(57)【要約】【課題】ドライアイススノー洗浄法を用いて光学ミラーを洗浄する際、剥離したコンタミネーションが例えば被洗浄面近傍の遮蔽物により反射して、再汚染する危険性を低減するドライアイススノー洗浄装置を得る。【解決手段】ドライアイススノー１６を吹き出す噴射ノズル部１３とドライアイススノー１６を吸引するクリーナーヘッド１４を近傍に配置し、ドライアイススノー１６とともに剥離したコンタミネーション１７が即座にクリーナーヘッドに吸引されるようにする。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ドライアイススノーを光学ミラーの鏡面に吹き付けることで鏡面を洗浄する光学ミラーの洗浄装置であって、
ドライアイススノーを生成する洗浄装置と、
前記洗浄装置に取り付けられた吹き付け用のホースの先端に設けられ、圧縮空気により前記ホース内を通る前記ドライアイススノーを噴射する噴出口を有した噴射ノズル部と、
吸い込み口を有したクリーナーヘッドを備える吸引式クリーナーと、
を備え、
前記噴射ノズル部と前記吸い込み部は近接して設けられ、
前記吸い込み口は、前記噴射口から前記光学ミラーの鏡面に向けて噴出され前記鏡面からコンタミネーションを剥離したドライアイススノーと前記コンタミネーションを吸い込むことを特徴とする光学ミラーの洗浄装置。
【請求項２】
前記噴射ノズル部と前記クリーナーヘッドは一体に固定され、
前記噴射ノズル部は前記噴射ノズル部を構成するノズルの途中で折り曲げられ、前記噴射口は前記吸い込み口が向く方向を向いていることを特徴とする請求項１記載の光学ミラーの洗浄装置。
【請求項３】
前記噴射ノズル部と前記クリーナーヘッドは一体に固定され、
前記噴射口と前記吸い込み口は同一方向を向いていることを特徴とする請求項１記載の光学ミラーの洗浄装置。
【請求項４】
光学ミラーの鏡面は酸化物と絶縁体の多層コーティングで構成され、あるいは、アルミニウムと保護コートで構成され、あるいは、銀と保護コートで構成されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか記載の光学ミラーの洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、天体望遠鏡等用の大型ミラーの洗浄法としてドライアイススノー洗浄を採用した光学ミラーの洗浄装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、光学ミラーの洗浄法は複数存在する。その中で乾式の洗浄法の一つとしてドライアイススノー洗浄法がある。ドライアイススノー洗浄法ではドライアイススノーを発生させ、被洗浄面にこのドライアイススノーを吹き付けることにより、被洗浄面上のコンタミネーションを除去する。湿式の洗浄法では鏡面に直接アクセスする必要があり鏡面の破損などのリスクを伴うが、このドライアイススノー洗浄法では鏡面の破損などのリスクが小さい。また、湿式の洗浄法よりも洗浄力に優れているという利点もある（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００１−２７７１１６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、ドライアイススノー洗浄法は被洗浄面からコンタミネーションを剥離し、吹き飛ばす方式のため、噴射方向に遮蔽物が存在するとコンタミネーションが反射して被洗浄面に再付着する可能性がある。
【０００５】
本発明は上記事象を防止するためになされたものであり、被洗浄面から一旦剥離したコンタミネーションが再度付着して再汚染となる危険性を低減できる光学ミラーの洗浄装置を提供することを目的とする。
【０００６】
また、操作性の向上により、一人でドライアイススノー噴射とクリーナーによる吸引を行う場合であっても被洗浄面への接触可能性を低減した光学ミラーの洗浄装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この発明に係る光学ミラーの洗浄装置は、ドライアイススノーを光学ミラーの鏡面に吹き付けることで鏡面を洗浄する光学ミラーの洗浄装置であって、ドライアイススノーを生成する洗浄装置と、前記洗浄装置に取り付けられた吹き付け用のホースの先端に設けられ、圧縮空気により前記ホース内を通る前記ドライアイススノーを噴射する噴出口を有した噴射ノズル部と、吸い込み口を有したクリーナーヘッドを備える吸引式クリーナーとを備え、前記噴射ノズル部と前記吸い込み部は近接して設けられ、前記吸い込み口は、前記噴射口から前記光学ミラーの鏡面に向けて噴出され前記鏡面からコンタミネーションを剥離したドライアイススノーと前記コンタミネーションを吸い込む。
【発明の効果】
【０００８】
この発明に係る光学ミラーの洗浄装置によれば、ドライアイススノーの噴射方向に遮蔽物が存在する場合であっても、遮蔽物での反射による再汚染を防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の実施の形態１に係る洗浄装置を示す構成図である。
【図２】本発明の実施の形態１に係る洗浄装置によりドライアイススノーが被洗浄面に噴射され、コンタミネーションが除去されている状態を示す図である。
【図３】本発明の実施の形態２、３に係る洗浄装置を示す構成図である。
【図４】本発明の実施形態２の洗浄装置によりドライアイススノーが被洗浄面に噴射され、コンタミネーションが除去されている状態を示す図である。
【図５】本発明の実施形態３の洗浄装置によりドライアイススノーが被洗浄面に噴射され、コンタミネーションが除去されている状態を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
実施の形態１.
