(57)【要約】【課題】  安価な部品で構成でき、且つ組立・調整が容易なサーボ式加速度センサを提供する。【解決手段】  加速度に応じて変位する振子部６と、この振子部６を支持する枠部７と、振子部６の変位を静電容量の変化で検知する変位検出部１６ａ，１６ｂと、この変位検出部１６ａ，１６ｂが検知した静電容量の変化量に基づき、振子部６に設けたコイル１３ａに振子部６の変位を制御する電流を供給するサーボ回路部３を備え、このサーボ回路部３が供給する電流を加速度として出力するサーボ式加速度センサ１であって、変位検出部１６ａ，１６ｂの電極配線部１１ｅ，１１ｆとコイル１３ａの配線部を兼ねる可撓部１１ｃ，１１ｄを形成する金属薄板部材１１が、一対の振子部用プリント基板１２ａ，１２ｂと一対の枠部用プリント基板１７ａ，１７ｂにより挟持され、振子部６の表面と枠部７の表面が同一平面に形成される。【選択図】        図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
加速度に応じて変位する振子部と、この振子部を支持する枠部と、振子部の変位を静電容量の変化で検知する変位検出部と、この変位検出部が検知した静電容量の変化量に基づき、前記振子部に設けたコイルに前記振子部の変位を制御する電流を供給するサーボ回路部を備え、このサーボ回路部が供給する電流を加速度として出力するサーボ式加速度センサであって、金属薄板部材を一対の振子部用プリント基板と一対の枠部用プリント基板により挟んで前記振子部と前記枠部を形成すると共に、前記振子部の表面と前記枠部の表面が同一平面になるように構成し、前記振子部は前記金属薄板部材を介して前記枠部に支持され、前記金属薄板部材に前記変位検出部の電極配線部とコイルの配線部を兼ねる可撓部を形成することを特徴とするサーボ式加速度センサ。
【請求項２】
請求項１に記載のサーボ式加速度センサにおいて、前記変位検出部は、前記一対の振子部用プリント基板に夫々形成された電極と、これらの電極に対向する各ハウジングにより構成され、前記各ハウジングの少なくとも一方は磁気回路を構成し、前記枠部と前記各ハウジングの間に挟装される各スペーサの厚みにより、前記変位検出部の電極間ギャップが設定されることを特徴とするサーボ式加速度センサ。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のサーボ式加速度センサにおいて、前記振子部の先端側に凸部が形成されると共に、この凸部が臨む切り欠き部が前記枠部に形成され、前記凸部及び前記切り欠き部を構成する前記金属薄板部材は夫々前記振子部用プリント基板及び前記枠部用プリント基板より突出していることを特徴とするサーボ式加速度センサ。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３のいずれかに記載のサーボ式加速度センサにおいて、前記電極配線部の少なくとも一部を曲げて形成することを特徴とするサーボ式加速度センサ。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４のいずれかに記載のサーボ式加速度センサにおいて、前記金属薄板部材の前記振子部用プリント基板と前記枠部用プリント基板に挟まれる面に、複数の微小孔が形成されることを特徴とするサーボ式加速度センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、地震計などに用いられるサーボ式加速度センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
静電容量型のサーボ式加速度センサは、加速度が加わると、枠部に対して振子部が変位しようとするが、その変位を静電容量の変化で検知し、振子部に備わるコイルに静電容量の変化に応じた電流を流して電磁力を発生させ、振子部が見掛け上では静止状態となるようにしている。この電流は加速度に比例するので、電流を測定すれば、加速度を知ることができる。
【０００３】
特許文献１には、コイルパターンが形成された複数の基板で振動子（振子部）を構成し、この振動子（振子部）の支持体として、振動子（振子部）の一端側に可撓性のばねを設け、このばねをコイルパターンの配線材としても機能させるサーボ形振動センサが記載されている。
