(57)【要約】【課題】  電源装置に内蔵されている降圧チョッパー回路が破損すると、連動してインバータ回路も破損する。【解決手段】  直流電源回路と、直流電源回路の出力側に設けた第１のスイッチング素子、リアクトル及び第３の平滑コンデンサとで形成される降圧チョッパー回路と、インバータ回路の出力を負荷に適した電圧に変換する主変圧器と、主変圧器の出力を整流及び平滑する２次整流回路及び直流リアクトルと、第１のスイッチング素子及びインバータ回路を制御する主制御回路と、を備えた電源装置において、整流回路は、３つのサイリスター素子及び３つのダイオードで形成する３相全波整流回路であり、降圧電圧値が電圧基準値以上になると電圧判別信号を出力する電圧判別回路を設け、主制御回路は電圧判別信号に応じて３つのサイリスター素子を遮断する、こと特徴とする電源装置。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
整流回路及び平滑コンデンサで形成し商用交流電源を整流・平滑して直流電圧にする直流電源回路と、前記直流電源回路の出力側の一方に第１のスイッチング素子とリアクトルとを直列に配置し前記リアクトルの出力側と前記直流電源回路の出力側の他方との間に配置する第３の平滑コンデンサとで形成される降圧チョッパー回路と、前記降圧チョッパー回路からの降圧電圧を検出する電圧検出回路と、前記降圧電圧を高周波交流電圧に変換するインバータ回路と、前記インバータ回路の出力を負荷に適した高周波交流電圧に変換する主変圧器と、前記主変圧器の出力を整流する２次整流回路と、前記整流された出力を平滑する直流リアクトルと、前記第１のスイッチング素子及び前記インバータ回路を制御する主制御回路と、を備えた電源装置において、前記整流回路は、３つのサイリスター素子及び３つのダイオードで形成する３相全波整流回路であり、前記降圧電圧値が予め定めた電圧基準値以上になると電圧判別信号を出力する電圧判別回路を設け、前記主制御回路は、前記電圧判別信号に応じて前記３つのサイリスター素子を遮断する、こと特徴とする電源装置。
【請求項２】
前記直流電源回路の出力側の一方と前記第１のスイッチング素子の入力側との間に保護ヒューズを配置し、前記第１のスイッチング素子と前記リアクトルとの接続点と前記直流電源回路の出力側の他方との間に第２のスイッチング素子を配置し、前記主制御回路は、前記電圧判別信号に応じて前記３つのサイリスター素子を遮断すると共に前記第２のスイッチング素子を導通する、こと特徴とする請求項１に記載の電源装置。
【請求項３】
前記主制御回路は、前記降圧電圧の値が前記電圧基準値より低い予め定めた第２の電圧基準値を超えたとき前記第２のスイッチング素子を導通し、前記電圧判別信号に応じて前記３つのサイリスター素子を遮断する、こと特徴とする請求項２に記載の電源装置。
【請求項４】
前記整流回路は、前記３つのサイリスター素子で形成する３相半波整流回路である、ことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の電源装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載の電源装置を用い、被加工物のアーク加工を行うアーク加工用電圧を生成するように構成される、ことを特徴とするアーク加工用電源装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、交流電源を直流電圧に変換する直流電源回路と、その直流電圧を所定の電圧に降圧する降圧チョッパー回路と、を備えた電源装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
アーク加工に使用する電源装置では、商用電源（三相交流電源）を整流回路にて整流し平滑コンデンサにて平滑化して直流電圧に変換する直流電源回路とスイッチング素子でブリッジを形成するインバータ回路との間に、直流電圧をインバータ回路の入力に適合した入力電圧に降圧する降圧チョッパー回路が設けられている。
