(57)【要約】【課題】金属箔積層体の製造方法において、第１の金属箔と導通可能な電極部を、酸化膜除去のための薬液処理を行うことなく迅速に形成することができるようにする。【解決手段】基材と、第１の金属箔と、第２の金属箔を含む電極部とを備える金属箔積層体の製造方法であって、第１の金属箔を基材上に固定して第１積層体を形成する第１積層体形成工程Ｓ１１と、第２の金属箔を含んだ電極部形成部材を、電極部の配置パターンに対応する位置関係に保持する静電吸引力分布を静電吸着ステージの表面に発生させて、電極部形成部材を静電吸着ステージの表面に吸着する静電吸着工程とＳ１２、吸着された電極部形成部材を、導電性接着剤を介する状態で第１の金属箔上に転写して第２積層体を形成する第２積層体形成工程Ｓ１３と、導電性接着剤を硬化させることにより、第１の金属箔と第２の金属箔とを互いに導通した状態で接着する押圧接着工程Ｓ１４とを備える。【選択図】図４
2014107380.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シート状の基材と、該基材上に重ねて固定された第１の金属箔と、該第１の金属箔と導通するように該第１の金属箔上に重ねて固定された第２の金属箔を含む電極部とを備える金属箔積層体の製造方法であって、
前記第１の金属箔を前記基材上に重ねて固定し、前記基材および前記第１の金属箔を含む第１積層体を形成する第１積層体形成工程と、
前記電極部を形成するために少なくとも前記第２の金属箔を含んだ電極部形成部材を、前記電極部の配置パターンに対応する位置関係に保持する静電吸引力分布を静電吸着ステージの表面に発生させて、前記電極部形成部材を前記静電吸着ステージの表面に吸着する静電吸着工程と、
前記静電吸着ステージを前記第１積層体の前記第１の金属箔上に位置決めして、前記静電吸着ステージに吸着された前記電極部形成部材を、導電性接着剤を介する状態で前記第１の金属箔上に転写して第２積層体を形成する第２積層体形成工程と、
前記第２積層体を加熱するとともに積層方向に押圧して、前記導電性接着剤を硬化させることにより、前記第１の金属箔と前記第２の金属箔とを互いに導通した状態で接着する押圧接着工程と
を備える金属箔積層体の製造方法。
【請求項２】
前記静電吸着工程では、
略均一な静電吸引力分布を形成する静電吸着面に、前記電極部形成部材が収容可能とされた貫通孔が前記電極部の配置パターンに合わせて形成された絶縁体シートを設けることにより、前記静電吸引力分布を発生させることを特徴とする請求項１に記載の金属箔積層体の製造方法。
【請求項３】
前記絶縁体シートは、
その表面の前記静電吸着面からの高さが、前記電極部形成部材部材の厚さより低くなるように設ける
ことを特徴とする請求項２に記載の金属箔積層体の製造方法。
【請求項４】
前記第１積層体形成工程では、
前記第１積層体は、
前記基材の前記第１の金属箔と反対側に、シート部材を積層させて形成する
ことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の金属箔積層体の製造方法。
【請求項５】
前記第１積層体形成工程では、
前記基材上に該基材を覆う金属箔シートを重ねて固定してから、該金属箔シートの一部を除去加工することにより、パターンが形成された形状の前記第１の金属箔を形成する
ことを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の金属箔積層体の製造方法。
【請求項６】
前記第１積層体形成工程では、
前記基材上に該基材を覆う金属箔シートを重ねて固定することにより前記第１の金属箔を形成し、
前記押圧接着工程を行った後に、
前記第１の金属箔の一部を除去加工して、前記第１の金属箔にパターンを形成するパターン形成工程を備える
ことを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の金属箔積層体の製造方法。
【請求項７】
請求項５または６に記載された金属箔積層体の製造方法によって前記金属箔積層体を製造する金属箔積層体製造工程と、
前記金属箔積層体と、該金属箔積層体の前記第２の金属箔上に配置された導電接続材と、裏面に設けた接続電極を前記導電接続材上に位置合わせして配置した太陽電池セルと、前記金属箔積層体と前記太陽電池セルの裏面との間および前記太陽電池セルの受光面上に配置された封止材と、該封止材上で前記金属箔積層体を覆う位置に配置された透光性前面板とを積層して太陽電池モジュール積層体を形成する太陽電池モジュール積層体形成工程と、
前記太陽電池モジュール積層体をラミネートし、その際に加熱された前記導電接続材によって前記第２の金属箔と前記太陽電池セルの前記接続電極とを電気的に接続して、太陽電池モジュールを形成する積層ラミネート工程と
を備える太陽電池モジュールの製造方法。
【請求項８】
基材上に該基材を覆う金属箔シートを接着してから、該金属箔シートの一部を除去加工することにより、パターンが形成された形状の第１の金属箔を形成して、前記基材および前記第１の金属箔を含む第１積層体を形成する第１積層体形成工程と、
電極部を形成するために少なくとも第２の金属箔を含んだ電極部形成部材を、前記電極部の配置パターンに対応する位置関係に保持する静電吸引力分布を静電吸着ステージの表面に発生させて、前記電極部形成部材を前記静電吸着ステージの表面に吸着する静電吸着工程と、
前記静電吸着ステージを前記第１積層体の前記第１の金属箔上に位置決めして、前記静電吸着ステージに吸着された前記電極部形成部材を、導電性接着剤を介する状態で前記第１の金属箔上に転写して第２積層体を形成する第２積層体形成工程と、
前記第２積層体と、該第２積層体の前記第２の金属箔上に配置された導電接続材と、裏面に設けた接続電極を前記導電接続材上に位置合わせして配置した太陽電池セルと、前記第２積層体と前記太陽電池セルの裏面との間および前記太陽電池セルの受光面上に配置された封止材と、該封止材上で前記第２積層体を覆う位置に配置された透光性前面板とを積層して太陽電池モジュール積層体を形成する太陽電池モジュール積層体形成工程と、
前記太陽電池モジュール積層体をラミネートし、その際に前記第１の金属箔と前記第２の金属箔とを積層方向に押圧して前記導電接着剤を介して導通させるとともに、加熱された前記導電接続材によって前記第２の金属箔と前記太陽電池セルの前記接続電極とを電気的に接続して、太陽電池モジュールを形成する積層ラミネート工程と
を備える太陽電池モジュールの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、金属箔積層体の製造方法および太陽電池モジュールの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、自然エネルギーを利用する発電システムである太陽光発電の普及が急速に進められている。太陽光発電をするための太陽電池モジュールは、例えば、図１７に示す太陽電池モジュール１００では、光の入射面に配置された透光性基板１２０と、その裏面側に配置された太陽電池モジュール用基材（バックシート）１１０と、透光性基板１２０と太陽電池モジュール用基材１１０の間に封止された多数の太陽電池セル１３０とを有している。また、太陽電池セル１３０は、エチレン・酢酸ビニル共重合体（ＥＶＡ）フィルム等の封止用フィルム（樹脂）１４０に挟まれて封止されている。
このような太陽電池モジュール１００においては、多数の太陽電池セル１３０が、配線材１５０で電気的に直列に接続されていた。太陽電池セル１３０は、太陽光の受光面１３０ａである表面側にマイナス電極、裏面側にプラス電極が設けられているため、配線材１５０で接続すると、太陽電池セル１３０の受光面の上に配線材１５０が重なり、光電変換の面積効率が低下する欠点があった。
【０００３】
また、上述した電極の配置では、配線材１５０が太陽電池セル１３０の表側から裏側に回り込む構造になるため、各部材の熱膨張率の差が原因で配線材１５０が断線するおそれがあった。
そこで、特許文献１、２では、プラス電極とマイナス電極の両電極がセルの裏面に設置されたバックコンタクト方式の太陽電池セルが提案されている。この方式の太陽電池セルはセル裏面で直列に接続することが可能であり、セル表面の受光面積が犠牲にならず受光率と光電変換の面積効率の低下を防止できる。また、配線材を表側から裏側に回り込む構造にしなくてもよいため、各部材の熱膨張率の差による配線材の断線も防止できる。
【０００４】
このような太陽電池モジュールでは、絶縁性の基材の表面に絶縁性接着剤層を介して、太陽電池セルに接続するための配線パターンを形成する金属箔を被着した積層体を、太陽電池用バックシートに積層させてなる部品構成が知られている。
【０００５】
また、金属箔の材料として一般に銅箔が用いられるが、銅箔は貴金属に属し高価である。これに対して、アルミニウム箔は銅箔に対して安価かつ価格が比較的安定しているため、金属箔のコストダウンが可能となる。
銅箔、アルミニウム箔を含む金属箔にて配線パターンを形成する技術として、例えば、特許文献３には、絶縁性の感熱性接着層を有する導電性パターン形成用金属箔シートを絶縁性基板に貼り付けてから、配線パターンの形状に打ち抜く技術が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００５−１１８６９号公報
【特許文献２】特開２００９−１１１１２２号公報
【特許文献３】特開２００７−７６２８８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上記のような従来技術には、以下のような問題があった。
特許文献１、２に記載のようなバックコンタクト方式の太陽セルに、配線パターンが形成された金属箔によって配線して、太陽電池モジュールを構成する場合に、特許文献３に記載されたアルミニウム箔を用いた金属箔シートは、通常、アルミニウム表面に絶縁性ではんだ濡れ性にも乏しい酸化膜層が形成されている。このため、例えば、はんだや銀ペーストなどの導電性接続材を用いて太陽電池セルの接続電極とアルミニウム箔とを電気的に接続することができないという問題がある。
