(57)【要約】【課題】複数の噴霧ノズルから原料液を噴霧する成膜装置において、原料液の無駄を無くすと共に、対象物の表面に形成された被膜の厚さを均一化する。【解決手段】成膜装置（10）の噴霧部（30）では、第１噴霧ノズル（42）と第２噴霧ノズル（52）とが、ガラス基板（20）の幅方向に交互に配置される。ガラス基板（20）の幅方向の両端には、第１外端ノズル（91）と第２外端ノズル（92）とが位置する。第１外端ノズル（91）の外方には第１外方電極（61）が設けられ、第２外端ノズル（92）の外方には第２外方電極（62）が設けられる。各外方電極（61,62）の電位は、各外端ノズル（91,92）から噴霧された液滴の電位と同極性である。【選択図】図３
2014117692.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
それぞれが原料液を噴霧する複数の噴霧ノズル（42,52）と、
上記原料液が帯電した液滴となって上記噴霧ノズル（42,52）から対象物（20）へ噴霧されるように上記噴霧ノズル（42,52）と上記対象物（20）の間に電圧を印加する電圧印加部（70）とを備え、
上記噴霧ノズル（42,52）から上記対象物（20）に原料液を噴霧することによって該対象物（20）の表面に被膜を形成する静電噴霧型の成膜装置であって、
上記複数の噴霧ノズル（42,52）は、上記対象物（20）の幅方向に並んでおり、
上記複数の噴霧ノズル（42,52）のうち上記対象物（20）の幅方向の最も端に位置するものが外端ノズル（91,92）であり、
上記対象物（20）の幅方向における上記外端ノズル（91,92）の外方に配置され、上記噴霧ノズル（42,52）から噴霧された液滴と電位が同極性の外方電極（61,62）を備えている
ことを特徴とする成膜装置。
【請求項２】
請求項１において、
互いの位置が上記対象物（20）の幅方向と交わる方向にずれた第１の噴霧ノズル（42）と第２の噴霧ノズル（52）とが、上記対象物（20）の幅方向に交互に同数ずつ配置され、
一方の上記外端ノズル（91）である第１の噴霧ノズル（42）の上記対象物（20）の幅方向の外方に第１の外方電極（61）が、他方の上記外端ノズル（92）である第２の噴霧ノズル（52）の上記対象物（20）の幅方向の外方に第２の外方電極（62）が、それぞれ配置されている
ことを特徴とする成膜装置。
【請求項３】
請求項１において、
上記対象物（20）の幅方向に延びると共に上記噴霧ノズル（42,52）の側方に位置し、上記噴霧ノズル（42,52）から噴霧された液滴と電位が同極性の偏向用電極（63）を備え、
上記外方電極（61,62）が上記偏向用電極（63）と一体に形成されている
ことを特徴とする成膜装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、静電噴霧によって対象物に被膜を形成する成膜装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、いわゆる静電噴霧法を用いて原料液を霧化し、霧化した原料液を対象物に付着させることによって被膜を形成する成膜装置が知られている。特許文献１には、広い面に被膜を形成するために、一列に並んだ複数の開口から原料液を噴霧する成膜装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１２−１３５７０４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、一定の方向に並んだ複数の開口から原料液を噴霧する成膜装置では、噴霧した原料液の一部が対象物に付着せずに無駄になったり、対象物に形成された被膜の厚さが不均一になるおそれがあった。この問題点について、図１１を参照しながら説明する。
【０００５】
図１１に示す静電噴霧型の成膜装置では、原料液を噴霧するための複数の噴霧ノズル（500）が、対象物であるガラス基板（501）の幅方向に一列に並んでいる。各噴霧ノズル（500）から噴霧された液滴状の原料液は、互いに同極性の電荷を帯びている。このため、ある噴霧ノズル（500）から噴霧された液滴と、その噴霧ノズル（500）に隣接する別の噴霧ノズル（500）から噴霧された液滴との間には、両者を互いに引き離す方向のクーロン力（即ち、電気的な斥力）が作用する。
【０００６】
一列に並んだ噴霧ノズル（500）のうち両端の二本を除く残りの噴霧ノズル（500a）から噴霧された液滴は、その噴霧ノズル（500a）の両隣の噴霧ノズル（500）が噴霧した液滴から電気的な斥力を受ける。一方、一列に並んだ噴霧ノズル（500）のうち両端の二本の噴霧ノズル（500b）から噴霧された液滴は、その噴霧ノズル（500b）の片側の噴霧ノズル（500a）が噴霧した液滴から電気的な斥力を受ける。
【０００７】
このため、ノズル列の両端の噴霧ノズル（500b）から噴霧された液滴は、ガラス基板（501）の幅方向の外方に拡散してガラス基板（501）に付着しないおそれがあり、その場合は原料液が無駄になる。また、ノズル列の両端の噴霧ノズル（500b）から噴霧された液滴の軌跡の形状が、その噴霧ノズル（500b）に隣接する噴霧ノズル（500a）から噴霧された液滴の軌跡の形状と異なるため、対象物の表面に原料液が付着しにくい領域ができてしまい、対象物の表面に形成された被膜の厚さが不均一になるおそれがあった。
【０００８】
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的は、所定の方向に並んだ複数の噴霧ノズルから原料液を噴霧する成膜装置において、原料液の無駄を無くすと共に、対象物の表面に形成された被膜の厚さを均一化することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
