(57)【要約】      （修正有）【課題】１つの試料の各部位の観察状況を踏まえつつ、観察画像間の相互関係を認識性良くユーザに提示し、電子顕微鏡での視野探しの作業を効率的かつ容易なものとする。【解決手段】電子顕微鏡２００は、各種データを格納する記憶部２１３と、試料２３１の各観察画像と撮像時の観察条件とを撮像機構２２０から取得し、各観察画像を履歴画像として該当観察条件と対応付けて記憶部２１３に格納する処理と、現時点での試料２３１の観察部位の観察画像と、記憶部２１３にある試料２３１の所定数の履歴画像と、記憶部２１３にある試料２３１の履歴画像のうち１つである広域画像とを、表示部２１１に表示する処理と、表示部２１１で表示した広域画像中において、表示中の観察画像および表示中の所定数の履歴画像について、それぞれの観察条件に基づく広域画像における相対的な位置、範囲、および向きを示す所定図形の表示処理を実行する演算部２０１とを備える。【選択図】図１
2014229587.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
各種データを格納する記憶部と、
試料に対する観察過程で撮像した各観察画像と、該当観察画像の撮像時における観察条件とを撮像機構から取得し、各観察画像を履歴画像として該当観察条件と対応付けて前記記憶部に格納する処理と、
現時点での前記試料における観察部位の観察画像と、前記試料について前記記憶部に格納してある所定数の履歴画像と、前記試料について前記記憶部に格納してある前記履歴画像のうち１つである広域画像とを、表示部に表示する処理と、
前記表示部で表示した広域画像中において、前記表示部にて表示中の観察画像および前記所定数の履歴画像について、それぞれの観察条件に基づく前記広域画像における相対的な位置、範囲、および向きを示す所定図形を表示する処理を実行する演算部と、
を備えることを特徴とする電子顕微鏡。
【請求項２】
前記演算部は、
前記記憶部より前記所定数の履歴画像を抽出するための、前記観察条件に基づいた１以上の選択条件のユーザ定義を入力部にて受け付けて、当該選択条件を記憶部に格納する処理を実行し、
前記所定数の履歴画像を前記表示部に表示する処理に際し、前記記憶部に格納されている履歴画像中より、前記選択条件を満たすものを所定数選択し、当該選択した所定数の履歴画像を前記表示部に表示するものである、
ことを特徴とする請求項１に記載の電子顕微鏡。
【請求項３】
前記演算部は、
前記履歴画像の格納時に対応付けされる前記観察条件として、画像撮影時の試料上の座標における該当履歴画像の位置と矩形状の範囲と向きの各情報を格納するものであり、
前記選択条件として、前記試料上における前記広域画像の矩形状の範囲に対して、選択の候補となる履歴画像の矩形状の範囲が内包されること或いは部分的に重なることを規定する情報を入力部にて受け付けて記憶部に格納し、
前記所定数の履歴画像を前記表示部に表示する処理に際し、前記記憶部に格納されている履歴画像中より、前記選択条件に応じて、前記試料上における前記広域画像の矩形状の範囲に対して、履歴画像の矩形状の範囲が内包されるか又は部分的に重なるものを所定数選択し、当該選択した所定数の履歴画像を前記表示部に表示するものである、
ことを特徴とする請求項２に記載の電子顕微鏡。
【請求項４】
前記演算部は、
前記履歴画像の格納時に対応付けされる前記観察条件として、画像撮影時の観察倍率の情報を格納するものであり、
前記選択条件として、前記広域画像の観察倍率と、選択の候補となる履歴画像の観察倍率とが相対比において所定範囲内であることを規定する情報を入力部にて受け付けて記憶部に格納し、
前記所定数の履歴画像を前記表示部に表示する処理に際し、前記記憶部に格納されている履歴画像中より、前記選択条件に応じて、前記広域画像との間で観察倍率の相対比が所定範囲にあるものを所定数選択し、当該選択した所定数の履歴画像を前記表示部に表示するものである、
ことを特徴とする請求項２に記載の電子顕微鏡。
【請求項５】
前記演算部は、
前記履歴画像の格納時に対応付けされる前記観察条件として、画像撮影時の試料に対する観察方向ベクトルの情報を格納するものであり、
前記選択条件として、前記履歴画像の観察方向ベクトルが、所定ベクトルまたは前記広域画像の観察方向ベクトルと所定範囲内にあることを規定する情報を入力部にて受け付けて記憶部に格納し、
前記所定数の履歴画像を前記表示部に表示する処理に際し、前記記憶部に格納されている履歴画像中より、前記選択条件に応じて、観察方向ベクトルが、所定ベクトルまたは前記広域画像の観察方向ベクトルと所定範囲内にあるものを所定数選択し、当該選択した所定数の履歴画像を前記表示部に表示するものである、
ことを特徴とする請求項２に記載の電子顕微鏡。
【請求項６】
前記演算部は、
前記履歴画像の格納時に対応付けされる前記観察条件として、画像撮影時の試料上の座標における該当履歴画像の位置と矩形状の範囲と向きの各情報を格納するものであり、
前記表示部で表示した広域画像内における１点を、注視点とするユーザの指定を入力部で受け付けて、当該注視点の位置情報を記憶部に格納し、
前記選択条件として、前記履歴画像の位置が、前記試料上の座標に投影した前記注視点に対して所定距離範囲内にあることを規定する情報を入力部にて受け付けて記憶部に格納し、
前記所定数の履歴画像を前記表示部に表示する処理に際し、前記記憶部に格納されている履歴画像中より、前記選択条件に応じて、前記試料上の座標に投影した前記注視点に対し、位置が所定距離範囲内にあるものを所定数選択し、当該選択した所定数の履歴画像を前記表示部に表示するものである、
ことを特徴とする請求項２に記載の電子顕微鏡。
【請求項７】
前記演算部は、
前記選択条件として、前記履歴画像の位置が、前記試料上の座標に投影した前記注視点に対して所定距離範囲内にあることを規定する情報として、前記履歴画像の位置が、前記広域画像の矩形状の範囲に対する相対的な距離範囲内にあることを規定する情報を入力部にて受け付けて記憶部に格納し、
前記所定数の履歴画像を前記表示部に表示する処理に際し、前記記憶部に格納されている履歴画像中より、前記選択条件に応じて、前記試料上の座標に投影した前記注視点に対し、位置が前記広域画像の矩形状の範囲に対する相対的な距離範囲内にあるものを所定数選択し、当該選択した所定数の履歴画像を前記表示部に表示するものである、
ことを特徴とする請求項６に記載の電子顕微鏡。
【請求項８】
前記演算部は、
前記表示部に表示する広域画像として、前記表示部に表示している所定数の履歴画像中からのユーザ選択を入力部で受け付けて、前記表示部で表示していた広域画像を前記ユーザ選択に応じて切り替える処理と、
前記切り替え処理によって新たに広域画像として選択された履歴画像のもつ前記観察条件に基づいた１以上の選択条件のユーザ定義を入力部にて受け付けて、当該選択条件を記憶部に格納する処理と、
前記切り替え処理によって新たに広域画像として選択された履歴画像のもつ前記観察条件に基づき、前記所定数の履歴画像の選択と前記表示部での表示を再実行する処理と、
前記表示部で表示した新たな広域画像中において、前記表示部にて表示中の観察画像および前記所定数の履歴画像について、それぞれの観察条件に基づく前記新たな広域画像における相対的な位置、範囲、および向きを示す所定図形を表示する処理と、
を実行するものであることを特徴とする請求項２に記載の電子顕微鏡。
【請求項９】
前記演算部は、
前記選択条件として、前記履歴画像と前記広域画像との間で所定の観察条件について相対的な範囲内にあることを規定する情報を記憶部に格納している場合、前記切り替え処理に伴う前記選択条件の受け付けと格納の処理を実行せず、前記所定数の履歴画像の選択と前記表示部での表示を再実行し、前記新たな広域画像中において前記所定図形を表示するものであることを特徴とする請求項８に記載の電子顕微鏡。
【請求項１０】
前記演算部は、
前記表示部に表示している広域画像に対する、位置移動、倍率変更、および回転の少なくともいずれかの処理を、入力部で受けたユーザ指示に応じて実行し、前記処理の実行により表示部分が変更された広域画像について、該当広域画像の起源である履歴画像の観察条件に前記処理の内容を反映させた情報を用い、前記所定数の履歴画像の選択と前記表示部での表示を再実行する処理と、
前記表示部分が変更された新たな広域画像中において、前記表示部にて表示中の観察画像および前記所定数の履歴画像について、それぞれの観察条件に基づく前記新たな広域画像における相対的な位置、範囲、および向きを示す所定図形を表示する処理と、
を実行するものであることを特徴とする請求項２に記載の電子顕微鏡。
【請求項１１】
観察対象である試料に対し電子ビームを照射し、試料から反射した電子や照射により発生する二次電子を、検出器を用いて信号化し、信号に基づき観察画像を結像し、表示部に観察画像を表示する走査型電子顕微鏡であることを特徴とする請求項１に記載の電子顕微鏡。
【請求項１２】
電子顕微鏡を制御するコンピュータが、
試料に対する観察過程で撮像した各観察画像と、該当観察画像の撮像時における観察条件とを撮像機構から取得し、各観察画像を履歴画像として該当観察条件と対応付けて記憶部に格納する処理と、
現時点での前記試料における観察部位の観察画像と、前記試料について前記記憶部に格納してある所定数の履歴画像と、前記試料について前記記憶部に格納してある前記履歴画像のうち１つである広域画像とを、表示部に表示する処理と、
前記表示部で表示した広域画像中において、前記表示部にて表示中の観察画像および前記所定数の履歴画像について、それぞれの観察条件に基づく前記広域画像における相対的な位置、範囲、および向きを示す所定図形を表示する処理と、
