(57)【要約】      （修正有）【課題】内部にインクが浸入する可能性を低減することができる液体吐出ヘッドを提供する。【解決手段】液体吐出ヘッド２は、複数の吐出孔、複数の吐出孔と連通する複数の加圧室、および複数の加圧室に対応して設けられた複数の加圧部を有するヘッド本体１３と、ヘッド本体１３上に設けられ、ヘッド本体１３を保護するカバー部材４０と、カバー部材４０上に設けられた位置決め部材７０と、を備え、カバー部材４０は、第１カバー部材４２と、第１カバー部材４２上に設けられた第２カバー部材４４とを有しており、第１カバー部材４２と第２カバー部材４４とが嵌合部４６にて嵌め合わされており、嵌合部４６がヘッド本体１３と位置決め部材７０とで挟持されている。【選択図】図１
2014162076.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の吐出孔、複数の該吐出孔と連通する複数の加圧室、および複数の該加圧室に対応して設けられた複数の加圧部を有するヘッド本体と、
該ヘッド本体上に設けられ、該ヘッド本体を保護するカバー部材と、
該カバー部材上に設けられた位置決め部材と、を備え、
前記カバー部材は、第１カバー部材と、該第１カバー部材上に設けられた第２カバー部材とを有しており、
前記第１カバー部材と前記第２カバー部材とが嵌合部にて嵌め合わされており、
該嵌合部が前記ヘッド本体と前記位置決め部材とで挟持されていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記第１カバー部材が前記第２カバー部材に向けて突出した第１凸部を有し、
前記第２カバー部材が前記第１カバー部材に向けて突出した第２凸部を有し、
前記嵌合部は、前記第１凸部と前記第２凸部とが隣り合って構成されている、請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記第２凸部が、前記第１凸部よりも外側に配置されている、請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記第１凸部および前記第２凸部は、互いに対向する第１対向面を有しており、
前記第１凸部および前記第２カバー部材は、互いに対向する第２対向面を有しており、
前記第２凸部および前記第１カバー部材は、互いに対向する第３対向面を有しており、
前記第１対向面の表面粗さは、前記第２対向面の表面粗さ、および、前記第３対向面の表面粗さよりも粗い、請求項２または３に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記第１凸部および前記第２凸部は、一方方向に長く延在しており、かつ平面視して、複数の凹凸を有しており、
前記第１凸部の複数の前記凹凸と、前記第２凸部の複数の前記凹凸とが嵌め合わされている、請求項２乃至４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
前記嵌合部は、内部に隙間部を有する、請求項２乃至５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】
前記位置決め部材が、両端部に位置決め部を有しており、
前記カバー部材は、前記位置決め部材の前記位置決め部に向けて突出する支持部を有する、請求項１乃至６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項８】
請求項１乃至７のいずれかに記載の液体吐出ヘッドと、
記録媒体を前記液体吐出ヘッドに対して搬送する搬送部と、
前記液体吐出ヘッドを制御する制御部と、を備えることを特徴とする記録装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体吐出ヘッド、および記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、インクジェットプリンタあるいはインクジェットプロッタなどの、インクジェット記録方式を利用した記録装置が、一般消費者向けのプリンタだけでなく、例えば電子回路の形成、液晶ディスプレイ用のカラーフィルタの製造、有機ＥＬディスプレイの製造といった工業用途にも広く利用されている。
【０００３】
このようなインクジェット方式の記録装置は、液体吐出ヘッドと、記録媒体を液体吐出ヘッドに対して搬送する搬送部と、液体吐出ヘッドを制御する制御部とを備え、この液体吐出ヘッドを駆動することにより印刷が行われている。
【０００４】
液体吐出ヘッドは、複数の吐出孔、複数の吐出孔と連通する複数の加圧室、および複数の加圧室に対応して設けられた複数の加圧部を有するヘッド本体と、ヘッド本体上に設けられ、該ヘッド本体を保護するカバー部材とを備えている（例えば、特許文献１参照）。また、液体吐出ヘッドは電気信号を供給するためのフレキシブル配線板を有しており、フレキシブル配線板は、カバー部材に設けられた貫通孔を通過してコネクタに接続されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１１−２０６９４５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記の液体吐出ヘッドは、カバー部材が箱形状に形成されており、フレキシブル配線板が貫通孔を通過しにくい可能性がある。そのため、第１カバー部材と、第２カバー部材とを有するとともに、第１カバー部材と第２カバー部材とが貫通孔を形成し、第１カバー部材と第２カバー部材とが嵌合部にて接続されているカバー部材を利用することが考えられる。しかしながら、この液体吐出ヘッドは、カバー部材の嵌合部から液体吐出ヘッドの内部に、例えば霧状のインクが入り込む可能性がある。それにより、侵入したインクに起因して液体吐出ヘッドに不具合が生じる可能性がある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の液体吐出ヘッドは、複数の吐出孔、複数の該吐出孔と連通する複数の加圧室、および複数の該加圧室に対応して設けられた複数の加圧部を有するヘッド本体と、該ヘッド本体上に設けられ、該ヘッド本体を保護するカバー部材と、該カバー部材上に設けられた位置決め部材とを備えている。また、前記カバー部材は、第１カバー部材と、該第１カバー部材上に設けられた第２カバー部材とを有しており、前記第１カバー部材と前記第２カバー部材とが嵌合部にて嵌め合わされており、該嵌合部が前記ヘッド本体と前記位置決め部材とで挟持されている。
【０００８】
また、本発明の記録装置は、上記の液体吐出ヘッドと、記録媒体を前記液体吐出ヘッドに対して搬送する搬送部と、前記液体吐出ヘッドを制御する制御部とを備えている。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の液体吐出ヘッドによれば、内部にインクが浸入する可能性を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の一実施形態に係る液体吐出ヘッドの分解斜視図である。
【図２】図１の液体吐出ヘッドを構成する流路部材および圧電アクチュエータの平面図である。
【図３】図２の一点鎖線に囲まれた領域の拡大図である。
【図４】図２の一点鎖線に囲まれた領域の拡大図であり、説明のため一部の流路を省略した図である。
【図５】図３のＩ−Ｉ線縦断面図である。
