(57)【要約】【課題】本発明の目的は、非水溶媒中の溶解度が高く、電気めっきの通電電気量を大きくすることができ、短時間で効率良くアルミニウムの電気めっきを行うことができる電気アルミニウムめっき液を提供し、めっき膜の光沢性や平滑性も同時に実現することにある。【解決手段】本発明の電気アルミニウムめっき液は、アルミニウム金属塩と、前記アルミニウム金属塩とイオン対をなす有機化合物がイオン対を形成してなるイオン液体と、誘電率が８以下の有機溶媒とから構成されることを特徴とする。誘電率が８以下の有機溶媒として、ヘキサン，トルエン，ジエチルエーテル，酢酸エチル，シクロヘキサン，キシレン，ベンゼン，ナフタレン，ヘプタン，シクロペンチルメチルエーテル，ジオキサンのうち少なくともひとつを含み、イオン液体と有機溶媒の合計に対して、有機溶媒の体積分率を３０％以上とする。【選択図】  なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
アルミニウム金属塩と、前記アルミニウム金属塩とイオン対をなす有機化合物がイオン対を形成してなるイオン液体と、誘電率が８以下の有機溶媒と、添加剤として芳香族スルホンイミド類もしくはＮ環状化合物の少なくとも一方、から構成されることを特徴とする電気アルミニウムめっき液。
【請求項２】
請求項１に記載の電気アルミニウムめっき液において、前記イオン液体と前記有機溶媒の合計に対して、前記有機溶媒の体積分率が３０％以上であることを特徴とする電気アルミニウムめっき液。
【請求項３】
請求項１に記載の電気アルミニウムめっき液において、前記アルミニウム金属塩は少なくともハロゲン化アルミニウムを含有することを特徴とする電気アルミニウムめっき液。
【請求項４】
請求項１に記載の電気アルミニウムめっき液において、前記有機溶媒が、ヘキサン，トルエン，ジエチルエーテル，酢酸エチル，シクロヘキサン，キシレン，ベンゼン，ナフタレン，ヘプタン，シクロペンチルメチルエーテル，ジオキサンから選ばれる少なくとも１種類以上であることを特徴とする電気アルミニウムめっき液。
【請求項５】
請求項１に記載の電気アルミニウムめっき液において、イオン液体中に含まれるアルミニウム金属塩量に対する添加剤量のｍｏｌ比が１.４×１０-4〜３.０×１０-3であることを特徴する電気アルミニウムめっき液。
【請求項６】
請求項１に記載の電気アルミニウムめっき液において、前記アルミニウム金属塩とイオン対をなす有機化合物として、ジアルキルイミダゾリウム塩，脂肪族ホスホニウム塩，４級アンモニウム塩のうち少なくともひとつを含有することを特徴とする電気アルミニウムめっき液。
【請求項７】
請求項１に記載の電気アルミニウムめっき液において、前記アルミニウム金属塩とイオン対をなす有機化合物に対して、前記アルミニウム金属塩のモル比が１以上であることを特徴とする電気アルミニウムめっき液。
【請求項８】
請求項１に記載の電気アルミニウムめっき液において、前記アルミニウム金属塩と、前記アルミニウム金属塩とイオン対をなす有機化合物とを混合してイオン液体を合成した後に、前記イオン液体と前記有機溶媒とを混合して得られたことを特徴とする電気アルミニウムめっき液。
【請求項９】
請求項１に記載の電気アルミニウムめっき液において、アルミニウム金属塩以外の卑金属塩を含むことを特徴とする電気アルミニウムめっき液。
【請求項１０】
請求項１に記載の電気アルミニウムめっき液において、芳香族スルホンイミド類としてサッカリンを含むことを特徴とする電気アルミニウムめっき液。
【請求項１１】
