(57)【要約】【課題】ブリッジ部の切断による変形によって接合不良が発生するのを防止するために流路板の外形形状が振動板部材の外形形状で規制される。【解決手段】流路板２の外周部は、外周接合領域１２１で、振動板部材３に接着剤で接合され、外周接合領域１２１は、ノズル配列方向において、ブリッジ部３０１に対応する接合領域１２１ａと、ブリッジ部３０１に対応しない接合領域１２１ｂとで接合幅（ノズル配列方向と直交する方向の幅）が異なり、平面視形状で、ブリッジ部３０１に対応しない領域に、ノズル配列方向と直交する方向で外側に向かって開口する凹み部１２２を形成して、ブリッジ部３０１に対応しない接合領域１２１ａの接合幅ｂは、ブリッジ部３０１に対応する接合領域１２１ａの接合幅ａよりも狭くしている（ａ＞ｂ）。【選択図】図７
2014162189.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴を吐出する複数のノズルが形成されたノズル板と、
前記ノズルが通じる複数の個別液室が形成された流路板と、
前記個別液室の壁面を形成する壁面部材と、
前記複数の個別液室に液体を供給する共通液室が形成された共通液室部材と、を備え、
前記壁面部材は、外周に設けられたブリッジ部が切断されて形成され、
少なくとも前記流路板の外周部が前記壁面部材に接合され、
ノズル配列方向に沿う前記流路板と前記壁面部材との接合領域のうち、前記ブリッジ部に対応しない領域には、前記接合領域のノズル配列方向と直交する方向の接合幅が、前記ブリッジに対応する領域の前記接合幅よりも狭い
ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記壁面部材は、前記共通液室の壁面となる変形可能なダンパ領域を有し、
ノズル配列方向で、前記ダンパ領域と前記ブリッジ部とは異なる位置に配置されている
ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記流路板は、平面視形状で、前記ダンパ領域に対応する部分がノズル配列方向と直交する方向に凹む切り欠き部が設けられていることを特徴とする請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記流路板のノズル配列方向と直交する方向の端部が、前記ダンパ領域の一部に対向し、
前記流路板の前記ダンパ領域に対向する部分には、前記ダンパ領域側に、前記ダンパ領域の変形を許容する逃げ部が設けられている
ことを特徴とする請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれかに記載の液体吐出ヘッドを備えていることを特徴とする画像形成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は液体吐出ヘッド、画像形成装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
プリンタ、ファクシミリ、複写装置、プロッタ、これらの複合機等の画像形成装置として、例えば液滴を吐出する液体吐出ヘッド（液滴吐出ヘッド）からなる記録ヘッドを用いた液体吐出記録方式の画像形成装置としてインクジェット記録装置などが知られている。
【０００３】
液体吐出ヘッドとしては、液滴を吐出する複数のノズルが形成されたノズル板と、ノズルが通じる複数の個別液室が形成された流路板と、個別液室の壁面を形成する振動板部材と、複数の個別液室に液体を供給する共通液室が形成された共通液室部材と接合して構成するものが知られている。
【０００４】
そして、従来、製造工程中に切断されるブリッジ部を有する振動板部材を使用する場合に、ブリッジ部の切断による変形によって接合不良が発生するのを防止するため、平面視で、ブリッジ部を除く振動板部材の外径形状と流路板の外形形状とを同じにするものがある（特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００８−６８４８９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上述したように平面視で、ブリッジ部を除く振動板部材の外形形状と流路板の外形形状とを同じにするのでは、流路板の外形形状が振動板部材の外形形状によって規制されることになる。
