(57)【要約】【課題】平板状弾性体の電気−機械エネルギー変換素子における接合面にラッピング加工を施すに際し、電気−機械エネルギー変換素子における接合面の平面度と、圧電素子の接合強度の確保を図ることができ、必要以上のラッピング加工を抑制し、コストダウンが可能となる振動体の製造方法を提供する。【解決手段】電気−機械エネルギー変換素子と、電気−機械エネルギー変換素子に接合され、突起部が設けられた平板状弾性体と、を有する振動体の製造方法であって、  平板状弾性体における前記電気−機械エネルギー変換素子との接合面側に、１つ以上の凸部を形成する工程と、凸部が形成された面に対して、所定の荷重をかけつつ前記接合面の全域がラッピング加工手段のラップ盤と接触するまでラッピング加工を施す工程と、を含む。【選択図】図６
2014143900.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気−機械エネルギー変換素子と、
前記電気−機械エネルギー変換素子に接合され、突起部が設けられた平板状弾性体と、を有する振動体の製造方法であって、
前記平板状弾性体における前記電気−機械エネルギー変換素子との接合面側に、１つ以上の凸部を形成する工程と、
前記凸部が形成された面に対して、所定の荷重をかけつつ前記接合面の全域がラッピング加工手段のラップ盤と接触するまでラッピング加工を施す工程と、
を含むことを特徴とする振動体の製造方法。
【請求項２】
前記凸部を形成する工程は、前記突起部を形成する際、前記突起部の周囲に形成した溝の加工により２次的に形成されるショックラインによって形成されることを特徴とする請求項１に記載の振動体の製造方法。
【請求項３】
前記凸部を形成する工程での前記凸部は、前記所定の荷重をかけた際、ストッパーとして機能する凸部として形成されることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の振動体の製造方法。
【請求項４】
前記凸部の高さは、前記平板状弾性体の反り量と略同等以下の高さとなるように形成されることを特徴とする請求項３に記載の振動体の製造方法。
【請求項５】
前記凸部を形成する工程での前記凸部は、前記所定の荷重をかけた際、前記平板状弾性体の姿勢を安定させるための台座として機能する凸部として形成されることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の振動体の製造方法。
【請求項６】
前記凸部の高さは、前記平板状弾性体を前記ラップ盤に載置したときに前記凸部のみが前記ラップ盤と接触する高さとなるように形成されることを特徴とする請求項５に記載の振動体の製造方法。
【請求項７】
前記ラッピング工程では、前記凸部の高さ方向において、前記凸部および前記凸部で囲まれた領域と重なる領域内で荷重をかけることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の振動体の製造方法。
【請求項８】
前記ラッピング工程において、前記突起部に荷重をかけることを特徴とする請求項７に記載の振動体の製造方法。
【請求項９】
前記ラッピング工程において、前記平板状弾性体に対する荷重の作用点が複数ある場合、それぞれの作用点に対して、独立した弾性要素によって荷重をかけることを特徴とする請求項７に記載の振動体の製造方法。
【請求項１０】
前記ラッピング工程では、前記凸部の高さ方向において、前記凸部および前記凸部で囲まれた領域と重なる領域内で、前記平板状弾性体に接触し、
かつ複数の前記平板状弾性体の平板方向の位置を規制することでそれらの相対位置関係を維持するためのホルダーに、前記平板状弾性体を収納した状態で行うことを特徴とする請求項７に記載の振動体の製造方法。
【請求項１１】
前記振動子は、前記突起部が被駆動体と摩擦接触し、前記平板状弾性体の振動により前記被駆動体を相対的に移動させる、振動型駆動装置の振動体であることを特徴とする請求項１乃至１０のいずれか１項に記載の振動体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動体の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、弾性体で発生した振動により移動体を駆動する振動型駆動装置（例えば振動波モータ）が知られている。
