(57)【要約】【課題】キャビティー内の脱気および封止を容易に行うことが可能で、低コスト化が可能な蓋体、パッケージ、およびそれを用いた電子デバイスを提供する。【解決手段】蓋体としてのリッド９２は、表裏の関係にある第１面９２ａ、および第２面９２ｂと、第１面９２ａと第２面９２ｂとを繋いでいる外周面９２ｃと、平面視で、外周面９２ｃから中央部に向かって第１面９２ａに設けられている有底の第１溝９４ａ、９４ｂと、平面視で、外周面９２ｃから中央部に向かって第２面９２ｂに設けられている有底の第２溝９４ａ’、９４ｂ’と、が設けられている。【選択図】図４
2014107316.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表裏の関係にある第１面、および第２面と、
前記第１面と前記第２面とを繋いでいる外周面と、
前記外周面から前記第１面の中央部に向かって前記第１面に設けられている第１溝と、
前記外周面から前記第２面の中央部に向かって前記第２面に設けられている第２溝と、
が設けられていることを特徴とする蓋体。
【請求項２】
前記第１溝および前記第２溝は、平面視で、少なくとも一部が重なる位置に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の蓋体。
【請求項３】
前記第１溝および前記第２溝は、平面視で、異なる位置に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の蓋体。
【請求項４】
前記第１溝および前記第２溝は、前記第１面または前記第２面の中心を通り、前記第１面または前記第２面を２分割する一つの仮想線に対して線対称な位置に設けられていることを特徴とする請求項３に記載の蓋体。
【請求項５】
前記第１溝および前記第２溝は、前記第１面または前記第２面の中心に対して点対称な位置に設けられていることを特徴とする請求項３または請求項４に記載の蓋体。
【請求項６】
前記第１溝および前記第２溝は、前記第１溝および前記第２溝を一対とした場合、複数対が設けられていることを特徴とする請求項１ないし請求項５のいずれか一項に記載の蓋体。
【請求項７】
請求項１ないし請求項６のいずれか一項に記載の蓋体と、
前記蓋体が接合されているベースと、
を備えていることを特徴とするパッケージ。
【請求項８】
請求項１ないし請求項６のいずれか一項に記載の蓋体と、前記蓋体が接合されているベースと、を備えているパッケージと、
前記パッケージに収容されている素子と、
を備えていることを特徴とする電子デバイス。
【請求項９】
前記第１溝または前記第２溝が溶融され封止されていることを特徴とする請求項８に記載の電子デバイス。
【請求項１０】
請求項８または請求項９に記載の電子デバイスを備えていることを特徴とする電子機器。
【請求項１１】
請求項８または請求項９に記載の電子デバイスを備えていることを特徴とする移動体。
【請求項１２】
請求項１ないし請求項６のいずれか一項に記載の蓋体と、収納部に素子が収納されたベースとを接合する工程と、
前記蓋体の前記第１溝または前記第２溝から前記収納部の排気を行う工程と、
前記排気に用いた前記第１溝または前記第２溝を封止する工程と、
を備えていることを特徴とする電子デバイスの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、蓋体、蓋体を用いたパッケージ、およびそれらを用いた電子デバイス、並びに電子デバイス用いた電子機器、移動体、および電子デバイスの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、携帯型電子機器の普及が進み、それに伴って電子機器の小型軽量化および低コスト化の要求が高まってきている。そのため、電子機器に用いられる電子部品においても高精度を維持しつつ、小型化および低コスト化の要求が高まっている。特に、振動素子をパッケージ内に収納した振動デバイスにおいては、振動素子を収納する空間を気密に維持することで振動特性が維持されるため、その封止技術に種々の提案がされている。
【０００３】
例えば、特許文献１、特許文献２に開示されている接合方法では、振動デバイス素子（振動素子）を収納する空間の開口部を覆う蓋と開口部周縁とを一部を残して溶接した後に脱気を行い、その後溶接されていない部分の蓋と開口部周縁とを封止する。また、特許文献３に開示されている小型水晶振動子では、リッド（蓋）と接合されるパッケージ面に切り欠きを形成し、切り込み以外の部分の一部を残して金属ろう材を溶融してリッドとパッケージとを接合し、脱気を行う。その後、切り欠き部分の金属ろう材を再溶融して蓋とパッケージとを封止する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０００−２２３６０４号公報
【特許文献２】特開２００２−３５９３１１号公報
【特許文献３】特開平１−１５１８１３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上述した特許文献１、特許文献２に示されている接合方法では、一部を残して蓋と開口部周縁とを溶接し、脱気後に未溶接部分を溶接するため、未溶接部分の寸法などを安定的に管理することが困難であると共に、未溶接部分の僅かな隙間からの脱気となるため脱気時間が長くなり、封止の工数が大きくなってしまう。また、特許文献３に示されている構成では、金属ろう材を溶融させながら脱気を行うため、溶融状態の管理が必要であり、安定的な脱気と封止を行うことができずに、振動特性が安定しない虞を有していた。また、切り欠き（溝）を蓋側に設けることも考えられるが、切り欠きが設けられた側をパッケージ側に向けることが必要であり、蓋の表裏選別が必要となる新たな課題も出現する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００７】
［適用例１］本適用例に係る蓋体は、表裏の関係にある第１面、および第２面と、前記第１面と前記第２面とを繋いでいる外周面と、前記外周面から前記第１面の中央部に向かって前記第１面に設けられている第１溝と、前記外周面から前記第２面の中央部に向かって前記第２面に設けられている第２溝と、が設けられていることを特徴とする。
【０００８】
本適用例によれば、蓋体の第１溝および第２溝は、蓋体の外周面から蓋体の中央部に向かって設けられている。換言すれば、第１溝および第２溝は、蓋体の外周面から蓋体の内側に向かって第１面および第２面に設けられている。そして、第１溝および第２溝は、表裏の関係にある蓋体の第１面と第２面に設けられている。これらの構成により、当該蓋体を接合部材に接合した際に、第１溝あるいは第２溝の設けられている部分が接合されず、接合されていない第１溝あるいは第２溝のいずれか一方の溝によって排気を行うことができる。なお、第１溝および第２溝は、蓋体に予め設けられており、この第１溝および第２溝がそのまま排気穴となるため、従来技術のような排気用に用いる未接合部分（排気穴）の寸法管理などを行うことが不要となり、安定的に排気、接合を行うことが可能となる。また、当該蓋体を表裏の区別を行うことなく接合部材に載置することができる。
なお、上述した蓋体の中央部とは、蓋体の外周面から第１面および第２面の面上を内側に向かった部分のことをいい、蓋体の第１面および第２面の面上における外周から内側に入った部分のことである。
【０００９】
［適用例２］上記適用例に記載の蓋体において、前記第１溝および前記第２溝は、平面視で、少なくとも一部が重なる位置に設けられていることを特徴とする。
【００１０】
本適用例によれば、第１溝および第２溝が、平面視で少なくとも一部が重なる位置に設けられているため、蓋体を接合部材に載置した場合に、上方から平面視したときに排気穴の位置を容易に推測することができる。これにより、排気穴の封止を容易に行うことが可能となる。
【００１１】
［適用例３］上記適用例に記載の蓋体において、前記第１溝および前記第２溝は、平面視で、異なる位置に設けられていることを特徴とする。
