(57)【要約】【課題】  均一度の良い薄膜を製造するための単点リニア蒸発源システムを提供する。【解決手段】  本発明は、本体、蒸発器、２枚のガイド板を含む単点リニア蒸発源システムを提供する。本体と基板とは一定の距離を隔てて設けられ、本体は、細長状のキャビティーを含み、当該本体の基板に対向する面に、当該基板に蒸着気体を吹き付けるためのものであってキャビティーに連通する複数のノズルが設けられている。蒸発器は、キャビティーに連通する開口部を備え、内部に収容された蒸着材料を蒸発させるためのものである。２枚のガイド板は、傾斜するようにキャビティー内の両端部に設けられ、ガイド板の周側と本体が密封されるように接続され、２枚のガイド板の間の距離は、前記基板に近接する一端の間が、前記蒸発器に近接する一端の間より長い。本発明は、本体のキャビティー内の蒸気圧力のバランスを有効に改善することができ、これにより、基板上に蒸着される薄膜の均一度を向上させる。【選択図】図３
2014201834.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に薄膜を蒸着する単点リニア蒸発源システムであって、
細長状の本体と、蒸発器と、２枚のガイド板と、を含み、
前記本体は、細長状のキャビティーを含み、前記本体の前記基板に対向する面に、前記基板に蒸着気体を吹き付けるためのものであって前記キャビティーに連通する複数のノズルが設けられており、
前記蒸発器は、前記キャビティーに連通する開口部を備え、内部に収容された蒸着材料を蒸発させ、
前記２枚のガイド板は、傾斜するように前記キャビティー内の両端部に設けられ、前記ガイド板の周側と前記本体が密封されるように接続され、
前記２枚のガイド板の間の距離は、前記基板に近接する一端の間が、前記蒸発器に近接する一端の間より長い
単点リニア蒸発源システム。
【請求項２】
前記ガイド板は、角度が調整可能に前記本体に設けられている
請求項１に記載の単点リニア蒸発源システム。
【請求項３】
さらに、電動機又はモーターを含み、
前記ガイド板は、第１の板体と第２の板体を含み、前記第１の板体の上端部が回転可能に前記本体に接続され、前記第２の板体の上部が摺動可能に前記第１の板体の下部に接続され、前記電動機又はモーターの出力軸が前記本体に設けられている貫通孔を貫通して、前記第１の板体に接続されている
請求項２に記載の単点リニア蒸発源システム。
【請求項４】
前記第１の板体の下部と前記第２の板体の上部中の何れの一方が中空の空間を有し、前記第１の板体の下部と前記第２の板体の上部の中の他方が前記中空の空間内に挿入される
請求項３に記載の単点リニア蒸発源システム。
【請求項５】
前記第２の板体の上部が前記第１の板体の下部に重なって配置され、前記第２の板体と第１の板体の中の何れの一方に少なくとも１本の凹溝が設けられ、前記第２の板体と第１の板体の中の他方に前記凹溝に対応する形状の少なくとも１本の凸条が設けられている
請求項３に記載の単点リニア蒸発源システム。
【請求項６】
前記凹溝は、燕尾状又は楕円状である
請求項５に記載の単点リニア蒸発源システム。
【請求項７】
一端が前記蒸発器の開口部に連通し、他端が前記キャビティーに連通し、内径が前記蒸発器の開口部のサイズより小さい接続管をさらに含む
請求項１に記載の単点リニア蒸発源システム。
【請求項８】
さらに、
一端が前記接続管に連通する排気管と、
前記排気管の他端部に連通するプレナムチャンバーと、
前記接続管内に取り付けられている弁と、
を含み、
前記単点リニア蒸発源システムが動作している時、前記弁は、前記蒸発器と前記キャビティーを連通させるとともに、前記蒸発器と前記排気管との連通を切断する状態となり、前記単点リニア蒸発源システムが動作を停止している時、前記弁は、前記蒸発器と前記キャビティーとの連通を切断するとともに、前記キャビティーと前記排気管を連通させる状態となる
請求項７に記載の単点リニア蒸発源システム。
【請求項９】
さらに、
３つのポートを備え、第１のポートが前記蒸発器に連通し、第２のポートが前記本体のキャビティーに連通する３ポート弁と、
一端が前記３ポート弁の第３のポートに連通する排気管と、
前記排気管の他端部に連通するプレナムチャンバーと、
を含み、
