(57)【要約】【課題】複雑な構造を用いずに所望の剛性を保つことができるマスクフレームユニット、マスク装置を提供すること。【解決手段】本技術の一形態に係るマスクフレームユニットは、フレーム体を具備し、前記フレーム体は、複数の辺部と、複数の溝を含む領域とを有する。前記複数の辺部は、マスク本体を支持する。前記複数の溝は、前記複数の辺部のうち少なくとも一辺部の前記反対面に、前記一辺部の長さ方向に沿って設けられている。【選択図】図２
2014194062.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
マスク本体を支持する複数の辺部と、
前記複数の辺部のうち少なくとも一辺部に、前記一辺部の長さ方向に沿って設けられた複数の溝を含む領域と
を有するフレーム体
を具備するマスクフレームユニット。
【請求項２】
請求項１に記載のマスクフレームユニットであって、
前記フレーム体は、前記複数の辺部に設けられた、前記マスク本体が取り付けられる取付面及びその反対面を有し、
前記複数の溝を含む領域は、前記反対面に設けられている
マスクフレームユニット。
【請求項３】
請求項２に記載のマスクフレームユニットであって、
前記複数の溝を含む領域は、前記マスク本体と前記一辺部における前記取付面との接続部より、前記フレーム体の外側に配置されている
マスクフレームユニット。
【請求項４】
請求項１に記載のマスクフレームユニットであって、
前記複数の溝を含む領域は、前記複数の辺部のうち、少なくとも、対向する第１の辺部及び第２の辺部にそれぞれ設けられている
マスクフレームユニット。
【請求項５】
請求項４に記載のマスクフレームユニットであって、
前記複数の辺部のうち、前記第１及び前記第２の辺部とは異なる一辺部である第３の辺部に、前記第３の辺部の長さ方向に沿って設けられた凹部をさらに具備する
マスクフレームユニット。
【請求項６】
請求項１に記載のマスクフレームユニットであって、
前記複数の溝を含む領域は、前記複数の辺部のうち、少なくとも、対向する第１の辺部及び第２の辺部にそれぞれ設けられ、
前記フレーム体は、前記複数の辺部に設けられた、前記マスク本体が取り付けられる取付面及びその反対面と、
前記複数の辺部のうち、前記第１及び前記第２の辺部とは異なる一辺部である第３の辺部の前記反対面の第１の領域に設けられた第１の凹部と、
前記第３の辺部の前記取付面の、前記第１の領域より前記フレーム体の外側の第２の領域に設けられた第２の凹部とを有する
マスクフレームユニット。
【請求項７】
請求項１に記載のマスクフレームユニットであって、
前記複数の溝のうち少なくとも一溝内に設けられた棒状部材を有し、前記棒状部材を用いて前記フレーム体に加えられる張力を調整可能な張力機構をさらに具備する
マスクフレームユニット。
【請求項８】
請求項７に記載のマスクフレームユニットであって、
前記張力機構の前記棒状部材は、ターンバックルである
マスクフレームユニット。
【請求項９】
請求項７に記載のマスクフレームユニットであって、
前記フレームは、前記一溝の前記両端を構成する端部構成部を有し、
前記張力機構は、前記端部構成部を介して前記棒状部材の両端に接続されたボルトをさらに有する
マスクフレームユニット。
【請求項１０】
請求項１に記載のマスクフレームユニットであって、
前記複数の溝の深さは、前記フレーム体の厚さの４５〜９５％である
マスクフレームユニット。
【請求項１１】
マスク本体を支持する複数の辺部と、
前記複数の辺部のうち少なくとも一辺部に、前記一辺部の長さ方向に沿って設けられた溝と、
前記溝の両端を構成する端部構成部と
を有するフレーム体
を具備するマスクフレームユニット。
【請求項１２】
請求項１１に記載のマスクフレームユニットであって、
前記溝の両端の前記突起部の間に設けられた棒状部材を有し、前記棒状部材を用いて前記フレーム体に加えられる張力を調整可能な張力機構をさらに具備する
マスクフレームユニット。
【請求項１３】
マスク本体と、
前記マスク本体を支持する複数の辺部と、
前記複数の辺部のうち少なくとも一辺部に、前記一辺部の長さ方向に沿って設けられた複数の溝を含む領域とを有するフレーム体と
を具備するマスク装置。
【請求項１４】
マスク本体と、
前記マスク本体を支持する複数の辺部と、
前記複数の辺部のうち少なくとも一辺部に、前記一辺部の長さ方向に沿って設けられた複数の溝を含む領域とを有するフレーム体と、
を備えるマスク装置を所定の位置に配置し、
前記マスク装置を介して基板に材料を付着する
処理方法。
【請求項１５】
マスク本体と、
前記マスク本体を支持する複数の辺部と、
前記複数の辺部のうち少なくとも一辺部に、前記一辺部の長さ方向に沿って設けられた溝と、前記溝の両端を構成する端部構成部と、を有するフレーム体と
を具備するマスク装置。
【請求項１６】
マスク本体と、
前記マスク本体を支持する複数の辺部と、
前記複数の辺部のうち少なくとも一辺部に、前記一辺部の長さ方向に沿って設けられた溝と、前記溝の両端を構成する端部構成部と、を有するフレーム体と
を備えるマスク装置を所定の位置に配置し、
前記マスク装置を介して基板に材料を付着する
処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本技術は、蒸着等に用いられるマスクのフレームを主に構成するマスクフレームユニット、これを搭載したマスク装置及びこのマスク装置を用いた処理方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、例えば有機ＥＬ（Electro-Luminescence）デバイスを用いた表示デバイスの製造工程では、蒸着マスクを用いた真空蒸着によって、赤、緑及び青（ＲＧＢ）の各画素に材料膜のパターンが、基板上に形成される。
【０００３】
一般的に、表示デバイスの開口パターンの開口率と、精細度はトレードオフの関係にある。しかし、マスクの開口パターンの位置精度を高めることにより、その限界を押し上げ、高精細かつ高開口率のディスプレイパネルを実現することができる。
【０００４】
例えば、特許文献１に記載のマスクユニットは、フレームと、その表面にテンションを付加された状態でスポット溶接によって取り付けられたメタルマスクと、フレームの裏面に張力を付加された状態でスポット溶接によって取り付けられた金属テープとを備える。このように、張力を付加した金属テープを用いることで、フレームに生じている反りが矯正され、マスクの開口部の位置精度が保たれる（例えば、特許文献１の明細書段落［００１５］、［００２７］等参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００６−３１０１８３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
このように、反りの発生をできるだけ抑えることができるマスクフレームが望まれるが、それを実現するためには、特許文献１に記載のような、金属テープやその張力を調整するための治具等の複雑な構造が必要になる。
【０００７】
