(57)【要約】【課題】貼り合わせ基板１０を反転させることなく下側基板１２及び上側基板１１をブレイクする。【解決手段】ブレイク装置１は、第１及び第２搬送ユニット２，６と、第１及び第２ブレイクユニット３，５とを備える。第１及び第２搬送ユニット２，６は、貼り合わせ基板１０を下流へと搬送する。第１ブレイクユニット３は、下側基板１２側の面に形成されたスクライブライン１３に沿って下側基板１２をブレイクする。第２ブレイクユニット５は、第１ブレイクユニット３の下流に配置される。また、第２ブレイクユニット５は、上側基板１１側の面に形成されたスクライブライン１３に沿って上側基板１１をブレイクする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１基板と第２基板とが貼り合わされた貼り合わせ基板の両面に形成されたスクライブラインに沿って貼り合わせ基板をブレイクするブレイク装置であって、
前記貼り合わせ基板を上流から下流に搬送する搬送ユニットと、
前記第１基板側の面に形成された前記スクライブラインに沿って前記第１基板をブレイクする第１ブレイクユニットと、
前記第１ブレイクユニットの下流に配置され、前記第２基板側の面に形成された前記スクライブラインに沿って前記第２基板をブレイクする第２ブレイクユニットと、
を備える、ブレイク装置。
【請求項２】
前記第１ブレイクユニットと前記第２ブレイクユニットとは、互いに同期してブレイク動作を実行する、請求項１に記載のブレイク装置。
【請求項３】
前記第１ブレイクユニット及び前記第２ブレイクユニットの少なくとも一方は、
前記搬送ユニットの搬送面と平行に延び前記貼り合わせ基板をブレイクする際に前記貼り合わせ基板と接触する押圧部を含むブレイクバーと、
前記押圧部の幅よりも広い間隔をあけて前記押圧部の長手方向に沿って延び前記貼り合わせ基板をブレイクする際に前記貼り合わせ基板と接触する２つの支持部を含むバックアップバーと、
を有し、
前記押圧部は、前記貼り合わせ基板の搬送路を介して前記各支持部間と対向するように配置され、
前記押圧部及び前記各支持部の少なくとも一方が前記押圧部及び各支持部の他方側に向かって移動することによって、前記貼り合わせ基板がブレイクされる、
請求項１又は２に記載のブレイク装置。
【請求項４】
前記バックアップバーは、前記各支持部が互いに離れるように変形可能である、請求項３に記載のブレイク装置。
【請求項５】
前記バックアップバーは、前記各支持部が離れる方向の側面において、前記支持部の長手方向に沿って延びる凹部が形成されている、請求項４に記載のブレイク装置。
【請求項６】
前記第１ブレイクユニット及び第２ブレイクユニットの少なくとも一方は、上流側及び下流側に移動可能である、請求項１から５のいずれかに記載のブレイク装置。
【請求項７】
前記搬送機構は、上流側及び下流側に移動可能である、請求項１から６のいずれかに記載のブレイク装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ブレイク装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶装置は、液晶層を間に介在するように第１基板と第２基板とがシール材によって貼り合わされる貼り合わせ基板によって構成される（例えば特許文献１）。この貼り合わせ基板は、生産性の観点から、まず大判の状態で作製され、これを分断して複数の貼り合わせ基板とする。この分断方法について詳細に説明すると、まず貼り合わせ基板の第１基板側の面にスクライブラインを形成し、次に、第２基板側から貼り合わせ基板を押圧して撓ませ、第１基板をスクライブラインに沿ってブレイクする。続いて、貼り合わせ基板の第２基板側の面にスクライブラインを形成し、次に、第１基板側から貼り合わせ基板を押圧して撓ませ、第２基板をスクライブラインに沿ってブレイクする。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１２−２０３２３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述した方法では、第１基板をブレイクした後に、貼り合わせ基板の表裏を反転させて第２基板をブレイクする必要がある。このように貼り合わせ基板の表裏を反転させることは生産性が低下するといった問題が生じるため、貼り合わせ基板の表裏を反転させることなく第１基板及び第２基板をブレイクすることが望ましい。