【０００７】
そのため、例えば、流路板のノズル配列方向と直交する方向の端面からはみ出した領域に、振動板部材で構成した共通液室の壁面を形成するダンパ領域を配置することができなくなるという課題がある。
【０００８】
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、ブリッジ部を有する振動板部材と流路板との接合信頼性を確保しつつ、振動板部材にダンパ領域などを配置できるスペースを確保できるようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の課題を解決するため、本発明に係る液体吐出ヘッドは、
液滴を吐出する複数のノズルが形成されたノズル板と、
前記ノズルが通じる複数の個別液室が形成された流路板と、
前記個別液室の壁面を形成する振動板部材と、
前記複数の個別液室に液体を供給する共通液室が形成された共通液室部材と、を備え、
前記振動板部材は、外周に設けられたブリッジ部が切断されて形成され、
少なくとも前記流路板の外周部が前記振動板部材に接合され、
ノズル配列方向に沿う前記流路板と前記振動板部材との接合領域のうち、前記ブリッジ部に対応しない領域には、前記接合領域のノズル配列方向と直交する方向の接合幅が、前記ブリッジに対応する領域の前記接合幅よりも狭い
構成とした。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、ブリッジ部を有する振動板部材と流路板との接合信頼性を確保しつつ、振動板部材にダンパ領域などを配置できるスペースを確保できるようになる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の第１実施形態に係る液体吐出ヘッドの概略外観斜視説明図である。
【図２】図１のＡ−Ａ線に沿うノズル配列方向と直交する方向（液室長手方向）の断面説明図である。
【図３】図１のＢ−Ｂ線に沿うノズル配列方向（液室短手方向）の断面説明図である。
【図４】同実施形態における振動板部材の平面説明図である。
【図５】同振動板部材の個片化前の状態を説明する平面説明図である。
【図６】振動板部材の個片化時の変形の説明に供する平面説明図である。
【図７】同実施形態における振動板部材と流路板の接合領域及びダンパ領域の配置の説明に供する平面説明図である。
【図８】本発明の第２実施形態における振動板部材と流路板の接合領域及びダンパ領域の配置の説明に供する平面説明図である。
【図９】本発明の第３実施形態における振動板部材と流路板の接合領域及びダンパ領域の配置の説明に供する平面説明図である。
【図１０】本発明の第４実施形態における振動板部材と流路板の接合領域及びダンパ領域の配置の説明に供する平面説明図である。
【図１１】本発明の第５実施形態における振動板部材と流路板の接合領域及びダンパ領域の配置の説明に供する平面説明図である。
【図１２】図１１のＣ−Ｃ線に相当するノズル配列方向と直交する方向の断面説明図である。
【図１３】図１１のＤ−Ｄ線に相当するノズル配列方向と直交する方向の断面説明図である。
【図１４】本発明の第６実施形態における振動板部材と流路板の接合領域及びダンパ領域の配置の説明に供する平面説明図である。
【図１５】本発明の第７実施形態における振動板部材と流路板の接合領域及びダンパ領域の配置の説明に供する平面説明図である。
【図１６】本発明に係る画像形成装置の一例の説明に供する機構部の側面説明図である。
【図１７】同機構部の要部平面説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。本発明の第１実施形態に係る液体吐出ヘッドについて図１ないし図３を参照して説明する。図１は同ヘッドの概略外観斜視説明図、図２は図１のＡ−Ａ線に沿うノズル配列方向と直交する方向（液室長手方向）の断面説明図、図３は図１のＢ−Ｂ線に沿うノズル配列方向（液室短手方向）の断面説明図である。
【００１３】