を実行することを特徴とする電子顕微鏡制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子顕微鏡および電子顕微鏡制御方法に関するものであり、具体的には、１つの試料に関する各観察部位の観察状況を踏まえつつ、観察画像間の相互関係を認識性良くユーザに提示し、電子顕微鏡での視野探しの作業を効率的かつ容易なものとする技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
微細な試料を拡大観察する際、高分解能での観察を行うために、電子顕微鏡が用いられる。光学顕微鏡が可視光線によって試料を観察する装置であるのに対し、電子顕微鏡は、電子銃と呼ばれる装置から観察対象となる試料に電子線を照射することで観察を行う装置となる。こうした電子顕微鏡のタイプとしては、観察対象を透過した電子を利用する透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）と、観察対象から反射した電子や照射により発生する二次電子を検出しそれらのデータから像を構成する走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）とに大別される。それぞれのタイプで仕組みは異なるものの、いずれの電子顕微鏡も光学顕微鏡より分解能が高く、光学顕微鏡では見ることのできない微細な対象の観察が可能であり、近年では物理、科学、生物、医学、材料工学、半導体製造など広範な分野において、盛んに利用されている。
【０００３】
こうした電子顕微鏡においては、電子銃から照射された電子ビームを収束させ、試料上の観察位置に照射する際、試料上の観察位置や向き／傾きの調整は、試料台を設置したステージの機械的な駆動により行う。製品装置によりステージ駆動の自由度は異なるが、一般には、観察位置から鉛直線上にある電子銃に対しての水平面上（ＸＹ軸）や鉛直軸方向（Ｚ軸）の位置や、水平面に対する傾き（Ｔ軸）、鉛直軸を中心とする回転（Ｒ軸）といった各軸の駆動によって、観察対象となる試料に対する自由な視点での観察を可能としている。他にも、上述したステージ駆動によらず、電子線の偏向や回転によって水平面の観察位置変更（イメージシフト）や鉛直軸の回転（イメージローテーション）による調整が可能となっている。
【０００４】
このように電子顕微鏡の装置上には、試料上の観察位置を自由に変更出来る仕組みが備わっている。しかしながら、電子顕微鏡は最大で十万倍以上の高倍率での観察が可能となっており、そうした高倍率での観察を行う際の観察位置と、肉眼による目視で直感的に把握できる該当観察部位の試料全体での位置との齟齬が大きくなりやすい。その場合、ユーザは、試料上の所望部位を観察すべく、低倍率での観察を開始して試料の構造を大まかに把握しつつ、入力装置を介してステージ位置等を調整する作業を、倍率を段階的に高める毎に行い、所望倍率において目的の部位に観察位置が到達するまで繰り返すことになる。
【０００５】
上述のような作業を支援する従来技術としては、別の画面に観察像を適切な倍率で登録して視野探しを容易にすることを目的とした電子顕微鏡（特許文献１参照）などが提案されている。この技術は、ＣＣＤカメラなどによって撮像した試料の全域像や電子顕微鏡自身であらかじめ低倍率で撮像した広域画像を、観察像とは別に表示するものであり、ユーザが試料全体における現在視野の位置把握を行う助けとなるものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００４−１５８３９２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上述した従来技術によれば、電子顕微鏡における視野探しを補助する一定の効果は得られるものの、１つの試料に関する複数の各観察部位で様々に異なりうる観察状況（観察の位置、向き、傾き、倍率など）を踏まえつつ、試料全体と各観察部位との関係をユーザが直感的に認識できる機能は提供されておらず、いわゆる視野探しの困難性、煩雑性を解消するには至っていない。
【０００８】
そこで本発明の目的は、１つの試料に関する各観察部位の観察状況を踏まえつつ、観察画像間の相互関係を認識性良くユーザに提示し、電子顕微鏡での視野探しの作業を効率的かつ容易なものとする技術を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決する本発明の電子顕微鏡は、各種データを格納する記憶部と、試料に対する観察過程で撮像した各観察画像と、該当観察画像の撮像時における観察条件とを撮像機構から取得し、各観察画像を履歴画像として該当観察条件と対応付けて前記記憶部に格納する処理と、現時点での前記試料における観察部位の観察画像と、前記試料について前記記憶部に格納してある所定数の履歴画像と、前記試料について前記記憶部に格納してある前記履歴画像のうち１つである広域画像とを、表示部に表示する処理と、前記表示部で表示した広域画像中において、前記表示部にて表示中の観察画像および前記所定数の履歴画像について、それぞれの観察条件に基づく前記広域画像における相対的な位置、範囲、および向きを示す所定図形を表示する処理を実行する演算部と、を備えることを特徴とする。
【００１０】
また、本発明の電子顕微鏡制御方法は、電子顕微鏡を制御するコンピュータが、試料に対する観察過程で撮像した各観察画像と、該当観察画像の撮像時における観察条件とを撮像機構から取得し、各観察画像を履歴画像として該当観察条件と対応付けて記憶部に格納する処理と、現時点での前記試料における観察部位の観察画像と、前記試料について前記記憶部に格納してある所定数の履歴画像と、前記試料について前記記憶部に格納してある前記履歴画像のうち１つである広域画像とを、表示部に表示する処理と、前記表示部で表示した広域画像中において、前記表示部にて表示中の観察画像および前記所定数の履歴画像について、それぞれの観察条件に基づく前記広域画像における相対的な位置、範囲、および向きを示す所定図形を表示する処理と、を実行することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、１つの試料に関する各観察部位の観察状況を踏まえつつ、観察画像間の相互関係を認識性良くユーザに提示し、電子顕微鏡での視野探しの作業を効率的かつ容易なものとできる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本実施形態における電子顕微鏡の構成例を示す図である。
【図２】本実施形態の履歴画像情報テーブルの一例を示す図である。
【図３】本実施形態の履歴画像選択条件定義テーブルの一例を示す図である。
【図４】本実施形態における電子顕微鏡制御方法の処理手順例１を示すフロー図である。
【図５】本実施形態における表示画面例を示す図である。
【図６】本実施形態における電子顕微鏡制御方法の処理手順例２を示すフロー図である。
【図７】本実施形態の広域画像内における注視点指定の処理を説明する図である。
【図８】本実施形態における広域画像変更操作例を説明する図である。
【図９】本実施形態における広域画像の表示方法例１を説明する図である。
【図１０】本実施形態における広域画像の表示方法例２を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
−−−電子顕微鏡の構成例−−−
以下に本発明の実施形態について図面を用いて詳細に説明する。図１は、本実施形態の電子顕微鏡２００の構成例を示す図である。図１に示す電子顕微鏡２００は、１つの試料に関する各観察部位の観察状況を踏まえつつ、観察画像間の相互関係を認識性良くユーザに提示し、電子顕微鏡での視野探しの作業を効率的かつ容易なものとする電子顕微鏡である。なお、本実施形態における電子顕微鏡２００としては、例えば走査型電子顕微鏡を想定する。
【００１４】
電子顕微鏡２００は、電子顕微鏡本体２２０と、これを制御するコンピュータたる制御システム１００とを含んだ構成となっている。そのうち電子顕微鏡本体２２０は、通常の走査型電子顕微鏡が備えるべき構成を当然有しており、観察対象となる試料２３１を収容する真空チャンバ２３０、この真空チャンバ２３０内の試料２３１に向けて電子ビーム２４１を照射する荷電粒子光学系２２６を主として備える。
【００１５】
上述の真空チャンバ２３０内には、試料２３１が載置される試料台２３２を支持するステージ２３３が備わっている。ステージ２３３は、試料台２３２上の試料２３１について、自由な角度からの観察を行うための複数の駆動軸とこれを駆動するモータないし手動操作機構等が付随する。上述の駆動軸を駆動することにより、試料台２３２ひいては試料台２３２上の試料２３１を、水平面（ＸＹ軸）や鉛直方向（Ｚ軸）に関して移動させる動作や、試料台２３２の鉛直軸を中心とする回転（Ｒ軸）、水平面に対する試料台２３２の傾き（Ｔ軸）の各動作を自在に行うことが出来る。
【００１６】
また、上述の試料台２３２は、試料２３１を固定する台であり、試料２３１の種類や観察手段に応じて複数の種類が存在する。電子顕微鏡２００において試料２３１を観察する際は、試料台２３２に試料２３１に貼り付け、試料台２３２をステージ２３３に据え付けることになる。
【００１７】
なお、真空チャンバ２３０内は、試料２３１に対する電子ビーム照射の安定性確保のために一定の真空度である必要がある。そのため、観察対象となる試料２３１が真空チャンバ２３０内に設置された後、真空チャンバ２３０内は真空ポンプ２５０によって所定の真空度となるよう排気されるものとする。
【００１８】
一方、荷電粒子光学系２２６は、電子銃２２１によって電子ビーム２４１を発生させ、この電子ビーム２４１をコンデンサレンズ２２２、絞り２２３、偏向器２２４、対物レンズ２２５にて調整した上で、試料２３１の観察部位に照射する機構となる。こうした荷電粒子光学系２２６における電子ビーム２４１の照射に対し、試料２３１からは、反射した電子２４２や照射により発生する二次電子２４２が放射されることとなる。この場合、検出器２３４は、この反射電子２４２や二次電子２４２を捕捉し、電気信号として制御システム１００に送信する。
