(57)【要約】【課題】  ワークを剥離可能に保持するテープ状のワーク保持体をワークから確実に剥離可能とするワーク分離装置を提供する。【解決手段】ワーク分離装置１は、複数のガラス板２０２が厚さ方向に間隔をおいて整列した状態で粘着テープ２０３によって保持されたガラス板集合体２０１からガラス板を分離する。テープチャック３０及び剥離部１１は、ガラス板集合体から粘着テープを剥離させる。テンション検出機構２０及び制御装置９０は、テープチャック及び剥離部が粘着テープをガラス板集合体から剥離させるテンションを検出する。テープチャック及び制御装置９０は、テンション検出機構が作動した場合に、テープチャック及び剥離部が粘着テープをガラス板集合体から剥離させるテンションを調整する。【選択図】  図１
2014231404.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１つのワークをテープ状のワーク保持体によって剥離可能に保持したワーク供給体から前記少なくとも１つのワークを分離するワーク分離装置であって、
前記ワークから前記ワーク保持体を剥離させるテンションを前記ワーク保持体に与えて前記ワークを前記ワーク供給体から分離させる剥離手段と、
前記ワーク保持体のテンションを検出するテンション検出手段と、
前記検出したテンションに基づいて前記テンションを調整するテンション調整手段と
を備える、ワーク分離装置。
【請求項２】
前記テンション検出手段は、
前記ワーク保持体の一方の面に接離可能な当接部と、
前記ワーク保持体の前記一方の面に向けて前記当接部を付勢する付勢手段と、
前記当接部の変位を検出する変位センサと
を含み、前記当接部の変位に基づいて前記テンションを検出する、請求項１に記載のワーク分離装置。
【請求項３】
前記ワーク保持体は、前記当接部を支点として前記テンションが発生する方向に引張屈曲されており、
前記テンション調整手段は、前記ワーク保持体の端部を把持し且つ前記テンションが所定閾値以上となるまで引張することにより前記テンションを調整する、請求項２に記載のワーク分離装置。
【請求項４】
前記ワークは板状物であり、
前記ワーク保持体は、複数の前記ワークが厚さ方向に所定間隔をおいて整列した状態で前記複数のワークの各々の対向する二側面を保持し、
前記ワーク供給体を水平にして前記ワークを分離する、請求項１から請求項３のうちの１項に記載のワーク分離装置。
【請求項５】
前記ワークは、厚さ１．２ｍｍ未満、質量０．１４ｇ以上のガラス板である、請求項１から請求項４のうちの１項に記載のワーク分離装置。
【請求項６】
前記テンション調整手段による前記ワーク保持体のテンションの調整と、前記テンション検出手段による前記ワーク保持体のテンションの検出とを交互に繰り返し実行するとともに、前記テンション調整手段による各々の前記テンションの調整において、前記テンションを微小量調整する、請求項１から請求項５のうちの１項に記載のワーク分離装置。
【請求項７】
前記テンション調整手段による前記テンションの調整を所定回数行った直後の前記テンション検出手段による前記テンションの検出において前記テンションが適正になっていないことが検出された場合には前記テンション調整手段による前記テンションの調整を実行しない、請求項６に記載のワーク分離装置。
【請求項８】
少なくとも１つのワークをテープ状のワーク保持体によって剥離可能に保持したワーク供給体から前記少なくとも１つのワークを分離するワーク分離方法であって、
前記ワークから前記ワーク保持体を剥離させるテンションを前記ワーク保持体に与えて前記ワークを前記ワーク供給体から分離させる剥離工程と、
前記ワーク保持体のテンションを検出するテンション検出工程と、
前記検出したテンションに基づいて前記テンションを調整するテンション調整工程と
を包含する、ワーク分離方法。
【請求項９】
前記テンション調整工程と前記テンション検出工程とを交互に繰り返し実行するとともに、各々の前記テンション調整工程において、前記テンションを微小量調整する、請求項８に記載のワーク分離方法。
【請求項１０】
