレフィン）オリゴマー、アリールシクロブテンオリゴマー、ビニル芳香族オリゴマーおよびそれらの混合物から選択されるコーティングオリゴマーについての、特に効果的な接着促進剤であることが驚くべきことに見出された。このようなコーティングオリゴマーは、いくつかある用途の中でも特に、誘電性コーティング、感光性（ｐｈｏｔｏｄｅｆｉｎａｂｌｅ）コーティング、一時的結合性接着剤、持続的結合性接着剤を調製するのに有用である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
本明細書を通して使用する時、下記の略記は、特に断らない限り、下記の意味を有するものとする。℃＝セ氏温度；ｇ＝グラム；Ｌ＝リットル；ｍＬ＝ミリリットル；ｐｐｍ＝１００万分の１；ｍｍ＝ミリメートル；μｍ＝ミクロン＝マイクロメートル；ｎｍ＝ナノメートル；およびÅ＝オングストローム。「ｗｔ％」は、特に断らない限り、参照される組成物の合計重量に基づく重量パーセントを意味する。特に断らない限り、全ての量は、重量％であり、全ての比は、モル比である。全ての数値範囲は、包括的であり、並びにこのような数値範囲が合計１００％になることに制限されることが明らかである場合を除いて、任意の順に組み合わせ可能である。「ａ」、「ａｎ」および「ｔｈｅ」の冠詞は、単数形および複数形を意味する。
【００１２】
本明細書を通して使用する時、「フィーチャ」は、基体上、特に半導体ウエハ上の形状を意味する。「アルキル」の用語は、線状、分岐および環状のアルキルを含む。同様に、「アルケニル」は、線状、分岐および環状のアルケニルを意味する。「アリール」は、芳香族炭素環および芳香族複素環を意味する。「オリゴマー」の用語は、二量体、三量体、四量体および、さらに硬化可能な他の比較的小さい分子量材料を意味する。「硬化」の用語には、材料または組成物の分子量が大きくなる任意のプロセス、例えば、重合または縮合の意味がある。
【００１３】
本発明に有用な前記ポリ（アルコキシシラン）は、少なくとも２つのアルコキシシラン部分、すなわち、−Ｓｉ（Ｚ）２ＯＲ１で表わされる部分から構成される。好ましくは、前記ポリ（アルコキシシラン）は、２から６つのアルコキシシラン部分、より好ましくは、２から４つのアルコキシシラン部分、さらにより好ましくは、２から３つのアルコキシシラン部分、および最も好ましくは、２つのアルコキシシラン部分を有する。本明細書で使用する時、「アルコキシシラン」部分の用語は、１つ以上の（Ｃ１−Ｃ６）アルコキシ基および／または１つ以上の（Ｃ１−Ｃ６）アシルオキシ基で置換されたシラン部分を含む。好ましくは、各アルコキシシラン部分は、３つの（Ｃ１−Ｃ６）アルコキシ基および／または（Ｃ１−Ｃ６）アシルオキシ基、より好ましくは、３つの（Ｃ１−Ｃ６）アルコキシ基を含む。
【００１４】
加水分解される前の、特に好ましいポリ（アルコキシシラン）は、式：
【化１】
2014128786.tif 000002
を有し、式中、各Ｒは、独立して、（Ｃ１−Ｃ６）アルキリデン、（Ｃ１−Ｃ６）アルキレン、（Ｃ６−Ｃ１０）アリーレンおよび（Ｃ２−Ｃ６）アルケニレンから選択され；各Ｒ１は、独立して、Ｈ、（Ｃ１−Ｃ６）アルキルおよび（Ｃ１−Ｃ６）アシルから選択され；各Ｚは、独立して、（Ｃ１−Ｃ６）アルキル、（Ｃ２−Ｃ６）アルケニルおよび−ＯＲ１から選択され；Ｘ＝（Ｃ６−Ｃ１０）アリーレン、Ｏ、Ｓ、Ｓ−Ｓ、Ｓ−Ｓ−Ｓ、Ｓ−Ｓ−Ｓ−Ｓ、Ｎ（Ｙ）、Ｐ（Ｙ）または共有結合；Ｙ＝Ｈ、（Ｃ１−Ｃ６）アルキル、（Ｃ１−Ｃ６）アルキレン−Ｎ（Ｙ１）２、（Ｃ２−Ｃ６）アルケニル、（Ｃ１−Ｃ６）アルキレン−Ｓｉ（Ｚ）２（ＯＲ１）、（Ｃ１−Ｃ６）アルキリデン−Ｓｉ（Ｚ）２（ＯＲ１）またはアリール（メタ）アクリロイル；および、Ｙ１＝Ｈ、（Ｃ１−Ｃ６）アルキルまたは（Ｃ２−Ｃ６）アルケニル；各Ｒは、場合により、（Ｃ１−Ｃ６）アルキリデン−Ｓｉ（Ｚ）２（ＯＲ１）および（Ｃ１−Ｃ６）アルキレン−Ｓｉ（Ｚ）２（ＯＲ１）の１つ以上で置換される。各Ｒは、好ましくは独立して、（Ｃ１−Ｃ６）アルキリデン−Ｓｉ（Ｚ）２（ＯＲ１）および（Ｃ１−Ｃ６）アルキレン−Ｓｉ（Ｚ）２（ＯＲ１）の1つ以上で、それぞれ場合により置換された、（Ｃ１−Ｃ６）アルキリデン、（Ｃ１−Ｃ６）アルキレンおよび（Ｃ２−Ｃ６）アルケニレンから選択される。より好ましくは、各Ｒは、独立して、（Ｃ２−Ｃ６）アルキリデン、（Ｃ２−Ｃ６）アルキレンおよび（Ｃ２−Ｃ６）アルケニレンから選択される。Ｒ基が（Ｃ１−Ｃ６）アルキリデン−Ｓｉ（Ｚ）２（ＯＲ１）または（Ｃ１−Ｃ６）アルキレン−Ｓｉ（Ｚ）２（ＯＲ１）で置換される場合、１から２つのこれらの基が存在するのが好ましい。各Ｒ１は、好ましくは、（Ｃ１−Ｃ４）アルキルおよび（Ｃ２−Ｃ６）アシル；およびより好ましくは、（Ｃ１−Ｃ３）アルキルおよび（Ｃ２−Ｃ４）アシルから選択される。各Ｚは、（Ｃ１−Ｃ４）アルキル、（Ｃ２−Ｃ６）アルケニルおよび−ＯＲ１から選択されるのが好ましく、およびより好ましくは、各Ｚは、−ＯＲ１である。好ましくは、Ｘは、Ｓ−Ｓ、Ｓ−Ｓ−Ｓ、Ｓ−Ｓ−Ｓ−Ｓ、Ｎ（Ｙ）または共有結合から選択され、より好ましくは、Ｎ（Ｙ）または共有結合から選択される。Ｙは、Ｈ、（Ｃ１−Ｃ４）アルキル、（Ｃ１−Ｃ４）アルキレン−Ｎ（Ｙ１）２、（Ｃ２−Ｃ６）アルケニル、（Ｃ２−Ｃ６）アルキレン−Ｓｉ（Ｚ）２（ＯＲ１）およびアリール（メタ）アクリロイルから選択されるのが好ましく、およびより好ましくは、Ｈ、（Ｃ２−Ｃ４）アルキレン−Ｎ（Ｙ１）２、（Ｃ２−Ｃ４）アルケニル、（Ｃ２−Ｃ４）アルキレン−Ｓｉ（Ｚ）２（ＯＲ１）およびアリール（メタ）アクリロイルから選択される。好ましくは、Ｙ１は、Ｈ、（Ｃ１−Ｃ４）アルキルまたは（Ｃ２−Ｃ４）アルケニルから選択され、より好ましくは、Ｈおよび（Ｃ１−Ｃ４）アルキルから選択される。適切なポリ（アルコキシシラン）は、各種の供給元、例えば、Ｓｉｇｍａ−Ａｒｄｒｉｃｈ（Ｓｔ．Ｌｏｕｉｓ、Ｍｉｓｓｏｕｒｉ）からの市販品であるか、または、文献において公知の任意の適切な方法により調製されてもよい。前記ポリ（アルコキシシラン）は、さらに��製されずに使用されてもよいし、または、適切な従来の手法を使用して精製されてもよい。
【００１５】
従来のアルコキシシラン接着促進剤は、前記アルコキシシランを部分的または完全に加水分解するために、（化学量論量近くの）大量の水を使用する。完全な（１００％）加水分解を達成するために、化学量論量の水は、各アルコキシシラン部分に存在する、各モル当量のアルコキシ（またはアシルオキシ）基に対する、１モル当量の水である。実際には、加水分解中に縮合反応により水が形成されることから、化学量論量よりいくらか少ない水が、完全な加水分解に必要である。このため、従来の接着促進剤は、典型的には、化学量論量の１０から８０％の水を使用する。比較して、本発明のポリ（アルコキシシラン）は、非常に少量の水、すなわち、化学量論量より非常に少ない水を使用して、部分的に加水分解される。本発明に有用であるために、ポリ（アルコキシシラン）は、１モル％以下、好ましくは０．５モル％以下、およびより好ましくは、０．３モル％以下の水で加水分解される。このような加水分解用の水の適切な量は、０．０００１から１モル％、好ましくは０．００１から１モル％、より好ましくは０．００１から０．５モル％、さらにより好ましくは０．０１から０．５モル％である。前記加水分解に使用される水は、精製されるべきであり、好ましくは、脱イオンされる。この加水分解の結果として、加水分解のアルコールが形成される。前記加水分解のアルコールは、前記シラン部分由来のアルコキシ基の開裂から形成されるアルコールである。例えば、トリエトキシシラン部分由来のエトキシ基の開裂により、加水分解のアルコールとして、エタノールの形成がもたらされる。更なる例として、トリアセトキシシラン部分の加水分解により、加水分解の「アルコール」として、酢酸の形成がもたらされる。本発明のポリ（アルコキシシラン）の加水分解に起因する加水分解のアルコールの量は、１モル％以下、好ましくは０．５モル％以下、およびより好ましくは、０．３モル％以下である。
