(57)【要約】 【課題】焼結セラミックシートを迅速に複雑な形状に加工する裁断焼結セラミックシートの製造方法と前記方法で製造した裁断焼結セラミックシートを提供する。 【解決手段】セラミックグリーンシートを成形する第一工程と、成形セラミックグリーンシートを焼成する第二工程と、焼結セラミックシートの少なくとも片面に粘着剤が塗布された可撓性樹脂フィルムを貼着してフィルム貼着セラミックシートを得る第三工程と、前記フィルム貼着セラミックシートをせん断する第四工程と、からなる裁断焼結セラミックシートの製造方法を提供する。 当該製造方法では、フィルム貼着セラミックシートをせん断して、フィルム貼着セラミックシートの内方領域と、当該内方領域を包囲する外方領域とを分離することを特徴とする。【選択図】図１０
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
焼結セラミックシートの少なくとも片面に可撓性フィルムが貼着されたフィルム貼着セラミックシートをせん断することを特徴とする裁断焼結セラミックシートの製造方法。
【請求項２】
前記フィルム貼着セラミックシートを金型でせん断することを特徴とする請求項１に記載の裁断焼結セラミックシートの製造方法。
【請求項３】
前記せん断されたフィルム貼着セラミックシートのせん断部縁端まで前記可撓性樹脂フィルムが延展し貼着されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の裁断焼結セラミックシートの製造方法。
【請求項４】
焼結セラミックシートの少なくとも片面に可撓性フィルムが貼着されたフィルム貼着セラミックシートを上下金型のエッジ間でせん断し、前記エッジ間のクリアランス（Ｘ）が５〜５０μｍであることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の裁断焼結セラミックシートの製造方法。
【請求項５】
焼結セラミックシートの少なくとも片面に可撓性フィルムが貼着されたフィルム貼着セラミックシートを、上下金型のうちの上型と、当該上型の下方に対向配置された第２押圧部とで挟持すると共に、前記第２押圧部に併置された下型と、当該下型の上方に対向配置された第１押圧部とで挟持して固定した後に、前記上型及び前記下型を所定の荷重で相対的に上下動させる動作を含むことを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の裁断焼結セラミックシートの製造方法。 
【請求項６】
焼結セラミックシートの少なくとも片面に可撓性フィルムが貼着されたフィルム貼着セラミックシートをせん断して、前記フィルム貼着セラミックシートの内方領域と、当該内方領域を包囲する外方領域とを分離することを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載の裁断焼結セラミックシートの製造方法。
【請求項７】
焼結セラミックシートの少なくとも片面に可撓性フィルムが貼着されたフィルム貼着セラミックシートをせん断して、前記フィルム貼着セラミックシートの内方領域と、当該内方領域を包囲する環状領域と、当該環状領域を包囲する外方領域とを分離することを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載の裁断焼結セラミックシートの製造方法。
【請求項８】
焼結セラミックシートの少なくとも片面に可撓性フィルムを貼着し、前記可撓性フィルムと共に前記焼結セラミックシートを少なくとも２つにせん断する方法。
【請求項９】
金型を用いてせん断することを特徴とする請求項８に記載の方法。
【請求項１０】
前記せん断された焼結セラミックシートのせん断部縁端まで前記可撓性樹脂フィルムが延展し貼着されていることを特徴とする請求項８又は９に記載の方法。
【請求項１１】
前記焼結セラミックシートを上下金型のエッジ間でせん断する操作を含み、前記エッジ間のクリアランス（Ｘ）が５〜５０μｍであることを特徴とする請求項８から１０のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１２】
セラミックグリーンシートを成形して成形セラミックグリーンシートを得る第一工程と、 
前記成形セラミックグリーンシートを焼成して焼結セラミックシートを得る第二工程と、
前記焼結セラミックシートの少なくとも片面に粘着剤が塗布された可撓性フィルムを貼着してフィルム貼着セラミックシートを得る第三工程と、 
前記フィルム貼着セラミックシートをせん断して、前記フィルム貼着セラミックシートの内方領域と、当該内方領域を包囲する外方領域とを分離する第四工程と、
を含む裁断焼結セラミックシートの製造方法。 
【請求項１３】
前記第四工程が、前記フィルム貼着セラミックシートを上下金型のエッジ間でせん断する操作を含むことを特徴とする請求項１２に記載の裁断焼結セラミックシートの製造方法。 
【請求項１４】
前記第四工程が、前記フィルム貼着セラミックシートを上下金型のエッジ間でせん断する操作を含み、
前記第四工程が、前記フィルム貼着セラミックシートを前記上下金型の当接面に対して第一又は第二押圧部により直接又は間接的に押圧しながら前記上下金型の当接面にあるエッジ間でせん断する操作を含むことを特徴とする請求項１２又は１３に記載の裁断焼結セラミックシートの製造方法。
【請求項１５】
セラミックグリーンシートを成形して成形セラミックグリーンシートを得る第一工程と、 
