(57)【要約】【課題】物体の回転軸の位置を既知なものとして取り扱っているので、物体の回転軸の位置が仮に不明である場合、その位置を特定することができなかった。【解決手段】回転センサ１は、１つの加速度検出軸２ａを有する４つの加速度検出素子２と、４つの加速度検出素子２の検出結果（加速度A1等）と、複数の加速度検出素子２間の距離（距離D12等）と、に基づく連立方程式（上記式（４）〜（１０））を解くことで、回転軸Mの位置を演算する演算部３（演算手段）と、を備える。演算部３は、連立方程式を解くことで、角速度ωを、演算する。【選択図】図２
2014052344.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１つ以上の加速度検出軸を有する、少なくとも３つ以上である複数の加速度検出素子と、
前記複数の加速度検出素子の検出結果と、前記複数の加速度検出素子間の距離と、に基づく連立方程式を解くことで、回転軸の位置を演算する演算手段と、
を備えた、回転センサ。
【請求項２】
請求項１に記載の回転センサであって、
前記演算手段は、角速度を演算する、
回転センサ。
【請求項３】
請求項１に記載の回転センサであって、
４つ以上の前記加速度検出素子を備える、
回転センサ。
【請求項４】
請求項３に記載の回転センサであって、
４つ以上の前記加速度検出素子のうち、少なくとも１つの前記加速度検出素子の前記加速度検出軸と、残りの前記加速度検出素子の前記加速度検出軸と、は直交する関係にある、
回転センサ。
【請求項５】
内部に流体を封止可能な第１流体封止室及び第２流体封止室が形成された外枠体と、
前記第１流体封止室内に配置された第１発熱体、温度測定用の第１測温体、温度測定用の第２測温体と、
前記第２流体封止室内に配置された第２発熱体、温度測定用の第３測温体、温度測定用の第４測温体と、
前記第１測温体の測定結果と前記第４測温体の測定結果の総和を演算する第１総和演算手段と、
前記第２測温体の測定結果と前記第３測温体の測定結果の総和を演算する第２総和演算手段と、
前記第１総和演算手段の演算結果と、前記第２総和演算手段の演算結果と、の差分を演算する差分演算手段と、
を備え、
前記第１測温体と前記第２測温体は、前記第１発熱体を挟んで対称に配置されており、
前記第３測温体と前記第４測温体は、前記第２発熱体を挟んで対称に配置されており、
前記第１流体封止室の前記第１発熱体と、前記第２流体封止室の前記第２発熱体と、は揃えられており、
前記第１流体封止室の前記第１発熱体から見た前記第１測温体の方向と、前記第２流体封止室の前記第２発熱体から見た前記第３測温体の方向と、は同じ方向である、
角速度センサ。
【請求項６】
請求項５に記載の角速度センサであって、
前記第１流体封止室の、前記第１発熱体及び前記第１測温体、前記第２測温体が配置されている内壁面と反対側は、モールド樹脂により閉塞されている、
角速度センサ。
【請求項７】
請求項６に記載の角速度センサであって、
前記第１流体封止室の厚みは、１０マイクロメートル以下である、
角速度センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回転センサ及び角速度センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の技術として、特許文献１は、加速度を検出する方向が同一方向である２つの加速度センサを備え、２つの加速度センサの出力の和または差の信号と、２つの加速度センサ間の距離と、から角速度を検出するようにした角速度センサを開示している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平７−２７０４４４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記特許文献１の構成では、物体の回転軸の位置を既知なものとして取り扱っているので、物体の回転軸の位置が仮に不明である場合、その位置を特定することができなかった。
