(57)【要約】【課題】大気又は真空の如何に拘わらず、しかも、高電圧を使用することなく、ワークを保持及び搬送して、所望の加工処理を可能にしたワーク搬送システム，ワーク受渡システム，ワーク収納システム，ワーク貼合システム，ワーク搬送方法，ワーク受渡方法，ワーク収納方法及びワーク貼合方法を提供する。【解決手段】ワーク搬送システム１はベルトコンベア１０とワーク当接機構３０とを備える。ベルトコンベア１０は、駆動ローラ１１と、従動ローラ１２と、ワークＷをファンデルワールス力で粘着保持可能な無端ベルト１３とで構成される。ワーク当接機構３０はワークＷを無端ベルト１３の下側ベルト部１３Ａに当接する。ワーク収納システム２はベルトコンベア１０とワーク収納ボックス２０と昇降機２３とを備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
床部の上方に配設され、駆動回転する駆動ローラ，駆動ローラの回転に従って回転する従動ローラ，及びこれら駆動ローラと従動ローラとに巻き掛けられた無端ベルトを有するベルトコンベアと、ワークを、無端ベルトのうち上記駆動ローラ及び従動ローラに対して下方に位置する下側ベルト部に当接させるためのワーク当接機構とを備え、
ワークを、無端ベルトの下側ベルト部で粘着保持することにより、ベルトコンベアの上流から下流に向かった搬送するワーク搬送システムであって、
上記無端ベルトを、上記駆動ローラと従動ローラとに巻き掛けられる無端の基材と、この基材の表面に積層され且つ表面のファンデルワールス力によって上記ワークを粘着保持可能な自己粘着層とで形成した、
ことを特徴とするワーク搬送システム。
【請求項２】
請求項１に記載のワーク搬送システムにおいて、
上記無端ベルトの自己粘着層を、シリコンゴム又はエチレン−プロピレン−ジエンゴムで形成した、
ことを特徴とするワーク搬送システム。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載のワーク搬送システムにおいて、
上記無端ベルトの基材を、可撓性有するフィルム状の部材で形成した、
ことを特徴とするワーク搬送システム。
【請求項４】
床部の上方に配設された請求項１ないし請求項３のいずれかに記載のベルトコンベアが、ワーク搬送方向に向かって直列に複数並設され、ワークを所定のベルトコンベアから隣のベルトコンベアに受け渡すワーク受渡システムであって、
上記所定のベルトコンベアにおける無端ベルトの下側ベルト部の表面と、上記隣のベルトコンベアにおける無端ベルトの下側ベルト部の表面とを面一に設定した、
ことを特徴とするワーク受渡システム。
【請求項５】
床部の上方に配設された請求項１ないし請求項３のいずれかに記載のベルトコンベアと、
このベルトコンベアの下流の位置に配設され、ベルトコンベア側を向いて開口する複数のスロットが上下方向に積層され且つ当該開口に挿入されたワークを当該スロット内に収納可能なワーク収納ボックスと、
上記ベルトコンベア又はワーク収納ボックスのいずれか一方を上下動させて、所定のスロットの開口を無端ベルトの下側ベルト部の表面位置に位置させる上下動機構と
を備えることを特徴とするワーク収納システム。
【請求項６】
床部の上方に水平に配設された請求項１ないし請求項３のいずれかに記載のベルトコンベアであって、上記無端ベルトのうち駆動ローラ及び従動ローラに対して上方に位置する上側ベルト部と上記下側ベルト部との間隙よりも若干薄い平板状の第１の受け板を当該間隙に有する第１のベルトコンベアと、
床部上であって上記第１のベルトコンベアの真下に水平に配設された請求項１ないし請求項３のいずれかに記載のベルトコンベアであって、無端ベルトの上側ベルト部と下側ベルト部との間隙よりも若干薄い平板状の第２の受け板を当該間隙に有する第２のベルトコンベアと、
上記第１のベルトコンベアを、上記第２のベルトコンベアに向かって押し下げるプレス機構と
を備えることを特徴とするワーク貼合システム。
【請求項７】
請求項１ないし請求項３のいずれかに記載のベルトコンベアを床部の上方に配設し、
ワークを、無端ベルトのうち上記駆動ローラ及び従動ローラに対して下方に位置する下側ベルト部で粘着保持させることにより、当該ワークをベルトコンベアの上流から下流に向かった搬送する、
ことを特徴とするワーク搬送方法。
【請求項８】
請求項１ないし請求項３のいずれかに記載のベルトコンベアを、床部の上方に配設すると共にワーク搬送方向に向かって直列に複数並設し、
所定のベルトコンベアにおける無端ベルトの下側ベルト部の表面と、隣のベルトコンベアにおける無端ベルトの下側ベルト部の表面とを面一に設定することにより、
ワークを、無端ベルトの下側ベルト部で粘着保持した状態で、上記所定のベルトコンベアから隣のベルトコンベアに受け渡す、
ことを特徴とするワーク受渡方法。
【請求項９】
上下方向に積層された複数のスロットを有したワーク収納ボックスを、スロットの開口をベルトコンベア側に向けた状態で、床部の上方に配設された請求項１ないし請求項３のいずれかに記載のベルトコンベアの下流の位置に配設し、
