(57)【要約】【課題】被焼成体を直接載置させて焼成しても接触部分での焼成反応が少なく、焼成収縮時の収縮キズの発生が少ない焼成体を形成できると共に、繰り返しの使用に対して良好な平坦性と、耐久性を備え、製品のコストアップを防止する還元性雰囲気焼成用治具を提供する。【解決手段】被焼成体を還元性雰囲気中で焼成するのに被焼成体を載置させるための還元性雰囲気焼成用治具１０であって、モリブデンからなる平板１１と、平板１１の表面に酸化物無添加ジルコニア及びアルミナの混合物をプラズマ溶射してなるコート層１２を有する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被焼成体を還元性雰囲気中で焼成するのに前記被焼成体を載置させるための還元性雰囲気焼成用治具であって、
モリブデンからなる平板と、該平板の少なくとも一方の主面に酸化物無添加ジルコニア及びアルミナの混合物をプラズマ溶射してなるコート層を有することを特徴とする還元性雰囲気焼成用治具。
【請求項２】
請求項１記載の還元性雰囲気焼成用治具において、前記混合物は、前記酸化物無添加ジルコニアを１０〜５０ｗｔ％と、０．５ｗｔ％以下の不純物を含有する前記アルミナを９０〜５０ｗｔ％と、からなり、前記混合物を前記モリブデンからなる平板の表面に前記プラズマ溶射してなる前記コート層の表面粗さは、ＪＩＳ  Ｂ  ０６０１でのＲｍａｘで２５〜６５μｍからなることを特徴とする還元性雰囲気焼成用治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体素子や、水晶振動子等の電子部品素子を収納するためのセラミックパッケージを作製するために、複数枚のセラミックグリーンシートに高融点金属からなる導体配線印刷パターンを設け、複数枚を積層してなる積層体である被焼成体を載置させ、還元性雰囲気中でセラミックグリーンシートと、高融点金属を同時焼成して焼成体を形成するのに用いられる還元性雰囲気焼成用治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、半導体素子、水晶振動子等の電子部品素子を搭載させ収納するためのセラミックパッケージは、これを搭載させた装置、例えば、携帯電話や、パソコン、あるいは監視用ビデオカメラ等の装置の小型化、高信頼性化等の要求に伴い、ますます小型化、高信頼性化等への対応が迫られている。これに対応するため、セラミックパッケージの作製には、従来からアルミナ（Ａｌ２Ｏ３）等を用いた複数枚のシート状のセラミックグリーンシートが用いられている。これらのセラミックグリーンシートには、上、下間に電気的な導通状態を形成するためのスルーホールや、ビア用の孔や、電子部品素子を囲繞して収納させるキャビティ部用の孔を設けている。更に、これらのセラミックグリーンシートには、タングステン（Ｗ）や、モリブデン（Ｍｏ）等の高融点金属からなる導電性ペーストを用いて、スルーホール用の孔の壁面に塗布したり、ビア用の孔を充填した後、この導電性ペーストと同等の高融点金属からなる導電性ペーストを用いて表面にも所定の導体配線印刷パターンを形成している。そして、これらが形成された複数枚のセラミックグリーンシートは、重ね合わせて温度と、圧力をかけて接合して積層体に形成している。更に、この積層体は、通常、シート内に個片体の焼成前のセラミックパッケージがマトリックス状に複数個配列する集合体として形成されているので、積層体の表面に、押圧溝形成用スリット刃を押し当てて、個片体の外形形状になるように区画する断面視してＶ字形状の押圧溝を縦、横方向に形成している。この後、押圧溝を設けた積層体である被焼成体は、還元性雰囲気中でセラミックグリーンシートと、高融点金属を同時焼成して分割溝を設ける焼成体に形成し、外部側に露出する導体部分にめっき被膜を形成したり、必要に応じて導体部分にシールリングをロー付けしたりした後、分割溝で分割して個片体のセラミックパッケージとしている。
【０００３】
上記の積層体の焼成は、通常、出入り口に空気侵入の遮断装置を設け、内部の水素と窒素からなる還元性雰囲気中の脱脂、焼結の各エリアで温度カーブが設定できるマッフル式トンネル焼成炉中に、焼成用治具に載置させたセラミックグリーンシートの積層体である被焼成体を焼成用治具ごと連続的に通過させることができる還元性雰囲気焼成用治具で行っている。このような還元性雰囲気焼成用治具には、これに被焼成体を直接載置させて接触部分での反応が少なく、焼成収縮時の収縮キズの発生が少ない焼成体を形成できると共に、繰り返しの使用に対しての耐久性を備え、製品のコストアップを防止することが必要となっている。