この液体吐出ヘッドは、ノズル板１と、流路板（液室基板）２と、壁面部材であり、ダンパ形成部材を兼ねる振動板部材３とを積層接合している。そして、振動板部材３を変位させる圧力発生手段である圧電アクチュエータ１１と、共通液室部材（共通流路部材）としてフレーム部材２０とを備えている。
【００１４】
ノズル板１、流路板２及び振動板部材３によって、液滴を吐出する複数のノズル４に通じる個別液室６、個別液室６に液体を供給する流体抵抗部を兼ねた液体供給路７と、液体供給路７に連なる液導入部８とを形成している。個別液室６は圧力室、加圧液室、加圧室、圧力発生室などとも称される。
【００１５】
そして、フレーム部材２０の共通流路としての共通液室１０から振動板部材３に形成した開口部９を通じて、液導入部８、液体供給路７を経て複数の個別液室６に液体を供給する。振動板部材３の開口部９にはフィルタ部が設けられる。
【００１６】
ここで、ノズル板１は、ニッケル（Ｎｉ）の金属プレートから形成したもので、エレクトロフォーミング法（電鋳）で製造したものを用いている。これに限らず、その他の金属部材、樹脂部材、樹脂層と金属層の積層部材などを用いることができる。ノズル板１には、各個別液室６に対応して例えば直径１０〜３５μｍのノズル４を形成し、流路板２と接着剤接合している。また、このノズル板１の液滴吐出側面（吐出方向の表面：吐出面、又は個別液室６側と反対の面）には撥液層を設けている。
【００１７】
流路板２は、単結晶シリコン基板をエッチングして、個別液室６、液体供給路７、液導入部８などを構成する溝部を形成している。なお、流路板２は、例えばＳＵＳ基板などの金属板を酸性エッチング液でエッチングし、あるいはプレスなどの機械加工を行って形成することもできる。
【００１８】
振動板部材３は、流路板２の個別液室６の壁面を形成する壁面部材を兼ね、第１層３Ａ、第２層３Ｂ及び第３層３Ｃの３層構造としているが、２層又は４層以上の構造とすることもできるし、１層構造とすることもできる。ここでは、振動板部材３の第１層３Ａによって個別液室６に対応する部分に変形可能な振動領域３０を有している。
【００１９】
そして、この振動板部材３の個別液室６とは反対側に、振動板部材３の振動領域３０を変形させる駆動手段（アクチュエータ手段、圧力発生手段）としての電気機械変換素子を含む圧電アクチュエータ１１を配置している。
【００２０】
この圧電アクチュエータ１１は、図示しないベース部材上に接着剤接合した積層型の圧電部材１２に、ハーフカットダイシングによって溝加工をして、所要数の柱状の圧電素子（圧電柱）１２Ａ、１２Ｂを所定の間隔で櫛歯状に形成したものである。
【００２１】
圧電部材１２の圧電柱１２Ａ、１２Ｂは、同じものであるが、駆動波形を与えて駆動させる圧電柱を駆動圧電柱（駆動柱）１２Ａ、駆動波形を与えないで単なる支柱として使用する圧電柱を非駆動圧電柱（非駆動柱）１２Ｂとして区別している。
【００２２】
そして、駆動柱１２Ａは振動板部材３の振動領域３０に第２層３Ｂ及び第３層３Ｃで形成した島状の凸部３ａに接合されており、非駆動柱１２Ｂは振動板部材３の同じく凸部３ｂに接合されている。
【００２３】
この圧電部材１２は、圧電層と内部電極とを交互に積層したものであり、内部電極がそれぞれ端面に引き出されて外部電極が設けられ、駆動柱１２Ａの外部電極に駆動信号を与えるための可撓性を有するフレキシブル配線基板としてのＦＰＣ１５が接続されている。
【００２４】
フレーム部材２０は、例えばエポキシ系樹脂或いは熱可塑性樹脂であるポリフェニレンサルファイト等で射出成形により形成し、図示しないヘッドタンクや液体カートリッジから液体が供給される共通液室１０が形成されている。
【００２５】
また、振動板部材３はダンパ形成部材を兼ねており、第１層３Ａによって共通液室１０の一部の壁面を変形可能な領域としてのダンパ領域２１を形成している。一方、流路板２のノズル配列方向の端部２ａには、ダンパ領域２１に対向する部分に、ダンパ領域２１を逃げる（ダンパ領域２１の変形を許容する）切り欠き部２２が形成されている。
【００２６】
このように構成した液体吐出ヘッドにおいては、例えば駆動柱１２Ａに印加する電圧を基準電位から下げることによって駆動柱１２Ａが収縮し、振動板部材３の振動領域３０が下降して個別液室６の容積が膨張することで、個別液室６内に液体が流入する。その後、駆動柱１２Ａに印加する電圧を上げて駆動柱１２Ａを積層方向に伸長させ、振動板部材３の振動領域３０をノズル４方向に変形させて個別液室６の容積を収縮させる。これにより、個別液室６内の液体が加圧され、ノズル４から液滴が吐出（噴射）される。