前記単点リニア蒸発源システムが動作している時、前記第１のポート、第２のポートが開放されるとともに、第３のポートが閉塞され、前記単点リニア蒸発源システムが動作を停止している時、前記第１のポートが閉塞されるとともに、第２のポート、第３のポートが開放される
請求項１に記載の単点リニア蒸発源システム。
【請求項１０】
前記本体の長さは、前記基板の長さより短い
請求項１に記載の単点リニア蒸発源システム。
【請求項１１】
前記本体の長さは、前記基板の長さの１/２〜４/５である
請求項１０に記載の単点リニア蒸発源システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、蒸発源システムに関し、特に、単点リニア蒸発源システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
現在、有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ）アセンブリの製造において、未だに熱蒸着をメインとし、蒸着源メーカーだけでなくユーザーも蒸発源性能の向上に注力し、材料利用率を高めて材料コストを低減し、かつＯＬＥＤアセンブリの例えば蒸着薄膜の膜厚の均一性などの性能を向上させることが求められている。
【０００３】
従来、熱蒸着技術に用いる蒸発源の種類は、主に点蒸発源システム、クラスタリニア蒸発源システム、単点リニア蒸発源システム及び面蒸発源システムを含む。また、点蒸発源システムは、蒸着材料が収容される１つの坩堝を含み、基板が坩堝の上方に設けられる。点蒸発源システムを用いて薄膜を蒸着する場合、材料利用率が低く、通常１０％未満であり、薄膜の均一性が悪く、均一度が通常１０％より小さい。ここで、膜の均一度は、膜の均一度＝（最大膜厚-最小膜厚）/（最大膜厚+最小膜厚）により表される。クラスタリニア蒸発源システムは、少なくても２つの平行に配列されている長溝形の坩堝を含み、各長溝形の坩堝の底部にそれぞれ異なる材料が敷かれ、該クラスタリニア蒸発源システムを用いて薄膜を蒸着すると、膜の均一性は良好（＜５％）であるが、材料利用率が低い（１０％-２０％）。面蒸発源システムは、蒸着の目標面積と同じ面積又は目標面積より大きい面積を有する本体蒸着薄膜を含む。面蒸発源システムを用いて薄膜を蒸着すると、材料利用率は良好（＞４０％）であるが、薄膜の均一性が不安定（小于１０％）になる。
【０００４】
図１に示されるように、従来の単点リニア蒸発源は、細長状の本体１０を含み、本体１０内にキャビティーを有し、本体１０の天井部に複数のノズル１２が設けられ、本体１０の底部が中央位置において坩堝２０と連通している。基板１００に対して薄膜を蒸着する時に、坩堝２０が加熱装置（図示略）により加熱され、坩堝２０内の蒸着材料も加熱されて蒸気に気化され、本体１０のキャビティーに流れた後ノズル１２を介して基板１００に吐出されることにより、基板１００の下面に薄膜を付着させる。
【０００５】
従来の単点リニア蒸発源システムにおいて、本体１０が細長状であり、坩堝２０が本体１０の底部の中央位置に接続されているので、キャビティー内に流れる蒸気は、坩堝２０に近い中央位置では濃度が比較的高く、坩堝２０の中央位置から離れる両端部側では濃度が比較的低い。すなわち、キャビティー内の飽和蒸気圧がアンバランスであり、そのため、基板１００上に付着される膜厚にバラツキが生じてしまい、特に、基板１００の両端部側における薄膜の膜厚の均一性がより低下してしまう。大型の薄膜を製造する場合、従来の単点リニア蒸発源システムにより蒸着される膜の均一性が悪いという問題がより顕著になる。
【発明の概要】
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、均一度の良い薄膜を製造するための単点リニア蒸発源システムを提供することを目的とする。
【０００７】
上記目的を果すために、本発明は、下記の技術方案を採用する：
本発明は、基板上に薄膜を蒸着する単点リニア蒸発源システムを提供し、当該単点リニア蒸発源システムは、本体と、蒸発器と、２枚のガイド板とを含む。前記本体は、細長状のものであり、細長状のキャビティーを含み、前記本体の前記基板に対向する面に、前記基板に蒸着気体を吹き付けるためのものであって前記キャビティーに連通する複数のノズルが設けられている。蒸発器は、前記キャビティーに連通する開口部を備え、内部に収容された蒸着材料を蒸発させるためのものである。２枚のガイド板は、傾斜するように前記キャビティー内の両端部に設けられ、前記ガイド板の周側と前記本体が密封されるように接続され、前記２枚のガイド板の間の距離は、前記基板に近接する一端の間が、前記蒸発器に近接する一端の間より長い。
