(57)【要約】【課題】小型化・薄型化かつ高音質化しつつ信頼性を高めることに貢献できる電気音響変換器及び電子機器を提供すること。【解決手段】金属板と、前記金属板上に接合するとともに、前記金属板の領域よりも小さい圧電体膜と、内部に空間を有するとともに、前記空間内において前記金属板の端部と直接又は間接的に接合されるフレームと、前記空間内において前記圧電体膜と対向する前記フレームの壁面の全部又は一部に接合する第１弾性部材と、前記第１弾性部材における前記圧電体膜と対向する面上に接合するとともに、前記圧電体膜の上方から見て前記圧電体膜の外周端部の位置を含むように環状又は枠状に形成され、かつ、前記圧電体膜から離れている第２弾性部材と、を備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属板と、
前記金属板上に接合するとともに、前記金属板の領域よりも小さい圧電体膜と、
内部に空間を有するとともに、前記空間内において前記金属板の端部と直接又は間接的に接合されるフレームと、
前記空間内において前記圧電体膜と対向する前記フレームの壁面の全部又は一部に接合する第１弾性部材と、
前記第１弾性部材における前記圧電体膜と対向する面上に接合するとともに、前記圧電体膜の上方から見て前記圧電体膜の外周端部の位置を含むように環状又は枠状に形成され、かつ、前記圧電体膜から離れている第２弾性部材と、
を備えることを特徴とする電気音響変換器。
【請求項２】
前記フレームは、前記空間内において前記金属板の端部と全周に渡って直接接合されていることを特徴とする請求項１記載の電気音響変換器。
【請求項３】
前記フレームは、前記空間内において前記金属板の端部と間接的に接合され、
環状又は枠状に形成されるとともに、前記金属板の端部乃至周縁部と接合され、かつ、外周端部と全周に渡って直接接合されている樹脂フィルムを備えることを特徴とする請求項１記載の電気音響変換器。
【請求項４】
前記第１弾性部材は、前記第２弾性部材よりも高い剛性であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一に記載の電気音響変換器。
【請求項５】
前記第１弾性部材は、多孔質材料又は発泡材料よりなり、
前記第２弾性材料は、樹脂材料やカーボン系材料よりなることを特徴とする請求項４記載の電気音響変換器。
【請求項６】
前記圧電体膜は、圧電セラミックス又は圧電有機材料よりなることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一に記載の電気音響変換器。
【請求項７】
前記フレームは、
貫通口を有するとともに、前記貫通口内において前記金属板の端部と直接又は間接的に接合される枠部と、
前記貫通口における前記金属板の前記圧電体膜側の空間を覆う第１蓋部と、
前記貫通口における前記金属板の前記圧電体膜側に対する反対側の空間を覆う第２蓋部と、
を備えることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか一に記載の電気音響変換器。
【請求項８】
前記第１弾性部材及び前記フレームは、前記空間のうち前記金属板の前記圧電体膜側の空間から外部に通ずる貫通穴部を有し、
前記フレームは、前記空間のうち前記金属板の前記圧電体膜側に対する反対側の空間から外部に通ずる他の貫通穴部を有することを特徴とする請求項１乃至７のいずれか一に記載の電気音響変換器。
【請求項９】
前記圧電体膜上に接合するとともに、前記第２弾性部材から離れている金属膜を備えることを特徴とする請求項１乃至８のいずれか一に記載の電気音響変換器。
【請求項１０】
請求項１乃至９のいずれか一に記載の電気音響変換器が実装されることを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気音響変換器及び電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、携帯電話機、ラップトップ型コンピュータ等の携帯型の電子機器の需要が拡大している。この中、端末各社においては、ＴＶ電話や動画再生、ハンズフリー電話機能などの音響機能を商品価値とした薄型でスタイリッシュなデザインの開発に取り組んでおり、小型でかつ大音量の電気音響変換器の要求が高まっている。
【０００３】
