(57)【要約】【課題】大掛かりで高価な設備を必要とすることなく、軸心に平行な貫通孔を有するノズル部材を製造することができるノズル部材の製造方法を提供すること。【解決手段】軸心に平行な貫通孔を少なくとも一個有するノズル部材の製造方法において、原料粉末に押出成形用のバインダーと、有機溶媒又は水からなる溶媒と、必要に応じて焼結助剤を配合して、粘土硬度計の硬さが２ないし６である粘土状の混練体を得、フィラメント４を押出成形用型１内にバックテンションを作用させた状態で挿通し、当該押出成形用型内に前記混練体を圧力をかけて供給することにより、軸心方向にフィラメントを包含した押出成形体を得、この押出成形体の乾燥体を所定長さに切断するとともに前記フィラメントを引き抜いてノズル部材のグリーン体とし、グリーン体を脱脂、焼結する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
軸心に平行な貫通孔を少なくとも一個有するノズル部材の製造方法であって、
原料粉末に押出成形用のバインダーと、有機溶媒又は水からなる溶媒と、必要に応じて焼結助剤を配合して、粘土硬度計の硬さが２ないし６である粘土状の混練体を得る工程と、
フィラメントを押出成形用型内にバックテンションを作用させた状態で挿通し、当該押出成形用型内に前記混練体を圧力をかけて供給することにより、軸心方向にフィラメントを包含した押出成形体を得る工程と、
この押出成形体の乾燥体を所定長さに切断するとともに前記フィラメントを引き抜いてノズル部材のグリーン体とする工程と、
このグリーン体を脱脂、焼結する工程とを含むノズル部材の製造方法。
【請求項２】
前記原料粉末が、金属チタン粉末、水素化チタン粉末、金属チタン粉末と水素化チタン粉末との混合物、及びステンレス合金粉末のうちのいずれかを含み、前記グリーン体を脱脂、焼結する工程を非酸化性雰囲気で行う請求項１に記載のノズル部材の製造方法。
【請求項３】
前記原料粉末が、金属チタン粉末、水素化チタン粉末、金属チタン粉末と水素化チタン粉末との混合物のうちのいずれかを含み、前記押出成形用のバインダーとして有機溶媒系のバインダーを用い、前記グリーン体を脱脂、焼結する工程を非酸化性雰囲気で行う請求項１に記載のノズル部材の製造方法。
【請求項４】
前記原料粉末がステンレス合金粉末を含み、前記押出成形用のバインダーとして水溶性のバインダーを用い、前記グリーン体を脱脂、焼結する工程を非酸化性雰囲気で行う請求項１に記載のノズル部材の製造方法。
【請求項５】
前記押出成形体を得る工程において、前記圧力が５ＭＰａないし５０ＭＰａである請求項１ないし４のいずれかに記載のノズル部材の製造方法。
【請求項６】
前記貫通孔の直径が２０μｍ以上で貫通孔相互間の直径のバラツキが５μｍ以内である請求項１ないし５のいずれかに記載のノズル部材の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、気体や液体等の流体の放出若しくは噴射、真空吸引又は熱交換等のために軸心に平行な貫通孔を有するノズル部材の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
かかるノズル部材においては流体流量の正確性が要求されるため、流体の通路となる貫通孔の直径のバラツキが小さく、しかも直径寸法の再現性が重要である。
【０００３】
また、ノズル部材には、その用途によって種々の特性が要求され、耐食、耐摩耗性の点ではセラミックス製のノズル部材が優れ、高温度域における耐熱性の点でもセラミックス製のノズル部材が適している。一方、急熱急冷を受ける用途に対してはセラミックス製では熱割れを生じるおそれがあるため、耐熱衝撃性に優れた金属製のノズル部材を必要とする場合が多く、更に耐食性に優れた金属製のノズル部材で対応できれば好都合である。
【０００４】
金属製のノズル部材では、ドリル加工によって貫通孔を形成することも可能ではあるが、ドリルの直径寸法がφ０．３ｍｍ以下で微細な貫通孔を形成する場合には、ドリルの摩耗や折損等によって製造コストが多大なものとなる。特に、ノズル部材の材料がステンレス、チタン及びチタン系材料の場合には、その材料の加工硬化や粘り強さが強い等の要因が大で、貫通孔の形成には多大な困難性を伴う。
