(57)【要約】【課題】  小型化可能な液体噴射ヘッドユニット及びこれを用いた液体噴射装置を提供する。【解決手段】  液体噴射ヘッドユニットＩは、複数のノズルから構成される第１のノズル群と、複数の別のノズルから構成される第２のノズル群と、圧力を加えることで第１のノズル群のノズルからそれぞれ液体を噴射する第１圧力発生室からなる第１圧力発生室群が形成された第１流路形成基板と、圧力を加えることで第２のノズル群のノズルからそれぞれ液体を噴射する第２圧力発生室からなる第２圧力発生室群が形成された第２流路形成基板と、第１圧力発生室群に液体を供給する第１の液体供給路、前記第２圧力発生室群に個別に液体を供給する第２の液体供給路を有する供給基板とを備える。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のノズルから構成される第１のノズル群と、
複数の別のノズルから構成される第２のノズル群と、
圧力を加えることで第１のノズル群のノズルから液体を噴射する第１圧力発生室から構成される第１圧力発生室群が形成された第１流路形成基板と、
圧力を加えることで第２のノズル群のノズルから液体を噴射する第２圧力発生室から構成される第２圧力発生室群が形成された、前記第１流路形成基板とは異なる第２流路形成基板と、
前記第１圧力発生室群に液体を供給する第１の液体供給路、及び前記第２圧力発生室群に個別に液体を供給する第２の液体供給路を有し、前記第１流路形成基板及び前記第２流路形成基板の前記ノズル側に積層される供給基板とを備えることを特徴とする液体噴射ヘッドユニット。
【請求項２】
前記供給基板の前記流路形成基板と同一面側には、前記液体供給路に連通する開口が設けられ、前記同一面側には、該開口を介して前記液体供給路に臨む凹部が形成されたケース部材が設けられていることを特徴とする請求項１記載の液体噴射ヘッドユニット。
【請求項３】
各ノズル群は、ノズルが一つの方向に並設されたノズル列を複数備え、
前記ケース部材には、前記ノズル列に対応して凹部が形成されると共に、各ノズル列に対応して設けられていることを特徴とする請求項２に記載の液体噴射ヘッドユニット。
【請求項４】
少なくとも前記第１流路形成基板は、一対のケース部材間に位置するように前記供給基板に設けられると共に、
前記供給基板の前記第１流路形成基板に対向する位置に前記ノズル群が形成されたノズルプレートが設けられ、
かつ、前記供給基板には、前記ケース部材の凹部と前記圧力発生室とを接続する前記液体供給路と、前記圧力発生室と前記ノズルプレートのノズルとを接続する別の液体流路とが設けられていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドユニット。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドユニットを備えることを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、液体噴射装置では、複数の液体噴射ヘッドを複数組み合わせて所定方向に配置してノズル列を長尺化したヘッドユニットを構成することが知られている（例えば、特許文献１参照）。この液体噴射装置では、一平面上において所定の配列方向に沿って千鳥状に配列された４つの液体噴射ヘッドが、それぞれヘッド支持部材に支持されている。
【０００３】
また、液体噴射装置では、複数の液体噴射ヘッド本体をアライメント（位置合わせ）して、ヘッド支持部材に支持する。このため、液体噴射ヘッド同士をある程度離間してアライメントしやすいように構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１０−１２５５９７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ここで、液体噴射ヘッド同士をアライメントすることから、液体噴射ヘッド同士をある程度離間して設けなければならず、液体噴射ヘッドユニット自体が大型化してしまうという問題がある。
【０００６】
なお、このような問題はインクジェット式記録ヘッドユニットだけではなく、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。
【０００７】
そこで、本発明の課題は、上記従来技術の問題点を解決することにあり、小型化可能な液体噴射ヘッドユニット及びこれを用いた液体噴射装置を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の液体噴射ヘッドユニットは、複数のノズルから構成される第１のノズル群と、複数の別のノズルから構成される第２のノズル群と、圧力を加えることで第１のノズル群のノズルから液体を噴射する第１圧力発生室から構成される第１圧力発生室群が形成された第１流路形成基板と、圧力を加えることで第２のノズル群のノズルから液体を噴射する第２圧力発生室から構成される第２圧力発生室群が形成された前記第１流路形成基板と異なる第２流路形成基板と、前記第１圧力発生室群に液体を供給する第１の液体供給路、及び前記第２圧力発生室群に個別に液体を供給する第２の液体供給路を有し、前記第１流路形成基板及び前記第２流路形成基板の前記ノズル側に積層される供給基板とを備えることを特徴とする。
