(57)【要約】      （修正有）【課題】所定の気体雰囲気の到達濃度が高いパージ処理を行うことが可能なボトムパージ方式を採用しつつ、ノズル本体の昇降動作を簡単な制御で行うことでき、さら部品点数の削減及びコンパクト化を実現可能なパージノズルユニットを提供する。【解決手段】胴部２１の内部に形成したパージ用気体流路２３に連通する通気孔２６からパージ用気体流路２３に供給されたパージ用気体を、ノズル本体２とホルダ３との間の圧力調整空間Ｓ２に連通する導入路２７に優先して導入し、圧力調整空間Ｓ２の圧力を上げることで、付勢手段４の付勢力に抗してノズル本体２をホルダ３に対して上昇移動させるように構成した。【選択図】図４
2014036049.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
パージ対象容器の底面に設けたポートを通じて当該パージ対象容器内の気体雰囲気を窒素又は乾燥空気の何れかからなるパージ用気体に置換可能なパージノズルユニットであり、
下方から上方に向かうパージ用気体供給方向に沿って延伸するパージ用気体流路を内部に形成した胴部、及び前記胴部よりも側方に張り出した鍔部を有するノズル本体と、
前記鍔部の外向き面に添接する側壁、及び前記胴部の外向き面を添接させ且つ挿通させた貫通孔を形成した底壁を有するホルダと、
ノズル本体を下方へ付勢する付勢手段とを備え、
前記胴部は、
前記パージ用気体流路のうち前記パージ用気体供給方向下流側に形成され且つパージ用気体供給源に直接的又は間接的に接続した通気孔と、
前記パージ用気体流路に連通し且つ前記ノズル本体と前記ホルダとの間に形成された圧力調整空間にパージ用気体を導入可能な導入路と、
前記パージ用気体流路のうち前記導入路よりも前記パージ用気体供給方向下流側に設けられ、且つ前記通気孔から前記パージ用気体流路に供給されたパージ用気体を前記導入路に優先して導入する導入路優先状態になり得る優先導入手段とを備えたものであり、
前記導入路優先状態にある前記優先導入手段により前記導入路を通じてパージ用気体を前記圧力調整空間に導入して前記圧力調整空間の圧力を上げることで、前記付勢手段の付勢力に抗して前記ノズル本体を前記ホルダに対して上昇移動させるように構成し、少なくとも前記パージ用気体流路のうち前記導入優先手段よりも前記パージ用気体供給方向上流側領域の圧力が所定値以上になった時点以降に前記導入路優先状態が解除されて前記通気孔から前記パージ用気体流路に供給されるパージ用気体の全部または略全部を前記導入優先手段よりも前記パージ用気体供給方向下流側に導入可能に構成していることを特徴とするパージノズルユニット。
【請求項２】
前記優先導入手段が、弁体と、前記導入路優先状態において前記弁体を気密状態で支持する弁座とを少なくとも備え、前記弁体に対して下方から作用するパージ用気体の圧力が前記所定値以上になった時点で前記弁体が弁座から離間するように構成したものである請求項１に記載のパージノズルユニット。
【請求項３】
前記優先導入手段を前記導入路の径よりも小さい径に設定したオリフィスによって構成している請求項１に記載のパージノズルユニット。
【請求項４】
請求項１乃至３の何れかに記載のパージノズルユニットを複数備え、パージ対象容器の底面に設けた複数のポートにそれぞれ前記パージノズルユニットの前記ノズル本体を連通させた状態で、前記パージ対象容器内の気体雰囲気を窒素又は乾燥空気に置換可能に構成していることを特徴とするパージ装置。
【請求項５】
クリーンルーム内において半導体製造装置に隣接して設けられ、搬送されてきたパージ対象容器であるＦＯＵＰを受け取り当該ＦＯＵＰ内に格納されているウェーハを前記半導体製造装置内と当該ＦＯＵＰ内との間でＦＯＵＰの前面に形成した搬出入口を介して出し入れするロードポートであって、
請求項４に記載のパージ装置を備えていることを特徴とするロードポート。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、パージ対象空間を有するパージ対象容器に対してパージ処理を行うパージノズルユニット、及びそのパージノズルユニットを備えたパージ装置並びにロードポートに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体の製造工程においては、歩留まりや品質の向上のため、クリーンルーム内でウェーハの処理がなされている。近年では、クリーンルーム内全体の清浄度向上に代わる方法として、ウェーハの周囲の局所的な空間についてのみ清浄度をより向上させる「ミニエンバイロメント方式」を取り入れ、ウェーハの搬送その他の処理を行う手段が採用されている。ミニエンバイロメント方式では、ウェーハを高清浄な環境で搬送・保管するためのＦＯＵＰ（Front-Opening Unified Pod）と呼ばれる格納用容器と、ＦＯＵＰ内のウェーハを半導体製造装置との間で出し入れするとともに搬送装置との間でＦＯＵＰの受け渡しを行うインターフェース部の装置であるロードポート（Load Port）が重要な装置として利用されている。
【０００３】
ところで、半導体製造装置内はウェーハの処理または加工に適した所定の気体雰囲気に維持されているが、ＦＯＵＰ内から半導体製造装置内にウェーハを送り出す際にはＦＯＵＰの内部空間と半導体製造装置の内部空間とが相互に連通することになる。したがって、ＦＯＵＰ内の環境が半導体製造装置内よりも低清浄度であると、ＦＯＵＰ内の気体が半導体製造装置内に進入して半導体製造装置内の気体雰囲気に悪影響を与え得る。また、ウェーハを半導体製造装置内からＦＯＵＰ内に収納する際に、ＦＯＵＰ内の気体雰囲気中の水分、酸素或いはその他のガス等によって、ウェーハの表面に酸化膜が形成され得るという問題もある。
【０００４】
このような問題に対応するための技術として、特許文献１には、ＦＯＵＰの扉をロードポートのドア部で開けて、ＦＯＵＰの内部空間と半導体製造装置の内部空間とを連通させた状態で、開口部よりも半導体製造装置側に設けたパージ部（パージノズル）により所定の気体（例えば窒素や不活性ガス等）をＦＯＵＰ内に吹き込むパージ装置を備えたロードポートが開示されている。
【０００５】
