(57)【要約】【課題】外乱磁界を、磁気センサの検出しない方向に集磁させて、本来検出するべき磁気スケールから磁界を検出する精度を向上させることが可能な構造を提供することを目的とするものである。【解決手段】本発明の移動ユニットは、磁性体からなる磁気スケール４と、前記磁気スケール４からの磁力線１４を検出する磁気抵抗膜７と、その磁気抵抗膜７を形成する基板６と、その磁気抵抗膜７を保護する保護膜８からなる磁気センサ５と、前記磁気センサ５の背面に配置される磁気ヨーク９と、前記磁気スケール４の上側に位置する磁石２と、前記磁石２に隣接する位置に設置されるコイル３と、を備えた装置である。  磁気センサ５に磁気ヨーク９を配置することで、磁石２からの磁力線１５は磁気抵抗膜７を垂直に貫くため、外乱磁界の影響を低減することができる。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の固定部材と、
前記第１の固定部材に対し相対的に移動可能な第２の固定部材と、
前記第１の固定部材に固定され、前記第１の固定部材と前記第２の固定部材の相対的な移動方向に着磁された磁気スケールと、
前記第２の固定部材に固定された磁石と、
前記磁石と対向する位置の前記第１の固定部材に固定されたコイルと、
前記磁気スケールと対向する位置で前記磁気スケールと対向する方向を法線とするように前記第２の固定部材に固定された磁気抵抗膜とを備え、
前記磁石と前記コイルとでボイスコイルモータを構成し、
前記磁気抵抗膜は面内方向に垂直な方向は不感磁方向であり、
前記磁気抵抗膜の前記磁気スケールと対向する側の反対側の面に配置された磁性体からなる磁気ヨークをさらに備えた移動ユニット。
【請求項２】
第１の固定部材と、
前記第１の固定部材に対し相対的に移動可能な第２の固定部材と、
前記第１の固定部材に固定され、前記第１の固定部材と前記第２の固定部材の相対的な移動方向に着磁された磁気スケールと、
前記第１の固定部材に固定された磁石と、
前記磁石と対向する位置の前記第２の固定部材に固定されたコイルと、
前記磁気スケールと対向する位置で前記磁気スケールと対向する方向を法線とするように前記第２の固定部材に固定された磁気抵抗膜とを備え、
前記磁石と前記コイルとでボイスコイルモータを構成し、
前記磁気抵抗膜は面内方向に垂直な方向は不感磁方向であり、
前記磁気抵抗膜の前記磁気スケールと対向する側の反対側の面に配置された磁性体からなる磁気ヨークをさらに備えた移動ユニット。
【請求項３】
第１の固定部材と、
前記第１の固定部材に対し相対的に移動可能な第２の固定部材と、
前記第１の固定部材に固定され、前記第１の固定部材と前記第２の固定部材の相対的な移動方向に着磁された磁気スケールと、
前記第２の固定部材に固定された磁石と、
前記磁石と対向する位置の前記第１の固定部材に固定されたコイルと、
前記磁気スケールと対向する位置で前記磁気スケールと対向する方向を法線とするように前記第２の固定部材に固定された磁気抵抗膜とを備え、
前記磁石と前記コイルとでボイスコイルモータを構成し、
前記磁気抵抗膜は面内方向に垂直な方向は不感磁方向であり、
前記磁気抵抗膜の前記磁気スケールと対向する側の反対側の面から前記磁気抵抗膜の厚み方向の面まで延伸している磁性体からなる磁気ヨークをさらに備えた移動ユニット。
【請求項４】
第１の固定部材と、
前記第１の固定部材に対し相対的に移動可能な第２の固定部材と、
前記第１の固定部材に固定され、前記第１の固定部材と前記第２の固定部材の相対的な移動方向に着磁された磁気スケールと、
前記第１の固定部材に固定された磁石と、
前記磁石と対向する位置の前記第２の固定部材に固定されたコイルと、
前記磁気スケールと対向する位置で前記磁気スケールと対向する方向を法線とするように前記第２の固定部材に固定された磁気抵抗膜とを備え、
前記磁石と前記コイルとでボイスコイルモータを構成し、
前記磁気抵抗膜は面内方向に垂直な方向は不感磁方向であり、
