(57)【要約】【課題】めっき槽におけるワークたわみの発生を抑制し、めっき厚分布の変動をより低減できるめっき装置を提供することを目的とする。【解決手段】長尺シート状のワークをめっき処理するめっき装置であって、めっき槽の側壁に形成され、めっき液を排出するための排出口を有する、めっき装置を提供する。【選択図】図１
2014194064.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
長尺シート状のワークをめっき処理するめっき装置であって、
めっき槽の側壁に形成され、めっき液を排出するための排出口を有する、めっき装置。
【請求項２】
前記排出口はその高さが、めっき槽内のめっき液の液位よりも高くなるように形成されている請求項１に記載のめっき装置。
【請求項３】
前記排出口は複数設けられており、
前記排出口同士が互いに対向する位置に設けられている請求項１または２に記載のめっき装置。
【請求項４】
前記めっき槽内において前記ワークに対してめっき液を吹きつける噴流ノズルを有する請求項１乃至３いずれか一項に記載のめっき装置。
【請求項５】
前記めっき槽内において、電極と、ワークとの間の距離が、７０ｍｍ以上１２０ｍｍ以下である請求項１乃至４いずれか一項に記載のめっき装置。
【請求項６】
前記めっき槽の側壁に設けられ、前記長尺シート状のワークを前記めっき槽に導入するためのワーク導入口と、
前記めっき槽の側壁に設けられ、前記長尺シート状のワークを前記めっき槽から搬出するためのワーク搬出口と、を有しており、
前記ワーク導入口、前記ワーク搬出口、及び、前記排出口のみからめっき液を排出する請求項１乃至５いずれか一項に記載のめっき装置。
【請求項７】
前記長尺状のワークの幅方向を上下方向に保持した状態で前記めっき槽に供給する請求項１乃至６いずれか一項に記載のめっき装置。
【請求項８】
前記ワークの表面付近のめっき液を前記排出口に導く流路が形成された液抜き手段を更に有する請求項１乃至７のいずれか一項に記載のめっき装置。
【請求項９】
前記液抜き手段は、前記ワーク付近に液導入口を有し、該液導入口と反対側が前記排出口に接続された箱体である請求項８に記載のめっき装置。
【請求項１０】
前記導入口は、前記ワークの面に沿った流れを通過させる方向に開口している請求項９に記載のめっき装置。
【請求項１１】
前記液抜き手段は、前記めっき槽の長手方向に略垂直な方向に延在して設けられた請求項８乃至１０のいずれか一項に記載のめっき装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、めっき装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、電子機器の小型化に伴い使用される電子部品も小型化が要求されるようになってきている。そのような電子部品の製造に用いられる配線材料として、ポリイミドフィルム等の有機樹脂フィルム上に薄い金属層を形成し、その金属層上に数μｍ〜数十μｍの厚みで銅を電気めっきした金属被覆樹脂基板が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
電気めっき法により製造された金属被覆樹脂基板は、フォトリソグラフィー技術によって表面に微細な配線パターンが形成され、携帯電話やテレビ等の液晶パネルとドライバＩＣとの接続用配線基板等に用いられている。
【０００４】
このような金属被覆樹脂基板を製造する際の電気めっき処理を行うめっき装置として以下のような装置が知られている。
【０００５】
例えば、有機樹脂フィルム上に薄い金属層を形成した長尺シート状のワークの幅方向を水平に保持し、該金属層に給電しながら、複数のめっき槽を通過させるめっき装置が知られている。
【０００６】
また、特許文献２には、ポリイミドフィルム上に薄い金属層を形成した長尺シート状のワークの幅方向を上下方向にし、ワーク上端及び下端をクランプで把持するとともに給電しながら、めっき槽でめっきを施すめっき装置が開示されている。係るめっき装置においては１槽のめっき槽で、高速に電気めっきを施すことが可能になっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２０１０−０３１３１６号公報
