(57)【要約】      （修正有）【課題】大きさの異なる複数の太陽電池に対して複数種類の太陽電池を的確に欠陥検査ができるようにする。【解決手段】複数のセルを直列に接続した太陽電池Ｓにおける複数のセルのうちの１つを検査対象セルとし、残りのセルを非検査対象セルとして欠陥検査を行う、太陽電池の欠陥検査装置１であって、主光源装置５と、非検査対象セルの受光面をバイアス照射する副光源装置１０Ｌ、１０Ｒと、を備え、副光源装置１０Ｌ、１０Ｒは、第１の副光源体１０ａと第２の副光源体１０ｂとを有し、第１の副光源体１０ａと第２の副光源体１０ｂは、太陽電池Ｓのセルの受光面の大きさに応じて選択的に動作させられる。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のセルを直列に接続した太陽電池における前記複数のセルのうちの１つを検査対象セルとし、残りのセルを非検査対象セルとして欠陥検査を行う、太陽電池の欠陥検査装置であって、
内部に収納空間を有する枠体と、
前記枠体の前記収納空間内に設けられ、前記検査対象セルの受光面を光のビームでスキャンする、主光源装置と、
前記枠体の前記収納空間内に設けられ、前記非検査対象セルの受光面をバイアス照射する副光源装置と、
前記太陽電池をその受光面を前記収納空間に向けて支持する支持手段と、
を備え、
前記副光源装置は、第１の副光源体と第２の副光源体とを有し、
前記第１の副光源体は、受光面が第１の大きさである前記セルを有する前記太陽電池における前記非検査対象セルの受光面を照射するものとして構成され、
前記第２の副光源体は、受光面が第１の大きさとは異なる第２の大きさである前記セルを有する前記太陽電池における前記非検査対象セルの受光面を照射するものとして構成され、
前記第１の副光源体と前記第２の副光源体は、前記太陽電池の前記セルの受光面の大きさが前記第１の大きさのものか、あるいは前記第２の大きさのものか、に応じて選択的に動作させられるものとして構成されている、
ことを特徴とする、太陽電池の欠陥検査装置。
【請求項２】
前記主光源装置は前記枠体の底壁に取り付けられ、前記副光源装置は前記枠体の側壁に取り付けられており、
さらに、一対の前記副光源装置を有し、前記一対の副光源装置は前記主光源装置を挟んで幅方向左右に設けられており、
前記副光源装置は、水平面に対して所定の角度だけ傾いた状態で、前記枠体の側壁に取り付けられており、
前記副光源装置における前記第１の副光源体と前記第２の副光源体は、前記収納空間内に幅方向左右に並んだ状態で取り付けられていることを特徴とする請求項１記載の太陽電池の欠陥検査装置。
【請求項３】
前記副光源装置の前記副光源体はマトリクス状に配列した複数の光源を有することを特徴とする請求項１又は２記載の太陽電池の欠陥検査装置。
【請求項４】
前記主光源装置の光源はレーザであり、前記副光源装置の前記副光源体の前記光源は発光ダイオードである、ことを特徴とする請求項１乃至３の１つに記載の太陽電池の欠陥検査装置。
【請求項５】
前記主光源装置及び前記副光源装置のそれぞれを制御する光源制御回路と、
前記太陽電池から出力された電流を与えられ、電圧に変換して出力する電流電圧変換器と、
前記電流電圧変換器から出力された電圧をデジタルデータに変換して出力するA/D変換器と、
前記A/D変換器から出力されたデジタルデータに画像処理を行って画像データを出力する画像処理装置と、
前記画像処理装置から出力された前記画像データを与えられて画像表示を行う表示器と、
をさらに備えることを特徴とする請求項１乃至４の１つに記載の太陽電池の欠陥検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は太陽電池の欠陥を検出する欠陥検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、エネルギー問題や環境意識の高まりから、太陽電池の技術開発が急速に進められている。太陽エネルギーを有効に利用するため、太陽電池そのものの性能を検査し、欠陥のある太陽電池やその欠陥部位を製造工程で特定し、太陽電池の開発や製造に反映させることは重要である。
【０００３】