前記磁気抵抗膜の前記磁気スケールと対向する側の反対側の面から前記磁気抵抗膜の厚み方向の面まで延伸している磁性体からなる磁気ヨークをさらに備えた移動ユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、相対的に移動する物体間の相対位置を磁気的に検出することができる移動ユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
ボイスコイルモータ（Ｖｏｉｃｅ  Ｃｏｉｌ  Ｍｏｔｏｒ。以下「ＶＣＭ」と記す。）は動電型振動装置とも言われているモータである。その動作原理は、スピーカの駆動と同様である。スピーカの駆動原理は、永久磁石をスピーカ本体側に、コイルをコーン紙側に配置し、コイルに電流を流すと、フレミングの左手の法則により、磁界と電流の双方に垂直方向に力が発生し、この力がコーン紙を振動させて音声を再生するものである。このスピーカの駆動原理をモータに応用したものがＶＣＭである。ＶＣＭは、現在はリニアモータやカメラのレンズ駆動用等に幅広く使われている。
【０００３】
なお、この出願の発明に関連する先行技術文献としては、例えば、特許文献１が知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−３１７９３２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ＶＣＭで位置を制御する際に、位置情報を読み取ってフィードバック制御を行なう方が、より正確な位置への移動が出来たり、或いは移動時間の短縮が可能になる。この位置情報の読み取り方法は、各種の位置センサを用いることになる。位置センサとしては、様々な方式のセンサが存在し、その中で磁気センサも存在する。磁気センサを用いる場合には、相対的に移動する一方の部材に着磁された磁気スケールを、他方の部材に磁気センサを用い、磁気スケールからの磁気を磁気センサで読み取ることで行なえばよい。位置センサとしては、可変抵抗器の原理を利用した抵抗膜上を接触させる方式や、光学センサなども存在するが、光学センサや磁気センサのように非接触式のセンサの方が繰り返しの耐久性等に勝る。またカメラのレンズ駆動などには、光学センサの場合には被写体を写すフィルムや撮像子に影響を与える恐れがあり、その点では磁気センサが好ましいと考えられる。
【０００６】
しかし、ＶＣＭは磁石を有するので、磁気センサがこの磁石からの磁界を検出してしまい磁気スケールからの磁界を正しく読み取れない可能性がある。特に、近年、電子機器の小型化、薄型化が進んでおり、ＶＣＭの磁石と磁気センサとの距離を十分確保することが出来ず、磁気センサをＶＣＭの位置センサとして用いることが困難であった。
【０００７】
上記課題に鑑み、本発明は、ＶＣＭを用いた移動ユニットにおける位置センサとして磁気センサを用い高精度の位置制御を可能とする移動ユニットを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を解決するために本発明は、下記記載の手段を有する。
【０００９】
請求項１に記載の発明は、第１の固定部材と、前記第１の固定部材に対し相対的に移動可能な第２の固定部材と、前記第１の固定部材に固定され、前記第１の固定部材と前記第２の固定部材の相対的な移動方向に着磁された磁気スケールと、前記第２の固定部材に固定された磁石と、前記磁石と対向する位置の前記第１の固定部材に固定されたコイルと、前記磁気スケールと対向する位置で前記磁気スケールと対向する方向を法線とするように前記第２の固定部材に固定された磁気抵抗膜とを備え、前記磁石と前記コイルとでボイスコイルモータを構成し、前記磁気抵抗膜は面内方向に垂直な方向は不感磁方向であり、前記磁気抵抗膜の前記磁気スケールと対向する側の反対側の面に配置された磁性体からなる磁気ヨークをさらに備えた移動ユニットである。
【００１０】
請求項１に記載の発明は、磁気ヨークによりボイスコイルモータを構成する磁石やコイルからの磁界を磁気抵抗膜の不感磁方向に貫くように導きこれらの磁界から磁気抵抗膜が受ける影響を実用上無視できるようにすることができるので、ボイスコイルモータを用いた移動ユニットに磁気式の位置検出センサを用いることが可能になり、高精度の位置制御を可能とすることができる。
