(57)【要約】【課題】ボールねじ軸の先端の振れ回りを抑制できるアクチュエータ、アクチュエータの製造方法、及び振れ止め部材を提供する。【解決手段】アクチュエータ１０は、出力軸２３を備えたモータユニット２０と、出力軸２３の回転運動を直線運動に変換するボールねじ７０と、ボールねじ７０のボールねじナット７２に固定されることで直線運動するスライド部３１と、スライド部３１に固定されて直線運動し、ボールねじ軸７１の先端部７１ｃを挿入するための挿入孔１１ａが形成されたロッド１１と、ボールねじ軸７１の先端部７１ｃに取り付けられ、ボールねじ軸７１の振れ回りを抑制するための振れ止め部材１１０とを有する。振れ止め部材１１０は、振れ止め部材本体と、振れ止め部材本体の外周に嵌め込まれ、ロッド１１の挿入孔１１ａの内周面と接触する弾性部材とを有する。【選択図】図２Ｂ
2014202286.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転軸を備えたモータと、
前記回転軸の回転運動とともに回転運動するボールねじ軸と、前記ボールねじ軸の回転運動に伴って直線運動するボールねじナットと、を有するボールねじと、
前記ボールねじナットに固定され、前記ボールねじナットとともに直線運動するスライド部と、
前記スライド部に固定され、前記ボールねじナット及び前記スライド部とともに直線運動し、前記ボールねじ軸の先端を挿入するための挿入孔が形成されたロッドと、
前記ボールねじ軸の先端に取り付けられ、前記ボールねじ軸の振れ回りを抑制するための振れ止め部材と、
を有し、
前記振れ止め部材は、振れ止め部材本体と、前記振れ止め部材本体の外周に嵌め込まれ、前記ロッドの前記挿入孔の内周面と接触する第１弾性部材と、を有することを特徴とするアクチュエータ。
【請求項２】
前記振れ止め部材本体には、空気が流入出する空気孔が、前記ボールねじ軸の軸方向に沿って形成されていることを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。
【請求項３】
前記振れ止め部材本体の外周には、前記第１弾性部材を嵌め込むための第１溝が形成され、
前記第１溝は、グリス溜りとして機能することを特徴とする請求項１又は２に記載のアクチュエータ。
【請求項４】
前記第１弾性部材は、フッ素ゴムからなるＯリングであることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載のアクチュエータ。
【請求項５】
前記振れ止め部材本体の外周には、グリス溜り部が形成されていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載のアクチュエータ。
【請求項６】
前記振れ止め部材は、
前記振れ止め部材本体の外周に嵌め込まれ、前記ロッドの前記挿入孔の内周面と接触する第２弾性部材を有し、
前記グリス溜り部は、前記第１弾性部材の取付け位置と前記第２弾性部材の取付け位置との間に形成されていることを特徴とする請求項５に記載のアクチュエータ。
【請求項７】
前記振れ止め部材本体の外周には、前記第２弾性部材を嵌め込むための第２溝が形成され、
前記第２溝は、グリス溜りとして機能することを特徴とする請求項６に記載のアクチュエータ。
【請求項８】
前記第２弾性部材は、フッ素ゴムからなるＯリングであることを特徴とする請求項６又は７に記載のアクチュエータ。
【請求項９】
前記第２弾性部材は、潤滑油が含有された自己潤滑性の素材からなることを特徴とする請求項６乃至８のいずれか一項に記載のアクチュエータ。
【請求項１０】
前記第１弾性部材は、潤滑油が含有された自己潤滑性の素材からなることを特徴とする請求項１乃至９のいずれか一項に記載のアクチュエータ。
【請求項１１】
請求項１乃至１０のいずれか一項に記載のアクチュエータの製造方法であって、
引抜加工によって、前記ロッドの前記挿入孔を形成することを含むことを特徴とするアクチュエータの製造方法。
【請求項１２】
請求項１乃至１０のいずれか一項に記載のアクチュエータの製造方法であって、
押出加工によって、前記ロッドの前記挿入孔を形成することを含むことを特徴とするアクチュエータの製造方法。
【請求項１３】
請求項１乃至１０のいずれか一項に記載のアクチュエータの製造方法であって、
切削加工によって、前記ロッドの前記挿入孔を形成することを含むことを特徴とするアクチュエータの製造方法。
【請求項１４】
前記切削加工は、旋削加工又はガンドリル加工であることを特徴とする請求項１３に記載のアクチュエータの製造方法。
【請求項１５】
請求項１乃至１０のいずれか一項に記載のアクチュエータの製造方法であって、
研削加工によって、前記ロッドの前記挿入孔の内周面を滑面に処理することを含むことを特徴とするアクチュエータの製造方法。
【請求項１６】
前記研削加工は、ホーニング加工であることを特徴とする請求項１５に記載のアクチュエータの製造方法。
【請求項１７】
回転軸を備えたモータと、
前記回転軸の回転運動とともに回転運動するボールねじ軸と、前記ボールねじ軸の回転運動に伴って直線運動するボールねじナットと、を有するボールねじと、
前記ボールねじナットに固定され、前記ボールねじナットとともに直線運動するスライド部と、
前記スライド部に固定され、前記ボールねじナット及び前記スライド部とともに直線運動し、前記ボールねじ軸の先端を挿入するための挿入孔が形成されたロッドと、
を有するアクチュエータの前記ボールねじ軸の先端に取り付けられ、前記ボールねじ軸の振れ回りを抑制するための振れ止め部材であって、
振れ止め部材本体と、
前記振れ止め部材本体の外周に嵌め込まれ、前記ロッドの前記挿入孔の内周面と接触する第１弾性部材と、
を有することを特徴とする振れ止め部材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、アクチュエータ、アクチュエータの製造方法、及び振れ止め部材に関する。
【背景技術】
【０００２】
ロッドタイプのアクチュエータでは、例えば、モータの回転運動が、ボールねじを介して、スライド部に伝達されることにより、スライド部に固定されたロッドが進退移動する。これにより、ロッドの先端に取り付けられた任意の工具が、作業対象のワークを押圧するなど、様々な作業を行う。このようなアクチュエータでは、ボールねじ軸の先端（モータが接続された駆動端とは反対側の自由端）に振れ回りが生じやすい。特に、モータの回転運動が高速である程、ボールねじ軸の曲がりや自重によるたわみが大きくなり、ボールねじ軸の先端の振れ回りは大きくなる。このため、ボールねじ軸の危険速度を大きくすることができず、モータを高速で回転させることができなかった。
