(57)【要約】【課題】気体雰囲気において反応を行わせる際に好適なチャンバを提供することである。【解決手段】本チャンバは、回転軸方向に所定の間隔で複数の棚を含む構造を回転軸の回りに複数有する回転ラックと、回転ラックを含む空間を密閉するためのハウジングとを有する。そして、複数の棚の少なくとも一部の棚の各々に対応して、当該棚の下の棚に対して液滴の落下を防止する機構が設けられている。【選択図】図１
2014211396.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転軸方向に所定の間隔で複数の棚を含む構造を前記回転軸の回りに複数有する回転ラックと、
前記回転ラックを含む空間を密閉するためのハウジングと、
を有し、
前記複数の棚の少なくとも一部に液滴の落下を防止する機構を設けたことを特徴とする
チャンバ。
【請求項２】
前記機構が、
前記複数の棚の少なくとも一部の棚の各々の下部に設けられた滴下防止板を有する
請求項１記載のチャンバ。
【請求項３】
前記滴下防止板が、
対応する棚に平行に、又は対応する棚の先端より当該対応する棚の根元の方が間隔が空くように傾斜させて設けられる
請求項２記載のチャンバ。
【請求項４】
前記滴下防止板が、対応する棚の片脇又は両脇に液滴を誘導する形状を有する
請求項３記載のチャンバ。
【請求項５】
前記滴下防止板の長手方向の側面に、当該側面の上方、下方又は両方に向いた平板が付加されている
請求項３又は４記載のチャンバ。
【請求項６】
前記滴下防止板が、対応する棚の先端より当該対応する棚の根元の方が間隔が空くように傾斜されて設けられる場合、
前記滴下防止板の長手方向の側面に、当該側面の下方に向いた平板、又は液滴の誘導路となる形状を有する部材が付加されている
請求項３又は４記載のチャンバ。
【請求項７】
前記棚の根元部分に貫通穴が設けられている
請求項６記載のチャンバ。
【請求項８】
前記棚の上面且つ貫通穴より前記棚の先端側に飛散防止板が設けられている
請求項７記載のチャンバ。
【請求項９】
前記回転ラックの下部に液滴の回収板が設けられている
請求項６乃至８のいずれか１つ記載のチャンバ。
【請求項１０】
前記滴下防止板の根本付近に貫通穴が設けられている
請求項６乃至９のいずれか１つ記載のチャンバ。
【請求項１１】
前記回転ラック上部に前記回転軸の回転に応じて回転する液体保持部を有する
請求項１乃至１０のいずれか１つ記載のチャンバ。
【請求項１２】
前記ハウジングの天井から、前記液体保持部に保持される液体の撹拌機構が下ろされている
請求項１１記載のチャンバ。
【請求項１３】
液体がジメチルスルホキシドである
請求項１１記載のチャンバ。
【請求項１４】
請求項１乃至１３のいずれか１つ記載のチャンバを有する除水装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、チャンバ及び当該チャンバを用いた装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
マイクロプレートを多数保管するための装置には、チャンバ内に回転ラックを用いる物がある。具体的には、回転ラックの軸方向に複数の棚を有する、棚の列を、回転ラックの軸の回りに複数設けることによって、限られた容積のチャンバ内に、より多くのマイクロプレートを保持させるようにしている。単にマイクロプレートを保管するだけであれば、このような装置は効率的である。しかし、マイクロプレートを保管する前に、考慮すべき事項がある。
【０００３】
例えば、薬剤候補物質の効能を試験するための薬剤候補物質は一般にＤＭＳＯ（Dimethyl sulfoxide）溶液として外気との接触が無い状態でマイクロプレートに保管されている。ＤＭＳＯは物質の溶解性が強く、反応性が低いため薬剤候補物質に影響を与えにくく長期的な保存の目的で使用される。一方、マイクロプレートを使用する場合には、ＤＭＳＯが外気に触れることになるが、ＤＭＳＯは吸湿性が高く外気と接触して水分を含むとＤＭＳＯ濃度が低下する。ＤＭＳＯ濃度が低下すると薬剤候補物質の保存と濃度変化の観点で悪影響がある。従って、ＤＭＳＯ濃度が低下してしまったマイクロプレートを、そのまま保管するのは問題であるので、除水を行うことが好ましいが、除水を効率的に実施するための装置は存在していない。但し、このようなマイクロプレートは一例であり、さらにマクロプレートにおけるＤＭＳＯからの除水は一つの問題に過ぎない。
【０００４】
例えば、マイクロプレートその他の容器を、ある気体の雰囲気中に配置して反応を行わせる場合、上で述べた保管用の装置のように、限られた容積のチャンバ内により多くの容器を配置できるようにすることが考えられる。しかしながら、反応を均一に行わせたり、チャンバ内の気体は場合によっては凝縮するなど、単なる保管ではないために配慮すべき問題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第４２８３１０９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
従って、本発明の目的は、一側面によれば、気体雰囲気において反応を行わせる際に好適なチャンバ及び当該チャンバを用いた装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係るチャンバは、回転軸方向に所定の間隔で複数の棚を含む構造を回転軸の回りに複数有する回転ラックと、回転ラックを含む空間を密閉するためのハウジングとを有する。そして、複数の棚の少なくとも一部に液滴の落下を防止する機構が設けられている。
【０００８】
気体が凝縮するような状態になっても、このような構成を採用すれば棚の上に載置される容器その他の物体上への滴下を効果的に防止できるようになる。例えば、複数の棚の少なくとも一部の棚の各々に対応して、上記の機構が設けられれば、効果的である。
【０００９】
また、上で述べた機構が、複数の棚の少なくとも一部の棚の各々の下部に設けられた滴下防止板を有するようにしても良い。別途滴下防止板を設けるだけではなく、棚の下面を、液滴落下防止のための形状にするようにしても良い。
【００１０】
さらに、上で述べた滴下防止板が、対応する棚に平行に、又は対応する棚の先端より当該対応する棚の根元の方が間隔が空くように傾斜させて設けられるようにしても良い。棚の前方への液滴落下防止のためである。
【００１１】
さらに、上で述べた滴下防止板が、対応する棚の片脇又は両脇に液滴を誘導する形状を有するようにしても良い。例えば円弧状にしたり二つ折り等の形状により両脇に液滴を誘導したり、一方に傾けることで片脇に液滴を誘導することで、下の棚に載置される容器などの物体に対して滴下を効果的に防止できる。なお、棚の横幅より滴下防止板が幅広となっている場合もある。
【００１２】
さらに、上で述べた滴下防止板の長手方向の側面に、当該側面の上方、下方又は両方に向いた平板が付加されている場合もある。より効果的に下の棚への滴下を防止できるようになる。なお、上方に向いた平板の場合には、穴が設けられる場合もある。
【００１３】
また、上で述べた滴下防止板が、対応する棚の先端より当該対応する棚の根元の方が間隔が空くように傾斜されて設けられる場合、滴下防止板の長手方向の側面に、当該側面の下方に向いた平板、又は液滴の誘導路となる形状を有する部材が付加されている場合もある。滴下防止板の下面の液滴を、滴下防止板の根元方向に誘導できれば、滴下防止を効果的に実現できる。
