(57)【要約】【課題】給排気ファンの起動時からクリーンルームの室内気圧を速やかに目標室圧にすることができる給排気ファン制御システムを提供する。【解決手段】給排気ファン制御システム１０においてコントローラ１９は、給排気ファン１２，１３の起動時からクリーンルーム１１Ａ、１１Ｂの室内気圧が目標室圧に達するまでの間に、圧力センサ１８が計測したクリーンルーム１１Ａ、１１Ｂの室内気圧が上位の基準室圧を上回った場合、給気風量漸増手段を中断してその時点における給気ファン１２の給気風量を維持する給気風量維持手段を含むとともに、給気風量維持手段によってファン１２の給気風量を維持している間、排気ファン１２に対して排気風量漸増手段を継続して行う。【選択図】図１
2014005986.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
空調空間を有する空調室に空気を給気する給気ファンと、前記空調室から空気を排気する排気ファンと、前記空調室の室内気圧を計測する圧力センサと、前記給気ファンの給気風量および前記排気ファンの排気風量を制御するコントローラとを備え、前記コントローラが、前記給気ファンの起動時から前記空調室の室内気圧が目標室圧に達するまでの間にその給気ファンの給気風量を次第に増やす給気風量漸増手段と、前記排気ファンの起動時から前記空調室の室内気圧が目標室圧に達するまでの間にその排気ファンの排気風量を次第に増やす排気風量漸増手段とを有する給排気ファン制御システムにおいて、
前記コントローラが、前記給排気ファンの起動時から前記空調室の室内気圧が目標室圧に達するまでの間に、前記圧力センサが計測した前記空調室の室内気圧が上位の基準室圧を上回った場合、前記給気風量漸増手段を中断してその時点における前記給気ファンの給気風量を維持する給気風量維持手段を含むとともに、前記給気風量維持手段によって前記給気ファンの給気風量を維持している間、前記排気風量漸増手段を継続して行うことを特徴とする給排気ファン制御システム。
【請求項２】
前記コントローラは、前記給気風量維持手段によって前記給気ファンの給気風量を維持している間に、前記圧力センサが計測した前記空調室の室内気圧が前記上位の基準室圧を下回った場合、前記給気風量維持手段を中断して前記給気風量漸増手段を再び行う請求項１に記載の給排気ファン制御システム。
【請求項３】
前記コントローラが、前記給排気ファンの起動時から前記空調室の室内気圧が目標室圧に達するまでの間に、前記圧力センサが計測した前記空調室の室内気圧が下位の基準室圧を下回った場合、前記排気風量漸増手段を中断してその時点における前記排気ファンの排気風量を維持する排気風量維持手段を含むとともに、前記排気風量維持手段によって前記排気ファンの排気風量を維持している間、前記給気風量漸増手段を継続して行う請求項１または請求項２に記載の給排気ファン制御システム。
【請求項４】
前記コントローラは、前記排気風量維持手段によって前記排気ファンの排気風量を維持している間に、前記圧力センサが計測した前記空調室の室内気圧が前記下位の基準室圧を上回った場合、前記排気風量維持手段を中断して前記排気風量漸増手段を再び行う請求項３に記載の給排気ファン制御システム。
【請求項５】
前記上位の基準室圧が、前記空調室の目標室圧、前記空調室の目標室圧よりも高い上限室圧、前記目標室圧と前記上限室圧との間で任意に設定された設定室圧のいずれかであり、前記下位の基準室圧が、前記給排気ファンの起動時における大気圧である請求項３または請求項４に記載の給排気ファン制御システム。
【請求項６】
前記給気ファンの給気風量と前記排気ファンの排気風量とが、インバーターによって調節され、前記給気風量漸増手段では、前記給気ファンの周波数が０から設定周波数に向かって次第に増え、前記排気風量漸増手段では、前記排気ファンの周波数が０から設定周波数に向かって次第に増え、前記給気風量漸増手段における周波数の漸増量と前記排気風量漸増手段における周波数の漸増量とが、０．１〜１０．０Ｈｚ／秒の範囲にある請求項１ないし請求項５いずれかに記載の給排気ファン制御システム。
【請求項７】
空調空間を有する空調室に空気を給気する給気ファンと、前記空調室から空気を排気する排気ファンと、前記空調室の室内気圧を計測する圧力センサと、前記給気ファンの給気風量および前記排気ファンの排気風量を制御するコントローラとを備え、前記コントローラが、前記空調室の目標室圧を維持しつつ運転中の前記給気ファンがその運転を停止するまでの間にその給気ファンの給気風量を次第に減らす給気風量漸減手段と、前記空調室の目標室圧を維持しつつ運転中の前記排気ファンがその運転を停止までの間にその排気ファンの排気風量を次第に減らす排気風量漸減手段とを有する給排気ファン制御システムにおいて、
前記コントローラが、前記空調室の目標室圧を維持しつつ運転中の前記給排気ファンがその運転を停止するまでの間に、前記圧力センサが計測した前記空調室の室内気圧が下位の基準室圧を下回った場合、前記給気風量漸減手段を中断してその時点における前記給気ファンの給気風量を維持する給気風量維持手段を含むとともに、前記給気風量維持手段によって前記給気ファンの給気風量を維持している間、前記排気風量漸減手段を継続して行うことを特徴とする給排気ファン制御システム。
【請求項８】
前記コントローラは、前記給気風量維持手段によって前記給気ファンの給気風量を維持している間に、前記圧力センサが計測した前記空調室の室内気圧が前記下位の基準室圧を上回った場合、前記給気風量維持手段を中断して前記給気風量漸減手段を再び行う請求項７に記載の給排気ファン制御システム。
【請求項９】
前記コントローラが、前記空調室の目標室圧を維持しつつ運転中の前記給排気ファンがその運転を停止するまでの間に、前記圧力センサが計測した前記空調室の室内気圧が上位の基準室圧を上回った場合、前記排気風量漸減手段を中断してその時点における前記排気ファンの排気風量を維持する排気風量維持手段を含むとともに、前記排気風量維持手段によって前記排気ファンの排気風量を維持している間、前記給気風量漸減手段を継続して行う請求項７または請求項８に記載の給排気ファン制御システム。
【請求項１０】
前記コントローラは、前記排気風量維持手段によって前記排気ファンの排気風量を維持している間に、前記圧力センサが計測した前記空調室の室内気圧が前記上位の基準室圧を下回った場合、前記排気風量維持手段を中断して前記排気風量漸減手段を再び行う請求項９に記載の給排気ファン制御システム。
【請求項１１】
前記下位の基準室圧が、前記給排気ファンの停止時における大気圧、前記大気圧と前記空調室の目標室圧との間で任意に設定された設定室圧のいずれかであり、前記上位の基準室圧が、前記空調室の目標室圧、前記空調室の目標室圧よりも高い上限室圧、前記目標室圧と前記上限室圧との間で任意に設定された設定室圧のいずれかである請求項９または請求項１０に記載の給排気ファン制御システム。
【請求項１２】
前記給気ファンの給気風量と前記排気ファンの排気風量とが、インバーターによって調節され、前記給気風量漸減手段では、前記給気ファンの周波数が設定周波数から０に向かって次第に減り、前記排気風量漸減手段では、前記排気ファンの周波数が設定周波数から０に向かって次第に減り、前記給気風量漸減手段における周波数の漸減量と前記排気風量漸減手段における周波数の漸減量とが、０．１〜１０．０Ｈｚ／秒の範囲にある請求項７ないし請求項１１いずれかに記載の給排気ファン制御システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、空調空間を有する空調室に空気を給気する給気ファンおよび空調室から空気を排気する排気ファンを制御する給排気ファン制御システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
換気対象室に対して給排気作用する換気装置を設け、その換気対象室に対して換気装置とは別に給気または排気作用する送気装置を設け、換気対象室の室圧検出に基づいて、検出室圧を設定値に維持するように換気装置を自動制御する室圧制御手段を設けるとともに、換気装置および室圧制御手段が定常作用している状態での送気装置の送気量変更の際に、その送気量の単位時間あたりにおける変化量を、送気装置の送気量変更に伴う室圧の変化が室圧制御手段の作用により設定許容変化巾内に抑制される値に規制するように、送気装置の送気量を自動調整する室圧安定化制御手段を設けた空調装置が開示されている（特許文献１参照）。
【０００３】
この空調装置は、フィードバックされた風量調整用ダンパそれぞれのダンパ開度のうち最大のものが設定適正開度範囲を開き側に逸脱している場合、給気圧を次第に上昇させる。また、フィードバックされた風量調整用ダンパそれぞれのダンパ開度のうち最大のものが設定適正開度範囲を閉じ側に逸脱している場合、給気圧を次第に低下させる。その結果、風量調整用ダンパそれぞれのダンパ開度のうち最大のものが全開開度近くに設定された適正開度範囲内に維持されるように給気圧制御が実行される。空調装置は、フィードバックされた室圧調整用ダンパ装置それぞれのダンパ開度のうち少なくとも１つが設定適正中間開度範囲を開き側に逸脱している場合、排気圧を次第に上昇させる。また、フィードバックされた室圧調整用ダンパ装置それぞれのダンパ開度のうち少なくとも１つが設定適正中間開度範囲を閉じ側に逸脱している場合、排気圧を次第に低下させる。その結果、室圧調整用ダンパ装置それぞれのダンパ開度の全てが全開開度付近および全閉開度付近を除いて設定された適正中間開度範囲内に維持されるように排気圧制御が実行される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特公平６−７０１８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
前記特許文献１に開示の空調装置は、フィードバックされた風量調整用ダンパのダンパ開度が設定適正開度範囲を逸脱している場合、換気装置や送気装置の給気圧を次第に上昇または低下させ、換気装置や送気装置の給気圧の制御動作を遅くするから、換気装置や送気装置の起動時から換気対象室の室内気圧が目標室圧に達するまでに長時間を要し、換気対象室の室内気圧を速やかに目標室圧にすることができない。また、フィードバックされた室圧調整用ダンパ装置のダンパ開度が設定適正中間開度範囲を逸脱している場合、換気装置や送気装置の排気圧を次第に上昇または低下させ、換気装置や送気装置の排気圧の制御動作を遅くするから、換気装置や送気装置の起動時から換気対象室の室内気圧が目標室圧に達するまでに長時間を要し、換気対象室の室内気圧を速やかに目標室圧にすることができない。
【０００６】
なお、換気装置や送気装置の起動時から換気対象室の室内気圧が目標室圧に達するまでの間に、それら装置における給気圧や排気圧が大きく上昇または大きく低下する場合があり、その結果、換気対象室の室内気圧と外気圧との圧力差が必要以上に大きくなって、空気が換気対象室に不用意に侵入し、侵入した空気によって換気対象室が汚染されるコンタミネーションを起こす場合がある。また、運転中の換気装置や送気装置がその運転を停止するまでの間に、それら装置における給気圧や排気圧が大きく上昇または大きく低下する場合があり、その結果、換気対象室の室内気圧と外気圧との圧力差が必要以上に大きくなって、空気が換気対象室に不用意に侵入し、侵入した空気によって換気対象室が汚染されるコンタミネーションを起こす場合がある。
【０００７】
本発明の目的は、給排気ファンの起動時から空調室の室内気圧が目標室圧に達するまでに長時間を要せず、空調室の室内気圧を速やかに目標室圧にすることができる給排気ファン制御システムを提供することにある。本発明の他の目的は、給排気ファンの起動時や停止時に空調室と外気圧との圧力差が必要以上に大きくなることはなく、空調室への空気の不用意な侵入を防ぐことができ、侵入した空気によって空調室が汚染されるコンタミネーションを防ぐことができる給排気ファン制御システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記課題を解決するための本発明の第１の前提は、空調空間を有する空調室に空気を給気する給気ファンと、空調室から空気を排気する排気ファンと、空調室の室内気圧を計測する圧力センサと、給気ファンの給気風量および排気ファンの排気風量を制御するコントローラとを備え、コントローラが、給気ファンの起動時から空調室の室内気圧が目標室圧に達するまでの間にその給気ファンの給気風量を次第に増やす給気風量漸増手段と、排気ファンの起動時から空調室の室内気圧が目標室圧に達するまでの間にその排気ファンの排気風量を次第に増やす排気風量漸増手段とを有する給排気ファン制御システムである。