【０００５】
これらの状況の下、本発明者等は特許文献１において、ドリル加工によらず軸心に平行な複数の貫通孔を高精度で能率良く形成できるノズル部材の製造方法を開示した。この製造方法は、ノズル部材をセラミックス材料で形成することに成功したが、急熱急冷条件下でも熱割れが生じないという耐熱衝撃性を有する金属製（焼結金属製）のノズル部材を開発するという要求には対応できていない。
【０００６】
焼結金属製のノズル部材の製造方法としては、従来、特許文献２及び３の製造方法が知られている。
【０００７】
特許文献２の製造方法は、その段落００１１に記載されているように、細長いワイヤーの周りに粉末状の金属を充填し、金属の焼結後にワイヤーを引き抜くことによって、ワイヤーが配置されていた位置にワイヤーと同一寸法の細孔（貫通孔）を形成し、更には軸方向に延伸することにより細孔を形成するものである。また、ワイヤーの代わりにろうを用いて、ワイヤー状のろうの周りに粉末状の金属を充填し、金属の焼結後にろうを溶かして除去することによって、同様に細孔を形成するものである。特許文献３にも、その段落００３８乃至段落００４０にワイヤーを溶融除去することで貫通孔を形成する方法が記載されている。
【０００８】
しかし、前記特許文献２において、ワイヤーを包含した成形体の作製方法についてはワイヤーの周りに粉末状の金属を充填すると記載されているのみで、具体的な作製条件は開示されていない。また、前記特許文献３においてワイヤーを包含した成形体（造形物）の作製には特殊な３次元物体製造装置を使用する必要があり、大掛かりで高価な設備が必要である。
【０００９】
一方、金属チタン焼結体の製造方法としては特許文献４において、水素化チタン粉末又は水素化チタンと金属チタンとの混合粉末に、有機バインダー、発泡剤、可塑剤及び水を配合した発泡スラリーを成形して成形体を作製し、加熱乾燥して発泡グリーン体とし、脱脂後真空又は不活性ガス雰囲気で焼結して、気孔率が５０％の発泡チタン焼結体を製造する方法が開示されている。しかし、特許文献４は、焼結密度の高い緻密な金属チタン焼結体の製造方法を開示するものではない。
【００１０】
更に焼結金属材料に関する特許文献を調査した結果、ステンレス系の焼結金属関係では、特許文献５には、ＳＵＳ３１６粉末８０ｖｏｌ％とＣｒ２Ｎ粉末２０ｖｏｌ％に熱可塑性バインダーを加えたコンパウンドをシリンダ温度１６５℃、射出圧力５９ＭＰａ（約５９０ｋｇｆ／ｃｍ２）で射出成形する方法が開示されている。また、特許文献６には、ウォーターアトマイズドステンレス鋼粉末に潤滑剤を０．１〜２質量％加えて２ｍ／秒を超えるラム速度で一軸加圧運動により高速度圧縮して少なくとも７．２ｇ／ｃｍ３の密度の成形体を得て、１１２０℃〜１２５０℃の真空又は水素雰囲気で焼結して少なくとも７．３ｇ／ｃｍ３の密度を有する焼結体を得る方法が開示されている。
【００１１】
更に、アルミニウム焼結合金関係では、特許文献７には、アルミニウム合金粉末又は純アルミニウム粉末に３質量％以下の硬質粒子を配合した粉末を３．５〜７ｔｏｎ／ｃｍ２の加圧力で成形して焼結した材料、特許文献８には、Ａｌ又はＡｌ合金からなる粉末と０．２〜５体積％の遷移金属元素との混合粉末を４ｔｏｎ／ｃｍ２〜６ｔｏｎ／ｃｍ２の圧力で金型成形したアルミニウム焼結合金が開示されている。
【００１２】
しかし、前記特許文献５及び６に開示されたステンレス系の焼結金属の製造方法では、高温度下での射出成形、あるいは高い場合８００ＭＰａ（約８ｔ／ｃｍ２）の高圧で金型成形して、でき得る限り素地密度の高い成形体を形成する必要がある。また、前記特許文献７及び８に開示されたアルミニウム焼結合金の製造方法においても、４ｔｏｎ／ｃｍ２〜６ｔｏｎ／ｃｍ２の高い金型成形圧力で成形体を形成する必要がある。このように、従来の焼結合金の製造方法では、高温高圧の射出成形機はもとより、高圧力成形によってようやく目的の焼結体を製造することが可能になるものであり、大掛かりで高価な設備が必要である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１３】
【特許文献１】国際公開第２００９／０１７１４１号
