(57)【要約】【課題】  ガラス基板に洗浄等の表面処理を行うガラス基板表面処理用パッドがガラス基板の基板面に対して相対的に平行移動してガラス基板の先端部とオーバーラップする際に、ガラス基板表面処理用パッドの一部の剥離を抑制する。【解決手段】  ガラス基板４０１に摺接する主面１２を有するディスク状のパッド本体１０と、主面の外周縁１３の内側に設けられた外周側圧縮力付与部１４と、外周側圧縮力付与部の外側に設けられた外周側環状端部１７とを備えたガラス基板表面処理用パッド１であって、外周側環状端部は、外周側圧縮力付与部によって付与されたパッド本体の厚さ方向への圧縮により形成されている。【選択図】  図４
2014058023.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス基板に摺接する主面を有するディスク状のパッド本体と、
前記主面の外周縁の内側に設けられた外周側圧縮力付与部と、
前記外周側圧縮力付与部の外側に設けられた外周側環状端部とを備えたガラス基板表面処理用パッド。
【請求項２】
前記外周側圧縮力付与部の内側に断面円弧状または断面テーパ状の外周側角部が形成されている、請求項１に記載のガラス基板表面処理用パッド。
【請求項３】
前記外周側環状端部は、前記主面のうちの前記ガラス基板に摺接する領域に対して凹陥している、請求項１または請求項２に記載のガラス基板表面処理用パッド。
【請求項４】
前記外周側圧縮力付与部は、ミシン縫い目または熱圧着により形成されている、請求項１〜請求項３のいずれかに記載のガラス基板表面処理用パッド。
【請求項５】
前記パッド本体の中心部を前記パッド本体の厚さ方向に貫通している貫通孔と、
前記貫通孔を囲繞するように前記主面に設けられた内周側圧縮力付与部と、
前記内周側圧縮力付与部の内側に設けられた内周側環状端部とを備えた請求項１〜請求項４のいずれかに記載のガラス基板表面処理用パッド。
【請求項６】
前記内周側圧縮力付与部の外側に断面円弧状または断面テーパ状の内周側角部が形成されている、請求項５に記載のガラス基板表面処理用パッド。
【請求項７】
前記内周側環状端部は、前記主面のうちの前記ガラス基板に摺接する領域に対して凹陥している、請求項５または請求項６に記載のガラス基板表面処理用パッド。
【請求項８】
前記内周側圧縮力付与部は、ミシン縫い目または熱圧着により形成されている、請求項５〜請求項７のいずれかに記載のガラス基板表面処理用パッド。
【請求項９】
前記パッド本体の中心部を前記パッド本体の厚さ方向に貫通している貫通孔と、
前記貫通孔と前記パッド本体の前記主面の外周縁との間に放射状に延びる複数の液体案内溝と
を備え、
前記複数の液体案内溝は、前記パッド本体の前記主面に付与された前記パッド本体の厚さ方向への圧縮力により形成されている、請求項１〜請求項８のいずれかに記載のガラス基板表面処理用パッド。
【請求項１０】
前記複数の液体案内溝は、ミシン縫い目または熱圧着により形成されている、請求項９に記載のガラス基板表面処理用パッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば映像表示装置の表示画面や太陽電池等を構成するガラス基板の基板面に対して洗浄や研磨等の表面処理を行うガラス基板表面処理用パッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ）、エレクトロルミネッセンスディスプレイ（ＥＬＤ）、フィールドエミッションディスプレイ（ＦＥＤ）等に代表される種々の映像表示装置の表示画面や太陽電池を構成する部材として、ガラス基板が用いられている。この種のガラス基板は、製品として要求される表面品位を得るために、製造工程の終盤において、ガラス基板の基板面を鏡面状に研磨したり、ガラス基板の基板面を洗浄したりする。
【０００３】
このようなガラス基板の基板面の研磨や洗浄等の表面処理を行うためのものとして、例えば特許文献１に示すようなガラス基板表面処理用パッドが用いられている。図６は、従来のこの種のガラス基板表面処理用パッド１０１の説明図である。
【０００４】
ガラス基板表面処理用パッド１０１は、不織布により形成されたディスク状のもので、ガラス基板４０１に摺接する主面１０２を有し、主面１０２と反対側の面が緩衝材層２０１を介して支持部材３０１上に固定支持されている。
【０００５】
