(57)【要約】【課題】構成の簡素化を図りながら容器を効率よく基板取出箇所に搬送することができる基板搬送設備を提供する。【解決手段】走行レール２０に沿って走行移動して容器３を容器搬送箇所１に搬送する天井搬送車６と、基板取出箇所２に位置する容器３から基板４を取り出して基板処理装置７に搬送する基板搬送装置８と、を設け、容器３を載置する載置部１１を水平方向に沿って移動させて容器３を容器搬送箇所１と基板取出箇所２との間で搬送する中継搬送装置５を設け、基板搬送装置８を、載置部１１に載置された状態で基板取出箇所２に位置する容器３から基板４を取り出して当該基板４を基板処理装置７に搬送自在に構成する。【選択図】図３
2014096415.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
天井に配設された走行レールに案内支持された状態で前記走行レールに沿って走行移動して複数枚の基板を収納した容器を容器搬送箇所に搬送する天井搬送車が設けられている基板搬送設備であって、
前記容器を前記容器搬送箇所と基板取出箇所との間で搬送自在な中継搬送装置と、
前記基板取出箇所に位置する前記容器から前記基板を取り出して、前記基板に対して処理を行う基板処理装置に取り出した前記基板を搬送する基板搬送装置と、が設けられ、
前記中継搬送装置が、前記容器を載置する単一の載置部を備えて、前記載置部を水平方向に沿って移動させて前記容器を前記容器搬送箇所と前記基板取出箇所との間で搬送自在に構成され、
前記基板搬送装置が、前記載置部に載置された状態で前記基板取出箇所に位置する前記容器から前記基板を取り出して当該基板を前記基板処理装置に搬送自在に構成されている基板搬送設備。
【請求項２】
前記基板が、矩形状に形成された板状体である請求項１記載の基板搬送設備。
【請求項３】
前記中継搬送装置が、前記載置部を鉛直方向に沿う軸心周りに旋回移動させて前記容器を前記容器搬送箇所と前記基板取出箇所との間で搬送する請求項１又は２記載の基板搬送設備。
【請求項４】
前記基板取出箇所が、複数設定され、
前記中継搬送装置が、複数の前記基板取出箇所に各別に前記容器を搬送する状態で複数設けられ、
前記基板搬送装置が、前記容器が複数の前記基板取出箇所のいずれに位置する状態でも当該容器から前記基板を取出自在に構成されている請求項１〜３のいずれか１項に記載の基板搬送設備。
【請求項５】
前記天井搬送車が、前記容器を吊り下げ支持する支持体を昇降自在に備えて、前記支持体を上昇位置に上昇移動させた走行用状態で走行移動自在に構成され、且つ、前記支持体を前記上昇位置から下降移動させて前記載置部上に前記容器を卸す形態で前記容器を前記容器搬送箇所に搬送するように構成され、
前記容器搬送箇所は、前記載置部上に載置された状態で前記容器搬送箇所に位置する前記容器の上端が、前記走行用状態の前記天井搬送車の前記支持体の下端より下方で且つ前記走行用状態の前記天井搬送車に支持された前記容器の下端より上方に位置する箇所に設定されている請求項１〜４のいずれか１項に記載の基板搬送設備。
【請求項６】
前記容器搬送箇所として、低位置容器搬送箇所と、当該低位置容器搬送箇所より高い位置に設定された高位置容器搬送箇所と、が設定され、
前記基板取出箇所として、低位置基板取出箇所と、当該低位置基板取出箇所より高い位置に設定された高位置基板取出箇所と、が設定され、
前記中継搬送装置として、前記容器を前記低位置容器搬送箇所と前記低位置基板取出箇所との間で搬送する低位置搬送装置と、前記容器を前記高位置容器搬送箇所と前記高位置基板取出箇所との間で搬送する高位置搬送装置と、が設けられ、
前記高位置搬送装置に備えられた高位置用の前記載置部が、前記低位置搬送装置に備えられた低位置用の前記載置部における前記容器を載置する載置面の高さより高く且つ前記低位置用の載置部に載置された前記容器の上端より低い高さに設けられ、
前記低位置用の載置部は、当該低位置用の載置部の移動軌跡が前記高位置用の載置部に載置された前記容器の移動軌跡と上下方向視で重複する部分と重複しない部分とを有する状態で設けられ、
前記高位置用の載置部は、当該高位置用の載置部の移動軌跡が前記低位置用の載置部に載置された前記容器の移動軌跡と上下方向視で重複する部分と重複しない部分とを有する状態で設けられている請求項１〜５のいずれか１項に記載の基板搬送設備。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、天井に配設された走行レールに案内支持された状態で前記走行レールに沿って走行移動して複数枚の基板を収納した容器を容器搬送箇所に搬送する天井搬送車が設けられている基板搬送設備に関する。
【背景技術】
【０００２】
かかる基板搬送設備の従来例として、基板を収納した容器を天井搬送車にて容器搬送箇所に搬送するように構成されているものがある（例えば、特許文献１参照。）。
この特許文献１に記載の基板搬送設備では、容器を載置する第１載置部を水平方向に沿って移動させて容器を容器搬送箇所と中継箇所との間で搬送する第１搬送装置と、容器を載置する第２載置部を水平方向及び上下方向に移動させて容器を中継箇所と物品収納棚の収納部との間で搬送する第２搬送装置と、を設けて、これら第１搬送装置と第２搬送装置とで、容器搬送箇所の容器を物品収納棚の収納部に搬送するように構成されている。
そして、物品収納棚の近傍に基板取出箇所を設定し、当該基板取出箇所に容器を載置支持する載置台を設けるとともに、載置台に載置された容器から基板を取り出して当該基板を基板処理装置に搬送する基板搬送装置を設けて、第２搬送装置を利用して容器を物品収納棚の収納部と基板取出箇所の載置台との間で搬送し、基板搬送装置にて載置台上の容器から基板を取り出して当該基板を基板処理装置に搬送して、基板を基板処理装置に搬送するものがある（例えば、特許文献２参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−１３７９６１号公報
