(57)【要約】【課題】従来技術は、粘着力の低下を防止するために装置を止めて定期的なメンテナンスをする手間がかかり、長期に亘って粘着剤の粘着力を維持することができなかった。【解決手段】本発明の異物除去装置は、光の照射や熱の印加によって液化状態と半硬化状態又は硬化状態とに状態が変化する粘着材料を用いて異物除去を行う。液化状態の粘着剤を用いるときは、その状態で基台に塗布して硬化部によって半硬化又は硬化させる。その後、被清掃物と接触させて異物を除去する。その後、液化部により再び液化し異物と共に基台から剥離する。これにより基台の表面には残渣や残留異物がなく、基台にもダメージが残らない。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
粘着力を有する粘着剤がその表面に形成された基台を被清掃物の表面に接触させて異物を取り除く異物除去装置であって、
前記接触した後に前記粘着剤を液化する手段と、
液化した前記粘着剤を回収する回収手段と、
を備えることを特徴とする異物除去装置。
【請求項２】
前記基台は、エンドレス型であることを特徴とする請求項１に記載の異物除去装置。
【請求項３】
前記粘着剤を前記基台に形成する形成手段を有し、
前記形成手段は、
前記基台の表面に液化状態の粘着剤を塗布する塗布手段と、前記塗布後に前記粘着剤の硬化状態を変化させて前記粘着力を発生させる硬化手段と、
を備えることを特徴とする請求項１又は２に記載の異物除去装置。
【請求項４】
前記粘着剤を前記基台に形成する形成手段を有し、
前記形成手段は、
前記基台の表面に半硬化状態又は硬化状態の粘着剤を接触させる接触手段と、前記接触後に前記粘着剤の硬化状態を変化させて前記粘着力を発生させる軟化手段と、
を備えることを特徴とする請求項１又は２に記載の異物除去装置。
【請求項５】
前記回収手段により回収した前記粘着剤を再生する再生手段を有することを特徴とする請求項１から４のいずれか１つに記載の異物除去装置。
【請求項６】
前記再生手段により再生した前記粘着剤を前記形成手段に供給する供給手段を有することを特徴とする請求項５に記載の異物除去装置。
【請求項７】
前記形成手段は、光もしくは熱、又はこれらの組み合わせにより前記粘着剤の硬化状態を変化させて、液化状態と半硬化状態又は硬化状態とに変化させることを特徴とする請求項３又は４に記載の異物除去装置。
【請求項８】
前記再生手段は、前記粘着剤と前記異物とを分離することで前記粘着剤を再生することを特徴とする請求項５に記載の異物除去装置。
【請求項９】
前記分離は、フィルタ、攪拌、吸着、又はこれらの組み合わせにより分離することを特徴とする請求項８に記載の異物除去装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、粘着力を有する物質と被清掃物を接触させて、被清掃物の表面に付着した異物を除去するための装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造分野では、例えば回路基板やガラス基板といった基板の上に異物が付着した状態で成膜工程や電子部品のマウント工程を通すと、異物を原因とする動作不良の問題が懸念される。
また、印刷分野においても印刷紙の印刷面上に付着した紙粉を原因とする印刷不良の問題がある。
【０００３】
前述の不良を防止する目的として、基板や印刷紙の搬送系の一部に異物を除去する異物除去手段を設ける手法が知られている。
具体的には、基板や印刷紙といった被清掃物の表面に、粘着性を有する物質を接触させて、被清掃物の表面に付着した異物をこの物質に転写することで被清掃物の表面を清掃する（例えば、特許文献１参照。）。
【０００４】
特許文献１に示した従来技術は、粘着性を有する物質に紫外線硬化性特殊ポリウレタン樹脂を用い、これをフィルム状にして運用している。このフィルムを被清掃物に接触させて異物を転写させ、取り除くのである。
【０００５】
そのようなフィルムであっても、異物を取り除くことを続けると粘着力が低下してしまう。そのフィルムの表面に異物が多く付着するためである。
その状態のフィルムを使い続ける場合、新たな被清掃物を清掃するとき、異物を取り除ききれないばかりか、フィルムに転写されていた異物をその被清掃物に付着させてしまい、被清掃物をかえって汚染してしまう。
【０００６】
このため、特許文献１に示した従来技術は、異物をこのフィルムに転写してなる清掃を所定の回数行った後に、水を含ませた布などでこのフィルムを拭き取る旨が開示されている。これにより、フィルム表面の異物は取り除かれ、粘着力が回復するという。
【０００７】
しかしながら、この作業は大変手間が掛かるものである。また、装置の稼動を一度止めるなどしてフィルムの異物取り作業をする必要がある。一般にこのようなメンテナンスは、それ自体重要なことではあるが、装置の連続稼動の妨げになるため、装置の稼動効率は低下してしまう。
【０００８】
そこで、装置が自動で粘着性を有する物質（特許文献１に示した従来技術であれば、フィルム）の表面から異物を取り除く技術が知られている（例えば、特許文献２参照。）。
【０００９】
特許文献２に示した従来技術は、被清掃物から粘着性を有する物質の表面に転写された異物を、その物質の中に押し込んで、物資の表面のみ清潔な状態にする技術である。
【００１０】
すなわち、流動性の粘着層（粘着性を有する物質）を基台であるローラに形成して被清掃物と接触させて異物を除去した後に、その粘着層の表面に付着した異物を撹拌部材によって粘着層の内部に埋没させるのである。そうすることで、粘着層は粘着性を有する物質のみの表面を形成して粘着力を回復できるのである。
【００１１】
しかし、特許文献２に示した従来技術にあっては、異物の量が多いと粘着力が回復しないという問題と、異物を粘着層の内部に埋没しきれないときにその異物が新たな汚染源となってしまうという問題とがある。
【００１２】
すなわち、粘着層内に埋没する異物の量が少ないときはよいが、異物の量が多い被清掃物を清掃したり、清掃を繰り返したりすることで粘着層に埋没させる異物の量が多くなったときには、粘着層内が異物で飽和してしまい、埋没そのものができなくなってしまうのである。そして、結果的に粘着層の表面に異物が残ったままになってしまうのである。
【００１３】
また、基台であるローラに形成した粘着層の膜厚よりも大きい直径を持つ異物が転写された場合は、その異物は埋没ができない。そうすると、粘着層の表面より異物が突出してしまうため、その突出部分が被清掃物と接触して傷を付けたり、突出部分が欠けたりなどしたときには、それが新たな汚染源になってしまう。