【特許文献２】特開２００９−１２０８８９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、従来のめっき装置においてはめっき槽内でワークにたわみが生じる場合があり、ワークにたわみが生じるとワーク内でのめっき厚分布が変動してしまうという問題があった。
【０００９】
そこで、本発明は、上記従来技術が有する問題に鑑み、めっき槽におけるワークたわみの発生を抑制し、めっき厚分布の変動をより低減できるめっき装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するため本発明は、長尺シート状のワークをめっき処理するめっき装置であって、めっき槽の側壁に形成され、めっき液を排出するための排出口を有する、めっき装置を提供する。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、めっき槽におけるワークたわみの発生を抑制し、めっき厚分布の変動をより低減できるめっき装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】従来のめっき装置の断面図（ワークたわみの模式図）
【図２】従来のめっき装置の上面図
【図３】本発明の実施形態１に係るめっき装置の上面図
【図４】本発明の実施形態１に係るめっき装置の側面図
【図５】本発明の実施形態１に係るめっき装置の他の構成例の断面図
【図６】本発明に係る実施例１、及び、比較例１におけるめっき槽中におけるワークのたわみ量
【図７】本発明に係る実施例１においてワーク表面に形成されためっき層のめっき厚分布
【図８】比較例１においてワーク表面に形成されためっき層のめっき厚分布
【図９】本発明の実施形態２に係るめっき装置の一例を示した上面図
【図１０】本発明の実施形態２に係るめっき装置の液抜きボックスの一例を示した斜視図
【図１１】本発明の実施形態２に係るめっき装置のめっき槽内の液抜きボックス付近の構成の一例を示した拡大図
【図１２】本発明の実施例２における実施結果を示した図
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明を実施するための形態について図面を参照して説明するが、本発明は、下記の実施形態に制限されることはなく、本発明の範囲を逸脱することなく、下記の実施形態に種々の変形および置換を加えることができる。
【００１４】
〔実施形態１〕
本実施の形態では、本発明のめっき装置の構成例について説明する。
【００１５】
本実施形態のめっき装置は、長尺シート状のワークをめっき処理するめっき装置であって、めっき槽の側壁に形成され、めっき液を排出するための排出口を有するものである。
【００１６】
本発明の発明者らが従来のめっき装置においてワークにたわみが生じる原因について検討したところ、原因の一つとして、めっき槽内においてめっき液を流動させる際に渦流が発生し、係る渦流によりワークたわみが生じていると推認された。この点について以下に説明する。
【００１７】
ここでは、ワークの幅方向を上下方向にしてめっき槽に供給し、めっきを行うめっき装置を例に、本発明の発明者らが見出した従来のめっき装置におけるたわみ発生のメカニズムについて説明する。
【００１８】
図１は従来のめっき装置のめっき槽部分の断面図を示しており、ワークのたわみの模式図も示す。図２はめっき装置のめっき槽部分の上面図を示している。
【００１９】
図１、図２に示した従来のめっき装置においては、上端クランプ１と下端クランプ２によってワーク３を把持、搬送し、めっき槽の両端部に設けられたスリット形状のワーク導入口２１、ワーク搬出口２２からワーク３をめっき槽内に導入、搬出する。
【００２０】
めっき槽内にはめっき液５が満たされており、めっき槽内に設けられた複数の噴流ノズル６からめっき液をめっき槽内に供給し、噴流ノズル６によりワーク表面にめっき液を噴出することでワーク表面に金属イオンを供給している。また、めっき槽内のめっき液の液位を略一定に保つように、主にめっき槽上部からめっき液を図１中矢印Ａで示すようにめっき槽外にオーバーフローさせている。さらに、ワーク導入口２１、ワーク搬出口２２の隙間からも一部めっき液が排出される。
【００２１】
