(57)【要約】【課題】圧電モーターの大型化を抑えつつ駆動精度を確保可能で配線も容易な振動体ケースを備えた圧電モーターを提供する。【解決手段】振動体に対して屈曲方向の両側に設けられた第１側部および第２側部や、第１側部および第２側部を連結する連結部などによって振動体ケースを構成し、第１側部または第２側部には配線用の貫通穴を設ける。こうすれば、振動体の屈曲方向に対する剛性が高くなり、振動体ケースの歪みを抑制できる。また、この構造は、同じ剛性を確保するのであれば振動体ケースを小さくできるので、高い剛性を確保し且つ振動体ケースを小型化することができる。このため、圧電モーターの大型化を抑えつつ駆動精度が十分に確保された圧電モーターを実現することが可能となる。【選択図】図４
2014060846.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電材料を含み、電圧が印加されることによって伸縮方向および屈曲方向に振動する振動体と、
前記振動体が収容される振動体ケースと、
を備え、
前記振動体ケースは、
前記振動体に対して前記屈曲方向に設けられた第１側部と、
前記振動体を挟んで前記第１側部の反対側に設けられた第２側部と、
前記振動体に対して前記屈曲方向および前記伸縮方向に直交する方向に設けられて、前記第１側部と前記第２側部とを連結する連結部と、
を有し、
前記第１側部または前記第２側部には貫通穴が設けられていることを特徴とする圧電モーター。
【請求項２】
請求項１に記載の圧電モーターであって、
前記貫通穴は、前記振動体が屈曲方向に振動する際の振動の節に対応する位置に設けられていることを特徴とする圧電モーター。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の圧電モーターであって、
前記貫通穴は、前記振動体の前記屈曲方向に対して、傾けて設けられていることを特徴とする圧電モーター。
【請求項４】
請求項１ないし請求項３の何れか一項に記載の圧電モーターであって、
前記貫通穴が設けられた前記第１側部または前記第２側部は、複数の部材によって形成されており、
前記貫通穴は、前記複数の部材の間に設けられていることを特徴とする圧電モーター。
【請求項５】
請求項１ないし請求項４の何れか一項に記載の圧電モーターであって、
前記連結部の前記振動体に面する側には、前記貫通穴に対応する位置に凹部が設けられていることを特徴とする圧電モーター。
【請求項６】
請求項１ないし請求項５の何れか一項に記載の圧電モーターであって、
前記第１側部または前記第２側部の前記貫通穴が開口する箇所には、角の部分に面取部あるいは曲面部が設けられていることを特徴とする圧電モーター。
【請求項７】
複数の指部を含み、対象物を把持するロボットハンドであって、
前記指部が移動可能に立設された基体と、
前記基体に対して前記指部を移動させる圧電モーターと、
を備え、
前記圧電モーターは、
圧電材料を含み、電圧が印加されることによって伸縮方向および屈曲方向に振動する振動体と、
前記振動体が収容される振動体ケースと、
を備え、
前記振動体ケースは、
前記振動体に対して前記屈曲方向に設けられた第１側部と、
前記振動体を挟んで前記第１側部の反対側に設けられた第２側部と、
前記振動体に対して前記屈曲方向および前記伸縮方向に直交する方向に設けられて、前記第１側部と前記第２側部とを連結する連結部と、
を有し、
前記第１側部または前記第２側部には貫通穴が設けられていることを特徴とするロボットハンド。
【請求項８】
請求項７に記載のロボットハンドであって、
前記貫通穴は、前記振動体が屈曲方向に振動する際の振動の節に対応する位置に設けられていることを特徴とするロボットハンド。
【請求項９】
請求項７または請求項８に記載のロボットハンドであって、
前記貫通穴は、前記振動体の前記屈曲方向に対して、傾けて設けられていることを特徴とするロボットハンド。
【請求項１０】
請求項７ないし請求項９の何れか一項に記載のロボットハンドであって、
前記貫通穴が設けられた前記第１側部または前記第２側部は、複数の部材によって形成されており、
前記貫通穴は、前記複数の部材の間に設けられていることを特徴とするロボットハンド。
【請求項１１】
請求項７ないし請求項１０の何れか一項に記載のロボットハンドであって、
前記連結部の前記振動体に面する側には、前記貫通穴に対応する位置に凹部が設けられていることを特徴とするロボットハンド。
【請求項１２】
回動可能な関節部が設けられた腕部と、
前記腕部に設けられたハンド部と、
前記腕部が設けられた本体部と、
を備えたロボットであって、
前記関節部に設けられて前記関節部を屈曲あるいは回転駆動する圧電モーターを有しており、
圧電材料を含み、電圧が印加されることによって伸縮方向および屈曲方向に振動する振動体と、
前記振動体が収容される振動体ケースと、
を備え、
前記振動体ケースは、
前記振動体に対して前記屈曲方向に設けられた第１側部と、
前記振動体を挟んで前記第１側部の反対側に設けられた第２側部と、
前記振動体に対して前記屈曲方向および前記伸縮方向に直交する方向に設けられて、前記第１側部と前記第２側部とを連結する連結部と、
を有し、
前記第１側部または前記第２側部には貫通穴が設けられていることを特徴とするロボット。
【請求項１３】
請求項１２に記載のロボットであって、
前記貫通穴は、前記振動体が屈曲方向に振動する際の振動の節に対応する位置に設けられていることを特徴とするロボットハンド。
【請求項１４】
請求項１２または請求項１３に記載のロボットであって、
前記貫通穴は、前記振動体の前記屈曲方向に対して、傾けて設けられていることを特徴とするロボット。
【請求項１５】
電子部品を把持する把持部と、
前記電子部品を把持した前記把持部を駆動する圧電モーターと、
を備える電子部品搬送装置であって、
前記圧電モーターは、
圧電材料を含み、電圧が印加されることによって伸縮方向および屈曲方向に振動する振動体と、
前記振動体が収容される振動体ケースと、
を備え、
前記振動体ケースは、
前記振動体に対して前記屈曲方向に設けられた第１側部と、
前記振動体を挟んで前記第１側部の反対側に設けられた第２側部と、
前記振動体に対して前記屈曲方向および前記伸縮方向に直交する方向に設けられて、前記第１側部と前記第２側部とを連結する連結部と、
を有し、
前記第１側部または前記第２側部には貫通穴が設けられていることを特徴とする電子部品搬送装置。
【請求項１６】
電子部品を把持する把持部と、
前記電子部品を把持した前記把持部を駆動する圧電モーターと、
前記電子部品を検査する検査部と、
を備える電子部品検査装置であって、
前記圧電モーターは、
圧電材料を含み、電圧が印加されることによって伸縮方向および屈曲方向に振動する振動体と、
前記振動体が収容される振動体ケースと、
を備え、
前記振動体ケースは、
前記振動体に対して前記屈曲方向に設けられた第１側部と、
前記振動体を挟んで前記第１側部の反対側に設けられた第２側部と、
前記振動体に対して前記屈曲方向および前記伸縮方向に直交する方向に設けられて、前記第１側部と前記第２側部とを連結する連結部と、
を有し、
前記第１側部または前記第２側部には貫通穴が設けられていることを特徴とする電子部品検査装置。
【請求項１７】
液体が流動可能な液体チューブと、
前記液体チューブの一部に当接して前記液体チューブを閉塞する閉塞部と、
前記閉塞部を保持した状態で移動することによって、前記液体チューブの閉塞位置を移動させる移動部と、
前記移動部を駆動する圧電モーターと、
を備える送液ポンプであって、
前記圧電モーターは、
圧電材料を含み、電圧が印加されることによって伸縮方向および屈曲方向に振動する振動体と、
前記振動体が収容される振動体ケースと、
を備え、
前記振動体ケースは、
前記振動体に対して前記屈曲方向に設けられた第１側部と、
前記振動体を挟んで前記第１側部の反対側に設けられた第２側部と、
前記振動体に対して前記屈曲方向および前記伸縮方向に直交する方向に設けられて、前記第１側部と前記第２側部とを連結する連結部と、
を有し、
前記第１側部または前記第２側部には貫通穴が設けられていることを特徴とする送液ポンプ。
【請求項１８】
媒体上に画像を印刷する印刷ヘッドと、
前記印刷ヘッドを移動させる圧電モーターと、
を備える印刷装置であって、
前記圧電モーターは、
圧電材料を含み、電圧が印加されることによって伸縮方向および屈曲方向に振動する振動体と、
前記振動体が収容される振動体ケースと、
を備え、
前記振動体ケースは、
前記振動体に対して前記屈曲方向に設けられた第１側部と、
前記振動体を挟んで前記第１側部の反対側に設けられた第２側部と、
前記振動体に対して前記屈曲方向および前記伸縮方向に直交する方向に設けられて、前記第１側部と前記第２側部とを連結する連結部と、
を有し、
前記第１側部または前記第２側部には貫通穴が設けられていることを特徴とする印刷装置。
【請求項１９】
同軸状に歯車が設けられ、回動可能な回転円板と、
複数の歯車を含んで構成された歯車列と、
前記歯車列に接続され、時刻を指し示す指針と、
前記回転円板を駆動する圧電モーターと、
を備える電子時計であって、
前記圧電モーターは、
圧電材料を含み、電圧が印加されることによって伸縮方向および屈曲方向に振動する振動体と、
前記振動体が収容される振動体ケースと、
