(57)【要約】【課題】電気めっきを行う際に発生するめっき対象のめっきバラツキを改善するための電気めっき用バスケットを提供する。【解決手段】本発明による電気めっき用バスケット１００は、めっき対象側の一面がメッシュ（Ｍｅｓｈ）構造に形成されたバスケット部材１１０と、バスケット部材１１０の一面上に結合されるように形成され、領域毎に独立して開閉可能な複数の遮蔽板１２１を含むブラインド部材１２０と、を含むものである。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
めっき対象側の一面がメッシュ（Ｍｅｓｈ）構造に形成されたバスケット部材と、
前記バスケット部材の一面上に結合されるように形成され、領域毎に独立して開閉可能な複数の遮蔽板を含むブラインド部材と、を含む電気めっき用バスケット。
【請求項２】
前記ブラインド部材は、前記複数の遮蔽板が縦軸を基準に開閉可能なバーチカルブラインド（Ｖｅｒｔｉｃａｌ  Ｂｌｉｎｄ）構造に形成されることを特徴とする請求項１に記載の電気めっき用バスケット。
【請求項３】
前記ブラインド部材は、前記複数の遮蔽板が横軸を基準に開閉可能な構造に形成されることを特徴とする請求項１に記載の電気めっき用バスケット。
【請求項４】
前記ブラインド部材は、前記バスケット部材の一面のサイズに対応するように形成されることを特徴とする請求項１に記載の電気めっき用バスケット。
【請求項５】
前記ブラインド部材は、前記複数の遮蔽板を固定させ、前記複数の遮蔽板それぞれが開閉可能に結合された遮蔽枠をさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の電気めっき用バスケット。
【請求項６】
前記ブラインド部材は、前記遮蔽枠のうち前記複数の遮蔽板それぞれに対応する領域に形成され、前記複数の遮蔽板それぞれの開閉程度を調節する遮蔽調節用部材をさらに含むことを特徴とする請求項５に記載の電気めっき用バスケット。
【請求項７】
前記バスケット部材は、めっきボールを投入するために上部面が開口された構造を有することを特徴とする請求項１に記載の電気めっき用バスケット。
【請求項８】
めっきボールが投入されるバスケット部材と、
前記バスケット部材の一面上に結合されるように形成され、領域毎に独立して開閉可能な複数の遮蔽板を含むブラインド部材と、を含む電気めっき用バスケット。
【請求項９】
前記ブラインド部材は、前記複数の遮蔽板を固定させ、前記複数の遮蔽板それぞれが開閉可能に結合された遮蔽枠をさらに含むことを特徴とする請求項８に記載の電気めっき用バスケット。
【請求項１０】
前記ブラインド部材は、前記遮蔽枠のうち前記複数の遮蔽板それぞれに対応する領域に形成され、前記複数の遮蔽板それぞれの開閉程度を調節する遮蔽調節用部材をさらに含むことを特徴とする請求項９に記載の電気めっき用バスケット。
【請求項１１】
前記ブラインド部材は、前記複数の遮蔽板が縦軸を基準に開閉可能なバーチカルブラインド（Ｖｅｒｔｉｃａｌ  Ｂｌｉｎｄ）構造に形成されることを特徴とする請求項８に記載の電気めっき用バスケット。
【請求項１２】
前記ブラインド部材は、前記複数の遮蔽板が横軸を基準に開閉可能な構造に形成されることを特徴とする請求項８に記載の電気めっき用バスケット。
【請求項１３】
前記バスケット部材は、前記バスケット部材の一面がメッシュ（Ｍｅｓｈ）構造に形成されることを特徴とする請求項８に記載の電気めっき用バスケット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気めっき用バスケットに関する。
【背景技術】
【０００２】
現在、特許文献１を始めとする様々な構造のプリント回路基板に対してユーザが要求するスペック（ｓｐｅｃ）が多様化しており、これによりパターンのめっき厚さも多様化している。また、めっき厚さは、信頼性の確保のために従来より高い厚さのターゲット（Ｔａｒｇｅｔ）を求めている傾向にある。
【０００３】
しかし、ドライフィルムは、その厚さが決まっているため、めっき厚さが高くなると、ドライフィルムを用いたＳＡＰ（Ｓｅｍｉ  Ａｄｄｉｔｉｖｅ  Ｐｒｏｃｅｓｓ）回路形成方法では、未剥離を始めとする様々な不良が発生する。
【０００４】
一方、フリップチップ（Ｆｌｉｐ  Ｃｈｉｐ）製品において、製品のデザインによってめっきのバラツキが発生すると、ドライフィルム上にめっきが成長して、次の工程であるドライフィルムのストリップ工程で未剥離不良が発生する。
【０００５】
また、めっき厚さが高くなると、未剥離不良が発生しないとしても、ＳＲ（Ｓｏｌｄｅｒ  Ｒｅｓｉｓｔ）工程及びバンプ工程で半田レジスト厚さの下限によるＳＲ銅見え不良またはＳＲ厚さのバラツキによるバンプ高さ不良が発生する。
【０００６】
後工程で発生し得る不良を改善するためには、まず、パターン銅めっき工程におけるめっきのバラツキを最大限改善しなければならない。
