(57)【要約】【課題】加工性および取扱性に優れながら、外観にも優れ、さらに、厚み方向に対する直交方向に優れる熱伝導粘着シートを提供すること。【解決手段】熱伝導性粘着シート１は、金属層２と、金属層２の裏面に積層される熱伝導性粘着剤層３とを備え、熱伝導性粘着剤層３は、（メタ）アクリル酸アルキルエステルを含有するモノマー成分を重合させることにより得られる粘着成分と、熱伝導性粒子とを含有し、モノマー成分は、カルボキシル基含有モノマーを実質的に含有しない。【選択図】図１
2014025028.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属層と、
前記金属層の少なくとも片面に積層される熱伝導性粘着剤層とを備え、
前記熱伝導性粘着剤層は、
（メタ）アクリル酸アルキルエステルを含有するモノマー成分を重合させることにより得られる粘着成分と、
熱伝導性粒子とを含有し、
前記モノマー成分は、カルボキシル基含有モノマーを実質的に含有しない
ことを特徴とする、熱伝導性粘着シート。
【請求項２】
前記モノマー成分は、アミド基含有モノマーをさらに含有する
ことを特徴とする、請求項１に記載の熱伝導性粘着シート。
【請求項３】
厚み方向に対する直交方向の熱伝導率が、２０Ｗ／ｍ・Ｋ以上である
ことを特徴とする、請求項１または２に記載の熱伝導性粘着シート。
【請求項４】
温度８５℃、相対湿度８５％の雰囲気下で１０００時間保存したときに、前記金属層の前記片面に、腐食が発生しない
ことを特徴とする、請求項１〜３のいずれか一項に記載の熱伝導性粘着シート。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、熱伝導性粘着シート、詳しくは、熱伝導性および粘着性の両方が必要とされる産業分野に好適に用いられる熱伝導性粘着シートに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、各種機器の放熱に、熱伝導性シートを用いることが知られている。
【０００３】
例えば、有機ＥＬ発光装置において、グラファイトシートからなる熱拡散シートをアクリル系粘着テープを介して有機発光積層体に接着することが提案されている（例えば、下記特許文献１参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１２−１１９２３７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、特許文献１で提案されるグラファイトシートは、硬くて脆いため、外形加工時に割れや欠けを生じたり、あるいは、折曲加工ができないという不具合がある。
【０００６】
上記不具合を解消すべく、グラファイトシートに代えてアルミニウム箔や銅箔などの金属箔を用いることも検討されるが、その場合には、アクリル系粘着テープに含まれるカルボキシル基（酸基）によって、金属箔の表面に錆（腐食）を生じ、そのため、外観が低下したり、さらには、アクリル系粘着テープに貼着される機器の信頼性が低下するという不具合がある。
【０００７】
さらに、特許文献１で提案される構造では、面方向（厚み方向に対する直交方向）の熱伝導率が不十分であるという不具合がある。
【０００８】
本発明の目的は、加工性および取扱性に優れながら、外観にも優れ、さらに、厚み方向に対する直交方向に優れる熱伝導粘着シートを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記した目的を達成するため、本発明の熱伝導性粘着シートは、金属層と、前記金属層の少なくとも片面に積層される熱伝導性粘着剤層とを備え、前記熱伝導性粘着剤層は、（メタ）アクリル酸アルキルエステルを含有するモノマー成分を重合させることにより得られる粘着成分と、熱伝導性粒子とを含有し、前記モノマー成分は、カルボキシル基含有モノマーを実質的に含有しないことを特徴としている。
【００１０】
また、本発明の熱伝導性粘着シートでは、前記モノマー成分は、アミド基含有モノマーをさらに含有することが好適である。
【００１１】
また、本発明の熱伝導性粘着シートは、厚み方向に対する直交方向の熱伝導率が、２０Ｗ／ｍ・Ｋ以上であることが好適である。
【００１２】
また、本発明の熱伝導性粘着シートは、温度８５℃、相対湿度８５％の雰囲気下で１０００時間保存したときに、前記金属層の前記片面に、腐食が発生しないことが好適である。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の熱伝導性粘着シートは、金属層を備えるので、加工性および取扱性に優れる。
【００１４】
また、熱伝導性粘着シートは、さらに、金属層の少なくとも片面に積層される熱伝導性粘着剤層を備え、熱伝導性粘着剤層は、（メタ）アクリル酸アルキルエステルを含有するモノマー成分を重合させることにより得られる粘着成分と、熱伝導性粒子とを含有する。そのため、熱伝導性粘着剤層が放熱対象に貼着されると、放熱対象から発生する熱は、熱伝導性粒子を含有する熱伝導性粘着剤層を介して金属層に伝導され、続いて、金属層に沿って、つまり、厚み方向に対する直交方向に効率的に伝導される。上記した金属層における熱伝導ともに、熱伝導性粘着剤層においても、放熱対象から発生する熱は、熱伝導性粘着剤層に沿って、つまり、厚み方向に対する直交方向に効率的に伝導される。
【００１５】
従って、熱伝導性粘着シートは、上記した直交方向の熱伝導性に優れる。
【００１６】
さらに、モノマー成分は、カルボキシル基含有モノマーを実質的に含有しないので、金属層の少なくとも片面において、カルボキシル基に起因する腐食の発生を防止することができる。そのため、良好な外観を確保して、配置される機器の信頼性の低下を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】図１は、本発明の熱伝導性粘着シートの一実施形態の断面図を示す。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
