(57)【要約】【課題】誤判定が少なく、高精度に欠陥を検出ができる検査装置等を提供する。【解決手段】  検査対象物Ｗを検査する検査装置１において、検査対象物Ｗに平行光Ｌを照射し（Ｓ２）、検査対象物Ｗから反射した平行光Ｌの反射光Ｒをスクリーン（２０）に投影した画像を撮像し（Ｓ３）、撮像した画像から特徴部分を抽出し（Ｓ４）、抽出された特徴部分に基づき、検査対象物の良否を判定する（Ｓ５）。【選択図】図４
2014102211.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象物を検査する検査装置において、
前記検査対象物に平行光を照射する照射手段と、
前記検査対象物から反射した前記平行光の反射光をスクリーンに投影した画像を撮像する撮像手段と、
前記撮像した画像から特徴部分を抽出する特徴部分抽出手段と、
前記抽出された特徴部分に基づき、前記検査対象物の良否を判定する判定手段と、
を備えることを特徴とする検査装置。
【請求項２】
請求項１に記載の検査装置において、
前記特徴部分の位置を算出する特徴部分位置算出手段を更に備えたことを特徴とする検査装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の検査装置において、
前記検査対象物の検査面が平面状であって、
前記照射手段が、前記検査対象物の検査面に対して斜めから前記平行光を照射することを特徴とする検査装置。
【請求項４】
請求項３に記載の検査装置において、
前記照射手段が、前記平行光を反射する前記検査対象物の検査面の大きさと、前記反射光により前記スクリーンに投影される画像の大きさと、同じになるように、前記平行光を照射することを特徴とする検査装置。
【請求項５】
請求項１から４のいずれか１項に記載の検査装置において、
前記特徴部分を抽出するための画像を、前記検査対象物の検査面の形状に近づけるように、当該画像を補正する画像補正手段を更に備えたことを特徴とする検査装置。
【請求項６】
請求項１から５のいずれか１項に記載の検査装置において、
前記判定手段が、前記特徴部分を抽出するための画像を複数の領域に分割し、当該領域毎に前記検査対象物の良否を判定することを特徴とする検査装置。
【請求項７】
請求項６に記載の検査装置において、
前記判定手段が、前記領域毎に判定基準を変えることを特徴とする検査装置。
【請求項８】
請求項６または請求項７に記載の検査装置において、
前記判定手段が、前記各領域の境界の形状に基づき、前記検査対象物の良否を判定することを特徴とする検査装置。
【請求項９】
請求項１から８のいずれか１項に記載の検査装置において、
前記特徴部分が、前記画像の輝点部分であることを特徴とする検査装置。
【請求項１０】
検査対象物を検査する検査装置の検査方法において、
前記検査対象物に平行光を照射する照射ステップと、
前記検査対象物から反射した前記平行光の反射光をスクリーンに投影した画像を撮像する撮像ステップと、
前記撮像した画像から特徴部分を抽出する特徴部分抽出ステップと、
前記抽出された特徴部分に基づき、前記検査対象物の良否を判定する判定ステップと、
を含むことを特徴とする検査方法。
【請求項１１】
コンピュータを、
検査対象物に平行光を照射する照射手段、
前記検査対象物から反射した前記平行光の反射光をスクリーンに投影した画像を撮像する撮像手段、
前記撮像した画像から特徴部分を抽出する特徴部分抽出手段、および、
前記抽出された特徴部分に基づき、前記検査対象物の良否を判定する判定手段として機能させることを特徴とする検査装置用プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査対象物を検査するための検査装置、検査方法、および、検査装置用プログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
