(57)【要約】【課題】構造上単純な手段により顕微鏡（の構成要素）の冷却を効率的に実行可能とされた走査顕微鏡。【解決手段】走査装置（１）と、検出装置（２）と、走査顕微鏡を作動するための電子装置（３）と、走査顕微鏡の少なくとも１つの構成要素のための冷却装置（４）とを含んで構成される、共焦点走査顕微鏡等の走査顕微鏡において、前記冷却装置（４）は、液状冷却媒体によって作動可能に構成されていることを特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
走査装置（１）と、検出装置（２）と、走査顕微鏡を作動するための電子装置（３）と、走査顕微鏡の少なくとも１つの構成要素のための冷却装置（４）とを含んで構成される走査顕微鏡において、
前記冷却装置（４）は、液状冷却媒体によって作動可能に構成されていること
を特徴とする走査顕微鏡。
【請求項２】
前記冷却装置（４）は、前記走査装置（１）を冷却するよう構成されていること
を特徴とする請求項１に記載の走査顕微鏡。
【請求項３】
前記冷却装置（４）は、前記走査装置（１）の少なくとも１つのガルバノメータを冷却するよう構成されていること
を特徴とする請求項１又は２に記載の走査顕微鏡。
【請求項４】
前記冷却装置（４）は、前記検出装置（２）を冷却するよう構成されていること
を特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載の走査顕微鏡。
【請求項５】
前記冷却装置（４）は、前記電子装置（３）を冷却するよう構成されていること
を特徴とする請求項１〜４の何れか一項に記載の走査顕微鏡。
【請求項６】
前記走査装置（１）及び／又は前記検出装置（２）及び／又は前記電子装置（３）及び／又はこれら走査顕微鏡構成要素のケース又は結合装置及び／又は走査顕微鏡のその他の構成要素のケース又は結合装置は、前記冷却媒体による貫流のための１又は複数のチャンネルを有すること
を特徴とする請求項１〜５の何れか一項に記載の走査顕微鏡。
【請求項７】
前記冷却装置（４）は、ペルティエ冷却装置と組み合わされること
を特徴とする請求項１〜６の何れか一項に記載の走査顕微鏡。
【請求項８】
前記冷却装置（４）は、外設される冷却媒体−空気熱交換装置を有すること
を特徴とする請求項１〜７の何れか一項に記載の走査顕微鏡。
【請求項９】
前記冷却装置（４）は、走査顕微鏡内に配設される熱交換器を有すること
を特徴とする請求項１〜８の何れか一項に記載の走査顕微鏡。
【請求項１０】
前記冷却装置（４）は、冷却媒体ポンプ装置（５）を有すること
を特徴とする請求項１〜９の何れか一項に記載の走査顕微鏡。
【請求項１１】
前記冷却媒体ポンプ装置（５）は、低振動性ないし無振動性に構成されていること
を特徴とする請求項１０に記載の走査顕微鏡。
【請求項１２】
前記冷却媒体ポンプ装置（５）は、メンブランポンプであること
を特徴とする請求項１０又は１１に記載の走査顕微鏡。
【請求項１３】
前記冷却装置（４）は、冷却部位に接触可能な１又は複数のモジュールないし冷却モジュール（６）を有すること
を特徴とする請求項１〜１２の何れか一項に記載の走査顕微鏡。
【請求項１４】
前記１又は複数のモジュールないし冷却モジュール（６）は、冷却媒体によって貫流可能に構成されること
を特徴とする請求項１３に記載の走査顕微鏡。
【請求項１５】
前記１又は複数のモジュールないし冷却モジュール（６）は、金属製であること
を特徴とする請求項１３又は１４に記載の走査顕微鏡。
【請求項１６】
全ての前記モジュールないし冷却モジュール（６）は、接触電圧を回避するために、同じ材料で製造されること
を特徴とする請求項１３〜１５の何れか一項に記載の走査顕微鏡。
【請求項１７】
前記１又は複数のモジュールないし冷却モジュール（６）は、前記冷却装置（４）の冷却サイクルを中断することなく、前記冷却部位に接触可能又は取付け可能及び／又は取外し可能に構成されていること
を特徴とする請求項１３〜１６の何れか一項に記載の走査顕微鏡。
【請求項１８】
前記冷却装置（４）は、１又は複数のチューブ（７）又は１又は複数のチューブ連結装置を有すること
を特徴とする請求項１〜１７の何れか一項に記載の走査顕微鏡。
【請求項１９】
