(57)【要約】【課題】            検査に有効な光量を確保しつつ、エネルギー効率の良い膜厚むら検査装置を提供する。【解決手段】        透明基板上に塗布された樹脂材料の膜厚むらを検査する装置であって、検査対象となる基板に向けて検査用照明光を照射する照明部と、検査対象となる基板を挟んで照明部と対向する位置に配置された撮像部とを備え、  照明部は、複数のＬＥＤチップと、第１拡散板と、第２拡散板とを備え、第１拡散板と第２拡散板との間には空気層が設けられており、複数のＬＥＤチップから発せられた光が、第１拡散板、空気層、第２拡散板の順に通過して、検査対象となる基板に照射されることを特徴とする、膜厚むら検査装置。【選択図】          図１
2014202479.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
透明基板上に樹脂材料が塗布された検査対象物の当該樹脂材料の膜厚むらを検査する装置であって、
前記検査対象物に向けて検査用照明光を照射する照明部と、
前記検査対象物を挟んで前記照明部と対向する位置に配置された撮像部とを備え、
前記照明部は、
複数のＬＥＤチップと、第１拡散板と、第２拡散板とを備え、
第１拡散板と第２拡散板との間には空気層が設けられており、
前記複数のＬＥＤチップから発せられた光が、前記第１拡散板、前記空気層、前記第２拡散板の順に通過して、前記検査対象物に照射される
ことを特徴とする、膜厚むら検査装置。
【請求項２】
前記第１拡散板の厚みが、前記第２拡散板の厚みよりも厚く設定されている
ことを特徴とする、請求項１に記載の膜厚むら検査装置。
【請求項３】
前記第１拡散板又は前記第２拡散板の少なくとも一方には、当該第１拡散板又は第２拡散板を厚み方向に設定位置を調整できる、厚み方向移動用アクチュエータ機構と、
検査条件を登録する検査条件登録部とを備え、
検査条件登録部には、検査品種毎に前記厚み方向移動用アクチュエータ機構の設定位置が登録されている
ことを特徴とする、請求項１又は請求項２に記載の膜厚むら検査装置。
【請求項４】
前記第１拡散板又は前記第２拡散板の少なくとも一方は、板厚が連続的又は段階的に厚くなる断面形状をしており、
当該第１拡散板又は第２拡散板には、当該第１拡散板又は第２拡散板の前記板厚が変化する方向に設定位置を調整できる、板厚変更用アクチュエータ機構と、
検査条件を登録する検査条件登録部とを備え、
検査条件登録部には、検査品種毎に前記板厚変更用アクチュエータ機構の設定位置が登録されている
ことを特徴とする、請求項１〜３のいずれかに記載の膜厚むら検査装置。
【請求項５】
前記複数のＬＥＤチップは、赤外波長の光を発する複数の赤外ＬＥＤチップである
ことを特徴とする、請求項１〜４のいずれかに記載の膜厚むら検査装置。
【請求項６】
前記複数のＬＥＤチップは、赤外波長の光を発する複数の赤外ＬＥＤチップと、赤色波長の光を発する複数の赤色ＬＥＤチップを備え、
前記赤外ＬＥＤチップと前記赤色ＬＥＤチップとが、１列上に交互に配置されている
ことを特徴とする、請求項１〜４のいずれかに記載の膜厚むら検査装置。
【請求項７】
前記複数のＬＥＤチップは、赤外波長の光を発する複数の赤外ＬＥＤチップと、赤色波長の光を発する複数の赤色ＬＥＤチップを備え、
前記赤外ＬＥＤチップと前記赤色ＬＥＤチップとが、１列上に隣り合って配置されていることを特徴とする、請求項１〜４のいずれかに記載の膜厚むら検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
透明基材上に塗布された樹脂材料の膜厚むらを検査する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
