(57)【要約】【課題】外部振動による速度制御の遅れを解消でき、所定ストロークの繰返し移動でも安定した速度制御を実行できる干渉計用可動ミラーの速度制御装置を提供すること。【解決手段】固定ミラー１８、可動ミラー２０、ビームスプリッタ２２を有して、異なる光路長の２光束を合成して干渉光を発生させるための干渉計に用いられる前記可動ミラーの速度制御装置であって、可動ミラー２０を移動させる移動手段２６と、これに駆動電流を供給するパワーアンプ２８と、これに出力電流の指令値を送る電流制御手段３２とを備える。移動手段２６には、可動ミラー２０に加わる外部振動を検出するための加速度センサ６４が設けられ、電流制御手段３２は、加速度センサ６４の検出値に基づいて可動ミラー２０の移動方向に作用する加速度を打ち消すための電流変化成分を決定し、該電流変化成分を出力電流の指令値に与える。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光束を分割する光束分割部、分割光をそれぞれ反射する固定ミラー、および可動ミラーを有して、異なる光路長の２光束を合成して干渉光を発生させるための干渉計に用いられる前記可動ミラーの速度制御装置であって、
前記可動ミラーを移動させる移動手段と、
前記移動手段に駆動電流を供給する電流供給手段と、
前記電流供給手段に出力電流の指令値を送る電流制御手段と、を備え、
前記移動手段には、前記可動ミラーに加わる外部振動を検出するための加速度センサが設けられ、
前記電流制御手段は、前記加速度センサの検出値に基づいて可動ミラーの移動方向に作用する加速度を打ち消すための電流変化成分を決定し、該電流変化成分を前記出力電流の指令値に与えることを特徴とする干渉計用可動ミラーの速度制御装置。
【請求項２】
請求項１記載の干渉計用可動ミラーの速度制御装置において、
前記可動ミラーの位置ごとに過去に用いた前記出力電流の指令値を記憶する記憶部を備え、
前記電流制御手段は、記憶された前記指令値に基づいて前記可動ミラーの位置ごとの環境条件を予測する予測手段を有し、次の速度制御において予測された前記環境条件に応じた出力電流の指令値を用いることを特徴とする干渉計用可動ミラーの速度制御装置。
【請求項３】
光束を分割する光束分割部、分割光をそれぞれ反射する固定ミラー、および可動ミラーを有して、異なる光路長の２光束を合成して干渉光を発生させるための干渉計と、
請求項１または２記載の前記可動ミラーの速度制御装置と、
前記干渉計からの干渉光を試料に照射して得られた干渉光を光電変換しインターフェログラム信号を出力する検出器と、
前記検出器からのインターフェログラム信号に基づいてスペクトルを得るための信号処理手段と、
を備えることを特徴とするフーリエ変換分光光度計。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、干渉計用可動ミラーの速度制御装置、及び、これを備えたフーリエ変換分光光度計に関し、特に可動ミラーの等速制御の改良に関する。
【背景技術】
【０００２】
フーリエ変換赤外分光光度計（以下、ＦＴＩＲと呼ぶ。）は、干渉計で生成される赤外光の干渉光を試料に照射し、試料からの干渉光の検出値に基づいて、試料特有のスペクトルを取得するもので、スペクトルを利用した試料の分析を行うことができる。ＦＴＩＲは、一般的に、赤外光源、干渉計、試料部、赤外検出器、および、信号処理手段を有して構成される。干渉計は、赤外光源からの赤外光を２つの光束に分割するビームスプリッタ、分割された一方の光束をそのビームスプリッタに向けて反射する固定ミラー、分割された他方の光束を前記ビームスプリッタに向けて反射する可動ミラーを有する。２つの光束はビームスプリッタで合成され干渉光となって後段の試料部に送られる。干渉光は、可動ミラーの移動位置に応じた強度、すなわち、２つの光束の光路差に応じた強度を有する。このような干渉光の強度変化は、インターフェログラム（干渉曲線）と呼ばれる。試料部からの干渉光を赤外検出器により光電変換してインターフェログラム信号を得て、信号処理手段によりスペクトルに変換される。こうして、試料特有のスペクトルが得られる。
【０００３】
＜等速性の確保＞
