(57)【要約】【課題】被除塵面に付着している塵埃を除去する除塵装置及び除塵方法において、装置を小型化することができ、従来よりもコストを低減する。【解決手段】所定の周波数に基づき変化する所定の電圧レベルの電気信号を生成する信号生成手段６と、前記信号生成手段により生成された電気信号に基づき振動体５ａを振動させる電気音響変換手段６と、前記被除塵面に対向させて配置させる気流形成面４ａ、１５ａを有し、前記被除塵面と前記気流形成面との間に気流路を形成すると共に、前記電気音響変換手段の振動体の振動によって気体を動かし、前記気流路に交番気流を形成する交番気流形成手段とを備える。【選択図】図１
2014233703.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被除塵面に付着している塵埃を除去する除塵装置であって、
所定の周波数に基づき変化する所定の電圧レベルの電気信号を生成する信号生成手段と、
前記信号生成手段により生成された電気信号に基づき振動体を振動させる電気音響変換手段と、
前記被除塵面に対向させて配置させる気流形成面を有し、前記被除塵面と前記気流形成面との間に気流路を形成すると共に、前記電気音響変換手段の振動体の振動によって気体を動かし、前記気流路に交番気流を形成する交番気流形成手段とを備えることを特徴とする除塵装置。
【請求項２】
前記交番気流形成手段は、
前記電気音響変換手段を内部空間に収容すると共に、前記振動体が側面から露出するように配置された第１の箱体と、
前記第１の箱体における前記振動体の露出する側面が連結され、前記振動体が内部空間に露出された第２の箱体とを有し、
前記第１の箱体には、内部空間と箱外とを連通する第１の連通孔が形成され、
前記第２の箱体には、内部空間と箱外とを連通する第２の連通孔が形成され、
連結された前記第１の箱体と第２の箱体との外面において、前記第１の連通孔と前記第２の連通孔との間に前記気流形成面が形成されることを特徴とする請求項１に記載された除塵装置。
【請求項３】
前記第１の箱体の内部空間と、前記第２の箱体の内部空間とから気体を吸引する吸引手段を備えることを特徴とする請求項２に記載された除塵装置。
【請求項４】
前記交番気流形成手段は、前記第１の箱体と前記第２の箱体とを昇降移動させ、前記気流形成面と前記被除塵面との間の気流路の高さ寸法を調整する昇降手段を有することを特徴とする請求項２または請求項３に記載された除塵装置。
【請求項５】
前記交番気流発生手段は、
前記電気音響変換手段を内部空間に収容すると共に、前記電気音響変換手段の振動体が一面から露出するよう配置された第３の箱体を有し、
前記第３の箱体における前記振動体の露出する一面に前記気流形成面が形成されることを特徴とする請求項１に記載された除塵装置。
【請求項６】
前記第３の箱体に形成された前記気流形成面の周囲に、該気流形成面の周縁近傍の気体を吸引する吸引手段を備えることを特徴とする請求項５に記載された除塵装置。
【請求項７】
前記交番気流形成手段は、前記第３の箱体を昇降移動させ、前記気流形成面と前記被除塵面との間の気流路の高さ寸法を調整する昇降手段を有することを特徴とする請求項５または請求項６に記載された除塵装置。
【請求項８】
電気音響変換手段を備える除塵装置を用いて、被除塵面に付着している塵埃を除去する除塵方法であって、
前記除塵装置が有する気流形成面を前記被除塵面に対向させて配置し、前記被除塵面と前記気流形成面との間に気流路を形成する工程と、
前記電気音響変換手段において、所定の周波数に基づき変化する所定の電圧レベルの電気信号に従い振動体を振動させる工程と、