前記成形セラミックグリーンシートを焼成して焼結セラミックシートを得る第二工程と、
前記焼結セラミックシートの少なくとも片面に粘着剤が塗布された可撓性フィルムを貼着してフィルム貼着セラミックシートを得る第三工程と、 
前記フィルム貼着セラミックシートをせん断する第四工程と、からなり、
前記第四工程が、前記フィルム貼着セラミックシートを上下金型のエッジ間でせん断する操作を含み、
前記フィルム貼着セラミックシートを、前記上下金型のうちの上型と、前記上下金型のうちの下型に併置された第２押圧部とで挟持すると共に前記下型と、前記上型に併置された第１押圧部とで挟持して固定した後に、前記上型及び前記下型を所定の荷重で相対的に上下動させることにより、前記フィルム貼着セラミックシートをせん断することを特徴とする裁断焼結セラミックシートの製造方法。 
【請求項１６】
セラミックグリーンシートを成形して成形セラミックグリーンシートを得る第一工程と、 
前記成形セラミックグリーンシートを焼成して焼結セラミックシートを得る第二工程と、
前記焼結セラミックシートの少なくとも片面に粘着剤が塗布された可撓性フィルムを貼着してフィルム貼着セラミックシートを得る第三工程と、 
前記フィルム貼着セラミックシートをせん断する第四工程と、からなり、
前記第四工程が、前記フィルム貼着セラミックシートを上下金型のエッジ間でせん断する操作を含み、
前記エッジ間のクリアランス（Ｘ）が５〜５０μｍであることを特徴とする裁断焼結セラミックシートの製造方法。 
【請求項１７】
前記第四工程が、前記フィルム貼着セラミックシートを前記上下金型のうちの上型と、前記上下金型のうちの下型に併置された第二押圧部とで挟み、前記上型及び前記下型を相対的に上下動させて前記フィルム貼着セラミックシートを前記上下金型のエッジ間でせん断することを特徴とする請求項１６に記載の裁断焼結セラミックシートの製造方法。 
【請求項１８】
前記第四工程が、前記フィルム貼着セラミックシートを前記上下金型のうちの下型と、当該下型に併置された第一押圧部とで挟み、前記上型及び前記下型を相対的に上下動させて前記フィルム貼着セラミックシートを前記上下金型のエッジ間でせん断することを特徴とする請求項１６に記載の裁断焼結セラミックシートの製造方法。 
【請求項１９】
セラミックグリーンシートを成形して成形セラミックグリーンシートを得る第一工程と、 
前記成形セラミックグリーンシートを焼成して焼結セラミックシートを得る第二工程と、
前記焼結セラミックシートの少なくとも片面に粘着剤が塗布された可撓性フィルムを貼着してフィルム貼着セラミックシートを得る第三工程と、 
前記フィルム貼着セラミックシートをせん断する第四工程と、からなり、
前記可撓性フィルムは、ポリエステル、ポリイミド、ポリイミドワニス、エポキシ樹脂からなる一群から選択されることを特徴とする裁断焼結セラミックシートの製造方法。 
【請求項２０】
セラミックグリーンシートを成形して成形セラミックグリーンシートを得る第一工程と、 
前記成形セラミックグリーンシートを焼成して焼結セラミックシートを得る第二工程と、
前記焼結セラミックシートの少なくとも片面に粘着剤が塗布された可撓性フィルムを貼着してフィルム貼着セラミックシートを得る第三工程と、 
前記フィルム貼着セラミックシートをせん断して、前記フィルム貼着セラミックシートの内方領域と、当該内方領域を包囲する環状領域と、当該環状領域を包囲する外方領域とを分離する第四工程と、を含む裁断焼結セラミックシートの製造方法。 
【請求項２１】
前記フィルム貼着セラミックシートを、上下金型のうちの上型と、前記上下金型のうちの下型に併置された第２押圧部とで挟持すると共に前記下型と、前記上型に併置された第１押圧部とで挟持して固定した後に、前記上型及び下型を所定の荷重で相対的に上下動させて、これらのエッジ間で、前記フィルム貼着セラミックシートをせん断することを特徴とする請求項２０に記載の裁断焼結セラミックシートの製造方法。 
【請求項２２】
前記エッジ間のクリアランス（Ｘ）が５〜５０μｍであることを特徴とする請求項２１に記載の裁断焼結セラミックシートの製造方法。 
【請求項２３】
可撓性フィルムが上下面に貼着している裁断焼結セラミックシートであって、    
前記裁断焼結セラミックシートの側面全面が起伏を有する破断面であり、 
前記起伏を有する破断面は、前記可撓性フィルムを貼着した焼結セラミックシートをせん断することによって形成されたことを特徴とする裁断焼結セラミックシート。 
【請求項２４】
当該裁断焼結セラミックシートの破断面に露出しているセラミック粒子が熱変質していないことを特徴とする請求項２３に記載の裁断焼結セラミックシート。 
【請求項２５】
当該裁断焼結セラミックシートの上下面に被覆されている可撓性フィルムが熱変形していないことを特徴とする請求項２３又は２４に記載の裁断焼結セラミックシート。 
【請求項２６】
可撓性フィルムが上下面に貼着している裁断焼結セラミックシートであって、    
前記裁断焼結セラミックシートの側面全面が起伏を有する破断面であり、  
前記可撓性フィルムは、ポリエステル、ポリイミド、ポリイミドワニス、エポキシ樹脂からなる一群から選択されることを特徴とする裁断焼結セラミックシート。 
【請求項２７】
可撓性フィルムが上下面に貼着している裁断焼結セラミックシートであって、
前記裁断焼結セラミックシートの側面全面が起伏を有する破断面であり、