従来、携帯型の電子機器には、音響部品として動電型の電気音響変換器が利用されている。動電型の電気音響変換器は、永久磁石とボイスコイルと振動膜、電気端子から構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１２−１３４５９９号公報
【特許文献２】特開２０００−２０１３９９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
以下の分析は、本願発明者により与えられる。
【０００６】
しかしながら、動電型の電気音響変換器では、永久磁石を利用しているため、磁束密度を確保する必要があり、薄型化する上での制約条件は厳しい。また、ボイスコイルの細線化により薄型化することも考えられるが、電流駆動の磁気回路においては焼損などの問題が発生する可能性がある。このため、動電型の電気音響変換器では、小型化、薄型化には限界があり、動電型に代わる新しい薄型の電気音響変換器の開発が必要とされている。そこで、薄型の電気音響変換器として、圧電型の電気音響変換器が開発されている（例えば、特許文献１、２参照）。
【０００７】
圧電型の電気音響変換器は、一般的に、セラミック素材の圧電効果を利用して、電気信号の入力による電歪作用により、振動振幅を発生させている。圧電型の電気音響変換器では、上下層を電極材料で拘束されたセラミック素材自体の圧電効果を利用して伸縮振動を発生するため、動電型の電気音響変換器で用いられている永久磁石やボイスコイルなどが削減でき、動電型の電気音響変換器に対して薄型化に優位となる。また、セラミックス素材においては、薄型化することで一定入力電圧に対して電界強度が高まることから、駆動力が高まる。このように、圧電型の電気音響変換器は、薄型化する上では、動電型の電気音響変換器よりも優位である。
【０００８】
ところが、圧電型の電気音響変換器で用いられるセラミックス素材は、脆性材料である上に機械損失が小さいため、機械的品質係数Ｑ（Mechanical Quality Factor；以下、機械Ｑと略す）が高い。例えば、動電型の電気音響変換器の機械Ｑは３〜５程度であるに対して、圧電型の電気音響変換器の機械Ｑは約５０である。この機械Ｑは共振時での振幅の先鋭度を示す。つまり、圧電型の電気音響変換器では、基本共振周波数近傍で音圧が高く、それ以外の帯域で音圧が著しく減衰することを意味する。すなわち、圧電型の電気音響変換器では、音圧レベル周波数特性において、音響特性の山谷が発生し、特定周波数の音が強調されることや、消失されることが生じ、良好な音質が得られないという問題点がある。
【０００９】
また、圧電型の電気音響変換器では、動電型の電気音響変換器と同様に、小型化（音響放射面積）が難しいという問題点がある。動電型の電気音響変換器では機械Ｑは低いためピストン型の振幅運動により変位量が大きいのに対して、機械Ｑの高い圧電型の電気音響変換器では屈曲運動の振動姿態により変位量が小さい。このため、圧電型の電気音響変換器では、機械Ｑを低減するか、変位量を大幅に増幅しない限り、動電型の電気音響変換器よりも小型化が困難となる。
【００１０】
なお、圧電型の電気音響変換器において、動電型の気音響変換器の３倍以上の変位を得るには、振動と駆動電圧との相関関数において、線形性領域である限り、駆動電圧を高めれば対応できうる。しかし、脆性材料であるセラミック素材を使用する圧電型の電気音響変換器では、駆動電圧を高めると応力が特定部位に集中し、破損や破壊などの信頼性への問題が生じてしまう。
【００１１】
以上をまとめると、圧電型の電気音響変換器では薄型化は可能であるが、原理上で小型化は困難である上に、音質についても改善が必要である。そこで、小型・薄型でかつ、高音質音の再生可能な電気音響変換器を実現する画期的な技術が必要とされる。
【００１２】
本発明の主な課題は、小型化・薄型化かつ高音質化しつつ信頼性を高めることに貢献できる電気音響変換器及び電子機器を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明の第１の視点においては、電気音響変換器において、金属板と、前記金属板上に接合するとともに、前記金属板の領域よりも小さい圧電体膜と、内部に空間を有するとともに、前記空間内において前記金属板の端部と直接又は間接的に接合されるフレームと、前記空間内において前記圧電体膜と対向する前記フレームの壁面の全部又は一部に接合する第１弾性部材と、前記第１弾性部材における前記圧電体膜と対向する面上に接合するとともに、前記圧電体膜の上方から見て前記圧電体膜の外周端部の位置を含むように環状又は枠状に形成され、かつ、前記圧電体膜から離れている第２弾性部材と、を備えることを特徴とする。
