(57)【要約】      （修正有）【課題】液体薄膜を極めて容易にピックアップでき、また、ピックアップしたまま分析装置内に運び込んで分析評価することが可能な、新規な液体薄膜ピックアップ用マイクロプローブを提供する。【解決手段】液体薄膜ピックアップ用マイクロプローブは、複数のカーボンナノチューブを備えるカーボンナノチューブ集合体を有し、液体薄膜をピックアップできる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のカーボンナノチューブを備えるカーボンナノチューブ集合体を有し、
液体薄膜をピックアップできる、
液体薄膜ピックアップ用マイクロプローブ。
【請求項２】
前記液体薄膜は、ガラス上で液滴としたときの接触角が４０°以上であり、且つ、ガラス上に薄膜として広げたときの最大直径が１μｍ〜２５μｍの量の液体薄膜である、請求項１に記載の液体薄膜ピックアップ用マイクロプローブ。
【請求項３】
前記カーボンナノチューブ集合体の直径が１５μｍ以下である、請求項１または２に記載の液体薄膜ピックアップ用マイクロプローブ。
【請求項４】
前記カーボンナノチューブ集合体の長さが３０μｍ以下である、請求項１から３までのいずれかに記載の液体薄膜ピックアップ用マイクロプローブ。
【請求項５】
前記カーボンナノチューブが複数層を有し、該カーボンナノチューブの層数分布の分布幅が１０層以上であり、該層数分布の最頻値の相対頻度が２５％以下である、請求項１から４までのいずれかに記載の液体薄膜ピックアップ用マイクロプローブ。
【請求項６】
前記カーボンナノチューブが複数層を有し、該カーボンナノチューブの層数分布の最頻値が層数１０層以下に存在し、該最頻値の相対頻度が３０％以上である、請求項１から４までのいずれかに記載の液体薄膜ピックアップ用マイクロプローブ。
【請求項７】
軸状基材上に前記カーボンナノチューブ集合体が設けられている、請求項１から６までのいずれかに記載の液体薄膜ピックアップ用マイクロプローブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体薄膜ピックアップ用マイクロプローブに関する。詳細には、例えば、分析用途などにおいて、液体薄膜をピックアップして分析装置内に運び込んで分析評価するため等に好適に用いられる、液体薄膜ピックアップ用マイクロプローブに関する。
【背景技術】
【０００２】
部材の表面に点在する液体薄膜の組成などを分析評価することによって該部材の製造プロセスにおける該液体薄膜の混入経路等を解明することは、クリーンな部材を提供する上などで重要である。
【０００３】
部材の表面に点在する液体薄膜をピックアップする手段としては、従来、マイクロピペットや、タングステンプローブやガラスプローブなどのマイクロプローブを、サンプリングツールとして用いる方法が用いられている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
しかし、液体薄膜のピックアップは容易ではない。例えば、液体薄膜は非常に薄いため、マイクロピペットを用いても、十分に吸引採取することができないという問題がある。また、液体薄膜は、通常、表面張力の高い基板上などに存在しているため、タングステンプローブやガラスプローブなどのマイクロプローブを用いても、該マイクロプローブ表面への液体移動がスムーズに行われないという問題がある。さらに、従来のサンプリングツールを用いては、液体薄膜をピックアップしたまま分析装置内に運び込んで分析評価することは困難であるという問題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−１８５５５９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の課題は、液体薄膜を極めて容易にピックアップでき、また、ピックアップしたまま分析装置内に運び込んで分析評価することが可能な、新規な液体薄膜ピックアップ用マイクロプローブを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の液体薄膜ピックアップ用マイクロプローブは、
複数のカーボンナノチューブを備えるカーボンナノチューブ集合体を有し、
液体薄膜をピックアップできる。
【０００８】
好ましい実施形態においては、上記液体薄膜は、ガラス上で液滴としたときの接触角が４０°以上であり、且つ、ガラス上に薄膜として広げたときの最大直径が１μｍ〜２５μｍの量の液体薄膜である。
【０００９】
好ましい実施形態においては、上記カーボンナノチューブ集合体の直径が１５μｍ以下である。
【００１０】
好ましい実施形態においては、上記カーボンナノチューブ集合体の長さが３０μｍ以下である。
【００１１】
好ましい実施形態においては、上記カーボンナノチューブが複数層を有し、該カーボンナノチューブの層数分布の分布幅が１０層以上であり、該層数分布の最頻値の相対頻度が２５％以下である。
【００１２】
好ましい実施形態においては、上記カーボンナノチューブが複数層を有し、該カーボンナノチューブの層数分布の最頻値が層数１０層以下に存在し、該最頻値の相対頻度が３０％以上である。
【００１３】
好ましい実施形態においては、本発明の液体薄膜ピックアップ用マイクロプローブは、軸状基材上に上記カーボンナノチューブ集合体が設けられている。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、液体薄膜を極めて容易にピックアップでき、また、ピックアップしたまま分析装置内に運び込んで分析評価することが可能な、新規な液体薄膜ピックアップ用マイクロプローブを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】液体薄膜を説明する斜視図および概略断面図である。
【図２】本発明の好ましい実施形態における液体薄膜ピックアップ用マイクロプローブの一例の概略断面図である。
【図３】本発明の好ましい実施形態における液体薄膜ピックアップ用マイクロプローブの別の一例の概略断面図である。
【図４】カーボンナノチューブ集合体の製造装置の概略断面図である。