【００１２】
本適用例によれば、第１溝および第２溝が、平面視で異なる位置に設けられていることから、第１溝および第２溝が設けられている部分に残っている部材の肉厚を厚くすることができる。これにより、排気穴を封止する際の溶融代（溶融体積）を大きくすることができ、より安定した封止を行うことが可能となる。
【００１３】
［適用例４］上記適用例に記載の蓋体において、前記第１溝および前記第２溝は、前記第１面または前記第２面の中心を通り、前記第１面または前記第２面を２分割する一つの仮想線に対して線対称な位置に設けられていることを特徴とする。
【００１４】
本適用例によれば、蓋体を表裏反転した場合、第１溝または第２溝が同じ位置に配置されるため、封止を同じ位置で行うことができる。これにより封止作業の効率を高めることが可能となる。
【００１５】
［適用例５］上記適用例に記載の蓋体において、前記第１溝および前記第２溝は、前記第１面または前記第２面の中心に対して点対称な位置に設けられていることを特徴とする。
【００１６】
本適用例によれば、蓋体を表裏反転した場合、第１溝または第２溝が同じ位置に配置されるため、封止を同じ位置で行うことができる。これにより封止作業の効率を高めることが可能となる。
【００１７】
［適用例６］上記適用例に記載の蓋体において、前記第１溝および前記第２溝は、前記第１溝および前記第２溝を一対とした場合、複数対が設けられていることを特徴とする。
【００１８】
本適用例によれば、排気穴を複数設けることができるため、排気能力を向上させることができ、排気スピードを早くすることができる。これにより封止作業の効率を高めることが可能となる。
【００１９】
［適用例７］本適用例に係るパッケージは、上記適用例のいずれか一例に記載の蓋体と、前記蓋体が接合されているベースと、を備えていることを特徴とする。
【００２０】
本適用例によれば、蓋体の第１溝および第２溝は、蓋体の外周面から蓋体の中央部に向かって有底、且つ表裏の関係にある蓋体の第１面と第２面に設けられている。これらの構成により、当該蓋体をベースに接合した際に、第１溝あるいは第２溝の設けられている部分が接合されず、接合されていない第１溝あるいは第２溝のいずれか一方の溝によって排気を行うことができる。また、第１溝および第２溝は、蓋体に予め設けられており、この第１溝および第２溝がそのまま排気穴となるため、従来技術のような排気用に用いる未接合部分（排気穴）の寸法管理などを行うことが不要となり、安定的に排気、接合を行うことが可能なパッケージを提供することができる。
【００２１】
［適用例８］本適用例に係る電子デバイスは、上記適用例のいずれか一例に記載の蓋体と、前記蓋体が接合されているベースと、を備えているパッケージと、前記パッケージに収容されている素子と、を備えていることを特徴とする。
【００２２】
本適用例によれば、蓋体の第１溝および第２溝は、蓋体の外周面から蓋体の中央部に向かって有底の溝で、且つ表裏の関係にある蓋体の第１面と第２面に設けられている。これらの構成により、当該蓋体をベースに接合した際に、第１溝あるいは第２溝の設けられている部分が接合されず、接合されていない第１溝あるいは第２溝のいずれか一方の溝によって排気を行うことができる。また、第１溝および第２溝は、蓋体に予め設けられており、この第１溝および第２溝がそのまま排気穴となるため、従来技術のような排気用に用いる未接合部分（排気穴）の寸法管理などを行うことが不要となり、安定的に排気、接合を行うことが可能となる。これにより、パッケージに収納されている素子が残留ガスなどの影響によって受ける特性劣化を防止することができ、安定した特性の電子デバイスを提供することが可能となる。
【００２３】
［適用例９］上記適用例に記載の電子デバイスにおいて、前記第１溝または前記第２溝が溶融され封止されていることを特徴とする。
【００２４】
本適用例によれば、第１溝または第２溝を溶融することで封止を行うため、簡便に、且つ確実に封止を行うことができる。
【００２５】
［適用例１０］本適用例に記載の電子機器は、上記適用例に記載の電子デバイスを備えていることを特徴とする。
【００２６】
本適用例によれば、上記蓋体が適用され、特性が安定している電子デバイスを用いることで、特性の安定した電子機器、特に長期間のエージング特性などが安定した信頼性の高い電子機器を提供することが可能となる。
【００２７】
［適用例１１］本適用例に記載の移動体は、上記適用例に記載の電子デバイスを備えていることを特徴とする。
【００２８】
本適用例によれば、上記蓋体が適用され、特性が安定している電子デバイスを用いることで、特性の安定した移動体、特に長期間のエージング特性などが安定した信頼性の高い移動体を提供することが可能となる。
【００２９】
［適用例１２］本適用例に記載の電子デバイスの製造方法は、上記適用例のいずれか一例に記載の蓋体と、収納部に素子が収納されたベースとを接合する工程と、前記蓋体の前記第１溝または前記第２溝から前記収納部の排気を行う工程と、前記排気に用いた前記第１溝または前記第２溝を封止する工程と、を備えていることを特徴とする。
【００３０】
本適用例によれば、蓋体の表裏を区別することなく、また排気穴を設けるための未溶接部分などの管理を必要としない、換言すれば、簡便な方法で排気と封止を行うことが可能な電子部品の製造方法を提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明に係る蓋体（リッド）を用いた電子デバイスとしての振動子の概略を示す斜視図。
【図２】本発明に係る蓋体（リッド）を用いた電子デバイス（第１実施形態）としての振動子を示す概略図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は正断面図。
【図３】本発明に係る電子デバイスに用いられる素子としてのジャイロ素子を示す平面図。
【図４】本発明に係る蓋体（リッド）の一例を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は正断面図。
【図５】本発明に係る蓋体（リッド）の変形例を示し、（ａ）は変形例１、（ｂ）は変形例２、（ｃ）は変形例３を示す図。
【図６】本発明に係る蓋体（リッド）の変形例を示し、（ａ）は変形例４、（ｂ）は変形例５、（ｃ）は変形例６を示す図。
【図７】（ａ）〜（ｄ）は、電子デバイスとしての振動子の製造工程の概略を示す正断面図。
【図８】本発明に係る電子デバイス（第２実施形態）としてのジャイロセンサーの概略を示す正断面図。
【図９】電子機器の一例としてのモバイル型のパーソナルコンピューターの構成を示す斜視図。
【図１０】電子機器の一例としての携帯電話機の構成を示す斜視図。
【図１１】電子機器の一例としてのデジタルスチールカメラの構成を示す斜視図。
【図１２】移動体の一例としての自動車の構成を示す斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００３２】
以下、本発明の蓋体、およびその蓋体を用いた電子デバイスを添付図面に示す実施形態に基づいて詳細に説明する。
［電子デバイスの第１実施形態］
先ず、本発明にかかる蓋体、およびその蓋体片をパッケージに適用した電子デバイスの第１実施形態として、振動子の実施形態について説明する。
【００３３】
図１は、本発明にかかる蓋体を用いた電子デバイスとしての振動子を示す概略斜視図である。図２は、本発明に係る蓋体を用いた電子デバイスとしての振動子の概略を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は正断面図である。図３は、図２に示す振動子が備える素子としてのジャイロ素子を示す平面図である。なお、以下では、図１に示すように、互いに直交する３軸を、ｘ軸、ｙ軸およびｚ軸とし、ｚ軸は、振動子の厚さ方向と一致する。また、ｘ軸に平行な方向を「ｘ軸方向（第２方向）」と言い、ｙ軸に平行な方向を「ｙ軸方向（第１方向）」と言い、ｚ軸に平行な方向を「ｚ軸方向」と言う。
【００３４】
