(57)【要約】【課題】ロボット等の接近を妨げることが少なく、総重量が８ｋｇｆ以上の基板収納容器の梱包に必要な強度を確保でき、しかも、包装体の破断や裂開を防止できる基板収納容器の梱包体を提供する。【解決手段】総重量が８ｋｇｆ以上の基板収納容器を包装する包装体１と、包装体１を収納する収納箱２と、包装体１を搭載する個別パレット２０と、包装体１と個別パレット２０の少なくともいずれか一方に接触する緩衝材４０とを備え、収納箱２を、底部パレット３に箱本体６を搭載することで構成し、箱本体６の上部１０と正面１３を開口し、箱本体６の上部１０に上蓋１１を嵌合するとともに、箱本体６の側壁１５に、正面１３を開閉する扉１６を支持させ、個別パレット２０に、収納箱２の外部から正面１３を介してアクセス可能なアクセス手段５０を設ける。収納箱２が横開きタイプなので、正面１３や扉１６がロボットアームの接近を妨げることがない。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板収納容器を包装する包装体用の収納箱と、包装体を搭載する個別パレットと、包装体と個別パレットの少なくともいずれか一方に接触する緩衝材とを含んでなる基板収納容器の梱包体であって、
収納箱を、底部パレットに箱本体を搭載することにより構成し、箱本体を区画する壁の少なくとも一部を開口し、個別パレットにアクセス手段を設けたことを特徴とする基板収納容器の梱包体。
【請求項２】
基板収納容器を、半導体ウェーハを収納可能な容器本体の正面を蓋体により開閉する総重量が８ｋｇｆ以上のフロントオープンボックスタイプとし、
収納箱の底部パレットに搬送挿入口を設けるとともに、この搬送挿入口を底部パレットの前後あるいは左右方向に向け、箱本体の周壁の正面を開口し、箱本体に、周壁の正面を開閉する扉を支持させた請求項１記載の基板収納容器の梱包体。
【請求項３】
箱本体の上部と周壁の正面とをそれぞれ開口し、箱本体の上部を上蓋により被覆し、箱本体の周壁の一側壁に、周壁の正面を開閉する扉を回転可能に支持させた請求項２記載の基板収納容器の梱包体。
【請求項４】
箱本体の上部と周壁の正面とをそれぞれ開口し、箱本体の周壁の背面壁に、箱本体の上部を開閉する上蓋を回転可能に支持させるとともに、この上蓋に、箱本体の正面の一部を開閉する第一の扉を回転可能に支持させ、箱本体の下部に、箱本体の正面の残部を開閉する第二の扉を回転可能に支持させた請求項２記載の基板収納容器の梱包体。
【請求項５】
箱本体の周壁の正面を開口し、箱本体の周壁の背面壁に対して一側壁を回転可能に支持させ、この一側壁に、箱本体の正面を開閉する扉を回転可能に支持させた請求項２記載の基板収納容器の梱包体。
【請求項６】
箱本体の周壁の正面を開口し、箱本体の周壁の背面壁に一側壁を回転可能に支持させ、箱本体の周壁の他側壁に、箱本体の正面を開閉する扉を回転可能に支持させた請求項２記載の基板収納容器の梱包体。
【請求項７】
個別パレットを、包装体に嵌通される上部パレットと、包装体と上部パレットとを搭載する下部パレットとに分割し、上部パレットと下部パレットとの一方に凹部を、他方に凸部をそれぞれ形成するとともに、これら凹部と凸部とを嵌合可能とした請求項１ないし６いずれかに記載の基板収納容器の梱包体。
【請求項８】
個別パレットを、包装体を搭載可能な台の表面に、包装体を包囲する包囲壁を形成することで構成し、包囲壁の内周面を傾斜させて上方に向かうにしたがい徐々に広がるようにした請求項１ないし６いずれかに記載の基板収納容器の梱包体。
【請求項９】
個別パレットを、包装体を搭載可能な台とし、この台の表面周縁部の前部中央、後部、両側部に、包装体を包囲する包囲壁を形成し、前部中央の包囲壁と両側部の包囲壁との間にアクセス用の挿通口をそれぞれ区画するとともに、前部中央の包囲壁、後部の包囲壁、両側部の包囲壁に、包装体を搭載する複数の棚片を形成し、
複数の棚片上に包装体が搭載される場合に、包装体と個別パレットの間にアクセス用の空隙を区画するようにした請求項１ないし６いずれかに記載の基板収納容器の梱包体。
【請求項１０】
個別パレットを、緩衝性の発泡材料により形成した請求項１ないし９いずれかに記載の基板収納容器の梱包体。
【請求項１１】
アクセス手段として、個別パレットにアクセス挿入口を設けた請求項１ないし１０いずれかに記載の基板収納容器の梱包体。
【請求項１２】
アクセス手段として、個別パレットの隅部に、アクセス凹部とアクセス凸部の少なくともいずれか一方を形成した請求項１ないし１１いずれかに記載の基板収納容器の梱包体。
【請求項１３】
緩衝材を複数の個別パレットに対向可能な大きさに形成し、この緩衝材表面の少なくとも周縁部に、複数の個別パレットの周縁に干渉可能な位置決め壁を形成するとともに、この位置決め壁の正面側を切り欠いて個別パレットのアクセス挿入口を露出可能とし、緩衝材の表面に、複数の個別パレットの間に介在する位置決め部を形成した請求項１１又は１２記載の基板収納容器の梱包体。
【請求項１４】
個別パレットのアクセス挿入口を複数とし、緩衝材の位置決め壁の正面側を切り欠いて個別パレットの複数のアクセス挿入口を露出可能とし、緩衝材の位置決め部を個別パレットの複数のアクセス挿入口の間に位置させるようにした請求項１３記載の基板収納容器の梱包体。
【請求項１５】
緩衝材を複数の個別パレットに対向可能な大きさに形成し、この緩衝材の表面に、個別パレットの底面に嵌挿する嵌挿部を突出形成した請求項１ないし９いずれかに記載の基板収納容器の梱包体。
【請求項１６】
緩衝材の包装体と相対する面に、複数の包装体の上部に嵌合可能な嵌合穴を並べ設けた請求項１ないし１５いずれかに記載の基板収納容器の梱包体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェーハを収納する基板収納容器の梱包体に関し、より詳しくは、人がハンドリングすることが困難な８ｋｇｆ以上の総重量となった基板収納容器の梱包や輸送に使用される基板収納容器の梱包体に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、φ３００ｍｍの半導体ウェーハを収納する基板収納容器を梱包して輸送する場合には、例えば、包装した基板収納容器を図示しないクリーンルームから梱包作業場である準クリーンルーム環境にパレット等で移し、段ボール等からなる包装箱内に補強材、緩衝材、弾性材をそれぞれ手作業で敷設して積層し、弾性材上に包装状態の基板収納容器を手作業で上向きに搭載するとともに、この基板収納容器の上向きの正面に緩衝材と補強材とを手作業で重ねて積層し、その後、包装箱の開口した上部のフラップを閉じて輸送するようにしている（特許文献１、２参照）。
【０００３】
基板収納容器は、複数枚の半導体ウェーハを整列収納する容器本体の開口した正面に蓋体が嵌合されるフロントオープンボックスタイプからなり、容器本体の天井に天井搬送装置に把持されるフランジが装着されており、容器本体の両側壁に搬送レールがそれぞれ着脱自在に装着されている。このような基板収納容器は、不透明のアルミラミネート袋で包装して密閉され、この状態で梱包して出荷される。そして、輸送後に包装箱から取り出され、輸送先のクリーンルームに搬入される。
