(57)【要約】      （修正有）【課題】コンプライアンスプレートを抹消した液体噴射ヘッド、及び液体噴射装置を提供する。【解決手段】液体流路に流れる液体を噴射する液体噴射ヘッド１であって、前記液体流路に圧力変化を生じさせる複数の圧力室２１と、前記複数の圧力室に繋がる共通液室２４と、が同一方向で開口した流路形成部材２０と、前記圧力室の開口部と前記共通液室の開口部とを覆う振動板１０と、前記振動板の前記共通液室の開口部を覆う領域に形成された金属膜３１と、を有する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体流路に流れる液体を噴射する液体噴射ヘッドであって、  
前記液体流路に圧力変化を生じさせる複数の圧力室と、前記複数の圧力室に繋がる共通液室と、を有する流路形成部材と、
前記圧力室の開口部と前記共通液室の開口部とを覆う振動板と、
前記振動板の前記共通液室の開口部を覆う領域に形成された金属膜と、を有する液体噴射ヘッド。
【請求項２】
前記振動板には、前記圧力室に圧力変動を与える圧力発生素子が固定されており、
前記金属膜は、複数の前記圧力室に共通して対応する前記圧力発生素子の共通電極である、請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
前記金属膜の厚みは前記振動板の厚みに比べて薄い、請求項１又は請求項２のいずれかに記載の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
前記振動板の、前記共通液室の開口部を覆う領域には、前記液体を前記共通液室に供給する導入口が存在し、  前記流路形成部材には、前記共通液室の内部から出る座部が形成されており、
前記振動板に形成された前記導入口の周縁部は、前記座部に固定され、
前記金属膜は、前記導入口からはなれている、請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項５】
一体の前記流路形成部材の前記振動板が固定される側と反対の側は、ノズル孔が形成されたノズルプレートが固定されている、請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項６】
前記請求項１に記載の液体噴射ヘッドを有する液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体を噴射する液体噴射ヘッド、及び液体噴射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、液体流路の圧力変化に応じて液体を噴射する液体噴射ヘッドが知られている。液体噴射ヘッドは、液体流路の一部となる圧力室と、この圧力室を封止する振動板と、を有する。このような液体噴射ヘッドは、振動板の振動により、圧力室に圧力変化を生じさせる（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
また、液体の流動は液体流路の圧力変化により生じるため、液体流路の意図しない圧力変化を抑える必要がある。そのため、液体流路の圧力変化を抑えることを目的として、液体噴射ヘッドの内部にコンプライアンスプレートを別部材で設けたものが知られている。コンプライアンスプレートは、例えば、液体流路に面する薄膜により構成される。そして、液体流路の内圧が環境変化等により変化すると、この薄膜が変位して、液体流路内部の圧力を一定に保つ。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許公報  特許第３３７９１０６号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
コンプライアンスプレートを別部材で構成すると、液体噴射ヘッドの製造工程が複雑化する場合や、コスト高となる場合があった。
【０００６】
