(57)【要約】【課題】小型化を図っても、振動漏れを抑制し、ＣＩ値を低く抑えることができる振動片を提供すること、また、この振動片を備える振動子、発振器、電子機器および移動体を提供すること【解決手段】振動片２００は、基部２２０と、基部２２０の一端部から＋Ｙ軸方向に沿って延出し、かつ、Ｘ軸方向に沿って並んでいる１対の振動腕２３０、２４０と、基部２２０から１対の振動腕２３０、２４０の間に振動腕２３０、２４０と同じ側に突出している支持腕２５０と、を備え、基部２２０の他端部のＸ軸方向に沿った幅が基部２２０の中央部から離れるに従って漸減している縮幅部２２２を含み、支持腕２５０は、Ｚ軸方向に沿った厚さが振動腕２３０、２４０の基部２２０側の端部よりも厚いことにより、振動腕２３０、２４０の基部２２０側の端部よりも−Ｚ軸方向側に突出している突出部を有する厚肉部２５１を含んでいる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１方向に沿って並んでいる一端部および他端部を含む基部と、
前記基部の前記一端部から前記第１方向に沿って延出し、かつ、前記第１方向に直交する第２方向に沿って並んでいる１対の振動腕と、
前記基部の前記一端部から前記１対の振動腕の間に前記振動腕と同じ側に突出している支持腕と、
を備え、
前記基部は、前記他端部の前記第２方向に沿った幅が前記基部の中央部から離れるに従って漸減している縮幅部を含み、
前記支持腕は、
前記第１方向および前記第２方向の双方に直交する第３方向に沿った厚さが前記振動腕の前記基部側の端部よりも厚く、
前記振動腕の前記基部側の端部よりも前記第３方向の少なくとも一方側に突出している突出部を含む厚肉部を含むことを特徴とする振動片。
【請求項２】
前記縮幅部の前記第２方向に沿った幅は、
前記基部の中心を通り、前記第１方向に沿った仮想線分に沿って、前記基部の中央部から離れるに従って、漸減している請求項１に記載の振動片。
【請求項３】
前記厚肉部の前記第１方向に沿った長さは、前記支持腕の前記第１方向に沿った長さよりも短い請求項１または２に記載の振動片。
【請求項４】
前記厚肉部は、前記支持腕の前記第３方向に沿って前記支持腕の両側からそれぞれ突出して設けられている請求項１ないし３のいずれか１項に記載の振動片。
【請求項５】
前記支持腕は、
前記基部から延出していて前記第３方向に沿った厚さが前記振動腕と等しい第１部分と、
前記第１部分の前記第３方向での一方側の面に接合されていて前記突出部を構成している第２部分と、
を含む請求項１ないし４のいずれか１項に記載の振動片。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれか１項に記載の振動片と、
前記振動片が収納されているパッケージと、
を備え、
前記突出部の先端面が前記パッケージに固定されていることを特徴とする振動子。
【請求項７】
前記支持腕の前記第３方向での一方側に位置する前記突出部の先端面は、前記第１方向に沿って並んでいる２つの接合部材を介して前記パッケージに固定されている請求項６に記載の振動子。
【請求項８】
前記支持腕の前記第３方向での一方側に位置する前記突出部の先端面が１つの接合部材を介して前記パッケージに固定され、
前記支持腕の前記第３方向での他方側の面には、パッド電極が設けられ、
前記パッケージには、接続電極が設けられ、
前記パッド電極と前記接続電極とが配線を介して接続されている請求項６に記載の振動子。
【請求項９】
請求項１ないし５のいずれか１項に記載の振動片と、
前記振動片に電気的に接続されている発振回路と、を備えていることを特徴とする発振器。
【請求項１０】
請求項１ないし５のいずれか１項に記載の振動片を備えていることを特徴とする電子機器。
【請求項１１】
請求項１ないし５のいずれか１項に記載の振動片を備えていることを特徴とする移動体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動片、振動子、発振器、電子機器および移動体に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
水晶発振器等の振動デバイスとしては、複数の振動腕を備える音叉型の振動片を備えるものが知られている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１の振動片は、平面視形状が略矩形の基部と、基部から互いに平行となるように並んで延出する２つの振動腕と、基部から延出し、２つの振動腕の間に位置する支持部とを有している。このような振動片では、２つの振動腕の面内方向への屈曲振動によって基部が変形し易く、この変形によって振動漏れが発生し、Ｑ値が低下するという問題がある。
また、近年、このような振動片を搭載する各種機器の小型化が進展する中で、振動片自体も極力小型化することが要請されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−１４１７７０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の目的は、小型化を図っても、振動漏れを抑制し、ＣＩ値を低く抑えることができる振動片を提供すること、また、この振動片を備える振動子、発振器、電子機器および移動体を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
［適用例１］
本適用例の振動片は、第１方向に沿って並んでいる一端部および他端部を含む基部と、
前記基部の前記一端部から前記第１方向に沿って延出し、かつ、前記第１方向に直交する第２方向に沿って並んでいる１対の振動腕と、
前記基部の前記一端部から前記１対の振動腕の間に前記振動腕と同じ側に突出している支持腕と、
を備え、
前記基部は、前記他端部の前記第２方向に沿った幅が前記基部の中央部から離れるに従って漸減している縮幅部を含み、
前記支持腕は、
前記第１方向および前記第２方向の双方に直交する第３方向に沿った厚さが前記振動腕の前記基部側の端部よりも厚く、
前記振動腕の前記基部側の端部よりも前記第３方向の少なくとも一方側に突出している突出部を含む厚肉部を含むことを特徴とする。
【０００６】
このような振動片によれば、基部の第１方向に沿った長さを短くしても、１対の振動腕の、略面内において互いに接近または離間する屈曲振動に伴う基部の変形を縮幅部により抑制し、基部から外部への振動漏れを抑制することができる。
また、支持腕が突出部を有しているため、例えば、突出部の先端面をパッケージに固定する固定部として用いることにより、１対の振動腕の、略面内において互いに接近と離間を繰り返す屈曲振動に伴って基部が振動する領域に対して固定部を遠ざけることができる。そのため、振動漏れを効果的に抑制することができる。
【０００７】
特に、振動片の重心に近い位置に固定部を設定することができるので、固定した際の姿勢制御が容易になる。また、１対の振動腕の間の空間を支持腕の配置スペースとして有効利用することができ、その結果、振動片の大型化を防止することができる。
