(57)【要約】【課題】パラメータ設定に係る操作性の点で有利なリソグラフィ装置を提供する。【解決手段】パターンを基板に形成するリソグラフィ装置であって、前記リソグラフィ装置に設定されるパラメータを表示する表示部と、前記パラメータの値が変更された頻度が識別可能な状態で前記パラメータを前記表示部に表示させる制御部と、を有することを特徴とするリソグラフィ装置を提供する。【選択図】図１
2014146711.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
パターンを基板に形成するリソグラフィ装置であって、
前記リソグラフィ装置に設定されるパラメータを表示する表示部と、
前記パラメータの値が変更された頻度が識別可能な状態で前記パラメータを前記表示部に表示させる制御部と、
を有することを特徴とするリソグラフィ装置。
【請求項２】
前記制御部は、前記頻度が低いパラメータほど視認性が低い状態でパラメータを前記表示部に表示させる、ことを特徴とする請求項１に記載のリソグラフィ装置。
【請求項３】
前記制御部は、前記視認性として、前記表示部に表示されるパラメータの色を制御する、ことを特徴とする請求項２に記載のリソグラフィ装置。
【請求項４】
前記パラメータの値が変更された頻度を点数で表すためのテーブルを記憶する記憶部を有し、
前記制御部は、前記記憶部に記憶されたテーブルと前記頻度の情報とに基づいて得られたパラメータごとの点数に従って、前記表示部に表示されるパラメータの色を決定する、ことを特徴とする請求項３に記載のリソグラフィ装置。
【請求項５】
前記テーブルは、値が変更されたパラメータには点数が加算され、値が変更されていないパラメータからは点数が減算されるように設定されている、ことを特徴とする請求項４に記載のリソグラフィ装置。
【請求項６】
前記テーブルは、値が変更された状況に応じてパラメータの点数の変化が異なるように設定されている、ことを特徴とする請求項４又は５に記載のリソグラフィ装置。
【請求項７】
前記基板をパターニングするためのパターンを前記基板に付与するユニットを有する、ことを特徴とする請求項１乃至６のうちいずれか１項に記載のリソグラフィ装置。
【請求項８】
リソグラフィ装置に設定されるパラメータの値が変更された頻度に関する頻度情報を取得する取得部と、
前記取得部で取得された前記頻度情報に基づいて、前記リソグラフィ装置の表示部に前記頻度が識別可能な状態でパラメータを表示させる制御部と、
を有することを特徴とする制御装置。
【請求項９】
パターンを形成する少なくとも１つのリソグラフィ装置と、
請求項８に記載の制御装置と、
を有することを特徴とするリソグラフィシステム。
【請求項１０】
請求項１乃至７のうちいずれか１項に記載のリソグラフィ装置又は請求項９に記載のリソグラフィシステムを用いてパターンを基板に形成する工程と、
前記工程で前記パターンを形成された前記基板を処理する工程と、
を有することを特徴とする物品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、リソグラフィ装置、制御装置、リソグラフィシステム、及び物品の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
露光装置に代表されるリソグラフィ装置には、各ユニットを制御するための多数のパラメータが存在している。これらのパラメータは、ユーザーインターフェース（画面）に表示され、リソグラフィ装置ごとの機体差やリソグラフィ装置の運用に伴う経時変化に対する調整を行えるように、その値を変更することが可能になっている。
【０００３】
また、互いに関連するパラメータは、その制御対象ごとに幾つかのグループに分類され、グループごとに異なる画面に表示される。リソグラフィ装置では、一般的に、パラメータを表示する画面は２００以上、ユーザーが変更可能なパラメータは数万個程度も存在する。
【０００４】
そこで、ユーザビリティ（操作性）を向上させるために、パラメータの変更の履歴を集計（記憶）し、変更頻度の高いパラメータを表示する画面に少ない操作（手順）で遷移することを可能にする露光装置が提案されている（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−０７７７８５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、従来技術では、ユーザーが変更可能なパラメータの数を減らすわけではないため、各パラメータの制御対象に精通していないユーザーが、装置の運用中に誤ったパラメータの値を変更してしまう可能性がある。実際に、誤ったパラメータ、即ち、変更すべきパラメータとは異なるパラメータの値を変更してしまうと、リソグラフィ装置で製造される物品（半導体デバイスや表示デバイス等）に不具合を発生させてしまうことになる。
