(57)【要約】【課題】可動部に接続された湾曲部を有するケーブルのインピーダンスを簡易に検出すること。【解決手段】三次元測定機１０１は、被測定対象物の形状を検出して形状検出結果を示す信号を出力するプローブ１３を有する。プローブインターフェイス１１０は、形状検出結果を示す信号を受信する。ケーブル１３Ａは、プローブ１３とプローブインターフェイス１１０との間で形状検出結果を示す信号を伝送し、プローブ１３の移動に伴って湾曲する。プローブインターフェイス１１０は、ケーブル１３Ａのインピーダンスを検出する演算部を有するインピーダンス検出器１１１を有する。インピーダンス検出器１１１は、ケーブル１３Ａを介して、プローブ１３に高速テストデータＴＨを送信し、プローブ１３が出力する受信確認信号Ｓｄを受信したかに応じて、ケーブル１３Ａのインピーダンスを検出する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定対象物の形状を検出して形状検出結果を示す信号を出力する可動検出部を有する測定機と、
形状検出結果を示す前記信号を受信する制御装置と、
前記可動検出部と前記制御装置との間で形状検出結果を示す前記信号を伝送し、前記可動検出部の移動に伴って湾曲するケーブルと、を備え、
前記制御装置は、前記ケーブルのインピーダンスを検出するインピーダンス検出器を備え、
前記インピーダンス検出器は、前記ケーブルを介して前記可動検出部にテストデータを送信し、前記可動検出部が前記テストデータを受信した場合に前記可動検出部から出力される受信確認信号を前記ケーブルを介して受信したかに応じて、前記ケーブルのインピーダンスを検出する演算部を備える、
形状測定装置。
【請求項２】
前記演算部は、
前記テストデータを前記可動検出部にＮ（Ｎは、１以上の整数）回出力し、
前記受信確認信号をＭ（Ｍは、１以上Ｎ以下の整数）回以上受信した場合にはパス判定を出力し、
前記受信確認信号をＭ（Ｍは、１以上Ｎ以下の整数）回よりも少ない回数受信した場合にはフェイル判定を出力する、
請求項１に記載の形状測定装置。
【請求項３】
前記インピーダンス検出器は、
前記演算部から出力される前記テストデータの出力回数を制御するカウンタと、
前記演算部から出力される前記受信確認信号の受信回数を示す情報が格納される記憶部と、を更に備える、
請求項２に記載の形状測定装置。
【請求項４】
前記演算部は、
前記可動検出部に前記テストデータを出力するテストデータ出力部と、
前記受信確認信号を受信したかを確認する信号受信確認部と、
前記カウンタに設定される値を制御するカウント値制御部と、
前記受信確認信号の受信回数を算出する算出部と、
前記記憶部に格納された前記情報に基づいて前記受信回数がＭ回以上であるかを判定する判定部と、を備える、
請求項３に記載の形状測定装置。
【請求項５】
前記制御装置から前記ケーブルを介して前記可動検出部に送信される前記テストデータの通信速度は、形状測定を行う場合に前記可動検出部から前記ケーブルを介して前記制御装置に送信される信号の通信速度よりも高速である、
請求項１乃至４のいずれか一項に記載の形状測定装置。
【請求項６】
複数の前記ケーブルを備え、
前記可動検出部から前記複数の前記ケーブルを介して前記演算部に送信される形状検出結果を示す前記信号の通信速度は、前記複数の前記ケーブルごとに異なり、
前記演算部から前記複数の前記ケーブルを介して前記可動検出部に送信される前記テストデータの通信速度は、前記複数の前記ケーブルごとに異なる、
請求項１乃至５のいずれか一項に記載の形状測定装置。
【請求項７】
前記ケーブルは、第１乃至第３のケーブルを含む集束ケーブルであり、
形状検出結果を示す前記信号は、前記可動検出部から前記第１のケーブルを介して前記演算部に送信され、
前記テストデータは、前記演算部から前記第２のケーブルを介して前記可動検出部に送信され、
前記第２のケーブルの前記可動検出部側の接続端と前記第３のケーブルの前記可動検出部側の接続端とが短絡され、
前記テストデータは、前記受信確認信号として、前記可動検出部から前記第２のケーブルを介して前記演算部に送信され、
前記第２及び第３のケーブルのインピーダンスの検出結果を前記第１のケーブルのインピーダンス結果として出力する、
請求項１乃至６のいずれか一項に記載の形状測定装置。
【請求項８】
前記演算部は、
前記測定機が形状測定動作を開始する前に、前記第１のケーブルのインピーダンスを検出する、
請求項１乃至７のいずれか一項に記載の形状測定装置。
【請求項９】
前記演算部は、
前記測定機が形状測定動作を開始したのち、前記可動検出部が第１の測定位置から第２の測定位置に形状測定を行うことなく移動する期間に、前記ケーブルのインピーダンスを検出する、
請求項８に記載の形状測定装置。
【請求項１０】
動作結果を示す信号を出力する可動部を有する装置の前記可動部に、前記可動部の移動に伴って湾曲するケーブルを介してテストデータを出力し、前記可動部が前記テストデータを受信した場合に出力する受信確認信号を前記ケーブルを介して受信したかを確認したかに応じて、前記ケーブルのインピーダンスを検出する演算部を備える、
インピーダンス検出器。
【請求項１１】
前記演算部は、
前記テストデータを前記可動部にＮ（Ｎは、１以上の整数）回出力し、
前記受信確認信号をＭ（Ｍは、１以上Ｎ以下の整数）回以上受信した場合にはパス判定を出力し、
前記受信確認信号をＭ（Ｍは、１以上Ｎ以下の整数）回よりも少ない回数受信した場合にはフェイル判定を出力する、
請求項１０に記載のインピーダンス検出器。
【請求項１２】
前記演算部から出力される前記テストデータの出力回数を制御するカウンタと、
前記演算部から出力される前記受信確認信号の受信回数を示す情報が格納される記憶部と、を更に備える、
請求項１１に記載のインピーダンス検出器。
【請求項１３】
前記演算部は、
前記可動部に前記テストデータを出力するテストデータ出力部と、
前記受信確認信号を受信したかを確認する信号受信確認部と、
前記カウンタに設定される値を制御するカウント値制御部と、
前記受信確認信号の受信回数を算出する算出部と、
前記記憶部に格納された前記情報に基づいて前記受信回数がＭ回以上であるかを判定する判定部と、を備える、
請求項１２に記載のインピーダンス検出器。
【請求項１４】
前記演算部から前記ケーブルを介して前記可動部に送信される前記テストデータの通信速度は、前記可動部から前記ケーブルを介して前記可動部を有する装置の制御装置に送信される動作結果を示す前記信号の通信速度よりも高速である、
請求項１０乃至１３のいずれか一項に記載のインピーダンス検出器。
【請求項１５】
複数の前記ケーブルを備え、