請求項１に記載の電気アルミニウムめっき液において、Ｎ環状化合物として１，１０フェナントロリンを含むことを特徴とする電気アルミニウムめっき液。
【請求項１２】
請求項１に記載の電気アルミニウムめっき液を用いてめっきが施されていることを特徴とするＬＥＤ用アルミニウムめっき膜。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、非水溶媒を用いた電気アルミニウムめっき液に関する。
【背景技術】
【０００２】
アルミニウムの電気めっきは、アルミニウムの酸素に対する親和力が大きく、電位が水素より卑であるため、水溶液系のめっき浴で電気めっきを行うことは困難である。このため、アルミニウムの電気めっきでは、非水溶媒系のめっき液が多く研究されてきた。この非水溶媒系である有機溶媒系のめっき浴としては、ＡｌＣｌ3とＬｉＡｌＨ4またはＬｉＨをエーテルに溶解したものや、ＡｌＣｌ3とＬｉＡｌＨ4とをＴＨＦ（テトラヒドロフラン）に溶解したものが代表的なものである。しかし、これらのめっき浴は、いずれも浴中に非常に活性なＬｉＡｌＨ4やＬｉＨを含んでいるため、酸素や水分が存在すると、それらと反応して分解し、電流効率が低下し、浴寿命も短くなってしまうものであった。このような中で安全且つ低コストなめっき液として、特許文献１，２などにはジメチルスルホンを溶媒とした溶融塩電解めっき液が報告されている。
【０００３】
また、近年では、特許文献３，４などに示すような、アルミニウムハロゲン化物と、アルキルピリジニウムハロゲン化物，４級アンモニウム塩，１−アルキルまたは１，３−ジアルキルイミダゾリウムハロゲン化物等とからなる溶融塩をめっき浴として用いる電気アルミニウムめっき法が提案されている。しかしながら、これらめっき浴は、水分の混入によってめっき状態が大きく変化するため、一定のめっき条件で電気めっきを行っても常に均一なめっき被膜が得られるとは限らない。
【０００４】
更には、特許文献５などに示すように、アルキルピリジニウムハロゲン化物からなるめっき浴に添加剤を加えることで、めっきの光沢性が向上するめっき浴が提案されている。しかしながら、これらのめっき浴は添加剤を加えることでめっきの析出効率が低下してしまう。特許文献６では、トルエンをアルキルピリジニウムハロゲン化物からなるめっき浴に添加する方法によって、めっきの光沢性が向上する技術が記載されているが、光沢のあるめっき皮膜をどんな条件下であっても一様に得ることは困難であった。すなわち、析出効率と光沢性や平滑性はトレードオフの関係にあり、両者を両立するような電気アルミニウムめっき液が求められている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−７６０３１号公報
【特許文献２】特開２００６−１６１１５４号公報
【特許文献３】特開昭６２−７０５９２号公報
【特許文献４】特開平１−２７２７８８号公報
【特許文献５】特開平４−７２０８８号公報
【特許文献６】特開昭６３−２３０８９６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
従来の非水溶媒系のめっき液は、一般にアルミニウム塩の溶解度が低く、大電流で短時間でめっき処理することが困難であり、効率よくめっき作業を行うことができない。また、めっき液中に酸素や水分が存在すると、それらとアルミニウム塩とが反応して分解し、電流効率が低下したり、めっきの仕上がりが悪くなり、めっき液が劣化するという問題があった。
【０００７】