本発明は、上記課題にかんがみてなされたもので、液体流路の意図しない圧力変化を抑えつつ、別部材のコンプライアンスプレートを抹消した液体噴射ヘッド、及び液体噴射装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明では、液体流路に流れる液体を噴射する液体噴射ヘッドであって、前記液体流路に圧力変化を生じさせる複数の圧力室と、前記複数の圧力室に繋がる共通液室と、を有する流路形成部材と、前記圧力室の開口部と前記共通液室の開口部とを覆う振動板と、前記振動板の前記共通液室の開口部を覆う領域に形成された金属膜と、を有する構成としてある。
【０００８】
上記のように構成された発明では、流路形成部材の圧力室の開口部と共通液室の開口部とは振動板により覆われている。そして、振動板の共通液室を覆う領域には、金属膜が形成されている。
ここで、金属膜としては、例えば、金（Ａｕ）、白金（Ｐｔ）、ステンレス鋼（ＳＵＳ：Steel Use Stainless）等を用いることができる。
そのため、共通液室に圧力変化が生じた場合にこの共通液室を覆う振動板及び金属膜を変位させることで該共通液室の圧力変化を吸収することができる。また、共通液室を覆う振動板の領域には金属膜が成膜されているため、金属膜により振動板を補強することができる。更に、共通液室から液体等が蒸発するのを抑制することができる。
【０００９】
また、前記振動板には、前記圧力室に圧力変動を与える圧力発生素子が固定されており、前記金属膜は、複数の前記圧力室に共通して対応する前記圧力発生素子の共通電極である、構成としてもよい。
共通電極を振動板の共通液室の開口部を覆う金属膜として流用することで、共通電極のサイズを大きくすることができ、共通電極の内部抵抗を低減させることができる。その結果、圧電素子のクロストークや波形鈍りを抑制することができる。
【００１０】
そして、前記金属膜の厚みは前記振動板の厚みに比べて薄い、構成としてもよい。
上記のように構成された発明では、振動板の振動を阻害することなく本発明の効果を奏することができる。
【００１１】
さらに、前記振動板の、前記共通液室の開口部を覆う領域には、前記液体を前記共通液室に供給する導入口が存在する構成としてもよい。
上記のように構成された発明では、振動板に、直接、導入口を形成することで、液体噴射ヘッドの上方に液体の導入路を配置でき、液体噴射ヘッドの配置サイズをコンパクトにすることができる。
【００１２】
また、前記流路形成部材には、前記共通液室の内部から出る座部が形成されており、前記振動板に形成された前記導入路の周縁部は、前記座部に固定されている、構成としてもよい。
振動板に導入口を形成すると、その周縁部の強度が弱くなる場合がある。そのため、上記のように構成された発明では、導入口の周縁部を共通液室の内部に設けられた座部で固定することで導入口の強度を補強することができる。
【００１３】
そして、一体の前記流路形成部材の前記振動板が固定される側と反対の側は、ノズル孔が形成されたノズルプレートが固定されている構成としてもよい。
上記のように構成された発明では、流路形成部材の密封性を高めることができる。
【００１４】
さらに、このような液体噴射ヘッドを有する液体噴射装置に対しても本発明を適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】液体噴射ヘッドの構成を説明する断面図である。
【図２】液体噴射ヘッドの構成を説明する斜視展開図である。
【図３】圧力室とリザーバー室との位置関係を説明する図である。
【図４】圧力室とリザーバー室との位置関係を説明する図である。
【図５】圧力室と圧電素子との関係を説明する図である。
【図６】インクジェットプリンターの一例を示す概略図である。
【図７】第２の実施形態に係る液体噴射ヘッドの構成を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、下記の順序に従って本発明の実施形態を説明する。
１．第１の実施形態：
２．第２の実施形態：
３．その他の実施形態：
【００１７】
１．第１の実施形態：