【０００３】
これに対して、特許文献１には、ボールねじ軸の先端の振れ回りを抑制する振れ止め部材を備えたアクチュエータが開示されている。ボールねじ軸の先端は、この振れ止め部材を介して、ロッドの孔の内周に支持されるため、ボールねじ軸の先端の振れ回りを抑制することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１３−３６６０６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記特許文献１に記載のアクチュエータでは、振れ止め部材の素材は、ゴム等に比べて弾性変形量が小さい樹脂である。このため、例えば、ロッドの孔の内周面の真円度が比較的低い場合や、ロッドの孔の内周面の表面粗さが比較的大きい場合、ロッドの孔の内周面に溶接ビードが形成されていた場合には、振れ止め部材の外周とロッドの孔の内周との間に隙間が形成される。そうすると、ボールねじ軸の支持が不完全になり、ボールねじ軸に共振が生じて、ボールねじ軸の振れ回りの抑制効果が小さくなるおそれが生じる。結果的に、ボールねじ軸の振れ回りにより、ロッドの孔の内周面と振れ止め部材が接触し異音が発生する場合がある。従って、振れ止め部材の更なる改良が望まれる。
【０００６】
本発明は、上述の事情の下になされたもので、ボールねじ軸の先端の振れ回りを抑制できるアクチュエータ、アクチュエータの製造方法、及び振れ止め部材を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述の目的を達成するために、本発明の第１の観点に係るアクチュエータは、
回転軸を備えたモータと、
前記回転軸の回転運動とともに回転運動するボールねじ軸と、前記ボールねじ軸の回転運動に伴って直線運動するボールねじナットと、を有するボールねじと、
前記ボールねじナットに固定され、前記ボールねじナットとともに直線運動するスライド部と、
前記スライド部に固定され、前記ボールねじナット及び前記スライド部とともに直線運動し、前記ボールねじ軸の先端を挿入するための挿入孔が形成されたロッドと、
前記ボールねじ軸の前記先端に取り付けられ、前記ボールねじ軸の振れ回りを抑制するための振れ止め部材と、
を有し、
前記振れ止め部材は、振れ止め部材本体と、前記振れ止め部材本体の外周に嵌め込まれ、前記ロッドの前記挿入孔の内周面と接触する第１弾性部材と、を有することを特徴とする。
【０００８】
前記振れ止め部材本体には、空気が流入出する空気孔が、前記ボールねじ軸の軸方向に沿って形成されていてもよい。
【０００９】
前記振れ止め部材本体の外周には、前記第１弾性部材を嵌め込むための第１溝が形成され、
前記第１溝は、グリス溜りとして機能してもよい。
【００１０】
前記第１弾性部材は、フッ素ゴムからなるＯリングであってもよい。
【００１１】
前記振れ止め部材本体の外周には、グリス溜り部が形成されていてもよい。
【００１２】
前記振れ止め部材は、
前記振れ止め部材本体の外周に嵌め込まれ、前記ロッドの前記挿入孔の内周面と接触する第２弾性部材を有し、
前記グリス溜り部は、前記第１弾性部材の取付け位置と前記第２弾性部材の取付け位置との間に形成されていてもよい。
【００１３】
前記振れ止め部材本体の外周には、前記第２弾性部材を嵌め込むための第２溝が形成され、
前記第２溝は、グリス溜りとして機能してもよい。
【００１４】
前記第２弾性部材は、フッ素ゴムからなるＯリングであってもよい。
【００１５】
前記第２弾性部材は、潤滑油が含有された自己潤滑性の素材からなっていてもよい。
【００１６】
前記第１弾性部材は、潤滑油が含有された自己潤滑性の素材からなっていてもよい。
【００１７】
本発明の第２の観点に係るアクチュエータの製造方法は、
第１の観点に係るアクチュエータの製造方法であって、
引抜加工によって、前記ロッドの前記挿入孔を形成することを含むことを特徴とする。
【００１８】
本発明の第３の観点に係るアクチュエータの製造方法は、
第１の観点に係るアクチュエータの製造方法であって、
押出加工によって、前記ロッドの前記挿入孔を形成することを含むことを特徴とする。
【００１９】
本発明の第４の観点に係るアクチュエータの製造方法は、
第１の観点に係るアクチュエータの製造方法であって、
切削加工によって、前記ロッドの前記挿入孔を形成することを含むことを特徴とする。
【００２０】
前記切削加工は、旋削加工又はガンドリル加工であってもよい。
【００２１】
本発明の第５の観点に係るアクチュエータの製造方法は、
第１の観点に係るアクチュエータの製造方法であって、
研削加工によって、前記ロッドの前記挿入孔の内周面を滑面に処理することを含むことを特徴とする。
【００２２】
前記研削加工は、ホーニング加工であってもよい。
【００２３】
本発明の第６の観点に係る振れ止め部材は、
回転軸を備えたモータと、
前記回転軸の回転運動とともに回転運動するボールねじ軸と、前記ボールねじ軸の回転運動に伴って直線運動するボールねじナットと、を有するボールねじと、
前記ボールねじナットに固定され、前記ボールねじナットとともに直線運動するスライド部と、
前記スライド部に固定され、前記ボールねじナット及び前記スライド部とともに直線運動し、前記ボールねじ軸の先端を挿入するための挿入孔が形成されたロッドと、
を有するアクチュエータの前記ボールねじ軸の先端に取り付けられ、前記ボールねじ軸の振れ回りを抑制するための振れ止め部材であって、
振れ止め部材本体と、
前記振れ止め部材本体の外周に嵌め込まれ、前記ロッドの前記挿入孔の内周面と接触する第１弾性部材と、
を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、ボールねじ軸の先端の振れ回りを抑制できる。ひいては、アクチュエータの危険速度を向上させることができる。また、振れ回りによる異音を抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の第１実施形態に係るアクチュエータの斜視図である。
【図２Ａ】カバーを取り外したときのアクチュエータの斜視図である。
【図２Ｂ】カバーを取り外したときのアクチュエータの断面図である。
【図３】アクチュエータの分解断面図である。
【図４Ａ】ガイド装置の斜視図である。
【図４Ｂ】ガイド装置の断面図である。
【図５】ガイド装置の分解斜視図である。
【図６】ガイド装置へのロッドの取り付けを説明するための斜視図である。
