(57)【要約】【課題】設計図等を参照することなく、チューブ内を流動する流体の設定圧力を識別できるチューブを提供する。【解決手段】流体が流れるチューブであって、チューブ内を流動する流体の設定圧力を示す圧力表示を備えたチューブとする。これにより、作業者は都度設計図等を参照することなく各チューブの設定圧力を識別することができ、圧力の調整作業に要する手間と時間を低減することができる。仮に、この調整作業を都度設計図等を参照しながら行うこととすると、図４に示すように、数多くのチューブが使用されている場合には、調整作業（圧力設定作業）に手間と時間を要することになってしまう。【選択図】図３
2014095936.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体が流れるチューブであって、
該チューブ内を流動する流体の設定圧力を示す圧力表示を備えたチューブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は流体が流れるチューブに関する。
【背景技術】
【０００２】
産業機械や製造装置には水やエアといった各種の流体を用いるものが多い。例えば、半導体デバイスの製造工程において、半導体ウェーハを研削して薄化するグラインダと呼ばれる研削装置や、薄化された半導体ウェーハをチップ状に分割するダイサーと呼ばれる切削装置においては、装置の所要箇所にエアや加工液、吸引力等を伝達する配管が張り巡らされることが知られている（例えば、特許文献１、２参照。）。
【０００３】
より具体的には、切削装置は、少なくとも半導体ウェーハを吸引保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された半導体ウェーハを切削する切削ブレードを含むエアベアリング式のスピンドルユニットと、切削された半導体ウェーハを洗浄する洗浄装置とを備えている。
【０００４】
また、研削装置は、少なくとも半導体ウェーハを吸引保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された半導体ウェーハを研削する研削ホイールを含むエアベアリング式のスピンドルユニットと、研削された半導体ウェーハを洗浄する洗浄装置とを備えている。
【０００５】
更に、これらの切削装置や研削装置では、チャックテーブルに半導体ウェーハを吸引するための負圧を発生させるエア吸引源や、エアベアリングに高圧エアを供給するエア供給源、洗浄装置に洗浄液を供給する洗浄液供給源等を備えるとともに、流体の吸引源や供給源からそれぞれの作用箇所へ流体を導くための配管が設けられている。
【０００６】
このような切削装置や研削装置における各種流体の配管としては、直径数ｍｍ〜数十ｍｍ程度の柔軟性を有する樹脂製のチューブが一般的に用いられており、適切な長さに切断されたチューブが装置内の適所に接続されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平１０−３２１５６２号公報
【特許文献２】特開昭５５−１１２７６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
チューブ内を流動する流体については、例えば、レギュレーターを操作するなどして、流体の設定圧力を０．５Ｍｐａなどといった所定の圧力値に設定する設定作業が必要とされる。
【０００９】
この際、各チューブについて、目標とする所定の圧力値を把握する必要があるが、この所定の圧力値を把握するために、都度設計図などを参照することとなると、圧力の設定作業に手間がかかってしまうという問題が生じる。
【００１０】
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、設計図等を参照することなく、チューブ内を流動する流体の設定圧力を識別できるチューブを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
請求項１に記載の発明によると、流体が流れるチューブであって、チューブ内を流動する流体の設定圧力を示す圧力表示を備えたチューブが提供される。
【発明の効果】
【００１２】
本発明のチューブによれば、流動する流体の設定圧力を示す圧力表示を備えるため、作業者は都度設計図等を参照することなく、設定圧力を識別できる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】切削装置の外観斜視図である。
【図２】ダイシングテープを介して環状フレームで支持された半導体ウェーハの斜視図である。
【図３】（Ａ）は本発明のチューブの一実施形態を説明する図である。（Ｂ）は本発明のチューブの他の実施形態を説明する図である。
【図４】切削装置の配管に利用した実施形態を示す図である。