本発明では、供給基板に対して第１及び第２の流路形成基板が設けられていることから、ヘッド本体を支持部材に対して固定するよりもヘッドユニットを小型化することができる。なお、ここでいう積層とは、流路形成基板に対し直接供給基板が積層されることだけでなく接着剤層などの別の層が含まれていることも含まれる。
【０００９】
前記供給基板の前記流路形成基板と同一面側には、前記液体供給路に連通する開口が設けられ、前記同一面側には、該開口を介して前記液体供給路に臨む凹部が形成されたケース部材が設けられていることが好ましい。このように構成されていることで、さらにヘッドユニットを小型化することができる。
【００１０】
各ノズル群は、ノズルが一つの方向に並設されたノズル列を複数備え、前記ケース部材には、前記ノズル列に対応して凹部が形成されると共に、各ノズル列に対応して設けられていることが好ましい。このようにケース部材が各凹部、ノズル列に対して個別に設けられていることで、他のノズル列に対応する凹部からの熱影響が少ない。
【００１１】
本発明の好ましい実施形態としては、少なくとも前記第１流路形成基板は、一対のケース部材間に位置するように前記供給基板に設けられると共に、前記供給基板の前記第１流路形成基板に対向する位置に前記ノズル群が形成されたノズルプレートが設けられ、かつ、前記供給基板には、前記ケース部材の凹部と前記圧力発生室とを接続する前記液体供給路と、前記圧力発生室と前記ノズルプレートのノズルとを接続する別の液体流路とが設けられていることが挙げられる。
【００１２】
本発明の液体噴射装置は、前記いずれかに記載の液体噴射ヘッドユニットを備えることを特徴とする。本実施形態では、前記いずれかに記載の小型化を実現できる液体噴射ヘッドユニットを有することで、印字特性に優れる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】実施形態１にかかる液体噴射装置を示す図。
【図２】ヘッドユニットを有するヘッドモジュールの分解斜視図。
【図３】図２のＡ−Ａ’線におけるヘッドユニットの一部分解斜視図。
【図４】図２のＡ−Ａ’線におけるヘッドユニットの一部断面図。
【図５】ヘッドユニットを有するヘッドモジュールの底面図。
【図６】実施形態２にかかる液体噴射装置を示す図。
【図７】ヘッドユニットを有するヘッドモジュールの分解斜視図。
【図８】ヘッドユニットを有するヘッドモジュールの底面図。
【図９】ヘッドユニットを有するヘッドモジュールの分解斜視図。
【図１０】ヘッドユニットを有するヘッドモジュールの底面図。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
（実施形態１）
（液体噴射装置）
図１は、本発明の実施形態１に係る液体噴射装置の一例であるインクジェット式記録装置の概略斜視図である。本発明のインクジェット式記録装置ＩＩは、図１に示すように、インク滴を吐出する液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドモジュール（以下、ヘッドモジュールとも言う）１がキャリッジ２に固定されている。
【００１５】
このヘッドモジュール１には、インクが貯留された液体貯留手段の一例であるインクカートリッジ３がそれぞれ着脱可能に固定されている。本実施形態では、インクカートリッジ３は、ブラック（Ｂ）、ライトブラック（ＬＢ）、シアン（Ｃ）、マゼンダ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）等の複数の異なる色毎に設けられている。
【００１６】
ヘッドモジュール１が搭載されたキャリッジ２は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動可能に設けられている。そして、駆動モーター６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ２に伝達されることで、キャリッジ２はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４にはキャリッジ軸５に沿ってプラテン８が設けられており、図示しない給紙装置等により給紙された紙等の被記録媒体Ｓがプラテン８上を搬送されるようになっている。
【００１７】
（液体噴射ヘッド）
かかるヘッドモジュール１について、図２を用いて説明する。
図２に示すように、ヘッドモジュール１のケース２００には、インクカートリッジ３（図１参照）が取り付けられるカートリッジ取付面２０１が設けられている。ケース２００の内部には、液体噴射ヘッドユニットの一例であるインクジェット式記録ヘッドユニット（ヘッドユニット）Ｉが設けられている。
