(57)【要約】【課題】作業者が作業中にチューブ内を流動する流体の設定温度を識別可能とするチューブチューブを提供する。【解決手段】流体が流れるチューブであって、チューブ内を流動する流体の設定温度を示す温度表示を備えたチューブが提供される。本発明のチューブによれば、作業者が作業中にチューブ内を流動する流体の設定温度を識別できる。そして、例えば、高温や低温の流体が流動するチューブには触れないように注意しながら作業を行うといったことが可能となる。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体が流れるチューブであって、
該チューブ内を流動する該流体の設定温度を示す温度表示を備えたチューブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は流体が流れるチューブに関する。
【背景技術】
【０００２】
産業機械や製造装置には水やエアといった各種の流体を用いるものが多い。例えば、半導体デバイスの製造工程において、半導体ウェーハを研削して薄化するグラインダと呼ばれる研削装置や、薄化された半導体ウェーハをチップ状に分割するダイサーと呼ばれる切削装置においては、装置の所要箇所にエアや加工液、吸引力等を伝達する配管が張り巡らされることが知られている（例えば、特許文献１、２参照。）。
【０００３】
より具体的には、切削装置は、少なくとも半導体ウェーハを吸引保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された半導体ウェーハを切削する切削ブレードを含むエアベアリング式のスピンドルユニットと、切削された半導体ウェーハを洗浄する洗浄装置とを備えている。
【０００４】
また、研削装置は、少なくとも半導体ウェーハを吸引保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された半導体ウェーハを研削する研削ホイールを含むエアベアリング式のスピンドルユニットと、研削された半導体ウェーハを洗浄する洗浄装置とを備えている。
【０００５】
更に、これらの切削装置や研削装置では、チャックテーブルに半導体ウェーハを吸引するための負圧を発生させるエア吸引源や、エアベアリングに高圧エアを供給するエア供給源、洗浄装置に洗浄液を供給する洗浄液供給源等を備えるとともに、流体の吸引源や供給源からそれぞれの作用箇所へ流体を導くための配管が設けられている。
【０００６】
このような切削装置や研削装置における各種流体の配管としては、直径数ｍｍ〜数十ｍｍ程度の柔軟性を有する樹脂製のチューブが一般的に用いられており、適切な長さに切断されたチューブが装置内の適所に接続されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平１０−３２１５６２号公報
【特許文献２】特開昭５５−１１２７６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上述した切削装置や研削装置などの加工装置においては、常温の流体のほかにも、高温や低温の流体がチューブ内を流動する場合があり、流体の温度がチューブ表面の温度に影響することになる。例えば、８０℃の高温流体が流動する場合においては、チューブ表面の温度も８０℃近くまで上昇することが想定される。
【０００９】
そして、チューブ表面の温度が識別できない場合には、作業者がチューブ表面が高温或いは低温度となってしまったことを知らずに、作業中にチューブに触ってしまう状況が生じることが懸念される。
【００１０】
作業者が高温や低温のチューブに触れた際には、作業者が驚き、反射的に手などを引っ込めることが想定され、加工装置の他の部位に手などをぶつけてしまうおそれがある。
【００１１】
そして、このような事態が生じると、加工装置に損傷を与えてしまうことや、作業者が手を傷めるなどの副次的な不具合を誘発することが懸念される。
【００１２】
他方、流体の温度をモニターし、ディスプレイ装置などで表示することにより、作業者に対し流体が高温、或いは、低温であることを注意喚起することも考えられる。
【００１３】
しかしながら、ディスプレイ装置に表示される温度と、チューブの対応をいちいち確認する手間が生じることになる。また、温度表示がされる画面をいちいち表示させるなどの手間が生じることになる。また、ディスプレイ装置を確認しながら作業をすることは、作業効率が悪いものとなる。
【００１４】
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、作業者が作業中にチューブ内を流動する流体の設定温度を識別可能とするチューブチューブを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
