(57)【要約】【課題】製造効率よく製造されながら、高い配合割合で粒子を含有し、かつ、保管性および運搬性に優れるロール状封止シートを提供すること。【解決手段】ロール状封止シート６０は、粒子および樹脂成分を含有し、粒子の配合割合が、３０体積％を超過し、樹脂成分は、エポキシ樹脂組成物を含有する封止シート７をロール状に巻回することにより得られる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
粒子および樹脂成分を含有し、
前記粒子の配合割合が、３０体積％を超過し、
前記樹脂成分は、エポキシ樹脂組成物を含有する封止シートであって、ロール状に巻回されていることを特徴とする、ロール状封止シート。
【請求項２】
幅が２００ｍｍ以上であることを特徴とする、請求項１に記載のロール状封止シート。
【請求項３】
前記粒子の最大長さの平均値が、０．１μｍ以上１０００μｍ以下であることを特徴とする、請求項１または２に記載のロール状封止シート。
【請求項４】
２５℃における引張弾性率が、０．１ＧＰａ以上２０ＧＰａ以下であることを特徴とする、請求項１〜３のいずれか一項に記載のロール状封止シート。
【請求項５】
前記封止シートの厚みが１００μｍ以上であることを特徴とする、請求項１〜４のいずれか一項に記載のロール状封止シート。
【請求項６】
前記粒子と前記樹脂成分とを含有する組成物を、１対のギヤを備えるギヤ構造体を用いて、前記ギヤの回転軸線方向に変形させながら搬送させる変形搬送工程、および、前記変形搬送工程の後に、前記組成物を、移動支持体により支持して搬送させながら、前記移動支持体と、前記移動支持体に対して隙間が設けられるように対向配置されるドクターとの前記隙間に通過させる隙間通過工程により、前記封止シートが製造されることを特徴とする、請求項１〜５のいずれか一項に記載のロール状封止シート。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ロール状封止シート、詳しくは、粒子と樹脂成分とを含有するロール状封止シートに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、粒子と樹脂成分とを含有する組成物から、封止シートを製造する方法が種々検討されている。
【０００３】
例えば、下記の方法が提案されている（例えば、下記特許文献１参照）。
【０００４】
すなわち、シリカ粉末と、エポキシ樹脂と、フェノール樹脂と、メチルエチルケトンとを分散混合した塗工用ワニスを調製し、続いて、塗工用ワニスをポリエステルフィルムの剥離処理面上に塗工し、乾燥することにより、シートをポリエステルフィルムの上に作製する。その後、それらを所定形状に切断加工して、複数枚のシートを用意し、続いて、複数枚のシートのそれぞれをポリエステルフィルムから剥離して、剥離した複数枚のシートを積層して、所定厚みの電子部品封止用シートを得ている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１１−３２４３４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１に記載の方法では、複数枚のシートをポリエステルフィルムから毎回剥離し、続いて、それらを積層してシートを製造するため、製造工数が多く、そのため、製造効率が低いという不具合がある。
【０００７】
また、特許文献１に記載の方法により得られるシートは、一辺が短尺の平板状シートとなる。そのような短尺のシートは、平板状シートのまま載置して保管すると保管スペースが多く必要となる上、運搬性の点でも不利である。
【０００８】
本発明の目的は、製造効率よく製造されながら、高い配合割合で粒子を含有し、かつ、保管性および運搬性に優れるロール状封止シートを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために、本発明のロール状封止シートは、粒子および樹脂成分を含有し、前記粒子の配合割合が、３０体積％を超過し、前記樹脂成分は、エポキシ樹脂組成物を含有する封止シートであって、ロール状に巻回されていることを特徴としている。
【００１０】
また、本発明のロール状封止シートは、幅が２００ｍｍ以上であることが好適である。
【００１１】
また、本発明のロール状封止シートでは、前記粒子の最大長さの平均値が、０．１μｍ以上１００μｍ以下であることが好適である。
【００１２】
また、本発明のロール状封止シートは、２５℃における引張弾性率が、０．１ＧＰａ以上２０ＧＰａ以下であることが好適である。
【００１３】
また、本発明のロール状封止シートは、前記封止シートの厚みが１００μｍ以上であることが好適である。
【００１４】
また、本発明のロール状封止シートでは、前記粒子と前記樹脂成分とを含有する組成物を、１対のギヤを備えるギヤ構造体を用いて、前記ギヤの回転軸線方向に変形させながら搬送させる変形搬送工程、および、前記変形搬送工程の後に、前記組成物を、移動支持体により支持して搬送させながら、前記移動支持体と、前記移動支持体に対して隙間が設けられるように対向配置されるドクターとの前記隙間に通過させる隙間通過工程により、前記封止シートが製造されることが好適である。
【発明の効果】
【００１５】
本発明のロール状封止シートは、封止シートがロール状に巻回されながら、粒子を高い配合割合で含有している。そのため、製造効率よく製造されながら、粒子が有する特定物性を十分に発揮させ、さらに、保管スペースを低減することができ、運搬性に優れる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】図１は、本発明のロール状封止シート製造装置の一実施形態の一部切欠平面図を示す。
【図２】図２は、図１のＡ−Ａ線に沿う断面図を示す。
【図３】図３は、図１に示すロール状封止シート製造装置に用いられる混練機の概略構成図を示す。
【図４】図４は、図３に示す混練機の吐出口側の平断面図を示す。
【図５】図５は、図１に示すロール状封止シート製造装置に用いられる供給部、ギヤ構造体および封止シート調整部の平断面図を示す。
【図６】図６は、図５に示す供給部、ギヤ構造体および封止シート調整部の側断面図であり、図５のＢ−Ｂ線に沿う断面図を示す。
【図７】図７は、図５に示すギヤ構造体の１対のギヤの分解斜視図を示す。
【図８】図８は、図７に示す１対のギヤの噛み合いを説明する側断面図であり、（ａ）は、第１ギヤの斜歯の凸面の下流側端部と、第２ギヤの斜歯の凹面の下流側端部とが噛み合う状態、（ｂ）は、第１ギヤの斜歯の凸面の途中部と、第２ギヤの斜歯の凹面の途中部とが噛み合う状態、（ｃ）は、第１ギヤの斜歯の凸面の上流側端部と、第２ギヤの斜歯の凹面の上流側端部とが噛み合う状態を示す。
【図９】図９は、本発明のロール状封止シート製造装置の他の実施形態の一部切欠平面図を示す。
【図１０】図１０は、図９に示すロール状封止シート製造装置に用いる混練機の概略構成図を示す。
【図１１】図１１は、図１０に示す混練機の吐出口側の平断面図を示す。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
本発明のロール状封止シートは、粒子および樹脂成分を含有する封止シートを巻回することにより得られる。
【００１８】
粒子は、粉体、粒体、粉粒体、粉末を含んでおり、粒子を形成する材料としては、例えば、無機材料、有機材料などが挙げられる。好ましくは、無機材料が挙げられる。
【００１９】
無機材料としては、例えば、炭化物、窒化物、酸化物、炭酸塩、硫酸塩、金属、粘土鉱物、炭素系材料などが挙げられる。
【００２０】
炭化物としては、例えば、炭化ケイ素、炭化ホウ素、炭化アルミニウム、炭化チタン、炭化タングステンなどが挙げられる。
【００２１】
窒化物としては、例えば、窒化ケイ素、窒化ホウ素（ＢＮ）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）、窒化ガリウム、窒化クロム、窒化タングステン、窒化マグネシウム、窒化モリブデン、窒化リチウムなどが挙げられる。
【００２２】
酸化物としては、例えば、酸化ケイ素（シリカ、球状溶融シリカ粉末、破砕溶融シリカ粉末などを含む。）、酸化アルミニウム（アルミナ、Ａｌ２Ｏ３）、酸化マグネシウム（マグネシア）、酸化チタン、酸化セリウム、酸化鉄、酸化ベリリウムなどが挙げられる。さらに、酸化物として、金属イオンがドーピングされている、例えば、酸化インジウムスズ、酸化アンチモンスズが挙げられる。好ましくは、酸化ケイ素が挙げられる。
【００２３】
炭酸塩としては、例えば、炭酸カルシウムなどが挙げられる。
【００２４】
硫酸塩としては、例えば、硫酸カルシウム（石膏）などが挙げられる。
【００２５】
金属としては、例えば、銅（Ｃｕ）、銀、金、ニッケル、クロム、鉛、亜鉛、錫、鉄、パラジウム、または、それらの合金（はんだなど）が挙げられる。
【００２６】
粘土鉱物としては、例えば、モンモリロン石、マグネシアンモンモリロン石、テツモンモリロン石、テツマグネシアンモンモリロン石、バイデライト、アルミニアンバイデライト、ノントロン石、アルミニアンノントロナイト、サポー石、アルミニアンサポー石、ヘクトライト、ソーコナイト、スチーブンサイトなどが挙げられる。
【００２７】
炭素系材料としては、例えば、カーボンブラック、黒鉛、ダイヤモンド、フラーレン、カーボンナノチューブ、カーボンナノファイバー、ナノホーン、カーボンマイクロコイル、ナノコイルなどが挙げられる。好ましくは、カーボンブラックが挙げられる。
【００２８】
好ましくは、補強性の観点から、窒化物、酸化物が挙げられる。
【００２９】
また、材料として、好ましくは、絶縁材料が挙げられ、そのような絶縁材料として、例えば、窒化物、酸化物などが挙げられ、具体的には、ＢＮ、シリカなどが挙げられる。絶縁材料は、上記で例示した材料と重複してもよい。
【００３０】
