(57)【要約】  【課題】  積層したときに、積層方向の中央部分および上下端部の両方について、主面部分の柔軟性等を高めることが容易なセラミックグリーンシートおよびその製造方法等を提供すること。  【解決手段】  セラミック粉末３、バインダ４およびバインダ４よりも双極子モーメントが大きい有機樹脂からなる添加材５を含有するシート状成形体２を備えており、添加材５が、シート状成形体２の主面部分に偏在しているセラミックグリーンシート１である。主面部分に偏在した添加材がマイクロ波によって容易かつ均一に加熱され得るため、積層方向の中央部分および上下端部の両方について、主面部分の柔軟性等を高めることが容易なセラミックグリーンシート１を提供することができる。【選択図】  図１
2014107343.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
セラミック粉末、バインダおよび該バインダよりも双極子モーメントが大きい有機樹脂からなる添加材を含有するシート状成形体を備えており、
前記添加材が、前記シート状成形体の主面部分に偏在していることを特徴とするセラミックグリーンシート。
【請求項２】
前記バインダおよび前記添加材は、主鎖が互いに同じ構造の重合物であり、
前記添加材のみにおいて、前記主鎖に、極性基または極性基を含む側鎖が付加されていることを特徴とする請求項１記載のセラミックグリーンシート。
【請求項３】
前記主鎖がアクリル系またはメタクリル系重合物であり、前記極性基がシアノ基であることを特徴とする請求項２記載のセラミックグリーンシート。
【請求項４】
親水性基を有しており、セラミック粉末、バインダおよび該バインダよりも双極子モーメントが大きい有機樹脂からなる添加材を含む原料組成物を、有機溶剤とともに混練してセラミックスラリーを作製する工程と、
該セラミックスラリーをシート状に成形するとともに前記有機溶剤を除去して、セラミックグリーンシート用成形体を作製する工程と、
該セラミックグリーンシート用成形体に、前記添加材が融解する温度よりも高い温度の水を接触させて、前記添加材を前記セラミックグリーンシート用成形体の主面部分に移動させる工程とを備えることを特徴とするセラミックグリーンシートの製造方法。
【請求項５】
請求項１に記載のセラミックグリーンシートを複数枚作製する工程と、
前記複数のセラミックグリーンシートを、それぞれのセラミックグリーンシートの主面同士が互いに対向し合うようにして積層する工程と、
積層した前記複数のセラミックグリーンシートにマイクロ波を照射して、前記添加材を融解させて積層体を作製する工程と、
該積層体を焼成する工程とを備えることを特徴とするセラミック多層基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品搭載用等のセラミック多層基板を製造するために用いられるセラミックグリーンシートおよびその製造方法、ならびにセラミック多層基板の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
電子部品搭載用等のセラミック多層基板は、一般に、複数のセラミックグリーンシートが積層され、焼成されて製作されている。セラミックグリーンシートは、セラミック粉末が、バインダ等の樹脂材料によって連結されて形成されている。
【０００３】
セラミックグリーンシートについては、主面部分にワックス成分が含有されたものが用いられる場合がある。これは、セラミックグリーンシートの主面に配線導体用等の金属ペーストを印刷したときに、金属ペーストの厚みを吸収して上下のセラミックグリーンシート間の密着性を高めるためである。ワックス材料が熱によって融解したときに、セラミックグリーンシートの主面部分の弾性率が低くなるため、このような金属ペーストの厚みの吸収ができる。また、ワックス層は、上下のセラミックグリーンシートを互いに接着する接着層としても機能する。
【０００４】
接着層を有するセラミックグリーンシートは、セラミック粉末を、バインダ等の樹脂材料とともに成形してグリーンシートを作製した後、グリーンシートの主面に、ワックスを含む接着層用シートを接着させることによって作製されている。接着層用シートは、ワックスに加えて、グリーンシートと同様のセラミック粉末およびバインダを含んでいる。
【０００５】
作製した複数のセラミックグリーンシートを積層した後、この積層体を加熱してワックスを融解させれば、上記のようにセラミックグリーンシートの主面部分の粘着性および柔軟性が向上して互いに密着し合う。積層体の加熱は、例えば複数のセラミックグリーンシートが上下に積層される際に用いられる金型を介して、熱伝導によって行なわれている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開2004−296727号公報