【０００３】
図７は、アーク加工に使用する従来技術の電源装置の電気接続図であり、直流電源回路、降圧チョッパー回路、インバータ回路ＩＮＶ、主変圧器、２次整流回路及び直流リアクトルで形成される。同図において、直流電源回路は、整流回路ＤＲ１、第１の平滑コンデンサＣ１、第２の平滑コンデンサＣ２、第１の抵抗器Ｒ１及び第２の抵抗器Ｒ２で形成される。
【０００４】
図７に示す降圧チョッパー回路は、第１のスイッチング素子ＴＲ１、リアクトルＤＬ及び第３の平滑コンデンサＣ３で形成され、第１のスイッチング素子ＴＲ１のオンヂューテイに基づいて直流電源回路からの直流電圧を所定の電圧に降圧する。電圧検出回路ＩＶは、降圧チョッパー回路から出力される降圧電圧を検出し降圧電圧信号Ｉｖとして出力する。
【０００５】
インバータ回路ＩＮＶは、降圧チョッパー回路からの降圧電圧を高周波交流電圧に変換し、主変圧器ＩＮＴは、高周波交流電圧をアーク加工に適した高周波交流電圧に変換し、２次整流回路ＤＲ２及び直流リアクトルＤＣＬを介して整流・平滑されトーチＴＨと被加工物Ｍとの間に電力を供給する。
【０００６】
主制御回路ＳＣは、出力電流検出回路ＩＤからの出力電流検出信号Ｉｄの値が予め定めた電流設定値になるようにインバータ回路ＩＮＶを制御する、と共に降圧電圧が予め定めた電圧設定値になるように降圧チョッパー回路を制御する。
【０００７】
図７に示す降圧チョッパー回路を形成する第１のスイッチング素子ＴＲ１が、何らかの原因で短絡破壊が生じると、降圧チョッパー回路からの降圧電圧が上昇し、第３の平滑コンデンサＣ３及びインバータ回路を形成する各スイッチング素子の入力電圧の最大入力電圧規格を超えてしまい破壊を招く。
【０００８】
上記対策として、従来では第３の平滑コンデンサＣ３及びインバータ回路ＩＮＶを入力過電圧から生じる破壊を防止するために、図７に示す保護ヒューズＦ１と第２のスイッチング素子ＴＲ２とを設け、主制御回路ＳＣは、降圧チョッパー回路からの降圧電圧が所定電圧を超えたとき第２のスイッチング素子ＴＲ２を導通させて、保護ヒューズＦ１、第１のスイッチング素子ＴＲ１及び第２のスイッチング素子ＴＲ２により短絡電流ループを形成させ、保護ヒューズＦ１を短絡電流ループにより溶断させて第３の平滑コンデンサＣ３及びインバータ回路ＩＮＶを形成する各スイッチング素子に入力過電圧が印加されるのを防止していた。特許文献１に、上述の保護技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開平９−２４７９２７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
図７に示す第２のスイッチング素子（バイポーラ・トランジスタ、ＩＧＢＴ、ＭＯＳＦＥＴ等）には、短絡耐量に限界があり、短絡電流が所定時間を超えて流れると開放破壊を招く。このとき、第２のスイッチング素子が開放破壊する前に保護ヒューズが溶断しないと第３の平滑コンデンサＣ３及びインバータ回路を形成する各スイッチング素子に入力過電圧が印加されて破壊する。そして、保護ヒューズの短絡電流ループによる溶断時間には部品バラッキがあり、第２のスイッチング素子の開放破壊の前に保護ヒューズが溶断しないときが多々ある。
