(57)【要約】【課題】熱処理装置から排出される加熱によって気化した溶媒を含む排気雰囲気ガスを排気の過程で冷却することなく、排気雰囲気ガス中に含まれる溶媒を除去し、排気雰囲気ガスを浄化する排気浄化方法を提供する。【解決手段】排気ダクト２で排出される排気雰囲気ガスに液体粒子供給装置３によって発生する液体粒子１１を供給し、混合部４内で排気雰囲気ガス中の気化した溶媒１０と液体粒子が接近、接触、凝集を繰り返すことにより溶媒を液体粒子に捕捉し、遠心分離装置５で除去、浄化する。【選択図】図１
2014057935.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
熱処理装置内において、溶媒を含んだ材料の加熱によって溶媒を気化し、前記気化した溶媒を含みかつ前記熱処理装置内から排出される排気雰囲気ガスを浄化する方法であって、
前記熱処理装置に連通する排気ダクトにより、前記気化した溶媒を含んだ雰囲気ガスを熱処理装置外に排気し、
前記排気ダクトに連結された混合部で、前記熱処理装置から前記排気ダクトを介して排出された前記排気雰囲気ガスと、液体粒子供給装置から供給されかつ排気雰囲気ガス温度以上に加熱された液体粒子とを混合して混合雰囲気ガスを形成し、
前記排気雰囲気ガスと前記液体粒子とが混合された前記混合雰囲気ガスを遠心分離装置で遠心分離にかけて、前記排気雰囲気ガス中から前記溶媒を吸着した液体粒子を遠心分離して、前記遠心分離装置から排出される排気雰囲気ガスから、前記溶媒及び前記液体粒子を除去し、浄化する、雰囲気ガスの排気浄化方法。
【請求項２】
前記液体粒子供給装置から供給する前記液体粒子を前記排気ダクト又は前記混合部内に供給する際に、前記排気雰囲気ガスに前記液体粒子を供給する以前の段階で、前記液体粒子を帯電させる、請求項１に記載の雰囲気ガスの排気浄化方法。
【請求項３】
前記混合部は、前記排気雰囲気ガスの流線と前記液体粒子の流線が交差するように混合させる、請求項１又は２に記載の雰囲気ガスの排気浄化方法。
【請求項４】
前記混合部は、攪拌部で発生させる乱流により、前記排気雰囲気ガスと前記液体粒子とを混合させる、請求項１に記載の雰囲気ガスの排気浄化方法。
【請求項５】
前記遠心分離装置から排出される浄化した前記排気雰囲気ガスを前記熱処理装置内に循環する、請求項１〜４のいずれか１つに記載の排気浄化方法。
【請求項６】
前記遠心分離装置から排出される前記排気雰囲気ガスを、断熱材によって外気と熱遮断されているダクトで、前記加熱処理装置に循環させる、請求項５に記載の排気浄化方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、加熱によって気化する溶媒を含んだ材料を加熱処理する際に、熱処理装置内で気化した溶媒を含んだ雰囲気ガスを装置外に排出する経路上で、排気雰囲気ガス中から溶媒を除去し排気雰囲気ガスを浄化する排気浄化方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、さまざまな工業製品若しくは家電の組み立て製造工程、又は、それらの製品の構成部品となる各種電子部品、各種の電池、若しくは、基板などのデバイス製造工程においても、各種の機能を持ったペースト状の材料を塗布し、各種熱処理装置によって、加熱処理が行われている。各種熱処理装置の例としては、乾燥炉、焼成炉、キュア炉、又は、電子部品の実装工程などではんだ付けに使用されるリフロー炉などが挙げられる。それぞれのペースト状の材料には、最終的に製品に必要とされる固形分などに加え、それらを各種の基板又は基材などに塗工するために、水又は有機溶剤など、それぞれの目的又は必要に応じて各種の溶剤が混入され、粘度調整又は性能調整が施されている。
【０００３】
