(57)【要約】【課題】シート材に対して機械加工だけで複雑な形状の貫通開口を形成して、複雑な印刷パターンの印刷マスク材を安価にオンデマンド生産する。【解決手段】シート材１００に貫通開口を形成するための工具として、ダイヤモンド製の刃部７０１をシャンクの先端に固定したダイヤモンドエンドミル７を用い、回転駆動しているダイヤモンドエンドミル７の刃部７０１の周囲に圧縮エアーを吹き付けながら、ダイヤモンドエンドミル７を横移動させて所望の形状の凹部を浅く掘り込んだ後、刃部７０１をシート材１００に対してより押し込んでから、刃部７０１の周囲に圧縮エアーを吹き付けながらダイヤモンドエンドミル７を横移動させて凹部の深さをより大きくする操作を実施して、複雑な形状の貫通開口を形成するようにした。【選択図】図６
2014200902.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シート材に印刷パターン用の複数の貫通開口を形成して印刷マスク材を製造する印刷マスク材製造方法において、
前記貫通開口を形成するための工具として、ダイヤモンド製の刃部を支持金具の先端に固定したダイヤモンドエンドミルを用い、
回転駆動している前記ダイヤモンドエンドミルの前記刃部の周囲に流体を吹き付けながら、前記ダイヤモンドエンドミルを前記シート材の表面方向に移動させて所望の形状の凹部を浅く掘り込んだ後、前記刃部を前記シート材に対してより押し込んでから、前記刃部の周囲に流体を吹き付けながら前記ダイヤモンドエンドミルを前記表面方向に移動させて前記凹部の深さをより大きくする操作を実施して前記貫通開口を形成することを特徴とする印刷マスク材製造方法。
【請求項２】
請求項１の印刷マスク材製造方法において、
前記支持金具として、先端部に先端側から根本側に向けて太くなるテーパーを設けたものを用いたことを特徴とする印刷マスク材製造方法。
【請求項３】
請求項１又は２の印刷マスク材製造方法において、
前記シート材の表面を切削して複雑な形状の浅い凹部を掘り込む際にも、前記刃部の周囲に流体を吹き付けることを特徴とする印刷マスク材製造方法。
【請求項４】
請求項１乃至３の何れかの印刷マスク材製造方法において、
流体を吹き付けるためのノズルを前記ダイヤモンドエンドミルの周囲に複数配設し、それらノズルのうち、前記ダイヤモンドエンドミルのシート表面に沿った進行方向に対し、概ね反対方向になるノズルから前記刃部に向けて流体を選択的に吹き付けることを特徴とする印刷マスク材製造方法。
【請求項５】
請求項１乃至４の何れかの印刷マスク材製造方法において、
ダイヤモンドエンドミルによって前記シート材を切削する際の切削負荷を測定した結果に基づいて、前記ダイヤモンドエンドミルの交換時期を決定することを特徴とする印刷マスク材製造方法。
【請求項６】
請求項１乃至５の何れかの印刷マスク材製造方法において、
前記シート材として、プラスチックからなる基材シートの表面に、前記基材シートよりも高い硬度の材料からなる表面層を被覆したものを用いることを特徴とする印刷マスク材製造方法。
【請求項７】
請求項１乃至６の何れかの印刷マスク材製造方法において、
前記支持金具として、超硬からなるものを用いることを特徴とする印刷マスク材製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート材に印刷パターン用の複数の貫通開口を形成して印刷マスク材を製造する印刷マスク材製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、クリーム半田やインクなどのペーストをプリント基板などの被印刷体上に印刷するための印刷マスク材を製造する印刷マスク材製造方法として、特許文献１に記載のものが知られている。この印刷マスク材製造方法では、シート材に対し、エキシマレーザー加工によって印刷パターン用の複数の貫通開口を形成して印刷マスク材を製造する。かかる印刷マスク材製造方法においては、現像液やエッチング液などの薬品によらず、機械加工だけで複数の貫通開口からなる印刷パターンを形成することで、少量多品種のオンデマンド生産を実現することができる。
【０００３】
しかしながら、エキシマレーザー装置は、非常に高価な機械であり、設備投資に多くの費用がかかってしまうことから、印刷マスク材の単価を引き下げるのが困難であるという不具合があった。
【０００４】
一方、印刷マスク材製造方法としては、特許文献２に記載のものも知られている。この印刷マスク材製造方法では、シート材に対し、ドリル加工によって印刷パターン用の複数の貫通開口を形成して印刷マスク材を製造する。かかる印刷マスク材製造方法においても、機械加工だけで複数の貫通開口からなる印刷パターンを形成することで、少量多品種のオンデマンド生産を実現することができる。しかも、設備投資が、マシニングセンタなどといった、エキシマレーザー装置に比べて安価な機械で済むことから、エキシマレーザー装置を用いる場合に比べて印刷マスク材の単価を安くすることができる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、この印刷マスク材製造方法においては、複数の貫通開口として真円状の貫通開口だけを含む単純な印刷パターンしか形成することができないという問題があった。具体的には、回転するドリル刃の穿孔によって得られる貫通開口は真円状のものであり、ドリルによって複雑な形状の貫通開口を得ることは困難である。例えば、シート材に貫通させたドリル刃を横方向に移動させて貫通加工を所望の形状に加工しようとしても、ドリル刃はそのような横方向への切削加工には適さないことから、すぐに折れてしまったり、貫通開口の形状を乱してしまったりする。このため、シート材を単純に穿孔して得られる真円状の貫通開口だけを含む単純な印刷パターンしか形成することができない。
【０００６】
そこで、本発明者らは、貫通開口の加工具としてダイヤモンドエンドミルを用いて、シート材に複雑な形状の貫通開口を形成する実験を行った。ダイヤモンドエンドミルは、シャンクと呼ばれる刃の付いていない棒状の金属支持具の先端にダイヤモンド製の平らな刃部をシャンクの回転軸線位置よりも偏心した位置に固定したものである。回転する平らな刃部をワークに対してその表面方向に沿って横方向に移動させながらワークを横方向に切削していくのに適していることから、彫刻などの分野で広く用いられている。かかるダイヤモンドエンドミルを用いて、シート材に複雑な形状の凹部を掘り込んだ後、その凹部内で刃を横方向に移動させながら凹部を更に深く掘り込んで、最終的に複雑な形状の貫通開口に仕上げる実験を行ったのである。すると、凹部を深く掘り込んでいく際に、切削によって凹部内で発生させた加工屑をすぐに刃部に巻き付けてしまった。そして、刃部に巻き付いた加工屑がシート材の切削を著しく阻害して多くのバリを発生させたり、刃に無理な力をかけて刃を折ってしまったりすることから、複雑な形状の貫通開口を形成することが困難であることがわかった。
【０００７】
ダイヤモンド製の刃部に、ドリル刃のような螺旋状の溝を形成すれば、凹部内で発生した加工屑をその螺旋状の溝の回転運動によって凹部の外に排出することができる。しかしながら、ダイヤモンドは、非常に硬くて割れやすい性質を持つことから、現在の技術ではダイヤモンド製の刃部に螺旋状の溝を形成することができない。刃部をダイヤモンドではなくて合金製のものにすれば、螺旋状の溝を形成することが可能であるが、刃部を横方向に移動させる切削加工では刃部に大きな力をかけることから、合金製の刃部ではすぐに摩耗してしまう。このため、合金製の刃部が固定されたエンドミルを頻繁に交換する必要が生じて、低コスト化を実現することが困難になってしまう。
【０００８】
