(57)【要約】【課題】オペレーターが載置部に載置された部品の周辺を観察することで、部品の載置状態を認識することができるハンドラー、コントローラー、報知方法および検査装置を提供すること。【解決手段】本発明のハンドラーは、ＩＣデバイス１００を載置するポケット４２１ａと、発光素子２１１と、発光素子２１１からの光を導く投光用光ファイバー２１２を備え、投光用光ファイバー２１２によって導いた光ＬＬをポケット４２１ａを通過するように出射する投光用導光部２１２’と、ポケット４２１ａに載置されるＩＣデバイス１００のポケット４２１ａに対する位置によって、投光用導光部２１２’から出射された光ＬＬの受光強度が変化する受光素子２１６と、受光素子２１６が受光した光ＬＬの強度に応じて、投光用導光部２１２’から出射される光ＬＬの強度を変化させる制御部２１８とを有する。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１つの対象物を載置する複数の載置領域と、
前記複数の載置領域の各々に対応して設けられ、前記載置領域に載置された前記対象物の載置状態の正常または異常を検出する複数の検出ユニットと、を有し、
前記複数の検出ユニットの各々は、前記載置状態を検出するための光を出射する光出射部と、前記光出射部から出射される光の強度を変化させる制御部とを有し、前記光出射部から出射される光の強度の変化によって、前記対象物の載置状態を報知するように構成されていることを特徴とするハンドラー。
【請求項２】
互いに直交する方向を第１方向および第２方向としたとき、
前記複数の載置領域は、少なくとも、前記第１方向に並設された第１載置領域および第２載置領域を含み、
前記第１載置領域は、少なくとも、前記第２方向に並設され、各々１つの前記対象物が載置される第１載置部および第２載置部を有し、
前記第２載置領域は、少なくとも、前記第２方向に並設され、各々１つの前記対象物が載置される第３載置部および第４載置部を有し、
前記第１載置部と前記第３載置部、および、前記第２載置部と前記第４載置部は、それぞれ、前記第１方向に並設されており、
前記複数の検出ユニットは、少なくとも、前記第１載置部および前記第２載置部における前記対象物の載置状態が正常または異常であるかを検出する第１検出ユニットと、前記第３載置部および前記第４載置部における前記対象物の載置状態が正常または異常であるかを検出する第２検出ユニットと、前記第１載置部および前記第３載置部における前記対象物の載置状態が正常または異常であるかを検出する第３検出ユニットと、前記第２載置部および前記第４載置部における前記対象物の載置状態が正常または異常であるかを検出する第４検出ユニットとを含み、
前記第１検出ユニット、前記第２検出ユニット、前記第３検出ユニットおよび前記第４検出ユニットの各々が有する前記光出射部から出射される前記光の強度の組み合わせによって、前記第１載置部、前記第２載置部、前記第３載置部および前記第４載置部における前記対象物の載置状態をそれぞれ独立して報知する請求項２に記載のハンドラー。
【請求項３】
対象物を載置する載置部と、
発光部と、
前記発光部からの光を導く光導波路を備え、前記光導波路によって導いた光を前記載置部の平面視にて前記載置部を通過するように出射する投光用導光部と、
前記載置部に載置される前記対象物の前記載置部に対する位置によって、前記投光用導光部から出射された光の受光強度が変化する受光部と、
前記受光部が受光した光の強度に応じて、前記投光用導光部から出射される光の強度を変化させる制御部と、を有することを特徴とするハンドラー。
【請求項４】
前記投光用導光部から出射される光の強度の変化によって、前記載置部に対する前記対象物の載置状態を報知する請求項３に記載のハンドラー。
【請求項５】
前記受光部が受光した光の強度が所定値より低い場合に前記投光用導光部から出射される光の強度は、前記投光用導光部から前記受光部が受光した光の強度が前記所定値より高い場合に出射される光の強度よりも高い請求項３または４に記載のハンドラー。
【請求項６】
前記受光部が受光した光の強度が前記所定値より低い場合には、その強度が前記所定値よりも高くなるまで前記投光用導光部から出射される光の強度を維持する請求項５に記載のハンドラー。
【請求項７】
前記受光部が受光した光の強度が前記所定値より高い場合には、前記投光用導光部から光の出射を停止する請求項５または６に記載のハンドラー。
【請求項８】
前記載置部への前記対象物の載置状態が正常な場合には、前記受光部が受光する光の強度が前記所定値より高く、前記載置部への前記対象物の載置状態が異常な場合には、前記受光部が受光する光の強度が前記所定値より低い請求項５ないし７のいずれかに記載のハンドラー。
【請求項９】
前記光導波路から出射された光を前記受光部へ導く光導波路を備えた受光用導光部を有している請求項３ないし８のいずれかに記載のハンドラー。
【請求項１０】
載置部に載置された対象物の載置状態の正常または異常を検出する検出ユニットの作動を制御するコントローラーであって、
前記検出ユニットは、前記載置部の平面視にて前記載置部を通過するように光を出射する光出射部と、前記載置部に載置される前記対象物の前記載置部に対する位置によって、前記光出射部から出射された光の受光強度が変化する受光部と、を有し、
前記受光部が受光した前記光の強度に基づき、前記光出射部から出射される光の強度を変化させるように前記検出ユニットの作動性を制御することを特徴とするコントローラー。
【請求項１１】
載置部に載置された対象物の載置状態の正常または異常を報知する報知方法であって、
前記載置部の平面視にて前記載置部を通過するように光出射部から光を出射する第１工程と、
前記載置部に載置される前記対象物の前記載置部に対する位置によって前記光の受光強度が変化するように配置された受光部が受光した前記光の強度に基づいて、前記載置状態を検出する第２工程と、
前記第２工程での検出結果に基づき、前記正常な状態と前記異常な状態とで前記光出射部から出射される光の強度を変化させ、前記光の強度によって前記載置状態を報知する第３工程と、を有していることを特徴とする報知方法。
【請求項１２】
請求項１ないし９のいずれかに記載のハンドラーと、
対象物の検査を行う検査部と、を有し、
前記ハンドラーにより前記対象物が前記検査部に搬送されるよう構成されていることを特徴とする検査装置。
【請求項１３】
対象物を載置する載置部と、
発光部と、
前記発光部からの光を導く光導波路を備え、前記光導波路によって導いた光を前記載置部の平面視にて前記載置部を通過するように出射する投光用導光部と、
前記載置部に載置される前記対象物の前記載置部に対する位置によって、前記投光用導光部から出射された光の受光強度が変化する受光部と、
前記受光部が受光した光の強度に応じて、前記投光用導光部から出射される光の強度を変化させる制御部と、
前記対象物の検査を行う検査部と、
前記対象物を前記検査部に搬送する機構と、を有することを特徴とする検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ハンドラー、コントローラー、報知方法および検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、例えばＩＣデバイスなどの電子部品の電気的特性を検査する検査装置が知られている。
このような検査装置は、電子部品を供給トレイから検査部に供給し、検査部に供給された電子部品の電気的特性の検査を行い、当該検査の終了後、電子部品を検査部から回収トレイに回収するように構成されている。また、供給トレイに収容された電子部品は、一旦、シャトルに移し替えられ、シャトルによって検査部近傍まで搬送される。シャトルには、ポケットが形成されたトレイが設けられており、そのポケットに電子部品が収容される。
【０００３】
供給トレイからシャトルのトレイへの電子部品の移動は、供給ロボットによって実行されるが、例えば、供給トレイに収容された電子部品の配置や供給ロボットの制御不良などの各種要因によって、電子部品がトレイのポケットに正常な状態で載置されない、すなわち異常な状態（いわゆる「浮いた」状態）で載置されている場合がある。電子部品がポケットに異常な状態で載置されていると、その電子部品を検査部に搬送する際に、検査用ロボットによって電子部品を保持することができなかったり、検査用ロボットとの過度な接触によって電子部品が破損したりするおそれがある。
そこで、電子部品の載置状態が異常であることを検出する手段が従来から用いられている。このような手段としては、例えば、ファイバーセンサーを用いた手段が知られている（特許文献１参照）。
【０００４】
このようなファイバーセンサーを用いた手段では、例えば、ファイバーセンサーが各ポケットに対応して複数設けられている。各ファイバーセンサーは、ポケット内を通過する光を出射する投光用センサーヘッドと、ポケット内を通過した投光用センサーヘッドからの光を受光する受光用センサーヘッドとを有している。ポケットに電子部品が正常な状態で載置されている場合は、投光用センサーヘッドからの光が各電子部品の上方を通過して受光用センサーヘッドに入射し、反対に、ポケットに電子部品が異常な状態で載置されていると、電子部品によって投光用センサーヘッドからの光が遮られ、受光用センサーにほとんど入射しない。このように、ポケットに電子部品が正常に載置されている場合と、異常に載置されている場合とでは、受光用センサーヘッドに入射する光の量が異なっており、各ファイバーセンサーは、この光量の異なりを利用して電子部品の載置状態を検出する。
【０００５】
また、一般的なファイバーセンサーは、光を出射する発光素子、光を受光する受光素子、受光素子からの信号を増幅する増幅回路、増幅回路からの信号によって載置状態を検出する検出部と、これらを収容する筐体と、投光用センサーからの光を投光用センサーヘッドまで導く光ファイバーと、受光用センサーヘッドで受光した光を受光素子へ導く光ファイバーとを有している。このような構成では、光ファイバーの引き回しの良さを利用して、筐体を検査装置の駆動の邪魔にならない場所に配置することができる。
【０００６】
また、筐体には、例えば、電子部品の載置状態が異常であることを報知するランプが設けられており、このランプを点灯させることにより、使用者に異常を報知することができる。しかしながら、筐体がトレイと離れて設けられており、さらには、複数の筐体が複数のポケットと対応した配置で配置されているとも限らない。そのため、使用者は、異常な載置状態の電子部品の位置を直感的に判断することができない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００２−２５７５１０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明の目的は、オペレーターが載置部に載置された部品の周辺を観察することで、部品の載置状態を認識することができるハンドラー、コントローラー、報知方法および検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明のハンドラーは、少なくとも１つの対象物を載置する複数の載置領域と、
前記複数の載置領域の各々に対応して設けられ、前記載置領域に載置された前記対象物の載置状態の正常または異常を検出する複数の検出ユニットと、を有し、
前記複数の検出ユニットの各々は、前記載置状態を検出するための光を出射する光出射部と、前記光出射部から出射される光の強度を変化させる制御部とを有し、前記光出射部から出射される光の強度の変化によって、前記対象物の載置状態を報知するように構成されていることを特徴とする。
これにより、オペレーターが載置部に載置された部品の周辺を観察することで、部品の載置状態を認識することができるハンドラーを提供することができる。
【００１０】
本発明のハンドラーでは、互いに直交する方向を第１方向および第２方向としたとき、
