(57)【要約】【課題】成形空間への樹脂注入を適正に自動制御することができる光導波路の製法を提供する。【解決手段】成形型１０の樹脂流路１２での樹脂３Ａの樹脂溜まりを感知する第１樹脂センサ１５を設け、その第１樹脂センサ１５からの信号を受けて自動的に開閉する第１開閉弁１６を樹脂流路１２に設ける。また、成形型１０の排気流路１３に樹脂溜まり室１４を形成し、その樹脂溜まり室１４での樹脂３Ａの樹脂溜まりを感知する第２樹脂センサ１７を設け、その第２樹脂センサ１７からの信号を受けて自動的に開閉する第２開閉弁１８を排気流路１３に設ける。キャビティ１１に樹脂３Ａが充満した際には、樹脂流路１２および樹脂溜まり室１４に樹脂溜まりができ、それら樹脂溜まりを第１および第２樹脂センサ１５，１７が感知することにより、第１および第２開閉弁１６，１８が閉められる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
アンダークラッド層の表面にコアをパターン形成し、そのコアを被覆した状態でオーバークラッド層を下記（Ａ）の成形型を用いて形成し光導波路を製造する方法であって、上記成形型のキャビティへの樹脂注入側においては、上記成形型の樹脂流路の樹脂溜まりを感知する第１樹脂センサを設け、上記樹脂流路のうち上記第１樹脂センサによる感知部分よりも上流側に、上記第１樹脂センサからの信号により自動的に開閉する第１開閉弁を設け、上記第１樹脂センサが、上記樹脂流路の樹脂溜まりを感知しないときは、上記第１樹脂センサからの信号により自動的に上記第１開閉弁が開けられて、上記成形型のキャビティへの樹脂注入が行われ、上記第１樹脂センサが、上記樹脂流路の樹脂溜まりを感知すると、上記第１樹脂センサからの信号により自動的に上記第１開閉弁が閉められて、上記樹脂注入が止められるようにし、上記成形型のキャビティからの排気側においては、上記成形型の排気流路に樹脂溜まり室を形成し、その樹脂溜まり室の樹脂溜まりを感知する第２樹脂センサを設け、上記排気流路のうち上記第２樹脂センサによる感知部分よりも下流側に、上記第２樹脂センサからの信号により自動的に開閉する第２開閉弁を設け、上記第２樹脂センサが、上記樹脂溜まり室の樹脂溜まりを感知しないときは、上記第２樹脂センサからの信号により自動的に上記第２開閉弁が開けられて、上記キャビティ内の空気が排気され、上記第２樹脂センサが、上記樹脂溜まり室の樹脂溜まりを感知すると、上記第２樹脂センサからの信号により自動的に上記第２開閉弁が閉められて、上記排気が止められるようにすることを特徴とする光導波路の製法。
（Ａ）オーバークラッド層の表面形状に対応する型面を有する凹形のキャビティと、このキャビティに樹脂を注入する樹脂流路と、上記キャビティから空気を排気する排気流路とが形成されている成形型。
【請求項２】
上記樹脂溜まり室が、上記キャビティの近傍に位置している請求項１記載の光導波路の製法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光導波路の製法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
光導波路は、一般に、アンダークラッド層の上面に、光の通路であるコアが所定のパターンに形成され、そのコアを被覆するように、オーバークラッド層が形成されている。
【０００３】
その光導波路の製法の一例として、上記オーバークラッド層を型成形により形成する方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。この方法は、まず、上記アンダークラッド層の上面に、上記コアを所定のパターンに形成する。ついで、オーバークラッド層の表面形状に対応する型面を有する凹形のキャビティとこのキャビティに連通する樹脂流路とが形成されている成形型を準備する。そして、上記凹形のキャビティの開口面をアンダークラッド層の表面に密着させ、その状態で、上記キャビティの型面とアンダークラッド層の表面とコアの表面とで囲まれる成形空間に、オーバークラッド層の形成材料である液状の樹脂を上記樹脂流路から注入した後、硬化させ、オーバークラッド層３を形成する。その後、脱型し、光導波路を得る。