また、粒子は、例えば、シランカップリング剤などによって表面処理されていてもよい。
【００３１】
また、粒子の体積抵抗は、１×１０１０Ω・ｃｍ以上、好ましくは、１×１０１２Ω・ｃｍ以上であり、また、例えば、１×１０２０Ω・ｃｍ以下でもある。
【００３２】
また、粒子の形状は、特に限定されず、例えば、板状、鱗片状、粒子状（不定形状）、球形状などが挙げられる。
【００３３】
粒子の最大長さの平均値（球形状である場合には、平均粒子径）は、例えば、０．１μｍ以上、好ましくは、１μｍ以上であり、また、例えば、１０００μｍ以下、好ましくは、１００μｍ以下でもある。なお、平均粒子径は、例えば、ｄ５０値として求められる。
【００３４】
粒子の最大長さの平均値が上記上限以下であれば、ロール状封止シート製造装置にて平坦に加工することができ、一方、粒子の最大長さの平均値が上記下限以上であれば、シート製造時の増粘を抑えることができ、安定して広幅で形成することができる。
【００３５】
また、粒子は、球形状以外の形状である場合には、そのアスペクト比が、例えば、２以上、好ましくは、１０以上であり、また、例えば、１００００以下、好ましくは、５０００以下でもある。
【００３６】
また、粒子の密度（真密度）は、例えば、０．１ｇ／ｃｍ３以上であり、好ましくは、０．２ｇ／ｃｍ３以上であり、また、例えば、２０ｇ／ｃｍ３以下、好ましくは、１０ｇ／ｃｍ３以下でもある。
【００３７】
これら粒子は、単独使用または２種類以上併用することができる。
【００３８】
樹脂成分は、粒子を分散できるもの、つまり、粒子が分散される分散媒体（マトリックス）であって、具体的には、エポキシ樹脂を含有する。
【００３９】
エポキシ樹脂は、常温において、液状、半固形状および固形状のいずれかの形態である。
【００４０】
具体的には、エポキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノール型エポキシ樹脂（例えば、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＳ型エポキシ樹脂、水素添加ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ダイマー酸変性ビスフェノール型エポキシ樹脂など）、ノボラック型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、フルオレン型エポキシ樹脂、トリフェニルメタン型エポキシ樹脂などの芳香族系エポキシ樹脂、例えば、トリエポキシプロピルイソシアヌレート、ヒダントインエポキシ樹脂などの含窒素環エポキシ樹脂、例えば、脂肪族系エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、グリシジルエーテル型エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂などが挙げられる。エポキシ樹脂としては、例えば、好ましくは、ビスフェノール型エポキシ樹脂が挙げられる。
【００４１】
これらエポキシ樹脂は、単独使用または２種以上併用することができる。
【００４２】
エポキシ樹脂のエポキシ当量は、例えば、１００ｇ／ｅｑ．以上、好ましくは１８０ｇ／ｅｑ．以上であり、また、例えば、１０００ｇ／ｅｑ．以下、好ましくは、７００ｇ／ｅｑ．以下でもある。また、エポキシ樹脂が、常温固形状である場合には、軟化点が、例えば、２０〜９０℃である。
【００４３】
エポキシ樹脂の配合割合は、粒子１００質量部に対して、例えば、１質量部以上、好ましくは、２質量部以上、さらに好ましくは、３．５質量部以上であり、また、例えば、５０質量部以下、好ましくは、４０質量部以下、さらに好ましくは、３０質量部以下でもある。
【００４４】
また、エポキシ樹脂は、好ましくは、硬化剤および／または硬化促進剤と併用されて、エポキシ樹脂組成物として調製されて、樹脂成分に含有される。
【００４５】
硬化剤は、加熱によりエポキシ樹脂を硬化させることができる潜在性硬化剤（エポキシ樹脂硬化剤）であって、例えば、フェノール化合物、アミン化合物、酸無水物化合物、アミド化合物、ヒドラジド化合物、イミダゾリン化合物などが挙げられる。また、上記の他に、ユリア化合物、ポリスルフィド化合物なども挙げられる。
【００４６】
フェノール化合物は、フェノール樹脂を含み、例えば、フェノールとホルムアルデヒドとを酸性触媒下で縮合させて得られるノボラック型フェノール樹脂、例えば、フェノールとジメトキシパラキシレンまたはビス（メトキシメチル）ビフェニルから合成されるフェノール・アラルキル樹脂、例えば、ビフェニル・アラルキル樹脂、例えば、ジシクロペンタジエン型フェノール樹脂、例えば、クレゾールノボラック樹脂、例えば、レゾール樹脂などが挙げられる。好ましくは、フェノール・アラルキル樹脂が挙げられる。
【００４７】
フェノール化合物の水酸基当量は、例えば、８０ｇ／ｅｑ．以上、好ましくは、９０ｇ／ｅｑ．以上、さらに好ましくは、１００ｇ／ｅｑ．以上であり、また、例えば、２，０００ｇ／ｅｑ．以下、好ましくは、１，０００ｇ／ｅｑ．以下、さらに好ましくは、５００ｇ／ｅｑ．以下である。
【００４８】
アミン化合物としては、例えば、エチレンジアミン、プロピレンジアミン、ジエチレントリアミン、トリエチレンテトラミンなどのポリアミン、または、これらのアミンアダクトなど、例えば、メタフェニレンジアミン、ジアミノジフェニルメタン、ジアミノジフェニルスルホンなどが挙げられる。
【００４９】
酸無水物化合物としては、例えば、無水フタル酸、無水マレイン酸、テトラヒドロフタル酸無水物、ヘキサヒドロフタル酸無水物、４−メチル−ヘキサヒドロフタル酸無水物、メチルナジック酸無水物、ピロメリット酸無水物、ドデセニルコハク酸無水物、ジクロロコハク酸無水物、ベンゾフェノンテトラカルボン酸無水物、クロレンディック酸無水物などが挙げられる。
【００５０】
アミド化合物としては、例えば、ジシアンジアミド、ポリアミドなどが挙げられる。
【００５１】
ヒドラジド化合物としては、例えば、アジピン酸ジヒドラジドなどが挙げられる。
【００５２】
イミダゾリン化合物としては、例えば、メチルイミダゾリン、２−エチル−４−メチルイミダゾリン、エチルイミダゾリン、イソプロピルイミダゾリン、２，４−ジメチルイミダゾリン、フェニルイミダゾリン、ウンデシルイミダゾリン、ヘプタデシルイミダゾリン、２−フェニル−４−メチルイミダゾリンなどが挙げられる。
【００５３】
好ましくは、フェノール化合物が挙げられる。
【００５４】
これら硬化剤は、単独使用または２種類以上併用することができる。
【００５５】
硬化剤の軟化点は、例えば、５０℃以上、好ましくは、６０℃以上であり、また、８０℃以下、好ましくは、７０℃以下でもある。
【００５６】
硬化剤の配合割合は、エポキシ樹脂１００質量部に対して、例えば、１質量部以上、好ましくは、５質量部以上、さらに好ましくは、１０質量部以上であり、また、例えば、２００質量部以下、好ましくは、１５０質量部以下でもある。また、硬化剤がフェノール化合物を含有する場合には、エポキシ樹脂のエポキシ基１モルに対して、フェノール化合物の水酸基が、例えば、０．５モル以上、好ましくは、０．８モル以上、また、例えば、２．０モル以下、好ましくは、１．２モル以下となるように調整される。
【００５７】
硬化促進剤は、硬化触媒であって、例えば、２−フェニルイミダゾール、２−メチルイミダゾール、２−エチル−４−メチルイミダゾール、２−フェニル−４−メチル−５−ヒドロキシメチルイミダゾールなどのイミダゾール化合物、例えば、トリエチレンジアミン、トリ−２，４，６−ジメチルアミノメチルフェノールなどの３級アミン化合物、例えば、トリフェニルホスフィン、テトラフェニルホスホニウムテトラフェニルボレート、テトラ−ｎ−ブチルホスホニウム−ｏ，ｏ−ジエチルホスホロジチオエートなどのリン化合物、例えば、４級アンモニウム塩化合物、例えば、有機金属塩化合物、例えば、それらの誘導体などが挙げられる。
【００５８】
これら硬化促進剤は、単独使用または２種類以上併用することができる。
【００５９】
硬化促進剤の配合割合は、エポキシ樹脂１００質量部に対して、例えば、０．１質量部以上、好ましくは、０．２質量部以上であり、また、例えば、１０質量部以下、好ましくは、５質量部以下でもある。
【００６０】
上記した硬化剤および／または硬化促進剤は、必要により、溶媒により溶解および／または分散された溶媒溶液および／または溶媒分散液として調製して用いることができる。
【００６１】
溶媒としては、例えば、アセトン、メチルエチルケトン（ＭＥＫ）などケトン、例えば、酢酸エチルなどのエステル、例えば、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミドなどのアミドなどの有機溶媒などが挙げられる。また、溶媒として、例えば、水、例えば、メタノール、エタノール、プロパノール、イソプロパノールなどのアルコールなどの水系溶媒も挙げられる。
【００６２】
また、樹脂成分は、必要により、エポキシ樹脂以外の熱硬化性樹脂成分、熱可塑性樹脂成分をさらに含有することもできる。
【００６３】
エポキシ樹脂以外の熱硬化性樹脂成分としては、例えば、熱硬化性ポリイミド、ユリア樹脂、メラミン樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ジアリルフタレート樹脂、シリコーン樹脂、熱硬化性ウレタン樹脂などが挙げられる。
【００６４】