図１は、本発明の熱伝導性粘着シートの一実施形態の断面図を示す。
【００１９】
図１において、熱伝導性粘着シート１は、金属層２と、熱伝導性粘着剤層３とを備える。
【００２０】
金属層２は、熱伝導性粘着シート１の外形形状と同一形状の平板形状（箔状）に形成されている。金属層２を形成する金属としては、例えば、銅、銀、金、鉄、クロム、ニッケル、アルミニウム、鉄、あるいは、それらの合金（ステンレス、銅−ベリリウム、リン青銅、鉄−ニッケルなど）などが挙げられる。好ましくは、銅、アルミニウムが挙げられる。
【００２１】
金属層２の厚みは、例えば、１μｍ以上、好ましくは、１０μｍ以上であり、また、例えば、１０００μｍ以下、好ましくは、１００μｍ以下でもある。
【００２２】
また、金属層２の面方向ＰＤの熱伝導率は、例えば、５０Ｗ／ｍ・Ｋ以上、好ましくは、１００Ｗ／ｍ・Ｋ以上、より好ましくは、２００Ｗ／ｍ・Ｋ以上であり、また、１０００Ｗ／ｍ・Ｋ以下でもある。熱伝導率は、後の実施例の評価で詳述される。
【００２３】
熱伝導性粘着剤層３は、熱伝導性および粘着性（感圧接着性）を併有しており、金属層２の裏面（厚み方向一方面）全面に積層されている。熱伝導性粘着剤層３は、粘着成分と熱伝導性粒子とを含有する。
【００２４】
粘着成分は、モノマー成分を重合させることにより得られる。
【００２５】
モノマー成分は、（メタ）アクリル酸アルキルエステルを主成分として含有する。
【００２６】
（メタ）アクリル酸アルキルエステルは、メタクリル酸アルキルエステルおよび／またはアクリル酸アルキルエステルであって、例えば、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸プロピル、（メタ）アクリル酸イソプロピル、（メタ）アクリル酸ブチル、（メタ）アクリル酸イソブチル、（メタ）アクリル酸ｓ−ブチル、（メタ）アクリル酸ｔ−ブチル、（メタ）アクリル酸ペンチル、（メタ）アクリル酸イソペンチル、（メタ）アクリル酸ヘキシル、（メタ）アクリル酸ヘプチル、（メタ）アクリル酸オクチル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシル、（メタ）アクリル酸イソオクチル、（メタ）アクリル酸ノニル、（メタ）アクリル酸イソノニル、（メタ）アクリル酸デシル、（メタ）アクリル酸イソデシル、（メタ）アクリル酸ウンデシル、（メタ）アクリル酸ドデシル、（メタ）アクリル酸トリデシル、（メタ）アクリル酸テトラデシル、（メタ）アクリル酸ペンタデシル、（メタ）アクリル酸ヘキサデシル、（メタ）アクリル酸ヘプタデシル、（メタ）アクリル酸オクタデシル、（メタ）アクリル酸ノナデシル、（メタ）アクリル酸エイコシルなどの、アルキル部分が、直鎖状または分岐状のＣ１−２０のアルキル基である（メタ）アクリル酸アルキルエステルが挙げられる。
【００２７】
これらの（メタ）アクリル酸アルキルエステルのうち、特に接着特性のバランスを取り易いという点から、好ましくは、（メタ）アクリル酸Ｃ２−１２アルキルエステル、より好ましくは、（メタ）アクリル酸Ｃ４−９アルキルエステルが挙げられる。
【００２８】
（メタ）アクリル酸アルキルエステルは、モノマー成分中に、例えば、６０質量％以上、好ましくは、８０質量％以上、例えば、９９質量％以下の割合で配合される。
【００２９】
モノマー成分として、さらに、アミド基含有モノマー、共重合可能モノマーなども挙げられる。
【００３０】
アミド基含有モノマーは、分子内に、アミド部分（−ＣＯ−ＮＲ−、Ｒは、水素原子または炭化水素基を示す。）を含有するアミド系モノマーであって、例えば、Ｎ−（メタ）アクリロイルモルホリン、Ｎ−（メタ）アクリロイルピロリジンなどの環状（メタ）アクリルアミド、例えば、（メタ）アクリルアミド、Ｎ−置換（メタ）アクリルアミド（例えば、Ｎ−エチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−ｎ−ブチル（メタ）アクリルアミドなどのＮ−アルキル（メタ）アクリルアミド、例えば、Ｎ，Ｎ−ジメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジエチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジプロピル（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジイソプロピル（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジ（ｎ−ブチル）（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジ（ｔ−ブチル）（メタ）アクリルアミドなどのＮ，Ｎ−ジアルキル（メタ）アクリルアミド）などの非環状（メタ）アクリルアミド、例えば、Ｎ−ビニル−２−ピロリドン（ＮＶＰ）、Ｎ−ビニル−２−ピペリドン、Ｎ−ビニル−３−モルホリノン、Ｎ−ビニル−２−カプロラクタム、Ｎ−ビニル−１，３−オキサジン−２−オン、Ｎ−ビニル−３，５−モルホリンジオンなどのＮ−ビニル環状アミド、例えば、Ｎ−シクロヘキシルマレイミド、Ｎ−フェニルマレイミドなどのマレイミド骨格含有モノマー、例えば、Ｎ−メチルイタコンイミド、Ｎ−エチルイタコンイミド、Ｎ−ブチルイタコンイミド、Ｎ−２−エチルヘキシルイタコンイミド、Ｎ−ラウリルイタコンイミド、Ｎ−シクロヘキシルイタコンイミドなどのイタコンイミド系モノマー、例えば、Ｎ−（メタ）アクリロイルオキシメチレンスクシンイミド、Ｎ−（メタ）アクリロイル−６−オキシヘキサメチレンスクシンイミド、Ｎ−（メタ）アクリロイル−８−オキシヘキサメチレンスクシンイミドなどのスクシンイミド系モノマー、例えば、Ｎ−（２−ヒドロキシエチル）（メタ）アクリルアミド（ＨＥＡＡ／ＨＥＭＡ）、Ｎ−（２−ヒドロキシプロピル）（メタ）アクリルアミド、Ｎ−（１−ヒドロキシプロピル）（メタ）アクリルアミド、Ｎ−（３−ヒドロキシプロピル）（メタ）アクリルアミド、Ｎ−（２−ヒドロキシブチル）（メタ）アクリルアミド、Ｎ−（３−ヒドロキシブチル）（メタ）アクリルアミド、Ｎ−（４−ヒドロキシブチル）（メタ）アクリルアミドなどのＮ−ヒドロキシアルキル（メタ）アクリルアミドが挙げられる。