前記１又は複数のチューブ（７）又はチューブ連結装置又は貯蔵容器は、藻の発生及び／又は成長を阻止するために、暗化されるか又は暗化された領域に配されること
を特徴とする請求項１８に記載の走査顕微鏡。
【請求項２０】
前記冷却装置（４）は、自動閉鎖式連結装置を有すること
を特徴とする請求項１〜１９の何れか一項に記載の走査顕微鏡。
【請求項２１】
前記冷却装置（４）は、フィルタを有すること
を特徴とする請求項１〜２０の何れか一項に記載の走査顕微鏡。
【請求項２２】
前記冷却媒体は、水を含むこと
を特徴とする請求項１〜２１の何れか一項に記載の走査顕微鏡。
【請求項２３】
前記冷却媒体は、熱容量を大きくするための、藻の成長を阻止するための、腐食を阻止するための及び／又は凝固点を低下するための添加物質を含むこと
を特徴とする請求項１〜２２の何れか一項に記載の走査顕微鏡。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、走査装置と、検出装置と、走査顕微鏡を作動するための電子装置と、走査顕微鏡の少なくとも１つの構成要素のための冷却装置とを含んで構成される、共焦点走査顕微鏡等の走査顕微鏡に関する。
【背景技術】
【０００２】
上述の種類の走査顕微鏡は実用上既知である。そのような既知の走査顕微鏡は、とりわけ走査装置、検出装置及び走査顕微鏡を作動するための電子（制御）装置を有する。構成要素のなかには作動中温度が上昇するものもあるため、既知の走査顕微鏡には、走査顕微鏡の少なくとも１つの構成要素のための冷却装置が備えられることが多い。既知の冷却装置は、通常、空気を冷却媒体として作動するが、検出装置の検出器（複数）を冷却するために、付加的にペルティエ素子を使用することもままある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、既知の冷却装置の冷却能力は十分ではないことが多い、ということが実際上明らかになった。とりわけ高速に実行されるラインスキャニング（行方向偏向操作（Zeilenablenkung））の際に、とりわけ走査装置のガルバノメータ（複数）の領域において１０Ｗ超の出力が生成し得る。そのため、冷却が不十分であると、過大な熱により走査顕微鏡の個々の構成要素が損傷し得る。更に、光電子増倍管が検出装置の検出器として使用される場合は、ダイノードの高電圧印加装置及び分圧器によって廃熱ないし余熱（不要な熱）が生成する。この場合、達成可能なＳ／Ｎ比は、検出器温度の上昇によって著しく悪化される。
【０００４】
それゆえ、本発明の課題は、構造上単純な手段によって効率的な冷却が可能とされた上述の種類の走査顕微鏡を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記の課題を解決するために、本発明の一視点により、走査装置と、検出装置と、走査顕微鏡を作動するための電子装置と、走査顕微鏡の少なくとも１つの構成要素のための冷却装置とを含んで構成される、共焦点走査顕微鏡等の走査顕微鏡が提供される。この走査顕微鏡において、前記冷却装置は、液状冷却媒体によって作動可能に構成されていることを特徴とする（形態１・基本構成）。
【発明の効果】
【０００６】
本発明の独立請求項１により、上記課題に対応する効果が上述のとおり達成される。即ち、本発明の走査顕微鏡では、構造上単純な手段により顕微鏡（の構成要素）の冷却を効率的に実行可能である。
更に、各従属請求項により、付加的な効果が後述のとおりそれぞれ達成される。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
以下に、本発明の好ましい実施の形態を、上記基本構成を形態１として示すが、これらは従属請求項の対象でもある。
（形態１）  上掲
（形態２）  上記形態１の走査顕微鏡において、前記冷却装置は、前記走査装置を冷却するよう構成されていることが好ましい。
（形態３）  上記形態１又は２の走査顕微鏡において、前記冷却装置は、とりわけラインスキャニングないし行の偏向操作（Zeilenablenkung）の際に、前記走査装置の少なくとも１つのガルバノメータを冷却するよう構成されていることが好ましい。
