(57)【要約】      （修正有）【課題】基板を収納するための回収再使用可能な基板収納用梱包体であって、その所在や基板収納状況の管理を可能とする基板収納用梱包体とその基板収納用梱包体の管理方法を提供する。【解決手段】基板１枚を収める基板保持用枠体１０がパレット上に複数積み重ねられ、その最上部に蓋３０が被せられた基板収納用梱包体１００であって、基板保持用枠体１０の樹脂製のコーナーピースに基板保持用枠体１０の固有情報を含む第１のＩＣタグを備える。この基板収納用梱包体１００を使用し移動する際に、ＩＣタグリーダによって複数の第１のＩＣタグから読み取り、読み取ったデータを管理装置に送り、各固有情報に関連付けされた基板収納用梱包体１００の管理情報と照合させて、基板保持用枠体１０を含めた基板収納用梱包体１００の管理を行う。【選択図】図３
2014231360.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
矩形状の1枚の基板が収められる基板保持用枠体がパレット上に複数積み重ねられ、前記基板保持用枠体の最上部に蓋が被せられてなる基板収納用梱包体であって、
前記基板保持用枠体は、平面視矩形状の金属枠部と、前記金属枠部を連結する4つのコーナー部に樹脂製のコーナーピースを備え、該コーナーピースの少なくとも1つのコーナーピースに前記基板保持用枠体の固有情報を含む第１のＩＣタグを有している、
ことを特徴とする基板収納用梱包体。
【請求項２】
請求項１に記載される基板収納用梱包体において、
前記パレット及び前記蓋の少なくとも一方に第２のＩＣタグを有しており、
前記第２のＩＣタグには、前記パレット及び前記蓋の少なくとも一方の固有情報、及び前記基板保持用枠体の第１のＩＣタグから転送された固有情報が記録されている
ことを特徴とする基板収納用梱包体。
【請求項３】
請求項１に記載される基板収納用梱包体を使用して、ＩＣタグリーダー用アンテナを備えるゲート又は携帯型端末機によって、複数の前記基板保持用枠体の各々の固有情報を、前記第１のＩＣタグから読み取り、
読み取ったデータを管理装置に送り、
前記管理装置において予め記録された前記基板保持用枠体の固有情報に関連付けされた前記基板収納用梱包体の管理情報と照合させて、前記基板保持用枠体を含めた前記基板収納用梱包体の管理を行う
ことを特徴とする基板収納用梱包体の管理方法。
【請求項４】
請求項２に記載される基板収納用梱包体を使用して、ＩＣタグリーダー用アンテナを備えるゲート又は携帯型端末機によって、前記パレット及び前記蓋の少なくとも一方の固有情報及び前記基板保持用枠体の第１のＩＣタグから転送された固有情報を、前記第２のＩＣタグから読み取り、
読み取ったデータを管理装置に送り、
前記管理装置において予め記録された前記基板保持用枠体の固有情報に関連付けされた前記基板収納用梱包体の管理情報と照合させて、前記基板保持用枠体、前記パレット及び前記蓋の管理を含めた前記基板収納用梱包体の管理を行う
ことを特徴とする基板収納用梱包体の管理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板を収納するための回収再使用可能な基板収納用梱包体であって、その所在や基板収納状況の管理を可能とする基板収納用梱包体とその基板収納用梱包体の管理方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、カラーフィルタ基板などのディスプレイ用基板はサイズが大型化し種類が多様化しており、それらの搬送の際には、基板を高密度で集積できる収納ケースが必要であることに加えて、収納ケース自体の管理や収納ケースに収納された製品に関する管理を人手をかけないで行うことができるものが必要とされている。