例えば、エッチング、めっき等の手段でアルミニウム箔表面の酸化膜層を削除することも考えられるが、この場合、めっき液やエッチング液、残った各薬液の除去液等、多くの薬液や材料を必要とするために工程が煩雑となり、製造コストが高かった。
しかも、エッチング、めっき等によってアルミニウム配線パターンを処理した場合、絶縁性の感熱性接着層にも各工程の薬液が浸漬するため、感熱性接着層が劣化して信頼性が損なわれるおそれがある。
【０００８】
また、アルミニウム箔にめっきを施す場合には、アルミニウム箔全面を処理する事となるため、太陽電池セルとの接合を行う際に、アルミニウム箔上で導電性接続材が流動して太陽電池セルの設置精度が劣化するという問題もあった。
【０００９】
また、アルミニウム箔表面に導電性接着剤を介して金属箔を積層することにより、この金属箔上で太陽電池セルとのはんだ付け性を確保することも考えられる。
ただし、この場合、太陽電池セルの裏面の接続電極に対応する位置に、接続電極の数に応じて、多数の箇所に導電性接着剤と金属箔とを位置合わせして配置する必要がある。
このため、例えば、２ｍ×１．５ｍ程度の巨大なアルミニウム箔上に、金属箔を配置するような場合には、導電性接着剤と金属箔とを配置する手間がかかってしまうという問題がある。
【００１０】
本発明は、このような課題に鑑みてなされたものであって、第１の金属箔が表面に酸化膜を有する金属箔からなる場合でも、第１の金属箔と導通可能な電極部を、酸化膜除去のための薬液処理を行うことなく、しかも迅速に形成することができる金属箔積層体の製造方法および太陽電池モジュールの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記の課題を解決するために、本発明の第１の態様の金属箔積層体の製造方法は、シート状の基材と、該基材上に重ねて固定された第１の金属箔と、該第１の金属箔と導通するように該第１の金属箔上に重ねて固定された第２の金属箔を含む電極部とを備える金属箔積層体の製造方法であって、前記第１の金属箔を前記基材上に重ねて固定し、前記基材および前記第１の金属箔を含む第１積層体を形成する第１積層体形成工程と、前記電極部を形成するために少なくとも前記第２の金属箔を含んだ電極部形成部材を、前記電極部の配置パターンに対応する位置関係に保持する静電吸引力分布を静電吸着ステージの表面に発生させて、前記電極部形成部材を前記静電吸着ステージの表面に吸着する静電吸着工程と、前記静電吸着ステージを前記第１積層体の前記第１の金属箔上に位置決めして、前記静電吸着ステージに吸着された前記電極部形成部材を、導電性接着剤を介する状態で前記第１の金属箔上に転写して第２積層体を形成する第２積層体形成工程と、前記第２積層体を加熱するとともに積層方向に押圧して、前記導電性接着剤を硬化させることにより、前記第１の金属箔と前記第２の金属箔とを互いに導通した状態で接着する押圧接着工程とを備える方法とする。
【００１２】
上記金属箔積層体の製造方法において、前記静電吸着工程では、略均一な静電吸引力分布を形成する静電吸着面に、前記電極部形成部材が収容可能とされた貫通孔が前記電極部の配置パターンに合わせて形成された絶縁体シートを設けることにより、前記静電吸引力分布を発生させることが好ましい。
【００１３】
上記金属箔積層体の製造方法において、前記絶縁体シートは、その表面の前記静電吸着面からの高さが、前記電極部形成部材部材の厚さより低くなるように設けることが好ましい。
【００１４】
上記金属箔積層体の製造方法において、前記第１積層体形成工程では、前記第１積層体は、前記基材の前記第１の金属箔と反対側に、シート部材を積層させて形成することが好ましい。
【００１５】
上記金属箔積層体の製造方法において、前記第１積層体形成工程では、前記基材上に該基材を覆う金属箔シートを重ねて固定してから、該金属箔シートの一部を除去加工することにより、パターンが形成された形状の前記第１の金属箔を形成することが好ましい。
【００１６】
上記金属箔積層体の製造方法において、前記第１積層体形成工程では、前記基材上に該基材を覆う金属箔シートを重ねて固定することにより前記第１の金属箔を形成し、前記押圧接着工程を行った後に、前記第１の金属箔の一部を除去加工して、前記第１の金属箔にパターンを形成するパターン形成工程を備えることが好ましい。
【００１７】
本発明の第２の態様の太陽電池モジュールの製造方法は、パターンが形成された前記第１の金属箔を有する上記金属箔積層体の製造方法によって前記金属箔積層体を製造する金属箔積層体製造工程と、前記金属箔積層体と、該金属箔積層体の前記第２の金属箔上に配置された導電接続材と、裏面に設けた接続電極を前記導電接続材上に位置合わせして配置した太陽電池セルと、前記金属箔積層体と前記太陽電池セルの裏面との間および前記太陽電池セルの受光面上に配置された封止材と、該封止材上で前記金属箔積層体を覆う位置に配置された透光性前面板とを積層して太陽電池モジュール積層体を形成する太陽電池モジュール積層体形成工程と、前記太陽電池モジュール積層体をラミネートし、その際に加熱された前記導電接続材によって前記第２の金属箔と前記太陽電池セルの前記接続電極とを電気的に接続して、太陽電池モジュールを形成する積層ラミネート工程とを備える方法とする。
【００１８】
本発明の第３の態様の太陽電池モジュールの製造方法は、基材上に該基材を覆う金属箔シートを接着してから、該金属箔シートの一部を除去加工することにより、パターンが形成された形状の前記第１の金属箔を形成して、前記基材および第１の金属箔を含む第１積層体を形成する第１積層体形成工程と、電極部を形成するために少なくとも第２の金属箔を含んだ電極部形成部材を、前記電極部の配置パターンに対応する位置関係に保持する静電吸引力分布を静電吸着ステージの表面に発生させて、前記電極部形成部材を前記静電吸着ステージの表面に吸着する静電吸着工程と、前記静電吸着ステージを前記第１積層体の前記第１の金属箔上に位置決めして、前記静電吸着ステージに吸着された前記電極部形成部材を、導電性接着剤を介する状態で前記第１の金属箔上に転写して第２積層体を形成する第２積層体形成工程と、前記第２積層体と、該第２積層体の前記第２の金属箔上に配置された導電接続材と、裏面に設けた接続電極を前記導電接続材上に位置合わせして配置した太陽電池セルと、前記第２積層体と前記太陽電池セルの裏面との間および前記太陽電池セルの受光面上に配置された封止材と、該封止材上で前記第２積層体を覆う位置に配置された透光性前面板とを積層して太陽電池モジュール積層体を形成する太陽電池モジュール積層体形成工程と、前記太陽電池モジュール積層体をラミネートし、その際に前記第１の金属箔と前記第２の金属箔とを積層方向に押圧して前記導電接着剤を介して導通させるとともに、加熱された前記導電接続材によって前記第２の金属箔と前記太陽電池セルの前記接続電極とを電気的に接続して、太陽電池モジュールを形成する積層ラミネート工程とを備える方法とする。
【発明の効果】
【００１９】
本発明の金属箔積層体の製造方法および太陽電池モジュールの製造方法によれば、静電吸着ステージによって電極部形成部材を電極部の配置パターンに対応する位置関係に吸着してから、導電性接着剤を介する状態で電極部形成部材を第１積層体の第１の金属箔上に転写して第２積層体を形成し、この第２積層体を積層方向に押圧して接着するため、第１の金属箔が表面に酸化膜を有する金属箔からなる場合でも、第１の金属箔と導通可能な電極部を、酸化膜除去のための薬液処理を行うことなく、しかも迅速に形成することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の実施形態の太陽電池モジュールの製造方法によって製造された太陽電池モジュールおよびこれに用いる金属箔積層体の概略構成を示す模式的な断面図である。
【図２】本発明の実施形態の金属箔積層体の製造方法によって製造された金属箔積層体の概略構成を示す模式的な平面図である。
【図３】本発明の実施形態の太陽電池モジュールの製造方法の工程フローの一例を示すフローチャートである。
【図４】本発明の実施形態の金属箔積層体の製造方法の工程フローの一例を示すフローチャートである。
【図５】本発明の実施形態の金属箔積層体の製造方法の第１積層体形成工程の工程説明図である。
【図６】本発明の実施形態の金属箔積層体の製造方法の静電吸着工程に用いる静電吸着ステージの製造方法の一例を示す分解図および断面図である。
【図７】本発明の実施形態の金属箔積層体の製造方法に用いる静電吸着ステージの絶縁シートの平面図である。
【図８】本発明の実施形態の金属箔積層体の製造方法の静電吸着工程の工程説明図である。
【図９】本発明の実施形態の金属箔積層体の製造方法の第２積層体形成工程の工程説明図である。
【図１０】本発明の実施形態の金属箔積層体の製造方法の押圧接着工程の工程説明図である。
【図１１】本発明の実施形態の金属箔積層体の製造方法で押圧接着された第２積層体にシート部材を積層させた状態を示す模式的な断面図である。
【図１２】本発明の実施形態の太陽電池モジュールの製造方法の太陽電池モジュール積層体形成工程の工程説明図である。
【図１３】本発明の実施形態の太陽電池モジュールの製造方法の積層ラミネート工程の工程説明図である。
【図１４】本発明の実施形態の第１変形例の金属箔積層体の製造方法の工程フローを示すフローチャートである。
【図１５】本発明の実施形態の第２〜第４変形例の金属箔積層体の製造方法によって製造された金属箔積層体の概略構成を示す模式的な断面図である。
【図１６】本発明の実施形態の第５変形例の太陽電池モジュールの製造方法の工程フローを示すフローチャートである。