前記複数の載置領域は、少なくとも、前記第１方向に並設された第１載置領域および第２載置領域を含み、
前記第１載置領域は、少なくとも、前記第２方向に並設され、各々１つの前記対象物が載置される第１載置部および第２載置部を有し、
前記第２載置領域は、少なくとも、前記第２方向に並設され、各々１つの前記対象物が載置される第３載置部および第４載置部を有し、
前記第１載置部と前記第３載置部、および、前記第２載置部と前記第４載置部は、それぞれ、前記第１方向に並設されており、
前記複数の検出ユニットは、少なくとも、前記第１載置部および前記第２載置部における前記対象物の載置状態が正常または異常であるかを検出する第１検出ユニットと、前記第３載置部および前記第４載置部における前記対象物の載置状態が正常または異常であるかを検出する第２検出ユニットと、前記第１載置部および前記第３載置部における前記対象物の載置状態が正常または異常であるかを検出する第３検出ユニットと、前記第２載置部および前記第４載置部における前記対象物の載置状態が正常または異常であるかを検出する第４検出ユニットとを含み、
前記第１検出ユニット、前記第２検出ユニット、前記第３検出ユニットおよび前記第４検出ユニットの各々が有する前記光出射部から出射される前記光の強度の組み合わせによって、前記第１載置部、前記第２載置部、前記第３載置部および前記第４載置部における前記対象物の載置状態をそれぞれ独立して報知するのが好ましい。
これにより、複数の載置部の各々について、載置されている対象物の載置状態を報知することができるため、その利便性がより向上する。
【００１１】
本発明のハンドラーは、対象物を載置する載置部と、
発光部と、
前記発光部からの光を導く光導波路を備え、前記光導波路によって導いた光を前記載置部の平面視にて前記載置部を通過するように出射する投光用導光部と、
前記載置部に載置される前記対象物の前記載置部に対する位置によって、前記投光用導光部から出射された光の受光強度が変化する受光部と、
前記受光部が受光した光の強度に応じて、前記投光用導光部から出射される光の強度を変化させる制御部と、を有することを特徴とする。
これにより、オペレーターが載置部に載置された部品の周辺を観察することで、部品の載置状態を認識することができるハンドラーを提供することができる。
【００１２】
本発明のハンドラーでは、前記投光用導光部から出射される光の強度の変化によって、前記載置部に対する前記対象物の載置状態を報知するのが好ましい。
これにより、簡単かつ確実に、対象物の載置状態を報知することができる。また、載置状態を報知するランプ等を別途設けなくてもよいため、装置の簡易化、小型化、低コスト化を図ることができる。
【００１３】
本発明のハンドラーでは、前記受光部が受光した光の強度が所定値より低い場合に前記投光用導光部から出射される光の強度は、前記投光用導光部から前記受光部が受光した光の強度が前記所定値より高い場合に出射される光の強度よりも高いのが好ましい。
これにより、簡単な制御で、かつ確実に、対象物の載置状態を報知することができる。
本発明のハンドラーでは、前記受光部が受光した光の強度が前記所定値より低い場合には、その強度が前記所定値よりも高くなるまで前記投光用導光部から出射される光の強度を維持するのが好ましい。
これにより、光源部の駆動を一定状態に維持することができるので、その制御が容易となる。
【００１４】
本発明のハンドラーでは、前記受光部が受光した光の強度が前記所定値より高い場合には、前記投光用導光部から光の出射を停止するのが好ましい。
これにより、投光用導光部から光が出射されている状態と、停止している状態とによって対象物の載置状態を報知することができるため、より明確かつ確実に、載置状態を報知することができる。
【００１５】
本発明のハンドラーでは、前記載置部への前記対象物の載置状態が正常な場合には、前記受光部が受光する光の強度が前記所定値より高く、前記載置部への前記対象物の載置状態が異常な場合には、前記受光部が受光する光の強度が前記所定値より低いのが好ましい。
これにより、対象物の載置状態が正常であるか異常であるかの判断を簡単に行うことができる。
本発明のハンドラーでは、前記光導波路から出射された光を前記受光部へ導く光導波路を備えた受光用導光部を有しているのが好ましい。
これにより、受光部の配置の自由度が向上する。
【００１６】
本発明のコントローラーは、載置部に載置された対象物の載置状態の正常または異常を検出する検出ユニットの作動を制御するコントローラーであって、
前記検出ユニットは、前記載置部の平面視にて前記載置部を通過するように光を出射する光出射部と、前記載置部に載置される前記対象物の前記載置部に対する位置によって、前記光出射部から出射された光の受光強度が変化する受光部と、を有し、
前記受光部が受光した前記光の強度に基づき、前記光出射部から出射される光の強度を変化させるように前記検出ユニットの作動性を制御することを特徴とする。
これにより、オペレーターが載置部に載置された部品の周辺を観察することで、部品の載置状態を認識することができるコントローラーを提供することができる。
【００１７】
本発明の報知方法は、載置部に載置された対象物の載置状態の正常または異常を報知する報知方法であって、
前記載置部の平面視にて前記載置部を通過するように光出射部から光を出射する第１工程と、
前記載置部に載置される前記対象物の前記載置部に対する位置によって前記光の受光強度が変化するように配置された受光部が受光した前記光の強度に基づいて、前記載置状態を検出する第２工程と、
前記第２工程での検出結果に基づき、前記正常な状態と前記異常な状態とで前記光出射部から出射される光の強度を変化させ、前記光の強度によって前記載置状態を報知する第３工程と、を有していることを特徴とする。
これにより、オペレーターが載置部に載置された部品の周辺を観察することで、部品の載置状態を認識することができる報知方法を提供することができる。
【００１８】
本発明の検査装置は、本発明のハンドラーと、
対象物の検査を行う検査部と、を有し、
前記ハンドラーにより前記対象物が前記検査部に搬送されるよう構成されていることを特徴とする。
これにより、オペレーターが載置部に載置された部品の周辺を観察することで、部品の載置状態を認識することができる検査装置を提供することができる。
【００１９】
本発明の検査装置は、対象物を載置する載置部と、
発光部と、
前記発光部からの光を導く光導波路を備え、前記光導波路によって導いた光を前記載置部の平面視にて前記載置部を通過するように出射する投光用導光部と、
前記載置部に載置される前記対象物の前記載置部に対する位置によって、前記投光用導光部から出射された光の受光強度が変化する受光部と、
前記受光部が受光した光の強度に応じて、前記投光用導光部から出射される光の強度を変化させる制御部と、
前記対象物の検査を行う検査部と、
前記対象物を前記検査部に搬送する機構と、を有することを特徴とする。
これにより、オペレーターが載置部に載置された部品の周辺を観察することで、部品の載置状態を認識することができる検査装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の検査装置の好適な実施形態を示す概略平面図である。
【図２】図１に示す検査装置の第１シャトルが有するトレイの平面図である。
【図３】図１に示す検査装置の第２シャトルが有するトレイの平面図である。
【図４】図１に示す検査装置の検査用ロボットが有する第１ハンドユニットの概略斜視図である。
【図５】ポケットに対してＩＣデバイスが正常に載置されている場合と、異常に載置されている場合とを示す断面図である。
【図６】図１に示す検査装置が有する載置状態検出手段の構成図である。
【図７】図６に示す載置状態検出手段が有する投光用ヘッドセンサーおよび受光用ヘッドセンサーの断面図である。
【図８】ＩＣデバイスが正常に載置されている場合と異常に載置されている場合との光の通過の異なりを示す断面図である。
【図９】異常な載置状態のＩＣデバイスの認識方法を説明するための平面図である。
【図１０】異常な載置状態のＩＣデバイスの認識方法を説明するための平面図である。
【図１１】図１に示す検査装置による電子部品の検査手順を説明する平面図である。
【図１２】図１に示す検査装置による電子部品の検査手順を説明する平面図である。
【図１３】図１に示す検査装置による電子部品の検査手順を説明する平面図である。
【図１４】図１に示す検査装置による電子部品の検査手順を説明する平面図である。
【図１５】図１に示す検査装置による電子部品の検査手順を説明する平面図である。
【図１６】図１に示す検査装置による電子部品の検査手順を説明する平面図である。
【図１７】図１に示す検査装置による電子部品の検査手順を説明する平面図である。
【図１８】図１に示す検査装置による電子部品の検査手順を説明する平面図である。
【図１９】図１に示す検査装置による電子部品の検査手順を説明する平面図である。
【図２０】図１に示す検査装置の変形例を示すブロック図である。
【図２１】図１に示す検査装置の変形例を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明のハンドラーを適用した検査装置（本発明の検査装置）、コントローラーおよび報知手段について添付図面に示す実施形態に基づいて詳細に説明する。
図１は、本発明の検査装置の好適な実施形態を示す概略平面図、図２は、図１に示す検査装置の第１シャトルが有するトレイの平面図、図３は、図１に示す検査装置の第２シャトルが有するトレイの平面図、図４は、図１に示す検査装置の検査用ロボットが有する第１ハンドユニットの概略斜視図、図５は、ポケットに対してＩＣデバイスが正常に載置されている場合と、異常に載置されている場合とを示す断面図、図６は、図１に示す検査装置が有する載置状態検出手段の構成図、図７は、図６に示す載置状態検出手段が有する投光用ヘッドセンサーおよび受光用ヘッドセンサーの断面図、図８は、ＩＣデバイスが正常に載置されている場合と異常に載置されている場合との光の通過の異なりを示す断面図、図９および図１０は、それぞれ、異常な載置状態のＩＣデバイスの認識方法を説明するための平面図、図１１ないし図１９は、それぞれ、図１に示す検査装置による電子部品の検査手順を説明する平面図、図２０は、図１に示す検査装置の変形例を示すブロック図、図２１は、図１に示す検査装置の変形例を示す断面図である。
【００２２】
なお、以下では、説明の便宜上、図１に示すように、互いに直交する３軸をＸ軸（第１軸）、Ｙ軸（第２軸）およびＺ軸（第３軸）とする。また、Ｘ軸に平行な方向を「Ｘ方向（第１方向）」と言い、Ｙ軸に平行な方向を「Ｙ方向（第２方向）」と言い、Ｚ軸に平行な方向を「Ｚ方向」と言う。また、Ｘ方向、Ｙ方向およびＺ方向の各方向において、矢印先端側を「＋」、矢印基端側を「−」と言う。
【００２３】
［検査装置］
図１に示す検査装置１は、例えば、ＩＣデバイス（ＩＣチップ）、ＬＣＤ（Liquid Crystal Display）、ＣＩＳ（Contact Image Sensor）などの試験部品（電子部品）１００の電気的特性を検査（試験）するための装置である。なお、以下では、説明の便宜上、試験部品としてＩＣデバイスを用いる場合について代表して説明する。
【００２４】
検査装置１は、供給トレイ２と、回収トレイ３と、第１シャトル４と、第２シャトル５と、検査用ソケット（検査部）６と、供給ロボット７と、回収ロボット８と、検査用ロボット９と、載置状態検出手段２００と、第１カメラ６００と、第２カメラ５００と、これら各部の制御を行う制御装置１０とを有している。
このような検査装置１では、これら各部のうちの検査用ソケット６を除く構成、すなわち、供給トレイ２と、回収トレイ３と、第１シャトル４と、第２シャトル５と、供給ロボット７と、回収ロボット８と、検査用ロボット９と、載置状態検出手段２００と、第１カメラ６００と、第２カメラ５００と、制御装置１０とによって、ＩＣデバイス１００の搬送を実行するハンドラー（本発明のハンドラー）が構成されている。なお、本発明のハンドラーの構成は、これに限定されず、必要に応じて、これら各部のうちの少なくとも１つが省略されていてもよいし、他の構成（例えば、ホットプレートやチャンバー）が付加されていてもよい。
