(57)【要約】【課題】反射部の動的撓みを低減し、小型化した光学反射素子を提供する。【解決手段】固定部２２と、固定部２２の他端と接続された第１の振動部材２４ａと、第１の振動部材２４ａと対向する方向に接続された第２の振動部材２４ｂと、第１、第２の振動部材２４ａ、２４ｂに回動可能に接続された反射部２６を有し、第１の振動部材２４ａは固定部２２と接続された第１の振動部２３ａと、反射部２６と第１の振動部２３ａとの間に位置し第１の振動部２３ａとは異なる方向に延在した第２の振動部２３ｂにより構成され、第２の振動部材２４ｂは固定部２２と接続された第３の振動部２３ｃと、反射部２６と第３の振動部２３ｃとの間に位置し第３の振動部２３ｃとは異なる方向に延在した第４の振動部２３ｄにより構成され、第２の振動部２３ｂのばね定数が第１の振動部２３ａのばね定数よりも低く第４の振動部２３ｄのばね定数が第３の振動部２３ｃよりも低い構成とした。【選択図】図１
2014202801.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定部と、
前記固定部と接続された第１の振動部材と、
前記第１の振動部材と対向する方向に接続された第２の振動部材と、
前記第１の振動部材と前記第２の振動部材に回動可能に接続された反射部を有し、
前記第１の振動部材は、前記固定部と接続された第１の振動部と、前記反射部と前記第１の振動部との間に位置し前記第１の振動部とは異なる方向に延在した第２の振動部により構成され、
前記第２の振動部材は、前記固定部と接続された第３の振動部と、前記反射部と前記第３の振動部との間に位置し前記第３の振動部とは異なる方向に延在した第４の振動部により構成され、
前記第２の振動部のばね定数が前記第１の振動部のばね定数よりも低く、
前記第４の振動部のばね定数が第３の振動部よりも低いことを特徴とする光学反射素子。
【請求項２】
前記反射部の回動軸と略直交する方向の前記反射部の第１の端を通過し前記回動軸と略平行な直線を第１の直線とし、
前記反射部の回動軸と略直交する方向の前記第１の端の反対側の前記反射部の第２の端を通過し、前記回動軸と略平行な直線を第２の直線としたとき、
前記第２の振動部の重心と前記第４の振動部の重心は、前記第１の直線と前記第２の直線に対し外側に位置することを特徴とする請求項１に記載の光学反射素子。
【請求項３】
前記第２の振動部と前記第４の振動部は、少なくとも２つの直線部と少なくとも１つの折り返し部が交互に接続されて構成されていることを特徴とする請求項１に記載の光学反射素子。
【請求項４】
前記直線部が前記反射部の回動軸と略直交する方向に形成されていることを特徴とする請求項３に記載の光学反射素子。
【請求項５】
前記直線部に前記反射部を回動させる駆動部が設けられていることを特徴とする請求項４に記載の光学反射素子。
【請求項６】
前記第１の振動部材と前記第２の振動部材は、前記反射部の回動軸から最も遠い部分で前記反射部と接続されることを特徴とする請求項１に記載の光学反射素子。
【請求項７】
前記第２の振動部と前記第４の振動部は、前記反射部の回動軸に略平行な方向に延在していることを特徴とする請求項１に記載の光学反射素子。
【請求項８】
固定部と、
前記固定部に接続された第１の振動部材と、
前記第１の振動部材と対向する方向に接続された第２の振動部材と、
前記第１の振動部材と前記第２の振動部材に回動可能に接続された反射部を有し、
前記反射部の回動軸と略直交する方向の前記反射部の第１の端を通過し前記回動軸と略平行な直線を第１の直線とし、
前記反射部の回動軸と略直交する方向の前記第１の端の反対側の前記反射部の第２の端を通過し、前記回動軸と略平行な直線を第２の直線としたとき、
前記第１の振動部材の重心と前記第２の振動部材の重心は、前記第１の直線と前記第２の直線に対し外側に位置することを特徴とする光学反射素子。
【請求項９】
前記接続部と前記振動部は、前記反射部を挟んで対向するように対になって形成されていることを特徴とする請求項１または請求項８に記載の光学反射素子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザ光を用いた画像投影装置等に用いられる光学反射素子に関する。
