(57)【要約】【課題】固定ナットのネジ穴に挿入されたネジの種類を判別させるための切削装置を提供すること。【解決手段】切削装置はチャックテーブルとスピンドルユニットと表示手段８０と入力手段８４と記憶手段とを備えている。スピンドルユニットは固定ナットを備え、固定ナットは錘収容部の近傍には各錘収容部の位置を示す位置表示部が設けられている。回転バランス調整画面８０ａは固定ナットの錘収容部の位置表示部の表示に対応した入力欄８１に錘の種類を入力可能な入力欄８２を有している。切削装置はスピンドルユニットの回転バランスを調整する際に、錘収容部に収容する錘の種類と収容した錘収容部の位置とを入力欄８２に入力手段８４を介して入力し、記憶手段に記憶可能である。【選択図】図６
2014041938.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物を切削加工する切削装置であって、
該被加工物を保持するチャックテーブルと、
該チャックテーブルに保持された該被加工物を加工するスピンドルと該スピンドルに装着された切削ブレードとからなるスピンドルユニットと、
該切削装置の運転制御に関する情報を表示する表示手段と、
該表示手段に所望の情報を入力する入力手段と、
該切削装置の運転制御に関する情報を記憶する記憶手段と、を備え、
該スピンドルユニットは、
該スピンドルに固定される固定フランジと該固定フランジと狭持して該切削ブレードを該スピンドルに固定する固定ナットを備え、
該固定ナットは、
該切削ブレードを該固定フランジとで狭持した際前端面となる表面からバランス取り用の錘を挿入できる錘収容部を周方向に所定の間隔をおいて複数備え、該表面の該錘収容部の近傍には各錘収容部の位置を示す位置表示部を備え、
該表示手段が表示する回転バランス調整画面は、
該固定ナットの該錘収容部の該位置表示部の表示に対応した入力欄に該錘の種類を入力可能な入力欄を有し、
該スピンドルユニットの回転バランスを調整する際に、該錘収容部に収容する該錘の種類と収容した該錘収容部の位置とを該入力欄に該入力手段を介して入力し、該記憶手段に記憶可能な切削装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、板状の被加工物を個々のデバイスチップに分割する切削装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置製造工程や各種の電子部品製造工程において、ダイシングソーと呼ばれる極薄の切削ブレードを高速に回転させるとともに、切削ブレードの周囲に配設されたノズルから切削ブレード及び被加工物に切削水を掛けながら、被加工物を個々の製品やチップに分割する切削装置は、欠かすことができない。この種の切削装置では、ボンド材とボンド材中に多量に含まれる微小の砥粒（ダイヤモンドや炭化ケイ素等）で構成される刃先の厚さ２０〜２００μｍの切削ブレードを高速に回転させ、被加工物（半導体ウェーハやガラス、セラミックス等）の分割予定ラインをミクロンレベルで粉砕除去し、個々の製品やチップに分割する。
【０００３】
この種の切削ブレードは、装着されたスピンドルにより、例えば、３００００ｒｐｍの高速に回転されるが、このように高速回転する切削ブレードによって極めて高精度に切削するためには、切削ブレードの振動は避けなければならない。切削ブレードの振動が発生すると、切削工程により被加工物に形成される切削溝の両側には、多くの欠け（チッピング）が発生し、高精度に切削することができなくなり、切削加工の品質を低下させる可能性があった。
【０００４】
ところで、スピンドルに対する切削ブレードの着脱操作を容易にするためには、スピンドルに取り付けられる固定フランジのボス部と、切削ブレードの貫通孔との間に、数μｍ程度の僅かな隙間を設ける必要がある。このため、スピンドルの回転中心と切削ブレードの回転中心とが合致せずに装着されることが懸念され、合致しない場合には、回転バランスがとれず、スピンドルにより高速に回転される切削ブレードの振動が発生することとなる。