【０００５】
その他の課題と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
第１の観点によれば、回転センサは、少なくとも１つ以上の加速度検出軸を有する、少なくとも３つ以上である複数の加速度検出素子と、前記複数の加速度検出素子の検出結果と、前記複数の加速度検出素子間の距離と、に基づく連立方程式を解くことで、回転軸の位置を演算する演算手段と、を備える。
【０００７】
第２の観点によれば、角速度センサは、内部に流体を封止可能な第１流体封止室及び第２流体封止室が形成された外枠体と、前記第１流体封止室内に配置された第１発熱体、温度測定用の第１測温体、温度測定用の第２測温体と、前記第２流体封止室内に配置された第２発熱体、温度測定用の第３測温体、温度測定用の第４測温体と、前記第１測温体の測定結果と前記第４測温体の測定結果の総和を演算する第１総和演算手段と、前記第２測温体の測定結果と前記第３測温体の測定結果の総和を演算する第２総和演算手段と、前記第１総和演算手段の演算結果と、前記第２総和演算手段の演算結果と、の差分を演算する差分演算手段と、を備え、前記第１測温体と前記第２測温体は、前記第１発熱体を挟んで対称に配置されており、前記第３測温体と前記第４測温体は、前記第２発熱体を挟んで対称に配置されており、前記第１流体封止室の前記第１発熱体と、前記第２流体封止室の前記第２発熱体と、は揃えられており、前記第１流体封止室の前記第１発熱体から見た前記第１測温体の方向と、前記第２流体封止室の前記第２発熱体から見た前記第３測温体の方向と、は同じ方向である。
【発明の効果】
【０００８】
回転軸の位置を取得することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】図1は、回転センサの平面図である。（第１実施形態）
【図２】図2は、回転センサの検出メカニズムの説明図である。（第１実施形態）
【図３】図3は、回転センサの検出メカニズムの説明図である。（第１実施形態）
【図４】図4は、角速度センサの外観斜視図である。（第２実施形態）
【図５】図5は、図４のV-V線断面図である。（第２実施形態）
【図６】図6は、角速度センサの平面断面図である。（第２実施形態）
【図７】図7は、角速度センサの回路図である。（第２実施形態）
【図８】図8は、図４のVIII-VIII線断面図に相当する図である。（第３実施形態）
【発明を実施するための形態】
【００１０】
（第１実施形態）
以下、図１〜図３を参照して、第１実施形態を説明する。
【００１１】
第１実施形態において、回転センサ１は、４つの加速度検出素子２と、演算部３（演算手段）と、によって構成されている。回転センサ１は、更に、４つの加速度検出素子２と演算部３を保持する保持体４を有している。
【００１２】
４つの加速度検出素子２は、保持体４の平面４ａに配置されている。各加速度検出素子２は、１つの加速度検出軸２ａを有している。各加速度検出素子２は、加速度検出軸２ａが平面４ａに対して平行となるように配置されている。４つの加速度検出素子２のうち、２つの加速度検出素子２の加速度検出軸２ａは、図１において紙面左右方向となっている。４つの加速度検出素子２のうち、残りの２つの加速度検出素子２の加速度検出軸２ａは、図１において紙面上下方向となっている。従って、４つの加速度検出素子２のうち、２つの加速度検出素子２の加速度検出軸２ａと、残りの２つの加速度検出素子２の加速度検出軸２ａと、は直交する関係にある。以上の構成によれば、保持体４の平面４ａに対して平行な方向に作用するあらゆる加速度を検出することができる。ここで、４つの加速度検出素子２のうち、１つの加速度検出素子２と他の３つの加速度検出素子２が直交する関係にあってもよい。
【００１３】
演算部３は、上記４つの加速度検出素子２の検出結果を活用して、回転センサ１の保持体４の回転軸Mの位置を演算する。以下、演算部３による演算について詳しく説明する。
