(57)【要約】【課題】有機層蒸着装置、これを用いる有機発光ディスプレイ装置の製造方法及びこれによって製造された有機発光ディスプレイ装置を提供する。【解決手段】大型基板の量産工程にさらに好適であり、高精細のパターニングを可能にする有機層蒸着装置、これを用いる有機発光ディスプレイ装置の製造方法及びこれによって製造された有機発光ディスプレイ装置。【選択図】図４
2014019954.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を固定し、固定された前記基板と共に移動自在に形成された移動部と、前記基板が固定された前記移動部を第１方向に移動させる第１移送部と、蒸着が完了して前記基板が分離された前記移動部を前記第１方向の逆方向に移動させる第２移送部と、を備える移送部と、
真空に維持されるチャンバと、前記移動部に固定された前記基板に有機層を蒸着する一つ以上の有機層蒸着アセンブリを備える蒸着部と、を備え、
前記有機層蒸着アセンブリは、
蒸着物質を放射する一つ以上の蒸着源と、
前記蒸着源の一側に配され、複数の蒸着源ノズルが形成された蒸着源ノズル部と、
前記蒸着源ノズル部と対向して配され、いずれか一方向に沿って複数のパターニングスリットが配されるパターニングスリットシートと、
前記第１方向に移動自在に形成され、前記蒸着源で蒸発した蒸着物質を遮断する蒸着源シャッターと、を備え、
前記移動部は、前記第１移送部と前記第２移送部との間を循環自在に形成され、
前記移動部に固定された基板は、前記第１移送部によって移動する間に、前記有機層蒸着アセンブリと所定距離離隔して形成されることを特徴とする有機層蒸着装置。
【請求項２】
前記有機層蒸着アセンブリは、
前記蒸着源の一側に形成され、前記蒸着源で蒸発する前記蒸着物質の経路をガイドする角度制御板をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の有機層蒸着装置。
【請求項３】
前記角度制御板は、前記それぞれの蒸着源を取り囲むように形成されることを特徴とする請求項２に記載の有機層蒸着装置。
【請求項４】
前記蒸着源シャッターは、平板状の第１蒸着源シャッター及び第２蒸着源シャッターを備え、前記第１蒸着源シャッター及び第２蒸着源シャッターの移動によって前記一つ以上の蒸着源のうち一部が開放または閉鎖されることを特徴とする請求項２に記載の有機層蒸着装置。
【請求項５】
前記蒸着源シャッターは、第１蒸着源シャッター及び第２蒸着源シャッターを備え、
前記それぞれの蒸着源シャッターは、平板部、及び前記平板部から折り曲げられて形成された傾斜部を備えることを特徴とする請求項１に記載の有機層蒸着装置。
【請求項６】
前記傾斜部の一端部で、前記蒸着源ノズルと対応する位置には溝が形成されることを特徴とする請求項５に記載の有機層蒸着装置。
【請求項７】
前記傾斜部は、前記蒸着源で蒸発する前記蒸着物質の経路をガイドすることを特徴とする請求項５に記載の有機層蒸着装置。
【請求項８】
前記第１蒸着源シャッター及び第２蒸着源シャッターの移動によって、前記一つ以上の蒸着源のうち一部が開放または閉鎖されることを特徴とする請求項５に記載の有機層蒸着装置。
【請求項９】
前記蒸着源の一側に配され、前記蒸着源で蒸発した蒸着物質の蒸着率を測定する制御センサーをさらに備える請求項１に記載の有機層蒸着装置。
【請求項１０】
前記移動部によって前記基板が移動する間に前記制御センサーで前記蒸着物質の蒸着率が測定され、
前記測定された蒸着率を用いて前記蒸着源で蒸発する蒸着物質の蒸発量が制御されることを特徴とする請求項９に記載の有機層蒸着装置。
【請求項１１】
所定の目標厚さほど前記蒸着物質を前記基板上に蒸着するために、前記制御センサーで測定される前記蒸着源の蒸着率が制御されることを特徴とする請求項１０に記載の有機層蒸着装置。
【請求項１２】
前記第１移送部及び前記第２移送部は、前記蒸着部を通過する時に前記蒸着部を貫通するように備えられることを特徴とする請求項１に記載の有機層蒸着装置。
【請求項１３】
前記第１移送部及び前記第２移送部は、上下に平行に配されることを特徴とする請求項１に記載の有機層蒸着装置。
【請求項１４】
前記有機層蒸着装置は、
前記移動部に前記基板を固定させるローディング部と、
前記蒸着部を通過しつつ蒸着が完了した前記基板を前記移動部から分離させるアンローディング部と、をさらに備える請求項１に記載の有機層蒸着装置。
【請求項１５】
前記第１移送部は、前記移動部を前記ローディング部、蒸着部及びアンローディング部に順次移動させることを特徴とする請求項１４に記載の有機層蒸着装置。
【請求項１６】
前記第２移送部は、前記移動部を前記アンローディング部、蒸着部及びローディング部に順次移動させることを特徴とする請求項１４に記載の有機層蒸着装置。
【請求項１７】
前記有機層蒸着アセンブリは、
前記蒸着源で放射された前記蒸着物質は、前記パターニングスリットシートを通過して前記基板上にパターンを形成しつつ蒸着されることを特徴とする請求項１に記載の有機層蒸着装置。
【請求項１８】
前記有機層蒸着アセンブリの前記パターニングスリットシートは、前記第１方向または前記第２方向のうち少なくともいずれか一方向において、前記基板より小さく形成されることを特徴とする請求項１に記載の有機層蒸着装置。
【請求項１９】
前記蒸着源ノズル部には、第１方向に沿って複数の蒸着源ノズルが形成され、
前記パターニングスリットシートには、前記第１方向に沿って複数のパターニングスリットが形成され、
前記有機層蒸着装置は、前記蒸着源ノズル部と前記パターニングスリットシートとの間に前記第１方向に沿って配され、前記蒸着源ノズル部と前記パターニングスリットシートとの間の空間を複数の蒸着空間に区切る複数の遮断板を備える遮断板アセンブリをさらに備える請求項１に記載の有機層蒸着装置。
【請求項２０】
前記複数の遮断板それぞれは、前記第１方向と実質的に垂直の第２方向に沿って延びるように形成されたことを特徴とする請求項１９に記載の有機層蒸着装置。
【請求項２１】
前記遮断板アセンブリは、複数の第１遮断板を備える第１遮断板アセンブリと、複数の第２遮断板を備える第２遮断板アセンブリと、を備えることを特徴とする請求項１９に記載の有機層蒸着装置。
【請求項２２】
前記複数の第１遮断板及び前記複数の第２遮断板それぞれは、前記第１方向と実質的に垂直の第２方向に形成され、前記蒸着源ノズル部と前記パターニングスリットシートとの間の空間を複数の蒸着空間に区切ることを特徴とする請求項２１に記載の有機層蒸着装置。
【請求項２３】
前記蒸着源ノズル部には、第１方向に沿って複数の蒸着源ノズルが形成され、
前記パターニングスリットシートには、前記第１方向に対して垂直の第２方向に沿って複数のパターニングスリットが形成されることを特徴とする請求項１に記載の有機層蒸着装置。
【請求項２４】
前記蒸着源及び前記蒸着源ノズル部と前記パターニングスリットシートとは、連結部材によって結合されて一体に形成されることを特徴とする請求項２３に記載の有機層蒸着装置。
【請求項２５】
前記連結部材は、前記蒸着物質の移動経路をガイドすることを特徴とする請求項２４に記載の有機層蒸着装置。
【請求項２６】
前記連結部材は、前記蒸着源及び前記蒸着源ノズル部と前記パターニングスリットシートとの間の空間を外部から蜜閉するように形成されることを特徴とする請求項２５に記載の有機層蒸着装置。
【請求項２７】
基板上に有機層を形成する有機層蒸着装置を用いた有機発光ディスプレイ装置の製造方法において、
移動部に前記基板が固定された状態で、チャンバを貫設された第１移送部によって前記移動部が前記チャンバ内へ移送される段階と、
前記チャンバ内に配された有機層蒸着アセンブリと前記基板とが所定ほど離隔した状態で、前記基板が前記有機層蒸着アセンブリに対して相対的に移動しつつ、前記有機層蒸着アセンブリから発散した蒸着物質が前記基板に蒸着されて有機層が形成される段階と、
前記基板と分離された前記移動部が、前記チャンバを貫設された第２移送部によって回送される段階と、を含み、
前記有機層蒸着アセンブリは、
蒸着物質を放射する一つ以上の蒸着源と、
前記蒸着源の一側に配され、複数の蒸着源ノズルが形成された蒸着源ノズル部と、
前記蒸着源ノズル部と対向して配され、複数のパターニングスリットが配されるパターニングスリットシートと、
一方向に移動自在に形成されて前記蒸着源で蒸発した蒸着物質を遮断する蒸着源シャッターと、を備え、
前記有機層が形成される段階は、
前記蒸着源シャッターによって前記それぞれの蒸着源のうち一部が順次に開放または閉鎖され、前記それぞれの蒸着源の蒸着率が測定される段階を含むことを特徴とする有機発光ディスプレイ装置の製造方法。
【請求項２８】
前記有機層蒸着アセンブリは、
前記蒸着源の一側に形成され、前記蒸着源で蒸発する前記蒸着物質の経路をガイドする角度制御板をさらに備えることを特徴とする請求項２７に記載の有機発光ディスプレイ装置の製造方法。
【請求項２９】
前記蒸着源シャッターは、平板状の第１蒸着源シャッター及び第２蒸着源シャッターを備え、前記第１蒸着源シャッター及び第２蒸着源シャッターの移動によって、前記一つ以上の蒸着源のうち一部が開放または閉鎖されることを特徴とする請求項２８に記載の有機発光ディスプレイ装置の製造方法。
【請求項３０】
前記蒸着源シャッターは、第１蒸着源シャッター及び第２蒸着源シャッターを備え、
前記それぞれの蒸着源シャッターは、平板部、及び前記平板部から折り曲げられて形成された傾斜部を備えることを特徴とする請求項２７に記載の有機発光ディスプレイ装置の製造方法。
【請求項３１】
前記傾斜部の一端部で、前記蒸着源ノズルと対応する位置には溝が形成されることを特徴とする請求項３０に記載の有機発光ディスプレイ装置の製造方法。
【請求項３２】
前記傾斜部は、前記蒸着源で蒸発する前記蒸着物質の経路をガイドすることを特徴とする請求項３０に記載の有機発光ディスプレイ装置の製造方法。
【請求項３３】
前記第１蒸着源シャッター及び第２蒸着源シャッターの移動によって、前記一つ以上の蒸着源のうち一部が開放または閉鎖されることを特徴とする請求項３２に記載の有機発光ディスプレイ装置の製造方法。
【請求項３４】
前記蒸着源の一側に配され、前記蒸着源で蒸発した蒸着物質の蒸着率を測定する制御センサーをさらに備える請求項２７に記載の有機発光ディスプレイ装置の製造方法。
【請求項３５】
前記移動部によって前記基板が移動する間に、前記制御センサーで前記蒸着物質の蒸着率が測定され、
前記測定された蒸着率を用いて、前記蒸着源で蒸発する蒸着物質の蒸発量が制御されることを特徴とする請求項３４に記載の有機発光ディスプレイ装置の製造方法。
【請求項３６】
