(57)【要約】【課題】種々の基板を安定して搬送することができる優れた安定性および汎用性を有する基板搬送装置、当該基板搬送装置を装備する基板作業装置、ならびに当該基板搬送装置に適した搬送ベルトを提供する。【解決手段】基板３の側端面と当接自在なガイド面２９３が搬送方向Ｘに延設されたガイドと、ガイド面２９３に沿って配置されて基板３の下面を支持する搬送ベルト２１ａとを有する。ガイド面２９３は、搬送ベルト２１ａにより基板３が支持される高さ位置ＰＳよりも低い位置ＰＬまで延設され、搬送ベルト２１ａは、ガイド面２９３の下端より下方において幅方向にガイド面２９３の両側に広がる幅広形状を有するベルト基部に対し、ガイド面２９３の基板側において突出部２１５を高さ位置まで突出させ、突出部２１５により基板３を支持する。【選択図】図４
2014075510.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を搬送方向に搬送する基板搬送装置であって、
前記基板の側端面と当接自在なガイド面が前記搬送方向に設けられたガイドと、
前記ガイド面に沿って配置されて前記基板の下面を支持する搬送ベルトと、
前記搬送ベルトを下方から支持する支持ガイドと、
前記搬送ベルトが掛合される第１プーリと、
前記第１プーリを回転駆動して前記搬送ベルトに支持される前記基板を前記ガイド面で案内しながら前記搬送方向に搬送する駆動部とを備え、
前記ガイド面は、前記搬送ベルトにより前記基板が支持される高さ位置よりも低い位置まで延設され、
前記搬送ベルトは、前記ガイド面の下端より下方において幅方向に前記ガイド面の両側に広がるベルト基部と、前記ガイド面の基板側において前記ベルト基部から前記高さ位置まで突出する突出部を有し、
前記突出部により前記基板を支持する基板搬送装置。
【請求項２】
請求項１に記載の基板搬送装置であって、
前記ガイドは、前記ガイド面の反基板側において前記搬送ベルトに当接して前記搬送ベルトの上方移動を規制する基板搬送装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の基板搬送装置であって、
前記第１プーリは歯付プーリであり、
前記搬送ベルトは、前記突出部と反対側の前記ベルト基部の主面に前記歯付プーリと歯合自在な歯が形成された歯付ベルトである基板搬送装置。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれか一項に記載の基板搬送装置であって、
前記搬送ベルトは、前記ベルト基部の内部に芯線が配置された芯線補強ベルトである基板搬送装置。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれか一項に記載の基板搬送装置であって、
前記突出部が設けられた前記搬送ベルトの主面と接触しながら回転する第２プーリをさらに備え、
前記第２プーリは前記突出部と嵌合自在な溝部を有する基板搬送装置。
【請求項６】
基台と、
請求項１ないし５のいずれか一項に記載の基板搬送装置と同一構成を有し、前記基台上に配置されて基板を前記搬送方向に搬送して作業位置に停止させる基板搬送部と、
前記基台上に配置されて前記作業位置で停止された前記基板に作業を施す基板作業部とを備える基板作業装置。
【請求項７】
基板を搬送方向に搬送する基板搬送装置に用いられ、この基板搬送装置を構成するガイドの搬送方向に設けられたガイド面に基板の側端面が当接した状態で、前記基板の下面を一定の支持幅で支持しながら前記搬送方向に前記基板を搬送する搬送ベルトであって、
前記支持幅よりも幅広形状を有し、幅方向において前記支持幅に対応する位置に段差が設けられ、
前記段差は前記搬送方向に延設され、
前記段差の一方は、前記ガイドの下端が当接可能な切欠部であり、
前記段差の他方は、前記切欠部が前記ガイドの下端に当接した状態で、前記ガイド面の最高高さ位置と最低高さ位置との間の高さ位置まで突出して前記基板の下面を前記支持幅で支持する突出部である
搬送ベルト。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、基板を搬送する基板搬送装置、基板搬送装置により作業位置に搬送された基板に所定の作業を実行する基板作業装置および基板搬送装置に適した搬送ベルトに関するものである。なお、基板作業装置が行う作業としては、例えば表面実装作業、基板検査作業、塗布剤の塗布作業、印刷作業、部品実装された基板のリフロー作業などが含まれる。