【００１６】
ポリ（アルコキシシラン）は、例えば、ポリ（アルコキシシラン）が所望の量の水と接触する、または、揮発性溶媒の存在下で、前記ポリ（アルコキシシラン）を水と接触させることによる、または、ポリ（アルコキシシラン）を、所望のレベルの加水分解をもたらすのに十分な残留水含有量を有する適切な溶媒と単に混合することによる、当該分野において公知の手法に基づいて加水分解されてもよい。揮発性溶媒（または溶媒混合物）が使用される場合、加水分解されたポリ（アルコキシシラン）が、本発明のコーティング組成物に包含される前に、場合により、前記揮発性溶媒（または溶媒混合物）は除去される。１つの好ましいプロセスでは、加水分解は、ポリ（アルコキシシラン）を、所望のレベルの加水分解をもたらすのに十分な残留水を有する、適切な有機溶媒と混合することにより行われる。もう１つの好ましいプロセスでは、まず、所望の量の水が所望の溶媒と一緒にされ、ついで、この混合物がポリ（アルコキシシラン）と混合される。場合により、酸性または塩基性の触媒が加水分解反応に使用される場合があるが、触媒が使用されないのが好ましい。
【００１７】
任意の酸性または塩基性の触媒は、ポリ（アルコキシシラン）の加水分解を触媒するであろう、あらゆる酸性または塩基性の化合物であり得る。酸性触媒としては、制限されず、例えば、硝酸、塩酸、硫酸、トリフルオロ酢酸、クロロ酢酸、メタンスルホン酸およびリン酸があげられる。塩基性触媒としては、制限されず、例えば、水酸化カリウム、水酸化ナトリウム、水酸化アンモニウム、水酸化テトラメチルアンモニウムおよび水酸化テトラエチルアンモニウムがあげられる。存在する場合、触媒は加水分解反応を触媒するのに十分な量で使用される。有利に使用される触媒の量は、所望の加水分解速度、触媒、使用されるポリ（アルコキシシラン）および望まれる加水分解の程度を含む、多くの要因により決まるであろう。好ましくは、触媒は、ポリ（アルコキシシラン）の量に基づいて、０ｐｐｍから５０ｐｐｍの量で存在する。より好ましくは、触媒は、ポリ（アルコキシシラン）の量に基づいて、０ｐｐｍから１００ｐｐｍ、および最も好ましくは、０から３０ｐｐｍの量で存在する。
【００１８】
理論に拘束される訳ではないが、ポリ（アルコキシシラン）の加水分解により、加水分解されていない、部分的に加水分解された、完全に加水分解された、および、オリゴマー形成されたポリ（アルコキシシラン）の混合物が生じると考えられる。加水分解された、または部分的に加水分解されたポリ（アルコキシシラン）が、もう１つのポリ（アルコキシシラン）と反応して、水とＳｉ−Ｏ−Ｓｉ結合を生成する場合、オリゴマー化が起こる。本明細書で使用する時、「加水分解されたポリ（アルコキシシラン）」の用語は、ポリ（アルコキシシラン）の全てのレベルの加水分解、ならびに、オリゴマー形成されたポリ（アルコキシシラン）を包含する。また、本明細書で使用する時、「ポリ（アルコキシシラン）および／または加水分解されたポリ（アルコキシシラン）」の用語は、ポリ（アルコキシシラン）もしくは加水分解されたポリ（アルコキシシラン）、またはそれらの混合物を意味する。
【００１９】
加水分解反応では、ポリ（アルコキシシラン）、水、溶媒および任意の触媒が、所望の加水分解が完了するまで混合される。加水分解を完了するための時間は、使用される特定の反応物質および望まれる加水分解のレベルを含む多くの要因に応じて変化するであろうが、一般的には、加水分解は、２分から５時間、好ましくは４分から２時間、およびより好ましくは、１０分から１時間で完了する。一般的に、非常に低いレベルの水が使用されるため、ポリ（アルコキシシラン）、水および溶媒は、単一相の混合物を形成するであろう。一般的に、この混合物は、単一相が加水分解反応の完了により得られた後に、１分から２時間攪拌される。加水分解が行われる温度は、好ましくは、約１５から１００℃、より好ましくは２０から５０℃、および最も好ましくは、２０から２５℃である。加水分解速度は、温度の上昇に伴って向上する。好ましくは、加水分解は、触媒の不存在下において行われる。このような手法では、所望の量の水が、所望の溶媒と混合され、ついで、ポリ（アルコキシシラン）と一緒にされ、所望の程度の加水分解が起こるのに十分な期間攪拌される。好ましくは、使用される溶媒は、処理（接着促進剤）組成物を調製するのに使用されるのと同じ溶媒である。この方法は、ポリ（アルコキシシラン）および加水分解が起こる温度に応じて、数日かかる場合がある。一部の用途では、残留する触媒レベルが、ポリ（アルコキシシラン）の後の使用に悪影響を有する場合に、この方法が好ましい場合がある。
【００２０】
本発明の接着促進組成物は、１モル％以下の水で加水分解されたポリ（アルコキシシラン）および溶媒を含み、この組成物は１モル％以下の加水分解のアルコールを含む。本発明の接着促進組成物に使用される溶媒は、加水分解されたポリ（アルコキシシラン）を溶解可能な、単一の有機溶媒または２種以上の有機溶媒の混合物のいずれかであり得る。典型的な有機溶媒としては、制限されず、芳香族炭化水素、例えば、トルエン、キシレン、メシチレンおよびアルキルナフタレン；アルコール、例えば、２−メチル−１−ブタノール、４−メチル−２−ペンタノールおよびメチルイソブチルカルビノール；エステル、例えば、乳酸エチル、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）およびメチル２−ヒドロキシイソブチレート；ラクトン、例えば、ガンマ−ブチロラクトン；ラクタム、例えば、Ｎ−メチルピロリジノン；エーテル、例えば、アニソール、プロピレングリコールメチルエーテルおよびジプロピレングリコールジメチルエーテル異性体（ザダウケミカルカンパニーから、Ｐｒｏｇｌｙｄｅ（商標）ＤＭＭとして市販されている）；ケトン、例えば、シクロヘキサノンおよびメチルヘキサノン、ならびにそれらの混合物があげられる。
【００２１】
一般的に、本発明の接着促進組成物は、０．０１から１０ｗｔ％のポリ（アルコキシシラン）および／または加水分解されたポリ（アルコキシシラン）と、９０から９９．９ｗｔ％の溶媒とを含む。好ましくは、接着促進組成物は、０．０１から５ｗｔ％、より好ましくは０．０１から３ｗｔ％、およびさらにより好ましくは、０．０１から２ｗｔ％のポリ（アルコキシシラン）および／または加水分解されたポリ（アルコキシシラン）を含む。好ましくは、接着促進組成物は、９０から９９．９５ｗｔ％、より好ましくは９５から９９．９５ｗｔ％、およびさらにより好ましくは、９８から９９．９ｗｔ％の溶媒を含む。特に好ましい組成物は、０．０５から３ｗｔ％のポリ（アルコキシシラン）および／または加水分解されたポリ（アルコキシシラン）と、９７から９９．９５ｗｔ％の溶媒とを含む。
