(57)【要約】【課題】移動体と振動部の摩擦による異物の発生を抑えることのできる慣性駆動アクチュエータを提供する。【解決手段】移動体（１２１）と、移動体に振動を伝達する振動部（１１１）と、振動部を振動させる変位発生手段（１０２）と、変位発生手段の一端が接続された固定部（１０１）と、変位発生手段を駆動する駆動回路（１０３）と、を有し、移動体の移動方向において、移動体と振動部との接触面の長さが、変位発生手段の変位量より大きく、移動体と振動部の間に介在する位置に、均一な表面形状を有するフィルム（１３１）を配置している。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
移動体と、
前記移動体に振動を伝達する振動部と、
前記振動部を振動させる変位発生手段と、
前記変位発生手段の一端が接続された固定部と、
前記変位発生手段を駆動する駆動回路と、
を有し、
前記移動体の移動方向において、前記移動体と前記振動部との接触面の長さが、前記変位発生手段の変位量より大きく、
前記移動体と前記振動部の間に介在する位置に、均一な表面形状を有するフィルムを配置していることを特徴とする慣性駆動アクチュエータ。
【請求項２】
前記フィルムは、前記移動体及び前記振動部の少なくとも一方に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の慣性駆動アクチュエータ。
【請求項３】
前記移動体と前記振動部の間の摩擦係数は、前記フィルムが介在する場合と前記フィルムが介在しない場合とで異なることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の慣性駆動アクチュエータ。
【請求項４】
前記移動体と前記振動部の間の摩擦係数は、前記フィルムが介在する場合の方が前記フィルムが介在しない場合よりも小さいことを特徴とする請求項３に記載の慣性駆動アクチュエータ。
【請求項５】
前記フィルムに切り欠き部が設けられていること特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の慣性駆動アクチュエータ。
【請求項６】
前記フィルムは、前記移動体と前記振動部の間に介在する位置に複数枚配置されていることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の慣性駆動アクチュエータ。
【請求項７】
前記移動体及び前記振動部はそれぞれ磁性材料を有することを特徴とする請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の慣性駆動アクチュエータ。
【請求項８】
前記振動部に関して前記移動体とは反対の位置に永久磁石が配置されたことを特徴とする請求項７に記載の慣性駆動アクチュエータ。
【請求項９】
前記移動体は磁性材料から成り、前記振動部はコイルを有することを特徴とする請求項１から請求項８のいずれか１項に記載の慣性駆動アクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、慣性駆動アクチュエータに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
駆動軸に結合された電気機械変換素子に鋸歯状波駆動パルスを供給して駆動軸を軸方向に変位させ、これによって駆動軸に摩擦結合させた移動部材を軸方向に移動させるアクチュエータが知られている。このような駆動アクチュエータとして、特許文献１に記載された駆動装置が開示されている。この駆動装置は、板ばねによる移動体と駆動軸（振動部）との摩擦結合と慣性を利用したアクチュエータであって、鋸歯状の駆動波形を用いることで、移動体を移動させることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第２６３３０６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載の駆動装置においては、移動体と駆動軸の摩擦を繰り返すことにより異物が発生しやすいため、初期の摩擦状態を保つことが難しいという問題がある。