従来、太陽電池の検査方法としては、太陽電池受光面に発光ダイオードやレーザなどの指向性の強い光源からの光を局所的に照射し、起電流分布を測定することで部分的な欠陥や不良を検知する方法が知られている。
【０００４】
特許文献１は、太陽電池受光面の一部を平行に並ぶ副光源の間に配置された主光源により照射し、主光源が照射する部分以外の受光面を、端部が枠体に固定された複数の副光源により照射し、この状態において出力特性の面分布を測定し欠陥を局所的に特定する検査装置を開示している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１０−２３８９０６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献1に開示される検査装置のように、光源を主光源と副光源とを互いに固定されたものとして構成すると、検査対象となる太陽電池のサイズによっては光源による照射範囲がずれるおそれがあるという問題がある。
【０００７】
このため、このような装置を用いると、特に、複数のセルを直列に接続した太陽電池では、被検査セルへの副光源による本来このましくない照射が行われたり、被検査セル以外の全てのセルへの副光源によるバイアスを掛けるための的確な照射ができなくなったりして、正確な電流値を測定することができなくなり、正確な欠陥検査ができなくなるおそれがある。
【０００８】
そこで、このような場合には、段取り替えを行うなどして光源の幅や位置を調整する必要がある。或いは、段取り替え作業を省くために、太陽電池の端から端までカバーするよう副光源を敷き詰めて配置し、セルのサイズに合わせて点灯箇所と消灯箇所を電気的に制御する方法も考えられる。しかし、この方法では、電気回路の規模が増大しコストも増加するのが避けられない。
【０００９】
本発明は、上記の問題を解消しようとするもので、その目的は、検査対象とする太陽電池を構成するセルのサイズが変わった場合にあっても、変化後のセルにたいしても副光源により的確にバイアスを掛けるべく照射でき、それにより複数の太陽電池に対しても的確に欠陥検査ができるようにした太陽電池の欠陥検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の太陽電池の欠陥検査装置は、
複数のセルを直列に接続した太陽電池における前記複数のセルのうちの１つを検査対象セルとし、残りのセルを非検査対象セルとして欠陥検査を行う、太陽電池の欠陥検査装置であって、
内部に収納空間を有する枠体と、
前記枠体の前記収納空間内に設けられ、前記検査対象セルの受光面を光のビームでスキャンする、主光源装置と、
前記枠体の前記収納空間内に設けられ、前記非検査対象セルの受光面をバイアス照射する副光源装置と、
前記太陽電池をその受光面を前記収納空間に向けて支持する支持手段と、
を備え、
前記副光源装置は、第１の副光源体と第２の副光源体とを有し、
前記第１の副光源体は、受光面が第１の大きさである前記セルを有する前記太陽電池における前記非検査対象セルの受光面を照射するものとして構成され、
前記第２の副光源体は、受光面が第１の大きさとは異なる第２の大きさである前記セルを有する前記太陽電池における前記非検査対象セルの受光面を照射するものとして構成され、
前記第１の副光源体と前記第２の副光源体は、前記太陽電池の前記セルの受光面の大きさが前記第１の大きさのものか、あるいは前記第２の大きさのものか、に応じて選択的に動作させられるものとして構成されている、ことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、寸法等の異なる複数のセルからなる複数の種類の太陽電池に対しても容易且つ的確に欠陥検査を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の実施形態における太陽電池の欠陥検査装置の全体を示す平面説明図。
【図２】図１のII−II線に沿った断面説明図。
【図３】図２において大きな太陽電池Ｓ１を支持した場合の主光源装置のビームの振れを示す説明図。
【図４】図２において小さな太陽電池Ｓ２を支持した場合の主光源装置のビームの振れを示す説明図。
