(57)【要約】【課題】プローブをプロービングさせるポイントの座標の修正や検査ステップの内容の修正の作業効率を向上させる。【解決手段】記憶部と処理部とを備え、記憶部は、基準位置Ｐ１を原点とする座標で基準回路基板Ａ内のポイントの位置を示す共通座標データと、基準回路基板Ａに対して実行する検査ステップの実行順位およびプロービング対象ポイントを示す共通ステップデータとを回路基板（Ａ〜Ｄ）毎に記憶すると共に、各回路基板同士の相対的な位置関係を示す相対位置データと、全体の検査ステップの実行順位と回路基板毎の実行順位との順位差を示す相対順位データとを記憶し、処理部は、回路基板毎に記憶されたデータに対する修正操作がされたときに対応する全てのデータを修正する。【選択図】図８
2014202681.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
同種類の回路基板を複数並べて１枚に形成した多面付基板上の予め指定された複数のポイントに検査用のプローブをプロービングさせて行う検査ステップを当該各ポイントの組み合わせを変更しつつ当該回路基板毎に順次実行する電気的検査における当該検査ステップ毎の当該各ポイントの位置を特定するための検査用データを記憶する記憶部と、修正操作に従って前記検査用データを修正する修正処理を実行する処理部とを備えたデータ処理装置であって、
前記記憶部は、基準回路基板として予め決められた前記多面付基板内の１つの前記回路基板における予め規定された基準位置を原点とする座標で当該基準回路基板内の前記ポイントの位置を示すデータであって当該基準回路基板を除く他の前記回路基板内のポイントの位置を示すデータとしても用いる前記検査用データとしての共通座標データと、前記基準回路基板に対して実行する前記検査ステップの実行順位および当該検査ステップにおいてプロービングの対象とする前記ポイントを示すデータであって前記他の前記回路基板に対して実行する前記検査ステップの実行順位および当該検査ステップにおいてプロービングの対象とする前記ポイントを示すデータとしても用いる前記検査用データとしての共通ステップデータとを前記回路基板毎に記憶すると共に、前記各回路基板同士の相対的な位置関係を示す相対位置データと、前記多面付基板の全体における前記検査ステップの実行順位と前記共通ステップデータによって示される当該検査ステップの実行順位との順位差を示す相対順位データとを記憶し、
前記処理部は、前記回路基板毎に記憶されている前記各データのいずれかに対する修正操作がされたときには、前記修正処理において、対応する前記回路基板毎の各データの全てを修正するデータ処理装置。
【請求項２】
前記記憶部は、前記多面付基板内の全ての前記ポイント毎に個別に設定可能なデータであって前記共通座標データによって示される座標を個別に修正させるための個別座標データと、全ての前記検査ステップ毎に個別に設定可能なデータであって前記共通ステップデータによって示される当該検査ステップの内容を個別に修正させるための個別ステップデータとを記憶し、
前記処理部は、前記個別に設定可能な各データに対して修正操作がされたときには、前記修正処理において、当該修正操作の対象のデータのみを修正する請求項１記載のデータ処理装置。
【請求項３】
前記回路基板毎の前記検査ステップにおける前記ポイントの座標を特定可能な画像を前記検査用データに基づいて表示部に表示させると共に、前記修正処理が実行されたときに表示中の前記画像を当該修正処理の内容で更新させる表示制御部を備えている請求項１または２記載のデータ処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、同種類の回路基板を複数並べて１枚に形成した多面付基板に対する電気的検査においてプローブをプロービングさせるポイントの位置を特定するための検査用データを修正可能に構成されたデータ処理装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種の装置として、特開２０１０−１０７２６５号公報において出願人が開示したデータ生成装置が知られている。このデータ生成装置は、電子部品における各接続端子の先端部の位置を特定可能な情報を含んだ電子部品データ、電子部品を回路基板に実装するときの回路基板上の電子部品の位置等を示す情報を含んだマウンタデータ、および回路基板上における配線パターンやランドの位置や幅（形状）を特定可能な情報を含んだ配線パターンデータ（ＣＡＤデータやガーバデータ）に基づき、電子部品が実装されている回路基板に対する検査を行う際に検査用のプローブをプロービングさせるポイント（プロービング位置）を特定してその位置データを生成する。具体的には、このデータ生成装置では、実装状態における電子部品における接続端子の先端部の位置を電子部品データおよびマウンタデータに基づいて特定すると共に、配線パターンデータに基づいてランドの位置を特定して、接続端子の先端部の位置にランドが存在すると判別したときにそのランドの位置をポイントとして特定する。
【０００３】