上記ベルトコンベア又はワーク収納ボックスのいずれか一方を、上下動機構によって上下動させることにより、所定のスロットの開口を無端ベルトの下側ベルト部の表面位置に位置させ、
上記無端ベルトの下側ベルト部で搬送され上記所定のスロットの開口に挿入されたワークを、収納ボックスの当該所定のスロット内に収納する、
ことを特徴とするワーク収納方法。
【請求項１０】
請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の第１のベルトコンベアを、床部の上方に水平に配設して、第１のワークを当該第１のベルトコンベアの下側ベルト部で粘着保持させると共に、無端ベルトのうち駆動ローラ及び従動ローラに対して上方に位置する上側ベルト部と上記下側ベルト部との間隙よりも若干薄い平板状の第１の受け板を当該間隙に挿入し、
請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の第２のベルトコンベアを、床部上であって上記第１のベルトコンベアの真下に水平に配設して、第２のワークを当該第２のベルトコンベアの上側ベルト部に粘着保持させると共に、上側ベルト部と下側ベルト部との間隙よりも若干薄い平板状の第２の受け板を当該間隙に挿入し、
上記第１のベルトコンベアを、上記第２のベルトコンベアに向かって下降させて、上記第１のワークを上記第２のワークに貼り合わせる、
ことを特徴とするワーク貼合方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、大型ガラス基板や半導体基板等のワークを搬送するためのワーク搬送システム，ワーク受渡システム，ワーク収納システム，ワーク貼合システム，ワーク搬送方法，ワーク受渡方法，ワーク収納方法及びワーク貼合方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種のワーク搬送ステムでは、ワークを真空吸着力で吸着する真空チャックが用いられていた（例えば、特許文献１及び特許文献２参照）。
しかし、蒸着装置等においては、システムが真空チャンバ内に組み付けられるため、真空チャックを用いたワーク搬送システムでは、このような真空チャンバ内での作業を行うことができない。また、ワークを真空吸着するため、バキューム痕がワークに残りやすい。
そこで、静電チャックが用いたワーク搬送システムが考案されている（例えば、特許文献３〜特許文献５参照）。
このワーク搬送システムは、真空チャンバ内において、大型ガラス基板等のワークを静電チャックの静電気力で吸着し、ワークの加工面を下側に向けた状態で、蒸着源の真上迄搬送することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０００−０４２４９８号公報
【特許文献２】特開２００３−３１２８４２号公報
【特許文献３】特開２００６−２７３４４７号公報
【特許文献４】特開２００６−２９０４７７号公報
【特許文献５】特開２００６−２９１２４３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、上記したワーク搬送システムでは、次のような問題があった。
大型ガラス基板等のように、重量のあるワークを静電気力で吸着させるためには、静電チャックに供給する電圧を高電圧にして、静電チャックの吸着力を高めなければならない。特に、ワークをを蒸着源迄搬送するワーク搬送システムで使用される静電チャックのように、重いワークを下側にして吸着する必要があるチャックでは、極めて高い電圧が必要となる。
しかしながら、高電圧を使用すると、真空チャンバ内における放電防止や電圧ケーブルの引き回し等、設備上の制限が加わり、システム構築作業や構築コストの面で問題がある。
これに対して、ワークを機械的なクランプで掴んで搬送するシステムを提案することができるが、このシステムでは、蒸着処理時に不成膜部分が発生する等、好ましくない事態が生じやすい。
【０００５】
この発明は、上述した課題を解決するためになされたもので、大気又は真空の如何に拘わらず、しかも、高電圧を使用することなく、ワークを保持及び搬送して、所望の加工処理を可能にしたワーク搬送システム，ワーク受渡システム，ワーク収納システム，ワーク貼合システム，ワーク搬送方法，ワーク受渡方法，ワーク収納方法及びワーク貼合方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、請求項１の発明は、床部の上方に配設され、駆動回転する駆動ローラ，駆動ローラの回転に従って回転する従動ローラ，及びこれら駆動ローラと従動ローラとに巻き掛けられた無端ベルトを有するベルトコンベアと、ワークを、無端ベルトのうち駆動ローラ及び従動ローラに対して下方に位置する下側ベルト部に当接させるためのワーク当接機構とを備え、ワークを、無端ベルトの下側ベルト部で粘着保持することにより、ベルトコンベアの上流から下流に向かった搬送するワーク搬送システムであって、無端ベルトを、駆動ローラと従動ローラとに巻き掛けられる無端の基材と、この基材の表面に積層され且つ表面のファンデルワールス力によってワークを粘着保持可能な自己粘着層とで形成した構成とする。