それらの溶媒は、熱処理装置における加熱工程で気化、及び、脱媒の工程を経て、ペースト上の材料から装置内に放出される。これにより、連続的に加熱処理がなされる場合には、連続的に装置内に溶媒が気化して放出され、その結果、装置内雰囲気ガスにおける溶媒濃度が上がり、様々な不具合につながる可能性がある。例えば、装置内雰囲気ガス中の溶媒濃度が高くなるにつれて、装置内温度での雰囲気ガス中に存在可能な溶媒の量が飽和状態に近づくことで乾燥が困難になり、又は、爆発性を有する溶媒の場合は、飽和蒸気圧まで達していなくても、気化溶媒濃度の爆発限界を超えてしまう可能性もある。そのために、装置外から外気を定期的又は連続的に装置内に供給したり、窒素ガス又はその他の雰囲気ガスが必要な場合には、それらの雰囲気ガスを装置外から供給し、さらに、同時に溶媒濃度が上昇した装置内の雰囲気ガスを装置外に放出する手段が採られる。
【０００４】
図７は雰囲気ガスの供給と排気とを説明する図である。送風ブロア１１９で外気を熱処理装置１０１の内部に供給する。熱処理装置１０１内で気化する溶媒を含んだ装置内の雰囲気ガスの一部を排気ブロア１０７で装置外に排出する。ただし、装置外に排気する雰囲気ガスに含有されている溶媒は、有害なものもあり、環境に与える影響が懸念されるものもある。そこで、装置外に排出される排気雰囲気ガスに含まれる溶媒による大気汚染などの環境への影響、又は、作業者に対する健康影響を除外するために、排気雰囲気ガスから必要に応じて溶媒を除去する方法として、例えば特許文献１の方式が知られている。
【０００５】
図８は特許文献１の説明図である。この特許文献１においては、熱処理装置１０１内から排出される溶媒を含んだ排気雰囲気ガスを装置内排気ダクト２０に連通して配置されている冷却器２１によって冷却する。このように構成することで、装置内雰囲気ガス中の溶媒を液化凝集させて、装置外排気ダクト２２によって、さらに下流側に連通して配置されているミストコレクタ２３で捕捉する。このようにすることで、排気雰囲気ガスを浄化し、浄化された雰囲気ガスを装置外に排出することが出来る。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００４−３０１３７３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、前記特許文献１の構成では、排気中の溶媒を冷却器によって冷却して溶媒を液化、及び、凝集することから、熱処理装置内雰囲気ガスを高温に加熱するために用いられた膨大なエネルギーを、冷却器での冷却工程で奪い、また、冷却器そのものでも冷却するためのエネルギーを消費するといった問題がある。
【０００８】
本発明は、このような点に鑑み、熱処理装置から排出される加熱によって気化した溶媒を含む排気雰囲気ガスを排気の過程で冷却することなく、排気雰囲気ガス中に含まれる溶媒を除去し、排気雰囲気ガスを浄化する排気浄化方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために、本発明は以下のように構成する。
【００１０】
本発明の１つの態様にかかる排気浄化方法は、熱処理装置において、溶媒を含んだ材料の加熱によって溶媒を気化し、前記気化した溶媒を含みかつ前記熱処理装置内から排出される排気雰囲気ガスを浄化する方法であって、
前記熱処理装置に連通する排気ダクトにより、前記気化した溶媒を含んだ雰囲気ガスを熱処理装置外に排気し、
前記排気ダクトに連結された混合部で、前記熱処理装置から前記排気ダクトを介して排出された前記排気雰囲気ガスと、液体粒子供給装置から供給されかつ排気雰囲気ガス温度以上に加熱された液体粒子とを混合して混合雰囲気ガスを形成し、
前記排気雰囲気ガスと前記液体粒子とが混合された前記混合雰囲気ガスを遠心分離装置で遠心分離にかけて、前記排気雰囲気ガス中から前記溶媒を吸着した液体粒子を遠心分離して、前記遠心分離装置から排出される排気雰囲気ガスから、前記溶媒及び前記液体粒子を除去し、浄化する。
【発明の効果】
【００１１】
以上のように、本発明の排気浄化方法によれば、加熱を行う熱処理装置から排出される排気雰囲気ガスに含まれる気化した溶媒を除去する場合においても、排気雰囲気ガスを冷却することなく、浄化した雰囲気ガスを熱処理装置外に排気、又は、熱処理装置内に循環することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の第１実施形態における排気浄化方法の説明図
