(57)【要約】【課題】上向きの水平面に対して対象物の表面の角度が大きくても、対象物の表面を十分にエッチングでき、しかも、エッチング施工工程等での作業を容易にする。【解決手段】金属腐食液である酢酸アルコール２１にグリセリン２２を混合してエッチング溶液２０を生成するエッチング溶液生成工程と、エッチング溶液２０を対象物１０の表面１１に施すエッチング溶液施工工程と、を実行する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属で形成されている対象物の表面をエッチングするエッチング方法において、
前記金属に対する金属腐食液にグリセリンを混合してエッチング溶液を生成するエッチング溶液生成工程と、
前記エッチング溶液を前記対象物の前記表面に施すエッチング溶液施工工程と、
を実行することを特徴とするエッチング方法。
【請求項２】
請求項１に記載のエッチング方法において、
前記エッチング溶液生成工程では、前記金属腐食液として、硝酸アルコール液、塩化第二鉄溶液、ピクリン酸アルコール液などの腐食液を使用する、
ことを特徴とするエッチング方法。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のエッチング方法において、
前記エッチング溶液生成工程では、前記エッチング溶液中の前記グリセリンの濃度を、上向きの水平面に対して前記表面の角度が小さい場合の前記エッチング溶液中の前記グリセリンの濃度よりも、該表面の角度が大きい場合の該グリセリン濃度を高くする、
ことを特徴とするエッチング方法。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか一項に記載のエッチング方法において、
前記エッチング溶液生成工程では、前記エッチング溶液中の前記グリセリンの濃度を、前記対象物の前記表面に前記エッチング溶液を滴下した場合に、該エッチング溶液が予め定められた領域内に滞留しているエッチング溶液滞留時間が、該エッチング溶液を該対象物の該表面に施してから該表面が所定量エッチングされるまでのエッチング所要時間以上になる濃度にする、
ことを特徴とするエッチング方法。
【請求項５】
請求項１から４のいずれか一項に記載のエッチング方法において、
前記エッチング溶液生成工程では、前記エッチング溶液中の前記グリセリンの濃度を、該エッチング溶液を該対象物の該表面に施してから該表面が所定量エッチングされるまでのエッチング所要時間が予め定められた時間以下になる濃度にする、
ことを特徴とするエッチング方法。
【請求項６】
請求項１から５のいずれか一項に記載のエッチング方法において、
前記エッチング溶液を前記対象物の前記表面に施してから該表面が所定量エッチングされるまでのエッチング所要時間以上、前記エッチング溶液施工工程を実行してから経過した後に、前記対象物の表面を洗浄する洗浄工程を実行する、
ことを特徴とするエッチング方法。
【請求項７】
請求項１から６のいずれか一項に記載のエッチング方法において、
前記エッチング溶液施工工程では、前記エッチング溶液を含侵部材に含侵させ、該含侵部材を前記対象物の前記表面に接触させる、
ことを特徴とするエッチング方法。
【請求項８】
請求項１から６のいずれか一項に記載のエッチング方法において、
前記エッチング溶液施工工程では、前記エッチング溶液をシートに施し、該シートを前記対象物の前記表面に張り付ける、
ことを特徴とするエッチング方法。
【請求項９】
請求項７又は８に記載のエッチング方法において、
上向きの水平面に対して前記表面の角度は、９０°以上である、
ことを特徴とするエッチング方法。
【請求項１０】
請求項１から６のいずれか一項に記載のエッチング方法において、
前記エッチング溶液施工工程では、前記エッチング溶液を塗布する、
ことを特徴とするエッチング方法。
【請求項１１】
