(57)【要約】【課題】テストハンドラのトランスファユニットを提供する。【解決手段】トランスファユニットは、フレーム、フローティング組立体、及びアームを含む。前記フレームは貫通ホールが備えられた四角枠状に提供される。前記貫通ホールは、上部貫通ホール、下部貫通ホール、及び離脱防止突起を含む。前記フローティング組立体はフレームの貫通ホールに挿入されて弾性支持される。前記フローティング組立体は、フローティング部、弾性部材、及び締結具を含む。前記フローティング組立体は貫通ホール内を前後、左右、上下移動及び所定範囲の角度に流動する。【選択図】図3
2014025920.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１挿入領域を含み、前記第１挿入領域は、貫通ホールを含むベースフレームと、
前記ベースフレームの貫通ホールに挿入され、フローティングパート、前記フローティングパート上に位置する弾性部材、及び前記フローティングパートの下部領域に結合する結合部材を含むフローティング組立体と、
前記フローティング組立体の前記結合部材と結合するアームパートと、を含み、
前記第１挿入領域は、前記第１挿入領域の上部面に隣接に位置する上部挿入領域、前記第１挿入領域の下部面に隣接に位置する下部挿入領域、及び前記上部挿入領域と前記下部挿入領域との間に位置する中間挿入領域を含み、前記上部挿入領域の内径は前記下部挿入領域の内径よりも大きく、
前記フローティング組立体は上下左右及び前後に移動することができ、前記貫通ホール内において所定角度に流動することができることを特徴とするテストハンドラのトランスファユニット。
【請求項２】
前記ベースフレームは、前記貫通ホールの上部を密閉する上部キャップを含むことを特徴とする請求項１に記載のテストハンドラのトランスファユニット。
【請求項３】
前記上部キャップは下部面に位置するリセス領域を含み、前記弾性部材の上部は前記リセス領域に挿入されることを特徴とする請求項２に記載のテストハンドラのトランスファユニット。
【請求項４】
前記アームパートは、
前記フローティング組立体と結合される上部領域及びテストトレイと結合する下部領域を含む板状のアームベースと、
前記テストトレイを把持または把持解除するために所定距離を往復運動し、前記アームベース上部に設けられるピッキング部材と、を含み、
前記アームベースは固定ホール及び前記固定ホールを介して前記フローティング組立体と結合する固定部材を含むことを特徴とする請求項１に記載のテストハンドラのトランスファユニット。
【請求項５】
前記フローティングパートは、
下部領域に前記結合部材と結合する雌ねじ領域を含むボディと、
前記ボディの側面から突出される第１係止突起と、を含み、
前記第１係止突起の外径は前記中間挿入領域の内径よりも大きいことを特徴とする請求項１に記載のテストハンドラのトランスファユニット。
【請求項６】
前記フローティングパートは、前記ボディの上端部上に位置する突起をさらに含み、前記突起は前記弾性部材の下部領域を支持することを特徴とする請求項５に記載のテストハンドラのトランスファユニット。
【請求項７】
前記第１係止突起は傾いた側面を含み、前記第１係止突起の外径は下方向に向かって小さくなることを特徴とする請求項５に記載のテストハンドラのトランスファユニット。
【請求項８】
前記フローティングパートは、前記ボディの側面から突出される第２係止突起をさらに含み、前記第２係止突起の外径は前記第１係止突起の外径よりも小さく、前記下部挿入領域よりも大きいことを特徴とする請求項５に記載のテストハンドラのトランスファユニット。
【請求項９】
前記中間挿入領域の内径は、前記下部挿入領域の内径よりも大きく、前記第２係止突起の外径よりも小さいことを特徴とする請求項５に記載のテストハンドラのトランスファユニット。
【請求項１０】
前記フローティングパートは、前記ボディの側面に位置する固定ピンを含み、前記固定ピンは前記ボディを水平的に貫通することを特徴とする請求項５に記載のテストハンドラのトランスファユニット。
【請求項１１】
前記結合部材は、ボディの雌ねじ領域と結合する雄ねじ領域を含むことを特徴とする請求項５に記載のテストハンドラのトランスファユニット。
【請求項１２】
前記ベースフレームに対称的に位置する第２挿入領域をさらに含み、前記第２挿入領域は、貫通ホールを有することを特徴とする請求項１に記載のテストハンドラのトランスファユニット。
【請求項１３】
前記弾性部材はスプリングであることを特徴とする請求項１に記載のテストハンドラのトランスファユニット。
【請求項１４】
挿入領域を含み、前記挿入領域は、貫通ホールを含むベースフレームと、
前記ベースフレームの貫通ホールに挿入されるフローティング組立体と、
前記フローティング組立体と結合されるアームパートと、
前記アームパートの対向する側面に位置し、テストトレイを把持する際に前記テストトレイと接触する位置検出手段と、
前記位置検出手段と電気的に接続する制御部と、を含み、
前記アームパートは、
前記フローティング組立体と結合される上部領域及びテストトレイと接触する下部領域を含むアームベースと、
所定距離を往復する間に前記テストトレイの把持または把持解除のために前記アームベースの上部領域に設けられるピッキング部材と、を含み、
前記位置検出手段は、
前記テストトレイを把持する際に、前記テストトレイの上部領域と接触するセンサドグと、
前記テストトレイが前記センサドグと接触するか否かを感知するセンサと、を含み、
前記センサは、前記テストトレイとセンサドグが接触しないと、前記制御部に電気的信号を伝達することを特徴とするテストハンドラのトランスファユニット。
【請求項１５】
前記制御部は、前記センサの電気的信号により前記トランスファユニットの動作を停止させ、警告音や警告灯を作動させることを含むことを特徴とする請求項１４に記載のテストハンドラのトランスファユニット。
【請求項１６】
対向される端に位置する挿入領域を含み、前記挿入領域のそれぞれは貫通ホールを含むベースフレームと、
各貫通ホールに挿入され、フローティングパート、前記フローティングパートの上端部に位置する弾性部材、及び前記フローティングパートの下部と結合して各貫通ホール内において上下方向及び側面方向に移動する結合部材を含むフローティング組立体と、
各フローティング組立体の結合部材と結合して４側面のそれぞれの高さを個別に調節し、移動や持ち上げるためにテストトレイと接触する際に側面方向に移動可能なアームパートと、を含むことを特徴とするテストハンドラのトレンストユニット。
【請求項１７】
それぞれの挿入領域は、前記挿入領域の上部面に隣接に位置する上部挿入領域及び前記挿入領域の下部面に隣接に位置する下部挿入領域を含み、
前記上部挿入領域の内径は、前記下部挿入領域の内側直径よりも大きいことを特徴とする請求項１６に記載のテストハンドラのトランスファユニット。
【請求項１８】
それぞれの挿入領域は、前記上部挿入領域と前記下部挿入領域との間に位置する中間挿入領域をさらに含み、
