(57)【要約】      （修正有）【課題】接着積層した際に、貫通孔の部位が剥がれにくい圧電アクチュエータ基板、それを用いた液体吐出ヘッドおよび記録装置を提供する。【解決手段】圧電アクチュエータ基板２１は、セラミック振動板２１ａと少なくとも１層の圧電セラミック層２１ｂとが積層されている積層体と、圧電セラミック層２１ｂ側の主面に配置されている第１の表面電極３５と、内部電極３４と、内部電極３４に繋がるように圧電セラミック層２１ｂを貫通している貫通孔３８と、圧電セラミック層２１ｂ側の主面に、貫通孔３８を覆うように配置されている第２の表面電極３７とを備えている圧電アクチュエータ基板２１であって、積層体のセラミック振動板２１ａ側の主面における、平面視した場合の貫通孔３８の周囲に凹部３９が設けられている。【選択図】図６
2014162191.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
セラミック振動板と少なくとも１層の圧電セラミック層とが積層されている積層体と、
該積層体の前記圧電セラミック層側の主面に配置されている第１の表面電極と、
前記積層体の内部に配置されている内部電極と、
前記内部電極と繋がるように前記圧電セラミック層を貫通している貫通孔と、
前記圧電セラミック層側の主面に、前記貫通孔を覆うように配置されている第２の表面電極と
を備えている圧電アクチュエータ基板であって、
前記積層体の前記セラミック振動板側の主面における、前記圧電アクチュエータ基板を平面視した場合の前記貫通孔の周囲に凹部が設けられていることを特徴とする圧電アクチュエータ基板。
【請求項２】
前記凹部は、前記圧電アクチュエータ基板を平面視した場合の前記貫通孔の周囲に環状に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の圧電アクチュエータ基板。
【請求項３】
前記貫通孔の内壁と接する部位の前記内部電極が、周囲の前記内部電極より厚さが厚いことを特徴とする請求項１または２に記載の圧電アクチュエータ基板。
【請求項４】
前記貫通孔は、前記圧電セラミック層側の主面の開口が、前記内部電極と繋がっている底部より大きい形状を有し、
前記内部電極の厚さの厚い部位が、前記開口よりも大きいことを特徴とする請求項３に記載の圧電アクチュエータ基板。
【請求項５】
周囲に前記凹部の設けられている前記貫通孔が、前記圧電アクチュエータ基板の外周に設けられていることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の圧電アクチュエータ基板。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれかに記載の圧電アクチュエータ基板と、該圧電アクチュエータ基板の前記セラミック振動板側の主面に接着されており、液体を吐出する吐出孔を有する流路部材とを含むことを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項７】
請求項６に記載の液体吐出ヘッドと、記録媒体を前記液体吐出ヘッドに対して搬送する搬送部と、前記圧電アクチュエータ基板を制御する制御部とを備えていることを特徴とする記録装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電アクチュエータ基板、それを用いた液体吐出ヘッドおよび記録装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、インクジェットプリンタやインクジェットプロッタなどの、インクジェット記録方式を利用した印刷装置が、一般消費者向けのプリンタだけでなく、例えば電子回路の形成や液晶ディスプレイ用のカラーフィルタの製造、有機ＥＬディスプレイの製造といった工業用途にも広く利用されている。
【０００３】
このようなインクジェット方式の印刷装置には、液体を吐出させるための液体吐出ヘッドが印刷ヘッドとして搭載されている。この種の印刷ヘッドには、インクが充填されたインク流路内に加圧手段としてのヒータを備え、ヒータによりインクを加熱、沸騰させ、インク流路内に発生する気泡によってインクを加圧し、インク吐出孔より、液滴として吐出させるサーマルヘッド方式と、インクが充填されるインク流路の一部の壁を変位素子によって屈曲変位させ、機械的にインク流路内のインクを加圧し、インク吐出孔より液滴として吐出させる圧電方式が一般的に知られている。
【０００４】
また、このような液体吐出ヘッドには、記録媒体の搬送方向（副走査方向）と直交する方向（主走査方向）に液体吐出ヘッドを移動させつつ記録を行なうシリアル式、および記録媒体より主走査方向に長い液体吐出ヘッドを固定した状態で、副走査方向に搬送されてくる記録媒体に記録を行なうライン式がある。ライン式は、シリアル式のように液体吐出ヘッドを移動させる必要がないので、高速記録が可能であるという利点を有する。
【０００５】
シリアル式、ライン式のいずれの方式の液体吐出ヘッドであっても、液滴を高い密度で印刷するには、液体吐出ヘッドに形成されている、液滴を吐出する吐出孔の密度を高くする必要がある。
【０００６】
