(57)【要約】      （修正有）【課題】観察試料が貼付されたグリッドを容易に電子顕微鏡の試料ホルダーに載置し、また取り外すことが可能な手段を提供する。【解決手段】板状基材１ｂの端部に柱状突起部１ｃを備えるグリッド設置用補助器具の前記突起部１ｃを、試料ホルダー３の貫通孔３ｃの下方から上方に向かって挿通させ、突出した柱状突起部１ｃ上面にグリッドを載置した後、グリッド設置用補助器具を降下させて突起部１ｃを貫通孔から抜き取って、グリッド５を貫通孔内の所定の位置に留め置く【選択図】図３
2014041711.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
観察用薄片試料を保持するグリッドを、透過電子顕微鏡用試料ホルダーが備える電子線透過用貫通孔の所定位置へ装着する方法であって、
板状基材の端部に柱状突起部を備えるグリッド設置用補助器具の前記突起部を、前記貫通孔の下方から上方に向かって挿通させる工程と、
貫通孔より突出した柱状突起部上面にグリッドを載置する工程と、
グリッド設置用補助器具を降下させて突起部を貫通孔から抜き取って、グリッドを貫通孔内の所定の位置に留め置く工程と、を備えることを特徴とする透過電子顕微鏡用試料ホルダーへのグリッド取り付け方法。
【請求項２】
電子線透過用貫通孔の所定位置に留め置かれた観察用薄片試料を保持するグリッドを、透過電子顕微鏡用試料ホルダーから取り外す方法であって、
板状基材の端部に柱状突起部を備えるグリッド設置用補助器具の前記突起部を、前記貫通孔の下方から上方に向かって挿通させてグリッドを持ち上げる工程と、
持ち上げられたグリッドの端部を把持し、試料ホルダーから取り外す工程と、グリッド設置用補助器具を降下させて突起部を貫通孔から抜き取り、前記補助器具を取り外す工程と、を備えることを特徴とする透過電子顕微鏡用試料ホルダーからのグリッド取り外し方法。
【請求項３】
前記板状基材は、平板状もしくは「へ」の字型の板状基材を２枚連接した形状であることを特徴とする請求項１に記載の透過電子顕微鏡用試料ホルダーへのグリッド取り付け方法。
【請求項４】
前記柱状突起部は、高さが０．５ｍｍ以上３．０ｍｍ以下の範囲であり、直径が１．０ｍｍ以上２．０ｍｍ以下の範囲であることを特徴とする請求項１に記載の透過電子顕微鏡用試料ホルダーへのグリッド取り付け方法。
【請求項５】
前記柱状突起部は、高さが０．５ｍｍ以上３．０ｍｍ以下の範囲であり、直径が１．０ｍｍ以上２．０ｍｍ以下の範囲であることを特徴とする請求項２に記載の透過電子顕微鏡用試料ホルダーからのグリッド取り外し方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、透過電子顕微鏡用試料ホルダーへ観察用試料が貼付されたグリッドを取り付ける際に使用するグリッド設置用補助器具の使用方法及びその構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子顕微鏡は光の代わりに電子線を用いた顕微鏡であるが、透過電子顕微鏡は、電子銃を電子源とし、集束した電子線を試料に照射し、試料から透過あるいは散乱した電子を電界や磁界で電子線を曲げ、結像して観察する装置である。構造としては、電子銃の下に、集束レンズ、試料、対物レンズ、中間レンズ、投影レンズ、蛍光板、カメラ等がこの順に設置され、カメラに像を結ぶ構造となっている。試料の下側に電子線を通さなくてはならないため、透過電子顕微鏡（あるいは走査型の透過像）の試料ホルダーの試料保持部分は孔（以下、貫通孔とも記すが同義である。）が開いた構造となっている。
【０００３】
