(57)【要約】【課題】異常発塵位置を容易に特定することができる異常発塵判定方法を提供すること。【解決手段】実施形態によれば、異常発塵判定方法が提供される。前記異常発塵判定方法では、発塵の有無が判定される判定位置に対して、第１のサイズ以上の粒径を有した粒子の粒子数を第１の粒子数として測定する。また、前記判定位置に対して、第２のサイズ以上の粒径を有した粒子の粒子数を第２の粒子数として測定する。さらに、前記第１のサイズと前記第１の粒子数との関係と、前記第２のサイズと前記第２の粒子数との関係と、に基づいて、前記判定位置での粒径分布を算出する。そして、前記粒径分布に基づいて、前記判定位置が発塵位置であるか否かを判定する。【選択図】図３
2014052253.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
発塵の有無が判定される判定位置に対して、第１のサイズ以上の粒径を有した粒子の粒子数を第１の粒子数として測定する第１の測定ステップと、
前記判定位置に対して、第２のサイズ以上の粒径を有した粒子の粒子数を第２の粒子数として測定する第２の測定ステップと、
前記第１のサイズと前記第１の粒子数との関係と、前記第２のサイズと前記第２の粒子数との関係と、に基づいて、前記判定位置での粒径分布を算出する粒径分布算出ステップと、
前記粒径分布に基づいて、前記判定位置が発塵位置であるか否かを判定する判定ステップと、
を含み、
前記第１の粒子数を測定する際には、前記判定位置で取得した粒子の中から第１のサイズ以上の粒径を有した粒子を静電分級器が核凝縮式粒子検出器に送るとともに、前記核凝縮式粒子検出器が、前記第１の粒子数を測定し、
前記第２の粒子数を測定する際には、前記判定位置で取得した粒子の中から第２のサイズ以上の粒径を有した粒子を静電分級器が核凝縮式粒子検出器に送るとともに、前記核凝縮式粒子検出器が、前記第２の粒子数を測定し、
前記粒径分布を算出する際には、前記第１のサイズの常用対数と前記第１の粒子数の常用対数との関係と、前記第２のサイズの常用対数と前記第２の粒子数の常用対数との関係と、を用いて前記粒径分布の傾きを算出し、
前記粒径分布の傾きと管理値との大きさを比較することによって、前記判定位置が発塵位置であるか否かを判定し、
前記第１のサイズおよび前記第２のサイズは、１００ｎｍ以下のサイズであり、かつ前記第１のサイズは、前記第２のサイズよりも小さなサイズであることを特徴とする異常発塵判定方法。
【請求項２】
発塵の有無が判定される判定位置に対して、第１のサイズ以上の粒径を有した粒子の粒子数を第１の粒子数として測定する第１の測定ステップと、
前記判定位置に対して、第２のサイズ以上の粒径を有した粒子の粒子数を第２の粒子数として測定する第２の測定ステップと、
前記第１のサイズと前記第１の粒子数との関係と、前記第２のサイズと前記第２の粒子数との関係と、に基づいて、前記判定位置での粒径分布を算出する粒径分布算出ステップと、
前記粒径分布に基づいて、前記判定位置が発塵位置であるか否かを判定する判定ステップと、
を含むことを特徴とする異常発塵判定方法。
【請求項３】
前記粒径分布を算出する際には、前記第１のサイズの常用対数と前記第１の粒子数の常用対数との関係と、前記第２のサイズの常用対数と前記第２の粒子数の常用対数との関係と、を用いて前記粒径分布の傾きを算出し、
前記粒径分布の傾きと管理値との大きさを比較することによって、前記判定位置が発塵位置であるか否かを判定する
ことを特徴とする請求項２に記載の異常発塵判定方法。
【請求項４】
前記第１の粒子数を測定する際には、前記判定位置で取得した粒子の中から第１のサイズ以上の粒径を有した粒子を静電分級器が核凝縮式粒子検出器に送るとともに、前記核凝縮式粒子検出器が、前記第１の粒子数を測定し、
前記第２の粒子数を測定する際には、前記判定位置で取得した粒子の中から第２のサイズ以上の粒径を有した粒子を静電分級器が核凝縮式粒子検出器に送るとともに、前記核凝縮式粒子検出器が、前記第２の粒子数を測定する
ことを特徴とする請求項２または３に記載の異常発塵判定方法。
【請求項５】
前記第１の粒子数を測定する際には、前記判定位置で取得した粒子に対して核凝縮式粒子検出器が、前記第１の粒子数を測定し、
前記第２の粒子数を測定する際には、前記判定位置で取得した粒子に対して光散乱式粒子検出器が、前記第２の粒子数を測定する
ことを特徴とする請求項２または３に記載の異常発塵判定方法。