前記移動部が前記第１移送部によって移送される段階以前に、ローディング部で前記基板を移動部に固定させる段階をさらに含み、
前記移動部が前記第２移送部によって回送される段階以前に、アンローディング部で蒸着が完了した前記基板を前記移動部から分離させる段階をさらに含む請求項２７に記載の有機発光ディスプレイ装置の製造方法。
【請求項３７】
前記移動部は、前記第１移送部と前記第２移送部との間を循環することを特徴とする請求項２７に記載の有機発光ディスプレイ装置の製造方法。
【請求項３８】
前記第１移送部及び前記第２移送部は、上下に平行に配されることを特徴とする請求項２７に記載の有機発光ディスプレイ装置の製造方法。
【請求項３９】
前記有機層蒸着アセンブリの前記パターニングスリットシートは、前記第１方向または前記第２方向のうち少なくともいずれか一方向において、前記基板より小さく形成されることを特徴とする請求項２７に記載の有機発光ディスプレイ装置の製造方法。
【請求項４０】
基板と、
前記基板上に形成されたものであって、半導体活性層と、前記半導体活性層に絶縁されたゲート電極と、前記半導体活性層にそれぞれ当接するソース及びドレイン電極と、を備える少なくとも一つの薄膜トランジスタと、
前記薄膜トランジスタ上に形成される複数の画素電極と、
前記画素電極上に形成される複数の有機層と、
前記有機層上に形成される対向電極と、を備え、
前記基板上の少なくとも一つの前記有機層は、蒸着領域の中心から遠い側の斜辺の長さが、蒸着領域の中心から近い側の斜辺の長さより長く形成され、
前記基板上の少なくとも一つの前記有機層は、請求項１に記載の有機層蒸着装置を用いて形成された線形パターンであることを特徴とする有機発光ディスプレイ装置。
【請求項４１】
前記有機層は、少なくとも発光層を含むことを特徴とする請求項３９に記載の有機発光ディスプレイ装置。
【請求項４２】
前記有機層は、不均一な厚さを持つことを特徴とする請求項３９に記載の有機発光ディスプレイ装置。
【請求項４３】
前記蒸着領域の中心から遠く形成された有機層であるほど、前記蒸着領域の中心から遠い側の斜辺の長さが長く形成されることを特徴とする請求項３９に記載の有機発光ディスプレイ装置。
【請求項４４】
前記蒸着領域に配された前記複数の有機層は、前記蒸着領域の中心から遠くなるほど前記第１方向に延設された２辺の重畳領域の幅が狭く形成されることを特徴とする請求項３９に記載の有機発光ディスプレイ装置。
【請求項４５】
前記蒸着領域の中心に配された前記有機層は、両斜辺の長さが実質的に同じく形成されることを特徴とする請求項３９に記載の有機発光ディスプレイ装置。
【請求項４６】
前記蒸着領域に配された前記有機層は、前記蒸着領域の中心を基準として対称的に配されることを特徴とする請求項３９に記載の有機発光ディスプレイ装置。
【請求項４７】
前記基板は、４０インチ以上のサイズを持つことを特徴とする請求項３９に記載の有機発光ディスプレイ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機層蒸着装置、これを用いる有機発光ディスプレイ装置の製造方法、及びこれによって製造された有機発光ディスプレイ装置に係り、さらに詳細には、大型基板の量産工程にさらに好適であり、高精細のパターニングを可能にする有機層蒸着装置、これを用いる有機発光ディスプレイ装置の製造方法、及びこれによって製造された有機発光ディスプレイ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ディスプレイ装置のうち有機発光ディスプレイ装置は、視野角が広く、コントラストに優れ、かつ回答速度が速いという長所を持っており、次世代ディスプレイ装置として注目されている。
有機発光ディスプレイ装置は、互いに対向する第１電極と第２電極との間に発光層及びこれを含む中問層を備える。この時、前記電極及び中問層はいろいろな方法で形成されるが、そのうち一つの方法が独立蒸着方式である。蒸着方法を用いて有機発光ディスプレイ装置を製作するためには、有機層などが形成される基板面に、形成される有機層などのパターンと同じパターンを持つファインメタルマスク（ｆｉｎｅｍｅｔａｌｍａｓｋ：ＦＭＭ）を密着させ、有機層などの材料を蒸着して所定パターンの有機層を形成する。
【０００３】
しかし、このようなＦＭＭを用いる方法は、大型のマザーガラスを使って有機発光ディスプレイ装置を大面積化するのに適していないという限界がある。なぜなら、大面積マスクを使えば、自重によってマスクが反り、その反り現象によってパターンの歪曲が発生するからである。これは、パターンに高精細を求める現傾向にも反する。
【０００４】
さらに、基板とＦＭＭとをアラインして密着させ、蒸着を行った後、再び基板とＦＭＭとを分離させる過程で相当な時間がかかり、製造時間が長くかかって生産効率が低いという問題点がある。
前述した背景技術は、発明者が本発明の導出のために保有しているか、または本発明の導出過程で習得した技術情報であり、必ずしも本発明の出願前に公衆に公開された公知技術であるとはいえない。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、前記のような問題点を含んでいろいろな問題点を解決するためのものであり、大型基板の量産工程にさらに好適であり、高精細のパターニングを可能にする有機層蒸着装置、これを用いる有機発光ディスプレイ装置の製造方法、及びこれによって製造された有機発光ディスプレイ装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、基板を固定し、固定された前記基板と共に移動自在に形成された移動部と、前記基板が固定された前記移動部を第１方向に移動させる第１移送部と、蒸着が完了して前記基板が分離された前記移動部を前記第１方向の逆方向に移動させる第２移送部と、を備える移送部と、真空に維持されるチャンバと、前記移動部に固定された前記基板に有機層を蒸着する一つ以上の有機層蒸着アセンブリを備える蒸着部と、を備え、前記有機層蒸着アセンブリは、蒸着物質を放射する一つ以上の蒸着源と、前記蒸着源の一側に配され、複数の蒸着源ノズルが形成された蒸着源ノズル部と、前記蒸着源ノズル部と対向して配され、いずれか一方向に沿って複数のパターニングスリットが配されるパターニングスリットシートと、前記第１方向に移動自在に形成され、前記蒸着源で蒸発した蒸着物質を遮断する蒸着源シャッターと、を備え、前記移動部は、前記第１移送部と前記第２移送部との間を循環自在に形成され、前記移動部に固定された基板は、前記第１移送部によって移動する間に、前記有機層蒸着アセンブリと所定距離離隔して形成されることを特徴とする有機層蒸着装置を提供する。
【０００７】
本発明において、前記有機層蒸着アセンブリは、前記蒸着源の一側に形成され、前記蒸着源で蒸発する前記蒸着物質の経路をガイドする角度制御板をさらに備える。
ここで、前記角度制御板は、前記それぞれの蒸着源を取り囲むように形成される。
ここで、前記蒸着源シャッターは、平板状の第１蒸着源シャッター及び第２蒸着源シャッターを備え、前記第１蒸着源シャッター及び第２蒸着源シャッターの移動によって前記一つ以上の蒸着源のうち一部が開放または閉鎖される。
【０００８】
本発明において、前記蒸着源シャッターは、第１蒸着源シャッター及び第２蒸着源シャッターを備え、前記それぞれの蒸着源シャッターは、平板部、及び前記平板部から折り曲げられて形成された傾斜部を備える。
ここで、前記傾斜部の一端部で、前記蒸着源ノズルと対応する位置には溝が形成される。
【０００９】
ここで、前記傾斜部は、前記蒸着源で蒸発する前記蒸着物質の経路をガイドする。
ここで、前記第１蒸着源シャッター及び第２蒸着源シャッターの移動によって、前記一つ以上の蒸着源のうち一部が開放または閉鎖される。
本発明において、前記蒸着源の一側に配され、前記蒸着源で蒸発した蒸着物質の蒸着率を測定する制御センサーをさらに備える。
【００１０】
ここで、前記移動部によって前記基板が移動する間に前記制御センサーで前記蒸着物質の蒸着率が測定され、前記測定された蒸着率を用いて前記蒸着源で蒸発する蒸着物質の蒸発量が制御される。
ここで、所定の目標厚さほど前記蒸着物質を前記基板上に蒸着するために、前記制御センサーで測定される前記蒸着源の蒸着率が制御される。
本発明において、前記第１移送部及び前記第２移送部は、前記蒸着部を通過する時に前記蒸着部を貫通するように備えられる。
【００１１】
本発明において、前記第１移送部及び前記第２移送部は、上下に平行に配される。
本発明において、前記有機層蒸着装置は、前記移動部に前記基板を固定させるローディング部と、前記蒸着部を通過しつつ蒸着が完了した前記基板を前記移動部から分離させるアンローディング部と、をさらに備える。
ここで、前記第１移送部は、前記移動部を前記ローディング部、蒸着部及びアンローディング部に順次移動させる。
【００１２】
ここで前記第２移送部は、前記移動部を前記アンローディング部、蒸着部及びローディング部に順次移動させる。
本発明において、前記有機層蒸着アセンブリは、前記蒸着源で放射された前記蒸着物質は、前記パターニングスリットシートを通過して前記基板上にパターンを形成しつつ蒸着される。
【００１３】
本発明において、前記有機層蒸着アセンブリの前記パターニングスリットシートは、前記第１方向または前記第２方向のうち少なくともいずれか一方向において、前記基板より小さく形成される。
本発明において、前記蒸着源ノズル部には、第１方向に沿って複数の蒸着源ノズルが形成され、前記パターニングスリットシートには、前記第１方向に沿って複数のパターニングスリットが形成され、前記有機層蒸着装置は、前記蒸着源ノズル部と前記パターニングスリットシートとの間に前記第１方向に沿って配され、前記蒸着源ノズル部と前記パターニングスリットシートとの間の空間を複数の蒸着空間に区切る複数の遮断板を備える遮断板アセンブリをさらに備える。
【００１４】
ここで、前記複数の遮断板それぞれは、前記第１方向と実質的に垂直の第２方向に沿って延びるように形成される。
ここで、前記遮断板アセンブリは、複数の第１遮断板を備える第１遮断板アセンブリと、複数の第２遮断板を備える第２遮断板アセンブリと、を備える。
【００１５】
ここで、前記複数の第１遮断板及び前記複数の第２遮断板それぞれは、前記第１方向と実質的に垂直の第２方向に形成され、前記蒸着源ノズル部と前記パターニングスリットシートとの間の空間を複数の蒸着空間に区切る。
本発明において、前記蒸着源ノズル部には、第１方向に沿って複数の蒸着源ノズルが形成され、前記パターニングスリットシートには、前記第１方向に対して垂直の第２方向に沿って複数のパターニングスリットが形成される。
【００１６】
