(57)【要約】      （修正有）【課題】装置を大型化することなく各種機器や配管等の振動を効果的に抑制することができるコンパクトで減衰力が大きい減衰装置を提供する。【解決手段】制振対象物に固定される第１の取付部２ａを有する第１の固定部１ａと、構造物に固定される第２の取付部２ｂを有する第２の固定部２ａと、第２の固定部２ｂに固定され第１の固定部２ａ内を直線移動可能に配置された固定筒部３と、第１の固定部１ａの一端に固定され第２の固定部１ｂ内に延在するボールねじ軸８と、第１のボールナット１０ａと、第１の回転筒部６ａと、第２のボールナット１０ｂと、第２の回転筒部６ｂと、を有し、第１のねじ部８ａと第２のねじ部８ｂは相互に逆向きにねじ切られているとともに、相対回転する第１の回転筒部６ａと第２の回転筒部６ｂの間及び／又は相対回転する第２の回転筒部５ｂと固定筒部３の間に減衰要素を配置する。【選択図】図１
2014202234.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
制振対象物に固定される第１の取付部を有する第１の固定部と、構造物に固定される第２の取付部を有する第２の固定部と、前記第２の固定部に固定され前記第１の固定部内を直線移動可能に配置された固定筒部と、前記第１の固定部に固定され前記第２の固定部内に延在するボールねじ軸と、前記ボールねじ軸の第１のねじ部に回転可能に取り付けられた第１のボールナットと、前記第１のボールナットに固定された第１の回転筒部と、前記ボールねじ軸の第２のねじ部に回転可能に取り付けられた第２のボールナットと、前記第２のボールナットに固定されるとともに前記第１の回転筒部に対向する面を有する第２の回転筒部と、を有する減衰装置であって、
前記第１のねじ部と第２のねじ部は相互に逆向きにねじ切られているとともに、前記第１の回転筒部と前記第２の回転筒部の間及び／又は前記第２の回転筒部と前記固定筒部の間に減衰要素を配置したことを特徴とする減衰装置。
【請求項２】
前記第１のボールナットに複数の回転筒部を同軸状に固定したことを特徴とする請求項１記載の減衰装置。
【請求項３】
制振対象物に固定される第１の取付部を有する第１の固定部と、構造物に固定される第２の取付部を有する第２の固定部と、前記第２の固定部に固定された固定筒部と、前記固定筒部に固定され前記第１の固定部内を直線移動可能に配置されたボールナット固定部と、前記ボールナット固定部内に固定された第１のボールナットと、前記第１の固定部に回転可能に支持され前記ボールナット固定部内に延在するボールねじ軸と、前記ボールねじ軸の第１のねじ部に螺合する前記第１のボールナットと、前記ボールねじ軸の第２のねじ部に回転可能に取り付けられた第２のボールナットと、前記第２のボールナットに固定されるとともに前記固定筒部内に配置された回転柱部と、を有する減衰装置であって、
前記第１のねじ部と第２のねじ部は相互に逆向きにねじ切られているとともに、前記回転柱部と固定筒部の間に減衰要素を配置したことを特徴とする減衰装置。
【請求項４】
制振対象物に固定される第１の取付部を有する第１の固定部と、構造物に固定される第２の取付部を有する第２の固定部と、前記第２の固定部に固定された固定筒部と、前記固定筒部に固定され前記第１の固定部内を直線移動可能に配置されたボールナット固定部と、前記ボールナット固定部内に固定された第１のボールナットと、前記第１の固定部に回転可能に支持され前記ボールナット固定部内に延在するボールねじ軸と、前記ボールねじ軸の第１のねじ部に螺合する前記第１のボールナットと、前記ボールねじ軸の第２のねじ部に回転可能に取り付けられた第２のボールナットと、前記第２のボールナットに固定されるとともに前記固定筒部内に配置された回転筒部と、前記第１の固定部に固定され前記回転筒部の内側に配置された固定柱部と、を有する減衰装置であって、
前記第１のねじ部と第２のねじ部は相互に逆向きにねじ切られているとともに、前記回転筒部と前記固定筒部の間、及び／又は前記固定柱部と前記回転筒部の間に減衰要素を配置したことを特徴とする減衰装置。
【請求項５】