したがって、本技術の目的は、複雑な構造を用いずに所望の剛性を保つことができるマスクフレームユニット、マスク装置を提供することにある。また、このマスク装置を用いた処理方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するため、本技術の一形態に係るマスクフレームユニットは、フレーム体を具備し、前記フレーム体は、複数の辺部と、複数の溝を含む領域とを有する。
前記複数の辺部は、マスク本体を支持する。
前記複数の溝は、前記複数の辺部のうち少なくとも一辺部の前記反対面に、前記一辺部の長さ方向に沿って設けられている。
【０００９】
少なくともその一辺部の反対面に複数の溝が設けられることにより、複数の溝の間の領域がリブの機能を果たすので、フレーム体の剛性を高めることができる。これにより、複雑な構造を用いずに高剛性のマスクフレームユニットを実現することができる。
【００１０】
前記取付面及び前記反対面は、前記複数の辺部に設けられた、前記マスク本体が取り付けられてもよい。複数の溝を含む領域が、フレーム体の反対面に設けられることにより、フレーム体の剛性をより高めることができる。
【００１１】
前記複数の溝を含む領域は、前記マスク本体と前記一辺部における前記取付面との接続部より、前記フレーム体の外側に配置されてもよい。このような構成によれば、複数の溝を含む領域がマスク本体の張力による影響を受けにくいので、フレーム体の剛性を高めることができる。
【００１２】
前記複数の溝を含む領域は、前記複数の辺部のうち、少なくとも、対向する第１の辺部及び第２の辺部にそれぞれ設けられてもよい。これにより、フレーム体の軽量化を図ることができる。
【００１３】
前記マスクフレームユニットは、前記複数の辺部のうち、前記第１及び前記第２の辺部とは異なる少なくとも一辺部である第３の辺部に設けられた凹部をさらに具備してもよい。これにより、フレーム体の軽量化を図ることができる。
【００１４】
前記複数の溝を含む領域は、前記複数の辺部のうち、少なくとも、対向する第１の辺部及び第２の辺部にそれぞれ設けられてもよい。その場合、前記フレーム体は、前記複数の辺部に設けられた、前記マスク本体が取り付けられる取付面及びその反対面とを有してもよい。また、前記フレーム体は、第１の凹部と、第２の凹部とを有してもよい。前記第１の凹部は、前記複数の辺部のうち、前記第１及び前記第２の辺部とは異なる一辺部である第３の辺部の前記反対面の第１の領域に設けられてもよい。前記第２の凹部は、前記第３の辺部の前記取付面の、前記第１の領域より前記フレーム体の外側の第２の領域に設けられてもよい。これにより、支持装置は、フレーム体の反対面の、第２の領域が設けられる側の反対の領域を支持してこのマスクフレームユニットを支持することができる。
【００１５】
前記マスクフレームユニットは、前記複数の溝のうち少なくとも一溝内に設けられた棒状部材を有し、前記棒状部材を用いて前記フレーム体に加えられる張力を調整可能な張力機構をさらに具備してもよい。張力機構によりフレーム体に張力を与えることができ、またその張力を調整することができる。
【００１６】
前記張力機構の前記棒状部材は、ターンバックルであってもよい。これにより、容易にフレーム体に張力を与え、その張力を微調整することができる。
【００１７】
あるいは、前記フレームは、前記一溝の前記両端を構成する端部構成部を有し、前記張力機構は、前記端部構成部を介して前記棒状部材の両端に接続されたボルトをさらに有してもよい。
【００１８】
前記複数の溝の深さは、前記フレーム体の厚さの４５〜９５％であってもよい。
【００１９】
本技術の一形態に係るマスクフレームユニットは、フレーム体を具備し、前記フレーム体は、複数の辺部と、溝と、端部構成部とを有する。
前記複数の辺部は、マスク本体を支持する。
前記溝は、前記複数の辺部のうち少なくとも一辺部に、前記一辺部の長さ方向に沿って設けられる。
前記端部構成部は、前記溝の両端を構成する。
【００２０】
このようにフレーム体に溝が設けられることにより、軽量化を実現することができる。
【００２１】
前記マスクフレームユニットは、前記溝の両端の前記端部構成部の間に設けられた棒状部材を有し、前記棒状部材を用いて前記フレーム体に加えられる張力を調整可能な張力機構をさらに具備してもよい。
【００２２】
本技術の一形態に係るマスク装置は、マスク本体と、上述のマスクフレームユニットとを具備する。
【００２３】
本技術の一形態に係る処理方法は、上述のマスク装置を所定の位置に配置し、そのマスク装置を介して基板に材料を付着することを含む。
【発明の効果】
【００２４】
以上、本技術によれば、マスクフレームユニット及びマスク装置の軽量化を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】図１は、本技術の第１の実施形態に係るマスクフレームユニットを含むマスク装置を示す斜視図である。
【図２】図２は、そのマスク装置の裏面側から見た斜視図である。
【図３】図３は、そのマスク装置の裏面側から見た平面図である。
【図４】図４は、図２におけるＡ−Ａ線断面図である。
【図５】図５は、本実施形態に係るマスクフレームユニットとの比較例（参考例）として、複数の溝がマスクの取付面に設けられる形態を示す断面図である。
【図６】図６Ａ及びＢは、図４及び５に示す形態において、マスク本体に張力が加えられた時のフレーム体の辺部の剛性のシミュレーション結果をそれぞれ示す。
【図７】図７Ａは、マスク装置の組立工程のうち、マスク箔へ張力を加える工程を示す。図７Ｂは、その組立工程のうちマスク箔に加えられていた張力を解放する工程を示す。
【図８】図８Ａ及びＢは、張力解放工程において、上記シミュレーションで用いられた比較例（図５及び６Ｂ参照）に係るフレームの変形の解析結果を示す。
【図９】図９Ａ及びＢは、蒸着処理時のマスクフレームユニットの変形を示す。
【図１０】図１０は、本技術の第２の実施形態に係るマスクフレームユニットの裏面（反対面）側を示す斜視図である。
【図１１】図１１は、本技術の第３の実施形態に係るマスクフレームユニットの裏面（反対面）側を示す斜視図である。
【図１２】図１２は、本技術の第４の実施形態に係るマスクフレームユニットの裏面（反対面）側を示す斜視図である。
【図１３】図１３は、本技術の第５の実施形態に係るマスクフレームユニットの裏面（反対面）側を示す斜視図である。
【図１４】図１４は、図１３に示すマスクフレームユニットが蒸着処理時にローラを持つコンベアで搬送される状態を示す。
【図１５】図１５Ａ及びＢは、比較例に係るフレーム及び図１３に示すマスクフレームユニットをそれぞれ用いて、平面上で支持されたマスクの所定の開口位置の変位（張力解放前と解放後）を実際に測定した結果を示す。
【図１６】図１６Ａ及びＢは、比較例に係るフレーム及び図１３に示すマスクフレームユニットをそれぞれ用いて、支持条件を変更する工程でのマスクの所定の開口位置の変位を実際に測定した結果を示す。
【図１７】図１７は、本技術の第６の実施形態に係るマスクフレームユニットの表面（取付面）側を示す斜視図である。
【図１８】図１８は、図１７におけるＢ−Ｂ線断面図である。
