(57)【要約】【課題】使い勝手の良い測定機を提供する。【解決手段】測定機１は、被測定物Ｗに光を照射する照明装置２４と、照明装置２４の動作を制御する制御装置３とを備える。制御装置３は、測定機１の使用状態が被測定物Ｗを測定する測定状態または非測定状態のいずれの状態であるかを検知する状態検知手段３５と、測定状態に応じた第１の照射条件を記憶する第１記憶手段３７と、非測定状態に応じた第２の照射条件を記憶する第２記憶手段３８と、状態検知手段３５にて検知された使用状態に基づいて、第１の照射条件または第２の照射条件を読み出し、当該読み出した照射条件で照明装置２４から光を照射させる照明制御手段３６とを備える。【選択図】図１
2014202566.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定物に光を照射する照明装置と、前記照明装置の動作を制御する制御装置とを備えた測定機であって、
前記制御装置は、
当該測定機の使用状態が前記被測定物を測定する測定状態または非測定状態のいずれの状態であるかを検知する状態検知手段と、
前記測定状態に応じた第１の照射条件を記憶する第１記憶手段と、
前記非測定状態に応じた第２の照射条件を記憶する第２記憶手段と、
前記状態検知手段にて検知された前記使用状態に基づいて、前記第１の照射条件または前記第２の照射条件を読み出し、当該読み出した照射条件で前記照明装置から光を照射させる照明制御手段とを備える
ことを特徴とする測定機。
【請求項２】
請求項１に記載の測定機において、
前記被測定物を撮像する撮像装置を備え、
前記制御装置は、
画像処理に関する処理情報の入力を受け付ける処理情報受付手段と、
前記処理情報に基づいて、前記撮像装置にて撮像された画像に対して画像処理を施す画像処理手段とを備え、
前記状態検知手段は、
前記処理情報受付手段が前記処理情報の入力を受け付けた場合に、前記測定状態であると検知する
ことを特徴とする測定機。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載の測定機において、
当該測定機及び前記被測定物を相対移動させる移動機構を備え、
前記状態検知手段は、
前記移動機構が当該測定機及び前記測定物を相対移動させる場合に、前記非測定状態であると検知する
ことを特徴とする測定機。
【請求項４】
請求項３に記載の測定機において、
前記状態検知手段は、前記移動機構が当該測定機及び前記測定物を相対移動させた際の、当該測定機及び前記被測定物の相対位置の静止位置からの変化量が第１閾値以上となった場合に、前記測定状態から前記非測定状態に変更されたことを検知する
ことを特徴とする測定機。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれかに記載の測定機において、
当該測定機及び前記被測定物を相対移動させる移動機構を備え、
前記状態検知手段は、
前記移動機構が当該測定機及び前記被測定物を相対移動させず、当該測定機に対して前記被測定物が静止する場合に前記測定状態であると検知する
ことを特徴とする測定機。
【請求項６】
請求項５に記載の測定機において、
前記状態検知手段は、当該測定機に対する前記被測定物の静止時間が第２閾値以上となった場合に、前記非測定状態から前記測定状態に変更されたことを検知する
ことを特徴とする測定機。
【請求項７】
請求項１から請求項６のいずれかに記載の測定機において、
前記制御装置は、
前記使用状態に関する状態情報の入力を受け付ける状態情報受付手段を備え、
前記状態検知手段は、
前記状態情報受付手段にて入力を受け付けた前記状態情報に基づいて、前記測定状態または前記非測定状態のいずれの状態であるかを検知する
ことを特徴とする測定機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被測定物の寸法等を測定する画像測定機や測定顕微鏡等の測定機に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、被測定物に光を照射する照明装置と、被測定物を撮像する撮像装置（ＣＣＤ(Charge Coupled Device)カメラ）と、照明装置の動作を制御する制御装置とを備えた画像測定機が知られている（例えば、非特許文献１参照）。
このような画像測定機は、一般的に、以下に示すように用いられる。
すなわち、利用者は、撮像装置にて撮像された画像を観察しながら、撮像装置及び被測定物を相対移動させて、被測定物の測定箇所を撮像装置の撮像範囲内に収める（以下、画像測定機の上記使用状態を観察モードと記載）。
そして、利用者が画像測定機に対して所定の操作をすることで、画像測定機は、被測定物（測定箇所）を撮像し、撮像した画像データに対してエッジ検出等の画像処理を施し、被測定物の寸法等を測定する（以下、画像測定機の上記使用状態を測定モードと記載）。
【先行技術文献】
【非特許文献】
【０００３】
【非特許文献１】株式会社ミツトヨ、ＣＮＣ画像測定機  製品カタログ  Catalog No.4371(5)
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、照明装置から被測定物に光を照射させる際、画像測定機の使用状態が測定モードである場合に適した照射条件（画像処理の精度を向上できる照射条件）と、観察モードである場合に適した照射条件（測定箇所が観察し易い照射条件）とは異なるものである。
このため、画像測定機の使用状態に応じて、利用者が適宜、照明装置の照射条件を変更することが考えられる。
しかしながら、照明装置の照射条件としては、透過照明用光源からの光の強度、落射照明用光源からの光の強度、及びリング照明用光源からの光の強度等、多くの項目がある。
したがって、画像測定機の使用状態に応じて、多くの項目からなる照射条件を利用者に変更させる構成を採用した場合には、利用者に煩雑な作業を強いることとなり、使い勝手が悪いものとなる。
【０００５】
本発明の目的は、使い勝手の良い測定機を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の測定機は、前記被測定物に光を照射する照明装置と、前記照明装置の動作を制御する制御装置とを備えた測定機であって、前記制御装置は、当該測定機の使用状態が前記被測定物を測定する測定状態または非測定状態のいずれの状態であるかを検知する状態検知手段と、前記測定状態に応じた第１の照射条件を記憶する第１記憶手段と、前記非測定状態に応じた第２の照射条件を記憶する第２記憶手段と、前記状態検知手段にて検知された前記使用状態に基づいて、前記第１の照射条件または前記第２の照射条件を読み出し、当該読み出した照射条件で前記照明装置から光を照射させる照明制御手段とを備えることを特徴とする。