熱可塑性樹脂成分としては、例えば、アクリル樹脂、ポリオレフィン（例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン−プロピレン共重合体など）、ポリ酢酸ビニル、エチレン−酢酸ビニル共重合体、ポリ塩化ビニル、ポリスチレン、ポリアクリロニトリル、ポリアミド、ポリカーボネート、ポリアセタール、ポリエチレンテレフタレート、ポリフェニレンオキシド、ポリフェニレンスルフィド、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリアリルスルホン、熱可塑性ポリイミド、熱可塑性ウレタン樹脂、ポリアミノビスマレイミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルイミド、ビスマレイミドトリアジン樹脂、ポリメチルペンテン、フッ化樹脂、液晶ポリマー、オレフィン−ビニルアルコール共重合体、アイオノマー、ポリアリレート、アクリロニトリル−エチレン−スチレン共重合体、アクリロニトリル−ブタジエン−スチレン共重合体、アクリロニトリル−スチレン共重合体、ポリスチレン−ポリイソブチレン共重合体などが挙げられる。
【００６５】
エポキシ樹脂以外の熱硬化性樹脂成分および熱可塑性樹脂成分は、単独使用または２種類以上併用することができる。
【００６６】
また、樹脂成分には、エラストマー、難燃剤、分散剤、粘着付与剤、フッ素系界面活性剤、可塑剤、老化防止剤、着色剤などの公知の添加剤を適宜の割合で含有することもできる。好ましくは、エラストマーおよび難燃剤を含有する。
【００６７】
エラストマーとしては、例えば、ウレタンゴム、シリコーンゴム、ビニルアルキルエーテルゴム、ポリビニルアルコールゴム、ポリビニルピロリドンゴム、ポリアクリルアミドゴム、セルロースゴム、天然ゴム、ブタジエンゴム、クロロプレンゴム、スチレン・ブタジエンゴム（ＳＢＲ）、アクリロニトリル・ブタジエンゴム（ＮＢＲ）、イソプレンゴム、ポリイソブチレンゴム、ブチルゴム、スチレン・エチレン・ブタジエン・スチレンゴム、スチレン・イソプレン・スチレンゴム、スチレン・イソブチレンゴムなどが挙げられる。好ましくは、スチレン・イソブチレンゴムが挙げられる。
【００６８】
スチレン・イソブチレンゴムは、スチレンとイソブチレンとの共重合により得られる合成ゴムであり、例えば、スチレン・イソブチレンランダム共重合体、スチレン・イソブチレンブロック共重合体などが挙げられ、好ましくは、スチレン・イソブチレンブロック共重合体が挙げられる。
【００６９】
また、スチレン・イソブチレンブロック共重合体としては、具体的には、スチレン・イソブチレン・スチレンブロック共重合体（ＳＩＢＳ）が挙げられる。
【００７０】
エラストマーの含有割合は、粒子１００質量部に対して、例えば、１質量部以上、好ましくは、２質量部以上、より好ましくは、１０質量部以上であり、また、例えば、１００質量部以下、好ましくは、５０質量部以下、より好ましくは、１０質量部以下でもある。
【００７１】
難燃剤としては、例えば、ホスファゼン誘導体などが挙げられる。難燃剤の含有割合は、例えば、粒子１００質量部に対して、例えば、０．１質量部以上、好ましくは、１質量部以上、より好ましくは、２質量部以上であり、また、例えば、１００質量部以下、好ましくは、１０質量部以下、より好ましくは、５質量部以下でもある。
【００７２】
そして、ロール状封止シートは、熱硬化性絶縁樹脂シートとして形成される封止シートをロール状に巻回することにより得られる。
【００７３】
図１は、本発明のロール状封止シート製造装置の一実施形態の一部切欠平面図を示す。図２は、図１のＡ−Ａ線に沿う断面図を示す。図３は、図１に示すロール状封止シート製造装置に用いられる混練機の概略構成図を示す。図４は、図３に示す混練機の吐出口側の平断面図を示す。図５は、図１に示すロール状封止シート製造装置に用いられる供給部、ギヤ構造体および封止シート調整部の平断面図を示す。図６は、図５に示す供給部、ギヤ構造体および封止シート調整部の側断面図であり、図５のＢ−Ｂ線に沿う断面図を示す。図７は、図５に示すギヤ構造体の１対のギヤの分解斜視図を示す。図８は、図７に示す１対のギヤの噛み合いを説明する側断面図を示す。
【００７４】
図１において、紙面右側を「右側」、紙面左側を「左側」、紙面下側を「前側」、紙面上側を「後側」として、方向矢印で示し、また、紙面手前側を「上側」、紙面奥側を「下側」として説明する。また、図１において、右側は、１対のギヤ（後述）の回転軸線方向一方側であり、左側は、回転軸線方向他方側であり、前側は、交差方向（後述）一方側であり、後側は、交差方向他方側である。さらに、図２以降の図面の方向については、図１で説明する方向に準じる。
【００７５】
次に、ロール状封止シート６０の製造方法を、図１〜図８を参照して説明する。
【００７６】
図１において、ロール状封止シート製造装置１は、粒子と樹脂成分とを含有する組成物Ｘからロール状封止シート６０（図２参照）を製造するように構成されており、例えば、平面視略Ｌ字形状に形成されている。ロール状封止シート製造装置１は、混練機２と供給部３とギヤ構造体４と封止シート調整部５と巻取部６とを備えている。混練機２と供給部３とギヤ構造体４と封止シート調整部５と巻取部６とは、ロール状封止シート製造装置１において、平面視略Ｌ字形状に整列配置されている。つまり、ロール状封止シート製造装置１は、組成物Ｘ（図２参照）または封止シート７（図２参照）を平面視略Ｌ字形状に搬送するように、構成されている。
【００７７】
混練機２は、ロール状封止シート製造装置１の左側に設けられている。
【００７８】
混練機２は、図３および図４に示すように、連続二軸混練機であり、シリンダ７０と、２つの混練軸１３とを備えている。
【００７９】
シリンダ７０は、左右方向に延びる略楕円筒状に形成され、その左端側（一端側）には、図２に示すように、粒子と樹脂成分とを含有する組成物Ｘをシリンダ７０の内部に導入するための導入部としての導入口１４が設けられている。また、右端側（他端側）には、組成物Ｘが混練された混練物Ｙをシリンダ７０の外部に吐出するための吐出部としての吐出口１５が設けられている。
【００８０】
図３に示すように、導入口１４は、シリンダ７０の左端部の上壁を貫通して、上方に開口するように形成されている。
【００８１】
吐出口１５は、シリンダ７０の右端部に、右方に開口するように形成されている。
【００８２】
吐出口１５の断面形状としては、例えば、矩形状、楕円形状、円形状などが挙げられ、好ましくは、楕円形状または円形状が挙げられる。
【００８３】
また、吐出口１５の断面積は、シリンダ７０の断面積に対して、例えば、１５％以上、好ましくは、２５％以上であり、また、例えば、５０％以下、好ましくは、４５％以下でもある。
【００８４】
また、シリンダ７０における導入口１４と吐出口１５との間には、組成物Ｘを溶融混練する溶融混練部６ａが形成されている。
【００８５】
溶融混練部６ａは、その軸線方向途中部において、溶融混練部６ａ内の気体を排出するための複数（２つ）のベント部７ａを備えている。
【００８６】
各ベント部７ａは、シリンダ７０の上壁を貫通するように、それぞれ形成されている。つまり、各ベント部７ａと導入口１４とは、混練軸１３の軸線方向において、互いに並列するように形成されている。
【００８７】
また、各ベント部７ａは、常時閉鎖されており、必要により適宜開放することができる。
【００８８】
複数のベント部７ａは、より具体的には、シリンダ７０の左右方向において、導入口１４の右側近傍に設けられる第１ベント部５４ａ（導入口１４側のベント部７ａ）と、吐出口１５の左側近傍に設けられる第２ベント部５５ａ（吐出口１５側のベント部７ａ）とを備えている。
【００８９】
また、第２ベント部５５ａは、パイプ部１２ａ（後述）よりも左側に配置されていて、ポンプ（図示せず）と連結されており、ポンプ（図示せず）の駆動による吸引力により、溶融混練部６ａ内の気体が吸引される。
【００９０】
また、溶融混練部６ａには、ヒータ（図示せず）が設けられており、溶融混練部６ａが、シリンダ７０の左右方向において、ブロック単位で適宜温度調整される。
【００９１】
混練軸１３は、シリンダ７０の内部に挿通（配置）されている。混練軸１３は、組成物Ｘを混合せん断する回転軸であって、駆動軸８ａと、フィードスクリュー部９ａと、リバーススクリュー部１０ａと、混練部分としてのパドル部１１ａと、低せん断部分としてのパイプ部１２ａとが一体的に形成されている。
【００９２】
詳しくは、混練軸１３は、１つの駆動軸８ａと、複数（４つ）のフィードスクリュー部９ａと、複数（２つ）のリバーススクリュー部１０ａと、複数（３つ）のパドル部１１ａと、１つのパイプ部１２ａとを備えている。
【００９３】
なお、フィードスクリュー部９ａ、リバーススクリュー部１０ａ、パドル部１１ａおよびパイプ部１２ａは、必要により適宜、軸線方向長さや設置数を変更することができる。
【００９４】
複数（４つ）のフィードスクリュー部９ａは、組成物Ｘを吐出口１５に向けて搬送する部分であって、具体的には、第１フィード部２３ａ、第２フィード部２４ａ、第３フィード部２５ａおよび第４フィード部２６ａから形成され、それらは、駆動軸８ａの軸線方向に互いに間隔を隔てて配置されている。
【００９５】
第１フィード部２３ａは、混練軸１３の左端部に配置され、導入口１４および第１ベント部５４ａを駆動軸８ａの径方向に投影したときに、それらの投影面と重なるように配置されている。また、第１フィード部２３ａは、駆動軸８ａの軸線方向長さが、他のフィード部と比較して最も長く形成されている。
【００９６】
第４フィード部２６ａは、４つのフィード部のうち、最も吐出口１５側に配置され、第２ベント部５５ａを駆動軸８ａの径方向に投影したときに、その投影面と重なるように配置されている。また、第４フィード部２６ａは、駆動軸８ａの軸線方向長さが、第１フィード部２３ａの略１／２に形成されている。
【００９７】
また、第２フィード部２４ａおよび第３フィード部２５ａは、第１フィード部２３ａと第４フィード部２６ａとの間に配置され、駆動軸８ａの軸線方向長さが、第１フィード部２３ａの略１／１０に形成されている。
【００９８】
また、フィードスクリュー部９ａは、図４に示すように、駆動軸８ａの外周面から突出するらせん状のスクリュー条２０ａを備えている。
【００９９】