【特許文献２】特開２０００−２３７６３７号公報
【特許文献３】特開２００３−２１４３００号公報
【特許文献４】特開２００７−４６０８９号公報
【特許文献５】特開２００７−１８２５９３号公報
【特許文献６】特開２００８−２４８３８９号公報
【特許文献７】特開２００９−２４２８８３号公報
【特許文献８】特開２０１０−７７４７５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
本発明が解決しようとする課題は、大掛かりで高価な設備を必要とすることなく、軸心に平行な貫通孔を有するノズル部材を製造することができるノズル部材の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
前記課題を解決するため、本発明は以下のノズル部材の製造方法を提供する。
（１）軸心に平行な貫通孔を少なくとも一個有するノズル部材の製造方法であって、
原料粉末に押出成形用のバインダーと、有機溶媒又は水からなる溶媒と、必要に応じて焼結助剤を配合して、粘土硬度計の硬さが２ないし６である粘土状の混練体を得る工程と、
フィラメントを押出成形用型内にバックテンションを作用させた状態で挿通し、当該押出成形用型内に前記混練体を圧力をかけて供給することにより、軸心方向にフィラメントを包含した押出成形体を得る工程と、
この押出成形体の乾燥体を所定長さに切断するとともに前記フィラメントを引き抜いてノズル部材のグリーン体とする工程と、
このグリーン体を脱脂、焼結する工程とを含むノズル部材の製造方法。
（２）前記原料粉末が、金属チタン粉末、水素化チタン粉末、金属チタン粉末と水素化チタン粉末との混合物、及びステンレス合金粉末のうちのいずれかを含み、前記グリーン体を脱脂、焼結する工程を非酸化性雰囲気で行う（１）に記載のノズル部材の製造方法。
（３）前記原料粉末が、金属チタン粉末、水素化チタン粉末、金属チタン粉末と水素化チタン粉末との混合物のうちのいずれかを含み、前記押出成形用のバインダーとして有機溶媒系のバインダーを用い、前記グリーン体を脱脂、焼結する工程を非酸化性雰囲気で行う（１）に記載のノズル部材の製造方法。
（４）前記原料粉末がステンレス合金粉末を含み、前記押出成形用のバインダーとして水溶性のバインダーを用い、前記グリーン体を脱脂、焼結する工程を非酸化性雰囲気で行う（１）に記載のノズル部材の製造方法。
（５）前記押出成形体を得る工程において、前記圧力が５ＭＰａないし５０ＭＰａである（１）ないし（４）のいずれかに記載のノズル部材の製造方法。
（６）前記貫通孔の直径が２０μｍ以上で貫通孔相互間の直径のバラツキが５μｍ以内である（１）ないし（５）のいずれかに記載のノズル部材の製造方法。
【発明の効果】
【００１６】
１．粘土硬度計の硬さが２ないし６である粘土状の混練体を用いることで、低い圧力しかも常温で押出成形できるので、大掛かりで高価な設備を必要とすることなく、省エネルギー性で非常に安価な設備でノズル部材を製造できる。
【００１７】
２．粘土硬度計の硬さが２ないし６である粘土状の混練体を用いることで、当該混練体の真空脱気が容易となり、真空混練押出機を用いることにより混練体を十分に脱気できる結果、気泡を含まない緻密な押出成形体及びグリーン体を得ることができる。
【００１８】
３．原料粉末として、金属チタン粉末、水素化チタン粉末、金属チタン粉末と水素化チタン粉末との混合物、及びステンレス合金粉末のうちのいずれかを使用することにより、チタン系金属材料及びステンレス系金属材料でノズル部材を形成できるので、急熱及び急冷等の熱衝撃を受けても熱割れを生じることがなく、また、高温条件下でも酸化されにくく耐食性も有するノズル部材を製造できる。
【００１９】
４．チタン系金属材料及びステンレス系金属材料で形成したノズル部材は、セラミック材料で形成したノズル部材よりも材料強度が強いので、緻密焼結体よりも密度の低い相対密度が８５％〜９５％の材料でもセラミックス材料のような折損や破損のおそれが非常に少ない。すなわち、チタン系金属材料及びステンレス系金属材料で形成したノズル部材は、相対密度が８５％〜９５％の材料密度でも、ほとんど問題なくノズル部材として使用できるので、比較的低温焼結ができる結果、省エネルギー効果が大である。
