(57)【要約】      （修正有）【課題】上位コントローラの起動に時間がかかる時起動時間の短縮を図ることができる搬送システムを提供する。【解決手段】搬送システム１では、コントローラ５，７，９は、被搬送物の位置情報を記憶する位置情報記憶部４０と、ＭＣＳ３が停止してから起動するまでに記憶された位置情報を抽出する情報抽出部と、を備え、ＭＣＳ３が停止状態から起動したときに、情報抽出部が抽出した位置情報をＭＣＳ３に送信する。【選択図】図１
2014221685.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
上位コントローラから下位コントローラに搬送指令を送信し、前記下位コントローラによって各搬送装置に被搬送物の搬送を実行させる搬送システムであって、
前記下位コントローラは、
前記被搬送物の位置情報を記憶する位置情報記憶部と、
前記上位コントローラが停止してから起動するまでの間に記憶された前記位置情報のみを前記位置情報記憶部から抽出する抽出部と、を備え、
前記上位コントローラが停止状態から起動したときに、前記抽出部が抽出した前記位置情報を前記上位コントローラに送信することを特徴とする搬送システム。
【請求項２】
前記上位コントローラは、停止する直前の時刻を記憶する時刻記憶部を備え、停止状態から起動したときに、前記時刻記憶部に記憶されている時刻を指定時刻として前記下位コントローラに送信し、
前記下位コントローラは、前記上位コントローラから前記指定時刻を受信すると、当該指定時刻以降に更新された位置情報のみを前記抽出部により抽出して前記上位コントローラに送信することを特徴とする請求項１記載の搬送システム。
【請求項３】
前記下位コントローラは、前記上位コントローラとの通信の途絶及び再開を検出する通信状態検出部を備え、
前記上位コントローラとの通信が再開すると、前記上位コントローラとの通信が途絶した以降に更新された位置情報のみを前記抽出部により抽出して前記上位コントローラに送信することを特徴とする請求項１記載の搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の搬送システムとして、例えば特許文献１に記載されたものが知られている。特許文献１に記載の搬送システムは、搬送車を管理する搬送車コンピュータ（下位コントローラ）と、搬送車コンピュータからの情報を管理する上位コンピュータ（上位コントローラ）と、を備え、搬送車コンピュータとの通信が回復したときに起動するプログラムが上位コンピュータに設けられている。この搬送システムでは、上位コンピュータにおいて上記プログラムが実行されると、上位コンピュータの保有情報が搬送コンピュータから送信される更新情報と一致するように書き換えられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−２８５９０５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述のように、搬送システムでは、上位コントローラが停止状態から起動したときに、下位コントローラから送信された情報を取得し、その情報と上位コントローラが保持している情報とを検証して情報を更新する。このとき、搬送システムでは、下位コントローラが複数稼働しており、情報量も膨大である。そのため、搬送システムでは、全ての下位コントローラの情報を検証して更新するために時間を要するため、上位コントローラの起動に時間がかかるといった問題がある。
【０００５】
本発明は、起動時間の短縮を図ることができる搬送システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る搬送システムは、上位コントローラから下位コントローラに搬送指令を送信し、下位コントローラによって各搬送装置に被搬送物の搬送を実行させる搬送システムであって、下位コントローラは、被搬送物の位置情報を記憶する位置情報記憶部と、上位コントローラが停止してから起動するまでの間に記憶された位置情報のみを位置情報記憶部から抽出する抽出部と、を備え、上位コントローラが停止状態から起動したときに、抽出部が抽出した位置情報を上位コントローラに送信することを特徴とする。