図１、および図２に示す電子デバイスの一例としての振動子１は、素子としてのジャイロ素子（振動素子）２と、ジャイロ素子２を収納するパッケージ９とを有している。以下、ジャイロ素子２およびパッケージ９について順次詳細に説明する。
【００３５】
（ジャイロ素子）
図３は、上側から（後述するリッド９２側であり図２のｚ軸方向）から見た振動片としてのジャイロ素子の平面図である。なお、ジャイロ素子には、検出信号電極、検出信号配線、検出信号端子、検出接地電極、検出接地配線、検出接地端子、駆動信号電極、駆動信号配線、駆動信号端子、駆動接地電極、駆動接地配線および駆動接地端子などが設けられているが、同図においては省略している。
【００３６】
振動片としてのジャイロ素子２は、ｚ軸まわりの角速度を検出する「面外検出型」のセンサーであって、図示しないが、基材と、基材の表面に設けられている複数の電極、配線および端子とで構成されている。ジャイロ素子２は、水晶、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウムなどの圧電材料で構成することができるが、これらの中でも、水晶で構成するのが好ましい。これにより、優れた振動特性（周波数特性）を発揮することのできるジャイロ素子２が得られる。
【００３７】
このようなジャイロ素子２は、いわゆるダブルＴ型をなす振動体４と、振動体４を支持する支持部としての第１支持部５１および第２支持部５２と、振動体４と第１、第２支持部５１、５２とを連結する梁としての第１梁６１、第２梁６２、第３梁６３および第４梁６４とを有している。
【００３８】
振動体４は、ｘｙ平面に拡がりを有し、ｚ軸方向に厚みを有している。このような振動体４は、中央に位置する基部４１と、基部４１からｙ軸方向に沿って両側に延出している第１検出振動腕４２１、第２検出振動腕４２２と、基部４１からｘ軸方向に沿って両側に延出している第１連結腕４３１、第２連結腕４３２と、第１連結腕４３１の先端部からｙ軸方向に沿って両側に延出している振動腕としての第１駆動振動腕４４１、および第２駆動振動腕４４２と、第２連結腕４３２の先端部からｙ軸方向に沿って両側に延出している振動腕としての第３駆動振動腕４４３、および第４駆動振動腕４４４とを有している。第１、第２検出振動腕４２１、４２２および第１、第２、第３、第４駆動振動腕４４１、４４２、４４３、４４４の先端部には、それぞれ、基端側よりも幅の大きい略四角形の幅広部としての重量部（ハンマーヘッド）４２５、４２６、４４５、４４６、４４７、４４８が設けられている。このような重量部４２５、４２６、４４５、４４６、４４７、４４８を設けることでジャイロ素子２の角速度の検出感度が向上する。
【００３９】
また、第１、第２支持部５１、５２は、それぞれ、ｘ軸方向に沿って延在しており、これら第１、第２支持部５１、５２の間に振動体４が位置している。言い換えれば、第１、第２支持部５１、５２は、振動体４を介してｙ軸方向に沿って対向するように配置されている。第１支持部５１は、第１梁６１、および第２梁６２を介して基部４１と連結されており、第２支持部５２は、第３梁６３、および第４梁６４を介して基部４１と連結されている。
【００４０】
第１梁６１は、第１検出振動腕４２１と第１駆動振動腕４４１との間を通って第１支持部５１と基部４１を連結し、第２梁６２は、第１検出振動腕４２１と第３駆動振動腕４４３との間を通って第１支持部５１と基部４１を連結し、第３梁６３は、第２検出振動腕４２２と第２駆動振動腕４４２との間を通って第２支持部５２と基部４１を連結し、第４梁６４は、第２検出振動腕４２２と第４駆動振動腕４４４との間を通って第２支持部５２と基部４１を連結している。
【００４１】
梁６１、６２、６３、６４は、それぞれ、ｘ軸方向に沿って往復しながらｙ軸方向に沿って延びる蛇行部を有する細長い形状で形成されているので、あらゆる方向に弾性を有している。そのため、外部から衝撃が加えられても、各梁６１、６２、６３、６４で衝撃を吸収する作用を有するので、これに起因する検出ノイズを低減または抑制することができる。
【００４２】
このような構成のジャイロ素子２は、次のようにしてｚ軸まわりの角速度ωを検出する。ジャイロ素子２は、角速度ωが加わらない状態において、駆動信号電極（図示せず）および駆動接地電極（図示せず）の間に電界が生じると、各駆動振動腕４４１、４４２、４４３、４４４がｘ軸方向に屈曲振動を行う。このとき、第１、第２駆動振動腕４４１、４４２と、第３、第４駆動振動腕４４３、４４４とは、中心点（重心）を通るｙｚ平面に関して面対称の振動を行っているため、基部４１と、第１、第２連結腕４３１、４３２と、第１、第２検出振動腕４２１、４２２とは、ほとんど振動しない。
【００４３】
この駆動振動を行っている状態にて、ジャイロ素子２にｚ軸まわりに角速度ωが加わると、駆動振動腕４４１、４４２、４４３、４４４および連結腕４３１、４３２にｙ軸方向のコリオリの力が働き、このｙ軸方向の振動に呼応して、ｘ軸方向の検出振動が励起される。そして、この振動により発生した検出振動腕４２１、４２２の歪みを検出信号電極（図示せず）および検出接地電極（図示せず）が検出して角速度ωが求められる。
【００４４】
（パッケージ）
パッケージ９は、ジャイロ素子２を収納するものである。なお、パッケージ９には、後述する電子デバイスのように、ジャイロ素子２の他に、ジャイロ素子２の駆動等を行うＩＣチップ等が収納されていてもよい。このようなパッケージ９は、その平面視（ｘｙ平面視）にて、略矩形状をなしている。
【００４５】
図１および図２に示すように、パッケージ９は、上面に開放する凹部を有するベース９１と、凹部の開口を塞ぐように、シームリング９３を介してベースに接合されている蓋体としてのリッド９２とを有している。また、ベース９１は、板状の底板９１１と、底板９１１の上面周縁部に設けられている枠状の側壁９１２とを有している。枠状の側壁９１２の上面には、例えばコバール等の合金で形成されたシームリング９３が設けられている。シームリング９３は、リッド９２との接合材としての機能を有しており、側壁９１２の上面に沿って枠状（周状）に設けられている。リッド９２は、第１面９２ａの対向する端部に第１溝９４ａ、９４ｂが設けられ、第１面９２ａの裏面である第２面９２ｂの対向する端部に第２溝９４ａ’、９４ｂ’が設けられている。なお、リッド９２の構成については後述で詳細について説明する。リッド９２がシームリング９３上に載置されたとき、第２溝９４ａ’、９４ｂ’、あるいは第１溝９４ａ、９４ｂは、収納部にかかるように形成されている。なお、本例では、第２溝９４ａ’、９４ｂ’が収納空間にかっている。このようなパッケージ９は、その内側に収納部としての収納空間を有しており、この収納空間内に、ジャイロ素子２が気密的に収納、設置されている。なお、ジャイロ素子２が収納されている収納空間は、第２溝９４ａ’、９４ｂ’から排気（脱気）が行われた後、第１溝９４ａ、９４ｂおよび第２溝９４ａ’、９４ｂ’が形成されている部分に残るリッド９２が溶融された後固化された封止部９５によって封止されている。
【００４６】
ベース９１の構成材料としては、特に限定されないが、酸化アルミニウム等の各種セラミックスを用いることができる。また、リッド９２の構成材料としては、特に限定されないが、ベース９１の構成材料と線膨張係数が近似する部材であると良い。例えば、ベース９１の構成材料を前述のようなセラミックスとした場合には、コバール等の合金とするのが好ましい。
【００４７】
ジャイロ素子２は、第１、第２支持部５１、５２にて、半田、銀ペースト、導電性接着剤（樹脂材料中に金属粒子などの導電性フィラーを分散させた接着剤）などの導電性固定部材８を介して底板９１１の上面に固定されている。第１、第２支持部５１、５２は、ジャイロ素子２のｙ軸方向の両端部に位置するため、このような部分を底板９１１に固定することにより、ジャイロ素子２の振動体４が両持ち支持され、ジャイロ素子２を底板９１１に対して安定的に固定することができる。そのため、ジャイロ素子２の不要な振動（検出振動以外の振動）が抑制され、ジャイロ素子２による角速度ωの検出精度が向上する。