【図５】図１において大きな太陽電池Ｓ１を支持する場合の太陽電池Ｓ１と各部材との位置関係を示す平面説明図。
【図６】図１において小さな太陽電池Ｓ２を支持する場合の太陽電池Ｓ２と各部材との位置関係を示す平面説明図。
【図７】図２において大きな太陽電池Ｓ１を支持した場合の副光源装置の副光源体の一方によるバイアス照射を示す説明図。
【図８】図２において小さな太陽電池Ｓ２を支持した場合の副光源装置の副光源体の他方によるバイアス照射を示す説明図。
【図９】本発明の実施形態における太陽電池の欠陥検査装置のシステムを示すブロック図。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
本発明の実施形態における太陽電池の欠陥検査装置について説明する前に、その検査装置による検査の基本的な考え方を簡単に説明する。
【００１４】
本実施形態で言う太陽電池は、複数のセルを電極を介して直列接続したものである。検査に当たっては、複数のセルのうちの１つを検査対象セルとし、残りの複数のセルを非検査対象セルとする。複数の前記非検査対象セルに副光源装置によってバイアス照射し、この状態で主光源装置によって１つの前記検査対象セルを照射して検査する。この後、検査の終わった検査対象セルを非検査対象セルとすると共に、複数の非検査対象セルのうちの１つを検査対象セルとなし、上記の検査を順次繰り返す。
【００１５】
而して、本発明者は、上記のような検査動作において、前記非検査対象セルを副光源装置で均等に且つ十分に照射して、的確なバイアス状態を作り上げることが極めて重要であると認識している。特に、検査対象とする太陽電池の大きさが変わった場合には、特にセルが連なった方向に沿ったセルの位置関係が変わって、副光源により複数の非検査対象セルの全てが十分的確に照射されないおそれがある。本発明者はまさにこの本発明者に独自の認識に基づいて本発明をなすに至ったものである。つまり、本発明は、検査対象とする太陽電池の大きさが変わって特にセルの前記連なった方向に沿った位置関係がずれても、副光源による複数の非検査対象セルを的確に照射して的確なバイアス状態を実現し、それにより検査を的確に実施できるようにしたものである。
【００１６】
このような観点で構成された本発明の実施形態について以下に図面を参照してより詳しく説明する。
【００１７】
図1は、本発明の実施形態の太陽電池の欠陥検査装置１における平面説明図であり、図２は図１のII−II線に沿った断面説明図である。この検査装置１は、図１からわかるように、上方が開放し内部が収納空間ＳＰとされた容器状の枠体２を備える。この枠体２の縦断面形状は図２からわかるようにチャネル状となっており、内部が前記収納空間ＳＰとなっている。特に図２から分かるように、枠体２の底板２ａ上に、上面にレール３を付設した基台４が固定されている。前記レール３及び前記基台４は、図１からわかるように、Ｘ軸方向（長手方向）に所定の長さを有するものとして構成されている。前記レール３に対して主光源装置５がＸ軸方向（長手方向）に摺動可能に取り付けられている。つまり、主光源装置５は、駆動機構（図示せず）によって、Ｘ軸方向（長手方向）に往復動可能とされている。
【００１８】
前記主光源装置５は、レーザ光源等の光源（図示せず）を備え、図３に示すように、レンズ５ＡからビームＢＭを射出する。前記ビームＢＭは、スキャナミラー（図示せず）によって、図３及び図４に示すように、ＹＺ平面において、所定の角度α１及びα２だけ往復振する（光学的に振れる）。前記スキャナミラーとしては、ポリゴンミラー、ガルバノミラー、MEMSミラー等を用いることができ、図３及び図４に示すように、その光学振り角度（往復振）（α１，α２）は、ビームＢＭが太陽電池Ｓ（Ｓ１，Ｓ２）のセルＣ（Ｃ１，Ｃ２）のセル端から数mm程度、外側に飛び出すように設定する。つまり、このような主光源装置５の光学的な振れ（往復振）によって、後述するように、太陽電池Ｓ（Ｓ１、Ｓ２）の検査対象セルＣ（Ｃ１，Ｃ２）は十分にＹ方向（幅方向）に往復スキャンされる。つまり、図３は図５に示すある寸法の太陽電池Ｓ１のセルＣ１を検査する場合のビームＢＭの往復振の角度α１を示し、図４は図６に示すそれよりも小さい寸法の太陽電池Ｓ２のセルＣ２を検査する場合のビームＢＭの往復振の角度α２を示す。なお、図４の場合も、往復振の角度は角度α１とすることもできる。