前記第１の回転筒部と前記第２の回転筒部の間、前記第２の回転筒部と前記固定筒部の間、前記相対回転する前記回転柱部と固定筒部の間、前記回転筒部と前記固定筒部の間、及び前記固定柱部と前記回転筒部の間に配置される記減衰要素は、一方に取り付けられた導体部材と、他方に取り付けられた磁石とからなることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の減衰装置。
【請求項６】
前記一方は導体部材からなることを特徴とする請求項５記載の減衰装置。
【請求項７】
前記減衰要素として、さらに、粘性材料、粘弾性材料、弾塑性材料、又は摩擦材料及びばね、あるいはそれらの組合せを用いることを特徴とする請求項５又は６に記載の減衰装置。
【請求項８】
前記減衰要素は、粘性材料、粘弾性材料、弾塑性材料、又は摩擦材料及びばね、あるいはそれらの組合せからなることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の減衰装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は各種機器や配管等の減衰装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、各種プラントに用いられる機器や配管等の通常運転時における振動や、地震時の大きな振動を抑える装置として、直線運動を回転運動に変換する機構を有するメカニカルスナッバや減衰装置が使用されている。メカニカルスナッバは、振動による直線運動をフライホイールの回転運動に変換し、その慣性力によって振動を抑えるものである。また、減衰装置は、例えば、直線運動を導体板の回転運動に変換し、固定部に設置した磁石と相対運動させて、その電磁作用により磁気減衰力を得るものである（特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第２９８６４１４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述した従来のメカニカルスナッバや減衰装置は、大型の機器に適用する場合、減衰力を大きくするためにフライホイールを大型化したり、導体板と磁石の作用範囲を大きくすることにより、減衰装置を大容量化する必要があった。このため、装置全体が大型となり、重量及びコストも増大するという課題があった。  
本発明は上述した課題を解決するためになされたものであり、コンパクトで大きな減衰力を有する減衰装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するために、本実施形態に係る減衰装置は、制振対象物に固定される第１の取付部を有する第１の固定部と、構造物に固定される第２の取付部を有する第２の固定部と、前記第２の固定部に固定され前記第１の固定部内を直線移動可能に配置された固定筒部と、前記第１の固定部に固定され前記第２の固定部内に延在するボールねじ軸と、前記ボールねじ軸の第１のねじ部に回転可能に取り付けられた第１のボールナットと、前記第１のボールナットに固定された第１の回転筒部と、前記ボールねじ軸の第２のねじ部に回転可能に取り付けられた第２のボールナットと、前記第２のボールナットに固定されるとともに前記第１の回転筒部に対向する面を有する第２の回転筒部と、を有する減衰装置であって、前記第１のねじ部と第２のねじ部は相互に逆向きにねじ切られているとともに、前記第１の回転筒部と前記第２の回転筒部の間及び／又は前記第２の回転筒部と前記固定筒部の間に減衰要素を配置したことを特徴とする。
【０００６】
また、本実施形態に係る減衰装置は、制振対象物に固定される第１の取付部を有する第１の固定部と、構造物に固定される第２の取付部を有する第２の固定部と、前記第２の固定部に固定された固定筒部と、前記固定筒部に固定され前記第１の固定部内を直線移動可能に配置されたボールナット固定部と、前記ボールナット固定部内に固定された第１のボールナットと、前記第１の固定部の一端に回転可能に支持され前記ボールナット固定部内に延在するボールねじ軸と、前記ボールねじ軸の第１のねじ部に螺合する前記第１のボールナットと、前記ボールねじ軸の第２のねじ部に回転可能に取り付けられた第２のボールナットと、前記第２のボールナットに固定されるとともに前記固定筒部内に配置された回転柱部と、を有する減衰装置であって、前記第１のねじ部と第２のねじ部は相互に逆向きにねじ切られているとともに、相対回転する前記回転柱部と固定筒部の間に減衰要素を配置したことを特徴とする。