これらの問題に加えて、高温溶融塩系の非水溶媒系めっき液の場合には、作動時に１００℃以上にしなければならず、常温での作動は不可能であるという問題があった。また、常温溶融塩系の非水溶媒系めっき液の場合には、作動可能な範囲が非常に狭く、めっき膜の未析出等の欠陥を低減するためにアルミニウム金属塩の濃度を高くすると、液の粘性が高くなってしまい、めっきの析出速度が低下するとともにめっきのつき周りが悪いという問題があった。更には、析出物の表面形状が粗いという問題があった。
【０００８】
そこで、本発明の目的は、上記課題を解決し、非水溶媒中の溶解度が高く、電気めっきの通電電気量を大きくすることができ、短時間で効率良くアルミニウムの電気めっきを行うことができる電気アルミニウムめっき液を提供すると共に、平滑性と光沢性に優れためっき膜を作製することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の電気アルミニウムめっき液は、アルミニウム金属塩と、前記アルミニウム金属塩とイオン対をなす有機化合物がイオン対を形成してなるイオン液体と、誘電率が８以下の有機溶媒とから構成されることを特徴とする。誘電率が８以下の有機溶媒として、ヘキサン，トルエン，ジエチルエーテル，酢酸エチル，シクロヘキサン，キシレン，ベンゼン，ナフタレン，ヘプタン，シクロペンチルメチルエーテル，ジオキサンのうち少なくともひとつを含み、イオン液体と有機溶媒の合計に対して、有機溶媒の体積分率が３０％以上であることが好ましい。また、サッカリン，１−１０フェナントロリンのうち少なくとも一つを含む添加剤を、イオン液体中に含まれるアルミニウム金属塩に対して、１.４×１０-3〜３.０×１０-3の比で加えると光沢・平滑効果が得られる。
【００１０】
イオン液体に有機溶剤を加えると、めっき液の粘性が下がった結果、Ａｌめっき膜の成膜速度の変化するため、添加剤の供給量もめっき液の濃度に応じて最適化しなければならない。すなわち、イオン液体に加えた同量の添加剤を本発明のめっき液に添加しても、めっき液の濃度によっては平滑性や光沢性が得られるとは限らないことから、アルミニウムハロゲン化物量に対して最適な添加剤量を規定することが必要である。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、めっきの析出効率の向上により膜厚の均一性を改善することが可能となり、光沢性や平滑性に優れるめっき膜を短時間で作製できることにある。また、上記めっきを適用することで、立体的な形状であっても均一なめっきが施された部品を提供することが可能となる。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
本発明の実施の形態について以下に説明する。
【００１３】
アルミニウム源として使用するアルミニウム金属塩としては、アルミニウムハロゲン化物を使用できる。アルミニウムハロゲン化物としては、塩化アルミニウム，臭化アルミニウム等の無水塩が使用できる。アルミニウム金属塩とイオン対を形成する有機化合物に対して、めっき液中のアルミニウム濃度が等モル以下ではめっきの析出速度が著しく低下するため、濃度が高いほうがめっきの析出均一性が良好となる。めっき液中のアルミニウム濃度は、アルミニウム金属塩とイオン対を形成する有機化合物に対して、等モル以上含有されることがよく、好ましくは１.５倍以上、より好ましくは３倍以上含有されることがよい。
【００１４】