透明基材となるガラス基板やフィルムシート上には、カラー画素（Ｒ，Ｇ，Ｂ）が塗布形成されている。さらに、これらカラー画素同士の間には、色にじみ防止・漏れ光低減のために、ブラックマトリクスと呼ばれる、金属又は黒色樹脂材料（つまり、樹脂ブラック）からなる格子状パターンの層（いわゆる、ＢＭ層）が塗布形成されている。このＢＭ層を形成するために、一度当該基材上の全面に均一なＢＭ層用の材料が塗布され、フォトリソ法によりパターン化されて形成されている。
【０００３】
このＢＭ層の塗布形成直後、当該ＢＭ層の膜厚にむらが無いか、均一であるか、という検査（つまり、膜厚むら検査）が行われている（例えば、特許文献１）。
【０００４】
この膜厚むら検査装置は、検査対象となる塗布形成後の基板に下方側から照明光を照射し、当該基板を挟んで当該照明光と対向する位置に配置されたカメラにて撮像し、膜厚むら検査を行っている（いわゆる透過照明方式）。さらに、当該照明光は、蛍光灯やハロゲン照明などの白色照明と、特定の波長の光を通過させるバンドパスフィルタとを用い、検査対象となるカラー皮膜（Ｒ，Ｇ，Ｂ）の膜厚むらに起因して発生する光の濃淡差を判定することで、膜厚むらの検査を行っている。
【０００５】
また、ＬＥＤを用いた面光源に関して、２枚の拡散板を用いて輝度むらを低減する技術が開示されている（例えば、特許文献２）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００４−２１９１０８号公報
【特許文献１】特開２０００−１３３００６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
従来の検査装置に用いられていた蛍光灯などの照明は、面内輝度が均一であり、膜厚むらを検査するのに適していた。しかし、多波長成分の光が発した後にフィルターで検査に不要な波長成分の光を遮へいしているため、エネルギー効率が良くない。
【０００８】
一方、２枚の拡散板を使用するだけでは、多品種の検査対象に対して共通する検査条件（つまり、拡散板の間隔や厚み）を設定することが難しく、検査対象となる品種毎に最適な間隔や厚みを、再設定する必要があった。
【０００９】
そこで本発明は、検査に有効な光量を確保しつつ、エネルギー効率の良い膜厚むら検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
以上の課題を解決するために、第１の発明は、
透明基板上に樹脂材料が塗布された検査対象物の当該樹脂材料の膜厚むらを検査する装置であって、
前記検査対象物に向けて検査用照明光を照射する照明部と、
前記検査対象物を挟んで前記照明部と対向する位置に配置された撮像部とを備え、
前記照明部は、
複数のＬＥＤチップと、第１拡散板と、第２拡散板とを備え、
第１拡散板と第２拡散板との間には空気層が設けられており、
前記複数のＬＥＤチップから発せられた光が、前記第１拡散板、前記空気層、前記第２拡散板の順に通過して、前記検査対象物に照射される
ことを特徴とする、膜厚むら検査装置である。
【００１１】
このため、光量低下を防ぎつつ、輝度むらの改善を図ることができる。
【００１２】
第２の発明は、上記第１の発明において、
前記第１拡散板の厚みが、前記第２拡散板の厚みよりも厚く設定されている
ことを特徴とする、膜厚むら検査装置である。
【００１３】
第３の発明は、上記第１又は第２の発明において、
前記第１拡散板又は前記第２拡散板の少なくとも一方には、当該第１拡散板又は第２拡散板を厚み方向に設定位置を調整できる、厚み方向移動用アクチュエータ機構と、
検査条件を登録する検査条件登録部とを備え、
検査条件登録部には、検査品種毎に前記厚み方向移動用アクチュエータ機構の設定位置が登録されている
ことを特徴とする、膜厚むら検査装置である。
【００１４】
第４の発明は、上記第１〜第３の発明のいずれかにおいて、