以下、図を参照して、この発明に係る液体吐出ヘッドを具体化した第１の実施の形態について説明する。図１は、液体噴射ヘッドの構成を説明する断面図である。また、図２は、液体噴射ヘッドの構成を説明する斜視展開図である。ここで、図１は、図２のＡ−Ａ’線での断面図である。また、図３、図４は、圧力室と共通液室との位置関係を説明する図である。そして、図５は、圧力室と圧電素子との関係を説明する図である。
【００１８】
液体噴射ヘッド１は、印刷装置等の液体噴射装置の一部として用いられる。図１−図５に示すように、液体噴射ヘッド１は、流路ユニット４０と、ヘッド部材５０と、ノズルプレート６０と、を備えている。また、液体噴射ヘッド１は、上記した流路ユニット４０、ノズルプレート６０と、が積層状に組み合わさることで、内部に液体流路７０が構成されている。
【００１９】
流路ユニット４０は、振動板１０と、流路形成基板（流路形成部材）２０と、圧電素子３０と、を備えている。なお、本実施形態では、流路ユニット４０には圧電素子３０が含まれるものとして説明を行うが、圧電素子３０を含まないものであってもよい。
【００２０】
流路形成基板２０には、複数の圧力室２１と、共通液室２４と、が形成されている。圧力室２１は、液体流路７０において圧力変化を生じさせる部位である。また、共通液室２４は、例えば、同じ種類の液体が流れる圧力室２１毎に共通の流路となる空間である。本実施形態では、流路形成基板２０は薄板体の第１基板２６と第２基板２７とを積層して構成されるが、流路形成基板２０の構成は、これに限定されない。
【００２１】
第１基板２６には、複数の圧力室２１が第２方向Ｄ２に併設するよう形成されている。各圧力室２１は、内幅が狭くなる狭窄部２２を介して供給口２３と繋がっている。そして、この供給口２３は、第２基板２７に形成された共通液室２４と連通している（図１）。さらに、圧力室２１の狭窄部２２とは反対側は、第２基板２７に形成された連通口２５と連通している。なお、連通口２５は、後述するようにノズルプレート６０のノズル孔６１と連通する。
【００２２】
共通液室２４は第１基板２６と第２基板２７のそれぞれ形成された空間を組み合わせることで構成される。図３に示すように、共通液室２４と圧力室２１とは、第１基板２６の同一面における上面２６ａ側でそれぞれ開口している。ここで、共通液室２４の開口部２４ａの大きさは、圧力室２１の開口部２１ａの大きさに比べて大きい。図３では、共通液室２４の開口部２４ａは、第１基板２６において、第２方向Ｄ２の両端に位置する圧力室２１で規定される幅と略同一の幅Ｗを有する。そして、第２基板２７の共通液室２４は第１基板２６に形成された供給口２３と連通している。
【００２３】
第１基板２６の第１方向Ｄ１における圧力室２１の位置と反対側の端部には、共通液室２４の内側に突出する座部２８が設けられている。この座部２８には、第３方向Ｄ３で貫通する第１導入口２９が形成されている。そして、液体は第１導入口２９から共通液室２４に流入する。そして、液体は共通液室２４から分岐して複数の供給口２３に流入する。その後、液体は供給口２３から狭窄部２２を介して圧力室２１に流入して、さらに連通口２５を通過し、ノズル孔６１から吐出される。
【００２４】
ここで、流路形成基板２０の材料としては、部分安定化ジルコニア（Ｚｒ）や安定化ジルコニアを用いることができる。それ以外にも、流路形成基板２０の材質としては、金属等を用いてもよい。
【００２５】
また、流路形成基板２０の第１基板２６の上面２６ａには、振動板１０が積み重ねられている。図１、図４に示すように、振動板１０は、流路形成基板２０の圧力室２１の開口部２１ａと共通液室２４の開口部２４ａを覆うよう、流路形成基板２０に固定されている。そのため、振動板１０の端部は、流路形成基板２０における共通液室２４側の端部まで延設されている。
【００２６】
ここで、振動板１０の共通液室２４を覆う側の領域をリザーバー側領域１１と記載し、振動板１０の圧力室２１を覆う側の領域を能動部側領域１２とも記載する。図４では、第２方向Ｄ２に伸びる一点鎖線Ｂ−Ｂ’を基準に、共通液室２４が位置する側（図中左側）の振動板１０の領域をリザーバー側領域１１としている。一方、一点鎖線Ｂ−Ｂ’を基準に、圧力室２１が位置する側（図中右側）の振動板１０の領域を能動部側領域１２としている。