ここで、前記蒸着源及び前記蒸着源ノズル部と前記パターニングスリットシートとは、連結部材によって結合されて一体に形成される。
ここで、前記連結部材は、前記蒸着物質の移動経路をガイドする。
ここで、前記連結部材は、前記蒸着源及び前記蒸着源ノズル部と前記パターニングスリットシートとの間の空間を外部から蜜閉するように形成される。
【００１７】
他の側面による本発明は、基板上に有機層を形成する有機層蒸着装置を用いた有機発光ディスプレイ装置の製造方法において、移動部に前記基板が固定された状態で、チャンバを貫設された第１移送部によって前記移動部が前記チャンバ内へ移送される段階と、前記チャンバ内に配された有機層蒸着アセンブリと前記基板とが所定ほど離隔した状態で、前記基板が前記有機層蒸着アセンブリに対して相対的に移動しつつ、前記有機層蒸着アセンブリから発散した蒸着物質が前記基板に蒸着されて有機層が形成される段階と、前記基板と分離された前記移動部が、前記チャンバを貫設された第２移送部によって回送される段階と、を含み、前記有機層蒸着アセンブリは、蒸着物質を放射する一つ以上の蒸着源と、前記蒸着源の一側に配され、複数の蒸着源ノズルが形成された蒸着源ノズル部と、前記蒸着源ノズル部と対向して配され、複数のパターニングスリットが配されるパターニングスリットシートと、一方向に移動自在に形成されて前記蒸着源で蒸発した蒸着物質を遮断する蒸着源シャッターと、を備え、前記有機層が形成される段階は、前記蒸着源シャッターによって前記それぞれの蒸着源のうち一部が順次に開放または閉鎖され、前記それぞれの蒸着源の蒸着率が測定される段階を含むことを特徴とする有機発光ディスプレイ装置の製造方法を提供する。
【００１８】
本発明において、前記有機層蒸着アセンブリは、前記蒸着源の一側に形成され、前記蒸着源で蒸発する前記蒸着物質の経路をガイドする角度制御板をさらに備える。
ここで、前記蒸着源シャッターは、平板状の第１蒸着源シャッター及び第２蒸着源シャッターを備え、前記第１蒸着源シャッター及び第２蒸着源シャッターの移動によって、前記一つ以上の蒸着源のうち一部が開放または閉鎖される。
【００１９】
本発明において、前記蒸着源シャッターは、第１蒸着源シャッター及び第２蒸着源シャッターを備え、前記それぞれの蒸着源シャッターは、平板部、及び前記平板部から折り曲げられて形成された傾斜部を備える。
ここで、前記傾斜部の一端部で、前記蒸着源ノズルと対応する位置には溝が形成される。
【００２０】
ここで、前記傾斜部は、前記蒸着源で蒸発する前記蒸着物質の経路をガイドする。
ここで、前記第１蒸着源シャッター及び第２蒸着源シャッターの移動によって、前記一つ以上の蒸着源のうち一部が開放または閉鎖される。
本発明において、前記蒸着源の一側に配され、前記蒸着源で蒸発した蒸着物質の蒸着率を測定する制御センサーをさらに備える。
【００２１】
ここで、前記移動部によって前記基板が移動する間に、前記制御センサーで前記蒸着物質の蒸着率が測定され、前記測定された蒸着率を用いて、前記蒸着源で蒸発する蒸着物質の蒸発量が制御される。
本発明において、前記移動部が前記第１移送部によって移送される段階以前に、ローディング部で前記基板を移動部に固定させる段階をさらに含み、前記移動部が前記第２移送部によって回送される段階以前に、アンローディング部で蒸着が完了した前記基板を前記移動部から分離させる段階をさらに含む。
【００２２】
本発明において、前記移動部は、前記第１移送部と前記第２移送部との間を循環する。
本発明において、前記第１移送部及び前記第２移送部は、上下に平行に配される。
ここで、前記有機層蒸着アセンブリの前記パターニングスリットシートは、前記第１方向または前記第２方向のうち少なくともいずれか一方向において、前記基板より小さく形成される。
【００２３】
他の側面による本発明は、基板と、前記基板上に形成されたものであって、半導体活性層と、前記半導体活性層に絶縁されたゲート電極と、前記半導体活性層にそれぞれ当接するソース及びドレイン電極と、を備える少なくとも一つの薄膜トランジスタと、前記薄膜トランジスタ上に形成される複数の画素電極と、前記画素電極上に形成される複数の有機層と、前記有機層上に形成される対向電極と、を備え、前記基板上の少なくとも一つの前記有機層は、蒸着領域の中心から遠い側の斜辺の長さが、蒸着領域の中心から近い側の斜辺の長さより長く形成され、前記基板上の少なくとも一つの前記有機層は、請求項１に記載の有機層蒸着装置を用いて形成された線形パターンであることを特徴とする有機発光ディスプレイ装置を提供する。
【００２４】
本発明において、前記基板は、４０インチ以上のサイズを持つ。
本発明において、前記有機層は、少なくとも発光層を含む。
本発明において、前記有機層は、不均一な厚さ（ｎｏｎ−ｕｎｉｆｏｒｍｔｈｉｃｋｎｅｓｓ）を持つ。
【００２５】
本発明において、前記蒸着領域の中心から遠く形成された有機層であるほど、前記蒸着領域の中心から遠い側の斜辺の長さが長く形成される。
本発明において、前記蒸着領域に配された前記複数の有機層は、前記蒸着領域の中心から遠くなるほど前記第１方向に延設された２辺の重畳領域の幅が狭く形成される。
本発明において、前記蒸着領域の中心に配された前記有機層は、両斜辺の長さが実質的に同じく形成される。
本発明において、前記蒸着領域に配された前記有機層は、前記蒸着領域の中心を基準として対称的に配される。
【発明の効果】
【００２６】
本発明によって、大型基板の量産工程にさらに好適であり、高精細のパターニングを可能にする有機層蒸着装置、これを用いる有機発光ディスプレイ装置の製造方法及びこれによって製造された有機発光ディスプレイ装置を具現できる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明の一実施形態に関する有機層蒸着装置を概略的に示すシステム構成の平面図である。
【図２】図１の有機層蒸着装置の蒸着部を概略的に示すシステム構成の側面図である。
【図３】図１の蒸着部を概略的に示す斜視図である。
【図４】図３の蒸着部の概略的な断面図である。
【図５】図３の蒸着部の第１移送部及び移動部をさらに詳細に示す断面図である。
【図６Ａ】図３の蒸着源、角度制御板及び蒸着源シャッターの一実施形態を示す図面である。
【図６Ｂ】図３の蒸着源、角度制御板及び蒸着源シャッターの一実施形態を示す図面である。
【図６Ｃ】図３の蒸着源、角度制御板及び蒸着源シャッターの一実施形態を示す図面である。
【図７Ａ】図３の蒸着源、角度制御板及び蒸着源シャッターの他の一実施形態を示す図面である。
【図７Ｂ】図３の蒸着源、角度制御板及び蒸着源シャッターの他の一実施形態を示す図面である。
【図７Ｃ】図３の蒸着源、角度制御板及び蒸着源シャッターの他の一実施形態を示す図面である。
【図７Ｄ】図３の蒸着源、角度制御板及び蒸着源シャッターの他の一実施形態を示す図面である。
【図８】本発明の他の一実施形態による有機層蒸着アセンブリを示す図面である。
【図９】図８の有機層蒸着アセンブリの概略的な側端面図である。
【図１０】図８の有機層蒸着アセンブリの概略的な平端面図である。
【図１１】本発明の他の一実施形態による有機層蒸着アセンブリを示す図面である。
【図１２】本発明のさらに他の一実施形態による有機層蒸着アセンブリを示す図面である。
【図１３】図３の有機層蒸着装置で、パターニングスリットシートにパターニングスリットが等間隔で形成されている態様を示す図面である。
【図１４】図１３のパターニングスリットシートを用いて基板上に形成された有機層を示す図面である。
【図１５】本発明の有機層蒸着装置を用いて製造されたアクチブマトリックス型有機発光ディスプレイ装置の断面を示す図面である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下、添付した図面を参照して本発明の実施形態について、当業者が容易に行えるように詳細に説明する。本発明はいろいろな相異なる形態で具現され、ここで説明する実施形態に限定されるものではない。
図１は、本発明の一実施形態に関する有機層蒸着装置を概略的に示すシステム構成の平面図であり、図２は、図１の有機層蒸着装置の蒸着部を概略的に示すシステム構成の側面図である。
【００２９】
図１及び図２を参照すれば、本発明の一実施形態による有機層蒸着装置１は、蒸着部１００、ローディング部２００、アンローディング部３００及び移送部４００を備える。
ローディング部２００は、第１ラック２１２と、導入室２１４と、第１反転室２１８と、バッファ室２１９と、を備える。
第１ラック２１２には、蒸着される前の基板２が複数積載されており、導入室２１４に備えられた導入ロボットは、第１ラック２１２から基板２を取って第２移送部４２０から移送されてきた移動部４３０に基板２を載せた後、基板２が取り付けられた移動部４３０を第１反転室２１８に移す。
【００３０】
導入室２１４に隣接しては第１反転室２１８が備えられ、第１反転室２１８に位置している第１反転ロボットが移動部４３０を反転させ、移動部４３０を蒸着部１００の第１移送部４１０に装着する。
図１からみれば、導入室２１４の導入ロボットは、移動部４３０の上面に基板２を載せ、この状態で移動部４３０は反転室２１８に移送され、反転室２１８の第１反転ロボットが反転室２１８を反転させることで、蒸着部１００では基板２が下方に向かうように位置する。
【００３１】
アンローディング部３００の構成は、前述したローディング部２００の構成と逆に構成される。すなわち、蒸着部１００を経た基板２及び移動部４３０を、第２反転室３２８で第２反転ロボットが反転させて搬出室３２４に移送し、搬出ロボットが搬出室３２４から基板２及び移動部４３０を取り出した後、基板２を移動部４３０から分離して第２ラック３２２に積載する。基板２から分離された移動部４３０は、第２移送部４２０を介してローディング部２００に回送される。
【００３２】
しかし、本発明は必ずしもこれに限定されるものではなく、基板２が移動部４３０に最初に固定される時から移動部４３０の下面に基板２を固定させ、そのまま蒸着部１００に移送させてもよい。この場合、例えば、第１反転室２１８の第１反転ロボット及び第２反転室３２８の第２反転ロボットは不要になる。
【００３３】
蒸着部１００は、少なくとも一つの蒸着用チャンバ１０１を備える。図１及び図２による本発明の一実施形態によれば、前記蒸着部１００は、チャンバ１０１を備え、このチャンバ１０１内に複数の有機層蒸着アセンブリ１００−１、１００−２、…、１００−ｎが配される。図１に示した本発明の一実施形態によれば、前記チャンバ１０１内に第１有機層蒸着アセンブリ１００−１、第２有機層蒸着アセンブリ１００−２〜第１１有機層蒸着アセンブリ１００−１１の１１つの有機層蒸着アセンブリが設けられているが、その数は蒸着物質及び蒸着条件によって可変できる。前記チャンバ１０１は、蒸着が進む間に真空に維持される。
