(57)【要約】【課題】被着体がフレーム部材から外れる虞を低減させて、被着体とフレーム部材とを接着シートにより一体化することができるシート貼付装置及びシート貼付方法を提供すること。【解決手段】シート貼付装置１であって、ウエハＷＦの第１面ＷＦ１及びリングフレームＲＦの第１面ＲＦ１に第１接着シートＡＳ１の接着面を貼付し、当該ウエハＷＦとリングフレームＲＦとが一体化された一体物ＷＳを形成する第１貼付手段２０と、前記一体物ＷＳにおける第１接着シートＡＳ１の接着面とリングフレームＲＦの第２面ＲＦ２との双方に亘って第２接着シートＡＳ２の接着面を貼付する第２貼付手段３０とを備えることを特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被着体の第１面及びフレーム部材の第１面に第１接着シートの接着面を貼付し、当該被着体とフレーム部材とが一体化された一体物を形成する第１貼付手段と、
前記一体物における第１接着シートの接着面とフレーム部材の第２面との双方に亘って第２接着シートの接着面を貼付する第２貼付手段と、を備えることを特徴とするシート貼付装置。
【請求項２】
請求項１に記載のシート貼付装置であって、
前記第１貼付手段と前記第２貼付手段との間に配置され、前記一体物と第２貼付手段とを相対回転させる変位手段を備えることを特徴とするシート貼付装置。
【請求項３】
被着体の第１面及びフレーム部材の第１面に第１接着シートの接着面を貼付し、当該被着体とフレーム部材とが一体化された一体物を形成する第１貼付工程と、
前記一体物における第１接着シートの接着面とフレーム部材の第２面との双方に亘って第２接着シートの接着面を貼付する第２貼付工程と、を備えることを特徴とするシート貼付方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被着体とフレーム部材とを接着シートにより一体化するシート貼付装置及びシート貼付方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」と称する場合がある）等の被着体に接着シートを貼付するシート貼付装置は公知であり、例えば、リングフレームに対してプリカット粘着テープを貼付し、プリカット粘着テープの粘着面にウエハ等の基板を貼付して一体物を形成するシート貼付装置が開示されている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
しかしながら、近年、ウエハのサイズが大型化して重量が増大するなか、上記特許文献１に開示されたシート貼付装置により形成した一体物では、搬送中や保管中にウエハを保持している粘着テープがリングフレームから剥がれ、当該ウエハが落下してしまう虞がある。
【０００４】
そこで、内周に凹溝が形成された外フレームと、外周にその凹溝と対応する凸条が形成された内フレームとの間に粘着シートを位置させて、ウエハを保持する技術が開示されている（例えば、特許文献２参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００５−１５９０４４号公報
【特許文献２】特開２０１２−１１４２６５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記特許文献２に記載された技術は、リングフレームに粘着シートを装着する際の作業が複雑になるという問題がある。さらに、リングフレームを構成する部材が増大するという問題もある。
【０００７】
本発明は、被着体がフレーム部材から外れる虞を低減させて、被着体とフレーム部材とを接着シートにより一体化することができるシート貼付装置及びシート貼付方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、この発明は以下の手段を提案している。
本発明は、シート貼付装置であって、被着体の第１面及びフレーム部材の第１面に第１接着シートの接着面を貼付し、当該被着体とフレーム部材とが一体化された一体物を形成する第１貼付手段と、前記一体物における第１接着シートの接着面とフレーム部材の第２面との双方に亘って第２接着シートの接着面を貼付する第２貼付手段とを備えることを特徴とする。
【０００９】
