(57)【要約】【課題】切断分離された後の基板片を効率良く取り出すことができるような基板用治具であって、基板を鉛直方向に保持した状態でも利用可能な基板用治具を提供すること。【解決手段】一枚の基板からマトリクス状に複数の基板片をエッチングによって切断分離する際に当該複数の基板片の輪郭が露出するように保護膜が両面に設けられた基板の少なくとも一側面を粘着層を介して支持すると共に、切断分離された後の複数の基板片を前記粘着層によって支持し続けるために用いられる基板用治具であって、基板の周縁部を支持するための外枠フレームと、基板の一側面において、複数の基板片のマトリクス状の配置に対応して、当該マトリクス状の配置の横方向または縦方向に延びる互いに平行な複数本の一側内枠フレームと、を備え、前記一側内枠フレームと各基板片の保護膜とが粘着層によって互いに接着されるようになっていることを特徴とする基板用治具。【選択図】図１
2014143309.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一枚の基板からマトリクス状に複数の基板片をエッチングによって切断分離する際に当該複数の基板片の輪郭が露出するように保護膜が両面に設けられた基板の少なくとも一側面を粘着層を介して支持すると共に、切断分離された後の複数の基板片を前記粘着層によって支持し続けるために用いられる基板用治具であって、
基板の周縁部を支持するための外枠フレームと、
基板の一側面において、複数の基板片のマトリクス状の配置に対応して、当該マトリクス状の配置の横方向または縦方向に延びる互いに平行な複数本の一側内枠フレームと、
を備え、
前記一側内枠フレームと各基板片の保護膜とが粘着層によって互いに接着されるようになっている
ことを特徴とする基板用治具。
【請求項２】
前記外枠フレームには、基板の周縁部の少なくとも一部を収容する溝が形成されている
ことを特徴とする請求項１に記載の基板用治具。
【請求項３】
前記基板の他側面において、複数の基板片のマトリクス状の配置に対応して、当該マトリクス状の配置の横方向または縦方向に延びる互いに平行な複数本の他側内枠フレーム
を更に備えたことを特徴とする請求項１または２に記載の基板用治具。
【請求項４】
前記一側内枠フレームの幅は、各基板片の縦方向の長さの３分の１以下であり、
前記他側内枠フレームの幅は、各基板片の横方向の長さの３分の１以下である
ことを特徴とする請求項３に記載の基板用治具。
【請求項５】
一枚の基板からマトリクス状に複数の基板片をエッチングによって切断分離する際に当該複数の基板片の輪郭が露出するように保護膜が両面に設けられた基板の少なくとも一側面と粘着層を介して支持すると共に、切断分離された後の複数の基板片を前記粘着層によって支持し続けるために用いられる基板用治具であって、
基板の周縁部を支持するための外枠フレームと、
基板の一側面において、複数の基板片のマトリクス状の配置に対応して、当該マトリクス状の配置の横方向または縦方向に延びる互いに平行な複数本の一側内枠フレームと、
を備えたことを特徴とする基板用治具
を用いて一枚の基板から複数の基板片をエッチングによって切断分離する基板片の製造方法であって、
マトリクス状に複数の基板片の輪郭が露出するように保護膜が両面に設けられた基板を用意する工程と、
当該基板の周縁部を外枠フレームによって支持する工程と、
当該基板の一側面において、複数の基板片のマトリクス状の配置に対応して、当該マトリクス状の配置の横方向または縦方向に延びるように互いに平行な複数本の一側内枠フレームを外枠フレームに対して組み付ける工程と、
を備え
複数本の一側内枠フレームを外枠フレームに対して組み付ける工程において、前記一側内枠フレームと各基板片の保護膜とが粘着層によって互いに接着される
ことを特徴とする基板片の製造方法。
【請求項６】
前記基板の他側面において、複数の基板片のマトリクス状の配置に対応して、当該マトリクス状の配置の横方向または縦方向に延びるように互いに平行な複数本の他側内枠フレームを外枠フレームに対して組み付ける工程
を更に備えたことを特徴とする請求項５に記載の基板片の製造方法。
