(57)【要約】【課題】  クリーンルーム内などで使用するケーブル等案内機構が接触することによって発生する摩耗、発塵、騒音などを大幅に低減する技術を提供する。【解決手段】  隣接するケーブルガイドリンクと連結するための連結構造を形成した一対の内側側板と、他方に隣接するケーブルガイドリンクの連結構造を嵌め込むための構造を形成した一対の外側側板と、前記一対の外側側板を連結して上面に永久磁石を嵌め込む穴を形成した上板とを有するケーブルガイドリンクが樹脂一体成型され、前記ケーブルガイドリンクの上板に統一して指定された磁極性が上向きとなるように永久磁石が嵌め込まれて固定され、前記永久磁石が嵌め込まれた複数のケーブルガイドリンクが連結されてダクト状に構成されたことを特徴とするケーブルガイド。【選択図】  図１
2014200135.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
隣接するケーブルガイドリンクと連結するための連結構造を形成した一対の内側側板と、他方に隣接するケーブルガイドリンクの連結構造を嵌め込むための構造を形成した一対の外側側板と、前記一対の外側側板を連結して上面に永久磁石を嵌め込む穴を形成した上板とを有するケーブルガイドリンクが樹脂一体成型され、
前記ケーブルガイドリンクの上板に統一して指定された磁極性が上向きとなるように永久磁石が嵌め込まれて固定され、
前記永久磁石が嵌め込まれた複数のケーブルガイドリンクが連結されてダクト状に構成されたことを特徴とするケーブルガイド。
【請求項２】
前記永久磁石が嵌め込まれた複数のケーブルガイドリンクが連結されてダクト状に構成されたケーブルガイドが、前記永久磁石が嵌め込まれた面が内周面となるように一定のＲを保って折り返し、
前記各ケーブルガイドリンクに嵌め込まれた永久磁石の反発力により、前記折り返したケーブルガイドと、下側のケーブルガイドとの間に空隙を生じることを特徴とする請求項１に記載のケーブルガイド。
【請求項３】
前記ケーブルガイドリンクの前記永久磁石を嵌め込む上面と対向する底面側に、重なりセクションを有する２つのクロス部材が形成され、
前記ケーブルガイドリンクの一対の内側側板、前記上板、および前記２つのクロス部材により、各種ケーブルを収納するガイドチャンネルを構成することを特徴とする請求項１に記載のケーブルガイド。
【請求項４】
前記ケーブルガイドリンクの上板に統一して指定された磁極性が上向きとなるように嵌め込まれて接着された永久磁石は、丸型、角型、ドーナッツ型のいずれか、または同形のものを複数個配置することを特徴とする請求項１に記載のケーブルガイド。
【請求項５】
一定の範囲を移動する移動体と、
前記移動体と接続される固定体と、
前記移動体と前記固定体とを接続する請求項１乃至４のいずれか１つに記載されたケーブルガイドと、
を有する装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、低発塵、低騒音、省スペースなケーブル等案内機構及びこれを用いた装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ガイドされるケーブルに対して柔軟な使用ができる従来のケーブルガイドとしては、特許文献１の図１及び図２に示すものが知られている。図１では、ケーブルガイドリンク１の構造を示している。図２では、連結するケーブルガイドリンク１が互いに嵌合する構造と、旋回時の角度を制限する構造とを有し、ケーブルガイドリンク１が複数繋がることによりケーブルガイドとして機能し得るように構成している。
【０００３】
非特許文献１には、ケーブルが挿入された長いストロークのモジュラー式ケーブルガイドチェーンを両側の支柱に保持されたマグネットモジュールにより磁気で浮かせて、ほぼ非接触の状態で動かすことを可能として、クリーンルーム対応として磨耗を最小限に抑えたケーブルガイドの製品例が紹介されている。図６(Ａ)，(Ｂ)に示すように、ケーブルを収納するモジュラー式ケーブルガイドチェーン６１の側面に磁石が取り付けられていて、両側の支柱６２に取り付けられたマグネットモジュール６３，６４との引力または斥力を利用して、ケーブルガイドチェーン６１の高さを非接触で保持する手段を採用している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特表２００２−５３４９５０号公報
