(57)【要約】      （修正有）【課題】紫外線処理システムにおいて、紫外線ランプから放射される波長１８５ｎｍの紫外線放射量を極力減衰させることなく測定できるようにする。【解決手段】紫外線中継器１５は、管の一端に石英ガラスからなる入光板１５ｂを、もう一方の端にも石英ガラスからなる出光板１５ｃをそれぞれ気密に配置してなり、管の内部を真空にして密閉するか、若しくは、管の内部に希ガス又は窒素ガスを充填して密閉して、両端に配置された入光板１５ｂ及び出光板１５ｃを通じて紫外線を透過させるように構成される。紫外線中継器１５は、紫外線処理システムに取り付けたとき、入光板１５ｂを含む端部が測定対象物（紫外線ランプ３を内包する外管２）の表面に当接され、他方の出光板１５ｃを含む端部に紫外線照度計１４が配設される。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
管と、
前記管の一端に気密に配置された石英板からなり、測定対象物から発生された紫外線を該管内に入れる入光板と、
前記管の別の端に気密に配置された石英板からなり、前記入光板から入れた紫外線を該管外へ出す出光板と
を具備し、
前記管の内部を真空にして密閉してなることを特徴とする紫外線中継器。
【請求項２】
管と、
前記管の一端に気密に配置された石英板からなり、測定対象物から発生された紫外線を該管内に入れる入光板と、
前記管の別の端に気密に配置された石英板からなり、前記入光板から入れた紫外線を該管外へ出す出光板と
を具備し、
前記管の内部に希ガス又は窒素ガスを充填して密閉してなることを特徴とする紫外線中継器。
【請求項３】
前記管の内部に充填される希ガスが、アルゴン、ネオン、キセノン又はクリプトンのいずれかであることを特徴とする請求項２に記載の紫外線中継器。
【請求項４】
前記入光板の形状を前記測定対象物の形状に略密着する形状とした請求項１又は２に記載の紫外線中継器。
【請求項５】
処理対象の液体を内部に納めるシリンダと、前記シリンダ内に配設された紫外線を発生する測定対象物と、該シリンダの側面に配設された測定用窓部を有する紫外線処理システムにおいて、
前記請求項１又は２に記載の紫外線中継器を、その入光板が前記測定対象物に当接するように、前記測定用窓部に装着することを特徴とする紫外線処理システム。
【請求項６】
処理対象の液体を内部に納めるシリンダと、前記シリンダ内に配設された紫外線を発生する測定対象物と、該シリンダの側面に配設された測定用窓部を有する紫外線処理システムにおいて、
前記請求項１又は２に記載の紫外線中継器を、その入光板が前記測定対象物に当接するように、前記測定用窓部に装着し、
前記装着された紫外線中継器の出光板側に紫外線を測定するための紫外線測定器具を配設することより、
前記測定対象物から発生された紫外線を、前記紫外線中継器により中継して、前記紫外線測定器具により測定することを特徴とする紫外線測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、紫外線を利用して、水を殺菌したり、或いは、有機物を分解して純水を精製したりできる紫外線処理システムに関し、詳しくは、かかる紫外線処理システムにおいて紫外線を測定するための技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、紫外線ランプが発生させる紫外線のうち２５４ｎｍの波長は殺菌線として知られており、２５４ｎｍよりも短波長の１８５ｎｍの波長は有機物の分解に有用であることが知られている。かかる紫外線ランプから放射される殺菌線を利用して主に水の殺菌を行ったり、或いは、放射される波長１８５ｎｍを含む短波長の真空紫外線を用いて水中に含まれる有機物等を分解・除去して高純度の水を精製したりするための紫外線処理システムが諸分野で利用されている。
【０００３】