【特許文献２】特開２００８−０６８９６３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記した特許文献１に記載の基板搬送設備及び特許文献２に記載の基板搬送設備とから、基板搬送設備を次のように構成することが考えられる。つまり、基板を収納した容器を天井搬送車にて容器搬送箇所に搬送し、この容器搬送箇所に位置する容器を第１搬送装置にて中継箇所に搬送し、第２搬送装置にて、中継箇所に位置する容器を物品収納棚の収納部に搬送するとともに、必要に応じて物品収納棚の収納部に収納されている容器を基板取出箇所の載置台上に搬送する。そして、基板搬送装置にて、載置台に載置された状態で基板取出箇所に位置する容器から基板を取り出して当該基板４を基板処理装置に搬送する。
【０００５】
しかしながら、上記したように構成した基板搬送設備では、容器を容器搬送箇所と基板取出箇所との間で搬送するのに、第１載置部を水平方向に移動させる第１搬送装置と第２載置部を水平方向及び上下方向に移動させる第２搬送装置とを設けている点や、容器を一時的に収納する物品収納棚を設けている点や、基板取出箇所に載置台を設けている点により、基板搬送設備の構成が複雑なものとなっていた。また、第１搬送装置から第２搬送装置に容器を受け渡す点や、第２搬送装置から載置台に容器を受け渡す点により、基板を基板処理装置に効率よく搬送し難いものであった。
【０００６】
本発明は、上記実状に鑑みて為されたものであって、その目的は、構成の簡素化を図りながら基板を効率よく基板処理装置に搬送することができる基板搬送設備を提供する点にある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明にかかる基板搬送設備は、天井に配設された走行レールに案内支持された状態で前記走行レールに沿って走行移動して複数枚の基板を収納した容器を容器搬送箇所に搬送する天井搬送車と、前記容器を前記容器搬送箇所と基板取出箇所との間で搬送自在な中継搬送装置と、前記基板取出箇所に位置する前記容器から前記基板を取り出して、前記基板に対して処理を行う基板処理装置に取り出した前記基板を搬送する基板搬送装置と、が設けられているものであって、その第１特徴構成は、
前記中継搬送装置が、前記容器を載置する単一の載置部を備えて、前記載置部を水平方向に沿って移動させて前記容器を前記容器搬送箇所と前記基板取出箇所との間で搬送自在に構成され、前記基板搬送装置が、前記載置部に載置された状態で前記基板取出箇所に位置する前記容器から前記基板を取り出して当該基板を前記基板処理装置に搬送自在に構成されている点にある。
【０００８】
すなわち、中継搬送装置は、容器を載置する単一の載置部を水平方向に沿って移動させることで、当該載置部上の容器を他の載置部に移載させることなく、載置部に載置した容器を容器搬送箇所と基板取出箇所との間で搬送することができる。基板搬送装置は、載置部に載置された状態で基板取出箇所に位置する容器から基板を取り出して当該基板を前記基板処理装置に搬送することができる。
そのため、容器搬送箇所と基板取出箇所との間で容器を搬送する搬送装置として、載置部を水平方向に沿って移動させる中継搬送装置を設けるだけでよく、また、一時的に容器を収納する物品収納棚が必要なく、また、基板取出箇所において容器を載置支持するための載置台を別途設ける必要がないため、基板搬送設備の構成の簡素化を図ることができる。さらに、基板搬送装置が、基板取出箇所において中継搬送装置の載置部に載置された容器から直接に基板を取り出し、当該基板を基板処理装置に搬送することで、中継搬送装置の載置部から別の箇所に容器を受け渡す必要がなく、基板を基板処理装置に効率よく搬送し易くなる。
【０００９】
本発明にかかる基板搬送設備の第２特徴構成は、第１特徴構成において、前記基板が、矩形状に形成された板状体である点にある。
【００１０】
すなわち、基板が、ガラス基板等の矩形状に形成された板状体であり、その矩形状に形成された板状体を効率よく容器から取り出して基板処理装置に搬送することができる。
【００１１】
本発明にかかる基板搬送設備の第３特徴構成は、第１又は第２特徴構成において、前記中継搬送装置が、前記載置部を鉛直方向に沿う軸心周りに旋回移動させて前記容器を前記容器搬送箇所と前記基板取出箇所との間で搬送する点にある。
【００１２】
すなわち、載置部に容器を載置させた状態で、載置部を旋回移動させることで容器を容器搬送箇所と基板取出箇所との間で搬送することができる。
そして、載置部の旋回移動は、例えば、鉛直方向に沿う回転軸心周りに回転自在な連結部に載置部を連結してその連結部を電動モータにて回転させる等の簡単な構成で実現できるため、中継搬送装置の構成の簡素化を図ることができる。
【００１３】
本発明にかかる基板搬送設備の第４特徴構成は、第１〜第３特徴構成のいずれか１つにおいて、前記基板取出箇所が、複数設定され、前記中継搬送装置が、複数の前記基板取出箇所に各別に前記容器を搬送する状態で複数設けられ、前記基板搬送装置が、前記容器が複数の前記基板取出箇所のいずれに位置する状態でも当該容器から前記基板を取出自在に構成されている点にある。
【００１４】
すなわち、中継搬送装置を複数設けて、複数箇所の基板取出箇所に各別に容器を搬送することができるので、１つの基板取出箇所に容器が存在している場合でも、他の基板取出箇所に容器を搬送することができる。そして、複数の基板取出箇所のうち、基板搬送装置にて基板を取り出している容器が存在している基板取出箇所以外の基板取出箇所を、容器を一時的に保管するバッファとして利用することができる。
【００１５】
