(57)【要約】【課題】撮像手段を利用した検査対象の表裏面に関する外観検査の誤判定を防止し得る外観検査装置を提供する。【解決手段】ワーク２０が、搬送用ロボット１２により案内レール１１に沿い表面２０ａが裏面２０ｂよりも上側となる傾斜状態で検査位置に案内され、この検査位置に案内されたワーク２０の直下から離れるように、当該裏面２０ｂからの光を反射する裏面用反射ミラー１５が配置されている。そして、裏面撮像用カメラ１４により裏面用反射ミラー１５を介した裏面２０ｂ側からの反射光を撮像した撮像画像と、表面撮像用カメラ１３により表面２０ａ側からの反射光を撮像した撮像画像とに基づいて、制御部１８による検査処理によりセラミックコンデンサ２１におけるはんだ２３ａ，２３ｂの塗布状態が検査される。【選択図】図１
2014095574.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象（２０）の表面（２０ａ）および裏面（２０ｂ）の撮像画像に基づいて検査対象の外観を検査する外観検査装置（１０，１０ａ，１０ｂ，１０ｃ）であって、
水平面に対して傾斜した案内レール（１１）に沿い、前記検査対象を表面が裏面よりも上側となる傾斜状態で検査位置に案内する案内手段（１２）と、
前記検査位置に案内された前記検査対象の直下から離れるように配置されて当該裏面からの光を反射する裏面用反射手段（１５）と、
前記裏面用反射手段からの反射光と前記検査対象の表面からの光とを撮像可能な撮像手段（１３，１４，３０，４０，５２）と、
前記撮像手段により撮像された撮像画像に基づいて前記検査対象の外観を検査する検査手段（１８）と、
を備えることを特徴とする外観検査装置。
【請求項２】
前記検査位置に案内された前記検査対象の表面からの光をその反射光路が前記裏面用反射手段からの反射光の反射光路の一部に対して平行となるように反射する表面用反射手段（３４）を備え、
前記撮像手段は、前記表面用反射手段からの反射光と前記裏面用反射手段からの反射光とを１画像で撮像することを特徴とする請求項１に記載の外観検査装置。
【請求項３】
前記表面用反射手段からの反射光と前記裏面用反射手段からの反射光とを鉛直方向上方に反射する両面用反射手段（３１）を備え、
前記撮像手段は、前記両面用反射手段にて反射された前記表面用反射手段からの反射光と前記裏面用反射手段からの反射光とを撮像することを特徴とする請求項２に記載の外観検査装置。
【請求項４】
前記裏面用反射手段から前記撮像手段までの反射光路と前記表面用反射手段から前記撮像手段までの反射光路との少なくともいずれか一方の反射光路の途中に配置されて、前記撮像手段にて撮像される前記検査対象の表面の像および裏面の像の倍率を一致させるように拡大または縮小して反射する倍率調整用反射手段（３３，３４）を備えることを特徴とする請求項２または３に記載の外観検査装置。
【請求項５】
前記撮像手段を、前記検査対象の表面からの光を撮像可能な第１の位置と前記裏面用反射手段からの反射光を撮像可能な第２の位置とのいずれか一方に移動可能な移動手段（４１）を備えることを特徴とする請求項１に記載の外観検査装置。
【請求項６】
前記検査位置の下方に配置されて前記裏面用反射手段と異なる方向に気流を発生させる気流発生手段（１６，１７）を備えることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載の外観検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査対象の撮像画像に基づいて検査対象の外観を検査する外観検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、検査対象の撮像画像に基づいて検査対象の外観を検査する外観検査装置として、下記特許文献１に開示される基板検査装置が知られている。この基板検査装置では、半導体ウェハ等の被検査基板を保持しつつ被検査基板の表裏が上下から見える枠形の基板ホルダと、基板ホルダに保持された被検査基板の上側に配置されて被検査基板の表面を撮像するための対物レンズおよびカメラと、基板ホルダに保持された被検査基板の下側に配置されて被検査基板の裏面を撮像するための対物レンズおよびカメラと、を備えている。