(57)【要約】【課題】  従来の排気ガス循環装置（ＥＧＲシステム）は、出力ギアとエキセンとの間にハウジング壁が存在しておらず、エキセンシャフトをその回転方向に摺動可能に支持する軸受を配置することが困難であるという課題があった。【解決手段】  ＥＧＲ制御弁は、ＥＧＲバルブ１およびアクチュエータ２を内蔵するハウジング３に、ＥＧＲバルブ１、ヨーク６、出力レバー２１、ピボットピンおよびフォロア等を収容する第１収容室４１とモータＭ、ピニオンギア１５、中間ギア１６および出力ギア１７等を収容する第２収容室４２とを分断するハウジング壁Ｗ１、Ｗ２を設けている。そして、ハウジング壁Ｗ１にベアリングホルダ８１を一体的に設けることにより、２連ボールベアリング２４、２５、円筒カラー２６およびベアリングホルダ８１の配置が非常に容易となる。これにより、出力シャフト１９の軸振れを抑制することができる。【選択図】  図４
2014211189.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）内燃機関の排気ガスが流れる流路（３１〜３５）を開閉する弁体（４）、およびこの弁体（４）を支持する弁軸（５）を有するバルブ（１）と、
（ｂ）電力の供給を受けて前記バルブ（１）を駆動する動力を発生するモータ（Ｍ）、およびこのモータ（Ｍ）の動力を前記弁軸（５）を介して前記弁体（４）に伝える出力部材（８）を有するアクチュエータ（２）と、
（ｃ）前記バルブ（１）および前記アクチュエータ（２）を内蔵するハウジング（３）と
を備え、
前記出力部材（８）は、前記モータ（Ｍ）の動力を受けて回転する出力ギア（１７）、この出力ギア（１７）の回転中心軸上に設置されて、前記出力ギア（１７）と一体回転可能に連結した出力シャフト（１９）、この出力シャフト（１９）の回転中心軸から偏芯した位置に設置されて、前記出力シャフト（１９）と一体回転可能に連結したフォロア（２３）を有し、
前記ハウジング（３）は、少なくとも前記弁軸（５）および前記フォロア（２３）を収容する第１収容室（４１）と少なくとも前記モータ（Ｍ）および前記出力ギア（１７）を収容する第２収容室（４２〜４４）とを分断するハウジング壁（Ｗ１、Ｗ２）を有し、
前記ハウジング壁（Ｗ１、Ｗ２）は、前記出力シャフト（１９）をその回転方向に摺動可能に支持する第１軸受（２４、２５）、およびこの第１軸受（２４、２５）の外周を保持する筒状の第１軸受ホルダ（８１）を有していることを特徴とする内燃機関の排気装置。
【請求項２】
請求項１に記載の内燃機関の排気装置において、
前記ハウジング（３）は、前記弁軸（５）をその移動方向に摺動可能に支持する筒状の第２軸受（３６）、およびこの第２軸受（３６）の外周を保持する筒状の第２軸受ホルダ（３７）を有していることを特徴とする内燃機関の排気装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の内燃機関の排気装置において、
前記アクチュエータ（２）は、前記モータ（Ｍ）の回転を減速して前記出力シャフト（１９）に伝える減速機構（１５〜１９）、および前記出力シャフト（１９）の回転運動を前記弁軸（５）の直線運動に変換する変換機構（６、２１〜２３）を有していることを特徴とする内燃機関の排気装置。
【請求項４】
請求項３に記載の内燃機関の排気装置において、
前記変換機構は、前記出力シャフト（１９）と一体回転可能に連結し、前記出力シャフト（１９）の径方向外側に突出するレバー（２１）、このレバー（２１）に保持される偏芯ピン（２２）、および前記フォロア（２３）を介して前記偏芯ピン（２２）から前記モータ（Ｍ）の動力を受けて前記弁軸（５）の軸線方向に往復移動する共に、前記弁軸（５）と一体移動可能に連結したヨーク（６、２７）を有し、
前記フォロア（２３）は、前記偏芯ピン（２２）の外周に回転自在に支持されて、前記ヨーク（６、２７）内に摺動可能に挿入されていることを特徴とする内燃機関の排気装置。
【請求項５】
請求項４に記載の内燃機関の排気装置において、
前記ヨーク（６）は、前記フォロア（２３）を挿入可能なヨーク溝（２７）を有し、
前記ヨーク溝（２７）は、前記ヨーク（６）に対する前記フォロア（２３）の組み付け時に、前記出力部材（８）を直線移動させながら前記ヨーク溝（２７）に前記フォロア（２３）を挿入するための開口部（７１）を有し、
前記開口部（７１）は、前記弁軸（５）の軸線方向に対して直交する垂直方向に向かって開放されていることを特徴とする内燃機関の排気装置。
【請求項６】
請求項５に記載の内燃機関の排気装置において、
前記開口部（７１）には、その開口側から前記ヨーク溝（２７）の奥側へ向かって徐々に開口面積が小さくなると共に、前記フォロア（２３）を前記ヨーク溝（２７）内に誘導するテーパガイド面（７２）が設けられていることを特徴とする内燃機関の排気装置。
【請求項７】
請求項３に記載の内燃機関の排気装置において、
前記変換機構は、前記出力シャフト（１９）と一体回転可能に連結し、前記出力シャフト（１９）の径方向外側に突出するレバー（２１）、このレバー（２１）に保持される偏芯ピン（２２）、および前記フォロア（２３）を介して前記偏芯ピン（２２）から前記モータ（Ｍ）の動力を受けて前記弁軸（５）の軸線方向に往復移動する共に、前記弁軸（５）と一体移動可能に連結したコの字状のヨーク（６、２７）を有し、
前記フォロア（２３）は、前記偏芯ピン（２２）の外周に回転自在に支持されて、前記ヨーク（６、２７）内に摺動可能に挿入されていることを特徴とする内燃機関の排気装置。
【請求項８】
請求項７に記載の内燃機関の排気装置において、
前記ヨーク（６）は、前記フォロア（２３）を挿入可能なヨーク溝（２７）を有し、
前記ヨーク溝（２７）は、前記ヨーク（６）に対する前記フォロア（２３）の組み付け時に、前記出力部材（８）を回転させながら前記ヨーク溝（２７）に前記フォロア（２３）を挿入するための開口部（９１）を有し、
前記開口部（９１）は、前記弁軸（５）の軸線方向に対して直交する垂直方向に向かって開放されていることを特徴とする内燃機関の排気装置。
【請求項９】
請求項８に記載の内燃機関の排気装置において、
前記開口部（９１）には、その開口側から前記ヨーク溝（２７）の奥側へ向かって徐々に開口面積が小さくなると共に、前記フォロア（２３）を前記ヨーク溝（２７）内に誘導するテーパガイド面（９２）が設けられていることを特徴とする内燃機関の排気装置。
【請求項１０】
請求項４ないし請求項９のうちのいずれか１つに記載の内燃機関の排気装置において、  前記ハウジング壁（Ｗ１、Ｗ２）は、前記第１軸受（２４、２５）の外周に圧入される筒状のカラー（２６）を有し、
前記カラー（２６）は、前記レバー（２１）、前記偏芯ピン（２２）および前記フォロア（２３）を包む、前記出力シャフト（１９）の軸芯を中心とした包絡円以上の外径を有していることを特徴とする内燃機関の排気装置。
【請求項１１】
請求項１０に記載の内燃機関の排気装置において、
前記出力ギア（１７）は、前記カラー（２６）の外径を覗くことが可能な窓（６７）を有していることを特徴とする内燃機関の排気装置。
【請求項１２】
請求項４ないし請求項１１のうちのいずれか１つに記載の内燃機関の排気装置において、
前記出力シャフト（１９）の軸線方向の一端側は、前記第１収容室側の開口端から前記第１収容室（４１）内に突出して前記出力ギア（１７）と一体回転可能に連結し、
前記出力シャフト（１９）の軸線方向の他端側は、前記第２収容室側の開口端から前記第２収容室（４２〜４４）内に突出して前記レバー（２１）と一体回転可能に連結していることを特徴とする内燃機関の排気装置。
【請求項１３】
請求項１ないし請求項１２のうちのいずれか１つに記載の内燃機関の排気装置において、
前記モータ（Ｍ）は、コイルに接続する導体またはコイルを形成する導体に導通接合されるターミナル（５１、５２）を有し、
前記ハウジング（３）は、前記ターミナル（５１、５２）を介して、前記モータ（Ｍ）と外部との電気接続を行うための外部接続用コネクタ（５４）を有するカバー（１０）との間に、前記第２収容室（４２〜４４）を形成する凹部を有していることを特徴とする内燃機関の排気装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、内燃機関の排気装置に関するもので、特に内燃機関（エンジン）の排気ガス循環装置に係わる。
【背景技術】
【０００２】
［従来の技術］
従来より、内燃機関の排気装置として、例えば自動車等の車両走行用の内燃機関（エンジン）の気筒より排出される排気ガス中に含まれる有害物質（例えば窒素酸化物：ＮＯｘ）の低減を図るという目的で、エンジンの排気管から排気ガス還流管を経て吸気管へ排気ガス（以下ＥＧＲガス）を再循環（還流）させる排気ガス循環装置（ＥＧＲシステム）が公知である。
【０００３】
ＥＧＲシステムには、排気ガス還流管内のＥＧＲ流路を流れるＥＧＲガスの流量を可変制御するＥＧＲガス流量制御弁（以下ＥＧＲ制御弁）が設置されている（例えば、特許文献１参照）。
このＥＧＲ制御弁は、モータシャフトおよびピニオンギアを有する電動モータと、ピニオンギアと噛み合って回転する中間ギアを有する中間シャフトと、中間ギアと噛み合って回転する出力ギアおよびエキセンを有するエキセンシャフトと、ポペットバルブと、バルブステムと、エキセンが噛み合っている連結リンクとを備えている。