本裁断焼結セラミックシートの外側面全体及び内側面全体に前記起伏を有する破断面が形成された環状体であることを特徴とする裁断焼結セラミックシート。
【請求項２８】
前記フィルム貼着セラミックシートが、セラミックグリーンシートを成形して成形セラミックグリーンシートを得る工程、前記成形セラミックグリーンシートを焼成して焼結セラミックシートを得る工程、前記焼結セラミックシートの少なくとも片面に粘着剤が塗布された可撓性フィルムを貼着してフィルム貼着セラミックシートを得る工程を経て形成されたフィルム貼着セラミックシートである、請求項１から７のいずれか１項に記載の裁断焼結セラミックシートの製造方法。
【請求項２９】
請求項１から６、１２から２２又は２８のいずれか１項に記載の製造方法により得られる裁断焼結セラミックシート。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、裁断焼結セラミックシート及び当該裁断焼結セラミックシートの製造方法並びに焼結セラミックシートをせん断する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、焼結セラミックシートは、その優れた特性から携帯電話やパソコンなどの電子機器に幅広く利用されている。そして、その特性をさらに有効に活用するために様々な形状に加工した裁断焼結セラミックシートが必要となっている。
【０００３】
従来周知の焼結セラミックシートの形状加工方法としては、セラミックグリーンシートの段階で所望の形状に加工しておく方法がある。この方法で得られる焼結セラミックシートは、焼成過程において予測されるセラミックグリーンシートの収縮率に基づいた形状加工となる。一般的に、図１１のように、セラミックグリーンシート１１を焼成すると、約２０％収縮した焼結セラミックシート１２が得られる。しかし、収縮率を計算した設計サイズと実際得られた焼結セラミックシートのサイズに差が生じるという問題がある。
【０００４】
この問題を解決する手段として、焼成後の焼結セラミックシートを加工する技術がある。例えば、特許文献１に記載されているように、焼結セラミックシートにレーザー加工やダイシング加工を施すことによって、所望の寸法の裁断焼結セラミックシートを得る手法が開示されている。 
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００２−３５９３１７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、ダイシング加工は、回転刃を焼結セラミックシートに直接接触させて切断するため、焼結セラミックシートを複雑な形状に加工することができないという問題がある。一方、レーザー加工は、複雑な形状に加工することは可能だが、レーザーを照射した部位に熱が発生するため、裁断焼結セラミックシートの特性が変化するという問題がある。また、所望の形状が複雑になるほど切断するのに時間がかかり生産効率が悪く、加工コストが高くなるという問題がある。 
【０００７】
したがって本発明は、焼結セラミックシートを迅速に複雑な形状に加工することができ、しかも非常に高い寸法精度で裁断焼結セラミックシートが得られる製造方法を提供することを目的とする。 
【０００８】
そこで、本発明者らは、鋭意研究を重ねた結果、セラミックグリーンシートを成形して成形セラミックグリーンシートを得る第一工程及び前記成形セラミックグリーンシートを焼成して焼結セラミックシートを得る第二工程を少なくとも包含する方法において、第二工程により得られた焼結セラミックシートに対して特定の切断手段を施せば寸法精度の高い裁断焼結セラミックシートが得られ、さらに好ましくはその切断手段として特定の金型を用いればより寸法精度の高い裁断焼結セラミックシートが得られるという知見に到達した。 
【０００９】
したがって、本発明の課題は、セラミックグリーンシートを原資材として、これを焼成して得られた焼結セラミックシートをその平面形状より小さい外形及び／又は内形を有する裁断焼結セラミックシート及びその裁断焼結セラミックシートを迅速かつ高い寸法精度で製造する方法を提供することにある。 
【課題を解決するための手段】
【００１０】
前記課題を解決する手段として、セラミックグリーンシートを成形して成形セラミックグリーンシートを得る第一工程と、前記成形セラミックグリーンシートを焼成して焼結セラミックシートを得る第二工程と、前記焼結セラミックシートの少なくとも片面に粘着剤が塗布された可撓性樹脂フィルムを貼着してフィルム貼着セラミックシートを得る第三工程と、前記フィルム貼着セラミックシートをせん断して、前記フィルム貼着セラミックシートを内方領域と外方領域とに分離する第四工程と、からなることを特徴とする。 
【００１１】
前記第四工程は、前記フィルム貼着セラミックシートを上下金型のエッジ間でせん断する操作を含むことを特徴とする。
【００１２】
前記第四工程は、前記フィルム貼着セラミックシートを上下金型の当接面に対して第一又は第二押圧部により直接又は間接的に押圧しながら前記上下金型の当接面にあるエッジ間でせん断する操作を含むことを特徴とする。
【００１３】
前記第四工程は、前記フィルム貼着セラミックシートを前記上型と第二押圧部とに挟むとともに、前記第二押圧部に前記下型を併置して、前記上下金型が有するエッジ間に所定のクリアランス（Ｘ）を設ける第一ステップと、前記上下金型を相対的に上下動させて前記フィルム貼着セラミックシートをせん断する第二ステップと、を含むことを特徴とする。