【０００４】
一方、光導波路の製造ではないものの、樹脂成形品を製造する際に用いる成形型として、その樹脂成形品にボイドが生じないようにするために、キャビティに連通する排気流路を形成し、その排気流路に樹脂溜まり室を形成したものが提案されている（例えば、特許文献２参照）。この成形型を用いた樹脂成形品の製法では、上記樹脂溜まり室に、上記樹脂成形品の形成材料である液状の樹脂に浮く浮き子を設け、上記キャビティが上記樹脂で充満した後、上記樹脂溜まり室も上記樹脂で充満すると、上記浮き子が上記排気流路の排気口を塞ぐようになっている。そして、上記樹脂の流れが止まり、上記成形型内の圧力が所定値まで高まると、上記樹脂の供給が停止されるようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００８−２８１６５４号公報
【特許文献２】特開２０１０−２０８２９６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記光導波路の製法における成形空間への樹脂注入は、その注入圧力を作業者が調整する等して手動で行われている。そのため、光導波路の製造に時間を要する。一方、上記浮き子が設けられた成形型での樹脂注入は、自動化が可能であるものの、その浮き子が排気口を塞いだ後、成形型に大きな圧力がかかることから、その圧力に耐えるために、成形型の材料が限定される。しかも、キャビティ以外に樹脂溜まり室も樹脂で充満させることから、材料（樹脂）のむだが多くなる。
【０００７】
そこで、上記樹脂注入を成形型に大きな圧力がかからないようにするとともに自動的に行うことができるようにするために、本発明者は研究を重ねた。その研究の過程で、上記成形空間の樹脂の状態を感知するセンサと、そのセンサからの信号により自動的に樹脂を供給するディスペンサとを設けることに着想した。しかしながら、成形空間を感知する上記センサでは、その成形空間に樹脂が充満したことを適正に感知することができなかった。そのため、上記樹脂注入の自動制御を適正にすることができなかった。
【０００８】
本発明は、このような事情に鑑みなされたもので、成形空間への樹脂注入を適正に自動制御することができる光導波路の製法の提供をその目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の目的を達成するため、本発明の光導波路の製法は、アンダークラッド層の表面にコアをパターン形成し、そのコアを被覆した状態でオーバークラッド層を下記（Ａ）の成形型を用いて形成し光導波路を製造する方法であって、上記成形型のキャビティへの樹脂注入側においては、上記成形型の樹脂流路の樹脂溜まりを感知する第１樹脂センサを設け、上記樹脂流路のうち上記第１樹脂センサによる感知部分よりも上流側に、上記第１樹脂センサからの信号により自動的に開閉する第１開閉弁を設け、上記第１樹脂センサが、上記樹脂流路の樹脂溜まりを感知しないときは、上記第１樹脂センサからの信号により自動的に上記第１開閉弁が開けられて、上記成形型のキャビティへの樹脂注入が行われ、上記第１樹脂センサが、上記樹脂流路の樹脂溜まりを感知すると、上記第１樹脂センサからの信号により自動的に上記第１開閉弁が閉められて、上記樹脂注入が止められるようにし、上記成形型のキャビティからの排気側においては、上記成形型の排気流路に樹脂溜まり室を形成し、その樹脂溜まり室の樹脂溜まりを感知する第２樹脂センサを設け、上記排気流路のうち上記第２樹脂センサによる感知部分よりも下流側に、上記第２樹脂センサからの信号により自動的に開閉する第２開閉弁を設け、上記第２樹脂センサが、上記樹脂溜まり室の樹脂溜まりを感知しないときは、上記第２樹脂センサからの信号により自動的に上記第２開閉弁が開けられて、上記キャビティ内の空気が排気され、上記第２樹脂センサが、上記樹脂溜まり室の樹脂溜まりを感知すると、上記第２樹脂センサからの信号により自動的に上記第２開閉弁が閉められて、上記排気が止められるようにするという構成をとる。
