(57)【要約】      （修正有）【課題】タングステン含有基材のための化学機械組成物を提供する。【解決手段】タングステン化学機械研磨（ＣＭＰ）組成物であって、ａ）０．１ｗｔ％〜２５ｗｔ％の、シリカ、アルミナ、セリア、チタニア、ジルコニア、及びこれらの組み合わせから成る群より選択されるナノサイズ研磨剤と、ｂ）０．１ｗｔ％〜０．５ｗｔ％の、鉄化合物で被覆されたコロイドシリカ、鉄化合物で被覆されたコロイド又はナノサイズの無機金属酸化物粒子、及びこれらの組み合わせから成る群より選択される鉄化合物で被覆された粒子の固体触媒と、ｃ）０．０００１ｗｔ％〜０．５ｗｔ％の、ピペラジン誘導体、シアネート塩及びこれらの組み合わせから成る群より選択される化学添加剤と、ｄ）０．５ｗｔ％〜１０ｗｔ％の酸化剤と、ｅ）液体のキャリヤとを含み、該ＣＭＰ組成物のｐＨが約２．０〜約８．０である、組成物。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
タングステン化学機械研磨（ＣＭＰ）組成物であって、
ａ）０．１ｗｔ％〜２５ｗｔ％の、シリカ、アルミナ、セリア、チタニア、ジルコニア、及びこれらの組み合わせから成る群より選択されるナノサイズ研磨剤と、
ｂ）０．１ｗｔ％〜０．５ｗｔ％の、鉄化合物で被覆されたコロイドシリカ、鉄化合物で被覆されたコロイド又はナノサイズの無機金属酸化物粒子、及びこれらの組み合わせから成る群より選択される鉄化合物で被覆された粒子の固体触媒と、
ｃ）０．０００１ｗｔ％〜０．５ｗｔ％の、ピペラジン誘導体、シアネート塩及びこれらの組み合わせから成る群より選択される化学添加剤と、
ｄ）０．５ｗｔ％〜１０ｗｔ％の酸化剤と、
ｅ）液体のキャリヤと
を含み、該ＣＭＰ組成物のｐＨが約２．０〜約８．０である、組成物。
【請求項２】
請求項１に記載のタングステン化学機械研磨（ＣＭＰ）組成物であって、前記化学添加剤が、下式の一般的な分子構造、すなわち、
【化１】
2014194016.tif 000007
を有するピペラジン誘導体であって、式中、Ｒ1及びＲ2は独立して、水素、アリール、アラルキル、アルキル、アルコキシ、１つ又は複数のヒドロキシル基を有する有機基、置換有機スルホン酸、置換有機スルホン酸塩、置換有機カルボン酸、置換有機カルボン酸塩、置換有機カルボン酸アミド、置換ケトン、有機カルボン酸エステル、有機アミン、及びこれらの組み合わせから成る原子又は基より選択される、組成物。
【請求項３】
請求項１に記載のタングステン化学機械研磨（ＣＭＰ）組成物であって、前記ピペラジン誘導体が下式の分子構造、すなわち、
【化２】
2014194016.tif 000008
を有する、置換有機モノアミノピペラジン誘導体（ａ）、又は置換有機ビスアミノピペラジン誘導体（ｂ）であり、
式中、ｎは独立して１〜６から選択され、かつ、Ｒ、Ｒ’、Ｒ”及びＲ”’は独立して水素、アルキル、アルコキシ、アリール、アラルキル、１つ又は複数のヒドロキシル基を有する有機基、置換有機スルホン酸、置換有機スルホン酸塩、置換有機カルボン酸、置換有機カルボン酸塩、置換ケトン、有機カルボン酸エステル、有機アミン、置換有機カルボン酸アミド及びこれらの組み合わせから成る群より選択される、組成物。
【請求項４】
請求項１に記載のタングステン化学機械研磨（ＣＭＰ）組成物であって、前記ピペラジン誘導体が、（Ｒ）−ピペラジン−２−カルボン酸、１−（２−ヒドロキシエチル）ピペラジン、ピペラジン−２，６−ジオン、１−（２−アミノエチル）ピペラジン、１，４−ビス（２−ヒドロキシエチル）ピペラジン、１，４−ビス（アクリロイル）ピペラジン、ピペラジン−１−酢酸ｔｅｒｔ−ブチルエステル、１−（３−メチルベンジル）ピペラジン、４−Ｂｏｃ−ピペラジン−２−カルボン酸、１−（ジフェニルメチル）ピペラジン、１，４−ジ−Ｂｏｃ−ピペラジン−２−カルボン酸、２−（ピペラジン−１−カルボニル）−安息香酸、４−（ピペラジン−１−カルボニル）−ピペリジン−１−カルボン酸ｔｅｒｔ−ブチルブチルエステル、ピペラジン−１−カルボン酸（２−クロロ−フェニル）−アミドピペラジン−１−カルボン酸ジメチルアミド、ピペラジン−１−カルボン酸ジエチルアミド、ピペラジン−１−カルボン酸ジフェニルアミド、ピペラジン−１−スルホンアミド、ピペラジン−２−カルボキサミド、１，２−ジメチルピペラジン、１−（２−ブチル）−ピペラジン、２−イソブチル−ピペラジン、２−ｔｅｒｔ−ブチルピペラジン、Ｒ−２−イソブチル−ピペラジン、Ｓ−２−イソブチル−ピペラジン、２−イソプロピル−ピペラジン、１−（２−ピリミジル）ピペラジン、１−（４−トリフルオロメチルフェニル）ピペラジン、１−（シクロプロピルメチル）ピペラジン、１−（２−ピラジニル）−ピペラジン、１−（２−トリフルオロメチルフェニル）−ピペラジン、１−（６−ピリダジニル）ピペラジン、２−（４−トリフルオロメチルフェニル）ピペラジン、２−フェニル−ピペラジン−１−カルボン酸ベンジルエステル、１−（１−ナフチルメチル）ピペラジン、１−（１−ペンチル）ピペラジン、１−（２−ペンチル）−ピペラジン、１−（３−ペンチル）−ピペラジン、１−（プロパノイル）−ピペラジン、２−フェニル−ピペラジン−１−カルボン酸ｔｅｒｔ−ブチルエステル、１−Ｂｏｃ−ピペラジン、１−（４−クロロフェニル）ピペラジン、１−（２−フロイル）ピペラジン、１−（２−フルオロフェニル）ピペラジン、１−（２−ヒドロキシフェニル）ピペラジン、１−（２−フェニルエチル）ピペラジン、１−（４−フルオロフェニル）ピペラジン、１−（２−メチルベンジル）ピペラジン、１−（４−ヒドロキシフェニル）ピペラジン、１−（４−メチルベンジル）ピペラジン、１−（３−ヒドロキシフェニル）ピペラジン、１−（１−フェニルエチル）ピペラジン、１−（２，４−ジメチルフェニル）ピペラジン、１−（２，５−ジメチルフェニル）ピペラジン、１−（２，５−ジメチルフェニル）ピペラジン、１−（２，６−キシリル）ピペラジン、１−（２−エチルフェニル）ピペラジン、１−（２−エチルフェニル）ピペラジン、１−（３，４−ジメチルフェニル）ピペラジン、１−（３，５−ジメチルフェニル）ピペラジン、１−（３−フルオロフェニル）ピペラジン、１−（３−フロイル）ピペラジン、１−（Ｎ−ヘプチル）ピペラジン、１−ピバロイル−ピペラジン、２，３−ジメチル−ピペラジン−１−カルボン酸ｔｅｒｔ−ブチルエステル、２−（２−クロロフェニル）ピペラジン、２−（４−クロロフェニル）ピペラジン、Ｎ−４−Ｃｂｚ−ピペラジン−２−カルボン酸メチルエステル、１−（２−ピリジル）ピペラジン、１−（２−メトキシフェニル）ピペラジン、１−（４−メトキシフェニル）ピペラジン、１−（４−クロロベンズヒドリル）ピペラジン、１−（４−ピリジル）ピペラジン、１−（４−アミノフェニル）ピペラジン、１−（４−メトキシベンジル）ピペラジン、１−（２−シアノフェニル）ピペラジン、１−（１−アダマンチル）ピペラジン、１−（４−ニトロフェニル）ピペラジン、１−（２−メトキシエチル）ピペラジン、２−（トリフルオロメチル）ピペラジン、１−（３，４−ジクロロフェニル）ピペラジン;１−Ｂｏｃ−ピペラジン−２−カルボン酸、１−（２，５−ジフルオロベンジル）ピペラジン、１−（２−エトキシエチル）ピペラジン、１−（３，４−ジクロロベンジル）ピペラジン、１−（３−メトキシフェニル）ピペラジン、１−（シクロヘキシルメチル）ピペラジン、１−（３−メチルフェニル）ピペラジン、１−（４−メチルフェニル）ピペラジン、１−（３−フルオロベンジル）ピペラジン、１−（４−フルオロベンジル）ピペラジン、２−（３−メトキシフェニル）ピペラジン、１−（３−クロロベンジル）ピペラジン、１−（シクロプロピルカルボニル）ピペラジン、（Ｒ）−１−Ｂｏｃ−ピペラジン−２−カルボン酸、（Ｒ）−２−ベンジルピペラジン、（Ｒ）−３−ヒドロキシメチル−ピペラジン−１−カルボン酸ｔｅｒｔ−ブチルエステル、（Ｒ）−４−Ｎ−Ｂｏｃ−ピペラジン−２−カルボン酸、（Ｓ）−２−ベンジルピペラジン、（Ｓ）−２−ベンジルピペラジン−１−カルボン酸ｔｅｒｔ−ブチルエステル、（Ｓ）−３−ヒドロキシメチル−ピペラジン−１−カルボン酸ｔｅｒｔ−ブチルエステル、（Ｓ）−４−Ｎ−Ｂｏｃ−ピペラジン−２−カルボン酸、１−（１−ピペリジニルスルホニル）ピペラジン、１−（２，２，２−トリフルオロエチル）ピペラジン、１−（２，３−ジフルオロフェニル）ピペラジン、１−（２，４，６−トリメチルベンジル）ピペラジン、１−（２，４−ジクロロベンジル）ピペラジン、１−（２，４−ジフルオロフェニル）ピペラジン、１−（２，６−ジクロロベンジル）ピペラジン、１−（２−クロロベンジル）ピペラジン、１−（２−シクロヘキシルエチル）ピペラジン、１−（２−ジイソプロピルアミノエチル）ピペラジン、１−（２−ジプロピルアミノエチル）−ピペラジン、１−（２−エトキシフェニル）ピペラジン、１−（２−エチルブタノイル）ピペラジン、１−（２−フルオロベンジル）ピペラジン、１−（２−イソプロポキシエチル）ピペラジン、１−（２−メチルメルカプトフェニル）ピペラジン、１−（２−メチルプロパノイル）−ピペラジン、１−（２−モルホリノエチル）ピペラジン、１−（２−フェノキシエチル）ピペラジン、１−（２−ピペリジノエチル）ピペラジン、１−（２−ピロリジノエチル）ピペラジン、１−（３，３−ジメチルブタノイル）ピペラジン、１−（３，４−ジクロロベンゾイル）ピペラジン、１−（３−（３，５−ジクロロフェニル）ピペラジン、４−ジフルオロベンゾイルピペラジン、１−（３，４−ジメチルベンジル）ピペラジ��、１−（３，５−ジメトキシベンゾイル）ピペラジン、１−（３，５−ジメチルベンゾイル）ピペラジン、１−（３−アミノプロピル）ピペラジン、１−（３−シアノプロピル）ピペラジン、１−（３−ジエチルアミノプロピル）ピペラジン、１−（３−ジプロピルアミノプロピル）−ピペラジン、１−（３−メトキシプロピル）−ピペラジン、１−（３−モルホリノプロピル）ピペラジン、１−（３−フェニルプロピル）ピペラジン、１−（３−ピペリジノプロピル）ピペラジン、１−（３−ピロリジノプロピル）ピペラジン、１−（４−クロロベンゾイル）ピペラジン、１−（４−クロロベンジル）ピペラジン、１−（４−エトキシフェニル）ピペラジン、１−（４−メトキシベンゾイル）−ピペラジン、１−（４−メトキシブチル）ピペラジン、１−（４−フェニルブチル）−ピペラジン、１−（４−ピリジルメチル）ピペラジン、１−（４−ｔｅｒｔ−ブチルベンジル）ピペラジン、１−（シクロヘキシルカルボニル）ピペラジン、１−（エタンスルホニル）ピペラジン、１−（フェニルアセチル）ピペラジン、１−Ｃｂｚ−ピペラジン−２−カルボン酸、１−ヘキサノイル−ピペラジン、１−メチルスルホニル−ピペラジン、２，３−ジフェニルピペラジン、２−（２−フリル）ピペラジン、２−（２−メトキシフェニル）ピペラジン、２−（２−チエニル）ピペラジン、２−（３−オキソ−ピペラジン−１−カルボニル）−安息香酸、２−（４−クロロフェニル）ピペラジン−１−カルボン酸ｔｅｒｔ−ブチルエステル、２−（４−メトキシフェニル）ピペラジン、２−（４−メチルフェニル）ピペラジン、２−ベンジル−ピペラジン、３−（４−クロロフェニル）ピペラジン−１−カルボン酸ｔｅｒｔ−ブチルエステル、３−オキソ−ピペラジン−２−カルボン酸、３−フェニル−ピペラジン−１−カルボン酸エチルエステル、４−（４−Ｂｏｃ−ピペラジン−１−カルボニル）フェニルボロン酸ピナコールエステル、［５−（４−メチル−ピペラジン−１−スルホニル）−ピリジン−２−イル］−ヒドラジン、メチルピペラジン−１−カルボキシレート、１−エチル−２−メチル−ピペラジン、１，４−ビス（３−アミノプロピル）ピペラジン、１−［２−（２−ヒドロキシエトキシ）エチル］ピペラジン、１−（２−メチル−アリル）−ピペラジン、２−（３−トリフルオロメチル−フェニル）−ピペラジン、４−Ｎ−Ｂｏｃ−２−メチル−ピペラジン、１−（テトラヒドロ−２−フロイル）−ピペラジン、１−（テトラヒドロ−２−フリルメチル）ピペラジン、（Ｒ）−１−Ｂｏｃ−２−エチル−ピペラジン、（Ｒ）−１−Ｂｏｃ−３−エチル−ピペラジン、（Ｓ）−１−Ｂｏｃ−２−エチル−ピペラジン、（Ｓ）−１−Ｂｏｃ−３−エチル−ピペラジン、１−［１−（２−メトキシフェニル）エチル］ピペラジン、１−［１−（３−メトキシフェニル）エチル］ピペラジン、１−［１−（４−メトキシフェニル）−エチル］−ピペラジン、１−［２−（２−メチルフェノキシ）エチル］ピペラジン、１−（４−エトキシ−ベンジル）−ピペラジン、１−Ｂｏｃ−２，６−ジメチル−ピペラジン、１−Ｂｏｃ−３，３−ジメチルピペラジン、１−Ｂｏｃ−３，５−ジメチル−ピペラジン、１−Ｂｏｃ−５−オキ��−ピペラジン−２−カルボン酸、１−Ｎ−（ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル）−２−エチルピペラジン、２−（２−フルオロ−フェニル）−ピペラジン、２−（３−フルオロ−フェニル）−ピペラジン、２−メチル−１−（３−メチルフェニル）ピペラジン、４−（５−アミノピリジン−２−イル）ピペラジン−１−カルボン酸ｔｅｒｔ−ブチルエステル、１−［２−（ジメチルアミノ）エチル］ピペラジン、１−（１−メチル−４−ピペリジニル）ピペラジン、１−アセチル−４−（４−ヒドロキシフェニル）ピペラジン、１−［４−（トリフルオロメチル）ベンジル］ピペラジン、１−Ｂｏｃ−４−（２−ホルミルフェニル）ピペラジン、１−アミノ−４−（２−ヒドロキシエチル）ピペラジン、１−Ｂｏｃ−（４−ベンジル）ピペラジン、１−Ｂｏｃ−４−［３−（エトキシカルボニル）フェニル］ピペラジン、１−ビス（４−フルオロフェニル）メチルピペラジン、１−Ｂｏｃ−４−（３−ヒドロキシプロピル）ピペラジン、１−Ｂｏｃ−４−（４−ホルミルフェニル）ピペラジン、１−Ｂｏｃ−４−（４−メトキシカルボニルフェニル）ピペラジン、１−（１，３−ジオキソラン−２−イルメチル）ピペラジン、１−（３−アミノプロピル）−４−（２−メトキシフェニル）ピペラジン、１−［３−（ジメチルアミノ）プロピル］ピペラジン、１−（１，２，３，４−テトラヒドロナフタレン−２−イル）ピペラジン、１−（４−アミノブチル）−４−（２−メトキシフェニル）ピペラジン、１−Ｂｏｃ−４−（２−メトキシカルボニルフェニル）ピペラジン、１−Ｂｏｃ−４−（５−ニトロ−２−ピリジル）ピペラジン、（Ｒ）−１−Ｂｏｃ−２−ベンジルピペラジン、（Ｒ）−１−Ｎ−Ｂｏｃ−２−イソプロピルピペラジン、（Ｒ）−１−Ｎ−Ｂｏｃ−４−Ｎ−Ｆｍｏｃ−２−ピペラジンカルボン酸、（Ｒ）−１−Ｎ−Ｃｂｚ−２−メチル−ピペラジン、（Ｒ）−４−Ｎ−トリチル−２−メチルピペラジン、（Ｒ）−Ｎ４−ベンジル−２−（ベンジルオキシメチル）ピペラジン、（Ｓ）−１−Ｂｏｃ−２−ヒドロキシメチル−ピペラジン、（Ｓ）−１−Ｂｏｃ−２−イソブチル−ピペラジン、（Ｓ）−１−Ｂｏｃ−３−ベンジルピペラジン、（Ｓ）−１−Ｂｏｃ−３−イソプロピル−ピペラジン、（Ｓ）−１−Ｎ−Ｂｏｃ−４−Ｎ−Ｆｍｏｃ−ピペラジン−２−カルボン酸、（Ｓ）−４−Ｎ−トリチル−２−メチル−ピペラジン、（Ｓ）−ｎ４−ベンジル−２−
（メチルチオエチル）ピペラジン、１−［（２，６−ジクロロフェニル）スルホニル］ピペラジン、１−［（２−メチル−１，３−チアゾール−５−イル）メチル］ピペラジン、１−［（４，５−ジメチル−１，３−オキサゾール−２−イル）メチル］ピペラジン、１−［（４−シクロヘキシルフェニル）スルホニル］ピペラジン、１−［（４−イソブチルフェニル）スルホニル］ピペラジン、１−［（４−メチル−１，２，５−オキサジアゾール−３−イル）メチル］ピペラジン、１−［（４−ｓｅｃ−ブチルフェニル）スルホニル］ピペラジン、１−［（４−ｔｅｒｔ−ブチル−２，６−ジメチルフェニル）スルホニル］ピペラジン、１−［１−（ピリジン−２−イル）エチル］ピペラジン、１−［１−（ピリジン−３−イル）エチル］ピペラジン、１−［１−（チオフェン−２−イル）エチル］ピペラジン、１−［２−（１−プロピル）−オキシエチル］−ピペラジン、１−［２−（１Ｈ−ピロール−１−イル）エチル］ピペラジン、１−［２−（２−メトキシ−フェノキシ）−エチル〕ピペラジン、１−［２−（ジアリルアミノ）−エチル］−ピペラジン、１−［２−（トリフルオロメチル）ピリジン−４−イル］ピペラジン、１−［２−（トリフルオロメチル）キノール−４−イル］ピペラジン、１−［２−フルオロ−４−（メチルスルホニル）フェニル］ピペラジン、１−［２−フルオロ−４−（メチルスルホニル）フェニル］−４−（２−ヒドロキシエチル）ピペラジン、１−［３−（１−ピペリジニルカルボニル）−２−ピリジニル］ピペラジン、１−［３−（ジフルオロメトキシ）ベンゾイル］ピペラジン、１−［３−（トリフルオロメチル）ピリド−２−イル］ピペラジン、１−［４−（メチルスルホニル）フェニル］ピペラジン、１−［４−（トリフルオロメチル）ピリミド−２−イル］ピペラジン、１−（１Ｈ−イミダゾール−２−イルメチル）ピペラジン、１−（２，６−ジメチルピリジン−４−イル）ピペラジン、１−（２−ベンズヒドリルオキシ−エチル）ピペラジン、１−（２−ヒドロキシエチル）−４−イソプロピルピペラジン、１−（２−イミダゾール−１−イル−エチル）−ピペラジン、１−（２−イソシアノ−エチル）−４−メチル−ピペラジン、１−（２−メチル−チアゾール−４−イルメチル）−ピペラジン、１−（２−Ｎ−Ｂｏｃ−アミノエチル）ピペラジン、１−（２−ピリジン−２−イル−エチル）−ピペラジン、１−（２−ピリジン−４−イル−エチル）−ピペラジン、１−（２−チオフェン−２−イル−エチル）ピペラジン、１−（３，５−ジメチル−イソオキサゾール−４−イルメチル）−ピペラジン、１−（３−メトキシ−ベンジル）−ピペラジン、１−（３−メチル−ベンゾイル）−ピペラジン、１−（３−メチル−ピリジン−２−イルメチル）−ピペラジン、１−（３−メチルピリジン−２−イル）ピペラジン、１−（３−メチルピリジン−４−イル）ピペラジン、１−（４，６−ジメチルピリミジン−２−イル）ピペラジン、１−（４−シアノ−ベンジル）−ピペラジン、１−（４−エトキシ−ベンゼンスルホニル）−ピペラジン、１−（４−エトキシ−ピリジン−２−イル）−ピペラジン、１−（４−フルオロベンジル）−４−（２−ヒドロキシエチル）ピペラジン、１−（４−ヒドロキシ−フェニル）−ピペラジン−４−カルボン酸ｔｅｒｔ−ブチルエステル、Ｎ−Ｂｏｃ−ピペリジン、２−メチルピペラジン、２，６−ジメチルピペラジン、トランス−２，５−ジメチルピペラジン、１，４−ジメチルピペラジン、（Ｒ）−１−Ｂｏｃ−３−メチルピペラジン、１−Ｂｏｃ−３−オキソピペラジン、１，４−ビス−（２−メトキシ−５−メチル−ベンゼンスルホニル）−２−メチルピペラジン、１−［（１−メチル−１Ｈ−ピラゾール−３−イル）カルボニル］ピペラジン、１−［（１−メチル−１Ｈ−ピラゾール−４−イル）メチル］ピペラジン、１−（２−（Ｎ，Ｎ−ビス−（２−ヒドロキシプロピル）−アミノ）−エチル）−４−（２−ヒドロキシプロピル）−ピペラジン、１−（２−メトキシフェニル）−４−（（４−（２−メトキシフェニル）−１−ピペラジニル）（オキソ）アセチル）ピペラジン、１−（３−（２，３−ジヒドロ−１，４−ベンゾジオキシン−６−イル）アクリロイル）−４−（４−フルオロフェニル）ピペラジン、１−(４−クロロフェニル)−４−［(７−｛［４−(４−クロロフェニル)−１−ピペラジニル］スルホニル｝−９Ｈ−フルオレン−２−イル）スルホニル］ピペラジン、１−（４−フルオロフェニル）−４−（（４−（４−フルオロフェニル）−１−ピペラジニル）（オキソ）アセチル）ピペラジン、１−（４−ニトロフェニル）−４−（３−｛［４−（４−ニトロフェニル）−１−ピペラジニル］カルボニル｝ベンゾイル）ピペラジン、１−（４−ニトロフェニル）−４−（４−｛［４−（４−ニトロフェニル）−１−ピペラジニル］カルボニル｝ベンゾイル）ピペラジン、１−アセチル−４−（１−エチル−１Ｈ−イミダゾール−２−イル）ピペラジン、１−ベンズヒドリル−４−｛２−［５−（ベンジルスルファニル）−４−（２−メチル−２−プロペニル）−４Ｈ−１，２，４−トリアゾール−３−イル］エチル｝ピペラジン、１−ベンジル−４−［２−［（２'，４'−ジフルオロ［１，１'−ビフェニル］−４−イル）オキシ］エチル］ピペラジン、１−ベンジル−４−（３−（（２'，４'−ジフルオロ（１，１'−ビフェニル）−４−イル）オキシ）プロピル）ピペラジン、１−イソプロピル−４−［（１−メチル−１Ｈ−ピロール−２−イル）メチル］ピペラジン、１−メチル−４−（｛７−［（４−メチル−１−ピペラジニル）スルホニル］−９Ｈ−フルオレン−２−イル｝スルホニル）ピペラジン、１−フェニル−４−［フェニル（４−フェニル−１−ピペラジニル）メチル］ピペラジン、１−メチル−４−（メチルスルホニル）ピペラジン、４−（２−ヒドロキシ−エチル）−ピペラジン−１−カルボン酸（４−イソプロピル−フェニル）−アミド、６−ヒドロキシメチル−１，３−ジメチル−ピペラジン−２，５−ジオン、ビス（２−メトキシフェニル）２，２'−（ピペラジン−１，４−ジイル）ジエタンスルホネート、１−（アダマンタン−１−スルフィニル）−４−メチル−ピペラジン、１−（フェニルスルホニル）−４−（２−ピリジニル）ピペラジン、１−ベンジル−４−（２−メトキシプロパノイル）ピペラジン、１−シクロヘキシル−４−（メチルスルホニル）ピペラジン、１−エチル−４−（３−フリルメチル）ピペラジン、１−（３−フェノキシ−４−ピリジニル）ピペラジン、１−（２−ピリジニル）−４−（３−（２，３，４−トリメトキシフェニル）アクリロイル）ピペラジン、１−（３−（１，３−ベンゾジオキソール−５−イル）アクリロイル）−４−（２−ピリジニル）ピペラジン、１−（３−（１，３−ベンゾジオキソール−５−イル）アクリロイル）−４−（４−メトキシフェニル）ピペラジン、１，４−ビス−（２−ピリジルメチレンアミノ）−ピペラジン、１，４−ビス−（３，４，５−トリメトキシベンジリデンアミノ−ピペラジン、１，４−ビス−（アセトアセチル）−ピペラジン、１，４−ジ（２−フロイル）ピペラジン、１，４−ビス［２−（４−ピリジニル）エチル］ピペラジン、１，４−ビス（２−（２−ピリジニル）エチル）ピペラジン、１，４−ビス（２−カルボキシベンゾイル）ピペラジン、１，４−ビス（３−ピリジニルメチル）ピペラジン、１−（エトキシカルボニルメチル）ピペラジン、２，３，５，６−テトラヒドロキシ−ピペラジン−１，４−ジカルボアルデヒド、４−ベンジル−ピペラジン−１−カルボン酸シクロヘキシルアミド、ジエチル２，２'−（ピペラジン−１，４−ジイル）ビス（２−オキソアセテート）、ジエチル２，２'−（ピペラジン−１，４−ジイル）ジアセテート、ジメチル３，３'−（ピペラジン−１，４−ジイル）ジプロパノエート、（２Ｅ、２'Ｅ）−３，３'−（ピペラジン−１，４−ジイル）ビス（１−（２−ヒドロキシフェニル）プロプ−２−エン−１−オン）、２，２'−（ピペラジン−１，４−ジイル）ビス（Ｎ−（１，５−ジメチル−３−オキソ−２−フェニル−２，３−ジヒドロ−１Ｈ−ピラゾール−４−イル）アセトアミド）、２，２'−（ピペラジン−１，４−ジイル）ジプロパンアミド、２，２'−（ピペラジン−１，４−ジイル）ジプロパンニトリル、３，３'−（ピペラジン−１，４−ジイル）ビス（１−（９Ｈ−カルバゾール−９−イル）プロパン−２−オール）フマレート、３，３'−（ピペラジン−１，４−ジイル）ビス（１−フェニルプロパン−１−オン）、３，３'−（ピペラジン−１，４−ジイル）−ジプロパン−１−オール、４，４'−（ピペラジン−１，４−ジイル）ビス（３−エトキシシクロブタ−３−エン−１，２−ジオン、ピペラジン−１，４−ジカルボチオ酸ビス−フェニルアミド、１，４−ジ−ｔｅｒｔ−ブチルピペラジン−２，５−ジオン、１，４−ジドデシル−ピペラジン、１，４−ジヘキサデシル−ピペラジン、１−（１−ピペリジニルカルボニル）ピペラジン、１−（１−アダマンチルメチル）ピペラジン、１−（３，４−ジメトキシベンジル）ピペラジン、１−（３−ピリジニルカルボニル）ピペラジン、４−ピペラジノベンゾニトリル、（Ｓ）−３−メチル−２−ケトピペラジン、（Ｒ）−３−メチル−２−ケトピペラジン、４−カルボニル（Ｂｏｃ−ピペラジン−１−イル）−３−ニトロ安息香酸、１，１'−（ピペラジン−１，４−ジイル）ジプロパン−２−オール、２，２'−（ピペラジン−１，４−ジイル）ビス（１−フェニルエタノール）、２，２'−（ピペラジン−１，４−ジイル）ビス（２−メチルプロパンニトリル）、ピペラジン−Ｎ、Ｎ'−ビス（２−エタンスルホン酸）、１−ホルミルピ��ラジン、ＰＩＰＥＳナトリウム塩、ＰＩＰＥＳ二ナトリウム塩、ＰＩＰＥＳ二カリウム塩、ピペラジン−Ｎ、Ｎ'−ビス（２−ヒドロキシプロパンスルホン酸）、エチル１−ピペラジンカルボキシレート、ＰＯＰＳＯ二ナトリウム塩、４−ヒドロキシ−３−メトキシフェニルグリコールヘミピペラジニウム塩、クエン酸セスキピペラジン塩水和物、４−（２−ヒドロキシエチル）ピペラジン−１−エタンスルホン酸、４−（２−ヒドロキシエチル）−１−ピペラジンプロパンスルホン酸、ＨＥＰＥＳナトリウム塩、Ｎ−（２−ヒドロキシエチル）ピペラジン−Ｎ'−（４−ブタンスルホン酸）、３−メチル−２−ケトピペラジン、ＨＥＰＥＳカリウム塩、３−ピペラジノプロピオニトリル、エチルピペラジノアセテート、エストロピペート、１−ピペラジンプロパノール、ｔ−ブチル−４−（２−アミノ−１−フェニルエチル）ピペラジンカルボキシレート、ｔｅｒｔ−ブチル４−［２−（アミノメチル）フェニル］ピペラジン−１−カルボキシレート、ｔｅｒｔ−ブチル４−［５−（ヒドロキシメチル）ピリド−２−イル］ピペラジン−１−カルボキシレート、ｔｅｒｔ−ブチル４−（３−アミノベンジル）ピペラジン−１−カルボキシレート、ｔｅｒｔ−ブチル４−（４−［（メチルアミノ）メチル］フェニル）ピペラジン−１−カルボキシレート、ｔｅｒｔ−ブチル４−（４−シアノピリド−２−イル）ピペラジン−１−カルボキシレート、ｔｅｒｔ−ブチル４−（５−ホルミルピリド−２−イル）ピペラジン−１−カルボキシレート、ｔｅｒｔ−ブチル４−（オキセタン−３−イル）ピペラジン−１−カルボキシレート、ｔｅｒｔ−ブチル４−（ピペリジン−３−イル）ピペラジン−１−カルボキシレート、ｔｅｒｔ−ブチル４−（ピロリジン−２−イルカルボニル）ピペラジン−１−カルボキシレート、ｔｅｒｔ−ブチル４−（１Ｈ−ピロロ［２，３−ｂ］ピリジン−４−イル）ピペラジン−１−カルボキシレート、１−［２−（２，５−ジメチル−１Ｈ−ピロール−１−イル）エチル］ピペラジン、１−（（１，５−ジメチル−１Ｈ−ピラゾール−４−イル）メチル）ピペラジン、１−（１−エチル−５−メチル−１Ｈ−ピラゾール−４−イルメチル）−ピペラジン、t−ブチル−４−（２−アミノ−１−［４−（トリフルオロメチル）フェニル］エチル）ピペラジンカルボキシレート、３−（４−フルオロ−フェニル）−ピペラジン−１−カルボン酸ｔｅｒ
ｔ−ブチルエステル、３−（４−ヒドロキシ−フェニル）−ピペラジン−１−カルボン酸ｔｅｒｔ−ブチルエステル、３−フラン−２−イル−ピペラジン−１−カルボン酸ｔｅｒｔ−ブチルエステル、３−チオフェン−２−イル−ピペラジン−１−カルボン酸ベンジルエステル、４−（２−アミノ−フェニル）−ピペラジン−１−カルボン酸ｔｅｒｔ−ブチルエステル、４−（２−アミノエチル）−１−ｂｏｃ−ピペラジン、４−（５−カルボキシ−ピリジン−２−イル）−２−メチル−ピペラジン−１−カルボン酸ｔｅｒｔ−ブチルエステル、４−Ｂｏｃ−１−（６−メチル−２−ピリジル）ピペラジン、Ｆｍｏｃ−４−カルボキシメチル−ピペラジン、メチル４−Ｂｏｃ−ピペラジン−２−カルボキシレート、Ｎ，Ｎ−ジメチル−１−ピペラジンスルホンアミド、Ｎ−１−Ｂｏｃ−Ｎ−４−Ｆｍｏｃ−２−ピペラジンカルボン酸、Ｎ−４−Ｂｏｃ−Ｎ−１−ｃｂｚ−ピペラジン−２−カルボン酸、Ｎ−４−Ｂｏｃ−Ｎ−１−Ｆｍｏｃ−２−ピペラジン酢酸、硫酸化合物及びピペラジン−１−カルボキシイミドアミド（１:１）、１−エチル−４−ピペリジン−４−イル−ピペラジン、１−フラン−２−イルメチル−ピペラジン、１−メチル−４−（２−ピペリジン−４−イル−エチル）−ピペラジン、１−メチル−４−（６−アミノピリジン−３−イル）ピペラジン、１−メチル−４−（ピペリジン−４−イル）−ピペラジン、１−Ｎ−Ｂｏｃ−４−（アゼチジン−３−イル）ピペラジン、１−ピリジン−２−イルメチル−ピペラジン、１−ピリジン−３−イルメチル−ピペラジン、１−チアゾール−２−イル−ピペラジン、２−（２，５−ジメトキシ−フェニル）−ピペラジン、２−カルボキシメチル−３−オキソ−ピペラジン−１−カルボン酸ｔｅｒｔ−ブチルエステル、２−エトキシカルボニルメチル−３−オキソ−ピペラジン−１−カルボン酸ｔｅｒｔ−ブチルエステル、１−（４−メチル−シクロヘキシル）−ピペラジン、１−（４−メチル−ピペリジン−１−スルホニル）−ピペラジン、１−（４−トリフルオロメチル−ピリジン−２−イル）−ピペラジン、１−（５−メチル−２−ピリジニル）ピペラジン、１−（５−メチル−２−チアゾリル）−ピペラジン、１−（５−ニトロピリジン−２−イル）ピペラジン;１−（６−ブトキシ−２−ピリジニル）ピペラジン、１−（６−メチルピリド−２−イル）ピペラジン、１−（Ｎ−メチルピペリジン−３−イル−メチル）ピペラジン、１−（チエン−２−イルアセチル）ピペラジン、１−Ｂｏｃ−４−（ピペリジン−４−イル）−ピペラジン、１−Ｂｏｃ−４−シアノメチルピペラジン、１−シクロヘキサ−３−エニルメチル−ピペラジン、並びにこれらの組み合わせから成る群より選択される、組成物。
【請求項５】
請求項１に記載のタングステン化学機械研磨（ＣＭＰ）組成物であって、前記ピペラジン誘導体が、（Ｒ）−ピペラジン−２−カルボン酸、１−（２−ヒドロキシエチル）ピペラジン、ピペラジン−２，６−ジオン、１−（２−アミノエチル）ピペラジン、１，４−ビス（２−ヒドロキシエチル）ピペラジン、１，４−ビス（アクリロイル）ピペラジン、ピペラジン−１−酢酸ｔｅｒｔ−ブチルエステル、１−（３−メチルベンジル）ピペラジン、４−（ピペラジン−１−カルボニル）−ピペリジン−１−カルボン酸ｔｅｒｔ−ブチルエステル、ピペラジン−１−カルボン酸ジエチルアミド、ピペラジン−１−スルホンアミド、ピペラジン−２−カルボキサミド、１，２−ジメチルピペラジン、２−イソプロピル−ピペラジン、１−（２−ピリミジル）ピペラジン、１−（２−ピラジニル）−ピペラジン、１−（６−ピリダジニル）ピペラジン、１−（３−ヒドロキシフェニル）ピペラジン、１−（２−ピリジル）ピペラジン、１−（４−メトキシフェニル）ピペラジン、１−（４−ピリジル）ピペラジン、１−（４−アミノフェニル）ピペラジン、１−（４−メトキシベンジル）ピペラジン、１−（２−シアノフェニル）ピペラジン、１−（２−メトキシエチル）ピペラジン、１−Ｂｏｃ−ピペラジン−２−カルボン酸、１−（２−エトキシエチル）ピペラジン、（Ｒ）−１−Ｂｏｃ−ピペラジン−２−カルボン酸、（Ｒ）−３−ヒドロキシメチル−ピペラジン−１−カルボン酸ｔｅｒｔ−ブチルエステル、（Ｒ）−４−Ｎ−Ｂｏｃ−ピペラジン−２−カルボン酸、（Ｓ）−３−ヒドロキシメチル−ピペラジン−１−カルボン酸ｔｅｒｔ−ブチルエステル、（Ｓ）−４−Ｎ−Ｂｏｃ−ピペラジン−２−カルボン酸、１−（１−ピペリジニルスルホニル）ピペラジン、１−（２−ジイソプロピルアミノエチル）ピペラジン、１−（２−ジプロピルアミノエチル）−ピペラジン、１−（２−エトキシフェニル）ピペラジン、１−（２−エチルブタノイル）ピペラジン、１−（２−イソプロポキシエチル）ピペラジン、１−（２−メチルメルカプトフェニル）ピペラジン、１−（２−モルホリノエチル）ピペラジン、１−（２−ピペリジノエチル）ピペラジン、１−（２−ピロリジノエチル）ピペラジン、１−（３−アミノプロピル）ピペラジン、１−（３−シアノプロピル）ピペラジン、１−（３−ジエチルアミノプロピル）ピペラジン、１−（３−ジプロピルアミノプロピル）−ピペラジン、１−（３−メトキシプロピル）ピペラジン、１−（３−モルホリノプロピル）ピペラジン、１−（３−ピペリジノプロピル）ピペラジン、１−（３−ピロリジノプロピル）ピペラジン、１−（４−メトキシブチル）ピペラジン、１−（４−ピリジルメチル）ピペラジン、１−（エタンスルホニル）ピペラジン、３−オキソ−ピペラジン−２−カルボン酸、４−メチルピペラジン−１−カルボキシレート、１，４−ビス（３−アミノプロピル）ピペラジン、１−［２−（２−ヒドロキシエトキシ）エチル］ピペラジン、４−（５−アミノピリジン−２−イル）ピペラジン−１−カルボン酸ｔｅｒｔ−ブチルエステル、１−［２−（ジメチルアミノ）エチル］ピペラジン、１−（１−メチル−４−ピペリジニル）ピペラジン、１−アミノ−４−（２−ヒドロキシエチル）ピペラジン、１−（３−アミノプロピル）−４−（２−メトキシフェニル）ピペラジン、１−［３−（ジメチルアミノ）プロピル］ピペラジン、１−（４−アミノブチル）−４−（２−メトキシフェニル）ピペラジン、１−［３−（１−ピペリジニルカルボニル）−２−ピリジニル］ピペラジン、１−（１Ｈ−イミダゾール−２−イルメチル）ピペラジン、１−（２，６−ジメチルピリジン−４−イル）ピペラジン、１−（２−ヒドロキシエチル）−４−イソプロピルピペラジン、１−（２−イミダゾール−１−イル−エチル）−ピペラジン、１−（２−イソシアノ−エチル）−４−メチルピペラジン、１−（４−エトキシ−ピリジン−２−イル）−ピペラジン、２−メチルピペラジン、２，６−ジメチルピペラジン、トランス−２，５−ジメチルピペラジン、１，４−ジメチルピペラジン、１，４−ビス（３−ピリジニルメチル）ピペラジン、１−（エトキシカルボニルメチル）ピペラジン、２，３，５，６−テトラヒドロキシ−ピペラジン−１，４−ジカルボアルデヒド、ジメチル３，３'−（ピペラジン−１，４−ジイル）ジプロパノエート、２，２'−（ピペラジン−１，４−ジイル）ジプロパンアミド、２，２'−（ピペラジン−１，４−ジイル）ジプロパンニトリル、（Ｒ）−３−メチル−２−ケトピペラジン、２，２'−（ピペラジン−１，４−ジイル）ビス（２−メチルプロパンニトリル）、ピペラジン−Ｎ、Ｎ'−ビス（２−エタンスルホン酸）、１−ホルミルピペラジン、ＰＩＰＥＳナトリウム塩、ＰＩＰＥＳ二ナトリウム塩、ＰＩＰＥＳ二カリウム塩、ピペラジン−Ｎ、Ｎ'−ビス（２−ヒドロキシプロパンスルホン酸）、エチル１−ピペラジンカルボキシレート、ＰＯＰＳＯ二ナトリウム塩、４−ヒドロキシ−３−メトキシフェニルグリコールヘミピペラジニウム塩、４−（２−ヒドロキシエチル）ピペラジン−１−エタンスルホン酸、４−（２−ヒドロキシエチル）−１−ピペラジンプロパンスルホン酸、ＨＥＰＥＳナトリウム塩、Ｎ−（２−ヒドロキシエチル）ピペラジン−Ｎ’−（４−ブタンスルホン酸）、３−メチル−２−ケトピペラジン、ＨＥＰＥＳカリウム塩、３−ピペラジノプロピオニトリル、エチルピペラジノアセテート、及びこれらの組み合わせから成る群より選択される、組成物。
【請求項６】
請求項１に記載のタングステン化学機械研磨（ＣＭＰ）組成物であって、前記ピペラジン誘導体が、モノ置換１−（２−アミノエチル）ピペラジン、ビス置換１，４−ビス（３−アミノプロピル）ピペラジン、及びこれらの組み合わせから成る群より選択される、組成物。
【請求項７】
請求項１に記載のタングステン化学機械研磨（ＣＭＰ）組成物であって、前記化学添加剤が、カリウムシアネート、ナトリウムシアネート、アンモニウムシアネート、アルキルアンモニウムシアネート、及びこれらの組み合わせから成る群より選択されるシアネート塩である、組成物。
【請求項８】
請求項１に記載のタングステン化学機械研磨（ＣＭＰ）組成物であって、
腐食防止剤、
ｐＨ緩衝剤、
界面活性剤、及び
研磨組成物のｐＨが５．０〜８．０である場合はバイオサイド
のうちの１つ又は複数をさらに含む、組成物。
【請求項９】
選択的な化学機械研磨方法であって、
ａ）タングステン及び少なくとも１種の他の材料を含有する表面を有する半導体基材を提供する工程と、
ｂ）研磨パッドを提供する工程と、
ｃ）化学機械研磨（ＣＭＰ）組成物であって、
１）０．１ｗｔ％〜２５ｗｔ％の、シリカ、アルミナ、セリア、チタニア、ジルコニア、及びこれらの組み合わせから成る群より選択されるナノサイズ研磨剤と、
２）０．１ｗｔ％〜０．５ｗｔ％の、鉄化合物で被覆されたコロイドシリカ、鉄化合物で被覆されたコロイド又はナノサイズの無機金属酸化物粒子、及びこれらの組み合わせから成る群より選択される鉄化合物で被覆された粒子の固体触媒と、
３）０．０００１ｗｔ％〜０．５ｗｔ％の、ピペラジン誘導体、シアネート塩及びこれらの組み合わせから成る群より選択される化学添加剤と、
４）０．５ｗｔ％〜１０ｗｔ％の酸化剤と、
５）液体のキャリヤと
を含み、該ＣＭＰ組成物のｐＨが約２．０〜約８．０である、組成物を提供する工程と、
ｄ）該半導体基材の表面を該研磨パッド及び該化学機械研磨組成物と接触させる工程と、
ｅ）該半導体基材の表面を研磨する工程と
を含み、タングステンを含有する表面の少なくとも一部が該研磨パッド及び該化学機械研磨組成物の両方と接触しており、かつ、タングステン除去速度の、少なくとも１種の他の材料の除去速度に対する比が１以上である、方法。
【請求項１０】
請求項９に記載のタングステン含有半導体基材化学機械研磨方法であって、前記化学添加剤が、下式の一般的な分子構造、すなわち、
【化３】
2014194016.tif 000009
を有するピペラジン誘導体であって、式中、Ｒ1及びＲ2は独立して、水素、アリール、アラルキル、アルキル、アルコキシ、１つ又は複数のヒドロキシル基を有する有機基、置換有機スルホン酸、置換有機スルホン酸塩、置換有機カルボン酸、置換有機カルボン酸塩、置換有機カルボン酸アミド、置換ケトン、有機カルボン酸エステル、有機アミン、及びこれらの組み合わせから成る群より選択される、方法。
【請求項１１】
請求項９に記載のタングステン含有半導体基材化学機械研磨方法であって、前記ピペラジン誘導体が下式の分子構造、すなわち、
【化４】
2014194016.tif 000010
を有する、（ａ）置換有機モノアミノピペラジン誘導体、又は（ｂ）置換有機ビスアミノピペラジン誘導体であり、
式中、ｎは独立して１〜６から選択され、かつ、Ｒ、Ｒ’、Ｒ”及びＲ”’は独立して水素、アルキル、アルコキシ、アリール、アラルキル、１つ又は複数のヒドロキシル基を有する有機基、置換有機スルホン酸、置換有機スルホン酸塩、置換有機カルボン酸、置換有機カルボン酸塩、置換ケトン、有機カルボン酸エステル、有機アミン、置換有機カルボン酸アミド及びこれらの組み合わせから成る群より選択される、方法。
【請求項１２】
請求項９に記載のタングステン含有半導体基材化学機械研磨方法であって、前記化学添加剤が、（Ｒ）−ピペラジン−２−カルボン酸、１−（２−ヒドロキシエチル）ピペラジン、ピペラジン−２，６−ジオン、１−（２−アミノエチル）ピペラジン、１，４−ビス（２−ヒドロキシエチル）ピペラジン、１，４−ビス（アクリロイル）ピペラジン、ピペラジン−１−酢酸ｔｅｒｔ−ブチルエステル、１−（３−メチルベンジル）ピペラジン、４−Ｂｏｃ−ピペラジン−２−カルボン酸、１−（ジフェニルメチル）ピペラジン、１，４−ジ−Ｂｏｃ−ピペラジン−２−カルボン酸、２−（ピペラジン−１−カルボニル）−安息香酸、４−（ピペラジン−１−カルボニル）−ピペリジン−１−カルボン酸ｔｅｒｔ−ブチルブチルエステル、ピペラジン−１−カルボン酸（２−クロロ−フェニル）−アミドピペラジン−１−カルボン酸ジメチルアミド、ピペラジン−１−カルボン酸ジエチルアミド、ピペラジン−１−カルボン酸ジフェニルアミド、ピペラジン−１−スルホンアミド、ピペラジン−２−カルボキサミド、１，２−ジメチルピペラジン、１−（２−ブチル）−ピペラジン、２−イソブチル−ピペラジン、２−ｔｅｒｔ−ブチルピペラジン、Ｒ−２−イソブチル−ピペラジン、Ｓ−２−イソブチル−ピペラジン、２−イソプロピル−ピペラジン、１−（２−ピリミジル）ピペラジン、１−（４−トリフルオロメチルフェニル）ピペラジン、１−（シクロプロピルメチル）ピペラジン、１−（２−ピラジニル）−ピペラジン、１−（２−トリフルオロメチルフェニル）−ピペラジン、１−（６−ピリダジニル）ピペラジン、２−（４−トリフルオロメチルフェニル）ピペラジン、２−フェニル−ピペラジン−１−カルボン酸ベンジルエステル、１−（１−ナフチルメチル）ピペラジン、１−（１−ペンチル）ピペラジン、１−（２−ペンチル）−ピペラジン、１−（３−ペンチル）−ピペラジン、１−（プロパノイル）−ピペラジン、２−フェニル−ピペラジン−１−カルボン酸ｔｅｒｔ−ブチルエステル、１−Ｂｏｃ−ピペラジン、１−（４−クロロフェニル）ピペラジン、１−（２−フロイル）ピペラジン、１−（２−フルオロフェニル）ピペラジン、１−（２−ヒドロキシフェニル）ピペラジン、１−（２−フェニルエチル）ピペラジン、１−（４−フルオロフェニル）ピペラジン、１−（２−メチルベンジル）ピペラジン、１−（４−ヒドロキシフェニル）ピペラジン、１−（４−メチルベンジル）ピペラジン、１−（３−ヒドロキシフェニル）ピペラジン、１−（１−フェニルエチル）ピペラジン、１−（２，４−ジメチルフェニル）ピペラジン、１−（２，５−ジメチルフェニル）ピペラジン、１−（２，５−ジメチルフェニル）ピペラジン、１−（２，６−キシリル）ピペラジン、１−（２−エチルフェニル）ピペラジン、１−（２−エチルフェニル）ピペラジン、１−（３，４−ジメチルフェニル）ピペラジン、１−（３，５−ジメチルフェニル）ピペラジン、１−（３−フルオロフェニル）ピペラジン、１−（３−フロイル）ピペラジン、１−（Ｎ−ヘプチル）ピペラジン、１−ピバロイル−ピペラジン、２，３−ジメチル−ピペラジン−１−カルボン酸ｔｅｒｔ−ブチルエステル、２−（２−クロロフェニル）ピペラジン、２−（４−クロロフェニル）ピペラジン、Ｎ−４−Ｃｂｚ−ピペラジン−２−カルボン酸メチルエステル、１−（２−ピリジル）ピペラジン、１−（２−メトキシフェニル）ピペラジン、１−（４−メトキシフェニル）ピペラジン、１−（４−クロロベンズヒドリル）ピペラジン、１−（４−ピリジル）ピペラジン、１−（４−アミノフェニル）ピペラジン、１−（４−メトキシベンジル）ピペラジン、１−（２−シアノフェニル）ピペラジン、１−（１−アダマンチル）ピペラジン、１−（４−ニトロフェニル）ピペラジン、１−（２−メトキシエチル）ピペラジン、２−（トリフルオロメチル）ピペラジン、１−（３，４−ジクロロフェニル）ピペラジン;１−Ｂｏｃ−ピペラジン−２−カルボン酸、１−（２，５−ジフルオロベンジル）ピペラジン、１−（２−エトキシエチル）ピペラジン、１−（３，４−ジクロロベンジル）ピペラジン、１−（３−メトキシフェニル）ピペラジン、１−（シクロヘキシルメチル）ピペラジン、１−（３−メチルフェニル）ピペラジン、１−（４−メチルフェニル）ピペラジン、１−（３−フルオロベンジル）ピペラジン、１−（４−フルオロベンジル）ピペラジン、２−（３−メトキシフェニル）ピペラジン、１−（３−クロロベンジル）ピペラジン、１−（シクロプロピルカルボニル）ピペラジン、（Ｒ）−１−Ｂｏｃ−ピペラジン−２−カルボン酸、（Ｒ）−２−ベンジルピペラジン、（Ｒ）−３−ヒドロキシメチル−ピペラジン−１−カルボン酸ｔｅｒｔ−ブチルエステル、（Ｒ）−４−Ｎ−Ｂｏｃ−ピペラジン−２−カルボン酸、（Ｓ）−２−ベンジルピペラジン、（Ｓ）−２−ベンジルピペラジン−１−カルボン酸ｔｅｒｔ−ブチルエステル、（Ｓ）−３−ヒドロキシメチル−ピペラジン−１−カルボン酸ｔｅｒｔ−ブチルエステル、（Ｓ）−４−Ｎ−Ｂｏｃ−ピペラジン−２−カルボン酸、１−（１−ピペリジニルスルホニル）ピペラジン、１−（２，２，２−トリフルオロエチル）ピペラジン、１−（２，３−ジフルオロフェニル）ピペラジン、１−（２，４，６−トリメチルベンジル）ピペラジン、１−（２，４−ジクロロベンジル）ピペラジン、１−（２，４−ジフルオロフェニル）ピペラジン、１−（２，６−ジクロロベンジル）ピペラジン、１−（２−クロロベンジル）ピペラジン、１−（２−シクロヘキシルエチル）ピペラジン、１−（２−ジイソプロピルアミノエチル）ピペラジン、１−（２−ジプロピルアミノエチル）−ピペラジン、１−（２−エトキシフェニル）ピペラジン、１−（２−エチルブタノイル）ピペラジン、１−（２−フルオロベンジル）ピペラジン、１−（２−イソプロポキシエチル）ピペラジン、１−（２−メチルメルカプトフェニル）ピペラジン、１−（２−メチルプロパノイル）−ピペラジン、１−（２−モルホリノエチル）ピペラジン、１−（２−フェノキシエチル）ピペラジン、１−（２−ピペリジノエチル）ピペラジン、１−（２−ピロリジノエチル）ピペラジン、１−（３，３−ジメチルブタノイル）ピペラジン、１−（３，４−ジクロロベンゾイル）ピペラジン、１−（３−（３，５−ジクロロフェニル）ピペラジン、４−ジフルオロベンゾイルピペラジン、１−（３，４−ジメチルベンジル）ピペラジン、��−（３，５−ジメトキシベンゾイル）ピペラジン、１−（３，５−ジメチルベンゾイル）ピペラジン、１−（３−アミノプロピル）ピペラジン、１−（３−シアノプロピル）ピペラジン、１−（３−ジエチルアミノプロピル）ピペラジン、１−（３−ジプロピルアミノプロピル）−ピペラジン、１−（３−メトキシプロピル）−ピペラジン、１−（３−モルホリノプロピル）ピペラジン、１−（３−フェニルプロピル）ピペラジン、１−（３−ピペリジノプロピル）ピペラジン、１−（３−ピロリジノプロピル）ピペラジン、１−（４−クロロベンゾイル）ピペラジン、１−（４−クロロベンジル）ピペラジン、１−（４−エトキシフェニル）ピペラジン、１−（４−メトキシベンゾイル）−ピペラジン、１−（４−メトキシブチル）ピペラジン、１−（４−フェニルブチル）−ピペラジン、１−（４−ピリジルメチル）ピペラジン、１−（４−ｔｅｒｔ−ブチルベンジル）ピペラジン、１−（シクロヘキシルカルボニル）ピペラジン、１−（エタンスルホニル）ピペラジン、１−（フェニルアセチル）ピペラジン、１−Ｃｂｚ−ピペラジン−２−カルボン酸、１−ヘキサノイル−ピペラジン、１−メチルスルホニル−ピペラジン、２，３−ジフェニルピペラジン、２−（２−フリル）ピペラジン、２−（２−メトキシフェニル）ピペラジン、２−（２−チエニル）ピペラジン、２−（３−オキソ−ピペラジン−１−カルボニル）−安息香酸、２−（４−クロロフェニル）ピペラジン−１−カルボン酸ｔｅｒｔ−ブチルエステル、２−（４−メトキシフェニル）ピペラジン、２−（４−メチルフェニル）ピペラジン、２−ベンジル−ピペラジン、３−（４−クロロフェニル）ピペラジン−１−カルボン酸ｔｅｒｔ−ブチルエステル、３−オキソ−ピペラジン−２−カルボン酸、３−フェニル−ピペラジン−１−カルボン酸エチルエステル、４−（４−Ｂｏｃ−ピペラジン−１−カルボニル）フェニルボロン酸ピナコールエステル、［５−（４−メチル−ピペラジン−１−スルホニル）−ピリジン−２−イル］−ヒドラジン、メチルピペラジン−１−カルボキシレート、１−エチル−２−メチル−ピペラジン、１，４−ビス（３−アミノプロピル）ピペラジン、１−［２−（２−ヒドロキシエトキシ）エチル］ピペラジン、１−（２−メチル−アリル）−ピペラジン、２−（３−トリフルオロメチル−フェニル）−ピペラジン、４−Ｎ−Ｂｏｃ−２−メチル−ピペラジン、１−（テトラヒドロ−２−フロイル）−ピペラジン、１−（テトラヒドロ−２−フリルメチル）ピペラジン、（Ｒ）−１−Ｂｏｃ−２−エチル−ピペラジン、（Ｒ）−１−Ｂｏｃ−３−エチル−ピペラジン、（Ｓ）−１−Ｂｏｃ−２−エチル−ピペラジン、（Ｓ）−１−Ｂｏｃ−３−エチル−ピペラジン、１−［１−（２−メトキシフェニル）エチル］ピペラジン、１−［１−（３−メトキシフェニル）エチル］ピペラジン、１−［１−（４−メトキシフェニル）−エチル］−ピペラジン、１−［２−（２−メチルフェノキシ）エチル］ピペラジン、１−（４−エトキシ−ベンジル）−ピペラジン、１−Ｂｏｃ−２，６−ジメチル−ピペラジン、１−Ｂｏｃ−３，３−ジメチルピペラジン、１−Ｂｏｃ−３，５−ジメチル−ピペラジン、１−Ｂｏｃ−５−オキソ−��ペラジン−２−カルボン酸、１−Ｎ−（ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル）−２−エチルピペラジン、２−（２−フルオロ−フェニル）−ピペラジン、２−（３−フルオロ−フェニル）−ピペラジン、２−メチル−１−（３−メチルフェニル）ピペラジン、４−（５−アミノピリジン−２−イル）ピペラジン−１−カルボン酸ｔｅｒｔ−ブチルエステル、１−［２−（ジメチルアミノ）エチル］ピペラジン、１−（１−メチル−４−ピペリジニル）ピペラジン、１−アセチル−４−（４−ヒドロキシフェニル）ピペラジン、１−［４−（トリフルオロメチル）ベンジル］ピペラジン、１−Ｂｏｃ−４−（２−ホルミルフェニル）ピペラジン、１−アミノ−４−（２−ヒドロキシエチル）ピペラジン、１−Ｂｏｃ−（４−ベンジル）ピペラジン、１−Ｂｏｃ−４−［３−（エトキシカルボニル）フェニル］ピペラジン、１−ビス（４−フルオロフェニル）メチルピペラジン、１−Ｂｏｃ−４−（３−ヒドロキシプロピル）ピペラジン、１−Ｂｏｃ−４−（４−ホルミルフェニル）ピペラジン、１−Ｂｏｃ−４−（４−メトキシカルボニルフェニル）ピペラジン、１−（１，３−ジオキソラン−２−イルメチル）ピペラジン、１−（３−アミノプロピル）−４−（２−メトキシフェニル）ピペラジン、１−［３−（ジメチルアミノ）プロピル］ピペラジン、１−（１，２，３，４−テトラヒドロナフタレン−２−イル）ピペラジン、１−（４−アミノブチル）−４−（２−メトキシフェニル）ピペラジン、１−Ｂｏｃ−４−（２−メトキシカルボニルフェニル）ピペラジン、１−Ｂｏｃ−４−（５−ニトロ−２−ピリジル）ピペラジン、（Ｒ）−１−Ｂｏｃ−２−ベンジルピペラジン、（Ｒ）−１−Ｎ−Ｂｏｃ−２−イソプロピルピペラジン、（Ｒ）−１−Ｎ−Ｂｏｃ−４−Ｎ−Ｆｍｏｃ−２−ピペラジンカルボン酸、（Ｒ）−１−Ｎ−Ｃｂｚ−２−メチル−ピペラジン、（Ｒ）−４−Ｎ−トリチル−２−メチルピペラジン、（Ｒ）−Ｎ４−ベンジル−２−（ベンジルオキシメチル）ピペラジン、（Ｓ）−１−Ｂｏｃ−２−ヒドロキシメチル−ピペラジン、（Ｓ）−１−Ｂｏｃ−２−イソブチル−ピペラジン、（Ｓ）−１−Ｂｏｃ−３−ベンジルピペラジン、（Ｓ）−１−Ｂｏｃ−３−イソプロピル−ピペラジン、（Ｓ）−１−Ｎ−Ｂｏｃ−４−Ｎ−Ｆｍｏｃ−ピペラジン−２−カルボン酸、（Ｓ）−４−Ｎ−トリチル−２−メチル−ピペラジン、（Ｓ）−ｎ４−ベンジル−２−（メ
チルチオエチル）ピペラジン、１−［（２，６−ジクロロフェニル）スルホニル］ピペラジン、１−［（２−メチル−１，３−チアゾール−５−イル）メチル］ピペラジン、１−［（４，５−ジメチル−１，３−オキサゾール−２−イル）メチル］ピペラジン、１−［（４−シクロヘキシルフェニル）スルホニル］ピペラジン、１−［（４−イソブチルフェニル）スルホニル］ピペラジン、１−［（４−メチル−１，２，５−オキサジアゾール−３−イル）メチル］ピペラジン、１−［（４−ｓｅｃ−ブチルフェニル）スルホニル］ピペラジン、１−［（４−ｔｅｒｔ−ブチル−２，６−ジメチルフェニル）スルホニル］ピペラジン、１−［１−（ピリジン−２−イル）エチル］ピペラジン、１−［１−（ピリジン−３−イル）エチル］ピペラジン、１−［１−（チオフェン−２−イル）エチル］ピペラジン、１−［２−（１−プロピル）−オキシエチル］−ピペラジン、１−［２−（１Ｈ−ピロール−１−イル）エチル］ピペラジン、１−［２−（２−メトキシ−フェノキシ）−エチル〕ピペラジン、１−［２−（ジアリルアミノ）−エチル］−ピペラジン、１−［２−（トリフルオロメチル）ピリジン−４−イル］ピペラジン、１−［２−（トリフルオロメチル）キノール−４−イル］ピペラジン、１−［２−フルオロ−４−（メチルスルホニル）フェニル］ピペラジン、１−［２−フルオロ−４−（メチルスルホニル）フェニル］−４−（２−ヒドロキシエチル）ピペラジン、１−［３−（１−ピペリジニルカルボニル）−２−ピリジニル］ピペラジン、１−［３−（ジフルオロメトキシ）ベンゾイル］ピペラジン、１−［３−（トリフルオロメチル）ピリド−２−イル］ピペラジン、１−［４−（メチルスルホニル）フェニル］ピペラジン、１−［４−（トリフルオロメチル）ピリミド−２−イル］ピペラジン、１−（１Ｈ−イミダゾール−２−イルメチル）ピペラジン、１−（２，６−ジメチルピリジン−４−イル）ピペラジン、１−（２−ベンズヒドリルオキシ−エチル）ピペラジン、１−（２−ヒドロキシエチル）−４−イソプロピルピペラジン、１−（２−イミダゾール−１−イル−エチル）−ピペラジン、１−（２−イソシアノ−エチル）−４−メチル−ピペラジン、１−（２−メチル−チアゾール−４−イルメチル）−ピペラジン、１−（２−Ｎ−Ｂｏｃ−アミノエチル）ピペラジン、１−（２−ピリジン−２−イル−エチル）−ピペラジン、１−（２−ピリジン−４−イル−エチル）−ピペラジン、１−（２−チオフェン−２−イル−エチル）ピペラジン、１−（３，５−ジメチル−イソオキサゾール−４−イルメチル）−ピペラジン、１−（３−メトキシ−ベンジル）−ピペラジン、１−（３−メチル−ベンゾイル）−ピペラジン、１−（３−メチル−ピリジン−２−イルメチル）−ピペラジン、１−（３−メチルピリジン−２−イル）ピペラジン、１−（３−メチルピリジン−４−イル）ピペラジン、１−（４，６−ジメチルピリミジン−２−イル）ピペラジン、１−（４−シアノ−ベンジル）−ピペラジン、１−（４−エトキシ−ベンゼンスルホニル）−ピペラジン、１−（４−エトキシ−ピリジン−２−イル）−ピペラジン、１−（４−フルオロベンジル）−４−（２−ヒドロキシエチル）ピペラジン、１−（４−ヒドロキシ−フェニル）−ピペラジン−４−カルボン酸ｔｅｒｔ−ブチルエステル、Ｎ−Ｂｏｃ−ピペリジン、２−メチルピペラジン、２，６−ジメチルピペラジン、トランス−２，５−ジメチルピペラジン、１，４−ジメチルピペラジン、（Ｒ）−１−Ｂｏｃ−３−メチルピペラジン、１−Ｂｏｃ−３−オキソピペラジン、１，４−ビス−（２−メトキシ−５−メチル−ベンゼンスルホニル）−２−メチルピペラジン、１−［（１−メチル−１Ｈ−ピラゾール−３−イル）カルボニル］ピペラジン、１−［（１−メチル−１Ｈ−ピラゾール−４−イル）メチル］ピペラジン、１−（２−（Ｎ，Ｎ−ビス−（２−ヒドロキシプロピル）−アミノ）−エチル）−４−（２−ヒドロキシプロピル）−ピペラジン、１−（２−メトキシフェニル）−４−（（４−（２−メトキシフェニル）−１−ピペラジニル）（オキソ）アセチル）ピペラジン、１−（３−（２，３−ジヒドロ−１，４−ベンゾジオキシン−６−イル）アクリロイル）−４−（４−フルオロフェニル）ピペラジン、１−(４−クロロフェニル)−４−［(７−｛［４−(４−クロロフェニル)−１−ピペラジニル］スルホニル｝−９Ｈ−フルオレン−２−イル）スルホニル］ピペラジン、１−（４−フルオロフェニル）−４−（（４−（４−フルオロフェニル）−１−ピペラジニル）（オキソ）アセチル）ピペラジン、１−（４−ニトロフェニル）−４−（３−｛［４−（４−ニトロフェニル）−１−ピペラジニル］カルボニル｝ベンゾイル）ピペラジン、１−（４−ニトロフェニル）−４−（４−｛［４−（４−ニトロフェニル）−１−ピペラジニル］カルボニル｝ベンゾイル）ピペラジン、１−アセチル−４−（１−エチル−１Ｈ−イミダゾール−２−イル）ピペラジン、１−ベンズヒドリル−４−｛２−［５−（ベンジルスルファニル）−４−（２−メチル−２−プロペニル）−４Ｈ−１，２，４−トリアゾール−３−イル］エチル｝ピペラジン、１−ベンジル−４−［２−［（２'，４'−ジフルオロ［１，１'−ビフェニル］−４−イル）オキシ］エチル］ピペラジン、１−ベンジル−４−（３−（（２'，４'−ジフルオロ（１，１'−ビフェニル）−４−イル）オキシ）プロピル）ピペラジン、１−イソプロピル−４−［（１−メチル−１Ｈ−ピロール−２−イル）メチル］ピペラジン、１−メチル−４−（｛７−［（４−メチル−１−ピペラジニル）スルホニル］−９Ｈ−フルオレン−２−イル｝スルホニル）ピペラジン、１−フェニル−４−［フェニル（４−フェニル−１−ピペラジニル）メチル］ピペラジン、１−メチル−４−（メチルスルホニル）ピペラジン、４−（２−ヒドロキシ−エチル）−ピペラジン−１−カルボン酸（４−イソプロピル−フェニル）−アミド、６−ヒドロキシメチル−１，３−ジメチル−ピペラジン−２，５−ジオン、ビス（２−メトキシフェニル）２，２'−（ピペラジン−１，４−ジイル）ジエタンスルホネート、１−（アダマンタン−１−スルフィニル）−４−メチル−ピペラジン、１−（フェニルスルホニル）−４−（２−ピリジニル）ピペラジン、１−ベンジル−４−（２−メトキシプロパノイル）ピペラジン、１−シクロヘキシル−４−（メチルスルホニル）ピペラジン、１−エチル−４−（３−フリルメチル）ピペラジン、１−（３−フェノキシ−４−ピリジニル）ピペラジン、１−（２−ピリジニル）−４−（３−（２，３，４−トリメトキシフェニル）アクリロイル）ピペラジン、１−（３−（１，３−ベンゾジオキソール−５−イル）アクリロイル）−４−（２−ピリジニル）ピペラジン、１−（３−（１，３−ベンゾジオキソール−５−イル）アクリロイル）−４−（４−メトキシフェニル）ピペラジン、１，４−ビス−（２−ピリジルメチレンアミノ）−ピペラジン、１，４−ビス−（３，４，５−トリメトキシベンジリデンアミノ−ピペラジン、１，４−ビス−（アセトアセチル）−ピペラジン、１，４−ジ（２−フロイル）ピペラジン、１，４−ビス［２−（４−ピリジニル）エチル］ピペラジン、１，４−ビス（２−（２−ピリジニル）エチル）ピペラジン、１，４−ビス（２−カルボキシベンゾイル）ピペラジン、１，４−ビス（３−ピリジニルメチル）ピペラジン、１−（エトキシカルボニルメチル）ピペラジン、２，３，５，６−テトラヒドロキシ−ピペラジン−１，４−ジカルボアルデヒド、４−ベンジル−ピペラジン−１−カルボン酸シクロヘキシルアミド、ジエチル２，２'−（ピペラジン−１，４−ジイル）ビス（２−オキソアセテート）、ジエチル２，２'−（ピペラジン−１，４−ジイル）ジアセテート、ジメチル３，３'−（ピペラジン−１，４−ジイル）ジプロパノエート、（２Ｅ、２'Ｅ）−３，３'−（ピペラジン−１，４−ジイル）ビス（１−（２−ヒドロキシフェニル）プロプ−２−エン−１−オン）、２，２'−（ピペラジン−１，４−ジイル）ビス（Ｎ−（１，５−ジメチル−３−オキソ−２−フェニル−２，３−ジヒドロ−１Ｈ−ピラゾール−４−イル）アセトアミド）、２，２'−（ピペラジン−１，４−ジイル）ジプロパンアミド、２，２'−（ピペラジン−１，４−ジイル）ジプロパンニトリル、３，３'−（ピペラジン−１，４−ジイル）ビス（１−（９Ｈ−カルバゾール−９−イル）プロパン−２−オール）フマレート、３，３'−（ピペラジン−１，４−ジイル）ビス（１−フェニルプロパン−１−オン）、３，３'−（ピペラジン−１，４−ジイル）−ジプロパン−１−オール、４，４'−（ピペラジン−１，４−ジイル）ビス（３−エトキシシクロブタ−３−エン−１，２−ジオン、ピペラジン−１，４−ジカルボチオ酸ビス−フェニルアミド、１，４−ジ−ｔｅｒｔ−ブチルピペラジン−２，５−ジオン、１，４−ジドデシル−ピペラジン、１，４−ジヘキサデシル−ピペラジン、１−（１−ピペリジニルカルボニル）ピペラジン、１−（１−アダマンチルメチル）ピペラジン、１−（３，４−ジメトキシベンジル）ピペラジン、１−（３−ピリジニルカルボニル）ピペラジン、４−ピペラジノベンゾニトリル、（Ｓ）−３−メチル−２−ケトピペラジン、（Ｒ）−３−メチル−２−ケトピペラジン、４−カルボニル（Ｂｏｃ−ピペラジン−１−イル）−３−ニトロ安息香酸、１，１'−（ピペラジン−１，４−ジイル）ジプロパン−２−オール、２，２'−（ピペラジン−１，４−ジイル）ビス（１−フェニルエタノール）、２，２'−（ピペラジン−１，４−ジイル）ビス（２−メチルプロパンニトリル）、ピペラジン−Ｎ、Ｎ'−ビス（２−エタンスルホン酸）、１−ホルミルピペラ��ン、ＰＩＰＥＳナトリウム塩、ＰＩＰＥＳ二ナトリウム塩、ＰＩＰＥＳ二カリウム塩、ピペラジン−Ｎ、Ｎ'−ビス（２−ヒドロキシプロパンスルホン酸）、エチル１−ピペラジンカルボキシレート、ＰＯＰＳＯ二ナトリウム塩、４−ヒドロキシ−３−メトキシフェニルグリコールヘミピペラジニウム塩、クエン酸セスキピペラジン塩水和物、４−（２−ヒドロキシエチル）ピペラジン−１−エタンスルホン酸、４−（２−ヒドロキシエチル）−１−ピペラジンプロパンスルホン酸、ＨＥＰＥＳナトリウム塩、Ｎ−（２−ヒドロキシエチル）ピペラジン−Ｎ'−（４−ブタンスルホン酸）、３−メチル−２−ケトピペラジン、ＨＥＰＥＳカリウム塩、３−ピペラジノプロピオニトリル、エチルピペラジノアセテート、エストロピペート、１−ピペラジンプロパノール、ｔ−ブチル−４−（２−アミノ−１−フェニルエチル）ピペラジンカルボキシレート、ｔｅｒｔ−ブチル４−［２−（アミノメチル）フェニル］ピペラジン−１−カルボキシレート、ｔｅｒｔ−ブチル４−［５−（ヒドロキシメチル）ピリド−２−イル］ピペラジン−１−カルボキシレート、ｔｅｒｔ−ブチル４−（３−アミノベンジル）ピペラジン−１−カルボキシレート、ｔｅｒｔ−ブチル４−（４−［（メチルアミノ）メチル］フェニル）ピペラジン−１−カルボキシレート、ｔｅｒｔ−ブチル４−（４−シアノピリド−２−イル）ピペラジン−１−カルボキシレート、ｔｅｒｔ−ブチル４−（５−ホルミルピリド−２−イル）ピペラジン−１−カルボキシレート、ｔｅｒｔ−ブチル４−（オキセタン−３−イル）ピペラジン−１−カルボキシレート、ｔｅｒｔ−ブチル４−（ピペリジン−３−イル）ピペラジン−１−カルボキシレート、ｔｅｒｔ−ブチル４−（ピロリジン−２−イルカルボニル）ピペラジン−１−カルボキシレート、ｔｅｒｔ−ブチル４−（１Ｈ−ピロロ［２，３−ｂ］ピリジン−４−イル）ピペラジン−１−カルボキシレート、１−［２−（２，５−ジメチル−１Ｈ−ピロール−１−イル）エチル］ピペラジン、１−（（１，５−ジメチル−１Ｈ−ピラゾール−４−イル）メチル）ピペラジン、１−（１−エチル−５−メチル−１Ｈ−ピラゾール−４−イルメチル）−ピペラジン、t−ブチル−４−（２−アミノ−１−［４−（トリフルオロメチル）フェニル］エチル）ピペラジンカルボキシレート、３−（４−フルオロ−フェニル）−ピペラジン−１−カルボン酸ｔｅｒｔ−
ブチルエステル、３−（４−ヒドロキシ−フェニル）−ピペラジン−１−カルボン酸ｔｅｒｔ−ブチルエステル、３−フラン−２−イル−ピペラジン−１−カルボン酸ｔｅｒｔ−ブチルエステル、３−チオフェン−２−イル−ピペラジン−１−カルボン酸ベンジルエステル、４−（２−アミノ−フェニル）−ピペラジン−１−カルボン酸ｔｅｒｔ−ブチルエステル、４−（２−アミノエチル）−１−ｂｏｃ−ピペラジン、４−（５−カルボキシ−ピリジン−２−イル）−２−メチル−ピペラジン−１−カルボン酸ｔｅｒｔ−ブチルエステル、４−Ｂｏｃ−１−（６−メチル−２−ピリジル）ピペラジン、Ｆｍｏｃ−４−カルボキシメチル−ピペラジン、メチル４−Ｂｏｃ−ピペラジン−２−カルボキシレート、Ｎ，Ｎ−ジメチル−１−ピペラジンスルホンアミド、Ｎ−１−Ｂｏｃ−Ｎ−４−Ｆｍｏｃ−２−ピペラジンカルボン酸、Ｎ−４−Ｂｏｃ−Ｎ−１−ｃｂｚ−ピペラジン−２−カルボン酸、Ｎ−４−Ｂｏｃ−Ｎ−１−Ｆｍｏｃ−２−ピペラジン酢酸、硫酸化合物及びピペラジン−１−カルボキシイミドアミド（１:１）、１−エチル−４−ピペリジン−４−イル−ピペラジン、１−フラン−２−イルメチル−ピペラジン、１−メチル−４−（２−ピペリジン−４−イル−エチル）−ピペラジン、１−メチル−４−（６−アミノピリジン−３−イル）ピペラジン、１−メチル−４−（ピペリジン−４−イル）−ピペラジン、１−Ｎ−Ｂｏｃ−４−（アゼチジン−３−イル）ピペラジン、１−ピリジン−２−イルメチル−ピペラジン、１−ピリジン−３−イルメチル−ピペラジン、１−チアゾール−２−イル−ピペラジン、２−（２，５−ジメトキシ−フェニル）−ピペラジン、２−カルボキシメチル−３−オキソ−ピペラジン−１−カルボン酸ｔｅｒｔ−ブチルエステル、２−エトキシカルボニルメチル−３−オキソ−ピペラジン−１−カルボン酸ｔｅｒｔ−ブチルエステル、１−（４−メチル−シクロヘキシル）−ピペラジン、１−（４−メチル−ピペリジン−１−スルホニル）−ピペラジン、１−（４−トリフルオロメチル−ピリジン−２−イル）−ピペラジン、１−（５−メチル−２−ピリジニル）ピペラジン、１−（５−メチル−２−チアゾリル）−ピペラジン、１−（５−ニトロピリジン−２−イル）ピペラジン;１−（６−ブトキシ−２−ピリジニル）ピペラジン、１−（６−メチルピリド−２−イル）ピペラジン、１−（Ｎ−メチルピペリジン−３−イル−メチル）ピペラジン、１−（チエン−２−イルアセチル）ピペラジン、１−Ｂｏｃ−４−（ピペリジン−４−イル）−ピペラジン、１−Ｂｏｃ−４−シアノメチルピペラジン、１−シクロヘキサ−３−エニルメチル−ピペラジン、並びにこれらの組み合わせから成る群より選択されるピペラジン誘導体である、方法。