しかしながら、このような搬出入口を介して半導体製造装置の内部空間に開放されたＦＯＵＰ内にその前面側（半導体製造装置側）から所定の気体をＦＯＵＰ内に注入してＦＯＵＰ内を所定の気体雰囲気に置換するいわゆるフロントパージ方式のパージ装置は、ＦＯＵＰの開口部を開放して当該ＦＯＵＰの内部空間を半導体製造装置の内部空間全体に直接連通させた状態でパージ処理を行うため、ＦＯＵＰ内を高い所定気体雰囲気濃度に維持することが困難であり、所定の気体雰囲気の到達濃度が低いというデメリットがあった。
【０００６】
一方、特許文献２には、ウェーハが収納されているＦＯＵＰをロードポートの載置台に載置した状態で所定の気体（例えば窒素や不活性ガス等）をＦＯＵＰの底面側から内部に注入して充満させて、ＦＯＵＰ内を所定の気体雰囲気に置換するパージ装置を備えたロードポートが開示されている。このようなＦＯＵＰの底面側から窒素や乾燥空気等の気体をＦＯＵＰ内に注入してＦＯＵＰ内を所定の気体雰囲気に置換するいわゆるボトムパージ方式は、フロントパージ方式のパージ装置と比較して、所定の気体雰囲気の到達濃度が高いという利点がある。
【０００７】
ところで、ボトムパージ方式を採用した場合に、パージノズルが載置台の上向き面よりも常に上方に突出したものであれば、載置台上にＦＯＵＰが載置される時に、載置台上の位置決めピンによってＦＯＵＰが位置決めされる前に、パージノズルが、ＦＯＵＰの一部に当たったり、引っ掛かり易く、ＦＯＵＰを所期の位置に載置することができないという事態が生じる可能性がある。
【０００８】
特に、ＦＯＵＰはＯＨＴ(Overhead Hoist Transfer)などの搬送装置を介してロードポートの上方から載置台上に載置されるが、この搬送時や載置時にＦＯＵＰが揺れることによって上記不具合が発生し易くなる傾向がある他にも、ＦＯＵＰの底面に設けられる樹脂製部材であって、パージ処理時にはパージノズルと接触（密着）する注入部（パージ用ポート）が、パージ処理時よりも前の処理である載置台上へのＦＯＵＰの載置処理時にパージノズルと擦れ合って摩耗してしまう可能性もある。
【０００９】
そこで、特許文献２では、ＦＯＵＰの底面に設けた位置決め溝に載置台上の位置決めピンが係合した状態で、ノズルをＦＯＵＰの底面に形成したパージ用ポートに接触させるように、ノズルを駆動する駆動部を備えたパージ装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開２００９−０３８０７４号公報
【特許文献２】特開２０１１−１８７５３９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
特許文献２には、駆動部の具体例として、ノズルを保持するノズルホルダの両サイドにそれぞれ取り付けられた左右一対のエアシリンダと、両端部に各エアシリンダの作用端が接続され、且つ中央部にノズルが取り付けられた共通の昇降板とを備え、各エアシリンダが同期駆動させて昇降板を昇降移動させることでノズルを昇降させる態様が開示されている。
【００１２】
しかしながら、このような態様であれば、ノズルホルダの両サイドにそれぞれエアシリンダを取り付けなければならず、その分だけ少なくとも平面寸法がノズルホルダの平面寸法よりも大きくなり、コンパクト化を図ることが困難であるとともに、左右一対のエアシリンダを同期駆動させなければ昇降板の昇降動作、及び昇降板の昇降動作に伴うノズルホルダ並びにノズルの昇降移動が不安定となったり、昇降不能になる事態も想定される。
【００１３】
なお、このような不具合は、ロードポートのパージ装置に限らず、ロードポート以外のパージ装置、例えばストッカーのパージ装置やパージステーションのパージ装置にも生じ得ることである。
【００１４】
本発明は、このような課題に着目してなされたものであって、主たる目的は、所定の気体雰囲気の到達濃度が高いパージ処理を行うことが可能なボトムパージ方式を採用しつつ、部品点数の削減及びコンパクト化を実現可能なパージノズルユニット、及びこのようなパージノズルユニットを備えたパージ装置、並びにロードポートを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
すなわち本発明は、パージ対象容器の底面に設けたポートを通じてパージ対象容器内の気体雰囲気を窒素又は乾燥空気の何れかからなるパージ用気体に置換可能なパージノズルユニットに関するものである。ここで、本発明における「パージ対象容器」は、ＦＯＵＰなど内部にパージ対象空間を有する容器全般を包含する。
【００１６】
そして、本発明に係るパージノズルユニットは、下方から上方に向かうパージ用気体供給方向に沿って延伸するパージ用気体流路を内部に形成した胴部、及び胴部よりも側方に張り出した鍔部を有するノズル本体と、鍔部の外向き面に添接する側壁、及び胴部の外向き面を添接させ且つ挿通させた貫通孔を形成した底壁を有するホルダと、ノズル本体を下方へ付勢する付勢手段とを備え、さらに、胴部が、パージ用気体流路のうち前記パージ用気体供給方向下流側に形成され且つパージ用気体供給源に直接的又は間接的に接続した通気孔と、パージ用気体流路に連通し且つノズル本体とホルダとの間に形成された圧力調整空間にパージ用気体を導入可能な導入路と、パージ用気体流路のうち導入路よりもパージ用気体供給方向下流側に設けられ且つ通気孔からパージ用気体流路に供給されたパージ用気体を導入路に優先して導入する導入路優先状態になり得る優先導入手段とを備えたものであり、導入路優先状態にある優先導入手段により導入路を通じてパージ用気体を圧力調整空間に導入して圧力調整空間の圧力を上げることで、付勢手段の付勢力に抗してノズル本体をホルダに対して上昇移動させるように構成し、少なくともパージ用気体流路のうち導入優先手段よりもパージ用気体供給方向上流側領域の圧力が所定値以上になった時点以降に導入路優先状態が解除されて通気孔からパージ用気体流路に供給されるパージ用気体の全部または略全部を導入優先手段よりも前記パージ用気体供給方向下流側に導入可能に構成していることを特徴としている。
【００１７】
このように、本発明に係るパージノズルユニットであれば、パージ用気体流路に連通する導入路を通じて圧力調整空間にパージ用気体を導入して、圧力調整空間内の圧力を上げることにより、ノズル本体を付勢手段の付勢力に抗してホルダに対して昇降移動させるように構成しているため、これらのパーツ以外にノズル本体を昇降移動させるための専用の機構を別途設ける必要がなく、構造の簡素化及びコスト削減を有効に図ることができるとともに、パージ処理に用いるパージ用気体を、ノズル本体を昇降させる駆動源として兼用することができ、専用の駆動源を別途用意する必要がなく、この点においても有利である。
