(57)【要約】【課題】口金３の初期化処理の際に口金３から吐出された塗布液Ｌを受けることができ、かつ、その塗布液Ｌの飛び散りを低減する。【解決手段】塗布液Ｌを吐出する吐出スリット１１が一方向に長くかつその直交方向に狭く形成されている口金３と、吐出スリット１１から吐出された塗布液Ｌを受ける液受け機構１０と備えている。液受け機構１０は、吐出スリット１１よりも前記一方向に広い範囲に当該一方向に沿って設けられている可撓性のあるシート材１７を有している。このシート材１７の両側の縁部７，７は、吐出スリット１１からの塗布液Ｌの落下領域Ｇを両側から挟む上位置Ｐ１，Ｐ２で支持され、かつ、このシート材１７の中央部６は、両側の縁部７，７から垂れ下がった状態にある。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被塗布部材を載せるステージと、塗布液を吐出する吐出スリットが一方向に長くかつその直交方向に狭く形成されている口金と、前記吐出スリットから吐出された塗布液を受ける液受け機構と、備え、
前記液受け機構は、前記吐出スリットよりも前記一方向に広い範囲に当該一方向に沿って設けられている可撓性のあるシート材を有しており、当該シート材の前記直交方向の両側の縁部は、前記吐出スリットからの塗布液の落下領域を両側から挟む上位置で支持され、かつ、当該シート材の前記直交方向の中央部は、両側の前記縁部から垂れ下がった状態にあることを特徴とする塗布装置。
【請求項２】
前記液受け機構は、更に、前記シート材の両側の前記縁部に沿ってそれぞれ設けられかつ当該縁部を保持している長尺の芯材と、この芯材の長手方向が前記一方向と平行となるようにかつ当該芯材を前記上位置において着脱可能に取り付けている取り付け部材と、を有している請求項１に記載の塗布装置。
【請求項３】
前記液受け機構は、更に、前記シート材に対して張力を付与する補助部材を有している請求項１又は２に記載の塗布装置。
【請求項４】
前記補助部材は、前記シート材の垂れ下がっている部分の上面に載せられているシャフトからなり、
前記液受け機構は、更に、前記吐出スリットの開口端の直下位置よりも前記直交方向に偏らせた位置に、前記シャフトを位置させる規制部を有している請求項３に記載の塗布装置。
【請求項５】
前記液受け機構は、更に、前記シート材を下方から覆う大トレイを有している請求項１〜４のいずれか一項に記載の塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板等に塗布液を塗布するために、塗布液を吐出する吐出スリットを有している口金を備えた塗布装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ガラス基板やフィルム等の基板（被塗布部材）に塗布液を塗布する装置として、基板を載せるステージと、このステージ上の基板に対して塗布液を吐出する吐出スリットを有している口金とを備えた塗布装置が知られている。吐出スリットは、口金の幅方向に長く形成されており、この口金をステージ上の基板に対して水平移動させながら吐出スリットから塗布液を吐出することで、基板の表面に塗布液による薄膜（塗膜）を形成することができる（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
このように基板に対して吐出スリットから塗布液を吐出して行う塗布作業の前には、口金の初期化処理が行われる。初期化処理とは、塗布液を吐出スリットから一定量吐出させた後、吐出スリットの開口端を拭き取りする準備処理である。図７に示すように、基板Ｗを載せるステージ９０の隣りには、トレイ９１が設けられており、前記初期化処理は、このトレイ９１の上に口金９２を位置させて行われる。つまり、初期化処理の際、吐出スリット９３から吐出された塗布液Ｌは、トレイ９１によって受けられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−７０９７３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
