(57)【要約】【課題】装置の構成が複雑化、大型化することを防止できるシート貼付装置およびシート貼付方法を提供する。【解決手段】搬送されてくるウェハＷＦを収容可能な板状部材収容手段３と、ウェハＷＦが接着シートを介して固定されるリングフレームＲＦを収容可能なフレーム収容手段４との双方を支持可能な構成で、搬送されてくる板状部材収容手段３またはフレーム収容手段４を支持し、支持するものを判別して板状部材ストッカ２０またはフレームストッカ３０へ振り分けて支持させる振り分け手段６０を備える。板状部材収容手段３を板状部材ストッカ２０へ振り分ける構成と、フレーム収容手段４をフレームストッカ３０へ振り分ける構成との共有化が図れ、シート貼付装置１の構成を簡略化できる。【選択図】図１
2014036144.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フレーム部材および板状部材を支持可能な支持手段と、
前記板状部材を複数収容可能な板状部材収容手段を支持可能な板状部材ストッカと、
前記フレーム部材を複数収容可能なフレーム収容手段を支持可能なフレームストッカと、
前記板状部材ストッカに支持された板状部材収容手段、および前記フレームストッカに支持されたフレーム収容手段から、前記板状部材およびフレーム部材を支持して前記支持手段へ移載する移載手段と、
前記支持手段に支持された板状部材およびフレーム部材に接着シートを貼付し、前記板状部材とフレーム部材とを一体化させる貼付手段とを備えたシート貼付装置であって、
搬送されてくる前記板状部材収容手段およびフレーム収容手段のいずれか一方を選択的に支持し、前記板状部材ストッカまたはフレームストッカへ振り分けて支持させる振り分け手段を具備したことを特徴とするシート貼付装置。
【請求項２】
前記振り分け手段は、共通の搬送路で搬送されてくる前記板状部材収容手段およびフレーム収容手段のいずれか一方を選択的に支持可能に設けられていることを特徴とする請求項１に記載のシート貼付装置。
【請求項３】
前記振り分け手段は、支持する前記板状部材収容手段およびフレーム収容手段を判別する判別手段を備え、前記搬送されてくる板状部材収容手段およびフレーム収容手段を同一の受取位置で受け取り、前記判別手段による判別に基づいて振り分けることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のシート貼付装置。
【請求項４】
板状部材を複数収容可能な板状部材収容手段またはフレーム部材を複数収容可能なフレーム収容手段とが搬送されてくると、当該板状部材収容手段およびフレーム収容手段のいずれか一方を選択的に支持し、前記板状部材収容手段を支持可能な板状部材ストッカまたは前記フレーム収容手段を支持可能なフレームストッカへ振り分けて支持させる工程と、
前記板状部材ストッカに支持された板状部材収容手段および前記フレームストッカに支持されたフレーム収容手段から、前記板状部材およびフレーム部材を支持して支持手段へ移載する工程と、
前記フレーム部材および前記板状部材を支持手段で支持する工程と、
前記支持手段に支持された板状部材およびフレーム部材に前記接着シートを貼付し、前記板状部材とフレーム部材とを一体化させる工程とを実施することを特徴とするシート貼付方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、板状部材およびフレーム部材に接着シートを貼付し当該接着シートを介して板状部材とフレーム部材とを一体化するシート貼付装置およびシート貼付方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体製造工程において、半導体ウェハ（以下、単にウェハという場合がある）やリングフレーム（フレーム部材）に接着シートを貼付するシート貼付装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１に記載のシート貼付装置は、ウェハ（板状部材）を複数収容可能なカセット（板状部材収容手段）を支持可能なウェハ供給部（板状部材ストッカ）と、リングフレーム（フレーム部材）を複数収容可能なワゴン（フレーム収容手段）を支持可能なリングフレーム供給部（フレームストッカ）と、ウェハおよびリングフレームに接着シートを貼付するマウント機構（貼付手段）と、板状部材ストッカからマウント機構にウェハを搬送するウェハ搬送機構（移載手段）と、フレームストッカからマウント機構にリングフレームを搬送するリングフレーム搬送機構（移載手段）とを備え、板状部材収容手段またはフレーム部材収容手段に収容された板状部材またはフレーム部材を使い切ると、板状部材収容手段またはフレーム部材収容手段を板状部材ストッカまたはフレームストッカから切り離し、板状部材またはフレーム部材が補充された板状部材収容手段またはフレーム部材収容手段を再度板状部材ストッカまたはフレームストッカに配置するように構成されている。
