(57)【要約】【課題】メカ端がある装置に組み込まれた状態でも、モータの駆動周波数に対する駆動速度の特性データの取得が可能になるようにする。【解決手段】駆動周波数を制御することでモータ１１１を制御するモータ制御装置１０１において、例えばメカ動作を伴う装置において基準位置を決定するために行われる初期化処理時に、モータ１１１の駆動方向を切り替えてそれぞれでモータ１１１の駆動速度を計測することを、駆動周波数を更新して実行することにより、駆動周波数に対する駆動速度の特性データを取得する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
モータを制御するモータ制御装置であって、
駆動周波数を格納する格納手段と、
前記モータの駆動方式を設定する選択手段と、
前記格納手段に格納している駆動周波数に基づいて、前記選択手段の設定した駆動方式に沿って前記モータを駆動させる駆動手段と、
前記選択手段により設定した駆動方式について、前記モータの駆動速度を取得し、取得した駆動速度に基づいて前記格納手段に格納している駆動周波数を補正する補正手段とを備えたことを特徴とするモータ制御装置。
【請求項２】
前記補正手段は、前記モータの駆動方式のそれぞれについて駆動速度を計測する計測手段と、計測手段により計測した複数の駆動速度に基づいて特性データを取得する取得手段と、取得した特性データに基づいて前記格納手段に格納している駆動周波数を更新する更新手段とを備えることを特徴とする請求項１に記載のモータ制御装置。
【請求項３】
前記モータの駆動方式は、前記駆動周波数における駆動時間と停止時間によって前記モータを制御する方式であることを特徴とする請求項１又は２に記載のモータ制御装置。
【請求項４】
前記モータの駆動方式は、前記モータの駆動方向を駆動信号の位相によって制御する方式であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載のモータ制御装置。
【請求項５】
前記モータの駆動方式は、前記モータの駆動方向の切り替えを前記モータの駆動位置と前記モータの可動範囲によって制御する方式であることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載のモータ制御装置。
【請求項６】
前記選択手段は、前記モータの駆動方式を切り替える際に、前記モータの駆動時間と前記モータの駆動距離のうち少なくともいずれか一方に応じて前記モータの駆動方式の１つを選択することを特徴とする請求項１に記載のモータ制御装置。
【請求項７】
前記特性データを取得する処理は、該モータ制御装置での初期化処理で実行することを特徴とする請求項２に記載のモータ制御装置。
【請求項８】
前記特性データを取得する処理は、該モータ制御装置の駆動条件に応じて実行することを特徴とする請求項２に記載のモータ制御装置。
【請求項９】
モータを制御するモータ制御装置の制御方法であって、
駆動周波数を格納手段に格納する格納工程と、
前記モータの駆動方式を設定する選択工程と、
前記格納手段に格納している駆動周波数に基づいて、前記選択工程で設定した駆動方式に沿って前記モータを駆動させる駆動工程と、
前記選択工程で設定した駆動方式について、前記モータの駆動速度を取得し、取得した駆動速度に基づいて前記格納手段に格納している駆動周波数を補正する補正工程とを備えたことを特徴とするモータ制御装置の制御方法。
【請求項１０】
コンピュータを、
駆動周波数を格納する格納手段と、
モータの駆動方式を設定する選択手段と、
前記格納手段の格納している駆動周波数に基づいて、前記選択手段の設定した駆動方式に沿って前記モータを駆動させる駆動手段と、
前記選択手段により設定した駆動方式について、前記モータの駆動速度を取得し、取得した駆動速度に基づいて前記格納手段が格納している前記駆動周波数を補正する補正手段として機能させることを特徴とするプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば超音波型モータを制御するのに利用して好適なモータ制御装置、その制御方法及びプログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、印加する電気信号の周波数変動により回転速度を制御するモータとして、超音波モータ（ＵＳＭ）が広く知られている。超音波モータは、高周波から低周波への一定領域での周波数変動に応じて、低速から高速へと高応答の回転駆動を行うことができる。