【００２２】
本発明の接着促進組成物は、典型的には、後に適用されるコーティング組成物の接着を改善するために、電子デバイス基体に適用される。本発明のデバイスを製造する方法は、コーティングされる表面を有するデバイス基体を提供する工程と；ポリ（アルコキシシラン）と溶媒とを含む組成物で、前記コーティングされる表面を処理する工程であって、前記ポリ（アルコキシシラン）が１モル％以下の水で加水分解されており、前記組成物が１モル％以下の加水分解のアルコールを含む工程と；ポリアリーレンオリゴマー、ポリ（環状オレフィン）オリゴマー、アリールシクロブテンオリゴマー、ビニル芳香族オリゴマーおよびそれらの混合物から選択されるオリゴマーを含む組成物を、前記処理された表面上に配置する工程とを含む。
【００２３】
デバイスは、制限されず、実装基体、例えば、マルチチップモジュール；フラットパネルディスプレイ基体；集積回路基体、発光ダイオード（ＬＥＤ）用基体、半導体ウエハ、多結晶シリコン基体等を含む、電子デバイスの製造に使用される任意の適切な基体であり得る。コーティング組成物でコートされ得る典型的なデバイス基体としては、金属、例えば、アルミニウム、銅、金、銀、チタン、タンタル、ニッケル、すず、すず合金等；セラミック、例えば、アルミナ、シリカ、サファイア、ＭｇＯ、スピネルを含むＢｅＯ、窒化アルミニウム、窒化ホウ素、窒化ケイ素、炭化ケイ素およびガリウムヒ素；ガラス、例えば、繊維ガラス、石灰ガラス、フリントガラス、ホウケイ酸ガラス、ＧＯＲＩＬＬＡ（商標）ガラス、ＰＹＲＥＸ（商標）ガラスおよびＶＹＣＯＲ（商標）ガラス；および、半導体ウエハがあげられる。幅広い各種の半導体ウエハが、本発明に使用され得る。本明細書で使用する時、「半導体ウエハ」の用語は、「電子デバイス基体」、「半導体基体」、「半導体デバイス」および、シングルチップウエハ、マルチプルチップウエハを含む種々のレベルの相互接続用の種々のパッケージ、はんだ接続を必要とする種々のレベルまたは他のアッセンブリ用のパッケージを包含することを意図している。特に適切な基体は、パターン化されたウエハ、例えば、パターン化されたシリコンウエハおよびパターン化されたガリウム−ヒ素ウエハである。このようなウエハは、任意の適切なサイズであり得る。好ましいウエハの直径は、２００ｍｍから３００ｍｍであるが、より小さい直径およびより大きい直径を有するウエハが、本発明に基づいて、適切に使用されてもよい。本明細書で使用する時、「半導体基体」の用語は、半導体デバイスのアクティブ部もしくは操作部を含む１つ以上の半導体層または構造を有する任意の基体を含む。「半導体基体」の用語は、制限されず、バルク半導体材料、例えば、半導体ウエハ単独、または、その上に他の材料を含むアッセンブリおよび、半導体材料層層単独または他の材料を含むアッセンブリのいずれかを含む半導体材料を含む、任意の構造を意味するものと定義される。半導体デバイスは、少なくとも１つのマイクロ電子デバイスが、一括製造された、または、一括製造されている状態の半導体基体を意味する。好ましくは、基体が金属、例えば、銅である場合、コーティング組成物の適用前に、エッチャント、例えば、１％の酢酸で処理される。高密度電子回路に一般的に使用される基体、例えば、シリコン、熱酸化シリコン、ＧａＡｓ、アルミナおよびアルミニウムは、界面化学を制御するために、酸素プラズマエッチングまたはＲＣＡ洗浄等のプロセスにより一般的に処理される。
【００２４】
デバイス基体の表面は、任意の適切な方法を使用して、デバイス基体の表面を、本発明の接着促進組成物と接触させることにより処理される。当該分野において周知の典型的な方法としては、制限されず、いくつかある方法の中でも特に、スピンコーティング、カーテンコーティング、スプレーコーティング、ローラーコーティング、ディップコーティングおよびスクリーン印刷があげられる。半導体製造業では、スピンコーティングが、既存の設備およびプロセスを利用できるため好ましい。好ましくは、表面上に配置された後に、溶媒が、つぎの工程の前に除去される。溶媒除去は、典型的には、基体を加熱すること（ベークすること）により、例えば、８０から１８０℃の温度で、例えば、１０から６００秒の期間加熱することにより達成される。
【００２５】
デバイス基体を、接着促進組成物と接触させた後、ポリアリーレンオリゴマー、ポリ（環状オレフィン）オリゴマー、アリールシクロブテンオリゴマー、ビニル芳香族オリゴマーおよびそれらの混合物から選択されるオリゴマーを含むコーティング組成物が、処理された表面上に配置される。このような組成物は、基体上に接着促進剤を配置するための上記方法のいずれかを使用して、基体上に配置されてもよい。典型的に、コーティング組成物は、１種以上のオリゴマー、１種以上の有機溶媒および、場合により、１種以上の更なる成分、例えば、硬化剤、コーティング促進剤等を含む。
【００２６】
幅広い各種のポリアリーレンオリゴマーが、本発明に使用され得る。本明細書で使用する時、「ポリアリーレン」の用語は、ポリアリーレンエーテルを含む。適切なポリアリーレンオリゴマーは、式：
【化２】
2014128786.tif 000003
のエチニル芳香族化合物等の前駆体から合成されることができ、式中、各Ａｒは、芳香族基または、不活性置換された（ｉｎｅｒｔｌｙ−ｓｕｂｓｔｉｔｕｔｅｄ）芳香族基であり：各Ｒ２は、独立して、水素、アルキル、アリールまたは、不活性置換されたアルキルもしくはアリール基であり；Ｌは、共有結合または、１つのＡｒを少なくとも１つの他のＡｒに結合する基であり；ｎおよびｍは、少なくとも２の整数であり；ｑは、少なくとも１の整数である。したがって、このエチニル芳香族化合物は、典型的には、４つ以上のエチニル基を有する（例えば、テトラエチニル芳香族化合物）。
【００２７】
一時的結合性組成物に使用される適切なポリアリーレンオリゴマーは、
【化３】
2014128786.tif 000004
を重合単位として含むポリマーを含んでもよく、式中、Ａｒ’は、（Ｃ≡Ｃ）ｎ−ＡｒまたはＡｒ−（Ｃ≡Ｃ）ｍ部分の反応生成物の残基であり、Ｒ２、Ｌ、ｎおよびｍは、上記定義のとおりである。本発明に有用なポリアリーレンコポリマーは、重合単位として、式：
【化４】
2014128786.tif 000005
を有するモノマーを含み、式中、Ａｒ’およびＲ２は、上記定義のとおりである。
【００２８】
