(57)【要約】【課題】  装置稼働時に発生する騒音を低減可能な加工装置を提供することである。【解決手段】  加工装置であって、加工装置から発生する騒音を受音する受音手段と、該受音手段に接続され、該騒音の大きさと同一レベルで逆位相の音波信号を生成する逆位相音波信号生成手段と、該逆位相音波信号生成手段に接続され、該騒音の大きさと同一レベルで逆位相の音を発生させる発音手段と、を備えたことを特徴とする。【選択図】図１
2014229701.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
加工装置であって、
加工装置から発生する騒音を受音する受音手段と、
該受音手段に接続され、該騒音の大きさと同一レベルで逆位相の音波信号を生成する逆位相音波信号生成手段と、
該逆位相音波信号生成手段に接続され、該騒音の大きさと同一レベルで逆位相の音を発生させる発音手段と、
を備えたことを特徴とする加工装置。
【請求項２】
被加工物を保持する保持手段と、該保持手段に保持された被加工物に加工を施す加工手段と、少なくとも該保持手段と該加工手段とを収容するハウジングと、を更に備え、
前記発音手段は、該ハウジング上に配設されている請求項１記載の加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、切削装置、研削装置等の加工装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、半導体ウエーハ等をダイシングする切削装置においては、切削水を加工点に向けて噴出しながら高速回転する切削ブレードを被加工物に切り込ませて切削を行うため、被加工物のダイシング作業に伴って騒音が発生する。この騒音を低減するため、実開平５−６６９９１号公報では、ブレード高速回転時の騒音を防止するためのブレードカバーを開示している。
【０００３】
また、一般的な切削装置では、スピンドルはラジアルエアベアリングとスラストエアベアリングで支持されて高速で回転されるが、切削屑等のコンタミが多く発生するダイシング作業において、コンタミがスピンドルハウジングとスピンドルとの間に侵入しないように、エアシールを形成している。
【０００４】
しかし、エアシールからのエアの吹き出し量を多くしたときに耳障りで煩い吹き出し音が発生する。特開平１１−２４５１０２号公報には、この吹き出し音を抑制するようにしたダイシング装置が開示されている。
【０００５】
一方、研削装置においては、チャックテーブルに保持されたウエーハ等の被加工物に研削砥石が摺動することにより研削が実施されるが、研削加工時に発生するこの摺動音は騒音となるため、この低減が要望されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】実開平５−６６９９１号公報公報
【特許文献２】特開平１１−２４５１０２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上述したように、切削装置、研削装置等の加工装置においては、装置の稼働に伴い様々な騒音が発生するが、完全に加工装置の騒音を防止することは難しく、更に騒音を低減することが要望されている。
【０００８】
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、装置稼働時に発生する騒音を低減可能な加工装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明によると、加工装置であって、加工装置から発生する騒音を受音する受音手段と、該受音手段に接続され、該騒音の大きさと同一レベルで逆位相の音波信号を生成する逆位相音波信号生成手段と、該逆位相音波信号生成手段に接続され、該騒音の大きさと同一レベルで逆位相の音を発生させる発音手段と、を備えたことを特徴とする加工装置が提供される。
【００１０】
好ましくは、加工装置は、被加工物を保持する保持手段と、保持手段に保持された被加工物に加工を施す加工手段と、少なくとも保持手段と加工手段とを収容するハウジングと、を更に備え、発音手段は、ハウジング上に配設されている。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の加工装置によると、マイクロフォン等の受音手段で加工装置が発生する騒音を利用し、逆位相音波生成手段で騒音のレベルと同一レベルの逆位相音波を生成し、スピーカー等の発音手段で騒音の大きさと同一レベルで且つ逆位相の音を発生させるようにしたので、騒音と逆位相の音波とが打消し合い、加工装置が発生する騒音を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明第１実施形態に係る切削装置の斜視図である。
