(57)【要約】【課題】簡単な構造で、ノズルから吐出する前のペーストを攪拌できるペースト塗布装置を提供することを課題とする。【解決手段】素子側基板に塗布されるガラスペーストを貯留するペースト貯留部３０と、ガラスペーストを素子側基板に向けて吐出するノズル３１ａと、ペースト貯留部３０からノズル３１ａまでガラスペーストが流通する管路３１２ａと、管路３１２ａに組み込まれ、当該管路３１２ａを流通するガラスペーストを攪拌する攪拌機構３３と、を有し、攪拌機構３３は、管路３１２ａに遊動可能に組み込まれていることを特徴とするペースト塗布装置とする。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に塗布されるペースト状の液体材料を貯留する貯留部と、
前記液体材料を前記基板に向けて吐出するノズルと、
前記貯留部から前記ノズルまで前記液体材料が流通する管路と、
前記管路に組み込まれて当該管路を流通する前記液体材料を攪拌する攪拌機構と、を有し、
前記攪拌機構は、前記管路に遊動可能に組み込まれていることを特徴とするペースト塗布装置。
【請求項２】
前記攪拌機構は前記管路の開放端から当該管路に挿入された状態で備わり、
前記開放端は、着脱可能な封止部材で閉塞されていることを特徴とする請求項１に記載のペースト塗布装置。
【請求項３】
前記管路は、前記基板が載置される平面と略平行に前記液体材料を流通させるように構成され、
前記攪拌機構は、前記管路の内壁の周方向に沿って前記液体材料を旋回させる機能を有することを特徴とする請求項１または請求項２に記載のペースト塗布装置。
【請求項４】
前記攪拌機構がスタティックミキサであることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のペースト塗布装置。
【請求項５】
前記攪拌機構がスタティックミキサであることを特徴とする請求項３に記載のペースト塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ペースト塗布装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、有機ＥＬ（Electro-Luminescence）素子を発光させて映像等を表示する有機ＥＬパネルなどの発光パネルの製造工程には、有機ＥＬ素子などの発光素子が備わるガラス基板（素子側基板）に、封止用のガラス基板（封止基板）を貼り合わせる工程が含まれる。この工程では、ディスペンサなどのペースト塗布装置によって、封止基板を固着するためのガラスフリットが含まれるペースト（ガラスペースト）が素子側基板に塗布される。
【０００３】
この技術分野の背景技術として、例えば、特許文献１には「棒状体の表面に軸方向へ螺旋状のつばを備えるスクリューと、スクリューを回転させる回転駆動機構と、スクリューが挿設されるスクリュー挿設孔、スクリュー挿設孔の側面に設けられた液材供給口および液材供給口と連通する液材供給流路を有する本体部と、スクリュー挿設孔に配設され、スクリューが挿通されるシール部材と、本体部に装着され、スクリュー挿設孔と連通するノズルと、を設け、スクリュー挿設孔の液材供給口より上方に防液空間を構成し、シール部材が濡れないように液体材料を供給すると共にスクリューを正回転させてノズルから吐出することを特徴とする」と記載されている（要約参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】ＷＯ２００８／１２６４１４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ガラスペーストのようなペースト状の液体材料をノズルから吐出して素子側基板に塗布する場合、空気圧でノズル内を加圧して押し出す方式が採られる場合がある。このような液体材料（ガラスペースト）には、ガラスフリットなどの微小な固形粒子が混合されて含まれるが、この固形粒子（ガラスフリット等）が集まって塊状になると、ノズルなどの細管部を閉塞することがある。
したがって、ガラスペーストは含まれる固形粒子（ガラスフリット等）が拡散した状態であることが要求される。
例えば、ガラスペーストをノズルまで案内する管路で当該ガラスペーストを攪拌することによって、固形粒子が拡散する状態を維持できる。
