(57)【要約】【課題】  上部保護膜のクリーニングに使用するための電極を配置することによる液体吐出ヘッドの大型化を抑制する。【解決手段】  液体吐出ヘッド用基板１００には、熱エネルギー発生素子１０４に対応する領域を少なくとも覆う上部保護膜１０７が備えられている。上部保護膜１０７ａと、これに液室１２０内で隣接する上部保護膜１０７のうちの少なくとも一つの上部保護膜１０７ｂとの間では、互いに異なる外部電極を介して電圧を印加可能である。【選択図】  図４
2014201047.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出するための熱エネルギーを発生する複数の熱エネルギー発生素子と、前記複数の熱エネルギー発生素子を覆う絶縁保護層と、前記絶縁保護層の前記熱エネルギー発生素子に対応する領域を少なくとも覆い、前記複数の熱エネルギー発生素子に対応して夫々設けられ、少なくともイリジウム及びルテニウムのいずれかを含む材料からなる上部保護膜と、をこの順に備えた液体吐出ヘッド用基板と、
複数の前記上部保護膜が内部に配された液室を、前記液体吐出ヘッド用基板と共に形成する液室形成部材と、
を有する液体吐出ヘッドにおいて、
前記上部保護膜と、該上部保護膜と前記液室内で隣接する前記上部保護膜のうちの少なくとも一つの前記上部保護膜との間では、互いに異なる外部電極を介して電圧を印加可能であることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
液体を吐出するための熱エネルギーを発生する複数の熱エネルギー発生素子と、前記複数の熱エネルギー発生素子を覆う絶縁保護層と、前記絶縁保護層の前記熱エネルギー発生素子に対応する領域を少なくとも覆い、前記複数の熱エネルギー発生素子に対応して夫々設けられ、液体との電気化学反応により溶出し、且つ前記熱エネルギー発生素子で発生された熱エネルギーによって前記溶出を妨げる酸化膜を形成しない材料からなる上部保護膜と、をこの順に備えた液体吐出ヘッド用基板と、
複数の前記上部保護膜が内部に配された液室を、前記液体吐出ヘッド用基板と共に形成する液室形成部材と、
を有する液体吐出ヘッドにおいて、
前記上部保護膜と、該上部保護膜と前記液室内で隣接する前記上部保護膜のうちの少なくとも一つの前記上部保護膜との間では、互いに異なる外部電極を介して電圧を印加可能であることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記液室内で互いに隣接する前記上部保護膜は、前記液室内で連通していることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記液室形成部材は、前記複数の熱エネルギー発生素子に夫々対応する吐出口を備えることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記液室内に配された前記複数の上部保護膜のうちの、第１の上部保護膜は、複数の第２の上部保護膜の間に設けられており、
前記第１の上部保護膜と、前記複数の第２の上部保護膜のうちのいずれか一方のみとが、前記互いに異なる外部電極に接続されていることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
前記液室内に配された前記複数の上部保護膜は、前記複数の上部保護膜の配設方向において、互いに異なる第１の外部電極と第２の外部電極とに交互に接続されていることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】
少なくともイリジウム及びルテニウムのいずれかを含む材料からなり、前記液室内において前記複数の上部保護膜のうちの端に設けられた上部保護膜との間に電圧を印加可能な電極が、前記端に設けられた上部保護膜と隣接して前記液室内に配されていることを特徴とする請求項６に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項８】
前記絶縁保護層と前記複数の上部保護膜との間には、導電性を有する材料からなる中間層が夫々設けられ、