トレイ９１は、金属板により構成されており、また、口金９２の吐出スリット９３の開口端９３ａが、トレイ９１の底面９１ａから離れていることもあり、塗布液Ｌをトレイ９１で受けると、その塗布液Ｌは、大きく様々な方向へしかも広範囲に飛び散る。このため、定期的にトレイ９１の清掃を行うが、塗布液Ｌによる汚染範囲は広く、清掃作業に多くの時間を要してしまい、この結果、塗布作業の時間が削られて生産性が低下するという問題点がある。また、飛散した塗布液Ｌが固着する前に、トレイ９１の清掃を行うのが好ましいが、清掃が遅れて塗布液Ｌが固着した場合、その塗布液Ｌをトレイ９１から剥がす必要があり、特に、このような剥がす作業が広範囲において必要であると、清掃作業のためにより一層多くの時間を要し、生産性を低下させてしまう。
【０００６】
そこで、本発明では、口金の初期化処理の際に口金から吐出された塗布液を受けることができ、かつ、その塗布液の飛び散りを低減することが可能となる液受け機構を備えた塗布装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、被塗布部材を載せるステージと、塗布液を吐出する吐出スリットが一方向に長くかつその直交方向に狭く形成されている口金と、前記吐出スリットから吐出された塗布液を受ける液受け機構と備え、前記液受け機構は、前記吐出スリットよりも前記一方向に広い範囲に当該一方向に沿って設けられている可撓性のあるシート材を有しており、当該シート材の前記直交方向の両側の縁部は、前記吐出スリットからの塗布液の落下領域を両側から挟む上位置で支持され、かつ、当該シート材の前記直交方向の中央部は、両側の前記縁部から垂れ下がった状態にあることを特徴とする。
【０００８】
本発明によれば、液受け機構は、吐出スリットよりも一方向に広い範囲に当該一方向に沿って設けられている可撓性のあるシート材を有しており、このシート材の両側の縁部は、塗布液の落下領域を両側から挟む上位置で支持され、かつ、このシート材の中央部は、両側の縁部から垂れ下がった状態にあることで、このシート材の横断面は凹形状となり、このシート材によって、吐出スリットから吐出された塗布液を受けることができる。しかも、塗布液を受ける際に、可撓性を有するシート材によって塗布液の跳ね返りが抑制されることで、塗布液の飛び散りを低減することができる。
【０００９】
また、前記液受け機構は、更に、前記シート材の両側の前記縁部に沿ってそれぞれ設けられかつ当該縁部を保持している長尺の芯材と、この芯材の長手方向が前記一方向と平行となるようにかつ当該芯材を前記上位置において着脱可能に取り付けている取り付け部材とを有しているのが好ましい。
この場合、シート材の両側の縁部を保持している長尺の芯材を、取り付け部材から取り外すことで、芯材と一緒にシート材を取り外すことができる。このため、シート材を取り替える必要が生じた場合に、その取り替え作業を迅速に行うことが可能となる。
【００１０】
また、前記液受け機構は、更に、前記シート材に対して張力を付与する補助部材を有しているのが好ましい。
前記のとおりシート材は可撓性を有するため、シート材に凹凸が生じるおそれがあるが、前記補助部材によって前記凹凸の発生を抑制することができる。なお、シート材に凹部が生じていると、その凹部に塗布液が溜まるおそれがあるが、補助部材によりこれを抑制することができる。
【００１１】
また、前記補助部材は、前記シート材の垂れ下がっている部分の上面に載せられているシャフトからなり、前記液受け機構は、更に、前記吐出スリットの開口端の直下位置よりも前記直交方向に偏らせた位置に、前記シャフトを位置させる規制部を有しているのが好ましい。