そして、中間シャフトは、エキセンと連結リンクとが電動モータ近傍に配置されるように側方で、エキセンシャフト近傍に配置されている。
【０００４】
［従来の技術の不具合］
ところが、従来のＥＧＲ制御弁においては、出力ギアとエキセンとの間にハウジング壁が存在しておらず、エキセンシャフトをその回転方向に摺動可能に支持する軸受（ベアリング）を配置することが困難であった。これにより、エキセンシャフトが軸振れするため、中間ギアと出力ギアとの噛み合いが悪く、電動モータの動力が効率良くエキセンおよびポペットバルブに伝わらないという問題があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】国際公開第２０１２／１２６８７６号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の目的は、出力部材の出力シャフトを支持する第１軸受の配置を容易とすることで、モータの動力を効率良くヨークおよびバルブに伝達することのできる内燃機関の排気装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１に記載の発明（内燃機関の排気装置）によれば、バルブおよびアクチュエータを内蔵（収容）するハウジングに、少なくとも弁軸およびフォロアを収容する第１収容室と少なくともモータおよび出力ギアを収容する第２収容室とを分断するハウジング壁を設け、そのハウジング壁に、出力シャフトをその回転方向に摺動可能に支持する第１軸受、およびこの第１軸受の外周を保持する筒状の第１軸受ホルダを設けている。すなわち、第１収容室と第２収容室とを分断するハウジング壁に第１軸受ホルダを設けることで、第１軸受および第１軸受ホルダの配置が非常に容易となる。これにより、出力シャフトの軸振れを抑制することができるので、出力ギアにモータの動力を伝えるモータ側のギアと出力ギアとの噛み合いが良くなる。したがって、モータの動力をヨークおよびバルブに効率良く伝達することができる。
【０００８】
また、第１収容室と第２収容室とを分断するハウジング壁を設けたことにより、例えば外部との電気接続を行う導通接合部を有するモータ、およびこのモータの動力を受けて回転する出力ギアを、バルブ（少なくとも弁軸）およびフォロアと分断することができる。これにより、バルブの弁軸とハウジングとの隙間（シール部等）を通って流路から第１収容室内へ漏れ出す微量な腐食性ガス（排気ガス中に含まれる腐食性ガス）が第２収容室に侵入することを防止することができる。したがって、モータと外部との導通接合部の導通不良または接触の悪化を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】ＥＧＲ制御弁を示した断面図である（実施例１）。
【図２】図１のＩＩ−ＩＩ断面図である（実施例１）。
【図３】センサカバーを外した状態を示した平面図である（実施例１）。
【図４】図３のＩＶ−ＩＶ断面図である（実施例１）。
【図５】ＥＧＲ制御弁を示した断面図である（実施例１）。
【図６】アクチュエータおよびＥＧＲバルブを示した斜視図である（実施例１）。
【図７】アクチュエータおよびＥＧＲバルブを示した斜視図である（実施例１）。
【図８】（ａ）〜（ｃ）は出力ギアサブアッセンブリ（出力部材）を示した正面図、側面図、背面図である（実施例１）。
【図９】ヨークに対するフォロアの嵌合方法を示した組付行程図である（実施例１）。
【図１０】ヨークに対するフォロアの嵌合方法を示した組付行程図である（実施例１）。
【図１１】ヨークに対するフォロアの嵌合方法を示した組付行程図である（実施例１）。
【図１２】ヨークに対するフォロアの嵌合方法を示した組付行程図である（実施例２）。
【図１３】ヨークに対するフォロアの嵌合方法を示した組付行程図である（実施例２）。
【図１４】ヨークに対するフォロアの嵌合方法を示した組付行程図である（実施例２）。
【図１５】ヨークに対するフォロアの嵌合方法を示した組付行程図である（実施例２）。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の実施の形態を、図面に基づいて詳細に説明する。
【実施例】
【００１１】
［実施例１の構成］
図１ないし図１１は、本発明を適用した内燃機関の排気ガス循環装置（ＥＧＲシステム）に使用されるＥＧＲ制御弁（実施例１）を示したものである。
【００１２】
本実施例の内燃機関の排気装置は、例えば自動車等の車両に搭載される内燃機関（多気筒ディーゼルエンジン：以下エンジン）の排気管から吸気管へ排気ガス（以下ＥＧＲガス）を再循環（還流）させる排気ガス循環装置（以下ＥＧＲシステム）を備えている。
ＥＧＲシステムは、エキゾーストマニホールドまたは排気管内の排気通路からインテークマニホールドまたは吸気管内の吸気通路へＥＧＲガスを還流させるＥＧＲガスパイプを備えている。このＥＧＲガスパイプ内には、排気通路から吸気通路へＥＧＲガスを流入させるＥＧＲガス流路が形成されている。
【００１３】
ＥＧＲガスパイプには、ＥＧＲガス流路を流れるＥＧＲガスの流量をＥＧＲバルブ１の開閉動作により制御するＥＧＲ制御弁が設置されている。
ここで、ＥＧＲシステムは、エンジンの運転状況に基づいてＥＧＲ制御弁のＥＧＲバルブ１を開閉制御するＥＧＲバルブ制御装置（内燃機関のＥＧＲ制御装置）として使用される。このＥＧＲバルブ制御装置は、ＥＧＲ制御弁のアクチュエータ２を他のシステムと連動して制御するエンジン制御ユニット（電子制御装置：以下ＥＣＵ）を備えている。
【００１４】
ＥＧＲ制御弁は、ＥＧＲガス流路を流れるＥＧＲガスの流量を調量するＥＧＲバルブ１と、このＥＧＲバルブ１をその軸線方向に往復移動させるアクチュエータ２と、ＥＧＲバルブ１およびアクチュエータ２を収容（内蔵）するハウジング３とを備えている。
ＥＧＲバルブ１は、ＥＧＲガスが流れるＥＧＲガス流路を開閉する弁体であるバルブヘッド（ＥＧＲ制御弁の弁体）４、およびこのバルブヘッド４を支持する弁軸であるバルブシャフト（ＥＧＲ制御弁の弁軸：以下バルブステム）５を備えている。
このバルブステム５の軸線方向の基端部には、断面コの字状のヨーク６を介して、アクチュエータ２からモータＭの回転動力が伝達される入力部が設けられている。ヨーク６は、バルブステム５の入力部の外周（図示上端外周）に圧入または溶接等の手段を用いて固定されている。
【００１５】
アクチュエータ２は、モータシャフト（モータ軸）７を有するモータＭと、このモータＭのモータシャフト７の回転を２段減速する減速機構（ギア・トレーン：Ｇ）と、この減速機構とヨーク６とを駆動連結する変換機構（リンク機構：Ｒ）と、減速機構およびリンク機構の一部を含んで構成されて、モータＭの動力をヨーク側に出力する出力部材８と、この出力部材８の回転角度を検出する回転角度検出装置と、バルブステム５に対して、バルブヘッド４を閉じる側（バルブ全閉側）に付勢するリターンスプリング９とを備えている。
ハウジング３は、センサカバー１０との間に、アクチュエータ２を収容する凹部を備えている。また、ハウジング３は、バルブヘッド４が着座可能な円環状のバルブシート１１、ＥＧＲバルブ１を収容するバルブボディ１２、モータＭを収容するモータケース１３、および減速機構を収容するギアケース１４等を備えている。
なお、ハウジング３の詳細は、後述する。
【００１６】
モータＭは、その軸線方向（以下回転軸方向）に延びるモータシャフト７を有するインナロータ（電機子）と、この電機子の周囲を円周方向に取り囲む筒状のステータと、このステータに対して固定されたブラシホルダに収容保持された一対の給電ブラシ（以下ブラシ）とを備えている。
減速機構は、モータＭのモータシャフト７の先端外周に固定されたピニオンギア（入力ギア、モータギア）１５、このピニオンギア１５と噛み合って回転する中間ギア１６、およびこの中間ギア１６と噛み合って回転する出力ギア（バルブギア）１７、モータシャフト７と並列配置された中間シャフト１８、モータシャフト７と中間シャフト１８に並列配置された出力シャフト１９等によって構成されている。
【００１７】
出力部材８は、モータＭの回転動力をバルブステム５を介してバルブヘッド４に伝えるものである。この出力部材８は、モータＭの回転動力を受けて回転する出力ギア１７と、この出力ギア１７の回転中心軸上に設置されて、出力ギア１７と一体回転可能に連結した出力シャフト１９とを備えている。これらの出力ギア１７および出力シャフト１９は、減速機構の一部を構成し、また、出力シャフト１９は、減速機構の出力軸を構成している。  また、出力部材８は、出力シャフト１９と一体回転可能に連結した出力レバー２１と、この出力レバー２１の突出端部に保持される偏芯ピン（以下ピボットピン）２２と、このピボットピン２２の外周に回転自在に支持されるボールベアリング（以下フォロア）２３とを備えている。これらの出力レバー２１、ピボットピン２２およびフォロア２３は、リンク機構の一部を構成している。
【００１８】