かかる構成により、ベルトコンベアの駆動ローラを駆動回転させると、無端ベルトが回転し、従動ローラが駆動ローラの回転に従って回転する。
これにより、無端ベルトの下側ベルト部が、ベルトコンベアの上流から下流に向かって移動する。
このとき、ワーク当接機構を用いて、ワークを下側ベルト部に当接させると、ワークは、平坦な自己粘着層のファンデルワールス力により、下側ベルト部の表面に粘着保持される。
この結果、ワークは、下側ベルト部によってベルトコンベアの上流から下流へと搬送されることとなる。
したがって、例えば、このワーク搬送システムを、蒸着装置に組み込んだ場合には、下向きのワークが、床部上の蒸着源の真上を通る際に、蒸着材料をワークの表面全面に噴射させることができる。
【０００７】
請求項２の発明は、請求項１に記載のワーク搬送システムにおいて、無端ベルトの自己粘着層を、シリコンゴム又はエチレン−プロピレン−ジエンゴムで形成した構成とする。
【０００８】
請求項３の発明は、請求項１又は請求項２に記載のワーク搬送システムにおいて、無端ベルトの基材を、可撓性有するフィルム状の部材で形成した構成とする。
【０００９】
請求項４の発明は、床部の上方に配設された請求項１ないし請求項３のいずれかに記載のベルトコンベアが、ワーク搬送方向に向かって直列に複数並設され、ワークを所定のベルトコンベアから隣のベルトコンベアに受け渡すワーク受渡システムであって、所定のベルトコンベアにおける無端ベルトの下側ベルト部の表面と、隣のベルトコンベアにおける無端ベルトの下側ベルト部の表面とを面一に設定した構成とする。
かかる構成により、ワークが、所定のベルトコンベアの下側ベルト部に粘着保持された状態で、当該ベルトコンベアの上流から下流に搬送されると、ワークは、下流において、下側ベルト部の表面と面一な仮想平面上に押し出される。
このとき、当該ベルトコンベアにおける下側ベルト部の表面と、隣のベルトコンベアにおける下側ベルト部の表面とが、面一に設定されているので、上記所定のベルトコンベアから押し出されたワークは、当該隣のベルトコンベアの表面に当接し、この下側ベルト部に粘着保持される。
具体的には、まず、所定のベルトコンベアから押し出されたワークの先端部が、隣のベルトコンベアにおける下側ベルト部に当接して、当該先端部が下側ベルト部によって粘着保持される。以後、隣のベルトコンベアの回転に伴って、ワークが当該隣のベルトコンベア側に引き込まれ、最終的には、ワークの全面が、下側ベルト部に粘着保持されることとなる。
つまり、所定のベルトコンベアで搬送されてきたワークの一部が、隣のベルトコンベアの下側ベルト部に当接しさえいれば、ワークが隣のベルトコンベアへとスムーズに受け渡されることとなる。
【００１０】
請求項５の発明に係るワーク収納システムは、床部の上方に配設された請求項１ないし請求項３のいずれかに記載のベルトコンベアと、このベルトコンベアの下流の位置に配設され、ベルトコンベア側を向いて開口する複数のスロットが上下方向に積層され且つ当該開口に挿入されたワークを当該スロット内に収納可能なワーク収納ボックスと、ベルトコンベア又はワーク収納ボックスのいずれか一方を上下動させて、所定のスロットの開口を無端ベルトの下側ベルト部の表面位置に位置させる上下動機構とを備える構成とした。
かかる構成により、複数のワークを、ベルトコンベアの下側ベルト部に粘着保持させて、上流から下流へと順次搬送していくと、最初のワークが、ベルトコンベアの下流に至る。
このとき、予め、上下動機構によって、ベルトコンベア又はワーク収納ボックスのいずれか一方を上下動させて、ワークが収納されていない空のスロットの開口を、下側ベルト部の表面位置に位置させておくことにより、最初のワークが、当該スロットの開口からスロット内部に挿入され、当該ワークが当該スロット内に収納される。
しかる後、上下動機構によって、空のスロットの開口を、下側ベルト部の表面位置に位置させておくことにより、次のワークを、当該スロット内に収納させることができる。
【００１１】
請求項６の発明に係るワーク貼合システムは、床部の上方に水平に配設された請求項１ないし請求項３のいずれかに記載のベルトコンベアであって、無端ベルトのうち駆動ローラ及び従動ローラに対して上方に位置する上側ベルト部と下側ベルト部との間隙よりも若干薄い平板状の第１の受け板を当該間隙に有する第１のベルトコンベアと、床部上であって第１のベルトコンベアの真下に水平に配設された請求項１ないし請求項３のいずれかに記載のベルトコンベアであって、無端ベルトの上側ベルト部と下側ベルト部との間隙よりも若干薄い平板状の第２の受け板を当該間隙に有する第２のベルトコンベアと、第１のベルトコンベアを、第２のベルトコンベアに向かって押し下げるプレス機構とを備える構成とした。