【請求項１３】
請求項９に記載のタングステン含有半導体基材化学機械研磨方法であって、前記ピペラジン誘導体が、（Ｒ）−ピペラジン−２−カルボン酸、１−（２−ヒドロキシエチル）ピペラジン、ピペラジン−２，６−ジオン、１−（２−アミノエチル）ピペラジン、１，４−ビス（２−ヒドロキシエチル）ピペラジン、１，４−ビス（アクリロイル）ピペラジン、ピペラジン−１−酢酸ｔｅｒｔ−ブチルエステル、１−（３−メチルベンジル）ピペラジン、４−（ピペラジン−１−カルボニル）−ピペリジン−１−カルボン酸ｔｅｒｔ−ブチルエステル、ピペラジン−１−カルボン酸ジエチルアミド、ピペラジン−１−スルホンアミド、ピペラジン−２−カルボキサミド、１，２−ジメチルピペラジン、２−イソプロピル−ピペラジン、１−（２−ピリミジル）ピペラジン、１−（２−ピラジニル）−ピペラジン、１−（６−ピリダジニル）ピペラジン、１−（３−ヒドロキシフェニル）ピペラジン、１−（２−ピリジル）ピペラジン、１−（４−メトキシフェニル）ピペラジン、１−（４−ピリジル）ピペラジン、１−（４−アミノフェニル）ピペラジン、１−（４−メトキシベンジル）ピペラジン、１−（２−シアノフェニル）ピペラジン、１−（２−メトキシエチル）ピペラジン、１−Ｂｏｃ−ピペラジン−２−カルボン酸、１−（２−エトキシエチル）ピペラジン、（Ｒ）−１−Ｂｏｃ−ピペラジン−２−カルボン酸、（Ｒ）−３−ヒドロキシメチル−ピペラジン−１−カルボン酸ｔｅｒｔ−ブチルエステル、（Ｒ）−４−Ｎ−Ｂｏｃ−ピペラジン−２−カルボン酸、（Ｓ）−３−ヒドロキシメチル−ピペラジン−１−カルボン酸ｔｅｒｔ−ブチルエステル、（Ｓ）−４−Ｎ−Ｂｏｃ−ピペラジン−２−カルボン酸、１−（１−ピペリジニルスルホニル）ピペラジン、１−（２−ジイソプロピルアミノエチル）ピペラジン、１−（２−ジプロピルアミノエチル）−ピペラジン、１−（２−エトキシフェニル）ピペラジン、１−（２−エチルブタノイル）ピペラジン、１−（２−イソプロポキシエチル）ピペラジン、１−（２−メチルメルカプトフェニル）ピペラジン、１−（２−モルホリノエチル）ピペラジン、１−（２−ピペリジノエチル）ピペラジン、１−（２−ピロリジノエチル）ピペラジン、１−（３−アミノプロピル）ピペラジン、１−（３−シアノプロピル）ピペラジン、１−（３−ジエチルアミノプロピル）ピペラジン、１−（３−ジプロピルアミノプロピル）−ピペラジン、１−（３−メトキシプロピル）ピペラジン、１−（３−モルホリノプロピル）ピペラジン、１−（３−ピペリジノプロピル）ピペラジン、１−（３−ピロリジノプロピル）ピペラジン、１−（４−メトキシブチル）ピペラジン、１−（４−ピリジルメチル）ピペラジン、１−（エタンスルホニル）ピペラジン、３−オキソ−ピペラジン−２−カルボン酸、４−メチルピペラジン−１−カルボキシレート、１，４−ビス（３−アミノプロピル）ピペラジン、１−［２−（２−ヒドロキシエトキシ）エチル］ピペラジン、４−（５−アミノピリジン−２−イル）ピペラジン−１−カルボン酸ｔｅｒｔ−ブチルエステル、１−［２−（ジメチルアミノ）エチル］ピペラジン、１−（１−メチル−４−ピペリジニル）ピペラジン、１−アミノ−４−（２−ヒドロキシエチル）ピペラジン、１−（３−アミノプロピル）−４−（２−メトキシフェニル）ピペラジン、１−［３−（ジメチルアミノ）プロピル］ピペラジン、１−（４−アミノブチル）−４−（２−メトキシフェニル）ピペラジン、１−［３−（１−ピペリジニルカルボニル）−２−ピリジニル］ピペラジン、１−（１Ｈ−イミダゾール−２−イルメチル）ピペラジン、１−（２，６−ジメチルピリジン−４−イル）ピペラジン、１−（２−ヒドロキシエチル）−４−イソプロピルピペラジン、１−（２−イミダゾール−１−イル−エチル）−ピペラジン、１−（２−イソシアノ−エチル）−４−メチルピペラジン、１−（４−エトキシ−ピリジン−２−イル）−ピペラジン、２−メチルピペラジン、２，６−ジメチルピペラジン、トランス−２，５−ジメチルピペラジン、１，４−ジメチルピペラジン、１，４−ビス（３−ピリジニルメチル）ピペラジン、１−（エトキシカルボニルメチル）ピペラジン、２，３，５，６−テトラヒドロキシ−ピペラジン−１，４−ジカルボアルデヒド、ジメチル３，３'−（ピペラジン−１，４−ジイル）ジプロパノエート、２，２'−（ピペラジン−１，４−ジイル）ジプロパンアミド、２，２'−（ピペラジン−１，４−ジイル）ジプロパンニトリル、（Ｒ）−３−メチル−２−ケトピペラジン、２，２'−（ピペラジン−１，４−ジイル）ビス（２−メチルプロパンニトリル）、ピペラジン−Ｎ、Ｎ'−ビス（２−エタンスルホン酸）、１−ホルミルピペラジン、ＰＩＰＥＳナトリウム塩、ＰＩＰＥＳ二ナトリウム塩、ＰＩＰＥＳ二カリウム塩、ピペラジン−Ｎ、Ｎ'−ビス（２−ヒドロキシプロパンスルホン酸）、エチル１−ピペラジンカルボキシレート、ＰＯＰＳＯ二ナトリウム塩、４−ヒドロキシ−３−メトキシフェニルグリコールヘミピペラジニウム塩、４−（２−ヒドロキシエチル）ピペラジン−１−エタンスルホン酸、４−（２−ヒドロキシエチル）−１−ピペラジンプロパンスルホン酸、ＨＥＰＥＳナトリウム塩、Ｎ−（２−ヒドロキシエチル）ピペラジン−Ｎ’−（４−ブタンスルホン酸）、３−メチル−２−ケトピペラジン、ＨＥＰＥＳカリウム塩、３−ピペラジノプロピオニトリル、エチルピペラジノアセテート、及びこれらの組み合わせから成る群より選択される、方法。
【請求項１４】
請求項９に記載のタングステン含有半導体基材化学機械研磨方法であって、前記化学添加剤が、モノ置換１−（２−アミノエチル）ピペラジン、ビス置換１，４−ビス（３−アミノプロピル）ピペラジン、及びこれらの組み合わせから成る群より選択されるピペラジン誘導体である、方法。
【請求項１５】
請求項９に記載のタングステン含有半導体基材化学機械研磨方法であって、前記化学添加剤が、カリウムシアネート、ナトリウムシアネート、アンモニウムシアネート、アルキルアンモニウムシアネート、及びこれらの組み合わせから成る群より選択されるシアネート塩である、方法。
【請求項１６】
請求項９に記載のタングステン含有半導体基材化学機械研磨方法であって、前記化学機械研磨（ＣＭＰ）組成物が、
腐食防止剤、
ｐＨ緩衝剤、
界面活性剤、及び
研磨組成物のｐＨが５．０〜８．０である場合はバイオサイド
のうちの１つ又は複数をさらに含む、方法。
【請求項１７】
選択的な化学機械研磨システムであって、
ａ）タングステン及び少なくとも１種の他の材料を含有する表面を有する半導体基材と、
ｂ）研磨パッドと、
ｃ）化学機械研磨（ＣＭＰ）組成物であって、
１）０．１ｗｔ％〜２５ｗｔ％の、シリカ、アルミナ、セリア、チタニア、ジルコニア、及びこれらの組み合わせから成る群より選択されるナノサイズ研磨剤と、
２）０．１ｗｔ％〜０．５ｗｔ％の、鉄化合物で被覆されたコロイドシリカ、鉄化合物で被覆されたコロイド又はナノサイズの無機金属酸化物粒子、及びこれらの組み合わせから成る群より選択される鉄化合物で被覆された粒子の固体触媒と、
３）０．０００１ｗｔ％〜０．５ｗｔ％の、ピペラジン誘導体、シアネート塩及びこれらの組み合わせから成る群より選択される化学添加剤と、
４）０．５ｗｔ％〜１０ｗｔ％の酸化剤と、
５）液体のキャリヤと
を含み、該ＣＭＰ組成物のｐＨが約２．０〜約８．０である、組成物と、
を含み、タングステンを含有する表面の少なくとも一部が該研磨パッド及び該化学機械研磨組成物の両方と接触している、システム。
【請求項１８】
請求項１７に記載の選択的な化学機械研磨システムであって、前記化学添加剤が、下式の一般的な分子構造、すなわち、
【化５】
2014194016.tif 000011
を有するピペラジン誘導体であって、式中、Ｒ1及びＲ2は独立して、水素、アリール、アラルキル、アルキル、アルコキシ、１つ又は複数のヒドロキシル基を有する有機基、置換有機スルホン酸、置換有機スルホン酸塩、置換有機カルボン酸、置換有機カルボン酸塩、置換有機カルボン酸アミド、置換ケトン、有機カルボン酸エステル、有機アミン、及びこれらの組み合わせから成る群より選択される、システム。
【請求項１９】
請求項１７に記載の選択的な化学機械研磨システムであって、前記ピペラジン誘導体が下式の分子構造、すなわち、
【化６】
2014194016.tif 000012
を有する、置換有機モノアミノピペラジン誘導体（ａ）、又は置換有機ビスアミノピペラジン誘導体（ｂ）であり、
式中、ｎは独立して１〜６から選択され、かつ、Ｒ、Ｒ’、Ｒ”及びＲ”’は独立して水素、アルキル、アルコキシ、アリール、アラルキル、１つ又は複数のヒドロキシル基を有する有機基、置換有機スルホン酸、置換有機スルホン酸塩、置換有機カルボン酸、置換有機カルボン酸塩、有機カルボン酸エステル、有機アミン、置換有機カルボン酸アミド及びこれらの組み合わせから成る群より選択される、システム。
【請求項２０】
請求項１７に記載の選択的な化学機械研磨システムであって、前記化学添加剤が、（Ｒ）−ピペラジン−２−カルボン酸、１−（２−ヒドロキシエチル）ピペラジン、ピペラジン−２，６−ジオン、１−（２−アミノエチル）ピペラジン、１，４−ビス（２−ヒドロキシエチル）ピペラジン、１，４−ビス（アクリロイル）ピペラジン、ピペラジン−１−酢酸ｔｅｒｔ−ブチルエステル、１−（３−メチルベンジル）ピペラジン、４−Ｂｏｃ−ピペラジン−２−カルボン酸、１−（ジフェニルメチル）ピペラジン、１，４−ジ−Ｂｏｃ−ピペラジン−２−カルボン酸、２−（ピペラジン−１−カルボニル）−安息香酸、４−（ピペラジン−１−カルボニル）−ピペリジン−１−カルボン酸ｔｅｒｔ−ブチルブチルエステル、ピペラジン−１−カルボン酸（２−クロロ−フェニル）−アミドピペラジン−１−カルボン酸ジメチルアミド、ピペラジン−１−カルボン酸ジエチルアミド、ピペラジン−１−カルボン酸ジフェニルアミド、ピペラジン−１−スルホンアミド、ピペラジン−２−カルボキサミド、１，２−ジメチルピペラジン、１−（２−ブチル）−ピペラジン、２−イソブチル−ピペラジン、２−ｔｅｒｔ−ブチルピペラジン、Ｒ−２−イソブチル−ピペラジン、Ｓ−２−イソブチル−ピペラジン、２−イソプロピル−ピペラジン、１−（２−ピリミジル）ピペラジン、１−（４−トリフルオロメチルフェニル）ピペラジン、１−（シクロプロピルメチル）ピペラジン、１−（２−ピラジニル）−ピペラジン、１−（２−トリフルオロメチルフェニル）−ピペラジン、１−（６−ピリダジニル）ピペラジン、２−（４−トリフルオロメチルフェニル）ピペラジン、２−フェニル−ピペラジン−１−カルボン酸ベンジルエステル、１−（１−ナフチルメチル）ピペラジン、１−（１−ペンチル）ピペラジン、１−（２−ペンチル）−ピペラジン、１−（３−ペンチル）−ピペラジン、１−（プロパノイル）−ピペラジン、２−フェニル−ピペラジン−１−カルボン酸ｔｅｒｔ−ブチルエステル、１−Ｂｏｃ−ピペラジン、１−（４−クロロフェニル）ピペラジン、１−（２−フロイル）ピペラジン、１−（２−フルオロフェニル）ピペラジン、１−（２−ヒドロキシフェニル）ピペラジン、１−（２−フェニルエチル）ピペラジン、１−（４−フルオロフェニル）ピペラジン、１−（２−メチルベンジル）ピペラジン、１−（４−ヒドロキシフェニル）ピペラジン、１−（４−メチルベンジル）ピペラジン、１−（３−ヒドロキシフェニル）ピペラジン、１−（１−フェニルエチル）ピペラジン、１−（２，４−ジメチルフェニル）ピペラジン、１−（２，５−ジメチルフェニル）ピペラジン、１−（２，５−ジメチルフェニル）ピペラジン、１−（２，６−キシリル）ピペラジン、１−（２−エチルフェニル）ピペラジン、１−（２−エチルフェニル）ピペラジン、１−（３，４−ジメチルフェニル）ピペラジン、１−（３，５−ジメチルフェニル）ピペラジン、１−（３−フルオロフェニル）ピペラジン、１−（３−フロイル）ピペラジン、１−（Ｎ−ヘプチル）ピペラジン、１−ピバロイル−ピペラジン、２，３−ジメチル−ピペラジン−１−カルボン酸ｔｅｒｔ−ブチルエステル、２−（２−クロロフェニル）ピペラジン、２−（４−クロロフェニル）ピペラジン、Ｎ−４−Ｃｂｚ−ピペラジン−２−カルボン酸メチルエステル、１−（２−ピリジル）ピペラジン、１−（２−メトキシフェニル）ピペラジン、１−（４−メトキシフェニル）ピペラジン、１−（４−クロロベンズヒドリル）ピペラジン、１−（４−ピリジル）ピペラジン、１−（４−アミノフェニル）ピペラジン、１−（４−メトキシベンジル）ピペラジン、１−（２−シアノフェニル）ピペラジン、１−（１−アダマンチル）ピペラジン、１−（４−ニトロフェニル）ピペラジン、１−（２−メトキシエチル）ピペラジン、２−（トリフルオロメチル）ピペラジン、１−（３，４−ジクロロフェニル）ピペラジン;１−Ｂｏｃ−ピペラジン−２−カルボン酸、１−（２，５−ジフルオロベンジル）ピペラジン、１−（２−エトキシエチル）ピペラジン、１−（３，４−ジクロロベンジル）ピペラジン、１−（３−メトキシフェニル）ピペラジン、１−（シクロヘキシルメチル）ピペラジン、１−（３−メチルフェニル）ピペラジン、１−（４−メチルフェニル）ピペラジン、１−（３−フルオロベンジル）ピペラジン、１−（４−フルオロベンジル）ピペラジン、２−（３−メトキシフェニル）ピペラジン、１−（３−クロロベンジル）ピペラジン、１−（シクロプロピルカルボニル）ピペラジン、（Ｒ）−１−Ｂｏｃ−ピペラジン−２−カルボン酸、（Ｒ）−２−ベンジルピペラジン、（Ｒ）−３−ヒドロキシメチル−ピペラジン−１−カルボン酸ｔｅｒｔ−ブチルエステル、（Ｒ）−４−Ｎ−Ｂｏｃ−ピペラジン−２−カルボン酸、（Ｓ）−２−ベンジルピペラジン、（Ｓ）−２−ベンジルピペラジン−１−カルボン酸ｔｅｒｔ−ブチルエステル、（Ｓ）−３−ヒドロキシメチル−ピペラジン−１−カルボン酸ｔｅｒｔ−ブチルエステル、（Ｓ）−４−Ｎ−Ｂｏｃ−ピペラジン−２−カルボン酸、１−（１−ピペリジニルスルホニル）ピペラジン、１−（２，２，２−トリフルオロエチル）ピペラジン、１−（２，３−ジフルオロフェニル）ピペラジン、１−（２，４，６−トリメチルベンジル）ピペラジン、１−（２，４−ジクロロベンジル）ピペラジン、１−（２，４−ジフルオロフェニル）ピペラジン、１−（２，６−ジクロロベンジル）ピペラジン、１−（２−クロロベンジル）ピペラジン、１−（２−シクロヘキシルエチル）ピペラジン、１−（２−ジイソプロピルアミノエチル）ピペラジン、１−（２−ジプロピルアミノエチル）−ピペラジン、１−（２−エトキシフェニル）ピペラジン、１−（２−エチルブタノイル）ピペラジン、１−（２−フルオロベンジル）ピペラジン、１−（２−イソプロポキシエチル）ピペラジン、１−（２−メチルメルカプトフェニル）ピペラジン、１−（２−メチルプロパノイル）−ピペラジン、１−（２−モルホリノエチル）ピペラジン、１−（２−フェノキシエチル）ピペラジン、１−（２−ピペリジノエチル）ピペラジン、１−（２−ピロリジノエチル）ピペラジン、１−（３，３−ジメチルブタノイル）ピペラジン、１−（３，４−ジクロロベンゾイル）ピペラジン、１−（３−（３，５−ジクロロフェニル）ピペラジン、４−ジフルオロベンゾイルピペラジン、１−（３，４−ジメチルベンジル）ピペラジン、１−（３，５��ジメトキシベンゾイル）ピペラジン、１−（３，５−ジメチルベンゾイル）ピペラジン、１−（３−アミノプロピル）ピペラジン、１−（３−シアノプロピル）ピペラジン、１−（３−ジエチルアミノプロピル）ピペラジン、１−（３−ジプロピルアミノプロピル）−ピペラジン、１−（３−メトキシプロピル）−ピペラジン、１−（３−モルホリノプロピル）ピペラジン、１−（３−フェニルプロピル）ピペラジン、１−（３−ピペリジノプロピル）ピペラジン、１−（３−ピロリジノプロピル）ピペラジン、１−（４−クロロベンゾイル）ピペラジン、１−（４−クロロベンジル）ピペラジン、１−（４−エトキシフェニル）ピペラジン、１−（４−メトキシベンゾイル）−ピペラジン、１−（４−メトキシブチル）ピペラジン、１−（４−フェニルブチル）−ピペラジン、１−（４−ピリジルメチル）ピペラジン、１−（４−ｔｅｒｔ−ブチルベンジル）ピペラジン、１−（シクロヘキシルカルボニル）ピペラジン、１−（エタンスルホニル）ピペラジン、１−（フェニルアセチル）ピペラジン、１−Ｃｂｚ−ピペラジン−２−カルボン酸、１−ヘキサノイル−ピペラジン、１−メチルスルホニル−ピペラジン、２，３−ジフェニルピペラジン、２−（２−フリル）ピペラジン、２−（２−メトキシフェニル）ピペラジン、２−（２−チエニル）ピペラジン、２−（３−オキソ−ピペラジン−１−カルボニル）−安息香酸、２−（４−クロロフェニル）ピペラジン−１−カルボン酸ｔｅｒｔ−ブチルエステル、２−（４−メトキシフェニル）ピペラジン、２−（４−メチルフェニル）ピペラジン、２−ベンジル−ピペラジン、３−（４−クロロフェニル）ピペラジン−１−カルボン酸ｔｅｒｔ−ブチルエステル、３−オキソ−ピペラジン−２−カルボン酸、３−フェニル−ピペラジン−１−カルボン酸エチルエステル、４−（４−Ｂｏｃ−ピペラジン−１−カルボニル）フェニルボロン酸ピナコールエステル、［５−（４−メチル−ピペラジン−１−スルホニル）−ピリジン−２−イル］−ヒドラジン、メチルピペラジン−１−カルボキシレート、１−エチル−２−メチル−ピペラジン、１，４−ビス（３−アミノプロピル）ピペラジン、１−［２−（２−ヒドロキシエトキシ）エチル］ピペラジン、１−（２−メチル−アリル）−ピペラジン、２−（３−トリフルオロメチル−フェニル）−ピペラジン、４−Ｎ−Ｂｏｃ−２−メチル−ピペラジン、１−（テトラヒドロ−２−フロイル）−ピペラジン、１−（テトラヒドロ−２−フリルメチル）ピペラジン、（Ｒ）−１−Ｂｏｃ−２−エチル−ピペラジン、（Ｒ）−１−Ｂｏｃ−３−エチル−ピペラジン、（Ｓ）−１−Ｂｏｃ−２−エチル−ピペラジン、（Ｓ）−１−Ｂｏｃ−３−エチル−ピペラジン、１−［１−（２−メトキシフェニル）エチル］ピペラジン、１−［１−（３−メトキシフェニル）エチル］ピペラジン、１−［１−（４−メトキシフェニル）−エチル］−ピペラジン、１−［２−（２−メチルフェノキシ）エチル］ピペラジン、１−（４−エトキシ−ベンジル）−ピペラジン、１−Ｂｏｃ−２，６−ジメチル−ピペラジン、１−Ｂｏｃ−３，３−ジメチルピペラジン、１−Ｂｏｃ−３，５−ジメチル−ピペラジン、１−Ｂｏｃ−５−オキソ−ピペラジン−��−カルボン酸、１−Ｎ−（ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル）−２−エチルピペラジン、２−（２−フルオロ−フェニル）−ピペラジン、２−（３−フルオロ−フェニル）−ピペラジン、２−メチル−１−（３−メチルフェニル）ピペラジン、４−（５−アミノピリジン−２−イル）ピペラジン−１−カルボン酸ｔｅｒｔ−ブチルエステル、１−［２−（ジメチルアミノ）エチル］ピペラジン、１−（１−メチル−４−ピペリジニル）ピペラジン、１−アセチル−４−（４−ヒドロキシフェニル）ピペラジン、１−［４−（トリフルオロメチル）ベンジル］ピペラジン、１−Ｂｏｃ−４−（２−ホルミルフェニル）ピペラジン、１−アミノ−４−（２−ヒドロキシエチル）ピペラジン、１−Ｂｏｃ−（４−ベンジル）ピペラジン、１−Ｂｏｃ−４−［３−（エトキシカルボニル）フェニル］ピペラジン、１−ビス（４−フルオロフェニル）メチルピペラジン、１−Ｂｏｃ−４−（３−ヒドロキシプロピル）ピペラジン、１−Ｂｏｃ−４−（４−ホルミルフェニル）ピペラジン、１−Ｂｏｃ−４−（４−メトキシカルボニルフェニル）ピペラジン、１−（１，３−ジオキソラン−２−イルメチル）ピペラジン、１−（３−アミノプロピル）−４−（２−メトキシフェニル）ピペラジン、１−［３−（ジメチルアミノ）プロピル］ピペラジン、１−（１，２，３，４−テトラヒドロナフタレン−２−イル）ピペラジン、１−（４−アミノブチル）−４−（２−メトキシフェニル）ピペラジン、１−Ｂｏｃ−４−（２−メトキシカルボニルフェニル）ピペラジン、１−Ｂｏｃ−４−（５−ニトロ−２−ピリジル）ピペラジン、（Ｒ）−１−Ｂｏｃ−２−ベンジルピペラジン、（Ｒ）−１−Ｎ−Ｂｏｃ−２−イソプロピルピペラジン、（Ｒ）−１−Ｎ−Ｂｏｃ−４−Ｎ−Ｆｍｏｃ−２−ピペラジンカルボン酸、（Ｒ）−１−Ｎ−Ｃｂｚ−２−メチル−ピペラジン、（Ｒ）−４−Ｎ−トリチル−２−メチルピペラジン、（Ｒ）−Ｎ４−ベンジル−２−（ベンジルオキシメチル）ピペラジン、（Ｓ）−１−Ｂｏｃ−２−ヒドロキシメチル−ピペラジン、（Ｓ）−１−Ｂｏｃ−２−イソブチル−ピペラジン、（Ｓ）−１−Ｂｏｃ−３−ベンジルピペラジン、（Ｓ）−１−Ｂｏｃ−３−イソプロピル−ピペラジン、（Ｓ）−１−Ｎ−Ｂｏｃ−４−Ｎ−Ｆｍｏｃ−ピペラジン−２−カルボン酸、（Ｓ）−４−Ｎ−トリチル−２−メチル−ピペラジン、（Ｓ）−ｎ４−ベンジル−２−（メチルチオエチ