【図１７】従来技術の太陽電池モジュールの構成の一例を示す模式的な断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下では、本発明の実施形態の金属箔積層体の製造方法および太陽電池モジュールの製造方法について添付図面を参照して説明する。
図１は、本発明の実施形態の太陽電池モジュールの製造方法によって製造された太陽電池モジュールおよびこれに用いる金属箔積層体の概略構成を示す模式的な断面図である。
図２は、本発明の実施形態の金属箔積層体の製造方法によって製造された金属箔積層体の概略構成を示す模式的な平面図である。
【００２２】
まず、本実施形態の金属箔積層体の製造方法および太陽電池モジュールの製造方法によって製造される金属箔積層体および太陽電池モジュールの一例について説明する。
図１に示すように、本実施形態の太陽電池モジュールの製造方法によって製造される太陽電池モジュール５０は、発電のための光を受光する受光面２０ｂと反対側の裏面２０ｃ側に配線用の接続電極２０ａが複数設けられた太陽電池セル２０と、太陽電池セル２０を配線する金属箔積層体１０と、この金属箔積層体１０および太陽電池セル２０上に積層されて太陽電池セル２０を封止する封止材３０と、封止材３０上に積層された透光性基板４０（透光性前面板）とを備える。
ここで、金属箔積層体１０は、本実施形態の金属箔積層体の製造方法によって製造されたものである。
【００２３】
太陽電池セル２０は、受光面２０ｂから入射した光を光電変換して発電を行うもので、裏面２０ｃに接続電極２０ａが設けられた、いわゆるバックコンタクト方式の太陽電池セルであれば、適宜の方式のものを採用することができる。なお、図１は模式図のため、図示を簡略化しているが、接続電極２０ａの個数は、２以上の適宜個数を必要に応じて設けることができる。
また、太陽電池セル２０の平面視形状は、図２に二点鎖線で示すように、例えば平面視矩形状などの適宜形状を採用することができる。また、図１、２では図示を省略しているが、太陽電池モジュール５０における太陽電池セル２０は、金属箔積層体１０の面方向に沿って複数のものが、隙間をあけて隣り合わせに配置されている。
【００２４】
金属箔積層体１０は、図１に示すように、バックシート６（シート部材）、基材１、絶縁性接着剤層２、アルミニウム箔３（第１の金属箔）、導電性接着層４（導電性接着剤）、および銅箔５（第２の金属箔、電極部）が、この順に積層されたものである。
【００２５】
バックシート６は、金属箔積層体１０の積層方向における一方の外表面を構成して、金属箔積層体１０の内部、および太陽電池モジュール５０との内部に、水分や酸素等が侵入することを抑制するためのシート状部材である。このため、バックシート６は、シールド材としてのバリア機能を有している。
バックシート６の材質としては、水分や酸素に対する遮断性に優れた適宜の樹脂材料、アルミニウム箔、もしくはアルミニウム箔と適宜の樹脂との複合積層フィルムを使用することができる。
【００２６】
基材１は、バックシート６上に積層して形成され、絶縁性接着剤層２を介してアルミニウム箔３を支持する部材であり、本実施形態では、可撓性を有するシート状部材で構成される。また、基材１は、電気絶縁性に優れる材料からなることが好ましい。
例えば、基材１は、樹脂材料を、シート状もしくはフィルム状に形成したものを採用することができる。
基材１の材料としては、例えば、アクリル、ポリカーボネート、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリイミド、ウレタン、エポキシ、メラミン、スチレンなどの樹脂材料、またはこれらを共重合した樹脂材料を用いることが可能である。
また、基材１の材料は、断熱性や弾力性や光学特性の制御のため、必要に応じて、有機フィラーまたは無機フィラー等を混入した材料を用いることも可能である。
また、基材１は、上記の樹脂材料を複数積層させた積層フィルムや、上記の樹脂材料の層と、例えばアルミニウム箔等の金属箔とを積層させた複合積層フィルムを採用することも可能である。
また、例えば、上記の複合積層フィルムを用いる場合など、基材１が太陽電池モジュール５０の外表面として必要な強度や水分や酸素の遮断性を有している場合には、バックシート６を削除し、基材１がバックシート６の機能を兼ねる構成としてもよい。
【００２７】
絶縁性接着剤層２は、基材１の表面に、アルミニウム箔３を固定するための層状部であり、例えば、硬化性樹脂であるウレタン、アクリル、エポキシ、ポリイミド、オレフィン、またはこれらを共重合した硬化型接着剤を硬化させることで形成されている。硬化型接着剤の種類は特に限定されず、例えば、熱硬化型接着剤、ＵＶ硬化型接着剤などを好適に採用できる。また、絶縁性接着剤層２として段階硬化型でない接着剤層を用いても良い。
【００２８】
アルミニウム箔３は、太陽電池セル２０を配線する配線パターンを形成するもので、太陽電池セル２０の接続電極２０ａの配置に応じて、適宜の平面視形状を備え、絶縁性接着剤層２を介して、基材１に積層され、基材１と一体に接合されている。
アルミニウム箔３の配線パターンとしては、例えば、図２に示すように、略一定の線幅を有する４つの線状部３ａ１、３ａ２、３ａ３、３ａ４（以下、線状部３ａ１〜３ａ４と記載する場合がある）が櫛歯状をなして配置された櫛歯状部３Ａと、略一定の線幅を有する４つの線状部３ｂ１、３ｂ２、３ｂ３、３ｂ４（以下、線状部３ｂ１〜３ｂ４と記載する場合がある）が櫛歯状をなして配置された櫛歯状部３Ｂとを有し、これら櫛歯状部３Ａ、３Ｂが、互いの線状部間の隙間に貫入するとともに互いに離間して近接配置されたパターンの例を挙げることができる。
この例の場合、櫛歯状部３Ａ、３Ｂはそれぞれ発電出力のプラス電極配線、マイナス電極配線に対応している。また、櫛歯状部３Ａ、３Ｂの上方（透光性基板４０側）には、図２の二点鎖線で示すように、櫛歯状部３Ａ、３Ｂを上方から覆う位置に太陽電池セル２０が配置される。このような接続位置において、太陽電池セル２０には、各線状部３ａ１〜３ａ４、３ｂ１〜３ｂ４の上方に、それぞれ３個ずつ、合計２４個の接続電極２０ａ（図２の二点鎖線参照）が設けられている。
アルミニウム箔３の各パターンの各線状部３ａ１〜３ａ４、３ｂ１〜３ｂ４上には、接続電極２０ａに対向可能な位置に、導電性接着層４（図１参照）を介して銅箔５が３個ずつ接着されている。
なお、図２に示すアルミニウム箔３のパターンの形状、および太陽電池セル２０の接続電極２０ａの個数、配置は、一例であってこれに限定されるものではない。
【００２９】
アルミニウム箔３の材質としては、なるべく良好な電気導電性を確保するために、例えば、１Ｎ３０材、１１００材などの高純度アルミニウムを使用することが望ましい。
【００３０】
導電性接着層４は、銅箔５とアルミニウム箔３とが電気的に接続されるように、銅箔５をアルミニウム箔３に接着するもので、電気素子実装に使用されている導電性接着剤もしくは導電性接着フィルムを使用することができる。１例としては、例えば、エポキシ系硬化樹脂中に金属粒子が混入されたフィルムを使用することができる。
本実施形態では、導電性接着層４は、亜鉛粒子およびニッケル粒子の少なくとも一方を含有する導電接着剤または導電性接着フィルムからなる。ここで、亜鉛粒子（ニッケル粒子）とは、それぞれ純度９９％以上の亜鉛（ニッケル）、または亜鉛（ニッケル）を９０％以上含む亜鉛合金（ニッケル合金）の粒子体を意味する。
発明者は、アルミニウム箔３の表面に酸化膜層が形成されている場合でも、亜鉛粒子（ニッケル粒子）を、アルミニウム箔３の表面に押し付けると、亜鉛粒子（ニッケル粒子）が、アルミニウム箔３のアルミニウム部分に接触することにより導電性が得られることを見出して本発明に到った。これは、アルミニウムに金属等の導電性を有する粒子体を押し付けると、接触部で応力集中が起こり、ある程度の硬さを有していれば、アルミニウム箔３の表面に薄層に形成されている酸化アルミニウム膜を突き破って粒子体がアルミニウム箔３内に貫入し、アルミニウムと粒子体の表面が直に接触するためである。
【００３１】
導電性接着層４に含有される導電性の粒子体は、安価であるため、亜鉛粒子、ニッケル粒子が特に好ましいが、亜鉛やニッケルに限らず、他の金属の粒子体を含有させてもよい。例えば、銀、銅等の粒子体を含有すれば、導電性が増すためより好ましい。
また、亜鉛、ニッケル、銅、銀、金等の金属を含む合金からなる粒子体を含有していてもよい。
また、特に導電接続材７が銀ペーストやはんだからなる場合には、金属の粒子体は、その表面に金めっきまたは銀めっきを施した粒子体を使用してもよい。この場合、高温高湿環境試験などにおいても、より良好な信頼性を保持することが可能となる。
【００３２】
また、導電性接着層４に含有させる導電性の粒子体は、酸化膜層を突き破ることが可能な粒径と硬さを有し、少なくとも表面が導電性を有していれば、金属の粒子体には限定されない。
例えば、高分子化合物で形成された粒子体または無機物の粒子体の表面に、亜鉛、ニッケル、銅、銀、金などの導電性が良好な金属のめっきを施して導電性を持たせた粒子体を含有させてもよい。
導電性接着層４に含有される導電性の粒子体の粒径は、銅箔５およびアルミニウム箔３の表面粗さ以上の大きさである事が望ましい。これにより、銅箔５とアルミニウム箔３とを安定して接続することが可能となる。
【００３３】
導電性接着層４の一例としては、硬化性樹脂であるウレタン、アクリル、エポキシ、ポリイミド、オレフィン、またはこれらを共重合した硬化型接着剤に、亜鉛粒子およびニッケル粒子の少なくとも一方を含有させた構成を挙げることができる。
導電性接着層４において、特に好適な構成は、エポキシ系硬化樹脂中に金属の粒子体が混入された導電性フィルムである。
また、導電性接着層４は、亜鉛粒子およびニッケル粒子の少なくとも一方を含有していれば、プリント基板上の電気素子実装に使用されている導電性接着剤もしくは導電性接着フィルムを使用することができる。
【００３４】