ここで、同種類の回路基板を複数並べて１枚に形成した多面付基板に対する検査用に生成されたポイントの位置を示す位置データや、１回の検査ステップにおいてプロービングの対象とするポイントを各検査ステップの実行順に示すステップデータを生成する際には、次のような手順で生成作業を行うことにより、生成作業の効率化を図っている。まず、基準回路基板として選択された多面付基板内の１つの回路基板における予め決められた基準位置を原点とする座標で基準回路基板内の各ポイントの位置を示す座標データを生成する。次いで、生成した座標データを基準回路基板を除く他の回路基板毎に複写する。この際に、基準回路基板と他の回路基板との間の相対的な位置関係を示す数値で各回路基板における座標データの座標を変換する。これにより、各回路基板におけるポイントの位置を上記の基準位置を原点とする座標で示すデータが生成される。また、基準回路基板に対して実行する各検査ステップの実行順位および各検査ステップにおけるプロービング対象のポイント等を示すステップデータを生成する。続いて、生成したステップデータを他の回路基板毎に複写する。この際に、各回路基板における検査ステップの実行順位と多面付基板の全体における検査ステップの実行順位との順位差を示す数値で各回路基板におけるステップデータの実行順位を変換する。これにより、各多面付基板に対する検査における全ての検査ステップの一連の実行順位を示すデータが生成される。
【０００４】
一方、出願人は、回路基板の製造時に生じる配線パターンの位置ずれや電子部品を回路基板に実装するときに生じる位置ずれに対応させるために各ポイントの座標を修正する機能や、検査ステップの内容（プロービングの対象とするポイント等）に誤りがあったときにこの誤りを修正する機能を備えたデータ生成装置を開発している。このデータ生成装置では、上記のようにして生成したデータ内の各座標や各検査ステップの内容を個別に修正することが可能となっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１０−１０７２６５号公報（第５−６頁、第１図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところが、ポイントの座標や検査ステップの内容を修正する機能を備えた上記のデータ生成装置には、改善すべき以下の課題がある。すなわち、上記のデータ生成装置では、多面付基板の各回路基板間で対応する各ポイントの座標を修正したり、各回路基板間で対応する各検査ステップの内容（プロービングの対象とするポイント等）を修正したりするときには、各ポイントの座標および各検査ステップの内容がポイント毎および検査ステップ毎に個別に規定されているため、ポイント毎および検査ステップ毎に修正作業を行う必要があり、作業効率の向上が困難であるという課題が存在する。
【０００７】
本発明は、かかる課題に鑑みてなされたものであり、多面付基板に対する電気的検査においてプローブをプロービングさせるポイントの座標の修正や検査ステップの内容を修正する作業の作業効率を向上させ得るデータ処理装置を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成すべく請求項１記載のデータ処理装置は、同種類の回路基板を複数並べて１枚に形成した多面付基板上の予め指定された複数のポイントに検査用のプローブをプロービングさせて行う検査ステップを当該各ポイントの組み合わせを変更しつつ当該回路基板毎に順次実行する電気的検査における当該検査ステップ毎の当該各ポイントの位置を特定するための検査用データを記憶する記憶部と、修正操作に従って前記検査用データを修正する修正処理を実行する処理部とを備えたデータ処理装置であって、前記記憶部は、基準回路基板として予め決められた前記多面付基板内の１つの前記回路基板における予め規定された基準位置を原点とする座標で当該基準回路基板内の前記ポイントの位置を示すデータであって当該基準回路基板を除く他の前記回路基板内のポイントの位置を示すデータとしても用いる前記検査用データとしての共通座標データと、前記基準回路基板に対して実行する前記検査ステップの実行順位および当該検査ステップにおいてプロービングの対象とする前記ポイントを示すデータであって前記他の前記回路基板に対して実行する前記検査ステップの実行順位および当該検査ステップにおいてプロービングの対象とする前記ポイントを示すデータとしても用いる前記検査用データとしての共通ステップデータとを前記回路基板毎に記憶すると共に、前記各回路基板同士の相対的な位置関係を示す相対位置データと、前記多面付基板の全体における前記検査ステップの実行順位と前記共通ステップデータによって示される当該検査ステップの実行順位との順位差を示す相対順位データとを記憶し、前記処理部は、前記回路基板毎に記憶されている前記各データのいずれかに対する修正操作がされたときには、前記修正処理において、対応する前記回路基板毎の各データの全てを修正する。
【０００９】
また、請求項２記載のデータ処理装置は、請求項１記載のデータ処理装置において、前記記憶部は、前記多面付基板内の全ての前記ポイント毎に個別に設定可能なデータであって前記共通座標データによって示される座標を個別に修正させるための個別座標データと、全ての前記検査ステップ毎に個別に設定可能なデータであって前記共通ステップデータによって示される当該検査ステップの内容を個別に修正させるための個別ステップデータとを記憶し、前記処理部は、前記個別に設定可能な各データに対して修正操作がされたときには、前記修正処理において、当該修正操作の対象のデータのみを修正する。
【００１０】