【０００４】
ところで、半導体ウェーハは次世代タイプとしてφ４５０ｍｍタイプが検討されているが、このφ４５０ｍｍの半導体ウェーハを収納する基板収納容器は、３００ｍｍタイプの基板収納容器よりも大型化され、重量も増大（約２５ｋｇ）するので、手動によるハンドリングや梱包に少なからず支障を来し、しかも、取扱質量に関する業界の規約にも反することとなる。
そこで、４５０ｍｍタイプの基板収納容器については、作業の安全性や効率化等を図り、業界の規約を満たすため、ロボットアーム等によるハンドリングや梱包が研究されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００７−１３７４５４号公報
【特許文献２】特開２０１１−１６５４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、従来における包装箱は、開口した上面が複数のフラップにより単に開閉される縦開きタイプなので、開口した上部やフラップがロボットアームの接近を妨げるおそれが予想される。また、アルミラミネート袋で包装された基板収納容器は、把持可能な部分が存在せず、取り出しが困難になるので、機械化に支障を来すことが予想される。すなわち、アルミラミネート袋は、基板収納容器を包装すると、形が一定化せず、不安定になり、しかも、基板収納容器のフランジや搬送レールを外部から把握するのを困難にするので、ロボットアームによるハンドリングが非常に困難となり、ハンドリングすると、破断や裂開を招くおそれがある。
【０００７】
また、従来の補強材、緩衝材、弾性材は、衝撃や振動の吸収には優れるものの、総重量が８ｋｇｆ以上の重く大きい基板収納容器の梱包に使用すると、強度が不足するので、基板収納容器や半導体ウェーハの損傷を招くおそれがある。
【０００８】
一方、クリーンルームから梱包作業用の準クリーンルーム環境に基板収納容器をパレット等で移した場合、パレットを再度クリーンルームに戻して使用するためには、清浄性を保つ観点から、パレットを洗浄しなければならないという問題が生じる。また、輸送先で梱包に使用した部品（例えば、アルミラミネート袋等）をそのままクリーンルームに持ち込む場合には、アルミラミネート袋が汚れていることがあるので、クリーンルームの汚染を招くおそれがある。さらに、包装した基板収納容器を取り出してクリーンルームに搬入する作業は、基板収納容器やアルミラミネート袋に把持する箇所が少なく、しかも、基板収納容器が重いので、実に困難である。
【０００９】
本発明は上記に鑑みなされたもので、ロボット等の接近を妨げることが少なく、総重量が８ｋｇｆ以上の基板収納容器を自動的に搬送することができ、梱包に必要な強度を確保でき、しかも、包装体の破断や裂開等を防ぐことのできる基板収納容器の梱包体を提供することを目的としている。また、外部環境とクリーン環境との間で包装体を容易に受け渡しすることのできる基板収納容器の梱包体を提供することを他の目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明においては上記課題を解決するため、基板収納容器を包装する包装体用の収納箱と、包装体を搭載する個別パレットと、包装体と個別パレットの少なくともいずれか一方に接触する緩衝材とを含んでなるものであって、
収納箱を、底部パレットに箱本体を搭載することにより構成し、箱本体を区画する壁の少なくとも一部を開口し、個別パレットにアクセス手段を設けたことを特徴としている。
【００１１】
なお、基板収納容器を、半導体ウェーハを収納可能な容器本体の正面を蓋体により開閉する総重量が８ｋｇｆ以上のフロントオープンボックスタイプとし、
収納箱の底部パレットに搬送挿入口を設けるとともに、この搬送挿入口を底部パレットの前後あるいは左右方向に向け、箱本体の周壁の正面を開口し、箱本体に、周壁の正面を開閉する扉を支持させることができる。
【００１２】
また、箱本体の上部と周壁の正面とをそれぞれ開口し、箱本体の上部を上蓋により被覆し、箱本体の周壁の一側壁に、周壁の正面を開閉する扉を回転可能に支持させることができる。
また、箱本体の上部と周壁の正面とをそれぞれ開口し、箱本体の周壁の背面壁に、箱本体の上部を開閉する上蓋を回転可能に支持させるとともに、この上蓋に、箱本体の正面の一部を開閉する第一の扉を回転可能に支持させ、箱本体の下部に、箱本体の正面の残部を開閉する第二の扉を回転可能に支持させることもできる。
【００１３】
また、箱本体の周壁の正面を開口し、箱本体の周壁の背面壁に対して一側壁を回転可能に支持させ、この一側壁に、箱本体の正面を開閉する扉を回転可能に支持させることが可能である。
また、箱本体の周壁の正面を開口し、箱本体の周壁の背面壁に一側壁を回転可能に支持させ、箱本体の周壁の他側壁に、箱本体の正面を開閉する扉を回転可能に支持させることが可能である。
【００１４】
また、個別パレットを、包装体に嵌通される上部パレットと、包装体と上部パレットとを搭載する下部パレットとに分割し、上部パレットと下部パレットとの一方に凹部を、他方に凸部をそれぞれ形成するとともに、これら凹部と凸部とを嵌合可能とすることも可能である。
また、個別パレットを、包装体を搭載可能な台の表面に、包装体を包囲する包囲壁を形成することで構成し、包囲壁の内周面を傾斜させて上方に向かうにしたがい徐々に広がるようにしても良い。
【００１５】
また、個別パレットを、包装体を搭載可能な台とし、この台の表面周縁部の前部中央、後部、両側部に、包装体を包囲する包囲壁を形成し、前部中央の包囲壁と両側部の包囲壁との間にアクセス用の挿通口をそれぞれ区画するとともに、前部中央の包囲壁、後部の包囲壁、両側部の包囲壁に、包装体を搭載する複数の棚片を形成し、
複数の棚片上に包装体が搭載される場合に、包装体と個別パレットの間にアクセス用の空隙を区画するようにしても良い。
【００１６】
また、個別パレットを、緩衝性の発泡材料により形成しても良い。
また、アクセス手段として、個別パレットにアクセス挿入口を設けても良い。
また、アクセス手段として、個別パレットの隅部に、アクセス凹部とアクセス凸部の少なくともいずれか一方を形成することができる。
【００１７】
また、緩衝材を複数の個別パレットに対向可能な大きさに形成し、この緩衝材表面の少なくとも周縁部に、複数の個別パレットの周縁に干渉可能な位置決め壁を形成するとともに、この位置決め壁の正面側を切り欠いて個別パレットのアクセス挿入口を露出可能とし、緩衝材の表面に、複数の個別パレットの間に介在する位置決め部を形成することができる。
【００１８】
また、個別パレットのアクセス挿入口を複数とし、緩衝材の位置決め壁の正面側を切り欠いて個別パレットの複数のアクセス挿入口を露出可能とし、緩衝材の位置決め部を個別パレットの複数のアクセス挿入口の間に位置させることもできる。
また、緩衝材を複数の個別パレットに対向可能な大きさに形成し、この緩衝材の表面に、個別パレットの底面に嵌挿する嵌挿部を突出形成することが可能である。
さらに、緩衝材の包装体と相対する面に、複数の包装体の上部に嵌合可能な嵌合穴を並べ設けることも可能である。
【００１９】