【００３１】
アミド基含有モノマーのうち、好ましくは、Ｎ−ビニル環状アミド、Ｎ−ヒドロキシアルキル（メタ）アクリルアミドが挙げられる。
【００３２】
アミド基含有モノマーは、単独使用または２種以上併用することができ、好ましくは、併用される。具体的には、Ｎ−ビニル環状アミドおよびＮ−ヒドロキシアルキル（メタ）アクリルアミドの併用が挙げられる。
【００３３】
アミド基含有モノマーは、モノマー成分中に、例えば、２０質量％以下、好ましくは、１５質量％以下、より好ましくは、１０質量％以下、また、例えば、１質量％以上の割合で配合される。
【００３４】
また、Ｎ−ビニル環状アミドおよびＮ−ヒドロキシアルキル（メタ）アクリルアミドが併用される場合には、Ｎ−ビニル環状アミドは、モノマー成分中に、例えば、１５質量％以下、好ましくは、１０質量％以下、より好ましくは、８質量％以下、また、例えば、５質量％以上の割合で配合され、また、Ｎ−ヒドロキシアルキル（メタ）アクリルアミドは、モノマー成分中に、例えば、５質量％以下、好ましくは、４質量％以下、より好ましくは、３質量％以下、また、例えば、０．５質量％以上の割合で配合される。
【００３５】
アミド基含有モノマーがモノマー成分に含まれることによって、熱伝導性粘着剤層３に優れた粘着性（感圧接着性）を付与することができる。
【００３６】
共重合可能モノマーは、上記したモノマー（（メタ）アクリル酸アルキルエステルおよび／またはアミド基含有モノマー）と共重合可能なモノマーである。そのような共重合可能モノマーとしては、例えば、グリシジル（メタ）アクリレート、アリルグリシジルエーテルなどのエポキシ基含有モノマー、例えば、（メタ）アクリル酸２−メトキシエチル、（メタ）アクリル酸３−メトキシプロピル、（メタ）アクリル酸メトキシエチレングリコール、（メタ）アクリル酸メトキシポリプロピレングリコールなどのアルコキシ基含有モノマー、例えば、（メタ）アクリル酸ナトリウムなどの（メタ）アクリル酸アルカリ金属塩、例えば、アクリロニトリル、メタクリロニトリルなどのシアノ基含有モノマー、例えば、スチレン、α−メチルスチレンなどのスチレン系モノマー、例えば、エチレン、プロピレン、イソプレン、ブタジエン、イソブチレンなどのα−オレフィン、例えば、２−イソシアナートエチルアクリレート、２−イソシアナートエチルメタクリレートなどのイソシアネート基含有モノマー、例えば、酢酸ビニル、プロピオン酸ビニルなどのビニルエステル系モノマー、例えば、アルキルビニルエーテルなどのビニルエーテル系モノマー、例えば、テトラヒドロフルフリル（メタ）アクリレートなどの複素環含有（メタ）アクリル酸エステル、例えば、フルオロアルキル（メタ）アクリレートなどのハロゲン原子含有モノマー、例えば、３−（メタ）アクリロキシプロピルトリメトキシシラン、ビニルトリメトキシシランなどのアルコキシシリル基含有モノマー、例えば、（メタ）アクリル基含有シリコーンなどのシロキサン骨格含有モノマー、例えば、シクロプロピル（メタ）アクリレート、シクロブチル（メタ）アクリレート、シクロペンチル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、シクロヘプチル（メタ）アクリレート、シクロオクチル（メタ）アクリレート、ボルニル（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレートなどの脂環式炭化水素基含有（メタ）アクリレート、例えば、フェニル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、フェノキシエチル（メタ）アクリレート、（メタ）アクリル酸フェノキシジエチレングリコールなどの芳香族炭化水素基含有（メタ）アクリレートなどが挙げられる。
【００３７】
共重合可能モノマーは、単独使用または併用することができる。
【００３８】
これらの共重合可能モノマーのうち、好ましくは、アルコキシ基含有モノマーが挙げられる。
【００３９】
共重合可能モノマーは、モノマー成分中に、例えば、３０質量％以下、好ましくは、２０質量％以下、より好ましくは、１５質量％以下、また、例えば、５質量％以上、好ましくは、１０質量％以上の割合で配合される。
【００４０】
また、モノマー成分は、例えば、スルホ基含有モノマー、窒素・スルホ基併有モノマー、水酸基・リン酸基併有モノマーなどの極性基含有モノマー（後述するカルボキシル基含有モノマーを除く）を適宜の割合で含むこともできる。
【００４１】
スルホ基含有モノマーとしては、例えば、スチレンスルホン酸、アリルスルホン酸、スルホプロピル（メタ）アクリレート、（メタ）アクリロイルオキシナフタレンスルホン酸などが挙げられる。窒素・スルホ基併有モノマーとしては、例えば、２−（メタ）アクリルアミド−２−メチルプロパンスルホン酸、（メタ）アクリルアミドプロパンスルホン酸などが挙げられる。水酸基・リン酸基併有モノマーとしては、例えば、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリロイルホスフェートなどが挙げられる。
【００４２】
一方、モノマー成分は、カルボキシル基含有モノマーを含有しない。つまり、極性基含有モノマーが、カルボキシル基含有モノマーを含有しない。
【００４３】
