(57)【要約】【課題】３次元立体面上に高い寸法精度で各種形状の微細構造を形成する方法、及びその形成方法で得られる成形品を提供すること【解決手段】前記課題は、基材フィルム１上に微細構造４を形成する工程と、前記微細構造４上に熱可塑性樹脂よりなる層５を形成して積層体とする工程と、前記工程で得られる積層体を、前記熱可塑性樹脂５側を被成形体７に対面させて貼り付ける工程と、被成形体７に貼り付けた前記積層体のうち前記微細構造４が形成された基材フィルム１を被成形体から剥離する工程とよりなる微細構造９の形成方法により解決される。【選択図】  図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材フィルム上に微細構造を形成する工程と、
前記微細構造上に熱可塑性樹脂よりなる層を形成して積層体とする工程と、
前記工程で得られる微細構造が形成された基材フィルムと前記熱可塑性樹脂よりなる層とからなる積層体を、前記熱可塑性樹脂側を被成形体に対面させて貼り付ける工程と、
被成形体に貼り付けた前記積層体のうち前記微細構造が形成された基材フィルムを被成形体から剥離する工程と
よりなることを特徴とする微細構造の形成方法。
【請求項２】
前記基材フィルム上に微細構造を形成する工程が、該微細構造の反転形状を有する型を紫外線硬化樹脂を介して基材フィルムに押し付けた状態で紫外線照射により紫外線硬化樹脂を硬化させ、基材フィルム上に硬化した紫外線硬化樹脂からなる微細構造を形成する工程である請求項１記載の微細構造の形成方法。
【請求項３】
前記被成形体の微細構造が形成された面の形状が３次元立体面である請求項１または２記載の微細構造の形成方法。
【請求項４】
前記積層体を被成形体に貼り付ける工程が真空成形または圧空成形による工程であり、前記熱可塑性樹脂のガラス転移温度をＴ１℃、前記基材フィルムの貯蔵弾性率が０．１ＭＰａとなる温度をＴ２℃としたときに、前記積層体の温度をＴ１＋２０℃〜Ｔ２℃の範囲内として真空成形または圧空成形を行うことを特徴とする請求項３に記載の微細構造の形成方法。
【請求項５】
前記基材フィルムは無延伸フィルムであり、前記積層体を被成形体の３次元立体面に貼り付ける工程が、前記基材フィルムの貯蔵弾性率が０．１〜１０ＭＰａとなる温度範囲で行われることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の微細構造の形成方法。
【請求項６】
前記積層体を被成形体に貼り付ける工程において、前記基材フィルムに形成される微細構造が紫外線硬化樹脂により形成されており、前記紫外線硬化樹脂の貯蔵弾性率が０．１〜１００ＭＰａであることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の微細構造の形成方法。
【請求項７】
前記積層体の熱可塑性樹脂が被成形体の表面を形成する材料と同じであることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の微細構造の形成方法。
【請求項８】
基材フィルム上に微細構造を形成する工程において、基材フィルム上に形成する微細構造が、前記積層体を被成形体に貼り付ける工程で延伸することを想定した形状であって、前記被成形体上に形成される微細構造とは形状が異なっていることを特徴とする請求項３の微細構造の形成方法。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか１項に記載の微細構造の形成方法で得られる成形品。
【請求項１０】
請求項１〜８のいずれか１項に記載の微細構造の形成方法で得られる表面に微細構造を有する成形品から該成形品の反転形状を有する型を作製し、次いで、該型を転写することによって表面に微細構造を有する成形体を得ることを特徴とする微細構造を有する成形体の製造方法。
【請求項１１】
前記被成形体が透明材料よりなる請求項９に記載の成形品からなる光学部品。
【請求項１２】
請求項１０に記載の成形体の製造方法により得られる光学部品。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は微細構造の形成方法に関し、さらに詳しくは、３次元立体面上に微細構造を形成する方法、及びその形成方法で得られる成形品に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