【００２７】
そして、駆動柱１２Ａに印加する電圧を基準電位に戻すことによって振動板部材３の振動領域３０が初期位置に復元し、個別液室６が膨張して負圧が発生するので、このとき、共通液室１０から液体供給路７を通じて個別液室６内に液体が充填される。そこで、ノズル４のメニスカス面の振動が減衰して安定した後、次の液滴吐出のための動作に移行する。
【００２８】
なお、このヘッドの駆動方法については上記の例（引き−押し打ち）に限るものではなく、駆動波形の与え方によって引き打ちや押し打ちなどを行なうこともできる。
【００２９】
次に、本実施形態における振動板部材について図４ないし図６も参照して説明する。図４は振動板部材の平面説明図、図５は同振動板部材の個片化前の状態を説明する平面説明図、図６は振動板部材の個片化時の変形の説明に供する平面説明図である。
【００３０】
振動板部材３は、図４に示すように、外周に複数のブリッジ部３０１を有している。
【００３１】
このブリッジ部３０１は、図５に示すように、ウエハ・シート３０２上に状態において、個片（個々の振動板部材３）同士を機械的に接続する機能を有しており、これによって、部品のハンドリング性を向上して、生産性を向上することができる。
【００３２】
したがって、個片化するとき、すなわち、図５の状態から個々の振動板部材３に分割するときには、ブリッジ部３０１をシャー型のカッターなどの切断手段で切断する。
【００３３】
このブリッジ部３０１の切断を行うときに、振動板部材３には、例えば図６に斜線を施して示す領域３０３に変形が発生する。
【００３４】
次に、本実施形態における振動板部材と流路板の接合領域及びダンパ領域の配置について図７を参照して説明する。図７は同説明に供する平面説明図である。
【００３５】
流路板２の外周部は、図７において網掛けをして示す領域（外周接合領域）１２１で、振動板部材３に接着剤で接合されている。ここでは、外周接合領域１２１の形状は、流路板２の振動板部材３との接合面の形状であるが、この例では、外周接合領域１２１の形状は流路板２の外形形状と同じである。
【００３６】
この外周接合領域１２１は、ノズル配列方向において、ブリッジ部３０１に対応する接合領域１２１ａと、ブリッジ部３０１に対応しない接合領域１２１ｂとで接合幅（ノズル配列方向と直交する方向の幅）を異ならせている。
【００３７】
ここでは、外周接合領域１２１のうち、平面視形状で、ブリッジ部３０１に対応しない領域に、ノズル配列方向と直交する方向で外側に向かって開口する凹み部１２２を形成している。凹み部１２２は流路板２の切り欠き部２２に相当する。これにより、ブリッジ部３０１に対応しない接合領域１２１ａの接合幅ｂは、ブリッジ部３０１に対応する接合領域１２１ａの接合幅ａよりも狭くなる（ａ＞ｂ）。
【００３８】
言い換えれば、振動板部材３と流路板２とを接合する外周接合領域１２１について、ノズル配列方向において、ブリッジ部３０１に対応する接合領域１２１ａの接合幅ａを接合領域１２１ｂより相対的に広くする。これにより、ブリッジ部３０１の切断によって生じる振動板部材３の変形領域に対応する接合領域の接合面積を大きくすることができ、接合信頼性が確保される。
【００３９】
一方、ノズル配列方向において、ブリッジ部３０１に対応しない接合領域１２１ｂの接合幅ｂは接合領域１２１ａより相対的に狭くする。これにより、平面視形状で流路板２にノズル配列方向と直交する方向で凹む切り欠き部２２を設けることができる。そこで、図７に示すように、切り欠き部２２に対応する凹み部１２２で生じる空間内にダンパ領域２１を配置することができるようになる。
【００４０】
ダンパ領域２１による減衰効果（ダンパ性能）は、ダンパ領域２１の変形量（体積変化率）に比例し、ダンパ領域２１が平面視形状で長方形形状である場合、変形量は、長辺の１乗、短辺の５乗、及び厚さの−３乗に比例する。そのため、ダンパ領域２１の短辺をより大きくすることが、ダンパ性能を高める上で効果的である。
【００４１】