前記テンション調整工程を所定回数行った直後の前記テンション検出工程において前記テンションが適正になっていないことが検出された場合には前記テンション調整工程を実行しない、請求項９に記載のワーク分離方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はワーク分離装置及びワーク分離方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＣＣＤセンサ等の光学電子部品のカバーガラス等に使用される薄い小片のガラス板は、大量生産されてトレー等の整列治具に収納されて、各種の製造組立工程に送られる。
【０００３】
このような小片のガラス板を製造する過程では、複数枚のガラス板がばらばらに分散しないように、あらかじめ複数枚のガラス板が粘着テープによって保持されてガラス板集合体とされる。すなわち、複数枚のガラス板が厚さ方向に間隔をおいて整列した状態で、複数枚のガラス板の各々が、対向する二側面に貼着された一対の細長い粘着テープによって挟持される。
【０００４】
このガラス板集合体は、光学電子部品等の製造組立工程において、ガラス板が粘着テープから１枚ずつ分離される。ガラス板集合体からガラス板を分離する装置としては、例えば特許文献１に開示されたワーク分離装置が知られている。
【０００５】
図６は、特許文献１に開示された従来のワーク分離装置１０１を示す図である。図６（ａ）はワーク分離装置１０１の側面図であり、図６（ｂ）はワーク分離装置１０１の正面図である。
【０００６】
ワーク分離装置１０１において、剥離部材１０２を支点に折り返された一対の粘着テープ２０３が送りローラ機構１０３の一対のローラ１０３ａ及びローラ１０３ｂによって下方（矢印ｂ方向）に送られると、ガラス板集合体２０１が吸着チャック１０６へ向けて上方に移動する。ガラス板集合体２０１の最上位のガラス板２０２が一対の粘着テープ２０３の折り返し部分に達すると、最上位のガラス板２０２の対向する二側面の各々から粘着テープ２０３が徐々に剥離する。
【０００７】
粘着テープ２０３が最上位のガラス板２０２の二側面から剥離するのと併行して、最上位のガラス板２０２の残りの二側面に解片ローラ１０４ａ及び解片ローラ１０４ｂが接触して最上位のガラス板２０２が解片ローラ１０４ａと解片ローラ１０４ｂとの間に挟持される。そして、解片ローラ１０４ａ及び解片ローラ１０４ｂの回転によって最上位のガラス板２０２が上昇して各粘着テープ２０３から分離する。分離したガラス板２０２は吸着チャック１０６により吸着搬送された後、図示しない搬送機構によって検査ポジションに搬送されて、所定の検査が行われた後にトレー等の整列治具（図示せず）内に収納される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００６−１９９５０２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、特許文献１のワーク分離装置では、以下に述べるような問題点があった。
【００１０】
粘着テープ２０３を最上位のガラス２０２から剥離する際の剥離位置が適切でない場合、最上位のガラス板２０２を粘着テープ２０３から円滑に分離及び搬送できない場合がある。例えば、何らかの原因により粘着テープ２０３のテンションが緩むと、ローラ機構１０３によって粘着テープ２０３を送ったとしても、所定の剥離位置においてガラス板２０２と粘着テープ２０３との接着部分に十分な剥離力が作用せず、粘着テープ２０３をガラス板２０２から剥離できない場合がある。
【００１１】
このように粘着テープ２０３と接着した状態で最上位のガラス板２０２が解片ローラ１０４ａ及び解片ローラ１０４ｂによって挟持及び移動させられると、最上位のガラス板２０２とともにガラス板集合体２０１全体が吸着チャック１０６に接近する方向へ移動してしまう。すなわち、最上位のガラス板２０２をガラス板集合体２０１から分離できず、また吸着チャック１０６で吸着搬送できなくなるおそれがある。
【００１２】
本発明は上記問題点に鑑みて創案されたものであり、その目的は、ワークを剥離可能に保持するテープ状のワーク保持体をワークから確実に剥離可能とするワーク分離装置及びワーク分離方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明に係る第１の態様は、少なくとも１つのワークをテープ状のワーク保持体によって剥離可能に保持したワーク供給体から前記少なくとも１つのワークを分離するワーク分離装置であって、前記ワークから前記ワーク保持体を剥離させるテンションを前記ワーク保持体に与えて前記ワークを前記ワーク供給体から分離させる剥離手段と、前記ワーク保持体のテンションを検出するテンション検出手段と、前記検出したテンションに基づいて前記テンションを調整するテンション調整手段とを備えるワーク分離装置である。