生産された検査対象物の表面を検査するための検査方法が開発されている。例えば、特許文献１には、スリット光を被検査物体へ照射し、その反射光をスクリーンに投影し、スクリーン上の投影パターンを産業用テレビカメラで撮像し、画像処理して、正常表面画像パターンと異常表面パターンとの区別により表面の凸凹を検査する物体の表面凹凸検査方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開昭６２−６２２０５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１の技術では、スリット光の反射による直線が乱れることのみにより判定しているため、欠陥の方向により、検出されにくい場合があった。また、特許文献１の技術では、検出精度を高めるように照射角度を０〜１５°にと照射角度を低く制限する必要があり、検査対象物として、写真部分が盛り上がったカードのような検査対象物に起伏があると、欠陥と判定してしまうことがあった。
【０００５】
そこで、本発明は上記の問題点等に鑑みて為されたもので、その課題の一例は、誤判定が少なく、高精度に欠陥を検出ができる検査装置等を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の課題を解決するために、請求項１に記載の発明は、検査対象物を検査する検査装置において、前記検査対象物に平行光を照射する照射手段と、前記検査対象物から反射した前記平行光の反射光をスクリーンに投影した画像を撮像する撮像手段と、前記撮像した画像から特徴部分を抽出する特徴部分抽出手段と、前記抽出された特徴部分に基づき、前記検査対象物の良否を判定する判定手段と、を備えることを特徴とする。
【０００７】
また、請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の検査装置において、前記特徴部分の位置を算出する特徴部分位置算出手段を更に備えたことを特徴とする。
【０００８】
また、請求項３に記載の発明は、請求項１または請求項２に記載の検査装置において、前記検査対象物の検査面が平面状であって、前記照射手段が、前記検査対象物の検査面に対して斜めから前記平行光を照射することを特徴とする。
【０００９】
また、請求項４に記載の発明は、請求項３に記載の検査装置において、前記照射手段が、前記平行光を反射する前記検査対象物の検査面の大きさと、前記反射光により前記スクリーンに投影される画像の大きさと、同じになるように、前記平行光を照射することを特徴とする。
【００１０】
また、請求項５に記載の発明は、請求項１から４のいずれか１項に記載の検査装置において、前記特徴部分を抽出するための画像を、前記検査対象物の検査面の形状に近づけるように、当該画像を補正する画像補正手段を更に備えたことを特徴とする。
【００１１】
また、請求項６に記載の発明は、請求項１から５のいずれか１項に記載の検査装置において、前記判定手段が、前記特徴部分を抽出するための画像を複数の領域に分割し、当該領域毎に前記検査対象物の良否を判定することを特徴とする。
【００１２】
また、請求項７に記載の発明は、請求項６に記載の検査装置において、前記判定手段が、前記領域毎に判定基準を変えることを特徴とする。
【００１３】
また、請求項８に記載の発明は、請求項６または請求項７に記載の検査装置において、前記判定手段が、前記各領域の境界の形状に基づき、前記検査対象物の良否を判定することを特徴とする。
【００１４】
また、請求項９に記載の発明は、請求項１から８のいずれか１項に記載の検査装置において、前記特徴部分が、前記画像の輝点部分であることを特徴とする。
【００１５】
また、請求項１０に記載の発明は、検査対象物を検査する検査装置の検査方法において、前記検査対象物に平行光を照射する照射ステップと、前記検査対象物から反射した前記平行光の反射光をスクリーンに投影した画像を撮像する撮像ステップと、前記撮像した画像から特徴部分を抽出する特徴部分抽出ステップと、前記抽出された特徴部分に基づき、前記検査対象物の良否を判定する判定ステップと、を含むことを特徴とする。
【００１６】