【０００７】
本発明では、制御装置は、上述した状態検知手段を備えるので、測定機の使用状態が測定状態（測定モード）であるか、または非測定状態（観察モード）であるかを検知できる。
また、制御装置は、上述した第１，第２記憶手段、及び照明制御手段を備えるので、測定モードである場合には、当該測定モードに適した第１の照射条件（以下、測定用照射条件と記載）で照明装置から被測定物に光を照射させることができる。また、観察モードである場合には、当該観察モードに適した第２の照射条件（以下、観察用照射条件と記載）で照明装置から被測定物に光を照射させることができる。
したがって、測定機の使用状態に応じて利用者に照射条件を適宜、変更させる煩雑な作業を強いることがなく、使い勝手の良い測定機を実現できる。
なお、以下では、説明の便宜上、測定用照射条件で照明装置から照射される光を測定用照明と記載し、観察用照射条件で照明装置から照射される光を観察用照明と記載する。
【０００８】
本発明の測定機では、前記被測定物を撮像する撮像装置を備え、前記制御装置は、画像処理に関する処理情報の入力を受け付ける処理情報受付手段と、前記処理情報に基づいて、前記撮像装置にて撮像された画像に対して画像処理を施す画像処理手段とを備え、前記状態検知手段は、前記処理情報受付手段が前記処理情報の入力を受け付けた場合に、前記測定状態であると検知することが好ましい。
【０００９】
本発明では、状態検知手段は、処理情報受付手段が上述した処理情報の入力を受け付けた場合に、測定モードであると検知する。
このことにより、例えば、測定機に別途、スイッチ等の入力手段を設け、当該入力手段への操作に応じて状態検知手段が測定モードであると検知する構成と比較して、利用者による操作の手数を少なくすることができ、使い勝手をさらに良くすることができる。
また、上述した入力手段を設ける必要がなく、既存の構成を利用して、状態検知手段に測定モードであると検知させることができる。
【００１０】
ところで、撮像装置にて撮像された画像に画像処理を施す際、測定機の使用状態は、測定モードである。
そして、状態検知手段は、処理情報受付手段が上述した処理情報の入力を受け付けた場合に測定モードであると検知するので、画像処理を行う直前に測定モードであると検知できる。
このため、撮像装置にて撮像された画像を確認しながら、被測定物の測定箇所を探索している際に、観察用照明から測定用照明に不要に変更されることがなく、測定箇所の探索の能率を損なうことがない。
【００１１】
本発明の測定機では、当該測定機及び前記被測定物を相対移動させる移動機構を備え、前記状態検知手段は、前記移動機構が当該測定機及び前記被測定物を相対移動させる場合に、前記非測定状態であると検知することが好ましい。
【００１２】
本発明では、状態検知手段は、例えば、以下の（１），（２）に示すように観察モードであると検知する。
（１）利用者によるマウスやキーボード等の操作に応じて、制御装置が移動機構を動作させて測定機及び被測定物を相対移動させる構成（以下、第１の構成）では、状態検知手段は、利用者により上記操作が行われた場合に、観察モードであると検知する。
（２）ハンドル等を手動で操作することで移動機構を動作させ、測定機及び被測定物を相対移動させる構成（以下、第２の構成）では、状態検知手段は、測定機及び被測定物の相対位置を検出する位置検出装置の検出結果に基づいて、観察モードであると検知する。
このことにより、測定機に別途、スイッチ等の入力手段を設け、当該入力手段への操作に応じて状態検知手段が観察モードであると検知する構成と比較して、利用者による操作の手数を少なくすることができ、使い勝手をさらに良くすることができる。
また、上述した入力手段を設ける必要がなく、既存の構成を利用して、状態検知手段に観察モードであると検知させることができる。
【００１３】
ところで、測定機及び被測定物を相対移動させている際、測定機の使用状態は、観察モードである。
そして、状態検知手段は、上述した（１），（２）に示すように観察モードであると検知するので、観察モードを正確に検知できる。
【００１４】
本発明の測定機では、前記状態検知手段は、前記移動機構が当該測定機及び前記測定物を相対移動させた際の、当該測定機及び前記被測定物の相対位置の静止位置からの変化量が第１閾値以上となった場合に、前記測定状態から前記非測定状態に変更されたことを検知することが好ましい。
本発明では、状態検知手段が上述したように測定モードから観察モードに変更されたことを検知するので、観察用照明に切り替わることなく測定用照明が継続した状態で、測定機及び被測定物の相対位置を微調整することができる。
また、測定機及び被測定物の相対位置を微調整する場合には、測定用照明から観察用照明に切り替わることがないため、照明がちらつかない。
【００１５】
本発明の測定機では、当該測定機及び前記被測定物を相対移動させる移動機構を備え、前記状態検知手段は、前記移動機構が当該測定機及び前記被測定物を相対移動させず、当該測定機に対して前記被測定物が静止する場合に前記測定状態であると検知することが好ましい。
【００１６】
本発明では、状態検知手段は、例えば、以下の（３），（４）に示すように測定モードまたは観察モードであると検知する。
（３）第１の構成では、状態検知手段は、利用者によるマウスやキーボード等の操作に応じて、測定モードまたは観察モードであると検知する。
（４）第２の構成では、状態検知手段は、測定機及び被測定物の相対位置を検出する位置検出装置の検出結果に応じて、測定モードまたは観察モードであると検知する。
このことにより、測定機に別途、スイッチ等の入力手段を設け、当該入力手段への操作に応じて状態検知手段が測定モードまたは観察モードであると検知する構成と比較して、利用者による操作の手数を少なくすることができ、使い勝手をさらに良くすることができる。
また、上述した入力手段を設ける必要がなく、既存の構成を利用して、状態検知手段に測定モードまたは観察モードであると検知させることができる。
【００１７】
本発明の測定機では、前記状態検知手段は、当該測定機に対する前記被測定物の静止時間が第２閾値以上となった場合に、前記非測定状態から前記測定状態に変更されたことを検知することが好ましい。