【００１４】
第１の態様に係るワーク分離装置によれば、ワーク供給体からワーク保持体を剥離させる剥離力及び剥離位置を決める要素であるワーク保持体のテンションをテンション検出手段によって検出し、テンション検出手段が検出したテンションに基づいてテンション調整手段が当該テンションを調整する。したがって、ワーク保持体をワークから剥離させる剥離力及び剥離位置を適正化でき、ワーク保持体をワークから確実に剥離することができる。
【００１５】
なお、前記テンション検出手段は、例えば、前記ワーク保持体の一方の面に接離可能な当接部と、前記ワーク保持体の前記一方の面に向けて前記当接部を付勢する付勢手段と、前記当接部の変位を検出する変位センサとを含み、前記当接部の変位に基づいて前記テンションを検出するものとすることができる。
【００１６】
この場合、テンション検出手段が簡素な構造であるため、製造コストが安価となる。
【００１７】
より具体的には、前記ワーク保持体は、前記当接部を支点として前記テンションが発生する方向に引張屈曲されており、前記テンション調整手段は、前記ワーク保持体の端部を把持し且つ前記テンションが所定閾値以上となるまで引張することにより前記テンションを調整するように構成することができる。
【００１８】
なお、第１の態様に係るワーク分離装置は、例えば、前記ワークが板状物であり、前記ワーク保持体は、複数の前記ワークが厚さ方向に所定間隔をおいて整列した状態で前記複数のワークの各々の対向する二側面を保持し、前記ワーク供給体を水平にして前記ワークを分離する場合に適用することができる。
【００１９】
なお、第１の態様に係るワーク分離装置は、前記テンション調整手段による前記ワーク保持体のテンションの調整と、前記テンション検出手段による前記ワーク保持体のテンションの検出とを交互に繰り返し実行するとともに、前記テンション調整手段による各々の前記テンションの調整において、前記テンションを微小量調整するように構成されるのが好ましい。
【００２０】
この場合、ワークからワーク保持体を剥離させるテンションが目標値を大きく超過することを抑制できる。
【００２１】
また、この場合、前記テンション調整手段による前記テンションの調整を所定回数行った直後の前記テンション検出手段による前記テンションの検出において前記テンションが適正になっていないことが検出された場合には前記テンション調整手段による前記テンションの調整を実行しないことが好ましい。
【００２２】
この場合、ワークからワーク保持体を剥離させるテンションがセンサの故障等によって検出できなくなっている場合に、ワークからワーク保持体を剥離させるテンションが目標値を大きく超過することを抑制できる。
【００２３】
本発明に係る第２の態様は、少なくとも１つのワークをテープ状のワーク保持体によって剥離可能に保持したワーク供給体から前記少なくとも１つのワークを分離するワーク分離方法であって、前記ワークから前記ワーク保持体を剥離させるテンションを前記ワーク保持体に与えて前記ワークを前記ワーク供給体から分離させる剥離工程と、前記ワーク保持体のテンションを検出するテンション検出工程と、前記検出したテンションに基づいて前記テンションを調整するテンション調整工程とを包含するワーク分離方法である。
【００２４】
第２の態様に係るワーク分離方法によれば、ワークからワーク保持体を剥離させる剥離力及び剥離位置を決める要素であるワーク保持体のテンションをテンション検出工程で検出し、テンション検出工程で検出したテンションに基づいて当該テンションをテンション調整工程で調整する。したがって、ワーク保持体をワークから剥離させる剥離力及び剥離位置を適正化でき、ワーク保持体をワークから確実に剥離することができる。
【００２５】
なお、前記テンション調整工程と前記テンション検出工程とを交互に繰り返し実行するとともに、各々の前記テンション調整工程において、前記テンションを微小量調整することが好ましい。
【００２６】
この場合、ワーク供給体からワーク保持体を剥離させるテンションが目標値を大きく超過することを抑制できる。