特許文献１は、ガラス板の出荷ケースであって、ガラス板を破壊から防止する緩衝材を備える出荷ケース本体と、この出荷ケース本体を密封する蓋体の少なくとも一方の内側に、ガラス板の管理情報を記憶すると共に非接触でその管理情報を読み出すことのできるＩＣタグを備えることを特徴とするものであるが、出荷ケースは複数のガラス板を緩衝材を介して一括して収納するものである。従って、特許文献１には、出荷ケース本体と蓋体のＩＣタグによる管理を行うことが記載されているが、ガラス板１枚ずつを枠体に収納してその枠体を多段積載して搬送、保管する方法については記載していない。また、出荷ケースに収容されたガラス板の管理を行うためには、人手による検査が必要となる問題がある。
基板１枚を枠体に収納し、その枠体を多段に積み重ねて搬送するものに特許文献２がある。しかしながら、特許文献２においては、枠体にＩＣタグを設けて枠体や枠体の積み重ねたものの管理を行うことについては記載していない。また、その基板の枠体への収納状況についての管理については人手による検査によって行われなければならない問題があると考えられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−１１２４４６号公報
【特許文献２】特開２００６−１６８７４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
矩形状の1枚の基板が収められる基板保持用枠体がパレット上に複数積み重ねられ、前記基板保持用枠体の最上部に蓋が被せられてなる基板収納用梱包体を用いて、基板を収納した状態で移動又は搬送して使用し、基板を収納しない状態で回収又は受入れし再使用するに際して、基材収納用梱包体を構成する基板保持用枠体の所在についてや、収納された基材の実態について検査するために人手による方法では多大な時間を要していた。
本発明は、少なくとも基板保持用枠体を含めた基板収納用梱包体の管理が可能な基板収納用梱包体とその基板収納用梱包体の管理方法を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決する本発明の要旨の第１は、矩形状の1枚の基板が収められる基板保持用枠体がパレット上に複数積み重ねられ、前記基板保持用枠体の最上部に蓋が被せられてなる基板収納用梱包体であって、  前記基板保持用枠体は、平面視矩形状の金属枠部と、前記金属枠部を連結する4つのコーナー部に樹脂製のコーナーピースを備え、該コーナーピースの少なくとも1つのコーナーピースに前記基板保持用枠体の固有情報を含む第１のＩＣタグを有している、ことを特徴とする基板収納用梱包体、にある。
【０００６】
上記課題を解決する本発明の要旨の第２は、上記の要旨の第１に記載される基板収納用梱包体において、前記パレット及び前記蓋の少なくとも一方に第２のＩＣタグを有しており、前記第２のＩＣタグには、前記パレット及び前記蓋の少なくとも一方の固有情報、及び前記基板保持用枠体の第１のＩＣタグから転送された固有情報が記録されていることを特徴とする基板収納用梱包体、にある。
【０００７】
上記課題を解決する本発明の要旨の第３は、上記の要旨の第１に記載される基板収納用梱包体を使用して、ＩＣタグリーダー用アンテナを備えるゲート又は携帯型端末機によって、複数の前記基板保持用枠体の各々の固有情報を、前記第１のＩＣタグから読み取り、読み取ったデータを管理装置に送り、前記管理装置において予め記録された前記基板保持用枠体の固有情報に関連付けされた前記基板保持用枠体及び前記基板収納用梱包体の管理情報と照合させて、前記基板保持用枠体の管理を含めた前記基板収納用梱包体の管理を行う  ことを特徴とする基板収納用梱包体の管理方法、にある。
【０００８】
上記課題を解決する本発明の要旨の第４は、上記の要旨の第２に記載される基板収納用梱包体を使用して、ＩＣタグリーダー用アンテナを備えるゲート又は携帯型端末機によって、前記パレット及び前記蓋の少なくとも一方の固有情報及び前記基板保持用枠体の第１のＩＣタグから転送された固有情報を、前記第２のＩＣタグから読み取り、読み取ったデータを管理装置に送り、前記管理装置において予め記録された前記基板保持用枠体の固有情報に関連付けされた前記基板保持用枠体及び前記基板収納用梱包体の管理情報と照合させて、前記基板保持用枠体、前記パレット及び前記蓋の管理を含めた前記基板収納用梱包体の管理を行う  ことを特徴とする基板収納用梱包体の管理方法、にある。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の基板収納用梱包体と基板収納用梱包体の管理方法によれば、基板保持用枠体についての所在管理が容易になり、例えば、各々の入出記録ができ、持ち出し先の管理が行える効果がある。
