(57)【要約】【課題】流体供給手段から過剰な流体を被加工物に供給するおそれを低減することを目的とする。【解決手段】切削装置１に備える洗浄水供給手段２０は、切削送り方向における保持手段６の移動経路に交差して配設され、該流体供給手段２０は、流体供給パイプ２１を有し、第一被加工物Ｗ１に対応する第一流体供給部２２と、第一流体供給部２２と切り替え可能に配設され、第二被加工物Ｗ２に対応する第二流体供給部２３とを備えているため、被加工物のサイズに合わせて洗浄水の供給量を変更することが可能となる。したがって、第二被加工物Ｗ２よりも小さいサイズの第一被加工物Ｗ１を洗浄する場合であっても、第一被加工物Ｗ１の外周側にまで過剰に洗浄水９を供給するおそれがなくなり、洗浄水９の供給量を低減することが可能となる。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物を保持する保持手段と該保持手段に保持された被加工物を切削する切削手段と
を備えた切削装置であって、
該保持手段を切削送り方向に移動させる切削送り手段と、
該切削送り方向における該保持手段の移動経路に交差して配設され、該保持手段に保持された被加工物に流体を供給する流体供給手段と、を備え、
該流体供給手段は、第一のサイズを有する第一被加工物に対応する第一流体供給部と、
該第一流体供給部と切り替え可能に配設され、第二のサイズを有する第二被加工物に対応する第二流体供給部と、を有する切削装置。
【請求項２】
前記流体供給手段は、流体供給源に接続され前記移動経路に交差した交差方向に伸長し、該交差方向を軸に回転可能に配設された流体供給パイプを有し、
前記第一流体供給部は、該流体供給パイプに形成され該交差方向に整列した複数の第一流体供給孔を含み、
前記第二流体供給部は、該流体供給パイプに形成され該交差方向に整列した複数の第二流体供給孔を含み、
該流体供給パイプは、該第一流体供給孔から被加工物に流体を噴出するとともに該第二流体供給孔からの被加工物への流体噴出を規制する第一の向きと該第二流体供給孔から被加工物に流体を噴出するとともに該第一流体供給孔からの被加工物への流体噴出を規制する第二の向きとに選択的に向くように構成される、請求項１に記載の切削装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、保持手段によって保持された被加工物に切削を施す切削装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
切削装置において被加工物を切削すると、コンタミが発生して被加工物に付着するため、被加工物を切削加工した後、洗浄水を被加工物に供給しながら洗浄を実施している。切削装置の構成としては、被加工物を保持する保持手段と、保持手段に保持された被加工物を切削する切削手段と、保持手段の移動経路上に交差して配設され移動経路上を移動する保持手段に保持された被加工物に洗浄水を供給する流体供給手段と、を備えるものがある。
【０００３】
切削後の被加工物を洗浄する際は、保持手段が流体供給手段の下方を通過するとともに、流体供給手段が保持手段に保持された被加工物に洗浄水を供給して被加工物に付着したコンタミを除去している（例えば、下記の特許文献１を参照）。
【０００４】
切削装置では、異なるサイズの被加工物を同一の切削装置において切削する場合があるため、切削後の被加工物を洗浄する流体供給手段は、切削装置において切削されると想定される最大サイズの被加工物全面に流体を供給して洗浄できる長さに設定されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−２３４３０８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記の如く構成される切削装置においてサイズの小さい被加工物を洗浄する場合には、被加工物の外周側の被加工物が存在しない領域にも流体（例えば、洗浄水）を供給することになるため、流体を過剰に供給することとなり非経済的であるという問題があった。
【０００７】