【図７】振れ止め部材が取り付けられたボールねじの一部断面図である。
【図８Ａ】振れ止め部材が取り付けられたボールねじ軸の先端部近傍の斜視図である。
【図８Ｂ】振れ止め部材が取り付けられたボールねじ軸の先端部近傍の一部断面図である。
【図９Ａ】振れ止め部材の斜視図である。
【図９Ｂ】振れ止め部材の側面図である。
【図９Ｃ】図９ＢのＣ−Ｃ断面図である。
【図１０】ガイド装置へのボールねじの取り付けを説明するための斜視図である。
【図１１】ガイド装置へのボールねじの取り付けを説明するための断面図である。
【図１２Ａ】アクチュエータの動作を説明するための断面図（その１）である。
【図１２Ｂ】アクチュエータの動作を説明するための断面図（その２）である。
【図１２Ｃ】アクチュエータの動作を説明するための断面図（その３）である。
【図１３Ａ】振れ止め部材の作用を説明するための断面図（その１）である。
【図１３Ｂ】振れ止め部材の作用を説明するための断面図（その２）である。
【図１４】本発明の第２実施形態に係るアクチュエータの断面図である。
【図１５Ａ】第２実施形態に係る振れ止め部材が取り付けられたボールねじ軸の先端部の斜視図である。
【図１５Ｂ】第２実施形態に係る振れ止め部材が取り付けられたボールねじ軸の先端部の断面図である。
【図１６Ａ】第２実施形態に係る振れ止め部材の斜視図である。
【図１６Ｂ】第２実施形態に係る振れ止め部材の側面図である。
【図１７】ロッドの挿入孔へ挿入された第２実施形態に係る振れ止め部材の断面図である。
【図１８】第２実施形態に係る振れ止め部材の作用を説明するための断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
《第１実施形態》
以下、本発明の第１実施形態に係るアクチュエータ１０について、図１〜図１３Ｂを用いて説明する。なお、理解を容易にするために、ＸＹＺ座標を設定し、適宜参照する。
【００２７】
アクチュエータ１０は、図１に示すように、Ｙ軸方向に往復運動するロッド１１を有するロッドタイプのアクチュエータである。このアクチュエータ１０は、ロッド１１と、モータユニット２０と、フロントハウジング８０と、リアハウジング９０と、カバー１８とを有している。
【００２８】
カバー１８は、例えば、アルミニウムを押出成形することによって形成される。カバー１８は、図２Ａに示すように、ボルト１９によって、フロントハウジング８０及びリアハウジング９０に固定されている。
【００２９】
アクチュエータ１０は、図２Ｂに示すように、ロッド１１等に加えて、ロッド１１をＹ軸方向に案内するスライド部３１を有するガイド装置３０と、モータユニット２０の回転運動を直線運動に変換するボールねじ７０と、振れ止め部材１１０とを有している。
【００３０】
ロッド１１は、図３に示すように、内部に挿入孔１１ａが形成された部材である。ロッド１１は、円筒形状のロッド本体と先端金具１２とを有する。ロッド１１のロッド本体は、例えば、アルミニウムからなる。ただし、ロッド本体の素材は、任意であり、アルミニウム以外のものであってもよい。例えば、ステンレス鋼であってもよい。ロッド１１のロッド本体は、冷間加工によって形成されている。本実施形態においては、ロッド本体は、引抜加工によって形成される。引抜加工によって形成されることにより、挿入孔１１ａの断面は、真円度の高い円形に形成される。ロッド１１の−Ｙ側の端部には、外周に雄ねじが形成された先端金具１２がねじ込まれることによって固定されている。また、ロッド１１の＋Ｙ側の端部の外周には、雄ねじ部１１ｂが形成されている。
【００３１】
モータユニット２０は、モータ２１と、モータ２１を収納するモータハウジング２２と、アクチュエータケーブル２４とを有する。
【００３２】
モータ２１は、出力軸２３、ロータ、ステータ、エンコーダ、減速器等を有している。モータ２１には、アクチュエータケーブル２４を介して電源からの電力が供給される。モータ２１に電力が供給されることによって、モータ２１のロータが回転する。このロータの回転運動は、例えば、減速器によって所定の減速比で減速され、出力軸２３に出力される。また出力軸２３の先端は、カップリングが接続されている。モータハウジング２２は、ボルト２５によって、リアハウジング９０に取り付けられている。
【００３３】
ガイド装置３０は、ロッド１１がスライド部３１に固定されることにより、ロッド１１を＋Ｙ方向及び−Ｙ方向の双方向に案内する。このガイド装置３０は、図４Ａ及び図４Ｂに示すように、スライド部３１と、ベース６０と、スライド部３１とベース６０との間に配置され、転動体として機能するボール５０とを有する。このボール５０は、高剛性の素材からなり、具体的には、鋼材からなる。ボール５０は、スライド部３１とベース６０との間に複数配置されている。
【００３４】
スライド部３１は、図５に示すように、スライド部本体３２と、転動体収納ユニット４０とを有する。
【００３５】
スライド部本体３２は、例えば、金属からなる略直方体の部材である。スライド部本体３２には、Ｙ軸方向に貫通する貫通孔３２ａが形成されている。図３に示すように、スライド部本体３２の貫通孔３２ａの−Ｙ側の開口近傍の内周面には、雌ねじ部３２ｂが形成されている。ロッド１１の雄ねじ部１１ｂが、スライド部本体３２の貫通孔の雌ねじ部３２ｂに螺合することにより、ロッド１１は、スライド部本体３２に固定される。
【００３６】
転動体収納ユニット４０は、図４Ｂに示すように、スライド部本体３２の下面（−Ｚ側の面）に固定されている。転動体収納ユニット４０の内部には、転動体循環路４１が形成されている。転動体循環路４１には、複数のボール５０が配置される。
【００３７】
ベース６０は、図５に示すように、Ｙ軸方向を長手方向とする部材である。ベース６０は、底板部６１と、底板部６１の両側に形成された側壁部６２Ｒ、６２Ｌとを有する。ベース６０は、例えば、アルミニウムを押出成形することによって形成される。側壁部６２Ｒの−Ｘ側の面及び側壁部６２Ｌの＋Ｘ側の面には、凹部がそれぞれ形成されている。この凹部には、Ｙ軸方向を長手方向とするガイドレール６３Ｒ、６３Ｌが取り付けられている。ガイドレール６３Ｒの−Ｘ側の面及びガイドレール６３Ｌの＋Ｘ側の面には、溝部がそれぞれ形成されている。溝部は、対向するように形成されており、溝部の内面は、略湾曲面として構成されている。
【００３８】
ガイド装置３０は、ベース６０にスライド部３１が取り付けられることによって完成する。そして、スライド部３１のスライド部本体３２の貫通孔３２ａには、図６に示すように、ロッド１１の＋Ｙ側の端部が挿入される。そして、貫通孔３２ａに形成された雌ねじ部３２ｂに、ロッド１１の＋Ｙ側の端部に形成された雄ねじ部１１ｂが螺合されることにより、ロッド１１は、ガイド装置３０のスライド部３１に固定される。