また、請求項３記載のデータ処理装置は、請求項１または２記載のデータ処理装置において、前記回路基板毎の前記検査ステップにおける前記ポイントの座標を特定可能な画像を前記検査用データに基づいて表示部に表示させると共に、前記修正処理が実行されたときに表示中の前記画像を当該修正処理の内容で更新させる表示制御部を備えている。
【発明の効果】
【００１１】
請求項１記載のデータ処理装置では、処理部が、回路基板毎に記憶されている共通座標データおよび共通ステップデータのいずれかに対する修正操作がされたときには、修正処理において、対応する回路基板毎の各データの全てを修正する。このため、このデータ処理装置によれば、各回路基板における互いに対応する各ポイントの座標を修正したり、各回路基板における互いに対応する各検査ステップの内容を修正したりする際には、１つの回路基板についての共通座標データや１つの回路基板についての共通ステップデータに対して修正操作を行うだけで、各回路基板についての全ての共通座標データや各回路基板についての全ての共通ステップデータを一度に修正することができる。このため、各ポイントの座標および各検査ステップの内容がポイント毎および検査ステップ毎に個別に規定されている構成とは異なり、ポイント毎および検査ステップ毎に修正作業を行う必要がないため、ポイントの座標の修正や検査ステップの内容を修正する修正作業の作業効率を十分に向上させることができる。
【００１２】
また、請求項２記載のデータ処理装置では、処理部が、回路基板毎に記憶されている個別に設定可能な個別座標データおよび個別ステップデータに対して修正操作がされたときには、修正処理において、修正操作の対象のデータのみを修正する。このため、このデータ処理装置によれば、各回路基板のうちの一部の回路基板におけるポイントの座標だけを修正したり、一部の回路基板に対する検査ステップの内容だけを修正したりするときには、個別座標データや個別ステップデータ内の対象のポイントや対象の検査ステップの情報だけを修正することで、そのポイントの座標やその検査ステップの内容だけを修正することができる。つまり、このデータ処理装置によれば、ポイント毎の座標の修正や検査ステップ毎の内容の修正を行う機能を有しつつ、修正作業の作業効率を向上させることができる。
【００１３】
また、請求項３記載のデータ処理装置によれば、検査用データに基づいて回路基板毎の検査ステップにおけるポイントの座標を特定可能な画像を表示部に表示させると共に、修正処理が実行されたときに表示中の画像を修正処理の内容で更新させることにより、各検査ステップにおけるプロービングの対象のポイントやそのポイントの座標を容易に把握することができると共に、修正操作が各データに反映されているか否かを容易に把握することができる。このため、このデータ処理装置によれば、ポイントの座標や検査ステップの内容を修正する修正作業の効率を十分に向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】データ処理装置１の構成を示す構成図である。
【図２】共通座標データＤａの構成を説明する説明図である。
【図３】共通ステップデータＤｂの構成を説明する説明図である。
【図４】相対位置データＤｃの構成を説明する説明図である。
【図５】相対順位データＤｄの構成を説明する説明図である。
【図６】個別座標データＤｅの構成を説明する説明図である。
【図７】個別ステップデータＤｆの構成を説明する説明図である。
【図８】データ処理装置１の動作を説明する第１の説明図である。
【図９】データ処理装置１の動作を説明する第２の説明図である。
【図１０】データ処理装置１の動作を説明する第３の説明図である。
【図１１】データ処理装置１の動作を説明する第４の説明図である。
【図１２】データ処理装置１の動作を説明する第５の説明図である。
【図１３】データ処理装置１の動作を説明する第６の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、データ処理装置の実施の形態について、図面を参照して説明する。
【００１６】
最初に、データ処理装置の一例としての図１に示すデータ処理装置１の構成について説明する。このデータ処理装置１は、同図に示すように、操作部２、表示部３、記憶部４および制御部５を備えて、一例として、図８に画像で示す多面付基板１００に対する電気的検査を行う際に検査用のプローブを接触させる回路基板上のポイントの位置を特定するための検査用データ（具体的には、後述する共通座標データＤａ、共通ステップデータＤｂ、個別座標データＤｅおよび個別ステップデータＤｆ）を修正可能に構成されている。
【００１７】
この場合、多面付基板１００は、同種類の回路基板を複数並べて１枚に形成した基板であって、この例では、図８に示すように、多面付基板１００の表面を格子状に４つに区切った各領域に４つの回路基板Ａ〜Ｄを配置して形成されている。また、回路基板Ｃ，Ｄは、回路基板Ａ，Ｂを１８０°回転させた状態で配置されている。このように各回路基板Ａ〜Ｄを配置することで、多面付基板１００は、多面付基板１００の中心部を対称点として点対称となるように構成されている。
【００１８】
また、上記の電気的検査では、一例として、１回の検査ステップ（検査工程）において、２つのポイントにプローブを１本ずつ（合計２本）プロービングさせた状態で導体パターンの断線検査や電子部品の検査（定数検査）を行う。このため、この電気的検査では、検査ステップを各ポイントの組み合わせを変更しつつ複数回実行する。
【００１９】