前記振動体の振動に従って前記気流路の気体を動かし、前記気流路に交番気流を形成する工程とを含むことを特徴とする除塵方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、除塵装置及び除塵方法に関し、例えば、液晶パネルの製造にあたって、基板やシート等の被除塵面に付着している塵埃を除去する除塵装置及び除塵方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、液晶パネルの製造工程においては、ガラス基板やプリント基板、シート等に付着している塵埃を除去することが必要である。従来、前記基板等の被除塵面から塵埃を取り除く方法としては、粘着ローラなどで機械的に除塵する方法がある。しかしながら、粘着ローラにより除塵する方法にあっては、粘着ローラの粘着力が強いために被除塵面を損傷する虞があった。更には、粘着ローラに対し被除塵面の帯電列が大きく離れていると、粘着ローラの接触と剥離によって、粘着ローラと被除塵面の双方が接触剥離帯電によって帯電し、静電吸引力によって塵埃を引き付けてしまうという課題があった。
【０００３】
そこで、被除塵面から塵埃を除去するにあたり、非接触に除塵する方法が要求されていた。前記要求に対し、圧搾空気を基板面等に吹き付け、被除塵面の塵埃を吹き飛ばす方法がある。しかしながら、圧搾空気による気流は直流であることから塵埃を揺さぶることができず、被除塵面から引き離し難いという課題があった。
前記課題に対し、特許文献１には、被除塵面に対し気体を断続的に噴射することにより被除塵面上の塵埃を揺さぶり除塵する方法及び装置が開示されている。
図５に特許文献１に開示された除塵装置の断面図を示す。図５に示す除塵装置５０は、被除塵物である基板Ｇの表面（被除塵面）に向かって気体を断続的に噴射する噴射手段５１を備えている。この噴射手段５１の直下には、前記基板Ｇがベルトコンベア５２によって水平方向に搬送されるように配置される。
【０００４】
前記噴射手段５１は、（紙面に直交する方向に長い）角筒部材５３の内部に圧送された気体を角筒部材５３の側面に設けられたノズル５４から外部に吹き出すようになっている。より具体的には、前記角筒部材５３は、その長手方向に沿って延設された円筒体５５内に収容されており、前記円筒体５５の周面には、多数の貫通孔５６が形成されている。また、前記円筒体５５は、中心軸を軸として回転可能とされ、ノズル５４から基板Ｇに向かって噴射される気体を一定周期で遮断あるいは脈動させるようになっている。
【０００５】
このように構成された除塵装置５０によれば、ベルトコンベア５２によって基板Ｇを移動させると共に、噴射手段５１のノズル５４から気体を噴射させ、且つ、円筒体５５を回転させる。すると円筒体５５の回転に伴って、各貫通孔５６から基板Ｇの表面に断続的あるいは脈動的に気体が噴射される。これにより、基板Ｇの表面の塵埃Ｄが揺さぶられて基板面から引き離され、塵埃Ｄが舞い上がると共に、引き離された塵埃Ｄは気体の噴射方向に流れ、所定の集塵手段（図示せず）により集塵される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平９−２４８５３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、特許文献１に開示された除塵方法（除塵装置５０）にあっては、噴射手段５１において、さらに円筒体５５の貫通孔５６から断続的あるいは脈動的に噴射させるために、角筒部材５３のノズル５４から高圧かつ高流量の気体を噴射する必要がある。
しかしながら、そのように高圧かつ高流量の気体を噴射するには、コンプレッサ装置など高電力消費の大型の装置が必要であり、装置が大型化する上、ランニングコストが嵩むという課題があった。
【０００８】