また、基板保持用枠体について各種履歴の電子化が可能になり、例えば基板保持用枠体に収納された基板の記録、基板保持用枠体についての保守点検を記録し、修理や廃棄など予定管理が行える効果がある。
【００１０】
また、本発明の基板収納用梱包体と基板収納用梱包体の管理方法によれば、基板保持用枠体、パレット、蓋の各々についての所在管理の自動化が可能になり、例えば、各々の入出記録ができ、持ち出し先の管理が行える効果がある。
また、基板保持用枠体、パレット、蓋の各々について各種履歴の電子化が可能になり、例えば基板保持用枠体に収納された基板の記録、基板保持用枠体、パレット、蓋について各々の保守点検を記録し、修理や廃棄など予定管理が行える効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明に係る基板保持用枠体を上面から見た平面図である。
【図２】本発明に係る基板保持用枠体を使用して基板を収納する状況を示す外観斜視図である。
【図３】本発明の基板収納用梱包体の一実施形態を示す外観斜視図である。
【図４】本発明の基板収納用梱包体の他の実施形態を示す外観斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。
【００１３】
まず、本発明の基板収納用梱包体を構成する基板保持用枠体について説明する。
図１は、基板保持用枠体を上面から見た平面図である。
基板保持用枠体１０は、図１に示すように、平面状態で観察した場合の外形は、基板Ａの形状をほぼ比例して拡大した形状の矩形状のものである。図１において、枠部１は、長辺側の２辺は直線状の形状で互いに平行に形成されており、短辺側の２辺の枠部１も直線状の形状で互いに平行に形成されている。
尚、基板Ａの例としては、ガラス基板やプラスチック基板があり、特には、液晶ディスプレイ装置用や有機ＥＬディスプレイ装置用のカラーフィルタやそれらのカラーフィルタの製造過程における中間製品等を含むカラーフィルタ基板を挙げることができる。
【００１４】
基板保持用枠体１０は、コーナー部分４箇所にコーナーピース３を有している。
第１のＩＣタグ４は、４箇所のコーナーピース３のうち少なくとも1箇所のコーナーピースに設けられればよい。図１は、１箇所に第１のＩＣタグ４が設けられた状態を示している。１箇所に設ける場合には、基板保持用枠体１０を多段に積み重ねた際に平面視上同じコーナーになるように設けることが好ましい。携帯型リーダーライタにより近接させて読み取りを行う場合に円滑な操作で読み取ることができる。
ここで、基板保持用枠体１０におけるコーナー部分を樹脂製のコーナーピース３で形成し、このコーナーピース３に第１のＩＣタグ４を設けたことによって、コーナー部を金属製とした場合や金属製の枠部上に設けた場合に比べて、第１のＩＣタグ４に対する通信障害を低下させることができる効果が得られたものである。
【００１５】
図１に示すように、基板保持用枠体１０は、４辺にフレーム状の枠部１を有している。この枠部１が、多段に積み重ねる基板保持用枠体１０と基板の全重量を支える構造部材となっている。枠部１には、その下面内周に沿って積み重ねの際のズレ防止のための嵌合部が形成されている（図示せず）。
基板保持用枠体の形状は、図１に示したような、枠部１が４辺ともに直線状の形状に限られず、短辺側又は長辺側の２辺の各辺中央部が下方（載置した状態の重力方向）に湾曲した形状のものも使用できる。
【００１６】
図１において枠部１の上面内周側に一定幅の基板支持部２が延出して形成されている。
基板支持部２は、基板を支持するものであり、基板の周端部が基板支持部２により支持されるよう、図１の基板支持部２の領域中に示す破線部に基板の四辺を合わせて基板を載置するものである。