アルミニウム金属塩とイオン対を形成する有機化合物としては、ジアルキルイミダゾリウム塩，脂肪族ホスホニウム塩，４級アンモニウム塩などの有機化合物カチオンのハロゲン化物が使用できる。ジアルキルイミダゾリウム塩としては、１，３−ジアルキルイミダゾリウムハロゲン化物である１−エチル−３−メチルイミダゾリウムクロリド（［ＥＭＩＭ］・Ｃｌ），１−エチル−３−メチルイミダゾリウムブロミド（［ＥＭＩＭ］・Ｂｒ），１−エチル−３−メチルイミダゾリウムヨージド（［ＥＭＩＭ］・Ｉ），１−ブチル−３−メチルイミダゾリウムクロリド（［ＢＭＩＭ］・Ｃｌ），１−ブチル−３−メチルイミダゾリウムブロミド（［ＢＭＩＭ］・Ｂｒ），１−ブチル−３−メチルイミダゾリウムヨージド（［ＢＭＩＭ］・Ｉ）などを好適に用いることができる。また、脂肪族ホスホニウム塩としては、エチルトリブチルホスホニウムクロリド（［ＥＢＰ］・Ｃｌ），エチルトリブチルホスホニウムブロミド（［ＥＢＰ］・Ｂｒ），エチルトリブチルホスホニウムヨージド（［ＥＢＰ］・Ｉ）、などを好適に用いることができる。４級アンモニウム塩として、テトラエチルアンモニウムブロミド（［Ｅ4Ｎ］・Ｂｒ），トリメチルエチルアンモニウムクロリド（［Ｍ3ＥＮ］・Ｃｌ），テトラブチルアンモニウムクロリド（［Ｂｕ4Ｎ］・Ｃｌ）などを好適に用いることができる。
【００１５】
上記したアルミニウム金属塩と、アルミニウム金属塩とイオン対を形成する有機化合物とを混合することにより、以下の反応により、イオン対を形成したイオン液体が形成される。
Ａｌ・Ｘｎ＋Ｒ・Ｙｍ＝（Ａｌ・Ｒ）（Ｘｎ）（Ｙｍ）                …（式１）
（式１において、Ｘ，Ｙはハロゲン化物を示し、Ｒは有機化合物カチオンを示し、ｎ，ｍは価数を示し、１〜４の整数である）。
【００１６】
アルミニウム金属塩に塩化アルミニウム，アルミニウム金属塩とイオン対を形成する有機化合物に１−エチル−３−メチルイミダゾリウムクロリドを用いた場合の反応を例として以下に記載する。
[ＥＭＩＭ]：１−エチル−３−メチルイミダゾリウムクロリド
[ＥＭＩＭ]+Ｃｌ-＋ＡｌＣｌ3＝[ＥＭＩＭ]+[ＡｌＣｌ4]-                （１）
[ＥＭＩＭ]+[ＡｌＣｌ4]-＋ＡｌＣｌ3＝[ＥＭＩＭ]+[Ａｌ2Ｃｌ7]-        （２）
[ＡｌＣｌ4］-＋３ｅ-＝Ａｌ＋４Ｃｌ-                                 （３）
[Ａｌ2Ｃｌ7]-＋３ｅ-＝Ａｌ＋[ＡｌＣｌ4］＋３Ｃｌ-                   （４）
４[Ａｌ2Ｃｌ7]-＋３ｅ-＝Ａｌ＋７[ＡｌＣｌ4]-                        （４）′
【００１７】
［ＡｌＣｌ3］と「ＥＭＩＭ」のｍｏｌ％の比率により、２種類の析出形態が考えられる。
【００１８】
一つ目は［ＡｌＣｌ3］が５０ｍｏｌ％以下の場合、（１）のように存在していると考えられ、（３）式に従ってＡｌが析出すると考えられる。
【００１９】
二つ目は［ＡｌＣｌ3］が５０ｍｏｌ％より多い場合（過剰な場合）、（２）のように存在していると考えられ、（４）または（４）′式に従ってＡｌが析出すると考えられる。
【００２０】
このように、アルミニウム塩とジアルキルイミダゾリウム塩などの有機化合物を混合すると、それらはイオン対を形成し、融体（イオン液体）が得られる。このイオン液体は、電気めっき液として機能することが可能である。しかしながら、めっき液としてはアルミニウムの濃度が高いことが望まれるが、例えば、アルミニウム金属塩とイオン対を形成する有機化合物に対してアルミニウム金属塩をモル比で３倍以上とすると、アルミニウムの濃度が高くなるに従い粘性が高く流動性がなくなり、このようなイオン液体からは均一なめっきの析出が得られなくなる。そこで本発明では、粘性が高いイオン液体を有機溶媒に溶解させることによって、モル比が３倍より大きくても粘性を低くでき、めっき液として好適に用いることが可能となる。また、有機溶媒の体積分率が高いほど、相対的にアルミニウムのイオン濃度が低下していくが、粘性が低くなることで見かけの拡散係数が大きくなるために被めっき面での電流を大きく均一にすることが可能となる。従って、基板面への均一なめっきを得ることができる。