そこで液体吐出ヘッドを、マニホールドおよびマニホールドから複数の加圧室をそれぞれ介して繋がる吐出孔を有した流路部材と、前記加圧室をそれぞれ覆うように設けられた複数の変位素子を有する圧電アクチュエータ基板とを積層して構成したものが知られている（例えば、特許文献１を参照。）。この圧電アクチュエータ基板は、圧電セラミック層とセラミック振動板とを積層したものであり、変位素子は、圧電アクチュエータ基板の内部にある共通電極と、圧電アクチュエータ基板の表面にある複数の個別電極とその間の圧電セラミック層とで構成されている。そして、共通電極は、圧電セラミック層に設けられている貫通孔中の導体を介して外部と導通するようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００３−３０５８５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
特許文献１に記載されているような圧電アクチュエータ基板のセラミック振動板側の面を、他の部材と接着剤層を介して接着して用いる場合、貫通孔が設けられている部分は周囲と若干構造が異なるため、接着不良を起こしたり、接着が剥がれる起点となることがあった。
【０００９】
したがって、本発明の目的は、接着積層した際に、貫通孔の部位が剥がれにくい圧電アクチュエータ基板、それを用いた液体吐出ヘッドおよび記録装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の圧電アクチュエータ基板は、セラミック振動板と少なくとも１層の圧電セラミック層とが積層されている積層体と、該積層体の前記圧電セラミック層側の主面に配置されている第１の表面電極と、前記積層体の内部に配置されている内部電極と、前記内部電極と繋がるように前記圧電セラミック層を貫通している貫通孔と、前記圧電セラミック層側の主面に、前記貫通孔を覆うように配置されている第２の表面電極とを備えている圧電アクチュエータ基板であって、前記積層体の前記セラミック振動板側の主面における、前記圧電アクチュエータ基板を平面視した場合の前記貫通孔の周囲に凹部が設けられていることを特徴とする。
【００１１】
本発明の液体吐出ヘッドは、前記圧電アクチュエータ基板と、該圧電アクチュエータ基板の前記セラミック振動板側の主面に接着されており、液体を吐出する吐出孔を有する流路部材とを含むことを特徴とする。
【００１２】
本発明の記録装置は、前記液体吐出ヘッドと、記録媒体を前記液体吐出ヘッドに対して搬送する搬送部と、前記圧電アクチュエータ基板を制御する制御部とを備えていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
圧電アクチュエータ基板のセラミック振動板を他の部材に接着積層する際に、接着剤が凹部に入り、接着を強固にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の一実施形態に係る記録装置であるプリンタの概略構成図である。
【図２】図１の液体吐出ヘッドを構成する第１の流路部材および圧電アクチュエータ基板の平面図である。
【図３】図２の一点鎖線に囲まれた領域の拡大図であり、説明のため一部の流路を省略した図である。
【図４】図２の一点鎖線に囲まれた領域の拡大図であり、説明のため一部の流路を省略した図である。
【図５】本発明の一実施形態に係る圧電アクチュエータ基板の平面図である。
【図６】（ａ）は、図３のＶ−Ｖ線に沿った縦断面図であり、（ｂ）は、図５のＸ−Ｘ線に沿った縦断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
図１は、本発明の一実施形態による液体吐出ヘッドを含む記録装置であるカラーインクジェットプリンタの概略構成図である。このカラーインクジェットプリンタ１（以下、プリンタ１とする）は、４つの液体吐出ヘッド２を有している。これらの液体吐出ヘッド２は、印刷用紙Ｐの搬送方向に沿って並べられ、プリンタ１に固定されている。液体吐出ヘッド２は、図１の手前から奥へ向かう方向に細長い形状を有している。この長い方向を長手方向と呼ぶことがある。
【００１６】
プリンタ１には、印刷用紙Ｐの搬送経路に沿って、給紙ユニット１１４、搬送ユニット１２０および紙受け部１１６が順に設けられている。また、プリンタ１には、液体吐出ヘッド２や給紙ユニット１１４などのプリンタ１の各部における動作を制御するための制御部１００が設けられている。
【００１７】
給紙ユニット１１４は、複数枚の印刷用紙Ｐを収容することができる用紙収容ケース１１５と、給紙ローラ１４５とを有している。給紙ローラ１４５は、用紙収容ケース１１５に積層して収容された印刷用紙Ｐのうち、最も上にある印刷用紙Ｐを１枚ずつ送り出すことができる。
【００１８】
給紙ユニット１１４と搬送ユニット１２０との間には、印刷用紙Ｐの搬送経路に沿って、二対の送りローラ１１８ａおよび１１８ｂ、ならびに、１１９ａおよび１１９ｂが配置されている。給紙ユニット１１４から送り出された印刷用紙Ｐは、これらの送りローラによってガイドされて、さらに搬送ユニット１２０へと送り出される。
【００１９】
搬送ユニット１２０は、エンドレスの搬送ベルト１１１と２つのベルトローラ１０６および１０７を有している。搬送ベルト１１１は、ベルトローラ１０６および１０７に巻き掛けられている。搬送ベルト１１１は、２つのベルトローラに巻き掛けられたとき所定の張力で張られるような長さに調整されている。これによって、搬送ベルト１１１は、２つのベルトローラの共通接線をそれぞれ含む互いに平行な２つの平面に沿って、弛むことなく張られている。これら２つの平面のうち、液体吐出ヘッド２に近い方の平面が、印刷用紙Ｐを搬送する搬送面１２７である。
【００２０】
