(57)【要約】【課題】内部疲労、表面疲労いずれの破損形態にも優れた寿命特性を有し、耐割れ強度に優れた軸受を製造可能な高周波熱処理装置及び高周波熱処理方法を提供する。【解決手段】誘導加熱装置１０は、軸受の軌道輪の円周上に、表面全体を加熱する表面誘導加熱コイル２０と軌道面を加熱する軌道面誘導加熱コイル３０とを有する。表面誘導加熱コイル２０は、軌道輪の中心から径方向に延びる仮想直線上に軌道輪を挟むように共に軸方向に延びる内径側柱部導体２１と外径側柱部導体２２とを有するコイルを一組として、複数組が周方向に所定の間隔で配置され、各組の内径側柱部導体２１と外径側柱部導体２２には逆向きの電流が流れる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
円周上に複数の誘導加熱コイルを有し、軸受の軌道輪を誘導加熱する誘導加熱装置であって、
前記複数の誘導加熱コイルは、表面全体を加熱する表面誘導加熱コイルと、軌道面を加熱する軌道面誘導加熱コイルと、を含み、
前記表面誘導加熱コイルは、前記軌道輪の中心から径方向に延びる仮想直線上に前記軌道輪を挟むように共に軸方向に延びる内径側柱部導体と外径側柱部導体とを有するコイルを一組として、複数組が周方向に所定の間隔で配置され、
各組の前記内径側柱部導体と前記外径側柱部導体には逆向きの電流が流れることを特徴とする誘導加熱装置。
【請求項２】
隣り合う組の前記内径側柱部導体同士及び前記外径側柱部導体同士には逆向きの電流が流れることを特徴とする請求項１に記載の誘導加熱装置。
【請求項３】
隣り合う組の前記内径側柱部導体同士及び前記外径側柱部導体同士を軸方向同じ側において接続導体で連結し、
前記接続導体が周方向で軸方向一方側と軸方向他方側で交互に配置し、
周方向一端側に位置する組の前記内径側柱部導体と前記外径側柱部導体は前記接続導体が連結されていない側で接続され、
周方向他端側に位置する組の前記内径側柱部導体と前記外径側柱部導体は前記接続導体が連結されていない側が電源に接続されることを特徴とする請求項２に記載の誘導加熱装置。
【請求項４】
前記内径側柱部導体と前記軌道輪との径方向距離及び前記外径側柱部導体と前記軌道輪との径方向距離とは等しく、
前記接続導体と前記軌道輪との軸方向距離は、前記径方向距離の２倍以上であることを特徴とする請求項３に記載の誘導加熱装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載の誘導加熱装置を用いた誘導加熱方法であって、
前記軌道輪を回転させながら、前記表面誘導加熱コイルで心部が残存し表面が全て硬化するように加熱し、その後、前記軌道面誘導加熱コイルで前記軌道面を加熱することを特徴とする誘導加熱方法。
【請求項６】
円周上に複数の誘導加熱コイルを有し、軸受の軌道輪を誘導加熱する誘導加熱装置であって、
前記複数の誘導加熱コイルは、表面全体を加熱する表面誘導加熱コイルと、軌道面を加熱する軌道面誘導加熱コイルと、を含み、
前記表面誘導加熱コイルは、前記軌道輪の中心から外径側に延びる仮想直線上に内径側柱部導体と外径側柱部導体とが前記軌道輪を挟むように配置され、
前記内径側柱部導体と前記外径側柱部導体には逆向きの電流が流れることを特徴とする誘導加熱装置。
【請求項７】
請求項６に記載の誘導加熱装置を用いた誘導加熱方法であって、
前記軌道輪を回転させながら、前記表面誘導加熱コイルで心部が残存し表面が全て硬化するように加熱し、その後、前記軌道面誘導加熱コイルで前記軌道面を加熱することを特徴とする誘導加熱方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、円周上に複数の誘導加熱コイルを有し、軸受の軌道輪を誘導加熱する誘導加熱装置及びそれを用いた誘導加熱方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