本発明は、以上の背景に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、次のような印刷マスク材製造方法を提供することである。即ち、シート材に対して機械加工だけで複雑な形状の貫通開口を形成して、複雑な印刷パターンの印刷マスク材を安価にオンデマンド生産することができる印刷マスク材製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために、請求項１に係る発明は、シート材に印刷パターン用の複数の貫通開口を形成して印刷マスク材を製造する印刷マスク材製造方法において、前記貫通開口を形成するための工具として、ダイヤモンド製の刃部を支持金具の先端に固定したダイヤモンドエンドミルを用い、回転駆動している前記ダイヤモンドエンドミルの前記刃部の周囲に流体を吹き付けながら、前記ダイヤモンドエンドミルを前記シート材の表面方向に移動させて所望の形状の凹部を浅く掘り込んだ後、前記刃部を前記シート材に対してより押し込んでから、前記刃部の周囲に流体を吹き付けながら前記ダイヤモンドエンドミルを前記表面方向に移動させて前記凹部の深さをより大きくする操作を実施して前記貫通開口を形成することを特徴とするものである。
また、請求項２に係る発明は、請求項１の印刷マスク材製造方法において、前記支持金具として、先端部に先端側から根本側に向けて太くなるテーパーを設けたものを用いたことを特徴とするものである。
また、請求項３に係る発明は、請求項１又は２の印刷マスク材製造方法において、前記シート材の表面を切削して複雑な形状の浅い凹部を掘り込む際にも、前記刃部の周囲に流体を吹き付けることを特徴とするものである。
また、請求項４に係る発明は、請求項１乃至３の何れかの印刷マスク材製造方法において、流体を吹き付けるためのノズルを前記ダイヤモンドエンドミルの周囲に複数配設し、それらノズルのうち、前記ダイヤモンドエンドミルのシート表面に沿った進行方向に対し、概ね反対方向になるノズルから前記刃部に向けて流体を選択的に吹き付けることを特徴とするものである。
また、請求項５に係る発明は、請求項１乃至４の何れかの印刷マスク材製造方法において、ダイヤモンドエンドミルによって前記シート材を切削する際の切削負荷を測定した結果に基づいて、前記ダイヤモンドエンドミルの交換時期を決定することを特徴とするものである。
また、請求項６に係る発明は、請求項１乃至５の何れかの印刷マスク材製造方法において、前記シート材として、プラスチックからなる基材シートの表面に、前記基材シートよりも高い硬度の材料からなる表面層を被覆したものを用いることを特徴とするものである。
また、請求項７に係る発明は、請求項１乃至５の何れかの印刷マスク材製造方法において、前記支持金具として、超硬からなるものを用いることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１０】
これらの発明においては、プラスチック製のシート材に切削加工した浅い凹部の中でダイヤモンドエンドミルの刃部を横方向に移動させて凹部の深さをより深くしていく際に、凹部内で回転する刃部の周囲に流体を吹き付ける。これにより、凹部内で発生する加工屑を流体によって凹部外に吹き飛ばして刃部に対する加工屑の巻き付きを抑えることで、ダイヤモンドエンドミルによって複雑な形状の貫通開口を良好に形成することが可能になる。かかる構成では、機械加工だけで複雑な形状の貫通開口を形成することで、少量多品種のオンデマンド生産を実現することができる。しかも、設備投資としては、市場に出回っている安価な彫刻機など、エキシマレーザー装置に比べて遙かに安価なもので済むことから、エキシマレーザー装置を用いる場合に比べて、低コスト化を実現することができる。更には、耐久性に優れたダイヤモンド製の刃部を具備するダイヤモンドエンドミルを用いるので、すぐに摩耗してしまう合金製のエンドミルを用いる場合に比べて手コスト化を実現することができる。以上の結果、シート材に対して機械加工だけで複雑な形状の貫通開口を形成して、複雑な印刷パターンの印刷マスク材を安価にオンデマンド生産することができる。
