(57)【要約】【課題】被着体の方位を他の装置に認識させることができる接着シートおよび接着シートの製造方法を提供すること。【解決手段】接着シートＡＳは、基材シートＢＳと、前記基材シートＢＳの一方の面に積層された接着剤ＡＤ層と、前記基材シートＢＳと前記接着剤ＡＤ層との間に設けられ、所定の法則性をもって被着体ＷＦに貼付されたときに、当該被着体ＷＦの方位を特定することができる方位特定部ＰＤとを備えている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材シートと、
前記基材シートの一方の面に積層された接着剤層と、
前記基材シートと前記接着剤層との間に設けられ、所定の法則性をもって被着体に貼付されたときに、当該被着体の方位を特定することができる方位特定部とを備えていることを特徴とする接着シート。
【請求項２】
前記方位特定部による前記接着剤層の隆起量が５０μｍ以下であることを特徴とする請求項１に記載の接着シート。
【請求項３】
基材シートの一方の面に方位特定部を設ける工程と、
前記方位特定部を覆うように前記基材シートの一方の面に接着剤層を積層する工程と、
前記方位特定部に対する所定の位置であって、当該方位特定部を内側に収めた状態で少なくとも前記基材シートを貫通する閉ループ状の切込を形成する工程とを実施することを特徴とする接着シートの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、接着シートおよび接着シートの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体製造工程において、半導体ウエハ（以下、単にウエハという場合がある）に貼付する接着シートが知られている（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１に記載の保護テープ（接着シート）は、外縁に結晶方位を示すノッチ（基準部）が形成されたウエハ（被着体）の一方の面に貼付される。保護テープが貼付されたウエハは、ノッチの位置に基づいて位置合わせされた後、他方の面に粘着テープ貼付装置でダイシング用粘着テープ（接着シート）が貼付される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−１５０１７７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、特許文献１に記載されたような接着シートが貼付された被着体は、例えば、研削装置や切断装置といった他の装置に搬送された後も、検出手段で基準部が検出され、当該基準部の位置に基づいて方位が特定され、各種の処理が行われる。
しかしながら、被着体に割れや損傷等が発生した場合、他の装置の検出手段がこの割れや損傷等を基準部と誤認識してしまい、被着体の方位を特定することができなくなり、被着体の処理に支障をきたすという不都合がある。
【０００５】
本発明の目的は、被着体の方位を他の装置に認識させることができる接着シートおよび接着シートの製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の接着シートは、基材シートと、前記基材シートの一方の面に積層された接着剤層と、前記基材シートと前記接着剤層との間に設けられ、所定の法則性をもって被着体に貼付されたときに、当該被着体の方位を特定することができる方位特定部とを備えていることを特徴とする。
【０００７】
本発明の接着シートは、前記方位特定部による前記接着剤層の隆起量が５０μｍ以下であることが好ましい。
【０００８】
本発明の接着シートの製造方法は、基材シートの一方の面に方位特定部を設ける工程と、前記方位特定部を覆うように前記基材シートの一方の面に接着剤層を積層する工程と、前記方位特定部に対する所定の位置であって、当該方位特定部を内側に収めた状態で少なくとも前記基材シートを貫通する閉ループ状の切込を形成する工程とを実施することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
以上のような本発明によれば、接着シートに方位特定部が設けられているため、当該接着シートが貼付された被着体の方位を他の装置に認識させることができる。
また、方位特定部による接着剤層の隆起量を５０μｍ以下にすれば、被着体に局部的な応力が加わって当該被着体にストレスが加わったり、被着体が破損してしまったりすることを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】（Ａ）は本発明の一実施形態に係る接着シートの使用例を示す斜視図。（Ｂ）は接着シートの断面図。
【図２】シート製造装置の側面図。
【図３】（Ａ）および（Ｂ）は変形例に係る接着シートの断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