本発明にかかる基板搬送設備の第５特徴構成は、第１〜第４特徴構成のいずれか１つにおいて、前記天井搬送車が、前記容器を吊り下げ支持する支持体を昇降自在に備えて、前記支持体を上昇位置に上昇移動させた走行用状態で走行移動自在に構成され、且つ、前記支持体を前記上昇位置から下降移動させて前記載置部上に前記容器を卸す形態で前記容器を前記容器搬送箇所に搬送するように構成され、前記容器搬送箇所は、前記載置部上に載置された状態で前記容器搬送箇所に位置する前記容器の上端が、前記走行用状態の前記天井搬送車の前記支持体の下端より下方で且つ前記走行用状態の前記天井搬送車に支持された前記容器の下端より上方に位置する箇所に設定されている点にある。
【００１６】
すなわち、容器搬送箇所は、載置部上に載置された状態で容器搬送箇所に位置する容器の上端が、走行用状態の天井搬送車の支持体の下端より下方で且つ走行用状態の天井搬送車に支持された容器の下端より上方に位置するように設定されているため、容器搬送箇所に位置する容器を載置支持する載置部の位置を、容器搬送箇所の直上に位置する天井搬送車に近づけて、天井搬送車が容器搬送箇所に搬送するときの支持体の下降量を少なくでき、容器を容器搬送箇所に迅速に搬送することができる。
また、容器搬送箇所は、載置部上に載置された状態で容器搬送箇所に位置する容器の上端が、走行用状態の天井搬送車の支持体の下端より下方に位置する箇所であるため、容器搬送箇所に容器が存在していたとしても、容器を支持しない走行用状態の天井搬送車を容器搬送箇所の直上に走行させることができる。
【００１７】
本発明にかかる基板搬送設備の第６特徴構成は、第１〜第５特徴構成のいずれか１つにおいて、前記容器搬送箇所として、低位置容器搬送箇所と、当該低位置容器搬送箇所より高い位置に設定された高位置容器搬送箇所と、が設定され、前記基板取出箇所として、低位置基板取出箇所と、当該低位置基板取出箇所より高い位置に設定された高位置基板取出箇所と、が設定され、前記中継搬送装置として、前記容器を前記低位置容器搬送箇所と前記低位置基板取出箇所との間で搬送する低位置搬送装置と、前記容器を前記高位置容器搬送箇所と前記高位置基板取出箇所との間で搬送する高位置搬送装置と、が設けられ、前記高位置搬送装置に備えられた高位置用の前記載置部が、前記低位置搬送装置に備えられた低位置用の前記載置部における前記容器を載置する載置面の高さより高く且つ前記低位置用の載置部に載置された前記容器の上端より低い高さに設けられ、前記低位置用の載置部は、当該低位置用の載置部の移動軌跡が前記高位置用の載置部に載置された前記容器の移動軌跡と上下方向視で重複する部分と重複しない部分とを有する状態で設けられ、前記高位置用の載置部は、当該高位置用の載置部の移動軌跡が前記低位置用の載置部に載置された前記容器の移動軌跡と上下方向視で重複する部分と重複しない部分とを有する状態で設けられている点にある。
【００１８】
すなわち、低位置用の載置部の移動軌跡が、高位置用の載置部に載置された容器の移動軌跡と上下方向視で重複する部分を有し、また、高位置用の載置部の移動軌跡が、低位置用の載置部に載置された容器の移動軌跡と上下方向視で重複する部分を有する状態で、低位置用の載置部及び高位置用の載置部が設けられているため、低位置搬送装置と高位置搬送装置とを水平方向での設置スペースの省スペース化を図ることができる。
また、高位置用の載置部が、低位置用の載置部における容器を載置する載置面の高さより高く且つ低位置用の載置部に載置された容器の上端より低い高さに設けられているため、低位置搬送装置と高位置搬送装置とを上下方向での設置スペースの省スペース化を図ることができる。
【００１９】
しかも、高位置用の載置部及びその高位置用の載置部に載置された容器が低位置用の載置部の移動軌跡と上下方向視で重複しない状態では、低位置用の載置部を移動させて容器を搬送するときに、高位置用の載置部やその高位置用の載置部に載置された容器が邪魔にならない。そのため、上述のように高位置用の載置部及びその高位置用の載置部に載置された容器が低位置用の載置部の移動軌跡と上下方向視で重複しない箇所に位置させた状態で、低位置用の載置部を低位置容器搬送箇所に対応する位置と低位置基板取出箇所に対応する位置とに移動させることで、容器を低位置容器搬送箇所と低位置基板取出箇所との間で搬送することができる。
また、低位置用の載置部に載置された容器が高位置用の載置部の移動軌跡と上下方向に重複しない状態では、高位置用の載置部を高位置容器搬送箇所に対応する位置と高位置基板搬送箇所に対応する位置とに移動させることで、容器を高位置容器搬送箇所と高位置基板搬送箇所との間で搬送することができる。
【００２０】
このように、低位置搬送装置と高位置搬送装置とを水平方向及び上下方向での設置スペースの省スペース化を図りながら、高位置搬送装置における高位置用の載置部に載置された容器に干渉することなく、低位置搬送装置にて容器を低位置容器搬送箇所や低位置基板取出箇所に搬送することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】基板搬送設備の斜視図
【図２】基板搬送設備の平面図
【図３】基板搬送設備の側面図
【図４】低位置搬送装置と高位置搬送装置とを示す斜視図
【図５】低位置搬送装置と高位置搬送装置とを示す平面図
【図６】低位置用の載置部に載置された容器の移動軌跡と高位置用の載置部及びその載置部に載置された容器の移動軌跡とを示す平面図
【図７】高位置用の載置部に載置された容器の移動軌跡と低位置用の載置部及びその載置部に載置された容器の移動軌跡とを示す平面図
【図８】載置部の支持構造を示す図
【図９】制御ブロック図
【図１０】フローチャート
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
