(57)【要約】【課題】走行体の設置スペースの省スペース化を図ることができる天井搬送車を提供する。【解決手段】走行体に対して支持体１２を昇降移動操作する昇降操作機構１３を備え、その昇降操作機構１３を、上下方向に伸縮自在なリンク機構２１とリンク機構２１を伸縮させる伸縮用駆動部２２とを備えて構成し、リンク機構２１の上端部が連結される上側連結部１８を、本体部１５に対して水平方向に沿う水平軸心Ｌ１周りに揺動自在に支持し、上側連結部１８を本体部１５に対して水平軸心Ｌ１周りに揺動させる揺動用駆動部１９を備える。【選択図】図３
2014001042.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
天井側に配設された走行レールに案内支持された状態で走行経路に沿って走行自在な走行体と、前記走行体に吊下げ支持され且つ物品を支持自在な支持体と、前記走行体に対して前記支持体を昇降移動操作する昇降操作機構とを備え、
前記昇降操作機構が、上端部が前記走行体の上側連結部に連結され且つ下端部が前記支持体の下側連結部に連結されて上下方向に伸縮自在なリンク機構と、前記リンク機構を伸縮させる伸縮用駆動部とを備えて構成されている天井搬送車であって、
前記上側連結部が、前記走行体における前記走行レールに案内支持される本体部に対して水平方向に沿う水平軸心周りに揺動自在に支持され、
前記上側連結部を前記本体部に対して前記水平軸心周りに揺動させる揺動用駆動部が備えられている天井搬送車。
【請求項２】
前記上側連結部が、前記走行体の前記本体部に対して前記走行体の走行方向に沿う前記水平軸心周りに揺動自在に支持されている請求項１記載の天井搬送車。
【請求項３】
前記リンク機構が、上端部が前記上側連結部に揺動自在に連結された上側リンク体の下端部と下端部が前記下側連結部に揺動自在に連結された下側リンク体の上端部とを揺動自在に連結させて構成され、
前記リンク機構が、各別に伸縮自在な状態で一対設けられ、
前記伸縮用駆動部が、前記一対のリンク機構の一方における前記上側リンク体と前記一対の前記リンク機構の他方における前記上側リンク体との夫々を互いに逆方向に揺動させることで前記一対のリンク機構を伸縮させるように構成されている請求項１又は２記載の天井搬送車。
【請求項４】
前記伸縮用駆動部が、前記一方のリンク機構における前記上側リンク体を揺動駆動させる一方側伸縮用駆動部と、前記他方のリンク機構における前記上側リンク体を揺動駆動させる他方側伸縮用駆動部とを備えて構成されている請求項３記載の天井搬送車。
【請求項５】
前記請求項１〜４のいずれか１項に記載の天井搬送車が備えられた物品搬送設備であって、
前記物品が、板状に形成された基板であり、
前記天井搬送車が、面方向が上下方向に沿う姿勢の基板の上端部を前記支持体にて支持し、前記支持体の下降移動により搬送対象箇所に設けられた基板保持部に基板を受け渡すように構成され、
前記基板保持部が、前記支持体の下降移動により下降する基板が上方側から挿入自在に基板の厚み方向に一対の挾持用部材を離間させた挿入状態と、前記一対の挾持用部材の間に挿入された基板を挾持するべく前記一対の挾持用部材を接近させた挟持状態とに切り換え自在に構成されている物品搬送設備。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、天井側に配設された走行レールに案内支持された状態で走行経路に沿って走行自在な走行体と、前記走行体に吊下げ支持され且つ物品を支持自在な支持体と、前記走行体に対して前記支持体を昇降移動操作する昇降操作機構とを備え、前記昇降操作機構が、上端部が前記走行体の上側連結部に連結され且つ下端部が前記支持体の下側連結部に連結されて上下方向に伸縮自在なリンク機構と、前記リンク機構を伸縮させる伸縮用駆動部とを備えて構成されている天井搬送車、及び、その天井搬送車が備えられている物品搬送設備に関する。
【背景技術】
【０００２】
