(57)【要約】【課題】気密シールするために必要なシール性および導電性に優れた固体酸化物型燃料電池用シール材料を提供する。【解決手段】体積％で、金属粉末１〜５０％およびガラス粉末５０〜９９％を含有することを特徴とする固体酸化物型燃料電池用シール材料。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
体積％で、金属粉末１〜５０％およびガラス粉末５０〜９９％を含有することを特徴とする固体酸化物型燃料電池用シール材料。
【請求項２】
金属粉末がＡｇ、Ｐｔ、Ａｕ、Ｃｕ、ＮｉおよびＰｄから選択される少なくとも１種からなることを特徴とする請求項１に記載の固体酸化物型燃料電池用シール材料。
【請求項３】
熱処理後において、３０〜７００℃の温度範囲における熱膨張係数が８０×１０−７／℃以上であることを特徴とする請求項１または２に記載の固体酸化物型燃料電池用シール材料。
【請求項４】
ガラス粉末が、モル％で、ＳｉＯ２  １０〜７０％、Ｂ２Ｏ３  ０〜３０％およびＲＯ（ＲはＭｇ、Ｃａ、ＳｒまたはＢａ）  １〜７０％を含有することを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の固体酸化物型燃料電池用シール材料。
【請求項５】
ガラス粉末が、さらにモル％で、ＺｎＯ  ０〜４０％、Ａｌ２Ｏ３  ０〜１０％、ＺｒＯ２  ０〜５％、Ｌａ２Ｏ３  ０〜１５％、Ｙ２Ｏ３  ０〜１５％およびＢｉ２Ｏ３  ０〜５％を含有することを特徴とする請求項４に記載の固体酸化物型燃料電池用シール材料。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、固体酸化物型燃料電池用シール材料に関し、より具体的にはＳＵＳやＦｅといった金属や、フェライトやジルコニアといった高膨張なセラミックスを接着する目的で用いられる固体酸化物型燃料電池用シール材料に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、燃料電池（Ｆｕｅｌ  Ｃｅｌｌ）はエネルギー効率が高く、ＣＯ２の排出を大きく削減できる有力な技術として注目されてきている。燃料電池のタイプは、電解質の種類に応じて異なり、例えば工業用途で用いられるものとして、リン酸型（ＰＡＦＣ）、溶融炭酸塩型（ＭＣＦＣ）、固体酸化物型（ＳＯＦＣ）、固体高分子型（ＰＥＦＣ）の４種類がある。中でも固体酸化物形燃料電池は、内部抵抗が小さいため、燃料電池の中では最も発電効率が高い。また、触媒に貴金属を使用する必要がないため、製造コストを抑えられるといった特徴を有している。そのため、家庭用などの小規模用途から、発電所などの大規模用途まで幅広く適用可能なシステムであり、その将来性に期待が高まってきている。
【０００３】
一般的な平板型ＳＯＦＣの構造を図１に示す。図１に示すように、一般的な平板型ＳＯＦＣは、イットリア安定化ジルコニア（ＹＳＺ）等のセラミック材料からなる電解質１、Ｎｉ／ＹＳＺ等からなるアノード２、および、（Ｌａ、Ｃａ）ＣｒＯ３等からなるカソード３が積層一体化されたセルを有している。さらに、燃料ガスの通り道（燃料チャネル４ａ）が形成され、かつ、アノードと接する第一の支持体基板４と、空気の通り道（空気チャネル５ａ）が形成され、かつ、カソードと接する第二の支持体基板５とがセルの上下に固着されている。なお、第一の支持体基板４および第二の支持体基板５は、ガスの通り道が互いに直交するようにセルに固着される。支持体基板４、５はＳＵＳ等の金属で構成されている。
【０００４】
上記構造を有する平板型ＳＯＦＣは、第一の支持体基板４の燃料チャネル４ａに水素（Ｈ２）や、都市ガス、天然ガス、バイオガスといった様々な燃料ガスや液体燃料を流し、同時に第二の支持体基板５の空気チャネル５ａに空気または酸素（Ｏ２）を流す。このときカソードでは、
１／２Ｏ２＋２ｅ−  →  Ｏ２−
