(57)【要約】      （修正有）【課題】フォーカスリングの取り付け時、伝熱媒体であるシート厚の縮小量を調整可能、且つ設定されたシート厚の縮小量を維持可能な載置台構造及び固定方法を提供する。【解決手段】処理の均一化のためには、フォーカスリングと載置台の基部の間に伝熱性のシートが介在する。この載置台構造の押え部材６０は、複数の第１の被当接面及び複数の第２の被当接面を有し、複数の第１の被当接面は、周方向において所定の間隔で設けられ、複数の第２の被当接面は、複数の第１の被当接面と交互に周方向において所定の間隔で設けられている。複数の第１の被当接面と複数の第２の被当接面は、高さ方向において異なる位置に設けられ、複数の当接面は、複数の第１の被当接面と複数の第２の被当接面の高さ方向における距離よりも大きな距離で押え部材６０の他の部分から突出している。押え部材６０が支持部６２と当接することで、シートの縮小量が設定される。【選択図】図６
2014107387.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
静電チャックをその中央領域に有し、前記静電チャックの周縁に沿ってフォーカスリングを載置可能な基部を備える載置台構造であって、
前記フォーカスリングと前記基部の間に弾性及び伝熱性を有するシートが介在し、
前記フォーカスリングの外周に沿って配置され、該フォーカスリングを前記基部に向けて押圧して前記シートを圧縮する押え部材と、
前記基部と連結した支持部と、
を備え、
前記押え部材は、前記フォーカスリングを前記基部に向けて押え付ける押え面と、下方を向いており周方向において所定の間隔で設けられた複数の当接面と、を有し、
前記支持部は、複数の第１の被当接面及び複数の第２の被当接面を有しており、
前記複数の第１の被当接面は、前記周方向において前記所定の間隔で設けられており、
前記複数の第２の被当接面は、前記複数の第１の被当接面と交互に前記周方向において前記所定の間隔で設けられており、
前記複数の第１の被当接面と前記複数の第２の被当接面は、高さ方向において異なる位置に設けられており、
前記複数の当接面は、前記複数の第１の被当接面と前記複数の第２の被当接面の前記高さ方向における距離よりも大きな距離で、前記押え部材の他の部分から突出しており、
前記押え部材が前記支持部と当接することで、前記シートの縮小量が設定される、
載置台構造。
【請求項２】
前記支持部は、複数の第３の被当接面を更に含み、
前記複数の第３の被当接面は、前記周方向において前記所定の間隔で設けられており、且つ、前記複数の第１の被当接面及び前記複数の第２の被当接面とは前記高さ方向において異なる位置に設けられており、
前記複数の当接面は、前記複数の第１の被当接面、前記複数の第２の被当接面、及び前記複数の第３の被当接面のうち前記高さ方向において最も距離の離れた被当接面間の距離よりも大きな距離で、前記押え部材の他の部分から突出している、
請求項１に記載の載置台構造。
【請求項３】
前記支持部は、前記載置台の前記基部と一体化されている、請求項１又は２に記載の載置台構造。
【請求項４】
静電チャックをその中央領域に有し、フォーカスリングを載置可能な基部を備える載置台構造において、該フォーカスリングを保持する方法であって、
前記基部と前記フォーカスリングとの間に弾性及び伝熱性を有するシートが介在するように、前記静電チャックの周縁に沿ってフォーカスリングを配置する工程と、
前記基部と連結した支持部上での押え部材の周方向の位置を決定することにより前記押え部材が前記支持部に当接する高さ方向の位置を決定して、前記フォーカスリングに接触する前記押え部材の押え面と前記基部との前記高さ方向の間隔を調整する工程と、
決定された前記高さ方向の位置において前記押え部材が前記支持部に当接している状態で、前記押え部材を前記支持部に固定する工程と、
を含む方法。
【請求項５】
前記調整する工程では、前記シートの厚みの縮小量が前記シートの厚みの１０％〜２０％の範囲となるように、前記押え部材が前記支持部に当接する高さ方向の位置が決定される、請求項４に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、載置台構造及びフォーカスリングを保持する方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスの製造においては、載置台の静電チャックによって被処理体、即ちウエハを吸着保持して、当該ウエハに対するエッチング又は成膜といったプラズマ処理が行われる。一般的に、載置台は、静電チャック及び当該静電チャックを支持した基部を備える。基部には、ウエハの温度を制御するための温度調整機構が設けられている。また、ウエハの全領域における処理の均一化のために、基部上且つウエハの周囲にはフォーカスリングが配置される。
【０００３】
また、ウエハの全領域における処理の均一化のためには、フォーカスリングの温度を高精度に制御することが必要である。フォーカスリングの温度を高精度に制御するためには、載置台の基部とフォーカスリングとの間の熱抵抗を小さくする必要がある。そのために、従来から、基部とフォーカスリングとの間に弾性及び伝熱性を有するシートを介在させる載置台構造が採用されている。このような載置台構造については、例えば、特開２００２−１６１２６号公報（特許文献１）に記載されている。
【０００４】