【特許文献２】特開2006−013246号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上記従来技術においては、積層された複数のセラミックグリーンシートにおいてワックスの融解の程度がばらつきやすいという問題点があった。例えば、セラミックグリーンシートのうち積層方向の中央部に位置するセラミックグリーンシートに対しては、上下端部に位置するセラミックグリーンシートに比べて熱が伝導されにくい。そのため、中央部のセラミックグリーンシートにおいてワックスが融解されにくい。ワックスの融解の程度がばらつくと、例えば一部のセラミックグリーンシートにおいて主面部分の粘着性等が不十分になって、上下の層間の密着不良等の問題点が生じやすくなる。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一つの態様のセラミックグリーンシートは、セラミック粉末、バインダおよび該バインダよりも双極子モーメントが大きい有機樹脂からなる添加材を含有するシート状
成形体を備えており、前記添加材が、前記シート状成形体の主面部分に偏在していることを特徴とする。
【０００９】
本発明の一つの態様のセラミックグリーンシートの製造方法は、親水性基を有しており、セラミック粉末、バインダおよび該バインダよりも双極子モーメントが大きい有機樹脂からなる添加材を含む原料組成物を、有機溶剤とともに混練してセラミックスラリーを作製する工程と、該セラミックスラリーをシート状に成形するとともに前記有機溶剤を除去して、セラミックグリーンシート用成形体を作製する工程と、該セラミックグリーンシート用成形体に、前記添加材が融解する温度よりも高い温度の水を接触させて、前記添加材を前記セラミックグリーンシート用成形体の主面部分に移動させる工程とを備えることを特徴とする。
【００１０】
本発明の一つの態様のセラミック多層基板の製造方法は、上記構成のセラミックグリーンシートを複数枚作製する工程と、前記複数のセラミックグリーンシートを、それぞれのセラミックグリーンシートの主面同士が互いに対向し合うようにして積層する工程と、積層した前記複数のセラミックグリーンシートにマイクロ波を照射して、前記添加材を融解させて積層体を作製する工程と、該積層体を焼成する工程とを備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の一つの態様のセラミックグリーンシートによれば、シート状成形体におけるバインダよりも双極子モーメントが大きい有機樹脂からなる添加材が含有され、この添加材が、シート状成形体の主面部分に偏在していることから、マイクロ波加熱によって、積層された複数のセラミックグリーンシートにおいて主面部分の弾性率を偏りなく小さくすることができる。
【００１２】
すなわち、添加材の双極子モーメントが比較的大きいため、マイクロ波によって、積層された複数のセラミックグリーンシートにおいて同じ程度に添加材が加熱され、融解できる。この場合、バインダの双極子モーメントが比較的小さいため、複数のセラミックグリーンシートの積層体の中央部までマイクロ波が入り込むことは容易である。そのため、積層された複数のセラミックグリーンシート同士の密着性が高い。したがって、層間の密着不良等の不具合を生じることなくセラミック多層基板を製作することが可能なセラミックグリーンシートを提供することができる。
【００１３】
本発明の一つの態様のセラミックグリーンシートの製造方法によれば、上記各工程を備え、親水性基を有する添加材を、その添加材が融解する温度よりも温度が高い水分の作用によってセラミックグリーンシート用成形体の主面部分に移動させて偏在させることができる。また、この添加材は、その双極子モーメントが比較的大きい。そのため、マイクロ波の照射によって主面部分の柔軟性および粘着性を容易に高められ得るセラミックグリーンシートを作製することができる。
【００１４】
本発明の一つの態様のセラミック多層基板の製造方法によれば、上記各工程を有することから、上記態様のセラミックグリーンシートにおける効果と同様に、マイクロ波によって複数のセラミックグリーンシートの主面部分の粘着性等を容易に高めることができる。したがって、層間の密着不良等の不具合を生じることなくセラミック多層基板を製作することが可能なセラミック多層基板の製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】（ａ）は本発明の実施形態のセラミックグリーンシートを模式的に示す断面図であり、（ｂ）は（ａ）の要部を拡大して模式的に示す断面図である。