また、前記第１貼付手段と前記第２貼付手段との間に配置され、前記一体物と第２貼付手段とを相対回転させる変位手段を備えることが好適である。
【００１０】
また、本発明は、被着体の第１面及びフレーム部材の第１面に第１接着シートの接着面を貼付し、当該被着体とフレーム部材とが一体化された一体物を形成する第１貼付工程と、前記一体物における第１接着シートの接着面とフレーム部材の第２面との双方に亘って第２接着シートの接着面を貼付する第２貼付工程とを備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明に係るシート貼付装置及びシート貼付方法によれば、第１接着シートと第２接着シートとでフレーム部材を挟み込むように貼付することができるので、被着体がフレーム部材から外れる虞を低減させて、被着体とフレーム部材とを第１接着シートにより一体化することができる。
【００１２】
また、第１貼付手段と第２貼付手段との間において、一体物と第２貼付手段とを相対回転させることにより、一体物の第２面に接着シートを効率的に貼付することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の一実施形態に係るシート貼付装置の概略構成を説明する図。
【図２】（Ａ）は、一実施形態に係る一体物の斜視図。（Ｂ）は一実施形態の変形例に係る一体物の斜視図。
【図３】一実施形態の変形例に係る変位手段の概略斜視図。
【図４】一実施形態の変形例に係る押圧ローラの概略斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、図１から図３を参照して、本発明の一実施形態に係るシート貼付装置１について説明する。
なお、本明細書におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸及びＹ軸は、水平面内の軸とし、Ｚ軸は、水平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸の矢印方向（紙面手前に向かう方向）で「後」がその逆方向とする。
【００１５】
シート貼付装置１は、図１に示すように、被着体としてのウエハＷＦとフレーム部材としてのリングフレームＲＦとを搬送可能な搬送手段１０と、ウエハＷＦの第１面ＷＦ１及びリングフレームＲＦの第１面ＲＦ１に第１接着シートＡＳ１の接着面を貼付し、当該ウエハＷＦとリングフレームＲＦとが一体化された一体物ＷＳを形成する第１貼付手段２０と、一体物ＷＳにおける第１接着シートＡＳ１の接着面とリングフレームＲＦの第２面ＲＦ２との双方に亘って第２接着シートＡＳ２の接着面を貼付する第２貼付手段３０と、第１貼付手段２０と第２貼付手段３０との間に配置され、一体物ＷＳと第２貼付手段３０とを相対回転させる変位手段４０とを備えている。
【００１６】
搬送手段１０は、駆動機器としてのリニアモータ１１と、リニアモータ１１のスライダ１１Ａに支持され、図示しない減圧ポンプや真空エジェクタ等の減圧手段に連通された支持面１２Ａを有する支持テーブル１２と、支持テーブル１２内に設けられた駆動機器としての直動モータ１３によって昇降可能に設けられ、図示しない減圧ポンプや真空エジェクタ等の減圧手段に連通された支持面１４Ａを有するウエハ支持テーブル１４とを備えている。
【００１７】
第１貼付手段２０は、基材シートＢＳ１の一方の面に接着剤ＡＤ１層（接着面）を有する第１接着シートＡＳ１が帯状の第１剥離シートＲＬ１の一方の面に仮着された第１原反ＲＳ１を繰り出し可能に支持する繰出軸２１と、第１原反ＲＳ１を案内する複数のガイドローラ２２と、第１剥離シートＲＬ１を折り返して第１接着シートＡＳ１を第１剥離シートＲＬ１から剥離する剥離手段としての剥離板２３と、この剥離板２３で剥離された第１接着シートＡＳ１をウエハＷＦの第１面ＷＦ１及びリングフレームＲＦの第１面ＲＦ１に押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ２４と、駆動機器としての回動モータ２５によって駆動する駆動ローラ２６との間に第１剥離シートＲＬ１を挟み込むピンチローラ２７と、第１剥離シートＲＬ１を巻取る巻取軸２８とを備えている。なお、第１接着シートＡＳ１は、リングフレームＲＦの円形孔ＲＦ３を覆うことが可能な円形形状に形成されている。
【００１８】
