(57)【要約】【課題】素子が作りこまれたウエハから、素子に損傷を加えることなく取外すことができるピックアップ装置およびピックアップ方法を提供すること。【解決手段】本発明のピックアップ装置は、ウエハ４００に作り込まれた振動素子（素子）３００をピックアップして搭載基板上に搭載するものであり、振動素子３００の下側（一方の面側）から、振動素子３００にガスを吹付ける吹付けノズル５１０を備える吹き付け部と、振動素子３００の上側（他方の面側）から、振動素子３００を吸着する吸着ノズル５２０を備える吸着部と、を有し、前記吸着部は、ウエハ４００から取外された振動素子３００をピックアップする。【選択図】図７
2014107529.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウエハに作り込まれた素子をピックアップして搭載基板上に搭載するピックアップ装置であって、
前記素子の一方の面側から、前記素子にガスを吹付ける吹付けノズルを備える吹き付け部と、
前記素子の他方の面側から、前記素子を吸着する吸着ノズルを備える吸着部と、を有し、
前記吸着部は、前記ウエハから取外された前記素子をピックアップすることを特徴とするピックアップ装置。
【請求項２】
前記吸着ノズルは、ピックアップした前記素子を、前記搭載基板上に搭載するよう構成されている請求項１に記載のピックアップ装置。
【請求項３】
前記ウエハは、開口部を備える枠体を有し、前記素子は、前記開口部内で連結部を介して前記枠体に片持ち支持されている請求項１または２に記載のピックアップ装置。
【請求項４】
開口部を有するステージを備え、前記ウエハは、前記開口部を介して前記一方の面側の前記吹付けノズルを臨むように前記ステージ上に配置される請求項１ないし３のいずれか１項に記載のピックアップ装置。
【請求項５】
前記吹付けノズルにガスを供給するガス供給手段を有する請求項１ないし４のいずれか１項に記載のピックアップ装置。
【請求項６】
前記吸着ノズルからガスを吸引するガス吸引手段を有する請求項１ないし５のいずれか１項に記載のピックアップ装置。
【請求項７】
前記吹付けノズルは、その先端および基端の双方で開口する貫通孔を複数備える請求項１ないし６のいずれか１項に記載のピックアップ装置。
【請求項８】
前記吸着ノズルと前記ウエハとの離間距離は、２５０μｍ以上、３００μｍ以下に設定される請求項１ないし７のいずれか１項に記載のピックアップ装置。
【請求項９】
ウエハに作り込まれた素子をピックアップして搭載基板上に搭載するピックアップ方法であって、
前記素子の一方の面側から、吹付けノズルを用いて前記素子にガスを吹付ける工程と、
前記素子を、前記素子の他方の面側から、吸着ノズルを用いて吸着する工程と、
前記吸着ノズルでピックアップし、前記搭載基板上に搭載する工程とを有することを特徴とするピックアップ方法。
【請求項１０】
前記ガスを吹付ける工程と、
前記吸着する工程と、を同一工程で実施し、
前記同一工程内で前記ウエハから前記素子を切り離し、
切り離された前記素子を前記吸着ノズルでピックアップし、
ピックアップされた前記素子を前記搭載基板上に搭載することを特徴とする請求項９に記載のピックアップ方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ピックアップ装置およびピックアップ方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
複数の素子が作り込まれたウエハから素子を取外して複数の素子を得ることで素子の生産効率を向上させることが提案されている（例えば、特許文献１参照。）。
この素子は、ピックアップされた後、搭載基板上に搭載されるが、この素子の搭載方法として、例えば、図１２に示すような取外し装置９００を用いた方法が知られている。
すなわち、まず、取外し装置９００が有する基板９１０上に、複数の素子９４１が作り込まれたウエハ９４０を配置する。なお、このウエハ９４０は、複数の素子９４１と、枠体９４２とを有しており、各素子９４１は、連結部（図示せず）を介して、枠体９４２に片持ち支持されている。また、基板９１０は、その中央部に開口部（図示せず）を備え、この開口部の縁部と、基板９１０の縁部とが当接するように、基板９１０上にウエハ９４０が配置されている。
【０００３】
次に、押当てピン９２０の先端９２１を、ウエハ９４０に作り込まれている素子９４１のうちの１つに、その上側から押当てる。そして、素子９４１が連結部において枠体９４２から折り取られるまで、押当てピン９２０を上側から下側に向かって押し込む。
これにより、基板９１０が有する開口部を介して、基板９１０の下側に、折り取られた素子９４１が落下する。
【０００４】
この際、基板９１０の下側には、ウエハ９４０が有する素子９４１に対応するように形成された凹部９３１を備えるトレイ９３０が配置されている。そのため、かかる凹部９３１内に素子９４１が収納される。
上記のような押当てピン９２０による素子９４１に対する押当てを、各素子９４１に対して行うことで、複数の素子９４１が、各凹部９３１に対応して１個ずつ収納される。
次に、吸着口を備えるピックアップノズル（図示せず）を用いて、凹部９３１内に収納された素子９４１を、吸着口に吸着させることで取外した後、搭載基板上に搭載する。
【０００５】
以上のような工程を経ることで、素子９４１が搭載基板上に搭載される。
しかしながら、このような取外し装置９００を用いた、ウエハ９４０からの素子９４１の取外しでは、押当てピン９２０を、素子９４１の上面に直接押当てることで、素子９４１が取外されることに起因して、例えば、押当てピン９２０が押し当てられる素子９４１の上面に傷が生じ、さらに、枠体９４２に素子９４１を連結する連結部が素子９４１側に残存したり、素子９４１の連結部が接続されている側の縁部が破損するという問題がある。
すなわち、ウエハ９４０からの素子９４１の取外しの際に、素子９４１が損傷してしまうと言う問題が生じる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００７−１３５１３２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の目的は、素子が作りこまれたウエハから、素子に損傷を加えることなく取外すことができるピックアップ装置およびピックアップ方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
このような目的は、下記の本発明により達成される。
［適用例１］
本発明のピックアップ装置は、ウエハに作り込まれた素子をピックアップして搭載基板上に搭載するものであり、
前記素子の一方の面側から、前記素子にガスを吹付ける吹付けノズルを備える吹き付け部と、
前記素子の他方の面側から、前記素子を吸着する吸着ノズルを備える吸着部と、を有し、
前記吸着部は、前記ウエハから取外された前記素子をピックアップすることを特徴とする。
これにより、素子が作りこまれたウエハから、素子に損傷を加えることなく取外すことができる。
【０００９】
［適用例２］
本発明のピックアップ装置では、前記吸着ノズルは、ピックアップした前記素子を、前記搭載基板上に搭載するよう構成されていることが好ましい。
かかる構成とすることで、前述した従来の取外し装置を用いた搭載方法のように、トレイに収納された素子を吸着ノズルで吸着する必要がないため、吸着ノズルによる素子のピックアップ位置精度、ひいては搭載基板に対する素子のアライメント精度を向上させることができる。
【００１０】
［適用例３］
本発明のピックアップ装置では、前記ウエハは、開口部を備える枠体を有し、前記素子は、前記開口部内で連結部を介して前記枠体に片持ち支持されていることが好ましい。
