(57)【要約】      （修正有）【課題】裏止めレジストの溶解除去によってフレキシブルプリント配線板基材から剥離されたダミーパターンによって生じる不具合防止技術を提供する。【解決手段】剥離装置１は、フライングリード及びダミーパターン５５を含むフレキシブルプリント配線板基材からエッチングレジスト及び裏止めレジストを剥離する。剥離装置１は、剥離液１０が充填された剥離液槽４と、フレキシブルプリント配線板基材を搬送する第１搬送機構と、フレキシブルプリント配線板基材の搬送ルートの下方に配置され、フレキシブルプリント配線板基材から剥離されたダミーパターン５５を受け取ってダミーパターン５５を剥離液槽の外部に搬送する無端環状のコンベアベルト６を含む第２搬送機構と、を備える。【選択図】図１
2014146710.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
デバイスホールを有する絶縁フィルムの表面に金属箔及びエッチングレジストがその順で積層され、裏面に前記デバイスホールを覆うように裏止めレジストが形成され、前記金属箔は前記デバイスホールの上部にエッチング処理によって形成されたフライングリード及びダミーパターンを含むフレキシブルプリント配線板基材から前記エッチングレジスト及び前記裏止めレジストを剥離するレジスト剥離装置であって、
前記エッチングレジスト及び前記裏止めレジストを溶解する剥離液が充填された剥離液槽と、
ロールツロール法で前記剥離液中を走行するように前記フレキシブルプリント配線板基材を搬送する第１搬送機構と、
前記フレキシブルプリント配線板基材の搬送ルートの下方に配置され、前記エッチングレジスト及び前記裏止めレジストの溶解によって前記フレキシブルプリント配線板基材から剥離された前記ダミーパターンを受け取って該ダミーパターンを前記剥離液槽の外部に搬送する無端環状のコンベアベルトを含む第２搬送機構と、
を備えることを特徴とするレジスト剥離装置。
【請求項２】
前記コンベアベルトは、金属製ネットで構成される、ことを特徴とする請求項１に記載のレジスト剥離装置。
【請求項３】
前記フレキシブルプリント配線板基材の搬送方向に沿って前記剥離液槽の上流側に配置されたダミーパターン回収部をさらに備え、
前記第２搬送機構は、前記剥離液槽の中で受け取った前記ダミーパターンを前記ダミーパターン回収部の側に搬送するように前記コンベアベルトを駆動する駆動ローラを含み、
前記駆動ローラは前記ダミーパターン回収部に配置される、
ことを特徴とする請求項１又は２に記載のレジスト剥離装置。
【請求項４】
前記第２搬送機構は、前記フレキシブルプリント配線板基材が前記剥離液に浸漬し始める位置より前記フレキシブルプリント配線板基材の搬送方向に沿って上流側の位置で前記コンベアベルトが前記剥離液に浸漬し始めるように傾斜して走行するように構成されている、ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載のレジスト剥離装置。
【請求項５】
前記第１搬送機構は、前記ダミーパターン回収部に配置された、前記フレキシブルプリント配線板基材の搬送ローラを含む、ことを特徴とする請求項３又は４に記載のレジスト剥離装置。
【請求項６】
前記コンベアベルトの走行速度は０．５ｍ／分以下である、ことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載のレジスト剥離装置。
【請求項７】
前記コンベアベルトの幅は、前記剥離液中における前記コンベアベルトの上面と前記フレキシブルプリント配線板基材の下面との間隔に前記フレキシブルプリント配線板基材の幅を加えた大きさよりも大きく、かつ、前記コンベアベルトが前記剥離液中で前記フレキシブルプリント配線板基材の搬送方向に沿って走行する長さは、前記フレキシブルプリント配線板基材の前記剥離液中に浸漬されている部分の長さ以上である、ことを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載のレジスト剥離装置。
【請求項８】
前記コンベアベルトの網目の開口の最大径は、ダミーパターンの最小径より小さい、ことを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載のレジスト剥離装置。
【請求項９】
前記剥離液槽内を搬送される前記フレキシブルプリント配線板基材に上方から前記剥離液を供給するように配置された剥離液供給部と、
前記コンベアベルトの下方に配置され前記剥離液槽から前記剥離液を回収する剥離液回収部と、
