(57)【要約】【課題】プローブピンを電極へ接触させる動作に伴って、プローブピンと電極との接触前に、プローブピンと電極のクリーニングを行うことを課題とする。【解決手段】プローブピン及び電極のクリーニング機構は、プローブピンを備えるプローブ装置と電極との間に配置され、前記プローブピンと接触可能に設けられたプローブクリーニング部及び前記電極と接触可能に設けられた電極クリーニング部を備える回転部材と、前記プローブピンが前記プローブ装置によって前記電極方向へ移動する力を前記回転部材に伝達し、前記プローブクリーニング部が前記プローブピンに接した状態で前記回転部材を回転させつつ前記電極方向へ移動させ、前記電極クリーニング部を前記電極に接触させる動力伝達部と、前記電極側に移動した前記回転部材を元位置に復帰させる復帰部材と、を備える。【選択図】図５
2014181962.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プローブピンを備えるプローブ装置と電極との間に配置され、前記プローブピンと接触可能に設けられたプローブクリーニング部及び前記電極と接触可能に設けられた電極クリーニング部とを備える回転部材と、
前記プローブピンが前記プローブ装置によって前記電極方向へ移動する力を前記回転部材に伝達し、前記プローブクリーニング部が前記プローブピンに接した状態で前記回転部材を回転させつつ前記電極方向へ移動させ、前記電極クリーニング部を前記電極に接触させる動力伝達部と、
前記電極側に移動した前記回転部材を元位置に復帰させる復帰部材と、
を、備えるプローブピン及び電極のクリーニング機構。
【請求項２】
前記動力伝達部は、前記回転部材の端面に摺接可能に設けら、前記プローブピンと共に前記電極側に移動して、前記回転部材を前記電極側に押し込む押込部材と、
前記回転部材及び前記回転部材の保持部材の一方に設けられ、他方が備える螺旋部に摺動自在に係合する係合部と、
を含む請求項１に記載のプローブピン及び電極のクリーニング機構。
【請求項３】
前記復帰部材は、前記回転部材と前記回転部材の保持部材との間に設置され、前記動力伝達部による前記回転部材の前記電極側への移動に伴って伸張し、前記動力伝達部による前記回転部材への動力の伝達の解除に伴って元状態に復帰する弾性部材である請求項１又は２に記載のプローブピン及び電極のクリーニング機構。
【請求項４】
プローブピン及び押込部材が電極方向へ移動し、前記押込部材が、プローブクリーニング部及び電極クリーニング部を備えた回転部材に当接する工程と、
前記プローブピンが、前記プローブクリーニング部へ導入される工程と、
前記押込部材によって前記回転部材を回転させつつ前記電極側に移動させ、回転する前記プローブクリーニング部によって前記プローブピンをクリーニングする工程と、
前記押込部材によって前記回転部材を回転させつつ前記電極側に移動させ、回転する前記電極クリーニング部を電極に接触させて前記電極をクリーニングする工程と、
前記押込部材が前記回転部材の押込みを解除し、前記回転部材が逆回転して元位置に復帰しつつ、前記プローブクリーニング部によって前記プローブピンをクリーニングするとともに、前記電極クリーニング部によって前記電極をクリーニングする工程と、
を含むプローブピン及び電極のクリーニング方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プローブピン及び電極のクリーニング機構、並びにクリーニング方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、電子機器の試験を行う際に、試験装置が備える針状のプローブピンを被試験装置側に設けられた電極に接触させ、電気的導通をとる。このような試験では、被試験装置が搬送されるコンベアラインに沿って複数の試験装置が配置されることがある。そして、それぞれの試験装置の前に順次被試験装置が搬送され、それぞれの試験装置において、電極に対するプロービングが繰り返し実施される。このようなプロービング装置は、例えば、特許文献１等、種々提案されている。