【０００５】
本発明の課題は、貼り合わせ基板の表裏を反転させることなく第１基板及び第２基板をブレイクすることができるブレイク装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
（１）本発明のある側面に係るブレイク装置は、第１基板と第２基板とが貼り合わされた貼り合わせ基板の両面に形成されたスクライブラインに沿って貼り合わせ基板をブレイクする装置である。このブレイク装置は、搬送ユニット、第１ブレイクユニット、及び第２ブレイクユニットを備える。搬送ユニットは、貼り合わせ基板を上流から下流に搬送する。第１ブレイクユニットは、第１基板側の面に形成されたスクライブラインに沿って第１基板をブレイクする。第２ブレイクユニットは、第１ブレイクユニットの下流に配置される。また、第２ブレイクユニットは、第２基板側の面に形成されたスクライブラインに沿って第２基板をブレイクする。
【０００７】
この構成によれば、搬送ユニットによって搬送される貼り合わせ基板は、まず第１ブレイクユニットによって第１基板がブレイクされ、次に、第２ブレイクユニットによって第２基板がブレイクされる。このように、搬送方向に並べて配置された第１ブレイクユニット及び第２ブレイクユニットによって、貼り合わせ基板の表裏を反転させることなく第１基板と第２基板との両方をブレイクすることができる。この結果、生産性を向上させることができる。
【０００８】
（２）好ましくは、第１ブレイクユニットと第２ブレイクユニットとは、互いに同期してブレイク動作を実行する。この構成によれば、例えば、搬送ユニットによって搬送される貼り合わせ基板が、搬送方向に所定間隔をあけて複数のスクライブラインが形成されている場合、第１ブレイクユニットにおいて、上流側のスクライブラインに沿って第１基板をブレイクするとともに、第２ブレイクユニットにおいて、下流側のスクライブラインに沿って第２基板をブレイクすることができる。このように、貼り合わせ基板には対向する方向に２つの押圧力が作用するため、貼り合わせ基板が押圧力によって歪んでしまうことを抑制することができる。
【０００９】
（３）好ましくは、第１ブレイクユニット及び第２ブレイクユニットの少なくとも一方は、ブレイクバーとバックアップバーとを有する。ブレイクバーは、搬送ユニットの搬送面と平行に延びる押圧部を有する。この押圧部は、貼り合わせ基板をブレイクする際に貼り合わせ基板と接触する部分である。バックアップバーは、押圧部の幅よりも広い間隔をあけて押圧部の長手方向に沿って延びる２つの支持部を有する。各支持部は、貼り合わせ基板をブレイクする際に貼り合わせ基板と接触する部分である。押圧部は、貼り合わせ基板の搬送路を介して、各支持部間と対向するように配置される。押圧部及び各支持部の少なくとも一方が押圧部及び各支持部の他方側に向かって移動することによって、貼り合わせ基板がブレイクされる。
【００１０】
この構成によれば、ブレイクユニットは、貼り合わせ基板の一方面側から２つの支持部によって支持し、貼り合わせ基板の他方面側から押圧部で貼り合わせ基板を押圧することによって、貼り合わせ基板をブレイクする。このように、貼り合わせ基板はいわゆる３点曲げとなるため、より確実に貼り合わせ基板をブレイクすることができる。なお、押圧部及び各支持部は、ブレイク動作時以外にも貼り合わせ基板と接触していてもよい。
【００１１】
（４）好ましくは、バックアップバーは、各支持部が互いに離れるように変形可能である。この構成によれば、貼り合わせ基板をブレイクするために押圧部が貼り合わせ基板を押圧すると、各支持部が互いに離れる。これにより、貼り合わせ基板には、スクライブラインから離れる方向に引張り力が作用するため、より小さな押圧力で貼り合わせ基板をブレイクすることができる。
【００１２】
（５）好ましくは、各支持部は、各支持部が離れる方向の側面において、支持部の長手方向に沿って延びる凹部が形成されている。この構成によれば、上述したように、押圧部が貼り合わせ基板を押圧すると、各支持部が互いに離れる方向に変形することができる。
【００１３】
（６）好ましくは、第１ブレイクユニット及び第２ブレイクユニットの少なくとも一方は、上流及び下流に移動可能である。この構成によれば、複数のスクライブラインが形成されている貼り合わせ基板において、スクライブラインの種々のピッチに対応することができる。