【０００５】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、移動体と振動部の摩擦による異物の発生を抑えることのできる慣性駆動アクチュエータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係る慣性駆動アクチュエータは、移動体と、移動体に振動を伝達する振動部と、振動部を振動させる変位発生手段と、変位発生手段の一端が接続された固定部と、変位発生手段を駆動する駆動回路と、を有し、移動体の移動方向において、移動体と振動部との接触面の長さが、変位発生手段の変位量より大きく、移動体と振動部の間に介在する位置に、均一な表面形状を有するフィルムを配置していることを特徴としている。
【０００７】
本発明に係る慣性駆動アクチュエータにおいて、フィルムは、移動体及び振動部の少なくとも一方に配置されていることが好ましい。
【０００８】
本発明に係る慣性駆動アクチュエータにおいて、移動体と振動部の間の摩擦係数は、フィルムが介在する場合とフィルムが介在しない場合とで異なることが好ましい。
【０００９】
本発明に係る慣性駆動アクチュエータにおいて、移動体と振動部の間の摩擦係数は、フィルムが介在する場合の方がフィルムが介在しない場合よりも小さいことが好ましい。
【００１０】
本発明に係る慣性駆動アクチュエータにおいて、フィルムに切り欠き部が設けられていることが好ましい。
【００１１】
本発明に係る慣性駆動アクチュエータにおいて、フィルムは、移動体と振動部の間に介在する位置に複数枚配置されていることが好ましい。
【００１２】
本発明に係る慣性駆動アクチュエータにおいて、移動体及び振動部はそれぞれ磁性材料を有することが好ましい。
【００１３】
本発明に係る慣性駆動アクチュエータにおいて、振動部に関して移動体とは反対の位置に永久磁石が配置されたことが好ましい。
【００１４】
本発明に係る慣性駆動アクチュエータにおいて、移動体は磁性材料から成り、振動部はコイルを有することが好ましい。
【発明の効果】
【００１５】
本発明に係る慣性駆動アクチュエータは、移動体と振動部の摩擦による異物の発生を抑えることができる、という効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】慣性駆動アクチュエータの動作原理を説明する側面図である。
【図２】本発明の第１実施形態に係る慣性駆動アクチュエータの構成を示す側面図である。
【図３】本発明の第２実施形態に係る慣性駆動アクチュエータの構成を示す側面図である。
【図４】本発明の第３実施形態に係る慣性駆動アクチュエータの構成を示す側面図である。
【図５】本発明の第４実施形態に係る慣性駆動アクチュエータの構成を示す側面図である。
【図６】本発明の第５実施形態に係る慣性駆動アクチュエータの構成を示す側面図である。
【図７】本発明の第６実施形態に係る慣性駆動アクチュエータの構成を示す側面図である。
【図８】本発明の第７実施形態におけるフィルムの構成を示す図であって、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＳ１方向から見た側面図である。
【図９】本発明の第８実施形態におけるフィルムの構成を示す図であって、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＳ２方向から見た側面図である。
【図１０】本発明の第９実施形態に係る慣性駆動アクチュエータの構成を示す側面図である。
【図１１】本発明の第１０実施形態に係る慣性駆動アクチュエータの構成を示す側面図である。
【図１２】本発明の第１１実施形態に係る慣性駆動アクチュエータの構成を示す側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下に、本発明に係る慣性駆動アクチュエータの実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下の実施形態によりこの発明が限定されるものではない。
実施形態の説明に先立って、図１を参照しつつ、慣性駆動アクチュエータの動作原理について説明する。図１は、慣性駆動アクチュエータの動作原理を説明する側面図であって、（ａ）は変位発生手段１０２を駆動する前の状態を示し、（ｂ）は変位発生手段１０２を駆動して伸張させた状態を示す。
【００１８】
図１に示す慣性駆動アクチュエータにおいては、変位発生手段１０２の一端が固定部１０１に固定され、他端は振動部１１１の一端に固定されている。変位発生手段１０２は、例えば圧電素子であって、駆動回路１０３によって駆動され、駆動回路１０３からの電圧の印加によって変位発生方向Ｄ１に伸縮する。変位発生手段１０２は、繰り返し伸縮することにより、振動部１１１を振動させる。