【背景技術】
【０００２】
表面実装機などの基板作業装置では、基板が作業位置に基板を搬入され、また作業終了後に作業位置から搬出される。このような基板搬送を行うために、基板作業装置には基板搬送装置が装備されている。例えば特許文献１に記載の装置は左右一対の搬送ベルトを有している。当該装置では、各搬送ベルトは従来から多用されている一般的な平ベルトで構成されている。各搬送ベルトの幅方向（左右方向）の内側端部が基板の下面を支持した状態で駆動モータにより各搬送ベルトを走行させることによって基板が搬送される。また、搬送ベルトの各々に対応してガイド部材が設けられている。各ガイド部材は搬送ベルトの幅方向外側端部を上方から覆っており、その幅方向内側の垂直な側端面は搬送ベルトによって搬送される基板の側端面をガイドして搬送中の基板を一定の姿勢に保持するガイド面として機能する。こうして、基板搬送の安定化を図っている。なお、特許文献１に記載された基板搬送態様を「従来例１」と称する。
【０００３】
また特許文献２では、従来例１と異なる２種類の基板搬送態様が記載されている。そのうちの一方では、各搬送ベルトは平ベルトで構成されており、幅方向（左右方向）全体で基板の下面を支持する。そして、左右一対のガイド部材がそれぞれ左右の搬送ベルトの外側に配置され、搬送ベルトの外側から基板を挟み込むようにしてガイドする。このような基板搬送態様を「従来例２」と称する。
【０００４】
特許文献２に記載された他方の基板搬送態様は、ガイド機能が付加された搬送ベルトを使用して基板搬送を行うものであり、以下においては「従来例３」という。この従来例３では、各搬送ベルトの幅方向内側端部が基板の下面を支持しており、基板を搬送するための搬送部として機能する。そして、幅方向内側端部（搬送部）に繋がる幅方向外側端部が上方に突出して設けられ、幅方向内側端部で支持される基板の側端面を係止してガイド部として機能する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００９−２８９７８０号公報（図３）
【特許文献２】特開２０００−２６４４１４号公報（図１、図２、図４、図５）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
このように種々の基板搬送態様が従来から提案されているが、いずれも基板作業装置への適用範囲が限定されており、汎用性に問題があった。例えば従来例１では、ガイド部材は搬送ベルトの幅方向外側端部を上方から覆うように配置されており、搬送ベルトとの間で隙間が発生することがあった。したがって、比較的薄い基板（以下「薄基板」という）を搬送しようとすると、薄基板が上記隙間に入り込んで、基板の噛み込みが生じてしまう可能性がある。よって、従来例１により搬送可能な基板は上記隙間よりも十分に厚い基板（以下「厚基板」という）に制限される。
【０００７】
また、従来例２では、搬送ベルトは幅方向全体で基板の下面を支持する構成を採用しているため、基板搬送のために搬送ベルトによる支持が許容される幅、いわゆる支持幅の影響を強く受ける。つまり、搬送ベルトの幅を支持幅以下に設定する必要がある。特に、基板に部品が実装されると、当該部品実装面での支持幅は非常に狭くなる。したがって、搬送ベルトの断面積が小さく、十分なベルト強度を確保することが困難となることがあった。このような場合、比較的重い基板（以下「重量基板」という）を搬送すると、摩擦で搬送ベルトが伸びて正確な基板搬送を行うことが困難となる。また、ベルト破断の可能性も生じてしまう。よって、従来例２により搬送可能な基板は比較的低重量の基板に制限される。
【０００８】
さらに、従来例３では、基板をガイドするガイド部が搬送部と繋がった状態で上方に突設されている。通常、搬送ベルトは可撓性を有する材料で形成されるため、ガイド部は基板を幅方向にガイドする度に基板から横荷重を受ける。このように横荷重がガイド部に繰り返して作用することで、ガイド部が搬送部と繋がる部分、いわゆる付け根部分に対してせん断力が繰り返して付与される。その結果、付け根部分での亀裂発生やガイド部の破断などの不具合が発生するおそれがあり、安定的な基板搬送を実行することが困難であった。
【０００９】
