(57)【要約】【課題】セラミックグリーンシート上に電子部品の内部電極となる導電膜を印刷する際の配置の歪みを低減することで、電子部品の生産性を向上させた搬送機構およびそれを用いた電子部品の製造方法を提供する。【解決手段】この発明にかかる搬送機構１０は、キャリアフィルム１４とそのキャリアフィルム１４上に形成されたセラミックグリーンシート１６からなる長尺状シート１２に、導電膜パターンを形成するための電極形成機構である加工処理機構４０と、その加工処理機構４０の上流側に長尺状シート１２を巻き出すための巻出ローラ２２と、その加工処理機構４０の下流側に長尺状シート１２を巻き取るための巻取ローラ３２とを備える。そして、加工処理機構４０の上流側に位置する長尺状シート１２の一部と加工処理機構４０の下流側に位置する長尺状シート１２の一部との間の距離が縮まるように動作する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
長尺状シートと、
前記長尺状シートを加工処理するための加工処理機構と、
前記加工処理機構の上流側に長尺状シートを巻き出すための巻出ローラと、
前記加工処理機構の下流側に長尺状シートを巻き取るための巻取ローラと、
を備え、
前記加工処理機構の上流側に位置する長尺状シートの一部と前記加工処理機構の下流側に位置する長尺状シートの一部との間の距離を縮める機構を備えることを特徴とする、搬送機構。
【請求項２】
前記巻出ローラと前記加工処理機構との間に設けられる第１の吸引保持機構と、
前記巻取ローラと前記加工処理機構との間に設けられる第２の吸引保持機構と、
を備え、
前記第１の吸引保持機構と前記第２の吸引保持機構との間の距離を縮める機構を備えることを特徴とする、請求項１に記載の搬送機構。
【請求項３】
前記長尺状シートは、キャリアフィルムと、キャリアフィルム上に形成されたセラミックグリーンシートからなり、
前記加工処理機構は、前記キャリアフィルムを保持するためのフィルム保持テーブルと前記セラミックグリーンシート上に導電性ペーストで導電膜パターンを形成する電極形成機構からなる、請求項１または請求項２に記載の搬送機構。
【請求項４】
キャリアフィルム上に形成されたセラミックグリーンシートからなる長尺状シートを巻取ローラと巻出ローラで一定ピッチ搬送する工程と、
前記長尺状シートを一定ピッチで搬送した後、第１の吸引保持機構および第２の吸引保持機構の吸引を入れて、前記長尺状シートを前記第１の吸引保持機構および前記第２の吸引保持機構により吸引し保持する工程と、
前記第１の吸引保持機構と前記第２の吸引保持機構との距離を縮める工程と、
前記第１の吸引保持機構と前記第２の吸引保持機構との距離が縮まった後、フィルム保持テーブルにより前記長尺状シートを保持する工程と、
電極形成機構により、前記セラミックグリーンシート上に導電性ペーストを印刷し導電膜を形成する工程と、
を含む、電子部品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、搬送機構およびそれを用いた電子部品の製造方法に関し、特にたとえば、積層セラミックコンデンサなどの積層セラミック電子部品を製造するために用いられる搬送機構およびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
現在、電子機器の小型化に伴って、その電子機器に組み込まれる電子部品もさらなる小型化が要求されており、そのような電子部品として、たとえば、積層セラミック電子部品が挙げられる。特許文献１に記載の積層セラミック電子部品の製造方法では、フィルムによる細長い支持シートを搬送し、その支持シート上に導電性ペーストを印刷することにより内部電極となる導電膜を形成し、その上にセラミックグリーンシートを形成するような電子部品の製造方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平９−２８３３６０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載されたような電子部品の製造方法において、支持シート上に張力が一定以上かかった状態で内部電極となる導電性ペーストを印刷し、導電膜を形成すると、印刷された導電膜の配置が歪んでしまうという問題があった。