(57)【要約】【課題】修正針により基板上の異物を除去する際に当該基板に与える損傷を低減することができる修正針を、容易に製造することができる修正部材製造装置および修正部材の製造方法を提供する。【解決手段】基板上の微細パターンの欠陥を修正する欠陥修正装置において欠陥の除去に用いられる、修正部材を製造する修正部材製造装置１であって、針ホルダ１２に接続された修正針１１を含む修正部材１０を、針ホルダ１２を介して保持する修正針保持部６と、修正針１１の針先端部を研磨する研磨部８と、針先端部が研磨部８の表面に接触した状態で、修正針保持部６を研磨部８に対して相対的に移動させる駆動部とを備える。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上の微細パターンの欠陥を修正する欠陥修正装置において前記欠陥の除去に用いられる、修正部材を製造する修正部材製造装置であって、
針ホルダに接続された修正針を含む前記修正部材を、前記針ホルダを介して保持する修正針保持部と、
前記修正針の針先端部を研磨する研磨部と、
前記針先端部が前記研磨部の表面に接触した状態で、前記修正針保持部を前記研磨部に対して相対的に移動させる駆動部とを備える、修正部材製造装置。
【請求項２】
前記修正針保持部は、前記針ホルダを磁力により吸着する磁場発生部材を含む、請求項１に記載の修正部材製造装置。
【請求項３】
前記修正針保持部は、前記接触した状態において、前記駆動部により前記研磨部に対して相対的に特定の方向に移動し、
前記研磨部は、前記方向と交差する面内において、前記表面の傾き角度が変更可能となっている、請求項１または２に記載の修正部材製造装置。
【請求項４】
前記研磨部は前記表面に研磨材料を含む、請求項１〜３のいずれか１項に記載の修正部材製造装置。
【請求項５】
前記修正針保持部は、前記研磨部の前記表面に対する前記針先端部の接触角度を変更可能となっている、請求項１〜４のいずれか１項に記載の修正部材製造装置。
【請求項６】
前記駆動部は、前記修正針が前記研磨部と接触した際、前記修正針に負荷される外力を緩和するように、前記修正針保持部を移動可能とする、請求項１〜５のいずれか１項に記載の修正部材製造装置。
【請求項７】
基板上の微細パターンの欠陥を修正する欠陥修正装置において前記欠陥の除去に用いられる、修正部材を製造する修正部材の製造方法であって、
針ホルダに接続された修正針を、前記針ホルダを介して修正針保持部に取り付ける工程と、
前記修正針の針先端部を研磨部の表面に接触させた状態で、前記修正針保持部を前記研磨部に対して相対的に駆動することにより、前記針先端部を研磨する工程とを備える、修正部材の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、修正部材製造装置および修正部材の製造方法に関し、より詳細には、基板上の微細パターンの欠陥を修正する欠陥修正装置において欠陥の除去に用いられる修正部材を製造する修正部材製造装置および修正部材の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
フラットパネルディスプレイに用いられる基板は、ガラスや樹脂などの基板上にパターンや薄膜などを積層することにより作製される。たとえばフラットパネルディスプレイに用いられるカラーフィルタ基板は、ガラス基板上に着色層および保護層を積層することにより作製される。
【０００３】
カラーフィルタ基板の作製においては、着色層および保護層の薄膜中に、着色層や保護層を形成するための材料であるレジストなどの液体材料に含まれる塊状物、あるいは大気中の埃などが異物として混入する場合がある。薄膜中に混入した異物を、洗浄やエアブローなどの方法により除去することは困難であり、異物は、たとえばレーザ照射や研磨などの方法により除去される。また、異物を除去する他の方法としては、修正針を操作して異物を除去する方法が提案されている（たとえば、特許文献１〜５参照）。なお、一般に修正針により異物を除去する欠陥修正装置において、修正針は、針ホルダに接続固定された修正部材として、該針ホルダを介して欠陥修正装置の修正針保持部に保持されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−１３１５２７号公報