フーリエ変換分光光度計においては、逐次比較型ＡＤコンバータと干渉計のアナログドライブ制御との組み合わせが一般的だったが、近年、データのＳ／Ｎの改善を図るため、基本クロックにより、自走的にＡＤ変換（オーバーサンプリング）を行うΔΣ型ＡＤコンバータ２０を採用するものが増えてきた。この場合、基本クロックは可動ミラーがＨｅ−Ｎｅレーザの１周期分又は１／２周期分だけ動く時間よりも更に短く、また可動ミラーの速度と非同期である。このため、可動ミラーの速度にふらつきがあると、インターフェログラムのサンプリング距離間隔がばらつくことになり、フーリエ変換の精度を落としてしまう。従って、可動鏡の等速性が必須の条件である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−１２５９７１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
可動ミラーを用いたアナログドライブ制御では、例えばＨｅ−Ｎｅレーザ検出器よりのアナログ信号（Ｈｅ−Ｎｅレーザの干渉信号）の１周期間隔又は１／２周期間隔で干渉計の可動ミラーの速度を監視して、速度制御を行うものがある。しかしながら、一般的なアナログ制御では、可動ミラーの速度に「むら」が生じることがある。このような速度の「むら」を抑えて等速性を確保することが従来からの課題であった。（特許文献１参照）
【０００６】
発明者らは、正確なインターフェログラムを検出するためには、可動ミラーの等速制御を実行する際に、速度の指令値と実速度の検出値とのずれ（差分）を極力小さく抑えること、また、所定のストロークを繰返し移動させても常に安定した速度制御を実行できることが重要であると考えた。
【０００７】
そして、速度の指令値と実速度の検出値の差分の原因は、主にミラーの移動手段に加わる外部振動（外乱）であることに着目した。従来の速度フィードバック制御は、２つの速度の差分に基づいて、速度指令値の補正を行うものであるが、可動ミラーは常に動いているため、ミラー速度の監視位置と、フィードバック制御を受けた指令値による速度制御が実行される制御位置とは、厳密には一致せず、微小にずれる。ミラーの移動をより高い精度で制御するためには、外部振動による制御のずれ（遅れ）を解消する必要があった。
【０００８】
本発明は上記課題に鑑みなされたものであり、その目的は干渉計用可動ミラーの速度制御装置において、可動ミラーに作用する外部振動による速度制御の遅れを解消することができ、さらには、所定のストローク（行程）を繰返し移動させても常に安定した速度制御を実行することができる可動ミラーの速度制御装置、および、これを用いたフーリエ変換分光光度計を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
すなわち、本発明に係る干渉計用可動ミラーの速度制御装置は、光束を分割する光束分割部、分割光をそれぞれ反射する固定ミラー、および可動ミラーを有して、異なる光路長の２光束を合成して干渉光を発生させるための干渉計に用いられる前記可動ミラーの速度制御装置であって、
前記可動ミラーを移動させる移動手段と、
前記移動手段に駆動電流を供給する電流供給手段と、
前記電流供給手段に出力電流の指令値を送る電流制御手段と、を備え、
前記移動手段には、前記可動ミラーに加わる外部振動を検出するための加速度センサが設けられ、
前記電流制御手段は、前記加速度センサの検出値に基づいて可動ミラーの移動方向に作用する加速度を打ち消すための電流変化成分を決定し、該電流変化成分を前記出力電流の指令値に与えることを特徴とする。
【００１０】
さらに、可動ミラーの速度制御装置は、前記可動ミラーの位置ごとに過去に用いた前記出力電流の指令値を記憶する記憶部を備え、
前記電流制御手段は、記憶された前記指令値に基づいて前記可動ミラーの位置ごとの環境条件を予測する予測手段を有し、次の速度制御において予測された前記環境条件に応じた出力電流の指令値を用いることが好ましい。
【００１１】
また、本発明に係るフーリエ変換分光光度計は、
光束を分割する光束分割部、分割光をそれぞれ反射する固定ミラー、および可動ミラーを有して、異なる光路長の２光束を合成して干渉光を発生させるための干渉計と、
前記可動ミラーの速度制御装置と、
前記干渉計からの干渉光を試料に照射して得られた干渉光を光電変換しインターフェログラム信号を出力する検出器と、
前記検出器からのインターフェログラム信号に基づいてスペクトルを得るための信号処理手段と、を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
以上の構成の干渉計用可動ミラーの速度制御装置、および、これを用いたフーリエ変換分光光度計によれば、内蔵した加速度センサを用いて外部振動を検出して、この検出値に基づいて出力電流の指令値に対する補正値（電流変化成分）を決定し、これを付与した指令値を用いて可動ミラーの移動させることになる。従来の速度制御における制御の遅れの原因と考えた外部振動を加速度センサで検出することで、制御の遅れを解消することができ、可動ミラーに与える外部振動の影響をリアルタイムで抑制することができる。
【００１３】
また、記憶された過去の指令値に基づいて現在の可動ミラーの環境条件を予測し、適切な指令値を導き出すこと（学習機能）で、次の速度制御における実際の環境条件に対する制御の応答性が高まり、高精度で安定した速度制御を実現することができる。
ここで、予測される環境条件としては、例えば、移動機構の表面凹凸のような機械的な経年変化、設置場所で制約される干渉計（ＦＴＩＲ）の姿勢、周辺温度などが挙げられる。
【００１４】
例えば、ミラーの移動機構に機械的な経年変化（環境条件）が生じている場合、予測された経年変化に応じた指令値を用いれば、その経年変化の予測分だけ加速度センサに基づくリアルタイムの制御量（電流変化成分）を小さく抑えることができる。その結果、測定の繰返しにより序々に変化していくような経年変化に対する制御の応答性が高まる。また、毎回のミラーの移動で変化するような外部振動の影響（例えば、周囲を人が移動することで作用する振動など）は、加速度センサによるリアルタイム制御によって常に排除されることになるが、経年変化の予測によって制御量が小さくて済むことから、毎回の測定でランダムに生じるような外部振動の影響に対する応答性も高まる。
【００１５】
以上のようなリアルタイム制御を実現できたことにより、可動ミラーに作用する外部振動による速度制御の遅れを解消することができ、さらに、学習機能を具備させたことで、所定のストロークを繰返し移動させても常に安定した速度制御を実行することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の一実施形態にかかるフーリエ変換分光光度計の概略構成図である。
【図２】前記フーリエ変換分光光度計に備えられた可動ミラーの速度制御装置のブロック図である。
【図３】本発明にかかる可動ミラーの速度制御方法のフロー図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下に図面を参照して本発明の好適な実施形態について説明する。
図１は、本発明の一実施形態にかかるフーリエ変換赤外分光光度計（ＦＴＩＲ）１００の概略構成図である。同図に示したＦＴＩＲ１００は、赤外光源１２と、マイケルソン干渉計１４と、赤外検出器１６と、コントローラ３０とを備える。赤外光源１２は、赤外光を干渉計１４のビームスプリッタ２２に向けて出射する。
【００１８】
マイケルソン干渉計（以下、単に干渉計と呼ぶ）１４は、異なる長さの光路を経た２光束を合成して干渉光を発生させるためのもので、固定ミラー１８、可動ミラー２０、及び、ビームスプリッタ（光束分割部）２２を有する。ビームスプリッタ２２は、光源１２からの赤外光を２光束に分割するとともに２光束を合成する役目を持つ。固定ミラー１８は、分割後の第１光束をビームスプリッタへ向けて反射する。可動ミラー２０は、分割後の第２光束をビームスプリッタ２２へ向けて反射するとともに該ビームスプリッタ２２に近づく方向と遠ざかる方向の両方向に移動可能に設けられている。そして、ビームスプリッタ２２にて２光束が合成され、赤外光の干渉光が生じる。同時に可動ミラー２０の移動に伴って、赤外光の干渉光は変調される。この干渉光は、ビームスプリッタ２２と赤外検出器１６の間に設けられた試料室内の試料２４を照射する。
【００１９】
可動ミラー２０はボイスコイルモータなどの移動手段２６によって移動自在に設けられる。ボイスコイルモータなど電動の移動手段２６を使用する場合は、パワーアンプ（電流供給手段に相当する）２８を設けて移動手段２６に駆動電流を供給するように構成してもよい。なお、ボイスコイルモータのような移動手段２６に限られず、圧電アクチュエータなど他の移動手段２６を用いてもよい。