【００１４】
さらに、上で述べた滴下防止板が、対応する棚の先端より当該対応する棚の根元の方が間隔が空くように傾斜されて設けられる場合、上で述べた棚の根元部分に貫通穴を設けるようにしても良い。棚の根元部分に凝縮液などが貯まらないようにするためである。滴下防止板の根本付近に貫通穴が設けられている場合もある。
【００１５】
なお、上で述べた棚の上面且つ貫通穴より棚の先端側に飛散防止板が設けられている場合もある。棚に載置される容器などの物体へ液滴が飛散するのを防止するためである。
【００１６】
さらに、上で述べた回転ラックの下部に液滴の回収板が設けられている場合もある。回転ラックの回転軸側に凝縮液などが回り込むのを防止するためである。
【００１７】
さらに、回転ラック上部に回転軸の回転に応じて回転する液体保持部を有するようにしても良い。液体保持部に注入された液体を、回転ラックを回転させることで撹拌できるようになる。
【００１８】
さらに、上で述べたハウジングの天井から、液体保持部に保持される液体の撹拌機構が下ろされている場合もある。撹拌の有無を切り替え可能になる。
【００１９】
なお、本発明の他の特徴については実施の形態に記載されている。
【発明の効果】
【００２０】
一側面において、気体雰囲気において反応を行わせる際に好適なチャンバ及びチャンバを用いた装置が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】図１は、実施の形態に係る除水装置の上面図である。
【図２】図２は、除水装置の第１の側面図である。
【図３】図３は、除水装置の第２の側面図である。
【図４】図４は、回転ラックの透視側面図である。
【図５】図５は、第１の実施の形態における回転ラックの列構造を説明するための図である。
【図６Ａ】図６Ａは、滴下防止板の断面の第１の例を示す図である。
【図６Ｂ】図６Ｂは、滴下防止板の断面の第２の例を示す図である。
【図６Ｃ】図６Ｃは、滴下防止板の断面の第３の例を示す図である。
【図６Ｄ】図６Ｄは、滴下防止板の断面の第４の例を示す図である。
【図７Ａ】図７Ａは、滴下防止板の断面の第５の例を示す図である。
【図７Ｂ】図７Ｂは、棚の下面を加工する例を示す図である。
【図８】図８は、補助板を説明するための図である。
【図９】図９（ａ）及び（ｂ）は、補助板が下平板である例を示す図である。
【図１０】図１０（ａ）及び（ｂ）は、補助板が傾斜付き下平板である例を示す図である。
【図１１】図１１（ａ）及び（ｂ）は、補助板が上平板である例を示す図である。
【図１２】図１２（ａ）及び（ｂ）は、補助板が下平板及び上平板である例を示す図である。
【図１３】図１３（ａ）及び（ｂ）は、補助板が上平板と傾斜付き下平板と止め板である例を示す図である。
【図１４】図１４は、止め板形状の他の例を示す図である。
【図１５】図１５は、図１３の上面図である。
【図１６Ａ】図１６Ａは、回転ラックの側面図（一部のみ）である。
【図１６Ｂ】図１６Ｂは、ＤＳＭＯ凝縮液の流れを模式的に示す図である。
【図１７】図１７は、第２の実施の形態における回転ラックの列構造を説明するための図である。
【図１８Ａ】図１８Ａは、滴下防止板の断面の第１の例を示す図である。
【図１８Ｂ】図１８Ｂは、滴下防止板の断面の第２の例を示す図である。
【図１８Ｃ】図１８Ｃは、滴下防止板の断面の第３の例を示す図である。
【図１８Ｄ】図１８Ｄは、滴下防止板の断面の第４の例を示す図である。
【図１９】図１９（ａ）は、補助板が下平板である例を示し、図１９（ｂ）は、補助板が下トレンチ角型補助板である例を示し、図１９（ｃ）は、補助板が下トレンチＶ字補助板である例を示し、図１９（ｄ）は、下トレンチＵ字補助板である例を示す図である。
【図２０】図２０は、補助板は上平板である例を示す図である。
【図２１】図２１（ａ）は、上平板と下平板の組み合わせを示し、図２１（ｂ）は、上平板と下トレンチ角型補助板の組み合わせを示し、図２１（ｃ）は、上平板と下トレンチＶ字補助板の組み合わせを示し、図２１（ｄ）は、上平板と下トレンチＵ字補助板の組み合わせを示す図である。
【図２２】図２２は、貫通ドレン穴を説明するための図である。
【図２３】図２３は、ＤＳＭＯ凝縮液の流れを模式的に示す図である。
【図２４】図２４は、棚のピッチを説明するための図である。
【図２５】図２５は、チャンバ内部のファンが設けられる面を示す図である。
【図２６】図２６は、ファンによる気体の撹拌について説明するための図である。
【図２７】図２７は、撹拌機能を説明するための図である。
【図２８】図２８は、ＤＭＳＯ容器の上面図を示す。
【図２９】図２９（ａ）及び（ｂ）は、撹拌機能の動作を説明するための図である。
【図３０】図３０（ａ）及び（ｂ）は、撹拌機能の動作を説明するための図である。
【図３１】図３１は、シャフトにヒータを設けた例を示す図である。
【図３２】図３２は、シャフトにヒータを設けた例を示す図である。
【図３３】図３３は、アーム及びグリッパの構成及び動作を説明するための図である。
【図３４】図３４は、アーム及びグリッパの構成及び動作を説明するための図である。
【図３５】図３５は、アーム及びグリッパの構成及び動作を説明するための図である。
【図３６】図３６は、アーム及びグリッパの構成及び動作を説明するための図である。
【図３７】図３７は、制御装置の機能ブロック図である。
【図３８】図３８は、データ格納部に格納されるデータの一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、本実施の形態では、マイクロプレートの各ウェルに保持されているＤＭＳＯ溶液に吸収された水分を除去するためのチャンバ及び当該チャンバを用いた装置を一例として説明する。
【００２３】
図１に、本実施の形態に係る除水装置の上面図を示す。除水装置１００には、Ｎ2パージエリア３が設けられており、当該Ｎ2パージエリア３に一部が含まれるチャンバ１及びシーラ２が含まれる。さらに、除水装置１００は、スタッカ５と、当該スタッカ５上に除水処理及びシール処理が完了したマイクロプレートを保管する回収マガジン５１及び除水処理前のマイクロプレートを保管する供給マガジン５２と、制御装置６と、マイクロプレートの持ち運びを行うアームの移動レール４とを有する。なお、アーム及び当該アームに付けられるグリッパ部分については後に説明する。
【００２４】
シーラ２については、除水処理を行った後マイクロプレートを投入する部分が、Ｎ2パージエリア３に含まれている。シーラ２の構成自体は従来と同じであるから説明を省略する。また、Ｎ2パージエリア３には、Ｎ2を充満させる機構が含まれるが、この部分も従来と同じであり図示されていない。また、Ｎ2パージエリア３には、移動レール４を移動するアームが出入り可能となっているが、この部分の構造についても従来と同じであるから、ここでは説明を省略する。
【００２５】
