(57)【要約】【課題】玉軸受けの劣化防止のための大揺動を適切なタイミングで行うことができる光走査装置、及び光走査装置における玉軸受け制御方法を提供すること。【解決手段】コイルに流れる電流の値とミラーの回転角度との関係を表す特性値をモニタリングする（Ｓ２１）。そのモニタリングされている特性値が閾値より大きいか否かを判断する（Ｓ２３）。その判断の内容に基づいて、玉軸受けの玉が少なくとも一回自転する角度までミラーを回転させることをドライバによって行わせる（Ｓ２４）。【選択図】図７
2014194490.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
玉軸受けと、前記玉軸受けによって軸支され、磁性体を含む磁性のシャフトと、前記シャフトの一端に固定されたミラーと、前記シャフトの軸回りに巻かれたコイルと、前記コイルに電流を流すことによって生じる前記シャフトの回動を介して前記ミラーを回動させるドライバと、前記ミラーの回転角度を検出するセンサと、を有し、
前記コイルに流れる電流の値と前記ミラーの回転角度との関係を表す特性値をモニタリングするモニタ手段と、
前記モニタ手段によってモニタリングされた特性値が閾値より大きいか否かを判断する判断手段と、
前記判断手段による判断内容に基づいて、前記玉軸受けの玉が少なくとも一回自転する角度まで前記ミラーを回転させることを前記ドライバによって行わせる駆動手段と、を備えたこと、を特徴とする光走査装置。
【請求項２】
請求項１に記載する光走査装置であって、
前記モニタ手段によってモニタリングされる特性値は、前記センサによって検出される前記ミラーの回転角度が所定の回転角度にある際に前記ドライバによって前記コイルに流されている電流の値であること、を特徴とする光走査装置。
【請求項３】
請求項１に記載する光走査装置であって、
前記モニタ手段によってモニタリングされる特性値は、前記ドライバによって前記コイルに所定値の電流が流されている際に前記センサによって検出される前記ミラーの回転角度であること、を特徴とする光走査装置。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３のいずれか一つに記載する光走査装置であって、
前記駆動手段は、前記ミラーが光を反射していないときに、前記玉軸受けの玉が少なくとも一回自転する角度まで前記ミラーを回転させること、を特徴とする光走査装置。
【請求項５】
玉軸受けと、前記玉軸受けによって軸支され、磁性体を含むシャフトと、前記シャフトの一端に固定されたミラーと、前記シャフトを貫通し前記シャフトの軸回りに巻かれたコイルと、前記コイルに電流を流すことによって生じる前記シャフトの回動を介して前記ミラーを回動させるドライバと、前記ミラーの回転角度を検出するセンサと、を有する光走査装置における玉軸受け制御方法であって、
前記コイルに流れる電流の値と前記ミラーの回転角度との関係を表す特性値をモニタリングするモニタステップと、
前記モニタステップによってモニタリングされた特性値が閾値より大きいか否かを判断する判断ステップと、
前記判断ステップによる判断内容に基づいて、前記玉軸受けの玉が少なくとも一回自転する角度まで前記ミラーを回転させることを前記ドライバによって行わせる駆動ステップと、を備えたこと、を特徴とする光走査装置における玉軸受け制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガルバノスキャナを用いた光走査装置、及びその光走査装置における玉軸受け制御方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、ガルバノスキャナを用いた光走査装置、及びその光走査装置における玉軸受け制御方法として、例えば、下記特許文献１に記載された技術が知られている。
【０００３】
下記特許文献１に記載の技術では、転がり軸受けでミラーを揺動させる光走査装置において、定常の光走査以外の時間に、定常の光走査より大きな振れ角でミラーを揺動させている。これにより、転がり軸受け内の各所に潤滑油を十分に行き渡らせることができるので、転がり軸受けの損傷を長期に渡って防止することが可能とされる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００３―６６３６３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記特許文献１の記載によれば、定常の光走査以外の時間とは、１枚の画像記録を終了した後のスタンバイ時などとされる。
