(57)【要約】【課題】  反ったウエーハを吸引保持するのに適したチャックテーブルを提供することである。【解決手段】  ウエーハを保持するチャックテーブルであって、ウエーハを吸引保持する保持面を有するテーブル本体と、該テーブル本体を囲繞するように該テーブル本体に取り付けられた逆スカート形状のスカート部を有する吸着補助体と、を備え、該吸着補助体は、弾性部材から形成され、該スカート部の裾は該保持面よりも上方に突出するとともに、該裾の直径はウエーハの直径より小さく形成されていることを特徴とする。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウエーハを保持するチャックテーブルであって、
ウエーハを吸引保持する保持面を有するテーブル本体と、
該テーブル本体を囲繞するように該テーブル本体に取り付けられた逆スカート形状のスカート部を有する吸着補助体と、を備え、
該吸着補助体は、弾性部材から形成され、該スカート部の裾は該保持面よりも上方に突出するとともに、該裾の直径はウエーハの直径より小さく形成されていることを特徴とするチャックテーブル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、チャックテーブルに関し、特に、反ったウエーハを吸引保持するのに適したチャックテーブルに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイス製造プロセスにおいては、略円板形状であるシリコンウエーハ、ガリウムヒ素ウエーハ等の半導体ウエーハの表面に格子状に形成されたストリートと呼ばれる分割予定ラインによって複数の領域が区画され、区画された各領域にＩＣ、ＬＳＩ等のデバイスを形成する。
【０００３】
そして、デバイスが形成されていないウエーハの裏面側を研削装置で研削してウエーハを所定厚さに薄化した後、ウエーハは切削装置又はレーザー加工装置によって個々のデバイスに分割され、分割されたデバイスは携帯電話、パソコン等の各種電気機器に広く利用されている。
【０００４】
ウエーハは、表面にデバイスを形成する過程において、表面に積層される材料や熱加工等の影響で反りや歪を生じる場合がある。また、研削装置で裏面が研削されると、ウエーハの研削面にマイクロクラックが残存することでも反りや歪が生じ易い（例えば、特開平１０−０９２７７６号公報参照）。
【０００５】
ウエーハは通常、ウエーハの直径より大きい保持面を有するチャックテーブルに吸引保持されて加工が施されるが、ウエーハの位置確認或いは洗浄の際等には、ウエーハの直径より小さい保持面を有するチャックテーブルで保持される場合がある（例えば、特許第４３０３０４１号公報参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平１０−０９２７７６号公報
【特許文献２】特許第４３０３０４１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
例えば、ウエーハの外周に形成された面取り部を除去するエッジトリミングを施す際には、ウエーハはダイシングテープを介して環状フレームに支持されるフレームユニット単位では扱われずに、ウエーハ単体でハンドリングされる。
【０００８】
この場合、ウエーハを収容したカセットから取り出されたウエーハは位置確認用のチャックテーブル上に載置され、このチャックテーブル上で撮像ユニットにより撮像されてチャックテーブル中心からの偏心方向及び偏心量が検出される。
【０００９】
このチャックテーブルはウエーハの直径より小さい直径を有しており、反ったウエーハをこのチャックテーブルで保持する際、保持面でウエーハを吸引しても保持面とウエーハとの間に空間が開くため、負圧がリークしてしまいウエーハの吸引保持ができない恐れがあるという問題があった。
【００１０】
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、反ったウエーハを吸引保持するのに適したチャックテーブルを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明によると、ウエーハを保持するチャックテーブルであって、ウエーハを吸引保持する保持面を有するテーブル本体と、該テーブル本体を囲繞するように該テーブル本体に取り付けられた逆スカート形状のスカート部を有する吸着補助体と、を備え、該吸着補助体は、弾性部材から形成され、該スカート部の裾は該保持面よりも上方に突出するとともに、該裾の直径はウエーハの直径より小さく形成されていることを特徴とするチャックテーブルが提供される。
【発明の効果】
【００１２】
本発明のチャックテーブルによると、チャックテーブル本体の周囲に逆スカート形状のスカート部を有する吸着補助体が配設され、吸着補助体の先端部（スカート部の裾）が保持面から突出しているため、反ったウエーハを予め吸着補助体で隙間なく支持し、その後保持面から吸引力を作用させて確実にチャックテーブルにウエーハを吸引保持することができる。反りの方向（お椀型でも山形でも）に限定されずに吸引保持可能である。
【００１３】
また、反りのないウエーハに対しても勿論使用可能であることから、反ったウエーハを加工するときだけ本願発明のチャックテーブルを装着するのではなく、常時装着しておくことでチャックテーブル交換の手間なく対応可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】第１実施形態に係るチャックテーブルの斜視図である。
【図２】ウエーハ搬送ロボットの斜視図である。
【図３】ウエーハ搬送ロボットによりお椀型に沿ったウエーハを第１実施形態のチャックテーブルの上方に位置付けた状態の断面図である。
【図４】ウエーハを吸着補助体上に載置した状態の断面図である。