【００２０】
５．外形寸法のバラツキの少ないフィラメントを使用したり、フィラメントの外形寸法をコントロールしたりすることにより、貫通孔相互間の直径寸法のバラツキを小さくできる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明のノズル部材の製造に使用する真空混練押出機の構成を示す。
【図２】本発明のノズル部材の製造に使用する押出成形用金型の構成を示す。
【図３】本発明のノズル部材の一例を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）におけるＡ−Ａ断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、実施例に基づき本発明の実施の形態を説明する。
【実施例】
【００２３】
＜実施例１＞
篩網の目開きが４５μｍの篩を通過した粉末粒子径が４５μｍ以下の金属チタン粉末１００質量部に、潤滑剤や可塑剤を配合した押出成形用の有機溶媒系バインダーを固形分換算で１０質量部（テストＮｏ．１）、１３質量部（テストＮｏ．２）、１７質量部（テストＮｏ．３）と有機溶媒とをそれぞれ配合して、粘土硬度計（日本碍子株式会社製）の硬さがそれぞれ２．５（テストＮｏ．１）、４（テストＮｏ．２）、５（テストＮｏ．３）の粘土状の混練体を作製した。
【００２４】
この混練体を図１に示す真空混練押出機で混練体内の気泡を脱気しながらシリンダーに充填した。具体的には、前記混練体をホッパー１０内に入れ、その底部からスクリュウコンベア１１に供給する。混練体はスクリューコンベア１１で搬送され、その下流端に設けた複数の貫通孔１１ａ（直径３ｍｍ程度）から排出され、真空ボックス１２内に供給され混練体中の気泡が脱気される。更に、真空ボックス１２内の混練体は、真空状態を保った状態で真空混練押出スクリュー部１３に供給され、真空混練押出スクリュー部１３にシリンダーねじ込みキャップ１４を介してセットされたシリンダー１５に充填される。シリンダー１５の一端にはキャップ止ネジ１７によってシリンダーキャップ１６が装着され、このシリンダーキャップ１６に真空ホース（真空引き経路）１８が接続され、シリンダー１５内を真空排気しながら混練体を充填する。
【００２５】
一方、図２に示す押出成形用金型１のノズルボディ１ａの軸心に配置したフィラメントガイド２のガイド孔２ａに、バックテンション機能を有するフィラメント供給部７から直径５０μｍのタングステン製のフィラメント（線材）４を７本挿通し、これらのフィラメント４をノズルボディ１ａの下部に組付けたオリフィス５の内部に引き出してわずかに張力をかけた状態で押出準備を整えた。
【００２６】
なお、バックテンション機能を有するフィラメント供給部７は、詳細図を省略しているが、テンションローラーを経由してフィラメント４を供給する方式、あるいはフィラメント４を巻き付けているスプールに対してフィラメント４を引き取る際にスプールの回転に負荷力を調整しながら加える方式からなっている。
【００２７】
このフィラメント供給部７から供給されたフィラメント４を、押出成形用金型１のフィラメントガイド押えキャップ３からフィラメントガイド２のガイド孔２ａに挿通してオリフィス５の内部から引き出すことにより、フィラメント４には最適の状態で調整したバックテンションを作用させることができる。なお、押出成形用金型１に圧入された混練体は、フィラメント４がフィラメントガイド２内をオリフィス５方向に進行するので、カイド孔２ａに入り込むことが防止される。また、押出成形用金型１の矢印部から圧入された混練体は、フィラメントガイドのニードル部２ｂとオリフィス５との狭い隙間を通すことによって全周方向に均等配分される。
【００２８】
次いで、図１においてシリンダー１５に充填した混練体を当該シリンダーから図２の押出成形用金型１に矢印方向に、テストＮｏ．１は５ＭＰａ、テストＮｏ．２は１０ＭＰａ、テストＮｏ．３は１６ＭＰａの押出成形圧力で供給することにより、混練体とフィラメント４はオリフィス５から丸棒状に押し出され、フィラメント４を包含した状態の押出成形体Ｍを得た。
【００２９】