第１の発明は、それぞれが原料液を噴霧する複数の噴霧ノズル（42,52）と、上記原料液が帯電した液滴となって上記噴霧ノズル（42,52）から対象物（20）へ噴霧されるように上記噴霧ノズル（42,52）と上記対象物（20）の間に電圧を印加する電圧印加部（70）とを備え、上記噴霧ノズル（42,52）から上記対象物（20）に原料液を噴霧することによって該対象物（20）の表面に被膜を形成する静電噴霧型の成膜装置を対象とする。そして、上記複数の噴霧ノズル（42,52）は、上記対象物（20）の幅方向に並んでおり、上記複数の噴霧ノズル（42,52）のうち上記対象物（20）の幅方向の最も端に位置するものが外端ノズル（91,92）であり、上記対象物（20）の幅方向における上記外端ノズル（91,92）の外方に配置され、上記噴霧ノズル（42,52）から噴霧された液滴と電位が同極性の外方電極（61,62）を備えるものである。
【００１０】
第１の発明では、対象物（20）の幅方向に並んだ複数の噴霧ノズル（42,52）から原料液が噴霧され、液滴状の原料液が対象物（20）の表面に付着する。各噴霧ノズル（42,52）から噴霧された液滴は、互いに同極性の電荷を帯びている。両隣に噴霧ノズル（42,52）が存在する噴霧ノズル（42,52）から噴霧された液滴は、両隣の噴霧ノズル（42,52）から噴霧された液滴から電気的な斥力を受ける。このため、両隣に噴霧ノズル（42,52）が存在する噴霧ノズル（42,52）から噴霧された液滴は、対象物（20）の幅方向へ拡散しにくい。一方、対象物（20）の幅方向の最も端に位置する外端ノズル（91,92）から噴霧された液滴は、隣接する噴霧ノズル（42,52）から噴霧された液滴からの電気的な斥力と、隣接する外方電極（61,62）からの電気的な斥力とを受ける。このため、両隣に噴霧ノズル（42,52）が存在する噴霧ノズル（42,52）から噴霧された液滴と同様に、外端ノズル（91,92）から噴霧された液滴も、対象物（20）の幅方向へ拡散しにくい。
【００１１】
第２の発明は、上記第１の発明において、互いの位置が上記対象物（20）の幅方向と交わる方向にずれた第１の噴霧ノズル（42）と第２の噴霧ノズル（52）とが、上記対象物（20）の幅方向に交互に同数ずつ配置され、一方の上記外端ノズル（91）である第１の噴霧ノズル（42）の上記対象物（20）の幅方向の外方に第１の外方電極（61）が、他方の上記外端ノズル（92）である第２の噴霧ノズル（52）の上記対象物（20）の幅方向の外方に第２の外方電極（62）が、それぞれ配置されるものである。
【００１２】
第２の発明では、同数の第１の噴霧ノズル（42）と第２の噴霧ノズル（52）が、対象物（20）の幅方向に交互に配置される。従って、対象物（20）の幅方向の一方の端に位置する外端ノズル（91）は第１の噴霧ノズル（42）によって構成され、その他方の端に位置する外端ノズル（92）は第２の噴霧ノズル（52）によって構成される。第１の噴霧ノズル（42）で構成された一方の外端ノズル（91）の外方には、第１の外方電極（61）が配置される。また、第２の噴霧ノズル（52）で構成された他方の外端ノズル（92）の外方には、第２の外方電極（62）が配置される。
【００１３】
先ず、第２の発明において、一方の外端ノズル（91）から噴霧された液滴は、第１の外方電極（61）からの電気的な斥力を受ける。また、一方の外端ノズル（91）に隣接する第２の噴霧ノズル（52）は、この外端ノズル（91）とは対象物（20）の幅方向と交わる方向にずれて配置されている。この第２の噴霧ノズル（52）から噴霧された液滴と、一方の外端ノズル（91）から噴霧された液滴とは、互いに電気的な斥力を及ぼしあう。このように、一方の外端ノズル（91）から噴霧された液滴と、この外端ノズル（91）に隣接する第２の噴霧ノズル（52）から噴霧された液滴とには、対象物（20）の幅方向の両側から電気的な斥力が作用する。このため、一方の外端ノズル（91）から噴霧された液滴の軌跡と、この外端ノズル（91）に隣接する第２の噴霧ノズル（52）から噴霧された液滴の軌跡とは、互いの形状が概ね同じになる。
【００１４】
次に、第２の発明において、他方の外端ノズル（92）から噴霧された液滴は、第２の外方電極（62）からの電気的な斥力を受ける。また、他方の外端ノズル（92）に隣接する第１の噴霧ノズル（42）は、この外端ノズル（92）とは対象物（20）の幅方向と交わる方向にずれて配置されている。この第１の噴霧ノズル（42）から噴霧された液滴と、他方の外端ノズル（92）から噴霧された液滴とは、電気的な斥力を及ぼしあう。このように、他方の外端ノズル（92）から噴霧された液滴と、この外端ノズル（92）に隣接する第１の噴霧ノズル（42）から噴霧された液滴とには、対象物（20）の幅方向の両側から電気的な斥力が作用する。このため、他方の外端ノズル（92）から噴霧された液滴の軌跡と、この外端ノズル（92）に隣接する第１の噴霧ノズル（42）から噴霧された液滴の軌跡とは、互いの形状が概ね同じになる。
【００１５】
第３の発明は、上記第１の発明において、上記対象物（20）の幅方向に延びると共に上記噴霧ノズル（42,52）の側方に位置し、上記噴霧ノズル（42,52）から噴霧された液滴と電位が同極性の偏向用電極（63）を備え、上記外方電極（61,62）が上記偏向用電極（63）と一体に形成されるものである。
【００１６】
第３の発明では、噴霧ノズル（42,52）の側方に偏向用電極（63）が配置される。偏向用電極（63）は、外方電極（61,62）と一体に形成される。各噴霧ノズル（42,52）から噴霧された液滴と偏向用電極（63）との間に電気的な斥力が作用する。このため、各噴霧ノズル（42,52）から噴霧された液滴は、偏向用電極（63）とは逆側に向かって飛散する。
【発明の効果】
【００１７】
本発明の成膜装置（10）では、対象物（20）の幅方向における外端ノズル（91,92）の外方に外方電極（61,62）が配置されている。そして、外端ノズル（91,92）から噴霧された液滴は、隣接する噴霧ノズル（42,52）から噴霧された液滴と隣接する外方電極（61,62）の両方から電気的な斥力を受けるため、対象物（20）の幅方向への液滴の拡散が抑えられる。
【００１８】