本発明は、前記した点に着目してなされたものであり、被除塵面に付着している塵埃を除去する除塵装置及び除塵方法において、装置を小型化することができ、従来よりもコストを低減することのできる除塵装置及び除塵方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記した課題を解決するために、本発明に係る除塵装置は、被除塵面に付着している塵埃を除去する除塵装置であって、所定の周波数に基づき変化する所定の電圧レベルの電気信号を生成する信号生成手段と、前記信号生成手段により生成された電気信号に基づき振動体を振動させる電気音響変換手段と、前記被除塵面に対向させて配置させる気流形成面を有し、前記被除塵面と前記気流形成面との間に気流路を形成すると共に、前記電気音響変換手段の振動体の振動によって気体を動かし、前記気流路に交番気流を形成する交番気流形成手段とを備えることに特徴を有する。
このような構成によれば、被除塵面に平行な交番気流を発生させ、それにより被除塵面に付着している塵埃を揺さぶることができるため、塵埃を被除塵面から容易に引き離すことができる。
また、被除塵面から塵埃を引き離すための交番気流を発生させるために電気信号を音響信号に変換する電気音響変換手段（例えばスピーカユニット）を用いる構成であるため、従来のように高圧かつ高流量の気体を発生させるためのコンプレッサ装置など高電力消費の大型の装置が必要なく、従来装置よりもコストを低減することができる。
【００１０】
尚、前記交番気流形成手段は、前記電気音響変換手段を内部空間に収容すると共に、前記振動体が側面から露出するように配置された第１の箱体と、前記第１の箱体における前記振動体の露出する側面が連結され、前記振動体が内部空間に露出された第２の箱体とを有し、前記第１の箱体には、内部空間と箱外とを連通する第１の連通孔が形成され、前記第２の箱体には、内部空間と箱外とを連通する第２の連通孔が形成され、連結された前記第１の箱体と第２の箱体との外面において、前記第１の連通孔と前記第２の連通孔との間に前記気流形成面が形成されることが望ましい。
また、その場合、前記第１の箱体の内部空間と、前記第２の箱体の内部空間とから気体を吸引する吸引手段を備えることが望ましい。
また、前記交番気流形成手段は、前記第１の箱体と前記第２の箱体とを昇降移動させ、前記気流形成面と前記被除塵面との間の気流路の高さ寸法を調整する昇降手段を有することが望ましい。
このような構成によれば、効率的に前記気流形成面に交番気流を形成することができる。
また、交番気流に乗って流れる塵埃は、前記第１、第２の箱体の内部空間内に流れ込むため、前記吸引手段により容易に吸引除去することができる。
さらに、前記吸引手段は、被除塵面から引き離された塵埃を吸い取るのみであるため、真空掃除機等の小型装置で対応することができる。
【００１１】
或いは、前記交番気流発生手段は、前記電気音響変換手段を内部空間に収容すると共に、前記電気音響変換手段の振動体が一面から露出するよう配置された第３の箱体を有し、前記第３の箱体における前記振動体の露出する一面に前記気流形成面が形成される構成としてもよい。
また、その場合、前記第３の箱体に形成された前記気流形成面の周囲に、該気流形成面の周縁近傍の気体を吸引する吸引手段を備えることが望ましい。
また、前記交番気流形成手段は、前記第３の箱体を昇降移動させ、前記気流形成面と前記被除塵面との間の気流路の高さ寸法を調整する昇降手段を有することが望ましい。
このような構成によっても、前記気流形成面に交番気流を形成することができる。
また、交番気流に乗って流れる塵埃は、前記気流形成面の周囲から、前記吸引手段により容易に吸引除去することができる。
さらに、前記吸引手段は、被除塵面から引き離された塵埃を吸い取るのみであるため、真空掃除機等の小型装置で対応することができる。
【００１２】