銅箔５は、太陽電池セル２０側の表面において、導電接続材７を介して、接続電極２０ａと接続されるものであり、接続に必要な導電接続材７を載置できる適宜の大きさ形状、に形成されている。銅箔５の形状は、接続電極２０ａに合わせて設計される。例えば、円形、四角形、六角形などを用いることも可能である。また、アルミニウム箔３の形状に応じて、例えば、アルミニウム箔３と同様な櫛歯状のパターンを採用することも可能である。
ただし、銅箔５および導電性接着層４はコストアップ要因となるため、その設置面積はできるだけ小さくまた薄くすることが望ましい。
具体的には、太陽電池モジュール５０の接続電極２０ａの直下のみに設置することにより、コストアップを最小限とすることができる。このため、銅箔５の平面視形状は接続電極２０ａの形状に合わせて最適化することが望ましい。
本実施形態では、銅箔５の平面視形状は、一例として、接続電極２０ａの外径と略同径である直径ｄ５の円形としている。
【００３５】
導電接続材７としては、銅箔５と接続電極２０ａとの電気的な接続が可能であれば、特に限定されない。導電接続材７の好ましい例としては、はんだや、導電性ペーストなどを挙げることができる。導電性ペーストの一例としては、銀粒子を含有する銀ペーストを挙げることができる。
はんだとしては、錫、銀、銅、ビスマス、鉛、フラックス成分等を含有したはんだを使用する事ができる。
銀ペーストとしては、シリコーン系硬化樹脂、エポキシ系硬化樹脂、ウレタン系硬化樹脂、アクリル系硬化樹脂などに、銀粒子を含有したペーストを使用する事ができる。
はんだの溶融方法、および銀ペーストの硬化方法は、それぞれの材料に応じて、周知の手法を用いることができる。例えば、熱風リフロー、ＩＲリフロー、オーブン加熱、ホットプレート加熱、および真空加圧ラミネートなどの手法を用いる事ができる。
【００３６】
本実施形態では、銅箔５の形状は、一例として、図２に示すように、平面視円形に形成されている。
本実施形態では、銅箔５は、各線状部３ａ１〜３ａ４、３ｂ１〜３ｂ４の線幅の中央部に配置され、これにより平面視では、銅箔５の外周側が全周にわたってアルミニウム箔３に囲まれる位置関係にある。
このため、例えば、導電接続材７が、はんだの場合には、溶融されたはんだはアルミニウム箔３に対して濡れ性が悪いため、銅箔５上で溶融されると、アルミニウム箔３に堰き止められた状態で、銅箔５の表面に盛り上がってとどまる。これにより、金属箔積層体１０上で、はんだの位置が一定するため、太陽電池セル２０の接合位置の位置ずれを抑制することができる。
また、銅箔５の材質としては、電気配線に使用される適宜の銅箔を使用することができる。
【００３７】
封止材３０は、アルミニウム箔３、および金属箔積層体１０の絶縁性接着剤層２上で、太陽電池セル２０を封止して絶縁できれば、適宜の材質から構成することができる。封止材３０に好適な材質としては、例えば、エチレン・酢酸ビニル共重合体（ＥＶＡ）フィルムを挙げることができる。
本実施形態では、封止材３０は、後述するように、太陽電池セル２０を挟み込むように２枚以上のＥＶＡフィルムを積層して、ラミネートすることにより形成される。
【００３８】
透光性基板４０は、入射光を太陽電池セル２０の受光面２０ｂに導くとともに、太陽電池モジュール５０において、バックシート６と反対側の外表面を形成する部材である。本実施形態では、ガラスパネルを封止材３０の表面に接着した構成を採用している。
【００３９】
次に、このような構成の太陽電池モジュール５０の製造方法について説明する。
図３は、本発明の実施形態の太陽電池モジュールの製造方法の工程フローの一例を示すフローチャートである。図４は、本発明の実施形態の金属箔積層体の製造方法の工程フローの一例を示すフローチャートである。
【００４０】
太陽電池モジュール５０の製造方法は、図３に示すように、金属箔積層体製造工程Ｓ１、太陽電池モジュール積層体形成工程Ｓ２、および積層ラミネート工程Ｓ３を備え、これらの工程をこの順に行う方法である。
【００４１】
金属箔積層体製造工程Ｓ１は、金属箔積層体１０を製造する工程であり、図４に示すように、第１積層体形成工程Ｓ１１、静電吸着工程Ｓ１２、第２積層体形成工程Ｓ１３、および押圧接着工程Ｓ１４を、この順に行う。
図５（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は、本発明の実施形態の金属箔積層体の製造方法の第１積層体形成工程の工程説明図である。図６（ａ）、（ｂ）は、本発明の実施形態の金属箔積層体の製造方法の静電吸着工程に用いる静電吸着ステージの製造方法の一例を示す分解図および断面図である。図７は、本発明の実施形態の金属箔積層体の製造方法に用いる静電吸着ステージの絶縁シートの平面図である。図８（ａ）、（ｂ）は、本発明の実施形態の金属箔積層体の製造方法の静電吸着工程の工程説明図である。図９（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は、本発明の実施形態の金属箔積層体の製造方法の第２積層体形成工程の工程説明図である。図１０は、本発明の実施形態の金属箔積層体の製造方法の押圧接着工程の工程説明図である。図１１は、本発明の実施形態の金属箔積層体の製造方法で押圧接着された第２積層体にシート部材を積層させた状態を示す模式的な断面図である。
【００４２】
第１積層体形成工程Ｓ１１は、アルミニウム箔３を基材１上に重ねて固定し、基材１およびアルミニウム箔３を含む第１積層体５６（図５（ｃ）参照）を形成する工程である。
本実施形態では、まず、図５（ａ）に示すように、基材１上に絶縁性接着剤層２を介して、アルミニウム箔シート５３（金属箔シート）をラミネート接着して、被加工積層体５４を形成する。
アルミニウム箔シート５３は、アルミニウム箔３を形成するためのシート部材であり、アルミニウム箔３と同材質、同厚さで基材１を覆う大きさを有するシート部材である。このため、アルミニウム箔シート５３は配線パターンが未形成である点のみがアルミニウム箔３と異なる。
次に、図５（ｂ）に示すように、この被加工積層体５４のアルミニウム箔シート５３の表面に、配線パターンに対応するレジスト５５をパターニング形成し、薬液エッチングにより、レジスト５５に被覆されていないアルミニウム箔シート５３をエッチングして、レジスト５５が被覆されなかった部位のアルミニウム箔シート５３を除去する。
なお、この薬液エッチングの際、アルミニウムのエッチング液残渣が絶縁性接着剤層２上に残存していた場合、電気マイグレーションの原因となるため、残渣除去の工程を入れることが望ましい。
エッチング終了後、アルミニウム箔３上のレジスト５５を除去する。
このようにして、図５（ｃ）に示すように、絶縁性接着剤層２上に、配線パターンを形成するアルミニウム箔３が積層された状態となり、基材１、絶縁性接着剤層２、アルミニウム箔３が積層された第１積層体５６が形成される。
このとき、アルミニウム箔３の表面が大気に触れると、アルミニウム箔３上には、酸化膜層が形成される。ただし、本実施形態では、この酸化膜層を除去するための薬液処理は実施しない。
以上で第１積層体形成工程Ｓ１１が終了する。
【００４３】
なお、本工程において、アルミニウム箔３のパターンの形成方法は、エッチングには限定されない。例えば、パターンに合わせた形状を有する金型によって、被加工積層体５４のアルミニウム箔シート５３を打ち抜き加工することにより、アルミニウム箔３を形成することも可能である。
【００４４】
次に、静電吸着工程Ｓ１２を行う。本工程は、電極部となる銅箔５をアルミニウム箔３上に配置するため、後述する静電吸着ステージ６０（図６（ｂ）参照）に、少なくとも銅箔５を含む電極部形成部材を静電吸着させて、金属箔積層体１０上の銅箔５の配置パターンに対応する位置関係に保持する工程である。
本実施形態では、電極部形成部材の一例として、銅箔５と導電性接着層４との積層体からなる外径ｄ５の円形の電極部形成部材６４（図８（ａ）等参照）を採用している。
【００４５】
太陽電池モジュール５０の用途の回路は、太陽電池セル２０の構成や太陽電池セル２０の使用個数にもよるが、一例としては、１ｍ×２ｍ程度のサイズとなる。このため、基材１やアルミニウム箔３が形成される範囲も同程度の大きさとなり、この場合、太陽電池セル２０の接続電極２０ａの個数は約２０００個程度になる。
したがって、接続電極２０ａにそれぞれ接続する銅箔５も、約２０００個程度配置する必要がある。
本実施形態では、このような太陽電池モジュール５０の大きさに対応した静電吸着ステージを使用して、これらの銅箔５を一括して位置合わせして、アルミニウム箔３上に積層する。
【００４６】
図６（ａ）、（ｂ）に示すように、本工程に用いる静電吸着ステージ６０の主要部は、
静電吸引力を発生するステージ本体６１の表面に絶縁体シート６２が貼り付けられた構成を有する。
静電吸着ステージには、吸着方式の違いによって、クーロン力型と、ジョンソン・ラベック力型とが知られており、本実施形態のステージ本体６１は、クーロン力型を採用している。
すなわち、ステージ本体６１は、静電吸着面６１ａが絶縁材料で構成され、静電吸着面６１ａの近傍の内部側に図示略の電極が多数配置されている。これらの電極は正極と負極とが交互に配置されており、各電極に電圧が印加されると、静電吸着面６１ａの近傍に電界が発生する。
このとき静電吸着面６１ａに吸着対象物が近接すると、電界によって吸着対象物に表面分極が起こり、吸着対象物に各電極と反対の電荷分布が発生する。吸着対象物は、この表面電荷とステージ本体６１内の電極との間に発生するクーロン力によって静電吸着面６１ａに吸着される。
このため、ステージ本体６１は、絶縁体シート６２を貼り付けない状態では、静電吸着面６１ａ上に略均一な静電吸引力を発生させることができる。ここで、略均一というのは、微視的には静電吸引力にバラツキがあってもよいが、静電吸着面６１ａ上のどの位置でも吸着対象物が静電吸着可能であることを意味している。
【００４７】
