(57)【要約】【課題】本発明は、コモンモードノイズフィルタに関する。【解決手段】本発明は、表面にポア（ｐｏｒｅ）が形成されたフェライト粉末を単独で、または異なる粒子サイズを有する２種以上のフェライト粉末を磁性層として含むコモンモードノイズフィルタに関する。本発明によると、磁性層に含まれる高分子バインダーとフェライト粉末との間の接着力が向上されることにより、チップの製作及び実装時に熱衝撃によって前記高分子バインダーとの接着力が低下してクラックなどの不良が発生することを抑制して、熱衝撃に対する信頼性を確保することができる。また、本発明の磁性層に含まれた球形のフェライト粉末は、粒子サイズの差によって分散が容易であるため、コモンモードノイズフィルタの透磁率を改善して、微細線幅を有し、比較的厚い厚さの薄膜型コモンモードノイズフィルタを製造することができる。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面にポア（ｐｏｒｅ）が形成されたフェライト粉末を磁性層として含む、コモンモードノイズフィルタ。
【請求項２】
前記フェライト粉末の表面に形成されたポアのサイズは１００〜１０００ｎｍである、請求項１に記載のコモンモードノイズフィルタ。
【請求項３】
前記フェライト粉末の平均粒径は１０〜５０μｍである、請求項１に記載のコモンモードノイズフィルタ。
【請求項４】
前記フェライト粉末は球形である、請求項１に記載のコモンモードノイズフィルタ。
【請求項５】
前記フェライト粉末は、原料粉末を混合してスプレードライする段階と、８００〜９００℃で５０〜９０分間仮焼する段階と、を経て製造される、請求項１に記載のコモンモードノイズフィルタ。
【請求項６】
前記フェライト粉末は、Ｆｅ２Ｏ３、ＮｉＯ、ＣｕＯ、ＺｎＯ、ＭｎＯ、Ｃｏ３Ｏ４、Ｂｉ２Ｏ３、及びＴｉからなる群から選択される１種以上である、請求項１に記載のコモンモードノイズフィルタ。
【請求項７】
前記磁性層は、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂及びポリアニリン樹脂からなる群から選択される１種以上の高分子バインダーを含む、請求項１に記載のコモンモードノイズフィルタ。
【請求項８】
前記磁性層は、フェライト粉末と高分子バインダーが７：１〜１０：１の重量比で混合されるものである、請求項７に記載のコモンモードノイズフィルタ。
【請求項９】
表面にポアが形成され、異なる粒子サイズを有する２種以上のフェライト粉末を磁性層として含む、コモンモードノイズフィルタ。
【請求項１０】
前記フェライト粉末は、平均粒径が１０〜５０μｍである第１粒子（ＡＬ）と、平均粒径が０．０１〜９μｍである第２粒子（ＡＳ）と、を含む、請求項９に記載のコモンモードノイズフィルタ。
【請求項１１】
前記第１粒子（ＡＬ）と第２粒子（ＡＳ）の平均粒径サイズの比率は３：１〜１０：１である、請求項１０に記載のコモンモードノイズフィルタ。
【請求項１２】
前記第１粒子の表面に形成されたポアのサイズは１００〜１０００ｎｍであり、前記第２粒子の表面に形成されたポアのサイズは１０〜１００ｎｍである、請求項１０に記載のコモンモードノイズフィルタ。
【請求項１３】
前記第１粒子と第２粒子の含量比は３：１〜１０：１である、請求項１０に記載のコモンモードノイズフィルタ。
【請求項１４】
前記フェライト粉末は球形である、請求項９に記載のコモンモードノイズフィルタ。
【請求項１５】
前記第１粒子は、原料を混合してスプレードライする段階と、８００〜９００℃で５０〜９０分間仮焼する段階と、を経て製造され、前記第２粒子は、原料を混合してスプレードライする段階と、８００〜９００℃で１０〜４０分間仮焼する段階と、を経て製造される、請求項１０に記載のコモンモードノイズフィルタ。
【請求項１６】
前記フェライト粉末は。Ｆｅ２Ｏ３、ＮｉＯ、ＣｕＯ、ＺｎＯ、ＭｎＯ、Ｃｏ３Ｏ４、Ｂｉ２Ｏ３、及びＴｉからなる群から選択される１種以上である、請求項９に記載のコモンモードノイズフィルタ。
【請求項１７】
前記磁性層は、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂及びポリアニリン樹脂からなる群から選択される１種以上の高分子バインダーを含む、請求項９に記載のコモンモードノイズフィルタ。
