(57)【要約】【課題】製造コストが安価で、各構成部材間の接着性に優れ、かつ耐候性および水蒸気バリア性に優れた太陽電池用バックシート、及びそれを含む太陽電池モジュールを提供することを目的とする。【解決手段】第一層、第二層、および第三層をこの順で積層した太陽電池用バックシートであって、前記第一層が、耐候性ポリエステル系樹脂フィルム及びフッ素系樹脂フィルムからなる群より選択される耐候性フィルムであり、前記第二層が、ポリエチレン、ポリプロピレン、及びエチレン−プロピレン共重合体からなる群より選ばれる１種以上のポリオレフィン系樹脂１００重量部に対して、エポキシ基含有ビニルモノマー１〜３０重量部をグラフト化して得られる変性ポリオレフィン系樹脂層であり、前記第三層が、ポリエステルからなる層であって、さらに無機酸化物からなる蒸着層を前記第二層面とは反対の面に積層した太陽電池用バックシートであって、該無機酸化物層の材料の主成分がＳｉ，Ａｌ、Ｏ、平均厚みが５０〜５００ｎｍ、中心線平均粗さがＳＲａ５０ｎｍ〜３００ｎｍとすることにより課題を解決することが出来る。【選択図】    なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
第一層、第二層、および第三層をこの順で積層した太陽電池用バックシートであって、前記第一層が、耐候性ポリエステル系樹脂フィルム及びフッ素系樹脂フィルムからなる群より選択される耐候性フィルムであり、前記第二層が、ポリエチレン、ポリプロピレン、及びエチレン−プロピレン共重合体からなる群より選ばれる１種以上のポリオレフィン系樹脂１００重量部に対して、エポキシ基含有ビニルモノマー１〜３０重量部をグラフト化して得られる変性ポリオレフィン系樹脂層であり、前記第三層が、ポリエステルからなる層であって、さらに無機酸化物からなる蒸着層を前記第二層面とは反対の面に積層した太陽電池用バックシートであって、該無機酸化物層の材料の主成分がＳｉ，Ａｌ、Ｏ、平均厚みが５０〜５００ｎｍ、中心線平均粗さＲａが５０ｎｍ〜３００ｎｍであることを特徴とする太陽電池用バックシート。
【請求項２】
太陽電池用バックシートの蒸着面と太陽電池用封止材をラミネートした際のバックシートと封止材間の平均接着強度が、２０（Ｎ／ｃｍ）以上である、請求項１に記載の太陽電池用バックシート。
【請求項３】
太陽電池用バックシートの蒸着面と太陽電池用封止材を１１５℃〜１７５℃でラミネートした際のバックシートと封止材間の平均接着強度が、２０（Ｎ／ｃｍ）以上である、請求項１に記載の太陽電池用バックシート。
【請求項４】
太陽電池用バックシートの蒸着面と太陽電池用封止材をラミネートした際のバックシートと封止材間の最大接着強度が、４０（Ｎ／ｃｍ）以上である、請求項１〜３に記載の太陽電池用バックシート。
【請求項５】
前記第一層と前記第二層間の接着強度、および、前記第二層と前記第三層間の接着強度が、５（Ｎ／ｃｍ）以上であり、前記太陽電池用バックシートの水蒸気透過度（測定条件：４０℃、９０％ＲＨ）が０．００１〜１．０ｇ／（ｍ2・ｄａｙ）である、請求項１〜４のいずれかに記載の太陽電池用バックシート。
【請求項６】
前記第一層の厚みが４００μｍ以下、前記第二層の厚みが５〜２５０μｍ、前記第三層の厚みが１〜４００μｍであることを特徴とする請求項５に記載の太陽電池用バックシート。
【請求項７】
前記第一層とフィルム状の前記第三層の間に、前記第二層を構成する樹脂含有材料を押し出すことで、押出ラミネートにより形成される、請求項６に記載の太陽電池用バックシート。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、太陽電池用バックシート、及びそれを含む太陽電池モジュールに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、資源の有効利用や環境汚染の防止などの観点から、太陽光を電気エネルギーに直接変換する太陽電池に関する注目が高まっており、さらなる研究が進められている。
【０００３】
太陽電池には種々の形態があり、代表的なものとして、アモルファスシリコン系太陽電池、結晶シリコン系太陽電池、さらには色素増感型太陽電池などがある。
【０００４】
シリコン系太陽電池は、一般に、表面保護材、シリコン発電素子、裏面封止材、およびバックシート（裏面保護シート）などから構成される。
【０００５】
アモルファスシリコン系太陽電池は、シリコンの使用量が少ないという利点を有するものの、湿度の影響を受けやすいため、高湿度下においては水蒸気の浸入により出力が低下するといった問題があった。この問題を解消するために、耐湿性（水蒸気バリア性）に優れたバックシートが開発されている。
【０００６】
バックシートには、耐湿性によってシリコン発電素子とリード線などの内容物を保護する機能に加え、耐候性、耐熱性、耐水性、絶縁性、および耐腐食性が求められ、さらには、裏面封止材として通常使用されるエチレン−酢酸ビニル共重合体（ＥＶＡ）との接着性などが求められる。
【０００７】
このようなバックシートとしては、例えば、ポリフッ化ビニル（ＰＶＦ）／アルミニウム箔／ＰＶＦの３層構造のバックシートが知られ、長年に渡り用いられている（特許文献１）。これは、アルミニウム箔の高い水蒸気バリア性を利用し、ＰＶＦフィルムにより耐候性および絶縁性を付与した構造のバックシートである。しかしながら、ＰＶＦは、裏面封止材として使用されるＥＶＡとの接着性に乏しいという問題があり、さらに、高価であるという問題もあった。
【０００８】
また、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム／金属酸化物を蒸着した樹脂フィルム／ＰＥＴフィルムの積層構造のバックシートが提案されている（特許文献２）。しかしながら、ＰＥＴフィルムは、裏面封止材として使用されるエチレン−酢酸ビニル共重合体（ＥＶＡ）との接着性に乏しいという課題があった。裏面封止材として使用されるＥＶＡとの接着性を改善するために、バックシートにプライマーを予め塗布する試みが検討されているが、バックシートのコストアップの要因の１つとなっているため、改良の余地があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００８−２３５８８２号公報
