(57)【要約】      （修正有）【課題】除振対象自体が動作した場合であっても除振対象の振動を抑制することができる技術の提供。【解決手段】撮影位置に検査対象を移動させる移動手段と、撮影位置において検査対象を撮影する撮影手段２０と、を備える検査部によって検査対象を検査するための画像を撮影する検査装置１であって、除振部によって検査部を支持し、移動手段によって検査対象を移動させる場合に検査部を検査装置１の設置位置に対して固定し、撮影手段２０によって検査対象を撮影する場合に検査部の設置位置に対する固定を解除する検査装置１を構成する。【選択図】図１
2014231992.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
撮影位置に検査対象を移動させる移動手段と、
前記撮影位置において前記検査対象を撮影する撮影手段と、を備える検査部によって前記検査対象を検査するための画像を撮影する検査装置であって、
除振部によって前記検査部を支持する除振支持手段と、
前記移動手段によって前記検査対象を移動させる場合に前記検査部を前記検査装置の設置位置に対して固定し、前記撮影手段によって前記検査対象を撮影する場合に前記検査部の前記設置位置に対する固定を解除する固定制御手段と、
を備える検査装置。
【請求項２】
前記除振支持手段は、
少なくとも複数の前記検査対象について、前記移動手段による移動および前記撮影手段による撮影が終了するまで前記除振部によって前記検査部を支持する、
請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
前記固定制御手段は、
前記検査部に一端が連結され、前記設置位置に他端が連結されるとともに、前記検査部から前記設置位置までの長さが可変の状態から長さが不変の状態に切り替えられることによって前記検査部の前記設置位置に対する固定が解除された状態から固定された状態に切り替えられる固定部を複数個備え、２個の前記固定部がトラス構造体の２辺を形成している、
請求項１または請求項２のいずれかに記載の検査装置。
【請求項４】
前記撮影手段は、
放射線を前記検査対象に対して出力する出力部と、
出力された前記放射線を検出する検出部と、を備え、
前記移動手段は、
前記検査対象を所定の平面に平行な方向に移動させるＸ−Ｙステージを備える、
請求項１〜請求項３のいずれかに記載の検査装置。
【請求項５】
前記移動手段は、
前記出力部と前記検査対象と前記検出部とを結ぶ方向を所定の回転軸に対して回転させる回転移動部と、を備える、
請求項１〜請求項４のいずれかに記載の検査装置。
【請求項６】
撮影位置に検査対象を移動させる移動手段と、
前記撮影位置において前記検査対象を撮影する撮影手段と、を備える検査部によって前記検査対象を検査するための画像を撮影する検査装置の支持方法であって、
除振部によって前記検査部を支持し、
前記移動手段によって前記検査対象を移動させる場合に前記検査部を前記検査装置の設置位置に対して固定し、前記撮影手段によって前記検査対象を撮影する場合に前記検査部の前記設置位置に対する固定を解除する、
検査装置の支持方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査装置および検査装置の支持方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
高い精度で検査対象の位置決めを行うことが必要な検査装置において、高い位置精度を確保するために、従来、空気バネ等の除振手段を用いる技術が知られている。例えば、特許文献１においては、空気バネによって顕微鏡を支持する検査装置が開示され、当該検査装置の横に、検査装置に対して検査対象である液晶板を搬送する基板搬送ロボットが設置されることが開示されている。当該検査装置では、液晶板をステージで移動させて顕微鏡による検査を行うことが可能である。