【図１９】図１９は、図１７に示したターンバックルの構成を示す。
【図２０】図２０は、別の形態に係るターンバックルの構成を示す。
【図２１】図２１Ａ及びＢは、蒸着処理時にコンベアで支持される工程における、図１７に示したマスクフレームユニットの溝に沿った断面を模式的に示す。
【図２２】カメラやダイヤルゲージを用いてフレーム体の変形を測定する様子を示す。
【図２３】図２３は、本技術の第７の実施形態に係るマスクフレームユニットを示す模式的な断面図である。
【図２４】図２４は、図２３に示すマスクフレームユニットの張力機構の要部を示す。
【図２５】図２５は、本技術の第８の実施形態に係るマスクフレームユニットを示す模式的な断面図である。
【図２６】フレーム体が、平面上（平板）で支持された状態を示す。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、図面を参照しながら、本技術の実施形態を説明する。
【００２７】
１．第１の実施形態
【００２８】
（１）マスクフレームユニット及びマスク装置の構成
図１は、本技術の第１の実施形態に係るマスクフレームユニットを含むマスク装置を示す斜視図である。図２は、そのマスク装置１００の裏面側から見た斜視図である。図３は、そのマスク装置１００の裏面側から見た平面図である。
【００２９】
マスク装置１００は、マスク箔として形成されたマスク本体１０と、このマスク本体１０を支持するフレーム体５５を有するマスクフレームユニット５０とを備える。マスク装置１００は、典型的には、有機ＥＬデバイスを用いた表示デバイスの製造過程において、蒸着マスクとして利用され得る。
【００３０】
マスク本体１０は、蒸着対象となる図示しない基板（例えばガラス基板）の線熱膨張係数と同等の線熱膨張係数を有する材料により構成されることが好ましい。これは、蒸着処理時の温度変化に伴い、マスク本体１０と基板とを同期して膨張収縮させるとともに、膨張及び収縮によるサイズの変化量を同等にするためである。マスク本体１０の材料としては、主に、ニッケル（Ni）、インバー（Fe/Ni合金）、銅（Cu）などの金属材料が用いられる。
【００３１】
マスク本体１０の厚さは、典型的には１０〜５０μm程度である。例えば、マスク本体１０には、２面の表示面が形成され得るように、２つのパターン領域１０ａが形成されている。このパターン領域１０ａ内に、例えば同じマスクパターンがそれぞれ形成されている。
【００３２】
マスクパターンとしては、例えばマトリクス状、千鳥状に配置された図示しない複数の通過孔（貫通孔）であり、１つの通過孔が、表示デバイスの１つの画素領域を形成するための要素である。例えば通過孔は、スリット、スロット、丸形状等を有する。この通過孔を介して、例えば蒸着材料低分子有機ＥＬ材料が図示しない基板に蒸着される。ＲＧＢの３色の場合、その色数に応じて３つのマスク装置１００が用いられる。マスク装置１００は、画素領域を表すパターンだけでなく、電気回路等のパターンを有するものもある。蒸着材料としては、低分子有機ＥＬ材料に限られず、電極材料、誘電体材料、絶縁体材料等がある。
【００３３】
マスクフレームユニット５０は、開口５５ａを有する矩形のフレーム体５５を有する。フレーム体５５は、図中、ｘ軸方向に沿う対向する二辺部である第１の辺部５１及び第２の辺部５２を有し、また、ｘ軸方向に直交するｙ軸方向に沿う対向する二辺部である第３の辺部５３及び第４の辺部５４を有する。各辺部の外縁の長さは、実質的にすてべ同じである。しかし、第１の辺部５１及び第２の辺部５２の各外縁の長さと、第３の辺部５３及び第４の辺部５４の各外縁の長さとが異なっていてもよい。
【００３４】
フレーム体５５も、上記マスク本体１０と同様に、図示しない基板の線熱膨張係数と同等の線熱膨張係数を有する材料により構成されることが好ましい。その材料としては、インバー、ＳＵＳなどの金属材料が用いられる。フレーム体５５は、十分な厚みと高い剛性を有することで、その変形量を極力小さくできることが望ましいが、搬送やハンドリングを考慮して現実的な重量に抑えることも望ましい。
【００３５】
フレーム体５５は、マスク本体１０が取り付けられる取付面５５ｂと、その反対側の面である反対面５５ｃとを有する。後にも説明するが、マスク本体１０は、マスク本体１０にある程度張力がかけられた状態で、スポット溶接（例えば電気抵抗またはレーザによる）によって、フレーム体５５の取付面５５ｂに固定されて支持される。
【００３６】
図４は、図２におけるＡ−Ａ線断面図である。フレーム体５５の反対面５５ｃにおいて、第１の辺部５１及び第２の辺部５２には、それぞれ、複数の溝（掘り込み）５６を含む領域が設けられている。以下、これらの領域を便宜的に「溝群領域」と言う。辺部５１及び５２に設けられた溝群領域５７は、実質的に同じ形状、サイズ等を有するため、以降では、基本的に第１の辺部５１に設けられた溝群領域５７について説明する。
【００３７】
溝群領域５７に設けられた複数の溝、例えば２つの溝５６は、第１の辺部５１の長さ方向（ｘ軸方向）に沿って形成され、また、ｙ軸方向に配列されている。これら２つの溝５６は、実質的に同じ長さを有しており、例えばマスク本体１０のｘ軸方向の長さと同じ程度（それ以下でもそれ以上でもよい）の長さを有している。図４に示すように、溝５６の断面形状は、反対面５５ｃからの溝５６の深さが浅いほど、その溝５６の幅が広くなるように形成されている。典型的には、台形である。しかし、溝５６の断面形状は台形に限られず、正方形、長方形、三角形、五角形以上の角形、または、これらに曲線が含まれていてもよい。
【００３８】
このように、フレーム体５５の反対面５５ｃ側に複数の溝５６が設けられることにより、複数の溝５６の間の領域５８がｘ軸方向に沿って設けられたリブの機能を有する。これにより、フレーム体５５の軽量化を実現しながら、複雑な構造を用いずに高剛性のマスクフレームユニット５０を実現することができる。
【００３９】
本実施形態では、図４に示すように、溝群領域５７は、上述のように反対面５５ｃに設けられ、かつ、マスク本体１０と各辺部５１〜５４との接続部１１よりフレーム体５５の外側に配置されている。このように構成によれば、溝群領域５７がマスク本体１０の張力による影響を受けにくいので、フレーム体５５の変形を抑えることができる。
【００４０】
図５は、本実施形態に係るマスクフレームユニット５０との比較例（参考例）として、複数の溝５６がマスクの取付面５５ｂに設けられる形態を示す断面図である。図６Ａ及びＢは、図４及び５に示す形態において、マスク本体に張力が加えられた時のフレーム体の辺部の剛性のシミュレーション結果をそれぞれ示す。図６Ａ及びＢでは、辺部の断面をフレーム体５５の外側から斜め方向で見た例を示し、フレーム体５５（図６Ｂではフレーム体１５）が平板６０上に置かれた状態を示す（図２６参照）。なお、本出願人は、このシミュレーションの図をカラーで開示可能であるが、ここではそれを線画により開示する。
【００４１】
このシミュレーションに用いられたマスク本体のスペックは、以下の通りである。
【００４２】
マスク本体の材料：Ni-Co合金
マスク本体のサイズ：縦９００mm、横９００mm、厚さ１２μm
