(57)【要約】      （修正有）【課題】正確な圧力制御をすることのできる電空レギュレータを提供する。【解決手段】供給ポート１６から供給される流体の供給圧力を検出する供給用圧力センサ１４を設けるようにした。そして、供給用圧力センサ１４の検出圧に基づきパルス信号Ｐ２のパルス幅を補正し、供給圧力に応じたパルス幅で給気側電磁弁１１の開閉が制御されるようにした。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
供給ポートから供給される所定圧力の流体を導入する第１電磁弁と、
前記第１電磁弁を介して導入される前記流体を排出ポートから排出する第２電磁弁と、
前記供給ポートから供給される前記流体の供給圧力を検出する第１圧力センサと、
前記第１電磁弁と前記第２電磁弁との開閉に基づき出力ポートから出力される前記流体の制御圧力を検出する第２圧力センサと、
入力信号と前記第２圧力センサの検出圧に応じたフィードバック信号との偏差に基づき制御信号を生成する信号生成部と、
前記第１圧力センサの検出圧に基づき前記制御信号を補正する補正信号を生成する信号補正部と、
前記補正信号により補正された制御信号に基づき前記流体の制御圧力を前記入力信号に応じた圧力とするように前記第１電磁弁と前記第２電磁弁との開閉を制御する制御部と、を有することを特徴とする電空レギュレータ。
【請求項２】
前記信号補正部は、前記第１圧力センサの検出圧と前記第２圧力センサの検出圧との差圧に基づき前記補正信号を生成する請求項１に記載の電空レギュレータ。
【請求項３】
前記制御部は、各電磁弁を開閉するパルス幅を調整することで前記第１電磁弁と前記第２電磁弁との開閉を制御し、
前記信号補正部は、前記差圧が予め定めた調整値よりも大きい場合に前記パルス幅を小さくするように補正する補正信号を生成するとともに、前記差圧が予め定めた調整値よりも小さい場合に前記パルス幅を大きくするように補正する補正信号を生成する請求項２に記載の電空レギュレータ。
【請求項４】
前記信号補正部は、前記第１圧力センサの検出圧と前記第２圧力センサの検出圧との差圧に基づき前記第１電磁弁に対する制御信号を補正する補正信号を生成するとともに、前記第２圧力センサの検出圧と前記排出ポートの排出先の圧力との差圧に基づき前記第２電磁弁に対する制御信号を補正する補正信号を生成する請求項２又は請求項３に記載の電空レギュレータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電空レギュレータに関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１に記載される電空レギュレータでは、供給ポートに所定の圧力を有する圧縮エアが供給されると、入力信号をもとに給気側電磁弁と排気側電磁弁とが開閉制御され、給気側電磁弁を通じてブースタに供給される圧縮エアの流量と、排気側電磁弁を通じて排出ポートから大気に排出される圧縮エアの流量とが調整される。これによりブースタのパイロット室の圧力が制御され、このパイロット圧に応じた制御圧力を有する圧縮エアを出力ポートから出力するようにしている。また、この電空レギュレータでは、制御圧力が圧力センサによって検出され、該圧力センサの検出圧に応じたフィードバック信号と入力信号との偏差を小さくして、同センサの検出圧が入力信号に応じた目標値となるように各電磁弁を開閉するパルス幅をフィードバック制御している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平９−１０１８２６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、各電磁弁への供給圧力の変動や、各電磁弁のバルブ性能のばらつきによって、各電磁弁を開閉するパルス幅を同一に制御する場合でもブースタに流入する圧縮エアの流量が変化してしまう。このため、上述した流量の変化によっては、上記偏差を残した状態において、給気側電磁弁により供給される圧縮エアの流量と排気側電磁弁により排出される圧縮エアの流量とが安定してしまう場合もあり正確な圧力制御を困難としている。