これにより、素子の外形形状をより確実に維持した状態で素子を取外すことができる。
［適用例４］
本発明のピックアップ装置では、開口部を有するステージを備え、前記ウエハは、前記開口部を介して前記一方の面側の前記吹付けノズルを臨むように前記ステージ上に配置されることが好ましい。
これにより、開口部を介した、吹付けノズルおよび吸着ノズルを用いた素子の取外しが可能となる。
【００１１】
［適用例５］
本発明のピックアップ装置は、前記吹付けノズルにガスを供給するガス供給手段を有することが好ましい。
これにより、吹付けノズルからガスを噴出させることができる。
［適用例６］
本発明のピックアップ装置は、前記吸着ノズルからガスを吸引するガス吸引手段を有することが好ましい。
これにより、吸着ノズルからガスが吸引させることができる。
【００１２】
［適用例７］
本発明のピックアップ装置では、前記吹付けノズルは、その先端および基端の双方で開口する貫通孔を複数備えることが好ましい。
このように、貫通孔を複数備える構成とし、その形成位置を、素子の形状に応じて適宜設定することで、素子の外形形状をより確実に維持した状態で素子を取外すことができる。
【００１３】
［適用例８］
本発明のピックアップ装置では、前記吸着ノズルと前記ウエハとの離間距離は、２５０μｍ以上、３００μｍ以下に設定されることが好ましい。
これにより、吸着ノズルの吸引により、素子を吸着ノズルに確実に吸着させることができる。
【００１４】
［適用例９］
本発明のピックアップ方法は、ウエハに作り込まれた素子をピックアップして搭載基板上に搭載する方法であり、
前記素子の一方の面側から、吹付けノズルを用いて前記素子にガスを吹付ける工程と、
前記素子を、前記素子の他方の面側から、吸着ノズルを用いて吸着する工程と、
前記吸着ノズルでピックアップし、前記搭載基板上に搭載する工程とを有することを特徴とする。
これにより、素子が作りこまれたウエハから、素子に損傷を加えることなく素子を取外すことができ、そして、この取外された素子を、吸着ノズルでピックアップした状態で、直接、搭載基板上に搭載することができる。
【００１５】
［適用例１０］
本発明のピックアップ方法は、前記ガスを吹付ける工程と、
前記吸着する工程と、を同一工程で実施し、
前記同一工程内で前記ウエハから前記素子を切り離し、
切り離された前記素子を前記吸着ノズルでピックアップし、
ピックアップされた前記素子を前記搭載基板上に搭載することが好ましい。
これにより、素子が作りこまれたウエハから、素子に損傷を加えることなく素子を取外すことができ、そして、この取外された素子を、吸着ノズルでピックアップした状態で、直接、搭載基板上に搭載することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明のピックアップ方法を適用して製造される電子デバイスの一例を示す平面図である。
【図２】図１中のＡ−Ａ線断面図である。
【図３】図１に示す電子デバイスが有する振動素子の平面図である。
【図４】図１に示す電子デバイスの他の構成例を示す断面図である。
【図５】本発明のピックアップ方法が適用される、振動素子が作り込まれたウエハの一例を示す平面図である。
【図６】本発明のピックアップ装置の好適な実施形態を示す斜視図である。
【図７】図６に示すピックアップ装置が備えるステージ上に図５に示すウエハを配置した状態を示す斜視図である。
【図８】図６に示すピックアップ装置を用いて図５に示すウエハから振動素子を取外す方法を説明するための断面図である。
【図９】電子デバイスを備える電子機器を適用したモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピューターの構成を示す斜視図である。
【図１０】電子デバイスを備える電子機器を適用した携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図である。
【図１１】電子デバイスを備える電子機器を適用したディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図である。
【図１２】素子が作り込まれたウエハから素子を取外す際に用いられる従来の取外し装置の一例を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明のピックアップ装置およびピックアップ方法を、添付図面に示す好適実施形態に基づいて詳細に説明する。
＜電子デバイス＞
まず、本発明のピックアップ装置およびピックアップ方法を説明するのに先立って、本発明のピックアップ方法を適用して製造された電子デバイスについて説明する。
【００１８】
図１は、本発明のピックアップ方法を適用して製造された電子デバイスの一例を示す平面図、図２は、図１中のＡ−Ａ線断面図、図３は、図１に示す電子デバイスが有する振動素子の平面図（図３（ａ）は、振動素子を上方から見た平面図、図３（ｂ）は、振動素子を上方から見た透過図（平面図））、図４は、図１に示す電子デバイスの他の構成例を示す断面図である。なお、以下では、説明の都合上、図２、図４の上側を「上」、下側を「下」として説明する。
図１および図２に示すように、電子デバイス１００は、パッケージ２００と、パッケージ２００内の収納空間Ｓに収納された電子部品としての振動素子３００とを有している。
【００１９】
＜＜振動素子＞＞
振動素子３００は、図３（ａ）、（ｂ）に示すように、平面視形状が長方形（矩形）の板状（矩形状）をなす圧電基板３１０と、圧電基板３１０の上面（一方の面）および下面（他方の面）の表面にそれぞれ形成された一対の励振電極３２０、３３０とを有している。
圧電基板３１０は、主として厚み滑り振動をする水晶素板である。
【００２０】
本実施形態では、その全体形状が長方形の平板状をなす、圧電基板３１０としてＡＴカットと呼ばれるカット角で切り出された水晶素板を用いている。
なお、ＡＴカットとは、水晶の結晶軸であるＸ軸とＺ軸とを含む平面（Ｙ面）をＸ軸回りにＺ軸から反時計方向に約３５度１５分程度回転させて得られる主面（Ｘ軸とＺ’軸（Ｚ軸を前記角度分回転させた軸）とを含む主面；Ｙ’面）を有するように切り出すことを言う。
【００２１】
このような構成の圧電基板３１０は、その長手方向が水晶の結晶軸であるＸ軸と一致する。
励振電極３２０は、圧電基板３１０の上面に形成された電極部（励振電極部）３２１と、圧電基板３１０の下面に形成されたボンディングパッド（引き出し電極部）３２２と、電極部３２１およびボンディングパッド３２２を電気的に接続する配線（接続部）３２３とを有している。
【００２２】
一方、励振電極３３０は、圧電基板３１０の下面に形成された電極部（励振電極部）３３１と、圧電基板３１０の下面に形成されたボンディングパッド（引き出し電極部）３３２と、電極部３３１およびボンディングパッド３３２を電気的に接続する配線（接続部）３３３とを有している。
電極部３２１、３３１は、圧電基板３１０の上下面上にそれぞれ圧電基板３１０を介して対向するように設けられ、互いにほぼ同じ形状の長方形状をなしている。すなわち、圧電基板３１０の平面視にて、電極部３２１、３３１は、互いに重なるように圧電基板３１０の縁部を除くほぼ中央部に位置し、輪郭が一致するように長方形状に形成されている。
【００２３】
また、ボンディングパッド３２２、３３２は、本実施形態では、圧電基板３１０の下面の図３中右側の端部（縁部）、すなわち、長方形状をなす圧電基板３１０の下面における１辺側に離間して形成されている。
