(57)【要約】  【課題】  ワークを支持する載置面の位置精度を高めたワーク載置用トレーおよびウエハ熱処理用トレーを提供することを目的とするものである。  【解決手段】  本発明のワーク載置用トレー１，11，12によれば、支持部材３によりワーク15を保持するワーク載置用トレー１，11，12であって、底板２と支持部材３とがセラミックよりなるとともに、支持部材３は、複数の板状体４を積層してなることから、耐熱性に富むとともに、支持部３の反りを抑制したワーク載置用トレー１，11，12とすることができ、本発明のウエハ熱処理用トレー21は、ウエハ22の歩留まりが低下することを抑制できる。また、本発明のワーク載置用トレーの１，11，12製造方法によれば、セラミックグリーンシート８の積層体９により支持部材３を作製することから、ワーク載置用トレー１，11，12を容易に作製することができる。【選択図】  図１
2014107439.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
底板と、該底板に設けられた柱状の支持部材とを備え、該支持部材によりワークを保持するワーク載置用トレーであって、前記底板と前記支持部材とがセラミックよりなるとともに、前記支持部材は、複数の板状体を積層してなることを特徴とするワーク載置用トレー。
【請求項２】
前記支持部材の側面部に、高さ方向に沿って伸びる凸部を有していることを特徴とする請求項１に記載のワーク載置用トレー。
【請求項３】
前記板状体間に外部と連通する隙間を有していないことを特徴とする請求項１または請求項２に記載のワーク載置用トレー。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３のいずれかに記載のワーク載置用トレーからなり、ウエハである前記ワークを熱処理するために用いられることを特徴とするウエハ熱処理用トレー。
【請求項５】
請求項１に記載のワーク載置用トレーの製造方法であって、以下、Ａ〜Ｅの工程を有することを特徴とするワーク載置用トレーの製造方法。
Ａ：複数のセラミックグリーンシートを準備する工程と、
Ｂ：該セラミックグリーンシートを積層して支持部材用の積層体を作製する工程と、
Ｃ：底板部となるセラミックグリーンシートを準備する工程と、
Ｄ：前記積層体を、前記底板部となるグリーンシートの主面上に接合して成形体を作製する工程と、
Ｅ：該成形体を焼成する工程。
【請求項６】
前記Ｂ工程において、
Ｆ：前記セラミックグリーンシートを積層してなる積層体に、帯鋸またはワイヤーのいずれかを用いて、前記積層体の厚み方向に回転運動または往復運動させて切断して、支持部材用の積層体を作製する工程、
を有することを特徴とする請求項５に記載のワーク載置用トレーの製造方法。
【請求項７】
前記積層体を切断して支持部材用の積層体を作製する工程において、前記帯鋸または前記ワイヤーの前記積層体の幅方向における振れ幅を規制することにより、前記支持部材用の積層体の高さ方向に沿って伸びる凸部の高さを調整することを特徴とする請求項６に記載のワーク載置用トレーの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワーク載置用トレーおよびこれを用いたウエハ熱処理用トレーならびにワーク載置用トレーの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、シリコンウエハなどのワークを熱処理するときに、ワークを個別に載置するためのトレーとして、耐熱性の高いセラミックで作製されたトレーを使用することが知られている。
【０００３】
例えば、特許文献１には、セラミックからなる複数の支柱をボートトレーの外周部に立設したウエハ熱処理用のボートトレーが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開2008-21824号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載のトレーでは、ワークを支持する支柱がセラミックからなるときは、支柱となるセラミック成形体は粉末押出成形法やまたは粉末プレス成型法で作製し焼成することにより得られるが、粉末の充填密度差ならびに乾燥工程での成形体の乾燥度合いのばらつきなどから、焼成した支柱に反りが発生した場合には、平坦度を得るためにワークを載置する支柱の載置面を研磨する必要がある。そして、研磨後の支柱のワーク載置面の面積は、本来の面積よりも広くなり、ワーク載置面が広くなった分だけ、支柱で支持されたワークの熱処理の不具合部分も広くなり、歩留まりが低下するおそれがあった。