【請求項１８】
前記磁性層は、フェライト粉末と高分子バインダーが７：１〜１０：１の重量比で混合される、請求項１７に記載のコモンモードノイズフィルタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、コモンモードノイズフィルタに関する。
【背景技術】
【０００２】
我々の周辺に存在する電子機器は、多かれ少なかれ放射ノイズを発生させる。このようなノイズは、自由に且つ急激に変化するため、電子機器自体がノイズの発生源となることを防止するとともに、外来ノイズによる誤動作なども防止することができる耐性（Ｉｍｍｕｎｉｔｙ）対策が必要である。これがＥＭＣの基本的な思考である。
【０００３】
伝導ノイズは、コンデンサによってグラウンドに「バイパス（Ｂｙ−Ｐａｓｓ）」されたり、抵抗及びフェライトコア（Ｆｅｒｒｉｔｅ  Ｃｏｒｅ）、チップビーズ（Ｃｈｉｐ  Ｂｅａｄ）などによって「吸収」されて、熱に変換されて除去されることが一般的である。
【０００４】
伝導ノイズに対する対策として、また一つの重要な方法がある。これは、インダクタ（Ｉｎｄｕｃｔｏｒ）の特性を利用してノイズ電流を「反射」させる方法である。インダクタにおいて、直流電流は円滑に流れるが、交流電流はインピーダンス（Ｉｍｐｅｄａｎｃｅ；交流電流に対する抵抗）が高くなって円滑に流れないためである。ところが、伝導ノイズの伝達方式には、差動モード（Ｄｉｆｆｅｒｅｎｔｉａｌ  Ｍｏｄｅ）とコモンモード（Ｃｏｍｍｏｎ  Ｍｏｄｅ）の二つのタイプがあり、その違いに応じたノイズ対策が要求される。ノイズのタイプを確認しないと、ノイズ抑制部品を回路に追加しても、ノイズが却って増加する状況をもたらすこともある。
【０００５】
コモンモード（Ｃｏｍｍｏｎ  Ｍｏｄｅ）とは、往路及び復路に対して同じ方向に流れる伝導モードである。コモンモードノイズは、配線系のインピーダンスの不平行などによって生じることもあり、高周波であるほど顕著になる。また、コモンモードノイズは地面などにも伝達され、大きいループを描いて戻ってくるため、遠く離れている電子機器にも様々なノイズ障害を発生させる。
【０００６】
従って、デジタル機器において、差動モードノイズ（Ｄｉｆｆｅｒｅｎｔｉａｌ  Ｍｏｄｅ  Ｎｏｉｓｅ）に対する対策は勿論、コモンモードノイズに対する対策がさらに重視されている。
【０００７】
このようなコモンモードノイズフィルタ１０は、図１のように、フェライト基板１１に内部コイル導体１２が形成された絶縁層１３を設け、前記コイル導体１２をビア電極（不図示）に連結させた後、前記基板１１の外周面には外部端子電極１４が連結された構造を有する。また、前記コイル導体１２の内側には、絶縁層１３を貫通する開口部１５が形成されており、前記開口部１５の内部には磁性体が充填された磁性層１６が含まれる。
【０００８】
図２は、前記図１の構造を上部から見たときの図面である。
【０００９】
前記磁性層１６はフェライト及び高分子バインダーが混合されたフェライト複合体の形態で構成されるが、前記フェライトとしては、１種の粉末、または異なるサイズを有する２種の粉末を用いる。しかし、フェライト複合体の充填率を高めるために球形のフェライト粉末を用いる場合、チップの製作及び実装時、前記高分子バインダーとの接着力の不足のため、熱衝撃によってクラックなどの不良が発生する。
【００１０】
また、透磁率値を改善するために、フェライトの粒径を大きくしたり、高分子バインダーの量を減らしたり、または成形時の温度を高くする方法などが用いられる。しかし、フェライトの粒径を大きくすると高周波特性が悪くなり、高分子バインダーの量を減らすと圧粉体の絶縁性及び耐電圧特性が悪くなる。また、温度を高くする方法は、作業性の低下、設備コスト及びフィルタの信頼性において問題が生じる恐れがあるため好ましくない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】日本公開特許２０００-１０６３０８
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
