(57)【要約】【課題】製造コストの低減を図りつつ、供給対象に供給する熱媒液を確実かつ正確に所望の温度まで冷却する。【解決手段】制御部９が、処理開始を指示する操作信号やセンサ信号Ｓ６ａに応じて三方弁７ａを制御して配管Ｐ１ａ，Ｐ１ｃを連通状態とさせ、かつ三方弁７ｂを制御して配管Ｐ３ｃ，Ｐ３ａを連通状態とさせる第１処理と、計測開始信号Ｓ１に応じて三方弁７ａを制御して配管Ｐ１ａ，Ｐ１ｃを連通状態とさせ、かつ三方弁７ｂを制御して配管Ｐ３ｃ，Ｐ３ｂを連通状態とさせる第２処理と、センサ信号Ｓ６ｂに応じて三方弁７ａを制御して配管Ｐ１ｂ，Ｐ１ｃを連通状態とさせ、かつ三方弁７ｂを制御して配管Ｐ３ｃ，Ｐ３ｂを連通状態とさせる第３処理と、信号Ｓ１に応じて三方弁７ａを制御して配管Ｐ１ｂ，Ｐ１ｃを連通状態とさせ、かつ三方弁７ｂを制御して配管Ｐ３ｃ，Ｐ３ａを連通状態とさせる第４処理とをこの順で繰り返し実行する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
熱媒液を貯液可能に構成された貯液槽と、
圧縮機、凝縮器、膨張弁および蒸発器を有する冷凍サイクルと、
前記蒸発器によって前記熱媒液を冷却する冷却器と、
前記貯液槽および前記冷却器を相互に接続する第１接続配管と、
前記冷却器および前記熱媒液の供給対象を相互に接続する第２接続配管と、
前記供給対象および前記貯液槽を相互に接続する第３接続配管と、
前記第１接続配管に配設されたポンプとを備え、
前記ポンプによって前記貯液槽から前記冷却器に前記第１接続配管を介して前記熱媒液を圧送することで当該冷却器において冷却された当該熱媒液を前記第２接続配管を介して前記供給対象に供給すると共に当該供給対象から当該貯液槽に前記第３接続配管を介して当該熱媒液を回収可能に構成された循環式の熱媒液供給装置であって、
前記貯液槽としての第１貯液槽および第２貯液槽と、
前記第１接続配管に配設された第１制御弁と、
前記第３接続配管に配設された第２制御弁と、
前記第１制御弁および前記第２制御弁を制御する制御部とを備え、
前記第１接続配管は、前記第１貯液槽に一端部が接続された配管１Ａと、前記第２貯液槽に一端部が接続された配管１Ｂと、前記冷却器に一端部が接続された配管１Ｃとを備えると共に、当該配管１Ａの他端部、当該配管１Ｂの他端部、および当該配管１Ｃの他端部が相互に連結されて構成され、
前記第３接続配管は、前記第１貯液槽に一端部が接続された配管３Ａと、前記第２貯液槽に一端部が接続された配管３Ｂと、前記供給対象に一端部が接続される配管３Ｃとを備えると共に、当該配管３Ａの他端部、当該配管３Ｂの他端部、および当該配管３Ｃの他端部が相互に連結されて構成され、
前記ポンプは、前記配管１Ｃに配設され、
前記第１制御弁は、前記配管１Ａおよび前記配管１Ｂのいずれか一方を前記配管１Ｃに対して選択的に連通可能に配設され、
前記第２制御弁は、前記配管３Ａおよび前記配管３Ｂのいずれか一方に対して前記配管３Ｃを選択的に連通可能に配設され、
前記制御部は、第１信号に応じて前記第１制御弁を制御して前記配管１Ａおよび前記配管１Ｃを連通状態とさせると共に前記第２制御弁を制御して前記配管３Ａおよび前記配管３Ｃを連通状態とさせる第１処理と、第２信号に応じて前記第１制御弁を制御して前記配管１Ａおよび前記配管１Ｃを連通状態とさせると共に前記第２制御弁を制御して前記配管３Ｂおよび当該配管３Ｃを連通状態とさせる第２処理と、第３信号に応じて前記第１制御弁を制御して前記配管１Ｂおよび当該配管１Ｃを連通状態とさせると共に前記第２制御弁を制御して前記配管３Ｂおよび当該配管３Ｃを連通状態とさせる第３処理と、第４信号に応じて前記第１制御弁を制御して前記配管１Ｂおよび当該配管１Ｃを連通状態とさせると共に前記第２制御弁を制御して前記配管３Ａおよび前記配管３Ｃを連通状態とさせる第４処理とをこの順で繰り返し実行する熱媒液供給装置。
【請求項２】
前記第２接続配管と前記第１貯液槽および前記第２貯液槽とを相互に接続する第４接続配管と、
前記第４接続配管に配設された第３制御弁と、
前記第２接続配管における前記第４接続配管の接続部位よりも前記供給対象側の部位に配設されて前記熱媒液の流量を規制する流量規制弁と、
前記第４接続配管に配設されて前記第２接続配管から前記第１貯液槽および前記第２貯液槽への前記熱媒液の流動を制限する流動制限弁とを備え、
前記第４接続配管は、前記第１貯液槽に一端部が接続された配管４Ａと、前記第２貯液槽に一端部が接続された配管４Ｂと、前記第２接続配管に一端部が接続された配管４Ｃとを備えると共に、当該配管４Ａの他端部、当該配管４Ｂの他端部、および当該配管４Ｃの他端部が相互に連結されて構成され、
前記流動制限弁は、前記配管４Ｃに配設され、
前記第３制御弁は、前記配管４Ａおよび前記配管４Ｂのいずれか一方に対して前記配管４Ｃを選択的に連通可能に配設され、
前記制御部は、前記第１処理において前記第１信号に応じて前記第３制御弁を制御して前記配管４Ａおよび前記配管４Ｃを連通状態とさせ、前記第２処理において前記第２信号に応じて前記第３制御弁を制御して前記配管４Ａおよび前記配管４Ｃを連通状態とさせ、前記第３処理において前記第３信号に応じて前記第３制御弁を制御して前記配管４Ｂおよび当該配管４Ｃを連通状態とさせ、前記第４処理において前記第４信号に応じて前記第３制御弁を制御して前記配管４Ｂおよび当該配管４Ｃを連通状態とさせる請求項１記載の熱媒液供給装置。
【請求項３】
前記第１制御弁は、前記配管１Ａに配設された二方弁１Ａと、前記配管１Ｂに配設された二方弁１Ｂとを備え、
前記第２制御弁は、前記配管３Ａに配設された二方弁２Ａと、前記配管３Ｂに配設された二方弁２Ｂとを備え、
前記制御部は、前記第１処理において前記二方弁１Ａを開放させると共に前記二方弁１Ｂを閉塞させ、かつ前記二方弁２Ａを開放させると共に前記二方弁２Ｂを閉塞させ、前記第２処理において前記二方弁１Ａを開放させると共に前記二方弁１Ｂを閉塞させ、かつ前記二方弁２Ａを閉塞させると共に前記二方弁２Ｂを開放させ、前記第３処理において前記二方弁１Ａを閉塞させると共に前記二方弁１Ｂを開放させ、かつ前記二方弁２Ａを閉塞させると共に前記二方弁２Ｂを開放させ、前記第４処理において前記二方弁１Ａを閉塞させると共に前記二方弁１Ｂを開放させ、かつ前記二方弁２Ａを開放させると共に前記二方弁２Ｂを閉塞させる請求項１記載の熱媒液供給装置。
【請求項４】
前記第３制御弁は、前記配管４Ａに配設された二方弁３Ａと、前記配管４Ｂに配設された二方弁３Ｂとを備え、
前記制御部は、前記第１処理において前記二方弁３Ａを開放させると共に前記二方弁３Ｂを閉塞させ、前記第２処理において前記二方弁３Ａを開放させると共に前記二方弁３Ｂを閉塞させ、前記第３処理において前記二方弁３Ａを閉塞させると共に前記二方弁３Ｂを開放させ、前記第４処理において前記二方弁３Ａを閉塞させると共に前記二方弁３Ｂを開放させる請求項２記載の熱媒液供給装置。
【請求項５】
前記制御部は、前記供給対象から出力された供給要求信号を前記第２信号として前記第２処理を開始すると共に当該供給要求信号を前記第４信号として前記第４処理を開始する請求項１から４のいずれかに記載の熱媒液供給装置。
【請求項６】
前記第１貯液槽内に貯液された前記熱媒液の液量を検出して当該第１貯液槽内に予め規定された量の当該熱媒液が貯液されたときに前記第１信号を出力する第１液量検出部と、
