(57)【要約】【課題】本発明の目的は、電子部品実装装置に係わり、電子部品の保持または装着の精度を向上させる技術を提供することである。【解決手段】電子部品を保持手段によって、高さを含む実装条件を用いて保持あるいは装着することによって実装する電子部品実装装置において、指定された実装条件を用いることによって保持あるいは装着された電子部品の位置情報を特定する手段と、複数の特定された位置情報を用いて、前記実装条件ごとの電子部品の位置のばらつきを特定する手段と、特定されたばらつきを用いて、前記電子部品の新しい実装条件を特定する手段と、を有することを特徴とする電子部品実装装置。【選択図】図１２
2014096509.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品を保持手段によって、高さ方向の条件を含む実装条件を用いて保持あるいは装着することによって実装する電子部品実装装置において、
所定の実装条件を用いることによって保持あるいは装着された電子部品の位置情報を特定する手段と、
特定された位置情報を用いて、電子部品の位置のばらつきを特定する手段と、
前記所定の実装条件を複数回変えることによって、複数のばらつきを特定する手段と、
特定された複数のばらつきを用いて、前記電子部品の実装条件を特定する手段と、
を有することを特徴とする電子部品実装装置。
【請求項２】
請求項１記載の電子部品実装装置において、
前記電子部品の位置情報は、保持手段と保持された電子部品、または、電子部品が基板に装着されるべき位置と装着された電子部品、との位置関係を示す情報であること
を特徴とする電子部品実装装置。
【請求項３】
請求項１記載の電子部品実装装置において、
前記実装条件を特定する手段は、前記電子部品の実装条件を特定されたばらつきが所定の値を超えた場合に、前記電子部品の実装条件を特定し変更すること
を特徴とする電子部品実装装置。
【請求項４】
請求項１記載の電子部品実装装置において、
特定された実装条件は、保持あるいは装着に用いる保持手段の停止位置であること
を特徴とする電子部品実装装置。
【請求項５】
請求項１記載の電子部品実装装置において、
保持あるいは装着した電子部品を、部品供給部あるいは部品回収部へ格納すること
を特徴とする電子部品実装装置。
【請求項６】
電子部品実装装置に、電子部品を保持手段によって、高さ方向の条件を含む実装条件を用いて保持あるいは装着することによって実装させる動作情報を特定する演算装置において、
所定の実装条件を用いることによって保持あるいは装着された電子部品の位置情報を特定する手段と、
特定された位置情報を用いて、電子部品の位置のばらつきを特定する手段と、
前記所定の実装条件を複数回変えることによって、複数のばらつきを特定する手段と、
特定された複数のばらつきを用いて、前記電子部品の実装条件を特定する手段と、
を有することを特徴とする演算装置。
【請求項７】
請求項６記載の演算装置において、
前記電子部品の位置情報は、保持手段と保持された電子部品、または、電子部品が基板に装着されるべき位置と装着された電子部品、との位置関係を示す情報であること
を特徴とする演算装置。
【請求項８】
請求項６記載の演算装置において、
前記実装条件を特定する手段は、前記電子部品の実装条件を特定されたばらつきが所定の値を超えた場合に、前記電子部品の実装条件を特定し変更すること
を特徴とする演算装置。
【請求項９】
請求項６記載の演算装置において、
特定された実装条件は、保持あるいは装着に用いる保持手段の停止位置であること
を特徴とする演算装置。
【請求項１０】
請求項７記載の演算装置において、
前記電子部品の位置のばらつきを、特定された位置関係の差を前記実装条件ごとに和を用いて算出することによって特定すること
を特徴とする演算装置。
【請求項１１】
請求項７記載の演算装置において、
前記電子部品の位置のばらつきを、特定された位置関係の差を前記実装条件ごとに標準偏差の重み付き和を利用して算出することによって特定すること
を特徴とする演算装置。
【請求項１２】
電子部品を保持手段によって、高さ方向の条件を含む実装条件を用いて保持あるいは装着することによって実装する電子部品実装方法において、
所定の実装条件を用いることによって保持あるいは装着された電子部品の位置情報を特定するステップと、
複数の特定された位置情報を用いて、前記実装条件ごとの電子部品の位置のばらつきを特定するステップと、
特定されたばらつきを用いて、電子部品の実装条件を特定するステップと、
を有することを特徴とする電子部品実装方法。
【請求項１３】
請求項１２記載の電子部品実装方法において、
前記電子部品の位置情報は、保持手段と保持された電子部品、または、電子部品が基板に装着されるべき位置と装着された電子部品、との位置関係を示す情報であること
を特徴とする電子部品実装方法。
【請求項１４】
請求項１２記載の電子部品実装方法において、
特定された実装条件は、保持あるいは装着に用いる保持手段の停止位置であること
を特徴とする電子部品実装方法。
【請求項１５】
請求項１２記載の電子部品実装方法において、
前記電子部品の実装条件を特定するステップは、特定された実装条件ごとの電子部品の位置のばらつきを比較し、前記ばらつきが大きな実装条件と前記電子部品の実装条件との差分が、前記ばらつきの大きな実装条件と前記所定の実装条件との差分よりも大きくなるように実装条件を特定すること
を特徴とする電子部品実装方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品を基板に実装する電子部品実装装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子部品実装装置（以下、単に部品実装装置とも呼称する）は、部品供給装置（テープフィーダやトレイ型部品供給装置）に搭載されている電子部品（以下、単に部品とも呼称する）を、吸着ノズル（以下、単にノズルともいう）の内部を減圧することによって吸着し、基板の所定の位置に搬送して装着する。以下、吸着と装着を含めて実装と呼ぶ。部品実装装置に関し、吸着ノズルが部品を保持する際に、ノズルを部品に向かって伸縮する方向をＺ方向とし、Ｚ方向と交差する方向をＸ，Ｙ方向あるいは、Ｘ，Ｙ平面と呼ぶ。
【０００３】
米国特許第７７３９０７７号（特許文献１）には、実装条件決定ステップでは、前記動作状態を示すパラメータが所定の範囲内となるように、部品実装機に備えられる部材が移動した後の静止時間を調整して実装条件を決定しても良く、前記動作状態を示すパラメータが所定の範囲内となるように、吸着ノズルが下降した後の静止時間を調整して実装条件を決定しても良い。特に、前記動作状態を示すパラメータが所定の範囲よりも良い場合、前記動作状態を示すパラメータが前記範囲内となるように、前記静止時間を短くして実装条件を決定すれば良く、前記動作状態を示すパラメータが所定の範囲よりも悪い場合、前記動作状態を示すパラメータが前記範囲内となるように、前記静止時間を長くして実装条件を決定する方法が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】米国特許第７７３９０７７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記のような電子部品実装装置では、フィーダに搭載・保持されている電子部品の位置や、基板の厚みやたわみ、部品装着ノズルが吸着した部品の形状・重量などに応じて、ノズルの吸着時の位置や、ノズルの吸着後の動作速度、ノズルの装着時の位置や、ノズルの装着後の動作速度などを、適切に設定する必要がある。
【０００６】
特許文献１の技術では、吸着異常または装着異常が発生してからパラメータを変更するため、吸着異常や装着異常を未然に予防する方法については開示されていない。
【０００７】
電子部品を保持または実装する位置については、Ｚ方向の部品上面側でのノズル停止位置に対して反対の面（部品の底面）方向にずれた場合には、部品上面とノズルとの距離が大きくなり、部品をノズルによって適切に吸着することは困難となることは考慮されていない。
【０００８】
また、部品の位置がノズル側にずれ、部品上面とノズルとの距離が小さくなった場合も同様に適切な吸着ができないことがある。
【０００９】
このように部品を吸着する際に、適切な距離ではないことによって部品を傾いた状態で吸着することや、吸着できない、あるいは、傾いた状態での実装や、実装できないような吸着異常や装着異常が発生することがある。
【００１０】
吸着ノズルに限らず、例えば粘着式や樹脂製のノズル等、チャックを用いた機械式等の保持手段であっても、部品を保持あるいは装着する際には同様の問題を有している。
【００１１】
以上を鑑み、本発明の目的は、電子部品実装装置に係わり、電子部品の保持または装着の精度を向上させる技術を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記課題を解決するために、本発明の電子部品実装装置は、電子部品を保持手段によって、高さを含む実装条件を用いて保持あるいは装着することによって実装する電子部品実装装置において、所定の実装条件を用いることによって保持あるいは装着された電子部品の位置情報を特定する手段と、特定された位置情報を用いて、電子部品の位置のばらつきを特定する手段と、前記所定の実装条件を複数回変えることによって、複数のばらつきを特定する手段と、特定された複数のばらつきを用いて、前記電子部品の実装条件を特定する手段と、を有することを特徴とする。