を備え、
前記振動体ケースは、
前記振動体に対して前記屈曲方向に設けられた第１側部と、
前記振動体を挟んで前記第１側部の反対側に設けられた第２側部と、
前記振動体に対して前記屈曲方向および前記伸縮方向に直交する方向に設けられて、前記第１側部と前記第２側部とを連結する連結部と、
を有し、
前記第１側部または前記第２側部には貫通穴が設けられていることを特徴とする電子時計。
【請求項２０】
光学レンズを含み、光源からの光を投影する投影部と、
前記光学レンズによる前記光の投影状態を調整する調整部と、
前記調整部を駆動する圧電モーターと
を備える投影装置であって、
前記圧電モーターは、
圧電材料を含み、電圧が印加されることによって伸縮方向および屈曲方向に振動する振動体と、
前記振動体が収容される振動体ケースと、
を備え、
前記振動体ケースは、
前記振動体に対して前記屈曲方向に設けられた第１側部と、
前記振動体を挟んで前記第１側部の反対側に設けられた第２側部と、
前記振動体に対して前記屈曲方向および前記伸縮方向に直交する方向に設けられて、前記第１側部と前記第２側部とを連結する連結部と、
を有し、
前記第１側部または前記第２側部には貫通穴が設けられていることを特徴とする投影装置。
【請求項２１】
対象物を搬送する搬送装置であって、
圧電材料を含み、電圧が印加されることによって伸縮方向および屈曲方向に振動する振動体と、
前記振動体が収容される振動体ケースと、
を備え、
前記振動体ケースは、
前記振動体に対して前記屈曲方向に設けられた第１側部と、
前記振動体を挟んで前記第１側部の反対側に設けられた第２側部と、
前記振動体に対して前記屈曲方向および前記伸縮方向に直交する方向に設けられて、前記第１側部と前記第２側部とを連結する連結部と、
を有し、
前記第１側部または前記第２側部には貫通穴が設けられていることを特徴とする搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電モーター、ロボットハンド、ロボット、電子部品搬送装置、電子部品検査装置、送液ポンプ、印刷装置、電子時計、投影装置、搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
圧電材料を含んで形成された振動体に駆動電圧を印加することによって伸縮振動と屈曲振動とを同時に発生させ、振動体の端面に設けた凸部で対象物を摩擦駆動する方式の圧電モーターが知られている（特許文献１）。圧電モーターは、振動体を小さな振幅で且つ高い周波数で振動させて対象物を駆動するので、高い分解能で対象物を位置決めすることができ、しかも対象物を迅速に駆動することができるという利点を有している。
【０００３】
この方式の圧電モーターは、凹部との間の摩擦力で対象物を駆動するので、対象物に凸部を押し付けた状態で使用する必要がある。また、大きな駆動力を得るには、凸部を対象物に強い力で押し付ける必要があり、そのためには振動体をしっかり保持しておくことが望ましい。その一方で、駆動原理に鑑みれば振動体の振動は妨げないように保持する必要がある。
【０００４】
そこで、振動体を振動体ケースに収容し且つ振動体ケースを外側ケースに収容して、圧電モーターを、二重のケースを有する構造とし、振動体ケースと外側ケースとの間に設けたバネによって、振動体（および振動体の凸部）を振動体ケースごと対象物に押し付ける方法が提案されている（特許文献２）。この方法では、振動体ケースを外側ケースに対して摺動可能とすることで、振動体ケースが対象物の方向にしか動かないように外側ケースで振動体ケース（および振動体）をしっかりと保持すると共に、振動体の振動を妨げないように振動体ケースで振動体を保持することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００８−１８７７６８号公報
【特許文献２】特開２００９−３３７８８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、振動体が内蔵された振動体ケースを外側ケースに収容するタイプの圧電モーターにおいては、振動体ケースをどのような構造とすればよいかについては知られていない。すなわち、振動体ケースの剛性が不足すると、振動体の振動や対象物の駆動時の反力で振動体ケースが歪んで対象物の駆動精度が低下したり、あるいは外側ケースとの間の摺動に支障をきたして、振動体の凸部を対象物に押し付けられなくなったりする。その一方で、単に振動体ケースの剛性を高めたのでは振動体ケースが大きくなり、大きくなった振動体ケースを外側ケースに収容しなければならないので圧電モーターが益々大きくなってしまう。更に、振動体に駆動電圧を印加するための配線の引き回しも考慮する必要があり、配線の引き回しのために振動体ケースの剛性を犠牲にすることは好ましくない。このように、振動体ケースの構造は圧電モーターのサイズや、駆動精度、振動体への配線の引き回しに大きな影響を与えており、これらの観点からの振動体ケースの構造については未だ考慮されていないという問題があった。
【０００７】
この発明は、従来の技術が有する上述した課題を解決するためになされたものであり、圧電モーターの大型化を抑えつつ駆動精度を担保するとともに、容易に配線を引き回すことが可能な振動体ケースを備えた圧電モーターの提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上述した課題の少なくとも一部を解決するために、本発明の圧電モーターは次の構成を採用した。すなわち、
圧電材料を含み、電圧が印加されることによって伸縮方向および屈曲方向に振動する振動体と、
前記振動体が収容される振動体ケースと、
を備え、
前記振動体ケースは、
前記振動体に対して前記屈曲方向に設けられた第１側部と、
前記振動体を挟んで前記第１側部の反対側に設けられた第２側部と、
前記振動体に対して前記屈曲方向および前記伸縮方向に直交する方向に設けられて、前記第１側部と前記第２側部とを連結する連結部と、
を有し、
前記第１側部または前記第２側部には貫通穴が設けられていることを要旨とする。
【０００９】
このような本発明の圧電モーターにおいては、振動体を収容する振動体ケースが、振動体に対して屈曲方向の両側に設けられた第１側部および第２側部と、第１側部および第２側部を連結する連結部とを備えている。このように屈曲方向の両側に設けられた第１側部および第２側部とが連結部で連結された構造は、屈曲方向への断面二次モーメントが大きくなることが知られている。このため振動体ケースは、振動体の屈曲方向に対する剛性を高くすることができるので、振動体ケースが歪むことを抑制することができる。また、詳細には後述するが、第１側部および第２側部を連結部で連結した構造は、材料力学の教える処によれば、剛性への寄与の少ない部分がほとんど発生しないので、同じ剛性を確保するのであれば振動体ケースを小さくすることができる。しかも、第１側部と、第２側部と、連結部とで囲われた部分に振動体を収容することができる。更に、第１側部または第２側部には貫通穴が設けられているので、この貫通穴を通すことによって振動体に配線することができる。しかも、第１側部または第２側部に貫通穴が設けられているだけなので、振動体ケースの剛性の低下もほとんど生じない。このため、圧電モーターの大型化を抑えつつ駆動精度が確保され、且つ配線の引き回しも可能な圧電モーターを実現することができる。
【００１０】
また、上述した本発明の圧電モーターにおいては、貫通穴は、振動体が屈曲方向に振動する際の振動の節に対応する位置に設けられていることとしてもよい。ここで「振動の節に対応する位置」とは、振動体の厚さ方向（振動体の屈曲方向および伸縮方向に直交する方向）から見たときに、屈曲方向の振動の節と重なる位置を指す。
【００１１】
こうすれば、振動体の振動にできるだけ影響を与えないようにするために、振動の節が存在する振動体の長手方向中央の位置に配線することができる。
【００１２】
また、上述した本発明の圧電モーターにおいては、貫通穴は、振動体の屈曲方向に対して傾けて設けられていることとしてもよい。
【００１３】
圧電モーターを搭載する際のレイアウト上の都合などから配線ケーブルを斜めに引き出す必要が生じる場合もある。このような場合、振動体の屈曲方向に対して貫通穴を傾けておけば、配線ケーブルを無理に曲げなくても貫通穴の方向に引き出すことができる。
【００１４】
また、上述した本発明の圧電モーターにおいては、貫通穴が設けられた第１側部または第２側部が複数の部材によって形成されており、貫通穴は、複数の部材の間に設けられていることとしてもよい。
【００１５】
こうすれば、例えば部材に溝を形成しておき、それら部材を組み合わせて貫通穴を形成するといったことも可能となるので、貫通穴を形成する際の自由度や、あるいは貫通穴の形状に関する自由度を向上させることができる。
【００１６】
また、上述した本発明の圧電モーターにおいては、連結部の振動体に面する側には、貫通穴に対応する位置に凹部を設けることとしてもよい。ここで、「貫通穴に対応する位置」とは、振動体の伸張方向に対して貫通穴と重なる位置を指す。
【００１７】
こうすれば、振動体ケースの外側から振動体に配線する際に、貫通穴を通した配線ケーブルを凹部に導いて、凹部から振動体に配線することができる。このため、たとえ振動体と連結部との隙間が狭くても配線が容易となる。