をさらに備える、ことを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載のレジスト剥離装置。
【請求項１０】
前記剥離液供給部は、前記剥離液を下方に吐出する複数の吐出口をそれぞれ有し前記フレキシブルプリント配線板基材の搬送方向に直交する方向に沿って配置された複数の剥離液供給管を含み、
前記剥離液回収部は、前記剥離液を下方に吸引する複数の吸引口をそれぞれ有し前記フレキシブルプリント配線板基材の搬送方向に平行な方向に沿って配置された複数の剥離液回収管を含む、
ことを特徴とする請求項９に記載のレジスト剥離装置。
【請求項１１】
前記複数の剥離液供給管それぞれによる前記剥離液の供給流量及び前記複数の剥離液回収管それぞれによる前記剥離液の回収流量は、個別に制御可能である、ことを特徴とする請求項１０に記載のレジスト剥離装置。
【請求項１２】
前記駆動ローラの下方で前記コンベアベルトの前記駆動ローラとは逆側の面を擦るスクレイパーをさらに備える、ことを特徴とする請求項３乃至１１のいずれか１項に記載のレジスト剥離装置。
【請求項１３】
デバイスホールを有する絶縁フィルムの表面に金属箔及びエッチングレジストがその順で積層され、裏面に前記デバイスホールを覆うように裏止めレジストが形成され、前記金属箔は前記デバイスホールの上部にエッチング処理によって形成されたフライングリード及びダミーパターンを含むフレキシブルプリント配線板基材からフレキシブルプリント配線板を製造する製造方法であって、
請求項１乃至１２のいずれか１項に記載のレジスト剥離装置を用いて前記フレキシブルプリント配線板基材から前記エッチングレジスト及び前記裏止めレジストを剥離する工程と、
前記エッチングレジスト及び前記裏止めレジストが剥離されたフレキシブルプリント配線板基材を洗浄する工程と、
前記洗浄されたフレキシブルプリント配線板基材を乾燥する工程と、
を含む、ことを特徴とする製造方法。
【請求項１４】
デバイスホールを有する絶縁フィルムの表面に金属箔及びエッチングレジストがその順で積層され、裏面に前記デバイスホールを覆うように裏止めレジストが形成され、前記金属箔は前記デバイスホールの上部にエッチング処理によって形成されたフライングリード及びダミーパターンを含むフレキシブルプリント配線板基材からフレキシブルプリント配線板を製造する製造方法であって、
前記フレキシブルプリント配線板基材から前記エッチングレジスト及び前記裏止めレジストを剥離する工程と、
前記エッチングレジスト及び前記裏止めレジストが剥離されたフレキシブルプリント配線板基材を洗浄する工程と、
前記洗浄されたフレキシブルプリント配線板基材を乾燥する工程と、
を含み、
前記ダミーパターンは、連続する周縁部と、該周縁部によって囲まれる内側の領域に複数の開口を形成するように前記内側の領域を分割する分割部とを含む、ことを特徴とする製造方法。
【請求項１５】
前記フレキシブルプリント配線板基材は、前記デバイスホール毎に１つの前記ダミーパターンを有する、ことを特徴とする請求項１４に記載の製造方法。
【請求項１６】
前記周縁部および前記分割部の幅は、０．２〜０．３ｍｍであり、前記開口の径は０.８ｍｍ〜１．５ｍｍである、ことを特徴とする請求項１４又は１５に記載の製造方法。
【請求項１７】
前記周縁部は、前記フライングリードの先端を取り囲む、ことを特徴とする請求項１４乃至１６のいずれか１項に記載の製造方法。
【請求項１８】
前記フライングリードの先端と前記周縁部との間の距離と、隣り合う前記フライングリード間の間隙とは、等しいことを特徴とする請求項１４乃至１７のいずれか１項に記載の製造方法。
【請求項１９】
前記複数の開口は行列状に配置されている、ことを特徴とする請求項１４乃至１８のいずれか１項に記載の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フレキシブルプリント配線板基材からレジストを剥離するレジスト剥離装置、及び、フレキシブルプリント配線板の製造方法に関する。 
【背景技術】
【０００２】
特許文献１はレジスト剥離装置を開示している。このレジスト剥離装置は、ベルトコンベアと搬送ローラと邪魔板とで構成されるベルトコンベア終端部の搬送面上側で搬送方向に対して横方向となる剥離液の流れを作り、搬送面下側で搬送方向に略一致する剥離液の流れを作り、ベルコンベア出口でガイドレールに沿って下方向に落下する剥離液の流れを作る。このレジスト剥離装置は、前記の剥離液の流れによって、レジストを細かく粉砕することなく被処理物より剥離させることができる。剥離されたレジストはフィルターによって剥離液から分離され、分離された剥離液は剥離液タンクに戻される。