かかる構成により、第１のワークを第１のベルトコンベアの下側ベルト部下に粘着保持させると共に、第２のワークを第２のベルトコンベアの上側ベルト部上に粘着保持させた状態で、プレス機構によって、第１のベルトコンベアを第２のベルトコンベアに向かって押し下げると、第１のワークが第１のベルトコンベアと共に下降し、第２のベルトコンベア上の第２のワークに圧接する。この状態で、第１のベルトコンベアをさらに押し下げると、圧接した第１のワークと第２のワークとが、第１の受け板と第２の受け板とに挟まれ、第１のワークが第１の受け板によって第２のワーク上に押圧される。この結果、第１及び第２のワークが貼り合わされた状態になる。この状態で、プレス機構による第１のベルトコンベアへの押し下げ力を解除した後、第１及び第２のベルトコンベアを同速度で駆動させることで、貼り合わされた第１及び第２のワークを、第１及び第２のベルトコンベアの下流へと搬送して、取り出すことができる。
【００１２】
請求項７の発明に係るワーク搬送方法は、請求項１ないし請求項３のいずれかに記載のベルトコンベアを床部の上方に配設し、ワークを、無端ベルトのうち駆動ローラ及び従動ローラに対して下方に位置する下側ベルト部で粘着保持させることにより、当該ワークをベルトコンベアの上流から下流に向かった搬送する構成とした。
【００１３】
請求項８の発明に係るワーク受渡方法は、請求項１ないし請求項３のいずれかに記載のベルトコンベアを、床部の上方に配設すると共にワーク搬送方向に向かって直列に複数並設し、所定のベルトコンベアにおける無端ベルトの下側ベルト部の表面と、隣のベルトコンベアにおける無端ベルトの下側ベルト部の表面とを面一に設定することにより、ワークを、無端ベルトの下側ベルト部で粘着保持した状態で、所定のベルトコンベアから隣のベルトコンベアに受け渡す構成とした。
【００１４】
請求項９の発明に係るワーク収納方法は、上下方向に積層された複数のスロットを有したワーク収納ボックスを、スロットの開口をベルトコンベア側に向けた状態で、床部の上方に配設された請求項１ないし請求項３のいずれかに記載のベルトコンベアの下流の位置に配設し、ベルトコンベア又はワーク収納ボックスのいずれか一方を、上下動機構によって上下動させることにより、所定のスロットの開口を無端ベルトの下側ベルト部の表面位置に位置させ、無端ベルトの下側ベルト部で搬送され所定のスロットの開口に挿入されたワークを、収納ボックスの当該所定のスロット内に収納する構成とした。
【００１５】
請求項１０の発明に係るワーク貼合方法は、請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の第１のベルトコンベアを、床部の上方に水平に配設して、第１のワークを当該第１のベルトコンベアの下側ベルト部で粘着保持させると共に、無端ベルトのうち駆動ローラ及び従動ローラに対して上方に位置する上側ベルト部と下側ベルト部との間隙よりも若干薄い平板状の第１の受け板を当該間隙に挿入し、請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の第２のベルトコンベアを、床部上であって第１のベルトコンベアの真下に水平に配設して、第２のワークを当該第２のベルトコンベアの上側ベルト部に粘着保持させると共に、上側ベルト部と下側ベルト部との間隙よりも若干薄い平板状の第２の受け板を当該間隙に挿入し、第１のベルトコンベアを、第２のベルトコンベアに向かって下降させて、第１のワークを第２のワークに貼り合わせる構成とした。
【発明の効果】
【００１６】
以上詳しく説明したように、この発明によれば、ワークを、ベルトコンベアの無端ベルトのファンデルワールス力によって保持及び搬送する構成であるので、大気又は真空の如何に拘わらず、ワークを保持及び搬送することができる、という優れた効果がある。
また、真空チャックや静電静電チャックを用いたシステムのように、空気ケーブルや電圧ケーブルの引き回し等が必要でないので、システム構築作業の省力化や構築コストの低減化を図ることができ、また、ワークにバキューム痕や放電痕を残すことなく保持及び搬送することができるという効果がある。
さらに、この発明によれば、機械的クランプと異なり、ワークをベルトコンベアの下側ベルト部で粘着保持するので、ワークの表面全面を下側に向けた状態で露出させることができる。このため、例えば、蒸着処理時には、ワークに不成膜部分が発生するおそれもなく、所望の蒸着処理が可能となるという効果もある。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】この発明の一実施例に係るワーク搬送システム及びワーク収納システムが適用された蒸着装置を示す概略図である。
【図２】ワーク搬送システムを示す概略断面図である。
【図３】ワーク当接機構の昇降機能を説明するための概略断面図である。
【図４】ワーク収納システムを示す概略断面図である。
【図５】昇降機の機能を説明するための概略断面図である。
【図６】ワークを蒸着源上に搬送するまでの動作を示す概略図である。
【図７】ワークをワーク収納ボックスに収納するまでの動作を示す概略図である。
【図８】この発明の一実施例に係るワーク受渡システム及びワーク貼合システムが適用された貼合装置を示す概略図である。
【図９】ワーク受渡システムを示す概略図である。
【図１０】ワーク貼合システムを示す概略図である。