加えて、電子顕微鏡、特に透過電子顕微鏡では、透過電子で結像するため、試料を電子線が透過する程度の厚みに薄片化する必要があり、様々な薄片化方法が用いられてきた。薄片化方法としては、乳鉢で試料を粉砕する粉砕法、研磨とイオンミリングを用いたイオン研磨法、断面切削装置ウルトラミクロトームを用いたミクロトーム法、ＦＩＢを用いた薄片加工方法、電解液中で試料を溶解させていく電解研磨法、酸やアルカリでエッチングする化学エッチング法などを例示することができる。
【０００４】
透過電子顕微鏡では、試料が電子線が通過する程度の厚み、一般的には、０．１μｍ以下であるため、直接試料を手等で保持してハンドリングすることは大変困難である。そのため、試料のハンドリングは、金属やカーボンでつくられた厚み２０〜３０μｍ程度のグリッド箔（以下、単にグリッドと記す。）に試料薄片を静電気力やデポジション膜などにより貼付し、このグリッドをハンドリングすることで行う。
【０００５】
一般的に、グリッドのハンドリングは、先端が鋭利で密着性の高いピンセットでおこなう。グリッドには様々な形態が存在する。円形で、中心部に単孔があり、該単孔に電子線が通過する程度の支持膜が貼られたタイプ、多角形や円形のグリッド枠にメッシュが張られたタイプ（図２（ａ）参照）、その上に支持膜が貼られたタイプ、単に多角や円などのメッシュだけのタイプ、略半円形のタイプ（図２（ｂ）参照）、略半円形で両端に突起を備え、さらに複数の微細な突起が直径上に形成されたタイプ（図２（ｃ）参照）などがある。
【０００６】
メッシュ状のグリッドの場合、メッシュを横断するように試料（薄片）を直接付着したり、メッシュ上に薄いカーボン系素材あるいは有機成分素材からなる支持膜を形成し、該支持膜上に試料を付着させることが多い。半円形グリッドの場合は（図２（ｂ））、試料が半円形グリッドの直径部分から半円形面内に突出するようにデポジション等で固定されることが多い。また、半円形で直径に垂直な方向に微細な突起形成されたグリッド（図２（ｃ））では、突起部分に、試料がデポジション膜等で固定されるケースが多い。
【０００７】
いずれも試料（薄片）の厚みはグリッドの２０〜３０μm厚みと比較して充分に薄く、グリッドの厚み方向の中程に固定され、グリッドが平置きされた場合でも試料がグリッドの厚み外にはみ出て破損することのない位置に固定されるのが一般的である。グリッドの素材は、複数あり、Ｃｕ、Ｍｏ、Ｐｔ、ＳＵＳ、Ｎｉ、Ａｕ、Ｂｅ、Ａｌ、Ｃ、ナイロン製などが市販されている。グリッドの外径はいずれも顕微鏡用試料ホルダーの収容部に合
う径になっており、概ね約３ｍｍ程度である。電子線の透過する孔の直径は種類により異なるが、概ね２ｍｍ以内である。
【０００８】
電子顕微鏡で観察するまでの間、薄片試料と一体にされたグリッドは保存する必要がある。保存の方法としては、グリッド径に合わせた凹みのあるケースに納める方法、弱い粘着性のあるシートにグリッドの一部を接着させ固定させる方法、汚染の少ない薬包紙やアルミ箔などで包む方法、等さまざまな方法がある。円板状のグリッドの場合、グリッド径に合わせた凹みのあるケースに収めるのが簡便である。しかし、ＦＩＢ用など、円板でないグリッドの場合、メッシュグリッドと比較して一回り小さな大きさとなるため、グリッドが凹みで固定されずにケース内で移動することがあり、袋に挿入したり、粘着性シートで固定したり、グリッドの端の一部を挟み固定する方法を用いた方が、試料片が周囲にぶつかり破損する事態が回避でき安全に保管をすることができる。
【０００９】
