(57)【要約】【課題】フィルタガラスブロックの厚さを増加することで誘電体多層膜の歪みを抑制し、かつ、フィルタガラスブロックを透過する光がフィルタカラスブロックの有効領域内を確実に通る光合分波器とその製造方法ならびに当該光合分波器を用いた光通信モジュールを提供する。【解決手段】光通信モジュールに搭載され、波長が異なる複数の光を分波または合波する光合分波器であって、矩形状で所定の厚さを有する光透過ガラスブロック２０の一方の端面２０ａに、所定の波長の光を透過し他の波長の光を反射する複数の誘電体多層膜を備えるフィルタガラスブロック２１が列状に接合一体化され、光透過ガラスブロック２０の反対の他方の端面２０ｂに反射膜２３ａが施されてなる。上記のフィルタガラスブロック２１は、幅方向の側面２１ａが光軸方向に平行なカット面で形成されている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光通信モジュールに搭載され、波長が異なる複数の光を分波または合波する光合分波器であって、
矩形状で所定の厚さを有する光透過ガラスブロックの一方の端面に、所定の波長の光を透過し他の波長の光を反射する複数の誘電体多層膜を備えるフィルタガラスブロックが列状に接合一体化され、前記光透過ガラスブロックの反対の他方の端面に反射膜が施され、
前記フィルタガラスブロックは、幅方向の側面が光軸方向に平行なカット面で形成されていることを特徴とする光合分波器。
【請求項２】
前記光透過ガラスブロックの幅方向の側面は、前記フィルタガラスブロックの前記幅方向の側面と平行であることを特徴とする請求項１に記載の光合分波器。
【請求項３】
前記光透過ガラスブロックの幅方向の側面の幅は、前記複数のフィルタガラスブロックを列状に接合一体化された全幅と同じであることを特徴とする請求項２に記載の光合分波器。
【請求項４】
前記光透過ガラスブロックの一方の端面に、前記フィルタガラスブロックの位置決め用の溝が形成されていることを特徴とする請求項１または２に記載の光合分波器。
【請求項５】
前記フィルタガラスブロックの光軸方向の厚さが０.３ｍｍ以上であることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の光合分波器。
【請求項６】
光通信モジュールに搭載され、波長が異なる複数の光を分波または合波する光合分波器の製造方法であって、
矩形状で所定の厚さを有する光透過ガラスブロックを切り出す長尺のガラスブロック棒を準備する工程と、
所定の波長の光を透過し他の波長の光を反射する複数の誘電体多層膜を有するフィルタガラスブロックを切り出す長尺のフィルタガラスブロック棒を準備する工程と、該工程では前記フィルタガラスブロック棒が列状に接合一体化される幅方向の側面が、前記光軸方向と平行になるように斜めにカットされて形成され、
反射膜を有する反射ガラスを切り出す長尺の反射ガラス棒を準備する工程と、
を備え、
前記ガラスブロック棒の一方の面側に前記フィルタガラスブロック棒を列状に並べて接合一体化し、前記ガラスブロック棒の反対の他方の面側に前記反射ガラス棒を接合一体化して長尺の集合ブロック棒とした後、所定の幅で切断して切り出すことを特徴とする光合分波器の製造方法。
【請求項７】
前記請求項１〜５のいずれか１項に記載の光合分波器が搭載されていることを特徴とする光通信モジュール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、波長の異なる複数の信号光を合波または分波する光合分波器とその製造方法ならびに光通信モジュールに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ネットワーク上を流れる情報量の増加と通信速度の高速化が進んでいる。これに伴い、光伝送機器に搭載される光トランシーバ等に用いられる光送受信モジュールも高速化が進み、現在では４０Ｇｂｐｓや１００Ｇｂｐｓの伝送速度が要求されている。かかる高速の伝送速度は、単一の光デバイスでは追従することが難しく、波長分割多重（ＷＤＭ）による通信方法が用いられている。