操作部２は、一例として、キーボードおよびポインティングデバイスとしてのマウスを備えて構成されて、操作に応じて制御部５に対して操作信号を出力する。表示部３は、制御部５の制御に従い、各種の画像を表示する。具体的には、表示部３は、後述するデータ修正用画像Ｇを表示する。
【００２０】
記憶部４は、例えば、磁気記憶媒体やＲＡＭなどを備えて構成され、制御部５の動作プログラムを記憶する。また、記憶部４は、共通座標データＤａ、共通ステップデータＤｂ、相対位置データＤｃ、相対順位データＤｄ、個別座標データＤｅおよび個別ステップデータＤｆを記憶する。これらの各データＤａ〜Ｄｆは、検査用データに相当し、上記したように、多面付基板１００に対する電気的検査を行う際に検査用のプローブを接触させる多面付基板１００上のポイントの位置を特定する際に用いられる。また、各データＤａ〜Ｄｆは、検査対象の多面付基板１００の設計データ（多面付基板１００における配線パターンの形状や、多面付基板１００に実装される電子部品の実装位置等を特定可能なデータ）に基づいて生成される。
【００２１】
この場合、共通座標データＤａは、多面付基板１００内の各回路基板Ａ〜Ｄの中から基準回路基板として予め決められた１つの回路基板（例えば、回路基板Ａ：以下、「基準回路基板Ａ」ともいう）内の各ポイントの位置を、基準回路基板Ａにおける予め規定された基準位置Ｐ１（図８参照）を原点とする各ポイントの座標（Ｘ座標およびＹ座標）で示すデータであって、図２に概念的に示すように、各ポイントを識別する符号（同図に示す「Ｐａ１〜Ｐａ４・・・」の符号）の情報と、各ポイントの座標の情報とが対応付けられて構成されている。また、このデータ処理装置１では、共通座標データＤａが、基準回路基板Ａを除く他の回路基板Ｂ〜Ｄ内の各ポイントの位置を示すデータとしても用いられる。具体的には、同図に示すように、回路基板Ｂ〜Ｄ内の各ポイントの位置は、基準位置Ｐ１に対応する対応位置Ｐ２〜Ｐ４（図８参照）をそれぞれ原点として各ポイントにそれぞれ対応する基準回路基板Ａ内の各ポイントの位置を示す座標と同じ値の座標で示される。このため、記憶部４には、回路基板Ｂ〜Ｄについての共通座標データＤａも記憶されている。つまり、記憶部４には、共通座標データＤａが回路基板Ａ〜Ｄ毎に記憶されている。
【００２２】
共通ステップデータＤｂは、基準回路基板Ａに対して実行する検査ステップの実行順位、および各検査ステップにおいてプロービングの対象とするポイント（以下、「プロービング対象ポイント」ともいう）を示すデータであって、図３に概念的に示すように、各検査ステップの実行順位を示すステップ番号（同図に示す「Ｓａ１，Ｓａ２，Ｓａ３，Ｓａ４・・・」の番号）の情報と、各検査ステップにおけるプロービング対象ポイントを識別する符号（同図に示す「Ｐａ１〜Ｐ５，Ｐ７，Ｐ８・・・」の符号）の情報とが対応付けられて構成されている。また、このデータ処理装置１では、共通ステップデータＤｂが、基準回路基板Ａを除く他の回路基板Ｂ〜Ｄに対して実行する検査ステップの実行順位および各検査ステップにおけるプロービング対象ポイントを示すデータとしても用いられる。具体的には、同図に示すように、回路基板Ｂ〜Ｄに対して実行する検査ステップの実行順位は、基準回路基板Ａに対して実行する検査ステップの実行順位と同じ実行順位に規定され、各検査ステップにおけるプロービング対象ポイントも、基準回路基板Ａに対して実行する検査ステップにおけるプロービング対象ポイントに対応するポイントに規定されている。このため、記憶部４には、回路基板Ｂ〜Ｄについての共通ステップデータＤｂも記憶されている。つまり、記憶部４には、共通ステップデータＤｂが回路基板Ａ〜Ｄ毎に記憶されている。
【００２３】
相対位置データＤｃは、各回路基板同士の相対的な位置関係（この例では、基準回路基板Ａに対する回路基板Ｂ〜Ｄの相対的な位置関係）を示すデータであって、図４に概念的に示すように、基準回路基板Ａの中心と回路基板Ｂ〜Ｄの中心との間のＸ軸・Ｙ軸それぞれに沿った離間距離を示す情報、および基準回路基板Ａに対する回路基板Ｂ〜Ｄの回転角度を示す情報を含んで構成されている。
【００２４】
相対順位データＤｄは、多面付基板１００の全体における各検査ステップの実行順位（例えば、各回路基板Ａ〜Ｄに対する検査ステップの実行順位を回路基板Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄの順に繋いだ実行順位）と共通ステップデータＤｂによって示される実行順位との順位差（順序差）を示すデータであって、図５に概念的に示すように、回路基板Ａ〜Ｄ毎の順位差を示す情報を含んで構成されている。
【００２５】
個別座標データＤｅは、多面付基板１００内の全てのポイント毎に個別に設定可能なオフセット値を示す情報を含んで構成されている。このオフセット値は、共通座標データＤａによって示される座標を個別に修正させる際に用いられる。具体的には、例えば、各回路基板Ａ〜Ｄにおいて互いに対応するポイント（例えば、図８に示す４つのポイントＰａ１，Ｐｂ１，Ｐｃ１，Ｐｄ１）のうちの１つの座標だけを共通座標データＤａによって示される座標とは異なる座標に修正する際には、そのポイントのオフセット値を設定することで、そのポイントの座標がオフセット値（Ｘ軸・Ｙ軸に沿った距離）の分だけ移動した座標に修正される。なお、初期状態では、各ポイントのオフセット値は（０，０）に設定されている。
【００２６】