前記可動部から前記複数の前記ケーブルを介して前記可動部を有する装置の前記制御装置に送信される動作結果を示す前記信号の通信速度は、前記複数の前記ケーブルごとに異なり、
前記制御装置から前記複数の前記ケーブルを介して前記可動部に送信される前記テストデータの通信速度は、前記複数の前記ケーブルごとに異なる、
請求項１０乃至１４のいずれか一項に記載のインピーダンス検出器。
【請求項１６】
前記ケーブルは、第１乃至第３のケーブルを含む集束ケーブルであり、
形状検出結果を示す前記信号は、前記可動部から前記第１のケーブルを介して前記演算部に送信され、
前記テストデータは、前記演算部から前記第２のケーブルを介して前記可動部に送信され、
前記第２のケーブルの前記可動部側の接続端と前記第３のケーブルの前記可動部側の接続端とが短絡され、
前記テストデータは、前記受信確認信号として、前記可動部から前記第２のケーブルを介して前記演算部に送信され、
前記第２及び第３のケーブルのインピーダンスの検出結果を前記第１のケーブルのインピーダンス結果として出力する、
請求項１０乃至１５のいずれか一項に記載のインピーダンス検出器。
【請求項１７】
前記演算部は、
前記可動部が動作結果を示す前記信号を出力する動作を開始する前に、前記ケーブルのインピーダンスを検出する、
請求項１０乃至１６のいずれか一項に記載のインピーダンス検出器。
【請求項１８】
前記演算部は、
前記可動部が動作結果を示す前記信号を出力する動作を開始したのち、前記可動部が第１の測定位置から第２の測定位置に動作結果を示す前記信号を出力することなく移動する期間に、前記ケーブルのインピーダンスを検出する、
請求項１７に記載のインピーダンス検出器。
【請求項１９】
動作結果を示す信号を出力する可動部を有する装置の前記可動部に、前記可動部の移動に伴って湾曲するケーブルを介してテストデータを出力し、
前記可動部が前記テストデータを受信した場合に出力する受信確認信号を受信したかを確認し、
確認結果に応じて、前記ケーブルのインピーダンスを検出する、
インピーダンス検出方法。
【請求項２０】
前記テストデータを前記可動部にＮ（Ｎは、１以上の整数）回出力し、
前記受信確認信号をＭ（Ｍは、１以上Ｎ以下の整数）回以上受信した場合にはパス判定を出力し、
前記受信確認信号をＭ（Ｍは、１以上Ｎ以下の整数）回よりも少ない回数受信した場合にはフェイル判定を出力する、
請求項１９に記載のインピーダンス検出方法。
【請求項２１】
前記ケーブルを介して前記可動部に送信される前記テストデータの通信速度は、前記可動部から前記ケーブルを介して送信される動作結果を示す前記信号の通信速度よりも高速である、
請求項１９又は２０に記載のインピーダンス検出方法。
【請求項２２】
前記可動部から複数の前記ケーブルを介して送信される動作結果を示す前記信号の通信速度は、前記複数の前記ケーブルごとに異なり、
前記複数の前記ケーブルを介して前記可動部に送信される前記テストデータの通信速度は、前記複数の前記ケーブルごとに異なる、
請求項１９乃至２１のいずれか一項に記載のインピーダンス検出方法。
【請求項２３】
前記ケーブルは、第１乃至第３のケーブルを含む集束ケーブルであり、
形状検出結果を示す前記信号は、前記可動部から前記第１のケーブルを介して送信され、
前記テストデータは、前記第２のケーブルを介して前記可動部に送信され、
前記第２のケーブルの前記可動部側の接続端と前記第３のケーブルの前記可動部側の接続端とが短絡され、
前記テストデータは、前記受信確認信号として、前記可動部から前記第２のケーブルを介して送信され、
前記第２及び第３のケーブルのインピーダンスの検出結果を前記第１のケーブルのインピーダンス結果として出力する、
請求項１９乃至２２のいずれか一項に記載のインピーダンス検出方法。
【請求項２４】
前記可動部が動作結果を示す前記信号を出力する動作を開始する前に、前記ケーブルのインピーダンスを検出する、
請求項１９乃至２３のいずれか一項に記載のインピーダンス検出方法。
【請求項２５】
前記可動部が動作結果を示す前記信号を出力する動作を開始したのちに、前記可動部が動作結果を示す前記信号を出力することなく第１の測定位置から第２の測定位置に移動する期間に、前記ケーブルのインピーダンスを検出する、
請求項２４に記載のインピーダンス検出方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は形状測定装置、インピーダンス検出器及びインピーダンス検出方法に関し、例えば、可動部に接続された湾曲部を有するケーブルのインピーダンスを検出する形状測定装置、インピーダンス検出器及びインピーダンス検出方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
今日、立体的形状を有する製作物の加工精度などを検査するために、例えば三次元測定機などの形状測定手段が用いられる。このような三次元測定機は、非接触測定器が装着されたプローブを立体的形状に沿って移動させることにより、形状測定を行う。このような形状測定を長期間行うと、プローブに接続されたケーブルでは、湾曲等が繰り返されることによりインピーダンスが増大してしまう。ケーブルは主として金属からなる電線により構成されるが、純度の高い金属が弾性変形の範囲で変形を繰り返しても金属結晶格子内に歪みは生じない。しかしながら、実際のケーブルでは、弾性変形の範囲内でも多くの回数の変形が繰り返されると、不純物を含む金属結晶格子を起因とする歪みが徐々に蓄積される。その結果、ケーブルのインピーダンスが増大することとなる。例えば画像データを転送する三次元測定機では、ケーブルのインピーダンスの増加により、データ転送が不能になる。
【０００３】
上記のような問題を解決するため、接触測定器がプローブに装着されている場合に、信号線の導通チェックにてインピーダンスを点検する手法が提案されている（特許文献１）。この手法では、専用検具を用いて、インピーダンスの点検を行うことが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−３３３６７４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところが、発明者は、上述の手法には以下に示す問題点が有ることを見出した。上述の手法では、専用検具が必要であるため、簡易にインピーダンス点検を行うことができず、コスト増大の原因になる。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の第１の態様である形状測定装置は、被測定対象物の形状を検出して形状検出結果を示す信号を出力する可動検出部を有する測定機と、形状検出結果を示す前記信号を受信する制御装置と、前記可動検出部と前記制御装置との間で形状検出結果を示す前記信号を伝送し、前記可動検出部の移動に伴って湾曲するケーブルと、を備え、前記制御装置は、前記ケーブルのインピーダンスを検出するインピーダンス検出器を備え、前記インピーダンス検出器は、前記ケーブルを介して前記可動検出部にテストデータを送信し、前記可動検出部が前記テストデータを受信した場合に前記可動検出部から出力される受信確認信号を前記ケーブルを介して受信したかに応じて、前記ケーブルのインピーダンスを検出する演算部を備えるものである。