前記第２貯液槽内に貯液された前記熱媒液の液量を検出して当該第２貯液槽内に予め規定された量の当該熱媒液が貯液されたときに前記第３信号を出力する第２液量検出部とを備えている請求項１から５のいずれかに記載の熱媒液供給装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、熱媒液を貯液可能に構成された貯液槽を備えると共に冷凍サイクルの蒸発器によって冷却した熱媒液を供給対象に供給可能に構成された熱媒液供給装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種の熱媒液供給装置として、出願人は、レーザー加工装置等の工作機械に冷却液を供給可能に構成された冷却装置を特許第４９７０１９９号公報に開示している。この冷却装置は、冷却液を貯留する冷却液タンクと、冷凍サイクルと、冷凍サイクルによって冷却液を冷却するための熱交換器（冷却器）と、冷却液タンク内の冷却液を熱交換器に圧送する送液ポンプとを備えて構成されている。この冷却装置では、送液ポンプによって冷却液タンクから熱交換器に冷却液を圧送することにより、熱交換器において冷却した冷却液を冷却対象（レーザー加工機等の被冷却物）に供給すると共に、冷却対象を冷却することで温度上昇させられた冷却液を冷却対象から冷却液タンクに回収する構成が採用されている。これにより、出願人が開示している冷却装置では、冷却対象に供給した冷却液を回収せずに常に新しい冷却液を冷却対象に供給するタイプの冷却装置と比較して、一定量の冷却液を循環させて使用する分だけ、冷却対象の冷却に要するコストを低減することが可能となっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第４９７０１９９号公報（第７−１２頁、第１−７図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、出願人が開示している冷却装置には、以下の改善すべき課題が存在する。すなわち、出願人が開示している冷却装置では、冷却液タンク内の冷却液を熱交換器において冷却して冷却対象に供給すると共に、供給した冷却液を回収して冷却液タンクに貯留する構成が採用されている。この場合、この種の冷却装置（循環式の熱媒液供給装置）では、冷却液（熱媒液）を供給する供給対象（上記の例では、冷却対象であるレーザー加工機）の稼働中に供給対象から回収される高温の冷却液が冷却液タンクに流入するため、供給対象に冷却液を供給している最中に、冷却液タンク内の冷却液の温度が徐々に上昇することとなる。したがって、この種の冷却装置では、所望の温度（冷却対象の冷却に適した温度）まで十分に冷却した冷却液を供給可能とするために、冷却液タンク内の温度上昇した冷却液を十分に冷却し得る高性能の冷凍サイクルを備えている必要があり、これに起因して、冷却装置の製造コストを低減するのが困難となっている。このため、この点を改善するのが好ましい。
【０００５】
一方、この種の装置によって冷却液等の熱媒液を供給する供給対象の１つとして、レーザー加工機に設置されて発振器から出力されるレーザーのパワーを計測する出力計測器が挙げられる。この出力計測器は、被照射体にレーザーを照射しつつ、一例として、出願人が開示している上記の冷却装置と同様に構成された熱媒液供給装置によって予め規定された温度に温度調整した（規定温度に冷却した）熱媒液を被照射体に供給すると共に、被照射体に供給した熱媒液の温度と、レーザーの照射によって温度上昇させられる被照射体を冷却することで温度上昇した熱媒液の温度との温度差（すなわち、被照射体を通過する前後の熱媒液の温度差）、および被照射体への熱媒液の供給量に基づき、被照射体に照射されているレーザーのパワーを計測する構成が採用されている。したがって、供給対象としての出力計測器に熱媒液を供給する場合には、一例として、規定温度に対する±０．５℃程度の範囲内の温度に熱媒液を正確に冷却する必要が生じる。
【０００６】
しかしながら、出願人が開示している冷却装置と同様に構成した熱媒液供給装置によって出力計測器に熱媒液を供給したときには、被照射体において温度上昇した熱媒液が回収されてタンク内に流入させられることにより、出力計測器による計測処理の開始時点（被照射体に対するレーザーの照射開始時点）からの経過時間に応じてタンク内の熱媒液が徐々に温度上昇する。このため、出願人が開示している冷却装置と同様に構成した熱媒液供給装置によって出力計測器に熱媒液を供給する場合には、熱交換器において冷却すべき熱媒液（タンク内の熱媒液）の温度が逐次変化することに起因して、出力計測器による計測処理の開始時点から終了時点まで、出力計測器に供給する熱媒液を規定温度範囲内の温度に正確に冷却するのが困難となるおそれがある。このため、この点を改善するのが好ましい。
【０００７】
本発明は、かかる改善すべき課題に鑑みてなされたものであり、製造コストの低減を図りつつ、供給対象に供給する熱媒液を確実かつ正確に所望の温度まで冷却し得る熱媒液供給装置を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成すべく請求項１記載の熱媒液供給装置は、熱媒液を貯液可能に構成された貯液槽と、圧縮機、凝縮器、膨張弁および蒸発器を有する冷凍サイクルと、前記蒸発器によって前記熱媒液を冷却する冷却器と、前記貯液槽および前記冷却器を相互に接続する第１接続配管と、前記冷却器および前記熱媒液の供給対象を相互に接続する第２接続配管と、前記供給対象および前記貯液槽を相互に接続する第３接続配管と、前記第１接続配管に配設されたポンプとを備え、前記ポンプによって前記貯液槽から前記冷却器に前記第１接続配管を介して前記熱媒液を圧送することで当該冷却器において冷却された当該熱媒液を前記第２接続配管を介して前記供給対象に供給すると共に当該供給対象から当該貯液槽に前記第３接続配管を介して当該熱媒液を回収可能に構成された循環式の熱媒液供給装置であって、前記貯液槽としての第１貯液槽および第２貯液槽と、前記第１接続配管に配設された第１制御弁と、前記第３接続配管に配設された第２制御弁と、前記第１制御弁および前記第２制御弁を制御する制御部とを備え、前記第１接続配管は、前記第１貯液槽に一端部が接続された配管１Ａと、前記第２貯液槽に一端部が接続された配管１Ｂと、前記冷却器に一端部が接続された配管１Ｃとを備えると共に、当該配管１Ａの他端部、当該配管１Ｂの他端部、および当該配管１Ｃの他端部が相互に連結されて構成され、前記第３接続配管は、前記第１貯液槽に一端部が接続された配管３Ａと、前記第２貯液槽に一端部が接続された配管３Ｂと、前記供給対象に一端部が接続される配管３Ｃとを備えると共に、当該配管３Ａの他端部、当該配管３Ｂの他端部、および当該配管３Ｃの他端部が相互に連結されて構成され、前記ポンプは、前記配管１Ｃに配設され、前記第１制御弁は、前記配管１Ａおよび前記配管１Ｂのいずれか一方を前記配管１Ｃに対して選択的に連通可能に配設され、前記第２制御弁は、前記配管３Ａおよび前記配管３Ｂのいずれか一方に対して前記配管３Ｃを選択的に連通可能に配設され、前記制御部は、第１信号に応じて前記第１制御弁を制御して前記配管１Ａおよび前記配管１Ｃを連通状態とさせると共に前記第２制御弁を制御して前記配管３Ａおよび前記配管３Ｃを連通状態とさせる第１処理と、第２信号に応じて前記第１制御弁を制御して前記配管１Ａおよび前記配管１Ｃを連通状態とさせると共に前記第２制御弁を制御して前記配管３Ｂおよび当該配管３Ｃを連通状態とさせる第２処理と、第３信号に応じて前記第１制御弁を制御して前記配管１Ｂおよび当該配管１Ｃを連通状態とさせると共に前記第２制御弁を制御して前記配管３Ｂおよび当該配管３Ｃを連通状態とさせる第３処理と、第４信号に応じて前記第１制御弁を制御して前記配管１Ｂおよび当該配管１Ｃを連通状態とさせると共に前記第２制御弁を制御して前記配管３Ａおよび前記配管３Ｃを連通状態とさせる第４処理とをこの順で繰り返し実行する。
【０００９】
また、請求項２記載の熱媒液供給装置は、請求項１記載の熱媒液供給装置において、前記第２接続配管と前記第１貯液槽および前記第２貯液槽とを相互に接続する第４接続配管と、前記第４接続配管に配設された第３制御弁と、前記第２接続配管における前記第４接続配管の接続部位よりも前記供給対象側の部位に配設されて前記熱媒液の流量を規制する流量規制弁と、前記第４接続配管に配設されて前記第２接続配管から前記第１貯液槽および前記第２貯液槽への前記熱媒液の流動を制限する流動制限弁とを備え、前記第４接続配管は、前記第１貯液槽に一端部が接続された配管４Ａと、前記第２貯液槽に一端部が接続された配管４Ｂと、前記第２接続配管に一端部が接続された配管４Ｃとを備えると共に、当該配管４Ａの他端部、当該配管４Ｂの他端部、および当該配管４Ｃの他端部が相互に連結されて構成され、前記流動制限弁は、前記配管４Ｃに配設され、前記第３制御弁は、前記配管４Ａおよび前記配管４Ｂのいずれか一方に対して前記配管４Ｃを選択的に連通可能に配設され、前記制御部は、前記第１処理において前記第１信号に応じて前記第３制御弁を制御して前記配管４Ａおよび前記配管４Ｃを連通状態とさせ、前記第２処理において前記第２信号に応じて前記第３制御弁を制御して前記配管４Ａおよび前記配管４Ｃを連通状態とさせ、前記第３処理において前記第３信号に応じて前記第３制御弁を制御して前記配管４Ｂおよび当該配管４Ｃを連通状態とさせ、前記第４処理において前記第４信号に応じて前記第３制御弁を制御して前記配管４Ｂおよび当該配管４Ｃを連通状態とさせる。
【００１０】