【請求項７】
複数本の他側内枠フレームを外枠フレームに対して組み付ける工程において、前記他側内枠フレームと各基板年の保護膜とが粘着層によって互いに接着される
ことを特徴とする請求項６に記載の基板片の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一枚の基板から基板片をエッチングによって切断分離する際に当該基板を保持するために用いられる基板用治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、液晶ディスプレイやタッチパネルにガラス基板の基板片が用いられている。このようなガラス基板片の製造方法として、大型の一枚のガラス基板から複数のガラス基板片をエッチングによって切断分離する方法がある。この方法では、通常、エッチング液としてフッ酸系の溶液が用いられている。
【０００３】
ところで、切断分離されたガラス基板片がエッチング液内に落下してしまうと、取り出すことが容易ではない。従って、一枚のガラス基板を各片面から順次半分の厚みずつエッチングするいわゆるハーフエッチングが利用されている。
【０００４】
以下、ハーフエッチングを利用してガラス基板片を切断分離する方法について、図９乃至図１１を参照して説明する。図９乃至図１１は、ハーフエッチングを利用してガラス基板片を切断分離する方法について説明するための図である。
【０００５】
先ず、図９に示すように、大型の一枚の矩形のガラス基板５０１の両面に、縦横２つずつ合計４つの矩形のガラス基板片の輪郭５０５が露出するように、保護膜５０３が設けられる。保護膜５０３としては、例えばポリエチレン、ポリプロピレン等を用いることができ、当該保護膜５０３が接着剤または粘着剤を介してガラス基板５０１に貼付けられる。
【０００６】
あるいは、例えば、ガラス基板５０１の両面に感光性レジスト液を塗布してレジスト膜を形成し、マスクを介して４つのガラス基板片の輪郭を除いて他の部分に紫外線を照射し、次に現像液を用いて前記輪郭のレジスト膜を除去することにより、保護膜５０３を設けることもできる。
【０００７】
次に、ガラス基板５０１が鉛直方向に保持された状態で、ガラス基板５０１の一方の面側からエッチング（ハーフエッチング）される。
【０００８】
続いて、ガラス基板５０１が洗浄される。そして、図１０に示すように、切断分離されるガラス基板片５０２が落下することを防止するべく、ハーフエッチングされたガラス基板５０１の一方の面側に、ガラス基板５０１と切断分離されるガラス基板片５０２とを懸架するように粘着テープ５０４が貼付けられる。
【０００９】
続いて、再びガラス基板５０１が、鉛直方向に保持された状態で、ガラス基板５０１の他方の面側からエッチング（残りのハーフエッチング）される。
【００１０】
そして、ガラス基板５０１が洗浄された後に、ガラス基板５０１から粘着テープ５０４が剥がされると、図１１に示すような４個のガラス基板片５０２が得られる。
【００１１】
なお、基板を水平方向に保持した状態で複数の基板片をエッチングによって切断分離する際に用いられる基板用治具は既に知られている（特許文献１乃至３参照）。
【００１２】
また、ガラス基板片の他の製造方法として、レーザ加工によりガラス基板から複数のガラス基板片を切断分離する方法や、エンドミル等による切削加工によりガラス基板から複数のガラス基板片を切断分離する方法も知られている。しかしながら、これらの加工方法では、ガラス基板片の端面、即ち切断面、の表面粗さが粗くなってしまい、前述したようなエッチングを利用して切断分離されたガラス基板片と比較して、ガラス基板片にキズやヒビが入りやすい。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１３】
【特許文献１】特開２０１０−１０３３９４号公報
【特許文献２】特開平０９−２４６３６５号公報
【特許文献３】特開２００７−１３４３９１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