また、請求項１１に記載の発明は、コンピュータを、検査対象物に平行光を照射する照射手段、前記検査対象物から反射した前記平行光の反射光をスクリーンに投影した画像を撮像する撮像手段、前記撮像した画像から特徴部分を抽出する特徴部分抽出手段、および、前記抽出された特徴部分に基づき、前記検査対象物の良否を判定する判定手段として機能させることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、平行光を面により照射して、反射光をスクリーン上に投影することにより、欠陥部分が、輝点または輝線のように、特徴部分がはっきり表れ、検査対象物に起伏があっても、誤判定が少なく、精度よく欠陥を検出ができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の実施形態に係る検査装置の概要構成の一例を示す模式図である。
【図２】図１の検査対象物の一例を示す模式図である。
【図３】図１の検査制御装置の概要構成の一例を示すブロック図である。
【図４】図１の検査制御装置の動作例を示すフローチャートである。
【図５】撮像された画像の一例を示す模式図である。
【図６】撮像された画像の一例を示す模式図である。
【図７】図４の画像処理のサブルーチンを示すフローチャートである。
【図８】撮像された画像のエッジ部分の一例を示す模式図である。
【図９】撮像された画像の補正の一例を示す模式図である。
【図１０】撮像された画像の領域分割の一例を示す模式図である。
【図１１】検査装置の変形例の概要構成の一例を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。なお、以下に説明する実施の形態は、検査装置に対して本発明を適用した場合の実施形態である。
【００２０】
［１．検査装置および検査制御装置の構成および機能概要］
（１．１  検査装置１の構成および機能）
まず、本発明の１実施形態に係る検査装置の構成および概要機能について、図１を用いて説明する。
【００２１】
図１は、本実施形態に係る検査装置１の概要構成例を示す模式図である。
【００２２】
図１に示すように、検査装置１は、検査対象物Ｗに面状の平行光Ｌを照射する照射部１０（照射手段の一例）と、検査対象物から反射した平行光Ｌの反射光Ｒを投影するスクリーン部２０（スクリーンの一例）と、スクリーン部２０に投影した画像を撮像する撮像部３０（撮像手段の一例）と、検査装置１を制御する検査制御装置４０と、を備える。
【００２３】
照射部１０と、撮像部３０と、検査制御装置４０とは、検査制御装置４０のインターフェースを介して接続されている。
【００２４】
コンピュータとして機能する検査制御装置４０は、撮像部３０から取り込まれた画像データから特徴部分を抽出し、検査対象物Ｗの良否を判定する。
【００２５】
照射部１０は、例えば、点光源の光を照射する光源１１と、光源１１からの光を平行光にするレンズ１２と、を有する。
【００２６】
光源１１は、例えば、白色の光を放射する発光ダイオードである。光源１１の放射は、検査制御装置４０により制御される。なお、光源１１が放射する光の色は、白色に限らず、赤色、緑色、青色等でもよい。
【００２７】
レンズ１２は、例えば、平面状のプラスチックやガラス製のフレネルレンズである。レンズ１２の焦点の位置に光源１１が配置される。光源１１から放射された光が、レンズ１２を介して平行光になる。なお、レンズ１２は、球面レンズでもよい。
【００２８】
そして、照射部１０は、検査対象物Ｗの検査面に対して、入射角９０°−θの平行光を照射する。照射部１０は、検査対象物Ｗの検査面の全体に、平行光を照射する。なお、照射角度θは、４０°から５０°が好ましく、４５°がさらに好ましい。
【００２９】
スクリーン部２０は、反射光Ｒを映し出す白色系の平面である。スクリーン部２０は、例えば、コンベアＣの脇に垂直に設置される。なお、スクリーン部２０の設置は、垂直でなくてもよい。
【００３０】
撮像部３０は、例えば、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）イメージセンサやＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）イメージセンサ等の撮像素子を有するデジタルカメラである。撮像部３０は、スクリーン部２０の投影面に映し出された画像を撮像するエリアカメラである。撮像部３０は、検査制御装置４０からのトリガ信号により撮像して、画像データを検査制御装置４０に送信する。