したがって、印刷された導電膜は、たとえば、マトリックス状に印刷されるが、印刷された導電膜の間隔が設計された数値とは異なる間隔で並んで配列されるという問題があった。このような状態の導電膜が形成されたセラミックグリーンシートを剥離し、積層してマザー積層体を形成すると、積層方向に導電膜の位置が設計値からずれてしまい、個々の積層体チップ片に分割する際、導電膜の位置ズレを考慮して分割する必要があるために、マージンを広めにとって切断する必要があった。このため、このことが、積層体チップの小型化を阻害していた。
【０００５】
それゆえに、この発明の主たる目的は、セラミックグリーンシート上に電子部品の内部電極となる導電膜を印刷する際の配置の歪みを低減することで、電子部品の生産性を向上させた搬送機構およびそれを用いた電子部品の製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この発明にかかる搬送機構は、長尺状シートと、長尺状シートを加工処理するための加工処理機構と、加工処理機構の上流側に長尺状シートを巻き出すための巻出ローラと、加工処理機構の下流側に長尺状シートを巻き取るための巻取ローラと、を備え、加工処理機構の上流側に位置する長尺状シートの一部と加工処理機構の下流側に位置する長尺状シートの一部との間の距離を縮める機構を備えることを特徴とする、搬送機構である。
また、この発明にかかる搬送機構では、巻出ローラと加工処理機構との間に設けられる第１の吸引保持機構と、巻取ローラと加工処理機構との間に設けられる第２の吸引保持機構と、を備え、第１の吸引保持機構と第２の吸引保持機構との間の距離を縮める機構を備えることが好ましい。
さらに、この発明にかかる搬送機構では、長尺状シートは、キャリアフィルムと、キャリアフィルム上に形成されたセラミックグリーンシートからなり、加工処理機構は、キャリアフィルムを保持するためのフィルム保持テーブルとセラミックグリーンシート上に導電性ペーストで導電膜パターンを形成する電極形成機構からなることが好ましい。
また、この発明にかかる電子部品の製造方法は、キャリアフィルム上に形成されたセラミックグリーンシートからなる長尺状シートを巻取ローラと巻出ローラで一定ピッチ搬送する工程と、長尺状シートを一定ピッチで搬送した後、第１の吸引保持機構および第２の吸引保持機構の吸引を入れて、長尺状シートを第１の吸引保持機構および第２の吸引保持機構により吸引し保持する工程と、第１の吸引保持機構と第２の吸引保持機構との距離を縮める工程と、第１の吸引保持機構と第２の吸引保持機構との距離が縮まった後、フィルム保持テーブルにより長尺状シートを保持する工程と、電極形成機構により、セラミックグリーンシート上に導電性ペーストを印刷し導電膜を形成する工程と、を含む電子部品の製造方法である。
【０００７】
この発明にかかる搬送機構によれば、長尺状シートを加工処理するための加工処理機構と、加工処理機構の上流側に長尺状シートを巻き出すための巻出ローラと、加工処理機構の下流側に長尺状シートを巻き取るための巻取ローラとを備えており、加工処理機構の上流側に位置する長尺状シートの一部と加工処理機構の下流側に位置する長尺状シートの一部との間の距離を縮めることから、長尺状シートに作用する搬送方向のテンションをゼロにすることができることから、長尺状シートの幅方向に作用するテンションのバラツキを低減することができる。
この発明にかかる搬送機構によれば、巻出ローラと加工処理機構との間に第１の吸引保持機構を設け、巻取ローラと加工処理機構との間に第２の吸引保持機構を設けると、より確実に、第１の吸引保持機構と第２の吸引保持機構との間の距離を確実に縮めることができる。
