(57)【要約】【課題】外部への雰囲気ガスの流出をより抑制することのできる乾燥炉を提供する。【解決手段】シート５０を外部から乾燥本体部１４の開口１７に搬入する搬入路１９に、内気流出阻止部８０が設けられている。この内気流出阻止部８０は、シートの上方に位置し、乾燥本体部１４に対して上部が遠ざかる方向に傾斜した傾斜空間としての第１〜第３区画空間７６〜７８を有している。そして、搬入路１９に対して、開口１７内の雰囲気ガスよりも低温の流体を流入風として搬入路１９に供給する。この流入風は、乾燥炉本体部１４に流入する方向に搬入路１９を流れ、且つシート５０の上面に沿って内気流出阻止部８０の下方へ流れるように供給される。こうすることで、開口１７からシート５０の上面に沿って搬入路１９に流出する雰囲気ガスが外部へ流出するのをより抑制することができる。【選択図】図１
2014035086.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
乾燥対象となる膜が上面に形成されたシートを連続的に搬送して乾燥を行う乾燥炉であって、
前記膜を乾燥させる乾燥本体部と、
前記シートを外部から前記乾燥本体部の開口部に搬入するか又は該開口部から外部へ搬出する搬送路と、
前記搬送路内に開口して設けられ、前記シートの上方に位置し、前記乾燥本体部に対して上部が遠ざかる方向に傾斜した傾斜空間を有する内気流出阻止部と、
前記開口部内の雰囲気ガスよりも低温の流体を流入風として前記搬送路に供給する流入風供給手段と、
を備え、
前記流入風供給手段は、前記乾燥炉本体部に流入する方向に前記搬送路を流れ、且つ前記シートの上面に沿って前記内気流出阻止部の下方へ流れるように前記流入風を供給する、
乾燥炉。
【請求項２】
前記流入風供給手段は、前記内気流出阻止部の下方を通過するように前記流入風を供給する、
請求項１に記載の乾燥炉。
【請求項３】
請求項２に記載の乾燥炉であって、
前記乾燥本体部内に設けられた赤外線ヒーター、
を備え、
前記流入風供給手段は、前記内気流出阻止部の下方を通過して前記開口部から前記乾燥本体部内に到達するように前記流入風を供給して前記シートの上面を冷却する、
乾燥炉。
【請求項４】
請求項３に記載の乾燥炉であって、
前記乾燥本体部における前記シートの搬入側又は搬出側の一方から他方に向けて、前記シートの前記上面に沿った内部風を供給して前記シートの上面を冷却する内部風供給手段、
を備え、
前記流入風供給手段は、前記内部風と逆向きに前記流入風を前記乾燥本体部内に供給する、
乾燥炉。
【請求項５】
前記内部風供給手段は、前記シートの搬出側から搬入側に向けて前記内部風を供給し、
前記内気流出阻止部は、前記シートを外部から前記乾燥本体部に搬入する搬入路に設けられ、
前記流入風供給手段は、前記乾燥炉本体部に流入する方向に前記搬入路を流れ、且つ前記シートの上面に沿って前記内気流出阻止部の下方を通過して前記乾燥本体部内に到達するように前記流入風を供給する、
請求項４に記載の乾燥炉。
【請求項６】
前記流入風供給手段は、前記搬送路内を前記シートの搬送方向に対して傾斜して前記シートの上面に向かうように流れ、その後前記シートの上面に沿って前記内気流出阻止部の下方へ流れるように前記流入風を供給する、
請求項１〜５のいずれか１項に記載の乾燥炉。
【請求項７】
請求項６に記載の乾燥炉であって、
前記乾燥本体部に対して上部が遠ざかる方向に傾斜した区画空間を前記シートの搬送方向に沿って複数有する区画構造体、
を備え、
前記流入風供給手段は、前記乾燥本体部に対して上部が遠ざかる方向に傾斜した傾斜経路を有し、該傾斜経路を通過させることで前記流入風が前記搬送路内を前記シートの搬送方向に対して傾斜して前記シートの上面に向かう流れを発生させ、
前記区画構造体は、前記複数の区画空間のうち前記乾燥本体部側の１以上が前記内気流出阻止部の前記傾斜空間となり、前記複数の区画空間のうち乾燥本体部とは反対側の１以上が前記流入風供給手段の前記傾斜経路となっている、
乾燥炉。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、乾燥炉に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、被加熱物を加熱する加熱装置として、被加熱物を加熱する加熱本体部と、加熱本体部へ、又は加熱本体部から被加熱物を搬送する搬送路と、を備えたものが知られている（例えば、特許文献１）。この加熱装置では、加熱本体部に対して上部が遠ざかる方向に傾斜し内部に空洞が形成されている外気流入阻止部を搬送路に設けている。この外気流入阻止部を設けることで、外気より温度の高い加熱本体部内の気体が速やかに外気流入阻止部の隔壁に沿って流れ、外気の流入を抑制することができるとしている。また、外気への気体の流出を抑制する効果もあるとされている。
【０００３】
また、従来、乾燥対象となる塗膜が表面に形成されたフィルムなどのシートを連続的に搬送して乾燥を行う乾燥炉が知られている（例えば、特許文献２）。この乾燥炉では、セラミック粉末や金属粉末と有機バインダーと有機溶剤とを含む塗膜をベースフィルムの表面に形成し、これを乾燥炉に連続的に搬送して乾燥を行っている。また、赤外線ヒーターによる赤外線の照射と塗膜への冷却風の送風とを共に行うことで、乾燥によるベースフィルムの熱膨張やその後の収縮を抑制して、塗膜の応力による変形を抑制するとしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−１２８５４４号公報