検査時には、先ず、基板ホルダに保持した透明のガラス基板を用いて上下の対物レンズの位置出し等を行った後に、ガラス基板を基板ホルダから取り外し、被検査基板を基板ホルダにセットする。これにより、上下の対物レンズの位置出し等がなされた状態で、被検査基板を上下から撮影することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−２６１６６７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、上述のように表裏面検査を必要とする検査対象の上側（表面側）および下側（裏面側）に検査用の撮像手段が配置される構成では、検査対象が搬送レールに案内される際にこの搬送レールと検査対象とが擦れて生じた異物が落下して、直下に配置される裏面検査用の撮像手段のレンズ上に付着する場合がある。このようにレンズに異物が付着すると、検査対象の裏面の撮像画像に異物が写りこんでしまい、外観検査で誤判定する可能性がある。
【０００５】
本発明は、上述した課題を解決するためになされたものであり、その目的とするところは、撮像手段を利用した検査対象の表裏面の外観検査に関する誤判定を防止し得る外観検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するため、特許請求の範囲の請求項１に記載の発明は、検査対象（２０）の表面（２０ａ）および裏面（２０ｂ）の撮像画像に基づいて検査対象の外観を検査する外観検査装置（１０，１０ａ，１０ｂ，１０ｃ）であって、水平面に対して傾斜した案内レール（１１）に沿い、前記検査対象を表面が裏面よりも上側となる傾斜状態で検査位置に案内する案内手段（１２）と、前記検査位置に案内された前記検査対象の直下から離れるように配置されて当該裏面からの光を反射する裏面用反射手段（１５）と、前記裏面用反射手段からの反射光と前記検査対象の表面からの光とを撮像可能な撮像手段（１３，１４，３０，４０，５２）と、前記撮像手段により撮像された撮像画像に基づいて前記検査対象の外観を検査する検査手段（１８）と、を備えることを特徴とする。
なお、特許請求の範囲および上記手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。
【発明の効果】
【０００７】
請求項１の発明では、検査対象が、案内手段により表面が裏面よりも上側となる傾斜状態で検査位置に案内され、この検査位置に案内された検査対象の直下から離れるように、当該裏面からの光を反射する裏面用反射手段が配置されている。そして、撮像手段により裏面用反射手段からの反射光と検査対象の表面からの光とを撮像した撮像画像に基づいて、検査手段により検査対象の外観が検査される。
【０００８】
これにより、裏面用反射手段は、上記傾斜状態の検査対象の直下から離れるように配置されるため、検査対象の案内時に生じた異物が裏面用反射手段上に落下して付着することもない。したがって、撮像手段を利用した検査対象の表裏面の外観検査に関して、異物の付着に起因する誤判定を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】第１実施形態に係る外観検査装置の概略構成を示す説明図である。
【図２】ワークの検査部分を拡大して示す拡大図である。
【図３】第２実施形態に係る外観検査装置の概略構成を示す説明図である。
【図４】両面撮像用カメラにより撮像された表裏面の撮像画像を示す説明図である。
【図５】第２実施形態の変形例に係る外観検査装置の概略構成を示す説明図である。
【図６】第３実施形態に係る外観検査装置の概略構成を示す説明図である。
【図７】第４実施形態に係る外観検査装置の概略構成を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
［第１実施形態］
以下、本発明に係る外観検査装置を具現化した第１実施形態について、図面を参照して説明する。
図１に示す外観検査装置１０は、検査対象の表面および裏面の撮像画像に基づいて検査対象の外観を検査する装置である。まず、検査対象となる矩形状のワーク２０に搭載されるセラミックコンデンサ２１ついて、図２を用いて説明する。図２は、ワーク２０に搭載されたセラミックコンデンサ２１を拡大して示す拡大図であり、図２（Ａ）は、セラミックコンデンサ２１を表面２０ａ側から見た状態を示し、図２（Ｂ）は、セラミックコンデンサ２１を裏面２０ｂ側から見た状態を示す。
