(57)【要約】【課題】基板同士の固定を阻害することなく液体流路を被覆膜により被覆した流路ユニット、液体噴射ヘッド、液体噴射装置と、流路ユニットの製造方法を提供する。【解決手段】液体が流れる液体流路を有する流路ユニットであって、液体流路の流路壁を形成する第１流路基板と、液体流路の流路壁を形成する第２流路基板と、第１流路基板の流路壁を被覆する被覆部と、第１流路基板と第２流路基板とを固定する固定部とにわたって備えた被覆膜と、を有する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体が流れる液体流路を有する流路ユニットであって、
前記液体流路の流路壁を形成する第１流路基板と、
前記液体流路の流路壁を形成する第２流路基板と、
前記第１流路基板の流路壁を被覆する被覆部と、前記第１流路基板と前記第２流路基板とを固定する固定部とにわたって備えた被覆膜と、を有する流路ユニット。
【請求項２】
前記被覆膜の材質は、熱可塑性樹脂である、請求項１に記載の流路ユニット。
【請求項３】
前記被覆膜の材質は、被覆部と固定部の少なくとも一部とで同一である、請求項１又は２に記載の流路ユニット。
【請求項４】
前記被覆膜は、前記第１流路基板の流路壁を前記被覆部と同一の材質で被覆する請求項３に記載の流路ユニット。
【請求項５】
前記固定部の膜厚は、前記被覆部の膜厚に比べて厚い、請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の流路ユニット。
【請求項６】
前記第１流路基板、及び前記第２流路基板のいずれか一方は、セラミックスにより構成されている、請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の流路ユニット。
【請求項７】
前記請求項１に記載の流路ユニットと、
前記液体流路と連通するノズル孔を有するノズルプレートと、を有する液体噴射ヘッド。
【請求項８】
前記請求項７に記載の液体噴射ヘッドを有する液体噴射装置。
【請求項９】
液体が流れる液体流路を有する流路ユニットの製造方法であって、
前記液体流路の流路壁を形成する第１流路基板の前記流路壁になる領域から該領域の外側の固定領域にわたって被覆する被覆部を形成する第１工程と、
前記液体流路の流路壁を形成する第２流路基板と前記被覆部を備えた第１流路基板とを前記固定領域で重ねる第２工程と、
前記固定領域で重ねられた前記第１流路基板と前記第２流路基板とを固定する第３工程と、を有する流路ユニットの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体が流れる液体流路を備える流路ユニット、この流路ユニットを有する液体噴射ヘッド、液体噴射装置、及び流路ユニットの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、液体が流れる液体流路を有する液体噴射ヘッドが知られている。液体噴射ヘッドは、液体流路を通じて、液体が充填される側の開口と、液体を噴射する側の開口を繋いでいる。このような液体噴射ヘッドは、複数の基板を重ねて形成される。そして、液体流路も各基板に形成された溝や孔が組み合わさることで形成される（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
また、液体流路の壁面を液体から保護するために、この液体流路を被覆膜で覆う構成が開示されている（例えば、特許文献２，３参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−３０９３２８号公報
【特許文献２】実開平５−６０８４４号公報
【特許文献３】特開平１０−２５００７８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
液体噴射ヘッドを構成する基板同士を固定する場合、基板に成膜された被覆膜が基板同士の固定を阻害する場合がある。このような場合、基板に被覆膜を成膜した後、他の基板が合わさる部位を洗浄等して被覆膜を除去する必要があった。また、基板同士を固定した後に液体流路に被覆膜を成膜することも考えられるが、液体流路が基板により密封される場合や、液体流路の構造が複雑化する場合では、被覆膜を適切に成膜することが難しい場合も考えられる。