【特許文献２】特開２００２−１００７８８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は、上記現状に鑑み、本発明が解決しようとする課題は、製造コストが安価で、各構成部材間の接着性に優れ、かつ耐候性および水蒸気バリア性に優れた太陽電池用バックシート、及びそれを含む太陽電池モジュールを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明者らは鋭意検討の結果、特定の変性を施したポリオレフィン系樹脂を介して耐候性フィルムと蒸着フィルムを積層することにより、製造コストが安価でありながら、接着性と水蒸気バリア性双方に優れた太陽電池用バックシートを提供できることを見出し、本発明を完成した。
【００１２】
すなわち、本願発明は以下の構成を有するものである。
１）．第一層、第二層、および第三層をこの順で積層した太陽電池用バックシートであって、前記第一層が、耐候性ポリエステル系樹脂フィルム及びフッ素系樹脂フィルムからなる群より選択される耐候性フィルムであり、前記第二層が、ポリエチレン、ポリプロピレン、及びエチレン−プロピレン共重合体からなる群より選ばれる１種以上のポリオレフィン系樹脂１００重量部に対して、エポキシ基含有ビニルモノマー１〜３０重量部をグラフト化して得られる変性ポリオレフィン系樹脂層であり、前記第三層が、ポリエステルからなる層であって、さらに無機酸化物からなる蒸着層を前記第二層面とは反対の面に積層した太陽電池用バックシートであって、該無機酸化物層の材料の主成分がＳｉ，Ａｌ、Ｏ、平均厚みが５０〜５００ｎｍ、中心線平均粗さＲａが５０ｎｍ〜３００ｎｍであることを特徴とする太陽電池用バックシート。
２）．太陽電池用バックシートの蒸着面と太陽電池用封止材をラミネートした際のバックシートと封止材間の平均接着強度が、２０（Ｎ／ｃｍ）以上である、１）に記載の太陽電池用バックシート。
３）．太陽電池用バックシートの蒸着面と太陽電池用封止材を１１５℃〜１７５℃でラミネートした際のバックシートと封止材間の平均接着強度が、２０（Ｎ／ｃｍ）以上である、請求項１に記載の太陽電池用バックシート。
４）．太陽電池用バックシートの蒸着面と太陽電池用封止材をラミネートした際のバックシートと封止材間の最大接着強度が、４０（Ｎ／ｃｍ）以上である、１）〜３）に記載の太陽電池用バックシート。
５）．前記第一層と前記第二層間の接着強度、および、前記第二層と前記第三層間の接着強度が、２（Ｎ／ｃｍ）以上であり、前記太陽電池用バックシートの水蒸気透過度（測定条件：４０℃、９０％ＲＨ）が０．００１〜１．０ｇ／（ｍ2・ｄａｙ）である、１）〜４）のいずれかに記載の太陽電池用バックシート。
６）．前記第一層の厚みが４００μｍ以下、前記第二層の厚みが５〜２５０μｍ、前記第三層の厚みが１〜４００μｍであることを特徴とする、５）に記載の太陽電池用バックシート。
７）．前記第一層とフィルム状の前記第三層の間に、前記第二層を構成する樹脂含有材料を押し出すことで、押出ラミネートにより形成される、６）に記載の太陽電池用バックシート。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の太陽電池用バックシートは、高バリア層と易接着層の機能を蒸着層の一層で達成できる。さらに、製造コストが安価であるという利点を有する。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
本発明の太陽電池用バックシートは、少なくとも第一層、第二層、および第三層をこの順で積層して含む積層体からなる。
【００１５】
（第一層）
本発明の太陽電池用バックシートにおける第一層は、耐候性ポリエステル系樹脂フィルム及びフッ素系樹脂フィルムからなる群より選択される耐候性フィルムである。第一層は、太陽電池より最も離れた位置に配置される。太陽電池用バックシートは、直接屋外に暴露されるため、耐候性（耐ＵＶ光、耐湿、耐熱、耐塩害等）が要求されるが、第一層として耐候性フィルムを用いることで耐候性を備えることができる。
【００１６】
前記耐候性ポリエステル系樹脂フィルムを構成するポリエステル樹脂としては、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）が挙げられる。好ましくはＰＥＴ、ＰＥＮであり、より好ましくはＰＥＴである。前記フッ素系樹脂フィルムを構成するフッ素系樹脂としては、ポリエチレンフルオライド、ポリエチレンジフルオライド（ポリフッ化ビニリデン、ＰＶＤＦ）が挙げられ、好ましくはＰＶＤＦである。
【００１７】
前記耐候性ポリエステル系樹脂フィルムとしては、ポリエステル系樹脂に紫外線吸収剤等を配合することで耐候性を付与したフィルム、ポリエステル系樹脂フィルム表面にフッ素系塗料を塗布して耐候性を付与したフィルム、二軸延伸ポリエステル系樹脂フィルムを用いることができる。
【００１８】
また、前記耐候性ポリエステル系樹脂フィルムを含む第一層の厚みは屈曲性のバランスの観点から、４００μｍ以下であることが好ましく、２００μｍ以下であることがより好ましい。４００μｍよりも厚いと、屈曲性が低下することがある。
【００１９】
（第二層）
本発明の太陽電池用バックシートにおける第二層は、第一層と第三層との間に挟まれることになる。第二層は後述するバックシート製造時の押出ラミネートにより成形される層であり、第一層と第三層を接着する役割を果たす他、バックシートに所定の水蒸気バリア性を付与することもできる。
【００２０】
第二層は、ポリエチレン、ポリプロピレン、及びエチレン−プロピレン共重合体からなる群より選ばれる１種以上のポリオレフィン系樹脂１００重量部に対して、エポキシ基含有ビニルモノマー１〜３０重量部、及び芳香族ビニルモノマー０．１〜３０重量部をグラフト化して得られる変性ポリオレフィン系樹脂を含む。当該変性ポリオレフィン系樹脂では、ポリオレフィン系樹脂のマトリックス中に、エポキシ基を含むグラフト鎖がサブミクロンオーダーのドメインを形成するという層構造を有しており、これにより、水蒸気バリア性を発揮することができる。また、当該変性ポリオレフィン系樹脂からなる層は、第一層と第三層との接着性に優れている。そのため、第一層と第三層との接着にあたって、従来の太陽電池用バックシートで使用されているような接着剤を使用する必要がない。