また、個別ステップデータＤｆは、多面付基板１００に対して実行される全ての検査ステップ毎に個別に設定可能なデータであって、共通ステップデータＤｂによって示される検査ステップの内容を個別に修正させる際に用いられる。具体的には、特定の回路基板における特定の検査ステップだけ、他の回路基板における対応する検査ステップにおけるポイントとは異なるポイントをプロービングの対象とする際には、その内容を示すデータを設定することで、その検査ステップの内容が設定した内容に修正される。なお、初期状態では、各検査ステップの修正内容が未設定の状態となっている。
【００２７】
また、記憶部４は、多面付基板１００の輪郭、および各回路基板Ａ〜Ｄの輪郭を示す情報を含んで構成されて、多面付基板１００の平面形状を特定する形状データＤｇを記憶する。
【００２８】
制御部５は、表示制御部および処理部として機能して、データ処理装置１を構成する各部を制御すると共に、各種の処理を実行する。具体的には、制御部５は、記憶部４に記憶されている検査用データ（各データＤａ〜Ｄｆ）に基づき、図８に示すように、データ修正用画像Ｇを表示部３に表示させる。この場合、データ修正用画像Ｇは、回路基板Ａ〜Ｄ毎の各検査ステップにおけるプロービング対象ポイントの座標を特定可能な画像であって、同図に示すように、共通座標画像Ｇａ、共通ステップ画像Ｇｂ、個別座標画像Ｇｃ、個別ステップ画像Ｇｄおよび基板画像Ｇｅで構成されている。また、制御部５は、修正処理を実行したときに表示中の画像を修正処理の内容で更新させる。
【００２９】
この場合、共通座標画像Ｇａは、共通座標データＤａの内容を示す画像であって、図８に示すように、各ポイントを識別する符号と各ポイントの座標とが対応付けられて各回路基板Ａ〜Ｄ毎に一覧で表示される。また、共通ステップ画像Ｇｂは、共通ステップデータＤｂの内容を示す画像であって、同図に示すように、各検査ステップの実行順位を示すステップ番号と、各検査ステップにおけるプロービング対象ポイントを識別する符号とが対応付けられて回路基板Ａ〜Ｄ毎に一覧で表示される。
【００３０】
また、個別座標画像Ｇｃは、個別座標データＤｅの内容を示す画像であって、図８に示すように、各ポイントを識別する符号と各ポイントのオフセット値とが対応付けられて一覧で表示される。また、個別ステップ画像Ｇｄは、個別ステップデータＤｆの内容を示す画像であって、同図に示すように、各検査ステップの実行順位を示すステップ番号と、各検査ステップにおけるプロービング対象ポイントを識別する符号とが対応付けられて一覧で表示される。さらに、基板画像Ｇｅは、同図に示すように、多面付基板１００の平面形状を示す平面図内に各ポイント（ポイントを示すドット）がプロットされて構成されている。
【００３１】
また、制御部５は、処理部として機能し、操作部２を用いた修正操作に従って検査用データを修正する修正処理を実行する。具体的には、制御部５は、回路基板Ａ〜Ｄ毎に記憶されている共通座標データＤａおよび共通ステップデータＤｂのいずれかに対する修正操作がされたときには、修正処理において、対応する回路基板Ａ〜Ｄ毎の各データＤａ，Ｄｂの全てを修正する。また、個別に設定可能な個別座標データＤｅおよび個別ステップデータＤｆに対して修正操作がされたときには、修正処理において、修正操作の対象のデータＤｅ，Ｄｆのみを修正する。
【００３２】
また、制御部５は、修正処理を実行したときに、表示部３に表示させている共通座標画像Ｇａを修正処理の内容で更新して表示させる。
【００３３】
さらに、制御部５は、上記した検査用データを用いて、基板検査装置（図示せず）による利用が可能な形式に変換した検査用データ（以下、「変換検査用データ」ともいう）を生成する生成処理を実行する。具体的には、制御部５は、共通座標データＤａ、相対位置データＤｃおよび個別座標データＤｅを用いて、多面付基板１００における全てのポイントの座標を基準回路基板Ａの基準位置Ｐ１を原点とする座標（絶対座標）に変換した座標データを生成する。また、制御部５は、共通ステップデータＤｂ、相対順位データＤｄおよび個別ステップデータＤｆを用いて、各回路基板Ａ〜Ｄに対して実行される検査ステップの実行順位を繋いで、多面付基板１００に対して実行される全ての検査ステップの一連の実行順位と各検査ステップにおけるプロービング対象ポイントとを特定可能なステップデータを生成する。
【００３４】
次に、データ処理装置１を用いて、検査用データを修正する方法、およびその際のデータ処理装置１の動作について、図面を参照して説明する。この場合、共通座標データＤａ（図２参照）、共通ステップデータＤｂ（図３参照）、相対位置データＤｃ（図４参照）、相対順位データＤｄ（図５参照）、個別座標データＤｅ（図６参照）、個別ステップデータＤｆ（図７参照）、および形状データＤｇが記憶部４に予め記憶されているものとする。
【００３５】
まず、操作部２を操作して、共通座標データＤａ、共通ステップデータＤｂ、個別座標データＤｅ、個別ステップデータＤｆおよび形状データＤｇの読み出しを指示する。この際に、操作部２が操作信号を出力し、制御部５が操作信号に従って記憶部４から各データＤａ，Ｄｂ，Ｄｅ〜Ｄｇを読み出す。
【００３６】
次いで、操作部２を操作して、データ修正用画像Ｇの表示を指示する。続いて、制御部５が、操作部２から出力された操作信号に従い、記憶部４から読み出した各データＤａ，Ｄｂ，Ｄｅ〜Ｄｇに基づき、データ修正用画像Ｇを表示部３に表示させる。
【００３７】