【０００６】
本発明は、上記課題にかんがみてなされたもので、基板同士の固定を容易にする液体流路を被覆膜により被覆した流路ユニット、液体噴射ヘッド、液体噴射装置、流路ユニットの製造方法の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明では、液体が流れる液体流路を有する流路ユニットであって、液体流路の流路壁を形成する第１流路基板と、液体流路の流路壁を形成する第２流路基板と、第１流路基板の流路壁を被覆する被覆部と、第１流路基板と第２流路基板とを固定する固定部とにわたって備えた被覆膜と、を有する構成としてある。
【０００８】
上記のように構成された発明では、被覆膜は、液体流路を被膜する部位と、基板同士を固定する部位とにわたって備える。そのため、被覆膜は、第１流路基板と第２流路基板との固定を阻害することなく、液体流路を被覆することができる。被覆膜には拡大して観察した場合に、被覆膜の機能を損なわない程度に隙間があいているものも含まれる。
【０００９】
また、前記被覆膜の材質は、熱可塑性樹脂としてもよい。
上記のように構成された発明では、被覆膜の固定部に熱を加えることで基板同士を固定することができ、基板同士の固定を容易に行うことができる。
ここで、熱可塑性樹脂としては、公知の、ポリプロピレン系樹脂、ポリエチレン系樹脂、ポリスチレン系樹脂、パラキシレン系樹脂を適用することができる。
【００１０】
そして、前記被覆膜の材質は、被覆部と固定部の少なくとも一部とで同一としてもよい。
上記のように構成された発明では、液体流路を被膜する被覆部と、基板同士を固定する固定部とが一部で同じ材質であり、それ以外の箇所で異なる材質により構成される場合を含む。そのため、膜が形成される形状及び使用条件に応じて、使用する材質の粘性、強度、耐薬品性等を最適に組み合わせることができる。
【００１１】
さらに、前記被覆膜は、前記第１流路基板の流路壁を前記被覆部と同一の材質で被覆する構成としてもよい。
【００１２】
また、前記固定部の膜厚は、前記被覆部の膜厚に比べて厚い、構成としてもよい。
上記のように構成された発明では、第１流路基板と第２流路基板とに別々の被覆膜を成膜した後、この被覆膜同士を接続することで固定部を形成することができる。
【００１３】
そして、前記第１流路基板、及び前記第２流路基板のいずれか一方は、セラミックスにより構成されている、構成としてもよい。
液体流路を形成する基板をセラミックスにより構成する場合、膜厚が薄いと液体流路から溶液等の液体の成分が漏れ出す場合がある。
そのため、上記のように構成された発明では、基板に生じる溶液の漏れを抑制することができる。
【００１４】
さらに、本発明の流路ユニットと、前記液体流路と連通するノズル孔を有するノズルプレートと、を有する液体噴射ヘッドに対しても、本発明を適用することができる。
また、このような液体噴射ヘッドを有する液体噴射装置に対しても本発明を適用することができる。また、このような液体噴射ヘッドや液体噴射装置の製造方法としてとらえることでもできる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】液体噴射ヘッドの構成を説明する断面図である。
【図２】液体噴射ヘッドの構成を説明する斜視展開図である。
【図３】流路ユニットの構成を示す断面図である。
【図４】インクジェットプリンターの一例を示す概略図である。
【図５】液体噴射ヘッドの製造方法を説明する工程図である。
【図６】液体噴射ヘッドの製造方法を説明する工程図である。
【図７】第２の実施形態に係る液体噴射ヘッドを示す断面図である。
【図８】液体噴射ヘッドの製造方法を説明する工程図である。
【図９】液体噴射ヘッドの製造方法を説明する工程図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、下記の順序に従って本発明の実施形態を説明する。
１．第１の実施形態：
２．第２の実施形態：
３．その他の実施形態：
【００１７】
１．第１の実施形態：
以下、図を参照して、この発明に係る液体吐出ヘッドを具体化した第１の実施の形態について説明する。図１は、液体噴射ヘッドの構成を説明する断面図である。また、図２は、液体噴射ヘッドの構成を説明する斜視展開図である。そして、図３は、流路ユニットの構成を示す断面図である。ここで、図１は、図２のＡ−Ａ’線での断面図に対応している。