【００２５】
また、検査装置１は、上記各部を搭載する台座１１と、上記各部を収容するように台座１１に被せられた図示しない安全カバーとを有しており、この安全カバーの内側（以下「領域Ｓ」と言う）に、第１シャトル４、第２シャトル５、検査用ソケット６、供給ロボット７、回収ロボット８、検査用ロボット９、載置状態検出手段２００、第１カメラ６００および第２カメラ５００が配置されているとともに、領域Ｓの内外に移動可能なように、供給トレイ２および回収トレイ３が配置されている。
【００２６】
以下、これら各部について、順次詳細に説明する。
（供給トレイ）
供給トレイ２は、検査を行うＩＣデバイス１００を領域Ｓ外から領域Ｓ内に搬送するためのトレイである。図１に示すように、供給トレイ２は、板状をなしており、その上面には、ＩＣデバイス１００を保持するための複数のポケット２１がＸ方向およびＹ方向に行列状に形成されている。
【００２７】
このような供給トレイ２は、領域Ｓの内外を跨るようにＹ方向へ延びるレール２３上を移動する図示しないステージに載置されている。そして、供給トレイ２は、例えばリニアモーターを駆動源とする図示しない駆動手段によって前記ステージが移動することにより、レール２３に沿って±Ｙ方向に往復移動可能となっている。そのため、ＩＣデバイス１００が収容された供給トレイ２を領域Ｓ外にあるステージに載置し、ステージとともに供給トレイ２を領域Ｓ内に移動させ、供給トレイ２からすべてのＩＣデバイス１００が取り除かれたら、再び、ステージとともに供給トレイ２を領域Ｓ外へ移動させるといった動作を繰り返し行うことができる。
【００２８】
（回収トレイ）
回収トレイ３は、検査済みのＩＣデバイス１００を収容し、領域Ｓ内から領域Ｓ外に搬送するためのトレイである。図１に示すように、回収トレイ３は、板状をなしており、その上面には、ＩＣデバイス１００を保持するための複数のポケット３１がＸ方向およびＹ方向に行列状に形成されている。
【００２９】
このような回収トレイ３は、領域Ｓの内外を跨るようにＹ方向へ延びるレール３３上を移動する図示しないステージに載置されている。そして、回収トレイ３は、例えばリニアモーターを駆動源とする図示しない駆動手段によって前記ステージが移動することにより、レール３３に沿って±Ｙ方向に往復移動可能となっている。そのため、領域Ｓ内にて、検査済みのＩＣデバイス１００を回収トレイ３に収容し、回収トレイ３を領域Ｓ外に移動させ、ステージ上の回収トレイ３を空のトレイと交換したら、再び、回収トレイ３を領域Ｓ内へ移動させるといった動作を繰り返し行うことができる。
このような回収トレイ３は、前述した供給トレイ２に対して＋Ｘ方向に離間して設けられており、供給トレイ２と回収トレイ３の間に、第１シャトル４、第２シャトル５および検査用ソケット６が配置されている。
【００３０】
（第１シャトル）
第１シャトル４は、供給トレイ２によって領域Ｓ内に搬送されてきたＩＣデバイス１００をさらに検査用ソケット６の近傍まで搬送するため、さらには、検査用ソケット６で検査された検査済みのＩＣデバイス１００を回収トレイ３の近傍まで搬送するためのものである。
【００３１】
図１に示すように、第１シャトル４は、ベース部材４１と、ベース部材４１に固定された２つのトレイ４２、４３とを有している。これら２つのトレイ４２、４３は、Ｘ方向に並んで設けられている。また、トレイ４２、４３の上面には、それぞれ、ＩＣデバイス１００を保持するための４つのポケット４２１、４３１がＸ方向およびＹ方向に行列状に形成されている。
【００３２】
具体的には、トレイ４２には、ＩＣデバイス１００を載置するための２つの載置領域Ｓ１、Ｓ２がＸ方向に並設されている。載置領域Ｓ１は、Ｙ方向に並設されたポケット（第１載置部）４２１ａとポケット（第２載置部）４２１ｂとを有している。また、載置領域Ｓ２は、Ｙ方向に並設されたポケット（第３載置部）４２１ｃとポケット（第４載置部）４２１ｄとを有している。また、ポケット４２１ａとポケット４２１ｃおよびポケット４２１ｂとポケット４２１ｄは、それぞれ、Ｘ方向に並設されている。
【００３３】
また、図２に示すように、トレイ４２の上面には、Ｙ方向に延在する直線状をなし、両端がトレイ４２の側面に開放する一対の溝４２３ａ、４２３ｂと、Ｘ方向に延在する直線状をなし、両端がベース部材４１の側面に開放する一対の溝４２５ａ、４２５ｂとが形成されている。ＸＹ平面視にて、溝４２３ａは、ポケット４２１ａ、４２１ｂのほぼ中心と交わるように形成されており、溝４２３ｂは、ポケット４２１ｃ、４２１ｄのほぼ中心と交わるように形成されている。一方、溝４２５ａは、ポケット４２１ａ、４２１ｃのほぼ中心と交わるように形成されており、溝４２５ｂは、ポケット４２１ｂ、４２１ｄのほぼ中心と交わるように形成されている。これら４つの溝４２３ａ、４２３ｂ、４２５ａ、４２５ｂは、それぞれ、後述するように、ＩＣデバイス１００の各ポケット４２１ａ〜４２１ｄに対する載置状態を検知するための光ＬＬを通過させるための溝である。
【００３４】
トレイ４２、４３のうち、供給トレイ２側に位置するトレイ４２は、供給トレイ２に収容されたＩＣデバイス１００を移し替えて収容するためのトレイであり、回収トレイ３側に位置するトレイ４３は、検査用ソケット６での電気的特性の検査を終えたＩＣデバイス１００を収容するためのトレイである。すなわち、トレイ４２は、未検査のＩＣデバイス１００を収容するためのトレイであり、トレイ４３は、検査済みのＩＣデバイス１００を収容するためのトレイである。
【００３５】
このような第１シャトル４は、ベース部材４１がＸ方向へ延びるレール４４に支持されており、例えばリニアモーターを駆動源とする図示しない駆動手段によって、レール４４に沿って±Ｘ方向に往復移動可能となっている。そして、第１シャトル４が−Ｘ方向側に移動し、トレイ４２が供給トレイ２に対して＋Ｙ方向側に並ぶとともに、トレイ４３が検査用ソケット６に対して＋Ｙ方向側に並んだ状態と、第１シャトル４が＋Ｘ方向側に移動し、トレイ４３が回収トレイ３に対して＋Ｙ方向側に並ぶとともに、トレイ４２が検査用ソケット６に対して＋Ｙ方向側に並んだ状態とをとることができる。
【００３６】
（第２シャトル）
第２シャトル５は、前述した第１シャトル４と同様の機能および構成を有している。すなわち、第２シャトル５は、供給トレイ２によって領域Ｓ内に搬送されてきたＩＣデバイス１００をさらに検査用ソケット６の近傍まで搬送するため、さらには、検査用ソケット６によって検査された検査済みのＩＣデバイス１００を回収トレイ３の近傍まで搬送するためのものである。
【００３７】
図１に示すように、第２シャトル５は、ベース部材５１と、ベース部材５１に固定された２つのトレイ５２、５３とを有している。これら２つのトレイ５２、５３は、Ｘ方向に並んで設けられている。また、トレイ５２、５３の上面には、それぞれ、ＩＣデバイス１００を保持するための４つのポケット５２１、５３１がＸ方向およびＹ方向に行列状に形成されている。
【００３８】
トレイ５２について具体的に説明すると、トレイ５２には、ＩＣデバイス１００を載置するための２つの載置領域Ｓ１、Ｓ２がＸ方向に並設されている。載置領域Ｓ１は、Ｙ方向に並設されたポケット（第１載置部）５２１ａとポケット（第２載置部）５２１ｂとを有している。また、載置領域Ｓ２は、Ｙ方向に並設されたポケット（第３載置部）５２１ｃとポケット（第４載置部）５２１ｄとを有している。また、ポケット５２１ａとポケット５２１ｃおよびポケット５２１ｂとポケット５２１ｄは、それぞれ、Ｘ方向に並設されている。
【００３９】
また、図３に示すように、トレイ５２の上面には、Ｙ方向に延在する直線状をなし、両端がトレイ５２の側面に開放する一対の溝５２３ａ、５２３ｂと、Ｘ方向に延在する直線状をなし、両端がベース部材５１の側面に開放する一対の溝５２５ａ、５２５ｂとが形成されている。ＸＹ平面視にて、溝５２３ａは、ポケット５２１ａ、５２１ｂのほぼ中心と交わるように形成されており、溝５２３ｂは、ポケット５２１ｃ、５２１ｄのほぼ中心と交わるように形成されている。一方、溝５２５ａは、ポケット５２１ａ、５２１ｃのほぼ中心と交わるように形成されており、溝５２５ｂは、ポケット５２１ｂ、５２１ｄのほぼ中心と交わるように形成されている。これら４つの溝５２３ａ、５２３ｂ、５２５ａ、５２５ｂは、それぞれ、後述するように、ＩＣデバイス１００の各ポケット５２１ａ〜５２１ｄに対する載置状態を検知するための光ＬＬを通過させるための溝である。
【００４０】
トレイ５２、５３のうち、供給トレイ２側に位置するトレイ５２は、供給トレイ２に収容されたＩＣデバイス１００を移し替えて収容するトレイであり、回収トレイ３側に位置するトレイ４３は、検査用ソケット６での電気的特性の検査を終えたＩＣデバイス１００を収容するためのトレイである。すなわち、トレイ５２は、未検査のＩＣデバイス１００を収容するためのトレイであり、トレイ５３は、検査済みのＩＣデバイス１００を収容するためのトレイである。
【００４１】
このような第２シャトル５は、ベース部材５１がＸ方向へ延びるレール５４に支持されており、例えばリニアモーターを駆動源とする図示しない駆動手段によって、レール５４に沿って±Ｘ方向に往復移動可能となっている。これにより、第２シャトル５が−Ｘ方向側に移動し、トレイ５２が供給トレイ２に対して＋Ｙ方向側に並ぶとともに、トレイ５３が検査用ソケット６に対して−Ｙ方向側に並んだ状態と、第２シャトル５が＋Ｘ方向側に移動し、トレイ５３が回収トレイ３に対して＋Ｙ方向側に並ぶとともに、トレイ５２が検査用ソケット６に対して−Ｙ方向側に並んだ状態とをとることができる。
なお、第２シャトル５は、前述した第１シャトル４に対して−Ｙ方向に離間して設けられており、第１シャトル４と第２シャトル５の間に、検査用ソケット６が配置されている。
【００４２】
（検査用ソケット）
検査用ソケット（検査部）６は、ＩＣデバイス１００の電気的特性を検査するためのソケットである。
このような検査用ソケット６は、ＩＣデバイス１００を配置するための４つの検査用個別ソケット６１を有しており、これら４つの検査用個別ソケット６１は、行列状に設けられている。具体的には、４つの検査用個別ソケット６１は、Ｘ方向およびＹ方向にそれぞれ２つずつ並ぶように設けられている。また、４つの検査用個別ソケット６１の配列ピッチは、各トレイ４２、４３、５２、５３に形成された４つのポケットの配列ピッチとほぼ等しい。これにより、トレイ４２、４３、５２、５３と検査用個別ソケット６１との間のＩＣデバイス１００の搬送を円滑に行うことができる。
【００４３】
各検査用個別ソケット６１には、図示しないが、その底部から突出する複数のプローブピンが設けられている。これら複数のプローブピンは、それぞれ、スプリング等によって上方に付勢されている。複数のプローブピンは、検査用個別ソケット６１にＩＣデバイス１００が配置されると、そのＩＣデバイス１００が有する外部端子と接触する。これにより、プローブピンを介してＩＣデバイス１００と制御装置１０（後述する検査制御部１０１）とが電気的に接続された状態、すなわち、ＩＣデバイス１００の電気的特性の検査（試験）を行うことのできる状態となる。
このような検査用ソケット６は、台座１１に着脱自在に固定されている。そのため、簡単に、目的の検査（試験）に応じて検査用ソケット６を付け替えたり、ＩＣデバイス１００の大きさや形状によって、それに適した検査用ソケット６を付け替えたりすることができる。
【００４４】
（第１カメラ）
第１カメラ６００は、第１シャトル４と検査用ソケット６の間に設けられている。このような第１カメラ６００は、後述するように、未検査のＩＣデバイス１００を保持した第１ハンドユニット９２が上方を通過する際に、ＩＣデバイス１００および第１ハンドユニット９２が有するデバイスマーク９４１を撮像する。