光の波長より小さい周期を有する微細な凹凸からなる微細構造は反射防止機能を発現するため、そのような微細構造をレンズの表面に形成して反射防止機能を付与することが提案されている（特許文献１）。
また、レンズ表面などの３次元的な曲面上に微細構造を形成する方法としては、微細構造を形成した金属、酸化物、樹脂等からなる可撓性膜を曲面に沿って接合する方法が知られている（特許文献２）。この方法では厚さ１０〜１００μｍの可撓性膜を製品表面に接合するため、凹凸構造について１０μｍ以下の寸法精度を必要とする製品では、曲面部において可撓性膜の膜厚による寸法誤差が凹凸構造に生じてしまうため適用し難いという問題がある。また、可撓性膜の厚さを１０μｍ以下にすることは、可撓性膜のハンドリング性が極めて悪くなるため実用に供することは現実的ではない。
【０００３】
一方、微細構造を曲面上に直接形成する方法としては、真空プロセスで曲面上に蒸着した金属ナノ粒子をマスクとして利用し、エッチング法により曲面上にナノ構造を形成する方法がある（非特許文献１）。この方法では製品曲面上に微細構造を直接形成するため、高い寸法精度で成形体を得ることが可能だが、金属ナノ粒子は球状であるため得られる微細構造の形状が限定されるという問題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−１７１２１９  公報
【特許文献２】特開２００４−３６１６３５  公報
【非特許文献】
【０００５】
【非特許文献１】ナノ粒子の創生と応用展開  （２００８年、フロンティア出版、編・著  米澤徹）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は上記課題を解決するため、３次元立体面上に高い寸法精度で各種形状の微細構造を形成する方法、及びその形成方法で得られる成形品を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の課題を解決する本発明は、基材フィルム上に微細構造を形成する工程と、前記微細構造上に熱可塑性樹脂よりなる層を形成して積層体とする工程と、前記工程で得られる微細構造が形成された基材フィルムと前記熱可塑性樹脂よりなる層とからなる積層体を、前記熱可塑性樹脂側を被成形体に対面させて貼り付ける工程と、被成形体に貼り付けた前記積層体のうち前記微細構造が形成された基材フィルムを剥離する工程よりなることを特徴とする微細構造の形成方法により達成できる。
ここで、本発明における「微細構造」とは、互いに隣接するトップとボトムの高さの差が０．０５μｍ〜５μｍであり、互いに隣接するトップ間の距離が０．０５μｍ〜１０μｍの凹凸構造である。
【０００８】
また本発明は、前記基材フィルム上に微細構造を形成する工程が、該微細構造の反転形状を有する型を紫外線硬化樹脂を介して前記基材フィルムに押し付けた状態で紫外線を照射して硬化させ、基材フィルム上に硬化した紫外線硬化樹脂からなる微細構造を形成する工程であるのが好ましい。
【０００９】
また、本発明における被成形体の微細構造が形成された面の形状は３次元立体面であるのが好ましい。
【００１０】
また、前記積層体を前記被成形体の３次元立体面である表面に貼り付ける工程が真空成形または圧空成形であり、前記熱可塑性樹脂のガラス転移温度をＴ１℃、前記基材フィルムの貯蔵弾性率が０．１ＭＰａとなる温度をＴ２℃としたときに、前記積層体の温度をＴ１＋２０℃〜Ｔ２℃の範囲内として真空成形または圧空成形あるいはその両者を組み合わせて行うのが好ましい。
【００１１】
さらに、前記基材フィルムは無延伸フィルムであり、前記積層体を被成形体の３次元立体面に貼り付ける工程は、前記基材フィルムの貯蔵蔵弾性率が０．１〜１０ＭＰａとなる温度範囲で行われるのが好ましい。
【００１２】
また、前記積層体を被成形体に貼り付ける工程において、前記基材フィルムに形成される微細構造が紫外線硬化樹脂により形成されるときに、該工程は、前記紫外線硬化樹脂の貯蔵弾性率が０．１〜１００ＭＰａとなる温度範囲で行われるのが好ましい。
【００１３】
本発明において、被成形体の表面を形成する材料は、前記積層体の熱可塑性樹脂と同じであるのが好ましい。