【特許文献２】特開２００８−２６１９９５号公報
【特許文献３】特開２００９−２７２４８４号公報
【特許文献４】特開２０１０−１５２０７８号公報
【特許文献５】特開２００５−１０７３１８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、特許文献１〜５において提案されている方法では、修正針として、円錐形状を有し、かつ先端部に平坦面あるいは球面部が形成された修正針が用いられる。修正針の先端部に形成された平坦面および球面部の半径は、数μｍ〜数十μｍとされる。この場合、修正針による異物の除去においては、修正針がガラス基板上に形成された着色層および保護層、またはガラス基板に点接触するため、カラーフィルタ基板が損傷を受けやすいという問題点がある。
【０００６】
本願発明者らは、上記課題を解決するため鋭意研究を重ね、修正針の稜線部が基板の表面に対し線接触した状態で、異物を除去可能な欠陥修正装置の開発を進めている。
【０００７】
図６および図９を参照して、修正針１１によって基板２２上の異物２３を除去する欠陥修正装置においては、修正の際に修正針１１によって基板２２が受ける損傷を低減するために、修正針１１の先端部に直線状の稜線部１１ｄを形成し、当該稜線部１１ｄを基板２２の表面に対し線接触させるのが好ましい。基板２２の表面に対し線接触を実現するためには、修正針１１の稜線部１１ｄと修正対象の基板２２の表面との位置関係が理想的には平行であることが求められる。
【０００８】
このとき、上述のように、修正針が欠陥修正装置の修正針保持部に修正部材として保持されたときに、その稜線部を基板の表面に対して線接触させるには、以下の課題が存在する。
【０００９】
加工して稜線部が形成された修正針を、針ホルダに接続固定して修正部材とするためには、修正針の針ホルダに対する接触角度について極めて高い精度の角度調整が必要となる。これは、欠陥修正装置において、欠陥修正の対象とする基板を搭載する基板搭載部と修正針保持部との平行度は、厳密に一定ではなく装置固有の値を持つため、各装置の平行度に応じて修正部材を製造する必要があるためである。
【００１０】
しかしながら、修正針の稜線部と基板の表面とが平行となるように、針ホルダに対して修正針に形成された稜線部の角度を精度良く調整して、修正針を針ホルダに接続固定することは難しい。つまり、上記のような方法では、修正針によって基板上の異物を除去する際に当該基板に与える損傷を低減することができる修正針を作製することは困難である。
【００１１】
本発明は上記のような課題を解決するためになされたものである。本発明の主たる目的は、修正針により基板上の異物を除去する際に当該基板に与える損傷を低減することができる修正針を、容易に製造することができる修正部材製造装置および修正部材の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の修正部材製造装置は、基板上の微細パターンの欠陥を修正する欠陥修正装置において欠陥の除去に用いられる、修正部材を製造する修正部材製造装置であって、針ホルダに接続された修正針を含む修正部材を、針ホルダを介して保持する修正針保持部と、修正針の針先端部を研磨する研磨部と、針先端部が研磨部の表面に接触した状態で、修正針保持部を研磨部に対して相対的に移動させる駆動部とを備える。これにより、修正針を針ホルダに接続固定した状態で、つまり、修正部材として修正針の針先端部を研磨できるので、修正針の針先端部に、針ホルダに対して正確に角度が決められた稜線部を形成できる。したがって、修正針により基板上の異物を除去する際に当該基板に与える損傷を低減することができる修正部材を容易に製造することができる。
【００１３】
上記修正針保持部は、針ホルダを磁力により吸着する磁場発生部材を含んでもよい。これにより、修正針保持部は、針ホルダを磁力により保持することができる。
【００１４】
上記修正針保持部は、接触した状態において駆動部により研磨部に対して相対的に特定の方向に移動し、上記研磨部は当該方向と交差する面内において、表面の傾き角度が変更可能となっていてもよい。これにより、表面の傾き角度を欠陥修正装置における基板搭載面の機械的条件（傾き）に応じて設定し、修正針の針先端部を研磨することで、当該基板に適した修正針を作製することができる。