図７は、従来知られる紫外線処理システムの一例を示す全体図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図、及び（ｃ）は側面図である。また、図８は図７のＡ‐Ａ´矢視断面図である。なお、図７（ｃ）の側面図はシリンダ１からシリンダカバー４を外したところを描く。図７及び８に示す通り、紫外線処理システムは、概ね、フランジ５ａを両端に設けたシリンダ１と呼ばれる管状の金属容器の中に、紫外線を透過する筒により構成される外管２を配設して、この外管２の中に紫外線ランプ３を設けた構造を成す。シリンダ１は、フランジ５ｂによって液密に密閉されており、注水口６から取り入れた処理水をシリンダ１に通して出水口７から排出できる。紫外線ランプ３は、両端に備わる口金１１をソケット１２に嵌合し、フランジ５ｂを介してシリンダ１に支持される。符合１３はランプ３の端部を保護するキャップである。シリンダ１内に水を通すと外管２が処理水中に埋まるので、外管２内の紫外線ランプ３から放射する紫外線により、該シリンダ１内の水を浄化処理（殺菌及び／又は有機物分解・除去）できる。
【０００４】
図９は紫外線ランプの点灯時間の経過に伴う紫外線強度の変化を示すグラフである。図９に示す通り、紫外線ランプ３は、点灯時間が増えるほど、放射する紫外線の放射量が低下する特性を持つ。また、外管２の紫外線透過性能は、紫外線ランプ３から放射される紫外線による劣化や不純物の付着等によって劣化する。この外管２の紫外線透過性能の劣化によっても、紫外線ランプ３から放射される紫外線の放射量が低下してしまう。
【０００５】
上記の紫外線放射量低下問題の対策として、特定時間に達した紫外線ランプ３及び／又は外管２を交換すること、或いは、紫外線の放射量の測定値が所定の規定値まで低下したときに紫外線ランプ３及び／又は外管２を交換することが行われている。紫外線の放射量を測定するために、図７及び図８に示す通り、シリンダ１の側面に測定用枝管８が配設され、測定用枝管８に備わる測定窓９を通じてシリンダ１外部の紫外線照度計１４により紫外線ランプ３からの紫外線（図示外）の放射量を随時測定したり、或いは、測定用枝管８に配設された紫外線センサ１０により紫外線の放射量を測定したりできた。
【０００６】
紫外線ランプ３が発生させる紫外線のうち殺菌線として知られる２５４ｎｍの波長は、空気中や純水中における減衰がいわゆる紫外線測定の範疇では殆ど無いため、紫外線照度計１４及び／又は紫外線センサ１０により測定できる。一方、有機物の分解に有用な１８５ｎｍの波長は、空気中を伝播するときに、紫外線ランプから測定位置までの距離に応じて、その強度が指数的に減衰してしまう。例えば、下記非特許文献１には、紫外１８５ｎｍ放射体からの放射量をＩ0とし、紫外１８５ｎｍ放射体から距離Ｌ離れた位置の波長１８５ｎｍの紫外線の強度Ｉは、
Ｉ＝Ｉ0ｅｘｐ（‐０．０８×Ｌ＋３×１０-4×Ｌ）
で表されると報告されている。これによれば、計測条件にもよるが単純計算で、例えば紫外１８５ｎｍ放射体から１０ｍｍ離間すると、計測可能な波長１８５ｎｍの紫外線の強度が当該放射体の約半分程度にまで減衰してしまい、更に、紫外１８５ｎｍ放射体から５０ｍｍ離間すると、計測可能な波長１８５ｎｍの紫外線の強度は該放射体の５％程度の強度にまで減衰してしまう。これは空気中の酸素が波長１８５ｎｍの紫外線を吸収することによる。酸素が波長１８５ｎｍの紫外線を吸収すると、酸素分子が解離して他の解離した酸素原子と再結合し、オゾンが容易に生成される。このオゾンも波長１８５ｎｍの紫外線を減衰させる。このため、空気中を伝播する波長１８５ｎｍの紫外線の放射量を、紫外線ランプ３から離間した測定器具（紫外線照度計１４や紫外線センサ１０）を用いて、測定することは困難だった。
【０００７】
上記の紫外線処理システムの運転時には、シリンダ１内の水に含まれる有機物等を分解・除去して高純度の水を精製するために、外管２及び紫外線ランプ３は水中に配設される。したがって、紫外線処理システムの運転中には、紫外線ランプ３から発生する紫外線１８５ｎｍの放射量をシリンダ１内の水を通じて測定する必要がある。図１０は、水中における紫外線ランプと紫外線照度計との間の距離と紫外線強度の関係を示すグラフである。図１０に示す通り、水中を伝播する紫外線量は、距離の増加に応じて、前述した空気中での紫外線強度の減衰よりも更に強力な二次曲線の特性で減衰し、ランプから９ｍｍも離間すれば、紫外線１８５ｎｍの波長は到達しない。したがって、水中を伝播する波長１８５ｎｍの紫外線強度の測定は、空気中を伝播する紫外線の測定よりも一層困難となる。
【０００８】