【００４５】
（第２カメラ）
第２カメラ５００は、前述した第１カメラ６００と同様の機能を有する。このような第２カメラ５００は、第２シャトル５と検査用ソケット６の間に設けられている。第２カメラ５００は、後述するように、未検査のＩＣデバイス１００を保持した第２ハンドユニット９３が上方を通過する際に、ＩＣデバイス１００および第２ハンドユニット９３が有するデバイスマークを撮像する。
【００４６】
（供給ロボット）
供給ロボット７は、供給トレイ２に収容されたＩＣデバイス１００を、トレイ４２、５２に搬送するロボットである。
供給ロボット７は、台座１１に支持された支持フレーム７２と、支持フレーム７２に支持され、支持フレーム７２に対して±Ｙ方向に往復移動可能な移動フレーム７３と、移動フレーム７３に支持され、移動フレーム７３に対して±Ｘ軸方向に往復移動可能なハンドユニット支持部７４と、ハンドユニット支持部７４に支持された４つのハンドユニット７５とを有している。
【００４７】
支持フレーム７２には、Ｙ方向に延在するレール７２１が形成されており、このレール７２１に沿って移動フレーム７３がＹ方向に往復移動する。また、移動フレーム７３には、Ｘ方向に延在する図示しないレールが形成されており、このレールに沿ってハンドユニット支持部７４がＸ方向に往復移動する。なお、支持フレーム７２に対する移動フレーム７３の移動、移動フレーム７３に対するハンドユニット支持部７４の移動は、例えばリニアモーターを駆動源とする図示しない駆動手段によって行われる。
【００４８】
４つのハンドユニット７５は、Ｘ方向およびＹ方向にそれぞれ２つずつ並ぶように行列状に配置されている。各ハンドユニット７５は、ＩＣデバイス１００を保持する保持部と、この保持部をＺ方向に昇降させる昇降装置とを有している。保持部は、例えば、吸着ノズルで構成されており、ＩＣデバイス１００を吸着保持することができる。また、昇降装置は、例えば、リニアモーターを駆動源とする駆動手段を利用した装置とすることができる。
【００４９】
このような供給ロボット７は、次のようにして、供給トレイ２からトレイ４２へＩＣデバイス１００を搬送する。まず、ハンドユニット７５を供給トレイ２上に位置させる。次に、各ハンドユニット７５の保持部を降下させて、保持部で供給トレイ２に収容されたＩＣデバイス１００を保持する。次に、各保持部を上昇させた後、各ハンドユニット７５がトレイ４２上に移動させる。次に、各ハンドユニット７５の保持部を降下させて、ＩＣデバイス１００をトレイ４２のポケット４２１内に配置する。次に、各保持部の吸着状態を解除するとともに、各保持部を上昇させることにより、ＩＣデバイス１００をリリースする。これにより、供給トレイ２からトレイ４２へのＩＣデバイス１００の搬送が完了する。なお、供給トレイ２からトレイ５２へＩＣデバイス１００の搬送も同様に行うことができる。
【００５０】
（検査用ロボット）
検査用ロボット９は、トレイ４２、５２に収容されたＩＣデバイス１００を検査用ソケット６へ搬送するとともに、検査用ソケット６に配置され、電気的特性の検査を終えたＩＣデバイス１００をトレイ４３、５３へ搬送するロボットである。
また、検査用ロボット９は、トレイ４２、５２から検査用ソケット６へＩＣデバイス１００を搬送する際に、検査用ソケット６（検査用個別ソケット６１）に対するＩＣデバイス１００の位置決めを行うことができ、さらには、ＩＣデバイス１００を検査用ソケット６に配置し、電気的特性の検査を行う際、ＩＣデバイス１００をプローブピンに押し付け、ＩＣデバイス１００に所定の検査圧を印加することができる。
【００５１】
図１に示すように、検査用ロボット９は、台座１１に対して固定的に設けられた第１フレーム９１１と、第１フレーム９１１に支持され、第１フレーム９１１に対してＹ方向へ往復移動可能な第２フレーム９１２と、第２フレーム９１２に支持され、第２フレーム９１２に対してＺ方向に昇降可能な第１ハンドユニット支持部９１３および第２ハンドユニット支持部９１４と、第１ハンドユニット支持部９１３に支持された４つの第１ハンドユニット９２と、第２ハンドユニット支持部９１４に支持された４つの第２ハンドユニット９３とを有している。
【００５２】
第１フレーム９１１には、Ｙ方向に延在するレール９１１ａが形成されており、このレール９１１ａに沿って第２フレーム９１２が±Ｙ方向に往復移動する。また、第２フレーム９１２には、Ｚ方向に延在するレール９１２ａ、９１２ｂが形成されており、レール９１２ａに沿って第１ハンドユニット支持部９１３が±Ｚ方向に往復移動し、レール９１２ｂに沿って第２ハンドユニット支持部９１４が±Ｚ方向に往復移動する。
【００５３】
第１、第２ハンドユニット支持部９１３、９１４は、ともに第２フレーム９１２に支持されているため、Ｘ方向およびＹ方向については一体的に移動するが、Ｚ方向にはそれぞれ独立して移動することができる。第１フレーム９１１に対する第２フレーム９１２の移動、第２フレーム９１２に対する各ハンドユニット支持部９１３、９１４の移動は、例えばリニアモーターを駆動源とする図示しない駆動手段によって行われる。
【００５４】
４つの第１ハンドユニット９２は、第１ハンドユニット支持部９１３の下側に、Ｘ方向およびＹ方向にそれぞれ２つずつ並ぶように行列状に配置されている。また、４つの第１ハンドユニット９２の配設ピッチは、トレイ４２、４３に形成された４つのポケット４２１、４３１および検査用ソケット６に設けられた４つの検査用個別ソケット６１の配設ピッチとほぼ等しい。
【００５５】
このように、第１ハンドユニット９２をポケット４２１および検査用個別ソケット６１の配列に対応するように配置することにより、トレイ４２、４３と検査用ソケット６との間でのＩＣデバイス１００の搬送をより円滑に行うことができる。
同様に、４つの第２ハンドユニット９３は、第２シャトル５の各トレイ５２、５３と検査用ソケット６との間でＩＣデバイス１００を搬送する装置である。また、未検査のＩＣデバイス１００をトレイ５２から検査用ソケット６に搬送する際に、検査用ソケット６に対するＩＣデバイス１００の位置決めを行う装置でもある。
【００５６】
４つの第２ハンドユニット９３は、第２ハンドユニット支持部９１４の下側に、Ｘ方向およびＹ方向にそれぞれ２つずつ並ぶように行列状に配置されている。これら４つの第２ハンドユニット９３の配置や配設ピッチは、前述した４つの第１ハンドユニット９２と同様である。このように、第２ハンドユニット９３をポケット５２１および検査用個別ソケット６１の配列に対応するように配置することにより、トレイ５２、５３と検査用ソケット６との間でのＩＣデバイス１００の搬送をより円滑に行うことができる。
【００５７】
以下、第１ハンドユニット９２および第２ハンドユニット９３の構成について説明するが、各ハンドユニット９２、９３は、互いに同様の構成であるため、以下では、１つの第１ハンドユニット９２について代表して説明し、その他の第１ハンドユニット９２および各第２ハンドユニット９３については、その説明を省略する。
図４に示すように、第１ハンドユニット９２は、第１ハンドユニット支持部９１３に支持・固定された支持部９４と、支持部９４に支持され、支持部９４に対して±Ｘ方向に往復移動可能な第１移動部９５と、第１移動部９５に支持され、第１移動部９５に対して±Ｙ方向に往復移動可能な第２移動部９６と、第２移動部９６に支持され、第２移動部９６に対してＺ軸まわりに回転可能な回転部９７と、回転部９７に支持された保持部９８とを有している。支持部９４には、保持したＩＣデバイス１００の検査用個別ソケット６１に対する位置決めを行うためのデバイスマーク９４１が設けられている。また、保持部９８は、例えば、吸着ノズルで構成されており、ＩＣデバイス１００を吸着することにより保持することができるようになっている。
【００５８】
また、第１ハンドユニット９２は、支持部９４に対して第１移動部９５を±Ｘ方向に往復移動させる図示しない第１駆動手段と、第１移動部９５に対して第２移動部９６を±Ｙ方向に往復移動させる図示しない第２駆動手段と、第２移動部９６に対して回転部９７をＺ軸まわりに回転させる第３駆動機構とを有している。これら第１、第２、第３駆動機構は、例えば、リニアモーターを駆動源とし、その他必要に応じて、モーターの回転運動を直動運動に変換させるためのラックギア、ピニオンギア等の構成を付加した構成とすることができる。
【００５９】
このような第１ハンドユニット９２は、次のようにして、保持したＩＣデバイス１００の位置決め（ビジュアルアライメント）を行う。トレイ４２に収容された未検査のＩＣデバイス１００を保持部９８にて保持し、トレイ４２の直上から検査用ソケット６の直上まで第１ハンドユニット９２が移動する途中、第１ハンドユニット９２は、第１カメラ６００の直上を通過する。第１カメラ６００は、第１ハンドユニット９２がその直上を通過する際に、第１ハンドユニット９２に保持されたＩＣデバイス１００およびデバイスマーク９４１を捉える様に撮像する。得られた画像データは、制御装置１０に送信され、制御装置１０によって画像認識処理される。
【００６０】
具体的には、画像認識処理では、第１カメラ６００から取得した画像データに所定の処理が施され、デバイスマーク９４１とＩＣデバイス１００との相対位置および相対角度が算出される。そして、算出された相対位置および相対角度がデバイスマーク９４１とＩＣデバイス１００との適正な位置関係を示す基準位置および基準角度と対比され、相対位置と基準位置との間に生じている「ずれ位置量」と、相対角度と基準角度との間に生じている「ずれ角度量」とがそれぞれ演算される。なお、前記「基準位置」および前記「基準角度」は、第１ハンドユニット９２が予め設定されている検査用原点位置に配置されたときにＩＣデバイス１００の外部端子が検査用個別ソケット６１のプローブピンに好適に接続される位置を言う。
【００６１】
そして、制御装置１０は、求められた「ずれ位置量」および「ずれ角度量」に基づいて、必要に応じて第１、第２、第３駆動手段を駆動し、相対位置および相対角度が基準位置および基準角度に一致するように、ＩＣデバイス１００の位置および姿勢（角度）を補正する。このような制御によって、保持部９８で保持したＩＣデバイス１００の位置決めを行うことができる。
【００６２】
制御装置１０は、４つの第１ハンドユニット９２の駆動をそれぞれ独立して制御できるように構成されているため、各第１ハンドユニット９２に保持された４つのＩＣデバイス１００の位置決め（位置補正）をそれぞれ独立して行うことができる。
第２ハンドユニット９３によるＩＣデバイス１００の位置決めは、第１カメラ６００に換えて第２カメラ５００を用いる以外は、上述した第１ハンドユニット９２の場合と同様であるため、その説明を省略する。
【００６３】
（回収ロボット）
回収ロボット８は、トレイ４３、５３に収容された検査済みのＩＣデバイス１００を回収トレイ３に搬送するためのロボットである。
回収ロボット８は、供給ロボット７と同様の構成をなしている。すなわち、回収ロボット８は、台座１１に支持された支持フレーム８２と、支持フレーム８２に支持され、支持フレーム８２に対してＹ方向に往復移動可能な移動フレーム８３と、移動フレーム８３に支持され、移動フレーム８３に対してＸ方向に往復移動可能なハンドユニット支持部８４と、ハンドユニット支持部８４に支持された複数のハンドユニット８５とを有している。これら各部の構成は、供給ロボット７の対応する各部の構成と同様であるため、その説明を省略する。
【００６４】
このような回収ロボット８は、次のようにして、トレイ４３から回収トレイ３へＩＣデバイス１００を搬送する。まず、ハンドユニット８５をトレイ４３上に位置させる。次に、各ハンドユニット８５の保持部を降下させて、保持部でトレイ４３に収容されたＩＣデバイス１００を保持する。次に、各保持部を上昇させた後、各ハンドユニット８５を回収トレイ３上に移動させる。次に、各ハンドユニット８５の保持部を降下させて、ＩＣデバイス１００を回収トレイ３のポケット３１内に配置する。次に、各保持部の吸着状態を解除するとともに、各保持部を上昇させることにより、ＩＣデバイス１００をリリースする。これにより、トレイ４３から回収トレイ３へのＩＣデバイス１００の搬送が完了する。なお、トレイ５３から回収トレイ３へＩＣデバイス１００の搬送も同様に行うことができる。