【０００６】
例えば、特許文献１に記載されるように、ノズル（液材供給口）までペーストを案内する管路（液材供給流路）に、回転するスクリューを備えることによって管路内でペーストを攪拌できる。
しかしながら、特許文献１に記載される構成ではスクリューを支持する構成、スクリューを回転させる構成、等が必要になるため、液体材料を塗布する装置の構造が複雑になるという問題がある。
【０００７】
そこで本発明は、簡単な構造で、ノズルから吐出する前のペーストを攪拌できるペースト塗布装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記課題を解決するため本発明は、基板に塗布されるペースト状の液体材料を貯留する貯留部から液体材料を吐出するノズルまで液体材料が流通する管路に当該液体材料を攪拌する攪拌機構が備わるペースト塗布装置とする。そして、当該攪拌機構は、管路に遊動可能に組み込まれているという特徴を有する。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によると、簡単な構造で、ノズルから吐出する前のペーストを攪拌できるペースト塗布装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の実施例に係るペースト塗布装置を示す斜視図である。
【図２】（ａ）はシリンジヘッドの側面図、（ｂ）はノズルホルダの構成を示す断面図である。
【図３】攪拌機構を構成する要素の一例を示す図である。
【図４】（ａ）は封止部材が取り外された状態を示すアーム部の断面図、（ｂ）は攪拌機構が挿入される状態を示すアーム部の断面図、（ｃ）は封止部材で管路の開放端が閉塞された状態を示すアーム部の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、適宜図を参照して本発明の実施例を詳細に説明する。なお、以下の説明では有機ＥＬパネルを発光パネルの一例とするが、本発明は有機ＥＬパネルの他の発光パネルにも適用できる。有機ＥＬパネルの他の発光パネルとして、プラズマディスプレイパネル、液晶表示パネル、などがある。本発明は、有機ＥＬパネルに限定されず、２枚のガラス基板をガラスペーストに含まれるガラスフリットの焼成で固着する構成の発光パネルに広く適用できる。
【実施例】
【００１２】
図１は本実施例に係るペースト塗布装置を示す斜視図、図２の（ａ）はシリンジヘッドの側面図、（ｂ）はノズルホルダの構成を示す断面図である。
図１に示すように、本実施例のペースト塗布装置１は、発光面１０ａが形成されたガラス基板などの基板（素子側基板１０）が載置されるテーブル２を有し、テーブル２に載置された素子側基板１０に所定の形状（塗布パターン）でガラスペースト（液体材料）を塗布する。
素子側基板１０は、例えば、有機ＥＬパネルを構成する要素であり、発光面１０ａは、図示しない有機ＥＬ素子を含んだ回路が配置される面である。これらの有機ＥＬ素子を含んだ回路は図示しない制御部によって有機ＥＬ素子の発光が制御される。
【００１３】
テーブル２は、ペースト塗布装置１のステージ１ａに配置され、移動装置２ａ，２ｂによって、ステージ１ａとなる平面上で、交差する２方向に移動可能に構成される。
つまり、本実施例のペースト塗布装置１のステージ１ａは、素子側基板１０が載置される平面になる。
ステージ１ａには、テーブル２が移動する２方向をそれぞれＸ軸，Ｙ軸とする座標軸が設定され、テーブル２は移動装置２ａによってＸ軸に沿った方向（Ｘ軸方向）に移動し、移動装置２ｂによってＹ軸に沿った方向（Ｙ軸方向）に移動するように構成される。
なお、移動装置２ａにテーブル２のＸ軸方向への移動距離を検出するセンサ（位置検出センサなど）が備わり、移動装置２ｂにテーブル２のＹ軸方向への移動距離を検出するセンサ（位置検出センサなど）が備わる構成が好ましい。
【００１４】
また、ペースト塗布装置１には、テーブル２に載置された素子側基板１０に、上方からガラスペーストを塗布するシリンジヘッド３が備わる。シリンジヘッド３は、ステージ１ａの上方に横架されるガントリ４に取り付けられ、下方のステージ１ａ上で２方向（Ｘ軸方向，Ｙ軸方向）に移動するテーブル２に向けてガラスペーストを塗布するように構成される。