この場合、シート材の垂れ下がっている部分の上面にシャフトを載せれば、簡単にシート材に張力を付与することができる。そして、シャフトは、吐出スリットの開口端の直下位置よりも直交方向に偏らせた位置に設けられることから、吐出スリットから吐出された塗布液が、シャフトに直接衝突することを避け、可撓性があり張力が付与されたシート部分に当たることによって、周囲への液の跳ね返り（飛散）を大幅に抑制することができる。
【００１２】
また、前記液受け機構は、更に、前記シート材を下方から覆う大トレイを有しているのが好ましく、この場合、通常では、塗布液をシート材によって受けることができるが、そのバックアップとして大トレイを機能させることができる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、塗布液を受ける際に、塗布液の跳ね返りが可撓性を有するシート材によって抑制されることで、塗布液の飛び散りを低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の塗布装置の一部の概略構成を示す横断面である。
【図２】図１に示す塗布装置を、Ｘ方向から見た図である。
【図３】液受け機構の斜視図である。
【図４】規制部及びその周囲を示す説明図である。
【図５】シート材の取り付け構造の説明図である。
【図６】芯材に対するシート材の保持構造（変形例）の説明図である。
【図７】従来の塗布装置の一部を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
〔塗布装置の構成について〕
図１は、本発明の塗布装置１の一部の概略構成を示す横断面である。この塗布装置１は、ガラス等の基板（被塗布部材）Ｗを載せるステージ２と、このステージ２上の基板Ｗに対して塗布液Ｌを吐出することができる口金３と、ステージ２の隣りに設けられ後述する初期化処理の際に口金３から吐出された塗布液Ｌを受ける液受け機構１０とを備えている。また、塗布装置１は、図示しないが、塗布液Ｌを溜めるタンク（液溜め部）と、このタンクの塗布液Ｌを口金３に送るポンプ（送液手段）と、ステージ２上の基板Ｗと口金３との内の一方を他方に対して移動させる駆動装置とを備えている。本実施形態では、前記駆動装置は、装置フレームに固定状態にあるステージ２及び液受け機構１０に対して、口金３を水平方向及び垂直方向に移動させるアクチュエータからなる。
【００１６】
本実施形態では、口金３の水平移動方向をＸ方向、このＸ方向に直交する水平方向をＹ方向、Ｘ方向とＹ方向とに直交する高さ方向をＺ方向と定義する。なお、Ｙ方向が、口金３の幅方向と一致しており、口金３はＹ方向に長く構成されている。そして、基板Ｗの幅方向がＹ方向に一致するようにして、基板Ｗはステージ２上に載せられる。図１は、Ｙ方向から見た図であり、図２は、図１に示す塗布装置１を、Ｘ方向から見た図である。
【００１７】
口金３内の下部には、塗布液Ｌを吐出する吐出スリット１１が形成されている。吐出スリット１１は、Ｙ方向（一方向）に長く、かつ、Ｘ方向（一方向の直交方向）に狭く形成されている。図２では、吐出スリット１１のＹ方向寸法をＢ１としている。つまり、Ｙ方向寸法Ｂ１は、塗布液Ｌの吐出幅寸法となる。なお、図１、図２では、吐出スリット１１から吐出された塗布液Ｌを、液滴として記載しているが、吐出スリット１１はＹ方向に連続しているため、吐出する流量が多い場合は、塗布液Ｌは、Ｙ方向に連続した帯状となって吐出される。
【００１８】
以上の構成を備えている塗布装置１によれば、図１の二点鎖線で示す状態にある口金３へタンク内の塗布液Ｌをポンプにより供給することで、ステージ２上の基板Ｗに対して、吐出スリット１１から塗布液Ｌを吐出することができ、そして、この吐出スリット１１と基板Ｗとの間に平行なすきまを形成した状態で、塗布液Ｌの吐出動作に合わせて駆動装置により口金３を水平移動（図１の場合、右方向へ移動）させることで、基板Ｗ上に塗布液Ｌによる薄膜（塗膜）を形成することができる。
【００１９】