ガラス基板表面処理用パッド１０１は、主面１０２がガラス基板４０１の基板面４０２とほぼ平行かつ面一となるように一方向に間隔をおいて複数個配列されている。そして、複数のガラス基板表面処理用パッド１０１は、ガラス基板４０１の基板面４０２に対して相対的に平行移動して主面１０２が基板面４０２に摺接することにより、基板面４０２に洗浄や研磨等の表面処理を行う。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００３−１４５４０２
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ガラス基板表面処理用パッド１０１は、ガラス基板４０１の基板面４０２に対して相対的に平行移動して、ガラス基板表面処理用パッド１０１の外周部１０３とガラス基板４０１の先端部４０３とがオーバーラップする際、図６（ｂ）に示すように、ガラス基板４０１の先端部４０３がガラス基板表面処理用パッド１０１の外周部１０３に衝突して外周部１０３の一部が剥離するという問題があった。
【０００８】
本発明は上記課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、ガラス基板表面処理用パッドがガラス基板の基板面に対して相対的に平行移動してガラス基板の先端部とオーバーラップする際に、ガラス基板表面処理用パッドの一部の剥離を抑制することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために、本発明は、ガラス基板に摺接する主面を有するディスク状のパッド本体と、前記主面の外周縁の内側に設けられた外周側圧縮力付与部と、前記外周側圧縮力付与部の外側に設けられた外周側環状端部とを備えたガラス基板表面処理用パッドであることを特徴とする。
【００１０】
このような構成によれば、ガラス基板表面処理用パッドがガラス基板の基板面に対して相対的に平行移動してガラス基板の先端部とオーバーラップする際に、ガラス基板の先端部がパッド本体の外周側環状端部と衝突しても、パッド本体の主面の外周縁の内側の領域が外周側圧縮力付与部によって押さえ付けられているので、パッド本体の外周部の一部の剥離を抑制することができる。
【００１１】
なお、前記外周側圧縮力付与部の内側に断面円弧状または断面テーパ状の外周側角部が形成されている場合には、ガラス基板の先端部がパッド本体の外周部をスムーズに乗り越えることができるので、好ましい。
【００１２】
なお、前記外周側環状端部が、前記主面のうちの前記ガラス基板に摺接する領域に対して凹陥している場合には、ガラス基板の先端部がパッド本体の外周側環状端部に接しなくなるので、より好ましい。
【００１３】
また、前記パッド本体の中心部を前記パッド本体の厚さ方向に貫通している貫通孔と、前記貫通孔を囲繞するように前記主面に設けられた内周側圧縮力付与部と、前記内周側圧縮力付与部の内側に設けられた内周側環状端部とを備えている場合には、ガラス基板の先端部がパッド本体の内周側環状端部と衝突しても、主面における貫通孔の周囲の領域が内周側圧縮力付与部によって押さえ付けられているので、パッド本体の内周部の一部の剥離を抑制することができる。
【００１４】
また、前記内周側圧縮力付与部の外側の内周側角部が断面円弧状または断面テーパ状である場合には、ガラス基板の先端部がパッド本体の内周部をスムーズに乗り越えることができるので、好ましい。
【００１５】
また、前記内周側環状端部が、前記主面のうちの前記ガラス基板に摺接する領域に対して凹陥している場合には、ガラス基板の先端部がパッド本体の内周側環状端部に接しなくなるので、より好ましい。
【００１６】
また、前記パッド本体の中心部を前記パッド本体の厚さ方向に貫通している貫通孔と、前記貫通孔と前記パッド本体の前記主面の外周縁との間に放射状に延びる複数の液体案内溝とを備え、前記複数の液体案内溝が、前記パッド本体の前記主面に付与された前記パッド本体の厚さ方向への圧縮力により形成されている場合には、パッド本体の貫通孔に供給されるガラス基板表面処理用の液体をパッド本体の主面全体に万遍なく行き渡らせることができるので、好ましい。
【００１７】
