(57)【要約】【課題】導通不良が低減して歩留まりが高く、駆動壁の独立駆動を行うこと。【解決手段】厚さ方向に分極された圧電プレート４０と、複数の液体吐出溝４５Ａ及び複数の液体非吐出溝４５Ｂと、液体吐出溝の内側面に対向して形成された第１駆動電極５０、及び液体非吐出溝の内側面に対向して形成された第２駆動電極５２と、圧電プレートの尾部４０Ａにおける一方の主面４０ｃ上に形成され、液体吐出溝内に形成された第１駆動電極同士を接続する第１接続端子部５１、及び液体吐出溝を挟んで両側に位置する第２駆動電極同士を接続する第２接続端子部５３と、を備え、圧電プレートの尾部には、該圧電プレートを保護すると共に、第２接続端子部に伝わる外部衝撃を緩和させる絶縁性の保護部材６０が設けられているヘッドチップを提供する。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
厚さ方向に分極された圧電プレートと、
前記圧電プレートに形成され、該圧電プレートの一方の主面側に開口した状態で前記厚さ方向に直交する方向に間隔をあけて交互に並んだ、複数の液体吐出溝及び複数の液体非吐出溝と、
前記液体吐出溝の内側面に対向して形成された第１駆動電極、及び前記液体非吐出溝の内側面に対向して形成された第２駆動電極と、
前記圧電プレートの尾部における一方の主面上に形成され、前記液体吐出溝内に形成された前記第１駆動電極同士を接続する第１接続端子部、及び前記液体吐出溝を挟んで両側に位置する前記第２駆動電極同士を接続する第２接続端子部と、を備え、
前記圧電プレートの尾部には、該圧電プレートを保護すると共に、前記第２接続端子部に伝わる外部衝撃を緩和させる絶縁性の保護部材が設けられていることを特徴とするヘッドチップ。
【請求項２】
請求項１に記載のヘッドチップにおいて、
前記保護部材は、前記圧電プレートの前記尾部のうち、少なくとも後端面に設けられていることを特徴とするヘッドチップ。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のヘッドチップにおいて、
前記保護部材は、前記圧電プレートの一方の主面上のうち、前記尾部における後端面と前記第２接続端子部との間に配置されるように設けられていることを特徴とするヘッドチップ。
【請求項４】
請求項３に記載のヘッドチップにおいて、
前記保護部材は、前記第２接続端子部の少なくとも一部を覆うように設けられていることを特徴とするヘッドチップ。
【請求項５】
請求項１から４のいずれか１項に記載のヘッドチップにおいて、
前記保護部材は、保護テープ又は保護膜であることを特徴とするヘッドチップ。
【請求項６】
請求項１に記載のヘッドチップと、
前記第１駆動電極と前記第２駆動電極との間に駆動電圧を印加する制御手段と、を備えることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項７】
請求項６に記載の液体噴射ヘッドと、
被記録媒体を予め決められた搬送方向に沿って搬送する搬送手段と、
前記被記録媒体に対して前記液体噴射ヘッドを前記搬送方向に直交する方向に走査させる走査手段と、を備えることを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ヘッドチップ、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射ヘッドのヘッドチップとして、チャネルを区画する駆動壁に形成された駆動電極に所定の駆動電圧を印加することにより駆動壁を変形させ、この変形時に発生するチャネル内の圧力変動を利用して、チャネル内のインクを液滴状に吐出させるものが一般的に知られている。
より詳しくは、厚み方向に分極処理された圧電基板に、複数のチャネルが所定の間隔をあけて平行に形成されており、各チャネルの間に駆動壁が位置している。また、各チャネルの内側面には駆動電極が形成されており、圧電基板の主面上には駆動電極に導通する電極端子部が形成されている。
【０００３】
ところで、上記圧電基板としては、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等のセラミックス基板が一般的に用いられるが、機械的強度が低く脆弱な性質を有する。そのため、例えば製造時や流通時等の段階で落下等の外部衝撃が加わった場合には、圧電基板にクラックや欠け等が生じ、その影響により電極端子部に欠けやクラック等が同様に発生して導通不良が生じる可能性があった。
【０００４】