【図６】図１に示すカバー部材の斜視図である。
【図７】（ａ）は位置決め部材の平面図、（ｂ）は図１に示す液体吐出ヘッドの側面図である。
【図８】図１に示すカバー部材の嵌合部を拡大して示し、（ａ）は斜視図、（ｂ）は断面図である。
【図９】図１に示す液体吐出ヘッドの断面図である。
【図１０】図１の液体吐出ヘッドの斜視図である。
【図１１】本発明の一実施形態に係る液体吐出ヘッドを搭載した記録装置であるプリンタの概略構成図である。
【図１２】本発明の他の実施形態に係るカバー部材を示し、（ａ）は分解斜視図であり、（ｂ）は斜視図である。
【図１３】（ａ）は図１２に示すカバー部材の嵌合部の拡大斜視図であり、（ｂ）は（ａ）の断面図である。（ｃ）は他の実施形態に係るカバー部材の嵌合部の拡大斜視図であり、（ｄ）は（ｃ）の断面図である。（ｅ）は他の実施形態の嵌合部の断面図であり、（ｆ）は他の実施形態の嵌合部の断面図である。
【図１４】さらに他の実施形態に係るカバー部材の嵌合部を示し、（ａ）は拡大斜視図、（ｂ）は嵌合部の拡大平面図、（ｃ）は嵌合部の断面図である。
【図１５】さらに他の実施形態に係るカバー部材と位置合わせ部材を示し、（ａ）は分解斜視図、（ｂ）はカバー部材と位置合わせ部材とを組み合わせた拡大斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
＜第１実施形態＞
図１〜１０を用いて液体吐出ヘッド２の説明をする。
【００１２】
図１に示すように、液体吐出ヘッド２は、ヘッド本体１３と、カバー部材４０と、位置決め部材７０と、基板９４とを有している。
【００１３】
ヘッド本体１３は、液体を吐出する機能を有しており、吐出孔８（図５参照）を有している。また、流路部材４と、流路部材４上に設けられた複数の圧電アクチュエータ２１と、流路部材４上に設けられた分岐流路部材６０とを有している。各圧電アクチュエータ２１にはフレキシブル配線板９２が接続されており、フレキシブル配線板９２上にドライバＩＣ５５が設けられている。ヘッド本体上１３上に配置された分岐流路部材６０は、供給された液体を流路部材４に向けて分岐する機能を有している。なお、図１では、液体が流入する液体導入孔は省略している。
【００１４】
カバー部材４０は、流路部材４上に設けられており、第１カバー部材４２と第２カバー部材４４とにより構成されている。カバー部材４０は、ヘッド本体１３を保護する機能と、位置決め部材７０を保持する機能を有している。第１カバー部材４２は４つの切欠部４２ａと、中央部にリザーバ流路４１となる開口と、底面に分岐流路部材６０を収容する凹
部（不図示）とを有している。第２カバー部材４４は中央部に大きな開口４４ａを有している。
【００１５】
そして、図６に示すように、第２カバー部材４４の開口４４ａに第１カバー部材４２が配置され、第１カバー部材４２と第２カバー部材４４とは嵌合部４６にて接合されている。そのため、カバー部材４２は、第１カバー部材４２の４つの切欠部４２ａと、第２カバー部材４４の貫通孔４４ａとにより貫通孔が設けられている。この４つの貫通孔には、ヘッド本体１３から延びるフレキシブル配線板９２が挿通されている。
【００１６】
位置決め部材７０は、カバー部材４０上に設けられている。位置決め部材７０は、位置決め部７１と、螺子止め用の螺子７２（図７参照）が挿入される開口７５と、開口７５が設けられた支持部７３とを有している。位置決め部材７０は、中央部に大きな開口部７０aが設けられており、開口部７０aを取り囲むように枠状部７２ｂが設けられている。
【００１７】
基板９４は、位置決め部材７０上に設けられており、位置決め部材７０の開口部７０a
内に配置されている。基板９４上には、コンデンサあるいはマイクロプロセッサ等の種々の電子部品および配線が設けられている。基板９４上に設けられた配線は、コネクタ９５に電気的に接続されており、フレキシブル配線板９２の一端がコネクタ９５に収容されることにより、電気的に接続されている。
【００１８】
制御部１００（図１１参照）から信号ケーブル（不図示）を介して基板９４に送られた駆動信号は、コネクタ９５を介してフレキシブル配線板９２に送られる。フレキシブル配線板９２に実装されたドライバＩＣ５５は、駆動信号を処理し、処理後の駆動信号はフレキシブル配線板９２を通じて、圧電アクチュエータ基板２１の液体吐出素子である加圧部５０（図５参照）を駆動し、流路部材４内部の液体を加圧することにより、液滴が吐出される。なお、基板９４は、例えば、吐出信号を複数のドライバＩＣ５５に分岐し、あるいは吐出信号の整流など行なってもよいが、基板９４を設けず、制御部１００からの信号ケーブルを直接フレキシブル配線板９２に接続するようにしてもよい。
【００１９】
フレキシブル配線板９２は可撓性を有する帯状のもので、内部に金属の配線を有し、配線の一部は、フレキシブル配線板９２の表面に露出しており、露出した配線により、コネクタ９５、ドライバＩＣ５５および圧電アクチュエータ基板２１と電気的に接続される。フレキシブル配線板９２は、例えば、フレキシブルフラットケーブル、あるいはフレキシブルプリント配線板（ＦＰＣ）を例示することができる。
【００２０】
図２〜５を用いてヘッド本体１３を構成する各部材について説明する。図２は、ヘッド本体１３のうち流路部材４および圧電アクチュエータ２１を示す平面図である。図３は、図２の一点鎖線で囲まれた領域の拡大平面図であり、ヘッド本体１３の一部である。図４は、図３と同じ位置の拡大透視図で、吐出孔８の位置が分かりやすいように、一部の流路を省略して描いている。なお、図３，４において、図面を分かりやすくするために、圧電アクチュエータ基板２１の下方にあって破線で描くべき加圧室１０（加圧室群９）、しぼり１２および吐出孔８を実線で描いている。図５は図３のＩ−Ｉ線に沿った縦断面図である。
【００２１】
ヘッド本体１３は、平板状の流路部材４と、流路部材４上に設けられた、加圧部５０（図５参照）を含む圧電アクチュエータ基板２１と、流路部材４上に設けられた分岐流路部材６０とを有している。圧電アクチュエータ基板２１は台形形状をなしており、台形の１対の平行対向辺が流路部材４の長手方向に平行になるように流路部材４の上面に配置されている。
【００２２】
また、流路部材４の長手方向に平行な２本の仮想直線のそれぞれに沿って２つずつ、つまり合計４つの圧電アクチュエータ基板２１が、全体として千鳥状に流路部材４上に配列されている。流路部材４上で隣り合う圧電アクチュエータ基板２１の斜辺同士は、流路部材４の短手方向について部分的にオーバーラップしている。オーバーラップしている部分の圧電アクチェータユニットを駆動することにより印刷される領域では、２つの圧電アクチュエータ基板２１により吐出された液滴が混在して着弾することになる。
【００２３】
流路部材４の内部にはマニホールド５が形成されている。マニホールド５は流路部材４の長手方向に沿って延び細長い形状を有しており、流路部材４の上面にはマニホールド５の開口５ｂが形成されている。開口５ｂは、流路部材４の長手方向に平行な２本の直線（仮想線）のそれぞれに沿って５個ずつ、合計１０個形成されている。開口５ｂは、４つの圧電アクチュエータ基板２１が配置された領域を避ける位置に形成されている。マニホールド５には開口５ｂを通じて液体タンク（不図示）から液体が供給されている。
【００２４】