【請求項６】
前記第１のサイズおよび前記第２のサイズは、１００ｎｍ以下のサイズであり、かつ前記第１のサイズは、前記第２のサイズよりも小さなサイズであることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１つに記載の異常発塵判定方法。
【請求項７】
発塵の有無が判定される判定位置に対して測定された、第１のサイズ以上の粒径を有した粒子の粒子数である第１の粒子数と前記第１のサイズとの関係と、前記判定位置に対して測定された、第２のサイズ以上の粒径を有した粒子の粒子数である第２の粒子数と前記第２のサイズとの関係と、に基づいて、前記判定位置での粒径分布を算出する分布算出部と、
前記粒径分布に基づいて、前記判定位置が発塵位置であるか否かを判定する判定部と、
を備えることを特徴とする異常発塵判定装置。
【請求項８】
発塵の有無が判定される判定領域内に配置されて、前記判定領域からに気体を吸い込む測定チューブと、
前記測定チューブが吸い込んだ気体から、第１のサイズ以上の粒径を有した粒子の粒子数を第１の粒子数として測定する第１の測定部と、
前記測定チューブが吸い込んだ気体から、第２のサイズ以上の粒径を有した粒子の粒子数を第２の粒子数として測定する第２の測定部と、
前記第１のサイズと前記第１の粒子数との関係と、前記第２のサイズと前記第２の粒子数との関係と、に基づいて、前記判定領域での粒径分布を算出し、前記粒径分布に基づいて、前記判定領域が発塵領域であるか否かを判定する判定装置と、
を備え、
前記判定領域は複数からなるとともに、前記測定チューブは、前記判定領域毎に配置され、
前記第１の測定部は、前記判定領域毎に前記第１の粒子数を測定し、前記第２の測定部は、前記判定領域毎に前記第２の粒子数を測定し、
前記判定装置は、前記判定領域毎に前記判定領域が発塵領域であるか否かを判定することを特徴とする異常発塵位置特定システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、異常発塵判定方法、異常発塵判定装置および異常発塵位置特定システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
クリーンルーム中での気中粒子数の管理は、粒子計測器を用いて気中の粒子数を計測することにより行われている。このとき、クリーンルームのエリア毎に規格値を設定しておき、粒子数が、規格値を超えた場合に異常発塵が発生したと判断して発塵源（発塵位置）を特定するとともに対策を施している。
【０００３】
従来の発塵位置特定方法では、規格値を超えた場所近傍での粒子計測器を用いた計測と、計測場所の変更と、を繰り返して発塵位置を特定している。しかしながら、クリーンルーム中には常時一定量の粒子が存在しているので、常時計測されている粒子と異常発塵の粒子との切り分けが難しい。このため、異常発塵位置の特定には多くの時間と労力を必要としている。また、場合によっては異常発塵位置を特定することができなかった。このため、発塵位置を容易に特定する方法の開発が望まれている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−１５３７０９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明が解決しようとする課題は、異常発塵位置を容易に特定することができる異常発塵判定方法、異常発塵判定装置および異常発塵位置特定システムを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
実施形態によれば、異常発塵判定方法が提供される。前記異常発塵判定方法では、発塵の有無が判定される判定位置に対して、第１のサイズ以上の粒径を有した粒子の粒子数を第１の粒子数として測定する。また、前記判定位置に対して、第２のサイズ以上の粒径を有した粒子の粒子数を第２の粒子数として測定する。さらに、前記第１のサイズと前記第１の粒子数との関係と、前記第２のサイズと前記第２の粒子数との関係と、に基づいて、前記判定位置での粒径分布を算出する。そして、前記粒径分布に基づいて、前記判定位置が発塵位置であるか否かを判定する。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】図１は、第１の実施形態に係る発塵判定システムの構成を示す図である。