前述したように、ハーフエッチングを利用してガラス基板片を切断分離する場合、２回のガラス基板のエッチング（ハーフエッチング）と２回のガラス基板の洗浄作業を行う必要があり、効率が悪かった。
【００１５】
本発明は、以上のような問題点に着目し、これを有効に解決すべく創案されたものである。本発明の目的は、一枚の基板から基板片をエッチングによって切断分離することができると共に、切断分離された後の基板片を効率良く取り出すことができるような基板用治具であって、基板を鉛直方向に保持した状態でも利用可能な基板用治具を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明は、一枚の基板からマトリクス状に複数の基板片をエッチングによって切断分離する際に当該複数の基板片の輪郭が露出するように保護膜が両面に設けられた基板の少なくとも一側面を粘着層を介して支持すると共に、切断分離された後の複数の基板片を前記粘着層によって支持し続けるために用いられる基板用治具であって、基板の周縁部を支持するための外枠フレームと、基板の一側面において、複数の基板片のマトリクス状の配置に対応して、当該マトリクス状の配置の横方向または縦方向に延びる互いに平行な複数本の一側内枠フレームと、を備え、前記一側内枠フレームと各基板片の保護膜とが粘着層によって互いに接着されるようになっていることを特徴とする基板用治具である。
【００１７】
本発明によれば、一側内枠フレームと各基板片の保護膜とが粘着層によって互いに接着されるため、切断分離された後の複数の基板片は当該粘着層によって確実に支持され続けられる。したがって、基板を鉛直方向に保持した状態でもエッチングを行うことができ、切断分離された後の基板片を効率よく取り出すことができる。また、一側内枠フレームと基板との間に粘着層が存在することによって両者の間に間隙が確保されるため、一側内枠フレームと基板との間にエッチング液が入り込んで、基板の両側から効率よくエッチングを行うことができ、したがって、基板のエッチング及び洗浄作業を複数回行う必要が無く、基板片の製造効率が向上する。さらに、各基板片は粘着層によって支持されるため、各基板片を傷つけることなく保持することができる。
【００１８】
好ましくは、前記外枠フレームには、基板の周縁部の少なくとも一部を収容する溝が形成されている。この場合、切断分離される前の重量のある基板を、外枠フレームによって安定して支持することができる。
【００１９】
好ましくは、前記基板用治具は、前記基板の他側面において、複数の基板片のマトリクス状の配置に対応して、当該マトリクス状の配置の横方向または縦方向に延びる互いに平行な複数本の他側内枠フレームを更に備えている。この場合、外枠フレームの強度を、一側内枠フレームが外枠フレームから取り外された状態においても所望の程度以上にすることができるため、外枠フレームの取扱いが容易である。また、他側内枠フレームと各基板片の保護膜とをも粘着層によって互いに接着すれば、各基板片を両側から支持することができる。
【００２０】
好ましくは、前記一側内枠フレームの幅は、各基板片の縦方向の長さの３分の１以下であり、前記他側内枠フレームの幅は、各基板片の横方向の長さの３分の１以下である。この場合、一側内枠フレームないし他側内枠フレームによって基板表面上のエッチング液の流動が阻害されることが抑制される。これにより、基板表面上にエッチング液が滞留してエッチング効果が低下するということが、抑制される。
【００２１】
あるいは、本発明は、一枚の基板からマトリクス状に複数の基板片をエッチングによって切断分離する際に当該複数の基板片の輪郭が露出するように保護膜が両面に設けられた基板の少なくとも一側面と粘着層を介して支持すると共に、切断分離された後の複数の基板片を前記粘着層によって支持し続けるために用いられる基板用治具であって、基板の周縁部を支持するための外枠フレームと、基板の一側面において、複数の基板片のマトリクス状の配置に対応して、当該マトリクス状の配置の横方向または縦方向に延びる互いに平行な複数本の一側内枠フレームと、を備えたことを特徴とする基板用治具を用いて一枚の基板から複数の基板片をエッチングによって切断分