(57)【要約】【課題】  板状物と粘着シートとの間に空気が残存しにくい粘着シートの貼着方法を提供することである。【解決手段】  基材と該基材上に形成された糊層とからなる粘着シートを板状物に貼着する粘着シートの貼着方法であって、板状物の外周側に該板状物より厚い厚みを有する枠体を配設する枠体配設ステップと、該枠体の上面に該粘着シートを貼着する粘着シート貼着ステップと、該枠体に貼着された該粘着シートの該糊層と該板状物とが対面した状態で、該板状物の中央部から外周側に向かって放射状に該粘着シートを貼着することを放射方向を変えて複数回実施して、該板状物に該粘着シートを貼着する板状物貼着ステップと、を備えたことを特徴とする。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材と該基材上に形成された糊層とからなる粘着シートを板状物に貼着する粘着シートの貼着方法であって、
板状物の外周側に該板状物より厚い厚みを有する枠体を配設する枠体配設ステップと、
該枠体の上面に該粘着シートを貼着する粘着シート貼着ステップと、
該枠体に貼着された該粘着シートの該糊層と該板状物とが対面した状態で、該板状物の中央部から外周側に向かって放射状に該粘着シートを貼着することを放射方向を変えて複数回実施して、該板状物に該粘着シートを貼着する板状物貼着ステップと、
を備えたことを特徴とする粘着シートの貼着方法。
【請求項２】
前記板状物貼着ステップを実施した後、前記粘着シートを前記枠体から剥離する剥離ステップを更に備えた請求項１記載の粘着シートの貼着方法。
【請求項３】
前記枠体は、中央に板状物を収容する開口を備えた環状フレームから構成される請求項１記載の粘着シートの貼着方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウエーハ等の板状物に粘着シートを貼着する粘着シートの貼着方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、ウエーハの裏面研削に際して表面に形成されたデバイスを保護する目的で、ウエーハの表面に特開平５−１９８５４２号公報に開示されるような表面保護シートを貼着してから、ウエーハの裏面研削を実施している。
【０００３】
また、ウエーハのダイシングに際して、ダイシングによって形成された個々のデバイスチップのハンドリングを容易にするためにも、ウエーハは粘着シートであるダイシングテープに貼着されてダイシングされる。
【０００４】
ところで、ウエーハに貼着された粘着シートにウエーハとの間に空気が残存すると、次のような様々な問題が生じる。即ち、ウエーハの研削に際してその表面に表面保護シートを貼着した場合には、表面保護シートとウエーハとの間に空気が残存すると、ウエーハの高さが局所的にばらつくため、研削仕上げ厚みが一様にならない。
【０００５】
また、ウエーハの裏面をダイシングテープに貼着してウエーハをダイシングする場合には、ダイシングテープとウエーハとの間に空気が残存すると、ダイシング時の切り込み深さがばらつくとともに、残存した空気によって局所的にダイシングテープがウエーハに貼着されていない部分において、ダイシング時にチップ飛びが発生する等の問題が生じる。
【０００６】
従来は、ウエーハのような板状物に粘着シートを貼着するには、特開平６−１７７２４３号公報に開示されるように、板状物の一端から他端に向かって粘着シートを貼着する方法が広く採用されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平５−１９８５４２号公報
【特許文献２】特開平６−１７７２４３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかし、特開平６−１７７２４３号公報に開示されたような板状物の一端から他端に向かって粘着シートを貼着する貼着方法では、貼着開始時に粘着シートと板状物の間に形成された気泡の空気が抜けるためには、ウエーハの一端から他端まで気泡が移動しなければならず、空気が抜けにくい。従って、板状物と粘着シートとの間に空気が残存し易いという問題がある。
【０００９】
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、板状物と粘着シートとの間に空気が残存しにくい粘着シートの貼着方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明によると、基材と該基材上に形成された糊層とからなる粘着シートを板状物に貼着する粘着シートの貼着方法であって、板状物の外周側に該板状物より厚い厚みを有する枠体を配設する枠体配設ステップと、該枠体の上面に該粘着シートを貼着する粘着シート貼着ステップと、該枠体に貼着された該粘着シートの該糊層と該板状物とが対面した状態で、該板状物の中央部から外周側に向かって放射状に該粘着シートを貼着することを放射方向を変えて複数回実施して、該板状物に該粘着シートを貼着する板状物貼着ステップと、を備えたことを特徴とする粘着シートの貼着方法が提供される。
【００１１】
好ましくは、粘着シートの貼着方法は、板状物貼着ステップを実施した後、粘着シートを枠体から剥離する剥離ステップを更に備えている。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の粘着シートの貼着方法では、板状物の上方に粘着シートを枠体で支持した状態から板状物の中央部から外周側に向かって粘着シートが貼着される。従って、貼着開始時に粘着シートと板状物との間に気泡が形成されたとしても、板状物の略半分の距離を気泡が移動すれば空気が抜けるため、板状物と粘着シートとの間に空気が残存しにくい。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】枠体配設ステップを示す斜視図である。
