(57)【要約】【課題】  作業機に取り付けられた撮像装置のその作業機に対する光軸線の傾きを、簡便に測定する。【解決手段】  撮像装置３２に対向するようにセットされる治具として、その撮像装置によって撮像されるとともにその撮像装置からの距離が互いに異なる２つの被撮像部７０，７２と、それら２つの被撮像部を結ぶ軸線である治具軸線ＬJの自身に対する傾きが特定されている基準面ＰRとを有する治具５０を用い、その治具を撮像装置にセットし、その治具を撮像し、その撮像によって得られた上記２つの被撮像部の各々の輪郭像の位置関係に基づいてその撮像装置の作業機に対する傾きを認定する。【選択図】  図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
作業機に取り付けられた撮像装置の光軸線の当該作業機に対する傾きを測定する際に用いられる治具であって、
前記撮像装置に対向するようにセットされ、
その撮像装置によって撮像されるとともにその撮像装置からの距離が互いに異なる２つの被撮像部と、それら２つの被撮像部を結ぶ軸線である治具軸線の自身に対する傾きが特定されている基準面とを有する光軸傾斜測定用治具。
【請求項２】
前記治具軸線が前記基準面に対して直角である請求項１に記載の光軸傾斜測定用治具。
【請求項３】
前記２つの被撮像部が、前記治具軸線と前記撮像装置の光軸線とが平行となる状態において互いに同軸的な輪郭像がその撮像装置によって撮像されるように配設された請求項１または請求項２に記載の光軸傾斜測定用治具。
【請求項４】
当該光軸傾斜測定用治具が、さらに、前記撮像装置にセットされた状態において前記治具軸線の配向を調節する配向調節機構を有する請求項１ないし請求項３のいずれか１つに記載の光軸傾斜測定用治具。
【請求項５】
作業機に取り付けられた撮像装置の光軸線の当該作業機に対する傾きを測定する方法であって、
請求項１ないし請求項４のいずれか１つに記載の光軸傾斜測定用治具を、前記撮像装置に対向するようにセットする治具セット工程と、
光軸傾斜測定用治具が前記撮像装置にセットされた状態において、前記２つの被撮像部を撮像する撮像工程と、
その撮像工程における撮像によって得られた前記２つの被撮像部の各々の輪郭像の位置関係に基づいて、前記撮像装置の光軸線の前記作業機に対する傾きを認定する傾斜認定工程と
を含む光軸傾斜測定方法。
【請求項６】
前記撮像工程の前において、前記治具セット工程においてセットされた前記光軸傾斜測定用治具の前記治具軸線の配向を、前記基準面を利用して、その治具軸線が前記作業機に対して傾かないように調節する配向調節工程を、さらに含む請求項５に記載の光軸傾斜測定方法。
【請求項７】
前記治具セット工程においてセットされた前記光軸傾斜測定用治具の前記治具軸線の前記作業機に対する傾きを、前記基準面を利用して、検出する治具傾斜検出工程を、さらに含み、
前記傾斜認定工程が、さらに、前記治具傾斜検出工程において検出された前記治具軸線の前記作業機に対する傾きに基づいて、前記撮像装置の光軸線の前記作業機に対する傾きを認定する工程である請求項５に記載の光軸傾斜測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、作業機に取り付けられた撮像装置の当該作業機に対する傾きを測定する際に用いる治具に関し、また、その治具を用いて上記傾きを測定する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
昨今では、自身に取り付けられた撮像装置によって得られた撮像データに基づいて、作業を行う作業機が多く存在しており、例えば、下記特許文献には、部品装着機に取り付けられた撮像装置の光軸のズレを測定する技術が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−７０１３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