同文献に記載された載置台構造は、基部（載置台）、リング状部材、及び、押圧部材を備えている。基部は、載置面、リング状載置面、及び、張出し部を有している。載置面上には、静電チャックが設けられている。リング状載置面は、載置面の外側に設けられており、当該リング状載置面上には、弾性及び伝熱性を有するシートを介して、フォーカスリングが配置されている。張出し部は、リング状載置面の外側に設けられている。この張出し部に対して、リング状部材がねじにより固定されている。リング状部材には、押圧部材の下端面が当接しており、当該押圧部材がねじによって当該リング状部材に固定されている。また、押圧部材のフランジ部が、フォーカスリングの薄肉部に上方から当接することにより当該フォーカスリングをリング状載置面に対して押え付ける。この載置台構造では、押圧部材によってフォーカスリングが下方に押え付けられることにより、シートの厚みが縮小し、シートがフォーカスリング及び基部に密着する。これにより、基部とフォーカスリングの間の熱抵抗が低減される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００２−１６１２６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１に記載された載置台構造では、シートの厚みの縮小量は、シートの厚み、リング状部材の厚み、フォーカスリングの薄肉部の厚み、押圧部材の下端面とフランジ部の高さ方向の距離等の寸法によって一意に決定されるので、調整することができない。また、シートの厚みの縮小量は、製造誤差による上記寸法の変動に従って、変動する。そして、シートの厚みの縮小量が小さい場合には、基部とフォーカスリングの間の熱抵抗が大きくなるので、プラズマからの入熱を受けるフォーカスリングの温度が高くなる。一方、シートの厚みの縮小量が大きい場合には、フォーカスリング、押圧部材といったシートを押え付ける部材に大きな力が加わり、これら部材が破損することがある。
【０００７】
特許文献１に記載された載置台構造においてシートの厚みの縮小量を調整するためには、リング状部材と押圧部材との距離を調整する必要がある。例えば、リング状部材から押圧部材を浮かせた状態で、ねじによって押圧部材をリング状部材に対して固定する必要がある。このような状況での押圧部材とリング状部材との固定は、ねじのトルクを精密に管理することによってなされる。しかしながら、ねじのトルクは時間の経過に従って変化するので、シートの厚みの縮小量を維持することができない。
【０００８】
そこで、本技術分野においては、伝熱媒体であるシートの厚みの縮小量を調整可能であり、且つ、設定されたシートの厚みの縮小量を維持可能な技術が必要である。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
一側面に係る載置台構造は、静電チャックをその中央領域に有し、静電チャックの周縁に沿ってフォーカスリングを載置可能な基部を備える。この載置台構造では、フォーカスリングと前記基部の間に弾性及び伝熱性を有するシートが介在する。また、この載置台構造は、押え部材及び支持部を備える。押え部材は、フォーカスリングの外周に沿って配置され、フォーカスリングを基部に向けて押圧してシートを圧縮する。支持部は、基部と連結している。押え部材は、フォーカスリングを基部に向けて押え付ける押え面と、下方を向いており周方向において所定の間隔で設けられた複数の当接面と、を有する。支持部は、複数の第１の被当接面及び複数の第２の被当接面を有している。複数の第１の被当接面は、前記周方向において前記所定の間隔で設けられている。複数の第２の被当接面は、複数の第１の被当接面と交互に前記周方向において前記所定の間隔で設けられている。複数の第１の被当接面と複数の第２の被当接面は、高さ方向において異なる位置に設けられている。複数の当接面は、複数の第１の被当接面と複数の第２の被当接面の前記高さ方向における距離よりも大きな距離で、押え部材の他の部分から突出している。この載置台構造では、押え部材が支持部と当接することで、シートの縮小量が設定される。
【００１０】
この載置台構造では、支持部上での押え部材の周方向の位置を選択することによって、押え部材の複数の当接面が当接する支持部の被当接面を、複数の第１の被当接面及び複数の第２の被当接面のうちから選択することができる。これにより、押え面の高さ方向の位置を調整することができ、押え部材の押え面と基部との間の高さ方向における間隔を調整することができる。その結果、基部と押え面との間に介在するシートの厚みの縮小量を調整することが可能である。例えば、シートの厚みの縮小量が大きい場合には、より高い位置に設けられた被当接面に押え部材の当接面を当接させ、一方、シートの厚みの縮小量が小さい場合には、より低い位置に設けられた被当接面に押え部材の当接面を当接させることで、シートの厚みの縮小量を調整することが可能となる。また、押え部材を支持部に当接させた状態で当該押え部材を支持部に対して固定することが可能であるので、ねじの緩み等による影響を受けず、当該押え部材を支持部に対して強固に固定することができる。その結果、設定されたシートの厚みの縮小量を維持することが可能となる。
【００１１】
一形態において、支持部は、複数の第３の被当接面を更に含み得る。複数の第３の被当接面は、前記周方向において前記所定の間隔で設けられており、且つ、複数の第１の被当接面及び複数の第２の被当接面とは前記高さ方向において異なる位置に設けられている。この形態では、複数の当接面は、複数の第１の被当接面、複数の第２の被当接面、及び複数の第３の被当接面のうち前記高さ方向において最も距離の離れた被当接面間の距離よりも大きな距離で、前記押え部材の他の部分から突出している。この形態では、例えば、複数の第１の被当接面、複数の第２の被当接面、及び複数の第３の被当接面のうち高さ方向において中間の位置に設けられた複数の被当接面の当該高さ方向の位置を、シートの厚みの縮小量の設計値に対応させることができ、被当接面間の高さ方向の距離をシートの厚みの縮小量の調整幅に対応させることができる。これにより、シートの厚みの縮小量の実値が設計値よりも大きい場合には、より高い位置に設けられた複数の被当接面に押え部材の複数の当接面を当接させ、一方、シートの厚みの縮小量の実値が設計値よりも小さい場合には、より低い位置に設けられた複数の被当接面に押え部材の複数の当接面を当接させることで、シートの厚みの縮小量を設計値に近づけることが可能となる。
【００１２】
一形態においては、支持部は、載置台の基部と一体化されていてもよい。この形態によれば、載置台構造を構成する部品点数が少なくなり、延いては製造コストが低減される。
【００１３】