ここで、特許請求の範囲における基板収納容器は、口径４５０ｍｍ以上の半導体ウェーハを収納する重いタイプが主ではあるが、総重量が８ｋｇｆ以上であれば、口径３００ｍｍ以上の半導体ウェーハを収納するタイプでも良い。また、通常よりも半導体ウェーハの収納枚数が多い基板収納容器、半導体ウェーハとウェーハフレーム等の治具とを共に収納する基板収納容器、比重の重い材料を収納する基板収納容器等でも良い。「総重量が８ｋｇｆ」を基準とするのは、この重量以上になると、作業員によるハンドリングを禁止している工場施設があるからである。
【００２０】
包装体は、基板収納容器を一枚の袋で包装するものでも良いし、複数枚の袋で多重包装するタイプでも良い。また、収納箱には、基板収納容器を包装する包装体を単数複数収納することができる。収納箱の底部パレットや個別パレットは、二方差しパレット、四方差しパレット、又はけたくくり抜きパレットのいずれでも良い。これらのパレットの表面は、強度や剛性を確保できるのであれば、平坦な構造でも良いし、網目構造等でも良い。また、底部パレットの表面周縁部の少なくとも一部には、箱本体の下部周縁に嵌合する嵌合壁を形成することができる。
【００２１】
箱本体を区画する壁には、閉じた上部、下部、周壁（背面壁、一側壁や他側壁からなる側壁）が含まれる。また、個別パレットは、クリーン環境用の専用パレットと、外部環境用の専用パレットとに区分けして使用することができる。この個別パレットの包囲壁は、輸送時に包装体が位置ずれ等しないように位置規制できるものであれば、連続的に形成されても良いし、部分的に形成されても良い。棚片は、挿通口と干渉することなく、包装体を支持できるものであれば、形状や数等を適宜変更することができる。また、緩衝材は、例えば１枚〜４枚使用することができる。
【００２２】
「回転」という用語には、少なくとも回動や揺動が含まれる。また、アクセス手段であるアクセス挿入口は、単数でも良いし、複数でも良い。このアクセス挿入口は、個別パレットの前後方向、左右方向、あるいは前後左右方向に向けることが可能である。さらに、アクセス手段のアクセス凹部は、切り欠き、円形状、長円形状等に形成することができ、必要な各種補強材を設けて耐久性を向上させることが可能である。
【００２３】
本発明によれば、基板収納容器を包装した包装体を梱包する場合には、例えば個別パレットに包装体を搭載し、収納箱の箱本体内に包装体を搭載した個別パレットをアクセス手段を介し各種搬送装置により収納する。また、箱本体内に個別パレットを収納し、この個別パレットに包装体を各種搬送装置により搭載する。こうして箱本体に包装体を収納したら、包装体の上部等に緩衝材を重ねてその姿勢を安定させ、箱本体の壁の開口を閉めれば、包装体を梱包することができる。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、ロボット等の接近を妨げることが少なく、しかも、総重量が８ｋｇｆ以上の基板収納容器の梱包に必要な強度を確保することができるという効果がある。また、個別パレットに包装体を搭載して取り扱うことができるので、包装体の破断や裂開等を防ぐことができるという効果がある。
【００２５】
請求項２記載の発明によれば、総重量が８ｋｇｆ以上の重い基板収納容器や半導体ウェーハが損傷するのを防ぐことができる。
請求項３記載の発明によれば、収納箱が縦開きではなく、横開きタイプなので、収納箱の開口した正面や扉がロボットアーム等の接近を妨げることが少ない。
【００２６】
請求項４記載の発明によれば、箱本体の側壁に扉を直接支持させることができない場合にも、箱本体の壁に扉を支持させ、従来よりも開口面積を拡大することができるので、収納箱の構成の多様化を図ることもできる。
【００２７】
請求項５、６記載の発明によれば、箱本体の壁に扉を支持させるので、箱本体の上部を閉じて箱本体の強度を確保したり、収納箱の構成の多様化が期待できる。
請求項７記載の発明によれば、個別パレットを、上部パレットと下部パレットとに分割して構成するので、個別パレットに大きく重い包装体を搭載する際の便宜を図ることが可能になる。
【００２８】
請求項８記載の発明によれば、包囲壁の内周面を傾斜させて上方に向かうにしたがい徐々に広げるので、個別パレットに包装体を搭載する際、包装体を容易に位置合わせすることが可能になる。
請求項９記載の発明によれば、包装体のみを取り扱うことができるので、外部環境とクリーン環境との間で包装体を容易に受け渡しすることが可能になる。
【００２９】
請求項１０記載の発明によれば、個別パレットに緩衝材の機能を発揮させることができるので、緩衝材を省略したり、緩衝材の数を削減することが可能になる。
請求項１１記載の発明によれば、個別パレットのアクセス挿入口にロボットやフォークリフトのフォークを挿入して持ち上げることができるので、包装体の自動運搬作業が容易になる。
【００３０】
請求項１２記載の発明によれば、アクセス手段であるアクセス凹部あるいはアクセス凸部を利用すれば、個別パレットを握持したり、把持したり、又は吊り上げること等ができる。
請求項１３記載の発明によれば、緩衝材の位置決め壁により、個別パレットの前後左右方向への位置ずれやがたつきを抑制することができる。また、個別パレットのアクセス挿入口に緩衝材の正面側の位置決め壁が対向せず、隠蔽したり、障害物とならないので、個別パレットのアクセス挿入口に対してロボット等のフォークを円滑に挿脱することができる。
【００３１】
請求項１４記載の発明によれば、個別パレットのアクセス挿入口に緩衝材の位置決め部が対向せず、隠蔽したり、障害物にならないので、個別パレットのアクセス挿入口に対するフォークの円滑な挿脱が期待できる。
請求項１５記載の発明によれば、緩衝材の位置決め壁、切り欠き、位置決め部等を省略し、緩衝材の構成の簡素化を図ることができる。
【００３２】
請求項１６記載の発明によれば、収納箱に収納された包装体が上下、前後、左右方向にがたついたり、傾くのを防止することが可能になる。また、包装体の上部に位置する緩衝材の姿勢を安定させたり、位置決めすることができるので、この緩衝材上に他の個別パレットを安定した姿勢で搭載することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本発明に係る基板収納容器の梱包体の実施形態を模式的に示す全体斜視図である。
【図２】本発明に係る基板収納容器の梱包体の実施形態における収納箱を模式的に示す斜視説明図である。
【図３】本発明に係る基板収納容器の梱包体の実施形態における収納箱を模式的に示す分解斜視図である。
【図４】本発明に係る基板収納容器の梱包体の実施形態における複数の包装体、個別パレット、及び緩衝材を模式的に示す分解斜視図である。
【図５】本発明に係る基板収納容器の梱包体の実施形態における包装体と個別パレットを模式的に示す斜視説明図である。
【図６】本発明に係る基板収納容器の梱包体の実施形態における中段用の緩衝材の裏面を模式的に示す斜視説明図である。
【図７】本発明に係る基板収納容器の梱包体の第２の実施形態を模式的に示す全体斜視図である。
【図８】本発明に係る基板収納容器の梱包体の第２の実施形態における包装体と個別パレットの収納状態を模式的に示す斜視説明図である。
