(57)【要約】【課題】揺動効率の高いアクチュエーターを提供する。【解決手段】可動部と、前記可動部の周囲に配置された可動枠と、前記可動枠の周囲に配置された可動枠支持部と、前記可動部と前記可動枠とを接続するとともに、前記可動部を第１軸周りに揺動可能に支持する第１軸部と、前記可動枠と前記可動枠支持部とを接続するとともに、前記可動枠を前記第１軸に交差する第２軸周りに揺動可能に支持する第２軸部と、前記可動枠の外形に沿って環状に設けられたコイルと、平面視において、前記可動枠を挟み、かつ、前記第１軸及び前記第２軸に対して傾斜する方向に位置する一対の永久磁石と、平面視において、前記コイルの前記環状内に位置するコア材と、を備えた。【選択図】図１
2014041234.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
可動部と、
前記可動部を支持する可動枠と、
前記可動枠を支持する可動枠支持部と、
前記可動部と前記可動枠とを接続するとともに、前記可動部を第１軸周りに揺動可能に支持する第１軸部と、
前記可動枠と前記可動枠支持部とを接続するとともに、前記可動枠を前記第１軸に交差する第２軸周りに揺動可能に支持する第２軸部と、
前記可動枠の外形に沿って環状に設けられたコイルと、
前記第１軸および前記第２軸を含む平面の法線方向からの平面視において、前記可動枠を挟み、かつ、前記第１軸及び前記第２軸に対して傾斜する方向に位置する一対の永久磁石と、
前記平面視において、前記コイルの前記環状内に位置するコア材と、を備えたことを特徴とするアクチュエーター。
【請求項２】
請求項１に記載のアクチュエーターにおいて、
前記可動部は、
前記第１軸部が接続された基部と、
支柱を有する反射部と、を含み、
前記基部の第１面に前記反射部の前記支柱が固着され、
前記基部の前記第１面の反対側となる第２面に前記コア材が位置することを特徴とするアクチュエーター。
【請求項３】
請求項１に記載のアクチュエーターにおいて、
前記可動部は、
前記第１軸部が接続された基部と、
反射部と、を含み、
前記基部の第１面に前記コア材が位置し、
前記コア材の前記基部と反対側に前記反射部が位置することを特徴とするアクチュエーター。
【請求項４】
請求項２または請求項３に記載のアクチュエーターにおいて、
前記平面視において、前記反射部が前記可動枠を覆って形成されたことを特徴とするアクチュエーター。
【請求項５】
光を反射する反射部を含む可動部と、
前記可動部を支持する可動枠と、
前記可動枠を支持する可動枠支持部と、
前記可動部と前記可動枠とを接続するとともに、前記可動部を第１軸周りに揺動可能に支持する第１軸部と、
前記可動枠と前記可動枠支持部とを接続するとともに、前記可動枠を前記第１軸に交差する第２軸周りに揺動可能に支持する第２軸部と、
前記可動枠の外形に沿って環状に設けられたコイルと、
前記第１軸および前記第２軸を含む平面の法線方向からの平面視において、前記可動枠支持部を挟み、かつ、前記第１軸及び前記第２軸に対して傾斜する方向に位置する一対の永久磁石と、
前記平面視において、前記コイルの前記環状内に位置するコア材と、を備えたことを特徴とする光スキャナー。
【請求項６】
光を反射する反射部を含む可動部と、
前記可動部を支持する可動枠と、
前記可動枠を支持する可動枠支持部と、
前記可動部と前記可動枠とを接続するとともに、前記可動部を第１軸周りに揺動可能に支持する第１軸部と、
前記可動枠と前記可動枠支持部とを接続するとともに、前記可動枠を前記第１軸に交差する第２軸周りに揺動可能に支持する第２軸部と、
前記可動枠の外形に沿って環状に設けられたコイルと、
前記第１軸および前記第２軸を含む平面の法線方向からの平面視において、前記可動枠支持部を挟み、かつ、前記第１軸及び前記第２軸に対して傾斜する方向に位置する一対の永久磁石と、
前記平面視において、前記コイルの前記環状内に位置するコア材と、を備えた光スキャナーと、
前記光スキャナーに対して光を照射する照射部と、を備えたことを特徴とする画像表示装置。
【請求項７】
光を反射する反射部を含む可動部と、
前記可動部を支持する可動枠と、
前記可動枠を支持する可動枠支持部と、
前記可動部と前記可動枠とを接続するとともに、前記可動部を第１軸周りに揺動可能に支持する第１軸部と、
前記可動枠と前記可動枠支持部とを接続するとともに、前記可動枠を前記第１軸に交差する第２軸周りに揺動可能に支持する第２軸部と、
前記可動枠の外形に沿って環状に設けられたコイルと、
前記第１軸および前記第２軸を含む平面の法線方向からの平面視において、前記可動枠支持部を挟み、かつ、前記第１軸及び前記第２軸に対して傾斜する方向に位置する一対の永久磁石と、
前記平面視において、前記コイルの前記環状内に位置するコア材と、を備えた光スキャナーと、
前記光スキャナーに対して光を照射する照射部と、を備えたことを特徴とするヘッドマウントディスプレイ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、アクチュエーター、光スキャナー、画像表示装置及びヘッドマウントディスプレイに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、可動子と、別の可動子である可動枠と、支持体と、可動枠上に配置されたコイルと、磁場発生手段としての一対の永久磁石を備えた光偏向器が知られている。このような光偏向器では、例えば、可動子が、第１のトーションバーを介して第１の回転軸の周りに揺動可能に可動枠に支持され、可動枠が、第２のトーションバーを介して第２の回転軸の周りに揺動可能に支持体に支持されている。そして、コイルに流れる電流と永久磁石の磁界との相互作用によって、可動子が第１の回転軸を中心に揺動し、可動枠が第２の回転軸を中心に揺動するように構成されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−２１０９４７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記の光偏向器では、可動枠上のコイルを横切るように永久磁石の磁界が形成される一方で、コイルを横切らない磁界も発生する。このような磁界は、コイルに流れる電流との相互作用に寄与無効な磁界となるため、可動子及び可動枠の揺動効率が低下する、という課題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００６】