詳しくは、スクリュー条２０ａは、駆動軸８ａの回転方向（後述）と同じ方向にらせん状に形成されている。つまり、フィードスクリュー部９ａは、右らせんのスクリュー条２０ａを備えている。
【０１００】
フィードスクリュー部９ａにおけるスクリュー条２０ａのピッチ間隔は、例えば、０．６ｃｍ以上、好ましくは、１．５ｃｍ以上であり、また、例えば、２．０ｃｍ以下でもある。
【０１０１】
複数（２つ）のリバーススクリュー部１０ａは、図３に示すように、第１リバース部３０ａ、および、第２リバース部３１ａから形成され、それらは、混練軸１３の軸線方向に互いに間隔を隔てて配置されている。
【０１０２】
第１リバース部３０ａは、第１フィード部２３ａと第２フィード部２４ａとの間であって、第２フィード部２４ａの左側に隣接配置されている。
【０１０３】
また、第２リバース部３１ａは、第２フィード部２４ａと第３フィード部２５ａとの間であって、第３フィード部２５ａの左側に隣接配置されている。
【０１０４】
また、第１リバース部３０ａと第２リバース部３１ａとは、駆動軸８ａの軸線方向長さが、略同一に形成されている。その軸線方向長さは、第１フィード部２３ａの略１／２０である。
【０１０５】
また、リバーススクリュー部１０ａも、フィードスクリュー部９ａと同様に、図４に示すように、駆動軸８ａの外周面から突出するらせん状のスクリュー条２０ａを備えている。
【０１０６】
また、リバーススクリュー部１０ａのスクリュー条２０ａは、フィードスクリュー部９ａのスクリュー条２０ａと逆方向のらせん状に形成されている。つまり、リバーススクリュー部１０ａは、左らせんのスクリュー条２０ａを備えている。
【０１０７】
リバーススクリュー部１０ａにおけるスクリュー条２０ａのピッチ間隔は、例えば、０．６ｃｍ以上、好ましくは、１．０ｃｍ以上であり、また、例えば、１．５ｃｍ以下でもある。
【０１０８】
複数（３つ）のパドル部１１ａは、図３に示すように、組成物Ｘを混練する部分であって、具体的には、第１パドル部２７ａ、第２パドル部２８ａおよび第３パドル部２９ａから形成され、それらは、混練軸１３の軸線方向に互いに間隔を隔てて配置されている。
【０１０９】
第１パドル部２７ａは、第１フィード部２３ａと第１リバース部３０ａとの間に配置されている。
【０１１０】
第２パドル部２８ａは、第２フィード部２４ａと第２リバース部３１ａとの間に配置されている。
【０１１１】
第３パドル部２９ａは、第３フィード部２５ａと第４フィード部２６ａとの間に配置されている。
【０１１２】
また、第１パドル部２７ａ、第２パドル部２８ａおよび第３パドル部２９ａは、駆動軸８ａの軸線方向長さが、それぞれ略同じ長さであって、第１フィード部２３ａの略１／３に形成されている。
【０１１３】
また、パドル部１１ａは、図４に示すように、略楕円板状のパドル羽２１ａを、駆動軸８ａの軸線方向に沿って並列するように複数備えている。
【０１１４】
より具体的には、複数のパドル羽２１ａは、駆動軸８ａの軸線方向に、それぞれ隣接するパドル羽２１ａの長径が、互いに約９０°変位するように並列配置されている。
【０１１５】
パイプ部１２ａは、駆動軸８ａの軸線方向に沿って略円筒形状に形成され、全周面にわたって凹凸がないように形成されている。
【０１１６】
また、パイプ部１２ａは、混練軸１３の右端部に配置され、第４フィード部２６ａの右側に隣接配置されている。また、パイプ部１２ａは、駆動軸８ａの軸線方向長さが、第１フィード部２３ａの略１／２に形成されている。
【０１１７】
すなわち、混練軸１３では、図３に示すように、駆動軸８ａの左端側から右端側に向けて、順次、第１フィード部２３ａ、第１パドル部２７ａ、第１リバース部３０ａ、第２フィード部２４ａ、第２パドル部２８ａ、第２リバース部３１ａ、第３フィード部２５ａ、第３パドル部２９ａ、第４フィード部２６ａ、および、パイプ部１２ａが配置されている。
【０１１８】
つまり、混練軸１３は、駆動軸８ａの左端側から右端側に向けて、フィード部、パドル部およびリバース部からなるユニットが繰り返して配置されており、右端側のユニットでは、リバース部の代わりに、フィード部およびパイプ部が配置されている。
【０１１９】
そして、２つの混練軸１３は、図４に示すように、シリンダ７０の内部において、その軸線方向に沿って配置され、かつ、その径方向に沿って、互いに並列配置されている。
【０１２０】
また、２つの混練軸１３は、それぞれの部分（フィードスクリュー部９ａ、リバーススクリュー部１０ａ、パドル部１１ａ）において、互いの回転駆動を妨げないように配置されている。
【０１２１】
また、混練軸１３の駆動軸８ａの両端部は、シリンダ７０の軸線方向外方に突出している。その突出する両端部のうち、右端側は、駆動源（図示せず）に相対回転不能に連結され、左端側は、支持壁（図示せず）に相対回転可能に支持されている。つまり、混練軸１３は、駆動軸８ａに駆動源（図示せず）から駆動力が伝達されることにより、駆動軸８ａの軸線周りにおいて、回転駆動する。具体的には、混練軸１３は、駆動軸８ａの軸線方向において、導入口１４側から吐出口１５側に見て右回転する。
【０１２２】
また、図４に示すように、シリンダ７０の内周面と、混練軸１３のフィードスクリュー部９ａ、リバーススクリュー部１０ａ（図３参照）、および、パドル部１１ａとは、混練軸１３の径方向において僅かな間隔を隔てて対向するように配置されている。一方、シリンダ７０の内周面と、パイプ部１２ａとは、混練軸１３の径方向において、他の部分と比較して大きな間隔を隔てて配置されている。
【０１２３】
供給部３は、図１に示すように、混練機２の右側に設けられており、左右方向に延びるように形成されている。供給部３は、連結管１７によって、混練機２と接続されている。
【０１２４】
連結管１７は、シリンダ７０の軸線と共通する軸線を有する略円筒形状に形成されている。連結管１７の左端部は、シリンダ７０の吐出口１５と接続され、連結管１７の右端部は、供給部３の供給部入口１８（後述）に接続されている。
【０１２５】
供給部３は、図５および図６に示すように、第１ケーシング２１と、供給スクリュー２２とを備えている。
【０１２６】
第１ケーシング２１は、左右方向に延びる平面視矩形状をなし、前側が左右方向にわたって開口されている。第１ケーシング２１の左端部には、供給部入口１８が形成され、第１ケーシング２１の前端部には、第１貯留部２７が形成されている。また、第１ケーシング２１には、次に説明する供給スクリュー２２を収容する第１収容部１９が設けられている。第１収容部１９は、後部２９と、後部２９の前側に連通する前部３０とを備えている。後部２９および前部３０のそれぞれは、側断面視略円形状をなし、第１ケーシング２１において、左右方向にわたって形成されている。
【０１２７】
供給部入口１８は、第１収容部１９（後部２９および前部３０）に連通している。
【０１２８】
第１貯留部２７は、前方に向かって大きくなる側断面視略テーパ形状に形成されている。
【０１２９】
供給スクリュー２２は、第１収容部１９に収容されており、左右方向に延び、互いに噛み合う第１スクリュー２３および第２スクリュー２４を備えている。
【０１３０】
第１スクリュー２３は、後部２９内に収容されており、第１スクリュー２３の回転方向Ｒ１に対して傾斜する羽根２０を備えている。第１スクリュー２３の羽根２０の回転軸線方向におけるピッチ間隔は、例えば、５ｍｍ以上、好ましくは、１０ｍｍ以上であり、また、例えば、５０ｍｍ以下、好ましくは、３０ｍｍ以下でもある。
【０１３１】
第２スクリュー２４は、前部３０内に収容されており、第１スクリュー２３と同一構成および同一寸法であり、第１スクリュー２３と噛み合いながら、第１スクリュー２３と同一方向に回転するように、構成されている。
【０１３２】
供給スクリュー２２（第１スクリュー２３および第２スクリュー２４）の回転軸方向の長さは、第１ケーシング２１の幅Ｗ０に対して微小なクリアランス（図示せず）の分だけ短く設定されている。
【０１３３】
なお、供給部３には、第１ケーシング２１の右側において、供給スクリュー２２に接続されるモータ（図示せず）が設けられている。
【０１３４】
供給部３は、混練物Ｙを、混練機２の吐出方向（左右方向）に沿う幅Ｗ０（つまり、第１ケーシング２１の幅Ｗ０）を有するように、後方からギヤ構造体４に供給するように構成されている。
【０１３５】
ギヤ構造体４は、図６および図７に示すように、第２ケーシング３１と、１対のギヤ３２とを備えている。なお、ギヤ構造体４は、１対のギヤ３２の回転軸線方向Ａ１の長さＷ２が長く、供給部３から供給される混練物Ｙを封止シート調整部５に搬送するギヤポンプでもある。
【０１３６】
第２ケーシング３１は、図５および図６に示すように、第１ケーシング２１の前側に連続して形成されており、後方および前方が左右方向にわたって開口され、左右方向に延びる平面視略矩形状に形成されている。第２ケーシング３１の後端部には、１対のギヤ３２を収容する第２収容部４０が設けられ、前端部には、ギヤ吐出口４６が形成されている。また、第２収容部４０とギヤ吐出口４６との間には、それらに連通する第２貯留部２８および吐出通路４４が形成されている。
【０１３７】
第２収容部４０は、下部６１と、第１貯留部２７に連通され、下部６１の上側に連通する上部６２とを備えている。下部６１および上部６２のそれぞれは、側断面視略円形状をなし、第２ケーシング３１において、左右方向にわたって形成されている。
【０１３８】
ギヤ吐出口４６は、上下方向に互いに間隔を隔てて形成される２つの吐出壁４５によって区画されており、前方に開口されるように形成されている。吐出壁４５は、第２ケーシング３１の前端部に設けられており、下側壁４７および上側壁４８を備えている。
【０１３９】
下側壁４７は、左右方向および上下方向に延びる厚肉平板形状をなし、その前面および上面のそれぞれが、平坦状に形成されている。
【０１４０】