流路部材４内に形成されたマニホールド５は、複数本に分岐している。なお。分岐した部分のマニホールド５を副マニホールド５ａということがあり、開口５ｂから副マニホールド５ａまでのマニホールド５を液体供給路５ｃと称する場合がある。開口５ｂに繋がる液体供給路５ｃは、圧電アクチュエータ基板２１の斜辺に沿うように延在しており、流路部材４の長手方向と交差して配置されている。２つの圧電アクチュエータ基板２１に挟まれた領域では、１つのマニホールド５が、隣り合う圧電アクチュエータ基板２１に共有されており、副マニホールド５ａがマニホールド５の両側から分岐している。これらの副マニホールド５ａは、流路部材４の内部の各圧電アクチュエータ基板２１に対向する領域に互いに隣り合うヘッド本体１３の長手方向に延在している。すなわち、副マニホールド５ａの両端は、液体供給路５ｃに繋がっている。
【００２５】
流路部材４は、複数の加圧室１０がマトリクス状（すなわち、２次元的かつ規則的）に形成されている４つの加圧室群９を有している。加圧室１０は、角部にアールが施されたほぼ菱形の平面形状を有する中空の領域である。加圧室１０は流路部材４の上面に開口するように形成されている。これらの加圧室１０は、流路部材４の上面における圧電アクチュエータ基板２１に対向する領域のほぼ全面にわたって配列されている。したがって、各加圧室群９は、圧電アクチュエータ基板２１と略同一の大きさおよび形状の領域を占有している。また、各加圧室１０の開口は、流路部材４の上面に圧電アクチュエータ基板２１が接着されることで閉塞されている。
【００２６】
本実施形態では、図３に示されているように、マニホールド５は、流路部材４の短手方向に互いに平行に並んだ４列のＥ１〜Ｅ４の副マニホールド５ａに分岐している。各副マニホールド５ａに繋がった加圧室１０は、等間隔に流路部材４の長手方向に並ぶ加圧室１０の列を構成し、その列は、短手方向に互いに平行に４列配列されている。副マニホールド５ａに繋がった加圧室１０の並ぶ列は、副マニホールド５ａの両側に２列ずつ配列されている。
【００２７】
全体では、マニホールド５から繋がる加圧室１０は、等間隔に流路部材４の長手方向に並ぶ加圧室１０の列を構成し、その列は、短手方向に互いに平行に１６列配列されている。各加圧室列に含まれる加圧室１０の数は、加圧部である変位素子５０の外形形状に対応して、その長辺側から短辺側に向かって次第に少なくなるように配置されている。吐出孔８もこれと同様に配置されている。これによって、全体として長手方向に６００ｄｐｉの解像度で画像形成が可能となっている。
【００２８】
つまり、流路部材４の長手方向に平行な仮想直線に対して直交するように吐出孔８を投影すると、図４に示した仮想直線のＲの範囲に、各副マニホールド５ａ繋がっている４つ
の吐出孔８、つまり全部で１６個の吐出孔８が６００ｄｐｉの等間隔になっている。また、各副マニホールド５ａには平均すれば１５０ｄｐｉに相当する間隔で個別流路３２が接続されている。これは、６００ｄｐｉ分の吐出孔８を４つ列の副マニホールド５ａに分けて繋ぐ設計をする際に、各副マニホールド５ａに繋がる個別流路３２が等しい間隔で繋がるとは限らないため、マニホールド５ａの延在方向、すなわち主走査方向に平均１７０μｍ（１５０ｄｐｉならば２５．４ｍｍ／１５０＝１６９μｍ間隔である）以下の間隔で個別流路３２が形成されている。
【００２９】
圧電アクチュエータ基板２１の上面における各加圧室１０に対向する位置には後述する個別電極３５がそれぞれ形成されている。個別電極３５は加圧室１０より一回り小さく、加圧室１０とほぼ相似な形状を有しており、圧電アクチュエータ基板２１の上面における加圧室１０と対向する領域内に収まるように配置されている。
【００３０】
流路部材４の下面の液体吐出面４ａには多数の吐出孔８が形成されている。これらの吐出孔８は、流路部材４の下面側に配置された副マニホールド５ａと対向する領域を避けた位置に配置されている。
【００３１】
また、これらの吐出孔８は、流路部材４の下面側における圧電アクチュエータ基板２１と対向する領域内に配置されている。これらの吐出孔８は、１つの群として圧電アクチュエータ基板２１とほぼ同一の大きさおよび形状の領域を占有しており、対応する圧電アクチュエータ基板２１の変位素子５０を変位させることにより吐出孔８から液滴が吐出できる。吐出孔８は、流路部材４の長手方向に平行な複数の直線に沿って等間隔に配列されている。
【００３２】
ヘッド本体１３に含まれる流路部材４は、複数のプレートが積層された積層構造を有している。これらのプレートは、流路部材４の上面から順に、キャビティプレート２２、ベースプレート２３、アパーチャ（しぼり）プレート２４、サプライプレート２５、２６、マニホールドプレート２７，２８，２９、カバープレート３０およびノズルプレート３１である。これらのプレートには多数の孔が形成されている。各プレートは、これらの孔が互いに連通して個別流路３２および副マニホールド５ａを構成するように、位置合わせして積層されている。
【００３３】
ヘッド本体１３は、図５に示されているように、加圧室１０は流路部材４の上面に、副マニホールド５ａは内部の下面側に、吐出孔８は下面に、個別流路３２を構成する各部分が異なる位置に互いに近接して配設され、加圧室１０を介して副マニホールド５ａと吐出孔８とが繋がる構成を有している。
【００３４】
各プレートに形成された孔について説明する。これらの孔には、次のようなものがある。
【００３５】
第１に、キャビティプレート２２に形成された加圧室１０である。
【００３６】
第２に、加圧室１０の一端から副マニホールド５ａへと繋がる流路を構成する連通孔である。この連通孔は、ベースプレート２３（詳細には加圧室１０の入り口）からサプライプレート２５（詳細には副マニホールド５ａの出口）までの各プレートに形成されている。なお、この連通孔には、アパーチャプレート２４に形成されたしぼり１２と、サプライプレート２５、２６に形成された個別供給流路６とが含まれている。
【００３７】
第３に、加圧室１０の他端から吐出孔８へと連通する流路を構成する連通孔であり、この連通孔は、以下の記載においてディセンダ（部分流路）と呼称される。ディセンダは、
ベースプレート２３（詳細には加圧室１０の出口）からノズルプレート３１（詳細には吐出孔８）までの各プレートに形成されている。
【００３８】
第４に、副マニホールド５ａを構成する連通孔である。この連通孔は、マニホールドプレート２７〜２９に形成されている。
【００３９】
このような連通孔が相互に繋がり、副マニホールド５ａからの液体の流入口（副マニホールド５ａの出口）から吐出孔８に至る個別流路３２を構成している。副マニホールド５ａに供給された液体は、以下の経路で吐出孔８から吐出される。まず、副マニホールド５ａから上方向に向かって、個別供給流路６を通り、しぼり１２の一端部に至る。次に、しぼり１２の延在方向に沿って水平に進み、しぼり１２の他端部に至る。そこから上方に向かって、加圧室１０の一端部に至る。さらに、加圧室１０の延在方向に沿って水平に進み、加圧室１０の他端部に至る。そこから少しずつ水平方向に移動しながら、主に下方に向かい、下面に開口した吐出孔８へと進む。
【００４０】
