(57)【要約】      （修正有）【課題】微粒子含有液体を極めて容易にピックアップでき、また、微粒子含有液体に含まれる微粒子を確実にピックアップすることが可能な、新規な微粒子含有液体ピックアップ用マイクロプローブを提供する。【解決手段】微粒子含有液体ピックアップ用マイクロプローブは、複数のカーボンナノチューブを備えるカーボンナノチューブ集合体を有し、微粒子を含有する液体をピックアップでき、該微粒子のみを分離して保持する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のカーボンナノチューブを備えるカーボンナノチューブ集合体を有し、
微粒子を含有する液体をピックアップでき、
該微粒子のみを分離して保持できる、
微粒子含有液体ピックアップ用マイクロプローブ。
【請求項２】
前記微粒子含有液体は、ガラス上で液滴としたときの接触角が４０°以上であり、且つ、ガラス上に薄膜として広げたときの最大直径が１μｍ〜２５μｍの量の微粒子含有液体である、請求項１に記載の微粒子含有液体ピックアップ用マイクロプローブ。
【請求項３】
前記カーボンナノチューブ集合体の直径が１５μｍ以下である、請求項１または２に記載の微粒子含有液体ピックアップ用マイクロプローブ。
【請求項４】
前記カーボンナノチューブ集合体の長さが３０μｍ以下である、請求項１から３までのいずれかに記載の微粒子含有液体ピックアップ用マイクロプローブ。
【請求項５】
前記カーボンナノチューブが複数層を有し、該カーボンナノチューブの層数分布の分布幅が１０層以上であり、該層数分布の最頻値の相対頻度が２５％以下である、請求項１から４までのいずれかに記載の微粒子含有液体ピックアップ用マイクロプローブ。
【請求項６】
前記カーボンナノチューブが複数層を有し、該カーボンナノチューブの層数分布の最頻値が層数１０層以下に存在し、該最頻値の相対頻度が３０％以上である、請求項１から４までのいずれかに記載の微粒子含有液体ピックアップ用マイクロプローブ。
【請求項７】
軸状基材上に前記カーボンナノチューブ集合体が設けられている、請求項１から６までのいずれかに記載の微粒子含有液体ピックアップ用マイクロプローブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、微粒子含有液体ピックアップ用マイクロプローブに関する。詳細には、例えば、分析用途などにおいて、微粒子含有液体をピックアップして分析装置内に運び込んで分析評価するため等に好適に用いられる、微粒子含有液体ピックアップ用マイクロプローブに関する。
【背景技術】
【０００２】
部材の表面に点在する微粒子含有液体の組成などを分析評価することによって該部材の製造プロセスにおける該微粒子含有液体の混入経路等を解明することは、クリーンな部材を提供する上などで重要である。
【０００３】
部材の表面に点在する微粒子含有液体をピックアップする手段としては、従来、マイクロピペットや、タングステンプローブやガラスプローブなどのマイクロプローブを、サンプリングツールとして用いる方法が用いられている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
しかし、微粒子含有液体のピックアップは容易ではない。例えば、微粒子含有液体は薄膜状態において非常に薄いため、マイクロピペットを用いても、十分に吸引採取することができないという問題がある。また、微粒子含有液体は、通常、表面張力の高い基板上などに存在しているため、タングステンプローブやガラスプローブなどのマイクロプローブを用いても、該マイクロプローブ表面への液体移動がスムーズに行われないという問題がある。
【０００５】
さらに、従来のサンプリングツールでは、微粒子含有液体に含まれる微粒子を確実にピックアップすることは困難である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００３−１８５５５９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の課題は、微粒子含有液体を極めて容易にピックアップでき、また、微粒子含有液体に含まれる微粒子を確実にピックアップすることが可能な、新規な微粒子含有液体ピックアップ用マイクロプローブを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の微粒子含有液体ピックアップ用マイクロプローブは、
複数のカーボンナノチューブを備えるカーボンナノチューブ集合体を有し、
微粒子を含有する液体をピックアップでき、
該微粒子のみを分離して保持できる。
【０００９】
好ましい実施形態においては、上記微粒子含有液体は、ガラス上で液滴としたときの接触角が４０°以上であり、且つ、ガラス上に薄膜として広げたときの最大直径が１μｍ〜２５μｍの量の微粒子含有液体である。
【００１０】
好ましい実施形態においては、上記カーボンナノチューブ集合体の直径が１５μｍ以下である。
【００１１】
好ましい実施形態においては、上記カーボンナノチューブ集合体の長さが３０μｍ以下である。
【００１２】
好ましい実施形態においては、上記カーボンナノチューブが複数層を有し、該カーボンナノチューブの層数分布の分布幅が１０層以上であり、該層数分布の最頻値の相対頻度が２５％以下である。
【００１３】
好ましい実施形態においては、上記カーボンナノチューブが複数層を有し、該カーボンナノチューブの層数分布の最頻値が層数１０層以下に存在し、該最頻値の相対頻度が３０％以上である。
【００１４】
好ましい実施形態においては、本発明の微粒子含有液体ピックアップ用マイクロプローブは、軸状基材上に上記カーボンナノチューブ集合体が設けられている。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、微粒子含有液体を極めて容易にピックアップでき、また、微粒子含有液体に含まれる微粒子を確実にピックアップすることが可能な、新規な微粒子含有液体ピックアップ用マイクロプローブを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】微粒子含有液体を説明する斜視図および概略断面図である。
【図２】本発明の好ましい実施形態における微粒子含有液体ピックアップ用マイクロプローブの一例の概略断面図である。