そこで、その対策として、電極端子部上にスクリーン印刷により導電性被膜を形成し、仮に電極端子部にクラックによる分断が生じたとしても、導電性被膜でカバーして、導通性の維持を図ったものが知られている（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第３５２４９４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記特許文献１に記載の導電性被膜は、あくまで、電極端子部に代わって導通性を維持するための補助的な役割を果たすことが目的であるので、そもそもの原因である圧電基板自体のクラックや欠け等の発生を抑制しているものではない。従って、導通不良が依然として生じる可能性が高く、ヘッドチップの歩留まりを低下させてしまうものであった。特に、導電性被膜自身が分断する可能性が残されていた。
【０００７】
さらに、各チャネルに対応した駆動電極に対して駆動電圧を別個に印加して、駆動壁を独立して変形させる独立駆動を行う場合、圧電基板の主面上に形成されている電極端子部をそれぞれ電気的に切り離した状態で形成しておく必要がある。ところが、このような場合において特許文献１に記載の導電性被膜を電極端子部上に形成してしまうと、複数の電極端子部が全て導通してしまうので、独立駆動を行うことができなくなってしまう。
【０００８】
本発明は、このような事情に考慮してなされたもので、その目的は、導通不良が低減して歩留まりが高く、駆動壁の独立駆動を行うことが可能なヘッドチップ、これを具備する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、前記課題を解決するために以下の手段を提供する。
（１）本発明に係るヘッドチップは、厚さ方向に分極された圧電プレートと、前記圧電プレートに形成され、該圧電プレートの一方の主面側に開口した状態で前記厚さ方向に直交する方向に間隔をあけて交互に並んだ、複数の液体吐出溝及び複数の液体非吐出溝と、前記液体吐出溝の内側面に対向して形成された第１駆動電極、及び前記液体非吐出溝の内側面に対向して形成された第２駆動電極と、前記圧電プレートの尾部における一方の主面上に形成され、前記液体吐出溝内に形成された前記第１駆動電極同士を接続する第１接続端子部、及び前記液体吐出溝を挟んで両側に位置する前記第２駆動電極同士を接続する第２接続端子部と、を備え、前記圧電プレートの尾部には、該圧電プレートを保護すると共に、前記第２接続端子部に伝わる外部衝撃を緩和させる絶縁性の保護部材が設けられていることを特徴とする。
【００１０】
本発明に係るヘッドチップによれば、第１接続端子部及び第２接続端子部を介して、第１駆動電極と第２駆動電極との間に駆動電圧を印加することで、液体吐出溝と液体非吐出溝との間に位置する駆動壁を変形させることができる。これにより、液体吐出溝の内圧を変動させることができ、液体吐出溝に充填された液体を吐出することができる。
特に、第２接続端子部が、液体吐出溝を挟んだ両側に位置する第２駆動電極同士を接続しているので、駆動壁を独立駆動させて所望する液体吐出溝から液体を吐出させることができる。
【００１１】
ところで、圧電プレートにおける尾部、即ち第１接続端子部及び第２接続端子部が形成されている部分には保護部材が設けられているので、仮に外部衝撃が加わった場合であっても、圧電プレートを保護することができ、圧電プレートに欠けやクラック等が生じ難い。従って、圧電プレートの欠けやクラックに起因する第２接続端子部の分断を抑制することができる。しかも、保護部材は単に圧電プレートを部分的に保護しているのではなく、第２接続端子部に伝わる外部衝撃を緩和させる役割を果たしている。そのため、外部衝撃によって第２接続端子部が直接的に剥離や分断等されてしまうことも抑制することができる。
これらのことにより、第２接続端子部の導通不良を低減することができ、歩留まりを向上できるうえ、吐出性能が安定した高品質なヘッドチップとすることができる。
【００１２】
（２）上記本発明に係るヘッドチップにおいて、前記保護部材は、前記圧電プレートの前記尾部のうち、少なくとも後端面に設けられていることが好ましい。
【００１３】
この場合には、保護部材が後端面に設けられているので、圧電プレートにおける後端面側の縁部や角部等、強度が弱く、欠けやクラック等が発生しやすい部分を保護することができる。従って、圧電プレート自体に欠けやクラックが生じることを効果的に抑制することができ、その結果、第２接続端子部に伝わる外部衝撃を緩和させて、第２接続端子部が剥離や分断等してしまうことを抑制することができる。
【００１４】
（３）上記本発明に係るヘッドチップにおいて、前記保護部材は、前記圧電プレートの一方の主面上のうち、前記尾部における後端面と前記第２接続端子部との間に配置されるように設けられていることが好ましい。
【００１５】