【０００５】
また、ボンド材と砥粒との混合状態の偏り、厚さのばらつき等により切削ブレード自体の重量が偏重した場合、貫通孔の開孔位置のばらつき等により切削ブレード自体が偏心した場合等、切削ブレード自体の回転バランスがとれていない場合にも、切削ブレードの振動が発生することとなる。
【０００６】
そこで、回転バランスを調整するために、ネジ穴が複数設けられたバランス調整用固定ナットを固定フランジに組み付け、スピンドルの振動方向と振動量とを測定するバランサーと呼ばれる測定器を装着し、検出されたアンバランスを相殺させるため、測定器から指示されるバランス調整用固定ナットの特定のネジ穴に、指示通りの重さのネジを挿入する回転バランス調整工程を実施する技術が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００７】
また、切削ブレードを固定フランジと協働して狭持した際、前端面となる表面から測定器の指示通りの重さのネジを挿入できるネジ穴を所定の間隔をおいて複数備え、ネジ穴の近傍には、各ネジ穴の位置を示す表示部が設けられたバランス調整用固定ナットが提案されている（例えば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００１−１２９７４３号公報
【特許文献２】特願２０１１−２５６１９６号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
数ｍｍ程度の非常に小さなネジであり錘であるイモネジは、通常はイモネジケース内で種類（重さ）ごとに区分けされていることから、イモネジを種類（重さ）ごとに区別する必要があり、バランス調整用固定ナットのどのネジ穴にどの種類（重さ）のネジが挿入されていたのか不明確となった場合、バランス調整用固定ナットの特定のネジ穴から取り出したイモネジの重さを再度測定しなければならないという手間が掛かった。
【００１０】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、高速回転する切削ブレードのアンバランスを相殺させて振動を避けるための固定ナットについて、錘であるネジの重さを再度測定する手間を簡略化させ、固定ナットのネジ穴に挿入されたネジの種類を判別させるための切削装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の切削装置は、被加工物を切削加工する切削装置であって、該被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された該被加工物を加工するスピンドルと該スピンドルに装着された切削ブレードとからなるスピンドルユニットと、該切削装置の運転制御に関する情報を表示する表示手段と、該表示手段に所望の情報を入力する入力手段と、該切削装置の運転制御に関する情報を記憶する記憶手段と、を備え、該スピンドルユニットは、該スピンドルに固定される固定フランジと該固定フランジと狭持して該切削ブレードを該スピンドルに固定する固定ナットを備え、該固定ナットは、該切削ブレードを該固定フランジとで狭持した際前端面となる表面からバランス取り用の錘を挿入できる錘収容部を周方向に所定の間隔をおいて複数備え、該表面の該錘収容部の近傍には各錘収容部の位置を示す位置表示部を備え、該表示手段が表示する回転バランス調整画面は、該固定ナットの該錘収容部の該位置表示部の表示に対応した入力欄に該錘の種類を入力可能な入力欄を有し、該スピンドルユニットの回転バランスを調整する際に、該錘収容部に収容する該錘の種類と収容した該錘収容部の位置とを該入力欄に該入力手段を介して入力し、該記憶手段に記憶可能であることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の切削装置によれば、固定ナットの錘収容部に挿入された錘の種類と位置とを切削ブレードの交換時等まで一対一で対応づけて記憶することができるため、切削ブレードの交換時等において固定ナットから錘を取り外す際、錘の種類を判別することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】図１は、実施形態に係る切削装置の全体の構成例を示す図である。