前記対象物の表面を請求項１から１０のいずれか一項に記載のエッチング方法でエッチングするエッチング工程と、
前記エッチング工程でエッチングされた前記表面の組織形状をフィルムに転写するレプリカ採取工程と、
前記表面の組織形状が転写された前記フィルムを観察して、前記対象物を形成する金属の組織を評価する評価工程と、
を実行することを特徴とする金属組織の評価方法。
【請求項１２】
金属腐食液と、グリセリンとが混合されている、
ことを特徴とするエッチング溶液。
【請求項１３】
請求項１２に記載のエッチング溶液において、
前記金属腐食液として、硝酸アルコール液、塩化第二鉄溶液、ピクリン酸アルコール液などの腐食液を使用する、
ことを特徴とするエッチング溶液。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、金属で形成されている対象物の表面をエッチングするエッチング方法、この方法を実行する金属組織の評価方法、及びエッチング溶液に関する。
【背景技術】
【０００２】
金属で形成されている対象物の金属組織を非破壊検査する方法として、以下の特許文献１に記載されている方法がある。
【０００３】
この方法では、まず、対象物の表面を研磨した後、この表面をエッチングする。このエッチングでは、硝酸アルコール溶液等の金属腐食液を対象物表面に塗布し、この金属腐食液で表面の金属を腐食させる。次に、この表面を洗浄液で洗浄する。
【０００４】
次に、対象物の表面のエッチングが完了すると、エッチングされた表面にフィルムを張り付けて、エッチングされた表面の微細な凹凸をフィルムに転写する。つまり、エッチングされた表面のレプリカを採取する。そして、このフィルムを顕微鏡等で観察する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開昭６４−９１０３４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記特許文献１に記載の技術では、対象物の表面が例えば鉛直方向に広がっている場合、金属腐食液が対象物の表面中の目的領域内に留まらず、直ちに、流れ落ちるため、対象物の表面を十分にエッチングできないことがある。さらに、金属腐食液が流れ落ちた部分が対象物の狭隘部であると、狭隘部に溜まった金属腐食液を洗浄することができないおそれがある。
【０００７】
また、対象物の表面が下向きでほぼ水平方向に広がっている場合、金属腐食液が直ちに直下に滴り落ち、対象物の表面を十分にエッチングできないばかりか、作業者に降りかかる恐れもある。
【０００８】
すなわち、従来技術では、上向きの水平面に対して対象物の表面の角度が大きくなると、対象物の表面を十分にエッチングできないばかりか、エッチング施工工程及び洗浄工程等のエッチング後処理工程での作業が極めて面倒であるという問題点がある。
【０００９】
そこで、本発明は、上向きの水平面に対して対象物の表面の角度が大きくても、対象物の表面を十分にエッチングでき、しかも、エッチング施工工程及びエッチング後処理工程での作業を容易にできるエッチング方法、この方法を実行する金属組織の評価方法、及びエッチング溶液を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記問題点を解決するための発明に係る一態様としてのエッチング方法は、
金属で形成されている対象物の表面をエッチングするエッチング方法において、前記金属に対する金属腐食液にグリセリンを混合してエッチング溶液を生成するエッチング溶液生成工程と、前記エッチング溶液を前記対象物の前記表面に施すエッチング溶液施工工程と、を実行することを特徴とする。
【００１１】
当該エッチング方法では、グリセリンの混合によりエッチング溶液の粘度を高めることができる。このため、当該エッチング方法では、上向きの水平面に対する対象物の表面の角度が大きくても、エッチング溶液を対象物の表面中の目的領域内に留めることができる。よって、当該エッチング方法によれば、対象物の表面を十分にエッチングできる上に、対象物の洗浄範囲を狭めることができる。