【００１１】
特に、請求項２に係る発明においては、支持金具として、先端部に先端側から根本側に向けて太くなるテーパーを設けたものを用いたことで、凹部内から出た加工屑を支持金具の先端部のテーパーに沿って移動させる。これにより、シート材表面方向において、加工屑を凹部の周囲に良好に散らすことで、凹部から排出された加工屑の凹部内への逆戻りの発生を抑えることができる。
【００１２】
また特に、請求項３に係る発明においては、シート材に浅い凹部を掘り込む際にも、刃部の周囲に流体を吹き付けることで、浅い凹部を得た時点における凹部内での加工屑の量を減らす。これにより、浅い凹部を掘り込む操作から凹部をより深く掘り込む操作に切り替える際の切り替え初期におけるバリの発生をより抑えることができる。
【００１３】
また特に、請求項４に係る発明においては、横方向に移動する刃部に対してその反対方向に位置するノズルから刃部に向けて流体を吹き付けることで、横移動する刃部の進行方向にかかわらず、加工屑を良好に凹部から排出させることができる。
【００１４】
また特に、請求項５に係る発明においては、切削負荷の上昇によってダイヤモンドエンドミルの刃部の寿命到来タイミングを適切に把握して、ダイヤモンドエンドミルを適切なタイミングで交換する。これにより、寿命を超えてダイヤモンドエンドミルを使用し続けることによるバリの発生を回避することができる。
【００１５】
また特に、請求項６に係る発明においては、シート材のプラスチック製の基材の表面をバリの発生し難い硬硬度の表面層で被覆することで、表面層のバリの発生し難さに加えて、表面層で基材シートの加工屑のシート本体からの切断を促す。これにより、バリの発生をより抑えることができる。
【００１６】
また特に、請求項７に係る発明においては、支持金具として超硬からなるものを用いることで、一般的な金属からなるものを用いる場合に比べて、支持金具の長寿命化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】実施形態に係る印刷マスク材製造方法に用いられる加工機を示す斜視図。
【図２】同印刷マスク材製造方法に用いられるダイヤモンドエンドミルを示す側面図。
【図３】同ダイヤモンドエンドミルの先端部を示す側面図。
【図４】同先端部を図３とは異なる角度から示す側面図。
【図５】同ダイヤモンドエンドミルの刃部をその先端側から示す正面図。
【図６】シート材に貫通開口を加工している最中のダイヤモンドエンドミルや吹き付けノズルを示す拡大斜視図。
【図７】同印刷マスク材製造方法によって凹部を形成している最中のシート材を刃部とともに示す模式図。
【図８】同印刷マスク材製造方法によって貫通開口が形成された印刷マスク材を示す平面図。
【図９】比較例の印刷マスク材製造方法によって凹部を形成している最中のシート材を刃部とともに示す模式図。
【図１０】比較例の印刷マスク材製造方法によって貫通開口が形成された印刷マスク材を示す平面図。
【図１１】３成分フォースリンクによって測定される切削負荷の特性の一例を示すグラフ。
【図１２】実施形態に係る印刷マスク材製造方法で用いられるシート材を示す拡大断面図。
【図１３】実施例に係る印刷マスク材製造方法で用いられるエンドミル固定ヘッドと、その周囲構成とを鉛直方向下側から眺めた状態を示す平面図。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明を適用した印刷マスク材製造方法の一実施形態について説明する。