本発明では、状態検知手段が上述した場合に観察モードから測定モードに変更されたことを検知するので、測定機に対して被測定物が停止してから所定時間（第２閾値）、観察用照明が継続し、前記所定時間の経過後、測定用照明に変更されることとなる。すなわち、測定機に対して被測定物を停止させた直後、前記所定時間だけ、観察用照明で被測定物を観察できる。
また、測定機及び被測定物の相対移動を一瞬（第２閾値未満）、休んで続行する場合には、観察用照明から測定用照明に切り替わることがないため、照明がちらつかない。
【００１８】
本発明の測定機では、前記制御装置は、前記使用状態に関する状態情報の入力を受け付ける状態情報受付手段を備え、前記状態検知手段は、前記状態情報受付手段にて入力を受け付けた前記状態情報に基づいて、前記測定状態または前記非測定状態のいずれの状態であるかを検知することが好ましい。
本発明では、状態検知手段は、状態情報受付手段が上述した状態情報の入力を受け付けた場合に、測定モードまたは観察モードのいずれの状態であるかを検知する。
このことにより、上述した移動機構がない構成や、撮像装置がない構成であっても、状態検知手段に測定モードまたは観察モードであると検知させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】第１実施形態における画像測定機の構成を示すブロック図。
【図２】第１実施形態における画像測定機の動作を説明するフローチャート。
【図３】第１実施形態における測定モードの動作を説明するフローチャート。
【図４】第１実施形態における観察モードの動作を説明するフローチャート。
【図５】第１実施形態における操作ウィンドウを示す図。
【図６】第１実施形態における観察モード時の設定ウィンドウを示す図。
【図７】第１実施形態における選択ウィンドウを示す図。
【図８】第１実施形態における測定モード時の設定ウィンドウを示す図。
【図９】第２実施形態における画像測定機の構成を示すブロック図。
【図１０】第２実施形態における画像測定機の動作を説明するフローチャート。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
[第１実施形態]
以下、本発明の第１実施形態を図面に基づいて説明する。
〔画像測定機の構成〕
図１は、第１実施形態における画像測定機１の構成を示すブロック図である。
なお、以下では、説明の便宜上、鉛直軸をＺ軸とし、Ｚ軸に直交する２つの軸をＸ軸及びＹ軸とする。
測定機としての画像測定機１は、被測定物Ｗを撮像し、当該撮像した画像データに基づいて、被測定物Ｗの寸法等を測定するものであり、図１に示すように、測定機本体２と、制御装置３と、入力装置４と、表示装置５とを備える。
【００２１】
〔測定機本体の構成〕
測定機本体２は、制御装置３による制御の下、被測定物Ｗに対して光を照射するとともに、被測定物Ｗを撮像し、当該撮像した画像データを制御装置３に出力する。
この測定機本体２は、図１に示すように、ステージ２１と、本体部２２と、移動機構としての三次元移動機構２３とを備える。
ステージ２１は、被測定物Ｗが載置される部分である。
このステージ２１には、板状のガラス等の透光性材料で構成された載置部２１１が設けられている。
【００２２】
そして、載置部２１１は、板面がＸＹ平面に沿うように配設され、当該載置部２１１上に被測定物Ｗが載置される。
また、ステージ２１において、載置部２１１の真下（被測定物Ｗの真下）には、透過照明用光源２４１が配設されている。
透過照明用光源２４１は、制御装置３による制御の下、被測定物Ｗの真下から、被測定物Ｗに対して光を照射する光源である。
【００２３】
本体部２２は、ステージ２１の上側に配設される。
この本体部２２は、対物レンズ２２１と、ビームスプリッタ２２２と、撮像装置としてのカメラ２２３と、落射照明用光源２４２と、リング照明用光源２４３とを備える。
対物レンズ２２１、ビームスプリッタ２２２、及びカメラ２２３は、載置部２１１（被測定物Ｗ）に近接する側から順に、Ｚ軸に沿うように配設される。
落射照明用光源２４２は、制御装置３による制御の下、ビームスプリッタ２２２を介して、被測定物Ｗの真上から光を照射する光源である。
リング照明用光源２４３は、Ｚ軸を囲む円環状に形成され、制御装置３による制御の下、被測定物Ｗの斜め上から光を照射する光源である。
【００２４】
このリング照明用光源２４３は、具体的な図示は省略したが、図１の紙面手前側（−Ｙ軸方向（以下、フロント））、図１の紙面奥側（＋Ｙ軸方向（以下、バック））、図１の右側（＋Ｘ軸方向（以下、ライト））、及び図１の左側（−Ｘ軸方向（以下、レフト）の４つに分割され、制御装置３により個別に制御される。
上述した透過照明用光源２４１、落射照明用光源２４２、及びリング照明用光源２４３は、本発明に係る照明装置２４（図１）に相当する。
なお、照明装置２４は、具体的な図示は省略したが、制御装置３による制御の下、出射光（各光源２４１〜２４３から照射される光の色）を変更可能（例えば、赤色光のみを出射、または、白色光を出射等）に構成されているものである。
【００２５】
そして、照明装置２４から発せられた光は、被測定物Ｗを透過、あるいは、被測定物Ｗにて反射され、対物レンズ２２１及びビームスプリッタ２２２を介して、カメラ２２３に集光され、被測定物Ｗがカメラ２２３にて撮像される。カメラ２２３にて撮像された被測定物Ｗの画像データは、制御装置３に出力される。
【００２６】
三次元移動機構２３は、制御装置３による制御の下、ステージ２１、本体部２２、及びリング照明用光源２４３を以下に示す方向に移動させる。
すなわち、三次元移動機構２３は、ステージ２１をＸ，Ｙ軸方向に移動させる。
また、三次元移動機構２３は、本体部２２をＺ軸方向に移動させる。
さらに、三次元移動機構２３は、リング照明用光源２４３をＺ軸方向に移動させる。
なお、三次元移動機構２３には、図１に示すように、ステージ２１のＸ，Ｙ軸方向の位置、本体部２２のＺ軸方向の位置、及びリング照明用光源２４３のＺ軸方向の位置を検出するリニアエンコーダ等の位置検出装置２５がそれぞれ設けられている。
そして、各位置検出装置２５にて検出された位置は、制御装置３に出力される。
【００２７】
〔制御装置の構成〕
制御装置３は、ＣＰＵ(Central Processing Unit)やハードディスク等を備え、測定機本体２の動作を制御するとともに、測定機本体２から出力された画像データに基づいて、被測定物Ｗの寸法等を測定する。