【０００７】
めっき工程のために適用されるめっきバスケットは、めっきイオンをめっき領域に流してめっきがなされるようにするが、この際、めっきバスケットから流れるめっきイオンがめっき対象に均一に着かず、上述したようにめっきのバラツキが発生する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】米国特許出願公開第２００６／０１９１７０９号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は、上記の従来技術の問題点を解決するためのものであって、本発明の一側面は、電気めっきを行う際に発生するめっき対象のめっきバラツキを改善するためのめっき用バスケットを提供することをその目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の実施例による電気めっき用バスケットは、めっき対象側の一面がメッシュ（Ｍｅｓｈ）構造に形成されたバスケット部材と、前記バスケット部材の一面上に結合されるように形成され、領域毎に独立して開閉可能な複数の遮蔽板を含むブラインド部材と、を含むものである。
【００１１】
本発明の実施例による電気めっき用バスケットのブラインド部材は、前記複数の遮蔽板が縦軸を基準に開閉可能なバーチカルブラインド（Ｖｅｒｔｉｃａｌ  Ｂｌｉｎｄ）構造に形成されることができる。
【００１２】
本発明の実施例による電気めっき用バスケットのブラインド部材は、前記複数の遮蔽板が横軸を基準に開閉可能な構造に形成されることができる。
【００１３】
本発明の実施例による電気めっき用バスケットのブラインド部材は、前記バスケット部材の一面のサイズに対応するように形成されることができる。
【００１４】
本発明の実施例による電気めっき用バスケットのブラインド部材は、前記複数の遮蔽板を固定させ、前記複数の遮蔽板それぞれが開閉可能に結合された遮蔽枠をさらに含むことができる。
【００１５】
本発明の実施例による電気めっき用バスケットのブラインド部材は、前記遮蔽枠のうち前記複数の遮蔽板それぞれに対応する領域に形成され、前記複数の遮蔽板それぞれの開閉程度を調節する遮蔽調節用部材をさらに含むことができる。
【００１６】
本発明の実施例による電気めっき用バスケットのバスケット部材は、めっきボールを投入するために上部面が開口された構造を有することができる。
【００１７】
本発明の他の実施例による電気めっき用バスケットは、めっきボールが投入されるバスケット部材と、前記バスケット部材の一面上に結合されるように形成され、領域毎に独立して開閉可能な複数の遮蔽板を含むブラインド部材と、を含むものである。
【００１８】
本発明の他の実施例による電気めっき用バスケットのブラインド部材は、前記複数の遮蔽板を固定させ、前記複数の遮蔽板それぞれが開閉可能に結合された遮蔽枠をさらに含むことができる。
【００１９】
本発明の他の実施例による電気めっき用バスケットのブラインド部材は、前記遮蔽枠のうち前記複数の遮蔽板それぞれに対応する領域に形成され、前記複数の遮蔽板それぞれの開閉程度を調節する遮蔽調節用部材をさらに含むことができる。
【００２０】
本発明の他の実施例による電気めっき用バスケットのブラインド部材は、前記複数の遮蔽板が縦軸を基準に開閉可能なバーチカルブラインド（Ｖｅｒｔｉｃａｌ  Ｂｌｉｎｄ）構造に形成されることができる。
【００２１】
本発明の他の実施例による電気めっき用バスケットのブラインド部材は、前記複数の遮蔽板が横軸を基準に開閉可能な構造に形成されることができる。
【００２２】
本発明の他の実施例による電気めっき用バスケットのバスケット部材は、前記バスケット部材の一面がメッシュ（Ｍｅｓｈ）構造に形成されることができる。
【発明の効果】
【００２３】
本発明の実施例による電気めっき用バスケットは、＋極自体に遮蔽機能を付与することにより、遮蔽領域を微細に調整することができるため、均一なめっき厚さが得られるという効果を期待することができる。
【００２４】
また、本発明の実施例によると、パターン銅めっき工程で銅イオンが過度に溶解されることを防止して、製造コストを低減することができるという効果を期待することができる。
【００２５】
また、本発明の実施例によると、過度に溶解された銅イオンがめっき槽内で酸素と反応して酸化銅沈殿物として沈むことを予め防止することにより、沈殿物による液老化だけでなく、めっき対象である基板に沈殿物が蒸着されて発生し得るビア未めっき不良などを防止することができる。
【００２６】
また、本発明の実施例によると、従来の別に備えられた遮蔽板を省略することにより、コストを低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明の実施例による電気めっき用バスケットの構成を示す図面である。