【００１２】
また、当該エッチング方法では、対象物の表面が下向きでほぼ水平方向に広がっている場合でも、エッチング溶液が直ちに直下に滴り落ちることがないため、対象物の表面を十分にエッチングできる上に、作業者にこのエッチング溶液が降りかかる可能性を極めて小さくすることができる。
【００１３】
ここで、前記エッチング方法において、前記エッチング溶液生成工程では、前記金属腐食液として、硝酸アルコール液、塩化第二鉄溶液、ピクリン酸アルコール液などであり、これらの液のうちから、対象部材に応じて適宜使用液を選定する。
【００１４】
また、以上のいずれかの前記エッチング方法において、前記エッチング溶液生成工程では、前記エッチング溶液中の前記グリセリンの濃度を、上向きの水平面に対して前記表面の角度が小さい場合の前記エッチング溶液中の前記グリセリンの濃度よりも、該表面の角度が大きい場合の該グリセリン濃度を高くしてもよい。
【００１５】
当該エッチング方法では、上向きの水平面に対して前記表面の角度が大きくなっても、これに伴って、グリセリン濃度を高くして、エッチング溶液の粘度を高めるため、エッチング溶液を対象物の表面中の目的領域内に留めることができる。
【００１６】
また、以上のいずれかの前記エッチング方法において、前記エッチング溶液生成工程では、前記エッチング溶液中の前記グリセリンの濃度を、前記対象物の前記表面に前記エッチング溶液を滴下した場合に、該エッチング溶液が予め定められた領域内に滞留しているエッチング溶液滞留時間が、該エッチング溶液を該対象物の該表面に施してから該表面が所定量エッチングされるまでのエッチング所要時間以上になる濃度にしてもよい。
【００１７】
当該エッチング方法では、上向きの水平面に対して傾斜している対象物の表面にエッチング液を施しても、このエッチング液のエッチング所要時間以上、エッチング液を施した領域周辺にエッチング液の滞留を確保できる。よって、当該エッチング方法では、上向きの水平面に対して傾斜している対象物の表面にエッチング液を施しても、対象物の表面を確実に所定量エッチングすることができる。
【００１８】
また、以上のいずれかの前記エッチング方法において、前記エッチング溶液生成工程では、前記エッチング溶液中の前記グリセリンの濃度を、該エッチング溶液を該対象物の該表面に施してから該表面が所定量エッチングされるまでのエッチング所要時間が予め定められた時間以下になる濃度にしてもよい。
【００１９】
当該エッチング方法では、エッチング所要時間が予め定められた所定時間以下になるので、エッチング作業の効率を高めることができる。
【００２０】
また、以上のいずれかの前記エッチング方法において、前記エッチング溶液を前記対象物の前記表面に施してから該表面が所定量エッチングされるまでのエッチング所要時間以上、前記エッチング溶液施工工程を実行してから経過した後に、前記対象物の表面を洗浄する洗浄工程を実行してもよい。
【００２１】
当該エッチング方法では、エッチング溶液施工工程を実行してから、エッチング溶液施工工程で用いたエッチング溶液のエッチング所要時間以上経過した後に、対象物の表面を洗浄する。このため、当該エッチング方法では、エッチング所要時間経過する前にエッチング溶液が洗浄されることがなく、対象物の表面を確実に所定量エッチングすることができる。
【００２２】
また、以上のいずれかの前記エッチング方法において、前記エッチング溶液施工工程では、前記エッチング溶液を含侵部材に含侵させ、該含侵部材を前記対象物の前記表面に接触させてもよい。また、以上のいずれかの前記エッチング方法において、前記エッチング溶液施工工程では、前記エッチング溶液をシートに施し、該シートを前記対象物の前記表面に張り付けてもよい。
【００２３】