また、特許文献１においては、液晶板を基板搬送ロボットの搬送ロボットアームによってステージに受け渡ししている時に、作業者が誤って顕微鏡を操作すると除振装置が上下動してステージと搬送ロボットアームが干渉することから、当該干渉を防止するため、液晶板を受け渡しする時には除振機能を停止させることが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】実用新案登録第２６０４０６９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述した従来技術にかかる検査装置では、除振対象である顕微鏡に対して外部から導入される振動（作業者による誤操作）によって除振装置が上下動しないように、外部から振動が付与される場合に除振機能を停止させている。すなわち、空気バネ等による除振装置は、除振対象の外部からの振動が除振対象に伝達されることを防止することができるが、除振中に除振対象が振動した場合にはその振動を外部に伝達することができないため、除振することが困難になる。従って、従来技術において、除振対象自体の動作が原因となって除振対象に振動が付与される場合には、その振動を抑制することができない。
【０００５】
本発明は、上記の問題を解決せんとするもので、除振対象の外部からの振動を遮断する装置によって検査部の除振を行いながら、除振対象自体が動作した場合であっても除振対象の振動を抑制することができる技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記の目的を達成するため、本発明においては、撮影位置に検査対象を移動させる移動手段と、当該撮影位置において当該検査対象を撮影する撮影手段と、を備える検査部によって検査対象を検査するための画像を撮影する検査装置であって、除振部によって検査部を支持する除振支持手段と、移動手段によって検査対象を移動させる場合に検査部を検査装置の設置位置に対して固定し、撮影手段によって検査対象を撮影する場合に検査部の設置位置に対する固定を解除する固定制御手段と、を備える検査装置を構成する。
【０００７】
すなわち、撮影手段によって検査対象を撮影する場合に除振部によって検査部を支持することにより、外部から検査部に振動が伝達されることを抑制し、撮影手段によって検査対象を撮影する場合における検査対象の位置精度を高めることが可能である。さらに、移動手段によって検査対象を移動させる場合には検査部が検査装置の設置位置に対して固定されるため、移動手段によって検査対象を移動させることに伴って検査部に振動が発生したとしても、当該振動は設置位置に対して伝達され、当該振動が除振部にいつまでも残存することはない。従って、除振対象の外部からの振動を遮断する装置によって検査部の除振を行いながら、除振対象自体が動作した場合であっても除振対象の振動を抑制することができる。
【０００８】
ここで、移動手段は、撮影位置に検査対象を移動させることができればよい。すなわち、検査対象を検査するための画像を撮影位置で撮影するために、検査対象を移動させて各撮影位置に検査対象を配置することができればよい。当該移動は、検査対象自体を移動させることによって行っても良いし、検査対象を撮影する撮影手段を移動させることによって行ってもよいし、検査対象と撮影手段との双方を移動させても良い。
【０００９】
撮影手段は、撮影位置において検査対象を撮影することにより、検査対象を検査するための画像を撮影することができればよい。撮影位置は、検査対象毎に決定しても良いし、複数の検査対象に共通の位置であっても良い。いずれにしても、検査対象を検査部にセットした後に、少なくとも１回以上移動手段によって検査対象が移動される場合には、検査部が除振部によって支持されていたとしても検査部に振動が発生し得る。そこで、固定制御手段によって固定と固定の解除を制御することにより、除振対象自体が動作した場合であっても除振対象の振動を抑制することができる。なお、撮影手段で撮影される画像は、検査対象を検査するための情報を解析するための画像であれば良く、放射線等の透過光を検査対象に透過させた透過像であってもよいし、可視光等の非透過光検査対象に照射した結果得られる画像であってもよい。
【００１０】