図１は、実施形態に係る印刷マスク材製造方法に用いられる加工機１を示す斜視図である。この加工機１は、市場に広く出回っている彫刻機を改良したものである。不動のステージ９の上面には、ワーク支持台２が形成されており、このワーク支持台２の上に、ワークとしてのプラスチック製のシート材１００が固定されている。シート材の固定方法としては、クランプ固定、ネジ固定、吸引固定など、従来から周知のものを採用することができる。
【００１９】
ステージ９は、アーム３をｘ方向に移動可能に支持している。このアーム３は、ステージ９の長手方向であるｙ方向に延在しながら、ワーク支持台２の上空でワーク支持台２と所定の距離をおいて対向するように、ステージ９の長手方向一端部、及び他端部に支持されている。そして、ヘッド保持ステージ４をｙ方向に移動可能に支持している。また、ヘッド保持ステージ４は、エンドミル固定ヘッド５を回転させつつ、シート材１００の厚み方向に沿ったＺ方向に移動可能に保持している。更には、エアー吹き付けヘッド６を保持している。
【００２０】
エンドミル固定ヘッド５の先端には、後述するダイヤモンドエンドミル７が固定されている。また、エアー吹き付けヘッド６の先端には、吹き付けノズル８が固定されている。
【００２１】
図２は、ダイヤモンドエンドミル７を示す側面図である。ダイヤモンドエンドミル７は、図示のように、全体としてペン状の形状をしている。その大部分は、支持金具としてのシャンク７００が占めている。超硬からなるシャンク７００は、円柱状の本体部７００ｂと、その先端に形成された円錐状の先端部７００ａとを具備しており、本体部７００ｂの後端部（図の右側の端部）が、エンドミル固定ヘッド７に把持固定される。ダイヤモンドエンドミル７の長さは、例えば４０［ｍｍ］程度である。
【００２２】
円錐状の先端部７００ａは、図３や図４に示されるように、根本側（図中右側）から先端側に向けて徐々に細くなる円錐状のテーパーを具備しており、その先端には、ダイヤモンド製の刃部７０１が固定されている。この刃部７０１は、図４に示されるように、シャンク７００の回転中心軸線の位置に対して偏心した位置に固定される。
【００２３】
図５は、刃部７０１をその先端側から示す正面図である。ダイヤモンド製の刃部７０１は、シャンク７００の先端部７００ａに固定される固定部７０１ｂと、ワークに摺擦してワークを切削加工するための刃先７０１ａとを具備している。図中の点線の円は、刃先７０１ａの回転軌道を示している。この円の直径方向において、刃先７０１ａが全く存在しない領域であるクリアランスＣは、例えば０．０２５［ｍｍ］程度である。また、直径方向において刃先７０１ａが存在している領域の長さは例えば０．１６［ｍｍ］程度である。
【００２４】
図３に示されるように、シャンク７００の先端部７００ａのテーパーは、先端側のテーパーと、これよりも傾斜（回転軸線に対する傾斜）の緩やかな後端側のテーパーとの２段になっている。後端側のテーパーの角度は、回転軸線に対して例えば１５［°］程度である。
【００２５】
図１において、エンドミル固定ヘッド７の先端に固定されたエアー吹き付けヘッド８からは、流体としての圧縮エアーが吹き出される。吹き出された圧縮エアーは、エンドミル固定ヘッド７に固定されたダイヤモンドエンドミル７の刃部（７０１）やその周囲に吹き付けられる。
【００２６】
加工機１は、図示しないパーソナルコンピュータから送られてくるＮＣデータに基づいて、ダイヤモンドエンドミル７を回転させながら、ｘ方向、ｙ方向、ｚ方向に移動させることで、シート材１００をＮＣデータに従った順序で切削加工する。ダイヤモンドエンドミル７のｘ方向の動きについては、ステージ９上におけるアーム３のｘ方向の移動によって実現する。また、ダイヤモンドエンドミル７のｙ方向の動きについては、アーム３上におけるヘッド保持ステージ４のｙ方向の移動によって実現する。また、ダイヤモンドエンドミル７のｚ方向の動きについては、ヘッド保持ステージ４上におけるエンドミル固定ヘッド５のｚ方向の移動によって実現する。
【００２７】