従って、本発明によれば、外端ノズル（91,92）以外の噴霧ノズル（42,52）から噴霧された液滴だけでなく、外端ノズル（91,92）から噴霧された液滴も対象物（20）の表面に確実に付着させることができ、対象物（20）の表面に付着せずに無駄になる原料液の量を削減できる。
【００１９】
また、本発明では、外端ノズル（91,92）から噴霧された液滴の対象物（20）の幅方向への拡散が抑えられるため、外端ノズル（91,92）から噴霧された液滴の軌跡の形状が、外端ノズル（91,92）以外の噴霧ノズル（42,52）から噴霧された液滴の軌跡の形状と概ね同じになる。従って、本発明によれば、対象物（20）の表面の全体に亘って付着する原料液の量を均一化でき、対象物（20）の表面に形成される被膜の厚さを均一化することができる。
【００２０】
第２の発明では、互いの位置が対象物（20）の幅方向と交わる方向にずれた第１の噴霧ノズル（42）と第２の噴霧ノズル（52）とが、対象物（20）の幅方向に交互に同数ずつ配置される。
【００２１】
第２の発明によれば、第１の噴霧ノズル（42）からなる一方の外端ノズル（91）の外方に第１の外方電極（61）を設けることによって、一方の外端ノズル（91）から噴霧された液滴の軌跡と、この外端ノズル（91）に隣接する第２の噴霧ノズル（52）から噴霧された液滴の軌跡とを、概ね同じ形状にすることができる。このため、一方の外端ノズル（91）と、それに隣接する第２の噴霧ノズル（52）とから噴霧された液滴を対象物（20）に確実に付着させることが可能となり、対象物（20）に付着せずに無駄になる原料液を削減できる。
【００２２】
また、第２の発明によれば、第２の噴霧ノズル（52）からなる他方の外端ノズル（92）の外方に第２の外方電極（62）を設けることによって、他方の外端ノズル（92）から噴霧された液滴の軌跡と、この外端ノズル（92）に隣接する第１の噴霧ノズル（42）から噴霧された液滴の軌跡とを、概ね同じ形状にすることができる。このため、他方の外端ノズル（92）と、それに隣接する第１の噴霧ノズル（42）とから噴霧された液滴を対象物（20）に確実に付着させることが可能となり、対象物（20）に付着せずに無駄になる原料液を削減できる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】図１は、実施形態１の成膜装置の全体構成を示す概略の構成図である。
【図２】図２は、実施形態１の成膜装置の噴霧ゾーンを示す概略の正面図である。
【図３】図３は、実施形態１の成膜装置の噴霧ゾーンを示す概略の側面図である。
【図４】図４は、図２のＡ−Ａ断面の要部を示す断面図である。
【図５】図５は、実施形態１の噴霧部が噴霧した液滴の軌跡を示す噴霧部の要部の正面図である。
【図６】図６は、実施形態１の噴霧部が噴霧した液滴の軌跡を示す噴霧部の要部の側面図である。
【図７】図７は、実施形態２の成膜装置の噴霧ゾーンを示す概略の正面図である。
【図８】図８は、実施形態２の成膜装置の噴霧ゾーンを示す概略の側面図である。
【図９】図９は、図８のＢ−Ｂ断面の要部を示す断面図である。
【図１０】図１０は、実施形態３の噴霧部の図４に相当する断面図である。
【図１１】図１１は、従来の成膜装置の噴霧部が噴霧した液滴の軌跡を示す図６に相当する側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下で説明する実施形態および変形例は、本質的に好ましい例示であって、本発明、その適用物、あるいはその用途の範囲を制限することを意図するものではない。
【００２５】
《発明の実施形態１》
本発明の実施形態１について説明する。本実施形態の成膜装置（10）は、タッチパネルのガラス基板（20）の表面に防汚用の被膜を形成するためのものである。また、本実施形態の成膜装置（10）は、いわゆる静電噴霧法によって噴霧した原料液を対象物であるガラス基板（20）の表面に付着させて被膜を形成する静電噴霧型の成膜装置（10）である。
【００２６】
−成膜装置の全体構成−
図１に示すように、成膜装置（10）には、前処理ゾーン（11）と、噴霧ゾーン（12）と、後処理ゾーン（13）とが形成されている。
【００２７】
成膜装置（10）には、ガラス基板（20）を搬送するためのベルトコンベア（15）が設けられている。ベルトコンベア（15）は、前処理ゾーン（11）と噴霧ゾーン（12）と後処理ゾーン（13）とに亘って設けられ、導電板（25）の上に載せられたガラス基板（20）を、前処理ゾーン（11）、噴霧ゾーン（12）、後処理ゾーン（13）の順に搬送する。つまり、ベルトコンベア（15）は、図１の左から右へ向かって、ガラス基板（20）を真っ直ぐに搬送する。このベルトコンベア（15）は、後述する噴霧部（30）に対してガラス基板（20）を相対的に移動させる移動機構である。
【００２８】
前処理ゾーン（11）では、基板の表面を洗浄する工程が行われる。噴霧ゾーン（12）では、基板の表面に原料液を付着させる工程が行われる。詳しくは後述するが、噴霧ゾーン（12）には、噴霧部（30）と電圧印加部（70）と液供給部（80）とが設けられている。後処理ゾーン（13）では、ガラス基板（20）に被膜を定着させる工程が行われる。具体的に、処理ゾーンでは、原料液の付着したガラス基板（20）が加熱される。
【００２９】
−噴霧ゾーンの詳細構成−
図２に示すように、成膜装置（10）の噴霧ゾーン（12）には、噴霧部（30）と、液供給部（80）と、電圧印加部（70）とが設けられている。また、噴霧ゾーン（12）では、ガラス基板（20）を載せた導電板（25）が、図２における左から右へ向かって真っ直ぐに移動する。なお、導電板（25）は、導電性樹脂等からなる矩形の平板状の部材である。また、ガラス基板（20）は、長方形の平板状に形成されている。
【００３０】
〈噴霧部〉
噴霧部（30）は、ガラス基板（20）の上方に配置される。噴霧部（30）は、二つのヘッダ部材（36,37）と、第１噴霧ユニット（40）と、第２噴霧ユニット（50）とを備えている。ヘッダ部材（36,37）は、フレーム部材（31）の上端部に設置されている。各噴霧ユニット（40,50）は、フレーム部材（31）の支持板（32）に固定されている。