【００３４】
一方、図１による本発明の一実施形態によれば、前記基板２が固定された移動部４３０は、第１移送部４１０によって少なくとも蒸着部１００に、望ましくは、前記ローディング部２００、蒸着部１００及びアンローディング部３００に順次移動され、前記アンローディング部３００で基板２から分離された移動部４３０は、第２移送部４２０によってローディング部２００に回送される。
【００３５】
前記第１移送部４１０は、前記蒸着部１００を通過する時に前記チャンバ１０１を貫通するように備えられ、前記第２移送部４２０は、基板２が分離された移動部４３０を移送するように備えられる。
ここで、本発明の一実施形態による有機層蒸着装置１は、第１移送部４１０と第２移送部４２０とが上下に形成され、第１移送部４１０を通過しつつ蒸着を終えた移動部４３０がアンローディング部３００で基板２から分離された後、その下部に形成された第２移送部４２０を介してローディング部２００に回送されるように形成されることで、空間活用の効率が向上する効果を得る。
【００３６】
一方、図１の蒸着部１００は、各有機層蒸着アセンブリ１００−１の一側に蒸着源入れ替え部１９０をさらに備える。図面には詳細に図示されていないが、蒸着源入れ替え部１９０はカセット形式で形成され、それぞれの有機層蒸着アセンブリ１００−１から外部に引出されるように形成される。よって、有機層蒸着アセンブリ１００−１の蒸着源（図３の１１０参照）の入れ替えが容易になる。
図３は、図１の蒸着部を概略的に示す斜視図であり、図４は、図３の蒸着部の概略的な断面図であり、図５は、図３の蒸着部の第１移送部と移動部をさらに詳細に示す断面図である。
【００３７】
先ず、図３及び図４を参照すれば、本発明の一実施形態に関する有機層蒸着装置１の蒸着部１００は、一つ以上の有機層蒸着アセンブリ１００−１及び移送部４００を備える。
以下では、全体的な蒸着部１００の構成について説明する。
【００３８】
チャンバ１０１は中空の箱状に形成され、その内部に一つ以上の有機層蒸着アセンブリ１００−１及び移送部４００が収容される。これを他の側面で説明すれば、地面に固定されるようにフット（ｆｏｏｔ）１０２が形成され、フット１０２上に下部ハウジング１０３が形成され、下部ハウジング１０３の上部に上部ハウジング１０４が形成される。そして、チャンバ１０１は、下部ハウジング１０３及び上部ハウジング１０４をいずれも内部に収容するように形成される。この時、下部ハウジング１０３とチャンバ１０１との連結部は密封処理され、チャンバ１０１の内部を外部と完全に遮断させる。このように下部ハウジング１０３及び上部ハウジング１０４が地面に固定されたフット１０２上に形成されることで、チャンバ１０１が収縮／膨脹を繰り返しても下部ハウジング１０３及び上部ハウジング１０４は固定された位置を維持し、よって、下部ハウジング１０３及び上部ハウジング１０４が蒸着部１００内で一種の基準フレームの役割を行える。
【００３９】
一方、上部ハウジング１０４の内部には、有機層蒸着アセンブリ１００−１及び移送部４００の第１移送部４１０が形成され、下部ハウジング１０３の内部には、移送部４００の第２移送部４２０が形成されると記述できる。そして、移動部４３０が第１移送部４１０と第２移送部４２０との間を循環移動しつつ連続的に蒸着が行われる。
以下では、有機層蒸着アセンブリ１００−１の詳細構成について説明する。
【００４０】
それぞれの有機層蒸着アセンブリ１００−１は、蒸着源１１０、蒸着源ノズル部１２０、パターニングスリットシート１３０、遮断部材１４０、第１ステージ１５０、第２ステージ１６０、撮影部材１７０、センサー１８０などを備える。ここで、図３及び図４のすべての構成は、適宜な真空度が維持されるチャンバ１０１内に配されることが望ましい。これは、蒸着物質の直進性を確保するためである。
【００４１】
詳細には、蒸着源１１０から放出された蒸着物質１１５を、蒸着源ノズル部１２０及びパターニングスリットシート１３０を通過して基板２に所望のパターンで蒸着させるためには、基本的にチャンバ（図示せず）内部はＦＭＭ蒸着方法と同じ高真空状態を維持せねばならない。また、パターニングスリットシート１３０の温度が蒸着源１１０の温度より十分に低い（約１００゜以下）べきである。なぜなら、パターニングスリットシート１３０の温度が十分に低くなって初めて温度によるパターニングスリットシート１３０の熱膨脹問題を最小化できるからである。
【００４２】
このようなチャンバ１０１内には被蒸着体である基板２が配される。前記基板２は平板表示装置用基板になるが、複数の平板表示装置を形成できるマザーガラスのような大面積基板が適用される。
ここで、本発明の一実施形態では、基板２が有機層蒸着アセンブリ１００−１に対して相対的に移動しつつ蒸着が進むことを一特徴とする。
【００４３】
詳細には、既存ＦＭＭ蒸着方法では、ＦＭＭサイズが基板サイズと同一に形成されねばならない。よって、基板サイズが増加するほどＦＭＭも大型化されねばならず、これによりＦＭＭ製作が容易でなく、ＦＭＭを引張って精密なパターンでアラインすることも容易ではないという問題点がある。
【００４４】
このような問題点を解決するために、本発明の一実施形態に関する有機層蒸着アセンブリ１００−１は、有機層蒸着アセンブリ１００−１と基板２とが互いに相対的に移動しつつ蒸着されることを一特徴とする。言い換えれば、有機層蒸着アセンブリ１００−１と対向するように配された基板２が、Ｙ軸方向に沿って移動しつつ連続的に蒸着を行う。すなわち、基板２が図３の矢印Ａ方向に移動しつつスキャニング方式で蒸着が行われることである。ここで、図面には、基板２がチャンバ（図示せず）内でＹ軸方向に移動しつつ蒸着されると図示されているが、本発明の思想はこれに制限されず、基板２は固定されており、有機層蒸着アセンブリ１００−１自体がＹ軸方向に移動しつつ蒸着を行うこともできるといえる。
【００４５】
したがって、本発明の有機層蒸着アセンブリ１００−１では、従来のＦＭＭに比べて非常に小さくパターニングスリットシート１３０を作ることができる。すなわち、本発明の有機層蒸着アセンブリ１００−１の場合、基板２がＹ軸方向に沿って移動しつつ連続的に、すなわち、スキャニング方式で蒸着を行うため、パターニングスリットシート１３０のＸ軸方向及びＹ軸方向の長さのうち少なくとも一方向の長さは、基板２の長さより非常に小さく形成される。このように、従来のＦＭＭに比べて非常に小さくパターニングスリットシート１３０を作ることができるため、本発明のパターニングスリットシート１３０はその製造が容易である。すなわち、パターニングスリットシート１３０のエッチング作業や、その後の精密引張り及び溶接作業、移動及び洗浄作業などのすべての工程で、小サイズのパターニングスリットシート１３０がＦＭＭ蒸着方法に比べて有利である。また、これは、ディスプレイ装置が大型化するほどさらに有利になる。
【００４６】
このように、有機層蒸着アセンブリ１００−１と基板２とが互いに相対的に移動しつつ蒸着されるためには、有機層蒸着アセンブリ１００−１と基板２とが一定距離離隔することが望ましい。これについては、後述する。
一方、チャンバ内で前記基板２と対向する側には、蒸着物質１１５が収納及び加熱される蒸着源１１０が配される。前記蒸着源１１０内に収納されている蒸着物質１１５が気化するにつれて基板２に蒸着される。
【００４７】
詳細には、蒸着源１１０は、その内部に蒸着物質１１５が満たされる坩堝１１１と、坩堝１１１を加熱させて坩堝１１１の内部に満たされた蒸着物質１１５を坩堝１１１の一側、詳細には蒸着源ノズル部１２０側に蒸発させるためのヒータ１１２と、を備える。
蒸着源１１０の一側、詳細には、蒸着源１１０から基板２に向かう側には蒸着源ノズル部１２０が配される。ここで、本発明による有機層蒸着アセンブリは、共通層及びパターン層の蒸着に当って蒸着源ノズルが互いに異なって形成される。すなわち、図面には図示されていないが、パターン層を形成するための蒸着源ノズル部には、Ｙ軸方向、すなわち、基板２のスキャン方向に沿って複数の蒸着源ノズル１２１が形成される。これによって、Ｘ軸方向には蒸着源ノズル１２１が一つのみ存在するように蒸着源ノズル１２１を形成することで、陰影（ｓｈａｄｏｗ）の発生を大きく低減させる。一方、共通層を形成するための蒸着源ノズル部には、Ｘ軸方向に沿って複数の蒸着源ノズル１２１が形成される。これによって共通層の厚さ均一度を向上させる。
【００４８】
一方、蒸着源１１０と基板２との間には、パターニングスリットシート１３０がさらに備えられる。パターニングスリットシート１３０は、窓枠状に形成されるフレーム１３５をさらに備え、パターニングスリットシート１３０には、Ｘ軸方向に沿って複数のパターニングスリット１３１が形成される。蒸着源１１０内で気化した蒸着物質１１５は、蒸着源ノズル部１２０及びパターニングスリットシート１３０を通過して被蒸着体である基板２側に向かう。この時、前記パターニングスリットシート１３０は、従来のＦＭＭ、特にストライプタイプのマスクの製造方法と同じ方法であるエッチングにより製作される。この時、蒸着源ノズル１２１の総数よりパターニングスリット１３１の総数がさらに多く形成されることもある。
ここで、前述した蒸着源１１０（及び、これと結合された蒸着源ノズル部１２０）とパターニングスリットシート１３０とは、互いに一定距離離隔して形成される。
【００４９】
前述したように、本発明の一実施形態に関する有機層蒸着アセンブリ１００−１は、基板２に対して相対的に移動しつつ蒸着を行い、このように有機層蒸着アセンブリ１００−１が基板２に対して相対的に移動するために、パターニングスリットシート１３０は基板２から一定距離離隔して形成される。
詳細には、従来のＦＭＭ蒸着方法では、基板に陰影が生じないように基板にマスクを密着させて蒸着工程を進めた。しかし、このように基板にマスクを密着させる場合、基板とマスクとの接触による不良問題が発生するという問題点があった。また、マスクを基板に対して移動させられないため、マスクが基板と同じサイズに形成されねばならない。よって、ディスプレイ装置の大型化につれてマスクのサイズも大きくならねばならないが、このような大型マスクを形成し難いという問題点があった。
【００５０】
このような問題点を解決するために、本発明の一実施形態に関する有機層蒸着アセンブリ１００−１では、パターニングスリットシート１３０を、被蒸着体である基板２と所定間隔を置いて離隔して配置させる。