【００１４】
前記第四工程は、前記フィルム貼着セラミックシートを前記下型と第一押圧部とに挟むとともに、前記第一押圧部に前記上型を併置して、前記上下金型が有するエッジ間に所定のクリアランス（Ｘ）を設ける第一ステップと、前記上下金型を相対的に上下動させて前記フィルム貼着セラミックシートをせん断する第二ステップと、を含むことを特徴とする。
【００１５】
前記フィルム貼着セラミックシートをせん断して、前記フィルム貼着セラミックシートを、環状領域と、内方領域と、外方領域とに分離する第四工程と、を含むことを特徴とする。
【００１６】
裁断焼結セラミックシートは、側面全面が起伏を有する破断面であることを特徴とする。 
【００１７】
裁断焼結セラミックシートは、可撓性樹脂フィルムが上下面の少なくとも一方の面に貼着していることを特徴とする。 
【００１８】
焼結セラミックシートの少なくとも片面に可撓性樹脂フィルムが貼着されたフィルム貼着セラミックシートを、上型、及び、その下方にある第２押圧部で挟持すると共に、前記第２押圧部に併置された下型、及び、その上方にある第１押圧部で挟持して固定した後に、前記上下金型を所定の荷重で相対的に上下動させる動作を含むことを特徴とする。 
【００１９】
前記課題を解決する手段として、焼結セラミックシートの少なくとも片面に可撓性樹脂フィルムが貼着されたフィルム貼着セラミックシートをせん断して、前記フィルム貼着セラミックシートを内方領域と外方領域とに分離することを特徴とする。
【００２０】
前記課題を解決する手段として、焼結セラミックシートの少なくとも片面に可撓性樹脂フィルムが貼着されたフィルム貼着セラミックシートをせん断して、前記フィルム貼着セラミックシートを、環状領域と、内方領域と、外方領域とに分離することを特徴とする。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によると、複雑化してきている焼結セラミックシートの形状の要求に対して、寸法精度の優れた裁断焼結セラミックシートを非常に高い生産効率で製造することが可能となる。
【００２２】
また、本発明の一形態によれば、フィルム貼着セラミックシートの内方領域と外方領域とを分離するように、フィルム貼着セラミックシートをせん断することにより、所望の形状の内方領域及び／又は外方領域に対応する裁断焼結セラミックシートを迅速且つ簡単に得ることができる。つまり、上記一のせん断工程により、外側面又は内側面の全面で連続する起伏を有する破断面（せん断面）を有する裁断焼結セラミックシートを得ることができる。あるいは、フィルム貼着セラミックシートの内方領域と環状領域と外方領域とを分離するように、フィルム貼着セラミックシートをせん断することにより、所望の形状の内方領域、環状領域及び／又は外方領域に対応する裁断焼結セラミックシートを迅速且つ簡単に得ることができる。つまり、上記一のせん断工程により、外側面及び／又は内側面の全面で連続する起伏を有する破断面（せん断面）を有する裁断焼結セラミックシートを得ることができる。
【００２３】
さらに、本発明の一形態によれば、せん断のための上下金型のエッジ間のクリアランス（Ｘ）が５〜５０μｍであることにより、破断面に大きいバリが生じたり、セラミックシート破断面の端縁が歪んだりすることを軽減し、より緻密且つ寸法精度の高いせん断加工が可能である。さらに、上記クリアランスＸで可撓性フィルムを貼着した焼結セラミックシート（すなわち、フィルム貼着セラミックシート）がせん断されると、焼結セラミックシート及び可撓性フィルムの両方が破断面に沿って精密に破断され、その結果、可撓性フィルムが裁断焼結セラミックシートの端部まで延展し貼着された裁断焼結セラミックシートを得ることができる。
【００２４】
そして、本発明の一形態によれば、上又は下型と（第１又は第２）押圧部とでフィルム貼着セラミックシートを挟持して固定した上で上型及び下型を所定の加重で相対的に上下動させることにより、フィルム貼着セラミックシートをせん断する。つまり、フィルム貼着セラミックシートを押圧部で型に対して押圧して固定することによって、フィルム貼着セラミックシートをせん断するときに、フィルム貼着セラミックシートの撓みを防ぐので、寸法精度が良くなる。また、フィルム貼着セラミックシートを挟持及び固定した状態で上下金型を相対移動させるため、せん断時に型とフィルム貼着セラミックシートとが高速で衝突する工程を排除し、裁断焼結セラミックシートの側端部近傍が物理衝撃により破壊されることを防止することができる。
【００２５】
また、本発明の一形態によれば、可撓性フィルムがポリエステル、ポリイミド、ポリイミドワニス、エポキシ樹脂のいずれかからなる樹脂フィルムであることにより、せん断時において、焼結セラミックシートの破断面に沿って可撓性フィルムが容易に破断され、可撓性フィルムが裁断焼結セラミックシートの端部まで延展し貼着された裁断焼結セラミックシートを簡単に得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】裁断焼結セラミックシートの一製造工程を示す。
【図２】焼結セラミックシートをセットしたときのせん断装置の部分断面図である。
【図３】焼結セラミックシートをせん断する前のせん断装置の部分断面図である。
【図４】図３のＣ部分の拡大断面図である。
【図５】焼結セラミックシートをせん断した後のせん断装置の部分断面図である。
【図６】図５のＤ部分の拡大断面図である。
【図７】図２のＢ‐Ｂ矢視図である。