【００１３】
本発明の演算装置は、電子部品実装装置に、電子部品を保持手段によって、高さを含む実装条件を用いて保持あるいは装着することによって実装させる動作情報を特定する演算装置において、所定の実装条件を用いることによって保持あるいは装着された電子部品の位置情報を特定する手段と、特定された位置情報を用いて、電子部品の位置のばらつきを特定する手段と、前記所定の実装条件を複数回変えることによって、複数のばらつきを特定する手段と、特定された複数のばらつきを用いて、前記電子部品の実装条件を特定する手段と、を有することを特徴とする。
【００１４】
本発明の実装方法は、電子部品を保持手段によって、高さを含む実装条件を用いて保持あるいは装着することによって実装する電子部品実装方法において、所定の実装条件を用いることによって保持あるいは装着された電子部品の位置情報を特定するステップと、複数の特定された位置情報を用いて、前記実装条件ごとの電子部品の位置のばらつきを特定するステップと、特定されたばらつきを用いて、電子部品の実装条件を特定するステップと、を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
本発明は、電子部品実装装置による電子部品の保持または装着にかかる実装作業の精度を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】部品実装装置の構成例を示す図である。
【図２】部品実装装置での処理例を示すフロー図である。
【図３】部品実装装置におけるフィーダ、ヘッド等の部位の構成例、検査装置の構成例、及び基板に対する部品の実装の構成例を模式的に示す図である。
【図４】ヘッド及びノズルの構成例を示す図である。
【図５】吸着時の部品及びノズルの位置を側面から見た例を示す図である。
【図６】装着時の部品及びノズルの位置を側面から見た例を示す図である。
【図７】吸着ずれ取得部により計測される部品吸着ずれ量の例を示す図である。
【図８】吸着ずれ取得部により計測される部品吸着ずれ（角度）の例を示す図である。
【図９】装着ずれ取得部により計測される部品装着ずれ量の例を示す図である。
【図１０】装着ずれ取得部により計測される部品装着ずれ（角度）の例を示す図である。
【図１１】演算装置の処理例（停止位置の変更処理）を示すフロー図である。
【図１２】演算装置の処理例（動作速度の変更処理）を示すフロー図である。
【図１３】装着情報のテーブル例を示す図である。
【図１４】動作情報のテーブル例を示す図である。
【図１５】吸着ずれ情報のテーブル例を示す図である。
【図１６】装着ずれ情報のテーブル例を示す図である。
【図１７】吸着ずればらつき情報のテーブル例を示す図である。
【図１８】装着ずればらつき情報のテーブル例を示す図である。
【図１９】閾値情報のテーブル例を示す図である。
【図２０】演算装置の出力する画面例（吸着位置の変更処理）を示す図である。
【図２１】演算装置の出力する画面例（装着位置の変更処理）を示す図である。
【図２２】演算装置の出力する画面例（動作速度の変更処理）を示す図である。
【図２３】部品実装装置での処理例を示すフロー図である。
【図２４】部品実装装置での処理例を示すフロー図である。
【発明を実施するための形態】
【実施例１】
【００１７】
以下、図１〜図２０を用いて、本発明の一実施の形態（演算装置、部品実装装置など）について説明する。なお実施の形態を説明するための全図において、同一部には原則として同一符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。説明上の記号として、例えば、フィーダをＦ、ノズルをＮ、部品をＰ、基板をＢとする。
【００１８】
本実施の形態の部品実装装置１００（演算装置１５０）では、図１，図３，図４等のハードウェア・ソフトウェアの構成に基づき、図２，図１１のような処理（部品実装装置１００の動作制御の設定情報を算出・決定・変更する処理を含む）を行う。
図１３〜図１９のようなデータ情報を管理する。図２０のような画面でユーザ（本部品実装装置１００を含むシステムを利用・管理するオペレータ等）が情報を入出力可能である。
【００１９】
特徴の１つとして、図２の処理ステップＳ１０９（詳細は図１１）では、ノズルＮによる部品Ｐの吸着ずれ量（ＤＸ１，ＤＹ１）や吸着ずれ（角度）（ＤΘ１）、装着ずれ量（ＤＸ２，ＤＹ２）や装着ずれ（角度）（ＤΘ２）に関する、ばらつき情報を用いて、吸着時のノズルＮの停止位置（Ｚ１）や装着時のノズルＮの停止位置（Ｚ２）やＺ方向の動作速度（ＶＺ）等のパラメータの変更値（ばらつき低減のために好適な変更値）を算出し、この結果（吸着条件あるいは装着条件、併せた場合は実装条件とも呼ぶ）を部品実装装置１００の動作制御の設定情報に反映する。
［部品実装装置］
図１において、本発明の一実施の形態である部品実装装置１００及び演算装置１５０の構成を示している。演算装置１５０は部品実装装置１００の内部に設けられている。なお、演算装置１５０が部品実装装置１００の外部に接続される形態としてもよいし、演算装置１５０と全体制御装置１４０を１つに統合した形態などとしてもよい。
【００２０】
部品実装装置１００は、供給装置１１０、装着装置１２０、部品検出装置１３０、全体制御装置１４０、演算装置１５０、入力装置１７０、出力装置１７１、通信ＩＦ装置１７２、等を備え、これらがバス１７３を介して相互に接続されている。入力装置１７０は、ユーザ操作による情報入力を受け付ける例えばマウスやキーボード等である。出力装置１７１は、ユーザに対して情報を出力するディスプレイやプリンタ等である。通信ＩＦ装置１７２は、バス１７３や外部ネットワーク等を介して他の装置やシステム（既存の生産管理システム等とも接続可能である）と接続し情報送受信を行うためのインタフェースである。バス１７３は各部（１１０〜１７２）を連結する。各装置（１１０〜１５０）のＩＦ部（１１２〜１６３等）は、バス１７３を介して情報送受信を行うためのインタフェースである。また、保持した部品が傾いていた場合や、装着ができないような場合には、部品回収装置１７４にて電子部品を回収あるいは破棄する機能を有していてもよい。
【００２１】
供給装置１１０は、複数のフィーダＦを備えるフィーダベース１１１、ＩＦ部１１２、等を備える。供給装置１１０は、詳しくは図３内に例示する物理構成を有する（なお一例であり各種適用可能である）。
【００２２】
装着装置１２０は、ヘッド１２１、ビーム１２２、ノズル（吸着ノズル）１２３、駆動制御部１２４、圧力制御部１２５、ＩＦ部１２６、等を備える。装着装置１２０は、詳しくは図３内に例示する物理構成を有する（なお一例であり各種適用可能である）。駆動制御部１２４は、全体制御装置１４０からの指示に応じて、後述する装着情報１４２（図１０）で示す装着順序、及び基板Ｂ上の部品装着位置座標に対して部品を装着するように、ヘッド１２１、ビーム１２２、及びノズル１２３等の部位（図３〜図５等）を制御する。圧力制御部１２５は、全体制御装置１４０からの指示に応じて、ノズル１２３の内部の圧力を制御する。例えば、圧力制御部１２５は、全体制御部１４０から、ノズル１２３の内部の圧力を低下させてノズル１２３に部品Ｐを吸着させるように指示を受ける。また、圧力制御部１２５は、全体制御部１４０から、ノズル１２３の内部の圧力を上昇させてノズル１２３に部品Ｐを装着させるように指示を受ける。
【００２３】
位置ずれ情報取得装置１３０は、吸着ずれ取得部１３１、装着ずれ取得部１３２、ＩＦ部１３３、等を備える。吸着ずれ取得部１３１は、全体制御部１４０の指示を受けて、部品Ｐを吸着したノズル１２３（Ｎ）を下方から撮像し、この画像を用いて、パターンマッチング（画像処理）等の手段により、Ｘ，Ｙ方向（図３）におけるノズルＮによる部品Ｐの吸着ずれ量（ＤＸ１，ＤＹ１）や吸着ずれ（角度）（ＤΘ１）を測定・算出する（後述、図７，図８等）。吸着ずれ取得部１３１は、例えば図３のように、フィーダベース１１１と基板Ｂ（９０）との間に配置され、上記値（ＤＸ１，ＤＹ１，ＤΘ１）の算出処理機能を含む。なお、位置ずれ取得部１３０は下方に限らず、ノズル上部に撮像手段を組み込める場合はヘッド１２１に搭載してもよい。また、位置ずれに用いる電子部品の位置が特定できればよいため、横方向から撮像してもよい。
【００２４】
なお本実施の形態では、上記ＤＸ１，ＤＹ１，ＤΘ１値の算出処理は、吸着ずれ取得部１３１で行い、その結果を演算装置１５０が取得する形であるが、演算装置１５０などの他の部位で当該算出処理を行ってもよい。演算装置１５０で行う場合は、吸着ずれ取得部１３１から各データ情報（例えば画像データ）を取得し、演算装置１５０で各値を算出する。また、上記値を得るための手段は、撮像やパターンマッチング等の手段に限らず各種適用可能である。
【００２５】