離する基板片の製造方法であって、マトリクス状に複数の基板片の輪郭が露出するように保護膜が両面に設けられた基板を用意する工程と、当該基板の周縁部を外枠フレームによって支持する工程と、当該基板の一側面において、複数の基板片のマトリクス状の配置に対応して、当該マトリクス状の配置の横方向または縦方向に延びるように互いに平行な複数本の一側内枠フレームを外枠フレームに対して組み付ける工程と、を備え、複数本の一側内枠フレームを外枠フレームに対して組み付ける工程において、前記一側内枠フレームと各基板片の保護膜とが粘着層によって互いに接着されることを特徴とする基板片の製造方法である。
【００２２】
本発明によれば、一側内枠フレームと各基板片の保護膜とが粘着層によって互いに接着されるため、切断分離された後の複数の基板片は当該粘着層によって支持され続けられる。したがって、基板を鉛直方向に保持した状態でもエッチングを行うことができ、切断分離された後の基板片を効率よく取り出すことができる。また、一側内枠フレームと基板との間に粘着層が存在することによって両者の間に間隙が確保されるため、一側内枠フレームと基板との間にエッチング液が入り込んで、基板の両側から効率よくエッチングを行うことができ、したがって、基板のエッチング及び洗浄作業を複数回行う必要が無く、基板片の製造効率が向上する。さらに、各基板片は粘着層によって支持されるため、各基板片を傷つけることなく保持することができる。
【００２３】
好ましくは、前記基板片を製造する方法は、前記基板の他側面において、複数の基板片のマトリクス状の配置に対応して、当該マトリクス状の配置の横方向または縦方向に延びるように互いに平行な複数本の他側内枠フレームを外枠フレームに対して組み付ける工程を更に備えている。この場合、外枠フレームの強度を所望の程度以上にすることができる。
【００２４】
好ましくは、複数本の他側内枠フレームを外枠フレームに対して組み付ける工程において、前記他側内枠フレームと各基板片の保護膜とが粘着層によって互いに接着される。この場合、各基板片を両側から保持することができる。
【発明の効果】
【００２５】
本発明によれば、一側内枠フレームと各基板片の保護膜とが粘着層によって互いに接着されるため、切断分離された後の複数の基板片は当該粘着層によって支持され続けられる。したがって、基板を鉛直方向に保持した状態でもエッチングを行うことができ、切断分離された後の基板片を効率よく取り出すことができる。また、一側内枠フレームと基板との間に粘着層が存在することによって両者の間に間隙が確保されるため、一側内枠フレームと基板との間にエッチング液が入り込んで、基板の両側から効率よくエッチングを行うことができ、したがって、基板のエッチング及び洗浄作業を複数回行う必要が無く、基板片の製造効率が向上する。さらに、各基板片は粘着層によって支持されるため、各基板片を傷つけることなく保持することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明の一実施の形態による基板を保持した状態の基板用治具を概略的に示す一側斜視図。
【図２】図１に示す基板を保持した状態の基板用治具を概略的に示す他側斜視図。
【図３】図１に示す基板用治具の外枠フレームと他側内枠フレームとを示す一側斜視図。
【図４】図１に示す基板用治具の一側内枠フレームを示す斜視図。
【図５】保護膜と内枠フレームと粘着層との関係を説明するための図。詳しくは、図５（ａ）が保護膜と一側内枠フレームと粘着層との関係を示す一側正面図であり、図５（ｂ）が保護膜と他側内枠フレームと粘着層との関係を示す他側正面図である。
【図６】保護膜及び粘着層が設けられた基板を示す斜視図。
【図７】図５（ｂ）のＶＩＩ−ＶＩＩ線断面図。
【図８】切断分離された後の基板片が粘着剤によって支持し続けられている様子を説明するための図。
【図９】ハーフエッチングを利用してガラス基板片を切断分離する方法について説明するための図。
【図１０】ハーフエッチングを利用してガラス基板片を切断分離する方法について説明するための図。