【０００７】
本発明は、このような従来技術の課題に鑑みてなされ、パラメータ設定に係る操作性の点で有利なリソグラフィ装置を提供することを例示的目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために、本発明の一側面としてのリソグラフィ装置は、パターンを基板に形成するリソグラフィ装置であって、前記リソグラフィ装置に設定されるパラメータを表示する表示部と、前記パラメータの値が変更された頻度が識別可能な状態で前記パラメータを前記表示部に表示させる制御部と、を有することを特徴とする。
【０００９】
本発明の更なる目的又はその他の側面は、以下、添付図面を参照して説明される好ましい実施形態によって明らかにされるであろう。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、例えば、パラメータ設定に係る操作性の点で有利なリソグラフィ装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一側面としてのリソグラフィ装置の構成を示す概略図である。
【図２】図１に示すリソグラフィ装置の表示部に表示されるパラメータ設定画面の一例を示す図である。
【図３】図１に示すリソグラフィ装置の記憶部に記憶されるテーブルの一例を示す図である。
【図４】図１に示すリソグラフィ装置において、表示部にパラメータを表示する表示処理を説明するためのフローチャートである。
【図５】図４に示すＳ４０４で算出されたパラメータごとの点数の一例を示す図である。
【図６】パラメータの点数と色調情報との対応関係を表す色調テーブルの一例を示す図である。
【図７】図１に示すリソグラフィ装置の表示部におけるパラメータの表示を具体的に示す図である。
【図８】本発明の一側面としてのリソグラフィシステムの構成を示す概略図である。
【図９】図８に示すリソグラフィシステムの各リソグラフィ装置でパラメータが変更された頻度を点数に変換するためのテーブルの一例を示す図である。
【図１０】図８に示すリソグラフィシステムにおいて、各リソグラフィ装置の表示部にパラメータを表示する表示処理を説明するためのフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、添付図面を参照して、本発明の好適な実施の形態について説明する。なお、各図において、同一の部材については同一の参照番号を付し、重複する説明は省略する。
【００１３】
＜第１の実施形態＞
図１は、本発明の一側面としてのリソグラフィ装置１００の構成を示す概略図である。リソグラフィ装置１００は、基板にパターンを形成する装置であって、基板を露光するための露光光を射出する投影光学系を有する露光装置として具現化される。但し、リソグラフィ装置１００は、露光装置に限定されるものではなく、例えば、荷電粒子線（電子線やイオンビーム）で基板に描画を行う、即ち、荷電粒子光学系から射出される荷電粒子線を用いて基板にパターンを描画する描画装置であってもよい。
【００１４】
リソグラフィ装置１００は、マスクを照明する照明光学系１と、マスクを保持して移動するマスクステージ２と、マスクのパターンを基板に投影する投影光学系３と、基板を保持して移動する基板ステージ４とを有する。また、リソグラフィ装置１００は、表示部５と、入力部６と、取得部７と、制御部８と、記憶部９とを有する。
【００１５】
表示部５は、リソグラフィ装置１００に関する情報、例えば、リソグラフィ装置１００の状態やリソグラフィ装置１００に設定されるパラメータなどを表示する。表示部５は、グラフィカルユーザーインターフェースを提供しうる。
【００１６】
入力部６は、例えば、キーボードやマウスなどの入力デバイスを含む。ユーザーは、入力部６を介して、表示部５に表示されたパラメータの値を変更することが可能である。
【００１７】
取得部７は、本実施形態では、リソグラフィ装置１００に設定されるパラメータの変更履歴を記憶することで、パラメータの値が変更された頻度に関する頻度情報を取得する。かかる頻度情報は、各パラメータの値が変更された回数を表す情報だけではなく、各パラメータの値がどのような経緯で変更されたのか（例えば、入力部６を介して直接変更されたのか、内部処理で間接的に変更されたのかなど）を表す情報も含む。
【００１８】