図１において、接着シートＡＳは、基材シートＢＳと、基材シートＢＳの一方の面に積層された接着剤ＡＤ層と、基材シートＢＳと接着剤ＡＤ層との間に設けられ、所定の法則性をもって被着体としてのウエハＷＦに貼付されたときに、当該ウエハＷＦの方位を特定することができる方位特定部ＰＤとを備え、ウエハＷＦの形状に合わせた円形形状に形成されている。なお、ウエハＷＦの外縁には、当該ウエハＷＦの結晶方位を示す基準部としてのノッチＶＮが形成されている。
方位特定部ＰＤは、接着シートＡＳの中心ＳＣを通り、当該接着シートＡＳの一端から他端にまで達する直線とされている。
【００１２】
以上の接着シートＡＳは、所定の法則性をもってウエハＷＦに貼付されたとき、すなわち、図１（Ａ）に示すように、ノッチＶＮの中心ＶＣとウエハＷＦの中心ＷＣとを通る直線ＷＬ上に方位特定部ＰＤが重なるように貼付されたとき、当該方位特定部ＰＤによりノッチＶＮの位置やウエハＷＦの方位を特定することができる。これにより、例えば、ウエハＷＦの外縁に割れや損傷等が発生した場合でも、他の装置に方位特定部ＰＤとノッチＶＮとの位置的な所定の法則性を記憶させておけば、当該他の装置にウエハＷＦの方位を認識させることができる。
【００１３】
なお、接着シートＡＳは、図１（Ｂ）に示すように、方位特定部ＰＤによる接着剤ＡＤ層の隆起量ＰＡが５０μｍ以下とされている。このため、接着シートＡＳがウエハＷＦに貼付された状態で、当該ウエハＷＦに局部的な応力が加わって当該ウエハＷＦにストレスが加わったり、ウエハＷＦが破損してしまったりすることを防止することができる。さらに、接着シートＡＳがウエハＷＦに貼付された状態で、当該ウエハＷＦが極薄に研削された場合でも、接着剤ＡＤ層の隆起量ＰＡによって当該ウエハＷＦが切断されてしまうような不都合が生じない。
また、接着シートＡＳは、基材シートＢＳと接着剤ＡＤ層との間に方位特定部ＰＤが形成されているので、他の装置等での各種処理に用いられる水や薬品、さらには他の物品の接触等によって、方位特定部ＰＤが擦れたり消えたりすることを防止することができる。
【００１４】
次に、シート製造装置１による接着シートＡＳの製造方法について説明する。
図２において、シート製造装置１は、帯状の基材シートＢＳを繰り出す基材シート繰出手段２と、基材シートＢＳの一方の面に方位特定部ＰＤを形成する方位特定部形成手段３と、方位特定部ＰＤを覆うように基材シートＢＳの一方の面に接着剤ＡＤ層を積層する接着剤層積層手段４と、接着剤ＡＤ層を硬化させる硬化手段５と、帯状の剥離シートＲＬを繰り出す剥離シート繰出手段６と、方位特定部ＰＤに対する所定の位置であって、当該方位特定部ＰＤを内側に収めた状態で少なくとも基材シートＢＳを貫通する閉ループ状の切込ＣＵを形成し、当該切込ＣＵの内側に接着シートＡＳを形成する切断手段７と、剥離シートＲＬに接着シートＡＳが仮着された原反ＲＳを回収する回収手段８とを備えている。
【００１５】
基材シート繰出手段２は、駆動機器としての回動モータ２１によって回転可能に設けられ、基材シートＢＳを支持する支持ローラ２２と、基材シートＢＳを案内するガイドローラ２３とを備えている。
【００１６】
方位特定部形成手段３は、インクジェットプリンタ、サーマルプリンタ、凸版印刷、凹版印刷、レーザプリンタ等の印刷装置により構成される。
【００１７】
接着剤層積層手段４は、接着剤ストック部４１から接着剤ＡＤをかき出して基材シートＢＳの一方の面に転写する転写ローラ４２と、転写ローラ４２に対向配置されたプラテンローラ４３とを備えている。
【００１８】
硬化手段５は、接着剤ＡＤ層の硬化特性に応じて、例えば、熱風、紫外線、赤外線、マイクロ波、冷風、自然風等の定着化エネルギーを発するものが採用されている。
【００１９】
剥離シート繰出手段６は、駆動機器としての回動モータ６１により回転可能に設けられ、剥離シートＲＬを支持する支持ローラ６２と、剥離シートＲＬを基材シートＢＳの繰出方向に案内するガイドローラ６３と、ガイドローラ６３に対向配置されたピンチローラ６４とを備えている。
【００２０】
切断手段７は、駆動機器としての回動モータ７１により回転可能に設けられ、外周に閉ループ状の切断刃７２を有するカッターローラ７３と、カッターローラ７３に対向配置されたプラテンローラ７４とを備えている。
【００２１】
回収手段８は、駆動機器としての回動モータ８１によって回転可能に設けられ、原反ＲＳを回収する回収ローラ８２と、原反ＲＳを案内するガイドローラ８３とを備えている。
【００２２】
以上のシート製造装置１において、接着シートＡＳを製造する手順を説明する。
先ず、基材シートＢＳおよび剥離シートＲＬを図２に示すようにセットする。     次に、基材シート繰出手段２、剥離シート繰出手段６、切断手段７、および回収手段８が各回動モータ２１、６１、７１、８１を同期させて駆動し、基材シートＢＳおよび剥離シートＲＬを繰り出す。次いで、方位特定部形成手段３が基材シートＢＳの短寸幅方向中央部に方位特定部ＰＤを印刷し、当該方位特定部ＰＤを基材シートＢＳの繰出方向に沿った直線形状に形成する。このように、印刷法を用いることで、方位特定部ＰＤを容易に、しかも任意の形状に積層することができる。また、方位特定部ＰＤを基材シートＢＳの繰出方向に沿って形成することで、接着シートＡＳの製造を簡略化することができる。