このようなことから、本適用例の振動片は、小型化を図っても、振動漏れを抑制し、ＣＩ値を低く抑えることができる。
【０００８】
［適用例２］
本適用例の振動片では、前記縮幅部の前記第２方向に沿った幅は、
前記基部の中心を通り、前記第１方向に沿った仮想線分に沿って、前記基部の中央部から離れるに従って、漸減していることが好ましい。
これにより、１対の振動腕の互いに接近または離間する屈曲振動に伴う基部の変形を効果的に抑制することができる。
【０００９】
［適用例３］
本適用例の振動片では、前記厚肉部の前記第１方向に沿った長さは、前記支持腕の前記第１方向に沿った長さよりも短いことが好ましい。
これにより、支持腕の基部と厚肉部との間の部分の厚さ（第３方向に沿った長さ）を薄くすることができる。その結果、基部から厚肉部への振動の伝達を抑制することができる。
【００１０】
［適用例４］
本適用例の振動片では、前記厚肉部は、前記支持腕の前記第３方向に沿って前記支持腕の両側からそれぞれ突出して設けられていることが好ましい。
これにより、支持腕の第１方向および第２方向に沿った長さを小さくしながら、支持腕の質量を大きくすることができる。そのため、振動片の小型化を図りつつ、支持腕の振動を抑制することができる。
【００１１】
［適用例５］
本適用例の振動片では、前記支持腕は、
前記基部から延出していて前記第３方向に沿った厚さが前記振動腕と等しい第１部分と、
前記第１部分の前記第３方向での一方側の面に接合されていて前記突出部を構成している第２部分と、
を含むことが好ましい。
これにより、比較的簡単に、振動腕の寸法精度を優れたものとしながら、厚肉部を形成することができる。
【００１２】
［適用例６］
本適用例の振動子は、本適用例の振動片と、
前記振動片が収納されているパッケージと、
を備え、
前記突出部の先端面が前記パッケージに固定されていることを特徴とする。
これにより、小型で、優れた振動特性を有する振動子を提供することができる。
【００１３】
［適用例７］
本適用例の振動子では、前記支持腕の前記第３方向での一方側に位置する前記突出部の先端面は、前記第１方向に沿って並んでいる２つの接合部材を介して前記パッケージに固定されていることが好ましい。
これにより、振動片とパッケージとの固定部の第２方向に沿った幅を小さくすることができる。また、接合部材として導電性接着剤や金属バンプを用いた場合、２つの接合部材を介した駆動信号の入力により振動片を駆動することができる。
【００１４】
［適用例８］
本適用例の振動子では、前記支持腕の前記第３方向での一方側に位置する前記突出部の先端面が１つの接合部材を介して前記パッケージに固定され、
前記支持腕の前記第３方向での他方側の面には、パッド電極が設けられ、
前記パッケージには、接続電極が設けられ、
前記パッド電極と前記接続電極とが配線を介して接続されていることが好ましい。
これにより、振動片とパッケージとの固定部の面積を小さくすることができる。そのため、支持腕からパッケージへの振動漏れを抑制することができる。また、接合部材として導電性接着剤や金属バンプを用いた場合、接合部材および配線を介した駆動信号の入力により振動片を駆動することができる。
【００１５】
［適用例９］
本適用例の発振器は、本適用例の振動片と、
前記振動片に電気的に接続されている発振回路と、を備えていることを特徴とする。
これにより、小型で、優れた発振特性を有する発振器を提供することができる。
［適用例１０］
本適用例の電子機器は、本適用例の振動片を備えていることを特徴とする。
これにより、優れた信頼性を有する電子機器を提供することができる。
［適用例１１］
本適用例の移動体は、本適用例の振動片を備えていることを特徴とする。
これにより、優れた信頼性を有する移動体を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の第１実施形態に係る振動片を示す平面図である。
【図２】図１中のＡ−Ａ線断面図である。
【図３】図１に示す振動片の裏面図である。
【図４】図３中のＢ−Ｂ線断面図である。
【図５】振動漏れ抑制の原理を説明する平面図である。
【図６】本発明の第２実施形態に係る振動片を示す平面図である。
【図７】図６に示す振動片の裏面図である。
【図８】図７中のＢ−Ｂ線断面図である。
【図９】本発明の第３実施形態に係る振動片を示す断面図である。
【図１０】本発明の第４実施形態に係る振動片の平面図である。
【図１１】本発明の第５実施形態に係る振動片の平面図である。
【図１２】本発明の第６実施形態に係る振動片の平面図である。
【図１３】本発明の第７実施形態に係る振動片の平面図である。
【図１４】本発明の振動子の第１例を示す図である。
【図１５】本発明の振動子の第２例を示す図である。
【図１６】本発明の発振器の一例を示す図である。
【図１７】本発明の電子機器の第１例であるモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピューターの構成を示す斜視図である。
【図１８】本発明の電子機器の第２例である携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図である。
【図１９】本発明の電子機器の第３例であるディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図である。
【図２０】本発明の移動体の一例である自動車の構成を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の振動片、振動子、発振器、電子機器および移動体を添付図面に示す実施形態に基づいて詳細に説明する。
１．振動片
＜第１実施形態＞
図１は、本発明の第１実施形態に係る振動片を示す平面図、図２は、図１中のＡ−Ａ線断面図、図３は、図１に示す振動片の裏面図、図４は、図３中のＢ−Ｂ線断面図である。また、図５は、振動漏れ抑制の原理を説明する平面図である。
【００１８】
なお、各図では、説明の便宜上、互いに直交する３つの軸として、Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸を図示している。また、また、以下の説明では、Ｘ軸に平行な方向（第２方向）を「Ｘ軸方向」、Ｙ軸に平行な方向（第１方向）を「Ｙ軸方向」、Ｚ軸に平行な方向（第３方向）を「Ｚ軸方向」といい、また、各図に図示されたＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸の矢印の先端側を「＋（プラス）」、基端側を「−（マイナス）」という。また、以下の説明では、説明の便宜上、Ｚ軸方向から見たときの平面視を単に「平面視」ともいう。また、説明の便宜上、図１中の上側を「上」、下側を「下」ともいう。
【００１９】
図１および図２に示す振動片２００は、振動基板２１０と、この振動基板２１０上に形成された第１駆動用電極２８０および第２駆動用電極２９０（図２参照）とを有している。