また、前記課題を解決するために、本発明に係る除塵方法は、電気音響変換手段を備える除塵装置を用いて、被除塵面に付着している塵埃を除去する除塵方法であって、前記除塵装置が有する気流形成面を前記被除塵面に対向させて配置し、前記被除塵面と前記気流形成面との間に気流路を形成する工程と、前記電気音響変換手段において、所定の周波数に基づき変化する所定の電圧レベルの電気信号に従い振動体を振動させる工程と、前記振動体の振動に従って前記気流路の気体を動かし、前記気流路に交番気流を形成する工程とを含むことを特徴とする。
このような方法によれば、被除塵面に平行な交番気流を発生させ、それにより被除塵面に付着している塵埃を揺さぶることができるため、塵埃を被除塵面から容易に引き離すことができる。
また、被除塵面から塵埃を引き離すための交番気流を発生させるために電気信号を音響信号に変換する電気音響変換手段（例えばスピーカユニット）を用いる構成であるため、従来のように高圧かつ高流量の気体を発生させるためのコンプレッサ装置など高電力消費の大型の装置が必要なく、従来装置よりもコストを低減することができる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、被除塵面に付着している塵埃を除去する除塵装置及び除塵方法において、装置を小型化することができ、従来よりもコストを低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】図１は、本発明に係る除塵装置の第１の実施形態の構成を模式的に示す断面図である。
【図２】図２は、図１の除塵装置の平面図（被除塵物は図示せず）である。
【図３】図３は、本発明に係る第２の実施の形態の模式的な構成を示す断面図である。
【図４】図４は、図３の除塵装置の平面図（被除塵物は図示せず）である。
【図５】図５は、従来の除塵装置の構成を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づき説明する。
図１は本発明に係る除塵装置の第１の実施形態の構成を模式的に示す断面図である。図２は、図１の除塵装置の平面図（被除塵物は図示せず）である。
図１に示す除塵装置１は、例えばプリント基板やガラス基板、或いはシート状の被除塵物Ｇの被除塵面Ｇ１に付着している塵埃Ｄを除去するための装置である。具体的には、交番気流を生成し、それを被除塵面Ｇ１に吹き付け、面上の塵埃Ｄを引き離して吸引除去するものである。
【００１６】
この除塵装置１は、例えば全体形状が略直方体の本体部４を備え、この本体部４は、内部空間Ｓ１、Ｓ２がそれぞれ形成された略直方体形状の箱体２（第２の箱体、交番気流形成手段）と箱体３（第１の箱体、交番気流形成手段）とが、その一側面の開口２ａ、３ａ同士を付き合わせた状態で連結されている。
前記本体部４の一面（図１において上面）には、交番気流を形成する気流形成面４ａが設けられる。より詳しくは、前記本体部４の一面において、箱体２と箱体３には、それぞれ連通孔２ｂ、３ｂ（第２の連通孔、第１の連通孔）が形成されており、前記連通孔２ｂ、３ｂ間に前記気流形成面４ａが形成される。
【００１７】
また、本体部４には、この本体部４の高さ位置を調整するための昇降手段２０と、本体部４を被除塵面Ｇ１に沿って平行移動させる平行移動手段２１とが接続され、本体部４の被除塵面Ｇ１に対する位置を任意に調整できるようになっている。尚、前記昇降手段２０及び前記平行移動手段２１は、例えばボールねじ機構を利用した移動機構を用いて構成することで高精度に位置調整を行うことができる。
被除塵面Ｇ１の塵埃Ｄを除去する際には、前記昇降手段２０の駆動により前記気流形成面４ａを被除塵面Ｇ１に近接させて気流路（隙間）を形成し、この気流路を流れる交番気流によって被除塵面Ｇ１上の塵埃Ｄが揺さぶられ引き離される。
尚、前記気流形成面４ａの周りには、段部４ｂが設けられており、それにより縁部よりも内側の隙間が大きくなり、気流が気流形成面４ａの縁部から外側に逃げにくくなっている。