作業機に対する上記撮像装置の光軸線の傾きを測定することは、その作業機の作業精度を高く保つために有効であり、その測定を、簡便に行うことは有意義である。本発明は、上記光軸線の傾きの測定を簡便に行うことを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するために、本発明の光軸傾斜測定用治具は、撮像装置と当該治具との傾斜を取得するために用いられる被撮像部と、作業機に対する当該治具の傾きを取得するために用いられる基準面とを有することを特徴とし、本発明の光軸傾斜測定方法は、その治具を撮像装置にセットし、その治具を撮像し、その撮像によって得られた上記被撮像部の輪郭像に基づいてその撮像装置の作業機に対する傾きを認定することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００６】
本発明の光軸傾斜測定用治具を用いた測定、つまり、本発明の光軸傾斜測定方法によれば、作業機に対する撮像装置の光軸線の傾きを簡便に測定することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】撮像装置としてのカメラが取り付けられている部品組付機（作業機の一種である）を示す斜視図である。
【図２】カメラの光軸線の傾きを模式的に示す図である。
【図３】実施例の光軸傾斜測定用治具を斜め下方から見た斜視図である。
【図４】治具をカメラに対向してセットした状態を示す一部断面図である。
【図５】治具をカメラにセットした状態における治具の撮影像を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、本発明を実施するための形態として、実施例の光軸傾斜測定用治具（以下、単に「治具」と言う場合がある）および光軸傾斜測定方法（以下、単に「測定方法」と言う場合がある）を、図を参照しつつ詳しく説明する。なお、本発明は、下記実施例の他、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した種々の形態で実施することができる。
【実施例】
【０００９】
［Ａ］作業機の構成および撮像装置
本発明の対象となる撮像装置が取り付けられている作業機の一例である部品組付機１０は、図１に示すように、ベース１２と、ベース１２に取り付けられた基材コンベア装置１４と、トレイ型の部品供給装置１６と、支柱１８によって上架された１対の固定ビーム２０に支持されたＸＹＺ型移動装置２２と、ＸＹＺ型移動装置２２によってベース１２上方の作業空間を移動させられる作業ヘッド２４とを備えている。作業ヘッド２４は、部品保持デバイス（作業デバイスの一種）である吸着ノズル２６と、吸着ノズル２６を昇降させるノズル昇降装置２８および回転させるノズル回転装置３０とを含んで構成されている。基材コンベア装置１４と部品供給装置１６との間において、上方を撮像するカメラ３２がベース１２に取り付けられており、このカメラ３２が、本発明の対象となる撮像装置である。
【００１０】
基材コンベア装置１４は、基材Ｓを搬入，搬出するとともに、基材Ｓを設定位置に保持する機能を有している。部品供給装置１６は、複数のトレイ３４を収容しており、それらのうちの１つを設定位置に押し出すことでその１つに載置されている部品Ｐを供給する。供給された部品Ｐは、作業ヘッド２４が有する吸着ノズル２６によって吸着保持され、ＸＹＺ型移動装置２２によって作業ヘッド２４が移動させられることで、基材コンベア装置１４に保持された基材Ｓの上方まで運ばれる。所定位置にまで運ばれた部品Ｐは、その位置においてノズル昇降装置２８によって所定の高さまで下降させられて、基材Ｓの上面である取付面に取り付けられる。ちなみに、本実施例では、基材コンベア装置１４による基材Ｓの搬送方向と平行な方向をＸ方向，Ｘ方向と直角かつ水平な方向をＹ方向、Ｘ方向およびＹ方向に直角な方向、つまり、鉛直方向をＺ方向と呼ぶこととする。
【００１１】