【００１９】
上述の電子顕微鏡本体２２０と共に電子顕微鏡２００を構成する制御システム１００は、上述の検出器２３４からの電気信号を制御Ｉ／Ｆ２１４を通じて受信し、これを演算部２０１へと伝達する。制御システム１００の演算部２０１は、この電気信号に基づいて結像処理を行い、当該処理で得た画像データを表示部２１１にて表示すると共に、記憶部２１３の画像履歴情報テーブル３００に観察条件の情報と共に保存する。
【００２０】
このような制御システム１００のハードウェア構成をあらためて説明する。制御システム１００は、ハードディスクドライブなど適宜な不揮発性記憶装置で構成される記憶部２１３、記憶部２１３に保持されるプログラム（本実施形態の電子顕微鏡として必要な機能を実装するためのプログラム）を読み出して実行しシステム自体の統括制御を行なうとともに各種判定、演算及び制御処理を行なうＣＰＵなどの演算部２０１、ユーザからのキー入力や音声入力を受け付ける操作入力部２１２、画像等の処理データの表示を行うディスプレイで構成された表示部２１１、所定配線（有線ないし無線）を介して電子顕微鏡本体２２０とデータ授受を行う制御Ｉ／Ｆ２１４、を備える。なお、記憶部２１３内には、本実施形態の電子顕微鏡２００として必要な機能を実装する為のプログラム１０２と、詳細は後述する画像履歴情報テーブル３００、および履歴画像選択条件定義テーブル４００が少なくとも記憶されている。
【００２１】
上述のような構成を備える電子顕微鏡２００は、一般的な電子顕微鏡の機能として、ユーザに対し、試料２３１の観察画像を表示部２１１にて表示する機能、操作入力部２１２を通じ試料２３１の観察位置や観察条件の設定をユーザが行うグラフィカルユーザインターフェイス（ＧＵＩ）を提供する機能、記憶部２１３に観察画像を保存し、ユーザが所望する自由なタイミングで閲覧に供する機能、を備えている。なお、電子顕微鏡２００において観察画像のデータを記憶部２１３の画像履歴情報テーブル３００に保存する際、既に述べたように該当観察画像を撮影した際の観察条件を同時に保存している。この観察条件としては、例えば、利用した検出器２３４の種別、荷電粒子光学系２２６による電子ビーム２４１の照射電圧、ステージ２３３の駆動情報（移動、回転、傾き等の情報）など、どのような条件下で試料２３１に対する撮像が行われたのかを示す情報が含まれている。
【００２２】
続いて、本実施形態の電子顕微鏡２００における上述の制御システム１００が備える機能について説明する。上述したように、以下に説明する機能は、例えば制御システム１００が備えるプログラム１０２を実行することで実装される機能と言える。
【００２３】
電子顕微鏡２００の制御システム１００は、試料２３１に対する観察過程で撮像した各観察画像と、該当観察画像の撮像時における観察条件とを撮像機構たる電子顕微鏡本体２２０から取得し、各観察画像を履歴画像として該当観察条件と対応付けて記憶部２１３の画像履歴情報テーブル３００に格納する機能を備えている。
【００２４】
また、上述の制御システム１００は、現時点での試料２３１における観察部位の観察画像と、試料２３１について記憶部２１３の画像履歴情報テーブル３００に格納してある所定数の履歴画像と、試料２３１について記憶部２１３の画像履歴情報テーブル３００に格納してある履歴画像のうち１つである広域画像とを、表示部２１１に表示する機能を備えている。
【００２５】
また、上述の制御システム１００は、表示部２１１で表示した広域画像中において、表示部２１１にて表示中の観察画像および所定数の履歴画像について、それぞれの観察条件に基づく広域画像における相対的な位置、範囲、および向きを示す所定図形を表示する機能を備えている。
【００２６】
また、上述の制御システム１００は、記憶部２１３の画像履歴情報テーブル３００より所定数の履歴画像を抽出するための、観察条件に基づいた１以上の選択条件のユーザ定義を操作入力部２１２にて受け付けて、当該選択条件を記憶部２１３の履歴画像選択条件定義テーブル４００に格納する機能を備えている。
【００２７】
また、上述の制御システム１００は、所定数の履歴画像を表示部２１１に表示する処理に際し、記憶部２１３の画像履歴情報テーブル３００に格納されている履歴画像中より、上述の履歴画像選択条件定義テーブル４００における選択条件を満たすものを所定数選択し、当該選択した所定数の履歴画像を表示部２１１に表示する機能を備えている。
【００２８】
また、上述の制御システム１００は、画像履歴情報テーブル３００への履歴画像の格納時に対応付けされる観察条件として、画像撮影時の試料２３１上の座標における該当履歴画像の位置と矩形状の範囲と向きの各情報を格納する機能を備えている。
【００２９】
また、上述の制御システム１００は、履歴画像選択条件定義テーブル４００に格納する選択条件として、試料２３１上における広域画像の矩形状の範囲に対して、選択の候補となる履歴画像の矩形状の範囲が内包されること或いは部分的に重なることを規定する情報を操作入力部２１２にて受け付けて、これを記憶部２１３の履歴画像選択条件定義テーブル４００に格納する機能を備えている。
【００３０】
また、上述の制御システム１００は、所定数の履歴画像を表示部２１１に表示する処理に際し、記憶部２１３の画像履歴情報テーブル３００に格納されている履歴画像中より、履歴画像選択条件定義テーブル４００の選択条件に応じて、試料２３１上における広域画像の矩形状の範囲に対して、履歴画像の矩形状の範囲が内包されるか又は部分的に重なるものを所定数選択し、当該選択した所定数の履歴画像を表示部２１１に表示する機能を備えている。
【００３１】
また、上述の制御システム１００は、画像履歴情報テーブル３００への履歴画像の格納時に対応付けされる観察条件として、画像撮影時の観察倍率の情報を格納する機能を備えている。この場合、制御システム１００は、上述の選択条件として、広域画像の観察倍率と、選択の候補となる履歴画像の観察倍率とが相対比において所定範囲内であることを規定する情報を操作入力部２１２にて受け付けて記憶部２１３の履歴画像選択条件定義テーブル４００に格納する機能を備えている。また、制御システム１００は、所定数の履歴画像を表示部２１１に表示する処理に際し、記憶部２１３の画像履歴情報テーブル３００に格納されている履歴画像中より、履歴画像選択条件定義テーブル４００の選択条件に応じて、広域画像との間で観察倍率の相対比が所定範囲にあるものを所定数選択し、当該選択した所定数の履歴画像を表示部２１１に表示する。
【００３２】
また、上述の制御システム１００は、画像履歴情報テーブル３００への履歴画像の格納時に対応付けされる観察条件として、画像撮影時の試料２３１に対する観察方向ベクトルの情報を格納する機能を備えている。この場合、制御システム１００は、上述の選択条件として、履歴画像の観察方向ベクトルが、所定ベクトルまたは広域画像の観察方向ベクトルと所定範囲内にあることを規定する情報を操作入力部２１２にて受け付けて、これを記憶部２１３の履歴画像選択条件定義テーブル４００に格納する機能を備えている。また、制御システム１００は、所定数の履歴画像を表示部２１１に表示する処理に際し、記憶部２１３の画像履歴情報テーブル３００に格納されている履歴画像中より、履歴画像選択条件定義テーブル４００の選択条件に応じて、観察方向ベクトルが、所定ベクトルまたは広域画像の観察方向ベクトルと所定範囲内にあるものを所定数選択し、当該選択した所定数の履歴画像を表示部２１１に表示する。
【００３３】
また、上述の制御システム１００は、画像履歴情報テーブル３００への履歴画像の格納時に対応付けされる観察条件として、画像撮影時の試料２３１上の座標における該当履歴画像の位置と矩形状の範囲と向きの各情報を格納する機能を備えている。またこの場合、制御システム１００は、表示部２１１で表示した広域画像内における１点を、注視点とするユーザの指定を操作入力部２１２で受け付けて、当該注視点の位置情報を記憶部２１３の履歴画像選択条件定義テーブル４００に格納する。
【００３４】
更に制御システム１００は、選択条件として、履歴画像の位置が、試料２３１上の座標に投影した注視点に対して所定距離範囲内にあることを規定する情報を操作入力部２１２にて受け付けて記憶部２１３の履歴画像選択条件定義テーブル４００に格納する機能を備えて、所定数の履歴画像を表示部２１１に表示する処理に際し、記憶部２１３の画像履歴情報テーブル３００に格納されている履歴画像中より、履歴画像選択条件定義テーブル４００の選択条件に応じて、試料２３１上の座標に投影した注視点に対し、位置が所定距離範囲内にあるものを所定数選択し、当該選択した所定数の履歴画像を表示部２１１に表示する。
【００３５】
また、上述の制御システム１００は、選択条件として、履歴画像の位置が、試料２３１上の座標に投影した注視点に対して所定距離範囲内にあることを規定する情報として、履歴画像の位置が、広域画像の矩形状の範囲に対する相対的な距離範囲内にあることを規定する情報を操作入力部２１２にて受け付けて、これを記憶部２１３の履歴画像選択条件定義テーブル４００に格納する機能を備えている。
【００３６】
この場合、制御システム１００は、所定数の履歴画像を表示部２１１に表示する処理に際し、記憶部２１３の画像履歴情報テーブル３００に格納されている履歴画像中より、履歴画像選択条件定義テーブル４００の選択条件に応じて、試料２３１上の座標に投影した注視点に対し、位置が広域画像の矩形状の範囲に対する相対的な距離範囲内にあるものを所定数選択し、当該選択した所定数の履歴画像を表示部２１１に表示する。
【００３７】