さらに、請求項３記載の熱媒液供給装置は、請求項１記載の熱媒液供給装置において、前記第１制御弁は、前記配管１Ａに配設された二方弁１Ａと、前記配管１Ｂに配設された二方弁１Ｂとを備え、前記第２制御弁は、前記配管３Ａに配設された二方弁２Ａと、前記配管３Ｂに配設された二方弁２Ｂとを備え、前記制御部は、前記第１処理において前記二方弁１Ａを開放させると共に前記二方弁１Ｂを閉塞させ、かつ前記二方弁２Ａを開放させると共に前記二方弁２Ｂを閉塞させ、前記第２処理において前記二方弁１Ａを開放させると共に前記二方弁１Ｂを閉塞させ、かつ前記二方弁２Ａを閉塞させると共に前記二方弁２Ｂを開放させ、前記第３処理において前記二方弁１Ａを閉塞させると共に前記二方弁１Ｂを開放させ、かつ前記二方弁２Ａを閉塞させると共に前記二方弁２Ｂを開放させ、前記第４処理において前記二方弁１Ａを閉塞させると共に前記二方弁１Ｂを開放させ、かつ前記二方弁２Ａを開放させると共に前記二方弁２Ｂを閉塞させる。
【００１１】
また、請求項４記載の熱媒液供給装置は、請求項２記載の熱媒液供給装置において、前記第３制御弁は、前記配管４Ａに配設された二方弁３Ａと、前記配管４Ｂに配設された二方弁３Ｂとを備え、前記制御部は、前記第１処理において前記二方弁３Ａを開放させると共に前記二方弁３Ｂを閉塞させ、前記第２処理において前記二方弁３Ａを開放させると共に前記二方弁３Ｂを閉塞させ、前記第３処理において前記二方弁３Ａを閉塞させると共に前記二方弁３Ｂを開放させ、前記第４処理において前記二方弁３Ａを閉塞させると共に前記二方弁３Ｂを開放させる。
【００１２】
さらに、請求項５記載の熱媒液供給装置は、請求項１から４のいずれかに記載の熱媒液供給装置において、前記制御部は、前記供給対象から出力された供給要求信号を前記第２信号として前記第２処理を開始すると共に当該供給要求信号を前記第４信号として前記第４処理を開始する。
【００１３】
また、請求項６記載の熱媒液供給装置は、請求項１から５のいずれかに記載の熱媒液供給装置において、前記第１貯液槽内に貯液された前記熱媒液の液量を検出して当該第１貯液槽内に予め規定された量の当該熱媒液が貯液されたときに前記第１信号を出力する第１液量検出部と、前記第２貯液槽内に貯液された前記熱媒液の液量を検出して当該第２貯液槽内に予め規定された量の当該熱媒液が貯液されたときに前記第３信号を出力する第２液量検出部とを備えている。
【発明の効果】
【００１４】
請求項１記載の熱媒液供給装置では、ポンプおよび冷凍サイクルを動作させた状態において、制御部が、第１信号に応じて第１制御弁を制御して第１貯液槽を冷却器に連通させると共に第２制御弁を制御して供給対象を第１貯液槽に連通させた状態とする第１処理と、第２信号に応じて第１制御弁を制御して第１貯液槽を冷却器に連通させると共に第２制御弁を制御して供給対象を第２貯液槽に連通させた状態とする第２処理と、第３信号に応じて第１制御弁を制御して第２貯液槽を冷却器に連通させると共に第２制御弁を制御して供給対象を第２貯液槽に連通させた状態とする第３処理と、第４信号に応じて第１制御弁を制御して第２貯液槽を冷却器に連通させると共に第２制御弁を制御して供給対象を第１貯液槽に連通させた状態とする第４処理とをこの順で繰り返し実行する。
【００１５】
したがって、請求項１記載の熱媒液供給装置によれば、熱媒液の供給対象において熱媒液が加熱されない状態のときに、第１処理を実行して、第１貯液槽、冷却器および供給対象をこの順で循環するように熱媒液を圧送したり、第３処理を実行して、第２貯液槽、冷却器および供給対象をこの順で循環するように熱媒液を圧送したりすることにより、冷却能力がある程度低い冷凍サイクルであっても、高負荷状態で運転させることなく、第１貯液槽内の熱媒液または第２貯液槽内の熱媒液を規定温度範囲内の温度まで十分に冷却することができる。これにより、安価な冷凍サイクルを備えて熱媒液供給装置を構成することができるため、熱媒液供給装置の製造コストを十分に低減することができると共に、冷凍サイクルを高負荷状態で運転する必要がないことから、熱媒液の供給に要するコストを十分に低減することができる。また、第１信号に応じて第２処理または第４処理を実行することで、それ以前に冷却されて第１貯液槽または第２貯液槽に貯液されている低温の熱媒液を冷却器において十分に冷却して供給対象に対して供給することができると共に、供給対象に供給すべき熱媒液が貯留されている第１貯液槽または第２貯液槽に供給対象から回収した高温の熱媒液が流入しないため、供給対象に供給する熱媒液の温度が規定温度範囲を外れた温度となる事態を回避して、熱媒液を確実かつ正確に所望の温度まで冷却した状態で供給対象に供給することができる。
【００１６】
また、請求項２記載の熱媒液供給装置では、第２接続配管における第４接続配管の接続部位よりも供給対象側の部位に流量規制弁が配設され、かつ第４接続配管に流動制限弁が配設されると共に、制御部が、第１処理において第１信号に応じて第３制御弁を制御して第２接続配管を第１貯液槽に連通させた状態とし、第２処理において第２信号に応じて第３制御弁を制御して第２接続配管を第１貯液槽に連通させた状態とし、第３処理において第３信号に応じて第３制御弁を制御して第２接続配管を第２貯液槽に連通させた状態とし、第４処理において第４信号に応じて第３制御弁を制御して第２接続配管を第２貯液槽に連通させた状態とする。
【００１７】
したがって、請求項２記載の熱媒液供給装置によれば、単位時間当りに供給対象に供給すべき熱媒液の量よりも多くの熱媒液を圧送可能なポンプを採用すると共に、流量規制弁において供給対象への熱媒液の供給量（圧送量）を規制することができるため、例えば、その最大圧送能力が、単位時間当りに供給対象に供給すべき熱媒液の量と同程度のポンプによって熱媒液を供給対象に圧送する構成の熱媒液供給装置とは異なり、例えば、電源電圧の瞬間的な低下等に伴ってポンプの運転状態が僅かに変化したとしても、供給対象に対して必要量の熱媒液を確実に供給し続けることができる。また、流量規制弁によって供給対象に向けての流動が規制された熱媒液、すなわち、冷却器を通過させられて規定温度範囲内の温度まで冷却されている熱媒液のうちの供給対象には供給されない余剰の熱媒液が、供給対象において温度上昇させられた高温の熱媒液と共に第２貯液槽または第１貯液槽に流入することなく、供給対象に供給すべき熱媒液が貯留されている第１貯液槽または第２貯液槽に流入するため、この余剰の熱媒液を、他の熱媒液と共に供給対象に供給することができる結果、熱媒液供給装置全体として備えているべき熱媒液の総量を十分に少量化することができる。
【００１８】
さらに、請求項３記載の熱媒液供給装置によれば、配管１Ａに配設された二方弁１Ａと、配管１Ｂに配設された二方弁１Ｂとを備えて第１制御弁を構成すると共に、配管３Ａに配設された二方弁２Ａと、配管３Ｂに配設された二方弁２Ｂとを備えて第２制御弁を構成したことにより、三方弁等において熱媒液の流出方向を切り替えるのに要する時間と比較して、二方弁を開放状態から閉塞状態に切り替えるのに要する時間、および二方弁を閉塞状態から開放状態に切り替えるのに要する時間が非常に短いため、配管１Ａを配管１Ｃに対して選択的に連通させた状態から、配管１Ｂを配管１Ｃに対して選択的に連通させた状態に短時間で切り替えることができると共に、配管１Ｂを配管１Ｃに対して選択的に連通させた状態から、配管１Ａを配管１Ｃに対して選択的に連通させた状態に短時間で切り替えることができ、かつ、配管３Ａに対して配管３Ｃを選択的に連通させた状態から、配管３Ｂに対して配管３Ｃを選択的に連通させた状態に短時間で切り替えることができると共に、配管３Ｂに対して配管３Ｃを選択的に連通させた状態から、配管３Ａに対して配管３Ｃを選択的に連通させた状態に短時間で切り替えることができる。
【００１９】
また、請求項４記載の熱媒液供給装置によれば、配管４Ａに配設された二方弁３Ａと、配管４Ｂに配設された二方弁３Ｂとを備えて第３制御弁を構成したことにより、三方弁等において熱媒液の流出方向を切り替えるのに要する時間と比較して、二方弁を開放状態から閉塞状態に切り替えるのに要する時間、および二方弁を閉塞状態から開放状態に切り替えるのに要する時間が非常に短いため、配管４Ａに対して配管４Ｃを選択的に連通させた状態から、配管４Ｂに対して配管４Ｃを選択的に連通させた状態に短時間で切り替えることができると共に、配管４Ｂに対して配管４Ｃを選択的に連通させた状態から、配管４Ａに対して配管４Ｃを選択的に連通させた状態に短時間で切り替えることができる。
【００２０】
さらに、請求項５記載の熱媒液供給装置によれば、制御部が、供給対象から出力された供給要求信号を第２信号として第２処理を開始すると共に供給要求信号を第４信号として第４処理を開始することにより、例えば、各配管の接続態様を切り換えるための操作部を設けて手動操作によって（操作信号を「第２信号」または「第４信号」として）第２処理や第４処理を開始させる構成と比較して、供給対象に対して熱媒液を供給すべきタイミングに合わせて規定温度範囲内の温度に冷却した熱媒液を確実に供給することができる。