この場合には、保護部材が後端面と第２接続端子部との間に配置されているので、圧電プレートに外力衝撃が加わったとしても、第２接続端子部に伝わる前に外部衝撃を緩和させることができる。従って、第２接続端子部が剥離や分断等してしまうことを抑制することができる。
【００１６】
（４）上記本発明に係るヘッドチップにおいて、前記保護部材は、前記第２接続端子部の少なくとも一部を覆うように設けられていることが好ましい。
【００１７】
この場合には、保護部材がさらに第２接続端子部の少なくとも一部を覆っているので、第２接続端子部に直接的に外部衝撃が加わろうとしても、その外部衝撃を吸収して緩和することができる。従って、第２接続端子部が剥離や分断等してしまうことをさらに効果的に抑制することができる。
【００１８】
（５）上記本発明に係るヘッドチップにおいて、前記保護部材は、保護テープ又は保護膜であることが好ましい。
【００１９】
この場合には、保護テープや保護膜を保護部材として利用できるので、貼着やディップコート等の容易且つ低コストで圧電プレートに設けることが可能である。
【００２０】
（６）本発明に係る液体噴射ヘッドは、上記本発明に係るヘッドチップと、前記第１駆動電極と前記第２駆動電極との間に駆動電圧を印加する制御手段と、を備えることを特徴とする。
【００２１】
本発明に係る液体噴射ヘッドによれば、上記したヘッドチップを具備しているので、同様に吐出性能の信頼性が優れた液体噴射ヘッドとすることができる。
【００２２】
（７）本発明に係る液体噴射装置は、上記本発明に係る液体噴射ヘッドと、被記録媒体を予め決められた搬送方向に沿って搬送する搬送手段と、前記被記録媒体に対して前記液体噴射ヘッドを前記搬送方向に直交する方向に走査させる走査手段と、を備えることを特徴とする。
【００２３】
本発明に係る液体噴射装置によれば、上記した液体噴射ヘッドを具備しているので、同様に吐出性能の信頼性が優れた液体噴射装置とすることができる。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、導通不良が低減して歩留まりが高く、駆動壁の独立駆動を行うことができるので、吐出性能が安定した高品質なヘッドチップとすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明に係る実施形態を示す図であって、液体噴射記録装置の構成を示す斜視図である。
【図２】図１に示す液体噴射記録装置を構成する液体噴射ヘッドの斜視図である。
【図３】図２に示す液体噴射ヘッドを構成するヘッドチップの斜視図である。
【図４】図３に示すヘッドチップの分解斜視図である。
【図５】図４に示すヘッドチップにおける、アクチュエータプレートとカバープレートとを分解した状態における拡大斜視図である。
【図６】図３に示すＢ−Ｂ断面図である。
【図７】図５にアクチュエータプレートを尾部側から見た斜視図である。
【図８】本発明に係る変形例を示す図であって、アクチュエータプレートを尾部側から見た斜視図である。
【図９】本発明に係る別の変形例を示す図であって、アクチュエータプレートを尾部側から見た斜視図である。
【図１０】図９に示す保護膜を形成する際の一工程図であって、ディップコートにより形成している図である。
【図１１】本発明に係る変形例を示す図であって、アクチュエータプレートが２段に積層されたヘッドチップの斜視図である。
【図１２】図１１に示すＣ−Ｃ断面図である。
【図１３】本発明に係るヘッドチップの実施例を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、本発明に係る実施形態について図面を参照して説明する。なお、以下の実施形態では、液体としてインクを噴射することで、被記録媒体に記録を行う液体噴射記録装置（液体噴射装置）を例に挙げて説明する。
【００２７】
〔液体噴射記録装置の構成〕
図１に示すように、本実施形態の液体噴射記録装置１は、記録紙等の被記録媒体Ｓを搬送する一対の搬送手段２、３と、被記録媒体Ｓに図示しないインクを噴射する液体噴射ヘッド４と、液体噴射ヘッド４にインクを供給するインク供給手段５と、液体噴射ヘッド４を被記録媒体Ｓの搬送方向Ｙと直交する走査方向Ｘに走査させる走査手段６と、を備える。
なお、本実施形態では、搬送方向Ｙ及び走査方向Ｘの２方向に直交する方向を上下方向Ｚとする。
【００２８】
一対の搬送手段２、３は、搬送方向Ｙに間隔をあけて配置されており、一方の搬送手段２が被記録媒体Ｓの搬送方向Ｙの上流側に位置し、他方の搬送手段３が被記録媒体Ｓの搬送方向Ｙの下流側に位置している。これら搬送手段２、３は、走査方向Ｘに延設されたグリッドローラ２ａ、３ａと、このグリッドローラ２ａ、３ａに対して平行に配置されると共に、グリッドローラ２ａ、３ａとの間で被記録媒体Ｓを挟み込むピンチローラ２ｂ、３ｂと、グリッドローラ２ａ、３ａをその軸回りに回転させるモータ等の図示しない駆動機構と、を備えている。