【００２７】
また、この場合、前記テンション調整工程を所定回数行った直後の前記テンション検出工程において前記テンションが適正になっていないことが検出された場合には前記テンション調整工程を実行しないことが好ましい。
【００２８】
この場合、ワーク供給体からワーク保持体を剥離させるテンションがセンサの故障等によって検出できなくなっている場合に、ワーク供給体からワーク保持体を剥離させるテンションが目標値を大きく超過することを抑制できる。
【発明の効果】
【００２９】
本発明のワーク分離装置及びワーク分離方法によれば、ワーク保持体をワークから確実に剥離できる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明の実施形態のワーク分離装置を示す概略構成図である
【図２】図１に示されたワーク分離装置をII−II方向に見た図である。
【図３】図２に示されたワーク分離装置をIII−III方向に見た図である。
【図４】図１に示されたワーク分離装置の制御ブロック図である。
【図５】図１に示されたワーク分離装置によるガラス板の分離方法を示すフローチャートである。
【図６】従来のワーク分離装置を示す図であり、（ａ）はワーク分離装置の側面図であり、（ｂ）はワーク分離装置の正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３１】
以下、図面を参照して本発明による実施形態を説明する。図１は、本発明の実施形態のワーク分離装置１を示す概略構成図である。
【００３２】
図１に示すワーク分離装置１は、ワーク供給体としてのガラス板集合体２０１からワークとしてのガラス板２０２を１枚ずつ分離するために使用される。
【００３３】
ガラス板２０２は、例えば、イメージセンサ等の光学電子部品のカバーガラスとして使用され、矩形状を呈する。ガラス板２０２の寸法及び質量は任意としてよいが、例えば、厚さが１．２ｍｍ未満、質量が０．１４ｇ以上である。より具体的には、ガラス板２０２の寸法は、例えば、１辺が１２ｍｍ〜７０ｍｍ程度、厚さが０．４ｍｍ〜１．２ｍｍ程度、また、ガラス板２０２の質量は、例えば、０．１４ｇ〜１０ｇ程度である。
【００３４】
なお、説明の都合上、複数枚のガラス板２０２のうち、吸着チャック７０（後述）に近い方から１番目をガラス板２０２Ａ、２番目をガラス板２０２Ｂ、３番目をガラス板２０２Ｃ、４番目をガラス板２０２Ｄ、５番目をガラス板２０２Ｅとする。ガラス板２０２Ａ、ガラス板２０２Ｂ、及びガラス板２０２Ｃは、粘着テープ２０３から分離しており、ガラス板集合体２０１には含まれていない。また、ガラス板２０２Ｄ及びガラス板２０２Ｅは、粘着テープ２０３から分離しておらず、ガラス板集合体２０１に含まれている。
【００３５】
ガラス板集合体２０１に含まれる複数枚のガラス板２０２は、厚さ方向に間隔をおいて整列した状態で、一対のワーク保持体としての粘着テープ２０３によって保持されている。すなわち、複数枚のガラス板２０２の各々の対向する二側面が粘着テープ２０３によって保持されている。ガラス板集合体２０１は略角柱状を呈し、その軸線を水平にしてワーク分離装置１に装着される。ガラス板集合体２０１に含まれる複数枚のガラス板２０２は、吸着チャック７０（後述）に最も近いガラス板２０２Ｄから順にガラス板集合体２０１から分離される。以下の説明においては、ガラス板２０２Ｄを「先頭のガラス板２０２Ｄ」と称する。
【００３６】
ワーク分離装置１は、一対のガイド部材１０と、一対のテンション検出機構２０と、一対のテープチャック３０と、仮保持機構５０と、インデックステーブル６０と、４つの吸着チャック７０と、各吸着チャック７０に設けられた吸着確認センサ７５と、先頭検出センサ８０とを備える。
【００３７】
ガイド部材１０は板状に形成され、ガイド部材１０の内面でガラス板集合体２０１を図１のＸ方向に摺動自在に案内する。ガイド部材１０の一端には、ガイド部材１０の外方に突出する剥離部１１が設けられている。
【００３８】
剥離部１１は、粘着テープ２０３の折り返し部分に対向して配置されている。剥離部１１は、粘着テープ２０３に矢印ａ方向のテンションが付与されると、粘着テープ２０３の一方の面（粘着剤が設けられていない面）に当接して粘着テープ２０３にガラス板２０２から剥離する力を与える。剥離部１１には貫通孔１１ａが設けられている。貫通孔１１ａはテンション検出機構２０のバネ２３（後述）を摺動自在に収容する。