【００１４】
本発明の第２の視点においては、電子機器において、前記電気音響変換器が実装されることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、第１弾性部材及び第２弾性部材により、小型化・薄型化かつ高音質化しつつ信頼性を高めることに貢献できる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の実施形態１に係る電気音響変換器の構成を模式的に示した図２のＸ−Ｘ´間の断面図である。
【図２】本発明の実施形態１に係る電気音響変換器の構成を模式的に示した展開斜視図である。
【図３】本発明の実施形態２に係る電気音響変換器の構成を模式的に示した断面図である。
【図４】比較例に係る電気音響変換器の構成を模式的に示した断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
［実施形態１］
本発明の実施形態１に係る電気音響変換器について図面を用いて説明する。図１は、本発明の実施形態１に係る電気音響変換器の構成を模式的に示した図２のＸ−Ｘ´間の断面図である。図２は、本発明の実施形態１に係る電気音響変換器の構成を模式的に示した展開斜視図である。
【００１８】
電気音響変換器１は、圧電の電歪効果を利用して振動振幅を発生させる圧電型の電気音響変換器である（図１、図２参照）。電気音響変換器１は、例えば、携帯電話機、スマートフォン等の携帯型の電子機器に実装される。電気音響変換器１は、フレーム１０の枠部１１の貫通口１１ａ内に金属板１４が装着され、金属板１４上に圧電体膜１５を介して金属膜１６が配されている。電気音響変換器１は、圧電体膜１５の振動の際に応力が集中する箇所を選択的に保護するために、金属膜１６と対向するフレーム１０の上蓋部１２の全面（貫通穴部１２ａを除く全面、一部でも可）に弾性部材１７が接合され、金属膜１６と対向する弾性部材１７の所定の位置に環状の弾性部材１８が接合され、弾性部材１８と金属膜１６とが離れている。電気音響変換器１は、主な構成部として、フレーム１０と、金属板１４と、圧電体膜１５と、金属膜１６と、弾性部材１７と、弾性部材１８と、リード線１９ａ、１９ｂと、を有する。
【００１９】
フレーム１０は、金属板１４の端部（周縁部でも可）を保持する組立体である。フレーム１０は、金属板１４と圧電体膜１５と金属膜１６とから組み立てられた圧電アクチュエータ２を密閉する。フレーム１０は、枠部１１と、上蓋部１２と、下蓋部１３と、を有する。枠部１１は、上方（図１の上側；上蓋部１２の板面の上方）から見て環状に形成されており、中央に枠部１１を貫通した貫通口１１ａを有する。貫通口１１ａは、上方から見て円形状（楕円形状、矩形状でも可）に形成されている。枠部１１は、貫通口１１ａ内の内壁面にて金属板１４の外周端部と全周に渡って接合（接着、圧入等でも可）している。枠部１１は、貫通口１１ａの上部にて上蓋部１２が接合（圧入、接着等）されることによって密封されており、貫通口１１ａの下部にて下蓋部１３が接合（圧入、接着等）されることによって密封されている。上蓋部１２は、所定の部分（図１では中央部）に貫通した貫通穴部１２ａを有する。上蓋部１２の内側の面には、弾性部材１７が接合（貼合、接着等）されている。貫通穴部１２ａは、音孔となり、弾性部材１７の貫通穴部１７ａと対応する位置に形成されている。下蓋部１３は、金属板１４に対して離れて配されている。下蓋部１３は、所定の部分（図１では周縁部）に貫通した複数の貫通穴部１３ａを有する。貫通穴部１３ａは、金属板１４と圧電体膜１５と金属膜１６とから組み立てられた圧電アクチュエータ２の後気室（金属板１４の下側の空間）に空気を循環させる通気孔となる。フレーム１０（枠部１１、上蓋部１２、下蓋部１３）には、例えば、樹脂材料や、真鍮、ステンレス等を用いることができる。
【００２０】