【００３１】
また、撮像部３０は、スクリーン部２０に投影された検査対象物Ｗの画像を撮像できる位置に設置される。投影された検査対象物Ｗの画像を歪みがなるべく少ない撮像できる位置が好ましい。
【００３２】
検査対象物Ｗは、クレジットカード、免許証、パスポート、プリペイドカードのような板状のカードである。このように検査対象物Ｗの検査面は、平面状である。なお、検査面に起伏や反りがあってもよい。図２に示すように、検査対象物Ｗは、例えば、写真部Ｗａと、文字部Ｗｂとを有する。
【００３３】
また、検査対象物Ｗは、コンベアＣにより搬送される。例えば、図１において、検査対象物Ｗは、図中手前から検査位置に搬入され、検査後、図中奥に搬出される。なお、検査対象物Ｗは、板状に限らず、検査面が平らならばよい。
【００３４】
（１．２  検査制御装置４０の構成および機能）
次に、検査制御装置４０の構成および機能について、図３を用いて説明する。
図３は、検査制御装置４０の概要構成の一例を示すブロック図である。
【００３５】
図３に示すように、検査制御装置４０は、例えば、パーソナルコンピュータ等であり、通信部４１と、記憶部４２と、表示部４３と、操作部４４と、入出力インターフェース部４５と、システム制御部４６とを備えている。そして、システム制御部４６と入出力インターフェース部４５とは、システムバス４７を介して接続されている。
【００３６】
通信部４１は、ネットワークを介して他のサーバとのデータの送受信を行う。
【００３７】
記憶部４２は、例えば、ハードディスクドライブ等からなり、画像データ、オペレーティングシステム等を記憶する。
【００３８】
表示部４３は、例えば、液晶表示素子または有機ＥＬ素子等によって構成されている。表示部４３には、取得した画像等が表示される。
【００３９】
操作部４４は、例えば、キーボードおよびマウス等によって構成されている。
【００４０】
入出力インターフェース部４５は、通信部４１および記憶部４２とシステム制御部４６とのインターフェースである。
【００４１】
システム制御部４６は、例えば、ＣＰＵ４６ａと、ＲＯＭ４６ｂと、ＲＡＭ４６ｃとを有する。システム制御部４６は、ＣＰＵ４６ａが、ＲＯＭ４６ｂや、ＲＡＭ４６ｃや、記憶部４２に記憶された各種プログラムを読み出して実行する。例えば、システム制御部４６は、検査のプログラムを実行する。なお、これらのプログラムを記憶した記録媒体等をシステム制御部４６が読み出し実行してもよい。
【００４２】
［２．検査装置の動作］
次に、本発明の１実施形態に係る検査装置の動作について図４から図８を用いて説明する。
【００４３】
図４は、検査制御装置の動作例を示すフローチャートである。図５は、撮像された画像の一例を示す模式図である。図６は、撮像された画像の一例を示す模式図である。図７は、の画像処理のサブルーチンを示すフローチャートである。図８は、撮像された画像の補正の一例を示す模式図である。
【００４４】
（２．１  検査装置における欠陥検出の動作）
図４に示すように、検査装置１は、検査対象物Ｗを搬入する（ステップＳ１）。具体的には、検査装置１の検査制御装置４０が、コンベアＣを動作させて、検査対象物Ｗを検査位置に移動させる。なお、検査位置は、照射部１０からの平行光が当たる位置である。また、検査制御装置４０は、検査対象物Ｗの搬入の動きを止めてもよいし、止めなくてもよい。
【００４５】
次に、検査装置１は、平行光を照射する（ステップＳ２）。具体的には、検査制御装置４０が、平行光Ｌが検査対象物Ｗの検査面に照射されるように、照射部１０を制御する。その結果、照射部１０が光源１１を点灯する。光源１１からの放射光がレンズ１２を通過し、平行光Ｌになる。そして、平行光Ｌが検査対象物Ｗの検査面に斜めから照射される。検査対象物Ｗの検査面において、平行光Ｌが反射して、反射光Ｒとなる。反射光Ｒが、スクリーン部２０に投影される。照射角度θが４５°付近のとき、検査対象物Ｗの検査面の大きさと、反射光によりスクリーン部２０に投影される画像の大きさとがほぼ同じになる。なお、検査装置１は、検査対象物Ｗの搬入の有無に拘わらず、平行光を照射しつづけてもよい。