また、別の側面においては、静電チャックをその中央領域に有し、フォーカスリングを載置可能な基部を備える載置台構造において、該フォーカスリングを保持する方法が提供される。この方法は、（ａ）基部とフォーカスリングとの間に弾性及び伝熱性を有するシートが介在するように、静電チャックの周縁に沿ってフォーカスリングを配置する工程と、（ｂ）基部と連結した支持部上での押え部材の周方向の位置を選択することにより押え部材が支持部に当接する高さ方向の位置を決定して、フォーカスリングに接触する押え部材の押え面と基部との高さ方向の間隔を調整する工程と、（ｃ）決定された高さ方向の位置において押え部材が支持部に当接している状態で、押え部材を支持部に固定する工程と、を含む。
【００１４】
この方法では、支持部上での押え部材の周方向の位置を選択することによって、押え部材の押え面と基部との間の高さ方向の距離を調整することができる。その結果、押え部材の押え面と基部との間に介在するシートの厚みの縮小量を調整することが可能である。また、押え部材は支持部に当接した状態で支持部に対して固定されるので、ねじの緩み等による影響を受けず、当該押え部材を支持部に対して強固に固定することができる。その結果、設定されたシートの厚みの縮小量を維持することが可能となる。
【００１５】
一形態においては、工程（ｂ）では、シートの縮小量が前記シートの厚みの１０％〜２０％の範囲となるように、押え部材が支持部に当接する高さ方向の位置が決定される。この形態によれば、シート等の寸法に製造誤差が生じていても、プラズマ処理時のフォーカスリングの温度のばらつきを小さくすることが可能である。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の種々の側面及び実施形態によれば、伝熱媒体であるシートの厚みの縮小量が調整可能となり、且つ、設定されたシートの厚みの縮小量が維持可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】一例のプラズマ処理装置の断面を概略的に示す図である。
【図２】載置台構造を上方から視た状態を示している。
【図３】図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿ってとった断面を示す図である。
【図４】支持部を含む基部を示す平面図である。
【図５】押え部材の平面図である。
【図６】図２のＶＩ−ＶＩ線に沿って示す断面図である。
【図７】シートの縮小量の調整方法を説明するための概念図である。
【図８】シートの縮小量の調整方法を説明するための概念図である。
【図９】シートの縮小量とフォーカスリングの温度の関係を示す図である。
【図１０】一実施形態に係るフォーカスリングを保持する方法を示す図である。
【図１１】別の実施形態に係る載置台構造を示す断面図である。
【図１２】別の実施形態に係る載置台構造の支持部を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、図面を参照して種々の例示的な実施形態について詳細に説明する。なお、各図面において同一又は相当の部分に対しては同一の符号を附すこととする。
【００１９】
まず、一実施形態に係る載置台構造を備え得るプラズマ処理装置について説明する。図１は、一例のプラズマ処理装置の断面を概略的に示す図である。図１に示すプラズマ処理装置１０は、容量結合型平行平板プラズマエッチング装置であり、略円筒状の処理容器１２を備えている。処理容器１２の内壁面は、陽極酸化処理されたアルミニウムから構成されている。この処理容器１２は保安接地されている。
【００２０】
処理容器１２の底部上には、絶縁材料から構成された略円筒上の支持部１４が配置されている。支持部１４は、処理容器１２内において、処理容器１２の底部から鉛直方向に延在している。支持部１４は、処理容器１２内に設けられた載置台ＰＤを支持している。
【００２１】
載置台ＰＤは、その上面において被処理体（Ｗｏｒｋｐｉｅｃｅ）Ｗを保持する。以下、「被処理体」を「ウエハ」ということがある。載置台ＰＤは、下部電極１６、基部１８、及び、静電チャック２０を含み得る。下部電極１６は、例えばアルミアルミニウムといった金属から構成されており、略円盤形状をなしている。
【００２２】
下部電極１６には、整合器ＭＵ１を介して第１の高周波電源ＨＦＳが接続されている。第１の高周波電源ＨＦＳは、プラズマ生成用の高周波電力を発生する電源であり、２７〜１００ＭＨｚの周波数、一例においては４０ＭＨｚの高周波電力を発生する。整合器ＭＵ１は、第１の高周波電源ＨＦＳの出力インピーダンスと負荷側（下部電極１６側）の入力インピーダンスを整合させるための回路を有している。また、下部電極１６には、整合器ＭＵ２を介して第２の高周波電源ＬＦＳが接続されている。第２の高周波電源ＬＦＳは、ウエハＷにイオンを引き込むための高周波電力（高周波バイアス電力）を発生して、当該高周波バイアス電力を下部電極１６に供給する。高周波バイアス電力の周波数は、４００ｋＨｚ〜１３．５６ＭＨｚの範囲内の周波数であり、一例においては３ＭＨｚである。整合器ＭＵ２は、第２の高周波電源ＬＦＳの出力インピーダンスと負荷側（下部電極１６側）の入力インピーダンスを整合させるための回路を有している。
【００２３】
下部電極１６上には、基部１８が設けられている。基部１８は、例えばアルミニウムといった金属から構成されており、略円盤形状をなしている。基部１８は、下部電極１６上に設置されており、下部電極１６に電気的に接続されている。
【００２４】
静電チャック２０は、基部１８上において、当該基部１８の中央領域に設けられている。静電チャック２０は、より詳細には後述するが、導電膜である電極を一対の絶縁層又は絶縁シート間に配置した構造を有している。静電チャック２０の電極には、直流電源２２が電気的に接続されている。この静電チャック２０は、直流電源２２からの直流電圧により生じたクーロン力等の静電力によりウエハＷを吸着保持することができる。
【００２５】
基部１８の周縁部上には、ウエハＷの周縁及び静電チャック２０の周縁を囲むようにフォーカスリングＦＲが配置されている。フォーカスリングＦＲは、環状の部材である。フォーカスリングＦＲは、プラズマ処理の均一性を向上させるために設けられている。フォーカスリングＦＲは、プラズマ処理の対象の膜の材料によって適宜選択される材料から構成されており、例えば、石英から構成され得る。
【００２６】