前記中間挿入領域の内径は、前記下部挿入領域方向に向けて漸進的に減少することを特徴とする請求項１７に記載のテストハンドラのトランスファユニット。
【請求項１９】
それぞれの挿入領域は、前記ベースフレームの四角に位置することを特徴とする請求項１６に記載のテストハンドラのトランスファユニット。
【請求項２０】
前記アームパートは、
結合部材を介してフローティング組立体と結合する上部領域及びテストトレイと結合するための下部領域を含み平板状のアームベースと、
所定距離を往復する間に前記テストトレイの把持または把持を解除するために前記アームベースの上部領域に設けられるピッキング部材と、
前記ピッキング部材が往復するガイドレールを含むことを特徴とする請求項１６に記載のテストハンドラのトランスファユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、製造された半導体素子(produced semiconductor device)をテストするためのテストハンドラのトランスファユニット(TRANSFER UNIT OF TEST HANDLER AND METHOD OF OPERATING THE SAME)に関する。
【背景技術】
【０００２】
テストハンドラは所定の製造工程により製造された半導体素子の電気的特性、機能、及び信頼性をテストするために、テスタ(Tester)とドッキング(docking)されてテストするための環境条件が提供され、前記半導体素子を良品または不良品に分類する設備である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】大韓民国特許出願公開第10-2009-108387号明細書
【特許文献２】大韓民国特許公報第 0486107号明細書
【特許文献３】大韓民国特許出願公開第10-2005-089108号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明が解決しようとする課題は、テストトレイ(test tray)が傾いていても正確に把持または把持解除できるテストハンドラのトランスファユニット及びその作動方法を提供することにある。
【０００５】
本発明が解決しようとする他の課題は、移動する間にテストトレイの振動または揺れの発生しないテストハンドラのトランスファユニット及びその作動方法を提供することにある。
【０００６】
本発明が解決しようとする課題は、上記の課題に制限されない。ここで言及しない他の課題は、以下の記載から当業者が明確に理解することができる。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の技術的思想の実施形態よれば、テストハンドラのトランスファユニットは、ベースフレーム(base frame)、フローティング組立体(floating assembly)、及びアームパート(arm part)を含む。前記ベースフレームは、貫通ホール(penetration hole)を有する第１挿入領域(first inserted portion)を含む。前記第１挿入領域は、該第１挿入領域の上部面に隣接に位置する上部挿入領域(upper inserted portion)、該第１挿入領域の下部面に隣接に位置する下部挿入領域(lower inserted portion)、及び前記上部挿入領域と前記下部挿入領域との間に位置する中間挿入領域(middle inserted portion)を含む。前記フローティング組立体は前記ベースフレームの貫通ホールに挿入される。前記フローティング組立体は、フローティングパート(floating part)、前記フローティングパート上に位置する弾性部材(elastic element)及び前記フローティングパートの下部領域に結合する結合部材(coupling element)を含む。前記フローティング組立体は上下左右及び前後に移動することができ、前記貫通ホール内において所定角度に流動することができる。
【０００８】
本発明の技術的思想の実施形態において、前記テストハンドラのトランスファユニットは位置検出手段と制御部を含む。前記位置検出手段は、前記テストトレイを把持する際、前記テストトレイの上部領域と接触するセンサドグ(sensor dog)を含むことができる。前記テストトレイが前記センサドグと接触するか否かを感知するためのセンサが前記センサドグ上に位置することができる。前記センサは、前記テストトレイが前記センサドグと接触しない際、前記制御部に電気的信号を伝達することができる。
【０００９】
本発明の技術的思想の実施形態よれば、テストハンドラのトランスファユニットは対向される端に位置する第１挿入領域を含み、各第１挿入領域は、貫通ホールを含むベースフレームと、各貫通ホールに挿入され、フローティングパート、該フローティングパートの上端部に位置する弾性部材、及び前記フローティングパートの下部領域と結合する結合部材を含むフローティング組立体と、各フローティング組立体の結合部材と結合して４側面のそれぞれの高さを個別に調節し、移動または把持するためにテストトレイと接触すると、側面方向に移動可能なアームパートと、を含む。
【００１０】
本発明の技術的思想の実施形態において、各第１挿入領域は、挿入領域の上部面に隣接に位置する上部挿入領域、挿入領域の下部面に隣接に位置する下部挿入領域、及び前記上部挿入領域と前記下部挿入領域との間に位置する中間挿入領域を含み、前記上部挿入領域の内径(inner diameter)は前記下部挿入領域の内径よりも大きい。
【００１１】
本発明の技術的思想の実施形態において、前記フローティングパートは、下部領域に前記結合部材と結合する雌ねじ領域(female screw portion)を含むボディと、前記ボディの側面から突出される第１係止突起と、を含む。前記第１係止突起は、前記中間挿入領域の内径よりも大きい外径(outer diameter)を有する。
【００１２】
本発明の技術的思想の実施形態において、第１挿入領域はベースフレームの四角のそれぞれに位置する。
【００１３】
本発明の技術的思想の実施形態において、前記アームパートは、結合部材を介してフローティング組立体と結合する上部領域及びテストトレイと結合するための下部領域を含み、平板状のアームベースと、所定距離を往復する間に前記テストトレイの把持または把持解除するために前記アームベースの上部領域に設けられるピッキング部材(picking element)と、前記ピッキング部材が往復するガイドレールと、を含む。
【００１４】
その他の実施形態の具体的な事項は詳細な説明及び図面に含まれている。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の技術的思想の多様な実施形態によるテストハンドラのトランスファユニットは、テストトレイ(customer tray)が傾いている状態でも正確に把持するか把持解除でき、トランスファユニットの動作に係るジャム(jam)や設備の瞬停及び故障を防止することができる。