具体的には、制御部５は、多面付基板１００の各回路基板Ａ〜Ｄ内の各ポイントを識別する符号の情報と、各ポイントの座標の情報とを、読み出した共通座標データＤａから抽出する。また、制御部５は、各回路基板Ａ〜Ｄに対して実行される各検査ステップのステップ番号の情報と、各検査ステップにおけるプロービング対象ポイントを識別する符号の情報とを、読み出した共通ステップデータＤｂから抽出する。
【００３８】
また、制御部５は、多面付基板１００内の各ポイントを識別する符号の情報と、各ポイントのオフセット値の情報とを、読み出した個別座標データＤｅから抽出する。また、制御部５は、各検査ステップのステップ番号の情報と、各検査ステップにおけるプロービング対象ポイントを識別する符号の情報とを、読み出した個別ステップデータＤｆから抽出する。
【００３９】
次いで、制御部５は、読み出した形状データＤｇに基づいて多面付基板１００の平面形状を特定して、その平面形状を示す平面図内に各ポイントをプロットした基板画像Ｇｅと、上記のようにして抽出した各情報に基づく共通座標画像Ｇａ、共通ステップ画像Ｇｂ、個別座標画像Ｇｃおよび個別ステップ画像Ｇｄとで構成されたデータ修正用画像Ｇを表示させるための画像データを生成する。続いて、制御部５は、生成した各画像データを表示部３に出力することにより、図８に示すように、データ修正用画像Ｇを表示部３に表示させる。
【００４０】
この場合、図８に示すように、共通座標画像Ｇａには、各ポイントを識別する符号と各ポイントの座標とが対応付けられて回路基板Ａ〜Ｄ毎に一覧で表示され、共通ステップ画像Ｇｂには、各検査ステップの実行順位を示すステップ番号と、各検査ステップにおけるプロービング対象ポイントを識別する符号とが対応付けられて回路基板Ａ〜Ｄ毎に一覧で表示される。また、個別座標画像Ｇｃには、各ポイントを識別する符号と各ポイントのオフセット値とが対応付けられて一覧で表示され、個別ステップ画像Ｇｄには、各検査ステップの実行順位を示すステップ番号と、各検査ステップにおけるプロービング対象ポイントを識別する符号とが対応付けられて一覧で表示される。
【００４１】
ここで、例えば、図８に示すポイントＰａ１，Ｐｂ１，Ｐｃ１，Ｐｄ１（以下、「ポイントＰａ１〜Ｐｄ１」ともいう）の位置を測定した結果、設計上の位置と測定した位置との間に位置ずれが生じており、この位置ずれを解消するために各ポイントＰａ１〜Ｐｄ１の座標を修正するときには、操作部２を用いて選択操作を行う。この場合、互いに対応する上記の各ポイントＰａ１〜Ｐｄ１の位置ずれが互いに等しいときには、共通座標データＤａを修正する。具体的には、図９に示すように、操作部２のマウスを操作してデータ修正用画像Ｇの共通座標画像Ｇａ内における上記の各ポイントＰａ１〜Ｐｄ１のうちの任意の１つ（例えば、ポイントＰａ１）の座標の表示箇所にカーソル（ポインタ）を移動させ、次いで、マウスをクリックしてその座標を選択する。なお、基板画像Ｇｅ内にプロットされているポイントＰａ１にカーソルを移動させて選択してもよい。この際に、制御部５が、操作部２から出力された操作信号に従い、選択された座標の表示箇所の近傍に座標を入力するための入力用画像Ｇｉを表示させる。
【００４２】
続いて、操作部２を用いて修正操作を行う。ここで、各ポイントＰａ１の位置ずれ量が例えば図９におけるＸ軸に沿って「１０」（つまり、右側に「１０」）、Ｙ軸に沿って「０」のときには、同図に示すように、操作部２のキーボードを用いて入力用画像Ｇｉ内に修正後の数値を入力することにより、ポイントＰａ１の座標を（１０，１０）から（２０，１０）に修正する。
【００４３】
次いで、制御部５は、修正処理を実行して、回路基板Ａについての共通座標データＤａにおけるポイントＰａ１の座標の情報を（１０，１０）から（２０，１０）に修正する。また、制御部５は、各回路基板Ｂ〜Ｄについての各共通座標データＤａにおけるポイントＰａ１に対応するポイントＰｂ１，Ｐｃ１，Ｐｄ１の座標の情報を（１０，１０）から（２０，１０）に修正する。つまり、制御部５は、回路基板Ａ〜Ｄ毎の各共通座標データＤａの全てを修正する。続いて、制御部５は、修正した共通座標データＤａを記憶部４に記憶（上書き）させる。
【００４４】
また、制御部５は、データ修正用画像Ｇを修正処理の内容で更新して表示させる。具体的には、制御部５は、図１０に示すように、データ修正用画像Ｇ内に表示されている修正処理の対象としたポイントＰａ１〜Ｐｄ１の座標を修正後の座標に更新して表示させる。さらに、制御部５は、同図に示すように、平面図内におけるにポイントＰａ１〜Ｐｄ１の位置を修正後の座標の位置に更新して表示させる。次いで、他に修正すべき座標が存在するときには、上記した選択操作および修正操作を行う。この際に、制御部５は上記した修正処理を実行する。
【００４５】
また、例えば、図１１に示すデータ修正用画像Ｇ内の共通ステップ画像Ｇｂに表示されている検査ステップＳａ１，Ｓｂ１，Ｓｃ１，Ｓｄ１（以下「検査ステップＳａ１〜Ｓｄ１」ともいう）における各プロービング対象ポイントが誤りであるときには、操作部２を用いて選択操作を行う。具体的には、操作部２のマウスを操作して、同図に示すように、共通ステップ画像Ｇｂ内における検査ステップＳａ１〜Ｓｄ１のうちの任意の１つ（例えば、検査ステップＳａ１）のプロービング対象ポイントを選択する。続いて、操作部２を用いた修正操作によって入力用画像Ｇｉ内に正しいプロービング対象ポイント（例えば、「Ｐａ１，Ｐａ３」）を入力する。