そこで、本発明では、上記の課題を解決する電源装置を供給することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上述した課題を解決するために、請求項１記載の発明は、整流回路及び平滑コンデンサで形成し商用交流電源を整流・平滑して直流電圧にする直流電源回路と、前記直流電源回路の出力側の一方に第１のスイッチング素子とリアクトルとを直列に配置し前記リアクトルの出力側と前記直流電源回路の出力側の他方との間に配置する第３の平滑コンデンサとで形成される降圧チョッパー回路と、前記降圧チョッパー回路からの降圧電圧を検出する電圧検出回路と、前記降圧電圧を高周波交流電圧に変換するインバータ回路と、前記インバータ回路の出力を負荷に適した高周波交流電圧に変換する主変圧器と、前記主変圧器の出力を整流する２次整流回路と、前記整流された出力を平滑する直流リアクトルと、前記第１のスイッチング素子及び前記インバータ回路を制御する主制御回路と、を備えた電源装置において、前記整流回路は、３つのサイリスター素子及び３つのダイオードで形成する３相全波整流回路であり、前記降圧電圧値が予め定めた電圧基準値以上になると電圧判別信号を出力する電圧判別回路を設け、前記主制御回路は、前記電圧判別信号に応じて前記３つのサイリスター素子を遮断する、こと特徴とする電源装置である。
【００１２】
請求項２記載の発明は、前記直流電源回路の出力側の一方と前記第１のスイッチング素子の入力側との間に保護ヒューズを配置し、前記第１のスイッチング素子と前記リアクトルとの接続点と前記直流電源回路の出力側の他方との間に第２のスイッチング素子を配置し、前記主制御回路は、前記電圧判別信号に応じて前記３つのサイリスター素子を遮断すると共に前記第２のスイッチング素子を導通する、こと特徴とする請求項１に記載の電源装置である。
【００１３】
請求項３記載の発明は、前記主制御回路は、前記降圧電圧の値が前記電圧基準値より低い予め定めた第２の電圧基準値を超えたとき前記第２のスイッチング素子を導通し、前記電圧判別信号に応じて前記３つのサイリスター素子を遮断する、こと特徴とする請求項２に記載の電源装置である。
【００１４】
請求項４記載の発明は、前記整流回路は、前記３つのサイリスター素子で形成する３相半波整流回路である、ことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の電源装置である。
【００１５】
請求項５記載の発明は、請求項１〜４のいずれか１項に記載の電源装置を用い、被加工物のアーク加工を行うアーク加工用電圧を生成するように構成される、ことを特徴とするアーク加工用電源装置である。
【発明の効果】
【００１６】
請求項１記載の発明では、降圧チョッパー回路に異常が発生したとき、整流回路を形成する３つのサイリスター素子を遮断するので、第３の平滑コンデンサ、インバータ回路を形成する各スイッチング素子に降圧チョッパー回路から過電圧が印加することが抑制でき破壊を防止できる。
【００１７】
請求項２及び３記載の発明では、降圧チョッパー回路に異常が発生したとき、保護ヒューズが溶断する前に第２のスイッチング素子が短絡電流で破壊して保護協調が取れないときでも、整流回路を形成する３つのサイリスター素子を遮断するので、第３の平滑コンデンサ、インバータ回路を形成する各スイッチング素子に降圧チョッパー回路から過電圧が印加することが抑制でき破壊を防止できる。
【００１８】
請求項４記載の発明では、整流回路が３つのサイリスター素子で形成する３相半波整流回路でも、請求項１〜３記載の発明と同一効果がある。
【００１９】
請求項５記載の発明では、アーク加工用電源装置に使用する整流回路が３つのサイリスター素子で形成する３相全波整流回路又は３相半波整流回路のどちらでも、降圧チョッパー回路に異常が発生したとき、３つのサイリスター素子を遮断することで、第３の平滑コンデンサ、インバータ回路を形成する各スイッチング素子に降圧チョッパー回路から過電圧が印加することが抑制でき破壊を防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の実施形態１に係る電源装置の電気接続図である。
【図２】実施形態１の電圧判別回路の詳細図である。
【図３】実施形態１の動作を説明する波形図である。
【図４】実施形態２に係る電源装置の電気接続図である。
【図５】実施形態２の動作を説明する波形図である。