電子顕微鏡用試料ホルダーには様々な形態があるが、特に、透過像を観察する仕様のものである場合、試料の下部には電子線透過用の孔が必要である。装置内に入れて電子線を試料ホルダー上から照射した場合、孔を透過した電子が電子レンズへ向かい、カメラ、蛍光板などで結像するようになっている。また、観察試料は、グリッドを使用するか否かに関わらず試料ホルダーに設置後、孔の上から移動しないように固定する構造になっている。固定の方法は様々であり、上からネジと金属板で固定するもの、バネで金属板を固定するもの、などがある。また、試料ホルダーの孔を取り囲むようにわずかな凹みを設け、その凹みにグリッドを嵌め込み、だいたいの位置を固定する構造になっている場合が多い（図３参照）。また、試料ホルダー自体も所定の器具で顕微鏡筒内の所定の箇所に固定された上で、グリッドを試料ホルダーに載置する場合が普通である。
【００１０】
観察時には、前記記載の保管用具から試料のついたグリッドをピンセットを用いて取り出して、試料ホルダーにグリッドを取り付ける。最近ではＦＩＢ装置内に直接観察用の試料ホルダーを挿入し、最終薄片加工をおこない、試料ホルダーごと観察装置に持って行くことで、グリッドのハンドリングが必要ない場合もある。しかし、加工装置と観察装置のメーカーが異なる場合、また、複数試料が存在する場合には、保管したのちに観察することは多々あり、ピンセット等でのグリッドのハンドリングは必ず必要となる。この操作の際、グリッドの電子線通過に影響のない箇所をピンセット等で保持してハンドリングすることとなる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】特開２０１２−６８０３３公報
【特許文献２】実用新案登録第３０８５２６１号公報
【非特許文献】
【００１２】
【非特許文献１】朝倉健太郎、広畑泰久共編、「電子顕微鏡研究者のためのウルトラミクロトーム技法Ｑ＆Ａ」、アグネ承風社、１９９９年。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
しかしながら、グリッドをピンセットで把持し、電子顕微鏡用試料ホルダーの所定の凹みに設置する作業は、神経を使う作業であり、観察環境、作業者の状態などにより、確実に遂行することが困難な場合がある。また、観察後に試料ホルダーから外す際には、ピンセットでうまくグリッドをつかめず、取り外しを失敗する場合もある。例えば、静電気や、試料保管用具の微量の粘着成分の転写などにより、ピンセット先とグリッドが付着し、ピンセット先を開いてもグリッドが離れない場合がある。グリッドは大変薄く軽いため、わずかな粘着力や静電気力によりピンセット等から離れない。
【００１４】
さらに、ＦＩＢ用のグリッドは半円形（図２（ｂ））をしており、メッシュ型の円形と比較して若干小さいため、所定位置にうまく置けない場合に試料ホルダーの孔から、下部に落下する場合がある。グリッド面が平置きの状態で孔の途中で留まると、落下したグリッドを採取する場合、ピンセット先端をグリッド下面に潜り込ませなければならず、片側でグリッド縁を抑え、グリッドを傾けたとしても、グリッドが飛んだり、初めの落下位置より更に落下したり、グリッド自体を曲げてしまうこともある。
【００１５】
また、落下により試料面に異物が付着し、特性Ｘ線を利用した電子顕微鏡での元素分析ができなくなる場合もある。また、落下の衝撃により、試料薄片が破損し、像が取得できなくなる場合もある。また、飛んだグリッドの行方が分からなくなり、分析不可となる場合もある。検体が１試料のみしか存在しないものを失うと、やり直しができないため、薄片加工を含め、孔から落下させないようにグリッドを所定位置へ静止固定する工程は非常に重要である。
【００１６】