【００１１】
請求項２に記載の発明は、第１の固定部材と、前記第１の固定部材に対し相対的に移動可能な第２の固定部材と、前記第１の固定部材に固定され、前記第１の固定部材と前記第２の固定部材の相対的な移動方向に着磁された磁気スケールと、前記第１の固定部材に固定された磁石と、前記磁石と対向する位置の前記第２の固定部材に固定されたコイルと、前記磁気スケールと対向する位置で前記磁気スケールと対向する方向を法線とするように前記第２の固定部材に固定された磁気抵抗膜とを備え、前記磁石と前記コイルとでボイスコイルモータを構成し、前記磁気抵抗膜は面内方向に垂直な方向は不感磁方向であり、前記磁気抵抗膜の前記磁気スケールと対向する側の反対側の面に配置された磁性体からなる磁気ヨークをさらに備えた移動ユニットである。
【００１２】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明と同様の作用効果を有する。
【００１３】
請求項３に記載の発明は、第１の固定部材と、前記第１の固定部材に対し相対的に移動可能な第２の固定部材と、前記第１の固定部材に固定され、前記第１の固定部材と前記第２の固定部材の相対的な移動方向に着磁された磁気スケールと、前記第２の固定部材に固定された磁石と、前記磁石と対向する位置の前記第１の固定部材に固定されたコイルと、前記磁気スケールと対向する位置で前記磁気スケールと対向する方向を法線とするように前記第２の固定部材に固定された磁気抵抗膜とを備え、前記磁石と前記コイルとでボイスコイルモータを構成し、前記磁気抵抗膜は面内方向に垂直な方向は不感磁方向であり、前記磁気抵抗膜の前記磁気スケールと対向する側の反対側の面から前記磁気抵抗膜の厚み方向の面まで延伸している磁性体からなる磁気ヨークをさらに備えた移動ユニットである。
【００１４】
請求項３に記載の発明は、磁気ヨークによりボイスコイルモータを構成する磁石やコイルからの磁界を磁気抵抗膜の不感磁方向に貫くように導きこれらの磁界から磁気抵抗膜が受ける影響を実用上無視できるようにすることができるので、ボイスコイルモータを用いた移動ユニットに磁気式の位置検出センサを用いることが可能になり、高精度の位置制御を可能とすることができる。
【００１５】
請求項４に記載の発明は、第１の固定部材と、前記第１の固定部材に対し相対的に移動可能な第２の固定部材と、前記第１の固定部材に固定され、前記第１の固定部材と前記第２の固定部材の相対的な移動方向に着磁された磁気スケールと、前記第１の固定部材に固定された磁石と、前記磁石と対向する位置の前記第２の固定部材に固定されたコイルと、前記磁気スケールと対向する位置で前記磁気スケールと対向する方向を法線とするように前記第２の固定部材に固定された磁気抵抗膜とを備え、前記磁石と前記コイルとでボイスコイルモータを構成し、前記磁気抵抗膜は面内方向に垂直な方向は不感磁方向であり、前記磁気抵抗膜の前記磁気スケールと対向する側の反対側の面から前記磁気抵抗膜の厚み方向の面まで延伸している磁性体からなる磁気ヨークをさらに備えた移動ユニットである。
【００１６】
請求項４に記載の発明は、請求項３に記載の発明と同様の作用効果を有する。
【発明の効果】
【００１７】
以上のように本発明の移動ユニットは、ボイスコイルモータを駆動装置として用いた移動ユニットにおいて、磁気式の位置センサを用いることを可能として、高精度の位置制御を可能とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の実施の形態１における移動ユニットの正面図
【図２】本発明の実施の形態１における移動ユニットの概略斜視図
【図３】本発明の実施の形態１における移動ユニットの主要部の正面図
【図４】本発明の実施の形態１における移動ユニットの主要部周辺の磁力を示す正面図
【図５】本発明の実施の形態１における移動ユニットの主要部周辺の磁力を示す正面図
【図６】比較例における移動ユニットの主要部周辺の磁力を示す正面図
【図７】本発明の実施の形態１における磁気抵抗膜の斜視図