【０００６】
本発明は、上記課題を解決するために案出されたものであり、ワークの歩留まりの低下を抑制することができるワーク載置用トレーおよびこれを用いたウエハ熱処理用トレーならびにワーク載置用トレーの製造方法を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のワーク載置用トレーは、底板と、該底板に設けられた柱状の支持部材とを備え、該支持部材によりワークを保持するワーク載置用トレーであって、前記底板と前記支持部材とがセラミックよりなるとともに、前記支持部材は、複数の板状体を積層してなることを特徴とするものである。
【０００８】
本発明のウエハ熱処理用トレーは上記構成のワーク載置用トレーからなり、ウエハである前記ワークを熱処理するために用いられることを特徴とするものである。
【０００９】
本発明のワーク載置用トレーの製造方法は、上記構成のワーク載置用トレーの製造方法であって、以下、Ａ〜Ｅの工程を有することを特徴とするものである。
Ａ：複数のセラミックグリーンシートを準備する工程と、
Ｂ：該セラミックグリーンシートを積層して支持部材用の積層体を作製する工程と、
Ｃ：底板部となるセラミックグリーンシートを準備する工程と、
Ｄ：前記積層体を、前記底板部となるグリーンシートの主面上に接合して成形体を作製す
る工程と、
Ｅ：該成形体を焼成する工程。
【発明の効果】
【００１０】
本発明のワーク載置用トレーによれば、ワークを支持する支持部材が、複数の板状体を積層してなることから、耐熱性に富むとともに、支持部材の反りを抑制したワーク載置用トレーとすることができる。
【００１１】
また、本発明のウエハ熱処理用トレーは、上記構成のワーク載置用トレーからなり、ウエハである前記ワークを熱処理するために用いられることから、ウエハの歩留まりが低下することを抑制できる。
【００１２】
また、本発明のワーク載置用トレーの製造方法によれば、セラミックグリーンシートの積層体により支持部材を作製することから、ワーク載置用トレーを容易に作製することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本実施形態のワーク載置用トレーの一例を示す、（ａ）はワーク載置用トレーを底板の主面側からみた平面図であり、（ｂ）はワークを載置した状態における（ａ）のＡ−Ａ’線の断面図である。
【図２】本実施形態のワーク載置用トレーの他の一例を示す、（ａ）はワーク載置用トレーを底板の主面側からみた平面図であり、（ｂ）はワークを載置した状態における（ａ）のＣ−Ｃ’線を部分的に拡大した断面図である。
【図３】本実施形態のワーク載置用トレーの支持部材の他の一例を示す、四角形状の載置面の平面図である。
【図４】本実施形態のワーク載置用トレーの支持部材のさらに他の一例を示す、図１（ｂ）の点線で囲んだＤ部および図２（ｂ）の点線で囲んだＥ部を拡大した断面図である。
【図５】本実施形態のウエハ熱処理用トレーの一例を示す断面図である。
【図６】本実施形態のワーク載置用トレーの製造方法の一例を示す工程フロー図である。
【図７】本実施形態のワーク載置用トレーの製造方法の一例を示し、（ａ）〜（ｆ）は図６で示す各工程における加工品の斜視図であり、（ｇ）は（ｃ）のセラミックグリーンシートの積層体から支持部材用の積層体を形成する工程を部分的に拡大した断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の実施の形態について説明する。
【００１５】
本発明のワーク載置用トレーの実施の形態の一例を、図１を用いて説明する。
【００１６】
図１は、本実施形態のワーク載置用トレーの一例を示す、（ａ）はワーク載置用トレーを底板の主面側からみた平面図であり、（ｂ）はワークを載置した状態における（ａ）のＡ−Ａ’線の断面図である。
【００１７】
図１に示すワーク載置用トレー１は、底板２と、底板２に設けられた柱状の支持部材３とを備え、支持部材３によりワーク15を保持するワーク載置用トレー１であって、底板２と支持部材３とがセラミックよりなるとともに、支持部材３は、複数の板状体４を積層してなる。
【００１８】