金属板１４は、金属よりなる板状部材であり、圧電アクチュエータ２の構成部材である。金属板１４は、上方から見て円形状（楕円形状でも可）に形成されている。金属板１４は、外周端部にて、枠部１１の貫通口１１ａの内壁面に接合（接着、圧入等でも可）している。なお、金属板１４は、枠部１１に導電性材料が用いられる場合、枠部１１と絶縁されるようにフレーム１０と接合される。金属板１４は、下蓋部１３に対して離れて配されている。金属板１４は、圧電体膜１５及び金属膜１６に対して外径が大きい。金属板１４は、上蓋部１２側の面の中央にて圧電体膜１５と接合（接着等でも可）している。金属板１４は、圧電体膜１５及び金属膜１６を支持する支持部材であると同時に、電気伝導が可能であるため、圧電体膜１５の電極としても使用できる。金属板１４は、リード線１９ｂと電気的に接続されており、リード線１９ｂからの電気信号を圧電体膜１５に印加させる役割を持つ。金属板１４には、導電性を有し、かつ、震動板として機能する金属材料（合金等の金属系材料を含む）が用いられ、例えば、リン青銅、ステンレス材料等を用いることができる。金属板１４の厚さは、特に限定されないが、圧電体膜１５への拘束を緩和させるため、圧電体膜１５の厚さよりも薄いことが好ましい。
【００２１】
圧電体膜１５は、金属板１４と金属膜１６との間に介在した圧電性を有する膜状部材であり、圧電アクチュエータ２の構成部材である。圧電体膜１５は、金属板１４及び金属膜１６と接合（接着、貼合等でも可）している。圧電体膜１５は、上方から見て円形状（楕円形状でも可）に形成されている。圧電体膜１５は、枠部１１の貫通口１１ａの内壁面から離れている。圧電体膜１５は、金属板１４及び金属膜１６に電気信号が印加されることにより、電歪効果により振動を発生し、振幅運動を発生し、音波を放射する。圧電体膜１５は、圧電材料が用いられ、例えば、ＰＺＴ（Ｐｂ（Ｚｒｘ、Ｔｉ１−ｘ）Ｏ３；チタン酸ジルコン酸鉛）等の圧電セラミックス、ポリフッ化ビニリデン、フッ化ビニリデン及び三フッ化エチレンのコポリマーなどの圧電有機材料を用いることができる。また、圧電体膜１５の厚さは、５０μｍ以上かつ５００μｍ以下の範囲であることが好ましい。５０μｍ未満では十分な圧電効果が得られず、５００μｍを超える場合、圧電体膜の剛性が高まり、振動振幅量が減衰する。なお、圧電体膜１５が金属膜（金属膜１６と同様なもの）とユニットになっている場合、圧電体膜１５と金属板１４との間には金属膜があってもよい。
【００２２】
金属膜１６は、圧電体膜１５上に形成された金属よりなる膜状の部材である。金属膜１６は、圧電体膜１５と接合（接着、貼合等でも可）している。金属膜１６は、上方から見て円形状（楕円形状でも可）に形成されている。金属膜１６は、弾性部材１８、１７に対して離れて配されている。金属膜１６は、枠部１１の貫通口１１ａの内壁面から離れている。金属膜１６は、電気伝導が可能であるため、圧電体膜１５の電極としても使用できる。金属膜１６は、リード線１９ａと電気的に接続されており、リード線１９ａからの電気信号を圧電体膜１５に印加させる役割を持つ。金属膜１６には、導電性を有する金属材料（合金等の金属系材料を含む）が用いられ、例えば、銀箔を用いることができ、金属板１４の材料と同様なリン青銅、ステンレス材料等を用いることができる。金属膜１６の厚さは、特に限定されないが、圧電体膜１５への拘束を緩和させるため、圧電体膜１５の厚さよりも薄いことが好ましい。
【００２３】
なお、図１では圧電体膜１５と金属膜１６とが１層ずつとなっているが圧電体膜１５と金属膜１６とが交互に積層したものでもよい。
【００２４】
弾性部材１７は、フレーム１０の上蓋部１２の内側の面（貫通穴部１２ａを除く全面又は一部）に接合（接着、貼合等でも可）した弾性を有するシート状の部材である。弾性部材１７は、所定の部分（図１では中央部）に貫通した貫通穴部１７ａを有する。貫通穴部１７ａは、音孔となり、上蓋部１２の貫通穴部１２ａと対応する位置に形成されている。弾性部材１７と金属板１４との間には、空間が形成されている。弾性部材１７は、金属膜１６に対して離れて配されている。つまり、弾性部材１７は、圧電体膜１５（金属板１４及び金属膜１６を含む圧電アクチュエータ２）の振幅方向に配置されている。弾性部材１７は、金属膜１６側の面の貫通穴部１７ａよりも外側の所定の位置に、環状の弾性部材１８が接合（接着、貼合等でも可）されている。弾性部材１７は、弾性部材１８よりも高い剛性であることが好ましい。弾性部材１７の剛性を弾性部材１８に対して高めることで、弾性部材１８の衝撃吸収効果を高めることができる（剛基礎の原理）。弾性部材１７には、多孔質材料やウレタン系材料（例えば、ウレタンフォーム）などの発泡材料を用いることができる。