【００１４】
したがって、粘着層内に異物を埋没させることでは、長期に亘って粘着性を有する物質の粘着力を維持することはできないのである。
【００１５】
ところで、一般的に、粘着性を有する物質は、長い時間を経過すると粘着力が低下してしまうことが知られている。すなわち、使用環境の温度や湿度、光などの影響を受け、例えば、表面が乾燥するなどして粘着性を失うためである。特許文献１に示した従来技術の紫外線硬化性特殊ポリウレタン樹脂であっても同様である。
【００１６】
そのような状況に対応するためには、粘着性を有する物質を定期的に交換する以外にはないが、その作業もまた大変手間が掛かるものである。
【００１７】
そこで、装置が自動で粘着性を有する物質を交換する技術が知られている。例えば、その物質を自動で取り除き、新たに物質を形成する技術である（例えば、特許文献３参照。）。
【００１８】
特許文献３に示した従来技術は、ドラム形状の基台表面に粘着剤を塗布した粘着ドラムを有している。その粘着ドラムと被清掃物とを接触させて異物を粘着ドラムに転写させた後、その粘着剤を異物と共にドクターナイフなどで削り取る。そして、再び粘着剤を塗布する技術である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１９】
【特許文献１】特開昭６３−２１８３５９号公報（第２頁−第３頁、第１頁）
【特許文献２】特許第３９４５３２６号公報（第７頁−第９頁、図４）
【特許文献３】特開昭５０−１１９８４３号公報（第１頁−第２頁、第１図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００２０】
特許文献３に示した技術によれば、異物が付着した処理済みの粘着剤が取り除かれ、新しい粘着剤が供給されるので、被清掃物に異物が多くても何ら問題なく、また、装置を止めて粘着剤を交換するという手間がなくなる。
【００２１】
しかし発明者が検討したところ、特許文献３に示した従来技術は、新たな２つの問題を生じることが分かった。
１つ目の問題は、残渣による凹凸で十分な清掃ができなくなるという問題である。２つ目の問題は、基台が劣化してしまうという問題である。
【００２２】
すなわち、ドクターナイフによる粘着剤の削り取りでは、基台から粘着剤を完全には取り切れず、どうしても削り取り残しが発生してしまう。これが残渣として基台に残ってしまうのである。
【００２３】
この残渣が発生すると、基台の上に新たに粘着剤を形成しても、残渣を起因とした凹凸が表面に表れてしまう。そうすると、被清掃物の表面に均一に粘着剤が接触せず、十分な清掃ができなくなるのである。
【００２４】
また、ドラム形状の基台表面にドクターナイフを接触させている以上、どうしてもその接触部分にあってはドクターナイフの押圧により基台にダメージ（例えば、基台が磨り減ること）が生じてしまう。前述の残渣を無くそうとして基台への押圧力を高めると、このダメージはより大きくなってしまう。
【００２５】
これでは、長期に亘り装置を稼動すると、基台の磨り減りにより基台と被清掃物とが正しく接触しなくなるなどの問題が生じてしまう。
このため、基台を定期的に交換する、又は修理するなどの必要が生じ、それに掛るメンテナンス期間は装置を稼動させることができなくなるのである。
【００２６】
以上説明したように、知られている従来技術には、装置を止めて異物除去のためのメンテナンスをする必要がある、長期に亘って粘着性を有する物質の粘着力を維持することができない、基台にダメージが発生する、という課題があった。
【００２７】
したがって、これらを解決する技術の提案が求められており、特に、基台などの構成物に対してダメージを発生することなく、粘着性を有する物質の粘着力を維持したり回復させたりする技術が強く望まれている。
【００２８】
なお、言うまでもないが、被清掃物を清掃した後にすぐさま粘着性を有する物質の粘着力を回復することができれば、次の被清掃物をより早く清掃できることに加え、より多くの被清掃物を連続して清掃できるようにもなり、装置の稼動効率も上がり大変便利である。
【００２９】
このような要求に対応するために、本発明は、粘着性を有する物質を設けた基台から、この物質と異物とを基台にダメージを与えることなく除去し、清掃能力低下や被清掃物への異物の再付着を防止することが可能な異物除去装置を提供することを目的とするものである。
【００３０】
さらに、清掃済みの粘着性を有する物質を除去したあと、新たに粘着性を有する物質を形成すれば、粘着力が回復することになり、被清掃物を連続して清掃できる異物除去装置も提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００３１】
本発明は、粘着力を有する粘着剤がその表面に形成された基台を被清掃物の表面に接触させて異物を取り除く異物除去装置であって、
接触した後に粘着剤を液化する手段と、液化した粘着剤を回収する回収手段と、を備えることを特徴とする。
【００３２】
このような構成とすることによって、異物が転写された粘着剤が液化されて異物と共に基台から取り除かれるため、基台に粘着剤の残渣が残らず、異物が新たな汚染源ともならず、基台もダメージが発生することない。
【００３３】
基台は、エンドレス型であってもよい。
【００３４】
エンドレス型（例えば、回転するローラなど）とすれば、被清掃物に応じて基台を交換したり移動したりする必要がなく、便利である。
【００３５】
粘着剤を基台に形成する形成手段を有し、その形成手段は、基台の表面に液化状態の粘着剤を塗布する塗布手段と、塗布後に粘着剤の硬化状態を変化させて粘着力を発生させる硬化手段と、を備えるようにしてもよい。
【００３６】
このような構成とすれば、粘着剤は液化しているため塗布しやすい。その後に硬化状態を変化させる（例えば、半硬化させる）ために、粘着力が高い状態で清掃できるため、被清掃物の異物を転写しやすくなるという効果を有する。
【００３７】
粘着剤を基台に形成する形成手段を有し、その形成手段は、基台の表面に半硬化状態又は硬化状態の粘着剤を接触させる接触手段と、接触後に粘着剤の硬化状態を変化させて粘着力を発生させる軟化手段と、を備えるようにしてもよい。
【００３８】
このような構成とすれば、粘着剤がある程度硬化しているため、取り扱いやすく形成もしやすい。その後、硬化状態を変化させる（例えば、半硬化状態からより軟らかくさせる）ため、粘着力が高い状態で清掃ができ、被清掃物の異物を転写し易くなるという効果を有する。
【００３９】
回収手段により回収した粘着剤を再生する再生手段を有するようにしてもよい。
【００４０】