カルボキシル基含有モノマーには、（メタ）アクリル酸（ＭＡ／ＡＡ）、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸、クロトン酸、イソクロトン酸など、さらには、例えば、無水マレイン酸、無水イタコン酸などのカルボン酸無水物酸、例えば、カルボキシエチル（メタ）アクリレート、カルボキシペンチル（メタ）アクリレートなどのカルボキシアルキル（メタ）アクリレートなども含まれる。モノマー成分がカルボキシル基含有モノマーを含有すると、カルボキシル基（酸基）によって、金属層２の裏面が腐食して、外観が低下する。
【００４４】
粘着成分の含有割合は、熱伝導性粘着剤層３に対して、例えば、５０質量％以下、好ましくは、３５質量％以下、より好ましくは、３０質量％以下であり、また、例えば、１０質量％以上、好ましくは、２０質量％以上でもある。
【００４５】
熱伝導性粒子は、熱伝導性材料から粒子状に形成されており、そのような熱伝導性材料としては、例えば、水和金属化合物が挙げられる。
【００４６】
水和金属化合物は、分解開始温度が１５０〜５００℃の範囲であり、一般式ＭｘＯｙ・ｎＨ２Ｏ（Ｍは金属原子、ｘ，ｙは金属の原子価によって定まる１以上の整数、ｎは含有結晶水の数）で表される化合物または上記化合物を含む複塩である。
【００４７】
水和金属化合物としては、例えば、水酸化アルミニウム［Ａｌ２Ｏ３・３Ｈ２Ｏ；またはＡｌ（ＯＨ）３］、ベーマイト［Ａｌ２Ｏ３・Ｈ２Ｏ；またはＡｌＯＯＨ］、水酸化マグネシウム［ＭｇＯ・Ｈ２Ｏ；またはＭｇ（ＯＨ）２］、水酸化カルシウム［ＣａＯ・Ｈ２Ｏ；またはＣａ（ＯＨ）２］、水酸化亜鉛［Ｚｎ（ＯＨ）２］、珪酸［Ｈ４ＳｉＯ４；またはＨ２ＳｉＯ３；またはＨ２Ｓｉ２Ｏ５］、水酸化鉄［Ｆｅ２Ｏ３・Ｈ２Ｏまたは２ＦｅＯ（ＯＨ）］、水酸化銅［Ｃｕ（ＯＨ）２］、水酸化バリウム［ＢａＯ・Ｈ２Ｏ；またはＢａＯ・９Ｈ２Ｏ］、酸化ジルコニウム水和物［ＺｒＯ・ｎＨ２Ｏ］、酸化スズ水和物［ＳｎＯ・Ｈ２Ｏ］、塩基性炭酸マグネシウム［３ＭｇＣＯ３・Ｍｇ（ＯＨ）２・３Ｈ２Ｏ］、ハイドロタルサイト［６ＭｇＯ・Ａｌ２Ｏ３・Ｈ２Ｏ］、ドウソナイト［Ｎａ２ＣＯ３・Ａｌ２Ｏ３・ｎＨ２Ｏ］、硼砂［Ｎａ２Ｏ・Ｂ２Ｏ５・５Ｈ２Ｏ］、ホウ酸亜鉛［２ＺｎＯ・３Ｂ２Ｏ５・３．５Ｈ２Ｏ］などを挙げることができる。
【００４８】
また、熱伝導性材料としては、上記した水和金属化合物の他に、例えば、窒化ホウ素、窒化アルミニウム、窒化ケイ素、窒化ガリウム、炭化ケイ素、二酸化ケイ素、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化チタン、酸化亜鉛、酸化スズ、酸化銅、酸化ニッケル、アンチモン酸ドープ酸化スズ、炭酸カルシウム、チタン酸バリウム、チタン酸カリウム、銅、銀、金、ニッケル、アルミニウム、白金、カーボン（ダイヤモンドを含む）などが挙げられる。
【００４９】
熱伝導性材料として、好ましくは、熱伝導性粘着剤層３に高い熱伝導性と難燃性とを付与するという理由から、水和金属化合物、より好ましくは、水酸化アルミニウムが挙げられる。
【００５０】
熱伝導性粒子の形状は、粒子状（粉末状）であれば特に限定されず、例えば、バルク状、針形状、板形状、層状であってもよい。バルク形状には、例えば、球形状、直方体形状、破砕状またはそれらの異形形状が含まれる。
【００５１】
熱伝導性粒子のサイズは、特に限定されず、例えば、１次平均粒子径として、例えば、０．１μｍ以上、好ましくは、０．５μｍ以上、より好ましくは、０．７μｍ以上、さらに好ましくは、１μｍ以上であり、また、例えば、１０００μｍ以下、好ましくは、２００μｍ以下、より好ましくは、１００μｍ以下、さらに好ましくは、８０μｍ以下でもある。熱伝導性粒子の１次粒子径は、レーザー散乱法における粒度分布測定法によって測定された粒度分布に基づいて、体積基準の平均粒子径、より具体的には、Ｄ５０値（累積５０％メジアン径）として求められる。
【００５２】
これら熱伝導性粒子は、市販されており、例えば、水酸化アルミニウムからなる熱伝導性粒子として、商品名「ハイジライトＨ−１００−ＭＥ」（昭和電工社製）、商品名「ハイジライトＨ−１０」（昭和電工社製）、商品名「ハイジライトＨ−３２」（昭和電工社製）、商品名「ハイジライトＨ−３１」（昭和電工社製）、商品名「ハイジライトＨ−４２」（昭和電工社製）、商品名「ハイジライトＨ−４３Ｍ」（昭和電工社製）、商品名「Ｂ１０３ＳＴ」（日本軽金属社製）などが挙げられ、例えば、水酸化マグネシウムからなる熱伝導性粒子として、商品名「ＫＩＳＵＭＡ  ５Ａ」（協和化学工業社製）などが挙げられる。
【００５３】
また、窒化ホウ素からなる熱伝導性粒子として、商品名「ＨＰ−４０」（水島合金鉄社製）、商品名「ＰＴ６２０」（モメンティブ社製）などが挙げられ、例えば、酸化アルミニウムからなる熱伝導性粒子として、商品名「ＡＳ−５０」（昭和電工社製）、商品名「ＡＳ−１０」（昭和電工社製）などが挙げられ、例えば、アンチモン酸ドープ酸化スズからなる熱伝導性粒子として、商品名「ＳＮ−１００Ｓ」（石原産業社製）、商品名「ＳＮ−１００Ｐ」（石原産業社製）、商品名「ＳＮ−１００Ｄ（水分散品）」（石原産業社製）などが挙げられ、例えば、酸化チタンとしてからなる熱伝導性粒子として、商品名「ＴＴＯシリーズ」（石原産業社製）などが挙げられ、例えば、酸化亜鉛からなる熱伝導性粒子として、商品名「ＳｎＯ−３１０」（住友大阪セメント社製）、商品名「ＳｎＯ−３５０」（住友大阪セメント社製）、商品名「ＳｎＯ−４１０」（住友大阪セメント社製）などが挙げられる。
【００５４】
これらの熱伝導性粒子は、単独使用または互いに異なる複数種類を併用することができる。
【００５５】