［適用例１］本適用例にかかるアクチュエーターは、可動部と、前記可動部を支持する周囲に配置された可動枠と、前記可動枠を支持する可動枠支持部と、前記可動部と前記可動枠とを接続するとともに、前記可動部を第１軸周りに揺動可能に支持する第１軸部と、前記可動枠と前記可動枠支持部とを接続するとともに、前記可動枠を前記第１軸に交差する第２軸周りに揺動可能に支持する第２軸部と、前記可動枠の外形に沿って環状に設けられたコイルと、前記第１軸および前記第２軸を含む平面の法線方向からの平面視において、前記可動枠を挟み、かつ、前記第１軸及び前記第２軸に対して傾斜する方向に位置する一対の永久磁石と、前記平面視において、前記コイルの前記環状内に位置するコア材と、を備えたことを特徴とする。
【０００７】
この構成によれば、一対の永久磁石間に発生する磁界は、環状のコイルの内側に位置するコア材によって、コア材側に引き寄せられる。例えば、通常、可動枠の外側に形成される磁界も、コア材によってコイルを横切ることになる。これにより、可動枠に形成されたコイルを横切る磁界が増加されるので、永久磁石により発生する磁界の利用効率が高まる。これにより、コイルへの投入電力に対する可動部及び可動枠の揺動（駆動）効率を向上させることができる。
【０００８】
［適用例２］上記適用例にかかるアクチュエーターの前記可動部は、前記第１軸部が接続された基部と、支柱を有する反射部と、を含み、前記基部の第１面に前記反射部の前記支柱が固着され、前記基部の前記第１面の反対側となる第２面に前記コア材が位置することを特徴とする。
【０００９】
この構成によれば、基部と反射部とが別体なので、反射部の大きさを維持させた状態で基部側全体の構造をより小型化させることができる。すなわち、反射部の大きさは基部側等の寸法の影響を受けることがない。また、反射部は支柱を有しているため、反射部が揺動した際、可動枠や可動枠支持部との接触を防止し、揺動運動を円滑に行うことができる。さらに、基部の第２面にコア材が設けられるため、コア材の設置が容易となるとともに、構造を簡略化させることできる。これにより、アクチュエーターの中央部に向けて磁界を容易に集中させることができる。
【００１０】
［適用例３］上記適用例にかかるアクチュエーターの前記可動部は、前記第１軸部が接続された基部と、反射部と、を含み、前記基部の第１面に前記コア材が位置し、前記コア材の前記基部と反対側に前記反射部が位置することを特徴とする。
【００１１】
この構成によれば、基部と反射部とが別体なので、反射部の大きさを維持させた状態で基部側全体の構造をより小型化させることができる。すなわち、反射部の大きさは基部側等の寸法の影響を受けることがない。また、基部と反射部との間にコア材が配置され、これにより、基部と反射部とが離間した構造となる。すなわち、コア材が、磁界を集中させるとともに、支柱（スペーサー）としても機能する。従って、反射部が揺動した際、可動枠や可動枠支持部との接触を防止し、揺動運動を円滑に行うことができる。
【００１２】
［適用例４］上記適用例にかかるアクチュエーターでは、前記平面視において、前記反射部が前記可動枠を覆って形成されたことを特徴とする。
【００１３】
この構成によれば、例えば、外部から反射部に向けて光を照射した際、基部、可動枠やコイル等に光が到達することがない。従って、基部、可動枠やコイル等に反射する迷光の発生を防止することができる。
【００１４】
［適用例５］本適用例にかかる光スキャナーは、光を反射する反射部を含む可動部と、前記可動部を支持する可動枠と、前記可動枠を支持する可動枠支持部と、前記可動部と前記可動枠とを接続するとともに、前記可動部を第１軸周りに揺動可能に支持する第１軸部と、前記可動枠と前記可動枠支持部とを接続するとともに、前記可動枠を前記第１軸に交差する第２軸周りに揺動可能に支持する第２軸部と、前記可動枠の外形に沿って環状に設けられたコイルと、前記第１軸および前記第２軸を含む平面の法線方向からの平面視において、前記可動枠支持部を挟み、かつ、前記第１軸及び前記第２軸に対して傾斜する方向に位置する一対の永久磁石と、前記平面視において、前記コイルの前記環状内に位置するコア材と、を備えたことを特徴とする。
【００１５】
この構成によれば、コイルへの投入電力に対して効率よく反射部が揺動（駆動）する光スキャナーを提供することができる。
【００１６】
［適用例６］本適用例にかかる画像表示装置は、光を反射する反射部を含む可動部と、前記可動部の周囲に配置された可動枠と、前記可動枠の周囲に配置された可動枠支持部と、前記可動部と前記可動枠とを接続するとともに、前記可動部を第１軸周りに揺動可能に支持する前記第１軸部と、前記可動枠と前記可動枠支持部とを接続するとともに、前記可動枠を第１軸に交差する第２軸周りに揺動可能に支持する第２軸部と、前記可動枠の外形に沿って環状に設けられたコイルと、前記第１軸および前記第２軸を含む平面の法線方向からの平面視において、前記可動枠を挟み、かつ、前記第１軸及び前記第２軸に対して傾斜する方向に位置する一対の永久磁石と、前記平面視において、前記コイルの前記環状内に位置するコア材と、を備えた光スキャナーと、前記光スキャナーに対して光を照射する照射部と、を備えたことを特徴とする。
【００１７】
この構成によれば、コイルへの投入電力に対して効率よく反射部が揺動（駆動）する光スキャナーが搭載された画像表示装置を提供することができる。
【００１８】
［適用例７］本適用例にかかるヘッドマウントディスプレイは、光を反射する反射部を含む可動部と、前記可動部の周囲に配置された可動枠と、前記可動枠の周囲に配置された可動枠支持部と、前記可動部と前記可動枠とを接続するとともに、前記可動部を第１軸周りに揺動可能に支持する第１軸部と、前記可動枠と前記可動枠支持部とを接続するとともに、前記可動枠を前記第１軸に交差する第２軸周りに揺動可能に支持する第２軸部と、前記可動枠の外形に沿って環状に設けられたコイルと、前記第１軸および前記第２軸を含む平面の法線方向からの平面視において、前記可動枠支持部を挟み、かつ、前記第１軸及び前記第２軸に対して傾斜する方向に位置する一対の永久磁石と、前記平面視において、前記コイルの前記環状内に位置するコア材と、を備えた光スキャナーと、前記光スキャナーに対して光を照射する照射部と、を備えたことを特徴とする。