【図２】本発明の第１実施形態における排気浄化方法の凝集の過程の説明図
【図３】本発明の第１実施形態における排気浄化方法の帯電による凝集の過程の説明図
【図４】第１実施形態における排気浄化方法の混合部の状態説明図
【図５】第１実施形態における排気浄化方法の混合部の状態説明図
【図６】本発明の第２実施形態における排気浄化方法の説明図
【図７】従来の供給、排気を示す説明図
【図８】従来の排気浄化装置の説明図
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
【００１４】
（第１実施形態）
図１は、本発明の第１実施形態における排気浄化方法を実施する排気浄化装置の説明図である。
【００１５】
排気浄化装置４０は、排気ダクト２と、液体粒子供給装置３と、混合部４と、遠心分離装置５とを備えて構成されている。排気ダクト２は、一端が熱処理装置１に連通しかつ他端が混合部４に連通して配置されている。液体粒子供給装置３は、混合部４の一端に連通して配置されている。遠心分離装置５は混合部４の他端に連通して配置されている。遠心分離装置５の下流側には排気ブロア７が配置されていてもよい。
【００１６】
熱処理装置１は、焼成炉、乾燥炉、キュア炉、又は、リフロー炉など、加熱処理を行う炉である。熱処理装置１では、加熱対象の各種材料又は部材に応じた加熱を実施し、加熱により、熱処理装置内の雰囲気ガス（雰囲気ガス）中に溶媒が気化する。気化した溶媒を含む装置内雰囲気ガスの一部は、排気ダクト２を介して混合部４に導かれる。
【００１７】
ここで、この排気ダクト２の経路とは別の経路上には、液体粒子供給装置３が配置されている。この液体粒子供給装置３で、少なくとも排気された雰囲気ガス（排気雰囲気ガス）の温度以上の温度に加熱された液体粒子を含む高温の雰囲気ガスを、混合部４内に供給する。液体粒子供給装置３から液体粒子を含む高温の雰囲気ガスを供給するとき、混合部４に限らず、混合部４に近い排気ダクト２内に供給してもよい。液体粒子供給装置３では、排気雰囲気ガス温度以上に液体粒子を加熱することにより、排気雰囲気ガスに液体粒子が供給されて混合された際に、雰囲気ガスの温度により液体粒子が蒸発又は気化することを極力防ぐことができる。
【００１８】
なお、このとき、熱処理装置１から排出された排気雰囲気ガスの水の分圧が、飽和蒸気圧に達していない場合は、供給した高温の液体粒子の一部が蒸発、又は、気化する。その結果、排気雰囲気ガスと液体粒子の混合雰囲気ガスとが水の飽和蒸気圧に達した後は、混合気体中の液体粒子は液体のままの状態で雰囲気ガス中に存在する。混合部４では、排気雰囲気ガスの流線に対して略垂直の流線で液体粒子を含んだ高温雰囲気ガスを供給するために乱流となり、排気雰囲気ガスと液体粒子を含んだ高温雰囲気ガスとが攪拌される。混合部４で攪拌されることによって、排気雰囲気ガスに含まれる溶媒と液体粒子とは互いに接近、接触、及び、凝集を繰り返す。
【００１９】
混合部４の下流側には、例えばサイクロン方式に代表される遠心分離装置５が連通している。この遠心分離装置５に排気雰囲気ガスを送り込むことにより、排気雰囲気ガス中の溶媒を吸着及び凝集した液体粒子が、排気雰囲気ガス中から遠心分離されて、除去、回収されてドレン６から排出される。溶媒が除去されて浄化された排気雰囲気ガスは、下流に連通している排気ブロア７側に排出され、排気ブロア７によって装置外に排出される。
【００２０】
図２は、排気雰囲気ガス中の溶媒１０と液体粒子１１、もしくは液体粒子１１同士の凝集の過程を説明する図である。図２の（ａ）は、排気ダクト３内の排気雰囲気ガス中で蒸発、又は、気化している溶媒１０の状態を示している。また、図２の（ｂ）は、液体粒子供給装置２から排気雰囲気ガスに供給されかつ排気雰囲気ガス温度以上の温度に加熱された液体粒子１１の状態を示している。図２の（ｃ）は、（ａ）の排気雰囲気ガス中に（ｂ）の液体粒子１１を供給した後の混合部４で、又は、（ａ）の排気雰囲気ガス中に（ｂ）の液体粒子１１を供給する混合部４で、溶媒１０と液体粒子１１とがファンデルワールス力１２によって接近、接触、及び、凝集する過程を示している。図２の（ｄ）は、混合部４で、この凝集を繰り返すことにより徐々に質量が増して、液体粒子１１の粒径が凝集前よりも大きくなった液体粒子１１Ａの状態を示している。