【００４６】
このように、検査装置１は、前記検査対象物に平行光を照射する照射手段の一例として機能する。また、検査装置１は、前記検査対象物の検査面に対して斜めから前記平行光を照射する照射手段の一例として機能する。また、検査装置１は、前記平行光を反射する前記検査対象物の検査面の大きさと、前記反射光により前記スクリーンに投影される画像の大きさと、同じになるように、前記平行光を照射する照射手段の一例として機能する。
【００４７】
次に、検査装置１は、画像を撮像する（ステップＳ３）。具体的には、検査制御装置４０が、検査対象物Ｗが検査位置に搬入された時に、スクリーン部２０に投影された画像を撮像するように撮像部３０を制御する。撮像部３０は、例えば、検査制御装置４０の制御に基づき、撮像部３０は、撮像した画像データを検査制御装置４０に送信する。
【００４８】
このように、検査装置１は、前記検査対象物から反射した前記平行光の反射光をスクリーンに投影した画像を撮像する撮像手段の一例として機能する。
【００４９】
次に、検査装置１は、画像処理を行う（ステップＳ４）。具体的には、検査制御装置４０が、検査対象物の良否を判定するための特徴部分を、撮像部３０から取得した画像データから抽出する画像処理をする。例えば、検査制御装置４０が、画像データからエッジ（特徴部分の一例）を抽出する。
【００５０】
また、検査制御装置４０が、画像データを台形補正して、図５または図６に示すように、画像における検査対象物Ｗの外形を、ほぼ矩形になるように整える。ここで、図５または図６に示すように、画像５０において、辺５１は、検査対象物Ｗの外形に対応する線であり、交点５２は、辺５１を直線補間した直線の交点である。領域５０ｗａは、検査対象物Ｗの写真部Ｗａに対応し、領域５０ｗｂは、検査対象物Ｗの文字部Ｗｂに対応する。また、境界線５３は、領域５０ｗａと領域５０ｗｂとの境界線に対応する。図５または図６に示すように、検査対象物Ｗの欠陥の箇所が、欠陥部Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３（特徴部分の一例）として、輝点または輝線（輝点部分の一例の）として、明瞭に表れる。このように、欠陥部分からの反射光が、平行光でなくなり、スクリーン部２０に、輝点または輝線のように、特徴部分がはっきり表れる。
【００５１】
なお、図６に示すように、検査対象物Ｗが多少反り返っているように起伏がある場合、下辺の辺５１が曲がっていても、欠陥部Ｄ３の方が明るくなっていて区別ができる。
【００５２】
そして、検査制御装置４０が、補正された画像データを２値化してラベリングを行い、特徴部分の一例として、同じラベルの画素の部分を抽出する。さらに、検査制御装置４０が、特徴部分の面積、特徴部分のｘ方向の最大値および最小値、特徴部分のｘ方向の最大値および最小値、特徴部分の形状等を求める。なお、詳細は、画像処理のサブルーチンにおいて説明する。
【００５３】
このように、検査装置１は、前記撮像した画像から特徴部分を抽出する特徴部分抽出手段の一例として機能する。
【００５４】
次に、検査装置１は、欠陥が検出されたか否かを判定する（ステップＳ５）。例えば、画像における領域の境界部分（特徴部分の一例）の直線性を判定し、直線でないと判定された場合、検査対象物Ｗに欠陥があると判定する。この特徴部分（例えば、境界線５３において、直線性から外れた箇所）が、欠陥となる。なお、境界部分に欠陥があると、線が分岐したり、線が分断されたり、線が曲がったりする現象が明確に出やすい。
【００５５】
このように、検査装置１は、前記抽出された特徴部分に基づき、前記検査対象物の良否を判定する判定手段の一例として機能する。
【００５６】
欠陥が検出された場合(ステップＳ５；ＹＥＳ)、検査装置１は、検出箇所をマッピング表示する（ステップＳ６）。具体的には、検査制御装置４０が、欠陥とされた特徴部分の中心の座標（例えば、ｘ方向の最大値および最小値の平均値、ｙ方向の最大値および最小値の平均値）を求める。そして、検査制御装置４０が、表示部４３に、撮像して補正された画像と共に、この中心の点を表示する。