かかる天井搬送車は、走行体を走行経路に沿って走行させ、その走行体を走行経路上における搬送対象箇所に対応する箇所に停止させた状態で、伸縮用駆動部にてリンク機構を伸縮させて支持体を昇降移動させることにより、搬送対象箇所に物品を搬送するように構成されている。ちなみに、搬送対象箇所としては、例えば、物品を用いる装置の授受箇所や物品を収納する収納容器の収納部等がある。
そして、このような天井搬送車において、搬送対象箇所の設置誤差等により搬送対象箇所が天井搬送車に支持された物品に対して適正な位置から水平方向にずれている場合がある。このような場合に対応するために、従来では、リンク機構の上端部が連結される上側連結部を、走行体における走行レールに案内支持される本体部に対して水平方向にスライド移動自在に構成し、スライド用駆動部にて上側連結部をスライド移動させることで、基板を搬送対象箇所に対して水平方向で適正な位置に移動させるように構成されていた（例えば、特許文献１参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平１０−０２９７９３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記した従来の天井搬送車では、走行部に対して上側連結部が水平方向に移動するため、上側走行部が水平方向にスライド移動する空間を確保する必要があり、走行体の設置に大きなスペースが必要となっていた。
【０００５】
本発明は、上記実状に鑑みて為されたものであって、その目的は、走行体の設置スペースの省スペース化を図ることができる天井搬送車、及び、その天井搬送車が備えられた物品搬送設備を提供する点にある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明にかかる天井搬送車は、天井側に配設された走行レールに案内支持された状態で走行経路に沿って走行自在な走行体と、前記走行体に吊下げ支持され且つ物品を支持自在な支持体と、前記走行体に対して前記支持体を昇降移動操作する昇降操作機構とを備え、前記昇降操作機構が、上端部が前記走行体の上側連結部に連結され且つ下端部が前記支持体の下側連結部に連結されて上下方向に伸縮自在なリンク機構と、前記リンク機構を伸縮させる伸縮用駆動部とを備えて構成されているものであって、その第１特徴構成は、
前記上側連結部が、前記走行体における前記走行レールに案内支持される本体部に対して水平方向に沿う水平軸心周りに揺動自在に支持され、前記上側連結部を前記本体部に対して前記水平軸心周りに揺動させる揺動用駆動部が備えられている点にある。
【０００７】
すなわち、揺動用駆動部にて上側連結部を水平軸心周りに揺動させることで、上側連結部に連結されているリンク機構の全体が傾き、リンク機構の下端部に連結されている支持体、及び、その支持体に支持されている物品の位置が水平軸心に沿う方向に対して直交する水平方向に移動することになる。このように揺動用駆動部にて上側連結部を揺動させることで、支持体に支持されている物品を水平方向に移動させることができるため、搬送対象箇所の設置誤差等により搬送対象箇所が天井搬送車に支持された物品に対して適正な位置から水平方向にずれている場合でも、物品を搬送対象箇所に対して水平方向で適正な位置に移動させることができる。
そして、上側連結部は走行部に対して揺動するだけなので、上側連結部が水平方向に大きく移動しないため、走行体を設置するために水平方向に大きなスペースを必要とせず、走行体の設置スペースの省スペース化を図ることができる。
【０００８】
本発明にかかる天井搬送車の第２特徴構成は、第１特徴構成において、前記上側連結部が、前記走行体の前記本体部に対して前記走行体の走行方向に沿う前記水平軸心周りに揺動自在に支持されている点にある。
【０００９】
すなわち、走行体の走行方向に沿う水平軸心周りに上側連結部を揺動させることで、支持体にて支持されている物品の位置を、走行方向に対して直交する横幅方向に移動させることができる。