また、観察後にグリッドを試料ホルダーから取り出す場合、特に、薄片の追加工をおこない、再度観察する等、複数回観察する可能性がある場合には、グリッドにダメージを与えないようにしてピックアップしなければならない。しかし、グリッドは試料ホルダー上で平置きの状態であり、グリッドをピンセットでピックアップする際、ピンセット先端をグリッド下面に潜り込ませる際にグリッドを誤って孔から落下させたり、試料ホルダー下へ落下させたり、グリッドを変形させてしまう危険性がある。このようなダメージがあると、追加工、再観察が困難となる場合がある。そのため、失敗無くグリッドを試料ホルダーから取り外すことは非常に重要である。
【００１７】
そこで、本発明は、ハンドリングに慣れていない初心者や手元が狂い易くなる疲労時においても、観察試料が貼付されたグリッドを透過電子顕微鏡の試料ホルダーの所定の位置に容易に載置し、また確実に取り外すことができる手段の提供を目的とした。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
上記課題を解決するために請求項１に係る発明は、観察用薄片試料を保持するグリッドを、透過電子顕微鏡用試料ホルダーが備える電子線透過用貫通孔の所定位置へ装着する方法であって、
板状基材の端部に柱状突起部を備えるグリッド設置用補助器具の前記突起部を、前記貫通孔の下方から上方に向かって挿通させる工程と、
貫通孔より突出した柱状突起部上面にグリッドを載置する工程と、
グリッド設置用補助器具を降下させて突起部を貫通孔から抜き取って、グリッドを貫通孔内の所定の位置に留め置く工程と、を備えることを特徴とする透過電子顕微鏡用試料ホルダーへのグリッド取り付け方法としたものである。
【００１９】
また、請求項２に係る発明は、電子線透過用貫通孔の所定位置に留め置かれた観察用薄片試料を保持するグリッドを、透過電子顕微鏡用試料ホルダーから取り外す方法であって、
板状基材の端部に柱状突起部を備えるグリッド設置用補助器具の前記突起部を、前記貫通孔の下方から上方に向かって挿通させてグリッドを持ち上げる工程と、
持ち上げられたグリッドの端部を把持し、試料ホルダーから取り外す工程と、グリッド設置用補助器具を降下させて突起部を貫通孔から抜き取り、前記補助器具を取り外す工程と、を備えることを特徴とする透過電子顕微鏡用試料ホルダーからのグリッド取り外し方法としたものである。
【００２０】
また、請求項３に係る発明は、前記板状基材は、平板状もしくは「へ」の字型の板状基材を２枚連接した形状であることを特徴とする請求項１に記載の透過電子顕微鏡用試料ホルダーへのグリッド取り付け方法としたものである。
【００２１】
また、請求項４に係る発明は、前記柱状突起部は、高さが１．０ｍｍ以上３．０ｍｍ以下の範囲であり、直径が１．０ｍｍ以上２．５ｍｍ以下の範囲であることを特徴とする請求項１に記載の透過電子顕微鏡用試料ホルダーへのグリッド取り付け方法としたものである。
【００２２】
また、請求項５に係る発明は、前記柱状突起部は、高さが１．０ｍｍ以上３．０ｍｍ以下の範囲であり、直径が１．０ｍｍ以上２．５ｍｍ以下の範囲であることを特徴とする請求項２に記載の透過電子顕微鏡用試料ホルダーからのグリッド取り外し方法としたものである。
【発明の効果】
【００２３】
本発明に係る先端部に柱状突起部を備えたグリッド設置用補助器具を用いて、柱状突起部を試料ホルダーに形成されている電子線透過用孔内を出し入れすることにより、観察用試料薄片が貼付されたグリッドを、前記孔内の所定の部位に容易且つ確実に取り付けることができ、また取り外すことが可能になった。したがって、静電気、粘着剤等の影響でピンセット先からグリッドが離れにくくピンセットだけでは取り付け・取り外しが困難な場合にも、グリッドを電子透過用の孔に落下させることなく、簡単に透過電子顕微鏡用試料ホルダーのグリッド設置用の凹みに取り付け、且つ該部位から浮かせることができる。