また、ウェハ（板状部材）が収容されたカセット（板状部材収容手段）を特許文献１等の装置へ搬送する搬送装置として、工程内で敷設された工程内搬送路を通って搬送先に搬送する構成が知られている（例えば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−３３１１９号公報
【特許文献２】特開２０００−６８３５０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１では、搬送されてきた板状部材収容手段を板状部材ストッカに配置するオペレータの作業や装置の機構と、搬送されてきたフレーム収容手段をフレームストッカに配置するオペレータの作業や装置の機構とがそれぞれ必要となるので、シート貼付装置に係るオペレータの作業が煩雑化したり、シート貼付装置の構成が複雑化、大型化したりするといった不都合がある。また、上記特許文献２は、板状部材収容手段を搬送する装置であることから、仮に特許文献２の搬送装置を上記特許文献１に適用したとしても、板状部材収容手段を板状部材ストッカに配置する作業のみが解消されるだけで、上記不都合を全て解消できるものとはならない。
本発明の目的は、オペレータの作業が煩雑化することを防止できるシート貼付装置およびシート貼付方法を提供することである。
また、他の目的は、装置の構成が複雑化、大型化することを防止することができるシート貼付装置およびシート貼付方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
前記目的を達成するために、本発明のシート貼付装置は、フレーム部材および板状部材を支持可能な支持手段と、前記板状部材を複数収容可能な板状部材収容手段を支持可能な板状部材ストッカと、前記フレーム部材を複数収容可能なフレーム収容手段を支持可能なフレームストッカと、前記板状部材ストッカに支持された板状部材収容手段、および前記フレームストッカに支持されたフレーム収容手段から、前記板状部材およびフレーム部材を支持して前記支持手段へ移載する移載手段と、前記支持手段に支持された板状部材およびフレーム部材に接着シートを貼付し、前記板状部材とフレーム部材とを一体化させる貼付手段とを備えたシート貼付装置であって、搬送されてくる前記板状部材収容手段およびフレーム収容手段のいずれか一方を選択的に支持し、前記板状部材ストッカまたはフレームストッカへ振り分けて支持させる振り分け手段を具備した、という構成を採用している。
【０００６】
この際、本発明のシート貼付装置では、前記振り分け手段は、共通の搬送路で搬送されてくる前記板状部材収容手段およびフレーム収容手段のいずれか一方を選択的に支持可能に設けられている、ことが好ましい。
また、本発明のシート貼付装置では、前記振り分け手段は、支持する前記板状部材収容手段およびフレーム収容手段を判別する判別手段を備え、前記搬送されてくる板状部材収容手段およびフレーム収容手段を同一の受取位置で受け取り、前記判別手段による判別に基づいて振り分ける、ことが好ましい。
【０００７】
一方、本発明のシート貼付方法は、板状部材を複数収容可能な板状部材収容手段またはフレーム部材を複数収容可能なフレーム収容手段とが搬送されてくると、当該板状部材収容手段およびフレーム収容手段のいずれか一方を選択的に支持し、前記板状部材収容手段を支持可能な板状部材ストッカまたは前記フレーム収容手段を支持可能なフレームストッカへ振り分けて支持させる工程と、前記板状部材ストッカに支持された板状部材収容手段および前記フレームストッカに支持されたフレーム収容手段から、前記板状部材およびフレーム部材を支持して支持手段へ移載する工程と、前記フレーム部材および前記板状部材を支持手段で支持する工程と、前記支持手段に支持された板状部材およびフレーム部材に前記接着シートを貼付し、前記板状部材とフレーム部材とを一体化させる工程とを実施する、という構成を採用している。
