(57)【要約】【課題】有効成分に関して高い発生効率を達成することができる技術を提供することを目的とする。【解決手段】本出願は、電圧を印加する印加部と、前記電圧によって放電する放電部と、を備える有効成分発生装置を開示する。前記放電部は、第１成分を生成する第１領域と、前記第１成分を放電によって反応させ、第２成分を有効成分として生成する第２領域と、を規定する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電圧を印加する印加部と、
前記電圧によって放電する放電部と、を備え、
該放電部は、第１成分を生成する第１領域と、前記第１成分を放電によって反応させ、第２成分を有効成分として生成する第２領域と、を規定することを特徴とする有効成分発生装置。
【請求項２】
前記第１成分は、ラジカル及びオゾンのうち少なくとも一方であり、
前記第２成分は、酸性成分であり、
前記第２領域は、前記第１領域よりも前記酸性成分を多く含むことを特徴とする請求項１に記載の有効成分発生装置。
【請求項３】
前記放電部は、気流の方向に沿って延びる第１延設部を含む陽極部と、前記気流の前記方向に沿って延びる第２延設部を含む陰極部と、を含み、
前記第２延設部は、前記第１延設部に対向し、
前記第１領域及び前記第２領域は、前記第１延設部と前記第２延設部との間で形成されることを特徴とする請求項１又は２に記載の有効成分発生装置。
【請求項４】
前記第１領域は、前記気流の前記方向において、前記第２領域の上流に形成されることを特徴とする請求項３に記載の有効成分発生装置。
【請求項５】
前記第１延設部と前記第２延設部との間で発生する前記放電は、グロー放電であることを特徴とする請求項３又は４に記載の有効成分発生装置。
【請求項６】
前記印加部は、前記陽極部及び前記陰極部に、前記電圧として、交流電圧を印加することを特徴とする請求項５に記載の有効成分発生装置。
【請求項７】
前記気流を発生させる気流発生装置を更に備えることを特徴とする請求項３乃至６のいずれか１項に記載の有効成分発生装置。
【請求項８】
前記放電部は、前記第１領域を規定する第１電極と、前記第２領域を規定する第２電極と、を含むことを特徴とする請求項１又は２に記載の有効成分発生装置。
【請求項９】
前記放電部は、前記第１電極と前記第２電極との間に配置された中間電極を含み、
前記第１領域は、前記第１電極と前記中間電極との間で規定され、
前記第２領域は、前記第２電極と前記中間電極との間で規定されることを特徴とする請求項８に記載の有効成分発生装置。
【請求項１０】
前記第１電極と前記中間電極との間の第１距離及び前記第２電極と前記中間電極との間の第２距離は、前記第１領域から前記第２領域へ向かう気流が生ずるように調整されることを特徴とする請求項９に記載の有効成分発生装置。
【請求項１１】
前記印加部は、前記第１電極に第１電圧を印加する第１印加部と、前記第２電極に第２電圧を印加する第２印加部と、を含み、
前記第１電圧及び前記第２電圧は、前記第１領域から前記第２領域へ向かう気流が生ずるように調整されることを特徴とする請求項８又は９に記載の有効成分発生装置。
【請求項１２】
前記第１領域から前記第２領域へ向かう気流を発生させる気流発生装置を更に備えることを特徴とする請求項８又は９に記載の有効成分発生装置。
【請求項１３】
放電を利用して、有効成分を発生させる方法であって、
第１領域において、放電し、第１成分を生成する段階と、
第２領域において、放電し、前記第１成分を反応させ、前記有効成分として第２成分を発生させる段階と、を備えることを特徴とする有効成分発生方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有効成分を発生させるための技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