【００２１】
また、請求項６記載の熱媒液供給装置によれば、第１貯液槽内に予め規定された量の熱媒液が貯液されたときに第１信号を出力する第１液量検出部と、第２貯液槽内に予め規定された量の熱媒液が貯液されたときに第３信号を出力する第２液量検出部とを備えたことにより、例えば、各配管の接続態様を切り換えるための操作部を設けて手動操作によって（操作信号を「第１信号」または「第３信号」として）第１処理や第３処理を開始させる構成とは異なり、第２処理や第３処理によって切り換えられた各配管の接続状態が過剰に長い時間に亘って維持されて第２貯液槽または第１貯液槽に規定量を超える熱媒液が回収されてしまう事態を招くことなく、規定量の熱媒液が第２貯液槽または第１貯液槽に回収された時点において確実かつ容易に第１処理や第３処理を開始させて熱媒液を循環させる状態とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の実施の形態に係るチラー１Ｃの構成図である。
【図２】本発明の実施の形態に係るチラー１Ｃ、チラー１Ｃから冷却水Ｗを供給する出力計測器１３０を備えたレーザー加工機１００、およびレーザー加工機１００に冷却水Ｗを供給するチラー１Ａ，１Ｂの接続関係を示すブロック図である。
【図３】本発明の実施の形態に係るチラー１Ｃにおける「第１処理」時の配管Ｐ１ａ〜Ｐ１ｃ，Ｐ３ａ〜Ｐ３ｃ，Ｐ４ａ〜Ｐ４ｃの接続状態、および冷却水Ｗの流れについて説明するための説明図である。
【図４】本発明の実施の形態に係るチラー１Ｃにおける「第２処理」時の配管Ｐ１ａ〜Ｐ１ｃ，Ｐ３ａ〜Ｐ３ｃ，Ｐ４ａ〜Ｐ４ｃの接続状態、および冷却水Ｗの流れについて説明するための説明図である。
【図５】本発明の実施の形態に係るチラー１Ｃにおける「第３処理」時の配管Ｐ１ａ〜Ｐ１ｃ，Ｐ３ａ〜Ｐ３ｃ，Ｐ４ａ〜Ｐ４ｃの接続状態、および冷却水Ｗの流れについて説明するための説明図である。
【図６】本発明の実施の形態に係るチラー１Ｃにおける「第４処理」時の配管Ｐ１ａ〜Ｐ１ｃ，Ｐ３ａ〜Ｐ３ｃ，Ｐ４ａ〜Ｐ４ｃの接続状態、および冷却水Ｗの流れについて説明するための説明図である。
【図７】本発明の他の実施の形態に係るチラー１Ｃａの構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、添付図面を参照して、熱媒液供給装置の実施の形態について説明する。
【００２４】
最初に、「循環式の熱媒液供給装置」の一例であるチラー１Ｃ、および「供給対象」の一例であるレーザー加工機１００等の構成について、図面を参照して説明する。図１に示すチラー１Ｃは、「熱媒液」の一例である冷却水Ｗを「供給対象」に供給可能に構成された「熱媒液供給装置」であって、図２に示すように、他のチラー１Ａ，１Ｂと共にレーザー加工機１００に接続されている。
【００２５】
この場合、レーザー加工機１００は、発振器１１０、加工用ヘッド１２０、出力計測器１３０および制御装置１４０を備えている。発振器１１０は、制御装置１４０の制御に従ってレーザーを出力する。加工用ヘッド１２０は、加工対象物（図示せず）を保持可能に構成されると共に、制御装置１４０の制御に従い、発振器１１０に対して加工対象物を任意のＸ−Ｙ方向に移動させる。出力計測器１３０は、制御装置１４０の制御に従い、発振器１１０から出力されるレーザーのパワーを計測する。なお、本例では、この出力計測器１３０が「供給対象」に相当する。制御装置１４０は、発振器１１０、加工用ヘッド１２０および出力計測器１３０を制御する。この制御装置１４０は、後述するようにして、出力計測器１３０によるレーザーパワーの計測処理を開始するときに、「第２信号」および「第４信号」の一例である「供給要求信号」としての計測開始信号Ｓ１をチラー１Ｃに出力する。
【００２６】
一方、チラー１Ｃは、図１に示すように、貯液槽２ａ，２ｂ、冷凍サイクル３、ポンプ４、冷却器５、貯液量検出用センサ６ａ，６ｂ、三方弁７ａ〜７ｃ、定流量弁８ａ、リリーフ弁８ｂ、制御部９および配管Ｐ１ａ〜Ｐ１ｃ，Ｐ２，Ｐ３ａ〜Ｐ３ｃ，Ｐ４ａ〜Ｐ４ｃを備えて構成されている。この場合、本例のチラー１Ｃでは、貯液槽２ａが「第１貯液槽」に相当し、かつ貯液槽２ｂが「第２貯液槽」に相当する。また、本例のチラー１Ｃでは、三方弁７ａが「第１制御弁」に相当し、三方弁７ｂが「第２制御弁」に相当し、かつ三方弁７ｃが「第３制御弁」に相当する。
【００２７】
さらに、本例のチラー１Ｃでは、一端部が貯液槽２ａに接続されて貯液槽２ａおよび三方弁７ａを相互に接続する配管Ｐ１ａ（「配管１Ａ」の一例）と、一端部が貯液槽２ｂに接続されて貯液槽２ｂおよび三方弁７ａを相互に接続する配管Ｐ１ｂ（「配管１Ｂ」の一例）と、一端部が冷却器５に接続されて三方弁７ａおよび冷却器５を相互に接続する配管Ｐ１ｃ（「配管１Ｃ」の一例）とを備えると共に、各配管Ｐ１ａ〜Ｐ１ｃの他端部が三方弁７ａを介して相互に連結されて「第１接続配管」が構成されている。また、本例のチラー１Ｃでは、冷却器５および出力計測器１３０を相互に接続する（一端部が冷却器５に接続され、かつ他端部が出力計測器１３０に接続された）配管Ｐ２によって「第２接続配管」が構成されている。
【００２８】
さらに、本例のチラー１Ｃでは、一端部が貯液槽２ａに接続されて三方弁７ｂおよび貯液槽２ａを相互に接続する配管Ｐ３ａ（「配管３Ａ」の一例）と、一端部が貯液槽２ｂに接続されて三方弁７ｂおよび貯液槽２ｂを相互に接続する配管Ｐ３ｂ（「配管３Ｂ」の一例）と、一端部が出力計測器１３０に接続される（出力計測器１３０および三方弁７ｂを相互に接続する）配管Ｐ３ｃ（「配管３Ｃ」の一例）とを備えると共に、各配管Ｐ３ａ〜Ｐ３ｃの他端部が三方弁７ｂを介して相互に連結されて「第３接続配管」が構成されている。
【００２９】
また、本例のチラー１Ｃでは、一端部が貯液槽２ａに接続されて三方弁７ｃおよび貯液槽２ａを相互に接続する配管Ｐ４ａ（「配管４Ａ」の一例）と、一端部が貯液槽２ｂに接続されて三方弁７ｃおよび貯液槽２ｂを相互に接続する配管Ｐ４ｂ（「配管４Ｂ」の一例）と、一端部が配管Ｐ２に接続されて配管Ｐ２および三方弁７ｃを相互に接続する配管Ｐ４ｃ（「配管４Ｃ」の一例）とを備えると共に、各配管Ｐ４ａ〜Ｐ４ｃの他端部が三方弁７ｃを介して相互に連結されて「第４接続配管」が構成されている。
【００３０】
貯液槽２ａ，２ｂは、一例として、ステンレススチール等の板材を折り曲げ加工することによって冷却水Ｗを貯液可能に構成されている。冷凍サイクル３は、圧縮機１１、凝縮器１２、膨張弁１３および蒸発器１４を備えている。なお、冷凍サイクル３における上記の４つの構成要素以外の構成要素や、それらの構成要素を含めた各構成要素の動作原理については公知のため、詳細な説明を省略する。ポンプ４は、配管Ｐ１ｃに配設されており、後述するように、制御部９からの制御信号Ｓ４に従い、貯液槽２ａまたは貯液槽２ｂから冷却器５に冷却水Ｗを圧送することにより、冷却器５において冷却された冷却水Ｗを出力計測器１３０に供給すると共に、出力計測器１３０から貯液槽２ａまたは貯液槽２ｂに冷却水Ｗを回収する。
【００３１】
冷却器５は、冷凍サイクル３における蒸発器１４によって冷却水Ｗを冷却可能に構成されている。貯液量検出用センサ６ａは、「第１液量検出部」に相当し、貯液槽２ａ内に貯液される冷却水Ｗの液量を検出可能に貯液槽２ａ内に配設されたフロートスイッチで構成されている。この貯液量検出用センサ６ａは、後述するように、貯液槽２ａ内に規定量の冷却水Ｗが貯液されたときに「第１信号」に相当するセンサ信号Ｓ６ａを出力する。貯液量検出用センサ６ｂは、「第２液量検出部」に相当し、貯液槽２ｂ内に貯液される冷却水Ｗの液量を検出可能に貯液槽２ｂ内に配設されたフロートスイッチで構成されている。この貯液量検出用センサ６ｂは、後述するように、貯液槽２ｂ内に規定量の冷却水Ｗが貯液されたときに「第３信号」に相当するセンサ信号Ｓ６ｂを出力する。
【００３２】
三方弁７ａは、制御部９から制御信号Ｓ７ａに従い、配管Ｐ１ａ，Ｐ１ｂのいずれか一方を配管Ｐ１ｃに対して連通状態とし、かつ配管Ｐ１ａ，Ｐ１ｂの他方を配管Ｐ１ｃに対して非連通状態とする（「配管１Ａおよび配管１Ｂのいずれか一方を配管１Ｃに対して選択的に連通可能に配設され」との構成の一例）。三方弁７ｂは、制御部９から制御信号Ｓ７ｂに従い、配管Ｐ３ａ，Ｐ３ｂのいずれか一方に対して配管Ｐ３ｃを連通状態とし、かつ配管Ｐ３ａ，Ｐ３ｂの他方に対して配管Ｐ３ｃを非連通状態とする（「配管３Ａおよび配管３Ｂのいずれか一方に対して配管３Ｃを選択的に連通可能に配設され」との構成の一例）。三方弁７ｃは、制御部９から制御信号Ｓ７ｃに従い、配管Ｐ４ａ，Ｐ４ｂのいずれか一方に対して配管Ｐ４ｃを連通状態とし、かつ配管Ｐ４ａ，Ｐ４ｂの他方に対して配管Ｐ４ｃを非連通状態とする（「配管４Ａおよび配管４Ｂのいずれか一方に対して配管４Ｃを選択的に連通可能に配設され」との構成の一例）。