本発明の目的は、従来の巻線型、積層型のコモンモードノイズフィルタの問題点を改善するために、高精度の微細線幅及び優れた上下パターンの連結性を有するため、内部回路パターンを容易に形成することができ、外部電極との連結性に優れた薄膜型コモンモードノイズフィルタを提供することにある。
【００１３】
また、本発明の他の目的は、電気的特性及び信頼性に優れた薄膜型コモンモードノイズフィルタを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明の一実施形態によるコモンモードノイズフィルタは、表面にポア（ｐｏｒｅ）が形成されたフェライト粉末を磁性層として含むことを特徴とする。
【００１５】
前記フェライト粉末の表面に形成されたポアのサイズは１００〜１０００ｎｍであることが好ましい。
【００１６】
前記フェライト粉末の平均粒径は１０〜５０μｍであることが好ましい。
【００１７】
前記フェライト粉末は球形であることが好ましい。
【００１８】
前記フェライト粉末は、原料粉末を混合してスプレードライする段階と、８００〜９００℃で５０〜９０分間仮焼する段階と、を経て製造されることができる。
【００１９】
前記フェライト粉末は、Ｆｅ２Ｏ３、ＮｉＯ、ＣｕＯ、ＺｎＯ、ＭｎＯ、Ｃｏ３Ｏ４、Ｂｉ２Ｏ３、及びＴｉからなる群から選択される１種以上であることができる。
【００２０】
前記磁性層は、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂及びポリアニリン樹脂からなる群から選択される１種以上の高分子バインダーを含むことができる。
【００２１】
本発明による前記磁性層は、フェライト粉末と高分子バインダーが７：１〜１０：１の重量比で混合されるものであることができる。
【００２２】
本発明の一実施形態によるコモンモードノイズフィルタは、表面にポアが形成され、異なる粒子サイズを有する２種以上のフェライト粉末を磁性層として含むことを特徴とする。
【００２３】
本発明の一実施形態によると、前記フェライト粉末は、平均粒径が１０〜５０μｍである第１粒子と、平均粒径が０．０１〜９μｍである第２粒子と、を含むことができる。
【００２４】
前記第１粒子と第２粒子の平均粒径サイズの比率は３：１〜１０：１であることが好ましい。
【００２５】
前記第１粒子の表面に形成されたポアのサイズは１００〜１０００ｎｍであり、前記第２粒子の表面に形成されたポアのサイズは１０〜１００ｎｍであることができる。
【００２６】
前記第１粒子と第２粒子の含量比は３：１〜１０：１であることが好ましい。
【００２７】
前記フェライト粉末は球形であることが好ましい。
【００２８】
前記第１粒子は、原料粉末を混合してスプレードライする段階と、８００〜９００℃で５０〜９０分間仮焼する段階と、を経て製造され、前記第２粒子は、原料粉末を混合してスプレードライする段階と、８００〜９００℃で１０〜４０分間仮焼する段階と、を経て製造されることができる。
【００２９】
前記フェライト粉末は。Ｆｅ２Ｏ３、ＮｉＯ、ＣｕＯ、ＺｎＯ、ＭｎＯ、Ｃｏ３Ｏ４、Ｂｉ２Ｏ３、及びＴｉからなる群から選択される１種以上であることができる。
【００３０】
前記磁性層は、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂及びポリアニリン樹脂からなる群から選択される１種以上の高分子バインダーを含むことができる。
【００３１】
前記磁性層は、フェライト粉末と高分子バインダーが７：１〜１０：１の重量比で混合されることが好ましい。
【発明の効果】
【００３２】
本発明によると、コモンモードノイズフィルタの磁性層材料として、表面にポアが形成された球形のフェライト粉末を単独で用いたり、または前記フェライト粉末より小さい粒子サイズを有するフェライト粉末を混合して用いることにより、分散性が向上されて、混合される高分子バインダーとの接着力を向上させることができる。
【００３３】
また、本発明によると、前記高分子バインダーとフェライト粉末との間の接着力が向上されることにより、チップの製作及び実装時、前記高分子バインダーとの接着力の不足のため熱衝撃によってクラックなどの不良が発生することを抑制して、熱衝撃に対する信頼性を確保することができる。
【００３４】