また、この発明にかかる搬送機構によれば、長尺状シートが、キャリアフィルムと、キャリアフィルム上に形成されたセラミックグリーンシートからなり、加工処理機構が、キャリアフィルムを保持するためのフィルム保持テーブルとセラミックグリーンシート上に導電性ペーストで導電膜パターンを形成する電極形成機構であると、長尺状シートに作用する搬送方向のテンションがゼロであることから、長尺状シートに付加される幅方向におけるテンションの影響による導電膜の配置の歪みが低減される。
さらに、この発明にかかる電子部品の製造方法は、長尺状シートを第１の吸引保持機構および第２の吸引保持機構により吸引し保持する工程と、第１の吸引保持機構と第２の吸引保持機構との距離を縮める工程と、第１の吸引保持機構と第２の吸引保持機構との距離が縮まった後、フィルム保持テーブルにより長尺状シートを保持する工程と、電極形成機構により、セラミックグリーンシート上に導電性ペーストを印刷し導電膜を形成する工程とを含むので、長尺状シートに作用する搬送方向のテンションをゼロにすることができることから、長尺状シートに付加される幅方向におけるテンションの影響による導電膜の配置の歪みを低減することができる。
【発明の効果】
【０００８】
この発明によれば、セラミックグリーンシート上に電子部品の内部電極となる導電膜を印刷する際の配置の歪みを低減することで、電子部品の生産性を向上させた搬送機構およびそれを用いた電子部品の製造方法を提供することができる。
【０００９】
この発明の上述の目的、その他の目的、特徴および利点は、図面を参照して行う以下の発明を実施するための形態の説明から一層明らかとなろう。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】この発明にかかる搬送機構の一実施の形態についての模式図である。
【図２】図１に示される搬送機構の要部構成を示した図であり、（ａ）はその平面図であり、（ｂ）はその側面図である。
【図３】この発明にかかる搬送機構を用いて製造される積層セラミック電子部品の外観の一例を示す概略斜視図である。
【図４】この発明にかかる搬送機構により製造される積層セラミック電子部品のＤ−Ｄ線における断面を示す断面図解図である。
【図５】セラミックグリーンシート上に、マトリックス状に形成された導電膜パターンの配置の状態を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
本発明にかかる搬送機構の一実施の形態について説明する。図１は、本発明にかかる搬送機構の一実施の形態の一例を示す模式図である。図２は、図１に示される搬送機構の要部構成を示した図であり、（ａ）はその平面図であり、（ｂ）はその側面図である。
【００１２】
この搬送機構は、長尺状シートを搬送し、その長尺状シート上に、電子部品の内部電極となる導電性ペーストを印刷するための装置である。以下、本発明にかかる搬送機構の一実施の形態について説明する。
【００１３】
図１に記載の搬送機構１０は、長尺状シート１２を搬送するための巻出搬送部２０および巻取搬送部３０と、巻出搬送部２０と巻取搬送部３０との間に設けられ、セラミックグリーンシート上に内部電極となる導電性ペーストをスクリーン印刷するための加工処理機構４０とを備える。
【００１４】
長尺状シート１２は、キャリアフィルム１４と、このキャリアフィルム１４上に形成されたセラミックグリーンシート１６とからなる。キャリアフィルム１４の材料は、たとえば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）が用いられる。キャリアフィルム１４に用いられるＰＥＴは、伸縮性を有しており、一般的に、７０℃から軟化が開始される材料である。なお、キャリアフィルム１４の材料は、ポリプロピレン（ＰＰ）を用いてもかまわない。このキャリアフィルム１４上に、溶剤中にセラミック粒子やバインダなどを分散したセラミックスラリーをダイコーターにて成形し、乾燥することによりセラミックグリーンシート１６が形成されている。
【００１５】