カメラ３２は、吸着ノズル２６によって保持された部品Ｐを下方から撮像し、その撮像によって得られた撮像データによって、部品Ｐの吸着ノズル２６による保持位置および保持姿勢が把握される。この把握された保持位置および保持姿勢を基に、ＸＹＺ型移動装置２２による取付位置の調整およびノズル回転装置３０による取付姿勢（回転位置，方位）の調整が行われて、部品Ｐは、基材Ｓの適正な取付位置に適正な取付姿勢で取り付けられる。
【００１２】
したがって、カメラ３２の光軸線の部品組付機１０に対する傾きを予め把握しておかなければ、上記取付位置および取付姿勢の調整を正確に行うことができない。特に、本部品組付機１０は、１つの基材Ｓにおいて高さが互いに比較的大きく異なる複数の取付面に、あるいは、高さが互いに比較的大きく異なる種々の基材Ｓに、部品Ｐを取り付けることができるように、吸着ノズル２６がＸＹＺ型移動装置２２とノズル昇降装置２８との両方によって２段階的に昇降させられるようになっており（図１におけるＺ1，Ｚ2参照）、吸着ノズル２６の上下方向における移動範囲が相当に大きくされている。つまり、本部品組付機１０では、高さが互いに比較的大きく異なる位置において、カメラ３２によって部品Ｐが撮像されるため、カメラ３２の光軸線の部品組付機１０に対する傾きを把握しておくことは、特に、重要なのである。
【００１３】
［Ｂ］撮像装置の光軸線の傾き
カメラ３２の光軸線の傾きについて説明すれば、図２に模式的に示すように、カメラ３２は筐体４０（ハウジング）の中に撮像素子４２，レンズ等の光学系が組み込まれた構造を有しており、筐体４０の軸線である筐体軸線ＬHと光学系の軸線である光軸線ＬSとの間にズレが生じている可能性がある。言い換えれば、光軸線ＬSが筐体軸線ＬHに対してΔθSHだけ傾斜している可能性がある。したがって、筐体軸線ＬHではなく、光軸線ＬSの作業機１０に対する傾き、つまり、光軸線ＬSの部品組付機１０の基準軸線ＬMに対する傾斜ΔθSMを把握する必要がある。ちなみに、図では、傾斜ΔθSH，ΔθSMを、傾斜角として２次元的に表わしているが、ΔθSH，ΔθSM等の「傾斜」は、傾斜角だけでなく傾斜の方位をも含む３次元的な概念であり、実際は、傾斜角と傾斜の方位との両者を含んで傾斜として取り扱われる。また、部品組付機１０の基準軸線ＬMは、Ｚ方向に延びる仮想の基準線である。
【００１４】
［Ｃ］光軸傾斜測定用治具
光軸線ＬSの部品組付機１０に対する傾斜を測定するために、図１において、カメラ３２の横に配置されている実施例の光軸傾斜測定用治具５０が用いられる。治具５０は、図３（ａ）に示すように、ベースリング５２と、周方向における３等配の位置においてベースリング５２に立設された３本のスタッドボルト５４と、３対のナット５６を介してスタッドボルト５４によって支持された本体プレート５８と、本体プレート５８の中央部に付設された被撮像体６０とを有している。そして、図３（ｂ）に拡大して示すように、被撮像体６０は、フランジ部６２と、下方に向かってフランジ部６２から垂下する円柱部６４と、フランジ部６２から上方に向かって延設されたロッド部６６とを有している。図４をも参照して解るように、ロッド部６６は、本体プレート５８に穿設された取付穴を貫通し、ロッド部６６に形成された雄ねじに螺合されたナット６８とフランジ部６２とで本体プレート５８を挟むようにして、被撮像体６０が、本体プレート５８に取り付けられている。円柱部６４は、基端側，先端側のそれぞれに、第１大径部７０，第１大径部７０より直径の小さな第２大径部７２を有している。なお、本体プレート５８の上面は、基準面ＰRと、円柱部６４の中心軸線、すなわち、第１大径部７０と第２大径部７２とを結ぶ軸線は、治具軸線ＬJとされており、基準面ＰRに対する治具軸線ＬJの傾きは特定されている。具体的に言えば、治具軸線ＬJは、基準面ＰRに対して直角とされている。
【００１５】