【００１５】
上記研磨部は表面に研磨材料を含むことができる。これにより、修正針保持部を研磨部に対して相対的に移動させることで、修正針の針先端部を研磨することができる。
【００１６】
上記修正針保持部は、研磨部の表面に対する修正針の接触角度を変更可能となっていてもよい。ここで、研磨部の表面に対する修正針の接触角度とは、研磨部の表面と修正針の長手方向との成す角度をいう。これにより、修正針の針先端部において稜線部をはさんで隣接する面の交差する角度（あるいは稜線部を頂点としたときの頂角）を任意に選択することができ、欠陥修正装置にて処理対象とする基板および異物に適した修正針を作製することができる。
【００１７】
上記駆動部は、修正針が研磨部と接触した際、修正針に負荷される外力を緩和するように、修正針保持部を移動可能とすることができる。これにより、修正針の損傷を抑制することができる。
【００１８】
本発明の修正部材の製造方法は、基板上の微細パターンの欠陥を修正する欠陥修正装置において欠陥の除去に用いられる、修正部材を製造する修正部材の製造方法であって、針ホルダに接続された修正針を、針ホルダを介して修正針保持部に取り付ける工程と、修正針の針先端部を研磨部の表面に接触させた状態で、修正針保持部を研磨部に対して相対的に駆動することにより、針先先端部を研磨する工程とを備える。これにより、修正針を針ホルダに接続固定した状態で、つまり修正部材として修正針の針先端部を研磨できるので、修正針により基板上の異物を除去する際に当該基板に与える損傷を低減することができる修正針を、容易に製造することができる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、修正針により基板上の異物を除去する際に当該基板に与える損傷を低減することができる修正針を、容易に製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本実施の形態に係る修正部材製造装置の概略図である。
【図２】本実施の形態に係る修正部材製造装置に用いる修正部材の概略図である。
【図３】本実施の形態に係る修正部材製造装置の修正針保持部を説明するための図である。
【図４】本実施の形態に係る修正部材製造装置の動作を説明するための図である。
【図５】本実施の形態に係る修正部材製造装置に、修正部材を取り付けたときの概略図である。
【図６】本実施の形態に係る修正部材製造装置により製造された修正部材を、欠陥修正に用いた例を示す概略図である。
【図７】図６の側面図である。
【図８】図７中の矢印Ｄに示す向きから見た実施の形態に係る修正部材の構造を示す概略端面図である。
【図９】本実施の形態に係る修正部材製造装置により製造された修正部材の変形例を、欠陥修正に用いた例を示す概略図である。
【図１０】図９の側面図である。
【図１１】図１０中の矢印Ｅに示す向きから見た実施の形態に係る修正部材の構造を示す概略端面図である。
【図１２】本実施の形態に係る修正部材の製造方法のフローを示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明の実施の形態について説明する。本実施の形態に係る修正部材製造装置は、基板上の微細パターンの欠陥を修正する欠陥修正装置において欠陥の除去に用いられる修正針を、修正部材として製造する修正部材製造装置である。
【００２２】
修正針は、欠陥修正装置においてその針先先端が基板表面と線接触するように設けられるのが好ましい。そのため、欠陥修正装置の機械的条件や、欠陥修正の対象とする基板の状態に応じて、適切な修正針の形状が決められる。本実施の形態に係る修正部材製造装置は、修正針を針ホルダに接続固定した状態で、修正針の針先先端が基板表面と線接触するように修正針の針先先端を加工することで、適切な形状を有する修正針を備えた修正部材を製造する、修正部材製造装置である。
【００２３】
まず、図１および図５を参照して、本実施の形態に係る修正部材製造装置１の構成について説明する。本実施の形態に係る修正部材製造装置１は、定盤２と、Ｘステージ３と、修正針保持装置４と、Ｚステージ５と、修正針保持部６と、磁場発生部材７と、研磨部８と、研磨材料９とを備えている。