なお、前記外周側圧縮力付与部、前記内周側圧縮力付与部、前記液体案内溝の少なくとも１つを、例えば、ミシン縫い目または熱圧着により形成することができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明のガラス基板表面処理用パッドは、ガラス基板の基板面に対して相対的に平行移動してガラス基板の先端部とオーバーラップする際に、ガラス基板表面処理用パッドの一部の剥離を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の一実施形態の平面図である。
【図２】図１をＡ方向から見た側面図である。
【図３】図１のＢ−Ｂ’線断面図である。
【図４】実施形態の作用及び効果の説明図である。
【図５】（ａ）は本実施形態のガラス洗浄パッドを含むガラス基板洗浄具を複数備えるガラス洗浄装置の模式的な側面図であり、（ｂ）は（ａ）のＣ−Ｃ’線に沿った模式的な断面図である。
【図６】従来のガラス基板表面処理用パッドの説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、図面を参照して本発明によるガラス基板表面処理用パッドの一実施形態を説明する。図１は本発明の一実施形態の平面図、図２は図１をＡ方向から見た側面図、図３は図１のＢ−Ｂ’線断面図である。
【００２１】
図１に示すガラス基板表面処理用パッド１は、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ）、エレクトロルミネッセンスディスプレイ（ＥＬＤ）、フィールドエミッションディスプレイ（ＦＥＤ）等に代表される種々の映像表示装置の表示画面を構成するガラス基板や太陽電池のガラス基板の基板面を洗浄するために用いられる。
【００２２】
図１に示すように、ガラス基板表面処理用パッド１は、不織布により形成されたディスク状のパッド本体１０を備えている。パッド本体１０は、その中心部を厚さ方向に貫通する貫通孔１１を有する円盤状であり、一方の面がガラス基板の基板面に摺接する主面１２とされている。
【００２３】
図２に示すように、パッド本体１０は、緩衝材層３０を介して金属製の支持部材５０に積層されている。パッド本体１０と緩衝材層３０との間、緩衝材層３０と支持部材５０との間は、接着剤等を用いて強固に固着されている。
【００２４】
パッド本体１０は、金属含有繊維の含まれた不織布で形成するのが好ましい。ガラス基板の基板面には、付着物が存在していることがあり、金属含有繊維自体は比較的細いものの、不織布内の複数の金属繊維が付着物と接触するため、付着物を容易に除去できる。また、洗浄時に、金属含有繊維が付着物に弾性接触するため、ガラス基板の損傷を抑制できる。なお、金属含有繊維は互いに絡みあっており、洗浄時においても離脱しにくい。
【００２５】
不織布に含まれる金属含有繊維の直径は、例えば、６μｍ以上１５μｍ以下である。また、金属含有繊維の長さは、例えば、５ｍｍ以上である。
【００２６】
金属含有繊維として、例えば、全体が金属から構成された金属繊維が好適に用いられる。金属繊維は、例えば、集束伸線法、ビビリ振動切削法又はコイル切削法などで製造される。一例として、金属繊維はステンレス繊維である。あるいは、金属繊維として、金、銀、亜鉛、銅またはニッケルなどの繊維を用いてもよい。
【００２７】
あるいは、金属含有繊維として、上述した複数種の金属のうちのいくつかを複合した繊維を用いてもよい。また、金属含有繊維として、表面に金属を付着させた繊維、好ましくは、表面に金属メッキ処理を行った樹脂繊維を用いてもよい。メッキ処理は、例えば、湿式メッキ法（電気メッキ法、化学メッキ法、熔融メッキ法）と乾式メッキ法（真空メッキ法（ＰＶＤ法）、化学気相メッキ法（ＣＶＤ法））などで行われる。この場合、繊維全体に対する金属の付着量は、好ましくは０．５から３０重量％、さらに好ましくは１〜２０重量％、さらに好ましくは３〜１０重量％である。なお、金属含有繊維として、表面に金属粒子を分散させた樹脂繊維を用いる場合、金属粒子は、ガラス基板表面処理用パッド１によるガラス基板の洗浄時に容易に脱離しないように構成されていることが好ましい。
【００２８】
典型的には、パッド本体１０を構成する素材は複数の不織布を積層して構成されるが、単層の不織布で構成されてもよい。不織布は、フリースを形成した後、形成された繊維間を結合することによって形成される。フリースの形成は、乾式法、湿式法又はスパンボンド法などで行われる。繊維間の結合は、ケミカルボンド法、サーマルボンド法、パンチング処理法などで行われる。ただし、繊維間の結合が強すぎると、ガラス基板が損傷することがあるため、繊維間の結合は、パンチング処理法で行われることが好ましい。特に、金属含有繊維を適度な強度で絡ませるために、不織布はニードルパンチで好適に形成される。