【図２】図２は、実施形態に係る切削装置のスピンドルユニットの構成例を示す図である。
【図３】図３は、実施形態に係るスピンドルユニットの分解斜視図である。
【図４】図４は、実施形態に係る固定ナットの構成例を示す正面図である。
【図５】図５は、実施形態に係る切削装置の制御系の構成例を示す概略ブロック図である。
【図６】図６は、実施形態に係る切削装置の表示手段の「回転バランス修正画面」の操作画面の表示例を示す正面図である。
【図７】図７は、実施形態に係るイモネジケースの構成例を示す斜視図である。
【図８】図８は、実施形態に係る切削装置の回転バランス修正作業における作業処理の手順例を示す概略フローである。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。
【００１５】
〔実施形態〕
図１は、実施形態に係る切削装置の全体の構成例を示す図である。図２は、実施形態に係る切削装置のスピンドルユニットの構成例を示す図である。図３は、実施形態に係るスピンドルユニットの分解斜視図である。図４は、実施形態に係る固定ナットの構成例を示す正面図である。図５は、実施形態に係る切削装置の制御系の構成例を示す概略ブロック図である。図６は、実施形態に係る切削装置の表示手段の「回転バランス修正画面」の操作画面の表示例を示す正面図である。図７は、実施形態に係るイモネジケースの構成例を示す斜視図である。図８は、実施形態に係る切削装置の回転バランス修正作業における作業処理の手順例を示す概略フローである。
【００１６】
図１に示す実施形態に係る切削装置１は、チャックテーブル１０に保持されたウェーハＷ（被加工物に相当）に切削加工を施し、個々のデバイスチップＤに分割するものである。
【００１７】
ここで、被加工物としてのウェーハＷは、切削加工される加工対象であり、シリコン、サファイア、ガリウムなどを母材とする円板状の半導体ウェーハや光デバイスウェーハ、矩形のガラス板、樹脂基板等である。ウェーハＷは、図２に示すように、表面Ｗａに形成された複数のデバイスＤが複数のストリートＳによって格子状に区画され、この区画された領域にＩＣ、ＬＳＩ等の半導体チップ構成のデバイスＤが形成されている。ウェーハＷは、表面Ｗａの反対側の裏面に粘着テープＴが貼着され、粘着テープＴに環状フレームＦが貼着されることで、環状フレームＦに固定され、切削装置１により粘着テープＴを残してストリートＳに切削加工が施されて、デバイスＤに分割される。
【００１８】
切削装置１は、図１に示すように、搬出入領域Ｏと、加工領域Ｐと、搬出入領域Ｏと加工領域Ｐとに亘ってＸ軸移動手段３０（加工送り手段に相当。図５に示す）により移動自在に設けられたチャックテーブル１０とを備えている。チャックテーブル１０は、表面１０ａ（保持面に相当）を構成する部分がポーラスセラミック等から形成された円盤形状であり、図示しない真空吸引源により、搬出入領域Ｏにおいて表面１０ａに載置されたウェーハＷを吸引保持する。
【００１９】
また、加工領域Ｐには、チャックテーブル１０で保持されたウェーハＷの上方に位置し、ウェーハＷに切削水を供給しつつ切削加工するスピンドルユニット４が設けられている。スピンドルユニット４は、チャックテーブル１０に保持されたウェーハＷに対して、Ｙ軸移動手段４０（割り出し送り手段に相当。図５に示す）によりＸ軸方向に直交するＹ軸方向（割り出し方向に相当）に移動せしめられ、かつ、Ｚ軸移動手段５０（切り込み送り手段に相当。図５に示す）によりＸ軸方向及びＹ軸方向に直交するＺ軸方向（深さ方向に相当）に移動せしめられる。