この制御装置３は、図１に示すように、入力受付手段３１と、ＧＵＩ制御手段３２と、画像処理手段３３と、移動制御手段３４と、状態検知手段３５と、照明制御手段３６と、第１記憶手段３７と、第２記憶手段３８等を備える。
入力受付手段３１は、マウスやキーボード等の入力装置４からの操作信号に基づいて、利用者による入力装置４への操作を認識する。
上述した入力受付手段３１は、本発明に係る処理情報受付手段及び状態情報受付手段に相当する。
【００２８】
ＧＵＩ制御手段３２は、メモリ（図示略）に記憶された情報に基づいて、後述する操作ウィンドウＷ１、設定ウィンドウＷ２、及び選択ウィンドウＷ３（図７参照）等を生成し、当該各ウィンドウＷ１〜Ｗ３等をディスプレイ等の表示装置５に表示させる。
画像処理手段３３は、表示装置５に表示された選択ウィンドウＷ３に基づき、入力装置４を介して利用者にて設定された画像処理条件（処理情報）に基づいて、カメラ２２３にて撮像された画像データに対して画像処理を施す。そして、画像処理手段３３は、画像処理を施した結果を表示装置５に表示させる。
移動制御手段３４は、入力受付手段３１にて認識された利用者による入力装置４への操作等に基づいて、三次元移動機構２３の動作を制御する。
【００２９】
状態検知手段３５は、画像測定機１の使用状態を検知する。
具体的に、状態検知手段３５は、入力受付手段３１にて入力を受け付けた情報に基づいて、画像測定機１の使用状態（測定モード（測定状態）、観察モード（非測定状態））を検知する。
なお、状態検知手段３５は、画像測定機１の電源が投入された直後では、画像測定機１の使用状態を観察モードであると検知するように設定されている。
【００３０】
照明制御手段３６は、状態検知手段３５にて検知された結果に基づいて、第１記憶手段３７または第２記憶手段３８から照射条件を読み出し、当該読み出した照射条件にて照明装置２４から光を照射させる。
第１記憶手段３７は、測定モード時に照明装置２４から光を照射させる測定用照射条件（第１の照射条件）を記憶する。
第２記憶手段３８は、観察モード時に照明装置２４から光を照射させる観察用照射条件（第２の照射条件）を記憶する。
【００３１】
〔画像測定機の動作〕
次に、上述した画像測定機１の動作について説明する。
図２は、画像測定機１の動作を説明するフローチャートである。図３は、測定モードにおける動作を説明するフローチャートである。図４は、観察モードにおける動作を説明するフローチャートである。
先ず、利用者が画像測定機１の電源を投入すると、状態検知手段３５は、画像測定機１の使用状態が観察モードであると検知する（ステップＳＴ１１）。
次に、照明制御手段３６は、第２記憶手段３８に記憶された観察用照射条件を読み出し、当該観察用照射条件で照明装置２４から光を照射させる（ステップＳＴ１２）。すなわち、照明装置２４からの照明は、観察用照明となる。
また、ＧＵＩ制御手段３２は、以下に示す各ウィンドウＷ１〜Ｗ３を表示装置５に表示させる。
【００３２】
図５は、操作ウィンドウＷ１を示す図である。
操作ウィンドウＷ１は、ステージ２１及び本体部２２を操作するためのウィンドウである。
具体的に、操作ウィンドウＷ１において、上下左右に配列された４つの各アイコンＩＳ１〜ＩＳ４のうち、上下に配列された２つのアイコンＩＳ１，ＩＳ２は、利用者に、ステージ２１のＹ軸方向への移動を促すものである。一方、左右に配列された２つのアイコンＩＳ３，ＩＳ４は、利用者に、ステージ２１のＸ軸方向への移動を促すものである。
また、各アイコンＩＳ１〜ＩＳ４に挟まされる位置にアイコンＩＳ５が配置され、利用者に、ステージ２１のＸ軸方向及びＹ軸方向への移動を促す。
【００３３】
すなわち、利用者が入力装置４により各アイコンＩＳ１〜ＩＳ４を操作すると、入力受付手段３１は、利用者による入力装置４への操作を認識する。そして、移動制御手段３４は、入力受付手段３１にて認識された操作（各アイコンＩＳ１〜ＩＳ４の操作）に応じて、三次元移動機構２３の動作を制御し、ステージ２１をＸ軸方向またはＹ軸方向に移動させる。
また、利用者の入力装置４の操作により、アイコンＩＳ５が所定方向にドラッグ移動操作されると、入力受付手段３１は、利用者による入力装置４への操作から、アイコンＩＳ５のドラッグ移動方向、ドラッグ移動量を認識する。そして、移動制御手段３４は、三次元移動機構２３の動作を制御し、ステージ２１をドラッグ移動方向に沿った方向（Ｘ軸方向またはＹ軸方向）に、ドラッグ移動量に応じた速度で移動させる。なお、アイコンＩＳ５が操作された際の速度を、アイコンＩＳ１〜４が操作された際の速度よりも大きくしてもよい。この場合、例えば、アイコンＩＳ５によりステージ２１を粗動移動させ、アイコンＩＳ１〜４によりステージ２１を微動移動（微調整）させる等の動作が可能となる。
これにより、本体部２２に対してステージ２１がＸ軸方向またはＹ軸方向に移動し、ステージ２１上に載置された被測定物Ｗの測定箇所が変更される。
【００３４】
また、操作ウィンドウＷ１において、上下方向に４つ整列された各アイコンＩＦ１〜ＩＦ４は、利用者に、本体部２２のＺ軸方向への移動を促すものである。
すなわち、利用者が入力装置４により各アイコンＩＦ１〜ＩＦ４を操作すると、入力受付手段３１は、利用者による入力装置４への操作を認識する。そして、移動制御手段３４は、入力受付手段３１にて認識された操作（各アイコンＩＦ１〜ＩＦ４の操作）に応じて、三次元移動機構２３の動作を制御し、本体部２２をＺ軸方向に移動させる。
これにより、ステージ２１に対して本体部２２がＺ軸方向に移動し、カメラ２２３にて撮像される被測定物Ｗの画像の焦点が調整される。
【００３５】
図６は、観察モード時の設定ウィンドウＷ２を示す図である。
設定ウィンドウＷ２は、照明装置２４の照射条件を表示及び設定するための表示設定領域Ａｒ１を有する。
また、設定ウィンドウＷ２は、図６に示すように、表示設定領域Ａｒ１の他、カメラ２２３にて撮像された画像が表示される画像領域Ａｒ２、各種の測定及び作業を実施するためのアイコンが表示された選択バー領域Ａｒ３、及び測定箇所のＸ，Ｙ，Ｚ軸方向の各軸位置が表示された座標表示領域Ａｒ４等を有する。
なお、図６に示す例では、被測定物Ｗとしてプリント配線基板を採用しているため、画像領域Ａｒ２には、印刷パターンＰや貫通穴Ｈ等を有するプリント配線基板（被測定物Ｗ）が表示されている。
また、以下では、説明の便宜上、貫通穴Ｈの内径等を測定する場合を例に説明する。