の反応が生じ、一方、アノードでは、
Ｈ２＋Ｏ２−  →  Ｈ２Ｏ  ＋  ２ｅ−
の反応が起こる。この電気化学的反応によって、化学エネルギーが直接電気エネルギーに変換されて発電することができる。なお、高出力を得るために、図１の構造を何層も積層することも可能である。
【０００５】
上記構造体を作製するに当たっては、支持体基板同士の気密シールや、電極と支持体基板の気密シールが必要になる。ここで、使用するシール材料としては、金属やセラミックといった高膨張材料同士の接着となることから、これらに適合する高い熱膨張係数を有する必要がある。また、支持体基板に電流を効率的に流す必要があり、シール材料には導電性が必要とされる。
【０００６】
そこで、特許文献１には、導電性セラミックとガラスを含む導電性材料が開示されている。また、特許文献２には、導電性酸化物とガラスを含むコーティング層が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平１０−２７００６２号公報
【特許文献２】ＷＯ２０１０／０６１５８５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
特許文献１および２に開示されている導電性材料は、導電性が未だ不十分である。また、高温下において導電性セラミックまたは導電性酸化物がガラスと反応しやすく、十分な気密シール性が得られにくいといった問題があった。
【０００９】
以上に鑑み、本発明の目的は、気密シールするために必要なシール性および導電性に優れた固体酸化物型燃料電池用シール材料を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、体積％で、金属粉末１〜５０％およびガラス粉末５０〜９９％を含有することを特徴とする固体酸化物型燃料電池用シール材料（以下、単に「シール材料」ともいう）に関する。
【００１１】
金属粉末がＡｇ、Ｐｔ、Ａｕ、Ｃｕ、ＮｉおよびＰｄから選択される少なくとも１種であることが好ましい。
【００１２】
熱処理後において、３０〜７００℃の温度範囲における熱膨張係数が８０×１０−７／℃以上であることが好ましい。なお、本発明において「熱処理する」とは、８００℃以上の温度で１０分間以上の条件で熱処理することを意味する。
【００１３】
ガラス粉末が、モル％で、ＳｉＯ２  １０〜７０％、Ｂ２Ｏ３  ０〜３０％、ＲＯ（ＲはＭｇ、Ｃａ、ＳｒまたはＢａ）  １〜７０％を含有することが好ましい。
【００１４】
ガラス粉末が、さらにモル％で、ＺｎＯ  ０〜４０％、Ａｌ２Ｏ３  ０〜１０％、ＺｒＯ２  ０〜５％、Ｌａ２Ｏ３  ０〜１５％、Ｙ２Ｏ３  ０〜１５％、Ｂｉ２Ｏ３  ０〜５％を含有することが好ましい。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、気密シールするために必要なシール性および導電性に優れた固体酸化物型燃料電池用シール材料を提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】ＳＯＦＣの基本構造を示す概略的説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
本発明の固体酸化物型燃料電池用シール材料は、金属粉末およびガラス粉末を含有することを特徴とする
【００１８】
金属粉末は、シール材料に導電性を付与する効果がある。また、熱処理後のシール材料の熱膨張係数を調整する効果もある。金属粉末の含有量は１〜５０％であり、好ましくは２〜４９％、より好ましくは３〜４８％である。金属粉末の含有量が少なすぎると、十分な導電性が得られにくくなる。一方、金属粉末の含有量が多すぎると、相対的にガラス粉末の含有量が少なくなって接着性が低下しやすくなる。
【００１９】
金属粉末は、Ａｇ、Ｐｔ、Ａｕ、Ｃｕ、ＮｉおよびＰｄから選択される少なくとも１種であることが好ましい。なかでも、導電性に優れ、かつ、高温焼成時に酸化されにくいＡｇを使用することがより好ましい。