巻出搬送部２０は、長尺状シート１２を加工処理機構４０の上流側に連続的に送り出す機能を有する。巻出搬送部２０は、巻出ロール２２、複数個のガイドロール２４、ダンサロール２６および第１の吸引保持機構２８を含む。巻出ロール２２には、長尺状シート１２が巻きつけられている。巻出ロール２２が矢印Ａで示す方向に回転することによって、長尺状シート１２が搬送方向（図１における矢印Ｂで示す方向）に繰り出される。そして、巻出ロール２２から繰り出された長尺状シート１２が、複数個のガイドロール２４により、巻出ロール２２から第１の吸引保持機構２８へと搬送方向に搬送される。また、ダンサロール２６は、複数個のガイドロール２４と第１の吸引保持機構２８との間に設けられている。ダンサロール２６は、巻出ロール２２から繰り出された長尺状シート１２に作用する巻出ロール２２から第１の吸引保持機構２８までのテンションを一定に制御し、加えて、連続搬送または間欠搬送の切り換えを行う機能を有する。長尺状シート１２の送り出し量は、長尺状シート１２の搬送ピッチとタクトタイムに合わせて制御しており、巻取搬送部３０の巻取り量とも同期するように制御される。
【００１６】
第１の吸引保持機構２８は、巻出搬送部２０と巻取搬送部３０との間における長尺状シート１２に作用するテンションを制御するために設けられる。第１の吸引保持機構２８は、サクションプレート２８ａおよび可動機構（図示せず）を含む。
サクションプレート２８ａは、長尺状シート１２のキャリアフィルム１４に当接するように配置されている。このサクションプレート２８ａは、可動式のプレートである。キャリアフィルム１４と当接するサクションプレート２８ａの一方主面には、複数個の吸引孔２８ｂが設けられている。この複数個の吸引孔２８ｂの配置により定められる吸引エリア２８ｃは、キャリアフィルム１４の幅方向（搬送方向とは直交する方向）の大きさより小さく設けられる。サクションプレート２８ａの他方主面の下側には、サクションプレート２８ａを搬送方向に動作させる可動機構を有する。可動機構は、搬送方向に往復して駆動できるように、駆動源を備える。
したがって、駆動源の駆動が、サクションプレート２８ａに伝わることで、サクションプレート２８ａを搬送方向に可動させる。
【００１７】
巻取搬送部３０は、長尺状シート１２を加工処理機構４０の下流側から連続的に巻き取る機能を有する。巻取搬送部３０は、巻取ロール３２、複数個のガイドロール３４、ダンサロール３６および第２の吸引保持機構３８を含む。巻出搬送部２０から加工処理機構４０を通じて送り出された長尺状シート１２は、複数個のガイドロール３４により第２の吸引保持機構３８から巻取ロール３２へと搬送方向（図１における矢印Ｂで示す方向）に搬送され、巻取ロール３２が矢印Ｃで示す方向に回転することによって巻き取られる。また、ダンサロール３６は、第２の吸引保持機構３８と複数個のガイドロール３４との間に設けられている。ダンサロール３６は、巻き取られる長尺状シート１２に作用するテンションを一定に制御し、加えて、連続搬送または間欠搬送の切り換えを行う機能を有する。長尺状シート１２の巻取り量は、長尺状シート１２の搬送ピッチとタクトタイムに合わせて制御しており、巻出搬送部２０の送り出し量とも同期するように制御される。
【００１８】
第２の吸引保持機構３８は、巻出搬送部２０と巻取搬送部３０との間における長尺状シート１２に作用するテンションを制御するために設けられる。第２の吸引保持機構３８は、サクションプレート３８ａを含む。
サクションプレート３８ａは、長尺状シート１２のキャリアフィルム１４に当接するように配置されている。このサクションプレート３８ａは、固定式のプレートである。キャリアフィルム１４と当接するサクションプレート３８ａの一方主面には、複数個の吸引孔３８ｂが設けられている。この複数個の吸引孔３８ｂの配置により定められる吸引エリア３８ｃは、キャリアフィルム１４の幅方向（搬送方向とは直交する方向）の大きさより小さく設けられる。なお、第２の吸引保持機構３８は、第１の吸引保持機構２８と同様に搬送方向に往復駆動できるようにしてもよい。
