(57)【要約】  【課題】ワークを非接触で搬送させるエアレールユニットを、加工ユニット側スライド式エアレールユニットと端部側エアレールユニットとを入れ子状に配置した構成にする。【解決手段】レーザ光を照射する加工ユニットと、加工ユニット両側に長手方向がワーク移動方向と平行に配置され、ワーク移動方向にスライド可能な複数のスライド式エアレールからなり、加工ユニット両側でワークとは非接触の加工ユニット側スライド式エアレールユニットと、加工ユニット両側の装置端部に、長手方向がワーク移動方向と平行であり、スライド式エアレールとは入れ子状に配置された複数のエアレールからなり、加工ユニット両側の装置端部でワークとは非接触の端部側エアレールユニットとを備え、加工ユニット側スライド式エアレールユニットと端部側エアレールユニットとによりワークが平坦な状態に保持されて溝加工が施されることを特徴とするレーザスクライブ加工装置。【選択図】図１
2014030828.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
薄膜が形成された薄膜太陽電池ワークを往復移動させながら薄膜形成面の裏側からレーザ光を照射して、前記ワークの薄膜層に直線状に溝加工を施すレーザスクライブ加工装置において、
レーザ光を照射する加工ユニットと、
前記加工ユニットの両側に、長手方向がワークの移動方向と平行に配置され、ワークの移動方向にスライド可能な複数のスライド式エアレールからなり、前記加工ユニットの両側で前記ワークとは非接触の加工ユニット側スライド式エアレールユニットと、
前記加工ユニットの両側の装置端部に、長手方向がワークの移動方向と平行であり、前記複数のスライド式エアレールとは入れ子状に配置された複数のエアレールからなり、前記加工ユニットの両側の装置端部で前記ワークとは非接触の端部側エアレールユニットと、
を備え、
前記加工ユニット側スライド式エアレールユニットと前記端部側エアレールユニットとにより前記ワークが平坦な状態に保持されて溝加工が施される
ことを特徴とするレーザスクライブ加工装置。
【請求項２】
前記端部側エアレールユニットを両側に有する前記スライド式エアレールの幅は前記端部側エアレールユニットの幅より広い
ことを特徴とする請求項１に記載のレーザスクライブ加工装置。
【請求項３】
前記端部側エアレールユニットを両側に有する前記スライド式エアレールは複数列が並列するように設けられている
ことを特徴とする請求項１に記載のレーザスクライブ加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、薄膜太陽電池ワークを往復移動させながら加工ユニットを用いてワークの薄膜層に直線状に溝加工を施すレーザスクライブ加工装置に関し、より詳細には加工ユニットの両側で、ワークを非接触の状態でレーザ照射位置を通過するように往復移動させるためのエアレールユニットに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、ガラス基板に薄膜層が形成された薄膜太陽電池ワークに対し、薄膜層を隣接する構造から分離するためにレーザ光を照射して直線状に溝加工を施す際、ワークに極力ダメージを与えないために、ワークの薄膜形成面を上側にしてエア浮上させた状態で往復移動させながら、ワークの下側に配置された加工ユニットによりワークの薄膜形成面の裏側からレーザ光を照射している（特許文献１参照）。
【０００３】
ワークをエア浮上させるために、エア浮上機構を有するエアレールユニットを、レーザ照射位置上方の上流側と下流側に長手方向をワークの移動方向と平行にして配置している。エア浮上機構は、送気ブロワから供給されたエアを複数の空気孔から上方に向けて噴射して、上方に位置するワークを浮上させる。把持手段により片側端部を把持されたワークは、エアレールユニットとは非接触の状態でレーザ照射位置を通過するように往復移動する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１１−１４２２９７号公報（段落０００４、図１、図４）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
レーザスクライブ加工装置の加工ユニット３は、光源からの出射光をワークへ導くためのミラーを有するが、ミラーは清掃等の定期的なメンテナンスが必要であり、メンテナンスのためのエリア５（以後、メンテナンスエリアという。）を確保しなければならない。メンテナンスエリア５を確保するために、図３で示すように、加工ユニット３の両側に配置された従来型エアレールユニット２を開状態にすると、従来型エアレールユニット２は装置が設置されているエリア７（以後、装置設置エリアという。）から外れる位置までスライドするため、従来型エアレールユニット２の上流側と下流側の両側に、装置が使用するエリア８（以後、装置使用エリアという。）としてスライド分を確保しておかなければならなかった。
【０００６】
装置使用エリア８があることから、従来型エアレールユニット２の上流側と下流側の両側には、図示しない前後工程の搬送ラインとの間の段取り用の専用可動式コンベアの設置が必要となり、装置サイズを大きくし、かつ装置コストを増大させていた。
【０００７】
そこで、本発明は、加工ユニット３のメンテナンスのために従来型エアレールユニットのスライド分を装置使用エリア８として確保しておくことが必要であり、そのために段取り用の専用可動式コンベアが必要になることから搬送ラインを含めた装置サイズが大きくなり、装置コストが増大するという上記従来技術の問題点を解決することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記問題点を解決するために、加工ユニット３の両側に加工ユニット側スライド式エアレールユニット１１と端部側エアレールユニット１２とからなるエアレールユニット１を設け、加工ユニット側スライド式エアレールユニット１１のスライド式エアレールと端部側エアレールユニット１２の固定式エアレールを入れ子状に配置することを特徴とする。