【０００３】
例えば、４０Ｇｂｐｓの高速伝送を実現するために、速度１０Ｇｂｐｓで動作する４セットの光送信サブアセンブリ（ＴＯＳＡ：Transmitter Optical Sub-Assembly）と光マルチプレクサ（ＭＵＸ）で送信部とし、速度１０Ｇｂｐｓで動作する４セットの光受信サブアセンブリ（ＲＯＳＡ：Receiver Optical Sub-Assembly）と光デマルチプレクサ（Ｄｅ−ＭＵＸ）で受信部としている。
【０００４】
上記の光通信の高速伝送の要求に答える一方で、光トランシーバの小型化への要求も強く、業界標準のＣＦＰ−ＭＳＡの外形を小さくしたＣＦＰ２、ＣＦＰ４、ＱＳＦＰ＋などの標準化が検討されている。この場合、ＴＯＳＡまたはＲＯＳＡに割り当てられる収容面積は縮小され、例えば、ＲＯＳＡは幅７ｍｍ以下のパッケージ内に、光信号の受信に必要な光部品や電子部品等を集合一体化して収容する必要がある。これに対応するには、例えば、特許文献１のように光受信モジュールで波長多重された信号光をそれぞれの波長の信号光に分波するのに、誘電体多層膜フィルタからなる光分波器を用いることが開示されている。また、特許文献２には誘電体多層膜フィルタからなる光合分波器の製造方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００９−１９８９５８号公報
【特許文献２】特開２０１１−２０９３６７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
図６は、上記した特許文献１に開示の光受信モジュールおよび特許文献２に開示の光分波器を参考に、模式的に示した光受信モジュールおよび光分波器である。光受信モジュールは、図６（Ａ）に示すように、光ファイバが接続されるレセプタクル部１と、受光素子や光学部品等が収容されるパッケージ部２と、外部回路との電気接続のための端子部３を備える。パッケージ部２は、例えば、金属製の矩形状箱型で形成され、パッケージ筺体４内には、光分波器５の他、信号光の受光に必要な反射ミラー６や受光素子７等の光学部品や、ＩＣ回路部品８等が搭載される。
【０００７】
光分波器５は、光透過性のガラスブロック５ａの一方の端面に、所定の波長の光を透過し他の波長の光を反射する複数の誘電体多層膜フィルタ（５ｂ１〜５ｂ４）を有するフィルタガラスブロック５ｂを列状に接合一体化し、反対側の他方の端面に反射膜５ｃを接合してなる。なお、光分波器５は、仮想線で示す支持基板９の背面側に実装されて、パッケージ部２に搭載されるものとする。
【０００８】
レセプタクル部１から受光した多重化された複数の波長（λ１、λ２、λ３、λ４）からなる信号光は、図６（Ｂ）に示すように、光分波器５の反射膜５ｃが施されていない領域５ｄに、所定の傾斜角（入射角）θ１で入射される。この領域５ｄに入射された信号光は、ガラスブロック５ａの屈折率により屈折されて傾斜角θ２で、まず１番目に配列された誘電体多層膜フィルタ５ｂ１に当てられる。この信号光のうち、波長λ１の信号光は透過するが、その他の波長の信号光（λ２、λ３、λ４）は、反射される。この反射された信号光は、反射膜５ｃにより反射されて２番目の誘電体多層膜フィルタ５ｂ２に当てられて、波長λ２の信号光は透過し、その他の波長の信号光（λ３、λ４）が反射される。
【０００９】
以下、同様に透過と反射を繰り返して、波長多重化された信号光は、波長が異なる複数の信号光に分波される。それぞれの波長に分波されたそれぞれの信号光λ１、λ２、λ３、λ４は、反射ミラー６（例えば、プリズム）により、集光レンズ等を介してそれぞれの受光素子７により受光されて電気信号に変換され、ＩＣ回路部品等により信号処理されて外部回路に送出される。