【図５】各チューブに表示される圧力表示について説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図１は配管に本発明のチューブを利用した切削装置２の外観斜視図を示している。切削装置２の前面側には、オペレータが加工条件等の装置に対する指示を入力するための操作手段４が設けられている。装置上部には、オペレータに対する案内画面や後述する撮像手段によって撮像された画像が表示されるＣＲＴ等の表示手段６が設けられている。
【００１５】
図２に示すように、ダイシング対象の発光デバイスウェーハＷ（以下、単に「ウェーハＷ」とも称する）の表面においては、第１のストリート（分割予定ライン）Ｓ１と第２のストリートＳ２とが直交して形成されており、第１のストリートＳ１と第２のストリートＳ２とによって区画されてＬＥＤ等の多数のデバイスＤがウェーハＷ上に形成されている。
【００１６】
ウェーハＷは粘着テープであるダイシングテープＴに貼着され、ダイシングテープＴの外周縁部は環状フレームＦに貼着されている。これにより、ウェーハＷはダイシングテープＴを介してフレームＦに支持された状態となり、図１に示したウェーハカセット８中にウェーハが複数枚（例えば２５枚）収容される。ウェーハカセット８は上下動可能なカセットエレベータ９上に載置される。
【００１７】
ウェーハカセット８の後方には、ウェーハカセット８から切削前のウェーハＷを搬出するとともに、切削後のウェーハをウェーハカセット８に搬入する搬出入手段１０が配設されている。ウェーハカセット８と搬出入手段１０との間には、搬出入対象のウェーハが一時的に載置される領域である仮置き領域１２が設けられており、仮置き領域１２には、ウェーハＷを一定の位置に位置合わせする位置合わせ手段１４が配設されている。
【００１８】
仮置き領域１２の近傍には、ウェーハＷと一体となったフレームＦを吸着して搬送する旋回アームを有する搬送手段１６が配設されており、仮置き領域１２に搬出されたウェーハＷは、搬送手段１６により吸着されてチャックテーブル１８上に搬送され、このチャックテーブル１８に吸引されるとともに、複数の固定手段（クランプ）１９によりフレームＦが固定されることでチャックテーブル１８上に保持される。
【００１９】
チャックテーブル１８は、回転可能且つＸ軸方向に往復動可能に構成されており、チャックテーブル１８のＸ軸方向の移動経路の上方には、ウェーハＷの切削すべきストリートを検出するアライメント手段２０が配設されている。
【００２０】
アライメント手段２０は、ウェーハＷの表面を撮像する撮像手段２２を備えており、撮像により取得した画像に基づき、パターンマッチング等の処理によって切削すべきストリートを検出することができる。撮像手段２２によって取得された画像は、表示手段６に表示される。
【００２１】
アライメント手段２０の左側には、チャックテーブル１８に保持されたウェーハＷに対して切削加工を施す切削手段（切削ユニット）２４が配設されている。切削手段２４はアライメント手段２０と一体的に構成されており、両者が連動してＹ軸方向及びＺ軸方向に移動する。
【００２２】
切削手段２４は、回転可能なスピンドル２６の先端に切削ブレード２８が装着されて構成され、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に移動可能となっている。切削ブレード２８は撮像手段２２のＸ軸方向の延長線上に位置している。
【００２３】
２５は切削が終了したウェーハＷを洗浄装置２７まで搬送する搬送手段であり、洗浄装置２７では、ウェーハＷを洗浄するとともにエアノズルからエアを噴出させてウェーハＷを乾燥する。
【００２４】
次に本発明において特徴的な構成であるチューブの実施形態について説明する。図３（Ａ）に示すように、チューブ１１Ａは、例えば、柔軟性を呈する樹脂から形成されており、チューブ１１Ａ上には内部を流動する流体の設定圧力を示す圧力表示１３ａが印字されている。
【００２５】
図３（Ａ）に示すチューブ１１Ａの圧力表示１３ａの実施形態では、チューブ１１Ａの表面に設定圧力１５ａの値を示す「０．５Ｍｐａ」が印字されている。
【００２６】
チューブ１１Ａは、当該チューブ１１Ａが使用される箇所に応じた長さ、即ち、予め設計された長さにカットされ、カットされたチューブ１１Ａの長さ方向の所定の位置に圧力表示１３ａが印字される。なお、印字のタイミングは、カットされる前、又は、カットされた後のいずれであってもよい。
【００２７】
圧力表示１３ａが印字されるべきチューブ１１Ａの長さ方向の位置は、特に限定されるものではないが、実際の装置において各チューブを組み付けた際に、視認しやすい位置に配置されるように印字されることが好ましい。例えば、チューブの端部から所定距離はなれた位置（例えば、５ｃｍ（接続箇所に近い位置）、１０ｃｍ、２０ｃｍ、など）として、チューブが接続される箇所から決まった位置に表示されるようにすれば、作業者において、印字箇所を探す手間が削減される。或いは、圧力の調整作業をする際に操作が必要となるレギュレーター（減圧弁）に近い位置（レギュレーターを操作する際に目視できる位置）に、印字することなども考えられる。