振動基板２１０は、例えば、水晶、特に、Ｚカット水晶板で構成されている。これにより、振動片２００は、優れた振動特性を発揮することができる。Ｚカット水晶板とは、水晶のＺ軸（光軸）を厚さ方向とする水晶基板である。Ｚ軸は、振動基板２１０の厚さ方向と一致しているのが好ましいが、常温近傍における周波数温度変化を小さくする観点からは、厚さ方向に対して若干（例えば、１５°未満程度）傾けることになる。
【００２０】
振動基板２１０は、基部２２０と、基部２２０から＋Ｙ軸方向へ突出し、かつ、Ｘ方向に並んで設けられた２つの振動腕２３０、２４０と、基部２２０から＋Ｙ軸方向側へ突出するとともに、２つの振動腕２３０、２４０の間に位置する支持腕２５０とを有している。このような振動基板２１０は、Ｙ軸と平行な対称軸Ｙ１に対して対称となるように形成されている。
基部２２０は、Ｘ軸およびＹ軸を含むＸＹ平面に沿って広がり、Ｚ軸方向に厚さ方向とする略板状をなしている。このような基部２２０は、腕２３０、２４０、２５０を支持、連結する本体部２２１と、振動漏れを抑制する縮幅部２２２（第１縮幅部）とを有している。
【００２１】
図１に示すように、本体部２２１は、その幅（Ｘ軸方向に沿った長さ）ＷがＹ軸方向に沿ってほぼ一定である。すなわち、本体部２２１は、略矩形の平面視形状を有している。そして、本体部２２１の−Ｙ軸方向側の外縁に、縮幅部２２２が接続されている。すなわち、縮幅部２２２は、本体部２２１を介して各腕２３０、２４０、２５０と反対側に設けられている。
【００２２】
縮幅部２２２の輪郭は、平面視にて、Ｘ軸およびＹ軸の両軸に対して傾斜する直線状の傾斜部２２２ａ、２２２ｂで構成されている。これら傾斜部２２２ａ、２２２ｂの一端（−Ｙ軸方向側の端）同士が対称軸Ｙ１上で接続されている。すなわち、傾斜部２２２ａと２２２ｂとは例えば振動腕２３０と振動腕２４０との間の中心を通る対称軸Ｙ１を境にして実質的に対称関係である。そのため、縮幅部２２２は、その先端部に、傾斜部２２２ａ、２２２ｂを辺とする角を有し、尖っている。
【００２３】
このような縮幅部２２２のＸ軸方向に沿った幅は、それぞれ、基部２２０の中央部から離れるに従って、Ｙ軸と平行で基部２２０の中心を通る対称軸Ｙ１（仮想中心線）に向かって漸減している。これにより、１対の振動腕２３０、２４０の、略面内において互いに接近と離間を繰り返す屈曲振動に伴う基部２２０の変形を効果的に抑制することができる。その結果、基部２２０のＹ軸方向に沿った長さを短くしても、１対の振動腕２３０、２４０の互いに接近または離間する屈曲振動に伴う基部２２０の変形を抑制し、基部２２０から外部への振動漏れを抑制することができる。なお、縮幅部２２２による振動漏れ抑制の原理については、後に詳述する。
【００２４】
なお、傾斜部２２２ａ、２２２ｂとＸ軸とのなす角度θとしては、特に限定されないが、例えば、縮幅部２２２の過度な大型化を抑制する観点からすると、５°以上、７０°以下程度であるのが好ましく、１０°以上、５０°以下程度であるのがより好ましい。
また、縮幅部２２２の最大幅（突出方向基端における長さ）Ｗｍａｘは、本体部２２１の幅Ｗとほぼ等しく、縮幅部２２２は、本体部２２１の−Ｙ軸方向側の端（角部）と段差なく連続的に形成されている。
【００２５】
また、水晶基板をウェットエッチングすることにより振動基板２１０をパターニングする場合、振動基板２１０の輪郭には水晶の結晶面が出現するため、この結晶面と平行な傾斜部２２２ａ、２２２ｂをフォトマスク上で形成してパターニングしておけば、形状のばらつきが小さくなり、安定した性能を得ることができる。特に水晶のＸ軸に対して３０°や６０°を成す結晶面と平行にするとよい。
支持腕２５０は、基部２２０から＋Ｙ軸方向に延出しており、かつ、振動腕２３０、２４０の間に位置している。
この支持腕２５０は、厚肉部２５１と、厚肉部２５１と基部２２０とを接続する接続部２５２とを有する。
【００２６】
図４に示すように、厚肉部２５１のＺ軸方向に沿った厚さＴ１は、振動腕２３０、２４３０の基部２２０側の端部の厚さＴ２よりも厚い。
このような厚肉部２５１は、振動腕２３０、２４０の厚さＴ２と等しい厚さの部分２５３から−Ｚ軸方向に突出している突出部２５４を有する。
この突出部２５４は、振動腕２３０、２４０の基部２２０側の端部よりも−Ｚ軸方向に突出している。これにより、例えば、突出部２５４の先端面（−Ｚ軸方向側の端面）をパッケージに固定する固定部として用いることにより、１対の振動腕２３０、２４０の、略面内において互いに接近と離間を繰り返す屈曲振動に伴って基部２２０が振動する領域に対して固定部を遠ざけることができる。そのため、支持腕２５０からパッケージへの振動漏れを抑制することができる。なお、パッケージに対する突出部２５４の固定については、後述する振動子の第１例および第２例の説明とともに、後に詳述する。
【００２７】
また、厚肉部２５１は、平面視で、振動片２００の重心Ｇを包含している。これにより、振動片２００の重心Ｇに近い位置に固定部を設定することができるので、固定時の姿勢制御が容易になる。また、１対の振動腕２３０、２４０の間の空間を支持腕２５０の配置スペースとして有効利用することができ、その結果、振動片２００の大型化を防止することができる。
【００２８】
突出部２５４および厚肉部２５１は、Ｙ軸方向に沿った長手形状をなしている。これにより、振動片２００のＸ軸方向に沿った幅を小さくしつつ、突出部２５４の先端面の面積を大きくすることができる。そのため、パッケージに対する振動片２００の固定部位の自由度が高くなるとともに、振動片２００をパッケージに対して安定的に固定することができる。
なお、本実施形態では、突出部２５４および厚肉部２５１の平面視形状は、支持腕２５０の接続部２５２以外の部分の平面視形状と同一であるが、かかる部分の平面視形状と異なっていてもよく、任意である。ただし、厚肉部２５１をできるだけを大きくすることは、振動片２００の重心Ｇを厚肉部２５１に容易に近づけることができる点で好ましい。
【００２９】
この突出部２５４のＺ軸方向に沿った厚さＴ３（高さ）は、特に限定されないが、振動腕２３０、２４０の厚さＴ２に対して、０．１以上１．５以下であることが好ましい。これにより、突出部２５４の先端面をパッケージに対して安定的に固定しつつ、１対の振動腕２３０、２４０の互いに接近または離間する屈曲振動に伴って基部２２０が振動する領域に対して固定部を遠ざけることができる。
【００３０】
本実施形態では、突出部２５４は、部分２５３と一体で形成されている。すなわち、部分２５３および突出部２５４は、同一基板から形成されている。そのため、比較的簡単に、厚肉部２５１の機械的強度を優れたものとすることができる。このような突出部２５４を形成するには、水晶基板をウェットエッチングすることにより振動基板２１０の外形を形成する前に、その水晶基板の厚肉部２５１に対応する部分以外の部分を一方の面側から加工して薄肉化すればよい。
また、厚肉部２５１の＋Ｚ軸方向側の面と、振動腕２３０、２４０の基部２２０側の端部の＋Ｚ軸方向側の面とは、同一平面上に位置している。これにより、水晶基板を加工して振動基板２１０を形成する際に、水晶基板の突出部２５４とは反対側の面の加工が不要となる。
【００３１】