含侵部材やシートを用いるエッチング方法では、対象物の表面に接触させた（張り付けた場合も含む）含侵部材や、対象物の正面に張り付けたシートからエッチング溶液が拡散しにくくなるため、グリセリン濃度を低くしてエッチング所要時間を短くすることができる。この結果、当該エッチング方法では、対象物の表面にエッチング溶液を施してから対象物の表面を洗浄するまでの待ち時間を短くすることができる。
【００２４】
また、含侵部材やシートを用いる前記エッチング方法において、上向きの水平面に対して前記表面の角度は、９０°以上であってもよい。
【００２５】
含侵部材やシートを用いるエッチング方法では、上向きの水平面に対して表面の角度が９０°以上で、表面に施した金属腐食液が直ちに流れ落ちる可能性や、金属腐食液が直ちに直下に滴り落ちる可能性がある場合でも、前述したように、エッチング溶液が拡散しにくくなる。このため、含侵部材やシートを用いるエッチング方法は、上向きの水平面に対して表面の角度が９０°以上にエッチング溶液を施す場合に、極めて有効である。
【００２６】
また、以上のいずれかの前記エッチング方法において、前記エッチング溶液施工工程では、前記エッチング溶液を塗布してもよい。
【００２７】
上記問題点を解決するための発明に係る一態様としての金属組織の評価方法は、
前記対象物の表面を以上のいずれかの前記エッチング方法でエッチングするエッチング工程と、前記エッチング工程でエッチングされた前記表面の組織形状をフィルムに転写するレプリカ採取工程と、前記表面の組織形状が転写された前記フィルムを観察して、前記対象物を形成する金属の組織を評価する評価工程と、を実行することを特徴とする。
【００２８】
上記問題点を解決するための発明に係る一態様としてのエッチング溶液は、
金属腐食液と、グリセリンとが混合されていることを特徴とする。
【００２９】
当該エッチング溶液は、エッチング溶液の粘度が高まるため、上向きの水平面に対する対象物の表面の角度が大きくても、エッチング溶液を対象物の表面中の目的領域内に留めることができる。よって、当該エッチング溶液によれば、対象物の表面を十分にエッチングできる上に、対象物の洗浄範囲を狭めることができる。
【００３０】
また、当該エッチング溶液では、対象物の表面が下向きでほぼ水平方向に広がっている場合でも、エッチング溶液が直ちに直下に滴り落ちることがないため、対象物の表面を十分にエッチングできる上に、作業者にこのエッチング溶液が降りかかる可能性を極めて小さくすることができる。
【００３１】
ここで、前記エッチング溶液において、前記金属腐食液は、硝酸アルコール液、塩化第二鉄溶液、ピクリン酸アルコール液などであり、これらの液のうちから、対象部材に応じて適宜使用液を選定する。
【発明の効果】
【００３２】
本発明では、上向きの水平面に対して対象物の表面の角度が大きくても、対象物の表面を十分にエッチングでき、しかも、エッチング施工工程及びエッチング後処理工程での作業を容易にできる。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本発明に係る一実施形態における金属組織の評価方法の手順を説明する説明図である。
【図２】本発明に係る一実施形態におけるエッチング溶液のグリセリン濃度に応じた特性を示すグラフである。
【図３】本発明に係る一実施形態におけるエッチング溶液のグリセリン濃度変化に伴う特性変化を示すグラフで、上向きの水平面に対する対象物の表面の角度が図２の場合よりも大きい場合のエッチング溶液の特性を示すグラフである。
【図４】本発明に係る一実施形態におけるエッチング溶液のグリセリン濃度と、上向きの水平面に対する対象物の表面の角度との関係を示す説明図である。
【図５】本発明に係る一実施形態の第一変形例におけるエッチング溶液施工工程での作用内容を示す説明図である。
【図６】本発明に係る一実施形態の第二変形例におけるエッチング溶液施工工程での作用内容を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００３４】