このような本発明によってマスクを基板より小さく形成した後、マスクを基板に対して移動させつつ蒸着を行えるようになることで、マスク製作が容易になる効果が得られる。また、基板とマスクとの接触による不良を防止する効果が得られる。また、工程で基板とマスクとを密着させる時間が不要になるため、製造速度が向上する効果が得られる。
【００５１】
次いで、上部ハウジング１０４内の各構成要素の具体的な配置は、次の通りである。
先ず、上部ハウジング１０４の底部分には前述した蒸着源１１０及び蒸着源ノズル１２１が配される。そして、蒸着源１１０及び蒸着源ノズル１２１の両側には載置部１０４−１が突設され、載置部１０４−１上には第１ステージ１５０、第２ステージ１６０及び前述したパターニングスリットシート１３０が順次に形成される。
【００５２】
ここで、第１ステージ１５０は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に移動自在に形成されて、パターニングスリットシート１３０をＸ軸方向及びＹ軸方向にアラインする機能を行う。すなわち、第１ステージ１５０は複数のアクチュエータを備え、上部ハウジング１０４に対して第１ステージ１５０がＸ軸方向及びＹ軸方向に移動するように形成されることである。
【００５３】
一方、第２ステージ１６０はＺ軸方向に移動自在に形成されて、パターニングスリットシート１３０をＺ軸方向にアラインする機能を行う。すなわち、第２ステージ１６０は複数のアクチュエータを備え、第１ステージ１５０に対して第２ステージ１６０がＺ軸方向に移動するように形成されることである。
【００５４】
一方、第２ステージ１６０上にはパターニングスリットシート１３０が形成される。このように、パターニングスリットシート１３０が第１ステージ１５０及び第２ステージ１６０上に形成されて、パターニングスリットシート１３０がＸ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に移動自在に形成されることで、基板２とパターニングスリットシート１３０とのアライン、特にリアルタイムアラインを行える。
【００５５】
さらには、上部ハウジング１０４、第１ステージ１５０及び第２ステージ１６０は、蒸着源ノズル１２１を通じて排出される蒸着物質が分散されないように蒸着物質の移動経路をガイドする役割を同時に行える。すなわち、上部ハウジング１０４、第１ステージ１５０及び第２ステージ１６０によって蒸着物質の経路が密閉されて、蒸着物質のＸ軸方向及びＹ軸方向移動を同時にガイドすることもできる。
一方、パターニングスリットシート１３０と蒸着源１１０との間には、基板２の非成膜領域に有機物の蒸着を防止するための遮断部材１４０がさらに備えられてもよい。図面には詳細に図示されていないが、遮断部材１４０は、互いに隣接する２つのプレートで構成される。このような遮断部材１４０によって基板２の非成膜領域が選り分けられることで、別途の構造物なしにも簡便に基板２の非成膜領域への有機物の蒸着が防止される効果が得られる。
【００５６】
以下では、被蒸着体である基板２を移送する移送部４００について詳細に説明する。図３、図４及び図５を参照すれば、移送部４００は、第１移送部４１０及び第２移送部４２０及び移動部４３０を備える。
第１移送部４１０は、有機層蒸着アセンブリ１００−１によって基板２上に有機層が蒸着されるように、キャリア４３１及びこれと結合された静電チャック４３２を備える移動部４３０と、移動部４３０に取り付けられている基板２とをインラインで移送する役割を行う。このような第１移送部４１０は、コイル４１１、ガイド部４１２、上面磁気浮上弁４１３、側面磁気浮上弁４１４、ギャップセンサー４１５、４１６を備える。
【００５７】
第２移送部４２０は、蒸着部１００を通過しつつ１回の蒸着が完了した後、アンローディング部３００から基板２が分離された移動部４３０をローディング部２００に回送する役割を行う。このような第２移送部４２０は、コイル４２１、ローラーガイド４２２及びチャージングトラック４２３を備える。
移動部４３０は、第１移送部４１０及び第２移送部４２０に沿って移送されるキャリア４３１と、キャリア４３１の一面上に結合されて基板２が取り付けられる静電チャック４３２とを備える。
【００５８】
以下では、移送部４００の各構成要素についてさらに詳細に説明する。
先ず、移動部４３０のキャリア４３１について詳細に説明する。
キャリア４３１は、本体部４３１ａ、ＬＭＳマグネット（ＬｉｎｅａｒｍｏｔｏｒｓｙｓｔｅｍＭａｇｎｅｔ）４３１ｂ、ＣＰＳモジュール（ＣｏｎｔａｃｔｌｅｓｓｐｏｗｅｒｓｕｐｐｌｙＭｏｄｕｌｅ）４３１ｃ、電源部４３１ｄ及びガイド溝４３１ｅを備える。一方、キャリア４３１は、カムフォロワー４３１ｆをさらに備える。
【００５９】
本体部４３１ａは、キャリア４３１の基底部をなし、鉄のような磁性体に形成される。このようなキャリア４３１の本体部４３１ａと、後述する磁気浮上弁４１３、４１４との斥力によって、キャリア４３１がガイド部４１２に対して一定距離離隔した状態を維持する。
本体部４３１ａの両側面にはガイド溝４３１ｅが形成される。そして、このようなガイド溝４３１ｅ内には、ガイド部４１２のガイド突起４１２ｅが収容される。
【００６０】
本体部４３１ａの進行方向の中心線に沿ってマグネチックレール４３１ｂが形成される。本体部４３１ａのマグネチックレール４３１ｂと後述するコイル４１１とが結合してリニアモータを構成でき、このようなリニアモータによってキャリア４３１がＡ方向に移送される。
本体部４３１ａでマグネチックレール４３１ｂの一側には、ＣＰＳモジュール４３１ｃ及び電源部４３１ｄがそれぞれ形成される。電源部４３１ｄは、静電チャック４３２が基板２をチャッキングし、これを維持するように電源を提供するための一種の充電用バッテリーであり、ＣＰＳモジュール４３１ｃは、電源部４３１ｄを充電するための無線充電モジュールである。詳細には、後述する第２移送部４２０に形成されたチャージングトラック４２３は、インバータ（図示せず）と連結されて、キャリア４３１が第２移送部４２０内で移送される時、チャージングトラック４２３とＣＰＳモジュール４３１ｃとの間に磁場が形成されてＣＰＳモジュール４３１ｃに電力を供給する。そして、ＣＰＳモジュール４３１ｃに供給された電力は、電源部４３１ｄを充電する。
【００６１】
一方、静電チャック４３２は、セラミックスからなる本体の内部に電源が印加される電極が埋め立てられたものであり、この電極に高電圧が印加されることで本体の表面に基板２取り付ける。
次いで、移動部４３０の駆動について詳細に説明する。
本体部４３１ａのマグネチックレール４３１ｂとコイル４１１とが結合して駆動部を構成する。ここで、駆動部は、リニアモータでありうる。リニアモータは、従来の摺動案内システムに比べて摩擦係数が小さく、かつ位置誤差がほとんど発生しなくて位置決定度が非常に高い装置である。前述したように、リニアモータは、コイル４１１及びマグネチックレール４３１ｂで形成され、マグネチックレール４３１ｂがキャリア４３１上に一列に配され、コイル４１１は、マグネチックレール４３１ｂと対向するようにチャンバ１０１内の一側に複数が一定間隔に配される。このように移動物体であるキャリア４３１にコイル４１１ではないマグネチックレール４３１ｂが配されるので、キャリア４３１に電源を印加しなくてもキャリア４３１の駆動が可能になる。ここで、コイル４１１は、ＡＴＭボックス（ａｔｍｏｓｐｈｅｒｅｂｏｘ）内に形成されて待機状態で設けられ、マグネチックレール４３１ｂはキャリア４３１に取り付けられ、真空のチャンバ１０１内でキャリア４３１が走行可能になる。
【００６２】
次いで、第１移送部４１０及び移動部４３０について詳細に説明する。
図４及び図５を参照すれば、第１移送部４１０は、基板２を固定させている静電チャック４３２及びこれを移送するキャリア４３１を移動させる役割を行う。ここで、第１移送部４１０は、コイル４１１、ガイド部４１２、上面磁気浮上弁４１３、側面磁気浮上弁４１４、ギャップセンサー４１５、４１６を備える。
【００６３】
コイル４１１及びガイド部４１２は、それぞれ上部ハウジング１０４の内部面に形成され、このうちコイル４１１は、上部ハウジング１０４の上側内部面に形成され、ガイド部４１２は、上部ハウジング１０４の両側内部面に形成される。コイル４１１については、図１２などで後述する。
ガイド部４１２は、キャリア４３１が一方向に移動するようにガイドする役割を行う。この時、ガイド部４１２は、蒸着部１００を貫設される。
【００６４】
詳細には、ガイド部４１２はキャリア４３１の両側を収容し、キャリア４３１が図３のＡ方向に沿って移動するようにガイドする役割を行う。ここで、ガイド部４１２は、キャリア４３１の下側に配される第１収容部４１２ａ、キャリア４３１の上側に配される第２収容部４１２ｂ、及び第１収容部４１２ａと第２収容部４１２ｂとを連結する連結部４１２ｃを備える。第１収容部４１２ａ、第２収容部４１２ｂ及び連結部４１２ｃによって収容溝４１２ｄが形成される。キャリア４３１の両側が収容溝４１２ｄにそれぞれ収容され、収容溝４１２ｄに沿ってキャリア４３１が移動する。
【００６５】
側面磁気浮上弁４１４は、キャリア４３１の両側面に対応するようにガイド部４１２の連結部４１２ｃ内にそれぞれ配される。側面磁気浮上弁４１４は、キャリア４３１とガイド部４１２との間に間隔を発生させて、キャリア４３１の移動時にガイド部４１２と接触せずに非接触方式でガイド部４１２に沿って移動するようにする役割を行う。すなわち、左側の側面磁気浮上弁４１４と磁性体であるキャリア４３１との間に発生する斥力Ｒ１と、右側の側面磁気浮上弁４１４と磁性体であるキャリア４３１との間に発生する斥力Ｒ２とが互いに平衡をなしつつキャリア４３１とガイド部４１２との間隔を発生させると同時に、その間隔を一定に維持する。
【００６６】
一方、上部磁気浮上弁４１３は、キャリア４３１の上部に位置するように第２収容部４１２ｂに配される。上部磁気浮上弁４１３は、キャリア４３１が第１収容部４１２ａ及び第２収容部４１２ｂに接触せず、これらと一定間隔を維持しつつガイド部４１２に沿って移動するようにする役割を行う。すなわち、上部磁気浮上弁４１３と磁性体であるキャリア４３１との間に発生する斥力Ｒ３と重力Ｇとが互いに平衡をなしつつキャリア４３１とガイド部４１２との間隔を発生させると同時に、その間隔を一定に維持する。
【００６７】
ガイド部４１２は、ギャップセンサー４１５をさらに備える。ギャップセンサー４１５は、キャリア４３１とガイド部４１２との間隔を測定する。図１１を参照すれば、ギャップセンサー４１５は、キャリア４３１の下部に対応するように第１収容部４１２ａに配される。第１収容部４１２ａに配されたギャップセンサー４１５は、第１収容部４１２ａとキャリア４３１との間隔を測定する。また、側面磁気浮上弁４１４の一側にもギャップセンサー４１６が配される。側面磁気浮上弁４１４に配されたギャップセンサー４１６は、キャリア４３１の側面と側面磁気浮上弁４１４との間隔を測定する。本発明はこれに限定されず、ギャップセンサー４１６は連結部４１２ｃに配されてもよい。
