(57)【要約】【課題】液体流路を流れる液体と圧電素子との絶縁性を良好に維持する流路ユニット、液体噴射ヘッド、液体噴射装置を提供する。【解決手段】液体が流れる液体流路を有する流路ユニットであって、液体流路を形成する流路形成基板と、液体流路に面するよう流路形成基板に積み重ねられたセラミックス製の振動板と、振動板の液体流路に面する側とは反対側に積み重ねられ、液体の漏出を防止する防止層と、防止層の振動板に積み重ねられた側とは反対側に位置し、液体流路に圧力変動を付与する圧電素子と、を有する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体が流れる液体流路を有する流路ユニットであって、
前記液体流路を形成する流路形成基板と、
前記液体流路に面するよう前記流路形成基板に積み重ねられたセラミックス製の振動板と、
前記振動板の前記液体流路に面する側とは反対側に積み重ねられ、液体の漏出を防止する防止層と、
前記防止層の前記振動板に積み重ねられた側とは反対側に位置し、前記液体流路に圧力変動を付与する圧電素子と、を有する流路ユニット。
【請求項２】
前記防止層は樹脂膜である、請求項１に記載の流路ユニット。
【請求項３】
前記防止層の厚みは、５０ナノメートルから２０００ナノメートルである、請求項１又は請求項２のいずれかに記載の流路ユニット。
【請求項４】
前記振動板の厚みは０．１マイクロメートルから３.０マイクロメートルである、請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の流路ユニット。
【請求項５】
前記請求項１に記載の流路ユニットと、
前記液体流路と連通するノズル孔を有するノズルプレートと、を有する液体噴射ヘッド。
【請求項６】
前記請求項５に記載の液体噴射ヘッドを有する液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体が流れる液体流路を備える流路ユニット、及びこの流路ユニットを有する液体噴射ヘッド、液体噴射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、流路内部の圧力変化に応じて液体を噴射する液体噴射ヘッドが知られている。液体噴射ヘッドは、液体が流れる液体流路と、この液体流路に面した振動板と、この振動板の液体流路と面しない側に位置する圧電素子とを有する。このような液体噴射ヘッドは、圧電素子が駆動することで振動板が振動し、液体流路内部に圧力変化を生じさせる（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
液体流路を流れる液体が振動板から漏れ出すと圧電素子の絶縁性が阻害され、リーク電流が生じる場合がある。そのため、このようなリーク電流の発生を防止するために、振動板の液体流路と面する側に被覆膜を成膜する構成が開示されている（例えば、特許文献２参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−３０９３２８号公報
【特許文献２】特開２０００−２４６８９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
液体流路の形状が複雑である場合や、形状が細密化されている場合、被覆膜が均一に成膜されない場合がある。被覆膜が均一に成膜されない場合、液体流路から液体が漏れ出し、圧電素子の絶縁性が保たれない場合があった。
【０００６】
本発明は、上記課題にかんがみてなされたもので、圧電素子の絶縁性を良好に維持する流路ユニット、液体噴射ヘッド、液体噴射装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明では、液体が流れる液体流路を有する流路ユニットであって、前記液体流路を形成する流路形成基板と、前記液体流路に面するよう前記流路形成基板に積み重ねられたセラミックス製の振動板と、前記振動板の前記液体流路に面する側とは反対側に積み重ねられ、液体の漏出を防止する防止層と、前記防止層の前記振動板に積み重ねられた側とは反対側に位置し、前記液体流路に圧力変動を付与する圧電素子と、を有する構成としてある。
【０００８】