【０００３】
ところで、前記のようなプロービング装置において、電極に対する繰り返しのプロービングが実施されると、プロービング時に発生する粉塵や、気中の塵埃がプローブピンの先端部や電極に付着することがある。このような粉塵や塵埃のプローブピンや電極への付着は、プローブピンと電極との接触抵抗を上昇させ、導通不良を招く可能性がある。導通不良が生じると、試験が中断され、工程遅延の原因ともなる。このような事態を回避するために定期的なクリーニングが行われることがある。
【０００４】
特許文献２には、プローブピン（ソケットピン）の先端接触部が、常に外気に触れ、異物等の付着により汚れる恐れがあることに鑑み、プローブピンの先端接触部のクリーニング効果を得ることができるＩＣソケットが開示されている。特許文献２に開示されたＩＣソケットによれば、プローブピンの先端接触部とＩＣのボールピンを接触させる過程で、先端接触部が弁部に接触し、先端接触部のクリーニング効果を得ることができるとしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１１−１０６９７３号公報
【特許文献２】特開２００９−９２４９８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記のように、定期的なクリーニングを行えば、試験実施中の導通不良はある程度回避できる。しかしながら、試験を中断して行うクリーニングは、作業工数の増加となり、クリーニングに要する時間を含めた実試験時間は、長期化することになる。また、上記特許文献２では、試験実行に伴って、プローブピン（ソケットピン）のクリーニングが行われるが、電極のクリーニングが行われることがなく、電極に付着した粉塵や塵埃に起因する導通不良を改善するものではない。また、上記特許文献１は、プローブピンや電極に付着する粉塵や塵埃の除去を行う格別の構成を有していない。
【０００７】
そこで、本明細書開示のプローブピン及び電極のクリーニング機構、並びにクリーニング方法は、プローブピンを電極へ接触させる動作に伴って、プローブピンと電極との接触前に、プローブピンと電極のクリーニングを行うことを課題とする。なお、前記課題に限らず、後述する発明を実施するための形態に示す各構成により導かれる作用効果であって、従来の技術によっては得られない作用効果を奏することも本発明の他の課題の1つとして位置付けることができる。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本明細書開示のプローブピン及び電極のクリーニング機構は、プローブピンを備えるプローブ装置と電極との間に配置され、前記プローブピンと接触可能に設けられたプローブクリーニング部及び前記電極と接触可能に設けられた電極クリーニング部とを備える回転部材と、前記プローブピンが前記プローブ装置によって前記電極方向へ移動する力を前記回転部材に伝達し、前記プローブクリーニング部が前記プローブピンに接した状態で前記回転部材を回転させつつ前記電極方向へ移動させ、前記電極クリーニング部を前記電極に接触させる動力伝達部と、前記電極側に移動した前記回転部材を元位置に復帰させる復帰部材と、を備える。
【０００９】
プローブ装置は、プローブピンを電極方向に移動させる。動力伝達部により、プローブピンが電極方向へ移動する力が回転部材に伝達されると、回転部材は回転しつつ電極方向へ移動する。これにより、プローブピンと電極との接触前に、回転部材に設けられたプローブクリーニング部及び電極クリーニング部によって、プローブピンと電極をクリーニングすることができる。
【００１０】