【００１８】
続いて、前記交番気流を発生させるための構成について説明する。前記箱体３の内部空間Ｓ２には、スピーカユニット５（電気音響変換手段）が収容される。具体的には、スピーカユニット５が有する振動板５ａ（振動体）の前面が、前記開口３ａ、２ａを介して前記箱体２の内部空間Ｓ１に露出するように配置され、振動板５ａの外縁部は前記開口３ａの縁部に密着されている。また、前記スピーカユニット５が有する円環状のマグネット５ｂの内側にはコイル（図示せず）が配置され、信号生成手段６から所定の周波数及び所定の電圧レベルの電気信号が供給されるようになっている。
【００１９】
前記信号生成手段６は、所定の周波数信号を生成するオシレータ７と、生成された周波数信号の波形を適正レベルに減衰し調整するアッテネータ８と、アッテネータ８から入力された信号を所望の電圧レベルまで増幅するパワーアンプ９とを有している。
この信号生成手段６からスピーカユニット５に対し、所定の電気信号が供給されると、スピーカユニット５の振動板５ａが、供給された電気信号に従って振動し、その前方の内部空間Ｓ１、及び後方の内部空間Ｓ２の気体（空気など）を電気信号の周波数に従って振動させる。
前記内部空間Ｓ１の気体と内部空間Ｓ２の気体とは、振動板５ａを境に逆位相に振動するため、連通孔２ｂ、３ｂを介して前記気流形成面４ａには、気流が交互に反対方向に変化する交番気流が発生するようになっている。
【００２０】
また、図示するように、前記箱体２と前記箱体３において、前記気流対象面４ａとは反対側に、貫通孔２ｃ、３ｃがそれぞれ設けられ、それら貫通孔２ｃ、３ｃには吸気管１１、１２の一端側がそれぞれ接続されている。前記吸気管１１、１２の他端側には例えば真空掃除機や真空ポンプからなる吸引手段１３が接続されており、前記箱体２の内部空間Ｓ１、及び箱体３の内部空間Ｓ２に浮遊する塵埃を、前記吸気管１１、１２を介して吸引し、除去するようになっている。
【００２１】
このように構成された除塵装置１において、被除塵面Ｇ１に付着している塵埃Ｄを除去する場合、前記昇降手段２０を駆動して本体部４の高さ位置を調整し、前記被除塵面Ｇ１に対し気流形成面４ａを図１に示すように近接させた状態とし、気流路（隙間）を形成する。
次いで、信号生成手段６を駆動し、スピーカユニット５に対し所定の周波数（例えば５０Ｈｚ）及び所定の電圧レベルの電気信号を供給する。
スピーカユニット５の振動板５ａは、供給された電気信号に基づいて振動し、本体部４の内部空間Ｓ１、Ｓ２内の気体を互いに逆方向（逆位相）に動かす。
これにより、前記内部空間Ｓ１と内部空間Ｓ２との間、即ち双方を連通させる気流路を形成する気流形成面４ａにおいて、被除塵面Ｇ１に平行に流れる交番気流が発生する。
【００２２】
この交番気流によって、被除塵面Ｇ１に付着している塵埃Ｄが面に平行な方向に揺さぶられるため、塵埃Ｄは被除塵面Ｇ１から容易に引き離され、交番気流に乗って流される。
また、交番気流に乗って流れる塵埃Ｄは、本体部４の内部空間Ｓ１、Ｓ２内に流れ込むため、内部空間Ｓ１、Ｓ２に流れ込んだ塵埃Ｄは、それぞれ吸気管１１，１２を介して吸引手段１３によって吸引除去される。
尚、被除塵面Ｇ１を全て除塵する場合には、平行移動手段２１の駆動により被除塵面Ｇ１に対し除塵装置１の本体部４を平行に移動させ、図１の状態として再び除塵処理を行えばよい。
【００２３】
以上のように本発明に係る第１の実施の形態によれば、被除塵面Ｇ１に平行な交番気流を発生させ、それにより被除塵面Ｇ１に付着している塵埃Ｄを揺さぶることができるため、塵埃Ｄを被除塵面Ｇ１から容易に引き離すことができる。
さらに、交番気流に乗って流れる塵埃Ｄは、本体部４の内部空間Ｓ１、Ｓ２内に流れ込むため、吸引手段１３により容易に吸引除去することができる。