【図１１】ワーク受渡システムの動作を説明するための概略図である。
【図１２】ワーク貼合システムの動作を説明するための概略図である。
【図１３】ワーク当接機構の一変形例を示す概略断面図である。
【図１４】図１３のワーク当接機構の機能を説明するための概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、この発明の最良の形態について図面を参照して説明する。
【００１９】
（実施例１）
図１は、この発明の一実施例に係るワーク搬送システム及びワーク収納システムが適用された蒸着装置を示す概略図である。
【００２０】
図１において、符号１００は、真空チャンバであり、蒸着源１２０が、この真空チャンバ１００の床部１１０に配置されている。
ワーク搬送システム１とワーク収納システム２は、このような真空チャンバ１００内に組み込まれている。
【００２１】
図２は、ワーク搬送システム１を示す概略断面図である。
図２に示すように、ワーク搬送システム１は、ベルトコンベア１０とワーク当接機構３０とを備えている。
ベルトコンベア１０は、ワークＷを上流（図２の左側）から下流（図２の右側）に搬送するための機器であり、真空チャンバ１００の床部１１０の上方であって且つ蒸着源１２０の真上に水平に組み込まれている（図１参照）。
このベルトコンベア１０は、駆動ローラ１１と、従動ローラ１２と、駆動ローラ１１及び従動ローラ１２に巻き掛けられた無端ベルト１３とで構成され、駆動ローラ１１が、図示しないモータ等によって駆動回転すると、無端ベルト１３が動いて、従動ローラ１２が従動回転する。
無端ベルト１３は、ワークＷを粘着保持することができる自己粘着力を有した帯体である。具体的には、図２の破線丸枠Ａ内に部分拡大して示すように、無端ベルト１３は、基材１４と自己粘着層１５との積層構造を成す。
基材１４は、可撓性有するフィルム状の部材であり、駆動ローラ１１と従動ローラ１２とに直接巻き掛けられている。基材１４としては、張力等に強い腰や硬さを有したフィルム状部材であればすべて適用することができる。例えば、ポリイミド樹脂やＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート樹脂）等を用いることができる。なお、駆動ローラ１１及び従動ローラ１２が、磁性を利用して回転する構造のローラである場合には、基材１４を、ＳＵＳ箔（４００番台）等で形成することが好ましい。
自己粘着層１５は、ワークＷを表面に当接すると、その表面のファンデルワールス力によってワークＷを粘着保持可能な部材である。この自己粘着層１５は、基材１４の表面に積層形成されている。このような自己粘着層１５として、シリコンゴム又はＥＰＤＭ（エチレン−プロピレン−ジエンゴム）等を用いることができる。
【００２２】
一方、ワーク当接機構３０は、ワークＷを無端ベルト１３の下側ベルト部１３Ａに当接するための機器であり、複数のスロット３１（３１−１〜３１−５）を有したワークケース３２と、昇降機３３とを有する。
なお、下側ベルト部１３Ａとは、無端ベルト１３のうち駆動ローラ１１及び従動ローラ１２に対して下方に位置するベルト部分をいい、図２において、駆動ローラ１１と従動ローラ１２の中心間を通る直線Ｌよりも下側に位置するベルト部分である。
各スロット３１は、内部にスライダ３４を有しており、スライダ３４が水平に摺動して、ワークＷをスロット３１からベルトコンベア１０側に押し出すようになっている。この実施例では、ワークＷの押し出し速度が、無端ベルト１３の移動速度に等しく設定されている。
これにより、スロット３１から押し出されたワークＷの裏面が、ベルトコンベア１０の下側ベルト部１３Ａの表面に当接し、下側ベルト部１３Ａの自己粘着層１５によって粘着保持されるようになっている。
【００２３】
図３は、ワーク当接機構３０の昇降機能を説明するための概略断面図である。
ワーク当接機構３０は、昇降機３３を有している。これにより、図３に示すように、上段のスロット３１（３１−１）が空になると、ワークケース３２が、昇降機３３によって持ち上げられ、ワークＷを収納した下段のスロット３１（３１−２）が、ベルトコンベア１０の下側ベルト部１３Ａの位置に位置合わせされる。かかる状態で、ワークＷがスライダ３４によって下段のスロット３１（３１−２）から押し出され、下側ベルト部１３Ａに粘着保持される。
このワーク当接機構３０では、上記のようなワークＷの押し出しとスロット３１の位置合わせが、一定の時間間隔で繰り返し行われる。
【００２４】
ワーク搬送システム１が、上記構成をとることにより、複数のワークＷが、ワーク当接機構３０から一定時間間隔でベルトコンベア１０の下側ベルト部１３Ａに送り出される。この結果、当該複数のワークＷが、一定の間隔を保って、ベルトコンベア１０の上流から下流に向かった搬送されることとなる。
【００２５】
図１において、ワーク収納システム２は、ワーク搬送システム１によって搬送されてきたワークＷを収納するためのシステムであり、ワーク搬送システム１で用いられたベルトコンベア１０と、ワーク収納ボックス２０と、上下動機構としての昇降機２３とで構成されている。
【００２６】