【００３６】
表示設定領域Ａｒ１は、図６に示すように、モード選択領域Ａｒ１１と、強度位置選択領域Ａｒ１２と、連動選択領域Ａｒ１３と、色選択領域Ａｒ１４とを備える。
モード選択領域Ａｒ１１は、現状の画像測定機１の使用状態が観察モードまたは測定モードのいずれのモードであるかを表示するとともに、いずれかのモードの選択を促す領域である。
そして、モード選択領域Ａｒ１１は、観察モードに応じたラジオボタンＲ１と、測定モードに応じたラジオボタンＲ２を有する。
なお、ステップＳＴ１１，ＳＴ１２では画像測定機１の使用状態が観察モードであると検知されているため、ＧＵＩ制御手段３２は、図６に示すように、ラジオボタンＲ１が操作（選択）された状態を表示させる。
【００３７】
強度位置選択領域Ａｒ１２は、図６に示すように、第１〜第７領域Ａｒ１２Ａ〜Ａｒ１２Ｇで構成され、照明装置２４からの光の強度、及びリング照明用光源２４３のＺ軸方向の位置を表示するとともに、当該強度及び位置の変更を促す領域である。
第１，第２領域Ａｒ１２Ａ，Ａｒ１２Ｂは、透過照明用光源２４１及び落射照明用光源２４２からの光の強度を表示するとともに、当該強度の変更を促す領域である。
第３〜第６領域Ａｒ１２Ｃ〜Ａｒ１２Ｆは、リング照明用光源２４３のフロント、バック、ライト、及びレフトの各部分からの光の強度を表示するとともに、当該強度の変更を促す領域である。
第７領域Ａｒ１２Ｇは、リング照明用光源２４３のＺ軸方向の位置を表示するとともに、当該位置の変更を促す領域である。
【００３８】
連動選択領域Ａｒ１３は、第３〜第６領域Ａｒ１２Ｃ〜Ａｒ１２Ｆの設定値が自動的に揃う連動の有無を表示するとともに、当該連動の有無の変更を促す領域である。
例えば、連動選択領域Ａｒ１３が選択された状態では、第３〜第６領域Ａｒ１２Ｃ〜Ａｒ１２Ｆのいずれか１つの領域の設定値が設定されると、その設定値が自動的に他の３つの領域の設定値として設定される状態となる（図６に示す状態）。
一方、連動選択領域Ａｒ１３が選択されていない状態では、第３〜第６領域Ａｒ１２Ｃ〜Ａｒ１２Ｆを独自に設定できる状態となる。
色選択領域Ａｒ１４は、照明装置２４からの光の色を表示するとともに、当該色の変更を促す領域である。
【００３９】
なお、ステップＳＴ１１，ＳＴ１２では画像測定機１の使用状態が観察モードであると検知されているため、ＧＵＩ制御手段３２は、図６に示すように、各領域Ａｒ１２〜Ａｒ１４に第２記憶手段３８に記憶された観察用照射条件を表示させる。
具体的に、観察用照射条件は、被測定物Ｗの材質及び形状等に対応させて、測定箇所を観察し易くするために、以下に示すように設定されている。
すなわち、被測定物Ｗ（プリント配線基板）の貫通穴Ｈが目立つように、透過照明用光源２４１からの光の強度が比較的に高めに設定されている（図６中、第１領域Ａｒ１２Ａ参照）。
【００４０】
また、被測定物Ｗの印刷パターンＰを観察し易くするために、リング照明用光源２４３が使用される（図６中、第３〜第６領域Ａｒ１２Ｃ〜Ａｒ１２Ｆ参照）。
さらに、被測定物Ｗの半田メッキ（図示略）を観察し易くするために、落射照明用光源２４２が使用される（図６中、第２領域Ａｒ１２Ｂ参照）。
また、被測定物Ｗの緑色レジストの背景を暗くして、他の部分とのコントラストを上げるために、照明装置２４からの光の色が「赤」に設定されている（図６中、色選択領域Ａｒ１４参照）。
なお、観察モード時に設定ウィンドウＷ２が表示された状態で、利用者が入力装置４により表示設定領域Ａｒ１を操作（変更）した場合には、入力受付手段３１が当該操作を認識し、第２記憶手段３８に記憶された観察用照射条件を変更する。
【００４１】
図７は、選択ウィンドウＷ３を示す図である。
選択ウィンドウＷ３は、エッジ検出等の画像処理を実行するための各種のツール（アイコン）が表示され、当該ツールの利用を促すツールボックスである。
なお、各種のツールについては、ＱＶＰＡＫ（登録商標）ソフトウエア等で実現されている公知技術であるため、具体的な説明については省略する。
【００４２】
図２に戻り、ステップＳＴ１２の後、状態検知手段３５は、ステージ２１が静止状態であるか否かを判定する（ステップＳＴ１３）。
具体的に、状態検知手段３５は、入力受付手段３１にて各アイコンＩＳ１〜ＩＳ５の操作が認識されていない時間（各アイコンＩＳ１〜ＩＳ５が操作されていない時間）を計測し、当該計測した時間と第２閾値（例えば、1sec）とを比較する。そして、状態検知手段３５は、上記計測した時間が第２閾値以上となった場合に、ステージ２１が静止状態であると判定する。
【００４３】
ステップＳＴ１３において、「Ｙ」と判定された場合には、測定モードでの照明動作を実施する（ステップＳＴ１４）。
このステップＳＴ１４では、図３に示すように、まず、照明制御手段３６は、使用状態が測定モードであるか否かを判断する（ステップＳＴ１４１）。
ステップＳＴ１４１で「Ｎ」と判定された場合、照明制御手段３６は、使用状態を測定モードに設定する（ステップＳＴ１４２）。そして、照明制御手段３６は、第１記憶手段３７に記憶された測定用照射条件を読み出し、当該測定用照射条件で照明装置２４から光を照射させる（ステップＳＴ１４３）。
一方、ステップＳＴ１４１で「Ｙ」と判定された場合、照明装置２４から測定用照射条件での光が照射されているため、照明制御手段３６は当該条件での光の照射を継続させる。
ステップＳＴ１４の後、ステップＳＴ１３の処理に戻る。
【００４４】
また、測定モードでは、ＧＵＩ制御手段３２は、図５及び図７に示す各ウィンドウＷ１，Ｗ３の他、以下に示す設定ウィンドウＷ２（図６に示す設定ウィンドウＷ２に対して表示設定領域Ａｒ１が異なるのみ）及び画像処理を実行させるか否かを選択させる実行ウィンドウ（図示略）を表示装置５に表示させる。
【００４５】
図８は、測定モード時の設定ウィンドウＷ２を示す図である。
ステップＳＴ１４，ＳＴ１５では画像測定機１の使用状態が測定モードであると検知されているため、ＧＵＩ制御手段３２は、図８に示すように、ラジオボタンＲ２が操作（選択）された状態を表示させるとともに、各領域Ａｒ１２〜Ａｒ１４に第１記憶手段３７に記憶された測定用照射条件を表示させる。
具体的に、測定用照射条件は、被測定物Ｗの材質及び形状等に対応させて、測定箇所の測定をし易く（画像処理をし易く（エッジを検出し易く））するために、以下に示すように設定されている。
【００４６】
すなわち、被測定物Ｗの貫通穴Ｈのエッジをはっきりさせるために、透過照明用光源２４１のみが使用される（図８中、第１〜第６領域Ａｒ１２Ａ〜Ａｒ１２Ｆ参照）。