【０００４】
長寿命であり、且つ、低コストで生産できる従来の電子部品用焼成治具には、セラミック材からなる基材の表面に、アルミナとジルコニア（ＺｒＯ２）との共晶体を含有する溶射被膜を設けるものが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
また、従来のセラミック材の焼成用治具には、無機質材料の治具本体の表面に、酸化物無添加ジルコニア、完全安定化ジルコニア、およびアルミナの粉末混合物をコーティングして焼成して形成されたコーティング層を設けるものが提案されている（例えば、特許文献２参照）。
【０００５】
しかしながら、上記の従来の焼成治具は、基材がセラミック材や、無機質材料からなり、大気中焼成用や、還元性雰囲気焼成用として用いることができるものの、被焼成体が個片体を複数個配列する集合体として形成されることで、基材の外形寸法が大きくなり、折れ曲がりを防止するために厚みの厚いものとなっている。このような焼成治具を上、下間にスペーサを介して積み上げて焼成する場合には、段数が少なく焼成効率が低くなって焼成体のコストアップとなっている。また、上記の従来の焼成治具は、外形寸法が大きく、厚みの厚いセラミック材や、無機質材料からなる基材が焼成による曲がりや、反りを発生させ、この上面に載置させた被焼成体が焼成治具の曲がりや、反りに追随して焼成されることで、焼成体の歩留低下となっている。更には、上記の従来の焼成治具は、セラミック材や、無機質材料からなる基材の一部が欠けて被焼成体の上面に落下して付着する場合があり、焼成体の歩留低下となっている。
【０００６】
そこで、従来の還元性雰囲気焼成用治具には、モリブデン（Ｍｏ）からなる平板が用いられるようになっている。このモリブデンの平板からなる還元性雰囲気焼成用治具は、これにセラミックグリーンシートの積層体である被焼成体を直接載置させて焼成したときの被焼成体が溶着したり、反応したりするのを防止するために、モリブデンの平板の表面にホーニング加工を施して所定の大きさの凸凹形成を行っている。このモリブデンの平板からなる還元性雰囲気焼成用治具は、高融点金属で形成されることで、被焼成体が個片体を複数個配列する集合体として形成されても、大型の外形寸法と厚みの薄い形状を維持して形成することができる。そして、この還元性雰囲気焼成用治具では、アルミナからなるセラミックグリーンシートと、これに形成された高融点金属からなる導体配線印刷パターンを備える大型の被焼成体を載置させ、これを多段に積み上げて、還元性雰囲気中の１５５０℃程度の高温でセラミックグリーンシートと、導体配線印刷パターンを同時焼成して曲がりや、反りの少ない多くの焼成体を形成することができる。また、このモリブデンの平板からなる還元性雰囲気焼成用治具は、還元性雰囲気中によって、高温での酸化を防止して使用することができる。
【０００７】
従来の還元性雰囲気焼成用治具には、グリーン・セラミック回路基板焼成用の支持プレートという発明の名称のもとに、平板状の積層グリーン・セラミック回路基板を焼結する際該回路基板を支持するための支持プレートであって、モリブデン、タングステン、タンタル及びその合金よりなる群から選ばれた高温金属の平板と、該平板の表面に設けられた、焼結時に上記回路基板の温度を均一に保つに十分薄いセラミック材の被覆層とからなり、上記被覆層の表面の粗さは３μｍ乃至６μｍであることを特徴とする支持プレートが開示されている。そして、上記の被覆層が厚さ０．０８乃至０．１２５ｍｍのアルミナである支持プレートが開示されている（例えば、特許文献３参照）。
【０００８】
また、従来の還元性雰囲気焼成用治具には、非酸化性雰囲気焼成用治具という発明の名称のもとに、モリブデン基材の表面にジルコニア溶射層を形成してなることを特徴とする非酸化性雰囲気焼成用治具が開示されている。そして、上記のジルコニアは、カルシアおよびイットリアから選ばれる少なくとも１つで安定化されている安定化ジルコニアであることを特徴とする非酸化性雰囲気焼成用治具が開示されている（例えば、特許文献４参照）。
【０００９】