【図２】図１に示すセラミックグリーンシートの要部Ａにおける化学的構造等を模式的に示す断面図である。
【図３】図１に示すセラミックグリーンシートが用いられて製作されたセラミック多層基板の一例を示す断面図である。
【図４】本発明のセラミックグリーンシートの製造方法を示す。
【図５】（ａ）〜（ｃ）はそれぞれ本発明の実施形態のセラミックグリーンシートの製造方法を工程順に示す断面図である。
【図６】本発明のセラミック多層基板の製造方法を示す。
【図７】（ａ）および（ｂ）はそれぞれ本発明の実施形態のセラミック多層基板の製造方法を工程順に示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
本発明の実施の形態のセラミックグリーンシートおよびその製造方法、ならびにセラミック多層基板の製造方法について、添付の図面を参照して説明する。なお、以下の説明における上下の区別は、参照する図面に対応した便宜的なものであり、実際にセラミックグリーンシート等が使用されるときの上下を特定するものではない。
【００１７】
（セラミックグリーンシート）
図１（ａ）は、本発明の実施形態のセラミックグリーンシートを模式的に示す断面図であり、図１（ｂ）は図１（ａ）の要部Ａを拡大して模式的に示す断面図である。また、図２は、図１に示すセラミックグリーンシートの要部Ａにおける化学的構造等を模式的に示す断面図である。また、図３は、図１に示すセラミックグリーンシートが用いられて製作されたセラミック多層基板の一例を示す断面図である。
【００１８】
図１に示すような複数のセラミックグリーンシート１が積層された後に焼成されて、図３に示すようなセラミック多層基板11が製作されている。積層された複数のセラミックグリーンシート１がそれぞれ絶縁層12になり、複数の絶縁層12が積層されてなる絶縁基板（符号なし）を形成している。絶縁基板は、例えば上面および内部等に配線導体13を有し、上面等に電子部品14が搭載される。セラミック多層基板の製造方法等の詳細については後述する。なお、図２においてｎは自然数であり重合度を示す。
【００１９】
セラミックグリーンシート１は、セラミック粉末３、バインダ４および添加材５を含むシート状成形体２を含んでいる。添加材５は、バインダ４よりも双極子モーメントが大きい有機樹脂によって形成されている。また、この添加材５は、シート状成形体２の主面部分に偏在している。
【００２０】
なお、図１に示す例では、シート状成形体２の上面および下面の両方において、主面部分に添加材５が偏在している。添加材５は、シート状成形体のいずれか一方の主面（上面または下面）部分において偏在していてもよい。
【００２１】
なお、シート状成形体２について、実際には、添加材５が偏在している部分とそれ以外の部分２とが明確に層状に分離したものでなくても構わない。以下の説明においては、説明の便宜上、シート状成形体２の主面部分に、添加材５が偏在している層が存在しているものとして説明する。添加材５について、その一部がシート状成形体２の内部にも存在していても構わない。
【００２２】
添加材３は、双極子モーメントが比較的大きいため、マイクロ波照射による発熱が容易であり、温度が上昇しやすい。この添加材３について、その温度が上昇して軟化することによって、シート状成形体２、つまりセラミックグリーンシート１の主面部分の柔軟性および粘着性が向上する。
【００２３】
このようなセラミックグリーンシート１を複数枚用いることによって、上下の絶縁層間の密着性が高いセラミック多層基板11を製作することができる。セラミック多層基板11は、前述したように、例えば図１に示すセラミックグリーンシートが複数枚上下に積層され、これが焼成されて製作される。この場合、上下のセラミックグリーンシート１間の密着性が高いことが望ましいため、セラミックグリーンシート１の主面部分の粘着性および柔軟性が、全ての層において同じ程度に高いことが求められる。これに対して、上記実施形態のセラミックグリーンシート１によれば、マイクロ波照射により主面部分の粘着性および柔軟性が容易に向上するため、上下の層間の密着性が高いセラミック多層基板を製作することができる。
【００２４】