また、出力部材８は、出力シャフト１９をその回転方向に摺動可能に支持する２連ボールベアリング２４、２５と、これらの２連ボールベアリング２４、２５の外周に圧入固定される円筒カラー２６とを備えている。
出力部材８を構成する出力ギア１７、出力シャフト１９、出力レバー２１、ピボットピン２２、フォロア２３、２連ボールベアリング２４、２５および円筒カラー２６は、予め組み立てられて出力ギアサブアッセンブリの状態で、ハウジング３に組み付けられる。このとき、ピボットピン２２およびフォロア２３は、ヨーク６のヨーク溝２７内に組み込まれる。
ここで、リンク機構は、ヨーク６、出力レバー２１、ピボットピン２２およびフォロア２３等を有している。
【００１９】
ＥＧＲバルブ１は、ポペットバルブであって、ハウジング３のバルブシート１１に対して着座、離脱してＥＧＲガス流路（入口ポート３１→流路孔３２〜３４→出口ポート３５）を閉鎖、開放する円環状のバルブヘッド（バルブ本体）４を備えている。
本実施例では、バルブヘッド４の外周端面（テーパー状（円錐状）のシール面）が、バルブシート１１の弁座に着座するバルブフェースとなっている。
ＥＧＲバルブ１は、出力部材８の回転変位に連動してＥＧＲバルブ１の中心軸線方向に往復移動するバルブステム５を備えている。
なお、バルブヘッド４とバルブステム５とを一体部品で構成したＥＧＲバルブ１を使用しても良い。
【００２０】
バルブステム５は、ＥＧＲバルブ１の中心軸線方向に真っ直ぐに延伸されており、ＥＧＲバルブ１とヨーク６を含むリンク機構とに結合されている。このバルブステム５は、モータＭのモータシャフト７、中間シャフト１８および出力シャフト１９に対して垂直な直交方向に延びるように設置されている。
バルブステム５の軸線方向の基端部には、ヨーク６からアクチュエータ２の動力を受ける入力部が設けられている。また、バルブステム５の軸線方向の先端部には、ＥＧＲバルブ１へアクチュエータ２の動力を出力する出力部が設けられている。
【００２１】
バルブステム５の出力部の外周（先端外周）には、溶接等の接合手段を用いて環状のバルブヘッド４が固定されている。また、バルブステム５は、その軸線方向の中間部分が、メタルベアリング３６を介して、ハウジング３のベアリングホルダ３７に摺動自在に支持されている。
ここで、バルブヘッド４、バルブステム５、ヨーク６およびリターンスプリング９は、予め組み立てられてバルブサブアッセンブリの状態で、ハウジング３に組み付けられる。  
【００２２】
ところで、ＥＧＲガス等の排気ガスには、燃焼残滓やカーボン等の排気微粒子（粒子状物質：ＰＭ）が混入している。そのため、バルブステム５の中間部分とベアリングホルダ３７との間には、ＥＧＲガス中に含まれる粒子状物質（ＰＭ）がバルブステム５とメタルベアリング３６との間に侵入するのを抑制するためのパイプ３８が装着されている。
また、バルブステム５の中間部の外周には、バルブステム５とメタルベアリング３６との摺動部を潤滑する潤滑グリースや潤滑オイル油の流出を防止するためのオイルシール３９が装着されている。
【００２３】
オイルシール３９は、例えばＬ字状の金属補強環によって補強された密閉シールであって、バルブステム５のラジアル方向およびスラスト方向に弾性変形が可能な合成ゴム製のシールゴム（弾性変形部）を備えている。このオイルシール３９は、バルブステム５の周囲を円周方向に取り囲むように、ベアリングホルダ３７のシール圧入孔内に設置されている。  金属補強環は、ベアリングホルダ３７のシール圧入孔の壁面に圧入固定される円筒状の外環部を有している。この外環部の外周部分は、ベアリングホルダ３７のシール圧入孔に液密的に圧入固定される圧入固定部として使用される。また、外環部は、ベアリングホルダ３７の第１段差（底部）に当接することによってオイルシール３９の圧入固定位置が規制される。
シールゴムは、バルブステム５の外周面（摺動面）に摺動接触するシールリップを有し、ベアリングホルダ３７の内周とバルブステム５の外周との間を液密的および気密的に密閉シールするダストシール機能を有している。このシールゴムは、バルブステム５の周囲を円周方向に取り囲むように、ベアリングホルダ３７の内部に設置されている。
【００２４】
ハウジング３には、ＥＧＲバルブ１（バルブヘッド４、バルブステム５）、ヨーク６およびリターンスプリング９等を移動可能に収容するバルブボディ１２が一体的に形成されている。このバルブボディ１２の図示下端側（バルブシート１１側）には、結合フランジ（図示せず）が設けられている。この結合フランジは、ＥＧＲ制御弁の取付部材（固定部材）に取り付けられる結合端面を有し、ボルト等の締結具を用いて固定部材の取付面に締結固定される。これにより、ＥＧＲ制御弁がエンジン側（車両側）の固定部材に固定される。
【００２５】
バルブボディ１２の内部には、ＥＧＲガス流路の一部を構成する入口ポート３１、流路孔３２〜３４および出口ポート３５が形成されている。
また、バルブボディ１２は、入口ポート３１と流路孔３３とを区画する円筒状の隔壁（仕切り部）にバルブシート１１が圧入固定されている。このバルブシート１１の開口周縁には、バルブヘッド４が着座可能な円錐台形状（テーパ状）の弁座が形成されている。また、バルブシート１１の内部には、入口ポート３１と流路孔３３とを連通し、且つＥＧＲガスが通り抜ける流路孔（ＥＧＲ制御弁の弁孔）３２が形成されている。
入口ポート３１、流路孔３２〜３４および出口ポート３５は、ＥＧＲガス（排気ガス）が流通する排気ガス還流経路（流路）を構成している。
バルブボディ１２には、メタルベアリング３６の外周を保持する円筒状のベアリングホルダ３７が一体的に形成されている。このベアリングホルダ３７は、メタルベアリング３６の周囲を円周方向に取り囲むように配置されている。
【００２６】
メタルベアリング３６は、内部に潤滑油（潤滑グリース、潤滑オイル）が含浸された円筒状の焼結含油軸受（第２軸受、メタルブッシュ）である。このメタルベアリング３６は、バルブステム５をその移動方向に摺動可能に支持している。このメタルベアリング３６の内部には、バルブステム５の外周面をその移動方向に摺動可能に支持する摺動孔が貫通形成されている。また、バルブステム５の外周面とメタルベアリング３６の内周面との間には、バルブステム５の円滑な往復移動のための摺動クリアランスが設けられている。
メタルベアリング３６は、ベアリングホルダ３７の軸受圧入孔の壁面に圧入固定される円筒状の外環部を有している。この外環部の外周部分は、ベアリングホルダ３７の軸受圧入孔に気密的に圧入固定される圧入固定部として使用される。また、外環部は、ベアリングホルダ３７の第２段差に当接することによってメタルベアリング３６の圧入固定位置が規制される。
【００２７】
ベアリングホルダ３７は、メタルベアリング３６の外環部を保持する円筒状の第２軸受ホルダである。このベアリングホルダ３７の内部には、バルブステム５がその移動方向に往復移動可能に嵌挿される弁軸収容孔が設けられている。この弁軸収容孔には、メタルベアリング３６の外環部を圧入嵌合する軸受圧入孔、およびオイルシール３９の外環部を圧入嵌合するシール圧入孔が設けられている。
ベアリングホルダ３７は、メタルベアリング３６の周囲を円周方向に取り囲むように円筒状の形成されている。この
【００２８】
ハウジング３、特にバルブボディ１２とギアケース１４との間には、第１収容室４１と第２収容室４２とを分断するハウジング壁Ｗ１、Ｗ２が設けられている。
第１収容室４１は、図４において破線で囲まれたＥＧＲバルブ１および変換機構を収容する凹部である。この第１収容室４１内に収容されるＥＧＲバルブ１および変換機構とは、少なくともバルブヘッド４、バルブステム５、ヨーク６、出力レバー２１、ピボットピン２２およびフォロア２３等のことである。
第２収容室４２は、センサカバー１０との間に、図４において破線で囲まれたモータＭおよび減速機構を収容する凹部である。この第２収容室４２内に収容されるモータＭおよび減速機構とは、少なくともモータＭ、ピニオンギア１５、中間ギア１６および出力ギア１７等のことである。
【００２９】
第２収容室４２は、モータＭを収容するモータ収容室４３、減速機構を収容するギア収容室４４を有している。
ハウジング壁Ｗ１は、第１収容室４１と第２収容室４２、特にギア収容室４４とを分断している。
ハウジング壁Ｗ２は、第１収容室４１と第２収容室４２、特にモータ収容室４３とを分断している。
ここで、ハウジング３には、組み付け時にバルブサブアッセンブリを第１収容室４１内に挿入するための開口部が設けられている。この開口部は、プラグまたはキャップ４５により塞がれている。また、ハウジング３には、開口部が設けられている。この開口部は、プラグまたはキャップ４６により塞がれている。
【００３０】
ハウジング３には、モータＭを収容保持する有底円筒状のモータケース１３が一体的に形成されている。このモータケース１３は、モータＭの円筒ヨーク４７の周囲を円周方向に取り囲む円筒状の側壁部、およびこの側壁部の一端側で開口し、組み付け時にモータＭをモータ収容室４３内に挿入するための開口部（モータ挿入口）を有している。このモータ挿入口は、モータＭのフロントブラケット４８により塞がれている。
フロントブラケット４８は、モータケース１３のモータ挿入口の開口周縁にボルト等を用いて締結固定されている。これにより、モータＭがモータ収容室４３内に収容保持される。
