(57)【要約】【課題】放物面鏡の精度を容易に評価可能な放物面鏡評価装置を提供する。【解決手段】円柱部分１０を有し、円柱部分１０の端面の中心に放物面鏡１３の開口が設けられた反射部材１を保持する治具２であって、反射部材１の円柱部分１０の外周と略同一の内周を有する円形の開口２１であって、反射部材１の円柱部分１０が挿入される開口２１を有する治具２と、治具２の円形の開口２１の中心を通る法線上にある放物面鏡１３の設計上の第１の焦点位置に光源を配置するための光源保持部材３と、を備える、放物面鏡評価装置。【選択図】図１２
2014025881.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
円柱部分を有し、前記円柱部分の端面の中心に放物面鏡の開口が設けられた反射部材を保持する治具であって、前記反射部材の円柱部分の外周と略同一の内周を有する円形の開口であって、前記反射部材の円柱部分が挿入される開口を有する治具と、
前記治具の円形の開口の中心を通る法線上にある前記放物面鏡の設計上の第１の焦点位置に光源を配置するための光源保持部材と、
を備える、放物面鏡評価装置。
【請求項２】
前記反射部材の円柱部分が、第１の円柱部分及び前記第１の円柱部分より外周が小さい第２の円柱部分を有し、
前記治具の円形の開口が、前記反射部材の第２の円柱部分の外周と略同一の内周を有し、
前記反射部材の第１の円柱部分と前記第２の円柱部分とがなす段が前記治具に接触するまで、前記反射部材の第２の円柱部分が前記治具の円形の開口に挿入される、
請求項１に記載の放物面鏡評価装置。
【請求項３】
前記光源保持部材が、前記設計上の第１の焦点位置に前記光源を配置するためのアームを有する、請求項１又は２に記載の放物面鏡評価装置。
【請求項４】
前記反射部材が円柱部材を旋盤により切削して製造された、請求項１乃至３のいずれか１項に記載の放物面鏡評価装置。
【請求項５】
前記治具の円形の開口の中心を通る法線上を移動可能な受光素子を更に備える、請求項１乃至４のいずれか１項に記載の放物面鏡評価装置。
【請求項６】
前記光源から発せられ、前記放物面鏡で反射された光を前記受光素子が最も受光する位置を特定する位置特定部を更に備える、請求項５に記載の放物面鏡評価装置。
【請求項７】
前記特定された位置を前記放物面鏡の実測された第２の焦点位置とし、前記設計上の第１の焦点位置と、前記実測された第２の焦点位置と、に基づいて、楕円の方程式を算出する楕円方程式算出部を更に備える、請求項６に記載の放物面鏡評価装置。
【請求項８】
前記実測された第２の焦点位置に基づいて算出された楕円の方程式と、前記放物面鏡の形状を表す設計上の楕円の方程式と、を比較する比較部を更に備える、請求項７に記載の放物面鏡評価装置。
【請求項９】
前記特定された位置を前記放物面鏡の実測された第２の焦点位置とし、当該実測された第２の焦点位置と、前記放物面鏡の設計上の第２の焦点位置と、を比較する比較部を更に備える、請求項６に記載の放物面鏡評価装置。
【請求項１０】
円柱部分を有し、前記円柱部分の端面の中心に放物面鏡の開口が設けられた反射部材を用意することと、
前記反射部材の円柱部分の外周と略同一の内周を有する円形の開口を有する治具を用意することと、
前記反射部材の円柱部分を前記治具の開口に挿入することと、
前記治具の円形の開口の中心を通る法線上にある前記放物面鏡の設計上の第１の焦点位置に光源を配置することと、
を含む、放物面鏡の評価方法。
【請求項１１】
前記反射部材の円柱部分が、第１の円柱部分及び前記第１の円柱部分より外周が小さい第２の円柱部分を有し、
前記治具の円形の開口が、前記反射部材の第２の円柱部分の外周と略同一の内周を有し、
前記反射部材の第１の円柱部分と前記第２の円柱部分とがなす段が前記治具に接触するまで前記反射部材の第２の円柱部分を前記治具の円形の開口に挿入する、
請求項１０に記載の放物面鏡の評価方法。
【請求項１２】
前記光源保持部材が、前記設計上の第１の焦点位置に前記光源を配置するためのアームを有する、請求項１０又は１１に記載の放物面鏡の評価方法。
【請求項１３】
前記反射部材が円柱部材を旋盤により切削して製造された、請求項１０乃至１２のいずれか１項に記載の放物面鏡の評価方法。