伸ばし率：ｘ方向０．０８％、ｙ方向０．０８％
【００４３】
図６Ｂに示すように、フレーム体１５の取付面１５ｂに溝が設けられる形態では、マスク本体の張力によって、それらの溝１６の幅（水平方向の幅）が広がり、反りが発生するおそれがある。これに対して、図６Ａに示すように、反対面５５ｃに溝５６が設けられる形態では、反りがほとんど発生していないことが確かめられた。
【００４４】
（２）溝の深さ及び幅について
次に、これらの溝５６の深さについて説明する。図４に示したように、フレーム体５５の反対面５５ｃに溝５６が設けられる形態では、フレーム体５５の厚さが最も薄い部分である溝５６の底部にマスク本体１０の張力が加えられ、その底部の伸び率が他の部分の伸び率より大きくなる傾向がある。したがって、反りの発生を抑制するためには、特にその底部の厚さを考慮して剛性を考える必要がある。
【００４５】
上記シミュレーションから、フレーム体５５がインバー材である場合、フレーム体５５の溝群領域５７の最も厚さが薄い部分である溝５６の底部の厚さを１mmとすることにより、フレーム体５５の剛性を十分に保つことができることがわかった。この場合、マスク本体１０の張力による溝５６の底部の伸び量は１μm以下であった。
【００４６】
このような結果から、フレーム体５５の厚さが例えば２０mmである場合、溝５６の深さをそのフレーム体５５の厚さ（取付面５５ｂから反対面５５ｃまでの長さ）の９５％と設定することで、できるだけ深い溝５６を形成して軽量化を図りながらも、高剛性のフレーム体５５を実現することができる。別のシミュレーション結果として、溝を持たない第２の比較例に係るフレームの重量を４５kgとすると、９５％の深さを有する溝５６が設けられたフレーム体５５の重量は３０kgとなり、３０％以上の軽量化を実現できる。
【００４７】
一方、溝５６の深さをできるだけ浅くすることによって、フレーム体５５の剛性をさらに高めることができるが、フレーム体５５の重量は増える。例えば、フレーム体５５の重量を、上記第２の比較例に係るフレームの重量の８０％以下に低減、この場合、４５kgから３６kgに低減しようとすることを考える。この場合、９５％の深さを有する溝５６が設けられたフレーム体５５の重量３０kgを、３６kgまで許容すると、溝５６の深さはフレーム体５５の厚さの４５％まで減らすことができる。
【００４８】
以上により、溝５６の深さは、フレーム体５５の厚さの４５〜９５％とすることが望ましい。しかし、この範囲に限られず、１０〜９５％、２０〜９５％、３０〜９５％、４０〜９５％、２０〜８０％、あるいは３０〜７０％等の範囲であってもよい。
【００４９】
本実施形態に係るフレーム体５５の溝５６の幅（ｙ軸方向の幅）は、例えば１〜１００mmであり、より好ましくは、１０〜２０mmである。
【００５０】
（３）マスク装置の製造工程における本技術の優位性
（Ａ）マスク箔（本実施形態のマスク本体に相当）の製造時での開口位置の精度について
ここで、マスク装置１００は次のように製造される。まず、電気鋳造法あるいはフォトエッチング法等によって、箔に多数の微細な開口パターンが設けられたマスク箔が作製される。次に、このマスク箔に張力が付加された状態で、マスク箔はフレーム体に溶接などにより固定される。このため、マスク箔がフレーム体に固定された後、マスク箔への張力を開放すると、マスク箔の張力がフレームを変形させる。これにより、マスク箔の開口位置も変位するため設計目標値に合わせた位置からずれる。
【００５１】
このフレーム自体の変位量には個体差がありその変位がばらつくこと、マスク箔の開口パターンの形成密度の疎密が存在すること、あるいは、電気鋳造や圧延の際に生じる膜厚が不均一に分布することによって、応力分布が異なる。これらのことにより、マスク箔の開口位置はばらつき、精度を劣化させる点が問題となっている。このような開口位置のばらつきを低減するためには、フレームの剛性を高くして、変位量を低減することが求められる。
【００５２】
以上より、フレームを高剛性化し、開口位置の変位を低減するために、フレームを厚肉化することが考えられる。しかし、マスク箔の大型化が進むにつれて重量が大きくなることにより、ハンドリングが困難になり、あるいは、蒸着装置内でのマスク装置の重量制限を超えてしまう。
【００５３】
フレームの軽量化の方法として、アルミニウム等の密度の小さい材料を使用することが考えられる。しかし、アルミニウムは線膨張係数が大きく、温度変化の影響を大きく受けるために、マスク箔に張力を付与してこれをフレームに固定しても、その後の温度変化でマスク箔及びフレームに歪みやたるみが生じ、開口位置の精度が劣化する問題がある。また、アルミニウムのヤング率は比較的低く、つまり、剛性が低い。
【００５４】
例えば特開２００６−３２２０１５号公報には、軽量化のために、多数の穴が形成された薄板が複数枚積層して接合されて一体化されたフレームが開示されている。しかしながら、このフレームの製造方法では、薄板にエッチングで複数の穴を形成するエッチング工程と、穴が形成された複数の薄板を積層し、熱拡散結合させて一体化する加圧工程とが必要になる。
【００５５】
本実施形態に係るマスクフレームユニット５０は、複数の溝５６を備えるので、上記したように軽量化及び高剛性の両方を実現することができる。
【００５６】
本実施形態では、切削加工または成形によってフレーム体５５を製造することができる。したがって、本実施形態は、上記特開２００６−３２２０１５号公報に開示された製造工程を必要としない。これにより、マスク装置１００の生産性を高め、また、このマスク装置１００及びこれを用いて製造される、例えば表示デバイスなどの製品の生産コストの低下を図ることができる。
【００５７】
（Ｂ）マスク装置の組立工程でのフレームの変位について
次に、マスク装置１００の製造工程のうち、特に、マスク装置１００の組立工程における本技術の優位性について、以下に述べる。マスク装置１００の組立工程とは、マスク箔の製造工程以外の工程であって、マスク本体１０とマスクフレームユニット５０との取付工程を含む工程である。
【００５８】
組立工程は、主に、以下の工程を順に含む。
ａ）マスク箔へ張力を加える工程、
ｂ）マスク箔をマスクフレームユニットに取り付ける（接合する）工程、及び
ｃ）マスク箔に加えられていた張力を解放する工程
【００５９】
上記工程ａ）では、マスク箔の撓みやうねりを抑制して、マスク箔の開口位置を２次元内で所期の位置に位置合わせするために、図７Ａに示すように、マスク箔１０’の外縁部がクランパ１２でクランプされ、マスク箔１０’に外側に向けて張力が加えられる。
【００６０】
このようにマスク箔１０’に張力が加えられた状態で、工程ｂ）において、マスク箔１０’がマスクフレームユニット５０’にスポット溶接などによって接合され、固定される。そして、図７Ｂに示すように、工程ｃ）において、マスク箔１０’に加えられていた張力が解放される。
【００６１】
図８Ａ及びＢは、工程ｃ）において、上記シミュレーションで用いられた、取付面１５ｂに複数の溝１６を有する比較例（図５及び６Ｂ参照）に係るフレームの変形の解析結果を示す図である。なお、本出願人は、このシミュレーションの図をカラーで開示可能であるが、ここではそれを線画及びグレースケールにより開示する。