さらに、配線（接続部）３２３、３３３は、それぞれ、導電性の材料で構成され、電極部３２１、３３１とボンディングパッド３２２、３３２とを接続するように設けられ、これにより、これら同士を電気的に接続する。
このような振動素子３００は、ボンディングパッド３２２、３３２において一対の導電性接着剤２９１、２９２を介してパッケージ２００に固定されている。
【００２４】
以上、振動素子（素子）３００について説明したが、振動素子３００の構成としては、これに限定されず、例えば、電極部３２１、３３１が形成されている電極形成領域に位置する圧電基板３１０の厚さが厚くなっているメサ型ものや、前記電極形成領域に位置する圧電基板３１０の厚さが薄くなっている逆メサ型のものの他、基部から複数の振動腕が延出した形状の振動子（例えば、音叉型振動子）、ジャイロセンサー等であってもよい。
【００２５】
＜＜パッケージ＞＞
パッケージ２００は、図１および図２に示すように、全体形状が板状をなすベース基板２１０と、下側に開放する凹部２２１を有するキャップ状をなすリッド（蓋部）２２０とを有している。
このようなパッケージ２００では、リッド２２０の凹部２２１の開口がベース基板２１０で塞がれ、これにより、その内部に収納空間Ｓが形成されている。なお、リッド２２０とベース基板２１０とは、メタライズ層２１９を介して接合されている。
【００２６】
ベース基板２１０は、例えば、酸化物系セラミックス、窒化物系セラミックス、炭化物系セラミックス等の前述したような各種セラミックスで構成され、これらの中でも、特に、アルミナで構成されているのが好ましい。
また、リッド２２０の構成材料としては、特に限定されないが、ベース基板２１０の構成材料と線膨張係数が近似するものであるのが好ましく、具体的には、ベース基板２１０の構成材料として前述のような各種セラミックスを用いた場合には、例えば、コバール等の合金が好ましく用いられる。
【００２７】
ベース基板２１０の上面（収納空間Ｓに臨む面）には、振動素子３００が有するボンディングパッド３２２、３３２に対応するように一対の接続電極２４１、２４２が間隔をおいて形成されている。
また、ベース基板２１０の下面には、接続電極２４１、２４２をそれぞれパッケージ２００の外側へ電気的に引き出すための一対の実装電極２５１、２５２が形成されている。すなわち、接続電極２４１、２４２に対応するように、ベース基板２１０の下面に、一対の実装電極２５１、２５２が間隔をおいて形成されている。
【００２８】
さらに、ベース基板２１０には、ベース基板２１０の厚さ方向に貫通する貫通孔２１および貫通孔２１２が形成され、これら貫通孔２１１および貫通孔２１２内に、それぞれ対応して、接続電極２４１と実装電極２５１とを接続する貫通電極２６１および接続電極２４２と実装電極２５２とを接続する貫通電極２６２が形成されている。
なお、接続電極２４１、２４２および実装電極２５１、２５２は、それぞれ、例えば、スパッタリング、蒸着のような気相成膜法や、電解めっき処理、無電解めっき処理のような液相成膜法を用いてベース基板２１０の上面および下面に形成された金属膜を、フォトリソグラフィ技法およびエッチング技法を用いてパターニングすることで形成される。
【００２９】
また、これら貫通電極２６１、２６２は、例えば、それぞれ、ベース基板２１０を厚さ方向に貫通する貫通孔２１１、２１２内に、金属材料を充填することにより形成される。
収納空間Ｓに収納された振動素子３００は、ボンディングパッド３２２、３３２において、それぞれ、一対の導電性接着剤２９１、２９２を介してベース基板２１０に片持ち支持されている。
【００３０】
導電性接着剤２９１は、接続電極２４１とボンディングパッド３２２とに接触して設けられており、これにより、導電性接着剤２９１を介して接続電極２４１とボンディングパッド３２２とが電気的に接続されている。さらに、導電性接着剤２９２は、接続電極２４２とボンディングパッド３３２とに接触して設けられており、これにより、導電性接着剤２９２を介して接続電極２４２とボンディングパッド３３２とが電気的に接続されている。
導電性接着剤２９１、２９２としては、振動素子３００をベース基板２１０に固定でき、かつ導電性を有するものであれば、特に限定されないが、例えば、導電性接着剤や、銀ペーストが挙げられる。
【００３１】
以上、電子デバイス１００について説明した。
なお、電子デバイス１００の構成については、これに限定されず、例えば、図４に示すように、ベース基板２１０が上面に開放する凹部を有するキャビティ型をなし、さらにリッド２２０が板状をなし、リッド２２０がベース基板２１０の凹部開口を覆うように、ベース基板２１０の上面（開口端面）に接合されているパッケージ２００であってもよい。
なお、かかる構成のパッケージ２００では、ベース基板２１０は、貫通孔２１１、２１２を備える板状の底部２１８と、底部２１８の周囲（縁部）から立設する枠状の側壁２１７とを有する有底枠状をなしており、底部２１８に、接続電極２４１、２４２、実装電極２５１、２５２および貫通電極２６１、２６２が形成されている。
【００３２】
以上のような構成の電子デバイス１００における、振動素子３００のピックアップおよびパッケージ２００への搭載に、ピックアップ装置（本発明のピックアップ装置）を用いた本発明のピックアップ方法が適用される。
本発明のピックアップ方法では、振動素子３００のピックアップは、複数の振動素子（素子）３００が作り込まれたウエハ４００から振動素子３００を取外しつつ行われるが、以下では、まず、本発明のピックアップ方法を説明するのに先立って、このウエハ４００について説明する。
【００３３】
＜ウエハ＞
図５は、本発明のピックアップ方法が適用される、振動素子が作り込まれたウエハの一例を示す平面図である。
ウエハ４００は、複数の振動素子３００と、枠体４１０と、連結部（接続部）４２０とを有している。
【００３４】
枠体４１０は、本実施形態では、その平面視形状が矩形状（長方形状）をなし、その厚さ方向に貫通するように設けられた開口部４３０を備えており、この開口部４３０が格子状をなすように縦・横にそれぞれ５個ずつ設けられている。すなわち、複数の開口部４３０が格子状をなすように設けられている。
また、振動素子３００は、前述したような構成をなすものであり、ウエハ４００では、各開口部４３０に対応してそれぞれ１個ずつ、開口部４３０内に配置されている。
【００３５】
連結部（連結指）４２０は、ウエハ４００の厚さ方向と直交する方向に開口部４３０の１辺（図５では開口部４３０の右側の辺）から突出するように設けられており、この連結部４２０を介して、振動素子３００が開口部４３０内に、枠体４１０により片持ち支持されている。
この連結部４２０の厚さは、圧電基板３１０の厚さとほぼ同一であってもよいが、圧電基板３１０の厚さより薄くなっているのが好ましい。これにより、後述するピックアップ方法において、連結部４２０において破断して、振動素子３００をウエハ４００から容易に取外すことができるようになる。
なお、かかる構成のウエハ４００は、例えば、平板状をなす水晶素板を用意し、この水晶素板を、エッチングしてパターニングすることで、圧電基板３１０、枠体４１０および連結部４２０を形成した後、この圧電基板３１０上に、励振電極３２０、３３０を形成することにより得ることができる。
【００３６】
また、励振電極３２０、３３０を構成する各部は、それぞれ、例えば、圧電基板３１０上に蒸着やスパッタリングによってニッケル（Ｎｉ）またはクロム（Ｃｒ）の下地層を成膜した後、下地層の上に蒸着やスパッタリングによって金（Ａｕ）の電極層を成膜し、その後フォトリソグラフィおよび各種エッチング技術を用いて、所望の形状にパターニングすることにより形成される。このように下地層を形成する構成とすることにより、圧電基板３１０と前記電極層との接着性が向上し、その結果、信頼性の高い振動素子３００を備えるウエハ４００が得られる。
