(57)【要約】【課題】本発明はリニア蒸着源を検出する装置およびその検出方法を提供する。【解決手段】蒸着源を検出する装置は、ガイドレール装置に介して移動可能に、リニア蒸着源全体にわたる蒸着速度を検出するように設ける検出器２２と、一端には検出器２２が接続され、他端にはガイドレール装置が移動できるように接続している接続部材を駆動することにより、検出器２２をガイドレール装置の軌道を移動する動力装置と、を含む。検出器２２は検出用ガイドレールによりリニア蒸着源２１の長手方向に往復運動して、リニア蒸着源２１全体を検出し、スタンバイガイドレールによりリニア蒸着源２１の側に停留し、ステアリング装置によりスタンバイガイドレールと検出用ガイドレールを切り替える。検出器２２がスタンバイガイドレールと検出用ガイドレールを切り替えるとき、検出器２２の移動方向はリニア蒸着源の長手方向と直交する方向であることを特徴とする。【選択図】図２
2014162996.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
蒸着プロセス用のリニア蒸着源を含む蒸着装置に使う蒸着源を検出する装置であって、
前記蒸着源を有する前記蒸着装置と、
前記蒸着装置の上方に所定高さで設けられているガイドレール装置と、
前記ガイドレール装置を介して移動可能に、前記リニア蒸着源全体にわたる蒸着速度を検出するように設けられる検出器と、
前記ガイドレール装置の一端には前記検出器が接続され、他端には前記ガイドレール装置に対し移動可能に接続されている接続部材と、
前記接続部材を駆動することにより、前記ガイドレール装置の軌道で前記検出器を移動させる動力装置と、
を含み、
前記ガイドレール装置は、待機ガイドレールと、検出用ガイドレールと、ステアリング装置とを含み、
前記検出器は、前記検出用ガイドレールにより前記リニア蒸着源の長手方向に往復運動して、前記リニア蒸着源全体を検出し、
前記検出器は、前記待機ガイドレールにより前記リニア蒸着源の側に停留し、
前記検出器は、前記ステアリング装置により前記待機ガイドレールと前記検出用ガイドレールを切り替えて、前記検出器が前記待機ガイドレールと前記検出用ガイドレールを切り替えるとき、前記検出器の移動方向は、前記リニア蒸着源の長手方向と直交する方向であることを特徴とする蒸着源を検出する装置。
【請求項２】
前記検出器の前記ガイドレール装置による前記リニア蒸着源の長手方向への移動は、往復運動であることを特徴とする請求項1に記載の蒸着源を検出する装置。
【請求項３】
前記請求項１，２に記載の蒸着源を検出する装置の蒸着源を検出する方法であって、
蒸着する前、前記検出器を前記リニア蒸着源の側に停留し、蒸着しているとき、前記検出器は、前記ガイドレール装置により前記リニア蒸着源の上方に移動した後、前記リニア蒸着源の形状と同じ形状の軌跡に沿って移動しながら前記リニア蒸着源を検出し、蒸着プロセスを実施するとき、前記検出器が待機状態になる場合、前記検出器は、前記リニア蒸着源の側まで移動され、前記検出器は検出をしている場合、前記リニア蒸着源の真上の、前記リニア蒸着源の形状と同じ形状の軌道に沿って移動させながら前記リニア蒸着源を検出し、前記検出器は、移動しながら検出する場合、等速運動することを特徴とする蒸着源を検出する方法。
【請求項４】
真空室内で前記蒸着プロセスを実施するとき、前記検出器は、ＣＲＴＳであることを特徴とする請求項３に記載の蒸着源を検出する方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＯＬＥＤ表示パネルの製造プロセスに関するもので、特に蒸着源を検出する装置とその検出方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
有機発光ダイオード（Ｏｒｇａｎｉｃ Ｌｉｇｈｔ−Ｅｍｉｔｔｉｎｇ Ｄｉｏｄｅ，以下、ＯＬＥＤという）は、主に有機材料のコーティングとガラス基板とから構成し、電流が通ると有機材料が発光する。