【０００５】
本発明は、このような実情に鑑みてなされたものであり、その目的は、正確な圧力制御をすることのできる電空レギュレータを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決する電空レギュレータは、供給ポートから供給される所定圧力の流体を導入する第１電磁弁と、第１電磁弁を介して導入される流体を排出ポートから排出する第２電磁弁と、供給ポートから供給される流体の供給圧力を検出する第１圧力センサと、第１電磁弁と第２電磁弁との開閉に基づき出力ポートから出力される流体の制御圧力を検出する第２圧力センサと、入力信号と第２圧力センサの検出圧に応じたフィードバック信号との偏差に基づき制御信号を生成する信号生成部と、第１圧力センサの検出圧に基づき制御信号を補正する補正信号を生成する信号補正部と、補正信号により補正された制御信号に基づき流体の制御圧力を入力信号に応じた圧力とするように第１電磁弁と第２電磁弁との開閉を制御する制御部と、を有することを特徴とする電空レギュレータ。
【０００７】
さらにこうした電空レギュレータにおいて、信号補正部は、第１圧力センサの検出圧と第２圧力センサの検出圧との差圧に基づき補正信号を生成するようにしている。
また、制御部は、各電磁弁を開閉するパルス幅を調整することで第１電磁弁と第２電磁弁との開閉を制御するようにしている。そして、信号補正部は、上記差圧が予め定めた調整値よりも大きい場合にパルス幅を小さくするように補正する補正信号を生成するとともに、上記差圧が予め定めた調整値よりも小さい場合にパルス幅を大きくするように補正する補正信号を生成するようにしている。
【０００８】
また、こうした電空レギュレータにおいて、信号補正部は、第１圧力センサの検出圧と第２圧力センサの検出圧との差圧に基づき第１電磁弁に対する制御信号を補正する補正信号を生成するとともに、第２圧力センサの検出圧と排出ポートの排出先の圧力との差圧に基づき第２電磁弁に対する制御信号を補正する補正信号を生成するようにしている。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、正確な圧力制御をすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】第１の実施形態における電空レギュレータの電気的構成を示す模式図。
【図２】第２の実施形態における電空レギュレータの電気的構成を示す模式図。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
（第１の実施形態）
以下、電空レギュレータの第１の実施形態について図１を参照して説明する。
図１に示すように、この電空レギュレータの本体内には、基板に実装される制御部としての制御回路１０と、第１電磁弁としての給気側電磁弁１１及び第２電磁弁としての排気側電磁弁１２と、ダイヤフラム作動式の三方切換弁からなるブースタ１３とが収容されている。また、電空レギュレータの本体内には、基板に実装される第１圧力センサとしての供給用圧力センサ１４及び第２圧力センサとしての制御用圧力センサ１５が収容されている。
【００１２】
また、この電空レギュレータには、流体（本実施形態では、圧縮エア）が供給される供給ポート１６と、大気に開放される排出ポート１７と、外部の空圧機器と接続される出力ポート１８とが形成されている。
【００１３】
給気側電磁弁１１には、供給ポート１６を通じて流体が導入され、給気側電磁弁１１が開弁するとブースタ１３のパイロット室に流体が導入される。さらに、排気側電磁弁１２が開弁するとブースタ１３のパイロット室の流体が排出ポート１７を通じて大気に排出される。この供給ポート１６には、供給用圧力センサ１４が設けられており、供給用圧力センサ１４により供給圧力が検出される。