【００２１】
（ポリオレフィン系樹脂）
第二層におけるポリオレフィン系樹脂は、ポリエチレン、ポリプロピレン、及びエチレン−プロピレン共重合体（ＥＰＣＰ）からなる群より選ばれる１種以上のポリオレフィン系樹脂であり、好ましくはエチレン−プロピレン共重合体である。
【００２２】
前記ポリエチレンとしては、低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）、高密度ポリエチレン（ＨＤＰＥ）、直鎖状低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）が挙げられるが、工業的規模で安価に製造できるという点でＬＤＰＥが好ましい。前記ＬＬＤＰＥとは、エチレンとα―オレフィン（プロピレン、ブテン、ヘキセン、オクテン、４−メチルペンテン等）とを共重合することで短鎖分岐が導入された密度の低いポリエチレンである。
【００２３】
前記ポリプロピレンは、好ましくは、融解熱量が１０Ｊ／ｇ以下の軟質ポリプロピレン系樹脂（例えばダウケミカル社のＶｅｒｓｉｆｙ）である。ここで軟質ポリプロピレン系樹脂としては、後述するエチレン−プロピレン共重合体（ＥＰＣＰ）とは別に、エチレンプロピレンラバー（ＥＰＲ）を用いてもよい。このＥＰＲとは、一般にブロックタイプと呼ばれるポリエチレンとポリプロピレンの混合体等（例えば、プライムポリマー社のプライムＴＰＯ、サンアロマー社のリアクターＴＰＯであるＣａｔａｌｌｏｙ等）を示す。
【００２４】
前記エチレン−プロピレン共重合体（ＥＰＣＰ）とは、エチレンと、プロピレンと、必要に応じて添加される１−ブテン、１−ヘキセン、及び１−オクテンからなる群より選ばれる１種以上とのランダム共重合体またはブロック共重合体である。好ましくはエチレンとプロピレンのみからなるランダム共重合体である。本発明では、太陽電池用バックシートとして必要な柔らかさを確保する観点、必要なラミネート加工性を確保する観点、接着に適した温度領域を適正化する観点、及び、変性ポリオレフィン系樹脂製造のための溶融混練時に樹脂の変性反応を十分に進行させる観点から、エチレン含有量が５〜１５重量％のエチレン−プロピレン共重合体を用いることがより好ましい。
【００２５】
（変性ポリオレフィン系樹脂）
第二層における変性ポリオレフィン系樹脂は、前記ポリオレフィン系樹脂にエポキシ基含有ビニルモノマー及び芳香族ビニルモノマーをグラフト化して得られるグラフト変性体である。この変性体は、ラジカル重合開始剤の存在下、前記ポリオレフィン系樹脂に対しエポキシ基含有ビニルモノマー及び芳香族ビニルモノマーを反応させることで製造することができる。
【００２６】
第二層を構成するポリオレフィン系樹脂に官能基としてエポキシ基を導入することで、第一層と第三層の接着性を改善することができ、さらに、カルボキシル基や無水酸基等の酸性基とは異なり、第二層の水蒸気バリア性を低下させることがない。また、エポキシ基含有ビニルモノマーと共に芳香族ビニルモノマーをグラフトすることで、エポキシ基含有ビニルモノマーのグラフト率（エポキシ基含有ビニルモノマーの、ポリオレフィン系樹脂との反応率）を高めることができ、エポキシ基導入による利点を確実に達成することができる。
【００２７】
前記グラフト化を実施するためのグラフト重合反応としては特に制限されないが、溶液重合、含浸重合、溶融重合などを用いることができる。特に、溶融重合が簡便で好ましい。溶融重合においては、重合開始剤および各モノマーの存在下で、ポリオレフィン系樹脂の溶融混練を行なえばよい。
【００２８】
（エポキシ基含有ビニルモノマー）
本発明で使用されるエポキシ基含有ビニルモノマーとしては特に限定されないが、例えば、メタクリル酸グリシジル、アクリル酸グリシジル、マレイン酸モノグリシジル、マレイン酸ジグリシジル、イタコン酸モノグリシジル、イタコン酸ジグリシジル、アリルコハク酸モノグリシジル、アリルコハク酸ジグリシジル、ｐ−スチレンカルボン酸グリシジル、アリルグリシジルエーテル、メタアリルグリシジルエーテル、スチレン−ｐ−グリシジルエーテル、ｐ−グリシジルスチレン、３，４−エポキシ−１−ブテン、３，４−エポキシ−３−メチル−１−ブテンなどのエポキシオレフィン、ビニルシクロヘキセンモノオキシドなどが挙げられる。これらは１種のみを使用してもよいし、２種類以上を併用してもよい。
【００２９】
これらのうち、メタクリル酸グリシジル、アクリル酸グリシジルが安価という点で好ましく、特にメタクリル酸グリシジルが好ましい。
【００３０】
前記エポキシ基含有ビニルモノマーの添加量は、ポリオレフィン系樹脂１００重量部に対して１〜３０重量部であることが好ましく、１〜１５重量部であることがより好ましく、１〜１０重量部であることがさらに好ましく、１〜５重量部であることが特に好ましい。エポキシ基含有ビニルモノマーの添加量が少なすぎると接着性が充分に改善されない傾向があり、添加量が多すぎると好適な形状や外観を有する層を形成できない傾向がある。
【００３１】
（芳香族ビニルモノマー）
本発明で使用される芳香族ビニルモノマーとしては特に限定されないが、例えば、スチレン；ｏ−メチルスチレン、ｍ−メチルスチレン、ｐ−メチルスチレン、α−メチルスチレン、β−メチルスチレン、ジメチルスチレン、トリメチルスチレンなどのメチルスチレン；ｏ−クロロスチレン、ｍ−クロロスチレン、ｐ−クロロスチレン、α−クロロスチレン、β−クロロスチレン、ジクロロスチレン、トリクロロスチレンなどのクロロスチレン；ｏ−ブロモスチレン、ｍ−ブロモスチレン、ｐ−ブロモスチレン、ジブロモスチレン、トリブロモスチレンなどのブロモスチレン；ｏ−フルオロスチレン、ｍ−フルオロスチレン、ｐ−フルオロスチレン、ジフルオロスチレン、トリフルオロスチレンなどのフルオロスチレン；ｏ−ニトロスチレン、ｍ−ニトロスチレン、ｐ−ニトロスチレン、ジニトロスチレン、トリニトロスチレンなどのニトロスチレン；ｏ−ヒドロキシスチレン、ｍ−ヒドロキシスチレン、ｐ−ヒドロキシスチレン、ジヒドロキシスチレン、トリヒドロキシスチレンなどのビニルフェノール；ｏ−ジビニルベンゼン、ｍ−ジビニルベンゼン、ｐ−ジビニルベンゼンなどのジビニルベンゼン；ｏ−ジイソプロペニルベンゼン、ｍ−ジイソプロペニルベンゼン、ｐ−ジイソプロペニルベンゼンなどのジイソプロペニルベンゼン；などが挙げられる。これらは１種のみを使用してもよいし、２種類以上を併用してもよい。