【０００４】
また、特許文献２には、可動板（振子部）とヒンジを別体とし、可動板（振子部）を支持するヒンジを可撓板（金属のバネ材）で形成し、この可撓板をコ字状のクリップ部材により可動板（振子部）と固定板（枠部）に固定する構成の傾斜計が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第２８６１６９４号公報
【特許文献２】特許第２９１３５２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１に記載の技術においては、振動子（振子部）を磁気的な力で制御駆動することになるが、その駆動力はコイルの巻数・ギャップ磁場・コイルを流れる電流に比例する。このような部品構成では、ギャップ磁場（例えば５０００ガウス）を確保すること、コイルパターンでの巻数（例えば６００ターン）を確保することが難しく、かなりの電流を流すことになるので、実用化が難しい。
【０００７】
また、特許文献２に記載の技術においては、固定板と可動板にコ字状のクリップ部材で可撓板をそれぞれ固定する構成なので、部品点数が増え、組立作業も容易でなく、小型化には不向きであり、組立工数も増える。
【０００８】
本発明は、従来の技術が有するこのような問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、安価な部品で構成でき、且つ組立・調整が容易なサーボ式加速度センサを提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決すべく請求項１に係る発明は、加速度に応じて変位する振子部と、この振子部を支持する枠部と、振子部の変位を静電容量の変化で検知する変位検出部と、この変位検出部が検知した静電容量の変化量に基づき、前記振子部に設けたコイルに前記振子部の変位を制御する電流を供給するサーボ回路部を備え、このサーボ回路部が供給する電流を加速度として出力するサーボ式加速度センサであって、金属薄板部材を一対の振子部用プリント基板と一対の枠部用プリント基板により挟んで前記振子部と前記枠部を形成すると共に、前記振子部の表面と前記枠部の表面が同一平面になるように構成し、前記振子部は前記金属薄板部材を介して前記枠部に支持され、前記金属薄板部材に前記変位検出部の電極配線部とコイルの配線部を兼ねる可撓部を形成するものである。
【００１０】
前記変位検出部は、前記一対の振子部用プリント基板に夫々形成された電極と、これらの電極に対向する各ハウジングにより構成され、前記各ハウジングの少なくとも一方は磁気回路を構成し、前記枠部と前記各ハウジングの間に挟装される各スペーサの厚みにより、前記変位検出部の電極間ギャップを設定することができる。
【００１１】
前記振子部の先端側に凸部を形成すると共に、この凸部が臨む切り欠き部を前記枠部に形成し、前記凸部及び前記切り欠き部を構成する前記金属薄板部材は夫々前記振子部用プリント基板及び前記枠部用プリント基板より突出させることができる。
【００１２】
前記電極配線部の少なくとも一部を曲げて形成することができる。
【００１３】
また、前記金属薄板部材の前記振子部用プリント基板と前記枠部用プリント基板に挟まれる面に、複数の微小孔を形成することができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、金属薄板部材を一対の振子部用プリント基板と一対の枠部用プリント基板で挟持することにより振子部と枠部を構成するので、振子部と枠部の組立作業が容易になると共に、安価な部品で構成することができる。
【００１５】
また、変位検出部の電極間ギャップをスペーサの厚みにより設定すれば、電極間のギャップ調整が容易になる。
【００１６】
振子部の先端側に凸部を形成すると共に、この凸部が臨む切り欠き部を枠部に形成すれば、枠部に対する振子部の位置ズレを容易に確認することができる。
【００１７】
電極配線部の少なくとも一部を曲げて形成すれば、組立時や引張りなどによるストレスを逃すことで、振子部の偏りを防ぐことができる。