前記上部保護膜は、前記中間層を介して前記外部電極と接続されていることを特徴とする請求項１乃至請求項７のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項９】
前記液室内で互いに隣接する前記上部保護膜の間には、前記液室に液体を供給する供給口が設けられていることを特徴とする請求項１乃至請求項８のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１０】
複数の前記供給口に共通に液体を供給する供給口が設けられていることを特徴とする請求項９に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１１】
液体を吐出するための熱エネルギーを発生し、互いに隣接する第１の熱エネルギー発生素子及び第２の熱エネルギー発生素子と、前記第１の熱エネルギー発生素子及び前記第２の熱エネルギー発生素子を覆う絶縁保護層と、前記絶縁保護層の前記第１の熱エネルギー発生素子に対応する領域を少なくとも覆う第１の上部保護膜、及び前記絶縁保護層の前記第２の熱エネルギー発生素子に対応する領域を少なくとも覆う第２の上部保護膜であって、少なくともイリジウム及びルテニウムのいずれかを含む材料からなる第１の上部保護膜及び第２の上部保護膜と、を備えた液体吐出ヘッド用基板と、
前記第１の上部保護膜及び前記第２の上部保護膜が内部に配された液室を、前記液体吐出ヘッド用基板と共に形成する液室形成部材と、
を有する液体吐出ヘッドにおいて、
前記第１の上部保護膜と前記第２の上部保護膜との間では、互いに異なる外部電極を介して電圧を印加可能であることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項１２】
液体を吐出するための熱エネルギーを発生し、互いに隣接する第１の熱エネルギー発生素子及び第２の熱エネルギー発生素子と、前記第１の熱エネルギー発生素子及び前記第２の熱エネルギー発生素子を覆う絶縁保護層と、前記絶縁保護層の前記第１の熱エネルギー発生素子に対応する領域を少なくとも覆う第１の上部保護膜、及び前記絶縁保護層の前記第２の熱エネルギー発生素子に対応する領域を少なくとも覆う第２の上部保護膜であって、液体との電気化学反応により溶出し、且つ前記熱エネルギー発生素子で発生された熱エネルギーによって前記溶出を妨げる酸化膜を形成しない材料からなる第１の上部保護膜及び第２の上部保護膜と、を備えた液体吐出ヘッド用基板と、
前記第１の上部保護膜及び前記第２の上部保護膜が内部に配された液室を、前記液体吐出ヘッド用基板と共に形成する液室形成部材と、
を有する液体吐出ヘッドにおいて、
前記第１の上部保護膜と前記第２の上部保護膜との間では、互いに異なる外部電極を介して電圧を印加可能であることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項１３】
請求項１乃至請求項１０のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドのクリーニング方法であって、
前記液室内で互いに隣接する前記上部保護膜のうちの一方がアノード電極、他方がカソード電極となるように電圧を印加することを特徴とする液体吐出ヘッドのクリーニング方法。
【請求項１４】
前記液室内で互いに隣接する前記上部保護膜の極性を反転させて電圧を印加することを特徴とする請求項１３に記載の液体吐出ヘッドのクリーニング方法。
【請求項１５】
請求項１乃至請求項１２のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドと、
前記異なる外部電極を介して電圧を印加可能な電圧印加手段と、
を有することを特徴とする液体吐出装置。
【請求項１６】
液体を吐出するための熱エネルギーを発生する複数の熱エネルギー発生素子と、
前記複数の熱エネルギー発生素子を覆う絶縁保護層と、
前記絶縁保護層の前記熱エネルギー発生素子に対応する領域を少なくとも覆い、前記複数の熱エネルギー発生素子に対応して夫々設けられ、少なくともイリジウム及びルテニウムのいずれかを含む材料からなる上部保護膜と、
をこの順に有する液体吐出ヘッド用基板において、