ベルトローラ１０６には、図１に示されるように、搬送モータ１７４が接続されている。搬送モータ１７４は、ベルトローラ１０６を矢印Ａの方向に回転させることができる。また、ベルトローラ１０７は、搬送ベルト１１１に連動して回転することができる。したがって、搬送モータ１７４を駆動してベルトローラ１０６を回転させることにより、搬送ベルト１１１は、矢印Ａの方向に沿って移動する。
【００２１】
ベルトローラ１０７の近傍には、ニップローラ１３８とニップ受けローラ１３９とが、搬送ベルト１１１を挟むように配置されている。ニップローラ１３８は、図示しないバネによって下方に付勢されている。ニップローラ１３８の下方のニップ受けローラ１３９は、下方に付勢されたニップローラ１３８を、搬送ベルト１１１を介して受け止めている。２つのニップローラは回転可能に設置されており、搬送ベルト１１１に連動して回転する。
【００２２】
給紙ユニット１１４から搬送ユニット１２０へと送り出された印刷用紙Ｐは、ニップローラ１３８と搬送ベルト１１１との間に挟み込まれる。これによって、印刷用紙Ｐは、搬送ベルト１１１の搬送面１２７に押し付けられ、搬送面１２７上に固着する。そして、印刷用紙Ｐは、搬送ベルト１１１の回転に従って、液体吐出ヘッド２が設置されている方向へと搬送される。なお、搬送ベルト１１１の外周面１１３に粘着性のシリコンゴムによる処理を施してもよい。これにより、印刷用紙Ｐを搬送面１２７に確実に固着させることができる。
【００２３】
４つの液体吐出ヘッド２は、搬送ベルト１１１による搬送方向に沿って互いに近接して配置されている。各液体吐出ヘッド２は、下端にヘッド本体１３を有している。ヘッド本体１３の下面には、液体を吐出する多数の吐出孔８が設けられている。
【００２４】
１つの液体吐出ヘッド２に設けられた吐出孔８からは、同じ色の液滴（インク）が吐出されるようになっている。各液体吐出ヘッド２には図示しない外部液体タンクから液体が供給される。各液体吐出ヘッド２の吐出孔８は、一方方向（印刷用紙Ｐと平行で印刷用紙Ｐ搬送方向に直交する方向であり、液体吐出ヘッド２の長手方向）に等間隔で配置されているため、一方方向に隙間なく印刷することができる。各液体吐出ヘッド２から吐出される液体の色は、それぞれ、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）およびブラッ
ク（Ｋ）である。各液体吐出ヘッド２は、ヘッド本体１３の下面と搬送ベルト１１１の搬送面１２７との間にわずかな隙間をおいて配置されている。
【００２５】
搬送ベルト１１１によって搬送された印刷用紙Ｐは、液体吐出ヘッド２と搬送ベルト１１１との間の隙間を通過する。その際に、液体吐出ヘッド２を構成するヘッド本体１３から印刷用紙Ｐの上面に向けて液滴が吐出される。これによって、印刷用紙Ｐの上面には、制御部１００によって記憶された画像データに基づくカラー画像が形成される。
【００２６】
搬送ユニット１２０と紙受け部１１６との間には、剥離プレート１４０と二対の送りローラ１２１ａおよび１２１ｂならびに１２２ａおよび１２２ｂとが配置されている。カラー画像が印刷された印刷用紙Ｐは、搬送ベルト１１１によって剥離プレート１４０へと搬送される。このとき、印刷用紙Ｐは、剥離プレート１４０の右端によって、搬送面１２７から剥離される。そして、印刷用紙Ｐは、送りローラ１２１ａ〜１２２ｂによって、紙受け部１１６に送り出される。このように、印刷済みの印刷用紙Ｐが順次紙受け部１１６に送られ、紙受け部１１６に重ねられる。
【００２７】
なお、印刷用紙Ｐの搬送方向について最も上流側にある液体吐出ヘッド２とニップローラ１３８との間には、紙面センサ１３３が設置されている。紙面センサ１３３は、発光素子および受光素子によって構成され、搬送経路上の印刷用紙Ｐの先端位置を検出することができる。紙面センサ１３３による検出結果は制御部１００に送られる。制御部１００は、紙面センサ１３３から送られた検出結果により、印刷用紙Ｐの搬送と画像の印刷とが同期するように、液体吐出ヘッド２や搬送モータ１７４等を制御することができる。
【００２８】
次に本発明の液体吐出ヘッドを構成するヘッド本体１３について説明する。図２は、図１に示されたヘッド本体１３を示す上面図である。図３は、図２の一点鎖線で囲まれた領域の拡大平面図であり、ヘッド本体１３の一部である。図３では、説明のため、一部の流路を省略して描いている。図４は、図３と同じ位置の拡大平面図であり、図３とは別の一部の流路を省略して描いている。なお、図３および図４において、図面を分かり易くするために、圧電アクチュエータ基板２１の下方にあって破線で描くべき加圧室１０（加圧室群９）、しぼり１２および吐出孔８などを実線で描いている。図５は、圧電アクチュエータ基板２１の平面図である。図５でも同様に、第１の共通電極用表面電極３７や貫通孔３８を実線で描いている。図６（ａ）は、図３のＶ−Ｖ線に沿った縦断面図であり、(ｂ）
は、図５のＸ−Ｘ線に沿った縦断面図である。
【００２９】
ヘッド本体１３は、平板状の流路部材４と、流路部材４上に、接着積層された圧電アクチュエータ基板２１とを有している。圧電アクチュエータ基板２１は台形形状を有しており、その台形の１対の平行対向辺が流路部材４の長手方向に平行になるように流路部材４の上面に配置されている。また、流路部材４の長手方向に平行な２本の仮想直線のそれぞれに沿って２つずつ、つまり合計４つの圧電アクチュエータ基板２１が、全体として千鳥状に流路部材４上に配列されている。流路部材４上で隣接し合う圧電アクチュエータ基板２１の斜辺同士は、流路部材４の短手方向について部分的にオーバーラップしている。このオーバーラップしている部分の圧電アクチェータユニット２１を駆動することにより印刷される領域では、２つの圧電アクチュエータ基板２１により吐出された液滴が混在して着弾することになる。