本明細書開示のプローブピン及び電極のクリーニング方法は、プローブピン及び押込部材が電極方向へ移動し、前記押込部材が、プローブクリーニング部及び電極クリーニング部を備えた回転部材に当接する工程と、前記プローブピンが、前記プローブクリーニング部へ導入される工程と、前記押込部材によって前記回転部材を回転させつつ前記電極側に移動させ、回転する前記プローブクリーニング部によって前記プローブピンをクリーニングする工程と、前記押込部材によって前記回転部材を回転させつつ前記電極側に移動させ、回転する前記電極クリーニング部を電極に接触させて前記電極をクリーニングする工程と、前記押込部材が前記回転部材の押込みを解除し、前記回転部材が逆回転して元位置に復帰しつつ、前記プローブクリーニング部によって前記プローブピンをクリーニングするとともに、前記電極クリーニング部によって前記電極をクリーニングする工程と、を含む。
【００１１】
プローブピンが電極に接触して行われる試験が実施される工程において、プローブピンが電極に接触する以前にプローブピンと電極のクリーニングを行うことができる。また、プローブピンが退避する際も回転部材が逆回転して元位置に復帰しつつプローブピンと電極のクリーニングを行うことができる。
【発明の効果】
【００１２】
本明細書開示のプローブピン及び電極のクリーニング機構、並びにクリーニング方法によれば、プローブピンを電極へ接触させる動作に伴って、プローブピンと電極との接触前に、プローブピンと電極のクリーニングを行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】図１は第１実施形態の自動試験ラインに組み込まれる搬送装置の斜視図である。
【図２】図２は第１実施形態の自動試験ラインを模式的に示す説明図である。
【図３】図３は第１実施形態のプローブ装置が備えるプローブピンの取り付けベース部を模式的に示す説明図である。
【図４】図４（Ａ）〜（Ｃ）は清掃部に組み込まれる回転部材の３面図である。
【図５】図５は第１実施形態のクリーニング機構の主要部を模式的に示す説明図である。
【図６】図６は第１実施形態のクリーニング機構を備えたプローブ装置の動作の一例を示すフロー図である。
【図７】図７（Ａ）、（Ｂ）はピン部材が回転部材に当接した状態を模式的に示す説明図である。
【図８】図８（Ａ）、（Ｂ）は回転部材が回転しつつ電極側へ移動する様子を模式的に示す説明図である。
【図９】図９（Ａ）、（Ｂ）は回転部材の先端部に設けられた電極クリーニング部が電極に接触した状態を模式的に示す説明図である。
【図１０】図１０（Ａ）、（Ｂ）はプローブピンが電極に接触し、電気的試験が実行される様子を模式的に示す説明図である。
【図１１】図１１（Ａ）、（Ｂ）はプローブピン及びピン部材が電極から遠ざかり、回転部材が逆回転して元位置に復帰し始める様子を模式的に示す説明図である。
【図１２】図１２はプローブピン、ピン部材及び回転部材が元位置に復帰した状態を模式的に示す説明図である。
【図１３】図１３（Ａ）、（Ｂ）はプローブクリーニング部及び電極クリーニング部の変形例を模式的に示す説明図である。
【図１４】図１４（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）はプローブクリーニング部及び電極クリーニング部の他の変形例を模式的に示す説明図である。
【図１５】図１５（Ａ）、（Ｂ）はプローブクリーニング部及び電極クリーニング部のさらに他の変形例を模式的に示す説明図である。
【図１６】図１６は第２実施形態のクリーニング機構の主要部を模式的に示す説明図である。
【図１７】図１７（Ａ）、（Ｂ）はピン部材が回転部材に当接した状態を模式的に示す説明図である。
【図１８】図１８（Ａ）、（Ｂ）は回転部材が回転しつつ電極側へ移動する様子を模式的に示す説明図である。
【図１９】図１９（Ａ）、（Ｂ）は回転部材の先端部に設けられた電極クリーニング部が電極に接触した状態を模式的に示す説明図である。
【図２０】図２０（Ａ）、（Ｂ）はプローブピンが電極に接触し、電気的試験が実行される様子を模式的に示す説明図である。
【図２１】図２１（Ａ）、（Ｂ）はプローブピン及びピン部材が電極から遠ざかり、回転部材が逆回転して元位置に復帰し始める様子を模式的に示す説明図である。
【図２２】図２２はプローブピン、ピン部材及び回転部材が元位置に復帰した状態模式的に示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の実施形態について、添付図面を参照しつつ説明する。ただし、図面中、各部の寸法、比率等は、実際のものと完全に一致するようには図示されていない場合がある。また、図面によっては、説明の都合上、実際には存在する構成要素が省略されている場合がある。