【００２７】
振動板１０のリザーバー側領域１１における座部２８を覆う位置には、円状の開口からなる第２導入口１３が形成されている。この第２導入口１３は、流路形成基板２０の第１導入口２９と連通している。振動板１０に、直接、第２導入口１３を形成することで、振動板１０の上方に液体の導入路を配置でき、液体噴射ヘッド１の第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２で展開される面積をコンパクトにすることができる。
また、振動板１０の第２導入口１３の周縁部は、座部２８に固定されている。振動板に第２導入口１３を形成すると、その周縁部の強度が弱くなる。そのため、第２導入口１３の周縁部を共通液室の内部に設けられた座部２８に固定することで導入路の強度を補強することができる。
【００２８】
振動板１０は、例えば、薄板体により構成される。その材料としては、部分安定化ジルコニアや安定化ジルコニア、酸化ケイ素（ＳｉＯ２）を用いることができる。また、振動板１０の第３方向Ｄ３での厚みは、例えば、２．２マイクロメートル（μｍ）から６．０マイクロメートル（μｍ）とすることができる。
【００２９】
また、振動板１０の流路形成基板２０に固定されない側には、圧電素子３０が形成されている。圧電素子３０は、下電極３１と、上電極３３と、下電極３１と上電極３３との間に位置する圧電体３２とを備える。第１の実施形態では、上電極３３は、圧電体３２毎に設けられた個別電極として機能する。一方、下電極３１は、各圧電体３２の共通電極として機能する。そのため、下電極３１は、圧力室２１毎に枝分かれした枝部３１１と、各枝部３１１が連続する基部３１２とを有する（図５）。
【００３０】
図５に示すように、枝部３１１は、振動板１０の能動部側領域１２において各圧力室２１の上方にそれぞれ配置されている。一方、基部３１２は、振動板１０のリザーバー側領域１１を覆うよう形成されている。即ち、振動板１０の共通液室２４の上方に位置する領域は、下電極３１の基部３１２により覆われている。また、基部３１２の振動板１０の第２導入口１３に対向する位置には、第２導入口１３と比べて径が大きいクリアランス開口３５が形成されている。そのため、このクリアランス開口３５の内側に振動板１０の第２導入口１３の周縁部が位置している。
【００３１】
下電極３１や上電極３３は、金（Ａｕ）、白金（Ｐｔ）等の導電物質により構成される。そして、下電極３１の厚みは、０．３マイクロメートル（μｍ）から２マイクロメートル（μｍ）とすることができる。下電極３１の厚みを少なくとも振動板１０の厚みと比べて薄くすることで、振動板１０の振動等を阻害することなく、共通液室２４の圧力変化を吸収することができる。また、圧電体３２は例えばチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）といった誘電体により構成される。
【００３２】
この実施形態では、圧電素子３０は、圧力室２１の位置に応じて、当該圧力室と同数の圧電素子３０が配置されている。しかし、圧電素子３０の数と圧力室２１の数との関係、及び圧電素子３０が配置される位置はこれに限定されない。例えば、複数の圧力室２１毎に１つの圧電素子３０が配置される構成でもよい。また、この実施形態で開示する圧電素子３０の構成も一例に過ぎない。
【００３３】
また、振動板１０の流路形成基板２０に固定されない側には、ヘッド部材５０が固定されている。ヘッド部材５０は、例えば、箱状であって、図示しない回路基板等やケーブルが位置決めされるスリット５１と、ヘッド部材５０の振動板１０に固定される側に開口する凹部５２と、を有する。スリット５１に挿入される回路基板等は、圧電素子３０の上電極３３又は下電極３１と電気的に接続されている。また、凹部５２には、後述する液体貯留部から供給される液体が流れる第３導入口５３を備える。
【００３４】