現在、ＯＬＥＤ表示パネルは視野角が大きく、電気エネルギーも節約できるから、フラットパネルディスプレイ領域では広範的に応用されている。ＯＬＥＤの蒸着技術は、ＯＬＥＤを量産するためのキーテクノロジーである。低分子材料を利用するＯＬＥＤ製造方法は、高真空状態でリニア蒸着源を加熱して、低分子材料を蒸発させる技術である。すなわち、真空状態で低分子材料を蒸着して、金属マスクを基板の前に被覆して、有機材料を基板に沈積させる。
【０００３】
ＯＬＥＤの蒸着技術では、リニア蒸着源の蒸着速度と蒸着の均一性に対しての制御技術はコア技術である。従来の蒸着プロセスでは、主に検出器（Ｃｒｙｓｔａｌ ｓｅｎｓｏｒ；以下、ＣＲＴＳという）を蒸着源の上方に固定して、リニア蒸着源の蒸着速度と蒸着の均一性を検出するが、ＣＲＴＳが固定されているため、ＣＲＴＳはリニア蒸着源の蒸着速度と蒸着の局部均一性とだけ検出でき、リニア蒸着源全体に対して蒸着速度と蒸着均一性を検出できないため、タイムリーにリニア蒸着源全体の蒸着均一性の異常（例えば、蒸着源装置の孔が塞がれる）を検出できなくなって、工程の安全性が悪くなる虞があり、製品の歩どまりが低い。
【０００４】
図1は、従来の、位置が固定された検出器としてのＣＲＴＳ１２によりリニア蒸着源１１を検出するシステムの構成を示す図である。図1に示すように、基板１３に対して蒸着するとき、ＣＲＴＳ１２はリニア蒸着源１１の上方に固定して設けなければならない。ＣＲＴＳ１２は位置が固定されているから、リニア蒸着源１１の当該ＣＲＴＳ１２に近い一端だけの蒸着速度と蒸着均一性を検出でき、リニア蒸着源１１のＣＲＴＳ１２から遠い部分の蒸着速度と蒸着均一性は検出できないため、特にリニア蒸着源１１のＣＲＴＳ１２から遠い部分に孔が塞がれるなどがあってリニア蒸着源１１全体の蒸着均一性が異常になる場合、従来の検出システムにより全然タイムリーに検出できなくなり、製品の歩どまりが低くなり、コストが増える。
【０００５】
従来のＯＬＥＤの蒸着プロセスでは、主にＣＲＴＳ１２（検出器）をリニア蒸着源１１の上方に固定して、リニア蒸着源１１の蒸着速度と蒸着の均一性を検出するが、ＣＲＴＳ１２が固定されているため、当該ＣＲＴＳ１２はリニア蒸着源１１の局部の蒸着速度と蒸着の均一性とだけ検出でき、リニア蒸着源１１全体に対して蒸着速度と蒸着均一性を検出できない。
【０００６】
特許文献１に示すＣＮ１０２１０２１７５Ａは、材料の質量の誤差を最小にして、表面被覆層を形成するために、セパレーターにはリニア蒸着源の融合ポットが取り付けられている。 しかしながら、リニア蒸着源の蒸着率と蒸着の均一性の向上は解決されていない。また、特許文献２に示すＣＮ１０２７０３８６６Ａでは、ソナーセンサーは、正確に蒸着材料を調整して、蒸発する材料の蒸着率が判るガラス基板より上に設置される。
しかしながら、リニア蒸着源より上へのソナーセンサーの設置は、機械の駆動による例えばちりの影響を受けるため、蒸着の均一性の低下とコストが上昇するという問題があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】中華人民共和国  特許出願公開１０２１０２１７５号公報
【特許文献２】中華人民共和国  特許出願公開１０２７０３８６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
