(57)【要約】【課題】  簡易な構成で、精度良く吐出量を測定することができる塗布液塗布装置を提供する。【解決手段】  塗布液塗布装置１は、塗布液を吐出するノズル４ｂを備えたインクジェット式の塗布ヘッド４と、この塗布ヘッド４から吐出された塗布液の重量を測定する重量測定装置５をと備える。  そして、重量測定装置５は、塗布ヘッド４から吐出された塗布液を収容する収容部材としてのカップ５２と、このカップ５２の上側を覆い、塗布ヘッド４が進入可能な開口部５４ａが設けられた遮蔽部材としての遮蔽板５４と、を備える。  塗布ヘッド４から吐出された塗布液の重量を測定するときには、塗布ヘッド４を開口部に進入させた状態で、塗布ヘッド４の各ノズル４ｂから塗布液を吐出させる。【選択図】図３
2014035280.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
塗布液を吐出する複数のノズルを備えたインクジェット式の塗布ヘッドと、前記塗布ヘッドから吐出された塗布液の重量を測定する重量測定装置と、を備える塗布液塗布装置において、
前記重量測定装置は、前記塗布ヘッドの各ノズルから吐出された前記塗布液を収容する収容部材と、この収容部材の上側に配置され、平面視において前記収容部材よりも大きな外形を有し、かつ、前記塗布ヘッドに形成された複数のノズルを包含する大きさを有する開口部が設けられた遮蔽部材と、を備えることを特徴とする塗布液塗布装置。
【請求項２】
前記遮蔽部材の開口部は、前記塗布ヘッドにおける前記ノズルが設けられたノズル形成面と相似形を成し、前記吐出面形成面よりも若干大きく形成されてなることを特徴とする請求項１に記載の塗布液塗布装置。
【請求項３】
前記遮蔽部材は、前記開口部に連通する開口部を有する筒状部を備えたカバー部材を有することを特徴とする請求項１または２に記載の塗布液塗布装置。
【請求項４】
前記遮蔽部材は、前記重量測定装置に対して着脱自在に固定されてなることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の塗布液塗布装置。
【請求項５】
前記遮蔽部材は、前記収容部材の上面に対して非接触で近接配置されてなることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の塗布液塗布装置。
【請求項６】
請求項１に記載の塗布液塗布装置を用いて、前記塗布ヘッドに設けられた複数のノズルから吐出された塗布液の重量を測定する重量測定方法であって、
前記重量測定装置が備える前記収容部材に向けて前記塗布ヘッドの前記ノズルから塗布液を吐出させるときには、前記塗布ヘッドを、前記遮蔽部材の前記開口部に進入或いは近接させることを特徴とする重量測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、塗布液を塗布する塗布液塗布装置および塗布液の重量を測定する重量測定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
基板上に塗布液を塗布する塗布液塗布装置として、インクジェット式の塗布ヘッドを用いて塗布液を液滴状にして吐出し、基板上に所定のパターンで塗布するものが知られている。
【０００３】
このような塗布液塗布装置においては、塗布ヘッドから吐出される塗布液の正確な吐出量、すなわち、塗布液の重量を測定することは、塗布液の所望の吐出量を得るための、吐出条件を設定する上で重要である。
【０００４】
そこで、塗布ヘッドから吐出された塗布液の重量を測定する重量測定装置を備えた塗布液塗布装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