【００２４】
請求項３の発明は、グリッド設置用補助器具の円柱突起部分から持ち手部分まで形状を平坦形状以外に、「へ」の字形状に折れ曲がった板を２枚つなげた形状も許すことにしたものである。折れ曲がった方が、グリッドの取り付け取り外しが容易になる場合があるからである。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】グリッド設置補助器具の構造を説明する上面外観図（ａ）と側外観図（ｂ）である。
【図２】（ａ）〜（ｂ）いずれもグリッド形状の一例を示す図である。
【図３】（ａ）〜（ｂ）グリッド設置補助器具を用いてグリッドを試料ホルダーに取り付ける工程を説明する断面模式図である。
【図４】（ａ）〜（ｃ）グリッド設置補助器具を用いてグリッドを試料ホルダーから取り外す工程を説明する断面模式図である。
【図５】グリッド設置補助器具先端突起拡大図。（ａ）円柱、（ｂ）円筒。
【図６】グリッド設置補助器具の別の一例を説明する外観図である。
【図７】グリッド設置補助器具の把持部分までの形状を説明する外観図である。（ａ）斜視図、（ｂ）断面図。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
本発明の実施態様について図面を用いて説明する。
グリッド設置用補助器具（以下、補助器具と記す。）の基本構造は図１に示すような細長い板型であり、板状の基材１ａの先端中央部に柱状の突起部１ｃを備えている。一方、前記補助器具とペアーになる透過電子顕微鏡用試料ホルダー（以下、試料ホルダーと記す。）の基本構造は図３（ａ）の上側の図面に示した。試料ホルダーは、グリッドが平置きで試料ホルダーの厚み方向の丁度中間に収容される程度の深さと、大きさを有する底が平らな凹部３ｄを備え、該凹部３ｄの底部にそれより一回り小さい径の電子線透過用の孔３ｃが形成されたものである。微小円柱突起１ｃは試料ホルダー３の透過電子用の孔３ｃに差し込むことができる。柱状の突起部１ｃは、突起を差し込んだ際に試料ホルダー３の上表面（図３（ａ）、（ｂ）の破線部分）からわずかに高くなる程度の円柱高さを備えている。
【００２７】
電子顕微鏡用薄片保持用グリッドには、図２示すように様々な形状があるが、メッシュ部を備える円形状（図２（ａ））、円板から一部を取り除いた擬半円形状もしくは半円状（図２（ｂ））、あるいは中央に微小な突起が板方向に突出した形状（図２（ｃ））などがある。グリッドは、Ｃｕ、Ｍｏ、Ｐｔ、ＳＵＳ、Ｎｉ、Ａｕ、Ｂｅ、Ａｌ、Ｃ、ナイロン製などであり、グリッドの肉厚は２０〜３０μｍ程度、直径は３ｍｍ程度である。メッシュ部を備える円形状グリッド使用時は、グリッドに張られた支持膜表面に観察試料を貼付した状態で、電子顕微鏡の試料ホルダーに設置する。円板から一部を取り除いた擬半円形状、あるいは中央に微小な突起が板方向に突出した形状のグリッドは、観察試料をデポジション膜、接着剤などで円板断面部あるいは突起上に付着・貼付させる。
【００２８】
透過型電子顕微鏡で観察試料を観察するに当たっては、薄片状の観察試料をグリッドに貼付し、観察試料が貼付された状態で、試料ホルダー３にあけられた凹部３ｄの上に観察試料が孔３ｃを塞ぐように設置される（図３（ｃ））。そして、試料観察後は、薄片状の観察試料がグリッドに貼付された状態で、グリッド５を試料ホルダー３から取り外し、顕微鏡外に持ち出す。
【００２９】