【０００７】
この搬送システムでは、上位コントローラが停止状態から起動したときに、抽出部が抽出した位置情報のみを上位コントローラに送信する。これにより、上位コントローラでは、停止している期間に更新された位置情報のみを検証する。したがって、搬送システムでは、上位コントローラにおいて位置情報の検証及び更新を行う時間を短縮することができ、起動時間の短縮を図ることができる。
【０００８】
一実施形態においては、上位コントローラは、停止する直前の時刻を記憶する時刻記憶部を備え、停止状態から起動したときに、時刻記憶部に記憶されている時刻を指定時刻として下位コントローラに送信し、下位コントローラは、上位コントローラから指定時刻を受信すると、当該指定時刻以降に更新された位置情報のみを抽出部により抽出して上位コントローラに送信する。これにより、搬送システムでは、下位コントローラにおいて上位コントローラが停止した時刻をより正確に把握して位置情報を抽出できる。
【０００９】
一実施形態においては、下位コントローラは、上位コントローラとの通信の途絶及び再開を検出する通信状態検出部を備え、上位コントローラとの通信が再開すると、上位コントローラとの通信が途絶した以降に更新された位置情報のみを抽出部により抽出して上位コントローラに送信する。これにより、搬送システムでは、下位コントローラにおいて抽出する位置情報を設定するため、上位コントローラでの処理負荷の軽減を図ることができる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、起動時間の短縮を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】第１実施形態に係る搬送システムの構成を示す図である。
【図２】ＭＣＳの構成を示す図である。
【図３】コントローラの構成を示す図である。
【図４】ＭＣＳの動作を示すフローチャートである。
【図５】第２実施形態に係る搬送システムのコントローラの構成を示す図である。
【図６】コントローラの動作を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、添付図面を参照して、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明において同一又は相当要素には同一符号を付し、重複する説明は省略する。
【００１３】
［第１実施形態］
図１は、第１実施形態に係る搬送システムの構成を示す図である。図１に示すように、搬送システム１は、ＭＣＳ３と、ストッカコントローラ５と、ビークルコントローラ７と、コンベアコントローラ９と、を備えている。搬送システム１では、各種製造装置及びストッカ１１などに対してＦＯＵＰの搬送をビークル１３及びコンベア１５で行うと共に、ストッカ１１においてＦＯＵＰの収納或いは保管を行う。
【００１４】
ＭＣＳ３及び各コントローラ５，７，９は、例えば、ＣＰＵ（CentralProcessing Unit）、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）、ハードディスクなどで構成される。ＭＣＳ３と各コントローラ５，７，９とは、無線又は有線により、互いに通信可能とされている。ＭＣＳ３は、各コントローラ５，７，９の上位コントローラであり、ストッカコントローラ５、ビークルコントローラ７及びコンベアコントローラ９は、ＭＣＳ３の下位コントローラである。
【００１５】
ＭＣＳ（Material Control System）３は、半導体製造スケジュールに基づいてＦＯＵＰの搬送スケジュールを作成し、この搬送スケジュールに基づいて、ストッカコントローラ５、ビークルコントローラ７及びコンベアコントローラ９に指示を行う搬送指示装置である。ＭＣＳ３は、ストッカコントローラ５、ビークルコントローラ７及びコンベアコントローラ９などの工程間搬送設備と図示しないＭＥＳ（Manufacturing Execution System）との間に設けられ、ＭＥＳからの各種指示をストッカコントローラ５、ビークルコントローラ７及びコンベアコントローラ９に適時伝達し、このストッカコントローラ５、ビークルコントローラ７及びコンベアコントローラ９からの報告をまとめてＭＥＳに伝達する機能を有するシステムである。