この押出成形体Ｍを乾燥させ所定の長さに切断した後フィラメントを引き抜いてノズル部材のグリーン体を得、更に非酸化性のアルゴン雰囲気で１４５０℃の温度で１時間保持して脱脂、焼結して焼結体を得た。これにより、図３に示すような複数の貫通孔６ａを有するノズル部材６が得られた。
【００３０】
ここで、前述の押出成形用のバインダー量を変化させた各テストＮｏ．の焼結体の相対密度は、テストＮｏ．１＝９５％、テストＮｏ．２＝９１％、テストＮｏ．３＝８９％を示し、いずれも非通気性のクローズドポア（密閉気孔）からなるチタン材料で形成されていることが判明した。
【００３１】
なお、図３に示す貫通孔６ａは、押出成形体を乾燥させた後でフィラメントを引き抜くことにより形成されたものであるので、その内面はスムーズで面粗度は２Ｓ以内であり、また、貫通孔６ａの直径は、テストＮｏ．１を例に挙げると３５μｍで、貫通孔６ａ相互間の直径のバラツキは２μｍ以内であった。
【００３２】
＜実施例２＞
実施例１で用いた金属チタン粉末に、焼結助剤の目的で酸化チタン、アルミナ及びイットリアを各々０．５質量％、０．５質量％及び１質量％配合したテストＮｏ．４と、アルミナを１質量％とイットリアを１．５質量％を配合したテストＮｏ．５と、酸化チタンのみを１質量％配合したテストＮｏ．６の各原料混合粉末１００質量部に、実施例１と同様のバインダーと溶媒を加えて、いずれも粘土硬度計の硬さが４〜５である粘土状の混練体を得た。
【００３３】
次いで、実施例１と同様に真空混練押出機で脱気しながら混練体をシリンダーに充填し、実施例１に用いたのと同じ押出成形用金型に直径３００μｍのステンレス製のフィラメントを５２本挿通して、１４ＭＰａ（約１４０ｋｇｆ／ｃｍ２）の押出成形圧力でフィラメントを軸心方向に包含した押出成形体を得た。
【００３４】
この押出成形体の乾燥体からフィラメントを引き抜いて外径がφ４．１５ｍｍで貫通孔の内径が３００μｍのグリーン体を得た後、アルゴン雰囲気下、温度１４００℃で１時間保持して脱脂、焼結した結果、焼結体の相対密度がテストＮｏ．４＝８５％、テストＮｏ．５＝８７％、テストＮｏ．６＝８８％を示し、いずれも非通気性のクローズドポアの材料で形成されていた。また、焼結温度を高くするほど相対密度が高くなる傾向があることから、１５００℃程度の温度で焼結すれば、相対密度が９５％前後の焼結体になるものと判断される。
【００３５】
なお、前述した焼結温度１５００℃の条件で得られたノズル部材は、貫通孔の直径が２２５μｍで貫通孔相互間の直径のバラツキは２．５μｍ以内であった。
【００３６】
＜実施例３＞
最大粒子径が４５μｍ以下のＳＵＳ３１６粉末１００質量部に対し、押出成形用のバインダーとして水溶性のバインダーを７質量部加え、更に、溶媒の純水を所定量添加して、混練機で混練することにより粘土硬度計による測定値が硬さ６弱の粘土状の混練体を作製して、実施例１と同様に真空混練押出機で脱気しながら混練体をシリンダーに充填した。
【００３７】
次いで、実施例１で用いたのと同じ押出成形用金型に直径２００μｍのピアノ線からなるフィラメントを７本挿通し、シリンダーから２５ＭＰａ（約２５０ｋｇｆ／ｃｍ２）の押出成形圧力で混練体を押出成形機に供給して、フィラメントを包含した押出成形体を得た。
【００３８】
この押出成形体を乾燥させて所定長さに切断した後、フィラメントを引き抜くことにより、貫通孔（７個）の直径が２００μｍのグリーン体を得た。その後、真空雰囲気の炉内で温度１３５０℃で２時間温度保持することにより気孔率が１１％で内在する気孔が密閉気孔からなる非通気性で、貫通孔の直径が１６５μｍのノズル部材を得た。
【００３９】
以上説明した、チタン系材料又はステンレス系材料を用いて焼結金属製のノズル部材を製造する本発明の方法は、次のような特有の作用効果を奏する。
【００４０】
まず、一般的に押出成形法あるいは窯業陶磁器業界で用いられる粘土状の混練体に関しては、押出成形法においてはオカラ状で水分の少ないパラパラした混練体を高圧で押出成形する方法が採用されており、また、窯業関係でロクロ成形する混練体（粘土）は粘土硬度計で硬度８〜９の硬さで成形され、更に陶磁器関係では硬さ９程度の硬い混練体（粘土）が用いられている。これに対し、本発明で使用する粘土状の混練体は、高くても硬さ６で通常は硬さを２〜５、好ましくは２〜４と非常に軟かくしたものである。