【図６】実施形態３に係る電源装置の電気接続図である。
【図７】従来技術の電源装置の電気接続図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
図１〜図３を参照して本発明の実施形態１の動作について説明する。
図１は、本発明の実施形態１に係る電源装置（例えば、アーク加工用電源装置）の電気接続図である。同図において、図７に示す従来技術の電源装置の電気接続図と同一符号の構成物は、同一動作を行うので説明は省略し、符号の相違する構成物についてのみ説明する。
【００２２】
図１に示す整流回路は、３つのサイリスター素子ＳＲ１〜ＳＲ３及び３つのダイオードＤ１〜Ｄ３で形成される３相全波整流回路であり、例えば、３つのサイリスター素子を１つのパッケージに集積したサイリスター集積回路と３つのダイオードを１つのパッケージに集積したダイオード集積回路とで形成してもよい。
【００２３】
図２は電圧判別回路ＩＭの詳細図であり、比較器ＣＰと電圧基準設定回路ＶＲＥＦとで形成し、比較回路ＣＰは、降圧電圧信号Ｉｖの値が予め定めた電圧基準値Ｖｒｅｆ以上になると、電圧判別信号ＩｍをＨｉｇｈレベルにする。このときの電圧基準値Ｖｒｅｆの値は、例えば、インバータ回路ＩＮＶを形成する各スイッチング素子の入力電圧の最大定格に相当する。
【００２４】
図１に示す主制御回路ＳＣは、出力電流検出回路ＩＤからの出力電流検出信号Ｉｄの値が予め定めた電流設定値になるようにインバータ回路ＩＮＶを制御し、降圧電圧信号Ｉｖの値が予め定めた電圧設定値になるように降圧チョッパー回路を制御する。そして、電圧判別信号ＩｍがＨｉｇｈレベルになると３つのサイリスター素子ＳＲを遮断する。このとき、インバータ回路ＩＮＶの動作を停止してもよい。
【００２５】
図３は、実施形態１の動作を説明する波形図である。
図３において、図３（Ａ）は、商用交流電源の電圧波形を示し、同図（Ｂ）は、サイリスター駆動信号Ｓｒを示し、同図（Ｃ）は、電圧判別信号Ｉｍを示し、同図（Ｄ）は、直流電圧波形Ｖ１を示し、同図（Ｅ）は、降圧電圧信号Ｉｖの波形を示し、同図（Ｆ）は、第１のスイッチング駆動信号Ｔｒ１の波形を示し、同図（Ｇ）は、出力電流信号Ｉｄの波形を示す。
【００２６】
つぎに、図１〜図３を参照して実施形態１の電源装置の動作について説明する。
図３に示す時刻ｔ＝ｔ１以前は、主制御回路ＳＣは、出力電流検出信号Ｉｄの値が予め定めた電流設定値になるようにインバータ回路ＩＮＶを制御する。そして、時刻ｔ＝ｔ１以後において、降圧チョッパー回路を形成する第１のスイッチング素子ＴＲ１が、何らかの原因で短絡破壊が生じると、電圧検出回路ＩＶで検出した図３（Ｅ）に降圧電圧信号Ｉｖの値が上昇する。
【００２７】
時刻ｔ＝ｔ３において、降圧電圧信号Ｉｖの値が予め定めた電圧基準値Ｖｒｅｆ以上になると、図２に示す比較器ＣＰは、電圧判別信号ＩｍをＨｉｇｈレベルにする。主制御回路ＳＣは、電圧判別信号ＩｍのＨｉｇｈレベルに応じて図３（Ｂ）に示すサイリスター駆動信号ＳｒをＬｏｗレベルにする。図１に示す３つのサイリスター素子ＳＲ１〜ＳＲ３は、サイリスター駆動信号ＳｒのＬｏｗレベルに応じて第１のサイリスター素子ＳＲ１は、商用交流電源のＵ相が零電圧になると消弧し、第２のサイリスター素子ＳＲ２は、Ｗ相が零電圧になると消弧し、第３のサイリスター素子ＳＲ３は、Ｖ相が零電圧になると消弧して図３（Ｄ）に示す直流電圧波形Ｖ１の値が零になる。
【００２８】
上述より、降圧チョッパー回路を形成する第１のスイッチング素子ＴＲ１に短絡破壊が生じたとき、整流回路を形成する３つのサイリスター素子を遮断するので、第３の平滑コンデンサＣ３及びインバータ回路を形成する各スイッチング素子の入力電圧が最大定格を超えることが抑制でき過電圧の印加による破壊を防止できる。
【００２９】
「実施形態２」
つぎに、実施形態２の動作について、図４を参照して説明する。