【背景技術】
【０００２】
レーザ等の光源による光を走査する、ヘッドアップディスプレイや小型プロジェクタ等の投影型の表示装置が実用化されている。このような表示装置に用いられる、従来の光学反射素子について図６を用いて説明する。
【０００３】
従来、この種の光学反射素子１は、図６に示すように基体２に備えられた固定枠３、４と、固定枠３、４に接続された第１の接続部５、６と、第１の接続部５、６に夫々接続された駆動部７、８と、駆動部７、８に接続された第２の接続部９、１０と、第２の接続部９、１０に接続された振動部材１１、１２と、振動部材１１、１２により支持された反射部１３から成り、駆動部７、８に電圧を印加することにより、第１の接続部５、６および第２の接続部９、１０を捩り変形することで、反射部１３を回動軸１４回りに回動させ、レーザ等の光源による光を走査することができる。
【０００４】
ここで、図７に従来の光学反射素子１の駆動時の反射部１３を、反射部１３の回動軸１４に直交した方向の側面から見たときの反射部１３の図を示す。従来の光学反射素子１を用いた場合に、図７に示すように駆動時に反射部１３が撓む動的撓みが発生し、反射レーザ光が拡大するという課題が発生する。
【０００５】
この課題の解決手段として特許文献１には、反射部１３に第１の接続部５、６および第２の接続部９、１０の回転による動的撓みが伝達することを抑制するために、反射部１３と第２の接続部９、１０の間の振動部材１１、１２をミアンダ構造とする構成が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特許第４５０７９８３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上記先行文献１の構成はトーションバーとトーションバーの間に反射部を回動させるための駆動部を設けているため、素子のサイズが大きくなってしまうという課題や、第２のトーションバーと反射部の間のミアンダ構造が、反射部の回動軸と垂直方向に延出しているために、反射部の回動方向のばね定数の低下による動的撓み抑制の効果が出にくいという課題があった。
【０００８】
そこで本発明は、上記先行文献１よりも動的撓みを抑制した小型化素子を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために本発明は、固定枠と、前記固定枠の他端と接続された第１の振動部材と、前記第１の振動部材と対向する方向に接続された第２の振動部材と、前記第１の振動部材と前記第２の振動部材に回動可能に接続された反射部を有し、前記第１の振動部材は、前記固定枠と接続された第１の振動部と、前記反射部と前記第１の振動部との間に位置し前記第１の振動部とは異なる方向に延在した第２の振動部により構成され、前記第２の振動部材は、前記固定枠と接続された第３の振動部と、前記反射部と前記第３の振動部との間に位置し前記第３の振動部とは異なる方向に延在した第４の振動部により構成され、前記第２の振動部のばね定数が前記第１の振動部のばね定数よりも低く、前記第４の振動部のばね定数が第３の振動部よりも低い構成とした。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の光学反射素子は、接続部と反射部を第１の振動部と、第１の振動部と異なる方向に延在し、かつ、第１の振動部よりもばね定数の低い第２振動部を介して接続したことにより、反射部の回動方向のばね定数を低減することができ、動的撓みを抑制し小型化可能な光学反射素子を提供できるという効果を奏するものである。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の実施の形態１における光学反射素子の平面図
【図２】同光学反射素子の図１のＡ−Ａ線における断面図
【図３】本発明の実施の形態２における光学反射素子の平面図
【図４】本発明の実施の形態３における光学反射素子の平面図
【図５】同光学反射素子の平面図
【図６】従来の光学反射素子の平面図