【００２９】
例えば、ニードルパンチを行う場合、最終針打ち本数は、好ましくは２５０本／ｃｍ2〜５０００本／ｃｍ2である。針打ち本数が２５０本／ｃｍ2よりも多いと、適切な絡合を行いやすく、５０００本／ｃｍ2よりも少ないと、繊維の損傷を抑制しやすい。最終針打ち本数は、さらに好ましくは１０００本／ｃｍ2〜３０００本／ｃｍ2である。なお、ニードルパンチに代えてウォータージェットパンチを用いてもよい。
【００３０】
パッド本体１０を形成する不織布は金属含有繊維に加えて樹脂繊維を含んでもよい。不織布が金属含有繊維および樹脂繊維も含む場合、樹脂繊維が金属含有繊維と絡むため、金属含有繊維はほぐれにくくなり、不織布の耐久性を向上させることができる。
【００３１】
樹脂繊維として、ポリエチレンテレフタレート、ポリプチレンテレフタレート、ポリエステルエラストマ等のポリエステル系、ナイロン６、ナイロン６６、ポリアミドエラストマ等のポリアミド系、ポリウレタン系、ポリオレフイン系、アクリルニトリル系など繊維形態を有する重合体を用いることが好ましく、特に、ポリエステル系またはポリアミド系の繊維を用いることが好ましい。好適には、樹脂繊維として、高強度を実現可能な芳香族ポリアミド（アラミド）樹脂が用いられる。樹脂繊維を含む場合、不織布における金属含有繊維の比率は、好ましくは２０重量％以上、さらに好ましくは５０重量％以上混入していることが好ましい。
【００３２】
不織布が樹脂繊維と金属含有繊維を含む場合、不織布は樹脂繊維と金属含有繊維の混紡をニードルパンチで作製することにより、不織布の強度を効率的に向上させることができる。なお、樹脂繊維と金属含有繊維を含む不織布を作製する場合、樹脂繊維と金属含有繊維が混合した不織布を複数枚積層させてパンチング処理を行ってもよく、また、樹脂繊維の不織布および金属含有繊維の不織布を積層させた状態でパンチング処理を行ってもよい。
【００３３】
図１に示すように、パッド本体１０の主面１２の外周縁１３の内側には線状の外周側圧縮力付与部１４が全周に亘って設けられている。また、主面１２には、貫通孔１１の近傍において、貫通孔１１を囲繞する線状の内周側圧縮力付与部１５が設けられている。さらに、主面１２には、貫通孔１１と主面１２の外周縁１３との間において、放射状に延びる８本の線状の径方向圧縮力付与部１６が設けられている。
【００３４】
本実施形態では、外周側圧縮力付与部１４、内周側圧縮力付与部１５及び径方向圧縮力付与部１６は、いずれもミシン縫い目により形成されている。
【００３５】
図３に示すように、外周側圧縮力付与部１４は、パッド本体１０を厚さ方向に圧縮することにより、外周側圧縮力付与部１４の外側に外周側環状端部１７を形成するとともに外周側圧縮力付与部１４の内側に断面円弧状の外周側角部１８を全周に亘って形成している。
【００３６】
なお、外周側環状端部１７の上端部１７ａは、主面１２におけるガラス基板の基板面に摺接する領域である洗浄領域１２ａに対して凹陥している。
【００３７】
内周側圧縮力付与部１５は、パッド本体１０を厚さ方向に圧縮することにより、内周側圧縮力付与部１５の内側に内周側環状端部１９を形成するとともに内周側圧縮力付与部１５の外側に断面円弧状の内周側角部２０を全周に亘って形成している。
【００３８】
なお、内周側環状端部１９の上端部１９ａは、主面１２の洗浄領域１２ａに対して凹陥している。
【００３９】
径方向圧縮力付与部１６は、パッド本体１０を厚さ方向に圧縮しており、径方向圧縮力付与部１６の圧縮力により、貫通孔１１と主面１２の外周縁１３との間に８本の断面Ｖ字状の液体案内溝２１（図２参照）が形成されている。
【００４０】
緩衝材層３０は、パッド本体１０の主面１２の洗浄領域１２ａをガラス基板の基板面に弾性的に圧接して洗浄領域１２ａがガラス基板の基板面に与える押圧力を全面に亘って均一にするとともに、ガラス基板の基板面へ与える衝撃を緩和してガラス基板の基板面が傷付くのを防止する。緩衝材層３０の材質は特に限定されないが、例えば、ゴム等の弾性を有する合成樹脂を用いることができる。
【００４１】