【特許文献２】特許第４９５６６９６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、特許文献２のような乾燥炉においては、シートが連続的に炉内に搬送されるため、このシートの出入口を完全に塞ぐことはできない。そのため、乾燥により塗膜から揮発した有機溶剤を含む雰囲気ガスがシートの上面に沿って出入口から炉外に流出してしまい、炉外の環境を悪化させるなどの問題があった。また、有機溶剤に限らず、乾燥により塗膜から発生するガスをそのまま炉外へ流出することは好ましくない場合が多いため、雰囲気ガスの炉外への流出を抑制したいという要望があった。ここで、特許文献１に記載の外気流入阻止部を乾燥炉の出入口等に設けて、雰囲気ガスの流出を抑制することも考えられる。しかし、特許文献１に記載の外気流入阻止部は外気の流入を阻止することが主目的であり、外部への雰囲気ガスの流出を抑制する効果は十分ではなかった。
【０００６】
本発明はこのような課題を解決するためになされたものであり、外部への雰囲気ガスの流出をより抑制することのできる乾燥炉を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の乾燥炉は、
乾燥対象となる膜が上面に形成されたシートを連続的に搬送して乾燥を行う乾燥炉であって、
前記膜を乾燥させる乾燥本体部と、
前記シートを外部から前記乾燥本体部の開口部に搬入するか又は該開口部から外部へ搬出する搬送路と、
前記搬送路内に開口して設けられ、前記シートの上方に位置し、前記乾燥本体部に対して上部が遠ざかる方向に傾斜した傾斜空間を有する内気流出阻止部と、
前記開口部内の雰囲気ガスよりも低温の流体を流入風として前記搬送路に供給する流入風供給手段と、
を備え、
前記流入風供給手段は、前記乾燥炉本体部に流入する方向に前記搬送路を流れ、且つ前記シートの上面に沿って前記内気流出阻止部の下方へ流れるように前記流入風を供給する、
ものである。
【０００８】
この本発明の乾燥炉では、シートを外部から乾燥本体部の開口部に搬入するか又は開口部から外部へ搬出する搬送路に、内気流出阻止部が設けられている。この内気流出阻止部は、シートの上方に位置し、乾燥本体部に対して上部が遠ざかる方向に傾斜した傾斜空間を有している。そして、搬送路に対して、開口部内の雰囲気ガスよりも低温の流体を流入風として搬送路に供給する。この流入風は、乾燥炉本体部に流入する方向に搬送路を流れ、且つシートの上面に沿って内気流出阻止部の下方へ流れるように供給される。こうすることで、開口部からシートの上面に沿って搬送路に流出する雰囲気ガスがある場合に、より低温の流入風が内気流出阻止部の下方で雰囲気ガスの下側に潜りこむ。その結果、流入風は雰囲気ガスをシートの上面からはぎ取るようにして雰囲気ガスを内気流出阻止部へ押し上げる。これにより、雰囲気ガスが搬送路を通過するのを抑制できる。すなわち、外部への雰囲気ガスの流出をより抑制することができる。この場合において、前記内気流出阻止部の前記傾斜空間内の流体の排気を行う排気手段を備えるものとしてもよい。こうすれば、内気流出阻止部内の雰囲気ガスを排気することができるため、外部への雰囲気ガスの流出をより抑制することができる。また、膜は、セラミック粉末又は金属粉末と、有機バインダーと、有機溶剤又は水と、を含むものとしてもよい。シートは、ＰＥＴフィルムとしてもよい。また、雰囲気ガスとしては、特に限定するものではないが、例えば空気や不活性ガス（窒素など）が挙げられる。
【０００９】
この本発明の乾燥炉において、前記流入風供給手段は、前記内気流出阻止部の下方を通過するように前記流入風を供給するものとしてもよい。こうすれば、流入風が雰囲気ガスをはぎ取り内気流出阻止部に向けて押し上げる力が強くなるため、外部への雰囲気ガスの流出をより抑制することができる。
【００１０】
この本発明の乾燥炉において、前記乾燥本体部内に設けられた赤外線ヒーター、を備え、前記流入風供給手段は、前記内気流出阻止部の下方を通過して前記開口部から前記乾燥本体部内に到達するように前記流入風を供給して前記シートの上面を冷却するものとしてもよい。こうすれば、赤外線ヒーターからの赤外線により膜を乾燥させつつ、流入風で膜やシートを冷却して高温化を抑制できる。これにより、シートの乾燥時の熱膨張やその後の収縮を抑制して、膜が応力により変形するのを抑制することができる。このように、流入風が外部への雰囲気ガスの流出をより抑制する役割と膜を冷却する役割とを兼ねることができる。なお、赤外線ヒーターは、ピーク波長が近赤外線領域（例えば、波長が０．７〜３．５μｍの領域）にある電磁波を用いて膜の乾燥を行うものとしてもよい。近赤外線は、被加熱物中の水，溶剤などの分子中の水素結合を効率よく切断できるため、乾燥対象を効率よく乾燥することができる。また、シートがＰＥＴフィルムからなる場合、ＰＥＴフィルムは波長が３．５μｍ以下の赤外線によってはほとんど加熱されないため、ＰＥＴフィルムを加熱することなく膜を乾燥することができる。こうした赤外線ヒーターとしては、例えば、フィラメントの外周が３．５μｍを超える波長の赤外線を吸収するフィルタとして機能する複数の管によって同心円状に覆われ、これらの複数の管の間に赤外線ヒーターの表面温度の上昇を抑制する冷却流体の流路を形成したもの（特許第４７９００９２号参照）を用いてもよい。
【００１１】
この場合において、前記乾燥本体部における前記シートの搬入側又は搬出側の一方から他方に向けて、前記シートの前記上面に沿った内部風を供給して前記シートの上面を冷却する内部風供給手段、を備え、前記流入風供給手段は、前記内部風と逆向きに前記流入風を前記乾燥本体部内に供給するものとしてもよい。こうすることで、内部風によっても膜やシートを冷却することができ、より膜の変形を抑制することができる。そして、内部風と逆向きに流入風を供給するため、例えば向きが同じである場合と比べて、内部風による外部への雰囲気ガスの流出をより抑制することができる。なお、内部風は、例えば常温や５０℃以下の冷風を供給してもよい。
【００１２】