なお、図１には１つのシリンジヘッド３が備わるペースト塗布装置１が図示されているが、２つ以上のシリンジヘッド３が備わる構成のペースト塗布装置１であってもよい。
【００１５】
また、本実施例では、移動装置２ａ，２ｂによってテーブル２がステージ１ａ上で移動し、シリンジヘッド３が取り付けられるガントリ４はステージ１ａに対して固定される。
この構成では、テーブル２が移動装置２ａ，２ｂで移動することによって、テーブル２に載置される素子側基板１０とシリンジヘッド３を相対的に移動させることができる。
つまり、移動装置２ａ，２ｂは、素子側基板１０とシリンジヘッド３を相対的に移動させる機能を有する。
このような構成の他、シリンジヘッド３やガントリ４がＸ軸方向およびＹ軸方向に移動する構成であってもよい。または、テーブル２がＸ軸方向とＹ軸方向の一方に移動し、シリンジヘッド３（ガントリ４）がＸ軸方向とＹ軸方向の他方に移動する構成であってもよい。
いずれの構成であっても、シリンジヘッド３とテーブル２（素子側基板１０）を相対的に移動させることが可能である。
【００１６】
ペースト塗布装置１は、制御装置５によって制御される。制御装置５は、移動装置２ａ，２ｂを制御してテーブル２を適宜移動する。また、制御装置５は、シリンジヘッド３を制御してガラスペーストの塗布をＯＮ／ＯＦＦする。
さらに、制御装置５は、テーブル２のＸ軸方向およびＹ軸方向の移動距離をセンサによって取得し、テーブル２を任意の位置に移動するように移動装置２ａ，２ｂを制御する。
【００１７】
このように構成されるペースト塗布装置１では、テーブル２に載置される素子側基板１０にシリンジヘッド３でガラスペーストを塗布する。
【００１８】
ペースト塗布装置１には、前の工程で、発光面１０ａが形成された素子側基板１０が搬送手段２０で搬送される。
なお、素子側基板１０の形状（発光面１０ａの形状）は矩形に限定されない。
例えば、円形や楕円形の素子側基板１０（発光面１０ａ）であってもよいし、ｎ角形（ｎは３以上の自然数）の素子側基板１０であってもよい。
【００１９】
また、搬送手段２０は、例えば、図１に示すように搬送コンベアとすればよいが、搬送ロボットなどであってもよく、搬送手段２０の構成は限定されない。
図１に示すように、搬送手段２０でペースト塗布装置１に搬送された素子側基板１０はテーブル２に載置されて適宜固定される。テーブル２に素子側基板１０を固定する構成は限定するものではない。例えば、テーブル２の側から素子側基板１０を吸引して固定する構成とすればよい。
制御装置５はテーブル２に素子側基板１０が載置（固定）されると、移動装置２ａ，２ｂを制御してテーブル２を移動し、素子側基板１０を所定の塗布開始位置に移動する。塗布開始位置は、シリンジヘッド３によるガラスペーストの塗布を開始する所定の位置であって、適宜設定されていることが好ましい。そして、制御装置５は、シリンジヘッド３からガラスペーストを塗布しながらテーブル２を移動して、所定の塗布パターンを描くように、素子側基板１０にガラスペーストを塗布する。
【００２０】
なお、ペースト塗布装置１には、テーブル２に載置された素子側基板１０を所定の基準位置に移動させるための位置決め手段が備わることが好ましい。
位置決め手段の構成は限定するものではない。例えば、素子側基板１０にあらかじめマーキングされた基準点（Ｇ１，Ｇ２）を画像認識用カメラ等で読み取り、読み取った基準点Ｇ１，Ｇ２が所定の位置になるように制御装置５がテーブル２を移動する構成とすればよい。このように、マーキングされた基準点Ｇ１，Ｇ２が所定の位置になる素子側基板１０の位置が素子側基板１０の基準位置となる。
また、例えば、素子側基板１０に２個以上の基準点Ｇ１，Ｇ２がマーキングされ、テーブル２がステージ１ａに平行な面内で回転可能な構成とすれば、制御装置５は、全ての基準点Ｇ１，Ｇ２が所定の位置になるようにテーブル２を回転させることができる。このことによって、矩形に形成される発光面１０ａの一辺をステージ１ａに設定される座標軸（Ｘ軸，Ｙ軸）と平行にすることができる。
そして、制御装置５は、テーブル２をＸ軸方向およびＹ軸方向に適宜移動して、発光面１０ａの周囲にガラスペーストを塗布することができる。