【図８】本発明の実施の形態１における磁気抵抗膜の磁気特性を示す図
【図９】本発明の実施の形態２における移動ユニットの正面図
【図１０】本発明の実施の形態２における移動ユニットの主要部の正面図
【図１１】本発明の実施の形態２における移動ユニットの主要部周辺の磁力を示す正面図
【図１２】本発明の実施の形態２における移動ユニットの主要部周辺の磁力を示す正面図
【発明を実施するための形態】
【００１９】
（実施の形態１）
以下、本発明の実施の形態１における移動ユニットについて、レンズの駆動の場合を例にとって、図面を参照しながら説明する。
【００２０】
図１は本発明の実施の形態１における移動ユニットの正面図、図２は本発明の実施の形態１における移動ユニットの概略斜視図、図３は本発明の実施の形態１における移動ユニットの主要部の正面図である。
【００２１】
ＶＣＭ１は磁石２とコイル３とから構成されている。磁石２は第２の固定部材１３に、コイル３は第１の固定部材１２にそれぞれ固定されている。磁石２は図２に示すように第１の固定部材１２に対向する方向をＳ極、その反対側をＮ極としているが、逆向きであってもよい。また、磁石２は直方体形状で４個存在しているが、リング状の磁石であってもよい。第１の固定部材１２と第２の固定部材１３とは相対的に移動が可能であり、図１においてはＸ軸方向への移動が可能な構成となっている。本実施の形態においては、第１の固定部材１２が可動側で第２の固定部材１３が固定側としているが、逆であっても良いし、両方が可動であってもよい。コイル３は導体を第１の固定部材１２の周囲に巻いたものである。コイル３の巻き軸は第１の固定部材１２と第２の固定部材１３とが相対的に移動可能な方向、即ち、図１におけるＸ軸方向にしている。また、コイル３の巻き形状は図２に示すような正方形状ではなく円形であってもよい。
【００２２】
磁気スケール４は、磁性体を有するシートに着磁を行なったものである。磁性体としてはバリウムフェライトなどを用いることができる。着磁は第１の固定部材１２と第２の固定部材１３とが相対的に移動可能な方向、即ち、図１におけるＸ軸方向にＮ極とＳ極とを交互に着磁させている。着磁はＮ極、Ｓ極、Ｎ極の順に、またはＳ極、Ｎ極、Ｓ極と行われたものを１周期としたときに、少なくとも１／２周期である、Ｎ極とＳ極の順での着磁、またはＳ極とＮ極の順での着磁が行われている。第１の固定部材１２と第２の固定部材１３との移動距離や要求される位置精度によって周期の回数や磁極間の長さは適宜選択することができる。磁極間の距離、即ち、１／２周期分の長さを１／２波長としたときの長さは、短い方が分解能が向上するが、着磁の精度や磁気センサの分解能、または短くすることによる出力低下などを考慮して決定すべきである。通常は、１／２波長の長さは２００μｍ〜４００μｍ程度の距離が好適である。
【００２３】
磁気センサ５は、基板６上に磁気抵抗膜７、磁気抵抗膜７上に保護膜８を形成し、さらに基板６の磁気抵抗膜７が形成された面と反対の面に磁気ヨーク９が配置された構成を有している。基板６は少なくとも表面が絶縁化されており、例えばアルミナ基板やＳｉＯ2基板などを用いることができる。磁気抵抗膜７は磁界が印加されると抵抗値が変化する特性を有するもので、具体的にはＭＲ（Ｍａｇｎｅｔｏ  Ｒｅｓｉｓｔａｎｃｅ）やＧＭＲ（Ｇｉａｎｔ  Ｍａｇｎｅｔｏ  Ｒｅｓｉｓｔａｎｃｅ）などの薄膜が用いられている。本実施の形態においては、より出力の大きいＧＭＲを用いている。磁気抵抗膜７は出力を高めるために蛇行状のパターン形状に形成することができる。保護膜８は磁気抵抗膜７を機械的衝撃や水分などの環境から保護する。保護膜８は、ポリアミド、ポリイミドまたはフェノール樹脂などを用いることができる。磁気ヨーク９は磁性体からなり、フェライト系ステンレスのＳＵＳ４３０が好適である。
【００２４】
レンズ１１は第１の固定部材１２に取り付けられている。このレンズ１１はカメラのオートフォーカス用のレンズであるが、その枚数は複数あってもよい。
【００２５】