実施形態に係る印刷マスク材製造方法においては、次のようにして、プラスチック製（例えばＰＥＴ製）のシート材に対して、真円状ではない複雑な形状の貫通開口を形成する。例えば、長穴状の貫通開口を形成する例について説明すると、まず、回転駆動するダイヤモンドエンドミル７により、回転長穴状の浅い凹部を形成する。具体的には、回転駆動するダイヤモンドエンドミル７の刃部７０１により、シート材１００の表面を浅く切削しながら、ダイヤモンドエンドミル７をシート材１００の表面方向に沿って移動させて、長穴状の凹部を浅く掘り込む。この際、図６に示されるように、吹き付けノズル８から吹き出した圧縮エアーを、切削加工中の刃部７０１やその周囲に吹き付ける。これにより、切削加工中の浅い凹部内から加工屑を吹き飛ばして、刃部７０１に加工屑を巻き付けてしまうことを防止する。切削によって発生した直後の加工屑を吹き飛ばすことにより、吹き飛ばされた加工屑の大きさは、０．０６［ｍｍ］程度になる。これに対し、加工屑を吹き飛ばさないと、加工屑の大きさは０．２［ｍｍ］程度になり、それらの塊が刃部７０１に巻き付き易くなってしまう。
【００２８】
長穴状の浅い凹部を形成したら、ダイヤモンドエンドミル７のｚ方向への移動により、刃部７０１をシート材１００に対してより押し込んむ。そして、刃部７０１の周囲にエアーを吹き付けながらダイヤモンドエンドミル７を長穴に沿ってシート表面方向に移動させて凹部の深さをより大きくする。この際、図７に示されるように、凹部内で回転する刃部７０１の周囲にエアーを吹き付けることで、凹部内で発生する加工屑を凹部外に吹き飛ばして刃部７０１に対する加工屑の巻き付きを抑える。これにより、ダイヤモンドエンドミル７によって複雑な形状の貫通開口を良好に形成することが可能になる。図８に示されるように、バリの殆どない綺麗な長穴形状の貫通開口１００ａを形成することが可能である。
【００２９】
このように、実施形態に係る印刷マスク材製造方法では、機械加工だけで複雑な形状の貫通開口１００ａを形成することで、少量多品種のオンデマンド生産を実現することができる。しかも、設備投資としては、市場に出回っている安価な彫刻機など、エキシマレーザー装置に比べて遙かに安価なもので済むことから、エキシマレーザー装置を用いる場合に比べて、低コスト化を実現することができる。更には、耐久性に優れたダイヤモンド製の刃部７０１を具備するダイヤモンドエンドミル７を用いるので、すぐに摩耗してしまう合金製のエンドミルを用いる場合に比べて手コスト化を実現することができる。以上の結果、プラスチック製のシート材１００に対して機械加工だけで複雑な形状の貫通開口１００ａを形成して、複雑な印刷パターンの印刷マスク材を安価にオンデマンド生産することができる。
【００３０】
なお、凹部をより深く掘り込んでいく際に、刃部７０１の周囲にエアーを吹き付けないと、図９に示されるように、凹部内に多量の加工屑を残してしまう。そして、凹部内に溜まった加工屑を刃部７０１に巻き付けて、巻き付いた加工屑によって切削加工を著しく阻害してしまうことから、図１０に示されるように、商品にはならないほどの著しいバリを発生させてしまう。更に、加工屑が刃部７０１に無理な力をかけることから、刃部７０１の折れを頻繁に発生させてしまう。
【００３１】
図３や図４に示されるように、シャンク７００の先端部７００ａには、先端側から根本側に向けて太くなるテーパーを設けている。このテーパーにより、切削加工中の凹部内から出た加工屑をテーパーに沿って移動させることで、シート表面方向において加工屑を凹部の周囲に良好に散らす。これにより、凹部から排出された加工屑を凹部内に逆戻りさせてしまうことがなくなることから、刃部７０１への加工屑の巻き付きをより確実に抑えることができる。
【００３２】
