(57)【要約】【課題】搬送路の共有化により構成を簡略化できる搬送装置および方法を提供する。【解決手段】ウェハＷＦを収容可能な板状部材収容手段２または、ウェハＷＦが接着シートを介して固定されるリングフレームＲＦを収容可能なフレーム収容手段３を支持可能な支持手段１０と、支持手段１０を搬送可能な搬送手段２０とを備える。搬送手段２０で搬送される支持手段１０が、板状部材収容手段２とフレーム収容手段３との双方を支持可能であるため、１つの搬送路３１で板状部材収容手段２とフレーム収容手段３とを搬送でき、搬送装置１の装置構成を簡略化できる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状部材を収容可能な板状部材収容手段または、前記板状部材が接着シートを介して固定されるフレーム部材を収容可能なフレーム収容手段を選択的に支持可能な支持手段と、
前記支持手段を搬送可能な搬送手段と、
前記搬送手段を誘導する誘導手段とを備えていることを特徴とする搬送装置。
【請求項２】
前記誘導手段は、前記搬送手段が走行する搬送路を備え、当該搬送路と当該搬送路から離間した待機位置との間で前記搬送手段を移動可能な退避手段を備えていることを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
【請求項３】
前記支持手段に支持されたものを判別可能な判別手段を備えていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の搬送装置。
【請求項４】
板状部材を収容可能な板状部材収容手段を支持して搬送する搬送方法であって、
前記板状部材収容手段または、前記板状部材が接着シートを介して固定されるフレーム部材を収容可能なフレーム収容手段を選択的に支持する工程と、
支持した前記板状部材収容手段または、前記フレーム収容手段を共通の誘導手段を介して目的地に搬送する工程とを実施することを特徴とする搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、板状部材を収容可能な板状部材収容手段を搬送する搬送装置および搬送方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体製造工程において、半導体ウェハ（以下、単にウェハという場合がある）やリングフレーム（フレーム部材）に接着シートを貼付する装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１に記載の装置は、複数のウェハが収容されたカセットが載置される板状部材収容手段載置部と、複数のリングフレームが収容され底部にキャスター車輪が設けられたワゴンと、ウェハおよびリングフレームに接着シートを貼付するマウント機構と、板状部材収容手段載置部からマウント機構にウェハを搬送するウェハ搬送機構と、ワゴンからマウント機構にリングフレームを搬送するリングフレーム搬送機構とを備え、ワゴンに収容されたリングフレームを使い切ると、当該ワゴンをシート貼付装置から切り離し、リングフレームを補充して再度シート貼付装置内に配置するように構成されている。
また、ウェハを特許文献１の装置へ搬送する搬送装置として、ウェハが収容されたカセットを工程内で敷設された工程内搬送路を通して搬送先に搬送する構成が知られている（例えば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−３３１１９号公報
【特許文献２】特開２０００−６８３５０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記特許文献２のカセットを搬送する構成はウェハ用の搬送装置であることから、仮に特許文献２の搬送装置を上記特許文献１に適用したとしても、リングフレームを搬送するワゴンは別途搬送する必要があり、半導体製造工程における製造ラインが大型化したり、オペレータの作業が煩雑となったりするなどの不都合を解消することはできない。
本発明の目的は、装置の構成を簡略化できる搬送装置および搬送方法を提供することである。
また、他の目的は、オペレータの作業が煩雑化することを防止することができる搬送装置および搬送方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