【００３１】
ハウジング３には、減速機構を収容するギアケース１４が形成されている。このギアケース１４には、組み付け時にアクチュエータ２をギア収容室４４内に挿入するための開口部を有している。この開口部は、合成樹脂製のセンサカバー１０により塞がれている。
センサカバー１０には、モータＭのフロントブラケット４８より突出する一対の第１、第２ブラシターミナル５１、５２と一対の第１、第２モータターミナル（図示せず）との電気接続を行う内部接続用コネクタと、一対の第１、第２モータターミナルおよびＥＧＲ開度センサ５３の複数のセンサターミナルと外部回路（ＥＣＵやバッテリ）との電気接続を行う外部接続用コネクタが設けられている。
【００３２】
センサカバー１０の内面には、一対の第１、第２モータターミナルの一端（内部接続部）を露出して収容する内部接続用コネクタのコネクタケース（図示せず）が設けられている。また、センサカバー１０の外面には、一対の第１、第２モータターミナルの他端（外部接続部）、および複数のセンサターミナルの先端（外部接続部）を露出して収容する外部接続用コネクタのコネクタケース５４が設けられている。
なお、一対の第１、第２モータターミナルの各中間部および複数のセンサターミナルの大部分は、センサカバー１０内にインサート成形されている。また、一対の第１、第２モータターミナルおよび複数のセンサターミナルは、内部接続用コネクタまたは外部接続用コネクタのコネクタターミナル（外部接続端子）を構成している。
【００３３】
次に、本実施例のアクチュエータ２の詳細を図１ないし図１１に基づいて説明する。
アクチュエータ２は、ＥＧＲバルブ１を閉弁（全閉）方向に付勢するリターンスプリング９と、電力の供給を受けるとＥＧＲバルブ１を往復駆動する回転動力（トルク）を発生するモータＭと、このモータＭのモータシャフト７の回転を２段減速して出力シャフト１９に伝達する減速機構と、この減速機構の出力ギア１７の回転往復（回動）運動をＥＧＲバルブ１の直線往復運動（ＥＧＲバルブ１の軸線方向の往復運動）に変換する動力変換機構（リンク機構）と、出力シャフト１９の回転角度を検出する回転角度検出装置とを備えている。
【００３４】
リターンスプリング９は、バルブステム５の図示上端側の周囲、およびベアリングホルダ３７の周囲を渦巻き状（螺旋状）に取り囲むように設置されている。このリターンスプリング９は、バルブステム５の上端側の段差（円環状の段差）に係止される円環状のスプリングシート５５のスプリング座部とハウジング３の底部（ベアリングホルダ３７の外周側の円筒凹溝の底部）のスプリング座部との間に渦巻き状に巻装されたコイル部を有している。
リターンスプリング９は、バルブステム５に対して、バルブヘッド４を閉弁作動方向に付勢する弾性力を発生するコイル状のコンプレッションスプリングである。
【００３５】
リターンスプリング９のコイル部の巻回方向の一端側は、スプリングシート５５のスプリング座部に係止または保持されている。
リターンスプリング９のコイル部の巻回方向の他端側は、ハウジング３のスプリング座部に係止または保持されている。
なお、ベアリングホルダ３７は、リターンスプリング９のコイル部のコイル内径をガイド（保持）するスプリング内周ガイドとしての機能を有している。
【００３６】
次に、本実施例のモータＭの詳細を図１ないし図１１に基づいて説明する。
モータＭは、ハウジング３に一体的に形成された有底筒状のモータケース１３のモータ収容室４３内に収容保持されている。円筒ヨーク４７のフロント側には、フロントブラケット４８が接続されている。
モータＭは、アウタステータの内周側にインナロータが相対回転可能に配置されるブラシ付きのＤＣモータであり、回転軸方向に真っ直ぐに延びるモータシャフト７を有する電機子と、この電機子の周囲を円周方向（モータ周方向）に取り囲む筒状のステータと、このステータに対して固定されたブラシホルダと、電機子の整流子（コンミテータ）に押圧接触して電機子コイルに対する給電を行う一対の第１、第２ブラシとを備えている。
【００３７】
ステータは、電機子のモータシャフト７を回転可能に収容する有底円筒状の円筒ヨーク４７、およびこの円筒ヨーク４７の内周面に固定された複数の永久磁石（界磁マグネット）を有している。
電機子は、ステータの半径方向外側に所定のギャップを介して設置されている。この電機子は、円筒ヨーク４７の軸受支持部（ベアリングホルダ）およびプレート状のフロントブラケット４８の軸受支持部（ベアリングホルダ）に軸受（ベアリング）を介して、回転自在に支持されたモータシャフト７と、このモータシャフト７の回転軸方向に磁性鋼板を複数積層して形成された電機子鉄心（電機子コア）と、この電機子コアに巻装される電機子巻線（電機子コイル、ロータコイル）と、一対の第１、第２ブラシに押圧接触される整流子（コンミテータ）とを有している。
【００３８】
一対の第１、第２ブラシのうちの一方の第１ブラシは、第１ブラシターミナル５１、外部接続用コネクタの第１ターミナルを含む電力供給ラインを介して、自動車等の車両に搭載された外部電源（バッテリ）の正極側（ＶＣＣ側）に電気接続されている。また、他方の第２ブラシは、第２ブラシターミナル５２、外部接続用コネクタの第２ターミナルを含む電力供給ラインを介して、外部電源（バッテリ）の負極側（グランド側、ＧＮＤ側）に電気接続されている。
２つの第１、第２ブラシターミナル５１、５２は、電機子コイルに接続する第１、第２ブラシ（導体）に導通接合される内部接続部を有している。また、２つの第１、第２ブラシターミナル５１、５２の各外部接続部は、フロントブラケット４８を貫通して第２収容室４２、特にモータ収容室４３内に突出している。この突出した部分が、外部接続用コネクタの第１、第２モータターミナルと導通接合される。
【００３９】
ここで、アクチュエータ２の動力源であるモータＭは、ＥＣＵによって電子制御されるモータ駆動回路を介して、外部電源（バッテリ）に電気的に接続されている。
ＥＣＵには、制御処理や演算処理を行うＣＰＵ、制御プログラムや各種制御データ（マップ等）を保存する記憶装置（ＲＯＭやＲＡＭ等のメモリ）、入力回路（入力部）、出力回路（出力部）、電源回路、タイマー等の機能を含んで構成される周知の構造のマイクロコンピュータが設けられている。
【００４０】
ＥＣＵは、イグニッションスイッチがオン（ＩＧ・ＯＮ）されると、マイクロコンピュータのメモリに格納された制御プログラムに基づいて、ＥＧＲ制御弁のモータＭを通電制御するように構成されている。
ＥＣＵは、ＥＧＲ開度センサ５３、エアフロメータ、クランク角度センサ、アクセル開度センサ、スロットル開度センサ、吸気温度センサ、冷却水温度センサおよび排気ガスセンサ（空燃比センサ、酸素濃度センサ）等の各種センサからのセンサ出力信号が、Ａ／Ｄ変換回路によってＡ／Ｄ変換された後に、マイクロコンピュータに入力されるように構成されている。
【００４１】
回転角度検出装置は、出力ギア１７の円筒ボス５６に一体回転可能に設けられた円筒状の磁気回路部と、この磁気回路部の回転角度を測定してＥＧＲ制御弁のバルブ開度を検出するＥＧＲ（バルブ）開度センサ５３とを備え、磁気回路部とＥＧＲ開度センサ５３との相対回転角度の変化をＥＧＲ開度センサ５３に磁気回路部から与えられる磁気変化によって検出する。
【００４２】
ＥＧＲ開度センサ５３は、センサカバー１０のセンサ搭載部に設置されている。このＥＧＲ開度センサ５３は、半導体ホール素子の感磁面を鎖交する磁束密度に対応したアナログ電圧信号をＥＣＵへ向けて出力するホールＩＣを主体として構成されている。なお、ホールＩＣの代わりに、ホール素子単体、磁気抵抗素子等の非接触式の磁気検出素子を使用しても良い。
【００４３】
磁気回路部は、円筒ボス５６の内周に接着剤等により固定されている。なお、円筒ボス５６が合成樹脂の場合には、磁気回路部が円筒ボス５６にインサート成形されていても構わない。この磁気回路部は、円筒ボス５６の直径方向に２分割された一対の部分円筒状ヨーク５７と、このヨーク５７の分割部（対向部）に同一方向に磁極が向いて配置された一対のマグネット（永久磁石）５８とを備えている。
【００４４】
次に、本実施例の減速機構の詳細を図１ないし図１１に基づいて説明する。
減速機構は、上述したように、ピニオンギア１５、中間ギア１６、出力ギア１７、中間シャフト１８および出力シャフト１９を備えている。
また、３つの減速ギアは、ギアケース１４の凹部とセンサカバー１０の凹部との間に形成される内部空間であるギア収容室４４内に回転自在に収容されている。
ピニオンギア１５は、金属または合成樹脂によって一体的に形成されている。このピニオンギア１５は、モータシャフト７の先端外周に圧入嵌合等により固定されている。
【００４５】
中間ギア１６は、金属または合成樹脂によって一体的に形成されている。この中間ギア１６は、中間シャフト１８の外周に相対回転可能に嵌め合わされている。
また、中間ギア１６は、中間シャフト１８の外周に回転自在に嵌め合わされて、中間シャフト１８の中心軸線周りに回転する円筒部を有している。この円筒部の軸線方向の一端部には、ピニオンギア１５と噛み合う大径ギア（中間ギア歯）６１が形成されている。また、円筒部の軸線方向の他端部には、出力ギア１７と噛み合う小径ギア（中間ギア歯）６２が形成されている。