この場合において、前記内部風供給手段は、前記シートの搬出側から搬入側に向けて前記内部風を供給し、前記内気流出阻止部は、前記シートを外部から前記乾燥本体部に搬入する搬入路に設けられ、前記流入風供給手段は、前記乾燥炉本体部に流入する方向に前記搬入路を流れ、且つ前記シートの上面に沿って前記内気流出阻止部の下方を通過して前記乾燥本体部内に到達するように前記流入風を供給するものとしてもよい。こうすれば、シートの搬送方向と逆向きに内部風が供給されるため、内部風のシートに対する相対速度が増し、シートの上面の冷却効果が高まる。
【００１３】
この本発明の乾燥炉において、前記流入風供給手段は、前記搬送路内を前記シートの搬送方向に対して傾斜して前記シートの上面に向かうように流れ、その後前記シートの上面に沿って前記内気流出阻止部の下方へ流れるように前記流入風を供給するものとしてもよい。こうすれば、搬送路内の内気流出阻止部よりも外部側で、流入風が上から下に向かう流れを有することになる。そのため、流入風で搬送路を塞ぐことができ、外部への雰囲気ガスの流出をより抑制することができる。
【００１４】
この場合において、前記乾燥本体部に対して上部が遠ざかる方向に傾斜した区画空間を前記シートの搬送方向に沿って複数有する区画構造体、を備え、前記流入風供給手段は、前記乾燥本体部に対して上部が遠ざかる方向に傾斜した傾斜経路を有し、該傾斜経路を通過させることで前記流入風が前記搬送路内を前記シートの搬送方向に対して傾斜して前記シートの上面に向かう流れを発生させ、前記区画構造体は、前記複数の区画空間のうち前記乾燥本体部側の１以上が前記内気流出阻止部の前記傾斜空間となり、前記複数の区画空間のうち乾燥本体部とは反対側の１以上が前記流入風供給手段の前記傾斜経路となっているものとしてもよい。こうすれば、内気流出阻止部の傾斜空間と流入風供給手段の傾斜経路とを１つの区画構造体にまとめることができる。そのため、内気流出阻止部や流入風供給手段を備えた乾燥炉をより容易に製造できる。
【００１５】
本発明の乾燥炉において、前記流入風供給手段は、前記搬送路における前記乾燥本体部とは反対側の端部から前記シートの上面に沿って水平に流れて前記乾燥本体部に向かうように前記流入風を供給するものとしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】乾燥炉１０の縦断面図である。
【図２】赤外線ヒーター３０の縦断面図である。
【図３】図２のＡ−Ａ断面図である。
【図４】変形例の乾燥炉１１０の縦断面図である。
【図５】変形例の乾燥炉２１０の縦断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
次に、本発明の好適な一実施形態について、図面を用いて説明する。図１は乾燥炉１０の縦断面図である。乾燥炉１０は、シート５０上に塗布された塗膜５２の乾燥を赤外線及び冷風を用いて行うものであり、乾燥本体部１４と、搬入路１９と、内部風供給装置２０と、内部風吸気装置２５と、赤外線ヒーター３０と、コントローラー６０と、を備えている。また、乾燥炉１０は、区画構造体７０と、内気流出阻止部８０と、排気装置８１と、流入風供給装置９０と、を備えている。乾燥炉１０は、搬入路１９の左側に設けられたロール５４と、乾燥本体部１４の右側に設けられたロール５６と、を備えている。乾燥炉１０は、乾燥対象となる塗膜５２が上面に形成されたシート５０を、ロール５４，５６により連続的に搬送して乾燥を行う、いわゆるロールトゥロール方式の乾燥炉として構成されている。
【００１８】
乾燥本体部１４は、略直方体に形成された断熱構造体であり、前端面１５及び後端面１６にそれぞれ開口１７，１８を有している。開口１７は、シート５０を外部から搬入路１９を介して乾燥本体部１４内に搬入する際の開口部となっている。この乾燥本体部１４は、前端面１５から後端面１６までの長さが例えば１ｍ〜６ｍである。
【００１９】
搬入路１９は、シート５０を外部から乾燥本体部１４の開口１７に搬入するための搬送路であり、管路として構成されている。片面に塗膜５２が塗布されたシート５０は、塗膜５２が塗布された面を上にして、この搬入路１９のうち乾燥本体部１４とは反対側の搬入口１９ａから搬入される。続いて、シート５０は搬入路１９を通過して開口１７に至り、開口１７から乾燥本体部１４内に搬入される。そして、シート５０は、乾燥本体部１４の内部を水平方向に進行し、開口１８から搬出される。
【００２０】
内部風供給装置２０は、冷風である内部風を送風して乾燥本体部１４内を通過する塗膜５２を冷却させる装置である。内部風供給装置２０は、給気ファン２１と、パイプ構造体２２と、給気ノズル２３と、を備えている。給気ファン２１は、パイプ構造体２２に取り付けられており、内部風をパイプ構造体２２の内部へ供給するものである。内部風は、例えば常温や５０℃以下の空気である。給気ファン２１は、発生させる内部風の風量の調節が可能となっている。冷風の風量は、特に限定するものではないが、例えば５Ｎｍ3／ｈ〜１００Ｎｍ3／ｈの範囲で調節可能である。パイプ構造体２２は、給気ファン２１からの内部風の通路となるものである。パイプ構造体２２は、給気ファン２１から乾燥本体部１４の天井を貫通して乾燥本体部１４の内部までの通路を形成している。給気ノズル２３は、給気ファン２１からの内部風の供給口となるものである。この給気ノズル２３は、乾燥本体部１４のうちシート５０の搬出側である開口１８側の端部に設けられ、搬入側である開口１７側に向けて開口している。これにより、内部風供給装置２０は、シート５０の搬出側から搬入側に（図１の左方向に）向けて内部風を供給する。内部風は、図１の乾燥本体部１４内の塗りつぶし矢印に示すように、シート５０の上面に沿って流れていき、シート５０の上面を冷却する。
【００２１】