図１〜図３に示すように、基板搬送設備には、第１搬送箇所１（図２及び図３参照）と第２搬送箇所２（図２及び図３参照）との間で複数枚の基板４を収納自在な容器３を搬送する搬送装置５と、第１搬送箇所１との間で容器３を搬送する天井搬送車６と、基板４に対して処理を行う基板処理装置７と、第２搬送箇所２に位置する容器３と基板処理装置７との間で基板４を搬送する基板搬送装置８と、が設けられている。
【００２３】
そして、基板搬送設備は、天井搬送車６にて容器３を第１搬送箇所１に搬送し、搬送装置５にて容器３を第１搬送箇所１から第２搬送箇所２に搬送し、基板搬送装置８にて、第２搬送箇所２に位置する容器３から基板４を取り出して当該基板４を基板処理装置７へ搬送するように構成されている。
また、基板搬送設備は、基板搬送装置８にて、基板処理装置７による処理が完了した基板４を基板処理装置７から第２搬送箇所２に位置する容器３へ搬送して当該基板４を容器３に収納し、搬送装置５にて容器３を第２搬送箇所２から第１搬送箇所１に搬送し、天井搬送車６にて容器３を第１搬送箇所１から搬送するように構成されている。
【００２４】
基板搬送設備は、クリーンルーム内に設置されており、基板４として、液晶パネル等に用いられる矩形状に形成されたガラス基板が容器３に収納されている。容器３は、横側面には基板４を出し入れするための開口が形成され、天井搬送車６の支持体２１に支持されるフランジ部が上面に設けられている。また、図示は省略するが、基板４は、水平姿勢で且つ上下方向に隣接する基板４同士の間に隙間が形成された状態で容器３に収納されている。
尚、基板処理装置７では、基板４に対して塗布、露光及び現像等の所定の処理が行われている。
【００２５】
図３に示すように、天井搬送車６が設けられて当該天井搬送車にて容器３が搬送される容器搬送領域Ｅ１と、基板処理装置７や基板搬送装置８が設けられて当該基板搬送装置にて基板４が搬送される基板搬送領域Ｅ２とが、仕切壁９にて仕切られている。そして、搬送装置５は、容器搬送領域Ｅ１に突出自在な状態で基板搬送領域Ｅ２に設けられており、容器搬送領域Ｅ１と基板搬送領域Ｅ２との間で容器３を搬送するように構成されている。
尚、第１搬送箇所１は容器搬送領域Ｅ１に設定され、第２搬送箇所２は、基板搬送領域Ｅ２に設定されている。
【００２６】
図４及び図５に示すように、第１搬送箇所１として、低位置第１搬送箇所１Ｌと、当該低位置第１搬送箇所より高い位置に設定された高位置第１搬送箇所１Ｈと、が設定され、第２搬送箇所２として、低位置第２搬送箇所２Ｌと、当該低位置第２搬送箇所２Ｌより高い位置に設定された高位置第２搬送箇所２Ｈと、が設定されている。
そして、搬送装置５は、容器３を載置する単一の載置部１１を水平方向に沿って移動させることで、容器３を第１搬送箇所１と第２搬送箇所２との間で搬送するように構成されている。単一の載置部１１は、上下方向視でコ字状に形成された板状部材にて構成されている。
【００２７】
搬送装置５として、容器３を載置する低位置用の載置部１１Ｌを水平方向に沿って移動させて容器３を低位置第１搬送箇所１Ｌと低位置第２搬送箇所２Ｌとの間で搬送する低位置搬送装置５Ｌと、容器３を載置する高位置用の載置部１１Ｈを水平方向に沿って移動させて容器３を高位置第１搬送箇所１Ｈと高位置第２搬送箇所２Ｈとの間で搬送する高位置搬送装置５Ｈと、が設けられている。
【００２８】
尚、第１搬送箇所１が、容器搬送箇所に相当し、第２搬送箇所２が、基板取出箇所に相当する。低位置第１搬送箇所１Ｌが、低位置容器搬送箇所に相当し、高位置第１搬送箇所１Ｈが、高位置容器搬送箇所に相当する。低位置第２搬送箇所２Ｌが、低位置基板取出箇所に相当し、高位置第２搬送箇所２Ｈが、高位置基板取出箇所に相当する。このように、第２搬送箇所２は、複数設定されている。
また、搬送装置５が、容器３を載置する載置部１１を水平方向に沿って移動させて容器３を容器搬送箇所と基板取出箇所との間で中継搬送装置に相当する。搬送装置５は、複数の第２搬送箇所２に各別に容器３を搬送する状態で複数設けられている。
【００２９】
図１及び図３に示すように、低位置搬送装置５Ｌと高位置搬送装置５Ｈとの一対の搬送装置５の組は、上下方向に並ぶ状態で２組設けられている。これら、上側の低位置搬送装置５Ｌ及び高位置搬送装置５Ｈと、下側の低位置搬送装置５Ｌ及び高位置搬送装置５Ｈとは、高さが異なる以外は同様に構成されている。また、上側の低位置搬送装置５Ｌ及び高位置搬送装置５Ｈと下側の低位置搬送装置５Ｌ及び高位置搬送装置５Ｈとは、同じ支持フレーム１２に上下方向で異なる高さに支持されている。
【００３０】
低位置搬送装置５Ｌは、低位置用の載置部１１Ｌを鉛直方向に沿う軸心Ｐ周りに旋回移動自在に設けられている。
説明を加えると、図８に示すように、低位置電動モータ１３Ｌの出力軸に低位置連結部１４Ｌが軸心Ｐ周りに回転自在に連結されており、その低位置連結部１４Ｌに低位置用の載置部１１Ｌが片持ち状に連結されている。そして、低位置電動モータ１３Ｌにて低位置連結部１４Ｌが軸心Ｐ周りに回転駆動することで、低位置用の載置部１１Ｌを軸心Ｐ周りに旋回移動させて容器３を低位置第１搬送箇所１Ｌと低位置第２搬送箇所２Ｌとの間で搬送するように構成されている。
また同様に、高位置搬送装置５Ｈも、高位置用の載置部１１Ｈを鉛直方向に沿う軸心Ｐ周りに旋回移動自在に設けられており、高位置電動モータ１３Ｈにて高位置連結部１４Ｈが軸心Ｐ周りに回転駆動することで、高位置用の載置部１１Ｈを軸心Ｐ周りに旋回移動させて容器３を高位置第１搬送箇所１Ｈと高位置第２搬送箇所２Ｈとの間で搬送するように構成されている。
このように、低位置用の載置部１１Ｌと高位置用の載置部１１Ｈとは同一軸心周りに旋回移動自在に設けられている。
【００３１】
低位置電動モータ１３Ｌ及び高位置電動モータ１３Ｈは、低位置電動モータ１３Ｌが高位置電動モータ１３Ｈより上方に位置する状態で支持フレーム１２に支持されている。