【００４６】
出力ギア１７は、金属または合成樹脂によって一体的に形成されている。この出力ギア１７の内周部には、円筒状の円筒ボス５６が一体的に形成されている。また、出力ギア１７は、円筒ボス５６よりも半径方向の外側に部分円筒状（扇状）の歯形成部６３を有している。この歯形成部６３の外周には、中間ギア１６の小径ギア６２と噛み合う出力ギア歯６４が所定の角度分だけ扇状に形成されている。また、歯形成部６３の内周部と外周部との間（歯形成部６３の中間部）には、円弧状の段差が設けられている。
【００４７】
出力ギア１７には、円筒ボス５６の一端側（バルブ側）の開口部を塞ぐように結合部６５が一体的に設けられている。この結合部６５は、円筒ボス５６よりも肉厚が薄い円環状を呈する。また、結合部６５の中央部には、２面幅（出力シャフト１９の空回りを防ぐ構造、回り止め構造）を有する嵌合孔６６が貫通形成されている。この嵌合孔６６には、出力シャフト１９の入力部（出力シャフト１９の第１突出軸部）が回り止めされた状態で嵌合固定されている。
【００４８】
出力ギア１７は、円筒ボス５６の外周と歯形成部６３の内周との間に、円筒カラー２６の外径を覗くことが可能な円弧状窓６７を有している。この円弧状窓６７は、ハウジング３のハウジング壁Ｗ１に対する円筒カラー２６の組み付け時（圧入時）に、円筒カラー２６の環状端面を保持する押圧治具の一部を挿入することが可能となっている。
中間シャフト１８は、金属または合成樹脂によって一体的に形成されている。この中間シャフト１８の軸線方向の一端は、ハウジング３のギアケース１４の円筒ボスの嵌合凹部に圧入嵌合（固定）されている。また、中間シャフト１８の軸線方向の他端は、センサカバー１０の円筒ボスの嵌合凹部に嵌め込まれている。
【００４９】
出力シャフト１９は、金属によって一体的に形成されている。この出力シャフト１９は、円筒カラー２６および２連ボールベアリング２４、２５を介して、ハウジング３のハウジング壁Ｗ１の内部に回転自在または摺動自在に収容されている。
出力シャフト１９は、その回転軸方向の両側に第１、第２突出軸部（径小軸部）をそれぞれ備えている。また、第１、第２突出軸部間には、ハウジング３のハウジング壁Ｗ１の軸受収容孔（後述する）内に配置される軸方向部（中間軸部、第１、第２突出軸部よりも外径が大きい径大軸部）が設けられている。
【００５０】
第１突出軸部は、出力シャフト１９の軸線方向（回転軸方向）の基端側（入力部）に設けられて、２面幅を有している。なお、第１突出軸部が四角形状の断面を有しても良い。  第２突出軸部は、出力シャフト１９の軸線方向の先端側（出力部）に設けられて、円形の断面を有している。なお、第２突出軸部に２面幅を設けても良い。
出力シャフト１９の中間軸部の外周には、２連ボールベアリング２４、２５の各内輪が圧入嵌合によって嵌合保持されている。
【００５１】
次に、本実施例のリンク機構の詳細を図１ないし図１１に基づいて説明する。
リンク機構は、上述したように、ヨーク６、出力レバー２１、ピボットピン２２およびフォロア２３等を有している。
ヨーク６は、金属によって一体的に形成されている。このヨーク６は、フォロア２３を介してピボットピン２２からモータＭの回転動力を受けてバルブステム５の軸線方向に往復移動する。また、ヨーク６は、バルブステム５と一体移動可能に連結している。
ヨーク６は、フォロア２３を介して出力部材８の動力を受ける断面コの字状の入力部、およびバルブステム５へ出力部材８の動力を伝える出力部を有している。
【００５２】
ヨーク６の入力部の内部には、図６および図７に示したように、平行な２つの平坦な溝側面を凹曲面（溝底面）で繋いだＵ字状のヨーク溝２７が形成されている。このヨーク溝２７は、少なくとも２面の側面で開口し、２面のうちの１面の側面の開口部７０から奥側まで延びる凹溝である。また、ヨーク溝２７は、ピボットピン２２に支持されたフォロア２３を着脱自在に挿入することが可能な軸方向溝（出力シャフト１９の回転軸方向と平行な方向に延びる凹溝）を備えている。つまりヨーク６の入力部は、フォロア２３を摺動または滑動可能に収容するＵ字状のフォロア収容部（または係合部）を構成する。
なお、ヨーク溝２７の開口側から奥側までの溝深さは、フォロア２３の直径よりも大きくなっている。また、凹曲面の曲率半径は、フォロア２３の外周面の曲率半径と略同じか、あるいは大きくなっている。
【００５３】
ヨーク６の入力部は、組み付け時にピボットピン２２およびフォロア２３が挿入される挿入方向に対向する２面の他に、少なくとも４面の第１〜第４側面を有する多面体形状（断面コの字状）を呈している。
なお、ヨーク６の入力部をフォロア２３の周囲を円周方向に取り囲むように断面円環状に形成しても良い。
【００５４】
ヨーク溝２７は、ヨーク６に対する出力部材８、特にフォロア２３の組み付け時に、出力部材８を直線移動させながらヨーク溝２７内にフォロア２３を挿入するための開口部７１を有している。この開口部７１は、バルブステム５の軸線方向に対して直交する垂直方向、特に組み付け時にピボットピン２２およびフォロア２３が挿入される挿入方向に対して反対方向に向かって開放されている。
また、開口部７１には、図２、図５、図９〜図１１に示したように、ヨーク６の開口側からヨーク溝２７の奥側へ向かって徐々に開口面積が小さくなると共に、フォロア２３をヨーク溝２７内に誘導（案内）するテーパガイド面７２が設けられている。
【００５５】
ヨーク６の出力部には、有底円（または角）筒状の嵌合部７４が一体的に設けられている。この嵌合部７４の内部には、バルブステム５の軸線方向の基端部（入力部）が圧入嵌合される圧入溝７５が形成されている。この圧入溝７５は、ヨーク６に対するバルブステム５の組み付け時に、バルブステム５を直線移動させながら圧入溝７５にバルブステム５の入力部を挿入するための開口部を有している。
【００５６】
入力部には、ピボットピン２２の先端面を覗くことが可能なスリットを有し、フォロア２３が対向する対向面が設けられている。また、入力部の第１側面には、バルブステム５の軸線方向に対して直交する垂直方向に向かって開口した側方開口部７６が設けられている。また、入力部の内周には、フォロア２３の収容位置を規制する段差７７が設けられている。
なお、バルブステム５の軸線方向の基端部（入力部）をヨーク６の嵌合部７４にかしめまたは溶接等の手段を用いて固定しても良い。また、バルブステム５とヨーク６を一体部品で構成しても良い。
【００５７】
出力レバー２１は、金属によって一体的に形成されている。この出力レバー２１は、出力シャフト１９の半径方向外側に突出するように設けられている。また、出力レバー２１は、出力シャフト１９とピボットピン２２およびフォロア２３とを駆動連結して、モータＭの回転動力をピボットピン２２とフォロア２３に伝達するリンクレバーである。
また、出力レバー２１の基端部には、出力シャフト１９の第２突出軸部がその軸線方向に貫通するように圧入嵌合する第１嵌合孔がそれぞれ設けられている。これにより、出力レバー２１が出力シャフト１９と一体回転可能に連結される。
【００５８】
また、出力レバー２１の先端部には、ピボットピン２２がその軸線方向に貫通するように圧入嵌合する第２嵌合孔がそれぞれ設けられている。これにより、ピボットピン２２が出力レバー２１と一体回転可能に連結される。第２嵌合孔は、出力シャフト１９の第２突出軸部の回転中心軸から所定の距離だけ偏芯した位置に設けられている。
ピボットピン２２は、金属によって形成されており、出力レバー２１の第２嵌合孔に打ち込まれて出力レバー２１の出力部に圧入固定されている。このピボットピン２２は、フォロア２３を回転自在に支持している。このピボットピン２２は、フォロア２３と共に、ヨーク６のヨーク溝２７内に挿入される。
【００５９】
フォロア２３は、ピボットピン２２の外周に圧入固定される内輪、ヨーク６のヨーク溝２７の溝側面に摺動接触する外輪、および内輪と外輪との２つの軌道輪の間に滑動自在に収容される複数の鋼球を備えたボールベアリングである。
フォロア２３は、ピボットピン２２の外周に回転自在に支持されて、ヨーク６のヨーク溝２７内に摺動（転動）可能に挿入されている。このフォロア２３は、出力シャフト１９の第２突出軸部の回転中心軸から所定の距離だけ偏芯した位置に設けられている。
【００６０】
次に、本実施例のハウジング３のハウジング壁Ｗ１、Ｗ２の詳細を図４および図５に基づいて説明する。
ハウジング３には、第１収容室４１と第２収容室４２とを分断するハウジング壁Ｗ１、Ｗ２が設けられている。
ハウジング壁Ｗ１は、ハウジング３の内壁部から第１収容室４１側へ突出するように設けられたスリーブ状の隔壁である。ここで、第１収容室４１の内部には、ＥＧＲバルブ１、特にバルブステム５、ヨーク６、出力レバー２１、ピボットピン２２およびフォロア２３が移動可能に収容されている。また、第２収容室４２の内部には、モータＭおよび減速機構（ピニオンギア１５、中間ギア１６、出力ギア１７等）が収容されている。
【００６１】
ところで、上述したように、出力シャフト１９の中間軸部の外周には、２連ボールベアリング２４、２５の各内輪が圧入嵌合によって嵌合保持されている。