【００２１】
有機溶媒としては、誘電率が８以下の非極性の溶媒を用いることが好ましい。誘電率の高い極性有機溶媒を用いた場合には、アルミニウムとイオン対を形成している有機化合物とが解離し、めっきの析出効率が低下してしまう。これは、イオン液体中の正負イオン間のクーロン力が媒体の誘電率に反比例し、溶媒の比誘電率が高いほどクーロン力は小さくなり、金属塩の解離が容易になり、アルミニウム金属塩と有機化合物とのイオン対の解離が容易となってしまうためである。したがって、有機溶媒の誘電率は８以下のものが好ましく、より好ましくは５以下とすることが望ましい。このような有機溶媒としては、ヘキサン（誘電率２.０），トルエン（誘電率２.４），ジエチルエーテル（誘電率４.３），酢酸エチル（誘電率６.０），シクロヘキサン（誘電率２.０），キシレン（誘電率２.５），ベンゼン（誘電率２.３），ナフタレン（誘電率２.５），ヘプタン（誘電率１.９），シクロペンチルメチルエーテル（誘電率４.８），ジオキサン（誘電率２.１）が挙げられ、これらのうちいずれか一種、あるいは複数を用いても良い。また、有機溶剤の沸点は、４０℃以上のものが好ましく、沸点が低過ぎると、密閉，冷却等の有機溶剤の発散，引火等への対策が過重となるので好ましくない。また、イオン液体と有機溶媒の合計に対して、有機溶媒の体積分率を３０ｖｏｌ％以上とすることが好ましく、５０ｖｏｌ％以上が更に好ましい。しかしながら、有機溶媒の体積分率が高くなりすぎると、アルミニウムのイオン濃度が低下しすぎてしまい、９０ｖｏｌ％よりも高くなるとめっきの電流効率低下の原因となってしまう。そのため、有機溶媒の体積分率は９０ｖｏｌ％以下が好ましい。
【００２２】
イオン液体と有機溶媒の混合しためっき液に対して、サッカリン，１−１０フェナントロリンのうち少なくとも一つを含み、イオン液体中に含まれるアルミニウム金属塩に対して、１.４×１０-3〜３.０×１０-3の比で添加することが特に好ましい。これらの有機化合物は、めっきによる結晶成長を抑制することで、結晶が微細化され平坦性が大幅に向上する。アルミニウム塩に加えて、卑金属塩としてＮｉやＣｏ，Ｃｕ、などの遷移金属塩やＴｉ，ＷやＭｏなどの高融点金属塩を加えると、得られるめっき膜にこれらの元素が含まれ、熱的安定性を向上させることができる。例えばニッケルの場合は、塩化ニッケル，硫酸ニッケルなどを０.０１から２０ｍｏｌ％の濃度となるように添加することができ、その場合ニッケル塩とアルミニウム塩を加えた金属塩濃度は一定となるようにアルミニウム塩の添加量を調整すると良い。同様に他の卑金属塩の場合も、塩化物との金属塩などを添加することができる。
【００２３】
めっき処理温度は作業性を勘案すると１０〜６０℃以下が好ましく、さらには４０℃以下が望ましい。温度が１０℃未満となると、粘度が高くなりめっき膜全体が黒くなる傾向を示す。
【００２４】
電気アルミニウムめっきは、めっき条件として、直流もしくはパルス電流により、電流密度０.０１〜１０Ａ／ｄｍ2で行うと電流効率がよくかつ均一なめっきをすることができる。電流密度が高すぎると、有機化合物の分解，めっき層の不均一化、さらには電流効率の低下が起り好ましくない。また、めっき液が酸素，水分に対して不安定なため、めっきは乾燥不活性ガス雰囲気下で行うことが望ましい。