そして、一対の搬送手段２、３のグリッドローラ２ａ、３ａを回転させることで、被記録媒体Ｓを搬送方向Ｙに沿った矢印Ａ方向に搬送することが可能とされている。
【００２９】
インク供給手段５は、インクが収容されたインクタンク１０と、インクタンク１０と液体噴射ヘッド４とを接続するインク配管１１と、を備えている。
図示の例では、インクタンク１０は、イエロー（Ｙ）、マゼンタ（Ｍ）、シアン（Ｃ）、ブラック（Ｂ）の四色のインクがそれぞれ収容されたインクタンク１０が搬送方向Ｙに並んで配置されている。インク配管１１は、例えば可撓性を有するフレキシブルホースであり、液体噴射ヘッド４を支持するキャリッジ１６の動作（移動）に追従可能とされている。
【００３０】
走査手段６は、走査方向Ｘに延び、搬送方向Ｙに間隔をあけて互いに平行に配置された一対のガイドレール１５と、これら一対のガイドレール１５に沿って移動可能に配置されたキャリッジ１６と、このキャリッジ１６を走査方向Ｘに移動させる駆動機構１７と、を備えている。
駆動機構１７は、一対のガイドレール１５の間に配置され、走査方向Ｘに間隔をあけて配置されたた一対のプーリ１８と、これら一対のプーリ１８の間に巻回されて走査方向Ｘに移動する無端ベルト１９と、一方のプーリ１８を回転駆動させる駆動モータ２０と、を備えている。
【００３１】
上記キャリッジ１６は、無端ベルト１９に連結されており、一方のプーリ１８の回転駆動による無端ベルト１９の移動に伴って走査方向Ｘに移動可能とされている。また、キャリッジ１６には、複数の液体噴射ヘッド４が走査方向Ｘに並んだ状態で搭載されている。図示の例では、イエロー（Ｙ）、マゼンタ（Ｍ）、シアン（Ｃ）、ブラック（Ｂ）の各インクをそれぞれ噴射する４つの液体噴射ヘッド４、即ち、液体噴射ヘッド４Ｙ、４Ｍ、４Ｃ、４Ｂが搭載されている。
【００３２】
（液体噴射ヘッドの構成）
次に、液体噴射ヘッド４について詳細に説明する。
図２に示すように、液体噴射ヘッド４は、キャリッジ１６に固定される固定プレート２５と、この固定プレート２５上に固定されたヘッドチップ２６と、インク供給手段５から供給されたインクを、ヘッドチップ２６の後述するインク導入孔４１ａにさらに供給するインク供給部２７と、ヘッドチップ２６に駆動電圧を印加する制御手段２８と、を備えている。
【００３３】
この液体噴射ヘッド４は、上記駆動電圧が印加されることで、各色のインクを所定の噴出量で吐出する。このとき、液体噴射ヘッド４が走査手段６により走査方向Ｘに移動することで、被記録媒体Ｓにおける所定範囲に記録を行うことができ、この走査を搬送手段２、３により被記録媒体Ｓを搬送方向Ｙに搬送しながら繰り返し行うことで、被記録媒体Ｓの全体に記録を行うことが可能となる。
【００３４】
上記固定プレート２５には、アルミ等の金属製のベースプレート３０が上下方向Ｚに沿って起立した状態で固定されていると共に、ヘッドチップ２６の後述するインク導入孔４１ａにインクを供給する流路部材３１が固定されている。流路部材３１の上方には、インクを貯留する貯留室を内部に有する圧力緩衝器３２がベースプレート３０に支持された状態で配置されている。そして、流路部材３１と圧力緩衝器３２とはインク連結管３３を介して連結され、圧力緩衝器３２にはインク配管１１が接続されている。
【００３５】
そして、圧力緩衝器３２は、インク配管１１を介してインクが供給されると、該インクを内部の貯留室内に一旦貯留した後、所定量のインクをインク連結管３３及び流路部材３１を介してインク導入孔４１ａに供給する。
なお、これら流路部材３１、圧力緩衝器３２及びインク連結管３３は、上記インク供給部２７として機能する。
【００３６】
また、固定プレート２５には、ヘッドチップ２６を駆動するための集積回路等の制御回路（駆動回路）３５が搭載されたＩＣ基板３６が取り付けられている。この制御回路３５と、ヘッドチップ２６の後述する吐出電極５０及びダミー電極５２とは、図示しない配線パターンがプリント配線されたフレキシブル基板３７を介して電気接続されている。これにより、制御回路３５は、フレキシブル基板３７を介して吐出電極５０とダミー電極５２との間に駆動電圧を印加することが可能とされる。
なお、これら制御回路３５が搭載されたＩＣ基板３６、及びフレキシブル基板３７は、上記制御手段２８として機能する。
【００３７】
（ヘッドチップの構成）
続いて、上記ヘッドチップ２６について詳細に説明する。