【００１４】
また、基材フィルム上に紫外線硬化樹脂を用いて微細構造を形成する工程において、前記基材フィルム上に形成する前記微細構造は、前記積層体を被成形体に貼り付ける際に被成形体に追従して延伸されることを想定した形状であって、前記被成形体上に形成される微細構造とは形状が異なっていることが好ましい。
【００１５】
また本発明は、上記の微細構造の形成方法で得られる表面に微細構造を形成した成形品である。さらに、該成形品の反転形状を有する型を作製し、次いで、該型を転写することによって表面に微細構造を有する成形体を得ること特徴とする微細構造を有する成形体の製造方法である。
【００１６】
また本発明は、前記被成形体が透明材料からなる前記の微細構造の形成方法により得られる成形品からなる光学部品である。また本発明は、前記微細構造を有する成形体の製造方法により得られる表面に微細構造を形成した光学部品である。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、公知のリソグラフィ技術で作製した微細構造を用いて、被成形体表面に微細構造を容易に形成することが可能である。また本発明の積層体を３次元立体面を有する被成形体表面に貼り付けた場合に、被成形体の寸法変化は熱可塑性樹脂よりなる層の膜厚だけであるため、寸法精度の高い微細構造を有する成形体を作製できる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】紫外線硬化樹脂を用いた微細構造の形成工程を示す図である。
【図２】熱プレスによる微細構造の形成工程を示す図である。
【図３】微細構造上に熱可塑性樹脂を塗布する工程を示す図である。
【図４】真空圧空成形機を用いて被成形体の表面に微細構造を形成する工程を示す図である。
【図５】実施例における基材フィルム上に紫外線硬化性樹脂により形成されたモスアイ構造の反転構造の断面ＳＥＭ写真である。
【図６】実施例におけるアクリル製レンズ上に形成されたモスアイ構造の断面ＳＥＭ写真である。
【図７】実施例におけるモスアイ構造形成前後のアクリル製レンズの反射率測定結果を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明を図示の実施形態に基づいて説明する。
本発明は、基材フィルム上に微細構造を形成する工程と、前記微細構造上に熱可塑性樹脂よりなる層を形成して積層体とする工程と、前記工程で得られる微細構造が形成された基材フィルムと前記熱可塑性樹脂よりなる層とからなる積層体を、前記熱可塑性樹脂側を被成形体に対面させて貼り付ける工程と、前記被成形体に貼り付けた前記積層体のうち前記微細構造が形成された基材フィルムを剥離する工程よりなることを特徴とする微細構造の形成方法である。
以下、各工程を追って説明する。
なお、これらの図において図示される各部の大きさ、厚さ、寸法等は、実際の微細構造の形成工程における大きさ、厚さ、寸法とは異なる。
【００２０】
図１に紫外線硬化樹脂を用いた基材フィルム上への微細構造の形成工程を示す。該工程はいわゆる光ナノインプリントと呼ばれる方法である。基材フィルム１上の微細構造４は紫外線硬化樹脂２を基材フィルム１上に塗布し、紫外線硬化樹脂２側から微細構造の反転型３を押し当てて、紫外線照射して硬化させることで得ることができる。紫外線照射は硬化に寄与する波長に対して、基材フィルム１と反転型３で透過率の高いどちらか一方向からあるいは両方から照射すればよい。
【００２１】
また図２に熱プレスによる基材フィルム上への微細構造の形成工程を示す。該工程はいわゆる熱ナノインプリントと呼ばれる方法である。基材フィルム１上から微細構造４の反転形状を有する反転型３を加熱したのち、圧力をかけることで基材フィルム１上に微細構造４を形成することができる。さらに基材フィルム１を押し出し成形で作製する場合は、ロール表面形状を微細構造４の反転形状としておくことで、押し出し成形時に基材フィルム１の表面に微細構造４を形成することができる。基材フィルム１の表面に微細構造４を形成する方法は、必要とする面積、構造の大きさ、フィルムの物性等を鑑み、適宜選択すればよい。
【００２２】