【００３２】
これらのうち、スチレン；α−メチルスチレン、ｐ−メチルスチレンなどのメチルスチレン、ジビニルベンゼン単量体またはジビニルベンゼン異性体混合物が安価であるという点で好ましく、特にスチレンが好ましい。
【００３３】
前記芳香族ビニルモノマーの添加量は、ポリオレフィン系樹脂１００重量部に対して０．１〜３０重量部であることが好ましく、１〜３０重量部であることがより好ましく、１〜１５重量部であることがさらに好ましい。特に３〜５重量部が好ましい。芳香族ビニルモノマーの添加量が少なすぎると、ポリオレフィン系樹脂に対するエポキシ基含有ビニルモノマーのグラフト率が劣る傾向がある。また、添加量が多すぎると、前記グラフト率が飽和域に達する傾向があるため経済的ではない。
【００３４】
（ラジカル重合開始剤）
ポリオレフィン系樹脂に対して、エポキシ基含有ビニルモノマー及び芳香族ビニルモノマーをグラフト共重合する際、重合反応を開始するため、ラジカル重合開始剤を添加する。
【００３５】
本発明で使用されるラジカル重合開始剤としては、過酸化物またはアゾ化合物などが挙げられる。
【００３６】
具体的には、メチルエチルケトンパーオキサイド、メチルアセトアセテートパーオキサイドなどのケトンパーオキサイド、１，１−ビス（ｔ−ブチルパーオキシ）−３，３，５−トリメチルシクロヘキサン、１，１−ビス（ｔ−ブチルパーオキシ）シクロヘキサン、ｎ−ブチル−４，４−ビス（ｔ−ブチルパーオキシ）バレレート、２，２−ビス（ｔ−ブチルパーオキシ）ブタンなどのパーオキシケタール、パーメタンハイドロパーオキサイド、１，１，３，３−テトラメチルブチルハイドロパーオキサイド、ジイソプロピルベンゼンハイドロパーオキサイド、クメンハイドロパーオキサイドなどのハイドロパーオキサイド、ジクミルパーオキサイド、２，５−ジメチル−２，５−ジ（ｔ−ブチルパーオキシ）ヘキサン、α，α′−ビス（ｔ−ブチルパーオキシ−ｍ−イソプロピル）ベンゼン、ｔ−ブチルクミルパーオキサイド、ジ−ｔ−ブチルパーオキサイド、２，５−ジメチル−２，５−ジ（ｔ−ブチルパーオキシ）ヘキシン−３などのジアルキルパーオキサイド、ベンゾイルパーオキサイドなどのジアシルパーオキサイド、ジ（３−メチル−３−メトキシブチル）パーオキシジカーボネート、ジ−２−メトキシブチルパーオキシジカーボネートなどのパーオキシジカーボネート、ｔ−ブチルパーオキシオクテート、ｔ−ブチルパーオキシイソブチレート、ｔ−ブチルパーオキシラウレート、ｔ−ブチルパーオキシ−３，５，５−トリメチルヘキサノエート、ｔ−ブチルパーオキシイソプロピルカーボネート、２，５−ジメチル−２，５−ジ（ベンゾイルパーオキシ）ヘキサン、ｔ−ブチルパーオキシアセテート、ｔ−ブチルパーオキシベンゾエート、ジ−ｔ−ブチルパーオキシイソフタレートなどのパーオキシエステルなどが挙げられる。
【００３７】
中でも、水素引き抜き能が高いことから、１，１−ビス（ｔ−ブチルパーオキシ）−３，３，５−トリメチルシクロヘキサン、１，１−ビス（ｔ−ブチルパーオキシ）シクロヘキサン、ｎ−ブチル−４，４−ビス（ｔ−ブチルパーオキシ）バレレート、２，２−ビス（ｔ−ブチルパーオキシ）ブタンなどのパーオキシケタール、ジクミルパーオキサイド、２，５−ジメチル−２，５−ジ（ｔ−ブチルパーオキシ）ヘキサン、α，α′−ビス（ｔ−ブチルパーオキシ−ｍ−イソプロピル）ベンゼン、ｔ−ブチルクミルパーオキサイド、ジ−ｔ−ブチルパーオキサイド、２，５−ジメチル−２，５−ジ（ｔ−ブチルパーオキシ）ヘキシン−３などのジアルキルパーオキサイド、ベンゾイルパーオキサイドなどのジアシルパーオキサイド；ｔ−ブチルパーオキシオクテート、ｔ−ブチルパーオキシイソブチレート、ｔ−ブチルパーオキシラウレート、ｔ−ブチルパーオキシ−３，５，５−トリメチルヘキサノエート、ｔ−ブチルパーオキシイソプロピルカーボネート、２，５−ジメチル−２，５−ジ（ベンゾイルパーオキシ）ヘキサン、ｔ−ブチルパーオキシアセテート、ｔ−ブチルパーオキシベンゾエート、ジ−ｔ−ブチルパーオキシイソフタレートなどを用いることが好ましい。上記のラジカル重合開始剤は、単独で、または２種以上を混合して用いることができる。
【００３８】
ラジカル重合開始剤の添加量は、変性反応を十分に進行せしめる観点、及び得られる変性体の流動性、機械的特性を確保する観点から、ポリオレフィン系樹脂１００重量部に対して、０．０１〜１０重量部であることが好ましく、０．２〜５重量部であることがより好ましい。
【００３９】
（添加剤）
第二層を構成する変性ポリオレフィン系樹脂に対しては、添加剤として、熱可塑性樹脂、エラストマー、粘着付与剤（タッキファイヤー）、可塑剤、酸化防止剤、金属不活性剤、リン系加工安定剤、紫外線吸収剤、紫外線安定剤、蛍光増白剤、金属石鹸、制酸吸着剤、ラジカル捕捉剤、水分捕捉剤などの安定剤、架橋剤、連鎖移動剤、核剤、滑剤、充填材、強化材、顔料、染料、難燃剤、帯電防止剤などを添加することができる。好ましい添加剤は、粘着付与剤（タッキファイヤー）、可塑剤であり、特に好ましくは粘着付与剤である。
【００４０】
前記熱可塑性樹脂としては、例えば、アクリロニトリル−ブタジエン−スチレン共重合体、その水素化物、ポリスチレン、ポリ塩化ビニル、ポリメタクリル酸メチル、ポリウレタン、ポリエステル、ポリ乳酸などが挙げられる。
【００４１】
前記エラストマーとしては、例えば、スチレン系熱可塑性エラストマー（ＴＰＳ）、オレフィン系熱可塑性エラストマー（ＴＰＯ）、ブチルゴム、アクリルゴム、ブタジエンゴム、イソプレンゴム、スチレン−ブタジエンゴムなどが挙げられる。
【００４２】
前記可塑剤としては、例えば、パラフィン系プロセスオイル、ナフテン系プロセスオイル、芳香族系プロセスオイルなどの石油系プロセスオイル、シリコーン系オイル、液状ポリブテン、液状ポリイソプレンなどの低分子量液状ポリマーが例示される。