【００２１】
図３に、図２の第１実施形態の変形例として、排気雰囲気ガスに液体粒子１１を供給する以前の段階で、液体粒子１１を帯電させる場合について説明する。
【００２２】
図３では、図３の（ｃ）で、図３の（ｂ）の液体粒子１１を図３の（ａ）の溶媒１０を含む雰囲気ガスと混合する前に、液体粒子１１に対して、例えばコロナ放電電極１３と高圧電源１４とによって電荷１５を与えている。そして、液体粒子１１を帯電した状態にしてから、帯電した液体粒子１１を混合部４に供給する（図３の（ｃ）参照）。これにより、図３の（ｃ）及び図３の（ｄ）では、ファンデルワールス力１２に加えて、帯電した電荷１５によるクーロン力も加わることで、ファンデルワールス力１２＋クーロン力１６の両方が働き、ファンデルワールス力１２のみの場合に比較して、凝集を促進することが出来る。
【００２３】
なお、ダストの回収などの分野で、除去したい粉体にコロナ放電で電荷を直接与えて帯電させ、逆電荷の電極で帯電したダストを回収する方式も知られている。しかし、気化した溶剤を含む排気雰囲気ガス中に、コロナ放電などの手段によって帯電をさせる場合、例えば溶剤が有機溶剤などの場合は、引火、又は、爆発の危険性を有する溶剤については、気化した状態に対して放電することによる引火、又は、爆発事故の可能性がある。そのため、第１実施形態では、気化した溶剤に電荷を与えて帯電させるのではなく、爆発の危険性の無い液体粒子、例えば、水の液体粒子１１に対して電荷１０を与えて帯電させる方式を採る。
【００２４】
なお、供給する液体粒子１１の状態については、各設定温度において液体粒子１１が存在する状態、つまり、雰囲気ガス中に含まれる水蒸気の量は飽和蒸気圧まで到達している状態である。そのため、混合部４で混合された混合雰囲気ガスの水蒸気圧が、その温度での飽和水蒸気圧に達していない場合は、混合雰囲気ガスの温度での飽和水蒸気圧に達するまで混合した液体粒子１１の一部が蒸発し、飽和水蒸気圧に達した時点で残留している液体粒子１１を浄化に用いることになる。一方で、排気雰囲気ガス温度より液体粒子１１の温度が高い設定で、しかも、排気雰囲気ガスの水蒸気の分圧が飽和水蒸気に達している場合は、混合雰囲気ガスの温度は液体粒子１１の温度よりも低下するために飽和蒸気圧も低下し、混合雰囲気ガスに含まれる水蒸気は水蒸気として存在できずに液化、つまり液体粒子化する。このため、供給した液体粒子１１の量が減ることはない。どちらの場合も、混合後に液体として存在している液体粒子１１によって、排気の浄化が行われることになる。なお、排気ダクト２及び混合部４については、それぞれの中を通過する排気雰囲気ガスが外気温度の熱伝達によって冷却されると液化が進むために、液体粒子１１を用いた浄化の機能として不都合はない。しかしながら、過度の冷却による過剰の液化によって排気ダクト２内及び混合部４内の腐食などの影響が出る可能性がある。そのため、第１実施形態においては、炉内雰囲気ガスの排気及び循環の工程全体にわたって、排気雰囲気ガスの温度を高温に維持するため、断熱材でそれぞれの装置又は部材を覆って外気と熱遮断するなど、断熱処理が施されていることが望ましい。
【００２５】
また、一般的には、ミストのサイズによって、気体内でのミストの挙動が決定される。
【００２６】
（１）ミストサイズ粒径３μｍ未満の場合
粒子の質量が無視でき、流速が遅いほど粒子は慣性の影響を受けることなくブラウン運動をするので、粒子は流線に沿った均一な運動は行わない。
（２）ミストサイズ粒径３〜２０μｍの場合
慣性、拡散の影響が無視できる範囲において、粒子の中心は流体の流線に沿って移動する。
【００２７】
（３）ミストサイズ粒径２０μｍより大きい場合