【０００７】
また、本実施形態に係る減衰装置は、制振対象物に固定される第１の取付部を有する第１の固定部と、構造物に固定される第２の取付部を有する第２の固定部と、前記第２の固定部に固定された固定筒部と、前記固定筒部に固定され前記第１の固定部内を直線移動可能に配置されたボールナット固定部と、前記ボールナット固定部内に固定された第１のボールナットと、前記第１の固定部の一端に回転可能に支持され前記ボールナット固定部内に延在するボールねじ軸と、前記ボールねじ軸の第１のねじ部に螺合する前記第１のボールナットと、前記ボールねじ軸の第２のねじ部に回転可能に取り付けられた第２のボールナットと、前記第２のボールナットに固定されるとともに前記固定筒部内に配置された回転筒部と、前記第１の固定部に固定され前記回転筒部の内側に配置された固定柱部と、を有する減衰装置であって、前記第１のねじ部と第２のねじ部は相互に逆向きにねじ切られているとともに、相対回転する前記回転筒部と前記固定筒部の間、及び／又は相対回転する前記固定柱部と前記回転筒部の間に減衰要素を配置したことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の実施形態によれば、コンパクトで減衰力が大きい減衰装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】第１の実施形態に係る減衰装置の断面図。
【図２】図１のＡ−Ａ矢視断面図。
【図３】第２の実施形態に係る減衰装置の断面図。
【図４】図２のＢ−Ｂ矢視断面図。
【図５】第３の実施形態に係る減衰装置の断面図。
【図６】第４の実施形態に係る減衰装置の断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明に係る減衰装置の実施形態について、図面を参照して説明する。  
［第１の実施形態］
（構成）
第１の実施形態に係る減衰装置を図１及び図２を用いて説明する。  
本実施形態に係る減衰装置は、図１に示すように、第１の取付部２ａが設けられた第１の固定部１ａと、第２の取付部２ｂが設けられた第２の固定部１ｂとを備え、第１の取付部２ａは、配管、弁、ポンプ等の制振対象物（図示せず）に固定され、第２の取付部２ｂは、壁、柱等の構造物（図示せず）に固定される。
【００１１】
第２の固定部１ｂには固定筒部３が固定され、固定筒部３の側面にはスライドレール４が取り付けられている。また、第１の固定部１ａの内面には、スライドレール４と係合しスライドレール４上を直線移動するスライダ５が取り付けられている。  
固定筒部３の内側には、中心に向かって、第２の回転筒部６ｂ、第１の回転筒部６ａが配置され、両者はベアリング部７を介して相互に回転可能に取り付けられている。
【００１２】
固定部１ａの一端には、第１の回転筒部６ａの内側を貫通し第２の固定部１ｂ内に延在するように、ボールねじ軸８が固定されており、当該ボールねじ軸８は、ほぼ中央を境に相互に逆方向にねじ切りがなされている。例えば、ボールねじ軸８は一方が右ねじ部（第１のねじ部）８ａ、他方が左ねじ部（第２のねじ部）８ｂとから構成されている。
【００１３】
そして、右ねじ部８ａには、当該右ねじ部８ａの直線運動により回転する右ボールナット（第１のボールナット）１０ａが取り付けられており、この右ボールナット１０ａは第１の回転筒部６ａに固定され、両者は共に回転するように構成されている。また、左ねじ部８ｂには、当該左ねじ部の直線運動により回転する左ボールナット１０ｂ（第２のボールナット）が取り付けられており、この左ボールナット１０ｂは第２の回転筒部６ｂに固定され、両者は共に回転するように構成されている。
【００１４】
また、第１の回転筒部６ａと第２の回転筒部６ｂの間、及び第２の回転筒部６ｂと固定筒部３の間には円周状に複数の磁石１１が配置されている。本実施形態では、複数の磁石１１は第１の回転筒部６ａの外周面及び固定筒部３の内周面にそれぞれ取り付けられている。また、外側及び内側の磁石１１と第２の回転筒部６ｂは、図２に示すように、それぞれ所定の間隙を介して非接触に配置されている。磁石１１は、その表面がＳ極またはＮ極となるように磁化されており、隣り合う磁石１１は互いに異磁極となるように配置されている。