上記のように構成された発明では、液体流路に面する振動板と圧電素子との間には、液体等の漏出を防止する防止層が積み重ねられているため、振動板を透過する液体等から圧電素子を保護することができる。また、この防止層は振動板の流路形成基板とは反対側に積み重ねられているため、液体流路の形状等に影響されることなく、防止層を形成することができる。
【０００９】
また、前記防止層の材質は樹脂としてもよい。樹脂の一例として、ポリイミド系樹脂やエポキシ系樹脂を適用することができる。
上記のように構成された発明では、振動板の変位を妨げることなく防止層の機能を発揮させることができる。
【００１０】
そして、前記防止層の厚みは、５０ナノメートルから２０００ナノメートルとしてもよい。
上記のように構成された発明では、振動板の振動を妨げることなく防止層の機能を発揮させることができる。
【００１１】
さらに、前記振動板の厚みは０．１マイクロメートルから３．０マイクロメートルとしてもよい。
上記のように構成された発明では、振動板を通じて溶液等が漏れ出す現象が顕著となる振動板厚みにおいて圧電素子を保護することができる。
【００１２】
さらに、本発明の流路ユニットと、前記液体流路と連通するノズル孔を有するノズルプレートと、を有する液体噴射ヘッドに対しても、本発明を適用することができる。
また、このような液体噴射ヘッドを有する液体噴射装置に対しても本発明を適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】液体噴射ヘッドの構成を説明する断面図である。
【図２】液体噴射ヘッドの構成を説明する斜視展開図である。
【図３】振動板の組成と圧電素子の絶縁性との関係を説明する図である。
【図４】インクジェットプリンターの一例を示す概略図である。
【図５】液体噴射ヘッドの製造方法を説明する工程図である。
【図６】液体噴射ヘッドの製造方法を説明する工程図である。
【図７】第２の実施形態に係る液体噴射ヘッド２を示す断面図である。
【図８】液体噴射ヘッドの製造方法を説明する工程図である。
【図９】液体噴射ヘッドの製造方法を説明する工程図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、下記の順序に従って本発明の実施形態を説明する。
１．第１の実施形態：
２．第２の実施形態：
３．その他の実施形態：
【００１５】
１．第１の実施形態：
以下、図を参照して、この発明に係る液体吐出ヘッドを具体化した第１の実施の形態について説明する。図１は、液体噴射ヘッドの構成を説明する断面図である。また、図２は、液体噴射ヘッドの構成を説明する斜視展開図である。ここで、図１は、図２のＡ−Ａ’線での断面図である。
【００１６】
液体噴射ヘッド１は、印刷装置等の液体噴射装置の一部として用いられる。図１に示すように、液体噴射ヘッド１は、流路ユニット５０と、封止プレート６０と、リザーバープレート７０と、ノズルプレート８０と、を備えている。また、液体噴射ヘッド１は、上記した、流路ユニット５０、封止プレート６０、リザーバープレート７０、ノズルプレート８０と、が積層状に組み合わさることで、内部に液体流路９０が構成されている。
【００１７】
流路ユニット５０は、振動板１０と、流路形成基板２０と、圧電素子４０と、を備えている。なお、本実施形態では、流路ユニット５０には圧電素子４０が含まれるものとして説明を行うが、圧電素子４０を含まないものであってもよい。
【００１８】
図２に示すように、流路形成基板２０には、壁部２６により複数の圧力室２２が第２方向Ｄ２で併設するよう区画されている。また、各圧力室２２は、流路形成基板２０の上面２１側で開口するよう形成されている。そして、流路形成基板２０の下面２３側には、壁部２６により、各圧力室２２に連通する連通孔側開口２４及びリザーバー側開口２５それぞれ区画されている。
ここで、流路形成基板２０は、セラミックスの薄板体を積層して構成される。また、その材料としては、部分安定化ジルコニアや安定化ジルコニアを用いることができる。それ以外にも、流路形成基板２０の材質としては、金属等を用いてもよい。
【００１９】