なお、励振電極３２０、３３０の構成としては、上記の構成に限定されず、例えば、下地層を省略してもよいし、その構成材料を他の導電性を有する材料（例えば、銀（Ａｇ）、銅（Ｃｕ）、タングステン（Ｗ）、モリブテン（Ｍｏ）等の各種金属材料）としてもよい。
【００３７】
＜ピックアップ装置＞
次に、上述したウエハ４００から振動素子（素子）３００を取外すために用いられるピックアップ装置５００、すなわち振動素子（素子）３００を取外す本発明のピックアップ方法に用いられるピックアップ装置（本発明のピックアップ装置）５００について説明する。
【００３８】
図６は、本発明のピックアップ装置の好適な実施形態を示す斜視図（一部ブロック図を含む）、図７は、図６に示すピックアップ装置が備えるステージ上に図５に示すウエハを配置した状態を示す斜視図である。なお、以下の説明では、図６、７中の左右方向を「水平方向」または「Ｘ軸方向」、図６、７の紙面斜め前後方向を「水平方向」または「Ｙ軸方向」、図６、７の上下方向を「垂直方向」または「Ｚ軸方向」と言う。また、図６、７中の上方を「上」、下方を「下」という。
【００３９】
本発明のピックアップ装置は、ウエハに作り込まれた振動素子（素子）をピックアップしてベース基板（搭載基板）上に搭載するものであり、振動素子の一方の面側から、振動素子にガスを吹付ける吹付けノズルを備える吹き付け部と、振動素子の他方の面側から、振動素子を吸着する吸着ノズルを備える吸着部と、を有し、前記吸着部は、前記ウエハから取外された前記素子をピックアップすることを特徴とする。
【００４０】
かかるピックアップ装置を用いることにより、振動素子が作りこまれたウエハから、振動素子に損傷を加えることなくこの振動素子を取外すことができる。
このピックアップ装置５００は、図６に示すように、ピックアップ装置本体５５０と、ウエハ４００が配置（載置）されるステージ５６０とを備えている。
ピックアップ装置本体５５０は、ステージ５６０の下側（一方の面側）に設けられた吹付けノズル５１０と、吹付けノズル５１０にガスＧ１を供給するガス供給手段５１１とを備える吹き付け部、および、ステージ５６０の上側（他方の面側）に設けられた吸着ノズル５２０と、吸着ノズル５２０からガスＧ２を吸引するガス吸引手段５２１とを備える吸着部を有している。
【００４１】
また、ピックアップ装置本体５５０は、吹付けノズル５１０および吸着ノズル５２０を、それぞれ独立して、Ｘ、Ｙ、Ｚ軸方向に移動させるノズル移動手段（図示せず）と、ピックアップ装置本体５５０の各部の作動を制御する制御手段５４０とを有している。
以下、ピックアップ装置本体５５０の各部の構成について説明する。
吹付けノズル５１０は、その全体形状が四角柱状をなし、その上下方向に貫通する２つの貫通孔５１７、５１８を有しており、各貫通孔５１７、５１８は、それぞれ、その下側で開口するガス導入口５４７、５４８と、上側で開口するガス吹出口５３７、５３８とを備えている。
【００４２】
この吹付けノズル５１０では、ガスＧ１は、ガス導入口５４７、５４８に、それぞれ、供給されると、貫通孔５１７、５１８を介して、ガス吹出口５３７、５３８から放出（噴出）される。このガスＧ１が後述するピックアップ方法において、振動素子３００に吹付けられる。
吹付けノズル５１０の構成材料としては、特に限定されないが、例えば、銅、アルミニウム、鉄、銀等のような金属単体、ステンレス鋼、真鍮、アルミニウム合金のような各種合金、ポリテトラフルオロエチレン、ポリエチレンテレフタレートのような樹脂材料、石英ガラスのような各種ガラス、および、Ａｌ２Ｏ３、ＳｉＯ２、ＺｒＯ２、ＴｉＯ２のような無機酸化物等が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００４３】
吹付けノズル５１０に供給されるガスＧ１としては、特に限定されず、例えば、大気ガス、窒素ガス、酸素ガス、アルゴンガス、ヘリウムガス等が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合せて用いることができる。
また、このガスＧ１は、ガス供給手段５１１により、ガス導入口５４７、５４８に供給される。
【００４４】
ガス供給手段５１１は、ガス用ボンベ（ガス供給源）５１２と、一端がガス導入口５４７、５４８に接続し、他端がガス用ボンベ５１２に接続されたガス供給管（配管）５３２と、ガス供給管５３２の途中に接続され、ガス用ボンベ５１２から供給されるガスＧ１の流量を調整するマスフローコントローラ５１４、およびガス供給管５３２内の流路を開閉するバルブ５１３とを有している。
なお、マスフローコントローラ５１４は、バルブ５１３よりガス導入口５４７、５４８（下流側）に配置されている。本実施形態では、このようなガス供給手段５１１において、マスフローコントローラ５１４およびバルブ５１３によりガスＧ１の流量を調整するガス流量調整手段が構成される。
【００４５】
ここで、バルブ５１３が開いた状態では、ガス用ボンベ５１２からガスＧ１が送出され、マスフローコントローラ５１４で流量を調節された後、ガス導入口５４７、５４８（吹付けノズル５１０）に供給される。
このようなガス供給手段５１１では、バルブ５１３およびマスフローコントローラ５１４の作動、すなわちガス流量調整手段の作動が後述する制御手段５４０により制御されており、バルブ５１３およびマスフローコントローラ５１４の作動により、ガス導入口５４７、５４８（吹付けノズル５１０）にガスＧ１が供給され、その結果、ガス吹出口５３７、５３８（吹付けノズル５１０）からガスＧ１が放出（噴出）される。
【００４６】
吸着ノズル５２０は、吹付けノズル５１０と同様に、その全体形状が四角柱状をなし、その上下方向に貫通する１つの貫通孔５２５を有しており、貫通孔５２５は、その上側で開口するガス導出口５４５と、下側で開口するガス吸引口５３５とを備えている。
この吸着ノズル５２０では、ガス吸引手段５２１により、ガス導出口５４５で吸引されるため、結果的に、ガスＧ２が貫通孔５２５を介して、ガス吸引口５３５から吸引される。このＧ２の吸引により、後述するピックアップ方法において、振動素子３００が吸着ノズル５２０に吸着される。
この吸着ノズル５２０は、そのＸ軸方向の長さが、吸着する振動素子３００の長さより長くなっているのが好ましく、具体的には、１．１倍以上、１．５倍以下の長さであるのがより好ましい。これにより、ガスＧ２による吸着力により吸着ノズル５２０に振動素子３００を確実に吸着させることができる。
【００４７】
ガス吸引手段５２１は、ポンプ５２２と、ガス導出口５４５とポンプ５２２とを連通するガス吸引管５２４と、ガス吸引管５２４の途中に設けられたバルブ５２３とを有している。
このようなガス吸引手段５２１において、本実施形態では、ポンプ５２２およびバルブ５２３によりガスＧ２の吸引量を調整するガス吸引量調整手段が構成される。
【００４８】
ここで、ポンプ５２２を作動し、この状態でバルブ５２３を開くと、ガス吸引管５２４内、さらにはガス導出口５４５を介して貫通孔５２５内が負圧となる。これにより、ガスＧ２が貫通孔５２５を介して、ガス吸引口５３５（吸着ノズル５２０）から吸引される。
このようなガス吸引手段５２１では、ポンプ５２２およびバルブ５２３の作動、すなわちガス吸引量調整手段の作動が後述する制御手段５４０により制御されており、ポンプ５２２およびバルブ５２３の作動により、ガス導出口５４５（吸着ノズル５２０）でガスＧ２が吸引されるため、結果的に、ガスＧ２がガス吸引口５３５（吸着ノズル５２０）から吸引される。
【００４９】