前記目的を達成するために、本発明の搬送装置は、板状部材を収容可能な板状部材収容手段または、前記板状部材が接着シートを介して固定されるフレーム部材を収容可能なフレーム収容手段を選択的に支持可能な支持手段と、前記支持手段を搬送可能な搬送手段と、前記搬送手段を誘導する誘導手段とを備えている、という構成を採用している。
【０００６】
この際、本発明の搬送装置では、前記誘導手段は、前記搬送手段が走行する搬送路を備え、当該搬送路と当該搬送路から離間した待機位置との間で前記搬送手段を移動可能な退避手段を備えている、ことが好ましい。
また、本発明の搬送装置では、前記支持手段に支持されたものを判別可能な判別手段を備えている、ことが好ましい。
【０００７】
一方、本発明の搬送方法は、板状部材を収容可能な板状部材収容手段を支持して搬送する搬送方法であって、前記板状部材収容手段または、前記板状部材が接着シートを介して固定されるフレーム部材を収容可能なフレーム収容手段を選択的に支持する工程と、支持した前記板状部材収容手段または、前記フレーム収容手段を共通の誘導手段を介して目的地に搬送する工程とを実施する、という構成を採用している。
【発明の効果】
【０００８】
以上のような本発明によれば、搬送手段で搬送される支持手段が、板状部材収容手段とフレーム収容手段との双方を選択的に支持可能としたことで、板状部材収容手段の搬送とフレーム収容手段の搬送との共有化が図れ、装置の構成を簡略化できる。
また、そのような構成を採用することで、オペレータの作業が煩雑化することを防止することができる。
【０００９】
また、誘導手段が搬送路を備えた場合、退避手段を設けることで、搬送手段を搬送先の近傍で退避させえておくことができ、搬送先の要求に対して即座に板状部材収容手段またはフレーム収容手段を搬送することができる。
さらに、判別手段を設けることで、板状部材収容手段またはフレーム収容手段を間違えた搬送先に搬送してしまうことを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の実施形態に係る搬送装置を示す概略平面図。
【図２】図１に示す搬送装置の部分側面図。
【図３】図１に示す搬送装置の部分正面図。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の実施形態に係る搬送装置を図面に基づいて説明する。
なお、本明細書におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸及びＹ軸は、水平面内の軸とし、Ｚ軸は、水平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１の矢印ＡＲ方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。
【００１２】
以下に、本発明の実施形態に係る搬送装置を図１乃至３に基づいて説明する。
搬送装置１は、板状部材としてのウェハＷＦを収容する板状部材収容手段２と、ウェハＷＦが図示しない接着シートを介して固定されるフレーム部材としてのリングフレームＲＦを収容可能なフレーム収容手段３とを所定の処理を施す処理装置に搬送する装置であり、板状部材収容手段２またはフレーム収容手段３を選択的に支持可能な支持手段１０と、支持手段１０を搬送可能な搬送手段２０と、搬送手段２０を誘導する誘導手段３０と、支持手段１０に支持された板状部材収容手段２またはフレーム収容手段３を判別可能な判別手段４０と、板状部材収容手段２またはフレーム収容手段３を昇降可能な載置手段５０とを備えている。
【００１３】
板状部材収容手段２は、表面に図示しない保護シートが貼付されたウェハＷＦを上下方向に多段に収容可能なウェハカセットＷＣと、ウェハカセットＷＣの上面に設けられ、左右両面に側方係合部ＷＣ１が設けられるとともに、後面に後方係合部ＷＣ２が設けられた把持部ＷＣ３とを備えている。
フレーム収容手段３は、リングフレームＲＦを上下方向に多段に収容可能なフレームカセットＦＣと、把持部ＷＣ３と同様にフレームカセットＦＣの上面に設けられ、左右両面に側方係合部ＦＣ１が設けられるとともに、後面に後方係合部ＦＣ２が設けられた把持部ＦＣ３とを備えている。