めっき槽内においては、給電を兼ねる上端クランプ１と電極（アノード）４とを電源に接続することにより、ワーク３にめっき処理が行われる。
【００２２】
係るめっき装置について検討を行ったところ、図２に示すようにワーク導入口２１、ワーク搬出口２２近傍では図中矢印で示すように、ワークに沿っためっき液の流れが観察されるものの、それ以外の部分では近接する噴流ノズル間で渦流２３が発生することが確認された。そして、該渦流２３により生じるワークを押す力によって、ワークの一方の面側と他方の面側とを押す力が不均等になるとワークにたわみを生じるものと推認される。その結果、めっき槽内でワークにたわみが生じると、電極（アノード）４とワーク３との間の距離が表裏で不均等になり、ワーク内でのめっき厚分布に変動が生じていたと考えられる。
【００２３】
係るめっき装置のめっき槽内に渦流が生じる原因についてさらに本発明の発明者らが検討したところ、主にめっき槽の上端からオーバーフローによりめっき液を排出する排出手段の構成に原因があるものと推認された。
【００２４】
そこで、本実施形態のめっき装置においては、図３、図４に示すようにめっき液の排出手段として、めっき槽の側壁に排出口３０を形成し、めっき液のオーバーフローを抑制、または、オーバーフローがなされないように構成した。図３は本実施形態のめっき装置の上面図を示し、図４は、排出口３０を設けた部分のめっき槽の側面図を示している。
【００２５】
なお、めっき装置の（電極を設けた部分の）断面図は、ワークのたわみが抑制されていること、めっき槽上部からのめっき液のオーバーフロー（図中の矢印Ａ）がなされていない、または、抑制されている以外は図１と同様の構成となる。
【００２６】
係るめっき装置においてはめっき槽の側壁に排出口３０が設けられているため、噴流ノズル６からワーク表面に向かって供給されためっき液は、図３に示すようにワーク表面に沿って流れた後、排出口３０に向かう流れを形成することができる。このため、ワーク表面に向かって噴流ノズルから供給されためっき液による渦流の発生を抑制することができるものと考えられる。
【００２７】
排出口３０の形状についても特に限定されるものではないが、例えば図４に示すように四角形形状とすることができる。
【００２８】
排出口３０のサイズは特に限定されるものではなく、必要とするめっき液の排出量に応じて規定することができる。
【００２９】
ただし、排出口３０の高さ（図４中ｈで表わされる長さ）は、めっき槽内のめっき液の液位よりも高くなるように形成されていることが好ましい。これは、めっき槽内のめっき液の高さ方向（深さ方向）全体にわたって上述のようなワーク表面に沿った流れを形成し、渦流の発生を抑制できるように形成することが好ましいためである。
【００３０】
また、排出口３０の幅はめっき槽に供給されるめっき液の量や、排出口の数により選択することができ、特に限定されるものではない。ただし、めっき槽内のめっき液の液位が排出口３０周辺のみで局所的に低下しないようにその幅を選択することが好ましい。
【００３１】
特に図３に示すような懸垂型のめっき装置においては、図３に示すようにめっき槽の側壁に長尺シート状のワークをめっき槽に導入するためのワーク導入口２１と、長尺シート状のワークをめっき槽から搬出するためのワーク搬出口２２を設けることとなる。このように、ワーク導入口２１と、ワーク搬出口２２と、を有している場合には、前記ワーク導入口、前記ワーク搬出口、及び、前記排出口のみからめっき液を排出するように構成されていることが好ましい。これは、このように構成することにより、めっき槽の上部からオーバーフローによりめっき液を排出しない構成とすることができ、上述のワーク表面に沿っためっき液の流れをより形成しやすくなり、特に渦流の発生を抑制できるためである。
【００３２】
なお、めっきの際の条件によりめっき槽に対するめっき液の供給量が変動する場合は、排出口３０に排出口の幅方向に可動できる板（排出口の開閉板）等を設けておき、排出口のサイズを調整し、めっき液の排出量を調整できるように構成することもできる。
【００３３】