【００１０】
図７（Ａ）は、上記の光合波器５における光の光軸（光路）を模擬的に示した図で、光軸Ｓ１から傾斜角θ１で領域５ｄに入射された信号光は、ガラスブロック５ａで屈折されて傾斜角θ２の光軸Ｓ２を通って誘電体多層膜フィルタ５ｂ１に入射される。所定の波長の信号光は誘電体多層膜フィルタ５ｂ１を透過して光軸Ｓ３に向けて出射され、他の波長の光は誘電体多層膜フィルタ５ｂ１で反射され、反射膜５ｃを経て、隣の誘電多層膜フィルタ５ｂ２に入射される。
【００１１】
上記のような誘電体多層膜フィルタでは急峻な波長特性を必要とされるため、誘電体多層膜は１００層を超える多層膜となり、その厚さも数十μｍとなる。このため、例えば、特許文献２に開示のように、予め厚めのフィルタガラスブロック（５〜１０ｍｍ程度）を用いて多層膜を成膜し、その後必要な厚さまで研磨して、ガラスブロック５ａの端面に接合している。しかし、研磨後のフィルタガラスブロック５ｂの光軸方向の厚さＤが、例えば、０.３ｍｍ未満では、歪（反り）が生じてしまう。このため、フィルタガラスブロック５ｂが歪まないように、誘電体多層膜によってフィルタガラスブロックに生じる歪みを相殺するようにフィルタガラスブロックの誘電体多層膜と反対側の面に補助膜層５ｅを付加する方法が考えられる。しかし、この方法は、光合波器のコストアップが大きいと言う問題がある。
【００１２】
一方、図７（Ｂ）に示すように、フィルタガラスブロック５ｂの光軸方向の厚さＤを０.３ｍｍ以上とするなど、フィルタガラスブロックを厚くすればするほど剛性を高めることにより誘電体多層膜の歪みによる影響は減少し、補助膜層５ｅを付加する必要がなくなる。ただ、フィルタガラスブロック５ｂは、例えば、互いに接合される幅方向の寸法Ｗが５００μｍ程度、高さ寸法Ｈが８００μｍ程度で形成される。また、フィルタガラスブロック５ｂは、ダイシングによりカットされ、そのカット面Ｘはチッピングや欠け等の欠損があり、微視的には凹凸面を有している。このため、入射された信号光が、フィルタガラスブロック５ｂ内を劣化することなく透過するには、カット面Ｘの内側の有効領域Ｙを通る必要がある。
【００１３】
しかしながら、ガラスブロック５ａ内に入射され、傾斜角θ２の光軸Ｓ２上を通る信号光のうち、誘電体多層膜フィルタ５ｂ１を透過した信号光は、フィルタガラスブロック５ｂの厚さＤ方向に、ほぼ同じ傾斜角θ２の光軸Ｓ２’（ガラスブロック５ａとフィルタガラスブロック５ｂの屈折率は同じとする）を通ることになる。光軸Ｓ２’は、フィルタガラスブロック５ｂの厚さＤが、例えば、０.３ｍｍ以上のように厚くなればなるほど、フィルタガラスブロック５ｂの入射側と出射側で、透過位置がずれて有効領域Ｙから外れる危険性が増す。このため、上記の光軸Ｓ２’を通る信号光が劣化するおそれがある。
なお、光の傾斜角θ１、θ２を小さくすることで、光軸Ｓ２’の透過位置がずれるのを軽減する方法が考えられるが、傾斜角θ１、θ２を小さくするとガラスブロック５ａの寸法を大きくする必要があり、光分波器が大型化する。
【００１４】
本発明は、上述した実状に鑑みてなされたもので、フィルタガラスブロックの厚さを増加することで誘電体多層膜の歪みを抑制し、かつ、フィルタガラスブロックを透過する光が、フィルタガラスブロックの有効領域内を確実に通る光合分波器とその製造方法ならびに当該光合分波器を用いた光通信モジュールの提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明による光合分波器は、光通信モジュールに搭載され、波長が異なる複数の光を分波または合波する光合分波器であって、矩形状で所定の厚さを有する光透過ガラスブロックの一方の端面に、所定の波長の光を透過し他の波長の光を反射する複数の誘電体多層膜を備えるフィルタガラスブロックが列状に接合一体化され、光透過ガラスブロックの反対の他方の端面に反射膜が施されてなる。上記のフィルタガラスブロックは、幅方向の側面が光軸方向に平行なカット面で形成されている。