【００３０】
流路部材４の内部には液体流路の一部であるマニホールド５が形成されている。マニホールド５は流路部材４の長手方向に沿って延び細長い形状を有しており、流路部材４の上面にはマニホールド５の開口５ｂが形成されている。開口５ｂは、流路部材４の長手方向に平行な２本の直線（仮想線）のそれぞれに沿って５個ずつ、合計１０個形成されている。開口５ｂは、４つの圧電アクチュエータ基板２１が配置された領域を避ける位置に形成
されている。マニホールド５には開口５ｂを通じて図示されていない液体タンクから液体が供給されるようになっている。
【００３１】
流路部材４内に形成されたマニホールド５は、複数本に分岐している（分岐した部分のマニホールド５を副マニホールド５ａということがある）。開口５ｂに繋がるマニホールド５は、圧電アクチュエータ基板２１の斜辺に沿うように延在しており、流路部材４の長手方向と交差して配置されている。２つの圧電アクチュエータ基板２１に挟まれた領域では、１つのマニホールド５が、隣接する圧電アクチュエータ基板２１に共有されており、副マニホールド５ａがマニホールド５の両側から分岐している。これらの副マニホールド５ａは、流路部材４の内部の各圧電アクチュエータ基板２１に対向する領域に互いに隣接してヘッド本体１３の長手方向に延在している。
【００３２】
流路部材４は、複数の加圧室１０がマトリクス状（すなわち、２次元的かつ規則的）に形成されている４つの加圧室群９を有している。加圧室１０は、角部にアールが施されたほぼ菱形の平面形状を有する中空の領域である。加圧室１０は流路部材４の上面に開口するように形成されている。これらの加圧室１０は、流路部材４の上面における圧電アクチュエータ基板２１に対向する領域のほぼ全面にわたって配列されている。したがって、これらの加圧室１０によって形成された各加圧室群９は圧電アクチュエータ基板２１とほぼ同一の大きさおよび形状の領域を占有している。また、各加圧室１０の開口は、流路部材４の上面に圧電アクチュエータ基板２１が接着されることで閉塞されている。
【００３３】
本実施形態では、図３に示されているように、マニホールド５は、流路部材４の短手方向に互いに平行に並んだ４列のＥ１〜Ｅ４の副マニホールド５ａに分岐し、各副マニホールド５ａに繋がった加圧室１０は、等間隔に流路部材４の長手方向に並ぶ加圧室１０の列を構成し、その列は、短手方向に互いに平行に４列配列されている。副マニホールド５ａに繋がった加圧室１０の並ぶ列は副マニホールド５ａの両側に２列ずつ配列されている。
【００３４】
全体では、マニホールド５から繋がる加圧室１０は、等間隔に流路部材４の長手方向に並ぶ加圧室１０の列を構成し、その列は、短手方向に互いに平行に１６列配列されている。各加圧室列に含まれる加圧室１０の数は、アクチュエータである変位素子５０の外形形状に対応して、その長辺側から短辺側に向かって次第に少なくなるように配置されている。吐出孔８もこれと同様に配置されている。これによって、全体として長手方向に６００ｄｐｉの解像度で画像形成が可能となっている。
【００３５】
つまり、流路部材４の長手方向に平行な仮想直線に対して直交するように吐出孔８を投影すると、図３に示した仮想直線のＲの範囲に、各副マニホールド５ａ繋がっている４つの吐出孔８、つまり全部で１６個の吐出孔８が６００ｄｐｉの等間隔になっている。また、各副マニホールド５ａには平均すれば１５０ｄｐｉに相当する間隔で個別流路３２が接続されている。これは、６００ｄｐｉ分の吐出孔８を４つ列の副マニホールド５ａに分けて繋ぐ設計をする際に、各副マニホールド５ａに繋がる個別流路３２が等しい間隔で繋がるとは限らないため、マニホールド５ａの延在方向、すなわち主走査方向に平均１７０μｍ（１５０ｄｐｉならば２５．４ｍｍ／１５０＝１６９μｍ間隔である）以下の間隔で個別流路３２が形成されているということである。
【００３６】
圧電アクチュエータ基板２１の上面における各加圧室１０および後述のダミー加圧室に対向する位置には後述する個別電極３５がそれぞれ形成されている。すなわち、個別電極３５は、圧電アクチュエータ基板２１の上面に、第１の方向および第１の方向とは異なる方向に渡って形成されている。個別電極３５は加圧室１０より一回り小さく、加圧室１０とほぼ相似な形状を有しており、圧電アクチュエータ基板２１の上面における加圧室１０と対向する領域内に収まるように配置されている。
【００３７】
流路部材４の下面の液体吐出面には多数の吐出孔８が形成されている。これらの吐出孔８は、流路部材４の下面側に配置された副マニホールド５ａと対向する領域を避けた位置に配置されている。また、これらの吐出孔８は、流路部材４の下面側における圧電アクチュエータ基板２１と対向する領域内に配置されている。これらの吐出孔群７は圧電アクチュエータ基板２１とほぼ同一の大きさおよび形状の領域を占有しており、対応する圧電アクチュエータ基板２１の変位素子５０を変位させることにより吐出孔８から液滴が吐出できる。吐出孔８の配置については後で詳述する。そして、それぞれの領域内の吐出孔８は、流路部材４の長手方向に平行な複数の直線に沿って等間隔に配列されている。
【００３８】
以上の流路は、液滴の吐出に直接関係する流路であるが、流路部材４には、図では省略してあるダミー加圧室が設けられている。ダミー加圧室は、加圧室１０が設けられている台形状の領域の周囲に一列形成されている。ダミー加圧室により、加圧室１０のうちの最も外側にある加圧室１０の周囲の流路部材４の剛性などが、他の加圧室１０の状態と近くなるので、液体吐出特性のばらつきを少なくできる。ダミー加圧室の形状は加圧室と同じであるが、他の流路に繋がってはいない。ダミー加圧室の配置は、加圧室１０のマトリクス状の配置を延長するように配置される。 