第２貼付手段３０は、第１貼付手段２０と同等の構成を有し、基材シートＢＳ２の一方の面に接着剤ＡＤ２層（接着面）を有する第２接着シートＡＳ２が帯状の第２剥離シートＲＬ２の一方の面に仮着された第２原反ＲＳ２から、第２接着シートＡＳ２剥離して貼付するものであり、第１貼付手段２０の構成物の１０の位を３に代えることで説明ができるので、図示のみにとどめ説明を省略する。なお、第２接着シートＡＳ２は、第１接着シートＡＳ１の外縁と同じ大きさの外縁を有し、リングフレームＲＦの円形孔ＲＦ３より小さい円形孔Ｈ１が形成されている。
【００１９】
変位手段４０は、駆動機器としての直動モータ４１の出力軸４１Ａにフレーム４２を介して支持され、図示しない減圧ポンプや真空エジェクタ等の減圧手段に連通された吸着パッド４３と、出力軸４４Ａで直動モータ４１を支持する駆動機器としての回動モータ４４と、駆動機器としての直動モータ４５の出力軸４５Ａにフレーム４６を介して支持され、図示しない減圧ポンプや真空エジェクタ等の減圧手段に連通された吸着パッド４７とを備えている。
【００２０】
次に、シート貼付装置１の動作について説明する。
まず、オペレータが図１に示すように第１及び第２原反ＲＳ１、ＲＳ２をセットした後、運転開始の信号を入力すると、第１及び第２貼付手段２０、３０が回動モータ２５、３５をそれぞれ駆動し、第１及び第２原反ＲＳ１、ＲＳ２を繰り出す。そして、第１及び第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２の繰出方向先端部が剥離板２３、３３によって所定量剥離されたことが図示しない検知手段に検知されると、第１及び第２貼付手段２０、３０が回動モータ２５、３５をそれぞれ停止して、スタンバイ状態となる。
【００２１】
そして、図１中実線で示すように、図示しない載置手段が第１面ＲＦ１を上方にしてリングフレームＲＦを支持面１２Ａ上に載置した後、第１面ＷＦ１を上方にしてウエハＷＦを支持面１４Ａ上に載置すると、搬送手段１０が、図示しない吸引手段を駆動し、リングフレームＲＦ及びウエハＷＦを吸着保持した後、直動モータ１３を駆動し、ウエハＷＦの第１面ＷＦ１とリングフレームＲＦの第１面ＲＦ１とを同一平面内に位置させる。
そして、搬送手段１０がリニアモータ１１を駆動し、支持テーブル１２を左方向に移動させ、第１貼付手段２０に対して所定位置に達したことが図示しない検知手段に検知されると、第１貼付手段２０が回動モータ２５を駆動し、第１原反ＲＳ１を繰り出す。これにより、第１接着シートＡＳ１が第１剥離シートＲＬ１から剥離され、押圧ローラ２４によってウエハＷＦの第１面ＷＦ１及びリングフレームＲＦの第１面ＲＦ１に貼付され、一体物ＷＳが形成される。そして、支持テーブル１２が変位手段４０の直下（図１中右側の二点鎖線で示す位置）に到達すると、搬送手段１０がリニアモータ１１の駆動を停止する。
【００２２】
次いで、変位手段４０が直動モータ４１を駆動し、吸着パッド４３を第１接着シートＡＳ１及び／又はリングフレームＲＦ上に当接させた後、図示しない減圧手段を駆動し、一体物ＷＳを吸着保持する。そして、搬送手段１０が図示しない吸引手段の駆動を停止し、支持面１２Ａ、１４Ａによる一体物ＷＳの吸着保持を解除する。次に、変位手段４０が直動モータ４１を駆動し、一体物ＷＳを上昇させた後、回動モータ４４を駆動し、当該一体物ＷＳを天地反転させる。その後、搬送手段１０が直動モータ１３を駆動し、支持面１２Ａと支持面１４Ａとを同一平面内に位置させる。次いで、変位手段４０が直動モータ４５を駆動し、吸着パッド４７を一体物ＷＳにおけるリングフレームの第２面ＲＦ２に当接させた後、図示しない減圧手段を駆動し、一体物ＷＳを吸着保持する。そして、変位手段４０が図示しない吸引手段の駆動を停止し、吸着パッド４３による一体物ＷＳの吸着保持を解除した後、図示しない駆動機器を駆動し、回動モータ４４以下を支持テーブル１２の上方から後方向に退避させる。その後、変位手段４０が直動モータ４５を駆動し、フレーム４６を下降させて支持面１２Ａ、１４Ａ上に一体物ＷＳを載置する。次いで、搬送手段１０が図示しない吸引手段を駆動し、一体物ＷＳを吸着保持した後、変位手段４０が吸着パッド４７による一体物ＷＳの吸着保持を解除した後、フレーム４６を上昇させる。
【００２３】