熱伝導性粒子の含有割合は、粘着成分１００質量部に対して、例えば、５００質量部未満であり、好ましくは、４５０質量部以下、より好ましくは、４００質量部以下、さらに好ましくは、３５０質量部以下であり、また、例えば、１質量部以上、好ましくは、１０質量部以上、より好ましくは、１００質量部以上、さらに好ましくは、２００質量部以上でもある。
【００５６】
また、熱伝導性粒子の含有割合は、熱伝導性粘着剤層３に対して、例えば、５０質量％以上、好ましくは、６５質量％以上、より好ましくは、７０質量％以上であり、例えば、９０質量％以下、好ましくは、８０質量％以下でもある。
【００５７】
熱伝導性粒子の配合割合が上記範囲内であると、熱伝導性粘着剤層３に優れた熱伝導性と優れた粘着性（感圧接着性）とを付与することができる。
【００５８】
次に、熱伝導性粘着剤層３を製造する方法について説明する。
【００５９】
熱伝導性粘着剤層３を製造するには、例えば、まず、粘着成分を調製し、調製した粘着成分と熱伝導性粒子とを配合する。また、粘着成分および熱伝導性粒子を一度に配合することもできる。
【００６０】
さらには、粘着成分を形成するためのモノマー成分を含有するモノマー組成物と、熱伝導性粒子とを配合した後、モノマー成分を重合させることもできる。
【００６１】
好ましくは、モノマー組成物と熱伝導性粒子とを配合した後、モノマー成分を重合させる。
【００６２】
モノマー組成物を調製するには、まず、上記したモノマー成分に重合開始剤を配合する。
【００６３】
重合開始剤としては、例えば、光重合開始剤、熱重合開始剤が挙げられる。
【００６４】
光重合開始剤としては、例えば、ベンゾインエーテル系光重合開始剤、アセトフェノン系光重合開始剤、α−ケトール系光重合開始剤、芳香族スルホニルクロリド系光重合開始剤、光活性オキシム系光重合開始剤、ベンゾイン系光重合開始剤、ベンジル系光重合開始剤、ベンゾフェノン系光重合開始剤、チオキサントン系光重合開始剤などが挙げられる。
【００６５】
ベンゾインエーテル系光重合開始剤としては、例えば、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインプロピルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、２，２−ジメトキシ−１，２−ジフェニルエタン−１−オン、アニソールメチルエーテルなどが挙げられる。
【００６６】
アセトフェノン系光重合開始剤としては、例えば、２，２−ジエトキシアセトフェノン、２，２−ジメトキシ−２−フェニルアセトフェノン、４−フェノキシジクロロアセトフェノン、４−（ｔ−ブチル）ジクロロアセトフェノンなどが挙げられる。
【００６７】
α−ケトール系光重合開始剤としては、例えば、２−メチル−２−ヒドロキシプロピオフェノン、１−［４−（２−ヒドロキシエチル）フェニル］−２−メチルプロパン−１−オン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトンなどが挙げられる。
【００６８】
芳香族スルホニルクロリド系光重合開始剤としては、例えば、２−ナフタレンスルホニルクロライドなどが挙げられる。
【００６９】
光活性オキシム系光重合開始剤としては、例えば、１−フェニル−１，１−プロパンジオン−２−（ｏ−エトキシカルボニル）−オキシムなどが挙げられる。
【００７０】
ベンゾイン系光重合開始剤としては、例えば、ベンゾインなどが挙げられる。
【００７１】
ベンジル系光重合開始剤としては、例えば、ベンジルなどが挙げられる。
【００７２】
ベンゾフェノン系光重合開始剤としては、例えば、ベンゾフェノン、ベンゾイル安息香酸、３、３′−ジメチル−４−メトキシベンゾフェノン、ポリビニルベンゾフェノンなどが挙げられる。
【００７３】
チオキサントン系光重合開始剤としては、例えば、チオキサントン、２−クロロチオキサントン、２−メチルチオキサントン、２，４−ジメチルチオキサントン、イソプロピルチオキサントン、２，４−ジイソプロピルチオキサントン、デシルチオキサントンなどが挙げられる。
【００７４】
熱重合開始剤としては、例えば、２，２′−アゾビスイソブチロニトリル、２，２′−アゾビス−２−メチルブチロニトリル、２，２′−アゾビス（２−メチルプロピオン酸）ジメチル、４，４′−アゾビス−４−シアノバレリアン酸、アゾビスイソバレロニトリル、２，２′−アゾビス（２−アミジノプロパン）ジヒドロクロライド、２，２′−アゾビス［２−（５−メチル−２−イミダゾリン−２−イル）プロパン］ジヒドロクロライド、２，２′−アゾビス（２−メチルプロピオンアミジン）二硫酸塩、２，２′−アゾビス（Ｎ，Ｎ′−ジメチレンイソブチルアミジン）ヒドロクロライド、２，２’−アゾビス［Ｎ−（２−カルボキシエチル）−２−メチルプロピオンアミジン］ハイドレートなどのアゾ系重合開始剤、例えば、ジベンゾイルペルオキシド、ｔ−ブチルペルマレエート、ジ−ｔ−ｔ−ヘキシルパーオキサイド、ｔ−ヘキシルパーオキシ−２−エチルヘキサノエート、ｔ−ブチルハイドロパーオキサイド、過酸化水素などの過酸化物系重合開始剤、例えば、過硫酸カリウム、過硫酸アンモニウムなどの過硫酸塩、例えば、過硫酸塩と亜硫酸水素ナトリウムとの組み合わせ、過酸化物とアスコルビン酸ナトリウムとの組み合わせなどのレドックス系重合開始剤などが挙げられる。
【００７５】
これらの重合開始剤は、単独（１種類のみ）で使用することもでき、また、２種以上組み合わせて使用することもできる。
【００７６】
これらの重合開始剤のうち、重合時間を短くすることができる利点などから、好ましくは、光重合開始剤が挙げられる。より好ましくは、ベンゾインエーテル系光重合開始剤、α−ケトール系光重合開始剤が挙げられる。
【００７７】
重合開始剤として光重合開始剤を配合する場合には、光重合開始剤は、例えば、モノマー成分１００質量部に対して、例えば、０．０１質量部以上、好ましくは、０．０５質量部以上、また、例えば、５質量部以下、好ましくは、３質量部以下の割合で配合される。
【００７８】