基部１８の内部には、冷媒流路２４が設けられている。冷媒流路２４には、外部に設けられたチラーユニットから配管２６ａ，２６ｂを介して所定温度の冷媒が循環供給される。冷媒は、絶縁性の溶液であり、例えば、ガルデン（登録商標）溶液であり得る。このように循環される冷媒の温度を制御することにより、載置台ＰＤによって支持されたウエハＷの温度が制御される。
【００２７】
また、プラズマ処理装置１０には、ガス供給ライン２８が設けられている。ガス供給ライン２８は、伝熱ガス供給機構からの伝熱ガス、例えばＨｅガスを、静電チャック２０の上面とウエハＷの裏面との間に供給する。
【００２８】
また、処理容器１２内には、上部電極３０が設けられている。この上部電極３０は、載置台ＰＤの上方において、当該載置台ＰＤと対向配置されている。下部電極１６と上部電極３０とは、互いに略平行に設けられている。これら上部電極３０と下部電極１６との間には、ウエハＷにプラズマ処理を行うための処理空間Ｓが画成されている。
【００２９】
上部電極３０は、絶縁性遮蔽部材３２を介して、処理容器１２の上部に支持されている。上部電極３０は、電極板３４及び電極支持体３６を含み得る。電極板３４は、処理空間Ｓに面しており、複数のガス吐出孔３４ａを画成している。この電極板３４は、ジュール熱の少ない低抵抗の導電体又は半導体から構成され得る。
【００３０】
電極支持体３６は、電極板３４を着脱自在に支持するものであり、例えばアルミニウムといった導電性材料から構成され得る。この電極支持体３６は、水冷構造を有し得る。電極支持体３６の内部には、ガス拡散室３６ａが設けられている。このガス拡散室３６ａからは、ガス吐出孔３４ａに連通する複数のガス通流孔３６ｂが下方に延びている。また、電極支持体３６には、ガス拡散室３６ａに処理ガスを導くガス導入口３６ｃが形成されており、このガス導入口３６ｃには、ガス供給管３８が接続されている。
【００３１】
ガス供給管３８には、バルブ４２及び流量制御器４４を介して、ガスソース４０が接続されている。ガスソース４０からは、所望のプラズマ処理に応じて選択された一以上のガスが、ガス供給管３８、ガス拡散室３６ａ、ガス通流孔３６ｂ、及びガス吐出孔３４ａを介して処理空間Ｓに供給される。
【００３２】
処理容器１２の底部側であって載置台ＰＤの周囲には、排気プレート４８が設けられている。排気プレート４８は、例えば、アルミニウム材にＹ２Ｏ３等のセラミックスを被覆することにより構成され得る。この排気プレート４８の下方において処理容器１２には、排気口１２ｅが設けられている。排気口１２ｅには、排気管５２を介して排気装置５０が接続されている。排気装置５０は、ターボ分子ポンプなどの真空ポンプを有しており、処理容器１２内を所望の真空度まで減圧することができる。また、処理容器１２の側壁にはウエハＷの搬入出口１２ｇが設けられており、この搬入出口１２ｇはゲートバルブ５４により開閉可能となっている。
【００３３】
このプラズマ処理装置１０を用いてウエハＷに対するプラズマ処理を行うときには、静電チャック２０上にウエハＷが載置される。そして、排気装置５０により処理容器１２内を排気しながら、ガスソース４０からガスを処理容器１２内に供給し、処理容器１２内の圧力を、所望の圧力に設定する。そして、下部電極１６に、高周波電源ＨＦＳ及びＬＦＳからの高周波電力を供給することにより、処理容器１２内において上記ガスのプラズマを発生させる。これにより生成されるガスに含まれる原子又は分子の活性種によって、ウエハＷが処理される。
【００３４】
以下、プラズマ処理装置１０に用いられ得る載置台構造の実施形態について説明する。図２は、一実施形態の載置台構造を示す平面図である。図２は、載置台構造を上方から視た状態を示している。また、図３は、図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿ってとった断面を示す図である。なお、図２においては、図１及び図３に示したカバー７０は省略されている。
【００３５】
図２及び図３に示す載置台構造ＰＤＳは、載置台ＰＤを備えている。また、載置台構造ＰＤＳは、押え部材６０、支持部６２、及び固定部材６４を更に備える。載置台ＰＤは、基部１８及び静電チャック２０を含んでいる。基部１８は、上述したように金属から構成されており、略円盤形状を有している。基部１８は、その上側の面、即ちプラズマ生成側の面として、第１面１８ａ及び第２面１８ｂを含んでいる。第１面１８ａは、基部１８の中央領域に設けられている。第１面１８ａは上方に向いた略平坦な円形の面であり、当該第１面１８ａの上には静電チャック２０が設けられている。静電チャック２０は、一対の絶縁膜２０ｂの間に導電膜である電極２０ａを配置した構造を有している。
【００３６】
基部１８の第２面１８ｂは、第１面１８ａの周囲において上方に向いており、環状に延在している。第２面１８ｂは、第１面１８ａよりも、高さ方向（Ｚ方向）において、下方に設けられている。この第２面１８ｂの上には、シートＳＴを介してフォーカスリングＦＲが設けられている。即ち、第２面１８ｂは、シートＳＴの下方に設けられており、当該シートＳＴに対峙している。一実施形態においては、シートＳＴは、第２面１８ｂ上において環状に延在し得る。また、一実施形態においては、シートＳＴは、その下面が基部１８の第２面１８ｂに接し、その上面がフォーカスリングＦＲの下面に接するように設けられている。
【００３７】
シートＳＴは、フォーカスリングＦＲの熱を基部１８に伝えるための伝熱媒体として機能する。したがって、シートＳＴは伝熱性を有する。また、シートＳＴは、弾性を有しており、その厚み方向に圧力を受けることによって、当該厚み方向において収縮し得る。このようなシートＳＴとしては、シリコーン製のシートが例示される。
【００３８】
フォーカスリングＦＲは、ウエハＷの径方向におけるプラズマ処理の均一化、即ち、ウエハＷの中央部分とエッジ部分との処理を均一化するための部材である。フォーカスリングＦＲは、静電チャック２０の周縁に沿うように配置されており、当該静電チャック２０の周縁及びウエハＷの周縁を囲むように設けられている。一実施形態においては、フォーカスリングＦＲは、第２面１８ｂの上において環状に延在し得る。
【００３９】