【図５】実施例６における液体薄膜ピックアップ用マイクロプローブ（６）を用いてピックアップした液体薄膜をピックアップしたままマイクロプローブとともに測定したＦＴ−ＩＲチャート図である。
【図６】実施例６における液体薄膜自体のＦＴ−ＩＲチャート図である。
【図７】実施例６における液体薄膜ピックアップ用マイクロプローブ（６）を用いてピックアップした液体薄膜をピックアップしたままマイクロプローブとともに測定したＴＯＦ−ＳＩＭＳにおける検出された正・負二次イオン質量スペクトル図である。
【図８】実施例６における液体薄膜自体の正・負二次イオン質量スペクトル図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
≪液体薄膜ピックアップ用マイクロプローブ≫
本発明の液体薄膜ピックアップ用マイクロプローブは、複数のカーボンナノチューブを備えるカーボンナノチューブ集合体を有する。本発明の液体薄膜ピックアップ用マイクロプローブは、複数のカーボンナノチューブを備えるカーボンナノチューブ集合体を、好ましくは、少なくとも先端部分に有する。本発明の液体薄膜ピックアップ用マイクロプローブは、このようなカーボンナノチューブ集合体を有することにより、液体薄膜を極めて容易にピックアップでき、また、ピックアップしたまま分析装置内に運び込んで分析評価することが可能となる。
【００１７】
本発明の液体薄膜ピックアップ用マイクロプローブは、液体薄膜を極めて容易にピックアップでき、また、ピックアップしたまま分析装置内に運び込んで分析評価することが可能となる。ここで、「ピックアップ」とは、本発明の液体薄膜ピックアップ用マイクロプローブを用いて、採取すべき液体薄膜を吸収して採取することをいう。より具体的には、「ピックアップ」とは、本発明の液体薄膜ピックアップ用マイクロプローブを用いて、存在する液体薄膜の量の、好ましくは３０重量％以上、より好ましくは５０重量％以上、さらに好ましくは７０重量％以上、特に好ましくは９０重量％以上、最も好ましくは９５重量％以上を吸収して採取することをいう。ただし、液体薄膜のピックアップの量は、目的に応じて、適宜設定されるものである。したがって、液体薄膜の少量さえ採取できれば良い状況では、採取すべき液体薄膜の量は少量で良く、液体薄膜の実質的に全てを採取しなければならない状況では、採取すべき液体薄膜の量は実質的に全量である必要がある。
【００１８】
本発明において「液体薄膜」は、好ましくは、ガラス上で液滴としたときの接触角が４０°以上である。このような液体薄膜は非常に薄いため、従来のマイクロピペットを用いても、十分に吸引採取することができないという問題がある。また、このような液体薄膜は、タングステンプローブやガラスプローブなどのマイクロプローブを用いても、該マイクロプローブ表面への液体移動がスムーズに行われないという問題がある。本発明の液体薄膜ピックアップ用マイクロプローブを用いれば、このような液体薄膜であっても、極めて容易にピックアップでき、また、ピックアップしたまま分析装置内に運び込んで分析評価することが可能となる。なお、液体薄膜を構成する液体の種類は、好ましくは、ガラス上で液滴としたときの接触角が４０°以上であるような液体であれば、任意の適切な液体を採用し得る。
【００１９】
本発明において「液体薄膜」は、好ましくは、ガラス上に薄膜として広げたときの最大直径が１μｍ〜２５μｍの量の液体薄膜である。このような液体薄膜は非常に薄いため、従来のマイクロピペットを用いても、十分に吸引採取することができないという問題がある。また、このような液体薄膜は、タングステンプローブやガラスプローブなどのマイクロプローブを用いても、該マイクロプローブ表面への液体移動がスムーズに行われないという問題がある。本発明の液体薄膜ピックアップ用マイクロプローブを用いれば、このような液体薄膜であっても、極めて容易にピックアップでき、また、ピックアップしたまま分析装置内に運び込んで分析評価することが可能となる。なお、液体薄膜を構成する液体の種類は、好ましくは、ガラス上に薄膜として広げたときの最大直径が１μｍ〜２５μｍの量の液体薄膜となるような液体であれば、任意の適切な液体を採用し得る。
【００２０】
本発明において「液体薄膜」は、ガラス上で液滴としたときの接触角が、より好ましくは４０°〜１８０°であり、さらに好ましくは５０°〜１６０°であり、特に好ましくは６０°〜１４０°である。また、本発明において「液体薄膜」は、ガラス上に薄膜として広げたときの最大直径が、より好ましくは０．１μｍ〜１００μｍであり、さらに好ましくは１μｍ〜５０μｍであり、特に好ましくは３μｍ〜２５μｍである。このような液体薄膜はきわめて非常に薄いため、従来のマイクロピペットを用いても、十分に吸引採取することが非常に困難であるという問題がある。また、このような液体薄膜は、タングステンプローブやガラスプローブなどのマイクロプローブを用いても、該マイクロプローブ表面への液体移動が非常に困難であるという問題がある。本発明の液体薄膜ピックアップ用マイクロプローブを用いれば、このような液体薄膜であっても、極めて容易にピックアップでき、また、ピックアップしたまま分析装置内に運び込んで分析評価することが可能となる。
【００２１】
図１に、本発明における「液体薄膜」を説明する斜視図および概略断面図を示す。図１（Ａ）は、ガラス２上に液体薄膜１が薄膜として広がって存在する状態を示す斜視図である。図１（Ａ）において、液体薄膜１は、最大直径Ｒを有する。液体薄膜１の厚みは、液体薄膜１をガラス上で液滴としたときの接触角ｄおよび最大直径Ｒによって適宜設定され得る。図１（Ｂ）は、液体薄膜１をガラス２上で液滴３としたときの状態を示す概略断面図である。図１（Ｂ）において、液滴３はガラス２と接触角ｄをなす。
【００２２】
本発明の液体薄膜ピックアップ用マイクロプローブは、例えば、複数のカーボンナノチューブを備えるカーボンナノチューブ集合体のみからなる構成であっても良いし、複数のカーボンナノチューブを備えるカーボンナノチューブ集合体が軸状基材上に設けられている構成であっても良い。ここで、軸状基材は、軸形状をした基材を意味し、例えば、軸、支柱、金属柱などに言い換えることができる場合もある。
【００２３】