【図３】本発明の好ましい実施形態における微粒子含有液体ピックアップ用マイクロプローブの別の一例の概略断面図である。
【図４】本発明の好ましい実施形態における微粒子含有液体ピックアップ用マイクロプローブが微粒子含有液体をピックアップして微粒子含有液体に含まれる微粒子のみを分離して保持した状態を示す概略断面図である。
【図５】カーボンナノチューブ集合体の製造装置の概略断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
≪微粒子含有液体ピックアップ用マイクロプローブ≫
本発明の微粒子含有液体ピックアップ用マイクロプローブは、複数のカーボンナノチューブを備えるカーボンナノチューブ集合体を有する。本発明の微粒子含有液体ピックアップ用マイクロプローブは、複数のカーボンナノチューブを備えるカーボンナノチューブ集合体を、好ましくは、少なくとも先端部分に有する。本発明の微粒子含有液体ピックアップ用マイクロプローブは、このようなカーボンナノチューブ集合体を有することにより、微粒子含有液体を極めて容易にピックアップでき、また、微粒子含有液体に含まれる微粒子を確実にピックアップすることが可能である。
【００１８】
本発明の微粒子含有液体ピックアップ用マイクロプローブは、微粒子含有液体を極めて容易にピックアップでき、また、微粒子含有液体に含まれる微粒子を確実にピックアップすることが可能である。ここで、「ピックアップ」とは、本発明の微粒子含有液体ピックアップ用マイクロプローブを用いて、採取すべき微粒子含有液体を吸収して採取することをいう。より具体的には、「ピックアップ」とは、本発明の微粒子含有液体ピックアップ用マイクロプローブを用いて、存在する微粒子含有液体の量の、好ましくは３０重量％以上、より好ましくは５０重量％以上、さらに好ましくは７０重量％以上、特に好ましくは９０重量％以上、最も好ましくは９５重量％以上を吸収して採取することをいう。ただし、微粒子含有液体のピックアップの量は、目的に応じて、適宜設定されるものである。したがって、微粒子含有液体の少量さえ採取できれば良い状況では、採取すべき微粒子含有液体の量は少量で良く、微粒子含有液体の実質的に全てを採取しなければならない状況では、採取すべき微粒子含有液体の量は実質的に全量である必要がある。
【００１９】
本発明において「微粒子含有液体」は、好ましくは、ガラス上で液滴としたときの接触角が４０°以上である。このような微粒子含有液体は非常に薄いため、従来のマイクロピペットを用いても、十分に吸引採取することができないという問題がある。また、このような微粒子含有液体は、タングステンプローブやガラスプローブなどのマイクロプローブを用いても、該マイクロプローブ表面への液体移動がスムーズに行われないという問題がある。本発明の微粒子含有液体ピックアップ用マイクロプローブを用いれば、このような微粒子含有液体であっても、微粒子含有液体を極めて容易にピックアップでき、また、微粒子含有液体に含まれる微粒子を確実にピックアップすることが可能である。なお、液体薄膜を構成する液体の種類は、好ましくは、ガラス上で液滴としたときの接触角が４０°以上であるような液体であれば、任意の適切な液体を採用し得る。
【００２０】
本発明において「微粒子含有液体」は、好ましくは、ガラス上に薄膜として広げたときの最大直径が１μｍ〜２５μｍの量の微粒子含有液体である。このような微粒子含有液体は非常に薄いため、従来のマイクロピペットを用いても、十分に吸引採取することができないという問題がある。また、このような微粒子含有液体は、タングステンプローブやガラスプローブなどのマイクロプローブを用いても、該マイクロプローブ表面への液体移動がスムーズに行われないという問題がある。本発明の微粒子含有液体ピックアップ用マイクロプローブを用いれば、このような微粒子含有液体であっても、微粒子含有液体を極めて容易にピックアップでき、また、微粒子含有液体に含まれる微粒子を確実にピックアップすることが可能である。なお、液体薄膜を構成する液体の種類は、好ましくは、ガラス上に薄膜として広げたときの最大直径が１μｍ〜２５μｍの量の液体薄膜となるような液体であれば、任意の適切な液体を採用し得る。
【００２１】
本発明において「微粒子含有液体」は、ガラス上で液滴としたときの接触角が、より好ましくは４０°〜１８０°であり、さらに好ましくは５０°〜１６０°であり、特に好ましくは６０°〜１４０°である。また、本発明において「微粒子含有液体」は、ガラス上に薄膜として広げたときの最大直径が、より好ましくは０．１μｍ〜１００μｍであり、さらに好ましくは１μｍ〜５０μｍであり、特に好ましくは３μｍ〜２５μｍである。このような微粒子含有液体はきわめて非常に薄いため、従来のマイクロピペットを用いても、十分に吸引採取することが非常に困難であるという問題がある。また、このような微粒子含有液体は、タングステンプローブやガラスプローブなどのマイクロプローブを用いても、該マイクロプローブ表面への液体移動が非常に困難であるという問題がある。本発明の微粒子含有液体ピックアップ用マイクロプローブを用いれば、このような微粒子含有液体であっても、極めて容易にピックアップでき、また、微粒子含有液体に含まれる微粒子を確実にピックアップすることが可能である。
【００２２】
微粒子含有液体中の微粒子としては、その平均粒子径が、好ましくは０．１μｍ〜１００μｍであり、より好ましくは０．５μｍ〜５０μｍであり、さらに好ましくは１μｍ〜３０μｍであり、特に好ましくは１μｍ〜１０μｍである。本発明の微粒子含有液体ピックアップ用マイクロプローブを用いれば、このような平均粒子径を有する微粒子を含有する液体を、一層極めて容易にピックアップでき、また、微粒子含有液体に含まれる微粒子を一層確実にピックアップすることが可能である。
【００２３】
微粒子含有液体中の微粒子の種類は、目的に応じて、任意の適切な種類を選択し得る。例えば、無機粒子であっても良いし、ポリマー粒子などの有機粒子であっても良いし、有機無機複合粒子のような特殊粒子であっても良い。また、微粒子含有液体中の微粒子は、１種のみであっても良いし、２種以上であっても良い。
【００２４】