【００６８】
ギャップセンサー４１５、４１６によって測定された値によって磁気浮上弁４１３、４１４の磁気力が変更され、キャリア４３１とガイド部４１２との間隔がリアルタイムで調節される。すなわち、磁気浮上弁４１３、４１４及びギャップセンサー４１５、４１６を用いたフィードバック制御によってキャリア４３１の精密移動が可能である。
次いで、第２移送部４２０及び移動部４３０について詳細に説明する。
再び図４を参照すれば、第２移送部４２０は、アンローディング部３００で基板が分離された後の静電チャック４３２及びこれを移送するキャリア４３１を再びローディング部２００に移動させる役割を行う。ここで、第２移送部４２０は、コイル４２１、ローラーガイド４２２、チャージングトラック４２３を備える。
【００６９】
詳細には、コイル４２１、ローラーガイド４２２及びチャージングトラック４２３は、それぞれ下部ハウジング１０３の内部面に形成され、このうちコイル４２１及びチャージングトラック４２３は、下部ハウジング１０３の上側内部面に形成され、ローラーガイド４２２は、下部ハウジング１０３の両側内部面に形成される。ここで、図面には図示されていないが、コイル４２１は、第１移送部４１０のコイル４１１と同様にＡＴＭボックス内に形成される。
【００７０】
一方、第１移送部４１０と同様に第２移送部４２０もコイル４２１を備え、キャリア４３１の本体部４３１ａのマグネチックレール４３１ｂとコイル４２１とが結合して駆動部を構成し、ここで駆動部は、リニアモータでありうる。このようなリニアモータによって、キャリア４３１が図３のＡ方向の逆方向に沿って移動する。
一方、ローラーガイド４２２は、キャリア４３１が一方向に移動するようにガイドする役割を行う。この時、ローラーガイド４２２は、蒸着部１００を貫設される。詳細には、ローラーガイド４２２は、キャリア４３１の両側に形成されたカムフォロワー４３１ｆを支持し、キャリア４３１が図３のＡ方向の逆方向に沿って移動するようにガイドする役割を行う。すなわち、キャリア４３１の両側に形成されたカムフォロワー４３１ｆがローラーガイド４２２に沿って回転しつつキャリア４３１が移動する。ここで、カムフォロワー４３１ｆは、弁の一種であり、特定の動作を正確に繰り返すのに使われる。このようなカムフォロワー４３１ｆは、キャリア４３１の側面に複数が形成され、キャリア４３１が第２移送部４２０内での移送時に輪（ｗｈｅｅｌ）の役割を行う。このようなカムフォロワー４３１ｆについての詳細な説明は、本明細書では略する。
【００７１】
結果的に、第２移送部４２０は、基板に有機物を蒸着する段階ではない、空いているキャリア４３１を回送する段階であるため、第１移送部４１０に比べて位置精密度があまり大きく要求されない。よって、高い位置精密度が要求される第１移送部４１０には、磁気浮上を適用して位置精密度を確保し、相対的に低い位置精密度が要求される第２移送部４２０には、従来のローラー方式を適用してコストを低め、有機層蒸着装置の構成を簡単にする。もちろん、図面には図示されていないが、第２移送部４２０にも、第１移送部４１０と同様に磁気浮上を適用することもできるといえる。
【００７２】
一方、本発明の一実施形態による薄膜蒸着装置１の有機層蒸着アセンブリ１００−１は、アラインのためのカメラ１７０及びセンサー１８０をさらに備える。詳細には、カメラ１７０は、パターニングスリットシート１５０のフレーム１５５に形成された第１マーク（図示せず）と、基板２に形成された第２マーク（図示せず）とをリアルタイムでアラインする。一方、センサー１８０は、共焦点センサーである。このようにカメラ１７０及びセンサー１８０を備え、リアルタイムで基板２とパターニングスリットシート１３０との間隔を測定可能になり、したがって、リアルタイムで基板２とパターニングスリットシート１３０とをアライン可能になることで、パターンの位置精密度がさらに向上する効果が得られる。
【００７３】
以下では、有機層蒸着装置１の蒸着源、角度制御板及び蒸着源シャッターについてさらに詳細に説明する。
図６Ａ、図６Ｂ及び図６Ｃは、図３の蒸着源、角度制御板及び蒸着源シャッターの一実施形態を示す図面である。
図６Ａ、図６Ｂ及び図６Ｃを参照すれば、蒸着源１１０の一側には、蒸着源１１０を取り囲むように形成され、蒸着源１１０で蒸発する蒸着物質の経路をガイドする角度制御板１４５がさらに備えられる。このような角度制御板１４５は、それぞれの蒸着源１１０の両側に略‘┐’形状に形成されて、蒸着源１１０で蒸発する蒸着物質の発散経路を制限し、蒸着物質の直進性を向上させる役割を行う。すなわち、蒸着源１１０で蒸発した蒸着物質のうち垂直に近い角度で進む蒸着物質は、角度制御板１４５と衝突せずに基板２側に進むのに対し、蒸着源１１０で蒸発した蒸着物質のうち一定角度以下で斜めに進む蒸着物質は、角度制御板１４５と衝突して角度制御板１４５に蒸着される。このような角度制御板１４５によって蒸着物質の直進性が確保され、したがって、陰影の発生が大きく減少する効果が得られる。
【００７４】
一方、角度制御板１４５の一側、詳細には、角度制御板１４５とパターニングスリットシート１３０との間には蒸着源シャッター１４１、１４２がさらに備えられる。このような蒸着源シャッターは、第１蒸着源シャッター１４１及び第２蒸着源シャッター１４２を備え、それぞれ平板プレート状に形成され、基板２の移動方向（Ａ方向）と同じ方向に移動自在に形成される。このような蒸着源シャッター１４１、１４２は、ツーリング作業時に他の蒸着源から出る蒸着物質を遮断する役割を行える。以下では、これについてさらに詳細に説明する。
【００７５】
詳細には、有機発光素子の特性は、成膜される有機物の厚さに相当部分依存している。したがって、優秀な品質の有機発光ディスプレイ装置を製作するためには、成膜前に成膜されるあらゆる有機物の厚さを補正するツーリング作業が必須に要求されている。ここで、ツーリング作業とは、成膜される有機物に対して、素子（例えば、ＴＦＴ）が蒸着されていない基板に一定の蒸着率で蒸着を行い、このように蒸着された基板を、エリプソメータなどの厚さを測定できる分析機器を用いて有機物の蒸着された厚さを測定した後、このように測定された厚さを用いて有機物のツーリングファクタ（ｔｏｏｌｉｎｇｆａｃｔｏｒ、Ｔ／Ｆ）を変更するか、または蒸着率を調整して所望の厚さで蒸着する工程を意味する。ここで、ツーリングファクタとは、実際のセンサーで測定された有機膜の厚さと目標とする有機膜の厚さとの比に基づいた、ツーリング工程での制御パラメータを意味する。
【００７６】
ところで、このように基板に成膜される有機物に対するツーリングを進めれば、成膜される有機物の種類別、各蒸着源別あるいは各アセンブリ別にツーリングをそれぞれ進めねばならない。例えば、図１に示した有機層蒸着装置１の場合、総１１個の有機層蒸着アセンブリを持ち、それぞれの有機層蒸着アセンブリは３つの蒸着源を持つため、各蒸着源に対してツーリングをいずれも行うためには、総計３３回のツーリングが進まねばならない。この時、一つの有機層蒸着アセンブリ内の各蒸着源をそれぞれツーリングするためには、一つの蒸着源で蒸着が進む時、他の２つの蒸着源で発散する蒸着物質は遮断されねばならない。
【００７７】
このために、本発明の一実施形態による有機層蒸着装置１では蒸着源シャッター１４１、１４２を備え、ツーリング作業時に対象蒸着源以外の他の蒸着源から出る蒸着物質を遮断することを一特徴とする。
すなわち、図６Ａに示したように、一般的な蒸着工程進行時には蒸着源シャッター１４１、１４２全体が開放され、一つの有機層蒸着アセンブリ１００−１内の３つの蒸着源１１０ａ、１１０ｂ、１１０ｃによって基板２に有機層が蒸着される。
【００７８】
一方、図６Ｂ及び図６Ｃに示したように、一つの有機層蒸着アセンブリ１００−１内の３つの蒸着源１１０ａ、１１０ｂ、１１０ｃのうちいずれか一つに対してツーリング工程を進める時は、蒸着源シャッター１４１、１４２を制御してツーリング工程を進める該蒸着源のみ開放し、他の２つの蒸着源は閉鎖する。
このような本発明の構成によって、蒸着源、角度制御板及び蒸着源シャッターを個別的に制御することで、ツーリング工程を進める際して各蒸着源別に正確に厚さ測定が可能になり、成膜均一度が向上する効果が得られる。
【００７９】
図７Ａ、図７Ｂ、図７Ｃ及び図７Ｄは、図３の蒸着源、角度制御板及び蒸着源シャッターの他の一実施形態を示す図面である。
図７Ａ、図７Ｂ、図７Ｃ及び図７Ｄを参照すれば、本実施形態では、前述した実施形態の角度制御板と蒸着源シャッターとの機能を合わせた単一の蒸着源シャッターを使うことを一特徴とする。これをさらに詳細に説明すれば、次の通りである。
前述した第１実施形態の角度制御板の場合、蒸着源中央部にノズル配置が集中していることで、蒸着源使用時間の増加によって中央ノズル部周りの角度制御板に蒸着物質が過度に成膜される。このように過度に成膜された蒸着物質は蒸着源から出る蒸着物質の経路を妨害し、基板に成膜される蒸着物質の成膜プロファイルにまで影響を及ぼす。
【００８０】
このような問題点を解決するために、本実施形態において、蒸着源（図３の１１０参照）及びパターニングスリットシート（図３の１３０参照）には、蒸着源シャッター１４３、１４４が備えられる。このような蒸着源シャッターは、第１蒸着源シャッタ１４３と第２蒸着源シャッター１４４を備え、基板２の移動方向（Ａ方向）と同じ方向に移動自在に形成される。このような蒸着源シャッター１４３、１４４は、ツーリング作業時に他の蒸着源から出る蒸着物質を遮断する役割を行える。さらには、蒸着源シャッター１４３、１４４は、蒸着源１１０を取り囲むように形成され、蒸着源１１０で蒸発する蒸着物質の経路をガイドする役割を行える。
【００８１】
本実施形態の蒸着源シャッタ１４３の斜視図である図７Ｄを参照すれば、蒸着源シャッタ１４３は、平板部１４３ａ及び傾斜部１４３ｂを備え、傾斜部１４３ｂの一端部には溝１４３ｃがさらに形成される。すなわち、既存の蒸着源シャッターの役割を行った平板部１４３ａの一端部に、既存の角度制御板の役割を行う傾斜部１４３ｂが折り曲げ形成されることで、角度制御板と蒸着源シャッターとの機能を合わせた単一の蒸着源シャッターが備えられる。
【００８２】