このような塗布液塗布装置の重量測定装置によれば、電子天秤と、この電子天秤の載置部に、受け皿を介して装着された吸収部材とを備え、吸収部材に吸収された塗布液の重量を電子天秤で測定できるようになっている。
【０００６】
また、この重量測定装置にあっては、測定精度向上の目的で、吸収部材の周囲を閉塞空間とするための封止機構とを備えている。
【０００７】
この封止機構は、吸収部材を含む電子天秤を包囲し、上部を開口したカバーと、このカバーの開口部を開閉自在にスライド可能に設けられた蓋体とを備え、塗布ヘッドから吐出された塗布液を吸収部材によって受けるときには蓋体を開放し、吸収部材で受けた塗布液の重量を電子天秤で測定するときには蓋体を閉じ、閉塞空間を形成するようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００４−１９１３０８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、このような重量測定装置によれば、閉塞空間を形成するために蓋体をスライドさせることから、スライド機構を必要とし、装置構成が複雑化するという問題を有していた。
【００１０】
本発明は、簡易な構成で精度良く塗布ヘッドから吐出された塗布液の重量を測定することができる塗布液塗布装置および重量測定方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の一実施形態に係る塗布液塗布装置は、塗布液を吐出するノズルを備えたインクジェット式の塗布ヘッドと、前記塗布ヘッドから吐出された塗布液の重量を測定する重量測定装置をと備える塗布液塗布装置において、前記重量測定装置は、前記塗布ヘッドの各ノズルから吐出された前記塗布液を収容する収容部材と、この収容部材の上面を覆い、前記塗布ヘッドに形成された複数のノズルを包含する大きさを有する開口部が設けられた遮蔽部材と、を備えるものである。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、簡易な構成で精度良く塗布ヘッドから吐出された塗布液の重量を測定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】図１は、本発明の第１の実施形態に係る塗布液塗布装置の全体構成を示す平面図である。
【図２】図２は、図１の正面図である。
【図３】図３は、重量測定装置の構成を示す一部断面正面図である。
【図４】図４は、図３に示した遮蔽板を下側から見た拡大図である。
【図５】図５は、本発明の第２の実施形態に係る塗布液塗布装置の重量測定装置の構成を示す一部断面正面図である。
【図６】図６は、本発明の第３の実施形態に係る塗布液塗布装置の重量測定装置における遮蔽板の構成を示す断面図である。
【図７】図７は、本発明の第４の実施形態に係る塗布液塗布装置の重量測定装置の構成を示す一部断面正面図である。
【図８】図８は、図７に示した遮蔽板を下側から見た拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
本発明の第１の実施形態について図１〜図４を参照して説明する。
【００１５】
本実施形態において、塗布液塗布装置１は、プリント基板や半導体ウエハ等に形成された電極上に半田バンプを形成する際のフラックス塗布工程において採用されるフラックス塗布装置を例に説明するが、これに限られるものではなく、液晶基板や有機ＥＬ基板を形成する際の塗布工程など、他の塗布工程に採用することも可能である。
【００１６】
図１、図２に示すように、塗布液塗布装置１は、架台２を有し、この架台２上に、基板Ｗを載置する基板ステージ３と、塗布液としてのフラックス溶液を吐出するインクジェット方式の塗布ヘッド４と、重量測定装置５とを設けて構成される。