紫外線処理システムにおいて波長１８５ｎｍの紫外線を測定する更に別の方法として、石英ガラスファイバーを用いて紫外線ランプ３と紫外線照度計１４との間を繋ぐ方法が考えられる。しかし、最も高純度な合成石英製ファイバーを用いても距離１ｍｍあたり約１３％紫外線強度が減衰してしまうため、計算上は、紫外線ランプ３と測定器具とが５５ｍｍ以上離間すると、紫外線強度を測定できなくなる。
【０００９】
また、水中を伝播する波長１８５ｎｍの紫外線を直接測定することが困難であるため、波長２５４ｎｍの紫外線放射量をモニタし、その測定値の比較によって波長１８５ｎｍの紫外線の減衰率を推定する方法があった。しかし、外管２及び紫外線ランプ３の素材である石英ガラスの紫外線の透過率は、波長２５４ｎｍと波長１８５ｎｍとで等しく無いため、波長２５４ｎｍの紫外線放射量の測定値とそれに基づく波長１８５ｎｍの紫外線放射量の減衰率の推定は、あくまで参考として用いられているに過ぎなかった。
【００１０】
このように、波長１８５ｎｍの紫外線は空気中及び水中のいずれを伝播する場合も吸収が大きいため、従来の紫外線処理システムにおいては、紫外線ランプ３からの波長１８５ｎｍの紫外線放射量（すなわち、殺菌や有機物分解・除去の処理能力）を測定することは困難だった。従って、紫外線ランプ３及び／又は外管２の交換時期は、使用年月や紫外線ランプ３の波長１８５ｎｍの紫外線の初期強度などに基づいて、経験的に割り出すのが通例だった。
【先行技術文献】
【非特許文献】
【００１１】
【非特許文献１】中川靖夫、外６名、「紫外１８５ｎｍ放射の測定」、照明学会誌、１９８８年６月、第７２巻、第６号、ｐ３１９〜３２３
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
この発明は、上記の点に鑑みてなされたもので、紫外線を利用して、水を殺菌したり、有機物を分解して純水を精製したりする紫外線処理システムにおいて、紫外線ランプから放射される波長１８５ｎｍの紫外線放射量を極力減衰させることなく測定できるようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
この発明は、管と、前記管の一端に気密に配置された石英板からなり、測定対象物から発生された紫外線を該管内に入れる入光板と、前記管の別の端に気密に配置された石英板からなり、前記入光板から入れた紫外線を該管外へ出す出光板とを具備し、前記管の内部を真空にして密閉してなることを特徴とする紫外線中継器である。
【００１４】
また、この発明は、管と、前記管の一端に気密に配置された石英板からなり、測定対象物から発生された紫外線を該管内に入れる入光板と、前記管の別の端に気密に配置された石英板からなり、前記入光板から入れた紫外線を該管外へ出す出光板とを具備し、前記管の内部に希ガス又は窒素ガスを充填して密閉してなることを特徴とする紫外線中継器である。
【００１５】
また、この発明は、処理対象の液体を内部に納めるシリンダと、前記シリンダ内に配設された紫外線を発生する測定対象物と、該シリンダの側面に配設された測定用窓部を有する紫外線処理システムにおいて、前記請求項１又は２に記載の紫外線中継器を、その入光板が前記測定対象物に当接するように、前記測定用窓部に装着することを特徴とする紫外線処理システムとして構成することもできる。
【００１６】
また、この発明は、処理対象の液体を内部に納めるシリンダと、前記シリンダ内に配設された紫外線を発生する測定対象物と、該シリンダの側面に配設された測定用窓部を有する紫外線処理システムにおいて、前記請求項１又は２に記載の紫外線中継器を、その入光板が前記測定対象物に当接するように、前記測定用窓部に装着し、前記装着された紫外線中継器の出光板側に紫外線を測定するための紫外線測定器具を配設することより、前記測定対象物から発生された紫外線を、前記紫外線中継器により中継して、前記紫外線測定器具により測定することを特徴とする紫外線測定方法として構成することもできる。
【発明の効果】
【００１７】