【００１９】
この構成によれば、コイルへの投入電力に対して効率よく反射部が揺動（駆動）する光スキャナーが搭載れたヘッドマウントディスプレイ（ＨＭＤ）を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】第１実施形態にかかる光スキャナーの構成を示す平面図。
【図２】第１実施形態にかかる光スキャナーの構成を示す断面図。
【図３】電圧印加部の構成を示すブロック図。
【図４】発生電圧の一例を示す説明図。
【図５】光スキャナーの動作を説明する模式図。
【図６】画像表示装置の構成を示す概略図。
【図７】携帯用画像表示装置の構成を示す概略図。
【図８】ヘッドアップディスプレイ（ＨＵＤ）の構成を示す概略図。
【図９】ヘッドマウントディスプレイ（ＨＭＤ）の構成を示す概略図。
【図１０】第２実施形態にかかるアクチュエーターの構成を示す断面図。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながら説明する。なお、以下の各図においては、各部材等を認識可能な程度の大きさにするため、各部材等の尺度を実際とは異ならせて示している。
【００２２】
［第１実施形態］
まず、本実施形態にかかるアクチュエーターの構成について説明する。本実施形態にかかるアクチュエーターは、可動部と、可動部を支持する可動枠と、可動枠を支持する可動枠支持部と、可動部と可動枠とを接続するとともに、可動部を第１軸周りに揺動可能に支持する第１軸部と、可動枠と可動枠支持部とを接続するとともに、可動枠を第１軸に交差する第２軸周りに揺動可能に支持する第２軸部と、可動枠の外形に沿って環状に設けられたコイルと、第１軸および第２軸を含む平面の法線方向からの平面視において、可動枠を挟み、かつ、第１軸及び第２軸に対して傾斜する方向に位置する一対の永久磁石と、平面視において、環状に設けられたコイルの環状内に位置するコア材を備えたものである。以下、具体的に説明する。なお、本実施形態では、アクチュエーターとしての光スキャナーを例に挙げて説明する。
【００２３】
図１は、本実施形態にかかる光スキャナーの構成を示す平面図であり、図２は、本実施形態にかかる光スキャナーの構成を示す断面図である。なお、図１は、反射部１１３を透視した平面図であり、図２は、図１におけるＡ−Ａ断面図である。
【００２４】
図１及び図２に示すように、光スキャナー１は、反射部１１３を含む可動部１０と、可動部１０を支持する可動枠１３と、可動枠１３を支持する可動枠支持部１５と、可動部１０と可動枠１３とを接続するとともに、可動部１０を第１軸（本実施形態ではＹ軸）周りに揺動可能に支持する一対の第１軸部１２ａ，１２ｂと、可動枠１３と可動枠支持部１５とを接続するとともに、可動枠１３を第１軸に交差する第２軸（本実施形態ではＸ軸）周りに揺動可能に支持する２対の第２軸部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄと、可動枠１３の外形に沿って環状に設けられたコイル３１と、第１軸および第２軸を含む平面の法線方向からの平面視において、可動枠１３を挟み、かつ、第１軸及び第２軸に対して傾斜する方向に配置された一対の永久磁石２１ａ，２１ｂと、平面視において、環状に設けられたコイル３１の内側に配置されたコア材３０を備えている。さらに、コイル３１に対して所定の電圧を印加させる電圧印加部を備えている。
【００２５】
可動部１０は、第１軸部１２ａ，１２ｂが接続された基部１１１と、支柱１１２を有する反射部１１３とを含み、基部１１１の第１面１１１ａに反射部１１３の支柱１１２が固着されている。固着方法としては、例えば、各種接着剤、ろう材等の接合材を用いて固着させることができる。このように、基部１１１と反射部１１３とが別部材として構成されている。また、反射部１１３の表面には光を反射させる反射面１１４が形成されている。本実施形態における反射部１１３は、平面視にて、円形を成している。なお、ここで言う平面視とは、後述のＳＯＩ基板などによって形成されている板状の可動枠支持部１５を、その板厚方向から見ることを指し、以下同様の意味で用いている。さらに、この平面視を言い換えると、第１軸および第２軸を含む平面の法線方向から見ることを指す。そして、反射部１１３の全面に反射面１１４が形成されている。なお、反射部１１３の形状は、円形に限定されず、例えば、楕円形、四角形等の多角形であってもよい。そして、基部１１１の第１面１１１ａの反対側の第２面１１１ｂにコア材３０が設けられている。第２面１１１ｂとコア材３０は、例えば、接着剤、ろう材等の接合材によって固着されている。コア材３０は、例えば、鉄やケイ素鋼、鉄とニッケルの合金等の軟磁性体である。可動部１０の基部１１１は、第１軸部１２ａ，１２ｂを介して可動枠１３に支持されている。
【００２６】
図１に示すように、平面視において、反射部１１３が可動枠１３を覆うように形成されている。すなわち、平面視において、基部１１１、第１軸部１２ａ，１２ｂ、可動枠１３、コイル３１及び第２軸部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄが反射部１１３の内側に配置されている。そのため、第１軸部１２ａと第１軸部１２ｂとの間の距離を短くしつつ、反射部１１３の面積を大きくすることができる。また、第１軸部１２ａと第１軸部１２ｂとの間の距離を短くすることができることから、可動枠１３の小型化を図ることができる。さらに、可動枠１３の小型化を図ることができることから、第２軸部１４ａ、１４ｂと第２軸部１４ｃ、１４ｄとの間の距離を短くすることができる。これにより、反射部１１３の面積を大きく維持しつつも、光スキャナー１の全体構造を小型化させることが可能となる。また、不要な光が基部１１１、第１軸部１２ａ，１２ｂ、可動枠１３、コイル３１及び第２軸部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄで反射して迷光となるのを防止することができる。また、永久磁石２１ａ、２１ｂ間の距離を小さくすることができるため、コイル３１を横切る磁界を大きくすることができる。
【００２７】