典型的なポリアリーレンとしては、制限されず、Ａｒ−Ｌ−Ａｒが、ビフェニル；２，２−ジフェニルプロパン；９，９’−ジフェニルフルオレン；２，２−ジフェニルヘキサフルオロプロパン；ジフェニルスルフィド；オキシジフェニレン；ジフェニルエーテル；ビス（フェニレン）ジフェニルシラン；ビス（フェニレン）ホスフィンオキシド；ビス（フェニレン）ベンゼン；ビス（フェニレン）ナフタレン；ビス（フェニレン）アントラセン；チオジフェニレン；１，１，１−トリフェニレンエタン；１，３，５−トリフェニレンベンゼン；１，３，５−（２−フェニレン−２−プロピル）ベンゼン；１，１，１−トリフェニレンメタン；１，１，２，２−テトラフェニレン−１，２−ジフェニルエタン；ビス（１，１−ジフェニレンエチル）ベンゼン；２，２’−ジフェニレン−１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロプロパン；１，１−ジフェニレン−１−フェニルエタン；ナフタレン；アントラセン；またはビス（フェニレン）ナフタセン；より好ましくは、ビフェニレン；ナフチレン；ｐ，ｐ’−（２，２−ジフェニレンプロパン）（もしくは、−Ｃ６Ｈ４−Ｃ（ＣＨ３）２−Ｃ６Ｈ４−）；ｐ，ｐ’−（２，２−ジフェニレン−１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロプロパン）および（−Ｃ６Ｈ４−Ｃ（ＣＦ３）２−Ｃ６Ｈ４−）であるものがあげられる。有用なビス−フェニル誘導体としては、２，２−ジフェニルプロパン；９，９’−ジフェニルフルオレン；２，２−ジフェニルヘキサフルオロプロパン；ジフェニルスルフィド；ジフェニルエーテル；ビス（フェニレン）ジフェニルシラン；ビス（フェニレン）ホスフィンオキシド；ビス（フェニレン）ベンゼン；ビス（フェニレン）ナフタレン；ビス（フェニレン）アントラセン；またはビス（フェニレン）ナフタセンがあげられる。
【００２９】
ポリアリーレン前駆体モノマーは、当該分野において公知の各種の方法により、例えば、（ａ）ポリフェノール（好ましくは、ビスフェノール）を、好ましくは溶媒中で、選択的にハロゲン化、好ましくは臭化して、ここでは各フェノール環がフェノール性ヒドロキシル基に対する２つのオルト位の１つにおいて１つのハロゲンでハロゲン化され、（ｂ）得られたポリ（オルト−ハロフェノール）上のフェノール性ヒドロキシルを、好ましくは溶媒中で、末端エチニル化合物と反応性でありかつ末端エチニル化合物により置換される脱離基、例えば、スルホネートエステル（例えば、ハロゲン化トリフルオロメタンスルホニルまたは無水トリフルオロメタンスルホン酸から調製されるトリフルオロメタンスルホネートエステル）に変換し、並びに（ｃ）工程（ｂ）の反応生成物を、エチニル含有化合物またはエチニルシントンと、アリールエチニル化触媒、好ましくはパラジウム触媒、および酸受容体の存在下で反応させて、ハロゲンおよびトリフルオロメチルスルホネートを、エチニル含有基（例えば、アセチレン、フェニルアセチレン、置換されたフェニルアセチレンまたは置換されたアセチレン）で同時に置換することにより調製され得る。この合成の更なる説明は、国際公開第９７／１０１９３号パンフレット（Ｂａｂｂ）において提供される。
【００３０】
式（Ｉ）のエチニル芳香族モノマーは、式（ＩＩ）または（ＩＩＩ）のいずれかのポリマーを調製するのに有用である。エチニル芳香族モノマーの重合は、当業者の能力内で十分である。重合の具体的な条件は、重合される特定のエチニル芳香族モノマーおよび得られたポリマーの所望の特性を含む各種の要因により決まるが、一般的には、重合の条件は、国際公開第９７／１０１９３号パンフレット（Ｂａｂｂ）において詳述されている。
【００３１】
本発明で使用するのに特に適切なポリアリーレンとしては、（マサチューセッツ州、マルボロのダウエレクトロニックマテリアルズから入手できる）ＳｉＬＫ（商標）半導体誘電体として市販されているものがあげられる。他の特に適切なポリアリーレンとしては、国際公開第００／３１１８３、９８／１１１４９号、同第９７／１０１９３号、同第９１／０９０８１号、欧州特許出願公開第７５５９５７号、および、米国特許第５，１１５，０８２号；同第５，１５５，１７５号；同第５，１７９，１８８号；同第５，８７４，５１６号および同第６，０９３，６３６号に開示のものがあげられる。
【００３２】
適切な環状オレフィン材料はポリ（環状オレフィン）であり、これは熱可塑性であることができ、好ましくは、２０００から２００，０００ダルトン、より好ましくは、５０００から１００，０００ダルトン、およびさらにより好ましくは、２０００から５０，０００ダルトンの重量平均分子量（Ｍｗ）を有する。好ましいポリ（環状オレフィン）は、少なくとも１００℃、より好ましくは、少なくとも１４０℃の軟化点（３０００ＰａＳでの溶融粘度）を有する。適切なポリ（環状オレフィン）は、好ましくは少なくとも６０℃、より好ましくは６０から２００℃、および最も好ましくは、７５から１６０℃のガラス転移温度（Ｔｇ）も有する。
【００３３】
好ましいポリ（環状オレフィン）は、環状オレフィンと非環状オレフィンとのモノマーの繰り返し、または、環状オレフィンに基づく開環ポリマーを含んでなる。本発明に使用するのに適切な環状オレフィンは、ノルボルネンベースのオレフィン、テトラシクロデセンベースのオレフィン、ジシクロペンタジエンベースのオレフィンおよびそれらの誘導体から選択される。誘導体としては、アルキル（好ましくは、Ｃ１−Ｃ２０アルキル、より好ましくは、Ｃ１−Ｃ１０アルキル）、アルキリデン（好ましくは、Ｃ１−Ｃ２０アルキリデン、より好ましくは、Ｃ１−Ｃ１０アルキリデン）、アラルキル（好ましくは、Ｃ６−Ｃ３０アラルキル、より好ましくは、Ｃ６−Ｃ１８アラルキル）、シクロアルキル（好ましくは、Ｃ３−Ｃ３０シクロアルキル、より好ましくは、Ｃ３−Ｃ１８シクロアルキル）、エーテル、アセチル、芳香族、エステル、ヒドロキシ、アルコキシ、シアノ、アミド、イミドおよびシリルで置換された誘導体があげられる。本発明に使用するのに特に好ましい環状オレフィンとしては、
【化５】
2014128786.tif 000006
から選択されるもの、および前述のものの組み合わせが挙げられ、式中、各Ｒ３およびＲ４は、独立して、Ｈおよび、アルキル基（好ましくは、Ｃ１−Ｃ２０アルキル、より好ましくは、Ｃ１−Ｃ１０アルキル）から選択され、各Ｒ５は、独立して、Ｈ、置換および非置換のアリール基（好ましくは、Ｃ６−Ｃ１８アリール）、アルキル基（好ましくは、Ｃ１−Ｃ２０アルキル、より好ましくは、Ｃ１−Ｃ１０アルキル）、シクロアルキル基（好ましくは、Ｃ３−Ｃ３０シクロアルキル基、より好ましくは、Ｃ３−Ｃ１８シクロアルキル基）、アラルキル基（好ましくは、Ｃ６−Ｃ３０アラルキル、より好ましくは、Ｃ６−Ｃ１８アラルキル基、例えば、ベンジル、フェネチル、フェニルプロピル等）、エステル基、エーテル基、アセチル基、アルコール（好ましくは、Ｃ１−Ｃ１０アルコール）、アルデヒド基、ケトン、ニトリルならびにそれらの組み合わせから選択される。
【００３４】
好ましい非環状オレフィンは、分岐および非分岐のＣ２−Ｃ２０アルケン（好ましくは、Ｃ２−Ｃ１０アルケン）から選択される。より好ましくは、非環状オレフィンは、化学構造（Ｒ６）２Ｃ＝Ｃ（Ｒ６）２を有し、各Ｒ６は、独立して、Ｈおよび、アルキル基（好ましくは、Ｃ１−Ｃ２０アルキル、より好ましくは、Ｃ１−Ｃ１０アルキル）から選択される。本発明に使用するのに特に好ましい非環状オレフィンとしては、エテン、プロペンおよびブテンから選択されるものがあげられ、エテンが最も好ましい。
【００３５】