【００３１】
第１噴霧ユニット（40）は、二十本の第１噴霧ノズル（42）と、これらの第１噴霧ノズル（42）を保持する保持ケース（41）とを備えている。第２噴霧ユニット（50）は、二十本の第２噴霧ノズル（52）と、これらの第２噴霧ノズル（52）を保持する保持ケース（51）とを備えている。なお、各噴霧ユニット（40,50）に設けられた噴霧ノズル（42,52）の数は、単なる一例である。
【００３２】
第１噴霧ユニット（40）は、ガラス基板（20）の移動方向（即ち、噴霧部（30）に対するガラス基板（20）の相対的な移動方向）における第２噴霧ユニット（50）の前側に配置されている。つまり、第１噴霧ユニット（40）の第１噴霧ノズル（42）と、第２噴霧ユニット（50）の第２噴霧ノズル（52）とは、互いの位置がガラス基板（20）の幅方向と交わる方向にずれている。
【００３３】
各噴霧ユニット（40,50）において、各噴霧ノズル（42,52）は、それぞれの軸方向が鉛直方向となる姿勢で保持ケース（41,51）に取り付けられ、保持ケース（41,51）の下端から下方へ突出している。各噴霧ノズル（42,52）は、外径が０.３ｍｍ程度で内径が０.１ｍｍ程度の金属製の細径管である。
【００３４】
各噴霧ユニット（40,50）の噴霧ノズル（42,52）は、そのうちの半数（本実施形態では十本）の基端（図２,３における上端）がヘッダ部材（36）に接続チューブ（43,53）を介して接続され、残りの半数（本実施形態では十本）の基端（図２,３における上端）がヘッダ部材（37）に接続チューブ（43,53）を介して接続される。二つのヘッダ部材（36,37）は、チューブを介して互いに接続される。また、一方のヘッダ部材（36）には、液供給部（80）の輸液配管（82）が接続される。
【００３５】
図４に示すように、第１噴霧ユニット（40）では、保持ケース（41）の幅方向（図４における上下方向）に二十本の第１噴霧ノズル（42）が等間隔に配置されている。第１噴霧ユニット（40）では、隣り合う第１噴霧ノズル（42）の間隔（即ち、隣り合う第１噴霧ノズル（42）の中心軸の間隔）が２Ｌとなっている。つまり、第１噴霧ユニット（40）では、二十本の第１噴霧ノズル（42）が一定のピッチ２Ｌで一列に配置されている。
【００３６】
また、第２噴霧ユニット（50）では、保持ケース（51）の幅方向（図４における上下方向）に二十本の第２噴霧ノズル（52）が等間隔に配置されている。第２噴霧ユニット（50）では、隣り合う第２噴霧ノズル（52）の間隔（即ち、隣り合う第２噴霧ノズル（52）の中心軸の間隔）が２Ｌとなっている。つまり、第２噴霧ユニット（50）では、二十本の第２噴霧ノズル（52）が一定のピッチ２Ｌで一列に配置されている。
【００３７】
第１噴霧ユニット（40）における第１噴霧ノズル（42）の位置は、第２噴霧ユニット（50）における第２噴霧ノズル（52）の位置に対して半ピッチだけずれている（図４を参照）。このため、噴霧部（30）では、ガラス基板（20）の幅方向（即ち、ガラス基板（20）の短辺方向）に第１噴霧ノズル（42）と第２噴霧ノズル（52）が交互に配置され、ガラス基板（20）の幅方向に隣接する第１噴霧ノズル（42）と第２噴霧ノズル（52）の間隔（即ち、第１噴霧ノズル（42）の中心軸と第２噴霧ノズル（52）の中心軸の間隔）がＬとなる。
【００３８】
このように、ガラス基板（20）の幅方向には、第１噴霧ノズル（42）と第２噴霧ノズル（52）がジグザグに配列されている。噴霧部（30）に設けられた第１噴霧ノズル（42）と第２噴霧ノズル（52）は同数である。このため、図４に示すように、噴霧部（30）では、ガラス基板（20）の幅方向の一方の端に第１噴霧ノズル（42）が位置し、その他方の端に第２噴霧ノズル（52）が位置する。
【００３９】
つまり、ガラス基板（20）の幅方向の一方の端（図３の右端、図４の上端）においては、第１噴霧ユニット（40）の端に位置する第１噴霧ノズル（42）の方が、第２噴霧ユニット（50）の端に位置する第２噴霧ノズル（52）よりも、ガラス基板（20）の長辺側の縁部に近い。このため、ガラス基板（20）の幅方向の一方の端に位置する第１噴霧ノズル（42）が、第１外端ノズル（91）となる。
【００４０】
また、ガラス基板（20）の幅方向の他方の端（図３の左端、図４の下端）においては、第２噴霧ユニット（50）の端に位置する第２噴霧ノズル（52）の方が、第１噴霧ユニット（40）の端に位置する第１噴霧ノズル（42）よりも、ガラス基板（20）の長辺側の縁部に近い。このため、ガラス基板（20）の幅方向の他方の端に位置する第２噴霧ノズル（52）が、第２外端ノズル（92）となる。
【００４１】
図２に示すように、各噴霧ノズル（42,52）の先端面（45,55）は、噴霧ノズル（42,52）の中心軸に対して傾斜している。第１噴霧ユニット（40）の各第１噴霧ノズル（42）は、その傾斜した先端面（45）が、ガラス基板（20）の移動方向の前側（図２における右側）を向いている。第２噴霧ユニット（50）の各第２噴霧ノズル（52）は、その傾斜した先端面（55）が、ガラス基板（20）の移動方向の後側（図２における左側）を向いている。また、各噴霧ノズル（42,52）の先端（図２における下端）からガラス基板（20）の表面までの距離は、互いに等しい。
【００４２】
〈外方電極と下部電極〉
図２〜４に示すように、噴霧部（30）には、一対の外方電極（61,62）と一対の下部電極（66,67）とが設けられている。
【００４３】
外方電極（61,62）は、導電性樹脂からなる矩形板状の部材である。外方電極（61,62）は、図外のステーを介してフレーム部材（31）に固定されている。外方電極（61,62）は、ガラス基板（20）の幅方向における各外端ノズル（91,92）の外方に、一つずつ配置されている。また、各外方電極（61,62）は、対応する外端ノズル（91,92）の先端部の側方に、外端ノズル（91,92）側を向く姿勢で配置されている。
【００４４】