前記上部保護膜と、該上部保護膜と隣接する前記上部保護膜のうちの少なくとも一つの前記上部保護膜との間では、互いに異なる外部電極を介して電圧を印加可能であることを特徴とする液体吐出ヘッド用基板。
【請求項１７】
液体を吐出するための熱エネルギーを発生する複数の熱エネルギー発生素子と、
前記複数の熱エネルギー発生素子を覆う絶縁保護層と、
前記絶縁保護層の前記熱エネルギー発生素子に対応する領域を少なくとも覆い、前記複数の熱エネルギー発生素子に対応して夫々設けられ、液体との電気化学反応により溶出し、且つ前記熱エネルギー発生素子で発生された熱エネルギーによって前記溶出を妨げる酸化膜を形成しない材料からなる上部保護膜と、
をこの順に有する液体吐出ヘッド用基板において、
前記上部保護膜と、該上部保護膜と隣接する前記上部保護膜のうちの少なくとも一つの前記上部保護膜との間では、互いに異なる外部電極を介して電圧を印加可能であることを特徴とする液体吐出ヘッド用基板。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体を吐出する液体吐出ヘッド、液体吐出ヘッドのクリーニング方法、液体吐出装置、及び液体吐出ヘッド用基板に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液体吐出ヘッドとして代表的なインクジェットヘッドは、インクを吐出する複数の吐出口と、吐出口に連通する流路と、インクを吐出するために利用される熱エネルギーを発生する熱エネルギー発生素子としての電気熱変換素子とを有している。電気熱変換素子は、発熱抵抗体およびこれに電力を供給するための電極とで構成される。この電気熱変換素子が電気的絶縁性を有する絶縁保護層により被覆されることで、インクと電気熱変換素子との間の絶縁性が確保される。電気熱変換素子は駆動されることで熱エネルギーを発生し、電気熱変換素子の上方のインクとの接触部分（熱作用部）でインクが急激に加熱されて気泡が生じ、インクが吐出され、記録媒体に記録を行うことができる。
【０００３】
その際、インクジェットヘッドの熱作用部は、気泡の発生、収縮に伴うキャビテーションによる衝撃などの物理的作用やインクによる化学的作用を受ける。これらの影響から電気熱変換素子を保護するために、キャビテーションによる衝撃やインクによる化学的作用に対して比較的強いＴａ膜や白金族系（Ｉｒ、Ｒｕなど）の膜といった金属材料からなる上部保護層（上部保護膜）を設けている。
【０００４】
ここで、インクとの接触部分である熱作用部では、インクに含まれる色材等の添加物が高温加熱されることにより分解され、難溶解性の物質に変化し、上部保護層の表面に物理吸着される現象が起こる。この現象は「コゲ」と称されているが、このように上部保護層の熱作用部にコゲが付着すると、熱作用部からインクへの熱伝導が不均一になり、発泡が不安定となることによりインクの吐出特性に影響を及ぼす場合がある。
【０００５】
この課題を解決するための手法として、特許文献１には、インクとの電気化学反応を生じさせるための電極となるように上部保護層を設けて、電気化学反応により上部保護層の表面をインクに溶出させて熱作用部のコゲを除去する方法が記載されている。具体的には、コゲを除去する際に、熱作用部を備える上部保護層をアノード電極、熱作用部と同じインク流路内の、熱作用部とは異なる領域に配置された電極をカソード電極となるように電圧を印加する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００８−１０５３６４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、特許文献１のようにコゲの除去（クリーニング）に使用するための電極をインク流路に配置すると、電極を配置するためのスペースが必要となり、インクジェットヘッド基板のサイズが大きくなってしまう。
【０００８】