そして、流路形成基板２０の上面２１側には、振動板１０が積み重ねられている。そのため、流路形成基板２０の圧力室（液体流路９０）２２は、振動板１０の下面１２に面している。振動板１０は、セラミックスの薄板体により構成される。その材料としては、部分安定化ジルコニアや安定化ジルコニアを用いることができる。また、振動板１０の第３方向Ｄ３での厚みは、例えば、０．１マイクロメートル（μｍ）から５．４マイクロメートルとすることができる。
【００２０】
また、振動板１０の上面１１側には、防止層３０が形成されている。この防止層３０は、液体流路９０に流れるインクが振動板１０から漏れ出すのを防止する機能を有する。図２に示すように、防止層３０は振動板１０の上面１１の全面を覆うよう積み重ねられている。
防止層３０は、ポリイミド系樹脂やエポキシ系樹脂の樹脂膜、更には酸化ケイ素（ＳｉＯ２）、窒化ケイ素（ＳｉＮ）、酸化ジルコニア（ＺｒＯ２）の酸化膜を適用できる。ここで、防止層３０として樹脂膜を適用すれば、振動板１０の変位を阻害することなく良好な絶縁性を得ることができる。また、防止層３０として窒化ケイ素を用いれば、液体流路９０に流れるインクに対して耐薬品性を高めることができる。
【００２１】
また、防止層３０の振動板１０と固定されない側には、圧電素子４０が形成されている。圧電素子４０は、例えば、圧力室２２毎に設けられている。圧電素子４０は、下電極４１と、上電極４２と、下電極４１と上電極４２との間に位置する圧電体４３とを備える。例えば、下電極４１や上電極４２は、金、白金等の導電物質により構成される。また、圧電体４３は例えばチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）といった磁性体により構成される。
【００２２】
さらに、流路形成基板２０の下面２３側には、封止プレート６０が固定されている。封止プレート６０は、複数の第１連通孔６１と、共通供給孔６２とを有する薄板体である。第１連通孔６１は、第３方向Ｄ３で封止プレート６０を貫通し、流路形成基板２０の各連通孔側開口２４と連通している。また、共通供給孔６２は、長手方向の辺が第２方向Ｄ２に伸び、第３方向Ｄ３で封止プレート６０を貫通する矩形のスリットにより構成されている。
封止プレート６０は、部分安定化ジルコニアや安定化ジルコニアを用いたセラミックスや、金属により構成される。
【００２３】
また、封止プレート６０の流路形成基板２０と固定されない側の面にはリザーバープレート７０が固定されている。リザーバープレート７０は、複数の第２連通孔７１と、リザーバー７２とを有する薄板体である。第２連通孔７１は、リザーバープレート７０を第３方向Ｄ３で貫通し、封止プレート６０の各第１連通孔６１と連通している。また、リザーバー７２は、第２方向Ｄ２に伸び、リザーバープレート７０を貫通する矩形のスリットとして構成される。
リザーバープレート７０は、例えば、部分安定化ジルコニアや安定化ジルコニアを用いたセラミックスや、金属により構成される。
【００２４】
さらに、リザーバープレート７０の封止プレート６０と固定されない側の面にはノズルプレート８０が固定されている。ノズルプレート８０は、ノズル孔８１が第２方向に沿って所定間隔で複数形成された薄板体である。また、各ノズル孔８１は、封止プレート６０の第２連通孔７１とそれぞれ連通するよう形成されている。
ノズルプレート８０は、例えば、例えば、部分安定化ジルコニアや安定化ジルコニアを用いたセラミックスや、金属により構成される。
【００２５】
また、ノズルプレート８０は、複数のノズル孔８１が第２方向Ｄ２に沿って形成された複数のノズル列を第１方向Ｄ１に並設し、一方のノズル列と他方のノズル列とを第２方向Ｄ２においてずらして配置する（いわゆる千鳥配置とする）構成を採用してもよい。
【００２６】
上記構成の液体噴射ヘッド１では、各基板が積層状に積み重ねられることで、圧力室２２は連通孔側開口２４、第１連通孔６１、及び第２連通孔７１を通じてノズル孔８１と連通する。また、圧力室２２は、リザーバー側開口２５及び共通供給孔６２通じてリザーバー７２に連通する。その結果、ノズル孔８１とリザーバー７２とは、圧力室２２を通じて連通することで、液体流路９０が構成される。
【００２７】