【００１１】
セラミックコンデンサ２１は、図２（Ａ）に示すように、ワーク２０の表面２０ａに所定の隙間を介して配置されたリードフレーム２２ａ，２２ｂに対して電極２１ａ，２１ｂにて電気的に接続されている。両リードフレーム２２ａ，２２ｂは、ワーク２０の表面２０ａと裏面２０ｂとを連通するように形成されるスリット２０ｃを間に挟むように離間して配置されている。このため、図２（Ｂ）に示すように、セラミックコンデンサ２１は、その中央部にてスリット２０ｃを介して裏面２０ｂ側に露出している。
【００１２】
電極２１ａおよびリードフレーム２２ａと電極２１ｂおよびリードフレーム２２ｂとは、それぞれはんだ２３ａ，２３ｂを介して電気的に接続されている。はんだ２３ａ，２３ｂは、確実な導通を確保するため、電極２１ａおよびリードフレーム２２ａ間と電極２１ｂおよびリードフレーム２２ｂ間とにそれぞれ充填されている。
【００１３】
このため、正常に塗布されたはんだ２３ａは、表面２０ａ側から見ると、電極２１ａの外縁からリードフレーム２２ａの上面にはみ出し（図２（Ａ）参照）、裏面２０ｂ側から見ると、リードフレーム２２ａの外縁からセラミックコンデンサ２１の下面にはみ出している（図２（Ｂ）参照）。また、正常に塗布されたはんだ２３ｂは、表面２０ａ側から見ると、電極２１ｂの外縁からリードフレーム２２ｂの上面にはみ出し、裏面２０ｂ側から見ると、リードフレーム２２ｂの外縁からセラミックコンデンサ２１の下面にはみ出している。
【００１４】
すなわち、はんだ２３ａ，２３ｂのはみ出し量を含めた塗布状態を検査することで、セラミックコンデンサ２１がリードフレーム２２ａ，２２ｂに電気的に接続されているか否かを判別することができる。そこで、本実施形態では、外観検査装置１０を用いて、セラミックコンデンサ２１を表面２０ａ側および裏面２０ｂ側の双方から撮像した撮像画像に基づいて、はんだ２３ａ，２３ｂの塗布状態を検査する。
【００１５】
次に、本実施形態にかかる外観検査装置１０の構成について説明する。
図１に示すように、外観検査装置１０は、主に、案内レール１１と、搬送用ロボット１２と、表面撮像用カメラ１３と、裏面撮像用カメラ１４と、裏面用反射ミラー１５と、ブロア１６と、吸引機１７と、外観検査装置１０全体の制御を司る制御部１８とを備えている。
【００１６】
案内レール１１は、ワーク２０の両外縁に対してそれぞれ摺接して案内するための一側レール部材１１ａおよび他側レール部材１１ｂを備えている。案内レール１１は、一側レール部材１１ａが他側レール部材１１ｂよりも上側に位置するように、水平面に対して傾斜した状態で搬送方向（図１にて紙面垂直方向）に沿い配置されている。
【００１７】
搬送用ロボット１２は、制御部１８により制御されて、ワーク２０をその他側の外縁にて把持した状態で案内レール１１に沿い検査位置に案内（搬送）する案内手段であって、他側レール部材１１ｂの近傍に配置されている。これにより、搬送用ロボット１２により案内レール１１に沿い案内されるワーク２０は、水平面に対して表面２０ａが裏面２０ｂよりも上側となる傾斜状態で搬送される。特に、本実施形態では、ワーク２０の検査位置での傾斜状態が水平面に対して例えば４５°となるように（図１参照）、一側レール部材１１ａと他側レール部材１１ｂとが配置されている。
【００１８】
表面撮像用カメラ１３は、セラミックコンデンサ２１を表面２０ａ側から撮像するための撮像手段であって、図１に示すように、レンズ１３ａを介して検査位置に案内されたワーク２０の表面２０ａに対して直交する線上に配置されている。この表面撮像用カメラ１３は、制御部１８により制御されて、セラミックコンデンサ２１を表面２０ａ側から撮像した撮像画像を制御部１８に出力するように構成されている。なお、表面撮像用カメラ１３は、下方に位置するワーク２０の表面２０ａを撮像するように配置されているため、レンズ１３ａ等に塵等の異物が落下して付着することもない。なお、表面撮像用カメラ１３は、検査位置に案内されたワーク２０の表面２０ａに対して直交する線上に配置されることに限らず、当該表面２０ａを撮像可能な位置に配置されてもよい。このとき、表面撮像用カメラ１３と表面２０ａとの位置関係によって当該表面２０ａの撮像画像が歪む場合には、画像処理によりこの歪みを補正することもできる。