【００１８】
さらに、本発明に係るパージノズルユニットでは、パージ用気体流路のうち導入路よりもパージ用気体供給方向下流側に、パージ用気体流路に供給されたパージ用気体を導入路に優先して導入する導入路優先状態になり得る優先導入手段を配置し、導入路優先状態にある優先導入手段により導入路を通じてパージ用気体を圧力調整空間に適切且つスムーズに導入して圧力調整空間の圧力を上げることができる一方で、少なくともパージ用気体流路のうち導入優先手段よりもパージ用気体供給方向上流側領域の圧力が所定値以上になった時点以降に導入路優先状態が解除され、パージ用気体流路に供給されるパージ用気体の全部または略全部を導入優先手段よりもパージ用気体供給方向下流側に導入可能に構成しているため、圧力調整空間の圧力調整時におけるパージ用気体の供給口と、パージ処理時におけるパージ用気体の供給口を、パージ用気体流路に形成した共通の通気孔で実現することができる。特に、本発明では、導入優先手段よりもパージ用気体供給方向上流側領域の圧力の程度によって導入路優先状態にあるか否かが切り替わる優先導入手段を通気孔及び導入路よりもパージ用気体供給方向下流側に設けているため、パージ用気体流路のうち導入優先手段よりもパージ用気体供給方向上流側領域の圧力を所定値まで上げる処理、つまりノズル本体を上昇させる処理に引き続いて、パージ用気体をノズル本体のパージ用気体流路及びパージ対象容器の底面に設けたポートを通じてパージ対象容器内に注入するパージ処理を行うことが可能になり、ノズル本体を上昇させる処理とパージ処理とを連続して行うことができ、これらの処理を時間差でしか行うことができない構成と比較して、処理効率の向上を図ることができる。
【００１９】
また、ノズル本体、ホルダ及び付勢手段の３パーツをユニット化してなる本発明のパージノズルユニットであれば、パージノズルユニット全体のコンパクト化も実現することができるとともに、例えば複数本のシリンダを同時に伸縮させることでノズル本体を昇降移動させる態様と比較して、シリンダを同時に伸縮させる制御が不要であり、圧力調整空間内の圧力を調整する比較的簡単な制御でノズル本体を精度高く昇降移動させることができ、信頼性が向上する。
【００２０】
加えて、本発明に係るパージノズルユニットでは、ノズル本体のうち鍔部の外向き面がホルダのうち側壁の内向き面に添接し且つノズル本体のうち胴部の外向き面がホルダのうち底壁の貫通孔に添接した状態でノズル本体を昇降移動させることができ、ノズル本体の昇降移動をスムーズ且つ適切に行うことができる。
【００２１】
特に、本発明のパージノズルユニットにおける優先導入手段の具体例としては、弁体と、導入路優先状態において弁体を気密状態で支持する弁座とを少なくとも備え、弁体に対して下方（パージ用気体供給方向上流側）から作用するパージ用気体の圧力が上述の所定値（導入路優先状態が解除される所定値）以上になった時点で弁体が弁座から離間するように構成したものを挙げることができる。このような優先導入手段であれば、簡素な構造でありながら、弁体が気密状態で弁座に支持されている状態で導入路優先状態を実現でき、弁体が、下方から受ける圧力に応じて弁座から離間することにより導入路優先状態を解除した状態を実現することができる。
【００２２】
優先導入手段の異なる一例としては、導入路の径よりも小さい径に設定したオリフィスによって構成した態様を挙げることができる。この場合、通気孔からパージ用気体に供給されオリフィスのパージ用気体供給方向上流端に達したパージ用気体は、導入路よりも径が絞られたオリフィスに優先して導入路へと流れ、圧力調整空間内に導入される。そして、オリフィスよりもパージ用気体供給方向上流側領域の圧力が所定値以上になった時点でパージ用気体がオリフィスを通過する状態、すなわち「導入路優先状態を解除した状態」になる。
【００２３】
また、本発明のパージ装置は、上述したパージノズルユニットを複数備え、パージ対象容器の底面に設けた複数のポートにそれぞれパージノズルユニットのノズル本体を連通させた状態で、パージ対象容器内の気体雰囲気を窒素又は乾燥空気に置換可能に構成していることを特徴としている。
【００２４】
また、本発明のロードポートは、クリーンルーム内において半導体製造装置に隣接して設けられ、搬送されてきたパージ対象容器であるＦＯＵＰを受け取りＦＯＵＰ内に格納されているウェーハを半導体製造装置内とＦＯＵＰ内との間でＦＯＵＰの前面に形成した搬出入口を介して出し入れするものであり、上述した構成をなすパージ装置を備えていることを特徴としている。
【００２５】
このようなパージ装置及びロードポートであれば、パージノズルユニットにより、上述した作用効果を奏するものとなり、コンパクト化を図ることが可能な構造でありながら、所定の気体雰囲気の到達濃度が高いパージ処理を効率良く的確に行うことができる。
【発明の効果】
【００２６】
本発明によれば、ノズル本体とホルダとの間に形成した空間内にパージ用気体を導入して気圧を調整することによって、ノズル本体自体を昇降させるという斬新な技術的思想を採用したことによって、パージ対象容器に対して所定の気体雰囲気の到達濃度が高いパージ処理を行うことができるとともに、部品点数の削減及びコンパクト化を実現可能なパージノズルユニット、及びそのようなパージノズルユニットを用いて構成したパージ装置、並びにそのパージ装置を備えたロードポートを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明の一実施形態に係るロードポートの全体構成図。
【図２】同実施形態においてノズル本体が待機位置にあるパージノズルユニットの断面模式図。
【図３】同実施形態における優先導入手段の断面模式図。
【図４】同実施形態においてノズル本体がパージ位置にあるパージノズルユニットの図２対応図。
【図５】同実施形態における優先導入手段の他の一例を図２に対応して示す図。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下、本発明の一実施形態を、図面を参照して説明する。
【００２９】