図１においてチャンバ１の部分は透視図となっており、チャンバ１は、その外壁であるハウジング内部に、回転軸となるシャフト１１の回転に連動して回転する回転ラック１２を有する。回転ラック１２の外周は、上から見ると例えば８角形となっており、その各辺には、マイクロプレートを載置するための棚を含む列構造１３（図１では１３ａ乃至１３ｈ）を有する。また、回転ラック１２の最上部には、ＤＭＳＯを保持するＤＭＳＯ容器１５が設けられている。さらに、チャンバ１には、内部の気体を循環させるためのファン１４ａ乃至１４ｄが設けられている。ファン１４ａ乃至１４ｄについては、後に説明する。また、チャンバ１には、Ｎ2パージエリア３側に、列構造１３に設けられた棚の数分の扉付き取り出し口が設けられたインタフェース部１５０も設けられている。扉は、ばねなどによってアームに付されたグリッパ又はマイクロプレートで押されると内部に倒れ、グリッパを引き出すと元の位置に戻ることで、チャンバ内１の気密性を保持する。
【００２６】
この除水装置１００では、チャンバ１内部とＮ2パージエリア３とに、Ｎ2を充満させ、内部の水分を極力減少させる。その後チャンバ１内部に設けられたＤＭＳＯ容器１５に新たなＤＭＳＯを充填する。充填機構については、従来と同じであるから、ここでは説明を省略する。
【００２７】
そして、ファン１４を回転させて、回転ラック１２も回転させる。所定時間放置すれば、ＤＭＳＯが自然蒸発するので、チャンバ１内部はＤＭＳＯ雰囲気となる。このため、チャンバ１内部はＤＭＳＯ耐性を有する素材を用いている。
【００２８】
そして、供給マガジン５２にセットされている、除水処理すべきマイクロプレート（蓋及びシールがないもの）をスタッカ５から１つ出力して、スタッカ５の受け渡し位置Ａでアームのグリッパによって挟んで保持する。そしてそのままこのマイクロプレートを、Ｎ2パージエリア３に運び入れ、さらにインタフェース部１５０の前の位置Ｂまで移動させる。
【００２９】
ここで、このマイクロプレートを載置すべき棚を含む列構造１３が位置Ｂの正面になるように回転ラック１２を回転させる。そして、アームのグリッパを、載置すべき棚の高さに合わせて上下させ、マイクロプレートを挟んでいるグリッパを、以下で説明する扉付き取り出し口の扉を押し倒すようにしてチャンバ１内部に差し込んだ後、マイクロプレートを放せば、マイクロプレートが棚の上に載置されることになる。その後、グリッパを扉付き取り出し口から引き抜いて、アームを所定の位置に移動させる。
【００３０】
所定時間、回転ラック１２を回転させつつ、ファン１４でＤＭＳＯ気体を循環させる。このようにすると、マイクロプレート内のＤＭＳＯ溶液に含まれる水分が、チャンバ１内のＤＭＳＯ気体に移動し、さらに最終的にはＤＭＳＯ容器１５内のＤＭＳＯ液体内に移行する。チャンバ１内部のＤＭＳＯ濃度は飽和ＤＭＳＯ濃度近くになるが、チャンバ１内部全体が可能な限り均一の環境になるように、回転ラック１２を回転させて撹拌すると共に、ファン１４で下から上へ気体を循環させる。
【００３１】
なお、ＤＭＳＯ容器１５内のＤＭＳＯについては、定期的に入れ替えて、除水を効率的に行うようにすることが好ましい。なお、ＤＭＳＯ液体の供給及び排出については、通常の液体の供給及び排出と同じであるから、これ以上述べない。
【００３２】
その後、マイクロプレートを取り出す時間になると、再度アームを位置Ｂへ移動させて、回転ラック１２の目的の棚を含む列構造１３をインタフェース部１５０の前まで移動させる。そして、グリッパを、取り出すべきマイクロプレートが載置されている棚に対応する扉付き取り出し口の前の位置に移動させ、扉を押し倒すようにしてチャンバ１内部に差し込み、マイクロプレートを取り出す。
【００３３】
後に詳しく述べるが、取り出し時にはＤＭＳＯの凝縮液がマイクロプレート上部に付着しているので、アームに付けられている拭き取り機構によってそれを拭き取る。その後、マイクロプレートは、アーム及びグリッパによりシーラ２の位置Ｃに移動され、シーラ２に投入される。シーラ２は、マイクロプレートの上部にシールを施す。シールすることで、マイクロプレートに保持されている溶液を外気、酸素及び湿度などから遮断できるようになる。シールが施されたマイクロプレートは、再度グリッパ及びアームによって保持され、Ｎ2パージエリア３から取り出され、スタッカ５の位置Ａまで移動させて、スタッカ５により回収マガジン５１に配置される。
【００３４】
このような動作については、制御装置６によって制御される。特に、チャンバ１内のどの棚にマイクロプレートを載置するかを決定し、回転ラック１２を回転させて当該棚をインタフェース部１５０の面に対向させる。そして、そのマイクロプレートをどのタイミングで投入したかを管理しておき、所定時間経過すると、再度回転ラック１２を回転させて当該棚をインタフェース部１５０の面に対向させ、その棚からアーム及びグリッパにそのマイクロプレートを取り出させ、シーラ２にシール処理を行わせる。
【００３５】
図２に、図１の第１の側面図（チャンバ１のインタフェース部１５０側の側面）を示す。なお、Ｎ2パージエリア３については透視図となっている。図１に関連して述べたように、チャンバ１のインタフェース部１５０には、回転ラック１２の列構造に含まれる棚の数に応じた扉付き取り出し口１５１ａ乃至１５１ｅが設けられている。この扉付き取り出し口１５１ａ乃至１５１ｅについては、回転ラック１２における列構造１３に含まれる棚の数に応じて設けられる。扉付き取り出し口１５１ａ乃至１５１ｅの構造は、従来とおおよそ同じ構造であるから、これ以上述べない。
【００３６】
また、レール４には、アーム台座４１が配置されており、このアーム台座４１に後に述べるアーム及びグリッパが設置され、アーム台座４１がレール４上を図２の左右に移動する。なお、アームのグリッパは、高さ方向にも移動可能になっており、指定された棚に対応する扉付き取り出し口１５１の高さに移動させられ、マイクロプレートを取り出したり、載置したりする。
【００３７】
図３に、図１の第２の側面図（スタッカ５、供給マガジン５２及び回収マガジン５１側の側面）を示す。図３に示すように、制御装置６には、タッチパネル６１が設けられており、除水装置１００に対する指示を、ユーザはタッチパネル６１から入力する。タッチパネルは一例であり、他の入力手段を設けるようにしても良い。
【００３８】
図４に、チャンバ１に設けられる回転ラック１２の透視側面図（インタフェース部１５０側の側面）を示す。但し、一部の列構造１３については図示の都合から除去された状態を表している。
【００３９】
図４の例では、回転ラック１２に設けられている列構造１３には、回転ラック１２の回転軸方向に５つの棚１３１ａ乃至１３１ｅが設けられている。棚１３１ａ乃至１３１ｅ等の詳細については後に述べる。また、チャンバ１の下部には、モータ８３がつり下げられており、モータ８３の回転軸先端部にはプーリー８２が設けられている。同様に、回転ラック１２の回転軸となるシャフト１１の下方向先端部はチャンバ１の底部を貫通しており、ゴーリー８１が設けられている。プーリー８２とゴーリー８１とはベルト８４で連結されており、モータ８３の回転軸の回転に応じて、シャフト１１が回転し、さらに回転ラック１２も回転するようになっている。チャンバ１内部をＤＭＳＯ雰囲気で保つためにシャフト１１がチャンバ１を貫通する部分にはシールがなされているが、これは従来技術と同じであるからここでは説明を省略する。
【００４０】
本実施の形態では、ＤＭＳＯ雰囲気において回転ラック１２の棚に載置された複数のマイクロプレート内のＤＭＳＯ溶液から除水を均一に行うと共に、チャンバ１内においてＤＭＳＯが凝縮した場合にＤＭＳＯの液滴がマイクロプレート上に落下するのを防止する。