そのため、リザーバー７２から供給されるインクは、この液体流路９０内に充填される。この状態で、図示しない回路基板から駆動電圧が、ケーブル類を介して下電極４１や上電極４２に印加されると、圧電素子４０を変位させる。圧電素子４０の変位は、振動板１０を振動させて、圧力室２２に圧力変化を生じさせる。そして、圧力室２２内の圧力変化により、連通孔（第１連通孔６１、第２連通孔７１）に充填されたインクをノズル孔８１から外部に吐出させる。
【００２８】
図３（ａ）（ｂ）は、振動板１０の組成と圧電素子４０の絶縁性との関係を説明する図である。図３では、振動板１０の厚みを、２．２マイクロメートル、３マイクロメートル、５．４マイクロメートルに変化させた場合のインクパスの発生の有無を示す。インクパスは液体流路を流れる液体の溶液等が振動板１０を構成する粒子の隙間を透過することで溶液等が振動板１０から漏れ出す現象である。インクパスが生じると圧電素子４０の絶縁性を阻害し、リーク電流を生じさせるため、問題となる。また、振動板１０は、粒子径が３００ナノメートル（ｎｍ）から３６０ナノメートル（ｎｍ）となるジルコニアを原料とするセラミックスで形成されている。そして、粒子数とは、厚みＴを構成するのに必要な仮想的な粒子の数であり、例えば、厚みＴを粒子径で割ることで求められる。
【００２９】
図３（ｂ）に示すように、振動板１０の第３方向Ｄ３での厚みＴが３マイクロメートル（μｍ）以上であれば、粒子数に係らずインクパスは生じない。一方で、振動板１０の厚みＴが３マイクロメートル（μｍ）未満となる場合、インクパスが生じるか否かは、厚み方向に存在する粒子数が影響する。即ち、粒子数が８未満となる場合、振動板１０にインクパスが発生する。一方、粒子数が８以上となる場合、振動板１０にインクパスは発生しない。そのため、防止層３０は、振動板１０の厚みが３マイクロメートル（μｍ）未満である場合に特に効果的となる。
【００３０】
また、液体噴射ヘッド１は、インクカートリッジ等と連通するインク供給経路を具備するインクジェット式記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェットプリンター２００に搭載される。インクジェットプリンター２００は液体噴射装置の一例である。
【００３１】
図４は、インクジェットプリンター２００の一例を示す概略図である。図４において、符号１は、液体噴射ヘッド１をそのノズル孔面を外部に露出させつつ収めた筺体（ヘッドカバー）の一部を示している。インクジェットプリンター２００において、複数の液体噴射ヘッド１を有するインクジェット式記録ヘッドユニット（以下、ヘッドユニット２０２）には、例えば、インクカートリッジ２０２Ａ，２０２Ｂ等が着脱可能に設けられる。ヘッドユニット２０２を搭載したキャリッジ２０３は、装置本体２０４に取り付けられたキャリッジ軸２０５に軸方向移動自在に設けられている。そして、駆動モーター２０６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト２０７を介してキャリッジ２０３に伝達されることで、キャリッジ２０３はキャリッジ軸２０５に沿って移動する。
【００３２】
装置本体２０４にはキャリッジ軸２０５に沿ってプラテン２０８が設けられており、図示しないローラー等により供給された印刷媒体Ｓがプラテン２０８上を搬送される。そして、搬送される印刷媒体Ｓに対して、液体噴射ヘッド１のノズル孔８１からインクが噴射され任意の画像が印刷媒体Ｓに印刷される。なお、インクジェットプリンター２００は、ヘッドユニット２０２が上記のように移動するものだけでなく、例えば、液体噴射ヘッド１が固定されて、印刷媒体Ｓを移動させるだけで印刷を行ういわゆるラインヘッド型のプリンターであってもよい。
【００３３】
図５、図６は、液体噴射ヘッド１の製造方法を説明する工程図である。以下、図５、図６を用いて、液体噴射ヘッド１の製造方法を説明する。図５、図６では、防止層３０をポリイミド系樹脂で形成する場合を例に説明する。
【００３４】
まず、図５（ａ）に示すように、振動板１０、流路形成基板２０に対応する焼成前のセラミックスシートを用意する。ここで、焼成前の振動板１０に対応するセラミックスシートを１３と、焼成前の流路形成基板２０に対応するセラミックスシートを２７として説明する。そして、セラミックスシート２７に対して、打ち抜き加工を施し、圧力室２２や、連通孔側開口２４、更にはリザーバー側開口２５に相当する貫通孔を形成する。
【００３５】