【００１４】
また、ブースタ１３では、供給ポート１６を通じて流体がフィードバック室に導入され、パイロット室の室圧に応じた制御圧力を有する流体が出力ポート１８を通じて外部の空圧機器に出力される。この出力ポート１８には、制御用圧力センサ１５が設けられており、制御用圧力センサ１５により制御圧力が検出される。
【００１５】
また、この電空レギュレータには、入力信号及び制御回路１０、給気側電磁弁１１、排気側電磁弁１２、供給用圧力センサ１４、制御用圧力センサ１５を作動させるための電源電圧が外部から入力される。入力信号は、制御圧力の目標値を指令するためのもので、制御回路１０は入力信号を基に各電磁弁１１，１２を開閉制御する。
【００１６】
次に、電空レギュレータの制御回路１０の構成を説明する。
図１に示すように、制御回路１０は、信号生成部となる減算器２０、加算器２１，２２，２３、フィードバック回路３０、偏差増幅回路３１、ＰＷＭ回路３２及び比較回路３３，３４と、信号補正部となる比較回路３８とを備えて構成されている。
【００１７】
フィードバック回路３０は、制御用圧力センサ１５の検出圧に応じたフィードバック信号を生成し、減算器２０は、このフィードバック信号を入力信号から減算した偏差信号を偏差増幅回路３１に出力する。偏差増幅回路３１は、入力信号とフィードバック信号との偏差を増幅した偏差増幅信号をＰＷＭ回路３２に出力する。
【００１８】
ＰＷＭ回路３２は、三角波回路３５、バイアス回路３６及び反転回路３７を備えて構成されている。加算器２１は、三角波回路３５から出力される三角波信号にバイアス回路３６から出力されるバイアス信号を加算することにより、加算信号を生成して加算器２２，２３に出力する。加算器２２は、加算器２１から出力される加算信号に上記偏差増幅信号を加算することにより、ＰＷＭ信号Ａ１を生成して比較回路３３に出力する。また、加算器２３は、加算器２１から出力される加算信号に上記偏差増幅信号を反転回路３７を通じて反転出力させた信号を加算することにより、ＰＷＭ信号Ａ２を生成して比較回路３４に出力する。
【００１９】
比較回路３３，３４は、各ＰＷＭ信号Ａ１，Ａ２と基準信号となる閾値を比較することにより、パルス幅ｔ、パルス周期Ｔのデューティー比ｔ／Ｔを有する制御信号としてのパルス信号Ｐ１，Ｐ２を生成して各電磁弁１１，１２に出力する。
【００２０】
制御回路１０は、このように比較回路３３，３４から出力されるパルス信号Ｐ１，Ｐ２のパルス幅ｔを変更させることで、各電磁弁１１，１２をオン（開弁）／オフ（閉弁）させる周期を変更させるようにしている。すなわち、各電磁弁１１，１２の開閉動作頻度を変化させることにより制御圧力を調整するようになっている。したがって、例えば給気側電磁弁１１について、制御用圧力センサ１５により検出される制御圧力が入力信号に応じた目標値よりも低いときには、パルス信号Ｐ２のデューティー比ｔ／Ｔが大きくなりオン時間が長くなる。そして、制御圧力が次第に入力信号に応じた目標値に近づくにつれてパルス信号Ｐ２のデューティー比ｔ／Ｔが徐々に小さくなりオン時間が短くなる。
【００２１】
また、比較回路３８は、供給用圧力センサ１４の検出圧と制御用圧力センサ１５の検出圧に基づいた補正信号を生成してバイアス回路３６に出力する。このため、バイアス回路３６から出力されるバイアス信号には、比較回路３８から出力される補正信号の成分が含まれる。補正信号は、比較回路３３，３４から出力されるパルス信号Ｐ１，Ｐ２のパルス幅ｔの補正量を指令するためのもので、制御回路１０は補正信号の補正量が加味されたＰＷＭ信号Ａ１，Ａ２を基に各電磁弁１１，１２を開閉制御する。
【００２２】