【００１９】
主光源装置５により図３、図４に示すような太陽電池Ｓ（Ｓ１，Ｓ２）のセルＣ（Ｃ１，Ｃ２）に対するＹ方向（幅方向）のスキャンが行われるが、これと同時に主光源装置５は、図１からわかるように、レール３に沿ってＸ軸方向（長手方向）に移動する。つまり、主光源装置５はＸ軸方向（長手方向）へ移動しながらセルＣ（Ｃ１，Ｃ２）をＹ方向（幅方向）へスキャンする。これにより、測定対象とする太陽電池Ｓ（Ｓ１，Ｓ２）のセルＣ（Ｃ１，Ｃ２）は、いわゆるラスタースキャンされることになり、受光面の全面のスキャンが行われる。
【００２０】
さらに、図２からわかるように、枠体２内の収納空間ＳＰには、補助部材２１，２２及び所定の手段（図示せず）によって、主光源装置５を挟んだ左右に副光源装置１０Ｌ、１０Ｒが、照射光が太陽電池Ｓ（Ｓ１，Ｓ２）を的確に照射するように、図示の向きで且つ角度βをもって取り付けられている。これらの補助部材２１，２２は、前記主光源装置５からのビームＢＭを遮らないように配置されているのは当然である。
【００２１】
図１からわかるように、これらの副光源装置１０Ｌ、１０Ｒは、それぞれ、Ｘ軸方向（長手方向）に所定の間隔をおいて複数が設けられている。各副光源装置１０Ｌ、１０Ｒは、図２及び図１からわかるように、構造は同一のものとして構成されている。
【００２２】
よって、まず、図２において左側の副光源装置１０Ｌについて説明する。この副光源装置１０Ｌは２つの副光源体１０ａ、１０ｂを有する。特に図１から分かるように、各副光源体１０ａ、１０ｂは、共に、ＬＥＤ（発光ダイオード）等の複数の光源１１，１１，・・・を有する。これらの光源１１の数は特には限定はされない。これらの光源１１は、図１に示すように、Ｙ方向（幅方向）に２列をもってＸ軸方向（長手方向）に配列されている。且つ、前記２列は、光源１１の配置密度を高めるため、図１において左右に位置関係を半分だけずらして配置されている。なお、各副光源体１０ａ、１０ｂにおいて、それぞれ光源１１をＹ方向（幅方向）において３列以上とすることもできる。これらの副光源体１０ａ、１０ｂの違いは、図１からわかるように、Ｘ軸方向（長手方向）における副光源体１０ａ、１０ｂのピッチｐａ、ｐｂが違うところにある。ここで、ピッチとは、副光源体１０ａ，１０ｂのＸ方向の長さと隣り合う副光源体１０ａ，１０ｂまでの隙間とを足した長さによって決められる。つまり、副光源体１０ａのＸ軸方向（長手方向）のピッチpaが、副光源体１０ｂのＸ軸方向（長手方向）のピッチpbよりも長い。これは照射する太陽電池Ｓ（Ｓ１，Ｓ２）セルＣ（Ｃ１，Ｃ２）の大きさに起因する。つまり、ピッチpaはセルＣ１における受光面の大きさ（特にＸ軸方向の長さ）に対応しており、ピッチpbはセルＣ２における受光面の大きさ（特にＸ軸方向の長さ）に対応している。これにより、図１から分かるように、Ｘ方向において、副光源体１０ａの配置間隔は副光源体１０ｂのそれよりも大きい。これにより、図５，図６から分かるように、副光源体１０ａ、１０ｂのX軸方向における位置と、セルＣ１，Ｃ２のX軸方向における位置とが対応して、セルＣ１，Ｃ２のようにつまり太陽電池Ｓ１，Ｓ２のように大きさが変わってもより適切なバイアス照射が可能となっている。
【００２３】
なお、図１は、副光源体１０ａ，１０ｂがＸ軸方向において同期した部分を中心として表している。上述のように、副光源体１０ａ，１０ｂは、それらのピッチｐａ，ｐｂが異なることから、図１に示すように、副光源体１０ａ、１０ｂの中央からの離間の仕方は異なるものとなり、互いのずれは次第に大きなものとなるのは当然である。
【００２４】
以上の構成は、図２における右側の副光源装置１０Ｒにおいても同様である。
【００２５】
なお、上述の副光源装置１０Ｌ、１０Ｒは、非検査対象セルを的確に照射するという上述の機能を実現できればよく、その構造は特には限定はされない。
【００２６】