本発明は、グリッドの試料ホルダーへの取り付け方法および取り外し方法を提供するものである。以下詳しく説明する。
【００３０】
観察試料となる薄片は、公知の方法により作製される。具体的には、集束イオンビーム装置（ＦＩＢ）を用いた微細加工、ミクロトームを用いた切削加工等により形成することができる。
【００３１】
図３に、本発明に係る電子顕微鏡用薄片グリッドの試料ホルダーへの設置・取り付け方法の概略を示した。本発明の取り付け方法にあっては、補助器具１ｂ先端の円柱状突起部１ｃを試料ホルダー３の透過電子用貫通孔３ｃの下面から上面に向かって挿通させる（図３（ａ））。次に、突起部１ｃを貫通孔３ｃから突出させた状態で、ピンセット４で把持したグリッド５枠を凹部３ｄ底面に付着させた状態で柱状突起部１ｃの上面に載置する。この際、突起部１ｃが貫通孔３ｃの中央付近にくるようにする。すると、グリッド枠の金属部分が側壁（図３（ｂ））と接するようになる。
【００３２】
グリッドがメッシュの場合においても、半円形のグリッドの場合においても、グリッドの周囲枠部分には観察対象となる試料が無いため、接触による試料の破損が防げる。また半円形グリッドでは、試料を円板の切断面から突出するように付着させることが多いが、グリッドメッシュの箔厚は、試料薄片の厚みと比較して充分に厚いため、試料が器具の突起部に触れて破損することはない。
【００３３】
グリッド把持用のピンセット４先端（特に下側先端部分）とグリッド５が付着して離れにくい場合、グリッド５の枠を円柱突起部１ｃの角部にたてかけるようにし、円柱１ｃと試料ホルダー３のグリッド設置位置とのわずかな高さ差のところでピンセット４を引き抜くようにすると、グリッドをピンセット先から外しグリッドの所定位置でこし取ることができる。グリッド５を挟んだピンセット４の上部先端とグリッド５が付着して離れにくい場合は、グリッド５先端をそのまま試料ホルダー３に平置きすると取れる場合が多いが、ピンセット４を上下逆にひっくり返して前記記載のように、こし取ることも出来る。
【００３４】
グリッド５とピンセット４先が離れたのち、孔下から突出させた突起部１ｃを下げ、器
具をゆっくりと試料ホルダー３から外すと、グリッド５を該グリッドに貼付された試料が孔３ｃを塞ぐように凹部３ｄに収容し静止させることが出来る。最後に、グリッド固定用の治具６でグリッド５を凹部３ｄ底面に固定する（図３（ｃ））。
以上の工程により、グリッド５を破損させず、より確実にグリッドを貫通孔３ｃ上部の所定位置に取り付けることができる。
【００３５】
図４は、本発明に係る電子顕微鏡用薄片グリッド５の取り外し方法の模式工程図である。
図４（ａ）は、グリッド５が試料ホルダー３の凹部３ｄに収容されている状態である。本発明の取り外し方法にあっては、先ず試料ホルダー３からグリッド５固定のための冶具６を外す。グリッド５を固定しない状態で、グリッド設置補助器具１先端の突起部１ｃを試料ホルダー３の透過電子用孔３ｃ下面から上面に向かってから突き出し、平置きのグリッド５をわずかに持ち上げる（図４（ｂ））。グリッド５の直径は円柱突起部３ｃの直径より大きいため、グリッド５端が突起部１ｃの円よりはみ出る状態となる。更に、グリッド５と試料ホルダー３の孔面の間にできるわずかな隙間があるため、グリッド５の枠部の下にピンセット４先端をもぐりこませやすくなり、グリッド５を挟むことが可能となる。
【００３６】
半円形グリッドの場合は、平置きされたグリッド枠と円柱突起部が接するが、サンプルの薄片厚みはグリッドの枠の厚みより充分に薄いため、接しても破損することはない。グリッド５の端部をピンセット４で把持して浮かせてから、貫通孔３ｃの下から突出させた突起部１ｃを下げ、補助器具１をゆっくりと試料ホルダー３から外す（図４（ｃ））。