【００１４】
図２には、３つの加速度検出素子２を示している。３つの加速度検出素子２の加速度検出軸２ａは、同一直線上にあるものとする。３つの加速度検出素子２を、紙面上から下に向かって、説明の便宜上、加速度検出素子２A、加速度検出素子２B、加速度検出素子２C、と称する。
【００１５】
回転軸Mから加速度検出素子２Aまでの距離を距離ｒ１とする。回転軸Mから加速度検出素子２Bまでの距離を距離ｒ２とする。回転軸Mから加速度検出素子２Cまでの距離を距離ｒ３とする。回転軸Mと加速度検出素子２Aを結んだ線分と加速度検出軸２ａとの成す角度を角度θ１とする。回転軸Mと加速度検出素子２Bを結んだ線分と加速度検出軸２ａとの成す角度を角度θ２とする。回転軸Mと加速度検出素子２Cを結んだ線分と加速度検出軸２ａとの成す角度を角度θ３とする。加速度検出素子２Aの検出結果を加速度A1とする。加速度検出素子２Bの検出結果を加速度A2とする。加速度検出素子２Cの検出結果を加速度A3とする。加速度検出素子２Aが受ける向心力を向心力ａ１とする。加速度検出素子２Bが受ける向心力を向心力ａ２とする。加速度検出素子２Cが受ける向心力を向心力ａ３とする。加速度検出素子２Aと加速度検出素子２Bとの間の距離を距離D12とする。加速度検出素子２Bと加速度検出素子２Cとの間の距離を距離D23とする。回転センサ１は、回転軸M回りに角速度ωで回転しているものとする。図２を参照すると、下記式（１）〜（１０）が得られる。
【００１６】
【数１】
2014052344.tif 000003
【００１７】
【数２】
2014052344.tif 000004
【００１８】
【数３】
2014052344.tif 000005
【００１９】
【数４】
2014052344.tif 000006
【００２０】
【数５】
2014052344.tif 000007
【００２１】
【数６】
2014052344.tif 000008
【００２２】
【数７】
2014052344.tif 000009
【００２３】
【数８】
2014052344.tif 000010
【００２４】
【数９】
2014052344.tif 000011
【００２５】
【数１０】
2014052344.tif 000012
【００２６】
上記式（４）〜（１０）において、加速度A1、加速度A2、加速度A3は測定結果であるから既知である。距離D12、距離D23は回転センサ１の設計値であるから既知である。従って、上記式（４）〜（１０）の連立方程式を解けば、未知数である距離ｒ１、距離ｒ２、距離ｒ３、角度θ１、角度θ２、角度θ３、角速度ωを求めることができる。そして、距離ｒ１、距離ｒ２、距離ｒ３、角度θ１、角度θ２、角度θ３によれば、回転軸Mの位置を演算することができる。
【００２７】
このように、演算部３は、３つの加速度検出素子２の検出結果（加速度A1、加速度A2、加速度A3）と、３つの加速度検出素子２間の距離（距離D12、距離D23）と、に基づく連立方程式（４）〜（１０）を解くことで、回転軸Mの位置を演算する。
【００２８】
図２では、３つの加速度検出素子２の加速度検出軸２ａが同一直線上であるとしたが、３つの加速度検出素子２の加速度検出軸２ａは必ずしも同一直線上になければならないわけではない。図３には、加速度検出素子２Bの加速度検出軸２ａが、加速度検出素子２Aの加速度検出軸２ａや、加速度検出素子２Cの加速度検出軸２ａと同一直線上になく、且つ、加速度検出素子２Bの加速度検出軸２ａが、加速度検出素子２Aの加速度検出軸２ａや、加速度検出素子２Cの加速度検出軸２ａに対して傾斜している場合を例示している。以下、図３の構成における、演算部３の演算について詳細に説明する。
【００２９】