【００４８】
また、導電性固定部材８は、第１、第２支持部５１、５２に設けられている２つの検出信号端子７１４、２つの検出接地端子７２４、駆動信号端子７３４および駆動接地端子７４４に対応（接触）して、且つ互いに離間して６つ設けられている。また、底板９１１の上面には、２つの検出信号端子７１４、２つの検出接地端子７２４、駆動信号端子７３４および駆動接地端子７４４に対応する６つの接続パッド１０が設けられており、導電性固定部材８を介して、これら各接続パッド１０とそれと対応するいずれかの端子とが電気的に接続されている。
【００４９】
（蓋体としてのリッド）
ここで、図４を用いて蓋体としてのリッド９２について説明する。図４は、本発明に係る蓋体としてのリッドの一例を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は正断面図である。
【００５０】
蓋体としてのリッド９２は、パッケージ９の上面に開放する凹部の開口を塞ぎ、凹部の開口の周囲を、例えばシーム溶接法などを用いて接合されている。詳述すると、リッド９２は、表裏の関係にある第１面９２ａ、および第２面９２ｂと、第１面９２ａと第２面９２ｂとを繋いでいる外周面９２ｃとを有している板状の部材である。本例のリッド９２には、コバールの板材が用いられている。リッド９２にコバールの板を用いることで封止の際に、コバールで形成されているシームリング９３とリッド９２とが同じ溶融状態で溶融され、さらには合金化もされ易いため封止を容易に、且つ確実に行うことができる。なお、リッド９２には、コバールに変えて他の材料の板材を用いてもよく、例えば、４２アロイ、ステンレス鋼などの金属材料、またはパッケージ９の側壁９１２と同材料などを用いることができる。
【００５１】
そして、リッド９２を第１面９２ａ側から平面視したとき、外周面９２ｃからリッド９２の内側（中央部）に向かって、第１面９２ａに設けられている有底の２つの第１溝９４ａ、９４ｂが設けられている。第１溝９４ａ、９４ｂは、第１面９２ａの中心Ｇを通り、第１面９２ａを２分割する仮想線Ｃ１、Ｃ２の内の一つの仮想線Ｃ１上に設けられている。換言すれば、第１溝９４ａ、９４ｂは、他の一つの仮想線Ｃ２に対して線対称な位置に設けられている。なお、第１溝９４ａ、９４ｂは、リッド９２がパッケージ９の上面に開放する凹部の開口を塞ぐように載置されたとき、その開口と重なる部分を有するように、リッド９２の外周面９２ｃから内側（中心部）に向かって設けられている。換言すれば、第１溝９４ａ、９４ｂの中央部側の端が、ベース９１を構成する底板９１１の上面周縁部に設けられている枠状の側壁９１２の内壁よりも内側（パッケージの平面視中心側）に達するように設けられている。
【００５２】
また、第２面９２ｂにも第１面９２ａと同様に２つの第２溝９４ａ’、９４ｂ’が設けられている。２つの第２溝９４ａ’、９４ｂ’は、第１面９２ａと同様に第２面９２ｂの中心Ｇを通り、第２面９２ｂを２分割する仮想線Ｃ１、Ｃ２の内の一つの仮想線Ｃ１上に設けられている。換言すれば、第２溝９４ａ’、９４ｂ’は、他の一つの仮想線Ｃ２に対して線対称な位置に設けられている。第２溝９４ａ’、９４ｂ’は、リッド９２がパッケージ９の上面に開放する凹部の開口を塞ぐように載置されたとき、その開口と重なる部分を有するように、リッド９２の外周面９２ｃから中心部に向かって設けられている。換言すれば、第２溝９４ａ’、９４ｂ’の中央部側の端が、ベース９１を構成する底板９１１の上面周縁部に設けられている枠状の側壁９１２の内壁よりも内側（パッケージの平面視中心側）に達するように設けられている。
【００５３】
このように、第１溝９４ａ、９４ｂ、および第２溝９４ａ’、９４ｂ’を設けることで、表裏の区別をすることなくリッド９２をセットすることができると共に、第１溝９４ａ、９４ｂ、あるいは第２溝９４ａ’、９４ｂ’から、排気を行うことができる。
【００５４】
そして、第１溝９４ａ、９４ｂあるいは第２溝９４ａ’、９４ｂ’とパッケージ９との接合面との隙間から、凹部（収納部としての収納空間）の排気を行った後、この第１溝９４ａ、９４ｂあるいは第２溝９４ａ’、９４ｂ’の部分をレーザー光などで溶融し、塞ぐことによって気密に封止が行われている。
【００５５】
このように、リッド９２には、第１面９２ａ、および第２面９２ｂの両面に、リッド９２を第１面９２ａ側から平面視したとき、重なるように４つの有底の溝、即ち第１溝９４ａ、９４ｂと第２溝９４ａ’、９４ｂ’とが設けられている。なお、本例では、第１面９２ａ、および第２面９２ｂの両面に、リッド９２を第１面９２ａ側から平面視したとき、重なるように４つの有底の溝が設けられている例で説明したが、溝の配置はこれに限らない。溝の配置の他の例については後述する変形例で詳細を説明する。
【００５６】
このような形態のリッド９２によれば、リッド９２とパッケージ９とが接合された際に、パッケージ９との接合面側の第１溝９４ａ、９４ｂあるいは第２溝９４ａ’、９４ｂ’の部分がシーム溶接などで接合されない。さらに、パッケージ９との接合面側の第１溝９４ａ、９４ｂあるいは第２溝９４ａ’、９４ｂ’が外周面９２ｃに開口し、延在する中央部側の端が、側壁９１２の内壁よりも内側、即ち凹部（収納部としての収納空間）に達するように設けられている。したがって、接合されていない第１溝９４ａ、９４ｂ、あるいは第２溝９４ａ’、９４ｂ’のいずれか一方の溝によって、凹部（収納部としての収納空間）から排気を行うことができる。また、第１溝９４ａ、９４ｂあるいは第２溝９４ａ’、９４ｂ’が、予めリッド９２に設けられているため、従来技術のような排気用に用いる未接合部分（排気穴）の寸法管理などを行うことが不要となり、安定的に排気、接合を行うことが可能となる。
【００５７】
さらに、表裏の関係にある第１面９２ａ、および第２面９２ｂに設けられた第１溝９４ａ、９４ｂと第２溝９４ａ’、９４ｂ’とが設けられているため、リッド９２を表裏の区別を行うことなく接合部材であるパッケージ９に載置することができる。
【００５８】
また、第１溝９４ａ、９４ｂおよび第２溝９４ａ’、９４ｂ’が、第１面９２ａ、第２面９２ｂの中心Ｇを通り、第１面９２ａ、第２面９２ｂを２分割する仮想線Ｃ１、Ｃ２の内の一つの仮想線Ｃ１上であり、他の一つの仮想線Ｃ２に対して線対称な位置に設けられている。これにより、第１溝９４ａ、９４ｂおよび第２溝９４ａ’、９４ｂ’を封止する際に、同一箇所を溶接することで封止することが可能となる。即ち、溶接位置を変えることなく封止を行うことが可能となり、封止の工数低減、および封止の安定性に効果的である。
【００５９】
（リッドの変形例）
次に、蓋体としてのリッドの変形例を、図５および図６を用いて説明する。図５（ａ）は変形例１、図５（ｂ）は変形例２、図５（ｃ）は変形例３、を示す図であり、図６（ａ）は変形例４、図６（ｂ）は変形例５、図６（ｃ）は変形例６を示す図である。なお、前述の形態と同じ構成の説明は省略する。
【００６０】
＜リッドの変形例１＞
図５（ａ）に沿って、リッドの変形例１について説明する、同図において、左図は平面図であり、右図は右側面図である。変形例１のリッド９２は、第１面９２ａおよび第２面９２ｂに一つずつの有底の溝が設けられている構成である。
【００６１】
詳述すれば、第１溝９４ａは、リッド９２の外周面の一面に開口し、そこからリッド９２の中央部に向かう有底の溝として第１面９２ａに設けられている。換言すれば、第１面９２ａの中心Ｇを通り、第１面９２ａ、第２面９２ｂを２分割する仮想線Ｃ１上に第１溝９４ａは設けられており、仮想線Ｃ１を基準として図示左側（−ｙ軸方向）に僅かにずれて配置されている。
【００６２】
また、第１面９２ａの反対側、第１溝９４ａと平面視で重なる位置の第２面９２ｂに第２溝９４ａ’が設けられている。第２溝９４ａ’は、リッド９２の外周面の一面（第１溝９４ａの開口している面と同一面）に開口し、そこからリッド９２の中央部に向かう有底の溝として第２面９２ｂに設けられている。換言すれば、第２面９２ｂの中心Ｇを通り、第１面９２ａ、第２面９２ｂを２分割する仮想線Ｃ１上に第２溝９４ａ’は設けられており、仮想線Ｃ１を基準として図示右側（ｙ軸方向）に僅かにずれて配置されている。