【非特許文献】
【０００５】
【非特許文献１】LeviChain − Magnetic ”floating”E−ChainSystem. Datasheet. [online] igus (UK) Ltd. [retrieved on 2013−03−18]. Retrieved from the Internet:＜URL: http://www.igus.co.uk/wpck/default.aspx?Pagename=overview_levichain&C=GB&L=en＞
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の実施例となる磁気ディスク検査ラインでは、図５に示すようにクリーンルーム内に、磁気ディスクの表面凹凸の有無を検査したり、磁気ディスクに基準的な磁気記録・再生、消去・再生の操作を施して磁性膜の記録性能を検査する検査装置４１，４３が配列されている。これらの検査装置に、検査対象の磁気ディスクが収納されたカセット、マガジン４７などをストッカから搬送して、各検査装置の前に供給し、磁気ディスクの搬送ロボット４２，４４により検査装置へ投入された磁気ディスクが検査終了後に収容されたカセット、マガジン４７などを搬出するための搬送装置(シャトル)４０が走行するためのレール４５が、磁気ディスク検査ラインに設置されている。前記搬送装置(シャトル)４０と地上側の電源供給部５０との間には、搬送装置(シャトル)４０に対する給電、制御用のケーブル、給排気チューブを収容したケーブルダクト１０が敷設されている。
【０００７】
ここで、ケーブルダクト１０は、例えば図１に示すようなケーブルガイドリンク１の多数個を相互に嵌合して、図２のような折り曲げ自在なケーブルダクト１０に組み立てたものである。ケーブルガイドリンク１は隣接するリンク１と相互に回転可能なように連結回転軸４で接続されている。各ケーブルガイドリンクは平行より外向きには回転しないようになっており、また内向きには一定の角度までしか回転しない。これによりケーブルダクト１０の折り返し部分では一定のＲを保ち、上側のケーブルダクト１０は直線の配列を保つ。但し、ストロークが長くなると、ケーブルダクト１０の自重により直線部分が撓み、図４(Ａ)のように下側のケーブルダクト１０に接触することになる。
図３にケーブルガイドリンク１が連結された部分の断面を示しており、内部に複数のケーブル２０が収納されている実施例を示す。
【０００８】
かかるケーブルダクト１０は、図５に示すごとく一端を電源供給部５０に接続して固定されて、地上にレール４５と平行に這わせて敷設され、中間部をヘアピン状に折り返してから、地上に敷設されているケーブルダクト１０上に折り重なって敷設されて、他端を搬送装置(シャトル)４０に結合されている。そして、このケーブルダクト１０の内部を通して給電、制御ケーブル、給排気チューブが電源供給部５０と搬送装置(シャトル)４０との間に配線されている。
【０００９】
上記の構成で、図５に示す搬送装置(シャトル)４０がレール４５の上を走行すると、これに追従する形でケーブルダクト１０が次記のように従動する。すなわち、図５の位置から搬送装置(シャトル)４０が左側に走行すると、ケーブルダクト１０はキャタピラの動きと同様に、ヘアピン屈曲部の位置が逐次左に移り変わって、実線から破線位置へ移動する。これにより、給電、制御ケーブルを引き摺ったり、あるいは絡ませたりすることなく安全に支持、案内することができる。
【００１０】
しかし、ケーブルダクト１０が移動する際には、ケーブルダクト１０を構成する各ケーブルガイドリンク１の外周面は、地面との間で擦り合うことなく地面に接触するだけであるのに対し、各ケーブルガイドリンク１の内周面は、ケーブルダクト１０の他の部分のケーブルガイドリンク１の内周面と擦り合うように摺動する。