【０００３】
特許文献２は、ポリイミド等の有機絶縁フィルムに銅箔を張り合わせた銅張積層板からサブトラクティブ法で導体パターンを形成すること、不要となったエッチングレジストを剥離液に浸漬して除去する工程をロールツロール方式で行うことを開示している。 
特許文献３は、ＴＡＢ（Tape Automated Bonding）テープにおいて形成されるフライングリードの品質確保のための技術を開示している。フライングリードは、その求められる電気特性、剛性等の観点から、その形状が均一であることが望ましい。しかし、フライングリードはエッチングによって形成するので、その先端にはエッチャントが集中的に供給される傾向が有り、先細りになりやすい。ＴＡＢテープは、リードのファインピッチ化が進み、この問題が無視出来なくなってきている。そこで、特許文献３記載の技術では、図５に示されるように、デバイスホール５７の領域における絶縁フィルムの上でフライングリード５２ａの先端前方に金属箔のダミーパターン５５を形成するとともに、デバイスホール５７の領域に裏止めレジスト５４を形成し、エッチャントによるフライングリード５２ａの先細りを防止している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１１−２０４９１７号公報
【特許文献２】特開２００９−０９４１９１号公報
【特許文献３】特開平１１−１８６３４４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献３に記載のＴＡＢテープは、エッチングによってフライングリードを形成した後、例えば特許文献１，２記載の技術を用いて、リード部分のエッチングレジスト及びデバイスホールの裏止めレジストを除去する。しかし、これらの従来技術の構成では、エッチング後のフレキシブルプリント配線板基材を剥離液に浸漬してレジスト（エッチングレジスト及び裏止めレジスト）を溶解除去する際に、金属箔のダミーパターンが裏止めレジストから分離して剥離液中に単独で浮遊し、フライングリードに衝突してフライングリードを変形させたり、隣り合うフライングリードに跨って付着し電気的にショートさせたりする課題を有する。さらに、ダミーパターンが、剥離液中に沈殿し剥離液の循環性を低下させるという課題も存在する。
【０００６】
本発明は、このような課題を解決するものであり、裏止めレジストの溶解除去によってフレキシブルプリント配線板基材（以下「ＦＰＣ基材」と略す）から剥離されたダミーパターンによって生じる不具合を防止することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の第１の側面は、デバイスホールを有する絶縁フィルムの表面に金属箔及びエッチングレジストがその順で積層され、裏面に前記デバイスホールを覆うように裏止めレジストが形成され、前記金属箔は前記デバイスホールの上部にエッチング処理によって形成されたフライングリード及びダミーパターンを含むフレキシブルプリント配線板基材から前記エッチングレジスト及び前記裏止めレジストを剥離するレジスト剥離装置であって、前記エッチングレジスト及び前記裏止めレジストを溶解する剥離液が充填された剥離液槽と、ロールツロール法で前記剥離液中を走行するように前記フレキシブルプリント配線板基材を搬送する第１搬送機構と、前記フレキシブルプリント配線板基材の搬送ルートの下方に配置され、前記エッチングレジスト及び前記裏止めレジストの溶解によって前記フレキシブルプリント配線板基材から剥離された前記ダミーパターンを受け取って該ダミーパターンを前記剥離液槽の外部に搬送する無端環状のコンベアベルトを含む第２搬送機構と、を備えることを特徴とする。
【０００８】
本発明の第２の側面は、デバイスホールを有する絶縁フィルムの表面に金属箔及びエッチングレジストがその順で積層され、裏面に前記デバイスホールを覆うように裏止めレジストが形成され、前記金属箔は前記デバイスホールの上部にエッチング処理によって形成されたフライングリード及びダミーパターンを含むフレキシブルプリント配線板基材からフレキシブルプリント配線板を製造する製造方法であって、前記第１の側面に係るレジスト剥離装置を用いて前記フレキシブルプリント配線板基材から前記エッチングレジスト及び前記裏止めレジストを剥離する工程と、前記エッチングレジスト及び前記裏止めレジストが剥離されたフレキシブルプリント配線板基材を洗浄する工程と、前記洗浄されたフレキシブルプリント配線板基材を乾燥する工程と、を含む、ことを特徴とする。