つまり、移載対象箇所が走行方向にずれている場合では、走行体を走行方向に沿って走行させることで位置ずれを修正することができるが、移載対象箇所が走行方向に対して直交する横幅方向にずれている場合では、走行体を走行方向に沿って走行させても位置ずれを修正することができない。しかし、上述のように、走行体の走行方向に沿う水平軸心周りに上側連結部を揺動させることで、走行体を走行方向に沿って走行させても位置ずれを修正できない横幅方向での位置ずれに対応することができる。
【００１０】
本発明にかかる天井搬送車の第３特徴構成は、第１又は第２特徴構成において、前記リンク機構が、上端部が前記上側連結部に揺動自在に連結された上側リンク体の下端部と下端部が前記下側連結部に揺動自在に連結された下側リンク体の上端部とを揺動自在に連結させて構成され、前記リンク機構が、各別に伸縮自在な状態で一対設けられ、前記伸縮用駆動部が、前記一対のリンク機構の一方における前記上側リンク体と前記一対の前記リンク機構の他方における前記上側リンク体との夫々を互いに逆方向に揺動させることで前記一対のリンク機構を伸縮させるように構成されている点にある。
【００１１】
すなわち、伸縮用駆動部にて一対の上側リンク体を逆方向に揺動させて、一対のリンク機構を同期させた状態で上下方向に伸縮させることで、Ｘリンク機構を上下方向に２つ並べて設けた場合のように、支持体を所望の姿勢に維持させた状態で支持体を昇降移動させることができる。
しかも、リンク機構をＸリンク機構にて構成した場合のように、上側リンク体同士や下側リンク体同士を連結する必要がなく、また、上側リンク体を上側連結部にスライド移動自在に連結する必要や下側リンク体を下側連結部にスライド移動自在に連結する必要もないため、リンク機構の構成及び上側連結部や下側連結部との連結構造の簡素化を図ることができる。
【００１２】
本発明にかかる天井搬送車の第４特徴構成は、第１〜第３特徴構成のいずれか１つにおいて、前記伸縮用駆動部が、前記一方のリンク機構における前記上側リンク体を揺動駆動させる一方側伸縮用駆動部と、前記他方のリンク機構における前記上側リンク体を揺動駆動させる他方側伸縮用駆動部とを備えて構成されている点にある。
【００１３】
すなわち、一方のリンク機構における上側リンク体を一方側伸縮用駆動部にて一方向に揺動させ、他方のリンク機構における上側リンク体を他方側伸縮用駆動部にて他方向に揺動させることで、一対のリンク機構を逆方向に揺動させることができる。
そして、一対の上側リンク体を一方側伸縮用駆動部及び他方側伸縮用駆動部にて各別に揺動駆動させるものであるため、一対の上側リンク体を単一の伸縮用駆動部にて揺動させる場合に比べて、一方側伸縮用駆動部や他方側伸縮用駆動部を駆動力が小さな小型のものを用いることができる。そのため、揺動用駆動部にて上側連結部を水平軸心周りに揺動させて物品を水平方向に移動させるように構成された省スペース化が図られた走行体に一方側伸縮用駆動部や他方側伸縮用駆動部を設置し易いものとなる。
【００１４】
本発明にかかる物品搬送設備は、第１〜第４特徴構成のいずれか１つを備えた天井搬送車が備えられた物品搬送設備であって、
前記物品が、板状に形成された基板であり、前記天井搬送車が、面方向が上下方向に沿う姿勢の基板の上端部を前記支持体にて支持し、前記支持体の下降移動により搬送対象箇所に設けられた基板保持部に基板を受け渡すように構成され、前記基板保持部が、前記支持体の下降移動により下降する基板が上方側から挿入自在に前記基板の厚み方向に一対の挾持用部材を離間させた挿入状態と、前記一対の挾持用部材の間に挿入された基板を挾持するべく前記一対の挾持用部材を接近させた挟持状態とに切り換え自在に構成されている点にある。
【００１５】
すなわち、伸縮用駆動部にてリンク機構を伸長させて支持体を下降移動させることで、基板を基板保持部に受け渡すことができる。