【００４１】
まず、ＤＭＳＯの液滴落下防止機構について、図５乃至図２３を用いて説明する。
【００４２】
［液滴落下防止機構：第１の実施の形態］
図５に、図４に示した回転ラック１２の列構造１３ｃにおける棚１３１ｂ乃至１３１ｄの部分の拡大図を示す。但し、説明の都合上この部分を拡大しているだけであるから、以下で説明する構成については、回転ラック１２の各列構造１３における各棚について実装されている。
【００４３】
各棚１３１ｂ乃至１３１ｄの上面側には、図５に示すように、マイクロプレート１００１乃至１００３のいずれかが載置される。一方、棚１３１ｂの下面側には、当該棚の直下の棚への液滴落下防止のために、滴下防止板２０１ｂをおよそ棚１３１ｂに平行に設ける。同様に、棚１３１ｃの下面側には、滴下防止板２０１ｃをおよそ棚１３１ｃに平行に設ける。さらに、棚１３１ｄの下面側には、滴下防止板２０１ｄをおよそ棚１３１ｄに平行に設ける。滴下防止板２０１ｂ乃至２０１ｄは、単なる平板ではなく、図６Ａ乃至図６Ｄに形状の一例を示す。
【００４４】
図６Ａは、第１の例についての図５におけるαα’断面を表す。図６Ａでは、滴下防止板２０１ｂの断面形状は円弧となっている。このようにすれば、棚１３１ｂの下面側に設けられた滴下防止板２０１ｂの両脇にＤＭＳＯの液滴が伝って行き、直下の棚１３１ｃ上のマイクロプレート１００２上には液滴が落下しないようになる。
【００４５】
また、図６Ｂは、第２の例についての図５におけるαα’断面を表す。図６Ｂでは、滴下防止板２０１ｂの断面形状は円弧を近似した多角形の一部となっている。このようにしても、棚１３１ｂの下面側に設けられた滴下防止板２０１ｂの両脇にＤＭＳＯの液滴が伝って行き、直下の棚１３１ｃ上に載置されているマイクロプレート１００２上には液滴が落下しないようになる。
【００４６】
さらに、図６Ｃは、第３の例についての図５におけるαα’断面を表す。図６Ｃでは、滴下防止板２０１ｂの断面形状は二等辺三角形の上二辺となっている。このようにしても、棚１３１ｂの下面側に設けられた滴下防止板２０１ｂの両脇にＤＭＳＯの液滴が伝って行き、直下の棚１３１ｃ上に載置されているマイクロプレート１００２上には液滴が落下しないようになる。二等辺三角形でない三角形であっても良い。
【００４７】
また、図６Ｄは、第４の例についての図５におけるαα’断面を表す。図６Ｄでは、滴下防止板２０１ｂの断面形状は右下がりの斜辺となっている。左下がりの斜辺であっても良い。このようにすれば、棚１３１ｂの下面側に設けられた滴下防止板２０１ｂの右側（左下がりであれば左側）にＤＭＳＯの液滴が伝って行き、直下の棚１３１ｃ上に載置されているマイクロプレート１００２上には液滴が落下しないようになる。
【００４８】
なお、図６Ａ乃至図６Ｄの例では、棚１３１と滴下防止板２０１の横幅は同じになっているが、図７Ａに模式的に示すように、滴下防止板２０１の横幅を棚１３１の横幅より長くして、よりマイクロプレート上に液滴が落下するのを防止しても良い。円弧の滴下防止板２０１だけではなく、他の断面形状も採用可能である。
【００４９】
さらに、図７Ｂに模式的に示すように、棚１３１と滴下防止板２０１とを一体的に形成するようにしても良い。図７Ｂの例では、棚１３１の下面の形状を、図６Ｃのような二等辺三角形の上二辺のような形状に加工することで、ＤＭＳＯの液滴が棚１３１の下面を両側に伝って行き、直下の棚１３１上に載置されているマイクロプレート上に液滴が落下するのを防止できる。二等辺三角形の上二辺のような形状だけではなく、他の形状に加工するようにしても良い。
【００５０】
さらに、αα’断面における滴下防止板２０１の両端部分等に補助板を接合する場合もある。図８に示すように、滴下防止板２０１の右側端部を用いて説明する。
【００５１】
補助板の第１の例は、下平板２０３ａであり、  図９（ａ）はその正面（回転ラック１２の外周側から内周側向き）を表しており、図９（ｂ）はその側面を示している。下平板２０３ａは、滴下防止板２０１の両端に鉛直下向きにそれぞれ接合され、側面の長さは液滴防止板２０１と同様の長さ又はやや短い長さとなっている。また、下平板２０３ａの側面の幅はおおよそ一定となっている。この下平板２０３ａは，滴下防止板２０１の下面で凝縮され下面を伝って端部に集まってくるＤＭＳＯの凝縮液を下平板２０３ａのある位置で下方向に速やかに落下させるために設けられる。
【００５２】
補助板の第２の例は、傾斜付き下平板２０３ｂであり、図１０（ａ）はその正面を表しており、図１０（ｂ）はその側面を示している。傾斜付き下平板２０３ｂは、滴下防止板２０１の両端に鉛直下向きにそれぞれ接合されており、側面の長さは液滴防止板２０１と同様の長さ又はやや短い長さとなっている。但し、傾斜付き下平板２０３ｂの側面は、液滴防止板２０１の根元に向けて徐々に幅広となっている。これによって、液滴防止板２０１の根元の方に液滴を伝わせるようにして、マイクロプレート上に液滴が落下するのを防止している。
【００５３】
さらに、補助板の第３の例は、上平板２０３ｃであり、図１１（ａ）はその正面を表しており、図１１（ｂ）はその側面を示している。上平板２０３ｃは、滴下防止板２０１の両端の鉛直上向きにそれぞれ接合されており、側面の長さは滴下防止板２０１と同様の長さ又はやや短い長さとなっている。また、上平板２０３ｃの側面の幅はおおよそ一定となっている。但し、上平板２０３ｃの側面には複数の抜き穴２０４が設けられている。この上平板２０３ｃは、滴下防止板２０１の上部で凝縮された又は棚１３１から落下して上部を伝って端部に集まってくるＤＭＳＯ凝縮液を上平板２０３ｃのある位置で一度受けて、抜き穴２０４を介して上平板２０３ｃのある位置で下方向に速やかに落下させるために設けられる。
【００５４】
さらに、補助板の第４の例は、下平板２０３ａと上平板２０３ｃとの組み合わせであり、図１２（ａ）はその正面を表しており、図１２（ｂ）はその側面を示している。
【００５５】
また、補助板の第５の例は、抜き穴が設けられていない上平板２０３ｄと傾斜付き下平板２０３ｂと止め板２０５との組み合わせであり、図１３（ａ）はその正面を表しており、図１３（ｂ）はその側面を示している。上平板２０３ｄには抜き穴が設けられていないので棚１３１の外側端部（図１３（ｂ）の左側）の方に滴下防止板２０１上面を伝ってＤＭＳＯ凝縮液が流れ落ちるのを防止する止め板２０５が設けられている。図１３（ｂ）では、止め板２０５は、滴下防止板２０１の断面カーブに沿った形、すなわちおおよそ三角形である例を示しているが、図１４の正面図で示すように、矩形であっても良い。なお、図１３の場合の上面図を図１５に示す。図１５の上側は回転ラック１２の回転軸中心方向を示し、下側は回転ラック１２の外周方向を示す。滴下防止板２０１の両脇には抜き穴無しの上平板２０３ｄ（下平板２０３ｂは現れていない）が接合され、滴下防止板２０１の外周側の辺における両脇の一部に、止め板２０５が設けられている。
【００５６】
なお、図１６Ａに示すように、列構造１３における最も下の棚１３１ｅ及びその滴下防止板２０１ｅ（但し最も下の棚１３１ｅの下側には滴下防止板２０１ｅを設けない場合もある）の下には、可動部分とは干渉しないようにしつつ例えばチャンバ１の底面に敷き詰めるように、ＤＭＳＯ凝縮液のドレンパン２０７が設置されている。これによってＤＭＳＯ凝縮液を回収する。
【００５７】
