(57)【要約】【課題】回転駆動を効率良く行うことを可能した回転駆動装置を提供する。【解決手段】回転自在に支持された回転軸２と、回転軸２よりも大きい径を有する孔部３Ａを有して、この孔部３Ａに回転軸２を貫通させると共に、孔部３Ａの内周面と回転軸２の外周面との間で駆動力が伝達可能な状態で、回転軸２を中心に公転させることによって、回転軸２を軸線回りに回転させるロータ３と、ロータ３の周囲を囲む位置に配置されて、回転軸２と直交する面内の少なくとも交差する２方向Ｘ，Ｙにおいてロータ３を変位駆動させる変位駆動部７とを備え、変位駆動部７は、ロータ３が変位する方向Ｘ，Ｙと平行な方向に振動する駆動素子５ａ〜５ｄと、駆動素子５ａ〜５ｄとロータ３との間を連結すると共に、駆動素子５ａ〜５ｄとロータ３との間で弾性変形可能な連結部材６ａ〜６ｄとを有する。【選択図】図１
2014075954.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転自在に支持された回転軸と、
前記回転軸よりも大きい径を有する孔部を有して、この孔部に前記回転軸を貫通させると共に、前記孔部の内周面と前記回転軸の外周面との間で駆動力が伝達可能な状態で、前記回転軸を中心に公転させることによって、前記回転軸を軸線回りに回転させるロータと、
前記ロータの周囲を囲む位置に配置されて、前記回転軸と直交する面内の少なくとも交差する２方向において前記ロータを変位駆動させる変位駆動部とを備え、
前記変位駆動部は、前記ロータが変位する方向と平行な方向に振動する駆動素子と、前記駆動素子と前記ロータとの間を連結する連結部材とを有することを特徴とする回転駆動装置。
【請求項２】
前記変位駆動部は、前記ロータが変位する一の方向と平行な方向に振動する一方側の駆動素子と、前記ロータが変位する他の方向と平行な方向に振動する他方側の駆動素子との間で振動の位相をずらすことによって、前記ロータを前記回転軸を中心に公転させることを特徴とする請求項１に記載の回転駆動装置。
【請求項３】
前記一方側の駆動素子と前記他方側の駆動素子と間における振動の位相差が９０°であることを特徴とする請求項２に記載の回転駆動装置。
【請求項４】
前記変位駆動部は、前記回転軸と直交する面内の互いに直交する２方向において前記ロータを変位駆動させることを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載の回転駆動装置。
【請求項５】
前記一方側の駆動素子及び／又は前記他方側の駆動素子は、前記ロータを挟んで相対向する位置に、対となる駆動素子が配置された構成を有し、
前記対となる駆動素子は、互いに同期しながら前記ロータが変位する一の方向又は他の方向と平行な方向に振動することを特徴とする請求項２〜４の何れか一項に記載の回転駆動装置。
【請求項６】
前記一方側の駆動素子及び／又は前記他方側の駆動素子は、前記ロータが変位する一の方向及び／又は他の方向と平行な方向に複数の駆動素子が並んで配置された構成を有することを特徴とする請求項１〜５の何れか一項に記載の回転駆動装置。
【請求項７】
前記駆動素子には、ｄ１５モードで振動する圧電素子を用いることを特徴とする請求項１〜６の何れか一項に記載の回転駆動装置。
【請求項８】
前記駆動素子は、共振点で駆動されることを特徴とする請求項１〜７の何れか一項に記載の回転駆動装置。
【請求項９】
前記ロータ及び変位駆動部が、前記回転軸の軸線方向に複数並んで配置されていることを特徴とする請求項１〜８の何れか一項に記載の回転駆動装置。
【請求項１０】
前記ロータの周囲を囲むフレームを備え、
前記駆動素子は、前記フレームの前記ロータと対向する面側に取り付けられていることを特徴とする請求項１〜９の何れか一項に記載の回転駆動装置。
【請求項１１】
請求項１〜１０の何れか一項に記載の回転駆動装置を用いたアクチュエータと、
前記アクチュエータにより駆動制御されるアーム機構とを備えたロボット装置。
【請求項１２】
請求項１〜１０の何れか一項に記載の回転駆動装置を用いたアクチュエータと、