以下、本発明に係る金属組織の評価方法の実施形態及び変形例について、図面を用いて説明する。
【００３５】
「実施形態」
まず、図１〜図４を参照して、本発明に係る金属組織の評価方法の一実施形態について説明する。
【００３６】
本実施形態では、プラント等で使用されている炭素鋼等の金属で形成された対象物の金属組織を評価する。なお、以下では、炭素鋼で形成された配管を対象物の例として説明するが、本発明における対象物は、配管に限定されず、例えば、タービンケーシング等、他の金属で形成された他の部材であってもよい。また、本発明における対象物の材料は、炭素鋼に限定されず、例えば、ステンレス鋼等であってもよい。
【００３７】
本実施形態では、図１（ａ）に示すように、まず、対象物１０の表面１１をエッチングするためのエッチング溶液を生成する（エッチング溶液生成工程）。ここでは、金属腐食液の一種である硝酸アルコール２１、所謂ナイタールにグリセリン２２を混ぜ、これをエッチング溶液とする。なお、エッチング溶液中のグリセリン濃度については後述する。
【００３８】
次に、図１（ｂ）に示すように、対象物１０の表面１１を研磨する（表面研磨工程）。この表面研磨工程では、例えば、紙やすりやフェルトバフ等３１を電動リュータやハンドドリル等の工具３２に取り付けて、対象物１０の表面１１を研磨する。また、必要に応じて、ダイヤモンド砥粒等を用いて研磨する。
【００３９】
次に、図１（ｃ）に示すように、前述のエッチング溶液生成工程で生成したエッチング溶液２０を対象物１０の表面１１に施す（エッチング溶液施工工程）。このエッチング溶液施工工程では、ノズル付きボトル３５に入っているエッチング溶液２０を、ノズル３６から対象物１０の表面１１中の評価領域１２に噴射する。この際、ピンセット３８で脱脂綿３９を摘み、この脱脂綿３９で評価領域１２の一部に噴射されたエッチング溶液２０を評価領域１２の全体に広げる。エッチング溶液施工工程が終了すると、対象物１０の表面１１中の評価領域１２が所定量エッチングされるエッチング所要時間以上待つ。なお、このエッチング所要時間の間、エッチング溶液２０を含んでいる脱脂綿３９を評価領域１２に押し付ける等しておいてもよい。エッチング溶液施工工程が終了してからエッチング所要時間以上経過すると、この評価領域１２及びその周辺をアルコール等で洗浄する（洗浄工程）。
【００４０】
以上、エッチング溶液生成工程から洗浄工程までの一連の工程が、本実施形態におけるエッチング工程を成す。なお、以上では、エッチング溶液生成工程を実行してから、表面研磨工程を実行しているが、エッチング溶液施工工程前にエッチング溶液生成工程を実行していればよいため、表面研磨工程を実行してからエッチング溶液生成工程を実行してもよい。
【００４１】
次に、図１（ｄ）に示すように、対象物１０の表面１１中の評価領域１２における微細な凹凸のレプリカを採取する（レプリカ採取工程）。このレプリカ採取工程では、対象物１０の表面１１中の評価領域１２に酢酸メチル溶液２９を施し、そこにアセチルセルロース等で形成されたフィルム４０を評価領域１２に押し付け、評価領域１２の組織形状をフィルム４０に転写する。なお、酢酸メチル溶液は、フィルム４０を形成するアセチルセルロースを溶かす役目を担っている。
【００４２】
最後に、評価領域１２の組織形状が転写されたフィルム４０、つまりレプリカ４１を顕微鏡で観察して、対象物１０の金属組織を評価する（金属組織評価工程）。この評価工程では、例えば、フィルム４０に転写された金属組織中に認められるボイドを観察し、Ａパラメータ法により、クリープ損傷の程度を評価する。なお、金属組織の評価方法は、他の方法を用いてもよい。例えば、特許３８８６９３５号公報に開示されている方法を用いてもよい。この方法は、ボイドや析出物の有無、及びこれらの分布を観察し、この観察結果と寿命消費に応じた数段階の標準組織と対比して、対象物の寿命消費量を評価する方法である。
