(57)【要約】【課題】螺旋状の溝部が形成された検査対象物を簡単かつ正確に検査するＸ線検査装置を提供する。【解決手段】Ｘ線検査装置２０は、画像作成部２４と、品質判定部２５と、を備える。画像作成部２４は、少なくとも一部に螺旋状の溝部が形成された筒状のスプリング部材１５について、軸方向に垂直な方向から見たＸ線画像を作成する。品質判定部２５は、画像作成部２４が作成したＸ線画像のうち、溝部が形成されている部分を認識する画像処理を行い、当該画像処理の結果に基づいて検査対象物の品質を判定する。例えば、品質判定部２５は、溝部が形成されている部分であって、かつ、Ｘ線画像において検査対象物の周面が重なって表示されている部分である重複部分を認識する画像処理を行い、当該重複部分の形状に基づいてスプリング部材１５の品質を判定する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも一部に螺旋状の溝部が形成された筒状の検査対象物について、軸方向に垂直な方向から見たＸ線画像を作成する画像作成部と、
前記画像作成部が作成したＸ線画像のうち、前記溝部が形成されている部分を認識する画像処理を行い、当該画像処理の結果に基づいて前記検査対象物の品質を判定する品質判定部と、
を備えることを特徴とするＸ線検査装置。
【請求項２】
請求項１に記載のＸ線検査装置であって、
前記品質判定部は、前記溝部が形成されている部分であって、かつ、前記Ｘ線画像において検査対象物の周面が重なって表示されている部分である重複部分を認識する画像処理を行い、当該重複部分の形状に基づいて前記検査対象物の品質を判定することを特徴とするＸ線検査装置。
【請求項３】
請求項２に記載のＸ線検査装置であって、
前記品質判定部は、前記重複部分の形状を三角形として認識し、当該三角形の形状に基づいて前記検査対象物の品質を判定することを特徴とするＸ線検査装置。
【請求項４】
請求項２又は３に記載のＸ線検査装置であって、
前記品質判定部は、前記重複部分の輪郭を構成する３本の線分のうち、軸方向と平行でない２本の線分の長さを比較することで、前記検査対象物の品質を判定することを特徴とするＸ線検査装置。
【請求項５】
請求項２から４までの何れか一項に記載のＸ線検査装置であって、
前記品質判定部は、複数の前記重複部分を認識し、複数の前記重複部分同士で形状を比較することで、前記検査対象物の品質を判定することを特徴とするＸ線検査装置。
【請求項６】
請求項２から５までの何れか一項に記載のＸ線検査装置であって、
前記品質判定部は、複数の前記重複部分を認識し、隣接する前記重複部分の間隔に基づいて、前記検査対象物の品質を判定することを特徴とするＸ線検査装置。
【請求項７】
請求項２から６までの何れか一項に記載のＸ線検査装置であって、
前記品質判定部は、複数の前記重複部分を認識し、前記重複部分の輪郭を構成する３本の線分のうち軸方向と平行な直線を、所定の直線と比較することで、前記検査対象物の品質を判定することを特徴とするＸ線検査装置。
【請求項８】
請求項１から７までの何れか一項に記載のＸ線検査装置であって、
前記品質判定部は、前記Ｘ線画像の濃淡に基づいて前記検査対象物の表面の状態の異常を検出することで、前記検査対象物の品質を判定することを特徴とするＸ線検査装置。
【請求項９】
請求項１から８までの何れか一項に記載のＸ線検査装置であって、
前記検査対象物が、通電検査用の接触子の少なくとも一部であることを特徴とするＸ線検査装置。
【請求項１０】
少なくとも一部に螺旋状の溝部が形成された筒状の検査対象物について、軸方向に垂直な方向から見たＸ線画像を作成する画像作成工程と、
前記画像作成工程で作成したＸ線画像のうち、前記溝部が形成されている部分を認識する画像処理を行い、当該画像処理の結果に基づいて前記検査対象物の品質を判定する品質判定工程と、