ＤＭＳＯ凝縮液の流れを、図１６Ａにおけるββ’断面を表す図１６Ｂで模式的に示す。この例では、図１１に示した例を示しているが、他の例でも同様である。滴下防止板２０１の上面側で凝縮したＤＭＳＯ凝縮液は、滴下防止板２０１上面を伝ってその両脇に流れて行き、ドレンパン２０７へ落下する。同様に、滴下防止板２０１下面側で凝縮したＤＭＳＯ凝縮液も、滴下防止板２０１下面を伝ってその両脇に流れて行き、同じくドレンパン２０７へ落下する。
【００５８】
このようにして、マイクロプレート上に液滴が落下するのを防止でき、ドレンパン２０７でＤＭＳＯ凝縮液を回収できる。
【００５９】
［液滴落下防止機構：第２の実施の形態］
第１の実施の形態では、滴下防止板２０１が棚１３１とほぼ平行に設けられている場合を示したが、滴下防止板に傾斜を設けることで、効果的にＤＭＳＯ凝縮液を集めて流すことができるようになる。本実施の形態では、滴下防止板に傾斜を設けるケースについて詳述する。
【００６０】
図１７に、図４に示した回転ラック１２の列構造１３ｃにおける棚１３１ｂ乃至１３１ｄの部分の拡大図を示す。但し、説明の都合上この部分を拡大しているだけであるから、以下で説明する構成については、回転ラック１２の各列構造１３における各棚について実装されている。
【００６１】
各棚１３１ｂ乃至１３１ｄの上面側には、図１７に示すように、マイクロプレート１００１乃至１００３のいずれかが載置される。一方、棚１３１ｂの下面側には、当該棚の直下の棚への液滴落下防止のために、滴下防止板２１１ｂを、本実施の形態では、斜めに設ける。より具体的には、滴下防止板２１１ｂを、回転ラック１２の回転軸側の方が、回転ラック１２の外周側よりも棚１３１ｂとの距離が長くなるように傾けている。すなわち、滴下防止板２１１ｂ周辺で凝縮したＤＭＳＯ凝縮液が、滴下防止板２１１ｂを伝って回転ラック１２の回転軸側に流れて行くようにしている。同様に、棚１３１ｃの下面側には、滴下防止板２１１ｃを斜めに設ける。また、滴下防止板２１１ｃは、滴下防止板２１１ｂに平行に設けられている。さらに、棚１３１ｄの下面側には、滴下防止板２１１ｄを斜めに設ける。また、滴下防止板２１１ｄは、滴下防止板２１１ｂ及び２１１ｃに平行に設けられている。なお、滴下防止板２１１ｂ乃至２１１ｄの傾き角θについては、実験などで適宜決定する。
【００６２】
滴下防止板２１１ｂ乃至２１１ｄは、単なる平板の場合であればそうでない場合もある。図１８Ａ乃至図１８Ｄに形状の例を示す。
【００６３】
図１８Ａは、第１の例についての図１７におけるαα’断面を表す。図１８Ａでは、滴下防止板２１１ｂの断面形状は円弧となっている。このようにすれば、棚１３１ｂの下面側に設けられた滴下防止板２１１ｂの両脇又は回転ラック１２の回転軸側にＤＭＳＯの凝縮液が伝って行き、直下の棚１３１ｃ上に載置されているマイクロプレート１００２上には液滴が落下しないようになる。
【００６４】
また、図１８Ｂは、第２の例についての図１７におけるαα’断面を表す。図１８Ｂでは、滴下防止板２１１ｂの断面形状は円弧を近似した多角形の一部となっている。このようにしても、棚１３１ｂの下面側に設けられた滴下防止板２１１ｂの両脇又は回転ラック１２の回転軸側にＤＭＳＯの凝縮液が伝って行き、直下の棚１３１ｃ上に載置されているマイクロプレート１００２上には液滴が落下しないようになる。
【００６５】
さらに、図１８Ｃは、第３の例についての図１７におけるαα’断面を表す。図１８Ｃでは、滴下防止板２１１ｂの断面形状は二等辺三角形の上二辺となっている。このようにしても、棚１３１ｂの下面側に設けられた滴下防止板２１１ｂの両脇又は回転ラック１２の回転軸側にＤＭＳＯの凝縮液が伝って行き、直下の棚１３１ｃ上に載置されているマイクロプレート１００２上には液滴が落下しないようになる。なお、二等辺三角形でない三角形であっても良い。
【００６６】
また、図１８Ｄは、第４の例についての図１７におけるαα’断面を表す。図１８Ｄでは、滴下防止板２１１ｂの断面形状は単なる直線であって、滴下防止板２１１ｂが平板であることが分かる。このようにすれば、棚１３１ｂの下面側に設けられた滴下防止板２１１ｂ上を回転ラック１２の回転軸方向にＤＭＳＯの凝縮液が伝って行き、直下の棚１３１ｃ上に載置されているマイクロプレート１００２上には液滴が落下しないようになる。
【００６７】
なお、図１８Ａ乃至図１８Ｄの例では、棚１３１と滴下防止板２１１の横幅は同じになっているが、第１の実施の形態の例（図７Ａ）のように、滴下防止板２１１の横幅を棚１３１の横幅より長くして、よりマイクロプレート上に液滴が落下するのを防止しても良い。円弧の滴下防止板２１１だけではなく、他の断面形状も採用可能である。
【００６８】
さらに、第１の実施の形態（図７Ｂ）のように、棚１３１と滴下防止板２１１とを一体的に形成するようにしても良い。
【００６９】
さらに、αα’断面における滴下防止板２１１の両端部分等に補助板を接合する場合もある。図８に示すように、滴下防止板２１１の右側端部を用いて説明する。
【００７０】
補助板の第１の例は、下平板２１３ａであり、  図１９（ａ）はその正面（回転ラック１２の回転軸の外周側から内周側向き）を表している。この下平板２１３ａの側面は、単なる長方形であってもよいし、滴下防止板２１１の傾き角θを考慮した平行四辺形にしてもよい。下平板２１３ａは、滴下防止板２１１の両端に鉛直下向きにそれぞれ接合され、側面の長さは液滴防止板２１１と同様の長さ又はやや短い長さとなっている。また、下平板２１３ａの側面の幅はおおよそ一定となっている。この下平板２１３ａは，滴下防止板２１１の下面で凝縮され下面を伝って端部に集まってくるＤＭＳＯの凝縮液を下平板２１３ａのある位置で下方向に速やかに落下させるために設けられる。
【００７１】
補助板の第２の例は、下トレンチ角型補助板２１３ｂであり、図１９（ｂ）はその正面を表している。この下トレンチ角型補助板２１３ｂの側面は、単なる長方形であってもよいし、滴下防止板２１１の傾き角θを考慮した平行四辺形にしてもよい。下トレンチ角型補助板２１３ｂは、滴下防止板２１１の両端に鉛直下向きに接合されており、側面の長さは液滴防止板２１１と同様の長さ又はやや短い長さとなっている。また、下トレンチ角型補助板２１３ｂの側面の幅はおおよそ一定となっている。これによって、滴下防止板２１１の下面から伝ってきたＤＭＳＯ凝縮液をトレンチで滴下防止板２１１の根元方向に流すことで、マイクロプレート上に液滴が落下するのを防止している。
【００７２】
さらに、補助板の第３の例は、下トレンチＶ字補助板２１３ｃであり、図１９（ｃ）はその正面を表している。この下トレンチＶ字補助板２１３ｃの側面は、単なる長方形のものであってもよいし、滴下防止板２１１の傾き角θを考慮した平行四辺形にしても良い。下トレンチＶ字補助板２１３ｃは、滴下防止板２１１の両端の鉛直下向きに接合されており、側面の長さは滴下防止板２１１と同様の長さ又はやや短い長さとなっている。また、下トレンチＶ字補助板２１３ｃの側面の幅はおおよそ一定となっている。この下トレンチＶ字補助板２１３ｃも、滴下防止板２１１の下面から伝ってきたＤＭＳＯ凝縮液をトレンチで滴下防止板２１１の根元方向に流すことで、マイクロプレート上に液滴が落下するのを防止している。
【００７３】