前記駆動装置によって、口金３は、ステージ２上と液受け機構１０上との間をＸ方向に沿って往復移動可能であり、口金３がステージ２上を移動することにより、前記のとおり、基板Ｗに対する塗布処理が行われる。これに対して、口金３が液受け機構１０上へ移動することにより、前記塗布処理の前に行われる口金３の初期化処理が行われる。この初期化処理とは、吐出スリット１１から塗布液Ｌを一定量吐出させた後、吐出スリット１１の開口端１２を、ゴム等からなる拭き取り部材（図示せず）によって、拭き取りする準備処理である。また、この初期化処理のために、前記拭き取り部材を吐出スリット１１の開口端１２に沿ってＹ方向に移動させる駆動機構８（図３参照）が、更に設けられている。
【００２０】
そして、この初期化処理の際に、液受け機構１０は、吐出スリット１１から吐出された塗布液Ｌを受けるために、口金３（吐出スリット１１）の下方に位置しているトレイ（小トレイ）を有している。このトレイの本体部は、可撓性を有するシート材１７により構成されている。シート材１７は、樹脂製の薄いフィルムからなり柔軟性を有しており、変形自在である。図１に示すように、このシート材１７は、Ｘ方向の両側の上位置Ｐ１，Ｐ２において支持されており、これら上位置Ｐ１，Ｐ２の間の中央において撓んで低くなっている。つまり、変形自在であるシート材１７によって、横断面がＶ字状（又はＵ字状）となる小トレイが構成されている。
【００２１】
なお、本実施形態の液受け機構１０は、更に、シート材１７を下方から覆う大トレイ１５を有している。大トレイ１５は、底壁４０と、四方向の側壁４１とを有しており、シート材１７からなる小トレイを収容している。大トレイ１５は、小トレイのバックアップとして機能することができる。図２に示すように、底壁４０には、後にも説明するがシート材１７の一部に設けられた孔１９を通過した塗布液Ｌを受ける排出口１６を備えており、この排出口１６が最も低くなるように底壁４０は排出口１６に向かって下へ傾斜している。図１に示す横断面において、排出口１６を中心とする底壁４０の角度をθ（θ≦１８０°）としている。
【００２２】
シート材１７により構成される小トレイについて説明する。シート材１７を広げた状態では、その形状は、ほぼ長方形であり、シート材１７の材質は樹脂である。特に、本実施形態では、フッ素樹脂製のシート材１７を採用しており、塗布液Ｌの撥液性を高めている。フッ素樹脂として、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）を採用するのが特に好ましい。
【００２３】
シート材１７は、吐出スリット１１よりもＹ方向（一方向）に広い（長い）範囲にＹ方向に沿って設けられている。図２において、吐出スリット１１のＹ方向寸法は「Ｂ１」であるのに対して、シート材１７のＹ方向寸法（シート材１７が設けられている範囲のＹ方向寸法）は「Ｂ２」であり、Ｂ１＜Ｂ２の関係にある。また、寸法「Ｂ２」の範囲内に「Ｂ１」の範囲（吐出スリット１１）が含まれている。これにより、吐出スリット１１の全幅から吐出される塗布液Ｌを、シート材１７が受けることができる。
【００２４】
図１に示すように、このシート材１７のＸ方向の両側の縁部７，７は、上位置Ｐ１，Ｐ２で支持されている。なお、これら上位置Ｐ１，Ｐ２は、吐出スリット１１からの塗布液Ｌの落下領域ＧをＸ方向の両側から挟む位置である。そして、シート材１７のＸ方向の中央部６は、両側の縁部７，７から垂れ下がった状態にある。つまり、シート材１７の横断面形状は、上位置Ｐ１，Ｐ２からＸ方向の中央に向かって垂れ下がって凹形状となる。なお、上位置Ｐ１，Ｐ２は、吐出スリット１１の開口端１２からのＸ方向距離（ｘ１，ｘ２）が同じとされている（ｘ１＝ｘ２）。
【００２５】