【００２４】
定盤２には、Ｘステージ３が設けられている。Ｘステージ３は、図１中Ｘ方向に修正針保持装置４を移動可能に保持している。
【００２５】
修正針保持装置４には、Ｚステージ５が設けられている。Ｚステージ５は、図１中Ｚ方向に修正針保持部６を移動可能に保持している。
【００２６】
修正針保持部６は、修正針１１を針ホルダ１２を介して保持可能とするように構成されている。つまり、修正針保持部６は、修正部材１０を保持可能に構成されている。具体的には、修正針保持部６には、保持面６ａ（図３参照）に針ホルダ１２を磁力により吸着する磁場発生部材７が設けられている。磁場発生部材７は、磁場を発生する任意の材料からなり、例えば磁石とする。また、電磁場を発生する材料でもよく、磁性材料とコイルとからなる電磁石としてもよい。
【００２７】
また、図３を参照して、修正針保持部６はＺステージ５と修正針保持部６との接続部である支点６ｂを中心として保持面６ａを回動可能に構成されている。
【００２８】
さらに、修正針保持部６に対して、上方向に一定以上の力が負荷された場合には、修正針保持部６はＺステージ５の駆動から独立して、当該力の加えられた方向への自由に移動するように構成されている。
【００２９】
定盤２には、さらに研磨部８が設置されている。研磨部８のＺ方向上面には研磨材料９が設けられている。研磨材料９を構成する材料としては、修正針の材料よりも硬度の高い任意の材料を用いることができる。このとき、修正針保持部６は、上述のように保持面６ａを回動可能に構成されているため、図４中のＸＺ平面内において研磨材料９に対する修正針１１の接触角度θ１は変更可能である。
【００３０】
研磨部８は、修正針１１の針先端部と研磨部８の表面とを接触させた状態で、駆動部によって修正針保持部６が研磨部８に対して相対的に移動させられる方向と交差する面内において、当該表面の傾き角度が変更可能に設けられている。ここで、「表面」とは、研磨材料９が設けられた研磨部８の表面をいう。また、「表面の傾き角度」とは、図５を参照して、修正針１１の長手方向と交差する面（図５では長手方向と垂直な面）と針ホルダ１２の主表面（もっとも大きい面。図３における保持面６ａ）に沿った平面との交線Ｌと、研磨部８の当該表面とが成す角度θ２をいう。研磨部８において研磨材料９がその上面（ＸＹ平面）に設けられている場合には、修正針保持部６は研磨の際に針先端部が研磨材料９と接触した状態でＸ軸方向に往復移動させられる。そのため、この場合の研磨部８は、Ｘ軸方向と交差する面内において、表面の傾き角度θ２が矢印Ｃの方向に変更可能に設けられている。好ましくは、研磨部８は、Ｘ軸方向と垂直な面であるＹＺ平面内において、表面の傾き角度θ２が矢印Ｃの方向に変更可能に設けられている。
【００３１】
表面の傾き角度θ２の変更の方法は、任意の方法を用いることができる。たとえば、研磨材料９の上部表面（研磨面）が研磨材料９の底面に対して傾いており、その傾き角度が異なる複数種の研磨材料９を準備しておいて、必要な傾き角度に応じて研磨材料９を交換してもよい。
【００３２】
Ｘステージ３およびＺステージ５は、研磨部８および研磨材料９に対して図１中のＸ方向およびＺ方向に、修正針保持部６を相対的に移動可能に保持している。Ｘステージ３およびＺステージ５は、制御部（図示しない）からの指示によって駆動する。
【００３３】
次に、図２を参照して、修正針保持部６に保持される被加工材料としての修正部材１０について説明する。修正部材１０は、修正針１１および針ホルダ１２を含む。修正針１１は、円錐形状を有し、底面側を針ホルダ１２に接続固定されている。例えば、針ホルダ１２には修正針１１の底面側を挿入可能とする穴が端面に設けられており、修正針１１は該穴に挿入され、針ホルダ１２に接着されている。さらに、針ホルダ１２には、修正針保持部６の保持面６ａに対向する主表面である被保持面１２ａに、磁場発生部材１３が設けられている。磁場発生部材１３は、磁場を発生する任意の材料からなり、たとえば磁石などの強磁性体とする。このようにすることによって、図５を参照して、針ホルダ１２は、磁場発生部材１３と修正針保持部６に設けられた磁場発生部材７（図１参照）との間に発生する磁力によって、修正針保持部６に対して上方（図５中Ｚ方向の上方）より着脱可能に保持されている。