図３、図４に示すように、排出口３０はめっき槽の側壁に設けられていればよく設置する場所については特に限定されるものではないが、めっき槽の側壁のうち、めっき槽にワークを供給した際にワーク３のめっき面と対向する側壁に形成することが好ましい。すなわち、図３の場合、側壁３１および／または側壁３２に設けることが好ましい。これは、上述のように排出口３０は、ワーク表面に供給されためっき液をワーク表面に沿って流れた後、排出口に向かう流れを形成するために設けるものであり、上記構成とすることにより、係る流れが形成しやすくなるためである。
【００３４】
また、設ける排出口３０の数は特に限定されるものではなく、めっき槽のサイズやめっき液の供給量等に応じて選択することができる。特に、排出口３０は複数、すなわち２つ以上設けられていることが好ましく、このように複数設ける場合には、図３に示すように排出口３０が互いに対向する位置に設けることが好ましい。
【００３５】
このように構成することにより、例えば図３に示すようにワーク３の両側で略対称なめっき液の流れを容易に形成することができるため、よりワーク３のたわみを抑制することができる。
【００３６】
さらに、排出口３０を１つの側壁に複数設ける場合には、めっき槽の側壁に、側壁の一端部から他端部の間で一定間隔毎に形成することが好ましい。すなわち、図４におけるＷ１、Ｗ２、Ｗ３が等しくなるように構成することが好ましい。このように構成することにより、めっき槽内部でのワークに沿っためっき液の流速を均一にすることができるため、ワークのたわみをより抑制することができるためである。
【００３７】
排出口等から排出されためっき液は図示しないめっき液回収手段により回収し、めっき液中の析出物等をフィルター等により除去し、場合によってはめっき液の成分を添加した後、再度噴流ノズルからめっき槽に供給することもできる。
【００３８】
本実施形態のめっき装置の排出口以外の構成について説明する。
【００３９】
本実施形態のめっき装置においては、ワーク（ワークの搬送経路）のめっき面から、一定距離離隔して、電極（アノード）４を配置した構成とすることができる。
【００４０】
めっき槽内における電極の配置としては例えば図３に示すように、搬送しているワークの表面、裏面のめっき面それぞれと対向するように電極を配置することができる。この場合、ワークを中心にして、ワークのそれぞれのめっき面と電極との間の距離（図中距離３３、３４で表わされる距離）は等しくなる様に配置することが好ましい。このように配置することにより、ワーク両面のめっき厚分布を均等にすることができる。
【００４１】
電極とワーク（ワークの搬送経路）との間の距離、すなわち図３における距離３３、距離３４についてはめっき条件により選択することができ、特に限定されるものではない。ただし、電極とワークとの間の距離が近すぎると、噴流ノズルから供給されためっき液により容易に渦流が発生し、ワークたわみが発生しやすくなる。また、電極とワークとの距離が離隔しすぎると電圧アップによる生産コストアップに加え、めっき厚分布の均一性が得られにくくなる場合がある。このため、めっき槽内において、電極と、ワークとの間の距離が、７０mm以上１２０mm以下であることが好ましく、８５mm以上１１０mm以下であることがより好ましい。
【００４２】
なお、図３においては、電極４が側壁と接して設けられているように記載されているが、電極４とめっき槽の側壁とを離隔して設けることもできる。また、めっきの条件に合わせて電極４とワーク３との間の距離を変更できるよう、電極４の位置を変位できるように構成することもできる。
【００４３】
めっき槽内において電極４を配置する範囲については特に限定されるものではなく、形成するめっき層の厚さ等により任意に選択することができる。特に生産性を高めるため、めっき槽内において継続的にめっき処理を行えるよう、例えば図３に示すようにめっき槽内のワークの搬送経路に沿って、ワークの搬送経路全体に渡って、電極４を設置することが好ましい。
【００４４】
また、めっき槽にめっき液を供給するめっき液供給手段を設けることができる。めっき液供給手段としては特にその手段は限定されるものではなく、また、その設置場所も限定されるものではない。特にめっき処理の効率を向上するためには、ワーク表面に新たなめっき液を継続的に供給できるようにめっき液供給手段を設けることが好ましい。このため、図３に示すように例えばめっき槽内においてワークに対してめっき液を吹きつける噴流ノズル６を有する構成とすることができる。
【００４５】