【００２１】
なお、シリンジヘッド３が上下動可能にガントリ４に取り付けられ、さらに、シリンジヘッド３に素子側基板１０とノズル３１ａ（図２の（ｂ）参照）との距離を計測するセンサ（レーザ光を使用する光学式変位計など）が取り付けられる構成としてもよい。
このような構成であれば、制御装置５は、ガラスペーストを塗布するときに、ノズル３１ａと素子側基板１０の距離を計測できる。そして、制御装置５は、シリンジヘッド３を上下動させることによって、ノズル３１ａと素子側基板１０を好適な距離に維持できる。
【００２２】
図２の（ａ）はシリンジヘッドの側面図、（ｂ）はノズルホルダの構成を示す断面図である。
図２の（ａ）に示すように、本実施例のシリンジヘッド３は、空洞の円筒からなってガラスペーストを貯留する貯留部（ペースト貯留部３０）と、ペースト貯留部３０の一端に取り付けられるノズルホルダ３１と、を含んで構成される。また、ペースト貯留部３０には、ノズルホルダ３１が取り付けられる一端と対する他端に空気加圧部３２が備わる。
ペースト貯留部３０には素子側基板１０（図１参照）に塗布されるガラスペーストが貯留され、空気加圧部３２によってペースト貯留部３０の内部が加圧されたとき、ガラスペーストはペースト貯留部３０からノズルホルダ３１に押し出され、ノズルホルダ３１に備わるノズル３１ａから吐出する。
空気加圧部３２は、例えば、図示しない空気圧縮機（コンプレッサ）で圧縮された圧縮空気（または窒素ガスなど）をペースト貯留部３０の内部に送り込む構成とすればよい。
【００２３】
シリンジヘッド３は、ペースト貯留部３０の軸方向が上下方向となってノズルホルダ３１が下方になるようにガントリ４（図１参照）に取り付けられる。そして、空気加圧部３２から送り込まれる圧縮空気でペースト貯留部３０から押し出され、ノズル３１ａから吐出するガラスペーストが、下方のステージ１ａ（図１参照）上で移動する素子側基板１０（図１参照）に塗布されるように構成される。
【００２４】
図２の（ｂ）に示すように、ノズルホルダ３１は、ペースト貯留部３０の一端に連結する胴体部３１１と、ペースト貯留部３０の軸方向と垂直な方向に胴体部３１１から延設されるアーム部３１２と、を含んで構成される。
そして、シリンジヘッド３は、アーム部３１２がステージ１ａ（図１参照）を形成する平面と平行になるようにガントリ４（図１参照）に取り付けられる。
また、胴体部３１１の内部にはガラスペーストが流通する管路３１１ａが形成され、アーム部３１２の内部にはガラスペーストが流通する管路３１２ａが形成される。そして、胴体部３１１の管路３１１ａとアーム部３１２の管路３１２ａはコーナ部３１３ａを介して連通する。
【００２５】
アーム部３１２の管路３１２ａは、アーム部３１２の軸方向に伸びる管路であり、アーム部３１２の先端部３１２ｂ（胴体部３１１の側と対する側の端部）を貫通するように構成される。つまり、先端部３１２ｂには管路３１２ａの開放端３１２ｃが形成される。そして、管路３１２ａの先端部３１２ｂには、管路３１２ａの開放端３１２ｃを閉塞する封止部材３１ｃが嵌め込まれる。
封止部材３１ｃは、例えば、管路３１２ａの先端部３１２ｂ側（管路３１２ａの開放端３１２ｃ）に形成される雌ねじに螺合するねじ部材であって着脱可能に構成されることが好ましい。
なお、封止部材３１ｃとアーム部３１２の先端部３１２ｂの間に図示しないシール部材が配設されて、封止部材３１ｃと先端部３１２ｂの間が密封される構成が好ましい。
【００２６】
また、アーム部３１２にはノズル３１ａが取り付けられる。ノズル３１ａは、図１に示すガントリ４にシリンジヘッド３が取り付けられたときに下方に向かってガラスペーストを吐出する方向に取り付けられる。
例えば、ペースト貯留部３０の軸方向が上下方向となるようにシリンジヘッド３が取り付けられる場合、ノズル３１ａは軸方向がペースト貯留部３０の軸方向と平行になって下方が開口するように取り付けられる。そして、ノズル３１ａとアーム部３１２の管路３１２ａは連通する。
【００２７】
シリンジヘッド３が図２の（ａ）、（ｂ）に示すように構成されると、空気加圧部３２から圧縮空気が送り込まれてペースト貯留部３０の内部が加圧されたとき、ガラスペーストはペースト貯留部３０からノズルホルダ３１に押し出され、胴体部３１１の管路３１１ａを流通する。さらに、ガラスペーストは、コーナ部３１３ａを経由してアーム部３１２の管路３１２ａを流通し、ノズル３１ａから吐出する。