【００１９】
裏面用反射ミラー１５は、図１に示すように、案内レール１１の直下や検査位置に案内されたワーク２０の直下から離れるように配置されている。具体的には、裏面用反射ミラー１５は、検査位置に案内されたワーク２０の裏面２０ｂに対して直交する線上に配置されており、当該裏面２０ｂからの光を裏面撮像用カメラ１４に向けて反射する裏面用反射手段として機能するものである。
【００２０】
裏面撮像用カメラ１４は、セラミックコンデンサ２１を裏面２０ｂ側から撮像するための撮像手段であって、図１に示すように、レンズ１４ａを介して裏面用反射ミラー１５にて反射された裏面２０ｂからの光を撮像可能な位置に配置されている。すなわち、裏面撮像用カメラ１４により裏面用反射ミラー１５を撮像することで、裏面用反射ミラー１５に写りこんだセラミックコンデンサ２１を裏面２０ｂ側から撮像することができる。この裏面撮像用カメラ１４は、制御部１８により制御されて、セラミックコンデンサ２１を裏面２０ｂ側から撮像した撮像画像を制御部１８に出力するように構成されている。なお、裏面撮像用カメラ１４は、下方に位置する裏面用反射ミラー１５を撮像するように配置されているため、レンズ１４ａ等に塵等の異物が落下して付着することもない。なお、裏面用反射ミラー１５は、検査位置に案内されたワーク２０の裏面２０ｂに対して直交する線上に配置されることに限らず、当該裏面２０ｂからの光を裏面撮像用カメラ１４に向けて反射可能な位置に配置されてもよい。このとき、裏面用反射ミラー１５と裏面２０ｂとの位置関係によって当該裏面２０ｂの撮像画像が歪む場合には、画像処理によりこの歪みを補正することもできる。
【００２１】
ブロア１６および吸引機１７は、制御部１８により制御されて、上記検査位置の直下近傍の空間Ｓにおいて裏面用反射ミラー１５と異なる方向に気流を発生させる気流発生手段である。ブロア１６は、裏面用反射ミラー１５の上方にて空間Ｓに向けて送風するように配置され、吸引機１７は、空間Ｓを介してブロア１６と対向し空間Ｓの空気を吸引するように配置されている。すなわち、ブロア１６および吸引機１７は、空間Ｓを落下する異物等を裏面用反射ミラー１５から遠ざけるように気流を発生させる。
【００２２】
制御部１８は、ＣＰＵ、ＲＯＭおよびＲＡＭなどを有するマイクロコンピュータにより構成されており、搬送用ロボット１２、カメラ１３，１４、ブロア１６や吸引機１７等に電気的に接続されている。制御部１８は、ＲＯＭなどに記憶されている所定のコンピュータプログラムを実行することで、ワーク２０のセラミックコンデンサ２１におけるはんだ２３ａ，２３ｂの塗布状態を画像処理して検査する検査処理を実施するために、搬送用ロボット１２、カメラ１３，１４、ブロア１６や吸引機１７等を制御する。なお、制御部１８は、特許請求の範囲に記載の「検査手段」の一例に相当し得る。
【００２３】
次に、本実施形態に係る外観検査装置１０を用いてワーク２０のセラミックコンデンサ２１におけるはんだ２３ａ，２３ｂの塗布状態を検査する検査処理について説明する。
まず、制御部１８により制御されて、搬送用ロボット１２により把持されたワーク２０が案内レール１１に沿い検査位置まで案内される。このとき、ブロア１６および吸引機１７を作動させて、上記検査位置の直下近傍の空間Ｓにおいて裏面用反射ミラー１５と異なる方向に気流を発生させる。なお、ブロア１６および吸引機１７は、検査処理中継続して上記気流を発生させてもよいし、必要に応じて上記気流を発生させてもよい。具体的には、例えば、上記空間Ｓの異物の有無を検知する異物検知センサを設けて、この異物検知センサにより上記空間Ｓに異物が存在することが検知されると、ブロア１６および吸引機１７を作動させて上記気流を発生させてもよい。このように、必要に応じて上記気流を発生させることで、ブロア１６および吸引機１７を作動させる時間を短縮させて、消費電力の低減を図ることができる。
【００２４】
次に、表面撮像用カメラ１３により、検査位置のワーク２０のセラミックコンデンサ２１が表面２０ａ側から撮像されるとともに、裏面撮像用カメラ１４により、裏面用反射ミラー１５に写りこんだセラミックコンデンサ２１が裏面２０ｂ側から撮像される。
【００２５】