前記第１拡散板又は前記第２拡散板の少なくとも一方は、板厚が連続的又は段階的に厚くなる断面形状をしており、
当該第１拡散板又は第２拡散板には、当該第１拡散板又は第２拡散板の前記板厚が変化する方向に設定位置を調整できる、板厚変更用アクチュエータ機構と、
検査条件を登録する検査条件登録部とを備え、
検査条件登録部には、検査品種毎に前記板厚変更用アクチュエータ機構の設定位置が登録されている
ことを特徴とする、膜厚むら検査装置である。
【００１５】
第５の発明は、上記第１〜第４の発明のいずれかにおいて、
前記複数のＬＥＤチップは、赤外波長の光を発する複数の赤外ＬＥＤチップである
ことを特徴とする、膜厚むら検査装置である。
【００１６】
第６の発明は、上記第１〜第４の発明のいずれかにおいて、
前記複数のＬＥＤチップは、赤色波長の光を発する複数の赤色ＬＥＤチップと、赤外波長の光を発する複数の赤外ＬＥＤチップを備え、
前記赤色ＬＥＤチップと前記赤外ＬＥＤチップとが、１列上に交互に配置されている
ことを特徴とする、膜厚むら検査装置である。
【００１７】
第７の発明は、上記第１〜第４の発明のいずれかにおいて、
前記複数のＬＥＤチップは、赤色波長の光を発する複数の赤色ＬＥＤチップと、赤外波長の光を発する複数の赤外ＬＥＤチップを備え、
前記赤色ＬＥＤチップと前記赤外ＬＥＤチップとが、１列上に隣り合って配置されていることを特徴とする、膜厚むら検査装置である。
【発明の効果】
【００１８】
検査に有効な光量を確保しつつ、エネルギー効率が良い膜厚むら検査装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明を具現化する形態の一例を示す側面図である。
【図２】本発明を具現化する形態の一例を示す正面図である。
【図３】本発明を具現化する形態の一例における輝度信号イメージ図である。
【図４】本発明を具現化する形態の第３の例を示すシステム構成図である。
【図５】本発明を具現化する形態の第３の例における輝度信号イメージ図である。
【図６】本発明を具現化する形態の第４の例を示す正面図である。
【図７】本発明を具現化する形態の第６の例を示す正面図である。
【図８】本発明を具現化する形態の第６の例における輝度信号イメージ図である。
【図９】本発明を具現化する形態の第７の例を示す正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明に係る膜厚むら検査装置１について、図を用いながら説明をする。
膜厚むら検査装置１は、透明材料Ｋ上に樹脂材料Ｆが塗布されたものを検査対象物Ｗとし、当該樹脂材料Ｆの膜厚むらを検査するものである。
図中、水平方向をＸ，Ｙ方向とし、検査対象物Ｗの搬送方向をＸ方向、検査対象物Ｗの搬送方向と直交する幅方向をＹ方向とする。また、Ｘ，Ｙ方向に直交する重力上方向をＺ方向とする（以下、各図において同じ）。
【００２１】
図１は、本発明を具現化する形態の一例を示す側面図である。また、図２は、本発明を具現化する形態の一例を示す正面図である。
膜厚むら検査装置１は、照明部２、撮像部３を備えて構成されている。
ここで例示する検査対象物Ｗは、透明材料Ｋとして液晶カラーフィルタ用の無アクリルガラスを例示し、樹脂材料Ｆとして黒色樹脂材料（いわゆる、樹脂ブラック）を例示する。また、樹脂ブラックの類型としては、黒色顔料が分散配合された樹脂であって、紫外光線などをパターン露光することで露光した部分が硬化するもの（いわゆる、ＵＶ硬化型アクリル樹脂）や、フォトレジストを用いてパターン露光した後にエッチング処理を行う必要がある非感光ポリイミド系樹脂などが例示できる。
【００２２】
検査対象物Ｗの透明材料Ｋの上面には、ほぼ全面（ハンドリングに必要な周囲数ｍｍを除く）に、樹脂材料Ｆが塗布されている。
【００２３】
照明部２は、検査対象物Ｗに向けて検査用照明光を照射するものである。