低位置電動モータ１３Ｌは、出力軸が上方に向けて突出する姿勢で設けられており、その低位置電動モータ１３Ｌの出力軸に、低位置連結部１４Ｌの上側連結部分１４ａから上方に突出した上突出部分１４ｃが一体回転する状態で連結されている。
また、高位置電動モータ１３Ｈは、出力軸が下方に向けて突出する姿勢で設けられており、その高位置電動モータ１３Ｈの出力軸に、高位置連結部１４Ｈの下側連結部分１４ｂから下方に突出した下突出部分１４ｄが一体回転する状態で連結されている。
【００３２】
そして、低位置連結部１４Ｌの下側連結部分１４ｂは、軸心Ｐ周りに回転自在な状態で高位置連結部１４Ｈの下突出部分１４ｄに連結されており、高位置連結部１４Ｈの上側連結部分１４ａは、軸心Ｐ周りに回転自在な状態で低位置連結部１４Ｌの上突出部分１４ｃに連結されている。
また、低位置連結部１４Ｌの上側連結部分１４ａと高位置連結部１４Ｈの下側連結部分１４ｂとの間には支持フレーム１２に支持された部材１５が介在しており、低位置連結部１４Ｌの上側連結部分１４ａは、軸心Ｐ周りに回転自在な状態で部材１５の上端部に連結され、高位置連結部１４Ｈの下側連結部分１４ｂは、軸心Ｐ周りに回転自在な状態で部材１５の下端部に連結されている。
【００３３】
このように、低位置連結部１４Ｌ及び高位置連結部１４Ｈは、低位置電動モータ１３Ｌと高位置電動モータ１３Ｈとの間に上下方向に挟まれる状態で設けられている。そして、上から、高位置連結部１４Ｈの上側連結部分１４ａ、低位置連結部１４Ｌの上側連結部分１４ａ、高位置連結部１４Ｈの下側連結部分１４ｂ、低位置連結部１４Ｌの下側連結部分１４ｂ、の順に並べて、高位置連結部１４Ｈの上側連結部分１４ａと下側連結部分１４ｂとの間に低位置連結部１４Ｌの上側連結部分１４ａを位置させ、低位置連結部１４Ｌの上側連結部分１４ａと下側連結部分１４ｂとの間に高位置連結部１４Ｈの下側連結部分１４ｂを位置させることで、低位置連結部１４Ｌ及び高位置連結部１４Ｈの夫々を上下方向に広い間隔で支持フレーム１２側に連結することができながら、低位置連結部１４Ｌと高位置連結部１４Ｈとの上下方向での設置スペースの省スペース化が図られている。
そして、低位置連結部１４Ｌに連結された低位置用の載置部１１Ｌ及び高位置連結部１４Ｈに連結された高位置用の載置部１１Ｈは、高位置用の載置部１１Ｈが、低位置用の載置部１１Ｌにおける容器３を載置する載置面（載置部１１Ｈの上面）の高さより高く且つ低位置用の載置部１１Ｌに載置された容器３の上端より低い高さに位置する状態で設けられている。
【００３４】
次に、低位置用の載置部１１Ｌ及び高位置用の載置部１１Ｈの旋回移動及び上下方向視での位置関係について説明する。尚、容器搬送領域Ｅ１と基板搬送領域Ｅ２とが並ぶ方向を設備前後方向（図２及び図５にて矢印Ｘで示す方向）と称し、設備前後方向と直交する方向を設備左右方向（図２及び図５にて矢印Ｙで示す方向）と称して説明する。
【００３５】
図５に示すように、支持フレーム１２は基板搬送領域Ｅ２に設置されており、軸心Ｐは基板搬送領域Ｅ２に位置している。
低位置用の載置部１１Ｌは、軸心Ｐを中心に上下方向視で反時計回りに旋回移動させて容器搬送領域Ｅ１に突出移動させることで、低位置第１搬送箇所１Ｌに対応する位置（図５（ａ）に実線で示す位置）に旋回移動するように構成されている。このとき、低位置用の載置部１１Ｌは、軸心Ｐに対して設備前後方向の容器搬送領域Ｅ１が位置する側に位置している。
また、低位置用の載置部１１Ｌは、軸心Ｐを中心に上下方向視で時計回りに旋回移動させて基板搬送領域Ｅ２に引退移動させることで、低位置第２搬送箇所２Ｌに対応する位置（図５（ａ）に仮想線で示す位置）に旋回移動するように構成されている。このとき、低位置用の載置部１１Ｌは、軸心Ｐに対して設備左右方向の一方側（天井搬送車６の走行方向上手側）に位置している。
【００３６】
そして、高位置用の載置部１１Ｈは、軸心Ｐを中心に上下方向視で時計回りに旋回移動させて容器搬送領域Ｅ１に突出移動させることで、高位置第１搬送箇所１Ｈに対応する位置（図５（ｂ）に実線で示す位置）に旋回移動するように構成されている。このとき、高位置用の載置部１１Ｈは、軸心Ｐに対して設備前後方向の容器搬送領域Ｅ１が位置する側に位置している。
また、高位置用の載置部１１Ｈは、軸心Ｐを中心に上下方向視で反時計回りに旋回移動させて基板搬送領域Ｅ２に引退移動させることで、高位置第２搬送箇所２Ｈに対応する位置（図５（ｂ）に仮想線で示す位置）に旋回移動するように構成されている。このとき、高位置用の載置部１１Ｈは、軸心Ｐに対して設備左右方向の他方側（天井搬送車６の走行方向下手側）に位置している。
【００３７】
尚、搬送箇所（低位置第１搬送箇所１Ｌ等）に対応する位置とは、容器３が搬送箇所に位置するときに当該容器３を載置している載置部１１が存在している位置である。また、低位置用の載置部１１Ｌと高位置用の載置部１１Ｈとの夫々の揺動角度は９０°に設定されている。
ちなみに、図３における上側に位置する低位置搬送装置５Ｌと高位置搬送装置５Ｈとの組は、図５（ｂ）に示す位置関係となっており、図３における下側に位置する低位置搬送装置５Ｌと高位置搬送装置５Ｈとの組は、図５（ａ）に示す位置関係となっている。
【００３８】
図８に示すように、低位置第１搬送箇所１Ｌと高位置第１搬送箇所１Ｈとは、共に軸心Ｐに対して設備前後方向の容器搬送領域Ｅ１が位置する側に設定されており、低位置第１搬送箇所１Ｌと高位置第１搬送箇所１Ｈとが上下方向視で同じ位置に設定されている。そして、低位置第１搬送箇所１Ｌに対応した位置に旋回移動した低位置用の載置部１１Ｌと、高位置第１搬送箇所１Ｈに対応した位置に旋回移動した高位置用の載置部１１Ｈとは、共に軸心Ｐに対して設備前後方向の容器搬送領域Ｅ１が位置する側に移動しており、これら低位置用の載置部１１Ｌと高位置用の載置部１１Ｈとは上下方向視で同じ位置に位置している。
