(57)【要約】【課題】  簡易な構成で、同一の被試験装置に接続される電源を遮断することができる試験装置を提供する。【解決手段】  試験装置は、同一の被試験装置に電力供給する複数の電源ユニットであって、自身の電源ユニットに異常が生じた際にエラー信号を出力する出力回路と、前記出力回路と配線によって接続され前記エラー信号を受信した場合に前記自身の電源ユニットの電力供給を遮断する遮断回路と、を備える複数の電源ユニットと、前記複数の電源ユニット間で、前記出力回路と前記遮断回路とを接続する配線を互いに接続する配線と、を備える。【選択図】  図８
2014102200.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
同一の被試験装置に電力供給する複数の電源ユニットであって、自身の電源ユニットに異常が生じた際にエラー信号を出力する出力回路と、前記出力回路と配線によって接続され前記エラー信号を受信した場合に前記自身の電源ユニットの電力供給を遮断する遮断回路と、を備える複数の電源ユニットと、
前記複数の電源ユニット間で、前記出力回路と前記遮断回路とを接続する配線を互いに接続する配線と、を備えることを特徴とする試験装置。
【請求項２】
前記出力回路と前記遮断回路とを接続する配線を互いに接続する配線は、着脱可能なモジュールに備わる配線であることを特徴とする請求項１記載の試験装置。
【請求項３】
前記モジュールは、複数の電源ユニットと複数の被試験装置との間の接続の組み合わせを特定するＩＤ番号に係る情報を有し、前記ＩＤ番号に対応して、同一の被試験装置に接続される電源ユニットの各遮断回路と、当該同一の被試験装置に接続される他の電源ユニットの出力回路とを接続し、
前記試験装置は、前記ＩＤ番号に対応する接続を組み合わせるスイッチを備えることを特徴とする請求項２記載の試験装置。
【請求項４】
前記被試験装置は、半導体装置であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の試験装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本件は、試験装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
複数の被試験装置を試験する試験装置が開発されている。被試験装置が多電源化されていることから、１つの被試験装置を試験する際に複数の電源（ＤＰＳ：Ｄｅｖｉｃｅ  Ｐｏｗｅｒ  Ｓｕｐｐｌｙ）が当該被試験装置に接続される。試験の際にいずれかの電源に異常が生じた場合、当該異常が生じた電源が遮断されるとともに、同じ被試験装置に接続されている他の電源も遮断されることが好ましい。
【０００３】
特許文献１は、複数の電源を個別に出力可能な電源出力手段を開示している。特許文献２は、有効信号に基づいて識別情報をコネクタの所定端子に出力する技術を開示している。特許文献３は、マスクオア回路を開示している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】国際公開第２００９／０１１０２７号
【特許文献２】特開２００７−２００３６２号公報
【特許文献３】特開２００２−１９６８４８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献２，３の技術では、いずれかの電源に異常が生じた場合に、同一の被試験装置に接続される電源が遮断されるわけではない。特許文献１の技術では、構成が複雑化するおそれがある。
【０００６】
本件は上記課題に鑑みなされたものであり、簡易な構成で、同一の被試験装置に接続される電源を遮断することができる試験装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