【００４３】
前記ラジカル捕捉剤としては、例えば、フェノール系捕捉剤、リン系捕捉剤、イオウ系捕捉剤、ＨＡＬＳ系捕捉剤等が挙げられる。前記ラジカル捕捉剤は、第二層を構成する樹脂に０〜３質量％含有させることが好ましい。
【００４４】
前記水分捕捉剤としては、アルカリ土類金属の酸化物、硫酸塩、珪酸塩等が挙げられる。好ましくはゼオライトである。前記水分捕捉剤は、第二層を構成する樹脂に０〜２０質量％含有させることが好ましい。
【００４５】
前記粘着付与樹脂、即ちタッキファイヤーとしては特に制限はないが、例えば、ロジン系樹脂（ガムロジン、トール油ロジン、ウッドロジン、水添ロジン、不均化ロジン、重合ロジン、マレイン化ロジン、ロジン・グリセリンエステル、水添ロジン・グリセリンエステル等）、テルペンフェノール樹脂、その水添物、テルペン樹脂（α−ピネン主体、β−ピネン主体、ジペンテン主体等）、その水添物、芳香族炭化水素変性テルペン樹脂、石油樹脂（脂肪族系、脂環族系、芳香族系等）、クマロン・インデン樹脂、スチレン系樹脂（スチレン系、置換スチレン系等）、フェノール系樹脂（アルキルフェノール樹脂、ロジン変性フェノール樹脂等）、キシレン樹脂等が挙げられる。これらは単独で、または２種以上を併用して用いる事ができる。
【００４６】
好ましい粘着付与樹脂としては、数平均分子量が３００〜３０００で、ＪＩＳＫ−２２０７に定められた環球法に基づく軟化点が２０〜２００℃、より好ましくは６０〜１５０℃である低分子の樹脂である。
【００４７】
本発明で使用される粘着付与樹脂としては、テルペン系樹脂であることが好ましく、相溶性、耐熱性がよいという理由により、テルペンフェノール樹脂、水添テルペン樹脂、及び水添テルペンフェノール樹脂からなる群より選ばれる１種以上がより好ましく、透明性確保の観点から水添テルペンフェノール樹脂がさらに好ましい。
【００４８】
テルペンフェノール樹脂の中でも、相溶性および粘着力の向上という理由により、軟化点は２０℃〜２００℃の範囲にあり、数平均分子量は３００〜１２００までの範囲にあるテルペンフェノール樹脂が特に好ましい。
【００４９】
前記水添テルペン樹脂の具体例としては、ヤスハラケミカル社製クリアロンＰタイプ（ジペンテン樹脂の水添物、非極性タイプ、クリアロンＰ−１０５）、ヤスハラケミカル社製Ｋタイプ（芳香族変性テルペン樹脂の水添物、極性タイプ、クリアロンＫ−４１００）が挙げられる。
【００５０】
前記水添テルペンフェノール樹脂の具体例としては、ヤスハラケミカル社製のＹＳポリスターＴＨ１３０、ＵＨ１１５が挙げられる。
【００５１】
本発明で使用され得る粘着付与樹脂の配合量は特に限定されないが、変性ポリオレフィン系樹脂１００重量部に対し０．１〜５０重量部が好ましく、０．１〜３０重量部がより好ましく、０．３〜２０重量部が更に好ましく、０．５〜１０重量部が特に好ましい。
【００５２】
以上の添加剤は、原料のポリオレフィン系樹脂に予め添加しておいてもよく、ポリオレフィン系樹脂を変性する溶融混練時に添加してもよく、また前記変性ポリオレフィン系樹脂を製造した後に添加してもよい。
【００５３】
第二層を構成する変性ポリオレフィン系樹脂含有組成物は、シランカップリング剤を含まないことが好ましい。シランカップリング剤は、経時変化のために信頼性確保に難があり、歩留まりの低下を招くことがあるためである。シランカップリング剤を使用しないことで、本発明の太陽電池用バックシートを用いた太陽電池モジュールの信頼性を向上させることができ、また、高歩留まりで製造することができる。
【００５４】
（溶融混練）
前記変性ポリオレフィン系樹脂を製造するために使用する溶融混練の装置としては、押出機、バンバリーミキサー、ミル、ニーダー、加熱ロールなどが挙げられる。生産性の面から、単軸または２軸の押出機を用いることが好ましい。また、各々の材料を充分に均一に混合するために、溶融混練を複数回繰返してもよい。
【００５５】
溶融混練時の各成分の添加順序及び方法については特に限定されないが、好ましくは、ポリオレフィン系樹脂とラジカル重合開始剤を溶融混練してなる混合物に、エポキシ基含有ビニルモノマー、および芳香族ビニルモノマーを加えて溶融混練することが好ましい。これにより、グラフトに寄与しない低分子量体の生成を抑制して、グラフト率を向上させることができる。その他必要に応じ添加される材料の添加順序及び方法についても特に限定されない。溶融混練時の加熱温度は、ポリオレフィン系樹脂が充分に溶融し、かつ熱分解しないという点で、１００〜３００℃が好ましい。より好ましくは１３０〜２５０℃である。また溶融混練の時間（ラジカル重合開始剤を混合してからの時間）は、通常３０秒間〜６０分間である。
【００５６】
本発明において、前記変性ポリオレフィン系樹脂を含む第二層の厚みは５〜２５０μｍである。第二層の厚みが５μｍよりも薄いと、第二層による十分な接着性および水蒸気バリア性を実現することができない。逆に２５０μｍを超えると、太陽電池モジュールを製造する過程で、真空ラミネートに必要な時間が長くなってしまうため、太陽電池用バックシート用途では実質的に使用できないこととなる。より好ましくは３０〜２２５μｍである。
【００５７】
本発明において、第一層と第二層との間の接着強度は５（Ｎ／ｃｍ）以上であることが好ましい。これにより、接着剤を別途用いることなく、太陽電池用バックシートとして必要な層間の接着性を実現することができる。この接着強度は後述する押出ラミネートにより達成することができる。
【００５８】
（第三層）
第三層は第二層に積層されており、第三層がポリエステル系樹脂フィルム表面に無機物または無機酸化物からなる蒸着層が積層された蒸着ポリエステル系樹脂フィルム（蒸着層を片面に有するポリエステル系樹脂フィルム）からなる層であって第三層は、後述するバックシート製造時の押出ラミネートにより成形されてもよいし、予め成形されている樹脂フィルムであってもよい。
【００５９】