【００１６】
また、上記の光透過ガラスブロックの幅方向の側面は、誘電体多層膜を備えるフィルタガラスブロックの幅方向の側面と平行で、さらには、光透過ガラスブロックの幅方向の側面の幅は、複数のフィルタガラスブロックを列状に接合一体化された全幅と同じになるようにしてもよい。また、光透過ガラスブロックの一方の端面に、フィルタガラスブロックの位置決め用の溝を形成するようにしてもよい。また、フィルタガラスブロックは、光軸方向の厚さが０.３ｍｍ以上であることが好ましい。
【００１７】
また、本発明による光合分波器の製造方法は、光通信モジュールに搭載され、波長が異なる複数の光を分波または合波する光合分波器の製造方法であって、矩形状で所定の厚さを有する光透過ガラスブロックを切り出す長尺のガラスブロック棒を準備する工程と、所定の波長の光を透過し他の波長の光を反射する複数の誘電体多層膜を有するフィルタガラスブロックを切り出す長尺のフィルタガラスブロック棒を準備する工程と、反射膜を有する反射ガラスを切り出す長尺の反射ガラス棒を準備する工程と、を備える。
【００１８】
上記のフィルタガラスブロック棒を準備する工程では、フィルタガラスブロック棒が列状に接合一体化される幅方向の側面が、前記の光軸方向と平行になるように斜めにカットされる。
次いで、ガラスブロック棒の一方の面側にフィルタガラスブロック棒を列状に並べて接合一体化し、ガラスブロック棒の反対の他方の面側に反射ガラス棒を接合一体化して長尺のブロック棒とした後、所定の厚さで切断して多数の光合分波器を切り出す。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、フィルタガラスブロックの厚さを増加することで誘電体多層膜の歪みを抑制するので、歪みを相殺する補助膜層を設ける必要がなく、コスト増を抑えることができる。また、フィルタガラスブロックの幅方向の側面を光軸方向と平行なカット面としているので、信号光を有効領域内からはみ出すことなく、効果的に透過させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明による光分波器が搭載された光受信モジュールの一例を説明する図である。
【図２】本発明による光分波器の光の透過と光軸を示す図である。
【図３】本発明による光合分波器の一例を示す図である。
【図４】本発明による光合分波器を支持基板に実装した状態を示す図である。
【図５】本発明による光合分波器の製造方法の一例を説明する図である。
【図６】従来の光分波器の模式図を示す図である。
【図７】従来の光分波器の課題を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
図により本発明の実施の形態を説明する。図１は、本発明による光分波器が搭載された光トランシーバのＲＯＳＡ（光受信モジュール）の一例を示す図である。光受信モジュールの説明を容易にするためにパッケージの蓋体を外し、パッケージ筐体の一部を破断した状態で示している。図において、１０は光受信モジュール、１１はレセプタクル部、１２はパッケージ部、１３は端子部、１４はパッケージ筐体、１５は光分波器、１６は反射ミラー、１７は受光素子、１８はＩＣ回路、１９は支持基板である。
【００２２】
光受信モジュール１０は、光ファイバが接続されるレセプタクル部１１と、受光素子や光学部品等が収容されるパッケージ部１２と、外部回路との電気接続のための端子部１３を備えている。