【００４３】
以上で、金属組織評価が終了する。
【００４４】
次に、エッチング溶液中のグリセリン濃度について、図２及び図３を用いて説明する。なお、図２及び図３は、いずれも、グリセリン濃度に応じたエッチング溶液の特性を示すグラフであり、図３は、上向きの水平面に対する対象物の表面の角度が図２の場合よりも大きい場合のエッチング溶液の特性を示す。
【００４５】
上向きの水平面に対して傾斜している対象物の表面にエッチング溶液を滴下した場合、図２及び図３に示すように、そのグリセリン濃度が高まるに連れて、エッチング溶液の粘度が高まるため、このエッチング溶液が予め定められた領域内に滞留しているエッチング溶液滞留時間Ｔｓが次第に長くなる。また、エッチング溶液は、そのグリセリン濃度が高まるに連れて、対象物の表面が所定量エッチングされるエッチング所要時間Ｔｒが次第に長くなり、ある濃度以上になると急激にエッチング所要時間Ｔｒが長くなる。
【００４６】
そこで、本実施形態では、エッチング溶液中のグリセリンの濃度を、エッチング溶液滞留時間Ｔｓがエッチング所要時間Ｔｒ以上になる濃度範囲Ｃ１内にする。この結果、上向きの水平面に対して傾斜している対象物の表面にエッチング液を施しても、このエッチング液のエッチング所要時間Ｔｒ以上、エッチング液を施した領域周辺にエッチング液を確実に滞留させておくことができる。よって、本実施形態では、上向きの水平面に対して傾斜している対象物の表面にエッチング液を施しても、対象物の表面を確実に所定量エッチングすることができる。但し、エッチング所要時間Ｔｒが長くなり過ぎると、作業性が低下するため、エッチング溶液中のグリセリンの濃度を、エッチング所要時間Ｔｒが予め定められた所定時間Ｔ以下になる濃度範囲Ｃ２内にすることが好ましい。
【００４７】
ところで、以上のように、エッチング所要時間Ｔｒはエッチング溶液中のグリセリン濃度によって変化する。このため、対象物の表面にエッチング溶液を施してから対象物の表面を洗浄するまでの待ち時間を、使用したエッチング溶液中のグリセリン濃度に応じたエッチング所要時間Ｔｒ以上にする必要がある。そこで、本実施形態では、前述したように、対象物の表面にエッチング溶液を施してから、このエッチング溶液のエッチング所要時間Ｔｒ以上経過してから、この対象物の表面を洗浄する。
【００４８】
また、図２と図３を比較から理解できるように、エッチング溶液滞留時間Ｔｓは、グリセリン濃度が同じでも上向きの水平面に対する対象物の表面の角度が大きいほど、エッチング溶液滞留時間Ｔｓが短くなる。一方、エッチング所要時間Ｔｒは、グリセリン濃度が同じであれば上向きの水平面に対する対象物の表面の角度が変化しても変わらない。
【００４９】
このため、エッチング溶液滞留時間Ｔｓがエッチング所要時間Ｔｒ以上になる濃度範囲Ｃ１中の最小濃度は、上向きの水平面に対する対象物の表面の角度が大きくなるに連れて高くなる。このため、図４に示すように、上向きの水平面に対する対象物１０の表面１１の角度αが大きくなるに連れて、エッチング溶液中のグリセリン濃度を高める、言い換えると、金属腐食液２１に対するグリセリン２２の量を多くすることが好ましい。但し、上向きの水平面に対する対象物１０の表面１１の角度αが９０°以上になると、グリセリン濃度を高めてもエッチング溶液滞留時間Ｔｓが長くなることがないため、図４（ｄ）及び同図（ｅ）に示すように、上向きの水平面に対する対象物１０の表面１１の角度αが９０°より大きい場合、グリセリン濃度を角度αが９０°のときのグリセリン濃度よりも高くする必要はない。また、図４（ａ）に示すように、上向きの水平面に対する対象物１０の表面１１の角度αが０°の場合、つまり対象物１０の表面１１が上向きの水平面である場合には、金属腐食液２１にグリセリン２２を混合してもよいが金属腐食液２１にグリセリン２２を混合していないものをエッチング溶液としてもよい。