図３及び図４に示すように、ヘッドチップ２６は、アクチュエータプレート（圧電プレート）４０、カバープレート４１、支持プレート４２及びノズルプレート４３を備え、後述する液体噴射チャネル４５Ａの長手方向端部に臨むノズル孔４３ａからインクを吐出する、いわゆるエッジシュートタイプとされている。
【００３８】
アクチュエータプレート４０は、図４〜図７に示すように、厚さ方向Ｌ１に分極処理された圧電基板、例えばＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）セラミックス基板であり、厚さ方向Ｌ１に直交する第１方向Ｌ２に長く、厚さ方向Ｌ１及び第１方向Ｌ２に対して直交する第２方向Ｌ３に短い、平面視長方形状に形成されている。
【００３９】
なお、本実施形態のヘッドチップ２６はエッジシュート対応であるので、厚さ方向Ｌ１が液体噴射記録装置１における走査方向Ｘに一致し、且つ第１方向Ｌ２が搬送方向Ｙ、第２方向Ｌ３が走査方向Ｘに一致する。また、本実施形態では、アクチュエータプレート４０の側面のうち、ノズルプレート４３に対向する側面を前端面４０ａと称し、この前端面４０ａとは第２方向Ｌ３の反対側に位置する側面を後端面４０ｂと称する。
【００４０】
アクチュエータプレート４０の一方の主面（カバープレート４１が重なる面）４０ｃ（図５及び図６参照）には、第１方向Ｌ２に所定の間隔をあけて並んだ複数のチャネル４５が形成されている。
これら複数のチャネル４５は、一方の主面４０ｃ側に開口した状態で第２方向Ｌ３に沿って直線状に延びる溝部であり、長手方向の一方側がアクチュエータプレート４０の前端面４０ａ側に開口している。これら複数のチャネル４５の間には、断面矩形状で第２方向Ｌ３に延びる駆動壁（圧電隔壁）４６が形成され、この駆動壁４６によって各チャネル４５はそれぞれ区分けされている。
【００４１】
また、複数のチャネル４５は、インクが充填される液体噴射チャネル（液体吐出溝）４５Ａと、インクが充填されないダミーチャネル（液体非吐出溝）４５Ｂと、に大別される。そして、これら液体噴射チャネル４５Ａとダミーチャネル４５Ｂとは、第１方向Ｌ２に交互に並んで配置されている。
このうち、液体噴射チャネル４５Ａは、アクチュエータプレート４０の後端面４０ｂ側に開口することなく形成されている。一方、ダミーチャネル４５Ｂは、アクチュエータプレート４０の後端面４０ｂ側にも開口するように形成されている。
【００４２】
なお、アクチュエータプレート４０のうち、液体噴射チャネル４５Ａの開口縁から後端面４０ｂまでの部分（後端面４０ｂを含む）は、アクチュエータプレート４０の尾部４０Ａとして機能する。
【００４３】
液体噴射チャネル４５Ａの内壁面のうち、第１方向Ｌ２に向かい合う一対の内側面には、マイナス側電極である吐出電極（第１駆動電極）５０がそれぞれ形成されている。これら吐出電極５０は、液体噴射チャネル４５Ａの溝深さの中間部分まで形成されており、液体噴射チャネル４５Ａに沿って第２方向Ｌ３に延び、アクチュエータプレート４０の一方の主面４０ｃ上に形成されたマイナス側端子部である吐出端子（第１接続端子部）５１に導通している。
なお、吐出端子５１は、アクチュエータプレート４０の尾部４０Ａにおける一方の主面４０ｃ上に形成されており、同じ液体噴射チャネル４５Ａ内に形成された吐出電極５０同士を接続している。
【００４４】
一方、ダミーチャネル４５Ｂの内壁面のうち、第１方向Ｌ２に向かい合う一対の内側面には、プラス側電極であるダミー電極（第２駆動電極）５２がそれぞれ形成されている。これらダミー電極５２は、ダミーチャネル４５Ｂの溝深さの中間部分まで形成されており、ダミーチャネル４５Ｂに沿って第２方向Ｌ３に延び、アクチュエータプレート４０の一方の主面４０ｃ上に形成されたプラス側端子部であるダミー端子（第２接続端子部）５３に導通している。
【００４５】
なお、ダミー端子５３は、アクチュエータプレート４０の尾部４０Ａにおける一方の主面４０ｃ上に形成されており、液体噴射チャネル４５Ａを挟んだ両側に位置するダミー電極５２同士（異なるダミーチャネル４５Ｂ内に形成されたダミー電極５２同士）を接続するように形成されている。
この際、ダミー端子５３は、一方の主面４０ｃ上において、吐出端子５１よりも後端面４０ｂ側に離間した位置で第１方向Ｌ２に延びることで、ダミー電極５２同士をブリッジ状に繋ぐように形成されている。
【００４６】
このような構成のもと、フレキシブル基板３７を介して制御回路３５が吐出端子５１及びダミー端子５３を通じて、吐出電極５０とダミー電極５２との間に駆動電圧を印加すると、駆動壁４６が変形し、液体噴射チャネル４５Ａ内に充填されたインクに圧力変動が生じる。これにより、液体噴射チャネル４５Ａ内のインクをノズル孔４３ａより吐出することができ、被記録媒体Ｓに文字や図形等の各種情報を記録することが可能となる。
【００４７】