窒素酸化物といった酸性成分は、健康を目的とした用途や美容を目的とした用途といった様々な用途において、有効成分として広く利用されている。特許文献１は、有効成分を発生させる技術を開示する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１１−４５８１７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述の開示技術は、放電を利用して、酸性成分を生成する。したがって、多量の酸性成分を発生させるためには、電極に印加される電圧は大きな値に設定される必要がある。大きな電圧の印加下において、酸性成分だけではなく、ラジカルやオゾンといった成分も多量に発生する。
【０００５】
消費される電気エネルギに対する発生した酸性成分の量によって、有効成分の発生効率が定義されるならば、上述の開示技術は、高い発生効率を達成することはできない。
【０００６】
本発明は、有効成分に関して高い発生効率を達成することができる技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一局面に係る有効成分発生装置は、電圧を印加する印加部と、前記電圧によって放電する放電部と、を備える。該放電部は、第１成分を生成する第１領域と、前記第１成分を放電によって反応させ、第２成分を有効成分として生成する第２領域と、を規定する。
【０００８】
上記構成によれば、放電部は、印加部の電圧印加下で放電し、第１領域において、第１成分を生成する。放電部は、第２領域において、第１成分を放電によって反応させ、第２成分を有効成分として生成する。したがって、有効成分の発生効率は高くなる。
【０００９】
上記構成において、前記第１成分は、ラジカル及びオゾンのうち少なくとも一方であってもよい。前記第２成分は、酸性成分であってもよい。前記第２領域は、前記第１領域よりも前記酸性成分を多く含んでもよい。
【００１０】
上記構成によれば、放電部は、印加部の電圧印加下で放電し、第１領域において、ラジカル及びオゾンのうち少なくとも一方を生成する。放電部は、第２領域において、ラジカル及びオゾンのうち少なくとも一方を放電によって反応させ、酸性成分を有効成分として生成する。したがって、第２領域は、第１領域よりも酸性成分を含むことになる。
【００１１】
上記構成において、前記放電部は、気流の方向に沿って延びる第１延設部を含む陽極部と、前記気流の前記方向に沿って延びる第２延設部を含む陰極部と、を含んでもよい。前記第２延設部は、前記第１延設部に対向してもよい。前記第１領域及び前記第２領域は、前記第１延設部と前記第２延設部との間で形成されてもよい。
【００１２】
上記構成によれば、第１延設部及び第２延設部はともに、気流の方向に沿って延びる。したがって、気流が、第１延設部と、第１延設部に対向する第２延設部との間を通過する間、第１成分が生成される。その後、第１成分は、第１延設部と第２延設部との間で、放電によって反応され、第２成分になる。したがって、有効成分の発生効率は高くなる。
【００１３】
上記構成において、前記第１領域は、前記気流の前記方向において、前記第２領域の上流に形成されてもよい。
【００１４】
上記構成によれば、第１領域は、気流の方向において、第２領域の上流に形成されるので、気流が、第１延設部と、第１延設部に対向する第２延設部との間を通過する間、第１成分が生成される。その後、第１成分は、第１延設部と第２延設部との間で、放電によって反応され、第２成分になる。したがって、有効成分の発生効率は高くなる。
【００１５】
上記構成において、前記第１延設部と前記第２延設部との間で発生する前記放電は、グロー放電であってもよい。
【００１６】
上記構成によれば、第１延設部と第２延設部との間で発生する放電は、グロー放電であるので、気流は連続的な放電に曝されることになる。したがって、気流が、第１延設部と、第１延設部に対向する第２延設部との間を通過する間、第１成分が生成される。その後、第１成分は、第１延設部と第２延設部との間で、放電によって反応され、第２成分になる。この結果、有効成分の発生効率は高くなる。
【００１７】
上記構成において、前記印加部は、前記陽極部及び前記陰極部に、前記電圧として、交流電圧を印加してもよい。
【００１８】
上記構成によれば、印加部は、陽極部及び陰極部に、電圧として、交流電圧を印加するので、グロー放電は、第１延設部と第２延設部との間で適切に発生される。この結果、気流は連続的な放電に曝されることになる。したがって、気流が、第１延設部と、第１延設部に対向する第２延設部との間を通過する間、第１成分が生成される。その後、第１成分は、第１延設部と第２延設部との間で、放電によって反応され、第２成分になる。かくして、有効成分の発生効率は高くなる。