また、上述の制御システム１００は、表示部２１１に表示する広域画像として、表示部２１１に表示している所定数の履歴画像中からのユーザ選択を操作入力部２１２で受け付けて、表示部２１１で表示していた広域画像をユーザ選択に応じて切り替える機能を備えている。この場合、制御システム１００は、上述の切り替え処理によって新たに広域画像として選択された履歴画像のもつ観察条件に基づいた１以上の選択条件のユーザ定義を操作入力部２１２にて受け付けて、当該選択条件を記憶部２１３の履歴画像選択条件定義テーブル４００に格納する。
【００３８】
更に制御システム１００は、上述の切り替え処理によって新たに広域画像として選択された履歴画像のもつ観察条件に基づき、所定数の履歴画像の選択と表示部２１１での表示を再実行する機能を備えている。また、制御システム１００は、表示部２１１で表示した新たな広域画像中において、表示部２１１にて表示中の観察画像および所定数の履歴画像について、それぞれの観察条件に基づく新たな広域画像における相対的な位置、範囲、および向きを示す所定図形を表示する機能を備えている。
【００３９】
なお、上述の制御システム１００は、選択条件として、履歴画像と広域画像との間で所定の観察条件について相対的な範囲内にあることを規定する情報を記憶部２１３の履歴画像選択条件定義テーブル４００に格納している場合、上述した切り替え処理に伴う選択条件の受け付けと格納の処理を実行せず、所定数の履歴画像の選択と表示部２１１での表示を再実行し、新たな広域画像中において所定図形を表示する機能を備えている。
【００４０】
また、上述の制御システム１００は、表示部２１１に表示している広域画像に対する、位置移動、倍率変更、および回転の少なくともいずれかの処理を、操作入力部２１２で受けたユーザ指示に応じて実行し、処理の実行により表示部分が変更された広域画像について、該当広域画像の起源である履歴画像の観察条件に処理の内容を反映させた情報を用い、所定数の履歴画像の選択と表示部２１１での表示を再実行する機能を備えている。この場合、制御システム１００は、上述のごとく表示部分が変更された新たな広域画像中において、表示部２１１にて表示中の観察画像および所定数の履歴画像について、それぞれの観察条件に基づく新たな広域画像における相対的な位置、範囲、および向きを示す所定図形を表示する。
【００４１】
−−−テーブルの構造例−−−
次に、本実施形態の電子顕微鏡２００における制御システム１００が用いるテーブルにおけるデータ構造例について説明する。本実施形態の電子顕微鏡２００は、試料２３１に関する観察画像を履歴画像として記憶部２１３の画像履歴情報テーブル３００にて蓄積し、試料観察を行うユーザにおける視野探しの目的に有効活用する。
【００４２】
図２は本実施形態における画像履歴情報テーブル３００のデータ構成例を示す図である。画像履歴情報テーブル３００は、各観察画像すなわち履歴画像ごとのＩＤ３０１をキーとして、該当履歴画像の撮影日時３０２、画像ファイル名３０３、履歴種別３０４、撮影時におけるステージ２３３の位置／回転３０５、試料観察の倍率３０６、荷電粒子光学系２２６での加速電圧３０７といったデータを対応付けたレコードの集合体となっている。画像履歴情報テーブル３００に格納されるこれらの情報は、試料２３１に対する撮影時に、制御システム１００の演算部２０１が制御Ｉ／Ｆ２１４を通じ、電子顕微鏡本体２２０の各装置から情報を収集したものである。
【００４３】
なお、履歴種別３０４の値は、該当履歴画像がどういった経緯で記憶部２１３に保存されたかを示す値となる。例えば、ユーザは、電子顕微鏡２００を用いた試料観察を行う際、表示部２１１の所定領域に表示された観察画像の内、必要と判断したものに関して、操作入力部２１２での操作によって履歴画像としての保存指示を電子顕微鏡２００の制御システム１００に行うことができる。一方、このようにユーザが特に指定を行う場合のみならず、操作入力部２１２での一定の操作イベントの発生や、所定時間の到来を検知する毎に、制御システム１００が観察画像を記憶部２１３に格納するとしてもよい。よって、図２に例示する画像履歴情報テーブル３００では、ユーザの指示により格納された履歴画像については「手動」、他方、制御システム１００が自律的に格納した履歴画像については「自動」との値が履歴種別３０４の値として保存される。
【００４４】
また、こうした履歴画像情報テーブル３００は、記憶部２１３上のファイルシステム上に、履歴画像とは別のファイルとして所定のデータ形式で保存される。また、図２で示すごとく履歴画像選択条件定義テーブル４００に格納してある観察条件の情報（画像ファイル名３０３以外の情報）は、履歴画像のフォーマットが許容する場合、履歴画像のファイルにおけるメタ情報に格納するとしてもよい。
【００４５】
図３は本実施形態の履歴画像選択条件定義テーブル４００の一例を示す図である。電子顕微鏡２００における制御システム１００は、表示部２１１にて広域画像らと共に表示する所定数の履歴画像を画像履歴情報テーブル３００中から選択する際、その選択条件を履歴画像選択条件定義テーブル４００から参照する。
【００４６】
図３に示す履歴画像選択条件定義テーブル４００は、選択条件毎に定められた優先度４０１、履歴画像の選択条件４０２、およびオプション４０３のデータが対応付けたレコードの集合体となっている。このうち履歴画像選択条件４０２は、図３に例示するごとく複数条件の定義が可能となっており、各選択条件間は優先度４０１によって適用順が決定される。なお、図３の例の場合、制御システム１００は、優先度が「１」の履歴画像選択条件４０２から順に利用し、履歴画像の選択を実行する。優先度４０２の値が「なし」となっている履歴画像選択条件４０２については、無視するものとする。また、オプション４０３は、履歴画像選択条件４０２に関してユーザが追加的に設定するパラメータであり、履歴画像選択条件４０２の内容を具体的に限定する値が設定されることとなる。
【００４７】
こうした履歴画像選択条件定義テーブル４００は、操作入力部２１２を通じて、ユーザが編集可能である。ユーザは、履歴画像選択条件定義テーブル４００に対し、新たな履歴画像選択条件４０２を追加する動作や、優先度４０１を付与しなおす動作、或いはオプション４０３の情報を変更する動作等を実行できる。
【００４８】
なお、履歴画像選択条件４０２については、問題の無い内容をユーザが間違いなく規定することは難しい場合もある。そこで、制御システム１００は、履歴画像選択条件４０２を構成する値を、例えば画像履歴情報テーブル３００における各項目３０１〜３０７を踏まえて選択可能にリスト化して保持しておき、操作入力部２１２でのユーザの指示に応じて、上述のリストを表示部２１１に表示して履歴画像選択条件４０２の値を選択させるとしてもよい。
【００４９】
この場合、制御システム１００は、優先度４０１に「なし」を設定した履歴画像選択条件４０２のレコードを、予め履歴画像選択条件定義テーブル４００に登録しておき、上述のユーザからの履歴画像選択条件４０２の値の選択を受ける際に、優先度４０１の数値の指定も受けて該当レコードを有効化する。なお、こうした履歴画像選択条件４０２のユーザ指定を受ける際、それに付随するオプション４０３に関しても同様に選択可能なリストをユーザ側に提示し、ユーザ所望のパラメータの指定や編集を受け付ける。
【００５０】
−−−処理手順例１−−−
以下、本実施形態における電子顕微鏡制御方法の実際手順について図に基づき説明する。以下で説明する電子顕微鏡制御方法に対応する各種動作は、上述の制御システム１００が実行するプログラム１０２によって実現される。そして、このプログラム１０２は、以下に説明される各種の動作を行うためのコードから構成されている。
【００５１】
図４は、本実施形態における電子顕微鏡制御方法の処理手順例１を示すフロー図である。ここで、電子顕微鏡２００の制御システム１００は、電子顕微鏡本体２２０における試料台２３２上の試料２３１に対する観察過程で（ユーザの指定を受けて、或いは一定時間毎に）撮像した各観察画像と、該当観察画像の撮像時における観察条件とを電子顕微鏡本体２２０から取得し、各観察画像を履歴画像として該当観察条件と対応付けて記憶部２１３の画像履歴情報テーブル３００に格納する（ｓ１００）。ここで電子顕微鏡本体２２０から取得する観察条件としては、図２の画像履歴情報テーブル３００にて例示したように、該当画像の撮影日時３０２、画像ファイル名３０３、履歴種別３０４、撮影時におけるステージ２３３の位置／回転３０５、試料観察の倍率３０６、荷電粒子光学系２２６での加速電圧３０７といったデータになる。
【００５２】
また、制御システム１００は、上述した観察条件３０２〜３０７等に関する１以上の選択条件のユーザ定義を操作入力部２１２にて受け付けて、当該選択条件を記憶部２１３の履歴画像選択条件定義テーブル４００に格納する（ｓ１０１）。
【００５３】
続いて制御システム１００は、記憶部２１３の画像履歴情報テーブル３００に格納されている履歴画像中より、上述の履歴画像選択条件定義テーブル４００における選択条件を満たすものを所定数選択する（ｓ１０２）。また、制御システム１００は、上述と同一の試料台２３２に対する現時点での観察部位の観察画像を電子顕微鏡本体２２０から取得し、更に、同一の試料２３１について記憶部２１３の画像履歴情報テーブル３００に格納してある履歴画像のうち、上述のステップｓ１０２で選択した履歴画像以外の１つの履歴画像を広域画像として取得する（ｓ１０３）。
【００５４】
制御システム１００は、こうして同一の試料２３１について得た、現在の観察画像と、所定数の履歴画像と、広域画像とを表示部２１１に表示する（ｓ１０４）。
【００５５】
また、制御システム１００は、表示部２１１で表示した広域画像中において、表示部２１１にて表示中の観察画像および所定数の履歴画像について、それぞれの観察条件に基づく広域画像における相対的な位置、範囲、および向きを示す所定図形を表示する（ｓ１０５）。