【００１７】
基板ステージ３は、架台２上にＹ軸方向に沿って設置されたＹ軸移動装置６に搭載され、このＹ軸移動装置６によりＹ軸方向に沿って移動可能とされる。ここで、Ｙ軸移動装置６としては、サーボモータを駆動源とする送りねじ式の移動機構やリニアモータを駆動源とするリニアモータ式の移動機構を用いることが可能である。
【００１８】
塗布ヘッド４は、架台２上に、基板ステージ３の移動領域を跨ぐように、Ｙ軸方向に対して直交するＸ軸方向に沿って設けられた門型支持フレーム７に、Ｘ軸移動装置８、Ｚ軸移動装置９およびθ（回転）駆動装置１０を介して取付けられる。すなわち、Ｘ軸移動装置８は、門型支持フレーム７におけるＸ軸方向に沿って延設された梁部７ａの側壁面に取付けられる。このＸ軸移動装置８の可動部材８ａには、Ｚ軸移動装置９が固定される。Ｚ軸移動装置９は、側面視において逆Ｌ字形状の支持部材１１をＺ軸方向に移動自在、つまり、昇降自在に支持する。支持部材１１における水平部１１ａの上面にはθ駆動装置１０が設けられ、θ駆動装置１０の回転軸１０ａに塗布ヘッド４が固定される。このような構成により、塗布ヘッド４は、Ｘ軸方向、Ｚ軸方向およびθ（回転）方向に移動可能とされる。
【００１９】
なおここで、Ｘ軸移動装置８およびＺ軸移動装置９としては、サーボモータを駆動源とする送りねじ式の移動機構やリニアモータを駆動源とするリニアモータ式の移動機構を用いることが可能である。
【００２０】
また、塗布ヘッド４は、公知のインクジェット方式の塗布ヘッドであり、その下面を長方形の形状を有するノズル形成面４ａ（図４参照）として構成され、ノズル形成面４ａには複数のノズル４ｂ（図４参照）がその長手方向に沿って配列して設けられる。塗布ヘッド４内には、各ノズル４ｂに対応して、ノズル４ｂに連通する液室（不図示）が個別に設けられ、各液室には液室内に容積変化を生じさせるための圧電素子（不図示）が設けられる。また、各液室は、塗布液が供給される給液流路にそれぞれ接続される。このような塗布ヘッド４は、各圧電素子に駆動電圧を印加して作動させることによって液室内に容積変化を生じさせ、この容積変化に応じた量の塗布液を当該液室に連通するノズル４ｂから吐出させることが可能とされる。
【００２１】
重量測定装置５は、架台２上において、基板ステージ３の移動領域の側方であって、Ｘ軸移動装置８による塗布ヘッド４の移動軌跡上の位置に配置される。
【００２２】
この重量測定装置５は、図３に示すように、電子天秤５１と、収容部材としてのカップ５２と、支持部材５３と、遮蔽部材としての遮蔽板５４とを有する。
【００２３】
電子天秤５１は、塗布液の重量を測定する秤であり、架台２の上面に設置される。
【００２４】
カップ５２は、上端部に開口部５２ａを有する容器であり、電子天秤５１の試料台５１ａ上に載置され、塗布ヘッド４のノズル４ｂから吐出された塗布液を受けて収容する。このカップ５２の開口部５２ａは、塗布ヘッド４のノズル形成面４ａよりも大きく形成され、ノズル形成面４ａに設けられたすべてのノズル４ｂから塗布液が同時に吐出されたときでも、すべてのノズル４ｂから吐出された塗布液を収容できるようになっている。
【００２５】
支持部材５３は、側面視においてクランク形状を成す、遮蔽板５４を支持する部材であり、架台２上において電子天秤５１の隣接位置に固定される。
【００２６】
遮蔽板５４は、カップ５２の開口部５２ａの上側に配置され、平面視においてカップ５２よりも大きな外形を有する四角形状の板であり、支持部材５３の上端に、つまみネジ５５によって着脱自在に取り付けられる。このように、つまみネジ５５を用いることで、遮蔽板５４は支持部材５３に対して工具を用いなくとも、着脱が可能とされる。