絶縁体シート６２は、静電吸着面６１ａ上の静電吸引力分布を制御するとともに、電極部形成部材６４の側部をガイドするための部材である。本実施形態では、図６（ａ）、図７に示すように、厚さｔ６２の樹脂シートに、銅箔５の配置パターン、配置個数に合わせて形成された貫通孔６２ａが貫通して設けられている。貫通孔６２ａの内径ｄ６２ａは、銅箔５の外径ｄ５よりも大きいことが必要であるが、銅箔５を正確に位置決めできるように、ｄ５に近いことが好ましい。例えば、ｄ６２ａ−ｄ５は、１００μｍ以下程度であることが好ましい。本実施形態では、一例として、内径ｄ６２ａの値は、銅箔５の外径ｄ５より１００μｍだけ大きい値を採用している。
【００４８】
絶縁体シート６２は、ステージ本体６１の電極への電圧印加を停止しても静電吸着面６１ａと密着するように、粘着剤（図示略）を介して、一方の表面６２ｂが静電吸着面６１ａに貼り付けられている（図６（ｂ）参照）。これにより、静電吸着ステージ６０の吸着動作を止めても絶縁体シート６２が剥がれたり位置ずれしたりしないようになっている。
絶縁体シート６２の厚さｔ６２は、貼り付けに用いる粘着剤の厚さとの和が、電極部形成部材６４の厚さｔ６４（図８（ａ）参照）よりも薄くなる厚さとされている。
このため、本実施形態では、静電吸着ステージ６０の表面には、貫通孔６２ａと静電吸着面６１ａとで囲まれた平面視円形の凹穴部６０ａが形成されている。
絶縁体シート６２の材質としては、例えば、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）フィルム、ＰＥＮ（ポリエチレンナフタレート）フィルム、ポリカーボネートフィルムなどの絶縁フィルムを挙げることができる。
【００４９】
図８（ａ）に示すように、ステージ本体６１の図示略の電極に電圧を印加する（以下、「静電吸着ステージ６０に電圧を印加する」と言う）と、静電吸着面６１ａに密着した絶縁体シート６２の表面６２ｂが表面分極してステージ本体６１内の電極に生じる電荷と逆の電荷が誘起される結果、絶縁体シート６２に電極に向かう引力としてのクーロン力が作用する。
このとき、ステージ本体６１の電極間に発生する電界は弱いため、絶縁体シート６２における表面６２ｂと反対側の表面６２ｃは、表面分極していないか、表面分極しているとしても電極部形成部材６４を静電吸着可能な静電吸引力は発生していない。
この結果、静電吸着ステージ６０の表面の有効な静電吸引力分布は、凹穴部６０ａの底部を構成する静電吸着面６１ａの部位のみに発生しており、静電吸着ステージ６０は、凹穴部６０ａにおいて電極部形成部材６４を静電吸着できる。
【００５０】
静電吸着ステージ６０に電極部形成部材６４を静電吸着させるには、まず、図８（ａ）に示すように、銅箔５が上を向いた状態の電極部形成部材６４をトレー６３上に配置する。
トレー６３には、その上方に静電吸着ステージ６０を配置したときに凹穴部６０ａと略対向する位置に電極部形成部材６４を配置できるように、電極部形成部材６４よりも広い区画を形成する仕切り部６３ａが設けられている。このため、トレー６３上に導電性接着層４を下に向けて電極部形成部材６４をばらまき、トレー６３に振動を与えると、電極部形成部材６４が仕切り部６３ａで囲まれた区画内に移動して、各区画に１個ずつの電極部形成部材６４が配置される。
その際、導電性接着層４が粘着力を有していると、電極部形成部材６４がトレー６３に付着して仕切り部６３ａをまたいで配置されたり、２枚以上重なってしまったりすることも考えられる。このため、本工程では、トレー６３およびその周囲の雰囲気温度は、導電性接着層４のトレー６３に対する粘着力を抑制可能な温度になっていることが好ましい。例えば、導電性接着層４が室温で粘着性が大きい場合において、例えば、トレー６３およびその周囲の雰囲気温度を５℃程度に温度制御するなどして導電性接着層４の粘着性を抑えることが好ましい。
また、導電性接着層４の粘着を防止するために、トレー６３の表面をフッ素加工しておくことも可能である。
【００５１】
次に、静電吸着ステージ６０に電圧を印加して、この静電吸着ステージ６０を水平２軸方向に揺動させつつトレー６３の上方から近づけていく。図８（ｂ）に示すように、凹穴部６０ａ内の静電吸着面６１ａに発生する静電吸引力が電極部形成部材６４に作用する距離まで、静電吸着ステージ６０が近づくと、凹穴部６０ａに対向する位置の電極部形成部材６４が吸引され、その上側の銅箔５が静電吸着面６１ａに吸着される。
このとき、電極部形成部材６４が凹穴部６０ａからはみ出した状態で吸引されても、電極部形成部材６４が凹穴部６０ａ内の侵入できないため、十分な静電吸引力が作用せず、静電吸着ステージ６０の揺動の衝撃などによって落下してしまう。
このため、凹穴部６０ａにちょうど対向した位置で吸引された場合のみ、電極部形成部材６４が静電吸着面６１ａに吸着される。
【００５２】
このように本実施形態では、静電吸着ステージ６０を揺動して静電吸着動作を行うため、トレー６３上に配置された電極部形成部材６４の配置位置は、静電吸着ステージ６０の揺動範囲内で、凹穴部６０ａと電極部形成部材６４とが対向することができればよい。このため、静電吸着ステージ６０の静止時には、太陽電池セル２０における接続電極２０ａの配置位置と正確に一致していなくてもよい。
また、静電吸着ステージ６０とトレー６３とは相対的に揺動していればよく、静電吸着ステージ６０を下降させつつ、トレー６３を水平方向に揺動させてもよい。また、静電吸着ステージ６０およびトレー６３の両方を揺動させてもよい。
【００５３】
凹穴部６０ａの内周面は、電極部形成部材６４の外径ｄ５よりもわずかに大きい内径ｄ６２ａを有する貫通孔６２ａからなるため、電極部形成部材６４は凹穴部６０ａにガイドされ、水平方向に位置決めされた状態で静電吸着され、凹穴部６０ａに収容される。
また、電極部形成部材６４の厚さ寸法は、静電吸着面６１ａから絶縁体シート６２の表面６２ｃまでの寸法よりも大きいため、静電吸着された電極部形成部材６４の導電性接着層４の表面は、表面６２ｃよりも突出している。
また、表面６２ｃには電荷が発生していないか、発生していても微量のため、表面６２ｃに対向する位置の電極部形成部材６４は静電吸着されない。
また、各凹穴部６０ａに１個の電極部形成部材６４が吸着されると、絶縁体シート６２の表面６２ｃと同様、吸着された電極部形成部材６４の導電性接着層４の表面には、実質的に電荷が発生しないため、２個以上の電極部形成部材６４が吸着されることはない。
【００５４】
このようにして、凹穴部６０ａにそれぞれ電極部形成部材６４が吸着されると、静電吸着工程Ｓ１２が終了する。
【００５５】
次に、第２積層体形成工程Ｓ１３を行う。本工程は、静電吸着ステージ６０を第１積層体５６のアルミニウム箔３上に位置決めして、静電吸着ステージ６０に吸着された電極部形成部材６４を、導電性接着層４を介する状態でアルミニウム箔３上に転写して第２積層体を形成する工程である。
図９（ａ）に示すように、電極部形成部材６４を吸着した静電吸着ステージ６０を、各電極部形成部材６４が第１積層体５６上のアルミニウム箔３の上の予め決められた位置に配置されるように位置決めする。
例えば、第１積層体５６を基材１の外形や適宜形成された位置決め部の形状等に基づいて、図示略の保持台上の位置基準に対して位置決めして保持する。そして、この保持台に固定された座標系に基づいて静電吸着ステージ６０の位置を移動することにより、電極部を形成すべき位置に電極部形成部材６４の位置決めを行う。
各電極部形成部材６４の相互の位置関係は、絶縁体シート６２の貫通孔６２ａによって固定されているため、静電吸着ステージ６０は、第１積層体５６との位置関係が決まると、各電極部形成部材６４が各アルミニウム箔３に対して同時に位置決めされる。
【００５６】
次に、図９（ｂ）に示すように、静電吸着ステージ６０を、各電極部形成部材６４の導電性接着層４とアルミニウム箔３とが近接するか、互いに当接する位置まで下降させる。ここで近接させる場合の距離は、静電吸着ステージ６０の電圧印加を停止したときに、電極部形成部材６４の保持位置が変わらないようにアルミニウム箔３上に落下できる程度の距離とする。例えば、表面６２ｃとアルミニウム箔３との間の距離が、電極部形成部材６４の厚さｄ６４以下とすれば、電極部形成部材６４が落下する際に貫通孔６２ａの内径の範囲に確実に落下するため好ましい。
本実施形態では、絶縁体シート６２の表面６２ｃは、静電吸着ステージ６０に保持された電極部形成部材６４の導電性接着層４よりも引っ込んでいる。このため、導電性接着層４がアルミニウム箔３と当接する位置まで静電吸着ステージ６０を下降させても、絶縁体シート６２の表面６２ｃはアルミニウム箔３から離間した位置にある。これにより、表面６２ｃにはアルミニウム箔３から外力が作用しないため、表面６２ｃがアルミニウム箔３と接触する場合に比べると、絶縁体シート６２の寿命を向上することができる。
【００５７】
次に、静電吸着ステージ６０への電圧印加を停止する。これにより、各電極部形成部材６４に作用する静電吸引力が消失するため、電極部形成部材６４がアルミニウム箔３と離れている場合にも、重力で落下して、導電性接着層４がアルミニウム箔３の表面に積層配置される。
このとき、アルミニウム箔３の温度や、アルミニウム箔３および導電性接着層４の周囲の雰囲気温度を導電性接着層４の粘着性が発現する温度にしておくことが好ましい。例えば、アルミニウム箔３の温度や、アルミニウム箔３および導電性接着層４の周囲の雰囲気温度を２０℃から４０℃程度としておく。
これにより、導電性接着層４がある程度の粘着性を有するため、アルミニウム箔３上の電極部形成部材６４の位置が安定しやすくなる。
この状態から、図９（ｃ）に示すように、静電吸着ステージ６０を上方に移動する。このようにして、静電吸着ステージ６０に保持されていた電極部形成部材６４は、アルミニウム箔３の表面に転写され、第１積層体５６のアルミニウム箔３上に電極部形成部材６４が積層された第２積層体６６が形成される。
以上で、第２積層体形成工程Ｓ１３が終了する。
