(57)【要約】【課題】メッキ槽内の被処理物に、より効率的にメッキ処理を施すことの可能な電気メッキ装置を提供する。【解決手段】メッキ液Ａが供給されるメッキ槽１３と、メッキ槽１３内に設けられた陽極１９及び陰極１７とを有し、陽極１９及び陰極１７に電圧を印加してメッキ槽１３内の被処理物２０にメッキ処理を施す電気メッキ装置１０であって、タンク１２のメッキ液Ａを吸い込むポンプ１５と、ポンプ１５から吐出されたメッキ液Ａをメッキ槽１３に供給するメッキ液供給管１８とを備え、メッキ液供給管１８の流出口１８ａが下に向けられている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
メッキ液が供給されるメッキ槽と、前記メッキ槽内に設けられた陽極及び陰極と、を有し、前記陽極及び前記陰極に電圧を印加して前記メッキ槽内の被処理物にメッキ処理を施す電気メッキ装置であって、
前記メッキ液を前記メッキ槽に供給する流出口を下に向けたメッキ液供給管が設けられている、電気メッキ装置。
【請求項２】
請求項１に記載の電気メッキ装置において、
前記メッキ槽は、垂直方向の中心線を囲むカップ形状であり、
前記メッキ槽の内面は、底部に近づくに伴い内径が小さくなる向きのテーパーが施されたＲ形状に湾曲されている、電気メッキ装置。
【請求項３】
請求項２に記載の電気メッキ装置において、
前記メッキ槽の側面視で、前記メッキ液供給管の中心線が前記垂直方向の中心線に対して交差している、電気メッキ装置。
【請求項４】
請求項２に記載の電気メッキ装置において、
前記陰極は、前記メッキ槽の内面に無電解めっきを直接施して金属の薄膜を析出させて設けたものである、電気メッキ装置。
【請求項５】
メッキ液をメッキ槽に供給し、前記メッキ槽内に設けられた陽極及び陰極に電圧を印加して、前記メッキ槽内の被処理物にメッキ処理を施す電気メッキ方法であって、
前記メッキ液を前記メッキ槽に対して下向きに供給する、電気メッキ方法。
【請求項６】
請求項５に記載の電気メッキ方法において、
前記メッキ槽の平面視で、前記メッキ液を前記メッキ槽内で渦状に流動させる、電気メッキ方法。
【請求項７】
請求項５に記載の電気メッキ方法において、
前記陽極及び前記陰極に電圧を印加している状態で、前記メッキ液を前記メッキ槽に供給する工程と、
前記陽極及び前記陰極に電圧を印加している状態で、前記メッキ液を前記メッキ槽に供給しない工程と、
を交互に行う、電気メッキ方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、量産品を被処理物とし、多数の被処理物の表面にメッキ処理を施す電気メッキ装置及び電気メッキ方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
電気メッキは、ワークつまり被処理物を陰極としてメッキ液に浸漬し、直流電流によって被処理物の表面に金属膜を電解析出させるようにした表面処理技術である。電子部品などの量産品を被処理物としてその所定の部位にメッキする場合には、従来は、一度のメッキ処理により大量の被処理物をメッキ処理するために、バレルメッキ法が一般的に行われている。しかし、バレルメッキ法は、バレルの回転によって被処理物がバレルの内部で絡まり、被処理物が変形したり、被処理物の表面に傷が付く等の問題があった。このような不具合に対処するための電気メッキ装置及び電気メッキ方法が提案されており、その一例が特許文献１に記載されている。
【０００３】
特許文献１に記載された電気メッキ装置は、被処理物を収容するメッキ槽と、メッキ槽の底部に設けた仕切り壁と、仕切り壁に設けた液体噴出孔と、を備えている。また、電気メッキ装置は、仕切り壁の下方に設けた液体供給部と、メッキ液タンクのメッキ液を液体供給部に供給するポンプと、を備えている。さらに、電気メッキ装置は、メッキ槽の内部に設けられた陰極及び陽極と、陰極及び陽極に接続された電源ユニットと、電源ユニット及びポンプを制御する制御回路と、を備えている。