更には、従来の還元性雰囲気焼成用治具には、モリブデントレイおよびその製法という発明の名称のもとに、モリブデン又はモリブデン基合金を基材とするトレイであって、その表面にモリブデンと耐熱性セラミックスからなるコーティング層が形成されていることを特徴とするモリブデントレイが開示されている。また、トレイを形成するモリブデン又はモリブデン基合金の基材の表面にプラズマ溶射法によりモリブデンに富む下地層を形成し、さらにその上からプラズマ溶射法により耐熱性セラミックスに富む表面層を形成したのち、１５００℃以上の高温で焼成することを特徴とするモリブデントレイの製法が開示されている（例えば、特許文献５参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特許第４１３６２４９号公報
【特許文献２】特許第３９８１４２５号公報
【特許文献３】特公昭６３−４３９１４号公報
【特許文献４】特開平１１−１７５７号公報
【特許文献５】特許第２７６４０８５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかしながら、前述したような従来の還元性雰囲気焼成用治具は、次のような問題がある。
（１）従来のモリブデンの平板からなる還元性雰囲気焼成用治具は、モリブデンの平板の表面に設けた凸凹によって、焼成時の溶着や、反応を少なくできるものの、繰り返しの使用によって、セラミックグリーンシートの積層体である被焼成体からのガラス成分をモリブデンの平板側に吸収できずに、徐々にモリブデンの平板の表面に付着して堆積物を形成するようになる。そして、モリブデンの平板からなる還元性雰囲気焼成用治具は、使用回数が１０回程度になると、被焼成体の焼成用治具接触面側に、堆積物が鋭角な突起状に突出し、この部分を起点とする焼成収縮時の収縮キズが焼成体に発生するようになる。また、従来のモリブデンの平板からなる還元性雰囲気焼成用治具は、使用回数が１０回程度で堆積物の除去が必要となるので、煩雑なブラスト処理による堆積物の除去作業による作業コストがかかり、引いては製品のコストアップとなっている。
（２）特公昭６３−４３９１４号公報で開示されるような還元性雰囲気焼成用治具は、モリブデンの平板の上面にアルミナからなる被覆層を設けているので、被焼成体の焼成時に被焼成体からのガラス成分を吸収できるものの、アルミナからなる被覆層自体のガラス成分の粒成長によって、ここに載置した被焼成体との間で部分的な焼成反応が発生し、焼成体表面にギラギラと輝くような変色異常が発生するようになる。
（３）特開平１１−１７５７号公報で開示されるような還元性雰囲気焼成用治具は、モリブデンの平板の上面にカルシアおよびイットリアから選ばれる少なくとも１つで安定化されている安定化ジルコニア溶射層を形成しているので、安定化ジルコニア自体にカルシアや、イットリアのガラス成分を多く含み、被焼成体との接触部分での焼成反応が最も少ないジルコニアを用いたとしても、安定化ジルコニア自体のガラス成分で被焼成体との接触部分での焼成反応を発生させ、焼成体表面にギラギラと輝くような変色異常が発生するようになる。また、特開平１１−１７５７号公報で開示されるような還元性雰囲気焼成用治具は、安定化ジルコニア自体のガラス成分が鋭角な突起状に突出し、この部分を起点とする焼成収縮時の収縮キズが焼成体に発生するようになる。
（４）特許第２７６４０８５号公報で開示されるような還元性雰囲気焼成用治具は、モリブデンの平板の上面にプラズマ溶射法によりモリブデンに富む下地層を形成し、さらにその上からプラズマ溶射法により耐熱性セラミックスに富む表面層を形成する３層構造となっているので、２度のプラズマ溶射法が必要となり、還元性雰囲気焼成用治具のコストアップとなり、引いては製品のコストアップとなっている。また、特許第２７６４０８５号公報で開示されるような還元性雰囲気焼成用治具は、耐熱性セラミックスに富む表面層に耐熱性セラミックス自体のガラス成分の粒成長が発生し、ここに載置した被焼成体との間で部分的な焼成反応が発生し、焼成体表面にギラギラと輝くような変色異常が発生するようになる。更に、特許第２７６４０８５号公報で開示されるような還元性雰囲気焼成用治具は、耐熱性セラミックスに富む表面層に耐熱性セラミックス自体のガラス成分が鋭角な突起状に突出し、この部分を起点とする焼成収縮時の収縮キズが焼成体に発生するようになる。
【００１２】