【図２】図２は、発塵判定装置の構成を示す図である。
【図３】図３は、発塵判定の処理手順を示すフローチャートである。
【図４】図４は、第２の実施形態に係る発塵判定システムの構成を示す図である。
【図５】図５は、発塵判定装置のハードウェア構成を示す図である。
【図６】図６は、第３の実施形態に係る異常発塵位置特定システムの構成を示す図である。
【図７】図７は、エリア毎の粒径分布傾きの一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下に添付図面を参照して、実施形態に係る異常発塵判定方法、異常発塵判定装置および異常発塵位置特定システムを詳細に説明する。なお、これらの実施形態により本発明が限定されるものではない。
【０００９】
（第１の実施形態）
図１は、第１の実施形態に係る発塵判定システムの構成を示す図である。発塵判定システム（異常発塵判定システム）１は、発塵発生の有無を判定するシステムであり、クリーンルーム内などの気中パーティクル清浄度やパーティクル検出に用いられる。
【００１０】
発塵判定システム１は、粒径毎の粒子数を測定するとともに、粒径と粒子数との間の関係に基づいて、測定位置が発塵位置（発塵源）であるか否かを判定する。例えば、発塵判定システム１は、クリーンルーム内の気中粒子数を粒径別に２種類以上計測し、その計測結果である粒径と粒子数との間の関係を所定の対数関数に当てはめる。そして、発塵判定システム１は、前記対数関数の傾きである粒径分布傾きを算出し、粒径分布傾きに基づいて、測定位置が発塵位置であるか否かを判定する。
【００１１】
発塵判定システム１は、測定チューブ５１と、静電分級器１２と、核凝縮式粒子検出器（ＣＰＣ：Condensation  Particle  Counter）１３と、発塵判定装置（異常発塵判定装置）１４と、制御装置１７と、を備えている。
【００１２】
測定チューブ５１は、クリーンルーム内の気体を吸引して静電分級器１２に送るチューブである。測定チューブ５１の一方の端部は、発塵源の判定位置に配置され、測定チューブ５１の他方の端部は、静電分級器１２に接続されている。
【００１３】
静電分級器１２は、測定チューブ５３によってＣＰＣ１３に接続されている。静電分級器１２は、測定対象とする粒径を有した粒子をＣＰＣ１３に送り込み、測定対象以外の粒径を有した粒子のＣＰＣ１３への流入をカットする。このように、静電分級器１２で粒子がフィルタリングされることにより、測定対象とする粒径を有した粒子がＣＰＣ１３に送り込まれる。静電分級器１２は、例えば、第１の粒径を有した粒子（例えば１０ｎｍ以上の粒径）をＣＰＣ１３に送り込み、その後に、第２の粒径を有した粒子（例えば１００ｎｍ以上の粒径）をＣＰＣ１３に送り込む。
【００１４】
また、静電分級器１２は、ＣＰＣ１３と電気的に接続されている。静電分級器１２は、ＣＰＣ１３を介して制御装置１７から送られてくる指示に基づいて、測定対象となる粒径を有した粒子をＣＰＣ１３に送り込む。制御装置１７は、ＣＰＣ１３に粒子の測定開始指示や測定終了指示を送る。制御装置１７がＣＰＣ１３に送る測定開始指示には、測定対象とする粒径を指定した情報が含まれている。また、制御装置１７は、発塵判定装置１４に指示内容（測定対象となる粒径、測定開始指示、測定終了指示）を送る。
【００１５】
ＣＰＣ１３は、制御装置１７からの指示に基づいて、粒径を指定する指示を静電分級器１２に送る。ＣＰＣ１３は、静電分級器１２から送り込まれてきた粒子の粒子数を測定する。ＣＰＣ１３は、測定結果である粒子数を発塵判定装置１４に送る。発塵判定装置１４は、測定位置が発塵位置であるか否かを判定するコンピュータなどである。発塵判定装置１４は、静電分級器１２からＣＰＣ１３に送り込まれた粒子の粒径と、ＣＰＣ１３で測定された粒子の粒子数と、を対応付けして記憶しておく。
【００１６】
発塵判定システム１が、クリーンルーム内の第Ｎ（Ｎは自然数）の位置が発塵源であるか否かを判定する際には、測定チューブ５１の一方の端部が第Ｎの位置に配置される。そして、第Ｎの位置における気体が測定チューブ５１の一方の端部から吸い込まれて静電分級器１２に送られる。
【００１７】
静電分級器１２は、測定対象として設定されている第１の粒径（粒径Ｐ1ｎｍ以上）を有した粒子をＣＰＣ１３に送り込む。そして、ＣＰＣ１３は、送り込まれてきた粒子の粒子数（第１の粒子数）を測定し、測定結果を発塵判定装置１４に送る。
【００１８】