すなわち、図７Ａに示したように、一般的な蒸着工程進行時には蒸着源シャッター１４３、１４４全体が開放されて、一つの有機層蒸着アセンブリ１００−１内の３つの蒸着源１１０ａ、１１０ｂ、１１０ｃによって基板２に有機層が蒸着される。この時、蒸着源シャッター１４３、１４４の傾斜部１４３ｂ、１４４ｂは、角度制御板の役割を行い、蒸着源１１０で蒸発する蒸着物質の発散経路を制限し、蒸着物質の直進性を向上させる役割を行う。すなわち、蒸着源１１０で蒸発した蒸着物質のうち垂直に近い角度で進む蒸着物質は、蒸着源シャッター１４３、１４４の傾斜部１４３ｂ、１４４ｂと衝突せずに基板２側に進むのに対し、蒸着源１１０で蒸発した蒸着物質のうち一定角度以下で斜めに進む蒸着物質は、蒸着源シャッター１４３、１４４の傾斜部１４３ｂ、１４４ｂと衝突して傾斜部１４３ｂ、１４４ｂに蒸着される。このような蒸着源シャッター１４３、１４４によって蒸着物質の直進性が確保され、したがって、陰影の発生が大きく低減する効果が得られる。
【００８３】
一方、図７Ｂ及び図７Ｃに示したように、一つの有機層蒸着アセンブリ１００−１内の３つの蒸着源１１０ａ、１１０ｂ、１１０ｃのうちいずれか一つに対してツーリング工程を進める時は、蒸着源シャッター１４３、１４４を制御してツーリング工程を進める該蒸着源のみ開放し、他の２つの蒸着源は閉鎖する。
このような本発明の構成によって、蒸着源及び蒸着源シャッターを個別的に制御することで、ツーリング工程の進行に当って各蒸着源別に正確な厚さの測定が可能になり、成膜均一度が向上する効果が得られる。
【００８４】
一方、図面には図示されていないが、本発明の一実施形態による薄膜蒸着装置１の有機層蒸着アセンブリ１００−１は、基板２に成膜される有機物の厚さを制御するために、制御センサー、補正用センサー及びセンサーシャッターなどをさらに備え、リアルタイムで有機物の成膜厚さをモニタリング及び補正できる。すなわち、制御センサー、補正用センサー及びセンサーシャッターを用いて、最初の有機物成膜では各有機物別に成膜を進め、エリプソメータなどの分析機器を用いて厚さを確認する。次いで、各有機物が収容された蒸着源にツーリングファクタを反映した後、その時の蒸着率をモニタリングセンサーで確認し、その時のモニタリングセンサーによる蒸着率は、今後成膜の進行時にモニタリングする基準値になる。
【００８５】
図８は、本発明の他の一実施形態による有機層蒸着アセンブリを概略的に示す斜視図であり、図９は、図８の有機層蒸着アセンブリの概略的な側端面図であり、図１０は、図８の有機層蒸着アセンブリの概略的な平端面図である。
図８ないし図１０を参照すれば、本発明の一実施形態に関する有機層蒸着アセンブリ７００は、蒸着源７１０、蒸着源ノズル部７２０、遮断板アセンブリ７３０及びパターニングスリットシート７５０を備える。
【００８６】
ここで、蒸着源７１０は、その内部に蒸着物質７１５が満たされる坩堝７１１と、坩堝７１１を加熱させて坩堝７１１の内部に満たされた蒸着物質７１５を蒸着源ノズル部７２０側に蒸発させるためのヒータ７１２と、を備える。一方、蒸着源７１０の一側には、蒸着源ノズル部７２０が配され、蒸着源ノズル部７２０には、Ｘ軸方向に沿って複数の蒸着源ノズル７２１が形成される。
【００８７】
一方、蒸着源ノズル部７２０の一側には遮断板アセンブリ７３０が備えられる。前記遮断板アセンブリ７３０は、複数の遮断板７３１と、遮断板７３１の外側に備えられる遮断板フレーム７３２と、を備える。前記複数の遮断板７３１は、Ｘ軸方向に沿って互いに平行に配される。ここで、前記複数の遮断板７３１は等間隔で形成される。また、それぞれの遮断板７３１は、図面からみれば、ＹＺ平面に沿って延びており、望ましくは、長方形に備えられる。このように配された複数の遮断板７３１は、蒸着源ノズル部７２０とパターニングスリット７５０との間の空間を複数の蒸着空間Ｓに区切る。すなわち、本発明の一実施形態に関する有機層蒸着アセンブリ７００は、前記遮断板７３１によって、図８に示したように、蒸着物質が噴射されるそれぞれの蒸着源ノズル７２１別に蒸着空間Ｓが分離される。このように、遮断板７３１が、蒸着源ノズル部７２０とパターニングスリットシート７５０との間の空間を複数の蒸着空間Ｓに区切ることで、一つの蒸着源ノズル７２１から排出される蒸着物質は、他の蒸着源ノズル７２１から排出された蒸着物質と混合されず、パターニングスリット７５１を通過して基板２に蒸着される。すなわち、前記遮断板７３１は、各蒸着源ノズル７２１を通じて排出される蒸着物質が分散されずにＺ軸方向に直進するように、蒸着物質の移動経路をガイドする役割を行う。
【００８８】
このように、遮断板７３１を備えて蒸着物質の直進性を確保することで、基板に形成される陰影のサイズを大幅に縮めて、有機層蒸着アセンブリ７００と基板２とを一定距離離隔させることができる。
一方、蒸着源７１０と基板２との間にはパターニングスリットシート７５０がさらに備えられる。パターニングスリットシート７５０は、窓枠状に形成されるフレーム７５５をさらに備え、パターニングスリットシート７５０には、Ｘ軸方向に沿って複数のパターニングスリット７５１が形成される。蒸着源７１０内で気化した蒸着物質７１５は、蒸着源ノズル部７２０及びパターニングスリットシート７５０を通過して被蒸着体である基板２側に向かう。
【００８９】
図１１は、本発明の他の一実施形態に関する有機層蒸着アセンブリを概略的に示す斜視図である。
図１１に示した実施形態に関する有機層蒸着アセンブリ８００は、蒸着源８１０、蒸着源ノズル部８２０、第１遮断板アセンブリ８３０、第２遮断板アセンブリ８４０、パターニングスリットシート８５０を備える。ここで、蒸着源８１０、第１遮断板アセンブリ８３０及びパターニングスリットシート８５０の詳細な構成は、前述した図８による実施形態と同一であるので、詳細な説明を略する。本実施形態では、第１遮断板アセンブリ８３０の一側に第２遮断板アセンブリ８４０が備えられるという点で前述した実施形態と区別される。
【００９０】
詳細には、前記第２遮断板アセンブリ８４０は、複数の第２遮断板８４１と、第２遮断板８４１の外側に備えられる第２遮断板フレーム８４２と、を備える。前記複数の第２遮断板８４１は、Ｘ軸方向に沿って互いに平行に備えられる。そして、前記複数の第２遮断板８４１は等間隔で形成される。また、それぞれの第２遮断板８４１は、図面からみた時にＹＺ平面と平行になるように、言い換えれば、Ｘ軸方向に垂直になるように形成される。
【００９１】
このように配された複数の第１遮断板８３１及び第２遮断板８４１は、蒸着源ノズル部８２０とパターニングスリットシート８５０との間の空間を区切る役割を行う。すなわち、前記第１遮断板８３１及び第２遮断板８４１によって、蒸着物質が噴射されるそれぞれの蒸着源ノズル８２１別に蒸着空間が分離されることを一特徴とする。
【００９２】
ここで、それぞれの第２遮断板８４１は、それぞれの第１遮断板８３１と一対一に対応するように配される。言い換えれば、それぞれの第２遮断板８４１は、それぞれの第１遮断板８３１とアラインされて互いに平行に配される。すなわち、互いに対応する第１遮断板８３１と第２遮断板８４１とは互いに同じ平面上に位置する。図面には、第１遮断板８３１の長さと第２遮断板８４１のＸ軸方向の幅とが同一であると図示されているが、本発明の思想はこれに制限されるものではない。すなわち、パターニングスリット８５１との精密なアラインが要求される第２遮断板８４１は相対的に薄く形成される一方、精密なアラインが要求されない第１遮断板８３１は相対的に厚く形成されて、その製造を容易にすることもできる。
【００９３】
図１２は、本発明のさらに他の一実施形態による有機層蒸着アセンブリを概略的に示す斜視図である。
図１２を参照すれば、本発明のさらに他の一実施形態による有機層蒸着アセンブリ９００は、蒸着源９１０、蒸着源ノズル部９２０及びパターニングスリットシート９５０を備える。
【００９４】
ここで、蒸着源９１０は、その内部に蒸着物質９１５が満たされる坩堝９１１と、坩堝９１１を加熱させて坩堝９１１の内部に満たされた蒸着物質９１５を蒸着源ノズル部９２０側に蒸発させるためのヒータ９１２と、を備える。一方、蒸着源９１０の一側には蒸着源ノズル部９２０が配され、蒸着源ノズル部９２０にはＹ軸方向に沿って複数の蒸着源ノズル９２１が形成される。一方、蒸着源９１０と基板２との間にはパターニングスリットシート９５０及びフレーム９５５がさらに備えられ、パターニングスリットシート９５０には、Ｘ軸方向に沿って複数のパターニングスリット９５１及びスペーサ９５２が形成される。そして、蒸着源９１０及び蒸着源ノズル部９２０とパターニングスリットシート９５０とは、連結部材９３５によって結合される。
【００９５】
本実施形態は、前述した実施形態に比べて蒸着源ノズル部９２０に備えられた複数の蒸着源ノズル９２１の配置が相異なるため、これについて詳細に説明する。
蒸着源９１０の一側、詳細には、蒸着源９１０から基板２に向かう側には蒸着源ノズル部９２０が配される。そして、蒸着源ノズル部９２０には、Ｙ軸方向、すなわち、基板２のスキャン方向に沿って複数の蒸着源ノズル９２１が形成される。ここで、前記複数の蒸着源ノズル９２１は等間隔で形成される。蒸着源９１０内で気化した蒸着物質９１５は、このような蒸着源ノズル部９２０を通過して被蒸着体である基板２側に向かう。結果的に、一つの有機層蒸着アセンブリ９００−１内には、基板２のスキャン方向に沿って複数の蒸着源ノズル９２１が形成される。この場合、Ｘ軸方向において蒸着源ノズル９２１が複数備えられるならば、各蒸着源ノズル９２１とパターニングスリット９５１との距離がそれぞれ異なり、この時、パターニングスリット９５１との距離が遠い蒸着源ノズル９２１で発散した蒸着物質によって陰影が発生する。よって、本発明のように、Ｘ軸方向には蒸着源ノズル９２１が一つのみ存在するように蒸着源ノズル９２１を形成することで、陰影の発生を大きく低減させる。また、複数の蒸着源ノズル９２１がスキャン方向に存在するので、個別蒸着源ノズル間にフラックス（ｆｌｕｘ）差が発生しても、その差が相殺されて蒸着均一度が一定に維持される効果が得られる。
【００９６】
以下では、本発明の一実施形態に関する有機層蒸着装置によって形成された有機層の構成について詳細に説明する。
図１３は、有機層蒸着装置において、パターニングスリットシートにパターニングスリットが等間隔で形成されている態様を示す図面であり、図１４は、図１３のパターニングスリットシートを用いて基板上に形成された有機層を示す図面である。
図１３及び図１４には、パターニングスリット１３１が等間隔で配されたパターニングスリットシート１５０が図示されている。すなわち、図１３で、ｌ１＝ｌ２＝ｌ３＝ｌ４の関係が成立する。
【００９７】
この場合、蒸着空間Ｓの中心線Ｃを過ぎる蒸着物質の入射角度は、基板２にほぼ垂直になる。よって、パターニングスリット１３１ａを通過した蒸着物質によって形成される有機層Ｐ１は、その陰影のサイズは最小になり、右側陰影ＳＲ１と左側陰影ＳＬ１とが対称をなすように形成される。