【請求項１４】
前記治具の円形の開口の中心を通る法線上を移動可能な受光素子で、前記光源から発せられ、前記放物面鏡で反射された光を受光することを更に含む、請求項１０乃至１３のいずれか１項に記載の放物面鏡の評価方法。
【請求項１５】
前記受光素子が前記光を最も受光する位置を特定することを更に含む、請求項１４に記載の放物面鏡の評価方法。
【請求項１６】
前記特定された位置を前記放物面鏡の実測された第２の焦点位置とし、前記設計上の第１の焦点位置と、前記実測された第２の焦点位置と、に基づいて、楕円の方程式を算出することを更に含む、請求項１５に記載の放物面鏡の評価方法。
【請求項１７】
前記実測された第２の焦点位置に基づいて算出された楕円の方程式と、前記放物面鏡の形状を表す設計上の楕円の方程式と、を比較することを更に含む、請求項１６に記載の放物面鏡の評価方法。
【請求項１８】
前記特定された位置を前記放物面鏡の実測された第２の焦点位置とし、当該実測された第２の焦点位置と、前記放物面鏡の設計上の第２の焦点位置と、を比較することを更に含む、請求項１５に記載の放物面鏡の評価方法。
【請求項１９】
アパーチャを用いない、請求項１０乃至１８のいずれか１項に記載の放物面鏡の評価方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は光学技術に関し、特に放物面鏡評価装置及び放物面鏡の評価方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
放物面鏡は、光学式粒子検出装置やプロジェクタ等の光学機器の光源ユニットに広く用いられている。光源ユニットにおいて、放物面鏡の第１の焦点に配置された光源から発せられた光は、放物面鏡で反射され、放物面鏡の第２の焦点に集光する。ここで、放物面鏡の製造精度が低いと、焦点位置がずれたり、収差が生じたりする。そのため、製造された放物面鏡の精度を検査する方法が提案されている（例えば、特許文献１、２。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−１１６３２７号公報
【特許文献２】特開２００８−１３９２７７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、放物面鏡の精度を容易に評価可能な放物面鏡評価装置及び放物面鏡の評価方法を提供することを目的の一つとする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の態様によれば、（ａ）円柱部分を有し、円柱部分の端面の中心に放物面鏡の開口が設けられた反射部材を保持する治具であって、反射部材の円柱部分の外周と略同一の内周を有する円形の開口であって、反射部材の円柱部分が挿入される開口を有する治具と、（ｂ）治具の円形の開口の中心を通る法線上にある放物面鏡の設計上の第１の焦点位置に光源を配置するための光源保持部材と、を備える、放物面鏡評価装置が提供される。
【０００６】
また、本発明の態様によれば、（ａ）円柱部分を有し、円柱部分の端面の中心に放物面鏡の開口が設けられた反射部材を用意することと、（ｂ）反射部材の円柱部分の外周と略同一の内周を有する円形の開口を有する治具を用意することと、（ｃ）反射部材の円柱部分を治具の開口に挿入することと、（ｄ）治具の円形の開口の中心を通る法線上にある放物面鏡の設計上の第１の焦点位置に光源を配置することと、を含む、放物面鏡の評価方法が提供される。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、放物面鏡の精度を容易に評価可能な放物面鏡評価装置及び放物面鏡の評価方法を提供可能である。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の実施の形態に係る反射部材の斜視図である。
【図２】本発明の実施の形態に係る反射部材の正面図である。
【図３】本発明の実施の形態に係る反射部材の第１の断面図である。
【図４】本発明の実施の形態に係る反射部材の第２の断面図である。
【図５】本発明の実施の形態に係る反射部材の製造方法を示す第１の工程図である。
【図６】本発明の実施の形態に係る反射部材の製造方法を示す第２の工程図である。