【００１８】
図示しないが、カートリッジ取付面２０１にはインクカートリッジからインクが供給されるためのインク供給部が設けられる。インク供給部としては、例えば針状のものでインクカートリッジの図示しないインク供給口に挿入されるものが挙げられる。なお、インク供給部としてはこれに限定されず、例えばインクカートリッジのインク供給口に当接するものであってもよい。
【００１９】
ケース２００内部にはインク供給流路が形成されており、インクカートリッジからのインクは、インク供給部を介してインク供給流路に供給される。インク供給流路に供給されたインクは、以下詳細に説明するヘッドユニットＩの導入路４４に流入する。
【００２０】
ケース２００のカートリッジ取付面２０１とは逆側の面には固定板１３０が設けられている。この固定板１３０には、開口１３１が設けられており、この開口１３１からヘッドユニットＩのノズルプレート（詳細は後述する）が露出する。このノズルプレートに形成されたノズル開口からインクが吐出される。
【００２１】
インクジェット式記録ヘッドユニットについて図２〜４を用いて説明する。なお、図３、図４では、図２に示すヘッドユニットの一部のみを用いて説明する。
【００２２】
図示するように、ヘッドユニットＩは、ヘッドユニット本体１１、ケース部材４０等の複数の部材を備え、これら複数の部材が接着剤等によって接合されている。本実施形態では、ヘッドユニット本体１１は、複数の流路形成基板１０と、一つの連通板（供給基板）１５と、複数のノズルプレート２０と、複数の圧電アクチュエーター３００と、複数の保護基板３０と、複数のコンプライアンス基板４５と、を具備する。即ち、ヘッドユニット本体１１において一つの連通板１５は複数の流路形成基板１０及びノズルプレート２０に対して共通の部材であるといえる。
【００２３】
ヘッドユニット本体１１を構成する流路形成基板１０は、本実施形態では４つ設けられている。流路形成基板１０は、本実施形態ではシリコン単結晶基板からなる。この流路形成基板１０には、複数の圧力発生室１２が同じ色のインクを吐出する複数のノズル開口２１が並設される方向（Ｘ方向）に沿って並設されている。また、流路形成基板１０には、圧力発生室１２が圧力発生室１２の並設方向に並設されてなる列が複数列、本実施形態では、２列設けられている。一つの流路形成基板１０に形成されている複数の圧力発生室からなる群を圧力発生室群とする。
【００２４】
また、各流路形成基板１０の一方面側（後述する振動板５０とは反対側）は、連通板１５に接合されている。即ち、複数の流路形成基板１０が一つの連通板１５に接合（積層）されている。また、連通板１５には、各圧力発生室１２に連通する複数のノズル開口２１が穿設されたノズルプレート２０が複数接合されている。連通板１５には、圧力発生室１２とノズル開口２１とを繋ぐノズル連通路（別の液体流路）１６が設けられている。連通板１５は、流路形成基板１０よりも大きな面積を有し、ノズルプレート２０は流路形成基板１０よりも小さい面積を有する。このようにノズルプレート２０の面積を比較的小さくすることでコストの削減を図ることができる。なお、本実施形態では、ノズルプレート２０のノズル開口２１が開口して、インク滴が吐出される面を液体噴射面２０ａと称する。
【００２５】
また、連通板１５には、マニホールド１００の一部を構成する第１マニホールド部１７と、第２マニホールド部１８とが設けられている。
【００２６】
第１マニホールド部１７は、連通板１５を厚さ方向（連通板１５と流路形成基板１０との積層方向）に貫通して設けられている。
【００２７】
また、第２マニホールド部１８は、連通板１５を厚さ方向に貫通することなく、連通板１５の液体噴射面２０ａ側に開口して設けられている。
【００２８】
さらに、連通板１５には、圧力発生室１２の第２の方向Ｙの一端部に連通するインク供給路（液体供給路）１９が、各圧力発生室１２毎に独立して設けられている。このインク供給路１９は、第２マニホールド部１８と圧力発生室１２とを連通する。
【００２９】
このような連通板１５としては、流路形成基板１０と線膨張係数が同等の材料が好ましい。つまり、連通板１５として流路形成基板１０と線膨張係数が大きく異なる材料を用いた場合、加熱や冷却されることで、流路形成基板１０と連通板１５との線膨張係数の違いにより反りが生じてしまう。本実施形態では、連通板１５として流路形成基板１０と同じ材料、すなわち、シリコン単結晶基板を用いることで、熱による反りを抑制することができる。
【００３０】
また、ノズルプレート２０は、シリコン単結晶基板で形成されている。これにより、ノズルプレート２０と連通板１５との線膨張係数を同等として、加熱や冷却されることによる反りの発生を抑制することができる。
【００３１】