具体的に比較回路３８は、制御用圧力センサ１５の検出圧（すなわち、大気との差圧）に応じた第１補正信号を生成してバイアス回路３６に出力する。この第１補正信号の補正量は、比較回路３３を通じて出力されるＰＷＭ信号Ａ１の生成に加味される。また、比較回路３８は、供給用圧力センサ１４の検出圧と制御用圧力センサ１５の検出圧との差圧（以下、「センサ差圧」という）に応じた第２補正信号を生成してバイアス回路３６に出力する。この第２補正信号の補正量は、比較回路３４を通じて出力されるＰＷＭ信号Ａ２の生成に加味される。
【００２３】
この電空レギュレータは、所定の条件で所定の流量の流体が給気側電磁弁１１及び排気側電磁弁１２でバランスよく流れるようにする初期設定が工場からの出荷前に行われるようになっている。所定の条件として、所定の供給圧力、所定のデューティー比ｔ／Ｔの条件で流量の調整が行われる。
【００２４】
このような初期設定として、例えば各電磁弁１１，１２をオンするパルス幅ｔの調整が行われるようになっている。したがって、例えば各電磁弁１１，１２について、共に所定のデューティー比ｔ／Ｔでの制御時をオンする基準に設定するときには、各電磁弁１１，１２が実際にオンするデューティー比ｔ／Ｔの差分だけずらすようにパルス幅ｔを大きく又は小さく調整されるようにしている。
【００２５】
このため、各補正信号は、上記初期設定を基準として供給用圧力センサ１４の検出圧及び制御用圧力センサ１５の検出圧に基づきさらに補正するパルス幅ｔの補正量を指令する。この補正量は、上記初期設定により設定される流体の所定の流量に基づく所定のセンサ差圧、所定の制御圧力に相当する調整値を基準に定められている。
【００２６】
制御回路１０は、パルス信号Ｐ１，Ｐ２のパルス幅ｔを補正することで、供給圧力及び制御圧力の変化に応じて各電磁弁１１，１２をオン／オフさせる周期を補正するようにしている。すなわち、各電磁弁１１，１２の開閉動作頻度を補正することにより、上記初期設定とは異なる条件でも上記初期設定で設定したように所定の流量の流体が給気側電磁弁１１及び排気側電磁弁１２でバランスよく流れるように各電磁弁１１，１２の開閉が調整される。
【００２７】
したがって、例えば給気側電磁弁１１については、センサ差圧がセンサ差圧の調整値よりも低いときには、パルス信号Ｐ２のデューティー比ｔ／Ｔが大きくなりオン時間が長くなる。また、給気側電磁弁１１については、センサ差圧がセンサ差圧の調整値よりも高いときには、パルス信号Ｐ２のデューティー比ｔ／Ｔが小さくなりオン時間が短くなる。また、例えば排気側電磁弁１２については、制御用圧力センサ１５の検出圧が制御圧力の調整値よりも低いときには、パルス信号Ｐ１のデューティー比ｔ／Ｔが大きくなりオン時間が長くなる。また、排気側電磁弁１２については、制御用圧力センサ１５の検出圧が制御圧力の調整値よりも高いときには、パルス信号Ｐ１のデューティー比ｔ／Ｔが小さくなりオン時間が短くなる。
【００２８】
次に、こうした本実施形態の電空レギュレータの作用を説明する。
制御回路１０は、制御圧力が大気の状態において入力信号が設定されると、該入力信号と制御用圧力センサ１５の検出圧に応じたフィードバック信号とに基づく偏差が生じるため、給気側電磁弁１１のデューティー比ｔ／Ｔを大きくする。
【００２９】
この制御において、給気側電磁弁１１のデューティー比ｔ／Ｔが大きくされることから、センサ差圧に関係なく給気側電磁弁１１がオンに制御される。
また、制御回路１０は、入力信号と制御用圧力センサ１５の検出圧に応じたフィードバック信号とに基づく偏差が小さくなると、給気側電磁弁１１のデューティー比ｔ／Ｔを徐々に小さくする。
【００３０】
この制御において、給気側電磁弁１１のデューティー比ｔ／Ｔがセンサ差圧に応じて調整されることから、給気側電磁弁１１を通じて導入される流体の流量が安定されるように制御される。そのため、供給ポート１６への供給圧力が変動しても給気側電磁弁１１を通じて導入される流体の流量のばらつきを抑制することができるようになる。