除振支持手段は、除振部によって検査部を支持することができればよい。すなわち、外部（検査装置の設置位置等）から検査部に対して伝達する振動を除去あるいは抑制した状態で検査部を支持することができればよい。このため、除振部としては、気体や液体によって振動の伝達を抑制する機構（空気バネ等）、弾性体によって振動の伝達を抑制する機構（防振ゴム、板バネやコイルバネ等による支持構造等）、検査部の振動を検出してアクチュエータによって振動を抑制する機構等を採用可能である。
【００１１】
固定制御手段は、移動手段によって検査対象を移動させる場合に検査部を検査装置の設置位置に対して固定し、撮影手段によって検査対象を撮影する場合に検査部の設置位置に対する固定を解除することができればよい。すなわち、移動手段によって検査対象を移動させることに起因して検査部自体が振動し得る場合に、検査部を検査装置の設置位置に対して固定することで、検査部自体の振動を設置位置の外部に伝達させ、検査部の振動を効果的に抑制することができればよい。また、撮影手段によって検査対象を撮影する場合には、検査部の設置位置に対する固定を解除することで除振支持手段での除振を機能させ、検査装置の外部の振動が設置位置を介して検査部に伝達することを防止することができればよい。
【００１２】
設置位置は、検査装置が設置される部位であり、コンクリート等によって形成された地面であってもよいし、地面や壁に設置されたアンカーボルトや支柱、地面に置かれた鉄板等であってもよい。検査部を検査装置の設置位置に対して固定するための構成としては、種々の構成を採用可能であり、例えば、検査部と設置位置とを、両者の距離が変化しないように連結することで固定し、両者の距離の変化を許容することで固定を解除する機構等を採用可能である。
【００１３】
なお、固定制御手段においては、撮影手段によって検査対象を撮影する場合に検査部の設置位置に対する固定を解除するが、固定を解除するのは、移動手段による検査対象の移動が終了し、検査部の振動の外部への伝達が終了した後であることが好ましい。また、撮影は、固定制御手段における固定の解除後、さらに、除振支持手段による除振が行われた後に実行されることが好ましい。
【００１４】
移動手段によって検査対象を移動させる場合には検査部が検査装置の設置位置に対して固定されていればよく、除振支持手段による除振が機能していても良いし、除振の機能が停止していても良い。前者の例としては、例えば、少なくとも、複数の検査対象について、移動手段による移動および撮影手段による撮影が開始され、終了するまで除振部によって検査部を支持する構成を採用可能である。
【００１５】
すなわち、１個の検査対象を１カ所の撮影位置に移動した後や、１個の検査対象の撮影が完了した後に、除振部による検査部の支持を終了するのではなく、少なくとも複数個の検査対象について、移動と撮影とが終了するまでは除振部による検査部の支持を継続させる。この構成によれば、１個の検査対象の移動や撮影の度に除振部の機能を停止させる必要がなく、複数の検査対象を連続して高速に検査することが可能である。特に、除振部が空気バネである場合、除振部の機能を停止させ、再開させるためには、圧縮空気を供給するための空間に対する空気の供給を一旦停止させ、また、当該空間から圧縮空気を排出させた後に、再度、空気を圧縮し、当該空間に圧縮空気を供給する必要があるなど、作業に時間がかかる。しかし、除振部の機能を停止させることなく継続して機能させている構成であれば、除振部の機能の停止や再開を待つことなく検査対象の移動や撮影を行うことが可能であり、複数の検査対象を連続して高速に検査することが可能である。
【００１６】
さらに、固定制御手段によって固定を行うための構成例として、固定制御手段が、検査部に一端が連結され、設置位置に他端が連結されるとともに検査部から前記設置位置までの長さが可変の状態から長さが不変の状態に切り替えられることによって検査部の設置位置に対する固定が解除された状態から固定された状態に切り替えられる固定部を複数個備え、２個の固定部がトラス構造体の２辺を形成している、構成としても良い。
【００１７】
すなわち、検査部に一端が連結され、設置位置に他端が連結されるとともに長さ可変の状態から長さ不変の状態に切り替えられる固定部を複数個形成し、各固定部の長さが不変の状態とすることで、検査部を設置位置に対して固定する構成とする。そして、当該固定部でトラス構造体の２辺を形成し、残りの１辺を検査部あるいは設置位置の面にて形成することにより、トラス構造体で検査部を支持した状態で検査部を設置位置に対して固定することが可能になる。従って、検査部が重い場合であっても固定部によって検査部を支持することが可能である。そして、振動の方向と固定部が延びる方向とが近くなるようにトラス形状を形成することにより、検査部の振動のエネルギーが大きい場合であっても効果的にその振動を設置位置に伝達し、検査部自体の振動を抑制することができる。
【００１８】
なお、固定部は、検査部から設置位置に向けて延びる部位であれば良く、当該固定部が複数の棒状の部位によって構成されていても良い。例えば、検査部から設置位置に向けて延びる第１棒状部と、設置位置から第１棒状部に向けて延びる第２棒状部と、第１棒状部と第２棒状部との一方に連結され、他方をクランプした状態とクランプしていない状態とを切り替え可能なクランプ部とによって固定部を構成しても良い。この構成によれば、クランプした状態において、検査部から設置位置の距離が不変な状態となるため、検査部は設置位置に対して固定される。また、クランプしていない状態において、検査部から設置位置の距離が可変な状態となるため、検査部が設置位置に対して固定された状態は解除される。
【００１９】
さらに、本発明にかかる検査装置によってＸ線検査装置を構成しても良い。例えば、撮影手段が、放射線を検査対象に対して出力する出力部と、出力された放射線を検出する検出部と、を備え、移動手段が、検査対象を所定の平面に平行な方向に移動させるＸ−Ｙステージを備える構成としても良い。すなわち、Ｘ線検査装置における出力部、検出部、Ｘ−Ｙステージはいずれも重い。従って、除振支持手段で検出部を支持している場合、Ｘ−Ｙステージの動作や出力部や検出部を移動させる場合における動作に起因して検査部自体が振動すると、当該振動の振幅が大きくエネルギーも大きいため振動が長期にわたって残存してしまう。そこで、本発明にかかる検査装置によってＸ線検査装置を構成すれば、検査部自体で振動が発生した場合であっても容易に当該振動を減衰させることが可能である。
【００２０】
さらに、検査装置の移動手段が、出力部と検査対象と検出部とを結ぶ方向を所定の回転軸に対して回転させる回転移動部と、を備える構成においては、特に検査部に作用する回転力に起因する振動の除去が困難であり、大きい振動を発生させやすい。そこで、本発明にかかる検査装置によって回転移動部を備える検査装置を構成すれば、検査部自体で振動が発生した場合であっても容易に当該振動を減衰させることが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】（１Ａ）（１Ｂ）は本実施形態にかかる検査装置の概略図である。
【図２】検査処理を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
ここでは、下記の順序に従って本発明の実施の形態について説明する。
（１）検査装置の構成：
（２）検査処理：
（３）他の実施形態：
【００２３】
（１）検査装置の構成：
図１Ａ、図１Ｂは、本実施形態にかかる検査装置の概略構成を示している。図１Ａは、検査装置１を設置位置Ｒ（例えば、コンクリートによって形成された地面等）に平行な方向から眺めた場合の主な構成を模式的に示している。図１Ｂは、検査装置１を設置位置Ｒに垂直な方向かつ上方から眺めた場合の構成を模式的に示しており、検査装置１の筐体の下部の構成を破線によって示している。
【００２４】
検査装置１は、筐体３０を備えており、筐体３０の内部には移動部１０と撮影部２０とフレーム３１が備えられている。移動部１０は、Ｘテーブル１１とＹテーブル１２と回転移動部１３とを備え、撮影部２０は、Ｘ線出力部２１とＸ線検出部２２とを備えている。フレーム３１は、筐体３０内に設置され、上段、中段、下段の３カ所に設置位置Ｒに対して平行な方向に延びる部材を備えている。そして、フレーム３１の上段にはＸ線出力部２１が取り付けられ、中段にはＸテーブル１１とＹテーブル１２とが取り付けられ、下段には回転移動部１３が取り付けられる。
【００２５】