【００１９】
振動部１１１上には、変位発生手段１０２の変位発生方向Ｄ１に沿って移動可能となるように移動体１２１が配置されている。すなわち、移動体１２１の移動方向は変位発生手段１０２の変位発生方向Ｄ１に沿った方向である。振動部１１１は、変位発生手段１０２の伸縮による振動を移動体１２１に伝達する。
【００２０】
振動部１１１の上面１１１ｔと移動体１２１の下面１２１ｕは互いに接触しており、所定の摩擦係数を有している。変位発生手段１０２と移動体１２１は、移動体１２１の移動方向において、移動体１２１と振動部１１１との接触面の長さａが、変位発生手段１０２の変位量ｂより大きくなるように構成されている。ここで、接触面の長さａは、移動体１２１の移動方向における移動体１２１の長さに等しい。
【００２１】
変位発生手段１０２に対して駆動回路１０３から鋸歯状の駆動パルスを印加すると、例えば、駆動波形が急峻に変化する場合は移動体１２１の慣性が振動部１１１との摩擦結合力より優るために移動体１２１はその位置に留まる。これに対して、駆動波形が緩やかに変化する場合は、移動体１２１の慣性よりも振動部１１１との摩擦結合力の方が優るため移動体１２１は振動部１１１とともに移動する。図１に示す例では、（ａ）の状態に対して、駆動波形を緩やかに立ち上げて変位発生手段１０２を変位発生方向Ｄ１に伸張させると、（ｂ）に示すように、移動体１２１は振動部１１１との摩擦結合力によって振動部１１１とともに変位発生方向Ｄ１に沿って左へ移動する。
【００２２】
（第１実施形態）
図２は、本発明の第１実施形態に係る慣性駆動アクチュエータの構成を示す側面図である。
第１実施形態に係る慣性駆動アクチュエータは、図１に示す慣性駆動アクチュエータに対して、振動部１１１と移動体１２１の間にフィルム１３１を配置した構成を備える。フィルム１３１は、移動体１２１の下面１２１ｕの略全面に接着固定されている。フィルム１３１を配置することにより、移動体１２１と振動部１１１の間の摩擦係数は、フィルム１３１が介在する場合の方がフィルム１３１が介在しない場合よりも小さな所定の値となる。
【００２３】
ここで、フィルム１３１は、薄膜状又は薄板状を成しており、振動部１１１と移動体１２１との間に配置したときにこれらの間の摩擦係数が上記所定の値となるような、均一な表面形状を有する。別言すると、このフィルム１３１において、少なくとも振動部１１１の上面１１１ｔに対向する面は、摩擦係数が上記所定の値となるような範囲の平滑度を有している。このフィルムは、例えば、合成樹脂の高分子成分を２００ｕｍ以下に成型し、成型後に単体で薄膜状の構造を成り立たせた、均一な面を有するフィルムである。
なお、図２〜図１２において、構造を明確に示すために、フィルムを厚く示している場合がある。
【００２４】
変位発生手段１０２と移動体１２１は、図１に示す慣性駆動アクチュエータと同様に、移動体１２１の移動方向において、移動体１２１と振動部１１１との接触面の長さａが、変位発生手段１０２の変位量ｂより大きくなるように構成されている。
【００２５】
振動部１１１と移動体１２１の接触面の長さａが変位発生手段１０２の変位量ｂより大きい慣性駆動アクチュエータにおいて、フィルム１３１を用いない従来の構成では、移動体１２１と振動部１１１の間に移動体１２１又は振動部１１１から剥がれた異物が発生した場合、移動体１２１と振動部１１１の間から異物を取り除くには、移動体１２１の変位を繰り返さなければならない。しかし、移動体１２１の変位を繰り返す間に、異物が移動体１２１又は振動部１１１を傷つけて、更に異物を発生させてしまうおそれがあり、移動体１２１と振動部１１１の接触状態や摩擦結合力をさらに変化させてしまう要因となる。
【００２６】
このような従来の慣性駆動アクチュエータに対して、第１実施形態に係る慣性駆動アクチュエータにおいては、振動部１１１と移動体１２１との間に均一な表面形状を備えたフィルム１３１を介在させることにより、振動部１１１と移動体１２１との間の摩擦係数を低下させることができ、これによって異物の発生を抑えることが可能となる。したがって、異物による影響を低減できることから、振動部１１１と移動体１２１との接触状態や摩擦結合力を安定させることができる。
【００２７】
第１実施形態においては、フィルム１３１を移動体１２１に接着していたが、移動体１２１への薄膜形成としてはフィルム接着のほかにコーティングが考えられる。