パッケージ部１２は、矩形状の箱型で形成され、例えば、金属製のパッケージ筺体１４と、該金属製のパッケージ筐体の後部側にセラミック基板等を積層して形成された端子部１３を嵌め込むような形態で組み付けられる。
【００２３】
パッケージ部１２内には、レセプタクル部１１から出射された波長多重化された信号光を複数の信号光に分波する光分波器１５（光ＤｅＭＵＸともいう）と、この分波された信号光を、それぞれパッケージ底壁側に反射させるプリズム等で形成された反射ミラー１６とが収容される。光分波器１５の詳細は後述するが、この光分波器１５と反射ミラー１６は、例えば、パッケージ底壁から平行に離間して配置された支持基板１９上に実装させて、パッケージ底壁に向き合うようにして収容される。また、反射ミラー１６で反射された信号光を受光する受光素子１７、該受光素子に隣接してＩＣ回路１８等が実装収容される。
【００２４】
図２（Ａ）は、光分波器の一例とその分波形態を説明する図である。光分波器１５は、矩形状の光透過ガラスブロック（以下、ガラスブロックという）２０の一方の端面２０ａに、所定の波長の光を透過し他の波長の光を反射する誘電体多層膜（２２ａ〜２２ｄ）を有する複数のフィルタガラスブロック２１を列状に接合一体化してなる。ガラスブロック２０の反対側の他方の端面２０ｂには、例えば、反射膜２３ａを有する反射ガラス２３が接合される。この端面２０ｂには、反射ガラス２３で覆われない入射領域２０ｃが形成されていて、波長多重化された波長（λ１、λ２、λ３、λ４）の信号光が入射される。ここで、例えば、波長λ１は、１３３１ｎｍ、波長λ２は１３１１ｎｍ、波長λ３は１２９１ｎｍ、波長λ４は１２７１ｎｍというように選定される。
【００２５】
波長多重化された上記波長（λ１、λ２、λ３、λ４）の信号光は、入射領域２０ｃに所定の傾斜角θ１（例えば、１５°程度）で入射される。この信号光は、ガラスブロック２０で屈折されて傾斜角θ２（例えば、１０°程度）で透過し、１番目に配列された誘電体多層膜２２ａに当てられる。誘電体多層膜２２ａに当てられた信号光は、波長λ１の信号光のみを透過し、フィルタガラスブロック２１を経て反射ミラー１６から受光素子１７に向けて出射される。
【００２６】
しかし、その他の波長（λ２、λ３、λ４）の信号光は、誘電体多層膜２２ａで反射され、この反射された信号光は、反射膜２３ａにより２番目に配列された誘電体多層膜２２ｂに当てられて、波長λ２の信号光のみを透過しフィルタガラスブロック２１を経て反射ミラー１６から受光素子１７に向けて出射される。以下、同様に透過と反射を繰り返して、波長多重化された信号光は、波長が異なる複数の信号光に分波される。
【００２７】
図２（Ｂ）は、光分波器内の光の光軸（光路）の状態を示す図である。光軸Ｓ１（傾斜角θ１）を通ってガラスブロック２０内に入射された信号光は、光軸Ｓ２（傾斜角θ２）を通って誘電体多層膜２２ａのほぼ中心に向けて入射される。信号光の一部は誘電体多層膜２２ａによって反射され、所定の波長の信号光はフィルタガラスブロック２１内の光軸Ｓ２’を通って、フィルタガラスブロックの先端面２１ｃから光軸Ｓ３に向けて出射される。なお、ガラスブロック２０とフィルタガラスブロック２１は、屈折率がほぼ同じとし、ガラスブロック２０内の光軸Ｓ２とフィルタガラスブロック２１の光軸Ｓ２’とは直線的であり、両光軸の傾斜角θ２は同じであるとする。
【００２８】
また、フィルタガラスブロック２１は、光軸Ｓ２’方向に所定の厚みＤを有し、幅方向の寸法Ｗ（例えば、５００μｍ程度）で、高さ方向の寸法Ｈ（例えば、８００μｍ程度）の断面矩形状とされる。そして、幅方向の側面２１ａおよび高さ方向の面２１ｂは、ダイシング加工等のカットにより形成される。ダイシング等によりカットされたカット面Ｘは、チッピングや欠け等の欠損が生じるので、信号光が通る有効領域Ｙはカット面Ｘの内側に設定される。