本実施形態に係るパージノズルユニット１は、例えば図１に示すロードポートＸに適用されるパージ装置Ｐに取付可能なものである。ロードポートＸは、半導体の製造工程において用いられ、クリーンルーム内において半導体製造装置（図示省略）に隣接して配置されるものであり、本発明のパージ対象容器の一例であるＦＯＵＰ１００の扉にドア部Ｄを密着させて開閉し、半導体製造装置との間でＦＯＵＰ１００内に収容された被収容体であるウェーハ（図示省略）の出し入れを行うものである。
【００３０】
本実施形態で適用するＦＯＵＰ１００は、内部に複数枚のウェーハを収容し、前面に形成した搬出入口を介してこれらウェーハを出し入れ可能に構成され、搬出入口を開閉可能な扉を備えた既知のものであるため、詳細な説明は省略する。なお、本実施形態においてＦＯＵＰ１００の前面とは、ロードポートＸに載置した際にロードポートＸのドア部Ｄと対面する側の面を意味する。ＦＯＵＰ１００の底面には、後述する図２に示すように、パージ用のポート１０１が所定箇所に設けられている。ポート１０１は、例えば、ＦＯＵＰ１００の底面に形成した開口部１０２に嵌め込まれた中空筒状のグロメットシールを主体としてなり、グロメットシール内に、後述する窒素や不活性ガス又は乾燥空気等の気体（本実施形態では窒素ガスを用いており、以下の説明では「パージ用気体」と称する場合がある）の注入圧または排出圧によって閉状態から開状態に切り替わる弁（図示省略）を設けている。
【００３１】
半導体製造装置は、例えば、相対的にロードポートＸから遠い位置に配置される半導体製造装置本体と、半導体製造装置本体とロードポートＸとの間に配置される移送室とを備えたものであり、移送室内に、例えばＦＯＵＰ１００内のウェーハを１枚ずつＦＯＵＰ１００内と移送室内との間、及び移送室内と半導体製造装置本体内との間で移送する移送機を設けている。なお、ＦＯＵＰ１００と半導体製造装置（半導体製造装置本体及び移送室）との間でウェーハを複数枚格納したカセットごと移送することも可能である。このような構成により、クリーンルームにおいて、半導体製造装置本体内、移送室内、及びＦＯＵＰ１００内は高清浄度に維持される一方、ロードポートＸを配置した空間、換言すれば半導体製造装置本体外、移送室外、及びＦＯＵＰ１００外は比較的低清浄度となる。
【００３２】
ロードポートＸは、図１に示すように、起立姿勢で配置されてＦＯＵＰ１００の搬出入口に連通し得る開口部を開閉可能なドア部Ｄを有するフレームＦと、フレームＦのうち半導体製造装置から遠ざかる方向に略水平姿勢で延伸する載置台Ｂと、ＦＯＵＰ１００内にパージ用気体を注入し、ＦＯＵＰ１００内の気体雰囲気を窒素ガスなどのパージ用気体に置換可能なパージ装置Ｐとを備えたものである。
【００３３】
フレームＦに設けたドア部Ｄは、ＦＯＵＰ１００を載置台Ｂに載置した状態においてＦＯＵＰ１００の前面に設けた扉（図示省略）に密着した状態でその扉を開けて搬出入口を開放する開放位置と、搬出入口を閉止する閉止位置との間で作動可能なものである。ドア部Ｄを開放位置と閉止位置との間で少なくとも昇降移動させるドア昇降機構（図示省略）としては既知のものを適用することができる。
【００３４】
載置台Ｂは、フレームＦのうち高さ方向中央部からやや上方寄りの位置に略水平姿勢で配置されたものであり、上向きに突出させた複数の位置決め用突起Ｂ１（キネマティックピン）を有する。そして、これらの位置決め用突起Ｂ１をＦＯＵＰ１００の底面に形成された位置決め用凹部（図示省略）に係合させることで、載置台Ｂ上におけるＦＯＵＰ１００の位置決めを図っている。位置決め用突起Ｂ１の一例としては、対向する傾斜壁面からなる断面視下向きＶ字状の位置決め用凹部に接触する上部を曲面状にし、この上部曲面を位置決め用凹部の各傾斜壁面にバランスよく接触可能に構成した態様を挙げることができる。また、載置台Ｂには、ＦＯＵＰ１００が載置台Ｂ上に所定の位置に載置されているか否かを検出する着座センサＢ２を設けている。位置決め用突起Ｂ１及び着座センサＢ２の構造や配置箇所は規格などに応じて適宜設定・変更することができる。なお、載置台Ｂとして、載置状態にあるＦＯＵＰ１００を、その搬出入口（扉）がフレームＦの開口部（ドア部Ｄ）に最も近付く位置と開口部（ドア部Ｄ）から所定距離離間した位置との間で移動させる移動機構を備えたものを適用することもできる。
【００３５】
パージ装置Ｐは、載置台Ｂ上に上端部を露出させた状態で所定箇所に配置される複数のパージノズルユニット１を備え、これら複数のパージノズルユニット１を、パージ用気体を注入する注入用パージノズルユニットや、ＦＯＵＰ１００内の気体雰囲気を排出する排出用パージノズルユニットとして機能させている。パージノズルユニットの総数に占める注入用パージノズルユニット及び排出用パージノズルユニットの比率は、同率であってもよいし、何れか一方が他方よりも大きくてもよい。
【００３６】
これら複数のパージノズルユニット１は、ＦＯＵＰ１００の底面に設けたポート１０１の位置に応じて載置台Ｂ上の適宜位置に取り付けることができる。各パージノズルユニット１（注入用パージノズルユニット、排出用パージノズルユニット）は、気体の逆流を規制する弁機能を有するものであり、ＦＯＵＰ１００の底部に設けたポート１０１に接触可能なものである。なお、ＦＯＵＰ１００の底部に設けた複数のポート１０１のうち、注入用パージノズルユニット１に接触するポート１０１は注入用ポートとして機能し、排出用パージノズルユニット１に接触するポート１０１は排出用ポートとして機能する。
【００３７】
各パージノズルユニット１は、図２（図２はパージノズルユニット１の断面模式図である）に示すように、ノズル本体２と、ノズル本体２を昇降可能な状態で保持するホルダ３と、ノズル本体２を下方へ付勢する付勢手段４とを備えたものである。
【００３８】
ノズル本体２は、円筒状の胴部２１と、胴部２１よりも側方に張り出した鍔部２２とを備えたものである。本実施形態では、胴部２１の軸心部分には高さ方向に貫通するパージ用気体流路２３を形成している。以下の説明では、パージ用気体流路２３のうち、上方に開口している上端部分を上方開口部２４と称する場合がある。胴部２１の上向き面には、ポート１０１（注入用ポート、排出用ポート）に接触可能なポート接触部２５を設けている。本実施形態では、ポート接触部２５を、胴部２１の水平な上向き面よりも上方に突出したリング状の上方突出部によって構成している。また、鍔部２２の外側面には後述するホルダ３の側壁３１に接触するシール部材５を取り付けている。