【００３９】
ヘッド本体１３に含まれる流路部材４は、複数のプレートが積層された積層構造を有している。これらのプレートは、流路部材４の上面から順に、キャビティプレート２２、ベースプレート２３、アパーチャ（しぼり）プレート２４、サプライプレート２５、２６、マニホールドプレート２７、２８、２９、カバープレート３０およびノズルプレート３１である。これらのプレートには多数の孔が形成されている。各プレートは、これらの孔が互いに連通して個別流路３２および副マニホールド５ａを構成するように、位置合わせして積層されている。ヘッド本体１３は、図６に示されているように、加圧室１０は流路部材４の上面に、副マニホールド５ａは内部の下面側に、吐出孔８は下面にと、個別流路３２を構成する各部分が異なる位置に互いに近接して配設され、加圧室１０を介して副マニホールド５ａと吐出孔８とが繋がる構成を有している。
【００４０】
各プレートに形成された孔について説明する。これらの孔には、次のようなものがある。第１に、キャビティプレート２２に形成された加圧室１０である。第２に、加圧室１０の一端から副マニホールド５ａへと繋がる流路を構成する連通孔である。この連通孔は、ベースプレート２３（詳細には加圧室１０の入り口）からサプライプレート２５（詳細には副マニホールド５ａの出口）までの各プレートに形成されている。なお、この連通孔には、アパーチャプレート２４に形成されたしぼり１２と、サプライプレート２５、２６に形成された個別供給流路６とが含まれている。
【００４１】
第３に、加圧室１０の他端から吐出孔８へと連通する流路を構成する連通孔である。この連通孔は、以下の記載においてディセンダ（部分流路）と呼称される。ディセンダは、ベースプレート２３（詳細には加圧室１０の出口）からノズルプレート３１（詳細には吐出孔８）までの各プレートに形成されている。第４に、副マニホールド５ａを構成する連通孔である。この連通孔は、マニホールドプレート２７〜２９に形成されている。
【００４２】
このような連通孔が相互に繋がり、副マニホールド５ａからの液体の流入口（副マニホールド５ａの出口）から吐出孔８に至る個別流路３２を構成している。副マニホールド５ａに供給された液体は、以下の経路で吐出孔８から吐出される。まず、副マニホールド５ａから上方向に向かって、個別供給流路６を通り、しぼり１２の一端部に至る。次に、しぼり１２の延在方向に沿って水平に進み、しぼり１２の他端部に至る。そこから上方に向かって、加圧室１０の一端部に至る。さらに、加圧室１０の延在方向に沿って水平に進み、加圧室１０の他端部に至る。そこから少しずつ水平方向に移動しながら、主に下方に向
かい、下面に開口した吐出孔８へと進む。
【００４３】
圧電アクチュエータ基板２１は、図６に示されるように、２枚の圧電セラミック層２１ａ、２１ｂからなる積層構造を有している。これらの圧電セラミック層２１ａ、２１ｂはそれぞれ２０μｍ程度の厚さを有している。圧電アクチュエータ基板２１の圧電セラミック層２１ａ、２１ｂはそれぞれ１５〜２５μｍ程度である。圧電アクチュエータ基板２１は、流路部材４の加圧室１０の開口している平面状の面に積層されており、圧電セラミック層２１ａ、２１ｂのいずれの層も複数の加圧室１０を跨ぐように延在している（図３参照）。これらの圧電セラミック層２１ａ、２１ｂは、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系のセラミックス材料からなる。
【００４４】
圧電アクチュエータ基板２１は、Ａｇ−Ｐｄ系などの金属材料からなる、内部電極である共通電極３４、Ａｕ系などの金属材料からなる第１の表面電極である個別電極３５、個別電極２５の上に形成されているＡｇ系などの金属材料からなる接続ランド３６を有している。個別電極３５だけをＡｇ系の金属材料で形成してもよい。個別電極３５は上述のように圧電アクチュエータ基板２１の上面における加圧室１０およびダミー加圧室と対向する位置に配置されている個別電極本体３５ａと、個別電極本体３５ａから加圧室１０のない位置まで引き出されている接続電極３５ｂとを含んでいる。Ａｕ系導体の形成する場合の個別電極３５の厚さは、０．３〜１μｍであちり、Ａｇ系導体の形成する場合の個別電極３５の厚さは、１〜３μｍである。る。接続電極３５ｂには接続ランド３６が形成されている。接続ランド３６は例えばガラスフリットを含む銀からなり、厚さが５〜１５μｍ程度で凸状に形成されている。また、接続ランド３６には、必要に応じてさらに接続バンプを形成した上、図示されていないＦＰＣ（Flexible Printed Circuit）に設けられた電極と電気的に接合されている。詳細は後述するが、個別電極３５には、制御部１００からＦＰＣを通じて駆動信号（駆動電圧）が供給される。駆動信号は、印刷媒体Ｐの搬送速度と同期して一定の周期で供給される。
【００４５】
なお、以上は、圧電アクチュエータ基板２１が２層の圧電セラミック層の場合の構造であるが、３相層以上の圧電セラミック層を積層して、個別電極３５と共通電極３４が交互になるように配置してもよい。
【００４６】
個別電極３５は、圧電アクチュエータ基板２１の一方の主面の略全面に渡ってマトリクス状に形成されている。すなわち、第１の方向および第１の方向とは異なる方向に渡って形成されている。
【００４７】