【００２９】
本発明においては、特にフィルタガラスブロック２１の厚さ方向の長さＤが０.３ｍｍ以上であり、幅方向の側面２１ａの面が、フィルタガラスブロック２１を通る光軸Ｓ２’とほぼ平行になるようにカットされていることを特徴とする。
フィルタガラスブロック２１の光軸方向の厚さＤは、厚くするにしたがって誘電体多層膜から受ける歪みの影響が小さくすることができる。実用的には０.３ｍｍ以上とすることが好ましく、さらに好ましくは１ｍｍ以上とすることにより、ガラスブロック２０の端面２０ａに接合された誘電体多層膜２２ａ〜２２ｄに反りや歪みの影響を無視できる程度に抑制することが可能となる。この結果、誘電体多層膜歪みを相殺する補助膜層を設ける必要がなく、コスト増を抑えることができる。
【００３０】
一方、フィルタガラスブロック２１の厚さ方向の長さＤを０.３ｍｍ以上とすると、図７（Ｂ）で説明したように、フィルタガラスブロック２１内を通る信号光の光軸Ｓ２’が有効領域Ｙから外れるおそれがある。しかし、列状に並べられるフィルタガラスブロック２１の幅方向の側面２１ａの面を、フィルタガラスブロック２１を通る光軸Ｓ２’とほぼ平行になるようにカットされた面とすることにより、信号光の光軸Ｓ２’がフィルタガラスブロック２１の中心を通るようにすることができる。この結果、信号光は、フィルタガラスブロック２１のほぼ中心を通り、信号劣化を生じることなく透過し、受光素子で受光される。
なお、上記の光分波器は、受光素子１７を発光素子で置き換えて、光軸進行方向を反対にし、複数の異なる波長の信号光を多重化させて、１つの信号光として送出する光合波器として機能させることが可能である。
【００３１】
図３は、上記した光分波器（又は光合波器）の各種の変形例を示す図である。図３（Ａ）に示す光分波器１５ａは、図２で説明した光分波器で、フィルタガラスブロック２１が接合されるガラスブロック２０の端面２０ａに、光軸方向に平行な側面を有するフィルタガラスブロック２１を接合する位置決め用の溝２４を設けた例である。
【００３２】
フィルタガラスブロック２１のそれぞれには、透過波長が異なる誘電体多層膜２２ａ〜２２ｄが蒸着等により形成されていて、位置決め用の溝２４を基準に幅方向の側面２１ａが互いに接するように列状の並べ、高さ方向の面２１ｂおよび先端面２１ｃを揃えて、上記の端面２０ａおよび隣り合うフィルタガラスブロック同士を接着等により接合一体化する。なお、ガラスブロック２０の反対側の面２０ｂには、反射膜２３ａを有する反射ガラス２３が接合されるが、反射膜２３ａをガラスブロック２０に蒸着等により直接形成してもよい。この場合、反射ガラス２３は省略される。
【００３３】
図３（Ｂ）に示す光分波器１５ｂは、図３（Ａ）で説明した光分波器１５ａで、ガラスブロック２０の幅方向の側面２０ｄを、フィルタガラスブロック２１の幅方向の側面２１ａとほぼ平行な傾斜面（ガラスブロック２０の端面２０ａ、２０ｂに対して傾斜）とした例である。図２で説明したように、ガラスブロック２０を通る信号光の光軸の傾斜角は、フィルタガラスブロック２１を通る光軸の傾斜角とほぼ同じであるので、ガラスブロック２０の側面２０ｄも、フィルタガラスブロック２１の幅方向の側面２１ａと一致させることができる。これにより、ガラスブロック２０の幅方向の寸法を縮小させることができる。
【００３４】
図３（Ｃ）に示す光分波器１５ｃは、図３（Ｂ）で説明した光分波器１５ｂと同様に、ガラスブロック２０の幅方向の側面２０ｄを、フィルタガラスブロック２１の幅方向の側面２１ａとほぼ平行になるように傾斜面とすると共に、ガラスブロック２０の横幅を、フィルタガラスブロック２１を列状に接合一体した全幅と同じにした例である。この例は、図３（Ｂ）の光分波器１５ｂを発展させた例で、光分波器全体の横幅寸法をさらに縮小すると共に、位置決め用の溝を不要とすることが可能となる。