【００２０】
金属粉末の粒径（ｄ５０）は０．１〜２０μｍ程度であることが好ましい。金属粉末の粒径が小さすぎると、焼成時にガラス粉末と反応したり、酸化されやすくなったりして、導電性が低下する傾向がある。一方、金属粉末の粒径が大きすぎると、流動性が低下しやすくなる。
【００２１】
ガラス粉末はシール材料に流動性を付与する効果がある。ガラス粉末の含有量は５０〜９９％であり、好ましくは５１〜９８％、より好ましくは５２〜９７％である。ガラス粉末の含有量が少なすぎると、接着性が低下しやすくなる。一方、ガラス粉末の含有量が多すぎると、相対的に金属粉末の含有量が少なくなって十分な導電性が得られにくくなる。
【００２２】
ガラス粉末としては、モル％で、ＳｉＯ２  １０〜７０％、Ｂ２Ｏ３  ０〜３０％、ＲＯ（ＲはＭｇ、Ｃａ、ＳｒまたはＢａ）  １〜７０％を含有するものが挙げられる。ガラス組成を上記範囲に調整することにより、封着時に良好な流動性を有し、かつ、熱処理後に結晶が析出して高熱膨張特性を示す固体酸化物型燃料電池用シール材料が得られやすい。
【００２３】
以下に、各成分の含有量を上記の通り限定した理由について詳細に説明する。
【００２４】
ＳｉＯ２はガラス化を容易にするとともに、耐水性や耐熱性を向上させる成分である。ＳｉＯ２の含有量は、好ましくは１０〜７０％、より好ましくは１０〜６０％である。ＳｉＯ２の含有量が少なすぎると、ガラス化しにくくなる。一方、ＳｉＯ２の含有量が多すぎると、熱処理しても結晶が析出しにくくなる。また、溶融温度が上昇して、溶融が困難になる傾向がある。
【００２５】
Ｂ２Ｏ３は流動性を向上させるための成分であり、その含有量は、好ましくは０〜３０％、より好ましくは１〜２５％である。Ｂ２Ｏ３の含有量が多すぎると、結晶として析出しなかった余剰のＢ２Ｏ３成分が原因となって、耐水性や耐熱性が低下したり、高温下でＢ２Ｏ３が揮発しやすくなる。
【００２６】
ＲＯ（ＲはＭｇ、Ｃａ、ＳｒまたはＢａ）は高膨張結晶の構成成分である。ＲＯの含有量は、好ましくは１〜７０％、より好ましくは５〜６５％である。ＲＯの含有量が少なすぎると、熱処理により高膨張結晶が析出しにくくなる。ＲＯの含有量が多すぎると、ガラス化範囲が狭くなる傾向にあり、均質なガラスが得られにくくなる。なお、ＲＯとしては、ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯまたはＢａＯのいずれか１種のみ含有させてもよく、２種以上を含有させても構わない。ＲＯとして２種以上を含有する場合は、その含有量は合量で上記範囲を満たすことが好ましい。
【００２７】
なお、ＲＯの各成分の含有量の好ましい範囲は以下の通りである。
【００２８】
ＭｇＯの含有量は、好ましくは０〜６０％、より好ましくは１〜５７％である。ＭｇＯの含有量が多すぎると、ガラス化範囲が狭くなる傾向にあり、均質なガラスが得られにくくなる。ＭｇＯを含む結晶は熱膨張係数が比較的高いため、ＭｇＯを積極的に含有させることにより、熱処理後の熱膨張係数を容易に高めることが可能となる。
【００２９】
ＣａＯの含有量は、好ましくは０〜２０％、より好ましくは０〜１８％、さらに好ましくは０．１〜１６％である。ＣａＯの含有量が多すぎると、かえって高熱膨張結晶の析出量が少なくなり、熱膨張係数や耐熱性が低下する傾向がある。
【００３０】
ＳｒＯの含有量は、好ましくは０〜２０％、より好ましくは０〜１５％、さらに好ましくは０．１〜１０％である。ＳｒＯの含有量が多すぎると、かえって高膨張結晶の析出量が少なくなり、熱膨張係数や耐熱性が低下する傾向がある。
【００３１】
ＢａＯの含有量は、好ましくは０〜６０％、より好ましくは０．１〜４０％、さらに好ましくは１〜３０％である。ＢａＯの含有量が多すぎると、ガラス化範囲が狭くなる傾向にあり、均質なガラスが得られにくくなる。ＢａＯを含む結晶は熱膨張係数が比較的高いため、ＢａＯを積極的に含有させることにより、熱処理後の熱膨張係数を容易に高めることが可能となる。