請求項１に記載の発明によると、流体が流れるチューブであって、チューブ内を流動する流体の設定温度を示す温度表示を備えたチューブが提供される。
【発明の効果】
【００１６】
本発明のチューブによれば、作業者が作業中にチューブ内を流動する流体の設定温度を識別できる。そして、例えば、高温や低温の流体が流動するチューブには触れないように注意しながら作業を行うといったことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】切削装置の外観斜視図である。
【図２】ダイシングテープを介して環状フレームで支持された半導体ウェーハの斜視図である。
【図３】（Ａ）は本発明のチューブの一実施形態を説明する図である。（Ｂ）は本発明のチューブの他の実施形態を説明する図である。
【図４】（Ａ）は本発明のチューブの他の実施形態を説明する図である。（Ｂ）は本発明のチューブの他の実施形態を説明する図である。
【図５】耐熱温度を備えるチューブの実施形態を説明する図である。
【図６】切削装置の配管に利用した実施形態を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図１は配管に本発明のチューブを利用した切削装置２の外観斜視図を示している。切削装置２の前面側には、オペレータが加工条件等の装置に対する指示を入力するための操作手段４が設けられている。装置上部には、オペレータに対する案内画面や後述する撮像手段によって撮像された画像が表示されるＣＲＴ等の表示手段６が設けられている。
【００１９】
図２に示すように、ダイシング対象の発光デバイスウェーハＷ（以下、単に「ウェーハＷ」とも称する）の表面においては、第１のストリート（分割予定ライン）Ｓ１と第２のストリートＳ２とが直交して形成されており、第１のストリートＳ１と第２のストリートＳ２とによって区画されてＬＥＤ等の多数のデバイスＤがウェーハＷ上に形成されている。
【００２０】
ウェーハＷは粘着テープであるダイシングテープＴに貼着され、ダイシングテープＴの外周縁部は環状フレームＦに貼着されている。これにより、ウェーハＷはダイシングテープＴを介してフレームＦに支持された状態となり、図１に示したウェーハカセット８中にウェーハが複数枚（例えば２５枚）収容される。ウェーハカセット８は上下動可能なカセットエレベータ９上に載置される。
【００２１】
ウェーハカセット８の後方には、ウェーハカセット８から切削前のウェーハＷを搬出するとともに、切削後のウェーハをウェーハカセット８に搬入する搬出入手段１０が配設されている。ウェーハカセット８と搬出入手段１０との間には、搬出入対象のウェーハが一時的に載置される領域である仮置き領域１２が設けられており、仮置き領域１２には、ウェーハＷを一定の位置に位置合わせする位置合わせ手段１４が配設されている。
【００２２】
仮置き領域１２の近傍には、ウェーハＷと一体となったフレームＦを吸着して搬送する旋回アームを有する搬送手段１６が配設されており、仮置き領域１２に搬出されたウェーハＷは、搬送手段１６により吸着されてチャックテーブル１８上に搬送され、このチャックテーブル１８に吸引されるとともに、複数の固定手段（クランプ）１９によりフレームＦが固定されることでチャックテーブル１８上に保持される。
【００２３】
チャックテーブル１８は、回転可能且つＸ軸方向に往復動可能に構成されており、チャックテーブル１８のＸ軸方向の移動経路の上方には、ウェーハＷの切削すべきストリートを検出するアライメント手段２０が配設されている。
【００２４】
アライメント手段２０は、ウェーハＷの表面を撮像する撮像手段２２を備えており、撮像により取得した画像に基づき、パターンマッチング等の処理によって切削すべきストリートを検出することができる。撮像手段２２によって取得された画像は、表示手段６に表示される。
【００２５】
アライメント手段２０の左側には、チャックテーブル１８に保持されたウェーハＷに対して切削加工を施す切削手段（切削ユニット）２４が配設されている。切削手段２４はアライメント手段２０と一体的に構成されており、両者が連動してＹ軸方向及びＺ軸方向に移動する。
【００２６】
切削手段２４は、回転可能なスピンドル２６の先端に切削ブレード２８が装着されて構成され、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に移動可能となっている。切削ブレード２８は撮像手段２２のＸ軸方向の延長線上に位置している。
【００２７】
２５は切削が終了したウェーハＷを洗浄装置２７まで搬送する搬送手段であり、洗浄装置２７では、ウェーハＷを洗浄するとともにエアノズルからエアを噴出させてウェーハＷを乾燥する。
【００２８】
次に本発明において特徴的な構成であるチューブの実施形態について説明する。図３（Ａ）に示すように、チューブ１１Ａは、例えば、柔軟性を呈する樹脂から形成されており、チューブ１１Ａ上には内部を流動する流体の設定温度を示す温度表示１３ａが印字されている。