図４に示すように、第１外方電極（61）は、第１噴霧ノズル（42）からなる第１外端ノズル（91）のガラス基板（20）の幅方向における外方に配置されている。つまり、第１噴霧ユニット（40）における第１外端ノズル（91）とは逆側の端（図３の右端、図４の下端）に位置する第１噴霧ノズル（42b）の側方に、外方電極は設けられない。また、第２外方電極（62）は、第２噴霧ノズル（52）からなる第２外端ノズル（92）のガラス基板（20）の幅方向における外方に配置されている。つまり、第２噴霧ユニット（50）における第２外端ノズル（92）とは逆側の端（図３の左端、図４の上端）に位置する第２噴霧ノズル（52b）の側方に、外方電極は設けられない。
【００４５】
下部電極（66,67）は、導電性樹脂からなる細長い板状の部材である。下部電極（66,67）は、その長手方向がガラス基板（20）の幅方向（短辺方向）と平行になる姿勢で、フレーム部材（31）の下端部に固定されている。図２に示すように、下部電極（66,67）は、各噴霧ユニット（40,50）に対応して一つずつ配置されている。つまり、第１下部電極（66）は、ガラス基板（20）の移動方向における第１噴霧ユニット（40）の前側に配置され、第２下部電極（67）は、ガラス基板（20）の移動方向における第２噴霧ユニット（50）の後側に配置される。また、各下部電極（66,67）は、各噴霧ノズル（42,52）の先端よりも下方で且つガラス基板（20）寄りに配置されている。
【００４６】
〈電圧印加部〉
図２に示すように、電圧印加部（70）は、電源（71）と、接地電極（68）とを備えている。
【００４７】
電源（71）は、出力電圧が５ｋＶ程度の直流電源（71）である。電源（71）の正極（＋極）は、全ての第１噴霧ノズル（42）と、全ての第２噴霧ノズル（52）とに、電気的に接続されている。また、電源（71）の正極（＋極）は、各外方電極（61,62）と各下部電極（66,67）とにも、電気的に接続されている。電源（71）の負極（−極）は、接地されている。
【００４８】
接地電極（68）は、電源（71）の負極と同様に、接地されている。接地電極（68）は、導電板（25）の下方に配置され、ベルトコンベア（15）によって搬送される導電板（25）の下面と接触する。つまり、接地電極（68）が導電板（25）と導通し、導電板（25）が接地電極（68）と同電位になる。
【００４９】
〈液供給部〉
図２に示すように、液供給部（80）は、タンク（81）と、輸液配管（82）と、ポンプ（83）とを備えている。タンク（81）には、原料液が貯留されている。原料液は、防汚用の被膜を形成する物質を溶剤で希釈したものである。輸液配管（82）は、一端がタンク（81）の底部に接続され、他端がヘッダ部材（36）に接続されている。ポンプ（83）は、輸液配管（82）に設けられ、タンク（81）から吸引した原料液をヘッダ部材（36）へ向けて吐出する。
【００５０】
−成膜装置の運転動作−
上述したように、成膜装置（10）は、前処理ゾーン（11）においてガラス基板（20）を洗浄する工程を、噴霧ゾーン（12）においてガラス基板（20）に原料液を付着させる工程を、後処理ゾーン（13）においてガラス基板（20）に被膜を定着させる工程を、それぞれ行う。ここでは、噴霧ゾーン（12）においてガラス基板（20）に原料液を付着させるために成膜装置（10）が行う動作について説明する。
【００５１】
〈被膜を形成する動作〉
液供給部（80）のポンプ（83）は、タンク（81）内の原料液が輸液配管（82）を通ってヘッダ部材（36,37）へ供給される。ヘッダ部材（36,37）へ流入した原料液は、各接続チューブ（43,53）へ分かれて流入し、各噴霧ノズル（42,52）へ供給される。
【００５２】
上述したように、各噴霧ノズル（42,52）が電源（71）の正極と導通し、ガラス基板（20）を載せた導電板（25）が接地電極（68）と導通する。このため、各噴霧ノズル（42,52）のノズル本体（44,54）と、導電板（25）に載ったガラス基板（20）との間に電圧が印加される。
【００５３】
ノズル本体（44,54）とガラス基板（20）の間に電圧を印加すると、ノズル本体（44,54）の先端付近の空間に電界が形成される。すると、ノズル本体（44,54）の先端では、原料液が電界に引っ張られていわゆるテイラーコーンが形成され、そのテイラーコーンの先端から原料液が引きちぎられることによって概ね数μｍから１００μｍ程度の大きさの液滴が生成する。ノズル本体（44,54）から噴霧された液滴状の原料液は、ガラス基板（20）へ向かって（本実施形態では下に向かって）飛んでゆく。
【００５４】
図５に示すように、第１噴霧ノズル（42）は、その先端面（45）がガラス基板（20）の移動方向の前側を向いている。このため、第１噴霧ノズル（42）からは、ガラス基板（20）の移動方向へ向かって液滴状の原料液が噴霧される。一方、第２噴霧ノズル（52）は、その先端面（55）がガラス基板（20）の移動方向の後側を向いている。このため、第２噴霧ノズル（52）からは、ガラス基板（20）の移動方向とは逆方向へ向かって液滴状の原料液が噴霧される。
【００５５】
成膜装置（10）では、ガラス基板（20）を載せた導電板（25）が、ベルトコンベア（15）によって搬送される。成膜装置（10）の噴霧ゾーン（12）では、水平方向へ真っ直ぐに移動するガラス基板（20）に対して、噴霧部（30）が原料液を噴霧する。その結果、矩形状のガラス基板（20）の表面全体に原料液が付着し、ガラス基板（20）の表面全体に防汚用の被膜が形成される。
【００５６】
〈噴霧された原料液の軌跡〉
各噴霧ノズル（42,52）は電源（71）の正極と導通しているため、各噴霧ノズル（42,52）から噴霧された液滴状の原料液は、正（＋）の電荷を帯びている。一方、下部電極（66,67）は、電源（71）の正極と導通しており、その電位が各噴霧ノズル（42,52）から噴霧された液滴と同極性となっている。
【００５７】