【００１５】
（第１実施形態）
【００１６】
図１は第１実施形態の自動試験ライン１００に組み込まれる搬送装置１の斜視図である。図２は自動試験ライン１００を模式的に示す説明図である。図３はプローブ装置１０が備えるプローブピン１２の取り付けベース部１１を模式的に示す説明図である。図４（Ａ）〜（Ｃ）は清掃部３０に組み込まれる回転部材３２の３面図である。図５はクリーニング機構６０の主要部を模式的に示す説明図である。
【００１７】
図１に示す搬送コンベア２が複数配置されることによって、図２に示すように自動試験ライン１００が形成される。搬送コンベア２上には、搬送パレット３が順次送られてくる。図２に示す試験実施領域に配置される搬送コンベア２には、それぞれ、プローブ装置１０が設置されている。図３を参照すると、プローブ装置１０は、一本のプローブピン１２と二本のピン部材１５を備えた取り付けベース部１１を備える。プローブピン１２は、針状に尖った形状を有する先端部１２ａと、中心部の径と比較して拡径された基端部１２ｂを備える。基端部１２ｂには、電気的試験を実施するための接続端子１８が設けられている。ピン部材１５は、押込部材に相当する。ピン部材１５は、球体が回転可能に仕込まれた先端部１５ａと中心部の径と比較して拡径された基端部１５ｂを備える。取り付けベース部１１には、第１バレル１３が設けられている。第１バレル１３が備える空胴部１３ａには、プローブピン１２の基端側が摺動自在に収納されている。また、空胴部１３ａ内には、プローブピン１２を先端側に付勢する第１スプリング１４が収納されている。第１スプリング１４は、コイルスプリングを採用しているが、他の付勢部材を用いることもできる。取り付けベース部１１には、第１バレル１１の両側に第２バレル１６が設けられている。第２バレル１６が備える空胴部１６ａには、ピン部材１５の基端側１５ｂが摺動自在に収納されている。また、空胴部１６ａ内には、ピン部材１５を先端側に付勢する第２スプリング１７が収納されている。第２スプリング１７は、コイルスプリングを採用しているが、他の付勢部材を用いることもできる。
【００１８】
取り付けベース部１１には、アクチュエータ１９によって駆動される駆動シャフト２０が取り付けられている。これにより、取り付けベース部１１は、アクチュエータ１９の動作に応じて前進、後退動作を行うことができる。従って、取り付けベース部１１に装着されたプローブピン１２及びピン部材１５は、共に、後述する電極５２に向かう方向への移動し、また、電極から離れる方向へ移動することができる。アクチュエータ１９は、制御部２１に電気的に接続されており、制御部２１から指令に基づいて動作する。制御部２１は、接続端子１８を介してプローブピン１２が電気的に接続され、電気的試験を実施する。
【００１９】
搬送パレット３には、図４（Ａ）〜（Ｃ）に示す回転部材３２が組み込まれた清掃部３０が設けられている。清掃部３０は、プローブ装置１０と、後述する電極設置部５０との間に配置されている。清掃部３０は、回転部材３２を保持する保持部材３１を備える。保持部材３１は、板状の部材であり、搬送パレット３に取り付けられている。図５を参照すると、保持部材３１には、回転部材３２の装着穴が設けられており、ベアリングガイド３１ａを介して回転部材３２が装着されている。ベアリングガイド３１ａは、筒状の部材であり、その内周面にボール保持溝３１ａ１が設けられ、ボール３３を保持している。このボール３３は、後に詳述するように、螺旋部３２ｂと摺動自在に係合する係合部に相当する。
【００２０】