【００５６】
上述のステップｓ１０４、ｓ１０５での処理で表示部２１１に表示した画面について具体例を図５に示す。なお、図５では、表示部２１１での画面を構成する画像表示用の要素の構成のみを示す。従って、表示要素の位置関係やサイズを特に指定するものではなく、各表示要素を１画面中に表示する例だけでなく、複数のディスプレイ装置に分けて配置したり、ウィンドウシステムによって各表示要素がユーザによって自由に配置やリサイズできるような構成もあり得る。
【００５７】
図５の例では、表示部２１１の構成する画面１０００において、観察画像表示部１１０、広域画像表示部１２０、全域図表示部１３０、履歴画像表示部１４１〜１４５の各表示領域が含まれている。そのうち観察画像表示部１１０には、電子顕微鏡本体２２０を用いて取得された試料２３１の観察画像１がほぼリアルタイムに表示される。
【００５８】
また、広域画像表示部１２０には、現在観察している試料２３１について記憶部２１３に保存した履歴画像中から、ユーザにより選択された画像が広域画像２として表示される。この広域画像２は、観察画像表示部１１０の位置を定めるためのガイドの役割を持つ。例えば広域画像表示部１２０の広域画像２中での、操作入力部２１２（例：マウスなどのポインティグデバイス）による位置指定によって、これを受けた制御システム１００はステージ２３３を駆動させ、観察画像表示部１１０における視野を移動させる。
【００５９】
また、制御システム１００は、ユーザによる操作入力部２１２の操作（例：マウスのドラッグ操作）により、広域画像２における矩形状の領域の指定を受け付ける。この矩形領域は、観察領域すなわち視野に対応するものであるから、ユーザがこの矩形領域を指定することにより、制御システム１００は、広域画像２に対する矩形領域の面積比に応じて、観察倍率を調整することになる。この矩形領域は、図５における観察画像位置１２６のアイコンに該当する。
【００６０】
この観察画像位置１２６は、広域画像表示部１２０における広域画像２での観察画像表示部１１０の位置と領域を示した図形である。ただし、広域画像表示部１２０における広域画像２の表示倍率と観察画像表示部１１０における観察画像１の観察倍率とが大きく異なる場合、観察画像位置１２６のアイコンを矩形として表示出来ない。その場合、制御システム１００は、観察画像位置１２６のアイコンを点として表示させる。
【００６１】
なお、広域画像表示部１２０の広域画像２は、観察画像表示部１１０の観察画像１と同じ向きで試料２３１を撮像した画像である必要は無い。制御システム１００は、画像の回転処理によって観察画像表示部１１０の観察画像１と同じ向きとなるよう、観察画像位置１２６のアイコンを、両画像の撮像条件間の相対角度に合わせて表示するとしてもよい。その際、制御システム１００は、観察画像表示部１１０の観察画像１における上方がどちらか判別できるよう、広域画像２における観察画像位置１２６には上方を示すマーク１２７を付加する。
【００６２】
また、広域画像表示部１２０には、制御システム１００により、広域画像２に加え、履歴画像の投影位置矩形１２１〜１２５も投影表示される。履歴画像の投影位置矩形１２１〜１２５は、履歴画像表示部１４１〜１４５に表示される履歴画像のそれぞれに対応しており、各履歴画像と合わせて保存されたステージ位置／回転３０５や倍率３０６の各値に基づき、制御システム１００が、広域画像表示部１２０の座標上における該当表示位置、回転角度、および倍率にて矩形状の図形を投影し表示している。観察画像すなわち履歴画像は、試料２３１をユーザ意思により自由に回転させて撮像されるものであることから、広域画像表示部１２０の観察画像位置１２６のアイコンと、投影位置矩形１２１〜１２５の向きは必ずしも一致しない。そのため、投影位置矩形１２１〜１２５には、上述の観察画像位置１２６と同様にそれぞれ画像の向きを示すように上方を示すマークが付加表示される。
【００６３】
なお、履歴画像の投影位置矩形１２１〜１２５は、それぞれ履歴画像表示部１４１〜１４５の履歴画像３に対応関係がある。よって制御システム１００は、これをユーザにわかりやすく提示するため、例えば対応関係のある投影位置矩形１２５と履歴画像表示部１４５の履歴画像３の表示枠を同色で表示したり、対応関係を示すような矢印１４０を明示する。さらには、投影位置矩形１２１〜１２５または履歴画像表示部１４１〜１４５がユーザ操作でフォーカスされている場合に、制御システム１００は該当部位の表示色を強調したり、関連性の矢印１４０を表示するなどの視認性、操作性向上の処理を行う。
【００６４】
一方、全域図表示部１３０は試料台２３２の全域を示す画像４が表示される。全域図表示部１３０では、電子顕微鏡本体２２０による試料２３１に関する撮像データの他、ＣＣＤによる撮像データや、試料台２３２の形状を模式的に表した模式図などが表示される。この全域図表示部１３０に表示する画像４の役割は、試料台２３２全体の中で、広域画像表示部１２０の広域画像２がどのような位置、回転関係にあるかを示すことにある。そこで制御システム１００は、全域図表示部１３０において、広域画像２の位置矩形を広域画像位置１３１として表示する。
【００６５】
他方、履歴画像表示部１４１〜１４５は、記憶部２１３に蓄積された履歴画像から選択された履歴画像３を表示する領域となる。図５の例では、５つの履歴画像を同時表示している例を示したが、特に同時表示数を定めるものではない。ただし一般に、表示部２１１の解像度とユーザの視認性の面から、履歴画像３の同時表示数は制限される。また、記憶部２１３に蓄積可能な履歴画像の数は、この同時表示数を上回るため、蓄積した履歴画像のうち同時表示する履歴画像を選択する処理が必要となる。この処理についてはフローを用い詳細を後述する。
【００６６】
以上によって、ユーザは広域画像２だけでなく、１つ以上の履歴画像３を表示部２１１の画面１０００にて同時に閲覧することが出来る。また、広域画像表示部１２０内にて、履歴画像３が広域画像２にてどのような位置、回転、範囲にあるのか、矩形状の図形（投影位置矩形１２１〜１２５）を投影することにより、ユーザは観察画像１や広域画像２との関係を視覚的に把握しながら、試料２３１の観察を行うことができる。これによって、ユーザに対し試料２３１の構造把握を助ける効果を奏し、視野探しの容易性を実現する。
【００６７】
−−−処理手順例２−−−
続いて、上述のフローのうち、ステップｓ１０２の処理、すなわち、履歴画像表示部１４１〜１４５に表示する履歴画像３を選択する処理の詳細について説明する。図６は、実施形態における電子顕微鏡制御方法の処理手順例２を示すフロー図である。この場合、まず電子顕微鏡２００の制御システム１００は、画像履歴情報テーブル３００に蓄積されている履歴画像の読み込みを行う（ｓ２００）。この時、制御システム１００は、同一試料２３１を観察した際に、記憶部２１３の画像履歴情報テーブル３００に格納したすべての観察画像すなわち履歴画像とその観察条件の情報を読み込み、それらを互いに対応付けて候補リスト５１１として記憶部２１３に保持する。また制御システム１００は、記憶部２１３に予め保持してある確定済リスト５１２を、このタイミングで空の状態に初期化する。
【００６８】
続いて制御システム１００は、図３に示した履歴画像選択条件定義テーブル４００から、優先度４０１の値に応じた優先順で履歴画像選択条件４０２およびそのオプション４０３の各値を取得する（ｓ２０１）。当該ステップｓ２０１の初回実行時は、優先度「１」の履歴画像選択条件４０２およびそのオプション４０３の各値が取得されることになる。
【００６９】
次に制御システム１００は、上述のステップｓ２０１で取得した履歴画像選択条件４０２およびそのオプション４０３の各値を満たすか、候補リスト５１１が含む履歴画像と観察条件の情報のセットすべてについて判定し、履歴画像選択条件４０２およびそのオプション４０３の各値を満たすものを候補リスト５１１に残す（ｓ２０２）。なお、履歴画像選択条件４０２には、履歴画像を条件合否で二分するものと、条件数値に近いものを順次選んでいくものとがある。そのため履歴画像選択条件４０２が後者に該当する場合、制御システム１００は、この時点で候補リスト５１１の中から確定済リスト５１２に不足する数だけ条件順に選ぶことになる。ただし条件判定上、同じ順位と判定されることもあり、その場合は必要数を超えても同順位のものまで候補リスト５１１に残すことになる。
【００７０】
続いて制御システム１００は、上述のステップｓ２０２で絞り込まれた候補リスト５１１とすでに確定した確定済リスト５１２の数（当該ステップの初回実行時はゼロ）の合算値が、履歴画像表示部１４１〜１４５の数、すなわち表示部２１１にて表示する履歴画像３の所定数以下であるか判定する（ｓ２０３）。この判定の結果、上述の合算値が上述の所定数を超えていた場合（ｓ２０３：Ｎｏ）、制御システム１００は、不要な数の履歴画像が候補リスト５１１中に残っていると認識し、処理をステップｓ２０１に戻し、履歴画像選択条件定義テーブル４００における次なる優先度の履歴画像選択条件４０２およびそのオプション４０３の各値によって、絞り込み処理（ステップｓ２０２）を繰り返す。
【００７１】
一方、上述のステップｓ２０３での判定の結果、上述の合算値が上述の所定数以下であった場合（ｓ２０３：Ｙｅｓ）、制御システム１００は、この時点の候補リスト５１１を確定し、その内容を確定済リスト５１２に移動させる（ｓ２０４）。また、制御システム１００は、確定済リスト５１２内の履歴画像数が履歴画像表示部１４１〜１４５で表示する所定数に足りるか判定する（ｓ２０５）。この判定の結果、確定済リスト５１２内の履歴画像数が履歴画像表示部１４１〜１４５で表示する所定数に等しければ（ｓ２０５：Ｙｅｓ）、制御システム１００は処理を終了する。他方、上述の判定の結果、確定済リスト５１２内の履歴画像数が、履歴画像表示部１４１〜１４５で表示する所定数に不足する場合（ｓ２０５：Ｎｏ）、制御システム１００は、処理をステップｓ２０６に進める。