【００６２】
フレームの各辺部の中央部で、ｘ及びｙ軸方向の内側への変位が大きくなる。ニッケルで構成された、７００mm×７００mm×厚さ１０μmの外形サイズを有するマスク箔を用いて、０．０５％程度の伸ばし率でこのマスク箔に張力を加えるためには、マスク箔の一辺あたり２００〜３００Ｎ程度の力を要する。工程ｃ）では、その力がそのままフレームに加わることになる。９００mm×９００mm×２０mm程度の外形サイズを有し、溝を持たず、インバー材で構成されたフレームを用いた場合、上記の２００〜３００Ｎ程度の張力という条件下では、最大１０μm程度、水平方向（ｘ、ｙ軸方向）に変位する。
【００６３】
最終的なマスク装置の開口位置の精度は、マスク箔の製造工程（電鋳やエッチング等）と、上記組立工程とにおける各ばらつきの積み上げによって決定される。したがって、高精度なマスク装置を実現するためには、上記製造工程及び組立工程を可能な限り高精度に行う必要がある。上記組立工程のうち、工程ｃ）で特に精度が劣化しやすい。
【００６４】
また、上記工程ｃ）は、具体的には、「平面」上でマスク装置を支持した状態で、マスク箔に加えられていた張力を解放する工程ｃ’）を含む。実際には、このように平面上でマスクフレームユニットが支持された状態で、上記工程ａ）及びｂ）も行われる。「平面」上でマスク装置を支持した状態とは、具体的には、図２６に示すように、平板６０上にマスクフレームユニット５０が置かれて支持された状態である。
【００６５】
そして、工程ｃ’）の後、次に説明する蒸着処理時には、以下の工程ｄ）が含まれる。
ｄ）工程ｃ）におけるマスク装置の支持条件を別の支持条件に変更する工程
【００６６】
（Ｃ）蒸着処理時のフレームの変位について
上記工程ｄ）が含まれる蒸着処理では、図９Ａ及びＢに示すように生産性向上のためコンベア等でマスク装置１００’が搬送されながら蒸着されることが多く、フレーム５０’の重力方向への撓みが発生する。図９では、マスク箔の図示を省略している。図９Ａ及びＢに示す例では、ｙ軸方向に沿って配列された複数のローラ１７、例えば両側で８つのローラ１７によって、フレーム５０’のｙ軸方向に沿った対向する二辺部５３’及び５４’の裏面が支持されて搬送される。図示しない蒸着源がそのマスク装置１００’の下方に配置され、図示しない基板は、フレーム５０’のマスク箔が取り付けられる側に配置される。例えばマスク装置１００’が所定の位置に配置されると、蒸着源から材料が蒸発し、そいの材料は、マスク装置１００’を介して基板に付着する。
【００６７】
このように、フレーム５０’のｙ軸方向に沿った二辺部５３’及び５４’が支持され、ｘ軸に沿った二辺部５１’及び５２’は支持されないので、フレーム５０’は重力によりその中央部分が最も下となるように撓む。
【００６８】
例えば、インバー材で構成された、９００mm×９００mm×２０mm程度の外形サイズを有し、上記比較例に係るフレーム体１５を使用する場合、コンベア上での重力方向の撓み量は１００〜３００μmとなる。このような撓みが発生したマスク箔を用いて蒸着処理を行った場合、被処理基材である基板とマスク箔との密着性が悪くなり、蒸着時の開口位置の精度も低下する。
【００６９】
（Ｄ）まとめ
上記特許文献１に記載のマスクユニットでは、金属テープを用いることにより、フレームの反りなどの変形を抑制できる。しかしながら、上述したように、マスクユニットの組立工程、また、その組立後に支持条件が変更される工程における変形の抑制については、何ら開示されていない。
【００７０】
これに対して、本実施形態に係るマスクフレームユニット５０では、フレーム体５５の反対面５５ｃ側に複数の溝５６が設けられているので、上述のように溝５６の間の領域５８がリブの機能を発揮し、軽量化及び高剛性を実現することができる。したがって、マスク装置１００の組立工程を含む製造工程及びその後の蒸着処理時における支持条件の変更工程においても、フレーム体５５の軽量化を実現しながらも、所望の剛性を確保し、フレーム体５５の変形を抑制することができる。
【００７１】
また、フレーム体５５の変形を抑制できることから、マスク装置１００の開口位置の精度高めることができ、このマスク装置１００を用いた蒸着処理の精度も高まり、製品の歩留まりが向上する。
【００７２】
２．第２の実施形態
【００７３】
図１０は、本技術の第２の実施形態に係るマスクフレームユニットの裏面（反対面）側を示す斜視図である。これ以降の説明では、図１等に示した実施形態に係るマスク装置１００が含む部材や機能等について同様のものは説明を簡略化または省略し、異なる点を中心に説明する。
【００７４】
このマスクフレームユニット１５０のフレーム体１５５の反対面１５５ｃにおいて、第１の辺部１５１及び第２の辺部１５２だけでなく、ｙ軸方向に沿った第３の辺部１５３及び第４の辺部１５４にも複数の溝５６を含む溝群領域５７がそれぞれ設けられている。これにより、第３の辺部１５３及び第４の辺部１５４も、リブの効果により剛性を高めることができ、また軽量化を実現できる。
【００７５】
３．第３の実施形態
【００７６】
図１１は、本技術の第３の実施形態に係るマスクフレームユニットの裏面（反対面）側を示す斜視図である。このマスクフレームユニット２００のフレーム体２０５の反対面２０５ｃにおいて、第３の辺部２０３及び第４の辺部２０４には、溝群領域５７の溝５６の幅より広い幅を持つ凹部（または溝）３１が設けられている。このようなマスクフレームユニット２００によっても、軽量化及び高剛性を達成することができる。
【００７７】
４．第４の実施形態
【００７８】
図１２は、本技術の第４の実施形態に係るマスクフレームユニットの裏面（反対面）側を示す斜視図である。このマスクフレームユニット２５０のフレーム体２５５の反対面２５５ｃにおいて、第３の辺部２５３及び第４の辺部２５４には、複数の円形の凹部３２が設けられている。このようなマスクフレームユニット２５０によっても、軽量化及び高剛性を達成することができる。凹部３２の形状は、円形の他、長い溝、楕円、三角形、または四角以上の角形等、何でもよい。
【００７９】
５．第５の実施形態
【００８０】
図１３は、本技術の第５の実施形態に係るマスクフレームユニットの裏面（反対面）側を示す斜視図である。このマスクフレームユニット３００のフレーム体３０５の反対面３０５ｃにおいて、第３の辺部３０３及び第４の辺部３０４の、フレーム体３０５の内側の領域である第１の領域３１１には、凹部（第１の凹部）としての溝３３がそれぞれ設けられている。また、マスク本体の取付面３０５ｂの、その第１の領域３１１より外側の領域である第２の領域３１２には、凹部（第２の凹部）３４が設けられている。凹部３４の幅は、溝３３の幅より広くなっている。
【００８１】
このような構成によれば、反対面３０５ｃに設けられた溝３３より外側を、図１４（図９）に示したように、蒸着処理時にコンベアのローラ１７が支持して、このマスク装置を搬送することができる。このように、図９に示したコンベアが用いられる場合は、反対面３０５ｃ側の第２の領域３１２は、そこに溝を形成できない領域として制限される。しかし、図９に示したコンベアが用いられず、別の支持機構が用いられる場合は、図１０〜１２に示した実施形態に係るマスクフレームユニットを使用することができる。