一実施形態においては、フォーカスリングＦＲは、その径方向中間部分よりも厚みの小さい第１薄肉部ＦＲ１を、その内側縁部に有する。第１薄肉部ＦＲ１は、静電チャック２０の上面よりも若干下方に設けられており、ウエハＷの周縁は第１薄肉部ＦＲ１の上に位置する。
【００４０】
また、一実施形態においては、フォーカスリングＦＲは、その径方向中間部分よりも厚みの小さい第２薄肉部ＦＲ２を、その外側縁部に有する。第２薄肉部ＦＲ２の上面には、フォーカスリングＦＲを下方に押え付ける押え部材６０の押え面６０ｐが当接する。これにより、フォーカスリングＦＲと第２面１８ｂとの間に設けられたシートＳＴが厚み方向に収縮してフォーカスリングＦＲと第２面１８ｂに密着し、フォーカスリングＦＲと第２面１８ｂとの間の熱抵抗が低下する。
【００４１】
載置台構造ＰＤＳは、押え部材６０の押え面６０ｐと第２面１８ｂとの距離を調整することが可能なように構成されている。このため、載置台構造ＰＤＳは、押え部材６０の支持部６２上での周方向の位置を変更することにより押え部材６０が高さ方向（Ｚ方向）において支持部６２に当接する位置を選択可能であるように構成されている。また、載置台構造ＰＤＳは、押え部材６０を、第２面１８ｂに対して固定の支持部６２に当接させた状態で固定部材６４により固定することが可能であるように構成されている。
【００４２】
以下、載置台構造ＰＤＳの上記構成をより詳細に説明するために、図１〜図３に加えて、図４〜図６を参照する。図４は、支持部を含む基部を示す平面図である。図５は、押え部材の平面図である。また、図６は、図２のＶＩ−ＶＩ線に沿って示す断面図である。図４には、支持部６２を含む基部１８を上方から視た状態が示されており、図５には、押え部材６０を下方から視た状態が示されており、図６には、図２のＶＩ−ＶＩ線に沿った断面における押え部材６０及び支持部６２の断面が示されている。
【００４３】
支持部６２は、基部１８と連結されている。支持部６２と基部１８の連結の一態様として、一実施形態においては、図３及び図４に示すように、支持部６２は、基部１８と一体化されている。即ち、支持部６２は、基部１８に形成されており、基部１８に対して固定されている。この実施形態では、支持部６２を個別の部品としておらず、部品点数が削減されている。この支持部６２は、基部１８の第２面１８ｂの外周において周方向ＣＦＤに延在している。ここで、周方向とは、Ｚ方向に直交する面内において、当該面を直交する軸線を中心とする環に沿う方向である。
【００４４】
図４及び図６に示すように、支持部６２は、押え部材６０が当接する面、即ち被当接面として、周方向ＣＦＤに配列された複数の面６２ｓを有している。これら複数の面６２ｓは、上方を向いた面である。これら複数の面６２ｓは、配列順に三つの面群ＳＧ１〜ＳＧ３に分けられている。即ち、複数の面６２ｓは、第１の面群ＳＧ１を構成する複数の第１の被当接面、第２の面群ＳＧ２を構成する複数の第２の被当接面、及び、第３の面群ＳＧ３を構成する複数の第３の被当接面を含んでいる。
【００４５】
図４に示すように、第１の面群ＳＧ１に属する複数の面６２ｓ、即ち、第１の被当接面は、周方向ＣＦＤにおいて、所定の間隔ＩＶ（図６参照）で設けられている。第２の面群ＳＧ２に属する複数の面６２ｓ、即ち、第２の被当接面も、周方向ＣＦＤにおいて、所定の間隔ＩＶで設けられている。第１の被当接面及び第２の被当接面は、周方向ＣＦＤにおいて交互に設けられている。また、第３の面群ＳＧ３に属する複数の面６２ｓ、即ち、第３の被当接面も、周方向ＣＦＤにおいて、所定の間隔ＩＶで設けられている。即ち、複数の面６２ｓは、周方向ＣＦＤにおける配列順に第１〜第３の面群ＳＧ１〜ＳＧ３に分けられている。
【００４６】
三つの面群ＳＧ１〜ＳＧ３は、高さ方向（Ｚ方向）において互いに異なる位置に設けられている。即ち、面群ＳＧ１に含まれる複数の面６２ｓ（第１の被当接面）は、高さ方向において略同一の位置に設けられており、面群ＳＧ２に含まれる複数の面６２ｓ（第２の被当接面）は、高さ方向において略同一の位置に設けられており、面群ＳＧ３に含まれる複数の面６２ｓ（第３の被当接面）は、高さ方向において略同一の位置に設けられている。また、面群ＳＧ１に含まれる複数の面６２ｓ（第１の被当接面）、面群ＳＧ２に含まれる複数の面６２ｓ（第２の被当接面）、面群ＳＧ３に含まれる複数の面６２ｓ（第３の被当接面）は、高さ方向において互いに異なる位置に設けられている。したがって、支持部６２は、高さ方向において異なる位置に設けられた面を周期的に提供している。
【００４７】
また、支持部６２には、複数の面６２ｓから支持部６２の内部までＺ方向に延びる複数のねじ穴６２ｈが形成されており、これらねじ穴６２ｈを画成する面には雌ねじが形成されている。これらねじ穴６２ｈには、後述するように、押え部材６０を支持部６２に対して固定する際に、固定部材６４の雄ねじが螺合される。
【００４８】
押え部材６０は、フォーカスリングＦＲの外周に沿って配置され、当該フォーカスリングＦＲを基部１８の第２面１８ｂに向けて押圧する。これにより、押え部材６０は、シートＳＴを圧縮する。押え部材６０は、例えば、アルミナといったセラミックから構成される部材である。図５に示すように、押え部材６０は、略環状の部材である。図３及び図５に示すように、押え部材６０は、主部６０ｍ及び薄肉部６０ｔを有している。薄肉部６０ｔは、押え部材６０の内側縁部に設けられている。薄肉部６０ｔは、主部６０ｍの上側部分に接続しており、主部６０ｍよりも内側に突出している。この薄肉部６０ｔの下面は、フォーカスリングＦＲの第２薄肉部ＦＲ２の上面を基部１８の第２面１８ｂに向けて押え付ける押え面６０ｐとして機能する。
【００４９】
また、図５及び図６に示すように、押え部材６０の主部６０ｍは、下面６０Ｌを有している。押え部材６０の下面６０Ｌは、複数の当接面６０ａを有している。これら当接面６０ａは、周方向ＣＦＤにおいて所定の間隔ＩＶで設けられている。複数の当接面６０ａは、複数の面６２ｓの周方向における幅よりも小さい幅で形成されている。また、複数の当接面６０ａは、押え部材６０の他の部分よりも下方に突出している。具体的には、複数の当接面６０ａは、下面６０Ｌにおいて隣り合う当接面６０ａ間の領域６０ｂよりも、下方に突出している。複数の当接面６０ａと下面６０Ｌの領域６０ｂの間の高さ方向（Ｚ方向）における距離は、面群ＳＧ１〜ＳＧ３のうち最も高い位置に設けられた面群と最も低い位置に設けられた面群との間の距離よりも大きくなっている。