本実施形態では、厚肉部２５１のＹ軸方向に沿った長さが振動腕２３０、２４０のＹ軸方向に沿った長さよりも短くなっている。これにより、支持腕２５０が振動腕２３０、２４０の先端よりも＋Ｙ軸方向に突出するのを防止し、その結果、振動片２００の大型化を防止することができる。
特に、厚肉部２５１の先端（本実施形態では支持腕２５０の先端）は、後述する振動腕２３０、２４０のハンマーヘッド２６０、２７０よりも−Ｙ軸方向側に位置している。そのため、振動腕２３０、２４０間の空間を支持腕２５０の配置スペースとして効果的に有効利用することができる。なお、支持腕２５０のＹ軸方向に沿った長さは、振動腕２３０、２４０のＹ軸方向に沿った長さと等しくてもよいし、振動腕２３０、２４０のＹ軸方向に沿った長さよりも長くてもよい。
【００３２】
また、本実施形態では、厚肉部２５１のＹ軸方向に沿った長さは、支持腕２５０のＹ軸方向に沿った長さよりも小さい。これにより、接続部２５２（基部２２０と厚肉部２５１との間の部分）のＺ軸方向に沿った厚さは、厚肉部２５１のＺ軸方向に沿った厚さよりも薄くなっている。そのため、基部２２０から厚肉部２５１への振動の伝達を抑制し、その結果、振動漏れをより小さくすることができる。また、接続部２５２のＺ軸方向に沿った厚さは、振動腕２３０、２４０の基部２２０側の端部のＺ軸方向に沿った厚さと等しくなっている。これにより、接続部２５２の形成が容易になる。なお、厚肉部２５１は、支持腕２５０のＹ軸方向での全域に亘って形成されていてもよいし、また、支持腕２５０と基部２２０との間の境界部を跨って基部２２０にも形成されていてもよい。
【００３３】
本実施形態では、接続部２５２のＸ軸方向に沿った幅は、厚肉部２５１のＸ軸方向に沿った幅よりも小さくなっている。これにより、基部２２０から厚肉部２５１への振動の伝達を抑制し、その結果、振動漏れをより小さくすることができる。なお、接続部２５２のＸ軸方向に沿った幅は、厚肉部２５１のＸ軸方向に沿った幅と同じであってもよいし、厚肉部２５１のＸ軸方向に沿った幅よりも大きい部分を有していてもよい。
【００３４】
振動腕２３０、２４０は、所定の間隔距離をもってＸ方向に並んで設けられており、それぞれ、基部２２０から＋Ｙ方向に突出している。また、振動腕２３０、２４０は、それぞれ、その先端部に設けられたハンマーヘッド２６０、２７０を有している。ハンマーヘッド２６０、２７０を設けることによって、振動片２００の小型化を図ったり、振動腕２３０、２４０の屈曲振動の周波数を低めたりすることができる。なお、ハンマーヘッド２６０、２７０は、必要に応じて複数の幅を有していてもよく、省略してもよい。更に、ハンマーヘッド２６０、２７０が設けられた場合には、上述した支持腕２５０の長さは、振動腕２３０、２４０の長さからハンマーヘッド２６０、２７０の長さを差引いた長さより短くすることで、ハンマーヘッド２６０とハンマーヘッド２７０の距離を短くすることができるので、小型化に有利である。
【００３５】
また、振動腕２３０には、一方の主面２３１に開放する有底の溝２３５と、他方の主面２３２に開放する有底の溝２３６とが形成されている。同様に、振動腕２４０には、一方の主面２４１に開放する有底の溝２４５と、他方の主面２４２に開放する有底の溝２４６とが形成されている。これら溝２３５、２３６、２４５、２４６は、Ｙ軸方向に延在して設けられており、互いに同じ形状をなしている。そのため、振動腕２３０、２４０は、略「Ｈ」状の横断面形状をなしている。このような溝２３５、２３６、２４５、２４６を形成することによって、屈曲振動によって発生する熱が拡散（熱伝導）し難くなり、屈曲振動周波数（機械的屈曲振動周波数）ｆが熱緩和周波数ｆ０より大きな領域（ｆ＞ｆ０）である断熱的領域では、熱弾性損失を抑制することができる。なお、溝２３５、２３６、２４５、２４６は、必要に応じて設ければよく、省略してもよい。
【００３６】
また、図２に示すように、振動腕２３０には、第１駆動用電極２８０と第２駆動用電極２９０とが形成されている。第１駆動用電極２８０は、溝２３５、２３６の内面に形成されており、第２駆動用電極２９０は、側面２３３、２３４に形成されている。同様に、振動腕２４０にも、第１駆動用電極２８０と第２駆動用電極２９０とが形成されている。第１駆動用電極２８０は、側面２４３、２４４に形成されており、第２駆動用電極２９０は、溝２４５、２４６の内面に形成されている。これら第１、第２駆動用電極２８０、２９０間に交番電圧を印加すると、振動腕２３０、２４０が互いに接近、離間を繰り返すように面内方向（ＸＹ平面方向）に所定の周波数で振動する。
【００３７】
第１、第２駆動用電極２８０、２９０の構成材料としては、特に限定されず、金（Ａｕ）、金合金、白金（Ｐｔ）、アルミニウム（Ａｌ）、アルミニウム合金、銀（Ａｇ）、銀合金、クロム（Ｃｒ）、クロム合金、銅（Ｃｕ）、モリブデン（Ｍｏ）、ニオブ（Ｎｂ）、タングステン（Ｗ）、鉄（Ｆｅ）、チタン（Ｔｉ）、コバルト（Ｃｏ）、亜鉛（Ｚｎ）、ジルコニウム（Ｚｒ）等の金属材料、酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）等の導電材料を用いることができる。
なお、図示しないが、第１駆動用電極２８０および第２駆動用電極２９０は、基部２２０を介して支持腕２５０まで引き出されており、支持腕２５０にて、例えば、後述するパッケージ３００に形成された接続電極との導通が図られている。
以上、振動片２００の構成について説明した。
【００３８】
（縮幅部による振動漏れ抑制の原理）
ここで、縮幅部２２２による振動漏れ抑制の原理について説明する。なお、以下では、説明を簡単にするために、振動片の形状は、Ｙ軸に平行な所定の軸に対して対称であるとする。
まず、図５（ａ）に示すように、縮幅部２２２が設けられていない基部２２０Ｘについて説明する。
【００３９】
振動腕２３０、２４０が互いに離間するように屈曲変形した場合、振動腕２３０が接続されている付近の本体部２２１では、矢印で示したように時計回りの回転運動に近い変位が発生する。一方、振動腕２４０が接続されている付近の本体部２２１では、矢印で示したように反時計回りの回転運動に近い変位が発生する。ただし、これらの変位は、厳密には回転運動と云うことができるような運動ではないため、便宜的に回転運動に近い、と表現している。
これらの変位のＸ軸方向成分は、互いに反対方向を向いているから、本体部２２１のＸ軸方向中央部において相殺され、＋Ｙ軸方向の変位が残ることになる。ただし、厳密にはＺ軸方向の変位も残るが、ここでは省略する。
【００４０】
すなわち、本体部２２１は、Ｘ軸方向中央部が＋Ｙ軸方向に変位するような屈曲変形をする。この＋Ｙ軸方向の変位を有する本体部２２１のＹ軸方向中央部に接着剤を形成し、接着剤を介してパッケージに固定すると、＋Ｙ軸方向変位に随伴する弾性エネルギーが接着剤を介して外部に漏洩する。これが振動漏れという損失であり、Ｑ値の劣化の原因となる（結果としてＣＩ値の劣化となる）。
【００４１】
これに対して、図５（ｂ）に示すように、縮幅部２２２が設けられている基部２２０では、縮幅部２２２は凸状の輪郭を有していることによって、上述した回転運動に近い変位は、縮幅部２２２において互いにつっかえることになる。