環状オレフィンコポリマーを製造する方法は、当該分野において公知である。例えば、環状オレフィンコポリマーは、環状モノマーと非環状モノマーとの連鎖重合により製造され得る。ノルボルネンが、このような条件下でエテンと反応する場合、ノルボルナンジイルおよびエチレン単位を交互に含むエテン−ノルボルネンコポリマーが得られる。この方法により製造されるコポリマーとしては、例えば、（Ｔｏｐａｓ  Ａｄｖａｎｃｅｄ  Ｐｏｌｙｍｅｒｓから入手できる）ＴＯＰＡＳ（商標）および（Ｍｉｔｓｕｉ  Ｃｈｅｍｉｃａｌａｓにより製造される）ＡＰＥＬ（商標）の銘柄として市販されているものがあげられる。これらのコポリマーを製造するための適切な方法は、米国特許第６，００８，２９８号に開示されている。シクロオレフィンコポリマーは、種々の環状モノマーの開環メタセシス重合と、その後に水素化することによっても製造され得る。この種の重合から生じるポリマーは、エテンと環状オレフィンモノマーとのコポリマー（例えば、エチレンとシクロペンタン−１，３−ジイルとの交互単位）として、概念上考えられ得る。この開環法により製造されるコポリマーとしては、例えば、（Ｚｅｏｎ  Ｃｈｅｍｉｃａｌｓからの）ＺＥＯＮＯＲ（商標）および（ＪＳＲ  Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎからの）ＡＲＴＯＮ（商標）の銘柄で提供されるものがあげられる。この開環法によるこれらのコポリマーを製造する適切な方法は、米国特許第５，１９１，０２６号に開示されている。
【００３６】
アリールシクロブテンオリゴマーは、当該分野において周知である。適切なアリールシクロブテンオリゴマーとしては、制限されず、式：
【化６】
2014128786.tif 000007
を有するものがあげられ、式中、Ｂは、ｎ価の結合基であり；Ａｒは、多価アリール基であり、シクロブテン環の炭素原子は、Ａｒの同じ芳香環上の隣接する炭素原子に結合され；ｍは、１以上の整数であり；ｎは、１以上の整数であり；Ｒ７は、一価の基である。好ましくは、多価のアリール基であるＡｒは、１から３つの芳香族炭素環または芳香族複素環から構成されてもよい。アリール基は、単一の芳香環を含むのが好ましく、より好ましくは、フェニル環を含む。アリール基は、場合により、（Ｃ１−Ｃ６）アルキル、トリ（Ｃ１−Ｃ６）アルキルシリル、（Ｃ１−Ｃ６）アルコキシおよびハロから選択される１から３つの基で、好ましくは、（Ｃ１−Ｃ６）アルキル、トリ（Ｃ１−Ｃ３）アルキルシリル、（Ｃ１−Ｃ３）アルコキシおよびクロロの1つ以上で、およびより好ましくは、（Ｃ１−Ｃ３）アルキル、トリ（Ｃ１−Ｃ３）アルキルシリルおよび（Ｃ１−Ｃ３）アルコキシの1つ以上で置換される。アリール基は、非置換であることが好ましい。ｎ＝１または２が好ましく、より好ましくは、ｎ＝１である。好ましくは、ｍ＝１〜４、より好ましくは、ｍ＝２〜４、さらにより好ましくは、ｍ＝２である。Ｒ７は、Ｈおよび（Ｃ１−Ｃ６）アルキルから、より好ましくは、Ｈおよび（Ｃ１−Ｃ３）アルキルから選択される。好ましくは、Ｂは、１つ以上の炭素−炭素二重結合（エチレン性不飽和）を含む。適切な一価のＢ基は、好ましくは、式−［Ｃ（Ｒ８）＝ＣＲ９］ｘＺ１を有し、式中、Ｒ８およびＲ９は、独立して、水素、（Ｃ１−Ｃ６）アルキルおよびアリールから選択され；Ｚ１は、水素、（Ｃ１−Ｃ６）アルキル、アリール、シロキサニル、−ＣＯ２Ｒ１０から選択され；各Ｒ１０は、独立して、Ｈ、（Ｃ１−Ｃ６）アルキル、アリール、アラルキルおよびアルカリールから選択され；ｘ＝１または２である。好ましくは、Ｒ８およびＲ９は、独立して、Ｈ、（Ｃ１−Ｃ３）アルキルおよびアリール、より好ましくは、Ｈおよび（Ｃ１−Ｃ３）アルキルから選択される。Ｒ１０は、（Ｃ１−Ｃ３）アルキル、アリールおよびアラルキルであることが好ましい。Ｚ１は、好ましくは、シロキシルである。好ましいシロキシル基は、式−［Ｓｉ（Ｒ１１）２−Ｏ］ｐ−Ｓｉ（Ｒ１１）２−を有し、式中、各Ｒ１１は、独立して、Ｈ、（Ｃ１−Ｃ６）アルキル、アリール、アラルキルおよびアルカリールから選択され；ｐは、１以上の整数である。Ｒ１１は、（Ｃ１−Ｃ３）アルキル、アリールおよびアラルキルから選択されるのが好ましい。適切なアラルキル基としては、ベンジル、フェネチルおよびフェニルプロピルがあげられる。
【００３７】
好ましくは、アリールシクロブテンオリゴマーは、式：
【化７】
2014128786.tif 000008
の１つ以上のオリゴマーを含み、式中、各Ｒ１２は、独立して、Ｈおよび（Ｃ１−Ｃ６）アルキルから選択され、好ましくは、Ｈおよび（Ｃ１−Ｃ３）アルキルから選択され；各Ｒ１３は、独立して、（Ｃ１−Ｃ６）アルキル、トリ（Ｃ１−Ｃ６）アルキルシリル、（Ｃ１−Ｃ６）アルコキシおよびハロから選択され；各Ｒ１４は、独立して、二価、エチレン性不飽和有機基であり；各Ｒ１５は、独立して、Ｈ、（Ｃ１−Ｃ６）アルキル、アラルキルおよびフェニルから選択され；ｐは、１以上の整数であり、ｑは、０から３の整数である。各Ｒ１２は、好ましくは独立して、Ｈおよび（Ｃ１−Ｃ３）アルキルから選択され、より好ましくは、各Ｒ１２は、Ｈである。各Ｒ１３は、独立して、（Ｃ１−Ｃ６）アルキル、トリ（Ｃ１−Ｃ３）アルキルシリル、（Ｃ１−Ｃ３）アルコキシおよびクロロから選択されるのが好ましく、およびより好ましくは、（Ｃ１−Ｃ３）アルキル、トリ（Ｃ１−Ｃ３）アルキルシリルおよび（Ｃ１−Ｃ３）アルコキシから選択される。好ましくは、各Ｒ１４は、独立して、（Ｃ２−Ｃ６）アルケニルから選択され、より好ましくは、各Ｒ１４は、−ＣＨ＝ＣＨ−である。各Ｒ１５は、好ましくは、（Ｃ１−Ｃ３）アルキルから選択され、より好ましくは、各Ｒ１５は、メチルである。好ましくは、ｐ＝１〜５、より好ましくは、ｐ＝１〜３、さらにより好ましくは、ｐ＝１である。ｑ＝０が好ましい。特に好ましいアリールシクロブテンオリゴマーである、１，３−ビス（２−ビシクロ［４．２．０］オクタ−１，３，５−トリエン−３−イルエテニル）−１，１，３，３テトラメチルジシロキサン（「ＤＶＳ−ビスＢＣＢ」）は、式：
【化８】
2014128786.tif 000009
を有する。
【００３８】
アリールシクロブテンオリゴマーは、任意の適切な手段、例えば、米国特許第４，８１２，５８８号；同第５，１３６，０６９号；同第５，１３８，０８１号および国際公開第９４／２５９０３号に記載のものにより調製され得る。適切なアリールシクロブテンオリゴマーは、ダウエレクトロニックマテリアルズから入手できる、ＣＹＣＬＯＴＥＮＥ（商標）銘柄で市販品も利用できる。アリールシクロブテンオリゴマーは、任意の適切な手段によりさらに精製され、またはさらに精製され得るように、使用されてもよい。
【００３９】
ビニル芳香族オリゴマーは、当該分野において周知である。このようなビニル芳香族オリゴマーとしては、ビニル芳香族モノマーのみのオリゴマー、ビニル芳香族モノマーと１つ以上の反応性エチレン性不飽和コモノマーとのオリゴマーがあげられる。好ましくは、ビニル芳香族モノマーは、１つのビニル基を含む。適切なビニル芳香族モノマーは、非置換のビニル芳香族モノマーおよび、１つ以上の水素が、（Ｃ１−Ｃ６）アルキル、（Ｃ１−Ｃ６）アルコキシ、ハロおよびアミノの基から選択される置換基で置き換えられた置換ビニル芳香族モノマーである。典型的なビニル芳香族モノマーとしては、制限されず、スチレン、ビニルトルエン、ビニルキシレン、ビニルアニソール、ビニルジメトキシベンゼン、ビニルアニリン、ハロスチレン、例えば、フルオロスチレン、α−メチルスチレン、β−メトキシスチレン、エチルビニルベンゼン、ビニルピリジン、ビニルイミダゾール、ビニルピロールおよびそれらの混合物があげられる。好ましいビニル芳香族モノマーは、スチレン、ビニルトルエン、ビニルキシレン、ビニルアニソール、エチルビニルベンゼンおよびそれらの混合物である。