次に、図５（ｂ）に示すように、セラミックスシート１３の上面に対して防止層３０の元となる層３１を形成する。防止層３０を、酸化ケイ素（ＳｉＯ２）を用いて形成する場合、層３１は、ケイ素を用いる。
【００３６】
次に、図５（ｃ）に示すように、セラミックスシート１３、セラミックスシート２７、層３１を焼成する。例えば、１０００度から１４００度で焼成する。そのため、振動板１０及び流路形成基板２０が形成されるとともに、振動板１０の上面１１に防止層３０が形成される。
また、防止層３０として窒化ケイ素（ＳｉＮ）を用いる場合、周知の化学気相成長（CVD: Chemical Vapor Deposition）法を用いて振動板１０（セラミックスシート１３）上に防止層３０を成膜することができる。
【００３７】
次に、図６（ａ）に示すように、防止層３０の上に、圧力室２２の位置に応じて、圧電素子４０を形成する。圧電素子４０の形成方法の一例として、防止層３０にＡｕから成る下電極４１を形成する。次に、下電極４１の上部にＰＺＴから成る圧電体４３を形成する。そして、この圧電体４３の上部に圧力室２２に応じた上電極を形成する。
【００３８】
次に、図６（ｂ）に示すように、流路形成基板２０に封止プレート６０を接着する。封止プレート６０は、例えば、接着剤を用いて流路形成基板２０に接着される。さらに、封止プレート６０にリザーバープレート７０を接着する。リザーバープレート７０は、例えば、接着剤を用いて封止プレートに接着される。接着剤としては、エポキシ系の接着剤を用いることができる。
【００３９】
最後に、図６（ｃ）に示すように、リザーバープレート７０にノズルプレート８０を接着する。ノズルプレート８０は、例えば、接着剤を用いてリザーバープレート７０に接着される。
ここで、封止プレート６０、リザーバープレート７０、及びノズルプレート８０は、材料となるセラミックスシートをもとに、焼成することで形成することができる。
以上の工程により、第１の実施形態に係る液体噴射ヘッド１が製造される。
【００４０】
以上説明したように、この第１の実施形態では、液体流路９０に面する振動板１０と圧電素子４０との間には、液体等の漏出を防止する防止層３０が積層されているため、圧電素子４０の絶縁性を高めることができる。また、液体流路９０が細密化又は複雑化する場合、従来のように液体流路に面する側に膜を成膜すると、膜厚が均一化せず、液体を防止する機能が抑制される場合がある。一方、本発明では、防止層３０は振動板１０の液体流路９０と面する側とは反対側に積み重ねられているため、液体流路９０の形状等に影響されることなく、防止層３０を形成することができる。
【００４１】
２．第２の実施形態：
図７は、第２の実施形態に係る液体噴射ヘッド２を示す断面図である。この液体噴射ヘッド２は、振動板１０の防止層３０が形成される側に複合体層１０１を備える構成において、第１の実施形態に係る液体噴射ヘッド１と異なる。
【００４２】
液体噴射ヘッド２は、第１の実施形態同様、流路ユニット５０と、封止プレート６０と、リザーバープレート７０と、ノズルプレート８０と、を備えている。また、流路ユニット５０、封止プレート６０、リザーバープレート７０、ノズルプレート８０、が積層状に組み合わさることで、圧力室２２を一部に備える液体流路９０が構成されている。
また、流路ユニット５０は、振動板１０と、流路形成基板２０と、圧電素子４０と、を備えている。そして、振動板１０の液体流路９０と面しない上面側には防止層３０が形成されている。
【００４３】
さらに、図７（ｂ）に示すように、振動板１０の防止層３０に面する側には、複合体層１０１が形成されている。この複合体層１０１は、防止層３０の成分と振動板１０の成分とが混合する層である。例えば、振動板１０がジルコニアのセラミックスであり、防止層３０がポリイミド系樹脂である場合、複合体層１０１は、ジルコニアとポリイミドとが複合した層となる。振動板１０が複合体層１０１を有することで振動板１０と防止層３０との密着性を強固にすることができる。その結果、インクパスをより効果的に抑制することができる。
振動板１０以外の他の基板の材質は、第１の実施形態と同様のものを採用するこができる。
【００４４】
図８、図９は、液体噴射ヘッド２の製造方法を説明する工程図である。以下、図８、図９を用いて第２の実施形態に係る液体噴射ヘッド２の製造方法を説明する。