照明部２は、照明ユニット２０と、第１拡散板２１と、第２拡散板２２とを備えて構成されている。
照明ユニット２０は、上方に開口部を有するＹ方向に長い箱状の筐体と、筐体内部に配列された複数のＬＥＤチップ２０ｃを備えている。ＬＥＤユニット２０は、複数のＬＥＤチップ２０ｃから発せられた光が、当該箱体の開口部から上方に向けて検査用照明光として照射される。さらに具体的には、複数のＬＥＤチップ２０ｃは、照明ユニット２０内にＹ方向に並べて配置されている。
【００２４】
第１拡散板２１は、複数のＬＥＤチップ２０ｃから発せられた光を透過させつつ、均一化を図るものである。しかし、この状態では、完全に均一化はされていない状態である。
【００２５】
第２拡散板２２は、第１拡散板２１と所定の間隔を隔てて配置されており、間には空気層がある。第２拡散板２２は、複数のＬＥＤチップ２０ｃから発せられて第１拡散板２１を通過した光を透過させつつ、さらに均一化を図るものである。
【００２６】
具体的には、第１拡散板２１及び第２拡散板２２は、厚さ２．５ｍｍの白色半透明のプラスチック樹脂で、第１拡散板２１と第２拡散板２２との間隔（空気層）が、１０ｍｍに設定されたものが例示できる。さらに、第１拡散板２１及び第２拡散板２２は、表面にすりガラス状の凹凸処理が施され、さらに必要に応じ平滑化が施されており、入射した光が拡散して出射される特性（いわゆる、拡散性）を備えている。
【００２７】
撮像部３は、検査対象物Ｗを挟んで照明部と対向する位置に配置されており、検査対象物Ｗ上に設定された撮像領域Ｒを撮像するものである。撮像部３は、撮像素子３０を備えた撮像カメラ３１と、レンズ３２を備えている。
【００２８】
撮像カメラ３１は、観察対象物Ｗの樹脂材料Ｆの表面を撮像するものであり、照明部２から照射された検査用照明光が、観察対象物Ｗの樹脂材料Ｆを通過した状態で、その光の強弱を撮像するものである。また、撮像カメラ３１は、破線３３で示す画角の範囲内を観察するように構成されている。
【００２９】
レンズ３２は、撮像領域Ｒの撮像対象を撮像カメラ３１の撮像素子３０に結像させるためのものである。具体的には、レンズ３２は、凸レンズや凹レンズなどを用いて構成されたものが例示でき、画角や結像特性に合わせて適宜枚数や設定位置を決定する。
【００３０】
なお、撮像部３は、２組で構成した場合を図示しているが、１組で構成しても良いし、複数組で構成しても良い。つまり、観察部３の組数は、撮像カメラ３１の画角との兼ね合いで適宜選択して配置すれば良い。
【００３１】
図３は、本発明を具現化する形態の一例における輝度信号イメージ図である。図３において、横軸は撮像位置Ｐ、縦軸は輝度Ｂを示している。図３には、従来の形態（厚み５ｍｍの拡散板が１枚である場合）での輝度信号ＳＬ０と、本願発明に係る形態（厚み２．５ｍｍの拡散板が２枚で空気層が１０ｍｍの場合）での輝度信号ＳＬ１が示されている。
【００３２】
図示された輝度信号の比較から、従来の形態と比べて、板厚が半分の拡散板が２枚になったことで、輝度むらが改善されていることが判る。また、光量低下も起きていない。
【００３３】
本発明に係る膜厚むら検査装置１は、このような構成をしているため、複数のＬＥＤチップＣを用いた照明ユニット３０を用いても、２枚の拡散板２６，２７とその間の空気層により、光量低下を防ぎつつ、輝度むらの改善を図ることができる。
【００３４】
（第２の発明）
上述では、検査対象物Ｗとして、透明材料Ｋ上に樹脂材料Ｆが塗布されたものを例示して説明を行った。しかし、別の樹脂材料Ｆ１の場合、上述の発明と同様に拡散板を２枚構成としても、輝度むらを含む状態の場合がある。
【００３５】
そのため、第２の発明においては、上記第１の発明の構成に加えて、さらに第１拡散板の厚みが第２拡散板の厚みよりも厚く設定することが好ましい。
【００３６】