【００１８】
また、金属薄板部材の振子部用プリント基板と枠部用プリント基板に挟まれる面に、複数の微小孔を形成すれば、接着剤を塗布して一対の振子部用プリント基板と一対の枠部用プリント基板を貼り合わせ密着させた時に、接着剤が微小孔に入り込み、そのまま硬化するので十分な接着力を得ることができる（アンカー効果）。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明に係るサーボ式加速度センサの概略断面図
【図２】センサ部の概略断面図
【図３】金属薄板部材の平面図
【図４】振子部用プリント基板の平面図
【図５】枠部用プリント基板の平面図
【図６】接着剤を塗布した振子部用プリント基板と枠部用プリント基板の平面図
【図７】第１組立治具の説明図で、（ａ）は第１組立治具の平面図、（ｂ）は第１組立治    具の側面図、（ｃ）は第１組立治具に振子部用プリント基板と枠部用プリント基板を載置    した状態の平面図
【図８】振子部用プリント基板と枠部用プリント基板に金属薄板部材を載置した状態の平面図
【図９】金属薄板部材に振子部用プリント基板と枠部用プリント基板を載置した状態の平    面図
【図１０】第２組立治具の説明図で、（ａ）は第２組立治具の平面図、（ｂ）は第２組立    治具の側面図、（ｃ）は第２組立治具を第１組立治具にセットした状態の平面図、（ｄ）    は第２組立治具を第１組立治具にセットした状態の側面図
【図１１】振子部と枠部の平面図
【図１２】振子部の先端凸部と枠部の切り欠き部の拡大図
【図１３】コイルを取り付けた振子部の断面図
【図１４】第１ハウジングの説明図で、（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図
【図１５】第２ハウジングの説明図で、（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図
【図１６】スペーサの平面図
【図１７】ベース部材の説明図で、（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下に本発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。本発明に係るサーボ式加速度センサ１は、図１に示すように、センサ部２、サーボ回路部３、ケース４、ベース部材５からなる。センサ部２はベース部材５に取り付けられ、サーボ回路部３はセンサ部２に取り付けられている。
【００２１】
センサ部２は、図２に示すように、振子部６、枠部７、第１ハウジング８、第２ハウジング９、２つのスペーサ１０ａ，１０ｂなどからなる。センサ部２の形状は略円筒形をなし、高さは約１５ｍｍであり外径は約２３ｍｍである。
【００２２】
振子部６及び枠部７は、金属薄板部材１１を一対の振子部用プリント基板１２ａ，１２ｂ及び枠部用プリント基板１７ａ，１７ｂでそれぞれ挟んで接着してなり、振子部６の両面となる振子部用プリント基板１２ａ，１２ｂにはコイル１３ａ，１３ｂが取り付けられている。
【００２３】
振子部用プリント基板１２ａ，１２ｂに設けた電極１４ａ，１４ｂは、振子部６の金属薄板部材１１を介して枠部７に支持される側の反対側の端部付近の両面に配置され、これら電極１４ａ，１４ｂに対向する第１ハウジング８の表面１５ａ及び第２ハウジング９の表面１５ｂにより静電容量を検出する変位検出部１６ａ，１６ｂが形成される。
【００２４】
また、枠部７は、スペーサ１０ａ，１０ｂを介して第１ハウジング８と第２ハウジング９により挟装されている。
【００２５】
金属薄板部材１１は、図３に示すように、振子部６となる振子側部位１１ａと枠部７となる枠部側部位１１ｂが形成されると共に、コイル１３ａ，１３ｂの配線を兼ねる２箇所の可撓部１１ｃ，１１ｄと、変位検出部１６ａ，１６ｂの電極１４ａ，１４ｂの配線となる電極配線部１１ｅ，１１ｆを形成している。
【００２６】
配線を兼ねる可撓部１１ｃ，１１ｄと電極配線部１１ｅ，１１ｆがサーボ回路部３と配線される。金属薄板部材１１には、振子部側部位１１ａと枠部側部位１１ｂの夫々に２つ（合計４つ）のガイド孔１１ｇが形成されている。なお、図３のような形状の場合では、組立作業において金属薄板部材１１の不要な部分１１ｈ及び１１ｉを切断する。