また、実施形態に係る印刷マスク材製造方法では、上述したように、浅く形成した凹部をより深く掘り込んでいく際だけでなく、浅い凹部を掘り込む際にも、刃部７０１やその周囲にエアーを吹き付けている。かかる構成では、浅い凹部を得た時点における凹部内での加工屑の量を減らすことで、浅い凹部を掘り込む操作から凹部をより深く掘り込む操作に切り替える際の切り替え初期におけるバリの発生をより抑えることができる。
【００３３】
加工機１には、ダイヤモンドエンドミル７によってシート材１００を切削する際の切削負荷を測定する図示しない切削負荷測定手段を設けている。かかる切削負荷測定手段としては、例えば周知の３成分フォースリンクを例示することができる。３成分フォースリンクを、エンドミル固定ヘッド５における、回転するエンドミル把持部よりもヘッド根本側に設け、この３成分フォースリンクによってエンドミル固定ヘッド５を支えるようにする。これにより、例えば、図１１に示されるように、ダイヤモンドエンドミル７にかかるｘ方向、ｙ方向、ｚ方向の切削負荷をそれぞれ測定することが可能になる。
【００３４】
また、切削負荷測定手段として、エンドミル把持部の回転駆動力を発揮するための駆動モータの消費電流を測定する電流計を用いてもよい。切削負荷が大きくなるほど、消費電流が大きくなることから、消費電流を切削負荷の代替特性として検出することが可能だからである。
【００３５】
刃部７０１が摩耗によって劣化してくると、切削負荷が大きくなっていくとともに、切削能力の低下によってバリを発生させ易くなっていく。そこで、切削負荷がある程度大きくなった時点を刃部７０１の寿命到達タイミングとみなして、ダイヤモンドエンドミル７を新しいものに交換する。これにより、ダイヤモンドエンドミル７を適切なタイミングで交換することで、ダイヤモンドエンドミル７を不適切に長期使用することによるバリの発生（歩留まりの低下）を抑えることができる。
【００３６】
また、実施形態に係る印刷マスク材製造方法においては、シート材１００として、図１２に示されるように、プラスチック（例えばＰＥＴ）からなる基材シート１０１の表面に、基材シート１０１よりも高い硬度の材料（例えばカーボン）からなる表面層１０２を被覆したものを用いる。このようなシート材１００では、高硬度に起因して表面層１０２がバリを発生させ難いことに加えて、表面層１０２が基材シート１０１の加工屑のシート本体からの切断を促す。これにより、バリの発生をより抑えることができる。
【００３７】
また、実施形態に係る印刷マスク材製造方法においては、ダイヤモンドエンドミル７のシャンク７００として、超硬からなるものを用いていることから、一般的な金属からなるものを用いる場合に比べて、シャンク７００の長寿命化を図ることができる。
【００３８】
次に、実施形態に係る印刷マスク材製造方法に、より特徴的な構成を付加した実施例の印刷マスク材製造方法について説明する。なお、以下に特筆しない限り、実施例に係る印刷マスク材製造方法の構成は、実施形態と同様である。
図１３は、実施例に係る印刷マスク材製造方法で用いられるエンドミル固定ヘッド５と、その周囲構成とを鉛直方向下側から眺めた状態を平面図である。図示のようにエンドミル固定ヘッド５の周囲には、複数（８つ）のエアー吹き付けヘッド６が配設されている。それらエアー吹き付けヘッド６の吹き付けノズル８は、エンドミル固定ヘッド５に固定されたダイヤモンドエンドミル７の周囲に位置している。
【００３９】
加工機１の制御部は、ダイヤモンドエンドミル７を横方向に移動させている際に、８つの吹き付けノズル８のうち、ダイヤモンドエンドミル７の進行方向に対し、概ね反対方向になる吹き付けノズル８から圧縮エアーを選択的に吹き出させる制御を実施する。この制御のために、加工機１は、８つの吹き付けノズル８からの圧縮エアーの吹き出しをそれぞれ個別に入切するための８つの電磁弁を備えている。
【００４０】