を含むことを特徴とする品質判定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、主要には、螺旋状の溝部（スリット）が形成された筒状の検査対象物の品質を判定するＸ線検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、集積回路や回路基板が有する回路パターンが設計通りに完成しているかを検査することが行われる。この検査は、通電検査用の接触子を、集積回路等の表面に沿って移動させたり、表面に設定される複数の検査点に夫々対応する複数の接触子を導通接触させたりすることにより行われる。
【０００３】
この通電検査用の接触子は、高い弾性特性を発揮できるように、スプリング構造を有することが好ましい。特許文献１は、スプリング構造を有する通電検査用の接触子を製造する方法を開示する。
【０００４】
特許文献１では、極細の心材の外周に、金メッキ層、Ｎｉ電鋳層、及びレジスト層を形成する。次に、このレジスト層に螺旋状にレーザを照射して、照射部分のレジスト層を除去する。次に、エッチングを行って、レジスト層が除去された部分のＮｉ電鋳層を除去し、その後に心材を除去する。これにより、Ｎｉ電鋳層から構成され、金メッキ層が内面に形成されたスプリング部材を製造することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第４５７２３０３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、この種のスプリング部材では、設計通りにスプリング構造（螺旋状の溝部）が形成されたかどうか確認する検査処理が行われる。
【０００７】
しかし、このスプリング構造は、円筒に螺旋状の溝部が形成される立体的に複雑な形状なので、通常の写真撮影による画像処理では適切に検査を行うことが困難である。また、スプリング部材は極細の部材であるため、作業者による目視又は手作業での測定を行うことは困難であり、多量のスプリング部材を検査処理することは極めて困難である。
【０００８】
従って、この種のスプリング部材を簡単かつ正確に検査する方法が求められていた。また、多量のスプリング部材を効率良く検査処理する方法やその検査を実施する装置の出現が望まれている。
【０００９】
本発明は以上の事情に鑑みてされたものであり、その主要な目的は、螺旋状の溝部が形成された検査対象物を簡単かつ正確に検査するＸ線検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段及び効果】
【００１０】
本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段とその効果を説明する。
【００１１】
本発明の第１の観点によれば、以下の構成のＸ線検査装置が提供される。即ち、このＸ線検査装置は、画像作成部と、品質判定部と、を備える。前記画像作成部は、少なくとも一部に螺旋状の溝部が形成された筒状の検査対象物について、軸方向に垂直な方向から見たＸ線画像を作成する。前記品質判定部は、前記画像作成部が作成したＸ線画像のうち、前記溝部が形成されている部分を認識する画像処理を行い、当該画像処理の結果に基づいて前記検査対象物の品質を判定する。
【００１２】
これにより、Ｘ線画像を用いることで、通常の写真では視認できない部分（裏側に位置する溝部）も認識できる。従って、本願のように立体的に複雑な形状の検査対象物であっても、溝部の形状に基づいて、品質を判定することができる。
【００１３】
前記のＸ線検査装置においては、前記品質判定部は、前記溝部が形成されている部分であって、かつ、前記Ｘ線画像において検査対象物の周面が重なって表示されている部分である重複部分を認識する画像処理を行い、当該重複部分の形状に基づいて前記検査対象物の品質を判定することが好ましい。
【００１４】
これにより、溝部の形状をより正確に検出できるので、検査対象物の品質を一層高精度に判定できる。
【００１５】
前記のＸ線検査装置においては、前記品質判定部は、前記重複部分の形状を三角形として認識し、当該三角形の形状に基づいて前記検査対象物の品質を判定することが好ましい。
【００１６】