圧電アクチュエータ基板２１は、図５に示されるように、２枚の圧電セラミック層２１ａ，２１ｂからなる積層構造を有している。これらの圧電セラミック層２１ａ，２１ｂはそれぞれ２０μｍ程度の厚さを有している。圧電アクチュエータ基板２１全体の厚さは４０μｍ程度である。圧電セラミック層２１ａ，２１ｂのいずれの層も複数の加圧室１０を跨ぐように延在している（図３参照）。これらの圧電セラミック層２１ａ，２１ｂは、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系のセラミックス材料により形成することができる。
【００４１】
圧電アクチュエータ基板２１は、Ａｇ−Ｐｄ系などの金属材料からなる共通電極３４およびとＡｕ系などの金属材料からなる個別電極３５を有している。個別電極３５は上述のように圧電アクチュエータ基板２１の上面における加圧室１０と対向する位置に配置されている。個別電極３５の一端は、加圧室１０と対向する領域外に引き出されて接続電極３６が形成されている。この接続電極３６は例えばガラスフリットを含む銀−パラジウムからなり、厚さが１５μｍ程度で凸状に形成されている。また、接続電極３６は、フレキシブル配線板９２に設けられた電極と電気的に接合されている。詳細は後述するが、個別電極３５には、制御部１００（図１０参照）からフレキシブル配線板９２を通じて駆動信号が供給される。駆動信号は、印刷媒体Ｐの搬送速度と同期して一定の周期で供給される。
【００４２】
共通電極３４は、圧電セラミック層２１ａと圧電セラミック層２１ｂとの間の領域に面方向のほぼ全面にわたって形成されている。すなわち、共通電極３４は、圧電アクチュエータ基板２１に対向する領域内の全ての加圧室１０を覆うように延在している。共通電極３４の厚さは２μｍ程度である。共通電極３４は図示しない領域において接地され、グランド電位に保持されている。本実施形態では、圧電セラミック層２１ｂ上において、個別電極３５からなる電極群を避ける位置に個別電極３５とは異なる表面電極（不図示）が形成されている。表面電極は、圧電セラミック層２１ｂの内部に形成されたスルーホールを介して共通電極３４と電気的に接続されているとともに、多数の個別電極３５と同様に、フレキシブル配線板９２上の別の電極と接続されている。
【００４３】
図５に示されるように、共通電極３４と個別電極３５とは、最上層の圧電セラミック層２１ｂのみを挟むように配置されている。圧電セラミック層２１ｂにおける個別電極３５と共通電極３４とに挟まれた領域は活性部と呼称され、活性部に対応する圧電セラミックスには分極が施されている。本実施形態の圧電アクチュエータ基板２１においては、最上層の圧電セラミック層２１ｂのみが活性部を含んでおり、圧電セラミック２１ａは活性部を含んでおらず、振動板として働く。圧電アクチュエータ基板２１はいわゆるユニモルフタイプの構成を有している。
【００４４】
なお、後述のように、個別電極３５に選択的に所定の駆動信号が供給されることにより、個別電極３５に対応する加圧室１０内の液体に圧力が加えられる。これによって、個別流路３２を通じて、対応する液体吐出口８から液滴が吐出される。すなわち、圧電アクチュエータ基板２１における各加圧室１０に対向する部分は、各加圧室１０および液体吐出口８に対応する個別の加圧部５０に相当する。つまり、２枚の圧電セラミック層からなる積層体中には、図５に示されているような構造を単位構造とする加圧部５０が加圧室１０毎に、加圧室１０の直上に位置する振動板２１ａ、共通電極３４、圧電セラミック層２１ｂ、個別電極３５により作り込まれており、圧電アクチュエータ基板２１には加圧部５０が複数含まれている。なお、本実施形態において１回の吐出動作によって液体吐出口８から吐出される液体の量は５〜７ｐｌ（ピコリットル）程度である。
【００４５】
多数の個別電極３５は、個別に電位を制御することができるように、それぞれがフレキシブル配線板９２および配線を介して、個別に制御部１００に電気的に接続されている。
【００４６】
本実施形態における圧電アクチュエータ基板２１においては、個別電極３５を共通電極３４と異なる電位にして圧電セラミック層２１ｂに対してその分極方向に電界を印加したとき、この電界が印加された部分が、圧電効果により歪む活性部として働く。この時圧電セラミック層２１ｂは、積層方向に伸長または収縮し、圧電横効果により積層方向と垂直な方向すなわち面方向には収縮または伸長しようとする。一方、残りの圧電セラミック層２１ａは、個別電極３５と共通電極３４とに挟まれた領域を持たない非活性層であるので、自発的に変形しない。つまり、圧電アクチュエータ基板２１は、上側の圧電セラミック層２１ｂを、活性部を含む層とし、かつ下側の圧電セラミック層２１ａを非活性層とした、いわゆるユニモルフタイプの構成となっている。
【００４７】
この構成において、電界と分極とが同方向となるように、制御部１００により個別電極３５を共通電極３４に対して正または負の所定電位とすると、圧電セラミック層２１ｂの電極に挟まれた部分（活性部）が、面方向に収縮する。一方、非活性層の圧電セラミック層２１ａは電界の影響を受けないため、自発的には縮むことがなく活性部の変形を規制しようとする。この結果、圧電セラミック層２１ｂと圧電セラミック層２１ａとの間で分極方向への歪みに差が生じて、圧電セラミック層２１ｂは加圧室１０側へ凸となるように変形（ユニモルフ変形）する。
【００４８】
本実施の形態における実際の駆動手順は、予め個別電極３５を共通電極３４より高い電位とする第１の電圧Ｖ１（Ｖ）（ボルト、以下で省略することがある）にしておき、吐出要求がある毎に個別電極３５を共通電極３４とを一旦、第１の電圧Ｖ１よりも低い第２の電圧を加えて低電位、例えば同じ電位にし、その後所定のタイミングで再び高電位とする。これにより、個別電極３５が低電位になるタイミングで、圧電セラミック層２１ａ，２１ｂが元の形状に戻り、加圧室１０の容積が初期状態（両電極の電位が異なる状態）と比較して増加する。このとき、加圧室１０内に負圧が与えられ、液体がマニホールド５側から加圧室１０内に吸い込まれる。
【００４９】
その後再び個別電極３５を高電位にしたタイミングで、圧電セラミック層２１ａ，２１ｂが加圧室１０側へ凸となるように変形し、加圧室１０の容積減少により加圧室１０内の圧力が正圧となり液体への圧力が上昇し、液滴が吐出される。つまり、液滴を吐出させるため、高電位を基準とするパルスを含む駆動信号を個別電極３５に供給することになる。このパルス幅は、加圧室１０内において圧力波がマニホールド５から吐出孔８まで伝播する時間長さであるＡＬ（Acoustic Length）が理想的である。これによると、加圧室１０
内部が負圧状態から正圧状態に反転するときに両者の圧力が合成され、より強い圧力で液滴を吐出させることができる。
【００５０】
また、階調印刷においては、吐出孔８から連続して吐出される液滴の数、つまり液滴吐出回数で調整される液滴量（体積）で階調表現が行われる。このため、指定された階調表現に対応する回数の液滴吐出を、指定されたドット領域に対応する吐出孔８から連続して行なう。一般に、液体吐出を連続して行なう場合は、液滴を吐出させるために供給するパルスとパルスとの間隔をＡＬとすることが好ましい。これにより、先に吐出された液滴を吐出させるときに発生した圧力の残余圧力波と、後に吐出させる液滴を吐出させるときに発生する圧力の圧力波との周期が一致し、これらが重畳して液滴を吐出するための圧力を増幅させることができる。なお、この場合後から吐出される液滴の速度が速くなると考えられるが、その方が複数の液滴の着弾点が近くなり好ましい。
【００５１】
図６〜８を用いて、カバー部材４０および位置決め部材７０について説明する。
【００５２】