ここで、回転部材３２について、図４（Ａ）〜（Ｃ）を参照して詳細に説明する。図４（Ａ）は左側面図、図４（Ｂ）は正面図、図４（Ｃ）は右側面図である。なお、右側面は、プローブピン１２の基端側が位置する側の面であり、左側面は、プローブピン１２の先端側が位置する側の面としている。また、図４（Ａ）〜（Ｃ）では、後述するプローブクリーニング部３５及び電極クリーニング部３６は省略されている。図４（Ａ）を参照すると、回転部材１２は、右側面となる端面に受け溝３２ａを備える。この受け溝３２ａには、ピン部材１５の先端部１５ａが摺接する。受け溝３２ａは、円周状に設けられており、直線的に移動するピン部材１５の動きに対して、回転部材３２の回転を許容することができる。図４（Ｂ）を参照すると、回転部材３２の外壁側面には螺旋溝が設けられており、螺旋部３２ｂが形成されている。この螺旋部３２ｂには、上述したボール３３が係合する。これにより、回転部材が左右方向に移動する際に保持部材３１に対して回転することができる。図４（Ｂ）、（Ｃ）を参照すると、回転部材３２は、左端部、すなわち、電極設置部５０に近い側に鍔部３２ｄを備える。図５を参照すると、回転部材３２の内周面３２ｃにプローブクリーニング部３５が設けられ、鍔部３２ｄの電極設置部５０と対向する面から露出するように電極クリーニング部３６が設けられている。プローブクリーニング部３５及び電極クリーニング部３６は一体に成形されたスポンジ状の部材であり、それぞれ、プローブピン１２、電極５２をクリーニングすることができる。
【００２１】
図５を参照すると、保持部材３１と鍔部３２ｄとの間には、第３スプリング３４が設置されている。第３スプリング３４は、回転部材３２を電極設置部５０から遠ざかる方向に付勢している。第３スプリング３４は、電極５２側に移動した回転部材３４を元位置に復帰させる復帰部材に相当する。第３スプリング３４は、弾性部材とすることができ、その一例として、コイルスプリングを採用しているが、他の付勢部材を採用することもできる。
【００２２】
搬送パレット３には、被試験装置となるＤＵＴ（Device under test）４が搭載される。各搬送パレット３には、給電ユニットが装備されており、ＤＵＴ４に常時給電されている。また、各搬送パレット３には、電極設置部５０が設けられている。電極設置部５０には、プリント基板５１上に実装された電極５２が設けられている。電極５２は、プローブピン１２の接触面が垂直となるように設けられている。電極設置部５０は、搬送パレット３に搭載されたＤＵＴ４と電気的に接続される。そして、図２に示す試験実施領域の各位置において、所定の電気的試験が行われる。
【００２３】
以上説明したように、プローブピン１２がプローブ装置１０によって電極５２方向へ移動する力は、プローブピン１２とともに移動するピン部材１５を介して回転部材３２に伝達される。そして、電極５２方向へ移動するピン部材１５は、プローブクリーニング部３５がプローブピン１２に接した状態で回転部材３２を回転させつつ電極方向へ移動させ、さらに、電極クリーニング部３６を電極５２に接触させる。このような、回転部材３２の回転を伴った電極側への移動は、回転部材３２の端面に設けられた受け溝３２ａ、ピン部材１５、回転部材３２に設けられた螺旋部３２ｂ、螺旋部３２ｂと係合するボール３３によって、実現される。従って、これらは、動力伝達部に含まれる。なお、本実施形態において、螺旋部は、回転部材３２側に設けられ、係合部に相当するボール３３は、保持部材３１側に設けられているが、両者の位置関係を入れ換えてもよい。すなわち、動力伝達部は、プローブピン１２及びピン部材１５の直線的な動作を回転部材３２の回転を伴った直線運動に変換することができるものであればよい。
【００２４】
つぎに、クリーニング機構６０を備えたプローブ装置１０の動作の一例を、図６乃至図１２を参照しつつ説明する。図６はクリーニング機構６０を備えたプローブ装置１０の動作の一例を示すフロー図である。図７乃至図１２は、それぞれプローブ装置１０の動作に伴う各部の状態を模式的に示す説明図である。プローブ装置１０の動作は、制御部２１によって主体的に制御される。
【００２５】
搬送パレット３が所定の位置に搬送されると、まず、ステップＳ１において、プローブピン１２及びピン部材１５が電極５２方向への移動を開始する。具体的に、アクチュエータ１９によって取り付けベース部１１の移動が開始される。
【００２６】