この振動波モータでは、電気−機械エネルギー変換素子（例えば、圧電素子など。以下、圧電素子と記す。）とこれを接合した弾性体（主に金属からなる弾性体）とで構成される振動子に、複数の振動モードを励振させる。
そして、これら複数の振動を合成することによりこの弾性体の表面に楕円運動を発生させ、この弾性体に接触させた被駆動体を相対的に駆動する。
このような振動波モータとしては、様々な形態のものが提案されており、例えば、カメラなどのレンズ鏡筒を回転駆動する振動波モータに関しては、リング形状の振動波モータや棒状の回転型振動波モータ等が提案されている。
更には、振動部分が薄板状の平板部分と突起部で構成された平板形状の弾性体を円周上に複数配置して回転型アクチュエータとして構成した振動波モータなど、モータ構成、形態などを工夫したもの等が多数提案されている。また、上述した平板状の弾性体を直線形状のスライダに接触させて直線駆動するリニアタイプの振動波モータも数多く提案されている。
【０００３】
ここで、平板状弾性体により構成された振動波モータについて、特許文献１に開示される例でその概要を説明する。
この振動波モータは、振動子とこれに接触するスライダとから構成されている。この振動子は、一方の面に２つの突起部が形成された平板状の振動体からなる平板状弾性体に圧電素子が接合されて構成されている。接合手段には例えば接着剤が用いられている。
そして、接着層がムラなく両者の間に行き渡るようにするために、平板状弾性体の圧電素子接合面にはラッピング加工を施している。
この圧電素子に位相の異なる交流電界を印加すると、この振動子には２つの面外曲げ振動が励振され、２つの突起部の先端には楕円運動が生成される。その結果、突起部と接触するスライダは摩擦駆動力を受けて、一方向に駆動される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−３０４８８７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
図１８は従来の平板状弾性体１０２の全体斜視図である。上段は突起部側から見た斜視図であり、下段は圧電素子接合面側から見た斜視図である。
ハッチングを施した領域が圧電素子接合面である。このような平板状弾性体１０２は加工精度上生じる反り量を持っている。図１９は圧電素子接合面側が凹面になった場合（凹反りと記す。）の平板状弾性体１０２のラッピング加工の様子を順を追って説明したものである。
図１９（ａ）は平板状弾性体１０２をラップ盤２１に載置した状態、図１９（ｂ）は弾力を持った緩衝部材５２を介して、平板状弾性体１０２に荷重をかけた状態、図１９（ｃ）はラッピング中の状態である。
図１９（ｂ）の状態よりも板厚が薄くなっている状態、図１９（ｄ）はラッピングが完了
し、緩衝部材５２を取り去った状態である。ラップ盤とは加工対象物をその上に載置した状態で回転し、加工対象物との間に砥粒が入り込むことによって、加工対象物のラップ盤への接触部を平滑に加工するためのものである。
このように圧電素子接合面の反対側（突起部側）から所定の荷重を掛けた状態でラッピング加工を行うため、凹面を平らにする方向に撓んだ状態でラッピング加工されていた（状態（ｃ））。よってラッピング加工終了後にスプリングバックを起こし、ラップ前に比べて平面度は向上したものの仕上がり後の接合面は依然として凹面のアーチ形状となってしまっていた（図１９（ｄ）に示す状態）。その結果、圧電素子接合に接着剤を用いた場合、接着ムラが生じてしまい、接合強度に悪影響を及ぼしていた。
【０００６】
一方、図２０〜図２２は圧電素子接合面側が凸面になった場合（凸反りと記す。）の平板状弾性体１０２のラッピング加工の様子を順を追って説明したものである。
図２０〜２２の違いは平板状弾性体１０２のラップ盤２１に対する姿勢差である。ラップ盤２１への接地面が凸のアーチ形状であるため、このように様々な状態で接地されうる。図２０はラップ盤２１に対して平板状弾性体１０２の姿勢がほぼ真っ直ぐな場合、図２１は平板状弾性体１０２が紙面右側に傾いた場合、図２２は平板状弾性体１０２が紙面左側に傾いた場合を例示している。勿論平板状弾性体１０２の傾きはこれらの方向（紙面左右方向）だけでなく、紙面手前奥方向にも傾きうるし、それらを複合した方向にも傾きうることは言うまでもない。