【００４１】
また、従来の焼結金属材料は、でき得る限り高い成形圧力、例えば３００ＭＰａ（約３ｔｏｎ／ｃｍ２）〜８００ＭＰａ（約８ｔｏｎ／ｃｍ２）によって高密度の成形体を作ることによって、初めて目的の焼結金属材料を製造できるものである。これに対し、本発明では使用する粘土状の混練体を前述のとおり軟らかくしていることから、押出成形の圧力は５ＭＰａ〜５０ＭＰａ程度で十分である。
【００４２】
すなわち、本発明のノズル部材の製造方法は、粘土硬度計の硬さが２〜６の非常に軟らかな粘土状の混練体を用いることにより、５ＭＰａ〜５０ＭＰａ（約５００ｋｇｆ／ｃｍ２〜５ｔ／ｃｍ２）の低圧で押出成形できるという作用効果を奏するものである。混練体の硬さが６を超えると前記のような低圧での押出成形が困難になり、また、押出成形の際に押出成形金型内での混練体の流動性が低下することから貫通孔の形状にバラツキが生じやすくなる。一方、混練体の硬さが２を下回ると軟らかすぎて、得られた押出成形体の形状が不安定になるなどの問題が生じる。
【００４３】
また、押出成形用の混練体を図１で示したような真空混練押出機で脱気しながらシリンダーに充填する場合は、混練体が軟らかいほど脱気されやすいことから、本発明で使用する非常に軟らかな粘土状の混練体は脱気されやすいという特徴を有する。これにより、気泡を含まない緻密な押出成形体及びグリーン体を得ることができる。
【００４４】
なお、前記の実施例１〜３において混練体の硬さとしては、図１の真空混練押出機のホッパー１０に入れる段階の硬さを示したが、その混練体は真空混練押出機で処理される間に乾燥することから、シリンダー１５に充填され押出成形に供される混練体はホッパー１０に入れる段階より若干硬くなる傾向にある。ただし、どの程度硬くなるかは予め実験等により把握することができるので、押出成形に供される混練体の硬さを所定の範囲にすることは容易である。
【００４５】
一方、本発明においてノズル部材をチタン系材料で形成する場合、その原料粉末としては、金属チタン粉末、水素化チタン粉末、金属チタン粉末と水素化チタン粉末との混合物のうちのいずれかを使用することができる。また、これらのチタン系原料粉末に、高温下での耐酸化性や柔軟性を向上させるために１０質量％以下のＡｌ、Ｃｒ、Ｆｅ及びＮｂ粉末を配合することもできる。更に、チタン系原料粉末に、焼結助剤としてＴｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３及びＹ２Ｏ３の微粉末を配合することもできる。この場合は、これら三種類の微粉末のうち、少なくとも一種類からなる微粉末の総量を５質量％以下とすることにより、目的のノズル部材を得ることができる。
【００４６】
最後に、本発明の方法により、チタン系材料又はステンレス系金属材料でノズル部材を形成する場合、近年開発されたプラズマ高速放電焼結装置を用いて焼結することにより、粉末粒子相互間でプラズマが発生して粉末粒子相互の焼結結合が促進される結果、焼結助剤なしで、しかも比較的低温で緻密な焼結体を形成することができる。
【産業上の利用可能性】
【００４７】
本発明は、半導体製造装置用等の流体放出用ノズル、真空吸引用ノズル、燃焼用ノズル、流体を加熱あるいは冷却する熱交換機用ノズル、その他各種の流体用ノズルのノズル部材に利用可能である。
【符号の説明】
【００４８】
１  押出成形用金型
１ａ  ノズルボディ
２  フィラメントガイド
２ａ  ガイド孔
２ｂ  ニードル部
３  フィラメントガイド押えキャップ
４  フィラメント（線材）
５  オリフィス
６  ノズル部材
６ａ  貫通孔
７  フィラメント供給部
１０  ホッパー
１１  スクリューコンベア
１１ａ  貫通孔
１２  真空ボックス
１３  真空混練押出スクリュー部
１４  シリンダーねじ込みキャップ
１５  シリンダー
１６  シリンダーキャップ
１７  キャップ止ネジ
１８  真空ホース（真空引き経路）
【図１】
2014136831.tif 000003
【図２】
2014136831.tif 000004
【図３】
2014136831.tif 000005