Ｘテーブル１１は、図示しない制御部の制御により所定のＸ−Ｙ平面内に設定されたＸ方向に移動可能である。Ｙテーブル１２は、図示しない制御部の制御によりＸ−Ｙ平面内に設定されたＹ方向（Ｘ方向に垂直な方向）に移動可能である。従って、ＸテーブルとＹテーブルはＸテーブル１１上に配置された検査対象をＸ−Ｙ平面に沿って移動させるＸ−Ｙステージを構成している。回転移動部１３は、円筒状の部材の上部に円盤状の部材が取り付けられた構造であり、図示しない制御部の制御により回転軸Ａを中心に回転可能である。なお、図１Ｂにおいては、回転移動部１３の上部における円盤の周の回転方向を一点鎖線で示している。
【００２６】
Ｘ線検出部２２は、所定の検出面に２次元的に配置された複数のＸ線検出素子によって検出領域に照射されるＸ線の強度を検出するＸ線検出器であり、回転移動部１３の円盤状の部材の周に取り付けられている。また、Ｘ線検出部２２の検出面の法線は、Ｘ線出力部２１の方向に配向している。Ｘ線出力部２１は、図示しない制御部の制御によりＸテーブル１１の方向にＸ線を出力することが可能である。本実施形態において、Ｘ線出力部２１から出力されるＸ線の出力範囲は軸Ａを中心にして所定の範囲に広がっており、Ｘ線検出部２２の検出面はＸ線の出力範囲に含まれている。従って、Ｘ線検出部２２は、回転移動部１３によって回転移動された後の任意の位置にてＸ線出力部２１から出力されたＸ線を検出することができる。
【００２７】
本実施形態にかかる検査対象は基板上に部品を実装する際に端子に塗布される半田であり、通常、１個の基板上に複数の部品が複数の端子によって取り付けられるため、検査対象は複数個である。本実施形態において、検査対象を含む基板は搬送装置によって搬送され、Ｘテーブル１１に取り付けられる。従って、本実施形態において、検査対象は、Ｘテーブル１１およびＹテーブル１２が構成するＸ−ＹステージによってＸ線の照射範囲内でＸ−Ｙ平面に沿って平行移動可能である。さらに、回転移動部１３が軸Ａを中心に回転すると、Ｘ線検出部２２の検出面の法線がＸ線出力部２１の方向を向いたまま回転する。そして、本実施形態においては、Ｘ−Ｙステージによって検査対象を移動させることによって、Ｘ線出力部２１とＸ線検出部２２とを結ぶ方向に検査対象を配置することが可能である。すなわち、回転移動部１３においては、Ｘ線出力部２１と検査対象とＸ線検出部２２とを結ぶ方向を回転軸Ａに対して回転させることができる。この結果、回転移動部１３によって回転移動される任意の位置においてＸ線検出部２２の視野に検査対象を配置することができる。
【００２８】
以上のようにして検査対象をＸ線出力部２１から出力されるＸ線の出力範囲に配置してＸ線検出部２２によってＸ線を検出すると、検査対象を透過したＸ線を含む画像が撮影されることになる。本実施形態においては、当該画像に基づいて図示しない制御部が画像解析を行うことによって、検査対象の良否を検査する。検査は種々の手法によって行うことができ、本実施形態において制御部は、検査対象を複数の方向から撮影した画像に基づいて再構成演算を行って検査対象の３次元画像を生成し、３次元画像に基づいて検査を行うが、むろん、他の手法（例えば、２次元画像に基づく検査）で検査を行ってもよい。なお、本明細書においては、移動部１０と撮影部２０を検査部と呼ぶ。
【００２９】
本実施形態においては、検査部を除振支持部４０および固定部５０の２種類の手法で支持する。除振支持部４０は空気バネによる除振部を備えており、設置位置Ｒに設置されるとともに、除振部によって検査部を支持する。なお、本実施形態においては、４カ所（図１Ｂに示す検査装置１の四隅）に除振支持部４０が設置されており、各除振支持部４０の除振部でフレーム３１を支持している。
【００３０】
除振部の空気バネは、図示しない圧縮空気の流路に圧縮空気を供給し、フレーム３１の下段を介して検査部の重量が除振部に作用し、圧縮空気の反発力をフレーム３１の下段に作用させる機構によって構成されている。従って、除振支持部４０によって検査部が支持され、他の部材によって検査部が支持されていない状態においては、設置位置Ｒからの振動が検査部に伝達されることはなく、検査部が除振部上で安定化すると検査部が極めて安定した状態となる。このため、極めて高い位置精度が要求される検査（例えば、半導体部品をＢＧＡで実装する場合における半田を検査対象とする検査）であっても高い位置精度でＸ線の画像を撮影することができる。