【００５８】
このように、本工程では、第１積層体５６のアルミニウム箔３上に、静電吸着ステージ６０に予め位置決めした状態で静電吸着した電極部形成部材６４を、静電吸着ステージ６０から一括して転写することにより、第１積層体５６上にすべての電極部形成部材６４を同時に転写することができる。このため、例えば、ロボットなどを用いて、アルミニウム箔３上に電極部形成部材６４を１個ずつ位置決めして配置していく場合に比べて、迅速に配置作業を行うことができるため、生産性が向上し、製造コストを低減することができる。
また、各電極部形成部材６４の配置精度は、絶縁体シート６２の貫通孔６２ａの位置精度と、静電吸着ステージ６０の位置合わせ精度とによって決まるため、位置精度の再現性に優れている。
なお、本実施形態では、多数の電極部形成部材６４を一度に静電吸着するため、ごくまれには何らかの理由で吸着不良が発生することも考えられる。このため、形成された第２積層体６６は、電極部形成部材６４の抜けがないか検査して、万一抜けがあれば、電極部形成部材６４を追加する。
また、万一、転写不良により、一部の電極部形成部材６４の位置がずれてしまったり、電極部形成部材６４が反転したりする場合でも、本工程では、電極部形成部材６４はアルミニウム箔３に自重で積層され導電性接着層４の粘着性により動きにくくなっているのみであるため、個別に配置位置を修正することも可能である。
【００５９】
次に、押圧接着工程Ｓ１４を行う。本工程は、図１０に示すように、第２積層体６６を加熱するとともに積層方向に押圧して、導電性接着層４を硬化させることにより、アルミニウム箔３と銅箔５とを互いに導通した状態で接着する工程である。
本実施形態では、一例として、まず第２積層体６６を、大気開放ラミネートローラーを用いて加熱プレラミネートしてから、熱風オーブンに入れて導電性接着層４を硬化させる。これら加熱プレラミネートおよび熱風オーブンによる加熱硬化の加圧条件、加熱条件は、導電性接着層４の特性に応じて適宜設定する。
【００６０】
加熱プレラミネート時の温度は、導電性接着層４が柔軟性を有する温度に設定する。このとき、第２積層体６６が大気開放ラミネートローラーから加圧を受けることで、導電性接着層４に含有される導電性の粒子体が銅箔５やアルミニウム箔３に密着する。これにより、特にアルミニウム箔３の表面では、導電性の粒子体が、酸化膜を突き破ることでアルミニウム箔３のアルミニウムと接触する。銅箔５側に酸化膜が生じている場合も同様にして導電性の粒子体が、酸化膜を突き破ることで銅箔５の銅と接触する。
この結果、加圧により、導電性接着層４内で導電性の粒子体同士が接触し合うとともに酸化膜を突き破ってアルミニウム箔３および銅箔５の表面と接する導電性の粒子体の集合体によって、アルミニウム箔３と銅箔５とが、電気的に接続される。
【００６１】
次に、第２積層体６６を熱風オーブンで加熱して、導電性接着層４を硬化させる。本実施形態では、導電性接着層４が熱硬化性接着剤を含むため、この接着剤の硬化温度まで加熱を行って硬化させる。
バックシート６を必要としない太陽電池モジュールを製造する場合には、このようにして押圧接着された第２積層体６６が、太陽電池モジュールを形成するための金属箔積層体になる。このため、押圧接着工程Ｓ１４が終了し、図３に示す太陽電池モジュール積層体形成工程Ｓ２に移行する。
本実施形態では、太陽電池モジュール５０がバックシート６を有するため、図１１に示すように、第２積層体６６にバックシート６を積層させて金属箔積層体１０を形成する。
すなわち、基材１の導電性接着層４と反対側に、バックシート６を積層させる。バックシート６の積層方法は、バックシート６の材質に応じた適宜の積層方法を採用することができる。例えば、バックシート樹脂を印刷コーティングすることにより積層させたり、アルミニウム箔やアルミニウム箔と適宜の樹脂との複合積層フィルムを、接着剤を用いて接着したりすることができる。
このようにして金属箔積層体１０が製造される。
以上で、押圧接着工程Ｓ１４が終了するとともに、金属箔積層体製造工程Ｓ１が終了する。
【００６２】
このようにして製造される金属箔積層体１０によれば、配線パターンを有するアルミニウム箔３上の太陽電池セル２０の接続電極２０ａと対向可能な位置に、導電性接着層４を介して、銅箔５が接着されている。このため、表面に酸化膜が形成されたアルミニウム箔３であっても、導電性接着層４に含有される亜鉛粒子およびニッケル粒子の少なくも一方の金属の粒子体によって、酸化膜が突き破られることで、アルミニウム箔３と銅箔５とが電気的に接続されている。したがって、本実施形態では、アルミニウム箔表面の酸化膜を除去する薬液処理を行うことなく電気接続性を改善することができる。
【００６３】
次に、図２に示すフローに戻り、太陽電池モジュール積層体形成工程Ｓ２を行う。
図１２（ａ）、（ｂ）は、本発明の実施形態の太陽電池モジュールの製造方法の太陽電池モジュール積層体形成工程の工程説明図である。
【００６４】
本工程は、図１２（ａ）、（ｂ）に示すように、金属箔積層体１０と、金属箔積層体１０の銅箔５上に配置された導電接続材７と、接続電極２０ａを導電接続材７上に位置合わせして配置した太陽電池セル２０と、金属箔積層体１０と太陽電池セル２０の裏面２０ｃとの間および太陽電池セル２０の受光面２０ｂ上にそれぞれ配置された封止材３０Ａ、３０Ｂと、封止材３０Ｂ上で金属箔積層体１０を覆う位置に配置された透光性基板４０とを積層して太陽電池モジュール積層体７０を形成する工程である。
ここで、封止材３０Ａ、３０Ｂは、封止材３０と同材質のシート部材であり、後述する積層ラミネート工程Ｓ３により熱溶融することで一体化されて太陽電池モジュール５０の封止材３０を形成するものである。
封止材３０Ａには、アルミニウム箔３上の電極部である導電性接着層４および銅箔５がそれぞれ挿通可能な貫通孔３０ａが設けられている。
【００６５】
これらの積層手順は、特に限定されないが、以下に一例について説明する。
まず、金属箔積層体１０の銅箔５上に導電接続材７を配置する。
導電接続材７は、単に配置するだけでもよいが、例えば、導電接続材７がはんだの場合には、はんだボールを銅箔５に配置して加熱溶融させるか、或いは加熱溶融したはんだを銅箔５上に滴下することも可能である。
この状態で、溶融したはんだは濡れ性のよい銅箔５上に拡がり、濡れ性の悪いアルミニウム箔３で堰き止められる。このため、はんだは、銅箔５上に盛り上がって溜められ、アルミニウム箔３上に漏れ出ることが防止される。
【００６６】
次に、封止材３０Ａを積層する。すなわち、封止材３０Ａの貫通孔３０ａを各銅箔５の位置に合わせて封止材３０Ａを金属箔積層体１０上に積層することで、各銅箔５が対応する各貫通孔３０ａの内側に挿入された状態で、封止材３０Ａを積層することができる。
次に、導電接続材７上に接続電極２０ａの位置を合わせて太陽電池セル２０を積層させる。
次に、太陽電池セル２０の受光面２０ｂ上に、封止材３０Ｂおよび透光性基板４０をこの順に積層させる。
以上で太陽電池モジュール積層体７０が形成される。
【００６７】
次に、積層ラミネート工程Ｓ３を行う。
図１３は、本発明の実施形態の太陽電池モジュールの製造方法の積層ラミネート工程の工程説明図である。
【００６８】
本工程は、図１３に示すように、太陽電池モジュール積層体７０をラミネートし、その際に加熱された導電接続材７をによって銅箔５と太陽電池セル２０の接続電極２０ａとを電気的に接続して、太陽電池モジュール５０を形成する工程である。
具体的には、太陽電池モジュール積層体７０を、モジュールラミネーターを用いてラミネートする。
ラミネートの加熱条件は、封止材３０Ａ、３０Ｂが熱溶融するとともに、導電接続材７による電気接続が可能となる条件に適宜設定する。
導電接続材７による電気接続が可能な加熱条件は、導電接続材７の材質により異なる。例えば、導電接続材７がはんだである場合には、はんだを溶融を起こす加熱条件とする。また、導電接続材７が、例えば、銀ペーストなどの導電性ペーストである場合には、加熱により導電性ペーストが硬化して導電性が発現する加熱条件とする。
【００６９】
このようにして本工程を行うことにより、封止材３０Ａ、３０Ｂが熱溶融して、金属箔積層体１０および透光性基板４０とラミネート接着されるとともに、それらの間に、太陽電池セル２０を封止する封止材３０の層が形成される。また、銅箔５と接続電極２０ａとが導電接続材７を介して互いに電気的に接続される。
以上で、積層ラミネート工程Ｓ３が終了し、太陽電池モジュール５０が製造される。
【００７０】
このように製造される太陽電池モジュール５０では、金属箔積層体１０において、配線パターンを有するアルミニウム箔３上に、太陽電池セル２０の接続電極２０ａと対向可能な位置に銅箔５を設けるとともに、銅箔５の外周側が全周にわたってアルミニウム箔３に囲まれるようにしている。
このため、導電接続材７としてはんだを用いる場合には、加熱溶融されて流動性を有する状態のはんだが銅箔５上に保持された際に、アルミニウム箔３がはんだをはじくため、周囲に漏れ出ることを防止できる。この結果、隣接するアルミニウム配線パターンと短絡することなく、確実に太陽電池セル２０と他の部材の電極や配線と接合できる。
また、このように、銅箔５とアルミニウム箔３との濡れ性の違いにより、加熱溶融されたはんだを、銅箔５の上に選択的に位置付ける事ができる。
これによりはんだのセルフアライメント位置合わせが可能となり、はんだの塗布工程コストを削減することができる。また、かつ太陽電池セル２０の接続電極２０ａと金属箔積層体１０とを確実に接合できる。
【００７１】
以上に説明した本実施形態の金属箔積層体１０の製造方法によれば、静電吸着ステージ６０によって電極部形成部材６４を電極部の配置パターンに対応する位置関係に吸着してから、導電性接着層４を介する状態で電極部形成部材６４を第１積層体５６の銅箔５上に転写して第２積層体６６を形成し、この第２積層体６６を積層方向に押圧して接着する。このため、アルミニウム箔３が表面に酸化膜を有する金属箔からなる場合でも、アルミニウム箔３と導通可能な電極部を、酸化膜除去のための薬液処理を行うことなく、しかも迅速に形成することができる。このため、金属箔積層体１０の製造コストを低減することができる。