【００５０】
また、押え部材６０には、複数の当接面６０ａからＺ方向に当該押え部材６０を貫通する複数の孔６０ｈが形成されている。複数の孔６０ｈの各々は、小径部６０ｈ１及び大径部６０ｈ２を含んでいる。小径部６０ｈ１は、当接面６０ａからＺ方向に押え部材６０の中間まで延びている。大径部６０ｈ２は、小径部６０ｈ１に続けて、Ｚ方向に押え部材６０の上面まで延びている。大径部６０ｈ２の直径は、小径部６０ｈ１の直径よりも大きくなっている。したがって、大径部６０ｈ２と小径部６０ｈ１との間には段差面が形成されている。当該段差面には、固定部材６４である、ねじの頭部が当接する。
【００５１】
この載置台構造ＰＤＳでは、図６に示すように、押え部材６０を周方向ＣＦＤにおいて回転させることにより、押え部材６０の当接面６０ａが当接する面として、面群ＳＧ１〜ＳＧ３のいずれか一つに属する複数の面６２ｓを選択することができる。即ち、押え部材６０の当接面６０ａが当接する面として、複数の第１の被当接面、複数の第２の被当接面、及び、複数の第３の被当接面のうち何れかを選択することができる。これにより、押え部材６０が支持部６２に当接する高さ方向（Ｚ方向）の位置を選択することができる。その結果、押え面６０ｐと第２面１８ｂとの間の高さ方向（Ｚ方向）における距離を調整することができる。そして、押え部材６０の当接面６０ａが選択された面群に当接している状態で、押え部材６０の孔６０ｈに固定部材６４、即ちねじ６４を通して支持部６２のねじ穴に当該ねじを螺合することで、押え部材６０を支持部６２に対して強固に固定することができる。
【００５２】
図３に示すように、載置台構造ＰＤＳでは、押え部材６０が支持部６２に固定された状態で、載置台ＰＤの外周面及び押え部材６０の表面を覆うように、カバー７０が設けられる。カバー７０は、例えば、石英といったセラミックから構成され得る。図３に示すように、カバー７０は、二つ以上の部品に分割されていてもよい。
【００５３】
かかる載置台構造ＰＤＳによれば、薄肉部ＦＲ２の厚み、押え部材６０の押え面６０ｐと第２面１８ｂとの間の距離、シートＳＴの厚み等に製造誤差が生じていても、押え部材６０の当接面６０ａが当接する面として、面群ＳＧ１〜ＳＧ３のいずれか一つを選択することにより、シートＳＴの縮小量を設計値に近づけることが可能である。
【００５４】
ここで、図７及び図８を参照する。図７及び図８は、シートの縮小量の調整方法を説明するための概念図である。載置台構造ＰＤＳにおいて、例えば、高さ方向（Ｚ方向）において中間の位置に設けられた面群ＳＧ２の高さ方向位置の設計値を、当該面群ＳＧ２に押え部材６０の当接面６０ａが当接するときに、シートＳＴの厚みの縮小量が設計値となるように、設定しておく。また、面群ＳＧ２と面群ＳＧ１との間の高さ方向の距離、及び、面群ＳＧ２と面群ＳＧ３との間の高さ方向の距離、即ち、高さ方向における面群間の最短距離を、シートＳＴの厚みの縮小量の調整幅（Δｈ）に対応させておく。このような載置台構造ＰＤＳにおいて、図７の（ａ）及び図８の（ｂ）に示すように、面群ＳＧ２に当接面６０ａを当接させると、第２面１８ｂと押え面６０ｐとの間の高さ方向の間隔がＨ２となり、シートの厚みがＨ３になるものとする。なお、押え部材６０の当接面６０ａと押え面６０ｐとの間の高さ方向の距離はＨ１であるものとする。
【００５５】
そして、面群ＳＧ２に押え部材６０の当接面６０ａを当接させるとシートＳＴの厚みの縮小量が設計値よりも大きくなる場合には、図７の（ｂ）に示すように、面群ＳＧ２よりも高い位置に設けられた面群ＳＧ１に当接面６０ａが当接するよう、押え部材６０の周方向ＣＦＤの位置を選択することができる。図７の（ｂ）に示される場合には、押え部材６０の押え面６０ｐの高さ方向（Ｚ方向）における位置は、図７の（ａ）に示す押え面６０ｐの高さ方向（Ｚ方向）における位置よりも調整幅Δｈ分だけ高くなる。その結果、第２面１８ｂと押え面６０ｐとの間の高さ方向の間隔は、Ｈ２＋Δｈとなる。これに伴い、シートＳＴの厚みは、Ｈ３＋Δｈとなる。したがって、シートの厚みの縮小量が、図７の（ｂ）に示される場合には、図７の（ａ）に示される場合に比べて、Δｈだけ小さくなる。
【００５６】
一方、面群ＳＧ２に押え部材６０の当接面６０ａを当接させるとシートＳＴの厚みの縮小量が設計値よりも小さくなる場合には、図８の（ｂ）に示すように、面群ＳＧ２よりも低い位置に設けられた面群ＳＧ３に当接面６０ａが当接するよう、押え部材６０の周方向ＣＦＤの位置を調整することができる。図８の（ｂ）に示される場合には、押え部材６０の押え面６０ｐの高さ方向（Ｚ方向）における位置は、図８の（ａ）に示す押え面６０ｐの高さ方向（Ｚ方向）における位置よりも調整幅Δｈ分だけ低くなる。その結果、第２面１８ｂと押え面６０ｐとの間の高さ方向の間隔は、Ｈ２−Δｈとなる。これに伴い、シートＳＴの厚みは、Ｈ３−Δｈとなる。したがって、シートの厚みの縮小量が、図８の（ｂ）に示される場合には、図８の（ａ）に示される場合に比べて、Δｈだけ大きくなる。
【００５７】
ここで、図９を参照する。図９は、シートの縮小量とフォーカスリングの温度の関係を示す図である。図９は、図１に示すプラズマ処理装置に従来の載置台構造を用いてプラズマ処理を行い、シートの厚みの縮小量とフォーカスリングの温度の関係を測定した結果を示している。図９において、横軸は、シートの厚みの縮小量（ｍｍ）を示しており、縦軸は、フォーカスリングの温度を示している。ここで、シートの厚みは１ｍｍであり、したがって、シートの縮小量が０．１ｍｍであることは、シートの厚みの縮小率が１０％であることに対応する。
【００５８】
図９に示すように、シートの厚みの縮小量が０．１ｍｍ〜０．２ｍｍの範囲内で設定されていると、即ち、シートの厚みの縮小率が１０％〜２０％の範囲内で設定されていると、フォーカスリングの温度の変動量は小さくなる。即ち、シートの厚みの縮小量がシートの厚みに対して１０％〜２０％の範囲に設定されていると、薄肉部ＦＲ２の厚み、押え部材６０の押え面６０ｐと第２面１８ｂとの間の距離、シートＳＴの厚み等に製造誤差が生じていても、プラズマ処理時のフォーカスリングＦＲの温度のばらつきを小さくすることが可能である。一方、シートの厚みの縮小量が０．０ｍｍ〜０．１ｍｍの範囲内で設定されていると、即ち、シートの厚みの縮小率が０％〜１０％の範囲内で設定されていると、フォーカスリングの温度の変動量は大きくなる。また、シートの厚みの縮小量が０．３ｍｍを超えると、即ち、シートの厚みの縮小率が３０％を超えると、シートの厚みを縮小させることに寄与する部品に大きな力が加わることになり、当該部品が損傷することがある。