【００３３】
定流量弁８ａは、「流量規制弁」の一例であって、配管Ｐ２における配管Ｐ４ｃの接続部位よりも出力計測器１３０の側の部位（配管Ｐ４ｃの接続部位よりも下流側の部位）に配設されると共に、冷却器５から出力計測器１３０に向けて配管Ｐ２を圧送される冷却水Ｗの流量を予め設定された流量に規制する。リリーフ弁８ｂは、「流動制限弁」の一例であって、配管Ｐ４ｃに配設されると共に配管Ｐ２から貯液槽２ａまたは貯液槽２ｂへの冷却水Ｗの流動を制限する。具体的には、このリリーフ弁８ｂは、配管Ｐ４ｃにおける配管Ｐ２側の部位の冷却水Ｗの圧力が規定された圧力を超えたときに冷却水Ｗの流動を許容する圧力弁で構成されている。
【００３４】
制御部９は、チラー１Ｃを総括的に制御する。具体的には、制御部９は、冷凍サイクル３の各部に設けられた温度センサや圧力センサ（図示せず）からのセンサ信号に応じて圧縮機１１を制御することにより、蒸発器１４（冷却器５）による冷却水Ｗの冷却に必要な量の冷媒を圧送させる。また、制御部９は、ポンプ４を制御して貯液槽２ａまたは貯液槽２ｂから冷却器５に冷却水Ｗを圧送させる。
【００３５】
さらに、制御部９は、図示しない操作部におけるスタートスイッチの操作に伴う操作信号（処理開始を指示する信号：「第１信号」の一例）、貯液量検出用センサ６ａからのセンサ信号Ｓ６ａ（「第１信号」の一例）、貯液量検出用センサ６ｂからのセンサ信号Ｓ６ｂ（「第３信号」の一例）、出力計測器１３０からの計測開始信号Ｓ１（「第２信号」および「第４信号」の一例）の出力に応じて三方弁７ａ〜７ｃを制御することにより、配管Ｐ１ａ，Ｐ１ｂと配管Ｐ１ｃとの接続態様、配管Ｐ３ａ，Ｐ３ｂと配管Ｐ３ｃとの接続態様、および配管Ｐ４ａ，Ｐ４ｂと配管Ｐ４ｃとの接続態様をそれぞれ切り換える「第１処理」から「第４処理」までの各処理を繰り返し実行する。
【００３６】
具体的には、「第１処理」では、スタートスイッチの操作に伴う操作信号、またはセンサ信号Ｓ６ａが出力されたときに、図３に示すように、三方弁７ａを制御して配管Ｐ１ａ，Ｐ１ｃを連通状態とさせると共に配管Ｐ１ｂ，Ｐ１ｃを非連通状態とさせることで（配管Ｐ１ａを配管Ｐ１ｃに対して選択的に連通させることで）貯液槽２ａを冷却器５（ポンプ４）に接続する。また、「第１処理」では、三方弁７ｂを制御して配管Ｐ３ａ，Ｐ３ｃを連通状態とさせると共に配管Ｐ３ｂ，Ｐ３ｃを非連通状態とさせることで（配管Ｐ３ａに対して配管Ｐ３ｃを選択的に連通させることで）出力計測器１３０を貯液槽２ａに接続する。さらに、「第１処理」では、三方弁７ｃを制御して配管Ｐ４ａ，Ｐ４ｃを連通状態とさせると共に配管Ｐ４ｂ，Ｐ４ｃを非連通状態とさせることで（配管Ｐ４ａに対して配管Ｐ４ｃを選択的に連通させることで）配管Ｐ２を貯液槽２ａに接続する。以下、このような接続状態を「第１接続状態」ともいう。
【００３７】
また、「第２処理」では、計測開始信号Ｓ１が出力されたときに、図４に示すように、三方弁７ａを制御して配管Ｐ１ａ，Ｐ１ｃを連通状態とさせると共に配管Ｐ１ｂ，Ｐ１ｃを非連通状態とさせることで（配管Ｐ１ａを配管Ｐ１ｃに対して選択的に連通させることで）貯液槽２ａを冷却器５（ポンプ４）に接続する。また、「第２処理」では、三方弁７ｂを制御して配管Ｐ３ａ，Ｐ３ｃを非連通状態とさせると共に配管Ｐ３ｂ，Ｐ３ｃを連通状態とさせることで（配管Ｐ３ｂに対して配管Ｐ３ｃを選択的に連通させることで）出力計測器１３０を貯液槽２ｂに接続する。さらに、「第２処理」では、三方弁７ｃを制御して配管Ｐ４ａ，Ｐ４ｃを連通状態とさせると共に配管Ｐ４ｂ，Ｐ４ｃを非連通状態とさせることで（配管Ｐ４ａに対して配管Ｐ４ｃを選択的に連通させることで）配管Ｐ２を貯液槽２ａに接続する。以下、このような接続状態を「第２接続状態」ともいう。
【００３８】
さらに、「第３処理」では、センサ信号Ｓ６ｂが出力されたときに、図５に示すように、三方弁７ａを制御して配管Ｐ１ａ，Ｐ１ｃを非連通状態とさせると共に配管Ｐ１ｂ，Ｐ１ｃを連通状態とさせることで（配管Ｐ１ｂを配管Ｐ１ｃに対して選択的に連通させることで）貯液槽２ｂを冷却器５（ポンプ４）に接続する。また、「第３処理」では、三方弁７ｂを制御して配管Ｐ３ａ，Ｐ３ｃを非連通状態とさせると共に配管Ｐ３ｂ，Ｐ３ｃを連通状態とさせることで（配管Ｐ３ｂに対して配管Ｐ３ｃを選択的に連通させることで）出力計測器１３０を貯液槽２ｂに接続する。さらに、「第３処理」では、三方弁７ｃを制御して配管Ｐ４ａ，Ｐ４ｃを非連通状態とさせると共に配管Ｐ４ｂ，Ｐ４ｃを連通状態とさせることで（配管Ｐ４ｂに対して配管Ｐ４ｃを選択的に連通させることで）配管Ｐ２を貯液槽２ｂに接続する。以下、このような接続状態を「第３接続状態」ともいう。
【００３９】
また、「第４処理」では、計測開始信号Ｓ１が出力されたときに、図６に示すように、三方弁７ａを制御して配管Ｐ１ａ，Ｐ１ｃを非連通状態とさせると共に配管Ｐ１ｂ，Ｐ１ｃを連通状態とさせることで（配管Ｐ１ｂを配管Ｐ１ｃに対して選択的に連通させることで）貯液槽２ｂを冷却器５（ポンプ４）に接続する。また、「第４処理」では、三方弁７ｂを制御して配管Ｐ３ａ，Ｐ３ｃを連通状態とさせると共に配管Ｐ３ｂ，Ｐ３ｃを非連通状態とさせることで（配管Ｐ３ａに対して配管Ｐ３ｃを選択的に連通させることで）出力計測器１３０を貯液槽２ａに接続する。さらに、「第３処理」では、三方弁７ｃを制御して配管Ｐ４ａ，Ｐ４ｃを非連通状態とさせると共に配管Ｐ４ｂ，Ｐ４ｃを連通状態とさせることで（配管Ｐ４ｂに対して配管Ｐ４ｃを選択的に連通させることで）配管Ｐ２を貯液槽２ｂに接続する。以下、このような接続状態を「第４接続状態」ともいう。
【００４０】
次に、チラー１Ｃによる出力計測器１３０への冷却水Ｗの供給処理について図面を参照して説明する。なお、レーザー加工機１００によるレーザー加工処理、チラー１Ａによる発振器１１０への冷却水Ｗの供給処理（発振器１１０の冷却処理）、およびチラー１Ｂによる加工用ヘッド１２０への冷却水Ｗの供給処理（加工用ヘッド１２０の冷却処理）については公知のため、その説明を省略する。
【００４１】
このチラー１Ｃでは、貯液槽２ａ，２ｂのいずれかに規定量の冷却水Ｗが貯液された状態で以下の一連の処理が開始される構成（前回の運転停止時に貯液槽２ａ，２ｂのいずれかに規定量の冷却水Ｗが貯留された状態となる構成）が採用されている。一例として、貯液槽２ａに規定量の冷却水Ｗが貯液された状態（貯液量検出用センサ６ａによって規定量の冷却水Ｗが貯液されていると検出される状態）において、図示しない操作部のスタートスイッチが操作されたときに、制御部９は、操作部からの操作信号に応じて「第１処理」を実行し、図３に示すように、配管Ｐ１ａ〜Ｐ１ｃ，Ｐ３ａ〜Ｐ３ｃ，Ｐ４ａ〜Ｐ４ｃを「第１接続状態」に切り換える。また、制御部９は、圧縮機１１を制御して冷媒の圧送を開始させると共に、ポンプ４を制御して冷却水Ｗの圧送を開始させる。
【００４２】
この際には、配管Ｐ１ａ、三方弁７ａおよび配管Ｐ１ｃを介して貯液槽２ａから冷却器５に冷却水Ｗが圧送されると共に、冷却器５に配設された蒸発器１４によって冷却水Ｗが冷却される。また、貯液槽２ａから冷却器５に冷却水Ｗが順次圧送されるのに伴い、冷却器５において冷却された冷却水Ｗが配管Ｐ２を介して出力計測器１３０に供給される。この際には、出力計測器１３０が非稼働状態（計測開始信号Ｓ１が出力されていない状態）のため、チラー１Ｃから供給した冷却水Ｗが出力計測器１３０において温度上昇することなく、配管Ｐ３ｃ、三方弁７ｂおよび配管Ｐ３ａを介して貯液槽２ａに回収される。
【００４３】
また、本例のチラー１Ｃでは、出力計測器１３０に対して常時一定量の冷却水Ｗを供給可能とするために、必要な供給量を超える圧送能力を有するポンプ４を採用すると共に、定流量弁８ａにおいて出力計測器１３０への冷却水Ｗの圧送量を規制する構成が採用されている。したがって、ポンプ４による冷却水Ｗの圧送を開始したときには、配管Ｐ２における定流量弁８ａの上流側部位の圧力が上昇する結果、リリーフ弁８ｂによる冷却水Ｗの流動制限が解除されて、冷却器５によって冷却された冷却水Ｗの一部が、配管Ｐ４ｃ、リリーフ弁８ｂ、三方弁７ｃおよび配管Ｐ４ａを介して配管Ｐ２から貯液槽２ａに流入する。