この発明によれば、内部を真空にした紫外線中継器、若しくは、内部に希ガス又は窒素ガスを充填した紫外線中継器を用いて測定対象物と出光板側に設けた紫外線照度計等の測定器具との間を中継することで、測定対象物から発生される波長１８５ｎｍの紫外線強度を、空気中や水中で極力減衰させることなく、出光板側に設けた紫外線測定器具まで伝播させることができる。本発明の紫外線中継器を紫外線処理システムに採用することで、波長１８５ｎｍの紫外線強度を的確に測定できるようになる。したがって、紫外線ランプの紫外線放射量の低下や、それを包む外管の劣化具合を容易に確認でき、紫外線ランプや外管の交換時期を容易に把握でき、もって、紫外線処理システムを安定的に運転できる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明に係る紫外線中継器の一実施形態の基本構造を示す図であって、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）は側面図。
【図２】図１の紫外線中継器を紫外線処理システムに取り付けた状態を示す断面拡大図。
【図３】図２をＢ−Ｂ´矢視した断面図。
【図４】図１の紫外線中継器を用いた測定の実施形態。
【図５】本発明に係る紫外線中継器の別の実施形態の基本構造を示す図であって、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）は側面図。
【図６】図５に示す紫外線中継器を用いた測定の実施形態を説明する図。
【図７】従来の紫外線処理システム全体図であって、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）は側面図。
【図８】図７の従来の紫外線処理システムをＡ‐Ａ´矢視した断面図。
【図９】紫外線ランプの点灯時間と紫外線出力の関係を示す図。
【図１０】水中における紫外線ランプの紫外線出力相対強度を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下に、添付図面を参照して本発明に係る紫外線中継器の一実施形態を詳細に説明する。
【００２０】
図１は、一実施形態に係る紫外線中継器の全体構造を示す。紫外線中継器１５は、管１５ａの一端に石英ガラスからなる入光板１５ｂを気密に配置し、もう一方の端にも石英ガラスからなる出光板１５ｃを気密に配置してなる。入光板１５ｂは紫外線ランプ等の測定対象物から発生された紫外線を管１５ａ内に取り入れる端部を成し、出光板１５ｃは入光板１５ｂから入ってきた紫外線を管１５ａの外へ出す端部を成す。すなわち、紫外線中継器１５は、管１５ａの両端に配置された入光板１５ｂ及び出光板１５ｃを通じて紫外線を透過させるように構成されており、入光板１５ｂ側の端部に当接される紫外線ランプ等の測定対象物と、出光板１５ｃ側に配設される紫外線測定器具との間における紫外線の伝播を中継する。
【００２１】
一例として、管１５ａは厚さ１．５ｍｍ、長さ２６０ｍｍの溶融石英管により構成される。管１５ａの長さは、少なくとも、紫外線中継器１５を紫外線処理システムに取り付けたときに、出光板１５ｃ側の端部が紫外線処理システムの外部に出る長さであることが望ましい。また、入光板１５ｂと出光板１５ｃとは、それぞれ、一例として、厚さ１．０ｍｍの合成石英板により構成される。入光板１５ｂと出光板１５ｃは、それぞれ、管１５ａに加熱溶融して気密に接着される。
【００２２】
一実施形態において、紫外線中継器１５は、管１５ａ、入光板１５ｂ及び出光板１５ｃからなる気密な容器に、排気管１５ｄを取り付けて、排気管１５ｄを通じて容器の内部を真空にした後、排気管１５ｄをチップオフして形成される。なお、図１においては、排気管１５ｄをチップオフした後の痕跡を描いている。
【００２３】
別の一実施形態において、紫外線中継器１５は、管１５ａ、入光板１５ｂ及び出光板１５ｃからなる気密な容器に取り付けた排気管１５ｄを通じて容器の内部を真空にした後に、希ガスとして例えばアルゴンを該容器の内部に充填して、そして排気管１５ｄをチップオフして形成される。紫外線中継器１５に充填する希ガスは、アルゴンに限らず、例えばネオン、キセノン又はクリプトンであってもよい。また、別の構成例として、紫外線中継器１５の容器の内部を真空にした後に、容器の内部に窒素ガスを充填する構成でもよい。紫外線中継器１５に充填する希ガス又は窒素ガスは、波長１８５ｎｍの紫外線を吸収せずに伝播する性質を持つ気体である。
【００２４】