【００３９】
ホルダ３は、ノズル本体２の鍔部２２の外向き面（外周面）が添接する側壁３１と、側壁３１の下端部から内方（中心側）に突出してノズル本体２のうち胴部２１のみが挿通可能な下側貫通孔３２を中央部に形成した底壁３３と、側壁３１の上端部から内方（中心側）に突出してノズル本体２のうち胴部２１のみが挿通可能な上側貫通孔３４を中央部に形成した天井壁３５とを備えている。また、底壁３３に形成した下側貫通孔３２の開口径及び天井壁３５に形成した上側貫通孔３４の開口径は、ノズル本体２のうち昇降移動時に対面する胴部２１の外向き面と添接し得る大きさに設定されている。下側貫通孔３２の内向き面及び上側貫通孔３４の内向き面には、それぞれノズル本体２の胴部２１に接触するシール部材５を取り付けている。
【００４０】
このようなホルダ３にノズル本体２を保持させた状態において、ホルダ３とノズル本体２との間に空間が形成される。そして、本実施形態では、この空間のうちノズル本体２の胴部２１及び鍔部２２とホルダ３の側壁３１及び天井壁３５によって仕切られる空間Ｓ１に付勢手段４を配置している。本実施形態では、付勢手段４として、ノズル本体２の鍔部２２とホルダ３の天井壁３５との間に圧縮状態で配置したコイルバネを適用している。この付勢手段４の復元力が鍔部２２、ひいてはノズル本体２全体を下方へ付勢する付勢力として作用する。
【００４１】
また、本実施形態では、ホルダ３とノズル本体２の間に形成される空間のうちノズル本体２の胴部２１及び鍔部２２とホルダ３の側壁３１及び底壁３３によって仕切られる空間を圧力調整空間Ｓ２として機能させている。本実施形態では、鍔部２２と側壁３１との間、及び胴部２１と底壁３３との間にそれぞれシール部材５を介在させることで、圧力調整空間Ｓ２の高い気密性を確保している。
【００４２】
そして、本実施形態に係るパージノズルユニット１は、ノズル本体２の胴部２１に、パージ用気体流路２３のうちパージ用気体供給方向Ａ下流側に形成され且つパージ用気体供給源Ｖ１に配管Ｈを介して接続された通気孔２６と、パージ用気体流路２３に連通し且つ圧力調整空間Ｓ２にパージ用気体を導入可能な導入路２７と、パージ用気体流路２３のうち導入路２７よりも上方開口部２４側（パージ用気体供給方向Ａ下流側）に設けられ且つ通気孔２６からパージ用気体流路２３に供給されたパージ用気体をパージ用気体流路２３の上方開口部２４よりも優先して導入路２７に導入する導入路優先状態になり得る優先導入手段２８を設けている。
【００４３】
本実施形態のパージノズルユニット１では、パージ用気体流路２３における下方に開口した下端部分を通気孔２６として機能させている。なお、パージ用気体流路２３が下方に開口していない有底筒状のものである場合には、パージ用気体流路２３のうち下端領域側の側面に、胴部２１を厚み方向に貫通する孔を形成し、その孔を通気孔として機能させればよい。本実施形態では、通気孔２６に配管Ｈを接続し、この配管Ｈ及び通気孔２６を通じてパージ用気体をパージ用気体流路２３内に注入可能に構成している。
【００４４】
導入路２７は、パージ用気体流路２３のうち通気孔２６よりも上方開口部２４側（パージ用気体供給方向Ａ下流側）に設けられ、胴部２１を厚み方向に貫通する孔によって形成したものである。本実施形態では、胴部２１の軸心を挟んで径方向に対向する２箇所（言い換えれば、胴部２１の周方向に１８０度ずらした位置）にそれぞれ導入路２７を形成している。導入路２７の基端はパージ用気体流路２３に連通し、先端は圧力調整空間Ｓ２に連通している。また、導入路２７の径は、パージ用気体流路２３の径よりも小さく設定されている。
【００４５】
優先導入手段２８は、図３に示すように、弁体２８１と、弁体２８１を支持する弁座２８２とを備え、所定値以上の圧力が弁体２８１に作用した場合に、弁体２８１が弁座２８２から離間することによって、弁座２８２に形成した弁開口部２８３が開放するように構成したものである。すなわち、優先導入手段２８は、チェック弁や逆支弁と称される弁を用いて構成することができる。なお、図２では優先導入手段２８の外縁形状だけを模式的に示している。
【００４６】
本実施形態で用いる優先導入手段２８は、パージ用気体流路２３の内向き面に対して隙間の無い状態で適宜の手段によって固定可能な中空のケーシング２８４内に、弁体２８１と、この弁体２８１を弁座２８２として機能するケーシング２８４の底壁２８５に向かって付勢する圧縮コイルバネ２８６とを配置している。ケーシング２８４の底壁２８５には弁体２８１の底部面積よりも小さい開口径に設定した弁開口部２８３を形成し、ケーシング２８４の天井壁２８７には、弁体２８１の先端部があそびを持った状態で挿通可能な挿通孔２８８を形成している。
【００４７】
このような構成を有する優先導入手段２８は、圧縮コイルバネ２８６の付勢力によって下方に付勢された弁体２８１が弁座２８２に密着して弁座２８２の弁開口部２８３を閉止した状態（弁閉止状態）と、弁体２８１が下方から受ける所定値以上の圧力によって上昇して弁座２８２から離間し、弁開口部２８３と挿通孔２８８がケーシング２８４の内部空間を介して相互に連通する状態（弁開放状態：図示省略）との切替可能であり、弁閉止状態が、本発明の「導入路優先状態」に相当し、弁開放状態が、本発明の「導入路優先状態が解除された状態」に相当する。
【００４８】
本実施形態では、このような胴部２１を備えたノズル本体２とホルダ３と付勢手段４によってパージノズルユニット１を構成し、ノズル本体２をホルダ３に対して昇降移動させるように構成している。また、本実施形態に係るパージノズルユニット１は、ノズル本体２をホルダ３に対して昇降移動させる駆動源としてパージ用気体を適用し、導入路２７を通じてパージ用気体を圧力調整空間Ｓ２内に供給したり、または圧力調整空間Ｓ２内のパージ用気体を圧力調整空間Ｓ２外に排出することで圧力調整空間Ｓ２の圧力を調整し、ノズル本体２をホルダ３に対して昇降移動させるように構成している。
【００４９】