【００４４】
このように、「第１接続状態」においては、貯液槽２ａから、配管Ｐ１ａ、三方弁７ａ、配管Ｐ１ｃ、冷却器５、配管Ｐ２（定流量弁８ａ）、出力計測器１３０、配管Ｐ３ｃ、三方弁７ｂおよび配管Ｐ３ａをこの順で通過して再び貯液槽２ａに回収される流路と、貯液槽２ａから、配管Ｐ１ａ、三方弁７ａ、配管Ｐ１ｃ、冷却器５、配管Ｐ２、配管Ｐ４ｃ（リリーフ弁８ｂ）、三方弁７ｃおよび配管Ｐ４ａをこの順で通過して再び貯液槽２ａに流入する流路とで冷却水Ｗが循環させられることとなる。したがって、出力計測器１３０が非稼働状態の「第１接続状態」においては、冷却器５によって冷却された冷却水Ｗが貯液槽２ａ内に順次流入することにより、貯液槽２ａ内の冷却水Ｗの温度が十分に低下させられる。
【００４５】
この場合、「供給対象」としての出力計測器１３０は、一例として、レーザー加工機１００によるレーザー加工処理の開始時や、規定数の加工対象物についてのレーザー加工処理を完了したときなどに使用される。したがって、出力計測器１３０が非稼働状態のこの「第１接続状態」をある程度長い時間に亘って維持することができるため、冷凍サイクル３を高負荷状態で運転したり、冷凍サイクル３よりも冷却能力が高い「冷凍サイクル」を搭載したりすることなく、貯液槽２ａ内の冷却水Ｗを十分に冷却することが可能となっている。これにより、この「第１接続状態」に切り換えてからある程度の時間が経過したときには、貯液槽２ａ内の冷却水Ｗが規定温度±０．５℃の温度範囲内に冷却された状態となる。
【００４６】
一方、出力計測器１３０によるレーザーパワーの計測処理が開始されたときには、出力計測器１３０から計測開始信号Ｓ１が出力される。この際に、制御部９は、計測開始信号Ｓ１の出力に応じて「第２処理」を実行し、図４に示すように、配管Ｐ１ａ〜Ｐ１ｃ，Ｐ３ａ〜Ｐ３ｃ，Ｐ４ａ〜Ｐ４ｃを「第２接続状態」に切り換える。この際には、配管Ｐ１ａ、三方弁７ａおよび配管Ｐ１ｃを介して貯液槽２ａから冷却器５に冷却水Ｗが圧送されて冷却器５において冷却され、この冷却水Ｗが配管Ｐ２を介して出力計測器１３０に供給される状態が維持される。
【００４７】
また、出力計測器１３０が稼働状態（計測開始信号Ｓ１が出力されて計測処理が実行されている状態）のこの「第２接続状態」においては、チラー１Ｃから供給した冷却水Ｗが出力計測器１３０において温度上昇させられる。この温度上昇させられた冷却水Ｗは、配管Ｐ３ｃ、三方弁７ｂおよび配管Ｐ３ｂを介して貯液槽２ｂに回収される。したがって、この「第２接続状態」においては、温度上昇した冷却水Ｗが貯液槽２ａ内に流入する事態が回避され、これにより、貯液槽２ａから冷却器５に圧送される冷却水Ｗの温度が上昇する事態が回避される。
【００４８】
さらに、この「第２接続状態」においては、冷却器５によって冷却された冷却水Ｗの一部が、配管Ｐ４ｃ（リリーフ弁８ｂ）、三方弁７ｃおよび配管Ｐ４ａを介して配管Ｐ２から貯液槽２ａに流入する状態が維持される。この場合、配管Ｐ４ｃ、三方弁７ｃおよび配管Ｐ４ａを介して貯液槽２ａに流入する冷却水Ｗが出力計測器１３０を通過していないため、この冷却水Ｗの流入によって貯液槽２ａ内の冷却水Ｗの温度が上昇することなく、貯液槽２ａ内の冷却水Ｗの温度がほぼ一定に維持される。これにより、出力計測器１３０による計測処理が完了するまで、規定温度±０．５℃の温度範囲内に冷却した冷却水Ｗを供給し続けることが可能となっている。
【００４９】
この場合、本例のチラー１Ｃでは、出力計測器１３０による計測処理が完了しても、貯液槽２ｂ内に規定量の冷却水Ｗが貯留されて貯液量検出用センサ６ｂからセンサ信号Ｓ６ｂが出力されるまで、この「第２接続状態」が維持される。したがって、貯液槽２ａ内の冷却水Ｗが出力計測器１３０を通過して貯液槽２ｂに順次液送される結果、図５に示すように、貯液槽２ｂ内に規定量の冷却水Ｗが貯液される。この際には、貯液量検出用センサ６ｂからセンサ信号Ｓ６ｂが出力される。
【００５０】
これに応じて、制御部９は、「第３処理」を実行し、同図に示すように、配管Ｐ１ａ〜Ｐ１ｃ，Ｐ３ａ〜Ｐ３ｃ，Ｐ４ａ〜Ｐ４ｃを「第３接続状態」に切り換える。この際には、配管Ｐ１ｂ、三方弁７ａおよび配管Ｐ１ｃを介して貯液槽２ｂから冷却器５に冷却水Ｗが圧送されて冷却される。また、貯液槽２ｂから冷却器５に冷却水Ｗが順次圧送されるのに伴い、冷却器５において冷却された冷却水Ｗが配管Ｐ２を介して出力計測器１３０に供給される。この際には、出力計測器１３０が非稼働状態（計測開始信号Ｓ１が出力されていない状態）のため、チラー１Ｃから供給した冷却水Ｗが出力計測器１３０において温度上昇することなく、配管Ｐ３ｃ、三方弁７ｂおよび配管Ｐ３ｂを介して貯液槽２ｂに回収される。また、この「第３接続状態」においては、冷却器５によって冷却された冷却水Ｗの一部が、配管Ｐ４ｃ（リリーフ弁８ｂ）、三方弁７ｃおよび配管Ｐ４ｂを介して配管Ｐ２から貯液槽２ｂに流入する。
【００５１】
このように、「第３接続状態」においては、貯液槽２ｂから、配管Ｐ１ｂ、三方弁７ａ、配管Ｐ１ｃ、冷却器５、配管Ｐ２，出力計測器１３０、配管Ｐ３ｃ、三方弁７ｂおよび配管Ｐ３ｂをこの順で通過して再び貯液槽２ｂに回収される流路と、貯液槽２ｂから、配管Ｐ１ｂ、三方弁７ａ、配管Ｐ１ｃ、冷却器５、配管Ｐ２，Ｐ４ｃ（リリーフ弁８ｂ）、三方弁７ｃおよび配管Ｐ４ｂをこの順で通過して再び貯液槽２ｂに流入する流路とで冷却水Ｗが循環させられることとなる。したがって、出力計測器１３０が非稼働状態の「第３接続状態」においては、前述した「第１接続状態」と同様にして、冷却器５によって冷却された冷却水Ｗが貯液槽２ｂ内に順次流入することにより、貯液槽２ｂ内の冷却水Ｗの温度が十分に低下させられる。
【００５２】
この場合、前述した「第１接続状態」と同様にして、出力計測器１３０が非稼働状態のこの「第３接続状態」をある程度長い時間に亘って維持することができるため、冷凍サイクル３を高負荷状態で運転したり、冷凍サイクル３よりも冷却能力が高い「冷凍サイクル」を搭載したりすることなく、貯液槽２ｂ内の冷却水Ｗを十分に冷却することが可能となっている。これにより、この「第３接続状態」に切り換えてからある程度の時間が経過したときには、貯液槽２ｂ内の冷却水Ｗが規定温度±０．５℃の温度範囲内に冷却された状態となる。
【００５３】
一方、出力計測器１３０によるレーザーパワーの計測処理が再び開始されたときには、出力計測器１３０から計測開始信号Ｓ１が出力される。この際に、制御部９は、計測開始信号Ｓ１の出力に応じて「第４処理」を実行し、図６に示すように、配管Ｐ１ａ〜Ｐ１ｃ，Ｐ３ａ〜Ｐ３ｃ，Ｐ４ａ〜Ｐ４ｃを「第４接続状態」に切り換える。この際には、配管Ｐ１ｂ、三方弁７ａおよび配管Ｐ１ｃを介して貯液槽２ｂから冷却器５に冷却水Ｗが圧送されて冷却器５において冷却され、この冷却水Ｗが配管Ｐ２を介して出力計測器１３０に供給される状態が維持される。
【００５４】
また、出力計測器１３０が稼働状態のこの「第４接続状態」においては、チラー１Ｃから供給した冷却水Ｗが出力計測器１３０において温度上昇させられる。この温度上昇させられた冷却水Ｗは、配管Ｐ３ｃ、三方弁７ｂおよび配管Ｐ３ａを介して貯液槽２ａに回収される。したがって、この「第４接続状態」においては、温度上昇した冷却水Ｗが貯液槽２ｂ内に流入する事態が回避され、これにより、貯液槽２ｂから冷却器５に圧送される冷却水Ｗの温度が上昇する事態が回避される。
【００５５】
さらに、この「第４接続状態」においては、冷却器５によって冷却された冷却水Ｗの一部が、配管Ｐ４ｃ（リリーフ弁８ｂ）、三方弁７ｃおよび配管Ｐ４ｂを介して配管Ｐ２から貯液槽２ｂに流入する状態が維持される。この場合、配管Ｐ４ｃ（リリーフ弁８ｂ）、三方弁７ｃおよび配管Ｐ４ｂを介して貯液槽２ｂに流入する冷却水Ｗが出力計測器１３０を通過していないため、この冷却水Ｗの流入によって貯液槽２ｂ内の冷却水Ｗの温度が上昇することなく、貯液槽２ｂ内の冷却水Ｗの温度がほぼ一定に維持される。これにより、出力計測器１３０による計測処理が完了するまで、規定温度±０．５℃の温度範囲内に冷却した冷却水Ｗを供給し続けることが可能となっている。
【００５６】
この場合、本例のチラー１Ｃでは、出力計測器１３０による計測処理が完了しても、貯液槽２ａ内に規定量の冷却水Ｗが貯留されて貯液量検出用センサ６ａからセンサ信号Ｓ６ａが出力されるまで、この「第４接続状態」が維持される。したがって、貯液槽２ｂ内の冷却水Ｗが出力計測器１３０を通過して貯液槽２ａに順次液送される結果、図３に示すように、貯液槽２ａ内に規定量の冷却水Ｗが貯液される。この際には、貯液量検出用センサ６ａからセンサ信号Ｓ６ａが出力される。