【００１４】
（７）好ましくは、前記搬送機構は、上流及び下流に移動可能である。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、貼り合わせ基板の表裏を反転させることなく第１基板及び第２基板をブレイクすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】ブレイク装置の斜視図。
【図２】ブレイク動作を説明するためのブレイク装置の斜視図。
【図３】ブレイク動作を説明するためのブレイク装置の斜視図。
【図４】ブレイク動作を説明するためのブレイク装置の斜視図。
【図５】変形例３に係るブレイク装置の斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明に係るブレイク装置の実施形態について図面を参照しつつ説明する。図１は、ブレイク装置の全体を示す斜視図である。なお、図１の左側を上流、右側を下流とする。また、以下の説明において「搬送方向」とは、下流に向かう方向を意味する。
【００１８】
図１に示すように、ブレイク装置１は、貼り合わせ基板１０の両面に形成されたスクライブライン１３に沿って貼り合わせ基板をブレイクするための装置であり、上流から順に、第１搬送ユニット２、第１ブレイクユニット３、支持テーブル４、第２ブレイクユニット５、及び第２搬送ユニット６を備えている。なお、これら各ユニット２〜６は、各ユニット間の間隔を変えることができるよう、上流側又は下流側に移動可能である。
【００１９】
ブレイク装置１の加工対象である貼り合わせ基板１０は、上側基板（第２基板の一例）１１と下側基板（第１基板の一例）１２とが貼り合わされて構成される基板であって、上側基板１１と下側基板１２との間で例えば液晶層を構成する。また、貼り合わせ基板１０は、図示しない複数のシール部材が上側基板１１と下側基板１２との間に配置されており、このシール部材によって液晶層を囲んでいる。このシール部材は、ブレイク後の貼り合わせ基板の数だけ配置されている。
【００２０】
本実施形態における貼り合わせ基板１０は、上側基板１１が上側、下側基板１２が下側に配置された状態で搬送される。貼り合わせ基板１０は、上面（上側基板１１側の面）に複数のスクライブライン１３が所定のピッチで形成されている。また、貼り合わせ基板１０は、下面（下側基板１２側の面）にも複数のスクライブライン１３が形成されている。この下面に形成されたスクライブライン１３は、上面に形成されたスクライブライン１３と対応する位置に形成されている。なお、本実施形態では、搬送方向と直交する方向にのみスクライブライン１３が形成されているが、スクライブライン１３は、搬送方向と平行する方向に形成されていてもよい。
【００２１】
第１搬送ユニット２は、搬送面２１上に載置された貼り合わせ基板１０を、下流に向かって搬送するための装置であり、例えばベルトコンベアなどによって構成することができる。具体的には、第１搬送ユニット２は、一対のローラ２２ａ、２２ｂと、各ローラ２２ａ、２２ｂに巻き掛けられたベルト２３と、を有する。図示しない駆動モータが各ローラ２２ａ、２２ｂを時計回りに回転駆動することによって、上側に位置するベルト２３が貼り合わせ基板１０を下流に搬送する。
【００２２】
第１搬送ユニット２の下流側に設置された第１ブレイクユニット３は、ブレイクバー３１と、バックアップバー３２とを備えている。ブレイクバー３１とバックアップバー３２とは、上下方向において対向する位置に配置されている。より詳細には、ブレイクバー３１とバックアップバー３２とは、貼り合わせ基板１０の搬送路を介して対向する位置に配置されており、ブレイクバー３１は搬送路の上方に配置され、バックアップバー３２は搬送路の下方に配置されている。
【００２３】
ブレイクバー３１は、第１搬送ユニット２の搬送面２１と平行且つ搬送方向と直交する方向に延びている。ブレイクバー３１の下部は、搬送面２１と平行且つ搬送方向と直交する方向に延びる三角柱状に形成されており、先端（下端）に行くほど細くなる先細り形状となっている。このブレイクバー３１の先端における稜線部が、ブレイク動作時に貼り合わせ基板１０と接触する押圧部３１１である。ブレイクバー３１は、作動位置と非作動位置との間で昇降可能に設置されており、作動位置では押圧部３１１が貼り合わせ基板１０を押圧する。また、ブレイクバー３１が作動位置から上昇して非作動位置にあるときは、押圧部３１１は貼り合わせ基板１０と接触しない。