この発明は上記課題に鑑みなされたものであり、種々の基板を安定して搬送することができる優れた安定性および汎用性を有する基板搬送装置、当該基板搬送装置を装備する基板作業装置、ならびに当該基板搬送装置に適した搬送ベルトを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
この発明の第１態様は、基板を搬送方向に搬送する基板搬送装置であって、基板の側端面と当接自在なガイド面が搬送方向に設けられたガイドと、ガイド面に沿って配置されて基板の下面を支持する搬送ベルトと、搬送ベルトを下方から支持する支持ガイドと、搬送ベルトが掛合される第１プーリと、第１プーリを回転駆動して搬送ベルトに支持される基板をガイド面で案内しながら搬送方向に搬送する駆動部とを備え、ガイド面は、搬送ベルトにより基板が支持される高さ位置よりも低い位置まで延設され、搬送ベルトは、ガイド面の下端より下方において幅方向にガイド面の両側に広がるベルト基部と、ガイド面の基板側においてベルト基部から前記高さ位置まで突出する突出部を有し、突出部により基板を支持する。
【００１１】
この発明の第２態様は、基板作業装置であって、上記基板搬送装置と同一構成を有し、基台上に配置されて基板を搬送方向に搬送して作業位置に停止させる基板搬送部と、基台上に配置されて作業位置で停止された基板に作業を施す基板作業部とを備える。
【００１２】
この発明の第３態様は、基板を搬送方向に搬送する基板搬送装置に用いられ、この基板搬送装置を構成するガイドの搬送方向に設けられたガイド面に基板の側端面が当接した状態で基板の下面を一定の支持幅で支持しながら搬送方向に基板を搬送する搬送ベルトであって、支持幅よりも幅広形状を有し、幅方向において支持幅に対応する位置に段差が設けられ、段差は搬送方向に延設され、段差の一方は、ガイドの下端が当接可能な切欠部であり、段差の他方は、切欠部がガイドの下端に当接した状態で、ガイド面の最高高さ位置と最低高さ位置との間の高さ位置まで突出して基板の下面を支持幅で支持する突出部である。
【発明の効果】
【００１３】
以上のように、本発明にかかる基板搬送装置および基板作業装置では、基板の側端面がガイド面に当接することで基板が幅決めされる。そして、この状態で、支持ガイドにより下方から支持される搬送ベルトの突出部が基板の下面を支持しながら当該基板を搬送する。このガイド面は突出部により基板下面が支持される高さ位置（以下「基板支持高さ位置」という）よりも低い位置まで延設されている。このため、高さ方向においてガイド面と搬送ベルトとの間に隙間が発生するのを確実に防止することができる。その結果、厚基板はもとより薄基板を搬送する場合であっても、従来例１での問題、つまり基板の噛み込みが発生するのを効果的に防止することができる。
【００１４】
また、基板の側端面をガイド面に当接させて基板の幅決めを行っている。このため、搬送ベルトに対して幅方向の応力が与えられるのを防止し、これによって従来例３での問題、搬送ベルトの亀裂・破断が発生するのを防止することができる。
【００１５】
さらに、次のように構成していることから搬送ベルト自体の強度が高められており、搬送ベルトの亀裂等をさらに効果的に防止することができる。すなわち、搬送ベルトはベルト基部から突出している突出部により基板下面を支持している。したがって、従来例２と同様に基板搬送のために搬送ベルトによる支持が許容される幅、つまり支持幅が狭くなると、それに応じて突出部の幅を狭める必要がある。しかしながら、ベルト基部については支持幅の影響を受けず、ガイド面の下端より下方において幅方向にガイド面の基板側に広がり突出部の基部となるのみでなく、ガイド面の下端より下方において幅方向にガイド面の反基板側に広がる幅広形状としている。したがって、突出部の幅を狭める必要があったとしても、搬送方向に対して直交する面における搬送ベルトの断面積については、十分に大きく設定することができ、搬送ベルトの強度が向上する。
【００１６】
本発明にかかる搬送ベルトは、上記した基板搬送装置や基板作業装置において基板を搬送するのに適した搬送ベルトに関するものである。この搬送ベルトは支持幅よりも幅広形状を有している。また搬送ベルトには、幅方向において支持幅に対応する位置に段差が有しており、その段差の一方がガイドの下端が当接可能な切欠部となっている。そして、その切欠部にガイドの下端に当接した状態で、段差の他方はガイド面の最高高さ位置と最低高さ位置との間の高さ位置まで突出して基板を支持する突出部となる。したがって、このような構成を有する搬送ベルトは上記基板搬送装置や基板作業装置において上記作用効果を発揮し、同装置に適用するのに好適である。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明にかかる基板搬送装置の一実施形態を装備する基板作業装置を示す概略的に示す平面図である。