また、透過照明用光源２４１からの光の強度は、カメラ２２３が飽和しないように、観察モード時での強度に対して、低めに設定されている（図８中、第１領域Ａｒ１２Ａ参照）。
さらに、照明装置２４からの光の色が「白」に設定されている（図８中、色選択領域Ａｒ１４参照）。
そして、上記のような測定用照射条件で照明装置２４から被測定物Ｗに光が照射されることで、被測定物Ｗは、図８の画像領域Ａｒ２に示すように、貫通穴Ｈのエッジがはっきりとした状態でカメラ２２３にて撮像されることとなる。
【００４７】
図２に戻り、ステップＳＴ１３において、「Ｎ」と判定された場合には、入力受付手段３１は、さらに、利用者による入力装置４への操作により、設定ウィンドウＷ２の測定モードに応じたラジオボタンＲ２が操作された（使用状態に関する状態情報が入力された）か否かを監視する（ステップＳＴ１５）。
ステップＳＴ１５において、「Ｙ」と判定された場合、ステップＳＴ１４の処理を実施する。
【００４８】
一方、ステップＳＴ１５において、「Ｎ」と判定された場合（ラジオボタンＲ２が操作された場合）、さらに、入力受付手段３１は、利用者による入力装置４への操作により、選択ウィンドウＷ３の各種のツールが操作（画像処理条件（処理情報）が設定）されたか否かを監視する（ステップＳＴ１６）。
ステップＳＴ１６において、「Ｙ」と判定された場合、ステップＳＴ１４の処理を実施する。
【００４９】
一方、ステップＳＴ１６において、「Ｎ」と判定された場合、入力受付手段３１は、利用者による入力装置４への操作により、表示装置５に表示された実行ウィンドウ（図示略）を介して、画像処理を実行させる旨の操作が実施されたか否かを監視する（ステップＳＴ１７）。
ステップＳＴ１７において、「Ｙ」と判定された場合、照明制御手段３６は、測定モードでの照明動作を実施する（ステップＳＴ１８）。
ステップＳＴ１８は、ステップＳＴ１４と同様、図３に示すステップＳＴ１４１，ＳＴ１４２，ＳＴ１４３の処理を実施する。すなわち、照明装置２４からの照明は、測定用照明となる。
そして、ステップＳＴ１８の後、画像処理手段３３は、ステップＳＴ１６において利用者にて設定された画像処理条件に基づいて、カメラ２２３にて撮像された画像データに対して画像処理を施す（ステップＳＴ１９）。このステップＳＴ１９の後、ステップＳＴ１３に戻る。
【００５０】
一方、ステップＳＴ１７において、「Ｎ」と判定された場合、状態検知手段３５は、ステージ２１が移動状態であるか否かを判定する（ステップＳＴ２０）。
ステップＳＴ２０において、「Ｙ」と判定された場合、観察モードでの照明動作を実施する（ステップＳＴ２１）。
このステップＳＴ２１では、図４に示すように、まず、照明制御手段３６は、使用状態が観察モードであるか否かを判断する（ステップＳＴ２１１）。
ステップＳＴ２１１で「Ｎ」と判定された場合、照明制御手段３６は、使用状態を観察モードに設定する（ステップＳＴ２１２）。そして、照明制御手段３６は、第２記憶手段３８に記憶された観察用照射条件を読み出し、当該観察用照射条件で照明装置２４から光を照射させる（ステップＳＴ２１３）。
一方、ステップＳＴ２１１で「Ｙ」と判定された場合、照明装置２４から観察用照射条件での光が照射されているため、照明制御手段３６は当該条件での光の照射を継続させる。
ステップＳＴ２１の後、ステップＳＴ１３の処理に戻る。
【００５１】
ステップＳＴ２０において、「Ｎ」と判定された場合、入力受付手段３１は、利用者による入力装置４への操作により、設定ウィンドウＷ２の観察モードに応じたラジオボタンＲ１が操作された（使用状態に関する状態情報が入力された）か否かを判定する（ステップＳＴ２２）。
ステップＳＴ２２において、「Ｙ」と判定された場合、ステップＳＴ２１の処理を実施する。
【００５２】
また、ステップＳＴ２２において、「Ｎ」と判定された場合、入力受付手段３１は、利用者による入力装置４への操作により、ステップＳＴ１６において設定された画像処理条件が破棄される等により、画像設定が中止されたか否かを判定する（ステップＳＴ２３）。
ステップＳＴ２３において、「Ｙ」と判定された場合、ステップＳＴ２１の処理を実施する。
【００５３】
一方、ステップＳＴ２３において、「Ｎ」と判定された場合、利用者が画像測定機１の電源を切る等により、測定が中止されたか否かを判定する（ステップＳＴ２４）。ステップＳＴ２４により「Ｙ」と判定されると、一連の測定動作を終了させる。一方、ステップＳＴ２４により「Ｎ」と判定されると、ステップＳＴ１３の処理に戻る。
【００５４】
上述した第１実施形態によれば、以下の効果がある。
本実施形態では、制御装置３は、状態検知手段３５を備えるので、画像測定機１の使用状態が測定モードであるか、観察モードであるかを検知できる。
また、制御装置３は、第１，第２記憶手段３７，３８、及び照明制御手段３６を備えるので、測定モードである場合には、当該測定モードに適した測定用照射条件で照明装置２４から被測定物Ｗに光を照射させることができる。また、観察モードである場合には、当該観察モードに適した観察用照射条件で照明装置２４から被測定物Ｗに光を照射させることができる。
したがって、画像測定機１の使用状態に応じて利用者に照射条件を適宜、変更させる煩雑な作業を強いることがなく、使い勝手の良い画像測定機１を実現できる。
【００５５】
また、状態検知手段３５は、入力受付手段３１にて利用者による入力装置４への操作（選択ウィンドウＷ３の各種のツールの操作）が認識された場合に、測定モードであると検知する。
このことにより、利用者にラジオボタンＲ２を操作させなくても、画像処理条件を設定する操作にて状態検知手段３５に測定モードであると検知させることができる。このため、利用者による操作の手数を少なくすることができ、使い勝手をさらに良くすることができる。
また、状態検知手段３５に測定モードであると検知させるために、画像測定機１に別途、スイッチ等の入力手段を設ける必要がなく、既存の構成を利用して、状態検知手段３５に測定モードであると検知させることができる。
さらに、状態検知手段３５が上述した場合に測定モードであると検知するので、画像処理を行う直前に測定モードであると検知できる。
このため、カメラ２２３にて撮像された画像（画像領域Ａｒ２）を確認しながら、被測定物Ｗの測定箇所を探索している際に、観察用照明から測定用照明に不要に変更されることがなく、測定箇所の探索の能率を損なうことがない。