前記アクチュエータにより駆動制御されるステージ機構とを備えた露光装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回転駆動装置、ロボット装置及び露光装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、圧電素子（ピエゾ素子とも言う。）を用いた超音波モータなどの駆動装置が知られている。例えば、圧電素子を用いた駆動装置としては、圧電素子に駆動電圧を印加し、この圧電素子により振動体を振動させながら、被駆動体に対して振動体を摩擦接触させることによって、この被駆動体を回転駆動若しくは直線（リニア）駆動させるものがある（例えば、特許文献１，２を参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平７−９２６６号公報
【特許文献２】特開２００５−６３９３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、上述した駆動装置では、図５（ａ）に示すようなｄ３３モードの圧電素子や、図５（ｂ），（ｃ）に示すようなｄ１５モードの圧電素子が用いられている。
【０００５】
このうち、ｄ３３モードの圧電素子は、図５（ａ）に示すように、圧電体の分極方向と平行な方向に駆動電圧（電界）を印加したときに、この圧電体に生じる厚み変形を利用したものである。このｄ３３モードの圧電素子では、一方の極性（プラス）の駆動電圧を印加することで、圧電体を伸長方向に変形させることが可能である。一方、ｄ３３モードの圧電素子では、他方の極性（マイナス）の駆動電圧を印加するときは、分極方向と逆の方向となるため、分極特性が消滅しないようにプラスの駆動電圧よりも小さな値（ゼロ(０)も含む。）とする必要がある。
【０００６】
これに対して、ｄ１５モードの圧電素子は、圧電体の分極方向と垂直な方向に駆動電圧（電界）を印加したときに、この圧電体に生じる剪断変形を利用したものである。このｄ１５モードの圧電素子では、図５（ｂ）に示すように、一方の極性（プラス）の駆動電圧を印加することで、圧電体を剪断方向の一方側に向かって剪断変形させることが可能である。一方、このｄ１５モードの圧電素子では、図５（ｃ）に示すように、他方の極性（マイナス）の駆動電圧を印加することで、圧電体を剪断方向の他方側に向かって剪断変形させることが可能である。
【０００７】
したがって、ｄ３３モードの圧電素子については、一方の極性（プラス）の駆動電圧を印加しながら、伸長方向の変形のみで振動させるのに対し、ｄ１５モードの圧電素子については、両方の極性（プラス／マイナス）を有する正弦波の駆動電圧（交流電圧）を印加しながら、剪断方向の両側に向かって大きく振動させることが可能である。
【０００８】
このように、ｄ１５モードの圧電素子は、駆動電圧に対する変位量を大きくできるといった特性を有している。さらに、剪断方向に振動させるｄ１５モードの圧電素子の方が伸長方向に振動させるｄ３３モードの圧電素子よりも小型化（特に薄型化）に有利である。
【０００９】
しかしながら、従来の駆動装置では、ｄ３３モードの圧電素子を用いたものが多く、ｄ１５モードの圧電素子については、ｄ３３モードの圧電素子と組み合わせて使用するものがあるものの、上述したｄ１５モードの特性を有効に利用して被駆動体を効率良く駆動するものはなかった。
【００１０】
以上のような事情に鑑み、本発明は、回転駆動を効率良く行うことを可能した回転駆動装置、並びにそのような回転駆動装置を用いたロボット装置及び露光装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の第１の態様に従えば、回転自在に支持された回転軸と、回転軸よりも大きい径を有する孔部を有して、この孔部に回転軸を貫通させると共に、孔部の内周面と回転軸の外周面との間で駆動力が伝達可能な状態で、回転軸を中心に公転させることによって、回転軸を軸線回りに回転させるロータと、ロータの周囲を囲む位置に配置されて、回転軸と直交する面内の少なくとも交差する２方向においてロータを変位駆動させる変位駆動部とを備え、変位駆動部は、ロータが変位する方向と平行な方向に振動する駆動素子と、駆動素子とロータとの間を連結すると共に、前記駆動素子と前記ロータとの間で弾性変形可能な連結部材とを有することを特徴とする回転駆動装置が提供される。
【００１２】