【図７】反射部の動的撓みを説明する図
【発明を実施するための形態】
【００１２】
（実施の形態１）
以下、本発明の実施の形態１について、図面を参照しながら説明する。
【００１３】
図１は本発明の実施の形態１における光学反射素子の平面図を示している。
【００１４】
図１に示すように、本発明の実施の形態１における光学反射素子２０は、長方形状の固定枠２１ａと接続部２１ｂからなる固定部２２と、第１の振動部２３ａと第２の振動部２３ｂからなる振動部材２４ａと、第３の振動部２３ｃと第４の振動部２３ｄからなる第２の振動部材２４ｂと、駆動部２５と、反射部２６を有している。接続部２１ｂの一端を固定枠２１ａの短辺略中央に固定し、接続部２１ｂの他端を第１の振動部２３ａ、第３の振動部２３ｃの一端と接続し、第１の振動部２３ａ、第３の振動部２３ｃの他端を夫々第２の振動部２３ｂ、第４の振動部２３ｄの一端に接続しており、第１の振動部材２４ａと第２の振動部材２４ｂは夫々接続部２１ｂを介して固定枠２１ａと接続されている。第２の振動部２３ｂ、第４の振動部２３ｄの他端は、レーザ光等の光を反射するための反射部２６に接続されており、駆動部２５が第１の振動部２３ａ、第３の振動部２３ｃ上に設けられている。固定枠２１ａ、接続部２１ｂ、第１の振動部材２４ａ、第２の振動部材２４ｂは同一の部材から成っており、弾性強度、機械的強度及びヤング率が高いシリコンを基板材料としている。
【００１５】
図２に図１のＡ−Ａ線における断面図を示す。図２に示すように、駆動部２５が設けられた第１の振動部２３ａ、第３の振動部２３ｃは、シリコン基板２７と、シリコン基板２７上に形成された下部電極膜２８と、下部電極膜２８上に形成された圧電体膜２９と、圧電体膜２９上に形成された上部電極膜３０を備えている。下部電極膜２８は白金で形成され、圧電体膜２９はチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）で形成され、上部電極膜３０は金により形成されている。なお、各膜の材料は、蒸着、ゾルゲル、ＣＶＤ、スパッタ法などの薄膜プロセスにより一括して形成することができ、フォトリソグラフィー技術を用いたエッチング技術により微細なパターンを正確に加工することができる。
【００１６】
下部電極膜２８と上部電極膜３０に所定の電位差を与えると圧電体膜２９に所定の電位差がかかり、逆圧電効果により圧電体膜２９がシリコン基板２７の上面に対して平行な方向に伸縮動作をし、これによりシリコン基板２７を上下に振動させる。ここで、駆動部２５に逆位相の電界を印加することにより、第１の振動部２３ａ、第３の振動部２３ｃが夫々逆方向に振動するため、反射部２６を回動軸３１回りに回動させる。このように、第１の振動部２３ａ、第３の振動部２３ｃ上に駆動部２５を設けることにより、接続部２１ｂに駆動部を設けるなどの構造にする必要がなく、駆動部を設ける部位を本発明の実施の形態１の光学反射素子２０を構成している部位の他に設ける必要がないため光学反射素子を小型化することができる。
【００１７】
次に、本発明の実施の形態１の効果を説明する。なお、第１の振動部材２４ａを構成する第１の振動部２３ａ、第２の振動部２３ｂを用いて説明するが、第２の振動部材２４ｂを構成する第３の振動部２３ｃ、第４の振動部２３ｄについても同様の効果を得ることができる。
【００１８】
ここで、動的撓みの発生要因は、反射部２６にかかる慣性力であるため、回動軸３１からの距離が増加するに伴い反射部２６にかかる慣性力が増加し、動的撓みも増加する。反射部２６は、第１の振動部材２４ａ、第２の振動部材２４ｂにより揺動運動を実現しており、第１の振動部材２４ａ、第２の振動部材２４ｂの反射部２６の支持方法により動的撓みの分布が変化する。つまり、動的撓みの分布は、反射部２６にかかる慣性力と反射部２６の支持方法のバランスによって決定される。
【００１９】