【００６５】
ここで、トレイ４３（５３）に収容された検査済みのＩＣデバイス１００の中には、所定の電気的特性を発揮することのできなかった不良品が存在する場合がある。そのため、例えば、回収トレイ３を２つ用意し、一方を、所定の電気的特性を満たした良品を収容するためのトレイとして用い、他方を、前記不良品を回収するためのトレイとして用いてもよい。また、１つの回収トレイ３を用いる場合には、所定のポケット３１を前記不良品を収容するためのポケットとして利用してもよい。これにより、良品と不良品を明確に分別することができる。
【００６６】
（載置状態検出手段）
載置状態検出手段２００は、ＩＣデバイス１００が正常な状態でトレイ４２、５２のポケット４２１、５２１に載置されているか否かを検出する手段である。このような手段を有することによって、載置状態が異常なＩＣデバイス１００を検出することができ、簡単かつ効率的に、その載置状態を正常な状態へ直すことができる。
【００６７】
なお、載置状態が正常であるとは、例えば、その後の作業を円滑かつ確実に行うことのできる状態を言い、載置状態が異常であるとは、その後の作業に支障を来すおそれがある状態を言う。正常な載置状態、異常な載置状態は、ポケット４２１の形状、検査用ロボット９の機構等によっても異なるが、本実施形態では、図５（ａ）に示すように、ポケット４２１の底部にＩＣデバイス１００が嵌り、ＩＣデバイス１００がＸＹ平面とほぼ平行に載置されている状態が正常な載置状態であり、例えば、図５（ｂ）に示すように、ＩＣデバイス１００がポケット４２１の底部から浮き上がり、側面に引っ掛かるようにして傾いている状態が異常な載置状態である。
【００６８】
異常な載置状態のＩＣデバイス１００を放置すると、そのＩＣデバイス１００を検査用ロボット９によって吸着保持する際、保持部との過度な接触（局所的な接触）によってＩＣデバイス１００が破損したり、保持部にＩＣデバイス１００を吸着することができなかったりし、その後の作業に支障を来すおそれがある。
このような載置状態検出手段２００は、２つ設けられており、一方がトレイ４２に収容されたＩＣデバイス１００の載置状態を検出し、他方がトレイ５２に収容されたＩＣデバイス１００の載置状態を検出する。これら２つの載置状態検出手段２００は、互いに同様の構成であるため、以下では、トレイ４２に収容されたＩＣデバイス１００の載置状態を検出する方について代表して説明し、トレイ５２に収容されたＩＣデバイス１００の載置状態を検出する方については、その説明を省略する。
【００６９】
図６に示すように、載置状態検出手段２００は、Ｙ方向に並ぶ２つのポケット（載置部）４２１ａ、４２１ｂに載置されたＩＣデバイス１００の載置状態を検知する第１検出ユニット２１０と、Ｙ方向に並ぶ２つのポケット（載置部）４２１ｃ、４２１ｄに載置されたＩＣデバイス１００の載置状態を検知する第２検出ユニット２２０と、Ｘ方向に並ぶ２つのポケット（載置部）４２１ａ、４２１ｃに載置されたＩＣデバイス１００の載置状態を検知する第３検出ユニット２３０と、Ｘ方向に並ぶ２つのポケット（載置部）４２１ｂ、４２１ｄに載置されたＩＣデバイス１００の載置状態を検知する第４検出ユニット２４０とを有している。
【００７０】
−第１検出ユニット−
第１検出ユニット２１０は、発光素子（発光部）２１１と、投光用光ファイバー（光導波路）２１２および投光用センサーヘッド２１３を備える投光用導光部２１２’と、受光用光ファイバー（光導波路）２１４および受光用センサーヘッド２１５を備える受光用導光部２１４’と、受光素子（受光部）２１６と、増幅器２１７と、制御部２１８とを有している。また、第１検出ユニット２１０は、発光素子２１１、受光素子２１６、増幅器２１７および制御部２１８を収容する筐体２１０’を有している。
【００７１】
このような構成とすると、投光用光ファイバー２１２および受光用光ファイバー２１４を自由に引き回せるため、筐体２１０’の配置場所の自由度が増加する。そのため、例えば、筐体２１０’を検査装置１の余ったスペース（デッドスペース）に配置することができる。また、筐体２１０’が大きくなっても大きな問題とはならない。そのため、例えば、大きいが性能の優れた受光素子２１６、増幅器２１７および制御部２１８を適用することができ、第１検出ユニット２１０の機能性（検出特性）を簡単に向上させることができる。
【００７２】
また、投光用光ファイバー２１２および受光用光ファイバー２１４は、それぞれ線状かつフレキシブルであるため、機械のわずかな隙間や小さい空間にも容易に取り付けることができ、検査装置１の小型化を図ることができる。また、投光用光ファイバー２１２および受光用光ファイバー２１４として、耐熱性の高いものを用いることにより、例えば、ＩＣデバイス１００を加熱するためのホットプレートやチャンバーなどの高温となる部位が存在する場合でも、これら部位による熱損傷を気にすることなく、投光用光ファイバー２１２および受光用光ファイバー２１４を引き回すことができる。そのため、第１検出ユニット２１０の設置の自由度がより増加する。また、投光用光ファイバー２１２および受光用光ファイバー２１４は、電気ノイズに影響を受けないため、周囲の環境に影響を受けることなく、所望の検出精度を発揮することができる。
【００７３】
発光素子２１１としては、光を出射することができれば、特に限定されないが、例えばＬＥＤを用いることができる。このような発光素子２１１は、制御部２１８によって、その駆動が制御されている。発光素子２１１が出射する光ＬＬは、赤、青、緑等の可視光である。光ＬＬは、可視光であれば、特に限定されないが、特に、赤色であるのが好ましい。後述するように、光ＬＬは、ＩＣデバイス１００の載置状態が異常であることを報知する報知手段として用いられる。赤色は、直感的に異常や危険を知らせる色であるため、光ＬＬを赤色とすることにより、効果的に、ＩＣデバイス１００の載置状態が異常であることを報知することができる。
【００７４】
このような発光素子２１１と対向して投光用光ファイバー２１２の基端面が設けられており、発光素子２１１から出射した光ＬＬは、投光用光ファイバー２１２内で反射を繰り返しながら投光用光ファイバー２１２の先端面へ導かれる。投光用光ファイバー２１２は、筐体２１０’から引き出されており、図６に示すように、その先端部には投光用センサーヘッド２１３が設けられている。
【００７５】
投光用センサーヘッド２１３には、レンズ２１３ａが設けられており、投光用光ファイバー２１２の先端面から出射した光ＬＬは、レンズ２１３ａによって光学処理された後、投光用センサーヘッド２１３から出射される。なお、レンズ２１３ａとしては、特に限定されないが、例えば、光ＬＬを平行化するコリメータレンズを用いることができる。光ＬＬを平行化することにより、光ＬＬの拡散を防止でき、より効率的に、光ＬＬを受光素子２１６に導くことができるため、検出精度が向上する。また、レンズ２１３ａは、必要に応じて設ければよく、省略してもよい。
【００７６】
ここで、台座１１には、第１シャトル４の−Ｙ方向側近傍に設けられた支持部１２が固定されている。また、支持部１２には、トレイ４２に沿ってＸ方向に延在するレール１２１が設けられている。そして、レール１２１に投光用センサーヘッド２１３が固定されている。投光用センサーヘッド２１３は、投光用光ファイバー２１２の先端部（光出射面）を台座１１に固定するための固定部としての機能も有している。
【００７７】
投光用センサーヘッド２１３は、使用時には、例えばネジ止めによってレール１２１に固定されているが、ねじ止めを解除することによってレール１２１に沿ってＸ方向に移動可能となっている。そのため、投光用センサーヘッド２１３の位置決めの微調整を簡単に行うことができる。また、溝４２３ａの位置が異なるトレイ４２に交換する際には、新たなトレイ４２に適した位置に簡単に移動させることができる。なお、位置合わせをより円滑に行うために、レール１２１に目盛を振ってもよい。
【００７８】
投光用センサーヘッド２１３は、第１シャトル４が−Ｘ方向へ移動した状態（すなわち、図１の状態）にて、レンズ２１３ａが溝４２３ａの一端側の開口４２３ａ’と対向するように配置されている。そのため、投光用センサーヘッド２１３から出射された光ＬＬは、開口４２３ａ’から侵入し、他端側の開口４２３ａ”から脱出するようにして溝４２３ａ内を通過する。前述したように、溝４２３ａは、ポケット４２１ａ、４２１ｂと交わっているため、投光用センサーヘッド２１３から出射された光ＬＬは、ポケット４２１ａ、４２１ｂ内を順に通過する。
【００７９】
図７に示すように、受光用センサーヘッド２１５は、例えば、集光効果を有するレンズ２１５ａを備えており、レンズ２１５ａで集光した光を受光用光ファイバー２１４へ導くように構成されている。なお、レンズ２１５ａは、必要に応じて設ければよく、省略してもよい。
ここで、台座１１には、第１シャトル４の＋Ｙ方向側近傍に設けられた支持部１３が固定されている。また、支持部１３には、トレイ４２に沿ってＸ方向に延在するレール１３１が設けられている。そして、レール１３１に受光用センサーヘッド２１５が固定されている。受光用センサーヘッド２１５は、受光用光ファイバー２１４の先端部（光入射面）を台座１１に固定するための固定部としての機能も有している。
【００８０】
受光用センサーヘッド２１５は、使用時には、例えばネジ止めによってレール１３１に固定されているが、ねじ止めを解除することによってレール１３１に沿ってＸ方向に移動可能となっている。そのため、受光用センサーヘッド２１５の位置決めの微調整を簡単に行うことができる。また、トレイ４２を溝４２３ａの位置が異なる新たなトレイに交換する際には、新たなトレイ４２に適した位置に簡単に移動させることができる。なお、位置合わせをより円滑に行うために、レール１３１に目盛を振ってもよい。この場合の目盛は、レール１２１に振った目盛と対応する目盛とするのがよい。
【００８１】
受光用センサーヘッド２１５は、第１シャトル４が−Ｘ方向へ移動した状態（すなわち、図１の状態）にて、集光レンズ２１５ａが溝４２３ａの開口４２３ａ”と対向するように配置されている。そのため、受光用センサーヘッド２１５は、投光用センサーヘッド２１３から出射され溝４２３ａ内を通過した光ＬＬを集光レンズ２１５ａで集光し、受光用光ファイバー２１４へ導くことができる。
【００８２】
受光用光ファイバー２１４は、筐体２１０’内に引き回され、その基端面が受光素子２１６と対向している。受光用光ファイバー２１４内を通過した光ＬＬを受光素子２１６が受光する。受光素子２１６としては、例えば、受光強度に応じた電気信号を出力することのできるフォトダイオードを用いることができる。
センサーヘッド２１３、２１５は、ポケット４２１ａ、４２１ｂに共に正常な載置状態でＩＣデバイス１００が載置されている場合と、ポケット４２１ａ、４２１ｂの少なくとも一方に異常な載置状態でＩＣデバイス１００が載置されている場合とで、受光素子２１６での光ＬＬの受光強度が変化するように設けられている。
【００８３】
本実施形態では、ポケット４２１ａ、４２１ｂに共に正常な載置状態でＩＣデバイス１００が載置されている場合には、図８（ａ）に示すように、これら２つのＩＣデバイス１００の上方を光ＬＬが通過するため、光ＬＬの大半が受光用センサーヘッド２１５に到達する。これに対して、ポケット４２１ａ、４２１ｂの少なくとも一方に異常な載置状態でＩＣデバイス１００が載置されている場合には、図８（ｂ）に示すように、異常な載置状態となっているＩＣデバイス１００によって光ＬＬが遮られ、光ＬＬが受光用センサーヘッド２１５へ到達しないか僅かに到達する。
【００８４】