これにより、重複部分が三角形に似た形状となる特徴を有効に活用することで、検査対象物の品質を簡単に判定することができる。具体的には、三角形の辺の長さ又は角度を求めたり、基準となる三角形の画像と比較したりするだけで、検査対象物の品質を判定することができる。
【００１７】
前記のＸ線検査装置においては、前記品質判定部は、前記重複部分の輪郭を構成する３本の線分のうち、軸方向と平行でない２本の線分の長さを比較することで、前記検査対象物の品質を判定することが好ましい。
【００１８】
これにより、２本の線分の長さを比較するだけで、検査対象物の品質を判定することができる。
【００１９】
前記のＸ線検査装置においては、前記品質判定部は、複数の前記重複部分を認識し、複数の前記重複部分同士で形状を比較することで、前記検査対象物の品質を判定することが好ましい。
【００２０】
これにより、検査対象物の全体にわたって同形状の溝部が形成されているかを検出できるので、検査対象物の品質を一層高精度に判定できる。
【００２１】
前記のＸ線検査装置においては、前記品質判定部は、複数の前記重複部分を認識し、隣接する前記重複部分の間隔に基づいて、前記検査対象物の品質を判定することが好ましい。
【００２２】
これにより、例えば溝部の幅が所定の範囲内であるか否かを検出できるので、検査対象物の品質を一層高精度に判定できる。
【００２３】
前記のＸ線検査装置においては、前記品質判定部は、複数の前記重複部分を認識し、前記重複部分の輪郭を構成する３本の線分のうち軸方向と平行な直線を、所定の直線と比較することで、前記検査対象物の品質を判定することが好ましい。
【００２４】
これにより、例えば検査対象物の撓みを検出できるので、検査対象物の品質を一層高精度に判定できる。
【００２５】
前記のＸ線検査装置においては、前記品質判定部は、前記Ｘ線画像の濃淡に基づいて前記検査対象物の表面の状態の異常を検出することで、前記検査対象物の品質を判定することが好ましい。
【００２６】
これにより、例えば検査対象物の表面に孔等の不良部位が形成されていた場合であっても、当該不良部位を検出できるので、検査対象物の品質を一層高精度に判定できる。
【００２７】
前記のＸ線検査装置においては、前記検査対象物が、通電検査用の接触子の少なくとも一部であることが好ましい。
【００２８】
これにより、通電検査用の接触子は径が小さく、高い寸法精度が要求されるので、本願の効果をより有効に発揮させることができる。
【００２９】
本発明の第２の観点によれば、以下の品質判定方法が提供される。即ち、この品質判定方法は、画像作成工程と、品質判定工程と、を含む。前記画像作成工程では、少なくとも一部に螺旋状の溝部が形成された筒状の検査対象物について、軸方向に垂直な方向から見たＸ線画像を作成する。前記品質判定工程では、前記画像作成工程で作成したＸ線画像のうち、前記溝部が形成されている部分を認識する画像処理を行い、当該画像処理の結果に基づいて前記検査対象物の品質を判定する。
【００３０】
これにより、Ｘ線画像を用いることで、通常の写真では視認できない部分（裏側に位置する溝部等）も認識できる。従って、本願のように立体的に複雑な形状の検査対象物であっても、溝部の形状に基づいて、品質を判定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】通電検査用の接触子を製造する工程の前半部を示す図。
【図２】通電検査用の接触子を製造する工程の後半部を示す図。
【図３】Ｘ線検査装置の全体的な構成を示すブロック図。
【図４】Ｘ線検査装置により得られた実際のＸ線画像。
【図５】Ｘ線画像のうち重なっている部分の形状を模式的に説明する図。
【図６】重複部分のどの部分を用いて品質判定処理を行うかを説明する図。
【発明を実施するための形態】
【００３２】
次に、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。初めに、図１及び図２を参照して、通電検査用の接触子を製造する工程について簡単に説明する。図１及び図２は、通電検査用の接触子を製造する工程を示す図である。なお、以下では、各工程を行う対象を「処理対象物１０」と総称する。また、本願の図面では、視認性を向上させるために処理対象物１０を実際よりも太く描いている。