【図７】本発明の実施の形態に係る反射部材の製造方法を示す第３の工程図である。
【図８】本発明の実施の形態に係る反射部材の製造方法を示す第４の工程図である。
【図９】本発明の実施の形態に係る反射部材の製造方法を示す第５の工程図である。
【図１０】本発明の実施の形態に係る反射部材の製造方法を示す第６の工程図である。
【図１１】本発明の実施の形態に係る反射部材の製造方法を示す第７の工程図である。
【図１２】本発明の実施の形態に係る放物面鏡評価装置の斜視図である。
【図１３】本発明の実施の形態に係る放物面鏡評価装置の断面図である。
【図１４】本発明の実施の形態に係る放物面鏡評価装置の模式図である。
【図１５】本発明の実施の形態に係る放物面鏡における光の進路を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下に本発明の実施の形態を説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号で表している。但し、図面は模式的なものである。したがって、具体的な寸法等は以下の説明を照らし合わせて判断するべきものである。また、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることは勿論である。
【００１０】
まず、実施の形態に係る放物面鏡評価装置によって評価される放物面鏡を有する反射部材の一例について説明する。斜視図である図１、正面図である図２、ＩＩＩ−ＩＩＩ方向から見た断面図である図３に示すように、実施の形態に係る反射部材１は、円柱部分１０を有し、円柱部分１０の端面の中心に放物面鏡１３の円形の開口が設けられている。反射部材１の円柱部分１０は、第１の円柱部分１１及び第１の円柱部分１１より外周が小さい第２の円柱部分１２を有する。これにより、反射部材１の第１の円柱部分１１と第２の円柱部分１２の接続部は、段１４をなしている。また、反射部材１には、光源等を配置するための貫通孔１５、１６が設けられている。
【００１１】
図４に示すように、断面において、放物面鏡１３の輪郭は、楕円の一部をなしている。そのため、放物面鏡１３は、第１の焦点及び第２の焦点を有する。第２の焦点は、第１の焦点よりも放物面鏡１３から離れている。第１の焦点に光源が配置されると、光源から発せられた光は放物面鏡１３の表面で反射され、第２の焦点に集光される。
【００１２】
次に、実施の形態に係る反射部材１の製造方法について説明する。まず、図５に示すように、アルミ及びステンレス等の金属材料からなる円柱部材１００を用意する。次に、図６に示すように、旋盤の面板２０１に円柱部材１００を固定する。さらに、円柱部材１００の端面の中心を通る法線を軸にして円柱部材１００を回転させながら側面を切削する外丸削りにより、第１の円柱部分１１及び第２の円柱部分１２を形成する。その後、図７に示すように、中刳りにより、第１の円柱部分１１の端面に開口を有する放物面鏡１３を形成する。この際、第１の円柱部分１１の円形の端面の中心と、放物面鏡１３の円形の開口の中心と、は一致し、旋盤の回転軸上に存在する。次に、図８に示すように、突切りにより、円柱部材１００から第１の円柱部分１１及び第２の円柱部分１２を切り落とす。
【００１３】
さらに、図９に示すように、旋盤の面板２０１に第１の円柱部分１１を固定し、第２の円柱部分の底面側を必要に応じて円錐状に切削する。また、図１０に示すように、固定器具２０２に第１の円柱部分１１を固定し、ドリル及びエンドミル等を用いて、貫通孔１５、１６を形成する。その後、図１１に示すように、旋盤の面板２０１に第２の円柱部分１２を固定し、ダイヤモンド切削針２０３等で放物面鏡１３の表面の最終仕上げをする。このように円柱部材１００から旋盤により削り出されて製造された反射部材１は、外径に対して中心位置の精度が高い。そのため、放物面鏡１３は、円柱部分１０の外径に対して精度よく中心に位置する。
【００１４】