具体的には、バインダ４の双極子モーメントが比較的小さいため、積層された複数のセラミックグリーンシート１の積層方向の中央部までマイクロ波が入り込むことは容易である。このマイクロ波によって、積層された複数のセラミックグリーンシート１において同じ程度に添加材５が加熱される。そのため、積層された複数のセラミックグリーンシート１同士の密着性が高い。したがって、層間の密着不良等の不具合を生じることなくセラミック多層基板を製作することができる。すなわち、層間の密着性が高いセラミック多層基板を製作する上で有効なセラミックグリーンシート１を提供することができる。
【００２５】
シート状成形体２に含まれるセラミック粉末３は、例えば酸化アルミニウムや酸化ケイ素、酸化カルシウム、酸化マグネシウム等のセラミック粉末である。セラミック粉末３は例えば酸化アルミニウム等の原料をミル等によって所定の粒径等に解砕することによって作製することができる。
【００２６】
バインダ４は、セラミック粉末３を互いに結合してシート状成形体２の形状に成形させるためのものである。バインダ４としては、例えば、アクリル系エステルのポリマー、またはブチラール系のポリマー等の有機樹脂系のバインダを用いることができる。これらの、バインダ４として用いられる有機樹脂の軟化点は、添加材５の融点よりも低いことが好ましい。
【００２７】
例えば添加材５の融点よりも低いような温度でバインダ４が軟化する場合には、バインダ４とセラミック粒子３との結合が容易かつ強固である。そのため、セラミック粉末をシート状に成形することが容易である。なお、バインダ４の軟化温度は、例えば約10〜30℃であり、添加材５の融点は、約40〜80℃である。
【００２８】
添加材５は、アクリル系エステルのポリマー、メタクリル系エステルのポリマー、またはブチラール系のポリマー等を主な構造として形成されている。例えば、このような主な構造（主鎖等）に対して、マイクロ波（電磁場）中で回転モーメントが生じるような位置に極性基等が付加されて双極子モーメントが高められた有機樹脂が、添加材５として用いられる。
【００２９】
有機樹脂の双極子モーメントを高める極性基としては、例えばシアノ基、水酸基等が用いられる。添加材の例としては、例えば図２に示すような、ポリエチルアクリレートの主鎖にシアノ基または水酸基等が直接に付加されたもの、またはシアノ基等を有する側鎖（アルキル基等）が付加されたものが挙げられる。例えば、エチル基部分にシアノ基等が付加されたエチルアクリレートのモノマーを準備し、これを重合させれば、上記ポリマーを作製することができる。この場合、シアノ基等が付加されていないモノマーが混在していてもよい。また、主鎖は、ポリメタクリル酸エステルの重合体（ポリマー）でもよい。
【００３０】
添加材５として用いる有機樹脂およびバインダ４の双極子モーメントは、例えばこれらの材料を試料として平行平板コンデンサの一対の電極間に挟んで測定することができる。
添加材５の双極子モーメントは、バインダ４の双極子モーメントの約５倍程度以上であればよい。添加材５の双極子モーメントは、例えば約２〜５Ｄ（Debye）程度である。
【００３１】
シート状成形体２における添加材５の含有量は、マイクロ波照射によって粘着性および柔軟性を高めようとするシート状成形体２の主面部分の厚み等の条件に応じて、適宜設定すればよい。添加材５の含有量が大きいほど、上記主面部分の厚みが大きくなる。例えば、セラミックグリーンシート１（シート状成形体２）の厚みが約50〜300μｍ程度であり
、上記主面部分の厚みを約5〜30μｍ程度に設定する場合であって、シート状成形体２の
上面および下面の両主面に添加材を偏在させる場合であれば、添加材５の含有量は、約10〜30質量％程度とすればよい。この場合、添加材５が偏在しているシート状成形体２の主面部分における添加材５の含有量は、約30〜60質量％程度になる。
【００３２】
シート状成体２の主面部分における粘着性および柔軟性を、マイクロ波の照射によって効果的に高めるには、この主面部分における添加材５の含有率が約30質量％以上であることが望ましい。
【００３３】
また、バインダ４および添加材５は、主鎖が互いに同じ構造の重合物であり、添加材５のみにおいて、その主鎖に極性基が付加されていてもよい。または、添加材５のみにおいて、極性基を含む側鎖が、主鎖に付加されていてもよい。
【００３４】
バインダ４の主鎖と添加材５の主鎖とが同じ構造の重合物であれば、バインダ４と添加材５とで熱分解性等の特性が揃えられやすい。そのため、セラミックグリーンシート１となるシート状成形体２の成形、および複数のセラミックグリーンシート１の積層および焼成等の作業性を高める上でより有効である。
【００３５】
この場合の主鎖としては、柔軟性、熱分解性（焼成時）および作業性、ならびに経済性等を考慮すれば、アクリル基またはメタクリル基が適している。
【００３６】