本実施形態のワーク載置用トレー１は、ワーク載置用トレー１を構成する底板２と支持部材３がセラミックよりなることから、耐熱性と熱伝導性に富み、例えば、ワーク15の熱処理用として用いる場合に、繰り返し使用することができる。さらに、支持部材３は、複数の板状体４を積層してなることから、支持部材３の高さ方向の反りを抑制したワーク載置用トレー１とすることができる。それにより、ワーク15を支持する支持部材３の載置面３ａの位置精度を高めることができ、ワーク15の熱処理用として用いたときは、支持部材３がワーク15の熱処理に影響する面積が増大することを抑制し不具合の発生を抑制できる。
【００１９】
従来であれば、支持部材を立設した大型のワーク載置用トレーをセラミックで作製するときには、支持部材は、粉末押出成形法や粉末プレス成型法により成形体を作製し、この成形体を乾燥したあと、粉末プレス成型法等で個別に作製した底板となる成形体に接合し、これらを焼成することによりワーク載置用トレーを作製する。ところが、支持部材となる成形体は、セラミック粉末の金型への充填密度差が発生したり、また、焼成前の乾燥時に棒状体を断面形状が三角形の金属製治具等に寝かせて乾燥することから乾燥度合いの違いが発生したりして、焼成後は高さ方向への反りの発生のおそれがあった。また、焼成後はワーク載置面の平坦度を出すために支持部材の載置面を研磨するが、研磨した載置面の面積は本来の支持部材の横断面方向の面積より広いものになる。
【００２０】
そして、ワークが多数個の製品部となるものであれば、支持部材の載置面で支持するワークの位置を捨て代部に合わせるが、載置面の面積の増大は、載置面が製品部領域まで架かることになりワークの歩留まりの低下に繋がる懸念があった。
【００２１】
これに対し、本実施形態のワーク載置用トレー１の支持部材３は、複数の板状体４を積層した積層体３’であるから、個々の板状体４の密度差は幅方向においては現れにくく、板状体４を積層した積層体３’においても幅方向の密度差は少なく、焼成後の支持部材３の高さ方向の反りの発生を抑制できる。したがって、載置面３ａの面積が本来の面積より増大することも抑制できる。
【００２２】
本実施形態のワーク載置用トレー１の材料であるセラミックとしては、アルミナ、窒化硅素、窒化アルミ、ジルコニア、ムライトおよび、これらの複合材料を用いることができる。
【００２３】
また、図１においては、支持部材３を底板２の外縁に等間隔で４本配置しているが、ワーク15のサイズや厚みにより、支持部材３を配置する位置や、本数は適宜選択すればよい。
【００２４】
支持部材３を構成する板状体４の積層体３’は、テープ状のセラミックグリーンシートから板状体４となるセラミックグリーンシートを形成し、積層、接合して、後に焼成することにより作製できる。
【００２５】
また、底板２は、支持部材３と同様にして作製できる。重量のあるワーク15を載置する場合や、ワーク載置用トレー１を複数段重ねるときは、強度を持たせるために、複数枚のセラミックグリーンシートを積層した積層体で作製すればよい。
【００２６】
このように、テープ状のセラミックグリーシートから作製した支持部材３および底面２の表面は面粗さが小さいことから、焼成後にエッジ面の研磨を施す程度でよく、製造コストを低減したワーク載置用トレー１を提供できる。
【００２７】
図２は、本実施形態のワーク載置用トレーの他の一例を示す、（ａ）はワーク載置用ト
レーを底板の主面側からみた平面図であり、（ｂ）はワークを載置した状態における（ａ）のＣ−Ｃ’線を部分的に拡大した断面図である。
【００２８】
本実施形態のワーク載置用トレー11は、支持部材３の側面部３ｂに、高さ方向に沿って伸びる凸部５を有していることが好ましい。
【００２９】
図２に示すワーク載置用トレー11の支持部材３は、横断面形状が波形状の凹凸を繰り返す略円形であり、凸部５および凹部（谷部）６は支持部材３の高さ方向に沿って伸びている。このように、ワーク載置用トレー11の支持部材３の側面部３ｂに、支持部材３の高さ方向に沿って伸びる凸部５を有するときには、ワーク載置用トレー11をワーク15の熱処理用として用いたとき、支持部材３の表面積が大きい分、熱処理の昇温および降温に支持部材３の温度も大きく遅れることなく追従することができるために、支持部材３の載置面３ａで支持するワーク15の熱処理の不具合の発生を抑制することができる。
【００３０】