【図２】本発明の実施例によるバスケット部材を詳細に示す図面である。
【図３】本発明の実施例によるブラインド部材を詳細に示す図面である。
【図４】本発明の実施例による電流分布を説明するための図面である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
本発明の目的、特定の長所及び新規の特徴は、添付図面に係る以下の詳細な説明及び好ましい実施例によってさらに明らかになるであろう。本明細書において、各図面の構成要素に参照番号を付け加えるに際し、同一の構成要素に限っては、たとえ異なる図面に示されても、できるだけ同一の番号を付けるようにしていることに留意しなければならない。また、「一面」、「他面」、「第１」、「第２」などの用語は、一つの構成要素を他の構成要素から区別するために用いられるものであり、構成要素が前記用語によって限定されるものではない。以下、本発明を説明するにあたり、本発明の要旨を不明瞭にする可能性がある係る公知技術についての詳細な説明は省略する。
【００２９】
以下、添付図面を参照して、本発明の好ましい実施例を詳細に説明する。
【００３０】
（電気めっき用バスケット）
図１は、本発明の実施例による電気めっき用バスケットの構成を示す図面であり、図２は、本発明の実施例によるバスケット部材を詳細に示す図面であり、図３は、本発明の実施例によるブラインド部材を詳細に示す図面であり、図４は、本発明の実施例による電流分布を説明するための図面である。
【００３１】
図１及び図２を参照すると、本発明の実施例による電気めっき用バスケット１００は、めっき対象２００側の一面１１１がメッシュ（Ｍｅｓｈ）構造に形成されたバスケット部材１１０と、バスケット部材１１０の一面上に結合されるように形成され、領域毎に独立して開閉可能な複数の遮蔽板１２１、１２１ａ、１２１ｂ、１２１ｃ、１２１ｄ、…（以下、参照番号を１２１と記載する）を含むブラインド部材１２０と、を含むものである（図４参照）。
【００３２】
前記めっき対象２００は、プリント回路基板であることができるが、これに限定されない。
【００３３】
本発明の実施例で開示するめっきは、電気めっきを意味し、電気めっき用バスケット１００は、電気めっきに適用されるものを意味する。
【００３４】
また、バスケット部材１１０は、めっきボールが投入されるバスケットであり、めっき槽（不図示）に投入されてアノード（＋極）となる。この際、めっきボールは、銅（Ｃｕ）ボールであることができる。
【００３５】
図３に図示するように、ブラインド部材１２０は、複数の遮蔽板１２１が縦軸を基準に開閉可能なバーチカルブラインド（Ｖｅｒｔｉｃａｌ  Ｂｌｉｎｄ）構造に形成されることができる。
【００３６】
図示していないが、ブラインド部材１２０は、複数の遮蔽板１２１が横軸を基準に開閉可能な構造に形成されてもよく、これに限定されない。
【００３７】
例えば、運用者の必要に応じて、複数の遮蔽板１２１が斜線軸を基準に開閉可能な構造に形成されてもよい。
【００３８】
また、図１に図示するように、ブラインド部材１２０は、バスケット部材１１０の一面のサイズに対応するように形成されることができる。
【００３９】
上述のブラインド部材１２０とバスケット部材１１０のサイズは、めっき対象２００のサイズを考慮して設定することができる。
【００４０】
また、ブラインド部材１２０は、複数の遮蔽板１２１を固定させ、複数の遮蔽板１２１それぞれが開閉可能に結合された遮蔽枠１２３をさらに含むことができる。
【００４１】
図３に図示するように、複数の遮蔽板１２１は、上部と下部が遮蔽枠１２３に固定されており、開閉可能となるように、上部面の一部と下部面の一部のみが結合された形態を有することができる。
【００４２】
上述した結合構造は、複数の遮蔽板１２１が開閉される基準軸によって変更されることができる。
【００４３】
また、図３に図示するように、ブラインド部材１２０は、遮蔽枠１２３のうち複数の遮蔽板１２１それぞれに対応する領域に形成され、複数の遮蔽板１２１それぞれの開閉程度を調節する遮蔽調節用部材１３０をさらに含むことができる。
【００４４】
前記遮蔽調節用部材１３０は、複数の遮蔽板１２１それぞれに対応して形成されており、遮蔽板１２１の開閉程度を調節することができる形態の構成であれば、制限されずに適用されることができる。例えば、前記遮蔽調節用部材１３０は、ねじなどの形態を有することができる。
【００４５】
図２に図示するように、バスケット部材１１０は、めっきボール（不図示）を投入するために上部面が開口された構造を有することができる。
【００４６】
図４を参照すると、本発明の実施例による電気めっき用バスケット１００のバスケット部材１１０は、めっき対象２００と対向する一面（図２の１１１）のみがメッシュ構造に形成されている。従って、バスケット部材１１０の一面のみからめっきボール（例えば、銅ボール）が溶けてめっきイオン（例えば、銅イオン）が通り抜けるため、めっき対象２００の全面に均一なめっきがなされることができる。