【００１９】
上記構成において、有効成分発生装置は、前記気流を発生させる気流発生装置を更に備えてもよい。
【００２０】
上記構成によれば、気流発生装置によって、第１領域から第２領域へ向かう気流が適切に発生される。
【００２１】
上記構成において、前記放電部は、前記第１領域を規定する第１電極と、前記第２領域を規定する第２電極と、を含んでもよい。
【００２２】
上記構成によれば、第１電極からの放電によって、第１成分が生成される。第１成分は、第２電極からの放電によって、反応され、有効成分になる。したがって、有効成分の発生効率は高くなる。
【００２３】
上記構成において、前記放電部は、前記第１電極と前記第２電極との間に配置された中間電極を含んでもよい。前記第１領域は、前記第１電極と前記中間電極との間で規定されてもよい。前記第２領域は、前記第２電極と前記中間電極との間で規定されてもよい。
【００２４】
上記構成によれば、第１成分は、第１電極と中間電極との間で生成される。その後、第１成分は、第２電極と中間電極との間で反応され、有効成分になる。したがって、有効成分の発生効率は高くなる。
【００２５】
上記構成において、前記第１電極と前記中間電極との間の第１距離及び前記第２電極と前記中間電極との間の第２距離は、前記第１領域から前記第２領域へ向かう気流が生ずるように調整されてもよい。
【００２６】
上記構成によれば、第１電極と中間電極との間の第１距離及び第２電極と中間電極との間の第２距離は、第１領域から第２領域へ向かう気流が生ずるように調整されるので、第１成分は、第２電極からの放電によって、反応されやすくなる。したがって、有効成分の発生効率は高くなる。
【００２７】
上記構成において、前記印加部は、前記第１電極に第１電圧を印加する第１印加部と、前記第２電極に第２電圧を印加する第２印加部と、を含んでもよい。前記第１電圧及び前記第２電圧は、前記第１領域から前記第２領域へ向かう気流が生ずるように調整されてもよい。
【００２８】
上記構成において、第１印加部が印加する第１電圧及び第２印加部が印加する第２電圧は、第１領域から第２領域へ向かう気流が生ずるように調整されるので、第１成分は、第２電極からの放電によって、反応されやすくなる。したがって、有効成分の発生効率は高くなる。
【００２９】
上記構成において、有効成分発生装置は、前記第１領域から前記第２領域へ向かう気流を発生させる気流発生装置を更に備えてもよい。
【００３０】
上記構成によれば、気流発生装置によって、第１領域から第２領域へ向かう気流が適切に発生されるので、第１成分は、第２電極からの放電によって、反応されやすくなる。したがって、有効成分の発生効率は高くなる。
【００３１】
本発明の他の局面に係る有効成分発生方法は、放電を利用して、有効成分を発生させるために用いられる。有効成分発生方法は、第１領域において、放電し、第１成分を生成する段階と、第２領域において、放電し、前記第１成分を反応させ、前記有効成分として第２成分を発生させる段階と、を備える。
【００３２】
上記構成によれば、第１領域において、放電によって、第１成分が生成される。その後、第２領域において、第１成分が放電によって反応され、第２成分が有効成分として生成される。したがって、有効成分の発生効率は高くなる。
【発明の効果】
【００３３】
本発明に係る有効成分発生技術は、有効成分を効率的に発生させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】第１実施形態の有効成分発生装置として例示される酸性成分発生装置の概略図である。
【図２】図１に示される酸性成分発生装置が作り出した放電領域内での反応を表す概念図である。
【図３】有効成分生成方法として例示される酸性成分生成方法の概略的なフローチャートである。
【図４】第２実施形態の有効成分発生装置として例示される酸性成分発生装置の概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００３５】