ノズルプレート２０には、ノズル開口２１が第１の方向Ｘに並設された列が、第２の方向Ｙに複数列、本実施形態では、２列形成されている。このノズル開口２１が第１の方向Ｘに並設されてなる列をノズル列３０１とする。そして、一つのノズルプレート２０に設けられたノズル開口２１からなる群をノズル群３０２とする。例えば、本実施形態では二つの互いに隣接するノズル列３０１から各ノズル群３０２が構成され、ヘッドユニット本体１１としては４つのノズルプレート２０及び４つのノズル群３０２を有している。
【００３２】
各ノズル開口２１は、ドライエッチングによって形成され、内径が一定な円筒部（ストレート部）と、噴射側からインク流路側に向けて内径が次第に拡大するテーパー部と、からノズル開口２１が構成されている。なお、ノズル開口２１の形状はこれに限定されず、例えば内径が一定であってもよい。
【００３３】
一方、流路形成基板１０の他方面側（連通板１５とは反対面側）には、振動板５０が形成されている。本実施形態に係る振動板５０は、流路形成基板１０上に形成された弾性膜５１と、弾性膜５１上に形成された絶縁体膜５２とで構成されている。なお、圧力発生室１２は、流路形成基板１０を一方面から異方性エッチングにより形成されており、圧力発生室１２の他方面は、振動板（弾性膜５１）で構成されている。
【００３４】
振動板５０上には、本実施形態の圧力発生手段として、第１電極６０と圧電体層７０と第２電極８０とからなる圧電アクチュエーター３００が設けられている。ここで、圧電アクチュエーター３００は、第１電極６０、圧電体層７０及び第２電極８０を含む部分をいう。一般的には、圧電アクチュエーター３００の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極及び圧電体層７０を各圧力発生室１２毎にパターニングして構成する。そして、ここではパターニングされた何れか一方の電極及び圧電体層７０から構成され、両電極への電圧の印加により圧電歪みが生じる部分を圧電体能動部という。本実施形態では、第１電極６０を圧電アクチュエーター３００の共通電極とし、第２電極８０を圧電アクチュエーター３００の個別電極としているが、駆動回路や配線の都合でこれを逆にしても支障はない。なお、上述した例では、振動板５０が弾性膜５１及び絶縁体膜５２で構成されたものを例示したが、勿論これに限定されるものではなく、例えば、振動板５０として弾性膜５１及び絶縁体膜５２の何れか一方を設けたものであってもよく、また、振動板５０として弾性膜５１及び絶縁体膜５２を設けずに、第１電極６０のみが振動板として作用するようにしてもよい。また、圧電アクチュエーター３００自体が実質的に振動板を兼ねるようにしてもよい。ただし、流路形成基板１０上に直接第１電極６０を設ける場合には、第１電極６０とインクとが導通しないように第１電極６０を絶縁性の保護膜で保護する必要がある。
【００３５】
圧電体層７０は、第１電極６０上に形成される分極構造を有する酸化物の圧電材料からなり、例えば、一般式ＡＢＯ３で示されるペロブスカイト型酸化物からなることができ、
Ａは、鉛を含み、Ｂは、ジルコニウムおよびチタンのうちの少なくとも一方を含むことができる。前記Ｂは、例えば、さらに、ニオブを含むことができる。具体的には、圧電体層７０としては、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ３：ＰＺＴ）、シ
リコンを含むニオブ酸チタン酸ジルコン酸鉛（Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ，Ｎｂ）Ｏ３：ＰＺＴＮ
Ｓ）などを用いることができる。
【００３６】
また、圧電体層７０は、鉛を含まない非鉛系圧電材料、例えば、鉄酸ビスマスや鉄酸マンガン酸ビスマスと、チタン酸バリウムやチタン酸ビスマスカリウムとを含むペロブスカイト構造を有する複合酸化物などとしてもよい。
【００３７】
また、第２電極８０には、リード電極９０の一端がそれぞれ接続されている。リード電極９０の他端には、駆動回路１２０が設けられた配線基板１２１、例えば、ＣＯＦ等が接続されている。
【００３８】
流路形成基板１０の圧電アクチュエーター３００側の面には、流路形成基板１０と略同じ大きさを有する保護基板３０が接合されている。保護基板３０は、圧電アクチュエーター３００を保護するための空間である保持部３１を有する。また、保護基板３０には貫通孔３２が設けられている。リード電極９０の他端側は、この貫通孔３２内に露出するように延設され、リード電極９０と配線基板１２１とが貫通孔３２内で電気的に接続されている。
【００３９】
また、このような構成のヘッドユニット本体１１には、複数の圧力発生室１２に連通するマニホールド１００をヘッドユニット本体１１と共に画成するケース部材４０が固定されている。ケース部材４０は、平面視において矩形状であり、連通板１５に固定されている。ケース部材４０は、凹部４１を有し、この凹部４１の開口は、第１マニホールド部１７の開口と連通する。即ち、凹部４１内が第３マニホールド部４２を構成する。そして、連通板１５に設けられた第１マニホールド部１７及び第２マニホールド部１８と、ケース部材４０と流路形成基板１０とによって画成された第３マニホールド部４２とによって本実施形態のマニホールド１００が構成されている。