ところで、アクチュエータプレート４０の尾部４０Ａには、該アクチュエータプレート４０を保護すると共に、ダミー端子５３に伝わる外部衝撃を緩和させる絶縁性の保護部材が設けられている。
具体的には、図７に示すように、アクチュエータプレート４０の後端面４０ｂの全面に保護テープ６０が貼着されている。この保護テープ６０としては、例えばポリイミドフィルムにシリコン系粘着剤が塗布されたカプトンテープが挙げられる。但し、この場合に限定されるものではない。
【００４８】
図３及び図４に示すように、上記カバープレート４１は、アクチュエータプレート４０の一方の主面４０ｃ上に重ね合されている。このカバープレート４１には、インク導入孔４１ａが第１方向Ｌ２に長い平面視矩形状に形成されている。
このインク導入孔４１ａには、図６に示すように、流路部材３１を介して供給されてきたインクを液体噴射チャネル４５Ａ内に導入させ、且つダミーチャネル４５Ｂ内への導入を規制する複数のスリット５５ａが形成されたインク導入板５５が形成されている。つまり、複数のスリット５５ａは、液体噴射チャネル４５Ａに対応する位置に形成されており、各液体噴射チャネル４５Ａ内にのみインクを充填することが可能とされる。
【００４９】
なお、カバープレート４１は、例えばアクチュエータプレート４０と同じＰＺＴセラミックス基板で形成され、アクチュエータプレート４０と同じ熱膨張をさせることで、温度変化に対する反りや変形を抑制している。但し、この場合に限られず、アクチュエータプレート４０とは異なる材料でカバープレート４１を形成しても構わないが、熱膨張係数が近い材料を用いることが好ましい。
【００５０】
図３及び図４に示すように、支持プレート４２は、重ね合されたアクチュエータプレート４０及びカバープレート４１を支持していると共に、ノズルプレート４３を同時に支持している。支持プレート４２には、第１方向Ｌ２に沿って嵌合孔４２ａが形成されており、重ね合されたアクチュエータプレート４０及びカバープレート４１をこの嵌合孔４２ａ内に嵌め込んだ状態で支持している。この際、支持プレート４２は、アクチュエータプレート４０の前端面４０ａと面一となるように組み合わされている。
【００５１】
上記ノズルプレート４３は、支持プレート４２及びアクチュエータプレート４０の前端面４０ａに、例えば接着等により固定されている。
ノズルプレート４３は、例えばポリイミド等のフィルム材からなるシートである。なお、ノズルプレート４３における被記録媒体Ｓに対向する対向面には、例えばインクの付着等を防止するための撥水膜がコーティングされている。
【００５２】
また、ノズルプレート４３には、第１方向Ｌ２に所定の間隔をあけて複数のノズル孔４３ａが一列に並んだ状態で形成されている。これらノズル孔４３ａは、複数の液体噴射チャネル４５Ａに対してそれぞれ対向する位置に形成されており、各液体噴射チャネル４５Ａ内に連通する。なお、通常時にノズル孔４３ａからインクが吐出されないように、各ノズル孔４３ａにおいて適切なメニスカスが保たれている。
【００５３】
〔液体噴射記録装置の作用〕
上記のように構成された液体噴射記録装置１により、被記録媒体Ｓに情報を記録する場合の作用について説明する。
【００５４】
この場合には、図１に示すように、例えば、一対の搬送手段２、３により被記録媒体Ｓを搬送方向Ｙに搬送させながら、走査手段６によりキャリッジ１６を介して各液体噴射ヘッド４を走査方向Ｘに往復移動させる。この間に、各液体噴射ヘッド４において、制御回路３５が吐出電極５０とダミー電極５２との間に駆動電圧を印加する。これにより、駆動壁４６に厚みすべり変形を生じさせ、液体噴射チャネル４５Ａ内に充填されたインクに圧力波を発生させる。この圧力波により、液体噴射チャネル４５Ａの内圧が高まるので、インクをノズル孔４３ａから吐出させることができる。この際、インクはノズル孔４３ａを通過する際に、液滴状のインク滴となって吐出される。
【００５５】
その結果、被記録媒体Ｓに４色のインクを利用して、文字や図形等の各種情報を記録することができる。
特に、ダミー端子５３が液体噴射チャネル４５Ａを挟んだ両側に位置するダミー電極５２同士を接続しているので、駆動壁４６を独立駆動させて、所望する液体噴射チャネル４５Ａからインクを吐出することができる。
【００５６】
ところで、図３に示すように、アクチュエータプレート４０の後端面４０ｂには、保護テープ６０が貼着されているので、仮に外部衝撃が加わった場合であっても、アクチュエータプレート４０を保護することができ、アクチュエータプレート４０に欠けやクラック等が生じ難い。しかも、アクチュエータプレート４０の後端面４０ｂ側の縁部や角部等は、カバープレート４１によって塞がれているわけでもなく露出しているため、強度が弱く、欠けやクラック等が発生し易い。このような部分を保護テープ６０で保護できるので、アクチュエータプレート４０自体に欠けやクラックが生じることを効果的に抑制することができる。