また、装着ずれ取得部１３２は、全体制御部１４０の指示を受けて、装着後の部品Ｐを上から撮像し、この画像を用いて、パターンマッチング（画像処理）等の手段により、Ｘ，Ｙ方向（図３）における部品Ｐの装着ずれ量（ＤＸ２，ＤＹ２）や装着ずれ（角度）（ＤΘ２）を測定・算出する（後述、図９，図１０等）。装着ずれ装着部１３２は、例えば図３のように、検査装置２００にて撮影された画像を取得し、上記値（ＤＸ２，ＤＹ２，ＤΘ２）の算出する処理を行う。
【００２６】
なお本実施の形態では、上記ＤＸ２，ＤＹ２，ＤΘ２値の算出処理は、検査装置２００にて撮影された画像を入力として装着ずれ取得部１３２で行い、その結果を演算装置１５０が取得する形であるが、検査装置２００にて撮影された画像を演算装置１５０などの他の部位に送信し、当該部位で当該算出処理を行ってもよい。演算装置１５０で行う場合は、検査装置２００から各データ情報（例えば画像データ）を取得し、演算装置１５０で各値を算出する。また、上記値を得るための手段は、撮像やパターンマッチング等の手段に限らず各種適用可能である。また、検査装置２００と同等の画像取得手段を部品実装装置１００に搭載しても良い。
【００２７】
全体制御装置１４０は、部品実装装置１００の主制御部であり、全体制御部１４４、記憶部１４１、ＩＦ部１４５、等を備える。記憶部１４１の記憶領域には、装着情報Ｄ１（後述、図１３）、動作情報Ｄ２（後述、図１４）、等を記憶する。
【００２８】
全体制御部１４４は、供給装置１１０、装着装置１２０、部品検出装置１３０、演算装置１５０、入力部１７０、出力部１７１、及び通信ＩＦ部１７２等で行う処理を制御する。全体制御装置１４０は、装着情報Ｄ１及び動作情報Ｄ２に従って、供給装置１１０や装着装置１２０、部品検出装置１３０等の各部位（フィーダＦ、ノズルＮ等を含む）の動作を制御する。全体制御部１４４は、装着情報Ｄ１に格納された順序に従って、所定のフィーダＦから所定のノズルＮにて、動作情報Ｄ２に格納されている設定に従って、部品Ｐを吸着させる。吸着の際、全体制御部１４４は、位置ずれ情報取得装置１３０に、吸着ずれ量ＤＸ１，ＤＹ１、吸着ずれ（角度）ＤΘ１、等を算出させる。そして全体制御部１４４は、装着情報Ｄ１に格納されている基板Ｂの位置に、部品Ｐを装着させる。
【００２９】
さらに全体制御部１４４は、順序に示された最後までの部品装着位置に部品Ｐを装着した後に、図３に示す搬送装置３００に基板Ｂを検査装置２００に搬送するように指示を出し、検査装置２００に基板Ｂの画像を取得させ、位置ずれ情報取得装置１３０に装着ずれ量ＤＸ２，ＤＹ２、装着ずれ（角度）ＤΘ２、等を算出させる。
【００３０】
装着情報Ｄ１及び動作情報Ｄ２（その格納情報）は、部品実装装置１００の各部位の動作（実装動作）を制御するための情報（設定情報）の１つである。
［演算装置］
演算装置１５０は、演算制御部１６０、記憶部１５１、入力部１６１、出力部１６２、ＩＦ部１６３、等を備える。記憶部１５１の記憶領域には、吸着ずれ情報Ｄ３（後述、図１２）、吸着ずればらつき情報Ｄ４（後述、図１３）、装着ずれ情報Ｄ５（後述、図１４）、装着ずればらつき情報Ｄ６（後述、図１５）、閾値情報Ｄ７（後述、図１６）等を記憶する。
【００３１】
演算装置１５０は、一般的なコンピュータやＩＣなどで実現できる。例えば、演算制御部１６０は、ＣＰＵ、メモリ（ＲＯＭ，ＲＡＭ等）などのハードウェア、及びそれによるソフトウェアプログラム処理（本実施の形態のプログラムによる処理）などで実現できる。例えば演算制御部１６０により記憶部１５１や外部などに格納されているプログラムをロードして実行することにより各処理機能（図２内，図１１内に示す処理を含む）を実現する。記憶部１５１は、各種メモリ、ＨＤＤ等の外部記憶装置、ＣＤやＤＶＤ等の記憶媒体に対して情報を読み書きする装置、あるいは外部ネットワークのデータを読み書きする装置などで実現できる。入力部１６１は、ユーザ操作による情報入力を受け付けるキーボードやマウスなどの入力装置、出力部１６２は、ユーザに対して情報を出力するディスプレイなどの出力装置、ＩＦ部１６３は、バス１７３に接続しバス１７３を介して情報の送受信を行うためのインタフェース、でそれぞれ実現できる。
【００３２】
演算制御部１６０は、吸着ずれ情報Ｄ３に格納されている情報（実績データ）を用いて、吸着ずれ量ＤＸ１，ＤＹ１及び吸着ずれ（角度）ＤΘ１に関するばらつき等を算出し、判定に基づき、動作情報Ｄ２に格納されている情報（設定情報）を変更する処理を行う（後述、図２，図１１等）。
【００３３】
また、演算制御部１６０は、装着ずれ情報Ｄ５に格納されている情報（実績データ）を用いて、装着ずれ量ＤＸ２，ＤＹ２及び装着ずれ（角度）ＤΘ２に関するばらつき等を算出し、判定に基づき、動作情報Ｄ２に格納されている情報（設定情報）を変更する処理を行う（後述、図２，図１１等）。
【００３４】
演算装置１５０内に格納される吸着ずれ情報Ｄ３、吸着ずればらつき情報Ｄ４、装着ずれ情報Ｄ５、装着ずればらつき情報Ｄ６、閾値情報Ｄ７は、演算装置１５０の処理で必要な情報として管理している。なお必要に応じて、これらの情報は、全体制御装置１４０内の各情報（装着情報Ｄ１、動作情報Ｄ２）と統合したり分離したりしてもよい。
【００３５】
［供給装置・装着装置］
図３は、図１の供給装置１１０及び装着装置１２０に係わる、フィーダベース１１１、ヘッド１２１、ビーム１２２、及びガイド１２２ａ等の概略構成（上面）を示す。フィーダベース１１１には、複数のフィーダ１１１ａ（Ｆ）が装着されている。部品供給装置（フィーダベース１１１）は、一例としてテープ型であり、例えばフィーダＦ毎に、供給対象の複数の部品Ｐが搭載される。例えば、フィーダＦに格納されている１つの部品Ｐがヘッド１２１のノズルＮ（図４）により吸着されると、全体制御装置１４０の指示に応じて、当該フィーダＦは、残りの部品Ｐのうちの次の１つを、当該ノズルＮにより吸着可能な位置まで自動的に移動（図３ではＹ方向）させる。
【００３６】
ヘッド１２１及びビーム１２２等の動作は、全体制御装置１４０の指示に応じて制御される。ヘッド１２１は、ビーム１２２に沿って、一つの座標軸方向（図３ではＸ方向）に移動させることができるように構成されている。ビーム１２２は、ガイド１２２ａに沿って、ヘッド１２１が移動する座標軸方向と交差する他の座標軸方向（図３ではＹ方向）に移動することができるように構成されている。更に、ヘッド１２１（ヘッド１２１に搭載されるノズルＮ）を、Ｘ，Ｙ方向に対するノズルが伸縮する方向であるＺ方向に移動させることができるように構成されている。
【００３７】
ヘッド１２１及びビーム１２２をＸ，Ｙ方向に移動させ、ヘッド１２１に備えるノズルＮをＺ方向で移動させ、所定のノズルＮにより所定のフィーダＦから所定の部品Ｐ（５０）を吸着することができ、更に各部をＸ，Ｙ，Ｚ方向で同様に移動させて、基板Ｂ（９０）上の所定の位置に部品Ｐ（５０）を装着することができる構成である。
［ヘッド・ノズル］
図４は、ヘッド１２１の構成例として下面を示す。本ヘッド１２１は、下面部に、複数の保持手段であるノズル１２３（Ｎ）を備えている。本例では、円状に複数（例えば１２）のノズルＮが配置されており、回転制御などによって、所望のノズルＮの利用が可能な機構である。各ノズルＮの位置は番号で識別される。
【００３８】
その他、ヘッド１２１やノズルＮに関しては各種形態が適用可能である。例えば１つのユニットに複数のヘッド１２１やノズルＮを搭載する構成が挙げられる。本実施例では、ノズルＮは吸着ノズルとして説明するが、他の樹脂製のノズルや粘着式のノズル、あるいは機械式のチャック等保持手段を用いてもよい。
［吸着ずれ取得装置、吸着ずれ量ＤＸ１，ＤＹ１、吸着ずれ（角度）ＤΘ１］
吸着ずれ取得装置１３１は、撮像による画像から、部品とノズルのＸ，Ｙ方向における相対位置である吸着ずれ量ＤＸ１，ＤＹ１と、部品とノズルの相対的な角度である吸着ずれ（角度）ＤΘ１とを算出する。
【００３９】
図７および図８は、吸着ずれ取得装置１３１の撮像による画像例である。図７は吸着ずれ量ＤＸ１，ＤＹ１の算出に用いる画像であり、図８は吸着ずれ（角度）ＤΘ１の算出に用いる画像である。本実施例では、図７と図８は同一の画像であるが、異なる画像を用いても良い。
【００４０】
図７および図８において、８１０はノズルＮを、８２０は部品Ｐを示しており、ＣＮはノズルＮの中心点、ＣＰは部品Ｐの中心点を示している。８１０は、下面からの撮像であるため画像８００上で部品Ｐ（８２０）に隠れて映らないが、ノズルＮを予め定められた位置（例えば撮像部位の中心）に移動させることによってノズル中心ＣＮを把握することができる。
【００４１】
図７において、８１１、８１２はＣＮを通る、Ｘ，Ｙ方向の基準線を示す。また、８２１、８２２はＣＰを通る、Ｘ，Ｙ方向の基準線を示す。８１１と８２１、８１２と８２２は平行な直線となる。吸着ずれ量ＤＸ１は８２１を基準としたときの８１１の相対位置となり、吸着ずれ量ＤＹ１は８２２を基準としたときの８１２の相対位置となる。
【００４２】
図８において、８１２はＣＮを通る、Ｘ方向の基準線を示す。また、８２３はＣＰを通り部品Ｐ（８２０）のある定められた辺（本実施例では長辺）に平行な直線である。吸着ずれ（角度）ＤΘ１は８２３を基準としたときの８２３と８１２の間の角度である。
【００４３】
ＤＸ１，ＤＹ１，ＤΘ１値が大きいほど、ずれが大きく、ノズルＮによる部品Ｐの吸着がしにくくなり、部品Ｐを斜めに吸着する、部品Ｐの端を吸着する、部品Ｐを吸着できない、吸着後に落下してしまう等の異常が発生しやすい。