第３導入口５３の下側口部の外径は、下電極３１のクリアランス開口３５の径と比べて小さく、振動板１０の第２導入口１３の内径と同寸か少し大きくなっている。そのため、第３導入口５３の下側口部は、クリアランス開口３５から露出する振動板１０の第２導入口１３の周縁部で接着されている。ヘッド部材５０を振動板１０に接着することで、ケースヘッドを下電極３１に接着する場合に比べて、ヘッド部材５０の剥がれを防止することができる。
【００３５】
さらに、流路形成基板２０の第２基板２７側には、ノズルプレート６０が固定されている。そのため、ノズルプレート６０は、流路形成基板２０の下側を封止している。ノズルプレート６０は、薄板体であり、ノズル孔６１が第２方向Ｄ２に沿って所定間隔で複数形成されている。また、各ノズル孔６１は、流路形成基板２０の連通口２５とそれぞれ連通するよう形成されている。
ノズルプレート６０は、例えば、部分安定化ジルコニアや安定化ジルコニアを用いたセラミックスや、金属により構成される。
【００３６】
また、ノズルプレート６０は、複数のノズル孔６１が第２方向Ｄ２に沿って形成された複数のノズル列を第１方向Ｄ１に並設し、一方のノズル列と他方のノズル列とを第２方向Ｄ２においてずらして配置する（いわゆる千鳥配置とする）構成を採用してもよい。
【００３７】
上記構成の液体噴射ヘッド１では、各基板が積層状に積み重ねられることで、圧力室２１は連通口２５を通じてノズル孔６１と連通する。また、圧力室２１は、供給口２３を通じて共通液室２４に連通する。そのため、共通液室２４からノズル孔６１までの流路により液体流路７０が構成される。また、ヘッド部材５０の第３導入口５３は、振動板１０の第２導入口１３及び流路形成基板２０の第１導入口２９を介して、共通液室２４に連通する導入路７１を形成している。その結果、導入路７１は、液体流路７０と連通する。
【００３８】
そのため、導入路７１を通じて供給された液体は液体流路７０に充填される。この状態で、図示しない回路基板から駆動電圧が下電極３１と上電極３３との間に印加されると、圧電素子３０を変位させる。圧電素子３０の変位は、振動板１０を振動させて、圧力室２１に圧力変化を生じさせる。そして、圧力室２１内の圧力変化は、連通口２５に充填された液体をノズル孔６１から外部に吐出させる。
【００３９】
また、圧力室２１内の圧力変化は、供給口２３から共通液室２４の方へも伝わることになる。この共通液室２４の圧力変化は意図しない圧力変化であって、共通液室２４から液体をノズル孔６１から外部に吐出させたくない圧力室２１に伝わった場合には、そのノズル孔６１から液体が外部に吐出されてしまうおそれがある。しかし、液体噴射ヘッド１では、振動板１０のリザーバー側領域１１が共通液室２４を覆っているため、共通液室２４に圧力変化が生じた場合でも、リザーバー側領域１１が下電極３１と共に変位し、この圧力変化を吸収する。
【００４０】
また、液体噴射ヘッド１は、液体としてインクを用いた場合には、液体貯留部であるインクカートリッジ等と連通するインク供給経路を具備するインクジェット式記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェットプリンター２００に搭載される。インクジェットプリンター２００は液体噴射装置の一例である。
【００４１】
図６は、インクジェットプリンター２００の一例を示す概略図である。図６において、符号１は、液体噴射ヘッド１をそのノズル孔面を外部に露出させつつ収めた筺体（ヘッドカバー）の一部を示している。インクジェットプリンター２００において、複数の液体噴射ヘッド１を有するインクジェット式記録ヘッドユニット（以下、ヘッドユニット２０２）には、例えば、インクカートリッジ２０２Ａ，２０２Ｂ等が着脱可能に設けられる。ヘッドユニット２０２を搭載したキャリッジ２０３は、装置本体２０４に取り付けられたキャリッジ軸２０５に軸方向移動自在に設けられている。そして、駆動モーター２０６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト２０７を介してキャリッジ２０３に伝達されることで、キャリッジ２０３はキャリッジ軸２０５に沿って移動する。
【００４２】