制御部８は、リソグラフィ装置１００の各部（全体動作）を制御する。例えば、制御部８は、リソグラフィ装置１００に設定されたパラメータの値に基づいて、マスクのパターンが基板に形成（転写）されるように、照明光学系１、マスクステージ２、投影光学系３、基板ステージ４などの各ユニットを制御する。また、制御部８は、取得部７で取得された頻度情報とパラメータとの対応を反映させて各パラメータの値が変更された頻度が識別可能な状態でパラメータを表示するように、表示部５を制御する表示制御部として機能する。具体的には、制御部８は、値が変更された頻度が低いパラメータほど視認性が低い状態でパラメータを表示するように、表示部５を制御する。また、視認性は、表示部５に表示されるパラメータの色を段階的に変更することで調整することができる。
【００１９】
記憶部９は、後述するように、パラメータの値が変更された頻度を点数に変換するためのテーブルを記憶する。本実施形態では、制御部８は、記憶部９に記憶されたテーブルに基づいて、パラメータの値が変更された頻度を点数に変換し（即ち、パラメータの値が変更された頻度を点数化し）、変換した点数に基づいて、表示部５を制御する。
【００２０】
図２は、表示部５に表示される画面、具体的には、パラメータの値を設定するためのパラメータ設定画面の一例を示す図である。リソグラフィ装置１００に設定される各パラメータは、その制御対象ごとに幾つかのグループに分類され、例えば、グループごとにパラメータ設定画面５１、５２及び５３に分けて表示される。表示部５に表示するパラメータ設定画面５１、５２及び５３は、メニューＭ１、Ｍ２及びＭ３を含むメニューアイコン５５によって選択可能になっている。本実施形態では、メニューＭ１が選択されると、パラメータＰ１乃至Ｐ９を含むパラメータ設定画面５１が表示部５に表示される。また、メニューＭ２が選択されると、パラメータＰ１１乃至Ｐ１９を含むパラメータ設定画面５２が表示部５に表示され、メニューＭ３が選択されると、パラメータＰ２１乃至Ｐ２９を含むパラメータ設定画面５３が表示部５に表示される。
【００２１】
あるパラメータの値を変更する場合には、そのパラメータが属しているパラメータ設定画面をメニューアイコン５５（メニューＭ１乃至Ｍ３）によって選択して表示部５に表示させ、そのパラメータの値（変更値）を入力部６を介して入力する。例えば、パラメータＰ１４の値を変更する場合には、メニューアイコン５５においてメニューＭ２を選択してパラメータ設定画面５２を表示部５に表示させ、パラメータＰ１４の値を入力部６を介して入力する。
【００２２】
また、パラメータ設定画面５１、５２及び５３のそれぞれに含まれるＥＸＩＴボタン５６を選択することで、表示部５に表示されているパラメータ設定画面が非表示になる。
【００２３】
パラメータの変更履歴が取得部７に記憶される場合、パラメータが属するパラメータ設定画面が表示部５に表示されてから非表示になるまでの間に、パラメータの値が複数回変更されたとしても、そのパラメータの値が変更された回数は１回として記憶される。そして、かかるパラメータ設定画面が表示部５に再度表示されてから非表示になるまでの間に、パラメータの値が変更されれば、そのパラメータの値が変更された回数は２回として記憶される。また、パラメータ設定画面が表示部５に表示されてから非表示になるまでの間に、パラメータの値が変更されなければ、そのパラメータの値が変更された回数は０回（即ち、変更されていない）として記憶される。
【００２４】
図３（ａ）及び図３（ｂ）は、記憶部９に記憶されるテーブル、即ち、パラメータの値が変更された頻度を点数に変換するためのテーブルの一例を示す図である。ここでは、パラメータの値が変更された場合には点数が加算され、パラメータの値が変更されていない場合には点数が減算されるように設定されたテーブルを示す。パラメータの値が変更された場合において、当該パラメータに加算される点数（加算点数）、及び、当該パラメータ以外の他のパラメータから減算される点数（減算点数）は、ユーザーによる設定が可能である。図３（ａ）では、当該パラメータに加算される加算点数は５０点に設定され、他のパラメータから減算される減算点数は−４０点に設定されている。ここで、図３（ａ）は、パラメータの値が入力部６を介して直接変更された場合のテーブルを示している。
【００２５】