【０００９】
本発明の第３の側面は、デバイスホールを有する絶縁フィルムの表面に金属箔及びエッチングレジストがその順で積層され、裏面に前記デバイスホールを覆うように裏止めレジストが形成され、前記金属箔は前記デバイスホールの上部にエッチング処理によって形成されたフライングリード及びダミーパターンを含むフレキシブルプリント配線板基材からフレキシブルプリント配線板を製造する製造方法であって、前記フレキシブルプリント配線板基材から前記エッチングレジスト及び前記裏止めレジストを剥離する工程と、前記エッチングレジスト及び前記裏止めレジストが剥離されたフレキシブルプリント配線板基材を洗浄する工程と、前記洗浄されたフレキシブルプリント配線板基材を乾燥する工程と、を含み、前記ダミーパターンは、連続する周縁部と、該周縁部の内部に複数の開口を形成するように前記周縁部の内部を分割する分割部とを含む、ことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、裏止めレジストの溶解除去によってフレキシブルプリント配線板基材から剥離されたダミーパターンによって生じる不具合を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】レジスト剥離装置の一例を示す図である。
【図２】図１のレジスト剥離装置のＡ−Ａ断面図である。
【図３】エッチングレジストが除去されたＦＰＣ基材の一例を示す図である。
【図４】ＦＰＣ基材からレジスト、ダミーパターンが除去される様子を示す図である。
【図５】従来のＦＰＣ基材の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
［フレキシブルプリント配線板基材］
フレキシブルプリント配線板基材（ＦＰＣ基材）について説明する。フレキシブルプリント配線板を製造するために、長尺フィルム状のＦＰＣ基材５が使用される。ＦＰＣ基材５は、予め所定位置にデバイスホール５７が打ち抜き加工によって形成された絶縁フィルム５１と、その表面側に金属箔層として銅箔を積層したフレキシブル銅張板を用いる。
【００１３】
更に本実施形態では図４の（ａ）に示されるようにエッチング法で残すべきパターンに対応して金属箔層を被膜するように形成したエッチングレジスト５３と、裏面側にデバイスホール５７を覆うように形成された裏止めレジスト５４とを有している。このＦＰＣ基材５をエッチング処理して、被膜したエッチングレジスト５３の作用によりフライングリード５２ａの先細りを防止するためのダミーパターン５５とリード５２とを金属箔層から形成した。
【００１４】
裏止めレジスト５４は、デバイスホール５７に突出するようにフライングリード５２ａを形成する際に、フライングリード５２ａの裏面がデバイスホール５７を通してエッチングされることを防ぐために、マスキングとして施されるエッチャント耐性の樹脂である。ＦＰＣ基材５の表面側に形成されるエッチングレジスト５３および裏止めレジスト５４は、剥離液１０に可溶な樹脂である。金属箔層は、例えば銅箔のような導体材料で構成され、ＦＰＣ基材５に導体パターンを形成するために使用される。図４の（ａ）は、エッチング処理がなされレジスト５３，５４の剥離処理がなされる前のＦＰＣ基材５の断面構造を示している。
【００１５】
［剥離処理でのダミーパターンの挙動］
エッチング処理をなされた後のＦＰＣ基材５は、次いで、レジスト５３，５４を剥離する剥離処理を受ける。ＦＰＣ基材５は、剥離処理において、剥離液１０の中に浸漬される。図４は、エッチング処理後のＦＰＣ基材５からエッチングレジスト５３、裏止めレジスト５４が剥離液１０に溶解除去されて、ダミーパターン５５を分離するまでの概略挙動を示している。図４の（ｂ）では、ＦＰＣ基材５の表層側のエッチングレジスト５３が剥離液１０により溶解してリード５２やダミーパターン５５の表面から除去されている。更に剥離処理が進むと、図４の（ｃ）に示されるように、デバイスホール５７内の裏止めレジスト５４も溶解して、ダミーパターン５５がＦＰＣ基材５から分離し、剥離液１０の中を落下する。なお、本実施形態での裏止めレジスト５４は、ＦＰＣ基材５の表層側のエッチングレジスト５３よりも剥離液１０での溶解速度が遅いものを用いている。また、エッチングレジスト５３及び裏止めレジスト５４のいずれも、本実施形態の剥離液１０により剥離するだけでなく、剥離液１０に溶解するもので、溶解残渣が少なくないタイプを使用した。しかし、裏止めレジスト５４としてエッチングレジスト５３と同じものを使用する場合には、図４の（ａ）の状態から、（ｂ）の状態を経由することなく、（ｃ）の状態に至る。本実施形態において、剥離液１０に対する裏止めレジスト５４の溶解速度をエッチングレジスト５３の溶解速度よりも遅くしたことで、ダミーパターン５５を剥離液槽４の下流側部分でまとめて回収することができる。