【０００６】
この点、スタンバイ時の度に、つまり、１枚の画像記録を終了する度に、定常の光走査より大きな振れ角でミラーを揺動させていれば、殆どのスタンバイ時では、転がり軸受け内の各所に潤滑油が十分に行き渡っている可能性が大きい。
【０００７】
従って、上記特許文献１に記載の技術では、転がり軸受け内の各所に潤滑油が十分に行き渡っているにも拘わらず、定常の光走査より大きな振れ角でミラーを揺動させてしまうケースが多く発生する虞れがある。その結果、消費電力が増大してしまうという問題点があった。
【０００８】
そこで、本発明は、上述した点を鑑みてなされたものであり、玉軸受けの劣化防止のための大揺動を適切なタイミングで行うことができる光走査装置、及び光走査装置における玉軸受け制御方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
この課題を解決するためになされた請求項１に係る発明は、光走査装置であって、玉軸受けと、前記玉軸受けによって軸支され、磁性体を含む磁性のシャフトと、前記シャフトの一端に固定されたミラーと、前記シャフトの軸回りに巻かれたコイルと、前記コイルに電流を流すことによって生じる前記シャフトの回動を介して前記ミラーを回動させるドライバと、前記ミラーの回転角度を検出するセンサと、を有し、前記コイルに流れる電流の値と前記ミラーの回転角度との関係を表す特性値をモニタリングするモニタ手段と、前記モニタ手段によってモニタリングされた特性値が閾値より大きいか否かを判断する判断手段と、前記判断手段による判断内容に基づいて、前記玉軸受けの玉が少なくとも一回自転する角度まで前記ミラーを回転させることを前記ドライバによって行わせる駆動手段と、を備えたこと、を特徴とする。
【００１０】
また、請求項２に係る発明は、請求項１に記載する光走査装置であって、前記モニタ手段によってモニタリングされる特性値は、前記センサによって検出される前記ミラーの回転角度が所定の回転角度にある際に前記ドライバによって前記コイルに流されている電流の値であること、を特徴とする。
【００１１】
また、請求項３に係る発明は、請求項１に記載する光走査装置であって、前記モニタ手段によってモニタリングされる特性値は、前記ドライバによって前記コイルに所定値の電流が流されている際に前記センサによって検出される前記ミラーの回転角度であること、を特徴とする。
【００１２】
また、請求項４に係る発明は、請求項１乃至請求項３のいずれか一つに記載する光走査装置であって、前記駆動手段は、前記ミラーが光を反射していないときに、前記玉軸受けの玉が少なくとも一回自転する角度まで前記ミラーを回転させること、を特徴とする。
【００１３】
また、請求項５に係る発明は、玉軸受けと、前記玉軸受けによって軸支され、磁性体を含むシャフトと、前記シャフトの一端に固定されたミラーと、前記シャフトを貫通し前記シャフトの軸回りに巻かれたコイルと、前記コイルに電流を流すことによって生じる前記シャフトの回動を介して前記ミラーを回動させるドライバと、前記ミラーの回転角度を検出するセンサと、を有する光走査装置における玉軸受け制御方法であって、前記コイルに流れる電流の値と前記ミラーの回転角度との関係を表す特性値をモニタリングするモニタステップと、前記モニタステップによってモニタリングされた特性値が閾値より大きいか否かを判断する判断ステップと、前記判断ステップによる判断内容に基づいて、前記玉軸受けの玉が少なくとも一回自転する角度まで前記ミラーを回転させることを前記ドライバによって行わせる駆動ステップと、を備えたこと、を特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
請求項１，５に係る各発明では、コイルに流れる電流の値とミラーの回転角度との関係を表す特性値をモニタリングする。そのモニタリングされている特性値が閾値より大きいか否かを判断する。その判断の内容に基づいて、玉軸受けの玉が少なくとも一回自転する角度までミラーを回転させることをドライバによって行わせる。よって、閾値より大きいか否かを判断するための比較対象が、コイルに流れる電流の値とミラーの回転角度との関係を表す特性値であるので、玉軸受けの劣化防止のための大揺動を適切なタイミングで行うことができる。
【００１５】
また、請求項２に係る発明では、モニタリングされている特性値が、センサによって検出されるミラーの回転角度が所定の回転角度にある際にドライバによってコイルに流されている電流の値である。つまり、コイルに流れる電流についての判断の内容に基づいて、玉軸受けの玉が少なくとも一回自転する角度までミラーを回転させることをドライバによって行わせる。よって、消費電力の抑制について最も適した装置を提供することが可能である。
【００１６】
また、請求項３に係る発明では、モニタリングされている特性値が、ドライバによってコイルに所定値の電流が流されている際にセンサによって検出されるミラーの回転角度である。つまり、ミラーの回転角度についての判断の内容に基づいて、玉軸受けの玉が少なくとも一回自転する角度までミラーを回転させることをドライバによって行わせる。よって、制御誤差の抑制について最も適した装置を提供することが可能である。
【００１７】
また、請求項４に係る発明では、ミラーが光を反射していないときに、玉軸受けの玉が少なくとも一回自転する角度までミラーを回転させる。つまり、ミラーで光を走査させる直前にて、コイルに流れる電流の値とミラーの回転角度との関係を表す特性値をモニタリングすることを開始できる。よって、玉軸受けの劣化防止のための大揺動をより一層に適切なタイミングで行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の一実施形態に係る「光走査装置、及び光走査装置における玉軸受け制御方法」が適用されるレーザ加工装置１０１の外観斜視図である。
【図２】ガルバノスキャナ１１２の走査部５を表した斜視図である。
【図３】ガルバノスキャナ１１２の走査部５を表した正面図である。
【図４】図３のＸ１−Ｘ１矢視断面図である。
【図５】本発明の一実施形態に係る「光走査装置、及び光走査装置における玉軸受け制御方法」の制御構成を表したブロック図である。
【図６】本発明の一実施形態に係る「光走査装置、及び光走査装置における玉軸受け制御方法」が適用されるレーザ加工装置１０１のフローチャート図である。
【図７】本発明の一実施形態に係る「光走査装置における玉軸受け制御方法」のフローチャート図である。
【図８】玉軸受け５１を表した平面図である。
【図９】本発明の一実施形態に係る「光走査装置、及び光走査装置における玉軸受け制御方法」の効果を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
［１．レーザ加工装置の概略構成］
先ず、本発明の一実施形態に係る「光走査装置、及び光走査装置における玉軸受け制御方法」が適用されるレーザ加工装置１０１の概略構成について、図１を参照にして簡単に説明する。
【００２０】
図１に表したように、レーザ加工装置１０１は、レーザ発振器１１１と、ガルバノスキャナ１１２と、結像光学系装置１１３と、を有する。本発明の一実施形態に係る「光走査装置、及び光走査装置における玉軸受け制御方法」は、ガルバノスキャナ１１２の走査部に関する。レーザ加工装置１０１は、レーザ発振器１１１とガルバノスキャナ１１２と結像光学系装置１１３を含んだユニットであって、レーザ光によって金属や樹脂へ加工を施すための装置である。レーザ発振器１１１は、加工用の高出力レーザであり、加工時にレーザ光を発振するものである。ガルバノスキャナ１１２は、レーザ光を任意のＸＹ方向に反射するものである。ガルバノスキャナ１１２は、レーザ発振器１１１より発振したレーザ光を結像光学系装置１１３方向へ反射する。結像光学系装置１１３は、ガルバノスキャナ１１２により偏光された光を平らな面に集光するためのものである。
【００２１】
［２．ガルバノスキャナの走査部］
次に、ガルバノスキャナ１１２の走査部について図２乃至図４を参照しつつ詳細に説明する。図２に表したように、走査部５は、ミラー部２１と、略円柱状に形成された駆動部２２と、板状誘電体１５とから構成されている。
【００２２】
図３及び図４に表したように、駆動部２２は、ミラー部２１が先端部に取り付けられたモータ軸１２を所定角度範囲内で往復回動させる。また、駆動部２２は、モータ軸１２のミラー部２１に対して反対側の端部が外側に所定長さ（例えば、約５ｍｍである。）突出して、板状誘電体１５がモータ軸１２に対して垂直になるように端面部に取り付けられている。
【００２３】
この板状誘電体１５の外周部の直径は、駆動部２２の最大外径よりも少し小さくなるように形成されている。
【００２４】