【図９】本発明に係る基板収納容器の梱包体の第２の実施形態における個別パレットを模式的に示す斜視図である。
【図１０】本発明に係る基板収納容器の梱包体の第２の実施形態における個別パレットを模式的に示す分解斜視図である。
【図１１】本発明に係る基板収納容器の梱包体の第３の実施形態を模式的に示す全体斜視説明図である。
【図１２】本発明に係る基板収納容器の梱包体の第４の実施形態を模式的に示す全体斜視説明図である。
【図１３】本発明に係る基板収納容器の梱包体の第５の実施形態を模式的に示す斜視図である。
【図１４】本発明に係る基板収納容器の梱包体の第６の実施形態を模式的に示す斜視図である。
【図１５】本発明に係る基板収納容器の梱包体の第６の実施形態における包装体の搭載状態を模式的に示す透視斜視図である。
【図１６】本発明に係る基板収納容器の梱包体の第７の実施形態を模式的に示す斜視図である。
【図１７】本発明に係る基板収納容器の梱包体の第８の実施形態を模式的に示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００３４】
以下、図面を参照して本発明の好ましい実施の形態を説明すると、本実施形態における基板収納容器の梱包体は、図１ないし図６に示すように、大型の重い基板収納容器を包装する包装体１と、この包装体１を複数収納可能な大型の収納箱２と、各包装体１を搭載する機械搬送用の個別パレット２０と、複数の包装体１と個別パレット２０とを上下方向から挟持する複数の緩衝材４０とを備え、収納箱２を区画する壁７の上部１０と周壁１２の正面１３とをそれぞれ開口し、周壁１２の一部である側壁１５に、正面１３を開閉する横開きの扉１６を回転可能に支持させており、各個別パレット２０に、収納箱２の外部から正面１３を介してアクセス可能なアクセス手段５０を設けるようにしている。
【００３５】
基板収納容器は、図示しないが、φ４５０ｍｍの半導体ウェーハを上下方向に並べて整列収納するフロントオープンボックスの容器本体と、この容器本体の開口した正面に着脱自在に嵌合される蓋体と、容器本体の正面に嵌合した蓋体を施錠する施錠機構とを備え、８ｋｇｆ以上の総重量を有する。
【００３６】
容器本体は、その内部両側に半導体ウェーハを水平に支持する支持片が複数対設され、天井の中央部等に、天井搬送装置等に上方から把持される搬送手段であるフランジが装着されており、両側壁の下部には、着脱自在の搬送レールがそれぞれ選択的に装着される。また、蓋体は、施錠機構を内蔵し、包装体１の梱包時に上方に向けられる。このような基板収納容器は、２５枚の半導体ウェーハが装填された場合の総重量が約２５ｋｇとなる。
【００３７】
包装体１は、図１、図４、図５に示すように、例えば基板収納容器を包装する周知のビニール袋と、このビニール袋を外側から密閉して包装する不透明のアルミラミネート袋とを備えた二層構造に形成される。アルミラミネート袋は、意匠性やバリヤー性等を向上させるため、例えば銀色等に着色される。このような包装体１は、個別パレット２０に搭載され、この個別パレット２０が緩衝材４０に複数搭載されることにより、２×２のマトリクスに配列され、収納箱２に上下２段に段積みして合計８個が収納される。
【００３８】
収納箱２は、図１ないし図３に示すように、機械搬送用の底部パレット３に背の高い中空の箱本体６が着脱自在に搭載されることで構成され、箱本体６の上部１０と周壁１２の一部である正面１３とがそれぞれ開口しており、箱本体６の上部１０が上蓋１１に被覆されるとともに、周壁１２の一部である一側壁１５に、周壁１２の正面１３を開閉する扉１６が周壁方向に揺動可能に一体形成される。
【００３９】
収納箱２は、耐久性に欠ける段ボール等ではなく、強度を確保しながら量産する観点から、安価な所定の樹脂（例えば、ポリエチレンやポリスチレン等の熱可塑性樹脂やこれらを発泡させた材料等）を含有する成形材料により成形される。この成形材料には、補強用のフィラー等が必要に応じて配合される。
【００４０】
底部パレット３は、表面が平坦な平面矩形の台に形成され、周壁にフォークリフト等のフォークに挿通される左右一対の搬送挿入口４が間隔をおき貫通して並設されており、各搬送挿入口４が横長の正面矩形に形成されて前後方向に指向する。この底部パレット３の表面周縁部の少なくとも一部、例えば表面の後部と一側部とには、箱本体６の下部周縁に外側から嵌合する嵌合壁５が突出形成され、この嵌合壁５が箱本体６の位置ずれ、がたつき、脱落を防止するよう機能する。
【００４１】
箱本体６は、縦長に形成されてその下部８に底部パレット３に搭載される補強材９が一体形成され、上部１０が平面矩形に開口しており、この開口した上部１０に平面矩形の上蓋１１が着脱自在に嵌合されて補強機能を発揮する。補強材９は、平面矩形に形成され、箱本体６の周壁１２の一部である背面壁１４や側壁１５が撓んで変形するのを防止するよう機能する。
【００４２】
箱本体６の正面１３は、縦長に開口形成され、一側壁１５に支持された同じ縦長の扉１６に開閉される。この扉１６の側部中央付近には封止用の面ファスナーであるマジックテープ（登録商標）１７が縦長に設けられ、このマジックテープ１７が箱本体６の他側壁１５に着脱自在に係合して扉１６の開放を規制する。
【００４３】
個別パレット２０は、図１、図４、図５に示すように、包装体１を搭載可能な面積を有する台に形成される。この個別パレット２０は、例えば収納箱２と同様の成形材料や緩衝能力に優れるポリオレフィン、ポリスチレン、ポリウレタン等の発泡材料により平面矩形に形成される。これらの材料には、各種のフィラー等が選択的に配合される。個別パレット２０の包装体１を搭載する表面は平坦に形成され、個別パレット２０のコーナ部等には、破損を防止して耐久性を向上させるＲ加工が施されており、個別パレット２０の周壁にはアクセス手段５０が設けられる。
【００４４】
複数の緩衝材４０は、図１や図４に示すように、上段用の緩衝材４０が上蓋１１の直下に位置し、中段用の緩衝材４０が複数の包装体１に上下方向から挟持されるとともに、下段用の緩衝材４０が箱本体６の下部８内面に搭載される。この複数の緩衝材４０は、基板収納容器に加わる衝撃を和らげる二次緩衝材４０として機能する。
【００４５】
各緩衝材４０は、所定の材料により２×２のマトリクスに配列された複数の個別パレット２０に対向可能な大きさの平面矩形の板に形成され、複数の個別パレット２０を並べて搭載したり、配列された複数の包装体１の上部に嵌合した状態で収納箱２内に収納される。緩衝材４０の所定の材料としては、十分な強度を得るため、発泡倍率の大きい各種発泡材が使用されるが、収納箱２や個別パレット２０と同様の成形材料でも良い。
【００４６】
緩衝材４０の平坦な表面の周縁部である前部、後部、左右両側部には、配列された複数の個別パレット２０の周縁に接触可能な位置決め壁４１・４２・４３がそれぞれ突出形成され、この位置決め壁４１・４２・４３が複数の個別パレット２０の前後左右方向への位置ずれ、がたつき、脱落を防止する。位置決め壁４１・４２・４３の内側稜線部には、個別パレット２０の出し入れを円滑にする観点から、Ｃ面加工やＲ面加工等の面取り加工が必要に応じて施される。