転がり軸受には寿命と靭性が要求される。特に高い荷重や衝撃的な荷重がかかることが多い産業用の軸受に関しては、両者のバランスが重要視される。
【０００３】
転がり軸受の転がり寿命は内部起点型のはく離と表面起点型のはく離に大別される。前者は鋼中に含まれる非金属介在物を起点とするため、鋼材の酸素量を低減させる手法により長寿命化が行われてきた。これまで様々な製鋼プロセスの改善により酸素量の低減が図られているが、化学成分においては、炭素量が多いことが酸素量の低下に関して望ましい。実際に中炭素鋼であるＳ５３Ｃに比べてＳＵＪ２に代表される軸受鋼は高い清浄度を示すことが知られている。
【０００４】
後者の表面起点型はく離に関しては、油中に含まれる金属紛などの異物のかみ込みによって生じる圧痕の縁の応力集中によりはく離が生じるため、これを緩和する目的で残留オーステナイト量を制御し、長寿命化を測ってきた。一般に表面起点型はく離は内部起点型はく離に比べて明らかに短寿命であることから、長寿命軸受の開発は表面起点型はく離に関するものが多い。しかし、残留オーステナイトを多量に析出させるためには、表面に炭素や窒素の富化領域を形成させる必要が有り、そのためには浸炭や浸炭窒化などの特殊なガス雰囲気化での焼入れ処理が必要となる。さらに多量の残留オーステナイトの析出は転がり軸受に最も必要な表面硬度の低下をもたらすので、これを硬質の炭窒化物で補う必要が有り、そのために、Ｍｏなどの高価な合金元素が添加される場合もある。
【０００５】
一方、靭性に関しては材料の硬度とトレードオフの関係がある。したがって、靭性を向上させるためには硬度の低い領域をできるだけ多く確保することが基本的な方針になる。このような視点から低・中炭素鋼に浸炭あるいは浸炭窒化処理を施して、表面のみ硬化させた浸炭軸受が開発されている。ただし、浸炭鋼は鉄鋼用の軸受など比較的大きな軸受に使用されることが多く、焼入れ性を確保するために、ＮｉやＭｏ、Ｃｒといった比較的高価な合金元素を添加することが主流であり、浸炭処理などの熱処理の煩雑さと併せて、生産コストの増大を招いているのが現状である。
【０００６】
以上のような諸問題を受けて、近年では必要な部分を表面だけ焼入れ硬化する高周波熱処理が着目されている。これは、１つの部品の中で高い面圧に耐える硬化層と、靭性に優れた非硬化層を作り出すことで寿命と靭性を両立させる手法である。さらに、非硬化層を有することで、表面の硬化層には圧縮の残留応力を付与し、寿命およびクラックの伝播抑制に効果があると考えられている。また、焼入れ処理の有無で硬度をコントロールできるので、高合金の低炭素鋼でなく、清浄度に優れた、汎用の軸受鋼に代表される高炭素鋼を使用することができる。ところで、表面損傷に関して、残留オーステナイトが有効であることは先に示したが、高周波焼入れの特性上、電流密度は表面が高く、母材の炭素濃度が０．７％程度あれば、極表層のみに浸炭鋼並みの残留オーステナイトを確保することもできる。多量の残留オーステナイトは寸法変化という負の要因の一つになることも知られているが、深さ方向に見ると急激に残留オーステナイト量が低下するので、最大せん断応力深さ以下の極表面部には多量に存在させつつ、全体の体積率は低く抑えられるという利点も存在する。すなわち、軸受鋼に代表される高炭素鋼を用いて、高周波焼入れすることによって、内部疲労、表面疲労いずれの破損形態にも優れた寿命特性を有し、耐割れ強度に優れた軸受を製造できると考えられる。
【０００７】
ただし、軸受に高周波焼入れを適用する場合に問題点も存在する。これは製造方法に関する物であり、高周波熱処理が非常に短時間の処理であること、および加熱される領域がコイルの形状に依存する点に起因している。したがって、高周波熱処理法に関する文献は、高周波に適した鋼材に関するもの、前熱処理に関する物、装置に関する物など数多く報告されている。
【０００８】
