(57)【要約】      （修正有）【課題】高速で伸縮動作を繰り返す場合であっても、蛇腹本体を異物から保護することができる新規な蛇腹を提供する。【解決手段】蛇腹本体２５を構成するそれぞれの特定の山部２５ａに固定された固定板部２６ａと、この固定板部２６ａの上端から折曲されてなり上記特定の山部２５ａに隣り合う他の山部２５ａ方向に突出してなるとともに該蛇腹本体２５が最大限に伸長した際における該特定の山部２５ａから他の山部２５ａまでの長さよりも長尺な長さを有しそれぞれ該蛇腹本体２５の上部に位置する保護板部２６ｂと、を有し、金属又は樹脂を素材とする保護板部材２６と、上記保護板部材２６を構成する保護板部２６ｂ又は該保護板部２６ｂの基端側に固定されてなるとともに該保護板部２６ｂの上面よりも上方に突出した侵入規制面２７ａを有する侵入規制部材２７と、を備えてなる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
シート体が折曲され山部と谷部とが交互に形成されてなる蛇腹本体と、
この上記蛇腹本体を構成するそれぞれの特定の山部に固定された固定板部と、この固定板部の上端から折曲されてなり上記特定の山部に隣り合う他の山部方向に突出してなるとともに該蛇腹本体が最大限に伸長した際における該特定の山部から他の山部までの長さよりも長尺な長さを有しそれぞれ該蛇腹本体の上部に位置する保護板部と、を有し、金属又は樹脂を素材とする保護板部材と、
上記保護板部材を構成する固定板部又は保護板部の基端側に固定されてなるとともに該保護板部の上面よりも上方に突出した侵入規制面を有する侵入規制部材と、
を備えてなることを特徴とする蛇腹。
【請求項２】
前記侵入規制部材は、それぞれ前記固定板部に固定された板体であって、上端は前記保護板部の上面よりも上方に突出してなり正面が上記侵入規制面とされてなることを特徴とする請求項１記載の蛇腹。
【請求項３】
前記侵入規制部材は、それぞれ前記保護板部材を構成する保護板部の上面に固定されてなるとともに、該侵入規制部材に形成された侵入規制面は、上記保護板部の上面に対して起立した状態で形成されてなるとともに、前記蛇腹本体の伸長方向に対して鈍角をなす傾斜面であることを特徴とする請求項１記載の蛇腹。
【請求項４】
前記侵入規制部材に形成された侵入規制面は、前記保護板部の上面に対して起立した状態で形成されてなるとともに、前記蛇腹本体の伸長方向に対して鈍角をなす傾斜面が左右均等に形成されてなることを特徴とする請求項１記載の蛇腹。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、マシニングセンタや、旋盤又はフライス盤等の工作機械、或いはダイシングマシン等の半導体製造装置に取り付けられる蛇腹に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
上記工作機械の中で、例えば研削機により金属を研削する場合、研削屑やクーラント液が飛散する場合が多く、また、ダイシングマシンでは、切断された半導体ウェハの破片が飛散し、それらの機械や装置に装着された蛇腹にそれらが付着した場合には、蛇腹に穴が開いてしまう場合がある。また、上記蛇腹に形成された山部と山部との間に上記研削屑や破片が侵入した状態で、上記工作機械の駆動に伴う伸縮動作が長期間に亘って繰り返されることにより、該蛇腹が切断され穴が空いてしまうことにより、該蛇腹の内側に配置されたボールネジその他の駆動系に上記研削屑等が付着することにより正確な位置決めに支障を来すこととなる。そこで、本願出願人は、こうした研削屑等により蛇腹本体に穴が空いてしまう等の不都合を解消するために、伸縮する蛇腹本体に金属製又は樹脂製の保護板部材（スラットないしスラッツ）を備えた蛇腹を提案した（特許文献１参照）。この特許文献１に開示した蛇腹は、山部と谷部とが交互に形成され該山部及び谷部の長さ方向と直行する方向に伸縮自在とされてなる蛇腹本体と、上記蛇腹本体を構成する各山部近傍にそれぞれ基端が固定された保護板（保護板部材）と、を備えてなるとともに、上記蛇腹本体の内側に小型蛇腹を配置したものである。
【０００３】