【００４７】
緩衝材４０表面の前部（正面側）に位置する位置決め壁４１には、複数の切り欠き４４が間隔をおいて切り欠かれ、この複数の切り欠き４４が前列に並んだ個別パレット２０のアクセス手段５０に対向し、このアクセス手段５０を箱本体６の正面１３から外部に露出させる。このような複数の切り欠き４４の形成により、緩衝材４０の表面前部に位置する位置決め壁４１は複数個に分割され、各位置決め壁４１が板片に形成される。
【００４８】
緩衝材４０表面の後部に位置する位置決め壁４２の中央部には、前方に伸びて位置決め機能を発揮する位置決め壁４５が一体形成され、この位置決め壁４５が緩衝材４０の表面を左右に二分して一対の搭載領域４６を区画する。位置決め壁４５の内側稜線部には、個別パレット２０を円滑に出し入れするため、Ｃ面加工やＲ面加工等の面取り加工が必要に応じて施される。各搭載領域４６は、緩衝材４０の前後方向に伸びる平面矩形に形成され、前部周縁に複数の切り欠き４４が区画されており、一対の個別パレット２０を前後に並べて搭載する。
【００４９】
各搭載領域４６の中央部付近には、左右方向に伸びる位置決め片４７が突出形成され、この位置決め片４７が前後一対の個別パレット２０の間に介在し、これらの個別パレット２０を位置決めする。各位置決め片４７は、緩衝材４０の表面前部に位置する位置決め壁４１に対向し、位置決め壁４３・４５との間にフォーク挿通用の隙間を形成する。
【００５０】
上段用と下段用の緩衝材４０の包装体１と相対さない方の面は、複数の包装体１と係合することがないので、略平坦に形成される。これに対し、中段用の緩衝材４０は、複数の包装体１に上下方向から挟持されるので、図６に示すように、包装体１と相対する方の面、すなわち裏面に、複数の包装体１の上部に嵌合可能な嵌合穴４８が２×２に並べて穿孔され、各嵌合穴４８が平面矩形に形成される。この嵌合穴４８の嵌合作用により、中段用の緩衝材４０は、傾くことなく水平な姿勢を保ち、表面の各搭載領域４６に個別パレット２０が安定した姿勢で搭載されることとなる。
【００５１】
なお、上段用と下段用の緩衝材４０については、中段用の緩衝材４０と同様の形のものをそのまま使用することも可能である。
【００５２】
アクセス手段５０は、ロボットアームのフォークに挿通される左右一対のアクセス挿入口５１からなり、この一対のアクセス挿入口５１が個別パレット２０の周壁に間隔をおき貫通して並設される。各アクセス挿入口５１は、横長の正面矩形に形成されて個別パレット２０の前後方向に指向するとともに、緩衝材４０の切り欠き４４に対向して外部に露出し、包装体１の梱包時に箱本体６の前後方向に向けられる。
【００５３】
このような一対のアクセス挿入口５１は、アクセス挿入口５１とアクセス挿入口５１との間に緩衝材４０の位置決め片４７が位置し、この位置決め片４７がアクセス挿入口５１を隠蔽することなく露出させ、アクセス挿入口５１に対するロボットアームのフォークの挿脱を許容する。
【００５４】
なお、個別パレット２０がロボットアームのフォークと接触する領域とアクセス挿入口５１とには、剛性を有するポリカーボネート製の補強部品、ポリスチレン系やポリオレフィン系の保護シート等からなる交換可能な補強部材が必要に応じて設けられる。この補強部材は、個別パレット２０とアクセス挿入口５１の損傷を防止し、耐久性を向上させるよう機能する。
【００５５】
上記において、４５０ｍｍタイプの基板収納容器を包装した重い包装体１を梱包輸送する場合には、先ず、組み立てた収納箱２の箱本体６の下部８内面に下段用の緩衝材４０を手作業により配置し、この緩衝材４０の正面を箱本体６の開口した正面１３側に向ける。また、複数の個別パレット２０を用意し、この複数の個別パレット２０上に包装体１をロボットアーム等により順次搭載し、各個別パレット２０の表面に基板収納容器の背面壁を包装体１を介して接触させるとともに、基板収納容器の蓋体を上方に向け、基板収納容器の姿勢を安定させる。
【００５６】
次いで、緩衝材４０の表面に包装体１を搭載した複数の個別パレット２０をロボットアームにより順次パレタイザする。この際、ロボットアームは、個別パレット２０の一対のアクセス挿入口５１にフォークを前方から挿入して持ち上げ、各搭載領域４６の後部に個別パレット２０を搬送して配置し、個別パレット２０のアクセス挿入口５１からフォークを後退させて引き抜くこととなる。ロボットアームのフォークは、個別パレット２０のアクセス挿入口５１と位置決め片４７及び位置決め壁４１とが対向せず、位置決め片４７や位置決め壁４１が動作の障害にならないので、アクセス挿入口５１から円滑に引き抜かれる。
【００５７】
各搭載領域４６の後部に個別パレット２０を配置したら、ロボットアームは、別の個別パレット２０の一対のアクセス挿入口５１にフォークを前方から挿入して持ち上げ、各搭載領域４６の前部に個別パレット２０を搬送して配置し、個別パレット２０のアクセス挿入口５１からフォークを後退させる。個別パレット２０のアクセス挿入口５１は、切り欠き４４に対向し、前部側の位置決め壁４１と対向関係にないので、ロボットアームのフォークがアクセス挿入口５１から支障なく引き抜かれる。
【００５８】
次いで、複数の包装体１の上部に中段用の緩衝材４０の嵌合穴４８をそれぞれ手作業で嵌合し、この中段用の緩衝材４０の姿勢を水平に調整した後、この緩衝材４０の表面に包装体１を搭載した複数の個別パレット２０をロボットアームにより上記と同様にパレタイザする。中段用の緩衝材４０に複数の個別パレット２０をパレタイザしたら、複数の包装体１の上部に上段用の緩衝材４０の表面を手作業により重ねて嵌合し、収納箱２の扉１６を閉めてマジックテープ１７で封止した後、収納箱２の開口した上部１０に上蓋１１を被せて嵌合すれば、包装体１を梱包することができる。
【００５９】
上段用の緩衝材４０には、必要に応じてがたつき防止用のスペーサを積層したり、他の緩衝材４０を充填したりすることができる。また、収納箱２は、底部パレット３の一対の搬送挿入口４にフォークリフトのフォークが挿入されることにより、持ち上げられ、航空機等に搬入して輸送される。
【００６０】
次に、輸送された収納箱２を開梱して包装体１を取り出す場合には、収納箱２の上部１０から上蓋１１を取り外し、扉１６のマジックテープ１７を剥離して扉１６を開け、複数の包装体１の上部から上段用の緩衝材４０を取り外せば、包装体１を搭載した複数の個別パレット２０をロボットアームにより順次取り出すことができる。
【００６１】
この際、ロボットアームは、個別パレット２０の一対のアクセス挿入口５１にフォークを前方から挿入して持ち上げ、緩衝材４０の各搭載領域４６から個別パレット２０を収納箱２の外部に搬送し、個別パレット２０のアクセス挿入口５１からフォークを引き抜くこととなる。ロボットアームのフォークは、個別パレット２０のアクセス挿入口５１と位置決め壁４１とが対向せず、位置決め壁４１が障害物にならないので、アクセス挿入口５１に対して円滑に挿入される。
【００６２】