例えば、特許文献１においては、環状部材の加熱において、円周方向に複数のコイルを配置し、それらのコイルとワークとの距離を調整することによって均一加熱を実現したことが報告されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特許第４３６５３１１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明では転がり軸受の機能が浸炭等で作製された表面疲労に対して長寿命を有する製品を対象としており、軌道面の残留オーステナイトを１５％以上確保する必要がある。その一方で、残留オーステナイトの総量が多くなる鋼では、長時間の使用による寸法安定性の劣化が避けられないため、軌道面以外の部分の残留オーステナイトはできるだけ低く抑える必要がある。しかしながら、特許文献１に記載の誘導加熱コイルを用いた場合、軌道面以外の部分（例えばはめ合い面やコイルがかかっている端面）まで均一に加熱されるため、長寿命の軸受として軌道面の残留オーステナイト量のみを増加させることが難しい。また、円周方向には同一形状のコイルを配置しているため、軌道面のみの温度を上昇させるような調整が難しい。
【００１１】
このように、表面疲労による寿命延長が求められるような軸受に対する高周波熱処理方法は確立されていないのが現状である。
【００１２】
本発明は、前述した課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、内部疲労、表面疲労いずれの破損形態にも優れた寿命特性を有し、耐割れ強度に優れた軸受を製造可能な高周波熱処理装置及び高周波熱処理方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
高周波熱処理では、ワークに対してコイルが正対した部分に渦電流が流れ、それがワークの発熱をもたらすために、加熱部と非加熱部を区別して部分的に加熱できる反面、電流の流れ方の制御が適切でないと特定部分に多く電流が流れてその部分だけ極端に温度が上昇するオーバーヒートと呼ばれる現象が起こる。オーバーヒートが発生すると、その部分の結晶粒が著しく粗大化し、靭性を中心とした機械的特性が劣化する。一方、加熱温度が不足すると、炭素の基地への溶け込みが不十分となる。転動疲労や摩耗に対して硬度は非常に重要な特性であり、その硬度は軸受鋼を含む構造用鋼と呼ばれる成分範囲では基地の炭素量に依存するため、必要な部位には炭素を十分に溶け込ませる必要がある。すなわち、ワークの温度が高い部分と低い部分の差が無いコイルほど、出力条件によってワークの熱処理品質を調整しやすい良いコイルと言える。
【００１４】
一方、軸受は特定のワークをのぞいて、つば部など凹凸部が存在し、凸部には熱が集中しやすく、凹部は熱が入りにくいことが知られている。本発明者らは、種々のつば部のある円錘内輪ワークに対して種々のコイルを用いて試作を繰り返した結果、つば部の過熱は円周方向に流れる電流が多いほど起こりやすいことを見出した。例えば、ターンコイル（ワークと同心円状にコイルを配置する）と上記が非常に極端に生じ、つば部のみに加熱が集中し、その近傍は電流が流れずに極端なオーバーヒートが発生する。
【００１５】
これを解決するためには、ワーク断面方向に均一に電流を流すことが必要である。具体的には、ワークを上から見た場合に、同一円周角度方向について、中心線から直線上にコイル→ワーク→コイルの順に並んでおり、なおかつ内径側のコイルと外径側のコイルの電流の向きが逆になっている必要があることが分かった。このようにコイルを制御することにより、ワーク断面に置いて電流は擬似的に閉回路として流れるため、ワーク表面は凹凸に限らず均一な電流が流れやすくなる。
【００１６】
一方、上記はワーク表面全体を均一加熱するためのコイルであるが、転がり軸受の場合、転動体が転がる軌道面にはさらに厳密な品質管理が求められる。具体的には、残留オーステナイト量を１５〜４０体積％に制御しつつ、旧オーステナイト粒径を３０μｍ以下に制御する必要がある。これを達成するためには、上記の表面均一加熱コイルに加えて、軌道面のみの温度を上げることができるコイルが必要である。このコイルは軌道面に正確に正対し、隣接するつば部などへの電流の流れを最小限にする必要がある。