【００３１】
さらに、固定部５０は、検査部に一端が連結され、設置位置Ｒに他端が連結されるとともに、検査部から設置位置Ｒまでの長さが可変の状態から長さが不変の状態に切り替えられることによって検査部の設置位置Ｒに対する固定が解除された状態から固定された状態に切り替えられる機構である。具体的には、固定部５０は、球面軸受５１ａ，５２ａ、棒状部５１ｂ，５２ｂ、クランプ部５３を備えている。球面軸受５１ａは検査部を構成するフレーム３１の下段の下面に取り付けられ、球面軸受５２ａは設置位置Ｒに取り付けられている。棒状部５１ｂ，５２ｂは、一端に球状の部位が形成された直線的な棒状部材であり、棒状部５１ｂの球状の部位は球面軸受５１ａに連結され、棒状部５２ｂの球状の部位は球面軸受５２ａに連結されている。
【００３２】
また、棒状部５１ｂの他端（球状の部位の反対側の端部）は、球面軸受５２ａの方向に延びるように配向され、棒状部５２ｂの他端（球状の部位の反対側の端部）は、球面軸受５１ａの方向に延びるように配向されている。そして、棒状部５１ｂ，５２ｂの他端側においては、一方の棒状部（例えば、棒状部５１ｂ）にクランプ部５３が固定されている。クランプ部５３は、他方の棒状部（例えば、棒状部５２ｂ）の外形よりわずかに大きい挿入穴を備えており、当該挿入穴に当該他方の棒状部を挿入することにより、図１Ａ、図１Ｂに示すように、棒状部５１ｂ，５２ｂがほぼ同じ方向を向くように構成されている。
【００３３】
クランプ部５３には図示しない圧縮空気の流路が取り付けられており、圧縮空気を供給しない状態と圧縮空気を供給する状態とを切り替えることにより、挿入穴に挿入された棒状部が自由にスライドする状態と当該棒状部がクランプされてクランプ部５３に対してスライドしない状態とを切り替えることが可能である。クランプ部５３によって棒状部がクランプされてクランプ部５３に対してスライドしない状態になると、棒状部５１ｂの球状の部位から棒状部５２ｂの球状の部位までの距離が不変の状態となるため、検査部から設置位置Ｒまでの長さが不変の状態となる。すなわち、検査部が設置位置Ｒに対して固定された状態となる。このように、本実施形態においては、圧縮空気の供給と非供給とを制御する装置と固定部５０が固定制御手段を構成する。
【００３４】
なお、本実施形態において固定部５０は、４カ所の除振支持部４０の外側（図１Ｂに示す検査装置１の四隅側）に各２個構成されており、計８個構成されている。さらに、各固定部５０の棒状部５１ｂ，５２ｂが延びる方向は、検査装置１の筐体３０の４辺（図１に示す最も大きな矩形の４辺）に対して平行な方向である。従って、図１Ｂに示すように検査装置１を上方から眺めた場合における四隅には、２個の固定部が２辺となるトラス構造体が形成されていることになる。
【００３５】
すなわち、本実施形態においては、検査部側の２個の球面軸受５１ａが三角形の１個の頂点、設置位置Ｒ側の球面軸受５２ａのそれぞれが三角形の別個の頂点となる三角形が形成され、四隅のそれぞれにおいてトラス構造で検査部を支持している状態となる。なお、図１Ｂにおいては、左下の隅に形成される三角形Ｔを二点鎖線によって模式的に示している。
【００３６】
（２）検査処理：
次に、検査装置１によって行われる検査処理を説明する。図２は、検査装置１によって行われる検査処理の例を示すフローチャートである。当該検査処理は、検査装置１が起動され、検査対象を含む基板が検査装置１内のＸテーブル１１の所定位置に取り付けられた後に実行される。なお、本実施形態においては、予め、除振支持部４０の除振台に圧縮空気が供給された状態とされ、空気バネによって検査部が支持された状態とされる。むろん、除振支持部４０の除振台に対する圧縮空気の供給は、検査のために稼働している間に継続して実施されれば良く、検査以外のため、例えば、メンテナンス等のために適宜停止されても良い。
【００３７】