以下、図面を参照しつつ、有効成分発生装置として例示される様々な酸性成分発生装置が説明される。尚、以下の説明で用いられる「上」、「下」、「左」や「右」などの方向を表す用語は、単に、説明の明瞭化を目的とする。したがって、これらの用語は、有効成分発生装置の原理を何ら限定しない。
【００３６】
＜第１実施形態＞
図１は、第１実施形態の有効成分発生装置として例示される酸性成分発生装置１００の概略図である。図１を参照して、酸性成分発生装置１００が説明される。
【００３７】
酸性成分発生装置１００は、交流電源１１０と、電極部１２０と、ファン装置１３０と、案内管１４０と、を備える。交流電源１１０は、圧電素子を用いた回路を用いて形成されてもよい。交流電源１１０は、電極部１２０に交流電圧（高周波電圧）を印加する。交流電圧の印加下で、電極部１２０は、案内管１４０内でグロー放電を引き起こす。ファン装置１３０は、案内管１４０に向けて空気を送り出す。案内管１４０内のグロー放電によって、ファン装置１３０が送り出した空気中で、酸性成分が、有効成分として効率的に発生される。本実施形態において、交流電源１１０は、印加部として例示される。交流電圧の周波数及び振幅は、グロー放電を発生させるように、適切に設定される。
【００３８】
交流電源１１０に電気的に接続された電極部１２０は、第１湾曲電極１２１と第２湾曲電極１２２とを含む。第２湾曲電極１２２は、接地されている。交流電源１１０が交流電圧を電極部１２０に印加すると、第１湾曲電極１２１と第２湾曲電極１２２との間でグロー放電が発生する。本実施形態において、電極部１２０は、放電部として例示される。第１湾曲電極１２１は、陽極部として例示される。第２湾曲電極１２２は、陰極部として例示される。
【００３９】
第１湾曲電極１２１は、案内管１４０内に挿入された第１挿入部１２３と、案内管１４０から露出した第１露出部１２４と、を含む。第２湾曲電極１２２は、案内管１４０内に挿入された第２挿入部１２５と、案内管１４０から露出した第２露出部１２６と、を含む。
【００４０】
図１には、ファン装置１３０によって作り出される気流の方向が、矢印「ＡＲ」を用いて表されている。案内管１４０は、ファン装置１３０によって送り出された空気が流入する流入口１４８を規定する下端部１４１と、流入口１４８とは反対側の流出口１４９を規定する上端部１４２と、を含む。本実施形態において、ファン装置１３０は、気流発生装置として例示される。
【００４１】
第１湾曲電極１２１及び第２湾曲電極１２２は、上端部１４２上で湾曲される。したがって、案内管１４０は、第１湾曲電極１２１と第２湾曲電極１２２とを適切に支持することができる。必要に応じて、案内管は、グロー放電を発生させるための低圧環境を維持するためのチャンバとして用いられてもよい。
【００４２】
第１挿入部１２３は、流入口１４８に対向する第１先端部１２７を含む。第１挿入部１２３は、第１先端部１２７から流出口１４９に向けて、気流方向「ＡＲ」に沿って延びる。第１挿入部１２３に対向する第２挿入部１２５は、流入口１４８に対向する第２先端部１２８を含む。第２挿入部１２５は、第２先端部１２８から流出口１４９に向けて、気流方向「ＡＲ」に沿って延びる。交流電源１１０が交流電圧を電極部１２０に印加すると、第１挿入部１２３と第２挿入部１２５との間でグロー放電が発生する。本実施形態において、第１挿入部１２３は、第１延設部として例示される。第２挿入部１２５は、第２延設部として例示される。
【００４３】
第１挿入部１２３と第２挿入部１２５との間には、グロー放電が発生する放電領域ＳＡが規定される。図１は、放電領域ＳＡを概念的に示している。
【００４４】
図１には、放電領域ＳＡを第１生成領域ＦＧＡと第２生成領域ＳＧＡとに概念的に区分する区分線ＤＬが示されている。第１生成領域ＦＧＡは、気流方向「ＡＲ」において、第２生成領域ＳＧＡの上流に存在する。
【００４５】