【００１６】
［レジスト剥離装置の構成］
図１、２を用いてＦＰＣ基材５からレジスト５３，５４を剥離するレジスト剥離装置（以下、「剥離装置」と呼ぶ。）の構成について説明する。図１は、剥離装置１の内部をＦＰＣ基材５の搬送方向１８に直交する方向から見た概略図であり、装置全体の概要を説明するための図である。図２は、図１のＡＡ線の断面図であり、剥離液槽４の内部における剥離液１０の供給、回収、流れとダミーパターン５５を回収するコンベアベルト６の位置関係を示す。
【００１７】
剥離装置１には、ＦＰＣ基材５の搬送方向１８に沿ってダミーパターン回収部２、剥離液１０のオーバーフロー回収部３、剥離液槽４がその順で一列に隣接して配置されている。本実施形態では、剥離液槽４、オーバーフロー回収部３およびダミーパターン回収部２は、ステンレス鋼を用いた槽構造として構成されている。
【００１８】
図示はしないが、ＦＰＣ基材５の搬送方向１８に沿う剥離装置１の上流側（図１で左側）には、ＦＰＣ基材５に積層された金属箔を配線等の導体パターンにエッチングするエッチング装置が、更にその上流側にはロール状のＦＰＣ基材５を帯状に送り出す巻き出し部が配置されている。一方、剥離装置１の下流側には、水洗装置や乾燥装置を経由したＦＰＣ基材５をロール状に巻き取る巻取り部が配置されている。剥離装置１を含めてロールツロール法によるＦＰＣ基材５の搬送は巻取り部における巻取り駆動によって行われる。
【００１９】
帯状態のままで加工されるＦＰＣ基材５は、剥離装置１の中を複数の搬送ローラ１１に支持されて搬送される。さらに剥離液槽４において搬送ローラ１１で支持されるＦＰＣ基材５は、剥離液１０が充填された剥離液槽４に浸漬され、さらに別の搬送ローラ１１に支持されて剥離液１０から出て下流側へと走行する。剥離液１０中におけるＦＰＣ基材５の搬送ルートは、複数の押えローラ１２で支持され、剥離液１０の槽内循環流の力に耐えて搬送される経路である。搬送ローラ１１と押えローラ１２は、駆動力を持たないで自在に回転できるフリーローラである。更にこれらのローラの形状は、いずれもＦＰＣ基材５に形成されるフライングリード５２ａ等の導体パターンを上側にして良好に搬送できる形状で対応している。ロールツロール法によるＦＰＣ基材５の巻取り部、搬送ローラ１１、押えローラ１２は、ＦＰＣ基材５を搬送する第１搬送機構を構成している。
【００２０】
剥離装置１は、ＦＰＣ基材５から表層側のエッチングレジスト５３および裏止めレジスト５４を溶解し、裏止めレジスト５４上に形成されたダミーパターン５５をＦＰＣ基材５から分離させた後、後述するように、剥離液１０中からダミーパターン５５を効率的に回収する。従って、本発明の剥離装置１は、ＦＰＣ基材５から分離したダミーパターン５５が剥離液１０中を浮遊してフライングリード５２ａに接触したり付着したりしてＦＰＣ基材５の品質を損なう、または剥離液槽４の底に沈降して堆積することにより剥離液１０の循環や抜取を損なう等の弊害が発生することを低減し、剥離装置１の円滑な運転を持続させる。
【００２１】
剥離液槽４の内部において、剥離液１０中を走行するＦＰＣ基材５の上方に剥離液１０を供給する複数の剥離液供給管２２が搬送方向１８と直交するように配置され、剥離液供給タンク（不図示）からの剥離液１０がポンプＰによって供給される。剥離液供給管２２の液面７より下に位置する壁面には、下向きに多数の吐出口２２１が分散して設けてあり、剥離液供給タンクからの剥離液１０を下方に向けて吐出する。剥離液供給管２２と剥離液供給タンク（不図示）とは、剥離液１０を供給する剥離液供給部を構成している。
【００２２】
コンベアベルト６の下方には剥離液１０を回収する複数の剥離液回収管２１が搬送方向１８に沿うように配置されている。剥離液回収管２１の上方の壁面には、剥離液１０を吸引して回収するための小径からなる多数の吸引口２１１が複数列に分散して設けられており、剥離液槽４内の剥離液１０を回収して剥離液供給タンクに戻す。剥離液供給タンクから常に新しい剥離液１０が剥離液供給管２２を介して供給されるので、剥離液１０中の溶解レジスト分はほぼ一定に保たれる。剥離液１０が剥離液槽４からオーバーフローする場合、オーバーフローした剥離液１０はオーバーフロー回収部３で回収されることによって、剥離液１０の液面７の高さは一定に保たれる。剥離液回収管２１とオーバーフロー回収部３とは剥離液１０を回収する剥離液回収部を構成している。