【００２５】
連続めっきを行う場合には、めっき浴にＡｌイオンを補給して、浴中のＡｌイオン濃度を一定の範囲に保つ必要があるが、この場合、陽極をアルミニウム製可溶性陽極にすると、通電量に応じてＡｌイオンが自動補給され、アルミニウムハロゲン化物の補給によらなくてもＡｌイオン濃度を一定の範囲に保つことができ、しかも、浴組成を崩すことがない。
【００２６】
めっき後の洗浄に用いる有機溶剤は、ヘキサン，ドデカン等の飽和脂肪族炭化水素類、および、ベンゼン，トルエン，ヘキシルベンゼン，ドデシルベンゼン等の芳香族炭化水素類である。これらは、めっき液中に混入しても悪影響を及ぼさず、中でも、アルキル置換基を有する芳香族炭化水素、特に炭素数８以下のアルキル置換基を有するアルキルベンゼンは、めっき液中に混入してもめっきに悪影響を及ぼさないので、特に好ましい。有機溶剤の沸点は、４０℃以上のものが好ましく、沸点が低過ぎると、密閉，冷却等の有機溶剤の発散，引火等への対策が過重となるので好ましくない。
【００２７】
以下、本発明を実施例により具体的に説明するが、本発明はこれらの記載に限定されるものではない。
【００２８】
（実施例１）
１−エチル−３−メチルイミダゾリウムクロリド（関東化学製；［ＥＭＩＭ］Ｃｌ）と無水塩化アルミニウム（和光純薬、ＡｌＣｌ3）を用いた。湿度５％，温度２５℃としたグローブボックス内で秤量し、［ＥＭＩＭ］Ｃｌ：ＡｌＣｌ3１：２のモル比となるようにＡｌＣｌ3を加え、２００mlの融体を得た。２００mlのトルエン（和光純薬工業）に前述の融体を溶解させた後、サッカリン（和光純薬工業）をＡｌハロゲン化物に対して２.０×１０-3の比になるように添加し、総量で４００mlとなるようにめっき液を作製した。得られためっき液４００mlを、縦×横×深さが１００mm×５０mm×１００mmのポリプロピレン製の電解槽に入れた。
【００２９】
次に、アノード電極として縦×横が７５mm×７５mm、厚さが２mmの純度９９.９％のアルミニウム板を、またカソード電極として縦×横が５０mm×５０mm、厚さが０.１mmの銅箔を、互いに３０mmの間隔を置いて電解槽内に対向させて配置し、めっき液内に浸漬した。電極と接続用のリード線を電解槽の蓋を気密状態で貫通させ、電源に接続した。
【００３０】
以上の作業をグローブボックス中で行った後、外に取り出した。
【００３１】
電気アルミニウムめっきは定電流源を用いて、電流密度−１０ｍＡ／cm2で２０分間または電流密度−２０ｍＡ／cm2で１０分間行い、銅箔の表面にアルミニウムめっき膜を形成した。めっき時の電圧は３Ｖ以下として行った。その後、電流効率の評価と、めっき膜の表面状態の観察を行った。電流効率は、アルミニウムの析出量を実測して求め、これをクーロンメータの電流値を基に予め算出される析出量と比較し、後者の計算上の析出量に対する割合を百分率として求めた。
【００３２】
上記のようにして行った結果、めっき状態が良好であった。また、銅箔面内の５か所について膜厚測定を行った結果、めっき膜厚は４μｍであり、分布は５％以内と、良好な結果が得られた。また、電流効率は８５％と良好であった。析出しためっき膜の算術平均粗さを測定した結果、１０ｎｍと非常に平滑性が高く、鏡面状のめっき膜が得られた。
【００３３】
この結果から明らかなように、本実施例の溶媒および溶質を用いると、電気めっきの通電電流を大きく取ることができ、短時間で効率良くアルミニウムのめっきができると共に、電流効率が良く、電解液の劣化によるトラブルも回避され、均一性良く平滑で良好なめっき状態を得ることができることがわかった。
【００３４】
（実施例２〜１３）