【００２４】
バックアップバー３２は、ブレイクバー３１の長手方向に沿って延びている、すなわち第１搬送ユニット２の搬送面２１と平行且つ搬送方向と直交する方向に延びている。バックアップバー３２は２つの上部を有しており、各上部は搬送面２１と平行且つ搬送方向と直交する方向に延びる三角柱状に形成されている。また、バックアップバー３２の各上部は、先端（上端）に行くほど細くなる先細り形状となっている。このバックアップバー３２の各先端における２つの稜線部が、貼り合わせ基板１０と接触する支持部３２１ａ、３２１ｂである。この各支持部３２１ａ、３２１ｂは、押圧部３１１の長手方向に沿って延びている。各支持部３２１ａ、３２１ｂは互いに所定間隔をあけて延びている。そして、押圧部３１１は、貼り合わせ基板１０の搬送路を介して各支持部３２１ａ、３２１ｂ間と対向する位置に配置されている。なお、各支持部３２１ａ、３２１ｂ間の距離は、押圧部３１１の幅よりも広い。
【００２５】
支持テーブル４は、第１ブレイクユニット３と第２ブレイクユニット５との間において、貼り合わせ基板１０を支持するためのテーブルである。この支持テーブル４の上面である支持面４１は、第１搬送ユニット２の搬送面２１、及び第２搬送ユニット６の搬送面６１と同じ高さに位置する。
【００２６】
第２ブレイクユニット５は、ブレイクバー５１と、バックアップバー５２とを備えている。ブレイクバー５１は先端（上端）に押圧部５１１を有しており、バックアップバー５２は先端（下端）に２つの支持部５２１ａ、５２１ｂを有している。第２ブレイクユニット５は、ブレイクバー５１が下方に位置しバックアップバー５２が上方に位置するという配置以外は上述した第１ブレイクユニット３と同様の構成であるため、詳細な説明を省略する。
【００２７】
第２搬送ユニット６は、搬送面６１に載置された貼り合わせ基板１０を下流に向かって搬送する。この第２搬送ユニット６は、一対のローラ６２ａ、６２ｂと、各ローラ６２ａ、６２ｂに巻き掛けられたベルト６３と、を有する。第２搬送ユニット６は、上述した第１搬送ユニット２と同様の構成であるため、その詳細な説明を省略する。
【００２８】
次に上述したように構成されたブレイク装置１の動作について説明する。
【００２９】
図１に示すように、まず、貼り合わせ基板１０のサイズ、及び各スクライブライン１３のピッチに基づいて、各ユニット２〜６の位置を調整する。具体的には、第１ブレイクユニット３のブレイクバー３１の押圧部３１１と、第２ブレイクユニット５のブレイクバー５１の押圧部５１１との搬送方向における距離を、スクライブライン１３のピッチと同じにする。その他、第１及び第２搬送ユニット２，６と支持テーブル４とを、貼り合わせ基板１０がスムーズに搬送方向に搬送されるように、適切な位置にセットする。
【００３０】
次に、図示しないスクライブ装置によって両面にスクライブライン１３が形成された貼り合わせ基板１０が、第１搬送ユニット２の搬送面２１上に載置される。第１搬送ユニット２は、この貼り合わせ基板１０を間欠的に搬送する。具体的には、第１搬送ユニット２は、貼り合わせ基板１０を下流側に搬送し、図２に示すように貼り合わせ基板１０の下流側のスクライブライン１３が第１ブレイクユニット３に到達すると、その搬送を停止する。より詳細には、貼り合わせ基板１０の下流側のスクライブライン１３が第１ブレイクユニット３におけるブレイクバー３１の押圧部３１１の下方に位置すると、第１搬送ユニット２は搬送を停止する。なお、貼り合わせ基板１０が搬送されている間、第１及び第２ブレイクユニット３、５のブレイクバー３１、５１は、非作動位置にある。
【００３１】
この状態において、第１ブレイクユニット３が作動する。具体的には、第１ブレイクユニット３のブレイクバー３１が作動位置まで下降し、押圧部３１１が貼り合わせ基板１０を上側基板１１側から下流側のスクライブライン１３に沿って押圧する。これによって、貼り合わせ基板１０の下側基板１２が下流側のスクライブライン１３に沿ってブレイクされる。なお、このブレイク動作の際、貼り合わせ基板１０は、バックアップバー３２の各支持部３２１ａ、３２１ｂによって、下側から支持されている。
【００３２】