また、複数の副光源体１０ａ，１０ａ，１０ａ，・・・；１０ｂ，１０ｂ，１０ｂ・・・のそれぞれにおいて、Ｘ軸方向（長手方向）の光源１１，１１，・・・の配列長さと、測定対象とする太陽電池Ｓ（Ｓ１，Ｓ２）のセルＣ（ＣＩ，Ｃ２），Ｃ（ＣＩ，Ｃ２），Ｃ（ＣＩ，Ｃ２）・・・における受光面間のＸ軸方向（長手方向）の長さとを、一致させることもできる。
【００２７】
図２からわかるように、前記枠体２の上端近傍には、太陽電池Ｓ（Ｓ１，Ｓ２）を載せる天板としてのガラス等の透明な検査テーブル１４が設けられている。つまり、枠体２の左右の側壁２ｂ、２ｂ間に前記検査テーブル１４が跨設されている。この検査テーブル１４上に、先にも簡単に述べたように、図３、図４に示す如く、検査対象としての太陽電池Ｓ〔Ｓ１（Ｃ１，Ｃ１，・・・），Ｓ２（Ｃ２，Ｃ２，・・・）〕が受光面を下にした状態で載置される。図３、図４に対応する平面説明図は図５、図６に示される。
【００２８】
さらに、図５、図６のそれぞれにおける太陽電池Ｓ（Ｓ１，Ｓ２）のセルＣ（Ｃ１，Ｃ２）のうちの前記非検査対象セルの照射は、図７、図８に示されるように、それぞれ副光源装置１０Ｌ、１０Ｒにより的確に行われる。つまり、前記非検査対象セルの照射について言えば、図５の太陽電池Ｓ１のセルＣ１のうちの非検査対象セルは図７からわかるように副光源体１０ａによって行われ、図６の太陽電池Ｓ２のセルＣ２のうちの非検査対象セルは図８からわかるように副光源体１０ｂによって行われる。つまり、検査テーブル１４に載置する太陽電池Ｓ（Ｓ１，Ｓ２）のセルＣ（Ｃ１，Ｃ２）のサイズに応じて副光源体１０ａ、１０ｂの何れかが選択されて動作する。この選択は前記サイズに応じて自動的にまたは人的に切り換えられる電子スイッチ等によって行われる。即ち、本発明の実施形態においては、図７で載置した大きめの太陽電池Ｓ１を検査するときには、左右の副光源装置１０Ｌ、１０Ｒにおけるそれぞれ外側（斜め上側）の副光源体１０ａ，１０ａによって照射し、図８で載置した小さめの太陽電池Ｓ２を検査するときには、左右の副光源装置１０Ｌ、１０Ｒにおけるそれぞれ内側（斜め下側）の副光源体１０ｂ，１０ｂによって照射する。つまり、検査対象とする太陽電池Ｓ（Ｓ１，Ｓ２）の大きさによって、副光源装置１０Ｌ、１０Ｒのうちの内側、外側のいずれの副光源体１０ａ、１０ｂを使用するかが、太陽電池Ｓ（Ｓ１，Ｓ２）セルＣ（Ｃ１，Ｃ２）の大きさに応じて切り換えられる。これにより、検査対象とする太陽電池の大きさを問わず、的確に非検査対象セルをバイアス照射し、的確な検査を実施することができる。つまり、本実施形態では、後述する光源制御回路（図９）によって、太陽電池Ｓ（Ｓ１，Ｓ２）における全てのセルＣを副光源装置１０Ｌ、１０Ｒで照射し、検査対象とするセルＣのみは消灯し、消灯した検査対象とするセルＣは主光源装置５で照射して検査を行うようにしている。
【００２９】
以上の説明からもわかるように、図７，図８において、太陽電池Ｓ１，Ｓ２のバイアス照射は光源１１によってこれらの図に示すように行われる。この光源１１としては、これらの図に示すような指向性を有するものが採用され、且つ、取付けの向き等が調整されて、それにより太陽電池Ｓ１，Ｓ２における非検査対象セルを図示のように的確にバイアス照射できるように構成されている。
【００３０】
なお、例えば図１に示すように、副光源装置１０Ｌ、１０Ｒはそれぞれ２段の副光源体１０ａ、１０ｂで構成するようにしたが、必要に応じてこれ以上、例えば３段構成とすることもできる。
【００３１】
なお、本実施形態では、図５、図６に示したセルＣ（Ｃ１，Ｃ２）に対する副光源装置１０Ｌ、１０Ｒによるバイアス照射の切り替えについて説明したが、セルＣとしては図５、図6に示した以外の第3の大きさのセルを用いることもできる。この場合には、第3のセルＣに対し的確にバイアス照射できるように、予め、副光源装置１０Ｌ、１０Ｒの副光源体１０ａ、１０ｂにおける光源１１の数、配置を用いたセルＣに合わせたものとすればよい。
【００３２】
また、図２を参照して説明するに、副光源体１０ａ、１０ｂを所定の手段（各種の接手等）により枠体２に対する取り付けの傾きを調節可能に取り付けることもできる。これにより、検査対象とする太陽電池の非検査対象セルに応じて種々の方向への傾きを調節して、より的確に非検査対象セルをバイアス照射することができる。また、前記第３のセルを用いた場合も、副光源体１０ａ、１０ｂの傾きの調節により、的確にバイアス照射を行うことができる場合もある。