従って、第１噴霧ノズル（42）から噴霧された液滴は、第１下部電極（66）から電気的な斥力を受ける。このため、第１噴霧ノズル（42）から噴霧された液滴は、第１下部電極（66）の付近においてガラス基板（20）の移動方向とは逆方向へ押し返され、その結果、ガラス基板（20）の移動方向への液滴の拡散が抑制される。同様に、第２噴霧ノズル（52）から噴霧された液滴は、第２下部電極（67）から電気的な斥力を受ける。このため、第２噴霧ノズル（52）から噴霧された液滴は、第２下部電極（67）の付近においてガラス基板（20）の移動方向へ押し返され、その結果、ガラス基板（20）の移動方向とは逆方向への液滴の拡散が抑制される。
【００５８】
上述したように、各噴霧ノズル（42,52）から噴霧された液滴状の原料液は、正（＋）の電荷を有している。このため、各噴霧ノズル（42,52）から噴霧された液滴は、その噴霧ノズル（42,52）に近接した他の噴霧ノズル（42,52）から噴霧された液滴から電気的な斥力を受ける。
【００５９】
先ず、図４に示すように、二十本の第１噴霧ノズル（42）のうち、第１噴霧ユニット（40）の両端に位置する二本を除く残りの十八本の第１噴霧ノズル（42a）は、ガラス基板（20）の幅方向における各第１噴霧ノズル（42a）の両側に別の第１噴霧ノズル（42）と第２噴霧ノズル（52）とが存在している。従って、これら十八本の第１噴霧ノズル（42a）から噴霧された液滴には、ガラス基板（20）の幅方向の両側から電気的な斥力が作用する。このため、図６に示すように、これら十八本の第１噴霧ノズル（42a）から噴霧された液滴の軌跡は、概ね同じ形状となる。
【００６０】
また、図４に示すように、第１噴霧ユニット（40）の両端に位置する二本の第１噴霧ノズル（42）のうち、第１外端ノズル（91）を構成しない方の第１噴霧ノズル（42b）は、ガラス基板（20）の幅方向の片側にだけ別の第１噴霧ノズル（42）が存在する。一方、その第１噴霧ノズル（42b）よりもガラス基板（20）の幅方向の外方には、第２噴霧ノズル（52）からなる第２外端ノズル（92）が存在する。従って、この第１噴霧ノズル（42b）から噴霧された液滴にも、上述した十八本の第１噴霧ノズル（42a）噴霧された液滴と同様に、ガラス基板（20）の幅方向の両側から電気的な斥力が作用する。このため、図６に示すように、この第１噴霧ノズル（42b）から噴霧された液滴の軌跡は、上述した十八本の第１噴霧ノズル（42a）から噴霧された液滴の軌跡と概ね同じ形状になる。
【００６１】
また、図４に示すように、第１噴霧ノズル（42）からなる第１外端ノズル（91）は、ガラス基板（20）の幅方向の片側にだけ別の第１噴霧ノズル（42）と第２噴霧ノズル（52）とが存在する。一方、第１外端ノズル（91）よりもガラス基板（20）の幅方向の外方には、第１外方電極（61）が存在する。第１外方電極（61）の電位は、第１外端ノズル（91）から噴霧された液滴の電位と同極性である。このため、第１外端ノズル（91）から噴霧された液滴にも、ガラス基板（20）の幅方向の両側から電気的な斥力が作用する。このため、図６に示すように、第１外端ノズル（91）から噴霧された液滴の軌跡は、上述した十八本の第１噴霧ノズル（42a）から噴霧された液滴の軌跡と概ね同じ形状になる。
【００６２】
次に、図４に示すように、二十本の第２噴霧ノズル（52）のうち、第２噴霧ユニット（50）の両端に位置する二本を除く残りの十八本の第２噴霧ノズル（52a）は、ガラス基板（20）の幅方向における各第２噴霧ノズル（52a）の両側に別の第２噴霧ノズル（52）と第１噴霧ノズル（42）とが存在している。従って、これら十八本の第２噴霧ノズル（52a）から噴霧された液滴には、ガラス基板（20）の幅方向の両側から電気的な斥力が作用する。このため、図６に示すように、これら十八本の第２噴霧ノズル（52a）から噴霧された液滴の軌跡は、概ね同じ形状となる。
【００６３】
また、図４に示すように、第２噴霧ユニット（50）の両端に位置する二本の第２噴霧ノズル（52）のうち、第２外端ノズル（92）を構成しない方の第２噴霧ノズル（52b）は、ガラス基板（20）の幅方向の片側にだけ別の第２噴霧ノズル（52）が存在する。一方、その第２噴霧ノズル（52b）よりもガラス基板（20）の幅方向の外方には、第１噴霧ノズル（42）からなる第１外端ノズル（91）が存在する。従って、この第２噴霧ノズル（52b）から噴霧された液滴にも、上述した十八本の第１噴霧ノズル（42a）噴霧された液滴と同様に、ガラス基板（20）の幅方向の両側から電気的な斥力が作用する。このため、図６に示すように、この第２噴霧ノズル（52b）から噴霧された液滴の軌跡は、上述した十八本の第２噴霧ノズル（52a）から噴霧された液滴の軌跡と概ね同じ形状になる。
【００６４】
また、図４に示すように、第２噴霧ノズル（52）からなる第２外端ノズル（92）は、ガラス基板（20）の幅方向の片側にだけ別の第２噴霧ノズル（52）と第１噴霧ノズル（42）とが存在する。一方、第２外端ノズル（92）よりもガラス基板（20）の幅方向の外方には、第２外方電極（62）が存在する。第２外方電極（62）の電位は、第２外端ノズル（92）から噴霧された液滴の電位と同極性である。このため、第２外端ノズル（92）から噴霧された液滴にも、ガラス基板（20）の幅方向の両側から電気的な斥力が作用する。このため、図６に示すように、第２外端ノズル（92）から噴霧された液滴の軌跡は、上述した十八本の第２噴霧ノズル（52a）から噴霧された液滴の軌跡と概ね同じ形状になる。
【００６５】
−実施形態１の効果−
本実施形態の成膜装置（10）では、ガラス基板（20）の幅方向における外端ノズル（91,92）の外方に外方電極（61,62）が配置される。そして、外端ノズル（91,92）から噴霧された液滴は、隣接する噴霧ノズル（42,52）から噴霧された液滴と隣接する外方電極（61,62）の両方から電気的な斥力を受けるため、ガラス基板（20）の幅方向への液滴の拡散が抑えられる。従って、本実施形態によれば、外端ノズル（91,92）以外の噴霧ノズル（42,52）から噴霧された液滴だけでなく、外端ノズル（91,92）から噴霧された液滴もガラス基板（20）の表面に確実に付着させることができ、ガラス基板（20）の表面に付着せずに無駄になる原料液の量を削減できる。