【０００４】
特許文献１に記載された電気メッキ装置及び電気メッキ方法は、メッキ槽内に被処理物が投入された状態でポンプが駆動されて、メッキ液が液体供給部、液体噴出孔を通りメッキ槽へ上方に向けて噴出され、電源ユニットの電力が電極に供給される。これにより、被処理物はメッキ槽内に形成されるメッキ液の噴流により撹拌され、陰極に接触した被処理物に対して、他の被処理物が電気的に接触することになり、被処理物の表面がメッキ処理される。この特許文献１に記載された電気メッキ装置及び電気メッキ方法によれば、被処理物をメッキ液の噴流により撹拌させるため、被処理物同士が強く擦れ合うことを防止でき、被処理物の変形、傷を防止できるとされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００２−３０４９６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１に記載された電気メッキ装置及び電気メッキ方法は、メッキ液を液体供給部からメッキ槽に供給するにあたり、メッキ液が上方へ向けて噴出されるようになっている。つまり、メッキ液が重力に逆らってメッキ槽へと噴出されるため、メッキ液の流速が低下し、被処理物を十分に撹拌できない。そこで、被処理物を十分に撹拌するためにメッキ液の流速を速めると、被処理物が陰極に接する時間が短く（接点が不十分）なり、メッキ処理が非効率になる、という他の問題が生じていた。
【０００７】
本発明の目的は、メッキ槽内で被処理物が陰極に接触する時間（接点）を十分にとること、被処理物を十分に撹拌すること、を両立可能な電気メッキ装置及び電気メッキ方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の電気メッキ装置は、メッキ液が供給されるメッキ槽と、前記メッキ槽内に設けられた陽極及び陰極と、を有し、前記陽極及び前記陰極に電圧を印加して前記メッキ槽内の被処理物にメッキ処理を施す電気メッキ装置であって、前記メッキ液を前記メッキ槽に供給する流出口を下に向けたメッキ液供給管が設けられている。
【０００９】
本発明の電気メッキ装置は、前記メッキ槽が、垂直方向の中心線を囲むカップ形状であり、前記メッキ槽の内面は、底部に近づくに伴い内径が小さくなる向きのテーパーが施されたＲ形状に湾曲されている。
【００１０】
本発明の電気メッキ装置は、前記メッキ槽の側面視で、前記メッキ液供給管の中心線が前記垂直方向の中心線に対して交差している。
【００１１】
本発明の電気メッキ装置は、前記陰極が、前記メッキ槽の内面に無電解めっきを直接施して金属の薄膜を析出させて設けたものである。
【００１２】
本発明の電気メッキ方法は、メッキ液をメッキ槽に供給し、前記メッキ槽内に設けられた陽極及び陰極に電圧を印加して、前記メッキ槽内の被処理物にメッキ処理を施す電気メッキ方法であって、前記メッキ液を前記メッキ槽に対して下向きに供給する。
【００１３】
本発明の電気メッキ方法は、前記メッキ槽の平面視で、前記メッキ液を前記メッキ槽内で渦状に流動させる。
【００１４】
本発明の電気メッキ方法は、前記陽極及び前記陰極に電圧を印加している状態で、前記メッキ液を前記メッキ槽に供給する工程と、前記陽極及び前記陰極に電圧を印加している状態で、前記メッキ液を前記メッキ槽に供給しない工程と、を交互に行う。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、メッキ液は重力の作用する向きと同じ向きでメッキ液供給管から流出する。このため、メッキ液流速が低下することを抑制でき、被処理物を十分に撹拌することができる。したがって、被処理物が陰極に接し易くなり、メッキ処理の効率が上昇する。
【００１６】
本発明によれば、メッキ液がメッキ槽の底部に衝突すると、運動エネルギにより中心線を中心とする円の半径方向で外側に向けて流動し、かつ、底部の形状に沿って円弧形状に上昇する。したがって、被処理物が自重で撹拌され易くなり、被処理物が底部付近に滞留することを抑制できる。