【００３３】
本処理では、心材１１をベースにして処理を行う。心材１１は、５μｍ以上の極細の金属線や樹脂線を用いることができる。金属線としてはステンレス又はアルミニウム等を用いることができ、樹脂線としてはナイロン樹脂又はポリエチレン樹脂等を用いることができる。
【００３４】
初めに、一般的なメッキ処理により、心材１１に金メッキ層１２を形成する（図１を参照、金メッキ層形成処理）。金メッキ層は、０．２μｍから１μｍ程度の厚さであることが好ましい。
【００３５】
次に、所定の洗浄処理を行った後に電鋳処理を行うことにより、金メッキ層１２を覆うようにＮｉ電鋳層１３を形成する（Ｎｉ電鋳層形成処理）。Ｎｉ電鋳層１３は、５μｍから３５μｍの厚さであることが好ましい。
【００３６】
次に、Ｎｉ電鋳層１３を形成した処理対象物１０をフォトレジスト液に所定時間だけ浸漬させることで、レジスト層１４を形成する（レジスト層形成処理）。今回の説明ではポジ型のフォトレジスト液を用いるが、ネガ型のフォトレジスト液を用いても良い。
【００３７】
次に、処理対象物１０に螺旋状にレーザを照射する。具体的には、処理対象物１０を回転させた状態で、レーザ装置（又は処理対象物１０）を処理対象物１０の長手方向に沿って移動させることで、螺旋状にレーザが照射される。そして、処理対象物１０を現像液に浸漬させることで露光部分（螺旋状の部分）のレジスト層１４を除去する（レーザ照射処理）。なお、ポジ型ではなくネガ型のフォトレジスト液を用いた場合、螺旋状以外の部分を露光させれば良い。
【００３８】
次に、処理対象物１０にエッチング処理を行うことにより、レジスト層１４に覆われていない部分のＮｉ電鋳層１３を除去して金メッキ層１２を露出させる（図２を参照）。
【００３９】
次に、処理対象物１０を洗浄した後に、処理対象物１０を所定のレジスト層除去液に浸漬させることで、レジスト層１４を除去する（レジスト層除去処理）。その後、例えば超音波洗浄等を行うことにより、螺旋状の溝部分における金メッキ層１２を除去する（金メッキ層除去処理）。
【００４０】
次に、Ｎｉ電鋳層１３の内側に位置している金メッキ層１２を残したまま心材１１のみを除去する（心材除去処理）。心材１１の除去は、例えば心材１１を変形させた後に引き抜く方法や、所定の溶液に心材１１を浸漬させることで、心材１１を溶解させる方法等を採用することができる。これにより、スプリング構造を有する部材（スプリング部材１５）を製造することができる。
【００４１】
このスプリング部材１５は、Ｘ線検査装置によって品質が判定され、所定の水準を満たしたスプリング部材１５のみが次の工程に供給される。言い換えれば、Ｘ線検査装置は、スプリング部材１５が良品か不良品かを判定している。なお、Ｘ線検査装置及び品質を判定する処理については後述する。
【００４２】
次に、スプリング部材１５の内部に導電性の接触ピン（プランジャ）１６を挿入して溶接等により固定することで、スプリング構造を有する通電検査用の接触子１７が完成する（ピン取付処理）。なお、集積回路等には、このスプリング部材１５の先端の尖った部分を接触させる。
【００４３】
次に、スプリング部材１５を検査するＸ線検査装置２０について図３及び図４を参照して説明する。図３は、Ｘ線検査装置２０の全体的な構成を示すブロック図である。図４は、Ｘ線検査装置２０により得られた実際のＸ線画像である。
【００４４】
Ｘ線検査装置２０は、このスプリング部材（検査対象物）１５のＸ線画像（Ｘ線写真）を作成し、このＸ線画像を用いてスプリング部材１５の品質を判定する。図３に示すように、Ｘ線検査装置２０は、Ｘ線制御部２１と、Ｘ線発生部２２と、Ｘ線検出部２３と、画像作成部２４と、品質判定部２５と、表示部２６と、を備える。
【００４５】