したがって、上記特許文献１に開示された蛇腹によれば、多数の上記保護板部材により、研削屑や半導体ウェハの破片等により、上記蛇腹本体に穴が開いてしまう危険性を回避することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第４７５１２５６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上述した特許文献１に開示された蛇腹では、上記保護板部材が配置されている場合であっても、ダイシングマシンその他の動作速度が高速となり、この速度に対応して蛇腹が高速で伸縮動作を繰り返すと、上記保護板部の先端側が上方に浮き上がり、この浮き上がったことにより形成される空間内に研削屑や半導体ウェハの破片が、上記保護板部５０の下側を、図１０中矢印で示すように、通過して、蛇腹本体５１を構成する山部５１ａと山部５１ａとの間にまで侵入し、ひいては蛇腹本体５１の上部にまで至り該蛇腹本体５１に穴が空いたり、場合によっては、蛇腹本体５１の谷部に多くの研削屑や半導体ウェハの破片が蓄積されてしまうことがある。
【０００６】
そこで、本発明は、上述した従来の蛇腹が有する課題を解決するために提案されたものであって、研削機やダイシングマシン等の工作機械が高速で移動することに伴い高速で伸縮動作を繰り返す場合であっても、研削屑や半導体ウェハの破片が上記保護板部の下側を通過して蛇腹本体を構成する山部と山部との間にまで侵入したり、蛇腹本体の谷部に多くの研削屑や半導体ウェハの破片が蓄積されてしまったりすることがなく、該蛇腹本体を上記異物から保護することができる新規な蛇腹を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、上記課題を解決するために提案されたものであって、第１の発明（請求項１記載の発明）は、シート体が折曲され山部と谷部とが交互に形成されてなる蛇腹本体と、この上記蛇腹本体を構成するそれぞれの特定の山部に固定された固定板部と、この固定板部の上端から折曲されてなり上記特定の山部に隣り合う他の山部方向に突出してなるとともに該蛇腹本体が最大限に伸長した際における該特定の山部から他の山部までの長さよりも長尺な長さを有しそれぞれ該蛇腹本体の上部に位置する保護板部と、を有し、金属又は樹脂を素材とする保護板部材と、上記保護板部材を構成する固定板部又は保護板部の基端側に固定されてなるとともに該保護板部の上面よりも上方に突出した侵入規制面を有する侵入規制部材と、を備えてなることを特徴とするものである。
【０００８】
この第１の発明に係る蛇腹では、上記保護部材を構成する固定板部又は保護板部の基端側には、該保護板部の上面よりも上方に突出した侵入規制面を有する侵入規制部材が固定されていることから、上記研削機やダイシングマシン等の工作機械の駆動により発生する研削屑や半導体ウェハの破片は上記侵入規制面により蛇腹本体を構成する山部と山部との間に侵入することが規制される。
【０００９】
また、第２の発明（請求項２記載の発明）は、上記第１の発明において、前記侵入規制部材は、それぞれ前記固定板部に固定された板体であって、上端は前記保護板部の上面よりも上方に突出してなり正面が上記侵入規制面とされてなることを特徴とするものである。
【００１０】
この第２の発明において、前記侵入規制部材は、それぞれ前記固定板部に固定され、上端は上記保護板部の上面よりも上方に突出してなり正面が上記侵入規制面とされてなることから、保護板部の基端側に移動してきた上記研削屑や半導体ウェハの破片は、この板体の正面である侵入規制面により、上述した蛇腹本体を構成する山部と山部との間に侵入することが規制される。
【００１１】
また、第３の発明（請求項３記載の発明）は、上記第１の発明において、前記侵入規制部材は、それぞれ前記保護板部材を構成する保護板部の上面に固定されてなるとともに、該侵入規制部材に形成された侵入規制面は、上記保護板部の上面に対して起立した状態で形成されてなるとともに、前記蛇腹本体の伸長方向に対して鈍角をなす傾斜面であることを特徴とするものである。
【００１２】