噴流ノズルは、図３に示すようにワークの搬送経路に沿って所定の間隔ごとに設けられていることが好ましい。
【００４６】
また、噴流ノズルによりワークに対してめっき液を吹きつけるとワークがめっき液により押圧されることになる。このため、噴流ノズルはワークを挟んで対向するように一対の噴流ノズルを配置し、両噴流ノズルのワークからの距離が等しくなるように設けることが好ましく、その際の噴流ノズルからのめっき液の供給量がワークの表面、裏面で等しくなるように構成されていることが好ましい。
【００４７】
噴流ノズル６がワークに対してめっき液を吹きつける際のめっき液の吹き付け角度は特に限定されるものではなく、各噴流ノズルの設置位置に応じて選択することができる。
【００４８】
また、上記各部材以外にも必要に応じて各種部材を設けることができ、例えばワーク表面に均一に電位を付加できるように、電極とワークとの間に遮蔽板を設けることもできる。
【００４９】
以上本実施形態のめっき装置の構成例について説明してきたが、本実施形態のめっき装置は、長尺シート状のワークの幅方向を上下方向にしてめっき槽に供給し、めっきを施す懸垂型のめっき装置に限定されるものではない。例えば、図５に示すように有機樹脂フィルム上に薄い金属層を形成した長尺シート状のワークの幅方向を（地面に）水平にし、該金属層に給電しながら複数のめっき槽を通過させるめっき装置のめっき槽においても同様に排出口を設けることが好ましい。図５は係るめっき装置の断面構成図を示したものであり、複数のローラー５１によりワーク３を搬送し、めっき液に浸漬してめっき処理を行う装置である。図５において噴流ノズルは示していないが、図３、４と同様にワーク表面に対してめっき液を供給するための噴流ノズルを設けることができ、この場合も同様に噴流ノズル間で渦流を形成し、ワークたわみを生じる場合がある。このため、めっき槽の側壁に排出口を形成することにより、ワークたわみの発生を抑制することができる。排出口は、めっき液がワークに沿って流れるように設置するため、例えば図中の前面（紙面手前側）および奥側側壁に形成することが好ましい。その他の構成については懸垂型のめっき装置と同様の構成とすることができるため、ここでは説明を省略する。
【００５０】
ただし、上記ワークの幅方向を水平に保持してめっき槽に供給するめっき装置においては、複数の搬送ローラー５１によりワークが搬送されているため、ワークに一定程度のテンションが付加されている。従って、ワークの幅方向を上下に保持し、該幅方向の端部を把持しているだけの上記懸垂型のめっき装置に比較するとワークのたわみが生じにくくなっている。
【００５１】
このため、本実施形態のめっき装置はワークにたわみが生じ易い懸垂型のめっき装置において特に効果を発揮することから、長尺状のワークの幅方向を上下方向に保持した状態で前記めっき槽に供給する懸垂型のめっき装置において適用することがより好ましい。
【００５２】
以上、本実施形態においては、本発明のめっき装置の構成例について説明してきたが、係るめっき装置によれば、めっき槽におけるワークたわみの発生を抑制し、めっき厚分布の変動をより低減できることができる。
【実施例】
【００５３】
以下に具体的な実施例を挙げて説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。
【００５４】
まず、以下の実施例、比較例における評価方法について説明する。
（ワークのたわみ量の測定）
以下の実施例、比較例において、めっき槽に長尺状のワークを供給し、ワークに対するめっき処理を開始してから一定時間経過し、めっき装置の運転状態が安定したときにめっき槽内におけるワークのたわみ量の測定を行った。
【００５５】
ワークのたわみの測定は、めっき槽内のワーク搬送経路の搬送方向でみて中央位置において、長尺状ワークの幅方向全体（めっき槽の高さ方向）、すなわち、例えば図１の状態における上端クランプ１と下端クランプ２との間について測定を行い、最もたわんでいる場所を該ワークのたわみ量とした。
【００５６】
測定は、噴流ノズルとワークとの間隔を定規を用いて測定し、変化量からワークたわみ量を求めた。
（めっき厚の測定）