上側壁４８は、下面が平坦状に形成されている。また、上側壁４８は、側断面視略Ｌ字形状をなし、下部の前端部が上部の前面に対して前方に突出するように形成されている。つまり、上側壁４８において、下部の前端部が、側断面視略矩形状のドクターとしての突出部６３とされている。突出部６３の突出長さ（つまり、前後方向長さ）は、例えば、２ｍｍ以上であり、また、例えば、１５０ｍｍ以下、５０ｍｍ以下でもある。また、突出部６３の厚み（つまり、上下方向長さ）は、例えば、２ｍｍ以上であり、また、例えば、１００ｍｍ以下、好ましくは、５０ｍｍ以下でもある。突出部６３の前面と、下側壁４７の前面とは、上下方向に投影したときに、同一位置となるように、形成されている。
【０１４１】
第２貯留部２８は、第２収容部４０の前側に連通しており、後方が開放される側断面視略Ｕ字形状に形成されている。
【０１４２】
吐出通路４４は、第２貯留部２８の前側に連通するとともに、ギヤ吐出口４６の後側に連通している。吐出通路４４は、側断面視において、前方に向かって延びる略直線状に形成されている。
【０１４３】
図７に示すように、１対のギヤ３２は、例えば、ダブルヘリカルギヤであって、具体的には、第１ギヤ３３および第２ギヤ３４を備えている。
【０１４４】
第１ギヤ３３の回転軸である第１軸２５は、第２ケーシング３１（図６参照）において、左右方向に延びるように設けられている。
【０１４５】
第２ギヤ３４の回転軸である第２軸２６は、第２ケーシング３１（図６参照）において、第１軸２５と平行して延びるように設けられている。また、第２軸２６は、第１軸２５に対して上方に対向配置されている。
【０１４６】
第１ギヤ３３および第２ギヤ３４のそれぞれは、下部６１および上部６２に収容されている。
【０１４７】
そして、第１ギヤ３３および第２ギヤ３４のそれぞれは、具体的には、互いに噛み合う斜歯３５を備えている。
【０１４８】
第１ギヤ３３において、斜歯３５の歯筋は、第１ギヤ３３の回転方向Ｒ２の下流側から回転方向Ｒ２の上流側に向かうに従って、回転軸線方向Ａ１の外側に傾斜している。また、斜歯３５は、歯筋が互いに異なる第１斜歯３６および第２斜歯３７を一体的に備えている。第１ギヤ３３において、第１斜歯３６は、第１ギヤ３３の軸線方向中央から右側に形成され、第２斜歯３７は、第１ギヤ３３の軸線方向中央から左側に形成されている。
【０１４９】
詳しくは、第１斜歯３６の歯筋は、回転方向Ｒ２の下流側から回転方向Ｒ２の上流側に向かうに従って、左側（中央部側）から右側（右端部側）に傾斜している。一方、第２斜歯３７の歯筋は、第１斜歯３６の歯筋に対して第１ギヤ３３の左右方向中央部を基準として左右対称に形成されており、具体的には、回転方向Ｒ２の下流側から回転方向Ｒ２の上流側に向かうに従って、右側（中央部側）から左側（左端部側）に傾斜している。
【０１５０】
第２ギヤ３４は、第１ギヤ３３に対して上下対称に形成されており、第１ギヤ３３と噛み合うように構成されており、具体的には、第１斜歯３６と噛み合う第３斜歯３８と、第２斜歯３７と噛み合う第４斜歯３９とを一体的に備えている。
【０１５１】
図８に示すように、１対のギヤ３２は、黒丸で示される噛み合い部分が、側断面視において、第１ギヤ３３および第２ギヤ３４が点状に接触するように構成されることから、側断面点接触タイプとされている。また、１対のギヤ３２は、噛み合い部分が、１対のギヤ３２の歯筋に沿って、第１ギヤ３３および第２ギヤ３４の弦巻（つるまき）線状に形成されることから、線接触タイプともされる。
【０１５２】
１対のギヤ３２のそれぞれの斜歯３５は、回転方向Ｒ２において間隔を隔てて設けられ、径方向内方に湾曲するように形成される凹面４２と、各凹面４２を連結し、凹面４２の周方向両端部から径方向外方に湾曲するように形成される凸面４３とを一体的に備える曲面４１を備えている。
【０１５３】
次に、１対のギヤ３２の曲面４１における噛み合いを図８（ａ）〜図８（ｃ）を参照して説明する。
【０１５４】
まず、図８（ａ）に示すように、第１ギヤ３３の凸面４３の回転方向Ｒ２の下流側端部と、第２ギヤ３４の凹面４２の回転方向Ｒ２の下流側端部とが噛み合っている場合において、図８（ａ）矢印および図８（ｂ）に示すように、第１ギヤ３３および第２ギヤ３４が回転方向Ｒ２に回転すると、第１ギヤ３３の凸面４３の回転方向Ｒ２の途中部と、第２ギヤ３４の凹面４２の回転方向Ｒ２の途中部とが噛み合う。続いて、図８（ｂ）矢印および図８（ｃ）に示すように、第１ギヤ３３および第２ギヤ３４が回転方向Ｒ２に回転すると、第１ギヤ３３の凸面４３の回転方向Ｒ２の上流側端部と、第２ギヤ３４の凹面４２の回転方向Ｒ２の上流側端部とが噛み合う。つまり、第１ギヤ３３の凸面４３と、第２ギヤ３４の凹面４２との噛合部分が、各面における回転方向Ｒ２の下流側端部、途中部および上流側端部に順次連続的に移動する。
【０１５５】
続いて、図示しないが、第１ギヤ３３の凹面４２と、第２ギヤ３４の凸面４３との噛合部分も、各面における回転方向Ｒ２の下流側端部、途中部および上流側端部に順次連続的に移動する。
【０１５６】
従って、第１ギヤ３３の曲面４１と、第２ギヤ３４の曲面４１との噛合部分が、回転方向Ｒ２に沿って連続して移動する。この噛合部分の移動は、混練物Ｙの搬送において、混練物Ｙが溜まる貯留部分が形成されることを防止する。
【０１５７】
なお、ギヤ構造体４には、供給スクリュー２２の右側において、１対のギヤ３２の第１軸２５および第２軸２６に接続されるモータ（図示せず）が設けられている。
【０１５８】
図５および図６に示すように、封止シート調整部５は、ギヤ構造体４の前側において上側壁４８の突出部６３を含むように設けられており、例えば、ギヤ構造体４における突出部６３と、移動支持体としての支持ロール５１とを備えている。また、封止シート調整部５は、図２に示すように、基材送出ロール５６と、セパレータラミネートロール５７と、転動ロール５８と、セパレータ送出ロール５９とを備えている。
【０１５９】
突出部６３は、図２および図６に示すように、ギヤ構造体４における第２ケーシング３１のギヤ吐出口４６を区画する壁の役割と、封止シート調整部５におけるギヤ吐出口４６から吐出される封止シート７の厚みを調整するドクター（あるいはナイフ）の役割との両方の役割を有する。
【０１６０】
支持ロール５１は、突出部６３に対して隙間５０が設けられるように対向配置されている。支持ロール５１の回転軸線は、１対のギヤ３２の第１軸２５および第２軸２６と平行しており、具体的には、図５に示すように、左右方向に延びている。また、支持ロール５１の回転軸線は、図６に示すように、前後方向に投影したときに、ギヤ吐出口４６および突出部６３と重なるように、配置されている。また、支持ロール５１は、封止シート７を支持して搬送するように構成されている。
【０１６１】
従って、支持ロール５１は、封止シート７を隙間５０に通過させるように構成されている。
【０１６２】
図２に示すように、基材送出ロール５６は、支持ロール５１の下方に間隔を隔てて設けられている。基材送出ロール５６の回転軸線は、左右方向に延びており、基材送出ロール５６の周面には、基材８がロール状に巻回されている。
【０１６３】
セパレータラミネートロール５７および転動ロール５８は、支持ロール５１の前方に間隔を隔てて設けられている。セパレータラミネートロール５７および転動ロール５８のそれぞれの回転軸線は、左右方向に延びるように配置されている。セパレータラミネートロール５７は、転動ロール５８に対して上側に対向配置されており、転動ロール５８に対して押圧可能に構成されている。
【０１６４】
転動ロール５８は、セパレータラミネートロール５７からの押圧を受けて、封止シート７および基材８に対して転動可能に構成されており、その上端部は、前後方向に投影したときに、支持ロール５１の上端部と同一位置となるように、配置されている。
【０１６５】
セパレータ送出ロール５９は、セパレータラミネートロール５７の前方斜め上側に間隔を隔てて設けられている。セパレータ送出ロール５９の回転軸線は、左右方向に延びており、セパレータ送出ロール５９の周面には、セパレータ９がロール状に巻回されている。
【０１６６】
巻取部６は、封止シート調整部５の前方に設けられており、テンションロール５２と、巻取ロール５３とを備えている。
【０１６７】
テンションロール５２は、転動ロール５８の前方に間隔を隔てて設けられ、具体的には、テンションロール５２の上端部は、前後方向に投影したときに、転動ロール５８の上端部と同一位置となるように、配置されている。テンションロール５２の回転軸線は、左右方向に延びるように形成されている。
【０１６８】
巻取ロール５３は、テンションロール５２に対して前方斜め下側に間隔を隔てて対向配置されている。また、巻取ロール５３の回転軸線は、左右方向に延びており、巻取ロール５３の周面において、封止シート７をロール状に巻き取り（巻回し）、ロール状封止シート６０を得ることができるように、構成されている。
【０１６９】
ロール状封止シート製造装置１の寸法は、用いる粒子および樹脂成分の種類および配合割合と、目的とするロール状封止シート６０の幅Ｗ１および厚みＴ１に対応して適宜設定される。
【０１７０】
図５に示すように、第１ケーシング２１の幅Ｗ０は、例えば、１対のギヤ３２の回転軸線方向長さＷ２と下記式（１）の関係、好ましくは、下記式（２）の関係、より好ましくは、下記式（３）の関係を満足するように、設定される。
【０１７１】
Ｗ２−１００（ｍｍ）≦Ｗ０≦Ｗ２＋１５０（ｍｍ）    （１）
Ｗ２−５０（ｍｍ）≦Ｗ０≦Ｗ２＋１００（ｍｍ）      （２）
Ｗ２−２０（ｍｍ）≦Ｗ０≦Ｗ２＋５０（ｍｍ）        （３）
図７に示すように、１対のギヤ３２の回転軸線方向長さＷ２は、製造するロール状封止シート６０の幅Ｗ１によって適宜選択することができ、具体的には、上記した第１ケーシング２１の幅Ｗ０と同様であって、製造するロール状封止シート６０の幅Ｗ１に対して、例えば、７０％以上、好ましくは、８０％以上であり、また、例えば、１００％以下でもある。