【００２７】
この遮蔽板５４は、支持部材５３に取付けられた状態において、カップ５２の上端面に対して被接触状態、すなわち、わずかな隙間（例えば、０．５ｍｍ〜４．０ｍｍ程度）を介して近接する。したがって、支持部材５３は、カップ５２の上端面と遮蔽板５４の下面との間に上述の隙間が形成されるように、その高さが設定される。
【００２８】
また、遮蔽板５４には、カップ５２の開口部５２ａに対向する部分に塗布ヘット４が進入可能な開口部（ヘッド進入孔）５４ａが形成されている。この開口部５４ａは、塗布ヘット４のノズル形成面４ａと相似形状を成し、ノズル形成面４ａよりも若干大きな開口面積となるように形成される。したがって、この開口部４ａは、塗布ヘッド４のノズル形成面４ａに設けられたすべてのノズル４ｂを包含する大きさを有する。このような開口部５４ａに塗布ヘッド４を進入させると、図４に示すように、塗布ヘッド４の側面と開口部５４ａの縁との間には、僅かな隙間ｔ（例えば、０．５ｍｍ〜２．０ｍｍ程度）が形成される。
【００２９】
例えば、塗布液塗布装置１における塗布環境を清浄な状態に保つために、塗布液塗布装置１の天井側から清浄な空気等の気体がダウンフロー式に供給されることがあるが、この隙間ｔの大きさは、このような気流がカップ５２側に勢いよく流れ込むことを妨げることができる程度の大きさであればよい。
【００３０】
なお、前述したカップ５２の上端面と遮蔽板５４の下面との間の隙間も、カップ５２内に気流が流れ込むことを防ぐことができる程度の大きさであれば良いものであるが、ダウンフローによる気流が遮蔽板５４によって遮られているので、この隙間は、塗布ヘッド４と開口部５４ａとの間の隙間ｔよりも、大きくても良い。
【００３１】
また、塗布液塗布装置１は、制御装置１２を備える。制御装置１２は、塗布ヘッド４、Ｙ軸移動装置６、Ｘ軸移動装置８、Ｚ軸移動装置９、θ駆動装置１０と電気的に接続されており、塗布ヘッド４の各ノズル４ｂから塗布液の吐出、およびＹ軸移動機構、Ｘ軸移動装置８、Ｚ軸移動装置９、およびθ駆動装置１０の駆動を制御する。また、制御装置１２は、電子天秤５１にも電気的に接続されており、電子天秤５１による測定結果を取り込むことが可能となっている。
【００３２】
また、制御装置１２には、基板Ｗに対する塗布液の塗布情報（塗布パターンや基板上における塗布パターンの形成位置などの情報）や前記塗布パターンを描画する際に用いる圧電素子の吐出条件（圧電素子に印加する電圧値、電圧の印加時間などの情報）が記憶されている。
【００３３】
このような、塗布液塗布装置１においては、基板ステージ３に基板Ｗが載置されると、制御装置１２が記憶された塗布情報および吐出条件に基づいて、塗布ヘッド４、Ｙ軸移動装置６、Ｘ軸移動装置８、Ｚ軸移動装置９、およびθ駆動装置１０を制御して基板Ｗ上に所定の塗布パターンで塗布液としてのフラックス溶液を塗布する。
【００３４】
また、塗布液塗布装置１においては、塗布ヘッド４からの塗布液の吐出量を所望の吐出量に維持するために、定期的、例えば、設定枚数の基板Ｗに対する塗布液の塗布が完了する毎、或いは、設定時間が経過する毎に、重量測定装置５による塗布ヘッド４からの塗布液の吐出量を測定する。
【００３５】
以下、この塗布液の吐出量の測定動作について説明する。
【００３６】
基板ステージ３に載置された基板Ｗに対する塗布液の塗布を実行している間、制御装置１２は、塗布を完了した基板Ｗの枚数をカウントしており、このカウント値が予め設定された枚数に達すると、次に基板ステージ３上に供給される基板Ｗに対する塗布液の塗布を実行する前に、測定動作を行なう。なお、この際、基板枚数のカウントに代えて、経過時間をカウントするようにしても良い。
【００３７】