【００１８】
また、上述した本発明の圧電モーターにおいては、貫通穴が開口する箇所では、角の部分に面取部あるいは曲面部を設けることとしてもよい。
【００１９】
圧電モーターが対象物を駆動する際に、あるいは圧電モーターを搭載した機器が動く際には、配線ケーブルが振動することがある。このような場合でも、第１側部または第２側部の貫通穴が開口する箇所の角の部分に面取部あるいは曲線部を設けておけば、配線ケーブルが角の部分に擦れて損傷することを回避できる。
【００２０】
また、本発明は、以下のような態様で把握することもできる。すなわち、
複数の指部を含み、対象物を把持するロボットハンドであって、
前記指部が移動可能に立設された基体と、
前記基体に対して前記指部を移動させる圧電モーターと、
を備え、
前記圧電モーターは、
圧電材料を含み、電圧が印加されることによって伸縮方向および屈曲方向に振動する振動体と、
前記振動体が収容される振動体ケースと、
を備え、
前記振動体ケースは、
前記振動体に対して前記屈曲方向に設けられた第１側部と、
前記振動体を挟んで前記第１側部の反対側に設けられた第２側部と、
前記振動体に対して前記屈曲方向および前記伸縮方向に直交する方向に設けられて、前記第１側部と前記第２側部とを連結する連結部と、
を有し、
前記第１側部または前記第２側部には貫通穴が設けられていることを特徴とするロボットハンドとして把握することもできる。
【００２１】
このような本発明のロボットハンドにおいては、振動体の屈曲方向への振動体ケースの剛性を高くすることができるので、振動体ケースが歪むことを抑制することができる。また、同じ剛性を確保するのであれば振動体ケースを小さくすることができる。このため、圧電モーターの大型化を抑えつつ駆動精度を確保することができるので、高性能のロボットハンドを実現することが可能となる。
【００２２】
また、本発明は、以下のようなロボットの態様で把握することもできる。すなわち、
回動可能な関節部が設けられた腕部と、
前記腕部に設けられたハンド部と、
前記腕部が設けられた本体部と、
を備えたロボットであって、
前記関節部に設けられて前記関節部を屈曲あるいは回転駆動させる圧電モーターを有しており、
前記圧電モーターは、
圧電材料を含み、電圧が印加されることによって伸縮方向および屈曲方向に振動する振動体と、
前記振動体が収容される振動体ケースと、
を備え、
前記振動体ケースは、
前記振動体に対して前記屈曲方向に設けられた第１側部と、
前記振動体を挟んで前記第１側部の反対側に設けられた第２側部と、
前記振動体に対して前記屈曲方向および前記伸縮方向に直交する方向に設けられて、前記第１側部と前記第２側部とを連結する連結部と、
を有し、
前記第１側部または前記第２側部には貫通穴が設けられていることを特徴とするロボットとして把握することもできる。
【００２３】
このような本発明によれば、小型で駆動精度の高い圧電モーターを搭載しているので、小型で位置決め精度の高い高性能のロボットを実現することができる。
【００２４】
また、本発明は、以下のような態様で把握することもできる。すなわち、
電子部品を把持する把持部と、
前記電子部品を把持した前記把持部を駆動する圧電モーターと、
を備える電子部品搬送装置であって、
前記圧電モーターは、
圧電材料を含み、電圧が印加されることによって伸縮方向および屈曲方向に振動する振動体と、
前記振動体が収容される振動体ケースと、
を備え、
前記振動体ケースは、
前記振動体に対して前記屈曲方向に設けられた第１側部と、
前記振動体を挟んで前記第１側部の反対側に設けられた第２側部と、
前記振動体に対して前記屈曲方向および前記伸縮方向に直交する方向に設けられて、前記第１側部と前記第２側部とを連結する連結部と、
を有し、
前記第１側部または前記第２側部には貫通穴が設けられていることを特徴とする電子部品搬送装置として把握することもできる。
【００２５】
このような本発明によれば、小型で且つ駆動精度の高い圧電モーターを搭載しているので、小型で位置決め精度や搬送精度の高い電子部品搬送装置を実現できる。
【００２６】
また、本発明は、以下のような態様で把握することもできる。すなわち、
電子部品を把持する把持部と、
前記電子部品を把持した前記把持部を駆動する圧電モーターと、
前記電子部品を検査する検査部と、
を備える電子部品検査装置であって、
前記圧電モーターは、
圧電材料を含み、電圧が印加されることによって伸縮方向および屈曲方向に振動する振動体と、
前記振動体が収容される振動体ケースと、
を備え、
前記振動体ケースは、
前記振動体に対して前記屈曲方向に設けられた第１側部と、
前記振動体を挟んで前記第１側部の反対側に設けられた第２側部と、
前記振動体に対して前記屈曲方向および前記伸縮方向に直交する方向に設けられて、前記第１側部と前記第２側部とを連結する連結部と、
を有し、
前記第１側部または前記第２側部には貫通穴が設けられていることを特徴とする電子部品検査装置として把握することもできる。
【００２７】
このような本発明によれば、小型で且つ駆動精度の高い圧電モーターを搭載しているので、小型で位置決め精度や搬送精度の高い電子部品検査装置を実現できる。
【００２８】
また、本発明は、以下のような態様で把握することもできる。すなわち、
液体が流動可能な液体チューブと、
前記液体チューブの一部に当接して前記液体チューブを閉塞する閉塞部と、
前記閉塞部を保持した状態で移動することによって、前記液体チューブの閉塞位置を移動させる移動部と、
前記移動部を駆動する圧電モーターと、
を備える送液ポンプであって、
前記圧電モーターは、
圧電材料を含み、電圧が印加されることによって伸縮方向および屈曲方向に振動する振動体と、
前記振動体が収容される振動体ケースと、
を備え、
前記振動体ケースは、
前記振動体に対して前記屈曲方向に設けられた第１側部と、
前記振動体を挟んで前記第１側部の反対側に設けられた第２側部と、
前記振動体に対して前記屈曲方向および前記伸縮方向に直交する方向に設けられて、前記第１側部と前記第２側部とを連結する連結部と、
を有し、
前記第１側部または前記第２側部には貫通穴が設けられていることを特徴とする送液ポンプとして把握することもできる。
【００２９】
このような本発明によれば、小型で且つ駆動精度の高い圧電モーターを搭載しているので、小型で送液精度の高い送液ポンプを実現できる。
【００３０】
また、本発明は、以下のような態様で把握することもできる。すなわち、
媒体上に画像を印刷する印刷ヘッドと、
前記印刷ヘッドを移動させる圧電モーターと、
を備える印刷装置であって、
前記圧電モーターは、
圧電材料を含み、電圧が印加されることによって伸縮方向および屈曲方向に振動する振動体と、
前記振動体が収容される振動体ケースと、
を備え、
前記振動体ケースは、
前記振動体に対して前記屈曲方向に設けられた第１側部と、
前記振動体を挟んで前記第１側部の反対側に設けられた第２側部と、
前記振動体に対して前記屈曲方向および前記伸縮方向に直交する方向に設けられて、前記第１側部と前記第２側部とを連結する連結部と、
を有し、
前記第１側部または前記第２側部には貫通穴が設けられていることを特徴とする印刷装置として把握することもできる。
【００３１】
このような本発明によれば、小型で且つ駆動精度の高い圧電モーターを搭載しているので、小型で高画質の印刷装置を実現できる。
【００３２】
また、本発明は、以下のような態様で把握することもできる。すなわち、
同軸状に歯車が設けられ、回動可能な回転円板と、
複数の歯車を含んで構成された歯車列と、
前記歯車列に接続され、時刻を指し示す指針と、
前記回転円板を駆動する圧電モーターと、
を備える電子時計であって、
前記圧電モーターは、
圧電材料を含み、電圧が印加されることによって伸縮方向および屈曲方向に振動する振動体と、
前記振動体が収容される振動体ケースと、
を備え、
前記振動体ケースは、
前記振動体に対して前記屈曲方向に設けられた第１側部と、
前記振動体を挟んで前記第１側部の反対側に設けられた第２側部と、
前記振動体に対して前記屈曲方向および前記伸縮方向に直交する方向に設けられて、前記第１側部と前記第２側部とを連結する連結部と、
を有し、
前記第１側部または前記第２側部には貫通穴が設けられていることを特徴とする電子時計として把握することもできる。
【００３３】
このような本発明によれば、小型で且つ駆動精度の高い圧電モーターを搭載しているので、小型で計時精度の高い電子時計を実現できる。
【００３４】
また、本発明は、以下のような態様で把握することもできる。すなわち、
光学レンズを含み、光源からの光を投影する投影部と、
前記光学レンズによる前記光の投影状態を調整する調整部と、
前記調整部を駆動する圧電モーターと
を備える投影装置であって、
前記圧電モーターは、
圧電材料を含み、電圧が印加されることによって伸縮方向および屈曲方向に振動する振動体と、
前記振動体が収容される振動体ケースと、
を備え、
前記振動体ケースは、
前記振動体に対して前記屈曲方向に設けられた第１側部と、
前記振動体を挟んで前記第１側部の反対側に設けられた第２側部と、
前記振動体に対して前記屈曲方向および前記伸縮方向に直交する方向に設けられて、前記第１側部と前記第２側部とを連結する連結部と、
を有し、