次に、搬送手段１０がリニアモータ１１を駆動し、支持テーブル１２を一旦第２貼付手段３０の直下（図１中左側の二点鎖線で示す位置）に移動させた後、当該支持テーブル１２を右方向に移動させる。なお、支持テーブル１２が押圧ローラ３４の下方を左方向に通過する際、第２貼付手段３０は、図示しない駆動機器によって一旦上昇し、支持テーブル１２が押圧ローラ３４の下方を右方向に通過する前までに下降する。このように第２貼付手段３０を上昇させることで、押圧ローラ３４によってウエハＷＦに余計なストレスを与えることを防止できる。そして、支持テーブル１２が第２貼付手段３０に対して所定位置に移動したことが図示しない検知手段に検知されると、第２貼付手段３０が回動モータ３５を駆動し、第２原反ＲＳ２を繰り出す。これにより、第２接着シートＡＳ２が第２剥離シートＲＬ２から剥離され、押圧ローラ３４によって一体物ＷＳにおける第１接着シートＡＳ１の接着面とリングフレームＲＦの第２面ＲＦ２との双方に亘って第２接着シートＡＳ２の接着面が貼付される（図２（Ａ）参照）。
【００２４】
そして、支持テーブル１２が図１中実線で示す位置に到達すると、搬送手段１０がリニアモータ１１の駆動を停止し、一体物ＷＳが図示しない排出手段によって支持テーブル１２上から取り除かれ、以降上記同様の動作が繰り返される。なお、支持テーブル１２が押圧ローラ２４の下方を右方向に通過する際、第１貼付手段２０は、図示しない駆動機器によって一旦上昇し、支持テーブル１２が押圧ローラ２４の下方を左方向に通過する前までに下降する。これによっても押圧ローラ２４によってウエハＷＦに余計なストレスを与えることを防止できる。
【００２５】
以上のような一実施形態に係るシート貼付装置１及びシート貼付方法によれば、第１接着シートＡＳ１と第２接着シートＡＳ２とでリングフレームＲＦを挟み込むように貼付することができるので、ウエハＷＦがリングフレームＲＦから外れる虞を低減させて、ウエハＷＦとリングフレームＲＦとを第１接着シートＡＳ１により一体化することができる。
【００２６】
なお、この発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲において、種々の変更をすることができる。
例えば、図２（Ｂ）に示すように、第２接着シートＡＳ２は、複数であってもよく、図示では４枚だが、２枚、３枚、４枚以上であってもよい。このような複数の第２接着シートＡＳ２の場合、第２原反として、第２剥離シートＲＬ２上に所定の円に沿って複数の第２接着シートＡＳ２が仮着されているものを用いればよい。なお、第２貼付手段３０は、第１接着シートＡＳ１がリングフレームＲＦから剥がれやすい部位に第２接着シートＡＳ２をピンポイントで１枚貼付する構成としてもよい。
【００２７】
また、変位手段４０に代えて、図３に示すような変位手段５０としてもよい。当該変位手段５０は、支持テーブル１２の前後両側に設けられた駆動機器としての直動モータ５１と、各直動モータ５１の出力軸５１Ａそれぞれに支持された駆動機器としての直回動モータ５２と、直回動モータ５２の出力軸５２Ａそれぞれに支持された保持爪５３とを備えている。なお、直回動モータ５２は、出力軸５２Ａをその軸線方向に進退可能且つ、当該軸線を中心に回動可能となっている。変位手段５０は、直回動モータ５２を駆動し、一体物ＷＳを前後から挟持した後、直動モータ５１を駆動し、一体物ＷＳを上昇させ、直回動モータ５２を駆動し、一体物ＷＳを上下反転させることができる。
【００２８】
更に、押圧ローラ３４は、図４に示すように、第２接着シートＡＳ２に形成された円形孔Ｈ１とほぼ等しい形状の凹部３４Ａを有してもよく、この場合、第２接着シートＡＳ２を押圧して貼付する際にウエハＷＦに余計なストレスを与えないようにすることができる上、当該押圧ローラ３４の表面に第１接着シートＡＳ１の接着剤ＡＤ１が付着することも防止できる。
【００２９】