【００３９】
ボールねじ７０は、図７に示すように、ボールねじ軸７１と、ボールねじナット７２とを有する。
【００４０】
ボールねじ軸７１は、外周面が螺旋状の雄ねじ面として構成されたボールねじ軸本体７１ａと、ボールねじ軸本体７１ａの＋Ｙ側の端部に取り付けられた接続部材７３とを有する。接続部材７３は、モータユニット２０の出力軸２３に接続されることで、出力軸２３の回転とともに回転する。これにより、出力軸２３の回転運動がボールねじ軸７１に伝達される。
【００４１】
ボールねじナット７２は、ボールねじ軸７１のボールねじ軸本体７１ａの外周に配置されている。ボールねじナット７２の内周面には雌ねじ部が形成されている。このボールねじナット７２は、ボールねじ軸７１に高剛性の球体を介して嵌め込まれる。これにより、ボールねじ軸７１の回転運動が、ボールねじナット７２の直線運動に変換される。
【００４２】
振れ止め部材１１０は、図８Ａ及び図８Ｂに示すように、ボールねじ軸７１の先端部７１ｃの振れ回りを抑制するための部材である。振れ止め部材１１０は、ボールねじ軸７１の先端部７１ｃに嵌め込まれている。振れ止め部材１１０は、係止部材１１３によって、回転可能に係止されている。振れ止め部材１１０は、振れ止め部材本体１１１と弾性部材１１２（第１弾性部材）とを有する。
【００４３】
振れ止め部材本体１１１は、図９Ａ〜図９Ｃに示すように、中央に貫通孔１１１ａが形成されたリング形状に形成されている。振れ止め部材本体１１１は、例えば、ポリアセタール樹脂からなる。振れ止め部材本体１１１には、貫通孔１１１ａの外周に沿って等間隔に形成された複数の空気孔１１１ｂが形成されている。空気孔１１１ｂは、ボールねじ軸７１の軸方向（Ｙ軸方向）に貫通する貫通孔であり、Ｙ軸方向に沿って形成されている。本実施形態においては、空気孔１１１ｂは、６つ形成されている。また、振れ止め部材本体１１１の外周には、図８Ｂに示すように、弾性部材１１２を嵌め込むための溝１１１ｃ（第１溝）が形成されている。
【００４４】
弾性部材１１２は、図９Ａ〜図９Ｃに示すように、例えば、Ｏリングである。弾性部材１１２の素材は、例えば、フッ素ゴムである。弾性部材１１２は、その外径が、ロッド１１の挿入孔１１ａの内径よりもやや大きいものが用いられている。これにより、ボールねじ軸７１の先端部７１ｃを、ロッド１１の挿入孔１１ａに挿入した場合に、弾性部材１１２が、弾性変形して、弾性部材１１２の外周と挿入孔１１ａの内周との間に隙間を塞ぐことができる。
【００４５】
係止部材１１３は、図９Ａに示すように、ボールねじ軸７１の先端部７１ｃの外周に形成された係止溝７１ｂに嵌まり込むことで、振れ止め部材１１０を抜け止めする。
【００４６】
振れ止め部材１１０が取り付けられたボールねじ７０は、図１０に示すように、ガイド装置３０に固定される。具体的には、ボールねじ軸７１の先端部７１ｃが、スライド部本体３２の貫通孔３２ａに＋Ｙ側から挿入されていき、ボールねじナット７２が、貫通孔３２ａ内に配置される。そして、スライド部本体３２に、側方からボルト７４がねじ込まれて締結されることにより、ボールねじ７０は、ガイド装置３０に固定される。
【００４７】
また、ボールねじ７０が、ガイド装置３０に固定されると、図１１に示すように、振れ止め部材１１０が、ロッド１１の挿入孔１１ａ内に配置される。このとき、振れ止め部材１１０の弾性部材１１２の外周が、ロッド１１の挿入孔１１ａの内周面に接触して、弾性部材１１２が、ロッド１１の挿入孔１１ａの内周面と、振れ止め部材本体１１１の溝１１１ｃとの間で径方向に圧縮される。これにより、ボールねじ軸７１の先端部７１ｃが、この振れ止め部材１１０を介して、挿入孔１１ａの内周面に支持される。
【００４８】
フロントハウジング８０は、図３に示すように、ガイド装置３０の−Ｙ側に、ボルトによって固定されている。フロントハウジング８０には、ロッド１１を通すための貫通孔が形成されており、この貫通孔の内周面には、オイルレスベアリング８２が配置されている。オイルレスベアリング８２は、ロッド１１をＹ軸方向に移動可能に支持する。
【００４９】
リアハウジング９０は、ガイド装置３０の＋Ｙ側に、ボルトによって固定されている。リアハウジング９０は、ボールねじ軸７１を挿入するための貫通孔が形成されており、この貫通孔の内周面には、ボールベアリング９２が配置されている。ボールベアリング９２は、貫通孔の＋Ｙ側から嵌め込まれ、ベアリング押さえによって固定されている。このボールベアリング９２によって、ボールねじ軸７１は回転可能に支持される。
【００５０】
上述のように構成されたアクチュエータ１０の動作について、図１２Ａ〜図１３Ｂを用いて説明する。
【００５１】
先ず、モータユニット２０のモータ２１に電源が供給されることによって、図１２Ａに示すように、モータ２１の出力軸２３が所定の方向に回転する。出力軸２３が所定の方向に回転（正転）すると、出力軸２３に接続されているボールねじ軸７１が、出力軸２３とともに回転する。
【００５２】
ボールねじ軸７１が回転すると、図１２Ｂに示すように、ボールねじ軸７１の回転運動に伴って、ボールねじナット７２が、例えば、−Ｙ方向に直線運動をする。ボールねじナット７２が、−Ｙ方向に移動すると、ボールねじナット７２に固定されているガイド装置３０のスライド部３１も、ボールねじナット７２とともに−Ｙ方向に移動をする。このとき、図５を参照するとわかるように、ボール５０がガイドレール６３Ｒ、６３Ｌを転動することにより、スライド部３１は、円滑に移動する。図１２Ｂに戻り、スライド部３１が−Ｙ方向に移動をすると、スライド部３１に固定されているロッド１１も、スライド部３１とともに−Ｙ方向に移動する。これにより、ロッド１１の先端に取り付けられた先端金具１２が−Ｙ方向に移動する。
【００５３】
また、図１３Ａに示すように、ロッド１１が−Ｙ方向に移動するのに対し、ボールねじ軸７１は、−Ｙ方向には移動せずに回転する。このため、ボールねじ軸７１に取り付けられた振れ止め部材１１０は、ロッド１１の挿入孔１１ａの内周面に対して摺動する。詳しくは、振れ止め部材１１０の弾性部材１１２が、挿入孔１１ａの内周面に対して摺動する。ロッド１１の挿入孔１１ａと、振れ止め部材１１０の−Ｙ側の面とによって規定される空間Ｓの容積は、ロッド１１の−Ｙ方向への移動に伴って大きくなる。このとき、空間Ｓ内の空気が、振れ止め部材本体１１１の空気孔１１１ｂから空間Ｓに流入し、空間Ｓの内圧を一定に保つ。