好ましい反応性コモノマーは、反応性部分、すなわち、ビニル芳香族オリゴマーの形成後に更なる重合（または架橋）が可能な部分、例えば、アリル部分またはビニル基を含み、さらに、ビニル芳香族オリゴマーに使用されるオレフィン性（または、エチレン性不飽和）部分を含むものである。より好ましくは、反応性コモノマーは、アリル部分、さらに、ビニル芳香族オリゴマーの形成に使用されるエチレン性不飽和を含み、さらにより好ましくは、アリルエステル部分、さらに、エチレン性不飽和を含む。ビニル芳香族オリゴマーを形成するのに有用な典型的な反応性コモノマーとしては、制限されず、ビニルシクロヘキセン、ビニルエーテル、非対称ジエンまたはトリエン、例えば、テルペンモノマー（例えば、リモネンまたはミルセン）、マレイン酸ジアリル、アリルアクリレート、アリルメタクリレート、桂皮酸アリル、フマル酸ジアリル、チグリン酸アリル、ジビニルベンゼンおよびそれらの混合物があげられる。好ましい反応性コモノマーは、マレイン酸ジアリル、アリルアクリレート、アリルメタクリレート、桂皮酸アリル、フマル酸アリルおよびそれらの混合物であり、より好ましくは、マレイン酸ジアリル、アリルメタクリレートおよびそれらの混合物である。１つ以上の第２のコモノマーが、ビニル芳香族オリゴマーの形成に使用されてもよいことが、当業者に理解されるであろう。このような第２のコモノマーは、エチレン性不飽和であるが、反応性部分を含まない。典型的な第２のコモノマーとしては、制限されず、（メタ）アクリル酸、（メタ）アクリルアミド、（Ｃ１−Ｃ１０）アルキル（メタ）アクリレート、芳香族（メタ）アクリレート、置換されたエチレンモノマーおよびポリ（アルキレンオキシド）モノマーがあげられる。
【００４０】
このようなビニル芳香族オリゴマーにおいて、ビニル芳香族モノマー：コモノマーのモル比は、好ましくは、９９：１から１：９９、より好ましくは、９５：５から５：９５、およびさらにより好ましくは、９０：１０から１０：９０である。このようなビニル芳香族オリゴマーは、任意の適切な方法、例えば、当該分野において公知のもののいずれかにより調製され得る。典型的に、ビニル芳香族オリゴマーは、ビニル芳香族モノマーとコモノマーとのフリーラジカル重合により調製される。好ましいビニル芳香族オリゴマーは、このようなオリゴマーをさらに硬化させる、非反応性アリル部分を含む。
【００４１】
コーティング組成物は、上記の１種以上のオリゴマーと、１種以上の有機溶媒および１種以上の任意成分とを一緒にすることにより調製される。オリゴマーは、アリールシクロブテンオリゴマーであることが好ましい。適切な有機溶媒としては、接着促進組成物で使用する上記のものがあげられる。コーティング組成物中の典型的な任意成分としては、１種以上の硬化剤、１種以上の酸化防止剤等があげられる。硬化剤は、オリゴマーの硬化を助けることができ、加熱または光により活性化され得る。適切な硬化剤としては、熱的に生成される開始剤および光開始剤があげられる。このような硬化剤の選択は、当業者の能力内で十分である。コーティング組成物中のオリゴマー、溶媒および任意成分の量は、幅広い範囲にわたって変化してもよく、当業者の能力内である。コーティング組成物中の固形分が、接着促進剤で処理された表面上でのコーティング組成物の所望の厚みを達成するために、スピン速度と共に調節され得ることは、当業者に理解されるであろう。
【００４２】
コーティング組成物は、接着促進されたデバイス基体表面上に、任意の適切な方法、例えば、デバイス基体上に接着促進剤を配置するための上記のものにより、配置（またはコート）されてもよい。このようなコーティング組成物を堆積させる方法は、当該分野において周知である。接着促進された表面上に配置された後に、コーティング組成物は、典型的には、選択されたオリゴマーについての適切な方法を使用して硬化される。このような硬化方法は、当該分野において周知である。例えば、アリールシクロブテンオリゴマーは、加熱により硬化されてもよいし、または、感光性のアリールシクロブテンオリゴマーの場合は、適切な波長の化学線（光）に露光されることにより硬化されてもよい。
【００４３】
本発明によって、１モル％以下の水で加水分解されたポリ（アルコキシシラン）、ポリアリーレンオリゴマー、ポリ（環状オレフィン）オリゴマー、アリールシクロブテンオリゴマー、ビニル芳香族オリゴマーおよびそれらの混合物から選択されるオリゴマー、ならびに有機溶媒を含み、組成物が１モル％以下の加水分解のアルコールを含む、セルフプライミング（ｓｅｌｆ−ｐｒｉｍｉｎｇ）コーティング組成物も提供される。これらのセルフプライミングコーティング組成物は、場合により、１つ以上の更なる成分、例えば、酸化防止剤、光架橋剤およびコーティング促進剤を含んでもよい。このような任意の成分は、当業者に周知である。上記ポリ（アルコキシシラン）のいずれかが、この組成物に使用され得る。コーティング組成物についての上記オリゴマーのいずれかが、このセルフプライミングコーティング組成物に使用されてもよく、および好ましくは、オリゴマーは、アリールシクロブテンオリゴマーである。適切な有機溶媒は、接着促進組成物に使用する上記のものである。本明細書で使用する時、「セルフプライミングコーティング組成物」の用語は、接着を促進する１モル％以下の水で加水分解されたポリ（アルコキシシラン）、およびコーティングオリゴマーの両方を含み、好ましくは、有機溶媒も含む組成物を意味する。これらのセルフプライミングコーティング組成物の利点は、接着促進剤を適用する別の工程を避けることができることである。または、これらのセルフプライミングコーティング組成物は、その上につぎのコーティング層が堆積される第１のコーティング層を形成するのに使用されてもよい。特定の用途では、セルフプライミングコーティング組成物の使用は、別々の接着促進組成物の使用よりも好ましい。このようなセルフプライミング組成物は、誘電性コーティング、感光性コーティング、一時的接着剤、持続的接着剤等を形成するのに、適切に使用され得る。
【００４４】
セルフプライミングコーティング組成物中に使用される、１モル％以下の水で加水分解されたポリ（アルコキシシラン）、コーティングオリゴマーおよび溶媒の量は、具体的な最終用途および望まれる特性を含む多くの要因により決まる。セルフプライミングコーティング組成物が、それにその後適用される、１つ以上のコーティングオリゴマー層を有することを意図する場合、このセルフプライミングコーティング組成物は、典型的には、その後のコーティングオリゴマー層が使用されない場合より少ない量のコーティングオリゴマーを含むであろう。一般的に、その目的の最終用途に関係なく、セルフプライミングコーティング組成物は、０．０１から１０ｗｔ％の、１モル％以下の水で加水分解されたポリ（アルコキシシラン）、１０から９９．９８ｗｔ％の溶媒、および、０．０１から９０ｗｔ％のコーティングオリゴマーを含み、この重量パーセントは、組成物の合計重量に基づいている。好ましくは、セルフプライミングコーティング組成物は、０．０１から５ｗｔ％、より好ましくは０．０１から３ｗｔ％、さらにより好ましくは０．０１から２ｗｔ％の、１モル％以下の水で加水分解されたポリ（アルコキシシラン）を含む。その後のコーティングオリゴマー組成物が、セルフプライミング組成物上に配置されるであろう場合は、セルフプライミングコーティング組成物中のコーティングオリゴマーは、好ましくは０．