図２は、本発明の好ましい実施形態における液体薄膜ピックアップ用マイクロプローブの一例の概略断面図である。図２において、本発明の液体薄膜ピックアップ用マイクロプローブ１０００は、複数のカーボンナノチューブ１０を備えるカーボンナノチューブ集合体１００のみからなる。図２において、複数のカーボンナノチューブ１０は、それぞれ、長さＬの方向に配向しており、束状のカーボンナノチューブ集合体１００を構成している。
【００２４】
図３は、本発明の好ましい実施形態における液体薄膜ピックアップ用マイクロプローブの別の一例の概略断面図である。図３において、本発明の液体薄膜ピックアップ用マイクロプローブ１０００は、複数のカーボンナノチューブ１０を備えるカーボンナノチューブ集合体１００が軸状基材２０上に設けられている。図３において、複数のカーボンナノチューブ１０は、それぞれ、長さＬの方向に配向しており、束状のカーボンナノチューブ集合体１００を構成している。図３において、複数のカーボンナノチューブ１０の片端１０ａは、軸状基材２０に固定されている。図３に示すように、複数のカーボンナノチューブ１０は、好ましくは、軸状基材２０に対して略垂直方向に配向している。ここで、「略垂直方向」とは、軸状基材２０の断面側表面２０ａに対する角度が、好ましくは９０°±２０°の範囲内であり、より好ましくは９０°±１５°の範囲内であり、さらに好ましくは９０°±１０°の範囲内であり、特に好ましくは９０°±５°の範囲内である。
【００２５】
本発明の液体薄膜ピックアップ用マイクロプローブにおいて、カーボンナノチューブ集合体１００の長さは、好ましくは３０μｍ以下であり、より好ましくは０．１μｍ〜２８μｍであり、さらに好ましくは０．５μｍ〜２５μｍであり、特に好ましくは１μｍ〜２３μｍであり、最も好ましくは２μｍ〜２０μｍである。本発明の液体薄膜ピックアップ用マイクロプローブにおいて、カーボンナノチューブ集合体１００の長さを上記範囲内に調整することにより、本発明の液体薄膜ピックアップ用マイクロプローブは、液体薄膜を一層極めて容易にピックアップでき、また、ピックアップしたまま分析装置内に運び込んで分析評価することが一層可能となる。
【００２６】
本発明の液体薄膜ピックアップ用マイクロプローブにおいて、カーボンナノチューブ集合体１００の直径は、好ましくは１５μｍ以下であり、より好ましくは０．１μｍ〜１４μｍであり、さらに好ましくは０．３μｍ〜１３μｍであり、特に好ましくは０．５μｍ〜１２μｍであり、最も好ましくは０．８μｍ〜１１μｍである。本発明の液体薄膜ピックアップ用マイクロプローブにおいて、カーボンナノチューブ集合体１００の直径を上記範囲内に調整することにより、本発明の液体薄膜ピックアップ用マイクロプローブは、液体薄膜を一層極めて容易にピックアップでき、また、ピックアップしたまま分析装置内に運び込んで分析評価することが一層可能となる。
【００２７】
本発明の液体薄膜ピックアップ用マイクロプローブにおいて、カーボンナノチューブの形状としては、その横断面が任意の適切な形状を有していれば良い。例えば、その横断面が、略円形、楕円形、ｎ角形（ｎは３以上の整数）等が挙げられる。本発明の液体薄膜ピックアップ用マイクロプローブにおいて、カーボンナノチューブの比表面積、密度は、任意の適切な値に設定され得る。
【００２８】
本発明の液体薄膜ピックアップ用マイクロプローブにおいて、カーボンナノチューブ集合体（すなわち、複数のカーボンナノチューブの束）の形状としては、その見かけ上の横断面が任意の適切な形状を有していれば良い。例えば、その見かけ上の横断面が、略円形、楕円形、ｎ角形（ｎは３以上の整数）等が挙げられる。
【００２９】
軸状基材の材料としては、目的に応じて、任意の適切な材料を採用し得る。このような材料としては、例えば、ルビー、サファイアなども挙げられるが、好ましくは、ＳＵＳ、タングステン超硬など導電性の材料が挙げられる。
【００３０】
軸状基材の大きさとしては、目的に応じて、任意の適切な大きさを採用し得る。このような大きさとしては、好ましくは、その断面側表面の面積が、カーボンナノチューブ集合体の直径から算出される面積よりも大きくなるような大きさである。なお、軸状基材の長さ（断面側表面と直交する方向の長さ）は、目的に応じて、任意の適切な長さを採用し得る。
【００３１】
本発明の液体薄膜ピックアップ用マイクロプローブが、図３のように、カーボンナノチューブ集合体が軸状基材上に設けられている構成である場合、該カーボンナノチューブを該軸状基材に固定する方法としては、任意の適切な方法を採用し得る。このような固定方法としては、例えば、ペーストなどを用いて接着する方法、両面テープなどを用いて粘着固定する方法、カーボンナノチューブ集合体の製造に使用した基板を軸状基材として用いる方法、カーボンナノチューブ集合体の接着特性を利用して固定する方法などが挙げられる。これらの固定方法の中でも、液体薄膜のピックアップ後に本発明の液体薄膜ピックアップ用マイクロプローブをそのまま分析装置内に運び込んで分析評価を行う場合を考慮すると、汚染原因の除去と、帯電防止のために、導電性の材料のみを用いて固定する方法が好ましく、具体的には、例えば、カーボンナノチューブの接着特性を利用して固定する方法などが挙げられる。
【００３２】
≪カーボンナノチューブ集合体≫
本発明の液体薄膜ピックアップ用マイクロプローブが有するカーボンナノチューブ集合体は、下記のような２つの好ましい実施形態を採り得る。
【００３３】
＜第１の好ましい実施形態＞
本発明の液体薄膜ピックアップ用マイクロプローブが有するカーボンナノチューブ集合体の好ましい実施形態の１つ（以下、第１の好ましい実施形態と称することがある）は、複数のカーボンナノチューブを備え、該カーボンナノチューブが複数層を有し、該カーボンナノチューブの層数分布の分布幅が１０層以上であり、該層数分布の最頻値の相対頻度が２５％以下である。
【００３４】
上記カーボンナノチューブの層数分布の分布幅は１０層以上であり、好ましくは１０層〜３０層であり、より好ましくは１０層〜２５層であり、さらに好ましくは１０層〜２０層である。
【００３５】
上記カーボンナノチューブの層数分布の「分布幅」とは、カーボンナノチューブの層数の最大層数と最小層数との差をいう。
【００３６】