［装着ずれ取得装置、装着ずれ量ＤＸ２，ＤＹ２、装着ずれ（角度）ＤΘ２］
装着ずれ取得装置１３２は、撮像による画像から、部品のＸ，Ｙ方向に目標装着位置と実際の装着位置との差分である装着ずれ量ＤＸ２，ＤＹ２と、部品の目標装着角度と実際の角度との差分である装着ずれ（角度）ＤΘ２とを算出する。
【００４４】
図９および図１０は、装着ずれ取得装置１３１の撮像による画像例である。図９は装着ずれ量ＤＸ２，ＤＹ２の算出に用いる画像であり、図１０は装着ずれ（角度）ＤΘ２の算出に用いる画像である。本実施例では、図９と図１０は電子部品が装着された位置を撮像した同一の画像の一例であるが、異なる画像を用いても良い。また、角度等が違う画像を用いてもよい。図９および図１０において、８３０は基板Ｂを、８４０は装着された部品Ｐを示している。またＴＣＰは装着時の目標とする部品中心の座標を、ＣＰは装着された部品Ｐの中心点を示している。ＴＣＰは、例えば装着情報Ｄ１にて部品装着位置座標として示される。
【００４５】
図９において、８３１、８３２はＴＣＰを通る、Ｘ，Ｙ方向の基準線を示す。また、８４１、８４２はＣＰを通る、Ｘ，Ｙ方向の基準線を示す。８３１と８４１、８３２と８４２は平行な直線となる。装着ずれ量ＤＸ２は８４１を基準としたときの８３１の相対位置となり、装着ずれ量ＤＹ２は８４２を基準としたときの８３２の相対位置となる。
【００４６】
図１０において、８３３はＴＣＰを通る部品の装着角度の基準線を示す。８３３は装着情報Ｄ１にて部品装着位置座標として示される。図１０には、部品の装着角度が０°の場合の基準線を示している。また、８４３はＣＰを通り部品Ｐ（８２０）のある定められた辺（本実施例では長辺）に平行な直線である。装着ずれ（角度）ＤΘ３は８４３を基準としたときの８４３と８３３の間の角度である。
【００４７】
ＤＸ２，ＤＹ２，ＤΘ２の値が大きいと、装着位置の異常となり、当該部品を装着された基板Ｂは不良品となる。また、しきい値や範囲を定める等の処理を用いて判定してもよい。
[検査装置、搬送装置]
検査装置２００は、図３に示すように部品実装装置１００と搬送装置３００にて接続される。部品実装装置１００が装着情報Ｄ１に記された全ての部品装着を実行した後に、基板Ｂは搬送装置３００にて検査装置２００に搬送され、図９、図１０のような基板Ｂと部品Ｐの画像が撮像される。撮像された画像は、装着ずれ取得部１３２に送信され、装着ずれ量ＤＸ２，ＤＹ２、装着ずれ（角度）ＤΘ２が算出される。
［処理概要（図２）］
図２は、本実施の形態の特徴を含む、部品実装装置１００での全体的な処理概要のフローを示す（Ｓ１０１等は処理ステップを示す）。特にＳ１０９の詳細の構成例については図１１を用いて後述し、Ｓ１１２の詳細の構成例については図１２を用いて後述する。
（Ｓ１０１）
全体制御装置１４０の全体制御部１４４は、装着情報Ｄ１（図１３）、動作情報Ｄ２（図１４）を用いて、供給装置１１０や装着装置１２０を含む各部に対して実装動作を指示する。
（Ｓ１０２）
Ｓ１０１の指示に基づき、供給装置１１０は、フィーダＦ（１１１ａ）等を動作させ、装着装置１２０は、ヘッド１２１、ビーム１２２、ノズルＮ（１２３）等を動作させる。特に、対象のヘッド１２１・ノズルＮをＸ，Ｙ方向（図３）で移動させ、対象のフィーダＦ−部品Ｐ（吸着対象）の位置まで移動させる。
（Ｓ１０３）
続いて、ノズル１２３（Ｎ）をＺ方向（図５）で移動（下降）させ、対象の部品Ｐの中心（上）の所定の位置（ノズルＮの停止位置Ｚ１）まで移動して停止させる。なお本実施の形態ではＳ１０２（Ｘ，Ｙ方向移動）とＳ１０３（Ｚ方向移動）を分けた形であるが、Ｓ１０２とＳ１０３を１つにまとめて同時的に制御（Ｘ，Ｙ，Ｚ方向移動）する形も可能である。そして、ノズルＮを停止位置Ｚ１で所定の時間停止させ、圧力制御部１２５によるノズルＮ内部の減圧により、部品Ｐを吸着させる。
（Ｓ１０４）
停止位置Ｌから、ヘッド１２１・ノズルＮ等をＸ，Ｙ，Ｚ方向で移動させ、装着情報Ｄ１に示す部品装着位置座標（Ｘ，Ｙ，Θ）まで移動させる。
また本実施の形態では、Ｓ１０５の際、吸着ずれ取得部１３１を用いて、部品Ｐを吸着した状態のノズルＮを下面から撮像することにより、吸着ずれ量ＤＸ１，ＤＹ１、吸着ずれ（角度）ＤΘ１を算出する。
（Ｓ１０５）
更に、ノズルＮ等をＺ方向で、所定の動作速度（ＶＺ）で、所定の位置（ノズルＮの停止位置Ｚ２）まで移動させ、吸着の解除により、部品Ｐを装着する（図６）。なお本実施の形態ではＳ１０２（Ｘ，Ｙ方向移動）とＳ１０３（Ｚ方向移動）を分けた形であるが、Ｓ１０２とＳ１０３を１つにまとめて同時的に制御（Ｘ，Ｙ，Ｚ方向移動）する形も可能である。
（Ｓ１０６）
上記Ｓ１０１〜Ｓ１０５で動作させたフィーダＦについて、実績データとなる吸着ずれ情報Ｄ３を作成し、演算装置１５０の記憶部１５１に格納する。吸着ずれ情報Ｄ３には、吸着ずれ量ＤＸ１，ＤＹ１、吸着ずれ（角度）ＤΘ１の情報を含む。なおこの格納は他のタイミングでもよい。例えば、演算装置１５０は必要に応じて吸着ずれ情報Ｄ３等を外部（全体制御装置１４０等）から取得してもよい。複数の各回の部品実装動作ごとに同様に実績データが格納される。
（Ｓ１０７）
上記部品Ｐの装着後、全体制御装置１４０の全体制御部１４４は、上記Ｓ１〜Ｓ６で動作させたフィーダＦについて、演算装置１５０へ、動作情報Ｄ２の変更（その要否判断を含む）を指示する。演算装置１５０の演算制御部１６０は、指示に基づき、吸着ずれ情報Ｄ３を用いて、動作情報Ｄ２の算出・変更のための処理を行う（詳細は図９）。変更する対象は、ノズルＮの吸着停止位置Ｚ１を含む。
（Ｓ１０８）
装着情報Ｄ１の順序１０ａに記憶された最後の部品装着位置座標まで部品装着動作を行った場合には、全体制御装置１４０はＳ１０９の処理を行う。そうではない場合には、全体制御装置１４０はＳ１０１の処理に戻る。
（Ｓ１０９）
全体制御装置１４０は、搬送装置３００に基板Ｂを検査装置２００まで搬送させ、検査装置２００に搬送された基板Ｂの画像を撮像させる。更に、全体制御装置１４０は撮像された画像を入力として、装着ずれ取得部１３２に装着ずれ量ＤＸ２，ＤＹ２、装着ずれ（角度）ＤΘ２を算出させ、装着ずれ情報Ｄ５に格納させる。なおこの格納は他のタイミングでもよい。例えば、演算装置１５０は必要に応じて装着ずれ情報Ｄ５等を外部（全体制御装置１４０等）から取得してもよい。基板の装着が完了するごとに、同様に実績データが格納される。Ｓ１０９の処理は、検査装置２００に限らず、検査ヘッドを用いて装着された電子部品を撮像してもよい。
（Ｓ１１０）
全体制御装置１４０は、装着情報Ｄ１にフィーダ番号（１０ｃ）に格納された番号のフィーダＦについて、それぞれ、演算装置１５０へ、動作情報Ｄ２の変更（その要否判断を含む）を指示する。演算装置１５０の演算制御部１６０は、指示に基づき、装着ずれ情報Ｄ５を用いて、動作情報Ｄ２の算出・変更のための処理を行う（詳細は図１２）。変更する対象は、ノズルＮの装着停止位置Ｚ２および動作速度ＶＺを含む。
（Ｓ１１１）
装着情報Ｄ１の生産基板枚数に示された枚数分だけ基板Ｂを生産した場合（生産基板枚数に示された枚数分だけ、順序の最初から最後までの実装動作を繰り返し行った場合）には、全体制御装置１４０は処理を終了する。そうではない場合には、搬送装置３００に新たな基板Ｂを部品実装装置１００内に搬送させ、Ｓ１０１に戻って装着情報Ｄ１の順序１から実装動作を実行する。
［装着情報］
図１３は、装着情報Ｄ１の一実施形態である装着情報テーブル例を示す。本テーブルは、順序１０ａ、部品装着位置座標１０ｂ、フィーダ番号１０ｃ、吸着ノズル番号１０ｄ、等の各フィールドを有する。Ｄ１（その格納情報）は、フィーダＦからノズルＮにより部品Ｐを吸着する際、及び当該部品Ｐを基板Ｂ上に装着する際における、順序、位置、フィーダＦ、ノズルＮ、等の情報を含む。なお図示していないが部品ＩＤ等の他のフィールドを有してもよい。
【００４８】
順序１０ａは、基板Ｂに対する部品Ｐの装着順序を示す情報と、ノズルＮによる当該部品Ｐの吸着順序を示す情報とが格納される。本実施の形態では、装着順序と吸着順序が同じになるように構成しているが、異なるようにしてもよい。部品装着位置座標１０ｂは、当該部品Ｐを基板Ｂ（図３の９０）に装着する位置を示す情報として、基板Ｂ上のＸ，Ｙ方向の座標の情報が格納される。また、装着する角度を示す情報として、基板Ｂ上のＸ方向に対する部品の規定された辺（例えば長辺）の角度を示す情報が格納される。
【００４９】
フィーダ番号１０ｃは、当該部品Ｐを保持するフィーダＦ（位置）を示す情報が格納される。本実施の形態では、フィーダベース１１１（図３）における当該フィーダＦ（１１１ａ）の搭載位置を一意に識別するフィーダ番号が格納される。吸着ノズル番号１０ｄは、当該部品Ｐを吸着するノズルＮを示す情報が格納される。本実施の形態では、当該ノズルＮに関係付けられるヘッド１２１（図４）における当該ノズルＮの位置を特定する情報として、当該ノズルＮの搭載位置を一意に識別するように割り振られた吸着ノズル番号（例えば１〜１２）を用いる。
［動作情報］