【００２９】
図３（Ａ）に示すチューブ１１Ａの温度表示１３ａの実施形態では、チューブ１１Ａの表面に設定温度１５ａの値を示す「８０〜９０℃」が印字されている。
【００３０】
チューブ１１Ａは、当該チューブ１１Ａが使用される箇所に応じた長さ、即ち、予め設計された長さにカットされ、カットされたチューブ１１Ａの長さ方向の所定の位置に温度表示１３ａが印字される。なお、印字のタイミングは、カットされる前、又は、カットされた後のいずれであってもよい。
【００３１】
温度表示１３ａが印字されるべきチューブ１１Ａの長さ方向の位置は、特に限定されるものではないが、作業者が容易に温度表示１３ａを見つけることができるように、チューブ１１Ａの伸長方向における複数箇所に配置されるよう、繰り返して印字されることが好ましい。例えば、チューブの伸長方向において所定の間隔（例えば、１０ｃｍ、２０ｃｍ、など）に表示されるようにすれば、作業者は容易に温度表示１３ａを見つけることができ、温度表示１３ａを探す手間が削減される。
【００３２】
また、このチューブ１１Ａに対して印字される温度表示１３ａや、その設定温度１５ａの値の内容は、当該チューブ１１Ａが使用される箇所に応じて設定されるものである。例えば、所定の箇所に接続されるチューブ１１Ａについて、高温乾燥用のエア（空気）が流れる場合において、当該エアの温度が「８０〜９０℃」に設定される場合には、当該「８０〜９０℃」の値が設定温度１５ａとして表示されることになる。
【００３３】
以上のように、本実施形態では、図３（Ａ）に示すように、流体が流れるチューブ１１Ａであって、チューブ１１Ａ内を流動する流体の設定温度１５ａを示す温度表示１３ａを備えたチューブ１１Ａが構成される。
【００３４】
そして、このような構成によれば、作業者が作業中にチューブ内を流動する流体の設定温度１５ａを識別できる。そして、例えば、高温や低温の流体が流動するチューブには触れないように注意しながら作業を行うといったことが可能となる。
【００３５】
ここで、仮に、設定温度に関する表示がチューブになんら表示されていない場合には、作業者は設定温度を意識することなく、設定温度以上の流体を流してしまうことも懸念されるが、本実施形態のように設定温度をチューブに表示させることにより、この設定温度の存在を作業者に注意喚起することができる。なお、この注意喚起のために、設定温度１３ａをより識別し易い色（チューブ１１Ａとコントラストの大きい色）にて印字することとしてもよい。
【００３６】
さらに、例えば、設定温度が高温度の場合には赤字で印字する、設定温度が低温度の場合には青字で印字する、といったように、印字の色も含め、作業者にとって設定温度が直感的によりわかり易い構成としてもよい。
【００３７】
なお、図３（Ｂ）に示すチューブ１１Ｂの温度表示１３ｂのように、設定温度１５ｂの値を示す「８０〜９０℃」に加え、付記表示１５ｃとして「流体温度」の文字を印字することとしてもよい。
【００３８】
また、図４（Ａ）に示すチューブ１１Ｃの温度表示１３ｃのように、設定温度１５ｄの値を示す「８０〜９０℃」に加え、流体種別１５ｅを示す「エアー」の表記や、付記表示１５ｆとして「！高温！」の文字を印字することとしてもよい。
【００３９】
同様に、図４（Ｂ）に示すチューブ１１Ｄの温度表示１３ｄのように、設定温度１５ｇの値を示す「−３０℃」に加え、流体種別１５ｈを示す「エアー」の表記や、付記表示１５ｊとして「▲注意！」の文字を印字することとしてもよい。
【００４０】
さらに、図５に示すチューブ１１Ｅの温度表示１３ｅのように、設定温度１５ｋの値を示す「８０〜９０℃」や付記表示１５ｍとして「流体温度」の文字に加え、耐熱温度１５ｎを示す「耐熱温度：１８０℃」の表記を印字することとしてもよい。
【００４１】
次に、図６を参照して、本発明のチューブが使用され得る切削装置２の配管構成について説明する。エア源４０からは高圧エアがチューブ３１を介してクリーンユニット４６に供給される。
【００４２】
クリーンユニット４６は複数枚のフィルタを有しており、エア源４０から供給された高圧エアを洗浄化する。クリーンユニット４６からはチューブ３３を介してチャックテーブル１８へ吸引リリース時の吹き上げ用エアが供給され、チューブ３５を介してエジェクタ等の負圧発生手段５２に高圧エアが供給され、チューブ３７を介してスピンドルユニット３０にエアベアリング用のエアが供給される。
【００４３】
クリーンユニット４６からは更に、チューブ３９を介して切削ブレード２８をカバーするホイールカバー３２にホイールカバー開閉用エアが供給され、チューブ４１を介してエアを供給してエアカーテン３４を形成し、チューブ４３を介して顕微鏡３８用の分岐継ぎ手５６にエアが供給される。
【００４４】