しかしながら、コーティングは、被コーティング材としての移動体の材質・形状等の選択肢を減らしてしまうおそれがある。また、慣性駆動アクチュエータを小型に形成する場合、コーティングのためのマスキング作業が煩雑になって工数が多くなってしまう。さらにまた、コーティングは、小さな粒子を吹き付けや浸漬によって定着させるため、コーティング部分がほかの部材等に擦れると剥がれやすい。これに対して、コーティング部分を剥がれにくくするためにはコーティング厚を増やさざるを得ないため、小型化の観点からは好ましくない。また、コーティングの後処理として、乾燥や加熱が必要な場合があり、このような工程により応力が発生し被コーティング材が反ってしまうことがある。以上の観点より、コーティングではなく、第１実施形態及び以下の実施形態のようにフィルムを接着する構成が好ましい。
【００２８】
（第２実施形態）
図３は、本発明の第２実施形態に係る慣性駆動アクチュエータの構成を示す側面図である。
第２実施形態に係る慣性駆動アクチュエータは、図１に示す慣性駆動アクチュエータに対して、振動部１１１と移動体１２１の間にフィルム１３２を配置した構成を備える。フィルム１３２は、振動部１１１の上面１１１ｔの略全面に接着固定されている。フィルム１３２を配置することにより、移動体１２１と振動部１１１の間の摩擦係数は、フィルム１３２が介在する場合の方がフィルム１３２が介在しない場合よりも小さな所定の値となる。
【００２９】
ここで、フィルム１３２は、第１実施形態のフィルム１３１と同様に形成されたフィルムであって、薄膜状又は薄板状を成しており、振動部１１１と移動体１２１との間に配置したときにこれらの間の摩擦係数が上記所定の値となるような、均一な表面形状を有する。すなわち、このフィルム１３２において、少なくとも移動体１２１の下面１２１ｕに対向する面は、摩擦係数が上記所定の値となるような範囲の平滑度を有している。
【００３０】
変位発生手段１０２の変位量と、移動体１２１と振動部１１１の接触面の長さと、の関係は、第１実施形態と同様であるため、その説明は省略する。
なお、その他の構成、作用、効果については、第１実施形態と同様である。
【００３１】
（第３実施形態）
図４は、本発明の第３実施形態に係る慣性駆動アクチュエータの構成を示す側面図である。
第３実施形態に係る慣性駆動アクチュエータは、図１に示す慣性駆動アクチュエータに対して、振動部１１１と移動体１２１の間に２枚のフィルム１３３、１３４を配置した構成を備える。フィルム１３３は、移動体１２１の下面１２１ｕの略全面に接着固定され、フィルム１３４は、振動部１１１の上面１１１ｔの略全面に接着固定されている。このように２枚のフィルム１３３、１３４を配置することにより、移動体１２１と振動部１１１の間の摩擦係数は、フィルム１３３、１３４が介在する場合の方が介在しない場合よりも小さな所定の値となる。
【００３２】
ここで、フィルム１３３、１３４は、第１実施形態のフィルム１３１と同様に形成されたフィルムであって、薄膜状又は薄板状を成しており、振動部１１１と移動体１２１との間に配置したときにこれらの間の摩擦係数が上記所定の値となるような、均一な表面形状を有する。すなわち、フィルム１３３では少なくともフィルム１３４に対向する面が、フィルム１３４では少なくともフィルム１３３に対向する面が、それぞれ摩擦係数が上記所定の値となるような範囲の平滑度を有している。
なお、フィルム１３３とフィルム１３４は、互いに同一の物質で同一の厚さとすることが好ましいが、上述した均一な表面形状及び平滑度を有していれば、別の物質や異なる厚さであってもよい。
【００３３】
変位発生手段１０２の変位量と、移動体１２１と振動部１１１の接触面の長さと、の関係は、第１実施形態と同様であるため、その説明は省略する。
なお、その他の構成、作用、効果については、第１実施形態と同様である。
【００３４】
第１〜第３実施形態では、フィルムを、移動体、振動部、又は、その両方に接着して固定しているが、駆動に伴って移動体と振動部のどちらかが発熱する場合は、発熱しない側にフィルムを接着固定する形態を選択することが望ましい。
【００３５】
（第４実施形態）
図５は、本発明の第４実施形態に係る慣性駆動アクチュエータの構成を示す側面図である。
第４実施形態に係る慣性駆動アクチュエータは、移動体１２２及び振動部１１２がそれぞれ磁性材料からなり、振動部１１２に関して移動体１２２とは反対の位置に永久磁石１４１が配置されている。永久磁石１４１は振動部１１２の下面に接着固定されており、その磁力によって、アクチュエータの向きに関わらず移動体１２２を保持することができる。また、振動部１１２に関して移動体１２２とは反対の位置に永久磁石１４１を配置しているため、移動体１２２と永久磁石１４１を一定距離だけ離すことができ、これにより移動体１２２を吸着する力を適切な範囲に設定できる。