【００１７】
本発明は、本発明者らの鋭意検討の結果得られたこれらの知見に基づいて、上記目的を達成する下記の構成を提供するものである。
（１）  円周上に複数の誘導加熱コイルを有し、軸受の軌道輪を誘導加熱する誘導加熱装置であって、
前記複数の誘導加熱コイルは、表面全体を加熱する表面誘導加熱コイルと、軌道面を加熱する軌道面誘導加熱コイルと、を含み、
前記表面誘導加熱コイルは、前記軌道輪の中心から径方向に延びる仮想直線上に前記軌道輪を挟むように共に軸方向に延びる内径側柱部導体と外径側柱部導体とを有するコイルを一組として、複数組が周方向に所定の間隔で配置され、
各組の前記内径側柱部導体と前記外径側柱部導体には逆向きの電流が流れることを特徴とする誘導加熱装置。
（２）  隣り合う組の前記内径側柱部導体同士及び前記外径側柱部導体同士には逆向きの電流が流れることを特徴とする（１）に記載の誘導加熱装置。
（３）  隣り合う組の前記内径側柱部導体同士及び前記外径側柱部導体同士を軸方向同じ側において接続導体で連結し、
前記接続導体が周方向で軸方向一方側と軸方向他方側で交互に配置し、
周方向一端側に位置する組の前記内径側柱部導体と前記外径側柱部導体は前記接続導体が連結されていない側で接続され、
周方向他端側に位置する組の前記内径側柱部導体と前記外径側柱部導体は前記接続導体が連結されていない側が電源に接続されることを特徴とする（２）に記載の誘導加熱装置。
（４）  前記内径側柱部導体と前記軌道輪との径方向距離及び前記外径側柱部導体と前記軌道輪との径方向距離とは等しく、
前記接続導体と前記軌道輪との軸方向距離は、前記径方向距離の２倍以上であることを特徴とする（３）に記載の誘導加熱装置。
（５）  （１）〜（４）のいずれかに記載の誘導加熱装置を用いた誘導加熱方法であって、
前記軌道輪を回転させながら、前記表面誘導加熱コイルで心部が残存し表面が全て硬化するように加熱し、その後、前記軌道面誘導加熱コイルで前記軌道面を加熱することを特徴とする誘導加熱方法。
（６）  円周上に複数の誘導加熱コイルを有し、軸受の軌道輪を誘導加熱する誘導加熱装置であって、
前記複数の誘導加熱コイルは、表面全体を加熱する表面誘導加熱コイルと、軌道面を加熱する軌道面誘導加熱コイルと、を含み、
前記表面誘導加熱コイルは、前記軌道輪の中心から外径側に延びる仮想直線上に内径側柱部導体と外径側柱部導体とが前記軌道輪を挟むように配置され、
前記内径側柱部導体と前記外径側柱部導体には逆向きの電流が流れることを特徴とする誘導加熱装置。
（７）  （６）に記載の誘導加熱装置を用いた誘導加熱方法であって、
前記軌道輪を回転させながら、前記表面誘導加熱コイルで心部が残存し表面が全て硬化するように加熱し、その後、前記軌道面誘導加熱コイルで前記軌道面を加熱することを特徴とする誘導加熱方法。
【発明の効果】
【００１８】
本発明の誘導加熱装置及び誘導加熱方法によれば、表面全体を加熱する表面誘導加熱コイルにより高い面圧に耐える硬化層と、靱性に優れた非硬化層とを形成することができ、さらに軌道面を加熱する軌道面誘導加熱コイルにより表面損傷に強い残留オーステナイト量を確保することができる。これにより、内部疲労、表面疲労いずれの破損形態にも優れた寿命特性を有し、耐割れ強度に優れた軸受を製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明に係る一実施形態の誘導加熱装置を模式的に示す斜視図である。