【００５７】
このように、検査装置１は、前記特徴部分の位置を算出する特徴部分位置算出手段の一例として機能する。
【００５８】
次に、検査装置１は、検出箇所の座標を出力する（ステップＳ７）。また、検査制御装置４０が、表形式により、検査対象物Ｗのロット番号と共に、判定結果や、欠陥の中心座標等を、記憶部４２等に出力して記憶する。
【００５９】
次に、検査装置１は、検査対象物を搬出する（ステップＳ８）。検査装置１の検査制御装置４０が、コンベアＣを動作させて、検査対象物Ｗを検査位置から搬出させる。また欠陥が検出されなかった場合も(ステップＳ５；ＮＯ)、検査装置１は、検査対象物を搬出する。
【００６０】
（２．２  画像処理のサブルーチン）
次に、画像処理のサブルーチンについて図７および図８を用いて説明する。
【００６１】
図７に示すように、検査装置１は、直線を抽出する（ステップＳ１０）。具体的には、検査制御装置４０が、撮像部３０から取得した画像データに対して、空間微分等の処理をして、エッジ（特徴部分の一例）を求める。そして、図８に示すように、検査制御装置４０が、交点を求めるための直線として、所定長さ以上であって、画像において上下左右の４本のエッジ６１（特徴部分の一例）を抽出する。
【００６２】
次に、検査装置１は、直線の交点を算出する（ステップＳ１１）。具体的には、検査制御装置４０が、画像に座標を設定し、抽出したエッジ６１の各直線の方程式を算出し、各直線が交わった交点６２の座標を算出する。なお、検査対象物Ｗが反り返っている場合、エッジ６１は曲線になるので、検査制御装置４０が、エッジ６１の各画素に対して最小２乗法を適用してエッジ６１の各直線の方程式を算出してもよい。
【００６３】
次に、検査装置１は、台形補正を行う（ステップＳ１２）。具体的には、検査制御装置４０が、図９に示すように、交点６２の座標と検査対象物Ｗに対応する矩形の頂点の座標とに基づく、台形から矩形に変化する変換式により、画像データを補正する。
【００６４】
なお、照射部１０、検査対象物Ｗの検査面、スクリーン部２０、および、撮像部３０の位置関係により、台形を矩形に補正する変換式を、予め求めておいてもよい。検査制御装置４０が、この変換式を用いて、ステップＳ１０からステップＳ１２における処理を行ってもよい。
【００６５】
このように、検査装置１は、前記特徴部分を抽出するための画像を、前記検査対象物の検査面の形状に近づけるように、当該画像を補正する画像補正手段の一例として機能する。
【００６６】
次に、検査装置１は、領域分割を行う（ステップＳ１３）。具体的には、検査制御装置４０が、図１０に示すように、検査対象物Ｗの写真部Ｗａに対応する領域５０ｗａと、検査対象物Ｗの文字部Ｗｂに対応する領域５０ｗｂとに領域を分割する。検査制御装置４０が、例えば、領域５０ｗａと領域５０ｗｂとの境界線５３を、検査対象物Ｗに対する写真部Ｗａの所定の位置に関する情報により、図中において、写真部Ｗａの上辺および左側の辺に対応するエッジから境界線５３（特徴部分の一例）を求める。また、これら対応するエッジが曲がっている場合や、一部切れている場合、これらのエッジの画素に対して、最小２乗法等により、ｘ方向の直線およびｙ方向の直線を当てはめるように、境界線５３を求めてもよい。また、検査制御装置４０が、ｙ方向において、「暗」から「明」になるエッジ位置を抽出し、ｘ方向において、「暗」から「明」になるエッジ位置を抽出し、境界線５３を求めてもよい。
【００６７】
次に、検査装置１は、動的２値化を行う（ステップＳ１４）。具体的には、検査制御装置４０が、閾値を動的に変えて、補正された画像データを２値化する。例えば、画像の局所領域の平均値を閾値にする。また、前の画像処理の結果に応じて、閾値を変えてもよい。ノイズの強さに応じて閾値を変えてもよい。
【００６８】