また、反射部１１３は支柱１１２を有するため、反射面１１４が形成された板部１１３ａが第１軸部１２ａ，１２ｂに対して厚さ方向に離間する構成となる。すなわち、板部１１３ａが第１軸部１２ａ、１２ｂの側面に直接接続されないので、反射部１１３の揺動（回動）時に、第１軸部１２ａ、１２ｂの捩れ変形による応力が反射部１１３に及ぶのを防止または抑制することができ、その結果、反射部１１３（板部１１３ａ）の撓みを低減させることができる。
【００２８】
可動枠１３は、枠状を成し、可動部１０の基部１１１の周囲を囲むように設けられている。換言すれば、可動部１０の基部１１１は、枠状の可動枠１３の内側に設けられている。また、可動枠支持部１５は、枠状を成し、可動枠１３の周囲を囲むように設けられている。換言すれば、可動枠１３は、可動枠支持部１５の内側に設けられている。可動枠１３は、第２軸部１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄを介して可動枠支持部１５に支持されている。可動枠支持部１５の表面には、反射防止処理が施されているのが好ましい。これにより、可動枠支持部１５に照射された不要光が迷光となるのを防止することができる。かかる反射防止処理としては、特に限定されないが、例えば、反射防止膜（誘電体多層膜）の形成、粗面化処理、黒色処理等が挙げられる。なお、可動枠支持部１５の他に可動枠１３の表面にも反射防止処理を施してもよい。
【００２９】
また、可動枠１３は、Ｙ軸に沿った方向における長さがＸ軸に沿った方向の長さよりも長くなっている。すなわち、Ｙ軸に沿った方向における可動枠１３の長さをａとし、Ｘ軸に沿った方向における可動枠１３の長さをｂとしたとき、ａ＞ｂなる関係を満たす。これにより、第１軸部１２ａ，１２ｂに必要な長さを確保しつつ、Ｘ軸に沿った方向における光スキャナー１の長さを抑えることができる。
【００３０】
また、可動枠１３は、平面視において、可動部１０の基部１１１及び第１軸部１２ａ，１２ｂからなる構造体の外形に沿った形状を成している。なお、可動枠１３の形状は、枠状であれば、特に限定されない。このような構成において、可動部１０、第１軸部１２ａ，１２ｂで構成された振動系の振動、すなわち、可動部１０のＹ軸周りの揺動を許容しつつ、可動枠１３の小型化を図ることができる。
【００３１】
可動枠１３上にはコイル３１が形成されている。コイル３１は、可動枠１３の外形状に倣って環状に巻かれて形成されている。コイル３１の材料としては。導電性を有するものであればよく、例えば、銅やアルミニウム等の金属が好適である。そして、コイル３１の一端は、可動枠支持部１５に設けられた第１端子３２ａに電気的に接続されている。また、コイル３１の他端は、可動枠支持部１５に設けられた第２端子３２ｂに電気的に接続されている。そして、第１端子３２ａ及び第２端子３２ｂは、後述する電圧印加部に電気的に接続されている。
【００３２】
第１軸部１２ａ，１２ｂおよび第２軸部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄは、それぞれ、弾性変形可能である。そして、第１軸部１２ａ，１２ｂは、可動部１０をＹ軸周りに回動（揺動）可能とするように、可動部１０と可動枠１３とを連結している。また、第２軸部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄは、可動枠１３をＹ軸に直交するＸ軸周りに回動（揺動）可能とするように、可動枠１３と可動枠支持部１５とを連結している。
【００３３】
第１軸部１２ａ，１２ｂは、可動部１０の基部１１１を介して互いに対向するように配置されている。また、第１軸部１２ａ，１２ｂは、それぞれ、Ｙ軸に沿った方向に延在する長手形状を成す。そして、第１軸部１２ａ，１２ｂは、それぞれ、一端部が基部１１１に接続され、他端部が可動枠１３に接続されている。また、第１軸部１２ａ，１２ｂは、それぞれ、中心軸とＹ軸とが一致するように配置されている。このように構成された第１軸部１２ａ，１２ｂは、それぞれ、可動部１０のＹ軸周りの揺動に伴ってねじれ変形する。
【００３４】
第２軸部１４ａ，１４ｂ及び第２軸部１４ｃ，１４ｄは、可動枠１３を介して互いに対向するように配置されている。また、第２軸部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄは、それぞれ、Ｘ軸に沿った方向に延在する長手形状をなす。そして、第２軸部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄは、それぞれ、一端部が可動枠１３に接続され、他端部が可動枠支持部１５に接続されている。また、第２軸部１４ａ，１４ｂは、Ｘ軸を介して互いに対向するように配置され、同様に、第２軸部１４ｃ，１４ｄは、Ｘ軸を介して互いに対向するように配置されている。このように構成された第２軸部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄは、可動枠１３のＸ軸周りの揺動に伴って、第２軸部１４ａ，１４ｂ全体及び第２軸部１４ｃ，１４ｄ全体がそれぞれねじれ変形する。このように、可動部１０をＹ軸周りに揺動可能とするとともに、可動枠１３をＸ軸周りに揺動可能とすることにより、可動部１０を互いに直交するＸ軸およびＹ軸の２軸周りに揺動（回動）させることができる。
【００３５】
なお、第１軸部１２ａ，１２ｂ及び第２軸部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄの形態は上記の形態に限定されない。例えば、途中の少なくとも１箇所に屈曲または湾曲した、ミアンダー形状を有していてもよい。また、第１軸部１２ａ，１２ｂや第２軸部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄの軸の本数に関しても単数であってもよいし、複数であってもよい。
【００３６】