【０００７】
本発明の第２の態様である形状測定装置は、上記の形状測定装置であって、前記演算部は、前記テストデータを前記可動検出部にＮ（Ｎは、１以上の整数）回出力し、前記受信確認信号をＭ（Ｍは、１以上Ｎ以下の整数）回以上受信した場合にはパス判定を出力し、前記受信確認信号をＭ（Ｍは、１以上Ｎ以下の整数）回よりも少ない回数受信した場合にはフェイル判定を出力するものである。
【０００８】
本発明の第３の態様である形状測定装置は、上記の形状測定装置であって、前記インピーダンス検出器は、前記演算部から出力される前記テストデータの出力回数を制御するカウンタと、前記演算部から出力される前記受信確認信号の受信回数を示す情報が格納される記憶部と、を更に備えるものである。
【０００９】
本発明の第４の態様である形状測定装置は、上記の形状測定装置であって、前記演算部は、前記可動検出部に前記テストデータを出力するテストデータ出力部と、前記受信確認信号を受信したかを確認する信号受信確認部と、前記カウンタに設定される値を制御するカウント値制御部と、前記受信確認信号の受信回数を算出する算出部と、前記記憶部に格納された前記情報に基づいて前記受信回数がＭ回以上であるかを判定する判定部と、を備えるものである。
【００１０】
本発明の第５の態様である形状測定装置は、上記の形状測定装置であって、前記制御装置から前記ケーブルを介して前記可動検出部に送信される前記テストデータの通信速度は、形状測定を行う場合に前記可動検出部から前記ケーブルを介して前記制御装置に送信される信号の通信速度よりも高速であるものである。
【００１１】
本発明の第６の態様である形状測定装置は、上記の形状測定装置であって、複数の前記ケーブルを備え、前記可動検出部から前記複数の前記ケーブルを介して前記演算部に送信される形状検出結果を示す前記信号の通信速度は、前記複数の前記ケーブルごとに異なり、前記演算部から前記複数の前記ケーブルを介して前記可動検出部に送信される前記テストデータの通信速度は、前記複数の前記ケーブルごとに異なるものである。
【００１２】
本発明の第７の態様である形状測定装置は、上記の形状測定装置であって、前記ケーブルは、第１乃至第３のケーブルを含む集束ケーブルであり、形状検出結果を示す前記信号は、前記可動検出部から前記第１のケーブルを介して前記演算部に送信され、前記テストデータは、前記演算部から前記第２のケーブルを介して前記可動検出部に送信され、前記第２のケーブルの前記可動検出部側の接続端と前記第３のケーブルの前記可動検出部側の接続端とが短絡され、前記テストデータは、前記受信確認信号として、前記可動検出部から前記第２のケーブルを介して前記演算部に送信され、前記第２及び第３のケーブルのインピーダンスの検出結果を前記第１のケーブルのインピーダンス結果として出力するものである。
【００１３】
本発明の第８の態様である形状測定装置は、上記の形状測定装置であって、前記演算部は、前記測定機が形状測定動作を開始する前に、前記第１のケーブルのインピーダンスを検出するものである。
【００１４】
本発明の第９の態様である形状測定装置は、上記の形状測定装置であって、前記演算部は、前記測定機が形状測定動作を開始したのち、前記可動検出部が第１の測定位置から第２の測定位置に形状測定を行うことなく移動する期間に、前記ケーブルのインピーダンスを検出するものである。
【００１５】
本発明の第１０の態様であるインピーダンス検出器は、動作結果を示す信号を出力する可動部を有する装置の前記可動部に、前記可動部の移動に伴って湾曲するケーブルを介してテストデータを出力し、前記可動部が前記テストデータを受信した場合に出力する受信確認信号を前記ケーブルを介して受信したかを確認したかに応じて、前記ケーブルのインピーダンスを検出する演算部を備えるものである。
【００１６】
本発明の第１１の態様であるインピーダンス検出器は、上記のインピーダンス検出器であって、前記演算部は、前記テストデータを前記可動部にＮ（Ｎは、１以上の整数）回出力し、前記受信確認信号をＭ（Ｍは、１以上Ｎ以下の整数）回以上受信した場合にはパス判定を出力し、前記受信確認信号をＭ（Ｍは、１以上Ｎ以下の整数）回よりも少ない回数受信した場合にはフェイル判定を出力するものである。
【００１７】
本発明の第１２の態様であるインピーダンス検出器は、上記のインピーダンス検出器であって、前記インピーダンス検出器は、前記演算部から出力される前記テストデータの出力回数を制御するカウンタと、前記演算部から出力される前記受信確認信号の受信回数を示す情報が格納される記憶部と、を更に備えるものである。
【００１８】
本発明の第１３の態様であるインピーダンス検出器は、上記のインピーダンス検出器であって、前記演算部は、前記可動部に前記テストデータを出力するテストデータ出力部と、前記受信確認信号を受信したかを確認する信号受信確認部と、前記カウンタに設定される値を制御するカウント値制御部と、前記受信確認信号の受信回数を算出する算出部と、前記記憶部に格納された前記情報に基づいて前記受信回数がＭ回以上であるかを判定する判定部と、を備えるものである。
【００１９】
本発明の第１４の態様であるインピーダンス検出器は、上記のインピーダンス検出器であって、前記演算部から前記ケーブルを介して前記可動部に送信される前記テストデータの通信速度は、前記可動部から前記ケーブルを介して前記可動部を有する装置の制御装置に送信される動作結果を示す前記信号の通信速度よりも高速であるものである。
【００２０】
本発明の第１５の態様であるインピーダンス検出器は、上記のインピーダンス検出器であって、複数の前記ケーブルを備え、前記可動部から前記複数の前記ケーブルを介して前記可動部を有する装置の前記制御装置に送信される動作結果を示す前記信号の通信速度は、前記複数の前記ケーブルごとに異なり、前記制御装置から前記複数の前記ケーブルを介して前記可動部に送信される前記テストデータの通信速度は、前記複数の前記ケーブルごとに異なるものである。
【００２１】