【００７２】
この場合ステップｓ２０６において、制御システム１００は、不足する履歴画像を補うため、直前に実行したステップｓ２０２での絞り込みで候補リスト５１１から落とされた履歴画像群を再度候補リスト５１１に戻し、ステップｓ２０１以降の処理を再実行する。
【００７３】
なお、上述のフローを繰り返し実行し、ステップｓ２０１において、図３の履歴画像選択条件定義テーブル４００からすべての履歴画像選択条件４０２を読み出して、判定を行ったとしても、図６におけるフローの終了に至らないこともあり得る。そのため、制御システム１００は、ステップｓ２０１で履歴画像選択条件４０２を取得する際の最後の履歴画像選択条件４０２として、画像履歴情報テーブル３００におけるＩＤ３０１の若い順など、確実な順位付けにより履歴画像を選択できる条件を暗黙的に追加することで、図６のフロー終了に至ることができる。
【００７４】
また、そもそも履歴画像表示部１４１〜１４５で表示する履歴画像数に対し、記憶部２１３の画像履歴情報テーブル３００に蓄積された履歴画像数がそれ以下であれば、図６のフローを行う必要は無い。その場合、制御システム１００は候補リスト５１１の内容を確定済リスト５１２にすべて移動することとする。
【００７５】
制御システム１００は、以上の図６のフローによって得られた、履歴画像の確定済リスト５１２上の履歴画像を図５の履歴画像表示部１４１〜１４５に表示する。
【００７６】
−−−履歴画像選択の更なる具体例１−−−
図６のフローで選択する履歴画像表示部１４１〜１４５の履歴画像を、図５における広域画像表示部１２０に投影するためには、「広域画像に含まれる」という履歴画像選択条件４１０が、重要な意味を持つ。図３の履歴画像選択条件定義テーブル４００の例では、優先度４０１は、該当条件の使用有無や優先度に応じてユーザが自由に変更することを許容するとしたが、「広域画像に含まれる」との履歴画像選択条件４０２に関しては、固定的に最優先の条件との設定を付与するとしても良い。
【００７７】
図６のフローにおけるステップｓ２０１において、制御システム１００が、この「広域画像に含まれる」との規定があるレコード４１０を取得すると、ステップｓ２０２において次のように判定を行う。制御システム１００は、まず、広域画像（たる履歴画像）とともに画像履歴情報テーブル３００にて保持されるステージ２３３の位置／回転３０５と倍率３０６の各値を用い、試料上座標系に対する広域画像表示部１２０の表示範囲の投影矩形を計算する。次に制御システム１００は、候補リスト５１１にあげられた履歴画像に対し、順に試料上座標系への投影矩形を計算し、広域画像表示部１２０に対応した投影矩形に含まれるかどうかを判断し、含まれるものだけを候補リスト５１１に残す。ここでこの条件にはオプション４０３を伴い、広域画像表示部１２０に対応した矩形に完全に含まれるか、部分的な重なりを許容するかを選択することができる。
【００７８】
−−−履歴画像選択の更なる具体例２−−−
また、広域画像表示部１２０内を均一に扱うだけでなく、履歴画像選択条件定義テーブル４００のレコード４５０が示す条件のように「広域画像中の注視点近傍」を履歴画像の選択条件とすることも出来る。この場合、制御システム１００は、例えば広域画像表示部１２０中において、注視点を指定するユーザインターフェイスを提示してユーザの指定を受け、該当注視点の近傍領域に含まれるか重なる矩形領域の履歴画像を選択対象とすることができる。この注視点は、操作入力部２１２のポインティグデバイス等で広域画像２上でユーザが指定、配置するものとなる。
【００７９】
図７に広域画像表示部１２０上に注視点６０１を配置した様子を示す。この注視点に対応した選択条件で履歴画像の選択を行う場合、制御システム１００は、上述のレコード４１０の場合とおなじく、候補リスト５１１にある履歴画像の試料上座標系への投影領域を利用するが、注視点６０１の試料上座標系への投影位置座標に対して、それらの中心がどのような距離にあるかを判定基準とする。ただし、この距離は絶対値指定ではなく、広域画像表示部１２０の表示範囲の投影矩形に対する比率で示す。
【００８０】
例えば、図３の履歴画像選択条件定義テーブル４００の例では、注視点の近傍（２０％）の範囲を、オプション４０３の値として設定されている。そこで制御システム１００は、広域画像表示部１２０の表示枠の試料上座標での幅ａを基準とし、その２０％の距離０．２ａを近傍として判断する。すなわち制御システム１００は、試料上座標において、候補リスト５１１にある履歴画像の投影矩形の中心位置と注視点投影位置の距離が、この距離以内であるかどうかで候補リスト５１１を絞り込むことになる。図７においては、円６０２は注視点６０１を中心とした、広域画像の幅の２０％の長さを半径とする円であり、この内側が該当条件の範囲となる。
【００８１】
−−−履歴画像選択の更なる具体例３−−−
また、履歴画像選択条件定義テーブル４００のレコードのうち、「広域画像との倍率比の限定」というレコード４２０についても、履歴画像表示部１４１〜１４５の位置矩形を図５における広域画像表示部１２０に投影する際に重要な意味を持つ。
【００８２】
既述の通り、一般に電子顕微鏡における倍率のレンジは幅広いものであり、同じ試料について観察・蓄積された履歴画像間でも倍率が大きく異なることがあり得る。広域画像表示部１２０において、広域画像２と大きく倍率の異なる履歴画像３に関して矩形投影を行い、該当履歴画像３を履歴画像表示部１４１〜１４５に示すことは勿論可能であるが、広域画像表示部１２０に示された広域画像２の試料２３１の様子に対し、あまりにかけ離れた倍率の試料の細部を履歴画像３として提示されても、ユーザにとっての該当試料２３１の構造把握につながりにくい。従って上述のレコード４２０のように、広域画像表示部１２０との倍率比を限定し、広域画像とかけ離れた倍率の履歴画像が選択されないような条件指定が好適となる。なお、オプション指定によって、ユーザの観察手法や試料２３１の性質に応じて倍率の制限範囲は変更可能である。また、倍率については、履歴画像の情報に付加する形で、図２の画像履歴情報テーブルの倍率３０６項目に記憶されており、制御システム１００は、ステップｓ２０２における判定では、広域画像表示部１２０および、候補リスト５１１上の履歴画像の倍率情報を比較し、倍率が指定範囲内（ここでは２倍〜２０倍）であれば候補リスト５１１に残すことになる。
【００８３】
−−−履歴画像選択の更なる具体例４−−−
また、図３の履歴画像選択条件定義テーブル４００におけるレコード４３０のように、ユーザ自身が明示的に操作して履歴画像の格納を行った「手動」の履歴か、一定間隔で制御システム１００が自動的に履歴画像の格納を行った「自動」の履歴かに応じて履歴画像の選択を行う場合も想定できる。
【００８４】
制御システム１００は、上述のステップｓ２０２において、レコード４３０の選択条件を用いることになった場合、候補リスト５１１の中から履歴種別３０４の値が「手動」となっている履歴画像のみを選択し、それ以外を候補リスト５１１から落とす処理を実行する。勿論、オプション４０３の指定によっては、逆に「自動」に格納された履歴画像のみを候補リスト５１１に残すことも可能である。
【００８５】
−−−履歴画像選択の更なる具体例５−−−
また、図３の履歴画像選択条件定義テーブル４００のレコード４４０に示すように、「観察方向ベクトルの類似」を履歴画像の選択条件とすることも可能である。観察方向ベクトルとは、すなわちステージ２３３の回転情報の逆算にあたり、図２の画像履歴情報テーブル３００ではステージ位置／回転３０５の値として、該当情報が保存されている。
【００８６】
既述の通り、電子顕微鏡では、ステージ２３３の回転によって自由な角度から試料観察を行うことができる。例えば、電子銃方向の鉛直軸を中心としたＲ軸回転と、水平面に対し傾きをあたえるＴ軸回転の２種類の回転によって、電子銃２２１から照射される電子ビーム２４１が試料２３１に当たる方向を自由に変更することができる。これにより、特に凹凸のある試料に対しては、試料直上からは観察しづらい凹凸の側面を観察することができるようになる。試料の凹凸構造の観察を行う場合には、同じ方向から見た履歴画像を選択することで、観察する方向を統一したい場合がある。
【００８７】
上述のレコード４４０の選択条件に応じた処理では、制御システム１００は、履歴画像のステージ位置／回転３０５の情報を候補リスト５１１すべてについて、現在のステージ２３３のＲ軸／Ｔ軸の回転角との近似判定を行い、条件を満たす履歴画像を選択し、候補リスト５１１を絞り込む。このとき、オプション４０３の指定によって、前述のように比較の基準を現在の広域画像の観察方向にするか、ユーザ指定の絶対値を利用するかを選択することができる。 
なお、上述した例以外にも、制御システム１００は、履歴画像選択条件定義テーブル４００のレコード４６０のように電子顕微鏡本体２２０の観察設定条件のひとつである加速電圧値を用いた履歴画像選択の処理や、レコード４７０のように撮影日時の新しいものを優先する条件を用いた履歴画像選択の処理などを行うことができる。
【００８８】
−−−広域画像の変更について−−−
上述した通り、広域画像表示部１２０に表示する広域画像２については、記憶部２１３に蓄積された履歴画像のひとつを利用する。広域画像表示部１２０に表示する履歴画像３は、ユーザの意思によりいつでも交換可能であり、その交換手段のひとつとして以下のような手続きを制御システム１００は提供する。
【００８９】