【０００９】
前記第１の前提における本発明の給排気ファン制御システムの第１の特徴は、コントローラが、給排気ファンの起動時から空調室の室内気圧が目標室圧に達するまでの間に、圧力センサが計測した空調室の室内気圧が上位の基準室圧を上回った場合、給気風量漸増手段を中断してその時点における給気ファンの給気風量を維持する給気風量維持手段を含むとともに、給気風量維持手段によって給気ファンの給気風量を維持している間、排気風量漸増手段を継続して行うことにある。
【００１０】
前記第１の特徴を有する給排気ファン制御システムの一例として、コントローラは、給気風量維持手段によって給気ファンの給気風量を維持している間に、圧力センサが計測した空調室の室内気圧が上位の基準室圧を下回った場合、給気風量維持手段を中断して給気風量漸増手段を再び行う。
【００１１】
前記第１の特徴を有する給排気ファン制御システムの他の一例としては、コントローラが、給排気ファンの起動時から空調室の室内気圧が目標室圧に達するまでの間に、圧力センサが計測した空調室の室内気圧が下位の基準室圧を下回った場合、排気風量漸増手段を中断してその時点における排気ファンの排気風量を維持する排気風量維持手段を含むとともに、排気風量維持手段によって排気ファンの排気風量を維持している間、給気風量漸増手段を継続して行う。
【００１２】
前記第１の特徴を有する給排気ファン制御システムの他の一例として、コントローラは、排気風量維持手段によって排気ファンの排気風量を維持している間に、圧力センサが計測した空調室の室内気圧が下位の基準室圧を上回った場合、排気風量維持手段を中断して排気風量漸増手段を再び行う。
【００１３】
前記第１の特徴を有する給排気ファン制御システムの他の一例としては、上位の基準室圧が空調室の目標室圧、空調室の目標室圧よりも高い上限室圧、目標室圧と上限室圧との間で任意に設定された設定室圧のいずれかであり、下位の基準室圧が給排気ファンの起動時における大気圧である。
【００１４】
前記第１の特徴を有する給排気ファン制御システムの他の一例としては、給気ファンの給気風量と排気ファンの排気風量とがインバーターによって調節され、給気風量漸増手段では、給気ファンの周波数が０から設定周波数に向かって次第に増え、排気風量漸増手段では、排気ファンの周波数が０から設定周波数に向かって次第に増え、給気風量漸増手段における周波数の漸増量と排気風量漸増手段における周波数の漸増量とが０．１〜１０．０Ｈｚ／秒の範囲にある。
【００１５】
前記課題を解決するための本発明の第２の前提は、空調空間を有する空調室に空気を給気する給気ファンと、空調室から空気を排気する排気ファンと、空調室の室内気圧を計測する圧力センサと、給気ファンの給気風量および排気ファンの排気風量を制御するコントローラとを備え、コントローラが、空調室の目標室圧を維持しつつ運転中の給気ファンがその運転を停止するまでの間にその給気ファンの給気風量を次第に減らす給気風量漸減手段と、空調室の目標室圧を維持しつつ運転中の排気ファンがその運転を停止までの間にその排気ファンの排気風量を次第に減らす排気風量漸減手段とを有する給排気ファン制御システムである。
【００１６】
前記第２の前提における本発明の給排気ファン制御システムの第２の特徴は、コントローラが、空調室の目標室圧を維持しつつ運転中の給排気ファンがその運転を停止するまでの間に、圧力センサが計測した空調室の室内気圧が下位の基準室圧を下回った場合、給気風量漸減手段を中断してその時点における給気ファンの給気風量を維持する給気風量維持手段を含むとともに、給気風量維持手段によって給気ファンの給気風量を維持している間、排気風量漸減手段を継続して行うことにある。
【００１７】
前記第２の特徴を有する給排気ファン制御システムの一例として、コントローラは、給気風量維持手段によって給気ファンの給気風量を維持している間に、圧力センサが計測した空調室の室内気圧が下位の基準室圧を上回った場合、給気風量維持手段を中断して給気風量漸減手段を再び行う。
【００１８】
前記第２の特徴を有する給排気ファン制御システムの他の一例としては、コントローラが、空調室の目標室圧を維持しつつ運転中の給排気ファンがその運転を停止するまでの間に、圧力センサが計測した空調室の室内気圧が上位の基準室圧を上回った場合、排気風量漸減手段を中断してその時点における排気ファンの排気風量を維持する排気風量維持手段を含むとともに、排気風量維持手段によって排気ファンの排気風量を維持している間、給気風量漸減手段を継続して行う。
【００１９】
前記第２の特徴を有する給排気ファン制御システムの他の一例として、コントローラは、排気風量維持手段によって排気ファンの排気風量を維持している間に、圧力センサが計測した空調室の室内気圧が上位の基準室圧を下回った場合、排気風量維持手段を中断して排気風量漸減手段を再び行う。
【００２０】
前記第２の特徴を有する給排気ファン制御システムの他の一例としては、下位の基準室圧が給排気ファンの停止時における大気圧、大気圧と空調室の目標室圧との間で任意に設定された設定室圧のいずれかであり、上位の基準室圧が空調室の目標室圧、空調室の目標室圧よりも高い上限室圧、目標室圧と上限室圧との間で任意に設定された設定室圧のいずれかである。
【００２１】
前記第２の特徴を有する給排気ファン制御システムの他の一例としては、給気ファンの給気風量と排気ファンの排気風量とがインバーターによって調節され、給気風量漸減手段では、給気ファンの周波数が設定周波数から０に向かって次第に減り、排気風量漸減手段では、排気ファンの周波数が設定周波数から０に向かって次第に減り、給気風量漸減手段における周波数の漸減量と排気風量漸減手段における周波数の漸減量とが０．１〜１０．０Ｈｚ／秒の範囲にある。
【発明の効果】
【００２２】
前記第１の特徴を有する給排気ファン制御システムによれば、給排気ファンの起動時から空調室の室内気圧が目標室圧に達するまでの間に、圧力センサが計測した空調室の室内気圧が上位の基準室圧を上回った場合、給気風量漸増手段を中断してその時点における給気ファンの給気風量を維持するとともに、給気風量維持手段によって給気ファンの給気風量を維持している間、排気風量漸増手段を継続して排気ファンの排気風量を次第に増やすから、給排気ファンの起動時からそれらファンの給気風量や排気風量が次第に増えていく過程で、給気ファンの給気風量が予定以上に大きくなり、または、排気ファンの排気風量が予定以上に小さくなり、空調室の室内気圧が上位の基準室圧を上回ったとしても、上位の基準室圧に対して室内気圧を速やかに下回らせることができる。給排気ファン制御システムは、給気ファンの給気風量の漸増や排気ファンの排気風量の漸増を遅くしなくても、空調室の室内気圧が目標室圧に達するまでの間における室内気圧の上位の基準室圧に対する逸脱を防ぐことができるから、給気ファンの給気風量の漸増遅延や排気ファンの排気風量の漸増遅延を防ぐことができ、給排気ファンの起動時から空調室の室内気圧が目標室圧に達するまでに長時間を要することはなく、空調室の室内気圧を速やかに目標室圧にすることができる。給排気ファン制御システムは、給排気ファンの起動時から空調室の室内気圧が目標室圧に達するまでの間に、空調室の室内気圧と外気圧との圧力差が必要以上に大きくなることはなく、空調室への空気の不用意な侵入を防ぐことができ、侵入した空気によって空調室が汚染されるコンタミネーションを防ぐことができる。
【００２３】
給気風量維持手段によって給気ファンの給気風量を維持している間に、圧力センサが計測した空調室の室内気圧が上位の基準室圧を下回った場合、給気風量維持手段を中断して給気風量漸増手段を再び行う給排気ファン制御システムは、空調室の室内気圧が上位の基準室圧を下回った場合、給気風量漸増手段を再び行って給気ファンの給気風量を次第に増やすから、給気ファンの給気風量の漸増遅延を防ぐことができ、給排気ファンの起動時から空調室の室内気圧が目標室圧に達するまでに長時間を要することはなく、空調室の室内気圧を速やかに目標室圧にすることができる。
【００２４】
給排気ファンの起動時から空調室の室内気圧が目標室圧に達するまでの間に、圧力センサが計測した空調室の室内気圧が下位の基準室圧を下回った場合、排気風量漸増手段を中断してその時点における排気ファンの排気風量を維持するとともに、排気風量維持手段によって排気ファンの排気風量を維持している間、給気風量漸増手段を継続して給気ファンの給気風量を次第に増やす給排気ファン制御システムは、給排気ファンの起動時からそれらファンの給気風量や排気風量が次第に増えていく過程で、排気ファンの排気風量が予定以上に大きくなり、または、給気ファンの給気風量が予定以上に小さくなり、空調室の室内気圧が下位の基準室圧を下回ったとしても、下位の基準室圧に対して室内気圧を速やかに上回らせることができる。給排気ファン制御システムは、給気ファンの給気風量の漸増や排気ファンの排気風量の漸増を遅くしなくても、空調室の室内気圧が目標室圧に達するまでの間における室内気圧の下位の基準室圧に対する逸脱を防ぐことができるから、給気ファンの給気風量の漸増遅延や排気ファンの排気風量の漸増遅延を防ぐことができ、給排気ファンの起動時から空調室の室内気圧が目標室圧に達するまでに長時間を要することはなく、空調室の室内気圧を速やかに目標室圧にすることができる。給排気ファン制御システムは、給排気ファンの起動時から空調室の室内気圧が目標室圧に達するまでの間に、空調室の室内気圧と外気圧との圧力差が必要以上に大きくなることはなく、空調室への空気の不用意な侵入を防ぐことができ、侵入した空気によって空調室が汚染されるコンタミネーションを防ぐことができる。
【００２５】
排気風量維持手段によって排気ファンの排気風量を維持している間に、圧力センサが計測した空調室の室内気圧が下位の基準室圧を上回った場合、排気風量維持手段を中断して排気風量漸増手段を再び行う給排気ファン制御システムは、空調室の室内気圧が下位の基準室圧を上回った場合、排気風量漸増手段を再び行って排気ファンの排気風量を次第に増やすから、排気ファンの排気風量の漸増遅延を防ぐことができ、給排気ファンの起動時から空調室の室内気圧が目標室圧に達するまでに長時間を要することはなく、空調室の室内気圧を速やかに目標室圧にすることができる。
【００２６】
上位の基準室圧が空調室の目標室圧、空調室の目標室圧よりも高い上限室圧、目標室圧と上限室圧との間で任意に設定された設定室圧のいずれかであり、下位の基準室圧が給排気ファンの起動時における大気圧である給排気ファン制御システムは、空調室の室内気圧がその空調室の目標室圧、空調室の目標室圧よりも高い上限室圧、目標室圧と上限室圧との間で任意に設定された設定室圧のいずれかを上回ったとしても、それら上位の基準室圧に対して室内気圧を速やかに下回らせることができ、空調室の室内気圧と外気圧との圧力差が必要以上に大きくなることはなく、空調室への空気の不用意な侵入を防ぐことができ、侵入した空気によって空調室が汚染されるコンタミネーションを防ぐことができる。給排気ファン制御システムは、空調室の室内気圧が給排気ファンの起動時における大気圧を下回ったとしても、大気圧に対して室内気圧を速やかに上回らせることができ、空調室の室内気圧と外気圧との圧力差が必要以上に大きくなることはなく、空調室への空気の不用意な侵入を防ぐことができ、侵入した空気によって空調室が汚染されるコンタミネーションを防ぐことができる。
【００２７】
給気ファンの給気風量と排気ファンの排気風量とがインバーターによって調節され、給気ファンの周波数が０から設定周波数に向かって次第に増え、排気ファンの周波数が０から設定周波数に向かって次第に増え、給気風量漸増手段における周波数の漸増量と排気風量漸増手段における周波数の漸増量とが０．１〜１０．０Ｈｚ／秒の範囲にある給排気ファン制御システムは、給排気ファンの起動時から空調室の室内気圧が目標室圧に達するまでの間に、給気風量漸増手段における給気ファンの周波数の漸増量を前記範囲で増やすとともに、排気風量漸増手段における排気ファンの周波数の漸増量を前記範囲で増やすから、給気ファンの周波数の漸増遅延や排気ファンの周波数の漸増遅延を防ぐことができ、給排気ファンの起動時から空調室の室内気圧が目標室圧に達するまでに長時間を要することはなく、空調室の室内気圧を速やかに目標室圧にすることができる。