図２０〜図２２において、（ａ）は平板状弾性体１０２をラップ盤２１に載置した状態、（ｂ）は弾力を持った緩衝部材５２を介して、平板状弾性体１０２に荷重をかけた状態、（ｃ）はラッピング中の状態、（ｄ）はラッピングが完了し、緩衝部材５２を取り去った状態である。
凸反りの場合、接地部と荷重作用点の距離が小さいため荷重をかけた時の変形量は凹反りに比べてずっと小さくなりスプリングバックはほとんど起こらず、仕上がり後の接合面の平面度は接合強度に悪影響を及ぼさない程度に確保される。
しかしながら、図２０〜図２２に示すように接合面のラップ盤２１上での座りが悪く姿勢が一意に決まらないため、仕上がり後の圧電素子接合面の向きにばらつきが生じてしまっていた。その結果、多数の平板状弾性体１０２を同時にラッピングする場合、圧電素子接合面全域（図１８ハッチング部全域）をラッピング加工するためには想定される平板状弾性体の姿勢差を全て網羅するようなラッピング量としなければならなかった。
これでは必要以上にラッピングされてしまう平板状弾性体が多数発生してしまい、ラッピング時間が長くなり、コストアップを招いていた。
【０００７】
本発明は、上記課題に鑑み、平板弾性体の電気−機械エネルギー変換素子における接合面にラッピング加工を施すに際し、該電気−機械エネルギー変換素子における接合面の平面度と、圧電電素子の接合強度の確保を図ることができ、必要以上のラッピング加工を抑制し、コストダウンが可能となる振動体の製造方法の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の振動体の製造方法は、電気−機械エネルギー変換素子と、該電気−機械エネルギー変換素子に接合され、突起部が設けられた平板状弾性体と、を有する振動体の製造方法であって、
前記平板状弾性体における前記電気−機械エネルギー変換素子との接合面側に、1つ以
上の凸部を形成する工程と、
前記凸部が形成された面に対して、所定の荷重をかけつつ前記接合面の全域がラッピング加工手段のラップ盤と接触するまでラッピング加工を施す工程と、
を含むことを特徴とする。
なお、本発明において、接合面の全域がラッピング加工手段のラップ盤と接触するまでラッピング加工を施すとは、接触面の全域が完全にラップ盤と接触する場合だけでなく、
接触面にラップ盤と接触していない部分があったとしても、実質的に本願の効果を得られる程度に接触面がラップ盤と接触している場合を含む。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、平板状弾性体の電気−機械エネルギー変換素子における接合面にラッピング加工を施すに際し、該電気−機械エネルギー変換素子における接合面の平面度と、圧電素子の接合強度の確保を図ることができ、必要以上のラッピング加工を抑制し、コストダウンが可能となる振動体の製造方法を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明における平板状振動子１の構成図。
【図２】本発明における振動型駆動装置の主要部構成図。
【図３】図２の構成を部品単位に展開した図。
【図４】平板状振動子の振動モードの説明図。
【図５】本発明における平板状弾性体２のラッピング加工の様子を示した図。
【図６】本発明の実施例１における平板状弾性体２（凹反りの場合）のラッピング加工前の全体斜視図。
【図７】本発明の実施例１における平板状弾性体２（凹反りの場合）のラッピング加工の様子を説明した図。
【図８】本発明の実施例１における平板状弾性体２（凸反りの場合）のラッピング加工の様子を説明した図。
【図９】本発明の実施例１における平板状弾性体２（凸反りの場合）のラッピング加工の様子を説明した図。
【図１０】本発明の実施例２における平板状弾性体２（凹反りの場合）のラッピング加工前の全体斜視図。
【図１１】本発明の実施例２における平板状弾性体２（凹反りの場合）のラッピング加工の様子を説明した図。
【図１２】本発明の実施例２における平板状弾性体２（凸反りの場合）のラッピング加工の様子を説明した図。
【図１３】本発明の実施例２における平板状弾性体２（凸反りの場合）のラッピング加工の様子を説明した図。
【図１４】本発明の実施例３における平板状弾性体２のラッピング加工の様子を説明した図。
【図１５】本発明の実施例４における平板状弾性体２のラッピング加工の様子を説明した図。
【図１６】本発明の実施例５における平板状弾性体２のラッピング加工の様子を説明した図。