本発明の実施の形態１において、第２の振動部２３ｂは第１の振動部２３ａよりも厚みが薄くなるように形成されている。これにより、第２の振動部２３ｂのばね定数が第１の振動部２３ａよりも低くなるため、第１の振動部２３ａと第２の振動部２３ｂとを同じ厚みで形成した場合に比べて、反射部２６を回動させたときに第２の振動部２３ｂが大きく撓むようになり動的撓みの分布が変化する。このため、反射部２６の撓みを第２の振動部２３ｂにより分散させることが可能になり、反射部２６の動的撓みを低減することができるようになる。
【００２０】
また、第２の振動部２３ｂのばね定数が第１の振動部２３ａよりも低い構成とすることにより、ばね定数の低い部位から反射部２６までの距離が短くなるため、より大きな反射部２６の動的撓み抑制効果を得ることができる。
【００２１】
さらに、第２の振動部２３ｂは反射部２６の回動軸３１に平行に近いほど回動方向のばね定数を低減することができる。本発明の実施の形態１における光学反射素子２０は、図１に示すように第２の振動部２３ｂが回動軸３１に平行になるように形成されていることにより、第２の振動部２３ｂが回動軸３１に平行でない構成に比べ反射部２６の回動方向のばね定数を低くすることができるため、反射部２６の動的撓みをより低減することができる。
【００２２】
また、本発明の実施の形態１において、反射部２６を回動させたときに反射部２６にかかる慣性力が最も大きくなる回動軸３１から最も遠い部分３２を第２の振動部２３ｂで支持していることにより、本発明の実施の形態１の動的撓み低減効果を向上させることができている。
【００２３】
なお、本発明の実施の形態１において、第２の振動部２３ｂの厚みを第１の振動部２３ａよりも薄くする構成としたが、第２の振動部２３ｂの材料をシリコン酸化物等の第１の振動部の材料であるシリコンよりも剛性の小さい材料に変える等することにより、第２の振動部２３ｂのばね定数が第１の振動部２３ａのばね定数よりも小さい構成としてもよい。
【００２４】
また、本発明の実施の形態１において、接続部２１ｂと、第１の振動部２３ａと、駆動部２５と、第２の振動部２３ｂが対になる構成として説明しているが、各部位を反射部２６に対して片側にのみ設けて、反射部２６を片側支持する構成としても同様の効果を得ることができる。図１に示すように、各部位を対になるような構成とし、反射部２６を両側から支持することにより、光学反射素子２０の駆動をより安定させることができる。
【００２５】
（実施の形態２）
以下、本発明の実施の形態２について、図面を参照しながら説明する。
【００２６】
本発明の実施の形態２の光学反射素子４０の構造、製造方法、駆動方法は、本発明の実施の形態１の光学反射素子２０の構造と同様であるため、本発明の実施の形態１と異なる点についてのみ説明する。本発明の実施の形態２における光学反射素子４０は、第２の振動部が直線部と折り返し部で形成されている、所謂ミアンダ形状で形成されている点において、本発明の実施の形態１と異なっている。
【００２７】
図３に本発明の実施の形態２における光学反射素子４０の平面図を示す。
【００２８】
図３に示すように、本発明の実施の形態２における光学反射素子４０は、長方形状の固定枠４１ａと接続部４１ｂからなる固定部４２と、第１の振動部４３ａと第２の振動部４３ｂからなる第１の振動部材４４ａと、第３の振動部４３ｃと第４の振動部４３ｄからなる第２の振動部材４４ｂと、駆動部４５と、反射部４６を有している。接続部４１ｂの一端を固定枠４１ａの短辺略中央に固定し、接続部４１ｂの他端を第１の振動部４３ａ、第３の振動部４３ｃの一端と接続し、第１の振動部４３ａ、第３の振動部４３ｃの他端を夫々第２の振動部４３ｂ、第４の振動部４３ｄの一端に接続しており、第１の振動部材４４ａと第２の振動部材４４ｂは夫々接続部４１ｂを介して固定枠４１ａと接続されている。第２の振動部４３ｂ、第４の振動部４３ｄの他端は、レーザ光等の光を反射するための反射部４６に接続されており、駆動部４５が第１の振動部４３ａ、第３の振動部４３ｃ上に設けられている。第２の振動部４３ｂ、第４の振動部４３ｄは直線部４７と折り返し部４８からなり、直線部４７は反射部４６の回動軸５１と平行な方向に延在している。
【００２９】
本発明の実施の形態２の光学反射素子４０の効果について説明する。なお、第１の振動部材４４ａを構成する第１の振動部４３ａ、第２の振動部４３ｂを用いて説明するが、第２の振動部材４４ｂを構成する第３の振動部４３ｃ、第４の振動部４３ｄについても同様の効果を得ることができる。