そこで、本発明は、上部保護膜のクリーニングに使用するための電極を配置することによる液体吐出ヘッドの大型化を抑制することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の液体吐出ヘッドは、液体を吐出するための熱エネルギーを発生する複数の熱エネルギー発生素子と、前記複数の熱エネルギー発生素子を覆う絶縁保護層と、前記絶縁保護層の前記熱エネルギー発生素子に対応する領域を少なくとも覆い、前記複数の熱エネルギー発生素子に対応して夫々設けられ、少なくともイリジウム及びルテニウムのいずれかを含む材料からなる上部保護膜と、をこの順に備えた液体吐出ヘッド用基板と、複数の前記上部保護膜が内部に配された液室を、前記液体吐出ヘッド用基板と共に形成する液室形成部材と、を有する液体吐出ヘッドにおいて、前記上部保護膜と、該上部保護膜と前記液室内で隣接する前記上部保護膜のうちの少なくとも一つの前記上部保護膜との間では、互いに異なる外部電極を介して電圧を印加可能であることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、上部保護膜のクリーニングに使用するための電極を配置することによる液体吐出ヘッドの大型化を抑制するができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の実施形態のインクジェット記録装置の斜視図である。
【図２】本発明の実施形態のインクジェットヘッドユニットの斜視図である。
【図３】本発明の実施形態のインクジェットヘッドを説明するための図である。
【図４】本発明の第１の実施形態のインクジェットヘッドの平面図である。
【図５】本発明の第１の実施形態のインクジェットヘッドの断面図である。
【図６】本発明の第１の実施形態の変形例のインクジェットヘッドの平面図である。
【図７】本発明の第２の実施形態のインクジェットヘッドの平面図である。
【図８】本発明の第３の実施形態のインクジェットヘッドの平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、図面を参照して本発明の実施形態を説明する。
【００１３】
（液体吐出装置）
本発明の実施形態に係る液体吐出装置としてのインクジェット記録装置の模式的斜視図を図１に示す。キャリッジ５００はインクジェットヘッドユニット４１０を取り付けて印字を行うために、ガイド５０２によって支持されている。ガイド５０２はシャーシに取り付けられており、記録媒体の搬送方向に対して直角方向にキャリッジ５００を往復走査させるように案内支持している。ガイド５０２は、シャーシに一体に形成されており、キャリッジ５００の後端を保持してインクジェットヘッドユニット４１０と記録媒体との隙間を維持する役割を果たしている。
【００１４】
キャリッジ５００は、シャーシに取り付けられたキャリッジモータ５０４によりタイミングベルト５０１を介して駆動される。また、タイミングベルト５０１は、アイドルプーリ５０３によって張設、支持されている。
【００１５】
上記構成において記録媒体に画像形成する場合、行位置に対しては、不図示の搬送ローラおよびピンチローラからなるローラ対が、記録媒体を搬送して位置決めする。また、列位置に対しては、キャリッジモータ５０４によりキャリッジ５００を上記搬送方向と垂直な方向に移動させて、インクジェットヘッドユニット４１０を目的の画像形成位置に配置させる。位置決めされたインクジェットヘッドユニット４１０が記録媒体に対してインクを吐出し、記録主走査と副走査とを交互に繰り返すことにより、記録媒体上に画像を形成する構成となっている。
【００１６】
（液体吐出ヘッドユニット）
図２は本発明の実施形態に係る液体吐出ヘッドユニットとしてのインクジェットヘッドユニット４１０の斜視図である。インクジェットヘッドユニット４１０は、インクジェットヘッド１と、電気配線テープ４０２、及びインクジェット記録装置（記録装置本体）と電気的に接続するためのコンタクト部（外部端子）４０３を備えている。
【００１７】
（液体吐出ヘッド）
図３（ａ）は本発明の実施形態に係る液体吐出ヘッドとしてのインクジェットヘッド１の一部を示す斜視片側断面図である。インクジェットヘッド１は、第１の面１１１と第２の面１１２を有する液体吐出ヘッド用基板としてのインクジェットヘッド用基板１００と、基板１００の第１の面１１１側に積層された、液室形成部材としての吐出口形成部材１２２とを備える。
【００１８】