【００１７】
本発明によれば、メッキ液が水平方向の平面内でメッキ槽の内面に沿って渦状に流動し、被処理物が撹拌され易くなる。
【００１８】
本発明によれば、メッキ液の供給・停止を繰り返すことにより、被処理物が攪拌され易くなる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の電気メッキ装置を側面から見た模式図である。
【図２】（Ａ）は、本発明の電気メッキ装置におけるメッキ液供給管の他の配置例を示す側面断面図、（Ｂ）は、図２（Ａ）の平面図である
【図３】本発明の電気メッキ装置の全体を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。図１に示す電気メッキ装置１０は、内部１１にメッキ液Ａを貯留するタンク１２と、タンク１２の内部１１に設けられたメッキ槽受け３６と、メッキ槽受け３６で支持されるメッキ槽１３と、タンク１２のメッキ液Ａを吸い込み、吸い込んだメッキ液Ａをメッキ槽１３のメッキ室１４に供給するポンプ１５とを有する。メッキ槽１３は円筒部１３ａ及び底部１３ｂを有する。
【００２１】
メッキ槽１３はメッキ槽受け３６上に載せたり、メッキ槽受け３６上から取り外すこともできる。タンク１２の底部１２ａには排出口１２ｂが設けられており、排出口１２ｂは、流路１６を介してポンプ１５の吸入口１５ａに接続されている。ポンプ１５の吐出口１５ｂには流路１６が接続されている。また、ポンプ１５を駆動する原動機、例えば、電動モータ３５が設けられている。
【００２２】
メッキ槽１３は、メッキ槽受け３６に近づくに伴い外径が小さくなるように構成されたカップ形状を有している。メッキ槽１３は、樹脂などの絶縁性材料、たとえば、ポリエチレン樹脂（ＰＥ）により一体的に形成されている。メッキ槽１３の内部にメッキ室１４が形成されており、円筒部１３ａの内面１３ｃは、下方に向けて湾曲されたカップ形状を備えている。すなわち、円筒部１３ａの内面１３ｃは、メッキ槽１３の縦方向の断面内において、テーパーのついたＲ形状に窪んでいる。テーパーは、メッキ槽受け３６に近いほど内面１３ｃの内径が小さくなる向きに設定されている。
【００２３】
そして、メッキ槽１３の内面１３ｃには、電極としての陰極（カソード）１７が設けられている。陰極１７は、メッキ槽１３の底部側の内面１３ｃに、無電解メッキを直接施して、薄膜のニッケルや銅等の金属を析出させ、メッキ槽１３の底部側を陰極１７としている。
【００２４】
一方、メッキ槽１３の上部にはメッキ液供給管１８が設けられている。メッキ液供給管１８は、中心線Ｂを中心として垂直な方向に縦長に設けられている。メッキ液供給管１８は金属材料で構成されていてもよいし、樹脂材料により構成されていてもよい。また、メッキ液供給管１８は上下方向に移動可能である。メッキ液供給管１８の下端に設けられた流出口１８ａは、メッキ槽１３のメッキ室１４に配置されている。流出口１８ａから、内面１３ｃの最下部までの距離は、２００ｍｍ程度が好ましい。メッキ液供給管１８の上端に設けられた流入口１８ｂは、流路１６を介してポンプ１５の吐出口１５ｂに接続されている。
【００２５】
また、メッキ液供給管１８であって、メッキ液Ａの液面辺りの位置には、電極としての陽極（アノード）１９が取り付けられている。陽極１９はメッキ液に浸漬されている。陽極１９は可溶性及び不溶性電極であり、陽極１９としては、ニッケルやスズ、銅を用いている。なお、陽極１９は、被処理物２０に対して電解析出させる金属に応じて任意の金属材料を用いることができる。この場合も、陽極１９は主としてニッケルが用いられる。
【００２６】
陰極１７及び陽極１９は、電源ユニット２１に接続されており、この電源ユニット２１からメッキ槽１３内のメッキ液Ａに直流が流されるようになっている。また、電源ユニット２１及びポンプ１５を制御する制御回路２２が設けられている。制御回路２２から出力される信号により、電極への通電・非通電が制御され、ポンプ１５の駆動・停止・回転速度等が制御される。