この第３の発明では、前記侵入規制部材は、それぞれ前記保護板部材を構成する保護板部の上面に固定されてなるとともに、該侵入規制部材に形成された侵入規制面は、上記保護板部の上面に対して起立した状態で形成されてなるとともに、前記蛇腹本体の伸長方向に対して鈍角をなす傾斜面であることから、蛇腹本体が縮小する方向に高速で移動すると、上記傾斜面である侵入規制面に沿って、上記研削屑や半導体ウェハの破片は該蛇腹の側方に移動し、上記保護板部上から脱落する。特に、ダイシングマシン等のように、切削油等の液体を使用し該液体が蛇腹の上を流れる場合には、蛇腹本体が高速で伸縮移動することにより、その液体と共に上記傾斜した侵入規制面に沿って（ガイドされながら）保護板部上から側方に移動し、蛇腹本体がより一層保護される。
【００１３】
なお、この第３の発明において、上記傾斜面とされた侵入規制面は、単一の傾斜面が形成され、この傾斜面（侵入規制面）によって、蛇腹の側方（例えば右側）に研削屑や半導体ウェハの破片が移動するように構成されたもの以外に、第４の発明のように、左右均等に二つ形成されたものであっても良い。また、上記傾斜面は、必ずしも直線状の傾斜面である必要はなく、湾曲した傾斜面であっても良いし、直線状の傾斜面である場合でも、蛇腹の縮小方向に対して角度が異なる複数の傾斜面が蛇腹の側方ないし片側（例えば右側に）に対して複数連続してなるものであっても良い。
【００１４】
また、第４の発明（請求項４記載の発明）は、上記第１の発明において、前記侵入規制部材に形成された侵入規制面は、前記保護板部の上面に対して起立した状態で形成されてなるとともに、前記蛇腹本体の伸長方向に対して鈍角をなす傾斜面が左右均等に形成されてなることを特徴とするものである。
【００１５】
この第４の発明では、蛇腹本体の伸長方向に対して鈍角をなす傾斜面が左右均等に二つ形成されてなることから、上記第３の発明に比べて、研削屑や半導体ウェハの破片が移動する距離が短いことから、より一層短時間に該研削屑や半導体ウェハの破片を保護板部の上面から側方に脱落させることが可能となる。
【発明の効果】
【００１６】
上記第１の発明（請求項１記載の発明）に係る蛇腹によれば、従来の蛇腹のように、研削機やダイシングマシン等の工作機械が高速で移動することに伴い高速で伸縮動作を繰り返す場合であっても、研削屑や半導体ウェハの破片が上記保護板部の下側を通過して蛇腹本体を構成する山部と山部との間にまで侵入したり、蛇腹本体の谷部に多くの研削屑や半導体ウェハの破片が蓄積されてしまったりすることがなく、該蛇腹本体を上記異物から有効に保護することができる。
【００１７】
また、第２の発明（請求項２記載の発明）に係る蛇腹では、前記侵入規制部材は、それぞれ前記固定板部に固定され、上端は上記保護板部の上面よりも上方に突出してなり正面が上記侵入規制面とされてなることから、保護板部の基端側に移動してきた上記研削屑や半導体ウェハの破片は、この板体の正面である侵入規制面により、上述した蛇腹本体を構成する山部と山部との間に侵入することを規制することができる。
【００１８】
また、第３の発明（請求項３記載の発明）に係る蛇腹では、侵入規制面は、前記蛇腹本体の伸長方向に対して鈍角をなす傾斜面であることから、蛇腹本体が縮小する方向に高速で移動すると、上記傾斜面である侵入規制面に沿って、上記研削屑や半導体ウェハの破片は該蛇腹の側方に移動し、上記保護板部上から脱落させることができるので、より一層蛇腹本体に穴が空いたり、異物が蓄積されてしまったりすることがない。特に、ダイシングマシン等のように、切削油等の液体を使用し該液体が蛇腹の上を流れる場合には、蛇腹本体が高速で伸縮移動することにより、その液体と共に上記傾斜した侵入規制面に沿って（ガイドされながら）保護板部上から側方に移動することから、蛇腹本体を一層有効に保護する事が可能となる。
【００１９】
また、第４の発明（請求項４記載の発明）に係る蛇腹では、蛇腹本体の伸長方向に対して鈍角をなす傾斜面が左右均等に形成されてなることから、上記第３の発明に比べて、研削屑や半導体ウェハの破片が移動する距離が短いことから、より一層短時間に該研削屑や半導体ウェハの破片を保護板部の上面から側方に脱落させることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】ダイシングマシンと蛇腹とを分解して示す斜視図である。
【図２】第１の実施の形態に係る蛇腹を拡大して示す側面図である。
【図３】図２に示す蛇腹に起立プレートが配置された状態を拡大して示す側断面図である。
【図４】第２の実施の形態に係る蛇腹を拡大して示す側面図である。