【０００８】
本発明の１つの実施形態によれば、前記ガイド板は、角度が調整可能に前記本体に設けられている。
【０００９】
本発明の１つの実施形態によれば、当該単点リニア蒸発源システムは、さらに、電動機又はモーターを含み、前記ガイド板は、第１の板体と第２の板体を含み、前記第１の板体の上端部が回転可能に前記本体に接続され、前記第２の板体の上部が摺動可能に前記第１の板体の下部に接続され、前記電動機又はモーターの出力軸が前記本体に設けられている貫通孔を貫通して、前記第１の板体に接続されている。
【００１０】
本発明の１つの実施形態によれば、前記第１の板体の下部と前記第２の板体の上部の中の何れの一方が中空の空間を有し、前記第１の板体の下部と前記第２の板体の上部の中の他方が前記中空の空間内に挿入される。
【００１１】
本発明の１つの実施形態によれば、前記第２の板体の上部が前記第１の板体の下部に重なって配置され、前記第２の板体と第１の板体の中の何れの一方に少なくとも１本の凹溝が設けられ、前記第２の板体と第１の板体の中の他方に前記凹溝に対応する形状の少なくとも１本の凸条が設けられている。
【００１２】
本発明の１つの実施形態によれば、前記凹溝は、燕尾状又は楕円状である。
本発明の１つの実施形態によれば、前記単点リニア蒸発源システムは、一端が前記蒸発器の開口部に連通し、他端が前記キャビティーに連通し、内径が前記蒸発器の開口部のサイズようり小さい接続管をさらに含む。
【００１３】
本発明の１つの実施形態によれば、前記単点リニア蒸発源システムは、さらに、排気管と、プレナムチャンバーと、弁と、を含む。排気管の一端が前記接続管に連通し、プレナムチャンバーが前記排気管の他端部に連通し、弁が前記接続管内に取り付けられ、前記単点リニア蒸発源システムが動作している時、前記弁は、前記蒸発器と前記キャビティーを連通させるとともに、前記蒸発器と前記排気管との連通を切断する状態となり、前記単点リニア蒸発源システムが動作を停止している時、前記弁は、前記蒸発器と前記キャビティーとの連通を切断するとともに、前記キャビティーと前記排気管を連通させる状態となる。
【００１４】
本発明の１つの実施形態によれば、前記単点リニア蒸発源システムは、さらに、３ポート弁と、排気管と、プレナムチャンバーと、を含む。３ポート弁は、３つのポートを備え、第１のポートが前記蒸発器に連通し、第２のポートが前記本体のキャビティーに連通し、排気管の一端が前記３ポート弁の第３のポートに連通し、プレナムチャンバーが前記排気管の他端部に連通し、前記単点リニア蒸発源システムが動作している時、前記第１のポート、第２のポートが開放されるとともに、第３のポートが閉塞され、前記単点リニア蒸発源システムが動作を停止している時、前記第１のポートが閉塞されるとともに、第２のポート、第３のポートが開放される。
【００１５】
本発明の１つの実施形態によれば、前記本体の両端部に近隣する前記ノズルは、前記基板の端部の方向に向かう。
【００１６】
本発明の１つの実施形態によれば、前記本体の中央部に位置するいくつかのノズルの直径は、前記本体の両端部に位置するノズルの直径より小さい。
【００１７】
本発明の１つの実施形態によれば、前記本体の長さは、前記基板の長さより短い。
本発明の１つの実施形態によれば、前記本体の長さは、前記基板の長さの１/２〜４/５である。
【００１８】
本発明の１つの実施形態によれば、前記蒸発器は、坩堝である。
本発明の１つの実施形態によれば、前記２枚のガイド板は、対称するように設けられている。
【００１９】
本発明の１つの実施形態によれば、前記本体の両端部に近隣する前記ノズルは、傾斜するように設けられている。
【００２０】
本発明の１つの実施形態によれば、前記ノズルは、前記本体に設置されたノズル板に設けられている。
【００２１】
本発明の１つの実施形態によれば、前記ノズル板は、前記本体と一体に形成されている。
【００２２】