【００３１】
また、制御回路１０は、入力信号と制御用圧力センサ１５の検出圧に応じたフィードバック信号とに基づく偏差がさらに小さくなると、排気側電磁弁１２のデューティー比ｔ／Ｔを徐々に大きくして給気側電磁弁１１を通じてブースタ１３のパイロット室に導入された流体を排出させ、パイロット室の内圧が安定されるように制御する。
【００３２】
この制御において、排気側電磁弁１２のデューティー比ｔ／Ｔが制御用圧力センサ１５の検出圧に応じて調整されることから、排気側電磁弁１２を通じて排出される流体の流量が安定されるように制御される。そのため、排気側電磁弁１２に供給される流体の圧力が変動しても排気側電磁弁１２を通じて排出される流体の流量のばらつきを抑制することができるようなる。したがって、給気側電磁弁１１を通じて導入される流体の流量と排気側電磁弁１２を通じて排出される流体の流量が安定されるように制御され、供給圧力が変動しても給気側電磁弁１１により導入される流体及び排気側電磁弁１２により排出される流体の流量が安定する際の該流量のばらつきを抑制することができるようになる。
【００３３】
以上説明したように本実施形態によれば、以下に示す効果を奏することができる。
（１）供給ポート１６への供給圧力を検出する供給用圧力センサ１４を設けることにより、供給圧力に応じて給気側電磁弁１１の開閉が制御されるようにした。そのため、供給圧力が変動しても給気側電磁弁１１を通じて導入される流体の流量のばらつきを抑制することができる。したがって、入力信号と制御圧力に応じたフィードバック信号との偏差を精度よく小さくする正確な圧力制御をすることができる。
【００３４】
（２）供給ポート１６への供給圧力に応じて給気側電磁弁１１により導入されている流体の流量が調整されるようにすることにより、供給圧力が変動しても給気側電磁弁１１を通じて導入される流体の流量のばらつきを高い精度で抑制することができる。
【００３５】
（３）調整値との比較においてパルス幅ｔを大きく又は小さく補正することにより、パルス幅ｔを変更させることで開閉させる電磁弁を用いた電空レギュレータでの正確な圧力制御をすることができる。
【００３６】
（４）給気側電磁弁１１を通じて導入される流体の流量及び排気側電磁弁１２を通じて排出される流体の流量のそれぞれのばらつきを抑制することで、排気側電磁弁１２に供給される流体の圧力が変動しても排気側電磁弁１２を通じて排出される流体の流量のばらつきを抑制することができる。そのため、供給ポート１６への供給圧力が変動しても給気側電磁弁１１により導入される流体及び排気側電磁弁１２により排出される流体の流量が安定する際の該流量のばらつきを抑制することができる。
【００３７】
（第２の実施形態）
以下、本発明の第２の実施形態を図２に基づき説明する。なお、以下に説明する実施形態では、既に説明した実施形態と同一の構成について同一番号を付すことによりその重複する説明を割愛する。
【００３８】
図２に示すように、この電空レギュレータの本体内には、基板に実装される制御部としての制御回路４０と、第１電磁弁としての給気側電磁比例弁４１及び第２電磁弁としての排気側電磁比例弁４２等が収容されている。各比例弁４１，４２としては、例えばポペット弁構造の電磁比例弁が用いられる。
【００３９】
また、この電空レギュレータには、入力信号及び制御回路４０、給気側電磁比例弁４１、排気側電磁比例弁４２、供給用圧力センサ１４、制御用圧力センサ１５を作動させるための電源電圧が外部から入力される。制御回路４０は入力信号を基に各比例弁４１，４２を開閉制御する。
【００４０】
次に、本実施形態の電空レギュレータの制御回路４０の構成を説明する。
図２に示すように、制御回路４０は、信号生成部となる減算器５０、加算器５１，５２、フィードバック回路６０、偏差増幅回路６１、バイアス回路６２及び反転回路６３と、信号補正部となる比較回路６４とを備えて構成されている。