【図２】表面誘導加熱コイルを軸方向一方側から見た、表面誘導加熱コイル説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明の軸受の軌道輪を誘導加熱する誘導加熱装置の誘導加熱方法について、図面に基づいて詳細に説明する。図１は本発明に係る一実施形態の誘導加熱装置を模式的に示す斜視図であり、図２は表面誘導加熱コイルを軸方向一方側から見た、表面誘導加熱コイル説明図である。
【００２１】
本発明の一実施形態の誘導加熱装置１０は、図１に示すように、加工対象である軸受の軌道輪Ｗの円周方向に異なる役割を有する２つの誘導加熱コイル２０，３０を、備えている。図１では、軸受の軌道輪Ｗとして、外周面に軌道面Ｗａを有する内輪を示している。
【００２２】
誘導加熱コイル２０は軌道輪Ｗの表面全体を加熱する表面誘導加熱コイルであり、誘導加熱コイル３０は軌道輪Ｗの軌道面Ｗａを加熱する軌道面誘導加熱コイルである。以下、誘導加熱コイル２０を表面誘導加熱コイルと、誘導加熱コイル３０を軌道面誘導加熱コイルと呼ぶ。
【００２３】
先ず、図２も参照しながら表面誘導加熱コイル２０について説明する。
表面を均一に加熱するためには軌道輪Ｗの断面内で電流を流すこと、言い換えれば、つば部に周方向の電流を流さないことが重要である。そのため、表面誘導加熱コイル２０には、軌道輪Ｗの中心Ｏから径方向に延びる仮想直線Ｐ上に軌道輪Ｗを挟むように共に軸方向に延びる内径側柱部導体２１と外径側柱部導体２２とを有するコイルを一組として、４組のコイル２３Ａ〜２３Ｄが周方向に所定の間隔で形成されている。各組のコイルは、内径側柱部導体２１から軌道輪Ｗの内周面までの距離Ｌ１と、外径側柱部導体２２から軌道輪Ｗの外周面までの距離Ｌ２が等しくなるように配置される（Ｌ１＝Ｌ２）。
【００２４】
また、軌道輪Ｗの断面内で電流を流すためには、軌道輪Ｗを挟んだ各組の内径側柱部導体２１と外径側柱部導体２２に電流を逆向きに流す必要がある。また、独立した複数の閉回路を形成するためには、隣り合う組の内径側柱部導体２１，２１同士、外径側柱部導体２２，２２同士には逆向きの電流が流れるように接続する必要がある。そのため、隣り合う組の内径側柱部導体２１，２１同士及び外径側柱部導体同士２２，２２は軸方向同じ側において接続導体２４で接続される。
【００２５】
より具体的に説明すると、周方向一端側に位置する第１組コイル２３Ａから角度αの位置に第２組コイル２３Ｂが配置され、第２組コイル２３Ｂから角度αの位置に第３組コイル２３Ｃが配置され、さらに第３組コイル２３Ｃから角度αの位置に第４組コイル２３Ｄが配置されている。従って、隣り合う組の内径側柱部導体２１間距離Ｌ３は、隣り合う組の外径側柱部導体２２間距離Ｌ４よりも短くなる（Ｌ３＜Ｌ４）。
【００２６】
第１組コイル２３Ａの内径側柱部導体２１と第２組コイル２３Ｂの内径側柱部導体２１同士、及び、第１組コイル２３Ａの外径側柱部導体２２と第２組コイル２３Ｂの外径側柱部導体２２同士は、軸方向一方側（図１中下方）で接続導体２４で接続される。第２組コイル２３Ｂの内径側柱部導体２１と第３組コイル２３Ｃの内径側柱部導体２１同士、及び、第２組コイル２３Ｂの外径側柱部導体２２と第３組コイル２３Ｃの外径側柱部導体２２同士は、軸方向他方側（図１中上方）で接続導体２４で接続される。第３組コイル２３Ｃの内径側柱部導体２１と第４組コイル２３Ｄの内径側柱部導体２１同士、及び、第３組コイル２３Ｃの外径側柱部導体２２と第４組コイル２３Ｄの外径側柱部導体２２同士は、軸方向一方側（図１中下方）で接続導体２４で接続される。即ち、接続導体２４は、周方向で軸方向一方側（図１中下方）と軸方向他方側（図１中上方）で交互に配置されている。
【００２７】
周方向一端側に位置する第１組コイル２３Ａは、接続導体２４が連結されていない側である軸方向他方側（図１中上方）で接続導体２４により内径側柱部導体２１と外径側柱部導体２２とが接続され、周方向他端側に位置する第４組コイル２３Ｄは、接続導体２４が連結されていない側である軸方向他方側（図１中上方）で不図示の電源に接続される。
【００２８】