【００３２】
ガラス粉末は、上記成分以外にも、さらにモル％で、ＺｎＯ  ０〜４０％、Ａｌ２Ｏ３  ０〜１０％、ＺｒＯ２  ０〜５％、Ｌａ２Ｏ３  ０〜１５％、Ｙ２Ｏ３  ０〜１５％、Ｂｉ２Ｏ３  ０〜５％を含有することが好ましい。
【００３３】
ＺｎＯはガラス化を容易にするとともに、軟化点を低下させて低温接着を可能にするための成分である。ＺｎＯの含有量は、好ましくは０〜４０％、より好ましくは０．１〜３０％、さらに好ましくは１〜２０％である。ＺｎＯの含有量が多すぎると、耐熱性が低下しやすくなる。
【００３４】
Ａｌ２Ｏ３は粘性を調整するための成分であり、その含有量は、好ましくは０〜１０％、より好ましくは０．１〜８％である。Ａｌ２Ｏ３の含有量が多すぎると、熱処理時に熱膨張係数が低い結晶が析出しやすくなり、高膨張特性が得られにくくなる。
【００３５】
ＺｒＯ２は耐水性を向上させるための成分であり、その含有量は、好ましくは０〜５％、より好ましくは０〜４％である。ＺｒＯ２の含有量が多すぎると、溶融中や接着時に失透して接着に適した流動性が得られにくくなる。
【００３６】
Ｌａ２Ｏ３およびＹ２Ｏ３は流動性を向上させるための成分である。Ｌａ２Ｏ３およびＹ２Ｏ３の含有量は、各々好ましくは０〜１５％、より好ましくは０．１〜１０％である。これらの成分の含有量が多すぎると、溶融中や接着時に失透して流動性が低下しやすくなる。また、結晶性が低下して高熱膨張結晶の析出が不十分になり、耐熱性が低下しやすくなる。なお、特にＬａ２Ｏ３は流動性を向上させる効果が大きいため、Ｌａ２Ｏ３を積極的に含有させることにより、高い流動性を示すシール材料が得られやすくなる。
【００３７】
Ｂｉ２Ｏ３はガラス化を容易にするとともに、軟化点を低下させて低温接着を可能にするための成分であり、その含有量は、好ましくは０〜５％、より好ましくは０〜４％である。Ｂｉ２Ｏ３の含有量が多すぎると、高膨張結晶の析出量が少なくなり、熱膨張係数や耐熱性が低下する傾向がある。
【００３８】
ガラス粉末は、上記成分以外にも、ＳｎＯ２を含有することができる。ＳｎＯ２は耐水性を向上させるための成分であり、その含有量は、好ましくは０〜５％、より好ましくは０〜３％である。ＳｎＯ２の含有量が多すぎると、溶融中や接着時に失透して、接着に適した流動性が得られにくくなる。
【００３９】
なお、Ｒ２Ｏ（ＲはＬｉ、ＮａまたはＫを示す）は高温下で揮発しやすく、また電気絶縁性を低下させやすい。したがって、燃料電池の構成部材の接着に使用した際に、発電特性が低下するおそれがある。したがって、Ｒ２Ｏの含有量は５％以下、３％以下、特に１％以下であることが好ましく、実質的に含有しないことが最も好ましい。なお、「実質的に含有しない」とは、これらの成分を意図的にガラス中に添加しないという意味であり、不可避的不純物まで完全に排除することを意味するものではない。客観的には、不純物を含めたこれらの成分の含有量が各々０．１％未満であることを意味する。
【００４０】
また、Ｐ２Ｏ５についても、その含有量が多すぎると、高温下で比較的揮発しやすく、電気絶縁性が低下しやすくなるため、その含有量は５％以下であることが好ましい。
【００４１】
本発明のシール材料には、流動性や熱膨張係数の調整のために、リン酸マグネシウム（３ＭｇＯ・Ｐ２Ｏ５）、マグネシア（ＭｇＯ）、亜鉛華（ＺｎＯ）、ジルコニア（ＺｒＯ２）、チタニア（ＴｉＯ２）またはアルミナ（Ａｌ２Ｏ３）等のフィラー粉末を添加してもよい。シール材料におけるフィラー粉末の含有量は、金属粉およびガラス粉末の合量１００質量部に対して、好ましくは０．１〜１０質量部、より好ましくは１〜８質量部である。フィラー粉末の含有量が少なすぎると、上記効果が得られにくくなる。一方、フィラー粉末の含有量が多すぎると、流動性の低下が大きくなりすぎる傾向がある。なお、フィラー粉末の粒径（ｄ５０）は０．２〜２０μｍ程度のものを使用することが好ましい。フィラー粉末の粒径が小さすぎると、焼成時にガラス粉末にフィラー粉末が溶け込み、熱膨張係数を調整する効果が得られにくくなる。一方、フィラー粉末の粒径が大きすぎると、流動性の低下が大きくなりすぎる傾向がある。