その反面、モータ固有の共振周波数が存在し、共振周波数より低周波の領域で急激な速度低下（崖落ち）が発生するといった特性も持っているため、共振周波数より高周波の領域で駆動を制御する必要がある。また、高周波領域での周波数変動に対しては比較的緩やかな速度変化を行うのに対して、共振周波数近辺では、かなり急峻な速度変化をするという特徴がある。つまり、周波数に対しての速度変化がリニアではないといった特性を持っている。
【０００３】
これまで、崖落ちによる速度低下を防止するため、モータに組込んだセンサー相（Ｓ相）信号の位相から共振周波数を検出する方法が実施されている。
また、周波数に対して速度変化がリニアでないため安定的な駆動制御ができなかった課題に関しては、予めモータ単体での駆動周波数に対する駆動速度の特性（以下、ＦＮ特性と称す）を計測し、計測されたＦＮ特性データをモータが組み込まれた装置内に保存しておき、駆動時に保存されたデータを参照しながら制御を行う方法（以下、ＦＮ補正と称す）が提案されている。
予め計測したＦＮ特性を使って駆動制御時に補正を行う技術として、特許文献１、２等にあるように、これまでに数々の提案がなされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平０６−２６９１８２号公報
【特許文献２】特開平０６−１９７５６５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、従来の方法では、ＦＮ補正を行う場合、予めＦＮ特性データを取得する必要があった。ＦＮ特性データを取得する場合、一定時間の周波数印加に対する駆動速度の計測が必要になる。つまり、モータが回転するため、モータによって変位される構造に可動範囲がある（以下、「メカ端がある」という）場合でのＦＮ特性データの取得は困難であった。
【０００６】
本発明は上記のような点に鑑みてなされたものであり、メカ端がある装置に組み込まれた状態でも、モータの駆動周波数に対する駆動速度の特性データの取得が可能になるようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のモータ制御装置は、モータを制御するモータ制御装置であって、駆動周波数を格納する格納手段と、前記モータの駆動方式を設定する選択手段と、前記格納手段に格納している駆動周波数に基づいて、前記選択手段の設定した駆動方式に沿って前記モータを駆動させる駆動手段と、前記選択手段により設定した駆動方式について、前記モータの駆動速度を取得し、取得した駆動速度に基づいて前記格納手段に格納している駆動周波数を補正する補正手段とを備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、メカ端がある装置に組み込まれた状態でも、モータの駆動周波数に対する駆動速度の特性データの取得が可能になるので、モータ単体での計測データの保持が不要になり、装置製造工程、及び出荷後のサービス性が向上する。また、待機状態で特性データの再取得が可能になり、環境変化等の動的な共振周波数のズレへの対応が可能になる。
さらに、モータの駆動周波数に対する駆動速度の特性データを取得することで、共振周波数を予め知ることが可能になる。これにより、Ｓ相検出を行わなくても崖落ちを防止することができるので、モータ製造時にＳ相を設ける必要がなくなる。さらに、Ｓ相が無くなるため検出を行う電気回路（アナログ回路）も必要なくなるため、モータ部品、回路部品の削減によるコストダウンが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】第１の実施形態に係るモータ制御装置の構成を示すブロック図である。
【図２】第１の実施形態に係るモータ制御装置での初期化処理の流れを示すフローチャートである。
【図３Ａ】往復ＦＮ計測処理を示すフローチャートである。
【図３Ｂ】往復ＦＮ計測処理を示すフローチャートである。
【図３Ｃ】往復ＦＮ計測処理を示すフローチャートである。
【図４Ａ】第２の実施形態に係るモータ制御装置での制御処理の流れを示すフローチャートである。
【図４Ｂ】第２の実施形態に係るモータ制御装置での制御処理の流れを示すフローチャートである。