【０１７２】
具体的には、１対のギヤ３２の回転軸線方向長さＷ２は、例えば、２００ｍｍ以上、好ましくは、３００ｍｍ以上であり、また、例えば、２０００ｍｍ以下でもある。
【０１７３】
１対のギヤ３２のギヤ径（ギヤ３２の直径（外径）、詳しくは、刃先の直径）は、混練物の搬送時の圧力で１対のギヤ３２が歪まないように設定され、具体的には、例えば、１０ｍｍ以上、好ましくは、２０ｍｍ以上であり、また、例えば、２００ｍｍ以下、好ましくは、８０ｍｍ以下でもある。
【０１７４】
１対のギヤ３２の歯たけは、例えば、１ｍｍ以上、好ましくは、３ｍｍ以上であり、また、例えば、３０ｍｍ以下、好ましくは、２０ｍｍ以下でもある。
【０１７５】
斜歯３５の回転軸線方向Ａ１におけるピッチ間隔は、例えば、５ｍｍ以上、好ましくは、１０ｍｍ以上であり、また、例えば、３０ｍｍ以下、好ましくは、２５ｍｍ以下でもある。また、斜歯３５の歯筋の、１対のギヤ３２の回転軸線に対する角度（傾斜角）は、例えば、５度以上、好ましくは、１０度以上、より好ましくは、１５度以上であり、また、例えば、９０度未満、好ましくは、８５度以下、より好ましくは、８０度以下でもある。
【０１７６】
また、図５および図６に示すように、隙間５０の前後方向距離Ｌ１は、所望厚みに応じて適宜設定され、詳しくは、封止シート７および基材８の合計厚みと同じ距離（長さ）であって、例えば、１０μｍ以上、好ましくは、３０μｍ以上、さらに好ましくは、１００μｍ以上であり、また、例えば、１０００μｍ以下、好ましくは、８００μｍ以下、さらに好ましくは、７５０μｍ以下でもある。
【０１７７】
巻取ロール５３の外径は、例えば、７６ｍｍ以上、好ましくは、１５２ｍｍ以上であり、また、例えば、５００ｍｍ以下でもある。
【０１７８】
以下、このロール状封止シート製造装置１を用いて、粒子と樹脂成分とを含有する組成物Ｘからロール状封止シート６０を製造する方法について説明する。
【０１７９】
まず、図２に示すように、導入口１４に、粒子および樹脂成分を含有する組成物Ｘを仕込む。
【０１８０】
また、ロール状封止シート製造装置１において、混練機２、供給部３およびギヤ構造体４を所定の温度および回転速度に調整する。なお、混練機２、供給部３およびギヤ構造体４の温度は、例えば、エポキシ樹脂の硬化温度未満であり、例えば、２００℃以下、好ましくは、１５０℃以下であり、また、樹脂成分がさらに熱可塑性樹脂成分を含有する場合には、その軟化温度以上であって、具体的には、例えば、５０℃以上、好ましくは、７０℃以上である。
【０１８１】
また、基材送出ロール５６に、基材８を予め巻回する。
【０１８２】
基材８としては、例えば、ポリプロピレンフィルム、エチレン−プロピレン共重合体フィルム、ポリエステルフィルム（ＰＥＴなど）、ポリ塩化ビニルなどのプラスチックフィルム類、例えば、クラフト紙などの紙類、例えば、綿布、スフ布などの布類、例えば、ポリエステル不織布、ビニロン不織布などの不織布類、例えば、金属箔などが挙げられる。基材８の厚みは、その目的および用途など応じて適宜選択され、例えば、１０〜５００μｍである。なお、基材８の表面を離型処理することもできる。
【０１８３】
さらに、セパレータ送出ロール５９に、セパレータ９を予め巻回する。
【０１８４】
セパレータ９は、基材８と同様のものが挙げられ、その表面を表面処理することもできる。セパレータ９の厚みは、その目的および用途など応じて適宜選択され、例えば、１０〜５００μｍである。
【０１８５】
次いで、組成物Ｘを、シリンダ７０の導入口１４から、シリンダ７０内に投入する。
【０１８６】
混練機２では、組成物Ｘに含有される粒子および樹脂成分が、ヒータ（図示せず）によって加熱されながら、混練軸１３の回転によって混練押出されて、粒子が樹脂成分に分散された混練物Ｙが、吐出口１５から連結管１７を介して、図５に示すように、供給部３における供給部入口１８に至る（混練押出工程）。
【０１８７】
詳しくは、図３に示すように、駆動軸８ａに駆動源（図示せず）からの駆動力が伝達されると、混練軸１３が回転駆動し、組成物Ｘが第１フィード部２３ａにより攪拌されながら、第１パドル部２７ａに向けて搬送される。
【０１８８】
このとき、第１フィード部２３ａの外方に位置するシリンダ７０（溶融混練部６ａ）は、ヒータ（図示せず）により、例えば、１５〜２０℃に調整されている。また、組成物Ｘの導入とともに、シリンダ７０の内部に侵入した空気などは、第１ベント部５４ａを開放することにより、シリンダ７０の外部に放出される。
【０１８９】
次いで、搬送された組成物Ｘは、第１パドル部２７ａにおいて混練される。
【０１９０】
このとき、第１パドル部２７ａの外方に位置する溶融混練部６ａは、ヒータ（図示せず）により、例えば、４０〜８０℃に調整されている。
【０１９１】
そして、混練された組成物Ｘは、第１フィード部２３ａの回転駆動により搬送される組成物Ｘの押し出し力により、第１リバース部３０ａに向けて押し出される。
【０１９２】
第１リバース部３０ａに向けて押し出された組成物Ｘのうち、大部分は第１リバース部３０ａを通過し、第２フィード部２４ａに到達する。一方、押し出された組成物Ｘのうち、一部は第１リバース部３０ａの回転駆動により、第１パドル部２７ａに戻され、再度混練される。
【０１９３】
これによって、組成物Ｘの混練の促進を図るとともに、組成物Ｘの搬送速度が調整される。
【０１９４】
次いで、第１リバース部３０ａを通過した組成物Ｘは、第２フィード部２４ａにより、第２パドル部２８ａおよび第２リバース部３１ａに向けて搬送される。
【０１９５】
これによって、組成物Ｘは、第１パドル部２７ａおよび第１リバース部３０ａと同様に、第２パドル部２８ａおよび第２リバース部３１ａを、混練されながら通過する。
【０１９６】
このとき、第２パドル部２８ａの外方に位置する溶融混練部６ａは、ヒータ（図示せず）により、例えば、６０〜１２０℃に調整されている。
【０１９７】
次いで、第２リバース部３１ａを通過した組成物Ｘは、続く第３フィード部２５ａにより、第３パドル部２９ａに搬送されて、第３パドル部２９ａにおいてさらに混練される。これにより、組成物Ｘは、混練物Ｙとして調製される。
【０１９８】
このとき、第３パドル部２９ａの外方に位置する溶融混練部６ａは、ヒータ（図示せず）により、例えば、８０〜１４０℃に調整されている。
【０１９９】
そして、混練物Ｙは、混練軸１３の回転駆動により押し出されて、第４フィード部２６ａに到達する。
【０２００】
このとき、第２ベント部５５ａに連結されたポンプ（図示せず）を駆動させることにより、混練物Ｙ中の水分や揮発成分などが溶融混練部６ａの外部に排出される。
【０２０１】
これによって、混練物Ｙ中における気孔の低減を図ることができる。
【０２０２】
次いで、混練物Ｙは、第４フィード部２６ａによりパイプ部１２ａに搬送される。
【０２０３】
パイプ部１２ａでは、上記したように、全周面にわたって凹凸がないように形成されている。そのため、パイプ部１２ａにおいて、混練物Ｙは、混練軸１３の軸線方向と交差する方向のせん断が抑制され、パイプ部１２ａの軸線方向に沿って円滑に移動される。
【０２０４】
そして、混練物Ｙは、吐出口１５から混練物Ｙが吐出される。
【０２０５】
以上によって、組成物Ｘから、気孔の発生が抑制された混練物Ｙが調製される。
【０２０６】
続いて、図１に示すように、混練物Ｙは、供給部３において、供給スクリュー２２の回転によって、混練機２の吐出方向、つまり、左右方向に沿う幅Ｗ０（第１ケーシング２１の幅Ｗ０）を有するように、吐出方向に対する交差方向（具体的には、吐出方向に対する直交方向）、詳しくは、後方から前方に向けてギヤ構造体４に供給される（供給工程）。つまり、混練機２から右側に押し出され、連結管１７を介して供給部３に至った混練物Ｙが、供給部３において搬送方向が９０度方向転換される。具体的には、混練物Ｙは、右方から前方に搬送方向が変更されながら、左右方向に沿う幅Ｗ０を有するように、第１貯留部２７を介してギヤ構造体４に供給される。すなわち、供給部３では、混練物Ｙの吐出方向（左右方向）における吐出（つまり、供給スクリュー２２の搬送方向への搬送）と、混練物Ｙのギヤ構造体４への供給とが同時に進行する。
【０２０７】
その後、混練物Ｙは、ギヤ構造体４において、１対のギヤ３２の回転軸線方向Ａ１に変形させられ、封止シート７として形成されるとともに、前方に搬送される（変形搬送工程）。
【０２０８】
具体的には、混練物Ｙは、１対のギヤ３２の噛み合いによって、回転軸線方向Ａ１の中央部から両端部に押し広げられ、封止シート７として形成される。そして、前方に搬送される。
【０２０９】
詳しくは、図６が参照されるように、混練物Ｙは、第１貯留部２７の前側部分の上端部および下端部から、第２収容部４０の下部６１および第１ギヤ３３の間と、第２収容部４０の上部６２および第２ギヤ３４の間とを、１対のギヤ３２の回転方向Ｒ２に沿って前方に押し出され、第２貯留部２８に至る。
【０２１０】
このとき、第２貯留部２８の混練物Ｙは、斜歯３５の噛み合い部分（図８参照）を介して第１貯留部２７に逆流する（後方に戻る）ことが１対のギヤ３２によって防止されながら、斜歯３５の噛み合い部分によって、左右方向に押し広げられ、封止シート７へと変形（形成）される。
【０２１１】
具体的には、図７に示すように、ギヤ構造体４の右側部分においては、第１斜歯３６と第３斜歯３８との噛み合いによって、１対のギヤ３２における回転軸線方向Ａ１の中央部から右端部に向けて押し広げられる。一方、ギヤ構造体４の左側部分においては、第２斜歯３７と第４斜歯３９との噛み合いによって、１対のギヤ３２における回転軸線方向Ａ１の中央部から左端部に向けて押し広げられる。
【０２１２】
これにより、混練物Ｙから、封止シート７を得ることができる。
【０２１３】
続いて、図５および図６に示すように、得られた封止シート７は、第２貯留部２８および吐出通路４４を介してギヤ吐出口４６に至り、次いで、ギヤ吐出口４６から支持ロール５１に向かって吐出（搬送）される。