本発明の第１６の態様であるインピーダンス検出器は、上記のインピーダンス検出器であって、前記ケーブルは、第１乃至第３のケーブルを含む集束ケーブルであり、形状検出結果を示す前記信号は、前記可動部から前記第１のケーブルを介して前記演算部に送信され、前記テストデータは、前記演算部から前記第２のケーブルを介して前記可動部に送信され、前記第２のケーブルの前記可動部側の接続端と前記第３のケーブルの前記可動部側の接続端とが短絡され、前記テストデータは、前記受信確認信号として、前記可動部から前記第２のケーブルを介して前記演算部に送信され、前記第２及び第３のケーブルのインピーダンスの検出結果を前記第１のケーブルのインピーダンス結果として出力するものである。
【００２２】
本発明の第１７の態様であるインピーダンス検出器は、上記のインピーダンス検出器であって、前記演算部は、前記可動部が動作結果を示す前記信号を出力する動作を開始する前に、前記ケーブルのインピーダンスを検出する、
【００２３】
本発明の第１８の態様であるインピーダンス検出器は、上記のインピーダンス検出器であって、前記演算部は、前記可動部が動作結果を示す前記信号を出力する動作を開始したのち、前記可動部が第１の測定位置から第２の測定位置に動作結果を示す前記信号を出力することなく移動する期間に、前記ケーブルのインピーダンスを検出するものである。
【００２４】
本発明の第１９の態様であるインピーダンス検出方法は、動作結果を示す信号を出力する可動部を有する装置の前記可動部に、前記可動部の移動に伴って湾曲するケーブルを介してテストデータを出力し、前記可動部が前記テストデータを受信した場合に出力する受信確認信号を受信したかを確認し、確認結果に応じて、前記ケーブルのインピーダンスを検出するものである。
【００２５】
本発明の第２０の態様であるインピーダンス検出方法は、上記のインピーダンス検出方法であって、前記テストデータを前記可動部にＮ（Ｎは、１以上の整数）回出力し、前記受信確認信号をＭ（Ｍは、１以上Ｎ以下の整数）回以上受信した場合にはパス判定を出力し、前記受信確認信号をＭ（Ｍは、１以上Ｎ以下の整数）回よりも少ない回数受信した場合にはフェイル判定を出力するものである。
【００２６】
本発明の第２１の態様であるインピーダンス検出方法は、上記のインピーダンス検出方法であって、前記ケーブルを介して前記可動部に送信される前記テストデータの通信速度は、前記可動部から前記ケーブルを介して送信される動作結果を示す前記信号の通信速度よりも高速であるものである。
【００２７】
本発明の第２２の態様であるインピーダンス検出方法は、上記のインピーダンス検出方法であって、前記可動部から複数の前記ケーブルを介して送信される動作結果を示す前記信号の通信速度は、前記複数の前記ケーブルごとに異なり、前記複数の前記ケーブルを介して前記可動部に送信される前記テストデータの通信速度は、前記複数の前記ケーブルごとに異なるものである。
【００２８】
本発明の第２３の態様であるインピーダンス検出方法は、上記のインピーダンス検出方法であって、前記ケーブルは、第１乃至第３のケーブルを含む集束ケーブルであり、形状検出結果を示す前記信号は、前記可動部から前記第１のケーブルを介して送信され、前記テストデータは、前記第２のケーブルを介して前記可動部に送信され、前記第２のケーブルの前記可動部側の接続端と前記第３のケーブルの前記可動部側の接続端とが短絡され、前記テストデータは、前記受信確認信号として、前記可動部から前記第２のケーブルを介して送信され、前記第２及び第３のケーブルのインピーダンスの検出結果を前記第１のケーブルのインピーダンス結果として出力するものである。
【００２９】
本発明の第２４の態様であるインピーダンス検出方法は、上記のインピーダンス検出方法であって、前記可動部が動作結果を示す前記信号を出力する動作を開始する前に、前記ケーブルのインピーダンスを検出するものである。
【００３０】
本発明の第２５の態様であるインピーダンス検出方法は、上記のインピーダンス検出方法であって、前記可動部が動作結果を示す前記信号を出力する動作を開始したのちに、前記可動部が動作結果を示す前記信号を出力することなく第１の測定位置から第２の測定位置に移動する期間に、前記ケーブルのインピーダンスを検出するものである。
【発明の効果】
【００３１】
本発明によれば、可動部に接続された湾曲部を有するケーブルのインピーダンスを簡易に検出することができる。
【００３２】
本発明の上述及び他の目的、特徴、及び長所は以下の詳細な説明及び付随する図面からより完全に理解されるだろう。付随する図面は図解のためだけに示されたものであり、本発明を制限するためのものではない。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】実施の形態１にかかる形状測定装置１００の構成を模式的に示す斜視図である。
【図２】Ｚ方向駆動機構４の構成を模式的に示す断面図である。
【図３】実施の形態１にかかる形状測定装置１００の構成を模式的に示すブロック図である。
【図４】演算部１１２の構成を模式的に示すブロック図である。
【図５】実施の形態１にかかる形状測定装置１００のケーブルのインピーダンスのテスト動作を示すフロー図である。
【図６】実施の形態２にかかる形状測定装置２００の構成を模式的に示すブロック図である。
【図７】実施の形態２にかかる形状測定装置２００のケーブル１３Ｂのインピーダンスのテスト動作を示すフロー図である。
【図８】実施の形態３にかかる形状測定装置３００の構成を模式的に示すブロック図である。
【図９】実施の形態３にかかる形状測定装置３００のケーブルのインピーダンスのテスト動作を示すフロー図である。
【図１０】実施の形態４にかかる形状測定装置４００の形状測定中の動作モードを示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００３４】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。各図面においては、同一要素には同一の符号が付されており、必要に応じて重複説明は省略される。
【００３５】
実施の形態１
まず、実施の形態１にかかる形状測定装置１００について説明する。図１は、実施の形態１にかかる形状測定装置１００の構成を模式的に示す図である。形状測定装置１００は、三次元測定機１０１、プローブインターフェイス１１０、ホストコンピュータ１２０を有する。以下では、プローブインターフェイス１１０は、制御装置とも称する。三次元測定機は、単に測定機とも称する。
【００３６】