そして、後にも説明するが、このシート材１７の垂れ下がっている部分１８の上面に、シャフト２０が載せられている。このシャフト２０の重みによって、垂れ下がっているシート材１７に対して高さ方向の張力が付与され、シート材１７を弛みのない状態とすることができる。なお、本実施形態のシャフト２０は断面が円形であり、このシャフト２０の直径が小さいと、シート材１７の横断面はＶ字形に近づき、シャフト２０の直径が大きいと、シート材１７の横断面はＵ字形に近づく。なお、シート材１７に常時張りを持たせるために必要なシャフト２０の重量は、シート材１７の厚みによって異なるため、シャフト２０の重量が最適となるようにシャフト２０の直径は選定され調整される。そして、シャフト２０は、シート材１７のＹ方向寸法Ｂ２よりも長い（図２参照）。
【００２６】
図１に示すように、シート材１７は、底部３３を中心として上に開口するＶ字形となっており、底部３３から上に向かうにしたがって、横断面において、シート材１７の開口寸法（Ｘ方向寸法）が広がっている。そして、このシート材１７の開口角度αは、前記底壁４０の開き角度θ（θ≦１８０°）よりも小さく設定されている（α＜θ）。開口角度αは、鋭角（９０°以下）であるのが好ましい。
【００２７】
シート材１７によって横断面がＶ字状（又はＵ字状）となる小トレイの底部３３は、図２に示すように、Ｙ方向に向かって直線状に構成されるが、この底部３３は、Ｙ方向の一方側（図２の場合、右側）から他方側（図２の場合、左側）へと向かって低くなるように傾斜している。これにより、シート剤１７の内のＹ方向の他方側寄りの領域に形成されている孔１９に向かって、このシート材１７が受けた塗布液Ｌを流すことができる。この結果、シート材１７が受けた塗布液Ｌは、シート材１７上をＹ方向に沿って流れ、シート材１７の底部３３に設けられている孔１９を通過して下方へ排出される。このように底部３３を傾斜させるためには、シート材１７及びシャフト２０（及び後述する芯材２５，２５）を、水平面に対して傾斜させて設置すればよい。
そして、本実施形態では、孔１９を通過した塗布液Ｌは、大トレイ１５の排出口１６を通じて塗布装置１の外部へ排出される。なお、シート材１７の孔１９は、排出口１６の直上に設けられており、シート材１７が受けた塗布液Ｌを、滞留を少なくして（迅速に）塗布装置１の外部へ排出することができる。
【００２８】
前記のとおり、液受け機構１０は、凹形状となるシート材１７に高さ方向の張力を付与する補助部材として、シャフト２０を有している。更に、この液受け機構１０は、吐出スリット１１の開口端１２の直下位置よりもＸ方向一方側に偏らせた位置（図１参照）に、シャフト２０を位置させる規制部２１（図３参照）を有している。図３は、液受け機構１０の斜視図である。規制部２１は、大トレイ１５に取り付けられているガイド部材からなり、規制部２１は、シャフト２０の両端部に当接可能となる位置に設けられている。Ｙ方向両側の規制部２１，２１は、吐出スリット１１から吐出される塗布液Ｌの落下領域よりもＹ方向外側に設けられている。
【００２９】
図４は、規制部２１及びその周囲を示す説明図である。規制部２１は、シャフト２０がＸ方向に移動するのを規制する一組のアーム２２，２２を有しており、これらアーム２２，２２間にシャフト２０の端部を介在させることができる。また、これらアーム２２，２２間は上部において開口しており、シャフト２０を受け入れることができる構成にある。このため、上位置Ｐ１，Ｐ２において支持された状態にあるシート材１７の垂れ下がっている部分１８に対して、上からシャフト２０を落とせば、このシャフト２０の端部をアーム２２，２２間に介在させることができ、シート材１７に張力を付与することができる。なお、後にも説明するが、シート材１７の底部３３（図２参照）を傾斜させることから、この傾斜に合わせてシャフト２０も傾斜させればよい。
【００３０】
そして、図４において、アーム２２，２２間のＸ方向の中心位置が、吐出スリット１１の開口端１２の直下位置よりも、Ｘ方向一方側に偏った位置となるように、これらアーム２２，２２は設置されている。このようにＸ方向一方側へ偏らせた寸法（オフセット寸法）を、図４において「Ｅ」としている。また、図４（及び図１）において、アーム２２，２２間のＸ方向の中心位置を通過する鉛直線を一点鎖線Ｃ１により示しており、吐出スリット１１の開口端１２の直下位置を通過する鉛直線を一点鎖線Ｃ２により示している。そして、前記オフセット寸法「Ｅ」は、シャフト２０の半径よりも大きく設定されている。