【００４０】
かかるケース部材４０は、本実施形態ではノズル列３０１毎に対応して設けられている。例えば、ヘッドユニットＩは８列のノズル列３０１を有し、これに対応して８個のケース部材４０を有している。即ち、各ケース部材４０は、ノズル列毎に構成されており、ケース部材４０同士は連続していない。また、一つのマニホールド１００は各ノズル列３０１に対応して設けられているので、各ケース部材４０はマニホールド１００毎に構成されているともいえる。
【００４１】
なお、ケース部材４０の材料としては、例えば、樹脂や金属等を用いることができる。また、保護基板３０の材料は、保護基板３０が接着される流路形成基板１０と線膨張係数が同等の材料が好ましく、本実施形態では、シリコン単結晶基板を用いた。
【００４２】
また、連通板１５の第１マニホールド部１７及び第２マニホールド部１８が開口する液体噴射面２０ａ側の面には、コンプライアンス基板４５が設けられている。このコンプライアンス基板４５が、第１マニホールド部１７と第２マニホールド部１８の液体噴射面２０ａ側の開口を封止している。
【００４３】
このようなコンプライアンス基板４５は、本実施形態では、封止膜４６と、固定基板４７と、を具備する。封止膜４６は、可撓性を有する薄膜（例えば、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）やステンレス鋼（ＳＵＳ）等により形成された厚さが２０μｍ以下の薄膜）からなり、固定基板４７は、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等の金属等の硬質の材料で形成される。この固定基板４７のマニホールド１００に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部４８となっているため、マニホールド１００の一方面は可撓性を有する封止膜４６のみで封止された可撓部であるコンプライアンス部となっている。
【００４４】
なお、各ケース部材４０には、マニホールド１００に連通して各マニホールド１００にインクを供給するための導入路４４がそれぞれ設けられている。また、ケース部材４０には、保護基板３０の貫通孔３２に連通して配線基板１２１が挿通される接続口４３が設けられている。
【００４５】
このような構成のインクジェット式記録ヘッドユニットＩでは、インクを噴射する際に、カートリッジ等のインク貯留手段から導入路４４を介してインクを取り込み、マニホールド１００からノズル開口２１に至るまで流路内部をインクで満たす。その後、駆動回路１２０からの信号に従い、圧力発生室１２に対応する各圧電アクチュエーター３００に電圧を印加することにより、圧電アクチュエーター３００と共に弾性膜５１及び絶縁体膜５２をたわみ変形させる。これにより、圧力発生室１２内の圧力が高まり所定のノズル開口２１からインク滴が噴射される。
【００４６】
本実施形態では、ヘッドユニットＩは、流路形成基板１０及びノズルプレート２０を複数有するが、連通板１５は一つだけ有している。即ち、連通板１５は複数のノズル群３０２及び複数の圧力発生室群に対して共通である。このように連通板１５を共通とすることで、本実施形態では、ヘッドユニットＩをノズル列３０１の並設方向において小型化することができる。
【００４７】
即ち、複数のヘッド本体を有するヘッドユニットＩを形成する場合に、ヘッド本体自体を固定部材にアライメントして固定するとなると、アライメント時にヘッド本体を動かすためにヘッド本体間にある程度隙間が必要である。従って、ヘッド本体を離して固定するのでヘッド本体を密接して設けることができずヘッドユニットが大型化してしまっていた。これに対し、本実施形態では、連通板１５が共通していることから、連通板１５を中心に流路形成基板１０やノズルプレート２０等をアライメントして固定すればよく、各流路形成基板間やノズルプレート間に隙間を設けなくてよい。従って、ヘッド本体自体を固定部材にアライメントするよりもヘッドユニットＩを小型化することができるのである。
【００４８】
そして、この場合のヘッドユニットＩでは、各ケース部材４０がノズル列３０１毎に、即ちマニホールド１００毎に構成されていることで、他のノズル列３０１に対応するマニホールド１００内のインクによる熱影響が少なく、印字特性が安定する。つまり、一列のノズル列３０１からのインクの吐出が多いと、この一列のノズル列３０１に対応するマニホールド１００でのインクの温度が高くなる。この場合にケース部材４０が複数のマニホールド１００に対して共通に設けられていると、熱がケース部材４０を介して別のマニホールド１００にも伝わってこのマニホールド１００内のインクの温度も高くなってしまい、インクの吐出特性が変化して印字特性が変化することが考えられる。これに対し、本実施形態では、各マニホールド１００に対応して個別にケース部材４０が設けられていることから、熱影響が少なく、吐出特性の変化を抑制することができ、印字品質の変化を抑制できる。