ここで、実施の形態に係る放物面鏡評価装置は、斜視図である図１２、及び断面図である図１３に示すように、反射部材１を保持する治具２であって、反射部材１の円柱部分１０の少なくとも一部分の外周と略同一の内周を有する円形の開口２１であって、反射部材１の円柱部分１０の少なくとも一部分が挿入される開口２１を有する治具２と、治具２の円形の開口２１の中心を通る法線上にある放物面鏡１３の設計上の第１の焦点位置に光源４を配置するための光源保持部材３と、を備える。ここで、放物面鏡１３の設計上の第１の焦点位置とは、放物面鏡１３を設計した際に設定された第１の焦点の位置である。
【００１５】
治具２の円形の開口２１は、反射部材１の第２の円柱部分１２の外周と略同一の内周を有する。例えば、反射部材１の第２の円柱部分１２は、反射部材１の第１の円柱部分１１と第２の円柱部分１２とがなす段１４が治具２に接触するまで、治具２の円形の開口２１に挿入される。これにより、治具２の表面に対する放物面鏡１３の位置が固定される。
【００１６】
上述したように、放物面鏡１３は、円柱部分１０の外径に対して精度よく中心に位置する。そのため、反射部材１が治具２に固定されると、放物面鏡１３は、治具２の円形の開口２１の内径に対しても、精度よく中心に位置する。よって、治具２に固定された放物面鏡１３の設計上の第１の焦点位置は、治具２の円形の開口２１の中心を通る法線上に存在し、放物面鏡１３の設計図等から予め特定することが可能である。
【００１７】
治具２の表面に固定される光源保持部材３は、治具２に固定された反射部材１の放物面鏡１３の設計上の第１の焦点位置に光源４を保持するためのアーム等を有する。治具２及び光源保持部材３の材料としては、アルミニウム合金等が使用可能である。放物面鏡１３の設計上の第１の焦点位置に配置される光源４としては、発光ダイオード（ＬＥＤ）等が使用可能である。
【００１８】
図１３に示すように、実施の形態に係る放物面鏡評価装置は、治具２の円形の開口２１の中心を通る法線上を移動可能な受光素子５をさらに備える。受光素子５は、圧電素子等の駆動装置６によって、治具２の円形の開口２１の中心を通る法線と平行に配置されたレール７上を水平に移動する。駆動装置６の駆動電力等から、受光素子５が存在する位置を特定することが可能である。なお、受光素子５を、放物面鏡１３の設計上の第２の焦点位置近傍で移動させることにより、アパーチャの配置を省略することが可能である。
【００１９】
受光素子５及び駆動装置６は、図１４に示す中央演算処理装置（ＣＰＵ）３００に接続されている。ＣＰＵ３００は、位置特定部３０１を含む。位置特定部３０１は、図１３に示す光源４から発せられ、放物面鏡１３で反射された光を受光素子５が最も強い光強度で受光する位置を特定する。
【００２０】
例えば図１３に示すように、治具２の円形の開口２１の中心を通る法線を含む面において、治具２の円形の開口２１の中心を通る法線をＸ軸とし、Ｘ軸に垂直なＹ軸を規定すると、放物面鏡１３の設計上の第１の焦点位置の座標を（ＸＤ１，０）と規定することが可能である。位置特定部３０１は、例えば駆動装置６に駆動電力を与えて、Ｘ軸上で受光素子５を移動させ、受光素子５が最も強い光強度で受光する位置の座標（ＸＡ２，０）を、放物面鏡１３の実測された第２の焦点位置として特定する。位置特定部３０１は、特定した放物面鏡１３の実測された第２の焦点位置を、位置記憶装置４０１に保存する。
【００２１】
ＣＰＵ３００は、さらに、設計値記憶装置４０２と、楕円方程式算出部３０２と、を含む。設計値記憶装置４０２は、放物面鏡１３の設計上の第１の焦点位置を保存する。また、設計値記憶装置４０２は、放物面鏡１３の輪郭の少なくとも一部をなす楕円の設計上の方程式も保存する。楕円方程式算出部３０２は、設計値記憶装置４０２から読み出した設計上の第１の焦点位置と、位置記憶装置４０１から読み出した実測された第２の焦点位置と、に基づいて、治具２に固定された、製造された放物面鏡１３の輪郭の少なくとも一部をなす楕円の方程式を算出する。製造された放物面鏡１３の輪郭の少なくとも一部をなす楕円の方程式は、下記（１）式で与えられる。ここで、ａＡ、ｂＡは定数であり、２ａＡが楕円の長軸の長さ、２ｂＡが楕円の短軸の長さとなる。
bA2X2+ aA2Y2 = aA2 bA2   (1)
【００２２】
図１５に示すように、放物面鏡１３の設計上の第１の焦点位置ＦＤ１（ＸＤ１，０）に配置された光源４から発せられ、放物面鏡１３表面の任意の点Ｐ（ＸＰ，ＹＰ）で正反射し、放物面鏡１３の実測された第２の焦点位置ＦＡ２（ＸＡ２，０）に到達する光は、正反射のベクトル式である下記（２）式で表現される。