【００３９】
なお、粘着テープ２０３が紫外線の照射によって粘着力が低下する粘着テープである場合には、粘着テープ２０３のガラス板２０２から剥離する部分に紫外線を照射することにより粘着テープ２０３をガラス板２０２から容易に剥離し得る。
【００４０】
テンション検出機構２０は、粘着テープ２０３の折り返し部分に対向して配置されており、粘着テープ２０３のテンションを検出する。テンション検出機構２０は、移動部２１と、当接部２２と、バネ２３と、変位センサ２４とを含む。
【００４１】
移動部２１は支持部材（図示せず）によって図１のＸ方向に移動可能に支持されており、変位センサ２４に形成された隙間２４ａに出入り可能である。
【００４２】
当接部２２は、バネ２３を介して移動部２１の一端に支持されており、粘着テープ２０３の一方の面に接離可能となっている。
【００４３】
バネ２３は、粘着テープ２０３の一方の面に接近する方向に当接部２２を付勢する。
【００４４】
変位センサ２４は、例えば、フォトマイクロセンサによって構成される。変位センサ２４は移動部２１が出入り可能な隙間２４ａを有する。移動部２１が隙間２４ａ内に入り込むと、変位センサ２４が作動する。
【００４５】
テープチャック３０は、一対のチャック爪３１、３２と、サーボモータ３３と、ボールネジ３４とを有する。
【００４６】
チャック爪３１とチャック爪３２は、図示しない駆動機構によって接離可能となっており、粘着テープ２０３の一方の端部を把持する。粘着テープ２０３は、チャック爪３１及びチャック爪３２によって、当接部２２を支点として略Ｕ字状を成す方向に屈曲引張される。粘着テープ２０３が当該方向に引張されることにより、ガラス板２０２から粘着テープ２０３を剥離させるテンションが粘着テープ２０３に発生する。
【００４７】
ボールネジ３４はサーボモータ３３によって駆動され、チャック爪３１とチャック爪３２とを図１のＸ方向に移動させる。
【００４８】
テープチャック３０及び剥離部１１は、ガラス板２０２から粘着テープ２０３を剥離するテンションを粘着テープ２０３に与えてガラス板２０２をガラス板集合体２０１から分離させる。テープチャック３０及び剥離部１１は、本発明の剥離手段として機能する。
【００４９】
次に、図２及び図３を参照して、仮保持機構５０の詳細を説明する。図２は図１に示されたワーク分離装置１をII−II方向に見た図であり、図３は図２に示されたワーク分離装置１をIII−III方向に見た図である。
【００５０】
図２及び図３に示すように、仮保持機構５０は一対の解片ローラ５０ａ、５０ｂを備える。解片ローラ５０ａ及び解片ローラ５０ｂはゴム等の弾性材により形成されており、互いに背反する方向に回転する。解片ローラ５０ａ及び解片ローラ５０ｂはガラス板集合体２０１の先頭のガラス板２０２Ｄにおける対向する二側面を挟持してガラス板２０２Ｄを吸着チャック７０（図１参照）の方向に移送する。
【００５１】
本実施形態では、解片ローラ５０ａ及び解片ローラ５０ｂは、ガラス板集合体２０１の先頭のガラス板２０２Ｄだけでなく、ガラス板２０２Ｄよりも先にガラス板集合体２０１から分離した３枚のガラス板２０２Ａ、ガラス板２０２Ｂ、及びガラス板２０２Ｃも同時に挟持する。
【００５２】
なお、図３においては、図面を見やすくするために、ガラス板２０２を実際の寸法よりも大きく図示しているので、ガラス板２０２Ａとガラス板２０２Ｄとが解片ローラ５０ａ及び解片ローラ５０ｂから離れているが、実際には、ガラス板２０２Ａとガラス板２０２Ｄは解片ローラ５０ａ及び解片ローラ５０ｂに当接している。
【００５３】
再び図１に戻ってインデックステーブル６０と吸着チャック７０との詳細を説明する。
【００５４】
インデックステーブル６０は、モータ（図示せず）によって反時計回りに間欠的に回転して、インデックステーブル６０に取り付けられた４つの吸着チャック７０の各々をインデックステーブル６０の周囲のポジションＰ１〜ポジションＰ４に順次配置する。
【００５５】
ポジションＰ１は吸着チャック７０がガラス板集合体２０１に対向する位置（以下「吸着ポジション」と称する。）であり、ポジションＰ２はガラス板２０２の検査を行う位置であり、ポジションＰ３はガラス板２０２を整列治具に収納する機構にガラス板２０２を渡す位置であり、ポジションＰ４は検査により整列治具に収納しないと判定されたガラス板２０２を回収する位置である。