【００１６】
また、テストトレイの移送中に半導体素子の跳ね上げや落石による破損及び品質不良を防止することができ、生産収率を向上することができる。
【００１７】
本発明の技術的思想の多様な実施形態は、具体的に言及しない多様な効果が提供できることを理解することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の技術的思想の一実施形態によるテストハンドラを概略的に示す構成図である。
【図２】本発明の技術的思想の一実施形態によるテストハンドラトランスファユニットの分解図である。
【図３】本発明の技術的思想の一実施形態によるテストハンドラトランスファユニットのフローティング組立体を部分切開した斜視図である。
【図４】本発明の技術的思想の一実施形態によるテストハンドラトランスファユニットの断面図である。
【図５Ａ】本発明の技術的思想の一実施形態によるトランスファユニットのフローティング組立体を拡大した断面図である。
【図５Ｂ】本発明の技術的思想の一実施形態によるトランスファユニットのフローティング組立体を拡大した断面図である。
【図６】本発明の技術的思想の一実施形態によるテストハンドラトランスファユニットの平面図である。
【図７】本発明の技術的思想の一実施形態によるテストハンドラトランスファユニットの正面図である。
【図８】本発明の技術的思想の一実施形態によるテストハンドラトランスファユニットを構成する位置検出手段を拡大した断面図である。
【図９Ａ】本発明の技術的思想の一実施形態によるテストハンドラトランスファユニットがテストトレイを把持する方法を説明するための概略的な動作状態図である。
【図９Ｂ】本発明の技術的思想の一実施形態によるテストハンドラトランスファユニットがテストトレイを把持する方法を説明するための概略的な動作状態図である。
【図９Ｃ】本発明の技術的思想の一実施形態によるテストハンドラトランスファユニットがテストトレイを把持する方法を説明するための概略的な動作状態図である。
【図９Ｄ】本発明の技術的思想の一実施形態によるテストハンドラトランスファユニットがテストトレイを把持する方法を説明するための概略的な動作状態図である。
【図９Ｅ】本発明の技術的思想の一実施形態によるテストハンドラトランスファユニットがテストトレイを把持する方法を説明するための概略的な動作状態図である。
【図１０】本発明の技術的思想の一実施形態によるテストハンドラトランスファユニットがテストトレイを把持する際のフローティング組立体の動作を説明するための断面図である。
【図１１Ａ】本発明の技術的思想の多様な実施形態によるテストハンドラトランスファユニットを構成するフローティング組立体の概念的な断面図である。
【図１１Ｂ】本発明の技術的思想の多様な実施形態によるテストハンドラトランスファユニットを構成するフローティング組立体の概念的な断面図である。
【図１１Ｃ】本発明の技術的思想の多様な実施形態によるテストハンドラトランスファユニットを構成するフローティング組立体の概念的な断面図である。
【図１２Ａ】本発明の技術的思想の多様な実施形態によるテストハンドラトランスファユニットを構成するフローティング組立体の概念的な断面図である。
【図１２Ｂ】本発明の技術的思想の多様な実施形態によるテストハンドラトランスファユニットを構成するフローティング組立体の概念的な断面図である。
【図１２Ｃ】本発明の技術的思想の多様な実施形態によるテストハンドラトランスファユニットを構成するフローティング組立体の概念的な断面図である。
【図１３】本発明の技術的思想の多様な実施形態によるテストハンドラトランスファユニットを構成するフローティング組立体の概念的な断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
本発明の利点及び特徴、そしてそれらを達成する方法は、添付図面と共に詳細に後述される実施形態を参照することで明確に理解することができる。しかし、本発明は、ここに説明する実施形態に限定せず、他の形態に具体化されることができる。むしろ、ここに紹介する実施形態は開示された内容が徹底的で完全となることができるように、そして当業者に本発明の思想が十分に伝達されるようにするために提供される。図面において、層及び領域の厚さは明確性を期するために誇張されたものである。
【００２０】
第１、第２などの用語は多様な構成要素を説明するために用いられるが、前記構成要素が前記用語によって限定されない。前記用語は、一つの構成要素を他の構成要素から区別する目的として用いられる。例えば、本発明の権利範囲を離脱せず、第１構成要素は第２構成要素と命名されることができ、また第２構成要素は第１構成要素と命名されることができる。
【００２１】
上端、下端、上面、下面、または上部、下部などの用語は、構成要素において相対的な位置を区別するために用いられる。例えば、便宜上に図面上の上側を上部、図面上の下側を下部と名付ける場合、実際では本発明の権利範囲を離脱せず、上部は下部と命名されることができ、下部は上部と命名されることができる。
【００２２】
本出願に用いる用語は、単に特定の実施形態を説明するために用いられたものであって、本発明を限定しようとする意図ではない。単数の表現は、文脈上明白にしない限り、複数の表現も含む。本出願において、「含む」または「有する」などの用語は明細書上に記載された特徴、数字、段階、動作、構成要素、部分品、またはこれらを組み合わせたものが存在することを指定するものであって、一つまたはその以上の他の特徴や数字、段階、動作、構成要素、部分品、またはこれらを組み合わせたものなどの存在または付加可能性をあらかじめ排除しないものとして理解すべきである。
【００２３】
他に定義されない限り、技術的や科学的な用語を含んでここに使用するすべての用語は本発明が属する技術分野にて通常の知識を有する者によって一般的に理解するものと同一意味を有する。一般に辞典に定義されている用語と同一の用語は関連技術の文脈上に有する意味と一致するものとして解釈すべきであり、本出願に明白に定義しない限り、理想的であるか、過度に形式的な意味に解釈されない。
【００２４】
図１は、本発明の技術的思想の一実施形態によるテストハンドラを概略的に示す構成図である。
【００２５】
図１を参照すると、本発明の技術的思想の一実施形態によるテストハンドラ１０は、積載ユニット(loading unit)１５、トランスファユニット(transfer unit)１００、供給ユニット(supply unit)２５、ソークチャンバ(soak chamber)３０、テストチャンバ(test chamber)３５、デソークチャンバ(de-soak chamber)４０、及び分類ユニット(classification unit)４５を含むことができる。
【００２６】
前記テストハンドラ１０は、テスタ５０でテストを行うためにテストトレイ上に位置する半導体素子を支持する。前記テストハンドラ１０はテストが終了した半導体素子を含むテストトレイをテスト等級によって分類することができる。