検査処理においては、まず、検査部が設置位置Ｒに対して固定される（ステップＳ１００）。すなわち、図示しない圧縮空気の供給装置から８個のクランプ部５３に対して圧縮空気を供給し、クランプ部５３において棒状部５１ｂ，５２ｂが相対的にスライドしない状態とする。
【００３８】
次に、検査対象が撮影位置に移動される（ステップＳ１１０）。すなわち、基板上の検査対象の位置は予め決められており、各検査対象を検査するための画像を撮影するために、各検査対象を配置すべき位置およびＸ線検出部２２を配置すべき位置は予め決められている。そして、本実施形態においては、各位置における画像を撮影するためにステップＳ１００〜Ｓ１３５を繰り返して実施するように構成されている。そこで、ステップＳ１１０においては、未撮影の検査対象について未撮影の方向から画像を撮影するため、制御部が、Ｘテーブル１１およびＹテーブル１２を制御して検査対象を所定位置に移動させ、回転移動部１３を制御して検査対象の透過Ｘ線を撮影するための所定位置にＸ線検出部２２を移動させる。
【００３９】
次に、検査部の振動が設置位置Ｒを介して外部に伝達されるまで待機される（ステップＳ１１５）。すなわち、ステップＳ１１０において検査対象が平行移動され、また、Ｘ線検出部２２が回転移動されると（いずれか一方が行われた場合を含む）、その移動によって検査部に振動が発生する。そこで、本実施形態においては、当該振動が固定部５０を介して設置位置Ｒに伝達されるまでの期間として所定の期間が予め決められており、制御部はステップＳ１１０の移動後、当該所定の期間が経過するまで待機する。なお、所定の期間は、ステップＳ１１０の移動を行った後に振動が所定の基準以下に収束するまでの時間を事前に計測するなどして特定可能である。また、ステップＳ１１０における移動に際しては、移動終了前にＸ−Ｙステージや回転移動部１３に作用する力が徐々に小さくなるように制御することで、Ｘ−Ｙステージや回転移動部１３に起因する振動を小さくすることができ、この場合、所定の期間を短くすることができる。
【００４０】
上述のように、本例においては、検査対象を撮影位置に移動させる前に、検査部を設置位置Ｒに固定している。従って、重量のあるＸ線検出部２２やＸテーブル１１、Ｙテーブル１２を移動させたことに伴って、大きな振幅かつ大きなエネルギーの振動が検査部にて発生していたとしても、その振動は固定部５０を介して設置位置Ｒに伝達され、長期にわたって検査部に残存することはない。従って、早期に検査部を安定化させることができる。
【００４１】
また、回転移動部１３によって重量のあるＸ線検出部２２を回転させる場合、当該回転は、Ｘ−Ｙ平面に対して平行な面内で任意の方向に向けた振動を励起し得るため、複雑な振動が励起され、空気バネによる除振部のみによって検査部を安定化させることは極めて困難である。しかし、本実施形態における固定部５０は、図１Ｂに示すようにＸ−Ｙ平面に対して平行な方向で互いに直交するように配向されている。従って、回転移動によって励起された振動がどのような方向を向いていたとしても、その力の成分を固定部５０の配向方向に平行な成分に分けることができ、固定部５０は各成分の振動を効果的に抑制するように配向している。このため、本実施形態のような固定部５０によれば、単純な支柱（例えば、検査部から鉛直方向に延びる支柱）で検査部を支持する場合と比較して、効果的に振動を抑制することができる。
【００４２】
次に、検査部の設置位置Ｒに対する固定が解除される（ステップＳ１２０）。すなわち、図示しない圧縮空気の供給装置から８個のクランプ部５３に対して圧縮空気を供給しない状態（クランプ部５３に挿入された棒状部が自由にスライドする状態）とされ、クランプ部５３において棒状部５１ｂ，５２ｂが相対的に自由にスライドする状態とする。本例においては、上述のように、除振支持部４０によって検査部が支持された状態でステップＳ１００以降の検査処理が行われるため、ステップＳ１２０において検査部の設置位置Ｒに対する固定が解除されると、除振支持部４０の除振部による除振機能が有効に機能する状態となる。
【００４３】