本発明は、かかる事情に鑑みてなされたものであって、被焼成体を直接載置させて焼成しても接触部分での焼成反応が少なく、焼成収縮時の収縮キズの発生が少ない焼成体を形成できると共に、繰り返しの使用に対して良好な平坦性と、耐久性を備え、製品のコストアップを防止する還元性雰囲気焼成用治具を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
前記目的に沿う本発明に係る還元性雰囲気焼成用治具は、被焼成体を還元性雰囲気中で焼成するのに被焼成体を載置させるための還元性雰囲気焼成用治具であって、モリブデンからなる平板と、平板の少なくとも一方の主面に酸化物無添加ジルコニア及びアルミナの混合物をプラズマ溶射してなるコート層を有する。
【００１４】
上記の還元性雰囲気焼成用治具は、混合物は、酸化物無添加ジルコニアを１０〜５０ｗｔ％と、０．５ｗｔ％以下の不純物を含有するアルミナを９０〜５０ｗｔ％と、からなり、混合物をモリブデンからなる平板の表面にプラズマ溶射してなるコート層の表面粗さは、ＪＩＳ  Ｂ  ０６０１でのＲｍａｘで２５〜６５μｍからなるのがよい。
【発明の効果】
【００１５】
上記の還元性雰囲気焼成用治具は、被焼成体を還元性雰囲気中で焼成するのに被焼成体を載置させるための還元性雰囲気焼成用治具であって、モリブデンからなる平板と、平板の少なくとも一方の主面に酸化物無添加ジルコニア及びアルミナの混合物をプラズマ溶射してなるコート層を有するので、コート層を形成する酸化物無添加ジルコニア及びアルミナの混合物のジルコニアがセラミックグリーンシートの積層体である被焼成体との接触部分での反応が最も少ないものであると共に、酸化物無添加ジルコニアがガラス成分を含まないものであり、コート層上に被焼成体を載置して焼成しても被焼成体からのガラス成分がコート層内に吸収されてコート層との焼成反応が少なく、焼成体表面の変色異常を防止することができる。また、上記の還元性雰囲気焼成用治具は、コート層上面のガラス成分が少なくて鋭角に突起状に突出することが少ないので、突起部分を起点とするような焼成収縮時の収縮キズが焼成体に発生するのを防止することができる。更に、上面に酸化物無添加ジルコニア及びアルミナの混合物をプラズマ溶射してなるモリブデンの平板からなる還元性雰囲気焼成用治具は、コート層がモリブデンの平板に強固に接合され繰り返しの焼成においても剥がれ等の発生を防止できると共に、コート層との焼成反応が少ないので、繰り返しの使用回数を大幅に向上させることができ、還元性雰囲気焼成用治具の再生処理による作業コストアップを防止して、引いては製品のコストアップを防止することができる還元性雰囲気焼成用治具を提供できる。
【００１６】
特に、上記の還元性雰囲気焼成用治具は、混合物は、酸化物無添加ジルコニアを１０〜５０ｗｔ％と、０．５ｗｔ％以下の不純物を含有するアルミナを９０〜５０ｗｔ％と、からなり、混合物をモリブデンからなる平板の表面にプラズマ溶射してなるコート層の表面粗さは、ＪＩＳ  Ｂ  ０６０１でのＲｍａｘで２５〜６５μｍからなるので、混合物がガラス成分を殆ど含まないと共に、コート層の表面粗さが平坦であり、焼成反応の発生が少く焼成体表面の変色異常を防止することができる上に、ガラス成分が少なくて鋭角に突起状に突出することが少なく、突起部分を起点とするような焼成収縮時の収縮キズが焼成体に発生するのを防止する平坦性に優れた焼成体を形成することができる還元性雰囲気焼成用治具を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】（Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ本発明の一実施の形態に係る還元性雰囲気焼成用治具の斜視説明図、Ａ−Ａ’線縦断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
続いて、添付した図面を参照しつつ、本発明を具体化した実施するための最良の形態について説明し、本発明の理解に供する。