以下の実施例、比較例においてめっきを行った試料について、そのめっき層のめっき厚変動分布の測定を行った。測定はワークの長さ方向（ワークの搬送方向と同じ方向）の任意の位置において、ワークの幅方向全体に渡って、また、ワークの表面、裏面両方について測定を行った。
【００５７】
なお、以下の実施例１においては、４つのロット（ロットＡ〜Ｄ）について測定を行っており、比較例１においては２つのロット（ロット１、２）についてそれぞれ測定を行っている。また、実施例１、比較例１における測定結果を示した図７、図８におけるワーク幅（縦軸）とは、ワークの幅方向でみた場合の一方の端部から測定点までの距離を意味している。
【００５８】
測定に当たってはSeiko  Instruments  Inc.製の蛍光Ｘ線膜厚測定器SFT3300を用いた。
［実施例１］
本実施例では、図３、図４と同様のめっき槽を備えためっき装置を用い、表１に示すめっき条件によりワークのめっきを行った。
【００５９】
【表１】
2014194064.tif 000003
上記のようにめっき装置は図３と同様の装置を用いているが、噴流ノズル６はワーク搬送経路に沿って、ワークの各面側（表面側、裏面側）にそれぞれ７５本、すなわち、めっき槽内に計１５０本配置した。噴流ノズルは図３と同様にワークを挟んで噴流ノズル同士が対向するように配置した。そして、各噴流ノズルからのめっき液の供給量は２５Ｌ／ｍｉｎとした。このため、めっき槽に対するめっき液の供給量は表１に示すように、３７５０Ｌ／ｍｉｎとした。
【００６０】
そして、めっき槽からのめっき液の排出量が供給量とバランスが取れるように、表１に示すようにワーク導入口、ワーク排出口からの排出量を１５００Ｌ／ｍｉｎ、めっき槽の側壁に形成した排出口からの排出量を２２５０Ｌ／ｍｉｎとした。
【００６１】
なお、排出口は、図３と同様にワークのめっき面と対向する２つの側壁にそれぞれ２つずつ、排出口間の間隔が６ｍになるように配置した。各排出口は図４に示すように四角形状（長方形形状）に形成し、その高さはめっき槽の底部からめっき液の液面までの範囲にわたって形成されている。また、幅については上記排出量となるように調整して形成している。本実施例において排出口の周辺でめっき液の液位が局所的に低下することは確認されなかった。
【００６２】
また、ワーク導入口２１、ワーク搬出口２２は、ワークをめっき槽に導入、搬出できるように図３に示すようにめっき槽の側壁に四角形状に開口部が形成されている。ワーク導入口、ワーク搬出口の周辺についてもめっき液の液位が局所的に低下することは確認されなかった。
【００６３】
また、電極４とワーク３との間の距離３３、３４は共に９５ｍｍになるようにした。
【００６４】
係る条件のもと、ポリイミド製の膜厚２５μｍの長尺状の基材の表面、裏面に予めスパッタにより銅薄膜を形成したワークを、図１に示したものと同様に上端クランプと下端クランプによってワークの幅方向を上下方向として把持、搬送し、めっき槽に供給した。そして、めっき槽内においてワークの各面についてめっき厚が２μｍになるように銅めっきを行った。
【００６５】
めっき槽中のワークのたわみ量の測定結果を図６に、めっき処理後にワーク表面に形成されためっき層のめっき厚分布の測定結果を図７に示す。
［比較例１］
表１に示すように、めっき槽の側壁に排出口を設けず、ワーク導入口、ワーク排出口及びめっき槽上部からのオーバーフローによってめっき液を排出した以外は実施例１と同様にしてめっき処理を行った。
【００６６】
めっき槽中のワークのたわみ量の測定結果を図６に、めっき処理後にワーク表面に形成されためっき層のめっき厚分布の測定結果を図８に示す。
【００６７】
図６に示した実施例１、比較例１のワークのたわみ量の測定結果によると、従来型のめっき装置を用いた比較例１においては、最大２９．５mmあったワークたわみが、本発明の要件を充足する実施例１においては最大３．７mmまで低減できていることが確認できた。
【００６８】
また、このようにめっき槽内におけるワークのたわみを抑制することにより、従来型のめっき装置を用いた比較例１では、めっき厚のばらつき（レンジ）が２ロットのみに関わらず１．８μmと大きくなっているのに対して、実施例１では４ロットめっきしてもレンジ０．２５μmとなり、めっき厚分布の変動が解消できていることが確認できた。
【００６９】
〔実施形態２〕
次に、本発明の実施形態２に係るめっき装置について説明を行う。