【００３９】
また、低位置第２搬送箇所２Ｌは軸心Ｐに対して設備左右方向の一方側に設定され、高位置第２搬送箇所２Ｈは軸心Ｐに対して設備左右方向の他方側に設定されており、低位置第２搬送箇所２Ｌと高位置第２搬送箇所２Ｈとが上下方向視で異なる位置に設定されている。そして、低位置第１搬送箇所１Ｌに対応した位置に旋回移動した低位置用の載置部１１Ｌは、軸心Ｐに対して設備左右方向の一方側に移動し、高位置第１搬送箇所１Ｈに対応した位置に旋回移動した高位置用の載置部１１Ｈは、軸心Ｐに対して設備左右方向の他方側に移動しており、低位置用の載置部１１Ｌと高位置用の載置部１１Ｈとは上下方向視で異なる位置に位置している。
【００４０】
そして、図５〜図７に示すように、低位置用の載置部１１Ｌは、低位置第１搬送箇所１Ｌに対応する位置に移動させた状態では、高位置用の載置部１１Ｈの移動軌跡及びその高位置用の載置部１１Ｈに載置された容器３の移動軌跡と上下方向視で重複し、低位置第２搬送箇所２Ｌに対応する位置に移動させた状態では、高位置用の載置部１１Ｈの移動軌跡及びその高位置用の載置部１１Ｈに載置された容器３の移動軌跡と上下方向視で重複しないように設けられている。
また、高位置用の載置部１１Ｈは、高位置第１搬送箇所１Ｈに対応する位置に移動させた状態では、低位置用の載置部１１Ｌの移動軌跡及びその低位置用の載置部１１Ｌに載置された容器３の移動軌跡と上下方向視で重複し、高位置第２搬送箇所２Ｈに対応する位置に移動させた状態では、低位置用の載置部１１Ｌの移動軌跡及びその低位置用の載置部１１Ｌに載置された容器３の移動軌跡と上下方向視で重複しないように設けられている。
【００４１】
尚、図６においては、低位置用の載置部１１Ｌに載置された容器３の移動軌跡を、一点鎖線３ＬＴで示し、高位置用の載置部１１Ｈの移動軌跡及びその高位置用の載置部１１Ｈに載置された容器３の移動軌跡を、一点鎖線１１ＨＴで示している。また、図７においては、高位置用の載置部１１Ｈに載置された容器３の移動軌跡を、一点鎖線３ＨＴで示し、低位置用の載置部１１Ｌの移動軌跡及びその低位置用の載置部１１Ｌに載置された容器３の移動軌跡を、一点鎖線１１ＬＴで示している。
【００４２】
このように、低位置用の載置部１１Ｌは、当該低位置用の載置部１１Ｌの移動軌跡及びその低位置用の載置部１１Ｌに載置された容器３の移動軌跡が、高位置用の載置部１１Ｈの移動軌跡及びその高位置用の載置部１１Ｈに載置された容器３の移動軌跡と上下方向視で重複する部分と重複しない部分とが低位置用の載置部１１Ｌの移動方向に沿って並ぶ状態で設けられている。また、高位置用の載置部１１Ｈは、当該高位置用の載置部１１Ｈの移動軌跡及びその高位置用の載置部１１Ｈに載置された容器３の移動軌跡が、低位置用の載置部１１Ｌの移動軌跡及びその低位置用の載置部１１Ｌに載置された容器３の移動軌跡と上下方向視で重複する部分と重複しない部分とが高位置用の載置部１１Ｌの移動方向に沿って並ぶ状態で設けられている。
【００４３】
そして、高位置用の載置部１１Ｈ及び低位置用の載置部１１Ｌの夫々は、他方の載置部１１Ｌ，１１Ｈが重複しない箇所に位置する状態で容器３を第１搬送箇所１と第２搬送箇所２との間で搬送自在に構成されている。
つまり、図５（ａ）に示すように、高位置用の載置部１１Ｈが高位置第２搬送箇所２Ｈに対応する位置に位置する状態では、高位置用の載置部１１Ｈやこの高位置用の載置部１１Ｈに載置された容器３に接触することなく、低位置用の載置部１１Ｌを、低位置第１搬送箇所１Ｌに対応する位置や低位置第２搬送箇所２Ｌに対応する位置に移動させて、容器３を低位置第１搬送箇所１Ｌや低位置第２搬送箇所２Ｌに搬送できるようになっている。
また、図５（ｂ）に示すように、低位置用の載置部１１Ｌが低位置第２搬送箇所２Ｌに対応する位置に位置する状態では、低位置用の載置部１１Ｌやこの低位置用の載置部１１Ｌに載置された容器３に接触することなく、高位置用の載置部１１Ｈを、高位置第１搬送箇所１Ｈに対応する位置や高位置第２搬送箇所２Ｈに対応する位置に移動させて、容器３を高位置第１搬送箇所１Ｈや高位置第２搬送箇所２Ｈに搬送できるようになっている。
【００４４】
基板搬送装置８は、設備前後方向で搬送装置５と基板処理装置７との間に設置された昇降移動自在な昇降台１７と、その昇降台１７上を設備左右方向に移動自在な移動ロボット１８と、を備えて構成されている。移動ロボット１８には、昇降移動自在、鉛直軸心周りに回転移動自在、及び、水平方向に出退移動自在にフォーク状の支持部１８ａが備えられている。
この基板搬送装置８は、昇降台１７の昇降移動及び移動ロボット１８の設備左右方向に沿う移動、並びに、支持部１８ａの昇降、回転及び出退によって、低位置用の載置部１１Ｌに載置された状態で低位置第２搬送箇所２Ｌに位置する容器３から一枚ずつ基板４を取り出して当該基板４を基板処理装置７に搬送し、高位置用の載置部１１Ｈに載置された状態で高位置第２搬送箇所２Ｈに位置する容器３から基板４を一枚ずつ取り出して当該基板４を基板処理装置７に搬送し、且つ、基板処理装置７にて処理を終えた基板４を高位置用もしくは低位置用の載置部１１に載置されて第２搬送箇所２の容器３に一枚ずつ搬送して当該基板４を容器３に収納するように構成されている。
【００４５】
基板搬送装置８は、容器３が４箇所の第２搬送箇所２（２箇所の低位置第２搬送箇所２Ｌ及び２箇所の高位置第２搬送箇所２Ｈ）のいずれに位置する状態でも、容器３から基板４を出し入れ自在に構成されている。そして、４箇所の第２搬送箇所２のうち、基板搬送装置８にて基板４を出し入れしている容器３が存在している第２搬送箇所２以外の第２搬送箇所２を、容器３を一時的に保管するバッファとして利用することができるようになっている。
【００４６】