基板支持部２は、図１においては枠部１の内周側に連続した帯状の形状をしているが、断片的に一定の間隔をあけて設けてもよい。
基板支持部２で囲まれた中央の領域Ｋは、何もない開口（空間域）であるが、一辺の基板支持部２を部分的に中央の領域に延長させて対向する辺の基板支持部２に跨ぐように設けてもよい。
また、基板支持部２の上面には、基板の設置を適正にするために平面性や角度を調整できる補助部材（図示せず）を設けてもよい。
【００１７】
図１に示すように、基板保持用枠体１０の４箇所のコーナー部には、樹脂製等のコーナーピース３が設けられている。コーナーピース３は、平面視Ｌ字形であり断面が矩形状の形状をしており、隣り合う２辺の枠部１を角度が直角に維持されるように連結して固定することができるものである。コーナーピース３と枠部１の固定方法としては、例えば、コーナーピース３と枠部をネジ止めする方法、コーナーピース３と枠部１の各端部を嵌合できる形状に加工しておき両者を嵌め合わせる方法、コーナーピース３とタップが切られた枠部１とを嵌合した状態でネジ止めする方法などを用いることができる。
基板保持用枠体１０は積み重ねた際に嵩だかくならないよう設計されており、コーナーピース３に差し込みされる枠部１は切削するかプレスして薄肉化し、コーナーピース３の表面と枠部１の表面との間に段差が生じないように形成されている。
また、コーナーピース３自体にも嵌合部が形成されることが好ましい。
【００１８】
枠部１に使用する材料としては、耐荷重強度を有し軽量で腐食を生じない金属材料を使用できる。具体的には、アルミニウム、ジュラルミン系やアルミニウム−マンガン系等のアルミニウム合金等を使用できる。
これらの材料を中空押し出し加工して枠部１を形成することができる。
【００１９】
コーナーピース３に使用する樹脂の材料としては、ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィン系樹脂、超高分子量ポリエチレン、ナイロン６６、ナイロン６１０等のポリアミド系樹脂、ポリエチレンテレフタレート、ポリイミド、ポリエーテルエーテルケトン等を使用することができる。
これらの材料を用いて金型によりインジェクション成型してコーナーピース３を形成することができる。
【００２０】
第１のＩＣタグ４は、非接触で電磁波や電波により情報を読み出し及び又は書き込みが可能な機能を有する集積回路からなるものであればよい。
第１のＩＣタグ４としては、ＩＣチップとアンテナを備えており、ＩＣチップは、情報を記憶するためのメモリ部とメモリ部での情報の記憶と読み出し及び無線通信を制御する制御部を有するものが使える。
また、第１のＩＣタグ４の伝送方式としては、電磁結合方式、電磁誘導方式、電波方式のいずれも使うことができ、通信距離によって適宜選択することができる。例えば携帯型リーダーライタにより比較的近距離から読み取りを行う場合には、電磁結合方式や電磁誘導方式のものが適し、ゲートを通過させて読み取りを行う場合には、電波方式のものが適する。
【００２１】
第１のＩＣタグ４をコーナーピース３に設ける方法としては、第１のＩＣタグ４のタグ形状を、板状、箱状、ラベル状、円盤状、円筒状にしておき、ネジ等による取付け、接着剤による貼付け、樹脂の凹部への嵌込み、樹脂の成型時に埋込み等の方法を適宜用いることができる。
【００２２】
次に、本発明に係る基板保持用枠体を使用して基板がどのように収納されるかについて説明する。
図２は、1枚の基板を平面視矩形状の金属枠部を有する基板保持用枠体に収め、基板を収めた基板保持用枠体同士を重ね合せ、複数の基板保持用枠体を積み重ねる過程を示すものである。
図２（Ａ）においては、基板保持用枠体１０に対して、図面の上方にある基板Ａが収納される途中の状態が示されている。
図２（Ｂ）においては、基板Ａが載置された状態の基板保持用枠体１０に対して、図面の上方にある基板Ａが載置された状態の別の基板保持部材１０が積み重ねられる途中の状態が示されている。上下の基板保持用枠体１０の積み重ねは、下方の基板保持用枠体１０に設けられた嵌合部（図示せず）と、上方の基板保持用枠体１０の嵌合部（図示せず）とが係合することにより嵌め合わせされて位置精度よく行われる。