図４は、ワーク収納システム２を示す概略断面図である。
図４に示すように、ワーク収納ボックス２０は、複数のスロット２１（２１−１〜２１−５）が上下方向に積層された箱体である。このワーク収納ボックス２０は、スロット２１（２１−１〜２１−５）の開口をベルトコンベア１０側に向けた状態で、ベルトコンベア１０の下流（図４の右側）の位置に配設されている。
各スロット２１の底部には、複数の小ローラ２４が取り付けられており、開口から挿入されてきたワークＷを、傷つけることなく、スロット２１の奥にスムーズに送り込むことができるようになっている。
【００２７】
図５は、昇降機２３の機能を説明するための概略断面図である。
昇降機２３は、ワーク収納ボックス２０を上下動するための機器であり、図５に示すように、ワークＷが上段のスロット２１（２１−１）に収納されると、この昇降機２３が、ワーク収納ボックス２０を持ち上げ、空の下段のスロット２１（２１−２）の開口を、ベルトコンベア１０の下側ベルト部１３Ａの表面位置に位置合わせする。これにより、次に搬送されてきたワークＷを、下段のスロット２１（２１−２）に収納することができる。
このようなワークＷの収納とスロット２１の位置合わせは、一定の時間間隔で繰り返し行われる。
【００２８】
ワーク収納システム２が、上記構成をとることにより、複数のワークＷが、一定の間隔を保って、ベルトコンベア１０の上流から下流に向かった搬送されてくると、これら複数のワークＷが、ワーク収納ボックス２０の複数のスロット２１（２１−１〜２１−５）内に順次収納されることとなる。
【００２９】
次に、この実施例のワーク搬送システム１及びワーク収納システム２の動作について説明する。なお、ワーク搬送システム１及びワーク収納システム２の動作は、この発明のワーク搬送方法及びワーク収納方法を具体的に実行するものでもある。
図６は、ワークＷを蒸着源１２０上に搬送するまでの動作を示す概略図である。
図６の（ａ）に示すように、ワーク搬送システム１において、ベルトコンベア１０が駆動し、無端ベルト１３の下側ベルト部１３Ａが、一定の速度で上流から下流へ移動している状態で、１枚目のワークＷ１が、ワーク当接機構３０の１段目のスロット３１−１から下側ベルト部１３Ａの速度と同速度で押し出されると、このワークＷ１は、下側ベルト部１３Ａの表面に滑ることなく当接される。
【００３０】
すると、ワークＷ１は、自己粘着層１５（図２参照）のファンデルワールス力によって、下側ベルト部１３Ａに粘着保持され、図６の（ｂ）に示すように、ベルトコンベア１０の下流へと搬送される。
これと並行して、ワークケース３２が、昇降機３３によって持ち上げられ、２段目のスロット３１−２が、下側ベルト部１３Ａに位置合わせされる。
【００３１】
そして、図６の（ｃ）に示すように、ワークＷ１が、蒸着源１２０の真上に至ると、蒸着材料１２１が蒸着源１２０からワークＷ１に向けて噴射され、ワークＷ１の蒸着作業が実行される。このとき、ワークＷの裏面のみが下側ベルト部１３Ａで粘着保持されているので、ワークＷの表面である下面全面は露出しており、このため、蒸着作業時に、不成膜部分を発生させることなく、ワークＷの表面全面を蒸着源１２０によって蒸着処理することができる。
これと並行して、２枚目のワークＷ２が、２段目のスロット３１−２から下側ベルト部１３Ａに向かって押し出される。
【００３２】
図７は、ワークＷをワーク収納ボックス２０に収納するまでの動作を示す概略図である。
図６の（ｃ）に示したワークＷ１とワークＷ２とは、図７の（ａ）に示すように、ベルトコンベア１０の下側ベルト部１３Ａに粘着保持された状態で、ベルトコンベア１０の下流へと搬送される。つまり、ワークＷ１が、ワーク収納システム２のワーク収納ボックス２０側に搬送され、ワークＷ２が、蒸着源１２０側に搬送される。
これと並行して、ワークケース３２が、昇降機３３によってさらに持ち上げられ、３段目のスロット３１−３が、下側ベルト部１３Ａの位置に位置合わせされる。
【００３３】
そして、図７の（ｂ）に示すように、ワークＷ１が下流に至り、ワークＷ２が蒸着源１２０の真上に至ると、ワークＷ１が、ワーク収納ボックス２０の１段目のスロット２１−１に挿入され、ワークＷ２が、蒸着源１２０によって蒸着される。
これと並行して、３枚目のワークＷ３が、下側ベルト部１３Ａに向かって押し出される。
【００３４】
１枚目のワークＷ１が、１段目のスロット２１−１に収納されると、図７の（ｃ）に示すように、ワーク収納ボックス２０が、昇降機２３によって持ち上げられ、２段目のスロット２１−２の開口が、下側ベルト部１３Ａの位置に位置合わせされる。これにより、下側ベルト部１３Ａによって搬送中の２枚目のワークＷ２に対する収納準備作業が完了する。
これと並行して、ワークＷ３が、蒸着源１２０側に向かって搬送されるが、これとほぼ同時に、ワークケース３２が、昇降機３３によって持ち上げられ、４段目のスロット３１−４が、下側ベルト部１３Ａの位置に位置合わせされる。
【００３５】
以後、同様にして、４枚目及び５枚目のワークＷ４，Ｗ５の搬送及び収納の動作が繰り返され、すべてのワークＷ１〜Ｗ５の搬送，蒸着，収納の作業が完了する。