また、本発明の磁性層に含まれた球形のフェライト粉末は、粒子サイズの差によって分散が容易であるため、コモンモードノイズフィルタの透磁率を改善して、微細線幅を有し、比較的厚い厚さの薄膜型コモンモードノイズフィルタを製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】従来のコモンモードノイズフィルタの構造を示した図面である。
【図２】従来のコモンモードノイズフィルタの構造を示した図面である。
【図３】本発明のコモンモードノイズフィルタの構造を示した図面である。
【図４】本発明のコモンモードノイズフィルタの構造を示した図面である。
【図５】本発明の一実施形態によるフェライト粉末の構造を示した図面である。
【図６】本発明の実施例２によって製造されたフェライト粉末の粒子サイズを走査型電子顕微鏡で確認した結果である。
【図７】本発明によるコモンモードノイズフィルタの製造過程を示した図面である。
【発明を実施するための形態】
【００３６】
以下、添付の図面を参照して、本発明の好ましい実施形態を詳細に説明する。
【００３７】
本明細書で用いられる用語は、特定の実施形態を説明するために用いられ、本発明を限定しようとするものではない。本明細書に用いられたように、単数型は文脈上異なる場合を明白に指摘するものでない限り、複数型を含むことができる。また、本明細書で用いられる「含む（ｃｏｍｐｒｉｓｅ）」及び／または「含んでいる（ｃｏｍｐｒｉｓｉｎｇ）」は言及された形状、数字、段階、動作、部材、要素、及び／またはこれらの組み合わせが存在することを特定するものであり、一つ以上の他の形状、数字、段階、動作、部材、要素、及び／またはこれらの組み合わせの存在または付加を排除するものではない。
【００３８】
本発明のコモンモードノイズフィルタは、表面にポア（ｐｏｒｅ）が形成された球形のフェライト粉末を磁性層として含むものである。
【００３９】
図３は本発明の一実施形態によるコモンモードノイズフィルタ１００の構造を示したものである。これを参照すると、基板１１１上に形成された積層体を構成する複数の絶縁層１１３と、前記複数の絶縁層１１３に含まれる内部電極コイル１１２と、前記内部電極コイル１１２の端部に接続される外部電極端子１１４と、前記積層体の表面に形成された磁性層１１６と、を含む。
【００４０】
本発明は、前記磁性層１１６の材料のうちフェライト粉末として、表面にポアが形成された１種の粒子を用いたり、または表面にポアが形成され、異なるサイズを有する２種以上の粒子を用いることを特徴とする。
【００４１】
本発明のコモンモードノイズフィルタに用いられる前記基板１１１は、通常のフェライト基板が用いられることができ、フェライトの材質は特に限定されない。
【００４２】
前記フェライト基板１１１上には複数の絶縁層１１３が積層されて積層体をなしており、前記各絶縁層１１３には内部電極コイル１１２が形成されている。前記各絶縁層１１３の内部電極コイル１１２は、隣合うビア電極（不図示）によって互いに連結されている。
【００４３】
前記絶縁層１１３は、各内部電極コイル１１２を互いに絶縁させるとともに、前記内部電極コイル１１２が形成される表面を平らにする役割をする。このような絶縁層１１３の材料としては、電気的及び磁気的絶縁特性に優れ、加工性が良好な高分子樹脂が好ましく用いられることができ、例えば、エポキシ樹脂またはポリイミド樹脂などが挙げられるが、特にこれに限定されるものではない。
【００４４】
また、前記各絶縁層１１３に形成される内部電極コイル１１２は、優れた導電性及び加工性を有する銅（Ｃｕ）またはアルミニウム（Ａｌ）などを用いることができ、その形成方法は、フォトリソグラフィを利用したエッチング法や、アディティブ法（メッキ法）を用いることができ、その方法は特に限定されない。
【００４５】
前記各絶縁層１１３の中央、即ち、各内部電極コイル１１２の内側には、各絶縁層１１３を貫通する開口部が形成されており、前記各絶縁層１１３に形成された内部電極コイル１１２は各層のビア電極によって電気的に連結される。
【００４６】
また、前記内部電極コイル１１２の各端部は外部電極端子１１４に連結されるが、通常、前記積層体の外周面の両側面に４個の外部電極端子１１４が形成されている。図４は前記図３を上部から見たときの図面である。
【００４７】
また、本発明のノイズフィルタは、前記積層体の表面に磁性層１１６を含む構造を有する。本発明による前記磁性層１１６は、フェライト粉末、高分子バインダー、及びその他の添加剤を含むことができる。