【図１７】本発明の実施例５における平板状弾性体２のラッピング加工の様子を説明した図。
【図１８】従来における平板状弾性体のラッピング加工前の全体斜視図。
【図１９】従来における平板状弾性体（凹反りの場合）のラッピング加工の様子を説明した図。
【図２０】従来における平板状弾性体（凸反りの場合）のラッピング加工の様子を説明した図（ケース１）。
【図２１】従来における平板状弾性体（凸反りの場合）のラッピング加工の様子を説明した図（ケース２）。
【図２２】従来における平板状弾性体（凸反りの場合）のラッピング加工の様子を説明した図（ケース３）。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
本発明を実施するための形態の例を、以下の実施例により説明する。
【実施例１】
【００１２】
実施例１として、本発明を適用した振動型駆動装置における振動体の製造方法の例を図１〜図９を用いて説明する。
図１は本発明における振動子１（平板状振動子）の構成を示している。図１に示すように、平板状振動子１は平板状弾性体２と圧電素子３（電気−機械エネルギー変換素子）および該圧電素子３に電源を供給するフレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）４とで構成されている。平板状弾性体２は、圧電素子３とともに振動する振動部２−３と、該振動部からの振動がほぼ絶縁された支持部２−５、およびこれら２つの部位を連結する。一方の端部は該振動部２−３の振動にならいつつ、他端では支持部２−５に振動を伝搬しないように機能する連結部２−４とで構成されている。連結部２−４は他の部位に対して厚みを薄く形成することによって上記機能を持たせている。振動部２−３には摩擦接触部である複数の突起部２−２が形成されている。この突起部を被駆動体に摩擦接触させ、平板状弾性体の振動により該被駆動体を相対的に移動させる。
【００１３】
また、振動部２−３の突起部２−２と反対側の面には圧電素子３が接着等により固定されている。平板状弾性体２における圧電素子３の接合面にはラッピング加工が施されており、所定の平面度となっている。これにより接着層が均一かつムラなく接合面全域に行き渡り、安定した接着強度が確保されている。ラッピング加工前の平板状弾性体２は加工精度上生じる反り量を持っており、その方向は圧電素子３接合面側から見て凹面の場合（図６、７参照）や凸面の場合（図８、９参照）がある。勿論反り方は単純な凹面、凸面以外にもそれらの複合形状であったり、あるいは、ある断面は凹面である一方、他の断面は凸面であったりと、様々な形状を取りうる。しかし、ここでは凹凸２つの場合の円弧状のアーチ形状であるとして単純化する。それによって本発明の趣旨に何ら影響を及ぼすものではないからである。２−７は支持部２−５に形成された丸穴であり、後述（図２、３）のピン８に対して所定のがたつき（クリアランス）を以て嵌合するためのものである。平板状弾性体２はプレス加工、切削加工、引き抜き、押し出し加工等あらゆる加工法によって形成することが可能であり、製造コスト、要求精度により最適な加工法を採用すればよい。
【００１４】
図２は本発明における振動型駆動装置の主要部構成図、図３は図２の構成を部品単位に展開したものである。図２、図３に示すように、平板状振動子１はフェルト５を挟んでイコライズプレート９上に載置されており、イコライズプレート９は球体２５を挟んで基台６によって支持されている。イコライズプレート９下面と基台６上面にはそれぞれ円錐溝が形成されており、そこに前記球体２５が嵌まることにより、イコライズプレート９および平板状振動子１が図２中Ｆ方向にイコライズしつつイコライズプレート９のＢ方向の移動を規制している。なお、上記Ｆ方向とは９０°向きが異なる２本の矢印で表現されているが、１本の矢印を鉛直軸を中心として３６０°回転させた全方向を表すものとする。ピン８は平板状弾性体２の丸穴２−７に嵌合することにより、平板状振動子１のＢ方向の移動を所定のマージン（がたつき）を以て規制している。このマージンにより平板状振動子１のＦ方向のイコライズが可能となっている。７はスライダであり一方の面に耐摩耗処理が施された摩擦接触部７−１を有しており、この摩擦接触部７−１が前記振動子１の摩擦接触面と対向し接触するように配置されている。平板状振動子１とスライダ７は不図示のバネ要素により適切な加圧力が付与されている。それにより、全ての突起部２−２先端が摩擦接触部７−１にならい、均等な接触面積と均等な加圧力が接触部において確保される。