慣性力が大きく、流線が曲げられた場合には、粒子はその慣性力によって直進する。
【００２８】
以上より、混合部４で排気に含まれる、気化している溶媒１０との接近、接触、及び、凝集の工程を考慮すると、液体粒子１１が粒径３μｍ未満のミストの場合、流線に沿った均一な運動は行わず、ブラウン運動をする。このため、接近、接触、及び、凝集の工程の最初の「接近、接触」の機会が得られるが、粒子の質量が無視できる範囲では、下流側の遠心分離装置５における分離、及び、回収工程において分離されずに、さらに下流の排気ブロア７にまで到達してしまう恐れがある。一方、液体粒子１１が粒径２０μｍを越えるサイズでは、初期の供給時点から液体粒子１１の慣性力が大きいために、混合部４においても運動の直進性が高く、十分に混合されにくいために溶媒１０との接触の可能性が低下し、液体粒子１１同士の接触も発生しにくい。よって、気体中での接触機会又は遠心分離装置５での分離回収工程を考慮した場合、液体粒子１１のサイズは粒径３〜２０μｍの間のサイズが望ましい。
【００２９】
混合部４における溶媒１０と液体粒子１１との接触機会の向上のために、液体粒子１１の供給は、排気ダクト２内の排気雰囲気ガスの流線に対して平行ではなく、１８０度未満の角度を与えた状態で供給することが望ましい。図４は、排気雰囲気ガスの流線４２に対して液体粒子供給装置３から供給する液体粒子１１の流線４３を略垂直方向（ほぼ９０度）になるように供給した場合の説明図である。混合部４内の排気雰囲気ガスに対して液体粒子１１を加えると、双方の流線４２，４３が交差及び衝突することによって、混合部４内で乱流１７が発生する。すると、その乱流１７の中で、溶媒１０と液体粒子１１との接触、又は、液体粒子１１同士の接触が発生する。この場合、乱流１７を発生させて接触機会を増加するためには、液体粒子１１を供給する際の流速が、排気雰囲気ガスを供給する際の流速と同等以上であることが望ましい。
【００３０】
もしくは、図５のように、混合部４の中に攪拌部１８を付与することで、積極的に乱流を発生させて、混合雰囲気ガスを攪拌、混合する方法も好適である。攪拌部１８は、複数枚の円板を回転軸に所定間隔で配置し、所定方向に回転させることにより、雰囲気ガスに乱流を発生させるものであり、攪拌部１８に限らず、公知の攪拌部材又は装置を使用することができる。  第１実施形態によれば、加熱を行う熱処理装置１から排出される排気雰囲気ガスに含まれる気化した溶媒１０を除去する場合においても、排気雰囲気ガスを冷却することなく、浄化した雰囲気ガスを熱処理装置外に排気することが可能となる。また、排気ダクト２で排出される排気雰囲気ガスに、液体粒子供給装置３によって発生する液体粒子１１を供給し、混合部４内で、排気雰囲気ガス中の気化した溶媒１０と液体粒子１１とが接近、接触、凝集を繰り返すことにより、溶媒１０を液体粒子１１に捕捉する。これにより、質量が小さくそのままでは排気雰囲気ガス中から遠心分離方式で除去することができない気化した溶媒１０を、遠心分離装置５で効率的に除去、浄化することができる。
【００３１】
さらに、混合部４は、気化した溶媒１０を含む排気雰囲気ガスの流線４２と液体粒子１１の流線４３とが交差するように構成するので、混合された雰囲気ガスの流れを乱流とし、溶媒１０と液体粒子１１、又は液体粒子１１同士の接近、接触、及び、凝集を促進することができる。
【００３２】
また、混合部４に攪拌部１８を備える場合には、攪拌部１８で発生させる乱流により、前記排気雰囲気ガスと前記液体粒子とを混合させることができて、排気雰囲気ガス中の気化した溶媒１０と液体粒子１１、及び液体粒子１１同士の接近及び接触を促進することができる。
【００３３】
（第２実施形態）
図６は、本発明の第２実施形態における排気浄化装置４１で排気浄化方法を実施する例である。
【００３４】
遠心分離装置５と加熱処理装置１とを連通させるダクト８と、ダクト８の上流側すなわち遠心分離装置側に配置された循環ブロア９とをさらに備えている。
【００３５】