明細書開示の試験装置は、同一の被試験装置に電力供給する複数の電源ユニットであって、自身の電源ユニットに異常が生じた際にエラー信号を出力する出力回路と、前記出力回路と配線によって接続され前記エラー信号を受信した場合に前記自身の電源ユニットの電力供給を遮断する遮断回路と、を備える複数の電源ユニットと、前記複数の電源ユニット間で前記出力回路と前記遮断回路とを接続する配線を互いに接続する配線と、を備える。
【発明の効果】
【０００８】
明細書開示の試験装置によれば、簡易な構成で、同一の被試験装置に接続される電源を遮断することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】実施の形態に係る試験装置の外観図である。
【図２】試験装置のブロック図である。
【図３】電源拡張モジュールの各電源ユニットと被試験装置との接続について説明するためのブロック図である
【図４】試験機に常駐プログラムを追加した比較例を説明するための図である。
【図５】電源拡張モジュール内の回路構成を説明するためのブロック図である。
【図６】組み合わせモジュールについて説明するための図である。
【図７】制御部内に格納されているテーブルの一例である。
【図８】組み合わせモジュールをモジュール接続部に接続した場合のハードワイヤ接続について説明するための詳細図である。
【図９】電源ユニットに異常が生じた場合の動作について説明するための図である。
【図１０】試験装置の動作フローの一例である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
図１は、実施の形態に係る試験装置１００の外観図である。図２は、試験装置１００のブロック図である。図１および図２を参照しつつ、試験装置１００の概略について説明する。試験装置１００は、試験機１０、アダプタ２０、プローバ３０、電源拡張ユニット４０などを備える。
【００１１】
試験機１０は、被試験装置（ＤＵＴ：Ｄｅｖｉｃｅ  Ｕｎｄｅｒ  Ｔｅｓｔ）の試験を行う装置であり、入出力装置１１、電源１２、デジタル入出力装置１３、制御部１４などを備える。アダプタ２０は、試験機１０とプローバ３０と電源拡張ユニット４０との間のインタフェースとして機能する装置であり、インタフェース２１、スイッチ２２などを備える。プローバ３０は、複数の電源を用いて試験される被試験装置を少なくとも１つ含む複数の被試験装置を格納する装置である。被試験装置は、特に限定されるものではないが、一例として半導体ウェハ上に設けられた複数の半導体装置である。電源拡張ユニット４０は、電源チャネル数を拡張する装置であり、電源拡張モジュール４１、システム電源４２、制御部４３、モジュール接続部４４などを備える。
【００１２】
入出力装置１１は、制御部１４の指示に従って複数の被試験装置との間で信号を入出力することによって同時測定試験を行うための装置である。同時測定試験とは、複数の被試験装置に対して順に試験を行うのではなく、複数の被試験装置に対して並行して試験を行うことである。被試験装置から入出力装置１１に送信される信号には、被試験装置の出力信号などが含まれる。
【００１３】
電源１２は、制御部１４の指示に従って被試験装置に電力を供給するための電力供給装置である。電源１２は、例えば８〜３２チャネル程度の電力供給ポートを備える。電源１２の各電力供給ポートは、アダプタ２０のインタフェース２１を介して、個別に電源拡張モジュール４１に電気的に接続されている。
【００１４】
デジタル入出力装置１３は、制御部１４の指示に従って電源拡張ユニット４０の制御部４３との間で信号を入出力するための装置である。制御部１４は、中央演算処理装置（ＣＰＵ：Ｃｅｎｔｒａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ）、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ  Ａｃｃｅｓｓ  Ｍｅｍｏｒｙ）、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ  Ｏｎｌｙ  Ｍｅｍｏｒｙ）などを備える。制御部１４は、入出力装置１１、電源１２およびデジタル入出力装置１３の動作を制御する。