【００２３】
剥離液１０は、剥離液供給管２２からの下向きの吐出と剥離液回収管２１による吸引回収の作用により、ＦＰＣ基材５の上方から下方向に、更に、金属製ネットで構成されたコンベアベルト６の網目を上から下側に通過して剥離液回収管２１に向かう流れ２０を生じる。剥離液１０の流れ２０は、ダミーパターン５５のＦＰＣ基材５からの分離の促進とコンベアベルト６への安定的な沈降を支援するように、乱流とならないように剥離液１０の供給流量が制御される。図４を用いて説明したように、ＦＰＣ基材５が搬送方向１８に走行するにつれて、レジストの剥離処理は、エッチングレジスト５３の溶解、裏止めレジスト５４の溶解およびダミーパターン５５の落下へと進行する。したがって、搬送方向１８に直交して複数並んで設けた各々の剥離液供給管２２からの供給流量は搬送方向の位置に依存して適量に制御される。本実施形態では、この剥離液１０の流量制御を各剥離液供給管２２に至る配管に設けた圧力計と手動バルブで行うことが出来る。同様に、各々の剥離液１０の剥離液回収管２１による回収流量の制御は、各剥離液回収管２１に接続する配管に設けたバルブで独立して行うことができる。
【００２４】
剥離液槽４内に浸漬されたＦＰＣ基材５と剥離液回収管２１との間には、落下してくるダミーパターン５５を回収してダミーパターン回収部２に搬出するための金属製ネットからなる無端環状のコンベアベルト６が配置されている。この金属製ネットの網目を通り抜ける剥離液１０の流れ２０とともにダミーパターン５５がコンベアベルト６の上面に保持される。コンベアベルト６は、剥離液１０中に取り付けたベルト搬送ローラ１４とダミーパターン回収部２に設けた駆動ローラ１３との間を周回する金属製ネットからなる。コンベアベルト６、駆動ローラ１３、ベルト搬送ローラ１４、押えローラ（テンションローラ）１５は、ダミーパターン５５を受け取ってダミーパターン回収部２まで搬送する第２搬送機構を構成している。コンベアベルト６は、ＦＰＣ基材５の側の上面がＦＰＣ基材５の搬送方向１８とは逆方向に周回するように駆動される。すなわち、ダミーパターン５５のコンベアベルト６による搬送方向は、ＦＰＣ基材５の搬送方向１８とは逆方向である。
【００２５】
ベルト搬送ローラ１４は、ＦＰＣ基材５が剥離液１０中に浸漬されて搬送された後に再び液面７の上に飛び出す位置の下方の剥離液１０中の位置に設けられている。またコンベアベルト６は、剥離液１０中の所定の位置に設けられた押えローラ（テンションローラ）１５によってテンションを付勢されて周回する。コンベアベルト６の上面は、図１に示すように、ＦＰＣ基材５が剥離液１０に浸漬し始める位置より上流側の位置で剥離液１０の液面７から傾斜して立ち上って周回するように構成されている。したがって、落下してくるダミーパターン５５を受け取る領域におけるコンベアベルト６の上面の搬送方向の長さＬは、剥離液１０中を走行するＦＰＣ基材５の搬送方向の長さと略同等以上を確保するようにした。
【００２６】
ＦＰＣ基材５とその下方に位置するコンベアベルト６の上面までの間隔Ｍとコンベアベルト６の搬送方向１８との直交方向の幅Ｗは、装置のコンパクト化と落下してくるダミーパターン５５の回収性を考慮して決定される。本実施形態では、ダミーパターン５５の落下中の飛散を少なくなるように間隔Ｍは短めに４０〜５０ｍｍとし、剥離液１０の流れ２０はほぼ下向きの層流であることを前提にコンベアベルト６の幅ＷをＦＰＣ基材５の幅に間隔Ｍを加えた寸法とした。以上の長さＬと幅Ｗを有するように構成されたコンベアベルト６を前述した流れ２０を維持する条件で運転し、後述する図３のダミーパターン５５の形状を有するエッチング処理したＦＰＣ基材５を本実施形態の剥離装置１で剥離処理し、ダミーパターン５５のＦＰＣ基材５からの分離と落下するダミーパターン５５の回収性について良好であることを確認した。
【００２７】
［ダミーパターンの構成］
図３を用いて、本実施形態において使用したエッチング処理後、さらにエッチングレジスト５３が除去されたＦＰＣ基材５の平面視の構造を示し、ダミーパターン５５とフライングリード５２aやデバイスホール５７との位置関係の概略を例示する。図３のＢ−Ｂ線での断面図が図４の（ｂ）に対応している。エッチング処理でリード５２が形成されると同様に、ダミーパターン５５は、デバイスホール５７の領域内に形成される。さらにダミーパターン５５は、エッチング処理においてフライングリード５２ａの先端の先細りの防止に貢献する形状を有する。ダミーパターン５５は、その後、剥離装置１においてエッチングレジスト５３の溶解、続く裏止めレジスト５４の溶解とともにＦＰＣ基材５から分離されるように設計されている。