図４は、実施形態２に係る電源装置（アーク加工用電源装置）の電気接続図である。同図において、図１及び図７に示す電源装置の電気接続図と同一符号の構成物は、同一動作を行うので説明は省略し、符号の相違する構成物についてのみ説明する。
【００３０】
図４に示す直流電源回路の出力側の一方（プラス側）と第１のスイッチング素子ＴＲ１の入力側との間に保護ヒューズＦ１を配置し、第１のスイッチング素子ＴＲ１とリアクトルＤＣＬとの接続点と直流電源回路の出力側の他方（マイナス側）との間に第２のスイッチング素子ＴＲ２を配置して保護回路を形成する。
【００３１】
図４に示す電圧判別回路ＩＭは、降圧電圧信号Ｉｖの値が電圧基準値Ｖｒｅｆ以上になると、電圧判別信号ＩｍをＨｉｇｈレベルにする。
【００３２】
図４に示す主制御回路ＳＣは、出力電流検出回路ＩＤからの出力電流検出信号Ｉｄの値が電流設定値になるようにインバータ回路ＩＮＶを制御し、降圧電圧信号Ｉｖの値が電圧設定値になるように降圧チョッパー回路を制御する。そして、電圧判別信号ＩｍのＨｉｇｈレベルに応じてサイリスター駆動信号ＳｒをＬｏｗレベルにすると共に第２のスイッチング駆動信号Ｔｒ２をＨｉｇｈレベルにする。
また、主制御回路ＳＣに降圧電圧信号Ｉｖの値が電圧基準値ｖｒｅｆより低い予め定めた第２の電圧基準値Ｖｒｅｆ２を設け、この第２の電圧基準値Ｖｒｅｆ２以上になると第２のスイッチング駆動信号Ｔｒ２をＨｉｇｈレベルにしてもよい。
【００３３】
図５は、実施形態２の動作を説明する波形図である。
図５において、図５（Ａ）は、商用交流電源の電圧波形を示し、同図（Ｂ）は、サイリスター駆動信号Ｓｒを示し、同図（Ｃ）は、電圧判別信号Ｉｍを示し、同図（Ｄ）は、直流電圧波形Ｖ１を示し、同図（Ｅ）は、降圧電圧信号Ｉｖの波形を示し、同図（Ｆ）は、第１のスイッチング駆動信号Ｔｒ１の波形を示し、同図（Ｇ）は、第２のスイッチング駆動信号Ｔｒ２の波形を示し、同図（Ｈ）は、出力電流信号Ｉｄの波形を示す。
【００３４】
つぎに、図４、図５を参照して実施形態２の電源装置の動作について説明する。
図５に示す時刻ｔ＝ｔ１以前は、主制御回路ＳＣは、出力電流検出信号Ｉｄの値が電流設定値になるようにインバータ回路ＩＮＶを制御する。時刻ｔ＝ｔ１において、降圧チョッパー回路を形成する第１のスイッチング素子ＴＲ１が、何らかの原因で短絡破壊が生じると、電圧検出回路ＩＶで検出した図５（Ｅ）に降圧電圧信号Ｉｖの値が上昇する。
【００３５】
時刻ｔ＝ｔ３において、降圧電圧信号Ｉｖの値が電圧基準値ｖｒｅｆ以上になると、電圧判別回路ＩＭは、図５（Ｃ）に示す電圧判別信号ＩｍをＨｉｇｈレベルする。主制御回路ＳＣは、電圧判別信号ＩｍのＨｉｇｈレベルに応じて同図（Ｇ）に示す第２のスイッチング駆動信号Ｔｒ２をＨｉｇｈレベルにし、第２のスイッチング素子ＴＲ２を導通させる。このとき、保護ヒューズＦ１、第１のスイッチング素子ＴＲ１及び第２のスイッチング素子ＴＲ２により短絡電流ループを形成し、保護ヒューズＦ１を短絡電流にて溶断させて降圧電圧信号Ｉｖの値は上昇を抑制し減少する。しかし、保護ヒューズＦ１の溶断前に第２のスイッチング素子ＴＲ２が開放破壊すると同図（Ｅ）に示す降圧電圧信号Ｉｖの値は、時刻ｔ＝ｔ４において減少から上昇に転じる。
【００３６】
時刻ｔ＝ｔ３において、主制御回路ＳＣは、電圧判別信号ＩｍのＨｉｇｈレベルに応じて図５（Ｂ）に示すサイリスター駆動信号ＳｒもＬｏｗレベルにする。図４に示す３つのサイリスター素子ＳＲ１〜ＳＲ３は、サイリスター駆動信号ＳｒのＬｏｗレベルに応じて第１のサイリスター素子ＳＲ１は、商用交流電源のＵ相が零電圧になると消弧し、第２のサイリスター素子ＳＲ２は、Ｗ相が零電圧になると消弧し、第３のサイリスター素子ＳＲ３は、Ｖ相が零電圧になると消弧して同図（Ｄ）に示す直流電圧波形Ｖ１の値が上昇から更に減少に転じて零になる。
【００３７】