【００６３】
このように、第１溝９４ａおよび第２溝９４ａ’は、平面視で、少なくとも一部が重なる位置に設けられている。したがって、リッド９２をパッケージ（図示せず）に載置した場合に、排気穴となる第１溝９４ａあるいは第２溝９４ａ’の位置を平面（上方）から推測することができる。これにより、封止を容易に行うことが可能となる。また、本例の配置では、仮想線Ｃ１を中心としてリッド９２を反転させたとき、第１溝９４ａが、反転する前の第２溝９４ａ’の位置に配置される構成となっている。したがって、仮想線Ｃ１を中心としてリッド９２を反転させたとき、第１溝９４ａが、反転する前の第２溝９４ａ’の位置に配置される構成と配置とすることで、リッド９２が表裏反転でセットされた場合でも、第１溝９４ａまたは第２溝９４ａ’が同じ位置に配置されるため、封止を同じ位置で行うことができ効率的である。
【００６４】
＜リッドの変形例２＞
次に、図５（ｂ）に沿って、リッドの変形例２について説明する、同図において、左図は平面図、および正面図であり、右図は右側面図である。変形例２のリッド９２は、第１面９２ａおよび第２面９２ｂに二つずつの有底の溝が設けられている構成である。
【００６５】
詳述すれば、リッド９２の第１面９２ａには、第１溝９４ａ、９４ｂが設けられ、第２面９２ｂには、第２溝９４ａ’、９４ｂ’が設けられている。第１溝９４ａは、リッド９２の外周面の一面に開口し、そこからリッド９２の中央部に向かう有底の溝として第１面９２ａに設けられている。換言すれば、第１面９２ａの中心Ｇを通り、第１面９２ａ、第２面９２ｂを２分割する仮想線Ｃ１上に第１溝９４ａは設けられており、仮想線Ｃ１を基準として図示左側（−ｙ軸方向）に僅かにずれて配置されている。また、他方の第１溝９４ｂは、第１溝９４ａと第１面９２ａの中心Ｇを基準として点対称の位置の第１面９２ａに設けられている。即ち、第１溝９４ｂは、リッド９２の外周面に開口し、そこからリッド９２の中央部に向かう有底の溝である。換言すれば、第１面９２ａの中心Ｇを通り、第１面９２ａ、第２面９２ｂを２分割する仮想線Ｃ１上に第１溝９４ａは設けられており、仮想線Ｃ１を基準として図示右側（ｙ軸方向）に僅かにずれて配置されている。
【００６６】
また、第１溝９４ａの設けられている第１面９２ａの反対側、即ち第１溝９４ａと平面視で重なる位置の第２面９２ｂに第２溝９４ａ’が設けられている。第２溝９４ａ’は、リッド９２の外周面の一面（第１溝９４ａの開口している面と同一面）に開口し、そこからリッド９２の中央部に向かう有底の溝として第２面９２ｂに設けられている。換言すれば、第２面９２ｂの中心Ｇを通り、第１面９２ａ、第２面９２ｂを２分割する仮想線Ｃ１上に第２溝９４ａ’は設けられており、仮想線Ｃ１を基準として図示右側（ｙ軸方向）に僅かにずれて配置されている。また、他方の第２溝９４ｂ’は、第２溝９４ａ’と第２面９２ｂの中心Ｇを基準として点対称の位置の第２面９２ｂに設けられている。即ち、第２溝９４ｂ’は、リッド９２の外周面に開口し、そこからリッド９２の中央部に向かう有底の溝である。換言すれば、第１面９２ａの中心Ｇを通り、第１面９２ａ、第２面９２ｂを２分割する仮想線Ｃ１上に第２溝９４ｂ’は設けられており、仮想線Ｃ１を基準として図示左側（−ｙ軸方向）に僅かにずれて配置されている。
【００６７】
このように、第１溝９４ａ（第１面９２ａ）と第２溝９４ａ’（第２面９２ｂ）、および第１溝９４ｂ（第１面９２ａ）と第２溝９４ｂ’（第２面９２ｂ）は、それぞれ平面視で、少なくとも一部が重なる位置に設けられている。したがって、リッド９２をパッケージ（図示せず）に載置した場合に、排気穴となる第１溝９４ａあるいは第２溝９４ａ’、および第１溝９４ｂあるいは第２溝９４ｂ’の位置を平面（リッド９２の第１面９２ａ側の上方）から推測することができる。これにより、封止を容易に行うことが可能となる。
【００６８】
また、本例の配置では、第１面９２ａに設けられている第１溝９４ａと第１溝９４ｂ、および第２面９２ｂに設けられている第２溝９４ａ’と第２溝９４ｂ’が、それぞれリッド９２の中心Ｇを基準として点対称の位置に配置されている。また、第１溝９４ａと第２溝９４ａ’、および第１溝９４ｂと第２溝９４ｂ’が、仮想線Ｃ１を中心としてリッド９２を反転させたとき、それぞれ表裏の溝が入れ替わって同じ位置になるように配置されている。したがって、リッド９２をパッケージにセットする際に、リッド９２がどのように反転しても、同じ位置に第１溝９４ａ、第２溝９４ａ’、第１溝９４ｂ、第２溝９４ｂ’のいずれかの溝が配置されることになる。これにより、リッド９２をパッケージにセットする際に、リッド９２の向きを考慮せずに行うことが可能となり、作業性が格段に向上すると共に、封止を同じ位置で行うことができ作業効率を高めることが可能となる。
【００６９】
＜リッドの変形例３＞
次に、図５（ｃ）に沿って、リッドの変形例３について説明する、同図において、上図は平面図であり、下図は正面図である。変形例３のリッド９２は、平面視で異なる位置の第１面９２ａおよび第２面９２ｂに、それぞれ一つずつの有底の溝が設けられている構成である。
【００７０】
詳述すれば、第１溝９４ａは、リッド９２の外周面の一面に開口し、そこからリッド９２の中央部に向かう有底の溝として第１面９２ａに設けられている。第１溝９４ａは、第１面９２ａの中心Ｇを通り、第１面９２ａ、第２面９２ｂを２分割する仮想線Ｃ１より図示左側（−ｙ軸方向）にずれて配置されている。
【００７１】
また、平面視で仮想線Ｃ１を基準として線対称の位置の第２面９２ｂには、第２溝９４ａ’が設けられている。したがって、第２溝９４ａ’は、仮想線Ｃ１より図示右側（ｙ軸方向）にずれて配置されている。そして、第２溝９４ａ’は、リッド９２の外周面の一面（第１溝９４ａの開口している面と同一面）に開口し、そこからリッド９２の中央部に向かう有底の溝として第２面９２ｂに設けられている。
【００７２】
このように、第１溝９４ａおよび第２溝９４ａ’が、平面視でそれぞれ異なる位置に設けられていることから、第１溝９４ａおよび第２溝９４ａ’の設けられている部分の残っている部材肉厚を厚くすることができる。これにより、排気穴（第１溝９４ａまたは第２溝９４ａ’）を封止する際の溶融代（溶融体積）を大きくすることができ、より安定した封止を行うことが可能となる。
【００７３】
また、本変形例３のように第１溝９４ａおよび第２溝９４ａ’を、平面視で仮想線Ｃ１を基準として線対称の位置に配置すれば、仮想線Ｃ１を中心としてリッド９２を反転させたとき、第１溝９４ａが、反転する前の第２溝９４ａ’の位置となる。これにより、リッド９２が表裏反転でパッケージにセットされた場合でも、第１溝９４ａまたは第２溝９４ａ’が同じ位置に配置されるため、封止を同じ位置で行うことができ効率的である。
【００７４】
＜リッドの変形例４＞
次に、図６（ａ）に沿って、リッドの変形例４について説明する、同図において、左図は平面図であり、右図は右側面図である。変形例４のリッド９２は、平面視で異なる位置の第１面９２ａおよび第２面９２ｂに、それぞれ一つずつの有底の溝が設けられている構成である。
【００７５】
詳述すれば、第１溝９４ａは、リッド９２の外周面の一面に開口し、そこからリッド９２の中央部に向かう有底の溝として第１面９２ａに設けられている。第１溝９４ａは、第１面９２ａの中心Ｇを通り、第１面９２ａ、第２面９２ｂを２分割する仮想線Ｃ１、Ｃ２の内の仮想線Ｃ１より図示左側（−ｙ軸方向）にずれて配置されている。
【００７６】
また、平面視で仮想線Ｃ２を基準として線対称の位置の第２面９２ｂには、第２溝９４ａ’が設けられている。したがって、第２溝９４ａ’は、仮想線Ｃ１より図示左側（−ｙ軸方向）にずれて配置されている。そして、第２溝９４ａ’は、リッド９２の外周面の内の第１溝９４ａの開口している面と対向する面（反対側の面）に開口し、そこからリッド９２の中央部に向かう有底の溝として第２面９２ｂに設けられている。
【００７７】