【図５】ウエーハをチャックテーブルで吸引保持した状態の断面図である。
【図６】ウエーハ搬送ロボットにより山形に沿ったウエーハを第１実施形態のチャックテーブルの上方に位置付けた状態の断面図である。
【図７】ウエーハを吸着補助体上に載置した状態の断面図である。
【図８】ウエーハをチャックテーブルで吸引保持した状態の断面である。
【図９】第２実施形態に係るチャックテーブルの斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図１を参照すると、本発明第１実施形態に係るチャックテーブル２の斜視図が示されている。図３を合わせて参照すると、チャックテーブル２はチャックテーブル本体（テーブル本体）４と、チャックテーブル本体４を囲繞するようにチャックテーブル本体４に取り付けられた吸着補助体１８とから構成される。
【００１６】
チャックテーブル本体４は環状の支持部６と、保持面８を有している。図１に示すように、保持面８には同心円状の複数の吸引溝１０が形成されており、これらの吸引溝１０は十字形状の吸引路１２により接続されている。十字形状の吸引路１０の中心にはチャックテーブル本体４を上下方向に貫通する吸引路１４が形成されている。
【００１７】
吸引路１４は、電磁切替弁２８を介して真空吸引源３０に接続されている。従って、電磁切替弁２８を連通位置に切り替えることにより、保持面８に開口した吸引溝１０には吸引路１４及び十字形状の吸引路１２を介して負圧が作用する。
【００１８】
チャックテーブル本体４の保持面８には一対のねじ挿入孔１６が形成されており、このねじ挿入孔１６に挿入されたねじ２６によりチャックテーブル本体４はテーブルベース２４に固定される。チャックテーブル本体４及びテーブルベース２４とも、例えばＳＵＳ等の金属から形成されている。
【００１９】
吸着補助体１８は弾性を有する樹脂から形成され、チャックテーブル本体４に外嵌され環状支持部６により支持される環状の装着部２０と、装着部２０と一体的に形成された逆スカート形状のスカート部２２とから構成される。スカート部２２の先端（裾）２２ａはチャックテーブル本体４の保持面８から約０．５〜２ｍｍ上方に突出している。
【００２０】
図２を参照すると、ウエーハ１１を搬送する搬送ロボット３２の斜視図が示されている。搬送ロボット３２は、上下方向に移動されるとともに屈曲可能なリンク機構３４と、リンク機構３４の先端部に回動可能に取り付けられたアーム３６とを含んでいる。アーム３６の上面にはウエーハ１１を負圧吸引する複数の吸引口３８が配設されている。
【００２１】
以下、上述した実施形態の作用について説明する。図２に示す搬送ロボット３２により例えばカセットから取り出されたお椀型に反ったウエーハ１１は、搬送ロボット３２により搬送されて図３に示すようにチャックテーブル２の上方に位置付けられる。
【００２２】
この状態から、搬送ロボット３２によりウエーハ１１は下降されて、図４に示すように吸着補助体１８により支持される。このとき、吸着補助体１８のスカート部２２の先端２２ａがその全周に渡りウエーハ１１に密着する。
【００２３】
よって、この状態から、電磁切替弁２８を連通位置に切り替えると、真空吸引源３０により吸引口１０に負圧が発生し、お椀型に反ったウエーハ１１は吸着補助体１８のスカート部２２の先端２２ａに密着しているため、チャックテーブル本体部４と、吸着補助体１８と、ウエーハ１１とで画成された空間内に負圧が作用して、ウエーハ１１は図５に示すように、吸着補助体１８のスカート部２２を撓ませながらチャックテーブル２の保持面８に確実に吸引保持される。
【００２４】
次に、図６乃至図８を参照して、山型に反ったウエーハ１１をチャックテーブル２で吸引保持する場合の作用について説明する。まず、図６に示すように、搬送ロボット３２で山型に反ったウエーハ１１をチャックテーブル２の上方に位置付ける。
【００２５】
この状態から、搬送ロボット３２でウエーハ１１を下降すると、図７に示すように、ウエーハ１１は吸着補助体１８のスカート部２２の先端２２ａにより全周に渡り隙間なく支持される。
【００２６】
この状態で、電磁切替弁２８を連通位置に切り替えると、チャックテーブル本体４と、吸着補助体１８と、ウエーハ１１とで画成された空間内に負圧が作用し、ウエーハ１１は吸着補助体１８のスカート部２２を撓ませながら、図８に示すように、チャックテーブル２の保持面８により確実に吸引保持される。
【００２７】
図９を参照すると、本発明第２実施形態のチャックテーブル２Ａの斜視図が示されている。チャックテーブル２Ａは、ポーラスセラミックス等から形成された吸引保持部４０と、吸引保持部４０を囲繞するＳＵＳ等の金属から形成された枠体４２とから構成され、枠体４２の外周に第１実施形態のチャックテーブル２に装着された吸着補助体１８と同様な吸着補助体１８が装着されている。
【００２８】
吸引保持部４０は吸引路１４及び電磁切替弁２８を介して真空吸引源３０に選択的に接続される。吸着補助体１８は、環状の装着部２０と、逆スカート形状のスカート部２２を有しており、スカート部２２の先端（裾）２２ａは吸引保持部４０の保持面から約０．５〜２ｍｍ上方に突出している。
【００２９】
本実施形態のチャックテーブル２Ａによるウエーハ１１の吸引保持は、図３乃至図８を参照して説明した第１実施形態のチャックテーブル２と同様であるのでその説明を省略する。
【符号の説明】
【００３０】
２，２Ａ    チャックテーブル
４    チャックテーブル本体
８    保持面
１０    吸引溝
１１    ウエーハ
１８    吸着補助体
２２    スカート部
３０    真空吸引源
３２    搬送ロボット
３６    アーム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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