そこで、本発明は、上記に鑑みてなされたものであり、本発明は蒸着源を検出する装置およびその検出方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の蒸着源を検出する装置は、蒸着プロセス用のリニア蒸着源を含む蒸着装置に使う蒸着源を検出する装置であって、前記蒸着源を有する前記蒸着装置と、前記蒸着装置の上方に所定高さで設けられているガイドレール装置と、前記ガイドレール装置を介して移動可能に、前記リニア蒸着源全体にわたる蒸着速度を検出するように設けられる検出器と、前記ガイドレール装置の一端には前記検出器が接続され、他端には前記ガイドレール装置に対し移動可能に接続されている接続部材と、前記接続部材を駆動することにより、前記ガイドレール装置の軌道で前記検出器を移動させる動力装置と、を含み、前記ガイドレール装置は、スタンバイガイドレールと、検出用ガイドレールと、ステアリング装置とを含み、前記検出器は前記検出用ガイドレールにより前記リニア蒸着源の長手方向に往復運動して、前記リニア蒸着源全体を検出し、前記検出器は前記スタンバイガイドレールにより前記リニア蒸着源の側に停留し、前記検出器は前記ステアリング装置により前記スタンバイガイドレールと前記検出用ガイドレールを切り替えて、前記検出器が前記スタンバイガイドレールと前記検出用ガイドレールを切り替えるとき、前記検出器の移動方向は前記リニア蒸着源の長手方向と直交する方向であることを特徴とする。
【００１０】
また、本発明の蒸着源を検出する装置は、前記検出器の前記ガイドレール装置による前記リニア蒸着源の長手方向への移動は、往復運動であることを特徴とする。
【００１１】
本発明の蒸着源を検出する方法は、前記請求項１，２に記載の蒸着源を検出する装置の蒸着源を検出する方法であって、蒸着する前、前記検出器を前記リニア蒸着源の側に停留し、蒸着しているとき、前記検出器は前記ガイドレール装置により前記リニア蒸着源の上方に移動した後、前記リニア蒸着源の形状と同じ形状の軌跡に沿って移動しながら前記リニア蒸着源を検出し、蒸着プロセスを実施するとき、前記検出器がスタンバイ状態になる場合、前記検出器は前記リニア蒸着源の側まで移動され、前記検出器は検出をしている場合、前記リニア蒸着源の真上の、前記リニア蒸着源の形状と同じ形状の軌道に沿って移動させながら前記リニア蒸着源を検出し、前記検出器は移動しながら検出する場合、等速運動することを特徴とする。
【００１２】
本発明の請求項３に記載の蒸着源を検出する方法は、真空室内で前記蒸着プロセスを実施するとき、前記検出器はＣＲＴＳであることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
以上、説明したように、本発明の蒸着源を検出する装置およびその方法は、主に蒸着源の上方に移動できるように検出器を設けて，タイムリーに蒸着源全体の蒸着速度を有効的に検出し、効率的に蒸着源の蒸着均一性を上げる同時に、蒸着源の異常もタイムリーに検出できる。
また、検出器が検出しない場合、蒸着源の側に固定して設けられていて、機械的作用により有機材料あるいは粉塵などが落ちて蒸着源が汚れることを避けることができるので、製品の歩どまりと品質を改善できる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】従来の位置が固定された検出器としてのＣＲＴＳによりリニア蒸着源を監視するシステムの構成を示す模式図である。
【図２】本発明における検出器が移動しながら検出する場合の軌跡を表す模式図である。
【図３】本発明における検出器がスタンドバイ位置から検出位置まで移動する状態を表す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、図面を参照しながら、本発明の具体的な実施形態をさらに説明する。
図２は、本発明における検出器が移動しながら検出する場合の軌跡を表す模式図、図３は、本発明における検出器がスタンドバイ位置から検出位置まで移動する模式図である。
図２，３に示すように、真空室で蒸着するとき、蒸着基板２４を蒸着装置のリニア蒸着源２１の真上に設けて、蒸着基板２４の下面に蒸着して蒸着層２３を形成する。
【００１６】