図１に、本発明における「微粒子含有液体」を説明する斜視図および概略断面図を示す。図１（Ａ）は、ガラス２上に微粒子含有液体１が薄膜として広がって存在する状態を示す斜視図である。図１（Ａ）において、微粒子含有液体１は、最大直径Ｒを有する。微粒子含有液体１の厚みは、微粒子含有液体１をガラス上で液滴としたときの接触角ｄおよび最大直径Ｒによって適宜設定され得る。図１（Ｂ）は、微粒子含有液体１をガラス２上で液滴３としたときの状態を示す概略断面図である。図１（Ｂ）において、液滴３はガラス２と接触角ｄをなす。
【００２５】
本発明の微粒子含有液体ピックアップ用マイクロプローブは、例えば、複数のカーボンナノチューブを備えるカーボンナノチューブ集合体のみからなる構成であっても良いし、複数のカーボンナノチューブを備えるカーボンナノチューブ集合体が軸状基材上に設けられている構成であっても良い。ここで、軸状基材は、軸形状をした基材を意味し、例えば、軸、支柱、金属柱などに言い換えることができる場合もある。
【００２６】
図２は、本発明の好ましい実施形態における微粒子含有液体ピックアップ用マイクロプローブの一例の概略断面図である。図２において、本発明の微粒子含有液体ピックアップ用マイクロプローブ１０００は、複数のカーボンナノチューブ１０を備えるカーボンナノチューブ集合体１００のみからなる。図２において、複数のカーボンナノチューブ１０は、それぞれ、長さＬの方向に配向しており、束状のカーボンナノチューブ集合体１００を構成している。
【００２７】
図３は、本発明の好ましい実施形態における微粒子含有液体ピックアップ用マイクロプローブの別の一例の概略断面図である。図３において、本発明の微粒子含有液体ピックアップ用マイクロプローブ１０００は、複数のカーボンナノチューブ１０を備えるカーボンナノチューブ集合体１００が軸状基材２０上に設けられている。図３において、複数のカーボンナノチューブ１０は、それぞれ、長さＬの方向に配向しており、束状のカーボンナノチューブ集合体１００を構成している。図３において、複数のカーボンナノチューブ１０の片端１０ａは、軸状基材２０に固定されている。図３に示すように、複数のカーボンナノチューブ１０は、好ましくは、軸状基材２０に対して略垂直方向に配向している。ここで、「略垂直方向」とは、軸状基材２０の断面側表面２０ａに対する角度が、好ましくは９０°±２０°の範囲内であり、より好ましくは９０°±１５°の範囲内であり、さらに好ましくは９０°±１０°の範囲内であり、特に好ましくは９０°±５°の範囲内である。
【００２８】
本発明の微粒子含有液体ピックアップ用マイクロプローブにおいて、カーボンナノチューブ集合体１００の長さは、好ましくは３０μｍ以下であり、より好ましくは０．１μｍ〜２８μｍであり、さらに好ましくは０．５μｍ〜２５μｍであり、特に好ましくは１μｍ〜２３μｍであり、最も好ましくは２μｍ〜２０μｍである。本発明の微粒子含有液体ピックアップ用マイクロプローブにおいて、カーボンナノチューブ集合体１００の長さを上記範囲内に調整することにより、本発明の微粒子含有液体ピックアップ用マイクロプローブは、微粒子含有液体を一層極めて容易にピックアップでき、また、微粒子含有液体に含まれる微粒子を一層確実にピックアップすることが可能となる。
【００２９】
本発明の微粒子含有液体ピックアップ用マイクロプローブにおいて、カーボンナノチューブ集合体１００の直径は、好ましくは１５μｍ以下であり、より好ましくは０．１μｍ〜１４μｍであり、さらに好ましくは０．３μｍ〜１３μｍであり、特に好ましくは０．５μｍ〜１２μｍであり、最も好ましくは０．８μｍ〜１１μｍである。本発明の微粒子含有液体ピックアップ用マイクロプローブにおいて、カーボンナノチューブ集合体１００の直径を上記範囲内に調整することにより、本発明の微粒子含有液体ピックアップ用マイクロプローブは、微粒子含有液体を一層極めて容易にピックアップでき、また、微粒子含有液体に含まれる微粒子を一層確実にピックアップすることが可能となる。
【００３０】
本発明の微粒子含有液体ピックアップ用マイクロプローブにおいて、カーボンナノチューブの形状としては、その横断面が任意の適切な形状を有していれば良い。例えば、その横断面が、略円形、楕円形、ｎ角形（ｎは３以上の整数）等が挙げられる。本発明の微粒子含有液体ピックアップ用マイクロプローブにおいて、カーボンナノチューブの比表面積、密度は、任意の適切な値に設定され得る。
【００３１】
本発明の微粒子含有液体ピックアップ用マイクロプローブにおいて、カーボンナノチューブ集合体（すなわち、複数のカーボンナノチューブの束）の形状としては、その見かけ上の横断面が任意の適切な形状を有していれば良い。例えば、その見かけ上の横断面が、略円形、楕円形、ｎ角形（ｎは３以上の整数）等が挙げられる。
【００３２】
軸状基材の材料としては、目的に応じて、任意の適切な材料を採用し得る。このような材料としては、例えば、ルビー、サファイアなども挙げられるが、好ましくは、ＳＵＳ、タングステン超硬など導電性の材料が挙げられる。
【００３３】
軸状基材の大きさとしては、目的に応じて、任意の適切な大きさを採用し得る。このような大きさとしては、好ましくは、その断面側表面の面積が、カーボンナノチューブ集合体の直径から算出される面積よりも大きくなるような大きさである。なお、軸状基材の長さ（断面側表面と直交する方向の長さ）は、目的に応じて、任意の適切な長さを採用し得る。
【００３４】
本発明の微粒子含有液体ピックアップ用マイクロプローブが、図３のように、カーボンナノチューブ集合体が軸状基材上に設けられている構成である場合、該カーボンナノチューブを該軸状基材に固定する方法としては、任意の適切な方法を採用し得る。このような固定方法としては、例えば、ペーストなどを用いて接着する方法、両面テープなどを用いて粘着固定する方法、カーボンナノチューブ集合体の製造に使用した基板を軸状基材として用いる方法、カーボンナノチューブ集合体の接着特性を利用して固定する方法などが挙げられる。これらの固定方法の中でも、微粒子含有液体のピックアップ後に本発明の微粒子含有液体ピックアップ用マイクロプローブをそのまま分析装置内に運び込んで分析評価を行う場合を考慮すると、汚染原因の除去と、帯電防止のために、導電性の材料のみを用いて固定する方法が好ましく、具体的には、例えば、カーボンナノチューブの接着特性を利用して固定する方法などが挙げられる。
【００３５】