【図８】裁断焼結セラミックシートの他の製造工程を示す。
【図９】フィルム貼着セラミックシートの断面図である。
【図１０】フィルム貼着セラミックシートをセットしたときのせん断装置の部分断面図である。
【図１１】焼結前と焼結後のセラミックシートの収縮状態を示す図である。
【図１２】実施例１の裁断焼結セラミックシートを示す。
【図１３】実施例１における図２のＥ−Ｅ矢視図である。
【図１４】実施例２の裁断焼結セラミックシートを示す。
【図１５】実施例２における図２のＥ−Ｅ矢視図である。
【図１６】実施例３の裁断焼結セラミックシートを示す。
【図１７】実施例４の裁断焼結セラミックシートを示す。
【図１８】実施例４における図２のＥ−Ｅ矢視図である。
【図１９】実施例５の裁断焼結セラミックシートを示す。
【図２０】実施例５における図２のＥ−Ｅ矢視図である。
【図２１】フィルム貼着セラミックシートの破断面のSEM画像である。
【図２２】焼結セラミックシートをせん断する前の部分斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
次に、本発明の全体の実施形態について説明する。本発明において、裁断焼結セラミックシートとは、ある面積を有する焼結セラミックシートがそれより小さい面積に裁ち切られた焼結セラミックシートをいう。具体的に、図１２は、焼結セラミックシート６をせん断して得られた、それより小さい面積の裁断焼結セラミックシート１３を示す。 
【００２８】
裁断焼結セラミックシートの基本的な製造方法について以下に示す。図１に示すように、裁断焼結セラミックシートの製造工程は、次の３つの工程からなる。 
（１）セラミックグリーンシート成形工程 
セラミックグリーンシートを一般的に知られているドクターブレード法や射出法などにより成形し、その後、適切な大きさに切り取る工程である。 
（２）焼成工程 
得られたセラミックグリーンシートを焼成炉で適切な温度で焼結し、焼結セラミックシートを得る工程である。 
（３）せん断工程 
得られた焼結セラミックシートを所望の形状にせん断し、裁断焼結セラミックシートを得る工程である。図２２のように、せん断方法の原理は、まず、エッジ７ｂのある下型４の上に、焼結セラミックシート６を乗せて、その上からエッジの７ａのある上型３をＺ方向へ降下させる。 つまり、せん断とは、対象物を、上型エッジ７ａと下型エッジ７ｂとの間で、瞬間的にかつ直線方向、屈曲線方向又は曲線方向に同時に切断することをいう。なお、上記（１）及び（２）の工程は、従来から公知の技術であり、上記（１）及び（２）を省略したとしても本発明の技術的範囲（請求項１〜１１）に属する。
【００２９】
せん断工程について、次に具体的に装置を説明する。焼結セラミックシート６をせん断するために、図２のようなせん断装置１を用いる。せん断装置１は、上部の金型２ａと下部の金型２ｂとからなる。図２のように、上部の金型２ａは、上型３と第一押圧部５ａとを具備している。一方、下部の金型２ｂは、下型４と第二押圧部５ｂとを具備している。上型３の底面と第二押圧部５ｂの上面は、焼結セラミックシート６をせん断したときの裁断焼結セラミックシートの平面形状をしている。下型４と第一押圧部５ａは、それぞれ第二押圧部５ｂと上型３に併置されている。すなわち、上型３と下型４は対角線上にある。また、第一押圧部５ａが下型４の上方に対向配置されており、且つ、第２押圧部５ｂが上型３の下方に対向配置されている。さらに、上型３と下型４は、それぞれ略直角のエッジ７ａ，７ｂを有している。エッジの角度は、直角に近いほど良い。 
【００３０】
次に、せん断工程を説明する。図３に示すように、焼結セラミックシート６を上部の金型２ａと下部の金型２ｂとの間にセットし、上型３の当接面８と第二押圧部５ｂの当接面８とで焼結セラミックシート６を直接的に押圧して固定する。当接面とは、焼結セラミックシート６に上型３、下型４、第一押圧部５ａ又は第二押圧部５ｂとが接する面のことである。このように、焼結セラミックシート６を第二押圧部５ｂで押圧して固定することによって、焼結セラミックシート６をせん断するときに、焼結セラミックシート６の撓みを防ぐので、寸法精度が良くなる。 
【００３１】
次に、第二押圧部５ｂに下型４を併置する。このとき、図４に示すように、上型３と下型４に所定のクリアランスＸを設ける。クリアランスＸはせん断するときに上型３と下型４との間にできる隙間のことである。 
【００３２】
そして、図５、図６に示すように、上型３と下型４とを相対的に上下動させると、焼結セラミックシート６が上型エッジ７ａと下型エッジ７ｂとの間でせん断されて、所望の形状にすることができる。相対的に上下動するとは、上型３を下げるか、下型４を上げるか又は上型３と下型４を同時に動かしても良い。このとき、図６のように、金型を動かす距離Ａは、少なくとも焼結セラミックシート６の厚み以上の距離でなければならない。また、下型４と第一押圧部５ａとで焼結セラミックシート６の所望形状以外の部分６ｂを挟んで固定して、上型３を第一押圧部５ａに併置した後、上型３と第二押圧部５ｂを上下に変位させることによって、焼結セラミックシート６を上型３と下型４とのエッジ間でせん断し、所望形状としても良い。また、上型３と第二押圧部５ｂとで裁断焼結セラミックシート６ａを、さらに下型４と第一押圧部５ａとで所望形状以外の部分６ｂを固定してからせん断すると、焼結セラミックシートのほぼ全面が固定されるので、最も寸法精度良く切断できる。また、図７のように、図２におけるＢ―Ｂ断面で切断し、矢印方向に見ると、焼結セラミックシート６は、上下（Ｙ１，Ｙ２）方向に瞬時に引き裂かれて、上型３と下型４のエッジ間でせん断されるため、せん断したと同時に所望形状の裁断焼結セラミックシート６ａとなる。 