【００８２】
本発明者らは、この第５の実施形態に係るマスクフレームユニット３００と、上記のように第１の辺部及び第２の辺部の取付面１５ｂに複数の溝１６が設けられた比較例に係るフレーム（図５及び図６Ｂ参照）とをシミュレーションにより比較した。その結果、比較例では最大１０μm程度あった変位を、このマスクフレームユニット３００によればフレーム体３０５の変位を、その６０％程度に低減（４０％程度低減）することができた。
【００８３】
図１５Ａは、上記比較例に係るフレームを用いた場合に、上記した工程ｃ’）におけるマスクの所定の開口位置の変位（張力解放前と解放後）を実際に測定した結果を示す。図１５Ｂは、第５の実施形態に係るマスクフレームユニット３００を用いた場合に、同様に、工程ｃ’）におけるマスクの所定の開口位置の変位を実際に測定した結果を示す。図１５Ａは、５回の測定を行ってその平均の変位を示し、図１５Ｂは、２回の測定を行ってその平均の変位を示す。
【００８４】
この図１５Ａ及びＢで、背景に描かれたマトリクスの１マスは１μmを表す。この実験結果から明らかなように、第５の実施形態に係るマスクフレームユニット５０では、ｘ及びｙ軸の両方で、フレーム体５５の変形が低減された。特に、ｙ軸方向の変位量が、比較例に対して約５０％低減された。この変位量は許容範囲内である。
【００８５】
図１６Ａは、上記比較例に係るフレームを用いた場合に、上記した工程ｄ）におけるマスクの所定の開口位置の変位を実際に測定した結果を示す。図１６Ｂは、第５の実施形態に係るマスクフレームユニット３００を用いた場合に、同様に、工程ｄ）におけるマスクの所定の開口位置の変位を実際に測定した結果を示す。これらの図は、工程ｃ’）における平面上での支持の状態を基準として、その基準からの変位量を示す。また、工程ｄ）では、第１の辺部３０１及び第２の辺部３０２での８点の支持とされている。
【００８６】
この１６Ａ及びＢから明らかなように、第５の実施形態に係るマスクフレームユニット３００では、ｘ軸方向の変位量が、第１の辺部３０１及び第２の辺部３０２のうち一辺部で、比較例に対して約８５％低減された。また第１の辺部３０１及び第２の辺部３０２のうち他辺部で、ｘ軸方向の変位量が比較例に対して約５０％低減された。この変位量は許容範囲内である。
【００８７】
６．第６の実施形態
【００８８】
（１）マスクフレームユニットの構成
以上説明した各実施形態に係るマスクフレームユニットでは、上記組立工程及びその後の蒸着処理における支持条件の変更工程において、フレーム体の変形が許容範囲内に収めることができた。しかし、図１７に示した第６の実施形態に係るマスクフレームユニット３５０は、特に支持条件の変更工程において、フレーム体３５５の変形をさらに抑えることができる。図１８は、図１７におけるＢ−Ｂ線断面図である。
【００８９】
マスクフレームユニット３５０の、第１の辺部３５１及び第２の辺部３５２の、マスク本体の取付面５５ｂには、ｘ軸方向に沿った溝３５６がそれぞれ設けられている。そして、それらの溝３５６内に、張力を調整する機構（張力機構）として機能するターンバックル４０が配置されている。この場合、ターンバックル４０は、当該張力機構の棒状部材として機能する。
【００９０】
図１８に示すように、その取付面３５５ｂの逆の反対面３５５ｃにおいて、上記溝３５６より外側の領域に、ｘ軸に沿った溝３５９が設けられている。この溝３５９は、第１の辺部３５１及び第２の辺部３５２の両方に設けられているが、いずれか一方に設けられていてもよい。また、この溝３５９の存在は必須ではないが、これがあることにより、フレーム体３５５の軽量化を実現することができる。
【００９１】
図１９は、ターンバックル４０の構成を示す。ターンバックル４０は、中央に設けられた操作部４２と、この操作部４２の両端に接続されたネジ部４６とを備える。ネジ部４６は互いに逆ネジとされている。操作部４２が回転することにより、ネジ部４６がその長さ方向に互いに逆方向に移動する。図１７に示すように、溝３５６の両端を構成する端部構成部３５７に、ターンバックル４０の両端が突き当てられて固定されている。このような構成により、操作部４２が回転することにより、ターンバックル４０の全体の長さが変わり、その結果、フレーム体３５５のｘ軸方向での張力を調整することができる。
【００９２】
また、上記組立工程や支持条件の変更工程において、マスク箔にどんな張力が加わったとしても、ターンバックル４０の操作部４２の回転量を微調整することにより、最適な力をフレーム体３５５に加え、ｘ軸方向の変位を限りなくゼロに近づけることができる。
【００９３】
ターンバックル４０の長さ及びネジ径等は、フレーム体３５５を上述したコンベアや平板が支持する支持位置を考慮して設定することが望ましい。構造解析等を用いて、フレーム体３５５を移動させるのに必要な力及びターンバックル４０に加えられる力を、ターンバックル４０が座屈しないかどうかを計算して、設定することが望ましい。
【００９４】
（２）マスクフレームユニットの動作
図２１Ａ及びＢは、例えば、蒸着処理時にコンベアで支持される工程ｄ）におけるマスクフレームユニット３５０の溝３５６に沿った断面を模式的に示す。ここでは、マスク本体の図示を省略している。図２１Ａに示すように、第３の辺部３５３及び第４の辺部３５４を支持された状態では、フレーム体３５５に自重による撓みが発生する。しかし、例えば作業者がターンバックル４０の操作部４２を回転させて、ｘ軸方向でフレーム体３５５に張力を調整することにより、図２１Ｂに示すように実質的に撓みがキャンセルされたフレーム体３５５の状態を作ることができる。なお、作業者は、ラチェット、シノ等の工具を用いて、ターンバックル４０の操作部４２を回転させることができる。
【００９５】
（３）シミュレーション
（ａ）組立工程のうち工程ｃ’）で発生するフレームの変形について
本発明者らは、上記組立工程のうち工程ｃ’）で発生するフレームの変形について、以下のようなシミュレーションを行った。本実施形態に係るマスクフレームユニット３５０のフレーム体５５の材料をインバーとし、外形サイズを９００mm×９００mm×２０mmとした。ネジ径M8を有するネジ部４６を有し、ＳＵＳ材でなり、長さ７００mmを有するターンバックル４０を用いて、フレーム体３５５の内側からｘ軸方向の片方向あたり１２００Nの力を加えた。その結果、前述したフレーム体３５５とマスク本体１０との接続部（溶接部）１１におけるその張力方向への変位を、１μm以下にまで低減することができた。
【００９６】
（ｂ）蒸着処理時の支持条件の変更工程ｄ）で発生するフレームの変形について