【００２８】
前記第２の特徴を有する給排気ファン制御システムによれば、空調室の目標室圧を維持しつつ運転中の給排気ファンがその運転を停止するまでの間に、圧力センサが計測した空調室の室内気圧が下位の基準室圧を下回った場合、給気風量漸減手段を中断してその時点における給気ファンの給気風量を維持するとともに、給気風量維持手段によって給気ファンの給気風量を維持している間、排気風量漸減手段を継続して排気ファンの排気風量を次第に増やすから、給排気ファンが停止するまでの間におけるそれらファンの給気風量や排気風量が次第に減っていく過程で、給気ファンの給気風量が予定以上に小さくなり、または、排気ファンの排気風量が予定以上に大きくなり、空調室の室内気圧が下位の基準室圧を下回ったとしても、下位の基準室圧に対して室内気圧を速やかに上回らせることができる。給排気ファン制御システムは、給気ファンの給気風量の漸減や排気ファンの排気風量の漸減を遅くしなくても、運転中の給排気ファンがその運転を停止するまでの間における室内気圧の下位の基準室圧に対する逸脱を防ぐことができるから、給気ファンの給気風量の漸減遅延や排気ファンの排気風量の漸減遅延を防ぐことができ、運転中の給排気ファンが停止するまでに長時間を要することはなく、運転中の給排気ファンを速やかに停止させることができる。給排気ファン制御システムは、運転中の給排気ファンがその運転を停止するまでの間に、空調室の室内気圧と外気圧との圧力差が必要以上に大きくなることはなく、空調室への空気の不用意な侵入を防ぐことができ、侵入した空気によって空調室が汚染されるコンタミネーションを防ぐことができる。
【００２９】
給気風量維持手段によって給気ファンの給気風量を維持している間に、圧力センサが計測した空調室の室内気圧が下位の基準室圧を上回った場合、給気風量維持手段を中断して給気風量漸減手段を再び行う給排気ファン制御システムは、空調室の室内気圧が下位の基準室圧を上回った場合、給気風量漸減手段を再び行って給気ファンの給気風量を次第に減らすから、給気ファンの給気風量の漸減遅延を防ぐことができ、運転中の給排気ファンが停止するまでに長時間を要することはなく、運転中の給排気ファンを速やかに停止させることができる。
【００３０】
空調室の目標室圧を維持しつつ運転中の給排気ファンがその運転を停止するまでの間に、圧力センサが計測した空調室の室内気圧が上位の基準室圧を上回った場合、排気風量漸減手段を中断してその時点における排気ファンの排気風量を維持するとともに、排気風量維持手段によって排気ファンの排気風量を維持している間、給気風量漸減手段を継続して給気ファンの給気風量を次第に減らす給排気ファン制御システムは、給排気ファンが停止するまでの間におけるそれらファンの給気風量や排気風量が次第に減っていく過程で、給気ファンの給気風量が予定以上に大きくなり、または、排気ファンの排気風量が予定以上に小さくなり、空調室の室内気圧が上位の基準室圧を上回ったとしても、上位の基準室圧に対して室内気圧を速やかに下回らせることができる。給排気ファン制御システムは、給気ファンの給気風量の漸減や排気ファンの排気風量の漸減を遅くしなくても、運転中の給排気ファンがその運転を停止するまでの間における室内気圧の上位の基準室圧に対する逸脱を防ぐことができるから、給気ファンの給気風量の漸減遅延や排気ファンの排気風量の漸減遅延を防ぐことができ、運転中の給排気ファンが停止するまでに長時間を要することはなく、運転中の給排気ファンを速やかに停止させることができる。給排気ファン制御システムは、運転中の給排気ファンがその運転を停止するまでの間に、空調室の室内気圧と外気圧との圧力差が必要以上に大きくなることはなく、空調室への空気の不用意な侵入を防ぐことができ、侵入した空気によって空調室が汚染されるコンタミネーションを防ぐことができる。
【００３１】
排気風量維持手段によって排気ファンの排気風量を維持している間に、圧力センサが計測した空調室の室内気圧が上位の基準室圧を下回った場合、排気風量維持手段を中断して排気風量漸減手段を再び行う給排気ファン制御システムは、空調室の室内気圧が上位の基準室圧を下回った場合、排気風量漸減手段を再び行って排気ファンの排気風量を次第に減らすから、排気ファンの排気風量の漸減遅延を防ぐことができ、運転中の給排気ファンが停止するまでに長時間を要することはなく、運転中の給排気ファンを速やかに停止させることができる。
【００３２】
下位の基準室圧が給排気ファンの停止時における大気圧、大気圧と空調室の目標室圧との間で任意に設定された設定室圧のいずれかであり、上位の基準室圧が空調室の目標室圧、空調室の目標室圧よりも高い上限室圧、目標室圧と上限室圧との間で任意に設定された設定室圧のいずれかである給排気ファン制御システムは、空調室の室内気圧が給排気ファンの起動時における大気圧、大気圧と空調室の目標室圧との間で任意に設定された設定室圧のいずれかを下回ったとしても、大気圧や設定室圧に対して室内気圧を速やかに上回らせることができ、空調室の室内気圧と外気圧との圧力差が必要以上に大きくなることはなく、空調室への空気の不用意な侵入を防ぐことができ、侵入した空気によって空調室が汚染されるコンタミネーションを防ぐことができる。給排気ファン制御システムは、空調室の室内気圧がその空調室の目標室圧、空調室の目標室圧よりも高い上限室圧、目標室圧と上限室圧との間で任意に設定された設定室圧のいずれかを上回ったとしても、それら上位の基準室圧に対して室内気圧を速やかに下回らせることができ、空調室の室内気圧と外気圧との圧力差が必要以上に大きくなることはなく、空調室への空気の不用意な侵入を防ぐことができ、侵入した空気によって空調室が汚染されるコンタミネーションを防ぐことができる。
【００３３】
給気ファンの給気風量と排気ファンの排気風量とがインバーターによって調節され、給気ファンの周波数が設定周波数から０に向かって次第に減り、排気ファンの周波数が設定周波数から０に向かって次第に減り、給気風量漸減手段における周波数の漸減量と排気風量漸減手段における周波数の漸減量とが０．１〜１０．０Ｈｚ／秒の範囲にある給排気ファン制御システムは、運転中の給排気ファンが停止するまでの間に、給気風量漸減手段における給気ファンの周波数の漸減量を前記範囲で減らすとともに、排気風量漸減手段における排気ファンの周波数の漸減量を前記範囲で減らすから、給気ファンの周波数の漸減遅延や排気ファンの周波数の漸減遅延を防ぐことができ、運転中の給排気ファンが停止するまでに長時間を要することはなく、運転中の給排気ファンを速やかに停止させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】一例として示す給排気ファン制御システムの構成図。
【図２】図２（ａ）は、クリーンルームの室内気圧が目標室圧に達するまでの間の室内気圧の時間的な変化の一例を示す図、図２（ｂ）は、クリーンルームの室内気圧が目標室圧に達するまでの間の室内気圧の時間的な変化の他の一例を示す図、図２（ｃ）は、クリーンルームの室内気圧が目標室圧に達するまでの間における給排気ファンの周波数の変化の一例を示す図。
【図３】給排気ファン制御システムによって行われる給排気ファン起動時のファン制御の一例を説明するためのフローチャート。
【図４】図３から続くフローチャート。
【図５】図５（ａ）は、給排気ファンが停止するまでの間のクリーンルームの室内気圧の時間的な変化の他の一例を示す図、図５（ｂ）は、給排気ファンが停止するまでの間のクリーンルームの室内気圧の時間的な変化の他の一例を示す図、図５（ｃ）は、給排気ファンが停止するまでの間におけるそれらファンの周波数の変化の一例を示す図。
【図６】給排気ファン制御システムによって行われる給排気ファン停止時のファン制御の一例を説明するためのフローチャート。
【図７】図６から続くフローチャート。
【発明を実施するための形態】
【００３５】
一例として示す給排気ファン制御システム１０の構成図である図１等の添付の図面を参照し、本発明にかかる給排気ファン制御システムの詳細を説明すると、以下のとおりである。なお、図２（ａ）は、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの室内気圧が目標室圧に達するまでの間の室内気圧の時間的な変化の一例を示す図であり、図２（ｂ）は、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの室内気圧が目標室圧に達するまでの間の室内気圧の時間的な変化の他の一例を示す図である。図２（ｃ）は、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの室内気圧が目標室圧に達するまでの間における給排気ファン１２，１３の周波数の変化の一例を示す図であり、図３は、給排気ファン制御システム１０によって行われる給排気ファン起動時のファン制御の一例を説明するためのフローチャートである。図４は、図３から続くフローチャートである。図１は、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂをその側方から示している。
【００３６】
給排気ファン制御システム１０は、建造物の一角に施設されたクリーンルーム１１Ａ，１１Ｂ（空調室）に空気（外気）を給気する給気ファン１２の起動時からクリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの室内気圧が目標室圧に達するまでの間におけるファン１２の給気風量（周波数）を制御とするとともに、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂから空気を排気する排気ファン１３の起動時からクリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの室内気圧が目標室圧に達するまでの間におけるファン１３の排気風量（周波数）を制御する。さらに、給排気ファン制御システム１０は、運転中の給気ファン１２がその運転を停止するまでの間におけるファン１２の給気風量（周波数）を制御とするとともに、運転中の排気ファン１３がその運転を停止するまでの間におけるファン１３の排気風量（周波数）を制御とする。
【００３７】
なお、図１では２室のクリーンルーム１１Ａ，１１Ｂを図示しているが、クリーンルームを２室に限定するものではなく、３室以上のクリーンルームに対してこの給排気ファン制御システム１０の給排気ファン制御を実施することもできる。また、この給排気ファン制御システム１０の給排気ファン制御は、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂのみならず、他のあらゆる種類の空調室に実施することができる。この実施の形態では、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの室内気圧を所定圧よりも高い陽圧に保持する場合を例としてこの給排気ファン制御システム１０を説明する。
【００３８】
一例として示す給排気ファン制御システム１０を設置する建造物は、屋外の空気を建造物内に施設されたそれらクリーンルーム１１Ａ，１１Ｂに供給する給気ダクト１４と、それらクリーンルーム１１Ａ，１１Ｂから屋外に空気を排出する排気ダクト１５と、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂに空気を給気する給気ファン１２と、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂから空気を排気する排気ファン１３と、定風量ユニット１６およびモーターダンパ１７と、圧力センサ１８（室圧センサ）およびコントローラ１９（室圧監視装置）とを備えている。なお、給気ファン１２や排気ファン１３、定風量ユニット１６、モーターダンパ１７、圧力センサ１８、コントローラ１９には、図示はしていないが、給電線を介して所定の電力が供給されている。
【００３９】
クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂは、天井および床と前後壁および側壁とに囲繞された所定容積の気密な空調空間を有し、天井、床、それら壁によって室外と仕切られている。天井には、給気ダクト１４から供給される空気をクリーンルーム１１Ａ，１１Ｂに取り入れるための給気口（図示せず）が施設されている。側壁には、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの空気を排気ダクト１５に取り入れるための排気口（図示せず）が施設されている。クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂには、図示はしていないが、そこに出入りするための扉が設置されている。
【００４０】
クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂは、その室内気圧が厳密に管理され、通常の使用状態（給排気ファン１２，１３や定風量ユニット１６、モーターダンパ１７の運転中）において室内気圧が所定圧（大気圧または設定室圧）よりも高い予め設定された適正範囲の目標室圧（陽圧）に保持されている。
【００４１】
給気ダクト１４は、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの天井に施設された給気口につながり、建造物の屋外とクリーンルーム１１Ａ，１１Ｂとを連結している。給気ファン１２は、給気ダクト１４の空気取り入れ側の端部に設置され、所定量の空気をクリーンルーム１１Ａ，１１Ｂに強制的に給気する。給気ファン１２は、インターフェイス２０を介してコントローラ１９に接続されている。
【００４２】
給気ファン１２は、インバーター（図示せず）によってその周波数が制御され、給気風量が調節される。給気ファン１２は、停止した状態から起動した後、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの室内気圧が目標室圧に達するまでの間に、その周波数（給気風量）が次第に増加する。給気ファン１２は、その起動時からクリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの室内気圧が目標室圧に達するまでの間（ファン１２の起動時からファン１２の周波数が設定周波数に達するまでの間）における周波数の漸増量（給気風量の漸増量）があらかじめ設定されている。給気ファン１２の起動時では、その周波数が０Ｈｚから設定周波数（たとえば、４１Ｈｚ〜４３Ｈｚ）まで上昇する。給気ファン１２は、その起動時からクリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの室内気圧が目標室圧に達するまでの間における周波数の漸増量が０．１〜１０．０Ｈｚ／秒の範囲で設定される。
【００４３】
給気ファン１２は、その運転中における周波数が設定周波数に維持され、ファン１２から給気される給気風量が一定に維持される。給気ファン１２は、その運転中から停止までの間に、その周波数（給気風量）が次第に減少する。給気ファン１２は、その運転中から停止までの間（ファン１２の周波数が設定周波数から周波数０になるまでの間）における周波数の漸減量（給気風量の漸減量）があらかじめ設定されている。運転中の給気ファン１２の停止時では、その周波数が設定周波数（たとえば、４１Ｈｚ〜４３Ｈｚ）から０Ｈｚまで下降する。給気ファン１２は、その運転中から停止までの間における周波数の漸減量が０．１〜１０．０Ｈｚ／秒の範囲で設定される。
【００４４】
排気ダクト１５は、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの側壁に施設された排気口につながり、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂと建造物の屋外とを連結している。排気ファン１３は、排気ダクト１５の空気放出側の端部に設置され、所定量の空気をクリーンルーム１１Ａ，１１Ｂから強制的に排気する。排気ファン１３は、インターフェイス２０を介してコントローラ１９に接続されている。
【００４５】
排気ファン１３は、インバーター（図示せず）によってその周波数が制御され、排気風量が調節される。排気ファン１３は、停止した状態から起動した後、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの室内気圧が目標室圧に達するまでの間に、その周波数（給気風量）が次第に増加する。排気ファン１３は、その起動時からクリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの室内気圧が目標室圧に達するまでの間（ファン１３の起動時からファン１３の周波数が設定周波数に達するまでの間）における周波数の漸増量（給気風量の漸増量）があらかじめ設定されている。排気ファン１３の起動時では、その周波数が０Ｈｚから設定周波数（たとえば、４１Ｈｚ〜４３Ｈｚ）まで上昇する。排気ファン１３は、その起動時からクリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの室内気圧が目標室圧に達するまでの間における周波数の漸増量が０．１〜１０．０Ｈｚ／秒の範囲で設定される。
【００４６】
排気ファン１３は、その定常運転中における周波数が設定周波数に維持され、ファン１３によって排気される排気風量が一定に維持される。排気ファン１３は、その運転中から停止までの間に、その周波数（給気風量）が次第に減少する。排気ファン１３は、その運転中から停止までの間（ファン１３の周波数が設定周波数から周波数０になるまでの間）における周波数の漸減量（給気風量の漸減量）があらかじめ設定されている。運転中の排気ファン１３の停止時では、その周波数が設定周波数（たとえば、４１Ｈｚ〜４３Ｈｚ）から０Ｈｚまで下降する。排気ファン１３は、その運転中から停止までの間における周波数の漸減量が０．１〜１０．０Ｈｚ／秒の範囲で設定される。
【００４７】
各定風量ユニット１６は、それらクリーンルーム１１Ａ，１１Ｂにつながる給気ダクト１４に設置されている。定風量ユニット１６は、給気ダクト１４の内部気圧の変動に対してユニット１６内を通る空気通過量を調節し、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂへ供給する空気量を一定に保持する。圧力センサ１８は、一方の検出部２１がクリーンルーム１１Ａ，１１Ｂ内に設置され、他方の検出部２２がクリーンルーム１１Ａ，１１Ｂ外（建造物内）に設置されている。圧力センサ１８は、インターフェイス２０を介してコントローラ１９に接続されている。圧力センサ１８は、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂ内の室内気圧を計測し、計測した室内気圧を電気信号としてコントローラ１９に送信する。
【００４８】
モーターダンパ１７は、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂから延びる排気ダクト１５に設置されている。モーターダンパ１７は、図示はしていないが、モジュトロールモーターと、モーターの駆動力によって旋回する旋回羽根と、旋回羽根の旋回によって開閉される空気流路とから形成されている。モーターダンパ１７は、旋回羽根の旋回角度（ダンパ開度）を調節し、それによって各クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂから排気される空気の流量（排気量）を調節する。
【００４９】
モーターダンパ１７には、制御装置（図示せず）が設置されている。制御装置は、インターフェイス２０を介してコントローラ１９に接続されている。モーターダンパ１７の制御装置は、ダンパ１７の旋回羽根の旋回角度（ダンパ開度）を所定の角度（所定の開度）に設定または維持、あるいは所定の角度に変更する開度制御信号をダンパ１７に出力することで、空気流路の開度を所定の開度に調節する。
【００５０】
コントローラ１９は、演算処理を行う中央処理装置（ＣＰＵまたはＭＰＵ）と各種データを記憶可能なメインメモリとを有するコンピュータである。コントローラ１９には、各種データや運転条件を入力するための入力装置、入力確認のための表示装置がインターフェイスを介して接続されている（図示せず）。
【００５１】
コントローラ１９のメインメモリには、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの目標室圧、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの上位の基準室圧、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの下位の基準室圧、給気ファン１２や排気ファン１３の起動時からクリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの室内気圧が目標室圧に達するまでの間（ファン１２，１３の起動時からファン１２，１３の周波数が設定周波数に達するまでの間）におけるそれらファン１２，１３の周波数の漸増量（給気風量の漸増量）、給排気ファン１２，１３の運転中から停止までの間（ファン１２，１３の周波数が設定周波数から周波数０になるまでの間）におけるそれらファン１２，１３の周波数の漸減量（給気風量の漸減量）が記憶されている。
【００５２】
目標室圧は、入力装置からコントローラ１９に入力され、コントローラ１９のメインメモリに記憶される。目標室圧は、入力装置を介してその値を任意に設定することができる。上位の基準室圧は、目標室圧、目標室圧よりも高い上限室圧、目標室圧と上限室圧との間で設定された設定室圧のいずれかが使用される。上位の基準室圧は、入力装置からコントローラ１９に入力され、コントローラ１９のメインメモリに記憶される。上位の基準室圧は、入力装置を介してその値を任意に設定することができる。
【００５３】
下位の基準室圧は、給排気ファン１２，１３の起動時ではそれらファン１２，１３の停止時における大気圧が使用され、給排気ファン１２，１３の停止時ではそれらファン１２，１３の停止時における大気圧または大気圧とクリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの目標室圧との間で任意に設定された設定室圧のいずれかが使用される。下位の基準室圧は、入力装置からコントローラに入力され、コントローラ１９のメインメモリに記憶される。下位の基準室圧は、入力装置を介してその値を任意に設定することができる。
【００５４】
給気ファン１２や排気ファン１３の周波数の漸増量は、入力装置からコントローラ１９に入力され、コントローラ１９のメインメモリに記憶される。ファン１２，１３の周波数の漸増量は、入力装置を介してその値を前記範囲（０．１〜１０．０Ｈｚ／秒）で任意に設定することができる。給排気ファン１２，１３の周波数の漸減量は、入力装置からコントローラに入力され、コントローラ１９のメインメモリに記憶される。ファン１２，１３の周波数の漸減量は、入力装置を介してその値を前記範囲（０．１〜１０．０Ｈｚ／秒）で任意に設定することができる。
【００５５】
給気ファン１２や排気ファン１３の運転中（クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂに空調を実施中）においてコントローラ１９は、圧力センサ１８から送信された電気信号からクリーンルーム１１Ａ，１１Ｂ内の室内気圧を求め、室内気圧が目標室圧の範囲内にあるかを判断する。室内気圧が目標室圧の範囲内にある場合、コントローラ１９は、モーターダンパ１７の制御装置に対して開度の維持を指示する。モーターダンパ１７の制御装置は、その時点における旋回羽根の旋回角度（ダンパ開度）を維持する。
【００５６】