【００１５】
インタフェース２１は、電源１２と電源拡張モジュール４１との間、デジタル入出力装置１３と制御部４３との間、電源拡張モジュール４１とスイッチ２２との間のインタフェースである。スイッチ２２は、制御部１４の指示に従って、電源拡張モジュール４１内の各電源ユニットと被試験装置との電気的接続の組み合わせを選択するためのスイッチである。
【００１６】
電源拡張モジュール４１は、システム電源４２が出力する電力を用いて動作し、必要数の拡張回路を備え、電源１２のチャネルを上記必要数に拡張する。例えば、電源拡張モジュール４１は、電源１２のチャネルを１００チャネル以上に拡張し、各チャネルに対応して電源ユニットを備え、電源ユニットに対応して電力供給ポートを備える。すなわち、電源拡張モジュール４１は、見かけ上の電源数を上記必要数に増加させる。電源拡張モジュール４１の各電力供給ポートは、インタフェース２１を介して、被試験装置に電気的に接続される。
【００１７】
制御部４３は、中央演算処理装置、ＲＡＭ、ＲＯＭなどを備える。制御部４３は、電源拡張モジュール４１およびシステム電源４２の状態を監視する。例えば、制御部４３は、電源拡張モジュール４１およびシステム電源４２からアラームが通知されたか否かを監視する。また、制御部４３は、電源拡張モジュール４１およびシステム電源４２の動作を制御する。モジュール接続部４４は、後述する組み合わせモジュール４５を着脱可能なコネクタである。
【００１８】
次に、試験装置１００を用いた試験の概略について説明する。図３は、電源拡張モジュール４１の各電源ユニットと被試験装置との電気的接続について説明するためのブロック図である。被試験装置ＤＵＴ１および被試験装置ＤＵＴ２は、複数の電源を用いて動作する多電源装置である。すなわち、被試験装置ＤＵＴ１，ＤＵＴ２は、複数の電源端子を備える。図３の例では、被試験装置ＤＵＴ１には、４つの電源ユニットＤＰＳ１〜ＤＰＳ４から電力が供給され、被試験装置ＤＵＴ２には、４つの電源ユニットＤＰＳ５〜ＤＰＳ８から電力が供給される。
【００１９】
ここで、被試験装置ＤＵＴ１に電気的に接続されている電源ユニットＤＰＳ２に異常が生じた場合について検討する。なお、電源ユニットの異常とは、電力供給が停止した場合、電力供給量が下限を下回った場合、電力供給量が上限を上回った場合、過電流が流れた場合、過電圧が印加された場合などのように、電気的出力に異常が生じた場合のことである。電源ユニットＤＰＳ２に異常が生じた場合、電源ユニットＤＰＳ２の遮断とともに、被試験装置ＤＵＴ１に電力供給している他の電源ユニットＤＰＳ１，ＤＰＳ３，ＤＰＳ４が遮断されないと、被試験装置ＤＵＴ１が損傷するおそれがある。したがって、被試験装置ＤＵＴ１に電気的に接続されている電源ユニットＤＰＳ１〜ＤＰＳ４が遮断されることが好ましい。一方で、電源ユニットＤＰＳ５〜ＤＰＳ８に異常が生じていなければ、被試験装置ＤＵＴ２の試験を停止する必要はない。以上のことから、電源ユニットＤＰＳ５〜ＤＰＳ８については遮断せず、電源ユニットＤＰＳ１〜ＤＰＳ４を選択的に遮断することが好ましい。
【００２０】
したがって、被試験装置に対する電源の組み合わせを認識した上で、各組み合わせの中におけるいずれかの電源ユニットに異常が生じた場合に、当該組み合わせ内の電源ユニットが選択的に遮断されることが好ましい。そこで、比較例１としてソフトウェア処理による電源制御について説明する。図４は、試験機１０に常駐プログラムを追加した例を説明するための図である。
【００２１】