このように、第１溝９４ａおよび第２溝９４ａ’が、平面視でそれぞれ異なる位置に設けられていることから、第１溝９４ａおよび第２溝９４ａ’の設けられている部分の部材肉厚を厚くすることができる。これにより、排気穴（第１溝９４ａまたは第２溝９４ａ’）を封止する際の溶融代（溶融体積）を大きくすることができ、より安定した封止を行うことが可能となる。
【００７８】
また、本変形例３のように第１溝９４ａおよび第２溝９４ａ’を、平面視で仮想線Ｃ２を基準として線対称の位置に配置すれば、仮想線Ｃ２を中心としてリッド９２を反転させたとき、第１溝９４ａが、反転する前の第２溝９４ａ’の位置となる。これにより、リッド９２が表裏反転でパッケージにセットされた場合でも、第１溝９４ａまたは第２溝９４ａ’が同じ位置に配置されるため、封止を同じ位置で行うことができ効率的である。
【００７９】
＜リッドの変形例５＞
次に、図６（ｂ）に沿って、リッドの変形例５について説明する、同図において、左図は平面図であり、右図は右側面図である。変形例５のリッド９２は、平面視で異なる位置の第１面９２ａおよび第２面９２ｂに、それぞれ一つずつの有底の溝が設けられている構成である。
【００８０】
詳述すれば、第１溝９４ａは、リッド９２の外周面の一面に開口し、そこからリッド９２の中央部に向かう有底の溝として第１面９２ａに設けられている。第１溝９４ａは、第１面９２ａの中心Ｇを通り、第１面９２ａ、第２面９２ｂを２分割する仮想線Ｃ１、Ｃ２の内の仮想線Ｃ１より図示左側（−ｙ軸方向）にずれて配置されている。
【００８１】
また、平面視でリッド９２の中心Ｇを基準として点対称の位置の第２面９２ｂには、第２溝９４ａ’が設けられている。したがって、第２溝９４ａ’は、仮想線Ｃ１より図示右側（ｙ軸方向）にずれて配置されている。そして、第２溝９４ａ’は、リッド９２の外周面の内の第１溝９４ａの開口している面と対向する面（反対側の面）に開口し、そこからリッド９２の中央部に向かう有底の溝として第２面９２ｂに設けられている。
【００８２】
このように、第１溝９４ａおよび第２溝９４ａ’が、平面視でそれぞれ異なる位置に設けられていることから、第１溝９４ａおよび第２溝９４ａ’の設けられている部分の部材肉厚を厚くすることができる。これにより、排気穴（第１溝９４ａまたは第２溝９４ａ’）を封止する際の溶融代（溶融体積）を大きくすることができ、より安定した封止を行うことが可能となる。
【００８３】
＜リッドの変形例６＞
次に、図６（ｃ）に沿って、リッドの変形例６について説明する、同図において、上図は平面図であり、下図は正面図である。変形例６のリッド９２は、平面視で異なる位置の第１面９２ａおよび第２面９２ｂに、それぞれ一つずつの有底の溝が設けられている構成である。
【００８４】
詳述すれば、第１溝９４ａは、リッド９２の外周面の一面に開口し、そこからリッド９２の中央部に向かう有底の溝として第１面９２ａに設けられている。第１溝９４ａは、第１面９２ａの中心Ｇを通り、第１面９２ａ、第２面９２ｂを２分割する仮想線Ｃ１、Ｃ２の内の仮想線Ｃ１を基準に線対称の形状に設けられている。
【００８５】
また、平面視で仮想線Ｃ２を基準として線対称の位置の第２面９２ｂには、第２溝９４ａ’が設けられている。第２溝９４ａ’も、仮想線Ｃ１を基準に線対称の形状に設けられている。そして、第２溝９４ａ’は、リッド９２の外周面の内の第１溝９４ａの開口している面と対向する面（反対側の面）に開口し、そこからリッド９２の中央部に向かう有底の溝として第２面９２ｂに設けられている。したがって、第１溝９４ａと第２溝９４ａ’とは、平面視でリッド９２の中心Ｇを基準として点対称の位置および形状で設けられている。
【００８６】
このように、第１溝９４ａおよび第２溝９４ａ’が、平面視でそれぞれ異なる位置に設けられていることから、第１溝９４ａおよび第２溝９４ａ’の設けられている部分の部材肉厚を厚くすることができる。これにより、排気穴（第１溝９４ａまたは第２溝９４ａ’）を封止する際の溶融代（溶融体積）を大きくすることができ、より安定した封止を行うことが可能となる。
【００８７】
また、本変形例６のように第１溝９４ａおよび第２溝９４ａ’を、平面視でリッド９２の中心Ｇを基準として点対称の位置および形状で設けることにより、仮想線Ｃ２を中心としてリッド９２を反転させたとき、第１溝９４ａが、反転する前の第２溝９４ａ’の位置となる。これにより、リッド９２が表裏反転でパッケージにセットされた場合でも、第１溝９４ａまたは第２溝９４ａ’が同じ位置に配置されるため、封止を同じ位置で行うことができ効率的である。
【００８８】
なお、上述では、第１溝および第２溝をリッド９２の一端、あるいは対向する二端に設ける例で説明したがこれに限定されず、他の端に設けられている構成でも同様な効果を奏する。
【００８９】
また、第１溝および第２溝を一対とした場合、複数対が設けられていてもよい。このように、第１溝および第２溝を複数対設けることで、排気能力を向上させ、排気スピードを早くすることができる。これにより封止作業の効率を高めることが可能となる。
【００９０】
また、第１溝および第２溝の断面形状は、矩形状、半円状、テーパー状（くさび形状）など排気穴としての機能を有していればその形状は問わない。
【００９１】
（振動子の製造方法）
次に、本発明に係る電子デバイスとしての振動子の製造方法について図７を参照しながら説明する。図７（ａ）〜（ｄ）は、上述した図１および図２に示す電子デバイスとしての振動子の製造工程の概略を示す正断面図である。
【００９２】
先ず、素子としてのジャイロ素子２をベース９１の収納部に収納する工程を説明する。図７（ａ）に示すように、板状の底板９１１と、底板９１１の上面周縁部に設けられている枠状の側壁９１２とを有し、側壁９１２の内壁に囲まれて上面に開放する凹部（以下、「収納部」という）を有するベース９１を用意する。ベース９１には、枠状の側壁９１２の上面にシームリング９３が形成され、底板９１１の上面に接続パッド１０が形成されている。また、上述した素子としてのジャイロ素子２を用意する。そして、接続パッド１０とジャイロ素子２とを電気的接続を取って固定する。この接続には、半田、銀ペースト、導電性接着剤（樹脂材料中に金属粒子などの導電性フィラーを分散させた接着剤）などの導電性固定部材８を用いることができる。このとき、ジャイロ素子２は、導電性固定部材８の厚みによって底板９１１の上面との空隙が形成される。
【００９３】
次に、収納部に蓋体としてのリッド９２を載置する工程を説明する。図７（ｂ）に示すように、収納部に収納されているジャイロ素子２を気密に保持するために、上述した蓋体としてのリッド９２をシームリング９３上に載置する。リッド９２の表裏面である第１面９２ａおよび第２面９２ｂには、その両端部にそれぞれ第１溝９４ａ、９４ｂおよび第２溝９４ａ’、９４ｂ’が設けられている。そして、リッド９２がシームリング９３上に載置されたとき、シームリング９３に接合される側の第２溝９４ａ’、９４ｂ’が、収納部に架かっている。
【００９４】
次に、リッド９２をベース９１に接合する工程を説明する。図７（ｃ）に示すように、枠状の側壁９１２上でリッド９２とシームリング９３とが対峙する部分を周状にシーム溶接機のローラー電極９７を用いてシーム溶接を行いリッド９２とシームリング９３とを接合する。即ち、リッド９２をベース９１に接合する。このとき、第１溝９４ａ、９４ｂおよび第２溝９４ａ’、９４ｂ’が設けられている部分は、第２溝９４ａ’、９４ｂ’によってリッド９２とシームリング９３とが接触していないため接合されない空間となり、次の封止工程での排気穴として機能する。
【００９５】
次に、第１溝９４ａ、９４ｂまたは第２溝９４ａ’、９４ｂ’（排気穴）を用い収納部から排気を行う工程を説明する。本例では、図７（ｄ）に示すように、前述のシーム溶接時に溶接されていない第２溝９４ａ’、９４ｂ’が、収納部に架かっている。したがって、第２溝９４ａ’、９４ｂ’を排気穴として用い、同図に示す矢印のように収納部のガスを排気する。
【００９６】