【００１４】
支持手段１０は、フレーム１１と、フレーム１１の左右両側に設けられたブラケット１２に回転可能に支持されるとともに、側方係合部ＷＣ１，ＦＣ１に係脱可能な略Ｌ字状のフック１３と、フレーム１１に支持されるとともに、フック１３を回転駆動する駆動機器である回動モータ１４とを備えている。
【００１５】
搬送手段２０は、複数の搬送体２１を備え、各搬送体２１は、上部開放型のＣチャンネル形状のフレーム２２と、フレーム２２のリップ部２２１の下部４箇所に設けられた上部ローラ２３と、フレーム２２のウェブ部２２２の上部２箇所に設けられた下部ローラ２４と、左側の下部ローラ２４を回転駆動する駆動機器としての駆動モータ２５と、当該搬送体２１が搬送しているものや搬送している位置、当該搬送体２１の搬送速度など、搬送体２１による搬送状況を各処理装置および他の手段（支持手段１０、誘導手段３０、判別手段４０、載置手段５０）との間で通信可能な通信手段２６と、搬送体２１同士の接触を防止する光学センサや音波センサ等の図示しない検知手段とを備えている。
なお、各処理装置および他の手段には、各搬送体２１の通信手段２６と通信可能な図示しない通信手段が設けられ、各搬送体２１と各処理装置と他の手段とは、それぞれが図示しない制御手段で動作が制御される。また、処理装置としては、板状部材収容手段２を搬入するベルトコンベヤやローラコンベヤなどのウェハ搬入手段４、フレーム収容手段３を搬入するベルトコンベヤやローラコンベヤなどのフレーム搬入手段５、図示しない接着シートをウェハＷＦおよびリングフレームＲＦに貼付してそれらを一体化する貼付装置６（６Ａ，６Ｂ）、ウェハＷＦに貼付されている図示しない保護シートを剥離する剥離装置７（７Ａ，７Ｂ）、ウェハＷＦを切断して個片化する加工装置８（８Ａ，８Ｂ）、個片化されたウェハＷＦを基板等にボンディングするボンディング装置９（９Ａ，９Ｂ）、空の板状部材収容手段２を搬出するベルトコンベヤやローラコンベヤなどのウェハカセット搬出手段１０Ａ、空のフレーム収容手段を搬出するベルトコンベヤやローラコンベヤなどのフレームカセット搬出手段１０Ｂ等が例示できる。
【００１６】
誘導手段３０は、天井ＣＬに設けられたスペーサＣＬ１に敷設されて搬送体２１が走行する搬送路３１と、当該搬送路３１と当該搬送路３１から離間した待機位置ＷＰ（図３参照）との間で搬送体２１を移動可能な退避手段３２とを備えている。
搬送路３１は、断面視横向きＨ形状に設けられ、下側の下フランジ部３１０が搬送体２１の上部ローラ２３と下部ローラ２４とで挟み込まれ、搬送体２１を所定の位置に誘導可能に設けられている。なお、各処理装置における板状部材収容手段載置部（貼付装置６では付番６１で示す位置）および、フレーム収容手段載置部（貼付装置６では付番６２、剥離装置７では付番７２、加工装置８では付番８２、ボンディング装置９では付番９２で示す位置）の上部に相当する搬送路３１には、切欠部３１２が形成されている。
退避手段３２は、搬送路３１の各切欠部３１２に位置し、天井ＣＬに設けられた駆動機器であるリニアモータ３２１と、リニアモータ３２１のスライダ３２２に設けられたレール支持板３２３と、搬送路３１と同様の断面視横向きＨ形状に設けられてレール支持板３２３の下面に設けられた搬送レール３２４と退避レール３２５とを備えている。搬送レール３２４および退避レール３２５は、搬送路３１の切欠部３１２の長さよりやや短い長さに設定され、切欠部３１２内に位置して搬送路３１を繋ぎ、搬送体２１の走行を許容可能に設けられている。
【００１７】
判別手段４０は、上面が搬送体２１のフレーム２２の下面に支持され、下面で支持手段１０のフレーム１１を支持するロードセル４１からなり、重量を計測することで支持手段１０が支持しているものが何なのかを判別可能となっている。判別するものとしては、ウェハＷＦを収容している板状部材収容手段２、ウェハＷＦを収容していない板状部材収容手段２、リングフレームＲＦを収容しているフレーム収容手段３、リングフレームＲＦを収容していないフレーム収容手段３、図示しない接着シートを介してリングフレームＲＦと一体化されたウェハＷＦ（以降「一体物」という）のウェハＷＦに図示しない保護シートが貼付されて収容されたフレーム収容手段３、ウェハＷＦから保護シートが剥離された一体物が収容されたフレーム収容手段３、ウェハＷＦが個片化された一体物が収容されたフレーム収容手段３等を判別できるようになっている。