三次元測定機１０１は、被測定物を載せるテーブル１上に、プローブ１３を移動させる移動機構が設けられている。なお、以下では、プローブ１３を可動検出部又は可動部とも称する。移動機構は、Ｘ方向駆動機構２、Ｙ方向駆動機構３及びＺ方向駆動機構４により構成される。Ｘ方向駆動機構２は、プローブ１３をＸ方向へ移動させる。Ｙ方向駆動機構３は、プローブ１３をＹ方向へ移動させる。Ｚ方向駆動機構４は、プローブ１３をＺ方向へ移動させる。
【００３７】
テーブル１は、被測定物を載せるために精密平坦加工された上面を有し、四角柱状に形成されている。説明のために、テーブル１の上面で互いに直交する二方向をそれぞれＸ方向（左右方向）、Ｙ方向（前後方向）とする。また、テーブル１の上面に垂直な方向をＺ方向（上下方向）とする。
【００３８】
Ｘ方向駆動機構２は、Ｘビーム７、Ｘスライダ８及びＸスライダ駆動手段９により構成される。Ｘビーム７は、Ｙスライダ６ＬとＹスライダ６Ｒとに両端が支持された長手状のガイド部材であり、Ｙ方向駆動機構３の駆動によりＹ方向に移動される。Ｘスライダ８は、Ｘビーム７の長手方向に沿って移動可能に設けられた可動部材である。Ｘスライダ駆動手段９は、Ｘスライダ８を移動させる。Ｘスライダ８とＸビーム７との間にはエアーベアリングが設けられているが、詳細については説明を省略する。
【００３９】
Ｙ方向駆動機構３は、Ｙガイドレール５、Ｙスライダ６Ｌ及びＹスライダ６Ｒにより構成される。Ｙガイドレール５は、テーブル１上にＹ方向に設けられる。Ｙスライダ６Ｌは、Ｙガイドレール５に沿って移動可能に設けられる。Ｙスライダ６Ｒは、Ｙスライダ６Ｌと対になってテーブル１上をＹ方向へ移動する。なお、Ｙガイドレール５とＹスライダ６Ｌ、及び、テーブル１とＹスライダ６Ｒとの間には、エアーベアリングが設けられているが、詳細については説明を省略する。
【００４０】
三次元測定機１０１は、プローブインターフェイス１１０と接続される。プローブインターフェイス１１０は、ホストコンピュータ１２０からの指令に応じて、三次元測定機１０１の動作を制御し、プローブ１３からの信号を検出して形状測定を行う。
【００４１】
図２は、Ｚ方向駆動機構４の構成を模式的に示す断面図である。Ｚ軸スピンドル１０は、内部が中空な角筒状に形成され、ガイド筒２２によって垂直方向にガイドされている。Ｚ軸スピンドル１０の下端には、被測定物に接触し、被測定物の位置及び座標の一方又は両方を測定するためのプローブ１３が設けられている。ガイド筒２２は、筒孔を垂直方向に向けた状態でＸスライダ８に設けられる。ガイド筒２２は、内部にＺ軸スピンドル１０が上下方向に昇降可能に挿通される。また、ガイド筒２２は、エアーパッド２４により形成されるエアーベアリング２３を介して、Ｚ軸スピンドル１０支持している。エアーベアリング２３は、エアーパッド２４がガイド筒２２の筒孔に設けられ、このエアーパッド２４からＺ軸スピンドル１０の摺動面（外面）にエアーが噴気されることによって形成されている。
【００４２】
支持軸２８の上端は、ガイド筒２２に立設された支柱２５に支持されている。支柱２５は、ガイド筒２２から少なくともＺ軸スピンドル１０の移動量以上の高さを有する位置に横梁２６を有し、この横梁２６とＺ軸スピンドル１０の移動軸の交点に孔が設けられている。支持軸２８の上端は、横梁２６の孔に挿通されるとともに、支持軸２８と直交する面を有する鍔部３０を有する。この鍔部３０の上面にはボール３１が設けられ、このボール３１が支柱２５に設けられた軸受片２７によって軸受けされることにより、支持軸２８の上端が揺動可能に支持されている。
【００４３】
駆動ローラ１５及び従動ローラ１６は、支持軸２８を相挟み込むように設けられる。駆動ローラ１５と従動ローラ１６とは、所定の押圧力で支持軸２８を挟み込む。これにより、駆動ローラ１５及び従動ローラ１６と支持軸２８との間で生じる摩擦力で、駆動ローラ１５及び従動ローラ１６が支持軸２８に対して空転しない構成となっている。駆動ローラ１５は、モータ（不図示）から動力を受けることにより回転するが、詳細については説明を省略する。
【００４４】
シリンダ２０は、Ｚ軸スピンドル１０の内部に、Ｚ軸スピンドル１０の上下方向に沿って設けられる。シリンダ２０内には、摺動可能に収納されたピストン２９が設けられる。シリンダ２０内部の空間で、ピストン２９で区画された上方の領域、すなわち支持軸２８側の領域は、押上力発生室２１として機能する。押上力発生室２１には、押上力発生室２１内にエアーを供給する噴気孔（不図示）が設けられている。押上力発生室２１には、押上力発生室２１の内圧が、Ｚ軸スピンドル１０の重量に見合う押上力を発生させる程度の圧力となるように、エアーが供給される。
【００４５】
シリンダ２０の外側には、シリンダ２０の外側面を覆う保護筒４１が設けられている。保護筒４１は、シリンダ２０の外面に対して僅かな隙間を有する大きさの筒形状で、上端がＺ軸スピンドル１０に連結固定されている。Ｚ軸スピンドル１０の上部には、プローブ１３からのケーブル１３Ａを引き出すためのＺ軸スピンドル１０の上端に形成された引出口４２に案内する誘導路４３が形成されている。保護筒４１の外面とＺ軸スピンドル１０の内面との間の隙間には、プローブ１３からのケーブル１３Ａを通すための誘導路４３が形成される。ケーブル１３Ａは、可撓性を有し、プローブ１３から誘導路４３及び引出口４２を通して、シリンダ２０に接触することなく、Ｚ軸スピンドル１０の外部へ導かれる。
【００４６】
ケーブル１３Ａは、Ｚ軸スピンドル１０の上端の引出口４２からＺ軸スピンドル１０の外部へ引き出された後、ハウジング３２内で所定距離蛇行される。これにより、ケーブル１３Ａには、湾曲部１３２が生じる。さらに、ケーブル１３Ａは、その後Ｘビーム７内に挿入され、所定の回路に接続される。
【００４７】
三次元測定機１０１において、被測定物の位置及び座標の一方又は両方を測定するには、まずテーブル１上に被測定物を載せる。次いで、Ｘ方向駆動機構２、Ｙ方向駆動機構３及びＺ方向駆動機構４によりプローブ１３を移動させ、被測定物にプローブ１３を接触させる。プローブ１３の位置を記録することによって、被測定物の位置及び座標の一方又は両方を測定することができる。
【００４８】
Ｚ方向駆動機構４を駆動させるときは、駆動ローラ１５を回転させる。支持軸２８は、駆動ローラ１５と従動ローラ１６とで挟み込まれているので、摩擦力により、駆動ローラ１５及び従動ローラ１６が支持軸２８に沿って移動する。駆動ローラ１５及び従動ローラ１６が移動すると、Ｚ軸スピンドル１０がガイド筒２２にガイドされつつ上下方向に昇降される。その結果、プローブ１３を上下方向に昇降することができる。
【００４９】
プローブ１３を上下方向に昇降させると、Ｚ軸スピンドル１０の外部に引き出されたケーブル１３Ａは可撓性を有するので、湾曲部１３２も上下に移動する。つまり、測定を繰り返すことにより、湾曲部１３２の上下動が繰り返されることとなる。その結果、ケーブル１３Ａの内部の導電線が変形を繰り返すこととなり、インピーダンスが増大してゆく。