測定動作にあたっては、制御装置１２は、まず、Ｘ軸移動装置８を制御して、塗布ヘッド４を重量測定装置５上へと移動させて、塗布ヘッド４のノズル形成面４ａを遮蔽板５４の開口部５４ａに対向させる。このとき、基板Ｗに対する塗布液の塗布パターンに合わせて塗布ヘッド４の向きをθ駆動装置１０によって傾斜させているときには、開口部５４ａの向きに塗布ヘッド４の向きを合わせるように、θ駆動装置１０を制御して塗布ヘッド４の傾きをもとに戻す。
【００３８】
次いで、Ｚ軸移動装置９を制御して、塗布ヘッド４を下降させ、塗布ヘッド４を遮蔽板５４の開口部５４ａに進入させる。このときの塗布ヘッド４の下降量は、図３に二点差線で示すように、遮蔽板５４の下面近傍付近まで出孔形成面４ａが下降する程度でよい。もちろん、ノズル形成面４ａがカップ５２内に進入する高さ位置まで下降させても構わない。
【００３９】
塗布ヘッド４が遮蔽板５４の開口部５４ａに進入されたならば、制御装置１２は、電子天秤５１による測定値ｗ１を取り込み記憶する。
【００４０】
測定値ｗ１の記憶が完了したら、制御装置１２は、塗布ヘッド４の各ノズル４ｂから予め設定された回数だけ塗布液を吐出させる。このとき、各ノズル４ｂから吐出された塗布液は、カップ５２内に収容されて蓄積される。
【００４１】
予め設定された回数の吐出が完了したならば、制御装置１２は、電子天秤５１による測定値ｗ２を取り込む。そして、先に記憶しておいた測定値ｗ１と測定値ｗ２との差を算出し、各ノズル４ｂから吐出された塗布液の総重量ｗ３を求める。この後、制御装置１２は、この総重量３ｗと予め記憶されている重量（得られるべき重量）ｗ０とを比較し、塗布ヘッド４からの吐出量の適否を判定する。
【００４２】
判定の結果、吐出量が不適切、すなわち、過多または過少であったときには、得られるべき重量ｗ０との差をなくすように、圧電素子に印加する駆動電圧等を補正する。
【００４３】
なお、圧電素子に印加する駆動電圧等を補正した場合には、吐出量の測定を再度実行し、得られるべき重量ｗ０が得られるようになったか否かを確認するようにすると良い。
【００４４】
このような、測定動作が完了したら、基板Ｗに対する塗布液の塗布動作へ復帰する。
【００４５】
このように、本実施形態によれば、電子天秤５１に搭載されたカップ５２の上面を覆う遮蔽板５４に開口部５４ａを形成し、この開口部５４ａに塗布ヘッド４を進入させた状態で、塗布ヘッド４からの塗布液の吐出量を測定するようにした。遮蔽板５４の開口部５４ａに塗布ヘッド４を進入させることで、塗布ヘッド４によって開口部５４ａが塞がれるので、塗布ヘッド４からカップ５２内に塗布液を吐出するときや、電子天秤５１によってカップ５２の重量を測定するときに、ダウンフロー等による気流がカップ５２内に流れ込むことが防止される。そのため、気流の影響によって電子天秤５１に測定誤差が生じることを防ぐことができる。その結果、遮蔽板５４に開閉式の蓋体を設けることのない、簡易な構成ながら、塗布ヘッド４から吐出された塗布液の吐出量を精度良く測定することが可能となる。
【００４６】
また、塗布ヘッド４からカップ５２内に塗布液を吐出させているときに、遮蔽板５４の開口部５４ａが塗布ヘッド４によって塞がれており、開口部５４ａの縁と塗布ヘッド４の側面との間には、わずかな隙間ｔが形成されるだけであるので、塗布ヘッド４から塗布液を吐出させたときに浮遊ミストが発生したとしても、そのミストは遮蔽板５４や塗布ヘッド４によって遮られ、重量測定装置５の周辺へ飛散することが防止される。そのため、基板ステージ３上に載置された基板Ｗがミストによって汚染されることが防止でき、基板Ｗに品質低下を防ぐことが可能となる。また、仮に、発生したミストが、開口部５４ａと塗布ヘッド４との間の隙間ｔに進入したしても、遮蔽板５４の上側にはダウンフロー等による気流が発生しているときには、この気流はミストが出て行こうとする方向とは逆向きに流れていることから、隙間ｔを通過して遮蔽板５４の外、つまり、上側へミストが出て行き難く、これによっても、ミストの飛散が防止される。