ル）ピペラジン、１−［（２，６−ジクロロフェニル）スルホニル］ピペラジン、１−［（２−メチル−１，３−チアゾール−５−イル）メチル］ピペラジン、１−［（４，５−ジメチル−１，３−オキサゾール−２−イル）メチル］ピペラジン、１−［（４−シクロヘキシルフェニル）スルホニル］ピペラジン、１−［（４−イソブチルフェニル）スルホニル］ピペラジン、１−［（４−メチル−１，２，５−オキサジアゾール−３−イル）メチル］ピペラジン、１−［（４−ｓｅｃ−ブチルフェニル）スルホニル］ピペラジン、１−［（４−ｔｅｒｔ−ブチル−２，６−ジメチルフェニル）スルホニル］ピペラジン、１−［１−（ピリジン−２−イル）エチル］ピペラジン、１−［１−（ピリジン−３−イル）エチル］ピペラジン、１−［１−（チオフェン−２−イル）エチル］ピペラジン、１−［２−（１−プロピル）−オキシエチル］−ピペラジン、１−［２−（１Ｈ−ピロール−１−イル）エチル］ピペラジン、１−［２−（２−メトキシ−フェノキシ）−エチル〕ピペラジン、１−［２−（ジアリルアミノ）−エチル］−ピペラジン、１−［２−（トリフルオロメチル）ピリジン−４−イル］ピペラジン、１−［２−（トリフルオロメチル）キノール−４−イル］ピペラジン、１−［２−フルオロ−４−（メチルスルホニル）フェニル］ピペラジン、１−［２−フルオロ−４−（メチルスルホニル）フェニル］−４−（２−ヒドロキシエチル）ピペラジン、１−［３−（１−ピペリジニルカルボニル）−２−ピリジニル］ピペラジン、１−［３−（ジフルオロメトキシ）ベンゾイル］ピペラジン、１−［３−（トリフルオロメチル）ピリド−２−イル］ピペラジン、１−［４−（メチルスルホニル）フェニル］ピペラジン、１−［４−（トリフルオロメチル）ピリミド−２−イル］ピペラジン、１−（１Ｈ−イミダゾール−２−イルメチル）ピペラジン、１−（２，６−ジメチルピリジン−４−イル）ピペラジン、１−（２−ベンズヒドリルオキシ−エチル）ピペラジン、１−（２−ヒドロキシエチル）−４−イソプロピルピペラジン、１−（２−イミダゾール−１−イル−エチル）−ピペラジン、１−（２−イソシアノ−エチル）−４−メチル−ピペラジン、１−（２−メチル−チアゾール−４−イルメチル）−ピペラジン、１−（２−Ｎ−Ｂｏｃ−アミノエチル）ピペラジン、１−（２−ピリジン−２−イル−エチル）−ピペラジン、１−（２−ピリジン−４−イル−エチル）−ピペラジン、１−（２−チオフェン−２−イル−エチル）ピペラジン、１−（３，５−ジメチル−イソオキサゾール−４−イルメチル）−ピペラジン、１−（３−メトキシ−ベンジル）−ピペラジン、１−（３−メチル−ベンゾイル）−ピペラジン、１−（３−メチル−ピリジン−２−イルメチル）−ピペラジン、１−（３−メチルピリジン−２−イル）ピペラジン、１−（３−メチルピリジン−４−イル）ピペラジン、１−（４，６−ジメチルピリミジン−２−イル）ピペラジン、１−（４−シアノ−ベンジル）−ピペラジン、１−（４−エトキシ−ベンゼンスルホニル）−ピペラジン、１−（４−エトキシ−ピリジン−２−イル）−ピペラジン、１−（４−フルオロベンジル）−４−（２−ヒドロキシエチル）ピペラジン、１−（４−ヒドロキシ−フェニル）−ピペラジン−４−カルボン酸ｔｅｒｔ−ブチルエステル、Ｎ−Ｂｏｃ−ピペリジン、２−メチルピペラジン、２，６−ジメチルピペラジン、トランス−２，５−ジメチルピペラジン、１，４−ジメチルピペラジン、（Ｒ）−１−Ｂｏｃ−３−メチルピペラジン、１−Ｂｏｃ−３−オキソピペラジン、１，４−ビス−（２−メトキシ−５−メチル−ベンゼンスルホニル）−２−メチルピペラジン、１−［（１−メチル−１Ｈ−ピラゾール−３−イル）カルボニル］ピペラジン、１−［（１−メチル−１Ｈ−ピラゾール−４−イル）メチル］ピペラジン、１−（２−（Ｎ，Ｎ−ビス−（２−ヒドロキシプロピル）−アミノ）−エチル）−４−（２−ヒドロキシプロピル）−ピペラジン、１−（２−メトキシフェニル）−４−（（４−（２−メトキシフェニル）−１−ピペラジニル）（オキソ）アセチル）ピペラジン、１−（３−（２，３−ジヒドロ−１，４−ベンゾジオキシン−６−イル）アクリロイル）−４−（４−フルオロフェニル）ピペラジン、１−(４−クロロフェニル)−４−［(７−｛［４−(４−クロロフェニル)−１−ピペラジニル］スルホニル｝−９Ｈ−フルオレン−２−イル）スルホニル］ピペラジン、１−（４−フルオロフェニル）−４−（（４−（４−フルオロフェニル）−１−ピペラジニル）（オキソ）アセチル）ピペラジン、１−（４−ニトロフェニル）−４−（３−｛［４−（４−ニトロフェニル）−１−ピペラジニル］カルボニル｝ベンゾイル）ピペラジン、１−（４−ニトロフェニル）−４−（４−｛［４−（４−ニトロフェニル）−１−ピペラジニル］カルボニル｝ベンゾイル）ピペラジン、１−アセチル−４−（１−エチル−１Ｈ−イミダゾール−２−イル）ピペラジン、１−ベンズヒドリル−４−｛２−［５−（ベンジルスルファニル）−４−（２−メチル−２−プロペニル）−４Ｈ−１，２，４−トリアゾール−３−イル］エチル｝ピペラジン、１−ベンジル−４−［２−［（２'，４'−ジフルオロ［１，１'−ビフェニル］−４−イル）オキシ］エチル］ピペラジン、１−ベンジル−４−（３−（（２'，４'−ジフルオロ（１，１'−ビフェニル）−４−イル）オキシ）プロピル）ピペラジン、１−イソプロピル−４−［（１−メチル−１Ｈ−ピロール−２−イル）メチル］ピペラジン、１−メチル−４−（｛７−［（４−メチル−１−ピペラジニル）スルホニル］−９Ｈ−フルオレン−２−イル｝スルホニル）ピペラジン、１−フェニル−４−［フェニル（４−フェニル−１−ピペラジニル）メチル］ピペラジン、１−メチル−４−（メチルスルホニル）ピペラジン、４−（２−ヒドロキシ−エチル）−ピペラジン−１−カルボン酸（４−イソプロピル−フェニル）−アミド、６−ヒドロキシメチル−１，３−ジメチル−ピペラジン−２，５−ジオン、ビス（２−メトキシフェニル）２，２'−（ピペラジン−１，４−ジイル）ジエタンスルホネート、１−（アダマンタン−１−スルフィニル）−４−メチル−ピペラジン、１−（フェニルスルホニル）−４−（２−ピリジニル）ピペラジン、１−ベンジル−４−（２−メトキシプロパノイル）ピペラジン、１−シクロヘキシル−４−（メチルスルホニル）ピペラジン、１−エチル−４−（３−フリルメチル）ピペラジン、１−（３−フェノキシ−４−ピリジニル）ピペラジン、１−（２−ピリジニル）−４−（３−（２，３，４−トリメトキシフェニル）アクリロイル）ピペラジン、１−（３−（１，３−ベンゾジオキソール−５−イル）アクリロイル）−４−（２−ピリジニル）ピペラジン、１−（３−（１，３−ベンゾジオキソール−５−イル）アクリロイル）−４−（４−メトキシフェニル）ピペラジン、１，４−ビス−（２−ピリジルメチレンアミノ）−ピペラジン、１，４−ビス−（３，４，５−トリメトキシベンジリデンアミノ−ピペラジン、１，４−ビス−（アセトアセチル）−ピペラジン、１，４−ジ（２−フロイル）ピペラジン、１，４−ビス［２−（４−ピリジニル）エチル］ピペラジン、１，４−ビス（２−（２−ピリジニル）エチル）ピペラジン、１，４−ビス（２−カルボキシベンゾイル）ピペラジン、１，４−ビス（３−ピリジニルメチル）ピペラジン、１−（エトキシカルボニルメチル）ピペラジン、２，３，５，６−テトラヒドロキシ−ピペラジン−１，４−ジカルボアルデヒド、４−ベンジル−ピペラジン−１−カルボン酸シクロヘキシルアミド、ジエチル２，２'−（ピペラジン−１，４−ジイル）ビス（２−オキソアセテート）、ジエチル２，２'−（ピペラジン−１，４−ジイル）ジアセテート、ジメチル３，３'−（ピペラジン−１，４−ジイル）ジプロパノエート、（２Ｅ、２'Ｅ）−３，３'−（ピペラジン−１，４−ジイル）ビス（１−（２−ヒドロキシフェニル）プロプ−２−エン−１−オン）、２，２'−（ピペラジン−１，４−ジイル）ビス（Ｎ−（１，５−ジメチル−３−オキソ−２−フェニル−２，３−ジヒドロ−１Ｈ−ピラゾール−４−イル）アセトアミド）、２，２'−（ピペラジン−１，４−ジイル）ジプロパンアミド、２，２'−（ピペラジン−１，４−ジイル）ジプロパンニトリル、３，３'−（ピペラジン−１，４−ジイル）ビス（１−（９Ｈ−カルバゾール−９−イル）プロパン−２−オール）フマレート、３，３'−（ピペラジン−１，４−ジイル）ビス（１−フェニルプロパン−１−オン）、３，３'−（ピペラジン−１，４−ジイル）−ジプロパン−１−オール、４，４'−（ピペラジン−１，４−ジイル）ビス（３−エトキシシクロブタ−３−エン−１，２−ジオン、ピペラジン−１，４−ジカルボチオ酸ビス−フェニルアミド、１，４−ジ−ｔｅｒｔ−ブチルピペラジン−２，５−ジオン、１，４−ジドデシル−ピペラジン、１，４−ジヘキサデシル−ピペラジン、１−（１−ピペリジニルカルボニル）ピペラジン、１−（１−アダマンチルメチル）ピペラジン、１−（３，４−ジメトキシベンジル）ピペラジン、１−（３−ピリジニルカルボニル）ピペラジン、４−ピペラジノベンゾニトリル、（Ｓ）−３−メチル−２−ケトピペラジン、（Ｒ）−３−メチル−２−ケトピペラジン、４−カルボニル（Ｂｏｃ−ピペラジン−１−イル）−３−ニトロ安息香酸、１，１'−（ピペラジン−１，４−ジイル）ジプロパン−２−オール、２，２'−（ピペラジン−１，４−ジイル）ビス（１−フェニルエタノール）、２，２'−（ピペラジン−１，４−ジイル）ビス（２−メチルプロパンニトリル）、ピペラジン−Ｎ、Ｎ'−ビス（２−エタンスルホン酸）、１−ホルミルピペラジン、ＰＩＰ��Ｓナトリウム塩、ＰＩＰＥＳ二ナトリウム塩、ＰＩＰＥＳ二カリウム塩、ピペラジン−Ｎ、Ｎ'−ビス（２−ヒドロキシプロパンスルホン酸）、エチル１−ピペラジンカルボキシレート、ＰＯＰＳＯ二ナトリウム塩、４−ヒドロキシ−３−メトキシフェニルグリコールヘミピペラジニウム塩、クエン酸セスキピペラジン塩水和物、４−（２−ヒドロキシエチル）ピペラジン−１−エタンスルホン酸、４−（２−ヒドロキシエチル）−１−ピペラジンプロパンスルホン酸、ＨＥＰＥＳナトリウム塩、Ｎ−（２−ヒドロキシエチル）ピペラジン−Ｎ'−（４−ブタンスルホン酸）、３−メチル−２−ケトピペラジン、ＨＥＰＥＳカリウム塩、３−ピペラジノプロピオニトリル、エチルピペラジノアセテート、エストロピペート、１−ピペラジンプロパノール、ｔ−ブチル−４−（２−アミノ−１−フェニルエチル）ピペラジンカルボキシレート、ｔｅｒｔ−ブチル４−［２−（アミノメチル）フェニル］ピペラジン−１−カルボキシレート、ｔｅｒｔ−ブチル４−［５−（ヒドロキシメチル）ピリド−２−イル］ピペラジン−１−カルボキシレート、ｔｅｒｔ−ブチル４−（３−アミノベンジル）ピペラジン−１−カルボキシレート、ｔｅｒｔ−ブチル４−（４−［（メチルアミノ）メチル］フェニル）ピペラジン−１−カルボキシレート、ｔｅｒｔ−ブチル４−（４−シアノピリド−２−イル）ピペラジン−１−カルボキシレート、ｔｅｒｔ−ブチル４−（５−ホルミルピリド−２−イル）ピペラジン−１−カルボキシレート、ｔｅｒｔ−ブチル４−（オキセタン−３−イル）ピペラジン−１−カルボキシレート、ｔｅｒｔ−ブチル４−（ピペリジン−３−イル）ピペラジン−１−カルボキシレート、ｔｅｒｔ−ブチル４−（ピロリジン−２−イルカルボニル）ピペラジン−１−カルボキシレート、ｔｅｒｔ−ブチル４−（１Ｈ−ピロロ［２，３−ｂ］ピリジン−４−イル）ピペラジン−１−カルボキシレート、１−［２−（２，５−ジメチル−１Ｈ−ピロール−１−イル）エチル］ピペラジン、１−（（１，５−ジメチル−１Ｈ−ピラゾール−４−イル）メチル）ピペラジン、１−（１−エチル−５−メチル−１Ｈ−ピラゾール−４−イルメチル）−ピペラジン、t−ブチル−４−（２−アミノ−１−［４−（トリフルオロメチル）フェニル］エチル）ピペラジンカルボキシレート、３−（４−フルオロ−フェニル）−ピペラジン−１−カルボン酸ｔｅｒｔ−ブチルエステ
ル、３−（４−ヒドロキシ−フェニル）−ピペラジン−１−カルボン酸ｔｅｒｔ−ブチルエステル、３−フラン−２−イル−ピペラジン−１−カルボン酸ｔｅｒｔ−ブチルエステル、３−チオフェン−２−イル−ピペラジン−１−カルボン酸ベンジルエステル、４−（２−アミノ−フェニル）−ピペラジン−１−カルボン酸ｔｅｒｔ−ブチルエステル、４−（２−アミノエチル）−１−ｂｏｃ−ピペラジン、４−（５−カルボキシ−ピリジン−２−イル）−２−メチル−ピペラジン−１−カルボン酸ｔｅｒｔ−ブチルエステル、４−Ｂｏｃ−１−（６−メチル−２−ピリジル）ピペラジン、Ｆｍｏｃ−４−カルボキシメチル−ピペラジン、メチル４−Ｂｏｃ−ピペラジン−２−カルボキシレート、Ｎ，Ｎ−ジメチル−１−ピペラジンスルホンアミド、Ｎ−１−Ｂｏｃ−Ｎ−４−Ｆｍｏｃ−２−ピペラジンカルボン酸、Ｎ−４−Ｂｏｃ−Ｎ−１−ｃｂｚ−ピペラジン−２−カルボン酸、Ｎ−４−Ｂｏｃ−Ｎ−１−Ｆｍｏｃ−２−ピペラジン酢酸、硫酸化合物及びピペラジン−１−カルボキシイミドアミド（１:１）、１−エチル−４−ピペリジン−４−イル−ピペラジン、１−フラン−２−イルメチル−ピペラジン、１−メチル−４−（２−ピペリジン−４−イル−エチル）−ピペラジン、１−メチル−４−（６−アミノピリジン−３−イル）ピペラジン、１−メチル−４−（ピペリジン−４−イル）−ピペラジン、１−Ｎ−Ｂｏｃ−４−（アゼチジン−３−イル）ピペラジン、１−ピリジン−２−イルメチル−ピペラジン、１−ピリジン−３−イルメチル−ピペラジン、１−チアゾール−２−イル−ピペラジン、２−（２，５−ジメトキシ−フェニル）−ピペラジン、２−カルボキシメチル−３−オキソ−ピペラジン−１−カルボン酸ｔｅｒｔ−ブチルエステル、２−エトキシカルボニルメチル−３−オキソ−ピペラジン−１−カルボン酸ｔｅｒｔ−ブチルエステル、１−（４−メチル−シクロヘキシル）−ピペラジン、１−（４−メチル−ピペリジン−１−スルホニル）−ピペラジン、１−（４−トリフルオロメチル−ピリジン−２−イル）−ピペラジン、１−（５−メチル−２−ピリジニル）ピペラジン、１−（５−メチル−２−チアゾリル）−ピペラジン、１−（５−ニトロピリジン−２−イル）ピペラジン;１−（６−ブトキシ−２−ピリジニル）ピペラジン、１−（６−メチルピリド−２−イル）ピペラジン、１−（Ｎ−メチルピペリジン−３−イル−メチル）ピペラジン、１−（チエン−２−イルアセチル）ピペラジン、１−Ｂｏｃ−４−（ピペリジン−４−イル）−ピペラジン、１−Ｂｏｃ−４−シアノメチルピペラジン、１−シクロヘキサ−３−エニルメチル−ピペラジン、並びにこれらの組み合わせから成る群より選択されるピペラジン誘導体である、システム。
【請求項２１】
請求項１７に記載の選択的な化学機械研磨システムであって、前記ピペラジン誘導体が、（Ｒ）−ピペラジン−２−カルボン酸、１−（２−ヒドロキシエチル）ピペラジン、ピペラジン−２，６−ジオン、１−（２−アミノエチル）ピペラジン、１，４−ビス（２−ヒドロキシエチル）ピペラジン、１，４−ビス（アクリロイル）ピペラジン、ピペラジン−１−酢酸ｔｅｒｔ−ブチルエステル、１−（３−メチルベンジル）ピペラジン、４−（ピペラジン−１−カルボニル）−ピペリジン−１−カルボン酸ｔｅｒｔ−ブチルエステル、ピペラジン−１−カルボン酸ジエチルアミド、ピペラジン−１−スルホンアミド、ピペラジン−２−カルボキサミド、１，２−ジメチルピペラジン、２−イソプロピル−ピペラジン、１−（２−ピリミジル）ピペラジン、１−（２−ピラジニル）−ピペラジン、１−（６−ピリダジニル）ピペラジン、１−（３−ヒドロキシフェニル）ピペラジン、１−（２−ピリジル）ピペラジン、１−（４−メトキシフェニル）ピペラジン、１−（４−ピリジル）ピペラジン、１−（４−アミノフェニル）ピペラジン、１−（４−メトキシベンジル）ピペラジン、１−（２−シアノフェニル）ピペラジン、１−（２−メトキシエチル）ピペラジン、１−Ｂｏｃ−ピペラジン−２−カルボン酸、１−（２−エトキシエチル）ピペラジン、（Ｒ）−１−Ｂｏｃ−ピペラジン−２−カルボン酸、（Ｒ）−３−ヒドロキシメチル−ピペラジン−１−カルボン酸ｔｅｒｔ−ブチルエステル、（Ｒ）−４−Ｎ−Ｂｏｃ−ピペラジン−２−カルボン酸、（Ｓ）−３−ヒドロキシメチル−ピペラジン−１−カルボン酸ｔｅｒｔ−ブチルエステル、（Ｓ）−４−Ｎ−Ｂｏｃ−ピペラジン−２−カルボン酸、１−（１−ピペリジニルスルホニル）ピペラジン、１−（２−ジイソプロピルアミノエチル）ピペラジン、１−（２−ジプロピルアミノエチル）−ピペラジン、１−（２−エトキシフェニル）ピペラジン、１−（２−エチルブタノイル）ピペラジン、１−（２−イソプロポキシエチル）ピペラジン、１−（２−メチルメルカプトフェニル）ピペラジン、１−（２−モルホリノエチル）ピペラジン、１−（２−ピペリジノエチル）ピペラジン、１−（２−ピロリジノエチル）ピペラジン、１−（３−アミノプロピル）ピペラジン、１−（３−シアノプロピル）ピペラジン、１−（３−ジエチルアミノプロピル）ピペラジン、１−（３−ジプロピルアミノプロピル）−ピペラジン、１−（３−メトキシプロピル）ピペラジン、１−（３−モルホリノプロピル）ピペラジン、１−（３−ピペリジノプロピル）ピペラジン、１−（３−ピロリジノプロピル）ピペラジン、１−（４−メトキシブチル）ピペラジン、１−（４−ピリジルメチル）ピペラジン、１−（エタンスルホニル）ピペラジン、３−オキソ−ピペラジン−２−カルボン酸、４−メチルピペラジン−１−カルボキシレート、１，４−ビス（３−アミノプロピル）ピペラジン、１−［２−（２−ヒドロキシエトキシ）エチル］ピペラジン、４−（５−アミノピリジン−２−イル）ピペラジン−１−カルボン酸ｔｅｒｔ−ブチルエステル、１−［２−（ジメチルアミノ）エチル］ピペラジン、１−（１−メチル−４−ピペリジニル）ピペラジン、１−アミノ−４−（２−ヒドロキシエチル）ピペラジン、１−（３−アミノプロピル）−４−（２−メトキシフェニル）ピペラジン、１−［３−（ジメチルアミノ）プロピル］ピペラジン、１−（４−アミノブチル）−４−（２−メトキシフェニル）ピペラジン、１−［３−（１−ピペリジニルカルボニル）−２−ピリジニル］ピペラジン、１−（１Ｈ−イミダゾール−２−イルメチル）ピペラジン、１−（２，６−ジメチルピリジン−４−イル）ピペラジン、１−（２−ヒドロキシエチル）−４−イソプロピルピペラジン、１−（２−イミダゾール−１−イル−エチル）−ピペラジン、１−（２−イソシアノ−エチル）−４−メチルピペラジン、１−（４−エトキシ−ピリジン−２−イル）−ピペラジン、２−メチルピペラジン、２，６−ジメチルピペラジン、トランス−２，５−ジメチルピペラジン、１，４−ジメチルピペラジン、１，４−ビス（３−ピリジニルメチル）ピペラジン、１−（エトキシカルボニルメチル）ピペラジン、２，３，５，６−テトラヒドロキシ−ピペラジン−１，４−ジカルボアルデヒド、ジメチル３，３'−（ピペラジン−１，４−ジイル）ジプロパノエート、２，２'−（ピペラジン−１，４−ジイル）ジプロパンアミド、２，２'−（ピペラジン−１，４−ジイル）ジプロパンニトリル、（Ｒ）−３−メチル−２−ケトピペラジン、２，２'−（ピペラジン−１，４−ジイル）ビス（２−メチルプロパンニトリル）、ピペラジン−Ｎ、Ｎ'−ビス（２−エタンスルホン酸）、１−ホルミルピペラジン、ＰＩＰＥＳナトリウム塩、ＰＩＰＥＳ二ナトリウム塩、ＰＩＰＥＳ二カリウム塩、ピペラジン−Ｎ、Ｎ'−ビス（２−ヒドロキシプロパンスルホン酸）、エチル１−ピペラジンカルボキシレート、ＰＯＰＳＯ二ナトリウム塩、４−ヒドロキシ−３−メトキシフェニルグリコールヘミピペラジニウム塩、４−（２−ヒドロキシエチル）ピペラジン−１−エタンスルホン酸、４−（２−ヒドロキシエチル）−１−ピペラジンプロパンスルホン酸、ＨＥＰＥＳナトリウム塩、Ｎ−（２−ヒドロキシエチル）ピペラジン−Ｎ’−（４−ブタンスルホン酸）、３−メチル−２−ケトピペラジン、ＨＥＰＥＳカリウム塩、３−ピペラジノプロピオニトリル、エチルピペラジノアセテート、及びこれらの組み合わせから成る群より選択される、システム。
【請求項２２】
請求項１７に記載の選択的な化学機械研磨システムであって、前記化学添加剤が、モノ置換１−（２−アミノエチル）ピペラジン、ビス置換１，４−ビス（３−アミノプロピル）ピペラジン、及びこれらの組み合わせから成る群より選択されるピペラジン誘導体である、システム。
【請求項２３】
請求項１７に記載の選択的な化学機械研磨システムであって、前記化学添加剤が、カリウムシアネート、ナトリウムシアネート、アンモニウムシアネート、アルキルアンモニウムシアネート、及びこれらの組み合わせから成る群より選択されるシアネート塩である、システム。
【請求項２４】
請求項１７に記載の選択的な化学機械研磨システムであって、前記化学機械研磨（ＣＭＰ）組成物が、
腐食防止剤、
ｐＨ緩衝剤、
界面活性剤、及び
研磨組成物のｐＨが５．０〜８．０である場合はバイオサイド
のうちの１つ又は複数をさらに含む、システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
［関連出願の相互参照］
本出願は、２０１３年３月１２日に出願された先の米国仮特許出願第６１／７７７，１６５号の優先権の利益を主張するものである。この先の出願の開示内容全体がこの参照により、全て正当な目的のため本明細書に組み込まれる。
【０００２】
本発明は一般的には半導体ウェハー上のタングステン含有基材の化学機械平坦化（ＣＭＰ）に関する。
【背景技術】
【０００３】
集積回路の製造において使用される多数の材料、例えば半導体ウェハーが存在する。材料は一般的に３つのカテゴリー、すなわち、誘電体、接着層及び／又は障壁層、及び導電層に属する。種々の基材、例えば誘電体、例えばＴＥＯＳ、プラズマ強化ＴＥＯＳ（ＰＥＴＥＯＳ）及び低ｋ誘電体；接着層／障壁層、例えばタンタル、チタン、窒化タンタル、及び窒化チタン；並びに導電層、例えば銅、アルミニウム、タングステン、及び貴金属の使用が当産業において公知である。