【００５６】
各吸着チャック７０は真空ポンプ（図示せず）に接続されており、図示しない駆動機構によって図１のＸ方向に移動して、仮保持機構５０に保持されたガラス板２０２を真空吸着する。
【００５７】
吸着確認センサ７５は、例えばピエゾ方式等の圧力センサにより構成される。吸着確認センサ７５が圧力センサにより構成される場合には、吸着確認センサ７５は、吸着チャック７０に真空吸引圧を導入する配管（図示せず）の途中に取り付けられる。そして、吸着確認センサ７５は、配管内の気圧を電気信号に変換して制御装置９０（後述）に送信する。吸着チャック７０がガラス板２０２を吸着すると、配管内の気圧が変化する。したがって、吸着確認センサ７５が検出した配管内の気圧によって、吸着チャック７０がガラス板２０２を吸着したか否かを検知することができる。
【００５８】
先頭検出センサ８０は、例えばレーザセンサにより構成される。先頭検出センサ８０は、センサ光Ｓ．Ｌを射出して、仮保持機構５０によって保持された複数のガラス板２０２のうち、吸着チャック７０に最も近いガラス板２０２Ａが、吸着チャック７０によって吸着可能な位置に到達したか否かを検出する。
【００５９】
図４は、ワーク分離装置１の制御ブロック図である。本実施形態のワーク分離装置１は、制御装置９０を更に備える。
【００６０】
制御装置９０は、ＣＰＵ、ＲＯＭ、及びＲＡＭ等を含むマイクロコンピュータにより構成される。制御装置９０のＣＰＵは、変位センサ２４、吸着確認センサ７５、及び先頭検出センサ８０から送信されてくる信号を受信する。制御装置９０のＣＰＵは、ＲＯＭに格納されたプログラムにしたがって、テープチャック３０、仮保持機構５０、インデックステーブル６０、及び吸着チャック７０等を制御する。
【００６１】
制御装置９０のＣＰＵは、変位センサ２４が移動部２１の存在を検出しなくなった場合、すなわち移動部２１が隙間２４ａの外に出た場合には、粘着テープ２０３のテンションが所定閾値よりも小さくなった（弛み過ぎ）と判断する。変位センサ２４は、移動部２１を介して当接部２２の変位を検出し、テンション検出機構２０は、当該変位に基づいて粘着テープ２０３のテンションを検出する。そして、制御装置９０のＣＰＵは、粘着テープ２０３の端部を把持したテープチャック３０を移動させて粘着テープ２０３を引張し、テンションが所定閾値以上となる（すなわち、変位センサ２４が移動部２１を検出する）ように粘着テープ２０３のテンションを調整する。テンション検出機構２０は本発明のテンション検出手段として機能し、テープチャック３０及び制御装置９０は本発明のテンション調整手段として機能する。
【００６２】
次に、図１〜図５を参照して、ワーク分離装置１によってガラス板集合体２０１からガラス板２０２を分離する方法を説明する。図５は、ワーク分離装置１によるガラス板２０２の分離方法を示すフローチャートである。
【００６３】
図１に示すように、作業員が、ワーク分離装置１にガラス板集合体２０１を水平に装着し、一対の粘着テープ２０３の各々の一方の端部をチャック爪３１及びチャック爪３２によって挟持させる。
【００６４】
次に、吸着チャック７０に接続された真空ポンプが作動する。そして、図５のステップＳ２１に示すように、吸着ポジションＰ１に位置する吸着チャック７０が図１に二点鎖線で示す位置に移動してガラス板２０２Ａに接近する。
【００６５】
次に、ステップＳ２２が実行される。ステップＳ２２において、各テープチャック３０のチャック爪３１及びチャック爪３２が図１の右方向に所定量移動する。その結果、各粘着テープ２０３にテンションが付与されて、各粘着テープ２０３がガラス板集合体２０１の先頭のガラス板２０２Ｄの対向する二側面から剥離し始める。ステップＳ２２は本発明の剥離工程に相当する。
【００６６】
また、ステップＳ２２の実行と同時にステップＳ２３が実行される。ステップＳ２３において、仮保持機構５０の解片ローラ５０ａ及び解片ローラ５０ｂ（図３参照）が図３の矢印方向に所定量回転する。その結果、解片ローラ５０ａ及び解片ローラ５０ｂに保持されたガラス板２０２Ａが解片ローラ５０ａ及び解片ローラ５０ｂから離脱して吸着チャック７０に吸着される。
【００６７】
