(57)【要約】      （修正有）【課題】往復動部材がステータ側に引き寄せられる力が小さくし、往復動部材とステータコアとの接触を防止する。【解決手段】ダイアフラム１１０に連結された往復動部材１２０と、該往復動部材１２０を往復駆動させる駆動部とを有し、該往復動部材１２０の往復動によりダイアフラム１１０を変動させて流体を吸引排出するダイアフラム式電磁往復動流体装置１００であって、該駆動部には、中央磁極部１３４と第１及び第２の側部磁極部１３６，１３８とを有する第１及び第２のＥ型コア１３２ａ，１３２ｂが備えられ、往復動部材１２０には第１及び第２の永久磁石１４０ａ，１４０ｂが備えられ、各永久磁石１４０ａ，１４０ｂが、中央磁極部１３４に近接する位置でのＮ極面とＳ極面との間の幅よりも、側部磁極部１３６，１３８に近接する位置でのＮ極面とＳ極面との間の幅の方が小さい。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ダイアフラムに連結された往復動部材と、該往復動部材を直線状経路に沿って往復駆動させる駆動部とを有し、該往復動部材の往復動により前記ダイアフラムを変動させて流体を吸引・排気するようにしたダイアフラム式電磁往復動流体装置であって、
前記駆動部は、中央磁極部、及び該中央磁極部の両側に前記直線状経路の方向で間隔を開けて配置された第１及び第２の側部磁極部をそれぞれ有する第１及び第２のＥ型コアであって、前記直線状経路の両側で前記中央磁極部同士、前記第１の側部磁極部同士、及び前記第２の側部磁極部同士が相互に対向するように設定された第１及び第２のＥ型コアと、該第１及び第２のＥ型コアのうちの少なくとも一方に巻回されたソレノイドコイルと、を有し、
前記往復動部材は、前記第１及び第２のＥ型コアが前記ソレノイドコイルによって励磁されていない状態において、前記直線状経路の方向で前記第１及び第２のＥ型コアの前記中央磁極部と前記第１の側部磁極部との間に位置する第１の永久磁石と、前記中央磁極部と前記第２の側部磁極部との間に位置する第２の永久磁石とを有し、
前記第１の永久磁石はＮ極面が前記第１のＥ型コアに面しＳ極面が前記第２のＥ型コアに面するように配置され、前記第２の永久磁石はＳ極面が前記第１のＥ型コアに面しＮ極面が前記第２のＥ型コアに面するように配置されており、
前記第１の永久磁石は、前記中央磁極部に近接する位置での前記Ｎ極面とＳ極面との間の幅よりも前記第１の側部磁極部に近接する位置での前記Ｎ極面とＳ極面との間の幅の方が小さくされ、
前記第２の永久磁石は、前記中央磁極部に近接する位置での前記Ｎ極面とＳ極面との間の幅よりも前記第２の側部磁極部に近接する位置での前記Ｎ極面とＳ極面との間の幅の方が小さくされている、ダイアフラム式電磁往復動流体装置。
【請求項２】
前記第１の永久磁石は、前記中央磁極部の側に位置する幅広部分と、前記第１側部磁極部の側に位置し前記幅広部分よりも狭い幅とされた幅狭部分とを有し、
前記第２の永久磁石は、前記中央磁極部の側に位置する幅広部分と、前記第２側部磁極部の側に位置し前記幅広部分よりも狭い幅とされた幅狭部分とを有する、請求項１に記載のダイアフラム式電磁往復動流体装置。
【請求項３】
前記第１の永久磁石の前記Ｎ極面及びＳ極面が前記直線状経路の方向に対して傾斜して、前記Ｎ極面と前記Ｓ極面との間の幅が前記中央磁極部に近接する位置から前記第１の側部磁極部に近接する位置にまで連続的に小さくなるようにされ、
前記第２の永久磁石の前記Ｎ極面及びＳ極面が前記直線状経路の方向に対して傾斜して、前記Ｎ極面と前記Ｓ極面との間の幅が前記中央磁極部に近接する位置から前記第２の側部磁極部に近接する位置にまで連続的に小さくなるようにされた、請求項１に記載のダイアフラム式電磁往復動流体装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ステータコアに間歇的又は交番的に磁界を発生させることで往復動部材を往復動させてダイアフラムを変動させ、流体を吸引・排気するようにしたポンプやコンプレッサなどのダイアフラム式電磁往復動流体装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ダイアフラム式電磁往復動流体装置は、鉄などの強磁性体やフェライト磁石などの永久磁石等からなる磁性体部材を有しその両端部がダイアフラムに連結された往復動部材と、該往復動部材の磁性体部材に対して磁気的に作用する磁極面を備えるステータコアとを備える。