微細構造４の反転形状を有する反転型３は、公知技術を用いて作製する事ができる。例えば、マスク露光法、電子線リソグラフィ法、干渉露光法などがある。また大きな面積に対応することができる、自己組織化といわれるアルミの陽極酸化、微粒子配置なども利用できる。微細構造の反転型３の作製は、必要とする面積、微細構造の大きさに応じ、適宜選択すればよい。
【００２３】
微細構造の形成に紫外線硬化樹脂２を用いる場合、紫外線硬化樹脂の硬化後の貯蔵弾性率は０．１〜１００ＭＰａであることが好ましく、より好ましくは０．１〜１０ＭＰａである。なぜなら、後で説明する被成形体に微細構造有する積層体を貼り付ける工程において、紫外線硬化樹脂２と基材フィルム１との弾性率を近い値にすることで、紫外線硬化樹脂２と基材フィルム１が剥離するのを防ぐことができるためである。紫外線硬化樹脂２の貯蔵弾性率が前記範囲外の場合、被成形体に微細構造を貼り付ける工程において、基材フィルム１と紫外線硬化樹脂２にかかる応力差により、基材フィルム１と紫外線硬化樹脂２が剥離する問題が生じやすい。
また、紫外線硬化樹脂２を基材フィルム１上に塗布する前に、紫外線硬化樹脂２を塗布する基材フィルム１の表面にコロナ処理、プライマー処理等の公知の易接着処理を施しても良い。これにより紫外線硬化性樹脂２と基材フィルム１の剥離をいっそう防止することができる。
【００２４】
基材フィルム１としては無延伸のフィルムを用いるのが好ましい。これは後で説明する被成形体に微細構造を有する積層体を貼り付ける工程において、基材フィルムを延伸させながら３次元立体面を有する被成形体の表面に追従させるためである。貼り付け工程の前に既に延伸されたフィルムを用いた場合では、一般にフィルムの素材の結晶性が高まるため、基材フィルム１が伸びにくくなり被成形体表面への追従が困難になる。さらに、基材フィルム１の延伸方向と非延伸方向での伸び率が異なってくるため、基材フィルム１を等方的に伸ばすことが困難になる等の問題が生じやすい。
【００２５】
また、基材フィルム１の材料としては、アクリル系樹脂、ポリ塩化ビニル、ポリスチレン、ポリカーボネートなどが例示できる。基材フィルム１の材料は、被成形体の大きさ、形状に応じて適宜選択すればよい。特にゴム入りアクリル系樹脂を用いるのが加工性の観点から好ましい。
【００２６】
形成する微細構造としては、モスアイ構造、ラインアンドスペース構造、ピラー構造、ホール構造などのフォトニック結晶、回折格子などが挙げられる。ここで、微細構造とは、互いに隣接するトップとボトムの高さの差が０．０５μｍ〜５μｍであり、互いに隣接するトップ間の距離が０．０５μｍ〜１０μｍの凹凸構造である。
【００２７】
次に、微細構造上に熱可塑性樹脂よりなる層５を形成する工程について説明する。図３のように、微細構造４上に熱可塑性樹脂を塗布する工程は、まず熱可塑性樹脂に対して可溶な溶剤を用いて熱可塑性樹脂を溶解させた溶液６を作製する。溶液６をスピンコート、バーコート、スプレーコートなどの装置を用いて微細構造４上に均一に塗布した後、溶液６から前記溶剤を蒸発させることで微細構造４の凹凸に熱可塑性樹脂が充填され、平滑な熱可塑性樹脂よりなる層５が得られる。
【００２８】
熱可塑性樹脂にはアクリル系樹脂、ポリ塩化ビニル、ポリスチレン、ポリカーボネートなどが例示でき、前記熱可塑性樹脂を溶解させる溶剤にはケトン、エステル、塩素化溶剤などを用いることができる。また、前記溶剤は微細構造４を形成する材料に対して不要な溶剤を選択する必要がある。これは、溶液６中の前記溶剤が微細構造４を溶解するのを防ぐためである。
【００２９】
熱可塑性樹脂よりなる層５の厚さは１０μｍ以下であるのが好ましい。これは後で説明する基材フィルム１と熱可塑性樹脂よりなる層５とからなる積層体を被成形体に貼り付ける工程において、厚さが１０μｍより厚い場合、被成形体に形成する微細構造４を構成する層の厚さが１０μｍ以上となり、被成形体の寸法精度を低下させるためである。ここで厚さ１０μｍ以下の熱可塑性樹脂よりなる層５を作製するためには、溶液６の粘度は１．０ｃＰ以下が好ましい。溶液６の粘度が１．０ｃＰより大きいと、微細構造４上に平滑で厚さ１０μｍ以下の熱可塑性樹脂よりなる層５を形成するのが困難なためである。
【００３０】