【００４８】
本発明では、特に、前記フェライト粉末としてその表面にポアが形成されたものを用いることが好ましい。前記フェライト粉末の表面に形成されたポアのサイズは１００〜１０００ｎｍであることが好ましい。前記ポアのサイズが１００ｎｍ未満の場合には、十分な表面積を有しないため分散性の向上が十分でなく、また、１０００ｎｍを超過する場合には、分散時に高分子バインダーを吸湿するという問題があるため好ましくない。上記のようにフェライト粉末の表面にポアが形成されることにより、前記フェライト粉末の表面積を大きくすることができるため、混合される高分子バインダーとの分散性を向上させることができる。
【００４９】
また、本発明で用いられる前記フェライト粉末の平均粒径は１０〜５０μｍであることが、透磁率の向上において好ましい。
【００５０】
また、本発明による前記フェライト粉末は球形であることが、フェライト粒子が円滑に分散されるため好ましい。
【００５１】
本発明による表面にポアが形成された前記フェライト粉末は、次のように製造されることができる。まず、前記フェライト粉末を構成する各原料粉末を約７〜１０時間に亘ってアトリションミル（Ａｔｔｒｉｔｉｏｎ  ｍｉｌｌ）で混合した後、その混合物を２００〜４００℃でスプレー乾燥する。次に、約８００〜９００℃で５０〜９０分間仮焼することにより製造することができる。
【００５２】
上記のような条件で製造されるフェライト粉末は平均粒径が約１０〜５０μｍであり、これを拡大して見ると、その表面に微細なポアが形成されている。従って、表面積が大きい球形のフェライト粒子が上記のような条件で製造されることができる。
【００５３】
また、本発明の前記フェライト粉末は、Ｆｅ２Ｏ３、ＮｉＯ、ＣｕＯ、ＺｎＯ、ＭｎＯ、Ｃｏ３Ｏ４、Ｂｉ２Ｏ３、及びＴｉからなる群から選択される１種以上の材料を混合して製造されたものであることができる。
【００５４】
また、本発明の磁性層１１６は、表面にポアが形成された前記フェライト粉末とともに高分子バインダーを含むことができる。前記高分子バインダーは、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂及びポリアニリン樹脂からなる群から選択される１種以上であることができ、優れた熱安定性を有する高分子バインダーが好ましく用いられることができる。
【００５５】
本発明による前記磁性層は、フェライト粉末と高分子バインダーが７：１〜１０：１の重量比で混合されることが、分散性及び工程性において好ましい。
【００５６】
また、本発明による前記磁性層は分散剤などの通常の添加剤を含むことができる。
【００５７】
本発明による前記磁性層の厚さは５０〜１００μｍに形成されることが、濡れ性（ｗｅｔｔｉｎｇ  ｐｒｏｐｅｒｔｙ）及び脱泡性において好ましい。
【００５８】
また、本発明の他の一実施形態によるコモンモードノイズフィルタは、図３のような構造を有し、前記磁性層１１６の材料として、表面にポアが形成され、異なる粒子サイズを有する２種以上のフェライト粉末を含むことを特徴とする。
【００５９】
即ち、異なる粒子サイズを有する２種以上のフェライト粉末を混合して用いることにより、粒子サイズが大きいフェライト粉末の間の空間を、粒子サイズが小さいフェライト粉末が効果的に満たすことにより、実質的に前記２種のフェライト粉末が分散されて分散性が向上されるだけでなく、混合される高分子バインダーとの接触面積が広くなって分散性が向上されるため、熱衝撃に対する信頼性を確保することができる。
【００６０】
本発明の一実施形態によると、前記フェライト粉末は、図５に示したように、平均粒径が１０〜５０μｍである第１粒子Ａと、平均粒径が０．０１〜９μｍである第２粒子Ａ´と、を含むことができる。また、前記粒子サイズが大きい第１粒子の平均粒径をＡＬとし、前記粒子サイズが小さい第２粒子の平均粒径をＡｓとしたときに、前記ＡＬ：Ａｓは３：１〜１０：１であることが好ましい。前記範囲を外れる場合、充填率が減少して、透磁率が減少するという問題があるため好ましくない。
【００６１】