前述した基部１１１、第１軸部１２ａ，１２ｂ、可動枠１３、第２軸部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄ及び可動枠支持部１５は、一体的に形成されている。本実施形態では、基部１１１、第１軸部１２ａ，１２ｂ、可動枠１３、第２軸部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄ及び可動枠支持部１５は、第１のＳｉ層（デバイス層）と、ＳｉＯ2層（ボックス層）と、第２のＳｉ層（ハンドル層）とがこの順に積層したＳＯＩ基板をエッチングすることにより形成されている。ＳＯＩ基板は、エッチングにより微細な加工が可能であるため、ＳＯＩ基板を用いて基部１１１、第１軸部１２ａ，１２ｂ、可動枠１３、第２軸部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄおよび可動枠支持部１５を形成することにより、これらの寸法精度を優れたものとすることができ、また、光スキャナー１の小型化を図ることができる。また、支柱１１２を含む反射部１１３も、ＳＯＩ基板をエッチングすることにより形成されている。このようにすれば、簡単かつ高精度に反射部１１３を形成することができる。なお、上記の形成方法は、一例であり、これに限定されるものではない。
【００３７】
一対の永久磁石２１ａ，２１ｂは、第１軸及び第２軸に対して角度を成して磁界が生じるように配置される。具体的には、図１に示すように、一対の永久磁石２１ａ，２１ｂは、平面視において、可動枠１３を挟むように、すなわち、形成されたコイル３１を挟むように第１軸部１２ａ，１２ｂ及び第２軸部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄに対して傾斜する方向に配置されている。また、一対の永久磁石２１ａ，２１ｂは、平面視において、第１軸および第２軸に対して傾斜した軸上に配置されている、と言い換えることもできる。本実施形態の場合では、一対の永久磁石２１ａ，２１ｂが、Ｘ軸及びＹ軸に対して傾斜して配置されている。なお、本実施形態では、一対の永久磁石２１ａ，２１ｂが、可動枠支持部１５の一対の対角を挟むように配置されている。
【００３８】
永久磁石２１ａ、２１ｂは、それぞれ、可動枠支持部１５の中心部に対する方向に対して一方側がＮ極に、他方側がＳ極に磁化され、さらに、一対の永久磁石２１ａ，２１ｂにおいて、それぞれ異なる磁極同士が対向するように配置されている。本実施形態では、一方の永久磁石２１ａのＮ極と他方の永久磁石２１ｂのＳ極とが対向するように配置されている。なお、上記の永久磁石の配置は一例であり、一対の各永久磁石が、複数の永久磁石を組み合わせた構成になっていてもよい。
【００３９】
配置された永久磁石２１ａ、２１ｂのＸ軸（またはＹ軸）に対する傾斜角度は、３０〜６０度であることが好ましく、４０〜５０度であることがより好ましく、ほぼ４５度であることがさらに好ましい。このように永久磁石２１ａ，２１ｂを配置することにより可動部１０及び可動枠１３を円滑に揺動（回動）させることができる。
【００４０】
上記の永久磁石２１ａ、２１ｂとしては、例えば、ネオジム磁石、フェライト磁石、サマリウムコバルト磁石、アルニコ磁石、ボンド磁石等を好適に用いることができる。
【００４１】
次に、電圧印加部の構成について説明する。図３は、電圧印加部の構成を示すブロック図であり、図４は、発生電圧の一例を示す説明図である。
【００４２】
図３に示すように、電圧印加部４は、可動部１０をＹ軸周りに揺動させるための第１電圧Ｖ１を発生させる第１電圧発生部４１と、可動部１０をＸ軸周りに揺動させるための第２電圧Ｖ２を発生させる第２電圧発生部４２と、第１電圧Ｖ１と第２電圧Ｖ２とを重畳する電圧重畳部４３とを備えている。電圧印加部４の第１電圧発生部４１及び第２電圧発生部４２はそれぞれ制御部７に接続されている。また、電圧印加部４は、コイル３１の第１端子３２ａ及び第２端子３２ｂに電気的に接続されており、電圧重畳部４３で重畳した電圧をコイル３１に印加するように構成されている。
【００４３】
第１電圧発生部４１は、図４（ａ）に示すように、周期Ｔ１で周期的に変化する第１電圧Ｖ１（水平走査用電圧）を発生させるものである。すなわち、第１電圧発生部４１は、第１周波数（１／Ｔ１）の第１電圧Ｖ１を発生させるものである。第１電圧Ｖ１は、正弦波のような波形をなしている。そのため、光スキャナー１は効果的に光を主走査することができる。なお、第１電圧Ｖ１の波形は、これに限定されない。
【００４４】
また、第１周波数（１／Ｔ１）は、水平走査に適した周波数であれば、特に限定されないが、１０〜４０ｋＨｚであるのが好ましい。本実施形態では、第１周波数は、可動部１０、第１軸部１２ａ、１２ｂで構成される第１の振動系（ねじり振動系）のねじり共振周波数（ｆ１）と等しくなるように設定されている。つまり、第１の振動系は、そのねじり共振周波数ｆ１が水平走査に適した周波数になるように設計（製造）されている。これにより、可動部１０のＹ軸周りの回動角を大きくすることができる。
【００４５】
一方、第２電圧発生部４２は、図４（ｂ）に示すように、周期Ｔ１と異なる周期Ｔ２で周期的に変化する第２電圧Ｖ２（垂直走査用電圧）を発生させるものである。すなわち、第２電圧発生部４２は、第２周波数（１／Ｔ２）の第２電圧Ｖ２を発生させるものである。第２電圧Ｖ２は、鋸波のような波形をなしている。そのため、光スキャナー１は効果的に光を垂直走査（副走査）することができる。なお、第２電圧Ｖ２の波形は、これに限定されない。
【００４６】
第２周波数（１／Ｔ２）は、第１周波数（１／Ｔ１）と異なり、かつ、垂直走査に適した周波数であれば、特に限定されないが、３０〜１２０Ｈｚであるのが好ましい。さらには、６０Ｈｚ程度が好適である。このように、第２電圧Ｖ２の周波数を６０Ｈｚ程度とし、前述したように第１電圧Ｖ１の周波数を１０〜４０ｋＨｚとすることで、ディスプレイでの描画に適した周波数で、可動部１０を互いに直交する２軸（Ｘ軸およびＹ軸）のそれぞれの軸周りに回動させることができる。ただし、可動部１０をＸ軸およびＹ軸のそれぞれの軸周りに回動させることができれば、第１電圧Ｖ１の周波数と第２電圧Ｖ２の周波数との組み合わせは、特に限定されない。
【００４７】
本実施形態では、第２電圧Ｖ２の周波数は、可動部１０、第１軸部１２ａ、１２ｂ、可動枠１３、第２軸部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄで構成された第２の振動系（ねじり振動系）のねじり共振周波数（共振周波数）と異なる周波数となるように調整されている。このような第２電圧Ｖ２の周波数（第２周波数）は、第１電圧Ｖ１の周波数（第１周波数）よりも小さいことが好ましい。すなわち、周期Ｔ２は、周期Ｔ１よりも長いことが好ましい。これにより、より確実かつより円滑に、可動部１０をＹ軸周りに第１周波数で回動させつつ、Ｘ軸周りに第２周波数で回動させることができる。