これにより、図１に示すように、吐出スリット１１の開口端１２の直下位置よりもオフセット寸法「Ｅ」についてＸ方向一方側に偏らせた位置に、シャフト２０の中心を位置させることができる。
【００３１】
前記のとおりシート材１７は可撓性を有するため、シート材１７に凹凸が生じるおそれがあるが、このシャフト２０によれば、シート材１７に張力を付与して凹凸の発生を抑制することができる。なお、シート材１７に凹部が生じていると、その凹部に塗布液Ｌが溜まるおそれがあるが、これを抑制することができる。また、シート材１７の垂れ下がっている部分１８の上面にシャフト２０を載せれば、簡単にシート材１７に張力を付与することができ、シート材１７に張力を付与するための構成、及びその作業が簡単となる。
また、アーム２２，２２（規制部２１）によれば、シャフト２０を、吐出スリット１１の開口端１２の直下位置よりもＹ方向一方側に偏らせた位置に設けることができるので（図１参照）、吐出スリット１１から吐出された塗布液Ｌが、シャフト２０に直接衝突することを避け、可撓性があり張力が付与されたシート剤１７のシート部分に当たることによって、周囲への塗布液Ｌの跳ね返り（飛散）を大幅に抑制することができる。
シャフト２０は、内部の金属管（又は金属棒）と、その外周の被覆部とを有しており、被覆部は樹脂（樹脂チューブ）からなる。被覆部の樹脂はテトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）であるのが好ましく、これにより、シャフト２０に塗布液Ｌが付着し難く、塗布液Ｌを、滞留を少なくして排出することが可能となる。
【００３２】
次に、シート材１７の取り付け構造に関して説明する。図３において、液受け機構１０は、シート材１７の他に、長尺の芯材２５，２５を有している。芯材２５，２５は、シート材１７の両側の縁部７，７に沿ってそれぞれ設けられており、かつ、その縁部７，７を保持している。
本実施形態では、エヌアイシ・オートテック株式会社製のアルファフレーム（登録商標）を芯材２５として用いており、ほぼ長方形であるシート材１７の長手方向側の縁部７を、図５に示すように、この芯材２５に巻き付けると共に、この芯材２５に設けられている凹部２７に、詰め部材２８を縁部７の一部と共に嵌め入れることで、縁部７を芯材２５に保持させている（取り付けている）。
【００３３】
さらに、液受け機構１０は、シート材１７及び芯材２５，２５を含むユニットを取り付けるための取り付け部材３０（図３参照）を有している。取り付け部材３０は、大トレイ１５の底部から立設する支持アームからなり、その上部に芯材２５を取り付けることが可能である。本実施形態では（図５参照）、前記取り付け部材（支持アーム）３０の上部において、蝶ネジ等からなるネジ３１を締め付けることによって、芯材２５を取り付け部材３０に固定可能であり、また、このネジ３１を緩めることによって、芯材２５を取り付け部材３０から取り外し可能である。取り付け部材３０は、Ｙ方向に沿って複数（図３の場合、３つ）設けられており、これら３つの取り付け部材３０によって、一方の芯材２５が上位置Ｐ１に設置される。また、取り付け部材３０は、Ｘ方向両側に設けられており、他方の芯材２５が上位置Ｐ２に設置される。Ｘ方向両側に位置する取り付け部材３０，３０は、吐出スリット１１から吐出される塗布液Ｌの落下領域Ｇ（図１参照）よりもＸ方向外側に設けられている。
【００３４】
これら取り付け部材３０によれば、図３に示すように、芯材２５，２５の長手方向がＹ方向と平行となるようにして、上位置Ｐ１，Ｐ２に芯材２５，２５を取り付けることができ、かつ、これら芯材２５，２５を、上位置Ｐ１，Ｐ２において着脱可能とすることができる。このようなシート材１７の取り付け構造によれば、シート材１７の両側の縁部７，７を保持している長尺の芯材２５，２５を、取り付け部材３０から取り外すことで、芯材２５と一緒に、使用済みのシート材１７を取り外すことができる。そして、新しいシート材１７と芯材２５，２５とのユニットを、取り付け部材３０へ簡単に新設することができる。このため、シート材１７を取り替える必要が生じた場合に、その取り替え作業を迅速にかつ容易に行うことが可能となり、メンテナンス性が向上する。