ミラー部２１は、レーザ発振器１１１（図１参照）からのレーザ光を反射する略長方形のミラー４３と、ミラーマウンタ４２とから構成されている。ミラー４３は、一端がミラーマウンタ４２の切り込み４２Ａ内に挿入されて、接着剤等により固着されている。
【００２５】
ミラーマウンタ４２は、ミラー４３をモータ軸１２の一端側に取り付けるための取付部材であり、アルミニウム等で略直方体状に形成されている。ミラーマウンタ４２の一端部には、ミラー４３の一端が挿入される切込み部４２Ａが形成され、他端部には、モータ軸１２の一端部が嵌入される断面円形の取付凹部４２Ｂが形成されている。
【００２６】
また、ミラーマウンタ４２の両側縁部には、他端部から取付凹部４２Ｂの底面部に達する各スリット４２Ｃが形成されると共に、各スリット４２Ｃに対して垂直にネジ孔４２Ｄが形成されている。従って、ミラーマウンタ４２の取付凹部４２Ｂ内にモータ軸１２を嵌入してネジ止めすることによって、モータ軸１２に対してミラーマウンタ４２を回転不能に取り付けることができる。
【００２７】
駆動部２２は、モータ軸１２と、モータ軸１２の軸方向中央部に固定された磁石４５と、カバー部材としての略円筒状の固定ヨーク４６と、固定ヨーク４６に固定されて磁石４５及びモータ軸１２を回転駆動する一対のコイル４７とから構成されている。この固定ヨーク４６は、周方向にＮ極とＳ極の２極に着磁された磁石４５と協働して磁気回路を構成し、ＳＵＳ４２０等の磁性材料で形成されている。
【００２８】
また、モータ軸１２の両端部は、固定ヨーク４６内に配置された各玉軸受け５１によって回転可能に支持されている。各玉軸受け５１は、内輪５１Ｂがモータ軸１２の各段差部４８に当接されて、固定ヨーク４６内に位置決めされた状態で配置されている。また、各玉軸受け５１の外輪５１Ａには、固定ヨーク４６の一端側（図４中、上端側である。）に螺合する略四角形の蓋部材５２によって所定の予圧が付与されている。
【００２９】
具体的には、蓋部材５２の内側には、内周面に雌ネジ部が形成された断面円形の凹部５３が形成され、固定ヨーク４６の一端側に形成された雄ねじ部に螺合している。また、凹部５３の底面部の中央部には、玉軸受け５１の内輪５１Ｂの外径よりも大きい内径の貫通孔５５が形成され、この貫通孔５５の周縁部から軸方向内側へ所定高さの円筒状のリブ５６が立設されている。そして、蓋部材５２を所定トルクでねじ込むことによって、円筒状のリブ５６が、一方の玉軸受け５１の外輪５１Ａに当接して、各玉軸受け５１の外輪５１Ａに所定の予圧が付与されるように構成されている。
【００３０】
また、モータ軸１２の他端（図４中、下端である。）には、中心軸に沿ってネジ孔が形成され、板状誘電体１５がネジ５７によってネジ止めされ、当該モータ軸１２と一体的に回転するように構成されている。
【００３１】
ちなみに、モータ軸１２の材質は、アルミニウム又は他の非磁性体である。
【００３２】
また、各玉軸受け５１においては、外輪５１Ａと内輪５１Ｂとの間に複数の玉５１Ｃが装填されている。
【００３３】
［３．本発明の制御構成］
次に、本発明の一実施形態に係る「光走査装置、及び光走査装置における玉軸受け制御方法」の制御構成について、図５を参照にして説明する。
【００３４】
図５に表したように、「光走査装置、及び光走査装置における玉軸受け制御方法」の制御構成は、ガルバノスキャナ１１２、ドライバ２０１、及びパーソナル・コンピュータ（以下、「ＰＣ」という。）３０１からなる。ガルバノスキャナ１１２は、光を任意の方向へ偏光するためのデバイスであり、駆動部２２とセンサ部１２１から構成される。駆動部２２は、取り付けられたミラー４３を磁力により傾ける。センサ部１２１は、ミラー４３の駆動角度を検出する。ドライバ２０１は、ガルバノスキャナ１１２を動作させるための回路基板である。ドライバ２０１は、ＰＣ３０１からの指令を駆動信号へ変換し、ガルバノスキャナ１１２に送信する役割をもつ。さらに、ドライバ２０１は、ガルバノスキャナ１１２のセンサ部１２１からのセンサ信号を受信する役割をもつ。ＰＣ３０１は、ドライバ２０１を制御するためのものであり、制御ソフト３０２によって加工文字、速度などを設定する役割をもつ。
【００３５】