ステータコアにはソレノイドコイルが巻回されており、該ソレノイドコイルに間歇的に又は交番的に電流を流すことで磁極面間に間歇的又は交番的な磁束を発生させる。磁性体部材は該磁束により吸引・反発されて、磁極面間に引込まれたり磁極面間から離されたりするように動かされる。それによって、磁性体部材を備える往復動部材が直線状経路に沿って往復動して該往復動部材に連結されたダイアフラムが周期的に変動することにより、流体の吸引・排気が繰り返されて流体が搬送されるようになっている（特許文献１）。
【０００３】
一般に磁性体部材が受ける磁力の大きさは磁極面からの距離の２乗に反比例するから、磁性体部材がステータコアで発生される磁束から受ける力を大きくして効率よく電磁往復動流体装置を駆動するためには、ステータコアの磁極面と磁性体部材との距離をできるだけ小さくすれば良い。しかしながら、磁性体部材が磁束から受ける力は往復動部材の直線状経路の方向だけでなくステータコア側に引き寄せられる方向の成分も含んでいるため、ステータコアの磁極面と磁性体部材との距離を近づけすぎると往復動部材がステータコア側に引き寄せられて接触してしまう虞がある。特にダイアフラム式の電磁往復動装置の場合には、往復動部材は柔軟性を有するダイアフラムによって支持されているので、磁性体部材が受けるステータコア側に引き寄せられる力によって往復動部材が引き寄せられて、往復動部材とステータコアとが接触しやすい。また、このような接触を防止するためにダイアフラムの剛性を高くすると直線状経路の方向への動きも制限され、電磁往復動流体装置の効率を逆に低下させてしまうことになってしまう。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−１３２６４７
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
そこで本発明は、往復動部材がステータコア側に引き寄せられる力が小さくなるようにして、往復動部材とステータコアとの接触を防止するようにしたダイアフラム式電磁往復動流体装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
すなわち本発明は、
ダイアフラムに連結された往復動部材と、該往復動部材を直線状経路に沿って往復駆動させる駆動部とを有し、該往復動部材の往復動により前記ダイアフラムを変動させて流体を吸引・排気するようにしたダイアフラム式電磁往復動流体装置であって、
前記駆動部は、中央磁極部、及び該中央磁極部の両側に前記直線状経路の方向で間隔を開けて配置された第１及び第２の側部磁極部をそれぞれ有する第１及び第２のＥ型コアであって、前記直線状経路の両側で前記中央磁極部同士、前記第１の側部磁極部同士、及び前記第２の側部磁極部同士が相互に対向するように設定された第１及び第２のＥ型コアと、該第１及び第２のＥ型コアのうちの少なくとも一方に巻回されたソレノイドコイルと、を有し、
前記往復動部材は、前記第１及び第２のＥ型コアが前記ソレノイドコイルによって励磁されていない状態において、前記直線状経路の方向で前記第１及び第２のＥ型コアの前記中央磁極部と前記第１の側部磁極部との間に位置する第１の永久磁石と、前記中央磁極部と前記第２の側部磁極部との間に位置する第２の永久磁石とを有し、
前記第１の永久磁石はＮ極面が前記第１のＥ型コアに面しＳ極面が前記第２のＥ型コアに面するように配置され、前記第２の永久磁石はＳ極面が前記第１のＥ型コアに面しＮ極面が前記第２のＥ型コアに面するように配置されており、
前記第１の永久磁石は、前記中央磁極部に近接する位置での前記Ｎ極面とＳ極面との間の幅よりも前記第１の側部磁極部に近接する位置での前記Ｎ極面とＳ極面との間の幅の方が小さくされ、