第１の固定部材１２は、コイル３および磁気スケール４を保持し固定しており、さらにレンズ１１も保持し固定している。第１の固定部材１２はレンズを保持すると共にレンズに被写体からの光を通過させるために中空形状になっている。また第１の固定部材１２は、第２の固定部材１３に対して移動可能であり、その移動方向はレンズ１１の軸方向である。
【００２６】
第２の固定部材１３は、磁石２および磁気センサ５を保持し固定している。第２の固定部材１３は、カメラ本体（図示せず）に対して固定されている。第２の固定部材１３は内部に第１の固定部材１２を移動可能に覆うので中空形状である。
【００２７】
ここで、磁石２とコイル３とは対向するように配置されている。コイル３に通電させて磁界を発生させることで、磁石２の磁気との間で引力または斥力を生じることで移動する。
【００２８】
また、磁気スケール４と磁気センサ５とは対向するように配置されている。磁気スケール４の磁界はモータに使用する磁石２に比べて弱いため磁気スケール４と磁気センサ５との間隔は狭くしている。具体的には１００〜２００μｍ程度が好適である。このため、磁気センサ５は第２の固定部材１３の一部に開口部を空け、そこに配置させているが、この構造でなくてもよい。また、磁気抵抗膜７は磁気スケール４と対向する方向を法線とするように配置されている。言い換えると、磁気抵抗膜７の面内方向に垂直な方向に磁気スケール４は配置されている。
【００２９】
以上のように構成された移動ユニットについて、その磁力の状態について、以下に説明をする。
【００３０】
図４は本発明の実施の形態１における移動ユニットの主要部周辺の磁力を示す正面図である。磁気スケール４から磁力線１４が出ているが、磁気スケール４からの磁力線１４が作るループは小さいものとなる。
【００３１】
図５は本発明の実施の形態１における移動ユニットの主要部周辺の磁力を示す正面図である。なお、図５においては、判りやすくするために磁気スケール４および磁気スケール４からの磁力線１４を省略している。なお、後述する図６、図１１、図１２も同様である。図５において、磁石２からの磁力線１５は磁気抵抗膜７を貫くが、磁気ヨーク９の影響を受けて磁気抵抗膜７の面に対する垂直方向に貫くこととなる。
【００３２】
図６は比較例における移動ユニットの主要部周辺の磁力を示す正面図である。比較例において、実施の形態１と同様の構成要素には同じ符号を付している。比較例における移動ユニットは実施の形態１における移動ユニットから磁気ヨーク９を取り除いたものである。比較例においては、磁気抵抗膜７を貫く磁力線１６は磁気抵抗膜７の面内方向に対して垂直な方向ではなく、斜め方向に貫いている。
【００３３】
ここで、磁気抵抗膜７の感磁方向について説明する。図７は本発明の実施の形態１における磁気抵抗膜の斜視図、図８は本発明の実施の形態１における磁気抵抗膜の磁気特性を示す図である。磁気抵抗膜７に垂直な方向をＺ軸とし、面内方向をＸＹ平面としている。このように座標軸を設定したときの、Ｘ軸方向の磁界に対する磁気抵抗膜７の抵抗値変化を図８（ａ）に、Ｙ軸方向の磁界に対する抵抗値変化を図８（ｂ）に、Ｚ軸方向の磁界に対する抵抗値変化を図８（ｃ）にそれぞれ示している。図からわかるように、Ｘ軸方向とＹ軸方向は磁界の変化により抵抗値が低下するが、Ｚ軸方向は抵抗値の変化がない。即ち、磁気抵抗膜７の面内方向の磁界に対しては抵抗値変化を生じるが、垂直方向に対しては抵抗値変化を生じないものとなっている。言い換えると、磁気抵抗膜７の垂直方向は不感磁方向である。なお、磁気抵抗膜７がＧＭＲだけでなくＭＲも同様であるが、ＭＲの場合には、面内方向においても感磁方向と不感磁方向を生じる。従って本発明の場合には、第１の固定部材１２と第２の固定部材１３との相対的な移動方向であるＸ軸方向を感磁方向となるように配置することとなるが、面内方向に垂直な方向が不感磁方向となるのはＧＭＲの場合と同様である。
【００３４】
以上のような磁気抵抗膜７の磁界の方向に対する抵抗値変化の特性より、図５に示す本発明の移動ユニットの場合には、磁気ヨーク９により磁石２からの磁力線１５は磁気抵抗膜７を垂直に貫き、この方向は磁気抵抗膜７の不感磁方向であるので、磁石２からの磁界の影響を排除することができる。勿論、全ての磁力線１５を完全に垂直方向にすることははできないが、実用上磁石２からの磁界の影響を無視できる程度にすることができる。