【００４２】
本発明の固体酸化物型燃料電池用シール材料は、熱処理後において高熱膨張特性を有する。具体的には、本発明の固体酸化物型燃料電池用シール材料の熱処理後における熱膨張係数は、好ましくは８０×１０−７／℃以上、より好ましくは９０×１０−７／℃以上、さらに好ましくは１００×１０−７／℃以上である。
【００４３】
次に、本発明の固体酸化物型燃料電池用シール材料の具体的な使用方法を説明する。なお、本発明の固体酸化物型燃料電池用シール材料の使用方法は、以下の例に制限されるものではない。
【００４４】
まず、上記組成を有するように調合したガラス原料を１２００〜１６００℃で０．５〜２時間溶融してガラス化する。次いで、溶融ガラスをフィルム状等に成形した後、粉砕し、分級してガラス粉末を作製する。
【００４５】
続いて、上記ガラス粉末に金属粉末を混合する。
【００４６】
次いで、ガラス粉末と金属粉末との混合粉末を、例えばペースト状に調製する。具体的には、ガラス粉末と金属粉末との混合粉末に対し、有機溶剤、樹脂、可塑剤または分散剤等を添加し、混錬する。
【００４７】
有機溶剤はガラス粉末をペースト化するための材料であり、その含有量は１０〜４０質量％であることが好ましい。有機溶剤の具体例としては、例えばターピネオール（Ｔｅｒ）、ジエチレングリコールモノブチルエーテル（ＢＣ）、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート（ＢＣＡ）、２，２，４−トリメチル−１，３−ペンタジオールモノイソブチレート、ジヒドロターピネオール等が挙げられ、これらを単独または混合して使用することができる。
【００４８】
樹脂は、乾燥後の膜強度を高め、また膜に柔軟性を付与する成分であり、その含有量は、０．１〜２０質量％程度が一般的である。樹脂の具体例としては、熱可塑性樹脂、具体的にはポリブチルメタアクリレート、ポリビニルブチラール、ポリメチルメタアクリレート、ポリエチルメタアクリレート、エチルセルロース等が挙げられ、これらを単独または混合して使用することができる。
【００４９】
可塑剤は、膜の乾燥速度をコントロールするとともに、乾燥膜に柔軟性を与える成分であり、その含有量は０〜１０質量％程度が一般的である。可塑剤の具体例としては、ブチルベンジルフタレート、ジオクチルフタレート、ジイソオクチルフタレート、ジカプリルフタレート、ジブチルフタレート等が挙げられ、これらを単独または混合して使用することができる。
【００５０】
なお、分散剤としては、イオン系またはノニオン系の分散剤が挙げられ、イオン系としては、カルボン酸、ジカルボン酸系等のポリカルボン酸系や、アミン系等、ノニオン系としては、ポリエステル縮合型や多価アルコールエーテル型が使用可能である。その含有量は０〜５質量％であることが好ましい。
【００５１】
次いで、ペーストを金属やセラミックからなる第一の部材の接着箇所に塗布し、乾燥させる。さらに、金属やセラミックからなる第二の部材をペースト乾燥膜に接触させた状態で固定して８００〜１０００℃で熱処理する。この熱処理により、ガラス粉末が一旦軟化流動し、その後結晶が析出することにより、第一の部材および第二の部材を固着させる。熱処理の雰囲気は、大気雰囲気や窒素雰囲気等が挙げられる。ＣｕやＮｉ等の熱処理時に酸化されやすい金属粉末を使用する場合は、窒素雰囲気中で熱処理することが好ましい。
【００５２】