【発明の効果】
【０００８】
以上のような本発明によれば、振り分け手段を設けたため、搬送されてきた板状部材収容手段やフレーム収容手段を板状部材ストッカやフレームストッカに支持させるといったオペレータの作業をなくすことができ、当該オペレータの作業が煩雑化することを防止することができる。
また、振り分け手段が状部材収容手段およびフレーム収容手段のいずれか一方を選択的に支持し、それらを板状部材ストッカまたはフレームストッカへ振り分けて支持させるので、装置の構成が複雑化、大型化することを防止することができる。
【０００９】
この際、共通の搬送路で搬送されてくる板状部材収容手段およびフレーム収容手段を、振り分け手段が選択的に支持して振り分ける構成とすることで、装置周辺の搬送路の構成が簡略化することができ、延いては、当該シート貼付装置を含む製造ラインの小型化が行える。
また、判別手段を設けることで、振り分け手段が板状部材収容手段をフレームストッカに配置したり、フレーム収容手段を板状部材ストッカに配置したりすることを確実に防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の一実施形態に係るシート貼付装置を示す概略平面図。
【図２】図１に示すシート貼付装置の一部を示す正面図。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の一実施形態に係るシート貼付装置を図面に基づいて説明する。
なお、本明細書におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸及びＹ軸は、水平面内の軸とし、Ｚ軸は、水平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１の矢印ＡＲ方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。
【００１２】
図１において、シート貼付装置１は、フレーム部材としてのリングフレームＲＦおよび板状部材としてのウェハＷＦを支持可能な支持手段１０と、ウェハＷＦを複数収容可能な板状部材収容手段３を支持可能な板状部材ストッカ２０と、リングフレームＲＦを複数収容可能なフレーム収容手段４を支持可能なフレームストッカ３０と、板状部材ストッカ２０に支持された板状部材収容手段３およびフレームストッカ３０に支持されたフレーム収容手段４から、ウェハＷＦおよびリングフレームＲＦを支持して支持手段１０へ移載する移載手段４０と、支持手段１０に支持されたウェハＷＦおよびリングフレームＲＦに接着シートＡＳを貼付し、ウェハＷＦとリングフレームＲＦとを一体化させる貼付手段５０と、搬送されてくる板状部材収容手段３およびフレーム収容手段４のいずれか一方を選択的に支持し、板状部材ストッカ２０またはフレームストッカ３０へ振り分けて支持させる振り分け手段６０と、を備え、板状部材収容手段３およびフレーム収容手段４を搬送可能な単一の搬送装置７０の下方に配置されている。
【００１３】
板状部材収容手段３は、表面に保護シートＰＳが貼付されたウェハＷＦを上下方向に多段に収容可能なウェハカセットＷＣと、ウェハカセットＷＣの上面に設けられ、前後両面に前後係合部ＷＣ１が設けられるとともに、右面に右方係合部ＷＣ２が設けられた把持部ＷＣ３とを備えている。
フレーム収容手段４は、リングフレームＲＦを上下方向に多段に収容可能なフレームカセットＦＣと、把持部ＷＣ３と同様にフレームカセットＦＣの上面に設けられ、前後両面に前後係合部ＦＣ１が設けられるとともに、右面に右方係合部ＦＣ２が設けられた把持部ＦＣ３とを備えている。
【００１４】
支持手段１０は、図示しない減圧ポンプや真空エジェクタ等の吸引手段によってウェハＷＦおよびリングフレームＲＦを吸着保持可能な支持面１１を有するテーブル１２と、テーブル１２をスライダ１４で支持する駆動機器としてのリニアモータ１３とを備えている。
板状部材ストッカ２０およびフレームストッカ３０は、それぞれ図示しない光学センサ、感圧センサ、撮像手段やロードセルなどを有し、板状部材収容手段３およびフレーム収容手段４が載置されたことを検出可能に構成されている。
【００１５】