【００３５】
また、本実施形態では、図２に示すように、液受け機構１０は、小トレイを構成するために、シート材１７（第１のシート材１７）の他に、更に、塗布液Ｌを受けることのできる横断面がＶ字状（又はＵ字状）となる第２のシート材３７を備えている。第２のシート材３７は、第１のシート剤１７と同じ素材からなり、可撓性を有し、自由に変形する。この第２のシート材３７は、第１のシート材１７の一部（図２の場合、左側の一部）の上に重ねて設けられており、第１のシート材１７と同様に、そのＸ方向の両側の縁部が、吐出スリット１１からの塗布液Ｌの落下領域Ｇを両側から挟む上位置Ｐ１，Ｐ２で、芯材２５，２５を介して支持されており、かつ、このシート材３７のＸ方向の中央部は、両側の縁部７，７から垂れ下がっている。
そして、この第２のシート材３７の底部３４は、第１のシート材１７の底部３３と反対向きに傾斜しており、第２のシート材３７の底部３４を流れる塗布液Ｌは、孔１９へと導かれる。第１のシート材１７は、吐出スリット１１から吐出された塗布液Ｌのうち、孔１９よりもＹ方向一方側（図２の場合、右側）の塗布液Ｌを主に受けることができ、第２のシート材３７は、孔１９よりもＹ方向他方側（図２の場合、左側）の塗布液Ｌを主に受けることができる。
なお、第２のシート材３７は、シャフト２０が載っていない状態にあるが、自重によって（特に、受けた塗布液Ｌの重さによって）、横断面がほぼＶ字状（又はほぼＵ字状）となることができ、小トレイの一部を構成することができる。
【００３６】
以上のようにシート材１７（３７）により構成された小トレイによれば、吐出スリット１１から吐出された塗布液Ｌを受けることができる。しかも、塗布液Ｌを受ける際に、可撓性を有するシート材１７（３７）によって、塗布液Ｌの跳ね返りが抑制されることで、塗布液Ｌの飛び散りを低減することができる。つまり、塗布液Ｌを、シート材１７の弾性によって跳ねないようにして受けることができる。この結果、塗布液Ｌが付着する領域はシート材１７（３７）のみとなる。そして、このシート材１７（３７）が受けた塗布液Ｌを、底部３３（垂れ下がっている部分１８）に沿って流して、孔１９を通じて排出することができる。このようにシート材１７（３７）のみによって、塗布液Ｌを受けることができるため、メンテナンスのためにはシート材１７（３７）を取り替えればよく、大トレイ１５を高い頻度で清掃する必要が無くなる。
【００３７】
また、本実施形態によれば、シート材１７は、横断面がＶ字状（又はＵ字状）となることで小トレイは下細り形状となり、塗布液Ｌがその底部３３に集まりやすくなり、塗布液Ｌはまとめて流れやすい。また、シート材１７の材質は、ＰＴＦＥであるため、撥液性が高く、塗布液Ｌを、滞留を少なくして排出することが可能となる。
【００３８】
ここで、吐出スリット１１から吐出された塗布液Ｌに溶剤が含まれており、長時間このような塗布液Ｌが、塗布装置１の設置されている室内に残留していると、環境面に悪影響を及ぼすおそれがある。しかし、本実施形態の液受け機構１０によれば、塗布液Ｌを、小トレイを構成するシート材１７の孔１９を通じて大トレイ１５の排出口１６から、塗布装置１の外部へと、滞留を少なくして排出することが可能となる。このため、室内に残留する塗布液Ｌを最小限に抑えることができる。
【００３９】