すなわち、縮幅部２２２のＸ軸方向中央部においては、本体部２２１のＸ軸方向中央部と同様にＸ軸方向の変位が相殺され、それとともに、Ｙ軸方向の変位が抑制されることになる。
【００４２】
さらに、縮幅部２２２の輪郭が凸状であるから、本体部２２１で発生しようとする＋Ｙ軸方向の変位をも抑制することになる。この結果、縮幅部２２２が設けられた基部２２０のＸ軸方向中央部の＋Ｙ軸方向の変位は、縮幅部２２２が設けられていない基部２２０Ｘに比べて遥かに小さくなる。すなわち、振動漏れの小さい振動片２００を得ることができる。
以上説明したように縮幅部２２２によって振動漏れを抑制することができる。
その上で、振動片２００は、前述したように支持腕２５０に厚肉部２５１が設けられているので、小型化を図っても、振動漏れの抑制を極めて小さくし、ＣＩ値を極めて低く抑えることができる。
【００４３】
＜第２実施形態＞
次に、本発明の第２実施形態について説明する。
図６は、本発明の第２実施形態に係る振動片を示す平面図、図７は、図６に示す振動片の裏面図、図８は、図７中のＢ−Ｂ線断面図である。
以下、第２実施形態について、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
第２実施形態は、厚肉部の構成（形状）が異なる以外は、第１実施形態とほぼ同様である。なお、図６〜８では、前述した実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。
【００４４】
図６に示す振動片２００Ａが備える支持腕２５０Ａは、図８に示すように、厚肉部２５１Ａを有する。この厚肉部２５１ＡのＺ軸方向に沿った厚さＴ１は、振動腕２３０、２４０の基部２２０側の端部の厚さＴ２よりも厚い。
この厚肉部２５１Ａは、部分２５３から−Ｚ軸方向に突出している突出部２５４と、部分２５３から＋Ｚ軸方向に突出している突出部２５５とを有する。
【００４５】
このように、突出部２５４、２５５が厚肉部２５１ＡのＺ軸方向での両側に設けられていることにより、支持腕２５０ＡのＹ軸方向およびＸ軸方向に沿った長さを小さくしながら、支持腕２５０Ａの質量を大きくすることができる。そのため、振動片２００Ａの小型化を図りつつ、支持腕２５０Ａの振動を抑制することができる。また、振動片２００Ａの重心Ｇを厚肉部２５１Ａに容易に近づけることができる。
【００４６】
この突出部２５５のＺ軸方向に沿った厚さＴ４（高さ）は、特に限定されないが、振動腕２３０、２４０の厚さＴ２に対して、０．１以上１．５以下であることが好ましい。これにより、支持腕２５０Ａの小型化を図りながら、支持腕２５０Ａの質量を大きくすることができる。
本実施形態では、突出部２５５は、部分２５３と一体で形成されている。すなわち、部分２５３および突出部２５５は、同一基板から形成されている。そのため、比較的簡単に、厚肉部２５１Ａの機械的強度を優れたものとすることができる。
【００４７】
また、突出部２５５のＸ軸方向に沿った幅は、突出部２５４のＸ軸方向に沿った幅と等しい。なお、突出部２５５のＸ軸方向に沿った幅は、突出部２５４のＸ軸方向に沿った幅と異なっていてもよい。
また、本実施形態では、突出部２５５は、厚肉部２５１ＡのＹ軸方向での全域に亘って形成されている。これにより、厚肉部２５１ＡのＸ軸方向に沿った幅が小さくても、支持腕２５０Ａの質量を効果的に大きくすることができる。
【００４８】
なお、突出部２５５の平面視形状は、図示ではＹ軸方向での全域に亘ってＸ軸方向に沿った幅が一定であるが、これに限定されず、例えば、Ｙ軸方向での途中に内側にくびれた部分を有する形状であってもよいし、Ｙ軸方向での途中に外側に突出した部分を有する形状であってもよい。
以上説明したような第２実施形態に係る振動片２００Ａよっても、小型化を図っても、振動漏れを抑制し、ＣＩ値を低く抑えることができる。
【００４９】
＜第３実施形態＞
次に、本発明の第３実施形態について説明する。
図９は、本発明の第３実施形態に係る振動片を示す断面図である。
以下、第３実施形態について、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
第３実施形態は、厚肉部の構成が異なる以外は、第１実施形態とほぼ同様である。なお、図９では、前述した実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。
【００５０】
図９に示す振動片２００Ｂが備える支持腕２５０Ｂは、厚肉部２５１Ｂを有する。この厚肉部２５１ＢのＺ軸方向に沿った厚さＴ１は、振動腕２３０、２４０の基部２２０側の端部の厚さＴ２よりも厚い。
この厚肉部２５１Ｂは、部分２５３（第１部分）から−Ｚ軸方向に突出している突出部２５４Ｂ（第２部分）を有する。
【００５１】
この突出部２５４Ｂは、部分２５３の−Ｚ軸方向側の面に接合されている。これにより、水晶基板を薄肉化する工程が不要となる。そのため、比較的簡単に、振動腕２３０、２４０の寸法精度を優れたものとしながら、厚肉部２５１Ｂを形成することができる。なお、突出部２５４Ｂの部分２５３への接合は、水晶基板をエッチングすることにより振動腕２３０、２４０および部分２５３を形成する工程の前であってもよいし後であってもよい。
【００５２】
突出部２５４Ｂの構成材料としては、特に限定されないが、固定部を介して電気的導通をとる場合には、絶縁性材料、例えば、水晶、シリコン、樹脂材料、セラミックス材料、ガラス材料等を用いることが好ましい。
また、突出部２５４Ｂの構成材料は、部分２５３の構成材料（水晶）と同じであってもよいが、部分２５３の構成材料と異ならせることによって、突出部２５４Ｂの特性を調整することができる。
【００５３】
また、突出部２５４Ｂのヤング率（縦弾性係数）は、部分２５３（水晶）のヤング率よりも低いことが好ましい。これにより、部分２５３から突出部２５４Ｂを介して外部へ振動が漏れるのを抑制することができる。
また、突出部２５４Ｂの構成材料の熱膨張係数は、部分２５３の構成材料の熱膨張係数に対して０．５倍〜２倍の範囲であることが好ましい。こうすることで、突出部２５４Ｂと部分２５３の界面で発生する熱応力が増大することがないので、安定した振動特性を得ることができる。
【００５４】
突出部２５４Ｂと部分２５３との接合方法としては、突出部２５４Ｂおよび部分２５３の構成材料等によって異なり、特に限定されないが、例えば、接着剤による接合方法、陽極接合、直接接合等を用いることができる。
以上説明したような第３実施形態に係る振動片２００Ｂよっても、小型化を図っても、振動漏れを抑制し、ＣＩ値を低く抑えることができる。
【００５５】
＜第４実施形態＞
次に、本発明の第４実施形態について説明する。
図１０は、本発明の第４実施形態に係る振動片の平面図である。
以下、第４実施形態について、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