【図５】図４に示す蛇腹に平板プレートが配置された状態を拡大して示す側断面図である。
【図６】保護板部材に平板プレートを配置した状態を示す平面図である。
【図７】保護板部材に配置された平板プレートの他の例を示す平面図である。
【図８】保護板部材に配置された平板プレートのさらに他の例を示す平面図である。
【図９】保護板部材に配置された平板プレートのまたさらに他の例を示す平面図である。
【図１０】従来の蛇腹を拡大して示す側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明を実施するための最良の形態に係る蛇腹について図面を参照しながら詳細に説明する。先ず、第１の実施の形態に係る蛇腹について説明する。なお、この実施の形態に係る蛇腹は、図１に示すように、ダイシングマシン２（半導体ウェハの加工装置）に装着される蛇腹に、本発明を適用したものである。そこで、先ず、上記ダイシングマシン２について簡単に説明し、その後に実施の形態に係る蛇腹について詳細に説明する。
【００２２】
このダイシングマシン２は、図１に示すように、加工テーブル３と、この加工テーブル３を左右（又は前後）に駆動する駆動装置１２が構成要素とされている。上記加工テーブル３は、円盤状に成形されてなるものであり、上方に開口を有するボックス４の内側に周囲が囲まれた状態で固定されてなるものであり、このボックス４の一側面には、後述する第１の蛇腹２１を固定するための一方の固定金具５が固定され、他側面には、後述する第２の蛇腹２２を固定するための他方の固定金具６が固定されている。また、このボックス４は、円柱状に成形された支軸７を介してスライド部材８に支持されている。なお、このスライド部材８の下面には、後述する一方及び他方のスライドガイド部材１５，１６が挿通されるガイド溝（符号は省略する。）が形成されている。また、上記ダイシングマシン２は、図示しないノズルから上記加工テーブル３上に供給され、切削の際に該加工テーブル３上から流れた切削液の廃液が収容される廃液トレー１０が構成要素となされている。この廃液トレー１０は、略長方形状に成形されてなるものであり、中央には開口１０ａが形成され、外周には外側起立部１０ｂが形成され、内周には、内側起立部１０ｃが形成されている。なお、この廃液トレー１０を構成する底板部１０ｄには、ドレン管１１に接続された排出口１０ｅが形成され、外側起立部１０ｂ、内側起立部１０ｃ及び底板部１０ｄからなる廃液収容部（符号は省略する）内に流入した廃液は、上記排出口１０ｅを経てドレン管１１から排出される。
【００２３】
そして、上記廃液トレー１０に形成された上記開口１０ａの下方には、上記駆動装置１２が配置されている。この駆動装置１２は、外周にネジ（符号は省略する。）が螺刻されたボールネジ１３と、このボールネジ１３を時計正転方向及び逆転方向に回転駆動させるモータ１４とから構成されている。また、上記ボールネジ１３の左右（又は前後）両側には、一方のスライドガイド部材１５と、他方のスライドガイド部材１６が互いに面対向した状態で配置されている。したがって、上記駆動装置１２を構成するモータ１４が駆動し、ボールネジ１３が正転又は逆転させられると、上記加工テーブル３は、上記一方及び他方のスライドガイド部材１５，１６にガイドされながら、該一方及び他方のスライドガイド部材１５，１６の長さ方向（ボールネジ１３の長さ方向）に往復駆動される。
【００２４】
また、上記廃液トレー１０を構成する上記内側起立部１０ｃには、上記一方の固定金具５に対向する位置に一方の外側固定金具１８が固定され、上記他方の固定金具６に対向する位置には、他方の外側固定金具１９が固定されている。そして、上記一方の固定金具５と一方の外側固定金具１８との間には、上記第１の蛇腹２１が固定され、上記他方の固定金具６と他方の外側固定金具１９との間には、第２の蛇腹２２が固定されている。なお、これら第１及び第２の蛇腹２１，２２の基本構成はそれぞれ同一であることから、以下、上記第１の蛇腹２１について詳細に説明する。
【００２５】
上記第１の蛇腹２１は、先に説明したように、水平方向に伸縮動作するように配置されてなるものであって、図２に示すように、蛇腹本体２５と、この蛇腹本体２５を構成し以下に説明する山部に基端側がそれぞれ固定された保護板部材２６と、本発明を構成する侵入規制部材としての起立プレート２７と、を備えている。