【００２７】
可撓部１１ｃ，１１ｄの可撓性の調整は、金属薄板部材１１の板厚及び可撓部１１ｃ，１１ｄの幅を調整することにより、容易となり、品質のバラツキが少なくなる。また、変位検出部１６ａ，１６ｂの電極１４ａ，１４ｂの電極配線部１１ｅ，１１ｆは、例えば略コの字形状に屈曲した形状にすることにより、組立時に加わるストレスを逃すので、振子部６の捻じれなどを防ぐことができる。
【００２８】
振子部用プリント基板１２ａ，１２ｂには、図４に示すように、２つのガイド孔１２ｃと貫通孔１２ｄが形成されている。また、振子部用プリント基板１２ａ，１２ｂには、弓形状の電極１４ａ，１４ｂ及び３つのコイル位置決め用銅箔パターン１４ｃが形成されている。なお、振子部用プリント基板１２ａ，１２ｂの金属薄板部材１１の振子側部位１１ａとの接着面（裏面）には電極１４ａ，１４ｂや銅箔パターン１４ｃがない。
【００２９】
枠部用プリント基板１７ａ，１７ｂには、図５に示すように、２つのガイド孔１７ｃが形成されている。また、スペーサ１０ａ，１０ｂと接する枠部用プリント基板１７ａ，１７ｂの面（表面）には、振子部用プリント基板１２ａ，１２ｂの電極１４ａ，１４ｂと同じ厚みで、ほぼ全面を覆うように銅箔パターン１７ｄが形成されている。なお、枠部用プリント基板１７ａ，１７ｂの金属薄板部材１１の枠部側部位１１ｂとの接着面（裏面）には銅箔パターン１７ｄがない。
【００３０】
次に、本発明に係るサーボ式加速度センサ１の組立作業手順について説明する。先ず、センサ部２を構成する振子部６と枠部７を組み立てるには、図６に示すように、振子部用プリント基板１２ａ，１２ｂの裏面の所定の箇所に接着剤１８を塗布する。同様に、枠部用プリント基板１７ａ，１７ｂの裏面の所定の箇所に接着剤１８を塗布する。接着剤１８としては、加熱硬化タイプのエポキシ系接着剤が適している。
【００３１】
次いで、図７（ａ），（ｂ）に示すように、ネジ穴２０ａと４本のガイドピン２０ｂを設けた第１組立治具２０を用意する。そして、図７（ｃ）に示すように、第１組立治具２０の上に、接着剤１８を塗布した面（裏面）を上にして、振子部用プリント基板１２ａのガイド孔１２ｃと枠部用プリント基板１７ａのガイド孔１７ｃをガイドピン２０ｂに夫々挿通させて、一方の振子部用プリント基板１２ａと一方の枠部用プリント基板１７ａを載置する。
【００３２】
次いで、図８に示すように、第１組立治具２０に接着剤塗布面を上にして載置された振子部用プリント基板１２ａと枠部用プリント基板１７ａの上に、金属薄板部材１１の１１ｉをカットし、夫々２つのガイド孔１１ｇを第１組立治具２０のガイドピン２０ｂに挿通させて金属薄板部材１１を載置する。なお、図８に示す金属薄板部材１１は不要な部分１１ｈをカットする前の状態である。
【００３３】
次いで、図９に示すように、他方の振子部用プリント基板１２ｂと他方の枠部用プリント基板１７ｂの接着剤塗布面（裏面）を下にして、夫々のプリント基板１２ｂ，１７ｂのガイド孔１２ｃ，１７ｃを第１組立治具２０のガイドピン２０ｂに挿通させて金属薄板部材１１の上に載置する。
【００３４】
次いで、図１０（ａ），（ｂ）に示すように、貫通孔２１ａと４つの遊嵌穴２１ｂを設けた第２組立治具２１と、締付ボルト２２を用意する。なお、遊嵌穴２１ｂは第２組立治具２１を載置した際に第１組立治具２０のガイドピン２０ｂに第２組立治具２１が当たらないようにするためである。そして、第２組立治具２１を振子部用プリント基板１２ｂと枠部用プリント基板１７ｂの上に、第１組立治具２０のネジ穴２０ａと貫通孔２１ａ及びガイドピン２０ｂと遊嵌穴２１ｂの位置を合わせて載置する。
【００３５】
更に、図１０（ｃ），（ｄ）に示すように、締付ボルト２２を、第２組立治具２１の貫通孔２１ａ、振子部用プリント基板１２ｂの貫通孔１２ｄ、金属薄板部材１１の中央部、振子部用プリント基板１２ａの貫通孔１２ｄに挿通させ、第１組立治具２０のネジ穴２０ａに螺合させて所定のトルクで締付ける。ここでは、締付ボルト２２を用いたが、締付ボルト２２で締付けるのではなく、第２組立治具２１を錘として一定荷重を加えてもよい。