【００１５】
ここで、固定筒部３及び第１の回転筒部６ａは強磁性材料からなる。また、第２の回転筒部６ｂは電気的な導体部材から構成されるか、又は磁石１１と対向する第２の回転筒部６ｂの内外周面に所定厚さの導体部材が機械的又は金属的接合手段によって取り付けられる。この、導体部材は磁石とともに減衰要素として機能する。
【００１６】
なお、これとは逆に、複数の磁石１１を第２の回転筒部６ｂの内外周面に設け、第１の回転筒部６ａの外周面及び固定筒部３を導体部材から構成してもよい。  
また、必要な磁気減衰力が得られれば、磁石を第１の回転筒部６ａと第２の回転筒部６ｂの間、又は第２の回転筒部６ｂと固定筒部３の間のいずれか一方に配置してもよい。
【００１７】
（作用）
このように構成された本第１の実施形態の減衰装置において、例えば制振対象物が地震により振動して、第１の取付部２ａと第２の取付部２ｂの間隔を縮めようとした場合、制振対象物に固定されている第１の取付部２ａと共に第１の固定部１ａに固定されているボールねじ軸８が右ボールナット１０ａ及び左ボールナット１０ｂに対して同時に押し込まれる。
【００１８】
その際、右ボールナット１０ａ及び左ボールナット１０ｂは、ベアリング部７及び固定筒部３を介して第２の固定部１ｂに取り付けられているため、押し込まれた量に応じて回転する。この時、右ボールナット１０ａ及び左ボールナット１０ｂはそれぞれボールねじ軸８の右ねじ部８ａおよび左ねじ部８ｂに取り付けられているため、互いに逆の方向に回転する。
【００１９】
したがって、右ボールナット１０ａ及び左ボールナット１０ｂにそれぞれ固定されている第１の回転筒部６ａ及び第２の回転筒部６ｂも互いに逆の方向に相対回転することとなり、その相対回転数は、１つのボールねじとナットによる回転数の２倍となる。
【００２０】
これにより、第１の回転筒部６ａの外周面に取り付けられた磁石１１および導体材料である第２の回転筒部６ｂの内面との相対運動により大きな磁気減衰力が得られる。それに加えて、固定筒部３の内面に取り付けられた磁石１１と第２の回転筒部６ｂの外周面との相対運動による磁気減衰も得られるため、装置全体として大きな減衰容量を得ることができる。
【００２１】
（効果）
以上説明したように、本第１の実施形態によれば、装置を大型化することなく各種機器、配管又は構造物等の振動を効果的に抑制することができるコンパクトで減衰力が大きい減衰装置を提供することができる。さらに、作動油等を使用しないため、放射線環境下においても長期的かつ安定的に使用することができる。
【００２２】
［第２の実施形態］
第２の実施形態に係る減衰装置を図３及び図４を用いて説明する。なお、第１の実施形態と同一の構成には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
【００２３】
（構成）
第２の実施形態に係る減衰装置は、図３及び図４に示すように、減衰装置の固定筒部３と第１の回転筒部６ｂの間に、第１の回転筒部６ａと共に同軸状に回転する第３の回転筒部６ｃをベアリング部７を介して配置した構成としている。
【００２４】
第１の回転筒部６ａの外周面と第３の回転筒部６ｃの内外周面にはそれぞれ複数の磁石１１が取り付けられている。本実施形態では固定筒部３は、図３、図４に示すようにその内周面に導体部材１２が取り付けられているが、固定筒部３を導体部材から構成してもよい。また、本実施形態では第２の回転筒部６ｂは導体部材から構成されるが、その内外周面に導体部材を取り付けてもよい。  
なお、上記第１の実施形態と同様に、導体部材と磁石をそれぞれ逆の部材に取り付けてもよい。
【００２５】
（作用）
制振対象物が地震により振動して、ボールねじ軸８が右ボールナット１０ａ及び左ボールナット１０ｂに対して同時に押し込まれると、右ボールナット１０ａ及び左ボールナット１０ｂは、押し込まれた量に応じて回転する。この時、左ボールナット１０ｂの回転に伴い第２の回転筒部６ｂが回転し、右ボールナット１０ａの回転に伴い第１の回転筒部６ａに加えて第３の回転筒部６ｃも逆方向に回転する。その相対回転数は、１つのボールねじとナットによる回転数の２倍となる。