図３において、加速度検出素子２Bの加速度検出軸２ａが、加速度検出素子２Aの加速度検出軸２ａや加速度検出素子２Cの加速度検出軸２ａに対して傾斜する角度を角度δとする。また、加速度検出素子２Aの加速度検出軸２ａと加速度検出素子２Cの加速度検出軸２ａの共通する延長線上から加速度検出素子２Bまでの距離を距離H2とする。また、回転軸Mから加速度検出素子２Bまでの距離を距離ｒ２'とする。回転軸Mと加速度検出素子２Bを結んだ線分と加速度検出素子２Bの加速度検出軸２ａとがなす角度を角度θ２'とする。図３を参照すると、下記式（１１）及び（１２）が得られる。
【００３０】
【数１１】
2014052344.tif 000013
【００３１】
【数１２】
2014052344.tif 000014
【００３２】
また、上記式（５）に代えて、下記式（１３）が得られる。
【００３３】
【数１３】
2014052344.tif 000015
【００３４】
従って、上記式（１１）〜（１３）を上記式（１）〜（１０）に適宜代入し、上記式（４）〜（１０）の連立方程式を解けば、未知数である距離ｒ１、距離ｒ２'、距離ｒ３、角度θ１、角度θ２'、角度θ３、角速度ωを求めることができる。そして、距離ｒ１、距離ｒ２'、距離ｒ３、角度θ１、角度θ２'、角度θ３によれば、回転軸Mの位置を演算することができる。
【００３５】
以上に、第１実施形態を説明したが、上記第１実施形態は、以下の特長を有している。
【００３６】
（１）図１に示すように、回転センサ１は、１つの加速度検出軸２ａを有する４つの加速度検出素子２と、４つの加速度検出素子２の検出結果（加速度A1等）と、複数の加速度検出素子２間の距離（距離D12等）と、に基づく連立方程式（上記式（４）〜（１０））を解くことで、回転軸Mの位置を演算する演算部３（演算手段）と、を備える。以上の構成によれば、回転軸Mの位置を取得することができる。例えば、家庭用ゲーム機や携帯型ゲーム機のコントローラは、回転軸Mが常に同じであるとは限らない。従って、上記の回転センサ１は、家庭用ゲーム機や携帯型ゲーム機のコントローラの回転軸Mの位置を取得するのに適している。
【００３７】
なお、本実施形態では、図１に示すように、回転センサ１が４つの加速度検出素子２を備えているとしたが、これに代えて、回転センサ１は、３つでもいいし、５つ以上でもよい。回転センサ１が３つの加速度検出素子２しか備えていない場合であっても、図２を参照して説明したように、問題なく、回転軸Mの位置を取得することが可能となる。
【００３８】
また、本実施形態において、各加速度検出素子２は、１つの加速度検出軸２ａしか備えていない。しかし、これに代えて、加速度検出素子２は、２つ以上の加速度検出軸２ａを有していてもよい。
【００３９】
なお、複数の加速度検出素子２は、互いに離れて配置される。
【００４０】
（２）また、演算部３は、連立方程式（上記式（４）〜（１０））を解くことで、角速度ωを演算する。以上の構成によれば、回転センサ１の角速度ωを取得することができるようになる。なお、回転センサ１の角速度ωのみを取得したいのであれば、回転センサ１は、少なくとも２つの加速度検出素子２を備えていればよい。
【００４１】
（３）また、回転センサ１は、前述したように、４つ以上の加速度検出素子２を備えている。以上の構成によれば、冗長な構成とすることにより、回転センサ１の検出結果に対する信頼性が向上する。
【００４２】
（４）また、図１に示すように、４つ以上の加速度検出素子２のうち、２つの加速度検出素子２の加速度検出軸２ａと、残りの２つの加速度検出素子２の加速度検出軸２ａと、は直交する関係にある。以上の構成によれば、保持体４の平面４ａに対して平行なあらゆる加速度を、冗長性ある構成で検出することができるようになる。また、保持体４の平面４ａに対して直交する回転軸M回りの角速度ω、回転軸Mの位置も問題なく取得できる。
【００４３】
（第２実施形態）
次に、図４〜図７を参照しつつ、第２実施形態を説明する。
【００４４】
図４〜図７に示すように、角速度センサ１０は、外枠体１１と、第１発熱体１２と、温度測定用の第１測温体１３と、温度測定用の第２測温体１４と、第２発熱体１５と、温度測定用の第３測温体１６と、温度測定用の第４測温体１７と、第１総和演算回路１８と、第２総和演算回路１９と、演算増幅器２０（差分演算手段）と、を備えて構成されている。