【００２６】
上記蛇腹本体２５は、合成皮革等の樹脂製シートを折曲することにより、図２に示すように、山部２５ａと谷部２５ｂとが交互に形成されてなるものであり、これら山部２５ａ及び谷部２５ｂがそれぞれ水平方向に長さを有するように形成された主伸縮部２５ｃと、この主伸縮部２５ｃの左側に形成され縦方向（上記山部２５ａとは直交する方向）に山部２５ａ及び谷部２５ｂが交互に形成された左側脚部２５ｄと、上記主伸縮部２５ｃの右側に形成され縦方向に図示しない山部及び谷部が交互に形成された右側脚部とから構成されている。すなわち、この実施の形態に係る蛇腹本体２１は、水平な状態で位置する主伸縮部２５ｃと、この主伸縮部２５ｃの左右に位置する左側脚部２５ｄ及び右側脚部とから構成された所謂門型の蛇腹である。そして、この実施の形態に係る蛇腹本体２５は、図２に示すように、内側にそれぞれ保形プレート３０が固定されている。これらの保形プレート３０は、樹脂により板状に成形されてなるものであり、それぞれ該蛇腹本体２５の内側に固定され、それぞれの上端は上記山部２５ａの裏面の近傍に位置しており、該山部２５ａの幅とほぼ同じ幅を有してなり、高さは上記左側脚部２５ｄ及び右側脚部の高さとほぼ同一の高さとされている。なお、上記蛇腹本体２５の一端には、上記一方の外側固定金具１８に固定される一方の固定板３２が固定され、他端には他方の外側固定金具１９に固定される他方の固定板３３が固定されている。
【００２７】
また、図２に示すように、上記蛇腹本体２５（該蛇腹本体２５の両端は除く。）には、上記保護板部材２６が固定されている。この保護板部材２６は、上記蛇腹本体２５を構成する各山部２５ａに対応する位置にて折曲されてなるものであり、それぞれの山部２５ａから下方にかけて高さを有してなるとともに上記保形プレート３０と該蛇腹本体２５を挟んだ状態で止具３１により固定された固定板部２６ａと、この固定板部２６ａの上端から上述したように（特定の）山部２５ａに対応した位置にて折曲されてなり、該（特定の山部２５ａに隣り合う他の）山部２５ａ方向に延在してなる保護板部２６ｂとから構成されている。なお、上記固定板部２６ａ及び保護板部２６ｂは、上記蛇腹本体２５の幅（この蛇腹本体２５の伸縮方向と直交する方向の長さ）とほぼ同じ長さに成形され、また、上記保護板部２６ｂの長さ（この蛇腹本体２５の伸縮方向の長さ）は、該蛇腹本体２５が最も伸長された際において互いに隣り合う山部２５ａから山部２５ａまでの長さ（隣り合う山部２５ａ同士が最も離間した長さ）よりも長尺に成形されている。また、上記保護板部２６ｂの先端側中途部には、該保護板部２６ｂの先端が下側に位置する保護板部２６ｂの上面に摺接するように、僅かに折曲部２６ｃを介して折曲されている。したがって、この実施の形態に係る蛇腹本体２５が最も伸長された際においても、図２中最も左側に位置する保護板部材２６の下側に隣りに固定された保護板部材２６が位置し、さらにこの保護板部材２６の下側に隣の保護板部材２６が位置するというように、蛇腹本体２５の一端側（図２中左側から右側に亘って）順番に重なり合った状態で配置されてなるとともに、その先端は下側に配置された保護板部材２６を構成する保護板部２６ｂの上面に摺接するように構成されている。
【００２８】
そして、この第１の実施の形態に係る蛇腹２１では、上記保護板部材２６を構成する固定板部２６ａに、本発明を構成する侵入規制部材としての起立プレート２７が固定されている。この起立プレート２７は、上記固定板部２６ａと同じ幅を有してなるとともに、その上端は該固定板部２６ａの上端、すなわち保護板部２６ｂの上面よりも上方に突出している。なお、この起立プレート２７の正面であって上記保護板部２６ｂの上面から上方に突出している部位（正面２７ａの上端側）は、本発明を構成する侵入規制面である。
【００２９】
したがって、この第１の実施の形態に係る蛇腹２１では、先に説明した駆動装置１２の駆動により、上記ボールネジ１３が回転させられることにより、例えば、図１中において、上記加工テーブル３が最も左側に位置し、蛇腹２１が最も縮小した状態から図１に示すように高速で伸長された際に、上記保護板部２６ｂの先端側が上方にやや浮き上がり、この結果、該保護板部２６ｂの下側に加工液と共に半導体ウェハの破片が侵入した場合であっても、図３に示すように、上記起立プレート２７の上端側の正面（本発明を構成する侵入規制面）により、蛇腹本体２５を構成する山部２５ａと山部２５ａとの間に侵入し谷部２５ｂ側に侵入することが防止される。
