(57)【要約】【課題】半導体製造装置等の被水対策において迅速性とメンテナンス性を確保する。【解決手段】半導体製造装置の上方に収容容器２３を配置し、漏水センサ１３が漏水を検出したら、制御装置１２の指令に基づいて、収容容器２３内のシート２７を展開させ、半導体製造装置の被水を防止する。シート２７には、錘２８が取り付けられている。錘２８は、収容容器２３の外縁の保持部２９に保持されている。収容容器２３内の火薬２６Ａに着火して収容容器２３Ａ内の圧力を高めて、錘２８を外部に放出することによって、シート２７を迅速に展開させる。【選択図】図４
2014025301.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シートと、
前記シートを収容する容器と、
前記容器内に配置され、前記シートの端部に取り付けられた錘と、
制御装置からの指令を受けて前記錘を前記容器から放出し、前記シートを展開させる展開制御装置と、
を含むことを特徴とする被水防止装置。
【請求項２】
前記展開制御装置は、前記錘を前記容器に固定する保持部と、前記シートが保護対象装置上で広がるように前記錘を放出する放出制御部とを含むことを特徴とする請求項１に記載の被水防止装置。
【請求項３】
前記保持部は、前記容器内の圧力を高める高圧発生装置であることを特徴とする請求項２に記載の被水防止装置。
【請求項４】
前記保持部は、前記錘を機械的に保持するリンク機構を有し、前記放出制御部は、前記リンク機構による前記錘の係止を解除するように構成されていることを特徴とする請求項２に記載の被水防止装置。
【請求項５】
前記保持部は、前記錘を機械的に保持するリンク機構を有し、前記放出制御部は、前記リンク機構による前記錘の係止が解除されたときに、前記錘に対して前記容器の外に放出する力を付与するように構成されていることを特徴とする請求項２に記載の被水防止装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被水防止装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体工場などでは、半導体製造装置や試験装置などが設置されたクリーンルームの屋根に工業用水や純水、薬液の配管が配設されることがある。この場合、地震などによって配管に亀裂が入って工業用水などが漏れると、例えば半導体製造装置が被水することがある。半導体製造装置が破水すると、電気回路基板がショートしたり、センサ、電磁弁が故障したりし易くなる。特に、半導体製造装置が酸性の薬液に被水してしまうと、バルブが腐食してしまうので、バルブの交換が必要になる。
【０００３】
ここで、従来の被水対策としては、工業用水を流す配管を２重構造にすることがある。ところが、２重配管は、コストアップの原因となる。さらに、２重の配管でも腐食や、地震の発生によって漏水する可能性がある。また、従来の別の被水対策では、半導体製造装置の上部に、鉄板などのカバーを設置することによって、半導体製造装置の被水を防止していた。ところが、半導体製造装置の上部のカバーは、メンテナンス時に邪魔になり、作業効率を低下させる原因になる。
【０００４】
また、例えば、雨避けに用いられるオーニング装置では、伸縮自在な支持アームにテント幕を取り付け、支持アームを駆動させることによってテント幕を開いたり、閉じたりすることができる。このようなオーニング装置を使用する場合には、漏水の発生時にテントを展開させ、通常時はテント幕を閉じる。例えば、オーニング装置のような開閉するテント幕を半導体製造装置の上方に設置すれば、半導体製造装置のメンテナンス性を確保できる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特願２０００−９６８７７
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、従来のオーニング装置では、テント幕の展開速度が遅いので、急な漏水に対応することが困難であった。また、オーニング装置は、テント幕の展開機構の構成が複雑であるために大型化し易く、工場内に設置し難かった。