【０２１４】
具体的には、支持ロール５１の周面には、基材送出ロール５６（図２参照）から送り出された基材８が積層されており、封止シート７は、その基材８を介して支持ロール５１に支持されながら、支持ロール５１の回転方向に搬送される。
【０２１５】
ギヤ吐出口４６から搬送された封止シート７は、一旦、支持ロール５１の後方に、基材８を介して搬送され、直ちに、突出部６３と支持ロール５１の周面とによって厚みが調整される。具体的には、余分な混練物Ｙは、支持ロール５１に支持される基材８の表面において、突出部６３によって掻き取られ、所望厚みＴ１および所望幅Ｗ１の封止シート７に調整される（隙間通過工程）。
【０２１６】
突出部６３と支持ロール５１の周面との間の隙間５０を通過する封止シート７の速度（塗工速度）は、例えば、０．０１ｍ／ｍｉｎ以上、好ましくは、０．０２ｍ／ｍｉｎ以上であり、また、例えば、１．０ｍ／ｍｉｎ以下、好ましくは、０．３５ｍ／ｍｉｎ以下でもある。
【０２１７】
封止シート７の厚みＴ１は、隙間５０の前後方向距離Ｌ１から基材８の厚みを差し引いた値と実質的に同一であり、具体的には、基材８の厚みを除く厚みであって、例えば、５０μｍ以上、好ましくは、１００μｍ以上、より好ましくは、３００μｍ以上であり、また、例えば、１０００μｍ以下、好ましくは、８００μｍ以下、より好ましくは、７５０μｍ以下でもある。
【０２１８】
隙間通過工程における温度は、例えば、５０℃以上、好ましくは、６０℃以上であり、さらに好ましくは、８０℃以上であり、また、例えば、２５０℃以下、好ましくは、１５０℃以下、さらに好ましくは、１００℃以下でもある。
【０２１９】
続いて、図２に示すように、封止シート７が積層された基材８は、支持ロール５１からセパレータラミネートロール５７および転動ロール５８に向けて搬送され、セパレータラミネートロール５７および転動ロール５８の間において、封止シート７の上面にセパレータ９が積層される。これにより、封止シート７は、両面（下面および上面）に基材８およびセパレータ９がそれぞれ積層された積層封止シート１０として得られる。
【０２２０】
その後、積層封止シート１０は、テンションロール５２を通過し、続いて、巻取ロール５３によってロール状に巻き取られ（巻回され）、ロール状封止シート６０が製造される（巻取工程）。
【０２２１】
このとき、ロール状封止シート６０では、巻取ロール５３の径方向外方に向かって、セパレータ９、封止シート７および基材８が順次繰り返して積層されている。
【０２２２】
なお、このロール状封止シート製造装置１において、混練機２で加熱された後、巻取ロール５３に巻き取られて（巻回されて）ロール状封止シート６０となるまで、エポキシ樹脂は、Ｂステージ状態である。
【０２２３】
そして、上記の製造方法で製造されたロール状封止シート６０は、常温（２５℃）で可撓性を有する。
【０２２４】
ロール状封止シート６０におけるＢステージの封止シート７（基材８およびセパレータ９を除く）の２５℃における引張弾性率は、例えば、０．１ＧＰａ以上、好ましくは、０．５Ｇａ以上、より好ましくは、１．０ＧＰａ以上であり、また、例えば、２０ＧＰａ以下、好ましくは、１０ＧＰａ以下、より好ましくは、５ＧＰａ以下でもある。Ｂステージの封止シート７の引張弾性率の測定方法は、後の実施例の評価において詳述される。
【０２２５】
引張弾性率が上記上限以下であれば、後述する封止対象を確実に埋設して、封止対象に対する封止性を向上させることができる。一方、引張弾性率が上記下限以上であれば、巻取ロール５３に巻き取られる（巻回される）前の封止シート７のだれを防止して、作業性を向上させることができる。
【０２２６】
ロール状封止シート６０における粒子の体積割合は、３０体積％を超過し、好ましくは、３５体積％以上、好ましくは、４０体積％以上、より好ましくは、６０体積％以上、さらに好ましくは、７０体積％以上であり、例えば、９８体積％以下、好ましくは、９５体積％以下である。
【０２２７】
粒子の体積割合が上記下限に満たないと、粒子が有する特定物性を十分に発揮させることをできない。一方、粒子の体積割合が上記上限以下であれば、封止シート７の可撓性を担保して、ロール状封止シート６０を確実に得ることができる。
【０２２８】
ロール状封止シート６０の各封止シート（１層）７の厚みは、例えば、１０μｍ以上、好ましくは、３０μｍ以上、さらに好ましくは、１００μｍ以上、とりわけ好ましくは、２００μｍ以上であり、また、例えば、８００μｍ以下でもある。
【０２２９】
上記した厚みが上記下限以上であれば、粒子を所望の割合で含有するロール状封止シート６０の厚みを十分に確保して、封止対象を確実に被覆および埋設することができる。一方、上記した厚みが上記下限に満たない場合には、封止対象を確実に被覆および埋設するために、複数の封止シート７を準備して、これらを積層する手間を生じる。
【０２３０】
ロール状封止シート６０の幅（長尺方向および厚み方向に直交する長さ）は、例えば、２００ｍｍ以上であり、好ましくは、５００ｍｍ以上、さらに好ましくは、１０００ｍｍであり、また、例えば、１００００ｍｍ以下でもある。ロール状封止シート６０の幅が上記した下限以上であれば、１つのロール状封止シート６０から引き出された１枚の封止シート７によって、種々の封止対象を被覆／埋設して、封止対象を簡便に封止することができる。
【０２３１】
ロール状封止シート６０の内径は、巻取ロール５３の外径と同一である。ロール状封止シート６０の外径は、例えば、７６ｍｍ以上、好ましくは、１５２ｍｍ以上であり、また、例えば、５００ｍｍ以下でもある。
【０２３２】
このようにして得られるロール状封止シート６０を用いて封止対象を封止するには、まず、ロール状封止シート６０から封止シート７を引き出し、続いて、これを所定長さに切断する。その後、セパレータ９および基材８のいずれか一方を封止シート７から引き剥がす。その後、封止シート７を封止対象を被覆／埋設するように、封止対象に配置する。
【０２３３】
封止対象としては、例えば、半導体装置、ハードディスク、ＬＥＤ装置（テレビジョン、照明、ディスプレイなど）、ＥＬ装置（有機ＥＬディスプレイ、有機ＥＬ照明など）、キャパシタ、バッテリー（リチウムイオンバッテリーなど）、パワーモジュール、表面弾性波（ＳＡＷ）フィルター、各種センサーデバイスなどが挙げられる。
【０２３４】
次いで、セパレータ９および基材８のうちの他方を封止シート７から引き剥がす。
【０２３５】
その後、封止シート７を加熱して、封止シート７を完全硬化（Ｃステージ化）させる。封止シート７を完全硬化させるための加熱条件としては、加熱温度が、例えば、１００℃以上、好ましくは、１２０℃以上であり、また、例えば、１８０℃以下、好ましくは、１６０℃以下でもある。また、加熱時間は、例えば、３０分間以上、好ましくは、６０分間以上であり、また、例えば、１２０分間以下、好ましくは、７０分間以下でもある。
【０２３６】
これによって、封止対象を封止シート７によって封止する。
【０２３７】
なお、Ｃステージの封止シート７の２５℃における引張弾性率は、例えば、０．１ＧＰａ以上、好ましくは、１ＧＭＰａ以上、より好ましくは、２ＧＰａ以上であり、また、例えば、２０ＧＰａ以下、好ましくは、８ＧＰａ以下、より好ましくは、５ＧＰａ以下でもある。Ｃステージの封止シート７の引張弾性率の測定方法は、後の実施例の評価において詳述される。
【０２３８】
Ｃステージの封止シート７の２５℃における引張弾性率が上記下限以上であれば、樹脂のダイシング性が優れるという利点があり、上記上限以下であれば、反りを低減できる利点がある。
【０２３９】
そして、このロール状封止シート６０は、封止シート７がロール状に巻回されながら、粒子を高い配合割合で含有している。そのため、製造効率よく製造されながら、粒子が有する特定物性、具体的には、絶縁性および補強性を十分に発揮させ、さらに、保管スペースを低減することができ、運搬性に優れる。
【０２４０】
そして、ロール状封止シート６０の製造方法によれば、粒子および樹脂成分を含有する組成物Ｘを、ギヤ構造体４を用いて、その軸線方向Ａ１に変形させながら搬送させた後、軸線方向Ａ１に変形されたシート（組成物）を、封止シート調整部５において、支持ロール５１により基材８を介して支持して搬送させながら、突出部６３との隙間５０に通過させるので、粒子の配合割合が３０体積％を超過し、長尺な封止シート７を製造することができる。その結果、その後の巻取工程で、巻取ロール５３に容易に長尺な封止シート７を巻き取ることができるため、ロール状封止シート６０を得ることができる。
【０２４１】
また、混練物Ｙを、ギヤ構造体４を用いて変形させるので、粒子を、高い配合割合で樹脂成分中に含有させて、シート状に成形することができる。
【０２４２】
その結果、粒子が樹脂成分中に高い配合割合で分散されたロール状封止シート６０を製造することができる。
【０２４３】
また、一般に、封止シート７を利用するときには、個片状に用意した封止シート７をそれぞれ搬送したり、封止シート７を１個片ずつ封止対象に配置する作業が必要となる。そのため、タクトタイムが長く、さらには、封止シート７をトレイなどから取り出す際に封止シート７に傷をつけてしまうなどハンドリング性で不利となる場合がある。さらに、封止シート７を大量生産するために、多数のロール状封止シート製造装置１を必要とする。
【０２４４】
これに対して、このロール状封止シート製造装置１により得られるロール状封止シート６０は、ロール状で製造されるので、かかる封止シート７によって封止対象を連続して封止することができる。また、上記したハンドリング性を向上させることができ、必要とするロール状封止シート製造装置１も少数でありながら、長尺状の封止シート７からロール状封止シート６０を大量に製造することができる。さらに、封止に要するコストを低減することができる。つまり、タクトタイムの短縮、ハンドリング性の向上、投資コスト低減を図ることができる。