図４に示すように、治具５０は、カメラ３２の上方（前方）にて、カメラ３２と対向するようにしてセットされる。詳しく言えば、カメラ３２の筐体４０の上端面に、ベースリング５２の下面を接触させるようにして、カメラ３２に載置される。本体プレート５８とベースリング５２とが平行である状態、つまり、標準状態では、カメラ３２に治具５０がセットされた場合、上述の筐体軸線ＬHと治具軸線ＬJとが一致する。一方で、治具５０は、３対のナット５６の位置を調整することにより、ベースリング５２に対する本体プレート５８の傾き、つまり、基準面ＰRの傾きを任意に調節することが可能である。したがって、３本のボルト５４および３対のナット５６は、治具５０がカメラ３２にセットされた状態において、基準面ＰRの配向、すなわち、治具軸線ＬJの配向を調整する配向調節機構を有しているのである。
【００１６】
［Ｄ］治具の撮像と光軸線の傾斜の認定
治具５０をカメラ３２にセットした状態において、治具５０の撮影像、詳しくは、被撮像体６０の撮影像は、図５に示すようなものとなる。図５（ａ）は、光軸線ＬSと治具軸線ＬJとが平行である場合の撮影像である。厳密には、光軸線ＬSと治具軸線ＬJとが一致している場合の撮影像であるが、光軸線ＬSと治具軸線ＬJとは、Ｘ方向およびＹ方向に殆どズレていないと考えることができるため、それら２つの場合の撮影像は、同じであるとみなすことができる。光軸線ＬSと治具軸線ＬJとが平行である場合には、第１大径部７０と第２大径部７２の各々の輪郭像は、互いに同軸的に撮像される（それぞれの中心Ｏが一致する）。一方で、光軸線ＬSと治具軸線ＬJとが平行でない場合、つまり、治具軸線ＬJが光軸線ＬSに対して傾斜している場合には、図５（ｂ）に示すように、第１大径部７０の輪郭像と第２大径部７２の輪郭像とが、ズレて撮像される。
【００１７】
第１大径部７０のカメラ３２からの距離と、第２大径部７２のカメラ３２からの距離は互いに異なっており、その距離差Ｄ（図４参照）は、特定されている。したがって、治具軸線ＬJが光軸線ＬSに対して傾斜している場合において、第１大径部７０の撮影像と第２大径部７２の撮影像の位置関係と、距離差Ｄとに基づくことにより、光軸線ＬSの治具軸線ＬJに対する傾斜ΔθSJを認定することができる。詳しくは、第１大径部７０の撮影像の中心Ｏ1と、第２大径部の撮影像の中心Ｏ2との、Ｘ方向，Ｙ方向の離間距離ΔＸ，ΔＹと、距離差Ｄとに基づくことにより、その傾斜の方向および傾斜角を認定することができるのである。なお、傾斜の認定の具体的手法は、純粋な幾何学的手法であるため、本明細書での説明は、省略する。
【００１８】
カメラ３２の筐体４０が部品組付機１０に対して傾いて取り付けられている場合は、上記標準状態の治具５０がセットされたとしても、基準軸線ＬMに対して治具軸線ＬJが傾いてしまう。したがって、光軸線ＬSの部品組付機１０に対する傾斜、つまり、光軸線ＬSの基準軸線ＬMに対する傾斜ΔθSMは、基準軸線ＬMに対する治具軸線ＬJの傾斜ΔθJM（図４参照）と、光軸線ＬSの治具軸線ＬJに対する傾斜ΔθSJとが累積したものと考えることができる。したがって、先のように光軸線ＬSの治具軸線ＬJに対する傾斜ΔθSJを認定することに加えて、基準軸線ＬMに対する治具軸線ＬJの傾斜ΔθJMを認定することにより、また、基準軸線ＬMに対する治具軸線ＬJの傾斜ΔθJMが０である（基準軸線ＬMに対して治具軸線ＬJが傾斜していない）場合において、先のように光軸線ＬSの治具軸線ＬJに対する傾斜ΔθSJを認定することにより、光軸線ＬSの部品組付機１０に対する傾斜を認定することができるのである。
【００１９】
部品Ｐの基材Ｓへの組付作業において、吸着ノズル２６によって保持された部品Ｐをカメラ３２によって撮像し、その撮像によって得られた撮像データと、上記のようにして認定された光軸線ＬSの部品組付機１０に対する傾斜とに基づくことにより、その部品Ｐの吸着ノズル２６による保持位置および保持姿勢を正確に把握することができるのである。
【００２０】
［Ｅ］光軸傾斜測定方法１