【００２８】
また、このチューブ１１Ａに対して印字される圧力表示１３ａや、その設定圧力１５ａの値の内容は、当該チューブ１１Ａが使用される箇所に応じて設定されるものである。例えば、所定の箇所に接続されるチューブ１１Ａについて、エアブロー用のエア（空気）が「０．５Ｍｐａ」で供給されるべきものとして設計されている場合には、当該「０．５Ｍｐａ」の値が設定圧力１５ａとして表示されることになる。
【００２９】
さらに、使用済みの液体をドレインするためのチューブや、排気をするためのチューブなど、特定の設定圧力を規定する必要がないものについては、圧力表示として「設定圧力なし」といった指標が表示されることとしてもよい（図５参照）。
【００３０】
以上のように、本実施形態では、図３（Ａ）に示すように、流体が流れるチューブ１１Ａであって、チューブ１１Ａ内を流動する流体の設定圧力１５ａを示す圧力表示１３ａを備えたチューブ１１Ａが構成される。
【００３１】
これにより、チューブ１１Ａ内を流れる流体の圧力の設定作業をレギュレーター（減圧弁）を操作して実施する際に、作業者は都度設計図等を参照することなく、設定圧力１５ａを識別することができる。
【００３２】
なお、図３（Ｂ）に示す圧力表示１３ｂのように、設定圧力１５ｂの値を示す「０．５Ｍｐａ」に加え、付記表示１５ｃとして「設定圧力」の文字を印字することとしてもよい。
【００３３】
次に、図４を参照して、本発明のチューブが使用され得る切削装置２の配管構成について説明する。エア源４０からは高圧エアがチューブ３１を介してクリーンユニット４６に供給される。
【００３４】
クリーンユニット４６は複数枚のフィルタを有しており、エア源４０から供給された高圧エアを洗浄化する。クリーンユニット４６からはチューブ３３を介してチャックテーブル１８へ吸引リリース時の吹き上げ用エアが供給され、チューブ３５を介してエジェクタ等の負圧発生手段５２に高圧エアが供給され、チューブ３７を介してスピンドルユニット３０にエアベアリング用のエアが供給される。
【００３５】
クリーンユニット４６からは更に、チューブ３９を介して切削ブレード２８をカバーするホイールカバー３２にホイールカバー開閉用エアが供給され、チューブ４１を介してエアを供給してエアカーテン３４を形成し、チューブ４３を介して顕微鏡３８用の分岐継ぎ手５６にエアが供給される。
【００３６】
負圧発生手段５２は、オリフィスを通過する高圧流体を利用して負圧を発生させるものであり、チューブ４５を介してチャックテーブル１８にチャックテーブルバキューム用負圧を供給し、チューブ４７を介してスピンナ洗浄装置２７にスピンナテーブルバキューム用負圧を供給する。
【００３７】
分岐継ぎ手５６からはチューブ４９を介して顕微鏡３８にカバー開閉用エアが供給され、チューブ５１を介してマクロ顕微鏡用ブローエアが供給され、チューブ５３を介してミクロ顕微鏡用ブローエアが供給される。
【００３８】
チャックテーブル１８からの排出エアはチューブ５５を介してダクト６０に排出され、スピンナ洗浄装置２７からの排出エアはチューブ５７を介してダクト６０に排出され、スピンドル３０からの排出エアはチューブ５９を介してダクト６０に排出される。
【００３９】
以上のように、切削装置２の各構成部品で使用されたエアは全てダクト６０に排出される。なお、エアを供給するチューブには、例えば無色透明なチューブが使用される。
【００４０】
ホイールカバー３２からの排出エアはチューブ６１を介してダクト６０に排出され、エアカーテン３４からの排出エアはチューブ６３を介してダクト６０に排出され。顕微鏡３８からの排出エアはチューブ６５を介してダクト６０に排出される。
【００４１】
冷却液源４２からは例えば市水等の冷却液がチューブ６７を介してクリーンユニット４８に供給される。クリーンユニット４８は複数枚のフィルタを含んでおり、これらのフィルタで冷却液を濾過する。
【００４２】
クリーンユニット４８からは、チューブ６９を介してスピンドル２６を回転可能に支持するスピンドルユニット３０に冷却液が供給される。スピンドルユニット３０から排出される冷却液は、チューブ７１を介してドレイン５８に排出される。チューブ６７，６９，７１は液体を供給するものであり、エアを供給するものと区別するために、例えば水色に着色されたものが使用されることが好ましい。
【００４３】
切削・洗浄液源４４からはチューブ７３を介して例えば純水等の液体がクリーンユニット５０に供給される。クリーンユニット５０は複数枚のフィルタを含んでいる。クリーンユニット５０からは、チューブ７５を介してスピンナ洗浄装置２７に洗浄液が供給され、チューブ７７を介してホイールカバー用分岐継ぎ手５４に切削液が供給され、チューブ７９を介して供給された液体がウォーターカーテン３６を形成する。
【００４４】
分岐継ぎ手５４からはチューブ８３を介してホイールカバー３２にシャワーノズル用切削液が供給され、チューブ８５を介してブレード冷却用切削液が供給され、チューブ８７を介してシャワー用切削液が供給される。