支持部材５０は円盤状であり、例えば、アルミニウム等の剛性を有する金属材料で形成される。支持部材５０の材質は、所定の剛性を有するものであれば、金属以外を用いることもできる。支持部材５０は、図示しない回転駆動機構に連結されており、回転駆動機構によって中心軸周りに回転駆動される。
【００４２】
次に、本実施形態のガラス基板表面処理用パッド１の作用及び効果を説明する。図４はガラス基板表面処理用パッド１の作用及び効果の説明図である。
【００４３】
図４（ａ）に示すように、ガラス基板４０１はコンベヤ（図示せず）によって図中の右側から矢印方向に搬送される。この際、ガラス基板４０１の下側の基板面４０２が、ガラス基板表面処理用パッド１の主面１２の洗浄領域１２ａとほぼ平行かつ面一となるように搬送される。
【００４４】
ガラス基板４０１の搬送方向の先端部４０３がガラス基板表面処理用パッド１の外周部とオーバーラップする際には、外周側環状端部１７の上端部１７ａが洗浄領域１２ａに対して凹陥しているため、ガラス基板４０１の先端部４０３が外周側環状端部１７の上端部１７ａに衝突するのを抑制できる。
【００４５】
仮にガラス基板４０１の先端部４０３が外周側環状端部１７の上端部１７ａに衝突したとしても、主面１２の外周縁１３の内側の領域が外周側圧縮力付与部１４によってパッド本体１０の厚さ方向内側に押さえ付けられているので、外周側環状端部１７の上端部１７ａの剥離が抑制され、ガラス基板４０１の先端部４０３は外周側環状端部１７の上端部１７ａをスムーズに乗り越えることができる。
【００４６】
図４（ｂ）に示すように、ガラス基板４０１の先端部４０３は、外周側環状端部１７の上方を通過すると主面１２の洗浄領域１２ａに摺接する。その際、パッド本体１０の外周側角部１８は断面円弧状であるため、ガラス基板４０１の先端部４０３が外周側角部１８に引っ掛かることが抑制され、外周側角部１８をスムーズに乗り越えることができる。
【００４７】
また、ガラス基板４０１の先端部４０３がガラス基板表面処理用パッド１の内周部を通過する際にも、内周側環状端部１９や内周側角部２０に引っ掛かることが抑制され、内周側環状端部１９や内周側角部２０をスムーズに乗り越えることができる。
【００４８】
したがって、ガラス基板表面処理用パッド１がガラス基板４０１とオーバーラップした状態でガラス基板４０１に対して相対移動する際に、ガラス基板表面処理用パッド１の一部の剥離を抑制することができる。
【００４９】
ガラス基板表面処理用パッド１を支持する支持部材５０は、図示しない回転駆動機構により中心軸周りに回転駆動され、ガラス基板表面処理用パッド１の主面１２の洗浄領域１２ａは回転しながらガラス基板４０１の基板面４０２に摺接する。
【００５０】
その際、支持部材５０の中心軸周りに設けられた複数の貫通孔５１、緩衝材層３０の中心の貫通孔３１及びガラス基板表面処理用パッド１の貫通孔１１を介してガラス基板表面処理用パッド１の主面１２とガラス基板４０１の基板面４０２との間に洗浄液が供給される。
【００５１】
この洗浄液は、ガラス基板表面処理用パッド１の主面１２に形成された８本の放射状の液体案内溝２１に沿って主面１２の外周縁１３に向けて流れるので、主面１２の洗浄領域１２ａの全体に亘って洗浄液を行き渡らせることができる。洗浄液としては、例えば水や界面活性剤等が用いられるが、必要に応じて洗浄液に微量の砥粒等が添加されてもよい。
【００５２】
したがって、ガラス基板４０１の基板面４０２の汚れを確実に除去してガラス基板４０１の基板面４０２を美麗な状態に仕上げることができる。
【００５３】
図５に、ガラス基板表面処理用パッド１を含むガラス基板洗浄具２０１を複数備えるガラス基板洗浄装置５０１の模式図を示す。図５（ａ）はガラス基板洗浄装置５０１の模式的な側面図であり、図５（ｂ）は図５（ａ）のＣ−Ｃ’線に沿ったガラス基板洗浄装置５０１の模式的な断面図である。
【００５４】
ガラス基板洗浄装置５０１は、ガラス基板４０１を搬送方向に沿って上流から下流に搬送する搬送装置５１０を備える。搬送装置５１０は、ガラス基板４０１を立てて（鉛直方向に保持した状態で）水平方向にガラス基板４０１を搬送する。なお、ここでは図示しないが、ガラス基板洗浄装置５０１の上流側には、ガラス基板４０１に対して種々の加工を行う加工装置等が設けられている。
【００５５】