【００２８】
さらに、本実施例のペースト塗布装置１（図１参照）には、ノズルホルダ３１のアーム部３１２の管路３１２ａに攪拌機構３３が組み込まれる。
攪拌機構３３は、例えば、管路３１２ａに沿って流れるガラスペーストを、管路３１２ａの内壁３１２ａ１の周方向に沿って旋回させる機能を有する翼状部材であることが好ましい。
【００２９】
図３は攪拌機構を構成する要素の一例を示す図である。
攪拌機構３３は、例えば、図３に示すように、管路３１２ａにおけるガラスペーストＧｐの流れの上流から見て、管路３１２ａの内壁３１２ａ１に沿った右方向の旋回力をガラスペーストＧｐに付与する右エレメント３３ａと、管路３１２ａの内壁３１２ａ１に沿った左方向の旋回力をガラスペーストＧｐに付与する左エレメント３３ｂと、がそれぞれ複数、直列に配置された形状のスタティックミキサであることが好適である。
【００３０】
図３に示すように、攪拌機構３３（スタティックミキサ）が軸方向に組み込まれた管路３１２ａを流通するガラスペーストＧｐは、攪拌機構３３によって管路３１２ａの内壁３１２ａ１の周方向に沿って旋回し攪拌される。したがって、ガラスペーストＧｐに含まれるガラスフリット等の固形粒子は拡散した状態が維持されて塊状になることが抑制される。
なお、図３に示す右エレメント３３ａと左エレメント３３ｂの形状は、攪拌機構３３の機能を説明するために例示したものであって、攪拌機構３３（スタティックミキサ）の形状を限定するものではない。
【００３１】
図４の（ａ）〜（ｃ）は、攪拌機構がアーム部の管路に組み込まれるステップを示す図である。
図４の（ａ）に示すように、アーム部３１２の管路３１２ａは先端部３１２ｂを貫通し、先端部３１２ｂに管路３１２ａの開放端３１２ｃが形成されている。したがって、封止部材３１ｃが取り外されると管路３１２ａは先端部３１２ｂの側が開放する。
また、封止部材３１ｃをねじ部材とすることによって、アーム部３１２から容易に取り外し可能に構成できる。
【００３２】
そして、例えば、図４の（ｂ）に示すように、攪拌機構３３は、管路３１２ａが開口している開放端３１２ｃから、管路３１２ａの内側に容易に進入可能である。つまり、攪拌機構３３を組み込む作業者は、先端部３１２ｂの開放端３１２ｃから管路３１２ａに攪拌機構３３を容易に挿入できる。
その後、図４の（ｃ）に示すように、封止部材３１ｃがアーム部３１２の先端部３１２ｂに取り付けられると管路３１２ａの開放端３１２ｃは閉塞され、攪拌機構３３は管路３１２ａに封じ込められて管路３１２ａに組み込まれる。
【００３３】
また、攪拌機構３３は、管路３１２ａの開放端３１２ｃから挿入された状態にあって、管路３１２ａの内壁３１２ａ１やその他の機構、構造物によって拘束されない状態に組み込まれる。このことによって、攪拌機構３３は、管路３１２ａ内を自由に移動可能（遊動可能）に組み込まれる。
換言すると、管路３１２ａの構成を、攪拌機構３３を支持するための機構や構造物を必要としない簡素な構成とすることができる。
【００３４】
なお、図２の（ｂ）に示すように、管路３１２ａの胴体部３１１の側にはコーナ部３１３ａが形成されてペースト貯留部３０の側に湾曲している。したがって、アーム部３１２の管路３１２ａ内の攪拌機構３３は、コーナ部３１３ａの位置までしか移動できず、アーム部３１２の管路３１２ａから他に移動することはない。
このように、攪拌機構３３は、極めて容易な作業でアーム部３１２の管路３１２ａに組み込まれる。
【００３５】
また、本実施例のペースト塗布装置１（図１参照）は、ペースト貯留部３０（図２の（ａ）参照）に備わる空気加圧部３２（図２の（ａ）参照）がペースト貯留部３０を加圧してガラスペーストＧｐ（図３参照）を押し出し、アーム部３１２のノズル３１ａ（図２の（ｂ）参照）から吐出する構成である。
空気加圧部３２がペースト貯留部３０を加圧するとアーム部３１２の管路３１２ａ（図２の（ｂ）参照）は、コーナ部３１３ａの側から加圧され、攪拌機構３３（図２の（ｂ）参照）は封止部材３１ｃ（図２の（ｂ）参照）の側に押し付けられる。このように、攪拌機構３３は封止部材３１ｃに押し付けられることによって回転が抑制されるため、管路３１２ａをガラスペーストＧｐが流通するときの攪拌機構３３の回転が抑制されて、攪拌機構３３は効果的にガラスペーストＧｐを攪拌できる。