このような構成とすることによって、粘着剤の使用量を低減できる。つまり、装置のランニングコストを下げることができる。
【００４１】
再生手段により再生した粘着剤を形成手段に供給する供給手段を有するようにしてもよい。
【００４２】
このような構成とすれば、装置内部で粘着剤を繰り返して供給できるので便利である。
【００４３】
形成手段は、光もしくは熱、又はこれらの組み合わせにより粘着剤の硬化状態を変化させて、液化状態と半硬化状態又は硬化状態とに変化させるようにしてもよい。
【００４４】
このような構成とすることによって、光の照射や熱の印加により、粘着剤の硬さを変化させて、液化状態と半硬化状態や硬化状態とにすることができる。これにより粘着剤の粘着力を変化させることができる。
【００４５】
再生手段は、粘着剤と異物とを分離することで粘着剤を再生するようにしてもよい。
【００４６】
このような構成とすることによって、異物の混入がない粘着剤として再生できるため、再生した粘着剤の品質が向上し、繰り返し何度もその粘着剤が使えるようになり便利であると共に、装置のランニングコストをさらに低減することができる。
【００４７】
その分離は、フィルタ、攪拌、吸着、又はこれらの組み合わせにより分離するようにしてもよい。
【００４８】
このような構成とすることによって、よりよく異物を除去できる。
【発明の効果】
【００４９】
基台の表面に形成した粘着剤と粘着剤に付着した異物とを、粘着剤を液化することによって、共に基台にダメージを与えることなく基台から剥がすことができる。そして、剥がした粘着剤は、回収も容易である。
【００５０】
また、基台の表面に粘着剤の残渣が発生しないため、基台の表面に粘着剤を再形成する際には、残渣の影響を受けるといった心配がいらなくなり、常に清浄な表面を維持し異物除去できる。
【００５１】
もちろん、基台から粘着剤を非接触で剥離することもできるので、基台などの構成物にダメージが残らない。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】異物除去装置の第１の実施形態を説明する図であり、異物除去装置の要部を示す図である。
【図２】異物除去装置の第１の実施形態を説明する図であり、異物除去装置の要部を示す図である。
【図３】異物除去装置の第１の実施形態を説明する図であり、異物除去装置の要部を示す図である。
【図４】異物除去装置の第２の実施形態を説明する図である。
【図５】異物除去装置の第３の実施形態を説明する図である。
【図６】異物除去装置の第４の実施形態を説明する図である。
【図７】異物除去装置の第５の実施形態を説明する図である。
【図８】異物除去装置を構成する回収部の構成例を説明する図である。
【図９】異物除去装置を構成する回収部の別の構成例を説明する図である。
【図１０】異物除去装置を構成する回収部のさらに別の構成例を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００５３】
本発明の異物除去装置は、粘着性を有する物質として、液化状態と、半硬化状態又は硬化状態と、に状態が変化する粘着剤を用いている。そしてこの装置の特徴は、被清掃物からこの粘着剤により異物の転写を行った後、粘着剤を液化状態にさせて剥離、回収するという点である。
【００５４】
この粘着剤は、液化状態ではほとんど粘着力を有しておらず、半硬化状態又は硬化状態では粘着力を有するようになる。この粘着剤は、所定の波長の光の照射や所定の温度の熱の印加を、所定の時間行うことで、硬さが変化する。つまり、液化状態から硬化状態まで変化させることができる。
【００５５】
その粘着剤は、例えば、糖アルコール骨格と複数のアゾベンゼン基を組み合わせた光可逆性の液晶性物質を用いることができる。もちろん、粘着剤としてはそれに限定するものではなく、エチレン酢酸ビニル共重合系樹脂、オレフィン系樹脂、ポリアミド系樹脂、合成ゴム系樹脂、アクリル系樹脂、ウレタン系樹脂を含む熱可塑性樹脂であってもよい。
【００５６】
このような粘着剤を用いれば、光もしくは熱、又はこれらの組み合わせにより粘着剤を液化状態と半硬化状態又は硬化状態とに可逆的に変化させることができる。
【００５７】
この粘着剤の液化や、半硬化又は硬化するための手段を光の照射にするか、又は熱の印加にするかについては、粘着剤の種類（粘着剤を構成する材料の組成比）によって異なっているため、使用する粘着剤に合わせて適宜選択するのが好ましい。
【００５８】
また、液化や半硬化又は硬化するための出力や時間といった条件については、粘着剤の種類や設定厚み、得たい粘着力などによって異なる。被清掃物に付着している異物の大きさや種類によっても異なる。したがって、使用する粘着剤や除去条件に合わせて適宜決めることが好ましい。
【００５９】
このような粘着剤を形成手段により基台に形成する。その形成は、粘着剤が液化状態であれば塗布手段により塗布することができる。半硬化状態（例えば、軟らかい膜状態）又は硬化状態（例えば、フィルム形状）であれば、アームやローラなどで構成する公知の搬送系を有するような手段により接着することができる。そのような手段は、基台がローラなどのエンドレス型であれば、巻きつけ機構を有してもよい。
【００６０】
半硬化状態又は硬化状態で形成された粘着剤は、粘着力を有するのでそのままでもよいが、硬化状態で形成された粘着剤を光の照射や熱の印加により半硬化状態としたり、半硬化状態で形成された粘着剤を光の照射や熱の印加により硬化状態としてから運用してもよい。
【００６１】
粘着剤は、清掃する直前、つまり、被清掃物と接触する直前に所定の粘着力を有する状態になっていればよいから、形成手段により粘着剤を基台に形成する時点では、どのような状態でもよいのである。
【００６２】
このような粘着剤を用いる利点は、被清掃物と異物の状態（汚染度合いや異物の種類や大きさ）に応じて、硬化具合（粘着力）を変化させることができるという点である。
【００６３】
例えば、サンプルを用いた実験や被清掃物の清掃領域にある異物をカメラで撮影した画像分析結果などにより、予め被清掃物に付着している異物の大きさが分かっていれば、その異物を転写できる程度の粘着力を有するように粘着剤の硬化度合いを決め運用することができる。
【００６４】
さらに、被清掃物の清掃を行っている際に、万が一、ある期間（例えば、季節や時間帯）に不測の大きさの異物の付着が続いたとしても、それに合わせて粘着剤の硬化具合を変化させて、その不測の大きさの異物も転写できるようにすることも可能である。
【００６５】
そのように基台に形成した粘着剤を被清掃物に接触させて異物を転写させる。その後、その粘着剤を、光の照射や熱の印加、又はこれらの組み合わせにより液化状態にする。