【００４８】
また、第１の振動系のねじり共振周波数をｆ１［Ｈｚ］とし、第２の振動系のねじり共振周波数をｆ２［Ｈｚ］としたとき、ｆ１とｆ２とが、ｆ２＜ｆ１の関係を満たすことが好ましく、ｆ１≧１０ｆ２の関係を満たすことがより好ましい。これにより、より円滑に、可動部１０を、Ｙ軸周りに第１電圧Ｖ１の周波数で回動させつつ、Ｘ軸周りに第２電圧Ｖ２の周波数で回動させることができる。
【００４９】
このような第１電圧発生部４１および第２電圧発生部４２は、それぞれに接続された制御部７からの信号に基づき駆動される。そして、第１電圧発生部４１及び第２電圧発生部４２は、電圧重畳部４３に接続されている。電圧重畳部４３は、コイル３１に電圧を印加するための加算器４３ａを備えている。加算器４３ａは、第１電圧発生部４１から第１電圧Ｖ１を受けるとともに、第２電圧発生部４２から第２電圧Ｖ２を受け、これらの電圧を重畳しコイル３１に印加する。
【００５０】
次に、光スキャナー１の動作について説明する。図５は、光スキャナーの動作を説明する模式図である。なお、本実施形態では、前述したように、第１電圧Ｖ１の周波数は、第１の振動系のねじり共振周波数と等しく設定されており、第２電圧Ｖ２の周波数は、第２の振動系のねじり共振周波数と異なる値に、かつ、第１電圧Ｖ１の周波数よりも小さくなるように設定されている（例えば、第１電圧Ｖ１の周波数が１５ｋＨｚ、第２電圧Ｖ２の周波数が６０Ｈｚに設定されている）。
【００５１】
まず、例えば、図４（ａ）に示すような第１電圧Ｖ１と、図４（ｂ）に示すような第２電圧Ｖ２とを電圧重畳部４３にて重畳し、重畳した電圧をコイル３１に印加する。そして、第１電圧Ｖ１の印加によってコイル３１に電流が流れる。その結果、コイル３１に流れる電流と一対の永久磁石２１ａ，２１ｂ間における磁界との相互作用によって生じるローレンツ力により、第１軸部１２ａ，１２ｂが捩れ変形され、可動部１０がＹ軸（第１軸）を中心軸として揺動する。また、第１電圧Ｖ１の周波数は、第１の振動系のねじり共振周波数と等しい。そのため、第１電圧Ｖ１によって、効率的に、可動部１０をＹ軸周りに回動させることができる。すなわち、前述した可動枠１３のＹ軸周りのねじり振動成分を有する振動が小さくても、その振動に伴う可動部１０のＹ軸周りの回動角を大きくすることができる。
【００５２】
また、第２電圧Ｖ２の印加によってコイル３１に電流が流れる。その結果、コイル３１に流れる電流と一対の永久磁石２１ａ，２１ｂ間における磁界との相互作用によって生じるローレンツ力により、第２軸部１４ａ，１４ｂおよび第２軸部１４ｃ，１４ｄがそれぞれ捩れ変形され、可動枠１３が可動部１０とともにＸ軸（第２軸）を中心軸として揺動する。また、第２電圧Ｖ２の周波数は、第１電圧Ｖ１の周波数に比べて極めて低く設定されている。また、第２の振動系のねじり共振周波数は、第１の振動系のねじり共振周波数よりも低く設計されている。そのため、可動部１０が第２電圧Ｖ２の周波数でＹ軸周りに回動してしまうことを防止することができる。
【００５３】
ここで、永久磁石２１ａで発生した磁界は、可動枠１３を横切って永久磁石２１ｂに向かう。すなわち、コイル３１を横切るように一対の永久磁石２１ａ，２１ｂ間に磁界が発生する。また一方では、永久磁石２１ａで発生した磁界が、可動枠１３を横切らず、可動枠１３の外側を経由して永久磁石２１ｂに向かう場合もあり得る。この場合、可動枠１３の外側を経由する磁界（無効磁界）はコイル３１に流れる電流との相互作用に寄与しないため、可動部１０等の揺動効率の低下の原因の一つとなる。
【００５４】
そこで、本実施形態では、基部１１１の第２面１１１ｂにコア材３０が配置されている。すなわち、光スキャナー１の中心部にコア材３０が配置されている。従って、図５に示すように、永久磁石２１ａで発生した磁界Ｍが、コア材３０に向かいながら永久磁石２１ｂに進行するため、磁界Ｍを光スキャナー１の中央部に集中させることができる。これにより、無効磁界の発生が低減され、コイル３１に流れる電流と磁界Ｍとの相互作用効率を高めることができる。
【００５５】
ここで、コイル３１上を横切る磁界Ｍについてさらに詳細に説明する。まず、本実施形態において、可動枠１３上に環状に形成されたコイル３１は、Ｘ軸方向に形成されたコイル３１ａとＹ軸方向に形成されたコイル３１ｂとで概略形成されている。そして、永久磁石２１ａで発生した磁界Ｍが、コア材３０によって、平面視において可動枠１３の中央部に引き寄せられつつ、永久磁石２１ｂに進行する。この際、図５に示すように、例えば、磁界Ｍの一部がＸ軸方向に形成されたコイル３１ａに対して垂直に近い角度で横切る。これにより、コイル３１ａに対応する磁界Ｍの有効成分が大きくなる。従って、コイル３１に流れる電流と磁界Ｍとの相互作用により、Ｘ軸周りの揺動効率を高めることができる。また、Ｙ軸方向に形成されたコイル３１ｂに対しても同様に磁界Ｍの一部が垂直に近い角度で横切る。これにより、コイル３１ｂに対応する磁界Ｍの有効成分が大きくなる。従って、コイル３１に流れる電流と磁界Ｍとの相互作用により、Ｙ軸周りの揺動効率を高めることができる。
【００５６】
次に、画像表示装置の構成について説明する。画像表示装置は、光を反射する反射部を含む可動部と、可動部の周囲に配置された可動枠と、可動枠の周囲に配置された可動枠支持部と、可動部と可動枠とを接続するとともに、可動部を第１軸周りに揺動可能に支持する第１軸部と、可動枠と可動枠支持部とを接続するとともに、可動枠を第１軸に交差する第２軸周りに揺動可能に支持する第２軸部と、可動枠の外形に沿って環状に設けられたコイルと、第１軸および第２軸を含む平面の法線方向からの平面視において、可動枠支持部を挟み、かつ、第１軸及び第２軸に対して傾斜する方向に位置する一対の永久磁石と、平面視において、環状に設けられたコイルの内側に位置するコア材と、を備えた光スキャナーと、光スキャナーに対して光を照射する照射部を備えたものである。図６は、画像表示装置の構成を示す概略図である。以下、具体的に説明する。なお、本実施形態では、前述した光スキャナー１を用いた場合について説明する。
【００５７】