カーボンナノチューブの層数分布の分布幅が上記範囲内にあることにより、該カーボンナノチューブは優れた機械的特性、高い比表面積、優れた粘着特性を兼ね備えることができるとともに、本発明の液体薄膜ピックアップ用マイクロプローブとしたときには、液体薄膜を一層極めて容易にピックアップでき、また、ピックアップしたまま分析装置内に運び込んで分析評価することが一層可能となる。
【００３７】
上記カーボンナノチューブの層数、層数分布は、任意の適切な装置によって測定すれば良い。好ましくは、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）や透過電子顕微鏡（ＴＥＭ）によって測定される。例えば、カーボンナノチューブ集合体から少なくとも１０本、好ましくは２０本以上のカーボンナノチューブを取り出してＳＥＭあるいはＴＥＭによって測定し、層数および層数分布を評価すれば良い。
【００３８】
上記カーボンナノチューブの層数の最大層数は、好ましくは５層〜３０層であり、より好ましくは１０層〜３０層であり、さらに好ましくは１５層〜３０層であり、特に好ましくは１５層〜２５層である。
【００３９】
上記カーボンナノチューブの層数の最小層数は、好ましくは１層〜１０層であり、より好ましくは１層〜５層である。
【００４０】
上記カーボンナノチューブの層数の最大層数と最小層数が上記範囲内にあることにより、該カーボンナノチューブは優れた機械的特性、高い比表面積、優れた粘着特性を兼ね備えることができるとともに、本発明の液体薄膜ピックアップ用マイクロプローブとしたときには、液体薄膜を一層極めて容易にピックアップでき、また、ピックアップしたまま分析装置内に運び込んで分析評価することが一層可能となる。
【００４１】
上記層数分布の最頻値の相対頻度は、２５％以下であり、好ましくは１％〜２５％であり、より好ましくは５％〜２５％であり、さらに好ましくは１０％〜２５％であり、特に好ましくは１５％〜２５％である。上記層数分布の最頻値の相対頻度が上記範囲内にあることにより、上記カーボンナノチューブは優れた機械的特性、高い比表面積、優れた粘着特性を兼ね備えることができるとともに、本発明の液体薄膜ピックアップ用マイクロプローブとしたときには、液体薄膜を一層極めて容易にピックアップでき、また、ピックアップしたまま分析装置内に運び込んで分析評価することが一層可能となる。
【００４２】
上記層数分布の最頻値は、好ましくは層数２層から層数１０層に存在し、さらに好ましくは層数３層から層数１０層に存在する。上記層数分布の最頻値が上記範囲内にあることにより、上記カーボンナノチューブは優れた機械的特性、高い比表面積、優れた粘着特性を兼ね備えることができるとともに、本発明の液体薄膜ピックアップ用マイクロプローブとしたときには、液体薄膜を一層極めて容易にピックアップでき、また、ピックアップしたまま分析装置内に運び込んで分析評価することが一層可能となる。
【００４３】
＜第２の好ましい実施形態＞
本発明の液体薄膜ピックアップ用マイクロプローブが有するカーボンナノチューブ集合体の好ましい実施形態の別の１つ（以下、第２の好ましい実施形態と称することがある）は、複数のカーボンナノチューブを備え、該カーボンナノチューブが複数層を有し、該カーボンナノチューブの層数分布の最頻値が層数１０層以下に存在し、該最頻値の相対頻度が３０％以上である。
【００４４】
上記カーボンナノチューブの層数分布の分布幅は、好ましくは９層以下であり、より好ましくは１層〜９層であり、さらに好ましくは２層〜８層であり、特に好ましくは３層〜８層である。
【００４５】
上記カーボンナノチューブの層数分布の「分布幅」とは、カーボンナノチューブの層数の最大層数と最小層数との差をいう。
【００４６】
カーボンナノチューブの層数分布の分布幅が上記範囲内にあることにより、該カーボンナノチューブは優れた機械的特性、高い比表面積、優れた粘着特性を兼ね備えることができるとともに、本発明の液体薄膜ピックアップ用マイクロプローブとしたときには、液体薄膜を一層極めて容易にピックアップでき、また、ピックアップしたまま分析装置内に運び込んで分析評価することが一層可能となる。
【００４７】
上記カーボンナノチューブの層数、層数分布は、任意の適切な装置によって測定すれば良い。好ましくは、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）や透過電子顕微鏡（ＴＥＭ）によって測定される。例えば、カーボンナノチューブ集合体から少なくとも１０本、好ましくは２０本以上のカーボンナノチューブを取り出してＳＥＭあるいはＴＥＭによって測定し、層数および層数分布を評価すれば良い。
【００４８】
上記カーボンナノチューブの層数の最大層数は、好ましくは１層〜２０層であり、より好ましくは２層〜１５層であり、さらに好ましくは３層〜１０層である。
【００４９】
上記カーボンナノチューブの層数の最小層数は、好ましくは１層〜１０層であり、より好ましくは１層〜５層である。
【００５０】
上記カーボンナノチューブの層数の最大層数と最小層数が上記範囲内にあることにより、上記カーボンナノチューブは優れた機械的特性、高い比表面積、優れた粘着特性を兼ね備えることができるとともに、本発明の液体薄膜ピックアップ用マイクロプローブとしたときには、液体薄膜を一層極めて容易にピックアップでき、また、ピックアップしたまま分析装置内に運び込んで分析評価することが一層可能となる。
【００５１】
上記層数分布の最頻値の相対頻度は、３０％以上であり、好ましくは３０％〜１００％であり、より好ましくは３０％〜９０％であり、さらに好ましくは３０％〜８０％であり、特に好ましくは３０％〜７０％である。上記層数分布の最頻値の相対頻度が上記範囲内にあることにより、上記カーボンナノチューブは優れた機械的特性、高い比表面積、優れた粘着特性を兼ね備えることができるとともに、本発明の液体薄膜ピックアップ用マイクロプローブとしたときには、液体薄膜を一層極めて容易にピックアップでき、また、ピックアップしたまま分析装置内に運び込んで分析評価することが一層可能となる。
【００５２】