また、本発明の第２の態様に従えば、上記本発明の第１の態様に従う回転駆動装置を用いたアクチュエータと、アクチュエータにより駆動制御されるアーム機構とを備えたロボット装置が提供される。
【００１３】
また、本発明の第３の態様に従えば、上記本発明の第１の態様に従う回転駆動装置を用いたアクチュエータと、アクチュエータにより駆動制御されるステージ機構とを備えた露光装置が提供される。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、回転駆動を効率良く行うことを可能とした回転駆動装置、並びにそのような駆動装置を用いたロボット装置及び露光装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】第１の実施形態に係る回転駆動装置の概略構成を示す模式図である。
【図２】上記第１の実施形態に係る回転駆動装置の動作を説明するための模式図である。
【図３】第２の実施形態に係るロボット装置の概略構成を示す側面図である。
【図４】第３の実施形態に係る露光装置の概略構成を示す側面図である。
【図５】ｄ３３モードとｄ１５モードの圧電素子を説明するための模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。
なお、以下の説明で用いる図面は、特徴をわかりやすくするために、便宜上特徴となる部分を模式的に示している場合があり、各構成要素の寸法比率などが実際と同じであるとは限らない。
【００１７】
（第１の実施形態）
先ず、第１の実施形態として図１に示す回転駆動装置１について説明する。
なお、図１は、この回転駆動装置１の概略構成を示す模式図である。
【００１８】
この回転駆動装置１は、図１に示すように、回転軸２と、回転軸２を貫通させる孔部３Ａを有するロータ３と、ロータ３の周囲を囲むフレーム４と、フレーム４のロータ３と対向する面に取り付けられた複数の駆動素子５ａ〜５ｄと、複数の駆動素子５ａ〜５ｄとロータ３とを連結する複数の連結部材６ａ〜６ｄとを概略備えている。
【００１９】
回転軸２は、丸軸からなる。この回転軸２は、図示を省略する軸受を介して軸線回りに回転自在に支持されている。
【００２０】
ロータ３は、軸線方向から見て正方形を為す直方体状の部材からなる。孔部３Ａは、回転軸２よりも大きい径を有する丸孔であり、ロータ３の中心部を軸線方向に貫通して設けられている。そして、この孔部３Ａの内側に回転軸２が配置されている。
【００２１】
フレーム４は、軸線方向から見て正方形を為す枠状の部材からなる。そして、このフレーム４の内側にロータ３が配置されている。
【００２２】
複数の駆動素子５ａ〜５ｄ及び連結部材６ａ〜６ｄは、固定部であるフレーム４と可動部であるロータ３との間に配置されている。そして、これら複数の駆動素子５ａ〜５ｄ及び連結部材６ａ〜６ｄは、フレーム４に対してロータ３を回転軸２と直交する面内の互いに直交する２方向、すなわち図１中に示すＸ方向（一の方向）とＹ方向（他の方向）に変位駆動させる変位駆動部７を構成している。
【００２３】
具体的に、この変位駆動部７は、フレーム４のロータ３と対向する４面のうち、Ｙ方向の一方側の面４ａに沿って配置された第１の駆動素子５ａと、Ｙ方向の他方側の面４ｂに沿って配置された第２の駆動素子５ｂと、Ｘ方向の一方側の面４ｃに沿って配置された第３の駆動素子５ｃと、Ｘ方向の他方側の面４ｄに沿って配置された第４の駆動素子５ｄとを有している。
【００２４】
これら第１乃至第４の駆動素子５ａ〜５ｄには、ｄ１５モードの圧電素子が用いられている。このｄ１５モードの圧電素子については、両方の極性（プラス／マイナス）を有する正弦波の駆動電圧（交流電圧）を印加することによって、剪断方向の両側に向かって振動させることが可能である。
【００２５】
第１及び第２の駆動素子５ａ，５ｂは、ロータ３を挟んで相対向する位置において、互いに同期しながらＸ方向に振動する一方側の駆動素子を構成している。すなわち、第１の駆動素子５ａと第２の駆動素子５ｂとは、それぞれの剪断方向がＸ方向と平行となるように、フレーム４のＹ方向の両側の面４ａ，４ｂに沿って配置されている。
【００２６】
一方、第３及び第４の駆動素子５ｃ，５ｄは、ロータ３を挟んで相対向する位置において、互いに同期しながらＹ方向に振動する他方側の駆動素子を構成している。すなわち、第３の駆動素子５ｃと第４の駆動素子５ｄとは、それぞれの剪断方向がＹ方向と平行となるように、フレーム４のＸ方向の両側の面４ａ，４ｂに沿って配置されている。