実施例の光軸傾斜測定方法の１つは、基準軸線ＬMに対する治具軸線ＬJの傾斜ΔθJMと、光軸線ＬSの治具軸線ＬJに対する傾斜ΔθSJとを認定して、光軸線ＬSの基準軸線ＬMに対する傾斜ΔθSMを認定する測定方法であり、以下の工程を含むものである。ちなみに、この測定方法は、部品組付機１０自らが自動で行う。なお、部品組付作業が連続して実行されている場合においてこの測定方法に従った測定が定期的に実行されることで、作業の経過に伴う部品組付機１０の温度変化等の環境変化が生じる場合であっても、定期的に把握された基準軸線ＬMに対する治具軸線ＬJの傾斜ΔθJMに基づくことにより、部品組付作業の精度を良好に保つことが可能となる。
【００２１】
i）治具セット工程
まず、先に説明したように、治具５０を、カメラ３２にセットする。部品組付機１０は、吸着ノズル２６を他の作業デバイスに交換可能とされており、この工程では、吸着ノズル２６が、図１に示すデバイスステーション８０に載置されている治具保持具８２に交換される。治具保持具８２は、チャックを有する保持具であり、作業ヘッド２４が治具５０の上方まで移動させられて、そのチャックによって治具５０のロッド部６６が保持される。そして、治具５０は、作業ヘッド２４によって、カメラ３２の上方まで運ばれて、カメラ３２にセットされる。
【００２２】
ii）治具傾斜検出工程
次に、治具保持具８２がタッチセンサ８４に交換され、作業ヘッド２４によって、セットされた治具５０の基準面ＰRの部品組付機１０に対する傾き、つまり、Ｘ方向およびＹ方向に延びる部品組付機１０の仮想基準面に対する傾斜が検出される。詳しく言えば、タッチセンサ８４が基準面ＰRの３点に接触させられ、そのときのＸＹＺ型移動装置２２による作業ヘッド２４のＸ方向，Ｙ方向，Ｚ方向の移動位置およびノズル昇降装置２８によるタッチセンサ８４のＺ方向の移動位置に基づいて、基準面ＰRの傾斜が検出される。その検出結果に基づいて、治具軸線ＬJの部品組付機１０に対する傾斜、つまり、基準軸線ＬMに対する傾斜ΔθJMが検出され、認定される。簡単に言えば、この工程では、基準面ＰRを利用して、治具軸線ＬJの部品組付機１０に対する傾斜が検出され、その傾斜が認定されるのである。
【００２３】
iii）撮像工程
次いで、カメラ３２によって、治具５０の被撮像体６０が撮像される。
【００２４】
iv）傾斜認定工程
撮像によって得られた撮像データを基に、第１大径部７０，第２大径部７２の各々の輪郭像の位置関係に基づいて、先の手法に従い、光軸線ＬSの治具軸線ＬJに対する傾斜ΔθSJが認定され、さらに、その認定された傾斜ΔθSJと、先に検出されて認定されている治具軸線ＬJの基準軸線ＬMに対する傾斜ΔθJMとに基づいて、カメラ３２の光軸線ＬSの基準軸線ＬMに対する傾斜ΔθSM、つまり、部品組付機１０に対する傾斜が認定される。
【００２５】
［Ｆ］光軸傾斜測定方法２
実施例の光軸傾斜測定方法のもう１つは、基準軸線ＬMに対する治具軸線ＬJの傾斜ΔθJMがない状態を実現させた上で、光軸線ＬSの治具軸線ＬJに対する傾斜ΔθSJを認定し、その傾斜ΔθSJを光軸線ＬSの基準軸線ＬMに対する傾斜ΔθSMとして認定する測定方法であり、以下の工程を含むものである。ちなみに、この測定方法では、撮像工程の前までの工程が、部品組付機１０のオペレータ等の手動による作業によって行われる。
【００２６】
i）治具セット工程
まず、オペレータ等が、治具５０を、カメラ３２にセットする。
【００２７】
ii）配向調節工程
次に、セットされた治具５０に対し、オペレータ等は、ダイヤルゲージ等の測定器を用いつつ、配向調節機構を構成する３対のナット５６を調整して、本体プレート５８の部品組付機１０に対する傾きを調節する。具体的には、基準面ＰRが上記部品組付機１０の仮想基準面に平行となるように、調節する。換言すれば、治具軸線ＬJの配向を、その治具軸線ＬJが部品組付機１０に対して傾かないように、つまり、治具軸線ＬJの基準軸線ＬMに対する傾斜ΔθJMが０となるように、調節する。簡単に言えば、本工程は、基準面ＰRを利用して、治具軸線ＬJが部品組付機１０に対して傾かないように調節する工程である。
【００２８】