【００４９】
さらにまた、ヘッドユニットＩでは、流路形成基板１０自体を小型化している。つまり、本実施形態では流路形成基板１０が例えば連通板１５と同様の大きさで形成されるよりも流路形成基板１０を小さく形成している。これにより、高価な流路形成基板１０をより安価に形成することができ、コストダウンとすることができ、また、製品の歩留まりを向上させる。
【００５０】
本実施形態では、ケース部材４０を各ノズル列３０１（即ちマニホールド１００）に対応して個別に設けたが、ケース部材４０を連続させ、凹部４１をノズル列に対応して個別に設けてもよい。この場合には、上述したような他のマニホールドからの熱影響の抑制を図ることはできないが、ケースを複数設ける必要がなく、また、製造コストを抑制できる。
【００５１】
また、本実施形態においてさらにノズルを高密度化させるためには、各ノズル群３０２において一方のノズル列３０１を他方のノズル列３０１に対して、ノズル開口２１の並設方向に、ノズル間の距離の半分だけずらして設けることが考えられる。この場合には、同色のインクを吐出するノズル列に対応するケース部材４０同士を共通とし、さらに同色のノズル列に対応する凹部４１同士も共通とすればよい。この場合には、共通した一つのケース部材に対して一つの導入路４４が設けられていればよいので、本実施形態よりもインク導入手段が簡易となり、この点において好ましい。なお、上述のようにケース部材４０を個別にすることで熱影響が少なく、吐出特性の変化を抑制することができるという点において、本実施形態のようにケース部材４０を個別にすることが好ましい。
【００５２】
本実施形態では、連通板１５は全てのノズル列に共通して設けたが、これに限定されない。例えば、二つのノズル群に共通して連通板１５を設け、このような連通板１５を二枚設けることで本実施形態と同一の４つのノズル群を有する構成とすることも可能である。ただし、本実施形態のように４つのノズル群に対応して一つの連通板１５を設ける方がヘッドユニットの小型化を実現することができ、好ましい。
【００５３】
（実施形態２）
本実施形態では、いわゆるライン型のインクジェット式記録装置（以下ライン型記録装置とする）に用いられるヘッドユニットについて説明する。
【００５４】
本実施形態におけるヘッドユニットＩＡは、実施形態１とは異なり、ライン型のインクジェット式記録装置（以下ライン型記録装置とする）ＩＩＡに用いられるものである。即ち、実施形態１で示したインクジェット式記録装置ＩＩでは、ヘッドモジュール１がキャリッジ２に搭載されて主走査方向に移動するものであったが、本実施形態で説明するライン型記録装置ＩＩＡでは、ヘッドモジュール１Ａが固定されて、紙等の被記録媒体Ｓを主走査方向に移動させるだけで印刷を行う。
【００５５】
かかるライン型記録装置は、例えば図６に示すものである。
図６に示すように、本実施形態のライン型記録装置ＩＩＡは、ヘッドモジュール１Ａが固定されて、被噴射媒体である紙などの被記録媒体Ｓを搬送することで印刷を行う、所謂ライン式記録装置である。
【００５６】
具体的には、ライン型記録装置ＩＩＡは、装置本体４Ａと、装置本体４Ａに固定されたヘッドモジュール１Ａと、被記録媒体である被記録媒体Ｓを搬送する搬送手段９Ａと、被記録媒体Ｓのヘッドモジュール１Ａに相対向する印刷面とは反対の裏面側を支持するプラテン８Ａとを具備する。
【００５７】
ヘッドモジュール１Ａは、ケース２００Ａを有し、このケース２００Ａ内にヘッドユニットが設けられる。ヘッドモジュール１Ａは、ヘッドユニットのノズル開口の並設方向が被記録媒体Ｓの搬送方向と交差する方向となるように、装置本体４Ａに固定されている。
【００５８】
搬送手段９Ａは、ヘッドモジュール１Ａに対して被記録媒体Ｓの搬送方向の両側に設けられた第１の搬送手段９５Ａと、第２の搬送手段９６Ａとを具備する。
【００５９】
第１の搬送手段９５Ａは、駆動ローラー９５ａと、従動ローラー９５ｂと、これら駆動ローラー９５ａ及び従動ローラー９５ｂに巻回された搬送ベルト９５ｃとで構成されている。また、第２の搬送手段９６Ａは、第１の搬送手段９５Ａと同様に駆動ローラー９６ａ、従動ローラー９６ｂ及び搬送ベルト９６ｃで構成されている。
【００６０】
これらの第１の搬送手段９５Ａ及び第２の搬送手段９６Ａのそれぞれの駆動ローラー９５ａ、９６ａには、図示しない駆動モーター等の駆動手段が接続されており、駆動手段の駆動力によって搬送ベルト９５ｃ、９６ｃが回転駆動することで、被記録媒体Ｓをヘッドモジュール１Ａの上流及び下流側で搬送する。
【００６１】
なお、本実施形態では、駆動ローラー９５ａ、９６ａ、従動ローラー９５ｂ、９６ｂ及び搬送ベルト９５ｃ、９６ｃで構成される第１の搬送手段９５Ａ及び第２の搬送手段９６Ａを例示したが、被記録媒体Ｓを搬送ベルト９５ｃ、９６ｃ上に保持させる保持手段をさらに設けてもよい。保持手段としては、例えば、被記録媒体Ｓの外周面を帯電させる帯電手段を設け、この帯電手段によって帯電した被記録媒体Ｓを誘電分極の作用により搬送ベルト９５ｃ、９６ｃ上に吸着させるようにしてもよい。また、保持手段として、搬送ベルト９５ｃ、９６ｃ上に押えローラーを設け、押えローラーと搬送ベルト９５ｃ、９６ｃとの間で被記録媒体Ｓを挟持させるようにしてもよい。