図３（ｂ）はインクジェットヘッド用基板１００を第１の面１１１側から見た模式的平面図である。インクジェットヘッド用基板１００の第１の面１１１には外部電極１１３が設けられており、この外部電極１１３を介してインクジェットヘッド１は外部と電気的に接続される。
【００１９】
インクジェットヘッド用基板１００の第１の面１１１側には、インクと接触し、インクに吐出のための熱エネルギーを加える部分である熱作用部１０８と、熱作用部１０８にインクを供給する独立インク供給口１２１とが形成されている。また、インクジェットヘッド用基板１００の第２の面１１２側には、複数の独立インク供給口１２１に連通する共通インク供給口１１４が形成されている。独立インク供給口１２１と共通インク供給口１１４とによって、インクジェットヘッド用基板１００はその第１の面１１１と第２の面１１２とが貫通されている。
【００２０】
インクジェットヘッド用基板１００と吐出口形成部材１２２とでそれらの間にインク流路１２０（液室）が形成されており、インク流路１２０の内部には複数の熱作用部１０８が設けられている。また、複数の樹脂層が積層されて構成された吐出口形成部材１２２には、各熱作用部１０８に対応する位置に吐出口１２３が形成されている。共通インク供給口１１４からそれぞれの独立インク供給口１２１を通って供給されたインクは、インク流路１２０を通って複数の熱作用部１０８に供給される。熱エネルギーによって熱作用部１０８上のインクを発泡させて吐出口１２３からインクを吐出する。
【００２１】
（第１の実施形態）
図４は、本実施形態におけるインクジェットヘッド１の熱作用部１０８付近を第１の面１１１側から見た平面図であり、説明のために吐出口形成部材１２２を省いて示している。図５は、本実施形態における図４のインクジェットヘッドのＸ−Ｘ′線における断面図である。
【００２２】
隣接する複数の熱作用部１０８の間に独立インク供給口１２１が配置されている。また、隣接する複数の熱作用部１０８は、図４の破線で示すように共通のインク流路１２０内に設けられており、本実施形態では、４つの熱作用部１０８が共通のインク流路１２０内に設けられている。
【００２３】
図５において、１０１はシリコン基板、１０２は熱酸化膜，ＳｉＯ膜，ＳｉＮ膜等からなる蓄熱層、１０４は電気熱変換素子である。電気熱変換素子１０４は、ＴａＳｉＮ等の材料からなる発熱抵抗体層と、発熱抵抗体層の上に設けられたＡｌ，Ａｌ−Ｓｉ，Ａｌ−Ｃｕ等の金属材料からなる配線としての電極配線層とで構成されている。具体的には、電極配線層の一部を除去してギャップを形成し、その部分の発熱抵抗体層を露出することで、熱エネルギー発生素子としての電気熱変換素子１０４が形成されている。電極配線層は駆動素子回路ないし外部電源端子に接続されて、外部からの電力供給を受けることができる。１０６は、電気熱変換素子１０４や電極配線層の上層として設けられた絶縁保護層であり、ＳｉＯ膜，ＳｉＮ膜等からなる。
【００２４】
１０７は電気熱変換素子１０４の発熱に伴う化学的、物理的衝撃から電気熱変換素子１０４を守るための上部保護層（上部保護膜）であり、絶縁保護層１０６の電気熱変換素子１０４に対応する領域を少なくとも覆うように設けられている。上部保護層１０７の電気熱変換素子１０４に対応する部分が熱作用部１０８となり、電気熱変換素子１０４で発生させた熱エネルギーがこの熱作用部１０８を介してインクに付与される。
【００２５】
また、上部保護層１０７は、インクジェットヘッド１の使用によって熱作用部１０８の表面上に堆積されるコゲを除去するための電極としても用いられる。本実施形態では、インクと接する上部保護層１０７として、インク中での電気化学反応により溶出する金属、具体的にはイリジウム（Ｉｒ）を用いている。このＩｒは、大気中でも８００℃までは酸化膜を形成しない特性を有しているため、インクジェットヘッドの使用時に電気熱変換素子１０４によって熱エネルギーを発生させても、電気化学反応による上部保護層１０７のインクへの溶出が妨げられない。なお、上部保護層１０７の材料は、Ｉｒの他にはルテニウム（Ｒｕ）、Ｉｒ合金、Ｒｕ合金であってもよく、すなわち、ＩｒまたはＲｕを少なくとも含む材料を用いればよい。
【００２６】