すなわち、ポケット４２１ａ、４２１ｂに共に正常な載置状態でＩＣデバイス１００が載置されている場合は、ポケット４２１ａ、４２１ｂの少なくとも一方に異常な載置状態でＩＣデバイス１００が載置されている場合に比べて、受光素子２１６が受光する光ＬＬの強度が高くなるように構成されている。
受光素子２１６から出力された電気信号は、増幅器２１７によって増幅された後、制御部２１８に送られる。制御部２１８は、増幅器２１７で増幅された電気信号に基づいて、ポケット４２１ａ、４２１ｂに載置されているＩＣデバイス１００が共に正常な載置状態であるか、それとも、ポケット４２１ａ、４２１ｂに載置されているＩＣデバイス１００の少なくとも一方が異常な載置状態であるかを検出する。
【００８５】
具体的には、予め、試験によって、所定電圧を印加することによって発光素子２１１から所定の強度（明るさ）の光ＬＬを出射し、ポケット４２１ａ、４２１ｂに共にＩＣデバイス１００が正常な状態で載置されている場合に受光素子２１６（増幅器２１７）から制御部２１８へ送られる電気信号の大きさ（電圧値）Ｖ１と、ポケット４２１ａ、４２１ｂの少なくとも一方にＩＣデバイス１００が異常な状態で載置されている場合に受光素子２１６（増幅器２１７）から制御部２１８へ送られる電気信号の大きさ（電圧値）Ｖ２とを測定し、これら電圧値Ｖ１、Ｖ２の間に位置する電圧値（好ましくは中間値）を、閾値Ｖとして設定し、制御部２１８に記憶させておく。
【００８６】
なお、電圧値Ｖ１、Ｖ２として、複数回測定した平均値、最大値、最小値等を用いてもよい。また、電圧値Ｖ２を測定する際、ポケット４２１ａにＩＣデバイス１００が正常な状態で載置されているとともに、ポケット４２１ｂにＩＣデバイス１００が異常な状態で載置されている場合と、ポケット４２１ａにＩＣデバイス１００が異常な状態で載置されているとともに、ポケット４２１ｂにＩＣデバイス１００が正常な状態で載置されている場合と、ポケット４２１ａ、４２１ｂに共にＩＣデバイス１００が異常な状態で載置されている場合とが挙げられるが、これら３つの場合のいずれの場合で電圧値Ｖ２を測定してもよい。また、これら３つの場合でそれぞれ電圧値を測定し、その中で最も大きい電圧値を電圧値Ｖ２としてもよい。
【００８７】
そして、供給ロボット７によってトレイ４２のポケット４２１ａ、４２１ｂにＩＣデバイス１００が収容されると、制御部２１８の制御によって、発光素子２１１が前記所定の強度の光ＬＬを出射する（第１工程）。すると、投光用光ファイバー２１２を介して投光用センサーヘッド２１３から溝４２３ａ内に光ＬＬが出射され、その光ＬＬを受光用センサーヘッド２１５および受光用光ファイバー２１４を介して受光素子２１６が受光し、受光素子２１６から受光強度に応じた電気信号が出力される。そして、その電気信号が増幅器２１７で増幅されて制御部２１８に送られる。電気信号を受け取った制御部２１８は、受け取った電気信号の電圧値Ｖ’を閾値Ｖと比較し、Ｖ’＞Ｖであれはポケット４２１ａ、４２１ｂには共に正常な状態でＩＣデバイス１００が載置されていると判断し、反対に、Ｖ’＜Ｖであれば、ポケット４２１ａ、４２１ｂの少なくとも一方には異常な状態でＩＣデバイス１００が載置されていると判断する（第２工程）。
【００８８】
制御部２１８は、ポケット４２１ａ、４２１ｂに収容されたＩＣデバイス１００の載置状態に関する情報を制御装置１０に送信するとともに、次のような制御を行う。
制御部２１８は、ポケット４２１ａ、４２１ｂに共に正常な状態でＩＣデバイス１００が載置されていると判断した場合には、発光素子２１１の駆動を停止し、投光用センサーヘッド２１３からの光ＬＬの出射を停止する（第３工程）。前述したように、光ＬＬが可視光であるため、光ＬＬの出射が停止されたことは、使用者が容易に確認することができる。これにより、ポケット４２１ａ、４２１ｂに収容されているＩＣデバイス１００が共に正常な載置状態であることを報知することができる。
【００８９】
一方、制御部２１８は、ポケット４２１ａ、４２１ｂの少なくとも一方に異常な状態でＩＣデバイス１００が載置されていると判断した場合には、発光素子２１１からの光ＬＬの出射を維持する。すなわち、前記所定の強度の光ＬＬを出射し続ける（第３工程）。これにより、投光用センサーヘッド２１３からの光ＬＬの出射が維持される。光ＬＬが可視光であるため、光ＬＬの出射が維持されていることは、使用者が容易に視認（確認）することができる。これにより、ポケット４２１ａ、４２１ｂに収容されているＩＣデバイス１００の少なくとも一方が異常な載置状態であることを報知することができる。特に、前述したように、光ＬＬの強度を維持することにより、制御部２１８による制御が簡単となるとともに、例えば、光ＬＬの強度（明るさ）が不用意に変化することによる使用者の誤認を防止することができる。
【００９０】
使用者が異常な載置状態であることを確認し、その異常状態を解消すると、それとともに、制御部２１８に閾値Ｖよりも大きい電圧値Ｖ’が送られる。そのため、制御部２１８は、ポケット４２１ａ、４２１ｂには共に正常な状態でＩＣデバイス１００が載置されていると判断し、前述したように、発光素子２１１の駆動を停止し、投光用センサーヘッド２１３からの光ＬＬの出射を停止する。これにより、使用者に、異常状態が解消されたことを報知することができる。言い換えれば、使用者は、光ＬＬの出射が停止するようにＩＣデバイス１００の載置状態を修正すればよいため、無駄な確認作業が必要なく、簡単かつ効率的に、ＩＣデバイス１００の載置状態を正すことができる。
【００９１】
なお、制御部２１８からＩＣデバイス１００の載置状態が異常であるとの情報（信号）を受信した制御装置１０は、一旦、各部の駆動を停止する。これにより、例えば、ＩＣデバイス１００の載置状態を直している最中にトレイ４２や供給ロボット７が動き出すことを防止でき、安全に作業を行うことができる。
このように、検査装置１によれば、光ＬＬの出射の有無（投光用センサーヘッド２１３から出射される光ＬＬの強度の変化）によってポケット４２１ａ、４２１ｂに収容されているＩＣデバイス１００が正常な状態で載置されているか否かを使用者に報知することができる。特に、本実施形態では、光ＬＬの出射の有無によるため、より確実に載置状態を報知することができる。このような構成によれば、別途、報知用ランプを設けなくてもよいため、構成が簡単となるとともに装置の低コスト化を図ることができる。また、報知用ランプやそれを駆動するための回路および配線の設置スペースを省略することができるため、装置の小型化を図ることができる。
【００９２】
なお、投光用センサーヘッド２１３の光ＬＬの出射口（出射面）が、光ＬＬによって特に明るく光る部位であるため、このような部位が使用者から視認可能となるように投光用センサーヘッド２１３を配置するのが好ましい。これにより、出射口（出射面）が報知ランプのような機能をなし、その点灯、消灯によって、より確実かつ正確に、ポケット４２１ａ、４２１ｂに収容されているＩＣデバイス１００が正常な状態で載置されているか否かを使用者に報知することができる。
【００９３】
−第２検出ユニット
第２検出ユニット２２０は、検出対象であるポケットが異なるのに対応して投光用センサーヘッド２２３および受光用センサーヘッド２２５の配置が異なる以外は、第１検出ユニット２１０と同様の構成である。そのため、以下では、第２検出ユニット２２０について簡単に説明する。
【００９４】
第２検出ユニット２２０は、発光素子２２１と、投光用光ファイバー２２２および投光用センサーヘッド２２３を備える投光用導光部２２２’と、受光用光ファイバー２２４および受光用センサーヘッド２２５を備える受光用導光部２２４’と、受光素子２２６と、増幅器２２７と、制御部２２８とを有している。また、第２検出ユニット２２０は、発光素子２２１、受光素子２２６、増幅器２２７および制御部２２８を収容する筐体２２０’を有している。
【００９５】
投光用センサーヘッド２２３は、支持部１２のレール１２１に固定されている。また、投光用センサーヘッド２２３は、レンズ２２３ａが溝４２３ｂの開口４２３ｂ’と対向するように配置されている。一方、受光用センサーヘッド２２５は、支持部１３のレール１３１に固定されている。また、受光用センサーヘッド２２５は、レンズ２２５ａが溝４２３ｂの開口４２３ｂ”と対向するように配置されている。
【００９６】
そのため、投光用センサーヘッド２２３から出射された光ＬＬは、溝４２３ｂ内を通過して受光用センサーヘッド２２５に入射する。このような第２検出ユニット２２０は、前述した第１検出ユニット２１０と同様にして、ポケット４２１ｃ、４２１ｄに載置されているＩＣデバイス１００が共に正常な載置状態であるか、ポケット４２１ｃ、４２１ｄに載置されているＩＣデバイス１００の少なくとも一方が異常な載置状態であるかを検出し、報知する。
【００９７】
−第３検出ユニット
第３検出ユニット２３０は、検出対象であるポケットが異なるのに対応して投光用センサーヘッド２３３および受光用センサーヘッド２３５の配置が異なり、かつ、反射ミラー（反射部）２３９を有すること以外は、第１検出ユニット２１０と同様の構成である。そのため、以下では、第３検出ユニット２３０について簡単に説明する。
【００９８】
第３検出ユニット２３０は、発光素子２３１と、投光用光ファイバー２３２および投光用センサーヘッド２３３を備える投光用導光部２３２’と、受光用光ファイバー２３４および受光用センサーヘッド２３５を備える受光用導光部２３４’と、受光素子２３６と、増幅器２３７と、制御部２３８と、反射ミラー（反射部）２３９とを有している。また、第３検出ユニット２３０は、発光素子２３１、受光素子２３６、増幅器２３７および制御部２３８を収容する筐体２３０’を有している。
【００９９】
ここで、台座１１には、第１シャトル４の−Ｘ方向側近傍に設けられた支持部１４が固定されている。また、支持部１４には、トレイ４２に沿ってＹ方向に延在するレール１４１が設けられている。そして、レール１４１に投光用センサーヘッド２３３が固定されている。投光用センサーヘッド２３３は、使用時には、例えばネジ止めによってレール１４１に固定されているが、ねじ止めを解除することによってレール１４１に沿ってＸ方向に移動可能となっている。そのため、投光用センサーヘッド２３３の位置決めの微調整を簡単に行うことができる。また、トレイ４２を溝４２５ａの位置が異なる新たなトレイに交換する際には、新たなトレイ４２に適した位置に簡単に移動させることができる。なお、位置合わせをより円滑に行うために、レール１４１に目盛を振ってもよい。
【０１００】
投光用センサーヘッド２３３は、レンズ２３３ａが溝４２５ａの一端側の開口４２５ａ’と対向するように配置されている。また、溝４２５ａの他端側の開口４２５ａ”と対向するように反射ミラー２３９がベース部材４１に固定されており、反射ミラー２３９によって溝４２５ａ内を通過してきた光ＬＬが−Ｙ方向に向けて約直角に反射される。また、受光用センサーヘッド２３５は、反射ミラー２３９によって反射された光ＬＬを受光可能なように支持部１２のレール１２１に固定されている。このような構成では、投光用センサーヘッド２３３から出射した光ＬＬは、溝４２５ａ内を通過して反射ミラー２３９で反射した後、受光用センサーヘッド２３５に入射する。
このような第３検出ユニット２３０は、前述した第１検出ユニット２１０と同様にして、ポケット４２１ａ、４２１ｃに載置されているＩＣデバイス１００が共に正常な載置状態であるか、ポケット４２１ａ、４２１ｃに載置されているＩＣデバイス１００の少なくとも一方が異常な載置状態であるかを検出し、報知する。
【０１０１】
−第４検出ユニット
第４検出ユニット２４０は、検出対象であるポケットが異なるのに対応して投光用センサーヘッド２４３、受光用センサーヘッド２４５および反射ミラー２４９の配置が異なる以外は、前述した第３検出ユニット２３０と同様の構成である。そのため、以下では、第４検出ユニット２４０について簡単に説明する。
【０１０２】