【図２】基板搬送部の部分拡大斜視図である。
【図３】蛇行防止機能付きプーリの構成を示す図である。
【図４】図２の基板搬送部の部分断面図である。
【図５】搬送ベルト、ガイドおよびプリント基板の位置関係を模式的に示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
図１は、本発明にかかる基板搬送装置の一実施形態を装備する基板作業装置を示す概略的に示す平面図である。ここでは、基板作業装置として表面実装機を例示して説明する。なお以下の説明便宜のために、図１および後で説明する各図には、基板搬送装置による基板の搬送方向を「Ｘ方向」とし、鉛直方向を「Ｚ方向」とし、搬送方向Ｘと鉛直方向Ｚとに直交する方向を「Ｙ方向」とするＸＹＺ直交座標軸が示されている。
【００１９】
表面実装機は同図に示すように基台１を有している。この基台１上では、本発明にかかる基板搬送装置に相当する基板搬送部２が配置されている。基板搬送部２は一対の搬送ベルト２１ａ、２１ｂを有しており、これらの搬送ベルト２１ａ、２１ｂで本発明の「基板」の一例であるプリント基板３の下面を支持しながらＸ方向に搬送し、所定の実装作業位置で停止させる。また、当該実装作業位置でのプリント基板３への部品の実装作業が完了すると、基板搬送部２はプリント基板３をＸ方向に搬送して次の基板作業装置に向けて搬出する。なお、基板搬送部２の構成および動作については、後で詳述する。
【００２０】
基板搬送部２の両側には、部品供給部４、５が配置されている。これらの部品供給部４、５のうち一方側（図１では上側）の部品供給部４にはＸ方向に多数列のテープフィーダー４ａが設けられている。各テープフィーダー４ａは、各々、ＩＣ、トランジスタ、コンデンサ等の小片状のチップ部品を所定間隔おきに収納、保持したテープがリールから導出されるように構成されており、後述のヘッドユニット６により部品が間欠的に取り出されるようになっている。一方、他方側の部品供給部５には、Ｘ方向に所定の間隔を隔ててトレイ５ａ、５ｂがセットされている。各トレイ５ａ、５ｂには、各々QFP(Quad Flat Package)やBGA(Ball Grid Array)等のパッケージ型の部品が整列して載置されており、ヘッドユニット６による取出しが可能な状態となっている。
【００２１】
上記基台１の上方には、部品装着用のヘッドユニット６が装備されている。このヘッドユニット６は次の構成を有しており、Ｘ方向およびＹ方向に移動可能となっている。すなわち、基台１上には、Ｙ方向の固定レール７と、Ｙ軸サーボモータ９により回転駆動されるボールねじ軸８とが配設されている。上記固定レール７上には、ヘッドユニット支持部材１１が配置されている。この支持部材１１に設けられたナット部分１２が上記ボールねじ軸８に螺合している。また、上記支持部材１１には、Ｘ方向のガイド部材（図示省略）と、Ｘ軸サーボモータ１５により駆動されるボールねじ軸１４とが配設されている。上記ガイド部材１３にヘッドユニット６が移動可能に保持されている。このヘッドユニット６に設けられたナット部分（図示せず）が上記ボールねじ軸１４に螺合している。そして、装置全体を制御する制御ユニット（図示省略）からのＹ方向動作指令に応じてＹ軸サーボモ−タ９が作動すると、上記支持部材１１がＹ方向に移動する。これにより、ヘッドユニット６がＹ方向に移動する。また、制御ユニットからのＸ方向動作指令に応じてＸ軸サーボモータ１５が作動すると、ヘッドユニット６が支持部材１１に対してＸ方向に移動する。こうして、ヘッドユニット６は部品供給部４、５の上方位置と、実装作業位置の上方位置との間を移動する。
【００２２】
ヘッドユニット６には、部品吸着用のノズル１６ａを先端に備えた複数のヘッド（図示省略）が設けられている。各ヘッドは、ヘッドユニット６のフレームに対して昇降（Ｚ方向の移動）及びノズル中心軸（Ｒ軸：図示せず）回りの回転が可能とされ、図外のＺ軸サーボモータ等の昇降駆動手段及びＲ軸サーボモータ等の回転駆動手段により作動されるようになっている。なお、本実施形態では、ノズル１６ａが６本配設された構成を示しているが、ノズル本数はこれに限定されるものではなく、任意である。