【００５０】
図３は、実施の形態１にかかる形状測定装置１００の構成を模式的に示すブロック図である。図面の簡略化のため、図３では、三次元測定機１０１については、Ｘ方向駆動機構２、Ｙ方向駆動機構３、Ｚ方向駆動機構４及びプローブ１３のみを表示している。プローブ１３は、演算部１３１を有する。演算部１３１は、プローブ１３の外部から入力される信号に応答する信号を出力することが可能である。
【００５１】
プローブインターフェイス１１０は、インピーダンス検出器１１１、測定制御部１１５及び操作手段１１８を有する。インピーダンス検出器１１１は、三次元測定機１０１のケーブルのインピーダンスのテスト動作を行う。
【００５２】
インピーダンス検出器１１１は、演算部１１２、カウンタ１１３及び記憶部１１４を有する。演算部１１２は、ホストコンピュータ１２０の指令により、三次元測定機１０１のケーブルのインピーダンスのテスト動作を制御する。カウンタ１１３は、演算部１１２の指令により値のカウントを行う。記憶部１１４は、三次元測定機１０１のケーブルのインピーダンスのテスト動作にかかる情報が格納され、演算部１１２により情報の書き込み及び読み出しが実行可能に構成される。記憶部１１４は、例えばＨＤＤなどを用いることができる。
【００５３】
測定制御部１１５は、駆動制御部１１６及び信号検出部１１７を有する。駆動制御部１１６は、操作手段１１８が操作された際に入力される駆動指令信号や、ホストコンピュータ１２０から入力される駆動指令信号に基づいて、移動機構であるＸ方向駆動機構２、Ｙ方向駆動機構３及びＺ方向駆動機構４を制御する。また、駆動制御部１１６は、操作手段１１８が操作された際、その操作信号をホストコンピュータ１２０にも出力する。
【００５４】
信号検出部１１７は、プローブ１３からケーブル１３Ａを介して出力される信号を検出する。信号検出部１１７は、プローブ１３からケーブル１３Ａを介して出力される信号を検出して、移動機構の移動量を検出し、ホストコンピュータ１２０に出力する。
【００５５】
操作手段１１８は例えばジョイスティックなどで構成され、操作手段１１８を操作することにより手動でプローブ１３を移動させることができる。
【００５６】
ホストコンピュータ１２０は、演算部１２１、記憶部１２２、入力手段１２３及び出力手段１２４を有する。演算部１２１は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）などにより構成され、プローブインターフェイス１１０に所定の指令を与えることで、三次元測定機１０１の動作を制御する。これにより、移動機構にてプローブ１３をワークの表面に倣って移動させることによってワークの形状を測定する測定動作や、ケーブルのインピーダンスのテスト動作を実施できる。
【００５７】
記憶部１２２は、三次元測定機１０１の形状測定動作を制御するプログラムやケーブルのインピーダンスのテスト動作を制御するプログラムが格納される。記憶部１２２は、演算部１２１により情報の書き込み及び読み出しが実行可能に構成される。記憶部１２２は、例えばＨＤＤなどを用いることができる。
【００５８】
入力手段１２３は例えばキーボードやＣＤ−ＲＯＭドライブなどにより構成され、入力手段１２３を介して演算部１２１に対して指令を与えたり、記憶部１２２に情報を書き込むことができる。出力手段１２４は、例えばモニタにより構成され、演算部１２１の指令により、形状測定及びテスト動作の結果を表示することができる。
【００５９】
続いて、演算部１１２の構成について説明する。図４は、演算部１１２の構成を模式的に示すブロック図である。演算部１１２は、カウント値制御部１１２ａ、テストデータ出力部１１２ｂ、信号受信確認部１１２ｃ、加算値算出部１１２ｄ及び加算値判定部１１２ｅを有する。
【００６０】
カウント値制御部１１２ａは、カウンタ１１３のカウント動作を制御する。テストデータ出力部１１２ｂは、プローブ１３の演算部１３１へ高速テストデータＴＨを出力する。信号受信確認部１１２ｃは、プローブ１３の演算部１３１から出力される受信確認信号Ｓｄを受信したか否かを確認する。加算値算出部１１２ｄは、メモリに格納されたテスト結果を示す値に基づいて、加算値Ｍを算出する。加算値判定部１１２ｅは、加算値Ｍと受信回数判定値Ｍｔｈとを比較する。
【００６１】
続いて、本実施の形態にかかる三次元測定機のケーブルのインピーダンスのテスト動作について説明する。図５は、実施の形態１にかかる形状測定装置１００のケーブルのインピーダンスのテスト動作を示すフロー図である。
【００６２】
まず、三次元測定機１０１の測定が開始する前に、ホストコンピュータ１２０は、プローブインターフェイス１１０の演算部１１２へテスト動作の実行を指令する（ステップＳ１０１）。
【００６３】
カウント値制御部１１２ａは、カウンタ１１３のカウント値ｉを「０」にリセットする（ステップＳ１０２）。
【００６４】
テストデータ出力部１１２ｂは、プローブ１３の演算部１３１へ高速テストデータＴＨを転送する（ステップＳ１０３）。
【００６５】
プローブ１３の演算部１３１は、高速テストデータＴＨを正常に受信した場合には、受信確認信号Ｓｄをプローブインターフェイス１１０の信号受信確認部１１２ｃに送信する（ステップＳ１０４）。一方、高速テストデータＴＨが正常に受信できない場合は、プローブ１３の演算部１３１からは受信確認信号Ｓｄは送信されない。
【００６６】
信号受信確認部１１２ｃは、受信確認信号Ｓｄの受信の有無を確認する（ステップＳ１０５）。信号受信確認部１１２ｃは、例えば高速テストデータＴＨの送信後の一定期間待機し、受信確認信号Ｓｄを受信するか否かを判定する。
【００６７】
受信確認信号Ｓｄを受信した場合には、信号受信確認部１１２ｃは受信成功を示す情報「１」を記憶部１１４に格納する（ステップＳ１０６）。受信確認信号Ｓｄを受信しなかった場合には、信号受信確認部１１２ｃは受信失敗を示す情報「０」を記憶部１１４に格納する（ステップＳ１０７）。
【００６８】
カウント値制御部１１２ａは、カウンタに設定されている値ｉがテストデータ送信回数設定値Ｎ（Ｎは、１以上の任意の整数）と等しいか否かを判定する（ステップＳ１０８）。
【００６９】
ｉ≠Ｎである場合には、カウント値制御部１１２ａからの指令により、カウンタ１１３は、ｉに１を加える（ステップＳ１０９）。
【００７０】
ｉ＝Ｎである場合には、カウント値制御部１１２ａからの指令により、加算値算出部１１２ｄは、記憶部１１４に格納した値を加算し、加算値Ｍを算出する（ステップＳ１１０）。これにより、演算部１１２は、ステップＳ１０６で受信成功と判定された回数を認識する。