上記層数分布の最頻値は、層数１０層以下に存在し、好ましくは層数１層から層数１０層に存在し、より好ましくは層数２層から層数８層に存在し、さらに好ましくは層数２層から層数６層に存在する。本発明において、上記層数分布の最頻値が上記範囲内にあることにより、上記カーボンナノチューブは優れた機械的特性、高い比表面積、優れた粘着特性を兼ね備えることができるとともに、本発明の液体薄膜ピックアップ用マイクロプローブとしたときには、液体薄膜を一層極めて容易にピックアップでき、また、ピックアップしたまま分析装置内に運び込んで分析評価することが一層可能となる。
【００５３】
≪カーボンナノチューブ集合体の製造方法≫
本発明の液体薄膜ピックアップ用マイクロプローブが有するカーボンナノチューブ集合体の製造方法としては、任意の適切な方法を採用し得る。
【００５４】
本発明の液体薄膜ピックアップ用マイクロプローブが有するカーボンナノチューブ集合体の製造方法としては、例えば、平滑な基板の上に触媒層を構成し、熱、プラズマなどにより触媒を活性化させた状態で炭素源を充填し、カーボンナノチューブを成長させる、化学気相成長法（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ：ＣＶＤ法）によって、基板からほぼ垂直に配向したカーボンナノチューブ集合体を製造する方法が挙げられる。この場合、例えば、基板を取り除けば、長さ方向に配向しているカーボンナノチューブ集合体が得られる。
【００５５】
上記基板としては、任意の適切な基板を採用し得る。例えば、平滑性を有し、カーボンナノチューブの製造に耐え得る高温耐熱性を有する材料が挙げられる。このような材料としては、例えば、石英ガラス、シリコン（シリコンウェハなど）、アルミニウムなどの金属板などが挙げられる。上記基板は、そのまま、本発明の液体薄膜ピックアップ用マイクロプローブが含み得る軸状基材として用いることができる。
【００５６】
本発明の液体薄膜ピックアップ用マイクロプローブが有するカーボンナノチューブ集合体を製造するための装置としては、任意の適切な装置を採用し得る。例えば、熱ＣＶＤ装置としては、図４に示すような、筒型の反応容器を抵抗加熱式の電気管状炉で囲んで構成されたホットウォール型などが挙げられる。その場合、反応容器としては、例えば、耐熱性の石英管などが好ましく用いられる。
【００５７】
本発明の液体薄膜ピックアップ用マイクロプローブが有するカーボンナノチューブ集合体の製造に用い得る触媒（触媒層の材料）としては、任意の適切な触媒を用い得る。例えば、鉄、コバルト、ニッケル、金、白金、銀、銅などの金属触媒が挙げられる。
【００５８】
本発明の液体薄膜ピックアップ用マイクロプローブが有するカーボンナノチューブ集合体を製造する際、必要に応じて、基板と触媒層の中間にアルミナ／親水性膜を設けても良い。
【００５９】
アルミナ／親水性膜の作製方法としては、任意の適切な方法を採用し得る。例えば、基板の上にＳｉＯ２膜を作製し、Ａｌを蒸着後、４５０℃まで昇温して酸化させることにより得られる。このような作製方法によれば、Ａｌ２Ｏ３が親水性のＳｉＯ２膜と相互作用し、Ａｌ２Ｏ３を直接蒸着したものよりも粒子径の異なるＡｌ２Ｏ３面が形成される。基板の上に、親水性膜を作製することを行わずに、Ａｌを蒸着後に４５０℃まで昇温して酸化させても、粒子径の異なるＡｌ２Ｏ３面が形成され難いおそれがある。また、基板の上に、親水性膜を作製し、Ａｌ２Ｏ３を直接蒸着しても、粒子径の異なるＡｌ２Ｏ３面が形成され難いおそれがある。
【００６０】
本発明の液体薄膜ピックアップ用マイクロプローブが有し得るカーボンナノチューブ集合体の製造に用い得る触媒層の厚みは、微粒子を形成させるため、好ましくは０．０１ｎｍ〜２０ｎｍであり、より好ましくは０．１ｎｍ〜１０ｎｍである。本発明の液体薄膜ピックアップ用マイクロプローブが有し得るカーボンナノチューブ集合体の製造に用い得る触媒層の厚みが上記範囲内にあることによって、上記カーボンナノチューブ集合体は優れた機械的特性、高い比表面積、優れた粘着特性を兼ね備えることができるとともに、本発明の液体薄膜ピックアップ用マイクロプローブとしたときには、液体薄膜を一層極めて容易にピックアップでき、また、ピックアップしたまま分析装置内に運び込んで分析評価することが一層可能となる。
【００６１】
触媒層の形成方法は、任意の適切な方法を採用し得る。例えば、金属触媒をＥＢ（電子ビーム）、スパッタなどにより蒸着する方法、金属触媒微粒子の懸濁液を基板上に塗布する方法などが挙げられる。
【００６２】
触媒層は、その形成後に、フォトリソグラフィ加工によって、任意の適切な直径のパターンに加工しても良い。このようなフォトリソグラフィ加工により、最終的に、所望の直径を有するカーボンナノチューブ集合体を製造することができる。
【００６３】
本発明の液体薄膜ピックアップ用マイクロプローブが有し得るカーボンナノチューブ集合体の製造に用い得る炭素源としては、任意の適切な炭素源を用い得る。例えば、メタン、エチレン、アセチレン、ベンゼンなどの炭化水素；メタノール、エタノールなどのアルコール；などが挙げられる。
【００６４】
本発明の液体薄膜ピックアップ用マイクロプローブが有し得るカーボンナノチューブ集合体の製造における製造温度としては、任意の適切な温度を採用し得る。たとえば、本発明の効果を十分に発現し得る触媒粒子を形成させるため、好ましくは４００℃〜１０００℃であり、より好ましくは５００℃〜９００℃であり、さらに好ましくは６００℃〜８００℃である。
【実施例】
【００６５】
以下、本発明を実施例に基づいて説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。なお、各種評価や測定は、以下の方法により行った。
【００６６】
＜カーボンナノチューブ集合体の長さおよび直径の測定＞
カーボンナノチューブ集合体の長さおよび直径は、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）によって測定した。
【００６７】
＜カーボンナノチューブ集合体におけるカーボンナノチューブの層数・層数分布の評価＞
カーボンナノチューブ集合体におけるカーボンナノチューブの層数および層数分布は、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）および／または透過電子顕微鏡（ＴＥＭ）によって測定した。得られたカーボンナノチューブ集合体の中から少なくとも１０本以上、好ましくは２０本以上のカーボンナノチューブをＳＥＭおよび／またはＴＥＭにより観察し、各カーボンナノチューブの層数を調べ、層数分布を作成した。