【００１５】
図４は平板状振動子の振動モードの説明図である。ＦＰＣ４から圧電素子３に交流電界を印加すると、平板状振動子１には図４に示すような第１の振動モード（モード１）と第
２の振動モード（モード２）とが励振される。このモード１は、図４中の短手方向と直交する方向に２本の節線（振動の節となる線状の部分）ｌ１、ｌ２を有し、それらの中央部が振動の腹となる平板状振動子１の短手方向における１次の面外屈曲振動モードである。一方、モード２は図４中の前記２本の節線ｌ１、ｌ２と直交する３本の節線（ｌ３、ｌ４、ｌ５）を有する、平板状振動子１の長手方向における２次の面外屈曲振動モードである。図に示すように、突起部２−２はｌ４、ｌ５の位置とほぼ一致するように設定されているため、モード２が励振された時には、この突起部２−２の先端（上面）はＺ方向の振動振幅はほぼゼロで、Ｘ方向の振動振幅のみ発生する。また、モード１が励振された時には、突起部２−２はモード１と同様の変形をするため、同突起部はＸ方向の振動振幅はほぼゼロでＺ方向の振動振幅が最大となる。そこで、これら２つの振動モードを同時に励振し、振動の位相を適切に調整して合成すると、弾性体２に形成された突起部２−２には楕円運動が生成される。そのため、この突起部にスライダ７を接触させると、スライダ７は前記楕円運動による摩擦力で図２の矢印Ｂの方向に駆動されることになる。
【００１６】
図５は本発明における平板状振動子１の一部をなす平板状弾性体２のラッピング加工の様子を示したものである。２１はラップ盤であり、図中Ｅ方向に回転する。図５に示すように、平板状弾性体２は、圧電素子接合面側をラップ盤２１に向けて載置し、突起部２−２側から緩衝部材５２（後述する）を介して、略鉛直方向に所定の荷重がかけられている。また、ラップ盤２１の径方向による周長差により削り量に不均等が生じないように平板状弾性体２自体が不図示の回転機構によりＤ方向に回転しながら削られるようになっている。砥粒径は細かすぎると接着性が低下するため、ラッピング仕上がり後の表面粗さが０．１Ｒａ以上になるようなものを選択する。なお、図中では平板状弾性体２は１つだけ描かれているが、実際には生産性を考慮してなるべく多くの平板状弾性体２を同時にラッピング加工する。
【００１７】
図６は本実施例における平板状弾性体２（凹反りの場合）のラッピング加工前の全体斜視図を示したものである。上段は突起部２−２側から見た斜視図、下段は圧電素子接合面側から見た斜視図である。本発明全てに共通する特徴として、圧電素子接合面側に凸部（本実施例においては突起５１）が形成されている。ここで、突起５１は、荷重をかけた時にストッパーとして機能する。これについては、図７において詳説する。本実施例における突起５１の配置は、平板状弾性体２の中心付近に１つ形成されている。突起の数や配置はこれに限らず、平板状弾性体２の形状や反り方によって適宜決定すればよい。
【００１８】
図７は本実施例における平板状弾性体２（凹反りの場合）のラッピング加工の様子を順を追って説明したものである。図７（ａ）は平板状弾性体２をラップ盤２１に載置した状態、図７（ｂ）は弾力を持った緩衝部材５２を介して、平板状弾性体２に荷重をかけた状態、図７（ｃ）はラッピング中の状態、図７（ｄ）はラッピングが完了し、緩衝部材５２を取り去った状態である。平板状弾性体２の姿勢を安定させるには、突起５１の高さｈ1
は平板状弾性体２の反り量ｈ2と略同等以下になるように形成するのが好ましい。図７（
ａ）の状態においては平板状弾性体２の外周付近の少なくとも３点、あるいは外周付近および突起５１の少なくとも３点がラップ盤２１に接地している。図７（ｂ）の状態において、緩衝部材５２を介して不図示の錘等によって平板状弾性体２に対して、鉛直下向きに荷重をかける。その荷重によって、平板状弾性体２は突起５１の位置でδ１だけ下方に撓み、突起５１の先端がラップ盤２１に接地する。図７（ｃ）の状態において、その姿勢を保ちながら平板状弾性体２の圧電素子接合面の全域がラップ盤２１に接触するまでラッピング加工が施される。図７（ｄ）の状態においてはラッピングが完了し、荷重が解除されている。ラッピング完了後に荷重を解除するとδ１’のスプリングバックを生ずるが、突起５１がなかった場合のスプリングバック量をδ２’（図１９参照）とするとδ２’＞δ１’であるため、δ２’−δ１’だけスプリングバックは軽減されることになる。これは突起５１がなかった場合に比べてδ２’−δ１’だけラッピング加工後の圧電素子接合面