さらに、静電分級器１２は、測定対象として設定されている第２の粒径（粒径Ｑ1ｎｍ以上）を有した粒子をＣＰＣ１３に送り込む。そして、ＣＰＣ１３は、送り込まれてきた粒子の粒子数（第２の粒子数）を測定し、測定結果を発塵判定装置１４に送る。ここでのＰ1，Ｑ1は、例えば、１００以下の値とする。
【００１９】
発塵判定装置１４は、第１の粒径と第１の粒子数とを対応付けして記憶するとともに、第２の粒径と第２の粒子数とを対応付けして記憶する。そして、発塵判定装置１４は、粒径と粒子数との対応関係に基づいて、第Ｎの位置が発塵源であるか否かを判定する。
【００２０】
その後、発塵判定システム１では、クリーンルーム内の第（Ｎ＋１）の位置が発塵源であるか否かを判定するために、測定チューブ５１の一方の端部が第（Ｎ＋１）の位置に配置される。そして、発塵判定システム１では、第Ｎの位置での判定と同様の処理によって第（Ｎ＋１）の位置が発塵源であるか否かが判定される。
【００２１】
図２は、発塵判定装置の構成を示す図である。発塵判定装置１４は、入力部３１、記憶部３２、分布算出部３３、発塵判定部３４、出力部３５を有している。入力部３１は、ＣＰＣ１３から送られてくる測定結果および制御装置１７から送られてくる指示内容を入力し、測定結果と指示内容とを対応付けして記憶部３２に記憶させる。
【００２２】
記憶部３２は、測定結果（粒子数）と指示内容（粒径）とが対応付けされた情報（粒子数／粒径情報）を記憶するメモリなどである。記憶部３２は、複数種類の粒径に対して測定された粒子数／粒径情報と、粒径分布傾きの管理値（判定の閾値）と、を記憶しておく。
【００２３】
分布算出部３３は、記憶部３２内の粒子数／粒径情報に基づいて、粒径毎の粒子数の分布（粒径分布傾き）を算出する。例えば、分布算出部３３は、以下の式（１）を用いて、粒径分布傾きを算出する。
【００２４】
Ｙ＝ａ・Ｘ-b・・・（１）
【００２５】
式（１）において、Ｘは粒径であり、Ｙは粒子数である。また、ａは係数であり、ｂは粒径分布傾きである。例えば、横軸をｌｏｇＸとし、縦軸をｌｏｇＹとした場合、式（１）は直線で示される。そして、この直線の傾きが粒径分布傾きとなる。換言すると、横軸および縦軸を対数目盛りとした場合の、式（１）の傾きが粒径分布傾きとなる。分布算出部３３は、算出した粒径分布傾きを発塵判定部３４に送る。
【００２６】
発塵判定部３４は、分布算出部３３が算出した粒径分布傾きと、記憶部３２内の管理値を比較することにより、測定位置が発塵位置（異常発塵している位置）であるか否かを判定する。発塵判定部３４は、粒径分布傾きが管理値以上の場合に、測定位置が発塵位置であると判定する。これにより、第１の粒径が第２の粒径よりも小さい場合には、第２の粒子数に対する第１の粒子数の割合が所定値よりも大きい場合に、測定位置が発塵位置であると判定される。
【００２７】
発塵判定部３４は、判定結果、粒径分布傾き、粒径毎の粒子数／粒径情報などを出力部３５に送る。出力部３５は、判定結果、粒径分布傾き、粒径毎の粒子数／粒径情報などを外部装置（表示装置など）に出力する。
【００２８】
図３は、発塵判定の処理手順を示すフローチャートである。図３では、ある測定位置が発塵位置であるか否かの判定処理を示している。ユーザによって、判定対象とする粒子の第１の粒径と第２の粒径とが制御装置１７に設定される（ステップＳ１０）。なお、判定対象とする粒子の第１および第２の粒径は、予め制御装置１７に設定しておいてもよい。
【００２９】
静電分級器１２は、測定チューブ５１が吸引した気体の中から第１の粒径を有した粒子をＣＰＣ１３に送る。これにより、ＣＰＣ１３は、第１の粒径を有した粒子の粒子数（第１の粒子数）を測定する（ステップＳ２０）。そして、制御装置１７から入力部３１に第１の粒径（値）が送られる。また、ＣＰＣ１３から入力部３１に第１の粒子数が送られる。
【００３０】
また、静電分級器１２は、測定チューブ５１が吸引した気体の中から第２の粒径を有した粒子をＣＰＣ１３に送る。これにより、ＣＰＣ１３は、第２の粒径を有した粒子の粒子数（第２の粒子数）を測定する（ステップＳ３０）。そして、制御装置１７から入力部３１に第２の粒径（値）が送られる。また、ＣＰＣ１３から入力部３１に第２の粒子数が送られる。
【００３１】
入力部３１は、ＣＰＣ１３から送られてくる測定結果（粒子数）および制御装置１７から送られてくる指示内容（粒子径）を入力し、測定結果と指示内容とを対応付けし、粒子数／粒径情報として記憶部３２に記憶させる。