【００３３】
このようなせん断装置１を用いると、焼結セラミックシート６を迅速に複雑な形状に加工することができ、しかも非常に高い寸法精度で裁断焼結セラミックシート６ａを得ることができる。なお、せん断装置１の上下金型２ａ、２ｂはそれぞれ所定の荷重で上下型３、４を昇降させる機構を含んでいるが、例えば、油圧式、機械式などの従来の昇降機構を採用可能である。また、上下金型２ａ、２ｂに設けられた押圧部５ａ、５ｂの当接面は、上下型３、４の当接面と同じ素材（例えば、鋼材）で構成可能である。さらに、荷重等のせん断装置の加工条件は、セラミックシートの厚み、材質、大きさ等に応じて、当業者によって適宜設定され得る。 
【００３４】
前記方法でも、焼結セラミックシート６をせん断できるが、焼結セラミックシート上に突起などがあると、突起に圧力が集中するため、割れやすい。そこで、図８に示すように、可撓性樹脂フィルム貼着工程を加える。可撓性樹脂フィルム９を焼結セラミックシート６に貼着すると、断面は、図９のようになり、フィルム貼着セラミックシート１０が得られる。図９のフィルム貼着セラミックシート１０は、焼結セラミックシート６の両面に可撓性樹脂フィルム９を貼着しているが、片面だけでも良い。このように可撓性樹脂フィルム９を貼着すると、せん断時に、焼結セラミックシート６に直接かかる圧力が分散し、その結果、所望のせん断箇所以外において、焼結セラミックシート６が割れにくい。したがって、図１０のように、フィルム貼着セラミックシート１０をせん断装置１にセットして、前記方法同様に、フィルム貼着セラミックシート１０をせん断すると、より寸法精度の良い裁断焼結セラミックシート６ａを得ることができる。
【００３５】
なお、フィルム貼着セラミックシート１０をせん断するときのクリアランスＸは、約５〜５０μｍであることが好ましい。すなわち、クリアランスＸを５〜５０μｍとすることにより、破断面に大きいバリが生じたり、セラミックシート破断面の端縁が歪んだりすることを軽減し、より緻密且つ寸法精度の高いせん断加工が可能である。さらに、上記クリアランスＸで可撓性樹脂フィルム９を貼着した焼結セラミックシート６（すなわち、フィルム貼着セラミックシート１０）がせん断されると、焼結セラミックシート６及び可撓性樹脂フィルム９の両方が破断面に沿って破断され、その結果、得られた裁断焼結セラミックシート６ａでは、可撓性樹脂フィルム９が裁断焼結セラミックシート６ａの端部まで延展し貼着されている。なお、クリアランスＸが５μｍよりも小さい場合、せん断に必要な荷重が増大するため、生産効率が低下する虞がある。他方、クリアランスＸが５０μｍよりも大きい場合、焼結セラミックシートの破断面と可撓性フィルムの破断部との間に若干のずれが生じたり、あるいは、破断面にバリが生じたりして歩留まりが低下する虞がある。しかしながら、本技術分野の当業者は、クリアランスＸを任意に設定可能であり、本発明の技術的範囲は限定されない。 
【００３６】
本実施形態の焼結セラミックシートの材質は、アルミナ、ジルコニア、マグネシア、チタニア、シリカ、窒化アルミニウム、窒化ケイ素、炭化ケイ素、フェライト、コージェライト、ムライトなどからなる一群から選択され得る。また、本実施形態の可撓性フィルムは、ポリエステル、ポリイミド、ポリイミドワニス、エポキシ樹脂、及び、銅、アルミ、ＳＵＳなどの金属箔などを含み得る。さらに、本実施形態の可撓性フィルムを焼結セラミックシートに貼着するための粘着剤は、アクリル系接着剤、シリコン系接着剤、エポキシ系接着剤などから選択され得る。しかしながら、本発明の技術的範囲は上記材料に限定されることなく、本技術分野の当業者であれば適宜選択可能である。 
【００３７】
（実施例１） 
次に、実施例１として、図１２は、本発明を利用して得られた裁断焼結セラミックシートの一実施例である。図１３のように、上部の金型２ａを真下から見ると、上型３と押圧部５ａが隣り合っている。一方、下部の金型２ｂは、真上から見ると、図１３の上型３が第二押圧部５ｂと、第一押圧部５ａが下型４と対応するよう同形状をしている。このような上部の金型２ａと下部の金型２ｂを用意し、図１、図８に示した製造工程で焼結セラミックシート６をせん断すると、２つにせん断した裁断焼結セラミックシート１３が得られる。 
【００３８】
（実施例２） 
次に、実施例２として、図１４は、本発明を利用して得られた裁断焼結セラミックシートの別の実施例である。図１５に示すように、上部の金型２ａを真下から見ると、上型３と第一押圧部５ａが隣同士に位置し、かつ上型３同士と第一押圧部５ａ同士が対角線上に位置している。一方、下部の金型２ｂは、真上から見ると、図１５の上型３が第二押圧部５ｂと、第一押圧部５ａが下型４と対応するよう同形状をしている。このような上部の金型２ａと下部の金型２ｂを用意し、図１、図８に示した製造工程で焼結セラミックシート６をせん断すると、４つにせん断した裁断焼結セラミックシート１４が得られる。 
【００３９】
（実施例３） 