（Ａ）オーバークラッド層の表面形状に対応する型面を有する凹形のキャビティと、このキャビティに樹脂を注入する樹脂流路と、上記キャビティから空気を排気する排気流路とが形成されている成形型。
【００１０】
本発明者は、成形空間への樹脂注入を適正に自動制御することができるようにするために、本発明者の前記研究結果を考慮し、成形型の構造について、さらに研究を重ねた。その結果、上記成形型のキャビティへの樹脂注入側においては、上記成形型の樹脂流路の樹脂溜まりを感知する第１樹脂センサを設け、上記樹脂流路のうち上記第１樹脂センサによる感知部分よりも上流側に、上記第１樹脂センサからの信号により自動的に開閉する第１開閉弁を設けた。そして、上記第１樹脂センサが、上記樹脂流路の樹脂溜まりを感知しないときは、上記第１樹脂センサからの信号により自動的に上記第１開閉弁が開けられて、上記成形型のキャビティへの樹脂注入が行われ、上記第１樹脂センサが、上記樹脂流路の樹脂溜まりを感知すると、上記第１樹脂センサからの信号により自動的に上記第１開閉弁が閉められて、上記樹脂注入が止められるようにした。また、上記成形型のキャビティからの排気側においては、上記成形型の排気流路に樹脂溜まり室を形成し、その樹脂溜まり室の樹脂溜まりを感知する第２樹脂センサを設け、上記排気流路のうち上記第２樹脂センサによる感知部分よりも下流側に、上記第２樹脂センサからの信号により自動的に開閉する第２開閉弁を設けた。そして、上記第２樹脂センサが、上記樹脂溜まり室の樹脂溜まりを感知しないときは、上記第２樹脂センサからの信号により自動的に上記第２開閉弁が開けられて、上記キャビティ内の空気が排気され、上記第２樹脂センサが、上記樹脂溜まり室の樹脂溜まりを感知すると、上記第２樹脂センサからの信号により自動的に上記第２開閉弁が閉められて、上記排気が止められるようにした。このようにすると、成形空間内に樹脂が充満した際には、樹脂流路の樹脂の流れが止まり、樹脂流路に樹脂溜まりができるとともに、成形空間内の樹脂が樹脂溜まり室に浸入し、その樹脂溜まり室に樹脂溜まりができ、それら樹脂溜まりを上記第１および第２樹脂センサが感知することにより、成形空間内に樹脂が充満したことを適正に感知できることを突き止めた。そして、上記のような、第１および第２樹脂センサならびに第１および第２開閉弁の作用により、成形空間への樹脂注入を適正に自動制御できることを見出し、本発明に到達した。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の光導波路の製法は、上記成形型のキャビティへの樹脂注入側においては、上記成形型の樹脂流路の樹脂溜まりを感知する第１樹脂センサを設け、上記樹脂流路のうち上記第１樹脂センサによる感知部分よりも上流側に、上記第１樹脂センサからの信号により自動的に開閉する第１開閉弁を設けており、上記成形型のキャビティからの排気側においては、上記成形型の排気流路に樹脂溜まり室を形成し、その樹脂溜まり室の樹脂溜まりを感知する第２樹脂センサを設け、上記排気流路のうち上記第２樹脂センサによる感知部分よりも下流側に、上記第２樹脂センサからの信号により自動的に開閉する第２開閉弁を設けている。そして、上記第１および第２樹脂センサならびに第１および第２開閉弁の作用により、成形空間への樹脂注入を適正に自動制御することができる。
【００１２】
上記樹脂溜まり室が、上記キャビティの近傍に位置している場合には、成形空間が樹脂で充満した後、すぐにその樹脂が上記樹脂溜まり室に浸入して、その樹脂溜まり室で樹脂溜まりを形成し、その樹脂溜まりが上記第２樹脂センサで感知されるため、上記樹脂のむだを殆ど無くすことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の光導波路の製法の一実施の形態におけるオーバークラッド層の形成に用いる成形型を模式的に示す斜視図である。