前記蒸着ポリエステル系樹脂フィルムを構成するポリエステル樹脂としては、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）が挙げられる。好ましくはＰＥＴ、ＰＥＮであり、より好ましくはＰＥＴである。前記フッ素系樹脂フィルムを構成するフッ素系樹脂としては、ポリエチレンフルオライド、ポリエチレンジフルオライド（ポリフッ化ビニリデン、ＰＶＤＦ）が挙げられ、好ましくはＰＶＤＦである。また、ポリエステル系樹脂に紫外線吸収剤等を配合することで耐候性を付与したフィルム、二軸延伸ポリエステル系樹脂フィルムを用いることができる。
【００６０】
無機物または無機酸化物からなる蒸着層としては、主成分が、Ｓｉ、Ａｌ、Ｏからなる蒸着層を用いることができる。蒸着層は、Ｓｉ、ＳｉＯ、ＳｉＯ2、Ａｌ、ＡｌＯ、Ａｌ2Ｏ3また、ＳｉＮ、ＳｉＯＮなどの混合物から成り立っていると考えられ、これらの比率は製造条件に依存する。
【００６１】
無機物または無機酸化物からなる蒸着層の厚みは、ガスバリア性と可撓性の観点から、１０〜５００ｎｍであることが好ましく、１５〜３００ｎｍであることがより好ましい。蒸着層の形成には、真空蒸着法、スパッタ法、イオンプレーティング法などのＰＶＤ法（物理蒸着法）、あるいは、ＣＶＤ法（化学蒸着法）などを用いることができる。
【００６２】
蒸着ポリエステル系樹脂フィルムとしては、無機物または無機酸化物からなる蒸着層のさらに上に、高分子皮膜層（樹脂コート層ともいう）が積層されたものを用いることもできる。高分子皮膜層を構成する高分子としては、ポリ塩化ビニリデン、ポリビニルアルコール、エチレン−ビニルアルコール共重合体などが例示される。これらは、単独で用いても良く、混合して用いても良い。高分子皮膜層を積層することにより、蒸着層のピンホールなどを被覆することができ、より高度の水蒸気バリア性を達成することができる。
【００６３】
蒸着ポリエステル系樹脂フィルムの好ましい態様としては、シリカ及びアルミナからなる蒸着層を有し、水蒸気透過度（測定条件：４０℃、９０％ＲＨ）が０．０００１〜１．０ｇ／（ｍ2・ｄａｙ）である蒸着ＰＥＴフィルムがある。さらに好ましい態様としては、シリカ及び／またはアルミナからなる蒸着層に、ポリ塩化ビニリデン、ポリビニルアルコール、およびエチレン−ビニルアルコール共重合体からなる群より選ばれる少なくとも１種を含有する高分子皮膜層を積層してなる蒸着ＰＥＴフィルムがある。このような蒸蒸着ＰＥＴフィルムは、水蒸気バリア性、屈曲性、及び耐熱性に特に優れている。
【００６４】
蒸着ポリエステル系樹脂フィルムの水蒸気透過度（測定条件：４０℃、９０％ＲＨ）は、セルへの水分浸入を抑止する観点から、０．０００１〜１．０ｇ／（ｍ2・ｄａｙ）であることが好ましく、０．０００１〜０．１ｇ／（ｍ2・ｄａｙ）であることがより好ましく、０．０００１〜０．０１ｇ／（ｍ2・ｄａｙ）であることが更に好ましい。水蒸気透過度の測定方法としては、ＪＩＳ  Ｋ  ７１２８に記載の方法が用いられる。水蒸気透過度が高いと、太陽電池バックシートを通じた太陽電池素子への水分侵入を抑止できず、劣化を引き起こす可能性がある。
【００６５】
蒸着ポリエステル系樹脂フィルムの厚みは、水蒸気バリア性、ハンドリング性及び屈曲性のバランスの観点から、１〜４００μｍであることが好ましく、５〜２００μｍであることがより好ましい。１μｍよりも薄いと、水蒸気バリア性が不足することがあり、さらにハンドリング性が悪くなる。一方、４００μｍよりも厚いと、屈曲性が低下することがある。
【００６６】
蒸着層の平均厚みは、水蒸気バリア性、及び製造コストの観点から、５０〜５００ｎｍであることが好ましく、１００〜４００ｎｍであることがより好ましい。５０ｎｍよりも薄いと、水蒸気バリア性が不足することがあり、５００ｎｍよりも厚いと、製造時のコストが高くなる。
【００６７】
蒸着層の中心線平均粗さＲａは接着性、水蒸気バリア性の観点から、５０ｎｍ〜３００ｎｍであることが好ましく、７０ｎｍ〜２５０ｎｍであることがより好ましい。５０ｎｍよりも表面が平滑であると、アンカー効果が得られにくく、封止材との接着性が悪くなり、３００ｎｍより粗いと蒸着層の厚みとのバランスにより、ピンホールが発生して、水蒸気バリア性が不足する。
【００６８】
本発明において、第二層と第三層との間の接着強度は５（Ｎ／ｃｍ）以上であることが好ましい。これにより、接着剤を別途用いることなく、太陽電池用バックシートとして必要な層間の接着性を実現することができる。この接着強度は後述する押出ラミネートにより達成することができる。
【００６９】
なお、本発明の太陽電池用バックシートを構成する層として、予め成形されているフィルムを使用する場合には、接着性付与を目的として、そのフィルム表面にコロナ処理、プラズマ処理、プライマーコート塗布等の処理を施しておいてもよい。
【００７０】
（物性）
本発明の太陽電池用バックシートは、高度の水蒸気バリア性を達成するため、水蒸気透過度（測定条件：４０℃、９０％ＲＨ）が０．０００１〜１．０ｇ／（ｍ2・ｄａｙ）を示すことが好ましい。０．０００１〜０．１ｇ／（ｍ2・ｄａｙ）がより好ましく、０．０００１〜０．０１ｇ／（ｍ2・ｄａｙ）が更に好ましい。水蒸気透過度の測定方法としては、ＪＩＳ  Ｋ  ７１２８に記載の方法が用いられる。
【００７１】
（製法）
次に、本発明の太陽電池用バックシートを製造する方法について説明する。しかし、本発明の太陽電池用バックシートは以下の製造方法によって限定されるものではない。
【００７２】
まず、第三層として成形済みのフィルムを用いて、本発明の太陽電池用バックシートを製造する方法について説明する。
【００７３】
製造方法は、第一層がフィルムであることに加え、第三層も成形済みのフィルムであり、第一層と第三層の間に第二層を構成する樹脂含有材料を押し出すことで、押出ラミネートにより太陽電池用バックシートを形成する。
【００７４】
まず、第二層を構成する樹脂含有材料を押出機に供給し、加熱溶融させる。
【００７５】
当該樹脂含有材料を押出機に供給する前に、予め樹脂含有材料の予備乾燥を行なうことが好ましい。このような予備乾燥を行うことにより、押出機から押し出される材料の発泡を防ぐことができる。予備乾燥の方法は特に限定されないが、例えば、樹脂含有材料をペレット等の形態にして、熱風乾燥機等を用いて行うことができる。
【００７６】