【００３０】
次に、この発明の第２の実施の形態に係る蛇腹４１について、図面を参照しながら詳細に説明する。
【００３１】
この第２の実施の形態に係る蛇腹４１は、図４に示すように、上記起立プレート２７に代えて、上記保護板部材２６を構成する保護板部２６ｂの基端側（固定板部２６ａ側）の上面に、本発明を構成する侵入規制部材としての平板プレート４３が接着されている。この平板プレート４３は、樹脂により一体成形されてなるものであり、図５又は図６に示すように、上記保護板部２６ｂの幅と同じ幅を有する直線状の背面４３ａと、該背面４３ａの長さよりも短い左側面４３ｂと、この左側面４３ｂと同じ長さを有する右側面４３ｃ（図６参照）と、左側正面４３ｄ及び右側正面４３ｅとを有し、平面形状は、蛇腹本体２５の伸縮方向の中心線を境に左右対称の台形状に成形されている。すなわち、上記左側正面４３ｄ及び右側正面４３ｅは、上記保護板部２６ｂの上面に対して起立した状態で形成されてなるものであり、それぞれ本発明を構成する侵入規制面である。
【００３２】
このように構成されたこの第２の実施の形態に係る蛇腹４１によれば、蛇腹本体２５が高速で伸長されることにより、上記保護板部２６ｂ上の図示しない半導体ウェハの破片は上記左側正面４３ｄ及び右側正面４３ｅにより、蛇腹本体２５を構成する山部２５ａと山部２５ａとの間に侵入し谷部２５ｂ側に侵入することが防止されるばかりか、加工液とともに、左側正面４３ｄ及び右側正面４３ｅによりガイドされながら蛇腹本体２５の左右両側に移動しやがて上記保護板部２６ｂ上から脱落させることが可能となる。
【００３３】
なお、この第２の実施の形態に係る蛇腹４１のように、先に説明した起立プレート２７に代えて、上記平板プレート４３を接着（固定）する場合であって、必ずしも、上述したように、左右対称に形成された左側正面４３ｄ及び右側正面４３ｅが形成されたものに限定されるものではなく、例えば、図７に示すように、保護板部２６ｂの幅と同じ長さを有し、正面には平面形状が直線状（蛇腹本体２５の伸縮方向と直交する方向）の侵入規制面としての正面５３ａが形成された長方形状の平板プレート５３が形成されたものや、図８に示すように、蛇腹本体２５の伸縮方向に対して傾斜した単一の傾斜起立面６３ａが形成された平板プレート６３であっても良いし、またさらには、上記左側正面４３ａ及び右側正面４３ｂや傾斜起立面６３ａのように、平面形状が直線状の面ではなく、図９に示すように、湾曲した湾曲起立面７３ａが保護板部２６ｂの上面から起立した状態で形成された平板プレート７３が固定されてなるものであっても良い。
【００３４】
上述した平板プレート５３，６３，７３が保護板部２６ｂの上面に固定された蛇腹（符号は省略する。）であっても、上記第１及び第２の実施の形態に係る蛇腹２１と同じように、保護板部２６ｂ上の図示しない半導体ウェハの破片は、上記正面５３ａ，傾斜起立面６３ａ，湾曲起立面７３ａにより、蛇腹本体２５を構成する山部２５ａと山部２５ａとの間に侵入し谷部２５ｂ側に侵入することが防止され、特に、上記傾斜起立面６３ａや湾曲起立面７３ａが形成された平板プレート６３，７３によれば、上記第２の実施の形態に係る蛇腹２１と同じように、加工液とともに、傾斜起立面６３ａや湾曲起立面７３ａにより、半導体ウェハの破片はガイドされながら蛇腹本体２５の左右両側に移動しやがて上記保護板部２６ｂ上から脱落させることが可能となる。
【符号の説明】
【００３５】
２  ダイシングマシン
２１  蛇腹
２５  蛇腹本体
２５ａ  山部
２５ｂ  谷部
２６  保護板部材
２６ａ  固定板部
２６ｂ  保護板部
２７  起立プレート
２７ａ  正面
４１  蛇腹
４３  平板プレート
４３ｄ  左側正面
４３ｅ  右側正面
５３  平板プレート
５３ａ  正面
６３  平板プレート
６３ａ  傾斜起立面
７３  平板プレート
７３ａ  湾曲起立面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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