【図４Ｃ】第２の実施形態に係るモータ制御装置での制御処理の流れを示すフローチャートである。
【図５】第２の実施形態の制御処理において、往復ＦＮ計測処理の計測時間を短縮する処理を示すフローチャートである。
【図６】ＦＮ特性計測・保存部によって取得されたＦＮ特性データの例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、添付図面を参照して、本発明の好適な実施形態について説明する。
（第１の実施形態）
図１は、本発明を適用した第１の実施形態に係るモータ制御装置１０１の構成を示すブロック図である。
以下、モータ制御装置１０１において、入力されたエンコーダ信号から、モータの駆動位置及び駆動速度の計測、ＦＮ特性の計測を行い、サーボ演算、ＦＮ補正により駆動信号を生成してモータを駆動制御する処理の流れを説明する。
【００１１】
１０２は位置情報計測・保存部（格納部）であり、エンコーダ１１２によって得られた２相のエンコーダ信号（Ａ相１１２１、Ｂ相信号１１２２）からモータ１１１の駆動位置情報を計測、保存する。
１０３は速度情報計測・保存部であり、エンコーダ１１２によって得られた２相のエンコーダ信号（Ａ相１１２１、Ｂ相信号１１２２）からモータ１１１の駆動速度情報を計測、保存する。
【００１２】
１０４はサーボ演算部であり、位置指令及び速度指令１０９と、位置情報計測・保存部１０２、速度情報計測・保存部１０３によって計測されたモータ１１１の駆動位置情報及び駆動速度情報とから出力制御値を決定するために内部演算を行う。
１０８はＦＮ特性計測・保存部であり、駆動周波数と、位置情報計測・保存部１０２、速度情報計測・保存部１０３によって計測されたモータ１１１の駆動位置情報及び駆動速度情報との関係を計測、保存する。
【００１３】
１０５は周波数制御・保存部であり、ＦＮ補正を行うＦＮ補正部１０５１を備え、サーボ演算部１０４によって生成された出力制御値をＦＮ補正部１０５１でＦＮ補正して周波数値に変換する。
１０６は位相制御部（選択部）であり、駆動方向を決定する。
１０７は駆動信号生成部であり、周波数制御・保存部１０５で決定した周波数と、位相制御部１０６で決定した方向とにより、２相の駆動信号を生成する。
【００１４】
１１０はモータドライバであり、駆動信号生成部１０７によって生成された２相の駆動信号を電圧変換する。
１１１は駆動対象物のモータであり、メカ端がある装置に組み込まれている。
１１２はモータ１１１の回転に連動するロータリエンコーダである。
【００１５】
図２は、第１の実施形態に係るモータ制御装置１０１での初期化処理の流れを示すフローチャートである。初期化処理は、メカ動作を伴う装置において基準位置を決定するために行われる処理である。よって、装置の起動時（電源ＯＮ時等）、又はユーザの指示により装置を初期状態に戻す際に実行される。
通常、初期化処理が実行される場合、ステップＳ２０２の基準位置への移動処理を実行して終了するが、本実施形態では、ステップＳ２０２の処理を行う前に、ステップＳ２０１の往復ＦＮ計測処理を実施する。
ステップＳ２０１の往復ＦＮ計測処理は、ＦＮ特性計測・保存部１０８において実行される。往復ＦＮ計測処理は、所定の周波数をＦＮ周波数制御・保存部１０８で生成し、位相制御部１０６で駆動方向を制御する。駆動方向を制御することで、メカ端がある装置においてもメカ端への接触を起こさずにＦＮ特性データを取得することが可能になる。
その後、駆動信号生成部１０７で２相の駆動信号を生成することで、モータドライバ１１０を経由してモータ１１１を駆動する。モータ１１１の駆動によりエンコーダ１１２がモータ１１１の駆動位置情報及び駆動速度情報を２相信号として出力する。出力された２相信号は、入力信号１１２１、１１２２としてモータ制御装置１０１に入力される。
モータ制御装置１０１に入力された２相のエンコーダ信号（Ａ相１１２１、Ｂ相信号１１２２）は、位置情報計測・保存部１０２、速度情報計測・保存部１０３によってモータ１１１の駆動位置情報及び駆動速度情報として計測、保存される。位置情報計測・保存部１０２、速度情報計測・保存部１０３によって計測されたモータ１１１の駆動位置情報及び駆動速度情報は、ＦＮ特性計測・保存部１０８に入力される。ＦＮ特性計測・保存部１０８では、駆動指示を行うために設定した周波数と、入力されたモータ１１１の駆動位置情報及び駆動速度情報とを紐付けすることで、ＦＮ特性データ（補正データ）の取得を行う。そして、ＦＮ特性データを取得することで、共振周波数を予め知ることが可能になる。