第４検出ユニット２４０は、発光素子２４１と、投光用光ファイバー２４２および投光用センサーヘッド２４３を備える投光用導光部２４２’と、受光用光ファイバー２４４および受光用センサーヘッド２４５を備える受光用導光部２４４’と、受光素子２４６と、増幅器２４７と、制御部２４８と、反射ミラー（反射部）２４９とを有している。また、第４検出ユニット２４０は、発光素子２４１、受光素子２４６、増幅器２４７および制御部２４８を収容する筐体２４０’を有している。
【０１０３】
投光用センサーヘッド２３３は、支持部１４のレール１４１に固定されている。また、投光用センサーヘッド２３３は、レンズ２３３ａが溝４２５ｂの一端側の開口４２５ｂ’と対向するように配置されている。また、溝４２５ｂの他端側の開口４２５ｂ”と対向するように反射ミラー２４９がベース部材４１に固定されており、反射ミラー２４９によって溝４２５ｂ内を通過してきた光ＬＬが＋Ｙ方向に向けて約直角に反射される。また、受光用センサーヘッド２４５は、反射ミラー２４９によって反射された光ＬＬを受光可能なように支持部１３のレール１３１に固定されている。このような構成では、投光用センサーヘッド２４３から出射した光ＬＬは、溝４２５ｂ内を通過して反射ミラー２４９で反射した後、受光用センサーヘッド２４５に入射する。
このような第４検出ユニット２４０は、前述した第１検出ユニット２１０と同様にして、ポケット４２１ｂ、４２１ｄに載置されているＩＣデバイス１００が共に正常な載置状態であるか、ポケット４２１ｂ、４２１ｄに載置されているＩＣデバイス１００の少なくとも一方が異常な載置状態であるかを検出し、報知する。
【０１０４】
以上、第１、第２、第３、第４検出ユニット２１０、２２０、２３０、２４０について説明した。これら４つのユニットの検出結果を組み合わせることにより、各ポケット４２１ａ〜４２１ｄに収容されたＩＣデバイス１００の載置状態を直感的に使用者に報知することができる。以下、いくつかの例を挙げて、具体的に説明する。
１つの例として、例えば、図９に示すように、ポケット４２１ａに収容されたＩＣデバイス１００が異常な載置状態であり、その他のポケット４２１ｂ、４２１ｃ、４２１ｄに収容されたＩＣデバイス１００が正常な載置状態であった場合について説明する。第１、第３検出ユニット２１０、２３０は、異常状態を検出するため、投光用センサーヘッド２１３、２３３からの光ＬＬの出射が維持された状態（出射口が点灯した状態）となる。一方、第２、第４検出ユニット２２０、２４０は、正常状態を検出するため、投光用センサーヘッド２２３、２４３からの光ＬＬの出射が停止された状態（出射口が消灯した状態）となる。そのため、使用者は、第１検出ユニット２１０からの光ＬＬと、第３検出ユニット２３０からの光ＬＬとの交点に位置するポケット４２１ａに収容されたＩＣデバイス１００が異常な載置状態であることを直感的かつ簡単に認識することができる。
【０１０５】
他の例として、例えば、図１０に示すように、ポケット４２１ａ、４２１ｂに収容されたＩＣデバイス１００が異常な載置状態であり、その他のポケット４２１ｃ、４２１ｄに収容されたＩＣデバイス１００が正常な載置状態であった場合について説明する。この場合は、第１、第２、第３検出ユニット２１０、２２０、２３０は、異常状態を検出するため、投光用センサーヘッド２１３、２２３、２３３からの光ＬＬの出射が維持された状態（出射口が点灯した状態）となる。一方、第４検出ユニット２４０は、正常状態を検出するため、投光用センサーヘッド２４３からの光ＬＬの出射が停止された状態（出射口が消灯した状態）となる。そのため、使用者は、第１検出ユニット２１０からの光ＬＬと第３検出ユニット２３０からの光ＬＬとの交点に位置するポケット４２１ａと、第２検出ユニット２２０からの光ＬＬと第３検出ユニット２３０からの光ＬＬとの交点に位置するポケット４２１ｂとに収容されたＩＣデバイス１００が異常な載置状態であることを直感的かつ簡単に認識することができる。
【０１０６】
このように、４つのポケット４２１ａ〜４２１ｄのＸ座標を第１、第２検出ユニット２１０、２２０からの光ＬＬ（出射口の点灯）によって特定し、Ｙ座標を第３、第４検出ユニット２３０、２４０からの光ＬＬ（出射口の点灯）によって特定することによって、使用者は、どのポケット４２１に収容されたＩＣデバイス１００が異常な載置状態であるかを直感的に認識することができる。すなわち、検査装置１は、第１〜第４検出ユニット２１０〜２４０の各々が有するセンサーヘッド（光出射部）２１３〜２４３から出射される光ＬＬの有無（強度の異なり）の組み合わせによって、ポケット４２１ａ〜４２１ｄにおけるＩＣデバイス１００の載置状態をそれぞれ独立して報知することができ、使用者が直感的にポケット４２１ａ〜４２１ｄでのＩＣデバイス１００の載置状態を確認することができる。また、オペレーターがポケット４２１ａ〜４２１ｄに載置されたＩＣデバイス１００の周辺を観察することで、ＩＣデバイス１００の載置状態を認識することができるため、直感的な判断を行うことができる。
【０１０７】
（制御装置）
制御装置１０は、駆動制御部１０２と、検査制御部１０１とを有している。駆動制御部１０２は、例えば、供給トレイ２、回収トレイ３、第１シャトル４および第２シャトル５の移動や、供給ロボット７、回収ロボット８、検査用ロボット９、載置状態検出手段２００、第１カメラ６００および第２カメラ５００等の機械的な駆動を制御する。一方の検査制御部１０１は、図示しないメモリー内に記憶されたプログラムに基づいて、検査用ソケット６に配置されたＩＣデバイス１００の電気的特性の検査を行う。
以上、検査装置１の構成について説明した。
【０１０８】
［検査装置による検査方法］
次に、検査装置１によるＩＣデバイス１００の検査方法について説明する。なお、以下で説明する検査方法、特にＩＣデバイス１００の搬送手順は、一例であり、これに限定されない。
（ステップ１）
まず、図１１に示すように、各ポケット２１にＩＣデバイス１００が収容された供給トレイ２を領域Ｓ内へ搬送するとともに、第１、第２シャトル４、５を−Ｘ方向側に移動させ、トレイ４２、５２がそれぞれ供給トレイ２に対して＋Ｙ方向側に並んだ状態とする。
【０１０９】
（ステップ２）
次に、図１２に示すように、供給ロボット７によって、供給トレイ２に収容されたＩＣデバイス１００をトレイ４２、５２に移し替え、トレイ４２、５２の各ポケット４２１、５２１にＩＣデバイス１００を収容する。
次に、載置状態検出手段２００によって、トレイ４２、５２の各ポケット４２１、５２１に収容されたＩＣデバイス１００の載置状態を検出する。仮に、異常な載置状態のＩＣデバイス１００が１つでも検出された場合には、駆動制御部１０２は、一旦、各部の駆動を停止させ、異常な載置状態が正され、全てのＩＣデバイス１００が正常な載置状態となったことを確認したのち、各部の駆動を再開する。
【０１１０】
（ステップ３）
次に、図１３に示すように、第１、第２シャトル４、５をともに＋Ｘ方向側に移動し、トレイ４２が検査用ソケット６に対して＋Ｙ方向側に、トレイ５２が検査用ソケット６に対して−Ｙ方向側に並んだ状態とする。
（ステップ４）
次に、図１４に示すように、第１、第２ハンドユニット支持部９１３、９１４を一体的に＋Ｙ方向側に移動させ、第１ハンドユニット支持部９１３がトレイ４２の直上に位置するとともに、第２ハンドユニット支持部９１４が検査用ソケット６の直上に位置した状態とする。その後、各第１ハンドユニット９２によってトレイ４２に収容されたＩＣデバイス１００を保持する。
【０１１１】
（ステップ５）
次に、図１５に示すように、第１、第２ハンドユニット支持部９１３、９１４を一体的に−Ｙ方向側に移動させ、第１ハンドユニット支持部９１３が検査用ソケット６の直上（検査用原点位置）に位置するとともに、第２ハンドユニット支持部９１４がトレイ５２の直上に位置する状態とする。当該移動の最中、第１カメラ６００によって撮像された画像データに基づいて、各ＩＣデバイス１００の位置決め（ビジュアルアライメント）が独立して行われる。
【０１１２】
このような第１、第２ハンドユニット支持部９１３、９１４の移動およびＩＣデバイス１００の位置決めと並行して、次のような作業も行う。まず、第１シャトル４を−Ｘ方向側に移動させ、トレイ４３が検査用ソケット６に対して＋Ｙ方向に並んだ状態とするとともに、トレイ４２が供給トレイ２に対して＋Ｙ方向に並んだ状態とする。次に、供給ロボット７により、供給トレイ２に収容されたＩＣデバイス１００をトレイ４２に移し替え、トレイ４２の各ポケット４２１にＩＣデバイス１００を収容する。そして、前述と同様にして、載置状態検出手段２００によって、各ポケット４２１に収容されたＩＣデバイス１００の載置状態を検出する。
【０１１３】
（ステップ６）
次に、第１ハンドユニット支持部９１３を降下させ、各第１ハンドユニット９２で保持したＩＣデバイス１００を、検査用ソケット６の各検査用個別ソケット６１内に配置する。この際、各第１ハンドユニット９２は、所定の検査圧（圧力）でＩＣデバイス１００を検査用個別ソケット６１に押し当てる。これにより、ＩＣデバイス１００の外部端子と検査用個別ソケット６１に設けられたプローブピンとが電気的に接続された状態となり、この状態にて、制御装置１０の検査制御部１０１によって各検査用個別ソケット６１内のＩＣデバイス１００に対して電気的特性の検査が実施される。当該検査が終了すると、第１ハンドユニット支持部９１３を上昇させ、各第１ハンドユニット９２で保持したＩＣデバイス１００を検査用個別ソケット６１から取り出す。
このような作業（ＩＣデバイス１００の検査）と並行して、第２ハンドユニット支持部９１４に支持された各第２ハンドユニット９３がトレイ５２に収容されたＩＣデバイス１００を保持し、ＩＣデバイス１００をトレイ５２から取り出す。
【０１１４】
（ステップ７）
次に、図１６に示すように、第１、第２ハンドユニット支持部９１３、９１４を＋Ｙ方向側に移動させ、第１ハンドユニット支持部９１３が第１シャトル４のトレイ４３の直上に位置するとともに、第２ハンドユニット支持部９１４が検査用ソケット６の直上（検査用原点位置）に位置する状態とする。当該移動の最中、第２カメラ５００によって撮像された画像データに基づいて、各ＩＣデバイス１００の位置決め（ビジュアルアライメント）が独立して行われる。
【０１１５】
このような第１、第２ハンドユニット支持部９１３、９１４の移動と並行して、次のような作業も行う。まず、第２シャトル５を−Ｘ方向側に移動させ、トレイ５３が検査用ソケット６に対して−Ｙ方向に並んだ状態とするとともに、トレイ５２が供給トレイ２に対して＋Ｙ方向に並んだ状態とする。次に、供給ロボット７によって、供給トレイ２に収容されたＩＣデバイス１００をトレイ５２に移し替え、トレイ５２の各ポケット５２１にＩＣデバイス１００を収容する。そして、前述と同様にして、載置状態検出手段２００によって、各ポケット５２１に収容されたＩＣデバイス１００の載置状態を検出する。
【０１１６】
（ステップ８）
次に、図１７に示すように、第２ハンドユニット支持部９１４を降下させ、各第２ハンドユニット９３で保持したＩＣデバイス１００を検査用ソケット６の各検査用個別ソケット６１内に配置する。そして、検査制御部１０１によって、各検査用個別ソケット６１内のＩＣデバイス１００に対して電気的特性の検査が実施される。当該検査が終了すると、第２ハンドユニット支持部９１４を上昇させ、第２ハンドユニット９３で保持したＩＣデバイス１００を検査用個別ソケット６１から取り出す。
【０１１７】
このような作業と並行して次のような作業を行う。まず、各第１ハンドユニット９２が保持する検査済みのＩＣデバイス１００をトレイ４３の各ポケット４３１に収容する。次に、第１シャトル４を＋Ｘ方向側に移動させ、トレイ４２が検査用ソケット６に対して＋Ｙ方向に並びかつ各第１ハンドユニット９２の直下に位置する状態とするとともに、トレイ４３が回収トレイ３に対して＋Ｙ方向に並んだ状態とする。次に、各第１ハンドユニット９２がトレイ４２に収容されたＩＣデバイス１００を保持するとともに、回収ロボット８により、トレイ４３に収容された検査済みのＩＣデバイス１００を回収トレイ３に移し替える。