【０００４】
集積回路は、よく知られている多層配線の使用により相互接続される。相互接続構造は、通常は第１の金属化層、相互接続層、第２の金属化レベル、並びに通常は第３及びその次の金属化レベルを有する。中間の誘電体、例えば二酸化ケイ素及び時には低ｋ材料が使用され、シリコン基材又はウェル中の異なる金属化レベルが電気的に絶縁される。異なる相互接続レベル間の電気接続は、金属化ビア及び特にタングステンビアを使用することにより作られる。米国特許第４，７８９，６４８号明細書は、複数の金属化層及び金属化ビアを絶縁膜中で調製する方法を記載している。同じような方法で、金属のコンタクトが使用され、相互接続レベルとウェル中で形成されたデバイスとの間の電気接続が形成される。金属ビア及びコンタクトは、一般的にタングステンで充たされ、一般的に接着層、例えば窒化チタン（ＴｉＮ）及び／又はチタンを採用して、金属層、例えばタングステン金属層を誘電体に接着させる。
【０００５】
１つの半導体製造プロセスにおいて、金属化ビア又はコンタクトがブランケットタングステンの堆積により形成され、その後にＣＭＰ工程が続く。典型的なプロセスにおいて、ビアホールが中間誘電体（ＩＬＤ）を経由して相互接続ラインまで又は半導体基材までエッチングされる。次に、接着薄層、例えば窒化チタン及び／又はチタンが一般的にはＩＬＤ上に形成され、エッチングされたビアホールに導かれる。その結果、タングステン膜は接着層上及びビア内に堆積されるブランケットである。堆積は、ビアホールがタングステンで充たされるまで続けられる。最後に、過剰なタングステンが化学機械研磨（ＣＭＰ）により取り除かれ、金属ビアが形成される。
【０００６】
半導体基材の平坦化のための化学機械平坦化（ＣＭＰ）は当業者に現在広く知られており、多くの特許及び公知文献において記載されている。
【０００７】
典型的なＣＭＰプロセスにおいて、基材（例えばウェハー）は、プラテンに取り付けられた回転する研磨パッドに接触して設置される。ＣＭＰスラリー、通常は研磨性でかつ化学反応性の混合物が基材のＣＭＰ処理の間にパッドに供給される。ＣＭＰプロセスの間、パッド（プラテンに取り付けられている）及び基材は回転し、一方でウェハーキャリヤシステム又は研磨ヘッドが基材に対して圧力（下方への力）をかける。スラリーは、基材と平行なパッドの回転運動の作用により平坦化される基材の膜との化学的及び機械的な相互作用により平坦化（研磨）プロセスを遂行する。研磨は、効果的に基材を平坦化するという通常の目的で、基材上の所望の膜が取り除かれるまでこのように続けられる。通常、金属ＣＭＰスラリーは研磨剤、例えば酸化性の水性媒体中で懸濁されたシリカ又はアルミナを含む。
【０００８】
金属（例えばタングステン）の除去速度の、誘電体基体の除去速度に対する比は、金属及び誘電体から成る基材のＣＭＰ処理中の誘電体の除去との関係における金属の除去についての「選択性」と呼ばれる。
【０００９】
誘電体の除去との関係における金属の除去についての高い選択性を有するＣＭＰスラリーが使用される場合、金属層は簡単に過研磨されて金属化領域中に窪み又は「ディッシング」効果が生じる。半導体製造において、この特徴歪みはリソグラフィー及び他の制約により受け入れられない。
【００１０】
半導体製造に適しない他の特徴歪みは「エロージョン」と呼ばれる。エロージョンは、誘電領域と金属ビア又はトレンチの濃密配列との間のトポグラフィーの差である。ＣＭＰにおいては、濃密配列中の材料は、周囲の誘電領域よりも高速で取り除かれ、又は浸食される可能性がある。これは、誘電領域と濃密金属（例えば銅又はタングステン）配列との間のトポグラフィーの差をもたらす。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
より小さいデバイスの特徴を目指す業界標準の傾向として、ＩＣチップのナノ構造の優れた平坦化を与えるタングステンＣＭＰスラリーについて絶え間ない開発ニーズが存在する。具体的には、２８ｎｍ技術ノードのため、及び適用を超えて、スラリー製品は調節可能な除去速度及び金属と誘電体との間の調節可能な選択性を与え、有意な除去速度を維持しながらエロージョン及びディッシングを低減させなければならない。
【００１２】
特に、半導体産業がますます小さい特徴のサイズを目指して絶え間なく進展しているという事実に鑑みれば、低ディッシング及びプラグリセス効果を提供する１つ又は複数のタングステンＣＭＰプロセス及びスラリーについての有意なニーズが存在する。本発明はこの有意なニーズに対する解決策を提供する。
【００１３】
ここで記載するタングステンＣＭＰスラリー組成物を調整して、所望の研磨速度における調節可能で効果的な研磨、他の材料、例えば誘電材料に対するタングステンの制御された研磨選択性を与える一方で、より低い静的エッチング速度を与えてタングステンビアを有する領域における酸化物の表面欠陥、不具合、腐食及びエロージョンを最小化することができる。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明は、低ディッシング／プラグリセス、平坦化した基材上の配列の低いエロージョン、タングステン膜除去速度の維持又は加速、及び調節可能な及び／又は高いタングステン選択性の維持が望まれ及び／又は要求されるタングステンＣＭＰに有用である。
【００１５】
１つの側面において、本発明は、タングステン化学機械研磨（ＣＭＰ）組成物であって、
ａ）ナノサイズ研磨剤と、
ｂ）鉄化合物で被覆された粒子の固体触媒と、
ｃ）ピペラジン誘導体、シアネート塩及びこれらの組み合わせから成る群より選択される化学添加剤と、
ｄ）酸化剤と、
ｅ）実質的に液体のキャリヤである残部と
を含み、該ＣＭＰ組成物のｐＨが約２．０〜約８である、組成物を提供する。
【００１６】
もう１つの側面において、本発明はタングステン含有半導体基材の化学機械研磨方法であって、
ａ）研磨パッドを提供する工程と、
ｂ）化学機械研磨組成物であって、
１）ナノサイズ研磨剤と、
２）鉄化合物で被覆された粒子の固体触媒と、
３）ピペラジン誘導体、シアネート塩及びこれらの組み合わせから成る群より選択される化学添加剤と、
４）酸化剤と、
５）実質的に液体のキャリヤである残部と
を含み、該組成物のｐＨが約２．０〜約８である、組成物を提供する工程と、
ｃ）該半導体基材の表面を該研磨パッド及び該化学機械研磨組成物と接触させる工程と、
ｄ）該半導体基材の表面を研磨する工程と
を含み、タングステンを含有する表面の少なくとも一部が該研磨パッド及び該化学機械研磨組成物の両方と接触している、方法を提供する。
【００１７】
さらにもう１つの側面において、本発明は、選択的な化学機械研磨方法であって、
ａ）タングステン及び少なくとも１種の他の材料を含有する表面を有する半導体基材を提供する工程と、
ｂ）研磨パッドを提供する工程と、
ｃ）化学機械研磨（ＣＭＰ）組成物であって、
１）ナノサイズ研磨剤と、
２）鉄化合物で被覆された粒子の固体触媒と、
３）ピペラジン誘導体、シアネート塩及びこれらの組み合わせから成る群より選択される化学添加剤と、
４）酸化剤と、
５）実質的に液体のキャリヤである残部と
を含み、該ＣＭＰ組成物のｐＨが約２．０〜約８である、組成物を提供する工程と、
ｄ）該半導体基材の表面を該研磨パッド及び該化学機械研磨組成物と接触させる工程と、
ｅ）該半導体基材の表面を研磨する工程と
を含み、タングステンを含有する表面の少なくとも一部が該研磨パッド及び該化学機械研磨組成物の両方と接触しており、かつ、タングステン除去速度の、少なくとも１種の他の材料の除去速度に対する比が１以上である、方法を提供する。
【００１８】
さらにもう１つの側面において、本発明は、選択的な化学機械研磨システムであって、
ａ）タングステン及び少なくとも１種の他の材料を含有する表面を有する半導体基材と、
ｂ）研磨パッドと、
ｃ）化学機械研磨（ＣＭＰ）組成物であって、
１）ナノサイズ研磨剤と、
２）鉄化合物で被覆された粒子の固体触媒と、
３）ピペラジン誘導体、シアネート塩及びこれらの組み合わせから成る群より選択される化学添加剤と、
４）酸化剤と、
５）実質的に液体のキャリヤである残部と
を含み、該ＣＭＰ組成物のｐＨが約２．０〜約８である、組成物と、
を含み、タングステンを含む表面の少なくとも一部が該研磨パッド及び該化学機械研磨組成物の両方と接触している、システムを提供する。
【００１９】
任意選択で、化学機械研磨（ＣＭＰ）組成物は、
腐食防止剤
ｐＨ緩衝剤
界面活性剤、及び
研磨組成物のｐＨが５．０〜８．０である場合はバイオサイド
のうちの１つ又は複数をさらに含む。
【００２０】
通常は、ナノサイズ研磨剤はシリカ、アルミナ、セリア、チタニア、ジルコニア、及びこれらの組み合わせから成る群より選択される。
【００２１】
固体触媒は鉄化合物で被覆された粒子である。固体触媒を調製するために使用される粒子としては、コロイドシリカ及び他のタイプのコロイド又はナノサイズの無機金属酸化物粒子が挙げられる。
【００２２】
ピペラジン誘導体の例としては、これに限られないが、置換モノアミノピペラジン誘導体、及び置換ビスアミノピペラジン並びにこれらの組み合わせである。
【００２３】
シアネート塩の例としては、これに限られないが、カリウムシアネート、ナトリウムシアネート、アンモニウムシアネート、及びテトラアルキルアンモニウムシアネートである。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
ここで開示するタングステンスラリー組成物は、ナノサイズ研磨剤、コロイドシリカ粒子の表面上の固体触媒、選択した適切な化学添加剤、選択した適切な酸化剤、及び実質的に液体キャリヤの残部を主に含む。
【００２５】
化学機械研磨（ＣＭＰ）組成物は、以下のもの、すなわち、
腐食防止剤
ｐＨ緩衝剤
界面活性剤、及び
研磨組成物のｐＨが５．０〜８．０である場合はバイオサイド
のうちの１つ又は複数をさらに含む。
【００２６】
ここで開示するタングステンＣＭＰ研磨組成物に使用されるナノサイズ研磨剤粒子としては、これに限られないが、次のもの、すなわち、狭いか又は広い粒子サイズ分布、種々のサイズ及び種々の形状（研磨剤の種々の形状としては、球形状、繭形状、骨材形状及び他の形状が挙げられる）を有するコロイドシリカ、コロイドシリカの格子内で他の金属酸化物によりドープされたコロイドシリカ粒子、例えばアルミナでドープされたシリカ粒子、コロイド酸化アルミニウム（酸化アルミニウムのアルファ、ベータ及びガンマタイプが挙げられる）、コロイドかつ光活性の二酸化チタン、酸化セリウム、コロイド酸化セリウム、ナノサイズダイヤモンド粒子、ナノサイズ窒化ケイ素粒子、モノモーダル、バイモーダル、マルチモーダルコロイド研磨剤粒子、酸化ジルコニウム、有機ポリマーに基づく軟質研磨剤、表面が被覆され又は修飾された研磨剤、並びにこれらの混合物が挙げられる。ここで開示するタングステンＣＭＰ研磨組成物に使用される研磨剤粒子の平均粒子サイズは、好ましくは５ｎｍ〜５００ｎｍの範囲であり、より好ましくは１５ｎｍ〜２５０ｎｍの範囲であり、最も好ましくは２５ｎｍ〜１５０ｎｍの範囲である。平均粒子サイズは、例えば動的光散乱技術により測定することができる。
【００２７】
本発明のタングステンＣＭＰ研磨組成物は、０．１ｗｔ％〜２５ｗｔ％、好ましくは０．５〜５ｗｔ％の研磨剤を含有する。
【００２８】
通常は、固体触媒は鉄化合物で被覆された粒子である。酸化鉄が好ましい鉄化合物である。固体触媒の調製に使用される粒子としては、コロイドシリカ及び他のタイプのコロイド又はナノサイズの無機金属酸化物粒子が挙げられる。固体触媒の例としては、コロイドシリカ上に被覆された酸化鉄である。固体触媒としての使用のための酸化鉄で被覆された適切なコロイドシリカ粒子の例は、米国特許第７０１４６６９号明細書、同第７０２９５０８号明細書、及び同第７４２７３０５号明細書に開示されている。
【００２９】
本発明のＣＭＰスラリーは０．０１ｗｔ％〜１０ｗｔ％の範囲、好ましくは０．１ｗｔ％〜０．５ｗｔ％の範囲の固体触媒を含有する。
【００３０】
２つのタイプの化学添加剤が存在する。
【００３１】
選択された化学添加剤の第１のタイプは、研磨組成物にタングステン膜上の低い静的エッチング速度を与える。静的エッチング速度の低減は、タングステン金属膜の表面上により良好な腐食防止を与えるとともに、タングステン又はタングステン含有基材の研磨中のディッシング、エロージョン、及びプラグリセスを低減させる。静的エッチング速度を低減させることにより、その化学添加剤はタングステン金属表面の腐食防止のための腐食防止剤とみなされる。
【００３２】
タングステン研磨組成物中に使用される化学添加剤の第２のタイプは、腐食防止剤として働いてタングステン金属膜の表面上の静的エッチング速度を低減させ、より良好なＷ金属表面の腐食防止を与えるのみならず、タングステン膜の除去速度を加速させる。ここで開示するタングステン研磨組成物中の第２のタイプの化学研磨剤は、二機能化学添加剤である。
【００３３】
さらに、タングステン膜の除去速度が加速している間、誘電膜の研磨に関する除去速度は影響を受けない。それゆえ、タングステン／誘電体（Ｗ／Ｄ）膜の研磨選択性は向上してより高いＷ／Ｄ膜の研磨選択性を有するタングステンＣＭＰ研磨スラリーを提供することができる。第２のタイプの化学添加剤を含有するタングステン化学機械研磨組成物は、タングステン膜の表面上のより良好な腐食防止及びＷ／Ｄ膜のより高い研磨選択性を与えて半導体産業の種々のニーズに応えることができる。
【００３４】
第１及び第２の化学研磨剤はどちらも調節可能な除去速度及び調節可能なＷ／Ｄ膜の研磨選択性を与えることができる。
【００３５】
開示するタングステンＣＭＰスラリーに使用される腐食防止剤としての選択された適切な第１のタイプの化学添加剤としては、これに限られないが、次のもの、すなわち、ピペラジン及びその誘導体が挙げられる。
【００３６】
幾つかのピペラジン及びそれらの誘導体の一般的な分子構造は、水素、アルキル、アリール、アラルキル、アルコキシ、１つ又は複数のヒドロキシル基を有する有機基、置換有機スルホン酸（−ＲＳＯ3Ｈ）、置換有機スルホン酸塩、置換ケトン、置換有機カルボン酸（−ＲＣＯ2Ｈ）、置換有機カルボン酸塩（−ＲＣＯＯＭ）、置換有機カルボン酸エステル（−ＲＣＯＯＲ’）、置換有機アミン（−ＲＮＨ2）、置換有機アミド、及びこれらの組み合わせからの下式である。
【化１】
2014194016.tif 000002
有機アミンに基づくピペラジン誘導体は、ここで開示するタングステン化学機械研磨組成物中の腐食防止剤として使用するための重要な化学添加剤であると考えられる。Ｒ及びＲ’は例えば炭化水素側鎖であることができ、Ｍは例えばナトリウム、アンモニウム又はカリウムであることができる。可能性のある置換基としては、フルオロ基及びクロロ基が挙げられる。幾つかの好ましい実施態様においては、Ｒ1はアルキルアミノ基、好ましくは鎖状アルキルアミノ基、さらに好ましくは第１級アルキルアミノ基である有機アミン基である。例としては２−アミノエチル及び３−アミノプロピルである。そのような幾つかの実施態様においては、Ｒ2は適切には水素又はＲ1と同一の基である。
【００３７】
特に、適切なピペラジン及びその誘導体としては、以下のような分子構造、すなわち、
【化２】
2014194016.tif 000003
を有する（ａ）置換有機モノアミノピペラジン誘導体及び（ｂ）置換有機ビスアミノピペラジン誘導体が挙げられる。
【００３８】
（ａ）に見られるように、適切な有機アミン官能基を有するモノ置換有機アミン化合物が、ピペラジンの六員環の１又は４位の窒素原子と結合している。
【００３９】
（ｂ）に見られるように、適切な有機アミン官能基を有するビス置換有機アミン化合物が、ピペラジンの六員環の１又は４位の窒素原子と結合している。
【００４０】
（ａ）及び（ｂ）中の有機アミン官能基は第１級有機アミン基Ｈ2Ｎ−Ｒ−、第２級有機アミン基ＨＲＮ−Ｒ’−、又は第３級有機アミン基ＲＲ’Ｎ−（Ｒ”’2Ｎ−とも呼ばれる）であることができる。
【００４１】
（ａ）及び（ｂ）中のＲ、Ｒ’、Ｒ”及びＲ”’は独立してプロトン（水素）、アルキル、アルコキシ、１つ又は複数のヒドロキシル基を有する有機基、置換有機スルホン酸、置換有機スルホン酸塩、置換有機カルボン酸、置換有機カルボン酸塩、有機カルボン酸エステル、有機アミン及びこれらの組み合わせから選択される。Ｒ、Ｒ’、Ｒ”及びＲ”’は同一でも異なっていてもよい。（ａ）中のＲ”は、好ましくは有機アミン基ではない。式（ａ）及び（ｂ）の幾つかの好ましい実施態様においては、Ｒ及びＲ’は水素である。この場合、式（ａ）中のＲ”は好ましくは水素であり、式（ｂ）中のそれぞれのＲ”’は好ましくは水素である。適切には、ピペラジン環上の好ましい基が２−アミノエチル及び３−アミノプロピルであるように、ｎ＝２又は３である。同一又は異なる置換基を有するモノ置換（式（ａ））又はビス置換（式（ｂ））が有力である。ピペラジン環の炭素（２、３、５、６位）における置換基又は他の修飾（例えばオキソ基）もまた想定される。
【００４２】
ｎの値は１〜６であることができる。ｎの値はピペラジン環からの窒素原子と有機アミン又はアミノ基からの窒素原子とを架橋する有機アルキル基の異なる長さを示す。ｎ＝２又は３が好ましい。
【００４３】
また、ピペラジンの１位の有機アミン官能基は、ピペラジンの４位の有機アミン官能基と同一であることができ、又はピペラジンの４位の有機アミン官能基と異なっていることができる。
【００４４】
そのような第一のタイプの化学添加剤の例としては、これに限られないが、１−（ベンジルオキシカルボニル）ピペラジン、（Ｒ）−ピペラジン−２−カルボン酸、１−（２−ヒドロキシエチル）ピペラジン、ピペラジン−２，６−ジオン、１−（２−アミノエチル）ピペラジン、１，４−ビス（２−ヒドロキシエチル）ピペラジン、１，４−ビス（アクリロイル）ピペラジン、ピペラジン−１−酢酸ｔｅｒｔ−ブチルエステル、１−（３−メチルベンジル）ピペラジン、４−Ｂｏｃ−ピペラジン−２−カルボン酸、１−（ジフェニルメチル）ピペラジン、１，４−ジ−Ｂｏｃ−ピペラジン−２−カルボン酸、２−（ピペラジン−１−カルボニル）−安息香酸、４−（ピペラジン−１−カルボニル）−ピペリジン−１−カルボン酸ｔｅｒｔ−ブチルブチルエステル、ピペラジン−１−カルボン酸（２−クロロ−フェニル）−アミドピペラジン−１−カルボン酸ジメチルアミド、ピペラジン−１−カルボン酸ジエチルアミド、ピペラジン−１−カルボン酸ジフェニルアミド、ピペラジン−１−スルホンアミド、ピペラジン−２−カルボキサミド、１，２−ジメチルピペラジン、１−（２−ブチル）−ピペラジン、２−イソブチル−ピペラジン、２−ｔｅｒｔ−ブチルピペラジン、Ｒ−２−イソブチル−ピペラジン、Ｓ−２−イソブチル−ピペラジン、２−イソプロピル−ピペラジン、１−（２−ピリミジル）ピペラジン、１−（４−トリフルオロメチルフェニル）ピペラジン、１−（シクロプロピルメチル）ピペラジン、１−（２−ピラジニル）−ピペラジン、１−（２−トリフルオロメチルフェニル）−ピペラジン、１−（６−ピリダジニル）ピペラジン、２−（４−トリフルオロメチルフェニル）ピペラジン、２−フェニル−ピペラジン−１−カルボン酸ベンジルエステル、１−（１−ナフチルメチル）ピペラジン、１−（１−ペンチル）ピペラジン、１−（２−ペンチル）−ピペラジン、１−（３−ペンチル）−ピペラジン、１−（プロパノイル）−ピペラジン、２−フェニル−ピペラジン−１−カルボン酸ｔｅｒｔ−ブチルエステル、１−Ｂｏｃ−ピペラジン、１−（４−クロロフェニル）ピペラジン、１−（２−フロイル）ピペラジン、１−（２−フルオロフェニル）ピペラジン、１−（２−ヒドロキシフェニル）ピペラジン、１−（２−フェニルエチル）ピペラジン、１−（４−フルオロフェニル）ピペラジン、１−（２−メチルベンジル）ピペラジン、１−（４−ヒドロキシフェニル）ピペラジン、１−（４−メチルベンジル）ピペラジン、１−（３−ヒドロキシフェニル）ピペラジン、１−（１−フェニルエチル）ピペラジン、１−（２，４−ジメチルフェニル）ピペラジン、１−（２，５−ジメチルフェニル）ピペラジン、１−（２，５−ジメチルフェニル）ピペラジン、１−（２，６−キシリル）ピペラジン、１−（２−エチルフェニル）ピペラジン、１−（２−エチルフェニル）ピペラジン、１−（３，４−ジメチルフェニル）ピペラジン、１−（３，５−ジメチルフェニル）ピペラジン、１−（３−フルオロフェニル）ピペラジン、１−（３−フロイル）ピペラジン、１−（Ｎ−ヘプチル）ピペラジン、１−ピバロイル−ピペラジン、２，３−ジメチル−ピペラジン−１−カルボン酸ｔｅｒｔ−ブチルエステル、２−（２−クロロフェニル）ピペラジン、２−（４−クロロフェニル）ピペラジン、Ｎ−４−Ｃｂｚ−ピペラジン−２−カルボン酸メチルエステル、１−（２−ピリジル）ピペラジン、１−（２−メトキシフェニル）ピペラジン、１−（４−メトキシフェニル）ピペラジン、１−（４−クロロベンズヒドリル）ピペラジン、１−（４−ピリジル）ピペラジン、１−（４−アミノフェニル）ピペラジン、１−（４−メトキシベンジル）ピペラジン、１−（２−シアノフェニル）ピペラジン、１−（１−アダマンチル）ピペラジン、１−（４−ニトロフェニル）ピペラジン、１−（２−メトキシエチル）ピペラジン、２−（トリフルオロメチル）ピペラジン、１−（３，４−ジクロロフェニル）ピペラジン;１−Ｂｏｃ−ピペラジン−２−カルボン酸、１−（２，５−ジフルオロベンジル）ピペラジン、１−（２−エトキシエチル）ピペラジン、１−（３，４−ジクロロベンジル）ピペラジン、１−（３−メトキシフェニル）ピペラジン、１−（シクロヘキシルメチル）ピペラジン、１−（３−メチルフェニル）ピペラジン、１−（４−メチルフェニル）ピペラジン、１−（３−フルオロベンジル）ピペラジン、１−（４−フルオロベンジル）ピペラジン、２−（３−メトキシフェニル）ピペラジン、１−（３−クロロベンジル）ピペラジン、１−（シクロプロピルカルボニル）ピペラジン、（Ｒ）−１−Ｂｏｃ−ピペラジン−２−カルボン酸、（Ｒ）−２−ベンジルピペラジン、（Ｒ）−３−ヒドロキシメチル−ピペラジン−１−カルボン酸ｔｅｒｔ−ブチルエステル、（Ｒ）−４−Ｎ−Ｂｏｃ−ピペラジン−２−カルボン酸、（Ｓ）−２−ベンジルピペラジン、（Ｓ）−２−ベンジルピペラジン−１−カルボン酸ｔｅｒｔ−ブチルエステル、（Ｓ）−３−ヒドロキシメチル−ピペラジン−１−カルボン酸ｔｅｒｔ−ブチルエステル、（Ｓ）−４−Ｎ−Ｂｏｃ−ピペラジン−２−カルボン酸、１−（１−ピペリジニルスルホニル）ピペラジン、１−（２，２，２−トリフルオロエチル）ピペラジン、１−（２，３−ジフルオロフェニル）ピペラジン、１−（２，４，６−トリメチルベンジル）ピペラジン、１−（２，４−ジクロロベンジル）ピペラジン、１−（２，４−ジフルオロフェニル）ピペラジン、１−（２，６−ジクロロベンジル）ピペラジン、１−（２−クロロベンジル）ピペラジン、１−（２−シクロヘキシルエチル）ピペラジン、１−（２−ジイソプロピルアミノエチル）ピペラジン、１−（２−ジプロピルアミノエチル）−ピペラジン、１−（２−エトキシフェニル）ピペラジン、１−（２−エチルブタノイル）ピペラジン、１−（２−フルオロベンジル）ピペラジン、１−（２−イソプロポキシエチル）ピペラジン、１−（２−メチルメルカプトフェニル）ピペラジン、１−（２−メチルプロパノイル）−ピペラジン、１−（２−モルホリノエチル）ピペラジン、１−（２−フェノキシエチル）ピペラジン、１−（２−ピペリジノエチル）ピペラジン、１−（２−ピロリジノエチル）ピペラジン、１−（３，３−ジメチルブタノイル）ピペラジン、１−（３，４−ジクロロベンゾイル）ピペラジン、１−（３−（３，５−ジクロロフェニル）ピペラジン、４−ジフルオロベンゾイルピペラジン、１−（３，４−ジメ��ルベンジル）ピペラジン、１−（３，５−ジメトキシベンゾイル）ピペラジン、１−（３，５−ジメチルベンゾイル）ピペラジン、１−（３−アミノプロピル）ピペラジン、１−（３−シアノプロピル）ピペラジン、１−（３−ジエチルアミノプロピル）ピペラジン、１−（３−ジプロピルアミノプロピル）−ピペラジン、１−（３−メトキシプロピル）−ピペラジン、１−（３−モルホリノプロピル）ピペラジン、１−（３−フェニルプロピル）ピペラジン、１−（３−ピペリジノプロピル）ピペラジン、１−（３−ピロリジノプロピル）ピペラジン、１−（４−クロロベンゾイル）ピペラジン、１−（４−クロロベンジル）ピペラジン、１−（４−エトキシフェニル）ピペラジン、１−（４−メトキシベンゾイル）−ピペラジン、１−（４−メトキシブチル）ピペラジン、１−（４−フェニルブチル）−ピペラジン、１−（４−ピリジルメチル）ピペラジン、１−（４−ｔｅｒｔ−ブチルベンジル）ピペラジン、１−（シクロヘキシルカルボニル）ピペラジン、１−（エタンスルホニル）ピペラジン、１−（フェニルアセチル）ピペラジン、１−Ｃｂｚ−ピペラジン−２−カルボン酸、１−ヘキサノイル−ピペラジン、１−メチルスルホニル−ピペラジン、２，３−ジフェニルピペラジン、２−（２−フリル）ピペラジン、２−（２−メトキシフェニル）ピペラジン、２−（２−チエニル）ピペラジン、２−（３−オキソ−ピペラジン−１−カルボニル）−安息香酸、２−（４−クロロフェニル）ピペラジン−１−カルボン酸ｔｅｒｔ−ブチルエステル、２−（４−メトキシフェニル）ピペラジン、２−（４−メチルフェニル）ピペラジン、２−ベンジル−ピペラジン、３−（４−クロロフェニル）ピペラジン−１−カルボン酸ｔｅｒｔ−ブチルエステル、３−オキソ−ピペラジン−２−カルボン酸、３−フェニル−ピペラジン−１−カルボン酸エチルエステル、４−（４−Ｂｏｃ−ピペラジン−１−カルボニル）フェニルボロン酸ピナコールエステル、［５−（４−メチル−ピペラジン−１−スルホニル）−ピリジン−２−イル］−ヒドラジン、メチルピペラジン−１−カルボキシレート、１−エチル−２−メチル−ピペラジン、１，４−ビス（３−アミノプロピル）ピペラジン、１−［２−（２−ヒドロキシエトキシ）エチル］ピペラジン、１−（２−メチル−アリル）−ピペラジン、２−（３−トリフルオロメチル−フェニル）−ピペラジン、４−Ｎ−Ｂｏｃ−２−メチル−ピペラジン、１−（テトラヒドロ−２−フロイル）−ピペラジン、１−（テトラヒドロ−２−フリルメチル）ピペラジン、（Ｒ）−１−Ｂｏｃ−２−エチル−ピペラジン、（Ｒ）−１−Ｂｏｃ−３−エチル−ピペラジン、（Ｓ）−１−Ｂｏｃ−２−エチル−ピペラジン、（Ｓ）−１−Ｂｏｃ−３−エチル−ピペラジン、１−［１−（２−メトキシフェニル）エチル］ピペラジン、１−［１−（３−メトキシフェニル）エチル］ピペラジン、１−［１−（４−メトキシフェニル）−エチル］−ピペラジン、１−［２−（２−メチルフェノキシ）エチル］ピペラジン、１−（４−エトキシ−ベンジル）−ピペラジン、１−Ｂｏｃ−２，６−ジメチル−ピペラジン、１−Ｂｏｃ−３，３−ジメチルピペラジン、１−Ｂｏｃ−３，５−ジメチル−ピペラジン��１−Ｂｏｃ−５−オキソ−ピペラジン−２−カルボン酸、１−Ｎ−（ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル）−２−エチルピペラジン、２−（２−フルオロ−フェニル）−ピペラジン、２−（３−フルオロ−フェニル）−ピペラジン、２−メチル−１−（３−メチルフェニル）ピペラジン、４−（５−アミノピリジン−２−イル）ピペラジン−１−カルボン酸ｔｅｒｔ−ブチルエステル、１−［２−（ジメチルアミノ）エチル］ピペラジン、１−（１−メチル−４−ピペリジニル）ピペラジン、１−アセチル−４−（４−ヒドロキシフェニル）ピペラジン、１−［４−（トリフルオロメチル）ベンジル］ピペラジン、１−Ｂｏｃ−４−（２−ホルミルフェニル）ピペラジン、１−アミノ−４−（２−ヒドロキシエチル）ピペラジン、１−Ｂｏｃ−（４−ベンジル）ピペラジン、１−Ｂｏｃ−４−［３−（エトキシカルボニル）フェニル］ピペラジン、１−ビス（４−フルオロフェニル）メチルピペラジン、１−Ｂｏｃ−４−（３−ヒドロキシプロピル）ピペラジン、１−Ｂｏｃ−４−（４−ホルミルフェニル）ピペラジン、１−Ｂｏｃ−４−（４−メトキシカルボニルフェニル）ピペラジン、１−（１，３−ジオキソラン−２−イルメチル）ピペラジン、１−（３−アミノプロピル）−４−（２−メトキシフェニル）ピペラジン、１−［３−（ジメチルアミノ）プロピル］ピペラジン、１−（１，２，３，４−テトラヒドロナフタレン−２−イル）ピペラジン、１−（４−アミノブチル）−４−（２−メトキシフェニル）ピペラジン、１−Ｂｏｃ−４−（２−メトキシカルボニルフェニル）ピペラジン、１−Ｂｏｃ−４−（５−ニトロ−２−ピリジル）ピペラジン、（Ｒ）−１−Ｂｏｃ−２−ベンジルピペラジン、（Ｒ）−１−Ｎ−Ｂｏｃ−２−イソプロピルピペラジン、（Ｒ）−１−Ｎ−Ｂｏｃ−４−Ｎ−Ｆｍｏｃ−２−ピペラジンカルボン酸、（Ｒ）−１−Ｎ−Ｃｂｚ−２−メチル−ピペラジン、（Ｒ）−４−Ｎ−トリチル−２−メチルピペラジン、（Ｒ）−Ｎ４−ベンジル−２−（ベンジルオキシメチル）ピペラジン、（Ｓ）−１−Ｂｏｃ−２−ヒドロキシメチル−ピペラジン、（Ｓ）−１−Ｂｏｃ−２−イソブチル−ピペラジン、（Ｓ）−１−Ｂｏｃ−３−ベンジルピペラジン、（Ｓ）−１−Ｂｏｃ−３−イソプロピル−ピペラジン、（Ｓ）−１−Ｎ−Ｂｏｃ−４−Ｎ−Ｆｍｏｃ−ピペラジン−２−カルボン酸、（Ｓ）−４−Ｎ−トリチル−２−メチル−ピペラジン、（Ｓ）
−ｎ４−ベンジル−２−（メチルチオエチル）ピペラジン、１−［（２，６−ジクロロフェニル）スルホニル］ピペラジン、１−［（２−メチル−１，３−チアゾール−５−イル）メチル］ピペラジン、１−［（４，５−ジメチル−１，３−オキサゾール−２−イル）メチル］ピペラジン、１−［（４−シクロヘキシルフェニル）スルホニル］ピペラジン、１−［（４−イソブチルフェニル）スルホニル］ピペラジン、１−［（４−メチル−１，２，５−オキサジアゾール−３−イル）メチル］ピペラジン、１−［（４−ｓｅｃ−ブチルフェニル）スルホニル］ピペラジン、１−［（４−ｔｅｒｔ−ブチル−２，６−ジメチルフェニル）スルホニル］ピペラジン、１−［１−（ピリジン−２−イル）エチル］ピペラジン、１−［１−（ピリジン−３−イル）エチル］ピペラジン、１−［１−（チオフェン−２−イル）エチル］ピペラジン、１−［２−（１−プロピル）−オキシエチル］−ピペラジン、１−［２−（１Ｈ−ピロール−１−イル）エチル］ピペラジン、１−［２−（２−メトキシ−フェノキシ）−エチル〕ピペラジン、１−［２−（ジアリルアミノ）−エチル］−ピペラジン、１−［２−（トリフルオロメチル）ピリジン−４−イル］ピペラジン、１−［２−（トリフルオロメチル）キノール−４−イル］ピペラジン、１−［２−フルオロ−４−（メチルスルホニル）フェニル］ピペラジン、１−［２−フルオロ−４−（メチルスルホニル）フェニル］−４−（２−ヒドロキシエチル）ピペラジン、１−［３−（１−ピペリジニルカルボニル）−２−ピリジニル］ピペラジン、１−［３−（ジフルオロメトキシ）ベンゾイル］ピペラジン、１−［３−（トリフルオロメチル）ピリド−２−イル］ピペラジン、１−［４−（メチルスルホニル）フェニル］ピペラジン、１−［４−（トリフルオロメチル）ピリミド−２−イル］ピペラジン、１−（１Ｈ−イミダゾール−２−イルメチル）ピペラジン、１−（２，６−ジメチルピリジン−４−イル）ピペラジン、１−（２−ベンズヒドリルオキシ−エチル）ピペラジン、１−（２−ヒドロキシエチル）−４−イソプロピルピペラジン、１−（２−イミダゾール−１−イル−エチル）−ピペラジン、１−（２−イソシアノ−エチル）−４−メチル−ピペラジン、１−（２−メチル−チアゾール−４−イルメチル）−ピペラジン、１−（２−Ｎ−Ｂｏｃ−アミノエチル）ピペラジン、１−（２−ピリジン−２−イル−エチル）−ピペラジン、１−（２−ピリジン−４−イル−エチル）−ピペラジン、１−（２−チオフェン−２−イル−エチル）ピペラジン、１−（３，５−ジメチル−イソオキサゾール−４−イルメチル）−ピペラジン、１−（３−メトキシ−ベンジル）−ピペラジン、１−（３−メチル−ベンゾイル）−ピペラジン、１−（３−メチル−ピリジン−２−イルメチル）−ピペラジン、１−（３−メチルピリジン−２−イル）ピペラジン、１−（３−メチルピリジン−４−イル）ピペラジン、１−（４，６−ジメチルピリミジン−２−イル）ピペラジン、１−（４−シアノ−ベンジル）−ピペラジン、１−（４−エトキシ−ベンゼンスルホニル）−ピペラジン、１−（４−エトキシ−ピリジン−２−イル）−ピペラジン、１−（４−フルオロベンジル）−４−（２−ヒドロキシエチル）ピペラジン、１−（４−ヒドロキシ−フェニル）−ピペラジン−４−カルボン酸ｔｅｒｔ−ブチルエステル、Ｎ−Ｂｏｃ−ピペリジン、２−メチルピペラジン、２，６−ジメチルピペラジン、トランス−２，５−ジメチルピペラジン、１，４−ジメチルピペラジン、（Ｒ）−１−Ｂｏｃ−３−メチルピペラジン、１−Ｂｏｃ−３−オキソピペラジン、１，４−ビス−（２−メトキシ−５−メチル−ベンゼンスルホニル）−２−メチルピペラジン、１−［（１−メチル−１Ｈ−ピラゾール−３−イル）カルボニル］ピペラジン、１−［（１−メチル−１Ｈ−ピラゾール−４−イル）メチル］ピペラジン、１−（２−（Ｎ，Ｎ−ビス−（２−ヒドロキシプロピル）−アミノ）−エチル）−４−（２−ヒドロキシプロピル）−ピペラジン、１−（２−メトキシフェニル）−４−（（４−（２−メトキシフェニル）−１−ピペラジニル）（オキソ）アセチル）ピペラジン、１−（３−（２，３−ジヒドロ−１，４−ベンゾジオキシン−６−イル）アクリロイル）−４−（４−フルオロフェニル）ピペラジン、１−(４−クロロフェニル)−４−［(７−｛［４−(４−クロロフェニル)−１−ピペラジニル］スルホニル｝−９Ｈ−フルオレン−２−イル）スルホニル］ピペラジン、１−（４−フルオロフェニル）−４−（（４−（４−フルオロフェニル）−１−ピペラジニル）（オキソ）アセチル）ピペラジン、１−（４−ニトロフェニル）−４−（３−｛［４−（４−ニトロフェニル）−１−ピペラジニル］カルボニル｝ベンゾイル）ピペラジン、１−（４−ニトロフェニル）−４−（４−｛［４−（４−ニトロフェニル）−１−ピペラジニル］カルボニル｝ベンゾイル）ピペラジン、１−アセチル−４−（１−エチル−１Ｈ−イミダゾール−２−イル）ピペラジン、１−ベンズヒドリル−４−｛２−［５−（ベンジルスルファニル）−４−（２−メチル−２−プロペニル）−４Ｈ−１，２，４−トリアゾール−３−イル］エチル｝ピペラジン、１−ベンジル−４−［２−［（２'，４'−ジフルオロ［１，１'−ビフェニル］−４−イル）オキシ］エチル］ピペラジン、１−ベンジル−４−（３−（（２'，４'−ジフルオロ（１，１'−ビフェニル）−４−イル）オキシ）プロピル）ピペラジン、１−イソプロピル−４−［（１−メチル−１Ｈ−ピロール−２−イル）メチル］ピペラジン、１−メチル−４−（｛７−［（４−メチル−１−ピペラジニル）スルホニル］−９Ｈ−フルオレン−２−イル｝スルホニル）ピペラジン、１−フェニル−４−［フェニル（４−フェニル−１−ピペラジニル）メチル］ピペラジン、１−メチル−４−（メチルスルホニル）ピペラジン、４−（２−ヒドロキシ−エチル）−ピペラジン−１−カルボン酸（４−イソプロピル−フェニル）−アミド、６−ヒドロキシメチル−１，３−ジメチル−ピペラジン−２，５−ジオン、ビス（２−メトキシフェニル）２，２'−（ピペラジン−１，４−ジイル）ジエタンスルホネート、１−（アダマンタン−１−スルフィニル）−４−メチル−ピペラジン、１−（フェニルスルホニル）−４−（２−ピリジニル）ピペラジン、１−ベンジル−４−（２−メトキシプロパノイル）ピペラジン、１−シクロヘキシル−４−（メチルスルホニル）ピペラジン、１−エチル−４−（３−フリルメチル）ピペラジン、１−（３−フェノキシ−４−ピリジニル）ピペラジン、１−（２−ピリジニル）−４−（３−（２，３，４−トリメトキシフェニル）アクリロイル）ピペラジン、１−（３−（１，３−ベンゾジオキソール−５−イル）アクリロイル）−４−（２−ピリジニル）ピペラジン、１−（３−（１，３−ベンゾジオキソール−５−イル）アクリロイル）−４−（４−メトキシフェニル）ピペラジン、１，４−ビス−（２−ピリジルメチレンアミノ）−ピペラジン、１，４−ビス−（３，４，５−トリメトキシベンジリデンアミノ−ピペラジン、１，４−ビス−（アセトアセチル）−ピペラジン、１，４−ジ（２−フロイル）ピペラジン、１，４−ビス［２−（４−ピリジニル）エチル］ピペラジン、１，４−ビス（２−（２−ピリジニル）エチル）ピペラジン、１，４−ビス（２−カルボキシベンゾイル）ピペラジン、１，４−ビス（３−ピリジニルメチル）ピペラジン、１−（エトキシカルボニルメチル）ピペラジン、２，３，５，６−テトラヒドロキシ−ピペラジン−１，４−ジカルボアルデヒド、４−ベンジル−ピペラジン−１−カルボン酸シクロヘキシルアミド、ジエチル２，２'−（ピペラジン−１，４−ジイル）ビス（２−オキソアセテート）、ジエチル２，２'−（ピペラジン−１，４−ジイル）ジアセテート、ジメチル３，３'−（ピペラジン−１，４−ジイル）ジプロパノエート、（２Ｅ、２'Ｅ）−３，３'−（ピペラジン−１，４−ジイル）ビス（１−（２−ヒドロキシフェニル）プロプ−２−エン−１−オン）、２，２'−（ピペラジン−１，４−ジイル）ビス（Ｎ−（１，５−ジメチル−３−オキソ−２−フェニル−２，３−ジヒドロ−１Ｈ−ピラゾール−４−イル）アセトアミド）、２，２'−（ピペラジン−１，４−ジイル）ジプロパンアミド、２，２'−（ピペラジン−１，４−ジイル）ジプロパンニトリル、３，３'−（ピペラジン−１，４−ジイル）ビス（１−（９Ｈ−カルバゾール−９−イル）プロパン−２−オール）フマレート、３，３'−（ピペラジン−１，４−ジイル）ビス（１−フェニルプロパン−１−オン）、３，３'−（ピペラジン−１，４−ジイル）−ジプロパン−１−オール、４，４'−（ピペラジン−１，４−ジイル）ビス（３−エトキシシクロブタ−３−エン−１，２−ジオン、ピペラジン−１，４−ジカルボチオ酸ビス−フェニルアミド、１，４−ジ−ｔｅｒｔ−ブチルピペラジン−２，５−ジオン、１，４−ジドデシル−ピペラジン、１，４−ジヘキサデシル−ピペラジン、１−（１−ピペリジニルカルボニル）ピペラジン、１−（１−アダマンチルメチル）ピペラジン、１−（３，４−ジメトキシベンジル）ピペラジン、１−（３−ピリジニルカルボニル）ピペラジン、４−ピペラジノベンゾニトリル、（Ｓ）−３−メチル−２−ケトピペラジン、（Ｒ）−３−メチル−２−ケトピペラジン、４−カルボニル（Ｂｏｃ−ピペラジン−１−イル）−３−ニトロ安息香酸、１，１'−（ピペラジン−１，４−ジイル）ジプロパン−２−オール、２，２'−（ピペラジン−１，４−ジイル）ビス（１−フェニルエタノール）、２，２'−（ピペラジン−１，４−ジイル）ビス（２−メチルプロパンニトリル）、ピペラジン−Ｎ、Ｎ'−ビス（２−エタンスルホ��酸）、１−ホルミルピペラジン、ＰＩＰＥＳナトリウム塩、ＰＩＰＥＳ二ナトリウム塩、ＰＩＰＥＳ二カリウム塩、ピペラジン−Ｎ、Ｎ'−ビス（２−ヒドロキシプロパンスルホン酸）、エチル１−ピペラジンカルボキシレート、ＰＯＰＳＯ二ナトリウム塩、４−ヒドロキシ−３−メトキシフェニルグリコールヘミピペラジニウム塩、クエン酸セスキピペラジン塩水和物、４−（２−ヒドロキシエチル）ピペラジン−１−エタンスルホン酸、４−（２−ヒドロキシエチル）−１−ピペラジンプロパンスルホン酸、ＨＥＰＥＳナトリウム塩、Ｎ−（２−ヒドロキシエチル）ピペラジン−Ｎ'−（４−ブタンスルホン酸）、３−メチル−２−ケトピペラジン、ＨＥＰＥＳカリウム塩、３−ピペラジノプロピオニトリル、エチルピペラジノアセテート、エストロピペート、１−ピペラジンプロパノール、ｔ−ブチル−４−（２−アミノ−１−フェニルエチル）ピペラジンカルボキシレート、ｔｅｒｔ−ブチル４−［２−（アミノメチル）フェニル］ピペラジン−１−カルボキシレート、ｔｅｒｔ−ブチル４−［５−（ヒドロキシメチル）ピリド−２−イル］ピペラジン−１−カルボキシレート、ｔｅｒｔ−ブチル４−（３−アミノベンジル）ピペラジン−１−カルボキシレート、ｔｅｒｔ−ブチル４−（４−［（メチルアミノ）メチル］フェニル）ピペラジン−１−カルボキシレート、ｔｅｒｔ−ブチル４−（４−シアノピリド−２−イル）ピペラジン−１−カルボキシレート、ｔｅｒｔ−ブチル４−（５−ホルミルピリド−２−イル）ピペラジン−１−カルボキシレート、ｔｅｒｔ−ブチル４−（オキセタン−３−イル）ピペラジン−１−カルボキシレート、ｔｅｒｔ−ブチル４−（ピペリジン−３−イル）ピペラジン−１−カルボキシレート、ｔｅｒｔ−ブチル４−（ピロリジン−２−イルカルボニル）ピペラジン−１−カルボキシレート、ｔｅｒｔ−ブチル４−（１Ｈ−ピロロ［２，３−ｂ］ピリジン−４−イル）ピペラジン−１−カルボキシレート、１−［２−（２，５−ジメチル−１Ｈ−ピロール−１−イル）エチル］ピペラジン、１−（（１，５−ジメチル−１Ｈ−ピラゾール−４−イル）メチル）ピペラジン、１−（１−エチル−５−メチル−１Ｈ−ピラゾール−４−イルメチル）−ピペラジン、t−ブチル−４−（２−アミノ−１−［４−（トリフルオロメチル）フェニル］エチル）ピペラジンカルボキシレート、３−（４−フルオロ−フェニル）−ピペラジン