図１４は、動作情報Ｄ２の一実施形態である動作情報テーブル例を示す。本テーブルは、フィーダ番号１１ａ、吸着ノズル番号１１ｂ、吸着停止位置（Ｚ１）１１ｃ、装着停止位置（Ｚ２）、動作速度（ＶＺ）１１ｅ（係数）、等の各フィールドを有する。Ｄ２（その格納情報）は、フィーダＦからノズルＮにより部品Ｐを吸着する際のノズルＮのＺ方向の停止位置（Ｚ１）、フィーダＦからノズルＮにより吸着した部品Ｐを装着する際のノズルＮのＺ方向の停止位置（Ｚ２）、フィーダＦからノズルＮにより吸着した部品Ｐを装着する際のノズルＮのＺ方向の動作速度ＶＺ、等の情報を含む。
【００５０】
フィーダ番号１１ａは、該当フィーダＦ（対象の部品Ｐを搭載する）の位置を特定する情報が格納される（１０ｃと同様）。吸着ノズル番号１１ｂは、該当ノズルＮ（対象の部品Ｐを吸着する）の位置を特定する情報が格納される（１０ｄと同様）。
【００５１】
吸着停止位置（Ｚ１）１１ｃは、１１ａで示す位置（フィーダＦ）に搭載された部品Ｐを、１１ｂで示すノズルＮにより吸着する場合における、ノズルＮのＺ方向の停止位置を特定する情報が格納される。吸着停止位置（Ｚ１）は、図５のＺ方向の位置を示す。例えば、図５に示すように、基準線５００（ｚ＝０）からの距離が、１１ｃのＺ１の格納値と同一になる位置（５０１）に、ノズルＮを下降させて停止させる。
【００５２】
装着停止位置（Ｚ２）１１ｄは、１１ａで示す位置（フィーダＦ）に搭載された部品Ｐを、１１ｂで示すノズルＮにより装着する場合における、ノズルＮのＺ方向の停止位置を特定する情報が格納される。装着停止位置（Ｚ２）は、図６のＺ方向の位置を示す。例えば、図６に示すように、基準線５００（ｚ＝０）からの距離が、１１ｄのＺ２の格納値と同一になる位置（５０２）に、ノズルＮを下降させて停止させる。
【００５３】
動作速度（ＶＺ）１１ｅ（係数）には、該当位置（フィーダ）の部品Ｐを該当ノズルＮで装着する際における、ノズルＮの動作速度Ｖを特定する情報が格納される。本実施の形態では、動作速度Ｖとして、少なくとも動作速度ＶＺを含む。動作速度ＶＺは、部品Ｐを吸着した状態のノズルＮをＺ方向で下降させる際の動作速度とする。また、１１ｅは係数で表している。１１ｅで示す値を、設定上の所定の標準動作速度値に乗算した値を、実際に使用する動作速度とする。１１ｅ（ＶＺ）の制御につき、他の移動時に適用してもよい。例えばＸ，Ｙ方向の移動、Ｚ方向で上昇させる際の動作速度、及びヘッド１２１及びビーム１２２等の移動に適用してもよい。
［吸着ずれ情報］
図１５は、吸着ずれ情報Ｄ３の一実施形態である吸着ずれ情報テーブル例を示す。吸着ずれ情報Ｄ３は、位置ずれ情報取得装置１３０を用いて検出・算出した情報を含む、部品吸着ずれの情報（実績データ）が格納される。本テーブルは、フィーダ番号（１２ａ）、吸着停止位置Ｚ１（１２ｂ）、吸着ずれ量ＤＸ１（１２ｃ）、吸着ずれ量ＤＹ１（１２ｄ）、吸着ずれ（角度）ＤΘ１（１２ｅ）、ばらつき算出（１４ｆ）等の各フィールドを有する。１２ａ、１２ｂは、図１４の１１ａ、１１ｃに対応したフィールドである。また、１２ｃ〜１２ｅは、前記Ｓ１０６で説明したように、前述（図７，図８）の吸着ずれ取得部１３１で検出・算出した吸着ずれ量ＤＸ１，ＤＹ１，吸着ずれ（角度）ＤΘ１を特定する情報が格納される。１２ｆには、後述する図１１の処理にてばらつきが算出された場合には○が格納される。
［吸着ずればらつき情報］
図１６は、吸着ずればらつき情報Ｄ４の一実施形態である吸着ずればらつき情報テーブル例を示す。本テーブルは、フィーダ番号（１３ａ）、吸着停止位置Ｚ１（１３ｂ）、吸着ずればらつき重み付き和ＤｅｖＡｌｌ１（１３ｂ）、等の各フィールドを有する。吸着ずればらつき情報Ｄ４には、図１１の処理で算出される情報が格納される。
【００５４】
吸着ずればらつき情報Ｄ４に格納される情報は、ある同一のフィーダＦについて測定されたデータから算出された値である。
【００５５】
フィーダ番号（１３ａ）及び吸着停止位置Ｚ１（１３ｂ）は、図１５の１２ａ、１２ｂに対応したフィールドである。また、吸着ずればらつき重み付き和ＤｅｖＡｌｌ１（１３ｃ）には図１５の１２ｃに格納された値を用いて算出した標準偏差と、図１５の１２ｄに格納された値を用いて算出した標準偏差と、図１５の１２ｅに格納された値を用いて算出した標準偏差と、の重み付き和が格納される。
【００５６】
吸着ずればらつき重み付き和ＤｅｖＡｌｌ１（１３ｃ）に格納される値は、同一の吸着停止位置Ｚ１について標準偏差を算出した値である。
［装着ずれ情報］
図１７は、装着ずれ情報Ｄ５の一実施形態である装着ずれ情報テーブル例を示す。装着ずれ情報Ｄ５は、位置ずれ情報取得装置１３０を用いて検出・算出した情報を含む、部品装着ずれの情報（実績データ）が格納される。本テーブルは、フィーダ番号（１４ａ）、部品装着位置座標（１４ｂ）、装着停止位置Ｚ１（１４ｃ）、動作速度ＶＺ（１４ｄ）、装着ずれ量ＤＸ２（１４ｅ）、装着ずれ量ＤＹ２（１４ｆ）、装着ずれ（角度）ＤΘ２（１４ｇ）、ばらつき算出（１４ｈ）等の各フィールドを有する。１４ａ、１４ｂは、図１３の１０ｃ、１０ｂに対応したフィールドである。また、１４ｃ、１４ｄは、図１４の１１ｄ、１１ｅに対応したフィールドである。１４ｅ〜１４ｇは、前記Ｓ１０９で説明したように、前述（図９，図１０）の装着ずれ取得部１３２で検出・算出した装着ずれ量ＤＸ２，ＤＹ２，装着ずれ（角度）ＤΘ２を特定する情報が格納される。１４ｈには、後述する図１２の処理にてばらつきが算出された場合には○が格納される。
［装着ずればらつき情報］
図１８は、装着ずればらつき情報Ｄ６の一実施形態である装着ずればらつき情報テーブル例を示す。本テーブルは、フィーダ番号（１５ａ）、装着停止位置Ｚ２（１５ｂ）、動作速度ＶＺ（１５ｃ）、装着ずればらつき重み付き和ＤｅｖＡｌｌ２（１５ｄ）、等の各フィールドを有する。装着ずればらつき情報Ｄ６には、図１２の処理で算出される情報が格納される。
【００５７】
吸着ずればらつき情報Ｄ４に格納される情報は、ある同一のフィーダＦについて測定されたデータから算出された値である。
【００５８】
フィーダ番号（１５ａ）、装着停止位置Ｚ１（１５ｂ）、動作速度ＶＺ（１５ｃ）は、図１７の１４ａ、１４ｃ、１４ｄに対応したフィールドである。また、装着ずればらつき重み付き和ＤｅｖＡｌｌ２（１５ｄ）には、図１７の１４ｅに格納された値を用いて算出した標準偏差と、図１７の１４ｆに格納された値を用いて算出した標準偏差と、図１７の１４ｇに格納された値を用いて算出した標準偏差と、の重み付き和が格納される。
【００５９】
装着ずればらつき重み付き和ＤｅｖＡｌｌ２（１５ｄ）に格納される値は、同一の装着停止位置Ｚ１及び同一の動作速度ＶＺについて標準偏差を算出した値である。
［閾値情報］
図１９は、閾値情報Ｄ７の一実施形態である閾値情報テーブル例を示す。本テーブルは、閾値１（１６ａ）、閾値２（１６ｂ）、閾値３（１６ｃ）、閾値４（１６ｄ）、閾値５（１６ｅ）、等の各フィールドを有する。閾値情報Ｄ７は、吸着時のノズルＮの動作の変更に関する、図１１の判定（ｓ２０２，ｓ２０４）及び、装着時のノズルＮの動作の変更に関する図１２の判定（ｓ３０２、ｓ３０４、ｓ３０５）で用いる設定情報であり、各フィールド値はユーザにより設定変更可能となっている。
【００６０】
閾値１（１６ａ）は、吸着時のノズルＮの動作の変更処理（変更可否の判定を含む）に必要なデータの有無を判定（ｓ２０２）するための情報が格納される。
閾値２（１６ｂ）は、ノズルＮの吸着停止位置Ｚ１の変更処理を実施するか否かを判定（ｓ２０４）するための情報が格納される。
閾値３（１６ｃ）は、装着時のノズルＮの動作の変更処理（変更可否の判定を含む）に必要なデータの有無を判定（ｓ３０２）するための情報が格納される。
閾値４（１６ｄ）は、ノズルＮの装着停止位置Ｚ２および動作速度ＶＺ等の変更処理を実施するか否かを判定（ｓ３０４）するための情報が格納される。
閾値５（１６ｅ）は、ノズルＮの動作速度ＶＺの変更処理を実施するか否かを判定（ｓ３０５）するための情報が格納される。
［処理詳細１（図１１）］
図１１は、図２のＳ１０７に係わる、演算装置１５０（主に演算制御部１６０）による動作情報Ｄ２（主に吸着停止位置Ｚ１）の算出・変更のための処理例を示す（ｓ２０１等は処理ステップを表す)。演算制御部１６０は、例えば全体制御装置１４０（全体制御部１４４）から、ＩＦ部１６３等を介して、動作情報Ｄ２（テーブル）の変更の対象となるフィーダＦ（フィーダ位置）を指定する情報（フィーダ番号Ｆ１）と、動作情報Ｄ２の変更処理の指示を受けると、図１１の処理を実行する。
【００６１】
（ｓ２０１）  演算制御部１６０は、指示されたフィーダ番号Ｆ１について、動作情報Ｄ２の変更に利用可能なデータの個数を数える。
【００６２】
演算制御部１６０は、吸着ずれ情報Ｄ３のテーブルで、フィーダ番号（１２ａ）がＦ１に等しく、かつ、ばらつき算出（１２ｆ）に○の格納されていない行の個数（Ｎ１）を計算する。
【００６３】
（ｓ２０２）  演算制御部１６０は、データの個数Ｎ１が閾値１（１６ａ）以上であればデータが十分な個数存在するとしてｓ２０３の処理に進み、データの個数Ｎ１が閾値１（１６ａ）よりも小さければ、データが必要な個数存在しないとして、処理を終了する。
【００６４】
（ｓ２０３）  演算制御部１６０は、吸着ずれ量ＤＸ１，ＤＹ１、吸着ずれ（角度）ＤΘ１のばらつき（標準偏差）を算出する。
【００６５】