前記第１側部または前記第２側部には貫通穴が設けられていることを特徴とする投影装置として把握することもできる。
【００３５】
このような本発明によれば、小型で且つ駆動精度の高い圧電モーターを搭載しているので、小型で、且つ、光学レンズによる光の投影状態を精度良く調整可能な投影装置を実現できる。
【００３６】
また、本発明は、以下のような態様で把握することもできる。すなわち、
対象物を搬送する搬送装置であって、
圧電材料を含み、電圧が印加されることによって伸縮方向および屈曲方向に振動する振動体と、
前記振動体が収容される振動体ケースと、
を備え、
前記振動体ケースは、
前記振動体に対して前記屈曲方向に設けられた第１側部と、
前記振動体を挟んで前記第１側部の反対側に設けられた第２側部と、
前記振動体に対して前記屈曲方向および前記伸縮方向に直交する方向に設けられて、前記第１側部と前記第２側部とを連結する連結部と、
を有し、
前記第１側部または前記第２側部には貫通穴が設けられていることを特徴とする搬送装置として把握することもできる。
【００３７】
このような本発明によれば、小型で且つ駆動精度の高い圧電モーターを搭載しているので、小型で搬送精度の高い搬送装置を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本実施例の圧電モーターの大まかな構成を示した説明図である。
【図２】本実施例の本体部の構造を示す分解組立図である。
【図３】圧電モーターの動作原理を示す説明図である。
【図４】本実施例の振動体ケースの構造を示す説明図である。
【図５】本実施例の振動体ケースの剛性が高い理由を示す説明図である。
【図６】本実施例の圧電モーターの側方に電源ケーブルを引き出した様子を例示した説明図である。
【図７】本実施例の振動体ケースが剛性をほとんど損なうことなく圧電モーターの側方に電源ケーブルを引き出すことができる理由を示す説明図である。
【図８】第２側部が複数の部材を組み合わせて形成された変形例の振動体ケースを例示した説明図である。
【図９】連結部に配線凹部を設けた変形例の振動体ケースを示す説明図である。
【図１０】貫通穴が第２側部に対して傾けて形成された変形例の振動体ケースを例示した説明図である。
【図１１】貫通穴が開口する箇所の角の部分に面取部あるいは曲面部が設けられた変形例の貫通穴を例示した説明図である。
【図１２】本実施例あるいは変形例の圧電モーターを組み込んだロボットハンドを例示した説明図である。
【図１３】ロボットハンドを備えた単腕のロボットを例示した説明図である。
【図１４】ロボットハンドを備えた複腕のロボットを例示した説明図である。
【図１５】本実施例あるいは変形例の圧電モーターを組み込んで構成された電子部品検査装置を例示した斜視図である。
【図１６】把持装置に内蔵された微調整機構についての説明図である。
【図１７】本実施例あるいは変形例の圧電モーターを組み込んだ送液ポンプを例示した説明図である。
【図１８】本実施例あるいは変形例の圧電モーターを組み込んだ印刷装置を例示した斜視図である。
【図１９】本実施例あるいは変形例の圧電モーターを組み込んだ電子時計を例示した説明図である。
【図２０】本実施例あるいは変形例の圧電モーターを組み込んだ投影装置を例示した斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００３９】
Ａ．装置構成  ：
図１は、本実施例の圧電モーター１０の大まかな構成を示した説明図である。図１（ａ）には、本実施例の圧電モーター１０の全体図が示されており、図１（ｂ）には分解組立図が示されている。図１（ａ）に示されるように、本実施例の圧電モーター１０は、大まかには、本体部１００と外側ケース２００とから構成されている。本体部１００は外側ケース２００内に取り付けられており、その状態で一方向に移動可能となっている。尚、本明細書中では、本体部１００の移動方向をＸ方向と称する。また、図中に示すように、Ｘ方向と直交する方向を、それぞれＹ方向、Ｚ方向と称するものとする。
【００４０】
本体部１００および外側ケース２００は、それぞれ複数の部品が組み合わされて構成されている。たとえば外側ケース２００は、略矩形状をした基板２３０の上面の両側に、第１側壁ブロック２１０および第２側壁ブロック２２０が止めネジ２４０で締結されることによって構成されている（図１（ｂ）を参照のこと）。尚、第２側壁ブロック２２０の長手方向（Ｘ方向）のほぼ中央側面には貫通穴２２０ｈが設けられている。貫通穴２２０ｈの役割については後述する。圧電モーター１０を組み立てる際には、本体部１００の上方から、第１側壁ブロック２１０および第２側壁ブロック２２０を、止めネジ２４０を用いて基板２３０に取り付ける。
【００４１】
また、第１側壁ブロック２１０には、前方ハウジング２１２、中央ハウジング２１４、後方ハウジング２１６の３つの凹部が形成されている。そして、第１側壁ブロック２１０を基板２３０に取り付ける際には、前方ハウジング２１２に前方側圧バネ２１２ｓを収納し、後方ハウジング２１６に後方側圧バネ２１６ｓを収納した状態で取り付ける。その結果、本体部１００は、前方側圧バネ２１２ｓおよび後方側圧バネ２１６ｓによって第２側壁ブロック２２０に押しつけられた状態となる。また、本体部１００の側面の、第２側壁ブロック２２０に面する側には、前側コロ１０２ｒおよび後側コロ１０６ｒが取り付けられている。更に、本体部１００の側面には加圧バネ２２２ｓが設けられている。この加圧バネ２２２ｓは、前側コロ１０２ｒの後ろ側の箇所で本体部１００をＸ方向に押圧している。
【００４２】
また、前側コロ１０２ｒおよび後側コロ１０６ｒが設けられた側と反対側の本体部１００の側面には、Ｚ方向（図面上では上方）に向けて押さえコロ１０４ｒが設けられている。第１側壁ブロック２１０を取り付けた状態では、この押さえコロ１０４ｒは第１側壁ブロック２１０の中央ハウジング２１４に収納される。また、本体部１００の押さえコロ１０４ｒが設けられた部分の裏面側と、基板２３０との間には、押さえバネ２３２ｓが設けられている。このため、押さえコロ１０４ｒは中央ハウジング２１４の内面に対してＺ方向（図面上では上方）に押しつけられた状態となっている。
【００４３】
図２は、本実施例の本体部１００の構造を示す分解組立図である。本体部１００は、大まかには、振動体ケース１２０内に振動部１１０が収納された構造となっている。振動部１１０は、圧電材料によって直方体形状に形成された振動体１１２と、振動体１１２の長手方向（Ｘ方向）の端面に取り付けられたセラミック製の駆動凸部１１４と、振動体１１２の一方の側面を４分割して設けられた４枚の表電極１１６などから構成されている。尚、図２では示されていないが、４枚の表電極１１６が設けられた側と反対側の側面には、側面のほぼ全面を覆う裏電極が設けられており、この裏電極はグランドに接地されている。また、後述するように表電極１１６および裏電極からは図示しない電源ケーブルが引き出されており、振動体ケース１２０の側部には、電源ケーブルを通すための貫通穴１２０ｈが設けられている。そして貫通穴１２０ｈを通った電源ケーブルは第２側壁ブロック２２０の貫通穴２２０ｈ（図１参照）を通って圧電モーター１０の外部に引き出される。
【００４４】
振動部１１０は、表電極１１６および裏電極が設けられた両側面（図２では、Ｚ方向の両側面）から、動的粘弾性を有する材料（ポリイミド樹脂や、ゴム、エラストマーなど）で形成された緩衝部１３０で挟まれた状態で、振動体ケース１２０に収納される。更に、表電極１１６側の緩衝部１３０の上から、金属材料で形成された板状の押さえ板１４０、弾性部１４２、および押さえ蓋１４４が載せられて、押さえ蓋１４４が止めネジ１４６で振動体ケース１２０に締結される。このため振動部１１０は、弾性部１４２の弾性力によって押さえ付けられながらも、樹脂製の緩衝部１３０が剪断変形することによって振動体ケース１２０内で振動体１１２が振動し得る状態で収納される。尚、本実施例では、弾性部１４２として皿バネが用いられている。また、緩衝部１３０が振動体１１２を両側から挟持する方向（Ｚ方向）は、後述するように、振動体１１２が屈曲振動する方向（屈曲方向）と交差する方向となっている。
【００４５】
Ｂ．圧電モーターの動作原理  ：
図３は、圧電モーター１０の動作原理を示す説明図である。圧電モーター１０は、振動部１１０の表電極１１６に一定周期で電圧を印加したときに、振動部１１０の駆動凸部１１４が楕円運動することによって動作する。振動部１１０の駆動凸部１１４が楕円運動するのは次の理由による。
【００４６】
先ず、周知のように圧電材料は、正電圧を印加すると伸張する性質を有している。従って、図３（ａ）に示すように、４つの表電極１１６の全てに正電圧を印加した後、印加電圧を解除することを繰り返すと、圧電材料で形成された振動体１１２は長手方向（Ｘ方向）に伸縮する動作を繰り返す。このように、振動体１１２が長手方向（Ｘ方向）に伸縮を繰り返す動作を「伸縮振動」と呼ぶ。また、正電圧を印加する周波数を変化させていくと、ある特定の周波数となったときに伸縮量が急に大きくなって、一種の共振現象が発生する。伸縮振動で共振が発生する周波数（共振周波数）は、振動体１１２の物性と、振動体１１２の寸法（幅Ｗ、長さＬ、厚さＴ）とによって決定される。
【００４７】