【００１８】
液体噴射ヘッド１は、印刷装置等の液体噴射装置の一部として用いられる。液体噴射ヘッド１は、流路ユニット５０と、封止プレート６０と、リザーバープレート７０と、ノズルプレート８０と、を備えている。また、液体噴射ヘッド１は、上記した、流路ユニット５０、封止プレート６０、リザーバープレート７０、ノズルプレート８０が積層状に組み合わさることで、内部に液体流路９０が形成されている。
【００１９】
流路ユニット５０は、振動板１０と、流路形成基板２０と、被覆膜３０と、圧電素子４０と、を備えている。第１の実施形態では、振動板１０が第１流路基板であり、流路形成基板２０が第２流路基板である。なお、本実施形態では、流路ユニット５０には圧電素子４０が含まれるものとして説明を行うが、圧電素子４０を含まないものであってもよい。
【００２０】
図２に示すように、流路形成基板２０には、壁部２６により複数の圧力室２２が第２方向Ｄ２で併設するよう区画されている。また、各圧力室２２は、流路形成基板２０の上面２１側で開口するよう形成されている。そして、流路形成基板２０の下面２３側には、壁部２６により、各圧力室２２に連通する連通孔側開口２４及びリザーバー側開口２５がそれぞれ区画されている。
ここで、流路形成基板２０は、セラミックスの薄板体を積層して構成される。また、その材料としては、部分安定化ジルコニア（Ｚｒ）や安定化ジルコニアを用いることができる。
【００２１】
そして、流路形成基板２０の上面２１側には、振動板１０が固定されている。そのため、流路形成基板２０の各圧力室２２の開口は、振動板１０により封止されている。振動板１０は、例えば、セラミックスの薄板体により構成される。その材料としては、部分安定化ジルコニアや安定化ジルコニア、酸化ケイ素（ＳｉＯ２）を用いることができる。また、振動板１０の第３方向Ｄ３での厚みは、例えば、２．０マイクロメートル（μｍ）から５．４マイクロメートルとすることができる。
【００２２】
図１に示すように、被覆膜３０は、液体流路９０の壁面を被覆する部分（被覆部３１）と、振動板１０と流路形成基板２０とを固定する部分（固定部３２）とを連続して有している。そのため、被覆膜３０は、液体流路９０をインクから保護するとともに、振動板１０と流路形成基板２０とを固定する。
被覆部３１は、流路形成基板２０の連通孔側開口２４の内壁、リザーバー側開口２５の内壁、及び圧力室２２の内壁を覆うよう成膜されている。
また、固定部３２は、振動板１０と、流路形成基板２０の圧力室２２外周に相当する壁部との間に位置するよう成膜されている。
【００２３】
被覆膜３０は、例えば、厚みを０．５マイクロメートルから２０マイクロメートルとする熱可塑性樹脂により構成される。熱可塑性樹脂としては、公知の、ポリプロピレン系樹脂、ポリエチレン系樹脂、ポリスチレン系樹脂、パラキシレン系樹脂（パラキシレン系ポリマー）を適用することができる。パラキシレン系ポリマーの一例として、パリレン（登録商標）を用いても良い。
【００２４】
また、熱可塑性樹脂を用いて被覆膜３０を構成する場合、被覆部３１と固定部３２の厚みは、図３に示す関係を有する。即ち、被覆膜３０における固定部３２の厚みＴ２は、被覆部３１の厚みＴ１に比べて厚くなっている。これは、固定部３２を異なる膜を熱溶着して形成したことを示す。無論、被覆膜３０を熱溶着以外で形成する場合、各部の厚みはこれに限定されない。また、被覆膜には拡大して観察した場合に、被覆膜の機能を損なわない程度に隙間があいているものも含まれる。
【００２５】
また、振動板１０における流路形成基板２０と固定される側と反対側の面（上面１２）には、圧電素子４０が形成されている。圧電素子４０は、圧力室２２毎に設けられている。圧電素子４０は、下電極４１と、上電極４２と、下電極４１と上電極４２との間に位置する圧電体４３とを備える。例えば、下電極４１や上電極４２は、金、白金等の導電物質により構成される。また、圧電体４３は例えばチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）といった誘電体により構成される。
【００２６】