また、本発明者らは、支持条件の変更工程ｄ）で発生するフレームの変形についても、以下のシミュレーションを行った。上記（ａ）のシミュレーションで用いられたものと同じフレーム体３５５及びターンバックル４０を用い、フレーム体３５５の内側からｘ軸方向の片方向あたり１２００Nの力を加えた。この場合、この第６の実施形態に係るマスクフレームユニット３５０と同じ構造で、かつ、ターンバックル４０がないフレームの場合、ｚ軸方向の撓みが２００μmであったが、それを７０μm以下まで低減することができた。これにより、基板とマスク本体１０との密着性を確保することができ、蒸着時のパターン位置精度を高めることができる。
【００９７】
（４）マスクフレームユニットによる効果
例えば、通常、マスク箔は開口の形成密度の疎密や電気鋳造や圧延の際に生じる膜厚の不均一な分布によって応力分布が異なることにより、上記のマスク箔に加えられる張力はばらつきが大きい。た、フレームとこれを支持する支持部との間の摩擦力は、その支持部の支持面の状態により大きくばらつく。そのため、ターンバックル４０により、加圧力を調整できる点は非常に有効である。ターンバックル４０のネジ部４６のネジパターンが細かいほど、加圧力の微細な調整が可能となる。
【００９８】
しかも、ターンバックル４０は、フレーム体３５５の取付面３５５ｂ側に設けられているため、作業者は取付面３５５ｂ側からターンバックル４０を操作して、張力を調整することができる。つまり、蒸着処理が行われる姿勢と同じ状態にあるマスクフレームユニット３５０に取付面３５５ｂ側からアクセスして容易に作業を行うことができる。これに対して、特許文献１に記載のマスクユニットの場合、作業者は、すべてフレームの裏面側からアクセスする必要があり、作業が困難になる。
【００９９】
また、特許文献１に記載のマスクユニットでは、金属テープが溶接により固定された後は、その金属テープによる張力の再調整は不可能である。これに対し、本実施形態ではターンバックル４０の操作により何度でも張力を再調整することができる。
【０１００】
また、ターンバックル４０を備えたマスクフレームユニット３５０は、例えば上記特許文献１に記載された金属テープを備えたフレームに比べ、シンプルな構成で小型化を実現でき、取り扱いが容易となる。
【０１０１】
このターンバックル４０を備えたマスクフレームユニット３５０を用いることにより、上記組立工程の工程ｃ）後、蒸着処理後、あるいは、その後の洗浄処理後に、フレーム体３５５の変位を調整することができる。例えば図２２に示すように、制御部（コンピュータ）７０は、カメラ７１等により開口位置を測定し、その測定結果に基づき、ｘｙｚの３軸方向での、測定値と目標値とのずれ量を算出する。そして制御部７０は、そのずれ量を補正するように、ターンバックル４０の操作量を決定し、図示しない駆動部にその操作量を含む制御信号を送る。図示しない駆動部は、その制御信号に基づき、ターンバックル４０の操作部４２を操作する。ずれ量の補正には、ダイヤルゲージ７２の測定値が利用されてもよい。
【０１０２】
上記した、ずれ量の算出、ターンバックル４０の操作量の算出及びターンバックル４０の操作部４２の操作のうち、少なくとも１つの処理は、コンピュータではなく人間が行うようにしてもよい。
【０１０３】
図１９に示すターンバックル４０に代えて、図２０に示すような、パイプ型の操作部４２を有するターンバックル４１が用いられてもよい。この場合、作業者は、このパイプ型の操作部４３の中央部にスパナを係合させて回転させることができる。操作部４３がパイプ型であり、上記ターンバックル４０の操作部４２より小さいサイズを有するため、溝３５６内にこのターンバックル４１を配置させやすくなる。
【０１０４】
７．第７の実施形態
【０１０５】
図２３は、本技術の第７の実施形態に係るマスクフレームユニットを示す模式的な断面図である。このマスクフレームユニット４００は、マスク本体１０の取付面４０５ｂと、その反対面４０５ｃと、フレーム体４０５の反対面４０５ｃにおいて、ｘ軸方向に沿う少なくとも一辺部に設けられた溝４１６と、張力機構７５とを備える。
【０１０６】
張力機構７５は、その溝４１６内に配置された棒状部材７６と、溝４１６の両端を構成する端部構成部（突起部）４０５ｄを介してこの棒状部材７６の両端に接続されたボルト７７とを有する。図２４に示すように、端部構成部４０５ｄには貫通穴４０５ｅが開けられ、これらの貫通穴４０５ｅにボルト７７が挿通されている。棒状部材７６の両端にはネジ穴７６ａが設けられ、ボルト７７はネジ穴７６ａに螺着されている。
【０１０７】
このような構成によれば、ボルト７７を締めることにより棒状部材７６及びフレーム体４０５の変形（図では重力方向の撓み）を矯正することができる。
【０１０８】
８．第８の実施形態
【０１０９】
図２５は、本技術の第８の実施形態に係るマスクフレームユニットを示す模式的な断面図である。このマスクフレームユニット４５０は、マスク本体の取付面４５５ｂと、その反対面４５５ｃと、フレーム体４５５の取付面５５ｂにおいて、ｘ軸方向に沿う少なくとも一辺部に設けられた溝４５６と、張力機構８５とを備える。
【０１１０】
張力機構８５は、その溝４５６内に配置されたｘ軸方向に沿って形成された棒状部材として機能するリブ８６と、溝４５６の両端を構成する端部構成部４５５ｄを介して、このリブ８６の両端を押圧可能なボルトとを有する。端部構成部４５５ｄにはネジ穴が設けられ、このネジ穴にボルト８７が螺着されている。ボルト８７の先端はリブ８６の両端に当接可能となっている。このような構成によれば、ボルト８７を締めることにより、リブ８６の両端を押圧し、フレーム体４５５の変形（図では重力方向の撓み）を矯正することができる。
【０１１１】
なお、リブ８６に代えて、図２３に示したように、棒状部材が、溝４５６内に配置され、この棒状部材の両端に端部構成部４５５ｄを介してボルト８７が螺着されてもよい。
【０１１２】
９．その他の実施形態
【０１１３】
本技術は、以上説明した実施形態に限定されず、他の種々の実施形態を実現することができる。
【０１１４】
上記各実施形態に係るマスク装置は、蒸着用のマスク箔以外にも、スクリーン印刷等に用いられる印刷用のマスク箔にも適用され得る。
【０１１５】
図５に示した比較例に係るマスクフレームユニットも、本技術の範囲の装置である。このように、フレーム体１５の取付面１５ｂに溝１６が設けられている場合は、溝の深さや幅を適宜調整することにより、例えば、図４に示したフレーム体５５の溝５６より浅くすることにより、フレーム体１５の所望の剛性を得ることができる。
【０１１６】
上記各実施形態に係るフレーム体に設けられた複数の溝５６等の両端は、端部構成部が設けられることにより、溝が閉じていた。しかし、その溝の両端を構成する端部構成部はなく、フレーム体の一辺部において一側のエッジから他側のエッジまで貫通した溝が設けられていてもよい。
【０１１７】
上記各実施形態に係るマスクフレームユニットにおいて、溝群領域５７に設けられた複数の溝５６の数は２であったが、３以上であってもよい。
【０１１８】
上記各実施形態において、フレーム体の少なくとも一辺部に沿った溝は、その一辺部に沿って配列された複数の部分に分割されていてもよい。この場合、例えばその一辺部に沿った１本の長い溝を仕切るような仕切り部または突起部がフレーム体に形成されていればよい。
【０１１９】