【００４５】
図５に示すように、外枠体１１は、Si基板３０（半導体基板）と第１絶縁層３１、第２絶縁層３２、第３絶縁層３３をこの順に積層して構成されている。第２絶縁層３２は、積層方向で見て孔を２つ有して形成されている。これにより、外枠体１１の内部には、ガスG（流体）を封止可能な第１流体チャンバー３４（第１流体封止室）と第２流体チャンバー３５（第２流体封止室）が形成されいる。本実施形態において、第１流体チャンバー３４及び第２流体チャンバー３５は、略直方体状に形成されている。第１流体チャンバー３４を区画する複数の内壁面のうちSi基板３０に最も近い内壁面である第１回路搭載面３６には、第１発熱体１２と第１測温体１３、第２測温体１４が配置されている。同様に、第２流体チャンバー３５を区画する複数の内壁面のうちSi基板３０に最も近い内壁面である第２回路搭載面３７には、第２発熱体１５と第３測温体１６、第４測温体１７が配置されている。本実施形態において、ガスGは、窒素又はアルゴンなどの不活性ガスである。このような不活性ガスを選択することで、第１発熱体１２と第１測温体１３、第２測温体１４の腐食を防ぐことができる。同様に、第２発熱体１５と第３測温体１６、第４測温体１７の腐食を防ぐことができる。
【００４６】
ここで、「搭載面直交方向」及び「チャンバー長手方向」、「チャンバー短手方向」を定義する。「搭載面直交方向」は、第１回路搭載面３６や第２回路搭載面３７に対して直交する方向である。搭載面直交方向のうち、第３絶縁層３３から第１絶縁層３１を見る方向を搭載面近接方向とし、第１絶縁層３１から第３絶縁層３３を見る方向を搭載面離間方向とする。「チャンバー長手方向」は、略直方体状の第１流体チャンバー３４や第２流体チャンバー３５の長手方向である。「チャンバー短手方向」は、略直方体状の第１流体チャンバー３４や第２流体チャンバー３５の短手方向である。搭載面直交方向とチャンバー長手方向、チャンバー短手方向は相互に直交する関係にある。
【００４７】
図６に示すように、第１流体チャンバー３４及び第２流体チャンバー３５は、チャンバー短手方向に一列に揃えて形成されている。第２絶縁層３２は、第１流体チャンバー３４をチャンバー長手方向で区画する小内壁面３２ａ及び小内壁面３２ｂを有している。小内壁面３２ａと小内壁面３２ｂは、互いに平行な面である。同様に、第２絶縁層３２は、第２流体チャンバー３５をチャンバー長手方向で区画する小内壁面３２ｃ及び小内壁面３２ｄを有している。小内壁面３２ｃと小内壁面３２ｄは、互いに平行な面である。
【００４８】
図５に示すように、第１発熱体１２及び第１測温体１３、第２測温体１４は、チャンバー短手方向に沿って細長い形状をしている。そして、第１発熱体１２及び第１測温体１３、第２測温体１４は、何れも、第１回路搭載面３６に対して平行となるように、第１回路搭載面３６上に形成されている。図５及び図６に示すように、第１測温体１３及び第１発熱体１２、第２測温体１４は、小内壁面３２ａから小内壁面３２ｂに向かってこの順に配置されている。第１測温体１３及び第１発熱体１２、第２測温体１４は、チャンバー長手方向に沿って一列に並べて配置されている。第１測温体１３及び第２測温体１４は、第１発熱体１２を挟んで対称に配置されている。即ち、第１測温体１３から第１発熱体１２までの距離と、第２測温体１４から第１発熱体１２までの距離と、は等しい。
【００４９】
同様に、第２発熱体１５及び第３測温体１６、第４測温体１７は、チャンバー短手方向に沿って細長い形状をしている。そして、第２発熱体１５及び第３測温体１６、第４測温体１７は、何れも、第２回路搭載面３７に対して平行となるように、第２回路搭載面３７上に形成されている。第３測温体１６及び第２発熱体１５、第４測温体１７は、小内壁面３２ｃから小内壁面３２ｄに向かってこの順に配置されている。第３測温体１６及び第２発熱体１５、第４測温体１７は、チャンバー長手方向に沿って一列に並べて配置されている。第３測温体１６及び第４測温体１７は、第２発熱体１５を挟んで対称に配置されている。即ち、第３測温体１６から第２発熱体１５までの距離と、第４測温体１７から第２発熱体１５までの距離と、は等しい。