前記第２の永久磁石は、前記中央磁極部に近接する位置での前記Ｎ極面とＳ極面との間の幅よりも前記第２の側部磁極部に近接する位置での前記Ｎ極面とＳ極面との間の幅の方が小さくされている、ダイアフラム式電磁往復動流体装置を提供する。
【０００７】
本願発明者は研究開発の過程において、往復動部材がＥ型コアに引き寄せられる方向の力は、永久磁石が中央磁極部から受ける力よりも側部磁極部から受ける力からより大きな影響を受けることを発見した。本発明はこの発見に基づきなされたものであり、このダイアフラム式電磁往復動流体装置においては、第１及び第２のＥ型コアに面する永久磁石のＮ極面とＳ極面との間の幅が中央磁極部側よりも側部磁極部側において小さくされていて永久磁石と第１又は第２の側部磁極部との間の距離が大きくなるようにされているので、第１及び第２の側部磁極部から受ける力が相対的に小さくなり、往復動部材がＥ型コア側に引き寄せられる方向の力を小さくすることができる。これによって、往復動部材を支持するダイアフラムの剛性を低下させて往復動部材が往復動する際の力の損失を小さくすることもできるし、または中央磁極部と永久磁石との距離を小さくしてより大きな推力を得るようにすることもできるようになるので、当該装置をより高効率で駆動することが可能となる。
【０００８】
具体的には、前記第１の永久磁石は、前記中央磁極部の側に位置する幅広部分と、前記第１側部磁極部の側に位置し前記幅広部分よりも狭い幅とされた幅狭部分とを有し、
前記第２の永久磁石は、前記中央磁極部の側に位置する幅広部分と、前記第２側部磁極部の側に位置し前記幅広部分よりも狭い幅とされた幅狭部分とを有するようにすることができる。
【０００９】
または、前記第１の永久磁石の前記Ｎ極面及びＳ極面が前記直線状経路の方向に対して傾斜して、前記Ｎ極面と前記Ｓ極面との間の幅が、前記中央磁極部に近接する位置から前記第１の側部磁極部に近接する位置にまで連続的に小さくなるようにされ、
前記第２の永久磁石の前記Ｎ極面及びＳ極面が前記直線状経路の方向に対して傾斜して、前記Ｎ極面と前記Ｓ極面との間の幅が、前記中央磁極部に近接する位置から前記第２の側部磁極部に近接する位置にまで連続的に小さくなるようにすることもできる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の第１の実施形態に係るダイアフラム式電磁往復動流体装置の断面図である。
【図２】本発明の第２の実施形態に係るダイアフラム式電磁往復動流体装置の断面図である。
【図３】本発明の第３の実施形態に係るダイアフラム式電磁往復動流体装置の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
本発明の第１の実施形態にかかるダイアフラム式電磁往復動流体装置１００は、図１に示すように、第１及び第２のダイアフラム１１０ａ、１１０ｂが両端に固定されて直線状経路に沿って往復動する往復動部材１２０と、この往復動部材１２０の直線状経路の両側に相互に対抗するように配置された第１及び第２のＥ型コア１３２ａ，１３２ｂからなるステータコア１３０と、このステータコア１３０に磁束を発生させるための第１及び第２のソレノイドコイル１３３ａ、１３３ｂとを備えている。第１及び第２のＥ型コア１３２ａ，１３２ｂは、それぞれ、中央磁極部１３４ａ、１３４ｂとそれを挟んで両側に直線状経路の方向で間隔を開けて配置された第１及び第２の側部磁極部１３６ａ、１３６ｂ、１３８ａ、１３８ｂとを備えており、各Ｅ型コア１３２ａ、１３２ｂの中央磁極部１３４ａ、１３４ｂの先端の中央磁極面１３５ａ、１３５ｂ、第１の側部磁極部１３６ａ、１３６ｂの先端の第１の側部磁極面１３７ａ、１３７ｂ、及び第２の側部磁極部１３８ａ、１３８ｂの先端の第２の側部磁極面１３９ａ、１３９ｂが往復動部材１２０を間にして互いに対向するように配置されている。各中央磁極部１３４ａ、１３４ｂに設置された第１及び第２のソレノイドコイル１３３ａ、１３３ｂは、該ソレノイドコイル１３３ａ、１３３ｂに電流が印加されると第１及び第２のＥ型コア１３２ａ、１３２ｂの互いに対向する各磁極面が相互に異なる極性となるように巻回されている。