０１、より好ましくは１、およびさらにより好ましくは２ｗｔ％から、好ましくは２０、より好ましくは１０、およびさらにより好ましくは５ｗｔ％までの量で存在する。その後のコーティングオリゴマー組成物が、セルフプライミング組成物上に配置されないであろう場合は、コーティングオリゴマーは、好ましくは５、より好ましくは１０、およびさらにより好ましくは２０ｗｔ％から、好ましくは９０、より好ましくは８０、およびさらにより好ましくは６５ｗｔ％までの量で、組成物中に存在する。溶媒の好ましい量は、１０から９８ｗｔ％、より好ましくは２０から９０ｗｔ％であり、さらにより好ましくは２０から７５ｗｔ％で変化する。一実施形態では、組成物は、組成物の合計重量に基づいて、０．０１から１０ｗｔ％の、１モル％以下の水で加水分解されたポリ（アルコキシシラン）、４０から９９．５ｗｔ％の溶媒；１から８０ｗｔ％のコーティングオリゴマーを含み、この組成物は１モル％以下の加水分解のアルコールを含む。もう１つの実施形態では、組成物は、組成物の合計重量に基づいて、０．０１から１０ｗｔ％の、１モル％以下の水で加水分解されたポリ（アルコキシシラン）、１０から９９．９重量パーセントの溶媒、および、０．０１から９０重量パーセントのコーティングオリゴマーを含み、この組成物は１モル％以下の加水分解のアルコールを含む。
【００４５】
セルフプライミングコーティング組成物は、接着促進組成物について上記の方法のいずれかを使用して、塗膜を形成するために、デバイス基体上に配置されてもよい。スピンコーティングが、好ましい方法である。デバイス基体上への配置後に、塗膜は、典型的には、例えば、加熱もしくは化学線（光）への露光またはそれらの組み合わせにより、硬化される。感光性アリールシクロブテンは、典型的には、更なる硬化の前に、光架橋される。使用される具体的な硬化条件は、選択された具体的なオリゴマー、具体的な用途、例えば、塗膜が誘電性であるか、または接着剤であるか、および、当業者に公知の他のパラメータに応じて決まる。
【００４６】
動的光散乱は、懸濁液中の小さな粒子のサイズ分散特性を測定するための技術であり、アルコキシシランの加水分解の度合いをモニターするのに簡易な方法として使用され得る。従来のアルコキシシラン接着促進剤の加水分解、特に制御されていない加水分解は、動的光散乱により測定された場合、組成物中に、２ｎｍより非常に大きい平均粒径を有する成分の形成を引き起こす。典型的に、このような成分は、１０ｎｍ超の平均粒径を有する。本発明におけるポリ（アルコキシシラン）の低いレベルの加水分解では、従来の動的光散乱技術により測定された場合、１０ｎｍより非常に小さい、典型的には、２ｎｍ以下、および好ましくは１ｎｍ以下の平均粒径を有する成分がもたらされる。好ましくは、１モル％以下の水で加水分解された本発明のポリ（アルコキシシラン）は、２ｎｍ以下、およびより好ましくは１ｎｍ以下の平均粒径を有する。本発明の組成物は、単峰型粒径分布を有するのも好ましい。１ｎｍ超の平均粒径分布を有する加水分解されたアルコキシシランは、多くの用途、例えば、画像形成可能な誘電体で使用される場合について、適切な接着性を提供しない。
【実施例】
【００４７】
実施例１：
ビス［３−（トリメトキシシリル）プロピル］アミン（０．４１ｇ）または［３−（２−アミノエチルアミノ）プロピル］−トリメトキシシラン（０．２１ｇ）、および、４００ｐｐｍの水を含む、９９．３８ｇの４−メチル−２−ペンタノールを、２００ｍＬのボトル内で一緒にした。この混合物を、加水分解を達成するために、気温（２３℃）において、マグネチックスターラーで攪拌した。加水分解は、単一相溶液が１５分で生成されるように進行した。
【００４８】
比較例１：
ビニルトリメトキシシラン（０．３ｇ）および、８００ｐｐｍの水を含む９９．７ｇの１−メトキシ−２−プロパノールを、２００ｍＬのボトル内で一緒にした。この混合物を、加水分解を達成するために、気温（２３℃）において、マグネチックスターラーを使用して攪拌した。加水分解は、単一相溶液が１５分で生成されるように進行した。
【００４９】
比較例２：
３−アミノプロピルトリエトキシシラン（０．１ｇ）および、８００ｐｐｍの水を含む９９．９ｇの１−メトキシ−２−プロパノールを、２００ｍＬのボトル内で一緒にした。この混合物を、加水分解を達成するために、気温（２３℃）において、磁気的に攪拌した。加水分解は、単一相溶液が１５分で生成されるように進行した。
【００５０】
比較例３：
［３−（２−アミノエチルアミノ）プロピル］トリメトキシシラン（０．６ｇ）および、８００ｐｐｍの水を含む９９．４ｇの１−メトキシ−２−プロパノールを、２００ｍＬのボトル内で一緒にした。この混合物を、加水分解を達成するために、気温（２３℃）において、マグネチックスターラーを使用して攪拌した。加水分解は、単一相溶液が１５分で生成されるように進行した。
【００５１】
実施例２：
ビス［３−（トリメトキシシリル）プロピル］アミン（０．６ｇ）および、４００ｐｐｍの水を含む９９．４ｇの４−メチル−２−ペンタノールを、２００ｍＬのボトル内で一緒にした。この混合物を、加水分解を達成するために、気温（２３℃）において、マグネチックスターラーを使用して攪拌した。加水分解は、単一相溶液が１５分で生成されるように進行した。
【００５２】
実施例３：
ビス［３−（トリエトキシシリル）プロピル］アミン（０．５ｇ）および、４００ｐｐｍの水を含む９９．５％の４−メチル−２−ペンタノールを、２００ｍＬのボトル内で一緒にした。この混合物を、加水分解を達成するために、気温（２３℃）において、マグネチックスターラーを使用して攪拌した。加水分解は、単一相溶液が１５分で生成されるように進行した。
【００５３】
実施例４：
ビス［３−（トリエトキシシリル）プロピル］アミン（０．５ｇ）および、８００ｐｐｍの水を含む９９．５％の１−メトキシ−２−プロパノールを、２００ｍＬのボトル内で一緒にした。この混合物を、加水分解を達成するために、気温（２３℃）において、マグネチックスターラーを使用して攪拌した。加水分解は、単一相溶液が１５分で生成されるように進行した。
【００５４】
実施例５：
ベンゾシクロブテンビス（３−（トリエトキシシリル）プロピル）アクリルアミド（０．５ｇ）および、５００ｐｐｍの水を含む９９．５ｇの１−メトキシ−２−プロパノールを、２００ｍＬのボトル内で一緒にした。この混合物を、加水分解を達成するために、気温（２３℃）において、マグネチックスターラーを使用して攪拌した。加水分解は、単一相溶液が１５分で生成されるように進行した。
【００５５】
実施例６：
Ｎ１，Ｎ１−ビス（３−（トリメトキシシリル）プロピル）エタン−１，２−ジアミン（０．５ｇ）を、３５０ｐｐｍの水を含む２−メチル−１−ブタノールと、２００ｍＬのボトル内で一緒にした。この混合物を、加水分解を達成するために、気温（２３℃）で攪拌した。
【００５６】
実施例７：
２００ｍＬのボトル内で、２５０ｐｐｍの水を含む４メチル−２−ペンタノールと、３−（トリメトキシシリル）−Ｎ−（２−（トリメトキシシリル）エチル）−Ｎ−（３−（トリメトキシシリル）プロピル）プロパン−１−アミンとを一緒にした。この混合物を、加水分解を達成するために、気温（２３℃）で攪拌した。
【００５７】
実施例８：