【００３２】
分布算出部３３は、記憶部３２内の粒子数／粒径情報に基づいて、粒径分布傾きを算出する（ステップＳ４０）。粒径分布傾きは、例えば、上述した式（１）を用いて算出される。
【００３３】
ここで、粒径１０ｎｍ以上を第１の粒径とし、粒径１００ｎｍ以上を第２の粒径とした場合の粒径分布傾きについて説明する。例えば、粒径１０ｎｍ以上の粒子の粒子数が８００ｐ／ｃｆ、粒径１００ｎｍ以上の粒子の粒子数が８０ｐ／ｃｆの場合、粒径分布傾きは、１．０となる。分布算出部３３は、算出した粒径分布傾きを発塵判定部３４に送る。
【００３４】
このように、本実施形態では、各粒径の粒子数分布に基づいて粒径分布傾きが算出される。具体的には、第１の粒子数の対数と第２の粒子数の対数との比が粒径分布傾きである。第１および第２の粒子数の対数は、例えば、常用対数である。
【００３５】
発塵判定部３４は、分布算出部３３が算出した粒径分布傾きと、記憶部３２内の管理値と、を比較する（ステップＳ５０）。そして、発塵判定部３４は、比較結果に基づいて、測定位置が発塵位置であるか否かを判定する（ステップＳ６０）。
【００３６】
クリーンルームなどの一定の粒子濃度がある環境であれば、ＣＰＣ１３と静電分級器１２を用いることで、粒径１００ｎｍ以下での粒径分布傾きを得ることが可能である。クリーンルーム内での異常発塵箇所は粒子数だけでなく粒径分布傾きにも特徴を持つので、粒径分布傾きを監視しながら計測場所を変更することで測定位置が発塵位置であるか否かを容易に判定できる。したがって、発塵源の特定が容易になる。
【００３７】
なお、発塵判定システム１は、粒子数と粒径分布傾きの両方を管理してもよい。この場合、例えば、粒径分布傾きが管理値よりも大きい場合、または粒子数が所定値よりも大きい場合に、測定位置が発塵位置であると判定される。また、粒径分布傾きが管理値よりも大きい場合かつ粒子数が所定値よりも大きい場合に、測定位置が発塵位置であると判定してもよい。
【００３８】
また、管理値は、管理対象とする粒径毎に異なる値を設定してもよい。例えば、第１および第２の粒径に対して粒径分布傾きを算出した場合には、第１の管理値と粒径分布傾きとを比較することによって、測定位置が発塵位置であるか否かが判定される。そして、第３および第４の粒径に対して粒径分布傾きを算出した場合には、第２の管理値と粒径分布傾きとを比較することによって、測定位置が発塵位置であるか否かが判定される。
【００３９】
また、発塵判定システム１をクリーンルーム以外に適用してもよい。また、静電分級器１２の制御は、発塵判定装置１４が行ってもよい。また、発塵判定システム１は、第１〜第Ｌ（Ｌは３以上の自然数）の粒径（３種類以上の粒径）に対して、粒子数／粒径情報を算出してもよい。
【００４０】
このように第１の実施形態によれば、粒径毎の粒子数分布に基づいて、気体内の粒径分布傾きを算出し、粒径分布傾きと管理値との比較結果に基づいて、測定位置が発塵位置であるか否かを判定するので、容易かつ正確に測定位置が発塵位置であるか否かを判定できる。したがって、発塵位置を容易に特定することが可能となる。
【００４１】
また、粒子数と粒径分布傾きの両方の情報を用いて測定位置が発塵位置であるか否かを判定するので、効率良く正確に発塵源を特定することが可能となる。
【００４２】
（第２の実施形態）
つぎに、図４を用いてこの発明の第２の実施形態について説明する。第２の実施形態では、光散乱式粒子検出器とＣＰＣ１３を用いて、測定位置が発塵位置であるか否かを判定する。
【００４３】
図４は、第２の実施形態に係る発塵判定システムの構成を示す図である。図４の各構成要素のうち図１に示す第１の実施形態の発塵判定システム１と同一機能を達成する構成要素については同一符号を付しており、重複する説明は省略する。
【００４４】
発塵判定システム２は、測定チューブ５１Ｘ，５１Ｙと、ＣＰＣ１３と、光散乱式粒子検出器（ＬＰＣ：Laser  Particle  Counter）１５と、発塵判定装置１６と、を備えている。
【００４５】
測定チューブ５１Ｘは、クリーンルーム内の気体を吸引してＣＰＣ１３に送るチューブである。測定チューブ５１Ｘの一方の端部は、発塵源であるか否かの判定位置に配置され、測定チューブ５１Ｘの他方の端部は、ＣＰＣ１３に接続されている。
【００４６】