【００２７】
電気メッキ装置１０によって被処理物２０の表面に金属膜を電解析出させて、メッキ処理を行う電気メッキ方法を説明する。まず、メッキ液供給管１８の下端をメッキ槽１３のメッキ室１４に配置させ、かつ、メッキ室１４に被処理物２０を投入する。また、ポンプ１５を駆動させてタンク１２の内部１１のメッキ液Ａをポンプ１５で吸入する。ポンプ１５から吐出されたメッキ液は、流路１６、メッキ液供給管１８を通り、メッキ液供給管１８の流出口１８ａからメッキ室１４へ噴出される。すなわち、メッキ液Ａは中心線Ｂに沿った方向で下向きに噴出される。
【００２８】
また、電源ユニット２１から陰極１７及び陽極１９に電圧が印加される。ここで、メッキ室１４へのメッキ液Ａの供給制御と、陰極１７及び陽極１９に電圧を印加する制御とは、同時に行われてもよいし、いずれか一方の制御を先に行い、他方の制御を後で行ってもよい。
【００２９】
これにより、被処理物２０はメッキ室１４で形成されるメッキ液Ａの噴流により撹拌され、陰極１７に接触した被処理物２０に対して、他の被処理物２０が接触して、他の被処理物２０は陰極１７に電気的に接触する。このようにして、被処理物２０の表面には金属膜が電解析出されてメッキ処理される。
【００３０】
このように、被処理物２０をメッキ液Ａの噴流により撹拌させることによって、被処理物２０が相互に強く擦れあうことを防止でき、細長い被処理物２０や強度がない被処理物２０であっても、メッキ膜に傷を発生させることなく高品質のメッキ膜を形成することができる。また、メッキ室１４内のメッキ液Ａを流動させるために、被処理物２０の比重が、メッキ液Ａに近い場合でも、被処理物２０にメッキ膜を形成することができる。
【００３１】
上記のように、本実施形態の電気メッキ装置１０を用いる電気メッキ方法は、メッキ液Ａを下方に向けてメッキ室１４へと噴出する。つまり、メッキ液Ａは重力の作用する向きと同じ向きでメッキ液供給管１８から噴出される。このため、メッキ液Ａの流速が低下することを抑制でき、メッキ室１４で被処理物２０を十分に撹拌することができる。また、陰極１７を、メッキ槽１３の底部側の内面全域に施すことによって、被処理物２０と陰極１７との接点を十分に確保することができる。したがって、被処理物２０が陰極１７に接し易くなり、メッキ処理の効率が上昇する。
【００３２】
また、メッキ槽１３がタンク１２の内部１１に設けられているため、メッキ槽１３の上部からあふれたメッキ液Ａは、自重で落下してタンク１２の内部１１に貯留される。したがって、メッキ槽１３からあふれたメッキ液Ａを回収する機構、回収されたメッキ液Ａをタンク１２に戻す配管等を専用に設ける必要がない。
【００３３】
また、メッキ槽１３の内面１３ｃはテーパーのＲ形状に窪んでおり、メッキ液Ａは、メッキ槽１３の中心線Ｂに沿って下向きに噴出される。このため、メッキ液Ａの噴流がメッキ槽１３の底部側で内面１３ｃに衝突すると、運動エネルギにより中心線Ｂを中心とする円の半径方向で外側に向けて流動し、かつ、内面１３ｃの形状に沿って円弧形状に上昇する。したがって、被処理物２０が自重で撹拌され易くなり、被処理物２０がメッキ槽１３の底部付近に滞留することを抑制でき、被処理物２０が陰極１７に一層接触し易くなる。また、被処理物２０に対する撹拌効率が向上するため、メッキ室１４へ噴出するメッキ液Ａの流量を、なるべく少なくすることができる。
【００３４】
本実施形態のメッキ槽１３は、バレルメッキ等で用いられる籠や笊のようなメッシュ状の構造ではなく、内面１３ｃが連続的なＲ形状となっている。つまり、メッキ槽１３を厚さ方向に貫通する孔、厚さ方向の凹凸は設けられていない。したがって、被処理物２０がメッキ室１４内で引っ掛かったり、詰まったりすることもなく、被処理物２０を効率的に撹拌することができる。さらに、メッキ液Ａが供給されて被処理物２０が撹拌されたとしても、被処理物２０がメッキ槽１３の外部へ出ることがないように、メッキ槽１３の深さが決定されている。