【００５９】
載置台構造ＰＤＳでは、高さ方向（Ｚ方向）において中間の位置に設けられた面群ＳＧ２の高さ方向位置の設計値を、当該面群ＳＧ２に押え部材６０の当接面６０ａが当接するときに、シートＳＴの厚みの縮小量が設計値となるように、設定しておくことができる。また、高さ方向における面群間の最短距離、即ち調整幅Δｈを０．１ｍｍ、即ち、シートの厚みに対して１０％の距離に設定することができる。そして、押え部材６０の当接面６０ａが当接する面群を、面群ＳＧ１〜面群ＳＧ３のうちから選択することで、シートの厚みの縮小量を０．１ｍｍ〜０．２ｍｍの範囲、即ち、シートの厚みの縮小率を１０％〜２０％の範囲に設定することができる。
【００６０】
なお、高さ方向における面群間の最短距離は、シートＳＴの厚み、シートの厚みの縮小量に応じて適宜設定されるものであり、上述した距離に限定されるものではない。また、上述した実施形態では、三つの面群ＳＧ１〜ＳＧ３が設けられているが、面群の個数は二以上であればよい。二以上の面群が設けられていることにより、シートＳＴの厚みの縮小量が大きい場合には、より高い位置に設けられた面群に押え部材６０の当接面６０ａを当接させ、一方、シートＳＴの厚みの縮小量が小さい場合には、より低い位置に設けられた面群に押え部材６０の当接面６０ａを当接させることで、シートＳＴの厚みの縮小量を調整することが可能となる。また、面群の個数は、３より多くてもよい。
【００６１】
次に、一実施形態に係るフォーカスリングを保持する方法について説明する。図１０は、一実施形態に係るフォーカスリングを保持する方法を示す図である。以下の説明では、上述した実施形態の載置台構造ＰＤＳを例として、一実施形態に係るフォーカスリングを保持する方法について説明する。
【００６２】
図１０に示すように、この方法では、まず、工程Ｓ１において、基部１８の第２面１８ｂ上にシートＳＴを介してフォーカスリングＦＲを配置する。この工程Ｓ１では、フォーカスリングＦＲは、静電チャック２０の周縁に沿って配置される。次いで、工程Ｓ２において、押え部材６０の周方向ＣＦＤにおける位置を選択する。載置台構造ＰＤＳを用いる場合に、工程Ｓ２では、押え部材６０の当接面６０ａを当接させる面群を面群ＳＧ１〜ＳＧ３から選択する。これにより、工程Ｓ２では、押え部材６０が支持部６２に当接する高さ方向（Ｚ方向）の位置が決定される。その結果、フォーカスリングＦＲに接触する押え部材６０の押え面６０ｐと基部１８の間の高さ方向における間隔が調整される。
【００６３】
一実施形態においては、工程Ｓ２では、シートＳＴの厚みの縮小量が当該シートＳＴの厚みの１０％〜２０％の範囲となるように、押え部材６０が支持部６２に当接する高さ方向の位置が決定される。この実施形態によれば、図９を参照して上述したように、薄肉部ＦＲ２の厚み、押え部材６０の押え面６０ｐと第２面１８ｂとの間の距離、シートＳＴの厚み等に製造誤差が生じていても、プラズマ処理時のフォーカスリングＦＲの温度のばらつきを小さくすることが可能である。
【００６４】
なお、工程Ｓ２では、押え部材６０の当接面６０ａを支持部６２に当接させたときのシートＳＴの厚みの縮小量を求めて、押え部材６０の周方向ＣＦＤの位置を選択してもよい。また、工程Ｓ２では、シートＳＴの厚みの縮小に寄与する部品の寸法の実値に基づいて、シートＳＴの厚みの所望の縮小量が達成されるよう、押え部材６０の周方向ＣＦＤにおける位置を選択してもよい。
【００６５】
次いで、工程Ｓ３において、押え部材６０を決定された高さ方向の位置において支持部６２に当接させた状態で、固定部材６４を用いて支持部６２に押え部材６０を固定する。載置台構造ＰＤＳを用いる場合には、選択した面群に押え部材６０の当接面６０ａを当接させた状態で、固定部材６４を用いて、押え部材６０を支持部６２に固定する。これにより、シートＳＴの厚みの所望の縮小量を達成しつつ、フォーカスリングＦＲを保持することが可能となる。また、押え部材６０が支持部６２に当接した状態で支持部６２に固定されるので、設定されたシートＳＴの厚みの縮小量を維持することが可能となる。
【００６６】
以下、別の実施形態に係る載置台構造について説明する。図１１は、別の実施形態に係る載置台構造を示す断面図である。図１１は、別の実施形態に係る載置台構造ＰＤＳ２において、図３と同様の断面を示している。また、図１２は、別の実施形態に係る載置台構造の支持部を示す平面図である。図１２は、別の実施形態に係る載置台構造の支持部を上方から視た状態を示している。
【００６７】
図１１に示す載置台構造ＰＤＳ２は、支持部が基部１８とは別体の部品である点において、載置台構造ＰＤＳとは異なっている。また、載置台構造ＰＤＳ２は、フォーカスリングＦＲと第２面１８ｂとの間に、シートＳＴに加えて、環状部材７２及びシートＳＴ２を更に有している点において、載置台構造ＰＤＳとは異なっている。以下、載置台構造ＰＤＳ２について、載置台構造ＰＤＳと異なる点について説明する。
【００６８】
環状部材７２は、例えば、アルミニウムといった金属から構成されている。環状部材７２は、第２面１８ｂの上において環状に延在している。この環状部材７２とフォーカスリングＦＲとの間には、シートＳＴが介在している。また、環状部材７２と第２面１８ｂとの間には、シートＳＴ２が介在している。シートＳＴ２は、シートＳＴと同様に、熱伝達媒体であり、フォーカスリングＦＲの熱を基部１８に伝える。このシートＳＴ２は、第２面１８ｂの上において環状に延在している。
【００６９】
図１１に示すように、環状部材７２には、当該環状部材７２をＺ方向に貫通する穴が設けられている。環状部材７２の当該穴に対応する位置において第２面１８ｂからＺ方向に延びるねじ穴が、基部１８に設けられている。当該ねじ穴を画成する面には、雌ねじが形成されている。環状部材７２の穴を通じて挿入されるねじが基部１８の第２面１８ｂから延びるねじ穴に螺合されることで、環状部材７２は、第２面１８ｂに対して押え付けられ、シートＳＴ２はその厚み方向において縮小する。