【００２６】
その際、第１の回転筒部６ａの外周面に取り付けられた複数の磁石１１と導体部材である第２の回転筒部６ｂの内周面との相対運動、並びに第３の回転筒部６ｃの内外周面に取り付けられた磁石と第２の回転筒部６ｂの内周面及び導体部材１２との相対運動により大きな磁気減衰を得ることができる。これにより、装置全体として大きな減衰容量を得ることが可能となる。
【００２７】
（効果）
本第２の実施形態によれば、第３の回転筒部６ｃを設けたことで、より減衰容量の大きな減衰装置を提供することができる。また、第１の回転筒部６ａの外周面の磁石１１と第３の回転筒部６ｃの内周面の磁石１１の間隔、並びに各磁石１１の形状、個数、及び導体部材である第２の回転筒部６ｂの厚さを、最適な磁気減衰が得られるように設計することにより、コンパクトで減衰効率の高い減衰装置を得ることができる。
【００２８】
また、本実施形態では第３の回転筒部を一つ配置した例を説明したが、これに限定されず複数の回転筒部を設置してもよく、これにより減衰機能の大容量化を図ることができる。
【００２９】
［第３の実施形態］
第３の実施形態に係る減衰装置を、図５を用いて説明する。なお、上記の実施形態と同一の構成には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
【００３０】
（構成）
本実施形態では、第１の実施形態の第１の回転筒部６ａの代わりに大容量の回転柱部１４を用いる構成としている。
【００３１】
第３の実施形態に係る減衰装置は、図５に示すように、第２の固定部１ｂに固定筒部３が固定され、固定筒部３には、ボールナット固定部１３が固定されている。ボールナット固定部１３の内部には右ボールナット１０ａ（第１のボールナット）が固定され、第１及び第２の実施形態と同様にボールナット固定部１３の外面によって第１の固定部１ａが相対的に直線運動可能なようにガイドされている。また、固定筒部３の内側には、回転柱部１４がベアリング部７を介して回転可能に取り付けられている。
【００３２】
固定部１ａの一端には、ボールねじ軸８がベアリング部１５により回転可能に取り付けられ、ボールねじ軸８には、ほぼ中央を境に相互に逆方向にねじ切りがなされている。例えば、ボールねじ軸８は一方が右ねじ部（第１のねじ部）８ａ、他方が左ねじ部（第２のねじ部）８ｂから構成されている。
【００３３】
そして、右ねじ部８ａには右ボールナット１０ａが回転可能に螺合され、右ボールナット１０ａの直線運動により、ボールねじ軸８が回転するようになっている。また、左ボールナット１０ｂ（第２のボールナット）は前記回転柱部１４に固定され、左ねじ部８ｂに回転可能に取り付けられている。これにより、左ボールナット１０ｂは、図５の斜線部に示すように、前記回転柱部１４と共に回転する。
【００３４】
固定筒部３の内周面には減衰要素を構成する磁石１１が取り付けられている。固定筒部３は強磁性材料であり、回転柱部１４は電気的な導体部材から構成されるか、又はその外周面に所定厚さの導体部材が機械的又は金属的接合等によって取り付けられる。この、導体部材は磁石とともに減衰要素として機能する。
【００３５】
また、磁石１１と回転柱部１４は所定の間隙を介して配置されており、磁石１１は、その表面がＳ極又はＮ極となるように磁化され、隣り合う磁石１１は互いに異磁極となるように配置されている。
【００３６】
（作用）
このように構成された第４の実施形態の減衰装置において、例えば制振対象物が地震により振動して、第１の取付部２ａと第２の取付部２ｂの間隔を縮めようとした場合、第１の取付部２ａと共に第１の固定部１ａに回転可能に取り付けられているボールねじ軸８が右ボールナット１０ａおよび左ボールナット１０ｂに対して同時に押し込まれる。
【００３７】
この時、右ボールナット１０ａはボールナット固定部１３に固定されているため、ボールねじ軸８が回転する。また、左ボールナット１０ｂは、ベアリング部７をおよび固定筒部３を介して第２の固定部１ｂに取り付けられているため、押し込まれた量に応じて回転する。
【００３８】