内部風吸気装置２５は、乾燥本体部１４内の雰囲気ガスを排出する装置である。内部風吸気装置２５は、排気ファン２６と、パイプ構造体２７と、排気ノズル２８と、を備えている。排気ノズル２８は、内部風供給装置２０からの内部風の排気口となるものである。この排気ノズル２８は、乾燥本体部１４のうちシート５０の搬入側である開口１７側の端部に設けられ、搬出側である開口１８側に向けて開口している。排気ノズル２８はパイプ構造体２７に取り付けられており、乾燥本体部１４内の雰囲気ガス（主にシート５０を乾燥した後の内部風）を吸気してパイプ構造体２７内に導く。パイプ構造体２７は、排気ノズル２８から排気ファン２６への雰囲気ガスの流路となるものである。パイプ構造体２７は、排気ノズル２８から乾燥本体部１４の天井を貫通して乾燥本体部１４の外部の排気ファン２６までの通路を形成している。排気ファン２６は、パイプ構造体２７に取り付けられており、パイプ構造体２７内部の雰囲気ガスを排気する。なお、排気ファン２６は、例えば図示しない排気用の配管に接続されており、乾燥本体部１４内の雰囲気ガスに含まれる揮発した有機溶剤などの成分を除去するなど、適切な処理を行ってから乾燥炉１０外に雰囲気ガスを排気する。また、排気ファン２６は、パイプ構造体２７内の雰囲気ガスを乾燥炉１０外に排気せず、給気ファン２１の吸気として循環させてもよい。
【００２２】
赤外線ヒーター３０は、赤外線を照射して乾燥炉１０内を通過する塗膜５２を乾燥させる装置であり、乾燥本体部１４の天井近くに複数取り付けられている。図２は、赤外線ヒーター３０の縦断面図であり、図３は図２のＡ−Ａ断面図である。赤外線ヒーター３０は、図２及び図３に示すように、フィラメント３２を内管３６が囲むように形成されたヒーター本体３８と、このヒーター本体３８を囲むように形成された外管４０と、外管４０の両端に気密に嵌め込まれた有底筒状のキャップ４２と、ヒーター本体３８と外管４０との間に形成され冷却流体が流通可能な流路４８と、外管４０の表面温度を検出する温度センサ３７と、を備えている。フィラメント３２は、電力供給源６２から電力が供給されて、例えば７００〜１５００℃に通電加熱され、波長が３．５μｍ以下（例えば３μｍ付近）にピークを持つ赤外線を放射する。このフィラメント３２に接続された電気配線３４は、キャップ４２に設けられた配線引出部４４を介して気密に外部へ引き出され、電力供給源６２に接続されている。内管３６は、石英ガラスやホウ珪酸クラウンガラスなどで作製されており、３．５μｍ以下の波長の赤外線を通過し、３．５μｍを超える波長の赤外線を吸収するフィルタとして機能する。ヒーター本体３８は、両端がキャップ４２の内部に配置されたホルダー４９に支持されている。外管４０は、内管３６と同様、石英ガラスやホウ珪酸クラウンガラスなどで作製されており、３．５μｍ以下の波長の赤外線を通過し、３．５μｍを超える波長の赤外線を吸収するフィルタとして機能する。各キャップ４２は、流体出入口４６を有している。流路４８は、冷却流体供給源６４から供給された冷却流体が、一方の流体出入口４６から他方の流体出入口４６へ冷却流体が流れるようになっている。流路４８を流れる冷却流体は、例えば空気や不活性ガスなどであり、内管３６と外管４０に接触して熱を奪うことにより各管３６，４０を冷却する。こうした赤外線ヒーター３０は、フィラメント３２から波長が３．５μｍ以下にピークを持つ赤外線が放射されると、そのうち３．５μｍ以下の波長の赤外線は内管３６や外管４０を通過して搬送通路を通過するシート５０の塗膜５２に照射される。この波長の赤外線は、シート５０の塗膜５２に含まれる溶剤の水素結合を切断する能力に優れるといわれており、効率的に溶剤を蒸発させることができる。一方、内管３６や外管４０は、３．５μｍを超える波長の赤外線を吸収するが、流路４８を流れる冷却流体によって冷却されるため、塗膜５２から蒸発する溶剤の着火点未満の温度（例えば２００℃以下など）に維持することが可能である。
【００２３】
区画構造体７０は、図１に示すように、外壁７２と内壁７４とを有している。外壁７２は、区画構造体７０の乾燥本体部１４側の面、搬入口１９ａ側の面、及び上側の面を構成している。外壁７２のうち乾燥本体部１４側の面及び搬入口１９ａ側の面は、乾燥本体部１４に対して上部が遠ざかる方向に傾斜している。内壁７４は、シート５０の搬送方向に沿って複数（図１では３つ）配置され、いずれも乾燥本体部１４に対して上部が遠ざかる方向に傾斜している。この区画構造体７０は、３つの内壁７４によって外壁７２内の空間が区画された第１〜第４区画空間７６〜７９を有する。第１〜第４区画空間７６〜７９は、シート５０の搬送方向に沿って配置され、乾燥本体部１４に近い側から第１区画空間７６，第２区画空間７７，第３区画空間７８，第４区画空間７９となっている。第１〜第４区画空間７６〜７９は、それぞれ、乾燥本体部１４に対して上部が遠ざかる方向に傾斜した空間となっており、いずれも同じ角度θだけ傾斜している。傾斜の角度θは０°超過〜９０°未満であればよい。特に限定するものではないが、例えば角度θを３０〜６０°としてもよい。第１〜第４区画空間７６〜７９は、それぞれ上方及び下方が開口している。第１〜第４区画空間７６〜７９の下方は搬入路１９内に開口している。また、第１〜第３区画空間７６〜７８の上方は、パイプ構造体８３内に開口している。第４区画空間７９の上方は、パイプ構造体９２内に開口している。
【００２４】
内気流出阻止部８０は、搬送路１９内に開口して設けられ、シート５０の上方に位置し、乾燥本体部１４に対して上部が遠ざかる方向に傾斜した傾斜空間を有するものである。本実施形態では、内気流出阻止部８０の傾斜空間は、第１〜第３区画空間７６〜７８で構成されている。すなわち、区画構造体７０の第１〜第４区画空間７６〜７９のうち、乾燥本体部１４側の３つが内気流出阻止部８０の傾斜空間となっている。
【００２５】