そして、ハウジング壁Ｗ１は、円筒カラー２６を介して、２連ボールベアリング２４、２５を保持するベアリングホルダ（第１軸受ホルダ）８１を備え、環状の連結壁（連結部）８２を介してハウジング３の外壁部８３に繋がっている。
ベアリングホルダ８１は、出力シャフト１９の中間軸部、２連ボールベアリング２４、２５および円筒カラー２６の周囲を取り囲むように円筒状に形成されている。このベアリングホルダ８１の内部には、出力部材８、特に出力シャフト１９の回転軸方向（軸線方向）に真っ直ぐに延びる軸受収容孔（軸方向孔）８４が形成されている。この軸受収容孔８４は、出力シャフト１９が回転可能に嵌挿されるシャフト収容孔を構成している。
【００６２】
軸受収容孔８４は、２連ボールベアリング２４、２５および円筒カラー２６を収容するカラー収容孔を備えている。このカラー収容孔は、円筒カラー２６の外環部が圧入されるカラー圧入孔であり、しかも円筒カラー２６を介して２連ボールベアリング２４、２５の各外輪が圧入されるベアリング圧入孔を構成している。各圧入孔は、軸受収容孔８４と同一軸芯上に形成されている。
また、ベアリングホルダ８１の内周には、円筒カラー２６を係止する段差が設けられている。
【００６３】
２連ボールベアリング２４、２５は、ベアリングホルダ８１の軸受収容孔８４内に収容されて、出力部材８の出力シャフト１９をその回転方向に摺動可能に支持する第１軸受（ころがり軸受）である。
２連ボールベアリング２４、２５は、出力シャフト１９の中間軸部の外周に圧入固定される内輪、円筒カラー２６の内周に圧入固定される外輪、および内輪と外輪との２つの軌道輪の間に滑動自在に収容される複数の鋼球を備えている。
【００６４】
２連ボールベアリング２４、２５の各内輪は、出力シャフト１９の中間軸部の外周に気密的に圧入固定される圧入固定部を構成している。
２連ボールベアリング２４、２５の各外輪は、円筒カラー２６の内周に気密的に圧入固定される圧入固定部を構成している。
また、２連ボールベアリング２４、２５は、２つの軌道輪の間で、且つ鋼球よりも回転軸方向の両端側にそれぞれ装着された２つのリップシール（シール材）、および複数の鋼球の脱落を防止するための２つのリテーナを備えている。
なお、鋼球の代わりに、コロ等の転動体を用いても良い。また、２つのリップシールの代わりに、金属製の補強材（取付リング）を用いても良い。
【００６５】
本実施例の円筒カラー２６は、金属または合成樹脂によって一体的に形成されている。この円筒カラー２６は、２連ボールベアリング２４、２５の各外輪の外周とハウジング３のハウジング壁Ｗ１の内周との間に圧入固定される。また、円筒カラー２６は、出力レバー２１、ピボットピン２２およびフォロア２３を包む、出力シャフト１９の軸芯（回転中心軸）を中心とした包絡円以上の外径を有している。
【００６６】
円筒カラー２６は、２連ボールベアリング２４、２５の各外輪の外周に気密的に圧入固定される圧入固定部を構成している。また、円筒カラー２６は、ハウジング壁Ｗ１の内周に気密的に圧入固定される圧入固定部を構成している。
円筒カラー２６は、ハウジング壁Ｗ１の段差に当接することによって２連ボールベアリング２４、２５および円筒カラー２６の圧入固定位置が規制される。
円筒カラー２６は、２連ボールベアリング２４、２５の各外輪の外周とハウジング３のハウジング壁Ｗ１の内周との間に圧入されている。
【００６７】
円筒カラー２６の内部には、出力シャフト１９の周囲を円周方向に取り囲む軸受収容孔８５が形成されている。円筒カラー２６の内周には、軸受収容孔８５と同一軸芯上に形成された２つの第１、第２圧入孔を有している。これらの第１、第２圧入孔には、出力シャフト１９の回転軸方向に隣合うように設けられている。２つの第１、第２圧入孔には、２連ボールベアリング２４、２５の外環部である各外輪が圧入固定される。
なお、２つの第１、第２圧入孔が出力シャフト１９の回転軸方向に隣設して所定距離隔てて設けられていても良い。
【００６８】
［実施例１の組付方法］
次に、本実施例のＥＧＲ制御弁の組付方法を図１ないし図１１に基づいて簡単に説明する。ここで、図９ないし図１１は、フォロアとヨークとの嵌合方法を示した工程図である。
【００６９】
先ず、図９に示したように、ハウジング３に出力部材８を組み付ける前に、予めＥＧＲバルブ１、ヨーク６、リターンスプリング９、バルブシート１１、メタルベアリング３６、パイプ３８、オイルシール３９およびスプリングシート５５をハウジング３に組み付ける（組付工程１）。
【００７０】
次に、図８および図９に示したように、磁気回路部（一対のヨーク５７、一対のマグネット５８）が固定された出力ギア１７の嵌合孔６６に、出力シャフト１９の第１突出軸部を嵌合した後に、嵌合孔６６を通り抜けて円筒ボス５６内に突出した突出部分を鍔状にカシメることにより、出力シャフト１９の第１突出軸部に出力ギア１７を固定する。
【００７１】
次に、出力シャフト１９の中間軸部の外周に２連ボールベアリング２４、２５の内輪を圧入固定する。
次に、２連ボールベアリング２４、２５の外輪の外周に円筒カラー２６を圧入固定する。
なお、出力シャフト１９の中間軸部の外周に組み付ける前に、２連ボールベアリング２４、２５と円筒カラー２６を組み付けておいても構わない。
【００７２】
次に、出力シャフト１９の第２突出軸部の外周に、出力レバー２１の第１嵌合孔を嵌合することにより、出力シャフト１９の第２突出軸部に出力レバー２１を固定する。
次に、出力レバー２１の第２嵌合孔にピボットピン２２を打ち込んで、第２嵌合孔より突出した部分の外周にフォロア２３を圧入固定する。
以上のようにして、出力ギア１７、出力シャフト１９、出力レバー２１、ピボットピン２２、フォロア２３、２連ボールベアリング２４、２５および円筒カラー２６を組み立てて、これらをユニット（サブアッシー）化した出力部材８を構成する（組付工程２）。
【００７３】
次に、センサカバー１０をギアケース１４の開口部から外しておき、出力ギア１７の円弧状窓６７を一部が貫通する押圧治具を、円筒カラー２６の環状端面に押圧しながら、ギアケース１４の開口部側から出力部材８をその回転軸方向（図９において図示矢印方向）に沿うように真っ直ぐにハウジング３の内部に押し込む。
このとき、図１０に示したように、円筒カラー２６の外周がハウジング壁Ｗ１の軸受収容孔８５に圧入固定される。
【００７４】
次に、フォロア２３が、図１１に示したように、ヨーク６のテーパガイド面７２と接触し、このテーパガイド面７２によってヨーク溝６内に誘導されてスムーズにフォロア２３がヨーク溝６内に挿入される。
以上のようにして、ヨーク６のヨーク溝２７とピボットピン２２およびフォロア２３とが所定の係合位置で嵌合（係合）した状態で、ハウジング３にＥＧＲバルブ１、ヨーク６および出力部材８とが組み付けられる（組付工程３）。
【００７５】
［実施例１の作用］
次に、本実施例のＥＧＲ制御弁の作動を図１ないし図８に基づいて簡単に説明する。
本実施例のＥＧＲバルブ１を駆動するモータＭは、ＥＣＵによって通電制御されるように構成されている。
【００７６】
ここで、モータＭへの電力供給が成されない場合には、リターンスプリング９の付勢力（スプリング荷重）によって、バルブステム５の軸線方向の出力部（先端外周）に溶接固定されたバルブヘッド４のシール面がバルブシート１１の弁座に着座する。
したがって、ハウジング３のバルブボディ１２内に形成される流路孔３２〜３４が閉鎖される。これにより、ＥＧＲガスが、エアクリーナを通過した清浄な吸気（新気）に混入しない（ＥＧＲカット）。
【００７７】
次に、ＥＧＲ制御弁を開弁させるような運転状況（エンジンの運転状況）になると、ＥＧＲバルブ１が運転状況に対応した所定のバルブ開度（リフト量またはストローク量）に開弁するように開弁作動させる。
そして、モータＭに電力を供給し、モータＭのモータシャフト７を開弁作動方向に回転させる。これにより、モータＭの回転動力（トルク）が、ピニオンギア１５、中間ギア１６および出力ギア１７に伝達される。そして、出力ギア１７からトルクが伝達された出力シャフト１９が、出力ギア１７の回転に伴って所定の回転角度だけ開弁作動方向に回転する。
そして、出力シャフト１９からトルクが伝達された出力レバー２１が、出力シャフト１９の回転に伴って所定の回転角度（出力ギア１７の作動角度と等しいカム角度）だけ開弁作動方向に回転する。
【００７８】
ここで、出力レバー２１の突出端部、つまり出力シャフト１９の回転中心軸から所定の距離だけ偏芯した位置にピボットピン２２が取り付けられている。そして、ピボットピン２２に支持されたフォロア２３は、出力シャフト１９および出力レバー２１が回転すると、フォロア２３の外周部（外輪）がヨーク６のヨーク溝２７の溝側面と摺動接触することにより、回転運動が直線運動に変換される。
そして、リターンスプリング９の付勢力に抗して、バルブステム５およびヨーク６が移動方向に移動する。このとき、ハウジング３のメタルベアリング３６によってバルブステム５がその移動方向に案内（ガイド）されているので、バルブステム５がその軸線方向のバルブ開側へ直線移動する。
そして、バルブステム５の直線移動に伴って、バルブステム５の出力部の外周（先端外周）に固定されたバルブヘッド４が、ハウジング３のバルブシート１１の弁座より離脱して、エンジンの運転状況に対応した所定のリフト量またはストローク量分だけリフトする。