【００３４】
図４および図５を参照して、修正針保持部６に針ホルダ１２を介して修正針１１を保持させた後、Ｘステージ３を矢印Ａの方向に、Ｚステージ５を矢印Ｂの方向に駆動する。このようにして、修正針１１の針先端部を研磨部８の表面に接触させ、かつ、接触した状態で修正針保持部６を研磨材料９に対して相対的に移動させることで、修正針１１を研磨することができる。
【００３５】
以上のように、本実施の形態に係る修正部材製造装置は、修正針保持部６が支点６ｂを中心として保持面６ａを回動可能に構成されているため、保持面６ａ上に針ホルダ１２を保持した場合に、研磨部８の表面に対する修正針１１の接触角度θ１を変更可能とすることができる。また、研磨部８が修正針１１の長手方向と垂直な方向において、表面の傾き角度θ２を変更可能に設けられている。
【００３６】
このようにすることにより、本実施の形態に係る修正部材製造装置１における修正針保持部６と研磨材料９との位置関係は、欠陥修正装置における修正針保持部と欠陥修正の対象とする基板との相対的な位置関係と同一に設定することができる。たとえば、接触角度θ１を欠陥修正装置における修正針保持部の保持面と基板表面とが当該保持面と垂直な平面内においてなす角度に応じて設定し、かつ、表面の傾き角度θ２を当該欠陥修正装置における基板搭載面の機械的条件（水平面に対する傾き等）に応じて設定することができる。このように設定した上で、修正針１１の針先端部を研磨することで、当該欠陥修正装置において欠陥修正の対象とする基板に対して平行でかつ線接触可能な稜線部１１ｄを有する修正針を容易に作製することができる。この結果、本実施の形態に係る修正部材製造装置により作製される修正針は、欠陥修正の対象とする基板に与える損傷を低減することができる。
【００３７】
本実施の形態において、修正針保持部６はＺステージ５と修正針保持部６との接続部である支点６ｂを中心として保持面６ａを回動可能に構成され、かつ研磨部８は、修正針保持部６が針先端部と研磨部８の表面とが接触した状態で駆動部によって研磨部８に対して相対的に移動させられる方向と垂直な面内において、表面の傾き角度θ２が変更可能に設けられているが、これに限られるものではない。たとえば、保持面６ａが支点６ｂに対して固定され、かつ研磨部８の表面の傾き角度θ２が一定として設けられていてもよい。このようにしても、欠陥修正装置における修正針と欠陥修正の対象とする基板との相対的な位置関係が一定であって、単一の形状の修正針１１を作製すれば足りる場合には、修正針１１により基板上の異物を除去する際に当該基板に与える損傷を低減することができる修正針１１を、容易に製造することができる。また、保持面６ａが支点６ｂに対して固定され、かつ研磨部８の表面の傾き角度θ２を変更可能に設けられていてもよい。このようにすれば、欠陥修正装置において基板を搭載する基板搭載部と修正針保持部との平行度が複数の欠陥修正装置でそれぞれ装置固有の値を持つ場合にも、各欠陥修正装置ごとに、その修正針保持部に保持させたときに基板搭載部に対して平行となる修正針１１を作製することができる。
【００３８】
また、図４を参照して、本実施の形態に係る修正部材製造装置１は、修正針保持部６が上方向に一定以上の力が負荷された場合には、修正針保持部６はＺステージ５の駆動から独立して移動可能なように構成されている。これにより、修正針１１が研磨材料９と接触した状態で、さらに修正針保持部６を下降させるようにＺステージ５を駆動させた場合のように修正針１１に過大な力が加えられた場合には、修正針保持部６は研磨材料９から退避する向きに移動することができる。その結果、修正針保持部６に負荷された当該力を緩和することができ、修正針１１の損傷を抑制することができる。
【００３９】
本実施の形態に係る修正部材製造装置では、Ｘステージ３およびＺステージ５によって修正針保持部６は移動可能に構成されているが、これに限られるものではない。たとえば、図１中Ｙ方向に修正針保持部６を移動可能とするＹステージが設けられていてもよい。
【００４０】