【００１６】
ストッカコントローラ５は、ストッカ１１を制御する保管制御装置である。ストッカ１１は、ＦＯＵＰを保管する保管装置であり、ＦＯＵＰを収納する複数の棚と、ＦＯＵＰの入出庫を行うポートと、棚とポートとの間においてＦＯＵＰを移載する移載装置（いずれも図示しない）とから構成されている。ストッカコントローラ５は、ＭＣＳ３の指示によりストッカ１１を制御し、コンベア１５との間でポートを介してＦＯＵＰの移載（入出庫）を行うと共に、ストッカ１１内部におけるＦＯＵＰの搬送の制御を行う。
【００１７】
ビークルコントローラ７は、ビークル１３を制御する制御装置である。ビークル１３は、ＦＯＵＰを搬送する搬送台車（例えば、天井搬送車など）である。ビークルコントローラ７は、ＭＣＳ３の指示によりビークル１３を制御し、ストッカ１１と半導体製造装置（図示しない）との間でＦＯＵＰの搬送の制御を行う。
【００１８】
コンベアコントローラ９は、コンベア１５を制御する制御装置である。コンベア１５は、ＦＯＵＰを搬送する搬送装置である。コンベアコントローラ９は、ＭＣＳ３の指示によりコンベア１５を制御し、ストッカ１１と半導体製造装置との間でＦＯＵＰの搬送の制御を行う。
【００１９】
続いて、ＭＣＳ３について詳細に説明する。図２は、ＭＣＳの構成を示す図である。図２に示すように、ＭＣＳ３は、停止時刻記憶部（時刻記憶部）３０と、通信確立部３２と、時刻同期部３４と、指令送信部３６と、情報更新部３８と、を備えている。
【００２０】
停止時刻記憶部３０は、ＭＣＳ３が停止した時刻（各コントローラ６，７，９との通信が途絶した時刻）及び、ＭＣＳ３が起動した時刻を記憶する。ＭＣＳ３は、例えばソフトウェアの更新の際など、再起動が必要なときに停止する。停止時刻記憶部３０は、ＭＣＳ３が停止する直前の時刻、及び、ＭＣＳ３が起動した時刻を時刻情報として記憶する。
【００２１】
通信確立部３２は、各コントローラ５，７，９との通信を確立する。通信確立部３２は、ＭＣＳ３が停止状態から起動すると、各コントローラ５，７，９との通信を開始し、通信を確立する。通信確立部３２と各コントローラ５，７，９との通信は、例えばＳＥＭＩ規格に準ずるものである。通信確立部３２は、ＭＣＳ３と各コントローラ５，７，９との通信が確立すると、通信が確立した旨を示す信号を時刻同期部３４に出力する。
【００２２】
時刻同期部３４は、ＭＣＳ３と各コントローラ５，７，９との時刻の同期を行う。時刻同期部３４は、通信確立部３２により各コントローラ５，７，９との通信が確立されると、ＭＣＳ３と各コントローラ５，７，９との時刻の同期を取る。時刻同期部３４は、ＭＣＳ３と各コントローラ５，７，９との時刻の同期が取れるまで処理を実行する。時刻同期部３４は、ＭＣＳ３と各コントローラ５，７，９との時刻の同期が取れると、その旨を示す情報を指令送信部３６に出力する。
【００２３】
指令送信部３６は、各コントローラ５，７，９に情報の出力を要求する指令を送信する。指令送信部３６は、時刻同期部３４においてＭＣＳ３と各コントローラ５，７，９との時刻の同期が取れると、データフォーマットを作成する。データフォーマットは、各コントローラ５，７，９に位置情報の送信を要求するものであり、データフォーマットには、短縮判断コードと、指定範囲（指定時刻）とが含まれている。データフォーマットは、例えばＳＥＭＩ規格に準じている。短縮判断コードは、各コントローラ５，７，９に記憶されている位置情報のうち、一部の位置情報（ＭＣＳ３が停止していたときに取得された位置情報）のみを各コントローラ５，７，９に要求するためのコードである。指定範囲は、停止時刻記憶部３０に記憶されている時刻情報に基づいて設定される。指令送信部３６は、データフォーマットを各コントローラ５，７，９に送信する。
【００２４】