第４実施形態は、縮幅部の構成（形状）が異なる以外は、第１実施形態とほぼ同様である。なお、図１０では、前述した第１実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。
【００５６】
図１０に示す振動片２００Ｃが備える基部２２０Ｃでは、縮幅部２２２Ｃの輪郭は、対称軸Ｙ１を境にして対称形状である円弧状の円弧部２２２ｃで構成されており、円弧部２２２ｃの両端が、本体部２２１の−Ｙ軸方向側の各角と接続されている。
このような円弧部２２２ｃの曲率半径は、その全域にわたって一定となっている。なお、円弧部２２２ｃの曲率半径は、一定の場合に限定されず、例えば、−Ｙ軸方向に向けて漸増していてもよいし、反対に、漸減していてもよい。また、水晶基板をウェットエッチングすることにより振動腕２３０、２４０および基部２２０Ｃを含む振動基板を形成する場合、その振動基板の輪郭には水晶の結晶面が出現するため、微視的に見ると、円弧部２２２ｃは、短い直線状の部分の集合体となっているとも言えるが、このような場合も「円弧状」に含まれるものとする。また、この場合には、短い直線状の部分の集合体となった円弧部２２２ｃよりも内側（本体部２２１側）に、結晶面が現れない程度に追加でウェットエッチングを施して円弧を形成してもよい。
このような形状の縮幅部２２２Ｃを設けることによっても、前述した第１実施形態と同様に振動特性が向上することがシミュレーションにより確認されている。
以上説明したような第４実施形態に係る振動片２００Ｃよっても、小型化を図っても、振動漏れを抑制し、ＣＩ値を低く抑えることができる。
【００５７】
＜第５実施形態＞
次に、本発明の第５実施形態について説明する。
図１１は、本発明の第５実施形態に係る振動片の平面図である。
以下、第５実施形態について、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
【００５８】
第５実施形態は、縮幅部の構成（形状）が異なる以外は、第１実施形態とほぼ同様である。なお、図１１では、前述した第１実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。
図１１に示す振動片２００Ｄが備える基部２２０Ｄでは、縮幅部２２２Ｄの最大幅（Ｘ軸方向の長さの最大）Ｗｍａｘが、本体部２２１の幅Ｗよりも小さくなっている。したがって、縮幅部２２２Ｄは、本体部２２１の−Ｙ軸方向側の縁（辺）の両端部を除く中央部と接続されるようにして形成されている。
このような縮幅部２２２Ｄを設けることによっても、前述した第１実施形態と同様に振動特性が向上することがシミュレーションにより確認されている。
以上説明したような第５実施形態に係る振動片２００Ｄよっても、小型化を図っても、振動漏れを抑制し、ＣＩ値を低く抑えることができる。
【００５９】
＜第６実施形態＞
次に、本発明の第６実施形態について説明する。
図１２は、本発明の第６実施形態に係る振動片の平面図である。
以下、第６実施形態について、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
第６実施形態は、縮幅部の構成（形状）が異なる以外は、第１実施形態とほぼ同様である。なお、図１２では、前述した第１実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。
【００６０】
図１２に示す振動片２００Ｅが備える基部２２０Ｅでは、縮幅部２２２Ｅの輪郭は、平面視にて、Ｘ軸およびＹ軸の両軸に対して傾斜する直線状の傾斜部２２２ｄ、２２２ｅと、傾斜部２２２ｄ、２２２ｅの−Ｙ軸方向側の端同士を連結し、Ｘ軸に平行な連結部２２２ｆとを有している。
このような縮幅部２２２Ｅを設けることによっても、前述した第１実施形態と同様に振動特性が向上することがシミュレーションにより確認されている。
以上説明したような第６実施形態に係る振動片２００Ｅよっても、小型化を図っても、振動漏れを抑制し、ＣＩ値を低く抑えることができる。
【００６１】
＜第７実施形態＞
次に、本発明の第７実施形態について説明する。
図１３は、本発明の第７実施形態に係る振動片の平面図である。
以下、第７実施形態について、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
第７実施形態は、基部の構成（形状）が異なる以外は、前述した第１実施形態とほぼ同様である。なお、図１３では、前述した第１実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。
【００６２】
図１３に示す振動片２００Ｆが備える基部２２０Ｆは、本体部２２１と、本体部２２１の−Ｙ軸方向側に位置する縮幅部２２２と、本体部２２１の＋Ｙ軸方向側に位置し、振動腕２３０、２４０の間に位置する縮幅部２２３とを有している。言い換えれば、本実施形態の基部２２０Ｆは、本体部２２１を介して対向配置された２つの縮幅部２２２、２２３を有している。
【００６３】
また、縮幅部２２３は、本体部２２１と支持腕２５０との間に設けられている。言い換えれば、縮幅部２２３から支持腕２５０が突出している。このような配置で縮幅部２２３を設けることにより、振動腕２３０、２４０の振動が基部２２０を介して支持腕２５０に伝達されるのを抑制することができ、より効果的に振動漏れを抑制することができる。具体的には、振動腕２３０、２４０が互いに面内において離間するように屈曲変形しつつあり、変形している状態での振動では、特に、縮幅部２２２によって相殺（緩和・吸収）されるが、振動腕２３０、２４０が互いに面内において近接するように屈曲変形しつつあり、変形している状態での振動では、特に、縮幅部２２３によって相殺（緩和、吸収）することができるため、より効率的に振動漏れを抑制することができる。
【００６４】
本実施形態では、縮幅部２２３の輪郭は、Ｘ軸方向に対向配置され、Ｘ軸およびＹ軸の両軸に対して傾斜する直線状の傾斜部２２３ａ、２２３ｂによって構成されている。縮幅部２２３をこのような形状とすることにより、縮幅部２２３の構成の簡易化を図ることができる。なお、傾斜部２２３ａ、２２３ｂとＸ軸とのなす角度θ１は、特に限定されないが、傾斜部２２２ａ、２２２ｂとＸ軸とのなす角度θとほぼ等しいことが好ましい。
以上説明したような第７実施形態に係る振動片２００Ｆよっても、小型化を図っても、振動漏れを抑制し、ＣＩ値を低く抑えることができる。
【００６５】
２．振動子
次に、本発明の振動片を適用した振動子（本発明の振動子）について説明する。
＜第１例＞
まず、本発明の振動子の第１例を説明する。
図１４は、本発明の振動子の第１例を示す図である。
【００６６】
図１４に示す振動子１００は、振動片２００と、振動片２００を収納するパッケージ３００とを有している。
パッケージ３００は、上面に開放する凹部３１１を有するキャビティ型のベース基板３１０と、凹部３１１の開口を覆うようにベース基板３１０に接合されたリッド（蓋体）３２０とを有し、その内部空間に振動片２００を収納している。また、内部空間は、気密的に形成されている。
【００６７】