【００１６】
図６は、ＦＮ特性計測・保存部１０８によって取得されたＦＮ特性データの例を示す。横軸は駆動周波数、縦軸は駆動速度である。四角（◆）でプロットしたデータが、一定方向に駆動（片方向駆動）してプロットした通常のＦＮ特性データを示している。バツ（×）でプロットしたデータが、方向を交互に変更して駆動（往復駆動）してプロットしたＦＮ特性データを示している。図６で明らかなように、片方向駆動で取得したＦＮ特性データと往復駆動で取得したＦＮ特性データとに大差はなく、往復駆動で取得したＦＮ特性データが通常駆動で取得したデータに代用可能であることが判る。
【００１７】
次に、図３Ａ、図３Ｂ、図３Ｃを参照して、ＦＮ特性データの取得方法の詳細について説明する。
図３Ａ、図３Ｂ、図３Ｃは、第１の実施形態に係るモータ制御装置１０１での往復ＦＮ計測処理（図２のステップＳ２０１）の流れを示すフローチャートである。図３Ａ、図３Ｂ、図３Ｃを参照して、モータ駆動方式に応じて駆動速度を計測して、ＦＮ特性データを生成、保存する処理を説明する。
【００１８】
図３Ａは、往復ＦＮ計測処理によって、ＦＮ特性データを取得する処理の第１の実現方法を示すフローチャートである。ＦＮ特性データの取得は、モータを低回転から徐々に高速回転させて、図６に示すように、駆動周波数に対する駆動速度値をプロットする。
ステップＳ３０１で、駆動周波数を開始周波数に設定する。ここで使用する開始周波数は、モータの個体差、材料の特性等から若干変動するが、モータがほとんど回転しない任意の値に設定する必要がある。
ステップＳ３０２で、ＣＷ方向に所定時間（Ｔ１）の駆動指示を行う。駆動が開始されると、ステップＳ３０３で、モータ１１１の駆動速度値の計測及び保存処理を行う。所定時間（Ｔ１）経過によりモータ１１１の駆動は停止する。ただし、慣性力によりメカ装置自体は駆動停止後すぐに停止しないため、ステップＳ３０４で、所定の停止時間（Ｔ２）、停止状態を保持してメカ装置の停止を待つ。
次に、ステップＳ３０５で、ステップＳ３０２と逆方向（ＣＣＷ方向）に所定時間（Ｔ１）の駆動指示を行う。駆動が開始されると、ステップＳ３０６で、ステップＳ３０３と同様にモータ１１１の駆動速度値の計測及び保存処理を行う。所定時間（Ｔ１）経過によりモータ１１１の駆動は停止する。そして、ステップＳ３０７で、ステップＳ３０４と同様の理由により所定の停止時間（Ｔ２）、停止状態を保持してメカ装置の停止を待つ。
【００１９】
次に、処理の終了を確認するため、ステップＳ３０８で、モータ１１１の駆動速度値が処理終了の閾値となる所定値を超えたか否かを判定する。所定値を超えた場合は、ステップＳ３１１で、最後に指定した周波数を上限周波数として保存して処理を終了する。所定値を超えていない場合は、ステップＳ３０９で、駆動周波数を所定の更新周波数レートで更新する。ここで、更新周波数レートは、小さくすると細かいプロットでＦＮ特性データが取得できるが、処理時間が多くかかるため、製品のユースケースに応じて任意に設定値を決定する必要がある。
そして、ステップＳ３１０で、駆動周波数が終了周波数を超えていないか否かを判定する。終了周波数を超えている場合は、エラー終了し、超えていない場合は、ステップＳ３０２からの処理を繰り返し実行する。
【００２０】
図３Ｂは、往復ＦＮ計測処理によって、ＦＮ特性データを取得する処理の第２の実現方法を示すフローチャートである。本処理は、図３Ａで説明した処理において、ステップＳ３０２、Ｓ３０５の処理をそれぞれステップＳ３２２、Ｓ３２５の処理に変更したものである。それ以外の処理については同様のため、相違点のみを説明する。
ステップＳ３０２、Ｓ３０５で、所定時間（Ｔ１）の駆動指示で駆動を開始するが、ステップＳ３２２、Ｓ３２５では、所定距離（Ｘ１）の駆動指示で駆動を開始する点が異なっている。駆動距離（移動距離）を設定することによって、より確実に、可動範囲内（メカ端に当たるまで）でのＦＮ特性データの取得が可能になる。
【００２１】
なお、図３Ａ、図３Ｂで、ステップＳ３０２、Ｓ３２２でＣＷ方向への駆動を行い、ステップＳ３０５、Ｓ３２５でＣＣＷ方向への駆動を行った後に、ステップＳ３０８以降のデータ取得終了の判定を行うフローチャートになっているが、必ずしもＣＷ、ＣＣＷの駆動を１セット実行してから終了判定しなくても良い。つまり、ＣＷ駆動、ＣＣＷ駆動の終了時、ステップＳ３０５、Ｓ３２５でもステップＳ３０８の終了処理を追加で実行しても問題はない。