そして、制御部１８にて、表面２０ａ側および裏面２０ｂ側の撮像画像を画像処理して、セラミックコンデンサ２１におけるはんだ２３ａ，２３ｂの塗布状態が検査される。具体的には、表面２０ａ側では、図２（Ａ）に示すように、はんだ２３ａ，２３ｂが電極２１ａ，２１ｂの外縁からリードフレーム２２ａ，２２ｂの上面にはみ出している場合には、塗布状態が正常であると判定される。一方、はんだ２３ａ，２３ｂの少なくともいずれかがリードフレーム２２ａ，２２ｂの上面にはみ出していない場合か、そのはみ出し量が所定の基準よりも少ない場合には、塗布状態が異常であると判定されて、その旨が報知される。
【００２６】
また、裏面２０ｂ側では、図２（Ｂ）に示すように、はんだ２３ａ，２３ｂがリードフレーム２２ａ，２２ｂの外縁からセラミックコンデンサ２１の下面にはみ出している場合には、塗布状態が正常であると判定される。一方、はんだ２３ａ，２３ｂの少なくともいずれかがセラミックコンデンサ２１の下面にはみ出していない場合か、そのはみ出し量が所定の基準よりも少ない場合には、塗布状態が異常であると判定されて、その旨が報知される。
【００２７】
ワーク２０に他の検査部分がある場合には、その検査部分が上記検査位置に位置するように搬送用ロボット１２により案内レール１１に沿い案内されて、当該検査部分が検査される。そして、ワーク２０の全ての検査部分の検査が完了すると、当該ワークが次工程に搬送され、次の検査対象のワーク２０が搬送用ロボット１２により案内レール１１に沿い案内される。
【００２８】
以上説明したように、本実施形態に係る外観検査装置１０では、ワーク２０が、搬送用ロボット１２により案内レール１１に沿い表面２０ａが裏面２０ｂよりも上側となる傾斜状態で検査位置に案内され、この検査位置に案内されたワーク２０の直下から離れるように、当該裏面２０ｂからの光を反射する裏面用反射ミラー１５が配置されている。そして、裏面撮像用カメラ１４により裏面用反射ミラー１５を介した裏面２０ｂ側からの反射光を撮像した撮像画像と、表面撮像用カメラ１３により表面２０ａ側からの反射光を撮像した撮像画像とに基づいて、制御部１８による検査処理によりセラミックコンデンサ２１におけるはんだ２３ａ，２３ｂの塗布状態が検査される。
【００２９】
これにより、裏面用反射ミラー１５は、上記傾斜状態のワーク２０の直下の空間Ｓから離れるように配置されるため、ワーク２０の案内時に生じた異物が裏面用反射ミラー１５上に落下して付着することもない。したがって、表面撮像用カメラ１３および裏面撮像用カメラ１４を利用したワーク２０の表裏面の外観検査に関して、異物の付着に起因する誤判定を防止することができる。
【００３０】
特に、上記検査位置の直下近傍の空間Ｓにおいて裏面用反射ミラー１５と異なる方向に気流を発生させるブロア１６および吸引機１７が設けられているため、空間Ｓを落下する異物等を裏面用反射ミラー１５から遠ざけるように気流を発生させることで、空間Ｓを落下等する異物の裏面用反射ミラー１５上への付着を確実に防止することができる。なお、ブロア１６および吸引機１７は、どちらか一方のみを採用してもよく、また、上記検査位置の直下近傍の空間Ｓにおいて裏面用反射ミラー１５と異なる方向に気流を発生させる他の気流発生手段を採用してもよい。
【００３１】
［第２実施形態］
次に、本発明の第２実施形態に係る外観検査装置について図３および図４を参照して説明する。図３は、第２実施形態に係る外観検査装置１０ａの概略構成を示す説明図である。図４は、両面同時撮像用カメラ３０により撮像された表裏面の撮像画像を示す説明図である。なお、図４では、表裏面の撮像画像の一例として、左側半分にてセラミックコンデンサ２１を表面２０ａ側から拡大して撮像した状態と、右側半分にてセラミックコンデンサ２１を裏面２０ｂ側から拡大して撮像した状態とを、接近させて並べた撮像画像を例示している。
【００３２】
本第２実施形態に係る外観検査装置１０ａは、１つの撮像手段によりワーク２０の表裏面を同時に撮像するため、上述した表面撮像用カメラ１３および裏面撮像用カメラ１４に代えて両面同時撮像用カメラ３０が採用されるとともに、新たに反射ミラー３１〜３４が採用される点が、上記第１実施形態に係る外観検査装置と異なる。したがって、第１実施形態の外観検査装置と実質的に同一の構成部分には、同一符号を付し、その説明を省略する。
【００３３】