【００２０】
スピンドルユニット４は、図示しないブレード駆動源により回転駆動されるスピンドル２６（図３に示す）の先端に着脱交換自在に取り付けられる切削ブレード２１を備えており、切削ブレード２１は、略リング形状を有する極薄の切削砥石であり、回転することでウェーハＷに切削加工を施す。また、スピンドルユニット４は、図２に示すように、切削ブレード２１の下部側表裏面に対向して切削水を噴射するブレードクーラー用のノズル２２を備えており、ノズル２２は、切削ブレード２１及び切削ブレード２１が切削するウェーハＷの切削箇所に向かって切削水を噴射する。スピンドルユニット４は、加工領域Ｐにおいて、Ｙ軸移動手段４０及びＺ軸移動手段５０によりＹ軸方向及びＺ軸方向に移動されて、切削ブレード２１を回転させながらノズル２２から切削水を噴射させることで、チャックテーブル１０に保持されたウェーハＷに切削加工を施す。
【００２１】
また、スピンドルユニット４は、図３に示すように、固定フランジ４１のフランジ部４７と着脱フランジ４２とにより切削ブレード２１が狭持されているとともに、固定ボルト４４により固定フランジ４１がスピンドル２６に固定されており、切削ブレード２１は、いわゆるワッシャーブレードである。固定フランジ４１は、切削ブレード２１及び着脱フランジ４２が装着されるボス部４８を備え、ボス部４８の外周面には、固定ナット４３の内周面に形成された雌ネジ５１にねじ込まれる雄ネジ４９が設けられている。
【００２２】
固定ナット４３は、固定フランジ４１と着脱フランジ４２とにより切削ブレード２１を狭持した状態で着脱フランジ４２を固定するためのものであり、スピンドル２６の回転バランス及び切削ブレード２１の回転バランス、すなわちスピンドルユニット４の回転バランスをとるためのものである。固定ナット４３は、図３及び図４に示すように、切削ブレード２１を固定フランジ４１とで狭持した際、切削ブレード２１に対して反対側となる面であるとともに前端面となる表面４３ａからバランス取り用の錘４５を挿入できる複数の錘収容部５３−１〜５３−８を周方向に所定の間隔をおいて備えている。
【００２３】
また、固定ナット４３には、錘収容部５３−１〜５３−８の位置と異なる箇所の周方向に所定の間隔をおいて、固定フランジ４１に対して固定ナット４３を着脱させるための図示しない着脱治具の係合ピンと係合する係合孔４３ｂが複数設けられている。係合孔４３ｂは、本実施形態では、固定ナット４３の厚み方向に貫通する孔部にて構成され、表面４３ａの周方向に均等な間隔をおいて４箇所に配置されている。
【００２４】
錘収容部５３−１〜５３−８のそれぞれは、本実施形態では、図４に示すように、固定ナット４３の表面４３ａの周方向に互いに均等な間隔をおいて８箇所に配置されている。錘収容部５３−１〜５３−８は、固定ナット４３の表面４３ａから厚み方向に向かって形成された孔部にて構成されている。また、各錘収容部５３−１〜５３−８には、錘４５を適宜挿入することができるが、通常は各錘収容部５３−１〜５３−８の３箇所程度に錘４５が挿入される。各錘収容部５３−１〜５３−８の近傍には、各錘収容部５３−１〜５３−８の位置を示す位置表示部Ｍ−１〜Ｍ−８が設けられている。
【００２５】
ここで、バランス取り用の錘４５は、いわゆるイモネジ（ネジ頭部の径とネジ部の径とが同じであるネジ。六角穴付き止めネジとも呼ばれる）にて構成され、その軸方向端部には、六角棒スパナ等の工具が係合され得る係合孔４５ａが設けられている。錘４５は、図７に示すように、通常はイモネジケース７０に収納されており、イモネジケース７０は、特定の種類（重さ）ごとに区分けされた区画７０ａを複数備えている。各区画７０ａは、特定の種類（重さ）であることを識別するための図示しない識別手段を備え、識別手段に対応する特定の種類（重さ）の錘４５を保管している。