【００３６】
また、振動部１１２と移動体１２２の間にフィルム１３５が配置されている。フィルム１３５は、振動部１１２の上面１１２ｔの略全面に接着固定されている。フィルム１３５を配置することにより、移動体１２２と振動部１１２の間の摩擦係数は、フィルム１３５が介在する場合の方がフィルム１３５が介在しない場合よりも小さな所定の値となる。
【００３７】
ここで、フィルム１３５は、第１実施形態のフィルム１３１と同様に形成されたフィルムであって、薄膜状又は薄板状を成しており、振動部１１２と移動体１２２との間に配置したときにこれらの間の摩擦係数が上記所定の値となるような、均一な表面形状を有する。すなわち、このフィルム１３５において、少なくとも移動体１２２の下面１２２ｕに対向する面が、摩擦係数が上記所定の値となるような範囲の平滑度を有している。
【００３８】
変位発生手段１０２の変位量と、移動体１２２と振動部１１２の接触面の長さと、の関係は、第１実施形態と同様であるため、その説明は省略する。
なお、振動部１１２及び移動体１２２は、磁性を有していれば、磁性材料のみで構成してもよいし、磁性材料以外の材料を含んでもよい。
また、その他の構成、作用、効果については、第１実施形態と同様である。
【００３９】
（第５実施形態）
図６は、本発明の第５実施形態に係る慣性駆動アクチュエータの構成を示す側面図である。
第５実施形態に係る慣性駆動アクチュエータは、変位発生手段１０２の一端が固定部１０１に固定され、他端は振動部としてのコイル１１３に固定されている。コイル１１３上には、変位発生手段１０２の変位発生方向Ｄ１に沿って移動可能となるように移動体１２３が配置されている。
【００４０】
コイル１１３と移動体１２３の間にはフィルム１３６が配置され、このフィルム１３６はコイル１１３の上部１１３ｔに接着固定されている。フィルム１３６を配置することにより、移動体１２３とコイル１１３の間の摩擦係数は、フィルム１３６が介在する場合の方がフィルム１３６が介在しない場合よりも小さな所定の値となる。
【００４１】
フィルム１３６は、第１実施形態のフィルム１３１と同様に形成されたフィルムであって、薄膜状又は薄板状を成しており、コイル１１３と移動体１２３との間に配置したときにこれらの間の摩擦係数が上記所定の値となるような、均一な表面形状を有する。すなわち、このフィルムは、少なくとも移動体１２３の下面１２３ｕに対向する面が、摩擦係数が上記所定の値となるような範囲の平滑度を有している。
【００４２】
変位発生手段１０２と移動体１２３は、第１実施形態と同様に、移動体１２３の移動方向（図６の左右方向）において、移動体１２３とコイル１１３との接触面の長さａが、変位発生手段１０２の変位量ｂより大きくなるように構成されている。
【００４３】
コイルの磁束発生方向は、図６の上下方向に沿っており、変位発生方向Ｄ１に直交する方向である。コイル１１３へ通電することによって、電磁石の作用により移動体１２３をフィルム１３６側へ吸着させる。これにより、移動体１２３と振動部としてのコイル１１３との間の摩擦状態を変化させることができる。ここで、コイル１１３の駆動は駆動回路１０３が行う。
【００４４】
（第６実施形態）
図７は、本発明の第６実施形態に係る慣性駆動アクチュエータの構成を示す側面図である。
第６実施形態に係る慣性駆動アクチュエータは、第５実施形態に係る慣性駆動アクチュエータに加えて、コイル１１３の磁束発生方向に沿うようにコイル１１３内に挿通させた振動部としてのコア材１１４と、コイル１１３に関して移動体１２３と反対側に配置した永久磁石１４２と、を配置している。
【００４５】
コア材１１４は、その下面が永久磁石１４２に接着固定されており、上面はフィルム１３６の下面に接着固定されている。
この構成により、コイル１１３に流す電流の向きによって移動体１２３の吸着と反発を制御できるようになり、移動体１２３をより効率的にフィルム１３６に吸着・反発させることができる。
変位発生手段１０２の変位量と、移動体１２３と振動部としてのコイル１１３との接触面の長さと、の関係は、第５実施形態と同様であるため、その説明は省略する。
なお、その他の構成、作用、効果については、第５実施形態と同様である。