この場合、制御システム１００は、履歴画像表示部１４１〜１４５の履歴画像３に対する、操作入力部２１２のポインティグデバイスによるユーザ指定を受けることで、ユーザに選択された履歴画像３を新たな広域画像２として広域画像表示部１２０に表示する。同様に、広域画像表示部１２０中の履歴画像表示部１４１〜１４５に対応する投影位置矩形１２１〜１２５に対し、ポインティングデバイスによるユーザ指定があった場合にも、制御システム１００は、対応する履歴画像３を新たな広域画像２として広域画像表示部１２０に表示する。図８の例では、広域画像表示部１２０において、投影表示された履歴画像の位置矩形７０２を、ポインティングデバイスカーソル７０１を操作してユーザが指定し、マウス右クリックなど所定操作によって、ポップアップメニュー７０３を呼び出した状況を示している。この場合、制御システム１００は、ポップアップメニュー７０３でユーザが「この履歴画像を広域画像として選択する」欄を選択したことを受けて、該当ユーザが選択した履歴画像の位置矩形７０２に対応する履歴画像を、次の広域画像２として広域画像表示部１２０に設定することとなる。
【００９０】
このように、広域画像表示部１２０に表示する広域画像２に変更が生じた場合、制御システム１００は、履歴画像表示部１４１〜１４５に表示する履歴画像の再選択を行うこととなる。その際の処理フローは図６に示したものと同等となり、その際、制御システム１００が、ステップｓ２０１で履歴画像選択条件定義テーブル４００から取得する履歴画像選択条件４０２およびそのオプション４０３は、条件記述が相対表現であることが特徴となる。図３の履歴画像選択条件定義テーブル４００の例では、レコード４２０「広域画像との倍率比の限定」やレコード４５０「広域画像中の注視点」の近傍範囲指定、また、レコード４４０「観察方向ベクトルの類似」でオプション４０３に広域画像との相対比較を指定した場合がこれに相当する。
【００９１】
このように、履歴画像の選択条件が、広域画像に対する相対表現であることで、上述のように広域画像が変更されたとしても、制御システム１００は、履歴画像選択条件４０２の内容を書き替える等の処理を経ることなく、選択条件に応じた履歴画像選択の処理を継続的に行うことができる。なお、広域画像の入れ替わりに伴う履歴画像選択の処理に際し、選択条件として絶対数値が規定されたものを用いるべきでないのは、広域画像との関係性において履歴画像選択を行う場合であり、その他の電子顕微鏡パラメータ等（加速電圧や撮影日時等）に関する選択条件を用いることは特に問題にはならない。
【００９２】
以上にように、表示部１２０にて観察画像１や広域画像２と同時に表示する履歴画像を、ユーザにおけるいわゆる視野探しにとって好適、すなわち試料２３１に関するユーザの構造把握の助けになりやすいものとする観点で、選択および表示することが出来る。また、履歴画像の選択条件において、広域画像２との間で観察条件の情報に関する相対的な規定（例：サイズ、方向、回転等々の割合値）が設定されたものを用いることで、広域画像の変更に際して、選択条件の再構築等を経ずに、それまでの選択条件を利用して履歴画像の選択を実行出来ることとなる。従って、履歴画像に関する選択条件の再設定が不要となることで、ユーザにおける無駄な操作を回避し、継続的な操作によるユーザ操作性や利便性の向上が期待できる。
【００９３】
なお、電子顕微鏡における撮像データの解像度は、表示部２１１に用いられる一般的なディスプレイ装置の解像度に対して高い。例えば、５１２０ｘ５１２０の撮像が可能な電子顕微鏡に対し、表示部２１１では１９２０ｘ１２００の解像度のディスプレイ装置が利用されることがある。さらには、ディスプレイ装置の表示領域内で、図５に示したような複数の画像を同時表示するようなユーザインターフェイス構成を取った場合、一枚の撮像データを表示する領域は、必然的により狭いものとなる。従って、広域画像表示部１２０に表示される広域画像２についても、実際に広域画像全体を解像度そのままに表示することはできない。そのような場合には、広域画像表示部１２０の表示領域に対し、広域画像２として選択された履歴画像を縮小して表示したり、選択部分を表示したりするなどの表示処理を制御システム１００が実行する。
【００９４】
図９では、広域画像として選択された履歴画像８０１と、実際に広域画像表示部１２０として利用される表示領域８０２との関係を示している。広域画像２として選択された履歴画像８０１は、上述の表示領域８０２（予め定まったサイズ及び解像度の領域）に対し、高い解像度の画像である。この例では、広域画像２の表示領域８０２の解像度に合わせ、制御システム１００が履歴画像８０１の一部を切り出して表示している例を示す。他方、図１０のように、広域画像２として選択した履歴画像８０１を広域画像２の表示領域８０２に合わせて縮小した画像８０３を、表示領域８０２に表示する場合もある。
【００９５】
ユーザ視点で言えば、試料２３１の観察や構造把握に好適な広域画像表示部１２０の表示となるよう、広域画像２として選択した履歴画像８０１の中で、位置や拡大率を選ぶことができるともいえる。その意味で、図９に関して述べたような位置指定（移動）や拡大／縮小の他に、制御システム１００は、ユーザ指示に応じて画像の向きを調整、すなわち回転して表示することも可能である。さらに制御システム１００は、ステージ２３３の傾きによる撮影画像の変形を廃し、傾き方向に伸張して擬似的に水平面であるかのように表示するとしてもよい。これらは制御システム１００の演算部２０１における画像処理として行われるものであり、ステージ２３３の駆動を伴わず、試料２３１に対する電子ビーム照射による再度の撮像などは必要としない。広域画像２の表示領域８０２に、どのように履歴画像８０１を表示するかは、履歴画像８０１の範囲内で、操作入力部２１２によってユーザが自由に拡大／縮小、移動、回転による表示方法を決定し、これを受けた制御システム１００は、広域画像表示部１２０の表示内容をこのユーザ操作に応じて逐次変更することになる。
【００９６】
本発明では、このような操作によって、広域画像表示部１２０の表示内容が変更された場合にも、制御システム１００は、図６に示したフローに従って、履歴画像表示部１４１〜１４５に設定する履歴画像の選択を行い、表示部２１１に表示するとともに、広域画像２中の履歴画像３の投影位置矩形１２１〜１２５もこれらに追従して変更する。
【００９７】
なお、その際、図６のフローでのステップｓ２０２で、広域画像表示部１２０のステージ位置／回転３０５や倍率３０６を判定する際には、図２の画像履歴情報テーブル３００に保存されたそれらの値をそのまま使うのではなく、図９で示した履歴画像８０１が、広域画像表示部１２０としてどのような画像処理操作、すなわち、移動、回転、拡大／縮小を経て表示されているのかを加味（すなわち、元の観察条件の情報に対し、画像処理操作の内容のうち元の観察条件に対応する項目である移動や回転、拡大／縮小等の値を四則演算する）して条件判定を行う。
【００９８】
また、図７に関して説明したような注視点６０１を示すユーザインターフェイスの例でもユーザ操作に追従する点で同様となる。ユーザが操作するポインティングデバイスで注視点６０１が移動される度に、制御システム１００は、上述のステップｓ２０１〜ｓ２０６の実行、すなわち選択条件を満たす所定数の履歴画像の選択と履歴画像表示部１４１〜１４５への表示を行い、投影位置矩形１２１〜１２５を含めた画面更新を繰り返す。
【００９９】
図３に例示した履歴画像選択条件定義テーブル４００には、このように、ユーザ操作によって動的に変更しうる選択条件も定義可能であり、こうした選択条件が有効化（優先度４０１に数値が設定）されていれば、制御システム１００は、上述した注視点等に関するユーザ操作に追従し、図６のフローに従った履歴画像の選択処理を行う。
【０１００】
以上によって、広域画像表示部１２０における広域画像２の表示範囲の変化や注視点の指定などのユーザ操作に応じた、選択条件に関する判定と履歴画像の選択処理の追従性を確保することで、ユーザのリアルタイム操作に応じた、好適な履歴画像の表示形態を提供することが可能となる。従って、試料観察を行うユーザにおいて視野探しのための試料構造の理解がさらに容易なものとなる。
【０１０１】
以上、本発明を実施するための最良の形態などについて具体的に説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。
【０１０２】
こうした本実施形態によれば、観察画像、広域画像／全域画像とともに、条件指定に基づいた関連性の高い複数の履歴画像を位置関係等を明示しつつ、ユーザに同時に提供し、更には、電子顕微鏡におけるユーザ操作に追従し、常に適切な履歴画像を提示することも可能であり、電子顕微鏡における視野探しの作業を効率化可能となる。また、こうした視野探し作業の効率化は作業時間の短縮につながるため、電子線照射時間も短縮され、試料劣化を低減する効果も奏する。
【０１０３】
したがって、１つの試料に関する各観察部位の観察状況を踏まえつつ、観察画像間の相互関係を認識性良くユーザに提示し、電子顕微鏡での視野探しの作業を効率的かつ容易なものとできる。
【０１０４】
本明細書の記載により、少なくとも次のことが明らかにされる。すなわち、電子顕微鏡における前記演算部は、前記記憶部より前記所定数の履歴画像を抽出するための、前記観察条件に基づいた１以上の選択条件のユーザ定義を入力部にて受け付けて、当該選択条件を記憶部に格納する処理を実行し、前記所定数の履歴画像を前記表示部に表示する処理に際し、前記記憶部に格納されている履歴画像中より、前記選択条件を満たすものを所定数選択し、当該選択した所定数の履歴画像を前記表示部に表示するものである、としてもよい。
【０１０５】
これによれば、広域画像と共に表示する所定数の履歴画像を選択する条件を、ユーザの意向を踏まえたものとすることが可能であり、ユーザにおける視野探しの作業が効率的かつ容易なものとなる。
【０１０６】