【００２０】
この干渉計１４には、さらに、Ｈｅ−Ｎｅレーザ光源（測距用光源）６０と、測距用検出器６２と、Ｈｅ−Ｎｅレーザを用いて可動ミラー２０までの距離を測定するレーザ干渉計とが設けられている。Ｈｅ−Ｎｅレーザ光源６０は、Ｈｅ−Ｎｅレーザ（単色光）を発生し、赤外光と同じ光路を利用してビームスプリッタ２２に供給する。レーザ干渉計は、可動ミラー２０の移動に伴ってＨｅ−Ｎｅレーザの干渉光（測距用干渉光）を生成する。測距用検出器６２は、干渉計１４よりのＨｅ−Ｎｅレーザ干渉光を光電変換し、Ｈｅ−Ｎｅレーザ干渉信号を出力する。なお、マイケルソン干渉計１４の光学系はレーザ干渉計の光学系に兼用されている。このような構成では、マイケルソン干渉計をＦＴＩＲにおける主干渉計と呼び、レーザ干渉計を副干渉計と呼んで、便宜的に２種類の干渉計を区別する。
赤外検出器１６は、試料２４からの干渉光を光電変換し、インターフェログラム信号を出力する。
【００２１】
また、同図において、コントローラ（信号処理手段に相当する）３０は、ＣＰＵ又はコンピュータＰＣからなり、可動ミラー２０の速度制御を行なうとともに、赤外検出器１６からのインターフェログラム信号に基づいてスペクトルを演算する。具体的には、コントローラ３０は、可動ミラー２０のための電流制御手段３２と、この電流制御手段３２に指令値を与える指令手段３４と、メモリー（記憶部）３６と、位置検出手段３８と、インターフェログラム取得手段４０と、フーリエ変換手段４２とを備える。
【００２２】
電流制御手段３２は、指令値をパワーアンプ２８に与えてその出力電流を制御して、可動ミラー２０の速度制御、特にその等速制御を実行するためのものである。
位置検出手段３８は、測距用検出器６２よりのＨｅ−Ｎｅレーザ干渉信号（測距用干渉信号）に基づいて、可動ミラー２０の移動に伴った干渉縞の変化をカウントすることにより、可動ミラー２０の位置を検出する。検出された位置情報は、インターフェログラム取得手段４０および電流制御手段３２などに送られる。
【００２３】
インターフェログラム取得手段４０は、赤外検出器１６からのインターフェログラム信号と、位置検出手段３８からの可動ミラー２０の位置情報とに基づいて、干渉光の光強度を縦軸、２光束の光路差を横軸とするインターフェログラム（干渉曲線）を取得する。フーリエ変換手段４２は、インターフェログラムにフーリエ変換を施し、試料に特有なスペクトルを取得する。
【００２４】
本発明において特徴的なことは、可動ミラー２０の移動手段２６に加速度センサ６４が設けられていること、そして、コントローラ内の電流制御手段３２が、加速度センサ６４の検出値に基づく指令値の補正を行って、可動ミラー２０のリアルタイム制御を実行できること、および、記憶された過去の指令値情報に基づく学習機能を具備していることである。これらについて以下に詳細に説明する。
【００２５】
＜可動ミラーの速度制御装置＞
図２は、本発明にかかる可動ミラー２０の速度制御装置１０の全体構成を示すブロック図である。この速度制御装置１０は図１のＦＴＩＲ１００に組み込まれており、対応する構成には同じ符号を付して説明する。可動ミラー２０の速度制御装置１０は、ボイスコイルモータなどの移動手段２６と、この移動手段２６に設けられ可動ミラー２０に加わる外部振動を検出するための加速度センサ（ジャイロセンサなど）６４と、移動手段２６に駆動電流を供給するパワーアンプ２８と、パワーアンプ２８に出力電流の指令値を与える電流制御手段３２と、可動ミラー２０の位置ごとに過去に用いた出力電流の指令値を記憶するメモリー３６と、を備える。
【００２６】
図２の電流制御手段３２は、パワーアンプ２８の出力電流を定めるための指令値として、指令手段３４からの外部指令値、または、内部で予測した予測指令値を選択して、パワーアンプ２８に送るようになっている。さらに、電流制御手段３２は、選択された指令値に、加速度センサ６４の検出値に基づく補正値（電流変化成分）を与えている。この電流変化成分は、可動ミラー２０が外部振動を受けた際に、可動ミラー２０の移動方向に作用する加速度を打ち消すために必要な電流変化成分を示す。
【００２７】
電流制御手段３２の具体的な構成の一例を以下に説明する。