液化状態にした粘着剤は異物と共に、回収手段により回収する。例えば、光の照射や熱を印加する手段の近傍に回収トレイなどを設けて落下させてもよい。
【００６６】
回収した粘着剤及び異物は、再生手段により粘着剤と異物とを分離する再生を行う。そして、異物が取り除かれた粘着剤を供給手段により形成手段に戻し、再利用する。
【００６７】
このように、粘着剤は、基台から液化状態にして剥離されるので基台に残渣が残ることはない。また、基台にダメージが発生することもないのである。
上記の説明では、剥離を非接触で行う例を説明したが、基台にダメージを与えないような軟らかい素材で構成されたブラシやローラなどを併用してもよいことは、無論である。
以下に、本発明の異物除去装置の実施例を、図面を用いて詳細に説明する。
【実施例１】
【００６８】
［第１の実施形態：図１〜図３］
初めに、図１から図３を用いて異物除去装置を実際に実施するための第１の例を説明す
る。
図１から図３は、装置の動作を説明するため、装置の基台部分を中心に主要部分のみを模式的に示した概念図である。これらの図を用いて、粘着性を有する物質よりなる粘着剤を形成して被清掃物の表面に付着した異物を除去し、粘着剤を異物と共に回収する過程を説明する。
【００６９】
なお、本発明における粘着剤は、液化状態、半硬化状態又は硬化状態と状態（硬さ）が変化するものである。本明細書では、塗布されたばかりの液化状態の粘着剤は粘着材料、半硬化状態又は硬化状態に変化した後は粘着層と称することにする。
【００７０】
図１（ａ）に示すように、断面矩形状の基台１の表面に供給部２から粘着材料３が供給される。基台１は回転可能な保持部５０によって粘着材料３が供給される領域以外を保持されており、保持部５０は上下に可動する可動部５１と連結部５２でもって接続されている。
【００７１】
ここで基台１は、矩形状を例示したが粘着材料３が供給されやすい形状であればどのような形状でもよい。また、複数の基台を用意して被清掃物の形状に合わせて基台を保持部５０から取り外して交換するようにしてもよい。
【００７２】
次に、図１（ｂ）に示すように、硬化部４を用いて粘着材料３の硬さを変化させて粘着力を発生させる。例えば、半硬化させる。これにより、粘着力を有する粘着層５を形成する。
【００７３】
硬化部４は、前述のとおり粘着材料３の硬化条件に合わせて適宜選択することが可能である。例えば、粘着材料３が熱（温度）によって硬化する場合には、ヒーターや送風装置などを組み合わせて所定の熱を印加できる温度調節器などの熱源を用いることができる。
一方、粘着材料３が光によって硬化する場合には、光硬化反応を起こす波長に合わせた光を照射できる光源を用いることができる。
【００７４】
硬化部４は、硬化時間も決めることができ、所定の時間、光の照射や熱を印加することができる。図１（ｂ）に示す白抜き矢印は、硬化部４から放出される光や熱を模式的に示すものである。
【００７５】
粘着材料３の組成にもよるが、粘着材料３が所定の光の波長で硬化する場合であっても、その照射時間などを変えることによって硬化具合（粘着力）を変えることができる。粘着材料３が所定の温度で硬化する場合であっても同様であり、熱を印加する時間を変えることで、硬化具合を変えることができる。
【００７６】
硬化部４は、図１（ｂ）に示す例では２つ設けているが、それは一例である。
粘着材料３の硬化領域（つまり、大きさ）に合わせて硬化部４の数を決めるのが相応しい。硬化領域が広範囲に及ぶ場合には、より多くの硬化部４を用いてもよい。
【００７７】
もちろん、広い硬化領域に対して、少ない硬化部４を用いてもよい。
その場合は、硬化部４や基台１を移動させる手段を備えて硬化領域の全域に渡って硬化処理が行えるようにしてもよい。
その際には、硬化処理は硬化領域の全域にわたって均等に行われることが好ましい。つまり、均等に硬化処理が行われることによって硬化具合にムラのない粘着層５を形成することが重要なのである。
【００７８】
次に、図２（ａ）に示すように、基台１と対向する所定の位置に、図示しない搬送手段
により異物９が付着した被清掃物６を搬送する。
そして、図面視で基台１を上方から下方に向けて１８０度回転させている。このとき粘着層５は粘着力を有しているため、基台１から剥離されることはない。ここで、基台１の表面と被清掃物６との位置をより細かく位置合わせしてもよい。
【００７９】
本説明においては、保持部５０を上下に１８０度回転させた位置に被清掃物６が対向するように位置合わせを行なっているが、位置合わせの方法はこの限りではない。
【００８０】
次に、図２（ｂ）に示すように、可動部５１により粘着層５と被清掃物６とを接触させる。ここで、粘着層５の粘着力に応じて異物９が粘着層５に転写されるための時間を取ってもよく、より強く押し付けるなど接触圧を変えてもよい。これにより、異物９は粘着層５に吸着される。
【００８１】
その後に、図３（ａ）に示すように、可動部５１により粘着層５を被清掃物６から離すことにより被清掃物６の表面から異物９を除去する。その後、図示しない搬送手段により被清掃物６を基台１と対向する位置からずらす。
【００８２】
ところで、異物９は、粘着性を有している付着物であることがある。そのような場合は、異物９が被清掃物６に対する粘着力よりも大きな粘着力をもった粘着層５を形成すればよい。
【００８３】
すでに説明したように、液化状態で塗布された粘着剤は、光の照射や熱の印加により半硬化状態又は硬化状態とすることで粘着力の強弱を変えることができるから、このように、異物９の状態や大きさに合わせて、粘着層５の粘着力を光の照射や熱の印加で変えることができるので便利である。
【００８４】
本説明においては、保持部５０と連結した可動部５１が上下に可動することにより粘着層５と被清掃物６とを接触したり離間したりするが、そのような動作はこの限りではなく、例えば、図示はしないが被清掃物６を粘着層５の方向に上下させる機構を備え、接触及び離間を行うようにしてもよいのは無論である。
【００８５】
次に、図３（ｂ）に示すように、液化部７を用いて粘着層５の液化処理を行う。
液化部７は、硬化部４と同様に、光の照射や熱を印加する手段である。液化部７から放出される光や熱により粘着層５は液化する。図３（ｂ）では、粘着層５は液化しているので、粘着材料３と記載している。
【００８６】
液体となった粘着材料３は、異物９と共に基台１の表面に対向して離間した距離に設置された回収部８によって回収される。回収部８は、例えば、トレイ形状を有している。異物９は液化した粘着層５ごと剥離されるため、基台１に残ることはない。