接続導体２４と軌道輪Ｗとの軸方向距離Ｌ５は、内径側柱部導体２１又は外径側柱部導体２２と軌道輪Ｗとの径方向距離（Ｌ１、Ｌ２）の２倍以上確保される（Ｌ５≧２×Ｌ１（Ｌ２））。接続導体２４も磁界を発生させ、軌道輪Ｗに作用すると発熱をもたらすが、接続導体２４による発熱は軌道輪Ｗのつば部などを余分に発熱させ過熱の原因になりやすいため、その役割は電気的な接続に限定すべきである。
【００２９】
このように構成された表面誘導加熱コイル２０に電流を流すと、第１組コイル２３Ａの内径側柱部導体２１、第２組コイル２３Ｂの外径側柱部導体２２、第３組コイル２３Ｃの内径側柱部導体２１、第４組コイル２３Ｄの外径側柱部導体２２に同じ向きの電流が流れ、これと逆向きの電流が第１組コイル２３Ａの外径側柱部導体２２、第２組コイル２３Ｂの内径側柱部導体２１、第３組コイル２３Ｃの外径側柱部導体２２、第４組コイル２３Ｄの内径側柱部導体２１に流れる。
【００３０】
即ち、各組の内径側柱部導体２１と外径側柱部導体２２には逆向きの電流が流れると共に、隣り合う組の内径側柱部導体２１，２１同士、外径側柱部導体２２，２２同士には逆向きの電流が流れ、擬似的な４つの独立した閉回路が形成される。
【００３１】
一方で、軌道輪Ｗの品質を確保するために、転動体が通過する軌道面Ｗａの温度をその他の部分よりも高くする必要がある。そのため、軌道面誘導加熱コイル３０には、軌道面のみを加熱するように軌道面Ｗａに沿った円弧状コイル３１が軌道面Ｗａから等距離に配置される。円弧状コイル３１の周方向両端側で不図示の電源に接続される。
【００３２】
続いて、この誘導加熱装置１０を用いた誘導加熱方法について説明する。
先ず、軌道輪Ｗを回転台（不図示）にのせ、回転中心を確保した後に、表面誘導加熱コイル２０と軌道面誘導加熱コイル３０を所定の位置になるように移動する。ついで、軌道輪Ｗを回転させ、定常状態になったことを確認した後、表面誘導加熱コイル２０に電流を流し、加熱を開始する。所定の時間加熱した後に、軌道面誘導加熱コイル３０に電力を投入し、所定の時間経過後、電力をカットし、水冷を行う。
【００３３】
ワークとしての軌道輪Ｗは、汎用の高炭素クロム鋼（ＳＵＪ２、ＳＵＪ３、ＳＵＪ４、ＳＵＪ５）に代表される過共析組成のずぶ焼き鋼が好ましい。表面誘導加熱コイル２０により、つば部の過熱を抑制した上で軌道輪Ｗの表面温度をＡ１変態点以上に表面全体を加熱することで、心部が残存しかつ表面が全て硬化されるように高周波熱処理が施される。また、軌道面誘導加熱コイル３０により、軌道面Ｗａに対して加熱を追加することで、軌道面表面の残留オーステナイトおよび大きなせん断応力を受ける領域の組織を制御することができる。軌道面Ｗａの残留オーステナイトを１５〜４０％に制御し、旧オーステナイト粒径を３０μｍ以下に制御する。以上の手法により、軌道面Ｗａの転がり耐久性を確保しながら短時間で高品質の軸受の製造が可能となり、異物混入潤滑環境下など寿命の低下が懸念されるような用途において長寿命を示す転がり軸受を製造することができる。
【００３４】
尚、本発明は、前述した各実施形態に限定されるものではなく、適宜、変形、改良、等が可能である。
例えば、表面誘導加熱コイル２０は、上記実施形態では、４組のコイル２３Ａ〜２３Ｄをから構成したが、１組以上のコイルから構成されていればよく、ワークサイズの大きさ、各々のコイルの加熱能力に応じてその数を必要分だけ増加させてもよい。
また、ワークとしての軌道輪Ｗが外輪の場合には、軌道面誘導加熱コイル３０の円弧状コイル３１は軌道輪Ｗの内側に配置される。
【符号の説明】
【００３５】
１０       誘導加熱装置
２０       表面誘導加熱コイル
２１       内径側柱部導体
２２       外径側柱部導体
２４       接続導体
３０       軌道面誘導加熱コイル
Ｗ         軌道輪
Ｗａ       軌道面
【図１】
2014041789.tif 000003
【図２】
2014041789.tif 000004