次に、実施例３として、図１６は、本発明を利用して得られた裁断焼結セラミックシートの別の実施例である。上部の金型２ａを真下から見ると、実施例２同様に、上型３と第一押圧部５ａが隣同士に位置し、かつ上型３同士と第一押圧部５ａ同士が対角線上に位置し、さらに、この形状が格子状に繋がっている。下部の金型２ｂは、実施例１同様に、上型３が第二押圧部５ｂと、第一押圧部５ａが下型４と対応するよう同形状をしている。このような上部の金型２ａと下部の金型２ｂを用意し、図１、図８に示した製造工程で焼結セラミックシート６をせん断すると、多数にせん断した裁断焼結セラミックシート１５が得られる。 
【００４０】
（実施例４） 
次に、実施例４として、図１７は、本発明を利用して得られた裁断焼結セラミックシートの別の実施例である。図１８に示すように、上部の金型２ａを真下から見ると、上型３は星型の部分、第一押圧部５ａはそれ以外の部分である。一方、下部の金型２ｂは、真上から見ると、第二押圧部５ｂが星型の部分、下型４が星型以外の部分となっている。このような上部の金型２ａと下部の金型２ｂを用意し、図１、図８に示した製造工程で焼結セラミックシート６をせん断すると、屈曲線を有する星型の裁断焼結セラミックシート１６が得られる。すなわち、上型３（又は第二押圧部５ｂ）及び下型４（又は第一押圧部５ａ）の当接面の各エッジが、裁断焼結セラミックシートの所望形状（すなわち内方領域）と実質的に同じ形状を有しているため、上記せん断工程で、当該エッジに沿って星型の裁断焼結セラミックシート１６が焼結セラミックシート６（又はフィルム貼着セラミックシート１０）から打ち抜かれる。そして、１枚のフィルム貼着セラミックシート１０（又は焼結セラミックシート６）が、内方領域の裁断焼結セラミックシート１６と、それ以外の外枠部分（すなわち内方領域外周を包囲する外方領域）とに分離される。このように、上下金型の形状を任意に設定することにより、所望の形状の裁断焼結セラミックシートを得ることができる。さらに、裁断焼結セラミックシートの外方領域であるマージンを一のせん断工程によって切り落とすため、迅速且つ精密に裁断焼結セラミックシートを作製することができる。なお、上下金型２ａ、２ｂに複数の分離した上型３及び下型４を設けることにより、一度のせん断工程において、複数の所望形状の裁断焼結セラミックシートを、１枚のフィルム貼着セラミックシート１０から打ち抜くことができる。
【００４１】
（実施例５） 
次に、実施例５の一例として、図１９は、本発明を利用して得られた裁断焼結セラミックシートの別の実施例である。図２０に示すように、上部の金型２ａを真下から見ると、上型３はドーナツ型の部分、第一押圧部５ａはそれ以外の部分である。一方、下部の金型２ｂは、真上から見ると、第二押圧部５ｂがドーナツ型の部分、下型４がドーナツ型以外の部分となっている。このような上部の金型２ａと下部の金型２ｂを用意し、図１、図８に示した製造工程で焼結セラミックシート６をせん断すると、曲線を有するドーナツ型の裁断焼結セラミックシート１７が得られる。すなわち、上型３は、その外周側及び内周側にエッジを有する環状の当接面を有しており、当該内外エッジに沿って、フィルム貼着セラミックシート１０から２つの裁断セラミックシートを打ち抜くことができる。つまり、１枚のフィルム貼着セラミックシート１０（又は焼結セラミックシート６）は、内外エッジにそれぞれ対応する内側面１７ｂ及び外側面１７ａを有する環状の第１裁断焼結セラミックシート１７（すなわち環状領域）と、内周エッジに対応する外側面１７ｂを有する第２裁断焼結セラミックシート（すなわち環状領域の内側面１７ｂに包囲された内方領域）と、それ以外の外枠部分（すなわち、環状領域の外側面１７ａを包囲する外方領域）とに分離される。第１裁断焼結セラミックシート１７は、その内側端面全体及び外側端面全体において、上記せん断工程による破断面を有している。また、第２裁断焼結セラミックシートは、その外側端面全体において上記せん断工程による破断面を有しており、第１裁断焼結セラミックシートと同様に高精度の部品として利用可能である。このように、せん断した焼結セラミックシートの内側に、該せん断部位とは独立したもう一つのせん断部位をさらに設けるように金型を設計（デザイン）することにより、外周マージンである外方領域だけでなく、内側をも所望形状に切り落とした形状の裁断焼結セラミックシートを得ることができる。換言すると、実施例５で示すとおり、独立した２以上のせん断面が存在するような複雑な形状の裁断焼結セラミックシートをも、一のせん断工程によって、迅速且つ精密に作製することができる。あるいは、上記一のせん断工程を別々の工程に分けて、２つのせん断面を時間差で形成することも可能である。
【００４２】
このように、本発明を用いると、焼結セラミックシート６を、上部の金型２ａと下部の金型２ｂの形状を変えるだけで様々な形状の裁断焼結セラミックシートにすることができる。上記実施例１〜５では、クリアランスＸは約１０μｍに設定されている。また、本実施例の焼結セラミックシート６として、各辺約１００ｍｍ、厚み約１７０μｍの正方形のフェライト板が採用された。さらに、可撓性樹脂フィルムは約３０μｍ厚のポリイミドシートが採用された。ただし、裁断焼結セラミックシートの用途に応じて、せん断装置の加工条件、及び／又は、焼結セラミックシート及び可撓性樹脂フィルムの形状、寸法、材質は任意に設定され得る。 
【００４３】
このような方法で得られた裁断焼結セラミックシートの端面は、図２１のように、全面が起伏を有する破断面であることを特徴とする。破断面とは、焼結後に破断され、端面に加工跡がない面のことである。端面を加工していないので、端面は、平坦ではなく、起伏を有する面となる。なお、図２１の画像は、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）によって１００倍の倍率で撮影されたものである。 