【００３０】
光学反射素子４０の第２の振動部４３ｂは、ミアンダ形状に形成されているため、第２の振動部４３ｂの回動方向のばね定数は第１の振動部４３ａよりも低くなっている。ここで、第２の振動部４３ｂの材料や厚みを第１の振動部４３ａと異ならせる必要がないため、第１の振動部４３ａと第２の振動部４３ｂを一体に形成することができ、製造プロセスを簡便なものとすることができるため生産性を向上させることができる。
【００３１】
また、第２の振動部４３ｂをミアンダ形状としているため、直線部４７、折り返し部４８の長さ、幅を変更することにより、容易に第２の振動部４３ｂの回動方向のばね定数を所望の値に調整することが可能になる。また、第１の振動部４３ａと第２の振動部４３ｂを同じ厚みで形成することができるため、第２の振動部４３ｂの厚みを薄くした場合に比べ、機械的強度を向上させることができる。なお、第２の振動部４３ｂをミアンダ形状とした場合、第２の振動部４３ｂを直線形状にした場合よりも約１４％動的撓みを抑制することができる。
【００３２】
また、本発明の実施の形態２における光学反射素子４０は、反射部４６における回動軸５１から最も遠い第１の端部５２ａを通る第１の直線５３ａと、回動軸５１に対し第１の端部５２ａと反対側の第２の端部５２ｂを通る第２の直線５３ｂとしたとき、第１の直線５３ａと第２の直線５３ｂに対し第２の振動部４３ｂの重心Ｇが外側に位置している。
【００３３】
ここで、第２の振動部４３ｂの重心Ｇと第１の端部５２ａの回動軸５１に直交する方向の距離により動的撓みの分布が変化し、第２の振動部４３ｂの重心Ｇと第１の端部５２ａの距離が短いほど第２の振動部４３ｂに動的撓みが集中するため、反射部４６の動的撓みをより低減することが可能になる。
【００３４】
図６に示すような従来の光学反射素子では、ばね定数の低い部位である振動部材１１、１２の重心Ｇが反射部１３の回動軸１４から最も遠い点を通る直線に対し内側にあり、振動部材１１、１２の重心Ｇと反射部１３の回動軸１４から最も遠い点との距離が図３に示す光学反射素子４０に比べて遠い位置にある。このように、本発明の実施の形態２における光学反射素子４０では第２の振動部４３ｂの重心Ｇの位置を第１の直線５３ａと第２の直線５３ｂの外側にすることにより、第２の振動部４３ｂの重心Ｇと第１の端部５２ａの距離を短くすることができている。
【００３５】
また、第２の振動部４３ｂを回動軸５１と平行な方向とし、重心Ｇを第１の直線５３ａと第２の直線５３ｂの外側にすることにより駆動部４５の面積を大きくすることができ、これにより、光学反射素子４０の駆動効率を向上させることができている。
【００３６】
なお、第１の直線５３ａと第２の直線５３ｂに対し第２の振動部４３ｂの重心Ｇが外側になる構成で説明したが、第１の振動部材４４ａの重心Ｇが第１の直線５３ａと第２の直線５３ｂに対し外側になるように構成しても同様の効果を得ることができる。
【００３７】
（実施の形態３）
以下、本発明の実施の形態３について、図面を参照しながら説明する。
【００３８】
本発明の実施の形態３の光学反射素子６０の構造、製造方法、駆動方法は、本発明の実施の形態２の光学反射素子４０の構造と同様であるため、本発明の実施の形態２と異なる点についてのみ説明する。本発明の実施の形態３における光学反射素子６０は、第２の振動部の直線部が反射部の回動軸と直行する方向に形成されている点において本発明の実施の形態２と異なっている。
【００３９】
図４に本発明の実施の形態３の光学反射素子６０の平面図を示す。
【００４０】