ダクト８は、その外面が断熱材８ａで覆われて、断熱材８ａによって外気と熱遮断されている状態で、遠心分離装置５から排出される排気雰囲気ガスを、加熱処理装置１に戻すようにしている。循環ブロア９は、遠心分離装置５から排出される排気雰囲気ガスを、強制的に、加熱処理装置１に戻すことにより、循環を促進させるようにしている。
【００３６】
この第２実施形態は、浄化した排気雰囲気ガスを熱処理装置１の外部に排出するのではなく、装置１内に循環して戻す事例である。より具体的には、溶媒１０が除去されて浄化された排気雰囲気ガスは、下流に連通している循環ブロア９側に排出される。循環ブロア９の駆動により、ダクト８を介して雰囲気ガスが、再び、熱処理装置１内に導入される。このようにして、遠心分離装置５から排出される浄化した排気雰囲気ガスを装置外に排出せずに、ダクト８を介して熱処理装置１内に循環するようにしている。このように構成する場合は、積極的な加熱を行わない限りは、熱処理装置１から下流に行くに従って排気雰囲気ガスの温度は低下するために、排気雰囲気ガス中に含まれる水蒸気の分圧は常に飽和蒸気圧の状態を維持し続ける。したがって、熱処理装置１で再加熱されて再び排気される場合にも、水蒸気は常に高い分圧を維持しており、混合部４で液体粒子発生装置３から液体粒子１１を供給する際に、液体粒子１１の気化する量を抑制することが出来る。また、循環の経路全体にわたって断熱材８ａによって熱遮断を行う場合には、熱処理装置１に循環する際に、再度、熱処理装置１の炉内温度に温度上昇させるためのエネルギーを必要とせずに、熱処理装置１の消費エネルギーを抑制することができる。
【００３７】
第２実施形態によれば、遠心分離装置５から排出される排気雰囲気ガスを、断熱材８ａによって外気と熱遮断されているダクト８で、加熱処理装置１に循環させることができる。よって、遠心分離装置５から排出される排気雰囲気ガスを加熱処理装置１にに循環するためのダクト８は、その排気雰囲気ガス循環の全工程において外部雰囲気ガスと熱の授受を行わないように断熱材８ａによって熱遮断され、循環する排気雰囲気ガスの温度を低下させずに維持することができる。
【００３８】
なお、第１又は第２実施形態において、液体粒子供給装置１５については、高温の液体粒子１１を発生させるために熱処理装置１の壁面から廃棄している放散熱を利用することで、さらに消費エネルギーを抑制することが出来る。
【００３９】
なお、上記様々な実施形態又は変形例のうちの任意の実施形態又は変形例を適宜組み合わせることにより、それぞれの有する効果を奏するようにすることができる。
【産業上の利用可能性】
【００４０】
本発明の排気浄化方法は、排気雰囲気ガスに含まれる溶媒を、排気雰囲気ガスを冷却することなく浄化することが可能となるため、消費エネルギー又は雰囲気ガス使用量の少ない排気浄化方法として、工業製品若しくは家電製品の製造工程、又は、各種電子部品の製造工程における乾燥炉、焼成炉、キュア炉、若しくは、リフロー炉などの各種熱処理を行う熱処理装置に適用できる。
【符号の説明】
【００４１】
１．熱処理装置
２．排気ダクト
３．液体粒子供給装置
４．混合部
５．遠心分離装置
６．ドレン
７．排気ブロア
８．ダクト
８ａ．断熱材
９．循環ブロア
１０．溶媒
１１．液体粒子
１１Ａ．凝集前よりも粒径が大きくなった液体粒子
１２．ファンデルワールス力
１３．コロナ放電電極
１４．高圧電源
１５．電荷
１６．ファンデルワールス力＋クーロン力
１７. 乱流
１８．撹拌部
１９．送風ブロア
２０. 装置内排気ダクト
２１．冷却器
２２．炉外排気ダクト
２３．ミストコレクタ
４０，４１．排気浄化装置
【図１】
2014057935.tif 000003
【図２】
2014057935.tif 000004
【図３】
2014057935.tif 000005
【図４】
2014057935.tif 000006
【図５】
2014057935.tif 000007
【図６】
2014057935.tif 000008
【図７】
2014057935.tif 000009
【図８】
2014057935.tif 000010