本発明の微粒子含有液体ピックアップ用マイクロプローブが、図３のように、カーボンナノチューブ集合体が軸状基材上に設けられている構成である場合、微粒子含有液体をピックアップして微粒子含有液体に含まれる微粒子のみを分離して保持した状態を示す概略断面図を図４に示す。図４において、本発明の微粒子含有液体ピックアップ用マイクロプローブ１０００は、複数のカーボンナノチューブ１０を備える束状のカーボンナノチューブ集合体１００が軸状基材２０上に設けられており、微粒子含有液体をピックアップすることによって、液体は束状のカーボンナノチューブ集合体１００中に吸収採取されるとともに、微粒子５は束状のカーボンナノチューブ集合体１００の先端に保持される。
【００３６】
≪カーボンナノチューブ集合体≫
本発明の微粒子含有液体ピックアップ用マイクロプローブが有するカーボンナノチューブ集合体は、下記のような２つの好ましい実施形態を採り得る。
【００３７】
＜第１の好ましい実施形態＞
本発明の微粒子含有液体ピックアップ用マイクロプローブが有するカーボンナノチューブ集合体の好ましい実施形態の１つ（以下、第１の好ましい実施形態と称することがある）は、複数のカーボンナノチューブを備え、該カーボンナノチューブが複数層を有し、該カーボンナノチューブの層数分布の分布幅が１０層以上であり、該層数分布の最頻値の相対頻度が２５％以下である。
【００３８】
上記カーボンナノチューブの層数分布の分布幅は１０層以上であり、好ましくは１０層〜３０層であり、より好ましくは１０層〜２５層であり、さらに好ましくは１０層〜２０層である。
【００３９】
上記カーボンナノチューブの層数分布の「分布幅」とは、カーボンナノチューブの層数の最大層数と最小層数との差をいう。
【００４０】
カーボンナノチューブの層数分布の分布幅が上記範囲内にあることにより、該カーボンナノチューブは優れた機械的特性、高い比表面積、優れた粘着特性を兼ね備えることができるとともに、本発明の微粒子含有液体ピックアップ用マイクロプローブとしたときには、微粒子含有液体を一層極めて容易にピックアップでき、また、微粒子含有液体に含まれる微粒子を一層確実にピックアップすることが可能となる。
【００４１】
上記カーボンナノチューブの層数、層数分布は、任意の適切な装置によって測定すれば良い。好ましくは、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）や透過電子顕微鏡（ＴＥＭ）によって測定される。例えば、カーボンナノチューブ集合体から少なくとも１０本、好ましくは２０本以上のカーボンナノチューブを取り出してＳＥＭあるいはＴＥＭによって測定し、層数および層数分布を評価すれば良い。
【００４２】
上記カーボンナノチューブの層数の最大層数は、好ましくは５層〜３０層であり、より好ましくは１０層〜３０層であり、さらに好ましくは１５層〜３０層であり、特に好ましくは１５層〜２５層である。
【００４３】
上記カーボンナノチューブの層数の最小層数は、好ましくは１層〜１０層であり、より好ましくは１層〜５層である。
【００４４】
上記カーボンナノチューブの層数の最大層数と最小層数が上記範囲内にあることにより、該カーボンナノチューブは優れた機械的特性、高い比表面積、優れた粘着特性を兼ね備えることができるとともに、本発明の微粒子含有液体ピックアップ用マイクロプローブとしたときには、微粒子含有液体を一層極めて容易にピックアップでき、また、微粒子含有液体に含まれる微粒子を一層確実にピックアップすることが可能となる。
【００４５】
上記層数分布の最頻値の相対頻度は、２５％以下であり、好ましくは１％〜２５％であり、より好ましくは５％〜２５％であり、さらに好ましくは１０％〜２５％であり、特に好ましくは１５％〜２５％である。上記層数分布の最頻値の相対頻度が上記範囲内にあることにより、上記カーボンナノチューブは優れた機械的特性、高い比表面積、優れた粘着特性を兼ね備えることができるとともに、本発明の微粒子含有液体ピックアップ用マイクロプローブとしたときには、微粒子含有液体を一層極めて容易にピックアップでき、また、微粒子含有液体に含まれる微粒子を一層確実にピックアップすることが可能となる。
【００４６】
上記層数分布の最頻値は、好ましくは層数２層から層数１０層に存在し、さらに好ましくは層数３層から層数１０層に存在する。上記層数分布の最頻値が上記範囲内にあることにより、上記カーボンナノチューブは優れた機械的特性、高い比表面積、優れた粘着特性を兼ね備えることができるとともに、本発明の微粒子含有液体ピックアップ用マイクロプローブとしたときには、微粒子含有液体を一層極めて容易にピックアップでき、また、微粒子含有液体に含まれる微粒子を一層確実にピックアップすることが可能となる。
【００４７】
＜第２の好ましい実施形態＞
本発明の微粒子含有液体ピックアップ用マイクロプローブが有するカーボンナノチューブ集合体の好ましい実施形態の別の１つ（以下、第２の好ましい実施形態と称することがある）は、複数のカーボンナノチューブを備え、該カーボンナノチューブが複数層を有し、該カーボンナノチューブの層数分布の最頻値が層数１０層以下に存在し、該最頻値の相対頻度が３０％以上である。
【００４８】
上記カーボンナノチューブの層数分布の分布幅は、好ましくは９層以下であり、より好ましくは１層〜９層であり、さらに好ましくは２層〜８層であり、特に好ましくは３層〜８層である。
【００４９】
上記カーボンナノチューブの層数分布の「分布幅」とは、カーボンナノチューブの層数の最大層数と最小層数との差をいう。
【００５０】
カーボンナノチューブの層数分布の分布幅が上記範囲内にあることにより、該カーボンナノチューブは優れた機械的特性、高い比表面積、優れた粘着特性を兼ね備えることができるとともに、本発明の微粒子含有液体ピックアップ用マイクロプローブとしたときには、微粒子含有液体を一層極めて容易にピックアップでき、また、微粒子含有液体に含まれる微粒子を一層確実にピックアップすることが可能となる。
【００５１】
上記カーボンナノチューブの層数、層数分布は、任意の適切な装置によって測定すれば良い。好ましくは、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）や透過電子顕微鏡（ＴＥＭ）によって測定される。例えば、カーボンナノチューブ集合体から少なくとも１０本、好ましくは２０本以上のカーボンナノチューブを取り出してＳＥＭあるいはＴＥＭによって測定し、層数および層数分布を評価すれば良い。