−１−カルボン酸ｔｅｒｔ−ブチルエステル、３−（４−ヒドロキシ−フェニル）−ピペラジン−１−カルボン酸ｔｅｒｔ−ブチルエステル、３−フラン−２−イル−ピペラジン−１−カルボン酸ｔｅｒｔ−ブチルエステル、３−チオフェン−２−イル−ピペラジン−１−カルボン酸ベンジルエステル、４−（２−アミノ−フェニル）−ピペラジン−１−カルボン酸ｔｅｒｔ−ブチルエステル、４−（２−アミノエチル）−１−ｂｏｃ−ピペラジン、４−（５−カルボキシ−ピリジン−２−イル）−２−メチル−ピペラジン−１−カルボン酸ｔｅｒｔ−ブチルエステル、４−Ｂｏｃ−１−（６−メチル−２−ピリジル）ピペラジン、Ｆｍｏｃ−４−カルボキシメチル−ピペラジン、メチル４−Ｂｏｃ−ピペラジン−２−カルボキシレート、Ｎ，Ｎ−ジメチル−１−ピペラジンスルホンアミド、Ｎ−１−Ｂｏｃ−Ｎ−４−Ｆｍｏｃ−２−ピペラジンカルボン酸、Ｎ−４−Ｂｏｃ−Ｎ−１−ｃｂｚ−ピペラジン−２−カルボン酸、Ｎ−４−Ｂｏｃ−Ｎ−１−Ｆｍｏｃ−２−ピペラジン酢酸、硫酸化合物及びピペラジン−１−カルボキシイミドアミド（１:１）、１−エチル−４−ピペリジン−４−イル−ピペラジン、１−フラン−２−イルメチル−ピペラジン、１−メチル−４−（２−ピペリジン−４−イル−エチル）−ピペラジン、１−メチル−４−（６−アミノピリジン−３−イル）ピペラジン、１−メチル−４−（ピペリジン−４−イル）−ピペラジン、１−Ｎ−Ｂｏｃ−４−（アゼチジン−３−イル）ピペラジン、１−ピリジン−２−イルメチル−ピペラジン、１−ピリジン−３−イルメチル−ピペラジン、１−チアゾール−２−イル−ピペラジン、２−（２，５−ジメトキシ−フェニル）−ピペラジン、２−カルボキシメチル−３−オキソ−ピペラジン−１−カルボン酸ｔｅｒｔ−ブチルエステル、２−エトキシカルボニルメチル−３−オキソ−ピペラジン−１−カルボン酸ｔｅｒｔ−ブチルエステル、１−（４−メチル−シクロヘキシル）−ピペラジン、１−（４−メチル−ピペリジン−１−スルホニル）−ピペラジン、１−（４−トリフルオロメチル−ピリジン−２−イル）−ピペラジン、１−（５−メチル−２−ピリジニル）ピペラジン、１−（５−メチル−２−チアゾリル）−ピペラジン、１−（５−ニトロピリジン−２−イル）ピペラジン;１−（６−ブトキシ−２−ピリジニル）ピペラジン、１−（６−メチルピリド−２−イル）ピペラジン、１−（Ｎ−メチルピペリジン−３−イル−メチル）ピペラジン、１−（チエン−２−イルアセチル）ピペラジン、１−Ｂｏｃ−４−（ピペリジン−４−イル）−ピペラジン、１−Ｂｏｃ−４−シアノメチルピペラジン、並びに１−シクロヘキサ−３−エニルメチル−ピペラジンが挙げられる。ピペラジン誘導体は、好ましくは、（Ｒ）−ピペラジン−２−カルボン酸、１−（２−ヒドロキシエチル）ピペラジン、ピペラジン−２，６−ジオン、１−（２−アミノエチル）ピペラジン、１，４−ビス（２−ヒドロキシエチル）ピペラジン、１，４−ビス（アクリロイル）ピペラジン、ピペラジン−１−酢酸ｔｅｒｔ−ブチルエステル、１−（３−メチルベンジル）ピペラジン、４−（ピペラジン−１−カルボニル）−ピペリジン−１−カルボン酸ｔｅｒｔ−ブチルエステル、ピ���ラジン−１−カルボン酸ジエチルアミド、ピペラジン−１−スルホンアミド、ピペラジン−２−カルボキサミド、１，２−ジメチルピペラジン、２−イソプロピル−ピペラジン、１−（２−ピリミジル）ピペラジン、１−（２−ピラジニル）−ピペラジン、１−（６−ピリダジニル）ピペラジン、１−（３−ヒドロキシフェニル）ピペラジン、１−（２−ピリジル）ピペラジン、１−（４−メトキシフェニル）ピペラジン、１−（４−ピリジル）ピペラジン、１−（４−アミノフェニル）ピペラジン、１−（４−メトキシベンジル）ピペラジン、１−（２−シアノフェニル）ピペラジン、１−（２−メトキシエチル）ピペラジン、１−Ｂｏｃ−ピペラジン−２−カルボン酸、１−（２−エトキシエチル）ピペラジン、（Ｒ）−１−Ｂｏｃ−ピペラジン−２−カルボン酸、（Ｒ）−３−ヒドロキシメチル−ピペラジン−１−カルボン酸ｔｅｒｔ−ブチルエステル、（Ｒ）−４−Ｎ−Ｂｏｃ−ピペラジン−２−カルボン酸、（Ｓ）−３−ヒドロキシメチル−ピペラジン−１−カルボン酸ｔｅｒｔ−ブチルエステル、（Ｓ）−４−Ｎ−Ｂｏｃ−ピペラジン−２−カルボン酸、１−（１−ピペリジニルスルホニル）ピペラジン、１−（２−ジイソプロピルアミノエチル）ピペラジン、１−（２−ジプロピルアミノエチル）−ピペラジン、１−（２−エトキシフェニル）ピペラジン、１−（２−エチルブタノイル）ピペラジン、１−（２−イソプロポキシエチル）ピペラジン、１−（２−メチルメルカプトフェニル）ピペラジン、１−（２−モルホリノエチル）ピペラジン、１−（２−ピペリジノエチル）ピペラジン、１−（２−ピロリジノエチル）ピペラジン、１−（３−アミノプロピル）ピペラジン、１−（３−シアノプロピル）ピペラジン、１−（３−ジエチルアミノプロピル）ピペラジン、１−（３−ジプロピルアミノプロピル）−ピペラジン、１−（３−メトキシプロピル）ピペラジン、１−（３−モルホリノプロピル）ピペラジン、１−（３−ピペリジノプロピル）ピペラジン、１−（３−ピロリジノプロピル）ピペラジン、１−（４−メトキシブチル）ピペラジン、１−（４−ピリジルメチル）ピペラジン、１−（エタンスルホニル）ピペラジン、３−オキソ−ピペラジン−２−カルボン酸、４−メチルピペラジン−１−カルボキシレート、１，４−ビス（３−アミノプロピル）ピペラジン、１−［２−（２−ヒドロキシエトキシ）エチル］ピペラジン、４−（５−アミノピリジン−２−イル）ピペラジン−１−カルボン酸ｔｅｒｔ−ブチルエステル、１−［２−（ジメチルアミノ）エチル］ピペラジン、１−（１−メチル−４−ピペリジニル）ピペラジン、１−アミノ−４−（２−ヒドロキシエチル）ピペラジン、１−（３−アミノプロピル）−４−（２−メトキシフェニル）ピペラジン、１−［３−（ジメチルアミノ）プロピル］ピペラジン、１−（４−アミノブチル）−４−（２−メトキシフェニル）ピペラジン、１−［３−（１−ピペリジニルカルボニル）−２−ピリジニル］ピペラジン、１−（１Ｈ−イミダゾール−２−イルメチル）ピペラジン、１−（２，６−ジメチルピリジン−４−イル）ピペラジン、１−（２−ヒドロキシエチル）−４−イソプロピルピペラジン、１−（２−イミダゾール−１−イル−エチル���−ピペラジン、１−（２−イソシアノ−エチル）−４−メチルピペラジン、１−（４−エトキシ−ピリジン−２−イル）−ピペラジン、２−メチルピペラジン、２，６−ジメチルピペラジン、トランス−２，５−ジメチルピペラジン、１，４−ジメチルピペラジン、１，４−ビス（３−ピリジニルメチル）ピペラジン、１−（エトキシカルボニルメチル）ピペラジン、２，３，５，６−テトラヒドロキシ−ピペラジン−１，４−ジカルボアルデヒド、ジメチル３，３'−（ピペラジン−１，４−ジイル）ジプロパノエート、２，２'−（ピペラジン−１，４−ジイル）ジプロパンアミド、２，２'−（ピペラジン−１，４−ジイル）ジプロパンニトリル、（Ｒ）−３−メチル−２−ケトピペラジン、２，２'−（ピペラジン−１，４−ジイル）ビス（２−メチルプロパンニトリル）、ピペラジン−Ｎ、Ｎ'−ビス（２−エタンスルホン酸）、１−ホルミルピペラジン、ＰＩＰＥＳナトリウム塩、ＰＩＰＥＳ二ナトリウム塩、ＰＩＰＥＳ二カリウム塩、ピペラジン−Ｎ、Ｎ'−ビス（２−ヒドロキシプロパンスルホン酸）、エチル１−ピペラジンカルボキシレート、ＰＯＰＳＯ二ナトリウム塩、４−ヒドロキシ−３−メトキシフェニルグリコールヘミピペラジニウム塩、４−（２−ヒドロキシエチル）ピペラジン−１−エタンスルホン酸、４−（２−ヒドロキシエチル）−１−ピペラジンプロパンスルホン酸、ＨＥＰＥＳナトリウム塩、Ｎ−（２−ヒドロキシエチル）ピペラジン−Ｎ’−（４−ブタンスルホン酸）、３−メチル−２−ケトピペラジン、ＨＥＰＥＳカリウム塩、３−ピペラジノプロピオニトリル、エチルピペラジノアセテート、並びにこれらの組み合わせから成る群から選択される。光学活性化合物の（Ｒ）又は（Ｓ）エナンチオマーが指定されている場合、反対のエナンチオマー、及びラセミ化合物又はエナンチオマーの他の混合物もまた想定される。
【００４５】
開示するタングステンＣＭＰ研磨組成物のための腐食防止剤としてのそのような第１のタイプの化学添加剤の２つの例としては、モノ置換１−（２−アミノエチル）ピペラジン（（ａ）用）及びビス置換１，４−ビス（３−アミノプロピル）ピペラジン（（ｂ）用）である。
【００４６】
本発明のＣＭＰスラリーは、０．０００１％〜０．１０％の範囲、好ましくは０．０００５％〜０．０１０％の範囲の第１のタイプの化学添加剤を含有する。
【００４７】
腐食防止剤としてタングステン金属膜の表面に腐食防止を与え、タングステン除去速度加速剤としてタングステン膜除去速度を加速するための二機能を有する化学添加剤の第２のタイプとしては、種々のシアネート（ＣＮＯ）塩が挙げられる。これらのシアネート塩としては、カリウムシアネート、ナトリウムシアネート、アンモニウムシアネート、及びアルキルアンモニウムシアネート、例えばテトラアルキルアンモニウムシアネートが挙げられる。
【００４８】
本発明のＣＭＰスラリーは、０．０００２％〜０．５％の範囲、好ましくは０．００１％〜０．２５％の範囲の第２のタイプの化学添加剤を含有する。
【００４９】
開示するタングステンＣＭＰスラリーのために使用される酸化剤としては、これに限られないが、次の酸化剤、すなわち、過ヨウ素酸、過酸化水素、ヨウ素酸カリウム、過マンガン酸カリウム、過硫酸アンモニウム、モリブデン酸アンモニウム、硝酸鉄、硝酸、硝酸カリウム、及びこれらの混合物が挙げられる。好ましい酸化剤は過酸化水素である。
【００５０】
本発明のＣＭＰスラリーは、０．５ｗｔ％〜１０ｗｔ％、好ましくは１ｗｔ％〜４ｗｔ％、最も好ましくは２ｗｔ％〜３ｗｔ％の酸化剤を含有する。
【００５１】
液体成分の主要な部分を提供する液体キャリヤーは、水、又は水と、水と混合できる他の液体との混合物であることができる。有利には溶媒は水、例えばＤＩ（脱イオン）水である。
【００５２】
開示するタングステンＣＭＰスラリーに使用されるｐＨ緩衝剤としては、これに限られないが、次の緩衝剤、すなわち、硝酸、塩酸、硫酸、リン酸、他の無機酸又は有機酸及びこれらの混合物が挙げられる。好ましいｐＨ調整剤は硝酸である。
【００５３】
本発明のＣＭＰスラリーは、０．０１ｗｔ％〜０．５ｗｔ％、好ましくは０．０５ｗｔ％〜０．１５ｗｔ％の硝酸を含有する。
【００５４】
開示するタングステンＣＭＰスラリーに使用される腐食防止剤としては、これに限られないが、ポリエチレンイミン、並びに他の有機ポリマー性又はオリゴマー性の第１級及び第２級アミンが挙げられる。
【００５５】
本発明のＣＭＰスラリーは、０．０００１ｗｔ％〜０．２５ｗｔ％、好ましくは０．０００３ｗｔ％〜０．０１ｗｔ％の腐食防止剤を含有する。
【００５６】
開示するタングステンＣＭＰスラリーに使用される界面活性剤としては、これに限られないが、次の界面活性剤が挙げられる。
【００５７】
（ａ）．非イオン性表面湿潤剤
【００５８】
これらの薬剤は、通常は同一の分子中に種々の疎水性又は親水性部分を有する酸素又は窒素含有化合物であり、その分子量は数百〜百万超の範囲である。これらの材料の粘度はまた、非常に広い分布を有する。
【００５９】
（ｂ）．アニオン性表面湿潤剤
【００６０】
これらの化合物は分子骨格の主要部分に負の正味電荷を有し、これらの化合物としては、これに限られないが、適切な疎水性尾部を有する次の塩、例えばアルキルカルボキシレート、アルキルスルフェート、アルキルホスフェート、アルキルバイカルボキシレート、アルキルバイスルフェート、アルキルバイホスフェート、例えばアルコキシカルボキシレート、アルコキシスルフェート、アルコキシホスフェート、アルコキシバイカルボキシレート、アルコキシバイスルフェート、アルコキシバイホスフェート、例えば置換アリールカルボキシレート、置換アリールスルフェート、置換アリールホスフェート、置換アリールバイカルボキシレート、置換アリールバイスルフェート、置換アリールバイホスフェート等が挙げられる。このタイプの表面湿潤剤のための対イオンとしては、これに限られないが、次のイオン、例えばカリウムイオン、アンモニウムイオン及び他の陽イオンが挙げられる。これらのアニオン性表面湿潤剤の分子量は、数百〜数十万の範囲である。
【００６１】
（ｃ）．カチオン性表面湿潤剤
【００６２】
これらの化合物は分子骨格の主要部分に正の正味電荷を有し、これらの化合物としては、これに限られないが、適した親水性尾部を有する次の塩、例えばカルボキシレート、スルフェート、ホスフェート、バイカルボキシレート、バイスルフェート、バイホスフェート等が挙げられる。このタイプの表面湿潤剤のための対イオンとしては、これに限られないが、次のイオン、例えばカリウムイオン、アンモニウムイオン及び他の陽イオンが挙げられる。これらのアニオン性表面湿潤剤の分子量は、数百〜数十万の範囲である。
【００６３】
（ｄ）．両性表面湿潤剤
【００６４】
これらの化合物は主要な分子鎖上に正電荷及び負電荷を、それらの関連する対イオンとともに有する。そのような双極性表面湿潤剤としては、これに限られないが、アミノカルボン酸、アミノホスホン酸、及びアミノスルホン酸の塩が挙げられる。
【００６５】
タングステンＣＭＰスラリーに使用される界面活性剤は０．０００１％〜０．５０％の範囲、好ましくは０．０００５％〜０．１０％の範囲である。
【００６６】
開示するタングステンＣＭＰスラリーに使用されるバイオサイドとしては、これに限られないが、商業的に入手可能なそれらのバイオサイド製品、例えばＫａｔｈｏｎ、Ｋａｔｈｏｎ  II及びその他のものが挙げられる。
【００６７】
タングステンＣＭＰスラリーに使用されるバイオサイドは０．０００１％〜０．１％の範囲、好ましくは０．０００５％〜０．０１０％の範囲である。
【００６８】
本発明を、下の例によりさらに説明する。
【実施例】
【００６９】
ここで記載する関連プロセスは、タングステンで構成される基材の化学機械平坦化のための上記の組成物の使用を伴う。
【００７０】
プロセスにおいて、基材（例えば、Ｗ表面を有するウェハー）を裏向きにしてＣＭＰポリッシャーの回転可能なプラテンに固定して取り付けられた研磨パッド上に置く。この方法において、研磨及び平坦化すべき基材を研磨パッドに直接接触させて設置する。ウェハーキャリヤ―システム又は研磨ヘッドを使用して基材を適切な位置に保持し、ＣＭＰ処理の間、プラテン及び基材を回転させながら基材の背面に対して下向きの圧力をかける。ＣＭＰ処理の間、研磨組成物（スラリー）をパッド上に（通常は連続的に）適用して材料を除去し、基材を平坦化させる。
【００７１】
ここで記載する研磨組成物及び関連プロセスは、例えばタングステン基材の研磨に特に有用なほとんどの基材を含む多種多様の基材のＣＭＰのために効果的である。
【００７２】
［一般的な実験手順］
下に示す例において、ＣＭＰ実験を、下に示す手順及び実験条件を使用して行った。
【００７３】
例において使用されたＣＭＰ工具は、Ａｐｐｌｉｅｄ  Ｍａｔｅｒｉａｌｓ，３０５０  Ｂｏｗｅｒｅｓ  Ａｖｅｎｕｅ，Ｓａｎｔａ  Ｃｌａｒａ，Ｃａｌｉｆｏｒｎｉａ，９５０５４により製造されるＭｉｒｒａ（登録商標）である。Ｄｏｗ  Ｃｈｅｍｉｃａｌｓにより供給されるＩＣ−１０１０パッドを、ブランケットウェハー研磨試験用のプラテン上に使用した。パッドは、ダミー酸化物（ＴＥＯＳ前駆体からプラズマ強化ＣＶＤで堆積させた、ＰＥＴＥＯＳ）ウェハーを２５回研磨することで慣らした。
【００７４】
工具の設定およびパッドの慣らしを適格にするために、二つのＰＥＴＥＯＳモニターをＰｌａｎａｒｉｚａｔｉｏｎ  Ｐｌａｔｆｏｒｍ  Ａｉｒ  Ｐｒｏｄｕｃｔｓ  Ｃｈｅｍｉｃａｌｓ  Ｉｎｃ．から供給されるＳｙｔｏｎ（登録商標）ＯＸ−Ｋコロイド状シリカによりベースライン条件で研磨した。研磨実験は、８Ｋオングストロームの厚さを有するブランケットＷウェハー及びＴＥＯＳウェハーを使用して行った。これらのブランケットウェハーはＳｉｌｉｃｏｎ  Ｖａｌｌｅｙ  Ｍｉｃｒｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ，１１５０  Ｃａｍｐｂｅｌｌ  Ａｖｅ，ＣＡ，９５１２６から購入した。
【００７５】
［パラメーター］
Å：オングストローム−長さの単位
Ｗ：タングステン
ＢＰ：ｐｓｉ単位の背圧
ＣＭＰ：化学機械平坦化＝化学機械研磨
ＣＳ：キャリアー速度
ＤＦ：下向きの力：ＣＭＰの間に適用されるｐｓｉ単位の圧力
ｍｉｎ：分
ｍｌ：ミリリットル
ｍＶ：ミリボルト
ｐｓｉ：ポンド毎平方インチ
ＰＳ：ｒｐｍ（回転毎分）単位の研磨工具のプラテン回転速度
ＳＦ：研磨組成物の流量、ｍｌ／ｍｉｎ
ｗｔ％：（記載された成分の）質量百分率
ＴＥＯＳ：オルトケイ酸テトラエチル
ＮＵ％（又はＷＩＷＮＵ％）：ウェハー内の不均一性％
ＮＵ％＝（｜研磨前のＷ膜の厚さ−研磨後のＷ膜の厚さ｜／Ｗ膜の厚さ全厚の平均値）×１００％
Ｗ  ＲＲ  ３．０ｐｓｉ：ＣＭＰ工具の３．０ｐｓｉにおいて測定したタングステン除去速度
ＴＥＯＳ  ＲＲ  ３．０ｐｓｉ：ＣＭＰ工具の３．０ｐｓｉにおいて測定したＴＥＯＳ除去速度
Ｗ：ＴＥＯＳ選択性：同一の下向きの力（３．０ｐｓｉ）における（Ｗの除去速度）／（ＴＥＯＳの除去速度）
【００７６】
［静的エッチング速度］
静的エッチング速度は、ＣＭＰスラリーの化学的活性レベルに関する実験的データを提供する尺度である。通常は、より高い静的エッチング速度は、金属腐食欠陥をより一層引き起こす高い可能性を有する関連する金属膜表面の比較的速いエッチングをもたらすより活性な化学組成物を示す。
【００７７】
タングステンブランケットウェハーから切断された小片を、標準タングステンスラリー及び開示するＣＭＰタングステン研磨配合物の両方にさらす。
【００７８】
表１に示す標準タングステンスラリーは、
０．４ｗｔ％固体触媒−コロイドシリカ上に被覆した酸化鉄と、
０．５ｗｔ％コロイドシリカと、
３．０ｗｔ％過酸化水素とを含み、かつ、
残部はＤＩ水であり、
使用場所におけるｐＨは約３．４である。
【００７９】
表１は、温度４０℃５分間で収集した静的エッチング速度の正規化したデータを示した。
【００８０】
標準Ｗスラリーへの選択した化学添加剤の添加は、温度４０℃において腐食防止剤として働き、添加剤としての１（２−アミノエチル）ピペラジンについては９０％、添加剤としてのカリウムシアネートについては８４％、添加剤としての１，４−ジアザビシクロ［２．２．２］オクタン（比較例）については７４％、それぞれ静的エッチング速度を低減させた。
【００８１】
１（２−アミノエチル）ピペラジンについては０．０００２５％、カリウムシアネートについては０．００１％、１，４−ジアザビシクロ［２．２．２］オクタンについては０．０１０％をそれぞれ表１に示す試験のため標準Ｗスラリーに添加した。
【００８２】
表１のデータは、研磨中の摩擦に起因して達した温度（４０℃）における優れた腐食防止を示唆する。
【００８３】
【表１】
2014194016.tif 000004
【００８４】
［化学機械研磨］
化学機械研磨は、腐食防止剤としての第１のタイプの化学研磨剤、及びタングステン金属膜表面に腐食防止を与え、タングステン膜除去速度を加速させる二機能添加剤としての第２のタイプの化学添加剤を使用して行った。
【００８５】
試験結果は、第１の化学添加剤及び第２の化学添加剤について、それぞれ表２及び表３に示した。
【００８６】
表２においては、１０ｐｐｍの１−（２−アミノエチル）ピペラジンを、標準Ｗスラリー配合物に添加した１Ｘの１−（２−アミノエチル）ピペラジンと定義した。
【００８７】
表２に示す標準タングステンスラリーは、
０．４ｗｔ％固体触媒−コロイドシリカ上に被覆した酸化鉄と、
０．５ｗｔ％コロイドシリカと、
３．０ｗｔ％過酸化水素とを含み、かつ、
残部はＤＩ水であり、
使用場所におけるｐＨは約３．４である。
【００８８】
【表２】
2014194016.tif 000005
【００８９】
表２に示す結果のように、第１のタイプの化学添加剤、具体的には１−（２−アミノエチル）ピペラジンを標準ＷＣＭＰスラリーに添加することで、ＮＵ％が低減した。
【００９０】
１−（２−アミノエチル）ピペラジンはＷＣＭＰスラリー配合物用の強い腐食防止剤として作用するので、１−（２−アミノエチル）ピペラジンの濃度が増加するにつれて、タングステン除去速度が減少した。
【００９１】
表２は、１−（２−アミノエチル）ピペラジンの濃度が変化した時に調節可能なＷ：ＴＥＯＳ選択性も示した。
【００９２】
表３においては、２５ｐｐｍのカリウムシアネートを、サンプルスラリーに使用した１Ｘのカリウムシアネートと定義した。
【００９３】
表３の１ＸＫＣＮＯスラリーは、
０．４ｗｔ％固体触媒−コロイドシリカ上に被覆した酸化鉄と、
０．５ｗｔ％コロイドシリカと、
３．０ｗｔ％過酸化水素と、
２５ｐｐｍのカリウムシアネートとを含み、かつ、
残部はＤＩ水であり、
使用場所におけるｐＨは約３．４である。
【００９４】
表３に見られる対照Ｗスラリーは、
０．４ｗｔ％固体触媒−コロイドシリカ上に被覆した酸化鉄と、
０．５ｗｔ％コロイドシリカと、
３．０ｗｔ％過酸化水素と、
０．０００３７ｗｔ％のポリエチレンイミンとを含み、かつ、
残部はＤＩ水であり、
使用場所におけるｐＨは約３．４である。
【００９５】
【表３】
2014194016.tif 000006
【００９６】
表３に見られるように、第２のタイプの化学添加剤、すなわちカリウムシアネートを標準タングステンＣＭＰスラリーに添加することにより、幾つかの極めて優れた結果が観測された。
【００９７】
１Ｘ、２Ｘ又は４Ｘの濃度のカリウムシアネートを標準タングステン化学機械研磨組成物に添加した場合、タングステン膜除去速度は２５％超増加した。
【００９８】
１Ｘ、２Ｘ及び４Ｘのカリウムシアネートを添加剤として使用した場合、ＮＵ％は６．２９％からそれぞれ３．０７％、２．９３％及び２．８７％まで減少した。
【００９９】
１Ｘ、２Ｘ及び４Ｘのカリウムシアネートを添加剤として使用した場合、Ｗ／Ｄ膜の研磨選択性は１４１からそれぞれ３３６、３３２及び２７２まで増加した。
【０１００】
カリウムシアネートを使用することで、ＮＵ％を低減させながら、高くかつ調整可能なＷ：ＴＥＯＳの選択性を与えた。
【０１０１】
２ｐｐｍの濃度（０．０８ＸＰＯＵ濃度）のカリウムシアネートであっても、標準Ｗスラリーと比較して２０％超のＷ膜除去速度の増加が、４．０２％のＮＵ％とともに依然として観測された。
【０１０２】
実施例を含む上記の本発明の実施態様は、本発明から構成することができる多数の実施態様のうちで典型的なものである。プロセスの他の多数の構成を使用することができること、及びプロセスで使用される材料は、これらの具体的に開示した材料以外の多数の材料から選択することができることが想定される。
【外国語明細書】
2014194016000001.pdf