したがって、切り欠き部２２に対応する凹み部１２２で生じる空間内にダンパ領域２１を配置することで、短辺（ノズル配列方向の長さ）を長くすることができ、ヘッドサイズを大型化することなく、ダンパ性能を向上することができる。
【００４２】
このように、ノズル配列方向に沿う流路板と振動板部材との接合領域のうち、ブリッジ部に対応しない領域には、接合領域のノズル配列方向と直交する方向の接合幅が、ブリッジに対応する領域の接合幅よりも狭い部分が存在している構成とすることで、ブリッジ部を有する振動板部材と流路板との接合信頼性を確保しつつ、振動板部材にダンパ領域などを配置できるスペースを確保できるようになる。
【００４３】
また、本実施形態では、ノズル配列方向において、振動板部材３のダンパ領域２１とブリッジ部３０１とは異なる位置に配置されている。これによって、ブリッジ部３０１を切断するときの変形がダンパ領域２１に及んでダンパ性能が低下することが防止される。
【００４４】
ここで、上述した「ブリッジ部に対応する領域」（接着幅を広くする領域）は、事前に変形量が異なる振動板部材のサンプルを準備し、流路板との接着性の評価を行って決定することができる。まず、変形量が異なるサンプル毎に、接着幅に応じて、その変形量の振動板部材が流路板と所望の接着性が得られるか評価を行ったデータを取得する。そして、ブリッジ部からの距離とその距離における振動板部材の変形量のデータを取得する。これらのデータから、ブリッジ部からの距離に応じて、所望の接着性を得るための接着幅を特定できるため、接着幅を広くする領域であるブリッジ部に対応する領域と接着幅の特定を行うことができる。
【００４５】
次に、本発明の第２実施形態について図８を参照して説明する。図８は同実施形態における振動板部材と流路板の接合領域及びダンパ領域の配置の説明に供する平面説明図である。
【００４６】
本実施形態においても、外周接合領域１２１に凹み部１２２を設けている。これにより、ブリッジ部３０１に対応する接合領域１２１ａの接合幅ａに対して、ブリッジ部３０１に対応しない接合領域１２１ｂの接合幅ｂが狭くなる。
【００４７】
そして、本実施形態では、ダンパ領域２１は、外周接合領域１２１のうちの接合領域１２１ａよりもノズル配列方向と直交する方向で外側に配置している。
【００４８】
このようにした場合、ブリッジ部３０１の切断によって生じる振動板部材３の変形領域に対応する領域では大きな接合面積を確保することができ、接合信頼性が確保される。また、本実施形態でも、ノズル配列方向において、振動板部材３のダンパ領域２１とブリッジ部３０１とは異なる位置に配置されているので、ブリッジ部３０１の切断時の変形によってダンパ性能が低下することが防止される。
【００４９】
また、本実施形態では、ダンパ領域２１と接合領域１２１ｂとの間に、ダンパ領域２１よりも厚肉のスペースを確保することができる。例えば、このスペースに流路板２との接合面側に開口する凹部を形成して、接着剤がダンパ領域２１まで流れ出さないような形状を施すことができる。
【００５０】
次に、本発明の第３実施形態について図９を参照して説明する。図８は同実施形態における振動板部材と流路板の接合領域及びダンパ領域の配置の説明に供する平面説明図である。
【００５１】
本実施形態においても、外周接合領域１２１に、平面視形状で、ノズル配列方向と直交する方向で内側に向かって開口する凹み部１２２を設けている。これにより、ブリッジ部３０１に対応する接合領域１２１ａの接合幅に対し、ブリッジ部３０１に対応しない接合領域１２１ｂの接合幅を狭くしている。
【００５２】
そして、本実施形態では、ダンパ領域２１は、外周接合領域１２１のうちの接合領域１２１ａよりもノズル配列方向と直交する方向で外側に配置している。
【００５３】
このようにした場合、ブリッジ部３０１の切断によって生じる振動板部材３の変形領域に対応する接合領域の接後面積を広くでき、接合信頼性が確保される。また、本実施形態でも、ノズル配列方向において、振動板部材３のダンパ領域２１とブリッジ部３０１とは異なる位置に配置されているので、ブリッジ部３０１の切断時の変形によってダンパ性能が低下することが防止される。
【００５４】
次に、本発明の第４実施形態について図１０を参照して説明する。図１０は同実施形態における振動板部材と流路板の接合領域及びダンパ領域の配置の説明に供する平面説明図である。