【００２７】
前記積載ユニット１５は、少なくとも一つのコンテナ(container)を含むことができる。まだテストを行ってないか、テスト終了した半導体素子を含む前記テストトレイは前記積載ユニット１５のコンテナに積載することができる。例えば、テストが終了された半導体素子を含む前記テストトレイはテスト等級によって積載することができる。
【００２８】
前記トランスファユニット１００は、前記テストトレイのテストのために前記積載ユニット１５から前記供給ユニット２５に、前記テストトレイを伝達することができる。前記トランスファユニット１００は、テスト及び分類が終了した後、前記分類ユニット４５から前記積載ユニット１５に前記テストトレイを伝達することができる。
【００２９】
前記供給ユニット２５は前記テストトレイの前記半導体素子を電気的にテストすることができる。前記供給ユニット２５は前記テストトレイ上の前記半導体素子の動作を確認することができる。
【００３０】
前記ソークチャンバ３０は前記テストトレイを前処理(pre-treat)することができる。例えば、前記ソークチャンバ３０は前記テストトレイを第１温度に加熱または冷却することができる。前記ソークチャンバ３０は前記テストトレイを前記第１温度に加熱または冷却して前記テストチャンバ３５に供給することができる。
【００３１】
前記テストチャンバ３５は前記テストトレイ上に位置する半導体素子の電気的特性、機能、及び信頼性をテストすることができる。前記テストチャンバ３５は複数のソケット(sockets)を含むことができる。前記テストトレイは前記複数のソケットのうちの一つに挿入される。例えば、前記複数のソケットは垂直方向に整列されることができる。前記テストチャンバ３５は前記テスタ５０により前記複数のソケットに挿入されたテストトレイを順次にテストすることができる。
【００３２】
前記デソークチャンバ４０は前記テストトレイを後処理(post-treat)することができる。例えば、前記デソークチャンバ４０は、前記テストチャンバ３５から伝達された前記テストトレイを第２温度に加熱または冷却することができる。前記第２温度は前記第１温度と異なってもよい。
【００３３】
前記分類ユニット４５は、前記テストトレイを前記供給ユニット２５及び前記テストチャンバ３５のテスト結果によって分類することができる。例えば、前記分類ユニット４５は前記テストトレイを良品(good device)または不良品(defective device)に分類することができる。
【００３４】
以下、添付された図面を参照して本発明の技術的思想の一実施形態によるテストハンドラトランスファユニット及びその作動方法に関する好ましい実施形態をさらに詳細に説明する。
【００３５】
図２は、本発明の技術的思想の一実施形態によるテストハンドラトランスファユニットの分解図である。図３は、本発明の技術的思想の一実施形態によるテストハンドラトランスファユニットのフローティング組立体を部分切開した斜視図である。図４は、本発明の技術的思想の一実施形態によるテストハンドラトランスファユニットの断面図である。図５Ａ及び図５Ｂは、本発明の技術的思想の一実施形態によるテストハンドラトランスファユニットのフローティング組立体を拡大した断面図である。
【００３６】
図６は、本発明の技術的思想の一実施形態によるテストハンドラトランスファユニットの平面図である。図７は、本発明の技術的思想の一実施形態によるテストハンドラトランスファユニットの正面図である。図８は、本発明の技術的思想の一実施形態によるテストハンドラトランスファユニットを構成する位置検出手段を拡大した断面図である。
【００３７】
図２ないし図６を参照すると、本発明の技術的思想の一実施形態によるテストハンドラトランスファユニット１００は、固定パート(fixing part)２００、フローティング組立体３００、及びアームパート(arm part)４００を含むことができる。
【００３８】
前記固定パート２００はテストトレイ７００を固定することができる。前記テストトレイ７００は、前記テストトレイ７００を把持または把持解除のために移動する際に、前記トランスファユニット１００が揺れるか振動することを防止することができる。前記テストトレイ７００が移動される際、前記テストトレイ７００は前記固定パート２００によって水平状態を維持することができる。前記固定パート２００は固定板（fixing plate）２１０とベースフレーム(base frame)２２０を含むことができる。
【００３９】
前記固定板２１０は板状とすることができる。前記固定板２１０は動力伝達装置と接続する第１側面及び前記ベースフレーム２２０と接続する第２側面を含むことができる。前記固定板２１０の前記第２側面は前記固定板２１０の前記第１側面と対向することができる。前記動力伝達装置は前記トランスファユニット１００の移動のための動力を提供することができる。
【００４０】
前記ベースフレーム２２０は中空部(inner enclosed space)２２５を含む正四角形または直四角形とすることができる。前記ベースフレーム２２０は挿入領域２２１及び上部キャップ２２２を含むことができる。
【００４１】
前記挿入領域２２１は、前記ベースフレーム２２０の角に位置することができるが、これに限定しない。前記挿入領域２２１は互いに異なる領域に位置することができる。例えば、前記挿入領域２２１は、前記ベースフレーム２２０の対向する側面に対称的に位置することができる。
【００４２】
前記挿入領域２２１のそれぞれは、前記ベースフレーム２２０の前記挿入領域２２１を垂直方向に貫通する貫通ホール２３０を含むことができる。前記貫通ホール２３０は円筒状とすることができる。前記挿入領域２２１のそれぞれは、上部挿入領域２２１ａ、下部挿入領域２２１ｂ、及び中間挿入領域２２１ｃを含むことができる。
【００４３】
前記上部挿入領域２２１ａは、前記ベースフレーム２２０の上部面に隣接に位置することができる。
【００４４】
前記下部挿入領域２２１ｂは、前記ベースフレーム２２０の下部面に隣接に位置することができる。前記下部挿入領域２２１ｂは、前記上部挿入領域２２１ａの下部に位置することができる。前記下部挿入領域２２１ｂの内径(inner diameter)は前記上部挿入領域２２１ａの内径と異なることができる。例えば、前記下部挿入領域２２１ｂの内径は前記上部挿入領域２２１ａの内径よりも小さくてよい。
【００４５】
前記中間挿入領域２２１ｃは前記上部挿入領域２２１ａと前記下部挿入領域２２１ｂとの間に位置することができる。前記中間挿入領域２２１ｃは傾斜側面を含むことができる。前記中間挿入領域２２１ｃの内側面は前記上部挿入領域２２１ａの内側面及び前記下部挿入領域２２１ｂの内側面と接続することができる。前記中間挿入領域２２１ｃの内径は前記下部挿入領域２２１ｂ方向に向けて漸進的に減少することができる。前記中間挿入領域２２１ｃ内で、前記貫通ホール２３０の直径は前記下部挿入領域２２１ｂ方向にますます漸進的に減少することができる。
【００４６】