具体的には、第１拡散板２１を厚さ３ｍｍに、第２拡散板２２を厚さ２ｍｍにし、共に白色半透明のプラスチック樹脂で構成し、第１拡散板２１と第２拡散板２２との間隔（空気層）を１０ｍｍに設定されたものが例示できる。
【００３７】
この場合、２枚の拡散板２１，２２の総厚みは、第１の発明と同じである。しかし、第２の発明を適用させた膜厚むら検査装置は、ＬＥＤチップＣに近い第１拡散板２１の板厚を、第２拡散板２２の板厚より厚く設定されていることで、観察領域Ｒにおいて、光量低下を防ぎつつ輝度むらの改善を図ることができる。
【００３８】
なお、上述した第１の発明、第２の発明において、拡散板の位置は適宜設定するものとし、検査対象となる品種に応じて、適宜調整したり段取り替えをしたりすれば良い。
【００３９】
（第３の発明）
本発明に係る膜厚むら検査装置１ｂは、上述の第１又は第２の発明に係る膜厚むら検査装置の構成に加えて、さらに、１）第１拡散板のみ、２）第２拡散板のみ、３）第１拡散板と第２拡散板の双方、１）〜３）のいずれかについて、当該拡散板の位置を板厚方向に位置を調節できる、厚み方向移動用アクチュエータ機構を備える構成とし、さらに、検査条件を登録する検査条件登録部とを備える構成とすることができる。
【００４０】
図４は、本発明を具現化する形態の第３の例を示すシステム構成図であり、膜厚むら検査装置１ｂの具体的なシステム構成が示されている。本発明に係る膜厚むら検査装置１ｂは、照明部２ｂ、撮像部３、検査条件登録部６、制御部９を備えて構成されている。
照明部２ｂは、第１拡散板２１と、第２拡散板２２と、厚み方向移動用アクチュエータ機構とを備えて構成されている。
【００４１】
厚み方向移動用アクチュエータ機構は、第１拡散板２１又は第２拡散板２２の少なくとも一方側を当該拡散板の厚み方向に設定位置を調整するものである。
図４に示す形態では、第１拡散板２１をその厚み方向（Ｚ方向）に位置調整する第１の厚み方向移動用アクチュエータ機構２１ｄと、第２拡散板２２をその厚み方向（Ｚ方向）に位置調整する第２の厚み方向移動用アクチュエータ機構２２ｄが備えられている。
【００４２】
検査条件登録部６は、検査品種毎に第１及び第２の厚み方向移動用アクチュエータ機構２１ｄ，２２ｄの設定位置を登録するためのものである。
【００４３】
制御部９は、検査条件が登録された検査条件登録部６と接続されており、検査条件登録部６に予め登録された検査条件を適宜読み出すためのものである。また、制御部９は、第１及び第２の厚み方向移動用アクチュエータ機構２１ｄ，２２ｄと接続されており、検査条件に基づいて、これらアクチュエータ機構に対して制御信号を出力するものである。また、制御部９は、撮像部３で画像取得するタイミングに合わせてＬＥＤチップ２０Ｃの点灯・消灯を制御し、発光光量を制御する点灯駆動回路２０ｄと接続されている。
【００４４】
さらに、制御部９は、撮像部３から取得された画像を取得して画像処理を行う画像処理部４と接続するように構成しても良い。
【００４５】
なお、本発明に係る厚み方向移動用アクチュエータ機構は、第１の厚み方向移動用アクチュエータ機構２１ｄと、第２の厚み方向移動用アクチュエータ機構２２ｄとが、双方備えられている形態でも良いし、どちらか一方が備えられている形態であっても良い。
【００４６】
膜厚むら検査装置１ｂは、このような構成をしているため、検査対象物が多品種に及ぶ場合であっても、予め登録された検査条件を適宜読み出し、第１拡散板２１や第２の拡散板２２のＺ方向の位置を自動的に最適な位置に設定することができる。そのため、検査対象となる品種に応じて、輝度むらの改善を図ることができ、さらに、第２の発明と組み合わせることで、輝度むら改善の相乗効果が増大する。また、手作業による調整や段取り替えが不要となり、品種切替を迅速に行うことができ、手動調整に比べて位置再現性が良くなるため、好ましいと言える。