【００４７】
より詳細に説明すると、めっき時、電気銅めっき槽で銅イオンが還元されて基板に蒸着されるが、銅イオンは、（＋）極である銅ボールで溶解され、（−）極である基板に蒸着される。
【００４８】
しかし、従来の電気めっき用バスケットは、全面が開口された構造に形成されているため、めっき対象と対向する面だけでなく、他の面からもめっきイオンが通り抜けて、銅イオンの流失が発生し、流失した銅イオンは、酸素と反応してめっき槽中に沈殿物として沈むことになる。
【００４９】
底に沈んだ沈殿物は、めっき槽の循環によって流動し、めっき中に基板の表面に付着して銅ノジュール（Ｃｕ  Ｎｏｄｕｌｅ）不良を発生させたり、マイクロビアに流入して開口不良を誘発させる恐れがある。
【００５０】
また、従来の電気めっき用バスケットは、全面が開口されているため、基板の縁部に電流が集中して、めっき対象２００の特定領域でめっきバラツキが発生する。
【００５１】
一方、本発明の実施例による電気めっき用バスケット１００は、めっき対象２００と対向する一面１１１のみがメッシュ構造に形成されるバスケット部材１１０の構造により、均一なめっき厚さを形成することができるという効果を期待することができる。
【００５２】
即ち、上述した従来の電気めっき用バスケットは、全面がメッシュ構造に開口された形態を有していたため、めっき対象と対向する面以外の面からも多量のめっきイオンが通り抜けて、めっき対象の縁領域にめっきが集中的になされて、めっき厚さが不均一に形成される。
【００５３】
これに対して、本発明の実施例による電気めっき用バスケット１００は、めっき対象２００と対向する一面１１１のみがメッシュ構造に開口されていて、めっきイオンが一面のみから通り抜けるため、めっき対象２００の特定領域にめっきイオンが集中的に蒸着されることがなく、めっき厚さが均一に形成されることができる。
【００５４】
また、本発明の実施例による電気めっき用バスケット１００は、めっきイオン（例えば、銅イオン）が過度に溶解されることを防止することができ、めっき槽内で均一な電流分布を形成することができるため、めっきバラツキによって後工程で発生し得る不良を防止することができる。
【００５５】
また、本発明による電気めっき用バスケット１００は、領域毎にめっきイオンの流れを制御するためのブラインド部材１２０を備えるため、運用者の必要に応じて、領域毎にめっきイオン（例えば、銅イオン）の量を制御することができ、これによってめっき量を容易に調節することができる。
【００５６】
より詳細に説明すると、本発明の実施例によると、遮蔽調節用部材１３０によって複数の遮蔽板１２１それぞれの開閉程度を調節することができる。従って、運用者の必要に応じて、めっき対象２００の特定領域にめっきイオンが流れることを制限または増大させるために、該当遮蔽板１２１の開閉程度を調節してめっき量を調節することができる。
【００５７】
また、本発明の実施例によると、めっきバラツキの改善により、後工程であるドライフィルムの剥離工程で、過めっきによって発生する未剥離不良を根本的に解決して、安定した収率を確保することができる。
【００５８】
また、本発明の実施例によると、めっきバラツキの改善により、後工程で発生し得るバンプ高さ不良などの問題点を解決することができる。
【００５９】
また、本発明の実施例によると、銅めっきの厚さの均一性が確保されるため、フラッシュエッチング（Ｆｌａｓｈ  Ｅｔｃｈｉｎｇ）のバラツキが改善されて、微細回路を実現することができる。
【００６０】
以上、本発明を具体的な実施例に基づいて詳細に説明したが、これは本発明を具体的に説明するためのものであり、本発明はこれに限定されず、該当分野における通常の知識を有する者であれば、本発明の技術的思想内にての変形や改良が可能であることは明白であろう。
【００６１】
本発明の単純な変形乃至変更はいずれも本発明の領域に属するものであり、本発明の具体的な保護範囲は添付の特許請求の範囲により明確になるであろう。
【産業上の利用可能性】
【００６２】
本発明は、電気めっき用バスケットに適用可能である。
【符号の説明】
【００６３】
１００  電気めっき用バスケット
１１０  バスケット部材
１１１  バスケット部材の一面（一面）
１２０  ブラインド部材
１２１、１２１ａ、１２１ｂ、１２１ｃ、１２１ｄ  遮蔽板
１２３  遮蔽枠
１３０  遮蔽調節用部材
２００  めっき対象
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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