【００５４】
以上により、ロッド１１及び先端金具１２の−Ｙ方向への移動が完了する。
【００５５】
次に、モータユニット２０の出力軸２３が所定の方向とは逆方向に回転（逆転）すると、図１２Ｃに示すように、出力軸２３に接続されているボールねじ軸７１は、出力軸２３とともに回転する。
【００５６】
ボールねじ軸７１が回転すると、ボールねじ軸７１の回転運動に伴って、ボールねじナット７２が、＋Ｙ方向に直線運動をする。ボールねじナット７２が、＋Ｙ方向に移動すると、ボールねじナット７２に固定されているガイド装置３０のスライド部３１も、ボールねじナット７２とともに＋Ｙ方向に移動をする。スライド部３１が＋Ｙ方向に移動をすると、スライド部３１に固定されているロッド１１も、スライド部３１とともに＋Ｙ方向に移動する。これにより、ロッド１１の先端に取り付けられた先端金具１２が＋Ｙ方向に移動する。
【００５７】
また、図１３Ｂに示すように、ロッド１１が＋Ｙ方向に移動するのに対し、ボールねじ軸７１は＋Ｙ方向には移動せずに回転する。このため、空間Ｓは、ロッド１１の＋Ｙ方向への移動に伴って小さくなる。これにより、空間Ｓ内の空気が、振れ止め部材本体１１１の空気孔１１１ｂを通って、空間Ｓから流出し、空間Ｓの内圧を一定に保つ。
【００５８】
以上により、ロッド１１及び先端金具１２の＋Ｙ方向への移動が完了し、ロッド１１及び先端金具１２は、初期位置まで戻る。
【００５９】
以上、説明したように、本第１実施形態に係るアクチュエータ１０では、振れ止め部材１１０の振れ止め部材本体１１１の外周に、弾性部材１１２が嵌め込まれている。このため、ボールねじ軸７１の先端部７１ｃが、弾性部材１１２を介して、ロッド１１の挿入孔１１ａの内周面に安定して支持される。これにより、ボールねじ軸７１に共振が生じにくくなり、ボールねじ軸７１の先端部７１ｃの振れ回りを抑制できる。
【００６０】
これに対して、従来のアクチュエータ（特許文献１に記載のアクチュエータ）の場合、振れ止め部材の素材は、ゴム等に比べて弾性変形量が小さい樹脂である。このため、ロッドの孔の内周面の真円度が比較的低い場合や、ロッドの孔の内周面の表面粗さが比較的大きい場合、ロッドの孔の内周面に溶接ビードが形成されていた場合には、振れ止め部材の外周とロッドの孔の内周との間に隙間ができやすくなる。そうすると、ボールねじ軸の支持が不完全になり、ボールねじに共振が生じて、ボールねじの振れ回りの抑制効果が小さくなるおそれが生じる。
【００６１】
しかしながら、本第１実施形態では、フッ素ゴムからなる弾性部材１１２が、振れ止め部材本体１１１の外周に嵌め込まれている。このため、ロッド１１の挿入孔１１ａの内周面の真円度が比較的低い場合や、ロッド１１の挿入孔１１ａの内周面の表面粗さが比較的大きい場合、ロッド１１の挿入孔１１ａの内周面に溶接ビードが形成されていた場合でも、弾性部材１１２の弾性変形の作用により、振れ止め部材１１０の外周とロッド１１の挿入孔１１ａの内周との間の隙間を吸収し、隙間を塞ぐことができる。これにより、ボールねじ軸７１の先端部７１ｃを、ロッド１１の挿入孔１１ａの内周面に安定して支持することができる。結果として、ボールねじ軸７１に共振が生じにくくなり、ボールねじ軸７１の先端部７１ｃの振れ回りを効果的に抑制できる。また、ボールねじ軸７１の先端部７１ｃの振れ回りに起因した騒音又は異音を抑制できる。
【００６２】
また、ボールねじ軸７１の先端部７１ｃの振れ回りを効果的に抑制できるため、ボールねじ軸７１の回転を高速化することができる。結果として、ロッド１１及びスライド部３１の移動速度の高速化、高ストローク化を実現することができる。また、アクチュエータ１０のボールねじ軸７１の危険速度を向上させることができる。
【００６３】
また、本第１実施形態では、振れ止め部材本体１１１の外周に、弾性部材１１２を嵌め込むための溝１１１ｃが形成されている。このため、弾性部材１１２がＹ軸方向にずれることなく、弾性部材１１２は、この溝１１１ｃと、ロッド１１の挿入孔１１ａの内周面との間で、確実に径方向に圧縮される。これにより、振れ止め部材１１０の外周とロッド１１の挿入孔１１ａの内周との間の隙間を確実に塞ぐことができる。また、弾性部材１１２にグリスを塗布した場合、溝１１１ｃがグリス溜りとしても使用できる。即ち、溝１１１ｃは、弾性部材１１２がＹ軸方向にずれないように保持する機能と、グリス溜りとしての機能を併せ持つことができる。なお、グリスは潤滑性の高いウレア系グリスなどが考えられる。
【００６４】
また、グリスが、溝１１１ｃに保持されることで流出しにくくなる。これにより、長期間に渡って、振れ止め部材１１０の円滑な摺動を維持し、振れ止め部材１１０の各部材の磨耗を防ぐことができる。結果として、ボールねじ軸７１の先端部７１ｃが、ロッド１１の挿入孔１１ａの内周面に、長期間に渡って安定して支持され、ボールねじ軸７１の先端部７１ｃの振れ回りを効果的に抑制できる。
【００６５】
また、本第１実施形態では、弾性部材１１２は、フッ素ゴムからなるＯリングである。このため、ゴムの防振作用に基づいて、ボールねじ軸７１の先端部７１ｃの振れ回りを効果的に抑制できる。ひいては、振れ回りに起因した騒音を抑制できる。
【００６６】
また、従来のアクチュエータの場合、振れ止め部材の素材は樹脂であり、ロッドの孔の内周面の表面粗さが比較的大きい場合、振れ止め部材が、ロッドの孔の内周面に摺動して、磨耗するおそれがある。そして、この磨耗により、振れ止め部材の外周とロッドの孔の内周との間に隙間がより大きくなり、ボールねじ軸の支持がより不完全になるおそれがある。特に、アクチュエータを長期間に渡って使用した場合には、振れ止め部材の外周とロッドの孔の内周との間に隙間がより大きくなると考えられる。
【００６７】
しかしながら、本第１実施形態では、弾性部材１１２の素材は、振れ止め部材１１０が、ロッド１１の挿入孔１１ａの内周面に摺動しても、磨耗しにくいフッ素ゴムである。このため、アクチュエータ１０を長期間に渡って使用した場合においても、樹脂のみからなる振れ止め部材を用いた従来のアクチュエータの場合とは異なり、振れ止め部材１１０の外周とロッドの孔の内周との間に隙間が大きくなりにくい。これにより、ボールねじ軸７１に共振が生じにくくなり、ボールねじ軸７１の先端部７１ｃの振れ回りを、長期間に渡って効果的に抑制できる。結果として、振れ回りに起因した騒音を、長期間に渡って抑制することができる。
【００６８】