前記上部キャップ２２２は前記挿入領域２２１上に位置することができる。前記上部キャップ２２２は前記挿入領域２２１を覆うことができる。前記上部キャップ２２２は前記上部挿入領域２２１ａの上部領域を密閉することができる。前記上部キャップ２２２はリセス領域２２４を含むことができる。
【００４７】
前記リセス領域２２４は前記上部キャップ２２２の下部面に位置することができる。前記リセス領域２２４は前記上部挿入領域２２１ａ内の前記貫通ホール２３０の上部に位置することができる。
【００４８】
前記フローティング組立体３００は前記挿入領域２２１の前記貫通ホール２３０内に挿入することができる。前記フローティング組立体３００は前記貫通ホール２３０内において、前後左右及び上下に移動することができる。前記フローティング組立体３００は前記貫通ホール２３０内で所定角度の範囲に回転または流動することができる。前記フローティング組立体３００は、弾性部材(elastic element)３１０、フローティングパート(floating part)３２０、及び結合部材(coupling element)３３０を含むことができる。
【００４９】
前記弾性部材３１０は前記フローティングパート３２０上に位置することができる。前記弾性部材３１０は、前記上部キャップ２２２と前記フローティングパート３２０との間に位置することができる。前記弾性部材３１０は前記上部キャップ２２２と接触することができる。
【００５０】
前記弾性部材３１０は、前記上部キャップ２２２と前記フローティングパート３２０によって固定することができる。前記弾性部材３１０の上部領域は前記リセス領域２２４内に挿入することができる。前記フローティングパート３２０が上昇すると、前記弾性部材３１０は復元力で前記フローティングパート３２０を押すことができる。前記弾性部材３１０は弾性物質を含むことができる。前記弾性部材３１０はスプリング(spring)のような形状とすることができる。
【００５１】
前記フローティングパート３２０は前記弾性部材３１０と前記結合部材３３０との間に位置することができる。前記フローティングパート３２０は前記結合部材３３０と結合されることができる。前記フローティングパート３２０は、ボディ３２２、係止突起３２５、及び突起３２７を含むことができる。
【００５２】
前記ボディ３２２は棒状とすることができる。前記ボディ３２２は雌ねじ領域(females crew portion)３２３を含むことができる。前記雌ねじ領域３２３は前記ボディ３２２の下部面に隣接に位置することができる。前記雌ねじ領域３２３は前記結合部材３３０と結合されることができる。
【００５３】
前記係止突起３２５は前記ボディ３２２の側面に位置することができる。前記係止突起３２５は前記ボディ３２２の側面から突出されることができる。前記係止突起３２５は前記上部挿入領域２２１ａ内に位置することができる。前記係止突起３２５は前記中間挿入領域２２１ｃの傾斜面と対向する傾斜面を含むことができる。前記係止突起３２５の最大外径(maximum outer diameter)は前記中間挿入領域２２１ｃの最大内径(maximum inner diameter)よりも大きくてよい。前記中間挿入領域２２１ｃは前記弾性部材３１０により前記係止突起が前記下部挿入領域２２１ｂに移動することを防止することができる。
【００５４】
前記突起３２７は前記係止突起３２５の上部面上に位置することができる。前記突起３２７は前記ボディ３２２の上部面から突出されることができる。前記突起３２７は前記弾性部材３１０の内側に挿入することができる。前記弾性部材３１０の下部領域は前記突起３２７を覆うことができる。前記弾性部材３１０の下部領域は前記突起３２７によって固定することができる。
【００５５】
前記結合部材３３０は前記アームパート４００を前記フローティングパート３２０に固定することができる。前記結合部材３３０は雄ねじ領域３３０ｓを含むことができる。前記雄ねじ領域３３０ｓは前記結合部材３３０の下部面に隣接に位置することができる。前記雄ねじ領域３３０ｓは前記フローティングパート３２０の前記雌ねじ領域３２２ｓと結合されることができる。
【００５６】
前記フローティング組立体３００は固定ピン(fixing pin)３４０をさらに含むことができる。前記固定ピン３４０はピン状とすることができる。前記固定ピン３４０は前記ボディ３２２の側面に位置することができる。前記固定ピン３４０は水平方向に前記ボディ３２２の内に挿入することができる。前記固定ピン３４０は前記アームパート４００に密着されることができる。前記トレンストユニット１００が移動する際、前記固定ピン３４０は前記アームパート４００の動きまたは揺れを防止することができる。
【００５７】
前記アームパート４００は前記フローティングパート３２０と結合されることができる。前記アームパート４００は前記フローティングパート３２０により前後左右及び上下に移動することができる。前記アームパート４００は前記フローティングパート３２０によって所定角度範囲内に回転することができる。前記アームパート４００はピッキング部材(picking element)４１０及びアームベース(arm base)４５０を含むことができる。
【００５８】
前記アームベース４５０は、前記テストトレイ７００に対応される板状とすることができる。前記アームベース４５０は、前記テストトレイ７００を把持する際、前記ピッキング部材４１０を固定する上部面及び前記テストトレイ７００と接触する下部面を含むことができる。前記アームベース４５０は、固定ホール(fixing hole)４５５及び載置突起(mounding protrusions：図９Ａの４５３)を含むことができる。
【００５９】
前記固定ホール４５５は、前記アームベース４５０を垂直方向に貫通することができる。前記固定ホール４５５は前記貫通ホール２３０の下に位置することができる。前記結合部材３３０は前記固定ホール４５５を介して前記フローティング組立体３００のボディ３２２と結合することができる。前記固定ホール４５５の直径は前記アームベース４５０の上部面に向かうほど減少することができる。前記結合部材３３０の下部領域の直径は前記アームベース４５０の下部面に向かうほど増加することができる。前記アームベース４５０は前記結合部材３３０の下部領域が前記雌ねじ領域３２２ｓから移動することを防止することができる。
【００６０】
前記載置突起４５３は前記アームベース４５０の下部面上に位置することができる。前記載置突起４５３は前記テストトレイ７００上に位置する前記半導体素子と対応される位置に位置することができる。前記載置突起４５３は前記テストトレイ７００の前記半導体素子上に位置することができる。前記載置突起４５３は前記半導体素子の上部面と接触することができる。前記載置突起４５３は前記テストトレイ７００が移動する際、前記半導体素子が跳ね上げや揺れを防止することができる。
【００６１】