【００３５】
図４は、図３に示した光分波器（又は、光合波器）と分波された信号光を支持基板１９上に実装した例である。図４（Ａ）は、図３（Ａ）に示した光分波器１５ａを実装した状態を示し、図４（Ｂ）は図３（Ｂ）に示した光分波器１５ｂを実装した状態を示し、図４（Ｃ）は図３（３）に示した光分波器１５ｃを実装した状態を示している。
【００３６】
支持基板１９は、酸化アルミ（アルミナ）等のセラミック材で形成され、その実装面１９ａには、上記した、例えば、光分波器１５ａ〜１５ｃならびに反射ミラー１６が実装される。反射ミラー１６は、例えば、プリズムで形成され、分波された信号光を直交する方向に反射させて受光素子に受光させる。また、実装面１９ａには、光分波器１５ａ〜１５ｃならびに反射ミラー１６の位置決め用のマーカ２５を付して、実装の位置決めを行うことができる。
なお、支持基板１９は、光分波器１５ａ〜１５ｃならびに反射ミラー１６が実装された実装面１９ａが、光受信モジュールのパッケージ筐体の底壁に向き合うように下向きにして搭載される。
【００３７】
図５は、上述した光分波器（又は、光合波器）の製造方法の一例を示す図である。まず、図５（Ａ）に示すように、ガラスブロックとなる断面矩形状の長尺のガラスブロック棒３０が作製準備される。また、同時に誘電体多層膜を備えるフィルタガラスブロックとなる所定の波長の光を透過し他の波長の光を反射する誘電体多層膜３２ａ〜３２ｄを有するフィルタガラスブロック棒３１ａ〜３１ｄが作製準備される。なお、フィルタガラスブロック棒３１ａ〜３１ｄの光軸方向の厚さＤが０.３ｍｍ以上（さらに好ましくは１ｍｍ以上）で、列状に接合一体化される幅方向の側面が光軸方向と平行になるように斜めにカットされている。さらに、反射ガラスとなる反射膜３３ａを有する反射ガラス棒３３が作製準備される。
【００３８】
次に、図５（Ｂ）に示すように、ガラスブロック棒３０の一方の面側に、誘電体多層膜３２ａ〜３２ｄが接し、フィルタガラスブロック棒３１ａ〜３１ｄが列状に並ぶように接合一体化する。ガラスブロック棒３０の一方の面側には、反射膜３３ａが接するように反射ガラス棒３３を接合一体化する。
【００３９】
図５（Ｃ）に示すように、ガラスブロック棒３０、フィルタガラスブロック棒３１ａ〜３１ｄおよび反射ガラス棒３３は、互いに接合一体化されて、集合ブロック棒３４とされる。この後、集合ブロック棒３４は、所定の幅で断面方向にダイシングされ、光合分波器３５として切り出される。
切り出された光合分波器３５は、図５（Ｄ）に示すように、図２〜４で説明したガラスブロック２０、誘電体多層膜２２ａ〜２２ｄを備えたフィルタガラスブロック２１および反射ガラス２３からなる光分波器（又は光合波器）とされる。
【符号の説明】
【００４０】
１０…光受信モジュール、１１…レセプタクル部、１２…パッケージ部、１３…端子部、１４…パッケージ筐体、１５，１５ａ〜１５ｃ…光分波器、１６…反射ミラー、１７…受光素子、１８…ＩＣ回路、１９…支持基板、１９ａ…実装面、２０…光透過ガラスブロック（ガラスブロック）、２０ａ，２０ｂ…端面、２０ｃ…入射領域、２０ｄ…幅方向の側面、２１…フィルタガラスブロック、２１ａ…幅方向の側面、２１ｂ…高さ方向の側面、２１ｃ…先端面、２２ａ〜２２ｄ…誘電体多層膜、２３…反射ガラス、２３ａ…反射膜、２４…位置決め用の溝、２５…マーカ、３０…ガラスブロック棒、３１ａ〜３１ｄ…フィルタガラスブロック棒、３２ａ〜３２ｄ…誘電体多層膜、３３…反射ガラス棒、３３ａ…反射膜、３４…集合ブロック棒、３５…光合分波器。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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