【００５２】
上記カーボンナノチューブの層数の最大層数は、好ましくは１層〜２０層であり、より好ましくは２層〜１５層であり、さらに好ましくは３層〜１０層である。
【００５３】
上記カーボンナノチューブの層数の最小層数は、好ましくは１層〜１０層であり、より好ましくは１層〜５層である。
【００５４】
上記カーボンナノチューブの層数の最大層数と最小層数が上記範囲内にあることにより、上記カーボンナノチューブは優れた機械的特性、高い比表面積、優れた粘着特性を兼ね備えることができるとともに、本発明の微粒子含有液体ピックアップ用マイクロプローブとしたときには、微粒子含有液体を一層極めて容易にピックアップでき、また、微粒子含有液体に含まれる微粒子を一層確実にピックアップすることが可能となる。
【００５５】
上記層数分布の最頻値の相対頻度は、３０％以上であり、好ましくは３０％〜１００％であり、より好ましくは３０％〜９０％であり、さらに好ましくは３０％〜８０％であり、特に好ましくは３０％〜７０％である。上記層数分布の最頻値の相対頻度が上記範囲内にあることにより、上記カーボンナノチューブは優れた機械的特性、高い比表面積、優れた粘着特性を兼ね備えることができるとともに、本発明の微粒子含有液体ピックアップ用マイクロプローブとしたときには、微粒子含有液体を一層極めて容易にピックアップでき、また、微粒子含有液体に含まれる微粒子を一層確実にピックアップすることが可能となる。
【００５６】
上記層数分布の最頻値は、層数１０層以下に存在し、好ましくは層数１層から層数１０層に存在し、より好ましくは層数２層から層数８層に存在し、さらに好ましくは層数２層から層数６層に存在する。本発明において、上記層数分布の最頻値が上記範囲内にあることにより、上記カーボンナノチューブは優れた機械的特性、高い比表面積、優れた粘着特性を兼ね備えることができるとともに、本発明の微粒子含有液体ピックアップ用マイクロプローブとしたときには、微粒子含有液体を一層極めて容易にピックアップでき、また、微粒子含有液体に含まれる微粒子を一層確実にピックアップすることが可能となる。
【００５７】
≪カーボンナノチューブ集合体の製造方法≫
本発明の微粒子含有液体ピックアップ用マイクロプローブが有するカーボンナノチューブ集合体の製造方法としては、任意の適切な方法を採用し得る。
【００５８】
本発明の微粒子含有液体ピックアップ用マイクロプローブが有するカーボンナノチューブ集合体の製造方法としては、例えば、平滑な基板の上に触媒層を構成し、熱、プラズマなどにより触媒を活性化させた状態で炭素源を充填し、カーボンナノチューブを成長させる、化学気相成長法（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ：ＣＶＤ法）によって、基板からほぼ垂直に配向したカーボンナノチューブ集合体を製造する方法が挙げられる。この場合、例えば、基板を取り除けば、長さ方向に配向しているカーボンナノチューブ集合体が得られる。
【００５９】
上記基板としては、任意の適切な基板を採用し得る。例えば、平滑性を有し、カーボンナノチューブの製造に耐え得る高温耐熱性を有する材料が挙げられる。このような材料としては、例えば、石英ガラス、シリコン（シリコンウェハなど）、アルミニウムなどの金属板などが挙げられる。上記基板は、そのまま、本発明の微粒子含有液体ピックアップ用マイクロプローブが含み得る軸状基材として用いることができる。
【００６０】
本発明の微粒子含有液体ピックアップ用マイクロプローブが有するカーボンナノチューブ集合体を製造するための装置としては、任意の適切な装置を採用し得る。例えば、熱ＣＶＤ装置としては、図５に示すような、筒型の反応容器を抵抗加熱式の電気管状炉で囲んで構成されたホットウォール型などが挙げられる。その場合、反応容器としては、例えば、耐熱性の石英管などが好ましく用いられる。
【００６１】
本発明の微粒子含有液体ピックアップ用マイクロプローブが有するカーボンナノチューブ集合体の製造に用い得る触媒（触媒層の材料）としては、任意の適切な触媒を用い得る。例えば、鉄、コバルト、ニッケル、金、白金、銀、銅などの金属触媒が挙げられる。
【００６２】
本発明の微粒子含有液体ピックアップ用マイクロプローブが有するカーボンナノチューブ集合体を製造する際、必要に応じて、基板と触媒層の中間にアルミナ／親水性膜を設けても良い。
【００６３】
アルミナ／親水性膜の作製方法としては、任意の適切な方法を採用し得る。例えば、基板の上にＳｉＯ２膜を作製し、Ａｌを蒸着後、４５０℃まで昇温して酸化させることにより得られる。このような作製方法によれば、Ａｌ２Ｏ３が親水性のＳｉＯ２膜と相互作用し、Ａｌ２Ｏ３を直接蒸着したものよりも粒子径の異なるＡｌ２Ｏ３面が形成される。基板の上に、親水性膜を作製することを行わずに、Ａｌを蒸着後に４５０℃まで昇温して酸化させても、粒子径の異なるＡｌ２Ｏ３面が形成され難いおそれがある。また、基板の上に、親水性膜を作製し、Ａｌ２Ｏ３を直接蒸着しても、粒子径の異なるＡｌ２Ｏ３面が形成され難いおそれがある。
【００６４】
本発明の微粒子含有液体ピックアップ用マイクロプローブが有し得るカーボンナノチューブ集合体の製造に用い得る触媒層の厚みは、微粒子を形成させるため、好ましくは０．０１ｎｍ〜２０ｎｍであり、より好ましくは０．１ｎｍ〜１０ｎｍである。本発明の微粒子含有液体ピックアップ用マイクロプローブが有し得るカーボンナノチューブ集合体の製造に用い得る触媒層の厚みが上記範囲内にあることによって、上記カーボンナノチューブ集合体は優れた機械的特性、高い比表面積、優れた粘着特性を兼ね備えることができるとともに、本発明の微粒子含有液体ピックアップ用マイクロプローブとしたときには、微粒子含有液体を一層極めて容易にピックアップでき、また、微粒子含有液体に含まれる微粒子を一層確実にピックアップすることが可能となる。
【００６５】
触媒層の形成方法は、任意の適切な方法を採用し得る。例えば、金属触媒をＥＢ（電子ビーム）、スパッタなどにより蒸着する方法、金属触媒微粒子の懸濁液を基板上に塗布する方法などが挙げられる。
【００６６】
触媒層は、その形成後に、フォトリソグラフィ加工によって、任意の適切な直径のパターンに加工しても良い。このようなフォトリソグラフィ加工により、最終的に、所望の直径を有するカーボンナノチューブ集合体を製造することができる。