また、図３（ｂ）あるいは図３（ｃ）に示すように、互いに対角線の位置にある２つの表電極１１６を組（表電極１１６ａおよび表電極１１６ｄの組、あるいは表電極１１６ｂおよび表電極１１６ｃの組）として、一定周期で正電圧を印加する。すると振動体１１２は、長手方向（Ｘ方向）の先端部（駆動凸部１１４が取り付けられた部分）が、図面上で右方向あるいは左方向に首を振るような動作を繰り返す。たとえば図３（ｂ）に示したように、表電極１１６ａおよび表電極１１６ｄの組に一定周期で正電圧を印加すると、振動体１１２は、先端部を図面上で右方向に振るような動作を繰り返す。また、図３（ｃ）に示したように、表電極１１６ｂおよび表電極１１６ｃの組に一定周期で正電圧を印加すると、先端部を図面上で左方向に振るような動作を繰り返す。このような振動体１１２の動作を「屈曲振動」と呼ぶ。このような屈曲振動についても、振動体１１２の物性と、振動体１１２の寸法（幅Ｗ、長さＬ、厚さＴ）とによって決まる共振周波数が存在する。従って、互いに対角線の位置にある２つの表電極１１６に対して、その共振周波数で正電圧を印加すると、振動体１１２は右方向あるいは左方向（Ｙ方向）に大きく首を振って振動する。尚、以下の説明では、伸縮振動する方向（Ｘ方向）を「伸縮方向」とよび、屈曲振動する方向（Ｙ方向）を「屈曲方向」と呼ぶことがある。また、伸縮方向および屈曲方向の両方向に直交する方向（Ｚ方向）を、振動体１１２の「厚さ方向」と呼ぶことがある。
【００４８】
ここで、図３（ａ）に示した伸縮振動の共振周波数も、図３（ｂ）あるいは図３（ｃ）に示した屈曲振動の共振周波数も、振動体１１２の物性や、振動体１１２の寸法（幅Ｗ、長さＬ、厚さＴ）によって決定される。従って、振動体１１２の寸法（幅Ｗ、長さＬ、厚さＴ）を適切に選んでやれば共振周波数を一致させることができる。そして、そのような振動体１１２に対して、図３（ｂ）あるいは図３（ｃ）に示すような屈曲振動の形態の電圧を共振周波数で印加すると、図３（ｂ）あるいは図３（ｃ）に示す屈曲振動が生じると同時に、共振によって図３（ａ）の伸縮振動も誘起される。その結果、図３（ｂ）に示す態様で電圧を印加した場合には、振動体１１２の先端部分（駆動凸部１１４が取り付けられた部分）が、図面上で時計回りに楕円運動を開始する。また、図３（ｃ）に示す態様で電圧を印加した場合には、振動体１１２の先端部分が図面上で反時計回りに楕円運動を開始する。
【００４９】
圧電モーター１０は、上述した楕円運動を利用して対象物を駆動する。すなわち、振動体１１２の駆動凸部１１４を対象物に押しつけた状態で楕円運動を発生させる。すると駆動凸部１１４は、振動体１１２が伸張する際には対象物に押しつけられた状態で左から右に向かって（あるいは右から左に向かって）移動した後、振動体１１２が収縮する際には対象物から離れた状態で元の位置まで復帰する動作を繰り返す。この結果、対象物は、駆動凸部１１４から受ける摩擦力によって一方向に駆動されることになる。また、対象物が受ける駆動力は、駆動凸部１１４との間で生じる摩擦力に等しいから、駆動力の大きさは、駆動凸部１１４と対象物との間の摩擦係数と、駆動凸部１１４が対象物に押しつけられる力とによって決定される。
【００５０】
以上に説明した圧電モーター１０の動作原理から明らかなように、圧電モーター１０は、駆動凸部１１４を対象物に押しつけた状態で、振動体１１２を伸縮方向（Ｘ方向）および屈曲方向（Ｙ方向）に振動させて使用する。このため振動体１１２は、伸縮方向および屈曲方向の振動を許容した状態で、振動体ケース１２０内に収納しておく必要がある。また、振動体１１２を振動させて対象物を移動させる際には、対象物からの反力が駆動凸部１１４にかかる。この反力によって振動体１１２が振動体ケース１２０内で動くと、対象物に対して十分な駆動力を伝達することができなくなり、駆動凸部１１４の移動量が減少するので対象物の駆動量も小さくなる。更に、本体部１００の逃げ量は常に安定しているとは限らないから、対象物の駆動量が不安定となってしまう。
【００５１】
また、上述したように振動体１１２を振動体ケース１２０に収容する構造では、対象物を駆動することによる反力は、駆動凸部１１４および振動体１１２を介して振動体ケース１２０に伝わる。そして振動体ケース１２０は、伸縮方向（Ｘ方向）に移動可能な態様で外側ケース２００に組み付けられているから、対象物からの反力で振動体ケース１２０が歪むと外側ケース２００内での伸縮方向の移動が妨げられ、その結果、振動体１１２の駆動凸部１１４を対象物に押し付けられなくなる。また、振動体ケース１２０が歪むと、外側ケース２００内での振動体ケース１２０の位置がずれるから、駆動凸部１１４の位置もずれることとなって対象物の駆動精度も低下させる。更に、振動体１１２は緩衝部１３０を介して振動体ケース１２０によって保持されているから、振動体１１２が屈曲振動（および伸縮振動）することによる反力も振動体ケース１２０を歪ませる方向に作用する。このことから、振動体ケース１２０は、少なくとも振動体１１２の屈曲方向については十分な剛性を有している必要がある。その一方で、単に振動体ケース１２０の剛性を高めたのでは振動体ケース１２０が大きくなり、その振動体ケース１２０を外側ケース２００に収容しなければならないので圧電モーターが大きくなってしまう。そこで、本実施の圧電モーター１０の振動体ケース１２０では、次のような構成が採用されている。
【００５２】
Ｃ．振動体ケースの構造  ：
図４は、振動体１１２の屈曲方向への剛性という観点から、振動体ケース１２０の構造について示した説明図である。屈曲方向への剛性という観点からすると、図４（ａ）に示すように本実施例の振動体ケース１２０は、振動体１１２（図２参照）に対して屈曲方向（Ｙ方向）に設けられた第１側部１２０ａと、振動体１１２を挟んで第１側部１２０ａの反対側に設けられた第２側部１２０ｂとを、振動体１１２に対してＺ方向に設けられた連結部１２０ｃによって結合した構造と考えることができる。
【００５３】
尚、第１側部１２０ａや、第２側部１２０ｂは、単純な平板形状ではなく、前側コロ１０２ｒや後側コロ１０６ｒ、あるいは押さえコロ１０４ｒ（図１参照）を取り付けるための構造などが設けられている（前側コロ１０２ｒ、後側コロ１０６ｒ、押さえコロ１０４ｒについては図１を参照のこと）。しかしこれらの構造は、屈曲方向への剛性という観点からすると、何ら剛性に寄与するものではない。従って、本実施例の振動体ケース１２０の構造は、図４（ｂ）に示すように単純化することができる。そして、図４（ｂ）に示した構造は、屈曲方向への剛性が高い構造となっている。
【００５４】
図５は、本実施例の振動体ケース１２０の剛性が高い理由を示す説明図である。たとえば図５（ａ）に示すように、２つの板状の部材Ａ，Ｂを平行に並べた構造を考える。この構造は、図中に白抜きの矢印で示した方向の荷重に対しては、それぞれの部材Ａ，Ｂが分担して荷重を受けるものの、個々の部材は簡単に曲がってしまうので、弱い（矢印方向への剛性が低い）構造ということができる。そこで今度は、個々の部材を、矢印方向の荷重に対して曲がり難い方向に向けて並べることを考える。
【００５５】
図５（ｂ）には、２つの板状の部材Ｃ，Ｄを、白抜きの矢印で示した荷重に対して曲がり難い方向に並べた構造が示されている。この構造は、個々の部材が曲がり難くなっているので、図５（ａ）の構造よりも矢印方向への剛性が高い構造ということができる。もっとも、材料力学の教えるところに依れば、図５（ｂ）の構造では、部材Ｃ，Ｄ中に剛性にほとんど寄与しない部分（図中に破線で囲った部分）が生じるので、無駄の多い構造と言うことができる。
【００５６】
これに対して、図５（ａ）に示した２つの板状の部材Ａ，Ｂを、別の板状の部材Ｅを介して結合した図５（ｃ）の構造を考える。この構造では、２つの部材Ａ，Ｂが結合されているので、個々の部材Ａ，Ｂが別個に曲がることはない。たとえば、図中に白抜きの矢印で示した荷重によって部材Ａが曲がろうとすると、部材Ｂには引っ張りあるいは圧縮の力が発生する。このため、よほど荷重が大きくならない限り、部材Ａが曲がることはない。部材Ｂについても同様に、部材Ｂが曲がろうとすると部材Ａには引っ張りあるいは圧縮の力が発生する。このため、よほど荷重が大きくならない限り、部材Ｂが曲がることはない。結局、図５（ｃ）に示した構造は、図中の矢印で示した荷重に対して曲がり難い（剛性が高い）構造ということができる。しかも、部材Ｅは、２つの部材Ａ，Ｂを結合するだけで、この部材が積極的に荷重を受けるわけではないので、部材Ｅの板厚は部材Ａ，Ｂに比べて薄くすることができる。従って、図５（ｂ）中に破線で囲った部分のように、剛性に寄与しない部分をほとんど発生させることなく、図５（ｂ）の構造よりも高い剛性を実現することができる。
【００５７】
そして、図５（ｃ）の構造は、図４（ｂ）を用いて前述した本実施例の振動体ケース１２０の構造と等価である。理解の便宜のため、図４（ｂ）を図５（ｄ）として再掲した。図５（ｃ）と図５（ｄ）とを比較すれば明らかなように、振動体ケース１２０の第１側部１２０ａは図５（ｃ）の部材Ａに対応し、振動体ケース１２０の第２側部１２０ｂは図５（ｃ）の部材Ｂに対応し、振動体ケース１２０の連結部１２０ｃは図５（ｃ）の部材Ｅに対応する。更に、図５（ｃ）中に矢印で示した荷重方向は、振動体ケース１２０のＹ方向（屈曲方向）に対応する。このため、図５（ｄ）に示した振動体ケース１２０は、Ｙ方向（屈曲方向）に対して高い剛性を有した構造ということができる。