なお、個別電極３５のうち列Ａ、Ｂ、Ｃの個別電極は、その直下がダミー加圧室となるダミー個別電極４５である。このダミー個別電極４５から引き出される接続電極の一部には、ダミー接続ランド４６が形成されている。また、ダミー接続ランド４６は、個別電極３５（ダミー個別電極３５を含む）が形成されていない部分に単独にも形成されていて、圧電アクチュエータ基板２１と流路部材４を接合するときに加わる圧力を均等化することができる。
【００４８】
共通電極３４は、圧電セラミック層２１ａと圧電セラミック層２１ｂとの間の領域に面方向のほぼ全面にわたって形成されている。すなわち、共通電極３４は、圧電アクチュエータ基板２１に対向する領域内の全ての加圧室１０を覆うように延在している。共通電極３４（の個別電極３５と対向してい部位）の厚さは０．７μｍ程度である。共通電極３４は複数の貫通孔３８中に入り込んでいる第２の表面電極である共通電極用表面電極３７に電気的に繋がっており、さらに外部と電気的に繋がっている。貫通孔３８の直径は５０〜２００μｍ程度である。貫通孔３８は、共通電極用表面電極３７が入り込みやすいように、共通電極３４と繋がっている底部の形状より、圧電セラミック層２１ｂの上面の開口の
形状が大きい方が好ましい。円形状の場合、上面の開口径が５〜２５％、特に５〜１５％、底面の開口径より大きいのが好ましい。さらに、貫通孔３８の底部から上面の開口に向かって徐々に開口径が広がっていくのが好ましい。
【００４９】
上述の貫通孔３８は、底面および内壁が共通電極用表面電極３７で覆われているが、共通電極用表面電極３７で埋まってはおらず、そのため、他の部位と比較して貫通孔３８の形成されている部位は、圧電アクチュエータ基板２１の部位と比較してクラックなどが生じやすい。貫通孔３８が導体で埋まっている場合であっても、周囲と構造が違うことにより強度が弱かったり、わずかに変更しているために、周囲よりも壊れやすい。そのため、流路部材４と圧電アクチュエータ基板とを接着積層する際、貫通孔３８の直下部分が接着不良になったり、接着が剥がれる起点や、圧電アクチュエータ基板２１にクラックなどの破壊が生じる起点となりやすい。
【００５０】
そこで、圧電セラミック層２１ａの下面の、貫通孔３８の直下部の周囲に凹部３９を設ける。凹部３９は、圧電アクチュエータ基板２１を平面視した場合、貫通孔３９の底面よりも外側に配置され、貫通孔３９の底面からの距離は、貫通孔３９の底面と同じ面積の円の直径の１０％以上１００％以下にするのが好ましい。１０％以上離れていることにより、貫通孔３９の底面と凹部３９との間にクラックを生じさせ難くできる。また１００％以下にすることで、貫通孔３８の下の部分の接着性を良くする効果が高まる。凹部３９は、例えば焼成前の生の積層体に加圧することで形成できる。
【００５１】
凹部３９の平面形状は、円形のなどにして、貫通孔３８の直下部の周囲にいくつか配置してもよいが、貫通孔３８の直下部を囲む環状すれば、接着強度を高める効果を大きくできる。
【００５２】
また、他の問題として、貫通孔３８となる孔を開けた圧電セラミック層２１ｂとなるグリーンシートなどと、圧電セラミック層２１ａとなるグリーンシートなどと積層した場合に生じるおそれのある、貫通孔３８付近の共通電極３４の断線の問題がある。貫通孔３８となる孔の開いた状態で積層を行うと、孔の内壁直下の共通電極３４に局所的に圧力が加わり、変形する。また、貫通孔３８となる孔に導体ペーストを充填してから積層する場合でも、充填量を完全に適正化するのは難しいので、充填量の過不足に応じで、周囲の共通電極３４を変形させる。充填したほうが、変形の程度を少なくできる可能性が高いが、貫通孔３９が、深さに対して開口径の大きいものであると、グリーンシートの状態で、貫通孔３８となる孔の中に、導体ペーストなどを保持した状態を保ち難いので、充填していない状態で積層せざるを得なくなる。開口径が、深さ以上、特に、深さの倍以上である場合、充填しないで積層するのが好ましい。また、この問題は、孔の孔空けをパンチングで行ない、製造ばらつきなどで孔の縁にバリが生じた場合などに顕著になる。応力が加わると、貫通孔３８直下の共通電極３４は、圧電セラミック層２１ａ側に押し込まれた形状になり、共通電極３４は貫通孔３８の周囲で下側に湾曲した形状になる。湾曲が激しい場合、圧電アクチュエータ２１を作製した段階で導通不良になる場合があり、その後の応力などで断線することもある。
【００５３】
そこで、貫通孔３９の内壁と接する部位の厚みを厚くする。厚くするのは内壁に沿った環状の領域でもよいが、形成位置のずれを考慮して、貫通孔３８の底面とほぼ相似形で、貫通孔３８より少し広い範囲で共通電極３４に厚い部位３４ａを設けるのがよい。これにより、変位素子５０の部分の共通電極３４は薄く、変位素子５０の変位量を大きく保ったまま、上述の断線の発生を低減できる。厚い部位３４ａの厚さは、周囲の共通電極３４の１．５倍以上、特に２倍以上にすれば、断線を抑制する効果を高くできる。
【００５４】
厚い部位３４ａの形状としては、上述した形状以外に、貫通孔３８が連なって配置され
ている場合は、それらを繋げるように帯状に形成してもよい。
【００５５】