図２（Ｃ）においては、パレット２０の上に基板Ａが載置された状態の基板保持用枠体１０を多段に積み重ねた状態を示すものである。
【００２３】
次に、本発明の基板収納梱包体について説明する。
図３は、基板収納用梱包体の一実施形態を示す外観斜視図である。
図３に示すように、パレット２０の上に、基板保持用枠体１０が複数積み重ねられ、最上段に蓋３０が被せられている。パレット２０と蓋３０には、第２のＩＣタグ５が設けられている。
第２のＩＣタグ５は、パレット２０及び蓋３０の少なくともいずれか一方に設けられてよく、各々の設置箇所は適宜設定される。
図３においては、基板収納用梱包体１００は、多段積み重ねた基板保持用枠体１０をパレット２０と蓋３０の間に挟み固定されており、この状態または外カバーを被せた状態で保管することができ、貨物や航空便として輸送することができるものである。
【００２４】
パレット２０は、多段に積み重ねた基板保持用枠体１０と基板Ａの全重量をパレットの四辺で受けるようにされている。
パレット２０自体に基板保持用枠体１０と同様に嵌合部を有することが好ましく、最下段の基板保持用枠体１０の下面の嵌合部と嵌合して、塵埃等を避けることができる。
また、パレット３０には、基板に及ぼす搬送中の振動等を抑制するための防振パレットを重ねて用いても良い。
【００２５】
蓋３０は、上方からの衝撃等に耐えるように強固な金属または樹脂材料を使用するのが好ましい。また、最上段の基板保持用枠体１０の上面と嵌合するように、蓋２０自体にも嵌合部（図示せず）を有する構造のものとするのが好ましい。
【００２６】
図４は、本発明の基板収納用梱包体の他の実施形態を示す外観斜視図である。
図４は、パレット２０の上に、基板Ａを載せた基板保持用枠体１０を複数積み重ね、最上段に蓋３０を被せた状態を示す斜視図である。パレット２０と蓋３０には、第２のＩＣタグ５が設けられている。
第２のＩＣタグ５は、パレット２０及び蓋３０の少なくともいずれか一方に設けられてよく、各々の設置箇所は適宜設定される。
また、図４においては、基板収納用梱包体１００は、多段積み重ねた基板保持用枠体１０をパレット２０と蓋３０の間に挟み、結束ベルト４０を用いて固定されており、この状態または外カバーを被せた状態で保管することができ、貨物や航空便として輸送することができるものである。
【００２７】
第２のＩＣタグ５は、非接触で電磁波や電波により情報を読み出し及び又は書き込みが可能な機能を有する集積回路からなるものであればよい。
第２のＩＣタグ５としては、ＩＣチップとアンテナを備えており、ＩＣチップは、情報を記憶するためのメモリ部とメモリ部での情報の記憶と読み出し及び無線通信を制御する制御部を有するものが使える。
また、第２のＩＣタグ５の伝送方式としては、電磁結合方式、電磁誘導方式、電波方式のいずれも使うことができ、通信距離によって適宜選択することができる。例えば携帯型リーダーライタにより比較的近距離から読み取りを行う場合には、電磁結合方式や電磁誘導方式のものが適し、ゲートを通過させて読み取りを行う場合には、電波方式のものが適する。
【００２８】
第２のＩＣタグ５をパレット２０や蓋３０に設ける方法としては、第２のＩＣタグ５のタグ形状を、板状、箱状、ラベル状、円盤状、円筒状にしておき、ネジ等による取付け、接着剤による貼付け、凹部への嵌込み、埋込み等の方法を適宜用いることができる。ここで、パレット２０や蓋３０が金属製である場合には、第２のＩＣタグ５と金属面との間に、一定距離を隔てるためのスペーサーを設けることや、軟磁性層を設けることにより通信距離の低下などの影響を緩和する方法を取ることが好ましい。
【００２９】
次に、基板収納用梱包体の管理方法について説明する。