【００５５】
本実施形態では、前記第２実施形態において、外周接合領域１２１に、１つのダンパ領域２１に対応して２つの凹み部１２２ａ、１２２ｂを設け、ブリッジ部３０１に対応しない接合領域の一部にも、接合幅が広い接合領域１２１ｃを設けている。なお、凹み部１２２は３つ以上設けることもできる。
【００５６】
これにより、振動板部材と流路板の接合信頼性を高めることもできる。
【００５７】
ここで、接合領域１２１ｃの接着幅は、接合領域１２１ｂの接着幅よりも広く、ブリッジ部３０１に対応した接合領域１２１ａの接着幅より狭くしている。
【００５８】
このような接合領域１２１ｃを設けることで、次のような作用効果を得ることができる。例えば、ダンパ領域２１のノズル配列方向の長さが長く、ダンパ領域２１に対応する接着幅が狭い接合領域１２１ｂもノズル配列方向に長い場合には、本実施形態のように接合領域１２１ｂの一部に接合領域１２１ｂの接着幅よりも広い接合領域１２１ｃを設けることができる。これにより、複数に区画された幅広のスペースが得られ、かつ、流路板との接合信頼性も確保することができる。
【００５９】
次に、本発明の第５実施形態について図１１ないし図１３を参照して説明する。図１１は同実施形態における振動板部材と流路板の接合領域及びダンパ領域の配置の説明に供する平面説明図、図１２は図１１のＣ−Ｃ線に相当するノズル配列方向と直交する方向の断面説明図、図１３は図１１のＤ−Ｄ線に相当するノズル配列方向と直交する方向の断面説明図である。
【００６０】
本実施形態では、流路板２のノズル配列方向と直交する方向の端部２ａがダンパ領域２１と対向し、流路板２の端部２ａのダンパ領域２１と対向する側には、ダンパ領域２１を逃げる逃げ部２３を形成している。逃げ部２３は、ここでは、滴吐出方向に沿う断面形状で、垂直段差形状としているが、これに限られない。
【００６１】
本実施形態と前記第１実施形態との違いは、前記第１実施形態では、ダンパ領域２１と対向する流路板２の部分の全部が切り欠かれているのに対し、本実施形態では、ダンパ領域２１の変形を許容できる範囲でダンパ領域側が切り欠かれている点である。
【００６２】
このように構成すれば、振動板部材３と流路板２との接合領域の接合幅にかかわらず、ノズル板１と流路板２の外形形状を同じにして、ノズル板１と流路板２とを接合することができて、接合信頼性が向上する。また、ノズル板１と流路板２の外形形状を同じにできることで、複雑な形状にする必要はなくなり組み立て工程への負荷も小さくなる。
【００６３】
次に、本発明の第６実施形態について図１４を参照して説明する。図１４は同実施形態における振動板部材と流路板の接合領域及びダンパ領域の配置の説明に供する平面説明図である。
【００６４】
本実施形態では、前記第４実施形態（又は前記第１実施形態）において、ノズル配列方向で中央部に位置するブリッジ部３０１に対応する接合領域１２１ａの外側（ノズル配列方向）にダンパ領域２１Ａを設けている。
【００６５】
これにより、全体的なダンパ領域を広くすることができ、ダンパ性能の向上を図れる。
【００６６】
次に、本発明の第７実施形態について図１５を参照して説明する。図１５は同実施形態における振動板部材と流路板の接合領域及びダンパ領域の配置の説明に供する平面説明図である。
【００６７】
本実施形態では、前記第４実施形態において、ダンパ領域２１を２つのダンパ領域２１ａ、２１ｂに分割して、ダンパ領域２１ａ、２１ｂは、平面視形状で、凹み部１２２ａ、１２２ｂ内に入り込む短辺長さ（前記第１実施形態と同様な短辺長さ）としている。
【００６８】
これにより、ダンパ領域の長辺は短くなるが、短辺が長くなることで、前記第４実施形態と同じヘッドサイズで、全体として、ダンパ性能を向上することができる。
【００６９】
ここでも、前述した図１０の第４実施形態で説明したと同様に、接合領域１２１ｃの接着幅は、接合領域１２１ｂの接着幅よりも広く、ブリッジ部３０１に対応した接合領域１２１ａの接着幅より狭くしている。
【００７０】
この場合、接合領域１２１ｃに対応した領域にもダンパ領域１２１ｂよりも短辺長さが短いダンパ領域を形成することもできるし、このダンパ領域に隣接するダンパ領域１２１ｂと一体にして、コの字形状のダンパ領域を形成することもできる。