測定チューブ５１Ｙは、クリーンルーム内の気体を吸引してＬＰＣ１５に送るチューブである。測定チューブ５１Ｙの一方の端部は、発塵源であるか否かの判定位置に配置され、測定チューブ５１Ｙの他方の端部は、ＬＰＣ１５に接続されている。
【００４７】
また、ＣＰＣ１３とＬＰＣ１５の各々の測定チューブは同一箇所を測定できるようにチューブ末端が揃えられている。換言すると、測定チューブ５１Ｘの一方の端部（ＣＰＣ１３の反対側）と測定チューブ５１Ｙの一方の端部（ＬＰＣ１５の反対側）と、は略同一位置から気体を吸引できるよう束ねられている。
【００４８】
ＣＰＣ１３は、測定チューブ５１Ｘから送り込まれてきた粒子の粒子数を測定する。本実施形態のＣＰＣ１３は、第３の粒径（Ｐ2ｎｍ）を有した粒子の粒子数（第３の粒子数）を測定し、測定結果である第３の粒子数を発塵判定装置１６に送る。ＣＰＣ１３が測定する粒子の粒径Ｐ2は、予め所定値（例えば、Ｐ2＝１０ｎｍ以上）に設定しておく。
【００４９】
ＬＰＣ１５は、測定チューブ５１Ｙから送り込まれてきた粒子の粒子数を測定する。本実施形態のＬＰＣ１５は、第４の粒径（Ｑ2ｎｍ）を有した粒子の粒子数（第４の粒子数）を測定し、測定結果である第４の粒子数を発塵判定装置１６に送る。ＬＰＣ１５が測定する粒子の粒径Ｑ2は、予め所定値（例えば、Ｑ2＝１００ｎｍ以上）に設定しておく。
【００５０】
発塵判定装置１６は、測定位置が発塵位置であるか否かを判定するコンピュータなどである。発塵判定装置１６は、第１の実施形態で説明した発塵判定装置１４と同様の機能を有している。
【００５１】
発塵判定装置１６は、ＣＰＣ１３が測定した粒子の粒径と、ＣＰＣ１３で測定された粒子の粒子数と、を対応付けして記憶しておく。また、発塵判定装置１６は、ＬＰＣ１５が測定した粒子の粒径と、ＬＰＣ１５で測定された粒子の粒子数と、を対応付けして記憶しておく。なお、発塵判定装置１６は、第１の実施形態の図２で説明した発塵判定装置１４と同様の構成を有しているので、その詳細な説明は省略する。
【００５２】
発塵判定システム２が、クリーンルーム内の第Ｍ（Ｍは自然数）の位置が発塵源であるか否かを判定する際には、測定チューブ５１Ｘおよび測定チューブ５１Ｙの一方の端部が第Ｍの位置に配置される。そして、第Ｍの位置における気体が測定チューブ５１Ｘの一方の端部から吸い込まれてＣＰＣ１３に送られ、第Ｍの位置における気体が測定チューブ５１Ｙの一方の端部から吸い込まれてＬＰＣ１５に送られる。
【００５３】
そして、ＣＰＣ１３は、送り込まれてきた粒子のうち、第３の粒径（粒径Ｐ2ｎｍ以上）を有した粒子の粒子数（第３の粒子数）を測定し、測定結果を発塵判定装置１６に送る。また、ＬＰＣ１５は、送り込まれてきた粒子のうち、第４の粒径（粒径Ｑ2ｎｍ以上）を有した粒子の粒子数（第４の粒子数）を測定し、測定結果を発塵判定装置１６に送る。ここでのＰ2，Ｑ2は、例えば、１００以下の値とする。
【００５４】
発塵判定装置１６は、第３の粒径と第３の粒子数とを対応付けして記憶するとともに、第４の粒径と第４の粒子数とを対応付けして記憶する。そして、発塵判定装置１６は、粒径と粒子数との対応関係である粒子数／粒径情報に基づいて、第Ｍの位置が発塵源であるか否かを判定する。
【００５５】
ＣＰＣ１３が測定する粒子の流量と、ＬＰＣ１５が測定する粒子の流量と、は異なる場合がある。この場合、発塵判定装置１６（分布算出部３３）は、各々の測定結果に対してサンプリング流量を補正したうえで、第１の実施形態で説明した方法により、粒径分布傾きを算出する。
【００５６】
その後、発塵判定システム２では、クリーンルーム内の第（Ｍ＋１）の位置が発塵源であるか否かを判定するために、測定チューブ５１Ｘ，５１Ｙの一方の端部が第（Ｍ＋１）の位置に配置される。そして、発塵判定システム２では、第Ｍの位置での判定と同様の処理によって第（Ｍ＋１）の位置が発塵源であるか否かが判定される。なお、ある測定位置が発塵位置であるか否かの判定処理は、第１の実施形態の図３で説明した処理手順と同様の処理手順によって行うので、その説明は省略する。
【００５７】
つぎに、発塵判定装置１４，１６のハードウェア構成について説明する。なお、発塵判定装置１４，１６は、それぞれ同様のハードウェア構成を有しているので、ここでは発塵判定装置１６のハードウェア構成について説明する。
【００５８】