なお、吸着ノズル５２０の構成材料としては、特に限定されないが、例えば、前述した吹付けノズル５１０の構成材料として挙げたのと同様のものが用いられる。
ノズル移動手段は、その作動により、ステージ５６０の下側に位置する吹付けノズル５１０、およびステージ５６０の上側に位置する吸着ノズル５２０を、それぞれ独立して、ステージ５６０上に配置されたウエハ４００に対して、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向およびＺ軸方向に相対的に移動させる機能を有する。
【００５０】
本実施形態では、吹付けノズル５１０および吸着ノズル５２０を、それぞれ、ノズル移動手段の作動により、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に移動させることで、図７に示すように、それらの中心軸がウエハ４００に作り込まれた振動素子３００に重なるように位置させることができる。すなわち、Ｚ軸方向からの平面視において、吹付けノズル５１０、振動素子３００および吸着ノズル５２０をこの順で一直線上に配置することができる。
【００５１】
さらに、吹付けノズル５１０および吸着ノズル５２０を、それぞれ、ノズル移動手段の作動により、Ｚ軸方向に移動させることで、吹付けノズル５１０（ガス吹出口５３７、５３８）と振動素子３００との離間距離ｈ２、および吸着ノズル５２０（ガス吸引口５３５）と振動素子３００との離間距離ｈ１を所望の大きさに設定することができる。
このようなノズル移動手段の作動により、吹付けノズル５１０および吸着ノズル５２０は、ウエハ４００に作り込まれた振動素子３００に対応して配置される。
【００５２】
かかる構成のノズル移動手段の作動は、制御手段５４０により制御し得るよう構成されている。
また、このノズル移動手段は、公知のいずれの構成のものを用いてもよく、例えば、コンベア（ベルト駆動、チェーン駆動等）、スクリュー軸を備えた送り機構、ローラ送り機構等が挙げられる。
【００５３】
ステージ５６０は、四角形（長方形）の枠状をなすウエハ保持部（枠体）５６２と、ウエハ保持部５６２の中心部で開口する開口部５６１とを有している。
このようなステージ５６０に、図７に示すようにウエハ４００は、その下側の面が開口部５６１を介して吹付けノズル５１０を臨むように配置される。これにより、開口部５６１を介した、ノズル５１０、５２０による振動素子３００の取外しが可能となる。
【００５４】
また、ウエハ保持部５６２は、その上面が平坦なウエハ保持面で構成され、該ウエハ保持面が、吹付けノズル５１０および吸着ノズル５２０の中心軸と直交するように配設されている。
なお、本実施形態では、長方形状をなすウエハ４００の長辺がＸ軸方向と平行となるように、ウエハ４００をステージ５６０上に載置し得るように、長方形状をなすステージ５６０は、その長辺がＸ軸方向と平行となるように配置されている。
【００５５】
ステージ５６０（ウエハ保持部５６２）の構成材料としては、特に限定されないが、例えば、ポリテトラフルオロエチレン、ポリエチレンテレフタレート等のプラスチック、石英ガラス等の各種ガラス、前記金属酸化物、複合酸化物等の各種無機酸化物（セラミックス）、各種金属材料等が挙げられる。
制御手段５４０は、例えば、演算部やメモリー等を内蔵するマイクロコンピュータやパーソナルコンピューター等のコンピュータで構成されている。この制御手段５４０には、図示しない、操作部や記憶部からの信号（入力）が、随時入力される。そして、制御手段５４０は、操作部や記憶部からの信号等に基づき、予め設定されたプログラムに従って、ピックアップ装置本体５５０の各部の作動（駆動）、すなわち、ガス供給手段５１１、ガス吸引手段５２１およびノズル移動手段の作動をそれぞれ制御する。
【００５６】
このようなピックアップ装置５００は、制御手段５４０が、操作部に入力されたウエハ４００が有する振動素子３００の位置情報等に応じて、ウエハ４００からの振動素子３００の取外し、および取外された振動素子３００のパッケージ２００への搭載を実行し得るように、ガス供給手段５１１、ガス吸引手段５２１およびノズル移動手段の作動をそれぞれ制御するよう構成されている。
【００５７】
以下、このピックアップ装置５００によりウエハ４００が有する振動素子３００を取外し、さらに、振動素子３００をパッケージ２００に搭載する際の動作、すなわち、本発明のピックアップ方法を、図７、８を用いて説明する。
なお、図８は、図６に示すピックアップ装置を用いて図５に示すウエハから振動素子を取外す方法を説明するための断面図（図７中のＢ−Ｂ線断面図）である。また、以下の説明では、図８中の上方を「上」、下方を「下」という。
【００５８】
本発明のピックアップ方法は、ウエハに作り込まれた振動素子（素子）をピックアップしてベース基板（搭載基板）上に搭載する方法であり、振動素子の一方の面側から、吹付けノズルを用いて振動素子にガスを吹付けることにより、ウエハから振動素子を取外す取外工程と、取外された振動素子を、振動素子の他方の面側から、吸着ノズルを用いて吸着することでピックアップするピックアップ工程と、吸着ノズルでピックアップされた振動素子を、ベース基板上に搭載する搭載工程とを有する。
かかるピックアップ方法とすることにより、振動素子が作りこまれたウエハから、振動素子に損傷を加えることなくこの振動素子を取外すことができ、そして、この取外された素子を、吸着ノズルでピックアップした状態で、直接、搭載基板上に搭載することができる。
【００５９】
以下、各工程について説明する。
＜１＞  ウエハ４００からの振動素子３００の取外しに際しては、まず、ウエハ４００を搬送アーム等の搬送手段を用いて、ステージ５６０にセットする。
なお、この際、長方形状をなすウエハ４００の長辺がＸ軸方向と平行となるように、ウエハ４００をステージ５６０にセットする。これにより、ウエハ４００に作り込まれた複数の振動素子３００も、ウエハ４００と同様に、その長辺がＸ軸方向に対して平行となる。
また、ウエハ４００は、振動素子３００の取外しの時に、ステージ５６０からのウエハ４００の位置ズレが生じないように、固定手段を用いてステージ５６０に対して固定される。
【００６０】
＜２＞  次に、操作者は、このウエハ４００に作り込まれた振動素子３００の位置情報を、操作部から入力し、記憶部に記憶させておく。
この位置情報としては、例えば、長方形状をなす振動素子３００の２つの対角線の交点（Ｘ、Ｙ、Ｚ軸座標）、長辺および短辺の長さ、厚さ等が挙げられる。
なお、ウエハ４００における振動素子３００の位置情報は、このように操作者が操作部から入力する場合の他、例えば、次のようにして記憶部に記憶させることができる。
【００６１】
すなわち、ウエハ４００の振動素子３００に予めアライメントマークが形成されており、このアライメントマークを認識し得る認識手段を、吹付けノズル５１０および／または吸着ノズル５２０に設けておく。そして、ウエハ４００を吹付けノズル５１０および／または吸着ノズル５２０で走査して、認識手段によりアライメントマークの位置を検出することにより、このアライメントマークの位置を振動素子３００の位置情報として記憶部に記憶させることができる。
また、このような認識手段としては、例えば、例えば、接触式の探査計、光学系による各種干渉計、原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）、顕微干渉系等が挙げられる。
【００６２】
＜３＞  次に、制御手段５４０は、記憶部に記憶されている位置情報に基づいてノズル移動手段の作動を制御して、吹付けノズル５１０および吸着ノズル５２０を、それぞれ、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に移動させることで、吹付けノズル５１０および吸着ノズル５２０の中心軸がウエハ４００から取外すべき振動素子３００と重なる位置に移動させる。
