(57)【要約】【課題】プレス成形にも支障なく適用できるインゴットスライス台用組成物を提供する。【解決手段】不飽和ポリエステル樹脂１００重量部に対し熱可塑性樹脂を１〜３０重量部添加したものに、無機充填材を６１〜８５重量％を配合してなることを特徴とするインゴットスライス台用組成物、および同組成物を成形してなることを特徴とするインゴットスライス台を提供する。【選択図】  なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
不飽和ポリエステル樹脂１００重量部に対し熱可塑性樹脂を１〜３０重量部添加したものに、無機充填材を全体量に対し６１〜８５重量％を配合してなることを特徴とするインゴットスライス台用組成物。
【請求項２】
さらにガラス繊維を、無機充填材の一部と置き換え、全体量に対し５〜３０重量％を含むことを特徴とする請求項１記載のインゴットスライス台用組成物。
【請求項３】
請求項１または２記載の組成物を成形してなることを特徴とするインゴットスライス台。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ブロック（インゴット）をピアノ線を用いてスライスしてシリコンウエハーを製造するのに用いるインゴットスライス台に関し、より詳しくは、同スライス台を成形するための樹脂組成物に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、インゴットブロックを接着剤によりシリコンスライス台上に固定し、インゴットブロックに切削油および切削粉を施しながら、ピアノ線により所望の厚さにインゴットブロックをスライスし、多数のシリコンウエハーを得る。
【０００３】
近年、半導体デバイスの高集積化に伴い要求チップ面積は大きくなり、そのためそのシリコンウエハーも大口径化してきている。シリコンウエハーの大口径化に伴い、インゴットブロックも当然のことながら大型化し、これを載置・固定するシリコンスライス台にも一層の強度および大型化が要求される。
【０００４】
このような実情から、低コストで容易に製造することができ、インゴットブロックの大型化に対応可能な強度を有し、またインゴットブロックとの接着性にも優れたシリコンスライス台を成形することができる成形材料として、不飽和ポリエステル樹脂に対して特定の無機充填材を４０〜６０重量％配合してなるシリコンスライス台用の成形材料が提案されている（特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第３８５３０３９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
不飽和ポリエステル樹脂の成形法としては、ＦＲＰ型に先ずゲルコートをスプレイ塗装して硬化加熱炉で一旦硬化させた後、熱硬化性樹脂と充填材等からなるコンパウンドをその型内に注入して再度硬化炉で硬化させる注型法、型内に熱硬化性樹脂と充填材等とからなるコンパウンドを注入して金型温度を上げて硬化させる注型法および予め熱硬化性樹脂、充填材等からなるコンパウンドを増粘させてＢＭＣ（バルクモールディングコンパウンド），ＳＭＣ（シートモールディングコンパウンド）とし、これを金型内で圧力をかけて加熱硬化させる方法に大別される。
【０００７】
特許文献１に記載の成形材料は、上記課題を克服する点では評価できるが、注型法には適しているものの圧力をかけて加熱成形する方法、たとえば圧縮成形や射出成形等では成形しにくいという難点がある。
【０００８】
本発明はこのような実情から圧力をかけて加熱成形する方法にも支障なく適用できるインゴットスライス台用組成物を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、不飽和ポリエステル樹脂１００重量部に対し熱可塑性樹脂を１〜３０重量部添加したものに、無機充填材を全体量に対し６１〜８５重量％配合してなることを特徴とするインゴットスライス台用組成物、および同組成物を成形してなることを特徴とするインゴットスライス台を提供する。
【００１０】
本発明によるインゴットスライス台用組成物は、さらにガラス繊維を、無機充填材の一部と置き換え、全体量に対し全体量に対し５〜３０重量％含むことが好ましい。
【００１１】
本発明で用いられる不飽和ポリエステル樹脂は、特に制限はなく、α，β−不飽和二塩基酸、多価アルコール、飽和多塩基酸等を重縮合反応させ、これをビニルモノマーに溶解したものである。α，β−不飽和二塩基酸はマレイン酸、フマル酸などであってよく、多価アルコールは、エチレングリコール、プロピレングリコール等の二価アルコールなどであってよく、飽和多塩基酸はフタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、無水フタル酸などであってよく、ビニルモノマーはスチレン、クロルスチレン、ジビニルベンゼン等であってよい。