図３は、本実施形態のワーク載置用トレーの支持部材の他の一例を示す、四角形状の載置面の平面図である。
【００３１】
図２に示す、ワーク載置用トレー11の支持部材３は、横断面形状が略円形の外周に沿って７個の凸部５を設けているが、図３に示すワーク載置用トレー12の支持部材３は、横断面形状が略四角形で、波形状の凹凸を繰り返し８個の凸部を備えている。
【００３２】
このように、支持部材３の形状は、横断面形状が円形状または四角形を含む方形のいずれでもよく、また、側面部３ｂへの凸部５は１つ以上を含み、また、凹凸を繰り返す場合は、波形状の他に矩形状であってもよい。
【００３３】
さらに、また、支持部材３が複数の積層体３’からなる場合には、少なくともワーク15の載置面３ａに近い積層体３’の側面部３ｂに凸部５を設けていることが好ましく、それにより、少なくとも載置面３ａの熱処理の温度の追従遅れを少なくすることができる。
【００３４】
図４は、本実施形態のワーク載置用トレーの支持部材の他の一例を示す、図１（ｂ）の点線で囲んだＤ部および図２（ｂ）の点線で囲んだＥ部を拡大した断面図である。
【００３５】
本実施形態のワーク載置用トレー１，11，12は、支持部材３（積層体３’）を構成する板状体４間に、外部と連通する隙間７を有していないことが好ましい。
【００３６】
なお、図４においては、点線で囲んだＤ部およびＥ部は板状体４の接合部に外部に連通する隙間７がある場合を仮想して隙間７を点線で記載している。
【００３７】
上述したワーク載置用トレー１，11，12を作製するにあたり、支柱部材３は設計の自由度等の観点から、複数の板状体４を積層してなる積層体３’とすることができる。
【００３８】
しかしながら、複数の板状体４を積層してなる積層体３’においては、それぞれの板状体４間に外部と連通する隙間７が生じる場合があり、それぞれの板状体４間に隙間７が生じているワーク載置用トレーを熱処理用のトレーとして繰り返し使用すると、昇温と降温を繰り返すうちに隙間７が起点となって板状体４に剥がれが生じるおそれがある。本実施形態のワーク載置用トレー１，11，12においては、板状体４の接合部に外部に連通する隙間７を有していないことから、板状体４間の剥がれの発生を抑制できる。
【００３９】
なお、本実施形態において、支持部材３の板状体４間に、外部と連通する隙間７を有していないとは、板状体４間の接合部の側面部３ｂにおいて、セラミックの粒子サイズレベ
ルの脱粒やボイドなどにより隙間７が生じているものは除くものとし、奥行きｄが15μｍ以下は隙間７とみなさないものとする。
【００４０】
図５は、本実施形態のウエハ熱処理用トレーの一例を示す断面図である。
【００４１】
図５に示す本実施形態のウエハ熱処理用トレー21は、本実施形態のワーク載置用トレー１，11，12を用いてなり、ウエハ22であるワーク15を熱処理するために用いられるものである。
【００４２】
半導体シリコンのウエハ22は、酸素濃度を抑えた無欠陥層を形成するために、予め1000℃以上の温度で熱処理することが知られている。そして、このようなウエハ22から多数の製品部を作製するが、ウエハ22の製品部となる箇所の熱処理の不具合の発生を抑制するにあたり、ウエハ22を支持する支持部材３の載置面３ａの面積を含む位置精度が高いことが重要となる。
【００４３】
本実施形態のウエハ熱処理用トレー21に用いるワーク載置用トレー１，11，12は、底板２と支持部材３がセラミックよりなることから、耐熱性と熱伝導性に富み、熱処理の温度が1000℃以上であっても繰り返し使用することができる。
【００４４】
さらに、支持部材３は、複数の板状体４の積層体３’からなることより、支持部材３の高さ方向の反りを抑制でき載置面３ａの研磨の有無に係わらず載置面３ａの面積を含む位置精度を高めることができる。それにより、ウエハ22の熱処理に影響する面積が増大することを抑制し不具合の発生を抑制できる。
【００４５】
また、支持部材３の側面部３ｂに高さ方向に沿って伸びる凸部５があるときには、支持部材３の表面積が大きい分、熱処理の昇温および降温に支持部材３の温度も大きく遅れることなく追従するために、支持部材15の載置面３ａで支持するウエハ22の熱処理の不具合の発生を抑制することができ、ウエハ22における製品部の領域を広くすることも可能となる。
【００４６】
さらに、また、支持部材３を構成する板状体４間に外部に連通する隙間７を有していないときには、熱処理による昇温降温を繰り返しおこなったとしても、板状体４間に隙間７を起因とする剥がれの発生を抑制できる。