本発明の１つの実施形態によれば、前記ガイド板は、前記本体と一体に形成されている。
【００２３】
本発明の１つの実施形態によれば、前記本体は、亜鉛めっき鋼板又はチタンから製造される。
【００２４】
本発明の１つの実施形態によれば、前記ガイド板は、亜鉛めっき鋼板又はチタンから製造される。
【００２５】
本発明の１つの実施形態によれば、前記ガイド板は円弧状である。
上記の技術案からわかるように、本発明の単点リニア蒸発源システムの利点と積極的な效果は、下記のように、本発明の単点リニア蒸発源システムにおいて、傾斜するように本体のキャビティー内の両端部側に設置された２枚のガイド板により、キャビティーの形状を変化させ、蒸発器付近のキャビティーの縦断面が比較的小さく、基板付近のキャビティーの縦断面が比較的大きくなるため、キャビティー内の蒸気圧力のバランスを有効に改善させることができ、キャビティー内の中央部位置及び両端部位置における蒸気圧が均等になり、基板上に蒸着される薄膜の均一度を向上させる。
【００２６】
下記のように、好ましい実施例について図面を参照しながら説明することにより、本発明の上記目的及び他の目的、特徴、利点がより明確になる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】従来の単点リニア蒸発源システムの構成を模式的に示す図である。
【図２】本発明の第１の実施例に係る単点リニア蒸発源システムの構成を模式的に示す図である。
【図３】本発明の第２の実施例に係る単点リニア蒸発源システムの構成を模式的に示す図である。
【図４】本発明の第３の実施例に係る単点リニア蒸発源システムの構成を模式的に示す図である。
【図５】本発明の第４の実施例に係る単点リニア蒸発源システムの構成を模式的に示す図である。
【図６】本発明の第３の実施例及び第４の実施例に係る単点リニア蒸発源システムの効果を示す図である。
【図７】本発明の第５の実施例に係る単点リニア蒸発源システムの構成を模式的に示す図である。
【図８Ａ】本発明の第６の実施例に係る単点リニア蒸発源システムの構成を模式的に示す図である。
【図８Ｂ】図８Ａ中の線Ａ-Ａの断面図である。
【図９Ａ】本発明の第７の実施例に係る単点リニア蒸発源システムの構成を模式的に示す図である。
【図９Ｂ】図９Ａ中の線Ｂ-Ｂの断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下、本発明の具体的な実施例について、詳細に説明する。ここで開示された実施例は、例を挙げて説明するためのものであり、本発明に対する制限的なものではないと考えられるべきである。
【００２９】
第１の実施例
図２に示されるように、本発明の第１の実施例に係る単点リニア蒸発源システムは、基板１００上に薄膜を蒸着するためのものである。本第１の実施例における単点リニア蒸発源システムは、本体１０、坩堝２０、２枚のガイド板７０及び複数のノズル１２を含む。
【００３０】
本体１０は、一定の距離を隔てて基板１００の下方に平行に設けられている。本体１０は、例えば、亜鉛めっき鋼板又はチタンなどの金属材料から製造されることができ、当該本体１０は、細長状の外観を持ち、例えば、天井面と、底面と、両側面と、両端面に囲まれてなる直方体形状のものであり、本体１０内に細長状のキャビティーを有する。単点リニア蒸発源システムの全体の体積を減少させるために、本体１０の長さは、基板１００の長さより短く、例えば、本体１０の長さを、基板１００の長さの１／２〜４／５にする。本体１０には、当該本体１０を加熱するためのヒーター（図示略）が取り付けられることができる。
【００３１】
坩堝２０は、キャビティーの中央部と連通する開口部を備え、当該坩堝２０内に収容された蒸着材料を蒸発させる。坩堝２０の外部には、当該坩堝２０を加熱するためのヒーター（図示略）が設置されることが可能である。本発明における坩堝２０は、他のタイプの蒸発器に取り替えられても良い。
【００３２】