【００２７】
また、第１乃至第４の駆動素子５ａ〜５ｄは、それぞれの面４ａ〜４ｄにおいて、フレーム４の周方向に複数（本実施形態では２つ）並んで配置されている。さらに、第１乃至第４の駆動素子５ａ〜５ｄの面上には、それぞれ第１乃至第４のプレート８ａ〜８ｄが取り付けられている。これら第１乃至第４のプレート８ａ〜８ｄは、それぞれの面４ａ〜４ｄ上に配置された複数の駆動素子５ａ〜５ｄにより支持されている。なお、それぞれの面４ａ〜４ｄ上に配置される各駆動素子５ａ〜５ｄの数については、特に限定されるものではなく、上述した複数の場合に限らず、１つとすることも可能である。
【００２８】
変位駆動部７は、ロータ３のフレーム４と対向する４面のうち、Ｙ方向の一方側の面３ａとプレート８ａとの間を連結する第１の連結部材６ａと、Ｙ方向の他方側の面３ｂとプレート８ｂとの間を連結する第２の連結部材６ｂと、Ｘ方向の一方側の面３ｃとプレート８ｃとの間を連結する第３の連結部材６ｃと、Ｙ方向の他方側の面３ｄとプレート８ｄとの間を連結する第４の連結部材６ｄとを有している。
【００２９】
これら第１乃至第４の連結部材６ａ〜６ｄは、バネ部材（弾性部材）からなり、各プレート８ａ〜８ｄとロータ３との間で伸縮（弾性変形）可能な状態で配置されている。
【００３０】
次に、上記回転駆動装置１の動作について図２（ａ）〜（ｄ）を参照しながら説明する。
なお、図２（ａ）〜（ｄ）は、上記回転駆動装置１の動作を説明するための模式図である。
【００３１】
上記回転駆動装置１では、駆動電圧（交流電圧）を印加しないときには、上記図１に示すように、回転軸２の外周面に対してロータ３の孔部３Ａの内周面が非接触な状態となっている。
【００３２】
上記回転駆動装置１では、駆動電圧（交流電圧）を印加するときに、上記第１の駆動素子５ａと上記第２の駆動素子５ｂとの間で、逆位相の駆動電圧（交流電圧）を印加すると共に、上記第３の駆動素子５ｃと上記第２の駆動素子５ｄとの間で、逆位相の駆動電圧（交流電圧）を印加する。
【００３３】
これにより、上記回転駆動装置１では、ロータ３を挟んで相対向する位置において、上記第１の駆動素子５ａと上記第２の駆動素子５ｂとを互いに同期させながらＸ方向に振動させると共に、上記第３の駆動素子５ｃと上記第４の駆動素子５ｄとを互いに同期させながらＹ方向に振動させることができる。
【００３４】
また、上記回転駆動装置１では、上記第１の駆動素子５ａと上記第３の駆動素子５ｃとの間で、駆動電圧（交流電圧）の位相を９０°ずらして印加する。同様に、上記第２の駆動素子５ｂと第４の駆動素子５ｄとの間で、駆動電圧（交流電圧）の位相を９０°ずらして印加する。
【００３５】
この場合、図２（ａ）〜（ｄ）の順で示すように、各駆動素子５ａ〜５ｄの間で変化する剪断方向の変位量の差に応じて、回転軸２の外周面と孔部３Ａの内周面とを摩擦接触させた状態で、回転軸２を中心にロータ３を旋回（公転）させることができる。そして、この回転駆動装置１では、ロータ３から回転軸２へと駆動力を伝達しながら、この回転軸２をロータ３とは逆回りに回転駆動させることが可能である。
【００３６】
また、上記回転駆動装置１では、上記第１乃至第４の接触子５ａ〜５ｄを共振点で振動させることが好ましい。これにより、回転軸２を更に効率良く回転駆動させることが可能である。
【００３７】
なお、上記回転駆動装置１では、各駆動素子５ａ〜５ｄに印加される駆動電圧（交流電圧）の位相を逆向きとすることで、上記回転軸２を逆方向に回転駆動させることも可能である。
【００３８】
また、上記回転駆動装置１では、上記回転軸２が回転している途中で、各駆動素子５ａ〜５ｄに印加される駆動電圧（交流電圧）を無印加とすることで、回転軸２の外周面に対してロータ３の孔部３Ａの内周面を非接触な状態とし、回転軸２を惰性で回転させることができる。
【００３９】
（第２の実施形態）
次に、第２の実施形態として図３に示すロボット装置１００について説明する。
なお、図３は、このロボット装置１００の概略構成を示す側面図である。
【００４０】