そして、このＸ軸方向およびＹ軸方向に対する位置決めの後、制御手段５４０は、さらに、ノズル移動手段の作動を制御して、吹付けノズル５１０および吸着ノズル５２０を、それぞれ、Ｚ軸方向に移動させることで、吹付けノズル５１０（ガス吹出口５３７、５３８）と振動素子３００との離間距離ｈ２、および吸着ノズル５２０（ガス吸引口５３５）と振動素子３００との離間距離ｈ１を所定の大きさに設定する。
【００６３】
＜４＞  次に、制御手段５４０は、ガス供給手段５１１を作動させるとともに、ガス吸引手段５２１を作動させる。
このガス供給手段５１１の作動により、バルブ５１３を開き、マスフローコントローラ５１４によりガスＧ１の流量を調整して、ガス用ボンベ５１２からガスＧ１が送出（供給）される。その結果、ガス用ボンベ５１２から送出されたガスＧ１は、ガス供給手段５１１の各部および吹付けノズル５１０を通過し、ガス吹出口５３７、５３８から噴出される（取外工程）。
【００６４】
この際、吹付けノズル５１０は、前記工程＜３＞において、図８（ａ）に示すように、ウエハ４００の下側に、その離間距離ｈ２が所定の大きさとなるように配置されている。そのため、ガス吹出口５３７、５３８から噴出されたガスＧ１は、吹付けノズル５１０の上側に位置する振動素子３００の下面に対して吹付けられる。
ここで、本実施形態では、振動素子３００は、連結部４２０を介して枠体４１０により片持ち支持されているが、この吹付けノズル５１０によるガスＧ１の振動素子３００に対する吹付けにより、連結部４２０を起点として折り曲げられ、最終的には、図８（ｂ）に示すように、連結部４２０において亀裂が生じた状態となる。
【００６５】
また、ガス吸引手段５２１の作動により、ポンプ５２２を作動させた状態でバルブ５２３を開くことで、ガス吸引管５２４内、さらにはガス導出口５４５を介して貫通孔５２５内が負圧となるため、ガスＧ２が貫通孔５２５を介して、吸着ノズル５２０のガス吸引口５３５から吸引される（ピックアップ工程）。
この際、吸着ノズル５２０は、前記工程＜３＞において、図８（ａ）に示すように、ウエハ４００の上側に、その離間距離ｈ１が所定の大きさとなるように配置されている。そのため、ガスＧ２のガス吸引口５３５からの吸引により、吸着ノズル５２０の下側に位置する振動素子３００の上面を吸引する吸引力が作用する。
【００６６】
ここで、上記の通り、開口部４３０内に位置する振動素子３００が連結部４２０において亀裂が生じた状態となっている。そのため、この吸着ノズル５２０によるガスＧ２の吸引に起因して生じる吸着力が振動素子３００に作用することで、連結部４２０の亀裂が生じている箇所で破断する。その結果、振動素子３００が枠体４１０から折り取られるため、図８（ｃ）に示すように、振動素子３００が吸着ノズル５２０に吸着（ピックアップ）される。
【００６７】
なお、吸着ノズル５２０による振動素子３００の吸着の際には、吹付けノズル５１０による振動素子３００へのガスＧ１の吹付けを継続しておくのが好ましい。これにより、枠体４１０から折り取られた振動素子３００をより確実に吸着ノズル５２０側に移動させることができるため、吸着ノズル５２０による振動素子３００の吸着をより確実に行うことができる。
【００６８】
以上のように、振動素子３００の下側（一方の面側）からの吹付けノズル５１０による振動素子３００に対するガスＧ１の吹付けにより、ウエハ４００から振動素子３００を取外した後、この取外された振動素子３００を、振動素子３００の上側（他方の面側）から吸着ノズル５２０で吸着することにより、振動素子３００がピックアップされる。
したがって、前述した従来の取外し装置を用いた搭載方法のように、振動素子３００に押当てピンを押当てることなく、ウエハ４００から振動素子３００を取外すことができるため、振動素子３００の両面に備える励振電極３２０、３３０に傷が生じるのを的確に防止することができる。その結果、この傷に起因する励振電極３２０、３３０の酸化を確実に防止することができ、ひいては、励振電極３２０、３３０の酸化による振動素子３００の周波数のシフト、等価直列抵抗値（ＣＩ値）の上昇を的確に抑制または防止することができる。
【００６９】
さらに、ピンを押当てた振動素子３００の取外しでは、ピンの押当て部に対して押当てる力が集中することに起因して、連結部４２０を起点として折り曲げる際に、連結部４２０には引張応力が優位に生じ、その結果、連結部４２０における破断が不定形に生じる傾向を示す。これに対して、本発明では、吹付けノズル５１０によるガスＧ１の吹付けにより振動素子３００を取外す構成としたことから、ガスＧ１の吹付部に対して吹付ける力が集中することなく分散させることができる。その結果、連結部４２０を起点として折り曲げる際に、連結部４２０には引張応力に対してせん断応力が優位に生じ、これにより、連結部４２０における破断が定形的に生じることとなる。すなわち、連結部４２０の形状に沿って、振動素子３００を取外す（破断する）ことができる。
【００７０】
このように連結部４２０における破断が定形的に生じるため、振動素子３００に連結部４２０の一部が残存したり、振動素子３００（特に、ボンディングパッド３２２、３３２）の一部が損傷したりするのを的確に抑制または防止することができる。換言すれば、振動素子３００の外形形状（輪郭形状）を維持（安定）した状態で振動素子３００を取外すことができる。これにより、振動素子３００に連結部４２０の一部が残存することに起因して、振動素子３００がパッケージ２００内の収納空間Ｓに収納できなくなるのを確実に防止することができる。さらに、ボンディングパッド３２２、３３２の一部が損傷することに起因する、接続電極２４１、２４２との接続抵抗の上昇、および振動素子３００のＣＩ値の上昇を的確に抑制または防止することができる。さらに、破断の際に、連結部４２０の一部が破片として飛散するのを的確に抑制または防止することができ、この破片を洗浄するための洗浄工程の簡略化が図られるため、時間と手間の省略を図ることができる。
【００７１】
以上のような吹付けノズル５１０および吸着ノズル５２０を用いた吸着ノズル５２０への振動素子３００の吸着では、吹付けノズル５１０と振動素子３００との離間距離ｈ２は、少なくとも吹付けノズル５１０によるガスＧ１の吹付けにより、連結部４２０に亀裂が生じる大きさに設定されるが、具体的には３０００μｍ以下であるのが好ましく、５０μｍ以上、１０００μｍ以下であるのがより好ましい。これにより、振動素子３００の外形形状を維持した状態で振動素子を確実に取外すことができる。
【００７２】
また、吹付けノズル５１０からのガスＧ１の吹付け力は、０．０１ＭＰａ以上、５．０ＭＰａ以下であるのが好ましく、０．１ＭＰａ以上、１．０ＭＰａ以下であるのがより好ましい。吹付け力をかかる範囲内に設定することで、離間距離ｈ２を前記範囲内に設定した際に、連結部４２０において亀裂を確実に生じさせることができる。
また、吸着ノズル５２０と振動素子３００との離間距離ｈ１は、２５０μｍ以上、３００μｍ以下であるのが好ましい。
【００７３】
ここで、連結部４２０の厚さが例えば１００μｍ以下である場合、ガスＧ１の吹付けによる連結部４２０の亀裂は、振動素子３００が連結部４２０を起点として折り曲げられる角度（図８（ｂ）中の角度θ）が１４°程度となった際に生じる。そのため、離間距離ｈ１を前記範囲内に設定することにより、振動素子３００の連結部４２０が連結しているのと反対側の端部を、吸着ノズル５２０に接触するか、もしくはその近傍に位置させることができる。その結果、吸着ノズル５２０の吸引により、この振動素子３００は、吸着ノズル５２０に確実に吸着されることとなる。