本実施形態では、通気孔２６に接続した配管Ｈに、この配管Ｈ及び通気孔２６を通じてパージ用気体をパージ用気体流路２３に注入するパージ・加圧状態と、パージノズルユニット１内においてパージ用気体が流通可能な空間（パージ用気体流通可能空間）のうち優先導入手段２８よりも通気孔２６側（パージ用気体供給方向Ａ上流側）の空間内、具体的には、パージ用気体流路２３のうち優先導入手段２８よりも通気孔２６側の空間内、導入路２７内、及び圧力調整空間Ｓ２内を真空引きして圧力調整空間Ｓ２の圧力を下げる負圧状態とに切替可能な切替部Ｖ（例えば電磁弁（ソレノイドバルブ））を接続し、この切替部Ｖの作動を制御することによって、ノズル本体２がホルダ３に対して昇降移動するように構成している。この切替部Ｖには、パージ用気体供給源Ｖ１及びバキューム源Ｖ２をパラレルで接続している。
【００５０】
本実施形態では、圧力調整空間Ｓ２内の圧力を調整することによって、ノズル本体２を、図２に示す位置、すなわちノズル本体２の上向き面（胴部２１の上向き面）とホルダ３の上向き面（天井壁３５の上向き面）がほぼ同じ高さ位置にあり、且つポート接触部２５がＦＯＵＰ１００のポート１０１に接触しない待機位置（ａ）と、図４に示す位置、すなわちノズル本体２の上向き面（胴部２１の上向き面）がホルダ３の上向き面（天井壁３５の上向き面）よりも高い位置にあり、且つノズル本体２のポート接触部２５がＦＯＵＰ１００のポート１０１に接触可能なパージ位置（ｂ）と間で昇降移動させることができる。ノズル本体２の昇降移動時には、ノズル本体２のうち鍔部２２の外向き面がホルダ３本体３４のうち側壁３１の内向き面に摺接するとともに、ノズル本体２のうち胴部２１の外向き面が底壁３３に形成した下側貫通孔３２の内向き面及び天井壁３５に形成した上側貫通孔３４の内向き面に摺接するように構成し、ノズル本体２の昇降移動をスムーズ且つ適切に行えるようにしている。
【００５１】
以上に詳述した本実施形態に係るパージノズルユニット１は、ユニット化した状態でロードポートＸの載置台Ｂにおける複数の所定箇所（本実施形態では載置台Ｂの四隅近傍）に取り付けることで、載置台Ｂ上に載置されるＦＯＵＰ１００内の気体雰囲気をパージ用気体に置換可能なパージ装置Ｐとして機能する。なお、載置台Ｂに対する各パージノズルユニット１の取付処理は、ネジなどの適宜の固定具を用いて載置台Ｂの所定箇所に固定することで実現できる。この固定状態において、ホルダ３の上向き面が載置台Ｂの上向き面とほぼ同じレベルとなるように設定している。
【００５２】
次に、このような構成をなすパージノズルユニット１を載置台Ｂに実装したロードポートＸの使用方法及び作用について説明する。
【００５３】
先ず、図示しないＯＨＴ等の搬送装置によりＦＯＵＰ１００がロードポートＸに搬送され、載置台Ｂ上に載置される。この際、切替部Ｖを負圧状態に設定しておくことで、ノズル本体２を待機位置（ａ）に位置付けることができ、位置決め用突起Ｂ１がＦＯＵＰ１００の位置決め用凹部に嵌まって接触することによってＦＯＵＰ１００を載置台Ｂ上の所定の正規位置に載置することができる。また、着座センサＢ２によりＦＯＵＰ１００が載置台Ｂ上の正規位置に載置されたことを検出する。この時点では、ノズル本体２は待機位置（ａ）にあるため、ポート１０１に接触することはない。すなわち、ノズル本体２の待機位置（ａ）は、位置決め用凹部に位置決め用突起Ｂ１が係合してＦＯＵＰ１００が載置台Ｂ上に載置された状態において、ノズル本体２の上端（ポート接触部２５）がＦＯＵＰ１００に設けたポート１０１の下端よりも低くなる位置である。
【００５４】
そして、本実施形態のロードポートＸは、着座センサＢ２によりＦＯＵＰ１００の正規の着座状態を検出した後、切替部Ｖを負圧状態からパージ・加圧状態に切り替えて、ノズル本体２を待機位置（ａ）からパージ位置（ｂ）へ上昇移動させる。すなわち、胴部２１に形成した通気孔２６及びこの通気孔２６に接続している配管Ｈを通じてパージ用気体流路２３に供給されたパージ用気体は、導入路優先状態（弁閉止状態）にある優先導入手段２８によりパージ用気体流路２３の上方開口部２４へは導入されずに、導入路２７を通じて圧力調整空間Ｓ２に導入される。すると、圧力調整空間Ｓ２の圧力は上昇し、付勢手段４によって下方に付勢されているノズル本体２は、付勢手段４の付勢力に抗してパージ位置（ｂ）まで上昇移動する。本実施形態では、胴部２１の外周面に段部２９を設け、この段部２９がホルダ３の天井壁３５の下向き面に当たることによってそれ以上のノズル本体２の上昇移動を規制している（図４参照）。
【００５５】
ノズル本体２がパージ位置（ｂ）まで上昇移動し終えた時点以降も引き続いて切替部Ｖをパージ・加圧状態にしておき、配管Ｈ及び通気孔２６を通じてパージ用気体流路２３にパージ用気体を供給し続けると、そのパージ用気体は、それ以上継続して導入路２７を流れて圧力調整空間Ｓ２に導入されることなく、パージ用気体流路２３のうち優先導入手段２８よりもパージ用気体供給方向Ａ上流側領域（下方開口部２６側領域）の圧力を上げる気体として作用する。
【００５６】
そして、パージ用気体流路２３のうち優先導入手段２８よりもパージ用気体供給方向Ａ上流側領域の圧力が所定値以上になった時点で、優先導入手段２８の弁体２８１が圧縮コイルバネ２８６の付勢力に抗して上昇し、弁体２８１と弁座２８２との気密状態が解除され、優先導入手段２８は、導入路優先状態（弁閉止状態）から、弁座２８２の弁開口部２８３とケーシング２８４の挿通孔２８８がケーシング２８４の内部空間を介して相互に連通する弁開放状態に切り替わる。この時点（優先導入手段２８が導入路優先状態から弁開放状態に切り替わった時点）以降に通気孔２６からパージ用気体流路２３に供給されるパージ用気体の全部または略全部は、優先導入手段２８を通過して上方開口部２４に向かって流れる。
【００５７】
その結果、本実施形態に係るパージノズルユニット１は、図４に示すように、ノズル本体２のポート接触部がポート１０１の下端に接触し、ポート１０１の内部空間１０３とノズル本体２のパージ用気体流路２３が連通した状態になり、パージ用気体を、パージ用気体流路２３及びポート１０１の内部空間１０３を通じてＦＯＵＰ１００内に注入する（パージ処理を実施する）ことができる。これにより、ＦＯＵＰ１００内に充満していた気体は、排出用ポート及び排出用パージノズルユニット１を通じてＦＯＵＰ１００外へ排出される。なお、排出処理を注入処理よりも先に開始してＦＯＵＰ１００内のエアをある程度ＦＯＵＰ１００外へ排出してＦＯＵＰ１００内を減圧した状態で注入処理を行うようにしてもよい。
【００５８】