図４を参照して、拡張電源モジュールがｎ個の電源ユニットＤＰＳ１〜ＤＰＳｎを備えているとする。試験機は、ソフトウェア処理によって、各電源ユニットの異常を監視する。電源ユニットＤＰＳ１に異常が生じた場合、電源ユニットＤＰＳ１に異常が生じた旨のアラームが試験機に通知される。この場合、試験機は、ソフトウェア処理によって、異常が生じた電源ユニットＤＰＳ１と同一の被試験装置に電力供給している電源ユニットを判別し、拡張電源モジュールに対して、当該電源ユニットの遮断を指示する。それにより、拡張電源モジュールは、同一の被試験装置に電力供給している電源ユニットを選択的に遮断する。以上の過程により、拡張電源モジュールは、異常が生じた電源ユニットと同じ被試験装置に電気的に接続されている電源ユニットを遮断することができる。このように、ソフトウェア処理により、選択的に電源ユニットを遮断することができる。
【００２２】
しかしながら、ソフトウェア処理では、試験機のＣＰＵ負荷が増大してしまう。ＣＰＵ負荷が増大すると、試験処理能力に影響が生じる。また、必要電源数が異なる複数種類の被試験装置に対応するために、複数種類のプログラムを開発する必要がある。また、ソフトウェア処理では処理の実行に際して遅延が生じるため、迅速に電源ユニットを遮断することが困難である。
【００２３】
次に、比較例２として、回路および配線を用いた電源制御について説明する。回路および配線を用いた電源制御では、各電源ユニットに異常が生じた場合のアラームをグループごとにＯＲ判断し、ＯＲ判断の結果に応じてアラーム対象のグループ内電源を停止させる。この場合、アラーム通知用および動作停止制御用の２本の配線を電源ごとに設ける必要がある。例えば、電源ユニットＤＰＳ１および電源ユニットＤＰＳ２を連携して同じ被試験装置に電気的に接続される同一グループとして用いる場合、電源ユニットＤＰＳ１に異常が生じると電源ユニットＤＰＳ２を遮断する必要がある。一方で、電源ユニットＤＰＳ２に異常が生じると電源ユニットＤＰＳ１を遮断する必要がある。この場合、電源ユニットＤＰＳ１から電源ユニットＤＰＳ２に信号送信する配線と、電源ユニットＤＰＳ２から電源ユニットＤＰＳ１に信号送信する配線とが個別に必要となる。同一グループ内の電源数が多くなると、当該配線の数は膨大になる。
【００２４】
これに対して、本実施の形態においては、簡易な構成で、同一の被試験装置に接続される電源を遮断することができる構成を開示する。図５は、電源拡張モジュール４１内の回路構成を説明するためのブロック図である。図５を参照して、電源拡張モジュール４１は、図２の電源１２のチャネル数を拡張することによって、ｎ個の電源ユニットＤＰＳ１〜ＤＰＳｎを備えている。電源ユニットＤＰＳ１〜ＤＰＳｎのそれぞれに自己切断回路４６が設けられている。自己切断回路４６は、自身が備わる電源ユニットに異常が生じた場合に、当該電源ユニットと被試験装置との電気的接続を遮断する回路である。自己切断回路４６の末端はモジュール接続部４４の端子まで引き延ばされている。すなわち、モジュール接続部４４には、各自己切断回路４６に対応してｎ個の端子ＤＰＳ１〜端子ＤＰＳｎが設けられている。各端子ＤＰＳ１〜ＤＰＳｎを組み合わせて短絡させることによって、各自己切断回路４６をハードワイヤ接続させることができる。
【００２５】
また、モジュール接続部４４にはＩＤ識別用の複数の端子が設けられるとともに、接地端子ＧＮＤが設けられている。本実施形態においては、ＩＤ識別用の端子として、８個の端子ＩＤ００〜端子ＩＤ０７が設けられている。これらの端子ＩＤ００〜端子ＩＤ０７を組み合わせて接地することによって、複数種類の情報を実現することができる。具体的には、各ＩＤ端子の非接地を「０」の情報とし、接地を「１」の情報とし、ＩＤ端子００の情報を第１桁、ＩＤ端子０１の情報を第２桁などとすることによって、８ビットの情報を実現することができる。
【００２６】
なお、図５では図示していないが、電源ユニットＤＰＳ１〜ＤＰＳｎは、それぞれ、配線を介してインタフェース２１に電気的に接続されている。さらに、当該配線は、インタフェース２１および図２のスイッチ２２を介して、プローバ３０のプローブ３１に電気的に接続されている。各プローブ３１は、プローブカード３２と接触している。プローブカード３２は、各被試験装置に電気的に接続されている。プローブカード３２は、各プローブ３１と被試験装置の端子との間のインタフェースである。