【００５８】
しかも、図５（ｄ）の振動体ケース１２０は、図中のＹＺ平面で断面をとった時にほとんど全ての部分が剛性に寄与している。このため、同じ剛性を実現するのであれば、図５（ｄ）に示した構造は、振動体ケース１２０の大きさを小さくすることができる。しかも、振動体１１２は、第１側部１２０ａと、第２側部１２０ｂと、連結部１２０ｃとによって囲まれた部分に収容することができる。結局、本実施例の振動体ケース１２０の構造は、振動体１１２の屈曲方向への剛性が高く、しかも振動体ケース１２０を小型化することができる。
【００５９】
尚、上述したように本実施例の振動体ケース１２０は、屈曲方向の剛性を確保し且つ振動体ケース１２０を小型化する観点から、振動体１１２の屈曲方向の両側に第１側部１２０ａおよび第２側部１２０ｂを設け、更に、第１側部１２０ａおよび第２側部１２０ｂを連結部１２０ｃで結合した構造となっている。このため、従来の圧電モーターで採用されてきたように、振動体１１２を、樹脂製部材などで屈曲方向の両側から保持することは困難となる。そこで、図２に示したように本実施例の振動体ケース１２０では、振動体１１２の両側を、厚さ方向（Ｚ方向）から緩衝部１３０で挟んで保持するという斬新な方法が採用されている。換言すれば、本実施例の振動体ケース１２０の構造は、振動体１１２を厚さ方向（Ｚ方向）から挟んで保持するという斬新な方法の開発を必要とする点で、特異な構造であるということができる。
【００６０】
ここで圧電モーター１０は、振動体１１２が駆動電圧を印加されて変形することによって動作するから、振動体１１２に駆動電圧を印加するための電源ケーブルを配線する必要がある。そして、圧電モーター１０を各種機器に搭載する際のレイアウト上の制約で、圧電モーター１０の側方に電源ケーブルを引き出す必要が生じる場合もある。このような場合でも、振動体ケース１２０が高剛性であるという特徴を損なうことなく、圧電モーター１０の側方に電源ケーブルを引き出せるようにするため、本実施例では次のような方法が採用されている。
【００６１】
図６は、本実施例の圧電モーター１０の側方に電源ケーブルを引き出した様子を例示した説明図である。図示されるように、本実施例の圧電モーター１０では、振動体１１２の表電極１１６（図２参照）からは正電圧ケーブル１１８ａ、１１８ｂが引き出され、振動体１１２の裏電極（図示は省略）からは接地ケーブル１１８ｇが引き出されている。尚、これらの電源ケーブル（正電圧ケーブル１１８ａ、１１８ｂ、接地ケーブル１１８ｇ）は、振動体１１２の振動にできるだけ影響を与えないようにするために、振動の節が存在する振動体１１２の長手方向中央の位置から引き出されている。
【００６２】
そして、これらの電源ケーブル（正電圧ケーブル１１８ａ、１１８ｂ、接地ケーブル１１８ｇ）は、振動体ケース１２０の第２側部１２０ｂに形成された貫通穴１２０ｈ（図２参照）、および外側ケース２００の第２側壁ブロック２２０に形成された貫通穴２２０ｈ（図１参照）を通して、圧電モーター１０の側方から外部に引き出されている。尚、本実施例の説明では、第２側部１２０ｂに貫通穴１２０ｈを設けることとしているが、第１側部１２０ａに設けることとしてもよい。その場合、外側ケース２００の第１側壁ブロック２１０にも貫通穴２２０ｈを設けておく。このように、振動体ケース１２０の第２側部１２０ｂ（あるいは第１側部１２０ａ）に設けた貫通穴１２０ｈから電源ケーブルを引き出してやれば、以下の理由から、振動体ケース１２０の剛性をほとんど損なうことなく圧電モーター１０の側方に電源ケーブルを引き出すことができる。
【００６３】
仮に、振動体ケース１２０の第２側部１２０ｂに、振動体１１２からの電源ケーブルを通すための切り欠きを設けたとする。図７（ａ）には、電源ケーブルを通すための切欠１２０ｆが第２側部１２０ｂに設けられた振動体ケース１２０が例示されている。尚、理解の便宜から、図７（ａ）では、振動体ケース１２０以外の部品（たとえば振動体１１２や押さえ蓋１４４）の大まかな形状が細い破線で示されている。また、上述したように電源ケーブルは振動体１１２の長手方向のほぼ中央から引き出されているから、振動体ケース１２０の切欠１２０ｆも第２側部１２０ｂの長手方向のほぼ中央に設けられる。
【００６４】
図７（ａ）に示されるように、振動体ケース１２０の第２側部１２０ｂに切欠１２０ｆを設けると、第２側部１２０ｂは、ほぼ同じ大きさを有する前側部分（前側第２側部１２０ｄ）と後ろ側部分（後側第２側部１２０ｅ）とに分けられた状態となる。その結果、図７（ｂ）に示すように、前側第２側部１２０ｄと後側第２側部１２０ｅとが、切欠１２０ｆを挟んで互いに逆向きに変形するような振動モードが発生して、振動体ケース１２０の剛性を大幅に低下させる。
【００６５】
これに対して、本実施例のように振動体ケース１２０に貫通穴１２０ｈを設けた場合には、前側第２側部１２０ｄと後側第２側部１２０ｅとが互いに逆向きに変形するような振動モード（図７（ｂ）参照）が発生することは抑制される。このため、振動体ケース１２０の剛性の低下が抑制された状態で、圧電モーター１０の側方に電源ケーブルを引き出すことが可能となる。
【００６６】
尚、以上の説明では、貫通穴１２０ｈは、一体に形成された第２側部１２０ｂに形成されているものとして説明した。しかし第２側部１２０ｂは複数の部材が組み合わされていても良く、複数の部材が組み合わされて第２側部１２０ｂが形成されたことによって、結果として貫通穴１２０ｈが形成されるようにしても良い。
【００６７】
たとえば、図８（ａ）に示した例では、前側第２側部１２０ｄと後側第２側部１２０ｅとの間の切欠１２０ｆに、上方から結合部材１２０ｏが嵌め込まれており、結合部材１２０ｏは溶接、ロウ付け、あるいは接着などで前側第２側部１２０ｄおよび後側第２側部１２０ｅと結合されている。この結果、前側第２側部１２０ｄと後側第２側部１２０ｅと結合部材１２０ｏとによって第２側部１２０ｂが形成されている。そして、これら前側第２側部１２０ｄと後側第２側部１２０ｅと結合部材１２０ｏとによって囲まれた切欠１２０ｆの部分に貫通穴１２０ｈが形成される。このようにしても、前側第２側部１２０ｄと後側第２側部１２０ｅとは結合部材１２０ｏによって結合されているので、図７（ｂ）に示したように前側第２側部１２０ｄと後側第２側部１２０ｅとが互いに逆方向に変形するような振動モードが発生することを抑制できる。このため、振動体ケース１２０の剛性が低下することを抑制できる。
【００６８】
また、結合部材１２０ｏは、必ずしも前側第２側部１２０ｄと後側第２側部１２０ｅとの間に嵌め込む必要はなく、図８（ｂ）に例示するように、切欠１２０ｆを跨ぐようにして、前側第２側部１２０ｄおよび後側第２側部１２０ｅの上方に結合部材１２０ｏを設けても良い。この場合、結合部材１２０ｏは、前側第２側部１２０ｄおよび後側第２側部１２０ｅに対して溶接、ロウ付け、あるいは接着などによって結合させることもできるが、図８（ｃ）に例示したように、ネジ１２０ｓを用いてネジ止めしても良い。
【００６９】
また、振動体ケース１２０の連結部１２０ｃには、図９に示すように凹部（配線凹部１２０ｇ）を設けることとしても良い。このようにすることで、接地ケーブル１１８ｇの配線スペースが広がるため、接地ケーブル１１８ｇを容易に配線することができる。また、連結部１２０ｃに凹部を設ければ、配線スペースを確保するために振動体ケース１２０の連結部１２０ｃと振動体１１２との間隔を広げる必要がないので、振動体ケース１２０を厚くして大きくする必要もなく、圧電モーター１０が大型化することもない。尚、図５（ｃ）を用いて説明したように、振動体１１２の屈曲振動による反力が振動体ケース１２０に作用した際に、連結部１２０ｃは積極的に荷重を受けているわけではない。従って、配線凹部１２０ｇを設けることによって連結部１２０ｃの板厚が部分的に薄くなったとしても、振動体ケース１２０の剛性をほとんど低下させることはない。
【００７０】
また、第２側部１２０ｂの貫通穴１２０ｈは、第２側部１２０ｂの側面に対して必ずしも垂直に設ける必要はない。例えば、図１０に示した例では、第２側部１２０ｂの貫通穴１２０ｈが、図面上で左下方向に傾けて設けられている。尚、このように第２側部１２０ｂの貫通穴１２０ｈを傾けて設ける場合は、外側ケース２００の第２側壁ブロック２２０の貫通穴２２０ｈも、貫通穴１２０ｈと同様に傾けておいてもよい。
【００７１】
圧電モーター１０を搭載する際のレイアウト上の要請から電源ケーブル（正電圧ケーブル１１８ａ、１１８ｂ、接地ケーブル１１８ｇ）を斜めに引き出さなければならない場合もある。このような場合には、第２側部１２０ｂの貫通穴１２０ｈや、第２側壁ブロック２２０の貫通穴２２０ｈを、電源ケーブルの引き出したい方向に傾けておくことで、電源ケーブルを無理に曲げることなく引き出すことができる。また、電源ケーブルが貫通穴１２０ｈや貫通穴２２０ｈの角の部分に干渉して電源ケーブルを損傷させるおそれも抑制できるので、ケーブル保護用の緩衝部材を設けたり、モールド処理をしてケーブルを固定したりすることなく、ケーブルを保護することができる。
【００７２】