前記ピッキング部材４１０は前記テストトレイ７００を把持することができる。前記ピッキング部材４１０は、それぞれグリッパ駆動シリンダ(gripper driving cylinder)４１２、ＬＭブロック(LM block)４１４、スライドレール(side rail)４１８、連結バー(connection bar)４２０、カムブロック(cam block)４４０、ＬＭプレート(LM plate)４３０、グリッパガイドレール(gripper guide rail)４３４、及びグリッパ(gripper)４４８を含むことができる。
【００６２】
前記グリッパ駆動シリンダ４１２は前記ベースフレーム２２０の前記中空部２２５内に位置することができる。前記グリッパ駆動シリンダ４１２は前記アームベース４５０の上部面上に固定することができる。前記グリッパ駆動シリンダ４１２は前記ＬＭブロック４１４と接続することができる。
【００６３】
前記ＬＭブロック４１４は所定距離を往復することができる。前記ＬＭブロック４１４は前記グリッパ駆動シリンダ４１２の動力を前記連結バー４２０に伝達することができる。前記連結バー４２０は前記ＬＭブロック４１４の上部面と結合されることができる。前記ＬＭブロック４１４はＬＭブロックガイド４１６を含むことができる。前記ＬＭブロックガイド４１６は前記ＬＭブロック４１４の下部面上に位置することができる。
【００６４】
前記スライドレール４１８は前記ベースフレーム２２０の前記中空部２２５内に位置することができる。前記スライドレール４１８は前記ＬＭブロックガイド４１６と結合されることができる。前記スライドレール４１８は前記アームベース４５０の上部面と結合されることができる。前記スライドレール４１８は単線レールとすることができる。前記ＬＭブロック４１４は前記ＬＭブロックガイド４１６を介して前記スライドレール４１８と結合されることができる。前記ＬＭブロック４１４は前記スライドレール４１８に沿って移動することができる。例えば、前記スライドレール４１８はＸ軸方向(図２参照)に延長されることができる。前記ＬＭブロック４１４は前記スライドレール４１８に沿って前記Ｘ軸方向に往復することができる。
【００６５】
前記連結バー４２０は前記ベースフレーム２２０の上に位置することができる。前記ベースフレーム２２０をＹ軸方向（図２参照）に横切ることができる。前記Ｙ軸方向は前記Ｘ軸方向と直交することができる。前記連結バー４２０の下部面は前記ベースフレーム２２０の上部面と離隔されることができる。前記連結バー４２０は前記ベースフレーム２２０の上部面と接触せず、前記Ｘ軸方向に往復することができる。前記連結バー４２０は前記ＬＭブロック４１４の上部面と結合されることができる。前記連結バー４２０はガイド突起(guide protrusion)４２２を含むことができる。前記ガイド突起４２２は前記連結バー４２０の対向する両側端の部分に位置することができる。前記ガイド突起４２２は後述する説明のように、前記カムブロック４４０のガイド溝４４２内に挿入することができる。前記連結バー４２０は前記ガイド溝４４２に沿って所定距離を往復するように構成されることができる。
【００６６】
前記グリッパガイドレール４３４は前記ベースフレーム２２０の外側領域上に位置することができる。前記グリッパガイドレール４３４は前記ベースフレーム２２０の対向する側面に対称的に位置することができる。それぞれのグリッパガイドレール４３４は単線のレール状とすることができる。前記グリッパガイドレール４３４は前記アームベース４５０の上部面と結合されることができる。前記グリッパガイドレール４３４は前記ＬＭブロック４１４が前記Ｙ軸方向に所定距離を往復するように構成されることができる。
【００６７】
前記アームベース４５０の上部面に固定結合されることができる。前記グリッパガイドレール４３４は、ＬＭプレート４３０が前後方向（Ｙ軸方向）に所定距離を往復運動することができるように構成されることができる。
【００６８】
前記ＬＭプレート４３０は前記グリッパガイドレール４３４上に位置することができる。前記ＬＭプレート４３０は前記Ｘ軸方向に長く伸ばされた板とすることができる。前記ＬＭプレート４３０は前記ベースフレーム２２０の外側に位置することができる。前記ＬＭプレート４３０は前記ＬＭプレート４３０の対向する側面上に位置するＬＭプレートガイド４３２を含むことができる。前記ＬＭプレートガイド４３２は、例えば、図２に示すように前記グリッパガイドレール４３４と結合されることができる。
【００６９】
前記カムブロック４４０は前記ＬＭプレート４３０の中央領域に位置することができる。前記カムブロック４４０はＹ軸方向に対称的に位置することができる。前記カムブロック４４０はガイド溝４４２を含むことができる。前記連結バー４２０のガイド突起４２２は各ガイド溝４４２と結合されることができる。前記ガイド溝４４２はＸ軸方向に長く延長された屈曲した溝状とすることができる。前記連結バー４２０のガイド突起４２２は前記カムブロック４４０の各ガイド溝４４２の屈曲に沿って往復することができる。前記カムブロック４４０と結合された前記ＬＭプレート４３０は互いに近くなったり遠くなる移動を繰り返すことができる。
【００７０】
前記グリッパ４４８は前記ＬＭプレート４３０の対向する側面上に位置することができる。前記グリッパ４４８の下部領域は屈曲することができる。例えば、前記グリッパ４４８の下部領域は、図２に示すように、「Ｌ」字状とすることができる。前記テストトレイ７００が移動する際、前記グリッパ４４８は前記テストトレイ７００の下部面と接触することができる。前記テストトレイ７００は下部面上に位置するトレイホーム領域７１０を含むことができる。前記グリッパ４４８は、それぞれ前記テストトレイ７００の前記トレイホーム領域７１０のうちの一つに挿入することができる。前記グリッパ４４８は前記トレイホーム領域７１０内に載置されて前記テストトレイ７００を安定的に把持することができる。
【００７１】
本実施例のトランスファユニット１００は、図６ないし図８に示すように、位置検出手段５００及び制御部６００をさらに含むことができる。
【００７２】
前記位置検出手段５００はテストトレイ７００が前記アームベース４５０に隣接に位置するか否かを判断することができる。前記位置検出手段５００は前記アームベース４５０の角に位置することができる。前記位置検出手段５００は前記アームベース４５０上に対称的に位置することができる。前記位置検出手段５００は前記グリッパガイドレール４３４の外側に位置することができる。前記位置検出手段５００は、ハウジング５１０、センサ５２０、及びセンサドグ(sensor dog)５３０を含むことができる。
【００７３】
前記ハウジング５１０は箱状とすることができる。前記ハウジング５１０は前記ハウジング５１０を貫通するハウジングホール５１０ｈを含むことができる。前記ハウジングホール５１０ｈは「Ｔ」字状とすることができる。前記センサドグ５３０は前記ハウジングホール５１０ｈ内に位置することができる。前記ハウジング５１０は外部衝撃から前記センサドグ５３０を保護することができる。
【００７４】