【００６６】
また、本実施形態によれば、外端ノズル（91,92）から噴霧された液滴のガラス基板（20）の幅方向への拡散が抑えられるため、外端ノズル（91,92）から噴霧された液滴の軌跡を、外端ノズル（91,92）以外の噴霧ノズル（42a,42b,52a,52b）から噴霧された液滴の軌跡に近付けることができる。従って、本実施形態によれば、ガラス基板（20）の表面に付着する原料液の量を均一化でき、ガラス基板（20）の表面に形成された被膜の厚さを均一化することができる。
【００６７】
本実施形態の成膜装置（10）の噴霧部（30）では、第１噴霧ノズル（42）と第２噴霧ノズル（52）とがガラス基板（20）の幅方向に交互にジグザグに配置される。
【００６８】
そして、第１噴霧ノズル（42）からなる第１外端ノズル（91）から噴霧された液滴は、第１外方電極（61）からの電気的な斥力を受ける。また、第１外端ノズル（91）に最も近い第２噴霧ノズル（52b）から噴霧された液滴は、第１外端ノズル（91）から噴霧された液滴からの電気的な斥力を受ける。このため、第１外端ノズル（91）の外方に第１外方電極（61）を設けるだけで、第１外端ノズル（91）から噴霧された液滴のうちガラス基板（20）の表面から外れるものの量と、第１外端ノズル（91）に最も近い第２噴霧ノズル（52b）から噴霧された液滴のうちガラス基板（20）の表面から外れるものの量とを、削減できる。
【００６９】
また、第２噴霧ノズル（52）からなる第２外端ノズル（92）から噴霧された液滴は、第２外方電極（62）からの電気的な斥力を受ける。また、第２外端ノズル（92）に最も近い第１噴霧ノズル（42b）から噴霧された液滴は、第２外端ノズル（92）から噴霧された液滴からの電気的な斥力を受ける。このため、第２外端ノズル（92）の外方に第２外方電極（62）を設けるだけで、第２外端ノズル（92）から噴霧された液滴のうちガラス基板（20）の表面から外れるものの量と、第２外端ノズル（92）に最も近い第１噴霧ノズル（42b）から噴霧された液滴のうちガラス基板（20）の表面から外れるものの量とを、削減できる。
【００７０】
《発明の実施形態２》
本発明の実施形態２について説明する。本実施形態の成膜装置（10）は、実施形態１の成膜装置（10）において噴霧部（30）の構成を変更したものである。ここでは、本実施形態の成膜装置（10）について、実施形態１の成膜装置（10）と異なる点を説明する。
【００７１】
図７に示すように、本実施形態の噴霧部（30）は、噴霧ユニット（40）を一つだけ備えている。この噴霧ユニット（40）は、実施形態１の第１噴霧ユニット（40）と同様に構成されている。つまり、噴霧ユニット（40）は、保持ケース（41）に保持された二十本の噴霧ノズル（42）を備えている。図８及び図９に示すように、二十本の噴霧ノズル（42）は、ガラス基板（20）の幅方向（短辺方向）に一列に並んでいる。一列に並んだ二十本の噴霧ノズル（42）は、一方の端（図８の右端、図９の上端）に位置する一本が第１外端ノズル（91）となり、他方の端（図８の左端、図９の下端）に位置する一本が第２外端ノズル（92）となる。
【００７２】
各噴霧ノズル（42）の基端は、接続チューブ（43）を介してヘッダ部材（36,37）に接続されている。また、噴霧ノズル（42）の先端面（45）は、噴霧ノズル（42）の中心軸に対して傾斜している。各噴霧ノズル（42）の先端面（45）は、ガラス基板（20）の移動方向の前側（図７における右側）を向いている。
【００７３】
図８及び図９に示すように、本実施形態の噴霧部（30）には、二つの外方電極（61,62）と、一つの偏向用電極（63）と、一つの下部電極（66）とが設けられている。
【００７４】
外方電極（61,62）は、導電性樹脂からなる矩形板状の部材である。第１外方電極（61）は、ガラス基板（20）の幅方向における第１外端ノズル（91）の外方に配置されている。第２外方電極（62）は、ガラス基板（20）の幅方向における第２外端ノズル（92）の外方に配置されている。各外方電極（61,62）は、対応する外端ノズル（91,92）の先端部の側方に、外端ノズル（91,92）側を向く姿勢で配置されている。
【００７５】
偏向用電極（63）は、導電性樹脂からなる細長い板状の部材である。偏向用電極（63）は、その長手方向がガラス基板（20）の幅方向（短辺方向）と平行になる姿勢で、一列に並んだ噴霧ノズル（42）の側方に配置されている。また、偏向用電極（63）は、ガラス基板（20）の移動方向における噴霧ノズル（42）の後側に配置されている。この偏向用電極（63）は、外方電極（61,62）と一体に形成されている。つまり、第１外方電極（61）は偏向用電極（63）の一方の端部から、第２外方電極（62）は偏向用電極（63）の他方の端部から、それぞれガラス基板（20）の移動方向の前側へ突出している。
【００７６】
一体に形成された外方電極（61,62）と偏向用電極（63）は、そのいずれかが電源（71）の正極に電気的に接続されている。また、一体に形成された外方電極（61,62）と偏向用電極（63）は、それぞれの電位が同じになる。
【００７７】
下部電極（66）は、実施形態１の第１下部電極（66）と同様に構成され、この第１下部電極（66）と同様に配置されている。つまり、下部電極（66）は、導電性樹脂からなる細長い板状の部材であって、その長手方向がガラス基板（20）の幅方向（短辺方向）と平行になる姿勢で、フレーム部材（31）の下端部に固定されている。また、下部電極（66）は、ガラス基板（20）の移動方向における噴霧ユニット（40）の前側に配置されている。更に、下部電極（66）は、噴霧ノズル（42）の先端よりも下方で且つガラス基板（20）寄りに配置されている。下部電極（66）は、実施形態１の第１下部電極（66）と同様に、電源（71）の正極に電気的に接続されている。
【００７８】
−成膜装置の運転動作−
実施形態１の成膜装置（10）と同様に、本実施形態の成膜装置（10）において噴霧ノズル（42）に電圧を印可すると、噴霧ノズル（42）の先端から液滴状の原料液が噴霧される。