また、リソグラフィ装置１００に設定されるパラメータの値は、制御シーケンスにおいて変更される（即ち、内部処理で間接的に変更される）場合もある。従って、記憶部９に記憶されるテーブルには、パラメータの値が変更された状況に応じて異なる加算点数及び減算点数が設定されているとよい（即ち、状況に応じてパラメータの点数の変化が異なるようにするとよい）。図３（ｂ）は、パラメータの値が制御シーケンスにおいて変更された場合のテーブルを示している。図３（ｂ）では、制御シーケンスにおいてパラメータの値が変更された場合に、当該パラメータに加算される加算点数が３０点に設定され、他のパラメータから減算される減算点数が−２０点に設定されている。また、制御シーケンスにおいてパラメータの値が変更された場合において、当該パラメータに加算される加算点数、及び、当該パラメータ以外の他のパラメータから減算される減算点数も、ユーザーによる設定が可能である。
【００２６】
図４を参照して、リソグラフィ装置１００において、表示部５にパラメータを表示する表示処理について説明する。かかる表示処理は、上述したように、制御部８が表示部５を制御することで行われる。
【００２７】
Ｓ４０２において、制御部８は、取得部７からパラメータの値が変更された頻度に関する頻度情報、及び、記憶部９からパラメータの値が変更された頻度を点数に変換するためのテーブル（図３（ａ）及び図３（ｂ））を取得する。
【００２８】
Ｓ４０４において、制御部８は、Ｓ４０２で取得した頻度情報及びテーブルに基づいて、パラメータの値が変更された頻度をパラメータごとに点数に変換して、各パラメータの点数を算出する。例えば、リソグラフィ装置１００に設定されるパラメータのそれぞれには１００点が予め付加されており、パラメータのそれぞれについて、図５に示すように、パラメータの値が変更された頻度を表す点数を算出する。
【００２９】
Ｓ４０６において、制御部８は、Ｓ４０４で算出した点数に応じて表示部５に表示されるパラメータの色を決定する。具体的には、制御部８は、図６に示すようなパラメータの点数と色調情報との対応関係を表す色調テーブルを参照して、リソグラフィ装置１００に設定されるパラメータのそれぞれについて、Ｓ４０４で算出した点数に対応する色を決定する。図６に示す色調テーブルは、パラメータの点数が１００点であればパラメータの色を黒色とし、パラメータの点数が減少するのに従って段階的に黒色の濃度が減少し、パラメータの点数が０点になると白色になるように設定されている。かかる色調テーブルは、記憶部９に記憶されていてもよいし、制御部８のメモリなどに記憶されていてもよい。なお、色調情報は固定値であり、ユーザーによる変更が不可能になっているものとする。
【００３０】
Ｓ４０８では、制御部８は、Ｓ４０６で決定した色で各パラメータが表示されるように、表示部５（即ち、表示部５におけるパラメータの表示）を制御する。ここで、値が変更されたパラメータが属するパラメータ設定画面が表示部５に表示されている場合には、Ｓ４０６で決定した色に基づいて、パラメータの色の表示（更新）が行われる。一方、値が変更されたパラメータが属するパラメータ設定画面が表示部５に表示されていない場合には、かかるパラメータ設定画面が表示される際に、パラメータの色の表示（更新）が行われる。
【００３１】
図７（ａ）乃至図７（ｃ）は、表示部５におけるパラメータの表示を具体的に示す図である。最初、リソグラフィ装置１００に設定される全てのパラメータの点数は１００点であるため、図７（ａ）に示すように、パラメータ及びそのパラメータの値の入力欄は黒色で表示されている。そして、各パラメータの値が変更されると、図７（ｂ）に示すように、変更頻度の少ないパラメータ（パラメータＰ４乃至Ｐ９）及びそのパラメータの値の入力欄が黒色の濃度を減少した灰色で表示される。更に、各パラメータの値が変更され、パラメータの点数が０点になると、点数が０点となったパラメータ及びそのパラメータの値の入力欄が白色で表示される。
【００３２】
図７（ａ）乃至図７（ｃ）では、パラメータ設定画面の背景を白色にしているため、パラメータ及びそのパラメータの値の入力欄が白色になると、表示部５において非可視（視認性が低い状態）となる。そこで、非可視となったパラメータ及びそのパラメータの値の入力欄の表示領域を除去して画面サイズを最適化すると、図７（ｃ）に示すように、変更頻度の低いパラメータが非表示となり、変更頻度の高いパラメータのみが表示される。従って、誤ったパラメータを変更してしまうことを防止（低減）することができる。
【００３３】
変更頻度が低いパラメータ及びそのパラメータの入力欄を非表示にする方法は、上述した方法に限定されるものではない。例えば、パラメータ設定画面の背景を有色にして、色調情報を透過率で制御するような方法であってもよい。
【００３４】