この上部保護層１０７として用いるＩｒは一般的に絶縁保護層１０６との密着性が低いため、絶縁保護層１０６と上部保護層１０７との間に中間層としての密着層１０９、１１０をＴａ等の材料で形成することで、両者の密着性を向上させている。また、密着層１０９、１１０は、上部保護層１０７と外部電極とを電気的に接続する配線部を構成しており、導電性を有する材料を用いて形成される。密着層１０９、１１０は、絶縁保護層１０６に形成されたスルーホールに挿通され、電極配線層に接続されている。この電極配線層の一部は、外部との電気的接続を行うための外部電極１１３（図３（ｂ））をなしている。この外部電極１１３が上述した電気配線テープ４０２、コンタクト部４０３（図２）を介して記録装置本体と電気的に接続されることで、上部保護層１０７に対して電圧を印加することが可能な構成となっている。
【００２７】
図４に示すように、インクジェットヘッド用基板１００には密着層１０９と密着層１１０とが設けられており、これらはインクジェットヘッド用基板１００上では電気的に接続されておらず、互いに異なる第１の外部電極と第２の外部電極とに接続されている。ここで、隣接する２つの電気熱変換素子１０４（第１の熱エネルギー発生素子及び第２の熱エネルギー発生素子）に夫々対応する上部保護層１０７ａ（第１の上部保護膜）と上部保護層１０７ｂ（第２の上部保護膜）とは、共通のインク流路１２０に設けられている。また、上部保護層１０７ａ、１０７ｂはインク流路１２０内において連通している。そして、上部保護層１０７ａは密着層１０９に接続され、上部保護層１０７ｂは密着層１１０に接続されている。すなわち、上部保護層１０７ａと上部保護層１０７ｂとは互いに異なる外部電極に接続されており、異なる外部電極を介してそれらの間に電圧を印加可能な構成となっている。
【００２８】
そして、上部保護層１０７ａの熱作用部１０８のコゲを除去する際には、上部保護層１０７ａに隣接する上部保護層１０７ｂを他方の電極として用いる。すなわち、上部保護層１０７ａがアノード電極、隣接する上部保護層１０７ｂがカソード電極となるように、記録装置本体に設けられた電圧印加手段５１４によって、外部電極を介して電圧を印加する。これにより、インクと上部保護層１０７ａとで電気化学反応を生じさせて、上部保護層１０７ａの表面をコゲと共にインクに溶出させてコゲを除去する。その後、上部保護層１０７ａ、１０７ｂの極性を反転させて電圧を印加することで、上部保護層１０７ｂの表面をインクに溶出させて同様にコゲの除去を行う。
【００２９】
ここで、上述の通り、隣接する上部保護層１０７ａと１０７ｂは、インク流路１２０内において連通しているため、コゲ除去のための電極として互いの上部保護層１０７を用いることが可能となっている。本実施形態では、上部保護層１０７ａ、１０７ｂの間にはそれらの配設方向に交差する面を備えた壁が設けられていない。なお、コゲ除去のための電極として互いの上部保護層１０７を用いることが可能な構成であればよく、上部保護層１０７ａ、１０７ｂの間の領域に、例えばゴミを捉えるためのフィルタが設けられていてもよい。
【００３０】
このように、本実施形態では、共通のインク流路１２０内に設けられ、互いに隣接する上部保護層１０７ａと上部保護層１０７ｂとが異なる外部電極に接続された構成である。そして、上部保護層１０７ａのコゲの除去を行う際には、上部保護層１０７ｂをコゲ除去のための電極として用いる。したがって、コゲ除去の専用の電極をインク流路１２０内に設けなくても済むため、インクジェットヘッド用基板１００の大型化を抑制することができる。
【００３１】
これにより、インクジェットヘッド用基板１００の大型化に伴うウエハからの取り個数の減少が抑制されて、インクジェットヘッド１の製造コストの増大を防ぐことができる。また、独立インク供給口１２１と熱作用部１０８との間にコゲ除去専用の電極を設けることで両者の距離が長くなり、インク供給のための時間が長くなることによるヘッドの吐出性能の低下を防ぐことができる。
【００３２】