また、本第１実施形態では、弾性部材１１２の素材が、フッ素ゴムであることから、樹脂のみからなる振れ止め部材を用いた場合に比べて、ロッド１１の挿入孔１１ａの内周面に対する摺動抵抗が小さい。これにより、ボールねじ軸７１に共振が生じにくくなり、ボールねじ軸７１の先端部７１ｃの振れ回りを、長期間に渡って効果的に抑制できる。結果として、振れ回りに起因した騒音を抑制することができる。
【００６９】
また、本第１実施形態では、弾性部材１１２の素材が、フッ素ゴムであることから、樹脂のみからなる振れ止め部材を用いた場合に比べて、ロッド１１の挿入孔１１ａの内周面に対する摺動により生じる熱に対する耐性が高く、劣化しにくい。このため、ボールねじ軸７１の先端部７１ｃの振れ回りを、長期間に渡って効果的に抑制できる。結果として、振れ回りに起因した騒音を、長期間に渡って抑制することができる。
【００７０】
また、本第１実施形態では、ロッド１１の挿入孔１１ａは、引抜加工によって形成されている。このため、挿入孔１１ａの断面は、真円度の高い円形に形成される。これにより、振れ止め部材１１０の外周とロッド１１の挿入孔１１ａの内周との間の隙間ができにくくなり、ボールねじ軸７１の先端部７１ｃを、ロッド１１の挿入孔１１ａの内周面に安定して支持することができる。結果として、ボールねじ軸７１に共振が生じにくくなり、ボールねじ軸７１の先端部７１ｃの振れ回りを効果的に抑制できる。
【００７１】
これに対して、従来のアクチュエータのロッドを成形する場合、例えば、金属板を、円筒状に曲げ加工して、溶接することにより、略円筒形状のロッド本体は形成されていた。このため、ロッドの挿入孔の断面は、真円度の高い円形になりにくくなるとともに、溶接することにより生ずる溶接ビードも形成される。これにより、振れ止め部材の外周とロッドの孔の内周との間に隙間ができ、ボールねじ軸の支持が不完全になるおそれがあった。そうすると、ボールねじに共振が生じて、ボールねじの振れ回りの抑制効果が小さくなるおそれがあった。特に、曲げ加工及び溶接の加工精度（寸法公差、表面粗さ）の点から、振れ止め部材の外周とロッドの孔の内周との間の隙間がないものを製造することは困難であった。
【００７２】
しかしながら、本実施形態では、ロッド１１の挿入孔１１ａは、精密な加工精度が可能な引抜加工によって形成されている。このため、曲げ加工及び溶接によって形成されたものに比べて、挿入孔１１ａの断面が、真円度の高い円形に形成される。また、溶接に伴って、溶接ビードが形成されることもない。これにより、振れ止め部材１１０の外周とロッド１１の挿入孔１１ａの内周との間の隙間ができにくくなり、ボールねじ軸７１の先端部７１ｃを、ロッド１１の挿入孔１１ａの内周面に安定して支持することができる。結果として、ボールねじ軸７１に共振が生じにくくなり、ボールねじ軸７１の先端部７１ｃの振れ回りを効果的に抑制できる。ひいては、ボールねじ軸７１の先端部７１ｃの振れ回りに起因した騒音を抑制できる。
【００７３】
また、挿入孔１１ａが、引抜加工や押出加工等の引抜加工によって形成されることで、挿入孔１１ａの内周面が、従来のものに比べて、表面粗さが小さい内周面に形成される。このため、振れ止め部材１１０の摺動抵抗の増加を抑制することができる。
【００７４】
また、振れ止め部材１１０の振れ止め部材本体１１１には、空気孔１１１ｂが形成されている。このため、ロッド１１の移動時における空間Ｓの内圧の変化を防ぐことができる。例えば、振れ止め部材本体１１１に、空気孔１１１ｂが形成されていない場合には、空間Ｓは、ロッド１１の挿入孔１１ａと、振れ止め部材１１０の−Ｙ側の面とによって規定された密閉空間となってしまう。このため、ロッド１１のＹ軸方向への移動に伴い、空間Ｓの内圧が変化し、ロッド１１の円滑な動きが阻害されてしまう。
【００７５】
これに対し、振れ止め部材本体１１１には、空気孔１１１ｂが形成されているため、空間Ｓ内の空気が、振れ止め部材本体１１１の空気孔１１１ｂを介して流入出するため、空間Ｓの内圧を一定に保つことができ、空間Ｓの内圧変化によるロッド１１の動きへの影響を排除することができる（ポンピンクロスを防ぐことができる）。ひいては、アクチュエータ１０の作業精度の低下を防ぐことができる。
【００７６】
《第２実施形態》
以下、本発明の第２実施形態に係るアクチュエータ１０Ａについて、図１４〜図１８を用いて説明する。なお、理解を容易にするために、ＸＹＺ座標を設定し、適宜参照する。なお、第１実施形態と同一又は同等の構成については、同一の符号を用いる。本第２実施形態に係るアクチュエータ１０Ａは、図１４に示すように、上記第１実施形態に係る振れ止め部材１１０とは異なる構造の振れ止め部材１１０Ａを有する点で、第１実施形態に係るアクチュエータ１０と相違する。
【００７７】
振れ止め部材１１０Ａは、上記振れ止め部材１１０と同様に、図１５Ａ及び図１５Ｂに示すように、ボールねじ軸７１の先端部７１ｃに嵌め込まれている。振れ止め部材１１０Ａは、係止部材１１３によって、回転可能に係止されている。振れ止め部材１１０Ａは、振れ止め部材本体１１１Ａと、２つの弾性部材１１２（第１弾性部材）、弾性部材１１４（第２弾性部材）とを有する。
【００７８】
振れ止め部材本体１１１Ａは、図１６Ａ及び図１６Ｂに示すように、例えば、樹脂からなり、中央に貫通孔１１１ａが形成された円筒形状に形成されている。振れ止め部材本体１１１Ａには、上述した振れ止め部材１１０と同様に、貫通孔１１１ａの外周に沿って等間隔に形成された複数の空気孔１１１ｂが形成されている。空気孔１１１ｂは、Ｙ軸方向に貫通する貫通孔である。本実施形態においては、空気孔１１１ｂは、６つ形成されている。また、振れ止め部材本体１１１Ａの外周には、図１５Ｂに示すように、弾性部材１１２を嵌め込むための溝１１１ｃ（第１溝）と、弾性部材１１４を嵌め込むための溝１１１ｄ（第２溝）と、溝状のグリス溜り部１１５とが形成されている。
【００７９】
グリス溜り部１１５は、振れ止め部材１１０Ａを円滑に摺動させるためのグリスを保持する。グリス溜り部１１５は、弾性部材１１２の取付け位置（溝１１１ｃが形成された位置）と弾性部材１１４の取付け位置（溝１１１ｄが形成された位置）との間に形成されている。
【００８０】
弾性部材１１２は、上記第１実施形態に係る振れ止め部材１１０に用いられたものと同等のものである。
【００８１】
弾性部材１１４は、例えば、弾性部材１１２と同等のものが用いられている。詳しくは、弾性部材１１４は、図１６Ａ及び図１６Ｂに示すように、例えば、Ｏリングである。弾性部材１１４の素材は、例えば、フッ素ゴムである。弾性部材１１４は、その外径が、ロッド１１の挿入孔１１ａの内径よりもやや大きいものが用いられており、その寸法は、弾性部材１１２の寸法と同等である。ボールねじ軸７１の先端部７１ｃを、ロッド１１の挿入孔１１ａに挿入した場合に、弾性部材１１４が、弾性変形することで、弾性部材１１２とともに、弾性部材１１４の外周と挿入孔１１ａの内周との間に隙間を塞ぐことができる。