【００７４】
また、吸着ノズル５２０によるガスＧ２の吸着力は、０．０３ＭＰａ以上、０．１ＭＰａ以下であるのが好ましく、０．０５ＭＰａ以上、０．０８ＭＰａ以下であるのがより好ましい。吸着力をかかる範囲内に設定することで、離間距離ｈ１を前記範囲内に設定した際に、連結部４２０において亀裂が生じている振動素子３００を吸着ノズルで確実に吸着させることができる。
また、本実施形態では、吹付けノズル５１０が２つの貫通孔５１７、５１８を備え、これらの貫通孔５１７、５１８は、吹付けノズル５１０の先端で開口するガス吹出口５３７、５３８の中心がＸ軸方向に伸びる直線上に位置するように設けられている。
【００７５】
ここで、前記工程＜１＞において、振動素子３００の長辺がＸ軸方向に対して平行となるように、ウエハ４００がステージ５６０上に配置されている。そのため、ガス吹出口５３７、５３８を上記のように設けることで、振動素子３００の長手方向に沿って、２つのガス吹出口５３７、５３８からガスＧ１を吹出すことができる。すなわち、振動素子３００の連結部４２０が連結されている側の端部と、その反対側の端部との双方に、ガスＧ１を吹き付けることができる。したがって、振動素子３００の全体に亘って均一に吹付け力を付与することができるため、振動素子３００の外形形状をより確実に維持した状態で振動素子３００を取外すことができるようになる。
【００７６】
また、２つのガス吹出口５３７、５３８の内径は、それぞれ、特に限定されないが、振動素子３００の長辺に対して、０．２倍以上、０．５倍以下であるのが好ましく、０．５倍程度であるのがより好ましい。これにより、振動素子３００の全体に亘ってより均一な吹付け力を付与することができるようになる。
なお、振動素子３００が図示のような構成のものとは異なり、例えば、前述したような逆メサ型のものである場合には、圧電基板３１０の厚さが薄くなっている電極形成領域に対して、ガスＧ１が吹付けられないように、吹付けノズル５１０におけるガス吹出口５３７、５３８の形成位置を設定するようにすればよい。
【００７７】
このように、吹付けノズル５１０に、その先端および基端の双方で開口する貫通孔を複数備える構成とし、その形成位置を、振動素子３００の形状に応じて適宜設定することにより、振動素子３００の外形形状をより確実に維持した状態で振動素子３００を取外すことができるようになる。
また、２つのガス吹出口５３７、５３８から吹付けられるガスＧ１の吹付け力は、本実施形態のように、同一の強さに設定している場合に限らず、それぞれの強さが異なるように設定してもよい。
【００７８】
さらに、ガス供給手段５１１の作動と、ガス吸引手段５２１の作動とは、すなわち、吹付けノズル５１０によるガスＧ１の吹付けと、吸着ノズル５２０による振動素子３００の吸着とは、これらをほぼ同時に行うようにしてもよいし、ガス供給手段５１１を作動させた後にガス吸引手段５２１を作動させるようにしてもよい。ただし、ガス供給手段５１１の作動とガス吸引手段５２１の作動とをほぼ同時とすることにより、本工程＜４＞の作業時間の短縮化を図ることができる。
【００７９】
また、本工程＜４＞における、吹付けノズル５１０および吸着ノズル５２０を用いた吸着ノズル５２０への振動素子３００の吸着では、ウエハ４００に作り込まれている振動素子３００は、本実施形態のように、１つの連結部４２０を介して枠体４１０に片持ち支持されているものに限らず、振動素子３００の対向する２つの端部において連結部４２０を介して枠体４１０に連結された両持ち支持されているものであってもよい。ただし、本発明を、１つの連結部４２０を介して枠体４１０に片持ち支持されている振動素子３００に適用することで、振動素子３００の外形形状をより確実に維持した状態で振動素子３００を取外すことができる。
【００８０】
＜５＞  次に、吸着ノズル５２０による振動素子３００の吸着が完了すると、制御手段５４０は、ノズル移動手段を作動させ、この吸着ノズル５２０を、ベース基板２１０の振動素子３００を搭載すべき位置に移動させる。
そして、ノズル移動手段の作動により、ベース基板２１０の上面に設けられた一対の接続電極２４１、２４２に対応するように、振動素子３００が有するボンディングパッド３２２、３３２を配置させることで、接続電極２４１、２４２とボンディングパッド３２２、３３２とを導電性接着剤２９１、２９２を介在させた状態で接続することで、ベース基板（搭載基板）２１０上に振動素子３００が搭載される。
【００８１】
このように、本工程＜５＞では、吸着ノズル５２０によりピックアップされた振動素子３００を、ベース基板２１０上に直接搭載するようになっている。
かかる構成とすることで、前述した従来の取外し装置を用いた搭載方法のように、トレイに収納された振動素子３００を吸着ノズルで吸着する必要がないため、吸着ノズル５２０による振動素子３００のピックアップ位置精度、ひいてはベース基板２１０に対する振動素子３００のアライメント精度を向上させることができる。
さらに、取外した振動素子３００を吸着ノズル５２０で吸着した後、直接、この振動素子３００をベース基板２１０に搭載することから、トレイを必要とせず、振動素子３００を搭載するまでの工程数の簡略化が図られているため、時間と手間の省略が図られることとなる。
【００８２】
＜６＞  次に、前記工程＜３＞と同様にして、制御手段５４０は、ノズル移動手段の作動により、吹付けノズル５１０および吸着ノズル５２０を、隣接する開口部４３０内に作り込まれている振動素子３００に対して位置させると、前記工程＜４＞、＜５＞と同様にすることで、吸着ノズル５２０に振動素子３００を吸着し、その後、この吸着された振動素子３００をベース基板２１０に搭載する。
【００８３】
なお、本工程＜６＞による隣接する開口部に４３０に位置する振動素子３００のベース基板２１０への搭載は、ウエハ４００に作り込まれた複数の振動素子３００が全て、各ベース基板２１０に搭載されるまで繰り返して行う。すなわち、本実施形態では、縦・横に５個ずつ設けられた２５個の振動素子３００がなくなるまで、ベース基板２１０への搭載を２５回繰り返して実施する。
【００８４】
＜７＞  次に、搬送手段を用いて、ウエハ４００をステージ５６０から取り外して、移送する。
以上のような工程を経ることにより、ウエハ４００からピックアップした振動素子３００をベース基板２１０に搭載することができる。
なお、本実施形態では、ウエハ４００の下側から吹付けノズル５１０を振動素子３００にガスＧ１を吹付け、ウエハ４００の上側から吸着ノズル５２０で振動素子３００をピックアップする場合について説明したが、かかる場合に限定されず、吹付けノズル５１０および吸着ノズル５２０の配置位置を反対にしてもよい。さらに、ステージ５６０すなわちウエハ４００の配置方向を、その長手方向が垂直方向に沿うように配置し、ステージ５６０の左右側にそれぞれ吹付けノズル５１０および吸着ノズル５２０を配置するようにしてもよい。
【００８５】
また、本実施形態では、吹付けノズル５１０に形成する貫通孔５１７、５１８のガス吹出口５３７、５３８の形状を真円状のものとしたが、これに限定されず、例えば、楕円のような長円状、三角形、四角形、五角形のような多角形状のものであってもよい。さらに、ガス吹出口５３７、５３８の数は、２つに限らず、１つ以上であればよく、ウエハ４００から取出す振動素子３００の形状に応じて適宜設定するようにすればよい。
【００８６】
また、本実施形態では、吸着ノズル５２０に形成する貫通孔５２５のガス吸引口５３５の形状を真円状のものとしたが、これに限定されず、例えば、楕円のような長円状、三角形、四角形、五角形のような多角形状のものであってもよい。