iii）撮像工程
次いで、カメラ３２によって、治具５０の被撮像体６０が撮像される。
【００２９】
iv）傾斜認定工程
撮像によって得られた撮像データを基に、第１大径部７０，第２大径部７２の各々の輪郭像の位置関係に基づいて、先の手法に従い、光軸線ＬSの治具軸線ＬJに対する傾斜ΔθSJが認定され、その傾斜ΔθSJが、カメラ３２の光軸線ＬSの基準軸線ＬMに対する傾斜ΔθSM、つまり、部品組付機１０に対する傾斜として認定される。
【００３０】
［Ｇ］光軸傾斜測定方法３
上記２つの実施例の光軸傾斜測定方法とは別の光軸傾斜測定方法は、光軸線ＬSの治具軸線ＬJに対する傾斜ΔθSJがない状態を実現させた上で、治具軸線ＬJの基準軸線ＬMに対する傾斜ΔθJMを認定し、その傾斜ΔθJMを光軸線ＬSの基準軸線ＬMに対する傾斜ΔθSMとして認定する測定方法であり、以下の工程を含むものである。
【００３１】
i）治具セット工程
まず、オペレータ等が、治具５０を、カメラ３２にセットする。
【００３２】
ii）撮像および撮像データ依拠配向調節工程
次いで、カメラ３２によって、治具５０の被撮像体６０が撮像され、その撮像によって得られた撮像データを基に、第１大径部７０，第２大径部７２の各々の輪郭像の位置関係に基づいて、光軸線ＬSの治具軸線ＬJに対する傾斜ΔθSJが認定される。この認定された傾斜ΔθSJに基づいて、オペレータ等は、配向調節機構を構成する３対のナット５６を調整し、傾斜ΔθSJが０となるように、治具軸線ＬJの配向を調整する。一度の調整では、傾斜ΔθSJが０とならない場合には、カメラ３２による撮像およびその撮像によって得られた撮像データに基づく傾斜ΔθSJの認定を再度行い、その認定された傾斜ΔθSJに基づく治具軸線ＬJの配向の調整を再度行う。つまり、傾斜ΔθSJが０となるまで、それら撮像，傾斜ΔθSJの認定，配向の調整を繰り返し行うのである。
【００３３】
iii）傾斜認定工程
光軸線ＬSの治具軸線ＬJに対する傾斜ΔθSJがない状態が実現された後、オペレータ等は、ダイヤルゲージ等の測定器を用いて、治具５０の基準面ＰRの傾きを測定することにより、治具軸線ＬJの基準軸線ＬMに対する傾斜ΔθJMを測定する。そして、その測定された傾斜ΔθJMを、光軸線ＬSの基準軸線ＬMに対する傾斜ΔθSM、つまり、部品組付機１０に対する傾斜として認定する。
【符号の説明】
【００３４】
１０：部品組付機〔作業機〕    ２２：ＸＹＺ型移動装置    ２４：作業ヘッド    ２６：吸着ノズル〔部品保持デバイス，作業デバイス〕    ２８：ノズル昇降装置    ３２：カメラ〔撮像装置〕    ４０：筐体    ５０：光軸傾斜測定用治具    ５４：スタッドボルト〔配向調節機構〕    ５６：ナット〔配向調節機構〕    ５８：本体プレート    ６０：被撮像体    ７０：第１大径部〔被撮像部〕    ７２：第２大径部〔被撮像部〕    Ｓ：基材    Ｐ：部品    ＬS：光軸線    ＬH：筐体軸線    ＬM：作業機の基準軸線
ＬJ：治具軸線    ΔθSM：基準軸線に対する光軸線の傾斜    ΔθSH：筐体軸線に対する光軸線の傾斜    ΔθSJ：治具軸線に対する光軸線の傾斜    ΔθJM：基準軸線に対する治具軸線の傾斜    ＰR：治具の基準面    Ｏ1Ｏ2：第１，第２大径部の撮影像の中心    ΔθSM：基準軸線に対する光軸線の傾斜      ΔθSH：筐体軸線に対する光軸線の傾斜    ΔθSJ：治具軸線に対する光軸線の傾斜    ΔθJM：基準軸線に対する治具軸線の傾斜
【図１】
2014130053.tif 000003
【図２】
2014130053.tif 000004
【図３】
2014130053.tif 000005
【図４】
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【図５】
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