Ｘ線制御部２１は、Ｘ線発生部２２を制御可能に構成されている。Ｘ線制御部２１は、Ｘ線発生部２２に対して、Ｘ線を照射するタイミング、Ｘ線の照射時間、Ｘ線の強度等を指示する。なお、Ｘ線制御部２１は、ユーザの指示を受けてＸ線を照射する指示を行っても良いし、スプリング部材１５が所定の位置にセットされたことを検知してＸ線を照射する指示を行っても良い。また、本実施形態の検査対象であるスプリング部材１５はニッケル製なので、Ｘ線制御部２１は、ニッケルを透過しにくい程度の強度でＸ線を照射するようにＸ線発生部２２に指示を行う。
【００４６】
Ｘ線発生部２２は、例えばＸ線管を備えている。Ｘ線発生部２２は、高速で放出した熱電子をタングステン等のターゲットに衝突させることにより、Ｘ線を発生可能である。なお、Ｘ線発生部２２がＸ線を発生させる方法は任意である。前述のように、Ｘ線発生部２２は、Ｘ線制御部２１の指示を受けてＸ線を発生させる。Ｘ線発生部２２が発生させたＸ線は、図３に示すように、スプリング部材１５に照射される。
【００４７】
Ｘ線検出部２３は、Ｘ線フィルムやイメージングプレート等を備えている。これにより、Ｘ線検出部２３は、Ｘ線発生部２２がスプリング部材１５に照射したＸ線を検出することができる。Ｘ線検出部２３は、検出結果（例えばイメージングプレートの発光を読み込んだデータ）を画像作成部２４へ出力する。
【００４８】
画像作成部２４は、Ｘ線検出部２３の検出結果に基づいてＸ線画像（Ｘ線写真）を作成する（図４を参照）。具体的には、スプリング部材１５が存在する部分はＸ線が透過しにくいので、他の部分と区別することができる。Ｘ線検出部２３は、作成したＸ線画像を品質判定部２５へ出力する。
【００４９】
品質判定部２５は、画像作成部２４から受信したＸ線画像に基づいて、スプリング部材１５の品質を判定する。品質判定部２５は、スプリング部材１５が所定の基準を満たさなかった場合、そのスプリング部材１５を他と区別する処理（例えば他と異なるトレイに載せるように指示する処理）を行う。なお、品質判定部２５によるスプリング部材１５の品質を判定する処理（品質判定処理）については後述する。
【００５０】
表示部２６は、液晶ディスプレイ等で構成されている。表示部２６は、画像作成部２４が作成したＸ線画像、及び、品質判定部２５による画像処理の結果等を随時表示する。
【００５１】
次に、図５及び図６等を参照して、品質判定部２５が行う品質判定処理について説明する。図５は、Ｘ線画像のうち重なっている部分の形状を模式的に説明する図である。図６は、重複部分のどの部分を用いて品質判定処理を行うかを説明する図である。
【００５２】
初めに、画像作成部２４が作成するＸ線画像について説明する。前述のようにスプリング部材１５は筒状の部材であり、軸方向と長手方向とが一致する（図５（ａ）等を参照）。本実施形態では、この軸方向に垂直な方向からＸ線を照射し、軸方向に垂直な方向から見たＸ線画像を作成する。
【００５３】
また、スプリング部材１５はニッケル製であり、Ｘ線を透過させにくいので、Ｘ線画像において、スプリング部材１５が存在する箇所は何も無い箇所よりも黒く表示される（図４を参照）。より詳細には、スプリング部材１５は筒状であるので、スプリング部材１５の周面が紙面裏表方向に重なっている部分は、重なっていない部分よりも一層黒く表示される。
【００５４】
以下、紙面裏表方向に重なっている部分と重なっていない部分について説明する。図５（ａ）には、紙面奥側の溝部を隠れ線で示したスプリング部材１５が示されている。また、図５（ｂ）には、紙面裏表方向で、スプリング部材１５の周面が重なって表示されている部分と、重なって表示されていない部分と、を区別して表示している。このように、螺旋状の溝部が形成された箇所の一部には、重なっていない部分が存在する。
【００５５】
本実施形態では、螺旋状の溝部が形成されている部分であって、重なって表示されている部分（三角形状の部分、以下重複部分と称する）に対して画像処理を行うことで、スプリング部材１５の品質を判定する。
【００５６】
ここで、スプリング部材１５の品質が良いとは、例えば、溝部の幅が所定の範囲内であること、溝部が形成される間隔が所定の範囲内であること、溝部の角度が所定の範囲内であること等を一例として挙げることができる。