【００６７】
本発明の微粒子含有液体ピックアップ用マイクロプローブが有し得るカーボンナノチューブ集合体の製造に用い得る炭素源としては、任意の適切な炭素源を用い得る。例えば、メタン、エチレン、アセチレン、ベンゼンなどの炭化水素；メタノール、エタノールなどのアルコール；などが挙げられる。
【００６８】
本発明の微粒子含有液体ピックアップ用マイクロプローブが有し得るカーボンナノチューブ集合体の製造における製造温度としては、任意の適切な温度を採用し得る。たとえば、本発明の効果を十分に発現し得る触媒粒子を形成させるため、好ましくは４００℃〜１０００℃であり、より好ましくは５００℃〜９００℃であり、さらに好ましくは６００℃〜８００℃である。
【実施例】
【００６９】
以下、本発明を実施例に基づいて説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。なお、各種評価や測定は、以下の方法により行った。
【００７０】
＜カーボンナノチューブ集合体の長さおよび直径の測定＞
カーボンナノチューブ集合体の長さおよび直径は、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）によって測定した。
【００７１】
＜カーボンナノチューブ集合体におけるカーボンナノチューブの層数・層数分布の評価＞
カーボンナノチューブ集合体におけるカーボンナノチューブの層数および層数分布は、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）および／または透過電子顕微鏡（ＴＥＭ）によって測定した。得られたカーボンナノチューブ集合体の中から少なくとも１０本以上、好ましくは２０本以上のカーボンナノチューブをＳＥＭおよび／またはＴＥＭにより観察し、各カーボンナノチューブの層数を調べ、層数分布を作成した。
【００７２】
＜微粒子ピックアップ試験＞
ポリスチレンラテックス（型番：１２５５、平均粒子径：３．０μｍ、日新ＥＭ（株）製）をガラス板上に滴下して乾燥させた後、インクジェットインク（キヤノン（株）製、ＢＣＩ−７ｅＭ（７Ｓ９Ｃ１８ＭＯ）、マゼンダ）をガラス板に滴下し、最大直径２０μｍになった微粒子含有液体の薄膜を、実施例および比較例で用いた微粒子含有液体ピックアップ用プローブなどの各種サンプリングツールによってピックアップした。
微粒子含有液体の薄膜の、ガラス上で液滴としたときの接触角は、６１．１°であった。なお、接触角の測定は、θ／２法で行った。
微粒子が確実にピックアップできているかについて光学顕微鏡を用いて確認した。
微粒子ピックアップ試験の評価基準は下記の通りである。
○：サンプリングツールを接触・脱離後にプローブ上に粒子が確認される。
×：サンプリングツールを接触・脱離後に基板上粒子が確認される。
【００７３】
［実施例１］
基板としてのシリコンウェハ（シリコンテクノロジー製）上に、スパッタ装置（ＵＬＶＡＣ製、ＲＦＳ−２００）により、Ａｌ薄膜（厚み５ｎｍ）を形成した。このＡｌ薄膜上に、さらにスパッタ装置（ＵＬＶＡＣ製、ＲＦＳ−２００）にてＦｅ薄膜（厚み０．３５ｎｍ）を蒸着した。その後、フォトリソグラフィ加工により、直径０．８μｍにパターン化した。
その後、この基板を３０ｍｍφの石英管内に載置し、水分６００ｐｐｍに保ったヘリウム／水素（９０／５０ｓｃｃｍ）混合ガスを石英管内に３０分間流して、管内を置換した。その後、電気管状炉を用いて管内を７６５℃まで昇温させ、７６５℃にて安定させた。７６５℃にて温度を保持したまま、ヘリウム／水素／エチレン（８５／５０／５ｓｃｃｍ、水分率６００ｐｐｍ）混合ガスを管内に充填させ、５秒間放置してカーボンナノチューブを基板上に成長させ、カーボンナノチューブが長さ方向に配向しているカーボンナノチューブ集合体（１）を得た。
カーボンナノチューブ集合体（１）の長さは２μｍであり、直径は０．８μｍであった。
カーボンナノチューブ集合体（１）が備えるカーボンナノチューブの層数分布において、最頻値は１層に存在し、相対頻度は６１％であった。
タングステン針（株式会社マイクロサポート製、ＴＰ−０１０、先端直径＝１０μｍ）の平滑断面に、銀ペースト（ドータイトＤ３６２、藤倉化成株式会社製）を用いて、得られたカーボンナノチューブ集合体（１）を接着し、微粒子含有液体ピックアップ用マイクロプローブ（１）を作成した。
得られた微粒子含有液体ピックアップ用マイクロプローブ（１）を用いて、ピックアップ試験およびピックアップした微粒子含有液体の分析を行った。ピックアップした微粒子含有液体としては、キヤノン（株）製のトナー（型番：ＢＣＩ−７ｅＭ（７Ｓ９Ｃ１８ＭＯ）、マゼンダ）にポリスチレンラテックス（型番：１２５５、平均粒子径：３．０μｍ、日新ＥＭ（株）製）を乾燥させて分散させたものを最大直径１０μｍに広げた微粒子含有液体を用いた。
評価結果を表１に示す。
【００７４】
［実施例２］
基板としてのシリコンウェハ（シリコンテクノロジー製）上に、スパッタ装置（ＵＬＶＡＣ製、ＲＦＳ−２００）により、アルミナ薄膜（厚み２０ｎｍ）を形成した。このアルミナ薄膜上に、さらにスパッタ装置（ＵＬＶＡＣ製、ＲＦＳ−２００）にてＦｅ薄膜（厚み１ｎｍ）を蒸着した。その後、フォトリソグラフィ加工により、直径３．３μｍにパターン化した。
その後、この基板を３０ｍｍφの石英管内に載置し、水分６００ｐｐｍに保ったヘリウム／水素（９０／５０ｓｃｃｍ）混合ガスを石英管内に３０分間流して、管内を置換した。その後、電気管状炉を用いて管内を７６５℃まで昇温させ、７６５℃にて安定させた。７６５℃にて温度を保持したまま、ヘリウム／水素／エチレン（８５／５０／５ｓｃｃｍ、水分率６００ｐｐｍ）混合ガスを管内に充填させ、７秒間放置してカーボンナノチューブを基板上に成長させ、カーボンナノチューブが長さ方向に配向しているカーボンナノチューブ集合体（２）を得た。
カーボンナノチューブ集合体（２）の長さ１１μｍであり、直径は３．３μｍであった。
カーボンナノチューブ集合体（２）が備えるカーボンナノチューブの層数分布において、最頻値は２層に存在し、相対頻度は７５％であった。
タングステン針（株式会社マイクロサポート製、ＴＰ−０１０、先端直径＝１０μｍ）の平滑断面に、銀ペースト（ドータイトＤ３６２、藤倉化成株式会社製）を用いて、得られたカーボンナノチューブ集合体（２）を接着し、微粒子含有液体ピックアップ用マイクロプローブ（２）を作成した。