移載手段４０は、駆動機器としての多関節ロボット４１と、この多関節ロボット４１の先端部に設けられた保持手段４２とを備え、保持手段４２で保持したウェハＷＦやリングフレームＲＦを多関節ロボット４１により搬送可能に構成されている。多関節ロボット４１は、６箇所に回転可能な関節を有する所謂６軸ロボットであり、当該多関節ロボット４１の作業範囲内において保持手段４２で保持したウェハＷＦやリングフレームＲＦを何れの位置、何れの角度にでも移動可能に構成されている。保持手段４２は、複数の吸着孔４２Ａを有し、多関節ロボット４１に接続されることで、図示しない減圧ポンプや真空エジェクタ等の吸引手段に接続され、ウェハＷＦやリングフレームＲＦを吸着保持できるようになっている。なお、保持手段４２は、ウェハＷＦを吸着保持する系統と、リングフレームＲＦを吸着保持する系統との２系統が存在する。
【００１６】
貼付手段５０は、図１中符号ＡＡで示すＡＲ方向からの図に示すように、接着シートＡＳが帯状の剥離シートＲＬの一方の面に仮着された原反ＲＳを支持する支持軸５１と、剥離シートＲＬを折り返して接着シートＡＳを剥離する剥離板５２と、剥離された接着シートＡＳをウェハＷＦに当接させて貼付する押圧手段としての押圧ローラ５３と、駆動機器としての回動モータ５４によって回転駆動する駆動ローラ５５と、駆動ローラ５５とで剥離シートＲＬを挟み込むピンチローラ５６と、剥離シートＲＬを回収する回収ローラ５７とによって構成されている。
【００１７】
振り分け手段６０は、支柱６１に両端部が支持された駆動機器である直動モータ６２と、直動モータ６２のスライダ６３に支持された駆動機器である直動モータ６４と、直動モータ６４のスライダ６５に支持された判別手段としてのロードセル６６と、ロードセル６６に支持され、把持部ＷＣ３，ＦＣ３を受け入れ可能な凹部６７Ａが形成された支持アーム６７と、支持アーム６７に支持され凹部６７Ａ内でその出力軸６８Ａを進退可能に設けられた駆動機器である一対の直動モータ６８とを備えている。
【００１８】
搬送装置７０は、図２にも示すように、天井面ＣＬに敷設された搬送レール７１に走行可能に支持された複数の搬送体７２と、搬送体７２の下フレーム７３に支持された駆動機器である回動モータ７４によって回動可能に設けられ、前後係合部ＷＣ１、ＷＣ２に係脱可能な一対の略Ｌ字状のフック７５と、天井面ＣＬに支持されたフレーム７６に支持され、その出力軸７７Ａが右方係合部ＷＣ２、ＦＣ２に係脱可能な直動モータ７７とを備えている。
【００１９】
次に、上記実施形態におけるシート貼付装置の動作について図面を参照して説明する。
先ず、図１中符号ＡＡで示す図に示すように貼付手段５０に原反ＲＳをセットすると、シート貼付装置１が図示しない通信手段を介してウェハＷＦを収容した板状部材収容手段３およびリングフレームＲＦを収容したフレーム収容手段４の要求信号を出力する。この要求信号を受けると、搬送装置７０がウェハＷＦを収容した板状部材収容手段３および、リングフレームＲＦを収容したフレーム収容手段４をそれぞれ支持した２体の搬送体７２を搬送レール７１に沿って走行させる。搬送体７２で支持した板状部材収容手段３の右方係合部ＷＣ２または、フレーム収容手段４の右方係合部ＦＣ２が直動モータ７７の出力軸７７Ａの直左に位置する受け渡し位置（図２中実線で示す位置）に到達したことが図示しない検知手段に検知されると、搬送装置７０が先に走行する搬送体７２の走行を停止する。ここで、先に走行する搬送体７２が板状部材収容手段３を支持しているとする。なお、フレーム収容手段４を支持して走行する搬送体７２は、図示しない制御手段や光学センサ、撮像手段によって、停止している搬送体７２に接触することのないように、所定間隔を保って走行または停止する。そして、搬送装置７０が直動モータ７７を駆動し、出力軸７７Ａを右方係合部ＷＣ２に挿入させた後、各回動モータ７４を駆動し、一対のフック７５を前後係合部ＷＣ１から抜き取り、板状部材収容手段３の支持を解除する。その後、搬送装置７０が走行してきた方向と同じ方向に搬送体７２を走行させ、待機位置に帰還させる。
【００２０】