カバー部材４０は、第１カバー部材４２と第２カバー部材４４とを備えている。第１カバー部材４２は第２カバー部材４４の開口４４aの内部に配置されている。第１カバー部
材４２の凹部（不図示）には分岐流路部材６０が収容されている。カバー部材４０は、下方に設けられた圧電アクチュエータ２１と、圧電アクチュエータ２１およびフレキシブル配線板９２の電気的接続部とを保護するとともに、位置決め部材７０の変形を抑えるように機能している。
【００５３】
第１カバー部材４２は、立方体形状をなしており、側面に４つの切欠部４２aを有して
いる。また、短手方向の中央部にリザーバ流路４１と液体導入孔４１ｂと液体導出孔４１ａとを備えている。液体導入孔４１ｂは長手方向の端部に設けられており、液体導出孔４１ａは、長手方向の中央部に設けられている。そのため、リザーバ流路４１は、長手方向の端部から中央部に延びるように設けられている。
【００５４】
第２カバー部材４４は、中央部に大きな開口４４ａを有しており、開口４４ａは貫通している。そのため、第２カバー部材４４は、枠形状をなしている。第２カバー部材４４は、長手方向における両端部に、カバー部材４０を固定するための螺子７２が嵌め合わされる螺子穴４４ｄを有している。
【００５５】
そして、第１カバー部材４２と第２カバー部材４４とは、嵌合部４６にて嵌め合わされている。図８（ａ），（ｂ）に示すように、嵌合部４６は、第１カバー部材４２と、第２カバー部材４４とにより形成されており、より具体的には、第１カバー部材４２の第１凸部４２ｂと、第２カバー部材４４の第２凸部４４ｂとにより形成されている。第１凸部４２ｂは第２カバー部材４４の第２凸部４４ｂに隣り合うように配置され、第２凸部４４ｂは第１カバー部材４２の第１凸部４２ｂに隣り合うように配置されている。このようにして、嵌合部４６にて第１カバー部材４２と第２カバー部材４４とが嵌め合わされている。なお、図示していないが、嵌合部４６は、エポキシ系の樹脂等の接着剤により接着されていることが好ましい。
【００５６】
位置決め部材７０は、中央部大きな開口部７０ａと、開口部７０ａを取り囲むように枠状部７０ｂとを有している。そのため、位置決め部材７０ａは、平面視して、枠形状をなしている。位置決め部材７０ａは、長手方向の両端部に支持部７４を有しており、支持部７４から位置決め部７１がそれぞれ突出している。支持部７４には、開口（不図示）が設けられており、開口に螺子７２が嵌めこまれている。この螺子７２は、位置決め部材７０の開口と第２カバー部材４４の螺子穴４４ｄとに挿入されており、先端が流路部材４に埋め込まれている。それにより、位置決め部材７０側から螺子７２により、カバー部材４０と流路部材４とが接合されている。このように、位置決め部材７０と流路部材４とが螺子止め固定されていることにより、位置決め部材７０と、流路部材４が備える吐出孔８との
位置精度を高くすることができる。なお、図示していないが、流路部材４と分岐流路部材６０とは、エポキシ系の樹脂等の接着剤により接着されている。
【００５７】
螺子７２により一体化された液体吐出ヘッド２は、位置決め部材７０により位置決めされ、プリンタ（不図示）に搭載される。位置決めは、プリンタに立設して設けられた２つの位置決めピン７３に位置決め部７１を当接させることにより行われる。まず、プリンタの一方の位置決めピン７３に、位置決め部材７の一方の位置決め部７１を図７（ａ）に示すように当接させる。次に、当接させた位置決めピン７３を中心に液体吐出ヘッド２を回転させ、他方の位置決め部７１を他方の位置決めピン７３に当接させる。このようにして、位置決めを行うことで液体吐出ヘッド２が搬送方向に対して傾くことなくプリンタに搭載することができる。
【００５８】
また、位置決め部材７０は、プリンタに取り付けられる際に位置決めに用いられる、長手方向の両端部分が、一体化されつながった構造になっている。そのため、両端部分のそれぞれを別部材とするよりも、外部から加わった力に対して位置ずれしにくい構成となっている。また、一体化されているため、組立がしやすい構成となっている。
【００５９】
図７，８を用いて、カバー部材４０の嵌合部４６とヘッド本体１３と位置決め部材７０との位置関係について説明する。
【００６０】
図７（ｂ），８に示すように、嵌合部４６の上方には位置決め部材７０の枠状部７０ｂが配置されている。また、嵌合部４６の下方には流路部材４が配置されており、嵌合部４６の下方にヘッド本体１３が配置されることとなる。
【００６１】
それにより、嵌合部４６が、ヘッド本体１３と位置決め部材７０により挟持されることとなる。上述したように、ヘッド本体１３の流路部材４と位置決め部材７０とは、螺子７２により螺子止めされている。そのため、嵌合部４６が、上方向および下方向から押圧されることとなる。より具体的には、位置決め部材７０の枠状部７０ｂと、流路部材４とにより押圧されることとなる。その結果、嵌合部４６が強固に接合されることとなる。それゆえ、嵌合部４６から霧状のインクが侵入する可能性を低減することができ、液体吐出ヘッド２が破損する可能性を低減することができる。
【００６２】
また、図示しないが、枠状部７０ｂの剛性を高めるために、枠状部７０ｂにフランジを設けてもよい。それにより、枠状部７０ｂの剛性を高めることができ、嵌合部４６を上方から強固に押圧することができる。
【００６３】
また、第１凸部４２ｂが第２カバー部材４４に隣り合うように配置され、第２凸部４４ｂが第１カバー部材４２に隣り合うように配置されていることから、第１カバー部材４２と第２カバー部材４４との接触面積を増大させることができる。その結果、霧状のインクが侵入した場合においても、カバー部材４０の内部に侵入するまでの経路（以下、インク侵入経路と称する）を長くすることができ、霧状のインクがカバー部材４０の内部に侵入する可能性を低減することができる。
【００６４】
また、図８（ｂ）に示すように、第２凸部４４ｂが第１凸部４２ｂよりも外側に配置されている。そのため、侵入したインクがカバー部材４０の内部に向かう間に、インク侵入経路が少なくとも一度上方に向かう構成となる。その結果、嵌合部４６に侵入したインクは、上方へ向かうインク侵入経路の中で、重力による作用をうけることとなる。それにより、侵入したインクは、インク侵入経路において、侵入を妨げられることとなり、侵入したインクがカバー部材４０の内部に侵入する可能性を低減することができる。
【００６５】
なお、位置決め部材７０とカバー部材４０と分岐流路部材６０とを螺子７２により螺子止め固定した例を示したがこれに限定されるものではない。例えば、位置決め部材７０と分岐流路部材６０とを螺子７２により螺子止め固定してもよい。位置決め部材７０と分岐流路部材６０とを螺子止め固定した場合においても、分岐流路部材６０と流路部材４とが接着剤により固定されており、嵌合部４６の上方に位置する位置決め部材７０と、下方に位置する流路部材４とにより、嵌合部４６に押圧力を加えることができる。なお、位置決め部材７０と流路部材４とを螺子止め固定する場合、分岐流路部材６０をカバー部材４０により囲まれるように配置してもよい。また、分岐流路部材６０と流路部材４とを螺子止め固定してもよい。
【００６６】
以下、図９を用いて、リザーバ流路４１および分岐流路６１について説明する。
【００６７】