【００５０】
そして、図６に示すように、第１発熱体１２と第２発熱体１５は、チャンバー短手方向で同一直線上に配置されている。換言すれば、第１発熱体１２と第２発熱体１５は、揃えられている。同様に、第２測温体１４と第４測温体１７は、チャンバー短手方向で同一直線上に配置されている。同様に、第１測温体１３と第３測温体１６は、チャンバー短手方向で同一直線上に配置されている。
【００５１】
図７に示すように、第１総和演算回路１８は、第１測温体１３の測定結果と第４測温体１７の測定結果の総和を演算する回路である。第１総和演算回路１８は、第１測温体１３と第４測温体１７を直列に接続することで実現されている。第２総和演算回路１９は、第２測温体１４の測定結果と第３測温体１６の測定結果の総和を演算する回路である。第２総和演算回路１９は、第２測温体１４と第３測温体１６を直列に接続することで実現されている。第１測温体１３及び第４測温体１７には、定電流電源Ｉにより定電流が流れている。同様に、第２測温体１４及び第３測温体１６には、定電流電源Ｉにより定電流が流れている。
【００５２】
演算増幅器２０は、第１総和演算回路１８の演算結果と、第２総和演算回路１９の演算結果と、の差分を演算する。具体的には、第１総和演算回路１８の高電位側の電圧と、第２総和演算回路１９の高電位側の電圧と、が演算増幅器２０に入力され、両者の差分が演算増幅器２０の出力電圧として出力される。
【００５３】
以上の構成で、図６の角速度センサ１０が紙面右方向に加速すると、ガスGの移動により、第２測温体１４と第４測温体１７の測定結果である測定温度が上昇し、一方で、第１測温体１３と第３測温体１６の測定結果である測定温度が下降する。しかし、図７に示すように、第１測温体１３、第２測温体１４、第３測温体１６、第４測温体１７は互い違いに接続しているので、第１総和演算回路１８の演算結果と第２総和演算回路１９の演算結果は等しくなる。即ち、角速度センサ１０は、回転センサ１のチャンバー長手方向への加速を無視することができる。なお、回転センサ１のチャンバー短手方向への加速については、図６から明らかに、無視するような構成となっている。
【００５４】
これに対し、角速度センサ１０が例えば時計回りに回転すると、ガスGの移動により、第２測温体１４と第３測温体１６の測定結果である測定温度が上昇し、一方で、第１測温体１３と第４測温体１７の測定結果である測定温度が下降する。図７に示すように、第２測温体１４と第３測温体１６が直列的に接続され、第１測温体１３と第４測温体１７が直列的に接続されている。従って、角速度センサ１０の角速度に応じて、第１総和演算回路１８の演算結果と第２総和演算回路１９の演算結果に差分が生じることになり、演算増幅器２０の演算結果をモニタリングすれば、角速度センサ１０の角速度を取得することができるようになる。
【００５５】
以上に、第２実施形態を説明したが、第２実施形態は、以下の特長を有している。
【００５６】
（５）角速度センサ１０は、内部に流体を封止可能な第１流体チャンバー３４（第１流体封止室）及び第２流体チャンバー３５（第２流体封止室）が形成された外枠体１１と、第１流体チャンバー３４内に配置された第１発熱体１２、温度測定用の第１測温体１３、温度測定用の第２測温体１４と、第２流体チャンバー３５内に配置された第２発熱体１５、温度測定用の第３測温体１６、温度測定用の第４測温体１７と、第１測温体１３の測定結果と第４測温体１７の測定結果の総和を演算する第１総和演算回路１８（第１総和演算手段）と、第２測温体１４の測定結果と第３測温体１６の測定結果の総和を演算する第２総和演算回路１９（第２総和演算手段）と、第１総和演算回路１８の演算結果と、第２総和演算回路１９の演算結果と、の差分を演算する演算増幅器２０（差分演算手段）と、を備えている。