【００４１】
フィードバック回路６０は、制御用圧力センサ１５の検出圧に応じたフィードバック信号を生成し、減算器５０は、このフィードバック信号を入力信号から減算した偏差信号を偏差増幅回路６１に出力する。偏差増幅回路６１は、この偏差信号として入力される入力電圧と基準電圧となる閾値電圧との電圧差に応じた差動増幅信号を出力する。
【００４２】
加算器５１は、この偏差増幅回路６１から出力される差動増幅信号にバイアス回路６２から出力されるバイアス信号を加算することにより、制御信号Ｓ１を生成して排気側電磁比例弁４２に出力する。一方、加算器５２は、上記差動増幅信号を反転回路６３を通じて反転出力させた信号に加算することにより、制御信号Ｓ２を生成して給気側電磁比例弁４１に出力する。
【００４３】
制御回路４０は、このように入力信号と制御用圧力センサ１５からの検出圧に応じたフィードバック信号との偏差の増幅分に基づき生成した制御信号Ｓ１，Ｓ２によって給気側電磁比例弁４１と排気側電磁比例弁４２の開度を制御する。したがって、例えば給気側電磁比例弁４１について、制御用圧力センサ１５により検出される制御圧力が入力信号に応じた目標値よりも低いときには、偏差増幅回路６１に入力される入力電圧と閾値電圧との電圧差が大きくなり開度が大きくなる。そして、制御圧力が次第に入力信号に応じた目標値に近づくにつれて制御信号Ｓ２の電圧値を徐々に小さくして開度が制御されるようになる。
【００４４】
また、比較回路６４は、供給用圧力センサ１４の検出圧と制御用圧力センサ１５の検出圧に基づいた補正信号をバイアス回路６２に出力する。このため、バイアス回路６２から出力されるバイアス信号には、比較回路６４から出力される補正信号の成分が含まれる。補正信号は、加算器５１，５２から出力される制御信号Ｓ１，Ｓ２の入力電圧の補正量を指令するためのもので、制御回路４０は補正信号の補正量が加味された制御信号Ｓ１，Ｓ２を基に各比例弁４１，４２の開度を制御する。
【００４５】
具体的に比較回路６４は、制御用圧力センサ１５の検出圧に応じた第３補正信号をバイアス回路６２に出力する。この第３補正信号の補正量は、加算器５１を通じて生成される制御信号Ｓ１に加味される。また、比較回路６４は、センサ差圧に応じた第４補正信号をバイアス回路６２に出力する。この第４補正信号の補正量は、加算器５２を通じて生成される制御信号Ｓ２に加味される。
【００４６】
この電空レギュレータは、所定の条件で所定の流量の流体が給気側電磁比例弁４１及び排気側電磁比例弁４２でバランスよく流れるようにする初期設定が工場からの出荷前に行われるようになっている。所定の条件として、所定の供給圧力、所定の入力電圧の条件で流量の調整が行われる。このような初期設定として、例えば各比例弁４１，４２をオンする入力電圧の調整が行われるようになっている。
【００４７】
このため、各補正信号は、上記初期設定を基準として供給用圧力センサ１４の検出圧及び制御用圧力センサ１５の検出圧に基づきさらに補正する入力電圧の補正量を指令する。
制御回路４０は、制御信号Ｓ１，Ｓ２の入力電圧を補正することで、供給圧力及び制御圧力の変化に応じて各比例弁４１，４２の開度を補正するようにしている。すなわち、各比例弁４１，４２の開度を補正することにより、上記初期設定とは異なる条件でも上記初期設定で設定したように所定の流量の流体が給気側電磁比例弁４１及び排気側電磁比例弁４２でバランスよく流れるように各比例弁４１，４２の開度を調整するようになっている。
【００４８】