【図２】騒音をキャンセルする説明図である。
【図３】本発明第２実施形態の切削装置の斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図１を参照すると、加工装置の一種である本発明第１実施形態の切削装置２の斜視図が示されている。切削装置２の機構部は、複数のパネルを組み合わせて形成されたハウジング４内に収容されている。
【００１４】
６はチャックテーブルであり、回転可能且つＸ軸方向に移動可能に構成されている。チャックテーブル６には、よく知られているようにダイシングテープを介してウエーハを支持する環状フレームをクランプする複数のクランプ８が配設されている。
【００１５】
切削装置２は、Ｙ軸方向に整列して配列された第１切削ユニット１０及び第２切削ユニット１２を有している。第１切削ユニット１０及び第２切削ユニット１２ともＹ軸方向に伸長するガイドレール１４に案内されてＹ軸方向に移動可能であるとともに、Ｚ軸方向（高さ方向）にも移動可能に配設されている。
【００１６】
１６は内部に複数枚のウエーハを収容したカセットを載置するカセット載置台であり、カセットエレベータにより上下方向（Ｚ軸方向）に移動可能に構成されている。１８は切削装置２の稼働状況を表示する表示ランプであり、切削装置２が正常作動時には例えば緑色で点灯し、何らかの故障が生じた場合には赤色が点滅する。
【００１７】
２０はタッチパネル式の表示モニタであり、オペレータが装置の操作指令を入力できるとともに、装置の稼働状況が表示モニタ２０上に表示される。２２，２４は非常停止ボタンであり、作業者がこの非常停止ボタン２２，２４を押すと切削装置２の作動を直ちに停止することができる。
【００１８】
第１切削ユニット１２及び第２切削ユニット１４に隣接して、受音手段としてのマイクロフォン２６が配設されている。更に、マイクロフォン２６に隣接して発音手段としてのスピーカー２８が配設されている。マイクロフォン２６及びスピーカー２８は、コントローラ３０に内蔵された逆位相音波信号生成手段３２に接続されている。
【００１９】
第１切削ユニット１２又は第２切削ユニット１４に配設された切削ブレードでチャックテーブル６に保持されたウエーハ等の被加工物を切削すると、スピンドルハウジングに形成されたエアシールから耳障りで煩い吹き出し音が発生するとともに、切削ブレードによる被加工物の切削加工に伴って騒音が発生する。
【００２０】
この騒音はマイクロフォン２６で拾われ、コントローラ３０に内蔵された逆位相音波信号生成手段３２で騒音の大きさと同一レベルで逆位相の音波信号が生成され、スピーカー２８から騒音の大きさと同一レベルの逆位相の音波が発せられる。
【００２１】
即ち、図２に示すように、スピーカー２８から発せされる発生音は、マイクロフォン２６が拾った騒音の大きさと同一レベルで逆位相であるため、騒音と発生音とは打消し合い、その結果合成音のレベルが実質上０（無音）になり、スピーカー２８からの発生音で騒音を効果的にキャンセルすることができる。
【００２２】
図１に示した実施形態では、マイクロフォン２６及びスピーカー２８を騒音発生源の近傍のハウジング４に配設しているが、図３に示すように、切削作業中にオペレータ（作業者）が立つ表示モニタ２０近傍のハウジング４にマイクロフォン２６Ａ及びスピーカー２８Ａを配設するようにしてもよい。
【００２３】
マイクロフォン２６Ａ及びスピーカー２８Ａを表示モニタ２０に隣接した切削装置２の手前側に配設することにより、マイクロフォン２６Ａでは切削装置２の騒音及び工場内の騒音を拾うことができ、スピーカー２８Ａからはこの騒音をキャンセルする逆位相の音が発せられるので、表示モニタ２０に向かって立つ作業者の耳には騒音が抑制されて聞こえることになる。
【００２４】
上述した実施形態では、本発明の騒音キャンセラーを切削装置のハウジング４に取り付けた例について説明したが、本発明は切削装置に限定されるものではなく、研削装置、研磨装置等の他の加工装置にも同様に適用することができる。
【符号の説明】
【００２５】
２    切削装置
４    ハウジング
１０    第１切削ユニット
１２    第２切削ユニット
２０    表示モニタ
２６，２６Ａ    マイクロフォン
２８，２８Ａ    スピーカー
３２    逆位相音波信号生成手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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