【００４７】
（第４の発明）
本発明に係る膜厚むら検査装置において、上述の第１〜第２の発明に係る膜厚むら検査装置の構成に、次のような構成を加えても良い。
その構成とは、１）第１拡散板のみ、２）第２拡散板のみ、３）第１拡散板と第２拡散板の双方、１）〜３）のいずれかについて、当該拡散板の板厚が連続的又は段階的に厚くなる断面形状をしており、当該拡散板には、当該拡散板の板厚が変化する方向に設定位置を調整できる、板厚変更用アクチュエータ機構を備え、さらに、検査条件を登録する検査条件登録部とを備えるものである。
【００４８】
図５は、本発明を具現化する形態の第４の例を示す正面図であり、本発明に係る膜厚むら検査装置１ｃの照明部２ｃの具体的な構成が示されている。
図６は、本発明を具現化する形態の第３の例を示すシステム構成図であり、膜厚むら検査装置１ｃの具体的なシステム構成が示されている。本発明に係る膜厚むら検査装置１ｃは、照明部２ｃ、撮像部３、検査条件登録部６、制御部９を備えて構成されている。
【００４９】
照明部２ｃは、照明ユニット２０と、第１拡散板２６と、第２拡散板２７と、第１の板厚変更用アクチュエータ機構２６ｄと、第２の板厚変更用アクチュエータ機構２７ｄを備えて構成されている。
【００５０】
第１拡散板２６は、板厚が段階的に変化する（いわゆる、階段型の）断面形状をしており、第１の板厚変更用アクチュエータ機構２６ｄに取り付けられている。第１の板厚変更用アクチュエータ機構２６ｄは、第１拡散板２６の設定位置を調整し、第１拡散板２６において、ＬＥＤチップ２０Ｃから発せられた光が通過する部分の板厚を変化させるためのものである。
【００５１】
一方、第２拡散板２７は、板厚が連続的に変化する（いわゆる、くさび形の）断面形状をしており、第２の板厚変更用アクチュエータ機構２７ｄに取り付けられている。第２の板厚変更用アクチュエータ機構２７ｄは、第２拡散板２７の設定位置を調整し、第２拡散板２７において、ＬＥＤチップ２０Ｃから発せられた光が通過する部分の板厚を変化させるためのものである。
【００５２】
検査条件登録部６は、検査品種毎に第１及び第２の板厚変更用アクチュエータ機構２６ｄ，２７ｄの設定位置を登録するためのものである。
【００５３】
制御部９は、検査条件が登録された検査条件登録部６と接続されており、検査条件登録部６に予め登録された検査条件を適宜読み出すためのものである。また、制御部９は、第１及び第２の板厚変更用アクチュエータ機構２６ｄ，２７ｄと接続されており、検査条件に基づいて、これらアクチュエータ機構に対して制御信号を出力するものである。また、制御部９は、撮像部３で画像取得するタイミングに合わせてＬＥＤチップ２０Ｃの点灯・消灯を制御し、発光光量を制御する点灯駆動回路２０ｄと接続されている。
【００５４】
さらに、制御部９は、撮像部３から取得された画像を取得して画像処理を行う画像処理部４と接続するように構成しても良い。
【００５５】
なお、本発明の板厚変更用アクチュエータ機構を用いて板厚を変化させるのが、
１）第１拡散板のみであれば、第１の板厚変更用アクチュエータ機構２６ｄのみを備え、
２）第２拡散板のみであれば、第２の板厚変更用アクチュエータ機構２７ｄのみを備え、
３）第１拡散板と第２拡散板の双方であれば、双方の板厚変更用アクチュエータ機構２６ｄ，２７ｄを備える。
【００５６】
また、上述の第２の発明に示す形態と組み合わせることができる。さらに、１）第１拡散板のみ、２）第２拡散板のみ、３）第１拡散板と第２拡散板の双方について、上述の第３の発明に示す様な、拡散板の厚み方向移動用アクチュエータ機構をさらに組み合わせても良い。
【００５７】