【００４６】
第４〜第６実施形態では、振動部の上面にフィルムを接着固定していたが、これに代えて、又はこれに加えて、移動体の下面の略全面にフィルムを接着固定しても良い。
【００４７】
（第７実施形態）
図８は、本発明の第７実施形態におけるフィルム２３１の構成を示す図であって、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＳ１方向から見た側面図である。
フィルム２３１は、移動体２２１の表面２２４に設けた２つの凸部２２２、２２３にそれぞれ対応する２つの切り欠き部２３２、２３３を有している。切り欠き部２３２、２３３は、フィルム２３１を厚み方向に貫通するようにそれぞれ形成されている。このフィルム２３１は、切り欠き部２３２、２３３内に移動体２２１の凸部２２２、２２３がそれぞれ収まる位置で、移動体２２１の表面２２４をほぼ覆うように接着固定される。ここで、切り欠き部２３２、２３３の深さは、凸部２２２、２２３の高さより大きくなっている。このため、移動体２２１にフィルム２３１を接着したときに、凸部２２２、２２３がフィルム２３１より外側に突出することがない。
【００４８】
このように接着された移動体２２１とフィルム２３１は、移動体２２１と振動部の間にフィルム２３１が介在するように配置される。フィルム２３１に切り欠き部２３２、２３３を設けたことにより、移動体２２１と振動部との接触面積を減らすことができるため、移動体２２１と振動部の間の摩擦係数を更に低減することができる。
また、移動体２２１の加工において、表面２２４に意図しない凸部ができてしまった場合にも、凸部よりも厚いフィルムを、切り欠き部に凸部を収容させるように貼ることによって、振動部に対する凸部の影響を抑えることができる。
【００４９】
フィルム２３１を移動体２２１に固定する接着剤は、切り欠き部２３２、２３３と凸部２２２、２２３との境界にも配置されており、切り欠き部２３２、２３３内やその周辺で発生した異物を吸着・除去する異物吸着部２５１、２５２として機能する。切り欠き部は、図８に例示した２箇所だけでなく、３箇所以上設けると異物吸着部も増えるため、異物除去の点からは好ましい。
また、移動体２２１とフィルム２３１の接着に用いる接着剤は、移動体２２１とフィルム２３１の固定後においても、異物を吸着可能な粘着性を有することが好ましい。第７実施形態以外の実施形態において用いる接着剤も同様の特性を有することが好ましい。
【００５０】
フィルム２３１は、第１実施形態のフィルム１３１と同様に形成されたフィルムであって、薄膜状又は薄板状を成しており、振動部と移動体２２１との間に配置したときにこれらの間の摩擦係数が所定の値となるような、均一な表面形状を有する。すなわち、このフィルムは、少なくとも移動体２２１の表面２２４に対向する面が、摩擦係数が上記所定の値となるような範囲の平滑度を有している。
なお、その他の構成、作用、効果については、第１実施形態と同様である。
【００５１】
（第８実施形態）
図９は、本発明の第８実施形態におけるフィルム３３１、３３２の構成を示す図であって、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＳ２方向から見た側面図である。
第８実施形態においては、２つのフィルム３３１、３３２が移動体３２１の表面３２３に接着固定されている。より具体的には、移動体３２１は、その表面３２３において移動体３２１の移動方向（図９（ａ）の上下方向）に沿って形成された凸部３２２を有し、この凸部３２２の左右両側の表面３２３に対して、２つのフィルム３３１、３３２がそれぞれ接着固定されている。２つのフィルム３３１、３３２は、互いに略同一の形状を備え、移動体３２１の移動方向に沿って互いに平行に配置されている。
ここで、フィルム３３１、３３２の厚みは、凸部３２２の高さより大きいため、移動体３２１にフィルム３３１、３３２を接着したときに、凸部３２２がフィルム３３１、３３２より外側に突出することがない。
なお、フィルムは３つ以上設けても良いし、互いに同一の形状でなくてもよい。
【００５２】
このように接着された移動体３２１とフィルム３３１、３３２は、移動体３２１と振動部の間にフィルム３３１、３３２が介在するように配置される。凸部３２２を挟んでフィルム３３１、３３２を離間して配置したことにより、移動体３２１と振動部との接触面積を減らすことができるため、移動体３２１と振動部の間の摩擦係数を更に低減することができる。