さらに、流路形成基板２０の下面２３側には、封止プレート６０が固定されている。封止プレート６０は、複数の第１連通孔６１と、共通供給孔６２とを有する薄板体である。第１連通孔６１は、第３方向Ｄ３で封止プレート６０を貫通し、流路形成基板２０の各連通孔側開口２４と連通している。また、共通供給孔６２は、長手方向の辺が第２方向Ｄ２に伸び、第３方向Ｄ３で封止プレート６０を貫通する矩形のスリットにより構成されている。
封止プレート６０は、部分安定化ジルコニアや安定化ジルコニアを用いたセラミックスや、金属により構成される。
【００２７】
また、封止プレート６０の流路形成基板２０と固定されない側の面にはリザーバープレート７０が固定されている。リザーバープレート７０は、複数の第２連通孔７１と、リザーバー７２とを有する薄板体である。第２連通孔７１は、リザーバープレート７０を第３方向Ｄ３で貫通し、封止プレート６０の各第１連通孔６１と連通している。また、リザーバー７２は、第２方向Ｄ２に伸び、リザーバープレート７０を貫通する矩形のスリットとして構成される。
リバーザープレート７０は、例えば、部分安定化ジルコニアや安定化ジルコニアを用いたセラミックスや、金属により構成される。
【００２８】
さらに、リザーバープレート７０の封止プレート６０と固定されない側の面にはノズルプレート８０が固定されている。ノズルプレート８０は、ノズル孔８１が第２方向に沿って所定間隔で複数形成された薄板体である。また、各ノズル孔８１は、封止プレート６０の第２連通孔７１とそれぞれ連通するよう形成されている。
ノズルプレート８０は、例えば、例えば、部分安定化ジルコニアや安定化ジルコニアを用いたセラミックスや、金属により構成される。
【００２９】
また、ノズルプレート８０は、複数のノズル孔８１が第２方向Ｄ２に沿って形成された複数のノズル列を第１方向Ｄ１に並設し、一方のノズル列と他方のノズル列とを第２方向Ｄ２においてずらして配置する（いわゆる千鳥配置とする）構成を採用してもよい。
【００３０】
上記構成の液体噴射ヘッド１では、各基板が積層状に固定されることで、圧力室２２は連通孔側開口２４、第１連通孔６１、及び第２連通孔７１を通じてノズル孔８１と連通する。また、圧力室２２は、リザーバー側開口２５及び共通供給孔６２通じてリザーバー７２に連通する。その結果、ノズル孔８１とリザーバー７２とは、圧力室２２を通じて連通しており、液体流路９０を構成する。
【００３１】
そのため、リザーバー７２から供給されるインクは、この液体流路９０内に充填される。この状態で、図示しない回路基板から駆動電圧が、ケーブル類を介して下電極４１や上電極４２に印加されると、圧電素子４０を変位させる。圧電素子４０の変位は、振動板１０を振動させて、圧力室２２に圧力変化を生じさせる。そして、圧力室２２内の圧力変化により、連通孔（第１連通孔６１、第２連通孔７１）に充填されたインクをノズル孔８１から外部に噴射させる。
【００３２】
ここで、液体噴射ヘッド１のノズル数が高密度化すると、圧力室２２の体積も小さくなるため、圧力室２２の圧力変化が小さくなる傾向がある。このような場合、振動板１０の厚みを薄くすることで圧力室２２の体積変化を大きくできる。しかし、振動板１０の厚みを薄くし過ぎると、振動板１０を通じてインクの溶液等が漏れ出す現象（インクパスとも記載する。）が生じる。インクパスが振動板１０に生じると、溶液を媒体として圧電素子４０からリーク電流が流れる場合がある。インクパスは振動板１０の厚みが３．０マイクロメートル以下で顕著となる。そのため、振動板１０に被覆膜３０を成膜することで、インクパスを抑制することができ、振動板１０の厚みを薄く（例えば、３．０マイクロメートル以下）にすることができる。
【００３３】
また、液体噴射ヘッド１は、インクカートリッジ等と連通するインク供給経路を具備するインクジェット式記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェットプリンター２００に搭載される。インクジェットプリンター２００は液体噴射装置の一例である。
【００３４】