【００５６】
また、状態検知手段３５は、利用者によるステージ２１を移動させる操作（各アイコンＩＳ１〜ＩＳ４の操作）に応じて、観察モードであると検知する。
このことにより、利用者にラジオボタンＲ１を操作させなくても、ステージ２１を移動させる操作にて状態検知手段３５に観察モードであると検知させることができる。このため、利用者による操作の手数を少なくすることができ、使い勝手をさらに良くすることができる。
さらに、状態検知手段３５に観察モードであると検知させるために、画像測定機１に別途、スイッチ等の入力手段を設ける必要がなく、既存の構成を利用して、状態検知手段３５に観察モードであると検知させることができる。
また、状態検知手段３５は、上述した場合に観察モードであると検知するので、観察モードを正確に検知できる。
【００５７】
さらに、状態検知手段３５は、各アイコンＩＳ１〜ＩＳ４が操作されていない時間（ステージ２１の静止時間）が第２閾値以上となった場合に、観察モードから測定モードに変更されたことを検知する。
このことにより、ステージ２１が静止してから所定時間（第２閾値）、観察用照明が継続し、所定時間の経過後、測定用照明に変更されることとなる。すなわち、ステージ２１を静止させた直後、所定時間だけ、観察用照明で被測定物Ｗを観察できる。
また、ステージ２１の移動を一瞬（第２閾値未満）、休んで続行する場合には、観察用照明から測定用照明に切り替わることがないため、照明がちらつかない。
【００５８】
さらに、状態検知手段３５は、利用者によるラジオボタンＲ１，Ｒ２の操作によっても、観察モードまたは測定モードであると検知する。
このことにより、例えば、画像処理条件を設定した後に、ラジオボタンＲ１を操作すれば、測定用照明から観察用照明に容易に切り替えることができる。同様に、ステージ２１の移動中に、ラジオボタンＲ２を操作すれば、観察用照明から測定用照明に容易に切り替えることができる。
したがって、状況に応じて適切な照明に切り替えることができる。
【００５９】
[第２実施形態]
次に、本発明の第２実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、以下では、前記第１実施形態と同様の構成には同一の符号を付し、その詳細な説明については省略する。
図９は、第２実施形態における画像測定機１の構成を示すブロック図である。
前記第１実施形態では、制御装置３は、利用者にステージ２１、本体部２２、及びリング照明用光源２４３の移動を促すために、表示装置５に操作ウィンドウＷ１や設定ウィンドウＷ２（第７領域Ａｒ１２Ｇ）を表示している。そして、三次元移動機構２３は、利用者が入力装置４にて操作ウィンドウＷ１や設定ウィンドウＷ２（第７領域Ａｒ１２Ｇ）が操作されることで、移動制御手段３４による制御の下、ステージ２１等を移動させていた。
【００６０】
これに対して第２実施形態では、図９に示すように、測定機本体２に、利用者にて操作されるハンドル２６が設けられている。そして、三次元移動機構２３は、利用者によるハンドル２６の操作に連動し、ステージ２１等を移動させるように構成されている。
すなわち、第２実施形態では、ＧＵＩ制御手段３２は、前記第１実施形態で説明した操作ウィンドウＷ１を表示装置５に表示させることはなく、さらに、前記第１実施形態で説明した設定ウィンドウＷ２において、第７領域Ａｒ１２Ｇを表示装置５に表示させることはない。また、移動制御手段３４は、省略されている。
【００６１】
そして、第２実施形態では、具体的には後述するが、状態検知手段３５によるステージ２１の静止状態の判定処理（前記第１実施形態で説明したステップＳＴ１３）及び移動状態の判定処理（前記第１実施形態で説明したステップＳＴ２０）が前記第１実施形態とは異なるものとなっている。
【００６２】
次に、第２実施形態における画像測定機１の動作について説明する。
図１０は、第２実施形態における画像測定機１の動作を説明するフローチャートである。
なお、第２実施形態における画像測定機１の動作は、図１０に示すように、前記第１実施形態に対して、ステージ２１の静止状態及び移動状態の判定処理が異なるのみである。このため、以下では、前記第１実施形態で説明したステップＳＴ１３，ＳＴ２０の代わりに実行されるステージ２１の静止状態の判定処理（ステップＳＴ２５，ＳＴ２６，ＳＴ２７）のみを説明する。
【００６３】
本実施形態における状態検知手段３５は、以下に示すように、ステージ２１が静止状態であるか否かを判定する。
すなわち、ステップＳＴ１２の後、状態検知手段３５は、位置検出装置２５にて検出されたステージ２１の位置を所定周期（例えば、10msec周期）で認識し、当該周期で認識したステージ２１の各位置（例えば、直近１０回の各位置）の散布度を算出するとともに、算出した散布度が第３閾値未満であるか否かを監視する（ステップＳＴ２５）。
ここで、散布度としては、ステージ２１の位置のばらつき（ふらつき）を示す指標値であればよく、例えば、標準偏差等が例示できる。
【００６４】
ステップＳＴ２５において、制御装置３は、「Ｎ」と判定した場合には、ステップＳＴ１５の処理に移行する。
一方、状態検知手段３５は、ステップＳＴ２５において、「Ｙ」と判定した場合には、算出した散布度が第３閾値未満である状態が継続している時間（ステージ２１の静止時間）を計測し、当該計測した時間が第２閾値（例えば、1sec）以上となったか否かを監視する（ステップＳＴ２６）。
【００６５】
ステップＳＴ２６において、制御装置３は、「Ｎ」と判定した場合には、ステップＳＴ１５の処理に移行する。
一方、制御装置３は、ステップＳＴ２６において、「Ｙ」と判定した場合には、ステップＳＴ１４の処理を実施して、照明装置２４からの照明を測定用照明に変更する。
すなわち、状態検知手段３５は、ステップＳＴ２５において「Ｙ」と判定し、かつ、ステップＳＴ２６において「Ｙ」と判定した場合に、ステージ２１が静止状態であると判定する。
【００６６】
また、第一実施形態のステップＳＴ２０の代わりに実施されるステップＳＴ２７では、状態検知手段３５は、ステージ２１の静止位置からの移動量が第１閾値以上である否かを判定する。具体的には、状態検知手段３５は、静止状態から測定状態に遷移する際にその位置を検出しておき、当該位置と現在位置との距離が第１閾値以上となるか否かを判定する。
そして、ステップＳ２７で「Ｙ」と判定された場合、ステージ２１が移動状態であると判定し、照明装置２４からの照明を観察用照明に変更する。