【００４７】
また、遮蔽板５４を支持部材５３に対してつまみネジ５５を用いて着脱自在とした。そのため、支持部材５３に対する遮蔽板５４の取り付け、取り外しを、工具を用いなくとも、指でつまみネジ５５を着脱することで容易に行なうことができる。その結果、カップ５２内に溜まった塗布液を廃棄するときにおいても、遮蔽板５４を容易に取り外して、電子天秤５１上からカップ５２を取り外し、カップ５２に溜まった塗布液を廃棄することができるので、塗布液廃棄の作業性を向上させることができ、ひいては、生産性を向上させることができる。
【００４８】
なお、上述の実施形態において、遮蔽板５４の開口部５４ａに塗布ヘッド４を進入させるものとして説明したが、進入させることなく、開口部５４ａの直上に近接させるようにしても良い。要は、開口部５４ａと塗布ヘッド４との間の隙間から、ダウンフロー等の気流が流れ込むことを妨げることができれば良い。
【００４９】
次に、第２の実施形態について図５を用いて説明する。
【００５０】
第２の実施形態が第１の実施形態と相違する点は、重量測定装置５における遮蔽板５４にカバー部材５６を設けた点である。ここで、図５において、図１〜図３と同一部品には同一符号を付す。
【００５１】
このカバー部材５６は、図５に示すように、四角筒状に形成された筒状部５６ａと、この筒状部５６ａの下端部に、外側に向けて所定の長さで張り出して設けられたフランジ部５６ｂとを有して構成される。この四角筒状の筒状部５６ａは、その開口部５６ｃの大きさが遮蔽板５４の開口部５４ａと同じ大きさとなるように形成される。
【００５２】
このように、遮蔽板５４の開口部５４ａにカバー部材５６の開口部５６ｃを連結すると、カバー部材５６がない場合に比べて、開口部５４ａ、５６ｃの下端から上端までの距離が長くなるので、開口部５４ａ、５６ｃと塗布ヘッド４との隙間ｔの大きさが同じであれば、距離が長い分だけ流路抵抗が大きくなるので、ダウンフロー等による気流がこの隙間ｔを通過し難くなる。そのため、カバー部材５６がない場合よりも、気流の影響を受け難くなるので、電子天秤４による吐出量の測定精度を一層向上させることが可能となる。
【００５３】
次に、第３の実施形態について図６を用いて説明する。
【００５４】
第３の実施形態が第１の実施形態と相違する点は、重量測定装置５における遮蔽板５４を２分割構造とした点である。ここで、図６において、図１〜図３と同一部品には同一符号を付す。
【００５５】
すなわち、第３の実施形態において、遮蔽板５４は、額縁状の外側部材５４Ａと、開口部５４ａを有し、外側部材５４Ａと連結する内側部材５４Ｂとで構成される。
【００５６】
額縁状の外周部材５４Ａは、カップ５２が通過できる大きさの開口部５４Ａ１を有する。この開口部５４Ａ１には、その縁に沿って、遮蔽板５４の板厚の半分の深さまでを切り欠いて形成された段部５４Ａ２が形成される。また、内側部材５４Ｂの外周部分には、外側部材５４Ａの段部５４Ａ２に嵌り合うように、凸部５４Ｂ１が形成されている。
【００５７】
そのため、内側部材５４Ｂを外側部材５４Ａの開口部５４Ａ１に対して上側からはめ込むと、内側部材５４Ｂの凸部５４Ｂ１が外側部材５４Ａの段部５４Ａ２に支持されて、両部材５４Ａ、５４Ｂは連結される。つまり、内側部材５４Ｂは、その凸部５４Ｂ１を外側部材５４Ａの段部５４Ａ２上に載せるだけで外側部材５４Ａに連結させることができ、外側部材５４Ａから持ち上げるだけで取り外すことができるように構成される。