また、図７（ｃ）に示すように、変更頻度の低いパラメータを非表示にした場合、パラメータ設定画面には、再表示ボタンが構成され、再表示ボタンが選択されると、図７（ａ）に示すように、非表示にしたパラメータが再表示される。
【００３５】
＜第２の実施形態＞
図８は、本発明の一側面としてのリソグラフィシステム２００の構成を示す概略図である。リソグラフィシステム２００は、基板にパターンを形成する複数のリソグラフィ装置１００Ａ、１００Ｂ、・・・、１００Ｎと、複数のリソグラフィ装置１００Ａ乃至１００Ｎのそれぞれを制御する制御装置２０２とを有する。
【００３６】
複数のリソグラフィ装置１００Ａ乃至１００Ｎのそれぞれは、リソグラフィ装置１００と同様な構成を有する露光装置であって、ネットワークＮＴを介して接続されている。
【００３７】
また、ネットワークＮＴ（の上流）には、制御装置２０２が接続されている。制御装置２０２は、リソグラフィ装置１００の取得部７、制御部８及び記憶部９と同様な機能を有する構成を有し、各リソグラフィ装置１００Ａ乃至１００Ｎの表示部を制御する（即ち、表示部におけるパラメータの表示を制御する）。具体的には、制御装置２０２は、リソグラフィ装置１００Ａ乃至１００Ｎのそれぞれについて、パラメータの値が変更された頻度に関する頻度情報を取得する。そして、制御装置２０２は、かかる頻度情報とパラメータとの対応を反映させてパラメータの値が変更された頻度が識別可能な状態でパラメータを表示するように、各リソグラフィ装置１００Ａ乃至１００Ｎの表示部を制御する。従って、制御装置２０２は、第１の実施形態で説明したように、各リソグラフィ装置１００Ａ乃至１００Ｎについて、パラメータの値が変更された頻度を点数に変換し、変換した点数に基づいて、各リソグラフィ装置１００Ａ乃至１００Ｎの表示部を制御する。ここで、各リソグラフィ装置１００Ａ乃至１００Ｎでは、自身でパラメータの値が変更された場合と、自身の制御シーケンスにおいてパラメータの値が変更された場合と、他の装置で自身のパラメータの値が変更された場合とが考えられる。そこで、パラメータの値が変更された頻度を点数に変換するためのテーブルは、パラメータの値が変更された状況に応じて異なる加算点数及び減算点数が設定されている。
【００３８】
図９（ａ）乃至図９（ｃ）は、各リソグラフィ装置１００Ａ乃至１００Ｎでパラメータが変更された頻度を点数に変換するためのテーブルの一例を示す図である。図９（ａ）は、パラメータの値が自身で直接変更された場合のテーブルを示している。図９（ａ）では、当該パラメータに加算される加算点数は５０点に設定され、他のパラメータから減算される減算点数は−４０点に設定されている。図９（ｂ）は、パラメータの値が自身の制御シーケンスにおいて変更された場合のテーブルを示している。図９（ｂ）では、自身の制御シーケンスにおいてパラメータの値が変更された場合に、当該パラメータに加算される加算点数が３０点に設定され、他のパラメータから減算される減算点数が−２０点に設定されている。図９（ｃ）は、パラメータの値が他の装置で変更された場合のテーブルを示している。図９（ｃ）では、他の装置でパラメータの値が変更された場合に、当該パラメータに加算される加算点数が１０点に設定され、他のパラメータから減算される減算点数が−１０点に設定されている。
【００３９】
図１０を参照して、リソグラフィシステム２００において、各リソグラフィ装置１００Ａ乃至１００Ｎの表示部にパラメータを表示する表示処理について説明する。かかる表示処理は、上述したように、制御装置２０２が各リソグラフィ装置１００Ａ乃至１００Ｎの表示部を制御することで行われる。
【００４０】
Ｓ１００２において、制御装置２０２は、リソグラフィ装置１００Ａ乃至１００Ｎのうち、表示処理の対象となる対象リソグラフィ装置（例えば、リソグラフィ装置１００Ａ）からパラメータの値が変更された頻度に関する頻度情報を取得する。
【００４１】
Ｓ１００４において、対象リソグラフィ装置に設定されるパラメータの値が変更された頻度をパラメータごとに点数に変換して、各パラメータの点数を算出する。例えば、対象リソグラフィ装置に設定されるパラメータのそれぞれには１００点が予め付加されており、パラメータのそれぞれについて、パラメータの値が変更された頻度を表す点数を算出する。具体的には、まず、パラメータの値が自身で、又は、自身の制御シーケンスにおいて変更された場合について、各パラメータの点数を、Ｓ１００２で取得した頻度情報、及び、図９（ａ）及び図９（ｂ）に示すテーブルに基づいて算出する。次いで、パラメータの値が他の装置で変更された場合について、各パラメータの点数を、Ｓ１００２で取得した頻度情報、及び、図９（ｃ）に示すテーブルに基づいて算出する。