【図１１】ハーフエッチングを利用してガラス基板片を切断分離する方法について説明するための図。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１は、本発明の一実施の形態による基板を保持した状態の基板用治具を概略的に示す一側斜視図である。図２は、図１に示す基板を保持した状態の基板用治具を概略的に示す他側斜視図である。図３は、図１に示す基板用治具の外枠フレームと他側内枠フレームとを示す一側斜視図である。図４は、図１に示す基板用治具の一側内枠フレームを示す斜視図である。図５は、保護膜と内枠フレームと粘着層との関係を説明するための図である。詳しくは、図５（ａ）が保護膜と一側内枠フレームと粘着層との関係を示す一側正面図であり、図５（ｂ）が保護膜と他側内枠フレームと粘着層との関係を示す他側正面図である。
【００２８】
本実施の形態の基板用治具１は、図１、図２及び図５に示すように、一枚の基板２からマトリクス状に複数の基板片３をエッチングによって切断分離する際に当該複数の基板片３の輪郭５が露出するように保護膜４が両面に設けられた基板２の少なくとも一側面（本実施の形態では、両面側）を粘着層６を介して支持すると共に、切断分離された後の複数の基板片３を前記粘着層６によって支持し続けるために用いられるものである。本実施の形態では、基板２としてガラス基板を用いており、エッチング液としてフッ酸系の溶液を用いている。
【００２９】
図１乃至図５に示すように、本実施の形態の基板用治具１は、基板の周縁部を支持するための外枠フレーム７（図３参照）と、基板２の一側面において、複数の基板片３のマトリクス状の配置、具体的には横方向に３つ縦方向に５つ並んだ１５枚の基板片３の３×５のマトリクス状の配置に対応して、当該マトリクス状の配置の横方向または縦方向（本実施の形態では、横方向）に延びる互いに平行な複数本の（本実施の形態では、５本の）一側内枠フレーム８（図４参照）と、を備えている。そして、図５（ａ）に示すように、一側内枠フレーム８と各基板片３の保護膜４とが粘着層６によって互いに接着されるようになっている。本実施の形態の基板用治具１は、更に、前記基板２の他側面において、複数の基板片３のマトリクス状の配置に対応して、当該マトリクス状の配置の横方向または縦方向（本実施の形態では、縦方向）に延びる互いに平行な複数本の（本実施の形態では、３本の）他側内枠フレーム１０（図３参照）を備えている。
【００３０】
外枠フレーム７について、図３を参照して詳しく説明する。外枠フレーム７は、本実施の形態では、図３に示すように、全体として矩形の形状を採用している。外枠フレーム７の内周部には、基板２の周縁部の少なくとも一部を収容する溝９が形成されている。外枠フレーム７は、耐エッチング性のある材料からなる。例えば、外枠フレーム７は、フッ酸系の溶液に対して優れた耐性を有する塩化ビニルからなる。もっとも、外枠フレーム７は、ポリテトラフルオロエチレンやポリエチレンからなっていてもよい。
【００３１】
本実施の形態では、図３に示すように、外枠フレーム７には、３本の他側内枠フレーム１０が、複数の基板片３の３×５のマトリクス状の配置に対応して当該マトリクス状の配置の縦方向に延びるように互いに平行に、本実施の形態の場合は着脱不能に、組み付けられている。これにより、外枠フレーム７の強度が所望の程度以上にされて、外枠フレーム７の取扱いが容易であるようになっている。もっとも、他側内枠フレーム１０は、外枠フレーム７に対して着脱可能であってもよい。
【００３２】
他側内枠フレーム１０は、本実施の形態では、図２及び図３に示すように、細長い矩形の板状部材であり、例えばボルトによって外枠フレーム７に固定されているが、外枠フレーム７と一体に構成されていてもよい。図５（ｂ）に示すように、他側内枠フレーム１０の横方向の長さｄは、各基板片３の横方向の長さｂの３分の１以下である。この場合、基材２のエッチングを行う際、基材２表面上のエッチング液の流動が他側内枠フレーム１０によって阻害されることにより基材２表面上にエッチング液が滞留してエッチング効果が低下するおそれが、低減される。本実施の形態では、他側内枠フレーム１０も、フッ酸系の溶液に対して優れた耐性を有する塩化ビニルからなる。もっとも、他側内枠フレーム１０は、ポリテトラフルオロエチレンやポリエチレンからなっていてもよい。