さらに、ガス吸引口５３５の数は、１つに限らず、２つ以上であってもよい。なお、２つ以上（複数個）とする場合、そのＸ軸方向に対する配設位置は、振動素子３００の長辺より短い幅で設けられているのが好ましく、具体的には、０．７倍以上、０．９倍以下の幅で設けられているのがより好ましい。
【００８７】
＜電子機器＞
次いで、上述した電子デバイス１００を備える電子機器について、図９〜図１１に基づき、詳細に説明する。
図９は、電子デバイスを備える電子機器を適用したモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピューターの構成を示す斜視図である。この図において、パーソナルコンピューター１１００は、キーボード１１０２を備えた本体部１１０４と、表示部２０００を備えた表示ユニット１１０６とにより構成され、表示ユニット１１０６は、本体部１１０４に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。このようなパーソナルコンピューター１１００には、フィルター、共振器、基準クロック等として機能する電子デバイス１００が内蔵されている。
【００８８】
図１０は、電子デバイスを備える電子機器を適用した携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図である。この図において、携帯電話機１２００は、複数の操作ボタン１２０２、受話口１２０４および送話口１２０６を備え、操作ボタン１２０２と受話口１２０４との間には、表示部２０００が配置されている。このような携帯電話機１２００には、フィルター、共振器等として機能する電子デバイス１００が内蔵されている。
【００８９】
図１１は、電子デバイスを備える電子機器を適用したディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図である。なお、この図には、外部機器との接続についても簡易的に示されている。ここで、通常のカメラは、被写体の光像により銀塩写真フィルムを感光するのに対し、ディジタルスチルカメラ１３００は、被写体の光像をＣＣＤ（Charge Coupled Device）などの撮像素子により光電変換して撮像信号（画像信号）を生成する。
【００９０】
ディジタルスチルカメラ１３００におけるケース（ボディー）１３０２の背面には、表示部が設けられ、ＣＣＤによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、表示部は、被写体を電子画像として表示するファインダーとして機能する。また、ケース１３０２の正面側（図中裏面側）には、光学レンズ（撮像光学系）やＣＣＤなどを含む受光ユニット１３０４が設けられている。
【００９１】
撮影者が表示部に表示された被写体像を確認し、シャッタボタン１３０６を押下すると、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、メモリー１３０８に転送・格納される。また、このディジタルスチルカメラ１３００においては、ケース１３０２の側面に、ビデオ信号出力端子１３１２と、データ通信用の入出力端子１３１４とが設けられている。そして、図示されるように、ビデオ信号出力端子１３１２にはテレビモニター１４３０が、デ−タ通信用の入出力端子１３１４にはパーソナルコンピューター１４４０が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、メモリー１３０８に格納された撮像信号が、テレビモニター１４３０や、パーソナルコンピューター１４４０に出力される構成になっている。このようなディジタルスチルカメラ１３００には、フィルター、共振器等として機能する電子デバイス１００が内蔵されている。
【００９２】
なお、電子デバイスを備える電子機器は、図９のパーソナルコンピューター（モバイル型パーソナルコンピューター）、図１０の携帯電話機、図１１のディジタルスチルカメラの他にも、例えば、インクジェット式吐出装置（例えばインクジェットプリンター）、ラップトップ型パーソナルコンピューター、テレビ、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダー、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサー、ウエハステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシュミレーター等に適用することができる。
【００９３】
以上、本発明のピックアップ装置、およびピックアップ方法について、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明は、これに限定されるものではない。
例えば、本発明のピックアップ装置では、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に、他の任意の構成物が付加されていてもよい。
【００９４】
また、本発明のピックアップ方法では、前記実施形態の構成に限定されず、任意の目的の工程が１または２以上追加されていてもよく、不要な工程を削除してもよい。
さらに、前記実施形態では、ウエハに作り込まれた素子が振動素子である場合について説明したが、振動素子に限らず、素子は、例えば、スイッチング素子、半導体素子、抵抗等であってもよい。
【符号の説明】
【００９５】
１００…電子デバイス  ２００…パッケージ  ２１０…ベース基板  ２１１、２１２…貫通孔  ２１７…側壁  ２１８…底部  ２１９…メタライズ層  ２２０…リッド  ２２１…凹部  ２４１、２４２…接続電極  ２５１、２５２…実装電極  ２６１、２６２…貫通電極  ２９１、２９２…導電性接着剤  ３００…振動素子  ３１０…圧電基板  ３２０、３３０…励振電極  ３２１、３３１…電極部  ３２２、３３２…ボンディングパッド  ３２３、３３３…配線  ４００…ウエハ  ４１０…枠体  ４２０…連結部  ４３０…開口部  ５００…ピックアップ装置  ５１０…吹付けノズル  ５１１…ガス供給手段  ５１２…ガス用ボンベ  ５１３…バルブ  ５１４…マスフローコントローラ  ５１７、５１８…貫通孔  ５２０…吸着ノズル  ５２１…ガス吸引手段  ５２２…ポンプ  ５２３…バルブ  ５２４…ガス吸引管  ５２５…貫通孔  ５３２…ガス供給管  ５３５…ガス吸引口  ５３７、５３８…ガス吹出口  ５４０…制御手段  ５４５…ガス導出口  ５４７、５４８…ガス導入口  ５５０…ピックアップ装置本体  ５６０…ステージ  ５６１…開口部  ５６２…枠体  ９００……取外し装置  ９１０……基板  ９２０……押当てピン  ９２１……先端  ９３０……トレイ  ９３１……凹部  ９４０……ウエハ  ９４１……素子  ９４２……枠体  １１００…パーソナルコンピューター  １１０２…キーボード  １１０４…本体部  １１０６…表示ユニット  １２００…携帯電話機  １２０２…操作ボタン  １２０４…受話口  １２０６…送話口  １３００…ディジタルスチルカメラ  １３０２…ケース  １３０４…受光ユニット  １３０６…シャッタボタン  １３０８…メモリー  １３１２…ビデオ信号出力端子  １３１４…入出力端子  １４３０…テレビモニター  １４４０…パーソナルコンピューター  ２０００…表示部  Ｓ…収納空間
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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