【００１９】
加工処理機構４０は、巻出搬送部２０から送り出された長尺状シート１２に対して加工処理するために設けられる。図１に示す加工処理機構は、たとえば、長尺状シート１２のセラミックグリーンシート１６上に導電性ペーストを印刷し、図２に示されるような導電膜１８を形成する機能を有する。また、上述したように、加工処理機構４０は、巻出搬送部２０と巻取搬送部３０との間に設けられる。本実施の形態における加工処理機構４０は、たとえば、長尺状シート１２を保持するためのシート保持テーブル４２と電極形成機構（図示せず）とを備える。
【００２０】
シート保持テーブル４２は、たとえば、多孔質の金属製プレートにより形成される。シート保持テーブル４２は、長尺状シート１２のキャリアフィルム１４に当接するように配置されている。長尺状シート１２のキャリアフィルム１４上に形成されるセラミックグリーンシート１６に導電性ペーストを印刷する際に、キャリアフィルム１４を吸引し、キャリアフィルム１４に皺を生ずることなく固定するための吸引機構が、キャリアフィルム１４と当接するシート保持テーブル４２の一方主面に設けられている。この吸引機構は、たとえば、シート保持テーブル４２の一方主面に形成される複数個の吸引孔４４を含む。
【００２１】
電極形成機構は、たとえば、セラミックグリーンシート１６上に導電性ペーストをスクリーン印刷するためのスクリーン印刷版を含む。スクリーン印刷版は、シート保持テーブル４２に対向して配置され、かつキャリアフィルム１４およびセラミックグリーンシート１６を挟んで配置されている。そして、電極形成機構は、スクリーン印刷版上に投入された導電性ペーストをスキージにより一定圧力をかけて、セラミックグリーンシート１６側へ導電性ペーストを押し出すことで、セラミックグリーンシート１６上にマトリックス状の内部電極となる導電膜１８により構成される導電膜パターンを形成する。なお、導電性ペーストは、溶剤中に金属粒子やバインダなどを分散することで作製されており、有機溶剤を含有することで一定の粘度に保たれている。
【００２２】
次に、上記構成からなる搬送機構１０の動作について説明する。
【００２３】
（１）動作１
まず、巻出搬送部２０における巻出ロール２２から長尺状シート１２が繰り出される。繰り出された長尺状シート１２は、ダンサロール２６により、間欠搬送に切り換えられる。
【００２４】
（２）動作２
次に、第１の吸引保持機構２８のサクションプレート２８ａに形成される吸引孔２８ｂおよび第２の吸引保持機構３８のサクションプレート３８ａに形成される吸引孔３８ｂの吸引がオンにされ、長尺状シート１２のキャリアフィルム１４が保持される。続いて、サクションプレート２８ａを搬送方向（図１における矢印Ｂで示す方向）へ０．５ｍｍ移動させることで、サクションプレート２８ａとサクションプレート３８ａとの間における長尺状シート１２に作用するテンションがゼロの状態に保たれる。そして、この状態で、加工処理機構４０のシート保持テーブル４２に設けられる吸引機構における吸引孔４４の吸引が入れられることで、長尺状シート１２が非伸長状態で保持され、固定される。すなわち、第１の吸引保持機構２８と第２の吸引保持機構３８との間における長尺状シート１２には、テンションが作用されていない状態になる。そして、第１の吸引保持機構２８のサクションプレート２８ａに形成される吸引孔２８ｂおよび第２の吸引保持機構３８のサクションプレート３８ａに形成される吸引孔３８ｂの吸引が解除にされる。
なお、第１の吸引保持機構２８と第２の吸引保持機構３８との間における長尺状シート１２に作用するテンションがゼロの場合であっても、この長尺状シート１２は、シート保持テーブル４２で吸引されることで保持されているため、加工処理機構４０により加工処理するために必要な所定の位置からずれることはない。
【００２５】
次に、電極形成機構のスクリーン印刷版上に補充された導電性ペーストをスキージングすることで、内部電極となる導電膜がセラミックグリーンシート１６上に印刷される。