しかし、蒸着空間Ｓの中心線Ｃから遠く配されたパターニングスリットを過ぎる蒸着物質のしきい入射角度θは段々大きくなり、最端部分のパターニングスリット１３１ｅを過ぎる蒸着物質のしきい入射角度θは、約５５゜になる。よって、蒸着物質がパターニングスリット１３１ｅに対して傾いて入射し、パターニングスリット１３１ｅを通過した蒸着物質によって形成された有機層Ｐ５は、その陰影のサイズが最大になり、特に、左側陰影ＳＲ５が右側陰影ＳＲ５よりさらに長く形成される。
【００９８】
すなわち、蒸着物質のしきい入射角度θが大きくなるにつれて陰影のサイズも大きくなり、特に、蒸着空間Ｓの中心線Ｃから遠い側の陰影のサイズが大きくなる。そして、蒸着物質のしきい入射角度θは、蒸着空間Ｓの中心部からパターニングスリットまでの距離が遠いほど大きくなる。よって、蒸着空間Ｓの中心線Ｃからパターニングスリットまでの距離が遠い有機層であるほど陰影のサイズが大きくなり、特に、有機層の両端部の陰影のうち蒸着空間Ｓの中心線Ｃから遠い側の陰影のサイズがさらに大きくなる。
【００９９】
すなわち、図１４からみれば、蒸着空間Ｓの中心線Ｃを基準として左側に形成された有機層は、左側斜辺が右側斜辺よりさらに長く形成され、蒸着空間Ｓの中心線Ｃを基準として右側に形成された有機層は、右側斜辺が左側斜辺よりさらに長く形成される。
また、蒸着空間Ｓの中心線Ｃを基準として左側に形成された有機層は、左側に形成された有機層であるほど左側斜辺の長さがさらに長く形成され、蒸着空間Ｓの中心線Ｃを基準として右側に形成された有機層は、右側に形成された有機層であるほど右側斜辺の長さがさらに長く形成される。そして、結果的に蒸着空間Ｓ内に形成された有機層は、蒸着空間Ｓの中心線を基準として対称をなすように形成される。
【０１００】
これをさらに詳細に説明すれば、次の通りである。
パターニングスリット１３１ｂを通過する蒸着物質は、θｂのしきい入射角でパターニングスリット１３１ｂを通過し、この場合、パターニングスリット１３１ｂを通過した蒸着物質によって形成された有機層Ｐ２の左側陰影は、ＳＬ２のサイズに形成される。同様に、パターニングスリット１３１ｃを通過する蒸着物質は、θｃのしきい入射角でパターニングスリット１３１ｃを通過し、この場合、パターニングスリット１３１ｃを通過した蒸着物質によって形成された有機層Ｐ３の左側陰影は、ＳＬ３のサイズに形成される。同様に、パターニングスリット１３１ｄを通過する蒸着物質は、θｄのしきい入射角でパターニングスリット１３１ｄを通過し、この場合、パターニングスリット１３１ｄを通過した蒸着物質によって形成された有機層Ｐ４の左側陰影は、ＳＬ４のサイズに形成される。最後に、パターニングスリット１３１ｅを通過する蒸着物質は、θｅのしきい入射角でパターニングスリット１３１ｅを通過し、この場合、パターニングスリット１３１ｅを通過した蒸着物質によって形成された有機層Ｐ５の左側陰影は、ＳＬ５のサイズに形成される。
【０１０１】
ここで、θｂ＜θｃ＜θｄ＜θｅの関係が成立するので、それぞれのパターニングスリットを通過した有機層の陰影サイズの間には、ＳＬ１＜ＳＬ２＜ＳＬ３＜ＳＬ４＜ＳＬ５の関係が成立する。
図１５は、本発明の有機層蒸着装置を用いて製造されたアクチブマトリックス型有機発光ディスプレイ装置の断面を示すものである。
【０１０２】
図１５を参照すれば、前記アクチブマットレス型の有機発光ディスプレイ装置１０は基板２上に形成される。前記基板２は、透明な素材、例えば、ガラス材、プラスチック材、または金属材で形成される。前記基板２上には、全体的にバッファ層のような絶縁膜３１が形成されている。
前記絶縁膜３１上には、図１５に示したようなＴＦＴ ４０と、キャパシタ５０と、有機発光素子６０と、が形成される。
【０１０３】
前記絶縁膜３１の上面には、所定パターンに配列された半導体活性層４１が形成されている。前記半導体活性層４１は、ゲート絶縁膜３２によって埋め立てられている。前記活性層４１は、ｐ型またはｎ型の半導体に備えられる。
前記ゲート絶縁膜３２の上面には、前記活性層４１と対応するところにＴＦＴ ４０のゲート電極４２が形成される。そして、前記ゲート電極４２を覆うように層間絶縁膜３３が形成される。前記層間絶縁膜３３が形成された後には、ドライエッチングなどのエッチング工程によって、前記ゲート絶縁膜３２及び層間絶縁膜３３をエッチングしてコンタクトホールを形成させ、前記活性層４１の一部を露出させる。
【０１０４】
次いで、前記層間絶縁膜３３上にソース／ドレイン電極４３が形成されるが、コンタクトホールを通じて露出された活性層４１に接触するように形成される。前記ソース／ドレイン電極４３を覆うように保護膜３４が形成され、エッチング工程を通じて前記ドレイン電極４３の一部を露出させる。前記保護膜３４上には、保護膜３４の平坦化のために別途の絶縁膜をさらに形成してもよい。
一方、前記有機発光素子６０は、電流のフローによって赤、緑、青色の光を発光して所定の画像情報を表示するためのものであり、前記保護膜３４上に第１電極６１を形成する。前記第１電極６１は、ＴＦＴ ４０のドレイン電極４３と電気的に連結される。
【０１０５】
そして、前記第１電極６１を覆うように画素ゾングウィマック３５が形成される。この画素ゾングウィマック３５に所定の開口を形成した後、この開口に限定された領域内に発光層を含む有機層６３を形成する。そして有機層６３上には第２電極６２を形成する。
前記画素ゾングウィマック３５は、各画素を区切るものであり、有機物で形成され、第１電極６１が形成されている基板の表面、特に、保護層３４の表面を平坦化する。
【０１０６】
前記第１電極６１と第２電極６２とは互いに絶縁されており、発光層を含む有機層６３に互いに異なる極性の電圧を加えて発光を行わせる。
前記発光層を含む有機層６３は、低分子または高分子有機物が使われるが、低分子有機物を使う場合、ホール注入層（ＨＩＬ：ＨｏｌｅＩｎｊｅｃｔｉｏｎＬａｙｅｒ）、ホール輸送層（ＨＴＬ：ＨｏｌｅＴｒａｎｓｐｏｒｔＬａｙｅｒ）、発光層（ＥＭＬ：ＥｍｉｓｓｉｏｎＬａｙｅｒ）、電子輸送層（ＥＴＬ：ＥｌｅｃｔｒｏｎＴｒａｎｓｐｏｒｔＬａｙｅｒ）、電子注入層（ＥＩＬ：ＥｌｅｃｔｒｏｎＩｎｊｅｃｔｉｏｎＬａｙｅｒ）などが単一あるいは複合の構造に積層して形成され、使用可能な有機材料も、銅フタロシアニン（ＣｕＰｃ）、Ｎ，Ｎ−ジ（ナフタレン−１−イル）−Ｎ，Ｎ’−ジフェニル−ベンジジン（ＮＰＢ）、トリス（８−キノリノラト）アルミニウム（Ａｌｑ３）などを始めとして多様に適用できる。
【０１０７】
ここで、前記発光層を含む有機層６３は、図１ないし図１３に示した有機層蒸着装置（図１の１参照）によって蒸着される。すなわち、蒸着物質を放射する蒸着源、蒸着源の一側に配されて複数の蒸着源ノズルが形成される蒸着源ノズル部、及び蒸着源ノズル部と対向して配され、複数のパターニングスリットが形成されるパターニングスリットシートを備える有機層蒸着装置が、被蒸着用基板と所定ほど離隔して配された後、有機層蒸着装置（図１の１参照）と基板（図１の２参照）のうちいずれか一側が他側に対して相対的に移動しつつ、有機層蒸着装置（図１の１参照）から放射する蒸着物質が基板（図１の２参照）上に蒸着される。
【０１０８】
このような有機発光膜を形成した後には、第２電極６２をやはり同じ蒸着工程で形成できる。
一方、前記第１電極６１はアノード電極の機能を行い、前記第２電極６２はカソード電極の機能を行えるが、もちろん、これら第１電極６１と第２電極６２との極性は逆になってもよい。そして、第１電極６１は、各画素の領域に対応するようにパターニングされ、第２電極６２は、すべての画素を覆うように形成される。
【０１０９】
前記第１電極６１は、透明電極または反射型電極に備えられるが、透明電極として使われる時には、ＩＴＯ、ＩＺＯ、ＺｎＯまたはＩｎ２Ｏ３で備えられ、反射型電極として使われる時には、Ａｇ、Ｍｇ、Ａｌ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ａｕ、Ｎｉ、Ｎｄ、Ｉｒ、Ｃｒ及びこれらの化合物などで反射層を形成した後、さらにＩＴＯ、ＩＺＯ、ＺｎＯまたはＩｎ２Ｏ３で透明電極層を形成できる。このような第１電極６１は、スパッタリング方法などによって成膜された後、フォトリソグラフィ法などによってパターニングされる。
【０１１０】
一方、前記第２電極６２も透明電極または反射型電極に備えられるが、透明電極として使われる時には、この第２電極６２がカソード電極として使われるので、仕事関数の小さな金属、すなわち、Ｌｉ、Ｃａ、ＬｉＦ／Ｃａ、ＬｉＦ／Ａｌ、Ａｌ、Ａｇ、Ｍｇ及びこれらの化合物が発光層を含む有機層６３の方向に向かうように蒸着した後、その上にＩＴＯ、ＩＺＯ、ＺｎＯまたはＩｎ２Ｏ３などで補助電極層やバス電極ラインを形成する。そして、反射型電極として使われる時には、前記Ｌｉ、Ｃａ、ＬｉＦ／Ｃａ、ＬｉＦ／Ａｌ、Ａｌ、Ａｇ、Ｍｇ及びこれらの化合物を前面蒸着して形成する。この時、蒸着は、前述した発光層を含む有機層６３の場合と同じ方法で行える。
【０１１１】
本発明は、これ以外にも、有機ＴＦＴの有機層または無機膜などの蒸着にも使えられ、その他の多様な素材の成膜工程に適用できる。
本明細書では、本発明を限定された実施形態を中心として説明したが、本発明の範囲内で多様な実施形態が可能である。また説明されていないが、均等な手段も本発明にそのまま結合されるといえる。したがって、本発明の真の保護範囲は特許請求の範囲によって定められねばならない。
【産業上の利用可能性】
【０１１２】
本発明は、有機層蒸着装置、これを用いる有機発光ディスプレイ装置の製造方法、及びこれによって製造された有機発光ディスプレイ装置関連の技術分野に好適に用いられる。
【符号の説明】
【０１１３】
１有機層蒸着装置
１００蒸着部
２００ローディング部
３００アンローディング部
４００移送部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図６Ｃ】
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【図７Ａ】
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【図７Ｂ】
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【図７Ｃ】
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【図７Ｄ】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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