【００２２】
図３Ｃは、往復ＦＮ計測処理によって、ＦＮ特性データを取得する処理の第３の実現方法を示すフローチャートである。図３Ａ、図３Ｂの処理において、これまで説明した通り、ＣＷ駆動、ＣＣＷ駆動を交互に実行している。しかし、目的は、可動範囲内でモータ１１１を駆動してＦＮ特性データを計測することである。そこで、本処理は、所定位置までモータ１１１が移動する間は、同方向の駆動を繰り返し実行する処理となる。ここでも、図３Ａ、図３Ｂとの相違点のみを説明する。
ステップＳ３０２でＣＷ方向への駆動を開始し、ステップＳ３０３でモータ１１１の駆動速度値の計測及び保存処理を終了した後に、ステップＳ３３１で、移動距離が所定値を超えたか否かを判定する。所定値を超えていない場合は、ステップＳ３０２の処理に戻り、同方向（ＣＷ方向）での駆動を開始する。所定値を超えている場合は、ステップＳ３０４の処理に移行して、ステップＳ３０５で駆動方向をＣＣＷに変更する。ここで、判定の閾値として使用される所定値は、可動範囲内の任意の値が設定される。
同様に、ステップＳ３０５でＣＣＷ方向への駆動を開始し、ステップＳ３０６でモータ１１１の駆動速度値の計測及び保存処理を終了した後に、ステップＳ３３２で、移動距離が所定値を超えたか否かを判定する。所定値を超えていない場合は、ステップＳ３０５の処理に戻り、同方向（ＣＣＷ方向）での駆動を開始する。所定値を超えている場合は、ステップＳ３０７の処理に移行する。
【００２３】
以上述べたように、メカ端がある装置に組み込まれた状態でも、ＦＮ特性データの取得が可能になるので、モータ単体での計測データの保持が不要になり、装置製造工程、及び出荷後のサービス性が向上する。また、待機状態でＦＮ特性データの再取得が可能になり、環境変化等の動的な共振周波数のズレへの対応が可能になる。
さらに、ＦＮ特性データを取得することで、共振周波数を予め知ることが可能になる。これにより、Ｓ相検出を行わなくても崖落ちを防止することができるので、モータ製造時にＳ相を設ける必要がなくなる。さらに、Ｓ相が無くなるため検出を行う電気回路（アナログ回路）も必要なくなるため、モータ部品、回路部品の削減によるコストダウンが可能になる。
【００２４】
（第２の実施形態）
次に、本発明の第２の実施形態を説明する。なお、モータ制御装置１０１の構成は第１の実施形態で説明したとおりであり、以下では、第１の実施形態と異なる点を中心に説明する。
図４Ａ、図４Ｂ、図４Ｃは、第２の実施形態に係るモータ制御装置１０１での制御処理の流れを示すフローチャートである。図４Ａ、図４Ｂ、図４Ｃの処理は、外部環境によってＦＮ特性が変化する場合への対応として、駆動条件によってＦＮ特性データの処理実行を制御する方法である。
【００２５】
図４Ａは、制御処理の第１の実現方法を示すフローチャートである。本処理は、モータ駆動処理の開始前にＦＮ特性計測を行うことで、安定的な駆動を実現する手法である。
ステップＳ４０１で、電源ＯＮ及び初期化処理を実行する。その後、ステップＳ４０２で、モータ駆動の指示を待つ。モータ駆動の指示があった場合、ステップＳ４０３で、指示された駆動が何回目の駆動指示であるかを判定する。駆動指示が所定回数（Ｎ）の倍数になった場合は、ステップＳ２０１の往復ＦＮ計測処理を実施してから、ステップＳ４０４でモータ駆動を実行する。駆動指示が所定回数（Ｎ）の倍数でない場合は、ステップＳ２０１の往復ＦＮ計測処理を実施せずに、ステップＳ４０４でモータ駆動を実行する。
複数回に１回だけ、ステップＳ２０１の往復ＦＮ計測処理を実施するのは、往復ＦＮ計測処理に時間が掛かることを想定したものである。よって、駆動時間が気にならない場合は、所定回数（Ｎ）＝１として、毎回のモータ駆動前に、ステップＳ２０１の処理を実行しても構わない。
【００２６】
図４Ｂは、制御処理の第２の実現方法を示すフローチャートである。本処理は、モータ駆動処理の開始前に一定の放置時間があった場合でもＦＮ特性計測を行うことで、安定的な駆動を実現する手法である。ＵＳＭには、駆動前の放置時間の長さによって、駆動トルクが変動する課題があるため、それに対応するための処理となる。