第１及び第２のダイアフラム１１０ａ、１１０ｂは、それぞれ、ヘッドカバー１０２との間に第１及び第２のポンプ室１０４ａ，１０４ｂを形成している。第１及び第２のダイアフラム１１０ａ，１１０ｂは、円盤状のダイアフラム固定部材１１２ａ，１１２ｂにより往復動部材１２０に固定されている。往復動部材１２０には、第１及び第２の永久磁石１４０ａ、１４０ｂが、往復動部材１２０の中央部１２２を挟んで所定間隔離間した状態で、極性が互いに逆向きになるように配置されている。すなわち、第１の永久磁石１４０ａは、Ｎ極面１４２ａが第１のＥ型コア１３２ａに面し、Ｓ極面１４４ａが第２のＥ型コア１３２ｂに面するように配置され、第２の永久磁石１４０ｂはＳ極面１４４ｂが第１のＥ型コア１３２ａに面し、Ｎ極面１４２ｂが第２のＥ型コア１３２ｂに面するように配置されている。また、第１及び第２のＥ型コア１３２ａ、１３２ｂが励磁されていない状態において、往復動部材１２０の直線状経路の方向で、第１の永久磁石１４０ａは中央磁極部１３４ａ、１３４ｂと第１の側部磁極部１３６ａ、１３６ｂとの間に位置し、第２の永久磁石１４０ｂは中央磁極部１３４ａ、１３４ｂと第２の側部磁極部１３８ａ、１３８ｂとの間に位置するように配置されている。
【００１２】
第１及び第２のソレノイドコイル１３３ａ、１３３ｂに交流電流が印加されると、第１及び第２のＥ型コア１３２ａ、１３２ｂの各磁極面１３５ａ、１３５ｂ、１３７ａ、１３７ｂ、１３９ａ、１３９ｂの極性は交流電流の周波数に合わせて交番的に入れ替わる。互いに対向する各磁極面は相互に異なる極性となるので、各磁極面の極性が交番的に入れ替わることで各磁極面間に発生する磁束の方向も交番的に入れ替わる。例えば、第１のＥ型コア１３２ａの中央磁極面１３５ａがＮ極で第１及び第２の側部磁極面１３７ａ、１３９ａがＳ極となっているとき、第２のＥ型コア１３２ｂの中央磁極面１３５ｂはＳ極で第１及び第２の側部磁極面１３７ｂ、１３９ｂはＮ極となる。このとき、第１の永久磁石１４０ａは第１の側部磁極面１３７ａ、１３７ｂから吸引力を受けると同時に中央磁極面１３５ａ、１３５ｂから反発力を受ける。また、第２の永久磁石１４０ｂは中央磁極面１３５ａ、１３５ｂから吸引力を受けると同時に第２の側部磁極面１３９ａ、１３９ｂから反発力を受ける。そうすると、往復動部材１２０は、第１及び第２の永久磁石１４０ａ、１４０ｂが第１及び第２のＥ型コア１３２ａ、１３２ｂから受ける力によって、図で見て左側へと駆動される。その後、電流の方向が入れ替わると、第１のＥ型コア１３２ａの中央磁極面１３５ａがＳ極で第１及び第２の側部磁極面１３７ａ、１３９ａがＮ極となり、第２のＥ型コア１３２ｂの中央磁極部１３５ｂがＮ極で第１及び第２の側部磁極面１３７ｂ、１３９ｂはＳ極となり、先程とは逆向きの力が第１及び第２の永久磁石１４０ａ、１４０ｂに働いて、往復動部材１２０は右側へと駆動される。このように各磁極面１３５ａ、１３５ｂ、１３７ａ、１３７ｂ、１３９ａ、１３９ｂ間に交番的な磁界を発生させることで、往復動部材１２０を交流電流の周波数で左右に往復動させるようになっている。
【００１３】
往復動部材１２０が左側に駆動されたときには、第１のポンプ室１０４ａの容積が縮小されると共に第１の排気バルブ１５０ａが開放されて第１のポンプ室１０４ａ内の流体が第１の排気ポート１５４ａから排気される。その一方で第２のポンプ室１０４ｂの容積が拡張されると共に第２の吸気バルブ１５２ｂが開放されて第２の吸気ポート１５６ｂから流体が第２のポンプ室１０４ｂ内に吸引される。次に往復動部材１２０が右側に駆動されると、先程とは逆に、第１のポンプ室１０４ａの容積が拡張されると共に第１の吸気バルブ１５２ａが開放されて第１の吸気ポート１５６ａから流体が第１のポンプ室１０４ａ内に吸引され、一方で第２のポンプ室１０４ｂの容積が縮小されると共に第２の排気バルブ１５０ｂが開放されて第２のポンプ室１０４ｂ内の流体が第２の排気ポート１５４ｂから排気される。当該ダイアフラム式電磁往復動流体装置１００は、このような動作を繰り返すことで第１及び第２の吸気ポート１５６ａ、１５６ｂ側の流体を第１及び第２の排気ポート１５４ａ、１５４ｂ側へと随時搬送するようになっている。