本発明は、上記の事情にかんがみてなされたものであり、流体供給手段から過剰な流体を被加工物に供給するおそれを低減することに発明の解決すべき課題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、被加工物を保持する保持手段と該保持手段に保持された被加工物を切削する切削手段とを備えた切削装置であって、該保持手段を切削送り方向に移動させる切削送り手段と、該切削送り方向における該保持手段の移動経路に交差して配設され、該保持手段に保持された被加工物に流体を供給する流体供給手段と、を備え、該流体供給手段は、第一のサイズを有する第一被加工物に対応する第一流体供給部と、該第一流体供給部と切り替え可能に配設され、第二のサイズを有する第二被加工物に対応する第二流体供給部と、を有する。
【０００９】
上記流体供給手段は、流体供給源に接続され前記移動経路に交差した交差方向に伸長し、該交差方向を軸に回転可能に配設された流体供給パイプを有し、上記第一流体供給部は、該流体供給パイプに形成され該交差方向に整列した複数の第一流体供給孔を含み、
上記第二流体供給部は、該流体供給パイプに形成され該交差方向に整列した複数の第二流体供給孔を含み、該流体供給パイプは、該第一流体供給孔から被加工物に流体を噴出するとともに該第二流体供給孔からの被加工物への流体噴出を規制する第一の向きと該第二流体供給孔から被加工物に流体を噴出するとともに該第一流体供給孔からの被加工物への流体噴出を規制する第二の向きとに選択的に向くように構成される。
【発明の効果】
【００１０】
本発明にかかる切削装置には、第一のサイズを有する第一被加工物に対応する第一流体供給部と、第一流体供給部と切り替え可能に配設されるとともに第二のサイズを有する第二被加工物に対応する第二流体供給部とを有する流体供給手段を備えているため、被加工物のサイズに応じて流体の供給量を変更することができる。したがって、流体供給手段から過剰な流体をサイズの異なる被加工物に対して供給するおそれを低減することが可能となる。
【００１１】
流体供給手段が、流体供給源に接続され保持手段の移動経路に交差した交差方向に伸長し、交差方向を軸に回転可能に配設された流体供給パイプを有し、第一流体供給部は、流体供給パイプに形成され交差方向に整列した複数の第一流体供給孔を含み、第二流体供給部は、流体供給パイプに形成され該交差方向に整列した複数の第二流体供給孔を含み、流体供給パイプは、第一流体供給孔から被加工物に流体を噴出するとともに第二流体供給孔からの被加工物への流体噴出を規制する第一の向きと、第二流体供給孔から被加工物に流体を噴出するとともに第一流体供給孔からの被加工物への流体噴出を規制する第二の向きとに選択的に向くように構成されることにより、第一被加工物を洗浄する際には、流体供給パイプを第一の向きに向けることにより、第一流体供給部に含まれている複数の第一流体供給孔から流体を噴出するとともに第二流体供給部に含まれている第二流体供給孔から流体が噴出することを規制することができる。また、第二被加工物を洗浄する際には、流体供給パイプを第二の向きに向けることにより、複数の第二流体供給孔から流体を噴出するとともに第一流体供給孔から流体が噴出することを規制することができる。したがって、１つの流体供給パイプで、被加工物のサイズに合わせて流体の供給量を調整することが可能となり、小さいサイズの被加工物の外周側にまで過剰に流体を供給することはなくなり、流体の供給量を低減することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】切削装置の構成を示す斜視図である。
【図２】洗浄水供給手段の構成を示す斜視図である。
【図３】洗浄水供給パイプと固定接続部の構成を示す斜視図である。
【図４】図３の洗浄水供給パイプのＡ−Ａ断面図である。
【図５】図３の固定接続部のＢ−Ｂ断面図である。
【図６】（ａ）は、洗浄水供給パイプの第一の向きを示す断面図であり、（ｂ）は、第一被加工物と第一の向きに向いた洗浄水供給パイプとの位置関係を示す平面図である。
【図７】被加工物に洗浄及び乾燥を実施する状態を示す断面図である。
【図８】（ａ）は、洗浄水供給パイプの第二の向きを示す断面図であり、（ｂ）は、第二被加工物と第二の向きに向いた洗浄水供給パイプとの位置関係を示す平面図である。
【図９】洗浄水供給手段の第二例を示す断面図である。
【図１０】洗浄水供給手段の第二例を示す正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