また、厚い部位３４ａは共通電極となる導体ペーストを印刷する際に、その部分の厚さを厚くすることで形成できるが、そのように圧電アクチュエータ基板２１を作製することで、上述の凹部３９を形成することができる。共通電極３４の下方向への湾曲が、貫通孔３８の周囲でも生じることや、加工の位置ずれに対応するために、厚い部位３４ａは、貫通孔３８の直下だけでなく、その周囲に配置される。そうすると、貫通孔３８の周囲には、生積層体に積層する前の厚みが厚い部分ができる。そこでは、貫通孔３８のある部分と比較すると圧電セラミック層２１ｂ（となるグリーンシートなど）がある分、厚くなり、その外側の部分と比較すると、共通電極３４が厚くなっている分、厚くなっている。そのため、この部位に圧力が集中することにより、グリーンシートが伸びるように変形してその部分がわずかに薄くなる。そのような生の積層体を焼成すると、その部分が環状に凹み、凹部３９を形成することができる。なお、貫通孔３８となる孔に導体ペーストなどが充填されていても、充填量を少なくするなどすれば、深さは浅くなるが凹部３９を形成することができる。
【００５６】
厚い部位３４ａの平面形状を貫通孔３８の上部の開口よりも大きくすれば、凹部３９を安定して形成できる。凹部３９の深さは、積層条件や、厚い部位３４ａの厚さで調整できる。深さは、０．５〜１０μｍ、好ましくは、１〜５μｍとすれば、接着強度を強くできる。接着剤層の厚さを０．５〜１．５μｍとする場合に、深さは、さらに１〜３μｍとするのが好ましい。環状となっている凹部３９の溝の幅は５〜５０μｍ、好ましくは５〜３０μｍとされる。
【００５７】
以上のような、下部の周囲に凹部３９が形成されている貫通孔３８を、圧電アクチュエータ基板２１の外周に配置すれば、その部位の接着が強くなるので、接着が端部から剥がれることを抑制できる。一カ所でも配置すれば、その部分の強度を強くすることができ、多角形状の圧電アクチュエータ基板の角部、より好ましくは、全ての角部に設ければ、より剥がれに難くできる。また、外辺に沿って複数個配置してもよい。
【００５８】
図６に示されるように、共通電極３４と個別電極３５とは、最上層の圧電セラミック層２１ｂのみを挟むように配置されている。圧電セラミック層２１ｂにおける個別電極３５と共通電極３４とに挟まれた領域は活性部と呼称され、その部分の圧電セラミックスには厚み方向に分極が施されている。本実施形態の圧電アクチュエータ基板２１においては、最上層の圧電セラミック層２１ｂのみが活性部を含んでおり、圧電セラミック２１ａは活性部を含んでおらず、振動板として働く。この圧電アクチュエータ基板２１はいわゆるユニモルフタイプの構成を有している。
【００５９】
なお、後述のように、個別電極３５に選択的に所定の駆動信号が供給されることにより、この個別電極３５に対応する加圧室１０内の液体に圧力が加えられる。これによって、個別流路３２を通じて、対応する液体吐出口８から液滴が吐出される。すなわち、圧電アクチュエータ基板２１における各加圧室１０に対向する部分は、各加圧室１０および液体吐出口８に対応する個別の変位素子５０（アクチュエータ）に相当する。つまり、２枚の圧電セラミック層からなる積層体中には、図６に示されているような構造を単位構造とする変位素子５０が加圧室１０毎に、加圧室１０の直上に位置する振動板２１ａ、共通電極３４、圧電セラミック層２１ｂ、個別電極３５により作り込まれており、圧電アクチュエータ基板２１には変位素子５０が複数含まれている。なお、本実施形態において１回の吐出動作によって液体吐出口８から吐出される液体の量は５〜７ｐＬ（ピコリットル）程度である。
【００６０】
多数の個別電極３５は、個別に電位を制御することができるように、それぞれがＦＰＣ
上のコンタクトおよび配線を介して、個別にアクチュエータ制御手段に電気的に接続されている。
【００６１】
本実施形態における圧電アクチュエータ基板２１の液体吐出時の駆動方法の一例を、個別電極３５に供給される駆動電圧（駆動信号）に関して説明する。個別電極３５を共通電極３４と異なる電位にして圧電セラミック層２１ｂに対してその分極方向に電界を印加したとき、この電界が印加された部分が、圧電効果により歪む活性部として働く。この時圧電セラミック層２１ｂは、その厚み方向すなわち積層方向に伸長または収縮し、圧電横効果により積層方向と垂直な方向すなわち面方向には収縮または伸長しようとする。一方、残りの圧電セラミック層２１ａは、個別電極３５と共通電極３４とに挟まれた領域を持たない非活性層であるので、自発的に変形しない。つまり、圧電アクチュエータ基板２１は、上側（つまり、加圧室１０とは離れた側）の圧電セラミック層２１ｂを、活性部を含む層とし、かつ下側（つまり、加圧室１０に近い側）の圧電セラミック層２１ａを非活性層とした、いわゆるユニモルフタイプの構成となっている。
【００６２】
この構成において、電界と分極とが同方向となるように、アクチュエータ制御部により個別電極３５を共通電極３４に対して正または負の所定電位とすると、圧電セラミック層２１ｂの電極に挟まれた部分（活性部）が、面方向に収縮する。一方、非活性層の圧電セラミック層２１ａは電界の影響を受けないため、自発的には縮むことがなく活性部の変形を規制しようとする。この結果、圧電セラミック層２１ｂと圧電セラミック層２１ａとの間で分極方向への歪みに差が生じて、圧電セラミック層２１ｂは加圧室１０側へ凸となるように変形（ユニモルフ変形）する。
【００６３】
本実施の形態における実際の駆動手順は、あらかじめ個別電極３５を共通電極３４より高い電位（以下高電位と称す）にしておき、吐出要求がある毎に個別電極３５を共通電極３４と一旦同じ電位（以下低電位と称す）とし、その後所定のタイミングで再び高電位とする。これにより、個別電極３５が低電位になるタイミングで、圧電セラミック層２１ａ、ｂが元の形状に戻り、加圧室１０の容積が初期状態（両電極の電位が異なる状態）と比較して増加する。このとき、加圧室１０内に負圧が与えられ、液体がマニホールド５側から加圧室１０内に吸い込まれる。その後再び個別電極３５を高電位にしたタイミングで、圧電セラミック層２１ａ、ｂが加圧室１０側へ凸となるように変形し、加圧室１０の容積減少により加圧室１０内の圧力が正圧となり液体への圧力が上昇し、液滴が吐出される。つまり、液滴を吐出させるため、高電位を基準とするパルスを含む駆動信号を個別電極３５に供給することになる。このパルス幅は、加圧室１０内において圧力波がマニホールド５から吐出孔８まで伝播する時間長さであるＡＬ（Acoustic Length）が理想的である。