したがって、例えば給気側電磁比例弁４１については、センサ差圧がセンサ差圧の調整値よりも低いときには、制御信号Ｓ２の入力電圧が大きくなり開度が大きくなる。また、給気側電磁比例弁４１については、センサ差圧がセンサ差圧の調整値よりも高いときには、制御信号Ｓ２の入力電圧が小さくなり開度が小さくなる。また、例えば排気側電磁比例弁４２については、制御用圧力センサ１５の検出圧が制御圧力の調整値よりも低いときには、制御信号Ｓ１の入力電圧が大きくなり開度が大きくなる。また、排気側電磁比例弁４２については、制御用圧力センサ１５の検出圧が制御圧力の調整値よりも高いときには、制御信号Ｓ１の入力電圧が小さくなり開度が小さくなる。
【００４９】
次に、こうした本実施形態の電空レギュレータの作用を説明する。
制御回路４０は、制御圧力が大気の状態において入力信号が設定されると、該入力信号と制御用圧力センサ１５の検出圧に応じたフィードバック信号とに基づく偏差が生じるため、給気側電磁比例弁４１の入力電圧を大きくする。
【００５０】
この制御において、給気側電磁比例弁４１の入力電圧が大きくされることから、センサ差圧に関係なく給気側電磁比例弁４１の開度が制御される。
また、制御回路４０は、入力信号と制御用圧力センサ１５の検出圧に応じたフィードバック信号とに基づく偏差が小さくなると、給気側電磁比例弁４１の入力電圧を徐々に小さくする。
【００５１】
この制御において、給気側電磁比例弁４１の入力電圧がセンサ差圧に応じて調整されることから、給気側電磁比例弁４１を通じて導入される流体の流量が安定されるように制御される。そのため、供給ポート１６への供給圧力が変動しても給気側電磁比例弁４１を通じて導入される流体の流量のばらつきを抑制することができるようになる。
【００５２】
また、制御回路４０は、入力信号と制御用圧力センサ１５の検出圧に応じた目標値とに基づく偏差がさらに小さくなると、排気側電磁比例弁４２の入力電圧を徐々に大きくして給気側電磁比例弁４１を通じてブースタ１３のパイロット室に導入された流体を排出させ、パイロット室の内圧が安定されるように制御する。
【００５３】
この制御において、排気側電磁比例弁４２の入力電圧が制御用圧力センサ１５の検出圧に応じて調整されることから、排気側電磁比例弁４２を通じて排出される流体の流量が安定されるように制御される。そのため、排気側電磁比例弁４２に供給される流体の圧力が変動しても排気側電磁比例弁４２を通じて排出される流体の流量のばらつきを抑制することができるようなる。したがって、給気側電磁比例弁４１を通じて導入される流体の流量と排気側電磁比例弁４２を通じて排出される流体の流量が安定されるように制御され、供給圧力が変動しても給気側電磁比例弁４１により導入される流体及び排気側電磁比例弁４２により排出される流体の流量が安定する際の該流量のばらつきを抑制することができるようになる。
【００５４】
以上説明したように本実施形態によれば、以下に示す効果を得ることができる。
（５）供給ポート１６への供給圧力を検出する供給用圧力センサ１４を設けることにより、供給圧力に応じて給気側電磁比例弁４１の開度が制御されるようにした。そのため、供給圧力が変動しても給気側電磁比例弁４１を通じて導入される流体の流量のばらつきを抑制することができる。したがって、入力信号と制御圧力に応じたフィードバック信号との偏差を精度よく小さくする正確な圧力制御をすることができる。
【００５５】
（６）供給ポート１６への供給圧力に応じて給気側電磁比例弁４１により導入されている流体の流量が調整されるようにすることにより、供給圧力が変動しても給気側電磁比例弁４１を通じて導入される流体の流量のばらつきを高い精度で抑制することができる。
【００５６】
（７）調整値との比較において入力電圧を大きく又は小さく補正することにより、入力電圧を変更させることで開閉させる電磁比例弁を用いた電空レギュレータでの正確な圧力制御をすることができる。
【００５７】
（８）給気側電磁比例弁４１を通じて導入される流体の流量及び排気側電磁弁１２を通じて排出される流体の流量のそれぞれのばらつきを抑制することで、排気側電磁比例弁４２に供給される流体の圧力が変動しても排気側電磁比例弁４２を通じて排出される流体の流量のばらつきを抑制することができる。そのため、供給ポート１６への供給圧力が変動しても給気側電磁比例弁４１により導入される流体及び排気側電磁比例弁４２により排出される流体の流量が安定する際の該流量のばらつきを抑制することができる。