得られた微粒子含有液体ピックアップ用マイクロプローブ（２）を用いて、ピックアップ試験およびピックアップした微粒子含有液体の分析を行った。ピックアップした微粒子含有液体としては、キヤノン（株）製のトナー（型番：ＢＣＩ−７ｅＭ（７Ｓ９Ｃ１８ＭＯ）、マゼンダ）にポリスチレンラテックス（型番：１２５５、平均粒子径：３．０μｍ、日新ＥＭ（株）製）を乾燥させて分散させたものを最大直径１０μｍに広げた微粒子含有液体を用いた。
評価結果を表１に示す。
【００７５】
［実施例３］
基板としてのシリコンウェハ（シリコンテクノロジー製）上に、スパッタ装置（ＵＬＶＡＣ製、ＲＦＳ−２００）により、アルミナ薄膜（厚み２０ｎｍ）を形成した。このアルミナ薄膜上に、さらにスパッタ装置（ＵＬＶＡＣ製、ＲＦＳ−２００）にてＦｅ薄膜（厚み１ｎｍ）を蒸着した。その後、フォトリソグラフィ加工により、直径３．３μｍにパターン化した。
その後、この基板を３０ｍｍφの石英管内に載置し、水分６００ｐｐｍに保ったヘリウム／水素（９０／５０ｓｃｃｍ）混合ガスを石英管内に３０分間流して、管内を置換した。その後、電気管状炉を用いて管内を７６５℃まで昇温させ、７６５℃にて安定させた。７６５℃にて温度を保持したまま、ヘリウム／水素／エチレン（８５／５０／５ｓｃｃｍ、水分率６００ｐｐｍ）混合ガスを管内に充填させ、１５秒間放置してカーボンナノチューブを基板上に成長させ、カーボンナノチューブが長さ方向に配向しているカーボンナノチューブ集合体（３）を得た。
カーボンナノチューブ集合体（３）の長さは１１μｍであり、直径は３．３μｍであった。
カーボンナノチューブ集合体（３）が備えるカーボンナノチューブの層数分布において、最頻値は２層に存在し、相対頻度は７５％であった。
タングステン針（株式会社マイクロサポート製、ＴＰ−０１０、先端直径＝１０μｍ）の平滑断面に、銀ペースト（ドータイトＤ３６２、藤倉化成株式会社製）を用いて、得られたカーボンナノチューブ集合体（３）を接着し、微粒子含有液体ピックアップ用マイクロプローブ（３）を作成した。
得られた微粒子含有液体ピックアップ用マイクロプローブ（３）を用いて、ピックアップ試験およびピックアップした微粒子含有液体の分析を行った。ピックアップした微粒子含有液体としては、キヤノン（株）製のトナー（型番：ＢＣＩ−７ｅＭ（７Ｓ９Ｃ１８ＭＯ）、マゼンダ）にポリスチレンラテックス（型番：１２５５、平均粒子径：３．０μｍ、日新ＥＭ（株）製）を乾燥させて分散させたものを最大直径１５μｍに広げた微粒子含有液体を用いた。
評価結果を表１に示す。
【００７６】
［実施例４］
基板としてのシリコンウェハ（シリコンテクノロジー製）上に、スパッタ装置（ＵＬＶＡＣ製、ＲＦＳ−２００）により、アルミナ薄膜（厚み２０ｎｍ）を形成した。このアルミナ薄膜上に、さらにスパッタ装置（ＵＬＶＡＣ製、ＲＦＳ−２００）にてＦｅ薄膜（厚み１ｎｍ）を蒸着した。その後、フォトリソグラフィ加工により、直径３．３μｍにパターン化した。
その後、この基板を３０ｍｍφの石英管内に載置し、水分６００ｐｐｍに保ったヘリウム／水素（９０／５０ｓｃｃｍ）混合ガスを石英管内に３０分間流して、管内を置換した。その後、電気管状炉を用いて管内を７６５℃まで昇温させ、７６５℃にて安定させた。７６５℃にて温度を保持したまま、ヘリウム／水素／エチレン（８５／５０／５ｓｃｃｍ、水分率６００ｐｐｍ）混合ガスを管内に充填させ、１５秒間放置してカーボンナノチューブを基板上に成長させ、カーボンナノチューブが長さ方向に配向しているカーボンナノチューブ集合体（４）を得た。
カーボンナノチューブ集合体（４）の長さは１１μｍであり、直径は３．３μｍであった。
カーボンナノチューブ集合体（４）が備えるカーボンナノチューブの層数分布において、最頻値は２層に存在し、相対頻度は７５％であった。
タングステン針（株式会社マイクロサポート製、ＴＰ−０１０、先端直径＝１０μｍ）の平滑断面に、銀ペースト（ドータイトＤ３６２、藤倉化成株式会社製）を用いて、得られたカーボンナノチューブ集合体（４）を接着し、微粒子含有液体ピックアップ用マイクロプローブ（４）を作成した。
得られた微粒子含有液体ピックアップ用マイクロプローブ（４）を用いて、ピックアップ試験およびピックアップした微粒子含有液体の分析を行った。ピックアップした微粒子含有液体としては、キヤノン（株）製のトナー（型番：ＢＣＩ−７ｅＭ（７Ｓ９Ｃ１８ＭＯ）、マゼンダ）にポリスチレンラテックス（型番：１２５５、平均粒子径：３．０μｍ、日新ＥＭ（株）製）を乾燥させて分散させたものを最大直径２０μｍに広げた微粒子含有液体を用いた。
評価結果を表１に示す。
【００７７】
［実施例５］
基板としてのシリコンウェハ（シリコンテクノロジー製）上に、スパッタ装置（ＵＬＶＡＣ製、ＲＦＳ−２００）により、アルミナ薄膜（厚み２０ｎｍ）を形成した。このアルミナ薄膜上に、さらにスパッタ装置（ＵＬＶＡＣ製、ＲＦＳ−２００）にてＦｅ薄膜（厚み２．０ｎｍ）を蒸着した。その後、フォトリソグラフィ加工により、直径７．８μｍにパターン化した。
その後、この基板を３０ｍｍφの石英管内に載置し、水分６００ｐｐｍに保ったヘリウム／水素（９０／５０ｓｃｃｍ）混合ガスを石英管内に３０分間流して、管内を置換した。その後、電気管状炉を用いて管内を７６５℃まで昇温させ、７６５℃にて安定させた。７６５℃にて温度を保持したまま、ヘリウム／水素／エチレン（８５／５０／５ｓｃｃｍ、水分率６００ｐｐｍ）混合ガスを管内に充填させ、１５秒間放置してカーボンナノチューブを基板上に成長させ、カーボンナノチューブが長さ方向に配向しているカーボンナノチューブ集合体（５）を得た。
カーボンナノチューブ集合体（５）の長さは１４μｍであり、直径は７．８μｍであった。
カーボンナノチューブ集合体（５）が備えるカーボンナノチューブの層数分布において、最頻値は３層に存在し、相対頻度は７２％であった。
タングステン針（株式会社マイクロサポート製、ＴＰ−０１０、先端直径＝１０μｍ）の平滑断面に、銀ペースト（ドータイトＤ３６２、藤倉化成株式会社製）を用いて、得られたカーボンナノチューブ集合体（５）を接着し、微粒子含有液体ピックアップ用マイクロプローブ（５）を作成した。