【００３６】
このように、第１組立治具２０と第２組立治具２１により、金属薄板部材１１及び接着剤１８を塗布した一対の振子部用プリント基板１２ａ，１２ｂと一対の枠部用プリント基板１７ａ，１７ｂを所定の圧力で挟んだ状態で所定の条件により加熱硬化する。
【００３７】
また、金属薄板部材１１の接着面の全体に不図示の微小孔（角穴□０．２ｍｍ）を複数形成しておけば、接着剤１８を塗布した振子部用プリント基板１２ａ，１２ｂ及び枠部用プリント基板１７ａ，１７ｂが、第１組立治具２０と第２組立治具２１と締付ボルト２２による締付によって金属薄板部材１１に接着した時に、接着剤１８が微小孔に入り込みそのまま加熱硬化するので、接着剤１８のはみ出しや接着によるそりを防ぎつつ、十分な接着力を得ることができる（アンカー効果）。
【００３８】
また、振子部用プリント基板１２ａ，１２ｂと枠部用プリント基板１７ａ，１７ｂがガラスエポキシ基板であれば、接着剤１８を用いることなく、振子部用プリント基板１２ａ，１２ｂと枠部用プリント基板１７ａ，１７ｂを金属薄板部材１１に熱融着させてもよい。
【００３９】
上記のように組み立てることで、振子部用プリント基板１２ａ，１２ｂ及び枠部用プリント基板１７ａ，１７ｂが多少反っていても硬化時の加熱によって、振子部６と枠部７の平坦性が良くなり、ほとんど同一平面を得ることができる。また、振子部６が金属薄板部材１１の可撓部１１ｃ，１１ｄを介して枠部７に支持され、金属薄板部材１１に対して対称性のよい一体構造となる。
【００４０】
次いで、図１１に示すように、接着剤１８の硬化後、組立治具２０，２１から振子部６と枠部７を外し、金属薄板部材１１の不要な部分１１ｈを切り取る。
【００４１】
上記手順による組立作業により、振子部６と枠部７は一体構造となる。そして、図１２に示すように、振子部６の先端側に凸部６ａを形成すると共に、この凸部６ａが臨む枠部７に切り欠き部７ａを形成し、凸部６ａ及び切り欠き部７ａを構成する金属薄板部材１１の振子側部位１１ａ及び枠部側部位１１ｂを夫々振子部用プリント基板１２ａ，１２ｂ及び枠部用プリント基板１７ａ，１７ｂから突出させることにより、振子部６と枠部７との変位方向の位置ズレを確認し易くなる。
【００４２】
次いで、図１３に示すように、振子部６の両面となる振子部用プリント基板１２ａ，１２ｂのコイル位置決め銅箔パターン１４ｃに合わせてコイル１３ａ，１３ｂを載置し、接着剤で接着する。バランスを保つため、振子部６の両面にコイル１３ａ，１３ｂを取り付ける。そして、片側のコイル１３ａだけ配線を兼ねる可撓部１１ｃ，１１ｄに電気的接続をする。なお、両面のコイル１３ａ，１３ｂを用いる構成とすることもできる。
【００４３】
位置決め用の銅箔パターン１４ｃを振子部用プリント基板１２ａ，１２ｂに形成することにより、銅箔パターン１４ｃがプリント基板１２ａ，１２ｂ面に比べて凸状態（約７５μｍ突出）になるので、コイル１３ａ，１３ｂは容易に位置決めすることができる。
【００４４】
次いで、図１４に示すように、磁気回路を構成する第１ハウジング８を形成しておく。第１ハウジング８の材料には、飽和磁束密度の高い軟磁性材料（例えば、電磁軟鉄）を使用する。中央部にはマグネット（例えば、希土類マグネット）２５を設ける。第１ハウジング８はコイル１３ａを囲むように設けられ、コイル１３ａが位置するギャップに所定の磁場を与える。８ａは第２ハウジング９との結合用ネジ穴、８ｂはガイド穴である。
【００４５】
また、図１５に示すように、第２ハウジング９を形成しておく。第２ハウジング９は、磁気回路を構成しないが、コイル１３ｂも用いるのであれば第１ハウジング８と同様に構成してもよい。材料は熱的なバランスをとるために、第１ハウジング８と同じ材料を使用する。９ａは第１ハウジング８との結合用孔、９ｂはガイド穴である。
【００４６】
次いで、金属薄板部材１１を一対の枠部用プリント基板１７ａ，１７ｂで挟んで接着した枠部７を、ガイドピン（不図示）と結合ボルト（不図示）を用い、２つのスペーサ１０ａ，１０ｂを介して第１ハウジング８と第２ハウジング９により挟装する。スペーサ１０ａ，１０ｂには、薄板で非磁性の金属材を使用する。スペーサ１０ａ，１０ｂは、図１６に示すように、枠部用プリント基板１７ａ，１７ｂとほぼ同様の形状であるが、切り欠きのない形状に形成される。１０ｃは結合用孔、１０ｄはガイド孔である。