一方、ステップＳＴ２７において、「Ｎ」と判定された場合は、ステップＳＴ２２の処理に移行する。
【００６７】
上述した第２実施形態によれば、前記第１実施形態と同様の効果の他、以下の効果がある。
本実施形態では、状態検知手段３５は、位置検出装置２５の検出結果に基づいて、ステージ２１の静止状態または移動状態を判定し、判定結果に基づいて、測定モードまたは観察モードであると検知する。
このことにより、利用者にラジオボタンＲ１，Ｒ２を操作させなくても、位置検出装置２５の検出結果に応じて状態検知手段３５に測定モードまたは観察モードであると検知させることができる。このため、利用者による操作の手数を少なくすることができ、使い勝手をさらに良くすることができる。
また、状態検知手段に測定モードまたは観察モードであると検知させるために、画像測定機１に別途、スイッチ等の入力手段を設ける必要がなく、既存の構成を利用して、状態検知手段３５に測定モードまたは観察モードであると検知させることができる。
【００６８】
さらに、状態検知手段３５は、ステージ２１の静止位置からの移動量が第１閾値以上となった場合に、ステージ２１が移動状態であると判定する（観察モードであると検知する）。
このことにより、観察用照明に切り替わることなく測定用照明が継続した状態で、ステージ２１の位置を微調整することができる。
また、ステージ２１の位置を微調整する場合には、測定用照明から観察用照明に切り替わることがないため、照明がちらつかない。
さらに、ステージ２１が移動中であって、ステージ２１の移動が停止した際に、その停止時間が第２閾値以上である場合に、観察用照明から測定用照明に切り替わり、第２閾値未満である場合では観察用照明が継続される。これにより、移動操作中の一瞬の一時停止（第２閾値未満）等では、観察用照明から測定用照明に切り替わることがないため、照明がちらつかない。
【００６９】
また、状態検知手段３５は、所定周期でのステージ２１の各位置の散布度を算出し、散布度が第３閾値以上である場合に、ステージ２１が静止状態ではないと判定する（観察モードであると検知する）。
このことにより、状態検知手段３５は、利用者の微小な手の震え等がハンドル２６を介してステージ２１に伝達された場合や、画像測定機１に振動が生じて当該振動がステージ２１に伝達された場合であっても、ステージ２１が静止状態であると判定できる（測定モードであると検知できる）。すなわち、照明が切り替わることがないため、照明がちらつかない。
【００７０】
なお、本発明は、前記実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
前記各実施形態では、本発明に係る測定機として、画像測定機１を採用していたが、これに限らず、測定顕微鏡として構成しても構わない。
この際、前記各実施形態と同様に、カメラ２２３を備えた構成としてもよく、カメラ２２３を省略した構成としても構わない。
ここで、本発明に係る測定機として、カメラ２２３のない測定顕微鏡を採用した場合には、状態検知手段３５は、前記第２実施形態と同様に、位置検出装置２５の検出結果に基づいて、測定モード及び観察モードを検知すればよい。
【００７１】
前記第２実施形態では、状態検知手段３５は、位置検出装置２５の検出結果に基づいて、画像測定機１の使用状態を検知していたが、これに限らない。
例えば、利用者がハンドル２６を把持した際に、利用者の手にて押圧されるスイッチ等の入力手段をハンドル２６に設けておき、当該スイッチ等からの信号により、画像測定機１の使用状態を検知する構成を採用しても構わない。
また、例えば、ハンドル２６の回転を検出する回転センサ等をハンドル２６に設けておき、当該回転センサからの信号により、画像測定機１の使用状態を検知する構成を採用しても構わない。
さらに、例えば、ハンドル２６に力が掛かっていることを検知する応力センサをハンドル２６に設けておき、当該応力センサからの信号により、画像測定機１の使用状態を検知する構成を採用しても構わない。
【００７２】
前記各実施形態では、ステージ２１が移動する構成を採用していたが、これに限らない。すなわち、被測定物Ｗと本体部２２（カメラ２２３）とが相対移動する構成であれば、ステージ２１が移動せずに本体部２２が移動する構成や、ステージ２１及び本体部２２の双方が移動する構成等を採用しても構わない。
前記各実施形態では、ステージ２１が移動する構成を採用していたが、ステージ２１が移動しない構成、すなわち、利用者がステージ２１上の被測定物Ｗを手で移動する構成を採用しても構わない。
この際、測定機に使用状態に関する状態情報を入力するためのスイッチ等の入力手段を設けておく。そして、状態検知手段は、入力受付手段にて入力を受け付けた状態情報に基づいて、当該測定機の使用状態を検知することが好ましい。
このように構成することで、ステージ２１や本体部２２（カメラ２２３）が移動しない構成や、カメラ２２３がない構成であっても、状態検知手段に測定モードまたは観察モードであると検知させることができる。
【００７３】
前記第２実施形態において、第１〜第３閾値については、例えば、表示装置５の表示画面上で、適宜、変更可能に構成することが好ましい。
このように構成すれば、利用者の好みに応じた仕様とすることができ、より一層、使い勝手の良い測定機を実現できる。
また、前記第２実施形態において、ステップＳＴ２５の代わりに、以下の処理を採用しても構わない。
例えば、状態検知手段３５は、位置検出装置２５にて検出されたステージ２１の位置を所定周期（例えば、10msec周期）で認識し、当該周期の各期間（10msec）でのステージ２１の各移動量と所定の閾値とを比較し、連続して前記所定の閾値を下回ったか否かを監視する。
【産業上の利用可能性】
【００７４】
本発明は、被測定物の寸法等を測定する画像測定機や測定顕微鏡等の測定機に利用できる。
【符号の説明】
【００７５】
１・・・画像測定機
３・・・制御装置
２３・・・三次元移動機構（移動機構）
２４・・・照明装置
２５・・・位置検出装置
２２３・・・カメラ（撮像装置）
３１・・・入力受付手段（処理情報受付手段、状態情報受付手段）
３３・・・画像処理手段
３５・・・状態検知手段
３６・・・照明制御手段
３７・・・第１記憶手段
３８・・・第２記憶手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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