得られた微粒子含有液体ピックアップ用マイクロプローブ（５）を用いて、ピックアップ試験およびピックアップした微粒子含有液体の分析を行った。ピックアップした微粒子含有液体としては、キヤノン（株）製のトナー（型番：ＢＣＩ−７ｅＭ（７Ｓ９Ｃ１８ＭＯ）、マゼンダ）にポリスチレンラテックス（型番：１２５５、平均粒子径：３．０μｍ、日新ＥＭ（株）製）を乾燥させて分散させたものを最大直径１５μｍに広げた微粒子含有液体を用いた。
評価結果を表１に示す。
【００７８】
［実施例６］
シリコン基板（ＫＳＴ製、熱酸化膜付ウェハ、厚み１０００μｍ）上に、真空蒸着装置（ＪＥＯＬ製、ＪＥＥ−４Ｘ  Ｖａｃｕｕｍ  Ｅｖａｐｏｒａｔｏｒ）により、Ａｌ薄膜（厚み１０ｎｍ）を形成した後、４５０℃で１時間酸化処理を施した。このようにして、シリコン基板上にＡｌ２Ｏ３膜を形成した。このＡｌ２Ｏ３膜上に、さらにスパッタ装置（ＵＬＶＡＣ製、ＲＦＳ−２００）にてＦｅ薄膜（厚み２ｎｍ）を蒸着させて触媒層を形成した。その後、フォトリソグラフィ加工により、直径１１μｍにパターン化した。
次に、得られた触媒層付シリコン基板をカットして、３０ｍｍφの石英管内に載置し、水分３５０ｐｐｍに保ったヘリウム／水素（１２０／８０ｓｃｃｍ）混合ガスを石英管内に３０分間流して、管内を置換した。その後、電気管状炉を用いて管内を７６５℃まで３５分間で段階的に昇温させ、７６５℃にて安定させた。７６５℃にて温度を保持したまま、ヘリウム／水素／エチレン（１０５／８０／１５ｓｃｃｍ、水分率３５０ｐｐｍ）混合ガスを管内に充填させ、２０秒間放置してカーボンナノチューブを基板上に成長させ、カーボンナノチューブが長さ方向に配向しているカーボンナノチューブ集合体（６）を得た。
カーボンナノチューブ集合体（６）の長さは２０μｍであり、直径は１１μｍであった。
カーボンナノチューブ集合体（６）が備えるカーボンナノチューブの層数分布において、層数分布の分布幅は１７層（４層〜２０層）であり、最頻値は４層と８層に存在し、相対頻度はそれぞれ２０％と２０％であった。
タングステン針（株式会社マイクロサポート製、ＴＰ−０１０、先端直径＝１０μｍ）の平滑断面に、銀ペースト（ドータイトＤ３６２、藤倉化成株式会社製）を用いて、得られたカーボンナノチューブ集合体（６）を接着し、微粒子含有液体ピックアップ用マイクロプローブ（６）を作成した。
得られた微粒子含有液体ピックアップ用マイクロプローブ（６）を用いて、ピックアップ試験およびピックアップした微粒子含有液体の分析を行った。ピックアップした微粒子含有液体としては、キヤノン（株）製のトナー（型番：ＢＣＩ−７ｅＭ（７Ｓ９Ｃ１８ＭＯ）、マゼンダ）にポリスチレンラテックス（型番：１２５５、平均粒子径：３．０μｍ、日新ＥＭ（株）製）を乾燥させて分散させたものを最大直径２０μｍに広げた微粒子含有液体を用いた。
評価結果を表１に示す。
【００７９】
［比較例１］
タングステンプローブ（直径５μｍ、ＴＰ−００５、株式会社マイクロサポート製）を用いて、ピックアップ試験およびピックアップした微粒子含有液体の分析を行った。ピックアップした微粒子含有液体としては、キヤノン（株）製のトナー（型番：ＢＣＩ−７ｅＭ（７Ｓ９Ｃ１８ＭＯ）、マゼンダ）にポリスチレンラテックス（型番：１２５５、平均粒子径：３．０μｍ、日新ＥＭ（株）製）を乾燥させて分散させたものを最大直径１０μｍに広げた微粒子含有液体を用いた。
評価結果を表１に示す。
【００８０】
［比較例２］
タングステンプローブ（直径５μｍ、ＴＰ−００５、株式会社マイクロサポート製）を用いて、ピックアップ試験およびピックアップした微粒子含有液体の分析を行った。ピックアップした微粒子含有液体としては、キヤノン（株）製のトナー（型番：ＢＣＩ−７ｅＭ（７Ｓ９Ｃ１８ＭＯ）、マゼンダ）にポリスチレンラテックス（型番：１２５５、平均粒子径：３．０μｍ、日新ＥＭ（株）製）を乾燥させて分散させたものを最大直径２０μｍに広げた微粒子含有液体を用いた。
評価結果を表１に示す。
【００８１】
［比較例３］
ガラスプローブ（直径５μｍ、マイクロサンプリングツール  ＭＳＴ−００５、株式会社マイクロサポート製）を用いて、ピックアップ試験およびピックアップした微粒子含有液体の分析を行った。ピックアップした微粒子含有液体としては、キヤノン（株）製のトナー（型番：ＢＣＩ−７ｅＭ（７Ｓ９Ｃ１８ＭＯ）、マゼンダ）にポリスチレンラテックス（型番：１２５５、平均粒子径：３．０μｍ、日新ＥＭ（株）製）を乾燥させて分散させたものを最大直径１０μｍに広げた微粒子含有液体を用いた。
評価結果を表１に示す。
【００８２】
［比較例４］
マイクロピペット（直径５μｍ、ＭＰ−００５、株式会社マイクロサポート製）を用いて、ピックアップ試験およびピックアップした微粒子含有液体の分析を行った。ピックアップした微粒子含有液体としては、キヤノン（株）製のトナー（型番：ＢＣＩ−７ｅＭ（７Ｓ９Ｃ１８ＭＯ）、マゼンダ）にポリスチレンラテックス（型番：１２５５、平均粒子径：３．０μｍ、日新ＥＭ（株）製）を乾燥させて分散させたものを最大直径１０μｍに広げた微粒子含有液体を用いた。
評価結果を表１に示す。
【００８３】
【表１】
2014202688.tif 000003
【００８４】
表１に示すように、実施例で得られた微粒子含有液体ピックアップ用マイクロプローブにおいては、微粒子含有液体を極めて容易にピックアップできることが判る。
【産業上の利用可能性】
【００８５】
本発明の微粒子含有液体ピックアップ用マイクロプローブは、例えば、分析用途などにおいて、分析対象物の表面に点在する微粒子含有液体をピックアップして分析装置内に運び込んで分析評価するため等に好適に用いられる。
【符号の説明】
【００８６】
１０００  微粒子含有液体ピックアップ用マイクロプローブ
１００    カーボンナノチューブ集合体
１０      カーボンナノチューブ
１０ａ    カーボンナノチューブの片端
２０      軸状基材
２０ａ    軸状基材の断面側表面
１        微粒子含有液体
２        ガラス
３        液滴
５        微粒子
【図１】
2014202688.tif 000004
【図２】
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【図３】
2014202688.tif 000006
【図４】
2014202688.tif 000007
【図５】
2014202688.tif 000008