また、重合開始剤として熱重合開始剤を配合する場合には、熱重合開始剤は、特に限定されず、利用可能な割合で配合される。
【００７９】
次いで、モノマー組成物を調製するには、必要により、モノマー成分を部分的に重合させる。
【００８０】
モノマー成分を部分的に重合させるには、光重合開始剤を配合している場合には、モノマー成分と光重合開始剤との混合物に紫外線を照射する。紫外線を照射するには、光重合開始剤が励起されるような照射エネルギーで、モノマー組成物の粘度（ＢＨ粘度計、Ｎｏ．５ロータ、１０ｒｐｍ、測定温度３０℃）が、例えば、５Ｐａ・ｓ以上、好ましくは、１０Ｐａ・ｓ以上、また、例えば、３０Ｐａ・ｓ以下、好ましくは、２０Ｐａ・ｓ以下になるまで、照射する。
【００８１】
また、熱重合開始剤を配合している場合には、モノマー成分と熱重合開始剤との混合物を、例えば、熱重合開始剤の分解温度以上、具体的には、２０〜１００℃程度の重合温度で、光重合開始剤を配合している場合と同様に、モノマー組成物の粘度（ＢＨ粘度計、Ｎｏ．５ロータ、１０ｒｐｍ、測定温度３０℃）が、例えば、５Ｐａ・ｓ以上、好ましくは、１０Ｐａ・ｓ以上、また、例えば、３０Ｐａ・ｓ以下、好ましくは、２０Ｐａ・ｓ以下になるまで、加熱する。
【００８２】
なお、モノマー成分を部分的に重合させてモノマー組成物を調製する場合には、まず、（メタ）アクリル酸アルキルエステル、アミド基含有モノマーおよび共重合可能モノマーから選択されるモノマー成分と、重合開始剤とを配合して、上記したように、モノマー成分を重合させ、その後、架橋剤を配合することもできる。
【００８３】
架橋剤は、エチレン系不飽和炭化水素基を複数有する多官能化合物であって、例えば、ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、（ポリ）エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、（ポリ）プロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、アリル（メタ）アクリレート、ビニル（メタ）アクリレート、エポキシ（メタ）アクリレート、ポリエステル（メタ）アクリレート、ウレタン（メタ）アクリレート、ジブチル（メタ）アクリレート、ヘキシジル（メタ）アクリレートなどの２官能以上の多官能オリゴマーが挙げられる。
【００８４】
架橋剤は、単独使用または併用することができる。
【００８５】
架橋剤として、好ましくは、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレートが挙げられる。
【００８６】
架橋剤の含有割合は、モノマー成分１００質量部に対して、例えば、０．００１質量部以上、好ましくは、０．０１質量部以上であり、また、例えば、１０質量部以下、好ましくは、１質量部以下でもある。
【００８７】
これにより、モノマー組成物が調製される。
【００８８】
なお、モノマー組成物は、モノマー成分が部分的に重合した場合には、上記した粘度を有するシロップとして調製される。
【００８９】
この方法では、次いで、調製したモノマー組成物に、熱伝導性粒子を配合する。
【００９０】
すなわち、熱伝導性粒子を、上記した配合割合となるように、モノマー組成物に配合する。これにより、モノマー組成物および熱伝導性粒子を含有する熱伝導性粘着剤原料を調製する。
【００９１】
なお、モノマー組成物および／または熱伝導性粘着剤原料には、必要により、架橋剤、分散剤（例えば、ノニオン性界面活性剤など）、粘着付与剤、シランカップリング剤、可塑剤、充填材、老化防止剤、着色剤などの添加剤を適宜の割合で配合することもできる。
【００９２】
得られた熱伝導性粘着剤原料の粘度（ＢＭ粘度計、Ｎｏ．４ロータ、１２ｒｐｍ、測定温度２３℃）は、例えば、５０Ｐａ・ｓ以下、好ましくは、４０Ｐａ・ｓ以下、より好ましくは、３５Ｐａ・ｓ以下であり、また、例えば、５Ｐａ・ｓ以上、好ましくは、１０Ｐａ・ｓ以上である。
【００９３】
次に、熱伝導性粘着シート１の製造方法について説明する。
【００９４】
熱伝導性粘着シート１を製造するには、まず、図１の仮想線で示すベースフィルム４を用意し、ベースフィルム４の剥離処理が施された面に熱伝導性粘着剤原料を塗布する。
【００９５】
ベースフィルム４は、剥離ライナーを含み、具体的には、例えば、ポリエステルフィルム（ポリエチレンテレフタレートフィルムなど）、例えば、フッ素系ポリマー（例えば、ポリテトラフルオロエチレン、ポリクロロトリフルオロエチレン、ポリフッ化ビニル、ポリフッ化ビニリデン、テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体、クロロフルオロエチレン−フッ化ビニリデン共重合体など）からなるフッ素系フィルム、例えば、オレフィン系樹脂（ポリエチレン、ポリプロピレンなど）からなるオレフィン系樹脂フィルム、例えば、ポリ塩化ビニルフィルム、ポリイミドフィルム、ポリアミドフィルム（ナイロンフィルム）、レーヨンフィルムなどのプラスチック系基材フィルム（合成樹脂フィルム）、例えば、上質紙、和紙、クラフト紙、グラシン紙、合成紙、トップコート紙などの紙類、例えば、これらを複層化した複合体などが挙げられる。
【００９６】
なお、熱伝導性粘着剤原料が光重合開始剤を含有している場合には、熱伝導性粘着剤原料に対する紫外線の照射を妨げないように、紫外線を透過するベースフィルム４を使用する。
【００９７】
熱伝導性粘着剤原料をベースフィルム４に塗布する方法としては、例えば、ロールコート、キスロールコート、グラビアコート、リバースコート、ロールブラッシュ、スプレーコート、ディップロールコート、バーコート、ナイフコート、エアーナイフコート、カーテンコート、リップコート、ダイコーターなどによる押出しコート法などが挙げられる。
【００９８】