以上の工程により、グリッド５を変形させたり飛ばしたり、試料ホルダー孔３ｃから落下させることなく、観察試料を電子顕微鏡用薄片グリッド５に設置した状態で採取できる。
【００３７】
次に本発明に係る補助器具の構造等について図５から図７を用いて説明する。
【００３８】
本発明に係るグリッド設置補助器具の先端に備わる微小な突出部１ｃの形状は、図５で示す円柱状突起７ａであることが望ましい。円錐や針のように細長い形状のものの場合、グリッドを傷つけたり、グリッドに付着している試料片に接触し、試料を破損する可能性がある。また、立方体や直方体の場合、角が９０°で当該部分が尖っているため、グリッドやグリッドに付着している試料を破損させる危険性がある。円柱の直径は試料ホルダーの透過電子用孔に挿通可能であればよいが、グリッド自体の大きさ等を考慮すると、１．０ｍｍ以上２．０ｍｍ以下であることが望ましい。直径が２．０ｍｍを超える場合にあっては、試料ホルダーの電子透過用孔内に挿入させるのが困難になる。一方、円の直径が１．０ｍｍに満たない場合は、透過電子用孔内中心からそれて、端から突出する場合があり、グリッドに付着している試料に突出部が接触し、観察用試料部位を破損する可能性がある。
【００３９】
また、補助器具の突起部形状は円柱のほか、図５（ｂ）の右図に示すように円筒状であってもよい。円筒７ｂの場合は、グリッドを載せた際にグリッド枠が安定に平置きされる筒枠の太さであることが望ましく、筒枠の部分でグリッド素材が傷ついたり変形しなければ、円筒の筒枠の太さに特に規定はないが、好ましくは、枠太さは０．５ｍｍ以上が好ましい。
【００４０】
また、円柱あるいは円筒の高さは０．５mm以上３mm以下程度であることが望ましい。試料ホルダー３の板厚ｄは０．８mm程度であり中央凹部３ｄの厚みｔはさらに薄く、０．１〜０．３mm程度である（図３（ｂ）参照）。これをさし引いた高さが、突起部のホルダー孔から突出する高さとなる。突出の高さが３．０mm以上に高いと、グリッドが傾斜し、グリッド底が円弧状であることからも不安定となり、周囲に倒れることも考えられ、この際に作成試料が接触し破損する危険がある。また、不意にピンセット先からグリッドがはず
れ、試料ホルダーに落下した際などに、突出高さが高いと、グリッドが突出部にぶつかり弾んで他の部位に飛んでしまう危険性がある。しかし、突出高さが低いと弾むことなく、そのまま静止する。
【００４１】
本発明に係る補助器具１は板状に延長していることが望ましく、その方が試料ホルダーに接する際に安定して固定させることが出来る。また、図６に示すように板状にしないで大きさを試料ホルダー３の凹み部と同程度の大きさに設定し、試料ホルダー用台座９に載置して使用する方法もあるが、突起を上下させられるように、試料ホルダー先端より大きく、突起に連接する持ち手がある形状のほうが使用しやすい。また、斜めに曲げた形状であっても手で持ちやすくなる（図７参照）。これは「へ」の字型に折れ曲がった板を２枚連接した形状の補助器具１０となる。折れ曲がり角が同じで逆向きに連接すれば両端は平行になり、ハンドリングし易くなる。
【００４２】
また、補助器具１、１０の試料ホルダーにふれる先端部分は、静電気の発生しづらい帯電防止素材であって、揮発性ガスや接触により試料ホルダーへの成分転写や破損のない材質が望ましく、これらを満たす素材であれば、材質は特に問わず、高分子材料、金属材料、セラミック材料等いづれでもかまわない。静電気は、グリッド箔をはじく場合があり、また、静電気を帯びると汚れや微小なホコリをひきつけることもある。また、試料ホルダー部分は超高真空中に置かれるため、試料ホルダーは極力汚染のない状態にしておかなくてはならず、補助器具を組成する素材が成分転写するものや、ホルダー等を破損するものであると、接触により２次汚染してしまう危険がある。試料ホルダー先端の取扱方法としては、器具、特に、最先端部を直接手で触らず、皮脂や汚れがつかないように、エタノールやアサヒクリン等の溶剤で定期的に洗浄することが望ましい。