従って、アクチュエータプレート４０の欠けやクラックに起因するダミー端子５３の分断を抑制することができる。
【００５７】
しかも、保護テープ６０は単にアクチュエータプレート４０を部分的に保護しているのではなく、後端面４０ｂの全面に亘って貼着されることで、アクチュエータプレート４０の剛性を高めてダミー端子５３に伝わる外部衝撃を緩和させる役割を果たしている。そのため、外部衝撃によってダミー端子５３が直接的に剥離や分断等してしまうことも抑制することができる。
【００５８】
以上のことにより、ダミー端子５３の導通不良を低減することができ、歩留まりを向上できるうえ、吐出性能が安定した高品質なヘッドチップ２６とすることができる。
また、本実施形態の液体噴射ヘッド４及び液体噴射記録装置１によれば、上記ヘッドチップ２６を具備しているので、同様に吐出性能の信頼性の向上化を図ることができる。
【００５９】
（変形例）
上記実施形態では、アクチュエータプレート４０の後端面４０ｂに保護テープ６０を貼着した場合を例に挙げて説明したが、この場合に限定されるものではなく、尾部４０Ａに設けられていれば良い。
例えば、図８に示すように、後端面４０ｂとダミー端子５３との間に位置するように、アクチュエータプレート４０の尾部４０Ａにおける一方の主面４０ｃ上に保護テープ６０を貼着しても構わない。しかも、図示の例では、ダミー端子５３の一部を覆うように保護テープ６０を貼着している。
【００６０】
この場合であっても、アクチュエータプレート４０に外部衝撃が加わったとしても、ダミー端子５３に伝わる前に外部衝撃を緩和させることができる。従って、同様に、ダミー端子５３が剥離や分断等してしまうことを抑制することができる。
しかも、保護テープ６０がダミー端子５３の一部を覆っているので、ダミー端子５３に直接的に外部衝撃が加わろうとしても、その外部衝撃を吸収して緩和することができる。従って、上記した剥離や分断等をより効果的に抑制することができる。
なお、この場合において、アクチュエータプレート４０の後端面４０ｂにも保護テープ６０をさらに貼着すると良い。
【００６１】
また、保護部材としては上述した保護テープ６０に限定されるものではない。例えば、図９に示すように、アクチュエータプレート４０の後端面４０ｂを含む尾部４０Ａの全体に保護膜６１を被膜させても構わない。この場合であっても、同様の作用効果を奏功することができる。それに加え、保護膜６１の場合には、ダミーチャネル４５Ｂの内部まで入り込むので、保護テープ６０の場合に比べてアクチュエータプレート４０をより確実に保護して剛性を高めることができ、より好ましい。
【００６２】
なお、保護膜６１としては、例えばヘッドチップ２６の組み立て時に使用される接着剤等を利用することができ、比較的粘度の低いものを用いることが好ましい。また、保護膜６１を被膜させる方法としては、例えばディップコーティングにより行えば良い。
具体的には、図１０に示すように、液槽６２内に溶融された保護材料Ｗを貯留しておき、液体噴射チャネル４５Ａ、ダミーチャネル４５Ｂ及び各電極が形成されたアクチュエータプレート４０を尾部４０Ａ側から浸漬する。次いで、保護材料Ｗの粘性力、表面張力及び重力等を考慮しながら、所定の速度でアクチュエータプレート４０を引き上げた後、保護材料Ｗを乾燥させることで、所望する厚みの保護膜６１を、所望する部分にだけ形成することができる。
【００６３】
その結果、図９に示すように、アクチュエータプレート４０の後端面４０ｂを含む尾部４０Ａの全体に保護膜６１を容易且つ確実に被膜させることができる。特に、ディップコートによる方法の場合には、作業性に優れているので好ましい。
【００６４】
なお、本発明の技術範囲は上記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
【００６５】
例えば、上記実施形態では、エッジシュートタイプのヘッドチップ２６を例に挙げて説明したが、この場合に限定されず、液体噴射チャネル４５Ａの長手方向中央に臨むノズル孔４３ａからインクを吐出する、いわゆるサイドシュートタイプとしても構わない。
この場合には、例えばアクチュエータプレート４０の他方の主面側にノズルプレート４３を重ね合せ、液体噴射チャネル４５Ａの長手方向中央部分にノズル孔４３ａに連通する連通口を形成する等すれば良い。
【００６６】
また、上記実施形態では、分極方向が一方向のアクチュエータプレート４０を用いたが、分極方向が互いに逆向きとなるように、２枚の圧電基板を接合したものを用いても構わない。この場合には、各チャネル４５の内側面の全体に吐出電極５０及びダミー電極５２を形成して構わない。