【００２７】
図６は、組み合わせモジュール４５について説明するための図である。図６を参照して、モジュール接続部４４には、複数種類の組み合わせモジュール４５を着脱することができる。図６の例では、異なる電源組み合わせを実現するための組み合わせモジュール４５ａ〜４５ｄが図示されており、組み合わせモジュール４５ａがモジュール接続部４４に接続されている。
【００２８】
各組み合わせモジュール４５ａ〜４５ｄには、ＩＤ端子００〜ＩＤ端子０７を組み合わせて接地するための配線が設けられている。例えば、組み合わせモジュール４５ａは、ＩＤ端子００と接地端子ＧＮＤとを電気的に接続する配線を備えている。この場合、２進数の「０００００００１」の情報が得られる。この情報を１０進数に変換することによって、ＩＤ番号０１が得られる。組み合わせモジュール４５ａは、ＩＤ番号０１の電源組み合わせに対応する配線を備えている。例えば、組み合わせモジュール４５ａは、端子ＤＰＳ１と端子ＤＰＳ２とを電気的に接続する配線、端子ＤＰＳ３と端子ＤＰＳ４とを電気的に接続する配線、端子ＤＰＳ５と端子ＤＰＳ６とを電気的に接続する配線などを備える。
【００２９】
また、組み合わせモジュール４５ｂでは、ＩＤ端子０１と接地端子ＧＮＤとを電気的に接続する配線を備えている。この場合、２進数の「００００００１０」の情報が得られる。この情報を１０進数に変換することによって、ＩＤ番号０２が得られる。組み合わせモジュール４５ｂは、ＩＤ番号０２の電源組み合わせに対応する配線を備えている。例えば、組み合わせモジュール４５ｂは、端子ＤＰＳ１と端子ＤＰＳ２と端子ＤＰＳ３とを電気的に接続する配線、端子ＤＰＳ４と端子ＤＰＳ５と端子ＤＰＳ６とを電気的に接続する配線などを備える。
【００３０】
図２の制御部４３は、モジュール接続部４４に組み合わせモジュール４５ａが接続されている場合には、組み合わせモジュール４５ａからＩＤ番号０１を読み取る。制御部４３は、図２の制御部１４に当該ＩＤ番号を送信する。制御部１４は、ＩＤ番号に対応した電源組み合わせをテーブルなどに記憶しており、受け取ったＩＤ番号に対応した電源組み合わせが実現されるようにスイッチ２２を制御する。図７は、制御部１４内に格納されているテーブルの一例である。図６の例では、スイッチ２２は、電源ユニットＤＰＳ１，ＤＰＳ２を被試験装置ＤＵＴ１に電気的に接続し、電源ユニットＤＰＳ３，ＤＰＳ４を被試験装置ＤＵＴ２に電気的に接続し、電源ユニットＤＰＳ５，ＤＰＳ６を被試験装置ＤＵＴ３に電気的に接続する。
【００３１】
このように、複数種類の組み合わせモジュール４５から所望の組み合わせモジュールを選択してモジュール接続部４４に接続することによって、所望の電源組み合わせを実現することができる。また、所望の電源組み合わせに対応して、電源ユニットＤＰＳ１〜ＤＰＳｎの自己切断回路４６を共通の配線で接続することができる。なお、組み合わせモジュール４５がモジュール接続部４４に接続されていない場合は、プルアップによって全ての桁が「１」であるとしてもよい。
【００３２】
図８は、組み合わせモジュール４５ａをモジュール接続部４４に接続した場合の配線接続について説明するための詳細図である。図８では、電源ユニットＤＰＳ１および電源ユニットＤＰＳ２について説明する。図８を参照して、各自己切断回路４６は、アラーム送信部４７、オープンコレクタ４８、出力バッファ４９、電源制御部５０などを備えている。
【００３３】
アラーム送信部４７は、電源ユニットに異常が生じた場合にアラーム信号を送信する装置であり、オープンコレクタ４８のベースに接続されている。オープンコレクタ４８のコレクタは、配線を介して出力バッファ４９と接続されるとともに、組み合わせモジュール４５ａを介して他の電源ユニットの出力バッファ４９に接続されている。なお、オープンコレクタ４８と出力バッファ４９との間には、プルアップ抵抗を介してプルアップ用の電源が接続されている。
【００３４】