このロボット装置１００は、図３に示すように、アーム機構として、末節部１０１、中節部１０２及び関節部１０３を有しており、末節部１０１と中節部１０２とが関節部１０３を介して接続された構成になっている。関節部１０３には、軸支持部１０３ａ及び軸部１０３ｂが設けられている。軸支持部１０３ａは、中節部１０２に固定されている。軸部１０３ｂは、軸支持部１０３ａによって固定された状態で支持されている。
【００４１】
末節部１０１は、接続部１０１ａ及び歯車１０１ｂを有している。接続部１０１ａには、関節部１０３の軸部１０３ｂが貫通した状態になっており、当該軸部１０３ｂを回転軸として末節部１０１が回転可能になっている。この歯車１０１ｂは、接続部１０１ａに固定されたベベルギアである。接続部１０１ａは、歯車１０１ｂと一体的に回転するようになっている。
【００４２】
中節部１０２は、筐体１０２ａ及びアクチュエータＡＣＴを有している。アクチュエータＡＣＴには、上記回転駆動装置１を用いることができる。このアクチュエータＡＣＴは、筐体１０２ａ内に設けられている。アクチュエータＡＣＴには、回転軸部材１０４ａが取り付けられている。回転軸部材１０４ａの先端には、歯車１０４ｂが設けられている。この歯車１０４ｂは、回転軸部材１０４ａに固定されたベベルギアである。歯車１０４ｂは、上記の歯車１０１ｂとの間で噛み合った状態になっている。
【００４３】
以上のような構成を有するロボット装置１００では、アクチュエータＡＣＴの駆動によって回転軸部材１０４ａが回転し、当該回転軸部材１０４ａと一体的に歯車１０４ｂが回転する。
【００４４】
歯車１０４ｂの回転は、当該歯車１０４ｂと噛み合った歯車１０１ｂに伝達され、歯車１０１ｂが回転する。当該歯車１０１ｂが回転することで接続部１０１ａも回転し、これにより末節部１０１が軸部１０３ｂを中心に回転する。
【００４５】
このロボット装置１００では、アクチュエータＡＣＴに上記回転駆動装置１を用いることによって、例えば減速器を用いることなく直接末節部１０１を回転させることができる。さらに、このロボット装置１００では、効率的に駆動力を伝達することが可能な構成となっているため、安定した動作を行うことができる。
【００４６】
（第３の実施形態）
次に、第３の実施形態として図４に示す露光装置２００について説明する。
なお、図４は、この露光装置２００の概略構成を示す側面図である。
【００４７】
この露光装置２００は、露光対象であるウェハ（図示せず。）が載置される移動ステージ（ステージ機構）２０１と、この移動ステージ２０１の上に載置されたウェハに対して露光を行う露光光学系２０２とを概略備えている。
【００４８】
移動ステージ２０１は、ウェハを少なくとも面内の直交する２方向に移動操作することが可能であり、この移動ステージ２０１を駆動するアクチュエータＡＣＴには、上記回転駆動装置１を用いることができる。
【００４９】
この露光装置２００では、アクチュエータＡＣＴに上記回転駆動装置１を用いることによって、移動ステージ２０１上に載置されたウェハを移動操作することができる。さらに、この露光装置２００では、効率的に駆動力を伝達することが可能な構成となっているため、安定した移動操作を行うことができる。
【００５０】
なお、本発明は、上記第１乃至第３の実施形態のものに必ずしも限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
【００５１】
例えば、上記駆動装置１では、上記第１の駆動素子５ａと上記第３の駆動素子５ｃとの間、及び、上記第２の駆動素子５ｂと上記第４の駆動素子５ｄとの間で、上記駆動電圧（交流電圧）の位相を９０°ずつずらして印加しているが、この場合に必ずしも限定されるものではない。すなわち、上記ロータ３に旋回（公転）させることが可能な範囲で、上記駆動電圧（交流電圧）の位相をずらすことも可能である。
【００５２】
また、上記変位駆動部７は、上記ロータ３を上記回転軸２と直交する面内の互いに直交する２方向に変位駆動させる構成となっているが、このような構成に必ずしも限定されるものではなく、上記回転軸２と直交する面内の少なくとも交差する２方向においてロータ３を変位駆動させる構成であればよい。
【００５３】