また、図３に示すように、液受け機構１０は、シート材１７（３７）の凹形状となっている部分の上面に向かって、エアを噴出する第１ノズル９ａ、及び洗浄液を噴出する第２ノズル９ｂを有するノズルユニット９を備えている。このノズルユニット９は、シート材１７の上方をＹ方向に沿って移動可能であり、第２ノズル２ｂから洗浄液を噴出することによって、シート材１７に残存し固着しようとする塗布液Ｌを薄めることができる。そして、第１ノズル９ａから噴出したエアによってシート材１７に残存する塗布液Ｌ（及び洗浄液）を孔１９へ向かって強制的に流すことができる。これにより、洗浄液によって薄めた塗布液Ｌを、第１ノズル９ａによるエアブローにより押し流すことができる。なお、このノズルユニット９の移動は、前記拭き取り部材を吐出スリット１１の開口端１２に沿ってＹ方向に移動させる駆動機構８によって行うように構成するのがよい。
【００４０】
また、前記のとおり、使用済みのシート材１７（３７）と一緒に芯材２５，２５を、取り付け部材３０から容易に取り外すことができ、新たなシート材１７（３７）を芯材２５，２５と共に、取り付け部材３０に容易に取り付けることができ、シート材１７（３７）の交換が容易である。なお、図５に示す詰め部材２８を芯材２５から取り外せば、芯材２５とシート材１７とを簡単に分離することができるため、芯材２５は再利用可能である。また、シート材１７（３７）は樹脂製シートからなるため安価であり、使い捨てとすることが可能である。このため、従来では、大トレイ９１（図７参照）を清掃するために、塗布処理を停止させる時間が長くなっていたが、本実施形態によれば、シート材１７の交換作業は短時間で済み、塗布処理を停止させる時間を短縮することができる。
【００４１】
なお、芯材２５に対するシート材１７の保持構造は、図５により説明した構造以外であってもよい。例えば、図６に示すように、シート材１７の縁部７が筒状となるように当該端部７を巻き、シート材１７の重なり部分を溶着し、その筒状となった端部７に芯材２５を通すことで、芯材２５に対してシート材１７の縁部７を保持させた構成としてもよい。
【００４２】
今回開示した実施形態はすべての点で例示であって制限的なものではない。本発明の権利範囲は、上述の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された構成と均等の範囲内でのすべての変更が含まれる。
前記実施形態では、シート材１７に張力を付与するためのシャフト２０の断面を円形としたが、角形状であってもよく、例えば断面が三角形のシャフト２０を採用すれば（但し、逆三角形の姿勢でシャフト２０をシート材１７上に載せる）、シート材１７は横断面Ｖ字形に近づく。
また、塗布液Ｌを塗布する対象（被塗布部材）をガラス板等の基板Ｗとして説明したが、被塗布部材は、これ以外であってもよい。
さらに、前記実施形態では、固定状態にあるステージ２及び液受け機構１０（図１参照）に対して、口金３がＸ方向に移動する場合について説明したが、これとは反対に、固定状態にある口金３に対して、ステージ２及び液受け機構１０がＸ方向に移動するように構成した塗布装置であってもよい。
また、シート材１７の保持構造は、芯材２５を持たない構造であってもよい。たとえば、Ｖ字状などの断面を有しＹ方向に吐出スリット１１よりも長い吸着面を有する吸着パッドを配置し、シート材１７の下方からこの吸着面にシート材１７を吸着させる構成としてもよい。この構成によれば、シート材１７を吸着面に沿って任意の形状で保持することが可能である。
【符号の説明】
【００４３】
１：塗布装置    ２：ステージ    ３：口金
６：中央部    ７：縁部    １０：液受け機構
１１：吐出スリット    １２：開口端    １５：大トレイ
１７：シート材    １８：垂れ下がっている部分    ２０：シャフト（補助部材）
２１：規制部    ２５：芯材    ３０：取り付け部材
Ｇ：落下領域    Ｐ１：上位置    Ｐ２：上位置    Ｌ：塗布液
Ｗ：基板（被塗布部材）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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