次に、排気が終了した収納部を気密に封止する工程を説明する。図７（ｄ）に示すように、収納部の排気が終了した状態で、排気穴として用いた第２溝９４ａ’、９４ｂ’にレーザー光９８を照射し、残っている部分の金属（コバール）を溶融し、その後固化することによって第２溝９４ａ’、９４ｂ’を気密的に封止（塞ぐ）する。なお、図７（ｄ）では、溶融、固化した図２に示した封止部９５は省略している。
【００９７】
このような工程を有する電子部品としての振動子１の製造方法を用いることで、リッド９２の表裏を区別することなく、さらに排気穴を設けるための未溶接部分などの管理を必要としない、換言すれば、簡便な方法で排気と封止を行うことが可能となる。
【００９８】
なお、上述の説明では、２つの排気穴（第２溝９４ａ’、９４ｂ’）を用いる例で説明したが、排気穴は第２溝９４ａ’または第２溝９４ｂ’のいずれか一つであってもよく、さらには、排気穴は３つ以上であってもよい。
【００９９】
上述の第１実施形態によれば、収容部を塞ぐ蓋体としてのリッド９２の第１溝９４ａ、９４ｂおよび第２溝９４ａ’、９４ｂ’には、リッド９２の外周面９２ｃから中央部に向かって有底、且つ表裏の関係にあるリッド９２の第１面９２ａと第２面９２ｂとに設けられている。このようなリッド９２をベース９１（パッケージ９）に接合した際に、第１溝９４ａ、９４ｂあるいは第２溝９４ａ’、９４ｂ’の設けられている部分が接合されず、接合されていない第１溝９４ａ、９４ｂあるいは第２溝９４ａ’、９４ｂ’のいずれか一方の溝によって排気を行うことができる。また、第１溝９４ａ、９４ｂおよび第２溝９４ａ’、９４ｂ’は、リッド９２に予め設けられており、この第１溝９４ａ、９４ｂおよび第２溝９４ａ’、９４ｂ’がそのまま排気穴となるため、従来技術のような排気用に用いる未接合部分（排気穴）の寸法管理などを行うことが不要となり、安定的に排気、接合（封止）が行われるため、接合（封止）後に振動子１が高温加熱された場合でも、発生するガスを抑制することができる。また、安定的な排気、接合（封止）により、パッケージ９に収納されている素子としてのジャイロ素子２が残留ガスなどの影響によって受ける特性劣化を防止することができ、安定した特性の電子デバイスとしての振動子１を提供することができる。
【０１００】
［電子デバイスの第２実施形態］
次に、電子デバイスの第２実施形態として、ジャイロセンサーの実施形態について、図８を用いて説明する。図８はジャイロセンサーの概略を示す正断面図である。なお、本実施形態では、上述の第１実施形態と同様な構成については、同じ符号を付けて説明を省略することもある。
【０１０１】
ジャイロセンサー２００は、素子としてのジャイロ素子２、回路素子としてのＩＣ１１２、収容器としてのパッケージ（ベース）１１１、蓋体としてのリッド９２を備えている。セラミックなどで形成されたパッケージ１１１は、積層された第３基板１２５ｃ、第２基板１２５ｂ、および第１基板１２５ａと、第１基板１２５ａの表面周縁部に設けられている枠状の側壁１１５と、第３基板１２５ｃの表面周縁部に設けられている枠状の側壁１２０とを有している。
【０１０２】
枠状の側壁１１５の上面には、例えばコバール等の合金で形成されたシームリング１１７が形成されている。シームリング１１７は、リッド９２との接合材としての機能を有しており、側壁１１５の上面に沿って枠状（周状）に設けられている。リッド９２は、第１面９２ａの対向する端部に第１溝９４ａ、９４ｂが設けられ、第１面９２ａの裏面である第２面９２ｂの対向する端部に第２溝９４ａ’、９４ｂ’が設けられている。なお、リッド９２の構成については上述の第１実施形態と同様である。リッド９２がシームリング１１７上に載置されたとき、第２溝９４ａ’、９４ｂ’、あるいは第１溝９４ａ、９４ｂは、収納部にかかるように形成されている。なお、本例では、第２溝９４ａ’、９４ｂ’が収納空間にかっている。第１基板１２５ａの表面と枠状の側壁１１５の内壁で囲まれた空間が、ジャイロ素子２の収納部（収納空間）となり、第３基板１２５ｃと枠状の側壁１２０の内壁で囲まれた空間が、ＩＣ１１２の収納部（収納空間）となる。なお、ジャイロ素子２が収納されている収納空間は、第２溝９４ａ’、９４ｂ’から排気（脱気）が行われた後、第１溝９４ａ、９４ｂおよび第２溝９４ａ’、９４ｂ’が形成されている部分に残るリッド９２が溶融された後固化された封止部９５によって封止されている。また、枠状の側壁１２０の表面（図示下面）には、複数の外部端子１２２が設けられている。
【０１０３】
ジャイロ素子２の収納部（収納空間）に位置する第１基板１２５ａの表面には、接続パッド１１０が形成されており、ジャイロ素子２が、接続パッド１１０と電気的接続を取って固定されている。この接続には、半田、銀ペースト、導電性接着剤（樹脂材料中に金属粒子などの導電性フィラーを分散させた接着剤）などの導電性固定部材１２７を用いることができる。このとき、ジャイロ素子２は、導電性固定部材１２７の厚みによって第１基板１２５ａの上面との空隙を有することになる。
【０１０４】
ジャイロ素子２が収納された収納部（収納空間）の開口は、蓋体としてのリッド９２で塞がれ、気密的に封止されている。リッド９２は、上述の第１実施形態で説明したリッド９２と同様な構成であるので詳細な説明は省略し、概略を説明する。リッド９２は、パッケージ１１１の上面に開放する収納部の開口を塞ぎ、開口の周囲を、例えばシーム溶接法などを用いて接合されている。リッド９２は、コバールの板材が用いられ、表裏の関係にある第１面９２ａ、および第２面９２ｂを有している。上述の第１実施形態と同様に、リッド９２には、第１面９２ａ側にリッド９２の外周面から中央部に向かって設けられている有底の２つの第１溝９４ａ、９４ｂと、第１溝９４ａ、９４ｂと対向する第２面９２ｂ側に位置する有底の２つの第２溝９４ａ’、９４ｂ’と、が設けられている。そして、第１溝９４ａ、９４ｂあるいは第２溝９４ａ’、９４ｂ’とシームリング１１７との隙間から、収納部としての収納空間の排気を行った後、この第１溝９４ａ、９４ｂあるいは第２溝９４ａ’、９４ｂ’の部分をレーザー光などで溶融することによって気密な封止が行われている。
【０１０５】
一方、ＩＣ１１２の収納部（収納空間）に位置する第３基板１２５ｃの表面には、接続電極１１８が形成されており、接続電極１１８とＩＣ１１２とが金（Ａｕ）バンプ１２４での接合などにより電気的接続を取って固定されている。ＩＣ１１２と第３基板１２５ｃの表面との間隙は、樹脂などのアンダーフィル１３１が配設されて埋められている。なお樹脂は、ＩＣ１１２を覆うように設けられていてもよい。なお、接続パッド１１０、接続電極１１８、外部端子１２２などは、それぞれが内部配線などで接続されているが、本発明での説明は図示も含めて省略している。
【０１０６】
上述の第２実施形態によれば、収容部を塞ぐ蓋体としてのリッド９２の第１溝９４ａ、９４ｂおよび第２溝９４ａ’、９４ｂ’には、リッド９２の外周面９２ｃから中央部に向かって有底、且つ表裏の関係にあるリッド９２の第１面９２ａと第２面９２ｂとに設けられている。このようなリッド９２をパッケージ１１１に接合した際に、第１溝あるいは第２溝の設けられている部分が接合されず、接合されていない第１溝９４ａ、９４ｂあるいは第２溝９４ａ’、９４ｂ’のいずれか一方の溝によって排気を行うことができる。また、第１溝９４ａ、９４ｂおよび第２溝９４ａ’、９４ｂ’は、リッド９２に予め設けられており、この第１溝９４ａ、９４ｂおよび第２溝９４ａ’、９４ｂ’がそのまま排気穴となるため、従来技術のような排気用に用いる未接合部分（排気穴）の寸法管理などを行うことが不要となり、安定的に排気、接合（封止）を行うことが可能となる。このように安定的な排気、接合（封止）が行われるため、接合（封止）後にジャイロセンサー２００が高温加熱された場合でも、発生するガスを抑制することができる。また、安定的な排気、接合（封止）により、パッケージ１１１に収納されている素子としてのジャイロ素子２が残留ガスなどの影響によって受ける特性劣化を防止することができ、安定した特性の電子デバイスとしてのジャイロセンサー２００を提供することができる。