また、熱可塑性樹脂を微細構造４上に塗布する前に、フッ素系の離型剤を微細構造４上に塗布してもよく、前記離型剤を添加した溶液６を微細構造４上に塗布しても良い。これは後で説明する被成形体に貼り付けた前記積層体から基材フィルム１を剥離する工程において、前記積層体の基材フィルム１と熱可塑性樹脂よりなる層５の離型性を良くするためである。
【００３１】
図４のように、微細構造４を表面に形成した基材フィルム１と微細構造４上に塗布した熱可塑性樹脂よりなる層５とからなる積層体を被成形体７に貼り付ける工程は、例えば真空圧空成形機８を用いて行うのが好ましい。被成形体７を真空圧空成形機８内に固定し、前記積層体の熱可塑性樹脂５側と被成形体７が互いに対面するように配置する。熱風や赤外線加熱等により前記積層体の熱可塑性樹脂５を軟化させた後、前記積層体の基材フィルム１側を加圧状態、前記積層体の熱可塑性樹脂側を減圧状態にすることで、被成形体に前記積層体を貼り付けることができる。
なお、熱可塑性樹脂側を減圧する場合、基材フィルム１側を大気圧とすることを妨げるものではなく、逆に、基材フィルム１側を加圧する場合、熱可塑性樹脂側を大気圧とすることを妨げるものではない。
【００３２】
熱可塑性樹脂のガラス転移温度をＴ１℃、基材フィルム１の貯蔵弾性率が０．１ＭＰａとなる温度をＴ２℃とした場合、前記積層体を被成形体７に貼り付ける工程における前記積層体の温度は、Ｔ１＋２０℃〜Ｔ２℃の範囲内とするのが好ましく、より好ましくはＴ1＋４０℃〜Ｔ２℃の範囲内とするのが良い。前記積層体をＴ１＋２０℃より低い温度で被成形体７に貼り付けるときは、前記積層体の熱可塑性樹脂が軟化不十分で、熱可塑性樹脂よりなる層５からなる微細構造４を被成形体７に接着させることができないことがある。一方、前記積層体をＴ２℃より高い温度で被成形体７に貼り付けるときは、加熱により軟化した前記積層体の基材フィルム１がフィルム形状を保持できないことがある。
【００３３】
また、前記積層体を被成形体７に貼り付ける圧力は２００〜３５０ｋＰａの範囲内で行うのが良い。前記積層体を被成形体７に貼り付ける圧力が２００ｋＰａ以下の場合、前記積層体に対面する被成形体７の曲面に対して前記積層体が十分に追従しないため、熱可塑性樹脂５からなる微細構造４を被成形体７の曲面全体に形成させるのが困難になることがある。一方、３５０ｋＰａ以上の圧力で前記積層体を被成形体７に貼り付ける場合、前記積層体の基材フィルム１が圧力により破断することがある。
【００３４】
さらに、被成形体７の表面は前記積層体の熱可塑性樹脂５と接着性の高い物性の材料であることが好ましい。熱可塑性樹脂５と接着性の高い材料には、アクリル樹脂、ポリカーボネート、ガラス、ポリスチレン、ミクロオレフィン系樹脂などを例示できる。また、被成形体７の表面にコロナ処理、プライマー処理等の公知の易接着処理を施しても良い。
【００３５】
被成形体７に貼り付けた前記積層体から基材フィルム１を剥離すると、熱可塑性樹脂よりなる層５からなる微細構造４の反転構造９が被成形体７の表面に形成される。前記積層体を貼り付けた被成形体７から基材フィルム１を剥離する温度はＴ１＋２０℃以下であるのが好ましい。Ｔ１＋２０℃より高い温度で、前記積層体を貼り付けた被成形体７から基材フィルム１を剥離すると、被成形体７に接触している熱可塑性樹脂５が軟化しており、被成形体７と熱可塑性樹脂５の接着が低いため、基材フィルム１と同時に熱可塑性樹脂５が剥離され、被成形体７の表面に反転構造９を形成するのが困難になることがある。
【００３６】
熱可塑性樹脂よりなる層５と被成形体７の接着性を向上させるため、基材フィルム１と熱可塑性樹脂よりなる層５からなる積層体のうち、熱可塑性樹脂よりなる層５側に熱可塑性樹脂と被成形体７に対して接着性の高い材料で接着層を形成しても良い。なお、前記接着層の厚さは１μｍ以下が好ましい。これは１μｍ以上の場合、前記積層体を被成形体７に貼り付ける圧力によって前記接着層に膜厚むらが生じ、被成形体の寸法精度が劣化するためである。熱可塑性樹脂と被成形体７に接着性の高い材料としては、シランカップリング剤、エポキシ系接着剤、アクリル系接着剤などを例示できる。
【００３７】
前記積層体を被成形体７に貼り付ける際、被成形体７の形状に応じて前記積層体が延伸しながら追従するため、前記積層体の基材フィルム１に形成した微細構造４も延伸する。基材フィルム１の延伸を想定した微細構造４の形状設計を行うことで、被成形体７全面に渡って所望の特性を得ることができる。