排気装置８１は、内気流出阻止部８０内の雰囲気ガスを排出する装置である。排気装置８１は、排気ファン８２と、パイプ構造体８３とを備えている。パイプ構造体８３は、排気ファン８２から第１〜第３区画空間７６〜７８に向かって３つに分岐している。パイプ構造体８３は、内気流出阻止部８０の上方の開口すなわち第１〜第３区画空間７６〜７８の上方の開口に取り付けられて、排気ファン８２と第１〜第３区画空間７６〜７８との間の雰囲気ガスの流路となっている。排気ファン８２は、排気ファン２６と同様のものであり、パイプ構造体８３を介して内気流出阻止部８０内の雰囲気ガスを排出する。
【００２６】
流入風供給装置９０は、開口１７内の雰囲気ガスよりも低温の流体を流入風として搬送路１９に供給する装置である。流入風供給装置９０は、給気ファン９１と、パイプ構造体９２と、乾燥本体部に対して上部が遠ざかる方向に傾斜した傾斜経路としての第４区画空間７９と、を備えている。すなわち、区画構造体７０の第１〜第４区画空間７６〜７９のうち、乾燥本体部１４とは反対側の１つが流入風供給装置９０の傾斜経路となっている。給気ファン９１は、パイプ構造体９２に取り付けられており、流入風をパイプ構造体９２の内部へ供給するものである。流入風は、シート５０を乾燥する際の開口１７内の雰囲気ガスよりも低温であればよく、例えば常温の空気である。給気ファン９１は、発生させる流入風の風量の調節が可能となっている。流入風の風量は、特に限定するものではないが、例えば５Ｎｍ3／ｈ〜１００Ｎｍ3／ｈの範囲で調節可能である。パイプ構造体９２は、給気ファン９１から第４区画空間７９の上部の開口までの流入風の通路を形成している。流入風供給装置９０の傾斜経路である第４区画空間７９は、上述したように乾燥本体部１４に対して上部が遠ざかる方向に傾斜しており、傾斜角は角度θである。給気ファン９１からの流入風は、第４区画空間７９を通過することにより、搬送路１９内でシート５０の搬送方向に対して傾斜してシート５０の上面に向かって供給される。その後、流入風はシート５０の上面に沿って内気流出阻止部７０の下方へ流れていく。そして、流入風は、内気流出阻止部８０の下方を通過して開口１７から乾燥本体部１４内に到達し、乾燥本体部１４内でシート５０の上面を冷却する。図１では流入風の流れを白抜き矢印で示した。なお、図示するように、流入風の向きは内部風の向きと逆向きになっている。
【００２７】
コントローラー６０は、ＣＰＵを中心とするマイクロプロセッサーとして構成されている。このコントローラー６０は、内部風供給装置２０の給気ファン２１や流入風供給装置９０の給気ファン９１に制御信号を出力して、内部風や流入風の風量を個別に制御する。また、コントローラー６０は、内部風吸気装置２５の排気ファン２６や排気装置８１の排気ファン８２に制御信号を出力して、排気量を個別に制御する。コントローラー６０は、熱電対である温度センサ３７が検出した外管４０の温度を入力したり、冷却流体供給源６４と流体出入口４６とを接続する配管の途中に設けられた開閉弁６６及び流量調整弁６８に制御信号を出力したりして、赤外線ヒーター３０の流路４８を流れる冷却流体の流量を個別に制御する。更に、コントローラー６０は、電力供給源６２からフィラメント３２へ供給される電力の大きさを調整するための制御信号を電力供給源６２へ出力して、赤外線ヒーター３０のフィラメント温度を個別に制御する。また、コントローラー６０は、ロール５４，５６の回転速度を制御することで乾燥本体部１４内の塗膜５２の通過時間を調整することができる。
【００２８】
シート５０は、特に限定するものではないが、例えば、ＰＥＴフィルムなどの強度に優れたフィルム状のものである。シート５０の厚みは、特に限定するものではないが、１０〜１００μｍである。また、塗膜５２は、シート５０の上面に塗布されたものであり、乾燥後にＭＬＣＣ（積層セラミックコンデンサ）用の薄膜として用いられるものである。塗膜５２は、例えばセラミック粉末又は金属粉末と、有機バインダーと、有機溶剤とを含むものである。
【００２９】
次に、こうして構成された乾燥炉１０を用いて塗膜５２を乾燥する様子について説明する。まず、コントローラー６０がロール５４，ロール５６を回転させ、シート５０の搬送を開始する。すると、乾燥炉１０の左端に配置されたロール５４からシート５０が巻き外される。また、シート５０は搬入口１９ａから搬入路１９内に搬入される直前に図示しないコーターによって上面に塗膜５２が塗布される。そして、シート５０は、搬入路１９内へ搬入され、搬入路１９内の区画構造体７０の下方を通過して開口１７から乾燥本体部１４内へ搬入される。また、コントローラー６０は、内部風供給装置２０，内部風吸気装置２５，赤外線ヒーター３０，排気装置８１，流入風供給装置９０を制御する。これにより、シート５０が乾燥本体部１４内を通過する間に、シート５０の上面に形成された塗膜５２は、赤外線ヒーター３０からの赤外線が照射されることによって乾燥される。また、これと同時に、内部風供給装置２０からの内部風や流入風供給装置９０からの流入風によって冷却される。コントローラー６０は、シート５０の温度が所定値（例えば６０°、５０°、４５°など）以下となるように内部風や流入風の流量を制御する。この流量はあらかじめ定められているものとしてもよい。あるいは、例えばシート５０上や乾燥本体部１４内に設けられた温度センサが検出した温度に基づいてシート５０の温度が所定値以下に保たれるように流量を調整するものとしてもよい。こうして、シート５０が所定値以下に保たれたままで塗膜５２が乾燥されて薄膜となり、開口１８から搬出される。搬出された薄膜（塗膜５２）は、乾燥本体部１４の右端に設置されたロール５６にシート５０とともに巻き取られる。その後、薄膜はシート５０から剥離され、所定形状に切断されて積層され、ＭＬＣＣが製造される。
【００３０】