室内気圧が目標室圧の範囲から逸脱している場合、コントローラ１９は、室内気圧が目標室圧の範囲内になるように、測定した室内気圧と目標室圧との差に応じてモーターダンパ１７の旋回羽根の旋回角度（ダンパ開度）を調節するフィードバック制御を行う。コントローラ１９は、フィードバック制御に基づいて、モーターダンパ１７の制御装置に対して開度の変更を指示する。モーターダンパ１７の制御装置は、コントローラ１９から出力された開度の変更指示にしたがって、旋回羽根の旋回角度を変更する。旋回羽根の旋回角度が変わると、ダンパ１７の空気流路の開度が変わり、空気流路を通過する空気の流量が変更されてクリーンルーム１１Ａ，１１Ｂから排気される排気量が変わるとともに、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの室内気圧が目標室圧の範囲内に復帰する。
【００５７】
図２〜図４に基づいて、給排気ファン制御システム１０によって行われるファン起動時の給排気ファン１２，１３の制御を説明すると、以下のとおりである。なお、上位の基準室圧として、目標室圧よりも高い上限室圧を使用し、下位の基準室圧として、給排気ファン１２，１３の停止時における大気圧を使用するものとする。給排気ファン１２，１３の起動時では、コントローラ１９がそれらファン１２，１３のスイッチをＯＮにするとともに、モーターダンパ１７および圧力センサ１８のスイッチをＯＮにする。なお、モーターダンパ１７の空気流路は所定の開度に開かれている。
【００５８】
給排気ファン１２，１３のスイッチがＯＮになると、それらファン１２，１３が起動する（Ｓ−１０）。なお、給排気ファン１２，１３の起動直後ではそれらファン１２，１３の周波数が０Ｈｚであり、ファン１２，１３が起動してからそれらファン１２，１３の周波数が０．１〜１０．０Ｈｚ／秒の範囲で漸増し、ファン１２，１３が起動してから所定時間経過後にそれらファン１２，１３の周波数が設定周波数に達する。
【００５９】
モーターダンパ１７のスイッチがＯＮになると、ダンパ１７が起動し、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂから排気される空気の流量が調節される。圧力センサ１８のスイッチがＯＮになると、センサ１８が起動する（Ｓ−１０）。圧力センサ１８は、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂ内の室内気圧を計測して室内気圧を示す電気信号をコントローラ１９に送信する。
【００６０】
コントローラ１９は、給気ファン１２の起動時からクリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの室内気圧が目標室圧に達するまでの間（ファン１２の周波数が設定周波数に達するまでの間）に、ファン１２の周波数をあらかじめ設定された漸増量で漸増させる周波数漸増信号をファン１２のインバーターに出力し、ファン１２の周波数を次第に増加させるとともにファン１２の給気風量を次第に増加させる（給気風量漸増手段）（Ｓ−１１）。
【００６１】
コントローラ１９は、排気ファン１３の起動時からクリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの室内気圧が目標室圧に達するまでの間（ファン１３の周波数が設定周波数に達するまでの間）に、ファン１３の周波数をあらかじめ設定された漸増量で漸増させる周波数漸増信号をファン１３のインバーターに出力し、ファン１３の周波数を次第に増加させるとともにファン１３の排気風量を次第に増加させる（排気風量漸増手段）（Ｓ−１１）。
【００６２】
図２（ｃ）に示すように、給気ファン１２のインバーターは、コントローラ１９からの周波数漸増信号にしたがって、給気ファン１２の周波数を次第に増加（漸増）させる。給気ファン１２は、その周波数が漸増することによってクリーンルーム１１Ａ，１１Ｂに給気する給気風量が次第に増加する（Ｓ−１２）。排気ファン１２のインバーターは、コントローラ１９からの周波数漸増信号にしたがって、排気ファン１３の周波数を次第に増加（漸増）させる。排気ファン１３は、その周波数が漸増することによってクリーンルーム１１Ａ，１１Ｂから排気する排気風量が次第に増加する（Ｓ−１２）。
【００６３】
コントローラ１９は、給排気ファン１２，１３の起動時からそれらファン１２，１３の周波数の漸増中であって、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの室内気圧が目標室圧に達するまでの間に、圧力センサ１８から送信された電気信号に基づいて、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの室内気圧が上限室圧（上位の基準室圧）（なお、上位の基準室圧を目標室圧とした場合はその目標室圧、上位の基準室圧を目標室圧と上限室圧と間で設定した設定室圧とした場合はその設定室圧）を上回っているかを判断するとともに、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの室内気圧が大気圧（下位の基準室圧）を下回っているかを判断する（Ｓ−１３）。
【００６４】
コントローラ１９は、ステップ１３（Ｓ−１３）において、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの室内気圧が上限室圧を上回っておらず、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの室内気圧が大気圧を下回っていないと判断すると、給気風量漸増手段および排気風量漸増手段を継続し、給気ファン１２の周波数をあらかじめ設定された漸増量で漸増させる周波数漸増信号をファン１２のインバーターに出力し、ファン１２の給気風量を次第に増加させるとともに（給気風量漸増手段）、排気ファン１３の周波数をあらかじめ設定された漸増量で漸増させる周波数漸増信号をファン１３のインバーターに出力し、ファン１３の排気風量を次第に増加させる（排気風量漸増手段）（Ｓ−１４）。
【００６５】
コントローラ１９は、給排気ファン１２，１３の周波数の漸増を継続した後、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの室内気圧が目標室圧に達したかを判断するとともに、給排気ファン１２，１３の周波数が設定周波数に達したかを判断する（Ｓ−１５）。コントローラ１９は、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの室内気圧が目標室圧に達するとともに、給排気ファン１２，１３の周波数が設定周波数に達したと判断した場合、ファン１２，１３の周波数の漸増を停止し、設定周波数を維持してその設定周波数でそれらファン１２，１３を運転する（Ｓ−１６）。なお、ステップ１５（Ｓ−１５）において室内気圧が目標室圧に達せず、給排気ファン１２，１３の周波数が設定周波数に達しない場合、コントローラ１９は、ステップ１３（Ｓ−１３）からの手順を繰り返す。
【００６６】
給排気ファン１２，１３の周波数が漸増する過程（給気ファン１２の給気風量や排気ファン１３の排気風量が次第に増加する過程）において、給気ファン１２の給気風量が必要以上に大きくなり、または、排気ファン１３の排気風量が必要以上に小さくなり、図２（ａ）に示すように、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの室内気圧が上限室圧を上回る場合がある。したがって、給排気ファン１２，１３の起動時からクリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの室内気圧が目標室圧に達するまでの間に、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの室内気圧が上限室圧を上回る場合が生じる。このようにクリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの室内気圧が上限室圧を上回ると、各クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂ間の室内気圧の圧力差が必要以上に大きくなり、一方のクリーンルーム１１Ａ，１１Ｂから他方のクリーンルーム１１Ａ，１１Ｂへ空気が侵入し、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂどうしが汚染されるコンタミネーションを起こす場合がある。
【００６７】
また、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの室内気圧が上限室圧を上回った後、室内気圧が急激に下降すると、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの室内気圧と外気圧との圧力差が必要以上に大きくなり、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂへ外気（空気）が侵入し、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂが外気によって汚染されるコンタミネーションを起こす場合がある。
【００６８】
クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの室内気圧が上限室圧を上回ると、ステップ１３（Ｓ−１３）において、コントローラ１９は、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの室内気圧が上限気圧を超えたと判断する。コントローラ１９は、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの室内気圧が上限気圧を上回ったと判断すると、給気風量漸増手段を中断して給気ファン１２の周波数の漸増を停止させ、その時点におけるファン１２の周波数を維持する周波数維持信号をファン１２のインバーターに出力し、ファン１２の周波数をその時点の周波数に維持するとともにファン１２の給気風量をその時点の風量に維持する（給気風量維持手段）。さらに、給気風量維持手段によって給気ファン１２の給気風量を維持している間、排気風量漸増手段を継続し、排気ファン１３の周波数を漸増させ、ファン１３の排気風量を漸増させる（Ｓ−１７）。
【００６９】
給排気ファン１２，１３の周波数が漸増する過程（給気ファン１２の給気風量や排気ファン１３の排気風量が次第に増加する過程）において、給気ファン１２の給気風量が必要以上に小さくなり、または、排気ファン１３の排気風量が必要以上に大きくなり、図２（ｂ）に示すように、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの室内気圧が大気圧を下回る場合がある。したがって、給排気ファン１２，１３の起動時からクリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの室内気圧が目標室圧に達するまでの間に、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの室内気圧が大気圧を下回る場合が生じる。このようにクリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの室内気圧が大気圧を下回ると、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの室内気圧と外気圧との圧力差が必要以上に大きくなり、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂへ外気（空気）が侵入し、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂが外気によって汚染されるコンタミネーションを起こす場合がある。
【００７０】
また、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの室内気圧が大気圧を下回った後、室内気圧が急激に上昇すると、各クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂ間の室内気圧の圧力差が必要以上に大きくなり、一方のクリーンルーム１１Ａ，１１Ｂから他方のクリーンルーム１１Ａ，１１Ｂへ空気が侵入し、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂどうしが汚染されるコンタミネーションを起こす場合がある。