また、電子顕微鏡における前記演算部は、前記履歴画像の格納時に対応付けされる前記観察条件として、画像撮影時の試料上の座標における該当履歴画像の位置と矩形状の範囲と向きの各情報を格納するものであり、前記選択条件として、前記試料上における前記広域画像の矩形状の範囲に対して、選択の候補となる履歴画像の矩形状の範囲が内包されること或いは部分的に重なることを規定する情報を入力部にて受け付けて記憶部に格納し、前記所定数の履歴画像を前記表示部に表示する処理に際し、前記記憶部に格納されている履歴画像中より、前記選択条件に応じて、前記試料上における前記広域画像の矩形状の範囲に対して、履歴画像の矩形状の範囲が内包されるか又は部分的に重なるものを所定数選択し、当該選択した所定数の履歴画像を前記表示部に表示するものである、としてもよい。
【０１０７】
これによれば、互いの視野範囲が少なくとも重複する画像間を対応付け、広域画像と履歴画像、観察画像を表示することが可能で、画像間の関連をユーザがより直感的に認識しやすくなる。
【０１０８】
また、電子顕微鏡における前記演算部は、前記履歴画像の格納時に対応付けされる前記観察条件として、画像撮影時の観察倍率の情報を格納するものであり、前記選択条件として、前記広域画像の観察倍率と、選択の候補となる履歴画像の観察倍率とが相対比において所定範囲内であることを規定する情報を入力部にて受け付けて記憶部に格納し、前記所定数の履歴画像を前記表示部に表示する処理に際し、前記記憶部に格納されている履歴画像中より、前記選択条件に応じて、前記広域画像との間で観察倍率の相対比が所定範囲にあるものを所定数選択し、当該選択した所定数の履歴画像を前記表示部に表示するものである、としてもよい。
【０１０９】
これによれば、高倍率での試料観察を行う電子顕微鏡ゆえの視野探しの困難性を、画像間における観察倍率の相違抑制の観点で抑制し、画像間の関連をユーザがより直感的に認識しやすくなる。
【０１１０】
また、電子顕微鏡における前記演算部は、前記履歴画像の格納時に対応付けされる前記観察条件として、画像撮影時の試料に対する観察方向ベクトルの情報を格納するものであり、前記選択条件として、前記履歴画像の観察方向ベクトルが、所定ベクトルまたは前記広域画像の観察方向ベクトルと所定範囲内にあることを規定する情報を入力部にて受け付けて記憶部に格納し、前記所定数の履歴画像を前記表示部に表示する処理に際し、前記記憶部に格納されている履歴画像中より、前記選択条件に応じて、観察方向ベクトルが、所定ベクトルまたは前記広域画像の観察方向ベクトルと所定範囲内にあるものを所定数選択し、当該選択した所定数の履歴画像を前記表示部に表示するものである、としてもよい。
【０１１１】
これによれば、直上からだけでなく側方や斜め方向からも試料観察を行う条件に対応し、類似方向からの観察に伴う画像同士を対応付けてユーザに提示可能となり、画像間の関連をユーザがより直感的に認識しやすくなる。
【０１１２】
また、電子顕微鏡における前記演算部は、前記履歴画像の格納時に対応付けされる前記観察条件として、画像撮影時の試料上の座標における該当履歴画像の位置と矩形状の範囲と向きの各情報を格納するものであり、前記表示部で表示した広域画像内における１点を、注視点とするユーザの指定を入力部で受け付けて、当該注視点の位置情報を記憶部に格納し、前記選択条件として、前記履歴画像の位置が、前記試料上の座標に投影した前記注視点に対して所定距離範囲内にあることを規定する情報を入力部にて受け付けて記憶部に格納し、前記所定数の履歴画像を前記表示部に表示する処理に際し、前記記憶部に格納されている履歴画像中より、前記選択条件に応じて、前記試料上の座標に投影した前記注視点に対し、位置が所定距離範囲内にあるものを所定数選択し、当該選択した所定数の履歴画像を前記表示部に表示するものである、としてもよい。
【０１１３】
これによれば、試料の観察を行うユーザが特に着目する点、すなわち注視点を基点として履歴画像を選択する処理等が実行されることになり、ユーザのその時々の意向に直接的かつ即時的に対応した視野探しのための画像表示がなされることとなる。
【０１１４】
また、電子顕微鏡における前記演算部は、前記選択条件として、前記履歴画像の位置が、前記試料上の座標に投影した前記注視点に対して所定距離範囲内にあることを規定する情報として、前記履歴画像の位置が、前記広域画像の矩形状の範囲に対する相対的な距離範囲内にあることを規定する情報を入力部にて受け付けて記憶部に格納し、前記所定数の履歴画像を前記表示部に表示する処理に際し、前記記憶部に格納されている履歴画像中より、前記選択条件に応じて、前記試料上の座標に投影した前記注視点に対し、位置が前記広域画像の矩形状の範囲に対する相対的な距離範囲内にあるものを所定数選択し、当該選択した所定数の履歴画像を前記表示部に表示するものである、としてもよい。
【０１１５】
これによれば、試料の観察を行うユーザが特に着目する点、すなわち注視点が度々変更されるような状況にも柔軟かつ確実に対応し、視野探しに好適な履歴画像を選択する処理等がよりスムーズに実行されることになる。よって、ユーザのその時々の意向に直接的かつ即時的に対応した視野探しのための画像表示が更に効率的になされることとなる。
【０１１６】
また、電子顕微鏡における前記演算部は、前記表示部に表示する広域画像として、前記表示部に表示している所定数の履歴画像中からのユーザ選択を入力部で受け付けて、前記表示部で表示していた広域画像を前記ユーザ選択に応じて切り替える処理と、前記切り替え処理によって新たに広域画像として選択された履歴画像のもつ前記観察条件に基づいた１以上の選択条件のユーザ定義を入力部にて受け付けて、当該選択条件を記憶部に格納する処理と、前記切り替え処理によって新たに広域画像として選択された履歴画像のもつ前記観察条件に基づき、前記所定数の履歴画像の選択と前記表示部での表示を再実行する処理と、前記表示部で表示した新たな広域画像中において、前記表示部にて表示中の観察画像および前記所定数の履歴画像について、それぞれの観察条件に基づく前記新たな広域画像における相対的な位置、範囲、および向きを示す所定図形を表示する処理と、を実行するものであるとしてもよい。
【０１１７】
これによれば、電子顕微鏡を操作するユーザの意向に応じて広域画像を自在に変更し、それに応じて履歴画像等に関する処理も行われることになり、ユーザにとって視野探しを行いやすい画像等の表示形態を提供可能となる。
【０１１８】
また、電子顕微鏡における前記演算部は、前記選択条件として、前記履歴画像と前記広域画像との間で所定の観察条件について相対的な範囲内にあることを規定する情報を記憶部に格納している場合、前記切り替え処理に伴う前記選択条件の受け付けと格納の処理を実行せず、前記所定数の履歴画像の選択と前記表示部での表示を再実行し、前記新たな広域画像中において前記所定図形を表示するものであるとしてもよい。
【０１１９】
これによれば、広域画像切替に際し、履歴画像等に関する処理をより円滑かつ迅速に実行することが出来、そうした画像を閲覧するユーザの作業効率化もより図られる。
【０１２０】
また、電子顕微鏡における前記演算部は、前記表示部に表示している広域画像に対する、位置移動、倍率変更、および回転の少なくともいずれかの処理を、入力部で受けたユーザ指示に応じて実行し、前記処理の実行により表示部分が変更された広域画像について、該当広域画像の起源である履歴画像の観察条件に前記処理の内容を反映させた情報を用い、前記所定数の履歴画像の選択と前記表示部での表示を再実行する処理と、前記表示部分が変更された新たな広域画像中において、前記表示部にて表示中の観察画像および前記所定数の履歴画像について、それぞれの観察条件に基づく前記新たな広域画像における相対的な位置、範囲、および向きを示す所定図形を表示する処理と、を実行するものであるとしてもよい。
【０１２１】
これによれば、ユーザの意向に応じて広域画像の表示形態を自在に変更出来ると共に、そうした変更に応じて履歴画像の表示や広域画像中での位置、範囲、向き等を示す所定図形の表示処理なども追従して連続的かつスムーズに実行されることになる。
【０１２２】
また、上述の電子顕微鏡は、観察対象である試料に対し電子ビームを照射し、試料から反射した電子や照射により発生する二次電子を、検出器を用いて信号化し、信号に基づき観察画像を結像し、表示部に観察画像を表示する走査型電子顕微鏡であるとすれば好適である。
【０１２３】
これによれば、電子顕微鏡のうち走査型電子顕微鏡に関して、１つの試料に関する各観察部位の観察状況を踏まえつつ、観察画像間の相互関係を認識性良くユーザに提示し、電子顕微鏡での視野探しの作業を効率的かつ容易なものとする効果を奏することが出来る。
【符号の説明】
【０１２４】
１００  制御システム
１１０  観察画像表示部
１２０  広域画像表示部
１２１〜１２５  履歴画像の投影位置矩形表示
１２６  観察画像の位置矩形表示
１２７  観察画像の向きを示すユーザインターフェイス表示
１３０  全域図表示部
１３１  広域画像の位置矩形表示
１４０  履歴画像と投影位置矩形との関連を表すユーザインターフェイス表示
１４１〜１４５  履歴画像表示部
２００  電子顕微鏡
２０１  演算部
２１１  表示部
２１２  操作入力部
２１３  記憶部
２１４  制御Ｉ／Ｆ
２２０  電子顕微鏡本体（撮像機構）
２２１  電子銃
２２６  荷電粒子光学系
２３１  試料
２３２  試料台
２３３  ステージ
２４１  電子ビーム
３００  画像履歴情報テーブル
４００  履歴画像選択条件定義テーブル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
2014229587.tif 000011
【図１０】
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