【００６２】
プラテン８Ａは、第１の搬送手段９５Ａと第２の搬送手段９６Ａとの間に、ヘッドモジュール１Ａに相対向して設けられた断面が矩形状を有する金属又は樹脂等からなる。プラテン８Ａは、第１の搬送手段９５Ａ及び第２の搬送手段９６Ａによって搬送された被記録媒体Ｓを、ヘッドモジュール１Ａに相対向する位置で支持する。
【００６３】
なお、プラテン８Ａには、搬送された被記録媒体Ｓをプラテン８Ａ上で吸着する吸着手段が設けられていてもよい。吸着手段としては、例えば、被記録媒体Ｓを吸引することで吸引吸着するものや、静電気力で被記録媒体Ｓを静電吸着するもの等が挙げられる。
【００６４】
また、ヘッドモジュール１Ａには、図示していないが、インクが貯留されたインクタンクやインクカートリッジなどのインク貯留手段がインクを供給可能に接続されている。インク貯留手段は、例えば、ヘッドモジュール１Ａ上に保持されていても、また、装置本体４Ａ内のヘッドモジュール１Ａとは異なる位置に保持されてチューブ等を介して接続されていてもよい。さらに、ヘッドモジュール１Ａの各ヘッドユニットには、図示しない外部配線が接続されている。
【００６５】
このようなライン型記録装置ＩＩＡでは、搬送手段９Ａによって被記録媒体Ｓが搬送され、ヘッドモジュール１Ａによってプラテン８Ａ上で支持された被記録媒体Ｓに印刷が実行される。印刷された被記録媒体Ｓは、搬送手段９Ａによって搬送される。
【００６６】
かかるヘッドモジュール１Ａは、ケース２００Ａ内に図７に示すヘッドユニットＩＡを有し、ケース２００Ａの液体噴射面側に固定板１３０Ａが設けられている。ヘッドユニットＩＡについて、図７、８を用いて説明する。なお、以下実施形態１と同一の構成要素については説明を省略する。
【００６７】
図示するように、ヘッドユニットＩＡは、４つのノズルプレート２０Ａ、即ち４つのノズル群３０２Ａを有している。これらのノズル群３０２Ａは、二つのノズル群３０２Ａが、ノズル列３０１Ａに沿って列を形成している。そして、他方のノズル群３０２Ａによるノズル群列は、一方のノズル群３０２Ａによるノズル列よりも、ノズルの並設方向（Ｘ方向）に沿ってずれている。即ち、ヘッドユニットＩＡではノズル群３０２Ａが千鳥状配置となるように設けられている。
【００６８】
かつ、これらのノズル群３０２Ａにおいて、また、ヘッドユニットＩＡ上において、一方のノズル群３０２Ａのノズル列の端部と、他方のノズル群３０２Ａのノズル列の端部とは、ノズル開口２１Ａの並設方向において一部が重複するように配置されている。これにより、ヘッドユニットＩＡ上における全てのヘッドモジュール１Ａのノズル列を連続させて、全体として最大印刷幅を形成するノズル列ユニットを構成している。
【００６９】
かかるヘッドユニットＩＡにおいても、図８に示すように、一つの連通板１５Ａ（図７参照）を有し、この一つの連通板１５Ａに対して複数（本実施形態では４つ）の流路形成基板１０Ａ及びノズルプレート２０Ａが設けられている。即ち、複数の流路形成基板１０Ａ及びノズルプレート２０Ａに対し、共通の連通板１５Ａが設けられている。
【００７０】
また、ケース部材４０Ａは、それぞれノズル列３０１Ａに対応して個別に設けられている。
【００７１】
このように、ヘッドユニットＩＡは、一つの連通板１５Ａを有し、一つの連通板１５Ａに対して複数の流路形成基板１０Ａが設けられている。即ち、本実施形態においても、複数の流路形成基板１０Ａに対し、一つの連通板１５Ａが設けられている。
【００７２】
このように一つの連通板１５Ａ並びに複数の流路形成基板１０Ａ及び複数のノズルプレート２０ＡよりヘッドユニットＩＡが構成されていることで、本実施形態におけるヘッドユニットＩＡにおいても、ノズルの並設方向とは直交する方向（Ｙ方向）においてヘッドユニットＩＡが小型化することができる。
【００７３】
そして、本実施形態においても、ヘッドユニットＩＡではケース部材４０Ａがノズル列毎に個別に設けられているので、各ノズル列に対応するインクが他のマニホールドからの熱の影響を受けにくい。
【００７４】
（実施形態３）
本実施形態は、実施形態２に記載したヘッドユニットＩＡにおいて、さらにケース部材４０Ｂを共通としたものである。
【００７５】
図９、１０に示すように、本実施形態にかかるヘッドユニットＩＢでは、ノズル列のうち、連通板１５Ｂにおいて外側に存在する二つの第２のノズル列３０１Ｂに対し、共通のケース部材４０Ｂが設けられている。また、連通板１５Ｂにおいて内側に存在する４つの第１のノズル列３０１Ｃに対し共通のケース部材４０Ｃが設けられている。即ち、ヘッドユニットＩＢは、二つのケース部材４０Ｂと、一つのケース部材４０Ｃとを備える。このように、本実施形態では、異なるノズル群に亘ってケース部材４０Ｂ、４０Ｃが設けられている。