膜厚むら検査装置１ｃは、このような構成をしているため、検査対象物が多品種に及ぶ場合であっても、予め登録された検査条件を適宜読み出し、第１拡散板２６や第２の拡散板２７のＸ方向の位置を自動的に最適な位置に設定することができる。そのため、検査対象となる品種に応じて、輝度むらの改善を図ることができ、さらに、第２の発明や第３の発明と組み合わせることで、輝度むら改善の相乗効果が増大する。また、手作業による調整や段取り替えが不要となり、品種切替を迅速に行うことができ、手動調整に比べて位置再現性が良くなるため、好ましいと言える。
【００５８】
（第５の発明）
本発明に係る膜厚むら検査装置は、膜厚むらの検査対象が黒色樹脂材料（いわゆる、樹脂ブラック）である場合、上述の照明部２，２ｂ，２ｃを、次のような構成の照明部２ｄとしても良い。つまり、検査に用いる複数のＬＥＤチップとして、白色ＬＥＤや、赤色ＬＥＤを用いることができるが、赤外波長の光を発する複数の赤外ＬＥＤチップで構成することが、より好ましい。
【００５９】
この形態であれば、可視光線の遮光率が高い黒色樹脂材料に対して膜厚むらの検査を行うに際に、より透過率の高い赤外波長領域の照明光を用いて検査を行うことができる。また、撮像カメラ３１に用いられる撮像素子３０も、可視光線を主な受光感度として赤外波長の受光感度を持つ汎用品を使用することができる。或いは、撮像素子３０として、赤外線カットフィルタが取り付けられている汎用品を使用する場合には、その赤外線カットフィルタを取り外して使用しても良い。
【００６０】
そのため、膜厚むらの検査対象が黒色樹脂材料（樹脂ブラック）である場合、従来であれば照明光として蛍光灯やハロゲン照明を用いていたが、本発明を適用させることで、赤外光線を発する赤外ＬＥＤから発する光を照明光として用いることができる。そのため、本発明に係る膜厚むら検査装置は、従来の形態と比べて、エネルギー効率が良いといえる。そして、上述の第１〜第４の発明のいずれかと組み合わせることで、本発明に係る膜厚むら検査装置は、検査に有効な光量を確保しつつ、輝度の均一化を図ることができるので、好ましいと言える。
【００６１】
（第６の発明）
膜厚むらの検査対象が黒色樹脂材料（樹脂ブラック）、緑色樹脂材料（Ｇレジスト）又は、青色樹脂材料（Ｂレジスト）が混在する場合、本発明に係る膜厚むら検査装置において、上述の照明部２〜２ｄを、次のような構成の照明部２ｅとしても良い。
【００６２】
図７は、本発明を具現化する形態の第６の例を示す正面図である。
具体的には、照明部２ｅの照明ユニット２０ｅは、複数のＬＥＤチップとして、赤外波長の光を発する複数の赤外ＬＥＤチップ２０ｉｒと、赤色波長の光を発する複数の赤色ＬＥＤチップ２０ｒとを備え、それらがＹ方向に一列上に交互に配置されて構成されている。
【００６３】
そして、黒色樹脂材料（樹脂ブラック）を検査する場合は、複数の赤外ＬＥＤチップ２０ｉｒを照明光として用いる。一方、緑色樹脂材料（Ｇレジスト）又は、青色樹脂材料（Ｂレジスト）を検査する場合は、複数の赤色ＬＥＤチップ２０ｒを照明光として用いる。このとき、複数の赤外ＬＥＤチップ２０ｉｒと、複数の赤色ＬＥＤチップ２０ｒとは、Ｘ方向に同じ位置に配置されている。
【００６４】
そのため、膜厚むらの検査対象が黒色樹脂材料（樹脂ブラック）、緑色樹脂材料（Ｇレジスト）又は、青色樹脂材料（Ｂレジスト）が混在する場合であっても、照明ユニット２０ｅから発せられる照明光の主光軸と、撮像カメラ３１とがＸ方向にずれない。そのため、照明ユニット２０ｅと撮像カメラ３１の相対位置を調整したり段取り替えする必要がなくなるため、好ましいと言える。
【００６５】
図８は、本発明を具現化する形態の第６の例における輝度信号イメージ図である。
横軸は撮像位置Ｐ、縦軸は輝度Ｂを示している。
上述の形態の照明部２ｅを用いた場合、検査時に同時に発光する複数のＬＥＤチップ同士の間隔が広くなるので、輝度信号ＳＬ６に示すように、輝度むらが生じやすくなる。