また、被除塵面Ｇ１から塵埃Ｄを引き離すための交番気流を発生させるために電気信号を音響信号に変換するスピーカユニット５を用いる構成であるため、従来のように高圧かつ高流量の気体を発生させるためのコンプレッサ装置など高電力消費の大型の装置が必要なく、従来装置よりもコストを低減することができる。
また、前記吸引手段１３は、被除塵面Ｇ１から交番気流によって引き離された塵埃Ｄを吸い取るのみでよいため、真空掃除機等の小型装置で対応することができる。
【００２４】
続いて、図３、図４に基づき、本発明に係る除塵装置の第２の実施の形態について説明する。
図３は、本発明に係る第２の実施の形態の模式的な構成を示す断面図である。図４は、図３の除塵装置の平面図（被除塵物は図示せず）である。尚、図３、図４に示す構成においては、既に図１、図２を用いて説明した構成と同様の構成を含むため、対応する部材については同じ符号で示す。
【００２５】
図３、図４に示す除塵装置１は、内部空間Ｓ３が形成された略円筒状の箱体１５（第３の箱体、交番気流形成手段）と、内部空間Ｓ４が形成され、この内部空間Ｓ４の中に前記箱体１５を配置する略円筒状の箱体１６とを備える。
前記箱体１６は、図示するように上端が開放されて開口１６ａが形成され、開口１６ａの縁部には水平外方に突出するフランジ１６ｂが形成されている。前記箱体１５は、前記箱体１６の開口１６ａから内部空間Ｓ４内に収容され、図４に示すように例えば複数の棒状の支持部材１７によって空間内に支持されている。
尚、後述するように箱体１６の開口１６ａ側に配置された箱体１５の一面は、気流形成面１５ａであり、この気流形成面１５ａに形成される交番気流を外部に逃がし難くするために前記フランジ１６ｂの高さ位置よりも前記気流形成面１５ａが内部空間Ｓ４内に沈んだ状態となっている。
【００２６】
また、箱体１６の下面には、貫通孔１６ｃが設けられ、この貫通孔１６ｃは吸引管１８を介して吸引手段１３に接続されている。
即ち、図３に示すように箱体１６の内部空間Ｓ４において、箱体１６の内面と箱体１５の外面との間の隙間が吸引路となっており、交番気流に乗って流れる塵埃Ｄが、箱体１５上面（気流形成面１５ａ）とフランジ１６ｂ上面との間に形成された例えば円環状の吸気孔１９から吸引手段１３によって吸引されるようになっている。
また、箱体１６には、この箱体１６と箱体１５の高さ位置を調整するための昇降手段２０と、箱体１５、１６を被除塵面Ｇ１に沿って平行移動させる平行移動手段２１とが接続され、箱体１５、１６の被除塵面Ｇ１に対する位置を任意に調整できるようになっている。
【００２７】
続いて、前記交番気流を発生させるための構成について説明する。前記箱体１５の内部空間Ｓ３には、スピーカユニット５が配置される。箱体１５の上面には、スピーカユニット５の振動板５ａ（振動体）の前面を上方に露出するための開口１５ｂが形成されており、この開口１５ｂの縁部に振動板５ａの外縁部が密着されている。
また、前記スピーカユニット５が有する円環状のマグネット５ｂの内側にはコイル（図示せず）が配置され、信号生成手段６から所定の周波数及び所定の電圧レベルの電気信号が供給されるようになっている。
【００２８】
このように構成された除塵装置１において、被除塵面Ｇ１に付着している塵埃Ｄを除去する場合、前記昇降手段２０の駆動により前記被除塵面Ｇ１に対し気流形成面１５ａを図３に示すように近接させた状態とする。
次いで、信号生成手段６を駆動し、スピーカユニット５に対し所定の周波数（例えば５０Ｈｚ）により変化する所定の電圧レベルの電気信号を供給する。
スピーカユニット５の振動板５ａは、供給された電気信号に基づいて振動し、振動板５ａ前方の気体を振動させる。ここで、振動板５ａのすぐ前方には被除塵面Ｇ１が配置されているため、振動板５ａの前方において正圧の状態と負圧の状態とが交互に繰り返され、気流形成面１５ａにおいて、振動板５ａの中心位置から外側に拡がる気流と、外側から前記中心位置に向かって流れる気流とが交互に発生する。即ち、被除塵面Ｇ１に平行に流れる交番気流が発生する。