【００３６】
この実施例のワーク搬送システム１及びワーク収納システム２によれば、図１に示すように、ワークＷを、ベルトコンベア１０の無端ベルト１３を形成する自己粘着層１５のファンデルワールス力によって搬送する構造であるので、ワークＷを、真空チャンバ１００内においてバキューム痕や放電痕を残すことなく搬送することができ、また、空気ケーブルや電圧ケーブル等を引き回す必要もない。さらに、この実施例では、ワークとして、平板状のワークＷを用いたが、ワークをファンデルワールス力によって粘着保持するので、コンタクトレンズのような曲面（半球）形状のワークでも、保持して搬送することができる。
【００３７】
（実施例２）
次に、この発明の第２実施例について説明する。
図８は、この発明の一実施例に係るワーク受渡システム及びワーク貼合システムが適用された貼合装置を示す概略図である。
図８において、符号４が、ワーク受渡システムであり、符号５が、ワーク貼合システムである。
【００３８】
図９は、ワーク受渡システム４を示す概略図である。
ワーク受渡システム４は、ワークＷを複数のベルトコンベア間で受け渡すためのシステムであり、図９に示すように、所定のベルトコンベア４０と隣のベルトコンベア５０とを備えている。
ベルトコンベア４０，５０は、共に、図１で示したベルトコンベア１０と同一構造であり、駆動ローラ１１と従動ローラ１２と自己粘着性の無端ベルト１３とを有している。
具体的には、ベルトコンベア４０，５０は、床部１１０の上方において、ワークＷの搬送方向（図９の左から右方向）に向かって直列に並べられている。そして、ベルトコンベア４０の従動ローラ１２とベルトコンベア５０の駆動ローラ１１との距離ｄが、ワークＷの長さ（図９の左右方向の長さ）よりも短く設定され、ベルトコンベア４０の下側ベルト部１３Ａの表面とベルトコンベア５０の下側ベルト部１３Ａの表面とが、面一に設定されている。
【００３９】
図１０は、ワーク貼合システム５を示す概略図である。
図１０に示すように、このワーク貼合システム５は、第１のベルトコンベアとしてのベルトコンベア５０と、第２のベルトコンベアとしてのベルトコンベア６０と、プレス機構７０とを備えている。
【００４０】
ベルトコンベア５０は、上記したワーク受渡システム４における「隣のベルトコンベア」と当該ワーク貼合システム５における「第１のベルトコンベア」とを兼用している。
このようなベルトコンベア５０は、第１の受け板としての受け板５１を無端ベルト１３の下側ベルト部１３Ａと上側ベルト部１３Ｂとの間隙に有している。なお、上側ベルト部１３Ｂは、無端ベルト１３のうち駆動ローラ１１及び従動ローラ１２に対して上方に位置するベルト部分である。
受け板５１は、ベルトコンベア５０の下側ベルト部１３Ａと上側ベルト部１３Ｂの間隙よりも若干薄く且つ第１のワークとしてのワークＷの大きさよりも広く設定された平坦な板体である。
【００４１】
ベルトコンベア６０も、ベルトコンベア５０と同一構成であり、床部１１０上であって、ベルトコンベア５０の真下位置に水平に配置されている。具体的には、ベルトコンベア６０は、床部１１０上の台座６２に固定されており、第２の受け板としての受け板６１が、無端ベルト１３の下側ベルト部１３Ａと上側ベルト部１３Ｂとの間に挿入されている。
この受け板６１も、ベルトコンベア５０の受け板５１と同様に、ベルトコンベア６０の下側ベルト部１３Ａと上側ベルト部１３Ｂの間隙よりも若干薄く且つ第２のワークとしてのワークＷ’の大きさよりも広く設定された平坦な板体である。
【００４２】
プレス機構７０は、ベルトコンベア５０及び受け板５１をベルトコンベア６０に向かって押し下げるための機構であり、上下方向に移動するように制御可能である。
なお、図中、符号２０’，２３’は、上記ワーク収納システム２で用いられたワーク収納ボックス２０，昇降機２３と同一構成のワーク収納ボックス，昇降機である。
【００４３】
次に、この実施例のワーク受渡システム４及びワーク貼合システム５の動作について説明する。なお、ワーク受渡システム４及びワーク貼合システム５の動作は、この発明のワーク受渡方法及びワーク貼合方法を具体的に実行するものでもある。
【００４４】
図１１は、ワーク受渡システム４の動作を説明するための概略図である。
図１１の（ａ）に示すように、ベルトコンベア４０，５０を駆動させ、ベルトコンベア４０の下側ベルト部１３Ａとベルトコンベア５０の下側ベルト部１３Ａとを、同一速度で図の右方向に動かす。
そして、ワークＷを、ベルトコンベア４０の下側ベルト部１３Ａに粘着保持させることで、ベルトコンベア５０側に搬送させることができる。
【００４５】
ワークＷは、ベルトコンベア４０の下流である従動ローラ１２の位置迄搬送されると、その先端部Ｗａが、下側ベルト部１３Ａから剥がれてベルトコンベア５０側に押し出される。
このとき、ベルトコンベア４０の下側ベルト部１３Ａ表面とベルトコンベア５０の下側ベルト部１３Ａ表面とが、面一に設定されているので、図１１の（ｂ）に示すように、ベルトコンベア４０から押し出されたワークＷの先端部Ｗａは、ベルトコンベア５０の下側ベルト部１３Ａ表面に当接し、下側ベルト部１３Ａによって粘着保持される。