【０１１８】
（ステップ９）
次に、図１８に示すように、第１、第２ハンドユニット支持部９１３、９１４を−Ｙ方向側に移動させ、第１ハンドユニット支持部９１３が検査用ソケット６の直上（検査用原点位置）に位置するとともに、第２ハンドユニット支持部９１４がトレイ５２の直上に位置した状態とする。この際も、前述したステップ５と同様に、第１ハンドユニット９２に保持されたＩＣデバイス１００の位置決めを行う。
【０１１９】
このような第１、第２ハンドユニット支持部９１３、９１４の移動と並行して、次のような作業も行う。まず、第１シャトル４を−Ｘ方向側に移動させ、トレイ４３が検査用ソケット６に対して＋Ｙ方向に並んだ状態となるとともに、トレイ４２が供給トレイ２に対して＋Ｙ方向に並んだ状態とする。次に、供給ロボット７によって、供給トレイ２に収容されたＩＣデバイス１００をトレイ４２に移し替え、トレイ４２の各ポケット４２１にＩＣデバイス１００を収容する。そして、前述と同様にして、載置状態検出手段２００によって、各ポケット４２１に収容されたＩＣデバイス１００の載置状態を検出する。
【０１２０】
（ステップ１０）
次に、図１９に示すように、第１ハンドユニット支持部９１３を降下させ、各第１ハンドユニット９２で保持したＩＣデバイス１００を検査用ソケット６の各検査用個別ソケット６１内に配置する。そして、検査制御部１０１によって、各検査用個別ソケット６１内のＩＣデバイス１００に対して電気的特性の検査を実施する。当該検査が終了すると、第１ハンドユニット支持部９１３を上昇させ、各第１ハンドユニット９２で保持したＩＣデバイス１００を検査用個別ソケット６１から取り出す。
【０１２１】
このような作業と並行して次のような作業を行う。まず、各第２ハンドユニット９３が保持する検査済みのＩＣデバイス１００をトレイ５３の各ポケット５３１に収容する。次に、第２シャトル５を＋Ｘ方向側に移動させ、トレイ５２が検査用ソケット６に対して−Ｙ方向に並びかつ第２ハンドユニット９３の直下に位置する状態とするとともに、トレイ５３が回収トレイ３に対して＋Ｙ方向に並んだ状態とする。次に、各第２ハンドユニット９３がトレイ５２に収容されたＩＣデバイス１００を保持するとともに、回収ロボット８により、トレイ５３に収容された検査済みのＩＣデバイス１００を回収トレイ３に移し替える。
【０１２２】
（ステップ１１）
これ以降は、前述したステップ７〜ステップ１０を繰り返す。なお、この繰り返しの途中にて、供給トレイ２に収容されたＩＣデバイス１００のすべてを第１シャトル４に移し終えると、供給トレイ２が領域Ｓ外に移動する。そして、供給トレイ２に新たなＩＣデバイス１００を供給するか、既にＩＣデバイス１００が収容されている別の供給トレイ２と交換した後、供給トレイ２が再び領域Ｓ内に移動する。同様に、繰り返しの途中にて、回収トレイ３の全てのポケット３１にＩＣデバイス１００が収容されると、回収トレイ３が領域Ｓ外に移動する。そして、回収トレイ３に収容されたＩＣデバイス１００を取り除くか、回収トレイ３を別の空である回収トレイ３を交換した後、回収トレイ３が再び領域Ｓ内に移動する。
【０１２３】
以上のような方法によれば、効率よくＩＣデバイス１００の検査を行うことができる。具体的には、検査用ロボット９が第１ハンドユニット９２と第２ハンドユニット９３とを有しており、例えば、第１ハンドユニット９２（第２ハンドユニット９３についても同様）が保持したＩＣデバイス１００が検査用ソケット６にて検査されている状態にて、これと並行して第２ハンドユニット９３が検査を終えたＩＣデバイス１００をトレイ５３に収容するとともに、次に検査するＩＣデバイス１００を保持してスタンバイしている。このように、２つのハンドユニットを用いて、それぞれ、異なる作業を行うことにより、無駄な時間を削減でき、効率的にＩＣデバイス１００の検査を行うことができる。
【０１２４】
以上、検査装置１について詳細に説明したが、検査装置１の変形例として、例えば、図２０のような構成、すなわち、本発明のコントローラーを組み込んだ構成とすることもできる。図２０の構成では、各検出ユニット２１０、２２０、２３０、２４０の作動を制御するコントローラー２９０が設けられている。コントローラー２９０は、各制御部２１８、２２８、２３８、２４８と接続されており、受光素子２１６、２２６、２３６、２４６が受光した光ＬＬの強度に基づき、投光用センサーヘッド２１３、２２３、２３３、２４３から出射される光ＬＬの強度を変化させるように検出ユニット２１０、２２０、２３０、２４０を独立して制御できるように設けられている。
【０１２５】
すなわち、制御部２１８について代表して説明すると、コントローラー２９０は、制御部２１８に対して、受光素子２１６から出力され増幅器２１７で増幅された電気信号の電圧値Ｖ’を閾値Ｖと比較し、Ｖ’＞Ｖであれはポケット４２１ａ、４２１ｂには共に正常な状態でＩＣデバイス１００が載置されていると判断し、投光用センサーヘッド２１３からの光ＬＬの出射を停止し、反対に、Ｖ’＜Ｖであれば、ポケット４２１ａ、４２１ｂの少なくとも一方には異常な状態でＩＣデバイス１００が載置されていると判断し、発光素子２１１からの光ＬＬの出射を維持する命令を送信する。他の制御部２２８、２３８、２４８についても同様の命令を送信する。
【０１２６】
このような命令を受けた制御部２１８、２２８、２３８、２４８は、それぞれ、前述した実施形態と同様に駆動し、その結果、各ポケット４２１ａ〜４２１ｄに載置されたＩＣデバイス１００の載置状態を報知することができる。
このように、コントローラー２９０からの命令に従って制御部２１８、２２８、２３８、２４８を作動させることにより、例えば、従来のようなハンドラーにコントローラー２９０を組み込むことによっても、本発明の検査装置１と同様の機能を発揮することができる。
【０１２７】
以上、本発明のハンドラー、コントローラー、報知方法および検査装置について、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に、他の任意の構成物が付加されていてもよい。また、各実施形態を適宜組み合わせてもよい。
【０１２８】
また、前述した実施形態では、制御部２１８は、ポケット４２１ａ、４２１ｂに共に正常な状態でＩＣデバイス１００が載置されていると判断した場合には、投光用センサーヘッド２１３からの光ＬＬの出射を停止し、ポケット４２１ａ、４２１ｂの少なくとも一方に異常な状態でＩＣデバイス１００が載置されていると判断した場合には、投光用センサーヘッド２１３からの光ＬＬの出射を維持するように構成されているが、反対に、ポケット４２１ａ、４２１ｂに共に正常な状態でＩＣデバイス１００が載置されていると判断した場合には、投光用センサーヘッド２１３からの光ＬＬの出射を維持し、ポケット４２１ａ、４２１ｂの少なくとも一方に異常な状態でＩＣデバイス１００が載置されていると判断した場合には、投光用センサーヘッド２１３からの光ＬＬの出射を停止するように構成されていてもよい。第２〜第４検出ユニット２２０〜２４０についても同様である。これによっても、前述した第１実施形態と同様にして、各ポケット４２１ａ〜４２１ｄでのＩＣデバイス１００の載置状態を独立して報知することができる。
【０１２９】
また、制御部２１８は、ポケット４２１ａ、４２１ｂに共に正常な状態でＩＣデバイス１００が載置されていると判断した場合には、投光用センサーヘッド２１３からの光ＬＬの出射を停止するよう構成されているが、これに限定されず、例えば、使用者が実質的に視認困難となる程度に投光用センサーヘッドからの光ＬＬの強さを弱くするように構成されていてもよい。
【０１３０】
また、前述した実施形態では、第１検出ユニット２１０は、溝４２３ａを介してポケット４２１ａ、４２１ｂ内を光ＬＬが通過するように構成されているが、例えば、図２１に示すように、ＩＣデバイス１００がポケット４２１ａ、４２１ｂから上方にはみ出すように載置される場合には、ポケット４２１ａ、４２１ｂの上方を光ＬＬが通過するように構成されていてもよい。すなわち、ポケット４２１ａ、４２１ｂの平面視（ＸＹ平面視）にて光ＬＬがポケット４２１ａ、４２１ｂを通過するように構成されていればよい。この場合には、図２１（ａ）に示すように、ポケット４２１ａ、４２１ｂのＩＣデバイスがいずれも正常な載置状態の場合には光ＬＬが遮られず、図２１（ｂ）に示すように、ポケット４２１ａ、４２１ｂのＩＣデバイス１００の少なくとも一方が異常な載置状態の場合にはそのＩＣデバイス１００によって光ＬＬが遮られるように構成すればよい。このような構成によっても第１実施形態と同様の構成を発揮することができる。なお、第２〜第３検出ユニット２２０〜２４０についても同様である。
【符号の説明】
【０１３１】
１……検査装置  １１……台座  １２……支持部  １２１……レール  １３……支持部  １３１……レール  １４……支持部  １４１……レール  ２……供給トレイ  ２１……ポケット  ２３……レール  ３……回収トレイ  ３１……ポケット  ３３……レール  ４……第１シャトル  ４１……ベース部材  ４２、４３……トレイ  ４２１、４２１ａ、４２１ｂ、４２１ｃ、４２１ｄ、４３１……ポケット  ４２３ａ、４２３ｂ、４２５ａ、４２５ｂ……溝  ４２３ａ’、４２３ａ”、４２３ｂ’、４２３ｂ”、４２５ａ’、４２５ａ”、４２５ｂ’、４２５ｂ”……開口  ４４……レール  ５……第２シャトル  ５１……ベース部材  ５２、５３……トレイ  ５２１、５２１ａ、５２１ｂ、５２１ｃ、５２１ｄ、５３１……ポケット  ５２３ａ、５２３ｂ、５２５ａ、５２５ｂ……溝  ５４……レール  ６……検査用ソケット  ６１……検査用個別ソケット  ７……供給ロボット  ７２……支持フレーム  ７２１……レール  ７３……移動フレーム  ７４……ハンドユニット支持部  ７５……ハンドユニット  ８……回収ロボット  ８２……支持フレーム  ８２１……レール  ８３……移動フレーム  ８４……ハンドユニット支持部  ８５……ハンドユニット  ９……検査用ロボット  ９１１……第１フレーム  ９１１ａ……レール  ９１２……第２フレーム  ９１２ａ、９１２ｂ……レール  ９１３……第１ハンドユニット支持部  ９１４……第２ハンドユニット支持部  ９２……第１ハンドユニット  ９３……第２ハンドユニット  ９４……支持部  ９４１……デバイスマーク  ９５……第１移動部  ９６……第２移動部  ９７……回転部  ９８……保持部  １０……制御装置  １０１……検査制御部  １０２……駆動制御部  １００……ＩＣデバイス  ２００……載置状態検出手段  ２１０……第１検出ユニット  ２２０……第２検出ユニット  ２３０……第３検出ユニット  ２４０……第４検出ユニット  ２１０’、２２０’、２３０’、２４０’……筐体  ２１１、２２１、２３１、２４１……発光素子  ２１２、２２２、２３２、２４２……投光用光ファイバー  ２１２’、２２２’、２３２’、２４２’……投光用導光部  ２１３、２２３、２３３、２４３……投光用センサーヘッド  ２１３ａ、２２３ａ、２３３ａ、２４３ａ……レンズ  ２１４、２２４、２３４、２４４……受光用光ファイバー  ２１４’、２２４’、２３４’、２４４’……受光用導光部  ２１５、２２５、２３５、２４５……受光用センサーヘッド  ２１５ａ、２２５ａ、２３５ａ、２４５ａ……レンズ  ２１６、２２６、２３６、２４６……受光素子  ２１７、２２７、２３７、２４７……増幅器  ２１８、２２８、２３８、２４８……制御部  ２３９、２４９……反射ミラー  ２９０……コントローラー  ５００……第２カメラ  ６００……第１カメラ  ＬＬ……光  Ｓ……領域  載置領域……Ｓ１、Ｓ２  電圧値……Ｖ１、Ｖ２
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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