以上のようなパージ処理を行った後、あるいはパージ処理中に、本実施形態のロードポートＸは、フレームＦの開口部に連通するＦＯＵＰ１００の搬出入口を通じて、ＦＯＵＰ１００内のウェーハを半導体製造装置内に順次払い出す。半導体製造装置内に移送されたウェーハは引き続いて半導体製造装置本体による半導体製造処理工程に供される。半導体製造装置本体により半導体製造処理工程を終えたウェーハはＦＯＵＰ１００内に順次格納される。
【００５９】
本実施形態のロードポートＸでは、ウェーハの出し入れ時においてもパージ装置Ｐによるボトムパージ処理を継続して行うことが可能であり、ウェーハを出し入れする間もＦＯＵＰ１００内の気体雰囲気を窒素ガスなどのパージ用気体に置換し続けて、高濃度に保つことができる。
【００６０】
全てのウェーハが半導体製造処理工程を終えてＦＯＵＰ１００内に収納されると、ドア部ＤをＦＯＵＰ１００の扉に密着させた状態で開放位置から閉止位置に移動させる。これにより、ロードポートＸの開口部及びＦＯＵＰ１００の搬出入口は閉止される。引き続き、載置台Ｂに載置されているＦＯＵＰ１００は図示しない搬送機構により次工程へと運び出される。なお、必要であれば、半導体製造処理工程を終えたウェーハを収納したＦＯＵＰ１００に対して再度ボトムパージ処理を行うようにしてもよい。このようにすれば、半導体製造処理工程を終えたウェーハを収納したＦＯＵＰ１００に対して直ぐにパージ処理を開始することができ、処理済みのウェーハの酸化防止を図ることができる。
【００６１】
以上に詳述したように、本実施形態に係るロードポートＸは、パージ装置Ｐによるボトムパージ処理により、ＦＯＵＰ１００内におけるパージ用気体の充填度（置換度）を高い値に維持することができる。
【００６２】
また、共通のＦＯＵＰ１００内に収容される複数のウェーハのうち、最初に半導体製造処理工程を終えてＦＯＵＰ１００内に収容されたウェーハは、最後に半導体製造処理工程を経るウェーハがＦＯＵＰ１００内に収容されるまで、通常であればＦＯＵＰ１００内においてウェーハの出し入れ作業時間の経過とともにパージ用気体の充填度（置換度）が低下する気体雰囲気に晒されることにより僅かながらも悪影響を受け得るが、パージ装置Ｐによりパージ用気体をＦＯＵＰ１００内に注入することにより、ＦＯＵＰ１００内におけるパージ用気体充填度（置換度）の低下を効果的に抑制することができ、ウェーハを良好な状態でＦＯＵＰ１００内に収納しておくことができる。
【００６３】
また、半導体製造処理工程を終えたウェーハが収納されているＦＯＵＰ１００を搬送機構に受け渡す際、または受け渡した後の所定のタイミングで、パージ用気体供給源Ｖ１からパージ用気体をパージ用気体流路２３に供給する処理を停止すると、優先導入手段２８の弁体２８１は弁座２８２に密着して弁開口部２８３を閉止し、その時点でパージ用気体流路２３のうち優先導入手段２８よりも上方開口部２４側（パージ用気体供給方向Ａ下流側）の領域に存在するパージ用気体は大気中に開放される。また、パージ用気体流路２３のうち優先導入手段２８よりも下方側の領域は、切替部Ｖをパージ・加圧状態から負圧状態に切り替えることで、通気孔２６及びこの通気孔２６に接続している配管Ｈを通じて真空引きされる。これにより、圧力調整空間Ｓ２の圧力は下がり、付勢手段４の付勢力（弾性復元力）によってホルダ３に対して下降するノズル本体２をパージ位置（ｂ）から待機位置（ａ）に移動させることができる。その結果、次に処理すべき未処理のウェーハが収納されているＦＯＵＰ１００を搬送機構から載置台Ｂ上に受け取る際に、ノズル本体２がＦＯＵＰ１００の下向き面に干渉する事態を防止することができる。なお、バキューム源Ｖ２を設けずに、パージ用気体流路２３のうち優先導入手段２８よりも通気孔２６側の空間内、導入路２７内、及び圧力調整空間Ｓ２内のパージ用気体をノズル本体２の下降に伴って自然排気するように構成してもよい。
【００６４】
このように、ノズル本体２、ホルダ３及び付勢手段４の３パーツをユニット化してなる本実施形態のパージノズルユニット１は、パージ用気体流路２３に連通する導入路２７を通じて圧力調整空間Ｓ２にパージ用気体を導入して、圧力調整空間Ｓ２内の圧力を上げることにより、ノズル本体２を付勢手段４の付勢力に抗してホルダ３に対して昇降移動させるように構成しているため、これらのパーツ以外にノズル本体２を昇降移動させるための専用の機構を別途設ける必要がない上に、パージ処理に用いるパージ用気体を、ノズル本体２を昇降させる駆動源として併用することができ、専用の駆動源を別に準備する必要がなく、これらの点において構造の簡素化及びコスト削減を有効に図ることができる。
【００６５】
さらに、本実施形態に係るパージノズルユニット１では、パージ用気体流路２３のうち導入路２７よりも上方開口部２４側（パージ用気体供給方向Ａ下流側）に、パージ用気体流路２３に供給されたパージ用気体を導入路２７に優先して導入する導入路優先状態になり得る優先導入手段２８を配置し、導入路優先状態にある優先導入手段２８により導入路２７を通じてパージ用気体を圧力調整空間Ｓ２に適切且つスムーズに導入して圧力調整空間Ｓ２の圧力を上げることができる一方で、少なくともパージ用気体流路２３のうち優先導入手段２８よりもパージ用気体供給方向Ａ上流側領域の圧力が所定値以上になった時点以降に導入路優先状態が解除され、パージ用気体流路２３に供給されるパージ用気体の全部または略全部を上方開口部２４に向かって導入可能に構成しているため、圧力調整空間Ｓ２の圧力調整時におけるパージ用気体の供給出入口と、パージ処理時におけるパージ用気体の供給出入口を、パージ用気体流路２３に形成した共通の通気孔２６で実現することができる。特に、本実施形態では、優先導入手段２８よりもパージ用気体供給方向Ａ上流側領域の圧力の程度によって導入路優先状態にあるか否かが切り替わる優先導入手段２８を通気孔２６及び導入路２７よりも上方開口部２４側に設けているため、パージ用気体流路２３のうち優先導入手段２８よりもパージ用気体供給方向Ａ上流側領域の圧力を所定値まで上げる処理、つまりノズル本体２を上昇させる処理に引き続いて、パージ用気体をノズル本体２の上方開口部２４及びＦＯＵＰ１００の底面に設けたポート１０１を通じてＦＯＵＰ１００に注入するパージ処理を行うことが可能になり、ノズル本体２を上昇させる処理とパージ処理とを連続して行うことができ、これらの処理を連続して行うことができない構成と比較して、処理効率の向上及び処理に要する時間（タクトタイム）の短縮化を図ることができる。