２枚のガイド板７０は、例えば亜鉛めっき鋼板又はチタンなどの金属材料から製造されることができ、傾斜するようにキャビティーの両端部に配置されており、また、２枚のガイド板７０の間の距離は、坩堝２０に近接する一端の間の距離が、基板１００に近接する一端の間の距離より短い。従来の単点リニア蒸発源システムにおいて、キャビティー内の各箇所における横断面面積が同様で、且つ各箇所の縦断面面積も同様であるため、キャビティーの中央部における蒸気の濃度が、キャビティーの両端部における蒸気の濃度より高くなり、蒸着膜の不均一性を生じてしまう。本発明において、２枚のガイド板７０を設けることで、本体１０のキャビティー形状を変化させ、キャビティーの坩堝２０に近接する部分の縦断面面積を基板１００に近接する部分の縦断面面積より小さくするとともに、キャビティーの中央部の横断面面積をキャビティーの両端部の横断面面積より大きくする。つまり、キャビティーの両端部は、基板１００から坩堝２０への方向に向かって内側に収縮することにより、キャビティーの両端部の空間を縮小させ、それに対して、キャビティーの両端部付近の蒸気の濃度を増加させるため、キャビティー内の中央部及び両端部における蒸気圧が均等になり、基板１００上に蒸着される薄膜の均一度を向上させる。
【００３３】
さらに、本体１０が基板１００の中心に位置を合わせて基板１００に対向するように配置される場合、２枚のガイド板７０は、本体１０の中心横断面１３について対称するように配置され、この場合、形成されたキャビティーの縦断面が逆台形になる。気体を有効に遮断するために、ガイド板７０の周側と本体１０との間が密封されるように両者を接続することが好ましく、例えば，ガイド板７０の周側と本体１０との間に密封シールを介在させる。なお、ガイド板７０は、本体１０と一体に形成されても良い。本第１の実施例において、ガイド板７０は、平板状であるが、円弧状などの他の形状であっても良い。
【００３４】
複数のノズル１２は、ノズル板に取り付けられ、ノズル板は、例えば本体１０の頂板を構成するように本体１０と一体に形成されることができる。ノズル１２は、基板１００に蒸着気体を吹き付けるためのものである。複数のノズル１２の配置は、様々な方式があり、例えば、本体の両端部に近隣するノズルが傾斜に設置され、具体的には、本体１０の両端部に近隣するノズル１２が基板１００の端部に向かうように設置されてもよく、両端部のノズル１２が中央部のノズル１２に対して高密度に配置され、かつ、本体１０の中央部に位置するノズル１２の直径が本体１０の両端部に位置するノズル１２の直径より小さくてもいい。例えば、本体１０の中央部からその両端部に向かって離れるにつれて、ノズル１２の直径が大きくなるように配置することができる。いくつかのノズル１２を上記のように配列することで、基板１００の両端部における薄膜の膜厚の均一度を有効に高めることができる。
【００３５】
第１の実施例において、単点リニア蒸発源システムが動作している時、坩堝２０内の蒸着材料が加熱されて蒸発され、キャビティーに流れ込まれた後、複数のノズル１２を介して吐き出され、基板１００の下面に蒸着される。
【００３６】
第２の実施例
図３に示されるように、本発明の第２の実施例に係る単点リニア蒸発源システムの構成は、第１の実施例とほぼ同様であり、相違点は、ただ、当該第２の実施例の単点リニア蒸発源システムがさらに接続管３０を備えることにある。接続管３０の一端は坩堝２０の開口部に連通し、他端はキャビティーに連通する。即ち、坩堝２０とキャビティーとは接続管３０を介してお互いに連通する。ここで、接続管は、その内径が坩堝２０の開口部のサイズより小さく、坩堝２０からの蒸気を収集する機能を発揮し、これにより、坩堝２０内の蒸気のオーバーフローを抑制することができ、材料の無駄を抑制することができる。
【００３７】
本第２の実施例における単点リニア蒸発源システムの他の構成は、第１の実施例と同様であるため、ここで、説明を省略する。
【００３８】
第３の実施例
図４に示されるように、本発明の第３の実施例に係る単点リニア蒸発源システムの構成は、第２の実施例とほぼ同様であり、相違点は、ただ、本第３の実施例の単点リニア蒸発源システムが、さらに、排気管４０、プレナムチャンバー５０及び弁を含むことにある。排気管４０の一端は接続管３０に連通し、他端はプレナムチャンバー５０に連通する。弁は、接続管３０内に取り付けられている（図示略）。
【００３９】