ベース基板３１０は、絶縁性を有する材料で構成されている。このような材料としては、特に限定されず、例えば、酸化物系セラミックス、窒化物系セラミックス、炭化物系セラミックス等の各種セラミックスなどを用いることができる。一方、リッド３２０は、ベース基板３１０の構成材料と線膨張係数が近似する部材で構成されている。このような材料としては、例えば、ベース基板３１０の構成材料を前述したようなセラミックスとした場合には、コバール等の合金を用いることができる。
凹部３１１の底面には、２つの接続電極３３１、３３２が形成されており、これら接続電極３３１、３３２は、それぞれ、図示しない貫通電極や層間配線を介して、ベース基板３１０の下面に形成された図示しない実装電極と電気的に接続されている。
【００６８】
収納空間に収納された振動片２００は、支持腕２５０において、支持腕２５０の２つの固定領域に１対の導電性接着剤３５１、３５２（接合部材）を介してベース基板３１０に支持、固定されている。一方の導電性接着剤３５１は、接続電極３３１と第１駆動用電極２８０とを電気的に接続するように設けられており、他方の導電性接着剤３５２は、接続電極３３２と第２駆動用電極２９０とを電気的に接続するように設けられている。
【００６９】
ここで、前述した第１実施形態の支持腕２５０の−Ｚ軸方向側に位置する突出部２５４の先端面は、Ｙ軸方向に沿って並んでいる２つの導電性接着剤３５１、３５２を介してパッケージ３００に固定されている。これにより、振動片２００とパッケージ３００との固定部のＸ軸方向に沿った幅を小さくすることができる。また、２つの導電性接着剤３５１、３５２を介した駆動信号の入力により振動片２００を駆動することができる。なお、導電性接着剤３５１、３５２に代えて、金属バンプを用いてもよい。
【００７０】
＜第２例＞
次に、本発明の振動子の第２例を説明する。
図１５は、本発明の振動子の第２例を示す図である。なお、以下では、第２例の振動子について、前述した第１例に係る振動子１００との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。また、図１５では、前述した第１例の振動子と同様の構成については、同一符号を付している。
【００７１】
図１５に示す振動子１００Ａは、振動片２００と、振動片２００を収納するパッケージ３００Ａとを有している。
パッケージ３００Ａでは、凹部３１１の底面に、２つの接続電極３３１Ａ、３３２Ａが形成されており、これら接続電極３３１Ａ、３３２Ａは、それぞれ、図示しない貫通電極や層間配線を介して、ベース基板３１０の下面に形成された図示しない実装電極と電気的に接続されている。
【００７２】
そして、前述した第１実施形態の支持腕２５０のＺ軸方向での一方側に位置する突出部２５４の先端面が１つの導電性接着剤３５１Ａを介してパッケージ３００Ａに固定されている。
また、支持腕２５０のＺ軸方向での他方側の面には、図示しないパッド電極が設けられ、そのパッド電極は、ボンディングワイヤーで構成された配線３５３を介して、接続電極３３２Ａに接続されている。
【００７３】
このように導電性接着剤３５１Ａおよび配線３５３を用いることにより、振動片２００とパッケージ３００Ａとの固定部の面積を小さくすることができる。そのため、支持腕２５０からパッケージ３００Ａへの振動漏れを抑制することができる。特に、振動片２００の重心Ｇに近い位置に固定部を設定することができるので、振動片２００をパッケージ３００Ａに搭載する際の姿勢制御が容易になる。また、導電性接着剤３５１Ａおよび配線３５３を介した駆動信号の入力により振動片２００を駆動することができる。
以上説明したような振動子は、小型で、優れた振動特性を有する。
【００７４】
３．発振器
次に、本発明の振動片を適用した発振器（本発明の発振器）の一例について説明する。
図１６は、本発明の発振器の一例を示す図である。
図１６に示す発振器９００は、振動片２００と、振動片２００を収納するパッケージ４００と、振動片２００を駆動するためのＩＣチップ（チップ部品）５００とを有している。
【００７５】
パッケージ４００は、ベース基板４１０と、ベース基板４１０に接合されたリッド（蓋体）４２０とを有している。
ベース基板４１０は、上面に開放する第１凹部４１１と、下面に開放する第２凹部４１２とを有している。
第１凹部４１１の開口は、リッド４２０によって塞がれており、その内側に、振動片２００が収納されている。また、第１凹部４１１内には、２つの接続電極４３１、４３２が形成されている。第１凹部４１１内の振動片２００は、支持腕２５０において、一対の導電性接着剤４５１、４５２を介してベース基板４１０に支持、固定されている。また、一方の導電性接着剤４５１は、接続電極４３１と第１駆動用電極２８０とを電気的に接続するように設けられており、他方の導電性接着剤４５２は、接続電極４３２と第２駆動用電極２９０とを電気的に接続するように設けられている。
【００７６】
一方、第２凹部４１２内にはＩＣチップ５００が収容されており、このＩＣチップ５００は、接着剤を介してベース基板４１０に固定されている。また、第２凹部４１２内には、少なくとも２つのＩＣ接続電極４３３、４３４が形成されている。ＩＣ接続電極４３３は、ボンディングワイヤーによってＩＣチップ５００と電気的に接続されているとともに、図示しない貫通電極や層間配線を介して接続電極４３１と電気的に接続されている。同様に、ＩＣ接続電極４３４は、ボンディングワイヤーによってＩＣチップ５００と電気的に接続されているとともに、図示しない貫通通電極や層間配線を介して接続電極４３２と電気的に接続されている。また、第２凹部４１２内には樹脂組成物で構成された封止材７００が充填されており、この封止材７００によって、ＩＣチップ５００が封止されている。
ＩＣチップ５００は、振動片２００の駆動を制御するための駆動回路（発振回路）を有しており、このＩＣチップ５００によって振動片２００を駆動すると、所定の周波数の信号を取り出すことができる。
以上説明したような発振器は、小型で、優れた発振特性を有する。
【００７７】
４．電子機器
次いで、本発明の振動片を適用した電子機器（本発明の電子機器）について、図１７〜図１９に基づき、詳細に説明する。
図１７は、本発明の電子機器の第１例であるモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピューターの構成を示す斜視図である。
【００７８】
この図において、パーソナルコンピューター１１００は、キーボード１１０２を備えた本体部１１０４と、表示部２０００を備えた表示ユニット１１０６とにより構成され、表示ユニット１１０６は、本体部１１０４に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。このようなパーソナルコンピューター１１００には、発振器９００（振動片２００）が内蔵されている。
【００７９】
図１８は、本発明の電子機器の第２例である携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図である。