【００２６】
位置表示部Ｍ−１〜Ｍ−８は、固定ナット４３の表面４３ａを臨む正面視において、錘収容部５３−１〜５３−８から錘収容部５３−１〜５３−８の孔半径と略同一距離だけ離れた位置に設けられているため、各錘収容部５３−１〜５３−８に一対一で対応していることが容易に目視で確認できる。位置表示部Ｍ−１〜Ｍ−８は、例えば、固定ナット４３の表面４３ａにエッチング処理や機械加工等により形成され、各位置表示部Ｍ−１〜Ｍ−８が表面４３ａから容易に消えないように構成されている。なお、各位置表示部Ｍ−１〜Ｍ−８の形態については特に限定するものではないが、本実施形態においては、「１〜８」のアラビア数字で表示し、回転バランスを測定する図示しない測定器において特定される「１〜８」の位置に対応させているため、例えば、測定器にて位置が「２」、重さが「２０」と表示された場合、図４に示すように、アラビア数字の「２」を表す位置表示部Ｍ−２に対応する錘収容部５３−２に、重さが「２０」であるバランス取り用の錘４５を挿入することで、回転のアンバランスの解消を図ることができる。本実施形態においては、錘４５の重さの単位はミリグラム（ｍｇ）である。
【００２７】
ここで、スピンドルユニット４、Ｘ軸移動手段３０、Ｙ軸移動手段４０及びＺ軸移動手段５０の動作を制御する制御手段６０は、図５に示すように、例えば、ＣＰＵ等で構成された演算処理装置やＲＯＭ、ＲＡＭ等を備え、切削装置１全体の制御を司るマイクロプロセッサ６１を主体に構成されている。スピンドルユニット４、Ｘ軸移動手段３０、Ｙ軸移動手段４０、Ｚ軸移動手段５０及びその他の構成要素９０は、マイクロプロセッサ６１に接続されてマイクロプロセッサ６１により加工動作、移動動作等の動作が制御される。また、マイクロプロセッサ６１は、表示手段８０に対して必要な表示情報を記憶部６３やパネル表示画面記憶部６４から読み出して表示制御部６２を介して表示内容を表示するとともに、表示手段８０上で指示操作された入力情報を解析し、各部の動作制御、表示制御等に供する。パネル表示画面記憶部６４には、各種モードに応じた操作キー等の表示パターンが設定された操作画面を表示するための表示画面情報が格納されている。
【００２８】
表示手段８０は、切削装置１の筐体において見やすくて操作しやすい箇所に配置され、制御手段６０による制御の下に、加工処理等に伴う必要な各種情報を表示する表示パネルであるとともに、加工処理等に必要な加工条件、回転バランスの調整に必要な固定ナット４３の種類及び錘４５の種類と位置、その他の情報の入力設定操作のためのボタン表示等がなされる操作画面を表示するタッチパネル構成のものである。
【００２９】
また、制御手段６０による制御の下に実行される本実施形態の表示手段８０に表示される操作画面は、操作画面の一つとして、切削ブレード２１の交換時等に、図６に示すように、回転バランス調整画面である「回転バランス修正」用の操作画面８０ａを表示する。この「回転バランス修正」用の操作画面８０ａにおいては、固定ナット４３の表面４３ａに臨む正面視の図であるとともに固定ナット４３の位置表示部Ｍ−１〜Ｍ−８の表示に対応した入力欄である固定ナット図８１、固定ナット４３の表面４３ａに設けられた錘収容部５３−１〜５３−８の位置に対応して配置されるとともに錘４５の種類（重さ）の数値が入力される入力欄８２、固定ナット４３の表面４３ａに設けられた錘収容部５３−１〜５３−８の個数を選択するための「固定ナット種類選択」ボタン８３、固定ナット４３の表面４３ａに設けられた錘収容部５３−１〜５３−８に挿入される錘４５の種類（重さ）の数値を入力するための入力手段である「数値入力」ボタン８４が表示される。また、操作画面８０ａにおいては、本実施形態では、例えばその最上部の一部分で画面表示及びオペレータ等の作業員による操作に支障のない領域に、バランス修正用の操作画面８０ａであることを示す表示部８６が表示される。