図１に示す切削装置１は、装置ベース２を有し、装置ベース２の前部には、複数の被加工物を収容するカセット３が配設されている。装置ベース２の上面２ａにおけるカセット３の後方側には、カセット３から加工前の被加工物を搬出するとともにカセット３に加工後の被加工物を搬入する搬入出手段４が配設されている。搬入出手段４の近傍には、被加工物が仮置きされる仮置き領域５が設けられている。
【００１４】
切削装置１の前部には被加工物を保持する保持手段６が配設されている。保持手段６の周囲は移動板１０によってカバーされており、保持手段６は、移動板１０とともに装置ベース２の内部に配設された切削送り手段１１によって駆動されて切削送り方向（Ｘ軸方向）に移動することができる。また、保持手段６には、被加工物をクランプするクランプ部７が配設されている。なお、図１に示す保持手段６が位置している領域は、保持手段６に対する被加工物の搬入または搬出が行われる搬入搬出領域Ｐ１となっている。
【００１５】
仮置き領域５と保持手段６との間には、搬送手段８が配設されている。搬送手段８は、仮置き領域５と搬入搬出領域Ｐ１に位置する保持手段６との間で被加工物を搬送することができる。
【００１６】
装置ベース２のＸ軸方向後部側には、被加工物に切削を行う切削手段１２が配設されている。切削手段１２は、Ｙ軸方向の軸心を有するスピンドル１３と、スピンドル１３に装着された切削ブレード１４とを少なくとも備えている。なお、図１に示す切削手段１２が配設された領域は、被加工物に対して切削を行う切削領域Ｐ２となっている。
【００１７】
切削装置１は、搬入搬出領域Ｐ１と切削領域Ｐ２との間における保持手段６の移動経路の方向である切削送り方向（Ｘ軸方向）と交差するように配設され切削後の被加工物を洗浄する洗浄水供給手段２０と、洗浄後の被加工物を乾燥する乾燥エアー供給手段５０と、を備えている。洗浄水供給手段２０及び乾燥エアー供給手段５０は、いずれも、被加工物に対して流体を供給する流体供給手段として機能する。
【００１８】
図２に示すように、洗浄水供給手段２０は、装置ベース２から立設された一対の支持片３４と、支持片３４によって回転可能に支持された流体供給パイプ２１とを備えている。流体供給パイプ２１は、保持手段６の移動方向と交差する交差方向（Ｙ軸方向）を長手方向としており、その一端部にはツマミ２９が形成され、他端部には固定接続部３０が連結されている。
【００１９】
各支持片３４にはＹ軸方向に貫通する貫通孔３５が形成されており、一方の支持片３４の貫通孔３５には液体供給パイプ２１の一端側が回転可能に挿通され、他方の支持片３４の貫通孔３５には固定接続部３０が固定されて挿通されている。流体供給パイプ２１は、固定接続部３０に対して回転可能に連結されており、ツマミ２９を回すことにより、Ｙ軸方向の回転軸を中心として流体供給パイプ２１を回転させることができる。
【００２０】
流体供給パイプ２１は、図３（ａ）に示すように、周面の一部が第一流体供給部２２となっており、図３（ｂ）に示すように、流体供給パイプ２１の周面の一部であって流体供給パイプ２１の回転軸を基準として第一流体供給部２２と対称な位置が第二流体供給部２３となっている。
【００２１】
図３（ａ）に示す第一流体供給部２２には、Ｙ軸方向に整列して複数の第一流体供給孔２７が形成されており、図３（ｂ）に示す第二流体供給部２３には、Ｙ軸方向に整列して複数の第二流体供給孔２８が形成されている。ツマミ２９を回して流体供給パイプ２１を回転させることにより、第一流体供給孔２７及び第二流体供給孔２８を所望の方向に向かせることができる。
【００２２】
ここで、図３（ｂ）に示す第二流体供給部２３では、大きいサイズを有する被加工物の大きさに対応するために、図３（ａ）に示す第一流体供給孔２７の数よりも第二流体供給孔２８の数の方が多くなっている。一方、第一流体供給部２２では、小さいサイズの被加工物に対応するために、第二流体供給孔２８の数よりも第一流体供給孔２７の数を少なくしており、小さいサイズの被加工物の外周側にまで流体を供給することがないように構成している。
【００２３】