【００７０】
図９は、本発明の実施形態２に係るめっき装置の一例を示した上面図である。実施形態２に係るめっき装置においては、電極４、噴流ノズル６がめっき槽３５内に設けられ、めっき槽３５の側壁３１、３２に排出口３０が設けられている点では実施形態１に係るめっき装置と同様であるが、めっき槽３５内に、液抜きボックス４０が設けられている点で、実施形態１に係るめっき装置と異なっている。また、めっき槽３５の長手方向の両端にめっき液流出抑制板８が設けられている点でも、実施形態１に係るめっき装置と異なっている。
【００７１】
液抜きボックス４０は、めっき液がワーク３に沿って流れた後、排出口３０に向かう流れを形成するための流路形成手段である。実施形態１に係るめっき装置においては、排出口３０のみを側壁３１、３２に形成し、これにより自然に排出口３０に向かう流れを形成していたが、実施形態２に係るめっき装置においては、めっき液を排出口３０に向かわせる流路を液抜きボックス４０により形成し、ワーク３の表面付近のめっき液をより積極的に排出口３０に導く。よって、液抜きボックス４０は、めっき槽３５の中央を通過するワーク３の表面付近、つまりめっき槽３５の中央付近から、排出口３０に延びるように、めっき槽３５の長手方向に垂直に設けられている。
【００７２】
めっき液流出抑制板８は、ある程度の厚みを有する板をワーク３の出入口に配置し、バッファ的な機能によりめっき液流出を抑制するための板状部材である。よって、実施形態２に係るめっき装置においては、めっき液流出抑制板８にワーク導入口２１及びワーク搬出口２２が設けられている。めっき液流出抑制板８は、必須ではなく、必要に応じて設けられてよい。また、実施形態１に係るめっき装置において、めっき液流出抑制板８を設けるようにしてもよい。
【００７３】
図１０は、液抜きボックス４０の一例を示した斜視図である。図１０に示すように、液抜きボックス４０は、液抜きのためにめっき槽３５内に載置可能な液抜き部材として構成され、ボックス本体４１と、液導入口４２と、液排出口４３とを有する。
【００７４】
ボックス本体４１は、めっき液を導く流路を形成するための箱体であり、めっき液の流路となることができれば、種々の形状に構成されてよい。図１０においては、直方体の箱体として構成されたボックス本体４１が示されている。
【００７５】
液導入口４２は、ワーク３の表面付近のめっき液を導入するための開口であり、ボックス本体４１の奧側に形成される。また、液導入口４２は、ワーク３の表面に沿っためっき液の流れを導入可能なように、ボックス本体４１のワーク３の進行方向に垂直な側面、つまりワーク導入口２１及び／又はワーク搬出口２２に対向する面に設けられる。液導入口４２の形状は、めっき液を導入できれば、種々の形状に構成されてよいが、長尺シート状のワーク３の表面に沿った流れが形成されているため、図１０に示すように、縦長のスリット状に構成されることが好ましい。また、液導入口４２は、ボックス本体４１の両側面に形成されることが好ましい。
【００７６】
液排出口４３は、液導入口４２から導入され、ボックス本体４１内を通過しためっき液を排出口３０に排出するための開口である。よって、液排出口４３は、排出口３０に接続される。
【００７７】
なお、液抜きボックス４０は、めっき液の流路となることができれば、金属等を含めた種々の材料で構成されてよい。
【００７８】
図１１は、めっき槽３５内の液抜きボックス４０付近の構成の一例を示した拡大図である。図１１において、液抜きボックス４０の具体的な寸法の一例が示されている。図１０で説明したように、液抜きボックス４０は、めっき槽３５の長手方向と垂直に延在して設けられ、めっき槽３５の側壁３２に設けられた排出口３０と液排出口４３とが接続して設けられる。また、液抜きボックス４０のボックス本体４１は、ワーク３が通過する中央付近まで延び、噴出ノズル６よりもやや外側に液導入口４２が設けられる。図１１の例では、液導入口４２とワーク３の距離は４８ｍｍであり、液導入口４２の開口幅は２．０ｍｍである。また、ボックス本体４１の幅は４０ｍｍであり、排出口３０及び液排出口４３は９．０ｍｍである。これらの寸法は、当然に一例に過ぎず、用途、めっき槽３５の大きさ、ワーク３のサイズ等に応じて、種々変更可能である。
【００７９】