の平面度が向上したことを意味する。
【００１９】
図８は本実施例における平板状弾性体２（凸反りの場合）のラッピング加工前の全体斜視図を表す。上段は突起部２−２側から見た斜視図、下段は圧電素子接合面側から見た斜視図である。凹反りの場合と同様に、圧電素子接合面側に突起５１が形成されていることを特徴としている。突起５１の機能は凹反りの場合とは異なり、平板状弾性体２の姿勢を安定させるための台座であり図９において詳説する。本実施例における突起５１の配置は、平板状弾性体２の圧電素子接合面の４隅にそれぞれ１つずつとなっている。突起の数や配置はこれに限らず、平板状弾性体２の形状や反り方によって適宜決定すればよい。
【００２０】
図９は本実施例における平板状弾性体２（凸反りの場合）のラッピング加工の様子を順を追って説明したものである。図９（ａ）は平板状弾性体２をラップ盤２１に載置した状態、図９（ｂ）は弾力を持った緩衝部材５２を介して、平板状弾性体２に荷重をかけた状態、図９（ｃ）はラッピング中の状態、図９（ｄ）はラッピングが完了し、緩衝部材５２を取り去った状態である。突起５１の高さは好ましくは平板状弾性体２をラップ盤２１に載置したときに、突起５１のみが接地するように形成する。（勿論平板状弾性体２の姿勢が一意に決まるならば、突起５１と突起５１以外の部位が接地するような突起５１の高さの設定を否定するものではない。）。図９（ａ）の状態においては突起５１のうちの少なくとも３点がラップ盤２１に接地している。図９（ｂ）の状態において、緩衝部材５２を介して不図示の錘等によって鉛直下向きに荷重をかける。その荷重は突起部２−２付近が他の部位と比較して相対的に大きくなっており、また突起部２−２と突起５１との距離が近いため、平板状弾性体２の変形は突起５１がない場合に比べて小さくなる。図９（ｃ）の状態において、図９（ｂ）の状態の姿勢を保ちながら平板状弾性体２の圧電素子接合面の全範囲がラップ盤２１に接触するまでラッピングが施される。図９（ｄ）の状態においてはラッピングが完了し、荷重が解除されている。荷重をかけた時の変形が少なかったため、ラッピング完了後に荷重を解除してもスプリングバック量は少ない。
【００２１】
以上図６〜図９において説明したように、突起５１をラッピング前の平板状弾性体２に形成しておくことによって、圧電素子接合面の平面度を小さくすることができ、ラッピング仕上げ面の向きを一意に決めることができる。
以上のように、平板状弾性体のラッピング加工前の圧電素子接合面側に突起を形成しておくことによって、圧電素子接合面の平面度を小さくすることができ、圧電素子の接合強度を確保することができた。また、ラッピング加工後の接合面の向きのばらつきを低減することができ、必要以上にラッピングすることがなくなり、無用なコストアップを回避することができた。
【実施例２】
【００２２】
実施例２として、実施例１ｔ携帯の異なる振動型駆動装置における振動体の製造方法の構成例を、図１０〜図１３を用いて説明する。実施例１との差異は、突起５１がショックライン５３に変更されている点である。
ここで、ショックラインとは、潰し部（作成される凹部）の反対面に形成される凸部（本実施例ではリング状の凸部）を示す。
潰し部（凹部）の裏側（潰し部を形成する際に力が作用する面と反対側の面）は、たとえ平らな型で支持されていても、型の硬度によっては凸部が現れる。この凸部は、例えば１０数μｍ〜数１０μｍの高さを持つ。
【００２３】
本実施例では、溝５４が潰し部にあたる。突起部２−２を絞り加工により形成する場合、突起部２−２の形状によっては、肉を他の部位から持ってくる必要がある。
本実施例では溝５４を形成することでその肉を確保している。溝５４を形成する際、金型により突起部２−２側から潰し加工を行う。その際圧電素子接合面を例えばＨＲＣ６０前
後の硬度の平らな面で支持すると、潰しの衝撃で溝５４の裏側が出張り、ショックライン５３が形成される。ショックライン５３は溝５４と同程度の範囲に渡る凸部であり、数μｍ〜数１０μｍ程度の高さとなる。ショックライン５３の機能は平板状弾性体２が凹反りの場合はスプリングバック低減のためのストッパーとして作用し、凸反りの場合は姿勢安定化のための台座として機能することは実施例１と同様である。