この発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、半導体製造装置等の被水対策において迅速性とメンテナンス性を確保することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
実施形態の一観点によれば、シートと、前記シートを収容する容器と、前記容器内に配置され、前記シートの端部に取り付けられた錘と、制御装置からの指令を受けて前記錘を前記容器から放出し、前記シートを展開させる展開制御装置と、を含むことを特徴とする被水防止装置が提供される。
【発明の効果】
【０００８】
シートが容器に畳んで収容されるので、メンテナンス性に優れる。さらに、展開時は、放出制御部で錘を容器から放出させることによって、シートを迅速に展開させられる。従って、保護対象装置の被水を確実に防止できる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】図１は、本発明の第１の実施の形態に係る被水防止装置と、被水防止装置が設置される環境の概略の一例を示す図である。
【図２】図２は、本発明の第１の実施の形態に係る被水防止装置の概略構成の一例を示す断面図である。
【図３Ａ】図３Ａは、本発明の第１の実施の形態に係る被水防止装置の収容容器のアッパーケースを取り外した状態の一例を示す平面図である。
【図３Ｂ】図３Ｂは、本発明の第１の実施の形態に係る被水防止装置の収容容器のアッパーケースを取り外した状態の変形例を示す平面図である。
【図４】図４は、本発明の第１の実施の形態に係る被水防止装置の動作の一例を示す断面図である（その１）。
【図５】図５は、本発明の第１の実施の形態に係る被水防止装置の動作の一例を示す断面図である（その２）。
【図６Ａ】図６Ａは、本発明の第１の実施の形態に係る被水防止装置のシートが展開した状態の一例を示す側面図である。
【図６Ｂ】図６Ｂは、本発明の第１の実施の形態に係る被水防止装置のシートが展開した状態の一例を示す平面図である。
【図７】図７は、本発明の第１の実施の形態に係る被水防止装置の収容容器のアッパーケースを取り外した状態の変形例を示す平面図である。
【図８】図８は、本発明の第１の実施の形態に係る被水防止装置の収容容器とシートの配置の変形例の一例を示す図である。
【図９】図９は、本発明の第２の実施の形態に係る被水防止装置の概略構成の一例を示す断面図である。
【図１０】図１０は、本発明の第２の実施の形態に係る被水防止装置の支持機構の一例を拡大し、さらに一部を破断させた図である。
【図１１Ａ】図１１Ａは、本発明の第２の実施の形態に係る被水防止装置の支持機構を駆動させた状態の一例を拡大して示す図である。
【図１１Ｂ】図１１Ｂは、本発明の第２の実施の形態に係る被水防止装置の支持機構を駆動させた状態の一例を拡大し、さらに一部を破断させた図である。
【図１２】図１２は、本発明の第３の実施の形態に係る被水防止装置の概略構成の一例を示す断面図である。
【図１３】図１３は、本発明の第３の実施の形態に係る被水防止装置の動作の一例を示す断面図である（その１）。
【図１４】図１４は、本発明の第３の実施の形態に係る被水防止装置の動作の一例を示す断面図である（その２）。
【図１５】図１５は、本発明の第４の実施の形態に係る被水防止装置の一例を示す断面図である。
【図１６】図１６は、本発明の第４の実施の形態に係る被水防止装置の動作の一例を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
発明の目的及び利点は、請求の範囲に具体的に記載された構成要素及び組み合わせによって実現され達成される。
前述の一般的な説明及び以下の詳細な説明は、典型例及び説明のためのものであって、本発明を限定するためのものではない。
【００１１】
（第１の実施の形態）
図１に被水防止装置を設置した半導体製造工場の概略図を示す。半導体製造工場では、クリーンルーム内などの床面１に半導体製造装置２、例えばスパッタリング装置が設置される。保護対象装置は、半導体製造装置２の代わりに、試験装置や検査装置でも良い。さらに、天井３の裏には、クリーンルーム内で使用する工業用水や純水、薬液の配管４が通されている。配管４は、半導体製造装置２の上方、又はその近傍に設置されている。さらに、半導体製造装置２の直上の天井３には、被水防止装置１０の本体ユニット１１が取り付けられている。被水防止装置１０は、本体ユニット１１と、本体ユニット１１を制御する制御装置１２と、漏水を検出する漏水センサ１３とを含んで構成されている。