なお、実施形態２においては、液抜きボックス４０は、液抜き部材としてめっき槽３５とは別部材として構成し、めっき槽３５内に設置するとともにめっき槽３５に固定して一体化した構成を一例として挙げているが、めっき槽３５自体をそのような構成に加工し、液抜きボックス４０を備えためっき槽３５として構成してもよい。
【００８０】
かかる液抜きボックス４０を設けることにより、渦流２３が発生する前に長手方向に沿った方向以外の方向の成分を有するめっき液の流れを積極的に排出口３０に向かってガイドすることができ、渦流２３の発生をより確実に防止することができる。
【００８１】
［実施例２］
表２に、実施例２のめっき条件を示す。
【００８２】
【表２】
2014194064.tif 000004
実施例２においては、表２のめっき条件で、実施形態１に係るめっき装置と、実施形態２に係るめっき装置でめっき処理を実施し、ワークのたわみ量を測定した。実施形態１に係るめっき装置は、めっき槽の側壁に排出口を有するが、液抜きボックスを有しないめっき装置であり、実施形態２に係るめっき装置は、めっき槽の側壁に排出口を有するとともに、めっき槽内に液抜きボックスを有するめっき装置である。
【００８３】
表２に示しためっき条件は、殆どの項目において表１と同様であるが、表２においては、表１に示さなかった噴流ノズル１本当たりの流量を示している。表１のめっき条件では、噴流ノズル１本当たりの流量を２５Ｌ／ｍｉｎ×７５本×２（両面分）としていたが、表２のめっき条件では、噴流ノズル１本当たりの流量を３０Ｌ／ｍｉｎ×７５本×２（両面分）に増加させた。
【００８４】
図１２は、実施例２の実施結果を示した図である。図１２において、実施形態２に係るめっき装置の方が、実施形態１に係るめっき装置よりもたわみ量が減少していることが分かる。実施形態１に係るめっき装置でも、ワークのたわみ量を低減させる十分な効果は得られるが、噴流ノズルの流量を増加させた場合には、実施形態２に係るめっき装置のように、液抜きボックスを設置した方がワークのたわみ量をより効果的に抑制することができることが、実施例２により示された。
【００８５】
このように、実施形態２に係るめっき装置によれば、スリット状の開口を有する液抜きボックスをめっき槽内に挿入し、ワークのめっき面付近からめっき液を排出する構成を有するめっき装置とすることで、より横方向の流れが強くなり、ワークのたわみを抑制することができる。
【００８６】
なお、噴流ノズルの流量を増加させた状態でワークのたわみを抑制できるということは、噴流ノズルの流量を増加させてめっき処理を行ってよいということを意味するので、噴流ノズルの流量とともに電流密度を増大させることにより、時間当たりのめっき量を増加させることができる。よって、所定（一定）の膜厚のめっきを行う場合には、噴流ノズルの流量及び電流密度を大きくすることにより、ワークの搬送速度を大きくすることができ、スループットを向上させることができる。このように、実施形態２に係るめっき装置によれば、ワークのたわみを低減させてめっき膜を高品質に保ちつつ、スループットを向上させることができる。
【符号の説明】
【００８７】
３    ワーク
４    電極
５    めっき液
６    噴流ノズル
２１  ワーク導入口
２２  ワーク搬出口
３０  排出口
３５  めっき槽
４０  液抜きボックス
４１  ボックス本体
４２  液導入口
４３  液排出口
【図１】
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【図２】
2014194064.tif 000006
【図３】
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【図４】
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【図５】
2014194064.tif 000009
【図６】
2014194064.tif 000010
【図７】
2014194064.tif 000011
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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