この例では、粘着材料３及び異物９は、非接触で取り除かれる場合である。このようにすれば、基台１にはまったくダメージが残らない。すでに説明したように、基台にダメージを与えないような軟らかい素材で構成されたブラシやローラなどを併用してもよい。
【００８７】
粘着材料３が取り除かれた基台１は、保持部５０を１８０度回転させることにより図１（ａ）に示す位置に戻り、再び異物除去の工程に利用される。その状態で次の被清掃物６を清掃する必要があるときは、新たに供給部２から粘着材料３が供給される。このため、基台１には新たな粘着層５が形成されるため、粘着力の低下の心配がない。
【００８８】
無論、一度の清掃で異物９による粘着層５の粘着力の低下がない場合は、図３（ａ）に示す異物９の転写後に、図３（ｂ）に示す粘着層５の剥離をせず、すぐさま次の被清掃物
６の清掃を行ってもよい。
【００８９】
以上、説明したように、粘着層５を液化して剥離させるため、基台１の表面には異物９又は粘着剤の残渣が残ることがなく、常に清浄な粘着面（粘着層５の表面）を維持することができ、異物除去工程を繰り返し使用しても清掃品質を損なうことがない異物除去装置を提供することが可能となる。
【００９０】
次に、異物除去装置の別の実施形態を、図４から図９を用いて説明する。
図４以降の図にあっては、すでに説明した同一の構成には同一の番号を付与しており、重複する説明を省略する。このため、第１の実施形態を説明する図１から図３も適宜参照されたい。
【実施例２】
【００９１】
［第２の実施形態：図４］
図４は、異物除去装置を実際に実施するための第２の例を示す構成図である。
この実施形態の特徴は、大小２つのローラを用いてそれに巻回したベルト状の基台を用いている点である。
【００９２】
図４において、１１はベルト状のエンドレスな基台、１２は粘着材料３を供給する供給部、１４は粘着材料３を半硬化するための硬化部、１５は粘着材料３が半硬化した粘着層、１６は被清掃物、１７は半硬化した粘着層１５を液化する液化部、１８は液化した粘着材料３を回収する回収部、１９は供給部１２に粘着材料３を搬送する再供給手段である。
同様に、５３は塗布した粘着材料３の厚みを調整するためのスキージ、５４及び５５は同一の方向に回転するローラ、５６は被清掃物１６を搬送する搬送手段、８０，８１は配管である。これらで異物除去装置１０１を構成している。
なお、図面中の黒矢印は、ローラの回転方向、被清掃物の移動方向を示している。
【００９３】
［構成説明］
初めに、図４に示す異物除去装置１０１の構成を詳述する。
ローラ５４とローラ５５とに巻回されたベルト状のエンドレスな基台１１を用いている。基台１１の表面は、ムラのない状態が好ましいが、形成する粘着層１５が基台１１に確実に保持されるように基台１１の表面に凹凸を設けるなどして接触面積を増やすようにしてもよい。
【００９４】
基台１１の上部表面から所定距離だけ離間した位置に粘着材料３を供給する供給部１２を設置している。この供給部１２から液化状態の粘着材料３を塗布する。
【００９５】
供給部１２からローラ５４方向に離間した位置に、塗布した粘着材料３の厚みを一定の所定の厚みにするためのスキージ５３が設けてある。このスキージ５３により、粘着材料３を任意の厚みにレベリングできる。
このスキージ５３と基台１１とのギャップは、適宜変更できる。もちろん、粘着材料３の塗布量などによっては、スキージ５３を用いなくてもよい。
【００９６】
スキージ５３からローラ５４方向に離間した位置に、塗布した粘着材料３を半硬化するための硬化部１４が設置されている。この硬化部１４による光の照射や熱の印加により、粘着材料３は、所定の粘着力を有する粘着層１５となる。
【００９７】
基台１１の下部表面側の、被清掃物１６との接触面よりローラ５５方向に離間した位置に、半硬化した粘着層１５を液化する液化部１７が設置されている。液化部１７も硬化部１４と同様に、光の照射や熱の印加を行う。
【００９８】
液化部１７によって液化した粘着剤（粘着材料３）が基台１１から取り除かれて落ちる位置に、回収部１８が設けられている。
回収部１８と再供給手段１９とは配管８０で接続されており、再供給手段１９と供給部１２とは配管８１で接続されている。
【００９９】
詳しくは後述するが、これにより、回収部１８に回収された粘着材料３は、異物９と分離された後、再供給手段１９により供給部１２に戻される。
【０１００】
［動作説明］
次に、異物除去装置１０１の動作を説明する。
基台１１は、ローラ５４，５５によって所定の方向に回転しており、回転速度は被清掃物１６と粘着層１５とが接触する際に摩擦の影響をなるべく受けないようにするため、搬送手段５６による被清掃物１６の搬送速度と同じとなるように調節されている。
【０１０１】
基台１１の上部表面に供給部１２によって液化状態の粘着材料３が供給される。供給方法はスプレーやノズルによる吐出方法や、基台１１より上方に供給部１２が設けてあるときは、粘着材料３を落下させその勢いで基台１１の表面に広げるようにしてもよい。いずれにしても、ムラが無く供給する手法である方が好ましい。
【０１０２】
基台１１の表面に供給された粘着材料３は、スキージ５３で均される。スキージ５３を通過して任意の厚みとなった粘着材料３は、硬化部１４により半硬化して粘着層１５を形成する。
【０１０３】
粘着層１５は、半硬化状態であり基台１１と粘着力で接着、保持されている。粘着材料３は、粘着層１５として成るときの厚みや被清掃物１６の搬送速度、被清掃物１６と接触する粘着力の強さによって半硬化時間が異なるため、清掃条件に応じて硬化部１４の出力を変化させたり、硬化部１４の数を増減させたりして調節することができる。
【０１０４】
ところで、ローラ５４，５５の回転速度にもよるが、硬化部１４を設ける位置も重要である。粘着層１５が被清掃物１６に接触するまでに、硬化部１４により粘着材料３の硬さが変化して粘着層１５となるようにしなければならないためである。例えば、硬化部１４は、基台１１と被清掃物１６とが接触する位置から十分な距離をとっておくのがよい。
【０１０５】
なお、図示した例では、ローラ５４は、ローラ５５に比して大径としているが、これは、硬化部１４により硬化した粘着層１５と被清掃物１６との接触速度の兼ね合いや、搬送手段５６や基台１１と互いに干渉しないように配置する回収部１８の配置で決まるものであって、搬送手段５６の搬送速度や回収部１８の配置と合わせて自由に選択できる要素である。
【０１０６】
被清掃物１６は、搬送手段５６によって粘着層１５と接触する位置に搬送されるが、接触する位置において基台１１の回転方向と搬送手段５６の搬送方向とが同じになるようにしておくと、接触時の摩擦などの影響を抑えることができる。