ヘッド本体１３は、流路部材４の上に分岐流路部材本体６０ａが積層されており、その上にプレート６０ｂを介して、カバー部材本体４０ａが積層されている。カバー部材本体４０ａは、下面に凹部４０ｃを有しており、分岐流路部材６０が凹部４０ｃに収容されている。分岐流路部材本体６０ａの凹部６３には加圧部を含む圧電アクチュエータ２１が収められている。分岐流路部材本体６０ａには分岐流路６１が設けられており、カバー部材本体４０ａにはリザーバ流路４１が設けられている。
【００６８】
カバー部材４０は、リザーバ流路４１となる溝が形成されたカバー部材本体４０ａと、カバー部材本体４０ａを覆い隠すプレート４０ｂと、分岐流路部材６０を収容する凹部４０ｃにより形成されている。なお、図９以外においては、プレート４０ｂおよび凹部４０ｃについては省略して示している。分岐流路部材６０は、分岐流路６１となる溝が形成された分岐流路部材本体６０ａと、分岐流路部材本体６０ａを覆い隠すプレート６０ｂとにより形成されている。
【００６９】
カバー部材４０は、カバー部材本体４０ａの一方側にて、リザーバ流路４１と対向してプレート４０ｂが配置され、リザーバ流路４１を形成しており、カバー部材本体４０ａの他方側にて、分岐流路部材６０のプレート６０ｂが配置されている。プレート６０ｂの反対側には分岐流路部材本体６０ａが設けられており、分岐流路部材本体６０ａに設けられた溝とプレート６０ｂにより分岐流路６１が形成されている。分岐流路部材本体６０ａの反対側には、圧電アクチュエータ基板２１が配置された流路部材４が設けられている。
【００７０】
リザーバ流路４１の液体導入孔４１ｂは外部液体タンク（図示せず）に繋がっており、リザーバ流路４１の液体導入孔４１ｂから入った液体は、リザーバ流路４１の液体導出孔４１ａを通り、分岐流路６１の液体導入孔６１ｂからリザーバ流路６１に入り、途中で分岐する複数の流路にそれぞれ流れ、分岐流路６１の液体導出孔６１ａを通り、複数のマニホールドの開口５ｂから共通流路であるマニホールド５に流れ込む。
【００７１】
分岐流路６１の液体導入孔６１ｂは、長手方向の中央部に形成されているため、複数の部分で繋がるマニホールド５までの流路長を比較的近くすることができるので、液体の供給を安定化させることができる。ここでいう中央部とは吐出孔が開口している領域の長手方向の長さＬｘ（ｍ、以下単位を省略することがある）とした際、その中央からの長手方向のズレがＬｘ／１０以下である範囲のことである。なお、短手方向においても中心に近い方が好ましく、吐出孔開口領域の短手方向の長さＬｙに対して、短手方向のズレがＬｙ／４以下であることが好ましい。
【００７２】
リザーバ流路４１の内壁の一部は弾性変形可能な材質のダンパ（不図示）になっている。ダンパは弾性変形することでリザーバ流路４１の体積を変化させることができ、液体吐出量が急激に多くなった場合などに、安定して液体が供給できるようになる。なお、リザ
ーバ流路４１を流れる液体を温めるためにヒータ（不図示）を設けてもよい。また、リザーバ流路４１の中にフィルタ（不図示）を設けて、液体の中に含まれる異物が分岐流路部材６０に入る可能性を低減することが好ましく、異物が詰まることによって起こる不吐出を抑制できる。
【００７３】
カバー部材本体４０ａ、および分岐流路部材本体６０ａは、金属または合金の部材を用いて形成することができる。また、樹脂によりこれらの部材を作製することもできる。樹脂により形成することで、リザーバ流路４１および分岐流路６１が複雑な形状であった場合においても、安価に作成することができる。プレート４０ｂ，６０ａも金属または合金の部材、あるいは樹脂により形成することができる。これらの部材は接着剤により接着すればよい。
【００７４】
なお、カバー部材４０にリザーバ流路４１を設けたがこれに限定されるものではない。外部からチューブにより直接、分岐流路部材６０の液体導入孔６１ｂに供給してもよい。また、カバー部材４０とは別にリザーバ流路４１を有するリザーバ流路部材を設けてもよい。
【００７５】
液体吐出ヘッド２は、図１０に示すように、筐体９０により覆われている。筐体９０は金属製であり、一部に駆動信号が伝達される信号ケーブル（不図示）が通る孔９０ｃが設けられている。図１０の例では、筐体９０の上面の一部に孔９０ｃが設けられており、孔９０ｃは制御部１００と繋がる駆動信号が伝達される信号ケーブルが通っており、樹脂製の蓋体などで塞がれている。カバー部材４０の端部には液体導入孔４１ｂが設けられており、液体導入孔４１ｂを介してカバー部材４０に液体が供給される。図示していないが、ドライバＩＣ５５は、金属製の筐体９０に押し当てられており、発生した熱は主に筐体９０に伝わり、さらに筐体９０全体に速く広がり、外部に放熱される。なお、筐体９０は必ずしも設ける必要はない。
【００７６】
図１１は、本発明の一実施形態に係る液体吐出ヘッド２を備える記録装置であるカラーインクジェットプリンタの概略構成図である。カラーインクジェットプリンタ１（以下、プリンタ１とする）は、４つの液体吐出ヘッド２を有している。これらの液体吐出ヘッド２は、印刷用紙Ｐの搬送方向に沿って並べられ、プリンタ１に固定されている。液体吐出ヘッド２は、図１１の手前から奥へ向かう方向に細長い形状を有している。この長い方向を長手方向と呼ぶことがある。
【００７７】
プリンタ１には、印刷用紙Ｐの搬送経路に沿って、給紙ユニット１１４、搬送ユニット１２０および紙受け部１１６が順に設けられている。また、プリンタ１には、液体吐出ヘッド２あるいは給紙ユニット１１４などのプリンタ１の各部における動作を制御するための制御部１００が設けられている。
【００７８】
給紙ユニット１１４は、複数枚の印刷用紙Ｐを収容することができる用紙収容ケース１１５と、給紙ローラ１４５とを有している。給紙ローラ１４５は、用紙収容ケース１１５に積層して収容された印刷用紙Ｐのうち、最も上にある印刷用紙Ｐを１枚ずつ送り出すことができる。
【００７９】
給紙ユニット１１４と搬送ユニット１２０との間には、印刷用紙Ｐの搬送経路に沿って、二対の送りローラ１１８ａ，１１８ｂ、ならびに、１１９ａ，１１９ｂが配置されている。給紙ユニット１１４から送り出された印刷用紙Ｐは、これらの送りローラ１１８ａ，１１８ｂによってガイドされて、さらに搬送ユニット１２０へと送り出される。
【００８０】
搬送ユニット１２０は、エンドレスの搬送ベルト１１１と２つのベルトローラ１０６，
１０７を有している。搬送ベルト１１１は、ベルトローラ１０６，１０７に巻き掛けられている。搬送ベルト１１１は、２つのベルトローラ１０６，１０７に巻き掛けられたとき所定の張力で張られるような長さに調整されている。これによって、搬送ベルト１１１は、２つのベルトローラ１０６，１０７の共通接線をそれぞれ含む互いに平行な２つの平面に沿って、弛むことなく張られている。これら２つの平面のうち、液体吐出ヘッド２に近い方の平面が、印刷用紙Ｐを搬送する搬送面１２７である。
【００８１】
ベルトローラ１０６には、図１１に示されるように、搬送モータ１７４が接続されている。搬送モータ１７４は、ベルトローラ１０６を矢印Ａの方向に回転させることができる。また、ベルトローラ１０７は、搬送ベルト１１１に連動して回転することができる。したがって、搬送モータ１７４を駆動してベルトローラ１０６を回転させることにより、搬送ベルト１１１は、矢印Ａの方向に沿って移動する。
【００８２】