【００１２】
図２の断面図に示すように、本体ユニット１１は、アッパーケース２１とロアーケース２２を重ね合わせて形成した収容容器２３を有する。アッパーケース２１とロアーケース２２は、中央部分が支柱２４によって連結されており、側部には開口部２０が斜め下向きに形成されている。開口部２０は、アッパーケース２１の外縁部２１Ａと、ロアーケース２２の外縁部２２Ａをそれぞれ、斜め下向きに１０°〜４５°、例えば、４５°の傾斜をもつように傾斜させることによって形成されている。さらに、開口部２０は、収容容器２３の周方向に連続して形成されている。
【００１３】
収容容器２３の各ケース２１，２２は、例えば、アルミニウムやＦＲＰ（Fiber Reinforced Plastics）を用いて製造されている。各ケース２１，２２の厚さは、火薬の爆発に伴う収容容器２３の内圧上昇に耐えられる厚さ、例えば５ｍｍ程度になっている。
【００１４】
さらに、収容容器２３内には、折り畳まれた防水用のシート２７と、シート２７の展開に用いられる錘２８と、シート２７の展開を制御する展開制御装置２５の放出制御部２６とが収容されている。
【００１５】
展開制御装置２５は、収容容器２３の開口部２０を利用して形成された錘２８の保持部２９と、錘２８を保持部２９から外側に放出させる放出制御部２６とを有する。
保持部２９は、アッパーケース２１の外縁部２１Ａと、ロアーケースの外縁部２２Ａを用いて形成されており、外縁部２１Ａ，２２Ａで錘２８の上面及び下面をスライド移動可能に支持することによって錘２８を収容容器２３に固定させている。さらに、保持部２９には、不図示の接着剤をさらに用いても良い。接着剤を用いると、収容容器２３の開口部２０に錘２８をさらに確実に支持できる。
【００１６】
また、展開制御装置２５の放出制御部２６は、高圧発生装置である火薬２６Ａと、火薬２６Ａに点火する点火装置２６Ｂとを有する。薬２６Ａ及び点火装置２６Ｂは、ロアーケース２２に固定されており、点火装置２６Ｂに制御装置１２から指令の信号を入力することで火薬２６Ａに着火できる。
【００１７】
防水用のシート２７は、収容容器２３内に折り畳んで収容されており、防水性及び耐熱性を有する素材を用いて製造されている。シート２７の折り畳み方は、迅速にシート２７を展開できるような形態であれば良い。また、シート２７の中央部分は、支柱２４に固定されており、シート２７の外側の端部には錘２８が取り付けられている。
【００１８】
錘２８は、収容容器２３の側部に形成された保持部２９に開口部２０を塞ぐように配置されている。このような錘２８は、例えば、ステンレスや鉄などの金属製の部材をゴムなどの樹脂で覆うか、ゴムのみで製造されている。図２と、図３Ａのアッパーケース２１を取り除いた平面図とに示すように、収容容器２３が矩形の場合には、４つの長方形の錘２８が、収容容器２３の４辺のそれぞれに沿って１つずつ配置されている。そして、これら４つの錘２８は、四角形の開口部２０が隙間なく、又は殆ど隙間がないように配置される。その結果、錘２８と収容容器２３によって、火薬２６Ａ及びシート２７が収容される内部領域３０が密閉、又は密閉に近い状態になる。
【００１９】
ここで、錘２８の形状及び配置例は、図３Ａに限定されない。例えば、図３Ｂに示すように、収容容器２３の１つの辺を対して複数配置しても良い。この例では、収容容器２３の各辺に２つずつ錘２８Ｄが配置されている。１つの辺に配置される２つの錘２８Ｄは、同じ長さ、即ち図３Ａの錘２８の半分の長さを有し、２つの錘２８Ｄを密着して配置することによって開口部２０の閉鎖している。さらに、収容容器２３の１つの辺に配置される錘２８の数は、３つ以上でも良い。収容容器２３の辺毎に錘２８の数を変えても良い。そして、隣り合う２つの錘２８の一部が重なるように収容容器２３に配置しても良い。このように錘２８の数や配置を変えることによって、シート２７の展開し易や、シート２７の展開形状を制御することが可能になる。