図１（Ａ）、（Ｂ）に示すように、本発明の一実施の形態に係る還元性雰囲気焼成用治具１０は、被焼成体を焼成するのに直接被焼成体を当接して載置させるための治具であって、被焼成体を載置させた状態で治具ごと還元性雰囲気中の焼成炉に投入して焼成し焼成体を形成するのに用いられている。この還元性雰囲気焼成用治具１０を用いて焼成される被焼成体は、半導体素子、水晶振動子等の電子部品素子を搭載させ収納するためのセラミックパッケージである焼成体の前駆体である複数枚のセラミックグリーンシートと、これらに導体配線印刷パターンを設けて積層した積層体である。このセラミックパッケージには、通常、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）等を用いたシート状のセラミックグリーンシートが用いられている。これらのセラミックグリーンシートには、上、下間に電気的な導通状態を形成するためのスルーホールや、ビア用の孔や、電子部品素子を囲繞して収納させるキャビティ部用の孔を設けている。更に、これらのセラミックグリーンシートには、高融点金属であるタングステン（Ｗ）や、モリブデン（Ｍｏ）等からなる導電性ペーストを用いて、スルーホール用の孔の壁面に塗布したり、ビア用の孔を充填した後、上記と同等の導電性ペーストを用いて表面にも所定の導体配線印刷パターンを形成している。そして、複数枚のセラミックグリーンシートは、重ね合わせて温度と、圧力をかけて接合して積層体に形成している。
【００１９】
上記の積層体は、通常、シート内に焼成前の個片体のセラミックパッケージがマトリックス状に複数個配列する集合体として形成されているので、積層体の表面に、押圧溝形成用スリット刃を押し当てて、個片体の外形形状になるように縦横方向に区画する断面視してＶ字形状の押圧溝を形成している。そして、上記の個片体の焼成前のセラミックパッケージが複数個配列する集合体からなる積層体は、大型であり、これを載置させる還元性雰囲気焼成用治具１０も外形寸法が２００〜３００ｍｍ程度、厚みが１．５〜３．５ｍｍ程度からなる大型の板状となっている。
【００２０】
上記の還元性雰囲気焼成用治具１０は、基台としてモリブデン（Ｍｏ）からなる四角形状の平板１１を備えている。この平板１１は、融点が２６２０℃の高融点金属のモリブデンの板体からなるので、１５００〜１６００℃程度の焼成炉を通過させても板体に変形等を発生させることなく、平坦な形状を維持させることができる。また、このモリブデンからなる平板１１は、大気中では、表面に酸化被膜を作り内部が保護されると共に、還元性雰囲気中の焼成炉では、高温での酸素との反応が防止されて用いることができる。
【００２１】
また、上記の還元性雰囲気焼成用治具１０は、平板１１の少なくとも一方の主面にイットリア（Ｙｅ２Ｏ３）、カルシア（ＣａＯ）、マグネシア（ＭｇＯ）等のガラス成分を含まない純粋なジルコニア（ＺｒＯ２）である酸化物無添加ジルコニアと、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）の混合物をプラズマ溶射してなるコート層１２（図１（Ａ）、（Ｂ）では両主面に形成した場合を示している。）を備えている。このジルコニアは、ジルコニウムの酸化物であり、常態では白色の固体で、融点が２７００℃程度と非常に高いため、耐熱性セラミックとして、通常、利用されている。また、このプラズマ溶射は、１００００℃程度の温度のプラズマを熱源として加熱することで溶融又はそれに近い状態にした酸化物無添加ジルコニア及びアルミナの混合物の粒子を、モリブデンからなる平板１１に吹き付けてコート層１２を形成している。そして、このコート層１２は、酸化物無添加ジルコニア及びアルミナの混合物の酸化物無添加ジルコニアにガラス成分が含まれなくコート層１２の表面がアルミナ中のガラス成分のみを有して形成されている。また、コート層１２は、モリブデンからなる平板１１の表面にプラズマ溶射で７０〜１５０μｍ程度の薄い厚さで、しかも、平板１１の表面に沿って極めて均一な厚みの平坦に形成されている。なお、コート層１２は、平板１１の両主面のいずれか一方の主面に形成すればよいのだが、好ましくは両主面に形成することで、プラズマ溶射でコート層１２を形成するときの平板１１の反りを軽減させることができ、反りの少ない還元性雰囲気焼成用治具１０とすることができる。
【００２２】