装置本体２０４にはキャリッジ軸２０５に沿ってプラテン２０８が設けられており、図示しないローラー等により供給された印刷媒体Ｓがプラテン２０８上を搬送される。そして、搬送される印刷媒体Ｓに対して、液体噴射ヘッド１のノズル孔６１からインクが噴射され任意の画像が印刷媒体Ｓに印刷される。なお、インクジェットプリンター２００は、ヘッドユニット２０２が上記のように移動するものだけでなく、例えば、液体噴射ヘッド１が固定されて、印刷媒体Ｓを移動させるだけで印刷を行ういわゆるラインヘッド型のプリンターであってもよい。
【００４３】
次に、このような液体噴射ヘッドの製造方法を説明する。
【００４４】
まず、振動板１０、第１基板２６、第２基板２７のそれぞれに対応する焼成前のセラミックスシートを用意する。そして、第１基板２６及び第２基板２７の元となるセラミックスシートに対して、打ち抜き加工を施し、圧力室２１、共通液室２４、連通口２５、更には供給口２３に相当する貫通孔を形成する。同様に、振動板１０の元となるセラミックシートに対して第２導入口１３を形成する。そして、振動板１０、第１基板２６、第２基板２７のそれぞれに対応するセラミックスシートを積層し、一体焼成する。
【００４５】
次に、振動板１０の上側に下電極３１を形成する。下電極３１は、例えば、スパッタ法等により振動板１０の上面に下電極３１の元となる金属溶液を塗布する。このとき、振動板１０を構成するセラミックスの粒塊の間に金属分子が浸透する。そして、金属溶液を焼成し、金属膜を形成する。そして、金属膜をパターニングして共通電極としての下電極を形成する。上記のように金属分子が振動板１０のセラミックスの粒塊の間に浸透した状態で焼成することで、振動板１０と下電極３１との結合を強くすることができる。
【００４６】
次に、下電極３１の上に圧電体３２を形成する。例えば、圧電体３２は、スピンコート法等により前駆体を下電極３１に塗布した後、焼成する。そして、焼成後の層をパターニングして圧力室２１毎の圧電体３２を形成する。そして、この圧電体３２の上部に上電極３３を形成する。
【００４７】
次に、流路形成基板２０にノズルプレート６０を接着する。ノズルプレート６０は、例えば、接着剤を用いて流路形成基板２０に接着される。接着剤としては、エポキシ系の接着剤を用いることができる。ここで、ノズルプレート６０は、材料となるセラミックスシートをもとに、焼成することで形成することができる。
【００４８】
最後に、振動板１０にヘッド部材５０を接着する。ヘッド部材５０は、例えば、接着剤を用いて振動板１０に接着される。
以上の工程により、第１の実施形態に係る液体噴射ヘッド１が製造される。
【００４９】
以上説明したように、この第１の実施形態では、圧力室２１と共通液室２４とは、第１の方向に開口しており、振動板１０によりこの開口部が覆われている。そして、振動板１０のリザーバー室を覆う領域には、金属膜で覆われている。そのため、共通液室２４の圧力変化を振動板１０及び金属膜（下電極３１）を変位させることで吸収することができる。また、リザーバー室を覆う振動板１０の領域を金属膜（下電極３１）で補強しているため、振動板１０にクラック等が生じること抑制することができる。
【００５０】
また、共通液室２４をセラミックスの振動板１０で覆う場合、粒塊の間からインクの溶液が蒸発する可能性がある。しかし、本発明は、共通液室２４を覆う振動板１０の領域を金属膜（下電極３１）で覆っているため、金属膜により水分蒸発を抑制することができる。
【００５１】
さらに、下電極３１を従来のものに比べて大きくすることができるため、下電極３１の内部抵抗を下げることができる。その結果、圧電素子３０間でのクロストークや駆動信号の鈍りにより生じる圧電素子３０の応答性の劣化を抑制し、液体噴射ヘッド１を適切に駆動させることができる。
【００５２】
２．第２の実施形態：
図７は、第２の実施形態に係る液体噴射ヘッド２の構成を説明する図である。第２の実施形態に係る液体噴射ヘッド２では、振動板１０の共通液室２４と面するが金属膜８０で覆われている。
【００５３】
液体噴射ヘッド２は、第１の実施形態同様、流路ユニット４０と、ヘッド部材５０と、ノズルプレート６０と、を備えている。また、流路ユニット４０は、振動板１０と、流路形成基板２０と、圧電素子３０と、を備えている。