前記センサドグ５３０は前記トランスファユニット１００の移動により垂直方向に移動することができる。前記センサドグ５３０の下部領域は前記テストトレイ７００の上部面と接触することができる。前記センサドグ５３０は前記ハウジング５１０内でスプリング５４０によって支持されることができる。
【００７５】
前記センサ５２０は前記ハウジング５１０上に位置することができる。前記センサ５２０は前記センサドグ５３０の上部領域と接触することができる。前記センサ５２０は前記センサドグ５３０に感応して前記テストトレイ７００が前記アームベース４５０と密着するか否かを感知するために構成されることができる。前記テストトレイ７００が前記グリッパ４４８によって把持されなければ、前記センサ５２０は前記制御部６００に電気的信号を伝達することができる。
【００７６】
前記制御部６００は前記位置検出手段５００と電気的に接続することができる。前記制御部６００は前記テストハンドラ（図１の１０）の前面に位置することができる。前記制御部６００は、前記センサ５２０から伝達された電気的信号によって前記テストトレイ７００が前記アームベース４５０の下部面に隣接に位置するか否かを決定することができる。前記テストトレイ７００が前記アームベース４５０の下部面に隣接に位置しなければ、前記制御部６００は前記トランスファユニット１００の動作を停止することができる。前記テストトレイ７００が前記アームベース４５０の下部面に隣接に位置しなければ、前記制御部６００は警告音や警告灯を生成することができる。
【００７７】
図９Ａないし図９Ｅは、本発明の技術的思想の一実施形態によるテストハンドラトランスファユニットがテストトレイを把持する方法を説明するための概略的な動作状態図である。図１０は、本発明の技術的思想の一実施形態によるテストハンドラトランスファユニットがテストトレイを把持する際のフローティング組立体の動作を説明するための断面図である。
【００７８】
図９Ａないし図９Ｅを参照しながら、テストトレイ７００が積載プレート(loading plate)７５０内にＸ軸方向に傾いて積載された場合、本発明の技術的思想の一実施形態によるテストハンドラトランスファユニット１００の動作を説明する。
【００７９】
まず、図９Ａを参照すると、前記トランスファユニット１００は動力伝達装置によって前記テストトレイ７００の上に移動することができる。前記テストトレイ７００は半導体素子を含むことができる。前記半導体素子は前記テストトレイ７００上に実装されることができる。
【００８０】
次に、図９Ｂに示すように、前記トランスファユニット１００は前記テストトレイ７００に隣接に移動することができる。
【００８１】
次に、図９Ｃに示すように、アームベース４５０の下部面は前記テストトレイ７００の他の領域よりも高い部分と接触することができる。ここで、前記テストトレイ７００と接触する前記アームベース４５０の一部分（図９ＣのＡ部分）は前記テストトレイ７００により上側方向に垂直圧力を受ける。前記アームベース４５０と結合される前記フローティングパート３２０は、図１０に示すように、前記テストトレイ７００による前記垂直圧力により上側方向に移動することができる。
【００８２】
次に、図９Ｄに示すように、前記テストトレイ７００と離隔されていた前記アームベース４５０の他の部分は前記アームベース４５０の下部面が前記テストトレイ７００の全体上部面と接触するまで、引き続き下降することができる。ここで、前記アームベース４５０の一部分（図９ＣのＡ）は前記アームベース４５０の他の部分が前記テストトレイ７００と接触するまで、垂直圧力によって押されることができる。前記アームベース４５０の前記Ａ領域に位置する前記フローティング組立体３００の前記フローティングパート３２０は上側方向に継続して移動することができる。よって、本発明の技術的思想の一実施形態によるテストハンドラトランスファユニット１００は、前記テストトレイ７００に積載している半導体素子に過度な圧力を伝達せず、前記アームベース４５０の下部面の全体がテストトレイ７００の上部面と均一に接触することができるので、半導体素子の微細クラックやテストトレイ７００の破損を防止することができる。
【００８３】
次に、前記アームベース４５０の下部面が前記テストトレイ７００の上部面と密着した後、前記ピッキング部材４１０の前記グリッパ４４８が前記トレイホーム領域７１０に挿入されることができる。ここで、図２及び図３に示す動力伝達過程により、前記グリッパ駆動シリンダ４１２は前記ＬＭブロック４１４に動力を伝達し、前記動力が伝達された前記ＬＭブロック４１４は前記スライドレール４１８に沿ってＸ軸方向に所定距離移動することができる。前記ＬＭブロック４１４に伝達された動力は前記連結バー４２０に伝達され、前記連結バー４２０に付着されている前記ガイド突起４２２は前記カムブロック４４０の前記ガイド溝４４２に沿って移動する。よって、前記ＬＭプレート４３０は、前記ガイド突起４２２の移動と連結されて前記グリッパガイドレール４３４に沿って内側に所定距離移動することができる。前記ＬＭプレート４３０の移動により前記グリッパ４４８は前記トレイホーム領域７１０に挿入され、前記トランスファユニット１００は前記テストトレイ７００を把持することができる。
【００８４】
次に、図９Ｅに示すように、前記トランスファユニット１００は前記テストトレイ７００を把持した状態で、動力伝達装置の動力により上側方向に移動することができる。前記過程の間に、図５Ａに示すように、前記フローティングパート３２０の前記係止突起３２５は前記フローティング組立体３００に含まれた前記弾性部材３１０の弾性復元力、前記アームベース４５０及び前記テストトレイ７００の自体重力により前記フローティングパート３２０の前記係止突起３２５が前記貫通ホール２３０の前記中間挿入領域２２１ｃに固定載置されることができる。前記アームベース４５０及び前記アームベース４５０に密着された前記テストトレイ７００は前記弾性復元力と自体重力により前記ベースフレーム２２０上に形成された仮想の中心軸Ｃ上に一定に位置することができる。また、前記テストトレイ７００は前記弾性復元力と自体重力により、揺れや振動にも動くことなく水平状態を維持して移動することができる。
【００８５】
次に、前記テストトレイ７００を把持した前記トランスファユニット１００は前記供給ユニット（図１の２５）の所定位置に移送され、前記テストトレイ７００は前記トランスファユニット１００から把持解除されることができる。
【００８６】
一方、本発明による半導体テストハンドラトランスファユニット１００の前述における動作説明では、テストトレイ７００が所定方向に、すなわちＸ軸方向に傾いた場合について説明しているが、Ｘ軸方向及びＹ軸方向がすべて傾いた場合にも適用可能であることがわかる。また、本発明による半導体テストハンドラトランスファユニット１００は、積載ユニット１５に積載したテストトレイ７００を供給ユニット２５に移送することを例として説明したが、分類ユニット４５に積載したテストトレイ７００を積載ユニット１５に移送する場合にも適用可能であることがわかる。
【００８７】