【００１１】
搬送装置(シャトル)４０を高速に移動させると、ケーブルダクト１０を構成するケーブルガイドリンク１の内周面同士の摺動により、発塵、騒音が発生して問題となっていた。特に、クリーンルーム内の環境を悪化させる発塵の問題には、対策が必要であった。このため、従来では、接触部を耐磨耗性の樹脂にしたり、例えば図４(Ｂ)に示すように、上下のケーブルダクト１０の間に、ローラー３０を設置して転動接触として、ケーブルガイドリンク１の内周面同士の摩擦を低減するような対策を施していた。
【００１２】
本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、搬送装置(シャトル)４０の走行引き回しに伴って発生するケーブルガイドリンク１の内周面同士の摺動を回避して、発塵、騒音を大幅に抑えるケーブルガイド及びこれを用いた装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記課題を解決するために本発明では、隣接するケーブルガイドリンクと連結するための連結構造を形成した一対の内側側板と、他方に隣接するケーブルガイドリンクの連結構造を嵌め込むための構造を形成した一対の外側側板と、前記一対の外側側板を連結して上面に永久磁石を嵌め込む穴を形成した上板とを有するケーブルガイドリンクが樹脂一体成型され、前記ケーブルガイドリンクの上板に統一して指定された磁極性が上向きとなるように永久磁石が嵌め込まれて接着され、前記永久磁石が嵌め込まれた複数のケーブルガイドリンクが連結されてダクト状に構成されたことを特徴とするケーブルガイドを構成した。
【００１４】
また、上記課題を解決するために本発明では、前記永久磁石が嵌め込まれた複数のケーブルガイドリンクが連結されてダクト状に構成されたケーブルガイドが、前記永久磁石が嵌め込まれた面が内周面となるように一定のＲを保って折り返し、前記各ケーブルガイドリンクに嵌め込まれた永久磁石の反発力により、前記折り返したケーブルガイドと、下側のケーブルガイドとの間に空隙を生じることを特徴とする上記に記載のケーブルガイドを構成した。
【発明の効果】
【００１５】
本発明のケーブルガイドは、上側のケーブルダクトを浮上させるための永久磁石を全てのケーブルガイドリンクの内周面側に備え、側面に特別な構造物を必要としないことを主要な特徴としている。そのため、本発明のケーブルガイドは占有する空間が少ないため、それを利用した設備設計の自由度が高く、採用しやすいことが利点である。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】図１(Ｂ)は本発明実施例によるケーブルガイドリンク１の正面図、図１(Ａ)はケーブルガイドリンク１の上面図、図１(Ｄ)はケーブルガイドリンク１の右側面図、および図１(Ｃ)はケーブルガイドリンク１のＡ−Ａ’断面図である。
【図２】本発明のケーブルガイドリンク１の多数個を相互に嵌合して、ダクト状に構成したケーブルガイドの説明図である。
【図３】本発明のケーブルガイドリンク１が連結された部分の断面図の例である。
【図４】図４(Ａ)は、従来のケーブルダクトが重なって内周面が擦り合うように摺動する例を説明する図である。図４(Ｂ)は、ケーブルガイドリンク１の内周面同士の摩擦を低減するような従来の対策例を説明する図である。図４(Ｃ)は、本発明のケーブルダクトが永久磁石の反発力により非接触の状態で空中に支持することができる例を説明する図である。
【図５】クリーンルーム内の搬送装置(シャトル)に適用されたケーブルダクトを説明する図である。
【図６】非特許文献１に開示されるモジュラー式ケーブルガイドチェーンを説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下に、本発明の実施例を図面を用いて説明する。
【実施例１】
【００１８】
図１(Ｂ)は本発明実施例によるケーブルガイドリンク１の正面図、図１(Ａ)はケーブルガイドリンク１の上面図、図１(Ｄ)はケーブルガイドリンク１の右側面図、および図１(Ｃ)はケーブルガイドリンク１のＡ−Ａ’断面図を表わす。