本実施形態に係る外観検査装置１０ａでは、図３に示すように、両面同時撮像用カメラ３０は、下方に位置する反射ミラー３１に写りこむ像をレンズ３０ａを介して撮像可能に配置されている。また、反射ミラー３１は、後述する反射ミラー３３からの反射光と反射ミラー３４からの反射光とを鉛直方向上方に反射するように配置されている。また、反射ミラー３２は、裏面用反射ミラー１５からの反射光を上方に向けて反射するように配置されている。また、反射ミラー３３は、凹状に形成される拡大反射用の曲面ミラーであって、反射ミラー３２からの反射光を反射ミラー３１に向けて拡大して反射するように配置されている。
【００３４】
また、反射ミラー３４は、凹状に形成される拡大反射用の曲面ミラーであって、検査位置に案内されたワーク２０の表面２０ａ側からの光を、その反射光路が反射ミラー３３から反射ミラー３１に向かう反射光の反射光路に対して平行となるように、反射ミラー３１に向けて拡大して反射するように配置されている。
【００３５】
特に、反射ミラー３３および反射ミラー３４は、それぞれの曲率が、反射ミラー３１に写りこむセラミックコンデンサ２１の表面２０ａ側の像および裏面２０ｂ側の像の倍率を一致させるように形成されている。すなわち、反射ミラー３１には、セラミックコンデンサ２１の表面２０ａ側の像および裏面２０ｂ側の像との大きさが等しくなるように、ワーク２０の表面２０ａ側と裏面２０ｂ側とが同時に写りこむこととなる。なお、反射ミラー３１は、特許請求の範囲に記載の「両面用反射手段」の一例に相当し、反射ミラー３３は、特許請求の範囲に記載の「倍率調整用反射手段」の一例に相当し得る。また、反射ミラー３４は、特許請求の範囲に記載の「表面用反射手段」および「倍率調整用反射手段」の一例に相当し得る。
【００３６】
このように構成されることで、上記検査処理においてワーク２０が検査位置に案内されたときに両面同時撮像用カメラ３０により反射ミラー３１を撮像すると、図４に示すように、セラミックコンデンサ２１の表面２０ａ側と裏面２０ｂ側とが同時に撮像された１つの撮像画像が生成される。そして、制御部１８にて、上記撮像画像を画像処理することで、セラミックコンデンサ２１におけるはんだ２３ａ，２３ｂの塗布状態が検査される。
【００３７】
以上説明したように、本実施形態に係る外観検査装置１０ａでは、検査位置に案内されたワーク２０の表面２０ａ側からの光を、その反射光路が反射ミラー３３から反射ミラー３１に向かう反射光の反射光路に対して平行となるように反射する反射ミラー３４と、反射ミラー３４からの反射光と反射ミラー３２，３３を介した裏面用反射ミラー１５からの反射光とを両面同時撮像用カメラ３０に向けて反射する反射ミラー３１とが設けられている。
【００３８】
これにより、上記第１実施形態のように２つの撮像手段（１３，１４）を採用することなく、１つの撮像手段（３０）によりセラミックコンデンサ２１の表面２０ａ側と裏面２０ｂ側を同時に撮像することができる。
【００３９】
特に、反射ミラー３３および反射ミラー３４により、反射ミラー３１に写りこむセラミックコンデンサ２１の表面２０ａ側の像および裏面２０ｂ側の像の倍率、すなわち、両面同時撮像用カメラ３０にて撮像されるセラミックコンデンサ２１の表面２０ａ側の像および裏面２０ｂ側の像の倍率が一致している。このため、１つの撮像画像にて画像処理する場合であっても表面２０ａ側の画像と裏面２０ｂ側の画像との画像サイズを合わせる画像処理が不要となり、画像処理における処理負荷を軽減することができる。
また、反射ミラー３１は、反射ミラー３３からの反射光と反射ミラー３４からの反射光とを鉛直方向上方に反射するため、両面同時撮像用カメラ３０を下向きに配置でき、レンズ３０ａ等への異物の付着を確実に防止することができる。
【００４０】
なお、反射ミラー３１に写りこむセラミックコンデンサ２１の表面２０ａ側の像および裏面２０ｂ側の像の倍率を一致させるために、反射ミラー３３および反射ミラー３４を凹状に形成される拡大反射用の曲面ミラーとして構成することに限らず、裏面用反射ミラー１５を含めた各反射ミラー３１〜３４の少なくともいずれか１つが凹状に形成される拡大反射用の曲面ミラーとして構成されてもよいし、反射光路の途中に他の凹状に形成される拡大反射用の曲面ミラーを採用してもよい。また、拡大反射用の曲面ミラーに代えて凸状に形成される縮小反射用の曲面ミラーを採用して縮小反射することで、反射ミラー３１に写りこむセラミックコンデンサ２１の表面２０ａ側の像および裏面２０ｂ側の像の倍率を一致させてもよい。