なお、領域５０ｗａと領域５０ｗｂとにおいて、異なる閾値が設定されてもよい。また、文字が多い領域５０ｗｂには、固定の閾値が設定され、写真の領域５０ｗａには動的な閾値が設定されてもよい。また、写真の領域５０ｗａにおいては、欠陥部分が浮き出やすいように、閾値を低くして、明るい部分が出やすくしてもよい。また、図５および図６に示すように、欠陥部Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３のみが、浮き出やすいように、２値化の閾値が高く設定されてもよい。
【００６９】
次に、検査装置１は、ラベリングを行う（ステップＳ１５）。具体的には、検査制御装置４０が、２値化された画像データにおいて、白または黒が連続した画素に同じ番号を割当るラベリングを行う。ここで、連続性の基準として、縦横が連続している４連結、縦横斜めが連続している８連結が挙げられる。なお、領域５０ｗａと領域５０ｗｂとにおいて、ラベリングにおける連続性の基準を変えてもよい。検査制御装置４０が、特徴部分の一例として、同じラベルの画素の部分を抽出する。
【００７０】
次に、検査装置１は、面積等の測定を行う（ステップＳ１６）。具体的には、検査制御装置４０が、同じラベルの画素の部分（特徴部分の一例）の画素数を数えて各面積を求める。また、検査制御装置４０が、特徴部分の大きさとして、同じラベルの画素の部分のｘ方向およびｙ方向の最大値および最小値を求めてもよい。また、同じラベルの画素の部分の長さを算出してもよい。また、検査制御装置４０が、同じラベルの画素の部分の形状を求めてもよい。
【００７１】
画像処理のサブルーチンの終了後、ステップＳ５において、画像における領域の境界部分（特徴部分の一例）の直線性を判定に関して、検査制御装置４０が、領域５０ｗａと領域５０ｗｂとの境界線５３付近のエッジを抽出する。そして、検査制御装置４０が、この抽出したエッジにおいて、平均化（例えば、エッジを示す隣り合った５画素の位置の平均）を行い、隣り合った画素間の距離が所定の画素数分（判定閾値）離れていた場合、直線が途切れていると判定し、直線性がないとする。このように、検査制御装置４０が、各領域の境界の形状に基づき判定を行っている。
【００７２】
また、検査制御装置４０が、エッジの曲率を算出し、判定閾値以上にエッジが曲がっている場合、直線性がないとしてもよい。
【００７３】
また、ステップＳ５において、抽出された特徴部分が、所定以上の面積（判定閾値の一例）を有する場合、検査制御装置４０が、検査対象物Ｗに欠陥があると判定してもよい。例えば、図５に示すように、検査制御装置４０が、欠陥部Ｄ１、欠陥部Ｄ２の画素数を計数して、所定以上ならば、検査対象物Ｗに欠陥があると判定してもよい。
【００７４】
また、抽出された特徴部分の数が所定数（判定閾値の一例）以上の場合、検査制御装置４０が、検査対象物Ｗに欠陥があると判定してもよい。また、特徴部分が、所定の長さ（判定閾値の一例）より長い場合、検査対象物Ｗに欠陥があると判定してもよい。例えば、図６に示すように、検査制御装置４０が、欠陥部Ｄ３の長さを算出し、所定の長さより長い場合、検査対象物Ｗに欠陥があると判定してもよい。
【００７５】
また、欠陥の度合いが高いと、明るくなる傾向があるので、欠陥部Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３の明るさが、所定の明るさ（判定閾値の一例）以上ならば、検査対象物Ｗに欠陥があると検査制御装置４０が判定してもよい。
【００７６】
なお、領域５０ｗａと領域５０ｗｂとにおいて、異なる判定閾値が設定されてもよい。例えば、領域５０ｗａから抽出された欠陥部Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３に対しては、判定閾値を低くし、厳しく判定されるようにしてもよい。
【００７７】
このように、検査装置１は、前記特徴部分を抽出するための画像を複数の領域に分割し、当該領域毎に前記検査対象物の良否を判定する判定手段の一例として機能する。また、検査装置１は、前記領域毎に判定基準を変える判定手段の一例として機能する。また、検査装置１は、前記各領域の境界の形状に基づき、前記検査対象物の良否を判定する判定手段の一例として機能する。
【００７８】