【００３０】
固定ナット図８１は、固定ナット４３の表面４３ａに臨む正面視を模式的に図形化したものである。本実施形態では、固定ナット図８１には、各錘収容部５３−１〜５３−８の配置に対応した箇所に各錘収容部５３−１〜５３−８を模式的に図形化した円形状の図形が８箇所に表示されているとともに、固定ナット４３の各位置表示部Ｍ−１〜Ｍ−８を示すアラビア数字の１〜８の配置に対応した箇所にアラビア数字の１〜８が表示されている。
【００３１】
入力欄８２は、オペレータ等の作業員の押下操作により選択可能に表示されているとともに、オペレータ等の作業員による「数値入力」ボタン８４の押下操作で数値入力可能に表示されている。また、入力欄８２は、本実施形態では、固定ナット図８１の周囲の８箇所に配置されている。
【００３２】
「固定ナット種類選択」ボタン８３には、錘収容部５３−１〜５３−８が６個である場合に対応した「分割穴６」ボタン８３ａ、錘収容部５３−１〜５３−８が８個である場合に対応した「分割穴８」ボタン８３ｂが押下操作可能に表示されている。「分割穴６」ボタン８３ａは、オペレータ等の作業員の押下操作により、錘収容部５３−１〜５３−８が６個配置された固定ナット４３に対応した固定ナット図８１を表示するとともに、固定ナット４３の各錘収容部５３−１〜５３−８の配置に対応した６箇所に入力欄８２を表示する。「分割穴８」ボタン８３ｂは、オペレータ等の作業員の押下操作により、上述のように錘収容部５３−１〜５３−８が８個配置された固定ナット４３に対応した固定ナット図８１を表示するとともに、固定ナット４３の各錘収容部５３−１〜５３−８の配置に対応した８箇所に入力欄８２を表示する。
【００３３】
「数値入力」ボタン８４は、錘４５の種類（重さ）を入力するための「数字」ボタン８４ａ、「数字」ボタン８４ａにより入力欄８２に入力した数値を確定して保存するための「Ｅｎｔｅｒ」ボタン８４ｂが押下操作可能に表示されている。「数字」ボタン８４ａは、アラビア数字の０〜９を入力するための「０」〜「９」ボタン、入力欄８２中の数値をリセット又は数値入力の効率化のための「００」ボタン、小数点を入力するための「．」ボタンを備えている。「０」〜「９」ボタン、「００」ボタン及び「．」ボタンは、押下操作可能に表示されている。また、「００」ボタンは、オペレータ等の作業員が入力欄８２を押下操作して選択した後、オペレータ等の作業員が「００」ボタンを押下操作することにより、選択された入力欄８２中に数値「００」を入れてリセットする。
【００３４】
ここで、図４、図６〜図８を参照して、切削ブレード２１の回転バランス修正を行う場合について説明する。まず、オペレータ等の作業員が固定フランジ４１をスピンドル２６に取り付け、切削ブレード２１、着脱フランジ４２及び固定ナット４３を順次固定フランジ４１に取り付け、切削装置１の初期設定を行う。次に、オペレータ等の作業員が表示手段８０を操作して＜回転バランス修正＞の操作画面８０ａを呼び出し（ステップＳＴ１）、オペレータ等の作業員が「固定ナット種類選択」ボタン８３の「分割穴８」ボタン８３ｂを押下操作して固定ナット４３の種類を選択し（ステップＳＴ２）、バランスを測定するバランサーと呼ばれる図示しない測定器が切削ブレード２１の回転バランスを測定する（ステップＳＴ３）。回転バランスの測定作業は、始めに錘４５を固定ナット４３に挿入せずにスピンドル２６を回転させてバランスを測定し、次に５３−１〜５３−８のうちの所定の錘収容部に所定の重さの錘４５（例えば５ｍｇ）を挿入した後、再度スピンドル２６を回転させてバランスを測定することで、回転バランス修正に必要な錘４５の種類（重さ）と錘収容部５３−１〜５３−８のうちの必要な位置とを割り出す。本実施形態では、例えば、測定器により、切削ブレード２１の回転バランスのアンバランスを相殺させるために錘４５を挿入する位置として「２」、挿入する錘４５の重さとして「２０」が表示される。