単点リニア蒸発源システムが動作している時、該弁は、坩堝２０とキャビティーを連通させるとともに、坩堝２０と排気管４０との連通を切断する状態になることで、坩堝２０からの蒸気をキャビティーに流通させ、一方、単点リニア蒸発源システムが動作を停止している時、弁は、坩堝２０とキャビティーの連通を切断するとともに、キャビティーと排気管４０を連通させる状態となることで、排気管４０を介してキャビティーに溜めた蒸気をプレナムチャンバー５０に回収させ、材料の浪費を防止することができる。
【００４０】
本第３の実施例における単点リニア蒸発源システムの他の構成は、第２の実施例と同様であるため、ここで、説明を省略する。
【００４１】
第４の実施例
図５に示されるように、本発明の第４の実施例に係る単点リニア蒸発源システムの構成は、第１の実施例とほぼ同様であり、相違点は、ただ、当該第４の実施例の単点リニア蒸発源システムが、さらに、３ポート弁６０、排気管４０及びプレナムチャンバー５０を含むことにある。３ポート弁６０は、坩堝２０に連通する第１のポートと、本体１０のキャビティーに連通する第２のポートと、排気管４０の一端部に連通する第３のポートとを備え、排気管４０の他端部はプレナムチャンバー５０に連通する。本第４の実施例において、坩堝２０、キャビティー及び排気管４０は、３ポート弁６０を介して互いに連通することができる。
【００４２】
単点リニア蒸発源システムが動作している時、３ポート弁６０の第１のポート、第２のポートを開放するとともに、第３のポートを閉塞することで、坩堝２０から蒸発された蒸気をキャビティーに流通させ、一方、単点リニア蒸発源システムが動作を停止している時、３ポート弁６０の第１のポートを閉塞するとともに、第２のポート、第３のポートを開放することで、排気管４０を介してキャビティーに溜めた蒸気をプレナムチャンバー５０に回収させ、材料の浪費を防止することができる。
【００４３】
本第４の実施例における単点リニア蒸発源システムの他の構成は、第１の実施例と同様であるため、ここで、説明を省略する。
【００４４】
図６を参照すると、図６は、本発明の第３の実施例及び第４の実施例に係る単点リニア蒸発源システムの效果を示す図である。図から分かるように、キャビティー内の蒸気圧力のバランスが比較的良く、それに加えて、両端部側のノズル１２が傾斜に設置されることにより、各ノズル１２により吹き付けられた蒸気の密度や圧力が比較的均等になるため、基板１００上に形成された薄膜の膜厚が非常に均等になり、検証した結果、薄膜の均一度が±３％より小さい。一方、本発明の単点リニア蒸発源システムは、動作を終了した後、キャビティーの蒸気をプレナムチャンバー５０に回収可能であるため、材料使用率が３０％を上回る。
【００４５】
本発明の単点リニア蒸発源システムにおいて、ガイド板７０の本体１０に対する傾斜角度θは、基板１００の長さと本体１０の長さとの差分に関係し、差分が大きくなるほど、傾斜角度θが小さくなる。そのため、基板１００の長さと本体１０長さとの差分に応じて、ガイド板７０の本体１０に対する傾斜角度θも異なり、また、２枚のガイド板７０がそれぞれ本体１０に対する傾斜角度は（図１〜図５に示されるように）同じであっても良く、異なっても良い（図示略）。
【００４６】
第５の実施例
図７を参照すると、本発明の第５の実施例に係る単点リニア蒸発源システムにおいて、ガイド板７０は、本体１０に対する傾斜角度θを調整可能に本体１０に取り付けられる。第５の実施例に係る当該単点リニア蒸発源システムは、例えば，さらに電動機８０を備えるが、この電動機８０をモーターに取り替えても良い。ガイド板７０は、第１の板体７１と第２の板体７２を含む。第１の板体７１の上端部は、従来の接続方式により本体１０の一端の端壁の天井部に接続される。第１の板体７１の下部は、中空の空間を有し、第２の板体７２の上部を第１の板体７１の下部の空間内に挿入することで、第１の板体７１と第２の板体７２とが摺動可能に接続される。本第５の実施例において、第２の板体７２の上部が中空の空間を有してもよく、この場合、第１の板体７１の下部を第２の板体７２の中空の空間内に挿入することができる。
【００４７】
傾斜角度θを調整する必要がある場合、電動機８０の出力軸８１は、本体１０の端壁に設けられた貫通孔を貫通して、第１の板体７１に接続される。出力軸８１が電動機８０から外部に伸びる場合、第１の板体７１を押し付け、第２の板体７２は、重力により第１の板体７１から反対方向へ摺動し、本体１０の底壁との接触を保持しながら、電動機８０から離れる方向へ変位する。出力軸８１が電動機８０へ戻る場合、出力軸８１により第１の板体７１がその上端部を支点として回転し、第２の板体７２は、その底端部が本体１０の底壁に接触しながら、本体１０の底壁に沿って電動機８０に近接する方向に変位する。