なお、本発明の固体酸化物型燃料電池用シール材料は、接着以外にも被覆、充填等の目的で使用できる。またペースト以外の形態、具体的には粉末状態、グリーンシート、タブレット（圧粉体）等の状態で使用することができる。例えば、金属製またはセラミックス製の円筒内にリード線とともにシール材料を充填して熱処理し、気密封止を行う形態が挙げられる。また、グリーンシート状あるいはタブレット上のシール材を金属製またはセラミック製部材上に載置し、熱処理して被覆することもできる。
【実施例】
【００５３】
以下、本発明の固体酸化物型燃料電池用シール材料を実施例に基づいて説明する。
【００５４】
表１および２は、本発明の実施例（試料Ｎｏ．１〜９）および比較例（試料Ｎｏ．１０、１１）を示している。
【００５５】
【表１】
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【００５６】
【表２】
2014096277.tif 000004
【００５７】
表中の各試料は、次のようにして調製した。
【００５８】
表中の各組成になるように調合したガラス原料を、１２００〜１６００℃で約１時間溶融した後、得られた溶融ガラスを一対の冷却ローラー間に通してフィルム状に成形した。次いで、得られたフィルム状成形物をボールミルにて粉砕し、分級して、粒径（ｄ５０）が約３μｍのガラス粉末を得た。
【００５９】
次に上記ガラス粉末に、表中に示された金属粉末を混合することにより固体酸化物型燃料電池用シール材料を得た。
【００６０】
次に各試料について、熱膨張係数、導電性、接着性を以下の方法により測定または評価した。結果を表１および２に示す。
【００６１】
導電性は次のようにして評価した。比重分の試料粉末を直径２０ｍｍの金型に入れてプレスすることにより、タブレット状の試料を作製した。その後、８５０℃にて３０分保持することにより熱処理を行い、電気抵抗を四探針法により測定した。電気抵抗が５０Ω・ｃｍ以下のものを「◎」、５０Ω・ｃｍを超え、１００Ω・ｃｍ以下のものを「○」、１００Ω・ｃｍを超えるものを「×」として評価した。
【００６２】
接着性は次のようにして評価した。比重分の試料粉末を直径２０ｍｍの金型に入れてプレスすることにより、タブレット状の試料を作製した。その後、ＳＵＳ４３０板上で８５０℃にて３０分保持することにより熱処理を行い、試料の状態を確認した。試料と板が接着しているものを「○」、試料が板と接着されていなかったり、試料が板に接着しているもののクラックが確認されたものを「×」として評価した。
【００６３】
熱膨張係数は次のようにして測定した。各試料粉末をプレス成型して予備成型体を作製し、８５０℃にて１５分熱処理した後、直径４ｍｍ、長さ２０ｍｍの円柱状に研磨加工することにより測定用試料を作製した。得られた測定用試料を用いて、ＪＩＳ  Ｒ３１０２に基づき、３０〜７００℃の温度範囲における熱膨張係数を求めた。
【００６４】
なお、上記各測定における熱処理は、Ｎｏ．１〜３、５、７〜１０については、大気雰囲気下、Ｎｏ．４、６、１１については窒素雰囲気下で行った。
【００６５】
表から明らかなように、本発明の実施例である試料Ｎｏ．１〜９のシール材料は、導電性および接着性ともに良好であった。一方、比較例である試料Ｎｏ．１０のシール材料は、金属粉末の含有量が多いため、接着性に劣っていた。また、試料Ｎｏ．１１のシール材料は、金属粉末の含有量が少ないため、導電性に劣っていた。
【産業上の利用可能性】
【００６６】
本発明の固体酸化物型燃料電池用シール材料は、ＳＵＳやＦｅといった金属や、フェライトやジルコニアといった高膨張セラミックスの接着材料として好適である。また、ＳＯＦＣを作製する際に使用される支持体基板、電解質、電極等を気密封止するための接着材料として好適である。
【符号の説明】
【００６７】
１    電解質
２    アノード
３    カソード
４    第一の支持体基板
４ａ  燃料チャネル
５    第二の支持体基板
５ａ  空気チャネル
【図１】
2014096277.tif 000005