次に、押出機内で加熱溶融された樹脂含有材料を、Ｔダイに供給する。この時、ギアポンプを用いると、材料の押出量の均一性が向上し、形成される層の厚みムラを低減することができる。
【００７７】
次に、Ｔダイに供給された樹脂含有材料を、シート状の溶融樹脂としてＴダイから押し出し、２つのラミネートロールを用いて、該シート状の溶融樹脂を第一層と第三層で挟み込んで三層をラミネートする。これにより、第二層によって第一層と第三層を接着させて、三層構成のシートを得る。
【００７８】
上記シート状の溶融樹脂を挟み込む２つのラミネートロールのうち一方は、表面が平滑な剛体性の金属ロールであり、他方は、表面が平滑で弾性変形可能な弾性外筒を備えたフレキシブルロールであることが好ましい。このような剛体性の金属ロールと弾性外筒を備えたフレキシブルロールとで、上記シート状の溶融樹脂を挟み込んでラミネートすることにより、各層間の接着性と表面外観性が良好なシートを得ることができる。
【００７９】
上記金属ロールの表面温度は接着性の観点から２０℃以上が好ましく、５０℃以上がより好ましい。金属ロールの表面温度が２０℃未満の場合、ラミネート後の層間接着力が不足することがあり、好ましくない。つまり、金属ロールは使用時に加熱することが好ましい。しかし、加熱された金属ロールに接触するフィルムは熱収縮による性能（特に水蒸気透過度）低下が生じる懸念がある。そこで、金属ロールに接触するフィルムとしては、熱収縮による性能低下が発生しにくい耐候性フィルムが好ましい。
【００８０】
一方、上記フレキシブルロールの表面温度は１５０℃以下が好ましく、１３０℃以下がより好ましい。フレキシブルロールの表面温度が１５０℃を超える場合、当該フレキシブルロールに接触するフィルムの熱収縮が大きくなり、性能（特に水蒸気透過度）が低下することがある。そのため、フレキシブルロール側に接触するフィルムは第一層が好ましい。
【００８１】
第三層の蒸着ポリエステル系樹脂フィルムがラミネート時に熱収縮すると蒸着層にクラックが生じ、水蒸気バリア性が低下することがある。従って、フィルム幅方向の収縮率を５％以下に抑えることが好ましく、３％以下に抑えることがより好ましい。
【００８２】
ラミネートロールの送り時には、各送り出しフィルムに送り出し方向でのテンションをかけることで、各フィルムの収縮率を制御することが好ましい。好ましいテンションは０．０１〜１００Ｎ／ｍであり、より好ましくは０．１〜５０Ｎ／ｍである。
【００８３】
第三層の蒸着ポリエステル系樹脂フィルムの蒸着層がラミネートロールや搬送ロールと接触するようにしてラミネートを行なう時には、ラミネートロール等との摩擦により蒸着層にキズが生じて水蒸気バリア性が低下することがないように、当該フィルムを取り扱うことが望ましい。
【００８４】
Ｔダイより押し出される時の樹脂含有材料の温度は、１５０〜３００℃が好ましく、１７０〜２８０℃がより好ましい。１５０℃未満の場合、材料の溶融粘度が高いため、形成される第二層に厚みムラが生じたり、ラミネート後の層間接着力が不足したりすることがある。３００℃を超えた場合、材料の溶融粘度が低すぎるため成形が困難になる。
【００８５】
金属ロールとフレキシブルロールとのラミネート圧力は特に限定されず、十分な層間接着力が得られるよう適宜調整することができる。
【００８６】
以上により形成された三層構造のシートを本発明の太陽電池用バックシートとして使用することができる。
【００８７】
（用途）
本発明の太陽電池用バックシートは、太陽電池素子と組み合わせて太陽電池モジュールを構成することができる。この場合、第一層が太陽電池素子から最も離れた位置に配置される。太陽電池素子に最も近い層が第三層は、これら最表層の表面に、別途用意したエチレン−ビニルアルコール共重合体（ＥＶＡ）により封止された太陽電池素子が配置される。
【００８８】
本発明の太陽電池用バックシートは、いずれの太陽電池にも好適に使用できるが、特にアモルファスシリコン系太陽電池、結晶シリコン系太陽電池、ハイブリッド太陽電池などに好適に用いることができる。また、太陽電池の設置場所としては特に限定されないが、例えば、屋根上；ビル、工場、学校、公共施設などの屋上または壁面、海岸、砂漠地帯などが挙げられる。
【実施例】
【００８９】
以下に具体的な実施例および比較例によって本発明をさらに詳細に示すが、本発明は下記実施例に限定されるものではない。
【００９０】
〔積層フィルムとＥＶＡ間接着強度の評価〕
縦２００ｍｍ、横１００ｍｍに切り出した積層フィルムの蒸着面上に縦１００ｍｍ、横１００ｍｍの市販の太陽電池封止用ＥＶＡシート（サンビック社製：Ｕｌｔｒａ  Ｐｅａｒｌ、０．４０ｍｍ厚）を載せ、さらに縦２００ｍｍ、横１００ｍｍの積層フィルムの蒸着面をＥＶＡシート側にして載せた。次いで、真空ラミネーター（ｓｐｉｒｅ社製：Ｓｐｉ−Ｌａｍｉｎａｔｏｒ）で一体成形した。一体成形では、脱気時間５分、プレス圧力１ｋｇ／ｃｍ２、プレス時間１５分で１１５〜１７５℃のいずれかの温度で加熱圧着してＥＶＡを架橋させた。さらに、一体成形した縦２００ｍｍ、横１００ｍｍのサンプルを幅方向に１５ｍｍ、長手方向に２００ｍｍに切り出して試験サンプルを作製した。次いで、引っ張り試験機（オートグラフＡＧ−２０００Ａ、島津製作所製）を用いて、試験温度２３℃、試験スピード１００ｍｍ／ｍｉｎでＴ形ピール強度［Ｎ／ｃｍ］を計測した。積層フィルムとＥＶＡシートとの接着強度の優劣を最大接着強度及び剥離距離２５〜１２５ｍｍの平均接着強度で評価を行い、以下の基準に従い判断した。
最大接着強度
○：最大接着強度が４０Ｎ／ｃｍ以上
×：最大接着強度が４０Ｎ／ｃｍ未満
平均接着強度
○：平均接着強度が２０Ｎ／ｃｍ以上
×：平均接着強度が２０Ｎ／ｃｍ未満
【００９１】
〔フィルム間接着強度の評価〕
積層フィルムを、幅方向に１０ｍｍ、長手方向に２００ｍｍに切り出し、一方の端部を２０ｍｍ程度、手で剥離して挟みしろを設けた。次いで、引っ張り試験機（オートグラフＡＧ−２０００Ａ、島津製作所製）を用いて、試験温度２３℃、試験スピード１００ｍｍ／ｍｉｎでＴ字ピール強度［Ｎ／ｃｍ］を計測した。計測された接着強度の優劣を以下の基準に従い判断した。
○：積層フィルムを構成するすべてのフィルム間の接着強度が５Ｎ／ｃｍ以上
×：積層フィルムを構成するすべてのフィルム間の接着強度が５Ｎ／ｃｍ未満