【０１０７】
粘着層１５は、被清掃物１６と接触して粘着層１５の粘着力により被清掃物１６の表面に付着した異物９を粘着層１５に転写して除去し被清掃物１６を清掃する。
【０１０８】
基台１１及び粘着層１５は、被清掃物１６との接触後は、被清掃物１６及び搬送手段５６から離間して進むように設置される。図４にあっては、被清掃物１６は搬送手段５６により図面左から右に水平に移動するのに対して、粘着層１５は小径のローラ５５の方向に
向かい図面右斜め上方向に移動することで、双方の距離が離間するようになっている。
【０１０９】
異物９が付着した粘着層１５は、基台１１の下部表面に設置された液化部１７によって液化される。液化されて粘着材料３となった粘着層１５は、基台１１から異物９と共に取り除かれ、回収部１８に回収される。図４の例では、落下して回収される。
【０１１０】
液化部１７は、半硬化条件に対応して粘着層１５が完全に液化状態となるように液化部１７の出力や数を適宜変更し液化条件の調整を行う。粘着層１５は液化部１７によって液体の粘着材料３へと戻るため、たとえ基台１１の表面が凹凸形状となっていようとも残渣として残らない。
【０１１１】
基台１１の粘着材料３及び異物９を取り除かれた領域は、ローラの回転に伴って再び供給部１２の位置へと進み、図示しない次の被清掃物１６の異物除去工程に移る。
【０１１２】
基台１１から剥がれ落ちた粘着材料３及び異物９は、回収部１８の内部で、図４には図示しない手段により、粘着材料３と異物９とが分離される（詳しくは後述する。）。
回収部１８の内部で分離された粘着材料３は、配管８０で連結された再供給手段１９により供給部１２に再び供給される。再供給を行うための手段としてはポンプなどによる自動的な汲み上げ装置が好ましい。
【０１１３】
図示はしないが、回収部１８の内部には、異物９を溜める蓄積手段を設けてある。そこに異物９が所定量溜まったときに、まとめて廃棄するようにすれば、手間が掛からない。
【０１１４】
以上の説明で明らかなように、異物除去装置は、基台１１には残渣がなく、これに塗布する粘着材料３も残留異物がない。このため、被清掃物１６の清掃ムラや被清掃物１６への異物９の再付着（汚染）といった懸念のない確実な異物除去装置を実現することができる。
【０１１５】
ところで、図１から図３を用いて説明した第１の実施形態では、粘着材料３の塗布段階、粘着層５の形成段階、異物９の除去段階、粘着層５の液化処理段階、粘着材料３と異物９との回収段階という一連の動作を終えた後に、新たな粘着層５の形成を行う場合を説明した。それに対して、この図４に示す第２の実施形態の例では、エンドレスな基台１１を用いることで各段階は同時に連続的に行われるため、被清掃物１６に対する清掃のリードタイムを短くすることができる。
【実施例３】
【０１１６】
［第３の実施形態：図５］
図５は、異物除去装置を実際に実施するための第３の例を示す構成図である。
この実施形態の特徴は、第２の実施形態に比して、硬化部の位置を被清掃物の近傍に設けた点である。このような構成にすれば、被清掃物の表面が平坦ではないときでも異物を確実に取り除くことができる。
【０１１７】
図５において、３ａは粘着材料である。第２の実施形態の粘着材料３と基本的には同一のものであるが、粘着力が異なる。基台１１に塗布された時点でも流れ落ちない粘着力を有している。２４Ａ，２４Ｂは硬化部であり、第２の実施形態の硬化部１４に相当する。２５は硬化部２４Ａ，２４Ｂにより粘着材料３ａが半硬化した粘着層であり、第２の実施形態の粘着層１５に相当する。１０２は異物除去装置である。すでに説明した構成には同一の番号を付与している。
【０１１８】
図５において、供給部１２より基台１１に塗布された粘着材料３ａは、スキージ５３に
より、ある程度に均される。粘着材料３ａは、ある程度の粘着力を有するものの半硬化状態とは言えない程度の粘性を持っている。図面ではそのような粘性を表現するために、スキージ５３による均し後に、その表面が波打つようなさまとして示している。
【０１１９】
半硬化状態とは言えない程度の粘性を持った粘着材料３ａは、ローラ５４の回転に伴って被清掃物１６に接触する。
すると、仮に被清掃物１６の表面に凹凸があったとしても、その凹凸の隅まで粘着材料３ａが入り込める。
【０１２０】
ローラ５４の内部には硬化部２４Ａが設けてある。粘着材料３ａが光により半硬化状態又は硬化状態に変化する特性であったとすると、硬化部２４Ａは所定の波長の光を照射する手段となる。このとき、ローラ５４は透明かつその特定の波長を通過させる材質で構成する。
【０１２１】
もちろん、粘着材料３ａが熱の印加により硬化状態又は半硬化状態に変化する特性であってもよい。その場合、硬化部２４Ａは、温度調節器などの熱源となる。このとき、ローラ５４は熱を伝導しやすい材質であることが好ましい。熱源の熱エネルギーを粘着材料３ａに効率よく印加できるからである。
【０１２２】
さらに、図示しないが、ローラ５４の温度を粘着材料３ａが硬化しない温度に調節するための温度調節器を、硬化部２４Ａからローラ５４の回転方向に向かってスキージ５３の近傍の位置までの間に設けてもよい。
【０１２３】
ところで、ローラ５４は、上述の説明では熱を伝導しやすい材質である方がよいとしたが、粘着材料３ａと接するその表面は、放熱しやすい材質である方が好ましい。
なぜならば、図５のローラ５４において、硬化部２４Ａ近傍の位置で熱を印加された領域が、ローラ５４が回転してスキージ５３の近傍の位置に近づいたときまで熱が維持されていると、塗布されたばかりの粘着材料３ａがスキージ５３の部分で半硬化してしまうからである。このような状態では、被清掃物１６に半硬化状態とは言えない程度の粘性を持った粘着材料３ａを接触させることができなくなってしまう。
【０１２４】
したがって、ローラ５４の材質や大きさ、回転速度などは、粘着材料３ａに合わせて適宜変更できるような構造にしてもよい。
【０１２５】
半硬化状態とは言えない程度の粘性を持った粘着材料３ａは、搬送手段５６により運ばれた被清掃物１６に接触し、硬化部２４Ａからの光の照射や熱の印加により半硬化し、異物９を吸着するのである。
【０１２６】
ところで、粘着材料３ａの半硬化には、硬化部２４Ｂを設けてもよい。
硬化部２４Ｂは、ローラ５４の内部にはなく、粘着材料３ａと被清掃物１６とが接触する部分の近傍に設けている。この硬化部２４Ｂからの光の照射や熱の印加も加わることで、粘着材料３ａをより確実に半硬化させることができる。
【０１２７】
もちろん、硬化部は、硬化部２４Ｂのみの構成としてもよい。粘着材料３ａの特性にあわせ、硬化部２４Ａと硬化部２４Ｂとを双方使ったり片方のみ使ったりしてもよい。