【０００９】
加工ユニット側スライド式エアレールユニット１１のスライド式エアレールと端部側エアレールユニット１２の固定式エアレールを入れ子状に配置することにより発生するワーク乗り継ぎ部６において、ワークのたわみ量がエアレールユニット１のエア浮上量を上回ると、ワークとエアレールユニットが接触してしまう恐れがあることから、中央部に位置する加工ユニット側スライド式エアレールユニット１１のスライド式エアレールは、ワークがエアレールユニット１と接触しない程度のエア浮上量を確保できるレール幅を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明により、加工ユニットのメンテナンスエリア確保のためにエアレールユニットを開状態にしたとしても、エアレールユニットが装置設置エリア７から外れる位置までスライドすることはないため、装置使用エリアを確保する必要がなくなる。
【００１１】
装置使用エリアの確保が不要になると、エアレールユニットの上流側と下流側の両側に設置されていた前後工程の搬送ラインの段取り用の専用可動式コンベアを不要にでき、搬送ラインを含めた装置サイズを小さくできることから、装置コストを削減することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明に係るエアレールユニット閉状態の正面図および平面図である。
【図２】本発明に係るエアレールユニット開状態の正面図および平面図である。
【図３】従来のエアレールユニット開状態の正面図および平面図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の実施形態について説明する。
【実施例】
【００１４】
まず、本発明のレーザスクライブ加工装置の構成について説明する。
【００１５】
図１で示すように、本発明のレーザスクライブ加工装置は、ワークの下側に配置され、ワークの薄膜形成面の裏側にレーザ光を照射する加工ユニット３と、加工ユニット３の両側に配置され、図示しない把持手段により片側端部を把持されたワークをエア浮上機構により非接触の状態でレーザ照射位置を通過するように往復移動させるエアレールユニット１とを備えている。
【００１６】
エアレールユニット１は、加工ユニット３の両側に配置された加工ユニット側スライド式エアレールユニット１１と加工ユニット３の両側の装置端部側に配置された端部側エアレールユニット１２とで構成される。加工ユニット側スライド式エアレール１１は複数のスライド式エアレールで構成され、端部側エアレールユニット１２は複数の固定式エアレールで構成され、スライド式エアレールと固定式エアレールは入れ子状に配置されている。
【００１７】
ワークとは非接触の状態を保つことができるエア浮上量を確保するために、中央部に位置するスライド式エアレールのレール幅を広く設定する。
【００１８】
ワークとは非接触の状態を保つことができるエア浮上量を確保するために、中央部に位置するスライド式エアレールを複数本並列させてもよい。
【００１９】
加工ユニット側スライド式エアレールユニット１１と端部側エアレールユニット１２とのワーク乗り継ぎ部６は、ワークがエアレールユニット１と接触しないよう重なり部を有する。
【００２０】
加工ユニット側スライド式エアレールユニット１１は、加工ユニット３のメンテナンスエリア確保のために加工ユニット側から装置端部側にスライドさせてエアレールユニット開状態にしても、装置設置エリア７から外れることのない長さである。
【００２１】
上流側の搬送ラインから搬送されてきた薄膜太陽電池ワークは、薄膜形成面が上側を向いた状態で加工ユニット側スライド式エアレールユニット１１と端部側エアレールユニット１２とからなるエアレールユニット１上に供給され、図示しない把持手段で片側端部が把持される。エアレールユニット１とは非接触のワークは、ワークの下側に配置された加工ユニット３によるレーザ照射位置４を通過するように往復移動することで、ワークの薄膜形成面の裏側からレーザ光が照射されて、ワークの薄膜層に所定の数の直線状の溝加工が施される。
【００２２】
すべての溝加工が終了すると、下流側の搬送ラインに搬送される。
【００２３】
次に、本発明のレーザスクライブ加工装置における加工ユニット３のメンテナンス時の動作について説明する。
【００２４】
ミラー清掃等の加工ユニット３の定期的なメンテナンスの際、メンテナンスエリア５を確保するために、図２で示すように加工ユニット側スライド式エアレールユニット１１を加工ユニット側から装置端部側にスライドさせて、エアレールユニット開状態にする。
【００２５】
エアレールユニット開状態にしても、エアレールユニット１が装置設置エリア７から外れる位置までスライドすることなくメンテナンスエリア５が確保され、装置の上側から加工ユニット３のメンテナンスが可能になる。
【符号の説明】
【００２６】
１        エアレールユニット
２        従来型エアレールユニット
３        加工ユニット
４        レーザ照射位置
５        メンテナンスエリア
６        ワーク乗り継ぎ部
７        装置設置エリア
８        装置使用エリア
１１      加工ユニット側スライド式エアレールユニット
１２      端部側エアレールユニット
【図１】
2014030828.tif 000003
【図２】
2014030828.tif 000004
【図３】
2014030828.tif 000005