また、本発明における第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２および被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２は、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態に限定されることはなく、感熱接着性の接着シートＡＳ１、ＡＳ２が採用された場合は、当該接着シートを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプ等の加熱手段を設ければよい。また、このような接着シートは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するもの、基材シートの上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材シートを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体に貼付するができる。
【００３０】
更に、第１貼付手段２０、第２貼付手段３０の一方又は双方が、リングフレームＲＦに対して第１面ＲＦ１、第２面ＲＦ２と交差する方向（直交を含む）に相対移動して、第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２を貼付する構成としてもよい。
また、搬送手段１０は、停止しているウエハＷＦ及びリングフレームＲＦに対し、第１、第２貼付手段２０、３０を移動させてもよいし、ウエハＷＦ及びリングフレームＲＦと第１、第２貼付手段２０、３０との両方を移動させてもよく、直線移動以外に円弧移動であってもよい。
更に、第１及び第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２の外形形状は、三角形、四角形等の多角形、楕円形等であってもよいし、第１及び第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２の外形形状が異なっていてもよい。
また、第２接着シートＡＳ２は、円形孔Ｈ１以外に三角形、四角形等の多角形、楕円形等の孔が形成されたものであってもよい。
【００３１】
更に、変位手段４０は、一体物ＷＳを上下反転させるかどうかは任意であり、例えばフレーム部材が６面体の場合、一体物ＷＳを９０度回転させたり、２７０度回転させたりすることができる。
また、第１貼付手段２０の剥離板２３の方向と第２貼付手段３０の剥離板３３の方向を同じ方向、例えば、図１の第２貼付手段３０を左右反転させ、支持テーブル１２を右方向に移動されることなく左方向のみに移動させてリングフレームＲＦに第１及び第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２を貼付する構成としてもよい。
更に、第１貼付手段２０及び第２貼付手段３０の少なくとも一方を帯状の第１、第２原反を貼付する構成とし、貼付完了後に適宜な切断手段で第１、第２原反を所定形状に切断する構成としてもよい。
【００３２】
更に、本発明における各手段は、それら手段について説明した動作または機能を果たすことができる限りなんら限定されるものではなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物に全く限定されるものではない。例えば、第１貼付手段は、被着体の第１面及びフレーム部材の第１面に第１接着シートの接着面を貼付し、当該被着体とフレーム部材とが一体化された一体物を形成できるものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせてその範囲内であればなんら限定されることはない（他の手段についての説明は省略する）。
また、上記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
【符号の説明】
【００３３】
１  シート貼付装置
２０  第１貼付手段
３０  第２貼付手段
４０、５０  変位手段
ＡＤ１  接着剤（接着面）
ＡＤ２  接着剤（接着面）
ＡＳ１  第１接着シート
ＡＳ２  第２接着シート
ＲＦ  リングフレーム（フレーム部材）
ＲＦ１  リングフレームの第１面（フレーム部材の第１面）
ＲＦ２  リングフレームの第２面（フレーム部材の第２面）
ＷＦ  半導体ウエハ（被着体）
ＷＦ１  ウエハの第１面（被着体の第１面）
ＷＳ  一体物
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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