情報更新部３８は、ＭＣＳ３のデータベースに保持されている情報と、各コントローラ５，７，９の情報との整合を取り、ＭＣＳ３が保持している情報を更新する。情報更新部３８は、指令送信部３６から送信されたデータフォーマット（要求）に応じて各コントローラ５，７，９から情報が取得できた否かを判断する。情報更新部３８は、各コントローラ５，７，９から情報が取得できたと判断した場合、各コントローラ５，７，９から受信した位置情報と保持している位置情報との整合性を検証し、情報を更新する。
【００２５】
続いて、各コントローラ５，７，９について詳細に説明する。図３は、コントローラの構成を示す図である。図３に示すように、各コントローラ５，７，９のそれぞれは、位置情報記憶部４０と、情報抽出部（抽出部）４２と、情報送信部４４と、を備えている。なお、各コントローラ５，７，９は、各制御対象に応じた機能をそれぞれ有している。
【００２６】
位置情報記憶部４０は、被搬送物であるＦＯＵＰの位置を記憶する。位置情報記憶部４０は、ＭＣＳ３からの搬送指令に基づいて搬送されるＦＯＵＰの位置を位置情報として記憶する。
【００２７】
情報抽出部４２は、位置情報記憶部４０から位置情報を抽出する。情報抽出部４２は、ＭＣＳ３から送信されたデータフォーマットを受け取ると、データフォーマットに含まれる指定範囲に基づいて、位置情報記憶部４０から位置情報を抽出する。すなわち、情報抽出部４２は、位置情報記憶部４０に記憶されている位置情報の中から、指定範囲で示されている時間（ＭＣＳ３が停止してから起動するまでの間）に該当する位置情報を抽出する。情報抽出部４２は、抽出した位置情報を情報送信部４４に出力する。
【００２８】
情報送信部４４は、情報抽出部４２から出力された位置情報を受け取ると、ＭＣＳ３にその位置情報を送信する。
【００２９】
続いて、ＭＣＳ３の動作について説明する。図４は、ＭＣＳの動作を示すフローチャートである。以下の説明では、ＭＣＳ３が停止状態から起動したときの動作について説明する。
【００３０】
図４に示すように、まず各コントローラ５，７，９との通信が確立されているか否かが通信確立部３２により判断される（ステップＳ０１）。各コントローラ５，７，９との通信が確立されていると判断された場合には、ステップＳ０２に進む。一方、各コントローラ５，７，９との通信が確立されていると判断されなかった場合には、各コントローラ５，７，９との通信確立の待機状態に入り（ステップＳ１０）、当該処理が終了される。
【００３１】
ステップＳ０２では、時刻同期部３４によりＭＣＳ３と各コントローラ５，７，９との時刻の同期が開始され、各コントローラ５，７，９と時刻の同期が取れたか否かが時刻同期部３４により判断される。各コントローラ５，７，９と時刻の同期が取れたと判断された場合には、ステップＳ０３に進む。一方、各コントローラ５，７，９と時刻の同期が取れたと判断されなかった場合には、時刻の同期が取れるまで同処理が繰り返えされる。
【００３２】
ステップＳ０３では、短縮機能を使用するか否かが判断される。短縮機能は、各コントローラ５，７，９から、ＭＣＳ３が停止していた間の位置情報のみを取得する機能である。短縮機能を使用するか否かの判断は、例えば、ＭＣＳ３が停止していた時間に応じてなされる。すなわち、ＭＣＳ３の停止時間が所定時間よりも短い場合には、短縮機能を使用すると判断される。所定時間は、適宜設定される。短縮機能を使用すると判断された場合には、ステップＳ０４に進む。一方、短縮機能を使用すると判断されなかった場合には、ステップＳ１１に進む。
【００３３】
ステップＳ０４では、データフォーマットが指令送信部３６で生成される。そして、各コントローラ５，７，９にデータフォーマットが送信される（ステップＳ０５）。
【００３４】
続いて、データフォーマットの送信に応じて、各コントローラ５，７，９から必要な位置情報（データ）が取得されたか否かが情報更新部３８により判断される（ステップＳ０６）。各コントローラ５，７，９から必要な位置情報が取得されたと判断された場合には、取得された位置情報とＭＣＳ３に保持されている位置情報との整合性の検証が情報更新部３８で行われ、情報の更新が行われる（ステップＳ０７）。一方、各コントローラ５，７，９から必要な位置情報が取得されたと判断されなかった場合には、ステップＳ１１に進む。なお、各コントローラ５，７，９から必要な位置情報が取得されたか否かの判断は、例えば、各コントローラ５，７，９から送信されたデータフォーマット、若しくは、データフォーマットを送信してから所定時間以上経過したか否かにより判断される。