【００５４】
第２の実施形態においても、圧力室２１と共通液室２４とは、流路形成基板２０を構成する第１基板２６の同一方向で開口している。そして、振動板１０は、圧力室２１の開口部２１ａと共通液室２４の開口部２４ａとを覆うよう、流路形成基板２０に重ね合わされている。
【００５５】
振動板１０のリザーバー側領域１１は、金属膜８０が成膜されている。この第２の実施形態では、リザーバー側領域１１の共通液室２４と面する側（下面１４側）に金属膜８０が成膜されている。金属膜８０は、金（Ａｕ）、白金（Ｐｔ）、ステンレス鋼（ＳＵＳ：Steel Use Stainless)を採用することができる。また、金属膜８０の厚みは、１マイクロメートル（μｍ）から２マイクロメートル（μｍ）とすることができる。
なお、金属膜８０以外の各部の材質は、第１の実施形態と同様のものを採用するこができる。
【００５６】
振動板１０のリザーバー側領域１１に金属膜８０を成膜する手法としては、以下の方法を採用することができる。まず、第１の実施形態と同様の手法により、振動板１０と流路形成基板２０とを生成する。次に、振動板１０のリザーバー側領域１１の下面側にスパッタ法等により金属膜の溶液を塗布する。そして、この溶液を加熱することで金属膜をリザーバー側領域１１の下面に成膜する。
【００５７】
以上説明したように、この第２の実施形態では、第１の実施形態の液体噴射ヘッドが奏する効果と同等の効果を奏することができる。また、下電極３１をリザーバー側領域１１まで延設できない場合でも、本発明の効果を奏することができるため、設計の自由度を高めることができる。
【００５８】
３．その他の実施形態：
本発明は様々な実施形態が存在する。
第１の実施形態において、振動板１０のリザーバー側領域１１を覆う金属膜を上電極としてもよい。即ち、圧電素子は、上電極が圧電体に共通の共通電極となり、下電極が圧電体毎の個別電極となる。そのため、振動板１０のリザーバー側領域１１は、共通液室２４側に延設した上電極により覆われている。
【００５９】
実施形態で示す液体噴射ヘッドの基本的構成は上述したものに限定されるものではない。本発明は、広く液体噴射ヘッドの全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射するものにも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレー、ＦＥＤ（面発光ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。
【００６０】
なお、本発明は上記実施例に限られるものでないことは言うまでもない。
即ち、上記実施例の中で開示した相互に置換可能な部材および構成等を適宜その組み合わせを変更して適用してもよい。
公知技術であって上記実施例の中で開示した部材および構成等と相互に置換可能な部材および構成等を適宜置換し、またその組み合わせを変更して適用してもよい。
公知技術等に基づいて当業者が上記実施例の中で開示した部材および構成等の代用として想定し得る部材および構成等と適宜置換し、またその組み合わせを変更して適用してもよい。
【符号の説明】
【００６１】
１、２…液体噴射ヘッド、２…液体噴射ヘッド、１０…振動板、１１…リザーバー側領域、１２…能動部側領域、１３…第２導入口、２０…流路形成基板、２１…圧力室、２１ａ…開口部、２２…狭窄部、２３…供給口、２４…共通液室、２４ａ…開口部、２５…連通口、２６…第１基板、２７…第２基板、２８…座部、２９…第１導入口、３０…圧電素子、３１…下電極、３２…圧電体、３３…上電極、３５…クリアランス開口、４０…流路ユニット、５０…ヘッド部材、５１…スリット、５２…凹部、５３…第３導入口、６０…ノズルプレート、６１…ノズル孔、７０…液体流路、７１…導入路、８０…金属膜、３１１…枝部、３１２…基部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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