【００３５】
一方、図に示す比較例の場合には、磁石２からの磁力線１６は磁気抵抗膜７を斜めに貫き、面内方向成分が生じるため、この面内方向成分により磁気抵抗膜７の抵抗値が変化してしまう。
【００３６】
なお、磁石２だけでなくコイル３からの磁界も考慮する必要があるが、コイル３からの磁界も同様の現象を生じさせる。また、磁気スケール４からの磁界も磁気ヨーク９の影響を全く受けない訳ではないが、磁力線１４のループが小さいためＸ軸方向成分を有して磁気抵抗膜７を貫く磁力線１４が存在し、磁気スケール４からの磁界を検出し、これにより位置情報を検出することができる。
【００３７】
（実施の形態２）
本発明の実施の形態２における移動ユニットについて、以下に図面を用いて説明をする。図９は本発明の実施の形態２における移動ユニットの正面図、図１０は本発明の実施の形態２における移動ユニットの主要部の正面図、図１１は本発明の実施の形態２における移動ユニットの主要部周辺の磁力を示す正面図である。実施の形態２における移動ユニットは、実施の形態１における移動ユニットの磁気ヨーク９の代わりに磁気ヨーク１０を用いている。他の構成要素は実施の形態１と同様である。磁気ヨーク１０は基板６における磁気スケール４に対向する面の反対側の面である背面に配置されている。磁気ヨーク１０は磁気センサ５の磁気スケール４と対向する面の反対側からこの面に垂直方向である側面にまで伸びている構造である。即ち、磁気ヨーク１０は磁気センサ５の背面から側面を覆う構造になっている。なお、磁気ヨーク１０は磁気センサ５の側面全体を覆う必要はなく、磁気抵抗膜７の側面である厚み方向の面を覆うように伸びていればよい。
【００３８】
上記の構成により、実施の形態２における移動ユニットも、磁気ヨーク１０によって磁石２からの磁力線１７を磁気抵抗膜７の不感磁方向である磁気抵抗膜７の面に対して垂直方向に貫くようになるので、磁石２からの磁界の影響を実用上問題ない程度に低減させることができる。図１２は、本発明の実施の形態２における移動ユニットの主要部周辺の磁力を示す正面図である。磁石２からではなく、外部からの磁力線１８が磁気抵抗膜７の感磁方向であるＸ軸方向である場合を示している。磁力線１８が磁気ヨーク１０における磁気抵抗膜７の膜厚方向の部分、言い換えると図１２においてＺ軸方向に向いている部分により、磁気抵抗膜７と同じＺ座標を通る磁力線１８は磁気ヨーク１０におけるＸ軸方向に延伸している部分に導かれる。これにより、磁気抵抗膜７をその感磁方向に貫く本数を大幅に減少させ磁石２からの磁界のみならず、その他の外部からの磁界の影響を実用上影響を及ぼさない程度に減少させることができる。
【００３９】
以上のように、本発明の実施の形態１および２における移動ユニットは、ＶＣＭを駆動装置としても、その磁気の影響を実用上無視できる程度に低減して位置検出を行なうことができる。特に、機器の小型、薄型になり磁石２、コイル３と磁気抵抗膜７との間隔を大きくすることができないような場合に、格別な効果を有する。また、レンズなどの光学機器においては、光学式のセンサとは異なり、被写体からの光に影響を及ぼす心配がないので、非常に有用である。勿論、光学機器以外の用途にも展開可能である。
【産業上の利用可能性】
【００４０】
本発明の移動ユニットは、ＶＣＭと磁気センサを用いた移動ユニットとして有用である。
【符号の説明】
【００４１】
１  ＶＣＭ（ボイスコイルモータ）
２  磁石
３  コイル
４  磁気スケール
５  磁気センサ
６  基板
７  磁気抵抗膜
８  保護膜
９  磁気ヨーク
１０  磁気ヨーク
１１  レンズ
１２  第１の固定部材
１３  第２の固定部材
１４  磁力線
１５  磁力線
１６  磁力線
１７  磁力線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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