ダミーパターン５５は、以下のような機能を果たすために以下に示すような形状、構造をとることが求められる。
【００２８】
（１）フライングリード５２ａの先端の先細りを低減する：
・フライングリード５２ａの先端でエッチングが促進されないため若しくは先端形状の再現性を確保するために、ダミーパターン５５は、フライングリード５２ａの先端から適正な間隔を取ってその先端を囲む形状であることがよい。適正な間隔には、並列する複数にリード５２間の間隔とほぼ同じ寸法を設定しておくことによって、フライングリード５２ａの先端での集中的なエッチング作用を緩和し、先端の先細りを抑制し、先端以外のリード５２の寸法精度と同程度にすることができる。
・先細りの低減を広い範囲で行うために、ダミーパターン５５がデバイスホール５７の広い領域を占めるようにすることが望まれる。
【００２９】
（２）ダミーパターン５５の回収を容易にする：
・１つのデバイスホール５７に形成されるダミーパターン５５の数を少なく（例えば、１つと）して、回収すべきダミーパターン５５のサイズを大きくする。特に、大きいサイズにすることは、剥離液１０中でのダミーパターン５５が小さい場合の回収漏れを防ぐ効果がある。
・ダミーパターン５５は、図３に示されるように、その外縁を形成する連続する導体パターンの周縁部５５ａと、周縁部５５ａによって囲まれる内側の領域に複数の開口５５ｃを形成するように内側の領域を分割する導体パターンの分割部５５ｂとを含むように構成する。このように構成すると、ダミーパターン５５には、複数の開口５５ｃが形成されているので、ダミーパターン５５がＦＰＣ基材５から分離されて剥離液１０中を落下するときに、剥離液１０の流れ２０に対する抵抗が低下し、流れ２０の乱流による影響を少なくして沈降することが出来る。また、図３に示されるように、複数の開口５５ｃを行列状の格子状若しくは網の目状に形成すると、ダミーパターン５５に開口５５ｃが形成されていない場合に比して剛性が下がり柔軟性が向上する効果が大きくなることから、コンベアベルト６の凹凸に追従して密着し、コンベアベルト６からの離脱が抑止されて効率よく回収される。
・デバイスホール５７の大半を占めるように形成されるダミーパターン５５のサイズ（差渡し寸法）は、３５ｍｍ幅を基準にするＦＰＣ基材５の場合、例えば、約５〜約２７ｍｍ×約５〜約２７ｍｍである。ダミーパターン５５の厚みは、金属箔が銅箔である場合、５〜５０μｍである。
【００３０】
（３）裏止めレジスト５４を破損しない：
・ダミーパターン５５を、開口５５ｃを設けずにデバイスホール５７のほぼ全面に亘る大きさに形成すると、ダミーパターン５５を形成する金属箔の重さと剛性のために剥離処理前（エッチング処理中）に、ダミーパターン５５が裏止めレジスト５４を破損させてＦＰＣ基材５から分離する虞がある。したがって、ダミーパターン５５に開口５５ｃを設けることは、剥離液１０の流れ２０に対する抵抗を低減するのに加えて、裏止めレジスト５４を破損しないようにダミーパターン５５の軽量化と柔軟化を図るという効果が生じる。本実施形態では、ダミーパターン５５の外縁を形成する周縁部５５ａの導体パターンと複数の開口５５ｃを形成する格子状の分割部５５ｂの導体パターンとの幅を０．２〜０．３ｍｍとし、開口５５ｃの径を０.８ｍｍ〜１．５ｍｍとした。この形状のダミーパターン５５は、ロールツロール法のスプレー式エッチング処理を行っても、剥離処理前に裏止めレジスト５４を破損させてＦＰＣ基材５から分離するような不具合は発生しなかった。従って、上記のダミーパターン５５を形成する方法が優れたフレキシブル配線板の製造方法であることが確認できる。
【００３１】
［コンベアベルトの構成］
本実施形態において用いた金属製のコンベアベルト６は、バランスネット型でラセンピッチが約３ｍｍ、ロッドピッチが約２．５ｍｍの仕様とした。したがって、コンベアベルト６の網目の開口の最大差渡しは、ダミーパターン５５の最小差渡し寸法より小さくして、ダミーパターン５５を確実に回収するようにした。
【００３２】
本実施形態で、コンベアベルト６の走行速度は、約０．５ｍ／分程度とした。コンベアベルト６の走行速度は、剥離液１０中でコンベアベルト６の上面に落下して付着したダミーパターン５５を飛散することなくダミーパターン回収部２に確実に搬送することを考慮して決定される。特に、剥離液１０の液面７から立ち上るコンベアベルト６の部分において走行速度が０．７ｍ／分を超える場合には、コンベアベルト６の上面に残る剥離液１０の流れ落ちる作用等によってダミーパターン５５も剥離液１０中に流れ出すことが起こり得る。これらを回避し、出来るだけ早く且つ確実にダミーパターン５５を搬送するようにコンベアベルト６の走行速度を選択した。