そして、揺動用駆動部にて上側連結部を本体部に対して水平軸心周りに揺動させた場合では、リンク機構が鉛直姿勢から傾く。そのため、その傾いた姿勢でリンク機構を伸長させると、支持体は斜め下方に移動し、その支持体に支持された基板も斜め下方に移動するが、基板保持部が備える一対の挾持用部材を離間させて基板保持部を挿入状態としておくことにより、斜め下方に下降する基板を一対の挾持用部材の間に上方側から挿入させることができる。そして、このように一対の挾持用部材の間に基板を挿入させた状態で、一対の挾持用部材を接近させて基板保持部を挟持状態に切り換えることにより、一対の挾持用部材にて基板を挟持して、基板を保持することができる。
このように、揺動用駆動部にて上側連結部を水平軸心周りに揺動させて物品を水平方向に移動させるように構成して走行体の省スペース化が図られた場合でも、基板を基板保持部に受け渡すことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】物品搬送設備の斜視図
【図２】天井搬送車の一部切り欠き側面図
【図３】天井搬送車の要部を示す斜視図
【図４】天井搬送車におけるリンク機構の伸縮を示す作用図
【図５】天井搬送車のチルト機能を示す基板受渡作用図
【図６】制御ブロック図
【図７】フローチャート
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
図１に示すように、物品搬送設備に備えられた天井搬送車１は、天井に設置された走行レール２に案内支持される状態で設けられており、搬送対象箇所Ｅの上方を経由する走行経路３に沿って走行して物品としての板状に形成された基板Ｗを搬送するように構成されている。ちなみに、本実施形態では、基板Ｗとして、液晶パネル等のガラス基板の加工に用いられるフォトマスクを天井搬送車１にて搬送している。
尚、走行方向に沿う水平方向を前後方向と称し、この前後方向に直交する水平方向を横幅方向と称して説明する。図１において、前後方向を矢印Ｘで示し、横幅方向を矢印Ｙで示している。天井搬送車１は、前後方向の後方側（図１の右側）から前方側（図１の左側）に一方向に走行するようになっている。
【００１８】
物品搬送設備には、基板Ｗ（フォトマスク）を用いてガラス基板の加工処理を行う処理装置４や複数枚の基板Ｗを収納自在な基板収納容器６が設けられている。
そして、天井搬送車１は、基板支持台５の授受箇所５ａや基板収納容器６の収納部６ａに基板Ｗを受け渡し、授受箇所５ａや収納部６ａから基板Ｗを受け取るように構成されている。
基板支持台５は、処理装置４に対して横幅方向に隣接した状態で設けられており、処理装置４には、基板支持台５の基板Ｗを処理装置４内に取り込み且つ処理装置４内の基板Ｗを基板支持台５に取り出す基板搬送装置（図示せず）が設けられている。
【００１９】
基板支持台５の授受箇所５ａは、基板Ｗの表面が前後方向に沿う姿勢で基板Ｗを保持するように構成されている。また、基板収納容器６の収納部６ａは、前後方向に沿って複数備えられており、基板Ｗの表面が横幅方向に沿う姿勢で基板Ｗを保持するように構成されている。
尚、基板支持台５や基板収納容器６が搬送対象箇所Ｅに相当し、基板支持台５の授受箇所５ａや基板収納容器６の複数の収納部６ａの夫々が基板保持部ｅに相当するものであり、基板保持部ｅの夫々は走行経路３の真下に位置している。
【００２０】
基板保持部ｅは、天井搬送車１の支持体１２の下降移動により下降する基板Ｗが上方側から挿入自在に基板Ｗの厚み方向に一対の挾持用部材８を離間させた挿入状態と、一対の挾持用部材８の間に挿入された基板Ｗを挾持するべく一対の挾持用部材８を接近させた挟持状態とに切り換え自在に構成されている。
【００２１】
一対の挾持用部材８について、授受箇所５ａに備えられた一対の挾持用部材８を例に挙げて説明すると、図１及び図５に示すように、一対の挾持用部材８は横幅方向に並べた状態で設けられており、一対の挾持用部材８の下端部を支点として上端部同士が互いに遠近移動するように揺動自在に設けられており、自然状態では上端部同士が互いに離間して前後方向視で逆ハ字状となり、挿入状態となっている。そして、挿入される基板Ｗの荷重にて下端部が下方に押し下げられることで、一対の挾持用部材８の夫々が鉛直姿勢となって基板Ｗを挾持する挟持状態に切り換えられるように構成されている。