すると、ワークＷの先端部Ｗａは、移動する下側ベルト部１３Ａによってベルトコンベア５０の下流側に引き込まれ、ワークＷが、ベルトコンベア４０からベルトコンベア５０へと受け渡される。
【００４６】
以後、図１１の（ｃ）に示すように、ワークＷは、ベルトコンベア５０の下流側へと搬送されていく。
【００４７】
図１２は、ワーク貼合システム５の動作を説明するための概略図である。
図１２の（ａ）に示すように、ワークＷが、ベルトコンベア４０からベルトコンベア５０へ受け渡されると、ワークＷは、ベルトコンベア５０によって粘着保持された状態で、下側ベルト部１３Ａの中央位置まで搬送される。
ワークＷが、下側ベルト部１３Ａの中央位置まで搬送されると、図１２の（ｂ）に示すように、ベルトコンベア５０の駆動が停止され、ワークＷが、ベルトコンベア６０の上側ベルト部１３Ｂ上にセットされたワークＷ’の真上に位置決めされる。
【００４８】
かかる状態で、図１２の（ｃ）に示すように、ベルトコンベア５０とが受け板５１とを、プレス機構７０によって一体に押し下げると、ベルトコンベア５０で粘着保持されたワークＷが、ベルトコンベア６０上のワークＷ’に圧接する。さらに、ベルトコンベア５０及び受け板５１を押し下げると、プレス機構７０の圧力によって、ワークＷが、ワークＷ’に強固に貼り合わされた状態になる。
【００４９】
この状態で、図１２の（ｄ）に示すように、プレス機構７０を上昇させて、ベルトコンベア５０への押し下げ力を解除した後、ベルトコンベア５０，６０を同速度で駆動させることで、貼り合わされたワークＷ，Ｗ’が一体となって、下流へと搬送され、ワーク収納ボックス２０’に収納される。
【００５０】
なお、この発明は、上記実施例に限定されるものではなく、発明の要旨の範囲内において種々の変形や変更が可能である。  
例えば、上記実施例では、図２に示したように、ワーク搬送システムにおけるワーク当接機構として、ワークケース３２と昇降機３３とで構成されたワーク当接機構３０を例示した。しかし、ワーク当接機構は、ワークを、無端ベルトの下側ベルト部に当接させることができる機構であれば、上記ワーク当接機構３０に限定されるものではない。図１３に示すようなワーク当接機構８０も、この発明の範囲に含まれる。このワーク当接機構８０は、ベルトコンベア１０の上流側の真下に配設された水平な台座８１と、この台座８１の孔８１ａ，８１ａ内に上下動自在に挿入されたピン８２，８２とで構成されている。
かかる構成により、図１４の（ａ）に示すように、ピン８２，８２を上昇させることで、台座８１上に置かれたワークＷを、上昇させて、下側ベルト部１３Ａに当接させることができる。
しかる後、図１４の（ｂ）に示すように、ピン８２，８２を下降させると、ワークＷは、下側ベルト部１３Ａの粘着力により下側ベルト部１３Ａに保持された状態になる。
これにより、図１４の（ｃ）に示すように、ベルトコンベア１０を駆動することで、ワークＷを下流側に搬送することができる。
また、図示しないロードセル（荷重計）をピン８２の先端に取り付けて、ワークＷの有無や押しつけ力をこのロードセルで検知することも可能である。
【００５１】
また、上記実施例では、ワーク収納システムの上下動機構として、図３に示したように、ワーク収納ボックス２０を昇降機２３によって上下動させる機構を例示したが、ベルトコンベアを上下動させて、ワーク収納ボックスの所定のスロットの開口を無端ベルトの下側ベルト部の表面位置に位置させるようにした機構も、この発明に適用される上下動機構である。
【００５２】
さらに、上記実施例では、図３に示したように、複数の小ローラ２４を、ワーク収納ボックス２０の各スロット２１（２１−１〜２１−５）の底部に設けたが、小ローラ２４の代わりに、滑らかなシートをスロット２１（２１−１〜２１−５）の底部に敷いても良いことは勿論である。
【符号の説明】
【００５３】
１…ワーク搬送システム、  ２…ワーク収納システム、  ４…ワーク受渡システム、  ５…ワーク貼合システム、  １０，４０，５０，６０…ベルトコンベア、  １１…駆動ローラ、  １２…従動ローラ、  １３…無端ベルト、  １３Ａ…下側ベルト部、  １３Ｂ…上側ベルト部、  １４…基材、  １５…自己粘着層、  ２０，２０’…ワーク収納ボックス、  ２１，２１−１〜２１−５…スロット、  ２３，２３’，３３…昇降機、  ２４…小ローラ、  ３０，８０…ワーク当接機構、  ３１，３１−１〜３１−５…スロット、  ３２…ワークケース、  ３４…スライダ、  ５１，６１…受け板、  ６２，８１…台座、  ７０…プレス機構、  ８１ａ…孔、  ８２…ピン、  １００…真空チャンバ、  １００…符号、  １１０…床部、  １２０…蒸着源、  １２１…蒸着材料、  Ｗ…ワーク、  Ｗ，Ｗ’，Ｗ１〜Ｗ５…ワーク、  Ｗａ…先端部。  
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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