【００５８】
外側部材５４Ａには、カップ５２が通過可能な開口部５４Ａ１が形成されているので、遮蔽板５４を取り外さなくとも、外側部材５４Ａの段部５４Ａ２上に支持された内側部材５４Ｂを取り外すだけで、カップ５２を電子天秤５１から取り外すことができる。これにより、第１の実施形態のように、遮蔽板５４を取り外す場合に比べて、一層容易にカップ５２内に溜まった塗布液を廃棄することが可能となる。なお、このように構成した場合、遮蔽板５４は支持部材５３に対して着脱自在とせずに固定しても良い。
【００５９】
次に、第４の実施形態について図７および図８を用いて説明する。
【００６０】
第４の実施形態が第１の実施形態と相違する点は、重量測定装置５における遮蔽板５４に設けられる開口部５４ａの大きさを塗布ヘッド４のノズル形成面４ａの大きさよりも小さくした点である。ここで、図７および図８において、図１〜図３と同一部品には同一符号を付す。
【００６１】
すなわち、遮蔽板５４の矩形状の開口部５４ａは、図８に示すように、その長辺および短辺の長さが、塗布ヘット４のノズル形成面４ａの長辺および短辺の長さに対してそれぞれ短く形成される。
【００６２】
また、開口部５４ａは、塗布ヘッド４のノズル形成面４ａに設けられたすべてのノズル４ｂを包含する大きさを有しており、その長辺の長さがノズル形成面４ａに形成されたノズル列の全長Ｌよりも長く、その短辺の長さがノズル列の全幅Ｗよりも長く形成される。ここで、ノズル列の全長Ｌとは、図８に示すように、ノズル形成面４ａにノズル４ｂが１列で形成されている場合には、ノズル４ｂの配列方向における一方の端に位置するノズル４ｂにおける配列方向外側の縁から他方の端部に位置するノズル４ｂにおける配列方向外側の縁までの長さであり、全幅とは、ノズル４ｂの直径に相当する長さである。つまり、開口部５４ａは、塗布ヘッド４のノズル形成面４ａをこの開口部５４ａに対向配置した状態ですべてのノズル４ｂから同時に塗布液を吐出させたとき、吐出されたすべての塗布液が開口部５４ａを通過することが可能な大きさに形成される。
【００６３】
なおここで、ノズル形成面４ａにノズル４ｂが、２列など複数列で形成されることがあるが、このような場合、ノズル列の全長Ｌは、ノズル４ｂの配列方向において最も端に位置するノズル４ｂ同士における配列方向外側の縁間の長さであり、ノズル列の全幅は、複数並んだノズル列における両端の列に位置するノズル同士における配列方向とは直交方向外側の縁間の長さである。
【００６４】
このような、遮蔽板５４を有する重量測定装置５を用いて、塗布ヘッド４から吐出された塗布液の重量を測定する場合には、塗布ヘッド４を重量測定装置５の直上に位置付けた後、Ｚ軸移動装置９を駆動させて、塗布ヘッド４を、図７に二点鎖線で示すように、ノズル形成面４ａと遮蔽板５４の上面との間の間隔が、予め設定された近接間隔ｇとなるまで下降させる。
【００６５】
塗布ヘッド４の下降が完了したならば、第１の実施形態の吐出量の測定動作において説明したと同様に、塗布ヘッド４の各ノズル４ｂから予め設定された回数だけ塗布液を吐出させて吐出量の測定を行なう。
【００６６】
ここで、近接間隔ｇは、塗布液塗布装置１の天井側からダウンフロー式に供給される気体がカップ５２側に勢いよく流れ込むことを妨げることができる程度の大きさであればよい。機能上の問題が生じないのであれば、近接間隔ｇを０（ゼロ）、すなわち、塗布ヘッド４を遮蔽板５４に当接させるようにしても良い。つまり、近接とは、近づけるだけではなく、接触させることも含むものとする。
【００６７】
なお、塗布ヘッド４を遮蔽板５４に当接させる場合、遮蔽板５４上に、開口部５４ａの縁を囲むように、シリコンゴムやスポンジ部材などの弾性部材を干渉部材として配置するようにしても良い。