【００３５】
ステップＳ０８では、搬送システム１に必要な情報が取得されたか否かが情報更新部３８において判断される。必要な情報が取得されたと判断された場合には、搬送システム１を通常搬送に戻す制御が実行される（ステップＳ０９）。一方、必要な情報が取得されたと判断されなかった場合には、ステップＳ０３の処理に戻る。
【００３６】
ステップＳ１１では、各コントローラ５，７，９に対して、各コントローラ５，７，９が保持する全ての位置情報の出力を要求する指令が送信される。そして、その要求に応じて各コントローラ５，７，９から送信された位置情報とＭＣＳ３に保持されている位置情報との整合性の検証が情報更新部３８で行われ、情報の更新が行われる（ステップＳ１２）。
【００３７】
以上説明したように、本実施形態に係る搬送システム１では、ＭＣＳ３は、停止してから起動するまでの時間を記憶し、その時間を指定して各コントローラ５，７，９に位置情報を要求する。各コントローラ５，７，９は、ＭＣＳ３から指定された時間に該当する位置情報を抽出してＭＣＳ３に送信する。これにより、ＭＣＳ３では、停止した以降の位置情報のみを各コントローラ５，７，９から受信し、その位置情報の整合性を検証して更新する。しがって、搬送システム１では、ＭＣＳ３において位置情報の検証及び更新を行う時間を短縮できるため、起動時間の短縮を図ることができる。
【００３８】
［第２実施形態］
続いて、第２実施形態について説明する。図５は、第２実施形態に係る搬送システムのコントローラの構成を示す図である。図５に示すように、各コントローラ５Ａ，７Ａ，９Ａのそれぞれは、位置情報記憶部５０と、通信確立部５２と、時刻同期部５４と、停止時間記憶部（通信状態検出部）５６と、情報抽出部５８と、情報送信部６０と、を備えている。
【００３９】
位置情報記憶部５０は、被搬送物であるＦＯＵＰの位置を記憶する。位置情報記憶部５０は、ＭＣＳ３からの搬送指令に基づいて搬送されるＦＯＵＰの位置を位置情報として記憶する。
【００４０】
通信確立部５２は、ＭＣＳ３との通信の確立状態を判断する。通信確立部５２は、ＭＣＳ３が停止状態から起動すると、各コントローラ５Ａ，７Ａ，９Ａとの通信が確立されているか否かを判断する。通信確立部３２と各コントローラ５Ａ，７Ａ，９Ａとの通信は、例えばＳＥＭＩ規格に準ずるものである。通信確立部３２は、ＭＣＳ３と各コントローラ５Ａ，７Ａ，９Ａとの通信が確立されていると判断すると、通信が確立した旨を示す信号を時刻同期部３４に出力する。
【００４１】
時刻同期部５４は、コントローラ５Ａ，７Ａ，９ＡとＭＣＳ３との時刻の同期がとれているか否かを判断する。時刻同期部５４は、通信確立部５２によりＭＣＳ３との通信が確立されると、コントローラ５Ａ，７Ａ，９ＡとＭＣＳ３との時刻の同期が取れているか否かを判断する。時刻同期部５４は、コントローラ５Ａ，７Ａ，９ＡとＭＣＳ３との時刻の同期が取れていると判断すると、その旨を示す信号を停止時間記憶部５６に出力する。
【００４２】
停止時間記憶部５６は、ＭＣＳ３との通信の途絶及び再開を検出し、ＭＣＳ３が停止している時間を記憶して保持する。停止時間記憶部５６は、ＭＣＳ３との通信が途絶えると、ＭＣＳ３との通信が途絶えた時刻からＭＣＳ３との通信が再開された時刻、すなわちＭＣＳ３と時刻の同期が取れるまでの時刻を範囲時間として記憶する。
【００４３】
情報抽出部５８は、位置情報記憶部５０から位置情報を抽出する。情報抽出部５８は、ＭＣＳ３から位置情報の要求を受けると、位置情報記憶部５０から停止時間記憶部５６により記憶されている範囲時間に該当する位置情報を抽出する。情報抽出部５８は、抽出した位置情報を情報送信部６０に出力する。
【００４４】
情報送信部６０は、情報抽出部５８から出力された位置情報を受け取ると、ＭＣＳ３にその位置情報を送信する。
【００４５】
続いて、各コントローラ５Ａ，７Ａ，９Ａの動作について説明する。図６は、コントローラの動作を示すフローチャートである。以下の説明では、ＭＣＳ３が停止状態から再起動したときの動作について説明する。
【００４６】