図６に示すように、画像表示装置９は、光スキャナー１と、光スキャナー１に対して光を照射する照射部９１等を備えている。本実施形態の照射部９１は、赤色光を照射する赤色光源９１１と、青色光を照射する青色光源９１２と、緑色光を照射する緑色光源９１３とを備えている。さらに、赤色光源９１１、青色光源９１２及び緑色光源９１３のそれぞれに対応してダイクロイックミラー９２Ａ，９２Ｂ，９２Ｃが配置されている。
【００５８】
各ダイクロイックミラー９２Ａ，９２Ｂ，９２Ｃは、赤色光源９１１、青色光源９１２、緑色光源９１３のそれぞれから照射された光を合成する光学素子である。このような画像表示装置９は、図示しないホストコンピューターからの画像情報に基づいて、照射部９１（赤色光源９１１、青色光源９１２、緑色光源９１３）から照出された光をダイクロイックミラー９２Ａ、９２Ｂ、９２Ｃでそれぞれ合成し、この合成された光が光スキャナー１に照射される。そして、光スキャナー１が２次元走査され、スクリーンＳ上でカラー画像を形成するように構成されている。
【００５９】
２次元走査の際、光スキャナー１の可動部１０のＹ軸周りの回動により反射部１１３で反射した光がスクリーンＳの横方向に走査（主走査）される。一方、光スキャナー１の可動部１０のＸ軸周りの回動により反射部１１３で反射した光がスクリーンＳの縦方向に走査（副走査）される。なお、本実施形態では、ダイクロイックミラー９２Ａ、９２Ｂ、９２Ｃで合成された光を光スキャナー１によって２次元的に走査した後、その光を固定ミラー９３で反射させてからスクリーンＳに画像を形成するように構成されているが、固定ミラー９３を省略し、光スキャナー１によって２次元的に走査された光を直接スクリーンＳに照射する構成であってもよい。
【００６０】
上記の画像表示装置９は、例えば、携帯用画像表示装置として適用することができる。図７は、携帯用画像表示装置の構成を示す概略図である。携帯用画像表示装置１００は、手で把持することができる寸法で形成されたケーシング１１０と、ケーシング１１０内に内蔵された画像表示装置９とを有している。この携帯用画像表示装置１００により、例えば、スクリーンや、デスク上等の所定の面に、所定の画像を表示することができる。また、携帯用画像表示装置１００は、所定の情報を表示するディスプレイ１２０と、キーパット１３０と、オーディオポート１４０と、コントロールボタン１５０と、カードスロット１６０と、ＡＶポート１７０とを有している。なお、携帯用画像表示装置１００は、通話機能、ＧＳＰ受信機能等の他の機能を備えていてもよい。
【００６１】
次に、ヘッドアップディスプレイ（ＨＵＤ）の構成について説明する。ヘッドアップディスプレイ（ＨＵＤ）は、光を反射する反射部を含む可動部と、可動部を支持する可動枠と、可動枠を支持する可動枠支持部と、可動部と可動枠とを接続するとともに、可動部を第１軸周りに揺動可能に支持する第１軸部と、可動枠と可動枠支持部とを接続するとともに、可動枠を第１軸に交差する第２軸周りに揺動可能に支持する第２軸部と、可動枠の外形に沿って環状に設けられたコイルと、第１軸および第２軸を含む平面の法線方向からの平面視において、可動枠支持部を挟み、かつ、第１軸及び第２軸に対して傾斜する方向に位置する一対の永久磁石と、平面視において、環状に設けられたコイルの内側に位置するコア材と、を備えた光スキャナーと、光スキャナーに対して光を照射する照射部を備えたものである。
【００６２】
図８は、ヘッドアップディスプレイ（ＨＵＤ）の構成を示す概略図である。図８に示すように、ヘッドアップディスプレイ（ＨＵＤ）２１０は、上述の光スキャナー１を備えた画像表示装置９を搭載している。そして、ヘッドアップディスプレイシステム２００では、画像表示装置９が、例えば、自動車のダッシュボードに、ヘッドアップディスプレイ２１０を構成するよう搭載されている。このヘッドアップディスプレイ２１０により、フロントガラス２２０に、例えば、目的地までの案内表示等の所定の画像を表示することができる。なお、ヘッドアップディスプレイシステム２００は、自動車に限らず、例えば、航空機、船舶等にも適用することができる。
【００６３】
次に、ヘッドマウントディスプレイ（ＨＭＤ）の構成について説明する。ヘッドマウントディスプレイ（ＨＭＤ）は、光を反射する反射部を含む可動部と、可動部を支持する可動枠と、可動枠を支持する可動枠支持部と、可動部と可動枠とを接続するとともに、可動部を第１軸周りに揺動可能に支持する第１軸部と、可動枠と可動枠支持部とを接続するとともに、可動枠を第１軸に交差する第２軸周りに揺動可能に支持する第２軸部と、可動枠の外形に沿って環状に設けられたコイルと、第１軸および第２軸を含む平面の法線方向からの平面視において、可動枠支持部を挟み、かつ、第１軸及び第２軸に対して傾斜する方向に位置する一対の永久磁石と、平面視において、環状に設けられたコイルの内側に位置するコア材と、を備えた光スキャナーと、光スキャナーに対して光を照射する照射部を備えたものである。
【００６４】
図９は、ヘッドマウントディスプレイ（ＨＭＤ）の構成を示す概略図である。図９に示すように、ヘッドマウントディスプレイ（ＨＭＤ）３００は、上述の光スキャナー１を備えた画像表示装置９を搭載している。ヘッドマウントディスプレイ３００は、眼鏡３１０を備え、眼鏡３１０に画像表示装置９が配置されている。そして、画像表示装置９により、眼鏡３１０の本来レンズである部位に設けられた表示部３２０に、一方の目で視認される所定の画像を表示する。
【００６５】
表示部３２０は、透明であってもよく、また、不透明であってもよい。表示部３２０が透明な場合は、現実世界からの情報に画像表示装置９からの情報を重ねて使用することができる。なお、ヘッドマウントディスプレイ３００に、２つ画像表示装置９を設け、両方の目で視認される画像を、２つの表示部に表示するようにしてもよい。
【００６６】
以上、アクチュエーターとしての光スキャナーおよび画像表示装置等の形態について説明したが、これに限定されるものではない。例えば、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができ、また、他の任意の構成を付加することもできる。また、本発明は、前記各実施形態のうちの、任意の２以上の構成（特徴）を組み合わせたものであってもよい。
【００６７】
以上、上記第１実施形態によれば、以下の効果を得ることができる。
【００６８】