【００４２】
Ｓ１００６において、制御装置２０２は、Ｓ１００４で算出した点数に応じて、対象リソグラフィ装置の表示部に表示されるパラメータの色を決定する。具体的には、制御装置２０２は、図６に示したようなパラメータの点数と色調情報との対応関係を表す色調テーブルを参照して、対象リソグラフィ装置に設定されるパラメータのそれぞれについて、Ｓ１００４で算出した点数に対応する色を決定する。
【００４３】
Ｓ１００８において、制御装置２０２は、Ｓ１００６で決定した色で各パラメータが表示されるように、対象リソグラフィ装置の表示部（即ち、表示部におけるパラメータの表示）を制御する。ここで、値が変更されたパラメータが属するパラメータ設定画面が対象リソグラフィ装置の表示部に表示されている場合には、Ｓ１００６で決定した色に基づいて、パラメータの色の表示（更新）が行われる。一方、値が変更されたパラメータが属するパラメータ設定画面が対象リソグラフィ装置の表示部に表示されていない場合には、かかるパラメータ設定画面が表示される際に、パラメータの色の表示（更新）が行われる。
【００４４】
Ｓ１０１０において、制御装置２０２は、全てのリソグラフィ装置１００Ａ乃至１００Ｎを対象リソグラフィ装置としたかどうかを判定する。全てのリソグラフィ装置１００Ａ乃至１００Ｎを対象リソグラフィ装置としていない場合には、次のリソグラフィ装置を対象リソグラフィ装置として、Ｓ１００２に移行する。また、全てのリソグラフィ装置１００Ａ乃至１００Ｎを対象リソグラフィ装置とした場合には、処理を終了する。
【００４５】
このように、リソグラフィシステム２００では、各リソグラフィ装置１００Ａ乃至１００Ｎの表示部にパラメータを表示する際に、変更頻度の低いパラメータを非表示とし（視認性を低くし）、変更頻度の高いパラメータのみを表示することができる。従って、誤ったパラメータを変更してしまうことを防止（低減）することができる。
【００４６】
なお、本実施形態では、制御装置２０２が各リソグラフィ装置１００Ａ乃至１００Ｎの表示部を制御しているが、これに限定されるものではない。
例えば、各リソグラフィ装置１００Ａ乃至１００Ｎの制御部が自身の表示部を制御してもよいし、リソグラフィ装置１００Ａ乃至１００Ｎのうち１つのリソグラフィ装置の制御部が各リソグラフィ装置１００Ａ乃至１００Ｎの表示部を制御してもよい。
【００４７】
＜第３の実施形態＞
上述した実施形態のリソグラフィ装置１００やリソグラフィシステム２００は、誤ったパラメータ、即ち、変更すべきパラメータとは異なるパラメータの値を変更してしまうことを防止（低減）することができる。従って、リソグラフィ装置１００やリソグラフィシステム２００は、パターンを基板に形成する処理を正常に行うことができるため、例えば、半導体デバイス等のマイクロデバイスや微細構造を有する素子等の物品を製造するのに好適である。ここでは、かかる物品の製造方法を、リソグラフィ装置１００を用いる場合を例に説明するが、リソグラフィシステム２００を用いてもよい。物品の製造方法は、リソグラフィ装置１００を用いてパターンを基板に形成する工程（基板をパターニングするためのエネルギー又は型等に係るパターンを基板に付与する露光、描画又はインプリント等の工程）を含む。また、物品の製造方法は、かかる工程でパターンを形成された基板を処理（加工）する工程（例えば、現像又はエッチング等を行う工程）を含む。更に、かかる製造方法は、他の周知の工程（酸化、成膜、蒸着、ドーピング、平坦化、エッチング、レジスト剥離、ダイシング、ボンディング、パッケージング等）を含みうる。本実施形態の物品の製造方法は、従来の方法に比べて、物品の性能・品質・生産性・生産コストの少なくとも１つにおいて有利である。
【００４８】
以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明はこれらの実施形態に限定されないことはいうまでもなく、その要旨の範囲内で種々の変形及び変更が可能である。
【図１】
2014146711.tif 000003
【図３】
2014146711.tif 000004
【図４】
2014146711.tif 000005
【図５】
2014146711.tif 000006
【図６】
2014146711.tif 000007
【図８】
2014146711.tif 000008
【図９】
2014146711.tif 000009
【図１０】
2014146711.tif 000010
【図２】
2014146711.tif 000011
【図７】
2014146711.tif 000012