ここで、乾燥中における乾燥本体部１４内の雰囲気ガスの流れ及び流入風の流れについて説明する。図１では、内部風を含む乾燥本体部１４の雰囲気ガスの流れを塗りつぶし矢印で示し、流入風の流れを白抜き矢印で示している。内部風供給装置２０の給気ノズル２３から供給される内部風は、図１の塗りつぶし矢印で示したように、シート５０の搬出側から搬入側に向けてシート５０の上面に沿って流れていき、シート５０の上面を冷却する。そして、内部風やそれにともなう雰囲気ガスの流れは、基本的には排気ノズル２８により吸気されて排気ファン２６を通して排出される。しかし、乾燥本体部１４内の雰囲気ガスの一部が、開口１７から搬入路１９内に到達し搬出口１９ａに向かって流れ出す場合がある。しかし、本実施形態では、給気ファン９１からの流入風が、第４区画空間７９の下方の開口部から、搬送路１９内を図１における右下方向に向かって傾斜した向きでシート５０の上面に向かうように流れる。そして、その後シート５０の上面に沿って前記内気流出阻止部８０の下方（内気流出阻止部８０とシート５０との間）へ流れていく。ここで、流入風は常温であり、塗膜５２の温度の影響を受けた開口１７内の雰囲気ガスよりも低温である。そのため、流入風が内気流出阻止部８０の下方で乾燥本体部１４からの雰囲気ガスの下側に潜りこむ。その結果、流入風は雰囲気ガスをシート５０の上面からはぎ取るようにして雰囲気ガスを内気流出阻止部８０へ押し上げる。これにより、乾燥本体部１４からの雰囲気ガスは搬入口１９ａではなく内気流出阻止部８０の第１〜第３区画空間７６〜７８内に向かって流れる。しかも、内気流出阻止部８０の第１〜第３区画空間７６〜７８は乾燥本体部に対して上部が遠ざかる方向に傾斜しているから、流入風により押し上げられた後の雰囲気ガスの流れる方向（図１における左上方向）と第１〜第３区画空間７６〜７８の傾斜とが一致する。そのため、内気流出阻止部８０内に雰囲気ガスを導きやすい。そして、内気流出阻止部８０内の雰囲気ガスは、排気ファン８２により速やかに排出される。このように、本実施形態の乾燥炉１０では、乾燥本体部１４内の雰囲気ガスが搬出口１９ａから外部へ流出するのを内気流出阻止部８０と流入風とにより抑制するのである。
【００３１】
以上説明した本実施形態の乾燥炉１０によれば、シート５０を外部から乾燥本体部１４の開口１７に搬入する搬入路１９に、内気流出阻止部８０が設けられている。この内気流出阻止部８０は、シート５０の上方に位置し、乾燥本体部１４に対して上部が遠ざかる方向に傾斜した傾斜空間としての第１〜第３区画空間７６〜７８を有している。そして、搬入路１９に対して、開口１７内の雰囲気ガスよりも低温の流体を流入風として搬入路１９に供給する。この流入風は、乾燥炉本体部１４に流入する方向に搬入路１９を流れ、且つシート５０の上面に沿って内気流出阻止部８０の下方へ流れるように供給される。こうすることで、開口１７からシート５０の上面に沿って搬入路１９に流出する雰囲気ガスが外部へ流出するのをより抑制することができる。なお、塗膜５２には有機溶剤が含まれており、乾燥本体部１４内の雰囲気ガス中にも乾燥により揮発した有機溶剤が含まれることになる。そのため、このような有機溶剤を含む雰囲気ガスが乾燥炉１０の外部に流出するのを抑制する意義が高い。
【００３２】
また、流入風供給装置９０は、内気流出阻止部８０の下方を通過するように流入風を供給する。そのため、流入風が雰囲気ガスをはぎ取り内気流出阻止部８０に向けて押し上げる力が強くなる。
【００３３】
さらに、乾燥本体部１４内に設けられた赤外線ヒーター３０を備え、流入風供給装置９０は、内気流出阻止部８０の下方を通過して開口１７から乾燥本体部１４内に到達するように流入風を供給してシート５０の上面を冷却する。そのため、赤外線ヒーター３０からの赤外線により塗膜５２を乾燥させつつ、流入風で塗膜５２やシート５０を冷却して高温化を抑制できる。これにより、シート５０の乾燥時の熱膨張やその後の収縮を抑制して、塗膜５２が応力により変形するのを抑制することができる。そして、流入風が外部への雰囲気ガスの流出をより抑制する役割と塗膜５２を冷却する役割とを兼ねることができる。
【００３４】
さらにまた、内部風供給装置２０が、乾燥本体部１４におけるシート５０の搬出側から搬入側に向けて、前記シート５０の上面に沿った内部風を供給してシート５０の上面を冷却する。そして、流入風供給装置９０は、内部風と逆向きに流入風を乾燥本体部１４内に供給する。こうすることで、内部風によっても塗膜５２やシート５０を冷却することができ、塗膜５２の変形を抑制することができる。そして、内部風と逆向きに流入風を供給するため、例えば向きが同じである場合と比べて、内部風による外部への雰囲気ガスの流出をより抑制することができる。また、シート５０の搬送方向と逆向きに内部風が供給されるため、内部風のシート５０に対する相対速度が増し、シート５０の上面の冷却効果が高まる。なお、内部風が搬出側から供給されることで、内部風が搬入側に到達した頃には、内部風の温度が上昇して冷却効果が低くなりやすい。しかし、流入風が乾燥本体部１４における内部風とは反対側から供給されるため、そのような冷却効果の低くなった部分を効率的に流入風により冷却することができる。このように、内部風と流入風とを互いに逆向きに供給することにより、乾燥本体部１４内のシート５０の一部が高温になることを抑制でき、シート５０の温度を低温に保ちやすい。
【００３５】
そしてまた、流入風供給装置９０は、搬入路１９内をシート５０の搬送方向に対して傾斜してシート５０の上面に向かうように流れ、その後シート５０の上面に沿って内気流出阻止部８０の下方へ流れるように流入風を供給する。そのため、搬入路１９内の内気流出阻止部８０よりも搬出口１９ａ側で、流入風が上から下に向かう流れを有することになる。これにより、流入風で搬送路１９を塞ぐことができ、外部への雰囲気ガスの流出をより抑制することができる。
【００３６】