【００５７】
次に、この重複部分を用いてスプリング部材１５の品質を判定する方法について説明する。初めに、品質判定部２５は、Ｘ線画像にパターン認識（画像認識）等の処理を行い、濃い色で表示された三角形（重複部分の輪郭）を認識する（図６（ａ）を参照）。
【００５８】
次に、品質判定部２５は、この三角形に基づいて、スプリング部材１５の品質を判定する。三角形に基づいて行う品質判定方法は多数考えられるが、以下ではその一例を説明する。
【００５９】
例えば、品質判定方法の一つとして、認識した三角形の形状と、設計通りに作成された場合に表示される三角形の形状と、を比較する方法が考えられる。この比較方法を採用する場合、品質判定部２５は、各三角形の辺の長さ又は角度を比較する処理、及び、両方の三角形を重ねたときの一致度を求める処理等を行う。品質判定部２５は、この比較処理の結果、辺の長さ又は角度が近似している場合、及び、両方の三角形を重ねたときの一致度が高い場合、スプリング部材１５が高品質であると判定する。
【００６０】
また、スプリング部材１５のＸ線画像には、複数の三角形（重複部分）が表示される。従って、品質判定方法の一つとして、この三角形同士を比較する方法が考えられる。なお、図５（ａ）に示すように、隣り合う三角形は１８０度回転した形となっているため、品質判定部２５は、各三角形の回転角度を揃えた上で、形状の比較を行う。三角形の形状の比較は、上記のように、辺、角度、一致度等を用いることができる。品質判定部２５は、この比較処理の結果、各三角形の形状が近い場合、スプリング部材１５が高品質であると判定する。
【００６１】
また、品質判定部２５は、複数の三角形の位置から、スプリング部材１５の品質を判定することもできる。この場合、品質判定部２５は、複数の三角形が一定の間隔を有して並設されているかどうかを判定するようにすることができる。より具体的には、品質判定部２５が、隣接する三角形同士の間隔を測定することで、三角形の離間位置を確認したり、三角形の軸方向と平行となる一辺が所定の直線上に位置していることを確認したりすることで、スプリング部材１５の品質を判定することができる。
【００６２】
また、設計通りにスプリング部材１５に溝部が形成された場合、重複部分の輪郭を構成する３本の線分のうち、軸方向と平行でない２本の線分（図６（ｂ）を参照）の長さは一致する。従って、品質判定方法の一つとして、重複部分を示す三角形が二等辺三角形にどの程度近似しているかを判断する方法が考えられる。具体的には、品質判定部２５は、この２本の線分の長さを比較したり、底角同士の角度を比較したりする。そして、品質判定部２５は、線分の長さが近似している場合、及び、底角が近似している場合、スプリング部材１５が高品質であると判定する。
【００６３】
品質判定部２５は、以上で挙げた処理等を必要に応じて組み合わせながら行うことで、スプリング部材１５が所定の基準を満たすか否かを判定する。そして、所定の基準を満たす品質判定部２５が、次の工程（ピン取付工程）へ送られる。
【００６４】
以上に説明したように、このＸ線検査装置２０は、画像作成部２４と、品質判定部２５と、を備える。画像作成部２４は、少なくとも一部に螺旋状の溝部が形成された筒状のスプリング部材１５について、軸方向に垂直な方向から見たＸ線画像を作成する。品質判定部２５は、画像作成部２４が作成したＸ線画像のうち、溝部が形成されている部分を認識する画像処理を行い、当該画像処理の結果に基づいてスプリング部材１５の品質を判定する。
【００６５】
これにより、Ｘ線画像を用いることで、通常の写真では視認できない部分（裏側に位置する溝部）も認識できる。なお、上記では溝部の形状について説明したが、スプリング部材１５の表面上に形成された孔（エッチング未完了部）等であっても、Ｘ線を用いることで、その孔（不良部位）が他の箇所と異なる濃淡部分として検出されることになる。このため、溝部の形状と合わせて表面上の不良部位の検出も行うことができる。従って、本実施形態のように立体的に複雑な形状のスプリング部材１５であっても、溝部の形状や表面の状態に基づいて、品質を判定することができる。