図１〜図３に示すように、天井搬送車６は、天井に配設された走行レール２０に案内支持された状態で走行レール２０に沿って走行自在で且つ容器３を支持する支持体２１を昇降自在で且つ上下方向に沿う軸心周りに回転自在に備えて構成されている。ちなみに、天井搬送車６は、搬送装置５の近傍においては、設備左右方向に沿って一方向（図１において左上から右下）に走行するようになっている。
そして、天井搬送車６は、図３に示すように、支持体２１を上昇位置に上昇移動させた状態で走行移動自在に構成され、且つ、支持体２１を上昇位置から下降移動させて載置部１１上に容器３を卸す形態で第１搬送箇所１に容器３を搬送し、支持体２１を上昇位置に上昇移動させて載置部１１上から容器３を引き上げる形態で第１搬送箇所１から容器３を搬送するように構成されている。
【００４７】
説明を加えると、天井搬送車６は、第１搬送箇所１の真上の停止位置に停止した状態で、容器３を支持した支持体２１を下降移動させ、支持体２１による容器３に対する支持を解除して容器３を載置部１１に卸し、第１搬送箇所１に容器３が搬送されるように構成されている。
また、天井搬送車６は、第１搬送箇所１の真上の停止位置に停止した状態で、容器３を支持しない支持体２１を下降移動させ、支持体２１により第１搬送箇所１に位置する容器３を支持し、容器３を支持した支持体２１を上昇移動させることにより、第１搬送箇所１から容器３を搬送するように構成されている。
【００４８】
そして、天井搬送車６が、低位置第１搬送箇所１Ｌ及び高位置第１搬送箇所１Ｈに対して共通して設定された停止位置に停止した状態で、低位置第１搬送箇所１Ｌもしくは高位置第１搬送箇所１Ｈとの間で容器３を搬送自在に構成されている。
ちなみに、天井搬送車６を停止位置に停止させた状態において、第１搬送箇所１に対応する位置に低位置用の載置部１１Ｌが位置しているときは、低位置第１搬送箇所１Ｌとの間で容器３が搬送され、第１搬送箇所１に対応する位置に高位置用の載置部１１Ｈが位置しているときは、高位置第１搬送箇所１Ｈとの間で容器３が搬送される。
【００４９】
第１搬送箇所１（低位置第１搬送箇所１Ｌ及び高位置第１搬送箇所１Ｈ）は、載置部１１に載置された状態で第１搬送箇所１に位置する容器３の上端が、走行用状態の天井搬送車６の支持体２１の下端より下方で且つ走行用状態の天井搬送車６に支持された容器３の下端より上方に位置する箇所に設定されている。
そのため、第１搬送箇所１が天井搬送車６に近く、天井搬送車６が第１搬送箇所１に搬送するときの支持体２１の下降量を少なくでき、容器３を第１搬送箇所１に迅速に搬送することができる。また、第１搬送箇所１に容器３が存在していたとしても、容器３を支持しない走行用状態の天井搬送車６を自由に走行移動させることができる。
【００５０】
図９に示すように、基板搬送設備には、搬送装置５、天井搬送車６及び基板搬送装置８の作動を制御する搬送制御装置Ｈが設けられている。
搬送制御装置Ｈは、天井搬送車６を第１搬送箇所１の真上に位置する停止位置まで走行移動させる授受前走行処理と、天井搬送車６を第１搬送箇所１の真上の停止位置から走行移動させる授受後走行処理と、天井搬送車６にて容器３を第１搬送箇所１に搬送する卸し処理と、天井搬送車６にて容器３を第１搬送箇所１から搬送する掬い処理と、を実行するべく、天井搬送車６の作動を制御するように構成されている。
また、搬送制御装置Ｈは、載置部１１を第１搬送箇所１に対応する位置から第２搬送箇所２に対応する位置に移動させる引退処理と、載置部１１を第２搬送箇所２に対応する位置から第１搬送箇所１に対応する位置に移動させる突出処理と、を実行するべく、搬送装置５の作動を制御するように構成されている。
【００５１】
次に、図１０に示すフローチャートに基づいて、搬送制御装置Ｈが卸し処理を実行することにより、天井搬送車６にて低位置第１搬送箇所１Ｌに容器３を搬送し、搬送制御装置Ｈが掬い処理を実行することにより、天井搬送車６にて高位置第１搬送箇所１Ｈから容器３を搬送する場合を例に挙げて、天井搬送車６と搬送装置５との間で容器３を搬送する搬送制御について説明する。尚、通常は、載置部１１は第２搬送箇所２に対応する位置に移動している。
【００５２】
搬送制御装置Ｈは、容器３を低位置第２搬送箇所２Ｌに搬送する搬入指令が指令されると、まず、授受前走行処理と突出処理とを実行して、搬入対象の容器３を支持した天井搬送車６を第１搬送箇所１の真上の停止位置に走行させ且つ低位置用の載置部１１Ｌを低位置第１搬送箇所１Ｌに対応する位置に突出移動させるべく、天井搬送車６及び搬送装置５の作動を制御する。その後、搬送制御装置Ｈは、卸し処理を実行して、低位置用の載置部１１Ｌ上に容器３を卸して容器３を低位置第１搬送箇所１Ｌに搬送させるべく、天井搬送車６の作動を制御し、引退処理を実行して、低位置用の載置部１１Ｌを低位置第２搬送箇所２Ｌに対応する位置に移動させて容器３を低位置第２搬送箇所２Ｌに搬送するべく、搬送装置５の作動を制御する。
ちなみに、授受前走行処理と突出処理とでは、通常では授受前走行処理の方が長い時間を要し、天井搬送車６が第１搬送箇所１の真上の停止位置まで移動する前に載置部１１は第１搬送箇所１に対応する位置への移動を完了している。そのため、天井搬送車６を第１搬送箇所１の真上に走行させた後、載置部１１が第１搬送箇所１に突出移動するまで卸し処理の開始を待機させる必要なく、迅速に第１搬送箇所１に容器３を搬送できるようになっている。
【００５３】
上述の如く、搬送制御装置Ｈは、引退処理を実行して容器３を低位置第２搬送箇所２Ｌに搬送した後、搬出指令が指令されていなければ、授受後走行処理を実行して、容器３を支持していない天井搬送車６を第１搬送箇所１の真上の停止位置から走行させるべく、天井搬送車６の作動を制御する。