【００５７】
この際に、制御部９は、センサ信号Ｓ６ａの出力に応じて「第１処理」を実行し、同図に示すように、配管Ｐ１ａ〜Ｐ１ｃ，Ｐ３ａ〜Ｐ３ｃ，Ｐ４ａ〜Ｐ４ｃを「第１接続状態」に切り換える。これにより、前述したように、貯液槽２ａから、配管Ｐ１ａ、三方弁７ａ、配管Ｐ１ｃ、冷却器５、配管Ｐ２，出力計測器１３０、配管Ｐ３ｃ、三方弁７ｂおよび配管Ｐ３ａをこの順で通過して再び貯液槽２ａに回収される流路と、貯液槽２ａから、配管Ｐ１ａ、三方弁７ａ、配管Ｐ１ｃ、冷却器５、配管Ｐ２，配管Ｐ４ｃ（リリーフ弁８ｂ）、三方弁７ｃおよび配管Ｐ４ａをこの順で通過して再び貯液槽２ａに流入する流路とで冷却水Ｗが循環させられる結果、冷却器５によって冷却された冷却水Ｗが貯液槽２ａ内に順次流入して貯液槽２ａ内の冷却水Ｗの温度が十分に低下させられる。
【００５８】
この後、制御部９は、出力計測器１３０からの計測開始信号Ｓ１、貯液量検出用センサ６ａ，６ｂからのセンサ信号Ｓ６ａ，Ｓ６ｂの出力に応じて配管Ｐ１ａ〜Ｐ１ｃ，Ｐ３ａ〜Ｐ３ｃ，Ｐ４ａ〜Ｐ４ｃを「第２接続状態」、「第３接続状態」および「第４接続状態」にこの順で切り換える処理を繰り返し実行する。これにより、出力計測器１３０による計測処理の開始時点から終了時点までの間に亘って規定温度±０．５℃の温度範囲内に冷却した冷却水Ｗが出力計測器１３０に供給される。したがって、発振器１１０から出力されるレーザーのパワーを出力計測器１３０によって正確に計測することが可能となる。
【００５９】
このように、このチラー１Ｃでは、ポンプ４および冷凍サイクル３を動作させた状態において、制御部９が、貯液量検出用センサ６ａからのセンサ信号Ｓ６ａの出力に応じて三方弁７ａを制御して貯液槽２ａを冷却器５に連通させると共に三方弁７ｂを制御して出力計測器１３０を貯液槽２ａに連通させた状態とする「第１処理」と、出力計測器１３０からの計測開始信号Ｓ１の出力に応じて三方弁７ａを制御して貯液槽２ａを冷却器５に連通させると共に三方弁７ｂを制御して出力計測器１３０を貯液槽２ｂに連通させた状態とする「第２処理」と、貯液量検出用センサ６ｂからのセンサ信号Ｓ６ｂの出力に応じて三方弁７ａを制御して貯液槽２ｂを冷却器５に連通させると共に三方弁７ｂを制御して出力計測器１３０を貯液槽２ｂに連通させた状態とする「第３処理」と、計測開始信号Ｓ１の出力に応じて三方弁７ａを制御して貯液槽２ｂを冷却器５に連通させると共に三方弁７ｂを制御して出力計測器１３０を貯液槽２ａに連通させた状態とする「第４処理」とをこの順で繰り返し実行する。
【００６０】
したがって、このチラー１Ｃによれば、出力計測器１３０において冷却水Ｗが加熱されない状態のときに、「第１処理」を実行して、貯液槽２ａ、冷却器５および出力計測器１３０をこの順で循環するように冷却水Ｗを圧送したり、「第３処理」を実行して、貯液槽２ｂ、冷却器５および出力計測器１３０をこの順で循環するように冷却水Ｗを圧送したりすることにより、冷却能力がある程度低い冷凍サイクル３であっても、高負荷状態で運転させることなく、貯液槽２ａ内の冷却水Ｗまたは貯液槽２ｂ内の冷却水Ｗを規定温度範囲内の温度まで十分に冷却することができる。これにより、安価な冷凍サイクル３を備えてチラー１Ｃを構成することができるため、チラー１Ｃの製造コストを十分に低減することができると共に、冷凍サイクル３を高負荷状態で運転する必要がないことから、冷却水Ｗの供給に要するコストを十分に低減することができる。また、計測開始信号Ｓ１が出力されたときに、「第２処理」または「第４処理」を実行することで、それ以前に冷却されて貯液槽２ａまたは貯液槽２ｂに貯液されている低温の冷却水Ｗを冷却器５において十分に冷却して出力計測器１３０に対して供給することができると共に、出力計測器１３０に供給すべき冷却水Ｗが貯留されている貯液槽２ａまたは貯液槽２ｂに出力計測器１３０から回収した高温の冷却水Ｗが流入しないため、出力計測器１３０に供給する冷却水Ｗの温度が規定温度範囲を外れた温度となる事態を回避して、冷却水Ｗを確実かつ正確に所望の温度まで冷却した状態で出力計測器１３０に供給することができる。
【００６１】
また、このチラー１Ｃでは、配管Ｐ２における配管Ｐ４ｃの接続部位よりも出力計測器１３０側の部位に定流量弁８ａが配設され、かつ配管Ｐ４ｃにリリーフ弁８ｂが配設されると共に、制御部９が、「第１処理」においてセンサ信号Ｓ６ａの出力に応じて三方弁７ｃを制御して配管Ｐ２を貯液槽２ａに連通させた状態とし、「第２処理」において計測開始信号Ｓ１の出力に応じて三方弁７ｃを制御して配管Ｐ２を貯液槽２ａに連通させた状態とし、「第３処理」においてセンサ信号Ｓ６ｂの出力に応じて三方弁７ｃを制御して配管Ｐ２を貯液槽２ｂに連通させた状態とし、「第４処理」において計測開始信号Ｓ１の出力に応じて三方弁７ｃを制御して配管Ｐ２を貯液槽２ｂに連通させた状態とする。
【００６２】
したがって、このチラー１Ｃによれば、単位時間当りに出力計測器１３０に供給すべき冷却水Ｗの量よりも多くの冷却水Ｗを圧送可能なポンプ４を採用すると共に、定流量弁８ａにおいて出力計測器１３０への冷却水Ｗの供給量（圧送量）を規制することができるため、例えば、その最大圧送能力が、単位時間当りに出力計測器１３０に供給すべき冷却水Ｗの量と同程度の「ポンプ」によって冷却水Ｗを出力計測器１３０に圧送する構成の「熱媒液供給装置（チラー）」とは異なり、例えば、電源電圧の瞬間的な低下等に伴ってポンプ４の運転状態が僅かに変化したとしても、出力計測器１３０に対して必要量の冷却水Ｗを確実に供給し続けることができる。また、定流量弁８ａによって出力計測器１３０に向けての流動が規制された冷却水Ｗ、すなわち、冷却器５を通過させられて規定温度範囲内の温度まで冷却されている冷却水Ｗのうちの出力計測器１３０には供給されない余剰の冷却水Ｗが、出力計測器１３０において温度上昇させられた高温の冷却水Ｗと共に貯液槽２ｂまたは貯液槽２ａに流入することなく、出力計測器１３０に供給すべき冷却水Ｗが貯留されている貯液槽２ａまたは貯液槽２ｂに流入するため、この余剰の冷却水Ｗを、他の冷却水Ｗと共に出力計測器１３０に供給することができる結果、チラー１Ｃ全体として備えているべき冷却水Ｗの総量を十分に少量化することができる。
【００６３】
さらに、このチラー１Ｃによれば、制御部９が、出力計測器１３０から出力された「供給要求信号」としての計測開始信号Ｓ１を「第２信号」として「第２処理」を開始すると共に、計測開始信号Ｓ１を「第４信号」として「第４処理」を開始することにより、例えば、各配管Ｐ１ａ〜Ｐ１ｃ，Ｐ３ａ〜Ｐ３ｃ，Ｐ４ａ〜Ｐ４ｃの接続態様を切り換えるための操作部を設けて手動操作によって（操作信号を「第２信号」または「第４信号」として）「第２処理」や「第４処理」を開始させる構成と比較して、出力計測器１３０に対して冷却水Ｗを供給すべきタイミングに合わせて規定温度範囲内の温度に冷却した冷却水Ｗを確実に供給することができる。
【００６４】
また、このチラー１Ｃによれば、貯液槽２ａ内に予め規定された量の熱媒液が貯液されたときにセンサ信号Ｓ６ａを出力する第１液量検出部と、貯液槽２ｂ内に予め規定された量の熱媒液が貯液されたときにセンサ信号Ｓ６ｂを出力する第２液量検出部とを備えたことにより、例えば、各配管Ｐ１ａ〜Ｐ１ｃ，Ｐ３ａ〜Ｐ３ｃ，Ｐ４ａ〜Ｐ４ｃの接続態様を切り換えるための操作部を設けて手動操作によって（操作信号を「第１信号」または「第３信号」として）「第１処理」や「第３処理」を開始させる構成とは異なり、「第２処理」や「第３処理」によって切り換えられた各配管Ｐ１ａ〜Ｐ１ｃ，Ｐ３ａ〜Ｐ３ｃ，Ｐ４ａ〜Ｐ４ｃの接続状態が過剰に長い時間に亘って維持されて貯液槽２ｂまたは貯液槽２ａに規定量を超える冷却水Ｗが回収されてしまう事態を招くことなく、規定量の冷却水Ｗが貯液槽２ｂまたは貯液槽２ａに回収された時点において確実かつ容易に「第１処理」や「第３処理」を開始させて冷却水Ｗを循環させる状態とすることができる。
【００６５】
なお、「熱媒液供給装置」の構成は、上記のチラー１Ｃの構成に限定されるものではない。例えば、「第１制御弁」を三方弁７ａで構成し、「第２制御弁」を三方弁７ｂで構成し、かつ「第３制御弁」を三方弁７ｃで構成したチラー１Ｃを例に挙げて説明したが、各「制御弁」の構成は、「三方弁」に限定されない。具体的には、「三方弁」に代えて、１組の「二方弁」によって「制御弁」を構成することもできる。より具体的には、一例として、図７に示すチラー１Ｃａは、「熱媒液供給装置」の他の一例であって、前述した三方弁７ａ〜７ｃに代えて、二方弁７ａａ〜７ｃａ，７ａｂ〜７ｃｂを「制御弁」として備えて構成されている。なお、このチラー１Ｃａにおいて前述したチラー１Ｃと同様の機能を有する構成要素については、同一の符号を付して重複する説明を省略する。