また、図４および図５を参照して、本実施の形態に係る修正部材製造装置１では、研磨部８のＺ方向上面に研磨材料９が設けられていたが、これに限られるものではない。研磨部８において、定盤２と接していない表面に研磨材料９が設けられていればよい。たとえば、研磨部８において、研磨材料９がその側面（ＹＺ平面）に設けられていてもよい。この場合には、針先端部が研磨材料９と接触した状態で、研磨部８に対して修正針保持部６をＺ軸方向に相対的に駆動させることにより、修正針１１の針先端部を研磨材料９により研磨することができる。そのため、この場合の表面の傾き角度は、Ｚ軸と交差する面内において変更可能に設けられていればよく、好ましくはＺ軸と垂直なＸＹ平面内において変更可能に設けられていればよい。
【００４１】
また、本実施の形態に係る修正部材製造装置１では、研磨部８の同一表面上に、複数種類の研磨材料が並べて設けられてもよい。これにより、修正針１１に対して複数種の加工を施すことができる。
【００４２】
また、図２を参照して、本実施の形態における、被加工材料としての修正針１１は円錐形状であったが、これに限られるものではない。たとえば、角錐形状でもよいし、円柱、角柱形状でもよい。上述した修正針の適切な形状に最も近い形状とすれば、これを研磨して適切な形状とするまでの加工時間を低減することができる。円錐形状の修正針を本実施の形態に係る修正部材製造装置１により加工すれば、たとえば図６〜８に示す修正針１１を得ることができる。また、角柱形状の修正針を本実施の形態に係る修正部材製造装置により加工すれば、たとえば図９〜１１に示す修正針１１を得ることができる。
【００４３】
次に、本実施の形態に係る修正部材の製造方法について説明する。本実施の形態に係る修正部材の製造方法は、基板上の微細パターンの欠陥を修正する欠陥修正装置において欠陥の除去に用いられる修正部材を製造する修正部材の製造方法であって、本実施の形態に係る修正部材製造装置１を使用し、動作させることにより実施される。上述のように、欠陥修正装置の機械的条件や、欠陥修正の対象とする基板に応じて、修正針１１には適切な形状が存在する。本実施の形態に係る修正部材１０の製造方法は、針ホルダ１２に接続固定された修正針１１を加工して、適切な形状を有する修正針１１を備える修正部材１０を製造する、修正部材の製造方法である。
【００４４】
図１２を参照して、本実施の形態に係る修正部材の製造方法は、針ホルダ１２に接続された修正針１１を、針ホルダを１２介して修正針保持部６に取り付ける工程（Ｓ０１）と、修正針１１の針先端部を研磨材料９の表面に接触させた状態で、修正針保持部を研磨部に対して相対的に駆動することにより、針先先端部を研磨する工程（Ｓ０２）とを備える。
【００４５】
まず、図１および２を参照して、工程（Ｓ０１）では、針ホルダ１２に接続固定された円錐形状の修正針１１を準備する。針ホルダ１２には磁場発生部材１３が設けられており、針ホルダ１２を修正針保持部６の保持面６ａ上に載置することで、該磁場発生部材１３と保持面６ａに設けられた磁場発生部材７とが互いに吸着する。これにより、針ホルダ１２を修正針保持部６に取り付けることができる。
【００４６】
次に、図３〜５を参照して、工程（Ｓ０２）では、まず、あらかじめ取得した欠陥修正装置における修正針保持部と基板搭載部との平行度等に基づき、本実施の形態に係る修正部材製造装置１の機械的条件を設定する。該機械的条件とは、たとえば、修正針１１と研磨部８との相対的な位置関係を決める条件であって、研磨部８の表面に対する修正針１１の接触角度θ１や、修正針１１の長手方向と垂直な方向における研磨部８の表面の傾き角度等が挙げられる。
【００４７】
修正針保持部６および研磨部８を設定した後、Ｘステージ３およびＺステージ５を駆動させることにより修正針保持部６を移動させ、研磨材料９に修正針１１の針先先端を接触させる。この後、さらにＺステージ５を駆動させて修正針保持部６を研磨材料９に接近、あるいは研磨材料９から退避させて、修正針１１の接触荷重を調整してもよい。このとき、修正針１１に加えられた接触荷重は、針ホルダ１２を介して修正針保持部６にも伝わる。そして、修正針保持部６は一定以上の力を受けると、研磨材料９から退避する向きに移動する。
【００４８】
修正針１１と研磨材料９とを接触後、Ｘステージ３およびＺステージ５を駆動させることにより、修正針１１を研磨する。研磨の進行に伴い修正針１１と研磨材料９との接触面積が増加する。そのため、接触圧を一定とするために、Ｚステージを駆動させてもよい。