貼り合わせ基板１０の下側基板１２が下流側のスクライブライン１３に沿ってブレイクされると、第１ブレイクユニット３のブレイクバー３１は非作動位置に戻るとともに第１搬送ユニット２が作動し、貼り合わせ基板１０はさらに下流側に搬送される。そして、図３に示すように、貼り合わせ基板１０の下流側のスクライブライン１３が第２ブレイクユニット５に到達すると、第１搬送ユニット２は貼り合わせ基板１０の搬送を停止する。より詳細には、貼り合わせ基板１０の下流側のスクライブライン１３が第２ブレイクユニット５におけるブレイクバー５１の押圧部５１１の上方に位置すると、第１搬送ユニット２は搬送動作を停止する。なお、この状態において、貼り合わせ基板１０の上流側のスクライブライン１３は、第１ブレイクユニット３に到達している。そして、貼り合わせ基板１０の上流側のスクライブライン１３は、第１ブレイクユニット３におけるブレイクバー３１の押圧部３１１の下方に位置する。
【００３３】
この状態において、第１ブレイクユニット３及び第２ブレイクユニット５が同期して作動する。具体的には、第２ブレイクユニット５のブレイクバー５１が作動位置まで上昇し、押圧部５１１が貼り合わせ基板１０を下側基板１２側から下流側のスクライブライン１３に沿って押圧する。これによって、貼り合わせ基板１０の上側基板１１が下流側のスクライブライン１３に沿ってブレイクされる。なお、このブレイク動作の際、貼り合わせ基板１０は、バックアップバー５２の各支持部５２１ａ、５２１ｂによって、上側から支持されている。
【００３４】
また、第２ブレイクユニット５による上側基板１１のブレイクと同時に、第１ブレイクユニットユニット３による下側基板１２のブレイクが行われる。すなわち、第１ブレイクユニット３のブレイクバー３１が作動位置まで下降し、押圧部３１１が貼り合わせ基板１０を上側基板１１側から上流側のスクライブライン１３に沿って押圧する。これによって、貼り合わせ基板１０の下側基板１２が上流側のスクライブライン１３に沿ってブレイクされる。このように、上側基板１１が下流側のスクライブライン１３に沿ってブレイクされるとともに、下側基板１２が上流側のスクライブライン１３に沿ってブレイクされる。なお、貼り合わせ基板１０の最下流側の部分１０ａは、上側基板１１及び下側基板１２ともにブレイクされたため、図４に示すように、残りの貼り合わせ基板１０ｂから完全に分断された状態となる。
【００３５】
続いて、第１及び第２ブレイクユニット３、５のブレイクバー３１、５１が非作動位置に戻るとともに第１及び第２搬送ユニット２、６が作動し、貼り合わせ基板１０がさらに下流側に搬送される。そして、図４に示すように、貼り合わせ基板１０の上流側のスクライブライン１３が第２ブレイクユニット５に到達すると、第１及び第２搬送ユニット２，６は貼り合わせ基板１０の搬送を停止する。より詳細には、貼り合わせ基板１０の上流側のスクライブライン１３が第２ブレイクユニット５におけるブレイクバー５１の押圧部５１１の上方に位置すると、第１及び第２搬送ユニット２、６は搬送動作を停止する。
【００３６】
そして、第２ブレイクユニット５が作動する。具体的には、第２ブレイクユニット５のブレイクバー５１が作動位置まで上昇し、押圧部５１１が貼り合わせ基板１０を下側基板１２側から上流側のスクライブライン１３に沿って押圧する。これによって、貼り合わせ基板１０の上側基板１１が上流側のスクライブライン１３に沿ってブレイクされる。
【００３７】
［特徴］
本実施形態に係るブレイク装置は、次の特徴を有する。
【００３８】
（１）第１及び第２搬送ユニット２，６によって搬送される貼り合わせ基板１０は、まず第１ブレイクユニット３によって下側基板１２がブレイクされ、次に、第２ブレイクユニット５によって上側基板１１がブレイクされる。このように、搬送方向に並べて配置された第１ブレイクユニット３及び第２ブレイクユニット５によって、貼り合わせ基板１０の表裏を反転させることなく上側基板１１と下側基板１２との両方をブレイクすることができる。この結果、生産性を向上させることができる。
【００３９】
（２）第１ブレイクユニット３と第２ブレイクユニット５とは、互いに同期してブレイク動作を実行する。このため、第１ブレイクユニット３によって、上流側のスクライブライン１３に沿って下側基板１２をブレイクするとともに、第２ブレイクユニット５によって、下流側のスクライブライン１３に沿って上側基板１１をブレイクすることができる。このように、貼り合わせ基板１０には対向する方向に２つの押圧力が作用するため、この押圧力によって貼り合わせ基板１０が歪んでしまうことを抑制することができる。