なお、本実施形態では、図４に示すように、共通のインク流路１２０内の互いに隣接する熱作用部１０８の間には独立インク供給口１２１が形成されている。そのため、熱作用部１０８上のコゲを除去する際に、いずれの上部保護層１０７に対しても安定的にインクが供給される。コゲの除去を行うと電気化学反応によってインクの成分が変化するが、このようにインクが安定的に供給されることでインクの成分の変化が抑制されて、より安定的なインクジェットヘッド１のクリーニングを行うことが可能となる。
【００３３】
図６は、本実施形態の変形例を示す図である。この変形例では、上述の構成と比べて独立インク供給口１２１の数を少なくしており、隣接する熱作用部１０８の間の一部には独立インク供給口１２１を設けていない構成である。これにより、独立インク供給口１２１を設けるためのスペースを減らすことができるので、インクジェットヘッド用基板１００のサイズをより小さくすることができる。なお、独立インク供給口１２１は、インク流路１２０に対して少なくとも１つ形成されていればよい。
【００３４】
なお、本実施形態では、１つの吐出口１２３に対して１つの電気熱変換素子１０４が設けられた構成であるが、１つの吐出口１２３に対して複数の電気熱変換素子１０４が設けられた構成であってもよい。この構成においても、上述したようにインク流路１２０内で互いに隣接する上部保護層１０７をそれぞれのコゲ除去用の電極として用いることができる。
【００３５】
（第２の実施形態）
図７は、本実施形態におけるインクジェットヘッド１の熱作用部１０８付近を第１の面１１１側から見た平面図であり、説明のために吐出口形成部材１２２を省いて示している。
【００３６】
本実施形態では、上述の実施形態に対して、上部保護層１０７と密着層１０９、１１０との配置構成が異なっている。上述の実施形態では、インク流路１２０内の上部保護層１０７の配設方向において、複数の上部保護層１０７が交互に異なる密着層１０９、１１０に接続されている。一方で本実施形態では、インク流路１２０内の上部保護層１０７ａの両側に配された２つの上部保護層１０７ｂのうちの一方が上部保護層１０７ａとは異なる外部電極に接続されており、他方が上部保護層１０７ａと同じ外部電極に接続されている。
【００３７】
このように本実施形態では、共通のインク流路１２０内に設けられたいずれの上部保護層１０７に対しても、その片側のみに異なる外部電極に接続された上部保護層１０７が配されている。したがって、いずれの上部保護層１０７についてもコゲの除去を同程度に行うことができ、より安定的にインクジェットヘッド１のクリーニングを行うことができる。
【００３８】
（第３の実施形態）
図８は、本実施形態におけるインクジェットヘッド１の熱作用部１０８付近を第１の面１１１側から見た平面図であり、説明のために吐出口形成部材１２２を省いて示している。
【００３９】
本実施形態では、第１の実施形態に対して、インク流路１２０内の上部保護層１０７の配設方向における端に設けられた上部保護層１０７ｂに隣接する位置に、コゲの除去専用の電極１１７を設けた構成である。図８では、電極１１７はインク流路１２０の端部に設けられている。この電極１１７は上部保護層１０７と同じ材料で形成されているが、その下層には電気熱変換素子１０４は形成されていない。
【００４０】
このように本実施形態では、いずれの上部保護層１０７に対してもその両側に、異なる外部電極に接続された上部保護層１０７またはコゲの除去専用の電極１１７が配されている。したがって、いずれの上部保護層１０７についてもコゲの除去を同程度に行うことができ、より安定的にインクジェットヘッド１のクリーニングを行うことができる。
【符号の説明】
【００４１】
１  インクジェットヘッド（液体吐出ヘッド）
１００  インクジェットヘッド用基板（液体吐出ヘッド用基板）
１０４  電気熱変換素子（熱エネルギー発生素子）
１０６  絶縁保護層
１０７  上部保護層（上部保護膜）
１０９  密着層（中間層）
１１０  密着層（中間層）
１１３  外部電極
１２０  インク流路（液室）
１２２  吐出口形成部材（液室形成部材）
【図１】
2014201047.tif 000003
【図２】
2014201047.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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