また、ガラス板集合体２０１の先頭のガラス板２０２Ｄが解片ローラ５０ａと解片ローラ５０ｂとの間に挟み込まれ、解片ローラ５０ａ及び解片ローラ５０ｂの回転に伴ってガラス板２０２Ｄは吸着チャック７０の方向に移動する。その結果、ガラス板２０２Ｄがガラス板集合体２０１から分離する。
【００６８】
そして、ステップＳ２４が実行される。ステップＳ２４において、制御装置９０のＣＰＵは、吸着確認センサ７５が作動中か否かを確認する。吸着確認センサ７５が作動中でない場合は、ステップＳ２２及びステップＳ２３に戻る。ステップＳ２４で吸着確認センサ７５が作動中の場合には、ステップＳ２５が実行される。ステップＳ２５において、制御装置９０のＣＰＵは、粘着テープ２０３のテンションが適正か否かを判定する。
【００６９】
すなわち、変位センサ２４が作動中の場合には、制御装置９０のＣＰＵは、粘着テープ２０３のテンションが適正と判定する。粘着テープ２０３のテンションが適正の場合には、粘着テープ２０３のテンションの調整は行われず、１枚のガラス板２０２の分離工程が終了する。
【００７０】
一方、ステップＳ２５において、変位センサ２４が作動していない場合には、制御装置９０のＣＰＵは、粘着テープ２０３のテンションが不適正と判定する。粘着テープ２０３のテンションが不適正の場合には、ステップＳ２６が実行される。ステップＳ２６において、チャック爪３１及びチャック爪３２が移動して粘着テープ２０３のテンションを調整する。ステップＳ２５は本発明のテンション検出工程に相当し、ステップＳ２６は本発明のテンション調整工程に相当する。
【００７１】
制御装置９０のＣＰＵは、ステップＳ２６において粘着テープ２０３のテンションを微小量調整するとともに、ステップＳ２５とステップＳ２６とを交互に繰り返し実行することによって、粘着テープ２０３のテンションを適正値に近づける。それは以下の理由による。
【００７２】
すなわち、変位センサ２４は、作動中か否かで粘着テープ２０３のテンションが適正であるか否かを検出する。粘着テープ２０３のテンションが適正値よりも小さくなった場合には変位センサ２４が非作動になるため、粘着テープ２０３のテンションが適正値よりも小さくなったことを変位センサ２４によって検出できる。
【００７３】
チャック爪３１及びチャック爪３２を１度に長距離移動させると、粘着テープ２０３のテンションが適正値を超過しても変位センサ２４が検出できないため、粘着テープ２０３のテンションが適正値を大きく超過する虞がある。そこで、テンション調整工程を１回実行することによるチャック爪３１及びチャック爪３２の移動距離を微小量（例えば、０．１ｍｍ）として、テンション検出工程とテンション調整工程とを交互に繰り返し実行することにより、粘着テープ２０３のテンションが適正値を大きく超過するのを抑制できる。すなわち、ガラス板２０２から粘着テープ２０３を剥離する剥離位置を適正範囲内に調整することができる。
【００７４】
なお、粘着テープ２０３のテンションを調整する際には、テンション調整工程を所定回数実行した直後に実行するテンション検出工程において、粘着テープ２０３のテンションが適正になっていない（すなわち、変位センサ２４が作動していない）ことが検出された場合にはテンション調整工程を実行しないことが好ましい。すなわち、変位センサ２４の故障等によって、粘着テープ２０３のテンションが適正になっていることを検出できなくなっている場合、テンション調整工程を実行すると、粘着テープ２０３のテンションが適正値を大きく超過する虞があるからである。
【００７５】
また、テンション検出工程において、粘着テープ２０３のテンションが適正になっていないことが検出された場合には、不具合が発生していることを示す警報を出力するようワーク分離装置１を構成してもよい。具体的には、スピーカー、モニタ、及びランプなどの警報装置を備え、制御装置９０から警報音や警報表示を出力させる。このような構成によれば、不具合の発生を作業者に知らせ、粘着テープ２０３の位置の修正等の復旧作業を作業者に促すことができる。
【００７６】
以上、図１〜図５を参照して説明したように、ワーク分離装置１によれば、テンション検出工程とテンション調整工程とを実行するため、粘着テープ２０３のテンションが適正値よりも小さくなった場合に粘着テープ２０３のテンションを適正化できる。すなわち、ガラス板２０２から粘着テープ２０３を剥離する剥離位置を適正化できる。したがって、解片ローラ５０ａ及び解片ローラ５０ｂがガラス板２０２Ｄを挟み込む際に粘着テープ２０３がガラス板２０２Ｄから剥離しておらず、解片ローラ５０ａ及び解片ローラ５０ｂがガラス板集合体２０１からガラス板２０２Ｄをうまく分離させることができない等の不具合の発生を抑制できる。