次いで、振り分け手段６０が直動モータ６２、６４を駆動し、支持アーム６７の凹部６７Ａ内に把持部ＷＣ３を位置させ、直動モータ６８を駆動し、前後係合部ＷＣ１内に出力軸６８Ａを挿入させる。この後、搬送装置７０が直動モータ７７を駆動し、出力軸７７Ａを右方係合部ＷＣ２から抜き取り、板状部材収容手段３を振り分け手段６０に受け渡す。この受け渡しが完了すると、振り分け手段６０がロードセル６６を駆動し、支持したものの重量を計量することで板状部材収容手段３を支持したことを認識する。これにより、振り分け手段６０が板状部材収容手段３をフレームストッカ３０に配置することを確実に防止することができる。なお、上記と同様にして支持したものがフレーム収容手段４と認識した場合、振り分け手段６０がフレーム収容手段４を板状部材ストッカ２０に配置することも確実に防止することができる。
そして、振り分け手段６０が直動モータ６２、６４を駆動し、支持している板状部材収容手段３を板状部材ストッカ２０上に載置した後、直動モータ６８を駆動し、出力軸６８Ａを前後係合部ＷＣ１から抜き取り、板状部材収容手段３を板状部材ストッカ２０に支持させる。
なお、板状部材収容手段３が振り分け手段６０で搬送されると、搬送装置７０がフレーム収容手段４を支持した搬送体７２を走行させ、当該搬送体７２を受け渡し位置で停止し、その後、上述と同様にしてフレーム収容手段４が直動モータ７７の出力軸７７Ａで支持された状態となる。次いで、振り分け手段６０が上述と同様にしてフレーム収容手段４をフレームストッカ３０に支持させる。
【００２１】
板状部材ストッカ２０およびフレームストッカ３０上に板状部材収容手段３およびフレーム収容手段４がそれぞれ載置されると、移載手段４０が多関節ロボット４１を駆動し、保持手段４２をウェハカセットＷＣの内部に挿入させてウェハＷＦを吸着保持し、図１中二転鎖線で示した位置で待機しているテーブル１２の支持面１１上の所定位置に当該ウェハＷＦを載置する。次いで、支持手段１０が図示しない吸引手段を駆動し、当該ウェハＷＦを吸着保持する。その後、移載手段４０が多関節ロボット４１を駆動し、保持手段４２をフレームカセットＦＣの内部に挿入させてリングフレームＲＦを吸着保持し、当該リングフレームＲＦの開口部の中心位置がテーブル１２上で支持されているウェハＷＦの中心位置に合致する状態にして、当該リングフレームＲＦをテーブル１２の支持面１１上に載置する。そして、支持手段１０が図示しない吸引手段を駆動し、当該リングフレームＲＦを吸着保持する。
【００２２】
その後、支持手段１０がリニアモータ１３を駆動し、テーブル１２を左方向に移動させ、ウェハＷＦおよびリングフレームＲＦが所定の位置に到達したことが図示しない検知手段によって検知されると、テーブル１２の移動に同期して貼付手段５０が回動モータ５４を駆動し、原反ＲＳを繰り出す。原反ＲＳが繰り出されると、剥離シートＲＬから接着シートＡＳが剥離され、当該接着シートＡＳが押圧ローラ５３で押圧されてウェハＷＦおよびリングフレームＲＦに貼付され、接着シートＡＳを介してリングフレームＲＦと一体化されたウェハＷＦ（以下「ウェハ支持体ＷＫ」という）が形成される。
ウェハ支持体ＷＫが形成され、テーブル１２が所定位置まで移動されたことが図示しない検知手段によって検出されると、支持手段１０がリニアモータ１３の駆動を停止する。次いで、移載手段４０が多関節ロボット４１を駆動し、保持手段４２でウェハ支持体ＷＫを吸着保持し、多関節ロボット４１を駆動し、当該ウェハ支持体ＷＫをフレームカセットＦＣ内に収納する。
そして、ウェハカセットＷＣからウェハＷＦが取り出され空になったこと（空になりそうになったこと）または、フレームカセットＦＣ内がウェハ支持体ＷＫで満杯になったこと（満杯になりそうになったこと）が図示しない検知手段によって検出されると、シート貼付装置１が図示しない通信手段を介して搬送体７２の要求信号を出力する。この要求信号を受けると、搬送装置７０が何も支持しない搬送体７２と、ウェハＷＦが収容された板状部材収容手段３またはリングフレームＲＦが収容されたフレーム収容手段４を支持した搬送体７２を搬送レール７１に沿って走行させ、何も支持しない搬送体７２が受け渡し位置に到達して停止する。そして、振り分け手段６０が直動モータ６２、６４を駆動し、上記の逆の手順を踏んで、ウェハカセットＷＣまたはフレームカセットＦＣを板状部材ストッカ２０またはフレームストッカ３０から搬送体７２に受け渡す。その後、搬送装置７０が搬送体７２を走行させ、受け取ったフレームカセットＦＣまたはウェハカセットＷＣをダイシング装置やカセット回収手段等の別工程に搬送する。なお、振り分け手段６０がウェハカセットＷＣやフレームカセットＦＣを搬送体７２に受け渡すときにも、振り分け手段６０がロードセル６６を駆動し、支持したものの重量を計量することで空の板状部材収容手段３なのかウェハ支持体ＷＫを収容したフレーム収容手段４なのかを判別し、この情報を図示しない制御手段に出力するので、それらが間違った別工程に搬送されてしまうことを確実に防止することができる。そして、搬送装置７０がウェハＷＦを収容した板状部材収容手段３またはリングフレームＲＦを収容したフレーム収容手段４を支持した搬送体７２を走行させ、当該搬送体７２を受け渡し位置で停止し、上記と同様の動作が繰り返される。