【００２９】
この交番気流によって、被除塵面Ｇ１に付着している塵埃Ｄが面に平行な方向に揺さぶられるため、塵埃Ｄは被除塵面Ｇ１から容易に引き離され、交番気流と共に流される。
また、交番気流に乗って流れる塵埃Ｄは、気流形成面１５ａの周りに設けられた吸気孔１９から吸い取られ、吸気管１８を介して吸引手段１３によって吸引除去される。
【００３０】
以上のように本発明に係る第２の実施の形態によれば、第１の実施の形態と同様に被除塵面Ｇ１に平行な交番気流を発生させ、それにより被除塵面Ｇ１に付着している塵埃Ｄを揺さぶることができるため、塵埃Ｄを被除塵面Ｇ１から容易に引き離すことができる。
さらに、交番気流に乗って流れる塵埃Ｄは、吸引手段１３によって気流形成面１５ａの外側の吸気孔１９から容易に吸引除去することができる。
また、被除塵面Ｇ１から塵埃Ｄを引き離すための交番気流を発生させるために、電気信号を再生するスピーカユニット５を用いる構成であるため、従来のように高圧かつ高流量の気体を発生させるためのコンプレッサ装置など高電力消費の大型の装置が必要なく、従来装置よりもコストを低減することができる。
また、前記吸引手段１３は、被除塵面Ｇ１から交番気流によって引き離された塵埃Ｄを吸い取るのみであるため、真空掃除機等の小型装置で対応することができる。
また、被除塵面Ｇ１を全て除塵する場合には、平行移動手段２１の駆動により被除塵面Ｇ１に対し除塵装置１の箱体１５、１６を平行に移動させ、図３の状態として再び除塵処理を行えばよい。
【００３１】
尚、前記第１の実施の形態においては、箱体２、３をそれぞれ直方体形状とし、前記第２の実施の形態においては、箱体１５、１６をそれぞれ略円筒形状としたが、各箱体の形状は、それぞれ限定されるものではなく、その他の形状により構成してもよい。
また、前記第１、第２の実施の形態においては、電気音響変換手段としてスピーカユニットを例に説明したが、それに限らず、振動体の振動により電気信号を音響信号に変換するものであれば、スピーカユニット以外の電気音響変換手段を用いてもよい。
また、前記第１、第２の実施の形態において示した昇降手段２０と平行移動手段２１とは、除塵装置１側を被除塵面Ｇ１に対し移動させるものとしたが、被除塵面Ｇ１に対し交番気流形成面が相対的に移動する構成であればよい。したがって、昇降手段２０及び平行移動手段２１により被除塵物Ｇを保持し、静止した除塵装置１に対し被除塵面Ｇ１を移動させる構成としてもよい。
【符号の説明】
【００３２】
１          除塵装置
２          箱体（第２の箱体、交番気流形成手段）
３          箱体（第１の箱体、交番気流形成手段）
４          本体部
４ａ        気流形成面
４ｂ        段差
５          スピーカユニット（電気音響変換手段）
５ａ        振動板（振動体）
６          信号生成手段
１１          吸気管
１２          吸気管
１３          吸引手段
１５          箱体（第３の箱体、交番気流形成手段）
１５ａ        気流形成面
１６          箱体
１９          吸気孔
２０          昇降手段
２１          平行移動手段
Ｇ          除塵物
Ｇ１          被除塵面
Ｓ１          内部空間
Ｓ２          内部空間
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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