また、本実施形態の太陽電池モジュールの製造方法は、金属箔積層体１０を製造してから、金属箔積層体１０を用いて太陽電池モジュール５０を製造する方法であるため、金属箔積層体１０の製造時間や製造コストが低減できる。このため、太陽電池モジュール５０を迅速かつ安価に製造することができる。
【００７２】
［第１変形例］
次に、本実施形態の第１変形例の金属箔積層体の製造方法について説明する。
図１４は、本発明の実施形態の第１変形例の金属箔積層体の製造方法の工程フローを示すフローチャートである。
【００７３】
本変形例の金属箔積層体の製造方法は、上記実施形態と同様の金属箔積層体１０を製造する方法であり、図１４に示すように、第１積層体形成工程Ｓ３１、静電吸着工程Ｓ３２、第２積層体形成工程Ｓ３３、押圧接着工程Ｓ３４、およびパターン形成工程Ｓ３５を、この順に行う。
また、本変形例の太陽電池モジュールの製造方法は、図３に示すように、上記実施形態の太陽電池モジュールの製造方法の金属箔積層体製造工程Ｓ１に代えて、金属箔積層体製造工程Ｓ２１を行うことにより、上記実施形態と同様の太陽電池モジュール５０を製造する方法である。ここで、金属箔積層体製造工程Ｓ２１は、上記第１積層体形成工程Ｓ３１、静電吸着工程Ｓ３２、第２積層体形成工程Ｓ３３、押圧接着工程Ｓ３４、およびパターン形成工程Ｓ３５からなる工程である。
以下、上記実施形態と異なる点を中心に説明する。
【００７４】
本変形例の第１積層体形成工程Ｓ３１は、図５（ａ）に示すように、基材１に絶縁性接着剤層２を介してアルミニウム箔シート５３を固定した積層体を第１積層体８４として形成する工程である。すなわち、本工程は、上記実施形態の第１積層体形成工程Ｓ１１において金属箔シートの除去加工によりパターンを形成する工程を省略した工程である。
【００７５】
次に、静電吸着工程Ｓ３２を行う。本工程は、上記実施形態の静電吸着工程Ｓ１２と全く同様の工程である。
次に、第２積層体形成工程Ｓ３３を行う。本工程は、上記実施形態の第２積層体形成工程Ｓ１３において、第１積層体５６を第１積層体８４に代えた点のみが異なる。静電吸着ステージ６０と第１積層体８４との位置合わせは、上記実施形態と同様に、基材１の外形や適宜形成された位置決め部の形状等に基づいて行うことで、アルミニウム箔３を形成しない状態でも同様に位置合わせすることができる。
次に、押圧接着工程Ｓ３４を行う。本工程は、上記実施形態の押圧接着工程Ｓ１４において、第１積層体５６を第１積層体８４に代えた点のみが異なる。
【００７６】
次に、パターン形成工程Ｓ３５を行う。本工程は、第１積層体８４のアルミニウム箔シート５３の一部を除去加工して、アルミニウム箔シート５３にパターンを形成したアルミニウム箔３を形成する工程である。
アルミニウム箔３は、上記実施形態の第１積層体形成工程Ｓ１１と同様にして、例えば、アルミニウム箔シート５３をエッチングしたり、打ち抜き加工したりすることにより形成することができる。
【００７７】
本変形例によれば、アルミニウム箔シート５３にパターンを形成するタイミングが異なるのみで、上記実施形態と同様の金属箔積層体１０、太陽電池モジュール５０を製造することができるため、上記実施形態と同様の効果を備える。
ただし、上記実施形態では、第２積層体形成工程Ｓ１３において、絶縁体シート６２の表面６２ｃがパターン化されたアルミニウム箔３の外形エッジや絶縁性接着剤層２と対向するのに対して、本変形例では、第２積層体形成工程Ｓ３３において、表面６２ｃはアルミニウム箔シート５３の表面のみと対向する。
このため、例えば、絶縁体シート６２の表面６２ｃの高さを電極部形成部材６４の導電性接着層４の表面と同等以上にする場合でも、第２積層体形成工程Ｓ３３において表面６２ｃは面状のアルミニウム箔シート５３のみと当接する。この場合、アルミニウム箔３の外形エッジや絶縁性接着剤層２と当接する場合と比べて、絶縁体シート６２の寿命を向上することができる。
【００７８】
［第２変形例］
次に、本実施形態の第２変形例の金属箔積層体の製造方法について説明する。
図１５（ａ）は、本発明の実施形態の第２変形例の金属箔積層体の製造方法によって製造された金属箔積層体の概略構成を示す模式的な断面図である。
【００７９】
本変形例による金属箔積層体１０Ａは、図１５（ａ）に示すように、上記実施形態の金属箔積層体１０の銅箔５上に、プリコートはんだ１１を積層させたものである。
金属箔積層体１０Ａは、導電接続材７としてはんだを用いる場合に、上記実施形態の太陽電池モジュール５０において、金属箔積層体１０に代えて用いることができる。
以下、上記実施形態と異なる点を中心に説明する。
【００８０】
本変形例の第２積層体形成工程Ｓ１３では、上記実施形態と同様にして、アルミニウム箔３上に、銅箔５を積層させた後、例えば、スクリーン印刷法やディスペンス法などによって、銅箔５上にプリコートはんだ１１を積層させる。
これにより、銅箔５上に酸化被膜が形成されないうちに、銅箔５の表面がプリコートはんだ１１によって覆われるため、経時での酸化の進行を防止できる。
このため、本変形例によれば、太陽電池セル２０を接続するはんだ付けが行われるまで、時間があいても太陽電池セル２０を良好にはんだ付けすることができる。
【００８１】
［第３変形例］
次に本実施形態の第３変形例の金属箔積層体の製造方法について説明する。
図１５（ｂ）は、本発明の実施形態の第３変形例の金属箔積層体の製造方法によって製造された金属箔積層体の概略構成を示す模式的な断面図である。
【００８２】
本変形例による金属箔積層体１０Ｂは、図１５（ｂ）に示すように、上記実施形態の金属箔積層体１０の銅箔５上に、プリフラックス１２を塗布したものである。
金属箔積層体１０Ｂは、導電接続材７としてはんだを用いる場合に、上記実施形態の太陽電池モジュール５０において、金属箔積層体１０に代えて用いることができる。
以下、上記実施形態と異なる点を中心に説明する。
【００８３】
本変形例の第２積層体形成工程Ｓ１３では、上記実施形態と同様にして、アルミニウム箔３上に、銅箔５を積層させた後、銅箔５上に、例えば、イミダゾールなどからなるプリフラックス１２を塗布する。
これにより、銅箔５上に酸化被膜が形成されないうちに、銅箔５の表面がプリフラックス１２によって覆われるため、経時での酸化の進行を防止できる。
このため、本変形例によれば、太陽電池セル２０を接続するはんだ付けが行われるまで、時間があいても太陽電池セル２０を良好にはんだ付けすることができる。
【００８４】
［第４変形例］
次に本実施形態の第４変形例の金属箔積層体の製造方法について説明する。
図１５（ｃ）は、本発明の実施形態の第４変形例の金属箔積層体の製造方法によって製造された金属箔積層体の概略構成を示す模式的な断面図である。
【００８５】
本変形例による金属箔積層体１０Ｃは、図１５（ｃ）に示すように、上記実施形態の金属箔積層体１０の銅箔５上に、防錆層１３を形成したものである。防錆層１３は、例えば、亜鉛、クロムなどの金属、あるいはこれらの金属を含む合金による薄膜を採用することできる。さらに高い信頼性が必要な場合、銀、金などの薄膜を採用することが可能である。
金属箔積層体１０Ｃは、上記実施形態の太陽電池モジュール５０において、金属箔積層体１０に代えて用いることができる。
以下、上記実施形態と異なる点を中心に説明する。
【００８６】
本変形例の第２積層体形成工程Ｓ１３では、上記実施形態と同様にして、アルミニウム箔３上に、銅箔５を積層させた後、銅箔５上に、例えば、めっきや、スパッタ、蒸着などによって、亜鉛、クロム、銀、金などの金属単体または合金からなる薄膜を成膜する。
これにより、銅箔５上に酸化被膜が形成されないうちに、銅箔５の表面が防錆層１３によって覆われるため、経時での酸化の進行を防止できる。
このため、本変形例によれば、太陽電池セル２０を導電接続材７で接続するまで、時間があいても太陽電池セル２０を良好に接続することができる。
【００８７】
［第５変形例］
次に、本実施形態の第５変形例の太陽電池モジュールの製造方法について説明する。
図１６は、本発明の実施形態の第５変形例の太陽電池モジュールの製造方法の工程フローを示すフローチャートである。
【００８８】
上記実施形態では、予め金属箔積層体１０を製造してから、太陽電池モジュール５０を形成する場合の例で説明したが、金属箔積層体１０単体を製造する必要がない場合には、金属箔積層体１０の製造工程の一部を、太陽電池モジュール５０の他の製造工程と同時に行うようにしてもよい。
例えば、導電性接着層４の硬化は、太陽電池モジュール５０の製造工程の途中で、他部材の積層工程とともに行うことが可能である。
本変形例の太陽電池モジュールの製造方法は、このような変形例の一つであり、図１６に示すように、第１積層体形成工程Ｓ４１、静電吸着工程Ｓ４２、第２積層体形成工程Ｓ４３、太陽電池モジュール積層体形成工程Ｓ４４、および積層ラミネート工程Ｓ４５を備え、これらの工程をこの順に行う方法である。
【００８９】
本変形例の第１積層体形成工程Ｓ４１、静電吸着工程Ｓ４２は、上記実施形態の第１積層体形成工程Ｓ１１、静電吸着工程Ｓ１２と全く同様の工程である。
【００９０】
本変形例の第２積層体形成工程Ｓ４３では、上記実施形態の第２積層体形成工程Ｓ１３におけると同様にして、第１積層体５６に電極部形成部材６４を転写積層して第２積層体６６を形成する。ただし、第２積層体６６はただちに押圧接着が行われるわけではないため、転写された電極部形成部材６４の位置がずれないように、適宜加熱して導電性接着層４の粘着性を高めたり、電極部形成部材６４の導電性接着層４がアルミニウム箔３に確実に密着するように、適宜押圧したりしてもよい。
以上で、第２積層体形成工程Ｓ４３が終了する。