【図２】（ａ）は、上記成形型を模式的に示す平面図であり、（ｂ）は、（ａ）のＸ１−Ｘ１断面の拡大図であり、（ｃ）は、（ａ）のＸ２−Ｘ２断面の拡大図である。
【図３】（ａ）〜（ｅ）は、上記光導波路の製法を模式的に示す説明図である。
【図４】上記成形型の変形例を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
つぎに、本発明の実施の形態を図面にもとづいて詳しく説明する。
【００１５】
図１は、本発明の光導波路の製法の一実施の形態においてオーバークラッド層の形成に用いる成形型を模式的に示す斜視図であり、図２（ａ）は、その平面図であり、図２（ｂ）は、そのＸ１−Ｘ１断面の拡大図であり、図２（ｃ）は、そのＸ２−Ｘ２断面の拡大図である。この実施の形態におけるオーバークラッド層形成用の上記成形型１０は、オーバークラッド層３〔図３（ｄ）参照〕の表面形状に対応する型面を有する凹形のキャビティ１１と、このキャビティ１１の一端部の側壁に連通する樹脂流路１２と、上記キャビティ１１の他端部の側壁に連通する排気流路１３とを備えている。
【００１６】
この実施の形態では、上記樹脂流路１２は、上記キャビティ１１に連通している側の溝状の樹脂流路部１２ａと、この溝状の樹脂流路部１２ａの端部（上記キャビティ１１と反対側の端部）に接続されているチューブ状の樹脂流路部１２ｂとからなっている。そして、上記溝状の樹脂流路部１２ａに対応する成形型１０の上側部分に、その溝状の樹脂流路部１２ａでの樹脂３Ａの樹脂溜まりを感知する第１樹脂センサ１５が設けられ、上記チューブ状の樹脂流路部１２ｂに、上記第１樹脂センサ１５からの信号を受けて自動的に開閉する電磁弁や電動弁等の第１開閉弁１６が設けられている。
【００１７】
また、この実施の形態では、上記排気流路１３は、上記キャビティ１１に連通している側の溝状の排気流路部１３ａと、この溝状の排気流路部１３ａの端部（上記キャビティ１１と反対側の端部）に接続されているチューブ状の排気流路部１３ｂとからなっている。そして、上記溝状の排気流路部１３ａのうち上記キャビティ１１の近傍部分に、その溝状の排気流路部１３ａの断面積よりも広い断面積を有する樹脂溜まり室１４が形成され、この樹脂溜まり室１４に対応する成形型１０の上側部分に、その樹脂溜まり室１４での樹脂３Ａの樹脂溜まりを感知する第２樹脂センサ１７が設けられている。また、上記チューブ状の排気流路部１３ｂに、上記第２樹脂センサ１７からの信号を受けて自動的に開閉する電磁弁や電動弁等の第２開閉弁１８が設けられている。
【００１８】
なお、この実施の形態において、上記樹脂流路部１２ａおよび樹脂溜まり室１４での樹脂３Ａの樹脂溜まりとは、流れが殆ど止まっている樹脂３Ａの状態のことであり、上記樹脂流路部１２ａや樹脂溜まり室１４が必ずしも樹脂３Ａで充満している状態をいっているのではない。
【００１９】
また、上記チューブ状の樹脂流路部１２ｂは、上記溝状の樹脂流路部１２ａと反対側の端部において、オーバークラッド層形成用の液状の樹脂３Ａを加圧供給する樹脂供給手段に接続されている。この樹脂供給手段としては、例えば、図示の加圧タンクＴがあげられる。この加圧タンクＴは、その内部に、容器に収容された上記液状の樹脂３Ａを備え、その液状の樹脂３Ａ内に、上記チューブ状の樹脂流路部１２ｂの端部を位置決めするようになっている。そして、上記液状の樹脂３Ａは、加圧タンクＴの外部から取り入れた圧縮空気により、加圧された状態にある。上記加圧タンクＴ内の圧力を所定値に設定すると、その設定圧力値に応じた所定の圧力で上記液状の樹脂３Ａが、上記樹脂流路１２を経て、上記キャビティ１１に注入される。
【００２０】
さらに、上記チューブ状の排気流路部１３ｂは、上記溝状の排気流路部１３ａと反対側の端部において、排気ポンプＰに接続されている。
【００２１】