これによると、加圧室１０内部が負圧状態から正圧状態に反転するときに両者の圧力が合わさり、より強い圧力で液滴を吐出させることができる。
【００６４】
以上のような液体吐出ヘッド２は、例えば、以下のようにして作製する。ロールコータ法、スリットコーター法などの一般的なテープ成形法により、圧電性セラミック粉末と有機組成物からなるテープの成形を行ない、焼成後に圧電セラミック層２１ａ、２１ｂとなる複数のグリーンシートを作製する。グリーンシートの一部には、貫通孔３８となる孔を、パンチングやレーザーで開ける。また、グリーンシートの一部には、その表面に共通電極３４となる電極ペーストを印刷等により形成する。貫通孔３８と繋がる部位の共通電極３４は、パターンニングして印刷して厚さを厚くする。
【００６５】
ついで、各グリーンシートを積層して積層体を作製し、加圧密着を行なう。加圧密着後の積層体を高濃度酸素雰囲気下で焼成し、圧電アクチュエータ素体を作製する。その後、Ａｇペーストを用いて圧電アクチュエータ素体表面に個別電極３５および共通電極用表面電極３７を印刷した後、焼成する。これにより、貫通孔３８の直下周囲に凹部３９を形成
できる。例えば、共通電極３４の厚い部位３４ａを円形形成すれば、環状の凹部３９を形成できる。
【００６６】
すなわち、圧電アクチュエータ基板２１の製造方法として、セラミック振動板２１ａと少なくとも１層の圧電セラミック層２１ｂとが積層されている積層体と、該積層体の圧電セラミック層２１ｂ側の主面に配置されている第１の表面電極３５と、前記積層体の内部に配置されている内部電極３４と、内部電極３４に繋がるように圧電セラミック層２１ｂを貫通している貫通孔３８と、圧電セラミック層２１ｂ側の主面に、貫通孔３８を覆うように配置されている第２の表面電極３７とを備えている圧電アクチュエータ基板２１を作製する工程であって、少なくともセラミック振動板２１ａとなる第１のグリーンシートと、圧電セラミック層２１ｂとなる第２のグリーンシートと、内部電極３４となる電極層とを積層して生積層体を作製する工程と、該生積層体を焼成する工程とを含み、電極層の貫通孔３８の内壁と接する部位の厚さを、周囲の前記電極層の厚さよりも厚くすることで、圧電アクチュエータ２１における、貫通孔３８の直下部の周囲に凹部３９を形成できる。また積層を、第１のグリーンシートに貫通孔３８となる孔が開いた状態で行なえば、貫通孔３８が安定して作製でき、凹部３９の位置精度も高くなる。より安定して作製するためには、貫通孔３８となる孔中に導体ペーストなどが充填されていない状態で積層するのがよい。
【００６７】
次に、流路部材４を、圧延法等により得られプレート２２〜３１を接着層を介して積層して作製する。プレート２２〜３１に、マニホールド５、個別供給流路６、加圧室１０およびディセンダなどとなる孔を、エッチングにより所定の形状に加工する。
【００６８】
これらプレート２２〜３１は、Ｆｅ―Ｃｒ系、Ｆｅ−Ｎｉ系、ＷＣ−ＴｉＣ系の群から選ばれる少なくとも１種の金属によって形成されていることが望ましく、特に液体としてインクを使用する場合にはインクに対する耐食性の優れた材質からなることが望ましため、Ｆｅ−Ｃｒ系がより好ましい。
【００６９】
圧電アクチュエータ基板２１と流路部材４とは、例えば接着層を介して積層接着することができる。接着層としては、周知のものを使用することができるが、圧電アクチュエータ基板２１や流路部材４への影響を及ぼさないために、熱硬化温度が１００〜１５０℃のエポキシ樹脂、フェノール樹脂、ポリフェニレンエーテル樹脂の群から選ばれる少なくとも１種の熱硬化性樹脂系の接着剤を用いるのがよい。このような接着層を用いて熱硬化温度にまで加熱することによって、圧電アクチュエータ基板２１と流路部材４とを加熱接合することができる。
【符号の説明】
【００７０】
１・・・プリンタ
２・・・液体吐出ヘッド
４・・・流路部材
５・・・マニホールド
５ａ・・・副マニホールド
５ｂ・・・マニホールドの開口
６・・・個別供給流路
８・・・吐出孔
９・・・加圧室群
１０・・・加圧室
１１ａ、ｂ、ｃ、ｄ・・・加圧室列
１２・・・しぼり
１３・・・液体吐出ヘッド本体
１５ａ、ｂ、ｃ、ｄ・・・吐出孔列
２１・・・圧電アクチュエータ基板
２１ａ・・・圧電セラミック層（セラミック振動板）
２１ｂ・・・圧電セラミック層
２２〜３１・・・プレート
３２・・・個別流路
３４・・・共通電極（内部電極）
３４ａ・・・（共通電極のうち、貫通孔周囲の厚さの）厚い部位
３５・・・個別電極（第１の表面電極）
３５ａ・・・個別電極本体
３５ｂ・・・接続電極
３６・・・接続ランド
３７・・・共通電極用表面電極（第２の表面電極）
３８・・・貫通孔
３９・・・凹部
４５・・・ダミー個別電極
４６・・・ダミー接続ランド
５０・・・加圧部（変位素子）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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