【００７０】
図１１に示すように、環状部材７２の径方向における外縁部７２ａは、基部１８よりも外側に突出している。載置台構造ＰＤＳ２では、環状部材７２の外縁部７２ａの下面に支持部６２Ａが当接する。即ち、載置台構造ＰＤＳ２では、支持部６２Ａと基部１８との連結の形態として、支持部６２Ａが環状部材７２を介して間接的に基部１８に連結される。
【００７１】
図１２に示すように、支持部６２Ａは、環状の部材である。支持部６２Ａは、例えばアルミナといったセラミックから構成される。支持部６２Ａは、内縁部６２ｉを有している。内縁部６２ｉの上面は、図１１に示すように、環状部材７２の外縁部７２ａの下面に当接する。
【００７２】
図１２に示すように、支持部６２Ａには、上方に向いた複数の面６２ｓが形成されている。これら複数の面６２ｓは、内縁部６２ｉよりも径方向外側に設けられている。複数の面６２ｓは、載置台構造ＰＤＳの複数の面６２ｓと同様に、周方向ＣＦＤに配列されている。また、複数の面６２ｓは、載置台構造ＰＤＳの複数の面６２ｓと同様に、三つの面群ＳＧ１〜ＳＧ３に分けられている。即ち、載置台構造ＰＤＳ２の複数の面６２ｓも、面群ＳＧ１に属する第１の被当接面、面群ＳＧ２に属する第２の被当接面、面群ＳＧ３に属する第３の被当接面を含んでいる。
【００７３】
かかる載置台構造ＰＤＳ２では、基部１８とは別体である支持部６２Ａの内縁部６２ｉが環状部材７２の外縁部７２ａの下面に当接し、且つ、フォーカスリングＦＲの第２薄肉部ＦＲ２の上面に押え部材６０の押え面６０ｐが当接した状態で、押え部材６０が支持部６２Ａに対して固定部材６４を用いて固定される。これにより、押え部材６０がフォーカスリングＦＲを環状部材７２に対して押え付け、シートＳＴの厚みが縮小する。
【００７４】
また、押え部材６０を周方向ＣＦＤにおいて回転させることにより、押え部材６０の当接面６０ａが当接する面として、面群ＳＧ１〜ＳＧ３のいずれか一つを選択することができる。これにより、押え部材６０が支持部６２Ａに当接する位置を高さ方向（Ｚ方向）において選択することができる。その結果、押え面６０ｐと第２面１８ｂとの間の高さ方向（Ｚ方向）における距離を調整することができる。そして、押え部材６０の当接面６０ａが選択された面群に当接している状態で、押え部材６０の孔６０ｈに固定部材６４、即ちねじ６４を通して支持部６２Ａのねじ穴に当該ねじを螺合することで、押え部材６０を支持部６２に対して強固に固定することができる。このときのねじ６４のトルクの管理は不要である。
【００７５】
かかる載置台構造ＰＤＳ２によれば、薄肉部ＦＲ２の厚み、押え部材６０の押え面６０ｐと第２面１８ｂとの間の距離、シートＳＴの厚み、シートＳＴ２の厚み、環状部材７２の厚みに製造誤差が生じていても、押え部材６０の当接面６０ａが当接する面として、支持部６２Ａの面群ＳＧ１〜ＳＧ３のいずれか一つを選択することにより、シートＳＴの縮小量を設計値に近づけることが可能である。
【００７６】
この載置台構造ＰＤＳ２においても、図１０に示すフォーカスリングを保持する方法を実施することが可能である。この場合に、工程Ｓ１に先だって、シートＳＴ２を第２面１８ｂ上に配置し、当該シートＳＴ２上に環状部材７２を配置し、環状部材７２を基部１８に対してねじ留めする。次いで、工程Ｓ１において、第２面１８ｂの上、具体的には、環状部材７２上にシートＳＴを介してフォーカスリングＦＲを配置する。そして、工程Ｓ２において、支持部６２Ａ上での押え部材６０の周方向の位置を選択することで、押え部材６０の当接面６０ａを当接させる支持部６２Ａの面群を選択する。次いで、工程Ｓ３において、押え部材６０の当接面６０ａを、選択された支持部６２Ａの面群に当接させた状態で、固定部材６４を用いて支持部６２Ａに対して押え部材６０を固定する。これにより、シートＳＴの厚みの所望の縮小量を達成しつつ、フォーカスリングＦＲを保持することが可能となる。また、押え部材６０が支持部６２Ａに当接した状態で支持部６２Ａに固定されるので、設定されたシートＳＴの厚みの縮小量を維持することが可能となる。
【００７７】
以上、種々の実施形態について説明してきたが、上述した実施形態に限定されることなく種々の変形態様を構成可能である。例えば、上述したプラズマ処理装置は、平行平板型のプラズマ処理装置であったが、上述した実施形態の載置台構造を備えることができるプラズマ処理装置のプラズマ源は限定されるものではない。例えば、マイクロ波を用いるプラズマ処理装置、誘導結合型のプラズマ処理装置といった種々のタイプのプラズマ処理装置において、上述した実施形態の載置台構造を採用することができる。
【００７８】
また、上述した実施形態では、異なる高さ位置において面を提供する複数の面群を有する支持部が採用されている。しかしながら、支持部は、押え部材の当該支持部上での周方向の位置を変更することにより、押え部材が高さ方向において当該支持部に当接する位置を選択可能であるものであれば、如何なる形状をもっていてもよい。例えば、支持部は、周方向において連続的に高さ位置が変化する面（当接面）を有するものであってもよい。
【符号の説明】
【００７９】
１０…プラズマ処理装置、ＰＤＳ，ＰＤＳ２…載置台構造、ＰＤ…載置台、１６…下部電極、１８…基部、１８ａ…第１面、１８ｂ…第２面、２０…静電チャック、６０…押え部材、６０Ｌ…下面、６０ａ…当接面、６０ｂ…領域、６０ｈ…孔、６０ｈ１…小径部、６０ｈ２…大径部、６０ｍ…主部、６０ｐ…押え面、６０ｔ…薄肉部、６２，６２Ａ…支持部、６２ｈ…ねじ穴、６２ｓ…面（第１〜第３の被当接面）、ＳＧ１，ＳＧ２，ＳＧ３…面群、６２ｉ…内縁部、６４…固定部材、７２…環状部材、７２ａ…外縁部、ＦＲ…フォーカスリング、ＦＲ１…第１薄肉部、ＦＲ２…第２薄肉部、ＳＴ，ＳＴ２…シート、Ｗ…ウエハ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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