【図２】枠体配設ステップを示す図１のＩＩ―ＩＩ線断面図である。
【図３】粘着シート貼着ステップを示す断面図である。
【図４】板状物貼着ステップを示す断面図である。
【図５】板状物貼着ステップの説明図である。
【図６】剥離ステップを示す断面図である。
【図７】枠体の他の例を示す斜視図である。
【図８】環状フレームを枠体として使用する分解斜視図である。
【図９】図８の実施形態においてウエーハ（板状物）を粘着シートに貼着後の斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図１を参照すると、枠体配設ステップを示す斜視図が示されている。図２は図１のＩＩ−ＩＩ線断面図である。
【００１５】
作業テーブル１２上に枠体１０を載置し、枠体１０の中に板状物であるウエーハ１１を載置する。枠体１０は略正方形状をしており、図２を参照すると明らかなように、枠体１０はウエーハ１１の厚みより厚い厚みを有している。
【００１６】
枠体１０の少なくとも上面（被貼着面）は、微細凹凸構造を有しているか或いはテフロン（登録商標）コーティング等がされていて、粘着シートＳの剥離性がよい状態に構成されていることが好ましい。
【００１７】
ウエーハ１１は、その表面１１ａに複数の分割予定ライン（ストリート）１３が格子状に形成されており、分割予定ライン１３で区画された各領域にデバイス１５が形成されている。
【００１８】
枠体配設ステップ実施後、図３に示すように、枠体１０の上面に粘着シートＳを貼着する粘着シート貼着ステップを実施する。粘着シートＳは、ポリオレフィン（ＰＯ）又はポリエチレン塩化ビニル（ＰＶＣ）等によって形成された基材１４上に糊層１６が一様に塗付されて構成されている。
【００１９】
枠体配設ステップ及び粘着シート貼着ステップの変形例として、枠体配設ステップを実施する前に、枠体１０の上面に粘着シートＳを貼着する粘着シート貼着ステップを実施した後、枠体配設ステップを実施しても良い。
【００２０】
粘着シート貼着ステップ実施後、図４に示すように、枠体１０に貼着された粘着シートＳの糊層１６とウエーハ１１が対面した状態で、ウエーハ１１の中央部にローラー１８を押し当て、ウエーハ１１の中央部から外周側に向かって矢印Ｒ方向（放射方向）にローラー１８を転動することにより、粘着シートＳをウエーハ１１の表面１１ａに貼着する。
【００２１】
図５に示すように、放射方向を変えて、即ち周方向において複数回放射状にローラー１８を転動して粘着シートＳの貼着を繰り返すことにより、粘着シートＳの全面をウエーハ１１に貼着する。
【００２２】
ウエーハ１１を粘着シートＳに貼着するウエーハ貼着ステップ実施後、図６に示すように、枠体１０を矢印Ａ方向に移動して枠体１０を粘着シートＳから取り外し、粘着シートＳをウエーハ１１の外周に沿ってカットする。
【００２３】
ウエーハ１１の表面１１ａに粘着シートＳが貼着されているため、粘着シートＳは表面保護テープとして機能する。よって、この状態で研削装置に投入して、ウエーハ１１の裏面１１ｂを研削してウエーハ１１を所望の厚みに薄化することができる。
【００２４】
図７を参照すると、他の枠体１０Ａの斜視図が示されている。このように枠体１０４は連続した部材でなくてもよく、複数個所で切断されていてもよい。
【００２５】
図８に示すように、枠体としてウエーハのダイシング時に使用する環状フレームＦを使用するようにしてもよい。この場合には、環状フレームＦに粘着シート（ダイシングテープ）Ｓの外周部を貼着して、ウエーハ１１の裏面１１ｂを粘着シートＳに貼着する。
【００２６】
ウエーハ貼着後に、表裏を反転すると図９に示すような状態となり、この状態でダイシング装置に投入して、ダイシング装置の切削ブレードによりウエーハ１１の分割予定ライン１３を切削して、ウエーハ１１を個々のデバイスチップ１５に分割することができる。
【００２７】
本発明の粘着シートの貼着方法によると、図３に示すようにウエーハ１１の上方に粘着シートＳを枠体１０で支持した状態から、図４及び図５に示すように、粘着シートＳはウエーハ１１の中央部から外周側に向かって貼着される。
【００２８】
従って、貼着開始時に粘着シートＳとウエーハ１１との間に気泡が形成されたとしても、ウエーハ１１の略半分の距離を気泡が移動すれば空気が抜けるため、ウエーハ１１と粘着シートＳとの間に空気が残存しにくく、研削仕上げ厚みを一様にできるとともに、ダイシング時の切り込み深さを一定に維持することができる。
【００２９】
上述した実施形態では、板状物としてウエーハ１１を採用し、ウエーハ１１に粘着シートＳを貼着する例について説明したが、板状物はウエーハ１１に限定されるものではなく、セラミックス基板、ガラス基板等の他の板状物にも本発明の貼着方法を適用することができる。
【符号の説明】
【００３０】
１０    枠体
１１    ウエーハ
１２    作業テーブル
Ｓ    粘着シート
１４    基材
１６    糊層
１８    ローラー
Ｆ    環状フレーム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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