【００６８】
＜ピックアップ試験＞
インクジェットインク（キヤノン（株）製、ＢＣＩ−７ｅＭ（７Ｓ９Ｃ１８ＭＯ）、マゼンダ）をガラス板に滴下し、最大直径２０μｍになった液体薄膜を、実施例および比較例で用いた液体薄膜ピックアップ用プローブなどの各種サンプリングツールによってピックアップした。
液体薄膜の、ガラス上で液滴としたときの接触角は、６１．１°であった。なお、接触角の測定は、θ／２法で行った。
ピックアップ試験の評価基準は下記の通りである。
○：プローブを接触・持ち上げ後に液体薄膜の消失が認められる。
×：プローブを接触・持ち上げ後に液体薄膜の存在が認められる。
【００６９】
＜ピックアップした液体薄膜の分析＞
（ＩＲ）
液体薄膜のピックアップを行った、実施例および比較例で用いた液体薄膜ピックアップ用プローブなどの各種サンプリングツールを、フッ化バリウム板に載せ、ＦＴ−ＩＲにより測定を行った。
装置：Ｎｉｃｏｌｅｔ６７００／Ｎｉｃｏｌｅｔ  Ｃｏｎｔｉｕｕｍ（Ｔｈｅｒｍｏ  Ｆｉｓｈｅｒ  Ｓｃｉｅｎｔｉｆｉｃ製）
測定手法：透過
分解能：８ｃｍ−１
測定範囲：４０００ｃｍ−１〜７４ｃｍ−１
積算回数：２５６回
検出器：ＭＣＴ／Ａ
ＩＲ分析の評価基準は下記の通りである。
○：ベースラインに歪みがなく、液体薄膜単体の測定結果と検出ピークが一致する。
×：ベースラインに歪みが生じ、液体薄膜単体の測定結果と検出ピークが一致しない。
（ＴＯＦ−ＳＩＭＳ）
液体薄膜のピックアップを行った、実施例および比較例で用いた液体薄膜ピックアップ用プローブなどの各種サンプリングツールを、シリコンウェハ（シリコンテクノロジー製）に載せ、測定した。
装置：ＴＲＩＦＴＶ（アルバック・ファイ製）
照射した一次イオン：Ｂｉ３２＋
一次イオン加速電圧：３０ｋＶ
測定面積：高質量分解能モード・・・７０μｍ、２５０μｍ角
高空間分解能モード・・・５０μｍ角
ＴＯＦ−ＳＩＭＳ分析の評価基準は下記の通りである。
○：液体薄膜のみの測定結果と同様のピークが検出される。
×：液体薄膜のみの測定結果と同様のピークが検出されない、またはノイズにより確認できない。
【００７０】
［実施例１］
基板としてのシリコンウェハ（シリコンテクノロジー製）上に、スパッタ装置（ＵＬＶＡＣ製、ＲＦＳ−２００）により、Ａｌ薄膜（厚み５ｎｍ）を形成した。このＡｌ薄膜上に、さらにスパッタ装置（ＵＬＶＡＣ製、ＲＦＳ−２００）にてＦｅ薄膜（厚み０．３５ｎｍ）を蒸着した。その後、フォトリソグラフィ加工により、直径０．８μｍにパターン化した。
その後、この基板を３０ｍｍφの石英管内に載置し、水分６００ｐｐｍに保ったヘリウム／水素（９０／５０ｓｃｃｍ）混合ガスを石英管内に３０分間流して、管内を置換した。その後、電気管状炉を用いて管内を７６５℃まで昇温させ、７６５℃にて安定させた。７６５℃にて温度を保持したまま、ヘリウム／水素／エチレン（８５／５０／５ｓｃｃｍ、水分率６００ｐｐｍ）混合ガスを管内に充填させ、５秒間放置してカーボンナノチューブを基板上に成長させ、カーボンナノチューブが長さ方向に配向しているカーボンナノチューブ集合体（１）を得た。
カーボンナノチューブ集合体（１）の長さは２μｍであり、直径は０．８μｍであった。
カーボンナノチューブ集合体（１）が備えるカーボンナノチューブの層数分布において、最頻値は１層に存在し、相対頻度は６１％であった。
タングステン針（株式会社マイクロサポート製、ＴＰ−０１０、先端直径＝１０μｍ）の平滑断面に、銀ペースト（ドータイトＤ３６２、藤倉化成株式会社製）を用いて、得られたカーボンナノチューブ集合体（１）を接着し、液体薄膜ピックアップ用マイクロプローブ（１）を作成した。
得られた液体薄膜ピックアップ用マイクロプローブ（１）を用いて、ピックアップ試験およびピックアップした液体薄膜の分析を行った。ピックアップした液体薄膜としては、キヤノン（株）製のトナー（型番：ＢＣＩ−７ｅＭ（７Ｓ９Ｃ１８ＭＯ）、マゼンダ）を最大直径１０μｍに広げた液体薄膜を用いた。
評価結果を表１に示す。
【００７１】
［実施例２］
基板としてのシリコンウェハ（シリコンテクノロジー製）上に、スパッタ装置（ＵＬＶＡＣ製、ＲＦＳ−２００）により、アルミナ薄膜（厚み２０ｎｍ）を形成した。このアルミナ薄膜上に、さらにスパッタ装置（ＵＬＶＡＣ製、ＲＦＳ−２００）にてＦｅ薄膜（厚み１ｎｍ）を蒸着した。その後、フォトリソグラフィ加工により、直径３．３μｍにパターン化した。
その後、この基板を３０ｍｍφの石英管内に載置し、水分６００ｐｐｍに保ったヘリウム／水素（９０／５０ｓｃｃｍ）混合ガスを石英管内に３０分間流して、管内を置換した。その後、電気管状炉を用いて管内を７６５℃まで昇温させ、７６５℃にて安定させた。７６５℃にて温度を保持したまま、ヘリウム／水素／エチレン（８５／５０／５ｓｃｃｍ、水分率６００ｐｐｍ）混合ガスを管内に充填させ、７秒間放置してカーボンナノチューブを基板上に成長させ、カーボンナノチューブが長さ方向に配向しているカーボンナノチューブ集合体（２）を得た。
カーボンナノチューブ集合体（２）の長さは１１μｍであり、直径は３．３μｍであった。
カーボンナノチューブ集合体（２）が備えるカーボンナノチューブの層数分布において、最頻値は２層に存在し、相対頻度は７５％であった。
タングステン針（株式会社マイクロサポート製、ＴＰ−０１０、先端直径＝１０μｍ）の平滑断面に、銀ペースト（ドータイトＤ３６２、藤倉化成株式会社製）を用いて、得られたカーボンナノチューブ集合体（２）を接着し、液体薄膜ピックアップ用マイクロプローブ（２）を作成した。
得られた液体薄膜ピックアップ用マイクロプローブ（２）を用いて、ピックアップ試験およびピックアップした液体薄膜の分析を行った。ピックアップした液体薄膜としては、キヤノン（株）製のトナー（型番：ＢＣＩ−７ｅＭ（７Ｓ９Ｃ１８ＭＯ）、マゼンダ）を最大直径１０μｍに広げた液体薄膜を用いた。
評価結果を表１に示す。
【００７２】
［実施例３］