【００８２】
ボールねじ軸７１の先端部７１ｃが、ロッド１１の挿入孔１１ａに挿入されると、図１７に示すように、振れ止め部材１１０Ａの弾性部材１１２、１１４の外周が、ロッド１１の挿入孔１１ａの内周面に接触する。そして、弾性部材１１２、１１４が、ロッド１１の挿入孔１１ａの内周面と、振れ止め部材本体１１１Ａの溝１１１ｃ、１１１ｄとの間で、径方向に圧縮される。これにより、ボールねじ軸７１の先端部７１ｃが、この振れ止め部材１１０Ａによって、挿入孔１１ａの内周面に支持される。
【００８３】
上述のように構成された振れ止め部材１１０Ａの作用について、図１８を用いて説明する。
【００８４】
図１８に示すように、ボールねじ軸７１が回転すると、ロッド１１が−Ｙ方向又は＋Ｙ方向のいずれかの方向に移動する。このとき、ロッド１１がＹ軸方向に移動するのに対し、ボールねじ軸７１は、Ｙ軸方向には移動せずに回転する。このため、ボールねじ軸７１に取り付けられた振れ止め部材１１０Ａは、ロッド１１の挿入孔１１ａの内周面に対して摺動する。詳しくは、振れ止め部材１１０Ａの弾性部材１１２、１１４が、挿入孔１１ａの内周面に対して摺動する。ロッド１１の挿入孔１１ａと、振れ止め部材１１０Ａの−Ｙ側の面とによって規定される空間Ｓの容積は、ロッド１１の−Ｙ方向への移動に伴って変化する。このとき、空間Ｓ内の空気が、振れ止め部材本体１１１Ａの空気孔１１１ｂから空間Ｓに流入又は流出し、空間Ｓの内圧を一定に保つ。
【００８５】
以上、説明したように、本第２実施形態に係るアクチュエータ１０Ａでは、振れ止め部材１１０Ａの振れ止め部材本体１１１Ａの外周に、弾性部材１１２、１１４が嵌め込まれている。このため、ボールねじ軸７１の先端部７１ｃが、弾性部材１１２、１１４を介して、ロッド１１の挿入孔１１ａの内周面に安定して支持される。これにより、ボールねじ軸７１に共振が生じにくくなり、ボールねじ軸７１の先端部７１ｃの振れ回りを効果的に抑制できる。ひいては、ボールねじ軸７１の先端部７１ｃの振れ回りに起因した騒音を抑制できる。また、本第２実施形態に係るアクチュエータ１０Ａは、上記第１実施形態に係るアクチュエータ１０と効果に準じた効果を奏することができる。
【００８６】
また、本第２実施形態では、振れ止め部材１１０Ａは、２つの弾性部材１１２、１１４を有している。このため、ボールねじ軸７１の先端部７１ｃが、ロッド１１の挿入孔１１ａの内周面に、より安定して支持される。これにより、ボールねじ軸７１の先端部７１ｃの振れ回りを、より効果的に抑制できる。
【００８７】
また、本第２実施形態では、グリス溜り部１１５が形成されている。このグリス溜り部１１５に、グリスが保持されるため、長期間に渡って、振れ止め部材１１０Ａの円滑な摺動を維持し、振れ止め部材１１０Ａの構成部品（振れ止め部材本体１１１Ａ、弾性部材１１２、１１４）の磨耗を防ぐことができる。結果として、ボールねじ軸７１の先端部７１ｃが、ロッド１１の挿入孔１１ａの内周面に、長期間に渡って安定して支持され、ボールねじ軸７１の先端部７１ｃの振れ回りを効果的に抑制できる。
【００８８】
また、本第２実施形態では、グリス溜り部１１５は、弾性部材１１２の取付け位置と弾性部材１１４の取付け位置との間に形成されている。このため、グリス溜り部１１５に保持されたグリスが、弾性部材１１２、１１４によって流出しにくくなる。これにより、長期間に渡って、振れ止め部材１１０Ａの円滑な摺動を維持し、振れ止め部材１１０Ａの各部材の磨耗を防ぐことができる。結果として、ボールねじ軸７１の先端部７１ｃが、ロッド１１の挿入孔１１ａの内周面に、長期間に渡って安定して支持され、ボールねじ軸７１の先端部７１ｃの振れ回りを効果的に抑制できる。
【００８９】
また、本第２実施形態では、振れ止め部材本体１１１Ａの外周に、弾性部材１１４を嵌め込むための溝１１１ｄが形成されている。このため、弾性部材１１４がＹ軸方向にずれることなく、弾性部材１１４は、この溝１１１ｄと、ロッド１１の挿入孔１１ａの内周面との間で、確実に径方向に圧縮される。これにより、振れ止め部材１１０Ａの外周とロッド１１の挿入孔１１ａの内周との間の隙間を確実に塞ぐことができる。また、弾性部材１１４にグリスを塗布した場合、溝１１１ｄがグリス溜りとしても使用できる。即ち、溝１１１ｄは、弾性部材１１２がＹ軸方向にずれないように保持する機能と、グリス溜りとしての機能を併せ持つことができる。
【００９０】
また、グリスが、溝１１１ｄに保持されることで流出しにくくなる。これにより、長期間に渡って、振れ止め部材１１０Ａの円滑な摺動を維持し、振れ止め部材１１０Ａの各部材の磨耗を防ぐことができる。結果として、ボールねじ軸７１の先端部７１ｃが、ロッド１１の挿入孔１１ａの内周面に、長期間に渡って安定して支持され、ボールねじ軸７１の先端部７１ｃの振れ回りを効果的に抑制できる。
【００９１】
また、本第２実施形態では、弾性部材１１４は、フッ素ゴムからなるＯリングである。このため、ゴムの防振作用に基づいて、ボールねじ軸７１の先端部７１ｃの振れ回りを効果的に抑制できる。ひいては、振れ回りに起因した騒音を抑制できる。また、弾性部材１１４の素材が、フッ素ゴムであることから、振れ止め部材１１０Ａが、ロッド１１の挿入孔１１ａの内周面に摺動しても、磨耗しにくい。このため、アクチュエータ１０を長期間に渡って使用した場合においても、樹脂のみからなる振れ止め部材を用いた従来のアクチュエータの場合とは異なり、振れ止め部材１１０Ａの外周とロッド１１の挿入孔１１ａの内周との間に隙間が大きくなりにくい。これにより、ボールねじ軸７１に共振が生じにくくなり、ボールねじ軸７１の先端部７１ｃの振れ回りを、長期間に渡って効果的に抑制できる。結果として、振れ回りに起因した騒音を、長期間に渡って抑制することができる。
【００９２】
また、本第２実施形態では、弾性部材１１４の素材が、フッ素ゴムであることから、樹脂のみからなる振れ止め部材を用いた場合に比べて、ロッド１１の挿入孔１１ａの内周面に対する摺動により生じる熱に対する耐性が高く、劣化しにくい。このため、ボールねじ軸７１の先端部７１ｃの振れ回りを、長期間に渡って効果的に抑制できる。結果として、振れ回りに起因した騒音を、長期間に渡って抑制することができる。
【００９３】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態等によって限定されるものではない。