【００９１】
次に、本変形例の太陽電池モジュール積層体形成工程Ｓ４４を行う。本工程では、導電性接着層４が硬化していない第２積層体６６を用いて、太陽電池モジュール積層体７０を形成する点が、上記実施形態の太陽電池モジュール積層体形成工程Ｓ２と異なる。
すなわち、導電性接着層４が硬化していない第２積層体６６の下面には、未接着のバックシート６を適宜の接着剤などを介して配置する。また、第２積層体６６のアルミニウム箔３側の表面には、上記実施形態と同様に、封止材３０Ａ、導電接続材７、太陽電池セル２０、封止材３０Ｂ、透光性基板４０を積層させる。
以上で、太陽電池モジュール積層体形成工程Ｓ４４が終了する。
【００９２】
次に、本変形例の積層ラミネート工程Ｓ４５では、モジュールラミネーターを用いて、太陽電池モジュール積層体７０をラミネートするが、ラミネートの加熱条件および加圧条件を、上記実施形態の条件に加えて、導電性接着層４によってアルミニウム箔３と銅箔５とが導通するように、上記実施形態の押圧接着工程Ｓ１４における加圧条件、加熱条件を加味して設定する点が、上記実施形態と異なる。
【００９３】
本変形例によれば、導電性接着層４の硬化を、積層ラミネート工程Ｓ４５にて行うことにより、各層の積層、太陽電池セル２０の接続、封止を同時に行うことが可能である。
これにより、第２積層体形成工程Ｓ４３において、第２積層体６６の加熱プレラミネートおよび熱風オーブンによる加熱硬化を省略することができる。
このため、上記実施形態の第２積層体形成工程Ｓ１３に比べて、第２積層体形成工程Ｓ４３を簡素化することができる。また、太陽電池モジュール５０の製造コストを削減することができる。
【００９４】
なお、上記に説明した本発明の金属箔積層体の製造方法および太陽電池モジュールの製造方法は、上述の実施形態、各変形例の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で適宜の構成や材料等の変更、置換、削除が可能であり、これらも本発明に含まれる。
また、上記に説明したすべての構成要素は、適宜組み合わせて実施することが可能である。
【００９５】
上述の実施形態では、静電吸着面６１ａに絶縁体シート６２を設けることにより静電吸引力分布を発生させた場合の例で説明した。このような方法によれば、電極部形成部材６４の配置パターンが異なる金属箔積層体１０を製造する場合に、絶縁体シート６２のみを交換するのみでよいため、ステージ本体６１として汎用の装置を利用して、配置パターンが異なる金属箔積層体１０を製造することができる。
ただし、電極部形成部材６４の配置パターンが一定している場合には、その配置パターンに対応した静電吸引力分布を有する静電吸着ステージを用いてもよい。例えば、ステージ本体６１の内部の電極の配置を適宜設定したり、静電吸着面の材質や形状を変更したりすることで、特定の静電吸引力分布を発生させてもよい。
【００９６】
上述の実施形態では、電極部形成部材６４として、銅箔５と導電性接着層４とを積層した場合の例で説明したが、例えば、印刷などによってアルミニウム箔３上に予め導電性接着層４を形成しておくなどして、銅箔５を電極部形成部材として、静電吸着ステージ６０に吸着してもよい。
【００９７】
上述の実施形態では、絶縁体シート６２の表面６２ｃの静電吸着面６１ａからの高さが電極部形成部材６４の厚さよりも低い場合の例で説明したが、電極部形成部材６４の厚さ以上の高さでもよい。
【００９８】
上述の実施形態では、金属箔積層体１０は、バックシート６を備える場合の例で説明したが、バックシート６を要しない太陽電池モジュールを製造する場合には、バックシート６を積層する工程を省略してもよい。
【００９９】
上述の実施形態および第１変形例では、アルミニウム箔シート５３を基材１に重ねて固定した後にアルミニウム箔シート５３の一部を除去加工してアルミニウム箔３を形成する場合の例で説明したが、予めパターン形成されたアルミニウム箔３を基材１に転写してもよい。
【０１００】
上述の第１変形例では、第１の金属箔がパターン形成されている金属箔積層体１０を製造する場合の例で説明したが、金属箔積層体は第１の金属箔がパターン形成されていなくてもよい。例えば、第１変形例において、押圧接着工程Ｓ３４までの工程を行う業者と、パターン形成工程Ｓ３５を行う業者とが異なる場合、パターン形成工程Ｓ３５を行う前の第１積層体８４を金属箔積層体として出荷して、パターン形成工程Ｓ３５の加工先に渡すことが可能である。
【０１０１】
上述の実施形態および各変形例では、金属箔積層体が、太陽電池モジュールの一部を構成する場合の例で説明したが、本発明における金属箔積層体は太陽電池モジュールに用いるものには限定されない。すなわち金属箔積層体の用途は任意である。
例えば、アルミニウム箔３のパターンの形状を適宜変更することにより、種々の製品として用いたり、種々の製品の製造に用いたりすることができる。例えば、ＩＣタグのアンテナや、導電体や回路パターン等の各種の導電性パターンを構成する金属箔積層体として用いることもできる。
また、アルミニウム箔３のパターンの用途は特に限定されない。例えば、導電路を形成する配線パターン、静電気を蓄積する電極パターン、シールドパターン、表示パターンなど、金属箔で形成されたいかなる用途のパターンも可能である。
【０１０２】
上述の実施形態では、第１の金属箔がアルミニウム箔３、第２の金属箔が銅箔５の場合の例で説明した。このようにすれば、使用量が多い第１の金属箔が安価な材料であり、電極として用いる第２の金属箔が電気接続性の良好な材料となる。ただし、これは一例であって、第１の金属箔および第２の金属箔の材質は特に限定されない。
例えば、両方ともアルミニウム箔、または銅箔の構成としてもよいし、第１の金属箔を銅箔、第２の金属箔をアルミニウム箔としてもよい。
また、いずれの金属箔も、他の金属箔、例えば、ニッケル、スズ、亜鉛、およびこれらの合金による金属箔や、金箔、銀箔などの採用が可能である。
また、第２の金属箔は、導電接続材の材質に応じて、電気接続性や耐久性を考慮して適宜選定することが重要である。例えば、導電接続材として、はんだを用いる場合には、はんだと合金形成が可能な材料として、銅、ニッケル、スズ、亜鉛、およびこれらの合金を使用することが好ましい。
【０１０３】
上述の実施形態では、配線パターンのアルミニウム箔３と太陽電池セル２０とを接合する導電接続材７として、はんだもしくは銀ペーストを設けたが、導電接続材７は、これに限定されることなく適宜の溶融性の導電性部材を用いることができる。
【０１０４】
また、上述の実施形態では、金属箔積層体１０として基材１上の全面に絶縁性接着剤層２を積層して、絶縁性接着剤層２の上にアルミニウム箔３を積層させたが、この構成に代えて絶縁性接着剤層２もアルミニウム箔３の配線パターンと同様にパターン状に基材１上に塗布して配設してもよい。
【０１０５】
上述の実施形態では、銅箔５の外周側が全周にわたってアルミニウム箔３に囲まれた場合の例で説明したが、導電接続材７が、例えば、銀ペーストなどのように、銅箔５とアルミニウム箔３との濡れ性の差が問題にならず、銅箔５の外部に流動するおそれがない場合には、銅箔５外周の一部がアルミニウム箔３に囲まれていない構成としてもよい。
【０１０６】
上述の実施形態では、アルミニウム箔３が、一定幅を有する線状部からなる場合の例で説明したが、アルミニウム箔３の配線パターンの線幅は変化していてもよく、例えば、線状部の中間に、線幅を拡幅するように設けられた四角形や円形等の形状を形成していてもよい。このような拡幅部に、銅箔５を設置すれば、銅箔５の形状の自由度が大きくなり、銅箔５を囲むアルミニウム箔３の面積を容易に増やすことができる。
【符号の説明】
【０１０７】
１  基材
２  絶縁性接着剤層
３  アルミニウム箔（第１の金属箔）
４  導電性接着層（導電性接着剤）
５  銅箔（第２の金属箔、電極部）
６  バックシート（シート部材）
７  導電接続材
８  絶縁性樹脂
１０、１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃ、１０Ｄ  金属箔積層体
１１  プリコートはんだ
１２  プリフラックス
１３  防錆層
２０  太陽電池セル
２０ａ  接続電極
２０ｂ  受光面
３０、３０Ａ、３０Ｂ  封止材
４０  透光性基板
５０  太陽電池モジュール
５３  アルミニウム箔シート（金属箔シート）
５６、８４  第１積層体
６０  静電吸着ステージ
６０ａ  凹穴部
６１  ステージ本体
６１ａ  静電吸着面
６２  絶縁体シート
６２ａ  貫通孔
６３  トレー
６３ａ  仕切り部
６４  電極部形成部材
６６  第２積層体
７０  太陽電池モジュール積層体
Ｓ１、Ｓ２１  金属箔積層体製造工程
Ｓ２、Ｓ４４  太陽電池モジュール積層体形成工程
Ｓ３、Ｓ４５  積層ラミネート工程
Ｓ１１、Ｓ３１、Ｓ４１  第１積層体形成工程
Ｓ１２、Ｓ３２、Ｓ４２  静電吸着工程
Ｓ１３、Ｓ３３、Ｓ４３  第２積層体形成工程
Ｓ１４、Ｓ３４  押圧接着工程
Ｓ３５  パターン形成工程
【図１】
2014107380.tif 000003
【図２】
2014107380.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
2014107380.tif 000012
【図１１】
2014107380.tif 000013
【図１２】
2014107380.tif 000014
【図１３】
2014107380.tif 000015
【図１４】
2014107380.tif 000016
【図１５】
2014107380.tif 000017
【図１６】
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【図１７】
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