【００３５】
次に、測定器にて表示された錘４５を挿入する位置の「２」に基づいて、固定ナット図８１中に表示されるアラビア数字の「２」に対応する入力欄８２をオペレータ等の作業員が押下操作して選択し（ステップＳＴ４）、測定器にて表示された錘４５の重さの「２０」に基づいて、オペレータ等の作業員が「数字」ボタン８４ａを押下操作して数値の「２０」を入力し（ステップＳＴ５）、「Ｅｎｔｅｒ」ボタン８４ｂをオペレータ等の作業員が押下操作して確定するとともに切削装置１の記憶部６３に記憶させる。切削ブレード２１の回転バランスのアンバランスを相殺させるために錘４５が挿入される錘収容部５３−１〜５３−８の特定の位置を測定器が複数箇所表示した場合には、オペレータ等の作業員は、その複数箇所についてステップＳＴ４からステップＳＴ５までを繰り返す（ステップＳＴ６否定）。
【００３６】
次に、オペレータ等の作業員が錘４５の特定の種類（重さ）を入力欄８２に入力し終えて図示しない完了ボタン等を押下操作して入力操作を完了した（ステップＳＴ６肯定）後、オペレータ等の作業員が操作画面８０ａを見て錘４５の種類（重さ）を確認し、イモネジケース７０内の特定の種類（重さ）ごとに区分けされた区画７０ａから重さが「２０」である錘４５をオペレータ等の作業員が取り出し、オペレータ等の作業員が操作画面８０ａを見て錘４５が挿入される錘収容部５３−２を確認し、アラビア数字の「２」を表す位置表示部Ｍ−２に対応する錘収容部５３−２内に重さが「２０」である錘４５をオペレータ等の作業員が挿入し、操作画面８０ａでの操作を終了し、切削装置１の初期設定での切削ブレード２１の取り付け時における切削ブレード２１のバランス修正を終了する。
【００３７】
そして、切削ブレード２１の摩耗や破損、切削ブレード２１の交換時期の経過等、切削ブレード２１を交換する場合、切削ブレード２１等の停止状態で、オペレータ等の作業員が表示手段８０を操作して＜回転バランス修正＞の操作画面８０ａを呼び出し（ステップＳＴ１）、固定ナット図８１中のアラビア数字の「２」に対応する入力欄８２の数値「２０」をオペレータ等の作業員が見て、固定ナット４３の錘収容部５３−２には重さが「２０」の錘４５が挿入されていることを確認し、錘収容部５３−２から錘４５をオペレータ等の作業員が取り出し、イモネジケース７０において種類（重さ）が「２０」である区画７０ａ内に取り外した錘４５をオペレータ等の作業員が収納し、固定ナット４３、着脱フランジ４２及び切削ブレード２１をオペレータ等の作業員が順次固定フランジ４１から取り外す。
【００３８】
次に、新しい切削ブレード２１、着脱フランジ４２及び固定ナット４３をオペレータ等の作業員が順次固定フランジ４１に取り付け、バランスを測定するためのバランサーと呼ばれる図示しない測定器が切削ブレード２１の回転バランスを測定する（ステップＳＴ３）。
【００３９】
次に、測定器にて表示された錘４５を挿入する位置、錘４５の種類（重さ）に基づいて、上述のように錘４５の種類（重さ）及び挿入位置をオペレータ等の作業員が操作画面８０ａを押下操作して入力するとともに切削装置１の記憶部６３に記憶させ、固定ナット４３の錘収容部５３−１〜５３−８に錘４５をオペレータ等の作業員が取り付け、操作画面８０ａでの操作を終了し、切削ブレード２１の交換時等における切削ブレード２１のバランス修正を終了する。
【００４０】
以上のように、実施形態に係る切削装置１によれば、固定ナット４３の錘収容部５３−１〜５３−８に挿入された錘４５の種類（重さ）と位置とを切削ブレード２１の交換時等まで一対一で対応づけて記憶することができるため、切削ブレード２１の交換時等において固定ナット４３から錘４５を取り外す際、錘４５の種類（重さ）と位置とを判別することができるという効果を奏する。したがって、本発明の切削装置１では、高速回転する切削ブレード２１のアンバランスを相殺させて振動を避けるための固定ナット４３について、錘４５の重さを再度測定する手間を簡略化させることができる。