図４は、インクジェットプリンター２００の一例を示す概略図である。図４において、符号１は、液体噴射ヘッドをそのノズル孔面を外部に露出させつつ収めた筺体（ヘッドカバー）の一部を示している。インクジェットプリンター２００において、複数の液体噴射ヘッド１を有するインクジェット式記録ヘッドユニット（以下、ヘッドユニット２０２）には、例えば、インクカートリッジ２０２Ａ，２０２Ｂ等が着脱可能に設けられる。ヘッドユニット２０２を搭載したキャリッジ２０３は、装置本体２０４に取り付けられたキャリッジ軸２０５に軸方向移動自在に設けられている。そして、駆動モーター２０６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト２０７を介してキャリッジ２０３に伝達されることで、キャリッジ２０３はキャリッジ軸２０５に沿って移動する。
【００３５】
装置本体２０４にはキャリッジ軸２０５に沿ってプラテン２０８が設けられており、図示しないローラー等により供給された印刷媒体Ｓがプラテン２０８上を搬送される。そして、搬送される印刷媒体Ｓに対して、液体噴射ヘッド１のノズル孔８１からインクが噴射され任意の画像が印刷媒体Ｓに印刷される。なお、インクジェットプリンター２００は、ヘッドユニット２０２が上記のように移動するものだけでなく、例えば、液体噴射ヘッド１が固定されて、印刷媒体Ｓを移動させるだけで印刷を行ういわゆるラインヘッド型のプリンターであってもよい。
【００３６】
図５、図６は、液体噴射ヘッド１の製造方法を説明する工程図である。以下、図５、図６を用いて、液体噴射ヘッド１の製造方法を説明する。
【００３７】
まず、振動板１０、流路形成基板２０に対応する焼成前のセラミックスシートを用意する。そして、流路形成基板２０に対応するセラミックスシートに対して、打ち抜き加工を施し、圧力室２２や、連通孔側開口２４、更にはリザーバー側開口２５に相当する貫通孔を形成する。そして、各セラミックスシートを１０００度から１４００度で焼成して、振動板１０、流路形成基板２０を生成する。
【００３８】
次に、図５（ａ）に示すように、振動板１０の下面１１に対して上側被覆膜３３を成膜する（第１工程）。ここで、上側被覆膜３３は、被覆膜３０の一部となる膜である。上側被覆膜３３の材料としてパラキシレン系樹脂を使用する場合、例えば、周知のパリレン（登録商標）を用いることができる。パラキシレン系樹脂を材料に使用する場合、まず、パラキシレン系固体ダイマーを気化、熱分解し、パラキシレン系モノマーを発生させる。そして、チャンバー内に配置された振動板１０にパラキシレン系モノマーを反応させて成膜する。より具体的には、化学気相堆積（Chemical Vapor Deposition：ＣＶＤ）法を用いて振動板１０に成膜してもよい。
【００３９】
次に、図５（ｂ）に示すように、流路形成基板２０の下面２３側の面にマスク膜２７を成膜する。そして、流路形成基板２０におけるマスク膜２７を用いて塞がれた内側に下側被覆膜３４を成膜する。例えば、下側被覆膜３４の材料は、パラキシレン系樹脂を用いることができる。下側被覆膜３４は、被覆膜３０の一部と成る膜である。下側被覆膜３４の成膜方法としても上側被覆膜３３と同様のＣＶＤ法等により流路形成基板２０に成膜することができる。
【００４０】
次に、図５（ｃ）に示すように、振動板１０に成膜された上側被覆膜３３側と、流路形成基板２０に成膜された下側被覆膜３４とを熱溶着する（第２工程、第３工程）。一例として、まず、振動板１０と流路形成基板２０とを積層する。次に、上側被覆膜３３における固定部に該当する部分と、下側被覆膜３４の固定部に該当する部分とに圧力（１．４メガパスカル（ＭＰａ）〜２．０メガパスカル）を加える。そして、上側被覆膜３３と下側被覆膜３４とをそれぞれヒーター等を用いて融点以上に加熱する。被覆膜３０をパラキシレン系樹脂で構成する場合、１４０度から２００度で加熱する。このように加熱しつつ接合し、溶着させる。そのため、上側被覆膜３３と下側被覆膜３４とは一体化し、被覆膜３０が形成される。
【００４１】
次に、図６（ａ）に示すように、振動板１０の上面１２側に、圧力室２２の位置に応じて、圧電素子４０を形成する。圧電素子４０の形成方法の一例として、振動板１０の上面１２側にＡｕから成る下電極４１を形成する。次に、下電極４１の上部にＰＺＴから成る圧電体４３を形成する。そして、この圧電体４３の上部に圧力室２２に応じた上電極を形成する。
【００４２】