【数１】
2014025881.tif 000003
【数２】
2014025881.tif 000004
【００２３】
上記（３）式の内積は、下記（４）式で与えられる。
-1×(-(XP-XD1)αbA (bA2-YP2)1/2- aA YP2α)
= (XP-XD1)αbA (bA2-YP2)1/2  + aA YP2α
=α{(XP-XD1) bA(bA2-YP2)1/2  + aA YP2}    (4)
なお、上記（４）式において、αは下記（５）式で与えられる。
α=1/{ aA2YP2 + bA2(bA2-YP2)}1/2     (5)
【００２４】
よって、上記（２）式は下記（６）式で表される。
【数３】
2014025881.tif 000005
【００２５】
上記（６）式のＸ成分は下記（７）式で与えられる。
XP-XA2 = -XP+XD1+2α{(XP-XD1) bA(bA2-YP2)1/2+ aAYP2}×αbA(bA2-YP2)1/2    (7)
上記（７）式から下記（８）式が導かれる。
2XP-(XA2+XD1)=2α2 bA {(XP-XD1) bA (bA2-YP2) + aAYP2(bA2-YP2)1/2    (8)
【００２６】
また、上記（６）式のＹ成分は下記（９）式で与えられる。
YP = -YP+2α2{(XP-XD1) bAaA YP(bA2-YP2)1/2+ aA2YP3}    (9)
上記（９）式から下記（１０）式が導かれる。
bA aA (bA2-YP2)1/2 = bA2(bA2-YP2) / (XP-XD1)    (10)
【００２７】
ここで、（８）式のαに（５）式を代入すると、下記（１１）式が与えられる。
2XP-(XA2+XD1)={2bA/{aA2YP2+bA2(bA2-YP2)}}*{(XP-XD1)bA(bA2-YP2)+aAYP2(bA2-YP2)1/2}    (11)
【００２８】
上記（１０）式と（１１）式から、ａＡ２を表す下記（１２）式が得られる。
aA2={bA2(bA2-YP2)/ YP2}*{2{(XP-XD1)2+YP2}-(XP-XD1)(2XP-XA2-XD1)}/{(XP-XD1)(2XP-XA2-XD1)}   
={bA2 (bA2-YP2)/ YP2}*β      (12)
ただし、β={2{(XP-XD1)2+YP2}-(XP-XD1)(2XP-XA2-XD1)}/{(XP-XD1)(2XP-XA2-XD1)}
放物面鏡１３表面における任意の点Ｐ（ＸＰ，ＹＰ）は実測により特定の値を決めることができる。点Ｐ（ＸＰ，ＹＰ）は反射部材１における放物面鏡１３の開口部で定めてもよい。ＸＰ及びＹＰの値が決定されると、上記（１２）式はａＡ２とｂＡ２との関係式となる。
【００２９】
上記（１）式で与えられる楕円の方程式に、放物面鏡１３の特定の点Ｐの座標（ＸＰ，ＹＰ）を代入すると、下記（１３）式が得られる。
bA2XP2+ aA2YP2 = aA2bA2   (13)
【００３０】
上記（１２）式で与えられるａＡ２を（１３）式に代入することにより、下記（１４）式が得られる。
bA2XP2+ bA2 (bA2-YP2) *β = { bA4 (bA2-YP2)/ YP2}*β   (14)
【００３１】
上記（１４）式から下記（１５）式が得られる。
bA4-2YP2bA2+YP4-(1/β)XP2YP2=0    (15)
ここで、γ=-2YP2、ι= YP4-(1/β)XP2YP2とおくと、下記（１６）式が得られる。
bA4+γbA2+ι=0    (16)
上記（１６）式を変形すると、下記（１７）式が得られる。
bA2=-(γ/2)±{(γ2-4ι)1/2}/2    (17)
【００３２】
ＸＤ１、ＸＡ２、ＸＰ、ＹＰの値は特定されるため、β、γ、ιの値も特定される。したがって、ｂＡが０より大であることを考慮して、上記（１７）式からｂＡの値を求めることが可能である。また、ｂＡの値と、上記（１２）式と、から、ａＡの値も求めることが可能である。これにより、楕円方程式算出部３０２は、上記（１）式で与えられる製造された放物面鏡１３の輪郭の少なくとも一部をなす楕円の方程式を算出する。楕円方程式算出部３０２は、算出した方程式を、方程式記憶装置４０３に保存する。