リニア蒸着源２１の蒸着速度が蒸着層２３を形成することに対して非常に重要なことであるから、検出器２２（例えば、ＣＲＴＳ）を設けてリニア蒸着源２１全体（別の種類の蒸着源でもよい）の蒸着速度を監視して制御する。
検出器２２を検出器２２と固定して接続している接続部材（不図示）を介して、移動できるようにガイドレール装置に設けている。検出器２２は、リニア蒸着源２１と予め設定された所定の高さで離れた位置に取り付けされている。
ガイドレール装置は蒸着装置に固定して設けられて、例えば、蒸着装置の保持部材等に固定して設けられている。そして、ガイドレール装置には、スタンバイガイドレールと、検出用ガイドレールと、ステアリング装置とを含み、当該ステアリング装置により、スタンバイガイドレールと検出用ガイドレールを切り替えて、また、動力装置（例えばモータ）により接続部材を駆動して、検出器２２をも一緒にガイドレール装置の軌道を移動させる。
検出器２２がリニア蒸着源２１の長手方向に往復移動して、リニア蒸着源２１全体を検出することが好ましい。
【００１７】
図３に示すように、検出器２２は検出しない場合、動力装置が接続部材を駆動して、ステアリング装置により、スタンバイガイドレールに切り替えられて、検出器２２をリニア蒸着源２１の側（スタンバイ位置）に位置するため、検出器２２に対しての機械的な作用のため有機材料あるいは粉塵などが落ちて蒸着源が汚れることを避けることができる。検出器２２は検出し始まるとき、動力装置が接続部材を駆動して、ステアリング装置により、検出用ガイドレールに切り替えられて、検出器２２はリニア蒸着源２１の上方（検出位置）にあって、また、検出器２２はリニア蒸着源２１の形状（例えばリニア蒸着源２１の蒸着面などの形状）と同じ形状の軌跡に沿ってリニア蒸着源２１に対して往復運動しながら検出し、往復運動しながら検出する場合、検出器２２は等速運動していながら検出してもよく、予定の複数の位置で検出をしてもよい。
上記の予めの複数の位置は、お互いの間隔が同じようにリニア蒸着源２１の上方に設けられているから、検出器２２はリニア蒸着源２１の全体に亘って全面的に検出でき、効率的に蒸着均一性を上げ、リニア蒸着源２１の異常（例えば、蒸着源装置の孔が塞がれる）もタイムリーに検出できる。これにより製品の歩どまりと品質を改善することができる。
【００１８】
以上、説明したように、上記の技術を利用することにより、本発明の実施形態に係る蒸着源を検出する装置およびその検出方法は、移動できるように検出器を蒸着源の上方に設けて、タイムリーに蒸着源全体の蒸着速度を有効的に検出し、効率的に蒸着源の蒸着均一性を上げる同時に、蒸着源の異常もタイムリーに検出できる。
また、検出器が検出しない場合、検出器は蒸着源の側に固定して設けられていて、機械的作用により有機材料あるいは粉塵などが落ちて蒸着源が汚れることを避けて，製品の歩どまりと品質を改善することができる。
【００１９】
以上の説明と図面により、具体的な実施形態が提供したのは本発明の内容の一例を示すものであり、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、一部を変更して構成することも可能であることは無論である。本発明を好ましい実施態様により説明したが、そのような開示を限定的に解釈してはならない。
【００２０】
また、種々の変形および改変は、上記開示を読むことによって本発明に属する技術分野における当業者には間違いなく明らかになるであろう。したがって、添付の特許請求の範囲は、本発明の真の精神および範囲から逸脱することなく、すべての変形および改変を包含する、と解釈されるべきである。
【符号の説明】
【００２１】
１１  リニア蒸着源
１２  ＣＲＴＳ
１３  基板
２１  リニア蒸着源
２２  検出器
２３  蒸着層
２４  蒸着基板
【図１】
2014162996.tif 000003
【図２】
2014162996.tif 000004
【図３】
2014162996.tif 000005