【００４８】
本発明の第５の実施例に係る単点リニア蒸発源システムによれば、ガイド板７０の本体１０に対する傾斜角度θを簡単に調整することができ、そのため、蒸気圧力に対する様々な要求に適当に対応することができる。
【００４９】
第６の実施例
図８Ａ及び図８Ｂを参照すると、本発明の第６の実施例に係る単点リニア蒸発源システムの構成は、第５の実施例とほぼ同様であり、相違点は、ただ、第２の板体７２の上部が第１の板体７１の下部に重なって配置されることにある。第２の板体７２には、２本の燕尾状の溝が設けられ、第１の板体７１には、燕尾状の溝に対応する形状の２本の燕尾状の凸条７１１が設けられ、燕尾状の凸条７１１と燕尾状の溝との結合により、第２の板体７２が第１の板体７１に摺動可能に接続される。本第６の実施例において、燕尾状の溝を第１の板体７１に設け、燕尾状の凸条７１１を第２の板体７２に設けても良い。燕尾状の溝の数は、２本に限られるものではなく、１本のみ又は３本、４本などにしても良い。
【００５０】
本第６の実施例における単点リニア蒸発源システムの他の構成は、第５の実施例と同様であるため、ここで、説明を省略する。
【００５１】
第７の実施例
図９Ａ及び図９Ｂを参照すると、本発明の第７の実施例に係る単点リニア蒸発源システムの構成は、第５の実施例とほぼ同様であり、相違点は、ただ、第２の板体７２の上部が第１の板体７１の下部に重なって配置されることにある。第２の板体７２には、２本の楕円状の溝が設けられ、第１の板体７１には、楕円状の溝に対応する形状の２本の楕円状の凸条７１２が設けられ、楕円状の凸条７１２と楕円状の溝との結合により、第２の板体７２が第１の板体７１に摺動可能に接続される。本第７の実施例において、楕円状の溝を第１の板体７１に設け、楕円状の凸条７１２を第２の板体７２に設けても良い。楕円状の溝の数は、２本に限られるものではなく、１本のみ又は３本、４本などにしても良い。
【００５２】
勿論、本発明において、第２の板体７２が第１の板体７１に摺動可能に接続される方式は、上記のような楕円状の凹溝に楕円状の凸条を結合させる方式、或いは、燕尾状の凹溝に燕尾状の凸条を結合させる方式に限られものではなく、他の形状の凹溝と凸条を結合させる方式であっても良く、さらに、摺動可能に接続する方式であれば、他の接続方式であっても良い。
【００５３】
以上、いくつかの典型的な実施例を参照して本発明について述べたが、ここで使用された用語は、説明および例示のためであって限定するためのものではないと考えられるべきである。本発明は、本発明の主旨又は実質を逸脱しない範囲内に様々な形態で具体的に実施されることが可能であるため、上記の実施例は、前述したいかなる詳細内容に限定されるものではなく、特許請求の範囲に開示された本発明の主旨と範囲内で広義に解釈されることができると考えられるべきである。したがって、特許請求の範囲によって示され、請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更及び修正が含まれることが意図されることは言うまでもない。
【符号の説明】
【００５４】
１００：基板
１０：本体
１２：ノズル
２０：坩堝
３０：接続管
４０：排気管
５０：プレナムチャンバー
６０：３ポート弁
７０：ガイド板
７１：第１の板体
７１１：燕尾状の凸条
７１２：楕円状の凸条
７２：第２の板体
８０：電動機
８１：出力軸
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８Ａ】
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【図８Ｂ】
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【図９Ａ】
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【図９Ｂ】
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