そしてまた、乾燥炉１０は、乾燥本体部１４に対して上部が遠ざかる方向に傾斜した第１〜第４区画空間７６〜７９をシート５０の搬送方向に沿って有する区画構造体７０を備えている。そして、区画構造体７０は、複数の区画空間のうち乾燥本体部１４側の１以上が内気流出阻止部８０の傾斜空間となり、複数の区画空間のうち乾燥本体部１４とは反対側の１以上が流入風供給装置９０の傾斜経路となっている。これにより、内気流出阻止部８０の傾斜空間と流入風供給装置９０傾斜経路とを１つの区画構造体７０にまとめることができる。そのため、内気流出阻止部８０や流入風供給装置９０を備えた乾燥炉１０をより容易に製造できる。
【００３７】
なお、本発明は上述した実施形態に何ら限定されることはなく、本発明の技術的範囲に属する限り種々の態様で実施し得ることはいうまでもない。
【００３８】
例えば、上述した実施形態では、第１〜第３区画空間７６〜７８を内気流出阻止部８０の傾斜空間とし、第４区画空間７９を流入風供給装置９０の傾斜経路として、これらを１つの区画構造体７０にまとめるものとしたが、これに限られない。例えば第１〜第２区画空間７６〜７７を内気流出阻止部８０の傾斜空間とし第３〜第４区画空間７８〜７９を流入風供給装置９０傾斜経路とするなどとしてもよい。また、内気流出阻止部８０の傾斜空間と流入風供給装置９０の傾斜経路とを別々に設けてもよい。
【００３９】
上述した実施形態では、流入風供給装置９０は傾斜経路として第４区画空間７９を有しているものとしたが、これに限られない。例えば、流入風供給装置９０は、搬入路１９における乾燥本体部１４とは反対側の端部である搬入口１９ａからシート５０の上面に沿って水平に流れて乾燥本体部１４に向かうように流入風を供給するものとしてもよい。図４は、この場合の変形例の乾燥炉１１０の縦断面図である。なお、図４では、図１と同じ構成要素については同じ符号を付して、詳細な説明を省略する。図示するように、乾燥炉１１０では、区画構造体７０は第１〜第３区画空間７６〜７８のみを有しており、区画構造体７０がそのまま内気流出阻止部８０となっている。また、流入風供給装置９０は、給気ファン９１と、パイプ構造体９２と、給気ノズル１９３と、を備えている。給気ノズル１９３は、パイプ構造体９２を介して給気ファン９１からの流入風を搬入路１９内に供給するものである。この給気ノズル１９３は、搬入路１９における搬入口１９ａ側の端部に設けられ、搬入口１９ａ側から開口１７に向けて水平に開口している。この乾燥炉１１０では、給気ノズル１９３から供給される流入風は、搬入口１９ａ側からシート５０の上面に沿って水平に流れて乾燥本体部１４に向かって流れる。このように流入風を供給しても、本実施形態と同様に、流入風が乾燥本体部１４からの雰囲気ガスの下側に潜り込むようにして雰囲気ガスを内気流出阻止部８０内へ押し上げる。そのため、乾燥本体部１４からの雰囲気ガスの流出をより抑制することができる。なお、給気ノズル１９３を搬入路１９の外側に設け、外部から搬入口１９ａ内に向かいシート５０の上面に沿って水平に流れるように流入風を供給してもよい。
【００４０】
上述した実施形態では、流入風は、内気流出阻止部８０の下方を通過して開口１７から乾燥本体部１４内に到達し、乾燥本体部１４内でシート５０の上面を冷却するものとしたが、これに限られない。例えば、流入風がシート５０の上面を冷却しないものとしてもよい。また、流入風が内気流出阻止部８０の下方を通過するが、乾燥本体部１４内までは到達しないものとしてもよい。あるいは、流入風が内気流出阻止部８０の下方を通過せず、内気流出阻止部８０の下方までしか到達しないものとしてもよい。これらのようにしても、乾燥本体部１４からの雰囲気ガスの流出を流入風により抑制することはできる。
【００４１】
上述した実施形態では、開口１７側に搬入路１９，区画構造体７０，内気流出阻止部８０，排気装置８１，流入風供給装置９０を備えるものとしたが、同様の構成を開口１８側にも備えるものとしてもよい。図５は、この場合の変形例の乾燥炉２１０の縦断面図である。なお、図５では、図１と同じ構成要素については同じ符号を付して、詳細な説明を省略する。図５に示すように、乾燥炉２１０では、開口１８側に搬入路１９と同様の構成の搬出路２１９を備えており、搬出路２１９の右端の搬出口２１９ａから搬出されたシート５０がロール５６に巻き取られるようになっている。また、搬入路２１９の上方には、区画構造体２７０，内気流出阻止部２８０，排気装置２８１，流入風供給装置２９０が設けられている。これらは、それぞれ搬出路１９，区画構造体７０，内気流出阻止部８０，排気装置８１，流入風供給装置９０と図５における左右対称に形成されている点以外は同様の構成を有している。この乾燥炉２１０では、開口１８内の雰囲気ガスよりも低温の流入風を流入風供給装置２９０から供給する。このため、開口１８からシート５０の上面に沿って搬出路２１９に流出する雰囲気ガスがある場合に、流入風供給装置２９０からの流入風が内気流出阻止部２８０の下方で雰囲気ガスの下側に潜りこむ。その結果、流入風は雰囲気ガスをシート５０の上面からはぎ取るようにして雰囲気ガスを内気流出阻止部２９０へ押し上げる。これにより、雰囲気ガスが搬出路２１９を通って搬出口２１９ａから外部へ流出するのをより抑制することができる。なお、乾燥炉２１０において搬入路１９，区画構造体７０，内気流出阻止部８０，排気装置８１，流入風供給装置９０を省略するものとしてもよい。こうしても、雰囲気ガスが搬出口２１９ａから外部へ流出するのを抑制することはできる。ただし、内部風供給装置２０からの内部風の向きと逆向きの流入風を供給して雰囲気ガスの流出を抑制することができるため、省略しないことが好ましい。なお、搬入路２１９，区画構造体２７０，内気流出阻止部２８０，排気装置２８１，流入風供給装置２９０は、それぞれ搬入路１９，区画構造体７０，内気流出阻止部８０，排気装置８１，流入風供給装置９０と左右対称に形成されていなくともよい。
【００４２】
上述した実施形態では、内部風供給装置２０からの内部風はシート５０の搬送方向と逆向きであるものとしたが、同方向としてもよい。この場合、内部風供給装置２０からの内部風の向きと逆向きの流入風を供給して雰囲気ガスの流出を抑制することができるため、図５に示した搬入路２１９，区画構造体２７０，内気流出阻止部２８０，排気装置２８１，流入風供給装置２９０を備えることが好ましい。