すなわち、上記主鎖は、アクリル系またはメタクリル系重合物であることが好ましい。
【００３７】
また、上記極性基としては、例えばシアノ基が好適に用いられる。シアノ基は、その分極が他の極性基に比べて大きいため、添加材５の双極子モーメントを高める上で有効である。
【００３８】
（グリーンシートの製法）
次に、本発明の実施形態のセラミックグリーンシートの製造方法を説明する。図４に本発明のセラミックグリーンシートの製造方法を示す。図５（ａ）〜（ｃ）は、それぞれ本発明のセラミックグリーンシートの製造方法を工程順に示す断面図である。
【００３９】
まず、図５（ａ）に示すように、親水性基を有しており、セラミック粉末、バインダおよび該バインダよりも双極子モーメントが大きい有機樹脂からなる添加材５を含む原料組成物を、有機溶剤とともに混練してセラミックスラリーを作製する。なお、図５（ａ）〜（ｃ）では、わかりやすくするために、原料組成物および有機溶剤を混合物としてまとめて示し、添加材５のみを別にして示している。
【００４０】
セラミック粉末４は、上記と同様に、酸化アルミニウムや酸化ケイ素等である。また、バインダ４も、上記と同様のアクリル系ポリマー等の有機樹脂系の材料である。セラミックスラリーは、上記セラミック粉末４、バインダ４および添加材５を有機溶剤とともに、ミル等の装置を用いて混練することによって作製することができる。セラミックスラリーには、これらの材料以外に、可塑剤や着色材等の添加材（図示せず）が含まれていてもよ
い。なお、添加材５は、例えば粉末状である。
【００４１】
添加材５についても、例えば上記実施形態のセラミックグリーンシート１の場合と同様の添加材５を用いる。また、有機溶剤としては、トルエン及び、ブタノール、イソプロピルアルコール、メチルエチルケトン等が挙げられる。
【００４２】
添加材５は、上記実施形態のセラミックグリーンシート１における例と同様にシアノ基等の極性基を有する。また、添加材５は、水酸基、アミノ基、アミド基およびカルボキシル基等（少なくとも１種）の親水性基を有する。この親水性基は、上記極性基と同じものでもよく、異なるものでもよい。すなわち、極性基と親水性基とを同じ基で兼用させるようにしてもよい。極性基および親水性基として作用する基としては、シアノ基、水酸基、アミノ基、アミド基およびカルボキシル基等が挙げられる。
【００４３】
次に、図５（ｂ）に示すように、作製したセラミックスラリーをシート状に成形してセラミックグリーンシート用の予備シートを作製する。
【００４４】
セラミックスラリーの成形は、例えばドクターブレード法やリップコータ法等の成形方法によって行なうことができる。シート状に成形したセラミックスラリーから有機溶剤を除去する（乾燥させる）ことによって、セラミックグリーンシート用成形体を作製することができる。
【００４５】
有機溶剤の除去に際しては、シート状に成形したセラミックスラリーを所定の温度に加熱する。加熱によって有機溶剤の除去が促進される。また、送風等の手段で乾燥を促進したり、乾燥速度を調整したりするようにしてもよい。
【００４６】
作製したセラミックグリーンシート用成形体においては、セラミック粉末がバインダで互いに結合されて、シート状の形状が維持されている。
【００４７】
次に、図５（ｃ）に示すように、予備シートを、添加材５の融点よりも高い温度の水中に浸漬して、添加材５をセラミックグリーンシート用成形体の主面部分に移動させる。この融解した添加材５の移動によって、セラミックグリーンシート用成形体の主面部分に、添加材５が偏在した層を生じさせることができる。
【００４８】
なお、セラミックグリーンシート用成形体に接触させる、添加材５の融点よりも高い温度の水分は、液体としてまとまったもの（湯）に限らず、上記温度に加熱された気体（蒸気）であってもよい。また、霧状の水分（いわゆる水蒸気）でもよい。このような場合にも、添加材５をセラミックグリーンシート用成形体の主面部分に移動させることができる。つまり、セラミックグリーンシート用成形体を上記温度の水（湯）の中に浸漬してもよく、上記温度の蒸気をセラミックグリーンシート用成形体の主面等の表面に接触させるようにしてもよい。
【００４９】
なお、添加材５の融点は、上記のように例えば約40〜80℃程度である。そのため、予備シートを浸漬する水は、約40〜80℃よりも若干高い温度（例えば約50〜90℃程度）に加熱しておく。
【００５０】
上記実施形態のセラミックグリーンシートの製造方法によれば、上記各工程を備え、親水性基を有する添加材５を、その添加材５が融解する温度よりも温度が高い水分の作用によってセラミックグリーンシート用成形体の主面部分に移動させて偏在させることができる。また、この添加材５は、その双極子モーメントが比較的大きい。そのため、マイクロ波の照射によって主面部分の柔軟性および粘着性を容易に高められ得るセラミックグリー