次に、図６（ｂ）に示すように、流路形成基板２０に封止プレート６０を接着する。封止プレート６０は、例えば、接着剤を用いて流路形成基板２０に接着される。さらに、封止プレート６０にリザーバープレート７０を接着する。リザーバープレート７０は、例えば、接着剤を用いて封止プレートに接着される。接着剤としては、エポキシ系の接着剤を用いることができる。なお、下側被覆膜３４を成膜後にマスク膜２７しておくことで、流路形成基板２０の下面２３側の面には下側被覆膜３４が存在しないようにしている。これによって、流路形成基板２０と封止プレート６０とを接着剤で容易に接着できるようにしている。
【００４３】
最後に、図６（ｃ）に示すように、リザーバープレート７０にノズルプレート８０を接着する。ノズルプレート８０は、例えば、接着剤を用いてリザーバープレート７０に接着される。上記同様、接着剤としては、エポキシ系の接着剤を用いることができる。
なお、封止プレート６０、リザーバープレート７０、及びノズルプレート８０は、材料となるグリーンシートを抜き加工した後、焼成することで形成することができる。
以上の工程により、第１の実施形態に係る液体噴射ヘッド１が製造される。
【００４４】
以上説明したように、この第１の実施形態では、被覆膜３０は、振動板１０の流路壁を被覆する被覆部と、振動板１０と流路形成基板２０とを固定する固定部とを同一材質で連続して備える。そのため、被覆膜３０は、基板同士の固定を阻害することなく、液体流路９０を被覆することができる。
【００４５】
また、流路形成基板２０に形成された圧力室２２が細密化すると、ＣＶＤ等の周知の手法で被覆膜３０を成膜しても均一な膜を生成することが難しくなる。そのため、振動板１０と流路形成基板２０とに別々に膜を成膜した後、膜同士を接着して基板同士を固定すれば、液体流路９０内に成膜された被覆膜の膜厚を均一にすることができる。
さらに、基板同士を被覆膜３０を熱溶着して固定することで、接着剤の量を低減することができる。
【００４６】
２．第２の実施形態：
図７は、第２の実施形態に係る液体噴射ヘッド２を示す断面図である。この液体噴射ヘッド２は、流路形成基板２０と封止プレート６０との間に被覆膜３００を備える構成において、第１の実施形態に係る液体噴射ヘッド１と異なる。
【００４７】
液体噴射ヘッド２は、第１の実施形態同様、流路ユニット５０と、封止プレート６０と、リザーバープレート７０と、ノズルプレート８０と、を備えている。また、流路ユニット５０、封止プレート６０、リザーバープレート７０、ノズルプレート８０が積層状に固定されることで、圧力室２２を一部に備える液体流路９０が構成されている。
そして、流路ユニット５０は、振動板１０と、流路形成基板２０と、圧電素子４０と、を備えている。
【００４８】
更に、液体噴射ヘッド２は、被覆膜３００を備える。この被覆膜３００は、流路形成基板２０と封止プレート６０の間に位置する部位と、液体流路９０の内壁を覆う部位とを連続して備える。図７では、被覆膜３００は、圧力室２２の壁面、及び封止プレート６０の第１連通孔６１の壁面並び共通供給口６２の壁面を覆う被覆部３０１と、流路形成基板２０と封止プレート６０との間に位置し、両基板を接着する固定部３０２とを連続して備える。そのため、この第２の実施形態では、流路形成基板２０が第１流路基板として機能し、封止プレート６０が第２流路基板として機能する。
【００４９】
被覆膜３００は第１の実施形態同様、公知の、ポリプロピレン系樹脂、ポリエチレン系樹脂、ポリスチレン系樹脂、パラキシレン系樹脂（パラキシレン系ポリマー）といった熱可塑性樹脂を適用することができる。
また、被覆膜３００を熱溶着で形成する場合、第１の実施形態同様、被覆膜３００の固定部３０２の厚みは、被覆部３０１の厚みに比べて厚くなっている。
【００５０】
図８、図９は、液体噴射ヘッド２の製造方法を説明する工程図である。以下、図８、図９を用いて第２の実施形態に係る液体噴射ヘッド２の製造方法を説明する。
【００５１】
まず、図８（ａ）に示すように、振動板１０に対応するグリーンシートと、流路形成基板２０に対応するグリーンシートを積層する。次に、積層したグリーンシートを１０００度から１４００度で一体焼成して振動板１０、流路形成基板２０を得る。
【００５２】
次に、図８（ｂ）に示すように、振動板１０と流路形成基板２０とで形成される流路内に上側被覆膜３０３を成膜する。上側被覆膜３０３は、被覆膜３００の一部と成る膜である。上側被覆膜３０３の材料には、例えば、パラキシレン系樹脂を用いることができる。また、上側被覆膜３０３の成膜方法として、例えば、ＣＶＤ法を用いることができる。
【００５３】