ガルバノスキャナ１１２は、駆動部２２及びセンサ部１２１などを有する。駆動部２２は、モータ軸１２やコイル４７などで構成される。センサ部１２１は、板状誘電体１５や図示しないエンコーダ部などで構成される。ドライバ２０１は、信号発生器２０２、位置判定器２０３、及び電圧（電流）検出器２０４などを有する。ＰＣ３０１は、制御ソフト３０２及び位置指令部３０３などを有する。駆動部２２は、ミラー４３を駆動させる部分である。駆動部２２は、コイル４７に電流を流すことで、モータ軸１２に付随したミラー４３を回動させる。モータ軸１２は、駆動する部分であり、磁石４５とアタッチメントから構成される。コイル４７は、磁石４５の左右に固定配置される。コイル４７は、電流が流れることで磁界が発生し、モータ軸１２を駆動させる。センサ部１２１は、ミラー４３の角度を検出する部分であって、モータ軸１２に取り付けられた板状誘電体１５で角度を検出する。板状誘電体１５は、セラミックなどの誘電体によって作られた板であり、誘電率を介してミラー４３の角度を検知することが可能である。信号発生器２０２は、信号を発生するための部分であり、ドライバ２０１内に構成される。信号発生器２０２は、位置判定器２０３の値に応じて、コイル４７に任意の電流を流す。位置判定器２０３は、ミラー４３の位置を判定するものである。位置判定器２０３は、板状誘電体１５の位置に応じてミラー４３の位置を判定し、ミラー４３を任意の位置に回動させるために信号発生器２０２へ指令を送る。電圧（電流）検出器２０４は、コイル４７へ流れる電流を検出するためのものである。電圧（電流）検出器２０４は、その検出値を制御ソフト３０２へ返す。制御ソフト３０２は、加工条件を決定するためのソフトである。位置指令部３０３は、加工条件を位置へ変換するためのものであって、変換した位置をドライバ２０１へ指令する。
【００３６】
［４．本発明の実施タイミング］
次に、本発明の一実施形態に係る「光走査装置における玉軸受け制御方法」が実施されるタイミングについて、図６を参照にして説明する。レーザ加工装置１０１では、印字加工（レーザマーキング）が行われる際は、図６に表されたフローチャートが実行される。
【００３７】
先ず、Ｓ１１において、印字条件入力処理が行われる。この処理では、レーザ発振器１１１からのレーザ光で印字する際の条件が入力される。その条件には、印字文字や印字速度などがある。その後は、Ｓ１２に進む。
【００３８】
Ｓ１２では、印字条件決定処理が行われる。この処理では、例えば、画面上の「印字ＯＮ」をクリックすることにより、上記Ｓ１１で入力された印字条件が決定される。そして、ＯＮ確認を２度行うことを条件として、Ｓ１３に進む。
Ｓ１３では、後述する図７の玉軸受け性能劣化抑制制御が行われる。その後は、Ｓ１４に進む。ちなみに、その制御では、レーザ発振器１１１におけるレーザ光の励起や、通信状態の確認などが行われる。通信状態の確認では、例えば、インターロックなどの安全状態の確認が行われる。つまり、本発明の一実施形態に係る「光走査装置における玉軸受け制御方法」が実施される。
【００３９】
Ｓ１４では、印字動作処理が行われる。この処理では、上記Ｓ１２で決定された印字条件をもってレーザ光による印字加工（レーザマーキング）が行われる。
【００４０】
［５．本発明の制御内容］
次に、本発明の一実施形態に係る「光走査装置、及び光走査装置における玉軸受け制御方法」の制御内容について、図７乃至図９を参照にして説明する。
【００４１】
図７のフローチャートで表されたプログラムは、上記図６のＳ１３の玉軸受け性能劣化抑制制御を表しており、ＰＣ３０１の制御ソフト３０２に含まれる。
【００４２】
図７に表されたように、先ず、Ｓ２１では、モニタ処理が開始される。この処理では、コイル４７に流れる電流の値とミラー４３の回転角度との関係を表す特性値がモニタリングされ続ける。
【００４３】
この点、モニタリングされる特性値には、位置判定器２０３によって検出されるミラー４３の回転角度が所定の回転角度にある際にドライバ２０１の信号発生器２０２によってコイル４７に流されている電流の値（以下、「コイル４７に流されている電流の値」という。）がある。あるいは、モニタリングされる特性値には、ドライバ２０１の信号発生器２０２によってコイル４７に所定値の電流が流されている際に位置判定器２０３によって検出されるミラー４３の回転角度（以下、「ミラー４３の回転角度」という。）がある。
【００４４】
尚、コイル４７に流されている電流の値は、電圧（電流）検出器２０４によって検出される。
【００４５】
Ｓ２２では、移動指令処理が行われる。この処理は、位置指令部３０３によって行われる。
【００４６】