【００４７】
そして、振子部６の一方の面に設けた電極１４ａと電極１４ａに対向する第２ハウジング８の表面１５ａにより構成される変位検出部１６ａにおいて、所望の静電容量が得られるようスペーサ１０ａの厚みにより静電容量が調整される。同様に、振子部６の他方の面に設けた電極１４ｂと第２ハウジング９の表面１５ｂにより構成される変位検出部１６ｂにおいて、所望の静電容量が得られるようスペーサ１０ｂの厚みにより静電容量が調整される。なお、スペーサ１０ａ，１０ｂは同じ厚みとするが、必要に応じて異なった厚みであってもよい。
【００４８】
このように、スペーサ１０ａ，１０ｂを用いることで、所望の静電容量を得るための調整が容易となる。なお、変位検出部１６ａ，１６ｂにおいて、ハウジング８，９の表面１５ａ１５ｂをアースにしている。
【００４９】
次いで、サーボ回路部３が第２ハウジング９に取り付けられる。また、コイル１３ａは金属薄板部材１１の配線を兼ねる可撓部１１ｃ，１１ｄを介してサーボ回路部３に接続される。変位検出部１６ａ，１６ｂの電極１４ａ，１４ｂは、電極配線部１１ｅ，１１ｆを介してサーボ回路部３に接続される。
【００５０】
次いで、図１７に示すベース部材５に、結合用孔５ａを用いてサーボ回路部３を取り付けたセンサ部２をネジで３点固定する。この際、ベース部材５に設けた３箇所の角度調整用ネジ孔５ｂを用いて、組立上発生する僅かな受感軸のずれを、ネジの進退調整によってベース部材５に対するセンサ部２の取り付け角度を変えることが容易にできるので、振子部６の位置補正が可能となる。
【００５１】
次いで、センサ部２を固定したベース部材５に結合用孔５ｃを用いてケース４をネジで４点固定する。ケース４は、外形状が略直方体形状であるが、円筒形状であってもよい。材料はアルミニウムを用いることで、シールド効果によりノイズの発生及びノイズの影響を低減しつつ、軽量化でき、安価である。磁性材料であれば、磁気ノイズの影響を低減できる。使用条件下で変形がなく、温度などに対して安定であればエンジニアリングプラスチックも使用してもよい。所望により選択すればよい。
【００５２】
上記手順による組立作業のように、振子部６と枠部７を第１組立治具２０と第２組治具２１で挟んで締め付ける又は一定荷重により加圧し、接着剤１８を加熱硬化するので、振子部６と枠部７はほとんど同一平面になり、所定の厚みのスペーサ１０ａ，１０ｂを枠部７とハウジング８，９との間に夫々挟むことにより要求する静電容量を容易に設定することができる。
【００５３】
また、振子部６及び枠部７にプリント基板１２ａ，１２ｂ，１７ａ，１７ｂを用いた構成であっても、−５０℃〜１００℃の耐熱性を得ることができるので、地震計の要求仕様に対しても十分な温度範囲が得られる。
【産業上の利用可能性】
【００５４】
本発明によれば、安価な構成部品で、且つ組立作業・調整作業が容易なサーボ式加速度センサを提供することができる。
【符号の説明】
【００５５】
１…サーボ式加速度センサ、２…センサ部、３…サーボ回路部、４…ケース、５…ベース部材、６…振子部、６ａ…凸部、７…枠部、７ａ…切り欠き部、８…第１ハウジング、９…第２ハウジング、１０ａ，１０ｂ…スペーサ、１１…金属薄板部材、１１ａ…振子側部位、１１ｂ…枠部側部位、１１ｃ，１１ｄ…可撓部、１１ｅ，１１ｆ…電極配線部、１１ｇ，１２ｃ，１７ｃ…ガイド孔、１２ｄ，２１ａ…貫通孔、１２ａ，１２ｂ…振子部用プリント基板、１３ａ，１３ｂ…コイル、１４ａ，１４ｂ…電極、１５ａ，１５ｂ…表面、１６ａ，１６ｂ…変位検出部、１７ａ，１７ｂ…枠部用プリント基板、１８…接着剤、２０…第１組立治具、２０ａ…ネジ穴、２０ｂ…ガイドピン、２１…第２組立治具、２１ｂ…ガイド穴、２２…締付ボルト。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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