【００４７】
このように、本実施形態のウエハ熱処理用トレー21は、本実施形態のワーク載置用トレー１，11，12からなることから、繰り返し使用することが可能で、かつ、ウエハ22の歩留まりの向上に貢献できる。
【００４８】
次に、本実施形態のワーク載置用トレーの製造方法について、図６および図７を用いて説明する。
【００４９】
図６は、本実施形態のワーク載置用トレーの製造方法の一例を示す工程フロー図であり、図７は、本実施形態のワーク載置用トレーの製造方法の一例を示し、（ａ）〜（ｆ）は図６で示す各工程における加工品の斜視図であり、（ｇ）は（ｆ）のセラミックグリーンシートの積層体から支持部材用の積層体を形成する工程を部分的に拡大した断面図である。
【００５０】
なお、図７は、ワーク載置用トレーの支持部材が円柱状について図示しているが、支持部材が角柱状の場合についても本図を併用して説明する。また、図６および図７においては、支持部材を作製するにあたり、積層体の一部を切り抜いて支持部材用の積層体を作製
する工程を示しているが、予め支持部材となる大きさの板状体を積層して支持部材用の積層体を作製する場合には、図６および図７に示す工程の一部を省略することもできる。また、図６および図７において、支持部材用の積層体の作製はワイヤーによる方法で図示したが、帯鋸による場合についても本図を併用して説明する。
【００５１】
本実施形態のワーク載置用トレー１の製造方法は、まず、はじめに、図６のＡおよび図７（ａ）に示すように、複数のセラミックグリーンシート８を準備する工程がある。
【００５２】
複数のセラミックグリーンシート８を準備する工程は、公知のセラミックスラリーを用いるドクターブレード法や、セラミック粉末を用いてロールコンパクション法によりテープ状とし、打ち抜き成型やレーザ加工等により任意のセラミックグリーンシート８を複数成形して準備する。
【００５３】
次に、図６のＢおよび図７（ｂ）に示すように、準備した複数のセラミックグリーンシート８を積層、加圧し積層体９’を作製する。なお、セラミックグリーンシート８を積層するにあたっては、セラミックグリーンシート８の積層面に、セラミックグリーンシート８を準備するときに用いたセラミックの泥漿とほぼ同一の成分からなる泥漿を塗布し、セラミックグリーンシート８を積層したあとに、セラミックグリーンシート８の接合面全体に、満遍なく加圧力がかかるようにして加圧することにより積層体９’を作製する。
【００５４】
次に、図６のＦおよび図７（f）に示すように、セラミックグリーンシート８の積層体
９’から支持部材用の積層体９を作製する。
【００５５】
ここでは、ワイヤーカッティングマシンに備えられたワイヤー17を用いて、セラミックグリーンシート８の厚みｔ方向に回転運動させるとともに、セラミックグリーンシート８の幅ｗ方向に沿って動かす（図示においては幅ｗ方向に回転する）ことにより、セラミックグリーンシート８の積層体９を作製できる。なお、積層体９’を作製するためのツールはワイヤー17に限定されず、帯鋸盤に備えられた帯鋸であってもよい。
【００５６】
さらに、また、積層体９の横断面が四角形であるときには、ワイヤー17または帯鋸のいずれによる場合であっても、セラミックグリーンシート８の廃棄する部分を最小とすることができる。
【００５７】
なお、ワイヤー17とは俗称ワイヤソーに用いるもので、通常は炭素鋼等からなるエンドレスの糸状のワイヤー17にノズルによりダイヤモンド等の砥粒を含有する泥漿を吹き付ける遊離砥粒や、あるいは、同様の砥粒を備えた固定砥粒などを用いることができる。
【００５８】
また、帯鋸とは俗称バンドソーを指し、通常は炭素鋼やステンレス等からなるエンドレスの薄厚の板にダイヤモンドなどの固定砥粒を備えたものであり、刃先形状は鋸状のセグメントタイプから固定砥粒が連続する連続タイプまであり、適宜選択して用いることができる。
【００５９】
次に、図６のＣおよび図７（ｃ）に示すように、底板となる平板状の所定形状（本図においては円形）のセラミックグリーンシート８を準備する。このセラミックグリーンシート８は支持部材となるセラミックグリーンシート８と同一のものを用い所定の形状に、レーザ加工やプレス成型で加工することにより作製できる。
【００６０】
また、載置するワークが大きい場合など重量があるときには、底板の強度も必要となることから底板となるセラミックグリーンシート８も積層体とすることもできる。