図５は、発塵判定装置のハードウェア構成を示す図である。発塵判定装置１６は、ＣＰＵ（Central  Processing  Unit）９１、ＲＯＭ（Read  Only  Memory）９２、ＲＡＭ（Random  Access  Memory）９３、表示部９４、入力部９５を有している。発塵判定装置１６では、これらのＣＰＵ９１、ＲＯＭ９２、ＲＡＭ９３、表示部９４、入力部９５がバスラインを介して接続されている。
【００５９】
ＣＰＵ９１は、コンピュータプログラムである発塵判定プログラム９７を用いてパターンの判定を行う。発塵判定プログラム９７は、コンピュータで実行可能な、発塵位置であるか否かを判定するための複数の命令を含むコンピュータ読取り可能かつ非遷移的な記録媒体を有するコンピュータプログラムプロダクトである。発塵判定プログラム９７では、前記複数の命令が発塵位置であるか否かを判定することをコンピュータに実行させる。
【００６０】
表示部９４は、液晶モニタなどの表示装置であり、ＣＰＵ９１からの指示に基づいて、測定対象となる粒子の粒径、測定した粒子の粒子数、粒径分布傾き、管理値、発塵位置であるか否かの判定結果などを表示する。入力部９５は、マウスやキーボードを備えて構成され、使用者から外部入力される指示情報（発塵判定に必要なパラメータ等）を入力する。入力部９５へ入力された指示情報は、ＣＰＵ９１へ送られる。
【００６１】
発塵判定プログラム９７は、ＲＯＭ９２内に格納されており、バスラインを介してＲＡＭ９３へロードされる。図５では、発塵判定プログラム９７がＲＡＭ９３へロードされた状態を示している。
【００６２】
ＣＰＵ９１はＲＡＭ９３内にロードされた発塵判定プログラム９７を実行する。具体的には、発塵判定装置１６では、使用者による入力部９５からの指示入力に従って、ＣＰＵ９１がＲＯＭ９２内から発塵判定プログラム９７を読み出してＲＡＭ９３内のプログラム格納領域に展開して各種処理を実行する。ＣＰＵ９１は、この各種処理に際して生じる各種データをＲＡＭ９３内に形成されるデータ格納領域に一時的に記憶させておく。
【００６３】
発塵判定装置１６で実行される発塵判定プログラム９７は、分布算出部３３、発塵判定部３４を含むモジュール構成となっており、これらが主記憶装置上にロードされ、これらが主記憶装置上に生成される。
【００６４】
このように第２の実施形態によれば、第１の実施形態と同様に、粒径分布傾きと管理値との比較結果に基づいて、測定位置が発塵位置であるか否かが判定されるので、容易かつ正確に測定位置が発塵位置であるか否かを判定できる。
【００６５】
また、静電分級器１２を用いることなく、ＣＰＣ１３とＬＰＣ１５を用いて発塵判定するので、比較的気中の粒子濃度が低い領域に対しても、測定位置が発塵位置であるか否かを正確に判定できる。
【００６６】
（第３の実施形態）
つぎに、図６および図７を用いてこの発明の第３の実施形態について説明する。第３の実施形態では、クリーンルーム内の所定領域毎に発塵有無の判定位置を配置（常設）しておき、各所定領域が発塵位置（発塵領域）であるか否かを判定する。
【００６７】
図６は、第３の実施形態に係る発塵位置特定システムの構成を示す図である。発塵位置特定システム（異常発塵位置特定システム）３は、領域２５Ａ〜２５Ｄを有したクリーンルーム内に配置されている。発塵位置特定システム３は、粒子吸入部２２Ａ〜２２Ｄと、発塵判定システム１または発塵判定システム２と、を備えている。
【００６８】
発塵位置特定システム３が備える発塵判定システムは、発塵判定システム１および発塵判定システム２の何れか一方でよい。ここでは、発塵位置特定システム３が発塵判定システム１を備える場合について説明する。
【００６９】
発塵判定システム１の測定チューブ５１は、図示しないバルブを介して測定チューブ５１Ａ〜５１Ｄに接続されている。測定チューブ５１Ａは、一方の端部が粒子吸入部２２Ａに接続され、他方の端部がバルブ５２Ａ（図示せず）を介して測定チューブ５１に接続されている。同様に、測定チューブ５１Ｂ〜５１Ｄは、それぞれ、一方の端部が粒子吸入部２２Ｂ〜２２Ｄに接続され、他方の端部がバルブ５２Ｂ〜５２Ｄ（図示せず）を介して測定チューブ５１に接続されている。
【００７０】
粒子吸入部２２Ａ〜２２Ｄは、それぞれクリーンルーム内の粒子を吸入する吸入口である。粒子吸入部２２Ａ〜２２Ｄは、それぞれ領域２５Ａ〜２５Ｄ内に配置されている。なお、発塵判定システム１は、領域２５Ａ〜２５Ｄの何れかに配置してもよいし、領域２５Ａ〜２５Ｄの外部に配置してもよい。
【００７１】