また、貫通穴１２０ｈが第２側部１２０ｂの側面に対して垂直に貫通するか、斜めに貫通するかに拘らず、第２側部１２０ｂの貫通穴１２０ｈが開口する箇所では、角の部分を面取りしたり、曲面で形成したりすることとしてもよい。図１１（ａ）には、第２側部１２０ｂの側面に対して垂直に設けられた貫通穴１２０ｈに、面取部１２０ｋを設けた場合が例示されている。また、図１１（ｂ）には、貫通穴１２０ｈに曲面部１２０ｒを設けた場合が例示されている。尚、外側ケース２００の第２側壁ブロック２２０においても、貫通穴２２０ｈが開口する箇所の角の部分を面取りしたり、曲面で形成したりすることとしてもよい。このようにすることで、電源ケーブル（正電圧ケーブル１１８ａ、１１８ｂ、接地ケーブル１１８ｇ）が振動して貫通穴１２０ｈの開口する箇所に擦れた場合や、電源ケーブルが張力によって貫通穴１２０ｈの開口する箇所に押しつけられた場合でも、電源ケーブルを損傷させたり、断線させたりするおそれを抑制することができる。
【００７３】
Ｄ．適用例  ：
上述した本実施例の圧電モーター１０は、以下のような装置に好適に組み込むことができる。
【００７４】
図１２は、本実施例の圧電モーター１０を組み込んだロボットハンド６００を例示した説明図である。図示したロボットハンド６００は、基台６０２から複数本の指部６０３が立設されており、手首６０４を介してアーム６１０に接続されている。ここで、指部６０３の根元の部分は基台６０２内で移動可能となっており、この指部６０３の根元の部分に駆動凸部１１４を押しつけた状態で圧電モーター１０が搭載されている。このため、圧電モーター１０を動作させることで、指部６０３を移動させて対象物を把持することができる。また、手首６０４の部分にも、手首６０４の端面に駆動凸部１１４を押しつけた状態で圧電モーター１０が搭載されている。このため、圧電モーター１０を動作させることで、基台６０２全体を回転させることが可能である。
【００７５】
図１３は、ロボットハンド６００（ハンド部）を備えた単腕のロボット６５０を例示した説明図である。図示されるようにロボット６５０は、複数本のリンク部６１２（リンク部材）と、それらリンク部６１２の間を屈曲可能な状態で接続する関節部６２０とを備えたアーム６１０（腕部）を有している。また、ロボットハンド６００はアーム６１０の先端に接続されている。そして、関節部６２０には圧電モーター１０が内蔵されている。このため、圧電モーター１０を動作させることにより、それぞれの関節部６２０を任意の角度だけ屈曲させることが可能である。
【００７６】
図１４は、ロボットハンド６００を備えた複腕のロボット６６０を例示した説明図である。図示されるようにロボット６５０は、複数本のリンク部６１２と、それらリンク部６１２の間を屈曲可能な状態で接続する関節部６２０とを備えたアーム６１０を複数本（図示した例では２本）有している。アーム６１０の先端には、ロボットハンド６００や、工具６０１（ハンド部）が接続されている。また、頭部６６２には複数台のカメラ６６３が搭載され、本体部６６４の内部には全体の動作を制御する制御部６６６が搭載されている。更に、本体部６６４の底面に設けられたキャスター６６８によって搬送可能である。このロボット６６０にも、関節部６２０に圧電モーター１０が内蔵されている。このため、圧電モーター１０を動作させることにより、それぞれの関節部６２０を任意の角度だけ屈曲させることが可能である。
【００７７】
図１５は、本実施例の圧電モーター１０を組み込んで構成された電子部品検査装置７００を例示した斜視図である。図示した電子部品検査装置７００は、大まかには基台７１０と、基台７１０の側面に立設された支持台７３０とを備えている。基台７１０の上面には、検査対象の電子部品１が載置されて搬送される上流側ステージ７１２ｕと、検査済みの電子部品１が載置されて搬送される下流側ステージ７１２ｄとが設けられている。また、上流側ステージ７１２ｕと下流側ステージ７１２ｄとの間には、電子部品１の姿勢を確認するための撮像装置７１４と、電気的な特性を検査するために電子部品１がセットされる検査台７１６（検査部）とが設けられている。尚、電子部品１の代表的なものとしては、「半導体」や、「半導体ウェハー」、「ＣＬＤやＯＬＥＤなどの表示デバイス」、「水晶デバイス」、「各種センサー」、「インクジェットヘッド」、「各種ＭＥＭＳデバイス」などが挙げられる。
【００７８】
また、支持台７３０には、基台７１０の上流側ステージ７１２ｕおよび下流側ステージ７１２ｄと平行な方向（Ｙ方向）に移動可能にＹステージ７３２が設けられており、Ｙステージ７３２からは、基台７１０に向かう方向（Ｘ方向）に腕部７３４が延設されている。また、腕部７３４の側面には、Ｘ方向に移動可能にＸステージ７３６が設けられている。そして、Ｘステージ７３６には、撮像カメラ７３８と、上下方向（Ｚ方向）に移動可能なＺステージを内蔵した把持装置７５０が設けられている。また、把持装置７５０の先端には、電子部品１を把持する把持部７５２が設けられている。更に、基台７１０の前面側には、電子部品検査装置７００の全体の動作を制御する制御装置７１８も設けられている。尚、本実施例では、支持台７３０に設けられたＹステージ７３２や、腕部７３４や、Ｘステージ７３６や、把持装置７５０が、本発明の「電子部品搬送装置」に対応する。
【００７９】
以上のような構成を有する電子部品検査装置７００は、次のようにして電子部品１の検査を行う。先ず、検査対象の電子部品１は、上流側ステージ７１２ｕに載せられて、検査台７１６の近くまで移動する。次に、Ｙステージ７３２およびＸステージ７３６を動かして、上流側ステージ７１２ｕに載置された電子部品１の真上の位置まで把持装置７５０を移動させる。このとき、撮像カメラ７３８を用いて電子部品１の位置を確認することができる。そして、把持装置７５０内に内蔵されたＺステージを用いて把持装置７５０を降下させて、把持部７５２で電子部品１を把持すると、そのまま把持装置７５０を撮像装置７１４の上に移動させて、撮像装置７１４を用いて電子部品１の姿勢を確認する。続いて、把持装置７５０に内蔵されている微調整機構を用いて電子部品１の姿勢を調整する。そして、把持装置７５０を検査台７１６の上まで移動させた後、把持装置７５０に内蔵されたＺステージを動かして電子部品１を検査台７１６の上にセットする。把持装置７５０内の微調整機構を用いて電子部品１の姿勢が調整されているので、検査台７１６の正しい位置に電子部品１をセットすることができる。そして、検査台７１６を用いて電子部品１の電気的な特性の検査が終了したら、再び、今度は検査台７１６から電子部品１を取り上げた後、Ｙステージ７３２およびＸステージ７３６を動かして、下流側ステージ７１２ｄの上まで把持装置７５０を移動させ、下流側ステージ７１２ｄに電子部品１を置く。その後、下流側ステージ７１２ｄを動かして、検査が終了した電子部品１を所定位置まで搬送する。
【００８０】
図１６は、把持装置７５０に内蔵された微調整機構についての説明図である。図示されるように把持装置７５０内には、把持部７５２に接続された回転軸７５４や、回転軸７５４が回転可能に取り付けられた微調整プレート７５６などが設けられている。また、微調整プレート７５６は、図示しないガイド機構によってガイドされながら、Ｘ方向およびＹ方向に移動可能である。
【００８１】
ここで、図１６に斜線を付して示されるように、回転軸７５４の端面に向けて回転方向用の圧電モーター１０θが搭載されており、圧電モーター１０θの駆動凸部（図示は省略）が回転軸７５４の端面に押しつけられている。このため、圧電モーター１０θを動作させることによって、回転軸７５４（および把持部７５２）をθ方向に任意の角度だけ精度良く回転させることが可能である。また、微調整プレート７５６に向けてＸ方向用の圧電モーター１０ｘと、Ｙ方向用の圧電モーター１０ｙとが設けられており、それぞれの駆動凸部（図示は省略）が微調整プレート７５６の表面に押しつけられている。このため、圧電モーター１０ｘを動作させることによって、微調整プレート７５６（および把持部７５２）をＸ方向に任意の距離だけ精度良く移動させることができ、同様に、圧電モーター１０ｙを動作させることによって、微調整プレート７５６（および把持部７５２）をＹ方向に任意の距離だけ精度良く移動させることが可能である。従って、図１５の電子部品検査装置７００は、圧電モーター１０θ、圧電モーター１０ｘ、圧電モーター１０ｙを動作させることにより、把持部７５２で把持した電子部品１の姿勢を微調整することが可能である。
【００８２】
図１７は、本実施例の圧電モーター１０を組み込んで構成された送液ポンプ８００を例示した説明図である。図１７（ａ）には送液ポンプ８００を上面視した平面図が示されており、図１７（ｂ）には送液ポンプ８００を側面視した断面図が示されている。図示されるように送液ポンプ８００は、矩形形状のケース８０２内に円板形状のローター８０４（移動部）が回転可能に設けられており、ケース８０２とローター８０４との間には、薬液などの液体が内部を流通するチューブ８０６（液体チューブ）が挟持されている。また、チューブ８０６の一部は、ローター８０４に設けられたボール８０８（閉塞部）によって押しつぶされて閉塞した状態となっている。このためローター８０４が回転すると、ボール８０８がチューブ８０６を押しつぶす位置が移動するので、チューブ８０６の液体が送液される。そして、本実施例の圧電モーター１０の駆動凸部１１４をローター８０４の側面に押し付けた状態で設ければ、ローター８０４を駆動することができる。こうすれば、極僅かな量を精度良く送液可能で、しかも小型な送液ポンプ８００を実現することができる。