基板としてのシリコンウェハ（シリコンテクノロジー製）上に、スパッタ装置（ＵＬＶＡＣ製、ＲＦＳ−２００）により、アルミナ薄膜（厚み２０ｎｍ）を形成した。このアルミナ薄膜上に、さらにスパッタ装置（ＵＬＶＡＣ製、ＲＦＳ−２００）にてＦｅ薄膜（厚み１ｎｍ）を蒸着した。その後、フォトリソグラフィ加工により、直径３．３μｍにパターン化した。
その後、この基板を３０ｍｍφの石英管内に載置し、水分６００ｐｐｍに保ったヘリウム／水素（９０／５０ｓｃｃｍ）混合ガスを石英管内に３０分間流して、管内を置換した。その後、電気管状炉を用いて管内を７６５℃まで昇温させ、７６５℃にて安定させた。７６５℃にて温度を保持したまま、ヘリウム／水素／エチレン（８５／５０／５ｓｃｃｍ、水分率６００ｐｐｍ）混合ガスを管内に充填させ、１５秒間放置してカーボンナノチューブを基板上に成長させ、カーボンナノチューブが長さ方向に配向しているカーボンナノチューブ集合体（３）を得た。
カーボンナノチューブ集合体（３）の長さは１１μｍであり、直径は３．３μｍであった。
カーボンナノチューブ集合体（３）が備えるカーボンナノチューブの層数分布において、最頻値は２層に存在し、相対頻度は７５％であった。
タングステン針（株式会社マイクロサポート製、ＴＰ−０１０、先端直径＝１０μｍ）の平滑断面に、銀ペースト（ドータイトＤ３６２、藤倉化成株式会社製）を用いて、得られたカーボンナノチューブ集合体（３）を接着し、液体薄膜ピックアップ用マイクロプローブ（３）を作成した。
得られた液体薄膜ピックアップ用マイクロプローブ（３）を用いて、ピックアップ試験およびピックアップした液体薄膜の分析を行った。ピックアップした液体薄膜としては、キヤノン（株）製のトナー（型番：ＢＣＩ−７ｅＭ（７Ｓ９Ｃ１８ＭＯ）、マゼンダ）を最大直径１５μｍに広げた液体薄膜を用いた。
評価結果を表１に示す。
【００７３】
［実施例４］
基板としてのシリコンウェハ（シリコンテクノロジー製）上に、スパッタ装置（ＵＬＶＡＣ製、ＲＦＳ−２００）により、アルミナ薄膜（厚み２０ｎｍ）を形成した。このアルミナ薄膜上に、さらにスパッタ装置（ＵＬＶＡＣ製、ＲＦＳ−２００）にてＦｅ薄膜（厚み１ｎｍ）を蒸着した。その後、フォトリソグラフィ加工により、直径３．３μｍにパターン化した。
その後、この基板を３０ｍｍφの石英管内に載置し、水分６００ｐｐｍに保ったヘリウム／水素（９０／５０ｓｃｃｍ）混合ガスを石英管内に３０分間流して、管内を置換した。その後、電気管状炉を用いて管内を７６５℃まで昇温させ、７６５℃にて安定させた。７６５℃にて温度を保持したまま、ヘリウム／水素／エチレン（８５／５０／５ｓｃｃｍ、水分率６００ｐｐｍ）混合ガスを管内に充填させ、１５秒間放置してカーボンナノチューブを基板上に成長させ、カーボンナノチューブが長さ方向に配向しているカーボンナノチューブ集合体（４）を得た。
カーボンナノチューブ集合体（４）の長さは１１μｍであり、直径は３．３μｍであった。
カーボンナノチューブ集合体（４）が備えるカーボンナノチューブの層数分布において、最頻値は２層に存在し、相対頻度は７５％であった。
タングステン針（株式会社マイクロサポート製、ＴＰ−０１０、先端直径＝１０μｍ）の平滑断面に、銀ペースト（ドータイトＤ３６２、藤倉化成株式会社製）を用いて、得られたカーボンナノチューブ集合体（４）を接着し、液体薄膜ピックアップ用マイクロプローブ（４）を作成した。
得られた液体薄膜ピックアップ用マイクロプローブ（４）を用いて、ピックアップ試験およびピックアップした液体薄膜の分析を行った。ピックアップした液体薄膜としては、キヤノン（株）製のトナー（型番：ＢＣＩ−７ｅＭ（７Ｓ９Ｃ１８ＭＯ）、マゼンダ）を最大直径２０μｍに広げた液体薄膜を用いた。
評価結果を表１に示す。
【００７４】
［実施例５］
基板としてのシリコンウェハ（シリコンテクノロジー製）上に、スパッタ装置（ＵＬＶＡＣ製、ＲＦＳ−２００）により、アルミナ薄膜（厚み２０ｎｍ）を形成した。このアルミナ薄膜上に、さらにスパッタ装置（ＵＬＶＡＣ製、ＲＦＳ−２００）にてＦｅ薄膜（厚み２．０ｎｍ）を蒸着した。その後、フォトリソグラフィ加工により、直径７．８μｍにパターン化した。
その後、この基板を３０ｍｍφの石英管内に載置し、水分６００ｐｐｍに保ったヘリウム／水素（９０／５０ｓｃｃｍ）混合ガスを石英管内に３０分間流して、管内を置換した。その後、電気管状炉を用いて管内を７６５℃まで昇温させ、７６５℃にて安定させた。７６５℃にて温度を保持したまま、ヘリウム／水素／エチレン（８５／５０／５ｓｃｃｍ、水分率６００ｐｐｍ）混合ガスを管内に充填させ、１５秒間放置してカーボンナノチューブを基板上に成長させ、カーボンナノチューブが長さ方向に配向しているカーボンナノチューブ集合体（５）を得た。
カーボンナノチューブ集合体（５）の長さは１４μｍであり、直径は７．８μｍであった。
カーボンナノチューブ集合体（５）が備えるカーボンナノチューブの層数分布において、最頻値は３層に存在し、相対頻度は７２％であった。
タングステン針（株式会社マイクロサポート製、ＴＰ−０１０、先端直径＝１０μｍ）の平滑断面に、銀ペースト（ドータイトＤ３６２、藤倉化成株式会社製）を用いて、得られたカーボンナノチューブ集合体（５）を接着し、液体薄膜ピックアップ用マイクロプローブ（５）を作成した。
得られた液体薄膜ピックアップ用マイクロプローブ（５）を用いて、ピックアップ試験およびピックアップした液体薄膜の分析を行った。ピックアップした液体薄膜としては、キヤノン（株）製のトナー（型番：ＢＣＩ−７ｅＭ（７Ｓ９Ｃ１８ＭＯ）、マゼンダ）を最大直径１５μｍに広げた液体薄膜を用いた。
評価結果を表１に示す。
【００７５】
［実施例６］
シリコン基板（ＫＳＴ製、熱酸化膜付ウェハ、厚み１０００μｍ）上に、真空蒸着装置（ＪＥＯＬ製、ＪＥＥ−４Ｘ  Ｖａｃｕｕｍ  Ｅｖａｐｏｒａｔｏｒ）により、Ａｌ薄膜（厚み１０ｎｍ）を形成した後、４５０℃で１時間酸化処理を施した。このようにして、シリコン基板上にＡｌ２Ｏ３膜を形成した。このＡｌ２Ｏ３膜上に、さらにスパッタ装置（ＵＬＶＡＣ製、ＲＦＳ−２００）にてＦｅ薄膜（厚み２ｎｍ）を蒸着させて触媒層を形成した。その後、フォトリソグラフィ加工により、直径１１μｍにパターン化した。