【００５８】
なお、上述した各実施形態は、これを適宜変更した以下の形態にて実施することもできる。
・給気側電磁弁１１や給気側電磁比例弁４１に関してのみ制御信号の補正が行われるようにしてもよい。
【００５９】
・給気側電磁弁１１や給気側電磁比例弁４１の補正に関しては、センサ差圧に応じて補正するようにしたが、供給用圧力センサ１４の検出圧にのみ基づき補正することもできる。すなわち、供給圧力に応じた補正量を予め定めて補正することにより、該補正しない場合に比べて正確な圧力制御を行うことができる。
【００６０】
・排出ポート１７は、大気に開放されるようにしたが、例えば真空に開放されるようにしてもよい。この場合には、排出ポート１７の開放先に圧力センサを設けて該圧力センサの検出圧と制御用圧力センサ１５の検出圧との差圧に基づき、排気側電磁弁１２や排気側電磁比例弁４２に対しての制御信号の補正が行われるようにしてもよい。
【００６１】
・第２の実施形態の各比例弁４１，４２の開度を制御する制御回路４０は、パルス信号を出力するＰＷＭ回路と、該パルス信号を平滑化して出力するコンデンサとにより構成してもよい。
【００６２】
・制御圧力を検出する制御用圧力センサ１５の代わりに出力ポート１８から排出される圧縮エアの流量を検出する流量センサを備え、該流量センサの検出結果に基づき流量を制御するようにしてもよい。
【００６３】
・供給用圧力センサ１４及び制御用圧力センサ１５の検出圧に基づき制御信号を補正する機能をマイコン制御により実現してもよい。すなわち、補正信号で指令する補正量を予めＲＯＭ等に記憶しておき、この補正量を供給用圧力センサ１４及び制御用圧力センサ１５の検出圧に応じて切り替える構成としてもよい。また、この場合には、入力信号とフィードバック信号との偏差に基づき各電磁弁１１，１２や各比例弁４１，４２の開閉を制御する機能をマイコン制御により実現してもよい。これにより制御回路１０，４０の構成を簡素化することができる。
【００６４】
・各実施形態は、ブースタ１３を用いない電空レギュレータに適用することもできる。
・流体としては、エアに限らず圧縮された流体であれば他の流体でもよい。
次に、上記実施形態及び別例（変形例）から把握できる技術的思想について以下に追記する。
【００６５】
（イ）供給ポートから供給される所定圧力の流体を導入する第１電磁比例弁と、前記第１電磁比例弁を介して導入される前記流体を排出ポートから排出する第２電磁比例弁と、前記供給ポートから供給される前記流体の供給圧力を検出する第１圧力センサと、前記第１電磁比例弁と前記第２電磁比例弁との開度に基づき出力ポートから出力される前記流体の制御圧力を検出する第２圧力センサと、入力信号と前記第２圧力センサの検出圧に応じたフィードバック信号との偏差に基づき制御信号を生成する信号生成部と、前記第１圧力センサの検出圧に基づき前記制御信号を補正する補正信号を生成する信号補正部と、前記補正信号により補正された制御信号に基づき前記流体の制御圧力を前記入力信号に応じた圧力とするように前記第１電磁比例弁と前記第２電磁比例弁との開度を制御する制御部と、を有することを特徴とする電空レギュレータ。
【符号の説明】
【００６６】
１０…制御回路、１１…給気側電磁弁、１２…排気側電磁弁、１４…供給用圧力センサ、１５…制御用圧力センサ、１６…供給ポート、１７…排出ポート、１８…出力ポート。
【図１】
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【図２】
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