また、粘着材料３ａが、光と熱により半硬化する材料であったときは、一方の硬化部が光を照射するもの、他方の硬化部が熱を印加するものとすることもできる。
【０１２８】
以上の説明の通り、第３の実施形態の異物除去装置１０２は、粘着材料３ａが半硬化状態とは言えない程度の粘性を持った液体の状態で被清掃物１６に触れるため、仮に被清掃
物１６の表面に凹凸があった場合でも、その形状にあわせて粘着材料３ａが入り込み、凹凸の奥に潜む異物と接触することができる。その接触後に硬化部２４Ａ（２４Ｂ）により半硬化させるため、被清掃物１６の異物をより確実に取り除くことができるのである。
【実施例４】
【０１２９】
［第４の実施形態：図６］
図６は、異物除去装置を実際に実施するための第４の例を示す構成図である。
この実施形態の特徴は、粘着剤の回収を自然落下とした第２の実施形態に比して、吸引手段を設けて吸引により回収するようにした点である。このような構成にすれば、さらに粘着剤の剥離残りを無くすことができる。
【０１３０】
図６において、５７は吸引手段である。例えば、吸引ポンプとすることができる。８２は配管である。１０３は異物除去装置である。すでに説明した構成には同一の番号を付与している。
図６に示すように、吸引手段５７は、液化部１７よりもローラ５４方向に離間した位置に基台１１と所定の距離だけ離間して設置している。
【０１３１】
供給部１２より粘着材料３を基台１１に塗布して硬化部１４により硬化させ粘着層１５を形成する。これを被清掃物１６の異物を転写した後、液化部１７により液化する。その後、吸引手段５７により液化した粘着材料３を吸引し配管８２で接続された回収部１８に回収するのである。
【０１３２】
図６に示す例では、吸引手段５７は、異物除去装置１０３の上方に設けてあり、基台１１より上方に吸引するようになっている。
もちろんその構成は一例であり、粘着材料３が液化した後は、どの位置から吸引しても構わない。例えば、図示はしないが、異物除去装置１０３の下方に設け、基台１１より下方に吸引するようにしてもよいのである。
【０１３３】
吸引手段５７は、吸引ポンプとするが、真空ポンプや電動ポンプなどの知られているポンプを用いることができる。また、吸引手段５７の吸引出力を変えることもできる。吸引力を上げることで、より速く確実に粘着材料３と異物９とを回収部１８に回収することが可能となる。
【０１３４】
以上の説明の通り、第４の実施形態の異物除去装置１０３は、吸引手段５７を設けたことにより、粘着材料３をより確実に回収することができ、基台１１の剥離残りがほとんど起きないという利点がある。
【実施例５】
【０１３５】
［第５の実施形態：図７］
図７は、異物除去装置を実際に実施するための第５の例を示す構成図である。
この実施形態の特徴は、すでに説明した第２から第４の実施形態が、２つのローラを回転軸とするベルト形状のエンドレスな基台を用いていたのに対して、１つのドラム状の基台を用いた点が特徴である。このような構成にすれば、さらに異物除去装置を小型化できる。
【０１３６】
図７において、５８はドラム状の基台である。例えば、回転制御できるローラとすることができる。１０４は異物除去装置である。すでに説明した構成には同一の番号を付与している。
【０１３７】
図７に示すように、基台５８の上部には供給部１２があり粘着材料３を基台５８に塗布
する。スキージ５３で均した後、硬化部１４で粘着層１５を形成する。搬送手段５６により運ばれた被清掃物１６と粘着層１５とが接触して異物９を転写する。そして液化部１７による粘着層１５は液化されて粘着材料３となり回収部１８に回収されるのである。
【０１３８】
基台５８は回転数や回転方向を制御することができる。基台５８の回転方向は、被清掃物１６と粘着層１５とが接触した際に起こる摩擦などの影響を抑えるために、粘着層１５と被清掃物１６とが接触する位置での基台５８の回転方向と、搬送手段５６による被清掃物１６の搬送方向とが同じ方向になるようにする。
【０１３９】
以上の説明の通り、第５の実施形態の異物除去装置１０４は、基台５８の回転制御が１軸のみとなるため容易であり、また、ドラム状の基台５８の上に直接粘着材料３を供給することが可能となるため装置として部品点数を減らすことができると共に装置を小型化できる。
【実施例６】
【０１４０】
［回収部の構成説明：図８〜図１０］
次に、異物除去装置を構成する回収部について詳述する。図８から図１０は、回収部の断面を模式的に示す断面図である。この図を用いて、回収された粘着剤から異物を分離する手法について説明する。
【０１４１】
図８から図１０において、７０，７１，７２は粘着材料３と異物９を分離する分離手段である。８０は回収部１８と図８から図１０には図示しない再供給手段１９とを接続する配管である。図面の白矢印は、粘着材料３の進入方向を示している。
【０１４２】
回収部１８は、周囲を取り囲むように形成された容器形状であり、図８から図１０にあっては、粘着材料３が図面上方から下方に向かって流れ落ちてきている様子を示している。
回収部１８の図面右方向には、分離手段７０，７１，７２により異物９が分離されて清浄された粘着材料３を再供給手段１９に送るための配管８０が設けてある。
【０１４３】
［フィルタを用いた分離：図８］
図８に示す例は、分離手段にフィルタを用いた例である。このフィルタは、メッシュ状又は多くの開口部を設ける構成であり、メッシュの穴や開口部は、異物９の大きさよりも小さい（目の細かい）形状となっている。
【０１４４】
これにより、回収部１８の上部から回収された粘着材料３は、分離手段７０を通過するが異物９は通過できず、残留する。これで粘着材料３と異物９とを分離することができる。
【０１４５】
分離手段７０の図面上方には、異物除去装置の稼働に伴って異物９が蓄積されていくが、所定の稼働時間を経過した後などに、これを廃棄すればよい。例えば、分離手段７０に取り外し易いように取手などを付加しておき、それを持ち、図面視で上方に分離手段７０を引き上げることで、異物９を回収部１８から取り除くことができる。
【０１４６】
図８に示す例では、分離手段７０を１つ設ける例を示したが、これに限定しない。図面上、上下に双方離間するなどして２つの分離手段７０を備えてもよい。
その場合、２つの分離手段７０で互いにメッシュの穴や開口部の大きさを変えてもよい。例えば、粘着材料３の流入方向に位置する分離手段７０のメッシュの穴や開口部よりも、粘着材料３の流入方向とは逆の方向に位置する分離手段７０のメッシュの穴や開口部を小さくするようにしてもよい。
【０１４７】