【００１４】
第１の永久磁石１４０ａは、往復動部材１２０の中央部１２２側に位置して第１及び第２のＥ型コア１３２ａ、１３２ｂの中央磁極部１３４ａ、１３４ｂに近接する側の幅広部分１４６ａと、その反対側に位置し第１の側部磁極部１３６ａ、１３６ｂに近接する側の幅狭部分１４８ａとを有している。同様に、第２の永久磁石１４０ｂは、往復動部材１２０の中央部１２２側に位置して第１及び第２のＥ型コア１３２ａ、１３２ｂの中央磁極部１３４ａ、１３４ｂに近接する側の幅広部分１４６ｂと、その反対側に位置し第２の側部磁極部１３８ａ、１３８ｂに近接する側の幅狭部分１４８ｂとを有している。このような形状とすることによって、各永久磁石１４０ａ、１４０ｂと各側部磁極部１３６ａ、１３６ｂ、１３８ａ、１３８ｂとの間の距離が中央磁極部１３４ａ、１３４ｂとの間の距離よりも大きくなり、各永久磁石１４０ａ、１４０ｂが各側部磁極部１３６ａ、１３６ｂ、１３８ａ、１３８ｂから受ける力が中央磁極部１３４ａ、１３４ｂから受ける力よりも相対的に小さくなる。第１及び第２の永久磁石１４０ａ、１４０ｂは、実際には各磁極部から直線状経路の方向に対して斜め方向の吸引力又は反発力を受けるが、往復動部材１２０が第１及び第２のＥ型コア１３２ａ、１３２ｂ側に引き寄せられる方向の力は、第１及び第２の永久磁石１４０ａ、１４０ｂが中央磁極部１３４ａ、１３４ｂから受ける力よりも各側部磁極部１３６ａ、１３６ｂ、１３８ａ、１３８ｂから受ける力からより大きな影響を受けるので、上述のような形状とすることで往復動部材１２０が第１及び第２のＥ型コア１３２ａ、１３２ｂ側に引き寄せられる力を小さくすることが可能となる。一方で、往復動部材１２０が各Ｅ型コア１３２ａ、１３２ｂ側に引き寄せられる力が小さくなり往復動部材１２０の各Ｅ型コア１３２ａ、１３２ｂ側への変位量が小さくなったことにより、第１及び第２の永久磁石１４０ａ、１４０ｂと中央磁極部１３４ａ、１３４ｂとの間の距離は従来に比べてより小さく設定することができるようになるので、そのようにすることで直線状経路の方向への推力を大きくすることが可能となる。また、往復動部材１２０が各Ｅ型コア１３２ａ、１３２ｂに接触しないようにするために必要な第１及び第２のダイアフラム１１０ａ、１１０ｂの剛性も小さくなるので、剛性の小さい各ダイアフラム１１０ａ、１１０ｂを使用することも可能となり、それによって往復動部材１２０の直線状経路の方向への往復動に対する抵抗力が小さくなって推力の損失が小さくなるので、より大きなストロークで往復動部材１２０を効率的に駆動させることが可能となる。
【００１５】
本発明の第２の実施形態にかかるダイアフラム式電磁往復動流体装置２００は、図２に示すように、第１及び第２の永久磁石２４０ａ、２４０ｂの形状を除いて、図１の第１の実施形態にかかるダイアフラム式電磁往復動流体装置１００と同様の構造を有する。第２の実施形態における第１の永久磁石２４０ａは、Ｎ極面２４２ａ及びＳ極面２４４ａが往復動部材２２０の直線状経路の方向に対して傾斜しており、中央磁極部２３４ａ、２３４ｂに近接する側から第１の側部磁極部２３６ａ、２３６ｂに近接する側に向かってＮ極面２４２ａとＳ極面２４４ａとの間の幅が連続的に小さくなるような形状とされている。同様に、第２の永久磁石２４０ｂは、Ｎ極面２４２ｂ及びＳ極面２４４ｂが往復動部材２２０の直線状経路の方向に対して傾斜しており、中央磁極部２３４ａ、２３４ｂに近接する側から第２の側部磁極部２３８ａ、２３８ｂに近接する側に向かってＮ極面２４２ｂとＳ極面２４４ｂとの間の幅が連続的に小さくなるような形状とされている。このような形状とすることによって、各永久磁石２４０ａ、２４０ｂと各側部磁極部２３６ａ、２３６ｂ、２３８ａ、２３８ｂとの間の距離が中央磁極部２３４ａ、２３４ｂとの間の距離よりも大きくなり、各永久磁石２４０ａ、２４０ｂが各側部磁極部２３６ａ、２３６ｂ、２３８ａ、２３８ｂから受ける力が中央磁極部２３４ａ、２３４ｂから受ける力よりも相対的に小さくなるので、上述の第１の実施形態と同様に往復動部材２２０が第１及び第２のＥ型コア２３２ａ、２３２ｂ側に引き寄せられる力を小さくすることが可能となる。