図５は、第２実施形態の変形例に係る外観検査装置１０ａの概略構成を示す説明図である。図５に示すように、上記第２実施形態に係る外観検査装置に対して、反射ミラー３１を廃止して、反射ミラー３３からの反射光と反射ミラー３４からの反射光とを直接１画像で撮像することで、表裏面を同時に撮像した１つの撮像画像を生成してもよい。このようにしても、上記第１実施形態のように２つの撮像手段（１３，１４）を採用することなく、１つの撮像手段（３０）によりセラミックコンデンサ２１の表面２０ａ側と裏面２０ｂ側を同時に撮像することができる。
【００４１】
［第３実施形態］
次に、本発明の第３実施形態に係る外観検査装置について図６を参照して説明する。図６は、第３実施形態に係る外観検査装置１０ｂの概略構成を示す説明図であり、図６（Ａ）は、第１傾動状態の両面撮像用カメラ４０にてワーク２０の表面２０ａ側を撮像する状態を示し、図６（Ｂ）は、第２傾動状態の両面撮像用カメラ４０にてワーク２０の裏面２０ｂ側を撮像する状態を示す。
【００４２】
本第３実施形態に係る外観検査装置１０ｂは、１つの撮像手段によりワーク２０の表裏面を個々に撮像するため、上述した表面撮像用カメラ１３および裏面撮像用カメラ１４に代えて、両面撮像用カメラ４０とこの両面撮像用カメラ４０を傾動させる傾動機構４１と２つの反射ミラー４２，４３とが新たに採用される点が、上記第１実施形態に係る外観検査装置と異なる。したがって、第１実施形態の外観検査装置と実質的に同一の構成部分には、同一符号を付し、その説明を省略する。
【００４３】
本実施形態に係る外観検査装置１０ｂでは、図６（Ａ），（Ｂ）に示すように、両面撮像用カメラ４０は、ワーク２０の表面２０ａ側と裏面２０ｂ側とをレンズ４０ａを介して個別に撮像するための撮像手段であって、傾動機構４１により傾動可能に支持されている。傾動機構４１は、両面撮像用カメラ４０を所定の傾動角度に位置決めするように傾動可能に支持するための機構である。この傾動機構４１は、制御部１８により制御されて、ワーク２０の表面２０ａ側を撮像する際に位置決めされる第１傾動状態（図６（Ａ）参照）と、ワーク２０の裏面２０ｂ側を撮像する際に両面撮像用カメラ４０が位置決めされる第２傾動状態（図６（Ｂ）参照）とのいずれかの傾動状態に、両面撮像用カメラ４０を傾動させる。なお、傾動機構４１は、特許請求の範囲に記載の「移動手段」の一例に相当し、第１傾動状態および第２傾動状態は、特許請求の範囲に記載の「第１の位置」および「第２の位置」の一例に相当し得る。
【００４４】
また、反射ミラー４２は、裏面用反射ミラー１５からの反射光を、上方に向けて反射するように配置されている。また、反射ミラー４３は、曲面ミラーであって、反射ミラー４２からの反射光を、第２傾動状態の両面撮像用カメラ４０に向けて拡大して反射するように配置されている。
【００４５】
このように構成されることで、上記検査処理においてワーク２０が検査位置に案内されると、まず、傾動機構４１により第１傾動状態に傾動された両面撮像用カメラ４０にて、セラミックコンデンサ２１の表面２０ａ側が直接撮像される（図６（Ａ）参照）。次に、傾動機構４１により第２傾動状態に傾動された両面撮像用カメラ４０にて、裏面用反射ミラー１５および反射ミラー４２を介して反射ミラー４３に写りこんだセラミックコンデンサ２１の裏面２０ｂ側が撮像される（図６（Ｂ）参照）。
【００４６】
これにより、表面２０ａ側から撮像したセラミックコンデンサ２１の撮像画像と裏面２０ｂ側から撮像したセラミックコンデンサ２１の撮像画像との２つの撮像画像が生成される。そして、制御部１８にて、上記両撮像画像をそれぞれ画像処理することで、セラミックコンデンサ２１におけるはんだ２３ａ，２３ｂの塗布状態が検査される。
【００４７】
以上説明したように、本実施形態に係る外観検査装置１０ｂでは、両面撮像用カメラ４０を、ワーク２０の表面２０ａ側を撮像可能な第１傾動状態とワーク２０の裏面２０ｂ側を撮像可能な第２傾動状態とのいずれか一方に傾動可能な傾動機構４１が設けられている。
【００４８】
これにより、上記第１実施形態のように２つの撮像手段（１３，１４）を採用することなく、１つの撮像手段（４０）によりセラミックコンデンサ２１の表面２０ａ側と裏面２０ｂ側を撮像することができる。