以上、本実施形態によれば、平行光を面により照射して、反射光をスクリーン上に投影することにより、欠陥部分が、輝点または輝線のように、特徴部分がはっきり表れ、検査対象物に起伏があっても、誤判定が少なく、精度よく欠陥を検出ができる。
【００７９】
また、平行光が反射して投影された画像により、判定しやすくなる。例えば、検査対象物Ｗの検査面に絵柄（例えば、写真部Ｗａ）が存在しても、スクリーン部２０に投影された画像は、領域５０ｗａのような画像になるため、絵柄の影響を受けず判定ができる。
【００８０】
また、特徴部分の位置を算出する場合、欠陥の位置を算出でき、ロット番号と共に、検査対象物Ｗのどこに欠陥が発生したか、どの箇所に発生しやすいかのように、検査対象物Ｗの管理ができる。
【００８１】
また、検査対象物Ｗの検査面が平面状であって、検査対象物Ｗの検査面に対して斜めから平行光を照射する場合、欠陥部分がわかりやすくなる。特に４５度付近であると、歪みが少なく、欠陥部分の位置が正確になる。また、照射部１０、スクリーン部２０、および、撮像部３０の設置が容易になる。
【００８２】
また、平行光を反射する検査対象物の検査面の大きさと、反射光によりスクリーンに投影される画像の大きさとが、同じになるように、平行光を照射する場合（例えば、角度θが４５度付近）、画像の歪みが少なくなる。
【００８３】
また、特徴部分を抽出するための画像を、検査対象物Ｗの検査面の形状に近づけるように、画像を補正する場合、特徴部分の抽出がしやすくなり、欠陥の判定の精度を向上させることができる。
【００８４】
また、特徴部分を抽出するための画像を複数の領域（例えば、領域５０ｗａ、領域５０ｗｂ）に分割し、当該領域毎に検査対象物Ｗの良否を判定する場合、写真部Ｗａと文字部Ｗｂ等を分けて、異なる閾値により判定できる。
【００８５】
また、領域毎に判定基準を変える場合、精度が要求される写真部Ｗａを厳しく判定できる。
【００８６】
また、各領域の境界の形状に基づき、検査対象物Ｗの良否を判定する場合、欠陥部分が見つかりやすくなる。
【００８７】
また、特徴部分が、画像の輝点部分である場合、判定の精度を向上させることができる。例えば、ステップＳ１４の２値化の際に、欠陥部分のみが浮き出るように、２値化の閾値を高くして、輝点部分のみを抽出し、輝点部分に基づき、判定を行うことができる。
【００８８】
次に、検査装置の変形例について、図１１を用いて説明する。なお、前記実施形態と同一または対応する部分には、同一の符号を用いて異なる構成、機能および動作のみを説明する。
図１１は、検査装置の変形例の概要構成の一例を示す模式図である。
【００８９】
図１１に示すように、検査装置２は、照射部１０と、透過型のスクリーン部２５（スクリーンの一例）と、撮像部３０と、検査制御装置４０と、を備える。スクリーン部２５は、反射光の入射角に対して、０°になるように設置される。スクリーン部２５は、反射光Ｒを受けた側と反対側に画像を映し出す。撮像部３０は、スクリーン部２５を透過して映し出された画像を、撮像する。
【００９０】
この場合、画像の歪みが少なくなり、検査装置２は、高精度に欠陥を判定できる。また、検査装置２は、ステップＳ１２の台形補正の処理を省いてもよい。
【符号の説明】
【００９１】
１、２：検査装置
１０：照射部（照射手段）
２０：スクリーン部（スクリーン）
３０：撮像部（撮像手段）
４０：検査制御装置（特徴部分抽出手段、判定手段）
Ｗ：検査対象物
Ｌ：平行光
Ｒ：反射光
【図１】
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【図３】
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【図４】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図２】
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【図５】
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【図６】
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