第１測温体１３と第２測温体１４は、第１発熱体１２を挟んで対称に配置されている。第３測温体１６と第４測温体１７は、第２発熱体１５を挟んで対称に配置されている。第１流体チャンバー３４の第１発熱体１２と、第２流体チャンバー３５の第２発熱体１５と、は揃えられている。第１流体チャンバー３４の第１発熱体１２から見た第１測温体１３の方向と、第２流体チャンバー３５の第２発熱体１５から見た第３測温体１６の方向と、は同じ方向である。以上の構成によれば、角速度センサ１０の角速度を検出することができる。また、角速度センサ１０に作用する角速度以外の加速度を相殺して排除することができる。
【００５７】
上記第１実施形態においてガスGは、窒素又はアルゴンなどの不活性ガスとした。しかし、これに代えて、ガスGは、空気やヘリウムであってもよい。ヘリウムは、窒素よりも熱伝導率が高いので加速度検出素子１の感度の面では優れている。一方、ヘリウムは、分子が小さいので第１流体チャンバー３４及び第２流体チャンバー３５からリークしやすいという短所も持ち合わせている。
【００５８】
（第３実施形態）
次に、図８を参照しつつ、第３実施形態を説明する。ここでは、本実施形態が上記第２実施形態と異なる点を中心に説明し、重複する説明は適宜省略する。また、上記第２実施形態の各構成要素に対応する構成要素には原則として同一の符号を付すこととする。
【００５９】
上記第２実施形態において、第１流体チャンバー３４や第２流体チャンバー３５の搭載面離間方向側は、第３絶縁層３３で閉塞することとした。しかし、これに代えて、本実施形態では、第１流体チャンバー３４や第２流体チャンバー３５の搭載面離間方向側を、モールド樹脂５０により閉塞している。この場合、第１流体チャンバー３４や第２流体チャンバー３５のチャンバー短手方向の厚みｔは、１０マイクロメートル以下であることが好ましい。以上の構成によれば、モールド樹脂５０は、第１流体チャンバー３４の第１回路搭載面３６や第２流体チャンバー３５の第２回路搭載面３７に達することがなく、問題なく第１流体チャンバー３４や第２流体チャンバー３５が形成されることになる。
【００６０】
以上に、第３実施形態を説明したが、第３実施形態は、以下の特長を有している。
【００６１】
（６）第１流体チャンバー３４の、第１発熱体１２及び第１測温体１３、第２測温体１４が配置されている第２回路搭載面３７（内壁面）と反対側は、モールド樹脂５０により閉塞されている。以上の構成によれば、第３絶縁層３３を省略することができ、簡素な構成となる。
【００６２】
（７）また、第１流体チャンバー３４のチャンバー短手方向の厚みｔは、１０マイクロメートル以下である。以上の構成によれば、モールド樹脂５０の第１流体チャンバー３４内への侵入を効果的に抑えることができ、もって、第１流体チャンバー３４が問題なく形成されることになる。
【００６３】
以上、本発明者によってなされた発明を実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は既に述べた実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能であることはいうまでもない。
【符号の説明】
【００６４】
１  回転センサ
２  加速度検出素子
２ａ  加速度検出軸
３  演算部
M  回転軸
ω  角速度
１０  角速度センサ
１１  外枠体
１２  第１発熱体
１３  第１測温体
１４  第２測温体
１５  第２発熱体
１６  第３測温体
１７  第４測温体
１８  第１総和演算回路
１９  第２総和演算回路
２０  演算増幅器
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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