【００３８】
得られた成形体を光学部品として使用しても良い。また、前記成形体に金属蒸着処理を行い、偏光分離などの高機能化を計ることも可能である。さらに、電鋳処理をして反転型を作製し、前記反転型から射出成形や熱プレスなどの量産性に富む転写により表面に微細構造を形成した成形品を作製することが可能である。
【実施例】
【００３９】
微細構造の金型には周期３００ｎｍ、高さ３００ｎｍのモスアイ構造を持つニッケル型（協同インターナショナル社製）を用いた。基材フィルムには、厚さ１００μｍのポリ塩化ビニルフィルム(タフニール、日本ウェーブロック社製、以下ＰＶＣ)またはゴム入りアクリル系フィルム（以下ＲＴ）を使用した。ゴム入りアクリル系フィルム（ＲＴ）としては、厚さを１５０μｍとした他は特開２００９−２２８０００に開示される実施例１に記載のフィルムと同等のものを用いた。
【００４０】
アクリル系紫外線硬化樹脂ＵＶＸ４３３２（東亜合成社製）を介して金型を基材フィルムに貼り付け、紫外線照射した。金型を基材フィルムから剥離すると、硬化した紫外線硬化樹脂からなるモスアイ構造の反転構造を基材フィルム上に得ることができた（図５参照）。モスアイ構造の反転構造上にメチルイソブチルケトンを溶剤として５ｗｔ％に溶解・希釈したＰＭＭＡ（パラペットＧＨ、クラレ社製）をスピンコートにより塗布し、７０℃に加温して溶剤を蒸発させ、熱可塑性樹脂層を形成した。なお、基材フィルムの貯蔵弾性率が０．１ＭＰａとなる温度Ｔ２はポリ塩化ビニルフィルムが１３４℃であり、アクリル系フィルムが１７７℃である。また熱可塑性樹脂として使用したＰＭＭＡのガラス転移温度Ｔ１は９０℃である。
【００４１】
モスアイ構造の反転構造を表面に形成する基材フィルムと熱可塑性樹脂からなる積層体を真空圧空成形機（布施真空製）内で１００〜１８０℃の範囲内の所定温度まで加熱し、３００ｋＰａでアクリル製レンズ（φ６０ｍｍ）に貼り付けた。前記積層体を貼り付けたアクリル製レンズを室温まで冷却した後、基材フィルムを剥離するとアクリル製レンズの表面にＰＭＭＡからなるモスアイ構造の形成が確認された。表１に試験条件および結果を示す。なお、本実施例においては「不可」となった例についても、被成形体の形状等が本実施例と異なった場合には同条件で「可」となる可能性があることから、参考例とした。
【００４２】
【表１】
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【００４３】
＜参考例７＞
実施例と同じ紫外線硬化樹脂、モスアイ構造およびアクリル製レンズを用い、基材フィルム１に２軸延伸したＰＥＴフィルム（東洋紡エステル、Ａ４３００、東洋紡績製）を用いて１００〜１８０℃で真空圧空成形を実施した。この結果、何れの温度でも真空圧空成形時にフィルムが破断し、微細構造４を形成することはできなかった。
【００４４】
実施例４で得られたアクリル製レンズの表面にモスアイ構造（図６参照）を形成した成形体を観察した結果、レンズの天頂部から裾部にかけてモスアイ構造が０〜３０％延伸していた。また、図７に示すように、モスアイ形成前後でのアクリル製レンズの表面反射率を顕微分光装置（ラムダビジョン製）で測定し、モスアイ構造の形成による反射率の低減を確認した。
【００４５】
実施例４で得られたアクリル製レンズの表面にモスアイ構造を形成した成形体から電鋳処理を行い、反転金型を作製した。前記反転金型から射出成形を行った所、実施例４で得られた成形体と同じ光学性能を示す成形体が得られた。
【符号の説明】
【００４６】
１  基材フィルム
２  紫外線硬化樹脂
３  微細構造の反転型
４  微細構造
５  熱可塑性樹脂よりなる層
６  熱可塑性樹脂を溶剤で希釈した溶液
７  被成形体
８  真空圧空成形機
９  微細構造の反転構造
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図７】
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【図５】
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【図６】
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