【００６８】
以上、本発明のいくつかの実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態に限定されるものではない。
【００６９】
例えば、遮蔽部材としての遮蔽板５４を、カップ５２、つまり電子天秤５１の上側だけに配置するものとした、上側のみに限られるものではなく、上側に加ええて、電子天秤５１およびカップ５２の側方の周囲を囲むように側壁を配置（例えば、遮蔽板５４の各辺から下側に向けて架台２の上面まで壁板を設ける。）し、この側壁および遮蔽板５４と架台２の上面とによって電子天秤５１とカップ５２を囲む閉空間を形成するようにしても良い。
【００７０】
このように構成することで、電子天秤５１やカップ５２の周囲に水平方向の気流が生じる場合においても、この気流は前記壁板に遮られることになるから、水平方向の気流の影響を受けることなく、精度良く吐出量の測定を行なうことが可能となる。
【００７１】
また、塗布ヘッド４に、塗布ヘッド４の外周面（４つの側壁面）を囲むように、つば部を設けるようにしても良い。すなわち、塗布ヘッド４の４つの側壁面における下端（ノズル形成面４ａ側の端）に近い位置に、１周連続して、水平方向に所定の長さで張り出したつば部を設ける。そして、塗布ヘッド４を遮蔽板５４の開口部５４ａに進入させるときには、つば部の下面が遮蔽板５４の上面と同じ高さ位置となるように、塗布ヘッド４を下降させる。このようにすると、塗布ヘッド４と開口部５４ａの縁との隙間ｔがつば部によって塞がれることになるから、開口部５４ａをより確実に塞ぐことができる。なお、つば部の張り出し長さは、塗布ヘッド４と開口部５４ａの縁との隙間ｔよりも大きい方が、隙間ｔを完全に塞ぐことができ、好ましい。また、つば部は、金属等の硬質の部材で形成しても良いし、ゴム等の弾性部材や樹脂などの比較的軟質の部材で形成しても良い。
【００７２】
また、カップ５２の中に、塗布液を吸収する、スポンジ部材や不織布などの吸収部材を配置するようにしても良い。
【００７３】
また、塗布ヘッド４からの塗布液の吐出量を、吐出された塗布液の総重量ｗ３で良否判定するものとしたが、一滴分の重量で良否判定するようにしても良い。この場合には、総重量ｗ３を塗布ヘッド４のノズル４ｂの数と吐出回数で除して、一滴分の塗布液の重量を求めるようにすれば良い。
【００７４】
また、基板ステージ３をＹ軸移動装置６によってＹ軸方向に移動可能に構成したが、これに限られるものではなく、Ｙ軸移動装置６に加え、Ｘ軸移動装置、θ（回転）駆動装置を設け、Ｘ、Ｙ方向および回転方向に移動可能としても良い。また、Ｙ軸移動装置６を排除して、基板ステージ３を架台２上に固定配置しても良い。なお、基板ステージ３をＸ、Ｙ方向および回転方向に移動可能とした場合、塗布ヘッド４は、門型支持フレーム７上にＸ、Ｙ方向に移動不能に設けても良い。また、基板ステージ３を架台２上に固定配置した場合、Ｘ軸移動装置８を介して塗布ヘッド４を支持する門型支持フレーム７を更にＹ軸方向に移動可能な構成として、塗布ヘッド４をＸ、Ｙ方向に移動可能に構成すれば良い。
【符号の説明】
【００７５】
１  塗布液塗布装置
４  塗布ヘッド
４ａ  ノズル形成面
５  重量測定装置
５１  電子天秤
５２  カップ（収容部材）
５４  遮蔽板（遮蔽部材）
５４ａ  開口部
５４Ａ  外側部材
５４Ｂ  内側部材
５５  つまみネジ
５６  カバー部材
５６ａ  筒状部（四角筒状部）
１２  制御装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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