【００５０】
以上のように、本実施形態では、金属腐食液にグリセリンを混合することで、エッチング溶液の粘度を高めている。このため、本実施形態では、上向きの水平面に対する対象物の表面の角度が大きくても、エッチング溶液を対象物の表面中の目的領域内に留めることができ、対象物の表面を十分にエッチングできる上に、対象物の洗浄範囲を狭めることができる。
【００５１】
また、本実施形態では、対象物の表面が下向きでほぼ水平方向に広がっている場合でも、エッチング溶液が直ちに直下に滴り落ちることがないため、対象物の表面を十分にエッチングできる上に、作業者にこのエッチング溶液が降りかかる可能性を極めて小さくすることができる。
【００５２】
よって、本実施形態では、上向きの水平面に対して対象物の表面の角度が大きくても、対象物の表面を十分にエッチングでき、しかも、エッチング溶液施工工程及び洗浄工程を容易に実行することができる。
【００５３】
「エッチング溶液施工工程の変形例」
次に、図５及び図６を参照して、上記実施形態におけるエッチング溶液施工工程の変形例について説明する。
【００５４】
上記実施形態におけるエッチング溶液施工工程では、ノズル付きボトル３５に入っているエッチング溶液２０を、ノズル３６から対象物１０の表面１１中の評価領域１２に噴射する。さらに、必要に応じて、ピンセット３８で脱脂綿３９を摘み、この脱脂綿３９で評価領域１２の一部に噴射されたエッチング溶液２０を評価領域１２の全体に広げる。
【００５５】
しかしながら、エッチング溶液施工工程では、図５に示すように、刷毛４５にエッチング溶液２０を浸み込ませ、この刷毛４５を用いて、エッチング溶液２０を対象物１０の表面１１に塗布してもよい。
【００５６】
また、エッチング溶液施工工程では、図６に示すように、エッチング溶液２０をガーゼや布等の含侵部材４６に含侵させ、この含侵部材４６を対象物１０の表面１１に張り付けてもよい。また、一般的に含侵部材ではない紙等のシートの表面にエッチング溶液を塗布し、このシートを対象物１０の表面１１に張り付けるか、対象物１０の表面１１にエッチング溶液を塗布した後、シートをそこに張り付けてもよい。このように、含侵部材４６やシートを用いてエッチング溶液施工工程を実行すると、対象物１０の表面１１に張り付けた含侵部材やシートからエッチング溶液２０が拡散しにくくなるため、グリセリン濃度を低くしてエッチング所要時間Ｔｒを短くすることができる。この結果、対象物１０の表面１１にエッチング溶液２０を施してから対象物１０の表面１１を洗浄するまでの待ち時間を短くすることができる。
【００５７】
なお、エッチング溶液の粘度を高めるために、金属腐食液に混合するものとしては、グリセリンの他に、寒天やゼラチン等も考えられる。しかしながら、寒天やゼラチン等は、金属腐食液に混合すると、この金属腐食液と反応して、その粘性が著しく低下するため、金属腐食液に混合するものとして適さない。
【００５８】
また、以上では、金属腐食液として、硝酸アルコール液を用いたが、本発明は、これに限定されるものではなく、例えば、塩化第二鉄溶液やピクリン酸アルコール液を用いてもよい。このように、金属腐食液として、塩化第二鉄溶液やピクリン酸アルコール液を用いる場合でも、金属腐食液に混合するものはグリセリンであることが好ましい。
【符号の説明】
【００５９】
１０：対象物、１１：表面、１２：評価領域、２０：エッチング溶液、２１：金属腐食液（硝酸アルコール）、２２：グリセリン、３１：紙やすりやフェルトバフ等、３５：ボトル、３６：ノズル、３８：ピンセット、３９：脱脂綿、４０：フィルム、４１：レプリカ、４５：刷毛、４６：含侵部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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