演算制御部１６０は、吸着ずれ情報Ｄ３のテーブルで、フィーダ番号（１２ａ）がＦ１に等しく、かつ、ばらつき算出（１２ｆ）に○の格納されていない行について、吸着ずれ量ＤＸ１（１２ｃ）、吸着ずれ量ＤＹ１（１２ｄ）、吸着ずれ（角度）ＤΘ１（１２ｅ）に格納された値を読み込み、各々について、式（１）、式（２）、式（３）で示される標準偏差の値（ＤｅｖＸ１，ＤｅｖＹ１，Ｄｅｖθ１）を算出する。また、データを読み込んだ行については、ばらつき算出（１２ｆ）に○を格納する。
【００６６】
【数１】
2014096509.tif 000003
【００６７】
【数２】
2014096509.tif 000004
【００６８】
【数３】
2014096509.tif 000005
【００６９】
式（１）において、Ｘi、Ｘjは吸着ずれ量ＤＸ１（１２ｃ）から読み込んだ各行のデータを、ｎは読み込んだデータの個数を示す。式（２）において、Ｙi、Ｙjは吸着ずれ量ＤＹ１（１２ｄ）から読み込んだ各行のデータを、ｎは読み込んだデータの個数を示す。式（３）において、θi、θjは吸着ずれ（角度）ＤΘ１（１２ｅ）から読み込んだ各行のデータを、ｎは読み込んだデータの個数を示す。
【００７０】
（ｓ２０４）  演算制御部１６０は、ｓ２０３で算出した標準偏差の値（ＤｅｖＸ１，ＤｅｖＹ１，Ｄｅｖθ１）を、次の式（４）に代入し、吸着ばらつき（標準偏差）の重み付き和ＤｅｖＡｌｌ１を算出する。
【００７１】
【数４】
2014096509.tif 000006
【００７２】
式（４）において、αｘ１、αｙ１、αΘ１は、事前に定められた係数であり、例えば、αｘ１＝０．５、αｙ１＝０．５、αΘ１＝０．０１、といった値が利用される。
【００７３】
さらに、演算制御部１６０は、吸着ばらつきの重み付き和（ＤｅｖＡｌｌ１）と閾値２（１６ｂ）を比較し、吸着ばらつきの重み付き和（ＤｅｖＡｌｌ１）が閾値２以上であれば、次にｓ２０５の処理を行い、閾値２よりも小さければ処理を終了する。
【００７４】
（ｓ２０５）  演算制御部１６０は過去に計測された重み付きばらつきの値を比較し、吸着停止位置（Ｚ１）の変更する方向（図５のＺ方向のプラス方向またはマイナス方向）を決定する。
【００７５】
まず演算装置１６０は、吸着ずればらつき情報Ｄ４の最終行に１行追加し、フィーダ番号Ｆ１と、動作情報Ｄ２の当該フィーダＦ１における吸着停止位置Ｚ１（１１ｃ）に格納された値と、前述の吸着ばらつきの重み付き和（ＤｅｖＡｌｌ１）を、それぞれ、吸着ずればらつき情報Ｄ４のフィーダ番号（１３ａ）、吸着停止位置Ｚ１（１３ｂ）、吸着ずればらつき重み付き和ＤｅｖＡｌｌ１（１３ｃ）の最終行に格納する。
【００７６】
次に演算装置１６０は、吸着ずればらつき情報Ｄ４の吸着停止位置Ｚ１（１３ｂ）において最終行に格納された値Ｚ１ａ（つまり、現在の吸着停止位置Ｚ１の値）と、吸着停止位置Ｚ１（１３ｂ）の最終行の１つ前の行に格納された値Ｚ１ｂ（つまり、現在の吸着停止位置Ｚ１に変更する前の吸着停止位置Ｚ１の値）について、重み付きばらつきの値を比較し、吸着停止位置（Ｚ１）の変更する方向（図５のＺ方向のプラス方向またはマイナス方向）を決定する。なお、吸着ずればらつき情報Ｄ４に１行しかデータが格納されていない場合は、プラス方向に変更する。
【００７７】
演算装置１６０は、吸着ずればらつき情報Ｄ４の各行のうち、フィーダ番号１３ａがＦ１と等しい行の値を読み込み、式（５）、式（６）を用いて、Ｚ１ａとＺ１ｂにおける重み付きばらつきの値ＤｅｖＣ１ａとＤｅｖＣ１ｂを計算する。
【００７８】
【数５】
2014096509.tif 000007
【００７９】
【数６】
2014096509.tif 000008
【００８０】
式（５）、式（６）において、Ｚ１ｉは吸着停止位置Ｚ１（１３ｂ）について読み込んだ各行の値である。ＤｅｖＡｌｌ１ｉは、吸着ずればらつき重み付き和ＤｅｖＡｌｌ１（１３ｃ）について読み込んだ各行の値である。β１は、事前に定められた係数であり、例えばβ１＝０．１といった値が利用される。
【００８１】
式（５）、式（６）では、Ｚ１ａとＺ１ｂにおける重み付きばらつきの値ＤｅｖＣ１ａとＤｅｖＣ１ｂは、Ｚ１ａやＺ１ｂで部品吸着を行ったときの重み付きばらつきの値と、Ｚ１ａやＺ１ｂに近い吸着停止位置Ｚ１にて部品吸着を行ったときの重み付きばらつきの値との平均値として表される。なお、平均値を重み付き平均としても良い。
【００８２】
ＤｅｖＣ１ａがＤｅｖＣ１ｂ以下である場合は、吸着停止位置Ｚ１ｂから吸着停止位置Ｚ１ａに変更することで重み付きばらつきを減少させることができたことになる。この場合は、Ｚ１ｂからＺ１ａへ動かしたときと同じ方向へ次の処理（ｓ２０６）で吸着停止位置Ｚ１を変更する。つまり、Ｚ１ａ−Ｚ１ｂがプラスの場合は、プラス方向へ、Ｚ１ａ−Ｚ１ｂがマイナスの場合は、マイナス方向へ、吸着停止位置Ｚ１を変更する。
【００８３】
ＤｅｖＣ１ａがＤｅｖＣ１ｂよりも大きい場合は、吸着停止位置Ｚ１ｂから吸着停止位置Ｚ１ａに変更することで重み付きばらつきを増加してしまったことになる。この場合は、Ｚ１ｂからＺ１ａへ動かしたときと反対方向へ次の処理（ｓ２０６）で吸着停止位置Ｚ１を変更する。つまり、Ｚ１ａ−Ｚ１ｂがプラスの場合は、マイナス方向へ、Ｚ１ａ−Ｚ１ｂがマイナスの場合は、プラス方向へ、吸着停止位置Ｚ１を変更する。
【００８４】
（ｓ２０６）  演算装置１６０は、１つ前の処理（ｓ２０５）で吸着停止位置Ｚ１をプラス方向に変更すると判定された場合には、動作情報Ｄ２についてフィーダ番号（１１ａ）に格納された値がフィーダ番号Ｆ１と等しい値である行を全て特定し、当該行について吸着停止位置Ｚ１（１１ｃ）の値を＋δ１して更新する。δ１は事前に定められた値であり、例えば０．１などが利用される。また、１つ前の処理（ｓ２０５）で吸着停止位置Ｚ１をマイナス方向に変更すると判定された場合には、動作情報Ｄ２についてフィーダ番号（１１ａ）に格納された値がフィーダ番号Ｆ１と等しい値である行を全て特定し、当該行について吸着停止位置Ｚ１（１１ｃ）の値を−δ１して更新する。
【００８５】
（ｓ２０７）  演算制御部１６０は、ｓ２０６までの処理結果に基づき、吸着ずればらつき重み付き和の履歴と、吸着停止位置Ｚ１の変更履歴を表示し、ユーザが変更状況を確認可能とする（図２０）。
【００８６】
図２０は、ｓ２０７で表示する画面例を示す。本画面では、修正対象となるフィーダＦの番号（ｇ１１）、吸着ずれ重み付き和と変更回数を軸とするグラフ（ｇ１２）、吸着停止位置Ｚ１の変更を判定する際の閾値（ｇ１３）、吸着ずればらつき重み付き和の履歴をグラフ上にプロットした点（ｇ１４０〜ｇ１４２）、吸着停止位置Ｚ１と変更回数を軸とするグラフ（ｇ１５）、吸着ずればらつき重み付き和の履歴をグラフ上にプロットした点（ｇ１６０〜ｇ１６２）等を表示する。
【００８７】
演算装置１６０は、ｇ１１にフィーダ番号Ｆ１を、ｇ１３に閾値２（１６ｂ）を、ｇ１４０〜ｇ１４２に、吸着ずればらつき情報Ｄ４の各行のうちフィーダ番号（１３ａ）にフィーダ番号Ｆ１と等しい値が格納された行にある、吸着ずればらつき重み付き和ＤｅｖＡｌｌ１（１３ｃ）に格納された値を表示する。なお、ｇ１４０〜ｇ１４２は、吸着ずればらつき情報Ｄ４の上の行に格納されたものから順に表示される。さらに、演算装置１６０は、ｇ１６０〜ｇ１６２に、吸着ずればらつき情報Ｄ４の各行のうちフィーダ番号（１３ａ）にフィーダ番号Ｆ１と等しい値が格納された行にある、吸着停止位置Ｚ１（１３ｂ）に格納された値を表示する。なお、ｇ１６０〜ｇ１６２は、吸着ずればらつき情報Ｄ４の上の行に格納されたものから順に表示される。
［処理詳細２（図１２）］
図１１は、図２のＳ１１０に係わる、演算装置１５０（主に演算制御部１６０）による動作情報Ｄ２（主に装着停止位置Ｚ１、動作速度ＶＺ）の算出・変更のための処理例を示す（ｓ３０１等は処理ステップを表す)。演算制御部１６０は、例えば全体制御装置１４０（全体制御部１４４）から、ＩＦ部１６３等を介して、動作情報Ｄ２（テーブル）の変更の対象となるフィーダＦ（フィーダ位置）を指定する情報（フィーダ番号Ｆ１）と、動作情報Ｄ２の変更処理の指示を受けると、図１２の処理を実行する。
【００８８】
（ｓ３０１）  演算制御部１６０は、指示されたフィーダ番号Ｆ１について、動作情報Ｄ２の変更に利用可能なデータの個数を数える。
【００８９】
演算制御部１６０は、装着ずれ情報Ｄ５のテーブルで、フィーダ番号（１２ａ）がＦ１に等しく、かつ、ばらつき算出（１２ｈ）に○の格納されていない行の個数（Ｎ２）を計算する。
【００９０】
（ｓ３０２）  演算制御部１６０は、データの個数Ｎ２が閾値３（１６ｃ）以上であればデータが十分な個数存在するとしてｓ３０３の処理に進み、データの個数Ｎ２が閾値３（１６ｃ）よりも小さければ、データが必要な個数存在しないとして、処理を終了する。
【００９１】
（ｓ３０３）  演算制御部１６０は、装着ずれ量ＤＸ２，ＤＹ２、装着ずれ（角度）ＤΘ２のばらつき（標準偏差）を算出する。
【００９２】
演算制御部１６０は、装着ずれ情報Ｄ５のテーブルで、フィーダ番号（１４ａ）がＦ１に等しく、かつ、ばらつき算出（１４ｈ）に○の格納されていない行について、装着ずれ量ＤＸ２（１４ｅ）、装着ずれ量ＤＹ２（１４ｆ）、装着ずれ（角度）ＤΘ２（１４ｇ）に格納された値を読み込み、各々について、式（７）、式（８）、式（９）で示される標準偏差の値（ＤｅｖＸ２，ＤｅｖＹ２，Ｄｅｖθ２）を算出する。また、データを読み込んだ行については、ばらつき算出（１４ｈ）に○を格納する。