【００３５】
次に、図１の電気メッキ装置１０で用いるメッキ液供給管１８の他の配置例を、図２（Ａ）に基づいて説明する。図２（Ａ）においては、メッキ槽１３及びメッキ液供給管１８以外の要素が省略されている。メッキ槽１３の側面視で図２（Ａ）のように、メッキ液供給管１８の内部における流出口１８ａ付近に、スクリュー５０が設けられている。スクリュー５０は回転しないように固定されており、取り外すことが可能である。メッキ液供給管１８から供給されるメッキ液Ａは、スクリュー５０によって渦が形成される。なお、スクリュー５０を取り外すことで通常の攪拌を行ったり、スクリュー５０を取り付けることで渦を発生させた攪拌を行うことができる。
【００３６】
図２（Ｂ）はメッキ液供給管１８のさらに他の配置例である。メッキ槽１３の平面視で、中心線Ｂとメッキ液供給管１８の中心線とが同軸にある。また、流出口１８ａは、中心線Ｂから外れた位置に設けられている。図２（Ｂ）においては、メッキ液供給管１８から噴出されるメッキ液Ａが、中心線Ｂを中心とする円の接線方向に向けて噴出されてメッキ槽１３に供給される。
【００３７】
メッキ槽１３へ供給されたメッキ液Ａは、メッキ室１４内で渦状に流動する。また、メッキ槽１３へ供給されたメッキ液Ａは、図２（Ｂ）のように、水平方向の平面内で、メッキ槽１３の内面に沿って流動し、中心線Ｂの回りに渦を描く軌跡で流動する。その結果、被処理物２０はメッキ液Ａの渦流動による遠心力で、メッキ槽１３の底部側の内面１３ｃに向けて押し付けられ、被処理物２０が陰極１７に接触し易くなる。
【００３８】
また、上記した各種の電気メッキ装置１０において実行可能な電気メッキ方法の他の例を説明する。例えば、電極に電力を供給している状態で、メッキ液Ａをメッキ槽１３に噴出する工程と、電極に電力を供給している状態で、メッキ液Ａをメッキ槽１３に噴出しない工程とを、交互に行う電気メッキ方法を採用できる。
【００３９】
さらに、図３には、メッキ槽１３を搬送する作業、メッキ槽１３内からメッキ液Ａを抜き取る（脱液）作業、メッキ槽１３の入れ替え作業等に用いる設備５１が示されている。設備５１は支柱２３を備えている。支柱２３は、レール５２に沿って水平方向に移動可能に設けられている。また設備５１は、支柱２３の高さ方向に沿って移動可能なスライダ２４を有しており、スライダ２４には昇降台２５が取り付けられている。
【００４０】
昇降台２５には昇降用の電動モータ２６が設けられており、電動モータ２６の回転及び停止を制御し、かつ回転方向を制御することにより、昇降台２５が支柱２３の高さ方向に昇降する。また、昇降台２５は、垂直方向の平面内で電動モータ２６の回転軸を中心として回動可能である。昇降台２５の回動は、電動モータ２６により行うことができる。
【００４１】
さらに、昇降台２５にはチャック機構２７が設けられている。チャック機構２７は、メッキ槽１３を掴む一対のチャック２８が取り付けられたヘッド２９と、一対のチャック２８を開閉動作させるシリンダ３０とを備えている。ヘッド２９は、上下方向に移動不可能であり、かつ、水平方向の平面内で回転できるように、昇降台２５に取り付けられている。また、シリンダ３０のプランジャを進退させることにより、一対のチャック２８が動作して、メッキ槽１３を把持及び解除ができる。シリンダ３０は油圧シリンダまたは空気圧シリンダのいずれでもよい。
【００４２】
さらに、ヘッド２９が取り付けられた中空の回転軸３１が設けられている。昇降台２５を回動させると、鉛直方向の線に対する回転軸３１の中心線の角度を調整可能である。昇降台２５には、原動機としての電動モータ３２が設けられており、電動モータ３２の動力を、回転軸３１に伝達する動力伝達機構３３が設けられている。動力伝達機構３３は、回転軸３１と電動モータ３２の出力軸３４との間で動力伝達を行う機構であり、動力伝達機構３３は、スプロケットとチェーンとの組み合わせ、プーリとベルトとの組み合わせ等が用いられている。なお、制御回路２２は、上記の電動モータ２６，３２及びシリンダ３０を制御する。