【００４９】
特に、上記第２実施形態の構成と比較して、反射ミラーの数を減らすことができるので、検査装置自体の小型化を図ることができる。
【００５０】
なお、両面撮像用カメラ４０を第１傾動状態および第２傾動状態のいずれかに傾動させることで、セラミックコンデンサ２１の表面２０ａ側と裏面２０ｂ側とを個々に撮像することに限らず、両面撮像用カメラ４０を、セラミックコンデンサ２１の表面２０ａ側からの光を撮像可能な第１の位置と裏面２０ｂ側からの光を撮像可能な第２の位置とのいずれか一方に移動可能な移動手段を採用してもよい。
【００５１】
［第４実施形態］
次に、本発明の第４実施形態に係る外観検査装置について図７を参照して説明する。図７は、第４実施形態に係る外観検査装置１０ｃの概略構成を示す説明図である。
本第４実施形態に係る外観検査装置１０ｃは、図７に示すように、水平面に平行に配置される案内レール５０と、この案内レール５０に沿い搬送用ロボット１２により検査位置まで案内されたワーク２０を案内レール５０および搬送用ロボット１２ごと表裏反転させるレール反転機構５１とを備えている。また、検査位置の上方には、検査位置のワーク２０をレンズ５２ａ介して撮像するための両面撮像用カメラ５２が、案内レール５０等の反転時に接触しない程度に離間して配置されている。
【００５２】
本実施形態における検査処理では、表面２０ａ側を上側にして検査位置まで案内されたワーク２０のセラミックコンデンサ２１の表面２０ａ側が両面撮像用カメラ５２にて撮像された後、裏面２０ｂ側が上側に位置するようにレール反転機構５１によりワーク２０が反転される。その後、セラミックコンデンサ２１の裏面２０ｂ側が両面撮像用カメラ５２にて撮像される。
【００５３】
これにより、表面２０ａ側から撮像したセラミックコンデンサ２１の撮像画像と裏面２０ｂ側から撮像したセラミックコンデンサ２１の撮像画像との２つの撮像画像が生成される。そして、制御部１８にて、上記両撮像画像をそれぞれ画像処理することで、セラミックコンデンサ２１におけるはんだ２３ａ，２３ｂの塗布状態が検査される。
【００５４】
このようにしても、上記第１実施形態のように２つの撮像手段（１３，１４）を採用することなく、１つの撮像手段（５２）によりセラミックコンデンサ２１の表面２０ａ側と裏面２０ｂ側を撮像することができる。
【００５５】
なお、本発明は上記各実施形態に限定されるものではなく、例えば、以下のように具体化してもよい。
（１）上述した外観検査装置１０，１０ａ，１０ｂ，１０ｃは、ワーク２０に搭載されたセラミックコンデンサ２１に対するはんだ２３ａ，２３ｂの塗布状態を検査することに限らず、他の検査対象、すなわち、表面および裏面の撮像画像に基づいて外観を検査する検査対象を検査することができる。
【００５６】
（２）上述した反射ミラー間に別途反射ミラーを配置することで、反射光路を短くして、外観検査装置の小型化を図ることができる。
【００５７】
（３）一側レール部材１１ａおよび他側レール部材１１ｂは、ワーク２０の検査位置での傾斜状態が水平面に対して４５°となるように配置されることに限らず、水平面に対して所定の傾斜角度で傾斜するように配置されてもよい。例えば、ワーク２０の案内時に生じた異物等が落下して付着しないように配置される裏面用反射ミラー１５にてワーク２０の裏面２０ｂ側からの光を反射可能に、一側レール部材１１ａおよび他側レール部材１１ｂの傾斜角度を設定することができる。
【符号の説明】
【００５８】
１０，１０ａ，１０ｂ，１０ｃ…外観検査装置
１１…案内レール  １２…搬送用ロボット（案内手段）
１３…表面撮像用カメラ（撮像手段）  １４…裏面撮像用カメラ（撮像手段）
１５…裏面用反射ミラー（裏面用反射手段）
１８…制御部（検査手段）
２０…ワーク（検査対象）  ２０ａ…表面  ２０ｂ…裏面
３０…両面同時撮像用カメラ（撮像手段）
３１…反射ミラー（両面用反射手段）  ３３…反射ミラー（倍率調整用反射手段）
３４…反射ミラー（表面用反射手段，倍率調整用反射手段）
４０…両面撮像用カメラ（撮像手段）  ４１…傾動機構（移動手段）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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