【００９４】
例えば、上記実施形態においては、ロッド１１の挿入孔１１ａは、引抜加工によって形成されている。しかしながら、これに限らず、押出加工によって形成されていてもよいし、旋削やガンドリル加工などの切削加工によって形成されていてもよい。押出加工及び切削加工によって、挿入孔１１ａが形成された場合においても、挿入孔１１ａの断面は、真円度の高い円形に形成されやすくなる。結果として、ボールねじ軸７１の先端部７１ｃが、振れ止め部材１１０、１１０Ａを介して、ロッド１１の挿入孔１１ａの内周面に安定して支持される。これにより、ボールねじ軸７１に共振が生じにくくなり、ボールねじ軸７１の先端部７１ｃの振れ回りを抑制できる。なお、本実施形態において、切削加工は、上述した旋削やガンドリル加工以外の加工方法であってもよい。
【００９５】
また、ロッド１１の挿入孔１１ａの内周面は、ホーニング加工等の研削加工によって、滑面に処理されていてもよい。挿入孔１１ａの内周面が、研削加工によって滑面に処理された場合においても、ボールねじ軸７１の先端部７１ｃが、振れ止め部材１１０、１１０Ａを介して、ロッド１１の挿入孔１１ａの内周面に安定して支持されるようになる。これにより、ボールねじ軸７１に共振が生じにくくなり、ボールねじ軸７１の先端部７１ｃの振れ回りを抑制できる。なお、本実施形態において、研削加工は、上述したホーニング加工以外の加工方法であってもよい。
【００９６】
また、上記実施形態においては、弾性部材１１２の素材は、フッ素ゴムである。ただし、これに限らず、フッ素ゴム以外の素材であってもよい。例えば、ニトリルゴムであってもよいし、潤滑油が含有された自己潤滑性の素材（例えば、潤滑油含有ポリマー）であってもよい。この場合、長期間に渡って、振れ止め部材１１０、１１０Ａの円滑な摺動を維持し、振れ止め部材１１０、１１０Ａの構成部品の磨耗を防ぐことができる。また、アクチュエータ１０、１０Ａの保守作業も容易になる。
【００９７】
また、第２実施形態においては、弾性部材１１４の素材は、フッ素ゴムである。ただし、これに限らず、フッ素ゴム以外の素材であってもよい。例えば、ニトリルゴムであってもよいし、潤滑油が含有された自己潤滑性の素材（例えば、潤滑油含有ポリマー）であってもよい。この場合、長期間に渡って、振れ止め部材１１０Ａの円滑な摺動を維持し、振れ止め部材１１０Ａの構成部品の磨耗を防ぐことができる。また、アクチュエータ１０Ａの保守作業も容易になる。
【００９８】
また、上記実施形態においては、弾性部材１１２、１１４は、Ｏリングである。しかしながら、これに限らず、ロッド１１の挿入孔１１ａの内周面と、振れ止め部材本体１１１、１１１Ａの溝１１１ｃ、１１１ｄとの間で径方向に圧縮されるものであれば、これ以外のものであってもよい。例えば、Ｘ断面形状のパッキンであってもよい。
【００９９】
本発明は、本発明の広義の精神と範囲を逸脱することなく、様々な実施形態及び変形が可能とされるものである。上述した実施形態は、本発明を説明するためのものであり、本発明の範囲を限定するものではない。
【符号の説明】
【０１００】
１０、１０Ａ  アクチュエータ
１１  ロッド
１１ａ  挿入孔
１１ｂ  雄ねじ部
１２  先端金具
１８  カバー
１９  ボルト
２０  モータユニット
２１  モータ
２２  モータハウジング
２３  出力軸（回転軸）
２４  アクチュエータケーブル
２５  ボルト
３０  ガイド装置
３１  スライド部
３２  スライド部本体
３２ａ  貫通孔
３２ｂ  雌ねじ部
４０  転動体収納ユニット
４１  転動体循環路
５０  ボール
６０  ベース
６１  底板部
６２Ｒ、６２Ｌ  側壁部
６３Ｒ、６３Ｌ  ガイドレール
７０  ボールねじ
７１  ：ボールねじ軸
７１ａ  ボールねじ軸本体
７１ｂ  係止溝
７１ｃ  先端部
７２  ボールねじナット
７３  接続部材
７４  ボルト
８０  フロントハウジング
８２  オイルレスベアリング
９０  リアハウジング
９２  ボールベアリング
１１０、１１０Ａ  振れ止め部材
１１１、１１１Ａ  振れ止め部材本体
１１１ａ  貫通孔
１１１ｂ  空気孔
１１１ｃ  溝（第１溝）
１１１ｄ  溝（第２溝）
１１２  弾性部材（第１弾性部材）
１１３  係止部材
１１４  弾性部材（第２弾性部材）
１１５  グリス溜り部
Ｓ  空間
【図１】
2014202286.tif 000003
【図２Ａ】
2014202286.tif 000004
【図２Ｂ】
2014202286.tif 000005
【図３】
2014202286.tif 000006
【図４Ａ】
2014202286.tif 000007
【図４Ｂ】
2014202286.tif 000008
【図５】
2014202286.tif 000009
【図６】
2014202286.tif 000010
【図７】
2014202286.tif 000011
【図８Ａ】
2014202286.tif 000012
【図８Ｂ】
2014202286.tif 000013
【図９Ａ】
2014202286.tif 000014
【図９Ｂ】
2014202286.tif 000015
【図９Ｃ】
2014202286.tif 000016
【図１０】
2014202286.tif 000017
【図１１】
2014202286.tif 000018
【図１２Ａ】
2014202286.tif 000019
【図１２Ｂ】
2014202286.tif 000020
【図１２Ｃ】
2014202286.tif 000021
【図１３Ａ】
2014202286.tif 000022
【図１３Ｂ】
2014202286.tif 000023
【図１４】
2014202286.tif 000024
【図１５Ａ】
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【図１５Ｂ】
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【図１６Ａ】
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【図１６Ｂ】
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【図１７】
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【図１８】
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