また、移動体３２１の加工において、表面３２３に意図しない凸部ができてしまった場合にも、凸部よりも厚い複数のフィルムを、凸部を避けるように貼ることによって、振動部に対する凸部の影響を抑えることができる。
【００５３】
フィルム３３１、３３２を移動体３２１に固定する接着剤は、フィルム３３１、３３２と凸部３２２との境界にも配置されており、凸部３２２やその周辺で発生した異物を吸着・除去する異物吸着部３５１、３５２として機能する。フィルムは、図９に例示した２枚だけでなく、３枚以上とすると異物吸着部が増えるため、異物除去の点からは好ましい。
ここで、移動体３２１とフィルム３３１、３３２の接着に用いる接着剤は、第７実施形態と同様に、移動体３２１とフィルム３３１、３３２の固定後においても、異物を吸着可能な粘着性を有することが好ましい。
【００５４】
フィルム３３１、３３２は、第１実施形態のフィルム１３１と同様に形成されたフィルムであって、薄膜状又は薄板状を成しており、振動部と移動体３２１との間に配置したときにこれらの間の摩擦係数が所定の値となるような、均一な表面形状を有する。すなわち、このフィルムは、少なくとも移動体３２１の表面３２３に対向する面が、摩擦係数が上記所定の値となるような範囲の平滑度を有している。
なお、その他の構成、作用、効果については、第１実施形態と同様である。
【００５５】
（第９実施形態）
図１０は、本発明の第９実施形態に係る慣性駆動アクチュエータの構成を示す側面図である。図１０〜図１２は、移動体の移動方向から見た図であって、固定部１０１、変位発生手段１０２、及び駆動回路１０３の図示を省略している。第９〜第１１実施形態に係る慣性駆動アクチュエータにおいても、第１〜第８実施形態と同様に固定部１０１、変位発生手段１０２、及び駆動回路１０３を有しており、変位発生方向はそれぞれ図１０〜図１２の紙面に垂直な方向である。
【００５６】
第９実施形態に係る慣性駆動アクチュエータは、図１に示す慣性駆動アクチュエータの振動部１１１及び移動体１２１に代えて、コイル４１１、第２磁性体４１２、磁石４１３、移動体としての第１磁性体４２１、フィルム４３１、及び第３磁性体４４１を備える。
【００５７】
コイル４１１内には、コア材として第２磁性体４１２が挿通され、第２磁性体４１２は下面が磁石４１３に接着固定されている。磁石４１３は、ヨークとしての第３磁性体４４１上に載置されている。磁石４１３と第３磁性体４４１は接着固定してもよい。コイル４１１は、図７に示すコイル１１３と同様に、変位発生手段１０２に接着固定されている。この構成により、少なくともコイル４１１、第２磁性体４１２、及び磁石４１３は、振動部として、変位発生手段１０２の伸張にともなって変位発生方向に沿って振動する。
【００５８】
移動体としての第１磁性体４２１は、変位発生手段１０２の変位発生方向に延び、かつ、コイル４１１、第２磁性体４１２、及び磁石４１３を略囲むような形状を備える。別言すると、第１磁性体４２１は、移動方向（図１０の紙面に垂直な方向）に垂直な面において、略コの字状の形状を有する。
また、第１磁性体４２１は、フィルム４３１を介して、第２磁性体４１２上に配置されている。より具体的には、フィルム４３１の下面４３１ａが第２磁性体４１２の上面４１２ａに接触し、フィルム４３１の上面４３１ｂが第１磁性体４２１の上側の内壁４２１ａに接触するように配置されている。ここで、フィルム４３１は、第１磁性体４２１及び第２磁性体４１２のいずれかに接着固定されている。
【００５９】
以上の構成において、コイル４１１に通電すると、図１０で矢印で示すように、磁石４１３から第２磁性体４１２、第１磁性体４２１へ向かい、第１磁性体４２１を上から下へ通って第３磁性体４４１から磁石４１３へもどる磁束ＭＦが発生し、これにより、第１磁性体４２１はコイル４１１及び第２磁性体４１２側へ吸着する。また、上述のように、第１磁性体４２１を略コの字状としたことにより、磁束ＭＦを効率よく伝えることができる。さらに、ヨークとしての第３磁性体４４１を磁石４１３の下面に配置したことにより、コイル４１１と磁石４１３の磁束ＭＦを効率よく伝えることができる。
【００６０】
さらに、フィルム４３１を配置することにより、移動体としての第１磁性体４２１と第２磁性体４１２の間の摩擦係数は、フィルム４３１が介在する場合の方がフィルム４３１が介在しない場合よりも小さな所定の値となる。このため、第２磁性体４１２及びコイル４１１に対する第１磁性体４２１の摺動抵抗を低減することができる。
【００６１】