【００１９】
ケーブルガイドリンク１は、右隣りに隣接するケーブルガイドリンクの内側に嵌まり込む一対の内側側板２と、左隣りに隣接するケーブルガイドリンクの外側に嵌まり込む一対の外側側板３とを備える。内側側板２には右隣りに隣接するケーブルガイドリンクと連結するための連結回転軸４が形成されている。また、外側側板３には、左隣りに隣接するケーブルガイドリンクの連結回転軸４を嵌め込む軸受け用の貫通孔５が形成されている。
【００２０】
また、ケーブルガイドリンク１には、一対の外側側板３を連結する上板６が形成されており、上板６の中央部に、図１の実施例では円形の穴７が形成されており、この穴７とほぼ同形の丸型永久磁石７０が嵌め込まれて、接着固定される。
【００２１】
また、ケーブルガイドリンク１の底部には、一対の外側側板３に一体成形されて、かつ重なりセクション１２を有する２つのクロス部材８，９が形成されている。
以上の構成のケーブルガイドリンク１が樹脂成形により一体成形にて製造される。材質は例えばＡＢＳ樹脂、ポリアミド樹脂などが考えられるがこれには特に限定されない。
【００２２】
一体成形された各ケーブルガイドリンク１の穴７に、穴７の形状とほぼ同形の丸型永久磁石７０を、例えば表側をＳ極、またはＮ極のいずれかに統一して嵌め込み、接着固定する。このように構成した各ケーブルガイドリンク１を、樹脂の弾性を利用して、一対の内側側板２を多少すぼめて、隣接するケーブルガイドリンク１の貫通孔５へ当該ケーブルガイドリンク１の連結回転軸４を嵌め込んで、次々にケーブルガイドリンクを連結して、ケーブルダクト１０を構成する。
【００２３】
ケーブルダクト１０には、電力ケーブル、通信ケーブル、圧縮空気チューブ、排気チューブなど２０を、図３に示す断面図の下側に形成された２つのクロス部材８，９を押し広げて、ケーブルガイドリンク１の内部に形成されたガイドチャンネル１１に収納する。
【００２４】
以上のように構成したケーブルダクト１０は、図２に示すように、一方向に所定の半径Ｒを保って折り返すことができるが、各ケーブルガイドリンク１の上面に取り付けた永久磁石７０は、同じ磁極性の面を向けて対向することになる。そして、永久磁石７０間の反発力によって、上下に折り重なるケーブルダクト１０の内周面は接触せずに、図４(Ｃ)に示すように、上方のケーブルダクト１０を非接触の状態で空中に支持することができる。
【００２５】
なお、ケーブルガイドリンク１の上板に嵌め込まれる永久磁石は丸型の永久磁石に限られず、角型、ドーナッツ型でも良く、または同形のものを複数個配置することでも良い。
【００２６】
本発明のケーブルガイドを使用することにより、上下のケーブルダクト１０の内周面間の摺動をほぼ無くすことができるので、発塵、騒音を大幅に低減することができる。また、非特許文献１に開示されるケーブルガイドでは、上下のケーブルダクトのそれぞれの両側面に近接して対向するレール状の永久磁石を設置する空間が必要となり、ケーブルガイド機構全体の幅が広くなるなど、設置できるケースが限られるのに対して、本発明のケーブルガイドは、設置に必要な空間、幅は従来のケーブルガイドと同じとなる特徴がある。
【符号の説明】
【００２７】
１  ケーブルガイドリンク
２  内側側板
３  外側側板
４  連結回転軸
５  軸受け用の貫通孔
６  上板
７  永久磁石嵌め込み用の穴
８、９  クロス部材
１０  ケーブルダクト
１１  ガイドチャンネル
２０  電力ケーブル、通信ケーブル、圧縮空気チューブ、排気チューブなど
４０  搬送装置(シャトル)
４１、４３  検査装置
４２，４４  搬送ロボット
４５  レール
４６  支柱
５０  電源供給部
６１  モジュラー式ケーブルガイドチェーン
６２  支柱
６３，６４  マグネットモジュール
７０  永久磁石
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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