【００２０】
また、図１に示すように、漏水センサ１３は、半導体製造装置２が設置された床面１などに配置され、例えば、漏水によって電流が検出される構成を有する。漏水センサ１３の設置場所は、床面に限定されず、例えば半導体製造装置２の上でも良い。また、漏水センサ１３の数は、２つ以上の複数でも良い。
【００２１】
さらに、制御装置１２は、漏水センサ１３が漏水検知時に出力する信号を受けて、本体ユニット１１内の点火装置２６Ｂに点火信号を出力する機能と、点火時にアラームを発令する機能を有する。
【００２２】
次に、被水防止装置１０の作用について説明する。
地震や腐食によって配管４が破損して、クリーンルーム内に漏水が発生すると、漏水センサ１３が漏水の発生を検出する。制御装置１２は、例えば、漏水センサ１３の電流値が予め定められた閾値を越えたら、漏水が発生したと判定し、本体ユニット１１の展開制御装置２５の点火装置２６Ｂに点火信号を出力する。点火装置２６Ｂは点火信号を受けて火薬２６Ａに点火する。
【００２３】
図４に示すように、点火装置２６Ｂが火薬２６Ａに点火することによって、収容容器２３の内部領域３０に高温のガスが発生する。収容容器２３の側部の開口部２０は、錘２８によって封じされているので、収容容器２３の内部領域３０の圧力が急激に上昇する。ガスによって生じた圧力は、図４に矢印で示すように、錘２８を収容容器２３外側に押し出すように働く。その結果、錘２８が保持部２９をスライド移動して収容容器２３の外部に押し出される。
【００２４】
図５に示すように、収容容器２３の側部が斜め下に傾斜しているので、錘２８は、斜め下に向けて落下する。錘２８が例えば、０．５ｋｇの重さで、サイズが縦に５ｃｍ、横に１５ｃｍ、重さが０．５ｋｇの場合、火薬２６Ａの燃焼によって収容容器２３の内圧が５気圧を超えると、錘２８は３７５ｋｇｆの力で収容容器２３の外側に放出される。このとき、錘２８に取り付けられたシート２７が、錘２８に引っ張られるようにして、収容容器２３の外に引き出される。
【００２５】
そして、図６Ａ及び図６Ｂに示すように、シート２７は、錘２８に引っ張られつつ、収容容器２３を中心にして急速に展開し、半導体製造装置２を覆う。例えば、漏水の発生箇所が、半導体製造装置２の上方であった場合でも、漏水がシート２７を伝って床面１に流れ落ちるので、漏水で半導体製造装置２が被水することはない。
【００２６】
ここで、錘２８を放出するときには、周囲の作業者の注意を喚起するために、制御装置１２がアラームを発令する。アラームは、警告音でも良いし、メッセージでも良い。メッセージの例としては、「危険です。装置から３ｍ以上離れて下さい」などがある。アラームの発令は、この実施の形態の必須の構成要素ではない。
【００２７】
以上、説明したように、この実施の形態では、防水性のシート２７を保護対象装置である半導体製造装置２の上方に畳んで配置しておき、シート２７に取り付けられた錘２８を火薬によって放出するようにした。この被水防止装置１０では、シート２７を急速に展開させ、半導体製造装置２を覆うようことが可能になる。従って、突発的な漏水が発生しても、半導体製造装置２が被水することを確実に防止できる。シート２７は、折り畳まれて収容容器２３に収容されているので、半導体製造装置２のメンテナンスや通常運転時の作業の邪魔にならない。これによって、被水防止の迅速性とメンテナンス性を両立できる。
【００２８】
次に、被水防止装置１０の変形例について説明する。
図７に平面形状を示す本体ユニット３１のように、収容容器２３Ａを円形にしても良い。収容容器２３Ａの開口部２０Ａは、収容容器２３Ａの円周に沿ったリング形状になっており、開口部２０Ａに配置される錘２８Ａは円弧形の棒になっている。図７の例では、錘２８Ａは同形状のものが４つ配置されている。しかしながら、錘２８Ａは、２つ又は３つ、５つ以上の複数でも良い。また、少なくとも１つの錘２８Ａの長さを他に比べて変化させても良い。
【００２９】
また、図８に平面形状を示す本体ユニット３２にように、収容容器２３Ｂから２方向にシート２７を展開可能に構成しても良い。この場合の収容容器２３Ｂは、２つの開口部２０Ｂが反対方向に１つずつ形成されており、その各々に棒状の錘２８Ｂが１つずつ配置されている。シート２７は、一端が棒状の支柱２４Ａに固定されており、他端に錘２８Ｂが取り付けられている。