第１挿入部１２３と第２挿入部１２５との間のグロー放電によって、第１生成領域ＦＧＡ内では、ラジカルやオゾンが多く生成される。ファン装置１３０が作り出した気流によって、ラジカル（例えば、ヒドロキシラジカル）及び／又はオゾンは、第２生成領域ＳＧＡに送り出される。第２生成領域ＳＧＡ内でのグロー放電は、ラジカル及び／又はオゾンから硝酸といった酸性成分を生成する。したがって、酸性成分は、第１生成領域ＦＧＡよりも第２生成領域ＳＧＡにおいて多く含まれることになる。本実施形態において、第１生成領域ＦＧＡ内で生成されたラジカル及び／又はオゾンは、第１成分として例示される。第２生成領域ＳＧＡ内でのグロー放電によって生成された酸性成分は、第２成分として例示される。第１生成領域ＦＧＡは、第１領域として例示される。第２生成領域ＳＧＡは、第２領域として例示される。
【００４６】
酸性成分は、流出口１４９を通じて、案内管１４０から排出される。その後、酸性成分は、用途の目的に応じて、処理される。
【００４７】
第１挿入部１２３及び第２挿入部１２５は、ラジカル及び／又はオゾンから酸性成分が生成されるのに十分に長く形成される。したがって、第１挿入部１２３及び第２挿入部１２５の長さは、例えば、ファン装置１３０の送風量やグロー放電の強さに依存してもよい。
【００４８】
図２は、放電領域ＳＡ内での反応を表す概念図である。図１及び図２を参照して、放電領域ＳＡ内での反応が説明される。
【００４９】
ファン装置１３０は、「Ｏ２」及び「Ｎ２」といった成分を含む空気を放電領域ＳＡに送り出す。第１生成領域ＦＧＡ内でのグロー放電は、これらの成分に電子「ｅ」を与え、「Ｏ・」、「Ｏ−」、「Ｏ２−」や「Ｎ」といった成分を生成する。これらの生成成分が放電領域ＳＡを通過する間、放電領域ＳＡ内に存在する「Ｈ２Ｏ」、「Ｏ２」、「ＮＯ２」、「Ｈ３Ｏ＋」や「Ｏ３」といった反応成分と反応し、最終的に、「ＨＮＯ３−」や「ＮＯ３−」といった酸性成分が生成される。尚、上述の反応成分は、ファン装置１３０によって送り出された空気に含まれてもよく、或いは、第１生成領域ＦＧＡ内でのグロー放電によって生成されてもよい。上述の成分「Ｈ２Ｏ」は、第１挿入部１２３及び／又は第２挿入部１２５に供給された水であってもよい。水は、第１挿入部１２３及び／又は第２挿入部１２５の冷却に起因する結露によって供給されてもよく、或いは、第１挿入部１２３及び／又は第２挿入部１２５へ給水する専用の給水装置によって供給されてもよい。
【００５０】
図３は、有効成分生成方法として例示される酸性成分生成方法の概略的なフローチャートである。図１及び図３を参照して、酸性成分生成方法が説明される。
【００５１】
（ステップＳ１１０）
ステップＳ１１０において、ファン装置１３０は、空気を案内管１４０に送り込む。この結果、空気は、第１挿入部１２３と第２挿入部１２５との間の第１生成領域ＦＧＡに流入する。交流電源１１０は、第１挿入部１２３と第２挿入部１２５との間にグロー放電を引き起こす。この結果、ラジカル及び／又はオゾンが生成される。
【００５２】
（ステップＳ１２０）
ステップＳ１２０において、第１生成領域ＦＧＡで生成されたラジカル及び／又はオゾンは、ファン装置１３０によって、第２生成領域ＳＧＡへ送り出される。ラジカル及び／又はオゾンは、第２生成領域ＳＧＡ内でのグロー放電によって、酸性成分へと反応される。
【００５３】
＜第２実施形態＞
図４は、第２実施形態の有効成分発生装置として例示される酸性成分発生装置１００Ａの概略図である。図４を参照して、酸性成分発生装置１００Ａが説明される。尚、第１実施形態と同一の要素に関して、同一の符号が付されている。同一の符号が付された要素に対して、第１実施形態の説明が援用される。
【００５４】
酸性成分発生装置１００Ａは、第１電源１１１と、第２電源１１２と、第１電極棒１２１Ａと、第２電極棒１２２Ａと、支持構造１５０と、環状電極１６０と、を備える。本実施形態において、第１電源１１１及び第２電源１１２は、印加部として例示される。第１電極棒１２１Ａ及び第２電極棒１２２Ａは、放電部として例示される。
【００５５】
支持構造１５０は、第１電源１１１に電気的に接続された第１電極棒１２１Ａを収容及び支持するチャンバ１５１と、第２電源１１２に電気的に接続された第２電極棒１２２Ａを支持する支持板１５２と、を含む。チャンバ１５１は、第１電極棒１２１Ａと第２電極棒１２２Ａとの間で横たわる上板１５３を含む。環状電極１６０は、上板１５３に取り付けられる。尚、環状電極１６０は、接地されている。本実施形態において、環状電極１６０は、中間電極として例示される。
【００５６】