このようにすれば、２つの分離手段７０は、異物９に対して二重の漉しになり、異物をより確実に分離することができる。
【０１４８】
［攪拌手段を用いた分離：図９］
図９に示す例は、分離手段に攪拌手段を用いた例である。この攪拌手段は、複数の羽形状の突起部を備える回転可能な手段である。分離手段７１を回転させる機構については、公知のモーターや歯車を使った機構で構成できるため、省略している。
【０１４９】
これにより、回収部１８の上部から回収された粘着材料３は、分離手段７１による攪拌動作により異物９は回収部１８の上方に持ち上げられる。配管８０は、下方に位置しているために異物９は配管８０には到達しない。これで粘着材料３と異物９とを分離することができる。
【０１５０】
分離手段７１の図面上方には、異物除去装置の稼働に伴って異物９が蓄積されていくが、所定の稼働時間を経過した後などに、粘着材料３の上澄みを掬うなどして廃棄すればよい。
【０１５１】
［吸着手段を用いた分離：図１０］
図１０に示す例は、分離手段に吸着手段を用いた例である。この吸着手段は、磁石やイオン吸着材で構成することができる。また、その形状はブラシ形状とすることもできる。
【０１５２】
異物９が繊維状であれば、分離手段７２はブラシ状の吸着材を用いることができる。また異物９がイオン性である場合には、イオン吸着材で構成することができる。さらにまた、磁化した異物である場合には磁石で構成することができる。
このように、分離手段７２は、異物９の形状や特性に合わせて選定するのが好ましく、複数の異物の混入が予想される場合には複数の分離手段７２を設けてもよいことは、無論である。
【０１５３】
これにより、回収部１８の上部から回収された粘着材料３は、分離手段７２による吸着動作により異物９と分離することができる。
分離手段７２の表面には、異物除去装置の稼働に伴って異物９が蓄積されていくが、所定の稼働時間を経過した後などに、分離手段７２ごと交換するなどすればよい。
【０１５４】
図８に示す分離手段７０や図１０に示す分離手段７２は、異物除去装置の稼働に伴って異物９が蓄積されていくが、異物のみの蓄積であるから、粘着剤ごと回収する従来技術に比べてその量は少なく、回収部１８からの異物９の除去はとても簡単である。
【０１５５】
また、図８から図１０を用いて説明した回収部１８の構成は、それぞれ単独で利用してもよいが、組み合わせてもよいことは無論である。
例えば、フィルタ状の分離手段７０によるフィルタリング後に、吸着手段である分離手段７２を設けてもよい。このような組み合わせ構成にすることで、フィルタ状の分離手段７０を通過してしまった異物９があったとしても、分離手段７２で捉えるようにすることができる。
【０１５６】
このように、分離手段を適宜組み合わせることで異物９に対応した分離ができて便利である。
【０１５７】
［粘着剤材料の説明］
以上、説明に用いた粘着剤として使用する粘着材料としては、特に限定しないが、次に
示すものを用いることができる。
【０１５８】
所定波長の光によって液化状態と半硬化状態又は硬化状態に状態が変化する粘着剤としては、例えば、波長３６５ｎｍの紫外光によって液化反応を示し、波長５１０ｎｍの可視光によって固化反応を示す糖アルコール骨格と複数のアゾベンゼン基を組み合わせた液晶性物質が挙げられる。
【０１５９】
この材料は光可逆性の材料の一例である。もちろん、これに限定するものではなく、他の組成で構成された物質であっても光可逆性の材料であれば当然のことながら使用することができる。
【０１６０】
熱によって液化状態と半硬化状態又は硬化状態とに状態が変化する粘着剤としては、熱可塑性の樹脂であるエチレン酢酸ビニル共重合系樹脂、オレフィン系樹脂、ポリアミド系樹脂、合成ゴム系樹脂、アクリル系樹脂、ウレタン系樹脂などが挙げられるが、特にエチレン酢酸ビニル共重合系の樹脂や、シリコーンゴム及びシリコーンレジンを主成分とする合成ゴム系の樹脂で構成されたホットメルト接着剤が挙げられる。
【０１６１】
例示した樹脂は、熱可塑性の物性を示す材料の一例である。もちろん、これに限定するものではなく、他の組成で構成された物質であっても熱可塑性の材料であれば当然のことながら使用することができる。
【０１６２】
このような粘着剤の種類を選定することによって、光もしくは熱、又はこれらの組み合わせにより粘着剤を液化状態と半硬化状態又は硬化状態とに可逆的に変化させることができる粘着層を実現することができる。
【０１６３】
もちろん、光によって状態が変化する粘着剤と熱によって状態が変化する粘着剤とを積層して基台に設けてもよい。
例えば、基台側に熱によって状態が変化する第１の粘着剤を設け、その表面に光によって状態が変化する第２の粘着剤を設けてもよい。これは例えば、第２の粘着剤がその組成上、基台と接着しにくいものであったときに、第１の粘着剤を下地接着剤に用いる例である。
【０１６４】
このように、どの種類の粘着剤をどのように使用するかについては装置の使用環境や基台の材質、粘着剤と接する被清掃物や異物などの対象物の種類によって異なるため、清掃条件に見合った粘着剤を適宜選定して決めるのがよい。
【０１６５】
このように、液化状態と硬化状態とを繰り返す材料であれば、使用条件に見合った粘着剤を自由に選べるので便利である。
【産業上の利用可能性】
【０１６６】
本発明の異物除去装置は、常に清浄な粘着剤で清掃作業ができると共に、装置自体にダメージが発生しないから、長期に亘り装置を稼働できる。このため、連続して多くの被清掃物を清掃する異物除去装置として好適である。
【符号の説明】
【０１６７】
１，１１，５８  基台
２，１２  供給部
３，３ａ  粘着材料
４，１４，２４Ａ，２４Ｂ  硬化部
５，１５，２５  粘着層
６，１６  被清掃物
７，１７  液化部
８，１８  回収部
１９  再供給手段
５０  保持部
５１  回転部
５２  異物
５３  スキージ
５４，５５  ローラ
５６  搬送手段
５７  吸引手段
７０  分離手段（フィルタ）
７１  分離手段（撹拌手段）
７２  分離手段（吸着手段）
８０，８１，８２  配管
１０１，１０２，１０３，１０４  異物除去装置
【図１】
2014036928.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2014036928.tif 000009
【図８】
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【図９】
2014036928.tif 000011
【図１０】
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