【００４５】
スピンナ洗浄装置２７から排出される洗浄液はチューブ８１を介してドレイン５８に排出され、ホイールカバー３２から排出される切削液はチューブ８９を介してドレイン５８に排出され、ウォーターカーテン３６を形成した液体はチューブ９１を介してドレイン５８に排出される。
【００４６】
チューブ７３乃至チューブ９１は、冷却液、切削液等の液体を供給したり、使用済みの液体を排出するために使用されるものであり、エアを供給するものと区別するために、例えば水色に着色されたものが使用されることが好ましい。
【００４７】
以上に説明したように、切削装置２の例では、数多くのチューブが使用されるものとなっており、全てのチューブ、或いは、特定のチューブについては、その中を流動するエア、切削・洗浄液、冷却液などの流体を所定の設定圧力に設定する必要が生じることになる。
【００４８】
そして、図５は、一例としてスピンドルユニット３０に接続されるチューブについて本発明を適用した例を示すものである。
【００４９】
この例においては、スピンドルユニット３０に対し、冷却液を供給するためのチューブ６９、エアを供給するためのチューブ３７がそれぞれ接続され、これらチューブ６９，３７を介してスピンドルユニット３０で使用される冷却液とエアがそれぞれ供給されるようにしている。
【００５０】
そして、冷却液を供給するチューブ６９については、圧力表示６９ａとして、チューブ６９内を流れる冷却液の設定圧力である「０．５ＭＰａ」が表示される。同様に、エアを供給するためのチューブ３７については、圧力表示３７ａとして、チューブ３７内を流れるエアの設定圧力である「０．５ＭＰａ」が表示される。
【００５１】
これにより、例えば、圧力計９２，９４を確認しながらレギュレーター９６，９８を操作して設定圧力への調整作業を行う際には、作業者は都度設計図等を参照することなく、チューブ６９，７１に表示された圧力表示６９ａ，７１ａを確認することで、設定されるべき設定圧力を識別し、この設定圧力に至るように調整作業をすることができる。
【００５２】
仮に、この調整作業を都度設計図等を参照しながら行うこととすると、図４に示すように、数多くのチューブが使用されている場合には、調整作業（圧力設定作業）に手間と時間を要することになってしまうが、本実施形態によれば、調整作業に要する手間と時間を低減することができる。
【００５３】
なお、図５の例のように圧力計９２とレギュレーター９６の組み合わせる構成によって特定の圧力に調整する構成とするほか、特定の圧力に減圧するレギュレーターを用いる場合には、チューブに表示された設定圧力に基づいて、レギュレーターを選定するといったことも可能となる。
【００５４】
他方、スピンドルユニット３０には、冷却液を排出するためのチューブ７１、エアを排出するためのチューブ５９がそれぞれ接続され、これらチューブ７１，５９を介してスピンドルユニットで使用された使用済みの冷却液と使用済みのエアがそれぞれ排出されるようにしている。
【００５５】
そして、これらの冷却液やエアを排出するためのチューブ７１，５９については、特定の設定圧力を規定する必要がないため、圧力表示７１ａ，５９ａとして「設定圧力なし」が表示される。
【００５６】
これにより、作業者は、当該チューブ７１，５９について、圧力設定が不要であることを識別することが可能となる。
【００５７】
以上のように、各チューブについて個別に圧力表示がなされることで、作業者は都度設計図等を参照することなく各チューブの設定圧力を識別することができ、圧力の調整作業に要する手間と時間を低減することができる。
【００５８】
また、「設定圧力」などの付記表示１５ｃ（図３（Ｂ））や、「設定圧力なし」などの圧力表示７１ａといった、設定圧力の値とは異なる表示を情報として表示することにより、作業者にとって有意な情報を効果的に伝えることが可能となる。
【００５９】
なお、上述した実施形態では、本発明のチューブを切削装置の配管に適用した例について説明したが、本発明のチューブの使用はこれに限定されるものではなく、例えば研削装置、研磨装置等の他の加工装置の配管にも同様に適用である。
【００６０】
また、チューブの表面への圧力表示などの印字は、インクジェット方式によるインクを用いた印字や、レーザービームを照射することによるレーザー印字にて行うことなどが考えられる。
【符号の説明】
【００６１】
１１Ａ  チューブ
１３ａ    圧力表示
１５ａ    設定圧力
９２      圧力計
９６      レギュレーター
【図１】
2014095936.tif 000003
【図２】
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【図３】
2014095936.tif 000005
【図４】
2014095936.tif 000006
【図５】
2014095936.tif 000007