【００７９】
以上のように、エンジンの運転状況に対応して、モータＭへの供給電力（駆動電流値または印加電圧値）を可変制御することで、ＥＧＲ制御弁のバルブ開度を変化させることにより、エアクリーナを通過した清浄な吸気（新気）に対する、ＥＧＲガスの導入量（混入量）が調節される。すなわち、ＥＧＲバルブ１は、制御目標値に相当するバルブ開度に開弁制御される。つまりＥＧＲガス流路（流路孔３２〜３４）が開放される。
したがって、エンジンの各気筒より流出した排気ガスの一部であるＥＧＲガスが、排気管内に形成される排気通路の分岐部から、ＥＧＲガス流路を経由して、吸気管内に形成される吸気通路の合流部へ再循環される。これにより、エンジンの各気筒に供給される吸気にＥＧＲガスが混入される。
これによって、排気ガス中に含まれる有害物質（例えばＮＯｘ等）が低減される。
【００８０】
［実施例１の効果］
ここで、特許文献１に記載のＥＧＲ制御弁（従来のＥＧＲ制御弁）においては、出力ギアとエキセンとの間にハウジング壁が存在しておらず、エキセンシャフトをその回転方向に摺動可能に支持する軸受（ベアリング）を配置することが困難であった。これにより、エキセンシャフトが軸振れするため、中間ギアと出力ギアとの噛み合いが悪く、電動モータの動力が効率良くエキセンおよびポペットバルブに伝わらないという問題があった。
【００８１】
また、従来のＥＧＲ制御弁においては、エキセンと連結リンクとが直接接触しているため、摺動ロスが大きく、電動モータの動力が効率良くポペットバルブに伝わらないという問題があった。
また、従来のＥＧＲ制御弁においては、エキセンと連結リンクとを組み付ける場合、エキセンと連結リンクとを組み付けが困難であり、ＥＧＲ制御弁の生産性が悪いという問題があった。
【００８２】
そこで、本実施例のＥＧＲ制御弁においては、出力部材８の出力シャフト１９を回転可能に支持する２連ボールベアリング２４、２５の配置が容易で、モータＭの回転動力をＥＧＲバルブ１およびヨーク６に効率良く伝達することができ、且つ減速機構の中間ギア１６と出力ギア１７との噛み合い状態を改善するという目的、また、フォロアとヨークとの組み付けが容易となるという目的で、上述した構成を採用している。
【００８３】
具体的には、ＥＧＲバルブ１およびアクチュエータ２を内蔵するハウジング３に、ＥＧＲバルブ１およびリンク機構を収容する第１収容室４１とモータＭおよび減速機構を収容する第２収容室４２とを分断するハウジング壁Ｗ１、Ｗ２を設けている。そして、ハウジング壁Ｗ１に、円筒カラー２６を介して、出力シャフト１９を回転可能に支持する２連ボールベアリング２４、２５、およびこの２連ボールベアリング２４、２５の各外輪の外周を保持する円筒状のベアリングホルダ８１を設けている。
【００８４】
すなわち、第１収容室４１と第２収容室４２とを分断するハウジング壁Ｗ１にベアリングホルダ８１を一体的に設けることにより、２連ボールベアリング２４、２５、円筒カラー２６およびベアリングホルダ８１の配置が非常に容易となる。これにより、出力シャフト１９の軸振れを抑制することができるので、出力ギア１７にモータＭの回転動力を伝えるモータ側の中間ギア１６と出力ギア１７との噛み合いが良くなる。したがって、モータＭの回転動力をＥＧＲバルブ１を構成するバルブヘッド４とバルブステム５、およびヨーク６に効率良く伝達することができる。
【００８５】
また、ハウジング３に、第１収容室４１と第２収容室４２とを分断するハウジング壁Ｗ１、Ｗ２を設けたことにより、外部接続用コネクタの第１、第２モータターミナルとの電気接続を行う、第１、第２ブラシターミナル５１、５２の外部接続部（導通接合部）を有するモータＭ、および中間ギア１６との噛み合いによって中間ギア１６からモータＭの回転動力を受けて回転する出力ギア１７を、ＥＧＲバルブ１、ヨーク６、出力レバー２１、ピボットピン２２およびフォロア２３等よりなるバルブサブアッセンブリ（バルブシャフト部）と気密的および液密的に分断することができる。
【００８６】
これにより、ＥＧＲバルブ１のバルブステム５の外周とハウジング３のベアリングホルダ３７に保持されたオイルシール３９のシールゴム（シール部）との隙間を通って流路孔３２〜３４側から第１収容室４１内へ漏れ出す微量な腐食性ガス（排気ガス中に含まれる一酸化炭素（ＣＯ）、亜硫酸ガス（ＳＯ2 ）、窒素酸化物（ＮＯｘ）等の腐食性ガス）が第２収容室４２に侵入することを防止することができる。
したがって、モータＭの第１、第２ブラシターミナル５１、５２と外部接続用コネクタの第１、第２モータターミナルとの導通接合部の導通不良または接触の悪化を防止することができる。
【００８７】
また、２連ボールベアリング２４、２５の各外輪の外周に円筒カラー２６を圧入することにより、出力部材８がサブアッセンブリの状態で組み立てられる。
また、円筒カラー２６の外径を、出力レバー２１、ピボットピン２２およびフォロア２３を包む、出力シャフト１９の軸芯（回転中心軸）を中心とした包絡円以上としている。  また、ヨーク６の開口部７１にフォロア案内用のテーパガイド面７２を設けている。
これによって、円筒カラー２６をハウジング３のハウジング壁Ｗ１に圧入する時に、出力シャフト１９の軸線方向からフォロア２３をヨーク溝２７へ挿入可能となるため、ヨーク６に対するピボットピン２２およびフォロア２３の組み付けが容易となる。これにより、ＥＧＲバルブ１およびハウジング３に対する出力部材８の組み付けが容易となるので、ＥＧＲ制御弁の生産性を向上することができる。
【００８８】
また、ハウジング３のハウジング壁Ｗ１がアルミダイカスト製の場合、円筒カラー２６に２連ボールベアリング２４、２５の各外輪と同様の弾性係数、線膨張係数の材料（例えばステンレス鋼等）を使用することで、ハウジング３のハウジング壁Ｗ１の内周（ベアリングホルダ８１の軸受収容孔８４）に円筒カラー２６を圧入した場合でも、２連ボールベアリング２４、２５の各外輪および円筒カラー２６が例えば肉厚方向に変形し難くなるので、円筒カラー２６を圧入後の軌道輪間の隙間（ベアリング内部隙間）の縮小化防止による転動体（ボール）の面圧低減効果を備える。
【００８９】
また、出力ギア１７の円筒ボス５６の外周と歯形成部６３の内周との間に、円筒カラー２６の外径を覗くことが可能な円弧状窓６７を設けたことにより、ハウジング３のハウジング壁Ｗ１の内周（ベアリングホルダ８１の軸受収容孔８４）に円筒カラー２６を圧入する時に、円筒カラー２６の環状端面を保持する押圧治具の一部が挿入可能となるため、ハウジング壁Ｗ１に対する円筒カラー２６の斜め圧入を抑制することができる。
また、モータＭの側面にＥＧＲバルブ１のバルブステム５を配置することができるので、ＥＧＲ制御弁の体格をコンパクトにできる。
【００９０】
［実施例２の構成］
図１２ないし図１５は、本発明を適用した内燃機関の排気ガス循環装置（ＥＧＲシステム）に使用されるＥＧＲ制御弁（実施例２）を示したものである。ここで、実施例１と同じ符号は、同一の構成または機能を示すものであって、説明を省略する。
【００９１】
本実施例のアクチュエータ２のリンク機構は、実施例１と同様に、ヨーク６、出力レバー２１、ピボットピン２２およびフォロア２３等によって構成されている。
ヨーク６は、フォロア２３を介して、ピボットピン２２からモータＭの回転動力を受けてバルブステム５の軸線方向に往復移動すると共に、バルブステム５の軸線方向の基端部（入力部）に嵌合部７４が圧入嵌合されることで、ＥＧＲバルブ１と一体移動可能に連結している。つまりヨーク６は、モータＭの回転動力を直線運動に変換してＥＧＲバルブ１を往復駆動する。
【００９２】
ヨーク６の入力部には、ピボットピン２２に支持されたフォロア２３を着脱自在に挿入可能なＵ字状のヨーク溝２７が設けられている。このヨーク溝２７は、少なくとも２面の側面で開口し、２面のうちの１面の側面の開口部９１から奥側まで延びる凹溝である。また、この凹溝は、ピボットピン２２に支持されたフォロア２３を着脱自在に挿入することが可能な径方向溝（バルブステム５の軸線方向に対して直交する垂直方向に延びる凹溝）である。
【００９３】
ヨーク６の入力部は、出力部材９の回転軸方向に平行な方向に対向する２面の他に、少なくとも４面の第１〜第４側面を有する多面体形状（断面コの字状）を呈している。
出力部材９の回転軸方向に平行な方向に対向する２面には、ヨーク溝２７と略同一形状（Ｕ字状）のスリット（開口部）が設けられ、このスリットからフォロア２３を覗くことができる。
また、入力部の第１側面には、バルブステム５の軸線方向に対して直交する垂直方向に向かって開口した側方開口部が設けられている。
【００９４】
ヨーク溝２７は、ヨーク６に対する出力部材８、特にフォロア２３の組み付け時に、出力部材８を回転させながらヨーク溝２７内にフォロア２３を挿入するための開口部９１を有している。この開口部９１は、ヨーク溝２７の長手方向の一端で開口し、且つＥＧＲバルブ１のバルブステム５の軸線方向に対して直交する垂直方向、特に組み付け時にピボットピン２２およびフォロア２３が挿入される挿入方向に対して反対方向に向かって開放されている。