【００７１】
以上の各実施形態ではフィルタ領域を形成する壁面部材が振動板部材である例で説明しているが、圧電アクチュエータを使用しない場合など、単に個別液室の壁面を形成するだけの部材であってもよい。
【００７２】
次に、本発明に係る画像形成装置の一例について図１６及び図１７を参照して説明する。図１６は同装置の機構部の側面説明図、図１７は同機構部の要部平面説明図である。
【００７３】
この画像形成装置はシリアル型画像形成装置である。左右の側板２２１Ａ、２２１Ｂに横架したガイド部材である主従のガイドロッド２３１、２３２でキャリッジ２３３を主走査方向に摺動自在に保持し、図示しない主走査モータによってタイミングベルトを介して矢示方向（キャリッジ主走査方向）に移動走査する。
【００７４】
このキャリッジ２３３には、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｋ）の各色のインク滴を吐出するための本発明に係る液体吐出ヘッドからなる記録ヘッド２３４を搭載している。記録ヘッド２３４は、複数のノズルからなるノズル列を主走査方向と直交する副走査方向に配列し、インク滴吐出方向を下方に向けて装着している。
【００７５】
記録ヘッド２３４は、それぞれ２つのノズル列を有する。一方の記録ヘッド２３４ａの一方のノズル列はブラック（Ｋ）の液滴を、他方のノズル列はシアン（Ｃ）の液滴を吐出する。他方の記録ヘッド２３４ｂの一方のノズル列はマゼンタ（Ｍ）の液滴を、他方のノズル列はイエロー（Ｙ）の液滴を吐出する。なお、ここでは２ヘッド構成で４色の液滴を吐出する構成としているが、１ヘッド当たり４ノズル列配置とし、１個のヘッドで４色の各色を吐出させることもできる。
【００７６】
また、記録ヘッド２３４のヘッドタンク２３５には各色の供給チューブ２３６を介して、供給ユニットによって各色のインクカートリッジ２１０から各色のインクが補充供給される。
【００７７】
一方、給紙トレイ２０２の用紙積載部（圧板）２４１上に積載した用紙２４２を給紙するための給紙部として、用紙積載部２４１から用紙２４２を１枚ずつ分離給送する半月コロ（給紙コロ）２４３及び給紙コロ２４３に対向する分離パッド２４４を備える。この分離パッド２４４は給紙コロ２４３側に付勢されている。
【００７８】
そして、この給紙部から給紙された用紙２４２を記録ヘッド２３４の下方側に送り込むために、用紙２４２を案内するガイド２４５と、カウンタローラ２４６と、搬送ガイド部材２４７と、先端加圧コロ２４９を有する押さえ部材２４８とを備える。さらに、給送された用紙２４２を静電吸着して記録ヘッド２３４に対向する位置で搬送するための搬送手段である搬送ベルト２５１を備えている。
【００７９】
この搬送ベルト２５１は、無端状ベルトであり、搬送ローラ２５２とテンションローラ２５３との間に掛け渡されて、ベルト搬送方向（副走査方向）に周回するように構成している。また、この搬送ベルト２５１の表面を帯電させるための帯電手段である帯電ローラ２５６を備えている。この帯電ローラ２５６は、搬送ベルト２５１の表層に接触し、搬送ベルト２５１の回動に従動して回転するように配置されている。この搬送ベルト２５１は、図示しない副走査モータによってタイミングを介して搬送ローラ２５２が回転駆動されることによってベルト搬送方向に周回移動する。
【００８０】
さらに、記録ヘッド２３４で記録された用紙２４２を排紙するための排紙部として、搬送ベルト２５１から用紙２４２を分離するための分離爪２６１と、排紙ローラ２６２及び排紙コロ２６３とを備え、排紙ローラ２６２の下方に排紙トレイ２０３を備えている。
【００８１】
また、装置本体の背面部には両面ユニット２７１が着脱自在に装着されている。この両面ユニット２７１は搬送ベルト２５１の逆方向回転で戻される用紙２４２を取り込んで反転させて、再度、カウンタローラ２４６と搬送ベルト２５１との間に給紙する。また、この両面ユニット２７１の上面は手差しトレイ２７２としている。
【００８２】