【００６６】
また、本実施形態のＸ線検査装置２０において、品質判定部２５は、溝部が形成されている部分であって、かつ、Ｘ線画像においてスプリング部材１５の周面が重なって表示されている部分である重複部分を認識する画像処理を行い、当該重複部分の形状に基づいてスプリング部材１５の品質を判定する。
【００６７】
これにより、溝部の形状をより正確に検出できるので、スプリング部材１５の品質を一層高精度に判定できる。
【００６８】
また、本実施形態のＸ線検査装置２０において、品質判定部２５は、重複部分の形状を三角形として認識し、当該三角形の形状に基づいてスプリング部材１５の品質を判定する。
【００６９】
これにより、重複部分が三角形に似た形状となる特徴を有効に活用することで、スプリング部材１５の品質を簡単に判定することができる。具体的には、三角形の辺の長さ又は角度を求めるだけで、スプリング部材１５の品質を判定することができる。
【００７０】
また、本実施形態のＸ線検査装置２０において、品質判定部２５は、重複部分の輪郭を構成する３本の線分のうち、軸方向と平行でない２本の線分の長さを比較することで、スプリング部材１５の品質を判定する。
【００７１】
これにより、２本の線分の長さを比較するだけで、スプリング部材１５の品質を判定することができる。
【００７２】
また、本実施形態のＸ線検査装置２０においては、品質判定部２５は、複数の重複部分同士で、形状及び配置間隔等を比較することで、スプリング部材１５の品質を判定する。
【００７３】
これにより、スプリング部材１５の全体にわたって同形状の溝部が形成されているかを検出できる。また、溝部の幅が所定の範囲内であるか否かを検出できる。従って、スプリング部材１５の品質を一層高精度に判定できる。
【００７４】
以上に本発明の好適な実施の形態を説明したが、上記の構成は例えば以下のように変更することができる。
【００７５】
品質判定部２５は、Ｘ線検査装置の筐体内に内蔵されるマイクロコンピュータ（制御部）であっても良いし、Ｘ線検査装置に外付けされたＰＣ等であっても良い。後者の場合であっても、ＰＣ等を含めて本願のＸ線検査装置に該当する。
【００７６】
上記では、重複部分を三角形と認識した後に品質判定処理を行う構成であるが、重複部分を構成する２本の線分（図６（ｂ））のみを認識し、この２本の線分を用いて品質判定処理を行っても良い。
【００７７】
また、溝部が形成されている部分（図５（ａ））のうち、重複部分以外の部分（図５（ｂ）の薄い部分）の形状を認識して品質判定処理を行っても良い。
【００７８】
上記で説明した品質判定方法は、螺旋状の溝部が形成された筒状の部材であれば通電検査用の接触子以外にも適用することができる。
【００７９】
本発明では、スプリング部材のような立体的な形状を有する部材を、Ｘ線を利用することによって、二次元画像を取得し、その二次元画像の濃淡部分（三角形の部分から溝部の品質、また、他の濃淡箇所から不良部位の検出）を解析することで、スプリング部材の良否を判定することができるものである。つまり、三次元構造物を二次元画像により、その製品の品質（良品か不良品か）を判定することができる。
【符号の説明】
【００８０】
１５  スプリング部材（検査対象物）
２０  Ｘ線検査装置
２１  Ｘ線制御部
２２  Ｘ線発生部
２３  Ｘ線検出部
２４  画像作成部
２５  品質判定部
２６  表示部
【図１】
2014130058.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図５】
2014130058.tif 000006
【図６】
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【図４】
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