基板収納用梱包体の管理方法の一実施態様として、第１のＩＣタグには基板保持用枠体の固有情報が記録されており、基板収納用梱包体をＩＣタグリーダー用アンテナを備えるゲート又は携帯型端末機によって、複数の前記基板保持用枠体の各々の固有情報を、前記第１のＩＣタグから読み取り、読み取ったデータを管理装置に送り、前記管理装置において予め記録された前記基板保持用枠体の固有情報に関連付けされた前記基板保持用枠体及び前記基板収納用梱包体の管理情報と照合させて、前記基板保持用枠体の管理を含めた前記基板収納用梱包体の管理を行う方法をとることができる。具体的には以下のような方法となる。
【００３０】
基板が収納された基板収納梱包体の移動又は搬出の際には、基板収納用梱包体の管理方法の一実施形態として以下のような方法をとることができる。
１）基板保持用枠体が準備されており、その基板保持用枠体の固有情報が登録された第１のＩＣタグを有している。
２）基板１枚を１つの基板保持用枠体に収める。ここで、基板１枚を１つの基板保持用枠体に収める際に、その基板保持用枠体の固有情報を第１のＩＣタグから読み取り、管理装置に送り、管理装置において基板保持用枠体の固有情報と収納される基板の管理情報のデータとを関連付けしてサーバーに記録する。
ここで、管理装置は、サーバーを含むシステムからなり、第１のＩＣタグ又は第２のＩＣタグから読み取った情報を受け取り、予め記録された基板保持用枠体の固有情報に紐つけされた情報と照合し、その管理状況を表示する機能を有するものである。
３）基板が収められた基板保持用枠体をパレット上に複数積み重ねて最上部に蓋を被せて基板収納用梱包体とする。
４）基板収納用梱包体の移動又は搬出の出口において、ＩＣタグリーダー用アンテナを備えるゲートを通過させて、基板収納用梱包体中の複数の基板保持用枠体の第１のＩＣタグに記録された固有情報を読み取る。
５）読み取った基板保持用枠体の第１のＩＣタグに記録された固有情報のデータを管理装置に送り、管理装置において基板保持用枠体の固有情報と収納された基板の管理情報とを照合し、基板収納梱包体に収納された基板と基板保持用枠体の実数と内容を確認し、予定している基板収納梱包体の収納内容と違いがあるなどの異常があれば原因調査のため留め置き、異常がなければ移動又は搬出する。
【００３１】
また、基板が収納されていない基板収納梱包体の回収受入れの際には、基板収納用梱包体の管理方法の一実施形態として以下のような方法をとることができる。
１）基板収納用梱包体の回収受入れの入口において、ＩＣタグリーダー用アンテナを備えるゲートを通過させて、基板収納用梱包体中の複数の基板保持用枠体の第１のＩＣタグに記録された固有情報を読み取る。
２）読み取った基板保持用枠体の固有情報のデータを管理装置に送り、管理装置において回収された基板保持用枠体の固有情報と、移動搬出時の基板収納用梱包体中の基板保持用枠体の内容を確認し、実数の違いがあるなどの異常があれば原因調査のため留め置き、異常がなければ回収受入れを行う。
【００３２】
次に、基板収納用梱包体の管理方法の他の実施態様として、第１のＩＣタグには基板保持用枠体の固有情報が記録されており、ＩＣタグリーダー用アンテナを備えるゲート又は携帯型端末機によって、前記パレット及び前記蓋の少なくとも一方の固有情報及び前記基板保持用枠体の第１のＩＣタグから転送された固有情報を、前記第２のＩＣタグから読み取り、読み取ったデータを管理装置に送り、前記管理装置において予め記録された前記基板保持用枠体の固有情報に関連付けされた前記基板保持用枠体及び前記基板収納用梱包体の管理情報と照合させて、前記基板保持用枠体、前記パレット及び前記蓋の管理を含めた前記基板収納用梱包体の管理を行う方法をとることができる。具体的には以下のような方法となる。
【００３３】
基板が収納された基板収納梱包体の移動又は搬出の際には、基板収納用梱包体の管理方法の一実施形態として以下のような方法をとることができる。
１）基板保持用枠体が準備されており、その基板保持用枠体の固有情報が登録された第１のＩＣタグを有している。