【００４６】
次いで、制御部５は、修正処理を実行して、回路基板Ａについての共通ステップデータＤｂにおける検査ステップＳａ１のプロービング対象ポイントの情報を「Ｐａ１，Ｐａ２」から「Ｐａ１，Ｐａ３」に修正する。また、制御部５は、各回路基板Ｂ〜Ｄについての各共通ステップデータＤｂにおける検査ステップＳａ１に対応するステップＳｂ１，Ｓｃ１，Ｓｄ１のプロービング対象ポイントの情報を「Ｐｂ１，Ｐｂ２」から「Ｐｂ１，Ｐｂ３」に、「Ｐｃ１，Ｐｃ２」から「Ｐｃ１，Ｐｃ３」に、「Ｐｄ１，Ｐｄ２」から「Ｐｄ１，Ｐｄ３」にそれぞれ修正する。つまり、制御部５は、回路基板Ａ〜Ｄ毎の各共通ステップデータＤｂの全てを修正する。続いて、制御部５は、修正した共通ステップデータＤｂを記憶部４に記憶（上書き）させる。また、制御部５は、データ修正用画像Ｇを修正処理の内容で更新して表示させる。
【００４７】
一方、図１２に示すデータ修正用画像Ｇ内に表示されているポイントＰａ４の座標だけを修正して、ポイントＰａ４に対応するポイントＰｂ４，Ｐｃ４，Ｐｄ４は無修正の状態とするときには、個別座標データＤｅを修正する。具体的には、操作部２のマウスを操作して、同図に示すように、データ修正用画像Ｇの個別座標画像Ｇｃ内におけるポイントＰａ４の座標を選択する。次いで、操作部２を用いた修正操作によって入力用画像Ｇｉ内に修正後の座標の数値を入力する。
【００４８】
続いて、制御部５は、修正処理を実行して、個別座標データＤｅにおけるポイントＰａ４のオフセット値を入力した値に設定する。次いで、制御部５は、修正した個別座標データＤｅを記憶部４に記憶（上書き）させる。また、制御部５は、データ修正用画像Ｇを修正処理の内容で更新して表示させる。
【００４９】
また、例えば、図１３に示すデータ修正用画像Ｇ内に表示されている検査ステップＳｂ２における内容（プロービング対象ポイント）だけを修正して、検査ステップＳｂ２に対応する検査ステップＳａ２，Ｓｃ２，Ｓｄ２の内容は無修正の状態とするときには、個別ステップデータＤｆを修正する。具体的には、操作部２のマウスを操作して、同図に示すように、個別ステップ画像Ｇｄ内における検査ステップＳｂ２のプロービング対象ポイントを選択する。続いて、操作部２を用いた修正操作によって入力用画像Ｇｉ内にプロービング対象ポイント（例えば、「Ｐｂ２，Ｐｂ４」）を入力する。
【００５０】
次いで、制御部５は、修正処理を実行して、個別ステップデータＤｆにおける検査ステップＳｂ２のプロービング対象ポイントを入力したプロービング対象ポイントに設定する。続いて、制御部５は、修正した個別ステップデータＤｆを記憶部４に記憶（上書き）させる。また、制御部５は、データ修正用画像Ｇを修正処理の内容で更新して表示させる。
【００５１】
上記したように、このデータ処理装置１では、各回路基板Ａ〜Ｄにおける互いに対応する各ポイント（４つのポイント）の座標を修正したり、各回路基板Ａ〜Ｄにおける互いに対応する各検査ステップ（４つのステップ）の内容を修正したりする際には、１つの回路基板についての共通座標データＤａや１つの回路基板についての共通ステップデータＤｂに対して修正操作を行うだけで、各回路基板Ａ〜Ｄについての全ての共通座標データＤａや各回路基板Ａ〜Ｄについての全ての共通ステップデータＤｂが一度に修正される。このため、各ポイントの座標および各検査ステップの内容がポイント毎および検査ステップ毎に個別に規定されている構成とは異なり、ポイント毎および検査ステップ毎に修正作業を行う必要がないため、ポイントの座標の修正や検査ステップの内容を修正する修正作業の作業効率を十分に向上させることが可能となっている。また、各回路基板Ａ〜Ｄのうちの一部の回路基板におけるポイントの座標だけを修正したり、一部の回路基板に対する検査ステップの内容だけを修正したりするときには、個別座標データＤｅや個別ステップデータＤｆ内の対象のポイントや対象の検査ステップの情報だけを修正することで、そのポイントの座標やその検査ステップの内容だけを修正することができる。つまり、このデータ処理装置１では、修正作業の作業効率を向上させつつ、ポイント毎の座標の修正や検査ステップ毎の内容の修正を行うことが可能となっている。
【００５２】
次いで、全ての修正（修正操作および修正処理）が終了したときには、操作部２を用いて終了操作を行う。これに応じて、制御部５が終了処理を実行する。
【００５３】
続いて、操作部２を操作して基板検査装置による利用が可能な変換検査用データの生成を指示する。これに応じて、制御部５は、各データＤａ〜Ｄｆを記憶部４から読み出す。次いで、制御部５は、共通座標データＤａ、相対位置データＤｃおよび個別座標データＤｅを用いて、多面付基板１００における全てのポイントの座標を基準回路基板Ａの基準位置Ｐ１を原点とする座標（絶対座標）に変換した座標データを生成する。また、制御部５は、共通ステップデータＤｂ、相対順位データＤｄおよび個別ステップデータＤｆを用いて、各回路基板Ａ〜Ｄに対して実行される検査ステップの実行順位を回路基板Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄの順に繋いで、多面付基板１００に対して実行される全ての検査ステップの一連の実行順位を示す情報と、各検査ステップにおけるプロービング対象ポイントを識別する符号とを対応付けたステップデータを生成する。続いて、制御部５は、生成した座標データおよびステップデータを変換検査用データとして記憶部４に記憶させる。