【００７１】
加算値判定部１１２ｅは、加算値Ｍと受信回数判定値Ｍｔｈとを比較する（ステップＳ１１１）。受信回数判定値Ｍｔｈは、１≦Ｍｔｈ≦Ｎを満たす整数であり、インピーダンスの増大が無いと判定するために必要な受信可能な回数を表す値である。受信回数判定値Ｍｔｈは、例えば記憶部１１４に格納され、加算値判定部１１２ｅにより適宜読み出すことが可能である。
【００７２】
Ｍ≧Ｍｔｈの場合には、高速テストデータＴＨの送信が正常に行える状態であるとして、加算値判定部１１２ｅはパス判定を出力する（ステップＳ１１２）。Ｍ＜Ｍｔｈの場合には、高速テストデータＴＨの送信が正常に行えない状態、すなわちケーブルのインピーダンスが増大しているものとして、加算値判定部１１２ｅはフェイル判定を出力する（ステップＳ１１３）。
【００７３】
加算値判定部１１２ｅは、前述のパス判定及びフェイル判定を、ホストコンピュータ１２０に出力する。ホストコンピュータ１２０は、フェイル判定を受信した場合には、出力装置にケーブルの交換を促すアラームを表示する。
【００７４】
以上より、上述の構成及び方法によれば、三次元測定機で測定を繰り返すことにより反復して湾曲するケーブルのインピーダンス増大を検出することが可能である。更に、上述の高速テストデータＴＨの通信速度を、形状測定時の通信速度よりも高く設定することで、形状測定時の通信速度に対して余裕を保持したテストが可能となる。すなわち、形状測定時よりも厳しい条件にてテストを行うことにより、インピーダンス増大が形状測定に影響を及ぼす前に、ケーブル交換を行うことができる。なお、形状測定における通信速度が１４０Ｍｂｐｓである場合には、高速テストデータＴＨの通信速度は例えば１６０Ｍｂｐｓである。
【００７５】
なお、三次元測定機では、ケーブル交換後には、位置精度の調整などが必要になるため、ケーブル交換作業には相応の時間を要する。そのため、ケーブルのインピーダンス増大が進んで、形状測定が不能になってからケーブル交換を行ったのでは、計画外の設備停止が発生してしまう。ところが、本構成によれば、形状測定が不能になる前にインピーダンス増大を検出してアラームを通知するので、計画的なケーブル交換を行うことができる。これにより、設備使用計画にケーブル交換を組み込むことにより、予期しない設備停止を防止し、効率的に形状測定計画を策定することが可能となる。
【００７６】
実施の形態２
次に、実施の形態２にかかる形状測定装置２００について説明する。図６は、実施の形態２にかかる形状測定装置２００の構成を模式的に示すブロック図である。形状測定装置２００は、形状測定装置１００と比べて、ケーブル１３Ｂが追加されている。ケーブル１３Ｂは、プローブインターフェイス１１０とプローブ１３との間に接続される。ケーブル１３Ｂは、ケーブル１３Ａと比べて低速度の通信を行うためのケーブルである。形状測定装置２００のその他の構成は、形状測定装置１００と同様であるので説明を省略する。
【００７７】
続いて、本実施の形態にかかる三次元測定機のケーブルのインピーダンスのテスト動作について説明する。形状測定装置２００は、形状測定装置１００と同様に、ケーブル１３Ａを介して、高速テストデータＴＨを用いたインピーダンスのテスト動作を行うことができる。更に、形状測定装置２００は、ケーブル１３Ｂを介して、低速テストデータＴＬを用いたインピーダンスのテスト動作を行うことができる。図７は、実施の形態２にかかる形状測定装置２００のケーブル１３Ｂのインピーダンスのテスト動作を示すフロー図である。
【００７８】
図７のステップＳ２０１及びＳ２０２は、それぞれ図５のステップＳ１０１及びＳ１０２と同様であるので、説明を省略する。
【００７９】
ステップＳ２０２の後、テストデータ出力部１１２ｂは、プローブ１３の演算部１３１へ低速テストデータＴＬを転送する（ステップＳ２０３）。
【００８０】
その後の図７のステップＳ２０３〜Ｓ２１３は、それぞれ図５のステップＳ１０３〜Ｓ１１３と同様であるので、説明を省略する。
【００８１】
すなわち、ケーブル１３Ｂを介して低速テストデータＴＬを送信することにより、ケーブル１３Ａと同様に、ケーブル１３Ｂのインピーダンスのテスト動作を実行することが可能である。なお、形状測定時にケーブル１３Ｂを伝搬する信号の通信速度が６ｋｂｐｓである場合には、低速テストデータＴＬの通信速度は例えば７ｋｂｐｓである。
【００８２】
以上本構成によれば、通信速度の異なるケーブルが複数有る場合でも、それぞれのケーブルについてインピーダンスのテスト動作を行うことができる。なお、本実施の形態では、２本のケーブル１３Ａ及び１３Ｂを有する場合について説明したが、ケーブル数は、３以上の任意の数とすることが可能であることは言うまでもない。
【００８３】
実施の形態３
次に、実施の形態３にかかる形状測定装置３００について説明する。図８は、実施の形態３にかかる形状測定装置３００の構成を模式的に示すブロック図である。形状測定装置３００は、形状測定装置１００と比べて、ケーブル１３Ｃ及びＤが追加されている。ケーブル１３Ｃ及び１３Ｄは、プローブインターフェイス１１０とプローブ１３との間に接続される。ケーブル１３Ｃ及び１３Ｄは、プローブ１３の内部で短絡されている。
【００８４】
また、ケーブル１３Ａ、１３Ｃ及び１３Ｄは、一本の集束ケーブル１３０としてまとめられている。従って、ケーブル１３Ａ、１３Ｃ及び１３Ｄは同一経路を通るので、形状測定の繰り返しにより、同じ回数かつ同程度の湾曲を繰り返す。
【００８５】
続いて、本実施の形態にかかる三次元測定機のケーブルのインピーダンスのテスト動作について説明する。形状測定装置３００は、ケーブル１３Ｃ及びＤを用いて、高速テストデータＴＨを用いたインピーダンスのテスト動作を行うことができる。図９は、実施の形態３にかかる形状測定装置３００のケーブルのインピーダンスのテスト動作を示すフロー図である。
【００８６】
図９のステップＳ３０１及びＳ３０２は、それぞれ図５のステップＳ１０１及びＳ１０２と同様であるので、説明を省略する。
【００８７】
ステップＳ３０２の後、テストデータ出力部１１２ｂは、ケーブル１３Ｃを介して、三次元測定機１０１のプローブ１３へ高速テストデータＴＨを転送する（ステップＳ３０３）。
【００８８】
ケーブル１３Ｃとケーブル１３Ｄとはプローブ１３の内部で短絡されているので、高速テストデータＴＨは折り返して、ケーブル１３Ｄを伝搬してプローブインターフェイス１１０に戻る（ステップＳ３０４）。つまり、高速テストデータＴＨが図３に示す受信確認信号Ｓｄとして、プローブインターフェイス１１０に送信されることとなる。この際、ケーブル１３Ｃ及び１３Ｄの一方又は両方のインピーダンスが大きい場合には、高速テストデータＴＨはプローブインターフェイス１１０に正常な状態で戻れなくなる。