図１は本発明の実施形態１による光学ミラーの洗浄装置１００を示す構成図である。
光学ミラーの洗浄装置１００は、コンプレッサー１５に接続された洗浄装置１１と、洗浄装置１１から伸びたホース２２の先端に設けられた噴射ノズル部１３と、吸引式クリーナー１２と、吸引式クリーナー１２から伸びたホース２３の先端に設けられたクリーナーヘッド１４から構成される。噴射ノズル部１３はノズル２１とノズル先端の噴射口２０を備える。
洗浄装置１１は、例えば加圧液化炭酸ガス（図示せず）を膨張させ、冷却させることにより、ドライアイススノーを発生させる。洗浄装置１１で発生したドライアイススノーは、コンプレッサー１５で圧縮された圧縮空気と共に洗浄装置１１から延びるホース２２内を通って、ノズル１３の先端部から噴出される。
一方、吸引式クリーナー１２は、ホース２３を介し、クリーナーヘッド１４の吸引口から空気を吸引する。
【００１１】
図２は、本実施の形態の光学ミラーの洗浄装置により、ドライアイススノーが被洗浄面１９に噴射され、コンタミネーションが除去されている状態を示した図である。
図２に示すように、噴射ノズル部１３の近傍にクリーナーヘッド１４が配置される。
噴射ノズル部１３から噴射されたドライアイススノー１６は被洗浄面１９のコンタミネーション１７に向けられ、噴射ノズル部１３から噴射されたドライアイススノー１６はコンタミネーション１７に衝突し、コンタミネーション１７を被洗浄面１９から剥離する。
【００１２】
被洗浄面１９から剥離されたコンタミネーション１７は、ドライアイススノー１６とともにクリーナーヘッド１４によって吸引される。
【００１３】
このように、本実施の形態に係る光学ミラーの洗浄装置は、吸引式クリーナー１２を設け、被洗浄面１９から剥離したコンタミネーション１７は噴射ノズル部１３の近傍でドライアイススノー１６とともにクリーナーヘッド１４に吸引される。
従って、被洗浄面１９の周辺に構造物が存在しても、剥離したコンタミネーション１７を構造物による反射前に吸引することができ、再汚染を防ぐことができる。
【００１４】
なお、上記被洗浄面は、例えばアルミニウムや銀などの金属及び保護コートや、絶縁体／酸化物多層コーティングなどであっても有効であることは、いうまでもない。
【００１５】
実施の形態２.
実施の形態１の光学ミラーの洗浄装置では、被洗浄面の面積が大きくなると中心部のコンタミネーション除去のために噴射ノズル部とクリーナーヘッドを伸ばす必要がある。一人で作業する場合、片手ずつで噴射ノズル部とクリーナーヘッドをともに扱う必要があるため、不安定な状態になる。そのため、噴射ノズルまたはクリーナーヘッド部の被洗浄面への接触による損傷の可能性が高まることが考えられる。実施の形態２では、被洗浄面の面積が大きくなった場合であっても噴射ノズルまたはクリーナーヘッド部が被洗浄面へ接触し難くなる洗浄装置について説明する。
【００１６】
図３は本発明の実施の形態２に係る光学ミラーの洗浄装置を示す構成図である。
図１で説明した実施の形態１と構成品は同じであるが、実施の形態２では、噴射ノズル部１３とクリーナーヘッド１４を固着させ、一体化した構造としている。
【００１７】
図４は、実施の形態２に係る光学ミラーの洗浄装置により、ドライアイススノーが被洗浄面に噴射され、コンタミネーションが除去されている状態を示した図である。
図４において、噴射ノズル部１３とクリーナーヘッド１４は固着されており、クリーナーヘッド１４よりも長く作られた噴射ノズル部１３の先端がクリーナーヘッド１４の吸い込み口の向く方向に曲げられている点である。
剥離されたコンタミネーション１７がドライアイススノー１６とともにクリーナーヘッド１４によって吸引されるよう、クリーナーヘッド１４の位置を調整する。
【００１８】
このように構成された光学ミラーの洗浄装置では、噴射ノズル部とクリーナーヘッドの一体化により両手で扱うことが可能になるため、操作の安定度が増す。
これにより、噴射ノズルまたはクリーナーヘッド部の被洗浄面への接触による損傷の可能性を低減することができる。
【００１９】
実施の形態３.
図５は、実施の形態３に係る光学ミラーの洗浄装置により、ドライアイススノーが被洗浄面に噴射され、コンタミネーションが除去されている状態を示した図である。実施の形態３に係る光学ミラーの洗浄装置の構成は、図３の実施の形態２に係る光学ミラーの洗浄装置と同じである。
実施の形態３に係る光学ミラーの洗浄装置では、噴射ノズル部１３の曲げ方を変え、ドライアイススノー１６を被洗浄面１９に垂直に噴射することができるようにした。
【００２０】
本実施の形態では、光学ミラーの洗浄をより局所的な空間で完結することができるため、被洗浄面の近傍に構造物が存在する場合でも隅々まで洗浄することが可能となる。
【符号の説明】
【００２１】
１１ 洗浄装置、１２ 吸引式クリーナー、１３ 噴射ノズル部、１４ クリーナーヘッド、１５ コンプレッサー、１６ ドライアイススノー、１７ コンタミネーション、１８ 吸い込み口、１９ 被洗浄面、２０ 噴射口、２１ ノズル、２２、２３ ホース、１００ 光学ミラーの洗浄装置。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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