【００２３】
以上のような実施形態によれば、次のような効果がある。
すなわち、振り分け手段６０を設けたため、搬送されてきた板状部材収容手段３やフレーム収容手段４を板状部材ストッカ２０やフレームストッカ３０に支持させるといったオペレータの作業をなくすことができ、当該オペレータの作業が煩雑化することを防止できる。
また、振り分け手段６０が板状部材収容手段３およびフレーム収容手段４のいずれか一方を選択的に支持し、それらを板状部材ストッカ２０またはフレームストッカ３０へ振り分けて支持させるので、装置の構成が複雑化、大型化することを防止することができる。
【００２４】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質等を限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質等の限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【００２５】
例えば、板状部材収容手段３を搬送する搬送路レールと、フレーム収容手段４を搬送する別の搬送路レールとを設け、それぞれの搬送路レールで搬送される板状部材収容手段３およびフレーム収容手段４を、振り分け手段６０で選択的に支持して板状部材ストッカ２０またはフレームストッカ３０へ振り分ける構成等としてもよい。
また、搬送装置７０は、板状部材収容手段３およびフレーム収容手段４を搬送可能な従来公知のいずれの構成を適用してもよい。
【００２６】
さらに、ウェハ支持体ＷＫを移載手段４０によって別の搬送装置に受け渡し、空となったフレーム収容手段４を振り分け手段６０および搬送装置７０で別工程に搬送するようにしてもよい。
【００２７】
また、振り分け手段６０で板状部材収容手段３やフレーム収容手段４を支持する構成は、搬送装置７０の構成に合わせて適宜変更ができ、例えば、フレーム７６で支持する直動モータ７７と支持アーム６７に設けた２体の直動モータ６８とを設けることなく、支持アーム６７に右方係合部ＷＣ２、ＦＣ２に出力軸７７Ａが係脱可能な直動モータ７７を設けてもよい。
さらに、フレーム７６で支持する直動モータ７７を右方向に退避できるように構成すれば、出力軸７７Ａで板状部材収容手段３またはフレーム収容手段４を支持していても、他の板状部材収容手段３またはフレーム収容手段４を支持した搬送体７２の方向を阻害しないようにできる。
また、移載手段４０を振り分け手段６０として機能させてもよい。
【００２８】
さらに、回転により螺着して把持部ＷＣ３，ＦＣ３を支持したり、磁力により支持したりするなど、従来公知の各種支持方法を適用できる。
また、判別手段は、板状部材収容手段３およびフレーム収容手段４に着色したりマークを施したりしたものを対象とし、それを撮像手段で撮像したり、光学センサ、接触センサ、圧力センサ、エリアセンサ等で検知して判別するようにしてもよい。
【００２９】
さらに、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的または間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
【符号の説明】
【００３０】
１      シート貼付装置
２Ａ    搬送路
３      板状部材収容手段
４      フレーム収容手段
１０      支持手段
２０      板状部材ストッカ
３０      フレームストッカ
４０      移載手段
５０      貼付手段
６０      振り分け手段
６９      判別手段
ＡＳ      接着シート
ＲＦ      リングフレーム（フレーム部材）
ＷＦ      半導体ウェハ（板状部材）
【図１】
2014036144.tif 000003
【図２】
2014036144.tif 000004