電流制御手段３２は、環境条件に応じた予測指令値を出力する予測手段４４と、この予測指令値と指令手段３４からの外部指令値とのいずれかを選択する選択手段４６と、指令値に対する補正値として電流変化成分を算出する算出手段４８と、この電流変化成分を選択された指令値に付与する付与手段５０と、実際にパワーアンプ２８に送られた指令値を位置情報とともにメモリー３６に記憶させる記憶手段５２と、を有する。
【００２８】
予測手段４４は、メモリー３６に記憶された指令値に基づいて可動ミラー２０の位置ごとの現在の環境条件を予測するとともに、その環境条件に適する予測指令値を算出して選択手段４６に出力する。
【００２９】
現在の「環境条件」とは、例えば、干渉計１４（ＦＴＩＲ）の傾きもしくは可動ミラー２０の重さの変化、またはストローク内の位置による可動ミラー２０の重さの違いなどを示す。ここで、可動ミラー２０の「重さ」とは、移動手段２６の摺動部などの摺動面に塗られる潤滑油（グリースなど）の粘度が周囲温度の影響で変化することにより、可動ミラー２０が見かけ上、重くなったり軽くなったりすることを示す。また、位置による可動ミラー２０の「重さの違い」とは、摺動部の摺動面が経年変化などで凹凸が生じて、ストローク内の位置によって、可動ミラー２０が見かけ上、重くなったり軽くなったりすることを示す。なお、学習機能とは、前回または過去に使用した出力電流の指令値（電流変化成分が付与されたもの）に基づいて、次の測定に用いる指令値を変化させることであり、これを行うことで、毎回の測定に用いる指令値が連続的または断続的に変化していくことになる。
【００３０】
＜速度制御方法＞
図３は、可動ミラー２０の速度制御方法の手順を示すフロー図である。同図を用いて、可動ミラー２０のリアルタイム制御の方法、および、記憶された過去の指令値情報に基づく学習機能について説明する。
【００３１】
まず、予測手段４４がメモリー３６から過去に用いた出力電流の指令値を読み出す（Ｓ１０）。可動ミラー２０の位置ごとに逐次、指令値を読み出してもよいし、１ストローク分をまとめて読み出してもよい。
次に、予測手段４４が読み出した指令値に基づいて現在の環境条件を予測し（Ｓ２０）、その環境条件に適する指令値を可動ミラー２０の位置毎に算出する（Ｓ３０）。
次に、学習機能を使用する場合は選択手段４６が予測指令値を選択し、予測指令値を用いた可動ミラー２０の速度制御を実行する（Ｓ４０）。すなわち、選択された指令値をパワーアンプ２８に送って可動ミラー２０を移動させる。なお、学習機能を使用しない場合は選択手段４６が外部指令値を選択し、外部指令値を用いた可動ミラー２０の速度制御を実行する。
【００３２】
可動ミラー２０の速度制御の実行中は、電流変化成分算出手段４８が、加速度センサ６４からの検出値に基づく電流変化成分を算出し、これを付与手段５０が選択手段４６からの指令値に付与する（Ｓ５０）。
そして、電流変化成分によって補正された指令値をパワーアンプ２８に送り、可動ミラー２０を移動させる（Ｓ６０）とともに、記憶手段５２が使用した指令値をメモリー３６に記憶させる（Ｓ７０）。なお、速度制御を続ける場合は、工程Ｓ３０へ戻って、Ｓ３０からＳ７０の各工程を繰り返し実行する（Ｓ８０）。
このようにして、可動ミラー２０の全ストロークにおいて、可動ミラー２０の位置毎のリアルタイム制御と、学習機能とが同時に実行される。
【００３３】
本実施形態の効果について２つの視点、つまりリアルタイム制御と学習機能の視点から説明する。
【００３４】
＜リアルタイム制御＞
本実施形態では、加速度センサ（３軸）６４で外部振動（振動方向および周波数）を検知し、ボイスコイルモータなどの移動手段２６への出力電流の指令値に、可動ミラー２０の移動方向に作用する加速度（振動）を打ち消すように電流変化成分を与えて、その指令値により移動手段２６を駆動させる。この制御によって、経年変化などの測定環境条件の変化に限らず、毎回の測定でランダムに変化するような外部振動の影響もリアルタイムでキャンセルすることができる。
【００３５】