環状電極１６０は、第１電極棒１２１Ａと第２電極棒１２２Ａとの間において、開口部１６１を規定する。チャンバ１５１が規定する内部空間及びチャンバ１５１外の外部空間は、開口部１６１を通じて連通する。
【００５７】
第１電極棒１２１Ａは、開口部１６１に対向する第１先端部１２７Ａを含む。第１電源１１１が電圧を印加すると、第１先端部１２７Ａから放電が発生する。この結果、第１生成領域ＦＧＡが、環状電極１６０と第１先端部１２７Ａとの間で規定される。本実施形態において、第１電極棒１２１Ａは、第１電極として例示される。第１電源１１１は、第１印加部として例示される。
【００５８】
外部空間内で支持された第２電極棒１２２Ａは、開口部１６１の直上に配置された第２先端部１２８Ａを含む。第２電源１１２が電圧を印加すると、第２先端部１２８Ａから放電が発生する。この結果、第２生成領域ＳＧＡが、環状電極１６０と第２先端部１２８Ａとの間で規定される。本実施形態において、第２電極棒１２２Ａは、第２電極として例示される。第２電源１１２は、第２印加部として例示される。
【００５９】
第１先端部１２７Ａと環状電極１６０との間の距離及び第２先端部１２８Ａと環状電極１６０との間の距離は、内部空間から外部空間へ向かう気流（イオン風）が発生するように設定されてもよい。この場合、第１先端部１２７Ａと環状電極１６０との間の距離は、第１距離として例示される。第２先端部１２８Ａと環状電極１６０との間の距離は、第２距離として例示される。
【００６０】
代替的に、第１電源１１１が第１電極棒１２１Ａに印加する電圧及び第２電源１１２が第２電極棒１２２Ａに印加する電圧は、内部空間から外部空間へ向かう気流（イオン風）が発生するように設定されてもよい。この場合、第１電源１１１が第１電極棒１２１Ａに印加する電圧は、第１電圧として例示される。第２電源１１２が第２電極棒１２２Ａに印加する電圧は、第２電圧として例示される。
【００６１】
更に代替的に、酸性成分発生装置１００Ａは、内部空間に空気を送り込むための送気装置（図示せず）を更に備えてもよい。送気装置は、内部空間の圧力を増加するので、内部空間から外部空間へ向かう気流が発生する。本実施形態において、送気装置は、気流発生装置として例示される。
【００６２】
図３を参照して説明された酸性成分生成方法は、酸性成分発生装置１００Ａにも適用可能である。図３及び図４を参照して、酸性成分生成方法が説明される。
【００６３】
（ステップＳ１１０）
ステップＳ１１０において、第１電源１１１は、第１電極棒１２１Ａに電圧を印加する。この結果、第１生成領域ＦＧＡにおいて、ラジカルやオゾンが発生する。
【００６４】
（ステップＳ１２０）
ステップＳ１２０において、第１生成領域ＦＧＡにおいて発生したラジカルやオゾンは、第２生成領域ＳＧＡに流入する。この結果、ラジカルやオゾンは、第２電極棒１２２Ａからの放電に曝される。ラジカルやオゾンは、第２電極棒１２２Ａからの放電によって、酸性成分に反応される。
【産業上の利用可能性】
【００６５】
本実施形態の原理は、有効成分を生成するための装置に好適に利用される。
【符号の説明】
【００６６】
１００，１００Ａ・・・・・・・・・・酸性成分発生装置
１１０・・・・・・・・・・・・・・・交流電源
１１１・・・・・・・・・・・・・・・第１電源
１１２・・・・・・・・・・・・・・・第２電源
１２０・・・・・・・・・・・・・・・電極部
１２１・・・・・・・・・・・・・・・第１湾曲電極
１２１Ａ・・・・・・・・・・・・・・第１電極棒
１２２・・・・・・・・・・・・・・・第２湾曲電極
１２２Ａ・・・・・・・・・・・・・・第２電極棒
１２３・・・・・・・・・・・・・・・第１挿入部
１２５・・・・・・・・・・・・・・・第２挿入部
１３０・・・・・・・・・・・・・・・ファン装置
１６０・・・・・・・・・・・・・・・環状電極
ＦＧＡ・・・・・・・・・・・・・・・第１生成領域
ＳＧＡ・・・・・・・・・・・・・・・第２生成領域
【図１】
2014147916.tif 000003
【図２】
2014147916.tif 000004
【図３】
2014147916.tif 000005
【図４】
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