【００９３】
【数７】
2014096509.tif 000009
【００９４】
【数８】
2014096509.tif 000010
【００９５】
【数９】
2014096509.tif 000011
【００９６】
式（７）において、Ｘi、Ｘj装着ずれ量ＤＸ２（１４ｅ）から読み込んだ各行のデータを、ｎは読み込んだデータの個数を示す。式（８）において、Ｙi、Ｙjは装着ずれ量ＤＹ２（１４ｆ）から読み込んだ各行のデータを、ｎは読み込んだデータの個数を示す。式（９）において、θi、θjは装着ずれ（角度）ＤΘ２（１４ｇ）から読み込んだ各行のデータを、ｎは読み込んだデータの個数を示す。
【００９７】
（ｓ３０４）  演算制御部１６０は、ｓ３０３で算出した標準偏差の値（ＤｅｖＸ２，ＤｅｖＹ２，Ｄｅｖθ２）を、次の式（１０）に代入し、装着ばらつき（標準偏差）の重み付き和ＤｅｖＡｌｌ２を算出する。
【００９８】
【数１０】
2014096509.tif 000012
【００９９】
式（１０）において、αｘ２、αｙ２、αΘ２は、事前に定められた係数であり、例えば、αｘ２＝０．５、αｙ２＝０．５、αΘ２＝０．０１、といった値が利用される。
【０１００】
さらに、演算制御部１６０は、装着ばらつきの重み付き和（ＤｅｖＡｌｌ２）と閾値４（１６ｄ）を比較し、装着ずればらつきの重み付き和（ＤｅｖＡｌｌ２）が閾値４以上であれば、次にｓ３０５の処理を行い、閾値４よりも小さければ処理を終了する。
【０１０１】
（ｓ３０５）  演算制御部１６０は装着停止位置Ｚ２の変更回数を計算し、次の処理を決定する。
【０１０２】
演算制御部１６０は装着ずればらつき情報Ｄ６について、フィーダ番号（１５ａ）がフィーダ番号Ｆ１に等しい行の個数Ｎ３を計算する。Ｎ３が閾値５（１６ｅ）以上であれば、装着停止位置Ｚ２を変更しても装着ずれのばらつきは減少しないとして、動作速度（ＶＺ）の変更処理（ｓ３０９）に進む。Ｎ３が閾値５（１６ｅ）よりも小さければ、装着停止位置Ｚ２の変更で装着ずれのばらつきを減少できる可能性が高いとして、装着停止位置Ｚ２の変更処理（ｓ３０６）に進む。
【０１０３】
（ｓ３０６）  演算制御部１６０は過去に計測された重み付きばらつきの値を比較し、装着停止位置（Ｚ２）の変更する方向（図６のＺ方向のプラス方向またはマイナス方向）を決定する。
【０１０４】
まず演算装置１６０は、装着ずればらつき情報Ｄ６の最終行に１行追加し、フィーダ番号Ｆ１と、動作情報Ｄ２の当該フィーダＦ１における装着停止位置Ｚ２（１１ｄ）に格納された値と、動作情報Ｄ２の当該フィーダＦ１における動作速度ＶＺ（１１ｅ）に格納された値と、前述の装着ばらつきの重み付き和（ＤｅｖＡｌｌ２）を、それぞれ、装着ずればらつき情報Ｄ６のフィーダ番号（１５ａ）、装着停止位置Ｚ２（１５ｂ）、装着ずればらつき重み付き和ＤｅｖＡｌｌ２（１５ｃ）の最終行に格納する。
【０１０５】
次に演算装置１６０は、装着ずればらつき情報Ｄ６の装着停止位置Ｚ２（１５ｂ）において最終行に格納された値Ｚ２ａ（つまり、現在の装着停止位置Ｚ２の値）と、装着停止位置Ｚ２（１５ｂ）の最終行の１つ前の行に格納された値Ｚ２ｂ（つまり、現在の装着停止位置Ｚ２に変更する前の装着停止位置Ｚ２の値）について、重み付きばらつきの値を比較し、装着停止位置（Ｚ２）の変更する方向（図６のＺ方向のプラス方向またはマイナス方向）を決定する。なお、装着ずればらつき情報Ｄ６に１行しかデータが格納されていない場合は、プラス方向に変更する。
【０１０６】
演算装置１６０は、装着ずればらつき情報Ｄ６の各行のうち、フィーダ番号（１５ａ）がＦ１と等しく、かつ動作速度ＶＺ（１５ｃ）が現在の動作速度（動作情報Ｄ２において、フィーダ番号（１１ａ）がＦ１と等しい行に格納された１１ｅの値）と等しい行の値を読み込み、式（１１）、式（１２）を用いて、Ｚ２ａとＺ２ｂにおける重み付きばらつきの値ＤｅｖＣ２ａとＤｅｖＣ２ｂを計算する。
【０１０７】
【数１１】
2014096509.tif 000013
【０１０８】
【数１２】
2014096509.tif 000014
【０１０９】
式（１１）、式（１２）において、Ｚ２ｉは装着停止位置Ｚ２（１５ｂ）について読み込んだ各行の値である。ＤｅｖＡｌｌ２ｉは、装着ずればらつき重み付き和ＤｅｖＡｌｌ２（１５ｄ）について読み込んだ各行の値である。β２は、事前に定められた係数であり、例えばβ２＝０．１といった値が利用される。
【０１１０】
式（１１）、式（１２）では、Ｚ２ａとＺ２ｂにおける重み付きばらつきの値ＤｅｖＣ２ａとＤｅｖＣ２ｂは、Ｚ２ａやＺ２ｂで部品装着を行ったときの重み付きばらつきの値と、Ｚ２ａやＺ２ｂに近い装着停止位置Ｚ２にて部品装着を行ったときの重み付きばらつきの値との平均値として表される。なお、平均値を重み付き平均としても良い。
【０１１１】
ＤｅｖＣ２ａがＤｅｖＣ２ｂ以下である場合は、装着停止位置Ｚ２ｂから装着停止位置Ｚ２ａに変更することで重み付きばらつきを減少させることができたことになる。この場合は、Ｚ２ｂからＺ２ａへ動かしたときと同じ方向へ次の処理（ｓ３０７）で装着停止位置Ｚ２を変更する。つまり、Ｚ２ａ−Ｚ２ｂがプラスの場合は、プラス方向へ、Ｚ２ａ−Ｚ２ｂがマイナスの場合は、マイナス方向へ、装着停止位置Ｚ２を変更する。
【０１１２】
ＤｅｖＣ２ａがＤｅｖＣ２ｂよりも大きい場合は、装着停止位置Ｚ２ｂから装着停止位置Ｚ２ａに変更することで重み付きばらつきを増加してしまったことになる。この場合は、Ｚ２ｂからＺ２ａへ動かしたときと反対方向へ次の処理（ｓ３０７）で装着停止位置Ｚ２を変更する。つまり、Ｚ２ａ−Ｚ２ｂがプラスの場合は、マイナス方向へ、Ｚ２ａ−Ｚ２ｂがマイナスの場合は、プラス方向へ、装着停止位置Ｚ２を変更する。
【０１１３】
（ｓ３０７）  演算装置１６０は、１つ前の処理（ｓ３０６）で装着停止位置Ｚ２をプラス方向に変更すると判定された場合には、動作情報Ｄ２についてフィーダ番号（１１ａ）に格納された値がフィーダ番号Ｆ１と等しい値である行を全て特定し、当該行について装着停止位置Ｚ２（１１ｄ）の値を＋δ２して更新する。δ２は事前に定められた値であり、例えば０．１などが利用される。また、１つ前の処理（ｓ３０６）で装着停止位置Ｚ２をマイナス方向に変更すると判定された場合には、動作情報Ｄ２についてフィーダ番号（１１ａ）に格納された値がフィーダ番号Ｆ１と等しい値である行を全て特定し、当該行について装着停止位置Ｚ２（１１ｄ）の値を−δ２して更新する。
【０１１４】
（ｓ３０８）  演算制御部１６０は、ｓ３０７での処理結果に基づき、装着ずればらつき重み付き和の履歴と、装着停止位置Ｚ２の変更履歴を表示し、ユーザが変更状況を確認可能とする（図２１）。
【０１１５】
図２１は、ｓ３０８で表示する画面例を示す。本画面では、修正対象となるフィーダＦの番号（ｇ２１）、装着ずれ重み付き和と変更回数を軸とするグラフ（ｇ２２）、装着停止位置Ｚ２の変更を判定する際の閾値（ｇ２３）、装着ずればらつき重み付き和の履歴をグラフ上にプロットした点（ｇ２４０〜ｇ２４２）、装着停止位置Ｚ２と変更回数を軸とするグラフ（ｇ２５）、装着ずればらつき重み付き和の履歴をグラフ上にプロットした点（ｇ２６０〜ｇ２６２）等を表示する。
【０１１６】
演算装置１６０は、ｇ２１にフィーダ番号Ｆ１を、ｇ２３に閾値５（１６ｄ）を、ｇ２４０〜ｇ２４２に、装着ずればらつき情報Ｄ６の各行のうち、フィーダ番号（１３ａ）にフィーダ番号Ｆ１と等しく、かつ、動作速度ＶＺ（１５ｃ）が現在の動作速度（動作情報Ｄ２において、フィーダ番号（１１ａ）がＦ１と等しい行に格納された１１ｅの値）と等しい行において、装着ずればらつき重み付き和ＤｅｖＡｌｌ１（１５ｄ）に格納された値を表示する。なお、ｇ２４０〜ｇ２４２は、装着ずればらつき情報Ｄ６の上の行に格納されたものから順に表示される。さらに、演算装置１６０は、ｇ２６０〜ｇ２６２に、装着ずればらつき情報Ｄ６の各行のうちフィーダ番号（１５ａ）にフィーダ番号Ｆ１と等しく、かつ、動作速度ＶＺ（１５ｃ）が現在の動作速度（動作情報Ｄ２において、フィーダ番号（１１ａ）がＦ１と等しい行に格納された１１ｅの値）と等しい行において、装着停止位置Ｚ２（１５ｂ）に格納された値を表示する。なお、ｇ２６０〜ｇ２６２は、装着ずればらつき情報Ｄ６の上の行に格納されたものから順に表示される。
【０１１７】
（ｓ３０９）  演算制御部１６０は、動作速度ＶＺを変更する。
演算制御部１６０は、動作情報Ｄ２についてフィーダ番号（１１ａ）に格納された値がフィーダ番号Ｆ１と等しい値である行を全て特定し、当該行について動作速度ＶＺ（１１ｅ）の値をγ倍して更新する。γは事前に定められた値であり、例えば０．５などが利用される。なおここで変更前の値をＶＺ１、変更後の値をＶＺ２とする
（ｓ３１０）  演算装置１６０は、ｓ３０９での処理の結果に基づき動作速度ＶＺを変更したことを示す情報を提示する（図２２）。
【０１１８】
演算装置１６０は、ｇ３１にフィーダ番号Ｆ１を、ｇ３２にＶＺ１を、ｇ３３にＶＺ２の値を表示する。
【０１１９】