【００２３】
なお、図１中の符号１８は基台１上で上記トレイ５ａ、５ｂの間に配置された撮像装置であり、部品供給部４、５から取出された部品を実装に先立って画像認識する。
【００２４】
次に、基板搬送部２の構成および動作について図１ないし図５を参照しつつ説明する。図２は基板搬送部の部分拡大斜視図である。図３は蛇行防止機能付きプーリの構成を示す図である。図４は図２の基板搬送部の部分断面図である。図５は搬送ベルト、ガイドおよびプリント基板の位置関係を模式的に示す図であり、同図（ａ）が本実施形態にかかる基板搬送部における位置関係を示し、同図（ｂ）は従来例１における位置関係を示し、同図（ｃ）は従来例２における位置関係を示している。
【００２５】
基板搬送部２は上記したように２つの搬送ベルト２１ａ、２１ｂを有している。いずれの搬送ベルト２１ａ、２１ｂも、外周面に対して段差２１１が搬送方向Ｘに延設されるとともに、内周面に歯２１２が形成された無端状の歯付ベルトである。これらのうち搬送ベルト２１ａを循環移動させるために、基板搬送部２は次のように構成されている。つまり、搬送ベルト２１ａは、搬送方向Ｘに延設された搬送フレーム２２ａに対して回転自在に取り付けられた４つの従動プーリ（図２では、搬送方向Ｘの上流側に設けられた３つのプーリ２３ａ〜２５ａのみを図示している）および駆動プーリ２６ａに掛け渡されている。
【００２６】
駆動プーリ２６ａは、図２に示すように、搬送ベルト２１ａに形成された歯２１２と歯合自在な歯２６１を有する歯付プーリであり、搬送ベルト２１ａの内周面が駆動プーリ２６ａの外周面に歯合する状態で搬送ベルト２１ａが掛合されている。駆動プーリ２６ａは、駆動モータ２７の回転軸（図示省略）に取り付けられた六角柱状の回転シャフト２８に固定されている。したがって、制御ユニットからの回転指令に応じて駆動モータ２７が作動すると、駆動プーリ２６ａが図２中の矢印方向Ｑに回転し、これによって搬送ベルト２１ａを循環移動させてプリント基板３を搬送方向Ｘに搬送する。
【００２７】
搬送ベルト２１ａの移動方向において駆動プーリ２６ａの上流側（図２中の左手側）に従動プーリ２３ａが配置されるとともに、駆動プーリ２６ａの下流側（図２中の右手側）に従動プーリ２４ａが配置されている。これらのうち下流側プーリ２４ａの外周面には、図３に示すように、搬送ベルト２１ａの段差２１１に係合可能な形状を有する溝部２４１が形成されている。そして、段差２１１が溝部２４１と係合する状態で搬送ベルト２１ａはプーリ２４ａに掛合されている。このため、搬送ベルト２１ａが蛇行するのを効果的に防止する。また、上流側のプーリ２３ａも上記下流側プーリ２４ａと同様に構成されている。つまり、段差２１１がプーリ２３ａの外周面に形成された溝部（図示省略）と係合する状態で搬送ベルト２１ａはプーリ２３ａに掛合され、これによって駆動プーリ２６ａの上流側においても搬送ベルト２１ａが蛇行するのを効果的に防止する。
【００２８】
残る２つのプーリのうち一方が図２中のプーリ２５ａであり、他方は図示されていないがプーリ２５ａから所定距離だけ搬送方向Ｘに離れた位置に配置される従動プーリである。これらのプーリは、基板作業装置におけるプリント基板３の搬送長と同程度だけ搬送方向Ｘに離間して設けられている。これらのプーリのいずれもが搬送ベルト２１ａに形成された歯２１２と歯合自在な歯を有する歯付プーリであり、搬送ベルト２１ａの内周面がこれらの従動プーリの外周面に歯合状態で掛合されている。こうして、プーリ２５ａからもう一方のプーリ（図示省略）にかけて搬送ベルト２１ａが水平に張架され、この水平張架領域内で搬送ベルト２１ａの外周面の幅方向内側（図２中の左手側）でプリント基板３の下面端部を支持可能となっている。また、水平張架領域内で搬送ベルト２１ａの外周面の幅方向外側（図２中の右手側）を上方から押さえ付けるようにガイド２９ａが配置されている。なお、本実施形態では、図２に示すように、ガイド２９ａは、プリント基板３をガイドする基板ガイドとして機能するものであり、２種類の幅決めガイド部材２９１、２９２で構成されている。また、搬送フレーム２２ａには、図２に示すように、水平張架領域内で搬送ベルト２１ａを下方から支持する支持ガイド２０が取り付けられている。なお、プーリ２３ａの支持軸の搬送フレーム２２ａへの取り付けにおいてＸ方向に調整可能とされており、従動プーリ２３ａ、駆動プーリ２６ａ、従動プーリ２４ａ、従動プーリ２５ａ、およびプーリ２５ａと同一形態でプーリ２５ａから所定距離だけ搬送方向Ｘに離れた位置に配置される従動プーリの、４つのプーリに掛け渡される搬送ベルト２１ａの張り具合が、調整可能とされている。