【００７１】
クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの室内気圧が大気圧を下回ると、ステップ１３（Ｓ−１３）において、コントローラ１９は、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの室内気圧が大気圧に達していないと判断する。コントローラ１９は、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの室内気圧が大気圧を下回ったと判断すると、排気風量漸増手段を中断して排気ファン１３の周波数の漸増を停止させ、その時点におけるファン１３の周波数を維持する周波数維持信号をファン１３のインバーターに出力し、ファン１３の周波数をその時点の周波数に維持するとともにファン１３の排気風量をその時点の風量に維持する（排気風量維持手段）。さらに、排気風量維持手段によって排気ファン１３の排気風量を維持している間、給気風量漸増手段を継続し、給気ファン１２の周波数を漸増させ、ファン１２の給気風量を漸増させる（Ｓ−１７）。
【００７２】
次に、コントローラ１９は、給気ファン１２の周波数の漸増を停止させた後、その時点における給気ファン１２の周波数を維持している間に、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの室内気圧が上限室圧（上位の基準室圧）を下回ったかを判断する（Ｓ−１８）。または、コントローラ１９は、排気ファン１３の周波数の漸増を停止させた後、その時点における排気ファン１３の周波数を維持している間に、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの室内気圧が大気圧（下位の基準室圧）を上回ったかを判断する（Ｓ−１８）。
【００７３】
ステップ１８（Ｓ−１８）においてコントローラ１９は、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの室内気圧が上限室圧を下回っていないと判断すると、給気ファン１２の周波数の漸増の中断を継続してファン１２の周波数を維持し、給気ファン１２の給気風量を維持するとともに（給気風量維持手段）、排気ファン１３に対する排気風量漸増手段を継続する（Ｓ−１７）。
【００７４】
また、ステップ１８（Ｓ−１８）においてコントローラ１９は、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの室内気圧が大気圧を上回っていないと判断すると、排気ファン１３の周波数の漸増の中断を継続して排気ファン１３の周波数を維持し、排気ファン１３の排気風量を維持するとともに（排気風量維持手段）、給気ファン１２に対する給気風量漸増手段を継続する（Ｓ−１７）。
【００７５】
ステップ１８（Ｓ−１８）においてコントローラ１９は、給気風量維持手段を行っている間にクリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの室内気圧が上限室圧を下回ったと判断すると、給気風量維持手段を中断して給気ファン１２の周波数維持を中断させ、ファン１２の周波数をあらかじめ設定された漸増量で漸増させる周波数漸増信号をファン１２のインバーターに出力し、ファン１２の周波数の漸増を再開させ、ファン１２の周波数を次第に増加させるとともにファン１２の給気風量を次第に増加させる（給気風量漸増手段）（Ｓ−１９）。
【００７６】
また、ステップ１８（Ｓ−１８）においてコントローラ１９は、排気風量維持手段を行っている間にクリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの室内気圧が大気圧を上回ったと判断すると、排気風量維持手段を中断して排気ファン１３の周波数維持を中断させ、ファン１３の周波数をあらかじめ設定された漸増量で漸増させる周波数漸増信号をファン１３のインバーターに出力し、ファン１３の周波数の漸増を再開させ、ファン１３の周波数を次第に増加させるとともにファン１３の排気風量を次第に増加させる（排気風量漸増手段）（Ｓ−１９）。
【００７７】
給気ファン１２の周波数の漸増を再開させた後、または、排気ファン１３の周波数の漸増を再開させた後、コントローラ１９は、圧力センサ１８から送信された電気信号に基づいて、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの室内気圧が上限室圧を上回っているかを判断するとともに、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの室内気圧が大気圧を下回っているかを判断する（Ｓ−２０）。
【００７８】
コントローラ１９は、ステップ２０（Ｓ−２０）において、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの室内気圧が上限室圧を上回っておらず、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの室内気圧が大気圧を下回っていないと判断すると、給気風量漸増手段および排気風量漸増手段を継続し、給気ファン１２の周波数をあらかじめ設定された漸増量で漸増させる周波数漸増信号をファン１２のインバーターに出力し、ファン１２の給気風量を次第に増加させるとともに（給気風量漸増手段）、排気ファン１３の周波数をあらかじめ設定された漸増量で漸増させる周波数漸増信号をファン１３のインバーターに出力し、ファン１３の排気風量を次第に増加させる（排気風量漸増手段）（Ｓ−２１）。
【００７９】
コントローラ１９は、給排気ファン１２，１３の周波数の漸増を再開しつつそれを継続した後、クリーンルーム１１Ａ、１１Ｂの室内気圧が目標室圧に達したか、給排気ファン１２，１３の周波数が設定周波数に達したかを判断する（Ｓ−２２）。室内気圧が目標室圧に達するとともに、給排気ファン１２，１３の周波数が設定周波数に達した場合、コントローラ１９は、給気風量漸増手段および排気風量漸増手段を中止し、給排気ファン１２，１３の周波数の漸増中止信号をファン１２，１３のインバーターに出力し、それらファン１２，１３を設定周波数で運転する（Ｓ−２３）。
【００８０】
なお、室内気圧が目標室圧に達せず、給排気ファン１２，１３の周波数が設定周波数に達しない場合、コントローラ１９は、ステップ２０（Ｓ−２０）からの手順を繰り返す。また、ステップ２０（Ｓ−２０）において、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの室内気圧が上限室圧を上回ったと判断し、または、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの室内気圧が大気圧を下回ったと判断すると、コントローラ１９は、ステップ１７（Ｓ−１７）からの手順を繰り返す。
【００８１】
給排気ファン制御システム１０は、給排気ファン１２，１３の起動時からクリーンルーム１１Ａ、１１Ｂの室内気圧が目標室圧に達するまでの間に、圧力センサ１８が計測したクリーンルーム１１Ａ、１１Ｂの室内気圧が上限室圧（上位の基準室圧）を上回った場合、給気風量漸増手段を中断してその時点における給気ファン１２の周波数（給気風量）を維持するとともに、給気風量維持手段によって給気ファン１２の給気風量を維持している間、排気風量漸増手段を継続して排気ファン１３の周波数（排気風量）を次第に増やすから、給排気ファン１２，１３の起動時からそれらファン１２，１３の給気風量や排気風量が次第に増えていく過程で、給気ファン１２の給気風量が予定以上に大きくなり、または、排気ファン１３の排気風量が予定以上に小さくなり、クリーンルーム１１Ａ、１１Ｂの室内気圧が上限室圧を上回ったとしても、上限室圧に対して室内気圧を速やかに下回らせることができる。
【００８２】
給排気ファン制御システム１０は、給気ファン１２の周波数（給気風量）の漸増や排気ファン１３の周波数（排気風量）の漸増を遅くしなくても、クリーンルーム１１Ａ、１１Ｂの室内気圧が目標室圧に達するまでの間における室内気圧の上限室圧に対する逸脱を防ぐことができるから、給気ファン１２の周波数（給気風量）の漸増遅延や排気ファン１２の周波数（排気風量）の漸増遅延を防ぐことができ、給排気ファン１２，１３の起動時からクリーンルーム１１Ａ、１１Ｂの室内気圧が目標室圧に達するまでに長時間を要することはなく、クリーンルーム１１Ａ、１１Ｂの室内気圧を速やかに目標室圧にすることができる。給排気ファン制御システム１０は、クリーンルーム１１Ａ、１１Ｂの室内気圧が上限室圧を下回った場合、給気風量漸増手段を再び行って給気ファン１２の周波数（給気風量）を次第に増やすから、給気ファン１２の周波数（給気風量）の漸増遅延を防ぐことができ、給排気ファン１２，１３の起動時からクリーンルーム１１Ａ、１１Ｂの室内気圧が目標室圧に達するまでに長時間を要することはなく、クリーンルーム１１Ａ、１１Ｂの室内気圧を速やかに目標室圧にすることができる。
【００８３】
給排気ファン制御システム１０は、給排気ファン１２，１３の起動時からクリーンルーム１１Ａ、１１Ｂの室内気圧が目標室圧に達するまでの間に、圧力センサ１８が計測したクリーンルーム１１Ａ、１１Ｂの室内気圧が大気圧（下位の基準室圧）を下回った場合、排気風量漸増手段を中断してその時点における排気ファン１３の周波数（排気風量）を維持するとともに、排気風量維持手段によって排気ファン１３の排気風量を維持している間、給気風量漸増手段を継続して給気ファン１２の周波数（給気風量）を次第に増やすから、給排気ファン１２，１３の起動時からそれらファン１２，１３の給気風量や排気風量が次第に増えていく過程で、排気ファン１３の排気風量が予定以上に大きくなり、または、給気ファン１２の給気風量が予定以上に小さくなり、クリーンルーム１１Ａ、１１Ｂの室内気圧が大気圧を下回ったとしても、大気圧に対して室内気圧を速やかに上回らせることができる。
【００８４】
給排気ファン制御システム１０は、給気ファン１２の周波数（給気風量）の漸増や排気ファン１３の周波数（排気風量）の漸増を遅くしなくても、クリーンルーム１１Ａ、１１Ｂの室内気圧が目標室圧に達するまでの間における室内気圧の大気圧に対する逸脱を防ぐことができるから、給気ファン１２の周波数（給気風量）の漸増遅延や排気ファン１３の周波数（排気風量）の漸増遅延を防ぐことができ、給排気ファン１２，１３の起動時からクリーンルーム１１Ａ、１１Ｂの室内気圧が目標室圧に達するまでに長時間を要することはなく、クリーンルーム１１Ａ、１１Ｂの室内気圧を速やかに目標室圧にすることができる。給排気ファン制御システム１０は、クリーンルーム１１Ａ、１１Ｂの室内気圧が大気圧を上回った場合、排気風量漸増手段を再び行って排気ファン１３の周波数（排気風量）を次第に増やすから、排気ファン１３の周波数（排気風量）の漸増遅延を防ぐことができ、給排気ファン１２，１３の起動時からクリーンルーム１１Ａ、１１Ｂの室内気圧が目標室圧に達するまでに長時間を要することはなく、クリーンルーム１１Ａ、１１Ｂの室内気圧を速やかに目標室圧にすることができる。
【００８５】
給排気ファン制御システム１０は、クリーンルーム１１Ａ、１１Ｂの室内気圧を速やかに目標室圧にすることができるのみならず、給排気ファン１２，１３の起動時からクリーンルーム１１Ａ、１１Ｂの室内気圧が目標室圧に達するまでの間に、クリーンルーム１１Ａ、１１Ｂの室内気圧と外気圧との圧力差が必要以上に大きくなることはなく、クリーンルーム１１Ａ、１１Ｂへの外気（空気）の不用意な侵入を防ぐことができ、クリーンルーム１１Ａ、１１Ｂが外気によって汚染されるコンタミネーションを防ぐことができる。さらに、各クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂ間の室内気圧の圧力差が必要以上に大きくなることはなく、一方のクリーンルーム１１Ａ，１１Ｂから他方のクリーンルーム１１Ａ，１１Ｂへの空気の侵入を防ぐことができ、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂどうしが汚染されるコンタミネーションを防ぐことができる。また、給排気ファン制御システム１０は、給排気ファン１２，１３の起動時からクリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの室内気圧が目標室圧に達するまでの間に、給気風量漸増手段における給気ファン１２の周波数の漸増量を０．１〜１０．０Ｈｚ／秒の範囲で増やすとともに、排気風量漸増手段における排気ファン１３の周波数の漸増量を０．１〜１０．０Ｈｚ／秒の範囲で増やすから、給気ファン１２の周波数の漸増遅延や排気ファン１３の周波数の漸増遅延を確実に防ぐことができる。