図４に示すように、流体供給パイプ２１の内部には、流体が流れる空洞が形成されているとともに、その空洞を２つに仕切る仕切り部２４が形成されており、この仕切り部２４によって第一流体供給部２２側の第一の流路２５と、第二流体供給部２３側の第二の流路２６とに仕切られている。第一の流路２５は、流体供給パイプ２１の周面において開口する第一流体供給孔２７に連通し、第二の流路２６は、流体供給パイプ２１の周面において開口する第二流体供給孔２８に連通した構成となっている。
【００２４】
第一流体供給孔２７は、図３（ａ）に示すように、Ｙ軸方向に整列して複数形成されており、第二流体供給孔２８は、図３（ｂ）に示すように、Ｙ軸方向に整列して複数形成されている。ツマミ２９を回して流体供給パイプ２１を回転させることにより、第一流体供給孔２７及び第二流体供給孔２８を所望の方向に向けることができる。
【００２５】
図４に示すように、乾燥エアー供給手段５０を構成する流体供給パイプ５１の周面においても、流体供給パイプ５１の回転軸を基準として第一流体供給部５２の裏側に第二流体供給部５３が配設されている。また、仕切り部５４によって内部の空洞が第一の流路５５と第二の流路５６とに仕切られており、第一の流路５５は第一流体供給孔５７に連通し、第二の流路５６は第二流体供給孔５８に連通している。第一流体供給孔５７及び第二流体供給孔５８がＹ軸方向にそれぞれ整列し、第二流体供給孔５８の数が第一流体供給孔５７の数より多い点も、洗浄水供給手段２０と同様である。
【００２６】
固定接続部３０には、図５に示すように、供給孔３１が形成されており、供給孔３１は、図４に示した第一の流路２５および第二の流路２６よりも小さく形成されており、流体供給パイプ２１の回転により、供給孔３１が、図４に示した第一の流路２５または第二の流路２６に選択的に連通する構成となっている。
【００２７】
図２に示すように、固定接続部３０の供給孔３１には、バルブ３２を介して洗浄水供給源３３が接続されている。そして、バルブ３２を開くとともに洗浄水供給源３３が作動すると、供給孔３１に連通した第一の流路２５または第二の流路２６のいずれかに洗浄水を供給し、第一洗浄水供給孔２７または第二洗浄水供給孔２８から洗浄水を噴出させることができる。
【００２８】
なお、図示していないが、図１に示した乾燥エアー供給手段５０についても、流体供給パイプ、固定接続部及び支持片については洗浄水供給手段２０と同様の構成となっており、固定接続部にエアー供給源が連結される点のみ異なっている。
【００２９】
以下では、切削装置１において被加工物を切削及び洗浄する動作について説明する。図１に示す第一被加工物Ｗ１の径は、第一のサイズ（例えば、φ３００ｍｍ）を有している。第一被加工物Ｗ１は、交差する複数のストリートＳによって区画された表面の各領域にデバイスＤをそれぞれ有している。そして、第一被加工物Ｗ１の切削時には、図１に示すように、第一被加工物Ｗ１は保護テープＴを介して環状のフレームＦと一体となっており、この状態でカセット３に複数収容されている。
【００３０】
図１に示す搬入出手段４は、保護テープＴを介してフレームＦと一体となった第一被加工物Ｗ１をカセット３から引き出して仮置き領域５に仮置きする。次いで、搬送手段８が、仮置き領域５に仮置きされた第一被加工物Ｗ１を搬入出領域Ｐ１で待機する保持手段６に搬送する。保持手段６によって被加工物Ｗ１が保持された後、クランプ部７によって環状のフレームＦがクランプされる。
【００３１】
次に、切削送り手段１１によって保持手段６を切削領域Ｐ２に向けて移動させる。保持手段６が切削領域Ｐ２に位置する切削手段１２の下方に移動してきたら、回転する切削ブレード１４によって第一被加工物Ｗ１をストリートＳに沿って切削する。切削中は、切削ブレード１４と第一被加工物Ｗ１との接触部位に対して切削水が供給される。
【００３２】
第一被加工物Ｗ１が切削された後、第一被加工物Ｗ１に付着したコンタミを除去するため、切削送り手段１１によって保持手段６を切削領域Ｐ２から搬入搬出領域Ｐ１に向けて移動させる。そして、保持手段６を洗浄水供給手段２０の下方を通過させながら、流体供給パイプ２１から第一被加工物Ｗ１にむけて洗浄水を供給して洗浄を行う。
【００３３】