【００２５】
弾性部材１８は、弾性部材１７の金属膜１６側の面の所定の位置に接合（接着、貼合等でも可）された弾性を有する環状（枠状でも可）の部材である。弾性部材１８は、開口部１８ａを有する。開口部１８ａの領域内には、上蓋部１２の貫通穴部１２ａ、及び、弾性部材１７の貫通穴部１７ａがある。弾性部材１８は、上方（図１の上側；上蓋部１２の板面の上方）から見て、圧電体膜１５及び金属膜１６の端面の位置を含むように配されており、弾性部材１８の内周端面が圧電体膜１５及び金属膜１６の端面よりも内側にあり、弾性部材１８の外周端面が圧電体膜１５及び金属膜１６の端面よりも外側にある。弾性材料１８には、弾性部材１７よりも低い剛性の弾性材料が用いられ、例えば、内部損失の高い樹脂材料やカーボン系材料を用いることができる。
【００２６】
リード線１９ａ、１９ｂは、対応する金属膜１６、金属板１４に電気信号を供給するための配線である。リード線１９ａ、１９ｂは、コントローラ、アンプ回路などに電気的に接続される。リード線１９ａ、１９ｂには、導電線材（例えば、銅線材）だけでなく金属箔（例えば、銅箔）を用いてもよい。
【００２７】
以上の電気音響変換器１は、以下のようにして製造することができる。まず、予め所定の形状に形成された金属板１４、圧電体膜１５、金属膜１６を貼り合わせて圧電アクチュエータ２を作製し、圧電アクチュエータ２を枠部１１の貫通口１１ａ内に装着する。その後、予め所定の形状に形成された上蓋部１２、弾性部材１７、弾性部材１８を貼り合わせて上蓋部組立体を作製し、上蓋部組立体を枠部１１の貫通口１１ａの上側（金属膜１６が見える側）に装着し、下蓋部１３を枠部１１の貫通口１１ａの下側に装着する。
【００２８】
実施形態１によれば、落下時に圧電アクチュエータ２が過大な振幅を発生した時に、弾性部材１７、１８が圧電アクチュエータ２の振動を吸収して、圧電体膜１５の破損を防止させることができる。すわなち、弾性部材１７、１８により、振幅時に応力が最大に集中する圧電体膜１５と金属板１４、金属膜１６との接合面が保護され、弾性部材１７、１８を有さないもの（例えば、図４参照）よりも、落下安定性を向上させることができる。また、実施形態１によれば、音波が弾性部材１７を介して、大気中に放射させるため、機械Ｑを低減させることができる。すなわち、弾性材料１８に内部損失の高い樹脂材料やカーボン系材料を選択することで、機械Ｑを低減させ、平坦な周波数音圧特性を実現させることが可能となる。以上のように、実施形態１に係る圧電型の電気音響変換器は、高い落下衝撃安定性を持ち、高音質音を再生できることから、その工業価値は大きい。
【００２９】
［実施形態２］
本発明の実施形態２に係る電気音響変換器について図面を用いて説明する。図３は、本発明の実施形態２に係る電気音響変換器の構成を模式的に示した断面図である。
【００３０】
実施形態２は、実施形態１の変形例であり、震動板となる金属板１４を枠部１１に接合させるのをやめ、金属板１４を樹脂フィルム２０を介して枠部１１に接合させたものである。金属板１４は、枠部１１の貫通口１１ａの内壁面から離れており、下蓋部１３側の面の外周側の周縁部（外周端部でも可）にて、環状の樹脂フィルム２０と接合（接着、貼合等でも可）している。樹脂フィルム２０は、中央部に円形状の開口部２０ａを有する。樹脂フィルム２０は、上蓋部１２側の面の内周側の周縁部にて、円形状の金属板１４と接合している。樹脂フィルム２０は、外周端部にて、枠部１１の貫通口１１ａの内壁面に接合（接着等でも可）している。金属板１４の振動は、樹脂フィルム２０に伝播し、座屈により振幅を発生させる。樹脂フィルム２０は、振動子の一部となるので、圧電アクチュエータ２に含まれる。樹脂フィルム２０には、例えば、ＰＥＴ、ポリエチレンフィルム等を用いることができる。その他の構成は、実施形態１と同様である。
【００３１】
実施形態２によれば、実施形態１と同様な効果を奏するとともに、樹脂フィルム２０での変位量を大きくすることができるため、同じ放射面積において、体積排除量は実施形態１（図１参照）の振動姿態に対して優位となる。つまり、金属板１４とフレーム１０の枠部１１との間に機械Ｑが低い樹脂フィルム２０が介在するため、ピストン運動を促進させることができる。