ンシート１を作製することができる。
【００５１】
（セラミック多層基板の製造方法）
次に、本発明の実施形態のセラミック多層基板の製造方法について説明する。図６に本発明のセラミック多層基板の製造方法を示す。図７（ａ）および（ｂ）は、本発明のセラミック多層基板の製造方法を工程順に示す断面図である。
【００５２】
まず、上記実施形態のセラミックグリーンシート１を複数枚作製する。セラミックグリーンシート１は、例えば上記実施形態のセラミックグリーンシートの製造方法によって作製することができる。なお、作製したセラミックグリーンシートは帯状であるため、セラミック多層基板を作製するためのシートとして所定の形状および寸法に切断加工する必要がある。
【００５３】
次に、図７（ａ）に示すように、複数のセラミックグリーンシート１を、それぞれのセラミックグリーンシート（上記のように切断加工したもの）の主面同士が互いに対向し合うようにして積層する。複数のセラミックグリーンシートの積層は、例えば位置決め用のストッパーが設けられた台上で行なわれる。
【００５４】
なお、この積層の前に、各セラミックグリーンシートの表面に、前述した配線導体13等の導体となる金属ペースト６を印刷しておいてもよい。金属ペースト６の印刷は、スクリーン印刷法等によって行なう。
【００５５】
金属ペースト６は、後の焼成の工程を経て配線導体13となるものであり、配線導体13と同様の金属材料の粉末を、有機溶剤およびバインダ等とともに混練することによって作製する。なお、配線導体13となる金属材料、つまり金属ペースト用の金属粉末の材料としては、タングステン、モリブデン、マンガン、銅、銀、パラジウム、金および白金、ならびにこれらの金属材料の合金材料等が挙げられる。
【００５６】
次に、図７（ｂ）に示すように、積層した複数のセラミックグリーンシート１にマイクロ波を照射して、添加材を融解させて積層体21を作製する。マイクロ波の照射によって、各セラミックグリーンシート１の主面部分に偏在した添加材５が融解する。添加材５の融解によってセラミックグリーンシート１の主面部分における粘着性および柔軟性が高くなる。これにより、積層した上下のセラミックグリーンシートの主面同士を互いに密着させて、上下のセラミックグリーンシート１同士が粘着されてなる積層体21を作製することができる。
【００５７】
なお、セラミックグリーンシート１の主面に金属ペースト６を印刷した場合でも、セラミックグリーンシート１の主面部分における柔軟性が上記のように高められているため、金属ペースト６の厚みがセラミックグリーンシート１の主面部分の変形によって吸収され得る。そのため、上下のセラミックグリーンシート１間の密着性を高く確保しながら、積層体21を作製することができる。
【００５８】
このような積層体21の作製工程を含む製造方法によれば、上記実施形態のセラミックグリーンシート１における効果と同様に、マイクロ波によって複数のセラミックグリーンシート１の主面部分の粘着性等を容易に高めることができる。したがって、層間の密着不良等の不具合を生じることなくセラミック多層基板を製作することが可能な製造方法を提供することができる。
【００５９】
その後、この積層体21を所定の温度および雰囲気等の条件で焼成すれば、例えば図３に示すようなセラミック多層基板を製作することができる。例えば、酸化アルミニウム粉末
を主成分とするセラミックグリーンシート１を積層した場合であれば、還元雰囲気中、約1300〜1600℃の温度で焼成する。焼成の際に、セラミックグリーンシート１とタングステン等の金属ペースト６とが一体焼成されて、それぞれ酸化アルミニウム質焼結体からなる絶縁層12と、タングステン等のメタライズ導体からなる配線導体13とになる。
【符号の説明】
【００６０】
１・・・・セラミックグリーンシート
２・・・・シート状成形体
３・・・・セラミック粉末
４・・・・バインダ
５・・・・添加材
６・・・・金属ペースト
11・・・・セラミック多層基板
12・・・・絶縁層
13・・・・導体
14・・・・電子部品
【図１】
2014107343.tif 000003
【図２】
2014107343.tif 000004
【図３】
2014107343.tif 000005
【図４】
2014107343.tif 000006
【図５】
2014107343.tif 000007
【図６】
2014107343.tif 000008
【図７】
2014107343.tif 000009