また、搬送制御装置Ｈは、搬出指令があれば、突出処理を実行して、高位置用の載置部１１Ｈを高位置第１搬送箇所１Ｈに対応する位置に突出移動させるべく、搬送装置５の作動を制御する。その後、搬送制御装置Ｈは、掬い処理を実行して、搬出対象の容器３を天井搬送車６にて支持した後、授受後走行処理と引退処理とを実行して、搬出対象の容器３を支持した天井搬送車６を第１搬送箇所１の真上の停止位置から走行させ且つ高位置用の載置部１１Ｈを高位置第２搬送箇所２Ｈに対応する位置に引退移動させるべく、天井搬送車６及び搬送装置５の作動を制御する。
【００５４】
そして、搬送制御装置Ｈは、搬入指令が指令されておらず、搬出指令のみが指令されている場合は、まず、授受前走行処理と突出処理とを実行して、容器３を支持していない天井搬送車６を第１搬送箇所１の真上の停止位置に走行させ且つ高位置用の載置部１１を高位置第１搬送箇所１Ｈに対応する位置に突出移動させるべく、天井搬送車６及び搬送装置５の作動を制御する。その後、搬送制御装置Ｈは、掬い処理を実行して、搬出対象の容器３を天井搬送車６にて支持した後、授受後走行処理と引退処理とを実行して、搬出対象の容器３を支持した天井搬送車６を第１搬送箇所１の真上の停止位置から走行させ且つ高位置用の載置部１１Ｈを高位置第２搬送箇所２Ｈに対応する位置に引退移動させるべく、天井搬送車６及び搬送装置５の作動を制御する。
【００５５】
このように、容器３を載置する載置部１１を水平方向に沿って移動させることで、載置部１１に載置した容器３を第１搬送箇所１と第２搬送箇所２との間で搬送し、基板搬送装置８にて、載置部１１に載置された状態で第２搬送箇所２に位置する容器３から基板４を取り出して当該基板４を基板処理装置７に搬送するようになっており、基板搬送設備の構成の簡素化を図ることができながら、基板４を基板処理装置７に効率よく搬送し易くなっている。
【００５６】
〔別実施形態〕
（１）  上記実施形態では、中継搬送装置として、低位置搬送装置５Ｌと高位置搬送装置５Ｈとを設けたが、中継搬送装置として、低位置搬送装置５Ｌと高位置搬送装置５Ｈとのいずれか一方のみを設けてもよい。
【００５７】
（２）  上記実施形態では、載置部１１を、鉛直方向に沿う軸心周りに旋回移動させることで容器搬送箇所に対応する位置と基板取出箇所に対応する位置とに移動させるように構成したが、載置部１１を、水平方向に沿って直線移動させることで容器搬送箇所に対応する位置と基板取出箇所に対応する位置とに移動させるように構成してもよい。
また、中継搬送装置を、容器３を載置支持ずるチェーンやベルト等を備えたコンベヤ装置にて構成してもよく、このように中継搬送装置をコンベヤ装置にて構成した場合は、チェーンやベルト等の容器３を載置支持する部分が載置部１１に相当し、チェーンやベルトを回転駆動させることで載置支持する部分（載置部１１）を水平方向に沿って移動させることになる。
尚、単一の載置部１１は、上記実施形態のようなコ字状の板状部材のように１つの部材にて構成する他に、容器３の設備横幅方向の両端部を各別に支持するように一対の部材（例えば無端ベルト）にて構成してもよい。
【００５８】
（３）  上記実施形態では、容器搬送箇所を、載置部１１に載置された状態で容器搬送箇所に位置する容器３の上端が、走行用状態の天井搬送車６の下端より下方で且つ走行用状態の天井搬送車６に支持された容器３の下端より上方に位置する箇所に設定したが、容器搬送箇所を、載置部１１に載置された状態で容器搬送箇所に位置する容器３の上端が、走行用状態の天井搬送車６の下端より下方で且つ走行用状態の天井搬送車６に支持された容器３の下端より下方に位置する箇所に設定して、容器搬送箇所に容器３が存在していたとしても、容器３を支持する走行用状態の天井搬送車６を自由に走行移動できるように構成してもよい。
【００５９】
（４）  上記実施形態では、低位置用の載置部１１Ｌを、その低位置用の載置部１１Ｌの移動軌跡が高位置用の載置部１１Ｈの移動軌跡と上下方向視で重複する部分と重複しない部分とを有する状態で設け、高位置用の載置部１１Ｈを、その高位置用の載置部１１Ｈの移動軌跡が低位置用の載置部１１Ｈの移動軌跡と上下方向視で重複する部分と重複しない部分とを有する状態で設けたが、これら低位置用の載置部１１Ｌと高位置用の載置部１１Ｈとを、移動軌跡が上下方向に重複しない状態で設けてもよい。
具体的には、例えば、上記実施形態において、載置部１１の平面視形状をくし歯状に形成する等により、低位置第１搬送箇所１Ｌに対応する位置の低位置用の載置部１１Ｌと、高位置第１搬送箇所１Ｈに対応する位置の高位置用の載置部１１Ｈとが、上下方向視で重ならないように構成して、低位置用の載置部１１Ｌと高位置用の載置部１１Ｈとを、移動軌跡が上下方向に重複しない状態で設けてもよい。
尚、低位置用の載置部１１Ｌの移動軌跡の全体と高位置用の載置部１１Ｈの移動軌跡の全体とが、上下方向に重複する状態で設けてもよい。
【００６０】
（５）  上記実施形態では、基板４を、矩形状に形成された板状体としたが、基板４を、ウェハ等の円形又は略円形に形成された板状体でもよい。また、容器３は、ウェハ収納用のＦＯＵＰとしてもよい。
【符号の説明】
【００６１】
１    容器搬送箇所
１Ｌ  低位置容器搬送箇所
１Ｈ  高位置容器搬送箇所
２    基板取出箇所
２Ｌ  低位置基板取出箇所
２Ｈ  高位置基板取出箇所
３    容器
４    基板
５    中継搬送装置
５Ｌ  低位置搬送装置
５Ｈ  高位置搬送装置
６    天井搬送車
７    基板処理装置
８    基板搬送装置
１１    載置部
１１Ｌ  低位置用の載置部
１１Ｈ  高位置用の載置部
２０    走行レール
２１    支持体
Ｐ    軸心
【図１】
2014096415.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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