【００６６】
また、ノズル本体２、ホルダ３及び付勢手段４の３パーツをユニット化してなる本実施形態のパージノズルユニット１は、例えば複数本のシリンダを同時に伸縮させることでノズル本体２を昇降移動させる態様と比較して、シリンダを同時に伸縮させる制御が不要であり、圧力調整空間Ｓ２内の圧力を調整する比較的簡単な制御でノズル本体２を精度高く昇降移動させることができ、信頼性が向上する。また、本実施形態のパージノズルユニット１は、ホルダ３をシリンダとみなした場合に、ノズル本体２をピストン（シリンダシャフト）として作動させることによって、ノズル本体２の昇降動作を実現しているため、これらのパーツ以外にノズル本体２を昇降移動させるための機構を別途設ける必要がなく、部品点数の削減及びコスト削減を図ることができるのみならず、パージノズルユニット１全体のコンパクト化も実現することができる。
【００６７】
加えて、本実施形態に係るパージノズルユニット１では、ノズル本体２のうち鍔部２２の外向き面がホルダ３のうち側壁３１の内向き面に添接し且つノズル本体２のうち胴部２１の外向き面がホルダ３のうち底壁３３の貫通孔に添接した状態でノズル本体２を昇降移動させることができ、ノズル本体２の昇降移動をスムーズ且つ適切に行うことができる。
【００６８】
特に、本実施形態のパージノズルユニット１では、優先導入手段２８として、弁体２８１と、導入路優先状態において弁体２８１を気密状態で支持する弁座２８２とを少なくとも備え、弁体２８１に対して下方から作用するパージ用気体の圧力が上述の所定値（導入路優先状態が解除される所定値）以上になった時点で弁体２８１が弁座２８２から離間するように構成したもの適用している。このような優先導入手段２８を適用することによって、簡素な構造でありながら、弁体２８１が気密状態で弁座２８２に支持されている状態で導入路優先状態を実現でき、弁体２８１が、下方から受ける圧力に応じて弁座２８２から離間することにより導入路優先状態を解除した状態を実現することができる。
【００６９】
なお、本発明は上述した実施形態に限定されるものではない。例えば、優先導入手段として、図５に示すように、パージ用気体流路２３の一部を導入路の径よりも小さい径に設定することで形成可能なオリフィス２８Ａを用いて構成した態様を採用することができる。この場合、通気孔２６からパージ用気体流路２３に供給されてオリフィス２８Ａのパージ用気体供給方向Ａ上流端に到達したパージ用気体は、導入路２７よりも径が絞られたオリフィス２８Ａよりも優先して導入路２７へと流れ、圧力調整空間Ｓ２内に導入される。この状態が、導入路優先状態である。そして、オリフィス２８Ａよりもパージ用気体供給方向Ａ上流側領域の圧力が所定値以上になった時点でパージ用気体がオリフィス２８Ａを通過する状態、すなわち「導入路優先状態を解除した状態」に切り替わる。
【００７０】
このように、オリフィス２８Ａを用いて優先導入手段を実現した場合は、チェックバルブ等の弁機構を利用して優先導入手段を実現する態様と比較して、構造の簡素化及び部品点数の削減を図ることができる。
【００７１】
また、上述した実施形態では、圧力調整空間に通じる導入路の数を２に設定した態様を例示したが、圧力調整空間に連通する導入路の数を１つ或いは３以上に設定してもよい。
【００７２】
また、ノズル本体２を、ポートと接触し得るポート接触部を有するノズル頭部と、それ以外のパーツである本体部とから構成し、本体部に対してノズル頭部を、圧入や、螺合、係合、或いは接着などによって一体的に組付可能に構成することもできる。この場合、ノズル本体の本体部とノズル頭部とを別々のパーツから構成しているため、ノズル本体のうちポートと接触し得るポート接触部が、経年劣化や使用頻度に応じて摩耗損傷・変形した場合であっても、使用中のノズル頭部に替えて、新品のノズル頭部、あるいは摩耗損傷・変形していていない別のノズル頭部に交換することによって、ポートとの高い気密性を確保した良好な接触状態を確保することができる。
【００７３】
さらにまた、圧力調整空間の気密性を確保できる構成であれば、ノズル本体とホルダの間にシール部材を介在させなくてもよい。
【００７４】
ノズル本体に形成した通気孔をパージ用気体供給源に切替弁を介さずに直通するように構成することもできる。この場合、パージ位置まで上昇したノズル本体を待機位置まで下降移動させる際に、パージ用気体流通空間のうち優先導入手段よりも下方側の空間を積極的に真空引きすることはできないが、部材同士の適当な隙間や優先導入手段を構成する弁体と弁座の隙間、或いはオリフィスなどから大気中へ放出されることで、圧力調整空間の圧力は下がり、付勢手段の付勢力（弾性復元力）によってノズル本体をホルダに対して下降移動させることができる。
【００７５】
また、上述した実施形態では、パージ対象容器としてＦＯＵＰを例示したが、他の容器（キャリア）であってもよく、パージ対象容器内に収容される被収容体も、ウェーハに限らず、表示デバイスや光電変換デバイスなどに用いられるガラス基板であっても構わない。
【００７６】
また、パージ装置を、ロードポート以外のもの、例えばパージ対象容器を保管するストッカーや、パージ専用ステーションに適用することもできる。
【００７７】
その他、各部の具体的構成についても上記実施形態に限られるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能である。
【符号の説明】
【００７８】
１…パージノズルユニット
２…ノズル本体
２１…胴部
２２…鍔部
２３…パージ用気体流路
２６…通気孔
２７…導入路
２８…優先導入手段
２８１…弁体
２８２…弁座
２８Ａ…オリフィス
３…ホルダ
３１…側壁
３３…底壁
４…付勢手段
１００…パージ対象容器（ＦＯＵＰ）
１０１…ポート
Ｐ…パージ装置
Ｓ２…圧力調整空間
Ｘ…ロードポート
【図１】
2014036049.tif 000003
【図２】
2014036049.tif 000004
【図３】
2014036049.tif 000005
【図４】
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【図５】
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