図６に示すように、まずＭＣＳ３との通信が確立されているか否かが通信確立部５２により判断される（ステップＳ２０）。ＭＣＳ３との通信が確立されていると判断された場合には、ステップＳ２１に進む。一方、ＭＣＳ３との通信が確立されていると判断されなかった場合には、ＭＣＳ３との通信確立の待機状態に入り（ステップＳ２８）、処理が終了される。
【００４７】
ステップＳ２１では、ＭＣＳ３と各コントローラ５Ａ，７Ａ，９Ａとの時刻の同期が開始され、ＭＣＳ３と時刻の同期が取れているか否かが時刻同期部５４により判断される。ＭＣＳ３と時刻の同期が取れていると判断された場合には、ＭＣＳ３が停止した時刻から再起動して時刻の同期が取れた時刻までの時間が範囲時間として停止時間記憶部５６により保持される（ステップＳ２２）。一方、ＭＣＳ３と時刻の同期が取れていると判断されなかった場合には、時刻の同期が取れるまで同処理が繰り返される。
【００４８】
続いて、ＭＣＳ３から搬送システム１の通常運転が開始されたことを示す情報を受信したか否かが判断される（ステップＳ２３）。通常運転が開始されたことを示す情報を受信したと判断された場合には、各コントローラ５Ａ，７Ａ，９Ａが通常搬送の状態に戻される（ステップＳ２９）。一方、通常運転が開始されたことを示す情報を受信したと判断されなかった場合には、ステップＳ２４に進む。
【００４９】
ステップＳ２４では、ＭＣＳ３から位置情報の要求を受信したか否かが判断される。位置情報の要求を受信したと判断された場合には、ステップＳ２５に進む。一方、位置情報の要求を受信したと判断されなかった場合には、ステップＳ２２の処理に戻る。
【００５０】
ステップＳ２５では、ＭＣＳ３が停止していた時間が保障時間内であるか否かが判断される。保障時間は、適宜設定されるものであり、例えば数十分以上に設定されている。ＭＣＳ３が停止していた時間が保障時間内であると判断された場合には、ステップＳ２６に進む。一方、ＭＣＳ３が停止していた時間が保障時間内であると判断されなかった場合には、ステップＳ３０に進む。
【００５１】
ステップＳ２６では、ＭＣＳ３から送信された要求に応じて位置情報記憶部５０に保持されている位置情報が全て抽出され、その位置情報がＭＣＳ３に送信される（ステップＳ２７）。
【００５２】
ステップＳ３０では、位置情報記憶部５０から停止時間記憶部５６により記憶されている上記範囲時間に該当する位置情報が情報抽出部５８により抽出される。そして、抽出された位置情報が情報送信部６０によりＭＣＳ３に送信される（ステップＳ３１）。
【００５３】
以上説明したように、本実施形態に係る搬送システムでは、コントローラ５Ａ，７Ａ，９Ａは、ＭＣＳ３との通信が途絶えてから通信が開始されるまでの時間、すなわちＭＣＳ３が停止してから起動するまでの時間を記憶し、その時間に該当する位置情報を抽出してＭＣＳ３に送信している。ＭＣＳ３では、停止した以降の位置情報のみを各コントローラ５，７，９から受信し、その位置情報の整合性を検証して更新する。しがって、搬送システムでは、ＭＣＳ３において位置情報の検証及び更新を行う時間を短縮できるため、起動時間の短縮を図ることができる。
【００５４】
本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において、適宜変更可能である。
【符号の説明】
【００５５】
１…搬送システム、３…ＭＣＳ（上位コントローラ）、５，５Ａ…ストッカコントローラ（下位コントローラ）、７，７Ａ…ビークルコントローラ（下位コントローラ）、９，９Ａ…コンベアコントローラ（下位コントローラ）、３０…停止時刻記憶部（時刻記憶部）、４０，５０…位置情報記憶部、４２，５８…情報抽出部（抽出部）、５６…停止時間記憶部（通信状態検出部）。
【図１】
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【図２】
2014221685.tif 000004
【図３】
2014221685.tif 000005
【図４】
2014221685.tif 000006
【図５】
2014221685.tif 000007
【図６】
2014221685.tif 000008