次に、空気バネによる検査部の支持が安定化するまで待機される（ステップＳ１２５）。すなわち、ステップＳ１１０における検査対象やＸ線検出部２２の回転移動は既に終了しているため、検査部自体に振動を発生させる要因はない。従って、ステップＳ１２５において所定の待機期間だけ間待機することにより、空気バネが安定的に検査部を支持する状態を早期に実現することができる。なお、所定の待機期間は、空気バネによる検査部の支持が安定化するまでの期間として予め決められた期間であれば良く、ステップＳ１２０における固定の解除を行った後に振動が所定の基準以下に収束するまでの時間を事前に計測するなどして特定可能である。なお、ステップＳ１１０における移動に際して、移動終了前にＸ−Ｙステージや回転移動部１３に作用する力が徐々に小さくなるように制御されている場合、ステップＳ１２５における所定の待機期間も短くすることができる。
【００４４】
次に、検査対象が撮影される（ステップＳ１３０）。すなわち、ステップＳ１２５までの処理により、検査対象は撮影位置に正確に配置されていることになるため、制御部はＸ線検出部２２で検出したＸ線画像を取得し、図示しない記録媒体に記録する。次に、全ての検査対象について撮影が終了したか否か判定され（ステップＳ１３５）、全ての検査対象について撮影が終了したと判定されるまでステップＳ１００以降の処理が繰り返される。
【００４５】
ステップＳ１３５において、全ての検査対象について撮影が終了したと判定されると、基板を検査するための画像が全て撮影された状態となる。そこで、図示しない制御部は、取得した画像に基づいて画像解析を行い、基板上の各検査部の良否判定を行う。
【００４６】
（３）他の実施形態：
以上の実施形態は本発明を実施するための一例であり、検査対象の移動の際には検査部を設置位置に対して固定し、撮影の際には検査部を設置位置に対して固定せず除振部によって支持する限りにおいて、他にも種々の実施形態を採用可能である。例えば、移動手段および撮影手段の構成は上述の構成に限定されず、Ｘ線検出部２２を固定し、Ｘ線出力部２１を移動させる構成であっても良い。また、Ｘ線出力部２１およびＸ線検出部２２を固定し、Ｘ−Ｙテーブルを回転させる構成であっても良い。また、検査対象を撮影する角度が変えられるように構成されていても良いし、軸Ａ上にＸ線検出部２２が固定されても良い。むろん、検査は再構成演算後の画像に基づいて行われるのみならず、透過画像に基づいて行われてもよい。
【００４７】
さらに、ステップＳ１１５，Ｓ１２５においては、検査部が安定化するまで待機するための期間が予め決められていたが、検査部の振動を検出する構成とし、振動が所定の大きさ以下になるまで待機する構成であっても良い。
【００４８】
さらに、固定部５０の構成は上述の構成に限定されず、他にも種々の構成を採用可能である。例えば、棒状部５１ｂ，５２ｂを検査部、設置位置Ｒに固定するための構成は球面軸受５１ａ，５２ａに限定されず、検査部、設置位置Ｒに対して平行に支持された軸に対して回動可能に棒状部５１ｂ，５２ｂを連結する構成等を採用しても良い。また、クランプ部５３によるクランプ力を圧縮空気で発生させる構成の他、電磁力を利用して発生する構成等を採用しても良い。
【００４９】
さらに、棒状部５１ｂ，５２ｂも図１Ａ、図１Ｂに示す構成に限定されず、例えば、一方を円筒状、他方を円柱状の棒で構成し、後者が前者に挿入され、通常は自由にスライドし、固定する際に両者がスライドしないようにクランプする構成としても良い。
【００５０】
さらに、除振支持部４０において除振しながら検査部を支持する構成としてもよく、種々の構成を採用可能であり、空気以外の気体や液体によって振動の伝達を抑制する機構であってもよいし、弾性体によって振動の伝達を抑制する機構（防振ゴム、板バネやコイルバネ等による支持構造等）や、検査部の振動を検出してアクチュエータによって振動を抑制する機構等であってもよい。
【符号の説明】
【００５１】
１…検査装置、１０…移動部、１１…Ｘテーブル、１２…Ｙテーブル、１３…回転移動部、２０…撮影部、２１…Ｘ線出力部、２２…Ｘ線検出部、３０…筐体、３１…フレーム、４０…除振支持部、５０…固定部、５１ａ，５２ａ…球面軸受、５１ｂ，５２ｂ…棒状部、５３…クランプ部、Ｒ…設置位置
【図１】
2014231992.tif 000003
【図２】
2014231992.tif 000004