次に、得られた触媒層付シリコン基板をカットして、３０ｍｍφの石英管内に載置し、水分３５０ｐｐｍに保ったヘリウム／水素（１２０／８０ｓｃｃｍ）混合ガスを石英管内に３０分間流して、管内を置換した。その後、電気管状炉を用いて管内を７６５℃まで３５分間で段階的に昇温させ、７６５℃にて安定させた。７６５℃にて温度を保持したまま、ヘリウム／水素／エチレン（１０５／８０／１５ｓｃｃｍ、水分率３５０ｐｐｍ）混合ガスを管内に充填させ、２０秒間放置してカーボンナノチューブを基板上に成長させ、カーボンナノチューブが長さ方向に配向しているカーボンナノチューブ集合体（６）を得た。
カーボンナノチューブ集合体（６）の長さは２０μｍであり、直径は１１μｍであった。
カーボンナノチューブ集合体（６）が備えるカーボンナノチューブの層数分布において、層数分布の分布幅は１７層（４層〜２０層）であり、最頻値は４層と８層に存在し、相対頻度はそれぞれ２０％と２０％であった。
タングステン針（株式会社マイクロサポート製、ＴＰ−０１０、先端直径＝１０μｍ）の平滑断面に、銀ペースト（ドータイトＤ３６２、藤倉化成株式会社製）を用いて、得られたカーボンナノチューブ集合体（６）を接着し、液体薄膜ピックアップ用マイクロプローブ（６）を作成した。
得られた液体薄膜ピックアップ用マイクロプローブ（６）を用いて、ピックアップ試験およびピックアップした液体薄膜の分析を行った。ピックアップした液体薄膜としては、キヤノン（株）製のトナー（型番：ＢＣＩ−７ｅＭ（７Ｓ９Ｃ１８ＭＯ）、マゼンダ）を最大直径２０μｍに広げた液体薄膜を用いた。
評価結果を表１に示す。
また、得られた液体薄膜ピックアップ用マイクロプローブ（６）を用いてピックアップした液体薄膜をピックアップしたままマイクロプローブとともに測定したＦＴ−ＩＲチャートを図５に、液体薄膜自体のＦＴ−ＩＲチャートを図６に示した。図５と図６の比較により、本発明の液体薄膜ピックアップ用マイクロプローブを用いてピックアップした液体薄膜をピックアップしたままマイクロプローブとともに測定したＦＴ−ＩＲチャートは、ピックアップしていない液体薄膜自体のＦＴ−ＩＲチャートと、実質的に同じピークを示していることが判った。すなわち、本発明の液体薄膜ピックアップ用マイクロプローブは、液体薄膜を極めて容易にピックアップでき、また、ピックアップしたまま分析装置内に運び込んで分析評価することが可能であることが判った。
さらに、得られた液体薄膜ピックアップ用マイクロプローブ（６）を用いてピックアップした液体薄膜をピックアップしたままマイクロプローブとともに測定したＴＯＦ−ＳＩＭＳにおける検出された正・負二次イオン質量スペクトルを図７に、液体薄膜自体の正・負二次イオン質量スペクトルを図８に示した。図７と図８の比較により、本発明の液体薄膜ピックアップ用マイクロプローブを用いてピックアップした液体薄膜をピックアップしたままマイクロプローブとともに測定した正・負二次イオン質量スペクトルは、ピックアップしていない液体薄膜自体の正・負二次イオン質量スペクトルと、実質的に同じピークを示していることが判った。すなわち、本発明の液体薄膜ピックアップ用マイクロプローブは、液体薄膜を極めて容易にピックアップでき、また、ピックアップしたまま分析装置内に運び込んで分析評価することが可能であることが判った。
【００７６】
［比較例１］
タングステンプローブ（直径５μｍ、ＴＰ−００５、株式会社マイクロサポート製）を用いて、ピックアップ試験およびピックアップした液体薄膜の分析を行った。ピックアップした液体薄膜としては、キヤノン（株）製のトナー（型番：ＢＣＩ−７ｅＭ（７Ｓ９Ｃ１８ＭＯ）、マゼンダ）を最大直径１０μｍに広げた液体薄膜を用いた。
評価結果を表１に示す。
【００７７】
［比較例２］
タングステンプローブ（直径５μｍ、ＴＰ−００５、株式会社マイクロサポート製）を用いて、ピックアップ試験およびピックアップした液体薄膜の分析を行った。ピックアップした液体薄膜としては、キヤノン（株）製のトナー（型番：ＢＣＩ−７ｅＭ（７Ｓ９Ｃ１８ＭＯ）、マゼンダ）を最大直径２０μｍに広げた液体薄膜を用いた。
評価結果を表１に示す。
【００７８】
［比較例３］
ガラスプローブ（直径５μｍ、マイクロサンプリングツール  ＭＳＴ−００５、株式会社マイクロサポート製）を用いて、ピックアップ試験およびピックアップした液体薄膜の分析を行った。ピックアップした液体薄膜としては、キヤノン（株）製のトナー（型番：ＢＣＩ−７ｅＭ（７Ｓ９Ｃ１８ＭＯ）、マゼンダ）を最大直径１０μｍに広げた液体薄膜を用いた。
評価結果を表１に示す。
【００７９】
［比較例４］
マイクロピペット（直径５μｍ、ＭＰ−００５、株式会社マイクロサポート製）を用いて、ピックアップ試験およびピックアップした液体薄膜の分析を行った。ピックアップした液体薄膜としては、キヤノン（株）製のトナー（型番：ＢＣＩ−７ｅＭ（７Ｓ９Ｃ１８ＭＯ）、マゼンダ）を最大直径１０μｍに広げた液体薄膜を用いた。
評価結果を表１に示す。
【００８０】
【表１】
2014202687.tif 000003
【００８１】
表１に示すように、実施例で得られた液体薄膜ピックアップ用マイクロプローブにおいては、液体薄膜を極めて容易にピックアップでき、また、ピックアップしたまま分析装置内に運び込んで分析評価することが可能であることが判る。
【産業上の利用可能性】
【００８２】
本発明の液体薄膜ピックアップ用マイクロプローブは、例えば、分析用途などにおいて、分析対象物の表面に点在する液体薄膜をピックアップして分析装置内に運び込んで分析評価するため等に好適に用いられる。
【符号の説明】
【００８３】
１０００  液体薄膜ピックアップ用マイクロプローブ
１００    カーボンナノチューブ集合体
１０      カーボンナノチューブ
１０ａ    カーボンナノチューブの片端
２０      軸状基材
２０ａ    軸状基材の断面側表面
１        液体薄膜
２        ガラス
３        液滴
【図１】
2014202687.tif 000004
【図２】
2014202687.tif 000005
【図３】
2014202687.tif 000006
【図４】
2014202687.tif 000007
【図５】
2014202687.tif 000008
【図６】
2014202687.tif 000009
【図７】
2014202687.tif 000010
【図８】
2014202687.tif 000011