【００３３】
本実施の形態では、図１に示すように、外枠フレーム７には、５本の一側内枠フレーム８が、複数の基板片３の３×５のマトリクス状の配置に対応して当該マトリクス状の配置の横方向に延びるように互いに平行に、本実施の形態の場合は着脱可能に、組み付けられる。
【００３４】
一側内枠フレーム８は、本実施の形態では、図４に示すように、細長い矩形の板状部材であり、例えばボルトによって外枠フレーム７に着脱可能に固定されるようになっている。図５（ａ）に示すように、一側内枠フレーム８の縦方向の長さｃは、各基板片３の縦方向の長さａの３分の１以下である。この場合、基材２のエッチングを行う際、基材２表面上のエッチング液の流動が一側内枠フレーム８によって阻害されることにより基材２表面上にエッチング液が滞留してエッチング効果が低下するおそれが、低減される。本実施の形態では、一側内枠フレーム８も、フッ酸系の溶液に対して優れた耐性を有する塩化ビニルからなる。もっとも、一側内枠フレーム８は、ポリテトラフルオロエチレンやポリエチレンからなっていてもよい。
【００３５】
粘着層６は、耐エッチング性のある材料からなり、一側内枠フレーム８または他側内枠フレーム１０と、各基板片３の各側の保護膜４と、の間において、各基板片３の輪郭を覆わないように配置されるようになっている。具体的には、本実施の形態においては、粘着層６は、図５に示すように、横方向の長さｆが基板片３の横方向の長さｂよりも短く、縦方向の長さｅが基板片３の縦方向の長さａよりも短くなるように、形成される。このような形態により、少なくとも各基板片３の輪郭部分においては、一側内枠フレーム８または他側内枠フレーム１０と、各基板片３の各側の保護膜４と、の間に間隙が確保されてエッチング液が流通し易くなっている。
【００３６】
本実施の形態では、粘着層６は、テープ基材の両面に粘着剤が塗布されてなる両面テープとして構成されている。当該両面テープは、本実施の形態では、ＳＵＭＩＲＯＮ社製ＥＣ７９９５に用いられているポリオレフィン系のテープ基材（厚さ０．０７５ｍｍ）の両面に同じくＳＵＭＩＲＯＮ社製ＥＣ７９９５に用いられているアクリル系粘着剤をそれぞれ厚さ０．００７５ｍｍで塗布することによって構成され、全体として０．０９ｍｍの厚さであった。このように構成された両面テープの粘着力は、５Ｎ／２５ｍｍであった。
【００３７】
次に、以上のような構成からなる本実施の形態の作用について、図１乃至図８を参照しながら説明する。図６は、保護膜４及び粘着層６が設けられた基板２を示す斜視図である。図７は、図５（ｂ）のＶＩＩ−ＶＩＩ線断面図である。図８は、図１の基板用治具１において、エッチングにより切断分離された後の基板片３が粘着層６によって支持され続けている様子を説明するための図である。
【００３８】
先ず、図６に示すように、水平方向に３つ、上下方向に５つ、合計で１５個の矩形の基板片３の輪郭５が露出するように、保護膜４が一枚の基板２の両面に貼り付けられる。その後、各保護膜４上に、前述のような大きさ及び位置に粘着層６の一側面が接着される。このとき、各粘着層６は、基板片３の輪郭に重ならないように設けられる。これにより、基板片３の輪郭上におけるエッチング液の流通が粘着層６によって阻害されるということが、抑制される。なお、粘着層６は、基材２の保護膜４上ではなく、一側内枠フレーム８及び／または他側内枠フレーム１０の基板２に対向する面上に先に一側面が接着されてもよい。
【００３９】
次に、基板２の周縁部が、外枠フレーム７によって支持される。このとき、図７に示すように、外枠フレーム７に組み付けられた他側内枠フレーム１０と、当該他側内枠フレーム１０に対向する保護膜４上に一側面が接着された各粘着層６の他側面とが、互いに接着される。
【００４０】