熱伝導性粘着剤原料の塗工厚みとしては、例えば、１０μｍ以上、好ましくは、５０μｍ以上、より好ましくは、１００μｍ以上であり、また、例えば、１００００μｍ以下、好ましくは、５０００μｍ以下、より好ましくは、３０００μｍ以下でもある。
【００９９】
この方法では、次いで、熱伝導性粘着剤原料の塗膜の上にカバーフィルム（図示せず）を配置する。カバーフィルムを塗膜の上に配置するには、カバーフィルムの剥離処理が施された面が塗膜に接触するように、配置する。
【０１００】
カバーフィルムとしては、例えば、上記したベースフィルム４と同様のフィルムが挙げられる。また、熱伝導性粘着剤原料が光重合開始剤を含有している場合には、熱伝導性粘着剤原料に対する紫外線の照射を妨げないように、紫外線を透過するカバーフィルムを使用する。
【０１０１】
この方法では、その後、熱伝導性粘着剤原料中のモノマー成分を重合させる。
【０１０２】
熱伝導性粘着剤原料中のモノマー成分を重合させるには、上記したように、光重合開始剤を配合している場合には、熱伝導性粘着剤原料に紫外線を照射し、あるいは、熱重合開始剤を配合している場合には、熱伝導性粘着剤原料を加熱する。
【０１０３】
これにより、熱伝導性粘着剤原料から熱伝導性粘着剤層３が形成され、熱伝導性粘着剤層３は、裏面にベースフィルム４が積層され、表面にカバーフィルム（図示せず）が積層される。
【０１０４】
熱伝導性粘着剤層３の厚みは、例えば、１０μｍ以上、好ましくは、５０μｍ以上、より好ましくは、１００μｍ以上であり、また、例えば、１００００μｍ以下、好ましくは、５０００μｍ以下、より好ましくは、３０００μｍ以下でもある。
【０１０５】
その後、熱伝導性粘着剤層３を、金属層２の裏面に積層する。
【０１０６】
具体的には、まず、図示しないが、カバーフィルムを熱伝導性粘着剤層３の表面から引き剥がし、その後、熱伝導性粘着剤層３の表面を金属層２の裏面に貼着する。
【０１０７】
これにより、金属層２と、その裏面に積層される熱伝導性粘着剤層３とを備える熱伝導性粘着シート１を得る。
【０１０８】
熱伝導性粘着層３の裏面には、ベースフィルム４が積層されており、ベースフィルム４は、熱伝導性粘着シート１の使用時には、熱伝導性粘着剤層３から引き剥がされる。
【０１０９】
得られた熱伝導性粘着シート１の厚みは、例えば、１５μｍ以上、好ましくは、５０μｍ以上、より好ましくは、１００μｍ以上であり、また、例えば、１００００μｍ以下、好ましくは、５０００μｍ以下、より好ましくは、３０００μｍ以下でもある。
【０１１０】
熱伝導性粘着シート１の面方向ＰＤの熱伝導率は、例えば、２０Ｗ／ｍ・Ｋ以上、好ましくは、５０Ｗ／ｍ・Ｋ以上、より好ましくは、１００Ｗ／ｍ・Ｋ以上であり、また、５００Ｗ／ｍ・Ｋ以下でもある。熱伝導率は、後の実施例の評価で詳述される。
【０１１１】
熱伝導性粘着シート１の面方向ＰＤの熱伝導率が上記下限以上であれば、高い放熱性が必要とされる機器（後述）に好適に用いることができる。
【０１１２】
このようにして得られる熱伝導性粘着シート１は、各種機器の放熱シートとして用いられる。
【０１１３】
また、この熱伝導性粘着シート１は、熱伝導性と粘着性（感圧接着性）に優れるため、各種機器の放熱対象に貼着（感圧接着）されて用いられる。具体的には、熱伝導性粘着シート１の熱伝導性粘着剤層３は、放熱対象に貼着（感圧接着）されて用いられる。
【０１１４】
機器は、高い放熱性が必要とされる機器であって、具体的には、例えば、半導体装置、ハードディスク、ＬＥＤ装置（テレビジョン、照明、ディスプレイなど）、ＥＬ装置（有機ＥＬディスプレイ、有機ＥＬ照明など）、キャパシタ（コンデンサなど）、バッテリー（リチウムイオンバッテリーなど）、パワーモジュールなどが挙げられる。
【０１１５】
とりわけ、熱伝導性粘着シート１は、面方向の熱伝導性が格段に向上されていることから、軽薄小型化に伴い、より一層高い放熱性が必要とされる機器、具体的には、例えば、パソコンやＰＤＡ（携帯情報端末）の機能を備える携帯電話（いわゆる、スマートフォン）、例えば、タッチパネル方式の表示／入力部を備える携帯可能なパソコン（いわゆる、タブレットＰＣ）などに用いられる。さらに、熱伝導性粘着シート１を、例えば、デジタルカメラ、プロジェクターなどに用いることもできる。
【０１１６】
また、熱伝導性粘着シート１は、上記機器におけるチップ（ＣＰＵなど）などの放熱部材に貼着される。
【０１１７】
また、熱伝導性粘着シート１を、基板の上に実装されるチップに配置する場合には、熱伝導性粘着シート１を、まず、基板の外形形状に対応するように切断加工（外形加工）し、その後、熱伝導性粘着シート１を、チップを含む（被覆する）ように、基板の表面に貼着する。貼着時に、熱伝導性粘着シート１は、チップの厚みに対応して、チップの上面および側面に追従する。その後、かかる基板を筐体に収容するときに、熱伝導性粘着シート１も、筐体内の空間に収容される。
【０１１８】
そして、この熱伝導性粘着シート１は、金属層２を備えるので、加工性および取扱性に優れる。
【０１１９】
また、熱伝導性粘着シート１は、さらに、金属層２の裏面に積層される熱伝導性粘着剤層３を備え、熱伝導性粘着剤層３は、（メタ）アクリル酸アルキルエステルを含有するモノマー成分を重合させることにより得られる粘着成分と、熱伝導性粒子とを含有する。そのため、熱伝導性粘着剤層３が放熱対象に貼着されると、放熱対象から発生する熱は、熱伝導性粘着剤層３を介して金属層２に伝導され、続いて、金属層２に沿って、つまり、面方向ＰＤに効率的に伝導される。さらに、上記した金属層２における熱伝導ともに、熱伝導性粘着剤層３においても、放熱対象から発生する熱は、熱伝導性粘着剤層３に沿って、つまり、面方向ＰＤに効率的に伝導される。
【０１２０】
従って、熱伝導性粘着シート１は、面方向ＰＤの熱伝導性に優れる。
【０１２１】