また、上記駆動装置１では、軸線方向から見て正方形（正四角形）を為すロータ３とフレーム４との間に上記変位駆動部７が配置された構成となっているが、このような構成に必ずしも限定されるものではなく、例えば正三角形や正五角形、正六角形、正八角形などの正多角形を為すロータ３とフレーム４との間に上記変位駆動部７を配置した構成とすることが可能である。
【００５４】
すなわち、上記変位駆動部７では、駆動素子の数を増やし、これら駆動素子の間で駆動電圧（交流電圧）の位相をずらして印加することも可能である。一般的に、駆動素子の数を増した場合、駆動素子を駆動するためのドライバ（アンプ）の数も増やす必要があるが、本発明を適用した上記回転駆動装置１では、上記第１及び第３の駆動素子５ａ，５ｃと上記第２及び第４の駆動素子５ｂ，５ｄとの間で、逆位相の駆動電圧（交流電圧）を印加しながら、互いの振動を同期させている。したがって、この場合は、ドライバ（アンプ）の数を増やすことなく効率良く各駆動素子５ａ〜５ｄを駆動できるため、非常に低コストである。
【００５５】
さらに、上記回転駆動装置１では、上記ロータ３及び上記変位駆動部７が、上記回転軸２の軸線方向に複数並んで配置された構成とすることも可能である。この場合、上記ロータ３及び上記変位駆動部７の数を増やすことによって、上記回転軸２に対する駆動力を更に高めることが可能である。
【００５６】
また、上記回転駆動装置１では、回転軸２の外周面と孔部３Ａの内周面とを摩擦接触させることによって、ロータ３から回転軸２へと駆動力を伝達する構成となっているが、このような構成に必ずしも限定されるものではない。すなわち、回転軸２の外周面と孔部３Ａの内周面との間で駆動力が伝達可能な状態であれば、例えば、回転軸２の外周面に設けられた外歯と、孔部３Ａの内周面に設けられた内歯とを噛合させた状態で、ロータ３から回転軸２へと駆動力を伝達する構成とすることも可能である。
【００５７】
また、上記回転駆動装置１では、上記回転軸２が回転している途中で、各駆動素子５ａ〜５ｄに印加される駆動電圧（交流電圧）の位相を逆向きとすることで、回転軸２の外周面と孔部３Ａの内周面とを摩擦接触させた状態で、回転軸２の回転を減速又は停止させることが可能であるが、それ以外にも、回転軸２の回転を減速又は停止させるためのブレーキ機構を別途設けた構成とすることも可能である。
【００５８】
また、上記回転駆動装置１では、上記孔部３Ａの内側に回転軸２が互いの中心軸を一致させた状態で配置されることによって、駆動電圧（交流電圧）を印加しないときには、回転軸２の外周面に対してロータ３の孔部３Ａの内周面が非接触な状態となっているが、このような構成に必ずしも限定されるものではない。
【００５９】
例えば、互いの中心軸をずらした状態で上記孔部３Ａの内側に回転軸２を配置することによって、駆動電圧（交流電圧）を印加しないときにおいても、回転軸２の外周面に対してロータ３の孔部３Ａの内周面を接触させた状態とすることが可能である。この場合、駆動電圧（交流電圧）の無印加時に、回転軸２の停止状態を保持することができる。
【００６０】
また、上記駆動素子５ａ〜５ｄについては、ｄ１５モードの圧電素子が好適に用いられるものの、上記ロータ３が変位する方向と平行な方向に振動するものであればよく、上述した圧電素子以外にも、例えば電歪素子や磁歪素子などを用いることも可能である。
【００６１】
さらに、上記回転駆動装置１は、上記ロボット装置１００や上記露光装置２００が備えるアクチュエータＡＣＴ以外にも、様々な用途の駆動源として幅広く利用することが可能である。
【符号の説明】
【００６２】
１…回転駆動装置  ２…回転軸  ３…ロータ  ３Ａ…孔部  ４…フレーム  ５ａ…第１の駆動素子  ５ｂ…第２の駆動素子  ５ｃ…第３の駆動素子  ５ｄ…第４の駆動素子  ６ａ…第１の連結部材  ６ｂ…第２の連結部材  ６ｃ…第３の連結部材  ６ｄ…第４の連結部材  ７…変位駆動部  ８ａ〜８ｄ…プレート  １００…ロボット装置  ＡＣＴ…アクチュエータ  ２００…露光装置  ２０１…移動ステージ（ステージ機構）
【図１】
2014075954.tif 000003
【図２】
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【図３】
2014075954.tif 000005
【図４】
2014075954.tif 000006
【図５】
2014075954.tif 000007