上記構成によれば、収納箱２が縦開きではなく、横開きタイプなので、収納箱２の開口した正面１３や扉１６がロボットアームの接近を妨げることがない。また、収納箱２、個別パレット２０、緩衝材４０にそれぞれ必要な剛性を付与することができるので、４５０ｍｍタイプ等、総重量が８ｋｇｆ以上の重く大きい基板収納容器の梱包に使用しても、強度不足で変形し、基板収納容器や半導体ウェーハが損傷するのを有効に防止することができる。
【００６３】
さらに、包装体１をそのまま取り扱うのではなく、運搬性に優れる個別パレット２０を用いて個別に取り扱うことができるので、基板収納容器のフランジ等が包装体１のアルミラミネート袋で外部から視覚的に把握できなくても、ロボットアームによるハンドリングが可能となる。したがって、ハンドリングに伴い、個別パレット２０上の包装体１が破断したり、裂開するおそれがない。
【００６４】
次に、図７ないし１０は本発明の第２の実施形態を示すもので、この場合には、箱本体６の上部１０と周壁１２の正面１３とをそれぞれ開口し、周壁１２の背面壁上部に、箱本体６の上部１０を開閉する上蓋１１を回転可能に支持させるとともに、この上蓋１１の前部に、箱本体６の正面上部を開閉する第一の扉１６Ａを回転可能に支持させ、箱本体６の下部前端には、箱本体６の正面下部を開閉する第二の扉１６Ｂを揺動可能に支持させ、個別パレット２０を、包装体１に嵌通される上部パレット２１と、包装体１と上部パレット２１とを着脱自在に搭載する下部パレット２７とに分割形成するようにしている。
【００６５】
収納箱２の底部パレット３は、必要に応じて箱本体６よりも幅広に形成され、嵌合壁５が省略される。また、上蓋１１の両側部には、箱本体６の両側壁１５内面上部に粘着テープ等で粘着固定されるタブ１８がそれぞれ揺動可能に形成され、第一、第二の扉１６Ｂの両側部には、箱本体６の両側壁１５内面前部に粘着テープ等で粘着固定されるタブ１８がそれぞれ揺動可能に形成される。
【００６６】
個別パレット２０の上部パレット２１と下部パレット２７とは、緩衝能力に優れるポリオレフィン、ポリスチレン、ポリウレタン等の発泡材料によりそれぞれ成形されており、緩衝材４０と同様の緩衝機能を発揮する。
【００６７】
上部パレット２１は、図９や図１０に示すように、平面視で凸字の中空部２２を有する略枠形に形成され、表面の前部二隅部には、他の個別パレット２０の積層用の切り欠き２３がそれぞれ形成されており、各切り欠き２３には、必要に応じてアクセス手段５０としての機能が付与される。上部パレット２１の裏面の前部二隅部には、切り欠き２３の下方に位置する角柱形の第一嵌合凸部２４がそれぞれ下方に向けて伸張形成され、裏面の残りの二隅部には、第一嵌合凹部２５がそれぞれ切り欠かれる。また、上部パレット２１の正面中央部には、正面矩形の位置決め溝２６が下方に向けて短く切り欠かれる。
【００６８】
下部パレット２７は、図９や図１０に示すように、基本的には平面矩形の板に形成され、表面の前部中央に、上部パレット２１の位置決め溝２６に嵌合する位置決め突起２８が突出形成されるとともに、表面の後部寄りには、横長の穴２９が穿孔されており、下部の正面側から背面側にかけて左右一対のアクセス挿入口５１が間隔をおきそれぞれ溝形に切り欠かれる。
【００６９】
下部パレット２７の表面の前部二隅部には、上部パレット２１の第一嵌合凸部２４に嵌合する第二嵌合凹部３０がそれぞれ切り欠かれ、表面の残りの二隅部には、上部パレット２１の第一嵌合凹部２５に嵌合する第二嵌合凸部３１がそれぞれ突出形成される。また、下部パレット２７の正面中央部には、アクセス手段５０として、位置決め突起２８の下方に位置する切り欠き５２が下方に向けて短く切り欠かれる。
【００７０】
上記において、４５０ｍｍタイプの基板収納容器を包装した重い包装体１を梱包輸送する場合には図７や図８に示すように、先ず、組み立てた個別パレット２０の上部パレット２１に包装体１を位置決めして搭載し、個別パレット２０を箱本体６の下部８内面に収容し、包装体１の上部に緩衝材４０を嵌入する。この際、個別パレット２０が緩衝能力に優れる発泡材料により形成されているので、下段用の緩衝材４０を省略することができる。
【００７１】
こうして包装体１の上部に緩衝材４０を嵌入したら、第二の扉１６Ｂを起こしてその両側部のタブ１８を箱本体６の両側壁１５に粘着固定し、箱本体６の開口した上部１０を上蓋１１により被覆してその両側部のタブ１８を粘着固定するとともに、箱本体６の開口した正面上部を第一の扉１６Ａにより被覆してその両側部のタブ１８を箱本体６の両側壁１５に粘着固定し、その後、第一、第二の扉１６Ｂの間を粘着テープ等で固定すれば、包装体１を梱包することができる。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
【００７２】
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、中段用や下段用の緩衝材４０を省略することができるので、部品点数の削減が期待できるのは明らかである。また、発泡材料の使用により、個別パレット２０の重量削減も期待できる。また、扉１６を第一、第二の扉１６Ａ・１６Ｂに二分割し、これら第一、第二の扉１６Ａ・１６Ｂを箱本体６の上部１０と下部８とに支持させるので、収納箱２の構成の多様化を図ることもできる。
【００７３】
次に、図１１は本発明の第３の実施形態を示すもので、この場合には、箱本体６の上部１０を閉じて周壁１２の正面１３を開口し、箱本体６の背面壁１４側部に対して一側壁１５を横方向に揺動可能に支持させ、この一側壁１５の側部に、箱本体６の正面１３を開閉する扉１６を横方向に揺動可能に支持させるようにしている。
【００７４】
箱本体６の下部８前端には、箱本体６の正面下部を開閉する横長のフラップ１９が起伏可能に形成され、このフラップ１９に扉１６が外側から接触する。フラップ１９の両側部には、箱本体６の両側壁１５内面に粘着テープ等で粘着固定されるタブ１８がそれぞれ揺動可能に形成される。また、箱本体６の一側壁１５と扉１６の上部には、箱本体６の閉じた上部１０に粘着テープ等で粘着固定される横長のタブ１８がそれぞれ揺動可能に形成され、扉１６の側部には、箱本体６の他側壁１５に粘着テープ等で粘着固定される揺動可能なタブ１８が形成される。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
【００７５】
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、収納箱２の上部１０を開口させることができない場合にも、横方向に開口面積の大きい収納箱２を得ることができるので、収納箱２の構成の多様化を図ることができるのは明らかである。
【００７６】
次に、図１２は本発明の第４の実施形態を示すもので、この場合には、箱本体６の上部１０を閉じて周壁１２の正面１３を開口し、箱本体６の背面壁１４の側部に一側壁１５を揺動可能に支持させ、箱本体６の他側壁１５の側部に、箱本体６の正面１３を開閉する扉１６を揺動可能に支持させるようにしている。
【００７７】