【００７６】
本実施形態では、かかるケース部材４０Ｂ、４０Ｃの中はそれぞれマニホールド１００Ｂ、１００Ｃを複数のノズル列に亘って共通としている。即ち、本実施形態では各マニホールドに導入されるインクが同色であるので、ケース部材４０Ｂ、４０Ｃ内には、それぞれ一つのマニホールド１００Ｂ、１００Ｃが構成されている。このような各ケース部材４０Ｂ、４０Ｃには、それぞれ導入路４４が一つずつ設けられている。
【００７７】
このように一つの連通板１５Ｂ並びに複数の流路形成基板１０Ｂ及び複数のノズルプレート２０ＢよりヘッドユニットＩＢが構成されていることで、本実施形態におけるヘッドユニットＩＢにおいても、ノズルの並設方向とは直交する方向（Ｙ方向）においてヘッドユニットＩＡを小型化することができる。
【００７８】
そして、本実施形態においては、マニホールド１００Ｂ、１００Ｃ及びケース部材４０Ｂ、４０Ｃが複数のノズル列に亘って共通していることで、各ケース部材４０Ｂ、４０Ｃに対してそれぞれ一つの導入路４４が設けられている。これにより、インクの導入手段が簡素なものとなり、構成が容易となる。
【００７９】
これらのケース部材４０Ｂ、４０Ｃにおいては、凹部、即ちマニホールド１００Ｂ、１００Ｃを形成している凹部自体がそれぞれ個別に設けられていれば、インクは別色であってもよい。なお、同色であっても各マニホールドをノズル列毎に個別に設けても良い。さらにまた、これらのケース部材４０Ｂ、４０Ｃ間を、ケース部材４０Ｂ、４０Ｃのそれぞれ長手方向の端部で連続させて一つのケース部材とすることも可能である。
【００８０】
（他の実施形態）
本発明は上述した実施形態に限定されない。
上述した実施形態１では、ヘッドユニットＩでは、流路形成基板１０は、ケース部材４０間に位置するように連通板１５に設けられると共に、連通板１５の流路形成基板１０に対向する位置にノズル群３０２が形成されたノズルプレート２０が設けられ、かつ、連通板１５には、ケース部材４０の凹部４１と圧力発生室１２とを接続するインク供給路１９と、圧力発生室１２とノズルプレート２０のノズル開口とを接続するノズル連通路１６とが設けられているが、これに限定されない。一つの連通板１５に対して、少なくとも二以上の流路形成基板１０が設けられていればよい。
【００８１】
また、上述した実施形態ではコンプライアンス基板４５をそれぞれノズル群３０２毎に別体としているが、これに限定されない。各ノズル群３０２に亘って共通としてもよい。
【００８２】
また、上述した例では、インクジェット式記録装置ＩＩは、液体貯留手段であるインクカートリッジがキャリッジに搭載された構成であるが、特にこれに限定されず、例えば、インクタンク等の液体貯留手段を装置本体４に固定して、液体貯留手段とインクジェット式記録ヘッドユニットＩとをチューブ等の供給管を介して接続してもよい。このような場合であっても、供給管の接続が外れた場合を液体貯留手段が外れた場合とみなして同様の排出動作を行う。また、液体貯留手段がインクジェット式記録装置ＩＩに搭載されていなくてもよい。
【００８３】
なお、上記各実施形態においては、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを、また液体噴射装置の一例としてインクジェット式記録装置を挙げて説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド及び液体噴射装置全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドや液体噴射装置にも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられ、かかる液体噴射ヘッドを備えた液体噴射装置にも適用できる。
【符号の説明】
【００８４】
Ｉ  インクジェット式記録ヘッドユニット（液体噴射ヘッドユニット）、  ＩＩ  インクジェット式記録装置（液体噴射装置）、  １  ヘッドモジュール、  ２  キャリッジ、  ３  インクカートリッジ、  ４  装置本体、  ５  キャリッジ軸、  ６  駆動モーター、  ７  タイミングベルト、  ８  プラテン、  １２  圧力発生室、  １５  連通板、  ２０  ノズルプレート、  ２０ａ  液体噴射面、  ２１  ノズル開口、  ３０  保護基板、  ４０  ケース部材、  ４３  接続口、  ４４  導入路、  ４５  コンプライアンス基板、  １００  マニホールド、  １３０  固定板、  １３１  開口、  ３００  圧電アクチュエーター（圧力発生手段）、  ３０１  ノズル列、  ３０２  ノズル群
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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