【００１６】
第３の実施形態に係るダイアフラム式電磁往復動流体装置３００は、図３に示すように、第２のＥ型コア３３２ｂにソレノイドコイルが巻回されていない点を除いて、図１の第１の実施形態に係るダイアフラム式電磁往復動流体装置１００と同様の構成を有する。第１及び第２のＥ型コア３３２ａ、３３２ｂの励磁は第１のＥ型コア３３２ａに巻回されたソレノイドコイル３３３ａにより行われ、第２のＥ型コア３３２ｂはバックコアとして機能する。本実施形態においては、第２のＥ型コア３３２ｂは、第１のＥ型コア３３２ａと同形状とされているが、ソレノイドコイルが巻回されていない分だけ中央磁極部３３４ｂ並びに第１及び第２の側部磁極部３３６ｂ、３３８ｂを短くしてもよい。また、第１及び第２の永久磁石３４０ａ、３４０ｂの形状を第２の実施形態における第１及び第２の永久磁石２４０ａ、２４０ｂのような形状としてもよい。
【符号の説明】
【００１７】
１００  ダイアフラム式電磁往復動流体装置
１０２  ヘッドカバー                  １０４ａ  第１のポンプ室
１０４ｂ  第２のポンプ室              １１０ａ  第１のダイアフラム
１１０ｂ  第２のダイアフラム          １１２ａ  ダイアフラム固定部材
１１２ｂ  ダイアフラム固定部材        １２０  往復動部材
１２２  中央部                        １３０  ステータコア
１３２ａ  第１のＥ型コア              １３２ｂ  第２のＥ型コア
１３３ａ  第１のソレノイドコイル      １３３ｂ  第２のソレノイドコイル
１３４ａ、１３４ｂ  中央磁極部        １３５ａ、１３５ｂ  中央磁極面
１３６ａ、１３６ｂ  第１の側部磁極部  １３７ａ、１３７ｂ  第１の側部磁極面
１３８ａ、１３８ｂ  第２の側部磁極部  １３９ａ、１３９ｂ  第２の側部磁極面
１４０ａ  第１の永久磁石              １４０ｂ  第２の永久磁石
１４２ａ、１４２ｂ  Ｎ極面            １４４ａ、１４４ｂ  Ｓ極面
１４６ａ、１４６ｂ  幅広部分          １４８ａ、１４８ｂ  幅狭部分
１５０ａ  第１の排気バルブ            １５０ｂ  第２の排気バルブ
１５２ａ  第１の吸気バルブ            １５２ｂ  第２の吸気バルブ
１５４ａ  第１の排気ポート            １５４ｂ  第２の排気ポート
１５６ａ  第１の吸気ポート            １５６ｂ  第２の吸気ポート
２００  ダイアフラム式電磁往復動流体装置
２２０  往復動部材                    ２３２ａ  第１のＥ型コア
２３２ｂ  第２のＥ型コア              ２３４ａ、２３４ｂ  中央磁極部
２３６ａ、２３６ｂ  第１の側部磁極部  ２３８ａ、２３８ｂ  第２の側部磁極部
２４０ａ  第１の永久磁石              ２４０ｂ  第２の永久磁石
２４２ａ、２４２ｂ  Ｎ極面            ２４４ａ、２４４ｂ  Ｓ極面
３００  ダイアフラム式電磁往復動流体装置
３３２ａ  第１のＥ型コア              ３３２ｂ  第２のＥ型コア
３３３ａ  ソレノイドコイル            ３３４ｂ  中央磁極部
３３６ｂ  第１の側部磁極部            ３３８ｂ  第２の側部磁極部
３４０ａ  第１の永久磁石              ３４０ｂ  第２の永久磁石
【図１】
2014147248.tif 000003
【図２】
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【図３】
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