【００２３】
次に、接着剤層積層手段４が基材シートＢＳの方位特定部ＰＤ側の面に当該方位特定部ＰＤを覆うように溶融状態の接着剤ＡＤを積層し、原接着シートＲＡＳを形成する。そして、硬化手段５が接着剤ＡＤ層を硬化した後、剥離シート繰出手段６がガイドローラ６３とピンチローラ６４とで原接着シートＲＡＳおよび剥離シートＲＬを挟み込み、剥離シートＲＬに原接着シートＲＡＳを仮着する。その後、切断手段７が基材シートＢＳ側から閉ループ状の切込ＣＵを形成し、当該切込ＣＵの内側に接着シートＡＳを形成し、切込ＣＵが形成された原反ＲＳは、回収ローラ８２で巻き取られる。なお、切断手段７は、光学センサや撮像手段等の図示しない検知手段によって検知された方位特定部ＰＤの位置に対し、当該方位特定部ＰＤ上に中心を置く円形の切込ＣＵを形成するようになっている。また、切断手段７を設けることなく、回収ローラ８２で巻き取った原接着シートＲＡＳを直線ＷＬ上に方位特定部ＰＤが重なるようにウエハＷＦに貼付した後、当該原接着シートＲＡＳをウエハＷＦの形状に合わせて切断してもよい。
【００２４】
以上のような実施形態によれば、接着シートＡＳに方位特定部ＰＤが設けられているため、当該接着シートＡＳが貼付されたウエハＷＦの方位を他の装置に認識させることができる。
【００２５】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【００２６】
例えば、方位特定部ＰＤは、図３（Ａ）または図３（Ｂ）に示すように、基材シートＢＳに形成された溝ＧＶ１やＧＶ２内にその厚さ方向における一部または全部が入り込む構成としてもよい。この場合、溝ＧＶ１、ＧＶ２は、図２中二点鎖線で示すように、方位特定部形成手段３に対して基材シートＢＳの繰出方向上流側に設けられた切断刃やレーザカッタ等の溝形成手段９により形成することができる。
【００２７】
また、方位特定部ＰＤを構成する材料としては、特に限定されることはなく、インク、塗料、ニス、接着剤、紙、布、糸、樹脂等で形成してもよいし、レーザや超音波等により基材シートＢＳの接着剤ＡＤ層側の表面や内部、接着剤ＡＤ層の基材シートＢＳ側の表面や内部、または基材シートＢＳと接着剤ＡＤ層との境界に形成してもよい。レーザや超音波等で方位特定部ＰＤを形成する場合には、出力したエネルギーの焦点位置で基材シートＢＳや接着剤ＡＤ層を改質させたり、変質させたり、溶融させたり、焦がしたり、発色させたりすることで、接着シートＡＳを構成するものに化学変化を起こさせて方位特定部ＰＤとすることができる。
さらに、方位特定部ＰＤは、例えば、矢印、Ｖ字、次第に狭幅する直線等の方位を示す狭幅部を有する形状であってもよいし、点、真円や楕円等の円、十字、多角形、文字、数字、図等任意の形状を所定の方向に複数並設してもよい。
【００２８】
また、接着シートＡＳおよび被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。接着シートＡＳは、例えば、基材シートＢＳと方位特定部ＰＤとの間、または、方位特定部ＰＤと接着剤ＡＤ層との間に中間層を有するもの、基材シートＢＳの上面にカバー層を有する等３層以上のもの、内部に方位特定部ＰＤが埋設された接着剤層だけの単層のもの、このような接着剤層から基材シートＢＳを剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体に貼付することができる。
また、基準部は、ウエハＷＦの場合、オリエンテーションフラット等の方位マーク、ウエハＷＦに刻印された製造番号、回路パターン、カーフ、またはストリート等としてもよいし、ウエハＷＦ以外の場合でも、所定の法則性をもって被着体の位置を特定できる目印となるものであれば何ら限定されるものではない。
【００２９】
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、方位特定部は、基材シートと接着剤層との間に設けられ、所定の法則性をもって被着体に貼付されたときに、当該被着体の方位を特定することができるものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（他の手段および工程についての説明は省略する）。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
【符号の説明】
【００３０】
ＡＤ    接着剤
ＢＳ    基材シート
ＣＵ    切込
ＰＡ    隆起量
ＰＤ    方位特定部
ＷＦ    ウエハ（被着体）
【図１】
2014221857.tif 000003
【図２】
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【図３】
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