【００６６】
この場合、このチラー１Ｃａでは、二方弁７ａａが「二方弁１Ａ」に相当し、「配管１Ａ」に相当する配管Ｐ１ａに配設されると共に、二方弁７ａｂが「二方弁１Ｂ」に相当し、「配管１Ｂ」に相当する配管Ｐ１ｂに配設されている。また、このチラー１Ｃａでは、二方弁７ｂａが「二方弁２Ａ」に相当し、「配管３Ａ」に相当する配管Ｐ３ａに配設されると共に、二方弁７ｂｂが「二方弁２Ｂ」に相当し、「配管３Ｂ」に相当する配管Ｐ３ｂに配設されている。さらに、このチラー１Ｃａでは、二方弁７ｃａが「二方弁３Ａ」に相当し、「配管４Ａ」に相当する配管Ｐ４ａに配設されると共に、二方弁７ｃｂが「二方弁３Ｂ」の一例）に相当し、「配管４Ｂ」に相当する配管Ｐ４ｂに配設されている。
【００６７】
また、このチラー１Ｃａでは、制御部９が、「第１処理」において、制御信号Ｓ７ａａを出力して二方弁７ａａを開放させると共に、制御信号Ｓ７ａｂを出力して二方弁７ａｂを閉塞させ、制御信号Ｓ７ｂａを出力して二方弁７ｂａを開放させると共に、制御信号Ｓ７ｂｂを出力して二方弁７ｂｂを閉塞させ、制御信号Ｓ７ｃａを出力して二方弁７ｃａを開放させると共に、制御信号Ｓ７ｃｂを出力して二方弁７ｃｂを閉塞させることにより、各配管Ｐの接続状態を前述したチラー１Ｃの例における「第１接続状態」と同様の接続状態とする。
【００６８】
さらに、このチラー１Ｃａでは、制御部９が、「第２処理」において、制御信号Ｓ７ａａを出力して二方弁７ａａを開放させると共に、制御信号Ｓ７ａｂを出力して二方弁７ａｂを閉塞させ、制御信号Ｓ７ｂａを出力して二方弁７ｂａを閉塞させると共に、制御信号Ｓ７ｂｂを出力して二方弁７ｂｂを開放させ、制御信号Ｓ７ｃａを出力して二方弁７ｃａを開放させると共に、制御信号Ｓ７ｃｂを出力して二方弁７ｃｂを閉塞させることにより、各配管Ｐの接続状態を前述したチラー１Ｃの例における「第２接続状態」と同様の接続状態とする。
【００６９】
また、このチラー１Ｃａでは、制御部９が、「第３処理」において、制御信号Ｓ７ａａを出力して二方弁７ａａを閉塞させると共に、制御信号Ｓ７ａｂを出力して二方弁７ａｂを開放させ、制御信号Ｓ７ｂａを出力して二方弁７ｂａを閉塞させると共に、制御信号Ｓ７ｂｂを出力して二方弁７ｂｂを開放させ、制御信号Ｓ７ｃａを出力して二方弁７ｃａを閉塞させると共に、制御信号Ｓ７ｃｂを出力して二方弁７ｃｂを開放させることにより、各配管Ｐの接続状態を前述したチラー１Ｃの例における「第３接続状態」と同様の接続状態とする。
【００７０】
さらに、このチラー１Ｃａでは、制御部９が、「第４処理」において、制御信号Ｓ７ａａを出力して二方弁７ａａを閉塞させると共に、制御信号Ｓ７ａｂを出力して二方弁７ａｂを開放させ、制御信号Ｓ７ｂａを出力して二方弁７ｂａを開放させると共に、制御信号Ｓ７ｂｂを出力して二方弁７ｂｂを閉塞させ、制御信号Ｓ７ｃａを出力して二方弁７ｃａを閉塞させると共に、制御信号Ｓ７ｃｂを出力して二方弁７ｃｂを開放させることにより、各配管Ｐの接続状態を前述したチラー１Ｃの例における「第４接続状態」と同様の接続状態とする。
【００７１】
このチラー１Ｃａによれば、配管Ｐ１ａに配設された二方弁７ａａと、配管Ｐ１ｂに配設された二方弁７ａｂとを備えて「第１制御弁」を構成すると共に、配管Ｐ３ａに配設された二方弁７ｂａと、配管Ｐ３ｂに配設された二方弁７ｂｂとを備えて「第２制御弁」を構成したことにより、前述したチラー１Ｃと同様の効果を奏することができるだけでなく、「三方弁」等において冷却水Ｗの流出方向を切り替えるのに要する時間と比較して、「二方弁」を開放状態から閉塞状態に切り替えるのに要する時間、および「二方弁」を閉塞状態から開放状態に切り替えるのに要する時間が非常に短いため、配管Ｐ１ａを配管Ｐ１ｃに対して選択的に連通させた状態から、配管Ｐ１ｂを配管Ｐ１ｃに対して選択的に連通させた状態に短時間で切り替えることができると共に、配管Ｐ１ｂを配管Ｐ１ｃに対して選択的に連通させた状態から、配管Ｐ１ａを配管Ｐ１ｃに対して選択的に連通させた状態に短時間で切り替えることができ、かつ、配管Ｐ３ａに対して配管Ｐ３ｃを選択的に連通させた状態から、配管Ｐ３ｂに対して配管Ｐ３ｃを選択的に連通させた状態に短時間で切り替えることができると共に、配管Ｐ３ｂに対して配管Ｐ３ｃを選択的に連通させた状態から、配管Ｐ３ａに対して配管Ｐ３ｃを選択的に連通させた状態に短時間で切り替えることができる。
【００７２】
また、このチラー１Ｃａによれば、配管Ｐ４ａに配設された二方弁７ｃａと、配管Ｐ４ｂに配設された二方弁７ｃｂとを備えて「第３制御弁」を構成したことにより、前述したチラー１Ｃと同様の効果を奏することができるだけでなく、「三方弁」等において冷却水Ｗの流出方向を切り替えるのに要する時間と比較して、「二方弁」を開放状態から閉塞状態に切り替えるのに要する時間、および「二方弁」を閉塞状態から開放状態に切り替えるのに要する時間が非常に短いため、配管Ｐ４ａに対して配管Ｐ４ｃを選択的に連通させた状態から、配管Ｐ４ｂに対して配管Ｐ４ｃを選択的に連通させた状態に短時間で切り替えることができると共に、配管Ｐ４ｂに対して配管Ｐ４ｃを選択的に連通させた状態から、配管Ｐ４ａに対して配管Ｐ４ｃを選択的に連通させた状態に短時間で切り替えることができる。
【００７３】
また、フロートスイッチで構成された貯液量検出用センサ６ａ，６ｂからのセンサ信号Ｓ６ａ，Ｓ６ｂを「第１信号」および「第３信号」として「第１処理」および「第３処理」を実行する構成を例に挙げて説明したが、このような構成に代えて、液面検出センサで構成された「第１液量検出部」および「第２液量検出部」からのセンサ信号を「第１信号」および「第３信号」として「第１処理」および「第３処理」を実行する構成を採用することもできる。また、「第１液量検出部」および「第２液量検出部」に代えて、「第４処理」を開始してからの経過時間、および「第２処理」を開始してからの経過時間を計時して、予め規定された時間が経過したときに報知信号を出力する計時部（図示せず）を設け、この報知信号を「第１信号」および「第３信号」として「第１処理」および「第３処理」を実行する構成を採用することもできる。
【００７４】
また、「供給対象」としての出力計測器１３０に冷却水Ｗを供給する構成のチラー１Ｃ，１Ｃａを例に挙げて説明したが、「供給対象」は、出力計測器１３０のような出力計測器に限定されず、例えば、発振器１１０や加工用ヘッド１２０を「供給対象」としてこれらに冷却水Ｗを供給する構成（すなわち、チラー１Ａ，１Ｂに代えてチラー１Ｃ，１Ｃａから発振器１１０や加工用ヘッド１２０に冷却水Ｗを供給する形態）を採用することもできる。また、発振器１１０、加工用ヘッド１２０および出力計測器１３０以外の各種工作機械や、医療機械設備等を「供給対象」として冷却水Ｗ（熱媒液）を供給する構成を採用することもできる。
【００７５】
これらの構成においても「供給対象」において冷却水Ｗが加熱されることのない時間（または、冷却水Ｗの加熱量が十分に少ない時間）内に上記の「第１処理」や「第３処理」を実行することで、冷却処理能力が高い「冷凍サイクル」を搭載したり、「冷凍サイクル」を高負荷状態で運転したりすることなく、冷却水Ｗを十分に冷却することができると共に、「供給対象」に供給すべき冷却水Ｗと「供給対象」において温度上昇させられた冷却水Ｗと混ざり合って「供給対象」に供給すべき冷却水Ｗ温度上昇する事態が回避されるため、冷却水Ｗを確実かつ正確に所望の温度まで冷却した状態で「供給対象」に供給することができる。
【符号の説明】
【００７６】
１Ｃ，１Ｃａ  チラー
２ａ，２ｂ  貯液槽
３  冷凍サイクル
４  ポンプ
５  冷却器
６ａ，６ｂ  貯液量検出用センサ
７ａ〜７ｃ  三方弁
７ａａ〜７ｃａ，７ａｂ〜７ｃｂ  二方弁
８ａ  定流量弁
８ｂ  リリーフ弁
９  制御部
１１  圧縮機
１２  凝縮器
１３  膨張弁
１４  蒸発器
１００  レーザー加工機
１３０  出力計測器
１４０  制御装置
Ｐ１ａ〜Ｐ１ｃ，Ｐ２，Ｐ３ａ〜Ｐ３ｃ，Ｐ４ａ〜Ｐ４ｃ  配管
Ｓ１  計測開始信号
Ｓ６ａ，Ｓ６ｂ  センサ信号
Ｓ４，Ｓ７ａ〜Ｓ７ｃ，Ｓ７ａａ〜Ｓ７ｃａ，Ｓ７ａｂ〜Ｓ７ｃｂ  制御信号
Ｗ  冷却水
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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