さらに、補助板の第４の例は、下トレンチＵ字補助板２１３ｄであり、図１９（ｄ）はその正面を表している。この下トレンチＵ字補助板２１３ｄの側面は、単なる長方形のものであってもよいし、滴下防止板２１１の傾き角θを考慮した平行四辺形にしても良い。下トレンチＵ字補助板２１３ｄは、滴下防止板２１１の両端の鉛直下向きに接合されており、側面の長さは滴下防止板２１１と同様の長さ又はやや短い長さとなっている。また、下トレンチＵ字補助板２１３ｄの側面の幅はおおよそ一定となっている。この下トレンチＵ字補助板２１３ｄも、滴下防止板２１１の下面から伝ってきたＤＭＳＯ凝縮液をトレンチで滴下防止板２１１の根元方向に流すことで、マイクロプレート上に液滴が落下するのを防止している。
【００７４】
さらに、補助板の第５の例は、上平板２１３ｅであり、図２０はその正面を表している。上平板２１３ｅの側面は、長方形のものであってもよいし、滴下防止板２１１の傾き角θを考慮した平行四辺形にしても良い。上平板２１３ｅは、滴下防止板２１１の両端の鉛直上向きに接合されており、側面の長さは滴下防止板２１１と同様の長さ又はやや短い長さとなっている。また、上平板２１３ｅの側面の幅はおおよそ一定となっている。本実施の形態では、滴下防止板２１１が傾けられているので、第１の実施の形態のような抜き穴は設けられていない。但し、抜き穴を設けるようにしても良い。この上平板２１３ｅは、滴下防止板２１１の上部で凝縮された又は棚１３１から落下して上部を伝って端部に集まってくるＤＭＳＯ凝縮液を上平板２１３ｅのある位置で一度受けて、滴下防止板２１１の根元方向に流すために設けられる。
【００７５】
さらに、補助板の第６の例は、上平板２１３ｅと図１９（ａ）に示した下平板２１３ａとの組み合わせであり、図２１（ａ）はその正面を表している。また、補助板の第７の例は、上平板２１３ｅと図１９（ｂ）に示した下トレンチ角型補助板２１３ｂとの組み合わせであり、図２１（ｂ）はその正面を表している。さらに、補助板の第８の例は、上平板２１３ｅと図１９（ｃ）に示した下トレンチＶ字補助板２１３ｃとの組み合わせであり、図２１（ｃ）はその正面を表している。さらに、補助板の第９の例は、上平板２１３ｅと図１９（ｄ）に示した下トレンチＵ字補助板２１３ｄとの組み合わせであり、図２１（ｄ）はその正面を表している。
【００７６】
なお、第１の実施の形態と同様に、図２２に示すように、列構造１３における最も下の棚１３１ｅ及びその滴下防止板２１１ｅ（但し最も下の棚１３１ｅの下側には滴下防止板２１１ｅを設けない場合もある）の下には、可動部分とは干渉しないようにしつつ例えばチャンバ１の底面に敷き詰めるように、ＤＭＳＯ凝縮液のドレンパン２０７が設置されている。これによってＤＭＳＯ凝縮液を回収する。
【００７７】
さらに、滴下防止板２１１を傾けて回転ラック１２に接合させているので、滴下防止板２１１の根元にＤＭＳＯの凝縮液が流れてくることになる。そして、この凝縮液は、回転ラック１２の本体部分を伝って下方向に流れる。従って、回転ラック１２の本体部分を伝って流れる凝縮液の、マイクロプレートへの飛散を防止することが好ましいので、飛散防止壁２１５を棚１３１上に当該棚１３１に垂直に設ける。図２２では、棚１３１ｃ上には回転ラック１２の本体部分から所定距離離れた位置に飛散防止壁２１５ｃが設けられ、棚１３１ｄ上には回転ラック１２の本体部分から所定距離離れた位置に飛散防止壁２１５ｄが設けられ、棚１３１ｅ上には回転ラック１２の本体部分から所定距離離れた位置に飛散防止壁２１５ｅが設けられている。
【００７８】
また、回転ラック１２の本体部分を伝って流れる道を作るために、棚１３１の根元の一部に貫通ドレン穴２１６を設ける。図２２では、棚１３１ｃには貫通ドレン穴２１６ｃが設けられ、棚１３１ｄには貫通ドレン穴２１６ｄが設けられ、棚１３１ｅには貫通ドレン穴２１６ｅが設けられる。
【００７９】
同様に、回転ラック１２の本体部分を伝って流れる道を作るために、滴下防止板２１１の根元の一部（両脇）に貫通ドレン穴２１７を設ける。図２２では、滴下防止板２１１ｃには貫通ドレン穴２１７ｃが設けられ、滴下防止板２１１ｄには貫通ドレン穴２１７ｄが設けられ、滴下防止板２１１ｅには貫通ドレン穴２１７ｅが設けられている。
【００８０】
さらに、回転ラック１２の本体部分下部には、回転ラック１２の本体部分を伝って流れてくるＤＭＳＯ凝縮液がシャフト１１に流れ込むのを防止してドレンパン２０７に凝縮液を落とすために、回収板２１９が設けられている。この回収板２１９は、回転ラック１２の本体部分が上から見ると８角形となっているので、この８角形の各辺に沿った形で設けられる。
【００８１】
なお、補助板については回転ラック１２に接合させない場合には、貫通ドレン穴を設けなくても良いが、補助板の端部を回転ラック１２に接合させるような構造であれば、補助板のトレンチ底部における回転ラック１２との接合部分付近にも貫通ドレン穴を設ける。
【００８２】
ＤＭＳＯ凝縮液の流れを、図２２におけるββ’断面を表す図２３で模式的に示す。この例では、下トレンチＵ字補助板２１３ｄと上平板２１３ｅとの組み合わせを滴下防止板２１１に付けた例を示しているが、他の例でも同様である。滴下防止板２１１の上面側で凝縮したＤＭＳＯ凝縮液は、滴下防止板２１１上面を伝ってその両脇に流れて行き、さらに滴下防止板２１１の傾斜に沿って回転ラック１２の根元まで流れてくる。そしてさらに、ＤＭＳＯ凝縮液は、滴下防止板２１１の貫通ドレン穴２１６を通って下に流れ、回転ラック１２の本体部分及び回収板２１９を伝ってドレンパン２０７へ落下する。同様に、滴下防止板２１１下面側で凝縮したＤＭＳＯ凝縮液も、滴下防止板２１１下面を伝ってその両脇に流れて行き、さらに滴下防止板２１１の傾斜に沿ってトレンチを伝って回転ラック１２の本体部分へ流れて行く。そして、、ＤＭＳＯ凝縮液は、滴下防止板２１１の貫通ドレン穴２１７を通って下に流れ、回転ラック１２の本体部分及び回収板２１９を伝ってドレンパン２０７へ落下する。
【００８３】
このようにして、マイクロプレート上に液滴が落下するのを防止でき、ドレンパン２０７でＤＭＳＯ凝縮液が回収できる。
【００８４】
［棚のピッチ］
本実施の形態では、単なるマイクロプレートの保管ではないので、ＤＭＳＯ雰囲気で回転ラック１２を所定の速度で常時回転させて、棚１３１上に載置されているマイクロプレートを、水分をあまり含まないＤＭＳＯ気体に触れさせる。そのため、棚のピッチも考慮する。
【００８５】
図２４は、図１７と同様の部分を示しているが、マイクロプレートの高さをＨ１と定義し、棚１３１の厚みをＨ２と定義し、滴下防止板２１１が占める空間の高さをＨ３と定義し、滴下防止板２１１が占める空間の下端と下に配置されているマイクロプレートの上端との間の長さをＨ４と定義している。
【００８６】
この際、Ｈ１は、実際のマイクロプレートの高さから約４ｍｍ乃至約５０ｍｍとなっている。また、Ｈ２は、約０．３ｍｍから約１．０ｍｍとなる。さらに、Ｈ３は、約１０ｍｍ乃至２５ｍｍとなる。そして、Ｈ４は、約５ｍｍから約１５ｍｍが好ましい。このようなＨ４は、棚１３１に載置されたマイクロプレートに、ＤＭＳＯ気体を触れさせる上で適度な間隔となっており、適切なサイズのチャンバ１内に載置可能なマイクロプレートの数を増加させるという効率の観点においても好ましい。
【００８７】
［ＤＭＳＯ気体の循環］