【００４４】
破断面を加工していないため、破断面の焼結状態が変化せず、特性が変化しない。つまり、上記せん断工程によって得られた裁断焼結セラミックシートの焼結状態は、起伏を有する破断面と、それ以外の部分とにおいて一様である。例えば、レーザー加工すると、熱によって、端面の焼結状態が変化するため、特性が劣化することがある。 
【００４５】
裁断焼結セラミックシートは、可撓性樹脂フィルム９を上下面の少なくとも一方の面に貼着してあればよい。その可撓性樹脂フィルム９は、裁断焼結セラミックシートの上下面のいずれか一方の面において、せん断部の縁端まで延展して貼着している。 
【００４６】
上記の特徴は、本発明による製造方法によってのみ得られるものである。例えば、フィルム貼着セラミックシート１０をレーザー加工すると、加工後の裁断焼結セラミックシートは、熱によって、可撓性樹脂フィルム９の端部が溶融したり、変形したりして可撓性樹脂フィルム９で端部まで完全に覆われない。また、フィルム貼着セラミックシート１０をダイシング加工すると、高速で回転する回転刃がセラミックを切断するため、曲線方向に切断することが非常に困難である。さらに、回転刃が可撓性樹脂フィルム９を変形させ、レーザー加工と同様に裁断焼結セラミックシートの端部まで可撓性樹脂フィルム９で完全に覆われない。したがって、可撓性樹脂フィルム９が覆われていない部分に外部から圧力が加わると、裁断焼結セラミックシートが割れやすくなる。あるいは、ダイシング加工で焼結セラミックシート６を切断した後に、可撓性樹脂フィルム９を貼ったとしても、シート端部からずれないように可撓性樹脂フィルム９を貼着することが困難であるため、可撓性樹脂フィルム９で覆われていない露出部分が生じ易い。この場合も同様に、可撓性樹脂フィルム９が覆われていない部分に外部から圧力が加わると、裁断焼結セラミックシートが割れやすくなる。 
【００４７】
本発明を利用すると、可撓性樹脂フィルムを裁断焼結セラミックシートの端部まで貼着することができ、裁断焼結セラミックシートを外部の圧力から保護することができる。 
【００４８】
以上、本発明は、焼結後の焼結セラミックシートを加工するため寸法精度が非常に良い。また、金型を用いて、焼結セラミックシートをせん断するだけで、焼結セラミックシートを所望形状に成形することができるので、迅速に効率よく裁断焼結セラミックシートを生産できる。 さらに、より具体的には、本実施例の裁断焼結セラミックシートの製造方法では、上述したとおり、上型の当接面と第二押圧部の当接面とで焼結セラミックシートの一方側を挟持して固定し、且つ、下型の当接面と第一押圧部の当接面とで焼結セラミックシートの他方側を挟持して固定した状態から、上下金型を所定の荷重で相対移動させることにより、焼結セラミックシートをせん断する。これにより、せん断部位又はその近傍において、局所的且つ刹那的な強い応力（反り）及び衝撃がせん断時に発生することを抑え、裁断焼結セラミックシートの破断面に脆性破壊が起こることを防止する。すなわち、本実施形態の裁断焼結セラミックシートの製造方法は、裁断焼結セラミックシートの破断面にバリや欠けが生じにくいという利点をさらに有する。 
【００４９】
本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の技術的範囲に属する限りにおいて種々の態様で実施しうるものである。 例えば、前記実施例５において、内方領域と環状領域と外方領域とに分離する実施態様として、環状領域を本発明において得ようとする最終の目的物とする旨の説明をしたが、その実施態様とは逆に、前記外方領域を目的物にすることもできる。また、フィルム貼着セラミックシートの可撓性フィルムとして、樹脂フィルムを使用する実施形態を詳述したが、フィルム貼着セラミックシートを金型と押圧部との間で挟持させたとき、可撓性を発揮して焼結フェライトシートの表面形状に順応して貼りつく限度において、樹脂フィルムの代わりに金属箔を使用することができる。目的物を特定用途に使用する場合は、焼結フェライトシートの表面に樹脂フィルムを、そして裏面には金属箔をそれぞれ貼り付ける。
【産業上の利用可能性】
【００５０】
本発明によると、焼結セラミックシートを扱う電子部品などの分野に幅広く利用することができる。 
【符号の説明】
【００５１】
１：せん断装置 
２ａ：上部の金型
２ｂ：下部の金型 
３：上型 
４：下型 
５ａ：第一押圧部 
５ｂ：第二押圧部 
６：焼結セラミックシート 
６ａ：裁断焼結セラミックシート 
６ｂ：所望形状以外の部分 
７ａ：上型エッジ 
７ｂ：下型エッジ 
８：当接面 
９：可撓性樹脂フィルム 
１０：フィルム貼着セラミックシート 
１１：焼結前のセラミックグリーンシート 
１２：焼結後の焼結セラミックシート 
１３：実施例１で得られた裁断焼結セラミックシートの小片 
１４：実施例２で得られた裁断焼結セラミックシートの小片 
１５：実施例３で得られた裁断焼結セラミックシートの小片 
１６：実施例４で得られた裁断焼結セラミックシート 
１７：実施例５で得られた裁断焼結セラミックシート 
Ｘ：クリアランス
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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