次に、図８（ｃ）に示すように、振動板１０の上面１２側に、圧力室２２の位置に応じて、圧電素子４０を形成する。
【００５４】
次に、図９（ａ）に示すように、封止プレート６０の一方の面にマスク膜６３を成膜し、下側被覆膜３０４を成膜する。下側被覆膜３０４は、被覆膜３００の一部と成る膜である。下側被覆膜３０４の材料としては、パラキシレン系樹脂を用いることができる。また、下側被覆膜３０４の成膜方法として、例えばＣＶＤ法を用いることができる。
【００５５】
次に、図９（ｂ）に示すように、流路形成基板２０に成膜された上側被覆膜３０３と、封止プレート６０に成膜された下側被覆膜３０４とを融点以上で熱溶着する。被覆膜３０として、パラキシレン系樹脂を用いる場合、融点は１４０度（℃）から２００度（℃）を採用することができる。また、接合時の圧力は、１．４メガパスカル（ＭＰａ）から２．０メガパスカル（ＭＰａ）を採用することができる。
そのため、上側被覆膜３０３と下側被覆膜３０４とは一体化し、被覆膜３００が形成される。
【００５６】
そして、図９（ｃ）に示すように、封止プレート６０にリザーバープレート７０を接着する。さらに、リザーバープレート７０にノズルプレート８０を接着する。リザーバープレート７０とノズルプレート８０とは、例えば、接着剤を用いて接着される。
以上説明した工程により、第２の実施形態に係る液体噴射ヘッド２が製造される。
【００５７】
この第２の実施形態では、第１の実施形態が奏する効果と同様の効果を奏する。また、流路の内径といった形状に合わせて、ＣＶＤ法のような従来用いられる成膜方法と、本発明の成膜方法を使い分けることで均一な膜を形成することができる。
【００５８】
３．その他の実施形態：
本発明は様々な実施形態が存在する。実施形態で示す液体噴射ヘッドの基本的構成は上述したものに限定されるものではない。被覆膜を用いて固定を行う部材も上述したものに限定されず、様々な部材間の固定に適用することができるし、２か所以上の場所での固定にも適用することができる。また、上側被覆膜と下側被覆膜とは、まったく同じ材質である必要はない。上述のように熱溶着によって必要な強度で固定できる材質であれば良い。また、被覆部に該当する箇所と固定部に該当する箇所が少なくとも一部において同じ材質で他の箇所が異なる材質により構成される場合も含まれる。例えば、各被覆膜を樹脂により形成する場合では、それぞれ異なる材質の樹脂により成膜された膜を溶着させるものであってもよい。そのため、被覆膜が成膜される位置の形状及び使用条件に応じて、使用する材質の粘性、強度、耐薬品性等を最適に組み合わせることができる。
【００５９】
また、本発明は、広く液体噴射ヘッドの全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射するものにも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレー、ＦＥＤ（面発光ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。
【００６０】
なお、本発明は上記実施例に限られるものでないことは言うまでもない。
即ち、上記実施例の中で開示した相互に置換可能な部材および構成等を適宜その組み合わせを変更して適用してもよい。
公知技術であって上記実施例の中で開示した部材および構成等と相互に置換可能な部材および構成等を適宜置換し、またその組み合わせを変更して適用してもよい。
公知技術等に基づいて当業者が上記実施例の中で開示した部材および構成等の代用として想定し得る部材および構成等と適宜置換し、またその組み合わせを変更して適用してもよい。
【符号の説明】
【００６１】
１、２…液体噴射ヘッド、１０…振動板、２０…流路形成基板、２２…圧力室、３０…被覆膜、３１…被覆部、３２…固定部、３３…上側被覆膜、３４…下側被覆膜、４０…圧電素子、５０…流路ユニット、６０…封止プレート、６１…第１連通孔、６２…共通供給孔、７０…リザーバープレート、７１…第２連通孔、７２…リザーバー、８０…ノズルプレート、８１…ノズル孔、９０…液体流路、３００…被覆膜
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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