導電膜の印刷が終了した後、第１の吸引保持機構２８のサクションプレート２８ａと第２の吸引保持機構３８のサクションプレート３８ａとは、動作１である元の位置に戻される。
【００２６】
そして、動作１と動作２とが繰り返されることで、加工処理機構４０の電極形成機構により、セラミックグリーンシート１６上に対して所望の導電性ペーストの印刷を行うことができる。
【００２７】
次に、図１に示す搬送機構を用いて製造される積層セラミック電子部品の一例について説明する。図３は、セラミック素体と外部電極とにより構成された積層セラミック電子部品の外観の一例である積層セラミック電子部品の概略斜視図を示し、図４は、図３に示される積層セラミック電子部品のＤ−Ｄ線における断面を示す断面図解図を示す。
【００２８】
この搬送機構１０を用いて製造される積層セラミック電子部品５０は、セラミック素体１２と、セラミック素体５２の表面に形成される外部電極５４ａおよび５４ｂとから構成される。
【００２９】
この実施形態にかかる搬送機構１０により製造される積層セラミック電子部品５０に用いられるセラミック素体５２は、複数の積層されたセラミック層５６ａおよび５６ｂから構成される。そして、セラミック素体５２は、直方体状に形成され、長さ（Ｌ）方向および幅（Ｗ）方向に沿って延びる一方主面５８ａおよび他方主面５８ｂと、長さ（Ｌ）方向および高さ（Ｔ）方向に沿って延びる一方側面６０ａおよび他方側面６０ｂと、幅（Ｗ）方向および高さ（Ｔ）方向に沿って延びる一方端面６２ａおよび他方端面６２ｂとを有する。ここで、積層セラミック電子部品５０は、必要な容量を確保した上で、その一方側面６０ａおよび他方側面６０ｂは、絶縁されていることが求められる。なお、セラミック素体５２は、角部および稜部に丸みがつけられていることが好ましい。
【００３０】
セラミック層５６ａ，５６ｂの材料には、たとえば、ＢａＴｉＯ3、ＣａＴｉＯ3、ＳｒＴｉＯ3、ＣａＺｒＯ3などの主成分からなる誘電体セラミックを用いることができる。また、これらの主成分に、Ｍｎ化合物、Ｍｇ化合物、Ｓｉ化合物、Ｃｏ化合物、Ｎｉ化合物、希土類化合物などの副成分を添加したものを用いてもよい。その他、ＰＺＴ系セラミックなどの圧電体セラミック、スピネル系セラミックなどの半導体セラミックなどを用いることもできる。
【００３１】
なお、この実施形態にかかるセラミック素体５２については、誘電体セラミックを用いるので、コンデンサとして機能する。
【００３２】
セラミック素体５２は、複数のセラミック層５６ａ，５６ｂに挟まれるように複数の内部電極６４ａ，６４ｂを有する。内部電極６４ａ，６４ｂの材料には、たとえば、Ｎｉ、Ｃｕ、Ａｇ、Ｐｄ、Ａｇ−Ｐｄ合金、Ａｕなどを用いることができる。焼成後の内部電極６８ａ，６８ｂの厚みは、０．３〜２．０μｍであることが好ましい。また、焼成後のセラミック層５６ａ，５６ｂの厚みは、０．５〜１０μｍであることが好ましい。
【００３３】
内部電極６４ａは、対向部６６ａと引出し電極部６８ａとを有する。対向部６６ａは、内部電極６４ｂと対向する。引出し電極部６８ａは、対向部６６ａからセラミック素体５２の一方端面６２ａに引出される。そして、内部電極６４ａの引出し電極部６８ａの端部がセラミック素体５２の一方端面６２ａに延びて露出するように形成される。
【００３４】
また、内部電極６４ｂは、内部電極６４ａと同様に、内部電極６４ａと対向する対向部６６ｂと、対向部６６ｂからセラミック素体５２の他方端面６２ｂに引出された引出し電極部６８ｂとを有する。内部電極６４ｂの引出し電極部６８ｂの端部がセラミック素体５２の他方端面６２ｂに延びて露出するように形成される。
【００３５】
セラミック素体５２の一方端面６２ａには、外部電極５４ａが引出し電極部６８ａを介して内部電極６４ａに電気的に接続され、一方端面６２ａ及び内部電極６４ａを覆うように形成される。同様に、セラミック素体５２の他方端面６２ｂには、外部電極５４ｂが引出し電極部６８ｂを介して内部電極６４ｂに電気的に接続され、他方端面６２ｂ及び内部電極６４ｂを覆うように形成される。