【００８６】
図５（ａ）は、給排気ファン１２，１３が停止するまでの間のクリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの室内気圧の時間的な変化の他の一例を示す図であり、図５（ｂ）は、給排気ファン１２，１３が停止するまでの間のクリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの室内気圧の時間的な変化の他の一例を示す図である。図５（ｃ）は、給排気ファン１２，１３が停止するまでの間におけるファン１２，１３の周波数の変化の一例を示す図であり、図６は、給排気ファン制御システム１０によって行われる給排気ファン停止時のファン制御の一例を説明するためのフローチャートである。図７は、図６から続くフローチャートである。
【００８７】
図５〜図７に基づいて、給排気ファン制御システム１０によって行われるファン停止時の給排気ファン１２，１３の制御を説明すると、以下のとおりである。なお、上位の基準室圧として、目標室圧よりも高い上限室圧を使用し、下位の基準室圧として、給排気ファン１２，１３の停止時における大気圧を使用するものとする。給排気ファン１２，１３の停止時では、コントローラ１９がそれらファン１２，１３の周波数を次第に減少させつつスイッチをＯＦＦにする。なお、給排気ファン制御システム１０の運転中では、モーターダンパ１７によってクリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの室内気圧が目標室圧に維持されている。
【００８８】
給排気ファン１２，１３を停止させるには、入力装置からファン停止指令を入力し、コントローラ１９にそれらファン１２，１３の停止を指示する（Ｓ−３０）。なお、設定周波数（４１Ｈｚ〜４３Ｈｚ）で運転中の給排気ファン１２，１３は、それらファン１２，１３の周波数が０．１〜１０．０Ｈｚ／秒の範囲で漸減し、所定時間経過後にそれらファン１２，１３の周波数が０Ｈｚになり、ファン１２，１３が停止する。また、運転中のファン１２，１３が停止するまでの間、圧力センサ１８は、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂ内の室内気圧を計測し、室内気圧を示す電気信号をコントローラ１９に送信する。
【００８９】
ファン停止指令が入力されるとコントローラ１９は、モーターダンパ１７によってクリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの目標室圧を維持しつつ運転中の給気ファン１２がその運転を停止するまでの間（ファン１２の周波数が設定周波数から０Ｈｚになるまでの間）に、ファン１２の周波数をあらかじめ設定された漸減量で漸減させる周波数漸減信号をファン１２のインバーターに出力し、ファン１２の周波数を次第に減少させるとともにファン１２の給気風量を次第に減少させる（給気風量漸減手段）（Ｓ−３１）。
【００９０】
さらに、コントローラ１９は、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの目標室圧を維持しつつ運転中の排気ファン１３がその運転を停止するまでの間（ファン１３の周波数が設定周波数から０Ｈｚになるまでの間）に、ファン１３の周波数をあらかじめ設定された漸減量で漸減させる周波数漸減信号をファン１３のインバーターに出力し、ファン１３の周波数を次第に減少させるとともにファン１３の排気風量を次第に減少させる（排気風量漸減手段）（Ｓ−３１）。
【００９１】
図５（ｃ）に示すように、給気ファン１２のインバーターは、コントローラ１９からの周波数漸減信号にしたがって、給気ファン１２の周波数を次第に減少（漸減）させる。給気ファン１２は、その周波数が漸減することによってクリーンルーム１１Ａ，１１Ｂに給気する給気風量が次第に減少する（Ｓ−３２）。排気ファン１２のインバーターは、コントローラ１９からの周波数漸減信号にしたがって、排気ファン１３の周波数を次第に減少（漸減）させる。排気ファン１３は、その周波数が漸減することによってクリーンルーム１１Ａ，１１Ｂから排気する排気風量が次第に減少する（Ｓ−３２）。
【００９２】
コントローラ１９は、給排気ファン１２，１３の周波数の漸減中であって、それらファン１２，１３がその運転を停止するまでの間に、圧力センサ１８から送信された電気信号に基づいて、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの室内気圧が大気圧（下位の基準室圧）（なお、下位の基準室圧を大気圧とクリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの目標室圧との間で任意に設定された設定室圧とした場合はその設定室圧）を下回っているかを判断するとともに、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの室内気圧が上限室圧（上位の基準室圧）（なお、上位の基準室圧を目標室圧とした場合はその目標室圧、上位の基準室圧を目標室圧と上限室圧と間で設定した設定室圧とした場合はその設定室圧）を上回っているかを判断する（Ｓ−３３）。
【００９３】
コントローラ１９は、ステップ３３（Ｓ−３３）において、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの室内気圧が大気圧を下回っておらず、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの室内気圧が上限室圧を上回っていないと判断すると、給気風量漸減手段および排気風量漸減手段を継続し、給気ファン１２の周波数をあらかじめ設定された漸減量で漸減させる周波数漸減信号をファン１２のインバーターに出力し、ファン１２の給気風量を次第に減少させるとともに（給気風量漸減手段）、排気ファン１３の周波数をあらかじめ設定された漸減量で漸減させる周波数漸減信号をファン１３のインバーターに出力し、ファン１３の排気風量を次第に減少させる（排気風量漸減手段）（Ｓ−３４）。
【００９４】
コントローラ１９は、給排気ファン１２，１３の周波数の漸減を継続した後、それらファン１２，１３が停止したか（ファン１２，１３の周波数が０Ｈｚになったか）を判断する（Ｓ−３５）。コントローラ１９は、それらファン１２，１３が停止したと判断した場合、ファン１２，１３の周波数の漸減を停止する（ファン１２，１３のスイッチがＯＦＦとなり、ダンパ１７およびセンサ１８のスイッチがＯＦＦとなる）。なお、ステップ３５（Ｓ−３５）においてファン１２，１３が未だ停止していない場合、コントローラ１９は、ステップ３３（Ｓ−３３）からの手順を繰り返す。
【００９５】
給排気ファン１２，１３の周波数が漸減する過程（給気ファン１２の給気風量や排気ファン１３の排気風量が次第に減少する過程）において、給気ファン１２の給気風量が必要以上に小さくなり、または、排気ファン１３の排気風量が必要以上に大きくなり、図５（ａ）に示すように、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの室内気圧が大気圧を下回る場合がある。したがって、運転中の給排気ファン１２，１３が停止するまでの間に、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの室内気圧が大気圧を下回る場合が生じる。このようにクリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの室内気圧が大気圧を下回ると、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの室内気圧と外気圧との圧力差が必要以上に大きくなり、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂへ外気（空気）が侵入し、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂが外気によって汚染されるコンタミネーションを起こす場合がある。
【００９６】
また、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの室内気圧が大気圧を下回った後、室内気圧が急激に上昇すると、各クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂ間の室内気圧の圧力差が必要以上に大きくなり、一方のクリーンルーム１１Ａ，１１Ｂから他方のクリーンルーム１１Ａ，１１Ｂへ空気が侵入し、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂどうしが汚染されるコンタミネーションを起こす場合がある。
【００９７】
クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの室内気圧が大気圧を下回ると、ステップ３３（Ｓ−３３）において、コントローラ１９は、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの室内気圧が大気圧に達していないと判断する。コントローラ１９は、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの室内気圧が大気圧を下回ったと判断すると、給気風量漸減手段を中断して給気ファン１２の周波数の漸減を停止させ、その時点における給気ファン１２の周波数を維持する周波数維持信号をファン１２のインバーターに出力し、ファン１２の周波数をその時点の周波数に維持するとともにファン１２の給気風量をその時点の風量に維持する（給気風量維持手段）。さらに、給気風量維持手段によって給気ファン１２の給気風量を維持している間、排気風量漸減手段を継続し、排気ファン１３の周波数を漸減させ、ファン１３の排気風量を漸減させる（Ｓ−３６）。
【００９８】
給排気ファン１２，１３の周波数が漸減する過程（給気ファン１２の給気風量や排気ファン１３の排気風量が次第に減少する過程）において、給気ファン１２の給気風量が必要以上に大きくなり、または、排気ファン１３の排気風量が必要以上に小さくなり、図５（ｂ）に示すように、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの室内気圧が上限室圧を上回る場合がある。したがって、運転中の給排気ファン１２，１３が停止するまでの間に、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの室内気圧が上限室圧を上回る場合が生じる。このようにクリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの室内気圧が上限室圧を上回ると、各クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂ間の室内気圧の圧力差が必要以上に大きくなり、一方のクリーンルーム１１Ａ，１１Ｂから他方のクリーンルーム１１Ａ，１１Ｂへ空気が侵入し、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂどうしが汚染されるコンタミネーションを起こす場合がある。
【００９９】
また、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの室内気圧が上限室圧を上回った後、室内気圧が急激に下降すると、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの室内気圧と外気圧との圧力差が必要以上に大きくなり、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂへ外気（空気）が侵入し、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂが外気によって汚染されるコンタミネーションを起こす場合がある。