さらに、モノマー成分は、カルボキシル基含有モノマーを実質的に含有しないので、金属層２の裏面において、カルボキシル基に起因する腐食の発生を防止することができる。具体的には、後の実施例にて詳述する腐食試験において、金属層２の裏面に腐食が発生しない。そのため、良好な外観を確保して、配置される機器の信頼性の低下を防止することができる。
【０１２２】
なお、図１に示す熱伝導性粘着シート１では、熱伝導性粘着剤層３を金属層２の裏面のみに設けているが、例えば、図１の破線および実線で示すように、熱伝導性粘着剤層３を、さらに、金属層２の表面に設けることもできる。
【０１２３】
つまり、図１の破線で示すように、熱伝導性粘着剤層３は、金属層２の表面および裏面の両面に設けられる。
【０１２４】
その場合でも、金属層２の両面に腐食が発生しないため、良好な外観を確保して、配置される機器の信頼性の低下を防止することができる。
【実施例】
【０１２５】
以下に、実施例および比較例を挙げて本発明をさらに詳しく説明するが、本発明は、何らこれらに限定されるものではない。
【０１２６】
実施例１
モノマー成分として、主成分としてのアクリル酸２−エチルヘキシル８０重量部と、共重合可能モノマーとしとのアクリル酸２−メトキシエチル１１．５重量部と、アミド基含有モノマーとしてのＮ−ビニル−２−ピロリドン（ＮＶＰ）７重量部と、アミド基含有モノマーとしてのヒドロキシエチルアクリルアミド（ＨＥＡＡ）１．５重量部とを混合した混合物を調製した。
【０１２７】
得られた混合物に、光重合開始剤として、商品名「イルガキュアー６５１」（２，２−ジメトキシ−１，２−ジフェニルエタン−１−オン  チバ・ジャパン社製）０．０５重量部、および、商品名「イルガキュアー１８４」（１−ヒドロキシ−シクロヘキシル−フェニル−ケトン  チバ・ジャパン社製）０．０５重量部を配合した。
【０１２８】
次いで、混合物に紫外線を照射して、粘度（ＢＨ粘度計、Ｎｏ．５ローター、１０ｒｐｍ、測定温度３０℃）が約２０Ｐａ・ｓになるまで重合し、モノマー成分が部分的に重合したモノマー成分の部分重合物（シロップ）を調製した。
【０１２９】
調製したシロップ１００重量部に、架橋剤として商品名「ＫＡＹＡＲＡＤ  ＤＰＨＡ−４０Ｈ」（ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、日本化薬社製）０．０５重量部、分散剤として商品名「プライサーフＡ２１２Ｅ」（第一工業製薬社製）２重量部を配合して混合し、モノマー組成物を調製した。
【０１３０】
得られたモノマー組成物に、熱伝導性粒子として水酸化アルミニウム粉末である商品名「ハイジライトＨ−４２」（形状：破砕状、１次平均粒子径：１μｍ）（昭和電工社製）１５０重量部と、熱伝導性粒子として水酸化アルミニウム粉末である商品名「ハイジライトＨ−１０」（形状：破砕状、１次平均粒子径：５５μｍ）（昭和電工社製）１５０重量部とを添加し、熱伝導性粘着剤原料を調製した。
【０１３１】
調製した熱伝導性粘着剤原料を、片面に剥離処理が施されているポリエチレンテレフタレート製の剥離ライナーであるベースフィルム（商品名「ダイアホイルＭＲＦ３８」、三菱化学ポリエステルフィルム社製）の剥離処理面の上に塗布し、続いて、熱伝導性粘着剤原料の塗膜の上に、片面に剥離処理が施されているポリエチレンテレフタレート製の剥離ライナーであるカバーフィルム（商品名「ダイアホイルＭＲＦ３８」、三菱化学ポリエステルフィルム社製）を、剥離処理面が塗膜と接触するように、積層した。
【０１３２】
次いで、熱伝導性粘着剤原料に、紫外線（照度約５ｍＷ／ｃｍ２）を両側（両方の剥離ライナー）から３分間照射した。
【０１３３】
これにより、熱伝導性粘着剤原料中のモノマー成分を重合させて、厚み２００μｍの熱伝導性粘着層を形成した。
【０１３４】
その後、カバーフィルムを熱伝導性粘着層から引き剥がし、熱伝導性粘着層を、金属箔としての厚み５０μｍのアルミニウム箔（面方向の熱伝導率２３７Ｗ／ｍ・Ｋ、住軽金属箔社製）の片面に貼り合わせることにより、熱伝導性粘着シートを作製した（図１参照）。
【０１３５】
実施例２
金属箔を、厚み３５μｍの銅箔（面方向の熱伝導率３９８Ｗ／ｍ・Ｋ）に変更した以外は、実施例１と同様に処理して、熱伝導性粘着シートを作製した。
【０１３６】
比較例１
実施例１において、シロップの配合量を９５重量部とし、さらに、モノマー成分としてアクリル酸（ＡＡ）５重量部を追加した以外は、実施例１と同様に処理して、熱伝導性粘着シートを作製した。
【０１３７】
比較例２
熱伝導性粒子を添加することなく熱伝導性粘着剤原料を調製した以外は、実施例１と同様に処理して、熱伝導性粘着シートを作製した。
【０１３８】
（評価）
１．  面方向の熱伝導率
アルバック理工社の光交流法熱拡散率測定装置（ＬａｓｅｒＰＩＴシリーズ）を用いる光交流法によって、熱伝導性粘着シートの熱拡散率を得て、それを下記式に代入することにより、熱伝導性粘着シートの面方向の熱伝導率を求めた。
【０１３９】
熱伝導率＝密度×比熱×熱拡散率
なお、熱伝導性粘着シートの比熱は、ＤＳＣ（示差走差熱量計）法によって求めた。具体的には、Ｐｅｒｋｉｎ−Ｅｌｍｅｒ社製、示差走査熱量計ＤＳＣ−７を用いるＤＳＣ法によって求めた。
２．  金属層の裏面の腐食（腐食試験）
熱伝導性粘着シートを、温度８５℃、相対湿度８５％の恒温恒湿機に１０００時間保存した。その後、熱伝導性粘着シートを恒温恒湿機から取り出し、金属層の熱伝導性粘着剤層に対する対向面（裏面）の腐食状態を目視で確認した。具体的には、金属層から熱伝導性粘着シートを剥離して、金属層において熱伝導性粘着剤層と接触していた面（裏面）の腐食状態を目視で確認した。
【０１４０】
【表１】
2014025028.tif 000003
【符号の説明】
【０１４１】
１  熱伝導性粘着シート
２  金属層
３  熱伝導性粘着剤層
【図１】
2014025028.tif 000004