【００８３】
図１８は、本実施例の圧電モーター１０を組み込んだ印刷装置８５０を例示した斜視図である。図示した印刷装置８５０は、印刷媒体２の表面にインクを噴射して画像を印刷するいわゆるインクジェットプリンターである。印刷装置８５０は、略箱形の外観形状をしており、前面のほぼ中央には排紙トレイ８５１や、排出口８５２や、複数の操作ボタン８５５が設けられている。また、背面側には、ロール状に巻いた印刷媒体２（ロール紙８５４）をセットする用紙ホルダー８５３が設けられている。用紙ホルダー８５３にロール紙８５４をセットして操作ボタン８５５を操作すると、用紙ホルダー８５３にセットされたロール紙８５４が吸い込まれて、印刷装置８５０の内部で印刷媒体２の表面に画像が印刷される。また、ロール紙８５４は、印刷装置８５０の内部に搭載された後述の切断機構８８０で切断された後、排出口８５２から排出される。
【００８４】
印刷装置８５０の内部には、印刷媒体２上で主走査方向に往復動する印刷ヘッド８７０と、印刷ヘッド８７０の主走査方向への動きをガイドするガイドレール８６０が設けられている。また、図示した印刷ヘッド８７０は、印刷媒体２上にインクを噴射する印字部８７２や、印刷ヘッド８７０を主走査方向に走査するための走査部８７４などから構成されている。印字部８７２の底面側（印刷媒体２に向いた側）には、複数の噴射ノズルが設けられており、噴射ノズルから印刷媒体２に向かってインクを噴射することができる。また、走査部８７４には、圧電モーター１０ｍ，１０ｓが搭載されている。圧電モーター１０ｍの凸部（図示は省略）はガイドレール８６０に押しつけられている。このため、圧電モーター１０ｍを動作させることで、印刷ヘッド８７０を主走査方向に移動させることができる。また、圧電モーター１０ｓの駆動凸部１１４は、印字部８７２に対して押しつけられている。このため、圧電モーター１０ｓを動作させることで、印字部８７２の底面側を印刷媒体２に近付けたり、印刷媒体２から遠ざけたりすることが可能である。また、印刷装置８５０には、ロール紙８５４を切断するための切断機構８８０も搭載されている。切断機構８８０は、用紙カッター８８６を先端に搭載したカッターホルダー８８４と、カッターホルダー８８４を貫通して主走査方向に延設されたガイド軸８８２とを備えている。カッターホルダー８８４内には圧電モーター１０ｃが搭載されており、圧電モーター１０ｃの図示しない凸部はガイド軸８８２に押し付けられている。このため、圧電モーター１０ｃを動作させるとカッターホルダー８８４がガイド軸８８２に沿って主走査方向に移動し、用紙カッター８８６がロール紙８５４を切断する。また、印刷媒体２を紙送りするために圧電モーター１０を用いることも可能である。
【００８５】
図１９は、本実施例の圧電モーター１０を組み込んだ電子時計９００の内部構造を例示した説明図である。図１９では、電子時計９００の時刻表示側とは反対側（裏蓋側）から見た平面図が示されている。図１９に例示した電子時計９００の内部には、円板形状の回転円板９０２と、回転円板９０２の回転を、時刻を表示する指針（図示省略）に伝達する歯車列９０４と、回転円板９０２を駆動するための圧電モーター１０と、電力供給部９０６と、水晶チップ９０８と、ＩＣ９１０とを備えている。また、電力供給部９０６や、水晶チップ９０８、ＩＣ９１０は、図示しない回路基板に搭載されている。歯車列９０４は、複数の歯車や図示しないラチェットを含んで構成されている。尚、図示が煩雑となることを避けるために、図１９では、歯車の歯先を結んだ線を細い一点鎖線で表し、歯車の歯元を結んだ線を太い実線で表している。従って、太い実線および細い一点鎖線による二重の円形は歯車を表していることになる。また、歯先を示す細い一点鎖線については全周を表示せず、他の歯車と噛み合う部分の周辺のみを表示している。
【００８６】
回転円板９０２には、同軸に小さな歯車９０２ｇが設けられており、この歯車９０２ｇが歯車列９０４と噛み合わされている。このため回転円板９０２の回転は、所定の比率で減速されながら歯車列９０４を伝わる。そして、この歯車の回転が時刻を表す指針に伝達されて時刻を表示する。そして、本実施例の圧電モーター１０の駆動凸部１１４を回転円板９０２の側面に押し付けた状態で設ければ、回転円板９０２を回転させることができる。
【００８７】
図２０は、本実施例の圧電モーター１０を組み込んだ投影装置９５０を例示した説明図である。図示されるように投影装置９５０は、光学レンズを含んだ投影部９５２を備えており、内蔵する光源（図示は省略）からの光を投影することによって画像を表示する。そして、投影部９５２に含まれる光学レンズの焦点を合わせるための調整機構９５４（調整部）を、本実施例の圧電モーター１０を用いて駆動するようにしても良い。圧電モーター１０は位置決めの分解能が高いので、微妙な焦点合わせを行うことができる。また、光源からの光を投影しない間は、レンズカバー９５６で投影部９５２の光学レンズを覆うことで、光学レンズに傷が付くことを防ぐことができる。このレンズカバー９５６を開閉するための避けるために、本実施例の圧電モーター１０を用いることもできる。
【００８８】
以上、本発明の圧電モーターや、圧電モーターを搭載した各種装置について説明したが、本発明は上記の実施例や、変形例、適用例に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の態様で実施することが可能である。
【符号の説明】
【００８９】
１…電子部品、    ２…印刷媒体、    １０…圧電モーター、    １００…本体部、
１０２ｒ…前側コロ、        １０４ｒ…押さえコロ、    １０６ｒ…後側コロ、
１１０…振動部、            １１２…振動体、          １１４…駆動凸部、
１１６…表電極、            １１６ａ…表電極、        １１６ｂ…表電極、
１１６ｃ…表電極、          １１６ｄ…表電極、
１１８ａ…正電圧ケーブル、  １１８ｇ…接地ケーブル、
１２０…振動体ケース、      １２０ａ…第１側部、      １２０ｂ…第２側部、
１２０ｃ…連結部、          １２０ｄ…前側第２側部、
１２０ｅ…後側第２側部、    １２０ｆ…切欠、          １２０ｇ…配線凹部、
１２０ｈ…貫通穴、          １２０ｋ…面取部、          １２０ｏ…結合部材、    １２０ｒ…曲面部、      １２０ｓ…ネジ、
１３０…緩衝部、            １４０…押さえ板、        １４２…弾性部、
１４４…押さえ蓋、          １４６…止めネジ、        ２００…外側ケース、
２１０…第１側壁ブロック、  ２１２…前方ハウジング、
２１２ｓ…前方側圧バネ、    ２１４…中央ハウジング、
２１６…後方ハウジング、    ２１６ｓ…後方側圧バネ、
２２０…第２側壁ブロック、  ２２０ｈ…貫通穴、        ２２２ｓ…加圧バネ、
２３０…基板、              ２３２ｓ…押さえバネ、    ２４０…止めネジ、
６００…ロボットハンド、    ６０１…工具、            ６０２…基台、
６０３…指部、              ６０４…手首、            ６１０…アーム、
６１２…リンク部、          ６２０…関節部、          ６５０…ロボット、
６６０…ロボット、          ６６２…頭部、            ６６３…カメラ、
６６４…本体部、            ６６６…制御部、          ６６８…キャスター、
７００…電子部品検査装置、  ７１０…基台、
７１２ｄ…下流側ステージ、  ７１２ｕ…上流側ステージ、
７１４…撮像装置、          ７１６…検査台、          ７１８…制御装置、
７３０…支持台、            ７３４…腕部、            ７３８…撮像カメラ、
７５０…把持装置、          ７５２…把持部、          ７５４…回転軸、
７５６…微調整プレート、    ８００…送液ポンプ、      ８０２…ケース、
８０４…ローター、          ８０６…チューブ、        ８０８…ボール、
８５０…印刷装置、          ８５１…排紙トレイ、      ８５２…排出口、
８５３…用紙ホルダー、      ８５４…ロール紙、        ８５５…操作ボタン、
８６０…ガイドレール、      ８７０…印刷ヘッド、      ８７２…印字部、
８７４…走査部、            ８８０…切断機構、        ８８２…ガイド軸、
８８４…カッターホルダー、  ８８６…用紙カッター、    ９００…電子時計、
９０２…回転円板、          ９０２ｇ…歯車、          ９０４…歯車列、
９０６…電力供給部、        ９０８…水晶チップ、      ９１０…ＩＣ、
９５０…投影装置、          ９５２…投影部、          ９５４…調整機構、
９５６…レンズカバー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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