ベルトローラ１０７の近傍には、ニップローラ１３８とニップ受けローラ１３９とが、搬送ベルト１１１を挟むように配置されている。ニップローラ１３８は、図示しないバネによって下方に付勢されている。ニップローラ１３８の下方のニップ受けローラ１３９は、下方に付勢されたニップローラ１３８を、搬送ベルト１１１を介して受け止めている。２つのニップローラは回転可能に設置されており、搬送ベルト１１１に連動して回転する。
【００８３】
給紙ユニット１１４から搬送ユニット１２０へと送り出された印刷用紙Ｐは、ニップローラ１３８と搬送ベルト１１１との間に挟み込まれる。これによって、印刷用紙Ｐは、搬送ベルト１１１の搬送面１２７に押し付けられ、搬送面１２７上に固着する。そして、印刷用紙Ｐは、搬送ベルト１１１の回転に従って、液体吐出ヘッド２が設置されている方向へと搬送される。なお、搬送ベルト１１１の外周面１１３に粘着性のシリコンゴムによる処理を施してもよい。これにより、印刷用紙Ｐを搬送面１２７に確実に固着させることができる。
【００８４】
４つの液体吐出ヘッド２は、搬送ベルト１１１による搬送方向に沿って互いに近接して配置されている。各液体吐出ヘッド２は、下端にヘッド本体１３を有している。ヘッド本体１３の下面には、液体を吐出する多数の吐出孔８が設けられている吐出孔面４ａとなっている（図５参照）。
【００８５】
１つの液体吐出ヘッド２に設けられた吐出孔８からは、同じ色の液体（インク）が吐出されるようになっている。各液体吐出ヘッド２の吐出孔８は一方方向（印刷用紙Ｐと平行で印刷用紙Ｐ搬送方向に直交する方向であり、液体吐出ヘッド２の長手方向）に等間隔で配置されているため、一方方向に隙間なく印刷することができる。各液体吐出ヘッド２から吐出される液体の色は、それぞれ、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）およびブラック（Ｋ）である。各液体吐出ヘッド２は、ヘッド本体１３の下面の吐出孔開口平面４ａ（図５参照）と搬送ベルト１１１の搬送面１２７との間にわずかな隙間をおいて配置されている。
【００８６】
搬送ベルト１１１によって搬送された印刷用紙Ｐは、液体吐出ヘッド２と搬送ベルト１１１との間の隙間を通過する。その際に、液体吐出ヘッド２を構成するヘッド本体１３から印刷用紙Ｐの上面に向けて液滴が吐出される。これにより、印刷用紙Ｐの上面には、制御部１００によって記憶された画像データに基づくカラー画像が形成される。
【００８７】
搬送ユニット１２０と紙受け部１１６との間には、剥離プレート１４０と二対の送りローラ１２１ａ，１２１ｂ，１２２ａ，１２２ｂとが配置されている。カラー画像が印刷された印刷用紙Ｐは、搬送ベルト１１１によって剥離プレート１４０へと搬送される。この
とき、印刷用紙Ｐは、剥離プレート１４０の右端によって、搬送面１２７から剥離される。そして、印刷用紙Ｐは、送りローラ１２１ａ，１２１ｂ，１２２ａ，１２２ｂによって、紙受け部１１６に送り出される。このように、印刷済みの印刷用紙Ｐが順次紙受け部１１６に送られ、紙受け部１１６に重ねられる。
【００８８】
なお、印刷用紙Ｐの搬送方向について最も上流側にある液体吐出ヘッド２とニップローラ１３８との間には、紙面センサ１３３が設置されている。紙面センサ１３３は、発光素子および受光素子によって構成され、搬送経路上の印刷用紙Ｐの先端位置を検出することができる。紙面センサ１３３による検出結果は制御部１００に送られる。制御部１００は、紙面センサ１３３から送られた検出結果により、印刷用紙Ｐの搬送と画像の印刷とが同期するように、液体吐出ヘッド２や搬送モータ１７４等を制御することができる。
【００８９】
＜第２の実施形態＞
図１２，１３を用いて他の実施形態に係る液体吐出ヘッド２の説明をする。第２の実施形態に係る液体吐出ヘッド２を構成するカバー部材４０は、第１カバー部材４２および第２カバー部材４４の形状が第１の実施形態とは異なっている。
【００９０】
第１カバー部材４２は、中央部に大きな切欠部４２ａを有しており、この切欠部４２ａは貫通しており貫通孔を形成している。そのため、第１カバー部材４２は枠状形状をなしている。切欠部４２ａの内部には、第２カバー部材４４に設けられたリザーバ流路４１が配置されている。また、切欠部４２ａには、第１カバー部材４２の下方に位置する分岐流路部材（不図示）も収容されている。
【００９１】
第２カバー部材４４は、リザーバ流路４１が形成されており、長手方向における両端部に螺子穴４４ｄが設けられている。また、リザーバ流路４１とは異なる端部に、基板保持部４４ｅが設けられている。この基板保持部４４ｅとリザーバ流路４１を構成する壁面とにより、基板９４（図１参照）を第２カバー部材４４が保持している。
【００９２】
第１カバー部材４２と第２カバー部材４４とは、嵌合部４６にて嵌め合わされている。図１３（ａ）に示すように、嵌合部４６は、第１カバー部材４２と、第１凸部４２ｂと、第２カバー部材４４と、第２凸部４４ｂとにより構成されている。第１凸部４２ｂの先端は第２カバー部材４４に当接され、第２凸部４４ｂの先端は第１カバー部材４２に当接されている。そして、第１凸部４２ｂと第２凸部４４ｂとが空間を空けて隣り合っており、嵌合部４６は内部に隙間部４８を有する構成となる。
【００９３】
このように、嵌合部４６は、内部に隙間部４８を有することから、霧状のインクが、嵌合部４６に侵入した場合においても、侵入したインクを隙間部４８に収容することができ、隙間部４８より内部にインクが侵入する可能性を低減することができる。
【００９４】
なお、隙間部２８が、断面視して矩形状をなしている例を示したがこれに限定されるものではない。例えばテーパ形状をなしていてもよい。この場合、第１凸部４２ｂを先端に向かうにつれて細くなるテーパ形状とすることにより、第１カバー部材４２と第２カバー部材４４とを嵌め合わせた際にテーパ形状の隙間部４８を形成することができる。
【００９５】
図１３（ｃ）〜（ｆ）を用いて嵌合部４６の変形例について説明する。
【００９６】
図１３（ｃ），（ｄ）は、嵌合部４６が第１凸部４２ｂおよび第２凸部４４ｂにより形成されていない例を示す。嵌合部４６は、長手方向に延びる第１カバー部材４２と第２カバー部材４４とにより形成されている。この場合においても、嵌合部４６の上方に位置決め部材７０の枠状部７０ｂが配置され、嵌合部４６の下方に分岐流路部材６０が配置され
ることにより、嵌合部４６を上下方向から押圧することができ、嵌合部４６に霧状のインクが侵入する可能性を低減することができる。
【００９７】
また、図１３（ｅ）に示すように、嵌合部４６を構成する一部の壁面の表面粗さを粗くしてもよい。嵌合部４６において、第１凸部４２ｂおよび第２凸部４４ｂは、互いに対向する第１対向面４６ａを有しており、第１凸部４２ｂおよび第２カバー部材４４は、互いに対向する第２対向面４６ｂを有しており、第２凸部４４ｂおよび第１カバー部材４２は、互いに対向する第３対向面４６ｃを有している。そして、第１対向面４６ａの表面粗さは、第２対向面４６ｂの表面粗さ、および第３対向面４６ｃの表面粗さよりも粗い構成となっている。
【００９８】
そのため、嵌合部４６の入口である第３対向面４６ｃ、および嵌合部４６の出口である第２対向面４６ｂでは、表面粗さが平らであることに起因して、第２対向面４６ｂおよび第３対向面４６ｃに隙間が生じにくく、霧状のインクが侵入する可能性、および、嵌合部４６に侵入したインクがカバー部材４６の内部に侵入する可能性を低減することができる。
【００９９】