【００２９】
幅決めガイド部材２９１はプリント基板３よりも十分に厚い金属製あるいは樹脂製のブロック体であり、搬送方向Ｘにおいて幅決めガイド部材２９２の上流側で搬送フレーム２２ａの頂部に固定されている。幅決めガイド部材２９１の上流側の幅方向内側（図２中の左手側）にはプリント基板３を案内する案内部位２９１１が形成されており、基板作業装置に搬入されてくるプリント基板３は案内部位２９１１を経由して搬送ベルト２１ａに送り込まれる。また、幅決めガイド部材２９２は、プリント基板３よりも十分に厚く、搬送方向Ｘに延設された金属製あるいは樹脂製のプレートであり、幅決めガイド部材２９１に続いて搬送方向Ｘに配置され、搬送フレーム２２ａの頂部に固定されている。
【００３０】
基板搬送部２では、もう一方の搬送ベルト２１ｂを循環移動させるために、搬送ベルト２１ａを循環移動させるための構成と同様の構成が、プリント基板３の幅（Ｙ方向の基板サイズ）に対応した距離だけ搬送ベルト２１ａから幅方向Ｙに離れた位置に設けられている。なお、駆動モータ２７を共通駆動源として用いている点を除き、搬送ベルト２１ｂに関する構成は上記した構成と同一であるため、ここでは同一あるいは相当符号を付して詳しい構成説明を省略する。
【００３１】
このように本実施形態は、従来例と同様に、一対のガイド２９ａ、２９ｂ（図１参照）の幅方向内側にそれぞれ設けられるガイド面（図２、図４および図５中の符号２９３）でプリント基板３を幅決めした状態で、一対の搬送ベルト２１ａ、２１ｂがそれぞれプリント基板３の幅方向端部を下方から支持しながらプリント基板３を搬送方向Ｘに搬送する。しかしながら、本実施形態は、従来例とは異なる構成を有する搬送ベルト２１ａ、２１ｂを用いるとともに、それに関連する特有の構成を採用している。以下、これらの点について、主として図４および図５を参照しながら搬送ベルト２１ａについてのみ説明するが、搬送ベルト２１ｂについても全く同様である。
【００３２】
搬送ベルト２１ａは上記したように段差２１１を有している。より詳しくは図４に示すように、搬送ベルト２１ａのベルト幅Ｗｂは、基板搬送のために搬送ベルトによる支持が許容される支持幅Ｗｓよりも幅広形状を有しており、幅方向内側端から支持幅Ｗｓの位置に段差２１１が設けられている。本実施形態では、次のようにして搬送ベルト２１ａを製造し、使用している。
【００３３】
まず金属ワイヤなどの芯線を環状に仕上げた補強ワイヤ２１３を複数本幅方向Ｙに配列した状態で歯付無端ベルト用の成形金型に配置する。成形金型のキャビティの高さは高く、幅方向Ｙに配列される複数本の補強ワイヤ２１３はキャビティの底の部分に配置される。そして、ベルト構成材料を成形金型に注入・成形した後、離型してベルト幅Ｗｂの歯付無端ベルトを製造する。この時点では、ベルトの外周面は平面形状を有している。そこで、幅方向内側（図４の（＋Ｙ）方向側）に支持幅Ｗｓだけ高さの高い突出部２１５として残し、ベルトの外周面を切り欠いて切欠部２１４を形成する。こうして、段差２１１が形成された搬送ベルト２１ａが製造される。なお、当該製造方法は一例であり、他の製造方法により同一構成の搬送ベルト２１ａを製造してもよい。例えば、搬送ベルト２１ａの最終形状（一方主面に段差２１１を有するとともに他方主面に歯２１２を有する形状）に対応する成形金型を予め準備し、当該金型を用いた成形処理のみにより図４に示す搬送ベルト２１ａを製造してもよい。
【００３４】
このようにして製造された搬送ベルト２１ａでは、内周面側部位（つまり幅Ｗｂに渡って歯２１２が成形されるとともに複数本の補強ワイヤ２１３が埋め込まれた部位）がベルト基部となっており、このベルト基部の幅方向外側が切欠部２１４となり、ベルト基部の幅方向内側においてベルト基部から外周面側に突出する支持幅Ｗｓの突出部２１５が形成されている。そして、製造された搬送ベルト２１ａをプーリに掛け渡すことで、突出部２１５の頂部により支持幅Ｗｓでプリント基板３の下面を支持することが可能となる。