かかる構成では、貫通開口の加工中に横方向に移動している刃部７０１に対し、その進行方向にかかわらず、概ね反対方向から圧縮エアーを吹き付けることで、刃部７０１の進行方向にかかわらず、加工屑を良好に凹部から排出させることができる。なお、ダイヤモンドエンドミル７の刃部（７０１）やその周囲に吹き付ける流体として、圧縮エアーに代えて、酸化防止剤、窒素ガス（Ｎ２）、純水などを用いてもよい。
【００４１】
以上に説明したものは一例であり、本発明は、次の態様毎に特有の効果を奏する。
［態様Ａ］
態様Ａは、シート材（例えばシート材１００）に印刷パターン用の複数の貫通開口（例えば貫通開口１００ａ）を形成して印刷マスク材を製造する印刷マスク材製造方法において、前記貫通開口を形成するための工具として、ダイヤモンド製の刃部を支持金具（例えばシャンク７００）の先端に固定したダイヤモンドエンドミルを用い、回転駆動している前記ダイヤモンドエンドミルの前記刃部（例えば刃部７０１）の周囲に流体を吹き付けながら、前記ダイヤモンドエンドミルを前記シート材の表面方向に移動させて所望の形状の凹部を浅く掘り込んだ後、前記刃部を前記シート材に対してより押し込んでから、前記刃部の周囲に流体を吹き付けながら前記ダイヤモンドエンドミルを前記表面方向に移動させて前記凹部の深さをより大きくする操作を実施して前記貫通開口を形成することを特徴とするものである。
【００４２】
［態様Ｂ］
態様Ｂは、態様Ａにおいて、前記支持金具として、先端部に先端側から根本側に向けて太くなるテーパーを設けたものを用いたことを特徴とするものである。
【００４３】
［態様Ｃ］
態様Ｃは、態様Ａ又はＢにおいて、前記シート材の表面を切削して複雑な形状の浅い凹部を掘り込む際にも、前記刃部の周囲に流体を吹き付けることを特徴とするものである。
【００４４】
［態様Ｄ］
態様Ｄは、態様Ａ〜Ｃの何れかにおいて、流体（例えばエアー）を吹き付けるためのノズル（例えば吹き付けノズル８）を前記ダイヤモンドエンドミルの周囲に複数配設し、それらノズルのうち、前記ダイヤモンドエンドミルのシート表面に沿った進行方向に対し、概ね反対方向になるノズルから前記刃部に向けて流体を選択的に吹き付けることを特徴とするものである。
【００４５】
［態様Ｅ］
態様Ｅは、態様Ａ〜Ｄの何れかにおいて、ダイヤモンドエンドミルによって前記シート材を切削する際の切削負荷を測定した結果に基づいて、前記ダイヤモンドエンドミルの交換時期を決定することを特徴とするものである。
【００４６】
［態様Ｆ］
態様Ｆは、態様Ａ〜Ｅの何れかにおいて、前記シート材として、プラスチックからなる基材シートの表面に、前記基材シートよりも高い硬度の材料からなる表面層を被覆したものを用いることを特徴とするものである。
【００４７】
［態様Ｇ］
態様Ｇは、態様Ａ乃至Ｆの何れかにおいて、前記支持金具として、超硬からなるものを用いることを特徴とするものである。
【符号の説明】
【００４８】
１：加工機
７：ダイヤモンドエンドミル
８：吹き付けノズル（ノズル）
７００：シャンク
７００ａ：先端部
７０１：刃部
１００：シート材
１００ａ：貫通開口
【先行技術文献】
【特許文献】
【００４９】
【特許文献１】特開平１１−２６８１２１号公報
【特許文献２】特開２０００−１５８６１８号公報
【図１】
2014200902.tif 000003
【図２】
2014200902.tif 000004
【図３】
2014200902.tif 000005
【図４】
2014200902.tif 000006
【図５】
2014200902.tif 000007
【図６】
2014200902.tif 000008
【図７】
2014200902.tif 000009
【図８】
2014200902.tif 000010
【図９】
2014200902.tif 000011
【図１０】
2014200902.tif 000012
【図１１】
2014200902.tif 000013
【図１２】
2014200902.tif 000014
【図１３】
2014200902.tif 000015