【００３６】
外部電極５４ａおよび５４ｂの材料には、たとえば、Ｃｕ、Ｎｉ、Ａｇ、Ｐｄ、Ａｇ−Ｐｄ合金、Ａｕ等を用いることができる。このうち、たとえば、Ｃｕ、Ｎｉ等の卑金属を用いることが好ましい。外部電極５４ａおよび５４ｂの厚みは、１０〜８０μｍであることが好ましい。
【００３７】
一般的に、キャリアフィルム上に形成されたセラミックグリーンシートからなる長尺状シートを搬送するための搬送機構において、巻取ローラおよび巻出ローラの組み付けでは、これら２つのローラは理想的には完全に平行であることが望ましいが、これら２つのローラの組み付け精度により、この平行度がずれてしまう場合がある。また、円筒状に形成された巻取ローラや巻出ローラの円径は、理想的には軸線方向において全て同じであることが好ましいが、成形精度の違いにより、軸線方向において、円径が異なっている。このような２つのローラの組み付け精度や、成形精度により、それぞれのローラにかけまわされている長尺状シートのテンションが各々のローラの幅方向において異なることとなる。このように、長尺状シートのテンションが幅方向において異なる状態で、セラミックグリーンシートに対してスクリーン印刷により導電膜を印刷し、導電膜パターンを形成すると、セラミックグリーンシートをキャリアフィルムから剥離した際、テンションから開放され、導電膜パターンの配置が歪む。
【００３８】
しかしながら、図１に示す搬送機構１０では、加工処理機構による電極形成機構によりスクリーン印刷する際に、加工処理機構４０の上流側に位置する長尺状シート１２の一部と、加工処理機構４０の下流側に位置する長尺状シートの一部との間を縮めることにより、巻出搬送部２０と巻取搬送部３０との間における長尺状シート１２に作用する搬送方向のテンションをゼロの状態にすることができることから、長尺状シート１２の幅方向におけるテンションのバラツキを低減することができる。したがって、この状態で、内部電極となる導電膜１８をセラミックグリーンシート１６上にマトリックス状に印刷すれば、長尺状シート１２に付加される幅方向におけるテンションの影響による導電膜１８の配置の歪みを低減することができる。
【００３９】
（実験例）
次に、図１に示す搬送機構を用いた電子部品の製造方法にかかる実験例を示す。この実験例では、第１の吸引保持機構と第２の吸引保持機構との間における長尺状シートのテンションをゼロにすることによる効果についての評価を行った。評価実験は、スクリーン印刷によりセラミックグリーンシート上に導電性ペーストを、図５に示すように、複数の導電膜としてマトリックス状に印刷し、マトリックス状に印刷された複数の導電膜の配置の歪みを測定することで評価した。
【００４０】
長尺状シートの幅方向（搬送方向とは直交する方向）のテンションの違いを測定するため、マトリックス状に印刷された複数の導電膜において、角部に配置される導電膜のうち、長尺状シートの搬送方向に対して左端に配置される導電膜（図５において、最も上側に配置されている導電膜）間の距離Ｘ１と長尺状シートの搬送方向に対して右端に配置される導電膜（図５において、最も下側に配置される導電膜）間の距離Ｘ２を測定し、その差の値を歪みとした。
また、同様の方法で、予めスクリーン印刷版上のマトリックス状に形成された導電膜パターンの距離Ｘ１および距離Ｘ２を基準測定値として測定した。
基準測定値の距離Ｘ１と距離Ｘ２、テンションなしの場合の距離Ｘ１と距離Ｘ２、およびテンションありの場合の距離Ｘ１と距離Ｘ２をそれぞれ比較した。テンションありの場合は、それぞれ１０Ｎ、２０Ｎおよび３０Ｎのテンションを加えた。なお、テンションの測定方法は、ガイドロールの軸端にテンションメータとしてロードセルを取り付けることで測定した。表１に評価結果を示す。
【００４１】
【表１】
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【００４２】