ここで、フィルム４３１は、薄膜状又は薄板状を成しており、第２磁性体４１２と第１磁性体４２１との間に配置したときにこれらの間の摩擦係数が上記所定の値となるような、均一な表面形状を有する。別言すると、このフィルムは、摩擦係数が上記所定の値となるような範囲の平滑度を有している。このフィルムは、例えば、合成樹脂の高分子成分を２００ｕｍ以下に成型し、成型後に単体で薄膜状の構造を成り立たせた、均一な面を有するフィルムである。
なお、その他の構成、作用、効果については、第５実施形態と同様である。
【００６２】
（第１０実施形態）
図１１は、本発明の第１０実施形態に係る慣性駆動アクチュエータの構成を示す側面図である。
第１０実施形態の慣性駆動アクチュエータにおいては、第９実施形態の第２磁性体４１２及びフィルム４３１に代えて、フィルム４３２、４３３及び第２磁性体４１４を設けている。
フィルム４３２、４３３は、第７実施形態のフィルム２３１のような切り欠き部を有する１枚のフィルム、又は、第８実施形態のフィルム３３１、３３２のような２つに分割されたフィルムである。前者の切り欠き部を設けた１枚のフィルムの場合は、図１１に示すように、中央に設けた切り欠き部４３９内に第２磁性体４１４の上面４１４ａが挿入される。後者の２つに分割されたフィルムの場合は、２つのフィルムの間に設けた隙間の内部に第２磁性体４１４の上面４１４ａが挿入される。
また、フィルム４３２、４３３は、第９実施形態のフィルム４３１と同様の表面形状及び厚みを備えており、コイル４１１の上面又は第１磁性体４２１の上側の内壁４２１ａに接着固定される。
【００６３】
この構成によれば、第１磁性体４２１とコイル４１１の間にフィルム４３２、４３３を配置することにより、第１磁性体４２１とコイル４１１の間の摩擦係数は、フィルム４３２、４３３が介在する場合の方がフィルム４３２、４３３が介在しない場合よりも小さな所定の値となる。このため、第２磁性体４１２及び第２磁性体４１４に対する第１磁性体４２１の摺動抵抗を低減することができる。
さらに、第２磁性体４１４の上面４１４ａと第１磁性体４２１の間にフィルム４３２、４３３が介在しないため、磁気回路中のギャップがなくなり、磁束ＭＦが流れやすくなる。
なお、その他の構成、作用、効果については、第９実施形態と同様である。
【００６４】
（第１１実施形態）
図１２は、本発明の第１１実施形態に係る慣性駆動アクチュエータの構成を示す側面図である。
第１１実施形態の慣性駆動アクチュエータにおいては、第１０実施形態のフィルム４３２、４３３に加えて、第２フィルム４３４、第３フィルム４３５を配置している。
第２フィルム４３４及び第３フィルム４３５は、第９実施形態のフィルム４３１とほぼ同様の表面形状を備えている。第２フィルム４３４は第１磁性体４２１の側方の内壁４２１ｂに接着固定され、第３フィルム４３５は内壁４２１ｂに対向する内壁４２１ｃに接着固定されている。このように配置した第２フィルム４３４及び第３フィルム４３５は、第１磁性体４２１の移動の際のガイドとして用いることができる。
なお、その他の構成、作用、効果については、第１０実施形態と同様である。
【産業上の利用可能性】
【００６５】
以上のように、本発明に係る慣性駆動アクチュエータは、移動体と振動部の摩擦状態を略一定に維持して、安定した駆動を実現したい場合に有用である。
【符号の説明】
【００６６】
１０１    固定部
１０２    変位発生手段
１０３    駆動回路
１１１、１１２  振動部
１１３    コイル
１１４    コア材
１２１、１２２、１２３  移動体
１３１、１３２、１３３、１３４、１３５、１３６  フィルム
１４１、１４２  永久磁石
２２１    移動体
２２２、２２３  凸部
２２４    表面
２３１    フィルム
２３２、２３３  切り欠き部
２５１、２５２  異物吸着部
３２１    移動体
３２２    凸部
３３１、３３２  フィルム
３５１、３５２  異物吸着部
４１１    コイル
４１２    第２磁性体
４１３    磁石
４１４    第２磁性体
４２１    第１磁性体
４３１、４３２、４３３  フィルム
４３４    第２フィルム
４３５    第３フィルム
４３９    切り欠き部
４４１    第３磁性体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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