具体的には、図２に示した洗浄水供給パイプ２１の一端に形成されたツマミ部２９を回転させ、洗浄水供給パイプ２１を図６（ａ）に示す第一の向き４０に向ける。ここで、第一の向き４０とは、図５に示した供給孔３１と第一の流路２５とを連通させ、図６（ａ）に示すように、第一流体供給孔２７を下方に位置させて第一被加工物Ｗ１に向くようにした向きであり、供給孔３１を介して第一の流路２５に導入された洗浄水９を第一流体供給孔２７から第一被加工物Ｗ１にむけて噴出するとともに、第二流体供給孔２８から第一被加工物Ｗ１にむけて洗浄水９が噴出することを規制する向きをいう。
【００３４】
流体供給パイプ２１が第一の向き４０に向いた状態では、図６（ｂ）に示すように、Ｙ軸方向両端側にある第一流体供給孔２７が第一被加工物Ｗ１の外周部ＷｃのＸ軸方向の接線の延長線上に位置づけられる。すなわち、外周部ＷｃのＸ軸方向の２本の接線の間よりも外側には第一流体供給孔２７が存在しない状態となる。このように、流体供給パイプ２１を回転させるだけで、両端の第一流体供給孔２７の間の長さが第一被加工物Ｗ１の直径にほぼ一致するようにすることができ、洗浄水供給パイプ２１は、第一流体供給孔２７から第一被加工物Ｗ１の外周側に過剰に流体を供給することがなくなる。
【００３５】
このようにして流体供給パイプ２１を第一の向きに向けた状態で、第一被加工物Ｗ１を保持した保持手段６をＸ軸方向に移動させて洗浄水供給手段２０に接近させ、図７に示すように、保持手段６がＸ軸方向に移動して洗浄水供給パイプ２１の下方を通過するときに、洗浄水供給手段２０によって、第一の流路２５に流れ込んできた洗浄水９を第一流体供給孔２７から第一被加工物Ｗ１の上面にむけて供給することにより、デバイスＤに付着したコンタミが除去される。
【００３６】
保持手段６に保持された第一被加工物Ｗ１の洗浄を行いつつ、保持手段６がさらにＸ軸方向に移動すると、乾燥エアー供給手段５０によって、洗浄水供給パイプ２１と同様の構造となっている乾燥エアー供給パイプ５１の第一流体供給孔５７から第一被加工物Ｗ１の上面にむけて乾燥エアー５９が供給される。これにより、デバイスＤに残存した切削水や洗浄水が除去される。このようにして、切削後の第一被加工物Ｗ１に対する洗浄及び乾燥が終了する。
【００３７】
第一被加工物Ｗ１の径よりも大きい第二のサイズ（例えば、φ４５０ｍｍ）を有する第二被加工物Ｗ２を洗浄する場合は、図２に示した洗浄水供給パイプ２１の一端に形成されたツマミ部２９を回転させ、洗浄水供給パイプ２１を図８（ａ）に示す第二の向き４１に向ける。ここで、第二の向き４１とは、図５に示した供給孔３１と第二の流路２６とを連通させ、図８（ａ）に示すように、第二流体供給孔２８を下方に位置させて第二被加工物Ｗ２に向くようにした向きであり、供給孔３１を介して第二の流路２６に導入された洗浄水９を第二流体供給孔２８から被加工物にむけて噴出するとともに、第一流体供給孔２７から被加工物にむけて洗浄水９が噴出することを規制する向きをいう。
【００３８】
洗浄水供給パイプ２１が第二の向き４１に向いた状態では、図８（ｂ）に示すように、Ｙ軸方向両端側にある第二流体供給孔２８が第二被加工物Ｗ２の外周部ＷｃのＸ軸方向の２本の接線の間よりも外側には第二流体供給孔２８が存在しない。
【００３９】
この状態において、図７に示した第一被加工物Ｗ１の洗浄動作と同様、洗浄水供給手段２０によって、第二流体供給孔２８から第二被加工物Ｗ２の上面にむけて洗浄水９が供給され、デバイスＤに付着したコンタミが除去される。このように、流体供給パイプ２１を回転させるだけで、両端の第二流体供給孔２８の間の長さが第一被加工物Ｗ１の直径にほぼ一致するようにすることができるため、大きい被加工物にも対応して十分な洗浄を行うことが可能となる。
【００４０】
次いで、被加工物を保持する保持手段６ａに保持された第二被加工物Ｗ１の洗浄を行いつつ、保持手段６ａがさらにＸ軸方向に移動し、図７に示した第一被加工物Ｗ１の乾燥動作と同様に乾燥エアー供給手段５０によって第二被加工物Ｗ２を乾燥させる。すなわち、乾燥エアー供給パイプ５１を回転させ、第二流体供給孔５８を下方に向けた後、乾燥エアー供給手段５０によって、第二流体供給孔５８から第二被加工物Ｗ２の上面にむけて乾燥エアーが供給され、デバイスＤに残存した切削水や洗浄水が除去される。このようにして、切削後の第二被加工物Ｗ２に対する洗浄及び乾燥が終了する。
【００４１】