【００３０】
（第２の実施の形態）
本発明の第２の実施の形態について図面を参照して説明する。第１の実施の形態と同じ構成要素には同一の符号を付してある。また、第１の実施の形態と重複する説明は省略する。
図９に示すように、被水防止装置４０の本体ユニット１１は、収容容器２３に展開制御装置２５Ａが設けられている。展開制御装置２５Ａは、放出制御部２６と、保持部である支持機構４１とを有する。図９の一部を拡大すると共に、一部を破断させた図１０に拡大して示すように、支持機構４１は、ロアーケース２２の外周部分に設けられ、錘２８を収容容器２３に機械的に保持するリンク機構である。
【００３１】
具体的には、支持機構４１は、ロアーケース２２に斜めに固定されたメインフレーム４２を有し、メインフレーム４２に対して一対のアーム部４３が開閉自在に支持されている。図１０と、リンク機構を駆動させた状態を示す図１１Ｂに示すように、各アーム部４３は、Ｌ字形状を有し、一方の端部４３Ａ同士が、重なるように配置され、１つのピン４４によってロッド４５に回動自在に支持されている。さらに、各アーム部４３の屈曲部は、２つの異なるピン４６でメインフレーム４２に１つずつ回動自在に支持されている。２つのピン４６は、ロッド４５を挟んで対称な位置に取り付けられている。そして、各アーム部４３の他方の端部には爪４３Ｂが形成されており、爪４３Ｂが錘２８の内面に突出させた係止部４８に食い込むことによって錘２８を支持している。
【００３２】
ロッド４５は、軸線が開口部２０の傾斜に略平行に配置され、先端部がピン４４で一対のアーム部４３に連結されている。ロッド４５の他端部は、面積を拡張させたエンド部４５Ａになっている。エンド部４５Ａとメインフレーム４２との間には、コイルバネ４７が挿入されている。コイルバネ４７は、ロッド４５を錘２８から離れる方向に付勢している。図１０に示すように、ロッド４５に外力が加わっていない状態では、ロッド４５は錘２８から最も離れた位置に待機しており、この状態で一対のアーム部４３は閉じて爪４３Ｂが錘２８を係止する。
【００３３】
ここで、シート２７は、収容容器２３に形成された板状のガイド部材４９とアッパーケース２１の間に通されており、シート２７が支持機構４１と干渉しないようになっている。ガイド部材４９は、例えば、アッパーケース２１に固定されている。
【００３４】
次に、被水防止装置４０の作用について説明する。
図９に示す漏水センサ１３が漏水を検知すると、制御装置１２が点火信号を出力する。収容容器２３内の火薬２６Ａが燃焼して内部領域３０の内圧が上昇する。ロッド４５のエンド部４５Ａの面積が例えば４ｃｍ２で、コイルバネ４７が２０ｋｇｆの外力で圧縮可能である場合、収容容器２３の内圧が５気圧を超えると、コイルバネ４７が圧縮してロッド４５が錘２８に向かって押し込まれる。
【００３５】
その結果、図１１Ａと、図１１Ａの一部を拡大した図１１Ｂに示すように、ロッド４５にピン４４で連結されている一対のアーム部４３がピン４６を支点にして回動して開く。その結果、錘２８が開放され、例えば３７５ｋｇｆの力で勢い良く収容容器２３の外側に放出される。錘２８には、シート２７が取り付けられているので、錘２８に引っ張られるようにして、シート２７が急速に展開し、半導体製造装置２を覆う。これによって、漏水による半導体製造装置２の被水が防止される。
【００３６】
以上、説明したように、この実施の形態では、支持機構４１を用いて錘２８を収容容器２３内で機械的に保持するようにしたので、錘２８を確実に保持できる。その他の効果は、第１の実施の形態と同様である。
【００３７】
（第３の実施の形態）
本発明の第３の実施の形態について図面を参照して説明する。前記の各実施の形態と同じ構成要素には同一の符号を付してある。また、前記の各実施の形態と重複する説明は省略する。
図１２に示すように、破水防止装置５０は、展開制御装置２５Ｃとして、保持部２９と、放出制御部である高圧ボンベ５１を有する。高圧ボンベ５１は、ロアーケース２２に少なくとも１つ取り付けられ、窒素や二酸化炭素などの不活性ガスが例えば９気圧の圧力で充填されると共に、放出口５１Ａが電磁弁５２で開閉可能になっている。