【００３３】
［その他の構成］
ダミーパターン５５は、コンベアベルト６の上面に載せられて剥離液１０の液面７から上がって液切りされつつダミーパターン回収部２まで搬送される。オーバーフロー回収部３において、コンベアベルト６上のダミーパターン５５から剥離液１０の残液を除くために水洗水をスプレーする機能を設けてもよい。ダミーパターン回収部２において、コンベアベルト６の上面の載っていたダミーパターン５５は、駆動ローラ１３を周回して下向きになったコンベアベルト６から重力または分離用ブラシ等のスクレイパー１６の作用でその直下の回収かご１７に落下する。ダミーパターン５５がコンベアベルト６から離脱して回収かご１７に落下する際、ダミーパターン５５の外縁は、連続した周縁部５５ａで形成され、突起形状を極力持たないよう形状にしているからコンベアベルト６の金属製ネットの網目に引っかかることなく容易に外れる。なお、回収かご１７は、適宜交換可能にした。
【００３４】
本実施形態のダミーパターン回収部２は、上記の如くダミーパターン５５をコンベアベルト６から回収かご１７に回収する機能と、エッチング処理されほぼ乾燥されたＦＰＣ基材５をロールツロール法で剥離液槽４まで搬送する機能との２つの機能を発揮する。本実施形態ではＦＰＣ基材５を搬送するパスラインの下方にコンベアベルト６の周回する部分や回収かご１７を収納する構成とした。そのために、ＦＰＣ基材５を搬送する搬送ローラ１１の少なくとも一つは、コンベアベルト６の上方に配置して、ほぼ乾燥したＦＰＣ基材５をダミーパターン回収部２の内部の上方で搬送させる。剥離液１０で濡れた状態のダミーパターン５５を搬出するコンベアベルト６とダミーパターン５５を回収する機構とをその下方に配置することで、ＦＰＣ基材５の品質に影響することなく、ダミーパターン５５の回収機能とＦＰＣ基材５の搬送機能との２つの機能を同じダミーパターン回収部２に持たせた。この結果、ダミーパターン５５の回収機能を有する本発明の剥離装置１のコンパクト化を図ることができた。なお、図１に示される本実施形態では、ダミーパターン回収部２に加えてオーバーフロー回収部３内の上方にも搬送ローラ１１を配置することによって、ダミーパターン回収部２及びオーバーフロー回収部３のスペースを有効活用している。
【００３５】
なお、オーバーフロー回収部３は、必ずしもダミーパターン回収部２と剥離液槽４との間に配置しなくてもよい。例えば、オーバーフロー回収部３をＦＰＣ基材５の搬送方向１８に沿うラインから外れた位置に配置される態様は、本発明から外れるものではない。
【００３６】
以上の構成により、本発明の剥離装置１は、ＦＰＣ基材５に形成されたレジスト５３，５４を除去するとともにダミーパターン５５を効率的且つ連続的に回収できること、また、ＦＰＣ基材５は、先細りのないフライングリード５２ａを形成できることが確認できた。
【００３７】
これまで、本発明の好ましい実施例について説明したが、本発明はこれらの実施例に限定されず、その要旨の範囲内で種々の変形および変更が可能である。
【産業上の利用可能性】
【００３８】
本発明は、ＦＰＣ基材５に形成されたレジスト５３，５４の除去とダミーパターン５５の回収とをともに効率よく行えるレジスト剥離装置、フレキシブルプリント配線板の製造方法を提供するものとして有用である。
【符号の説明】
【００３９】
１：レジスト剥離装置
２：ダミーパターン回収部
３：オーバーフロー回収部
４：剥離液槽
５：ＦＰＣ基材
６：コンベアベルト
７：剥離液の液面
１０：剥離液
１１：搬送ローラ
１２：押えローラ
１３：駆動ローラ
１４：ベルト搬送ローラ
１５：押えローラ
１６：スクレイパー
１７：回収かご
１８：ＦＰＣ基材の搬送方向
２０：剥離液の流れ
２１：剥離液回収管
２１１：吸引口
２２：剥離液供給管
２２１：吐出口
５１：絶縁フィルム
５２：リード
５２ａ：フライングリード
５２ｂ：パターンリード
５３：エッチングレジスト
５４：裏止めレジスト
５５：ダミーパターン
５５ａ：周縁部
５５ｂ：分割部
５５ｃ：開口
５７：デバイスホール
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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