従来の速度フィードバック制御を使って可動ミラー２０の等速性を高い精度に保とうとしても、速度検出のタイミングと補正された指令値による制御のタイミングとのずれ、すなわち制御の遅れ（タイムラグ）の影響が顕著になり、所望の精度を保つことができないという問題があった。これに対して本実施形態に示す速度制御方法を用いれば、可動ミラー２０に加わる外部振動を加速度センサ６４で検出し、外部振動の方向および周波数の情報を得て、この外部振動を打ち消す方向および周波数で可動ミラー２０を駆動させる。加速度センサ６４を使うと外部振動をより早く検出できるため、外部振動の影響が可動ミラー２０の速度変動として表れる前に外部振動そのものの影響をキャンセルすることができる。つまり、速度フィードバック制御のような制御の遅れが生じず、リアルタイムでの制御が可能になる。その結果、可動ミラー２０を速度制御する際に、外部振動を受けているとしても、可動ミラーを高い精度で等速に移動させることができて、ＦＴＩＲの測定結果に与える外部振動の影響、すなわち可動ミラー２０の速度のふらつきを抑え、データのＳ／Ｎの改善を確実に実施することができる。このような効果は、工場内などでＦＴＩＲを用いて現場測定を行う際に非常に有効である。
【００３６】
＜パターン記憶タイプの学習機能＞
前回または過去の複数回の速度制御で使用した指令値から、現在の可動ミラー２０の環境条件を予測し、その環境条件に見合った指令値を使って次のストロークでの速度制御を実行することによって、所定のストロークを繰返し移動させても常に安定した可動ミラー２０の速度制御を実行することができる。
【００３７】
図２に示す記憶手段５２は、パワーアンプ２８に対する前回の指令値を可動ミラー２０の位置情報に関連付けてメモリー３６に記憶させる。すでに、それ以前の指令値がメモリー３６に保存されている場合は更新する。但し、前回の指令値による可動ミラーの制御精度（例えば、ミラー位置の検出値）が閾値よりも悪いと記憶手段５２によって判断された場合は、その指令値については更新しないで、すでに保存されている指令値を維持するのが好ましい。
【００３８】
メモリー３６は、可動ミラー２０の移動位置の全点の指令値をすべて記憶するのではなく、所定の点数（例えば６４点）ごとに、その平均値を記憶することが好ましい。これにより、記憶する情報量が少なくなって記憶精度が向上するとともに、記憶する情報が可動ミラーの環境条件のうちの低周波成分の特性に限定されるので、必要な情報のみが記憶されることになる。
【００３９】
メモリー３６が所定の点数（例えば６４点）ごとの平均値を記憶する場合において、予測手段４４がその記憶指令値を読み取って予測指令値を作成するときには、隣り合う記憶指令値に基づく直線補完によって得られた指令値を使って予測指令値を作成することが好ましい。すなわち、予測手段４４は、所定の点数（例えば６４点）のうちの代表点については記憶指令値をそのまま用いるが、代表点以外の点については隣り合う記憶指令値に基づいて直線補完して得られた補完指令値を用いて、予測指令値を作成するのがよい。
【００４０】
指令値を適用した可動ミラー２０の位置よりもミラーの進行方向にずれた位置情報に関連付けて、指令値を記憶させることが好ましい。これにより、制御遅れの影響を抑えることができる。なお、ミラー位置情報をどの程度シフトさせるかについては、予め制御系の応答速度に対して制御精度が最良となるようなシフト量を定めておき、指令値の記憶の際にはそのシフト量を使用するのがよい。
【００４１】
（変形例）
前述の実施形態において、図２の予測手段４４は環境条件に応じた予測指令値を選択手段４６に送るように構成されていると説明したが、環境条件に応じた補正値（電流変化成分）を算出し、これを指令手段３４からの外部指令値に付与するように予測手段を構成してもよい。
【符号の説明】
【００４２】
１０        可動ミラーの速度制御装置
１４        干渉計（マイケルソン干渉計）
１６        赤外検出器（検出器）
１８        固定ミラー
２０        可動ミラー
２２        ビームスプリッタ（光束分割部）
２６        移動手段（ボイスコイルモータ）
２８        パワーアンプ（電流供給手段）
３０        コントローラ（信号処理手段）
３２        電流制御手段
３６        メモリー（記憶部）
６４        加速度センサ
１００      フーリエ変換赤外分光光度計（フーリエ変換分光光度計）
【図１】
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【図２】
2014181987.tif 000004
【図３】
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