【０１０７】
上述の電子デバイスの説明では、振動片として所謂ダブルＴ型のジャイロ素子２を用いた振動子１、ジャイロセンサー２００を例に説明したがこれに限らず、パッケージ内に素子を気密に収納する電子デバイスに適用することができる。他の電子デバイスとしては、例えば素子としてＨ型、あるいは音叉型のジャイロ素子を用いたジャイロセンサー、振動素子を用いたタイミングデバイス（振動子、発振器など）、感圧素子を用いた圧力センサー、半導体素子を用いた半導体装置などであってもよい。
【０１０８】
なお、振動素子としては、圧電体を用いたＭＥＭＳ素子などの圧電振動素子、あるいは素材に水晶を用いた音叉型水晶振動片などの屈曲振動を行う水晶振動片、縦振動型水晶振動片、厚みすべり水晶振動片などを好適に用いることができる。
【０１０９】
［電子機器］
次いで、本発明の一実施形態に係る電子デバイスとしての振動子１、あるいは電子デバイスとしてのジャイロセンサー２００を適用した電子機器について、図９〜図１１に基づき、詳細に説明する。なお、説明では、ジャイロ素子２を用いた振動子１を適用した例を示している。
【０１１０】
図９は、本発明の一実施形態に係る電子デバイスとしての振動子１を備える電子機器としてのモバイル型（又はノート型）のパーソナルコンピューターの構成の概略を示す斜視図である。この図において、パーソナルコンピューター１１００は、キーボード１１０２を備えた本体部１１０４と、表示部１００を備えた表示ユニット１１０６とにより構成され、表示ユニット１１０６は、本体部１１０４に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。このようなパーソナルコンピューター１１００には、角速度を検出する機能を備えたジャイロ素子２を用いた振動子１が内蔵されている。
【０１１１】
図１０は、本発明の一実施形態に係る電子デバイスとしての振動子１を備える電子機器としての携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成の概略を示す斜視図である。この図において、携帯電話機１２００は、複数の操作ボタン１２０２、受話口１２０４および送話口１２０６を備え、操作ボタン１２０２と受話口１２０４との間には、表示部１００が配置されている。このような携帯電話機１２００には、角速度センサー等として機能するジャイロ素子２を用いた振動子１が内蔵されている。
【０１１２】
図１１は、本発明の一実施形態に係る電子デバイスとしての振動子１を備える電子機器としてのデジタルスチールカメラの構成の概略を示す斜視図である。なお、この図には、外部機器との接続についても簡易的に示されている。ここで、通常のカメラは、被写体の光像により銀塩写真フィルムを感光するのに対し、デジタルスチールカメラ１３００は、被写体の光像をＣＣＤ（Charge Coupled Device）等の撮像素子により光電変換して撮像信号（画像信号）を生成する。
【０１１３】
デジタルスチールカメラ１３００におけるケース（ボディー）１３０２の背面には、表示部１００が設けられ、ＣＣＤによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、表示部１００は、被写体を電子画像として表示するファインダーとして機能する。また、ケース１３０２の正面側（図中裏面側）には、光学レンズ（撮像光学系）やＣＣＤ等を含む受光ユニット１３０４が設けられている。
【０１１４】
撮影者が表示部１００に表示された被写体像を確認し、シャッターボタン１３０６を押下すると、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、メモリー１３０８に転送・格納される。また、このデジタルスチールカメラ１３００においては、ケース１３０２の側面に、ビデオ信号出力端子１３１２と、データ通信用の入出力端子１３１４とが設けられている。そして、図示されるように、ビデオ信号出力端子１３１２にはテレビモニター１４３０が、データ通信用の入出力端子１３１４にはパーソナルコンピューター１４４０が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、メモリー１３０８に格納された撮像信号が、テレビモニター１４３０や、パーソナルコンピューター１４４０に出力される構成になっている。このようなデジタルスチールカメラ１３００には、角速度センサー等として機能するジャイロ素子２を用いた振動子１が内蔵されている。
【０１１５】
なお、本発明の一実施形態に係る振動子１は、図９のパーソナルコンピューター（モバイル型パーソナルコンピューター）、図１０の携帯電話機、図１１のデジタルスチールカメラの他にも、例えば、インクジェット式吐出装置（例えばインクジェットプリンター）、ラップトップ型パーソナルコンピューター、テレビ、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダー、カーナビゲーション装置、ページャー、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシミュレーター等の電子機器に適用することができる。
【０１１６】
［移動体］
図１２は移動体の一例としての自動車を概略的に示す斜視図である。自動車１０６には本発明に係る電子デバイスとしての振動子１が搭載されている。例えば、同図に示すように、移動体としての自動車１０６には、ジャイロ素子２を用いた振動子１を内蔵してタイヤ１０９などを制御する電子制御ユニット１０８が車体１０７に搭載されている。また、振動子１は、他にもキーレスエントリー、イモビライザー、カーナビゲーションシステム、カーエアコン、アンチロックブレーキシステム（ＡＢＳ）、エアバック、タイヤ・プレッシャー・モニタリング・システム（ＴＰＭＳ：Tire Pressure Monitoring System）、エンジンコントロール、ハイブリッド自動車や電気自動車の電池モニター、車体姿勢制御システム、等の電子制御ユニット（ＥＣＵ：electronic control unit）に広く適用できる。
【符号の説明】
【０１１７】
１…電子デバイスとしての振動子、２…素子としてのジャイロ素子、４…振動体、８…導電性固定部材（銀ペースト）、９…パッケージ、１０…接続パッド、４１…基部、５１…第１支持部、５２…第２支持部、６１…第１梁、６２…第２梁、６３…第３梁、６４…第４梁、６１ａ、６１ｂ、６２ａ、６２ｂ、６３ａ、６３ｂ、６４ａ、６４ｂ…突起部、９１…ベース、９２…蓋体としてのリッド、９２ａ…第１面、９２ｂ…第２面、９２ｃ…外周面、９３…シームリング、９４ａ、９４ｂ…第１溝、９４ａ’、９４ｂ’…第２溝、９５…封止部、９７…シーム溶接機のローラー電極、９８…レーザー光、１０６…移動体としての自動車、１１０…接続パッド、１１１…パッケージ（ベース）、１１２…ＩＣ、１１５、１２０…側壁、１１７…シームリング、１１８…接続電極、１２２…外部端子、１２４…金バンプ、１２５ａ…第１基板、１２５ｂ…第２基板、１２５ｃ…第３基板、１２７…導電性固定部材、１３１…アンダーフィル、２００…電子デバイスとしてのジャイロセンサー、４２１…第１検出振動腕、４２２…第２検出振動腕、４２５、４２６、４４５、４４６、４４７，４４８…重量部（ハンマーヘッド）、４３１…第１連結腕、４３２…第２連結腕、４４１…第１駆動振動腕、４４２…第２駆動振動腕、４４３…第３駆動振動腕、４４４…第４駆動振動腕、７１４…検出信号端子、７２４…検出接地端子、７３４…駆動信号端子、７４４…駆動信号端子、９１１…底板、９１２…側壁、１１００…電子機器としてのモバイル型のパーソナルコンピューター、１２００…電子機器としての携帯電話機、１３００…電子機器としてのデジタルスチールカメラ、Ｃ１、Ｃ２…仮想線、Ｇ…リッドの中心。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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