次に、基板２の一側面側に、基板片３の３×５のマトリクス状の配置に対応して、５本の一側内枠フレーム８が、基板片３の配置の横方向に延びるように外枠フレーム７に取り付けられる。このとき、図７に示すように、外枠フレーム７に取り付けられた一側内枠フレーム８と、当該一側内枠フレーム８に対向する保護膜４上に他側面が接着された各粘着層６の一側面とが、互いに接着される。これにより、各基板片３は傷つけられることなく粘着層６によって両側から保持される。
【００４１】
以上のように基板用治具１に支持された基板２が、例えば鉛直方向にエッチング液槽内に浸される。このとき、各保護膜４と一側内枠フレーム８及び他側内枠フレーム１０との間には粘着層６によって間隙が確保されているため、各保護膜４と一側内枠フレーム８及び他側内枠フレーム１０との間の領域にもエッチング液が供給される。また、粘着層６は、各基板片３の輪郭を覆わないように設けられているため、各基板片３の輪郭の周囲に確実にエッチング液が供給される。さらに、一側内枠フレーム８の幅が各基板片３の縦方向の長さの３分の１以下であり、他側内枠フレーム１０の幅が各基板片３の横方向の長さの３分の１以下であるため、エッチング液は基板２表面上を良好に流動され得る。
【００４２】
このようなエッチング液の供給によって、基板２から複数の基板片３がエッチングによって切断分離される。切断分離された基板片３は、図８に示すように、粘着層６によって支持し続けられる。このため、切断分離された各基板片３が、他の基板片３や外枠フレーム７等と接触して損傷するおそれがない。
【００４３】
以上のように本実施の形態によれば、一側内枠フレーム８と各基板片３の保護膜４とが粘着層６によって互いに接着されるため、切断分離された後の複数の基板片３は当該粘着層６によって確実に支持され続けられる。したがって、基板２を鉛直方向に保持した状態でもエッチングを行うことができ、切断分離された後の基板片３を効率よく取り出すことができる。また、一側内枠フレーム８と基板２との間に粘着層６が存在することによって両者の間に間隙が確保されるため、一側内枠フレーム８と基板２との間にエッチング液が入り込んで、基板２の両側から効率よくエッチングを行うことができ、したがって、基板２のエッチング及び洗浄作業を複数回行う必要が無く、基板片３の製造効率が向上する。さらに、各基板片３は粘着層６によって支持されるため、各基板片３を傷つけることなく保持することができる。
【００４４】
また、外枠フレーム７には、基板２の周縁部の少なくとも一部を収容する溝９が形成されているため、切断分離される前の重量のある基板２を、外枠フレーム７によって安定して支持することができる。
【００４５】
また、基板用治具１は、基板２の他側面において、複数の基板片３のマトリクス状の配置に対応して、当該マトリクス状の配置の横方向または縦方向に延びる互いに平行な複数本の他側内枠フレーム１０を更に備えているため、外枠フレーム７の強度を、一側内枠フレーム８が外枠フレーム７から取り外された状態においても所望の程度以上にすることができ、外枠フレーム７の取扱いが容易である。また、他側内枠フレーム１０と各基板片３の保護膜４とをも粘着層６によって互いに接着しているため、各基板片３を両側から支持することができる。
【００４６】
また、一側内枠フレーム８の幅は、各基板片３の縦方向の長さの３分の１以下であり、他側内枠フレーム１０の幅は、各基板片３の横方向の長さの３分の１以下であるため、一側内枠フレーム８ないし他側内枠フレーム１０によって基板２表面上のエッチング液の流動が阻害されることが抑制される。これにより、基板２表面上にエッチング液が滞留してエッチング効果が低下するということが、抑制される。
【符号の説明】
【００４７】
１      基板用治具
２      基板
３      基板片
４      保護膜
５      輪郭
６      粘着層
７      外枠フレーム
８      一側内枠フレーム
９      溝
１０    他側内枠フレーム
５０１  ガラス基板
５０２  ガラス基板片
５０３  保護膜
５０４  両面テープ
５０５  輪郭
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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