箱本体６の下部８前端には、箱本体６の正面下部を開閉する横長のフラップ１９が起伏可能に形成され、このフラップ１９に扉１６が外側から接触する。フラップ１９の両側部には、箱本体６の両側壁１５内面に粘着テープ等で粘着固定されるタブ１８がそれぞれ揺動可能に形成される。箱本体６の一側壁１５と扉１６との上部には、箱本体６の閉じた上部１０に粘着テープ等で粘着固定される横長のタブ１８がそれぞれ揺動可能に形成され、扉１６の側部には、箱本体６の一側壁１５に粘着テープ等で粘着固定される揺動可能なタブ１８が形成される。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
【００７８】
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、一側壁１５に扉１６を支持させることができない場合にも、横方向に開口面積の大きい収納箱２を得ることができ、収納箱２の構成の多様化が期待できるのは明白である。
【００７９】
次に、図１３は本発明の第５の実施形態を示すもので、この場合には、個別パレット２０を、包装体１を搭載可能な平坦な台の表面周縁部に、包装体１の下部を位置決め嵌合して包囲する平面枠形の包囲壁３２を一体的に周設することで構成し、この包囲壁３２の内周面上部３３を傾斜させて上方に向かうにしたがい徐々に拡開させ、包装体１の位置決め嵌合を容易にするようにしている。
【００８０】
個別パレット２０の台の裏面には、アクセス手段５０として平面略十字形のアクセス挿入口５１が形成され、台の裏面四隅部には、アクセス手段５０として、図示しない天井搬送装置であるホイストのフックを係止可能なアクセス凹部５３がそれぞれ切り欠かれる。また、包囲壁３２の表面四隅部には、アクセス手段５０としてブロック形のアクセス凸部５４がそれぞれ突出形成され、各アクセス凸部５４には貫通口５５が水平方向に穿孔されており、この貫通口５５にホイストのフックが着脱自在に係止される。
【００８１】
アクセス凸部５４は、例えば個別パレット２０よりも剛性の高い材料（例えば、ポリカーボネート等）により一体形成され、貫通口５５と共に、あるいは貫通口５５の代わりに、ホイストのフックを係止可能な凹み部や突片が選択的に形成される。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
【００８２】
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、アクセス挿入口５１が平面略十字形に形成されているので、ロボットアームのフォークを用いた受け渡し作業を容易にしたり、受け渡し作業の際の方向転換を省くことができるのは明白である。
【００８３】
また、アクセス凹部５３、アクセス凸部５４の貫通口５５、凹み部、突片を利用すれば、個別パレット２０を吊持して搬送することができるので、個別パレット２０に対するアクセスがロボットアームのみに制約されることがない。したがって、個別パレット２０に対するアクセスの拡大が大いに期待でき、しかも、上部１０のみが開口した収納箱２を使用しても、機械化に支障を来すのを防ぐことができる。
【００８４】
次に、図１４、図１５は本発明の第６の実施形態を示すもので、この場合には、個別パレット２０を、包装体１を搭載可能な平坦な台とし、この台の表面周縁部の前部中央、後部、及び左右両側部に、包装体１の下部を位置決め嵌合して包囲する包囲壁３２Ａ・３２Ｂ・３２Ｃをそれぞれ一体形成し、前部中央の包囲壁３２Ａと両側部の包囲壁３２Ｃ前端との間に、ロボットアームのフォーク用の挿通口３４をそれぞれ横長に区画するようにしている。
【００８５】
基板収納容器は、梱包されたり、包装体１が外部環境で輸送される場合には、包装体１に包装されている半導体ウェーハの主面が略垂直になるように個別パレット２０に搭載される。これに対し、包装体１がクリーンルームに搬入される場合には、半導体ウェーハの主面が略水平になるように９０°反転して扱われることがその後のハンドリングを容易にする観点から好ましい。これは、半導体ウェーハが水平状態になれば、基板収納容器のフランジ等の搬送手段が天井搬送装置等の搬送装置にアクセス可能になるからであり、包装体１の包装袋を開口させ、容器本体のフランジ等を利用すれば、容易に搬送することができる。
【００８６】
包装体１は、外部環境からクリーンルームに搬入される場合、２枚以上の包装袋で多重包装され、最外側の包装袋が除去された後、クリーンルームに搬入されることが汚染を防止する観点から好ましい。
【００８７】
個別パレット２０の台は、例えば緩衝能力に優れるポリオレフィン、ポリスチレン、ポリウレタン等の発泡材料により平面矩形に成形され、その正面から背面にかけて、アクセス手段５０である左右一対のアクセス挿入口５１が並べて穿孔される。アクセス手段５０は、一対のアクセス挿入口５１のみでも良いが、平坦なコンベヤレール等、アクセスを可能にする他の手段でも良い。例えば、クリーンルーム内では、ローラコンベヤによる搬送が多用されるので、個別パレット２０の下面に、相互に対向する一対の対向部を形成し、この一対の対向部をコンベヤレールに接触させることにより、個別パレット２０をローラコンベヤで搬送し、一対のアクセス挿入口５１を省略するようにしても良い。
【００８８】
個別パレット２０の前部の包囲壁３２Ａ、後部の包囲壁３２Ｂの中央、及び両側部の包囲壁３２Ｃは、例えば断面略Ｌ字形にそれぞれ形成され、その水平横方向に伸びる棚片３５が台の中心部方向に指向して包装体１を搭載する。この複数の棚片３５上に包装体１が搭載される場合、包装体１の下部と個別パレット２０の台表面との間に、挿通口３４に連通するアクセス用の空隙３６が区画される。
【００８９】
棚片３５は、包装体１を搭載し、アクセス用の空隙３６を区画する機能を発揮するのであれば、後部の包囲壁３２Ｂと両側部の包囲壁３２Ｃとの間、又は両側部の包囲壁３２Ｃ等に適宜形成することができる。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
【００９０】
このような個別パレット２０は、クリーンルームで使用されるパレットと、梱包作業用の準クリーンルーム環境や梱包体の輸送が行われる外部環境で使用されるパレットとに区別されるが、クリーンルームと外部環境との間に設置される準クリーンルーム環境において、包装体１のみを受け渡す際に使用されることが汚染源をクリーンルームに持ち込まない観点から好ましい。
【００９１】
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、個別パレット２０が優れた緩衝能力を発揮するので、下段用の緩衝材４０を省略することができる。また、包装体１の下部と個別パレット２０の台との間にアクセス用の空隙３６が区画されるので、この空隙３６にロボットアームのフォークを挿通すれば、個別パレット２０から包装体１のみを持ち上げてハンドリングすることができ、外部環境とクリーンルームとの間で包装体１をきわめて容易に受け渡しすることができる。
【００９２】