【００８９】
信号受信確認部１１２ｃは、高速テストデータＴＨを正常に受信できるかを確認する（ステップＳ３０５）。信号受信確認部１１２ｃは、例えば高速テストデータＴＨの送信後の一定期間待機し、高速テストデータＴＨを正常に受信するか否かを判定する。
【００９０】
高速テストデータＴＨを正常に受信した場合には、信号受信確認部１１２ｃは受信成功を示す情報「１」を記憶部１１４に格納する（ステップＳ３０６）。高速テストデータＴＨを正常に受信できなかった場合には、信号受信確認部１１２ｃは受信失敗を示す情報「０」を記憶部１１４に格納する（ステップＳ３０７）。
【００９１】
その後の図９のステップＳ３０８〜Ｓ３１１は、それぞれ図５のステップＳ２０８〜Ｓ２１１と同様であるので、説明を省略する。
【００９２】
ステップＳ３１１の後、Ｍ≧Ｍｔｈの場合には、高速テストデータＴＨの送信が正常に行える状態であると判定する。そして、ケーブル１３Ｃ及び１３Ｄも用いたテスト結果がケーブル１３Ａのテスト結果と同等であるものとして、加算値判定部１１２ｅはパス判定を出力する（ステップＳ１１２）。Ｍ＜Ｍｔｈの場合には、高速テストデータＴＨの送信が正常に行えない状態、すなわちケーブルのインピーダンスが増大しているものと判定する、そして、ケーブル１３Ｃ及び１３Ｄも用いたテスト結果をケーブル１３Ａのテスト結果と同等であるものとして、加算値判定部１１２ｅはフェイル判定を出力する（ステップＳ１１３）。
【００９３】
上述のように、ケーブル１３Ａ、１３Ｃ及び１３Ｄは同一経路を通るので、形状測定の繰り返しにより、同じ回数かつ同程度の湾曲を繰り返すこととなる。従って、本構成によれば、ケーブル１３Ｃ及び１３Ｄを用いてインピーダンスのテスト動作を行うことにより、間接的に形状測定時のデータ通信に用いられるケーブル１３Ａのインピーダンスの増大を見積もることが可能となる。従って、形状測定装置３００は、形状測定装置１００と同等のケーブルのインピーダンスのテスト動作を行うことができる。
【００９４】
さらに、形状測定装置３００は、形状測定装置１００と比べて、プローブ１３の演算部１３１を省略することができる。従って、形状測定装置３００は、プローブの小型化、低コスト化の観点から有利である。
【００９５】
実施の形態４
次に、実施の形態４にかかる形状測定装置４００について説明する。形状測定装置４００は、実施の形態１にかかる形状測定装置１００の変形例であり、測定開始前のみならず、形状測定中のプローブ移動動作中にも、逐次ケーブルのインピーダンスのテスト動作を行う。図１０は、実施の形態４にかかる形状測定装置４００の形状測定中の動作モードを示す図である。
【００９６】
形状測定装置４００は、形状測定開始（図１０のタイミングｔ１）に先立ち、形状測定装置１００と同様に、ケーブルのインピーダンスのテスト動作を実施する（図１０のタイミングｔ０）。その後、形状測定が開始すると、実際にワークの形状に倣ってプローブを移動させて測定を行う測定モード４０１と、形状測定を行うことなくプローブが測定箇所間を移動する移動モード４０２とが繰り返される。形状測定装置４００は、移動モード４０２の間に、逐次ケーブルのインピーダンスのテスト動作を行う（図１０のタイミングｔ２〜ｔ４）。
【００９７】
本構成によれば、形状測定開始前のみならず、形状測定中においても逐次ケーブルのインピーダンス増大を監視することができる。従って、形状測定装置４００は、形状測定装置１００と比べて、形状測定の信頼性を確保することが可能である。
【００９８】
なお、本発明は上記実施の形態に限られたものではなく、趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更することが可能である。例えば、形状測定装置３００又は４００に、形状測定装置２００にかかる低速テストデータＴＬを用いたケーブルのインピーダンスのテスト動作を適用することが可能であることは勿論である。
【００９９】
例えば、形状測定装置３００においても、形状測定装置４００にかかる移動モード４０２中のケーブルのインピーダンスのテスト動作を実行できることは勿論である。
【０１００】
上述の実施の形態では、形状測定装置について説明したが、これは例示である。よって、形状測定装置の他の測定装置や、測定装置以外の工作機械や産業機械などの、湾曲部を有する可動部を有し、可動部の移動に応じて湾曲部が移動する装置に適用することが可能である。
【符号の説明】
【０１０１】
１  テーブル
２  Ｘ方向駆動機構
３  Ｙ方向駆動機構
４  Ｚ方向駆動機構
５  Ｙガイドレール
６Ｌ、６Ｒ  Ｙスライダ
７  Ｘビーム
８  Ｘスライダ
９  Ｘスライダ駆動手段
１０  Ｚ軸スピンドル
１３  プローブ
１３Ａ〜１３Ｄ  ケーブル
１５  駆動ローラ
１６  従動ローラ
２０  シリンダ
２１  押上力発生室
２２  ガイド筒
２３  エアーベアリング
２４  エアーパッド
２５  支柱
２６  横梁
２７  軸受片
２８  支持軸
２９  ピストン
３０  鍔部
３１  ボール
３２  ハウジング
４１  保護筒
４２  引出口
４３  誘導路
１００、２００、３００、４００  形状測定装置
１０１  三次元測定機
１１０  プローブインターフェイス
１１１  インピーダンス検出器
１１２、１２１、１３１  演算部
１１２ａ  カウント値制御部
１１２ｂ  テストデータ出力部
１１２ｃ  信号受信確認部
１１２ｄ  加算値算出部
１１２ｅ  加算値判定部
１１３  カウンタ
１１４、１２２  記憶部
１１５  測定制御部
１１６  駆動制御部
１１７  信号検出部
１１８  操作手段
１２０  ホストコンピュータ
１２３  入力手段
１２４  出力手段
１３０  集合ケーブル
１３２  湾曲部
４０１  測定モード
４０２  移動モード
Ｍ  加算値
Ｍｔｈ  受信回数判定値
Ｎ  テストデータ送信回数設定値
Ｓｄ    受信確認信号
ＴＨ  高速テストデータ
ＴＬ  低速テストデータ
【図１】
2014095563.tif 000003
【図２】
2014095563.tif 000004
【図３】
2014095563.tif 000005
【図４】
2014095563.tif 000006
【図５】
2014095563.tif 000007
【図６】
2014095563.tif 000008
【図７】
2014095563.tif 000009
【図８】
2014095563.tif 000010
【図９】
2014095563.tif 000011
【図１０】
2014095563.tif 000012