上記の還元性雰囲気焼成用治具１０に載置させた被焼成体である積層体の焼成には、通常、出入り口に空気侵入の遮断装置を設け、内部の水素と窒素からなる還元性雰囲気中の脱脂、焼結の各エリアで温度カーブが設定できるマッフル式トンネル焼成炉を用いている。そして、被焼成体は、焼成炉中に、還元性雰囲気焼成用治具１０に載置させた状態で、還元性雰囲気焼成用治具１０ごと連続的に通過させることで焼成体を形成している。この還元性雰囲気焼成用治具１０は、これに被焼成体を直接載置させるコート層１２が接触部分での反応の少ない酸化物無添加ジルコニアと、被焼成体からのガラス成分を吸収できるガラス成分比率が低下したアルミナの混合物からなるので、接触部分での焼成反応が少ない焼成体を形成できる上に、ガラス成分が鋭角に突起状に突出することが少なく突起部分を起点とするような焼成収縮時の収縮キズの発生が少ない焼成体を形成できるようになっている。また、この還元性雰囲気焼成用治具１０は、繰り返しの使用に対しての平坦性や、耐久性を備え、再生処理が少なくて再生費用が節減できるので、製品のコストアップを防止することができるようになっている。
【００２３】
なお、上記の還元性雰囲気焼成用治具１０を用いて焼成した焼成体には、外部側に露出する導体部分にめっき被膜を形成したり、必要に応じて導体部分にシールリングをロー付けしたりした後、分割溝で分割して個片体のセラミックパッケージとしている。
【００２４】
上記の還元性雰囲気焼成用治具１０は、混合物がイットリア、カルシア、マグネシア等のガラス成分を含まない酸化物無添加ジルコニアを１０〜５０ｗｔ％と、鉄（Ｆｅ２Ｏ３）等の不純物を０．５ｗｔ％以下含有するアルミナを９０〜５０ｗｔ％と、からなるのがよい。また、還元性雰囲気焼成用治具１０は、混合物をモリブデンからなる平板１１の表面にプラズマ溶射してなるコート層１２の表面粗さがＪＩＳ  Ｂ  ０６０１でのＲｍａｘで２５〜６５μｍからなるのがよい。還元性雰囲気焼成用治具１０のコート層１２の表面粗さは、通常、モリブデンからなる平板１１の表面粗さに追随するようになるが、Ｒｍａｘの表面粗さが２５μｍを下まわるような平滑な面になると、被焼成体の均一な焼成が難しくなり、焼成体に変形や、反りを発生させることとなる。また、還元性雰囲気焼成用治具１０のコート層１２の表面粗さは、Ｒｍａｘの表面粗さが６５μｍを超えるような粗い面になると、突起によって、被焼成体に焼成反応や、この焼成反応を起点とする収縮キズを焼成体に発生させることとなる。
【実施例】
【００２５】
ここで、発明者は、酸化物無添加ジルコニアと、アルミナの混合割合を変化させたコート層を形成した還元性雰囲気焼成用治具のサンプルを作製し、これに被焼成体を載置して焼成したときの焼成体の焼成反応の発生状況と、収縮キズの発生状況を調査した。モリブデンからなる平板に形成したコート層のサンプルには、酸化物無添加ジルコニアを０ｗｔ％、アルミナを１００ｗｔ％とするサンプル１と、酸化物無添加ジルコニアを１０ｗｔ％、アルミナを９０ｗｔ％とするサンプル２と、酸化物無添加ジルコニアを２０ｗｔ％、アルミナを８０ｗｔ％とするサンプル３と、酸化物無添加ジルコニアを３０ｗｔ％、アルミナを７０ｗｔ％とするサンプル４と、酸化物無添加ジルコニアを５０ｗｔ％、アルミナを５０ｗｔ％とするサンプル５と、酸化物無添加ジルコニアを７０ｗｔ％、アルミナを３０ｗｔ％とするサンプル６と、を準備した。各サンプルにおける焼成体の焼成反応の発生状況と、収縮キズの発生状況を表１に示す。
【００２６】
【表１】
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【００２７】
サンプル２〜５、即ち、酸化物無添加ジルコニアを１０〜５０ｗｔ％と、アルミナを９０〜５０ｗｔ％とからなるコート層を設けた還元性雰囲気焼成用治具は、焼成体の焼成反応の発生、及び収縮キズの発生がない状態で続けて使用できる回数が２０回を超え、５０回程度まで可能であることが確認できた。特に、サンプル４である酸化物無添加ジルコニアを３０ｗｔ％と、アルミナを７０ｗｔ％とからなるコート層を設けた還元性雰囲気焼成用治具は、焼成体の焼成反応の発生、及び収縮キズの発生がない状態を続けての使用回数が５０回以上可能で有ることが確認できた。
【産業上の利用可能性】
【００２８】
本発明の還元性雰囲気焼成用治具は、半導体素子や、水晶振動子等の電子部品素子を実装させて、小型で、高信頼性が要求される、例えば、携帯電話、ノートブック型のパソコン、監視用ビデオカメラ等の電子装置に組み込まれて用いるための信頼性の高いセラミックパッケージを安価に形成するために用いることができる。
【符号の説明】
【００２９】
１０：還元性雰囲気焼成用治具、１１：平板、１２：コート層
【図１】
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