【００４１】
また、専用のメモ用紙等の筆記具に錘４５の種類（重さ）と位置とを記録する場合、専用のメモ用紙等の筆記具を用意する手間が掛かるが、本発明の切削装置１では、＜回転バランス修正＞の操作画面８０ａを呼び出すことにより錘４５の種類（重さ）と位置とを記憶させることができるので、筆記具を用意する手間が掛からない。
【００４２】
また、専用のメモ用紙等は、手書き文字を誤認識した場合、あるいは、専用のメモ用紙自体を紛失又は汚損した場合、錘４５の種類（重さ）と位置とがわからなくなるが、本発明の切削装置１では、＜回転バランス修正＞の操作画面８０ａを呼び出すことにより錘４５の種類（重さ）と位置とを判別することができる。
【００４３】
なお、本発明では、バランス取り用の錘４５は、イモネジケース７０内で種類（重さ）ごとに区分された重量の異なる複数種類のバランス取り用の錘４５を用いることができる。また、係合孔４３ｂと錘収容部５３−１〜５３−８とを識別しやすくするために、例えば、係合孔４３ｂの周囲を縁取る、あるいは、矢印にて指し示す等、指標となるものを設けてもよい。
【００４４】
また、本発明では、固定ナット４３の錘収容部５３−１〜５３−８は、６箇所又は８箇所に限ることなく、スピンドル２６及び切削ブレード２１の回転バランスを調整して修正することのできる個数であればよい。この場合、予めパネル表示画面記憶部６４には、錘収容部５３−１〜５３−８の個数に対応させた「固定ナット種類選択」ボタン８３、固定ナット図８１及び入力欄８２を記憶させ、操作画面８０ａには、錘収容部５３−１〜５３−８の個数に対応した「固定ナット種類選択」ボタン８３、固定ナット図８１及び入力欄８２を表示すればよい。
【００４５】
また、本発明では、操作画面８０ａにて錘４５の種類（重さ）及び挿入位置を入力する入力作業の後、固定ナット４３の錘収容部５３−１〜５３−８に錘４５を挿入する挿入作業がなされるという作業手順に限ることなく、挿入作業の後に入力作業を行うことができ、また、入力作業と挿入作業とを並行で行うこともできる。すなわち、入力作業、挿入作業は、実施形態の作業手順に限定されるものではない。
【００４６】
また、錘収容部５３−１〜５３−８は、錘収容部５３−１〜５３−８のそれぞれに対して複数個の錘４５を挿入することができる深さで形成されてもよく、各錘収容部５３−１〜５３−８のうち、同じ箇所に錘４５を複数個挿入することができる。この場合、オペレータ等の作業員は、同じ箇所の入力欄８２内に複数個の錘４５の種類（重さ）を入力することができる。
【００４７】
また、切削ブレード２１のメンテナンス等、切削ブレード２１を取り外した後に、その取り外された切削ブレード２１を再び装着する場合、前述した切削ブレード２１の交換時と同様に、ステップＳＴ１〜ステップＳＴ６を行うことで、切削ブレード２１の回転バランス修正を行うことができる。
【００４８】
また、本発明では、切削ブレード２１は、ワッシャーブレードに限ることなく、ブレードと着脱フランジとを一体化させたいわゆるハブブレードであってもよい。
【符号の説明】
【００４９】
１  切削装置
４  スピンドルユニット
１０  チャックテーブル
２１  切削ブレード
２６  スピンドル
４３  固定ナット
４３ａ  表面
４５  バランス取り用の錘
５３−１〜５３−８  錘収容部
６０  制御手段
６３  記憶部（記憶手段）
８０  表示手段
８０ａ  操作画面（回転バランス調整画面）
８１  固定ナット図（入力欄）
８２  入力欄
８４  数値入力ボタン（入力手段）
Ｍ−１〜Ｍ−８  位置表示部
Ｗ  ウェーハ（被加工物）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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