図１に示すように、チャンバ１にはファン１４ａ乃至１４ｄが設けられている。チャンバ１内におけるファン１４が設けられた面の正面図を図２５に示す。図２５に示すように、チャンバ１内において、ファン１４が設けられた面には、ダクト１７が設けられており、その内部の下部にファン１４が設けられている。ダクト１７の上部には、開口部１７ａが設けられている。ファン１４のモータ自体はチャンバ１の外部に設けられており、ファン１４は、ＤＭＳＯ雰囲気中で用いられるので、防爆仕様のものが用いられている。例えば、ターボ型又はシロッコ型のファンが用いられている。
【００８８】
図２６に模式的に示すように、ファン１４のモータを回すと、チャンバ１の下部の気体をダクト１７内の上方に吸い上げ、開口部１７ａからチャンバ１上部にはき出すことで、チャンバ１内部の空気を撹拌する。
【００８９】
なお、ファンの数については、４つの例を示しているが、より多くのファンを用いる場合もあれば、少ないファンで十分な場合もある。
【００９０】
［ＤＭＳＯ容器における撹拌］
図１に示すようにＤＭＳＯ容器１５は、回転ラック１２に設けられており、回転ラック１２と共に回転する。ＤＭＳＯ容器１５の回転により、内部に充填されているＤＭＳＯも撹拌されるが、これのみでは十分ではない場合もある。具体的には、吸湿によってＤＭＳＯ容器１５内における上部のＤＭＳＯ濃度が薄く、下部のＤＭＳＯ濃度が濃いというような状態が発生してしまうが、ＤＭＳＯ液体と気相の界面となるＤＭＳＯ容器１５の上部におけるＤＭＳＯ濃度を高くできれば、水分の吸収がし易く、ＤＭＳＯが蒸発しやすい。
【００９１】
そこで、図２７に示すように、チャンバ１の天井から、ＤＭＳＯ容器１５内でＤＭＳＯ液体中に入れられる撹拌羽根１８ａを先端に有する、折りたたみ式の支柱１８ｂがつり下げられている。
【００９２】
撹拌羽根１８ａは、図２８に示すように、支柱１８ｂを中心としてハの字を描くような形を有している。すなわち、撹拌羽根１８ａは２枚の板を含み、２枚の板を平行に配置した後、一方の端部の距離を短くし他方の端部の距離を長くするようにしている。また、ＤＭＳＯ容器１５が時計回りと反時計回りとのいずれで回転する場合にも対処できるように、シャフト１１の方向に、２枚の板の距離が短い方の端部が向くように配置されている。また、このような撹拌機構については、複数設けられる場合もある。
【００９３】
このような撹拌機構の動作を図２９及び図３０を用いて説明する。図２９（ａ）は、支柱１８ｂを伸ばした状態における、撹拌機構の側面を示している。また、図２９（ｂ）は、支柱１８ｂを畳んだ状態における、撹拌機構の側面を示している。このように、支柱１８ｂは、複数の部材を連結することで構成されており、連結部のねじを締めるなどして姿勢を固定する。
【００９４】
図３０（ａ）及び（ｂ）は、別の側面を示しており、図３０（ａ）は支柱１８ｂを畳んだ状態を示しており、図３０（ｂ）は支柱１８ｂを伸ばした状態を示している。このような支柱１８ｂの折りたたみ動作中、いずれかの部分が、ＤＭＳＯ容器１５の側壁などとの干渉しないように配置する。
【００９５】
［ヒータ］
回転ラック１２の周辺においてＤＭＳＯが凝縮することを防止するためには、温度を上昇させることが好ましい場合がある。例えば、図３１に示すように、チャンバ１のハウジング天井上まで伸ばしたシャフト１１ｂを採用し、当該シャフト１１ｂの上端部にヒータ取り付け用の軸受け１１ｃを取り付ける。そして、軸受け１１ｃの周辺にヒータ１９ａを設ける。これによって、軸受け１１ｃ及びシャフト１１ｂを熱が伝わって、回転ラック１２その他の構造物の温度が上昇する。これによって、それらの構造物の温度が周辺の気相の温度より上昇することでこれらの構造物の近傍における飽和蒸気圧が上がり凝縮しにくくなる。ヒータ１９ａは、温度センサ１９ｂとヒータ制御部１９ｃによってその温度が制御される。
【００９６】
なお、図３２に示すように、チャンバ１の上部だけではなく、下部にもヒータ１９ｄを設けるようにしても良い。下部の場合にも、シャフト１１ｂに軸受け１１ｄを設けて、当該軸受け１１ｄにヒータ１９ｄを取り付ける。そして、ヒータ１９ｄは、温度センサ１９ｅとヒータ制御部１９ｆによってその温度が制御される。
【００９７】
このように上部下部とで暖めることによって、より効果的にＤＭＳＯの凝縮を抑制できるようになる。
【００９８】
［アーム及びグリッパ］
次に、図３３乃至図３６を用いて、アーム及びグリッパにより、マイクロプレートを取り出す際の動作を説明する。
【００９９】
アームは、アーム台座４１上に載ってレール４を移動すると共に、当該アームに設けられているグリッパを上下動させる機構（図示せず）を有する。
【０１００】
さらに、アームベース４２の先端部分には、拭き取り機構が設けられている。拭き取り機構は、拭き取り紙のロールがセットされるロールセット部４８と、使用済みの拭き取り紙を巻き取る巻き取り部４７と、拭き取り紙のロールと巻き取り部４７との間の拭き取り紙４９にテンションをかけてマイクロプレート上端部分に拭き取り紙４９を触れさせるためのスキージ４６と、スキージ４６を上下動を行うための駆動シリンダ４５ａ及び４５ｂとを含む。拭き取り紙４９は、ちりが出ないような不織布などである。
【０１０１】
図１においてレール４からチャンバ１方向に伸びるアームベース４２の下部には、グリッパ４４が設けられており、このグリッパ４４の開閉は、グリッパ開閉機構４３により行われる。グリッパ４４及びグリッパ開閉機構４３は、アームベース４２の下面に設けられたレール５０に沿って、アームベース４２の根元部分から先端部分まで移動する。
【０１０２】
例えば、マイクロプレート１００１を取り出す場合には、アームベース４２を扉付き取り出し口１５１の正面までレール４に沿って移動させる。その後、グリッパ４４の高さをマイクロプレート１００１の高さに合わせてアームベース４２の高さを上下させる。そして、グリッパ開閉機構４３は、グリッパ４４を開かせると共に、グリッパ４４及びグリッパ開閉機構４３を、レール５０に沿ってアームベース４２の先端部分まで移動させる。そうすると、図３４に示すような状態となる。そして、グリッパ開閉機構４３は、グリッパ４４を閉じさせて、マイクロプレート１００１を掴ませる。
【０１０３】
その後、グリッパ４４及びグリッパ開閉機構４３をレール５０に沿って、アームベース４２の根元方向に移動させると、チャンバ１からマイクロプレート１００１を引き出すことになる。但し、マイクロプレート１００１の先頭部分が、スキージ４６の先端直下の位置まで引き出されると、駆動シリンダ４５ａ及び４５ｂにてスキージ４６を下方向に移動させ、拭き取り紙４９にテンションを掛けて拭き取り紙４９をマイクロプレート１００１の上端に触れさせる。
【０１０４】
この後は、グリッパ４４及びグリッパ開閉機構４３をレール５０に沿って、アームベース４２の根元方向に移動させるのと連動して、巻き取り部４７により拭き取り紙４９を所定の速度で巻き取る。これによって、拭き取り紙４９の新しい部分がマイクロプレート１００１の上端面に触れて、適切にＤＭＳＯ溶液を拭き取ることができる。図３５には、マイクロプレート１００１の後端部分まで拭き取りが終わった状態を示している。
【０１０５】
そうすると、図３６に示すように、スキージ４６を駆動シリンダ４５ａ及び４５ｂで上方の初期位置に移動させる。
【０１０６】
その後、マイクロプレート１００１をグリッパ４４で挟んだ状態で、アーム全体をレール４に沿ってシーラ２の方向に移動させ、シーラ２でマイクロプレート１００１の上端面をシールさせる。