【００５４】
このように、このデータ処理装置１では、制御部５が、回路基板Ａ〜Ｄ毎に記憶されている各データＤａ，Ｄｂのいずれかに対する修正操作がされたときには、修正処理において対応する回路基板Ａ〜Ｄ毎の各データＤａ，Ｄｂの全てを修正する。このため、このデータ処理装置１によれば、各回路基板Ａ〜Ｄにおける互いに対応する各ポイントの座標を修正したり、各回路基板Ａ〜Ｄにおける互いに対応する各検査ステップの内容を修正したりする際には、１つの回路基板についての共通座標データＤａや１つの回路基板についての共通ステップデータＤｂに対して修正操作を行うだけで、各回路基板Ａ〜Ｄについての全ての共通座標データＤａや各回路基板Ａ〜Ｄについての全ての共通ステップデータＤｂを一度に修正することができる。このため、各ポイントの座標および各検査ステップの内容がポイント毎および検査ステップ毎に個別に規定されている構成とは異なり、ポイント毎および検査ステップ毎に修正作業を行う必要がないため、ポイントの座標の修正や検査ステップの内容を修正する修正作業の作業効率を十分に向上させることができる。
【００５５】
また、データ処理装置１では、制御部５が、ポイント毎または検査ステップ毎に個別に設定可能な各データＤｅ，Ｄｆに対して修正操作がされたときには、修正処理において、修正操作の対象のデータＤｅ，Ｄｆのみを修正する。このため、このデータ処理装置１によれば、各回路基板Ａ〜Ｄのうちの一部の回路基板におけるポイントの座標だけを修正したり、一部の回路基板に対する検査ステップの内容だけを修正したりするときには、個別座標データＤｅや個別ステップデータＤｆ内の対象のポイントや対象の検査ステップの情報だけを修正することで、そのポイントの座標やその検査ステップの内容だけを修正することができる。つまり、このデータ処理装置１によれば、ポイント毎の座標の修正や検査ステップ毎の内容の修正を行う機能を有しつつ、修正作業の作業効率を向上させることができる。
【００５６】
また、このデータ処理装置１によれば、検査用データに基づいて回路基板毎の検査ステップにおけるポイントの座標を特定可能なデータ修正用画像Ｇを表示部３に表示させると共に、修正処理が実行されたときに表示中のデータ修正用画像Ｇを修正処理の内容で更新させることにより、各検査ステップにおけるプロービング対象ポイントやそのプロービング対象ポイントの座標を容易に把握することができると共に、修正操作が各データに反映されているか否かを容易に把握することができる。このため、このデータ処理装置１によれば、ポイントの座標や検査ステップの内容を修正する修正作業の効率を十分に向上させることができる。
【００５７】
なお、データ処理装置１は、上記した構成に限定されない。例えば、個別に設定可能な個別座標データＤｅおよび個別ステップデータＤｆを記憶部４に記憶させて、データＤｅ，Ｄｆに対して修正操作がされたときに、制御部５が、修正操作の対象のデータＤｅ，Ｄｆのみを修正する（個別の修正を行う）例について上記したが、これらのデータＤｅ，Ｄｆを記憶部４に記憶させずに、制御部５がこのような個別の修正を行わない簡略化した構成を採用することもできる。
【００５８】
また、データ修正用画像Ｇの形態は上記した形態に限定されず、任意に変更することができる。具体的には、基板画像Ｇｅを表示させずに、共通座標画像Ｇａ、共通ステップ画像Ｇｂ、個別座標画像Ｇｃおよび個別ステップ画像Ｇｄだけで構成されたデータ修正用画像Ｇを採用することもできる。また、共通座標画像Ｇａに代えて、基板画像Ｇｅ上にプロットした各ポイントの近傍にそのポイントの座標を表示する形態のデータ修正用画像Ｇを採用することもできる。
【００５９】
また、共通ステップデータＤｂによって示されるプロービング対象ポイントとは異なるポイントをプロービング対象とする際に、そのポイントの符号を検査ステップの内容として個別ステップデータＤｆに設定する例について上記したが、例えば、特定の回路基板のみ一部の検査ステップを不実施とさせる（その検査ステップをパスさせる）ために、不実施を示す情報を個別ステップデータＤｆに設定する構成を採用することもできる。
【００６０】
また、操作部２のキーボードを操作して座標を数値入力する例について上記したが、他の操作方法で座標を修正することもできる。例えば、マウスを操作して座標の値を増加または減少させて座標を修正する構成を採用することもできる。
【００６１】
また、操作部２、表示部３および記憶部４を備えた構成例について上記したが、これらを備えていない構成、つまり、データ処理装置１の外部装置としての操作部、表示部および記憶部を用いる構成を採用することもできる。
【符号の説明】
【００６２】
１  データ処理装置
２  操作部
３  表示部
４  記憶部
５  制御部
１００  多面付基板
Ａ〜Ｄ  回路基板
Ｄａ  共通座標データ
Ｄｂ  共通ステップデータ
Ｄｃ  相対位置データ
Ｄｄ  相対順位データ
Ｄｅ  個別座標データ
Ｄｆ  個別ステップデータ
Ｇ  データ修正用画像
Ｇａ  共通座標画像
Ｇｂ  共通ステップ画像
Ｇｃ  個別座標画像
Ｇｄ  個別ステップ画像
Ｇｅ  基板画像
Ｐ１  基準位置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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