一対の挾持用部材８の夫々における上下方向の長さは、基板Ｗの上下方向の長さの１／３程度の長さに形成されており、一対の挾持用部材８にて基板Ｗの下部を厚み方向に挾持する形態で保持するように構成されている。
尚、収納部６ａに備えられた一対の挾持用部材８については、一対の挾持用部材８を前後方向に並べた状態で設けられている点以外は授受箇所５ａのものと同様に構成されているため、説明は省略する。
【００２２】
図２〜図４に示すように、天井搬送車１は、走行レール２に案内支持された状態で走行経路３に沿って走行自在な走行体１１と、走行体１１に吊り下げ支持され且つ基板Ｗを支持自在な支持体１２と、走行体１１に対して支持体１２を昇降移動操作する昇降操作機構１３とを備えて構成されている。
【００２３】
〔走行体〕
図２に示すように、走行体１１の走行本体部１５（本体部に相当）には、走行用電動モータ１６にて回転駆動されて走行レール２の上面を転動する駆動輪１７と、走行レール２の側面に当接する回転自在な案内輪（図示せず）とが設けられている。そして、走行用電動モータ１６にて駆動輪１７が回転駆動され、案内輪が走行レール２にて接触案内されることにより、走行体１１が走行レール２に案内されて走行経路３に沿って走行するように構成されている。
【００２４】
図２及び図３に示すように、走行体１１には、昇降操作機構１３が連結される上側連結部１８が設けられている。この上側連結部１８は、走行体１１における走行本体部１５に対して前後方向（走行体１１の走行方向）に沿う第１軸心Ｌ１（水平軸心）周りに揺動自在に支持されている。
そして、走行体１１の走行本体部１５に、上側連結部１８を走行本体部１５に対して第１軸心Ｌ１周りに揺動させる揺動用駆動部としての揺動用電動モータ１９が設けられている。走行体１１は、この揺動用電動モータ１９の駆動により上側連結部１８を揺動させて、図５に示すように、上側連結部１８に連結されている昇降操作機構１３を第１軸心Ｌ１周りに揺動させるように構成されている。
【００２５】
〔昇降操作機構〕
昇降操作機構１３は、上端部が走行体１１の上側連結部１８に連結され且つ下端部が支持体１２の下側連結部２３に連結されて上下方向に伸縮自在なリンク機構２１と、リンク機構２１を伸縮させる伸縮用駆動部２２とを備えて構成されている
【００２６】
図２及び図３に示すように、リンク機構２１は、上側リンク体２４の上端部を走行体１１の上側連結部１８に第２軸心Ｌ２周りに揺動自在に連結し、上側リンク体２４の下端部と下側リンク体２５の上端部とを第３軸心Ｌ３周りに揺動自在に連結し、下側リンク体２５の下端部を支持体１２の下側連結部２３に第４軸心Ｌ４周りに揺動自在に連結して構成されている。
ちなみに、リンク機構２１は、第２軸心Ｌ２と第３軸心Ｌ３と第４軸心Ｌ４とが平行となる状態で設けられており、これら第２軸心Ｌ２と第３軸心Ｌ３と第４軸心Ｌ４とは、第１軸心Ｌ１と直交し、横幅方向に沿っている。
【００２７】
そして、リンク機構２１は、各別に伸縮自在な状態で一対設けられており、一対のリンク機構２１の夫々における上側リンク体２４及び下側リンク体２５は、棒状に形成されている。また、一対のリンク機構２１の夫々は、上側リンク体２４と下側リンク体２５とが同じ長さに形成されている。
尚、一対のリンク機構２１は、互いに前後方向にずらした状態で上側連結部１８及び下側連結部２３に連結されており、便宜上、前側に連結された一方のリンク機構２１を前側リンク機構２１Ｆと称し、後側に連結された他方のリンク機構２１を後側リンク機構２１Ｒと称する。
【００２８】
リンク機構２１の設置について説明を加えると、上側連結部１８における横幅方向の一方側（右側）を向く面に前側リンク機構２１Ｆの上側リンク体２４が連結され、上側連結部１８における横幅方向の他方側（左側）を向く面に後側リンク機構２１Ｒの上側リンク体２４が連結されている。