【００４０】
（３）第１ブレイクユニット３は、貼り合わせ基板１０の下面側から２つの支持部３２１ａ、３２１ｂによって支持し、貼り合わせ基板１０の上面側から押圧部３１１で貼り合わせ基板１０を押圧することによって、貼り合わせ基板１０をブレイクする。このように、貼り合わせ基板はいわゆる３点曲げとなるため、より確実に貼り合わせ基板１０をブレイクすることができる。
【００４１】
［変形例］
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明はこれらに限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない限りにおいて種々の変更が可能である。
【００４２】
変形例１
上記実施形態では、第１ブレイクユニット３によって貼り合わせ基板１０の下側基板１２をブレイクし、第２ブレイクユニット５によって上側基板１１をブレイクするが、特にこれに限定されない。例えば、第１ブレイクユニット３によって上側基板１１をブレイクし、第２ブレイクユニット５によって下側基板１２をブレイクするような構成としてもよい。この場合、第１ブレイクユニット３のブレイクバー３１とバックアップバー３２との位置を上下方向に反転させるとともに、第２ブレイクユニット５のブレイクバー５１とバックアップバー５２との位置を上下方向に反転させる。
【００４３】
変形例２
上記実施形態では、ブレイクバー３１，５１が作動位置に下降又は上昇することによって貼り合わせ基板１０をブレイクするが、特にこれに限定されない。例えば、第１ブレイクユニット３において、ブレイクバー３１は下降せずに、バックアップバー３２が上昇することによって下側基板１２をブレイクしてもよい。また、第２ブレイクユニット５において、ブレイクバー５１は上昇せずに、バックアップバー５２が下降することによって上側基板１１をブレイクしてもよい。さらには、ブレイクバー３１、５１及びバックアップバー３２，５２の双方が互いに近づくように昇降して、貼り合わせ基板１０をブレイクしてもよい。
【００４４】
変形例３
第１ブレイクユニット３のバックアップバー３２における支持部３２１ａ、３２１ｂは、互いに離れるように変形可能であってもよい。例えば、図５に示すように、各支持部３２１ａ、３２１ｂが離れる方向の側面に、凹部３２２が形成されている。この凹部３２２によって、各支持部３２１ａ、３２１ｂが互いに離れるようにバックアップバー３２は変形可能である。
【００４５】
変形例４
上記実施形態では、第１及び第２ブレイクユニット３、５は、ブレイクバー３１、５１によって貼り合わせ基板１０をブレイクするが、ブレイクバー３１、５１の代わりに、貼り合わせ基板１０上を押圧しながら転がる押圧ローラによって貼り合わせ基板１０をブレイクしてもよい。
【００４６】
変形例５
上記実施形態では、バックアップバー３２は１つの部材から形成されており、このバックアップバー３２の先端が２股に分かれる構造とすることで２つの支持部３２１ａ、３２１ｂが形成されているが、特にこれに限定されない。例えば、バックアップバー３２が２つの部材によって構成されており、各部材の先端を支持部３２１ａ、３２１ｂとすることもできる。
【符号の説明】
【００４７】
１    ブレイク装置
２    第１搬送ユニット
２１    搬送面
３    第１ブレイクユニット
３１    ブレイクバー
３１１    押圧部
３２    バックアップバー
３２１ａ、３２１ｂ    支持部
５    第２ブレイクユニット
５１    ブレイクバー
５１１    押圧部
５２    バックアップバー
５２１ａ、２１ｂ    支持部
６    第２搬送ユニット
６１    搬送面
１０    貼り合わせ基板
１１    第２基板
１２    第１基板
１３    スクライブライン
【図１】
2014200940.tif 000003
【図２】
2014200940.tif 000004
【図３】
2014200940.tif 000005
【図４】
2014200940.tif 000006
【図５】
2014200940.tif 000007