溝群領域５７に形成される複数の溝５６の形状及びサイズのうち少なくとも１つが、他の溝５６の形状及びサイズと異なっていてもよい。
【０１２０】
図１７に示したマスクフレームユニット３５０では、第１の辺部３５１及び第２の辺部３５２にそれぞれターンバックル４０が設けられたが、これらの辺部のうちいずれか１つのみにターンバックル４０が設けられてもよい。
【０１２１】
図２２に示したマスクフレームユニット３５０において、ターンバックル４０を備えていなくてもよい。つまり、少なくとも一辺部の、取付面３５５ｂ及び反対面３５５ｃのうち少なくも一方に、その一辺部の長さ方向に沿って単一の溝３５６（端部構成部３５７を有する）が設けられて構成されたマスクフレームユニットも、本技術の範囲内の装置である。
【０１２２】
上記各実施形態に係るマスクフレームユニットの形状は、４つの辺部を持つ四角形であったが、六角形、八角形等であってもよい。
【０１２３】
以上説明した各形態の特徴部分のうち、少なくとも２つの特徴部分を組み合わせることも可能である。
【０１２４】
本技術は以下のような構成もとることができる。
（１）  マスク本体を支持する複数の辺部と、
前記複数の辺部のうち少なくとも一辺部に、前記一辺部の長さ方向に沿って設けられた複数の溝を含む領域と
を有するフレーム体
を具備するマスクフレームユニット。
（２）  （１）に記載のマスクフレームユニットであって、
前記フレーム体は、前記複数の辺部に設けられた、前記マスク本体が取り付けられる取付面及びその反対面を有し、
前記複数の溝を含む領域は、前記反対面に設けられている
マスクフレームユニット。
（３）  （２）に記載のマスクフレームユニットであって、
前記複数の溝を含む領域は、前記マスク本体と前記一辺部における前記取付面との接続部より、前記フレーム体の外側に配置されている
マスクフレームユニット。
（４）  （１）から（３）のうちいずれか１つに記載のマスクフレームユニットであって、
前記複数の溝を含む領域は、前記複数の辺部のうち、少なくとも、対向する第１の辺部及び第２の辺部にそれぞれ設けられている
マスクフレームユニット。
（５）  （４）に記載のマスクフレームユニットであって、
前記複数の辺部のうち、前記第１及び前記第２の辺部とは異なる一辺部である第３の辺部に、前記第３の辺部の長さ方向に沿って設けられた凹部をさらに具備する
マスクフレームユニット。
（６）  （１）に記載のマスクフレームユニットであって、
前記複数の溝を含む領域は、前記複数の辺部のうち、少なくとも、対向する第１の辺部及び第２の辺部にそれぞれ設けられ、
前記フレーム体は、前記複数の辺部に設けられた、前記マスク本体が取り付けられる取付面及びその反対面と、
前記複数の辺部のうち、前記第１及び前記第２の辺部とは異なる一辺部である第３の辺部の前記反対面の第１の領域に設けられた第１の凹部と、
前記第３の辺部の前記取付面の、前記第１の領域より前記フレーム体の外側の第２の領域に設けられた第２の凹部とを有する
マスクフレームユニット。
（７）  （１）から（６）のうちいずれか１つに記載のマスクフレームユニットであって、
前記複数の溝のうち少なくとも一溝内に設けられた棒状部材を有し、前記棒状部材を用いて前記フレーム体に加えられる張力を調整可能な張力機構をさらに具備する
マスクフレームユニット。
（８）  （７）に記載のマスクフレームユニットであって、
前記張力機構の前記棒状部材は、ターンバックルである
マスクフレームユニット。
（９）  （７）に記載のマスクフレームユニットであって、
前記フレームは、前記一溝の前記両端を構成する端部構成部を有し、
前記張力機構は、前記端部構成部を介して前記棒状部材の両端に接続されたボルトをさらに有する
マスクフレームユニット。
（１０）  （１）から（９）のうちいずれか１つに記載のマスクフレームユニットであって、
前記複数の溝の深さは、前記フレーム体の厚さの４５〜９５％である
マスクフレームユニット。
（１１）  マスク本体を支持する複数の辺部と、
前記複数の辺部のうち少なくとも一辺部に、前記一辺部の長さ方向に沿って設けられた溝と、
前記溝の両端を構成する端部構成部と
を有するフレーム体
を具備するマスクフレームユニット。
（１２）  （１１）に記載のマスクフレームユニットであって、
前記溝の両端の前記突起部の間に設けられた棒状部材を有し、前記棒状部材を用いて前記フレーム体に加えられる張力を調整可能な張力機構をさらに具備する
マスクフレームユニット。
（１３）  マスク本体と、
前記マスク本体を支持する複数の辺部と、
前記複数の辺部のうち少なくとも一辺部に、前記一辺部の長さ方向に沿って設けられた複数の溝を含む領域とを有するフレーム体と
を具備するマスク装置。
（１４）  マスク本体と、
前記マスク本体を支持する複数の辺部と、
前記複数の辺部のうち少なくとも一辺部に、前記一辺部の長さ方向に沿って設けられた複数の溝を含む領域とを有するフレーム体と、
を備えるマスク装置を所定の位置に配置し、
前記マスク装置を介して基板に材料を付着する
処理方法。
（１５）  マスク本体と、
前記マスク本体を支持する複数の辺部と、
前記複数の辺部のうち少なくとも一辺部に、前記一辺部の長さ方向に沿って設けられた溝と、前記溝の両端を構成する端部構成部と、を有するフレーム体と
を具備するマスク装置。
（１６）  マスク本体と、
前記マスク本体を支持する複数の辺部と、
前記複数の辺部のうち少なくとも一辺部に、前記一辺部の長さ方向に沿って設けられた溝と、前記溝の両端を構成する端部構成部と、を有するフレーム体と
を備えるマスク装置を所定の位置に配置し、
前記マスク装置を介して基板に材料を付着する
処理方法。
【符号の説明】
【０１２５】
１０…マスク本体
１１…接続部
３２、３４…凹部
３３、５６、３５６、４５６、３５９、４１６、４５６…溝
４０、４１…ターンバックル
５１、１５１、３０１、３５１…第１の辺部
５２、１５２、３０２、３５２…第２の辺部
５３、１５３、２０３、２５３、３０３、３５３…第３の辺部
５４、１５４、２０４、２５４、３０４、３５４…第４の辺部
１５、５５、１５５、２０５、２５５、３０５、３５５、４０５、４５５…フレーム体
５５ｂ、１５５ｂ、３０５ｂ、３５５ｂ、４０５ｂ、４５５ｂ…取付面
５５ｃ、１５５ｃ、２０５ｃ、２５５ｃ、３０５ｃ、３５５ｃ、４０５ｃ、４５５ｃ…反対面
５７…溝群領域
５８…複数の溝の間の領域
７５、８５…張力機構
７６、８６…棒状部材
７７、８７…ボルト
１００…マスク装置
１５０、２００、２５０、３００、３５０、４００、４５０…マスクフレームユニット
３１１…第１の領域
３１２…第２の領域
３５７、４０５ｄ、４５５ｄ…端部構成部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図８】
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【図１５】
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【図１６】
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