負圧発生手段５２は、オリフィスを通過する高圧流体を利用して負圧を発生させるものであり、チューブ４５を介してチャックテーブル１８にチャックテーブルバキューム用負圧を供給し、チューブ４７を介してスピンナ洗浄装置２７にスピンナテーブルバキューム用負圧を供給する。
【００４５】
分岐継ぎ手５６からはチューブ４９を介して顕微鏡３８にカバー開閉用エアが供給され、チューブ５１を介してマクロ顕微鏡用ブローエアが供給され、チューブ５３を介してミクロ顕微鏡用ブローエアが供給される。
【００４６】
チャックテーブル１８からの排出エアはチューブ５５を介してダクト６０に排出され、スピンナ洗浄装置２７からの排出エアはチューブ５７を介してダクト６０に排出され、スピンドル３０からの排出エアはチューブ５９を介してダクト６０に排出される。
【００４７】
以上のように、切削装置２の各構成部品で使用されたエアは全てダクト６０に排出される。なお、エアを供給するチューブには、例えば無色透明なチューブが使用される。
【００４８】
ホイールカバー３２からの排出エアはチューブ６１を介してダクト６０に排出され、エアカーテン３４からの排出エアはチューブ６３を介してダクト６０に排出され。顕微鏡３８からの排出エアはチューブ６５を介してダクト６０に排出される。
【００４９】
冷却液源４２からは例えば市水等の冷却液がチューブ６７を介してクリーンユニット４８に供給される。クリーンユニット４８は複数枚のフィルタを含んでおり、これらのフィルタで冷却液を濾過する。
【００５０】
クリーンユニット４８からは、チューブ６９を介してスピンドル２６を回転可能に支持するスピンドルユニット３０に冷却液が供給される。スピンドルユニット３０から排出される冷却液は、チューブ７１を介してドレイン５８に排出される。チューブ６７，６９，７１は液体を供給するものであり、エアを供給するものと区別するために、例えば水色に着色されたものが使用されることが好ましい。
【００５１】
切削・洗浄液源４４からはチューブ７３を介して例えば純水等の液体がクリーンユニット５０に供給される。クリーンユニット５０は複数枚のフィルタを含んでいる。クリーンユニット５０からは、チューブ７５を介してスピンナ洗浄装置２７に洗浄液が供給され、チューブ７７を介してホイールカバー用分岐継ぎ手５４に切削液が供給され、チューブ７９を介して供給された液体がウォーターカーテン３６を形成する。
【００５２】
分岐継ぎ手５４からはチューブ８３を介してホイールカバー３２にシャワーノズル用切削液が供給され、チューブ８５を介してブレード冷却用切削液が供給され、チューブ８７を介してシャワー用切削液が供給される。
【００５３】
スピンナ洗浄装置２７から排出される洗浄液はチューブ８１を介してドレイン５８に排出され、ホイールカバー３２から排出される切削液はチューブ８９を介してドレイン５８に排出され、ウォーターカーテン３６を形成した液体はチューブ９１を介してドレイン５８に排出される。
【００５４】
チューブ７３乃至チューブ９１は、冷却液、切削液等の液体を供給したり、使用済みの液体を排出するために使用されるものであり、エアを供給するものと区別するために、例えば水色に着色されたものが使用されることが好ましい。
【００５５】
以上に説明したように、切削装置２の例では、数多くのチューブが使用されるものとなっており、各チューブにおいて内部を流動する流体については、所定の温度に設定されることが想定される。
【００５６】
そして、これら各チューブについて、内部を流動する流体の設定温度を示す温度表示を設けることによれば、作業者が作業中にチューブ内を流動する流体の設定温度を識別できる。例えば、高温や低温の流体が流動するチューブには触れないように注意しながら作業を行うといったことが可能となる。
【００５７】
なお、上述した実施形態では、本発明のチューブを切削装置の配管に適用した例について説明したが、本発明のチューブの使用はこれに限定されるものではなく、例えば研削装置、研磨装置、分割装置、印字装置等の他の加工装置の配管にも同様に適用である。
【００５８】
具体的には、高温の流体が用いられる例としては、半導体ウェーハの分割装置においてダイシングテープをヒートシュリンクするために用いる高温エアーや、印字装置のインク乾燥のための高温エアーなどが考えられる。また、低温の流体としては、半導体ウェーハの分割装置においてＤＡＦ（Ｄｉｅ  Ａｔｔａｃｈ  Ｆｉｌｍ）付きウェーハを冷却するために用いる冷却エアーなどが考えられる。
【００５９】
また、チューブの表面への温度表示などの印字は、インクジェット方式によるインクを用いた印字や、レーザービームを照射することによるレーザー印字にて行うことなどが考えられる。
【符号の説明】
【００６０】
１１Ａ  チューブ
１３ａ    温度表示
１５ａ    設定温度
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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