２００ｍＬのボトル内で、４００ｐｐｍの水を含む４メチル−２−ペンタノールと、ビス（３，３，９，９−テトラメトキシ−２，１０−ジオキサ−３，９−ジシラウンデカン−６−イル）アミンとを一緒にした。この混合物を、加水分解を達成するために、気温（２３℃）で攪拌した。
【００５８】
実施例９：
実施例１〜５および比較例１〜３からの接着促進組成物を、リソグラフィ印刷接着試験を使用して評価した。各接着促進組成物を、Ｓｉｔｅ  Ｔｒａｃ  ＴＴ５−ＸＰコーターを使用して、２０００ｒｐｍのスピン速度で、４０秒間、２００ｍｍのテストウエハ上にコートし、その後、９０℃で９０秒間ベークして、溶媒除去を確実にした。ＰＲＯＧＬＹＤＥ（商標）ＤＭＭ、ＰＧＭＥＡおよびアニソールの混合物中における、おおよそ５０００の分子量を有する、ＤＶＳ−ビスＢＣＢとベンゾシクロブテンアクリル酸とのコポリマーである、水系現像可能なベンゾシクロブテンオリゴマー４０％を含み、並びに三官能性ジアゾナフトキノン光活性化合物（ＣＹＣＬＯＴＥＮＥ（商標）Ｐ６５０５、ミシガン州ミッドランドのザダウケミカルカンパニーから入手可能）を含むオリゴマー組成物を、接着促進剤層の上面に、Ｓｉｔｅ  Ｔｒａｃｅ  ＴＴ６−ＸＰコーターを使用して、１５００ｒｐｍ付近のスピン速度で、おおよそ６．５μｍの膜厚みを目標にコートした。このオリゴマー組成物を次に９０℃で９０秒間ベークして、溶媒除去を確実にした。つぎに、各オリゴマーコートされたウエハを、ＡＳＭＬ２００−ｉ線ステッパーにおいて、ウエハ上に種々のサイズのポスト（１から２５μｍ）の列をプリントするための明視野レチクルを使用して露光した。露光後、１５分の後露光保持を、膜内に水分を逆拡散させるのに使用した。つぎに、オリゴマー樹脂の露光領域を、Ｓｉｔｅ  Ｔｒａｃ  ＴＴＰ−Ｘ５ツールにおいて、ＣＤ−２６現像溶液を使用して、６０秒のシングルパドルを使用して現像し、その後９０秒の第２の脱イオン水で洗浄した。ウエハ上に残ったポストパターンを、光学顕微鏡下で評価した。サンプルは、現像後に残ったポストの最小フィーチャサイズが５μｍ以下であった場合、リソグラフィ接着試験を合格したと見なされる。データを、以下の表１に報告する。
【００５９】
実施例１０：
動的光散乱測定を、Ｍａｌｖｅｒｎ  Ｚｅｔａｓｉｚｅｒ  Ｎａｎｏ  ＺＳ機器を使用して行った。接着促進剤溶液のサンプル（１．５ｍＬ）を、石英キュベットに移し、ついで、このキュベットを、Ｚｅｔａｓｉｚｅｒ機器のサンプルホルダに挿入した。機器のソフトウェアを、サイズ測定用に設定した。各サンプルについての正確な粒径分布を得るためには、通常、１５から２４回のスキャンが必要である。実施例１〜５および比較例１〜３について測定された平均粒径を、以下の表１に報告する。本発明の各接着促進剤は、１ｎｍ未満の平均粒径を有する単一のピークのみ（単峰型分布）を有した。各比較例は、１ｎｍ超の平均粒径を有する、少なくとも１つのピークを有した。比較例１は、１０ｎｍ超の平均粒径を有する１つの分布を有する、２つのピーク（二峰性分布）を有した。比較例におけるこのような大きな平均粒径は、本発明のポリ（アルコキシシラン）と比較して、大量のシラン加水分解のために、より大きなナノ粒子が形成されたことを示す。
【００６０】
【表１】
2014128786.tif 000010
【００６１】
実施例１１：
実施例１〜５および比較例１〜３からの接着促進組成物を、クロスハッチ／テープ剥離試験（ＡＳＴＭ  Ｄ  ３３５９）に基づいて、ＧａｒｄｃｏからのＰＡ−２０００キットを使用して評価した。クロスハッチを適用し、テープ剥離の前に、過剰の残骸を、連続的な流れの圧縮乾燥空気を使用して除去した。テープ剥離後、接着を評価し、実施例１〜５および比較例１〜３からの各接着促進組成物は、０％除去で合格したことが見出された。
【００６２】
実施例１２：
一時的結合性コーティング組成物を、８３．６３ｇの６８．５％  ＤＶＳ−ビスＢＣＢオリゴマー（平均分子量２５，０００〜３０，０００）を、Ｐｒｏｇｌｙｄｅ（商標）ＤＭＭ溶媒に混合し、８．７８ｇの、分子量２９００のポリ（テトラメチレングリコール）（ＢＡＳＦからのＰｏｌｙＴＨＦ２９００として入手）、４．１７ｇのＢＡＣ−４５（分子量３０００のジアクリレート末端化ブタジエンゴム）、０．６８ｇの過酸化ジクミル、０．４９ｇの市販の酸化防止剤および２．２５ｇのＰｒｏｇｌｙｄｅ（商標）ＤＭＭ溶媒を添加することにより調製した。この組成物を、木製のスティックを使用して手作業で混合し、おおよそ１時間、５０℃に加熱し、ついで、均質になるまでロールした。
【００６３】
２００ｍｍのシリコンウエハを、酸素プラズマエッチングに１０秒間供した。つぎに、２ｍＬの実施例４からの接着促進剤を、キャリアウエハの接触面にスピンコートし（２０００ｒｐｍ、３０秒）、その後１２０℃で９０秒間ソフトベークし、その後冷却した。一時的結合性コーティング組成物を、デバイスウエハ上にスピンコートし（２０００ｒｐｍ）、１２０℃で９０秒間ソフトベークし、３０秒間冷却し、そして、１６０℃で１２０秒間ソフトベークして、デバイスウエハ上に一時的結合性組成物の層を形成した。ついで、キャリアウエハを一時的結合性コーティング組成物に、真空を４５秒間適用し、圧力を６０秒間適用して、８０℃で６０秒間、真空積層した。ついで、積層されたウエハを、デバイス側を下にして、２１０℃で１２０秒間、窒素雰囲気下において、ホットプレート上で加熱することで硬化させた。硬化した一時的結合性層の厚さは、おおよそ２５μｍであった。硬化後、これらウエハを、カミソリ刃をノッチ付近に挿入し、ウエハに沿ってガイドさせてうまく剥離し、デバイスウエハを、一時的結合性組成物から分離させた。残った一時的結合性組成物は、キャリアウエハの接着促進された接触表面に接着していた。
【００６４】
実施例１３：
一時的結合性コーティング組成物が、４１．８２ｇの９０／１０  スチレン：マレイン酸ジアリルオリゴマーを含むこと以外は、実施例１２の手順を繰り返した。このコーティング組成物は、ＤＶＳ−ビスＢＣＢオリゴマーと、スチレン：マレイン酸ジアリルオリゴマーとを、１：１の重量比で含んでいた。この組成物からの硬化した一時的結合性層の厚みは、おおよそ２６μｍであった。硬化後、ウエハを、カミソリ刃をノッチ付近に挿入し、ウエハに沿ってガイドさせて、うまく剥離し、デバイスウエハを、一時的結合性組成物から分離させた。残った一時的結合性組成物は、キャリアウエハの接着促進された接触表面に接着していた。
【００６５】
実施例１４：
ＤＶＳ−ビスＢＣＢオリゴマーを、Ｐｒｏｇｌｙｄｅ（商標）ＤＭＭ溶媒における８３．６３ｇの、９０／１０  スチレン：マレイン酸ジアリルオリゴマー（６８．５％固形物）に置き替えたこと以外は、実施例１２の手順を繰り返した。このコーティング組成物は、ＤＶＳ−ビスＢＣＢオリゴマーを含まない。この組成物からの硬化した一時的結合性層の厚みは、おおよそ３６μｍであった。硬化後、ウエハを、カミソリ刃をノッチ付近に挿入し、ウエハに沿ってガイドさせて、うまく剥離し、デバイスウエハを、一時的結合性組成物から分離させた。残った一時的結合性組成物は、キャリアウエハの接着促進された接触表面に接着していた。
【外国語明細書】
2014128786000001.pdf
2014128786000002.pdf
2014128786000003.pdf