また、下側連結部２３における横幅方向の一方側（右側）を向く面に前側リンク機構２１Ｆの下側リンク体２５が連結され、下側連結部２３における横幅方向の他方側（左側）を向く面に後側リンク機構２１Ｒの下側リンク体２５が連結されている。
このようにして、一方のリンク機構２１は、他方のリンク機構２１に対して横幅方向に異なる箇所で、上側連結部１８及び下側連結部２３に連結されている。
【００２９】
また、前側リンク機構２１Ｆの上側リンク体２４と後側リンク機構２１Ｒの上側リンク体２４とが、同じ高さで且つ前後方向にずらした箇所で上側連結部１８に連結されており、前側リンク機構２１Ｆの下側リンク体２５と後側リンク機構２１Ｒの下側リンク体２５とが、同じ高さで且つ前後方向にずらした箇所で下側連結部２３に連結されている。
このようにして、前側リンク機構２１Ｆは、後側リンク機構２１Ｒと同高さで、かつ、後側リンク機構２１Ｒに対して前後方向に異なる箇所で、上側連結部１８及び下側連結部２３に連結されている。
ちなみに、一対のリンク機構２１の夫々は、横幅方向視で上側リンク体２４を上側連結部１８に連結する箇所から真下に位置する箇所において下側リンク体２５を下側連結部２３に連結する状態で設けられている。
【００３０】
一対のリンク機構２１は、横幅方向視で互いに逆方向に屈曲させた状態で設けられており、夫々を最も短縮させた状態（図４（ａ）参照）及び最も伸長させた状態（図４（ｂ）（ｃ）参照）において、横幅方向視で、前側リンク機構２１Ｆにおける上側リンク体２４と後側リンク機構２１Ｒにおける上側リンク体２４とが交差し、且つ、前側リンク機構２１Ｆにおける下側リンク体２５と後側リンク機構２１Ｒにおける下側リンク体２５とが交差する状態で設けられている。
ちなみに、前側リンク機構２１Ｆにおける上側リンク体２４と下側リンク体２５との連結箇所は、後側リンク機構２１Ｒにおける上側リンク体２４の上側連結部１８に連結する箇所や下側リンク体２５の下側連結部２３に連結する箇所より後方側に位置しており、また、後側リンク機構２１Ｒにおける上側リンク体２４と下側リンク体２５との連結箇所は、前側リンク機構２１Ｆにおける上側リンク体２４の上側連結部１８に連結する箇所や下側リンク体２５の下側連結部２３に連結する箇所より前方側に位置している。
【００３１】
伸縮用駆動部２２は、前側リンク機構２１Ｆにおける上側リンク体２４と後側リンク機構２１Ｒにおける上側リンク体２４との夫々を互いに逆方向に揺動させることで一対のリンク機構２１の夫々を伸縮させるように構成されている。
また、伸縮用駆動部２２は、前側リンク機構２１Ｆにおける上側リンク体２４を揺動駆動させる一方側伸縮用駆動部としての前側用電動モータ２２Ｆと、後側リンク機構２１Ｒにおける上側リンク体２４を揺動駆動させる他方側伸縮用駆動部としての後側用電動モータ２２Ｒとを備えて構成されている。
【００３２】
伸縮用駆動部２２は、左側側面視において、前側用電動モータ２２Ｆにて前側リンク機構２１Ｆの上側リンク体２４を時計回りに揺動させ且つ後側用電動モータ２２Ｒにて後側リンク機構２１Ｒの上側リンク体２４を反時計回りに揺動させることで、一対のリンク機構２１の夫々を伸長させ、また、前側用電動モータ２２Ｆにて前側リンク機構２１Ｆの上側リンク体２４を反時計回りに揺動させ且つ後側用電動モータ２２Ｒにて後側リンク機構２１Ｒの上側リンク体２４を時計回りに揺動させることで、一対のリンク機構２１の夫々を短縮させるように構成されている。
そして、昇降操作機構１３は、伸縮用駆動部２２にて一対のリンク機構２１の夫々を伸長させることで、支持体１２を下降移動させ、且つ、伸縮用駆動部２２にて一対のリンク機構２１の夫々を短縮させることで、支持体１２を上昇移動させるように構成されている。
尚、前側用電動モータ２２Ｆは、その出力軸が前側リンク機構２１Ｆの上側リンク体２４の第２軸心Ｌ２周りに回転駆動するように設けられており、後側用電動モータ２２Ｒは、その出力軸が後側リンク機構２１Ｒの上側リンク体２４の第２軸心Ｌ２周りに回転駆動するように設けられている。