【実施例】
【００４３】
ＦＩＢ加工後、観察用試料が所定の部位に貼付された半円形グリッドの端をピンセットでつまみ、透過電子顕微鏡ホルダーのグリッド設置位置上に保持した。グリッドを所定位置に置くため、ピンセットをグリッド設置予定位置まで下げ、先端を開いたが、ピンセット先端とグリッドが静電気によって付着しており、ピンセットを開いてもピンセット下側とグリッドが離れず、グリッドが引きずられる状態となった。
【００４４】
そのため、一旦ピンセットを閉じ、本発明の補助器具を試料ホルダー先端下方に設置した。用いた補助器具はＴｉ製で先端から持ち手を含めた全長が約８ｃｍ、幅約１ｃｍであり、先端部分の突起部は直径約１．８ｍｍ、高さ約２．０ｍｍのものを用いた。補助器具の突起部を試料ホルダーの孔の中に下方から差込み、上方からグリッドを保持したピンセットを近づけ、グリッドがわずかに突起に触れるような位置で再びピンセット先を開くと、グリッドはピンセット先より離れた。補助器具を試料ホルダーから引き下げると、グリッドは所定の位置に、電子透過用孔を塞ぐように静止した。その後、グリッド上方から固定冶具を嵌め込み、グリッドの取り付けを終えた。
【００４５】
ＦＩＢ加工後の半円形グリッドを試料ホルダーの所定位置に置こうとしたが、半円の端の片側が一部、試料ホルダーの孔枠からはずれており、グリッドがわずかに斜めにはまっている状態となった。この状態で上方より、ピンセット等で位置修正すると、グリッドを弾く恐れがあるため、試料ホルダー孔下方より、補助器具の突起を挿入し、グリッドを孔からリフトした。その後、補助器具を挿入した状態で補助器具をグリッド端の孔枠から外れかかっている方向へずらし補助器具突起を孔から抜くと、グリッドは孔の枠内に収まり、下方への落下をふせぎ、位置修正することが出来た。その後、グリッドを固定する冶具をはめ、グリッドの設置を終えた。
【００４６】
ＴＥＭ観察後に、試料ホルダーのグリッド固定用冶具をはずし、補助器具を試料ホルダ
ーの下方に押し込みグリッド下の孔から補助器具の突起部を挿入した。半円形グリッドは孔から上方に持ち上げられたので、突起部からはみ出したグリッド枠の部分をピンセットで把持し半円形グリッドを採取した。失敗なくグリッドを回収することが出来た。
【符号の説明】
【００４７】
１・・・グリッド設置補助器具（板状）
１ａ・・・把持部分
１ｂ・・・把持部側面
１ｃ・・・突起
２・・・グリッド
２ａ・・・メッシュ枠
２ｂ・・・グリッド本体部
２ｃ・・・グリッド本体部
３・・・透過電子顕微鏡用試料ホルダー
３ｃ・・孔（貫通孔）
３ｄ・・凹部
４・・・ピンセット
５・・・グリッド
６・・・透過電子顕微鏡用試料ホルダー
７・・・補助器具突起部
７ａ・・・補助器具円柱状突起部表面
７ｂ・・・補助器具円筒状突起部枠
７ｃ・・・補助器具円筒状突起部孔
８・・・グリッド設置補助器具
９・・・透過電子顕微鏡用試料ホルダー台座
１０・・・グリッド設置補助器具
ｄ・・・試料ホルダーの板厚
ｔ・・・試料ホルダーの凹み部の板厚
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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