ステップＳ２では、図７（Ｂ）に示すように電極５２側に移動したピン部材１５がプローブクリーニング部３５及び電極クリーニング部３６を備え回転部材３２に設けられた受け溝３２ａに当接する。ピン部材１５が受け溝３２ａに当接すると、第２スプリング１７が僅かに圧縮される。以後、ピン部材１５がさらに電極５２側へ移動すると、回転部材３２は、図７（Ａ）に示すように図中、時計回りの方向に回転しつつ、電極５２方向へ移動することとなる。一方、プローブピン１２の先端部１２ａは、プローブクリーニング部３５へ導入される。なお、ピン部材１５が受け溝３２ａに当接するタイミングと、プローブピン１２の先端部１２ａがプローブクリーニング部３５へ導入されるタイミングとは、厳密に一致することが求められるものではなく、どちらかが先行してもよい。
【００２７】
つぎに、ステップＳ３では、図８（Ｂ）に示すようにピン部材１５によって押し込まれる回転部材３２が回転しつつ電極５２側に移動しつつ、回転するプローブクリーニング部３５によってプローブピン１２をクリーニングする。そして、回転部材３２がさらに電極５２側に移動すると、図９（Ｂ）に示すように回転する電極クリーニング部３６が電極５２に接触して電極をクリーニングする。このように、プローブピン１２と電極５２との接触前に、プローブピン１２と電極５２のクリーニングを行うことができる。なお、電極５２は、プローブピン１２との接触面が垂直となるように設置されているため、クリーニングよって掻き落とされた塵埃等の再度の電極５２への付着は回避される。
【００２８】
ステップＳ４では、プローブクリーニング部３５内を通過し、さらに、電極５２側へ移動するプローブピン１２が電極に接触し、電気的試験が実行される。このとき、第１スプリング１４は、圧縮された状態となっている。
【００２９】
このように、回転部材３２が電極５２方向に移動するとき、回転部材３２は、図８（Ａ）や図９（Ａ）に示すように図中、時計回りの方向に回転する。また、回転部材３２の電極５２方向への移動に伴って、第３スプリング３４は伸張した状態となる。
【００３０】
所定の電気的試験が行われた後、ステップＳ５では、プローブピン１２及びピン部材１５が電極５２から遠ざかる方向への移動を開始する。そして、図１１（Ｂ）に示すように第３スプリング３４の付勢力によって回転部材３２も元位置への復帰を開始する。このとき、回転部材３２は、図１１（Ａ）に示すように図中、反時計回りの方向、すなわち、逆回転する。これにより、電極クリーニング部３６は、電極５２から離れるまでの間、電極５２をクリーニングすることができる。また、プローブクリーニング部３５内に位置しているプローブピン１２は、引き続きクリーニングされる。すなわち、ピン部材１５が回転部材３２の押込みを解除し、回転部材３２が逆回転して元位置に復帰しつつ、プローブクリーニング部３５によってプローブピン１２をクリーニングされる。また、電極クリーニング部３６によって電極５２がクリーニングされる。
【００３１】
図１２は、アクチュエータ１９によって、取り付けベース部１１が完全に元位置に復帰した状態を示している。この状態で、プローブピン１２及び電極５２はクリーニングされた状態となっており、次回の電気的試験に備えることができる。このように、クリーニングされた状態でスタンバイすることができ、さらに、実際の試験動作時に再度プローブピン１２及び電極５２のクリーニングが実施されることになるので、塵埃等の排除に万全を期すことができる。
【００３２】
このように、本実施形態のクリーニング機構６０は、クリーニング動作を実現するための格別のアクチュエータを備えおらず、プローブピン１２だけでなく電極のクリーニングを実施することができる。すなわち、アクチュエータ１９は、通常のプローブ装置が備えるものであり、クリーニング動作を実現するために追加で準備されたものでない。追加のアクチュエータを不要とすることから、コスト面、装置の設置スペースの面でも有利となる。また、本実施形態のクリーニング機構によれば、電気的試験の実施に伴ってプローブピン１２及び電極の５２のクリーニングが実施されるので、これらに対する定期的なクリーニングから開放され、試験時間の実実施時間も短縮される。