【００１２】
本発明で用いられる熱可塑性樹脂は、具体的にはポリ酢酸ビニル、ポリエチレン、ポリスチレン、ポリブタジエン、ポリメチルメタクリレート、ポリカプロラクトン、塩化ビニル／酢酸ビニル共重合体、飽和ポリエステル樹脂、飽和ポリエステル／ポリ塩化ビニル混合物及びメタクリレート単独重合体又は共重合体、ポリ酢酸ビニル系樹脂などが例示される。
【００１３】
不飽和ポリエステル樹脂１００重量部に対し熱可塑性樹脂が１重量部未満であると低収縮作用が充分発揮されず、逆に不飽和ポリエステル樹脂１００重量部に対し熱可塑性樹脂が３０重量部を超えると、成形面の平滑性が損なわれやすくなってくる。したがって、熱可塑性樹脂の添加量は不飽和ポリエステル樹脂１００重量部に対し１〜３０重量部、好ましくは３〜２５重量部である。
【００１４】
本発明で用いられる無機充填材は、たとえば、ガラス粉、硅石粉、炭酸カルシウム、水酸化アルミニウム、硫酸バリウム、炭酸バリウム等の無機充填材や顔料、ミルドファイバー等の粉状物である。
【００１５】
無機充填材の配合量は、全体量に対し、６１〜８５重量％である。無機充填材の配合量が多くなるに従って、組成物が混練しにくくなって作業性が低下し、加えて、成形面のコーナー部にヒケ（光沢むら）やクラックが発生し易くなるが、これらは熱可塑性樹脂を配合することにより解消される。無機充填材の配合量の上限は８５重量％である。無機充填材の配合量が６１重量％未満であると、粘度が低下し注型には好都合であるが、成形されたインゴットスライス台の線膨張係数が大きくなってくる傾向にある。無機充填材の配合量の好ましい範囲は６５〜８０重量％である。
【００１６】
無機充填剤の一部をガラス繊維に置き換えると、その置換量が多くなるに従って、成形されたインゴットスライス台の線膨張係数が小さくなる上に強度が増す。無機充填剤とガラス繊維の合計中のガラス繊維の割合が大きくなりすぎると組成物が混練しにくくなって作業性が悪くなるので、ガラス繊維の割合は好ましくは５〜３０重量％、より好ましくは７〜２０重量％である。ガラス繊維の他、ビニロン繊維、カーボン等の繊維も使用することができる。
【００１７】
ハンドリングしやすい組成物の粘度を得るために、増粘剤も使用可能である。使用できる増粘剤は二価金属の酸化部物、ニ価金属の水酸化物、ジイソシアネートおよびアジリジン等である
上記組成物のプレス成形は一般的な成形条件下で常法に従って行い得る。
【００１８】
本発明の樹脂組成物を硬化させる硬化剤は、パーオキシエステル類、パーオキシケタール類、ジアルキルパーオキサイド類、ハイドロパーオキサイド類およびパーオキシカーボネート類等の有機過酸化物が単独または複数の組み合わせで使用される。
【００１９】
本発明による組成物はさらに離型剤、消泡剤、顔料、紫外線吸収剤等の添加剤を含んでいてもよい。
【発明の効果】
【００２０】
請求項１の組成物を用いて、線膨張係数が小さいインゴットスライス台をプレス成形で支障なく得ることができる。請求項２の組成物を用いて、線膨張係数が小さい上に強度が大きいインゴットスライス台をプレス成形で支障なく得ることができる。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
次に本発明を下記の実験結果に基づいて具体的に説明する。
【００２２】
実施例
不飽和ポリエステル樹脂に、熱可塑性樹脂、無機充填剤、ガラス線維、硬化剤、増粘剤、離型剤をそれぞれ表１に示す割合で配合し、成形材料をいくつか作製した。
【００２３】
これらの成形材料を下記の条件でプレス成形し、インゴットスライス台を得た。これらの成形品について外観を観察し線膨張係数を測定した。これらの結果を表１に併せて示す。
【表１】
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【００２４】
不飽和ポリエステル樹脂：  「リゴラックＭ−５８８」（昭和電工株製）
低収縮剤：  「リゴラックＭ−５５８５」（昭和電工社製）
硬化剤：  「カヤブチルＢ」（化薬アクゾ社製）
増粘剤：  「キョ−ワマグ＃４０」（協和化学工業製）
離型剤：  「エフコ・ケムＺＮＳ」（ADEKA社製）
水酸化アルミニウム：  「CW-325LV」（住友化学社製）
ガラス繊維：  「ＣＳ３Ｅ−２２７Ｓ」（日東紡績社製）
上記測定結果から明らかなように、本発明による組成物はプレス成形にも支障なく適用でき、コーナー部のヒケおよびクラックがなくかつ線膨張係数が小さいインゴットスライス台を得ることができる。