【００１８】
載置手段５０は、天井ＣＬに設けられた支持フレームＣＬ２に支持された駆動機器であるリニアモータ５１と、リニアモータ５１のスライダ５２に支持され、後方係合部ＷＣ２，ＦＣ２に係脱可能な出力軸５３を有する駆動機器である直動モータ５４とを備え、支持手段１０と各処理装置における板状部材収容手段載置部６１、フレーム収容手段載置部６２、７２、８２、９２、またはウェハ搬入手段４、フレーム搬入手段５、ウェハカセット搬出手段１０Ａ、フレームカセット搬出手段１０Ｂとの間で、板状部材収容手段２またはフレーム収容手段３を受け渡し可能に設けられている。
【００１９】
次に、上記実施形態における搬送装置１の動作について図面を参照して説明する。
先ず、図１に示すように、複数（Ｎ個：Ｎは自然数）の搬送体２１が全て搬送路３１の待機領域３１１に位置した状態で、左端に位置する搬送体２１から右方向へ順番に第１搬送体２１１、第２搬送体２１２（中省略）・・・第Ｎ搬送体２１Ｎと称することとする。
そして、貼付装置６Ａ，６Ｂが図示しない通信手段を介して板状部材収容手段２とフレーム収容手段３とを要求する要求信号を出力すると、図示いない制御手段が各手段（支持手段１０、搬送手段２０、誘導手段３０、判別手段４０、載置手段５０）に各指令を出力する。すると、搬送手段２０が第１搬送体２１１の回動モータ１４を駆動し、フレーム搬入手段５がリングフレームＲＦを収容したフレーム収容手段３を搬入するフレーム搬入位置５Ａの上方に第１搬送体２１１を移動させる。
【００２０】
そして、フレーム搬入位置５Ａに対応する載置手段５０が以下の上昇動作を行う。すなわち、載置手段５０がリニアモータ５１を駆動し、スライダ５２を下方に移動させた後、直動モータ５４を駆動し、出力軸５３を前進させてフレーム収容手段３の後方係合部ＦＣ２に係合させた後、リニアモータ５１を駆動し、スライダ５２を所定位置まで上昇させる。次いで、支持手段１０が回動モータ１４を駆動し、一対のフック１３の先端をフレーム収容手段３の側方係合部ＦＣ１にそれぞれ係合させた後、載置手段５０が直動モータ５４を駆動し、出力軸５３を後退させることで、支持手段１０がフレーム収容手段３を支持した状態となる（以下「上昇動作」という）。この状態において、第１搬送体２１１の判別手段４０が以下の判別動作を開始する。すなわち、判別手段４０がロードセル４１を駆動し、重量を計測することで支持手段１０が支持したものが何なのかの判別を行う（以降「判別動作という」）。この判別動作により、要求されたものと違う収容物が収容された板状部材収容手段２やフレーム収容手段３を要求された場所に供給してしまうことを防止できる。この場合、フレーム収容手段３を支持したことを検出し、通信手段２６を介してその情報を図示しない制御手段に出力し、制御手段が第１搬送体２１１で支持しているものがフレーム収容手段３であることを認識する。
その後、搬送手段２０が第１搬送体２１１の駆動モータ２５を動作し、フレーム収容手段載置部６２の上方で切欠部３１２内に位置して搬送路３１を繋いでいる退避レール３２５内の所定位置で、当該第１搬送体２１１が停止するように駆動モータ２５の駆動を停止する。
【００２１】
次いで、フレーム収容手段載置部６２に対応する載置手段５０が以下の下降動作を行う。すなわち、載置手段５０がリニアモータ５１を駆動し、スライダ５２を上方に移動させた後、直動モータ５４を駆動し、出力軸５３を前進させて後方係合部、この場合はフレーム収容手段３の後方係合部ＦＣ２に係合させる。そして、支持手段１０が回動モータ１４を駆動し、一対のフック１３の先端を側方係合部、この場合はフレーム収容手段３の側方係合部ＦＣ１から離脱させる。次いで、載置手段５０がリニアモータ５１を駆動し、スライダ５２を所定位置まで下降させた後、直動モータ５４を駆動し、出力軸５３を後退させることで、所定の位置、この場合は貼付装置６Ｂのフレーム収容手段載置部６２上にフレーム収容手段３を載置する（以降「下降動作」という）。