【００３３】
（プローブクリーニング部及び電極クリーニング部の変形例）
本実施形態のプローブクリーニング部３５及び電極クリーニング部３６は、一体成形されたスポンジ状の部材を採用しているが、他の部材を採用することもできる。以下、プローブクリーニング部及び電極クリーニング部の変形例について説明する。
【００３４】
図１３（Ａ）、（Ｂ）を参照すると、ブラシ状のプローブクリーニング部６５及び電極クリーニング部６６を採用することができる。図１３（Ａ）は、回転部材３２を軸方向基端側から観た状態を模式的に示し、図１３（Ｂ）は、回転部材３２の主要部を模式的に示している。プローブクリーニング部６５は、ブラシの毛先を回転部材３２の中心側に向けて回転部材３２の内周壁に設けている。また、電極クリーニング部６６は、プローブクリーニング部６５と別体とされ、鍔部３２ｄの端面に設けられている。このようなプローブクリーニング部６５及び電極クリーニング部６６であっても、プローブピン１２及び電極５２をクリーニングすることができる。
【００３５】
図１４（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）を参照すると、糸状のプローブクリーニング部７５及び電極クリーニング部７６を採用することができる。図１４（Ａ）は、回転部材３２を軸方向基端側から観た状態を模式的に示し、図１４（Ｂ）は、回転部材３２の主要部を模式的に示している。図１４（Ｃ）は、回転部材３２を軸方向先端側から観た状態を示している。プローブクリーニング部７５は、糸状の部材を中心部で交差するように回転部材３２内に張り巡らせて設けられている。また、電極クリーニング部７６は、鍔部３２ｄよりも先端側に設けた延長部３２ｅに糸状の部材を中心部で交差するように張り巡らせて設けられている。このようなプローブクリーニング部７５及び電極クリーニング部７６であっても、プローブピン１２及び電極５２をクリーニングすることができる。
【００３６】
図１５（Ａ）、（Ｂ）を参照すると、糸状のプローブクリーニング部８５を採用することができる。図１５（Ａ）は、回転部材３２を軸方向基端側から観た状態を模式的に示し、図１４（Ｂ）は、回転部材３２の主要部を模式的に示している。プローブクリーニング部８５は、糸状の部材を中心部で環部８５ａを形成するように回転部材３２内に配置されている。糸状の部材の一端は回転部材３２の内周壁に保持され、他端は、回転部材３２の外周壁を通過して回転部材の周囲に配置されたベアリングガイド３１ａに保持されている。これにより、回転部材３２が回転すると、環部８５ａが縮径される。すなわち、プローブピン１２が環部８５ａ内に位置している状態で環部８５が縮径すると、環部８５ａがプローブピン１２に絡みつき、プローブピン１２に付着した塵埃等を掻き落とすことができる。なお、図１５（Ａ）、（Ｂ）に示す例では、図１４（Ａ、（Ｂ）、（Ｃ）に示す電極クリーニング部７６と同様の機構を採用しているので、その詳細な説明は省略する。
【００３７】
このように、プローブクリーニング部及び電極クリーニング部は種々変更することができる。
【００３８】
（第２実施形態）
つぎに、図１６乃至図２２を参照して第２実施形態について、説明する。図１６を参照すると、第２実施形態のクリーニング機構７０は、第１実施形態のクリーニング機構６０と異なり、第３スプリング３４に代えて第３スプリング７４を備える。第３スプリング７４は、鍔部３２ｄの電極５２と対向する端面に設けられている。なお、他の構成要素については、第１実施形態と異なるところがないので、共通する構成要件については、図面中、同一の参照番号を付し、その詳細な説明を省略する。
【００３９】
第３スプリング７４は、回転部材３２を元位置に復帰させる復帰部材に相当する。第３スプリング７４は、プリント基板５１に押し付けられることによって圧縮され、付勢力を得る。
【００４０】
このようなクリーニング機構７０を備えたプローブ装置１０の動作につき、図１７乃至図２２を参照しつつ説明する。なお、基本的な動作は、第１実施例と共通するので、第１実施形態との相違点を中心に説明する。