まず、テンションがない状態で印刷を行った結果、距離Ｘ１は、１５０μｍの伸び、距離Ｘ２は１３０μｍの伸びが生じた。したがって、その差は、距離Ｘ１と距離Ｘ２との差の絶対値として算出され、２０μｍであった。それぞれの伸びは、スクリーン印刷版上の導電性ペーストをスキージで押圧したときのスクリーン印刷版の伸びにより生じたものと考えられる。
また、１０Ｎのテンションをかけて印刷を行った結果、距離Ｘ１は、１０μｍ収縮し、距離Ｘ２は、１１０μｍの伸びが生じた。したがって、その差は、距離Ｘ１と距離Ｘ２との差の絶対値として算出され、１２０μｍであった。
さらに、２０Ｎのテンションをかけて印刷を行った結果、距離Ｘ１は、６０μｍ収縮し、距離Ｘ２は、８０μｍの伸びが生じた。したがって、その差は、距離Ｘ１と距離Ｘ２との差の絶対値として算出され、１４０μｍであった。
また、３０Ｎのテンションをかけて印刷を行った結果、距離Ｘ１は、１２０μｍ収縮し、距離Ｘ２は、４０μｍの伸びが生じた。その差は、距離Ｘ１と距離Ｘ２との差の絶対値として算出され、１６０μｍであった。
【００４３】
本評価結果から、第１の吸引保持機構と第２の吸引保持機構との間における長尺状シートのテンションを作用させない状態でセラミックグリーンシート上に導電性ペーストの印刷を行うことにより、マトリックス状に形成された導電膜パターンの配列の歪みが低減されていることが示された。
【００４４】
なお、上述の搬送機構１０では、第１の吸引保持機構２８および第２の吸引保持機構３８は、長尺状シートを保持するためにそれぞれサクションプレート２８ａ，３８ａを用いたが、これに限るものではなく、この発明では、これに代えてサクションロールを用いてもよい。
【００４５】
また、上述の搬送機構１０では、第１の吸引保持機構２８を含む巻出搬送部２０および第２の吸引保持機構３８を含む巻取搬送部３０と、加工処理機構４０とは各々が別体に構成されている。そして、上述の搬送機構１０では、加工処理機構４０として、電極形成機構を用いた導電性ペーストを印刷する機能を有する機構としているが、これに限るものではなく、この発明では、加工処理機構４０を、セラミックグリーンシートを積層する積層機構に置き換えるなどして、種々の加工処理機構に適応するようにしてもよい。
【００４６】
また、上述の搬送機構１０および電子部品の製造方法により製造される電子部品は、積層セラミック電子部品として積層セラミックコンデンサとしたが、これに限られるものではなく、積層セラミック電子部品は、その他、インダクタ、積層セラミックＬＣフィルタ、サーミスタ等にも用いることができる。
【産業上の利用可能性】
【００４７】
この発明にかかる搬送機構および電子部品の製造方法は、特に、たとえば小型化が要求される積層セラミックコンデンサなどの電子部品の製造に好適に用いられる。
【符号の説明】
【００４８】
１０  搬送機構
１２  長尺状シート
１４  キャリアフィルム
１６  セラミックグリーンシート
１８  導電膜
２０  巻出搬送部
２２  巻出ロール
２４  ガイドロール
２６  ダンサロール
２８  第１の吸引保持機構
２８ａ  サクションプレート
２８ｂ  吸引孔
２８ｃ  吸引エリア
３０  巻取搬送部
３２  巻取ロール
３４  ガイドロール
３６  ダンサロール
３８  第２の吸引保持機構
３８ａ  サクションプレート
３８ｂ  吸引孔
３８ｃ  吸引エリア
４０  加工処理機構
４２  シート保持テーブル
４４  吸引孔
５０  積層セラミック電子部品
５２  セラミック素体
５４ａ、５４ｂ  外部電極
５６ａ、５６ｂ  セラミック層
５８ａ  一方主面
５８ｂ  他方主面
６０ａ  一方側面
６０ｂ  他方側面
６２ａ  一方端面
６２ｂ  他方端面
６４ａ、６４ｂ  内部電極
６６ａ、６６ｂ  対向部
６８ａ、６８ｂ  引出し電極部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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