なお、フレーム収容手段３を支持手段１０から載置手段５０に渡した後、フレーム収容手段載置部６２に対応する退避手段３２が以下の退避動作を行う。すなわち、退避手段３２がリニアモータ３２１を駆動し、搬送レール３２４で搬送路３１を繋ぐようにレール支持板３２３を移動させ、退避レール３２５で支持した搬送体２１、この場合は第１搬送体２１１を搬送路３１から離間した待機位置ＷＰに退避させる（以降「退避動作」という。なお、退避レール３２５で搬送路３１を繋ぐようにレール支持板３２３を移動させる動作を「反退避動作」という）。これにより、貼付装置６Ｂへのフレーム収容手段３の搬送が終了する。
【００２２】
なお、第１搬送体２１１が待機領域３１１から移動する時点または少し遅れて、第２搬送体２１２が上述と同様にして搬送され、ウェハ搬入手段４がウェハＷＦを収容した板状部材収容手段２を搬入するウェハ搬入位置４Ａの上方で停止し、ウェハ搬入位置４Ａに対応する載置手段５０が上昇動作を行い板状部材収容手段２を支持し、支持した板状部材収容手段２は、貼付装置６Ｂの板状部材収容手段載置部６１に対応する載置手段５０が下降動作を行うことにより、当該板状部材収容手段載置部６１上に載置される。なお、第２搬送体２１２は、板状部材収容手段載置部６１に対応する退避手段３２の退避動作により待機位置ＷＰに退避し、貼付装置６Ｂへの板状部材収容手段２の搬送が終了する。
そして、上述と同様にして、第３および第４搬送体２１３、２１４により貼付装置６Ａへのフレーム収容手段３および板状部材収容手段２の搬送が終了し、第３および第４搬送体２１３、２１４は、貼付装置６Ａのフレーム収容手段載置部６２および板状部材収容手段載置部６１に対応する退避手段３２の退避動作によりそれぞれ待機位置ＷＰに退避する。
【００２３】
そして、貼付装置６Ａ，６Ｂでは、板状部材収容手段２およびフレーム収容手段３からそれぞれウェハＷＦおよびリングフレームＲＦがそれぞれ１枚ずつ取り出され、図示しない接着シートを介してリングフレームＲＦとウェハＷＦとが一体化され一体物が形成され、当該一体物は貼付装置６Ａ，６Ｂに載置されているフレーム収容手段３に収納される。
ここで、例えば、貼付装置６Ｂにおけるフレーム収容手段３が一体物で一杯になる時期に差しかかると、貼付装置６Ｂが図示しない通信手段を介してフレーム収容手段３を要求する信号を出力し、図示いない制御手段が各手段に各指令を出力する。すると、貼付装置６Ｂのフレーム収容手段載置部６２に対応する退避手段３２が反退避動作を行った後、載置手段５０が上昇動作を行うことで、一体物を収容したフレーム収容手段３を第１搬送体２１１が支持し、当該第１搬送体２１１の判別手段４０が判別動作を行う。さらに、第５搬送体２１５が新たなリングフレームＲＦが収容されたフレーム収容手段３を上述と同様にして搬送し、当該新たなリングフレームＲＦが収容されたフレーム収容手段３を上述と同様にして貼付装置６Ｂのフレーム収容手段載置部６２に載置し、上記同様の動作が行われる。なお、第５搬送体２１５が貼付装置６Ｂに搬送されるときは、各切欠部３１２に搬送レール３２４が位置して搬送路３１を繋いでいるので、退避中の第２、第３、第４搬送体２１２、２１３、２１４によってその搬送が阻害されることはない。また、場合によっては、搬送中の第Ｎ搬送体２１Ｎが搬送路３１上に位置する他の第Ｎ搬送体２１Ｎと接触する場合があるが、本実施形態の場合、図示しない検知手段によって搬送体２１同士が接触することはない。
なお、一体物を収容したフレーム収容手段３は、第１搬送体２１１の搬送と、上昇動作、判別動作、下降動作、退避動作および反退避動作が繰り返され、剥離装置７（７Ａ，７Ｂ）でウェハＷＦに貼付されている図示しない保護シートが剥離され、加工装置８（８Ａ，８Ｂ）でウェハＷＦが個片化され、ボンディング装置９（９Ａ，９Ｂ）で個片化されたウェハＷＦが基板等にボンディングされ、最終的にフレームカセット搬出手段１０Ｂ上に載置され外部へ搬出される。その後、第１搬送体２１１は、待機領域３１１に帰還する。
【００２４】