搬送装置５１０は、ガラス基板４０１の下辺に沿って一列に並べて設けられた複数の下側搬送ローラ５１２と、ガラス基板４０１の上辺に沿って一列に並べて設けられた複数の上側搬送ローラ５１４とを備えている。下側搬送ローラ５１２および上側搬送ローラ５１４のそれぞれは、断面Ｖ字状を呈してガラス基板４０１の鉛直方向端部を保持するローラ体と、ローラ体が外嵌された回転軸とを有している。
【００５６】
この搬送装置５１０では、下側搬送ローラ５１２は、図示しない駆動源からの駆動力を受けて回転軸が回転する駆動ローラであり、回転軸とローラ体とが共回りするように構成されている。これに対して、上側搬送ローラ５１４は、回転軸とローラ体とが空転状態で共回りするように構成されている。下側搬送ローラ５１２および上側搬送ローラ５１４のそれぞれのローラ体のＶ溝内でガラス基板４０１の鉛直方向端部が保持された状態で下側搬送ローラ５１２が回転駆動するのに伴い、ガラス基板４０１は上流から下流に向かって搬送される。
【００５７】
ガラス基板洗浄装置５０１は、上流において行われた各種加工時にガラス基板４０１の表面に付着した微小な付着物（ガラス片や塵芥等）を取り除くための洗浄を行う。
【００５８】
ガラス基板洗浄装置５０１では、ガラス基板洗浄具２０１がガラス基板４０１の搬送方向と直交する方向（鉛直方向）に沿って複数配列されており、水平方向で隣り合うガラス基板洗浄具２０１の列においては、ガラス基板洗浄具２０１の高さ位置が相互に異なっている。
【００５９】
ガラス基板洗浄具２０１は、ガラス基板４０１の基板面４０２に対向して配置されている。上述したように、ガラス基板表面処理用パッド１は緩衝材層３０を介して支持部材５０に積層されている。ガラス基板洗浄具２０１は軸部材５２０の先端に取り付けられており、モータ等により、軸部材５２０を往復移動させて、ガラス基板表面処理用パッド１とガラス基板４０１の基板面４０２との距離を変化させる。
【００６０】
ガラス基板４０１を搬送方向に搬送しつつ、各ガラス基板洗浄具２０１をガラス基板４０１の基板面４０２に圧接するとともに回転駆動することで、ガラス基板４０１の基板面４０２に洗浄処理が行われる。
【００６１】
以上、本発明の具体的な実施形態を説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、上記実施形態に種々の改変を施すことができる。
【００６２】
例えば、外周側圧縮力付与部、内周側圧縮力付与部及び液体案内溝の少なくとも１つをミシン以外の手段（例えば熱圧着）で形成してもよい。
【００６３】
また、外周側角部と内周側角部との少なくとも一方を断面テーパ状に形成してもよい。
【００６４】
また、液体案内溝は８本以外の本数であってもよい。
【００６５】
また、パッド本体は不織布以外の素材、例えばフェルトで形成してもよい。
【００６６】
また、本実施形態では、ガラス基板表面処理用パッドを静止させてガラス基板を移動させるようにしているが、ガラス基板を静止させてガラス基板表面処理用パッドを移動させるようにしてもよい。
【００６７】
また、本発明のガラス基板表面処理用パッドは、ガラス基板の基板面の研磨を行うパッドにも適用することができる。
【００６８】
その他にも、本発明の要旨を逸脱しない範囲で上記実施形態に種々の改変を施すことができる。
【産業上の利用可能性】
【００６９】
本発明によるガラス基板表面処理用パッドは、ガラス基板の付着物を容易に除去できる。このため、本発明のガラス基板表面処理用パッドは、フラットパネルディスプレイ等の映像表示装置や太陽電池のガラス基板の製造に好適に用いられる。
【符号の説明】
【００７０】
１    ガラス基板表面処理用パッド
１０    パッド本体
１１    貫通孔
１２    主面
１２ａ  洗浄領域
１３    外周縁
１４    外周側圧縮力付与部
１５    内周側圧縮力付与部
１７    外周側環状端部
１８    外周側角部
１９    内周側環状端部
２０    内周側角部
２１    液体案内溝
３０    緩衝材層
５０    支持部材
２０１    ガラス基板洗浄具
４０１    ガラス基板
５０１    ガラス基板洗浄装置
【図１】
2014058023.tif 000003
【図２】
2014058023.tif 000004
【図３】
2014058023.tif 000005
【図４】
2014058023.tif 000006
【図５】
2014058023.tif 000007
【図６】
2014058023.tif 000008