なお、本実施例ではフィーダ番号（１２ａ）が等しいデータについてばらつきを算出しているが、部品装着位置座標（１４ｂ）が等しいデータについてばらつきを算出しても良い。その場合は、動作情報Ｄ２の変更指示の際には、フィーダ番号（１２ａ）と部品装着位置座標（１４ｂ）を指定する情報が送信されることとなる。
【０１２０】
以上説明したように、本実施の形態の部品実装装置１００（演算装置１５０）においては、実績データ（吸着ずれ情報Ｄ３、装着ずれ情報Ｄ５）による部品Ｐのずれの情報を入力として、吸着時のノズルＮの停止位置（Ｚ１）、装着時のノズルＮの停止位置（Ｚ２）や、動作速度（ＶＺ）等を好適に算出・変更することにより、部品吸着ずれや部品装着ずれを減少させ、異常や不良の発生を抑制することができる。
【０１２１】
本実施例によれば、部品実装装置に係わり、部品吸着後のノズルと部品の相対位置である吸着位置ずれのばらつきや、部品装着後の基板と部品の相対位置である装着位置ずれのばらつきを用いて、吸着時や装着時のノズルのＺ方向位置や動作速度等を好適に算出・決定することにより異常の発生を抑制することができる。
【実施例２】
【０１２２】
本実施例は、装着された電子部品の装着ずれの測定方法について図１と図２３を用いて、検査装置２００と同等の画像取得手段を部品実装装置１００に搭載した例を説明する。
【０１２３】
Ｓ１０１からＳ１０７までは実施例１と同様の処理を行う。
【０１２４】
次に、Ｓ２３０９の説明をする。検査装置２００と同様の処理を行う画像取得手段は、例えば、部品実装装置１００に複数搭載されたヘッド１２１のうち、基板上の部品を撮影できる検査ヘッドを一つ以上装着し、検査ヘッドを用いて画像を取得する。あるいは、ヘッド１２１は実装する際に基板のマーカ（基準）を撮像する手段を有している場合は、これを用いて装着後の部品Ｐを撮像してもよい。
【０１２５】
次に、Ｓ２３１０にて、撮像した画像をノズルＮによる部品Ｐの吸着ずれ量（ＤＸ１，ＤＹ１）や吸着ずれ（角度）（ＤΘ１）、装着ずれ量（ＤＸ２，ＤＹ２）や装着ずれ（角度）（ＤΘ２）に関する、ばらつき情報を用いて、吸着時のノズルＮの停止位置（Ｚ１）や装着時のノズルＮの停止位置（Ｚ２）やＺ方向の動作速度（ＶＺ）等のパラメータの変更値（ばらつき低減のために好適な変更値）を算出し、この結果（保持手段の実装条件）を部品実装装置１００の動作制御の設定情報に反映する。
【０１２６】
次に、Ｓ２３０８は、実装すべき部品が最終順序の部品装着が完了しているかを判定する。完了していれば、Ｓ１１１へ進み、完了していなければＳ１０１へ戻り実装を継続する。
【０１２７】
ここで、図２３のフローチャートには、Ｓ２３０９がＳ１０７の後に記載されているが、撮像すべき部品Ｐの画像が取得できていれば、どの工程であっても適宜行ってもよい。
【０１２８】
このように、検査を随時可能なタイミングで行うことで、実装中にＳ２３１０の修正を適宜行うことが可能となる。
【０１２９】
本実施例では、吸着時と実装時の電子部品を撮像することによって、ノズルの停止位置Ｚ１，Ｚ２や停止するまでの速度等の実装条件を随時修正することが可能となり、吸着時や装着時のノズルのＺ方向位置や動作速度等を好適に算出・決定することにより異常の発生を抑制することができる。また、実装中に随時修正を行うため、実装を停止することがなく、吸着や装着時のエラーを減らすことによって全体のスループットを向上させることができる。
【実施例３】
【０１３０】
本実施例は、実施例１あるいは実施例２と同様の構成であるため、装置構成の説明は省略する。
【０１３１】
生産する基板はそれぞれ基板自体の厚みが均一でないことがある。また、基板を部品実装装置１００で固定する際には、ピンを用いて固定するため、場所によってたわみが発生し、均一な高さではないことがある。したがって、停止位置Ｚ２の高さを特定する上で基板の厚みやたわみは重要なパラメータの一つである。
【０１３２】
そこで、本実施例では、電子部品を実装する基板を、剛性が高く厚みが均一な評価基板（図示しない）を使用する。なお、部品実装装置１００に固定した際の基板の厚みが均一になるものであれば剛性は問わない。
【０１３３】
評価基板を部品実装装置１００に固定し、図２のＳ１０１からＳ１１０の処理を行う。
【０１３４】
本実施例によって、基板の厚みが一定であるため、実装対象の部品に適したノズルＮの停止位置Ｚ１、Ｚ２を、実装する基板ごとの誤差の影響を受けることなく特定することができる。
【０１３５】
基板誤差を含まない停止位置Ｚ１，Ｚ２となるため、立ち上げ時に本実施例の工程を行うことによって、ばらつきが小さいことによる高精度の実装を実現する停止位置Ｚ１，Ｚ２や停止速度等の実装条件を、基板を量産する以前に特定することが可能となる。
【実施例４】
【０１３６】
本実施例では、使用実績がない新規の電子部品を扱う際の一例を図２４のフローチャートを用いて説明する。装置構成は、実施例１あるいは実施例２と同様である。使用する基板は実施例３記載の評価基板を使用するのが望ましい。
【０１３７】
使用実績がない新規の電子部品は適切な停止位置Ｚ１，Ｚ２は特定されていない。これに対して、実施例３同様にＳ１０１からＳ１０７，Ｓ２３０９，Ｓ２３１０と処理を行う。Ｓ２３１０で停止位置Ｚ１，Ｚ２が更新される。
【０１３８】
ここで、Ｓ２４１１では、基板に装着した部品を停止位置Ｚ２で吸着する。
【０１３９】
次に、Ｓ２４１２では、吸着した部品をフィーダまで移動し、部品をフィーダに戻す。または、部品回収装置１７４まで移動し、回収あるいは破棄する。このフィーダまたは部品回収装置１７４までの移動中に、吸着ずれ取得部１３２を通過し、Ｓ１０６とＳ１０７を実行し、動作情報（吸着）の修正を演算装置に指示してもよい。
【０１４０】
本実施例では、吸着時と実装時の電子部品を撮像することによって、ノズルの停止位置Ｚ１，Ｚ２や停止速度等の実装条件を随時修正することが可能となる。吸着時や装着時のノズルのＺ方向位置や動作速度等を好適に算出・決定することにより異常の発生を抑制することができる。また、予め立ち上げ時に新規部品のＺ方向位置や動作等を特定することによって、吸着や装着時のエラーを低減させることが可能となるため、量産時の調整が少なくなり全体のスループットを向上させることができる。また部品を回収することにより、実装条件の特定に必要となる部品の使用量を減少させることができる。
【０１４１】
なお、本発明で、電子部品または部品と称するものは、一般的に電子部品と呼ぶもの以外も含み、電子部品実装装置によって基板等に装着可能なものを含む。例えば、抵抗やコンデンサ、コイル等、スイッチやスペーサ、アンテナ用の治具等の機械部品も含む。また、プリント基板は樹脂基板やガラス基板、半導体基板等も含み、電子部品実装装置で扱えるものであればよい。
【０１４２】
以上、本発明者によってなされた発明を実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることは言うまでもない。
【符号の説明】
【０１４３】
５０…部品（Ｐ）、９０…基板（Ｂ）、１００…部品実装装置、１１０…供給装置、１１１…フィーダベース、１１１ａ…フィーダ（Ｆ）、１１２，１２５，１３３，１４５，１６３…ＩＦ部、１２０…装着装置、１２１…ヘッド、１２２…ビーム、１２２ａ…ガイド、１２３…ノズル（吸着ノズル）（Ｎ）、１２４…駆動制御部、１２５…圧力制御部、１３０…部品検出装置、１３１…吸着ずれ取得部、１３２…装着ずれ取得部、１４０…全体制御装置、１４１…記憶部、１４４…全体制御部、１５０…演算装置、１５１…記憶部、Ｄ１…装着情報、Ｄ２…動作情報、Ｄ３…吸着ずれ情報、Ｄ４…吸着ずればらつき情報、Ｄ５…装着ずれ情報、Ｄ６…装着ずればらつき情報、Ｄ７…閾値情報、１６０…演算制御部、１６１…入力部、１６２…出力部、１７０…入力装置、１７１…出力装置、１７２…通信ＩＦ装置、１７３…バス、２００…検査装置、３００…搬送装置
【図１】
2014096509.tif 000015
【図２】
2014096509.tif 000016
【図３】
2014096509.tif 000017
【図４】
2014096509.tif 000018
【図５】
2014096509.tif 000019
【図６】
2014096509.tif 000020
【図７】
2014096509.tif 000021
【図８】
2014096509.tif 000022
【図９】
2014096509.tif 000023
【図１０】
2014096509.tif 000024
【図１１】
2014096509.tif 000025
【図１２】
2014096509.tif 000026
【図１３】
2014096509.tif 000027
【図１４】
2014096509.tif 000028
【図１５】
2014096509.tif 000029
【図１６】
2014096509.tif 000030
【図１７】
2014096509.tif 000031
【図１８】
2014096509.tif 000032
【図１９】
2014096509.tif 000033
【図２０】
2014096509.tif 000034
【図２１】
2014096509.tif 000035
【図２２】
2014096509.tif 000036
【図２３】
2014096509.tif 000037
【図２４】
2014096509.tif 000038