【００９２】
〔水蒸気透過度の測定〕
透過面積が１５．２ｃｍ2になるよう積層フィルムを切り出し、ＪＩＳ  Ｋ７１２６−１（差圧法）に従い、４０℃／９０％ＲＨ、圧力差７５ｃｍＨｇの条件で水蒸気透過度を測定した。単位はｇ／（ｍ2・ｄａｙ）で表す。
○：水蒸気透過率が１．０ｇ／（ｍ2・ｄａｙ）未満
×：水蒸気透過率が１．０ｇ／（ｍ2・ｄａｙ）以上
【００９３】
〔蒸着層中心線平均粗さＲａ〕
実施例、比較例において、積層フィルムの蒸着層の表面を、触針式表面粗さ測定機（ＳＵＲＦＣＯＭ５０００、株式会社東京精密社製）を用いて、針の半径２μｍ、カットオフ値０．２５ｍｍで、測定長１．２５ｍｍにわたり、針の送り速度０．３ｍｍ／秒で測定し、中心線平均粗さＲａを求めた。
【００９４】
（製造例）ポリオレフィン系樹脂グラフト変性体の製造方法
プロピレン−エチレン共重合体（バーシファイ３４０１、ＭＦＲ８、ダウ・ケミカル製）１００重量部、１，３−ジ（ｔ−ブチルパーオキシイソプロピル）ベンゼン（日本油脂株式会社製：パーブチルＰ、１分間半減期１７５℃）０．５重量部を、シリンダー温度２００℃に設定したベント付き噛合い型同方向回転式２軸押出機（ＴＥＸ４４、Ｌ／Ｄ＝３８、日本製鋼所製）に供給して溶融混練した後、次いで、シリンダー途中よりメタクリル酸グリシジル（日油社製：ブレンマーＧ）５重量部、およびスチレン（日本オキシラン社製）５重量部をノズルから加え、ポリオレフィン系樹脂グラフト変性体（以下、変性オレフィンと記載）のペレットを得た。変性後のＭＦＲは５であった。
【００９５】
（実施例１）
製造例で得られた変性オレフィンを６０℃で１５時間乾燥後、１１０ｍｍφ単軸押出機と７００ｍｍ幅のＴダイとを用いて２７０℃で押し出すことにより厚み９０μｍのシート状の溶融樹脂を得た。このシート状の溶融樹脂の片面に、白色耐候ＰＥＴフィルム（シャインビームＱ３２１５、東洋紡績社製、厚み５０μｍ、白色）を、もう一方の面にＰＥＴ面が溶融樹脂と接するように蒸着ＰＥＴフィルム１（エコシアールＶＥ６０７、東洋紡績社製、厚み１２μｍ、中心線平均粗さ９５ｎｍ、水蒸気透過度（４０℃、９０％ＲＨ）０．６ｇ／（ｍ2・ｄａｙ））を、８０℃に加温した金属ロールと４０℃に加温したシリコンゴム皮膜ロールとで挟み込みながらラミネートし、白色耐候ＰＥＴフィルム（第一層）／変性オレフィン層（第二層）／蒸着ＰＥＴフィルム（第三層）を得た。
【００９６】
得られた積層フィルムのフィルム間接着強度、水蒸気透過度、１３５℃でラミネートした時の積層フィルムとＥＶＡ間接着強度を表１に示す。
【００９７】
【表１】
2014019063.tif 000002
【００９８】
（実施例２）
蒸着ＰＥＴフィルム１の蒸着表面をサンドペーパー♯８００で表面を荒らして蒸着ＰＥＴフィルム２（厚み１２μｍ、中心線平均粗さ１５０ｎｍ、水蒸気透過度（４０℃、９０％ＲＨ）０．７ｇ／（ｍ2・ｄａｙ））に変更した以外は実施例１と同様にして積層フィルムを得た。
【００９９】
得られた積層フィルムのフィルム間接着強度、水蒸気透過度、１３５℃でラミネートした時の積層フィルムとＥＶＡ間接着強度を表１に示す。
【０１００】
（実施例３）
実施例１と同様にして得られた積層フィルムのフィルム間接着強度、水蒸気透過度、１１５℃でラミネートした時の積層フィルムとＥＶＡ間接着強度を表１に示す。
【０１０１】
（実施例４）
実施例１と同様にして得られた積層フィルムのフィルム間接着強度、水蒸気透過度、１５５℃でラミネートした時の積層フィルムとＥＶＡ間接着強度を表１に示す。
【０１０２】
（実施例５）
実施例１と同様にして得られた積層フィルムのフィルム間接着強度、水蒸気透過度、１７５℃でラミネートした時の積層フィルムとＥＶＡ間接着強度を表１に示す。
【０１０３】
（比較例１）
蒸着ＰＥＴフィルム１を蒸着ＰＥＴフィルム３（厚み１２μｍ、中心線平均粗さ２０ｎｍ、水蒸気透過度（４０℃、９０％ＲＨ）０．７ｇ／（ｍ2・ｄａｙ））に変更した以外は実施例１と同様にして積層フィルムを得た。
【０１０４】
得られた積層フィルムのフィルム間接着強度、水蒸気透過度、１３５℃でラミネートした時の積層フィルムとＥＶＡ間接着強度を表１に示す。
【０１０５】
（比較例２）
蒸着ＰＥＴフィルム１の蒸着表面をサンドペーパー♯２０００で表面の凹凸を研磨した蒸着ＰＥＴフィルム２（厚み１２μｍ、中心線平均粗さ３６０ｎｍ、水蒸気透過度（４０℃、９０％ＲＨ）１．７ｇ／（ｍ2・ｄａｙ））に変更した以外は実施例１と同様にして積層フィルムを得た。
【０１０６】
得られた積層フィルムのフィルム間接着強度、水蒸気透過度、１３５℃でラミネートした時の積層フィルムとＥＶＡ間接着強度を表１に示す。
【０１０７】
（比較例３）
製造例で得られた変性オレフィンを６０℃で１５時間乾燥後、１１０ｍｍφ単軸押出機と７００ｍｍ幅のＴダイとを用いて２７０℃で押し出すことにより厚み９０μｍのシート状の溶融樹脂を得た。このシート状の溶融樹脂の片面に、白色耐候ＰＥＴフィルム（シャインビームＱ３２１５、東洋紡績社製、厚み５０μｍ、白色）を、もう一方の面に蒸着面が溶融樹脂と接するように蒸着ＰＥＴフィルム１（エコシアールＶＥ６０７、東洋紡績社製、厚み１２μｍ、中心線平均粗さ９５ｎｍ、水蒸気透過度（４０℃、９０％ＲＨ）０．６ｇ／（ｍ２・ｄａｙ））を、８０℃に加温した金属ロールと４０℃に加温したシリコンゴム皮膜ロールとで挟み込みながらラミネートし、白色耐候ＰＥＴフィルム（第一層）／変性オレフィン層（第二層）／蒸着ＰＥＴフィルム（第三層）を得た。
【０１０８】
得られた積層フィルムのフィルム間接着強度、水蒸気透過度、１３５℃でラミネートした時の積層フィルムとＥＶＡ間接着強度を表１に示す。
【０１０９】
（比較例４）
比較例３と同様にして得られた積層フィルムのフィルム間接着強度、水蒸気透過度、１７５℃でラミネートした時の積層フィルムとＥＶＡ間接着強度を表１に示す。
【０１１０】
（比較例５）
実施例１で得られた積層フィルムをＴＰＴフィルム（ＩＣＯＳＯＬＡＲ０７１１、ＩＳＯＶＯＬＴＡＩＣ社製、厚み３５０μｍ）に変更した以外は実施例１と同様にしてフィルム間接着強度、水蒸気透過度、１３５℃でラミネートした時のＴＰＴフィルムとＥＶＡ間接着強度を表１に示す。