電源ユニットが正常であれば、アラーム送信部４７はアラーム信号を送信しない。この場合、オープンコレクタ４８のベース−エミッタ間に電流が流れない。電源ユニットに異常が生じた場合には、アラーム送信部４７はアラーム信号を送信する。この場合、オープンコレクタ４８のベース−エミッタ間に電流が流れる。それにより、オープンコレクタ４８は、エラー信号としてＬｏｗ（例えばグラウンド）信号をドライブする。すなわち、アラーム送信部４７およびオープンコレクタ４８は、自身の電源ユニットに異常が生じた際にエラー信号を出力する出力回路として機能する。
【００３５】
出力バッファ４９は、電源制御部５０に接続されており、エラー信号を受信した場合に、電源オフ信号を電源制御部５０に送信する。電源制御部５０は、電源ユニットの電力供給を制御する装置であり、電源オフ信号を受け取った場合に電源ユニットと被試験装置との間の電気的接続を遮断する。すなわち、出力バッファ４９および電源制御部５０は、エラー信号を受信した場合に自身の電源ユニットの電力供給を遮断する遮断回路として機能する。
【００３６】
組み合わせモジュール４５ａをモジュール接続部４４に接続することによって、電源ユニットＤＰＳ１のオープンコレクタ４８のコレクタと電源ユニットＤＰＳ２のオープンコレクタ４８のコレクタとが接続される。すなわち、複数の電源ユニットの出力回路と遮断回路とを接続する配線が、組み合わせモジュール４５ａを経由する共通の配線によって接続されている。
【００３７】
それにより、いずれかのオープンコレクタ４８からエラー信号が出力されると、上記共通の配線で接続された全ての出力バッファ４９にエラー信号が入力される。その結果、共通の配線で接続された全ての電源ユニットと被試験装置との間の電気的接続が遮断される。このように、各自己切断回路４６が組み合わせモジュール４５ａを介して電気的に接続されることによって、ワイヤードＯＲ回路が構成される。
【００３８】
図９は、電源ユニットＤＰＳ１に異常が生じた場合の動作について説明するための図である。図９の例では、組み合わせモジュール４５ａがモジュール接続部４４に接続されている。図９を参照して、電源ユニットＤＰＳ１に異常が生じると、電源ユニットＤＰＳ１のオープンコレクタ４８からエラー信号が出力される。それにより、電源ユニットＤＰＳ１および電源ユニットＤＰＳ２の出力バッファ４９にエラー信号が入力される。その結果、電源ユニットＤＰＳ１，ＤＰＳ２と被試験装置ＤＵＴ１との間の電気的接続が遮断される。なお、電源ユニットＤＰＳ１以外では異常が生じていないため、電源ユニットＤＰＳ３〜ＤＰＳｎにおいてはエラー信号が入出力されない。それにより、被試験装置ＤＵＴ１以外の被試験装置については試験が継続される。
【００３９】
図１０は、試験装置１００の動作フローの一例である。図１０を参照して、モジュール接続部４４に組み合わせモジュール４５が接続されると、制御部４３は組み合わせモジュール４５からＩＤ番号を読み込む（ステップＳ１）。次に、制御部４３は、ステップＳ１で読み込んだＩＤ番号を制御部１４に送信する（ステップＳ２）。
【００４０】
制御部１４は、制御部４３からＩＤ番号を受け取る（ステップＳ１１）。次に、制御部１４は、ステップＳ１１で受け取ったＩＤ番号をチェックする（ステップＳ１２）。ステップＳ１２においては、制御部１４は、制御部４３から受け取ったＩＤ番号が、設定されているＩＤ番号のいずれかであれば、「ＯＫ」と判定する。一方、制御部１４は、制御部４３から受け取ったＩＤ番号が、設定されているＩＤ番号のいずれでもなければ、「ＮＧ」と判定する。ステップＳ１２で「ＯＫ」と判定されれば、制御部１４は、スイッチ２２を用いて、ＩＤ番号に対応した電源組み合わせを実現し、被試験装置の試験を開始する（ステップＳ１３）。
【００４１】
ステップＳ１２で「ＮＧ」と判定された場合、制御部１４は、全てのＩＤ端子が非接地であるか否かを判定する（ステップＳ１４）。例えば、制御部１４は、ＩＤ番号の全ての桁が「１」であるか否かを判定する。ステップＳ１４で「Ｙｅｓ」と判定された場合、制御部１４は、組み合わせモジュール４５が接続されていないと判断し（ステップＳ１５）、試験を行わない。ステップＳ１４で「Ｎｏ」と判定された場合、試験機１０は、組み合わせモジュール４５の配線に不具合があると判断し（ステップＳ１６）、試験を行わない。