すなわち、上記第１樹脂センサ１５と上記第１開閉弁１６とは、電気的に接続されており（図１の二点鎖線Ｅ1 参照）、上記第１樹脂センサ１５が、上記溝状の樹脂流路部１２ａでの樹脂３Ａの樹脂溜まりを感知しないとき（上記溝状の樹脂流路部１２ａに樹脂３Ａが無いまたは流れているとき）は、上記第１樹脂センサ１５からの信号により自動的に上記第１開閉弁１６が開けられて、上記加圧タンクＴ内の圧力により、上記液状の樹脂３Ａが押し出され、上記樹脂流路１２を経て、上記キャビティ１１への樹脂３Ａの注入が所定の圧力で行われる。そして、上記第１樹脂センサ１５が、上記溝状の樹脂流路部１２ａでの樹脂３Ａの樹脂溜まりを感知すると、上記第１樹脂センサ１５からの信号により自動的に上記第１開閉弁１６が閉められて、上記樹脂３Ａの注入が止められるようになっている。
【００２２】
また、上記第２樹脂センサ１７と上記第２開閉弁１８とは、電気的に接続されており（図１の二点鎖線Ｅ2 参照）、上記第２樹脂センサ１７が、上記樹脂溜まり室１４での樹脂３Ａの樹脂溜まりを感知しないとき（上記樹脂溜まり室１４に樹脂３Ａが無いとき）は、上記第２樹脂センサ１７からの信号により自動的に上記第２開閉弁１８が開けられて、上記排気ポンプＰの吸引により、上記キャビティ１１内の空気が上記樹脂流路１２を経て排気される。これにより、上記キャビティ１１への樹脂３Ａの注入を格段に速めることができる。そして、上記第２樹脂センサ１７が、上記樹脂溜まり室１４での樹脂３Ａの樹脂溜まりを感知すると、上記第２樹脂センサ１７からの信号により自動的に上記第２開閉弁１８が閉められて、上記排気が止められるようになっている。これにより、樹脂３Ａの注入速度を格段に落とすことができ、上記溝状の樹脂流路部１２ａにおいて樹脂３Ａの樹脂溜まりができる。
【００２３】
なお、上記第１および第２樹脂センサ１５，１７としては、例えば、光を出射し、アンダークラッド層１〔図３（ｃ）参照〕または上記樹脂３Ａで反射させ、その反射光を入射して感知するものがあげられる。その光としては、可視光線，赤外線，レーザ等があげられる。その場合、上記成形型１０は、シリコーン樹脂，ガラス等の透光性材料からなるものが用いられる。また、この透光性成形型１０と上記第１および第２樹脂センサ１５，１７との間に、必要に応じて、透光性を有するガラス板等を設置してもよい。
【００２４】
上記光導波路の製法の一例について、以下に詳しく説明する。
【００２５】
まず、基板４〔図３（ａ）参照〕を準備する。この基板４の形成材料としては、例えば、金属，樹脂，ガラス，石英，シリコン等があげられる。
【００２６】
ついで、図３（ａ）に示すように、上記基板４の表面に、アンダークラッド層１を形成する。このアンダークラッド層１は、例えば、感光性樹脂を形成材料として、フォトリソグラフィ法により形成することができる。アンダークラッド層１の厚みは、例えば、５〜５０μｍの範囲内に設定される。
【００２７】
つぎに、図３（ｂ）に示すように、上記アンダークラッド層１の表面に、フォトリソグラフィ法により所定パターンのコア２を形成する。このコア２の寸法は、例えば、厚みが２０〜２００μｍの範囲内に設定され、幅が２０〜２００μｍの範囲内に設定される。このコア２の形成材料としては、上記アンダークラッド層１および下記オーバークラッド層３〔図３（ｄ）参照〕の形成材料よりも屈折率が高い感光性樹脂が用いられる。
【００２８】
そして、図３（ｃ）に示すように、前記成形型１０を準備し、型面が形成された凹形のキャビティ１１の開口面ならびに溝状の樹脂流路部１２ａおよび溝状の排気流路部１３ａの開口面を上記アンダークラッド層１の表面に密着させる。
【００２９】
この状態では、上記溝状の樹脂流路部１２ａ（図１参照）に樹脂３Ａが無いことから、前記第１樹脂センサ１５は、上記溝状の樹脂流路部１２ａに樹脂３Ａの樹脂溜まりを感知せず、その第１樹脂センサ１５からの信号により自動的に前記第１開閉弁１６（図１参照）が開けられて、図３（ｄ）に示すように、前記加圧タンクＴ（図１参照）内の樹脂３Ａが、前記樹脂流路１２を経て、前記キャビティ１１の型面とアンダークラッド層１の表面とコア２の表面とで囲まれた成形空間に所定の圧力で注入される。このとき、樹脂溜まり室１４（図１参照）にも樹脂３Ａが無いことから、前記第２樹脂センサ１７（図１参照）は、上記樹脂溜まり室１４の樹脂３Ａの樹脂溜まりを感知せず、その第２樹脂センサ１７からの信号により自動的に前記第２開閉弁１８（図１参照）が開けられて、上記成形空間の空気が、前記排気流路１３（図１参照）を経て、前記排気ポンプＰ（図１参照）により吸引排気される。なお、上記液状の樹脂３Ａの粘度は、上記供給を可能にする観点から、例えば、３００〜５００Ｐａ・ｓの範囲内に設定される。また、上記吸引の圧力は、例えば、−０．５〜−１０ｋＰａ（ゲージ圧）に設定される。