【００３５】
一方、段差２１１の幅方向外側（図４の（−Ｙ）方向側）は切欠部２１４となっており、ガイド２９ａの下端面２９４と当接することで、搬送ベルト２１ａが上方へ浮き上がるのが防止されるようになっている。搬送ベルト２１ａは、基板搬送部２に組み付けられた状態において、ガイド２９ａ、２９ｂの幅方向内側にそれぞれ設けられるガイド面２９３の下端より下方において、幅方向にガイド面２９３の両側に広がるベルト基部と、ガイド面２９３のプリント基板３の側においてベルト基部から前記高さ位置まで突出する突出部を有している。ベルト基部において、ガイド面２９３のプリント基板３の反対側はガイド２９ａの下端面２９４と当接可能な切欠部２１４となっている。ガイド２９ａ（幅決めガイド部材２９１、２９２）は、幅方向内側（図４の（＋Ｙ）方向側）を向いた面２９３がプリント基板３の側端面３１と当接自在となっており、プリント基板３の幅決めを行うガイド面として機能する。また、本実施形態では、図４および図５（ａ）に示すように、支持ガイド２０とガイド２９ａの下端面２９４とで搬送ベルト２１ａの上下移動が規制される。一方、支持ガイド２０には、搬送ベルト２１ａの幅方向外側に当接し搬送ベルト２１ａが幅方向外側に移動するのを防止する突起部２０ａが形成され、搬送ベルト２１ａの幅方向内側に当接し搬送ベルト２１ａが幅方向内側に移動するのを防止するベルト幅決め部材２９５が配置され、突起部２０ａとベルト幅決め部材２９５により搬送ベルト２１ａの幅方向移動が規制される。このような構成を採用することで、搬送ベルト２１ａを安定して循環移動させることが可能となっている。また、このような構成を採用することで、ガイド面２９３は突出部２１５によりプリント基板３を支持する基板支持高さ位置ＰＳよりも低い位置まで延設されている。つまり、図５（ａ）に示すように、基板支持高さ位置ＰＳはガイド面２９３の最高高さ位置ＰＨと最低高さ位置ＰLとの間の高さ位置となっている。これにより、ガイド面２９３が突出部２１５の幅方向外側に当接し搬送ベルト２１ａが幅方向外側に移動するのを、突起部２０ａに代わり防止するようにもできる。
【００３６】
以上のように、本実施形態では、搬送ベルト２１ａは搬送方向Ｘと直交する断面において略Ｌ字形状を有している。そして、ガイド面２９３の基板側（幅方向内側）において搬送ベルト２１ａの突出部２１５が設けられてプリント基板３の下面を支持するとともに、搬送ベルト２１ａの切欠部２１４に対し、上側にガイド２９ａの下端面２９４が配置されている。したがって、次のような作用効果が得られる。以下、従来例１〜３と対比しながら本実施形態の作用効果を説明する。
【００３７】
従来例１では、例えば図５（ｂ）に示すように、ガイド面１００（本実施形態のガイド面２９３に相当）の最低高さ位置ＰＬが基板支持高さ位置ＰＳよりも高く、隙間１０１が生じることがある。その結果、搬送ベルト１０３により基板３、特に薄基板３を搬送する時に、基板３の噛み込みが発生する可能性があった。これに対し、本実施形態では、図５（ａ）に示すように、ガイド面２９３が基板支持高さ位置ＰＳよりも低い位置まで延設されているため、高さ方向Ｚにおいてガイド面２９３と搬送ベルト２１ａ、２１ｂとの間に隙間は発生しない。その結果、厚肉のプリント基板３はもちろんのこと、薄プリント基板３を搬送する場合であっても、プリント基板３の噛み込みを発生させることなく、プリント基板３を安定して搬送することができる。
【００３８】
また、従来例３では搬送ベルトに対して幅方向の応力が直接与えられ、搬送ベルトの亀裂・破断が発生する可能性があった。これに対し、本実施形態では、プリント基板３の幅決めを搬送ベルト２１ａ、２１ｂとは別個独立して設けられたガイド２９ａ、２９ｂのガイド面２９３で行っている。したがって、搬送ベルト２１ａ、２１ｂに対して幅方向Ｙの応力が与えられるのが防止され、搬送ベルト２１ａ、２１ｂの亀裂・破断を効果的に防止することができる、その結果、長期間に渡ってプリント基板３を搬送することができる。
【００３９】