【００４９】
また、一つの修正針に対して両面を研磨する必要がある場合には、工程（Ｓ０２）が終了した後、再び工程（Ｓ０１）において当該修正針１１の針ホルダ１２を修正針保持部６に取り付け直して、工程（Ｓ０２）を施してもよい。
【００５０】
次に、本実施の形態に係る修正部材製造装置および修正部材の製造方法により製造した修正針を例示する。
【００５１】
図６〜８を参照して、円錐形状の修正針１１を、修正針１１の長手方向に垂直な第１の平坦面１１ａと、第１の平坦面１１ａと交差し基板２２と対峙する第２の平坦面１１ｂと、第１の平坦面１１ａから見て第２の平坦面１１ｂとは反対側に形成された第３の平坦面とを含んでいる修正針１１に加工する場合について説明する。このとき、修正針１１を、第２の平坦面１１ｂと第３の平坦面１１ｃとが成す角度はθ３であって、修正針１１の針先端部に針ホルダ１２の被保持面１２ａに対して所定の傾き角θ４を有するように加工する。
【００５２】
まず、欠陥修正装置における修正針保持部と基板搭載部との平行度に応じて、研磨部８の表面の傾き角度θ２を設定する。次に、研磨部８の表面に対する修正針１１の接触角度θ１をθ３／２として研磨を行い、第２の平坦面１１ｂを形成する。所定の研磨が終了した後、針ホルダ１２を反転させて、被保持面１２ａの対面を修正針保持部６の保持面６ａと対向させて取り付ける。その後、再び接触角度θ１をθ３／２として研磨を行うことで、第３の平坦面１１ｃを形成する。
【００５３】
さらに、修正針保持部６の保持面６ａを研磨材料９に垂直として研磨をおこない第１の平坦面１１ａを形成する。これにより、図６〜８に示す修正針１１を作製することができる。このとき、稜線部１１ｄは、第１の平坦面１１ａと第２の平坦面１１ｂとの交線により構成されており、修正針１１を欠陥修正装置における修正針保持部に保持させたときに、基板搭載部に対して平行とすることができる。
【００５４】
また、図９〜１１を参照して、角柱形状の修正針１１を、第１の平坦面１１ａと、第１の平坦面１１ａと交差し基板２２と対峙する第２の平坦面１１ｂとを含み、第２の平坦面１１ｂが修正針１１の長手方向に平行な面として形成されている修正針１１に加工する場合について説明する。
【００５５】
この場合、第１の平坦面１１ａと第２の平坦面１１ｂとが成す角度がθ５となるように加工するには、研磨部８の表面に対する修正針１１の接触角度θ１をθ５として研磨を行い、第２の平坦面１１ｂを形成する。これにより、図９〜１１に示す修正針１１を作製することができる。このとき、稜線部１１ｄは、第１の平坦面１１ａと第２の平坦面１１ｂとの交線により構成されている。
【００５６】
以上のように、本実施の形態に係る修正部材製造装置の製造方法によれば、本実施の形態に係る修正部材製造装置を用いることで、修正針により基板上の異物を除去する際に基板に与える損傷を低減することができる修正針を、容易に製造することができる。
【００５７】
以上のように本発明の実施の形態について説明を行ったが、上述の実施の形態を様々に変形することも可能である。また、本発明の範囲は上述の実施の形態に限定されるものではない。本発明の範囲は、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更を含むことが意図される。
【産業上の利用可能性】
【００５８】
本発明の修正部材製造装置および修正部材の製造方法は、修正針の接触による基板の損傷を抑制することが求められる欠陥修正装置および欠陥修正方法に対して、特に有利に適用される。
【符号の説明】
【００５９】
１  修正部材製造装置、２  定盤、３  Ｘステージ、４  修正針保持装置、５  Ｚステージ、６  修正針保持部、６ａ  保持面、６ｂ  支点、７，１３  磁場発生部材、８  研磨部、９  研磨材料、１０  修正部材、１１  修正針、１１ａ  第１の平坦面、１１ｂ  第２の平坦面、１１ｃ  第３の平坦面、１１ｄ  稜線部、１２  針ホルダ、１２ａ  被保持面、２２  基板、２３  異物。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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