本実施例に係る紫外線中継器１５は、例えば図７及び図８に示した紫外線処理システムに適用できる。この紫外線処理システムは、前述の通り、シリンダ１内に配設された外管２の中に紫外線ランプ３を設けた構造を成し、注水口６から取り入れた処理水がシリンダ１内を通して出水口７から排出されるように構成されている。シリンダ１内に処理対象となる水又は液体を通すと外管２が水中又は液中に埋まるので、外管２内の紫外線ランプ３から放射する紫外線により、シリンダ１内の水又は液体（以下単に「水」ともいう）を浄化処理（殺菌及び／又は有機物分解・除去）できる。シリンダ１の側面には測定用枝管８（測定用窓部、図では２つ）が具備されており、この測定用枝管８に配設された測定窓９を通じて、シリンダ１外部の紫外線照度計１４により紫外線ランプ３からの紫外線（図示外）の放射量を随時測定したり、或いは、測定用枝管８に配設された紫外線センサ１０により紫外線の放射量を測定したりできる。
【００２５】
図２は、紫外線中継器１５を、図７，８に示す紫外線処理システムに取り付けた拡大断面図であり、図３は図２の紫外線中継器をＢ−Ｂ´矢視した断面図である。紫外線中継器１５は、入光板１５ｂ側の端部を下に向けて（シリンダ１内側に向けて）、測定用枝管８に挿入される。図２及び３に示す通り、紫外線中継器１５を取り付けた状態では、紫外線中継器１５の入光板１５ｂを含む端部が、シリンダ１内の外管２の外周面に当接され、他方の出光板１５ｃを含む端部が測定用枝管８からシリンダ１の外部に突出する。
【００２６】
一例として、紫外線中継器１５の管１５ａの外径は、少なくとも測定用枝管８内に挿入できるよう測定用枝管８の内径よりも細くする。図示の例では、管１５ａの外径は、入光板１５ｂ側の一部でのみ測定用枝管８の内径よりも細くなっており、出光板１５ｃ側では測定用枝管８の内径と略等しい太さになっている。なお、紫外線中継器１５の管１５ａの外径は、少なくとも  測定用枝管８に挿入でき、且つ、後述する紫外線を中継する用途に支障がなければ、どのようなサイズでもよく、上記に限定されない。
【００２７】
図１〜図３に示す紫外線中継器１５の一実施形態では、入光板１５ｂを含む端部は略平板な形状に形成される。この場合、図２及び３に示す通り、紫外線中継器１５を紫外線処理システムに取り付けたときに、入光板１５ｂの一部のみが外管２の外周面に当接する。
【００２８】
図４は、図１〜図３の紫外線中継器１５を用いた紫外線放射量の測定の実施形態である。紫外線照度計１４は出光板１５ｃに密着して配設される。これにより、紫外線ランプ３から発生した紫外線は、外管２の表面に当接された入光板１５ｂから直接的に管１５ａに入り、真空にされた管１５ａ内、若しくは、アルゴンガス等の希ガス又は窒素ガスが充填された管１５ａ内を伝播して、出光板１５ｃから紫外線照度計１４に届く。紫外線中継器１５の管１５ａ内が、真空である、若しくは、アルゴンガス等の希ガス又は窒素ガスで充填されているため、紫外線中継器１５が紫外線ランプ３と紫外線照度計１４との間を中継することにより、波長１８５ｎｍの紫外線が紫外線ランプ３から紫外線照度計１４に伝播する間にシリンダ１内の処理水中で減衰することを極力抑制できる。
【００２９】
出願人は、運転中の（つまりシリンダ１内に処理水を通している）紫外線処理システムに、図４に示すように紫外線中継器１５と紫外線照度計１４とを取り付けて、紫外線ランプ３を点灯して紫外線強度を測定した。その測定結果によると、内部を真空にした紫外線中継器１５、若しくは、内部にアルゴンガス等の希ガス又は窒素ガスを充填した紫外線中継器１５の何れを用いた場合も、波長１８５ｎｍの紫外線強度の測定値に差はなかった。そして、窒素雰囲気中で外管２の表面に紫外線照度計を直接密着させて測定した場合の測定結果、つまり波長１８５ｎｍの紫外線が減衰しない条件での測定結果を１００％とすると、紫外線中継器１５を用いた測定結果はその約４２％であった。この比率は、点灯時間を経ることによる紫外線ランプ３の紫外線放射量低下及び外管２の紫外線透過率の低下を確認することが十分可能な測定結果を得られているということを意味する。
【００３０】