【０１００】
クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの室内気圧が上限室圧を上回ると、ステップ３３（Ｓ−３３）において、コントローラ１９は、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの室内気圧が上限室圧を超えたと判断する。コントローラ１９は、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの室内気圧が上限室圧を上回ったと判断すると、排気風量漸減手段を中断して排気ファン１３の周波数の漸減を停止させ、その時点におけるファン１３の周波数を維持する周波数維持信号をファン１３のインバーターに出力し、ファン１３の周波数をその時点の周波数に維持するとともにファン１３の排気風量をその時点の風量に維持する（排気風量維持手段）。さらに、排気風量維持手段によって排気ファン１３の排気風量を維持している間、給気風量漸減手段を継続し、給気ファン１２の周波数を漸減させ、ファン１２の給気風量を漸減させる（Ｓ−３６）。
【０１０１】
次に、コントローラ１９は、給気ファン１２の周波数の漸減を停止させた後、その時点における給気ファン１２の周波数を維持している間に、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの室内気圧が大気圧（下位の基準室圧）を上回ったかを判断する（Ｓ−３７）。または、コントローラ１９は、排気ファン１３の周波数の漸減を停止させた後、その時点における排気ファン１３の周波数を維持している間に、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの室内気圧が上限室圧（上位の基準室圧）を下回ったかを判断する（Ｓ−３７）。
【０１０２】
ステップ３７（Ｓ−３７）においてコントローラ１９は、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの室内気圧が大気圧を上回っていないと判断すると、給気ファン１２の周波数の漸減の中断を継続してファン１２の周波数を維持し、給気ファン１２の給気風量を維持するとともに（給気風量維持手段）、排気ファン１３に対する排気風量漸減手段を継続する（Ｓ−３６）。
【０１０３】
また、ステップ３７（Ｓ−３７）においてコントローラ１９は、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの室内気圧が上限室圧を下回っていないと判断すると、排気ファン１３の周波数の漸減の中断を継続して排気ファン１３の周波数を維持し、排気ファン１３の排気風量を維持するとともに（排気風量維持手段）、給気ファン１２に対する給気風量漸減手段を継続する（Ｓ−３６）。
【０１０４】
ステップ３７（Ｓ−３７）においてコントローラ１９は、給気風量維持手段によってクリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの室内気圧が大気圧を上回ったと判断すると、給気風量維持手段を中断して給気ファン１２の周波数維持を中断させ、ファン１２の周波数をあらかじめ設定された漸減量で漸減させる周波数漸減信号をファン１２のインバーターに出力し、ファン１２の周波数の漸減を再開させ、ファン１２の周波数を次第に減少させるとともにファン１２の給気風量を次第に減少させる（給気風量漸減手段）（Ｓ−３８）。
【０１０５】
また、ステップ３７（Ｓ−３７）においてコントローラ１９は、排気風量維持手段によってクリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの室内気圧が上限室圧を下回ったと判断すると、排気風量維持手段を中断して排気ファン１３の周波数維持を中断させ、ファン１３の周波数をあらかじめ設定された漸減量で漸減させる周波数漸減信号をファン１３のインバーターに出力し、ファン１３の周波数の漸減を再開させ、ファン１３の周波数を次第に減少させるとともにファン１３の排気風量を次第に減少させる（排気風量漸減手段）（Ｓ−３８）。
【０１０６】
給気ファン１２の周波数の漸減を再開させた後、または、排気ファン１３の周波数の漸減を再開させた後、コントローラ１９は、圧力センサ１８から送信された電気信号に基づいて、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの室内気圧が大気圧を下回っているかを判断するとともに、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの室内気圧が上限室圧を上回っているかを判断する（Ｓ−３９）。
【０１０７】
コントローラ１９は、ステップ３９（Ｓ−３９）において、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの室内気圧が大気圧を下回っておらず、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの室内気圧が上限室圧を上回っていないと判断すると、給気風量漸減手段および排気風量漸減手段を継続し、給気ファン１２の周波数をあらかじめ設定された漸減量で漸減させる周波数漸減信号をファン１２のインバーターに出力し、ファン１２の給気風量を次第に減少させるとともに（給気風量漸減手段）、排気ファン１３の周波数をあらかじめ設定された漸減量で漸減させる周波数漸減信号をファン１３のインバーターに出力し、ファン１３の排気風量を次第に減少させる（排気風量漸減手段）（Ｓ−４０）。
【０１０８】
コントローラ１９は、給排気ファン１２，１３の周波数の漸減を再開しつつそれを継続した後、それらファン１２，１３が停止したか（ファン１２，１３の周波数が０Ｈｚになったか）を判断する（Ｓ−４１）。コントローラ１９は、それらファン１２，１３が停止したと判断した場合、ファン１２，１３の周波数の漸減を停止する。なお、ステップ４１（Ｓ−４１）においてファン１２，１３が未だ停止していない場合、コントローラ１９は、ステップ３９（Ｓ−３９）からの手順を繰り返す。
【０１０９】
給排気ファン制御システム１０は、クリーンルーム１１Ａ、１１Ｂの目標室圧を維持しつつ運転中の給排気ファン１２，１３がその運転を停止するまでの間に、圧力センサ１８が計測したクリーンルーム１１Ａ、１１Ｂの室内気圧が大気圧（下位の基準室圧）を下回った場合、給気風量漸減手段を中断してその時点における給気ファン１２の周波数（給気風量）を維持するとともに、給気風量維持手段によって給気ファン１２の給気風量を維持している間、排気風量漸減手段を継続して排気ファン１３の周波数（排気風量）を次第に減らすから、給排気ファン１２，１３が停止するまでの間におけるそれらファン１２，１３の給気風量や排気風量が次第に減っていく過程で、給気ファン１２の給気風量が予定以上に小さくなり、または、排気ファン１３の排気風量が予定以上に大きくなり、クリーンルーム１１Ａ、１１Ｂの室内気圧が大気圧を下回ったとしても、大気圧に対して室内気圧を速やかに上回らせることができる。
【０１１０】
給排気ファン制御システム１０は、給気ファン１２の周波数（給気風量）の漸減や排気ファン１３の周波数（排気風量）の漸減を遅くしなくても、運転中の給排気ファン１２，１３がその運転を停止するまでの間における室内気圧の大気圧に対する逸脱を防ぐことができるから、給気ファン１２の周波数（給気風量）の漸減遅延や排気ファン１２の周波数（排気風量）の漸減遅延を防ぐことができ、運転中の給排気ファン１２，１３が停止するまでに長時間を要することはなく、運転中の給排気ファン１２，１３を速やかに停止させることができる。給排気ファン制御システム１０は、クリーンルーム１１Ａ、１１Ｂの室内気圧が大気圧を上回った場合、給気風量漸減手段を再び行って給気ファン１２の周波数（給気風量）を次第に減らすから、給気ファン１２の周波数（給気風量）の漸減遅延を防ぐことができ、運転中の給排気ファン１２，１３が停止するまでに長時間を要することはなく、運転中の給排気ファン１２，１３を速やかに停止させることができる。
【０１１１】
給排気ファン制御システム１０は、クリーンルーム１１Ａ、１１Ｂの目標室圧を維持しつつ運転中の給排気ファン１２，１３がその運転を停止するまでの間に、圧力センサ１８が計測したクリーンルーム１１Ａ、１１Ｂの室内気圧が上限室圧（上位の基準室圧）を上回った場合、排気風量漸減手段を中断してその時点における排気ファン１３の周波数（排気風量）を維持するとともに、排気風量維持手段によって排気ファン１３の排気風量を維持している間、給気風量漸減手段を継続して給気ファン１２の周波数（給気風量）を次第に減らすから、給排気ファン１２，１３が停止するまでの間におけるそれらファン１２，１３の給気風量や排気風量が次第に減っていく過程で、排気ファン１３の排気風量が予定以上に小さくなり、または、給気ファン１２の給気風量が予定以上に大きくなり、クリーンルーム１１Ａ、１１Ｂの室内気圧が上限室圧を上回ったとしても、上限室圧に対して室内気圧を速やかに下回らせることができる。
【０１１２】
給排気ファン制御システム１０は、給気ファン１２の周波数（給気風量）の漸減や排気ファン１３の周波数（排気風量）の漸減を遅くしなくても、運転中の給排気ファン１２，１３がその運転を停止するまでの間における室内気圧の上限室圧に対する逸脱を防ぐことができるから、給気ファン１２の周波数（給気風量）の漸減遅延や排気ファン１２の周波数（排気風量）の漸減遅延を防ぐことができ、運転中の給排気ファン１２，１３が停止するまでに長時間を要することはなく、運転中の給排気ファン１２，１３を速やかに停止させることができる。給排気ファン制御システム１０は、クリーンルーム１１Ａ、１１Ｂの室内気圧が上限室圧を下回った場合、排気風量漸減手段を再び行って排気ファン１３の周波数（排気風量）を次第に減らすから、排気ファン１３の周波数（排気風量）の漸減遅延を防ぐことができ、運転中の給排気ファン１２，１３が停止するまでに長時間を要することはなく、運転中の給排気ファン１２，１３を速やかに停止させることができる。
【０１１３】
給排気ファン制御システム１０は、運転中の給排気ファン１２，１３を速やかに停止させることができるのみならず、運転中の給排気ファン１２，１３がその運転を停止するまでの間に、クリーンルーム１１Ａ、１１Ｂの室内気圧と外気圧との圧力差が必要以上に大きくなることはなく、クリーンルーム１１Ａ、１１Ｂへの外気（空気）の不用意な侵入を防ぐことができ、クリーンルーム１１Ａ、１１Ｂが外気によって汚染されるコンタミネーションを防ぐことができる。さらに、各クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂ間の室内気圧の圧力差が必要以上に大きくなることはなく、一方のクリーンルーム１１Ａ，１１Ｂから他方のクリーンルーム１１Ａ，１１Ｂへの空気の侵入を防ぐことができ、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂどうしが汚染されるコンタミネーションを防ぐことができる。また、給排気ファン制御システム１０は、運転中の給排気ファン１２，１３がその運転を停止するまでの間に、給気風量漸減手段における給気ファン１２の周波数の漸減量を０．１〜１０．０Ｈｚ／秒の範囲で減らすとともに、排気風量漸減手段における排気ファン１３の周波数の漸減量を０．１〜１０．０Ｈｚ／秒の範囲で減らすから、給気ファン１２の周波数の漸減遅延や排気ファン１３の周波数の漸減遅延を確実に防ぐことができる。
【符号の説明】
【０１１４】
１０    給排気ファン制御システム
１１Ａ，Ｂ  クリーンルーム（空調室）
１２    給気ファン
１３    排気ファン
１４    給気ダクト
１５    排気ダクト
１６    定風量ユニット
１７    モーターダンパ
１８    圧力センサ
１９    コントローラ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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