【００４３】
上述した実施形態では、内部風吸気装置２５が乾燥本体部１４内の雰囲気ガスを排気するものとしたが、内部風吸気装置２５を省略してもよい。この場合でも、排気装置８１により乾燥本体部１４内の雰囲気ガスを外部に流出させずに排気することはできる。
【００４４】
上述した実施形態において、乾燥本体部１４内のシート５０の下面側にも、内部風供給装置２０及び内部風吸気装置２５と同様の装置を設けてもよい。こうすれば、この装置からの内部風によってもシート５０を冷却することができる。
【００４５】
上述した実施形態において、搬入路１９のうちシート５０の下面側に流入風の供給口を設けて、搬入口１９ａから乾燥本体部１４に向かう方向に流れる流入風も供給するものとしてもよい。
【００４６】
上述した実施形態において、赤外線ヒーター３０の本数や配置は図１と異なるものとしてもよい。また、乾燥本体部１４内において赤外線ヒーター３０をシート５０の下面側にも設けるものとしてもよい。あるいは、赤外線ヒーター３０を備えず、内部風供給装置２０からの内部風により塗膜５２を乾燥させるものとしてもよい。その場合、内部風は冷風ではなく熱風（例えば６０〜１５０℃）としてもよい。
【００４７】
上述した実施形態において、搬入路１９内や乾燥本体部１４内には、シート５０を下方から支える支持ローラを数個設けてもよい。こうすれば、重力によってシート５０が撓むのを防止することができる。
【００４８】
上述した実施形態では、内部風吸気装置２５が排気ファン２６を備え、排気装置８１が排気ファン８２を備えるものとしたが、これに限られない。例えば排気ファン２６と排気ファン８２といずれか一方のみ備えるものとし、パイプ構造体２７及びパイプ構造体８３がともにこの排気ファンに接続されているものとしてもよい。こうしても、乾燥本体部１４内及び内気流出阻止部８０内の雰囲気ガスを排出することができる。
【００４９】
上述した実施形態では、赤外線ヒーター３０として、フィラメント３２の外周が３．５μｍを超える波長の赤外線を吸収するフィルタとして機能する複数の管３６，４０によって同心円状に覆われ、これらの複数の管３６，４０の間に赤外線ヒーター３０の表面温度の上昇を抑制する冷却流体の流路４８を形成したものを用いたが、その他の赤外線ヒーターを用いても構わない。
【００５０】
上述した実施形態では、各乾燥炉１０の雰囲気ガスとして空気を用いたが、空気の代わりに窒素などの不活性ガスを用いてもよい。
【００５１】
上述した実施形態では、塗膜５２はセラミック粉末又は金属粉末と、有機バインダーと、有機溶剤とを含むものとしたが、これに限られない。例えば、有機溶剤の代わりに水を用いるものとしてもよい。この場合、乾燥本体部１４内の雰囲気ガス中には乾燥により蒸発した水気が含まれることになる。そのため、このような水気を含む雰囲気ガスが乾燥炉１０の外部に流出するのを抑制する意義が高い。なお、有機溶剤や水に限らず、乾燥により塗膜５２から発生するガスをそのまま乾燥炉１０の外部へ流出することは好ましくない場合が多い。そのため、塗膜５２の成分に関わらず雰囲気ガスの炉外への流出を抑制する意義はある。
【００５２】
上述した実施形態では、塗膜５２はＭＬＣＣ用の薄膜として用いられるものとしたが、これに限られない。例えば、ＬＴＣＣ（低温焼成セラミックス）やその他のグリーンシート用の薄膜として用いるものとしてもよい。また、塗膜５２はコーターによってシート５０上に塗布されるものとしたが、他の方法によりシート５０の上面に膜を形成してもよい。
【産業上の利用可能性】
【００５３】
本発明は、膜が上面に形成されたシートを乾燥する必要のある産業、例えばＰＥＴフィルムからなるシートの上面に、セラミック粉末又は金属粉末と、有機バインダーと、有機溶剤又は水と、を含む膜を形成し、この膜を乾燥させて積層してＭＬＣＣを製造する産業などに利用可能である。
【符号の説明】
【００５４】
１０，１１０，２１０  乾燥炉、１４  乾燥本体部、１５  前端面、１６  後端面、１７，１８  開口、１９  搬入路、１９ａ  搬入口、２０  内部風供給装置、２１  給気ファン、２２  パイプ構造体、２３  給気ノズル、２５  内部風吸気装置、２６  排気ファン、２７  パイプ構造体、２８  排気ノズル、３０  赤外線ヒーター、３２  フィラメント、３４  電気配線、３６  内管、３７  温度センサ、３８  ヒーター本体、４０  外管、４２  キャップ、４４  配線引出部、４６  流体出入口、４８  流路、４９  ホルダー、５０  シート、５２  塗膜、５４，５６  ロール、６０  コントローラー、６２  電力供給源、６４  冷却流体供給源、６６  開閉弁、６８  流量調整弁、７０，２７０  区画構造体、７２  外壁、７４  内壁、７６〜７９  第１〜第４区画空間、８０，２８０  内気流出阻止部、８１，２８１  排気装置、８２  排気ファン、８３  パイプ構造体、９０，２９０  流入風供給装置、９１  給気ファン、９２  パイプ構造体、１９３  給気ノズル、２１９  搬出路、２１９ａ  搬出口。
【図２】
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【図３】
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【図１】
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【図４】
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【図５】
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