上述した図１〜図４に示す入光板１５ｂを含む端部を平板にする構成では、入光板１５ｂ側の端部と外管２の外周面とが一部でしか当接しておらず、当接個所から直接入ってくる紫外線量が少ない。加えて、入光板１５ｂ側の端部と外管２の外周の間に隙間があるため、この隙間に入り込む処理水（液体）又は空気の存在によりオゾンが発生し、発生したオゾンによって波長１８５ｎｍの紫外線が減衰されて当該隙間部分を通る波長１８５ｎｍの紫外線の測定量が変化してしまうことにより、波長１８５ｎｍの紫外線の測定精度が低下し得る。図５は、この点を改善した紫外線中継器１５の実施形態を示す。この実施形態では、紫外線中継器１５の入光板１５ｂを含む端部が、外管２の外周面に密着するように、外管２の形状に略一致する形状に形成される。すなわち、紫外線中継器１５の入光板１５ｂを含む端部は、外管２の外周の円筒形状に沿って湾曲する湾曲面により構成される。この場合、紫外線中継器１５を紫外線処理システムに取り付けたときに、図６に示す通り、紫外線中継器１５の入光板１５ｂを含む端部の全面が、外管２の外周面に密着する。紫外線ランプ３を点灯して紫外線強度を測定したところ、窒素雰囲気中で外管２の外周面に紫外線照度計を直接密着させて測定した場合の測定結果を１００％とすると、紫外線中継器１５を用いた場合の測定値は約７５％であった。したがって、図５，６に示す外管２の外周面に密着させる構成の紫外線中継器１５を採用した場合、より一層的確に紫外線ランプ３の紫外線強度を測定することができる。
【００３１】
以上説明した通り、本実施例によれば、内部を真空にした紫外線中継器１５、若しくは、内部に希ガス又は窒素ガスを充填した紫外線中継器１５を用いて紫外線ランプ３と紫外線照度計１４（測定器具）の間を中継する構成により、シリンダ１の外側に配設された紫外線照度計１４は、紫外線ランプ３から発生される波長１８５ｎｍの紫外線強度を、処理水中で極力減衰させることなく、的確に測定できるようになる。したがって、紫外線中継器１５を紫外線処理システムに採用することにより、紫外線ランプ３の紫外線放射量の低下や、外管２の劣化具合を容易に確認でき、紫外線ランプ３や外管２の交換時期を容易に把握でき、もって、紫外線処理システムを常に安定な運転させることが可能となる。
【００３２】
上述した実施例では、運転中の紫外線処理システムにおいてシリンダ１内の処理水中に配設された紫外線ランプ３から発生される波長１８５ｎｍの紫外線強度を測定することを想定して説明した。本願発明の紫外線中継器１５は、紫外線処理システムの運転中（外管２を水又は液体中に配設した状態）に限らず、シリンダ１内に処理水又は液体を通さない状態で紫外線ランプ３から発生される波長１８５ｎｍの紫外線強度を測定する場合にも有効に利用できる。しかし、図１〜図４に示す入光板１５ｂを含む端部を平板にするタイプを利用する場合、前述したように、入光板１５ｂと外管２の外周の隙間に入り込む空気の存在によりオゾンが発生し、発生したオゾンによって波長１８５ｎｍの紫外線が減衰されて当該隙間部分を通る波長１８５ｎｍの紫外線の測定量が変化し、波長１８５ｎｍの紫外線の測定精度が低下してしまうという問題がある。この問題を解決する方法として、波長１８５ｎｍの紫外線を通さない測定用の溶液（溶液フィルタ）をシリンダ１内に流す構成を採用するとよい。溶液フィルタは例えば硫酸銅であり、これに限らず波長１８５ｎｍの紫外線をカットできる溶液であれば、従来知られるどのような溶液も採用しうる。シリンダ１内を前記溶液フィルタで満たす構成によれば、図１〜図４に示す入光板１５ｂが平板なタイプの紫外線中継器１５を使用する場合であっても、外管２の表面と入光板１５ｂとの隙間部分が波長１８５ｎｍの紫外線をカットする溶液で埋まるため、隙間部分でオゾンが発生することなく波長１８５ｎｍの紫外線の測定量が変化しない。従って、測定精度が低下せず、高精度で波長１８５ｎｍの紫外線強度を測定できる。
【００３３】
なお、本発明に係る紫外線中継器１５を採用する紫外線処理システムの構造は上記に限定されない。
【符号の説明】
【００３４】
１  シリンダ、２  外管、３  紫外線ランプ、４  シリンダカバー、５  フランジ、６  注水口、７  出水口、８  測定用枝管、９  測定窓、１０  紫外線センサ、１１  口金、１２  ソケット、１３  キャップ、１４  紫外線照度計、１５  紫外線中継器、１５ａ  管、１５ｂ  入光板、１５ｃ  出光板、１５ｄ  排気管
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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