【００２４】
図１０〜図１３は実施例１における図６〜図９にそれぞれ対応しており、突起５１をショックライン５３に変更したものである。本実施例によれば、突起５１を形成しなくとも突起部２−２形成の際に２次的に形成されるショックラインを突起５１の代わりに利用できる。
【実施例３】
【００２５】
実施例３における構成例を、図１４を用いて説明する。
実施例１、２において、ラッピング加工時に緩衝部材５２が平板状弾性体２に接触する領域が、緩衝部材５２の硬度、平板状弾性体２の形状によっては、突起部２−２以外の領域に広く渡ってしまう場合がある。
その場合、ラッピング加工終了後の荷重解除時のスプリングバックを除し切れず、所望の平面度には仕上がらないこともある。本実施例は、荷重が作用する部位を、凸部（ショックライン５３）の高さ方向において、凸部および凸部で囲まれた領域と重なる領域内に規定するものである。
【００２６】
図１４はその状態を表した図であり、上記の領域（αおよびα’とする）内において荷重部材７０によって荷重をかけている。荷重部材７０には剛体あるいは弾性体のいずれを用いても構わないが、弾性体の場合には、荷重時の突起部２−２の食い込みにより、α、α’以外の領域で平板状弾性体２に接触しないように、荷重や荷重部材７０の弾性係数を調整する必要がある。以上により、平板状弾性体２の形状によっては荷重解除時にスプリングバックを起こすということがなくなり、より確実に所望の平面度にラッピング加工をおこなうことができる。
【実施例４】
【００２７】
実施例４における構成例を、図１５を用いて説明する。
平板状弾性体２をラップ盤２１上に載置した場合、平板状弾性体２の加工誤差により、１つの平板状弾性体２内の突起部２−２の高さがばらつくことがある。それに対して、実施例３で示した荷重部材７０（剛体の場合）により荷重すると、相対的に高い方の突起部２−２側が強圧となり、そちら側の矩形平板部の板厚が薄く仕上がってしまうことがある。
【００２８】
図１５に示す荷重部材７０は、荷重がかかる複数の作用点近傍にそれぞれ独立したバネ要素（弾性要素）７１を具えたものである。そのような構成により、それぞれ高さの異なる突起部２−２に均等な力をかけることができる。以上により、平板状弾性体２の突起部２−２の高さが加工誤差によりばらついても、板厚ムラなく、確実に所望の平面度にラッピング加工することが可能となる。
【実施例５】
【００２９】
実施例５における構成例を、図１６、図１７を用いて説明する。
量産加工時には、平板状弾性体２のハンドリング性を向上させるために、図１６に示すような平板状のホルダー７２に平板状弾性体２をスタック（収納）させた状態で行うことがある。図１７は図１６におけるＧ−Ｇ断面を表す。
ホルダー７２は複数の平板状弾性体２の平板方向の位置を規制することでその配列を維持するためのものである。ホルダー７２には突起部２−２が嵌るための穴７３、およびその周囲に平板状弾性体２に接触する荷重部７４が形成されており、先述のαおよびα’の領
域内で荷重できるようになっている。
また、穴７３の上側入口と突起部２−２の先端の高さ関係は、ほぼ同じか若干突起部２−２が高くなるようになっている。
それにより、ホルダー７２に対して上側からプレート状のマグネットで着磁することにより、平板状弾性体２の配列を維持したまま、他の工程（例えば洗浄工程）との受け渡しが可能となっている。
ホルダー７２自体を錘として兼用してもよいし、他に荷重のための錘を使用してもよい。後者の場合には錘が剛体の場合には突起部２−２を避けた形状となっているものをホルダー７２の上に載せて使用する。
以上により、量産性を向上させつつ、平板状弾性体２の圧電素子接合面のラッピング加工後の平面度をより高精度に仕上げることが可能となった。
【符号の説明】
【００３０】
１：振動子
２：弾性体
３：圧電素子
４：ＦＰＣ
２１：ラップ盤
５１：突起
５２：緩衝部材
５３：ショックライン
５４：溝
７０：荷重部材
７１：バネ要素
７２：ホルダー
７３：穴
７４：荷重部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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