２）基板１枚を１つの基板保持用枠体に収める。ここで、基板１枚を１つの基板保持用枠体に収める際に、その基板保持用枠体の固有情報を第１のＩＣタグから読み取り、管理装置に送り、管理装置において基板保持用枠体の固有情報と収納される基板の管理情報のデータとを関連付けしてサーバーに記録する。ここで、管理装置は、サーバーを含むシステムからなり、第１のＩＣタグ又は第２のＩＣタグから読み取った情報を受け取り、予め記録された基板保持用枠体の固有情報に紐つけされた情報と照合し、その管理状況を表示する機能を有するものである。
３）基板が収められた基板保持用枠体をパレット上に複数積み重ねて最上部に蓋を被せて基板収納用梱包体とする。ここで、パレットと蓋の各々には、パレットの固有情報及び蓋の固有情報を有する第２のＩＣタグを有している。
４）複数の基板保持用枠体をパレット上に積み重ね蓋をする際に、パレットの固有情報と蓋の固有情報を各第２のＩＣタグから読み取り、管理装置に送りサーバーに記録する。
一方、積み重ねられた複数の基板保持用枠体の固有情報を、管理装置に記録されたデータに基づいて第２のＩＣタグに書き込む。
５）基板収納用梱包体の移動又は搬出の出口において、ＩＣタグリーダー用アンテナを備えるゲートを通過させて、基板収納用梱包体中のパレットと蓋の第２のＩＣタグに記録された固有情報を読み取る。
６）読み取った第２のＩＣタグに記録されたデータを管理装置に送り、管理装置においてパレットと蓋の固有情報及び基板保持用枠体の固有情報に関係付けして、収納された基板の管理情報とを照合し、基板収納梱包体に収納された基板と基板保持用枠体の実数と内容を確認し、予定している基板収納梱包体の収納内容と違いがあるなどの異常があれば原因調査のため留め置き、異常がなければ移動又は搬出する。
【００３４】
また、基板が収納されていない基板収納梱包体の回収受入れの際には、基板収納用梱包体の管理方法の一実施形態として以下のような方法をとることができる。
１）基板収納用梱包体の回収受入れの入口において、ＩＣタグリーダー用アンテナを備えるゲートを通過させて、基板収納用梱包体中のパレット及び蓋の第２のＩＣタグに記録された固有情報を読み取る。
２）読み取ったパレットと蓋と基板保持用枠体の各固有情報のデータを管理装置に送り、管理装置において回収されたパレットと蓋と基板保持用枠体の固有情報と、移動搬出時の基板収納用梱包体中のパレットと蓋と基板保持用枠体の内容を確認し、実数の違いがあるなどの異常があれば原因調査のため留め置き、異常がなければ回収受入れを行う。
【００３５】
第１のＩＣタグの固有情報を第２のＩＣタグに転送する方法としては、ＩＣタグリーダライタにより第１のＩＣタグの固有情報を読み出した後に、第２のＩＣタグに書き込む方法がとれる。また、基板保持用枠体を把持し移動するためのロボットアームに取付けたリーダーライタによって第１のＩＣタグの固有情報を読み出した後に、第２のＩＣタグに書き込むことができる。
基板保持用枠体を移動するロボットアームとしては、基板保持用枠体１０の枠部から延びた手掛部（図示せず）を把持できる構造を有している。ロボットアームはアームの伸縮や上下動や回転が可能であり、基板保持用枠体１０を水平状態で運び、一段ずつ積み重ねることができるものである。
【００３６】
以上のような本発明によって、基板保持用枠体、パレット、蓋の各々についての所在管理が容易になり、例えば、各々の入出記録ができ、持ち出し先の管理が行える効果がある。
また、基板保持用枠体、パレット、蓋の各々について各種履歴の電子化が可能になり、例えば基板保持用枠体に収納された基板の記録、基板保持用枠体、パレット、蓋について各々の保守点検を記録し、修理や廃棄など予定管理が行える効果がある。
【符号の説明】
【００３７】
１      枠部
２      基板支持部
３      コーナーピース
４      第１のＩＣタグ
５      第２のＩＣタグ
１０    基板保持用枠体
２０    パレット
３０    蓋
４０    結束ベルト
１００  基板収納用梱包体
【図１】
2014231360.tif 000003
【図２】
2014231360.tif 000004
【図３】
2014231360.tif 000005
【図４】
2014231360.tif 000006