図１１Ａないし図１１Ｃは、本発明の技術的思想の他の実施形態による挿入領域２２１、上部キャップ２２２、及びフローティング組立体３００を概念的に示す縦断面図である。
【００８８】
図１１Ａを参照すると、本発明の技術的思想の他の実施形態において、前記フローティング組立体３００は弾性ゴム３１０ａを含むことができる。前記弾性ゴム３１０ａは、前記上部キャップ２２２とフローティングパート３２０の突起３２７との間に位置することができる。前記弾性ゴム３１０ａの上部領域は前記上部キャップ２２２のリセス領域２２４によって固定することができる。前記弾性ゴムの下部領域は前記突起の上部面と接触することができる。
【００８９】
図１１Ｂを参照すると、本発明の技術的思想の他の実施形態において、前記突起３２７は前記弾性ゴム３１０ｂの下部領域に挿入することができる。
【００９０】
図１１Ｃを参照すると、本発明の技術的思想の他の実施形態において、前記フローティングパート３２０はボディ３２２及び係止突起３２５を含むことができる。前記弾性ゴム３１０ｃは前記上部キャップ２２２と前記フローティングパート３２０の前記ボディ３２２との間に位置することができる。前記弾性ゴム３１０ｃは前記ボディ３２２の上部面と接触することができる。前記弾性ゴム３１０ｃは前記上部キャップ２２２の前記リセス領域２２４と前記ボディ３２２により固定することができる。
【００９１】
図１２Ａないし図１２Ｃは、本発明の技術的思想のさらに他の実施形態による、挿入領域２２１、上部キャップ２２２、及びフローティング組立体３００を概念的に示す縦断面図である。
【００９２】
図１２Ａを参照すると、本発明の技術的思想の他の実施形態において、前記挿入領域２２１は上部挿入領域２２１ａ及び下部挿入領域２２１ｂを含むことができる。前記下部挿入領域２２１ｂは前記上部挿入領域２２１ａよりも小さな直径を有することができる。係止突起３２５は前記上部挿入領域２２１ａと前記下部挿入領域２２１ｂとの間の境界面により停止されることができる。
【００９３】
図１２Ｂを参照すると、本発明の技術的思想の他の実施形態において、前記係止突起３２５は前記ボディ３２２の側面から所定の厚さに突出することができる。前記係止突起３２５は傾斜面を含まなくてもよい。
【００９４】
図１２Ｃを参照すると、本発明の技術的思想の他の実施形態において、前記挿入領域２２１は、上部挿入領域２２１ａ、下部挿入領域２２１ｂ、及び中間挿入領域２２１ｄを含むことができる。前記中間挿入領域２２１ｄは前記上部挿入領域２２１ａ及び前記下部挿入領域２２１ｂとの間に位置することができる。前記中間挿入領域２２１ｄの内径は前記上部挿入領域２２１ａの内径よりも小さくてよい。前記下部挿入領域２２１ｂの内径は前記中間挿入領域２２１ｄの内径よりも小さくてよい。
【００９５】
前記フローティングパート３２０は、ボディ３２２、第１係止突起３２５ｂ、第２係止突起３２５ｃ、及び突起３２７を含むことができる。前記第１係止突起３２５ｂ及び前記第２係止突起３２５ｃは前記ボディ３２２の側面上に位置することができる。前記第１係止突起３２５ｂは前記突起３２７に隣接に位置することができる。前記第１係止突起３２５ｂは前記突起３２７と前記第２係止突起３２５ｃとの間に位置することができる。前記第１係止突起３２５ｂは前記上部挿入領域２２１ａ内に位置することができる。前記第２係止突起３２５ｃは前記中間挿入領域２２１ｄ内に位置することができる。
【００９６】
前記第１係止突起３２５ｂの外径は前記第２係止突起３２５ｃの外径よりも大きくてよい。前記第１係止突起３２５ｂの外径は前記中間挿入領域２２１ｄの内径よりも大きくてよい。前記第２係止突起３２５ｃの外径は前記中間挿入領域２２１ｄの内径よりも小さくてよい。
【００９７】
図１３は本発明の技術的思想の他の実施形態による、挿入領域２２１、上部キャップ２２２、及びフローティング組立体３００を概念的に示す縦断面図である。
【００９８】
図１３を参照すると、本発明の技術的思想の他の実施形態において、前記上部キャップ２２２はリセス領域２２４及び係止突起ストッパ(projection stopper)２２６を含むことができる。前記係止突起ストッパ２２６は前記挿入領域２２１の貫通ホール２３０内に延長されることができる。前記係止突起ストッパ２２６は前記上部挿入領域２２１ａの内側面上に位置することができる。前記係止突起ストッパ２２６は前記リセス領域２２４の側壁に沿って延長されることができる。前記係止突起ストッパ２２６の内側面は前記リセス領域２２４の側壁と垂直整列されることができる。前記係止突起ストッパ２２６は前記フローティングパート３２０の係止突起と接触することができる。前記係止突起ストッパ２２６は前記フローティングパート３２０の上側方向の移動距離を制限することができる。
【００９９】
以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について詳細に説明したが、本発明はかかる例に限定されない。本発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者であれば、特許請求の範囲に記載された技術的思想の範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、これらについても、当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
【符号の説明】
【０１００】
１０  テストハンドラ
１５  積載ユニット
１００  トランスファユニット
２５  供給ユニット
３０  ソークチャンバ
３５  テストチャンバ
４０  デソークチャンバ
４５  分類ユニット
５０  テスタ
【図１】
2014025920.tif 000003
【図２】
2014025920.tif 000004
【図３】
2014025920.tif 000005
【図４】
2014025920.tif 000006
【図５Ａ】
2014025920.tif 000007
【図５Ｂ】
2014025920.tif 000008
【図６】
2014025920.tif 000009
【図７】
2014025920.tif 000010
【図８】
2014025920.tif 000011
【図９Ａ】
2014025920.tif 000012
【図９Ｂ】
2014025920.tif 000013
【図９Ｃ】
2014025920.tif 000014
【図９Ｄ】
2014025920.tif 000015
【図９Ｅ】
2014025920.tif 000016
【図１０】
2014025920.tif 000017
【図１１Ａ】
2014025920.tif 000018
【図１１Ｂ】
2014025920.tif 000019
【図１１Ｃ】
2014025920.tif 000020
【図１２Ａ】
2014025920.tif 000021
【図１２Ｂ】
2014025920.tif 000022
【図１２Ｃ】
2014025920.tif 000023
【図１３】
2014025920.tif 000024