【０２４５】
また、図１に示す製造装置によって製造されるロール状封止シート６０は、粒子および樹脂成分を含有する組成物からなる封止シート（層）１の厚み方向両面に、基材８およびセパレータ９を積層されているが、厚み方向一方面にのみ基材８またはセパレータ９を積層することもでき、また、両面に基材８またはセパレータ９を積層しない封止シート７（すなわち、粒子および樹脂成分を含有する組成物からなる封止シート７のみの単層）とすることもできる。
【０２４６】
図９は、本発明のロール状封止シート製造装置の他の実施形態の一部切欠平面図を示す。図１０は、図９に示すロール状封止シート製造装置に用いる混練機の概略構成図を示す。図１１は、図１０に示す混練機の吐出口側の平断面図を示す。
【０２４７】
以降の各図において、上記した各部に対応する部材については、同一の参照符号を付し、その詳細な説明を省略する。
【０２４８】
図１の実施形態では、混練機２を、ロール状封止シート製造装置１の左側において、左右方向に延びるように配置しているが、例えば、図９に示すように、ロール状封止シート製造装置１の後側において、前後方向に延びるように配置することもできる。
【０２４９】
図９の実施形態では、シリンダ７０は、図１０に示すように、前後方向に延びるように形成されている。
【０２５０】
導入口１４は、シリンダ７０の後端部の上壁を貫通して、上方に開口するように形成されている。
【０２５１】
吐出口１５は、図９および図１０（図１０においては破線）に示すように、シリンダ７０の前端部の右壁を貫通して、右方に開口するように形成されており、左右方向に延びる連結管１７と連続するように配置されている。
【０２５２】
図１０に示すように、混練軸１３は、１つの駆動軸８ａと、複数（４つ）のフィードスクリュー部９ａと、複数（３つ）のリバーススクリュー部１０ａと、複数（３つ）のパドル部１１ａと、１つのパイプ部１２ａとを備えている。
【０２５３】
具体的には、図３の実施形態の混練軸１３では、２つのリバーススクリュー部１０ａに対して、図９の実施形態の混練軸１３は、リバーススクリュー部１０ａをさらに１つ多く備えており、そのリバーススクリュー部１０ａは、図１０および図１１に示すように、パイプ部１２ａの前側に、パイプ部１２ａと隣接配置されている。
【０２５４】
すなわち、複数（３つ）のリバーススクリュー部１０ａが、第１リバース部３０ａ、第２リバース部３１ａおよび第３リバース部３２ａから形成され、それらは、混練軸１３の軸線方向に互いに間隔を隔てて配置されており、第３リバース部３２ａは、吐出口１５側の前端部に配置されている。
【０２５５】
第３リバース部３２ａは、駆動軸８ａの軸線方向長さが、他のリバース部と比較して最も長く形成されている。その駆動軸８ａの軸線方向長さは、第１フィード部２３ａの略１／４である。
【０２５６】
パイプ部１２ａは、第４フィード部２６ａと第３リバース部３２ａとの間に形成され、左右方向に投影したときに、吐出口１５を含むように配置されている。
【０２５７】
なお、図１０に示す混練機２を、図９の仮想線に示すように、混練軸１３の軸線方向と供給スクリュー２２の軸線方向とが平行となるように、連結管１７を介して、供給部３の後側に配置することもできる。
【０２５８】
これによっても、上記した図４の実施形態と同様に、混練物Ｙ中の気孔の発生を抑制することができる。
【０２５９】
また、本発明において、シートは、テープまたはフィルムの概念を含む。
【０２６０】
本発明は、上記した実施形態を複数組み合わせることができる。
【実施例】
【０２６１】
以下に、実施例および比較例を挙げて本発明をさらに詳しく説明するが、本発明は、何らこれらに限定されるものではない。
【０２６２】
実施例１
エポキシ樹脂３３８．３質量部、硬化剤３５７．８質量部、充填剤（粒子）８８００質量部、エラストマー３０３．５質量および難燃剤１７８．５質量部を配合して攪拌して、半固形状の混合物（組成物Ｘ）を調製した。粒子の配合割合は、７８．８体積％であった。
【０２６３】
別途、図１の装置構成を有するロール状封止シート製造装置１を用意した。具体的な寸法および条件は下記の通りである。
【０２６４】
押出機２：押出速度４２ｍＬ／分、温度１２０℃
供給部３：供給スクリュー２２は二軸スクリュー、回転軸方向の長さ（ＷＯ）５００ｍｍ、供給速度４２ｍＬ／分、スクリュー回転数５ｒｐｍ、温度９０℃
ギヤ構造体４：歯たけ８．８ｍｍ、斜歯３５の傾斜角（回転軸方向（Ａ１）に対して）１７．７度、ピッチ間隔１８．８４ｍｍ、ギヤ３２の回転軸線方向（Ａ１）の長さ（Ｗ２）５００ｍｍ、第１ケーシング２１の幅（Ｗ０）５００．２ｍｍ、ギヤ径（外径）４２ｍｍ、ギヤ回転数０．１５ｒｐｍ、温度９０℃
封止シート調整部５：隙間５０の前後方向距離（Ｌ１）：２００μｍ、塗工速度０．０５（ｍ／ｍｉｎ）、温度８０℃
巻取部６：巻取ロール５３の直径（外径）：２００ｍｍ
基材８：ＰＥＴ、厚み３８μｍ
セパレータ９：ＰＥＴ、厚み３８μｍ
次いで、上記条件にて、ロール状封止シート製造装置１を作動させ、巻取部６で、Ｂステージで厚み２００μｍの封止シート７を巻き取る（巻回する）ことにより、ロール状封止シート６０を得た。
【０２６５】
配合した成分を以下に詳述する。
・エポキシ樹脂：ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、商品名「ＹＳＬＶ−８０ＸＹ」、新
日鐵化学社製、エポキシ当量２００ｇ／ｅｑ．、軟化点８０℃
・硬化剤：フェノール・アラルキル樹脂、商品名「ＭＥＨ７８５１ＳＳ」、明和化成社製
、水酸基当量２０３ｇ／ｅｑ．、軟化点６７℃
・充填剤：粒子、無機充填剤（溶融シリカ）（ＦＢ−９４５４、球形状、密度２．２ｇ／ｃｍ３、電気化学工業社製）１０
０質量部に対して、シランカップリング剤（ＫＢＭ４０３、信越化学工業社製）０．１質
量部を添加して、表面処理したもの。
・難燃剤：ホスファゼン誘導体、  商品名「ラビトル  ＦＰ−１００」、伏見製薬所社製
・エラストマー：スチレン・イソブチレンブロック共重合体、商品名「ＳＩＢＳＴＡＲ
０７２Ｔ」、カネカ社製
実施例２
図１の装置構成を有するロール状封止シート製造装置１に代えて、図９の装置構成を有するロール状封止シート製造装置１を用意し、これを使用した以外は、実施例１と同様に処理して、ロール状封止シート６０を得た。
【０２６６】
比較例１
（ロール塗工＋ラミネータ）
実施例１と同様の配合処方で、各成分（粒子および樹脂成分）、さらに、ＭＥＫを配合して攪拌して、液状のワニス（組成物、固形分濃度５０質量％）を調製した。
【０２６７】
別途、ロール塗工機を用意した。
【０２６８】
次いで、ワニスをロール塗工機を用いて封止シートを製造した。
【０２６９】
具体的には、離型処理を施したＰＥＴフィルム上に、ロール塗工装置を用いて、溶媒乾燥後の封止シートの厚みが５０μｍになるように塗工ギャップを調整し、搬送速度１．０ｍ／ｍｉｎで塗工した。なお、乾燥炉は、乾燥温度が１２０℃、乾燥時間３分に設定した。
【０２７０】
得られた厚み５０μｍのシートを、ラミネータを用いて、温度９０℃にて、搬送速度１．０ｍ／ｍｉｎにて、厚み１００μｍの封止シートを形成した。
【０２７１】
その後、厚み１００μｍの封止シートを５枚用意して、それらを同様の条件にて貼り合せて（積層して）、厚み５００μｍの積層封止シートを得た。
【０２７２】
そして、この比較例１では、粒子の配合割合が高い割合（７８．８体積％）である所望厚み（５００μｍ）の積層封止シートを得るために、複数の封止シート（５０μｍ、１００μｍ）を複数回にわたって積層する手間を生じた。
【０２７３】
（評価）
１．  実施例１および実施例２の封止試験
実施例１および実施例２のそれぞれのロール状封止シート６０から封止シート７を引き出し、かかる封止シート７を封止対象であるフリップチップ型デバイスを実装するＦＲ−４基板（Ｆｌａｍｅ  Ｒｅｔａｒｄａｎｔ  Ｔｙｐｅ  ４、サイズ１５０ｍｍ×１５０ｍｍ×０．５ｍｍ）の上に、フリップチップ型デバイスを被覆および埋設するように、配置した。
【０２７４】
その後、それらを１５０℃で６０分間加熱することにより、封止シート７を完全硬化させた。これにより、フリップチップ型デバイスを封止シート７によって被覆した。
２．  比較例１の封止試験
比較例１の積層封止シートを封止対象であるフリップチップ型デバイスを実装するＦＲ−４基板（Ｆｌａｍｅ  Ｒｅｔａｒｄａｎｔ  Ｔｙｐｅ  ４、サイズ１５０ｍｍ×１５０ｍｍ×０．５ｍｍ）の上に、フリップチップ型デバイスを被覆および埋設するように、配置した。
【０２７５】
その後、それらを１５０℃で６０分間加熱することにより、封止シート７を完全硬化させた。これにより、フリップチップ型デバイスを積層封止シートによって被覆した。
３．  引張弾性率の測定
実施例１および２のロール状封止シートからＢステージの封止シートを引き出し、その２５℃における引張弾性率をＤＭＡ法（測定周波数１Ｈｚにおける昇温速度１０℃／分での貯蔵弾性率値の算出）によって求めた。続いて、かかるＢステージの封止シートを１５０℃で６０分間加熱して、完全硬化（Ｃステージ化）した封止シートの２５℃における引張弾性率をＤＭＡ法（測定周波数１Ｈｚにおける昇温速度１０℃／分での貯蔵弾性率値の算出）によって求めた。
【０２７６】
その結果、実施例１、２および比較例１のいずれのＢステージの封止シートも、３ＧＰａであり、Ｃステージの封止シートで、４ＧＰａであった。
【符号の説明】
【０２７７】
４  ギヤ構造体
７  封止シート
３２１対のギヤ
５０隙間
５１支持ロール
６０ロール状封止シート
６３突出部
Ｘ  組成物
Ａ１回転軸線方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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