しかし、上述した第１と組み合わせることにより、輝度信号ＳＬ７に示すように、輝度むらが改善される。そのため、検査に有効な光量を確保しつつ、輝度の均一化を図ることができるので、好ましいと言える。また、上述の第２〜第４の発明のいずれかと組み合わせることで、輝度むら改善の相乗効果を奏する。
【００６６】
（第７の発明）
膜厚むらの検査対象が高濃度の黒色樹脂材料（樹脂ブラック）、緑色樹脂材料（Ｇレジスト）又は、青色樹脂材料（Ｂレジスト）が混在する場合、本発明に係る膜厚むら検査装置において、上述の照明部２〜２ｄを、次のような構成の照明部２ｆとしても良い。
【００６７】
図９は、本発明を具現化する形態の第７の例を示す正面図である。
具体的には、照明部２ｆの照明ユニット２０ｆは、赤外波長の光を発する複数の赤外ＬＥＤチップ２０ｉｒと、赤色波長の光を発する複数の赤色ＬＥＤチップ２０ｒとを備え、それらが、Ｙ方向に１列上に隣り合って配置されて構成されている。より具体的には、赤外ＬＥＤチップ２０ｉｒと、赤色ＬＥＤチップ２０ｒとが、１つずつ交互に配置する状態ではなく、２つ／１つの交互や、２つずつの交互などの配置とする形態が例示できる。
【００６８】
そして、高濃度の黒色樹脂材料（樹脂ブラック）を検査する場合は、複数の赤外ＬＥＤチップ２０ｉｒを照明光として用いる。一方、緑色樹脂材料（Ｇレジスト）又は、青色樹脂材料（Ｂレジスト）を検査する場合は、複数の赤色ＬＥＤチップ２０ｒを照明光として用いる。このとき、複数の赤外ＬＥＤチップ２０ｉｒと、複数の赤色ＬＥＤチップ２０ｒとは、Ｘ方向に同じ位置に配置されている。
【００６９】
そのため、膜厚むらの検査対象が高濃度の黒色樹脂材料（樹脂ブラック）、緑色樹脂材料（Ｇレジスト）又は、青色樹脂材料（Ｂレジスト）が混在する場合であっても、照明ユニット２０ｅから発せられる照明光の主光軸と、撮像カメラ３１とがＸ方向にずれない。そのため、照明ユニット２０ｅと撮像カメラ３１の相対位置を調整したり段取り替えする必要がなくなるため、好ましいと言える。
【００７０】
また、このようにＬＥＤチップを配置した形態の場合、発光するＬＥＤ同士の間隔がさらに広がるため、輝度むらがさらに発生しやすい。しかし、上述した第１と組み合わせることにより、輝度むらが改善される。そのため、検査に有効な光量を確保しつつ、輝度の均一化を図ることができるので、好ましいと言える。また、上述の第２〜第４の発明のいずれかと組み合わせることで、輝度むら改善の相乗効果を奏する。
【符号の説明】
【００７１】
１    膜厚むら検査装置
２    照明部
３    撮像部
４    画像処理部
６    検査条件登録部
９    制御部
２０    照明ユニット
２０ｃ  ＬＥＤチップ
２０ｒ  赤色ＬＥＤチップ
２０ｉｒ  赤外ＬＥＤチップ
２０ｄ  電源装置
２１    第１拡散板
２１ｄ  厚み方向移動用第１アクチュエータ
２２    第２拡散板
２２ｄ  厚み方向移動用第２アクチュエータ
２６    第１拡散板（板厚が段階的に変化）
２６ｄ  板厚変更用第１アクチュエータ
２７    第２拡散板（板厚が連続的に変化）
２７ｄ  板厚変更用第２アクチュエータ
３０    撮像素子
３１    撮像カメラ
３２    レンズ
３３    画角端を示す破線
Ｆ      皮膜
Ｋ      透明材料
Ｒ      撮像領域
Ｗ      検査対象物
Ｖ      矢印（基板搬送方向）
Ｂ      輝度
Ｐ      撮像位置
ＳＬ０  輝度信号（拡散板固定）
ＳＬ１  輝度信号（拡散板位置最適化）
ＳＬ６  輝度信号（拡散板固定）
ＳＬ７  輝度信号（拡散板位置最適化）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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