【００３３】
ＣＰＵ３００は、さらに、比較部３０３及び評価部３０４を含む。比較部３０３は、方程式記憶装置４０３から、実測された第２の焦点位置に基づいて算出された楕円の方程式を読み出す。また、比較部３０３は、設計値記憶装置４０２から、放物面鏡１３の形状を表す設計上の楕円の方程式も読み出す。さらに比較部３０３は、設計上の楕円の方程式と、実測された第２の焦点位置に基づいて算出された楕円の方程式と、を比較し、差異を数値化する。比較部３０３は、比較結果を記憶装置に保存したり、出力装置に出力したりしてもよい。
【００３４】
評価部３０４は、比較部３０３が比較して数値化した差異に基づき、製造された放物面鏡１３の品質を評価する。例えば、実測された第２の焦点位置に基づいて算出された楕円の方程式が、設計上の楕円の方程式と一致するか近似する場合は、評価部３０４は、放物面鏡１３が設計通りに製造されたと評価する。しかし、実測された第２の焦点位置に基づいて算出された楕円の方程式が、設計上の楕円の方程式と異なる場合は、評価部３０４は、放物面鏡１３が設計通りに製造されなかったと評価する。評価部３０４は、評価結果を記憶装置に保存したり、出力装置に出力したりしてもよい。
【００３５】
従来、放物面鏡を評価する際には、点光源を３次元的に移動させて実験的に第１の焦点位置を探していた。しかし、第１の焦点位置を実験的に探すのは時間がかかる。また、実験的に探索された第１の焦点位置に光源を配置し、第２の焦点位置の評価をしても、そもそも実験的に探索された第１の焦点位置が正確であるか否かが不明であるため、第２の焦点位置の評価の正確性にも不明点が残る。
【００３６】
これに対し、本発明者は、旋盤で削り出された反射部材１の中心精度が高く、放物面鏡１３の第１の焦点が円柱状の反射部材１の中心軸上に存在することに着目した。当該知見に基づく実施の形態に係る放物面鏡評価装置は、放物面鏡１３の設計上の第１の焦点位置に光源４を配置する。そのため、光源の配置位置を実験的に探索する必要がなく、放物面鏡１３の評価時間の短縮を可能にする。また、光源４が放物面鏡１３の設計上の第１の焦点位置に配置されていることは明らかであるため、評価結果に対応する際に、考慮すべき要因を低減することも可能となる。
【００３７】
（その他の実施の形態）
上記のように、本発明を実施の形態によって記載したが、この開示の一部をなす記述及び図面はこの発明を限定するものであると理解するべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施の形態及び運用技術が明らかになるはずである。例えば、図１４に示した比較部３０３は、位置特定部３０１が特定した放物面鏡１３の実測された第２の焦点位置と、放物面鏡１３を設計した際に設定された第２の焦点位置と、を比較してもよい。この場合、実測された第２の焦点位置が、設計上の第２の焦点位置と一致するか近似する場合は、評価部３０４は、放物面鏡１３が設計通りに製造されたと評価する。しかし、実測された第２の焦点位置が、設計上の第２の焦点位置と異なる場合は、評価部３０４は、放物面鏡１３が設計通りに製造されなかったと評価する。このように、本発明はここでは記載していない様々な実施の形態等を包含するということを理解すべきである。
【符号の説明】
【００３８】
１     反射部材
２     治具
３     光源保持部材
４     光源
５     受光素子
６     駆動装置
７     レール
１０   円柱部分
１１   第１の円柱部分
１２   第２の円柱部分
１３   放物面鏡
１４   段
１５、１６    貫通孔
２１   開口
１００ 円柱部材
２０１ 面板
２０２ 固定器具
２０３ ダイヤモンド切削針
３０１ 位置特定部
３０２ 楕円方程式算出部
３０３ 比較部
３０４ 評価部
４０１ 位置記憶装置
４０２ 設計値記憶装置
４０３ 方程式記憶装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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