本発明の前記実施形態によるフェライト粉末は、図５のように、第１粒子Ａと第２粒子Ａ´それぞれの表面に一定のサイズのポアＰが形成されており、粒子サイズが比較的大きい前記第１粒子Ａの間に粒子サイズが比較的小さい第２粒子Ａ´が均一に分散されていることが分かる。
【００６２】
また、本発明による前記フェライト粉末は球形であることが、フェライト粒子が円滑に分散されることができるため好ましい。
【００６３】
本発明の実施形態によると、前記平均粒径が１０〜５０μｍである第１粒子の表面に形成されたポアのサイズは１００〜１０００ｎｍであり、平均粒径が０．０１〜９μｍである第２粒子の表面に形成されたポアのサイズは１０〜１００ｎｍであることが好ましい。
【００６４】
本発明によると、前記第１粒子と第２粒子の混合比は３：１〜１０：１であることが好ましい。前記範囲を外れる場合、透磁率が減少するという問題があるため好ましくない。
【００６５】
前記第１粒子は、フェライト粉末を構成する原料粉末を混合してスプレードライする段階と、８００〜９００℃で５０〜９０分間仮焼する段階と、を経て製造されることができる。
【００６６】
また、前記第２粒子は、フェライト粉末を構成する原料粉末を混合してスプレードライする段階と、８００〜９００℃で１０〜４０分間仮焼する段階と、を経て製造されることができる。
【００６７】
上記の仮焼条件を満たさない場合、表面に形成されたポアのサイズが前記範囲を外れたり、平均粒径サイズが変わる可能性があり、これによって表面積及び分散性が低下する恐れがあるため好ましくない。上記の仮焼条件を調節することにより、平均粒径やポアのサイズなどを調節することができる。
【００６８】
前記実施形態によるフェライト粉末は、Ｆｅ２Ｏ３、ＮｉＯ、ＣｕＯ、ＺｎＯ、ＭｎＯ、Ｃｏ３Ｏ４、Ｂｉ２Ｏ３、及びＴｉからなる群から選択される１種以上を含むものであることができる。
【００６９】
また、本発明の磁性層１１６は、表面にポアが形成された前記フェライト粉末とともに高分子バインダーを含むことができる。前記高分子バインダーは、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂及びポリアニリン樹脂からなる群から選択される１種以上であることができ、優れた熱安定性を有する高分子バインダーが好ましく用いられることができる。
【００７０】
前記磁性層は、フェライト粉末と高分子バインダーが７：１〜１０：１の重量比で混合されることが、分散性及び工程性において好ましい。
【００７１】
また、本発明による前記磁性層は、分散剤などの通常の添加剤を含むことができる。
【００７２】
図７に、本発明によるコモンモードノイズフィルタの製造過程を示した。これを参照して説明すると、フェライト基板からなる絶縁膜に第１絶縁層を形成し、前記第１絶縁層と第２絶縁層に内部電極コイルを形成してビア電極を介して電気的に接続させる。前記内部電極コイルの外周端は、流出端子を介して外部電極端子と連結させる。
【００７３】
次に、前記第２絶縁層と第３絶縁層の内部電極コイルをさらにビア電極を介して電気的に接続させ、前記各絶縁層に形成された内部電極コイルを外部電極端子と連結させる。また、前記最外側の絶縁層に磁性層を形成し、ダイシング工程により最終コモンモードノイズフィルタを製造することができる。
【００７４】
本発明の前記磁性層は、表面にポアが形成されたフェライト粉末を単独で、または異なる粒子サイズを有するフェライト粉末を２種以上用いて、高分子バインダー及び添加剤を含んで構成されることができる。前記各フェライト粉末を一定の条件で混合し、スプレードライ過程及び仮焼過程を経て、表面にポアが形成されるようにすることができる。
【００７５】
前記磁性層の厚さは５０〜１００μｍに形成されることが、濡れ性（ｗｅｔｔｉｎｇ  ｐｒｏｐｅｒｔｙ）及び脱泡性において好ましい。
【００７６】
以下、本発明の好ましい実施例を詳細に説明する。以下の実施例は、本発明を例示するためのものに過ぎず、本発明の範囲がこれら実施例によって制限されることに解釈されてはならない。また、以下の実施例では、特定化合物を利用して例示したが、これらの均等物を用いた場合においても、同等類似の程度の効果を奏することができるということは、当業者において自明である。
【００７７】
実施例１