また、開口部９１には、その開口側からヨーク溝２７の奥側へ向かって徐々に開口面積が小さくなると共に、フォロア２３をヨーク溝２７内に誘導（案内）するテーパガイド面９２が設けられている。
【００９５】
［実施例２の組付方法］
次に、本実施例のＥＧＲ制御弁の組付方法を図１２ないし図１５に基づいて簡単に説明する。ここで、図１２ないし図１５は、フォロアとヨークとの嵌合方法を示した工程図である。
【００９６】
先ず、図１２に示したように、バルブステム５にバルブヘッド４を溶接固定する前に、予めバルブステム５、ヨーク６、リターンスプリング９、バルブシート１１、メタルベアリング３６、パイプ３８、オイルシール３９およびスプリングシート５５をハウジング３に組み付ける（組付工程１）。
次に、図１２に示したように、予め出力ギア１７、出力シャフト１９、出力レバー２１、ピボットピン２２、フォロア２３、２連ボールベアリング２４、２５および円筒カラー２６を組み立て、これらをユニット（サブアッシー）化した出力部材８を構成する（組付工程２）。
【００９７】
次に、センサカバー１０をギアケース１４の開口部から外しておき、出力ギア１７の円弧状窓６７を一部が貫通する押圧治具を、円筒カラー２６の環状端面に押圧しながら、ギアケース１４の開口部側から出力部材８をその回転軸方向に沿うように真っ直ぐにハウジング３の内部に押し込む。
これにより、円筒カラー２６の外周がハウジング壁Ｗ１の軸受収容孔８５に圧入固定される。このとき、ヨーク６のヨーク溝２７にピボットピン２２およびフォロア２３が嵌合しないように、つまりフォロア２３がヨーク６の入力部にぶつからないように、予め出力シャフト１９および出力レバー２１を図１２において図示左回転方向に回しておく（組付工程３）。
【００９８】
次に、出力シャフト１９および出力レバー２１を図１３において図示右回転方向に回転させると、フォロア２３がヨーク６の開口部９１に入り込む。そして、フォロア２３をヨーク６のテーパガイド面９２に当接させることで、フォロア２３の外周にヨーク６が乗り上げるため、ヨーク６がバルブステム５を伴って少しだけ図１３において図示上方側へリフトする（組付工程４）。
次に、出力シャフト１９および出力レバー２１を図１４において図示右回転方向に回転させると、フォロア２３がヨーク６のヨーク溝２７内に挿入される（組付工程５）。
【００９９】
次に、出力シャフト１９および出力レバー２１を図１５において図示右回転方向に回転させて、ヨーク６のヨーク溝２７の奥側まで入り込んだ段階で、バルブステム５にバルブヘッド４を溶接固定する。
以上のようにして、ヨーク６のヨーク溝２７とピボットピン２２およびフォロア２３とが所定の係合位置で嵌合（係合）した状態で、ハウジング３にＥＧＲバルブ１、ヨーク６および出力部材８とが組み付けられる（組付工程６）。
【０１００】
［実施例２の効果］
以上のように、本実施例のＥＧＲ制御弁においては、ＥＧＲ制御弁のハウジング３に、ＥＧＲバルブ１および変換機構を収容する第１収容室４１とモータＭおよび減速機構を収容する第２収容室４２とを分断するハウジング壁Ｗ１、Ｗ２を設け、更に、ハウジング壁Ｗ１に、円筒カラー２６を介して、出力シャフト１９を回転可能に支持する２連ボールベアリング２４、２５、およびこの２連ボールベアリング２４、２５の各外輪の外周を保持する円筒状のベアリングホルダ８１を設けているので、実施例１と同様な効果を達成することができる。
【０１０１】
また、ヨーク６の入力部は、２面の対向面の他に、少なくとも４面の第１〜第４側面を有する多面体形状（断面コの字状）を呈している。
また、２連ボールベアリング２４、２５の各外輪の外周に円筒カラー２６を圧入することにより、出力部材８がサブアッセンブリの状態で組み立てられる。
また、円筒カラー２６の外径を、出力レバー２１、ピボットピン２２およびフォロア２３を包む、出力シャフト１９の軸芯（回転中心軸）を中心とした包絡円以上としている。  また、ヨーク６の開口部９１にフォロア案内用のテーパガイド面９２を設けている。
【０１０２】
これによって、ピボットピン２２およびフォロア２３がヨーク６のヨーク溝２７と嵌合しない位置（外れた位置）で、２連ボールベアリング２４、２５の各外輪の外周とハウジング３のハウジング壁Ｗ１の内周との間に円筒カラー２６が圧入固定されるように、ハウジング３に出力部材８を組み付けた後に、出力シャフト１９および出力レバー２１を図示右回転方向に回転させることで、ヨーク６のヨーク溝２７にピボットピン２２およびフォロア２３を摺動可能に挿入することができる。
これにより、ヨーク６に対するピボットピン２２およびフォロア２３の組み付けが容易となる。これにより、ＥＧＲバルブ１およびハウジング３に対する出力部材８の組み付けが容易となるので、ＥＧＲ制御弁の生産性を向上することができる。
【０１０３】
［変形例］
本実施例では、本発明の排気装置に使用される排気制御弁を、内燃機関の排気ガス循環装置に組み込まれるＥＧＲ制御弁に適用しているが、本発明の排気装置に使用される排気制御弁を、内燃機関の排気装置に組み込まれるウェイストゲート弁、スクロール切替弁、排気流量制御弁、排気圧力制御弁、排気切替弁、排気絞り弁等に適用しても良い。
【０１０４】
また、ＥＧＲ制御弁や排気制御弁の弁体として、ポペットバルブを採用しているが、バルブとシャフトとの間にリンク機構を介することにより、バタフライバルブ、フラップバルブ、プレートバルブ、ロータリバルブ等の回転型バルブを採用しても良い。また、ダブルポペットバルブを採用しても良い。
また、シャフト（弁軸）としてバルブステム５の代わりに、軸線方向に延びる作動ロッドを用いても良い。
【０１０５】
本実施例では、ハウジング３のハウジング壁Ｗ１の内周、つまりベアリングホルダ８１の軸受収容孔８４内に円筒カラー２６を圧入する前に、予め２連ボールベアリング２４、２５の各外輪の外周に円筒カラー２６を圧入固定しているが、予め出力ギア１７を出力シャフト１９の第１突出軸部（入力部）に組み付ける前に、２連ボールベアリング２４、２５の各外輪の外周に円筒カラー２６を組み付けた後に、ハウジング３のハウジング壁Ｗ１の内周に圧入固定しても良い。
【０１０６】
本実施例では、ハウジング３のハウジング壁Ｗ１に、円筒カラー２６を介して２連ボールベアリング（第１軸受）２４、２５の各外輪の外周を保持する円筒状のベアリングホルダ（第１軸受ホルダ）８１を設けているが、円筒カラー２６を介在させることなく、ハウジング３のハウジング壁Ｗ１に第１軸受の外周を直接保持（支持）する筒状の第１軸受ホルダを設けても良い。
【０１０７】
また、第１軸受として、２連ボールベアリング２４、２５の代わりに、内部に潤滑油を有するボールベアリングを採用しても良い。また、第１軸受として、内部に潤滑油が含浸された筒状の焼結含油軸受（メタルブッシュ）を採用しても良い。
また、第１、第２軸受の内部に潤滑油が含浸されなくも、第１軸受と出力シャフトとの第１摺動部（摺動クリアラス）、第２軸受と弁軸との第２摺動部（摺動クリアラス）に潤滑油供給機構から潤滑油が供給されるタイプのベアリングを使用しても良い。
【０１０８】
また、出力シャフト１９の第２突出軸部（出力部）に出力レバー２１を組み付ける前に、予め出力レバー２１、ピボットピン２２およびフォロア２３を組み立てて、これらをユニット（サブアッシー）化したフォロアサブアッセンブリを構成し、フォロアサブアッセンブリを出力シャフト１９の第２突出軸部（出力部）に組み付けるようにしても良い。
また、ボールベアリングよりなるフォロア２３の代わりに、ピボットピン（支軸）２２の外周に回転自在に支持されるフォロアローラを使用しても良い。
【０１０９】
また、内燃機関（エンジン）として、多気筒ディーゼルエンジンの代わりに、多気筒ガソリンエンジンを用いても良い。また、単気筒エンジンに適用しても良い。
なお、コイルに接続する導体とは、モータのロータコイルに電気接続する整流子（コンミテータ）に押圧接触するブラシが考えられる。また、コイルを形成する導体とは、モータのステータコイルが考えられる。
【符号の説明】
【０１１０】
Ｗ１  ハウジング壁
Ｗ２  ハウジング壁
Ｍ  モータ
１  ＥＧＲバルブ
２  アクチュエータ
３  ハウジング
４  バルブヘッド（弁体）
５  バルブステム（弁軸）
６  ヨーク
８  出力部材
【図１】
2014211189.tif 000003
【図２】
2014211189.tif 000004
【図３】
2014211189.tif 000005
【図４】
2014211189.tif 000006
【図５】
2014211189.tif 000007
【図６】
2014211189.tif 000008
【図７】
2014211189.tif 000009
【図８】
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【図９】
2014211189.tif 000011
【図１０】
2014211189.tif 000012
【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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