以上のように、洗浄水供給手段２０によって第一被加工物Ｗ１を洗浄する際には、洗浄水供給パイプ２１を第一の向き４０に向けることにより、第一流体供給部２２を構成する複数の第一流体供給孔２７から洗浄水９を噴出するとともに第二流体供給部２３を構成する第二流体供給孔２８から洗浄水９が噴出することを規制することができる。また、第二被加工物Ｗ２を洗浄する際には、洗浄水供給パイプ２１を第二の向き４１に向けることにより、複数の第二流体供給孔２８から洗浄水９を噴出するとともに第一流体供給孔２７から洗浄水９が噴出することを規制することができる。
したがって、被加工物のサイズに合わせて洗浄水の噴出幅を変更することが可能となるため、小さいサイズの被加工物の外周側にまで過剰に洗浄水９を供給するおそれがなくなり、洗浄水の供給量を低減することが可能となるとともに、大きいサイズの被加工物に対しては必要な範囲で十分な洗浄水を噴出することができる。
【００４２】
異なるサイズの被加工物を洗浄する手段は、上記洗浄水供給手段２０の構成に限定されるものではない。異なるサイズの被加工物を洗浄する手段の第二例として、図９に示す洗浄水供給手段６０がある。洗浄水供給手段６０は、中心軸を中心として回転可能な筒状の洗浄水供給パイプ６１を有しており、洗浄水供給パイプ６１には、複数の第一流体供給孔６２と、洗浄水供給パイプ６１の回転中心を基準として対称な位置にある複数の第二流体供給孔６３と、第一流体供給孔６２と第二流体供給孔６３とに連通する流路６４とが形成されている。上記洗浄水供給手段２０の洗浄水供給パイプ２１と同様に、第二流体供給孔６３の数は、第一流体供給孔６２の数とは異なっている。
【００４３】
図９及び図１０に示すように、洗浄水供給パイプ６１の外周側には、第一流体供給孔６２または第二流体供給孔６３を選択的に閉口して流体の噴出を規制する規制カバー６５を備えている。図１０に示すように、洗浄水供給パイプ６１の一端には、ツマミ部６６が形成されており、ツマミ部６６を回すと規制カバー６５が回転し、第一流体供給孔６２または第二流体供給孔６３を選択的に閉口することができる。したがって、洗浄水供給手段６０においても、被加工物のサイズに合わせて洗浄水の供給量を変更することができ、洗浄水の供給量を低減することが可能となる。
【００４４】
なお、図１−図１０に示した例では、流体供給パイプを２種類の被加工物の大きさに対応させた構成としたが、流体供給部を３種類以上設けることにより、大きさが３種類以上の被加工物にも対応することができる。例えば図４に示した構成を変更して流体供給パイプの内部を３つ以上に仕切り、３つに仕切られた空間のうちの１つのみが図５に示した流体供給路３１に連通するようにする。また、図９に示した構成を変更し、規制カバー６５が、３種類以上の流体供給部のうちの２つを閉口するようにする。
【符号の説明】
【００４５】
１：切削装置
２：装置ベース  ２ａ：上面  ３：カセット  ４：搬入出手段  ５：仮置き領域
６，６ａ：保持手段  ７：クランプ部  ８：搬送手段  ９：洗浄水
１０：移動板  １１：切削送り手段  １２：切削手段  １３：スピンドル
１４：切削ブレード
２０：洗浄水供給手段（流体供給手段）
２１：洗浄水供給パイプ  ２２：第一流体供給部
２３：第二流体供給部  ２４：仕切り部  ２５：第一の流路  ２６：第二の流路
２７：第一流体供給孔  ２８：第二流体供給孔  ２９：ツマミ部
３０：固定接続部  ３１：流体供給路  ３２：バルブ  ３３：洗浄水供給源
３４：支持片  ３５：貫通孔
４０：第一の向き  ４１：第二の向き
５０：乾燥エアー供給手段（流体供給手段）
５１：乾燥エアー供給パイプ  ５２：第一流体供給部  ５３：第二流体供給部
５４：仕切り部  ５５：第一の流路  ５６：第二の流路
５７：第一流体供給孔  ５８：第二流体供給孔  ５９：乾燥エアー
６０：洗浄水供給手段  ６１：流体供給パイプ  ６２：第一流体供給孔
６３：第二流体供給孔  ６４：流路  ６５：規制カバー  ６６：ツマミ部
Ｗ１：第一被加工物  Ｗ２：第二被加工物  Ｗｃ：外周部  Ｄ：デバイス
Ｐ１：搬入出領域
Ｐ２：切削領域
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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