【００６１】
次に、図６のＤおよび図７（ｄ）に示すように、支持部材となるセラミックグリーンシート８の複数の積層体９を、底板となる平板状のセラミックグリーンシート８の主面上の所定の位置に配置し加圧、接合して成形体10を作製する。なお、それぞれのセラミックグリーンシート８の材質は成形体10を焼成したときの収縮率を合わせるためには同一の材質が好ましく、積層するセラミックグリーンシート８の少なくとも一方にテープ状のセラミックグリーンシート８を成形するときに用いたセラミックスラリーとほぼ同一の泥漿を接合面に塗布し、積層した後、加圧することによって、成形体10を作製することができる。
【００６２】
次に、図６のＥに示すように、上記工程にて得られた成形体10を焼成する。成形体10の焼成は、公知のトンネル式連続炉やバッチ式炉などにより焼成するが、アルミナセラミックであれば、最高温度が1400〜1600℃程度で焼成すればよい。それにより、図７（ｅ）に示す本実施形態のワーク載置用トレー1，11を作製することができる。
【００６３】
このように、本実施形態のワーク載置用トレー1，11の製造方法によれば、底板２およ
び支持部材３がセラミックからなるとともに、支持部材３が複数の板状体４を積層してなるワーク載置用トレー1，11を容易に作製することができる。
【００６４】
なお、支持部材３の積層体を得るにあたり、ワイヤー17または帯鋸を用いて作製した場合には、ワイヤー17または帯鋸がセラミックグリーンシート８の積層体９の厚みｔ方向に回転しつつ、幅ｗ方向に移動することで、支持部材３の側面部３ｂに凸部５が形成されたワーク載置用トレー1，11を容易に作製することができる。
【００６５】
あわせて、セラミックグリーンシート８の積層体９’から支持部材３となる積層体９を作製するにあたり、支持部材３を構成する複数の板状体４間には外部と連通する隙間７を有さないワーク載置用トレー1，11を容易に作製することができる。
【００６６】
次に、ワーク載置用トレー１，11の支持部材３の側面部３ｂに高さ方向に沿って伸びる凸部５の高さの調整について、図７（ｆ）および（ｇ）を用いて説明する。
【００６７】
図７（ｇ）は、（ｆ）のセラミックグリーンシート８の積層体９’の厚みｔ方向および幅ｗ方向にワイヤー17を用いて、切断することにより、セラミックグリーンシート８の積層体９を作製するものである。
【００６８】
この工程において、ワークである積層体９’を加工用テーブル18に載置し、ワイヤー17または帯鋸により積層体９’に当てて切断するが、加工用テーブル18のワイヤー17または帯鋸が通過する下部には、幅ｗ方向における振れ幅ｒを規制する振れ幅規制部材19が備えられている。これにより、支持部材用の積層体９の高さ方向に沿って伸びる凸部５の高さを調整することができる。例えば、振れ幅ｒの設定を広げることによって、セラミックグリーンシート８の厚みｔ方向に伸びる凸部５の高さを高くすることができる。
【００６９】
なお、より厳密に凸部５の高さを設定し、また、凸部５の高さを低くするときには、ワイヤー17であれば固定砥粒の砥粒の高さがばらつきの少ないものを用いればよく、帯鋸であれば砥粒が連続して固着された連続刃を用いるとよい。
【００７０】
このように、支持部材３となる積層体９の作製工程において、ワイヤー17または帯鋸のセラミックグリーンシート８の幅ｗ方向における振れ幅ｒを規制することにより、支持部材３の側面部３ａに高さ方向に沿って伸びる凸部５の高さを容易に調整することができる。
【符号の説明】
【００７１】
１，11，12：ワーク載置用トレー
２：底板、２ａ：主面
３：支持部材、３ａ：載置面、３ｂ：側面部、３’：積層体
４：板状体
５：凸部
７：隙間
８：セラミックグリーンシート
９，９’：積層体
10：成形体
15：ワーク  
17：ワイヤー
19：振れ幅規制部材
21：ウエハ熱処理用トレー
22：ウエハ
【図１】
2014107439.tif 000003
【図２】
2014107439.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
2014107439.tif 000007
【図６】
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【図７】
2014107439.tif 000009