【００６７】
また、図１１及び図１２に示すように、アクチュエータプレート４０を２段に重ね合わせたヘッドチップ７０としても構わない。
この場合、アクチュエータプレート４０は、他方の主面同士を当接させた状態で重ね合されており、且つ、それぞれの液体噴射チャネル４５Ａが第１方向Ｌ２にずれて配置され、ノズル孔４３ａが千鳥配列とされている。
このように、アクチュエータプレート４０が２段構成とされている場合であっても、図示のように保護テープ６０を採用したり、ディップコートで保護膜６１を容易に形成したりすることが可能である。
【実施例】
【００６８】
次に、本発明の有効性を確認するために評価試験を実施した実施例について説明する。
はじめに、試験条件について説明する。
まず、図１１に示すように、アクチュエータプレート４０が２段に重ね合されたものを試験体（図１３参照）８０とし、これを１０個用意した。試験体８０の重量としては、１８ｇ程度とした。１０個の試験体８０のうちの５個に保護テープ６０を貼着した。具体的には、図１１に示す場合と同様に、それぞれのアクチュエータプレート４０の後端面４０ｂを全面に亘って覆うように保護テープ６０を貼着した。一方、残りの５個については、比較例として保護テープ６０を貼着しなかった。
なお、保護テープ６０としては、厚さ２５μｍのカプトンテープを使用した。
【００６９】
次に、試験装置を図１３に示す。
この試験装置８１は、ガイドプレート８２上に取り付けられたガイドレール８３と、試験体８０が固定されると共にガイドレール８３に沿って落下する治具体８４と、治具体８４と共に落下する試験体８０が衝突する受け部材８５と、を備える。
【００７０】
ガイドプレート８２は、床面と壁面との間に斜めに立てかけられるように固定されている。この際、ガイドプレート８２の上端部は、床面から距離Ｈ（略３５０ｍｍ）の位置にセットし、治具体８４の落下距離Ｇを略２００ｍｍに設定した。
なお、治具体８４の重量としては、４１ｇ程度とした。受け部材８５は、床面に取り付けられ、ガイドレール８３に沿って落下する治具体８４に固定された試験体８０の後端面４０ｂが面接触するように、落下方向に対して垂直な受け面８５ａを有している。
【００７１】
次に、評価試験方法について説明する。
上記のように構成された試験装置８１における治具体８４に、後端面４０ｂが下方を向いた姿勢で試験体８０を貼着等により固定した後、治具体８４を自由落下させ、試験体８０の後端面４０ｂを受け部材８５の受け面８５ａに衝突させた。
この衝突試験を１つの試験体８０につき、４回繰り返し行った。そして、４回行った後、試験体８０を治具体８４から取り外し、アクチュエータプレート４０又はダミー端子５３に欠けがどの程度発生したかを目視により確認した。
【００７２】
その結果を、表１に示す。
表１において、保護有無の「無」は、保護テープ６０を有さない従来のアクチュエータプレート４０を具備する比較例としての試験体８０を指し、「有」がアクチュエータプレート４０に保護テープ６０が貼着された試験体８０（本発明に係るヘッドチップに相当）を指す。
【００７３】
【表１】
2014200950.tif 000003
【００７４】
表１から明らかなように、欠けが確認された箇所の個数が、保護テープ６０が「無」の場合よりも、保護テープ６０が「有」の方が大幅に低減したことが明らかに認められた。この傾向は、保護テープ６０が「無」の５つの試験体８０と、保護テープ６０が「有」の５つの試験体８０との間において、全て同様に確認された。
これらの結果から、本発明に係る保護部材（保護テープ６０、保護膜６１）の作用効果を実際に確認することができ、本発明の有効性を十分に確認することができた。
【符号の説明】
【００７５】
Ｓ…被記録媒体
Ｌ１…厚さ方向
１…液体噴射記録装置（液体噴射装置）
２、３…搬送手段
４…液体噴射ヘッド
６…走査手段
２６、７０…ヘッドチップ
２８…制御手段
４０…アクチュエータプレート（圧電プレート）
４０Ａ…アクチュエータプレートの尾部
４０ｂ…アクチュエータプレートの後端面
４０ｃ…アクチュエータプレート一方の主面
４５Ａ…液体噴射チャネル（液体吐出溝）
４５Ｂ…ダミーチャネル（液体非吐出溝）
５０…吐出電極（第１駆動電極）
５１…吐出端子（第１接続端子部）
５２…ダミー電極（第２駆動電極）
５３…ダミー端子（第２接続端子部）
６０…保護テープ（保護部材）
６１…保護膜（保護部材）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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