【００７９】
噴霧ノズル（42）から噴霧された液滴は、正（＋）の電荷を帯びている。一方、下部電極（66）は、電源（71）の正極と導通しており、その電位が各噴霧ノズル（42）から噴霧された液滴と同極性となっている。従って、噴霧ノズル（42）から噴霧された液滴は、下部電極（66）から電気的な斥力を受ける。このため、噴霧ノズル（42）から噴霧された液滴は、下部電極（66）の付近においてガラス基板（20）の移動方向とは逆方向へ押し返され、その結果、ガラス基板（20）の移動方向への液滴の拡散が抑制される。
【００８０】
上述したように、各噴霧ノズル（42）から噴霧された液滴状の原料液は、正（＋）の電荷を有している。このため、各噴霧ノズル（42）から噴霧された液滴は、その噴霧ノズル（42）に隣接した他の噴霧ノズル（42）から噴霧された液滴から電気的な斥力を受ける。
【００８１】
具体的に、図９に示すように、二十本の噴霧ノズル（42）のうち、噴霧ユニット（40）の両端に位置する二本を除く残りの十八本の噴霧ノズル（42a）は、ガラス基板（20）の幅方向における各噴霧ノズル（42a）の両側に別の噴霧ノズル（42）が存在している。従って、これら十八本の噴霧ノズル（42a）から噴霧された液滴には、ガラス基板（20）の幅方向の両側から電気的な斥力が作用する。このため、これら十八本の噴霧ノズル（42a）から噴霧された液滴の軌跡は、概ね同じ形状となる。
【００８２】
また、図９に示すように、各外端ノズル（91,92）は、ガラス基板（20）の幅方向の片側にだけ別の噴霧ノズル（42a）が存在する。一方、第１外端ノズル（91）よりもガラス基板（20）の幅方向の外方には、第１外方電極（61）が存在し、第２外端ノズル（92）よりもガラス基板（20）の幅方向の外方には、第２外方電極（62）が存在する。各外方電極（61,62）の電位は、対応する外端ノズル（91,92）から噴霧された液滴の電位と同極性である。このため、各外端ノズル（91,92）から噴霧された液滴にも、ガラス基板（20）の幅方向の両側から電気的な斥力が作用する。このため、各外端ノズル（91,92）から噴霧された液滴の軌跡は、上述した十八本の噴霧ノズル（42a）から噴霧された液滴の軌跡と概ね同じ形状になる。
【００８３】
《発明の実施形態３》
本発明の実施形態３について説明する。本実施形態の成膜装置（10）は、実施形態１の成膜装置（10）において噴霧部（30）の構成を変更したものである。ここでは、本実施形態の成膜装置（10）について、実施形態１の成膜装置（10）と異なる点を説明する。
【００８４】
図１０に示すように、本実施形態の噴霧部（30）では、ガラス基板（20）の移動方向における第１噴霧ユニット（40）の真横に、第２噴霧ユニット（50）が配置されている。このため、ガラス基板（20）の移動方向から見ると、第１噴霧ユニット（40）の第１噴霧ノズル（42）が第２噴霧ユニット（50）の第２噴霧ノズル（52）と重なり合う。
【００８５】
本実施形態の噴霧部（30）では、各噴霧ユニット（40,50）に外方電極（61a,62a,61b,62b）が二つずつ設けられる。各噴霧ユニット（40,50）の外方電極（61a,62a,61b,62b）は、電源（71）の正極（＋極）に電気的に接続される。
【００８６】
具体的に、第１噴霧ユニット（40）では、ガラス基板（20）の幅方向の一端に位置する第１噴霧ノズル（42）が第１外端ノズル（91a）を構成し、その他端に位置する第１噴霧ノズル（42）が第２外端ノズル（92a）を構成する。第１噴霧ユニット（40）では、ガラス基板（20）の幅方向における第１外端ノズル（91a）の外方に第１外方電極（61a）が配置され、ガラス基板（20）の幅方向における第２外端ノズル（92a）の外方に第２外方電極（62a）が配置される。
【００８７】
第１噴霧ユニット（40）に対応する各外方電極（61a,62a）の電位は、各第１噴霧ノズル（42）から噴霧された液滴の電位と同極性である。このため、二つの外端ノズル（91a,92a）を含む全ての第１噴霧ノズル（42）から噴霧された液滴には、ガラス基板（20）の幅方向の両側から電気的な斥力が作用する。従って、第１噴霧ユニット（40）では、各第１噴霧ノズル（42）から噴霧された液滴の軌跡が概ね同じ形状になる。
【００８８】
また、第２噴霧ユニット（50）では、ガラス基板（20）の幅方向の一端に位置する第２噴霧ノズル（52）が第１外端ノズル（91b）を構成し、その他端に位置する第２噴霧ノズル（52）が第２外端ノズル（92b）を構成する。第２噴霧ユニット（50）では、ガラス基板（20）の幅方向における第１外端ノズル（91b）の外方に第１外方電極（61b）が配置され、ガラス基板（20）の幅方向における第２外端ノズル（92b）の外方に第２外方電極（62b）が配置される。
【００８９】
第２噴霧ユニット（50）に対応する各外方電極（62b,62b）の電位は、各第２噴霧ノズル（52）から噴霧された液滴の電位と同極性である。このため、二つの外端ノズル（91b,92b）を含む全ての第２噴霧ノズル（52）から噴霧された液滴には、ガラス基板（20）の幅方向の両側から電気的な斥力が作用する。従って、第２噴霧ユニット（50）では、各第２噴霧ノズル（52）から噴霧された液滴の軌跡が概ね等しくなる。
【産業上の利用可能性】
【００９０】
以上説明したように、本発明は、静電噴霧によって対象物に被膜を形成する成膜装置について有用である。
【符号の説明】
【００９１】
10    成膜装置
20    ガラス基板（対象物）
42    第１噴霧ノズル
52    第２噴霧ノズル
61    第１外方電極
62    第２外方電極
63    偏向用電極
91    第１外端ノズル
92    第２外端ノズル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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