【００３０】
そして、上記成形空間が上記樹脂３Ａで満たされると、その樹脂３Ａは、前記樹脂溜まり室１４に浸入する。すると、直ちに上記第２樹脂センサ１７が上記樹脂溜まり室１４の樹脂３Ａの樹脂溜まりを感知し、その第２樹脂センサ１７からの信号により自動的に上記第２開閉弁１８が閉められて、上記排気が止められる。これにより、樹脂３Ａの注入速度が格段に落ち、上記溝状の樹脂流路部１２ａにおいて樹脂３Ａの樹脂溜まりができる。すると、この樹脂溜まりを、上記第１樹脂センサ１５が感知し、その第１樹脂センサ１５からの信号により自動的に上記第１開閉弁１６が閉められて、上記樹脂３Ａの注入が止められる。
【００３１】
ついで、上記樹脂３Ａが感光性樹脂である場合は、上記成形型１０を透光性のものとし、その成形型１０を通して紫外線等の照射線を露光した後に加熱処理を行い、上記樹脂３Ａを硬化させ、オーバークラッド層３を形成する。
【００３２】
その後、図３（ｅ）に示すように、脱型し、基板４の表面に、アンダークラッド層１とコア２とオーバークラッド層３とからなる光導波路を製造することができる。上記オーバークラッド層３の厚みは、例えば、５０〜２０００μｍの範囲内に設定される。
【００３３】
この製法では、上記のように、オーバークラッド層３を形成する際の樹脂３Ａの注入を、自動制御することができ、光導波路の製造効率を向上させることができる。
【００３４】
なお、上記実施の形態では、成形型１０にキャビティ１１が１個形成されているものを図示〔図２（ａ）参照〕したが、図４に平面図で示す成形型２０のように、複数（図４では４個）のキャビティ１１を形成してもよい。この場合、各キャビティ１１に対し、１個の樹脂溜まり室１４を形成し、各樹脂溜まり室１４に対し、１個の第２樹脂センサ１７を設置し、各第２樹脂センサ１７に対し、１個の第２開閉弁１８を設置する。また、上記複数のキャビティ１１の大きさや形状は、異なるものとしてもよい。
【００３５】
また、上記成形型１０，２０は、水平にして成形に使用してもよいし、図示（図１，図４参照）の左側の側面を下にして傾斜させて使用してもよい。
【００３６】
つぎに、実施例について説明する。但し、本発明は、実施例に限定されるわけではない。
【実施例】
【００３７】
上記実施の形態と同様にして、オーバークラッド層を形成した。このとき、注入する液状の樹脂は、エポキシ樹脂１００重量部に対して、色素０．２重量部、酸発生剤２重量部、ワニス３００重量部を混合したものを用いた。また、その樹脂の粘度は３００Ｐａ・ｓ、温度は２３℃であった。そして、成形型は、透光性を有するシリコーン樹脂製とし、第１および第２樹脂センサとして、光電センサ（キーエンス社製、ＰＺ−Ｇ１０２Ｂ）を用いた。
【００３８】
その結果、オーバークラッド層を形成する際の樹脂注入を、自動制御することができた。そして、光導波路の製造時間を短縮することができた。また、オーバークラッド層に欠損はなく、適正なものであった。
【産業上の利用可能性】
【００３９】
本発明の光導波路の製法は、オーバークラッド層を形成する際の樹脂注入を、自動制御する際に利用可能である。
【符号の説明】
【００４０】
３Ａ  樹脂
１０  成形型
１１  キャビティ
１２  樹脂流路
１３  排気流路
１４  樹脂溜まり室
１５  第１樹脂センサ
１６  第１開閉弁
１７  第２樹脂センサ
１８  第２開閉弁
【図１】
2014035433.tif 000003
【図２】
2014035433.tif 000004
【図３】
2014035433.tif 000005
【図４】
2014035433.tif 000006