【００３３】
ちなみに、前側用電動モータ２２Ｆの駆動速度と後側用電動モータ２２Ｒの駆動速度とを異ならせることにより、基板Ｗを面方向に沿って傾けながら昇降させることができる。また、前側用電動モータ２２Ｆのみ又は後側用電動モータ２２Ｒのみを駆動させることにより、図４（ｄ）に示すように、基板Ｗを面方向に沿って傾けることができる。
【００３４】
〔支持体〕
図２及び図３に示すように、支持体１２には、リンク機構２１の下側リンク体２５が連結される下側連結部２３に対して前後方向に沿う第５軸心Ｌ５周りに揺動自在に支持され且つ基板Ｗを支持する支持体２８を上下方向に沿う第６軸心Ｌ６周りに回転自在に支持する揺動部２７が備えられている。
また、支持体１２には、揺動部２７に対して支持体２８を第６軸心Ｌ６周りに回転駆動させる回転用電動モータ２９（図６参照）、及び、下側連結部２３に対して揺動部２７が第５軸心Ｌ５周りに揺動自在な状態と下側連結部２３に対して揺動部２７が第５軸心Ｌ５周りに揺動することを規制する状態とに切り換えるための切換用電動シリンダ３０（図６参照）が備えられている。
【００３５】
そして、回転用電動モータ２９にて支持体２８を回転駆動させることで、図４（ｃ）に示すように、支持体２８及びその支持体２８に支持されている基板Ｗが第５軸心Ｌ５周りに回転し、基板Ｗの姿勢を、基板Ｗの表面が前後方向に沿う前後姿勢と基板Ｗの表面が横幅方向に沿う横姿勢とに切り換えることができるように構成されている。
ちなみに、基板Ｗの姿勢を前後姿勢に姿勢変更した状態で、天井搬送車１を走行経路３に沿って走行移動させ且つ基板Ｗを基板支持台５の授受箇所５ａに受け渡すようになっている。また、基板Ｗの姿勢を横姿勢に姿勢変更した状態で、基板Ｗを基板収納容器６の収納部６ａに受け渡すようになっている。
【００３６】
また、詳細な説明は省略するが、切換用電動シリンダ３０は、下側連結部２３側に設けられた接触部材（図示せず）を昇降移動させるように設けられており、切換用電動シリンダ３０にて接触部材を揺動部２７に接触させる規制位置に下降移動させることで、揺動部２７が下側連結部２３に対して揺動することが規制され、また、切換用電動シリンダ３０にて接触部材を揺動部２７から離間させた規制解除位置に上昇移動させることで、揺動部２７の揺動規制が解除されて揺動部２７が下側連結部２３に対して自由に揺動する状態に切り換えられる構成となっている。
そして、揺動部２７の揺動規制が解除された状態では、図５に示すように、揺動用電動モータ１９の作動によりリンク機構２１が第１軸心Ｌ１周りに揺動されても、揺動部２７が第５軸心Ｌ５周りに揺動することで基板Ｗの姿勢が変わらず、基板Ｗの表面が鉛直方向に沿う姿勢で維持されるようになっている。
【００３７】
図６に示すように、天井搬送車１には、走行用電動モータ１６、揺動用電動モータ１９、前側用電動モータ２２Ｆ、後側用電動モータ２２Ｒ、回転用電動モータ２９及び切換用電動シリンダ３０の作動を制御する制御装置Ｈ１が設けられている。制御装置Ｈ１は、地上側に設置される上位コントローラＨ２からの制御指令に基づいて、基板Ｗを搬送対象箇所Ｅに受け渡す受渡処理と、基板Ｗを搬送対象箇所Ｅから受け取る受取処理とを実行するべく、天井搬送車１に設けられている電動モータの作動を制御するように構成されている。
ちなみに、基板支持台５や基板収納容器６の設置誤差により、搬送対象箇所Ｅが走行経路３に対して真下の位置から横幅方向にずれている場合があり、このように位置がずれている搬送対象箇所Ｅについては位置ずれ箇所と記憶し、その位置ずれ箇所として記憶された搬送対象箇所Ｅに対して、走行経路３に対する搬送対象箇所Ｅの横幅方向でのずれ量及び搬送対象箇所Ｅと天井搬送車１との高低差から求めた補正揺動量が予め記憶されている。
【００３８】
受渡処理について図７に示すフローチャートに基づいて説明する。