【００７７】
また、テンション検出機構２０は、当接部２２の移動によって変位センサ２４が作動／非作動となる簡素な構造であるので、製造コストが安価である。
【００７８】
また、テンション検出機構２０は、バネ２３が当接部２２を粘着テープ２０３に当接させるため、粘着テープ２０３にテンションを付与する機能も兼ねており、粘着テープ２０３の弛みを抑制することもできる。
【００７９】
以上、本発明の具体的な実施形態を説明したが、本発明は図１〜図５に示された実施形態に限定されるものではなく、本実施形態に種々の改変を施すことができる。
【００８０】
例えば、本実施形態では、ワークがガラス板であるが、ガラス板以外のワーク（例えば、セラミック板や金属板）を分離する場合にも本発明を適用可能である。なお、ワークの形状は板状に限定されない。ワークの形状は、球状や多角形状など、いかなる形状でもよい。
【００８１】
また、本実施形態では、ワーク保持体が粘着テープであるが、粘着力以外の手段でワークを剥離可能に保持するワーク保持体を用いてもよい。なお、ワーク保持体の形状はテープ状に限定されない。ワーク保持体の形状は、紐状やシート状など、いかなる形状でもよい。
【００８２】
また、本実施形態では、ワーク供給体が複数のワークを含んでいるが、ワーク供給体は１つのワークのみを含んでもよい。
【００８３】
また、本実施形態では、テンション検出手段はフォトマイクロセンサによって構成されているが、他のセンサ（例えば、近接センサ）によってテンション検出手段を構成してもよい。
【００８４】
また、本実施形態では、移動部の変位を検出する変位センサの作動／非作動状態に応じて、ワーク保持体のテンションが適正か否かを検出するが、移動部の変位量を連続的な値として検出するセンサを用いて粘着テープのテンションを連続的な値として検出してもよい。また、テンションの大きさに応じて、チャック爪の移動量を変更してもよい。これらの構成によれば、粘着テープのテンションを高精度に制御することができる。
【００８５】
また、本実施形態では、ワーク保持体を挟み込んだ一対のチャック爪を移動させて、ワーク保持体のテンションを調整するが、ワーク保持体を挟み込んだ一対のローラを回転させて、ワーク保持体のテンションを調整してもよい。
【００８６】
また、本実施形態では、仮保持機構が複数のワークを同時に保持するが、仮保持機構は１つのワークのみを保持してもよい。
【００８７】
また、本実施形態では、ワーク供給体を水平にしてワーク供給体からワークを分離する実施例を説明したが、本発明は、ワーク供給体を水平以外の姿勢（例えば、鉛直）にしてワーク供給体からワークを分離する実施例にも適用可能である。
【００８８】
本発明は、光学電子部品のカバーガラス等として用いられるガラス板や、セラミック板、金属板等の板状物のワークの他、板状物以外のワークをワーク供給体から分離する場合にも適用できる。本発明は、比較的重量が大きいワークを分離するワーク分離装置に適用した場合に特に有用である。
【００８９】
その他にも、本発明の要旨を逸脱しない範囲で上記実施形態に種々の改変を施すことができる。
【符号の説明】
【００９０】
１  ワーク分離装置
１０  ガイド部材
１１  剥離部（剥離手段）
２０  テンション検出機構（テンション検出手段）
２２  当接部
２３  バネ
２４  変位センサ
３０  テープチャック（テンション調整手段、剥離手段）
３１、３２  チャック爪
３３  サーボモータ
３４  ボールネジ
５０  仮保持機構
５０ａ、５０ｂ  解片ローラ
６０  インデックステーブル
７０  吸着チャック
７５  吸着確認センサ
８０  先頭検出センサ
９０  制御装置（テンション調整手段）
２０１  ガラス板集合体（ワーク供給体）
２０２  ガラス板（ワーク）
２０３  粘着テープ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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