この図において、携帯電話機１２００は、複数の操作ボタン１２０２、受話口１２０４および送話口１２０６を備え、操作ボタン１２０２と受話口１２０４との間には、表示部２０００が配置されている。このような携帯電話機１２００には、発振器９００（振動片２００）が内蔵されている。
【００８０】
図１９は、本発明の電子機器の第３例であるディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図である。なお、この図には、外部機器との接続についても簡易的に示されている。ここで、通常のカメラは、被写体の光像により銀塩写真フィルムを感光するのに対し、ディジタルスチルカメラ１３００は、被写体の光像をＣＣＤ（Charge Coupled Device）などの撮像素子により光電変換して撮像信号（画像信号）を生成する。
【００８１】
ディジタルスチルカメラ１３００におけるケース（ボディー）１３０２の背面には、表示部が設けられ、ＣＣＤによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、表示部は、被写体を電子画像として表示するファインダーとして機能する。また、ケース１３０２の正面側（図中裏面側）には、光学レンズ（撮像光学系）やＣＣＤなどを含む受光ユニット１３０４が設けられている。
【００８２】
撮影者が表示部に表示された被写体像を確認し、シャッタボタン１３０６を押下すると、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、メモリー１３０８に転送・格納される。また、このディジタルスチルカメラ１３００においては、ケース１３０２の側面に、ビデオ信号出力端子１３１２と、データ通信用の入出力端子１３１４とが設けられている。そして、図示されるように、ビデオ信号出力端子１３１２にはテレビモニター１４３０が、デ−タ通信用の入出力端子１３１４にはパーソナルコンピューター１４４０が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、メモリー１３０８に格納された撮像信号が、テレビモニター１４３０や、パーソナルコンピューター１４４０に出力される構成になっている。このようなディジタルスチルカメラ１３００には、発振器９００（振動片２００）が内蔵されている。
以上説明したような電子機器は、優れた信頼性を有する。
【００８３】
なお、本発明の振動片を備える電子機器は、図１７のパーソナルコンピューター（モバイル型パーソナルコンピューター）、図１８の携帯電話機、図１９のディジタルスチルカメラの他にも、例えば、インクジェット式吐出装置（例えばインクジェットプリンター）、ラップトップ型パーソナルコンピューター、テレビ、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダー、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシミュレーター等に適用することができる。
【００８４】
５．移動体
図２０は、本発明の移動体の一例である自動車の構成を示す斜視図である。
この図において、移動体１５００は、車体１５０１と、４つの車輪１５０２とを有しており、車体１５０１に設けられた図示しない動力源（エンジン）によって車輪１５０２を回転させるように構成されている。このような移動体１５００には、発振器９００（振動片２００）が内蔵されている。
以上説明したような移動体は、優れた信頼性を有する。なお、本発明の移動体は、自動車に限定されず、例えば、航空機、船舶、オートバイ等の各種移動体に適用可能である。
【００８５】
以上、本発明の振動片、振動子、発振器、電子機器および移動体について、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に、他の任意の構成物が付加されていてもよい。また、各実施形態を適宜組み合わせてもよい。
また、前述した実施形態の縮幅部の輪郭には、突出部や窪み（切り欠き）が形成されていてもよい。
【符号の説明】
【００８６】
１００‥‥振動子  １００Ａ‥‥振動子  ２００‥‥振動片  ２００Ａ‥‥振動片  ２００Ｂ‥‥振動片  ２００Ｃ‥‥振動片  ２００Ｄ‥‥振動片  ２００Ｅ‥‥振動片  ２００Ｆ‥‥振動片  ２１０‥‥振動基板  ２２０‥‥基部  ２２０Ｃ‥‥基部  ２２０Ｄ‥‥基部  ２２０Ｅ‥‥基部  ２２０Ｆ‥‥基部  ２２０Ｘ‥‥基部  ２２１‥‥本体部  ２２２‥‥縮幅部  ２２２Ａ‥‥縮幅部  ２２２Ｃ‥‥縮幅部  ２２２Ｄ‥‥縮幅部  ２２２Ｅ‥‥縮幅部  ２２２ａ‥‥傾斜部  ２２２ｂ‥‥傾斜部  ２２２ｃ‥‥円弧部  ２２２ｄ‥‥傾斜部  ２２２ｅ‥‥傾斜部  ２２２ｆ‥‥連結部  ２２３‥‥縮幅部  ２２３ａ‥‥傾斜部  ２２３ｂ‥‥傾斜部  ２３０‥‥振動腕  ２３１‥‥主面  ２３２‥‥主面  ２３３‥‥側面  ２３４‥‥側面  ２３５‥‥溝  ２３６‥‥溝  ２４０‥‥振動腕  ２４１‥‥主面  ２４２‥‥主面  ２４３‥‥側面  ２４４‥‥側面  ２４５‥‥溝２４６‥‥溝  ２５０‥‥支持腕  ２５０Ａ‥‥支持腕  ２５０Ｂ‥‥支持腕  ２５１‥‥厚肉部  ２５１Ａ‥‥厚肉部  ２５１Ｂ‥‥厚肉部  ２５２‥‥接続部  ２５３‥‥部分（第１部分）  ２５４‥‥突出部  ２５４Ｂ‥‥突出部（第２部分）  ２５５‥‥突出部  ２６０‥‥ハンマーヘッド  ２７０‥‥ハンマーヘッド  ２８０‥‥駆動用電極  ２９０‥‥駆動用電極  ３００‥‥パッケージ  ３００Ａ‥‥パッケージ  ３１０‥‥ベース基板  ３１１‥‥凹部  ３２０‥‥リッド  ３３１‥‥接続電極  ３３１Ａ‥‥接続電極  ３３２‥‥接続電極  ３３２Ａ‥‥接続電極  ３５１‥‥導電性接着剤  ３５１Ａ‥‥導電性接着剤  ３５２‥‥導電性接着剤  ３５３‥‥配線  ４００‥‥パッケージ  ４１０‥‥ベース基板  ４１１‥‥凹部  ４１２‥‥凹部  ４２０‥‥リッド  ４３１‥‥接続電極  ４３２‥‥接続電極  ４３３‥‥ＩＣ接続電極  ４３４‥‥ＩＣ接続電極  ４５１‥‥導電性接着剤  ４５２‥‥導電性接着剤  ５００‥‥ＩＣチップ  ７００‥‥封止材  ９００‥‥発振器  １１００‥‥パーソナルコンピューター  １１０２‥‥キーボード  １１０４‥‥本体部  １１０６‥‥表示ユニット  １２００‥‥携帯電話機  １２０２‥‥操作ボタン  １２０４‥‥受話口  １２０６‥‥送話口  １３００‥‥ディジタルスチルカメラ  １３０２‥‥ケース  １３０４‥‥受光ユニット  １３０６‥‥シャッタボタン  １３０８‥‥メモリー  １３１２‥‥ビデオ信号出力端子  １３１４‥‥入出力端子  １４３０‥‥テレビモニター  １４４０‥‥パーソナルコンピューター  １５００‥‥移動体  １５０１‥‥車体  １５０２‥‥車輪  ２０００‥‥表示部  Ｇ‥‥重心  Ｙ１‥‥対称軸（仮想線分）  θ‥‥角度  θ１‥‥角度
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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