上述より、保護ヒューズが溶断しないときでも、整流回路を形成する３つのサイリスター素子を遮断するので、第３の平滑コンデンサ、インバータ回路を形成する各スイッチング素子に降圧チョッパー回路から過電圧が印加することが抑制でき破壊を防止できる。
【００３８】
また、上記実施形態２では、主制御回路ＳＣは、電圧判別信号ＩｍのＨｉｇｈレベルに応じて図５（Ｇ）に示す第２のスイッチング駆動信号Ｔｒ２をＨｉｇｈレベルにすると共に同図（Ｂ）に示すサイリスター駆動信号ＳｒをＬｏｗレベルにしているが、主制御回路ＳＣに電圧基準値Ｖｒｅｆより低い予め定めた第２の電圧基準値Ｖｒｅｆ２を設け、時刻ｔ＝ｔ２において、降圧電圧信号Ｉｖの値が第２の電圧基準値Ｖｒｅｆ２以上になると第２のスイッチング駆動信号Ｔｒ２を点線に示すようにＨｉｇｈレベルにしてもよい。
【００３９】
これにより、図４に示す第２のスイッチング素子ＴＲ２は、整流回路を形成する３つのサイリスター素子が遮断する前に導通するので、保護ヒューズＦ１、第１のスイッチング素子ＴＲ１及び第２のスイッチング素子ＴＲ２により短絡電流ループが先に形成させ、保護ヒューズＦ１を短絡電流ループにより溶断させる適宜の時間ができ、保護ヒューズが溶断しないことが抑制でき、精度の良い保護協調が可能となる。
【００４０】
「実施形態３」
つぎに、実施形態３の動作について、図６を参照して説明する。
図６は、実施形態３に係る電源装置（アーク加工用電源装置）の電気接続図である。同図において、図１、図４及び図５に示す電源装置の電気接続図と同一符号の構成物は、同一動作を行うので説明は省略し、符号の相違する構成物についてのみ説明する。
【００４１】
図６に示す整流回路は、３つのサイリスター素子ＳＲ１〜ＳＲ３で３相半波整流回路を形成し、主制御回路ＳＣは、電圧判別回路ＩＭからの電圧判別信号ＩｍがＨｉｇｈレベルになると３つのサイリスター素子ＳＲを遮断する共に第２のスイッチング素子ＴＲ２を導通させる。このとき、インバータ回路ＩＮＶの動作を停止してもよい。
【符号の説明】
【００４２】
Ｃ１        第１の平滑コンデンサ
Ｃ２        第２の平滑コンデンサ
Ｃ３        第３の平滑コンデンサ
ＣＰ        比較器
Ｄ１        第１のダイオード
Ｄ２        第２のダイオード
Ｄ３        第３のダイオード
Ｄ４        第４のダイオード
ＤＬ        リアクトル
ＤＣＬ      直流リアクトル
ＤＲ２      ２次整流回路
Ｆ１        保護ヒューズ
ＩＤ        出力電流検出回路
Ｉｄ        出力電流検出信号
ＩＭ        電圧判別回路
Ｉｍ        電圧判別信号
ＩＮＴ      主変圧器
ＩＮＶ      インバータ回路
ＩＶ        電圧検出回路
Ｉｖ        降圧電圧信号
Ｍ          被加工物
Ｒ１        第１の抵抗器
Ｒ２        第２の抵抗器
ＳＣ        主制御回路
Ｓｃ        主制御信号
ＳＲ１      第１のサイリスター素子
ＳＲ２      第２のサイリスター素子
ＳＲ３      第３のサイリスター素子
Ｓｒ        サイリスター駆動信号
ＴＲ１      第１のスイッチング素子
ＴＲ２      第２のスイッチング素子
ＴＨ        トーチ
ＶＲＥＦ    電圧基準設定回路
Ｖｒｅｆ    電圧基準信号（電圧基準値）
【図１】
2014233752.tif 000003
【図２】
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【図３】
2014233752.tif 000005
【図４】
2014233752.tif 000006
【図５】
2014233752.tif 000007
【図６】
2014233752.tif 000008
【図７】
2014233752.tif 000009