塩化アルミニウム塩ＡｌＣｌ3を、表１に示した有機化合物，有機溶媒を用いて、種々の塩濃度Ａ（モル／１）の１つとなるように溶解させて、実施例２〜１３のめっき液を実施例１と同様に作成した。その結果を表１に示す。表１にアルミニウムハロゲン化物とイミダゾリウムのモル比に対して添加した有機溶媒の種類と体積比率、添加剤の種類とアルミニウムハロゲン化物に対する添加剤のｍｏｌ比をアルミニウム塩化物に対する添加剤のｍｏｌ比を示す。これらの液組成を用いてめっきを実施した場合の結果を析出効率，光沢性，平滑性，膜厚均一性の４点から評価した。特に優れた効果が得られた場合は◎、優れた効果が得られた場合は○、十分な効果が得られなかった場合は△を用いて評価した。添加剤はアルミニウムハロゲン化物に対するｍｏｌ比を１.４×１０-4〜３.０×１０-3とすることで、アルミニウムの析出効率とめっき膜の平坦性に著しい改善効果が認められた。有機溶媒の添加量については実施例４〜７のように７５ｖｏｌ％〜９０ｖｏｌ％程度の高い場合にはめっき液の粘性が下がり、アルミニウムイオンの拡散速度が向上することから高い析出効率でめっきすることが可能となる。添加剤の添加量については有機溶媒の添加量が高くなるにつれてアルミニウムめっき膜の成膜速度が速くなり、アルミニウムイオンに対する添加剤のｍｏｌ比が過多になると黒色で平滑性や膜厚均一性に劣るめっき膜が成膜される可能性がある。従って光沢性，平滑性，膜厚均一に優れためっき膜を成膜するには有機溶媒の添加量が高くなるにつれて、アルミニウムイオンに対する添加剤のｍｏｌ比を低くすることが必要であると考えられる。
【００３５】
この結果から明らかなように、実施例１〜１３の溶媒および溶質を用いると、電気めっきの通電電流を大きく取ることができ、短時間で効率良くアルミニウムのめっきができると共に、電流効率が良く、電解液の劣化によるトラブルも回避され、良好なめっき状態を得ることができる。アルミニウム塩の濃度が高くなるとめっきの際の電流効率を向上可能であった。また、有機溶媒の濃度は高い方が粘性を低下させることができ、膜厚ばらつきを低減できた。
【００３６】
【表１】
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【００３７】
（実施例１４）
実施例１と同様のめっき方法に従い、被めっき物は中央でＬ字型に９０度折った銅箔へのめっきを実施した。銅箔面の５か所について膜厚測定を行った結果、めっき膜厚は４μｍであり、分布は８％以内と、良好な結果が得られた。電流効率は９７％と良好であった。
【００３８】
この結果から明らかなように、本実施例の溶媒および溶質を用いると、電気めっきの通電電流を大きく取ることができ、短時間で効率良くアルミニウムのめっきができると共に、立体的な形状であっても均一なめっきが施された部品を提供することが可能とわかった。
【００３９】
（実施例１５）
実施例１と同様のめっき方法に従い、銅合金リードフレーム上にめっきを実施した。リードフレームには通常反射率が優れるＡｇめっきが用いられるが、特に硫化物に侵されやすいなど耐食性に劣ることが課題であった。得られためっき膜の耐変色性，反射率，ワイヤボンディング性を評価した結果、いずれも良好な結果であった。
【００４０】
（実施例１６）
実施例１と同様のめっき方法に従い、Ｓｉウエハ上にめっきを実施した。得られためっき膜は鏡面光沢であり、表面粗さＲａは４ｎｍ程度で極めて平滑性が高かった。
【００４１】
（比較例１）