また、嵌合部４６の内部にある第１対向面４６ａの表面粗さが粗いことに起因して、嵌合部４６の内部にインクが侵入した場合においても、第１対向面４６ａにインクが付着してメニスカス形状を形成するため、インクの侵入を抑えることができる。
【０１００】
第１対向面４６ａの表面粗さを第２対向面４６ｂの表面粗さ、および第３対向面４６ｃの表面粗さよりも粗くするためには、例えば、第１対向面４６ａを、やすりにより機械的に研磨すればよい。また、第１対向面４６ａを、薬剤により表面を粗くして化学的に研磨してもよい。
【０１０１】
なお、第１対向面４６ａの表面粗さを粗くした例を示したが、隙間部４８を構成する壁面の全ての表面粗さを粗くしてもよい。また、第１対向面４６ａの表面粗さを第２対向面４６ｂおよび第３対向面４６ｃよりも粗くした例を示したが、第１対向面４６ａの表面粗さは、第２対向面４６ｂまたは第３対向面４６のどちらか一方よりも粗くすればよい。
【０１０２】
さらにまた、図１３（ｆ）に示すように、第１凸部４２ｂが、第２凸部４４ｂよりも外側に配置されていてもよい。この場合においても、インク侵入経路を長くすることができ、侵入したインクが、カバー部材４０の内部にまで到達する可能性を低減することができる。
【０１０３】
＜第３の実施形態＞
図１４を用いて第３の実施形態について説明する。図１４（ａ），（ｂ）に示すように、第１カバー部材４２および第２カバー部材４４は、一方方向である長手方向に延在しており、第１凸部４２ｂおよび第２凸部４４ｂも長手方向に延在している。さらに、平面視して第１凸部４２ｂおよび第２凸部４４ｂは複数の凹凸４６ｄを有している。
【０１０４】
第１凸部４２ｂに設けられた凹凸４６ｄと、第２凸部４４ｂに設けられた凹凸４６ｄとは互いに逆向きに設けられている。つまり、第１凸部４２ｂと第２凸部４４ｂとが嵌め合わされる位置において、嵌合部４６は、平面視して、第１凸部４２ｂでは凹をなし、第２凸部４４ｂでは凸をなしている。そのため、第１凸部４２ｂの複数の凹凸４６ｄと、第２凸部４４ｂの複数の凹凸４６ｄとが嵌め合わされている。
【０１０５】
そのため、嵌合部４６において、第１カバー部材４２と第２カバー部材４４との接触面積を増加させることができる。その結果、嵌合部４６にインクが侵入した場合においても
、侵入したインクが、嵌合部４６において、第１カバー部材４２の表面および第２カバー部材４４の表面に付着する可能性を高めることができる。それにより、インクの侵入の進行を抑えることができ、カバー部材４０の内部にインクが侵入する可能性を低減することができる。
【０１０６】
また、嵌合部４６において、第１カバー部材４２と第２カバー部材４４との接触面積が増加することにともなって、嵌合部４６における接合強度を向上させることができる。
【０１０７】
なお、第３の実施形態では、屈曲した凹凸４６ｄを設けた例を示したが、湾曲した凹凸４６ｄを設けてもよい。
【０１０８】
＜第４の実施形態＞
図１５を用いて第４の実施形態について説明する。
【０１０９】
第２カバー部材４４は、長手方向の両端部に、位置決め部材７０の位置決め部７１を支持するための支持部４９が設けられている。その他の点は第２の実施形態と同様であり説明を省略する。
【０１１０】
位置決め部材７０は、両端部に位置決め部７１が設けられている。位置決め部７１は、位置決め部材７０の支持部７１から外側に向けて突出している。第２カバー部材４４の支持部４９は、長手方向の両端部に設けられており、位置決め部材７０の位置決め部７１に向けて突出している。具体的には、位置決め部材７０の支持部７４の下方に設けられており、平面視して略同形状をなしている。
【０１１１】
第２カバー部材４４は支持部４９を備えていることから、支持部４９が強固に位置決め部材７０の支持部７４を保持することができる。それにより、液体吐出ヘッドの位置決めを行う際に、位置決め部７１が強固に保持されることとなり、液体吐出ヘッドの正確な位置決めを行うことができる。
【０１１２】
また、第２カバー部材４４の支持部４９の平面視形状が、位置決め部材７０の支持部７４の平面視形状と略同形状であることから、位置決めする際の位置決めピン７３（図７差参照）と支持部４９とが接触する可能性を低減することができ、液体吐出ヘッドを正確に位置決めすることができる。
【０１１３】
なお、支持部４９を第２カバー部材４４に設けた例を示したが、第１カバー部材４２に設けてもよい。また、支持部４９が、位置決め部材７０の支持部７４と、平面視して略同形状の例を示したが、支持部４９が位置決め部７１と接触しない限りどのような形状を有していてもよい。
【０１１４】
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて種々の変更が可能である。例えば、第１の実施形態である液体吐出ヘッド２を用いたプリンタ１を示したが、これに限定されるものではなく、他の実施形態に係る液体吐出ヘッドを用いてもよい。また、複数の実施形態である液体吐出ヘッドを組み合わせてもよい。
【０１１５】
また、加圧部５０として圧電アクチュエータ２１を用いた圧電素子の例を示したが、これに限られるものでなく、加圧室１０中の液体を加圧できるものなら他のものでよく、例えば、加圧室１０中の液体を加熱して沸騰させて圧力を生じさせるものや、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）を用いたものでも良い。
【符号の説明】
【０１１６】
１・・・プリンタ
２・・・液体吐出ヘッド
４・・・流路部材
５・・・マニホールド（共通流路）
５ａ・・・副マニホールド
５ｂ・・・マニホールドの開口（液体導入孔）
５ｃ・・・液体供給路
６・・・個別供給流路
８・・・吐出孔
９・・・加圧室群
１０・・・加圧室
１１・・・加圧室列
１２・・・しぼり
１３・・・ヘッド本体
１５・・・吐出孔列
２１・・・圧電アクチュエータ基板
２１ａ・・・圧電セラミック層（振動板）
２１ｂ・・・圧電セラミック層
２２〜３１・・・プレート
３２・・・個別流路
３４・・・共通電極
３５・・・個別電極
３６・・・接続電極
４０・・・カバー部材
４０ａ・・・カバー部材本体
４０ｂ・・・蓋部材
４０ｃ・・・凹部
４１・・・リザーバ流路
４１ａ・・・リザーバ流路の液体導出孔
４１ｂ・・・リザーバ流路の液体導入孔
４２・・・第１カバー部材
４２ａ・・・切欠部
４２ｂ・・・第１凸部
４４・・・第２カバー部材
４４ａ・・・開口
４４ｂ・・・第２凸部
４４ｃ・・・第２壁面
４４ｄ・・・螺子穴
４４ｅ・・・基板保持部
４６・・・嵌合部
４６ａ・・・第１対向面
４６ｂ・・・第２対向面
４６ｃ・・・第３対向面
４６ｄ・・・凹凸
４８・・・隙間部
４９・・・支持部
５０・・・変位素子（加圧部）
５５・・・ドライバＩＣ
６０・・・分岐流路部材
６０ａ〜６０ｃ・・・プレート
６１・・・分岐流路
６１ａ・・・分岐流路の液体導出孔
６１ｂ・・・分岐流路の液体導入孔
６３・・・圧電アクチュエータが収納される凹部
７０・・・位置決め部材
７０ａ・・・開口部
７０ｂ・・・枠状部
７１・・・位置決め部
７２・・・螺子
７３・・・位置決めピン
７４・・・支持部
７５・・・開口
９０・・・筐体
９０ｃ・・・孔
９２・・・フレキシブル配線板
９４・・・基板
９５・・・コネクタ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１０】
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