さらに、キャリッジ２３３の走査方向一方側の非印字領域には、記録ヘッド２３４のノズルの状態を維持し、回復するための維持回復機構２８１を配置している。この維持回復機構２８１には、記録ヘッド２３４の各ノズル面をキャッピングするための各キャップ部材（以下「キャップ」という。）２８２ａ、２８２ｂ（区別しないときは「キャップ２８２」という。）を備えている。また、維持回復機構２８１は、ノズル面をワイピングするためのブレード部材であるワイパーブレード２８３と、増粘した記録液を排出するために記録に寄与しない液滴を吐出させる空吐出を行うときの液滴を受ける空吐出受け２８４などを備えている。
【００８３】
また、キャリッジ２３３の走査方向他方側の非印字領域には、記録中などに増粘した記録液を排出するために記録に寄与しない液滴を吐出させる空吐出を行うときの液滴を受ける空吐出受け２８８を配置している。この空吐出受け２８８には記録ヘッド２３４のノズル列方向に沿った開口部２８９などを備えている。
【００８４】
このように構成したこの画像形成装置においては、給紙トレイ２０２から用紙２４２が１枚ずつ分離給紙され、略鉛直上方に給紙された用紙２４２はガイド２４５で案内され、搬送ベルト２５１とカウンタローラ２４６との間に挟まれて搬送される。更に用紙２４２は先端を搬送ガイド２３７で案内されて先端加圧コロ２４９で搬送ベルト２５１に押し付けられ、略９０°搬送方向を転換される。
【００８５】
そして、帯電した搬送ベルト２５１上に用紙２４２が給送されると、用紙２４２が搬送ベルト２５１に吸着され、搬送ベルト２５１の周回移動によって用紙２４２が副走査方向に搬送される。
【００８６】
そこで、キャリッジ２３３を移動させながら画像信号に応じて記録ヘッド２３４を駆動することにより、停止している用紙２４２にインク滴を吐出して１行分を記録し、用紙２４２を所定量搬送後、次の行の記録を行う。記録終了信号又は用紙２４２の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了して、用紙２４２を排紙トレイ２０３に排紙する。
【００８７】
このように、この画像形成装置では、本発明に係る液体吐出ヘッドを記録ヘッドとして備えるので、高画質画像を安定して形成することができる。
【００８８】
なお、本願において、「用紙」とは材質を紙に限定するものではなく、ＯＨＰ、布、ガラス、基板などを含み、インク滴、その他の液体などが付着可能なものの意味である。被記録媒体、記録媒体、記録紙、記録用紙などと称されるものを含む。また、画像形成、記録、印字、印写、印刷はいずれも同義語とする。
【００８９】
また、「画像形成装置」は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックス等の媒体に液体を吐出して画像形成を行う装置を意味する。また、「画像形成」とは、文字や図形等の意味を持つ画像を媒体に対して付与することだけでなく、パターン等の意味を持たない画像を媒体に付与すること（単に液滴を媒体に着弾させること）をも意味する。
【００９０】
また、「インク」とは、特に限定しない限り、インクと称されるものに限らず、記録液、定着処理液、液体などと称されるものなど、画像形成を行うことができるすべての液体の総称として用いる。例えば、ＤＮＡ試料、レジスト、パターン材料、樹脂なども含まれる。
【００９１】
また、「画像」とは平面的なものに限らず、立体的に形成されたものに付与された画像、また立体自体を三次元的に造形して形成された像も含まれる。
【００９２】
また、画像形成装置には、特に限定しない限り、シリアル型画像形成装置及びライン型画像形成装置のいずれも含まれる。
【符号の説明】
【００９３】
１  ノズル板
２  流路板
３  振動板部材
４  ノズル
５  個別流路
６  個別液室
８  液導入部
１０  共通液室
１２  圧電部材
２０  フレーム部材
２１  ダンパ領域
２２  逃げ部
８１  液導入部
８２  通路
１２１  外周接合領域
１２２  凹み部
１２３  逃げ部
２３３  キャリッジ
２３４ａ、２３４ｂ  記録ヘッド
３０１  ブリッジ部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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