実施例１と同様に１−エチル−３−メチルイミダゾリウムクロリド（２０モル％）と三塩化アルミニウム（８０モル％）とからなるイオン液体をめっき液として用いてめっきを施した。この場合は、電流密度が２０ｍＡ／cm2で実施したが、良好なめっきができずアルミニウムめっきの表面が黒く焼けためっき膜となった。また、めっき液の粘性が高いため、膜厚の分布が大きくなってしまった。
【００４２】
（比較例２）
実施例１と同様に１−エチル−３−メチルイミダゾリウムクロリド（２０モル％）と三塩化アルミニウム（８０モル％）とからなるイオン液体を極性溶媒であるプロピレンカーボネート（誘電率６５）に溶解しめっき液として用いてめっきを施した。この場合は、電流密度が２０ｍＡ／cm2で実施したが、良好なめっきができずほとんどアルミニウムの析出が起きなかった。このような極性を有する溶媒にイオン液体を溶解させると、アルミニウム塩とイオン対を形成している有機化合物とが解離してしまい、めっき反応を阻害したと考えられる。
【００４３】
（比較例３）
実施例１と同様に１−エチル−３−メチルイミダゾリウムクロリド（２０モル％）と三塩化アルミニウム（８０モル％）とからなるイオン液体を極性溶媒であるアセトニトリル（誘電率３８）に溶解しめっき液として用いてめっきを施した。この場合は、電流密度が２０ｍＡ／cm2で実施したが、良好なめっきができずほとんどアルミニウムの析出が起きなかった。
【００４４】
（比較例４）
実施例１と同様に１−エチル−３−メチルイミダゾリウムクロリド（２０モル％）と三塩化アルミニウム（８０モル％）とからなるイオン液体にトルエンを７０ｖｏｌ％含む液をめっき液として用いてめっきを施した。この場合は、電流密度が２０ｍＡ／cm2で実施したが、良好なめっきが得られたがアルミニウムめっきの表面が白く平滑性がえられなかった。
【００４５】
（比較例５）
実施例１と同様に［ＥＭＩＭ］Ｃｌ：ＡｌＣｌ3＝１：２のモル比となるようにイオン液体にトルエンを５０ｖｏｌ％含む液をめっき液として用いてめっきを施した。この場合は、電流密度が２０ｍＡ／cm2で実施したが、良好なめっきが得られたがアルミニウムめっきの表面が白く平滑性がえられなかった。
【００４６】
（比較例６）
実施例１と同様に１−エチル−３−メチルイミダゾリウムクロリド（２０モル％）と三塩化アルミニウム（８０モル％）とからなるイオン液体にサッカリンを３.０×１０-3含むめっき液として用いてめっきを施した。この場合は、電流密度が２０ｍＡ／cm2で実施したが、光沢性を有する良好なめっきが得られたが、電流効率が８７％と有機溶媒を添加した場合に比べて低かった。
【００４７】
（比較例７）
［ＥＭＩＭ］Ｃｌ：ＡｌＣｌ3＝１：２のモル比となるようにＡｌＣｌ3を加え、２００mlの融体を得た。続いて２００mlのトルエンに前述の融体を溶解させた後、サッカリンをＡｌハロゲン化物に対して８.０×１０-3の比になるように添加してめっき液を作成し、実施例１と同様の電解条件で銅箔表面にアルミニウムめっき膜を形成した。得られためっき膜は黒色で膜厚の均一性も乏しかった。添加剤量は特許文献２において光沢・平滑性が得られる範囲にあるが、有機溶媒を添加した場合には添加剤の作用機構が変化するために光沢・平滑効果が得られる添加剤量が異なることが示唆された。
【００４８】
（比較例８）
［ＥＭＩＭ］Ｃｌ：ＡｌＣｌ3＝１：２のモル比となるようにＡｌＣｌ3を加え、２００mlの融体を得た。続いて２００mlのトルエンに前述の融体を溶解させた後、サッカリンをＡｌハロゲン化物に対して８.０×１０-4の比になるように添加してめっき液を作成し、実施例１と同様の電解条件で銅箔表面にアルミニウムめっき膜を形成した。得られためっき膜は光沢性・平滑性に関して十分な効果は得られなかった。