その際、右ボールナット１０ａ及び左ボールナット１０ｂはそれぞれボールねじ軸８の右ねじ部９ａおよび左ねじ部９ｂに取り付けられており、かつ、右ボールナット１０ａが固定されているため、左ボールナット１０ｂはボールねじ軸８の回転を伴う直線運動により回転することになり、その際の回転数は１つのボールねじとナットによる回転数の２倍となる。
【００３９】
これにより、左ボールナット１０ｂに固定されている回転柱部１４によって大きな慣性力が得られる。また、導体材料である回転柱部１４と固定筒部３の内面に取り付けられた磁石１１との相対運動による大きな磁気減衰力も得られるため、装置全体として、大きな減衰容量を得ることができる。
【００４０】
（効果）
本第３の実施形態によれば、回転柱部を用いることにより、コンパクトでより減衰容量の大きな減衰装置を得ることができる。
【００４１】
［第４の実施形態］
第４の実施形態に係る減衰装置を、図６を用いて説明する。なお、上記の実施形態と同一の構成には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。  
本実施形態では、第３の実施形態の回転柱部の代わりに固定柱部と回転筒部を用いる構成としている。
【００４２】
第４の実施形態に係る減衰装置は、図６に示すように、回転筒部１６が左ボールナット１０ｂに固定され、１の固定部１ａには固定柱部１７が固定されている。固定柱部１７は前記回転筒部１６の内側に位置しており、ベアリング部７を介して回転筒部１６を回転可能に支持している。
【００４３】
固定柱部１７の外周面および固定筒部３の内周面には磁石１１が取り付けられている。固定柱部１７および固定筒部３は共に強磁性材料であり、回転筒部１６は電気的な導体材料から構成されるか、又はその外周面に所定厚さの導体部材が取り付けられる。この、導体部材は磁石とともに減衰要素として機能する。  
これにより、固定柱部１７の外側に取り付けた磁石１１と回転筒部１６の内面との電磁作用による磁気減衰も得られるため、さらに大きな減衰容量を得ることができる。
【００４４】
本第４の実施形態によれば、上記第３の実施形態の効果に加え、固定柱部１７の外面の磁石１１と固定筒部３の内面の磁石１１の間隔および各磁石１１の形状、個数と、導体部材である回転筒部１６の厚さを、効率よく磁気減衰が得られるように適宜設計することにより、小型で減衰容量の大きい減衰装置を得ることができる。
【００４５】
なお、本実施形態では回転筒部を一つ配置した例を説明したが、これに限定されず複数の回転筒部を同軸状に設置してもよく、これにより減衰機能の大容量化を図ることができる。
【００４６】
また、上記第１乃至第４の実施形態では、減衰要素として磁石と導体部材を用いる例を説明したが、これに限定されず、粘性材料、粘弾性材料、弾塑性材料、摩擦材料又はばね、あるいはそれらの組み合わせを使用することができる。また、これらの減衰要素を上記実施形態に係る磁石と導体部材からなる減衰要素と併用することもできる。その場合はより大きな減衰容量を得ることができる。
【００４７】
以上、本発明の実施形態の例を説明したが、具体例を例示したに過ぎず、特に本発明を限定するものではなく、適宜変更可能である。また、実施形態やその変更例に記載された作用および効果は、本発明から生じる最も好適な作用および効果を列挙したに過ぎず、本発明による作用および効果は、本発明の実施形態に記載されたものに限定されるものではない。
【符号の説明】
【００４８】
１ａ…第１の固定部、１ｂ…第２の固定部、２ａ…第１の取付部、２ｂ…第２の取付部、３…固定筒部、４…スライドレール、５…スライダ、６ａ…第１の回転筒部、６ｂ…第２の回転筒部、６ｃ…第３の回転筒部、７…ベアリング部、８…ボールねじ軸、８ａ…第１のねじ部（右ねじ部）、８ｂ…第２のねじ部（左ねじ部）、１０ａ…第１のボールナット（右ボールナット）、１０ｂ…第２のボールナット（左ボールナット）、１１…磁石、１２…導体部材、１３…ボールナット固定部、１４…回転柱部、１５…ベアリング部、１６…回転筒部、１７…固定柱部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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