【００４１】
搬送パレット３が所定の位置に搬送されると、プローブピン１２及びピン部材１５が電極５２方向への移動を開始する。そして、図１７（Ｂ）に示すように電極５２側に移動したピン部材１５が回転部材３２に設けられた受け溝３２ａに当接する。ピン部材１５がさらに電極５２側へ移動すると、回転部材３２は、図１７（Ａ）に示すように図中、時計回りの方向に回転しつつ、電極５２方向へ移動することとなる。一方、プローブピン１２の先端部１２ａは、プローブクリーニング部３５へ導入される。
【００４２】
つぎに、図１８（Ｂ）に示すようにピン部材１５によって押し込まれる回転部材３２が回転しつつ電極５２側に移動しつつ、回転するプローブクリーニング部３５によってプローブピン１２をクリーニングする。そして、回転部材３２がさらに電極５２側に移動すると、図１９（Ｂ）に示すように回転する電極クリーニング部３６が電極５２に接触して電極をクリーニングする。また、第３スプリング７４がプリント基板５１に当接し、圧縮される。
【００４３】
つぎに、図２０（Ｂ）に示すようにプローブクリーニング部３５内を通過し、さらに、電極５２側へ移動するプローブピン１２が電極に接触し、電気的試験が実行される。
【００４４】
所定の電気的試験が行われた後、プローブピン１２及びピン部材１５が電極５２から遠ざかる方向への移動を開始する。そして、図２１（Ｂ）に示すように第３スプリング７４の付勢力によって回転部材３２も元位置への復帰を開始する。このとき、回転部材３２は、図２１（Ａ）に示すように図中、反時計回りの方向、すなわち、逆回転する。
【００４５】
図２２は、アクチュエータ１９によって、取り付けベース部１１が完全に元位置に復帰した状態を示している。この状態で、プローブピン１２及び電極５２はクリーニングされた状態となっており、次回の電気的試験に備えることができる。このように、クリーニングされた状態でスタンバイすることができ、さらに、実際の試験動作時に再度プローブピン１２及び電極５２のクリーニングが実施されることになるので、塵埃等の排除に万全を期すことができる。
【００４６】
以上本発明の好ましい実施形態について詳述したが、本発明は係る特定の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形、変更が可能である。
【符号の説明】
【００４７】
１  搬送装置                      ２  搬送コンベア
３  搬送パレット                １０  プローブ装置
１１  取り付けベース部          １２  プローブピン
１２ａ  先端部                  １２ｂ  基端部
１３  第１バレル                １３ａ  空胴部
１４  第１スプリング            １５  ピン部材（押込部材）
１５ａ  先端部                  １５ｂ  基端部
１６  第２バレル                １６ａ  空胴部
１７  第２スプリング            １８  接続端子
１９  アクチュエータ            ３０  清掃部
３１  保持部材                  ３１ａ  ベアリングガイド
３１ａ１  ボール保持溝          ３２  回転部材
３２ａ  受け溝部                ３２ｂ  螺旋溝
３２ｃ  内周面                  ３２ｄ  鍔部
３３  ボール（係合部）          ３４、７４  第３スプリング（復帰部材）
３５、６５、７５、８５  プローブクリーニング部
３６  電極クリーニング部        ５２  電極
６０、７０  クリーニング機構  １００  自動試験ライン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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