図４に示すように、本発明の実施の形態３における光学反射素子６０は、長方形状の固定枠６１ａと接続部６１ｂからなる固定部６２と、第１の振動部６３ａと第２の振動部６３ｂからなる第１の振動部材６４ａと、第３の振動部６３ｃと第４の振動部６３ｄからなる第２の振動部材６４ｂと、駆動部６５と、反射部６６を有している。接続部６１ｂの一端を固定枠６１ａの短辺略中央に固定し、接続部６１ｂの他端を第１の振動部６３ａ、第３の振動部６３ｃの一端と接続し、第１の振動部６３ａ、第３の振動部６３ｃの他端を第２の振動部６３ｂ、第４の振動部６３ｄの一端に接続しており、第１の振動部材６４ａと第２の振動部材６４ｂは夫々接続部６１ｂを介して固定枠６１ａと接続されている。第２の振動部６３ｂ、第４の振動部６３ｄの他端は、レーザ光等の光を反射するための反射部６６に接続されており、駆動部６５が第１の振動部６３ａ、第３の振動部６３ｃ上に設けられている。第２の振動部６３ｂ、第４の振動部６３ｄは直線部６７と折り返し部６８からなり、直線部６７は反射部６６の回動軸７１と直行する方向に延在している。
【００４１】
本発明の実施の形態３における光学反射素子６０の効果について説明する。なお、第１の振動部材６４ａを構成する第１の振動部６３ａ、第２の振動部６３ｂを用いて説明するが、第２の振動部材６４ｂを構成する第３の振動部６３ｃ、第４の振動部６３ｄについても同様の効果を得ることができる。
【００４２】
光学反射素子６０の直線部６７は回動軸７１と直行する方向に延在していることにより、直線部６７が回動軸７１と平行な方向に延在している構造に比べ、反射部６６の回動方向のばね定数を低減することができる。このため、光学反射素子６０の駆動時の反射部６６にかかる動的撓みをより低減することが可能になり、駆動効率を維持しつつ、動的撓みを抑制し、小型化した光学反射素子を提供することができる。なお、第２の振動部６３ｂをミアンダ形状とした場合、第２の振動部６３ｂを直線形状にした場合よりも約２４％動的撓みを抑制することができる。
【００４３】
また、駆動部６５が第１の振動部６３ａ、第３の振動部６３ｃ上に設けられている構造を用いて説明をしてきたが、図５に示すように第２の振動部８３ｂの直線部６７上に駆動部６５を設けてもよい。駆動部６５を直線部６７上に設けたときの効果について説明する。なお、符号は図４に示す構造と同じ形状のものには同じ符号をつけている。
【００４４】
図５に示す光学反射素子８０は、第１の振動部材８４ａ、第２の振動部材８４ｂに駆動部が設けられている点では図４の光学反射素子６０と同じであるが、駆動部６５を第２の振動部８３ｂ、第４の振動部８３ｄの直線部６７上に設けた点が異なっている。これにより、駆動部６５に電界を印加すると逆圧電効果により駆動部６５に対して平面方向に圧電膜（図示せず）が伸縮動作し第２の振動部８３ｂ、第４の振動部８３ｄの駆動部６５が設けられた部分が上下に振動する。これにより、駆動部６５の振動が重畳され、反射部６６を大きく回動させる。この際、第１の振動部６３ａよりも反射部６６に近い位置に反射部６６を回動させるための駆動部６５を設けることで光学反射素子８０の更なる小型化を実現することができている。
【産業上の利用可能性】
【００４５】
本発明の光学反射素子は、アクチュエータを走査した際に反射部の動的撓みの発生を抑制し、レーザ光が拡大しにくい光学反射素子を提供することができる。また、光学反射素子の小型化を行うことができ、ヘッドアップディスプレイや小型プロジェクタに有用である。
【符号の説明】
【００４６】
２０、４０、６０、８０  光学反射素子
２１ａ、４１ａ、６１ａ  固定枠
２１ｂ、４１ｂ、６１ｂ  接続部
２２、４２、６２  固定部
２３ａ、４３ａ、６３ａ  第１の振動部
２３ｂ、４３ｂ、６３ｂ、８３ｂ  第２の振動部
２３ｃ、４３ｃ、６３ｃ  第３の振動部
２３ｄ、４３ｄ、６３ｄ、８３ｄ  第４の振動部
２４ａ、４４ａ、６４ａ、８４ａ  第１の振動部材
２４ｂ、４４ｂ、６４ｂ、８４ｂ  第２の振動部材
２５、４５、６５  駆動部
２６、４６、６６  反射部
２７  シリコン基板
２８  下部電極膜
２９  圧電体膜
３０  上部電極膜
３１、５１、７１  回動軸
３２  最も遠い部分
４７、６７  直線部
４８、６８  折り返し部
５２ａ  第１の端部
５２ｂ  第２の端部
５３ａ  第１の直線
５３ｂ  第２の直線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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