【００４５】
まず、図８（ａ）に示すように、振動板１０、流路形成基板２０に対応する焼成前のセラミックスシート１３、２７を用意する。そして、流路形成基板２０に対応するセラミックスシート２７に対して、打ち抜き加工を施し、圧力室２２や、連通孔側開口２４、更にはリザーバー側開口２５に相当する貫通孔を形成する。そして、各セラミックスシート１３、２７を１０００度から１４００度で焼成して、振動板１０、流路形成基板２０を生成する。
【００４６】
次に、図８（ｂ）に示すように、振動板１０の上面１１に防止層３０の前駆体３２を塗布する。防止層３０をポリイミド系樹脂で構成する場合、前駆体３２は、テトラカルボン酸２無水物とジアミンを原料に等モルで重合させたポリアミックス酸を用いる。そして、前駆体３２の振動板１０への塗布方法としては、スピンコート法を用いることができる。また、振動板１０の粒子の間に前駆体３２を効果的に浸透させるために、前駆体３２を塗布する前の振動板１０に対して脱脂工程を行っても良い。
【００４７】
次に、図８（ｃ）に示すように、前駆体３２を例えば、２００度以上で焼成することでイミド化し、防止層３０を形成する。ここで、振動板１０の前駆体３２が塗布された上面側の層には同前駆体３２が浸透しているため、このイミド化により振動板１０に複合体層１０１が形成される。前駆体３２をイミド化する方法として、これ以外にも、脱水剤を添加する方法を用いてもよい。
【００４８】
次に、図９（ａ）に示すように、振動板１０の上面側に、圧力室２２の位置に応じて、圧電素子４０を形成する。また、図９（ｂ）に示すように、流路形成基板２０の振動板１０が積み重ねられない側に封止プレート６０を接着する。そして、封止プレート６０にリザーバープレート７０を接着する。さらに、図９（ｃ）に示すように、リザーバープレート７０にノズルプレート８０を接着する。リザーバープレート７０とノズルプレート８０とは、例えば、接着剤を用いて接着される。
以上説明した工程により、第２の実施形態に係る液体噴射ヘッドが製造される。
【００４９】
以上説明したように、この第２の実施形態では、第１の実施形態の液体噴射ヘッドの効果に加えて、以下の効果を奏する。即ち、振動板１０は、防止層３０が形成される側に複合体層１０１を備えるため、防止層３０との結合を強固にすることができる。
【００５０】
３．その他の実施形態：
本発明は様々な実施形態が存在する。実施形態で示す液体噴射ヘッドの基本的構成は上述したものに限定されるものではない。本発明は、広く液体噴射ヘッドの全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射するものにも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレー、ＦＥＤ（面発光ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。
【００５１】
なお、本発明は上記実施例に限られるものでないことは言うまでもない。
即ち、上記実施例の中で開示した相互に置換可能な部材および構成等を適宜その組み合わせを変更して適用してもよい。
公知技術であって上記実施例の中で開示した部材および構成等と相互に置換可能な部材および構成等を適宜置換し、またその組み合わせを変更して適用してもよい。
公知技術等に基づいて当業者が上記実施例の中で開示した部材および構成等の代用として想定し得る部材および構成等と適宜置換し、またその組み合わせを変更して適用してもよい。
【符号の説明】
【００５２】
１、２…液体噴射ヘッド、１０…振動板、２０…流路形成基板、２２…圧力室、２４…連通孔側開口、２５…リザーバー側開口、３０…防止層、４０…圧電素子、５０…流路ユニット、６０…封止プレート、６１…第１連通孔、６２…共通供給孔、７０…リザーバープレート、７１…第２連通孔、７２…リザーバー、８０…ノズルプレート、８１…ノズル孔、９０…液体流路、１０１…複合体層、２００…インクジェットプリンター
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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