この点、モニタリングされている特性値が、コイル４７に流されている電流の値である場合には、位置指令部３０３からのコマンドに基づき、ミラー４３の回転角度が所定の回転角度となるようにされる。
【００４７】
これに対して、モニタリングされている特性値が、ミラー４３の回転角度である場合には、位置指令部３０３からのコマンドに基づき、ドライバ２０１の信号発生器２０２によってコイル４７に所定値の電流が流されるようにされる。
【００４８】
Ｓ２３では、大揺動させるか否かの判断処理がなされる。
【００４９】
この点、モニタリングされている特性値が、コイル４７に流されている電流の値である場合には、以下の判断処理がなされる。すなわち、モニタリングされている特性値が閾値（例えば、通常時の電流の値の１．２倍程度）より大きい場合（Ｓ２３：ＹＥＳ）には、後述するＳ２４の駆動処理が行われる。一方、モニタリングされている特性値が閾値以下の場合（Ｓ２３：ＮＯ）には、本プログラムの実行を終了し、上記図６のＳ１３に進む。
【００５０】
これに対して、モニタリングされている特性値が、ミラー４３の回転角度である場合には、以下の判断処理がなされる。すなわち、モニタリングされている特性値が閾値（例えば、通常時の回転角度の０．８倍程度）以下の場合（Ｓ２３：ＹＥＳ）には、後述するＳ２４の駆動処理が行われる。一方、モニタリングされている特性値が閾値より大きい場合（Ｓ２３：ＮＯ）には、本プログラムの実行を終了し、上記図６のＳ１３に進む。
【００５１】
Ｓ２４では、駆動処理が行われる。その後は、本プログラムの実行を終了し、上記図６のＳ１３に進む。この処理では、玉軸受け５１の玉５１Ｃが少なくとも一回自転する角度までミラー４３を回転させることをドライバ２０１に行わせる。
【００５２】
具体的に言えば、図８に表した玉軸受け５１のように、内輪５１Ｂの外径をＤ１とし、玉５１Ｃの直径をＤ２とすれば、以下の式により、玉軸受け５１の玉５１Ｃが一回自転する角度が求められる。
（Ｄ２／Ｄ１）×３６０［ｄｅｇ］
【００５３】
従って、内輪５１Ｂの外径Ｄ１を１０ｍｍとし、玉５１Ｃの直径Ｄ２を１ｍｍとすれば、玉軸受け５１の玉５１Ｃが一回自転する角度として、３６ｄｅｇが求められる。
【００５４】
よって、Ｓ２４では、玉軸受け５１の玉５１Ｃが少なくとも一回自転する角度、つまり、上記の式で求められる角度までミラー４３を回転させることをドライバ２０１に行わせる。
【００５５】
ちなみに、Ｓ２４における回転は、１００回程度を間欠的に行われる。
【００５６】
このように、Ｓ２４における回転（以下、「大揺動」という。）を行えば、例えば、図９に表された効果を得ることができる。図９に表された図によれば、ミラー４３を０．２Ｖｐｐにて矩形波を連続的に印加し続けた場合には、５０００００ｓｅｃ程度経過すると、ミラー４３が０．１ｄｅｇ未満しか回動しなくなる。そのとき、１００回程度の大揺動を行うことで、特性劣化を抑制し、再び同条件を印加した際に初期搖動角度程度の特性が得られる。
【００５７】
［６．その他］
尚、本発明は上記実施形態に限定されるものでなく、その趣旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。
例えば、図７のフローチャートで表されたプログラムは、上記図６のＳ１２からＳ１４に移行する間のＳ１３において実行されていたが、これに限るものではない。図６に表されたフローチャートとは関係ない他のタイミングにおいて、図７のフローチャートで表されたプログラムが実行されてもよい。
【符号の説明】
【００５８】
１２  モータ軸
２２  駆動部
４３  ミラー
４５  磁石
４７  コイル
５１  玉軸受け
５１Ｃ  玉軸受けの玉
１１２  ガルバノスキャナ
１２１  センサ部
２０１  ドライバ
２０２  信号発生器
２０３  位置判定器
２０４  電圧（電流）検出器
３０１  パーソナル・コンピュータ
３０２  制御ソフト
３０３  位置指令部
【図１】
2014194490.tif 000003
【図２】
2014194490.tif 000004
【図３】
2014194490.tif 000005
【図４】
2014194490.tif 000006
【図５】
2014194490.tif 000007
【図６】
2014194490.tif 000008
【図７】
2014194490.tif 000009
【図８】
2014194490.tif 000010
【図９】
2014194490.tif 000011