一対の永久磁石２１ａ，２１ｂ間に発生する磁界は、環状に形成されたコイル３１の内側に配置されたコア材３０によって、コア材３０側に引き寄せられる。これにより、例えば、可動枠１３の外側を経由していた磁界も、コア材３０によって引き寄せられ、可動枠１３を横切ることになる。これにより、可動枠１３に形成されたコイル３１を横切る磁界が増加されるので、永久磁石２１ａ，２１ｂにより発生する磁界の利用効率が高まる。従って、可動部１０及び可動枠１３の揺動（駆動）効率を向上させることができる。
【００６９】
［第２実施形態］
次に、第２実施形態について説明する。なお、本実施形態では、アクチュエーターとしての光スキャナーを例に挙げて説明する。図１０は、本実施形態にかかる光スキャナーの構成を示す断面図である。なお、第１実施形態と同様の部材等については同じ符号を付している。
【００７０】
図１０に示すように、光スキャナー１ａは、反射部１１３を含む可動部１０と、可動部１０を支持する可動枠１３と、可動枠１３を支持する可動枠支持部１５と、可動部１０と可動枠１３とを接続するとともに、可動部１０を第１軸（本実施形態ではＹ軸）周りに揺動可能に支持する一対の第１軸部１２ａ，１２ｂ（図１参照）と、可動枠１３と可動枠支持部１５とを接続するとともに、可動枠１３を第１軸に交差する第２軸（本実施形態ではＸ軸）周りに揺動可能に支持する２対の第２軸部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄ（図１参照）と、可動枠１３の外形に沿って環状に設けられたコイル３１と、第１軸および第２軸を含む平面の法線方向からの平面視において、可動枠１３を挟み、かつ、第１軸及び第２軸に対して傾斜する方向に位置する一対の永久磁石２１ａ，２１ｂと、平面視において、環状に設けられたコイル３１の内側に位置するコア材３０を備えている。さらに、コイル３１に対して所定の電圧を印加させる電圧印加部を備えている。
【００７１】
そして、本実施形態の可動部１０は、第１軸部１２ａ，１２ｂが接続された基部１１１と、反射部１１３と、を含み、基部１１１の第１面１１１ａにコア材３０が配置され、コア材３０上（コア材３０の基部１１１と反対側）に反射部１１３が設置されている。すなわち、本実施形態では、コア材３０が基部１１１と反射部１１３とを接続する支柱の機能を有し、基部１１１と反射部１１３の板部１１３ａとが離間した構成を有している。なお、第１面１１１ａとコア材３０との接着、コア材３０と反射部１１３との接着には、例えば、接着剤、ろう材等の接合材を用いることができる。
【００７２】
なお、他の構成や部材及び材料等については、第１実施形態の構成等と同様なので説明を省略する。また、電圧印加部の構成や光スキャナー１ａの動作についても第１実施形態と同様なので説明を省略する。さらに、本実施形態における光スキャナー１ａを備えた画像表示装置やヘッドアップディスプレイ（ＨＵＤ）やヘッドマウントディスプレイ（ＨＭＤ）の構成についても第１実施形態の構成と同様なので説明を省略する。
【００７３】
以上、上記第２実施形態によれば、第１実施形態の効果に加え、以下の効果を得ることができる。
【００７４】
基部１１１と反射部１１３との間にコア材３０が配置され、基部１１１と反射部１１３とが離間した構造となる。すなわち、コア材３０が、一対の永久磁石２１ａ，２１ｂ間における磁界を光スキャナー１ａの中央部に集中させ、可動部１０及び可動枠１３の揺動（駆動）効率を高めるとともに、支柱（スペーサー）としての機能を備え、反射部１１３が揺動した際、他の部材との接触を防止し、揺動運動を円滑に行うことができる。
【００７５】
なお、本発明は上述した実施形態に限定されず、上述した実施形態に種々の変更や改良などを加えることが可能である。変形例を以下に述べる。
【００７６】
（変形例１）上記第１及び第２実施形態では、基部１１１の第１面１１１ａまたは第２面１１１ｂのいずれかの面にコア材３０を設置したが、これに限定されない。例えば、基部１１１の第１面１１１ａ及び第２面１１１ｂの両面にコア材３０設置してもよい。このようにすれば、さらに効率よく一対の永久磁石２１ａ，２１ｂ間に発生する磁界を可動枠１３の中央部方向に集中させることができる。
【００７７】
（変形例２）上記第１及び第２実施形態では、平面視にて反射部１１３が第１軸部１２ａ，１２ｂの全体、可動枠１３の全体及び第２軸部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄの全体を覆う場合を例に説明したが、これに限定されない。例えば、平面視にて反射部１１３が第１軸部１２ａ，１２ｂの少なくとも一部（可動部１０の基部１１１側の端部）が覆われていればよい。このようにしても、光スキャナー１，１ａの小型化、反射部１１３の大面積化、反射部１１３の動撓みの防止、第１軸部１２ａ，１２ｂの基部１１１側の端部による迷光の防止等の効果を奏することができる。
【００７８】
（変形例３）上記第１及び第２実施形態では、アクチュエーターとしての光スキャナー１，１ａについて説明したが、これに限定されない。例えば、アクチュエーターとして、光スイッチ、光アッテネーター等の他の光学デバイスにも適用することができる。また、光スキャナー１，１ａを搭載した画像表示装置９、ヘッドアップディスプレイ２１０やヘッドマウントディスプレイ３００について説明したが、これに限定されない。例えば、他に、レーダー装置、光測定器や各種エリアセンサー等に適用することができる。
【符号の説明】
【００７９】
１，１ａ…アクチュエーターとしての光スキャナー、４…電圧印加部、７…制御部、９…画像表示装置、１０…可動部、１２ａ，１２ｂ…第１軸部、１３…可動枠、１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄ…第２軸部、１５…可動枠支持部、２１ａ，２１ｂ…永久磁石、３０…コア材、３１…コイル、９１…照射部、１００…携帯用画像表示装置、１１１…基部、１１１ａ…第１面、１１１ｂ…第２面、１１２…支柱、１１３…反射部、１１３ａ…板部、１１４…反射面、２１０…ヘッドアップディスプレイ（ＨＵＤ）、３００…ヘッドマウントディスプレイ（ＨＭＤ）。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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