まず、基板Ｗを支持する天井搬送車１を搬送対象箇所Ｅに対応する停止位置に停止させる走行制御を実行する。そして、搬送対象箇所Ｅが基板収納容器６の収納部６ａである場合は、回転用電動モータ２９を作動させて支持体２８を揺動部２７に対して第６軸心Ｌ６周りに９０°回転させる回転制御を実行する。また、搬送対象箇所Ｅが位置ずれ箇所である場合は、切換用電動シリンダ３０を作動させて規制解除状態に切り換え、揺動用電動モータ１９を作動させて上側連結部１８を走行本体部１５に対して補正揺動量だけ第１軸心Ｌ１周りに揺動させた後、切換用電動シリンダ３０を作動させて規制状態に切り換えるチルト制御を実行する。その後、前側用電動モータ２２Ｆ及び後側用電動モータ２２Ｒを作動させて、一対のリンク機構２１を伸長させる伸長制御を実行する。
尚、受取処理は、受渡処理の逆の手順で行うものであり、説明は省略する。
【００３９】
〔別実施形態〕
（１）上記実施形態では、リンク機構２１を、上側リンク体２４と下側リンク体２５とでく字状に構成し、このようなく字状のリンク機構２１を、各別に伸縮自在な状態で一対設けたが、リンク機構２１を、上側リンク体２４同士及び下側リンク体２５同士を長手方向の中間部で揺動自在に連結したＸ字状のＸリンク機構に構成してもよい。ちなみに、リンク機構２１をＸリンク機構にて構成した場合、リンク機構２１を、単一のＸリンク機構にて構成してもよく、また、Ｘリンク機構を上下方向に複数並べて構成してもよい。
【００４０】
（２）上記実施形態では、伸縮用駆動部２２を、一方のリンク機構２１における上側リンク体２４を揺動駆動させる一方側伸縮駆動部と、他方のリンク機構２１における上側リンク体２４を揺動駆動させる他方側伸縮駆動部とを備えて構成したが、伸縮用駆動部２２を、一方のリンク機構２１における上側リンク体２４と他方のリンク機構２１における上側リンク体２４とを揺動駆動させる両側伸縮駆動部にて構成してもよい。ちなみに、この場合、一対の上側リンク体２４を逆方向に揺動させるように、両側伸縮駆動部と一対の上側リンク体２４とをギヤ等の連動機構を介して連動連結する。
【００４１】
（３）上記実施形態では、上側連結部１８を、本体部に対して走行体１１の走行方向に沿う水平軸心周りに揺動自在に支持したが、上側連結部１８を、本体部に対して走行体１１の走行方向と直交する横幅方向に沿う水平軸心周りに揺動自在に支持してもよい。
【００４２】
（４）上記実施形態では、基板保持部ｅを、一対の挾持用部材８の下端部を支点として上端部同士が互いに遠近移動させることで挿入状態と挟持状態とに切り換えられるように構成したが、基板保持部ｅを、一対の挾持用部材８の全体を互いに遠近移動させることで挿入状態と挟持状態とに切り換えられるように構成してもよい。
また、上記実施形態では、基板保持部ｅを、挿入された基板Ｗの自重により挿入状態から挟持状態に切り換えられるように構成したが、基板保持部ｅを、一対の挾持用部材８を駆動操作する駆動手段を設け、その駆動手段の駆動により基板保持部ｅを挿入状態から挟持状態に切り換えられるように構成してもよい。
【００４３】
（５）上記実施形態では、基板としてフォトマスクを搬送したが、基板として液晶ガラス基板や有機ＥＬパネル等の他の基板を搬送してもよい。また、物品としては、基板以外に、カートンケースやコンテナ、複数枚の基板を収納した基板収納容器等でもよい。
【符号の説明】
【００４４】
１    天井搬送車
２    走行レール
３    走行経路
８    挾持用部材
１１    走行体
１２    支持体
１３    昇降操作機構
１５    本体部
１８    上側連結部
２１    リンク機構
２２    伸縮用駆動部
２２Ｆ  一方側伸縮用駆動部
２２Ｒ  他方側伸縮用駆動部
２３    下側連結部
２４    上側リンク体
２５    下側リンク体
Ｅ    搬送対象箇所
ｅ    基板受渡部
Ｌ１  水平軸心
Ｗ    基板（物品）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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