【００４３】
次に、上記のようなメッキ処理を実行する前の作業として、図３に示す設備５１を用いてメッキ槽１３を搬送する作業を説明する。まず、シリンダ３０を制御して一対のチャック２８でメッキ槽１３を掴む。また、電動モータ２６を駆動して昇降台２５の高さを調節し、メッキ槽１３をタンク１２の内部１１へ移動させ、メッキ槽受け３６上にメッキ槽１３を設置する。さらに、チャック２８を開きスライダ２４を上昇させ、メッキ槽１３からチャック２８を引き離す。
【００４４】
図３の設備５１は、昇降台２５が上昇したまま停止し、チャック２８がメッキ槽１３の上方に保持されるか、または、支柱２３をレール５２上で移動させ、メッキ槽１３及びタンク１２がある場所とは別の場所で、支柱２３が停止する。その後、前述したメッキ処理を実行することができる。
【００４５】
さらに、図３の設備５１を用いてメッキ槽１３内からメッキ液Ａを脱液し、メッキ液Ａを入れ替える作業を説明する。まず、メッキ処理が行われておらず、かつ、メッキ槽１３がタンク１２内に置かれている状態において、メッキ液供給管１８をメッキ槽１３の外部へ移動させる。次いで、チャック２８によりメッキ槽１３を掴み、昇降台２５を上昇させてメッキ槽１３をメッキ槽受け３６の上方へ移動させる。そして、回転軸３１の中心線を、鉛直方向に沿った線に対して傾斜させるとともに、電動モータ３２の動力によりメッキ槽１３を回転させる。すると、メッキ室１４のメッキ液Ａが、遠心力によりメッキ槽１３からあふれてタンク１２の内部１１へ落ちる。
【００４６】
その後、メッキ槽１３をメッキ槽受け３６に載せてチャック２８をメッキ槽１３から離す。また、昇降台２５をメッキ槽１３の上方に保持するか、または、タンク１２が設置された場所とは異なる場所に移動させる。さらに、メッキ液供給管１８をメッキ槽１３へ挿入し、メッキ液供給管１８からメッキ槽１３内へメッキ液Ａを供給する。このようにして、メッキ槽１３内のメッキ液Ａを入れ替える作業を行う。
【００４７】
さらに、図３の設備５１においては、メッキ処理を実行していない状態で、シリンダ３０を制御してチャック２８を動作させ、メッキ槽１３をチャック２８から取り外すことができる。したがって、タンク１２とは別にメッキ槽１３を単独で、作業者が運搬することができる。また、メッキ槽１３をチャック２８から取り外した状態で、メッキ槽１３へ被処理物２０を投入する作業、メッキ処理が終わった被処理物２０をメッキ槽１３から取り出す作業を行えば、これらの作業を容易に行うことができる。
【００４８】
本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることは言うまでもない。例えば、本発明の電気メッキ装置は、メッキ槽がタンクの内部に設けられた構造、メッキ槽がタンクの上方に設けられた構造を含む。メッキ槽を回転させる原動機は、電動モータ、油圧モータを含む。また、本発明の電気メッキ装置は、ポンプからメッキ液供給管に至る流路に、メッキ液の流量もしくは流速を制御する流量制御弁が設けられた構造を含む。さらに、水平方向の平面内におけるタンクの内面の形状は、円形、四角形等のいずれでもよい。さらに、図示されているメッキ槽は、底部の内面が下方に向けて窪む向きで湾曲したテーパーのＲ形状である例を説明しているが、本発明は、メッキ槽の底部の内面が平坦である構造を含む。
【符号の説明】
【００４９】
１０  電気メッキ装置
１３  メッキ槽
１３ａ  円筒部
１３ｃ  内面
１７  陰極
１８  メッキ液供給管
１８ａ  流出口
１９  陽極
２０  被処理物
Ａ  メッキ液
Ｂ  中心線
【図１】
2014162927.tif 000003
【図２】
2014162927.tif 000004
【図３】
2014162927.tif 000005