また、清浄性を保つため、個別パレット２０を洗浄する煩雑な作業を省くこともできる。また、クリーンルームに搬入された包装体１をクリーンルーム用の個別パレット２０に搭載すれば、上記と同様にハンドリングすることが可能になる。また、上記ハンドリングにより、包装体１をクリーン度の異なるクリーンルームで受け渡したり、外部環境とクリーンルームとの間で包装体１を汚染させることなく、円滑に受け渡すことが可能になる。さらに、外部環境下の使用により、汚染のおそれのある個別パレット２０をクリーンルームに搬入するのを防止し、クリーンな環境をそのまま維持することができるので、包装体１内に収納されている半導体ウェーハの汚染防止が大いに期待できる。
【００９３】
次に、図１６は本発明の第７の実施形態を示すもので、この場合には、緩衝材４０の位置決め壁４３・４５の前端部に短い位置決め壁４１をそれぞれ接続し、各搭載領域４６の前部周縁の切り欠き数を削減するとともに、残存した切り欠き４４を左右方向に伸張し、位置決め壁４３の内面中央部と位置決め壁４５の両面中央部とに位置決め片４７をそれぞれ突出形成し、位置決め壁４３の位置決め片４７と位置決め壁４５の位置決め片４７とを対向させるようにしている。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
【００９４】
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、緩衝材４０の構成の多様化を図ったり、個別パレット２０のアクセス挿入口５１の数を減らして構成の簡素化を図ることができる。
【００９５】
次に、図１７は本発明の第８の実施形態を示すもので、この場合には、個別パレット２０の底面に嵌挿穴３７を穿孔し、緩衝材４０の位置決め壁４１・４２・４３・４５、切り欠き４４、位置決め片４７をそれぞれ省略し、緩衝材４０の平坦な表面に複数の搭載領域４６を区画するとともに、各搭載領域４６に、個別パレット２０の嵌挿穴３７に位置決め嵌挿される嵌挿部４９を突出形成するようにしている。
【００９６】
個別パレット２０には、アクセス手段５０であるアクセス挿入口５１を設けても良いし、省略しても良い。また、嵌挿穴３７の周縁や内面、嵌挿部４９の先端部等には、嵌挿穴３７と嵌挿部４９との嵌挿を容易にする観点から、傾斜加工や面取り加工が必要に応じて施される。例えば、嵌挿部４９は、円錐台や角錐台等の錐台形に形成される。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
【００９７】
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、位置決め壁４１・４２・４３・４５、切り欠き４４、位置決め片４７の省略により、緩衝材４０の構成の簡素化を図ることができるのは明らかである。
【００９８】
なお、上記実施形態では底部パレット３の搬送挿入口４を底部パレット３の前後方向に向けたが、左右方向に向けても良い。また、収納箱２の正面１３を開口したが、収納箱２の側面や背面を開口しても良い。また、箱本体６の下部８を開口させ、個別パレット２０に箱本体６を上方から被せて嵌入し、これら個別パレット２０と箱本体６とを係止具、締結具、粘着テープ等により粘着固定しても良い。また、上記実施形態では収納箱２に複数の包装体１を上下２段に段積みしたが、収納箱２に複数の包装体１を１段に積んで合計４個収納することができる。
【００９９】
また、底部パレット３の表面周縁部の一部に嵌合壁５を形成したが、底部パレット表面の全周縁部に嵌合壁５を形成することもできる。また、扉１６の側部にマジックテープ１７を設けたが、扉１６の一側部に封止用の凸片を伸長形成し、箱本体６の他側壁１５に、凸片と嵌合する嵌合溝孔を穿孔することもできる。また、マジックテープ１７の代わりに、凹部と凸部とを配設したり、フックとホックとで嵌合したり、あるいはテープで止めることが可能である。
【０１００】
また、上記実施形態では個別パレット２０と緩衝材４０の位置決め壁４１・４２・４３・４５を略同じ高さに形成し、複数の切り欠き４４により、個別パレット２０の一対のアクセス挿入口５１を外部に露出させたが、何らこれに限定されるものではない。例えば、個別パレット２０を位置決め壁４１・４２・４３・４５よりも高い肉厚に形成し、個別パレット２０の周面の上部寄りに一対のアクセス挿入口５１を穿孔することにより、一対のアクセス挿入口５１を外部に露出させ、切り欠き４４を省略することが可能である。また、個別パレット２０の表面に、振動吸収機能を有する弱粘着性のエラストマーやゴムからなる弾性緩衝層を接着することも可能である。
【０１０１】
また、個別パレット２０の表面周縁部の少なくとも一部に、包装体１の下部周縁に干渉可能な位置決め壁を形成することも可能である。また、位置決め壁４２・４３・４５には、複数の切り欠き４４を間隔をおいて形成しても良い。また、包装体１の上下に緩衝材４０を配置しても良いし、個別パレット２０の上下に緩衝材４０を配置しても良い。また、中段用の緩衝材４０の裏面に複数の嵌合穴４８を並べて穿孔しても良いが、各緩衝材４０の裏面に複数の嵌合穴４８を並べて穿孔しても良い。
【０１０２】
また、個別パレット２０のアクセス凸部５４やその貫通口５５、凹み部、突片には、磁石や磁性体を装着し、磁力を利用してアクセスすることもできる。さらに、個別パレット２０の下面に、出没可能な複数のキャスターを配設し、この複数のキャスターを利用して搬送の際の便宜を図るようにしても良い。
【産業上の利用可能性】
【０１０３】
本発明に係る基板収納容器の梱包体は、半導体の製造分野、流通分野、輸送分野等で使用することができる。
【符号の説明】
【０１０４】
１        包装体
２        収納箱
３        底部パレット
４        搬送挿入口
６        箱本体
７        壁
８        下部
１０      上部
１１      上蓋
１２      周壁
１３      正面（開口）
１４      背面壁
１５      側壁
１６      扉
１６Ａ    第一の扉
１６Ｂ    第二の扉
１７      マジックテープ
２０      個別パレット
２１      上部パレット
２４      第一嵌合凸部（凸部）
２５      第一嵌合凹部（凹部）
２６      位置決め溝
２７      下部パレット
３０      第二嵌合凹部（凹部）
３１      第二嵌合凸部（凸部）
３２      包囲壁
３２Ａ    包囲壁
３２Ｂ    包囲壁
３２Ｃ    包囲壁
３３      内周面上部（内周面）
３４      挿通口
３５      棚片
３６      空隙
３７      嵌挿穴
４０      緩衝材
４１      位置決め壁
４２      位置決め壁
４３      位置決め壁
４４      切り欠き
４５      位置決め壁
４６      搭載領域
４７      位置決め片（位置決め部）
４８      嵌合穴
４９      嵌挿部
５０      アクセス手段
５１      アクセス挿入口
５２      切り欠き
５３      アクセス凹部
５４      アクセス凸部
５５      貫通口
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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