【００３６】
以上のように、本実施例のペースト塗布装置１（図１参照）は、素子側基板１０（図１参照）に塗布するガラスペーストＧｐ（図３参照）が流通する管路３１２ａ（図２の（ｂ）参照）にスタティックミキサなどの攪拌機構３３（図２の（ｂ）参照）が組み込まれている。そして、ガラスペーストＧｐを攪拌しながらノズル３１ａ（図２の（ｂ）参照）まで流通させ、ノズル３１ａから吐出させて素子側基板１０に塗布できる。したがって、ガラスペーストＧｐに含まれるガラスフリットなどの固形粒子が拡散した状態を維持することができ、ガラスフリットなどの固形粒子でノズル３１ａなどの細管部が詰まることを抑制できる。
さらに、攪拌機構３３をスタティックミキサとすることによって、攪拌機構３３を駆動する圧縮空気以外の動力源も不要であり、非常に簡素な構造でガラスペーストＧｐを攪拌できる。
また、作業者等が攪拌機構３３をアーム部３１２の管路３１２ａ（図２の（ｂ）参照）に組み込む作業も非常に容易であり、ペースト塗布装置１を管理する作業者等が容易に攪拌機構３３を組み込むことができる。
【００３７】
また、本実施例の攪拌機構３３（図２の（ｂ）参照、スタティックミキサなど）は、ペースト塗布装置１のステージ１ａ（図１参照）と平行に延びるアーム部３１２の管路３１２ａ（図２の（ｂ）参照）に組み込まれる。
そして、ステージ１ａが略水平になるようにペースト塗布装置１が設置される場合、アーム部３１２は略水平方向に延び、管路３１２ａ内を流通するガラスペーストＧｐ（図３参照）は略水平方向に流通する。
したがって、アーム部３１２の管路３１２ａに組み込まれた攪拌機構３３で管路３１２ａの内壁３１２ａ１（図３参照）の周方向に沿って旋回するガラスペーストＧｐは上下方向に攪拌されることになる。このことによって、密度の違いによる沈殿等でガラスフリットが塊状になりやすいガラスペーストＧｐを好適に攪拌することができ、ガラスフリットが拡散した状態を好適に維持できる。
【００３８】
なお、本発明は前記した実施例や変形例に限定されるものではない。例えば、前記した実施例は本発明をわかりやすく説明するために詳細に説明したものであり、必ずしも説明した全ての構成を備えるものに限定されるものではない。
また、ある実施例の構成の一部を他の実施例の構成に置き換えることも可能であり、また、ある実施例の構成に他の実施例の構成を加えることも可能である。
【００３９】
例えば、攪拌機構３３（図２の（ｂ）参照）はスタティックミキサに限定されない。例えば、細長い平板が１方向に捩れて形成される部材であってもよい。この場合、アーム部３１２の管路３１２ａ（図２の（ｂ）参照）を流通するガラスペーストＧｐ（図３参照）は１方向に旋回しながら流通する。上流から見て左右両方に旋回する場合に比べて、ガラスペーストＧｐに含まれる固形粒子が拡散される効果は小さいが、固形粒子を拡散させる効果を得ることができる。また、スタティックミキサに比べて安価な部材を攪拌機構３３とすることができる。
【００４０】
または、アーム部３１２の管路３１２ａ（図２の（ｂ）参照）を流通するガラスペーストＧｐ（図３参照）を、内壁３１２ａ１（図２の（ｂ）参照）の周方向に沿って旋回させる機能を有する複数の翼状部材が管路３１２ａに挿入された構成の攪拌機構３３（図２の（ｂ）参照）であってもよい。
【符号の説明】
【００４１】
１      ペースト塗布装置
１ａ    ステージ（基板が載置される平面）
２      テーブル
３      シリンジヘッド
１０    素子側基板（基板）
３０    ペースト貯留部（貯留部）
３１ａ  ノズル
３１ｃ  封止部材
３３    攪拌機構（スタティックミキサ）
３１２  アーム部
３１２ａ  管路
３１２ａ１  内壁
３１２ｃ  開放端
Ｇｐ    ガラスペースト（液体材料）
【図１】
2014014790.tif 000003
【図２】
2014014790.tif 000004
【図３】
2014014790.tif 000005
【図４】
2014014790.tif 000006