ステップＳ４０１で、電源ＯＮ及び初期化処理を実行する。その後、ステップＳ４０２で、モータ駆動の指示を待つ。モータ駆動の指示があった場合、ステップＳ４１０で、前回の駆動指示から、今回の駆動指示までの経過時間（Ｔ）を判定する。経過時間（Ｔ）が所定時間（Ｔｍａｘ）を超えた場合は、ステップＳ２０１の往復ＦＮ計測処理を実施して、ステップＳ４１１で経過時間をクリアしてから、ステップＳ４０４でモータ駆動を実行する。経過時間が所定時間（Ｔｍａｘ）を超えていない場合は、ステップＳ２０１の往復ＦＮ計測処理を実施せずに、ステップＳ４０４でモータ駆動を実行する。所定時間（Ｔｍａｘ）は、上述した放置時間の長さとトルク低下の相関関係から設定値を決定する必要がある。
【００２７】
図４Ｃは、制御処理の第３の実現方法を示すフローチャートである。本処理は、モータ駆動処理の開始前に温度変化があった場合でもＦＮ特性計測を行うことで、安定的な駆動を実現する手法である。ＵＳＭにはモータの昇温によって、周波数共振点がずれる特徴があることが判っているため、それに対応する処理となる。
ステップＳ４０１で、電源ＯＮ及び初期化処理を実行する。その後、ステップＳ４０２で、モータ駆動の指示を待つ。モータ駆動の指示があった場合、ステップＳ４２０で、温度変化量（ｔ１）を計算する。温度変化量（ｔ１）の計算は、現在の温度（ｔ）から前回の往復ＦＮ計測処理を実施したときの温度（ｔ０）を減算した値の絶対値として求められる。そして、ステップＳ４２１で、温度変化量（ｔ１）の判定を行う。温度変化量（ｔ１）が所定温度（ｔｌｉｍ）を超えた場合は、ステップＳ２０１の往復ＦＮ計測処理を実施して、ステップＳ４２３で現在の温度を前回温度（ｔ０）として保存してから、ステップＳ４０４でモータ駆動を実行する。温度変化量（ｔ１）が所定温度（ｔｌｉｍ）を超えていない場合は、ステップＳ２０１の往復ＦＮ計測処理を実施せずに、ステップＳ４０４でモータ駆動を実行する。所定温度（ｔｌｉｍ）は、上述した温度変化と周波数共振点のズレ量の相関関係から設定値を決定する必要がある。
【００２８】
図５は、第２の実施形態の制御処理に関する図４Ａ〜図４Ｃの処理において、ステップＳ２０１の往復ＦＮ計測処理の時間を短縮する処理を示すフローチャートである。本処理は、モータ駆動処理の開始前にＦＮ特性計測を行う場合処理時間を短縮する手法である。
ステップＳ５０１で、ＦＮ計測の実施回数を判定する。ＦＮ計測の実施回数が１回目（初めて）の場合、ステップＳ５０３の往復ＦＮ計測処理として、ここまで説明したステップＳ２０１と同じ処理を行う。ＦＮ計測の実施回数が１回目でない場合、開始周波数を変更して、ステップＳ５０３の往復ＦＮ計測処理を実行する。開始周波数は、前回の上限周波数に所定周波数（Ｆ０）を加算することで計算する。所定周波数（Ｆ０）は、上述した、温度や放置時間による共振周波数のズレを考慮して決定する。これにより、往復ＦＮ計測処理の計測時間短縮が実現できる。
【００２９】
（その他の実施形態）
また、本発明は、以下の処理を実行することによっても実現される。すなわち、上述した実施形態の機能を実現するソフトウェア（プログラム）を、ネットワーク又は各種記憶媒体を介してシステム或いは装置に供給し、そのシステム或いは装置のコンピュータ（又はＣＰＵやＭＰＵ等）がプログラムを読み出して実行する処理である。
【符号の説明】
【００３０】
１０１：モータ制御装置、１０２：位置情報計測・保存部、１０３：速度情報計測・保存部、１０４：サーボ演算部、１０５：周波数制御・保存部、１０５１：ＦＮ補正部、１０６：位相制御部、１０７：駆動信号生成部、１０８：ＦＮ特性計測・保存部、１１０：モータドライバ、１１１：モータ、１１２：エンコーダ
【図１】
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【図２】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図３Ｃ】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図４Ｃ】
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【図５】
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【図６】
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