【０１０７】
なお、マイクロプレートを載置する場合には、拭き取り機構を用いないが、上で述べたマイクロプレートの取り出し動作の逆の動作を行う。
【０１０８】
［制御及びマイクロプレートの管理］
制御装置６は、図３７に示すように、チャンバ１内部に載置したマイクロプレートの管理を行うマイクロプレート管理部６２と、データ格納部６３と、各種構成要素（アーム、スタッカ５、回転ラック１２を回転させるモータ等）の制御を行う制御部６４とを有する。
【０１０９】
データ格納部６３には、例えば、図３８に示すように、回転ラック１２の列構造１３の列番号と各列構造１３内の棚の棚番号との組み合わせで特定される棚毎に、マイクロプレートを載置した時刻（すなわち載置時刻又は載置時間のためのタイマ値）を格納するようになっている。
【０１１０】
例えば、１枚のマイクロプレートの除水処理及びシール処理を行う場合には、マイクロプレート管理部６２は、図３８に示すようなデータ構造において載置時刻（又はタイマ値）が登録されていない棚を特定する。そして、マイクロプレート管理部６２は、制御部６４に対して、列番号及び棚番号を出力する。制御部６４は、スタッカ５に対して供給マガジン５２から１枚のマイクロプレートを出力するように指示し、アーム及びグリッパ４４に対してチャンバ１までそのマイクロプレートを移動させるように指示する。さらに、制御部６４は、モータ８３の回転を制御して、回転ラック１２における、列番号に対応する列構造１３を扉付き取り出し口の位置まで回転させる。そして、アーム及びグリッパ４４の高さを、棚番号に応じた高さに合わせて移動させ、マイクロプレートをチャンバ１内の指定された列構造１３における指定棚に載置する。このような動作が完了すると、制御部６４から完了通知をマイクロプレート管理部６２に出力する。マイクロプレート管理部６２は、これに応じてデータ格納部６３における列番号及び棚番号で特定される位置に載置時刻（又はタイマ値）を登録する。なお、マイクロプレートの識別子が管理されている場合には、マイクロプレートの識別子をも同様のデータ構造で管理しても良い。
【０１１１】
マイクロプレート管理部６２は、定期的にデータ格納部６３に格納されている載置時刻（又はタイマ値）から、載置すべき時間が経過したかを確認する処理を行う。タイマ値の場合は経過時刻に対応する値を減ずる。そして、載置すべき時間が経過したマイクロプレートが存在することを検出すると、マイクロプレート管理部６２は、そのマイクロプレートの列番号及び棚番号を特定する。
【０１１２】
そして、マイクロプレート管理部６２は、制御部６４に対して、列番号及び棚番号を出力する。制御部６４は、アーム及びグリッパ４４に対してチャンバ１までそのマイクロプレートを移動させるように指示する。さらに、制御部６４は、モータ８３の回転を制御して、回転ラック１２における、列番号に対応する列構造１３を扉付き取り出し口の位置まで回転させる。そして、アーム及びグリッパ４４の高さを、棚番号に応じた高さに合わせて移動させ、チャンバ１内の指定された列構造１３における指定棚に載置されたマイクロプレートを取り出させる。その後、アーム及びグリッパ４４を制御して、シーラ２においてシール処理を行わせて、スタッカ５まで持ち帰らせる。グリッパ４４が、スタッカ５の受け渡し位置Ｃでスタッカ５にシール後のマイクロプレートを放し、スタッカ５が回収マガジン５１にマイクロプレートを移動させる。
【０１１３】
このような動作を行った後、マイクロプレート管理部６２は、データ格納部６３における列番号及び棚番号で特定される位置に格納されている載置時刻（又はタイマ値）を削除又は無効化する。
【０１１４】
以上のような制御を行うことで、マイクロプレートの除水処理及びシール処理が適切になされるようになる。
【０１１５】
以上本技術の実施の形態を説明したが、本技術はこれに限定されるものではない。
【０１１６】
例えば、回転ラック１２は上から見ると８角形であるが、８角形に限定されず、チャンバ１内の気体の循環状況、マイクロプレートの収納枚数等から決定される。１つの列構造１３における棚の数も、上で述べたＨ４の長さやチャンバ１のサイズ等によって決定される。
【０１１７】
また、マイクロプレートが棚に載置される例を説明したが、他の物体が載置されるケースを想定しても良い。さらに、シーラ２やスタッカ５が連動しないような応用例もあり得る。アームなども棚への載置対象物に応じて変更される可能性もある。さらに、チャンバ１内部をＤＭＳＯ以外の気体雰囲気にする場合もあるが、上で述べたようなチャンバ１は対応できる。
【０１１８】
滴下防止板は取り外し可能にしておき、その形状や傾きなどを変更するようにしても良い。
【０１１９】
さらに、上で述べたチャンバ１は、その目的は除水に限定されるものではなく、他の目的で用いることも可能である。
【符号の説明】
【０１２０】
１００  除水装置
１  チャンバ
２  シーラ
３  Ｎ2パージエリア
４  移動レール
５  スタッカ
５１  回収マガジン
５２  供給マガジン
６  制御装置
１２  回転ラック
１３  列構造
１４  ファン
１５  ＤＭＳＯ容器
１５０  インタフェース部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図６Ｃ】
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【図６Ｄ】
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【図７Ａ】
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【図７Ｂ】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６Ａ】
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【図１６Ｂ】
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【図１７】
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【図１８Ａ】
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【図１８Ｂ】
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【図１８Ｃ】
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【図１８Ｄ】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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【図３６】
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【図３７】
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【図３８】
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