【００４２】
ステップＳ２の実行後、電源拡張ユニット４０内では、各電源ユニットにおいて、アラーム送信部４７は、電源ユニットに異常が発生したか否かを判定する（ステップＳ３）。ステップＳ３で「Ｎｏ」と判定されれば、ステップＳ３が再度実行される。ステップＳ３で「Ｙｅｓ」と判定された場合、アラーム送信部４７からアラーム信号が送信されることによって、オープンコレクタ４８からエラー信号が出力される（ステップＳ４）。次に、他の電源ユニットの自己切断回路４６は、エラー信号が入力されたか否かを判断する（ステップＳ５）。ステップＳ５で「Ｎｏ」と判断された場合、ステップＳ３から再度実行される。ステップＳ５で「Ｙｅｓ」と判断された場合、エラー信号が入力された自己切断回路４６は、自身が備わる電源ユニットと被試験装置との間の電気的接続を遮断する。
【００４３】
本実施形態によれば、複数の被試験装置を試験する際に、いずれかの電源ユニットに異常が生じると、同一の被試験装置に接続されている電源ユニットの電力供給が遮断される。それにより、当該被試験装置の損傷を抑制することができる。また、電源ユニットの自己切断回路をワイヤードＯＲ接続するだけでよいため、ソフトウェア処理での電源組み合わせの認識を要しない。そのため、試験機１０の処理負荷増大が抑制され、電源遮断時の遅延が抑制され、プログラム開発を要しない。さらに、各電源ユニット間でエラー信号通知用の配線と動作停止を指示する信号通知用の配線とを別に設ける必要がない。それにより、配線が簡略化される。このように、本実施形態によれば、簡易な構成で、同一の被試験装置に接続される電源を遮断することができる。なお、上記実施形態では、オープンコレクタなどを用いた回路について説明しているが、それに限られない。ハイインピーダンス出力＋プルアップ（＝Ｈｉｇｈ）とＬｏｗ出力が可能な出力回路と、エラー信号の受信により電源ユニットを遮断する遮断回路とを接続する配線が、複数の電源ユニット間で配線を介して共通に接続されていればよい。
【００４４】
また、組み合わせモジュール４５を交換するだけで、種々の組み合わせを実現することができる。また、組み合わせモジュール４５にＩＤ番号に係る情報を持たせることによって、スイッチ２２の組み合わせと電源組み合わせとを整合させることができる。なお、組み合わせモジュールの代用として、組み合わせスイッチなどを用いてもよい。この場合、組み合わせモジュールを着脱する手間を省くことができる。
【００４５】
以上、本件の実施形態について詳述したが、本件は係る特定の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。
【符号の説明】
【００４６】
１０  試験機
１４  制御部
２０  アダプタ
２１  インタフェース
２２  スイッチ
３０  プローバ
４０  電源拡張ユニット
４１  電源拡張モジュール
４２  システム電源
４３  制御部
４４  モジュール接続部
４５  組み合わせモジュール
４６  自己切断回路
４７  アラーム送信部
４８  オープンコレクタ
４９  出力バッファ
５０  電源制御部
１００  試験装置
【図１】
2014102200.tif 000003
【図２】
2014102200.tif 000004
【図３】
2014102200.tif 000005
【図４】
2014102200.tif 000006
【図５】
2014102200.tif 000007
【図６】
2014102200.tif 000008
【図７】
2014102200.tif 000009
【図８】
2014102200.tif 000010
【図９】
2014102200.tif 000011
【図１０】
2014102200.tif 000012