図７のような過程に経てコモンモードノイズフィルタを製造した。フェライト基板からなる絶縁膜にエポキシ樹脂からなる第１絶縁層を形成し、前記第１絶縁層上に銅（Ｃｕ）金属を用いて内部電極コイルを形成した。また、エポキシ樹脂からなる第２絶縁層上に銅（Ｃｕ）金属を用いて内部電極コイルを形成した。各絶縁層上に内部電極コイルを形成する工程を繰り返して、追加の絶縁層を形成することができる。また、前記第１絶縁層と第２絶縁層のそれぞれに形成された内部電極コイルをビア電極を介して電気的に接続させた。
【００７８】
前記内部電極コイルの外周端は流出端子を介して外部電極端子と連結させ、前記第２絶縁層と第３絶縁層の内部電極コイルをさらにビア電極を介して電気的に接続させて、前記各絶縁層に形成された内部電極コイルを外部電極端子と連結させた。
【００７９】
また、前記最外側の絶縁層に、１００μｍの厚さを有する磁性層を形成した。前記磁性層に用いられたフェライトは、Ｆｅ‐Ｎｉ‐Ｚｎ‐Ｃｕ系フェライト粉末をアトリションミル（Ａｔｔｒｉｔｉｏｎ  ｍｉｌｌ）で９時間に亘って混合し、３００℃でスプレー乾燥した。
【００８０】
次に、約９００℃で５０分間維持させて前記フェライト粉末を仮焼することにより、表面のポアサイズが１００ｎｍで、平均粒径が４０００ｎｍであるＦｅ‐Ｎｉ‐Ｚｎ‐Ｃｕ系フェライト粉末を製造した。
【００８１】
前記製造されたフェライト粉末とポリイミド高分子バインダーとを９：１で混合、塗布することにより磁性層を形成した。次に、ダイシング工程を経て、最終コモンモードノイズフィルタを製造した。
【００８２】
実施例２
実施例２のコモンモードノイズフィルタは、異なる平均粒径を有する２種の粒子を混合して用い、高分子バインダーとしてエポキシ樹脂を用いることを除き、前記実施例１と同様の過程で製造された。ここで、第１粒子（ＡＬ）と第２粒子（ＡＳ）の平均粒径サイズの比率は８：１の重量比である。
【００８３】
前記２種のフェライト粉末のうち、第１粒子は、表面のポアサイズが１００ｎｍで、９００℃で５０分間仮焼して製造されたＦｅ‐Ｎｉ‐Ｚｎ‐Ｃｕ系フェライト粉末である。また、第２粒子は、表面のポアサイズが１０ｎｍで、９００℃で３０分間仮焼して製造されたＦｅ‐Ｎｉ‐Ｚｎ‐Ｃｕ系フェライト粉末であり、前記第１粒子（ＡＬ）と第２粒子（ＡＳ）の平均粒径サイズの比率は８．２５：１のものを用いた。
【００８４】
前記２種のフェライト粉末とポリイミド高分子バインダーとを９：１で混合して、１００μｍの厚さの磁性層を形成した。
【００８５】
実験例１：フェライト粉末の粒子サイズの確認
前記実施例２により製造されたフェライト粉末の粒子サイズを走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）で確認し、その結果を図６に示した。
【００８６】
図６を参照すると、前記実施例２の製造過程により、１０〜５０μｍの平均粒径を有する第１粒子と約０．０１〜９μｍの微小な平均粒径を有する第２粒子が形成されたことを確認した。
【００８７】
また、前記第２粒子が前記第１粒子の空き空間に均一に分散されていることを確認することができ、このような結果から、本発明による磁性層を形成するための溶液を製造する際に、前記第１粒子と第２粒子の分散性が向上されるだけでなく、混合される高分子バインダーとの接着力が増大されることを期待することができる。
【００８８】
実験例２
前記実施例１〜２のフェライト粒子で製造されたノイズフィルタの透磁率を測定し、その結果を下記表１に示した。
【００８９】
【表１】
2014011458.tif 000003
【００９０】
前記表１の結果のように、表面にポアが形成されたフェライト粉末（実施例１‐１、１‐２）または異なる粒子サイズを有する２種のフェライト粉末（実施例２‐１、２‐２）を磁性層として含む本発明によるコモンモードノイズフィルタは、優れた透磁率を示すことを確認した。
【符号の説明】
【００９１】
１０、１００  コモンモードノイズフィルタ
１１、１１１  フェライト基板
１２、１１２  内部電極コイル
１３、１１３  絶縁層
１４、１１４  外部端子電極
１５  開口部
１６、１１６  磁性層
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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