また、例えば、貼付装置６Ｂにおける板状部材収容手段２からウェハＷＦが全て取り出される時期に差し掛かると、貼付装置６Ｂが図示しない通信手段を介して板状部材収容手段２を要求する信号を出力し、図示いない制御手段が各手段に各指令を出力する。すると、貼付装置６Ｂの板状部材収容手段載置部６１に対応する退避手段３２が反退避動作を行った後、載置手段５０が上昇動作を行うことで、空の板状部材収容手段２を第２搬送体２１２が支持し、当該第２搬送体２１２の判別手段４０が判別動作を行う。さらに、第６搬送体２１６が新たなウェハＷＦが収容された板状部材収容手段２を上述と同様にして搬送し、当該新たなウェハＷＦが収容された板状部材収容手段２を上述と同様にして貼付装置６Ｂの板状部材収容手段載置部６１に載置し、上記同様の動作が行われる。なお、ウェハＷＦが全て取り出され空になった板状部材収容手段２は、第２搬送体２１２の搬送と下降動作により、ウェハカセット搬出手段１０Ａ上に載置され外部へ搬出される。その後、第２搬送体２１２は、待機領域３１１に帰還する。
【００２５】
以上のような一実施形態によれば、次のような効果がある。
すなわち、搬送体２１が、板状部材収容手段２とフレーム収容手段３との双方を支持可能としたことで、１つの搬送路３１で板状部材収容手段２とフレーム収容手段３とを搬送でき、搬送装置１の装置構成を簡略化できる。
【００２６】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質等を限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質等の限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【００２７】
例えば、本発明は、上記実施形態のように、各処理装置として貼付装置６、剥離装置７、加工装置８、ボンディング装置９、ウェハカセット搬出手段１０Ａおよびフレームカセット搬出手段１０Ｂが配置された場合の搬送装置に限られるものではなく、他の装置が配置された場合でもよいし、またそれらの設置台数も適宜変更できる。
【００２８】
さらに、板状部材として半導体ウェハＷＦである場合を示したが、板状部材は半導体ウェハＷＦに限定されるものではなく、ガラス板、鋼板、または、樹脂板、基板、光ディスク等、その他の板状部材も対象とすることができ、半導体ウェハＷＦは、シリコンウェハや化合物ウェハ等が例示できる。
【００２９】
また、支持手段１０は、吸引、磁着、ねじによる螺着等によって板状部材収容手段２やフレーム収容手段３を支持するようにしてもよい。
さらに、判別手段は、板状部材収容手段２およびフレーム収容手段３に着色したりマークを施したりしたものを対象とし、それを撮像手段で撮像したり、光学センサ、接触センサ、圧力センサ、エリアセンサ等で検知して判別するようにしてもよい。
また、通信手段２６に所謂ＧＰＳ（Global Positioning System）機能や位置センサ等の機能を追加してもよい。
【００３０】
さらに、退避手段３２は、各処理装置の直近上流側１か所にそれぞれ設置してもよく、搬送レール３２４や退避レール３２５は、１本ずつに限らず複数本ずつ設けてもよい。
また、退避手段３２を設けることなく構成し、各処理装置から要求がある度に、搬送手段２０が待機領域３１１で最左端に位置する搬送体２１から順に搬送し、搬送した板状部材収容手段２またはフレーム収容手段３を載置手段５０に渡したら、当該搬送体２１を搬送路３１を走行してきた方向と同じ方向に走行させ、搬送路３１の待機領域３１１で待機している複数の搬送体２１の最後尾に帰還するようにしてもよい。
【００３１】
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的または間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
【符号の説明】
【００３２】
１      搬送装置
２      板状部材収容手段
３      フレーム収容手段
１０      支持手段
２０      搬送手段
２２Ｅ    ロードセル（判別手段）
２２Ｆ，２６５      通信手段
３１      搬送路
３０      誘導手段
３２      退避手段
ＲＦ      リングフレーム（フレーム部材）
ＷＦ      半導体ウェハ（板状部材）
ＷＰ      待機位置
【図１】
2014036143.tif 000003
【図２】
2014036143.tif 000004
【図３】
2014036143.tif 000005