【００３３】
さらに、上記した副光源体１０ａ、１０ｂとは異なる第３の副光源体１０ｃ（図示せず）を準備しておき、副光源体１０ａ、１０ｂを枠体２に取り外し可能に取り付けておき、第３の太陽電池Ｓ（図示せず）を検査する場合には、例えば副光源体１０ａを第３の副光源装置１０ｃと交換して枠体２に着脱可能に取り付けるように構成することもできる。第４以上の太陽電池Ｓの場合も同様である。
【００３４】
以上の説明で本発明の実施形態の構造及び動作がわかったとおもうが、以下に検査動作の流れを簡単に説明する。
【００３５】
−  例えば、まず、図３に示すように、検査対象とする太陽電池Ｓ１を検査テーブル１４上に前記移動機構を用いて位置決めして載置する。
【００３６】
−  大きな太陽電池Ｓ１を載置した場合には、載置したこの太陽電池Ｓ１に応じて、副光源装置１０Ｌ、１０Ｒにおいて副光源体１０ａが、自動的にあるいは手動によって、選択される。
【００３７】
−  図５において、太陽電池Ｓ１のセルＣ１をＣ（Ｃ１１）からＣ（Ｃ１２）、・・・と順に検査すべく、副光源装置１０Ｌ、１０Ｒにおける副光源体１０ａにより検査対象とするセルＣ（Ｃ１１）を除く非検査対象のセルＣ（Ｃｎｍ）をバイアス照射する。
【００３８】
−  この状態の前後いずれかにおいて、図５からわかるように、主光源装置５がレール３に沿って、検査対象とするセルＣ１（Ｃ１１）をラスタースキャン開始するのに適した位置に移動する。（図５は検査途中における主光源装置５の位置を示しているため、図５で言えば、主光源装置５はＸ軸方向（長手方向）に沿って左側に移動されることになる。）
【００３９】
−  次に、図３からわかるように、太陽電池Ｓ１のセルＣ１（Ｃ１１）を主光源装置５によりビームＢＭを角度α１で振りながら幅方向にスキャンし、且つ、主光源装置５がレール３に沿って図５中を右方向に移動し、いわゆるラスタースキャンを行う。
【００４０】
−  このようにしてセルＣ（Ｃ１１）の検査が終わったら、次にセルＣ（Ｃ１２）を検査する。つまり、副光源装置１０Ｌ、１０Ｒの副光源体１０ａによりセルＣ（Ｃ１２）を除くセルＣ（Ｃｘｙ）をバイアス照射しておく。この状態で、Ｃ（Ｃ１２）を主光源装置５でラスタースキャンする。
【００４１】
−  以後上記の動作を太陽電池Ｓ１について順次行う。
【００４２】
−  このようにして太陽電池Ｓ１のセルＣの検査が終わったら、次に小さい太陽電池Ｓ２のセルＣを検査するとする。
【００４３】
−  この場合には、前記太陽電池Ｓ１を検査テーブル１４から取り除き、新たな太陽電池Ｓ２を、前記と同様に検査テーブル１４上に載置する。
【００４４】
−  これに伴って、副光源装置１０Ｌ、１０Ｒにおいて、今度は副光源体１０ｂが選択され、この副光源体１０ｂが太陽電池Ｓ２のセルＣ２のうちの検査対象セルを除いたセルＣ２をバイアス照射する。
【００４５】
−  以後、前記した太陽電池Ｓ１のセルＣ１の時と同様に検査動作が行われる。
【００４６】
図９は、本発明の実施形態の装置の全体的なブロック図を示す。
【００４７】
この図９からわかるように、光源制御回路２１は、主光源装置５を動作させると共に、検査テーブル１４上に載置された太陽電池Ｓの種類に応じて、検査装置１における副光源装置１０Ｌ、１０Ｒのいずれかを選択的に動作させる。検査装置１は、主光源装置５の動作と、副光源装置１０Ｌ、１０Ｒのうちのいずれかの選択動作のもと、検査中の太陽電池Sに応じた電流を電流電圧変換器２３に加える。電流電圧変換器２３は入力電流を電圧に変換してA/D変換器２４に加える。A/D変換器２４は入力電圧をデジタル信号に変換して画像処理装置２５に加える。画像処理装置２５は入力されたデジタル信号を処理し、処理済みの画像データを表示器２６に加える。表示器２６は入力された画像データを画像として表示する。この表示によって、検査中の太陽電池Ｓの正常、欠陥が把握される。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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