【００３８】
高圧ボンベ５１の放出口５１Ａは、錘２８に向けて配置されており、開口部２０と錘２８の間の空間を仕切るための仕切り板５４がいずれかのケース２１，２２に取り付けられている。仕切り板５４は、シート２７をガイドする役割と、高圧ボンベ５１で発生させた圧力を効率良く錘２８に作用させる役割を担う。錘２８は、収容容器２３の保持部２９に不図示の接着剤などを用いて仮止めされている。このように、電磁弁５２が取り付けられた高圧ボンベ５１が、この実施の形態の展開制御装置２５Ｃの放出制御部を構成する高圧発生装置となる。
【００３９】
また、制御装置１２は、漏水センサ１３の出力を受けて、電磁弁５２を開放させる指令信号を出力する機能と、指令信号出力時にアラームを発令する機能とを有する。
【００４０】
次に、被水防止装置５０の作用について説明する。
漏水センサ１３が漏水を検知し、制御装置１２が指令信号を出力すると、制御装置１２からの指令信号に応じて電磁弁５２が開く。これによって、高圧ボンベ５１に充填されていた高圧ガスが放出される。高圧ガスは、図１２に示す収容容器２３と仕切り板５４、錘２８によって形成される小さい領域ＲＡ１に最初に放出される。その結果、領域ＲＡ１の圧力が急激に上昇し、速やかに高圧、例えば５気圧になる。
【００４１】
これによって、図１３に示すように、錘２８が、例えば３７５ｋｇｆの力で勢い良く収容容器２３の外側に放出される。錘２８にはシート２７が取り付けられているので、図１４に示すように、錘２８に引っ張られるようにして、シート２７が急速に展開し、半導体製造装置２を覆う。これによって、漏水による半導体製造装置２の被水が防止される。
【００４２】
以上、説明したように、この実施の形態では、高圧ボンベ５１を用いて錘２８を放出するようにしたので、パーティクルなどの発生を防止できる。錘２８を速やかに放出させる観点からは、高圧ボンベ５１は、錘２８の数と同じ数で、かつ１つの錘２８の近傍に１つずつ配置することが好ましい。その他の効果は、第１の実施の形態と同様である。
【００４３】
（第４の実施の形態）
本発明の第４の実施の形態について図面を参照して説明する。前記の各実施の形態と同じ構成要素には同一の符号を付してある。また、前記の各実施の形態と重複する説明は省略する。
図１５に示すように、被水防止装置６０は、展開制御装置２５Ｄの保持部として、錘２８を機械的に保持する支持機構６１（リンク機構）を有する。さらに、展開制御装置２５Ｄは、放出制御部として、アッパーケース２１に設けられた板材７１と錘２８の間に挿入されたコイルバネ７２を有する。
【００４４】
支持機構６１は、メインケース４２がアッパーケース２１に取り付けられており、一対のアーム部４３がピン４４を介してアクチュエータ６５のプッシャ６６に回動可能に連結されたリンク機構を有する。リンク機構の詳細は、アクチュエータ６５を有する点以外は、図１０と同様である。アクチュエータ６５は、制御装置１２に指令信号を受けて電動でプッシャ６６を錘２８に向かう方向に突出可能な構成を有する。さらに、錘２８が取り付けられたシート２７は、ロアーケース２２と、板状のガイド部材４９Ａとの間に通されている。
【００４５】
また、放出制御部であるコイルバネ７２は、アッパーケース２１に設けられた板材７１と錘２８の間に少なくとも１つ挿入されている。図１５の例では、コイルバネ７２は、支持機構６１の一対のアーム４３を挟むように２つ平行に配置されている。コイルバネ７２は、錘２８を斜め下方の外側に付勢している。
【００４６】
さらに、制御装置１２は、漏水センサ１３の出力を受けて、アクチュエータ６５を駆動させる指令信号を出力する機能と、指令信号出力時にアラームを発令する機能とを有する。
【００４７】
次に、被水防止装置６０の作用について説明する。