【００３２】
なお、本出願において図面参照符号を付している場合は、それらは、専ら理解を助けるためのものであり、図示の態様に限定することを意図するものではない。
【００３３】
なお、本発明の全開示（請求の範囲及び図面を含む）の枠内において、さらにその基本的技術思想に基づいて、実施形態ないし実施例の変更・調整が可能である。また、本発明の請求の範囲の枠内において種々の開示要素（各請求項の各要素、各実施形態ないし実施例の各要素、各図面の各要素等を含む）の多様な組み合わせないし選択が可能である。すなわち、本発明は、請求の範囲及び図面を含む全開示、技術的思想にしたがって当業者であればなし得るであろう各種変形、修正を含むことは勿論である。
【００３４】
（付記）
本発明の第１の視点においては、電気音響変換器において、金属板と、前記金属板上に接合するとともに、前記金属板の領域よりも小さい圧電体膜と、内部に空間を有するとともに、前記空間内において前記金属板の端部と直接又は間接的に接合されるフレームと、前記空間内において前記圧電体膜と対向する前記フレームの壁面の全部又は一部に接合する第１弾性部材と、前記第１弾性部材における前記圧電体膜と対向する面上に接合するとともに、前記圧電体膜の上方から見て前記圧電体膜の外周端部の位置を含むように環状又は枠状に形成され、かつ、前記圧電体膜から離れている第２弾性部材と、を備えることを特徴とする。
【００３５】
本発明の前記電気音響変換器において、前記フレームは、前記空間内において前記金属板の端部と全周に渡って直接接合されていることが好ましい。
【００３６】
本発明の前記電気音響変換器において、前記フレームは、前記空間内において前記金属板の端部と間接的に接合され、環状又は枠状に形成されるとともに、前記金属板の端部乃至周縁部と接合され、かつ、外周端部と全周に渡って直接接合されている樹脂フィルムを備えることが好ましい。
【００３７】
本発明の前記電気音響変換器において、前記第１弾性部材は、前記第２弾性部材よりも高い剛性であることが好ましい。
【００３８】
本発明の前記電気音響変換器において、前記第１弾性部材は、多孔質材料又は発泡材料よりなり、前記第２弾性材料は、樹脂材料やカーボン系材料よりなることが好ましい。
【００３９】
本発明の前記電気音響変換器において、前記圧電体膜は、圧電セラミックス又は圧電有機材料よりなることが好ましい。
【００４０】
本発明の前記電気音響変換器において、前記フレームは、貫通口を有するとともに、前記貫通口内において前記金属板の端部と直接又は間接的に接合される枠部と、前記貫通口における前記金属板の前記圧電体膜側の空間を覆う第１蓋部と、前記貫通口における前記金属板の前記圧電体膜側に対する反対側の空間を覆う第２蓋部と、を備えることが好ましい。
【００４１】
本発明の前記電気音響変換器において、前記第１弾性部材及び前記フレームは、前記空間のうち前記金属板の前記圧電体膜側の空間から外部に通ずる貫通穴部を有し、前記フレームは、前記空間のうち前記金属板の前記圧電体膜側に対する反対側の空間から外部に通ずる他の貫通穴部を有することが好ましい。
【００４２】
本発明の前記電気音響変換器において、前記圧電体膜上に接合するとともに、前記第２弾性部材から離れている金属膜を備えることが好ましい。
【００４３】
本発明の第２の視点においては、電子機器において、前記電気音響変換器が実装されることを特徴とする。
【符号の説明】
【００４４】
１、１０１  電気音響変換器
２  圧電アクチュエータ
３  空間
１０  フレーム
１１  枠部
１１ａ  貫通口
１２  上蓋部（第１蓋部）
１２ａ  貫通穴部
１３  下蓋部（第２蓋部）
１３ａ  貫通穴部（他の貫通穴部）
１４  金属板
１５  圧電体膜
１６  金属膜
１７  弾性部材（第１弾性部材）
１７ａ  貫通穴部
１８  弾性部材（第２弾性部材）
１８ａ  開口部
１９ａ、１９ｂ  リード線
２０  樹脂フィルム
２０ａ  開口部
【図１】
2014107780.tif 000003
【図２】
2014107780.tif 000004
【図３】
2014107780.tif 000005
【図４】
2014107780.tif 000006