さらに、従来例２では、図５（ｃ）に示すように、搬送ベルト１１０の幅方向全体で基板３の下面を支持しているため、プリント基板３の下面の状況により支持幅が狭くなると、それに応じて幅が狭い搬送ベルト１１０を用いる必要がある。したがって、重量基板の搬送が困難となり、搬送可能な基板が制限される。これに対し、本実施形態では、図５（ａ）に示すように、プリント基板３の下面を支持する突出部２１５に加え切欠部２１４を搬送ベルト１１０の幅方向に加えたことで、ベルト基部を支持幅Ｗｓよりも広い幅Ｗｂの幅広形状に仕上げることができる。したがって、仮に支持幅Ｗｓの低下に伴って突出部２１５の幅Ｗｓを狭小設定する必要があったとしても、搬送方向Ｘに対して直交する面での搬送ベルト２１ａ、２１ｂの断面積を十分に大きく設定することが可能である。さらに、補強ワイヤ２１３をベルト基部に埋設したことで搬送ベルト２１ａ、２１ｂの強度をさらに向上させている。したがって、軽量なプリント基板３はもちろんのこと重量級のプリント基板３についても搬送可能であり、種々の基板を安定して搬送することができる。
【００４０】
このように本実施形態では、駆動プーリ２６ａおよび駆動モータ２７がそれぞれ本発明の「第１プーリ」および「駆動部」の一例に相当している。また、搬送ベルト２１ａ、２１ｂの外周面が本発明の「突出部が設けられた搬送ベルトの主面」に相当している。また、プーリ２３ａ、２４ａが本発明の「第２プーリ」の一例に相当している。さらに、ヘッドユニット６が本発明の「基板作業部」の一例に相当している。
【００４１】
なお、本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したもの以外に種々の変更を行うことが可能である。例えば、上記実施形態では、搬送ベルト２１ａ、２１ｂのいずれもが歯付ベルトで構成されているが、これに限定されるものではなく、例えば搬送ベルト２１ａ、２１ｂの一方および両方を平ベルト、Ｖベルトなどの摩擦伝動ベルトで構成してもよい。
【００４２】
また、上記実施形態では、プーリ２３ａ、２４ａのいずれに対しても搬送ベルト２１ａ、２１ｂの段差２１１に係合する溝部を設けて蛇行防止機能を付与しているが、これに限定されるものではなく、例えばプーリ２３ａ、２４ａの一方にのみ蛇行防止機能に付与してもよい。
【００４３】
また、上記実施形態では、搬送ベルト２１ａ、２１ｂの幅方向外側のベース基部となる切欠部２１４を平坦としているが、切欠部２１４を外側に行くほど高さを低くする傾斜形状とするとともに、ガイド２９ａ（２９１、２９２）の下端も傾斜形状に沿う形状とすることで、搬送ベルト２１ａ、２１ｂのガイドへの組み付け性を増すことができる。
【００４４】
また、上記実施形態では、搬送ベルト２１ａ、２１ｂとして補強ワイヤ２１３を埋設した芯線補強ベルトを用いているが、これは必須構成要件でなく、補強ワイヤを埋設しない通常の搬送ベルトを用いた場合にも本発明を適用することができる。
【００４５】
さらに、上記実施形態では、本発明にかかる「基板搬送装置」の一例である基板搬送部２を、本発明の「基板作業装置」の一例である表面実装機に適用しているが、適用可能な基板作業装置としては、上記表面実装機以外に、基板検査作業、塗布剤の塗布作業、印刷作業、または部品実装された基板のリフロー作業を行う基板作業装置に対して本発明を適用することが可能である。
【産業上の利用可能性】
【００４６】
この発明は、基板を搬送する基板搬送装置、基板搬送装置により所定の作業位置に搬送された基板に所定の作業を実行する基板作業装置および基板搬送装置で用いる搬送ベルトに対して適用することができる。
【符号の説明】
【００４７】
１…基台
２…基板搬送部（基板搬送装置）
３…プリント基板（基板）
６…ヘッドユニット（基板作業部）
２１ａ、２１ｂ…搬送ベルト
２２ａ…搬送フレーム
２３ａ、２４ａ…従動プーリ（第２プーリ）
２６ａ…駆動プーリ（第１プーリ）
２７…駆動モータ（駆動部）
２９ａ…ガイド
３１…（基板の）側端面
２１１…段差
２１２…歯
２１３…補強ワイヤ（芯線）
２１４…切欠部
２１５…突出部
２４１…溝部
２６１…歯
２９１、２９２…幅決めガイド部材（ガイド）
２９３…ガイド面
２９４…ガイドの下端面
２９５…ベルト幅決め部材  
ＰＨ…（ガイド面の）最高高さ位置
ＰＬ…（ガイド面の）最低高さ位置
ＰＳ…基板支持高さ位置
Ｗｂ…ベルト幅
Ｗｓ…支持幅
Ｘ…搬送方向
Ｙ…幅方向
Ｚ…鉛直方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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