発塵位置特定システム３は、測定チューブ５１Ａ〜５１Ｄの接続されているバルブを順番に１つずつ開状態にするとともに、他のバルブを閉状態にすることにより、領域２５Ａ〜２５Ｄが発塵位置であるか否かを順番に判定する。
【００７２】
発塵位置特定システム３は、例えば、第１のタイミングでは、測定チューブ５１Ａの接続されているバルブ５２Ａを開くとともに、測定チューブ５１Ｂ〜５１Ｄの接続されているバルブ５２Ｂ〜５２Ｄを閉じる。そして、発塵位置特定システム３は、粒子吸入部２２Ａから領域２５Ａ内の気体を吸入し、測定チューブ５１Ａを介して、気体を発塵判定システム１に送る。これにより、発塵判定システム１で領域２５Ａが発塵位置であるか否かが判定される。
【００７３】
同様に、発塵位置特定システム３は、第２のタイミングでは、バルブ５２Ｂを開くとともに、バルブ５２Ａ，５２Ｃ，５２Ｄを閉じる。そして、発塵位置特定システム３は、粒子吸入部２２Ｂから領域２５Ｂ内の気体を吸入し、測定チューブ５１Ｂを介して、気体を発塵判定システム１に送る。これにより、発塵判定システム１で領域２５Ｂが発塵位置であるか否かが判定される。
【００７４】
同様に、発塵位置特定システム３は、第３のタイミングでは、バルブ５２Ｃを開くとともに、バルブ５２Ａ，５２Ｂ，５２Ｄを閉じる。そして、発塵位置特定システム３は、粒子吸入部２２Ｃから領域２５Ｃ内の気体を吸入し、測定チューブ５１Ｃを介して、気体を発塵判定システム１に送る。これにより、発塵判定システム１で領域２５Ｃが発塵位置であるか否かが判定される。
【００７５】
同様に、発塵位置特定システム３は、第４のタイミングでは、バルブ５２Ｄを開くとともに、バルブ５２Ａ〜５２Ｃを閉じる。そして、発塵位置特定システム３は、粒子吸入部２２Ｄから領域２５Ｄ内の気体を吸入し、測定チューブ５１Ｄを介して、気体を発塵判定システム１に送る。これにより、発塵判定システム１で領域２５Ｄが発塵位置であるか否かが判定される。
【００７６】
発塵判定システム１は、第１の実施形態と同様の処理によって粒径分布傾きを算出し、粒径分布傾きと管理値との比較結果に基づいて、測定位置が発塵位置であるか否かを判定する。発塵位置特定システム３では、領域２５Ａ〜２５Ｄが発塵位置であるか否かの判定が繰り返される。このように、粒径分布傾きを監視することにより、クリーンルーム内の気中清浄度を管理できる。したがって、クリーンルーム内で異常発塵が発生した際に短時間で異常発塵した領域を特定することが可能になる。
【００７７】
図７は、エリア毎の粒径分布傾きの一例を示す図である。図７では、領域２５Ａ〜２５Ｄにおける、粒径毎の粒子数と、粒径分布傾きと、管理値と、を示している。例えば、領域２５Ａにおいて、粒径が１０ｎｍ以上の粒子が２９０９０個であり、粒径が１００ｎｍ以上の粒子が１５３１０個である場合、領域２５Ａの粒径分布傾きは０．２８となる。管理値が１．５である場合、領域２５Ａの粒径分布傾きは管理値よりも小さいので、領域２５Ａでは、発塵していないと判定される。
【００７８】
また、領域２５Ｃにおいて、粒径が１０ｎｍ以上の粒子が９１０個であり、粒径が１００ｎｍ以上の粒子が２２個である場合、領域２５Ｃの粒径分布傾きは１．６２となる。管理値が１．５である場合、領域２５Ｃの粒径分布傾きは管理値以上であるので、領域２５Ｃで発塵していると判定される。
【００７９】
このように第３の実施形態によれば、クリーンルーム内の領域２５Ａ〜２５Ｄに粒子吸入部２２Ａ〜２２Ｄを常設し、各領域２５Ａ〜２５Ｄで発塵位置しているか否かを判定しているので、容易かつ正確にクリーンルーム内の各領域２５Ａ〜２５Ｄで発塵が発生しているか否かを判定できる。
【００８０】
このように第１〜第３の実施形態によれば、測定位置が発塵位置であるか否かを容易に判定できるので、発塵位置を容易に特定することが可能となる。
【００８１】
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００８２】
１，２…発塵判定システム、３…発塵位置特定システム、１２…静電分級器、１３…ＣＰＣ、１４，１６…発塵判定装置、１５…ＬＰＣ、１７…制御装置、２２Ａ〜２２Ｄ…粒子吸入部、２５Ａ〜２５Ｄ…領域、３３…分布算出部、３４…発塵判定部、５１，５１Ａ〜５１Ｄ，５１Ｘ，５１Ｙ，５３…測定チューブ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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