漏水センサ１３が漏水を検知し、制御装置１２が指令信号を出力すると、図１６に示すように、アクチュエータ６５が駆動してプッシャ６６を錘２８に向けて突出させる。プッシャ６６に連結されている一対のアーム部４３がピン４６を支点にして回動して開く。錘２８は、２つのコイルバネ７２によって均等に、斜め下方の外側に向けて付勢されているので、支持機構６１による支持が解除されることによって、錘２８が収容容器２３の外側に、例えば３７５ｋｇｆの力で勢い良く放出される。錘２８には、シート２７が取り付けられているので、錘２８に引っ張られるようにして、シート２７が急速に展開し、半導体製造装置２を覆う。その結果、漏水による半導体製造装置２の被水が防止される。
【００４８】
以上、説明したように、この実施の形態では、支持機構６１を用いることによって錘２８を確実に保持できる。さらに、コイルバネ７２の復元力を用いることによって、支持が解除されたときに錘２８を確実に、かつ速やかに放出することが可能になる。その他の効果は、第１の実施の形態と同様である。
【００４９】
ここで挙げた全ての例及び条件的表現は、発明者が技術促進に貢献した発明及び概念を読者が理解するのを助けるためのものであり、ここで具体的に挙げたそのような例及び条件に限定することなく解釈するものであり、また、明細書におけるそのような例の編成は本発明の優劣を示すこととは関係ない。本発明の実施形態を詳細に説明したが、本発明の精神及び範囲から逸脱することなく、それに対して種々の変更、置換及び変形を施すことができる。
【００５０】
以下に、前記の実施の形態の特徴を付記する。
（付記１）  シートと、前記シートを収容する容器と、前記容器内に配置され、前記シートの端部に取り付けられた錘と、制御装置からの指令を受けて前記錘を前記容器から放出し、前記シートを展開させる展開制御装置と、を含むことを特徴とする被水防止装置。
（付記２）  前記展開制御装置は、前記錘を前記容器に固定する保持部と、前記シートが保護対象装置上で広がるように前記錘を放出する放出制御部とを含むことを特徴とする付記１に記載の被水防止装置。
（付記３）  前記保持部は、前記容器内の圧力を高める高圧発生装置であることを特徴とする付記２に記載の被水防止装置。
（付記４）  前記高圧発生装置は、高圧ボンベ又は火薬を含むことを特徴とする付記３に記載の被水防止装置。
（付記５）  前記保持部は、前記錘を機械的に保持するリンク機構を有し、前記放出制御部は、前記リンク機構による前記錘の係止を解除するように構成されていることを特徴とする付記２に記載の被水防止装置。
（付記６）  前記保持部は、前記錘を機械的に保持するリンク機構を有し、前記放出制御部は、前記リンク機構による前記錘の係止が解除されたときに、前記錘に対して前記容器の外に放出する力を付与するように構成されていることを特徴とする付記２に記載の被水防止装置。
（付記７）  水を検知する漏水センサを更に有し、前記制御装置は、前記漏水センサが水を検知したときに、前記展開制御装置に指令を出力することを特徴とする付記１乃至付記６のいずれか一項に記載の被水防止装置。
（付記８）  前記制御装置は、前記シートの展開時に警報を発令するように構成されていることを特徴とする付記７に記載の被水防止装置。
【符号の説明】
【００５１】
２  半導体製造装置（保護対象装置）
１０  被水防止装置
１２  制御装置
１３  漏水センサ
２３，２３Ａ，２３Ｂ  収容容器
２５、２５Ａ、２５Ｃ、２５Ｄ  展開制御装置
２６Ｂ  火薬
２６  放出制御部
２７  シート
２８  錘
２９  保持部
４１、６１  支持機構（リンク機構）
５１  高圧ボンベ
【図１】
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【図２】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図４】
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【図５】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１Ａ】
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【図１１Ｂ】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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