（形態４）  上記形態１〜３の走査顕微鏡において、前記冷却装置は、前記検出装置、好ましくは光電子増倍管を冷却するよう構成されていることが好ましい。
（形態５）  上記形態１〜４の走査顕微鏡において、前記冷却装置は、前記電子装置、とりわけＡＤ変換器及び／又はマイクロコントローラを冷却するよう構成されていることが好ましい。
（形態６）  上記形態１〜５の走査顕微鏡において、前記走査装置及び／又は前記少なくとも１つのガルバノメータ及び／又は前記行方向偏向装置及び／又は前記検出装置及び／又は前記光電子増倍管及び／又は前記電子装置及び／又は前記ＡＤ変換器及び／又は前記マイクロコントローラ及び／又はこれら走査顕微鏡構成要素のケース（ハウジング）又は結合（連結）装置（Sockel）及び／又は走査顕微鏡のその他の構成要素のケース（ハウジング）又は結合（連結）装置は、前記冷却媒体による貫流のための１又は複数のチャンネルを有することが好ましい。
（形態７）  上記形態１〜６の走査顕微鏡において、前記冷却装置は、ペルティエ冷却装置と組み合わされることが好ましい。
（形態８）  上記形態１〜７の走査顕微鏡において、前記冷却装置は、好ましくは外設（外部に配設）される冷却媒体−空気熱交換装置を有することが好ましい。
（形態９）  上記形態１〜８の走査顕微鏡において、前記冷却装置は、走査顕微鏡内に配設される熱交換器を有することが好ましい。
（形態１０）  上記形態１〜９の走査顕微鏡において、前記冷却装置は、冷却媒体ポンプ装置を有することが好ましい。
（形態１１）  上記形態１０の走査顕微鏡において、前記冷却媒体ポンプ装置は、低振動性ないし無振動性に構成されていることが好ましい。
（形態１２）  上記形態１１又は１２の走査顕微鏡において、前記冷却媒体ポンプ装置は、メンブランポンプ（Membranpumpe）であることが好ましい。
（形態１３）  上記形態１〜１２の走査顕微鏡において、前記冷却装置は、冷却部位に接触可能な１又は複数のモジュールないし冷却モジュールを有することが好ましい。
（形態１４）  上記形態１３の走査顕微鏡において、前記１又は複数のモジュールないし冷却モジュールは、冷却媒体によって貫流可能に構成されることが好ましい。
（形態１５）  上記形態１３又は１４の走査顕微鏡において、前記１又は複数のモジュールないし冷却モジュールは、金属製、好ましくは銅製であることが好ましい。
（形態１６）  上記形態１３〜１５の走査顕微鏡において、全ての前記モジュールないし冷却モジュールは、接触電圧（Kontaktspannung）を回避するために、同じ材料で製造されることが好ましい。
（形態１７）  上記形態１３〜１６の走査顕微鏡において、前記１又は複数のモジュールないし冷却モジュールは、前記冷却装置の冷却サイクル（Kuehlkreislauf）を中断することなく、前記冷却部位に接触可能又は取付け可能及び／又は取外し可能に構成されていることが好ましい。
（形態１８）  上記形態１〜１７の走査顕微鏡において、前記冷却装置は、１又は複数のチューブ、好ましくはシリコーンチューブ、又は１又は複数のチューブ連結装置（Schlauchverbindungen）を有することが好ましい。
（形態１９）  上記形態１８の走査顕微鏡において、前記１又は複数のチューブ又はチューブ連結装置又は（冷却媒体の）貯蔵容器は、藻の発生（Algenbildung）及び／又は成長（増殖）を阻止するために、暗化（光遮断ないし遮光）されるか（Abgedunkelt）又は暗化された領域に配されることが好ましい。
（形態２０）  上記形態１〜１９の走査顕微鏡において、前記冷却装置は、自動閉鎖式連結装置を有することが好ましい。
（形態２１）  上記形態１〜２０の走査顕微鏡において、前記冷却装置は、フィルタを有することが好ましい。
（形態２２）  上記形態１〜２１の走査顕微鏡において、前記冷却媒体は、水を含むことが好ましい。
（形態２３）  上記形態１〜２２の走査顕微鏡において、前記冷却媒体は、とりわけ熱容量を大きくするための、藻の成長（増殖）を阻止するための、腐食を阻止するための及び／又は凝固点を低下するための添加物質を含むことが好ましい。
【０００８】
本発明により、第一に、空気によって作動する冷却装置は空気の熱容量が小さいため性能ないし効率が悪いということが明らかにされた。更に、本発明により、液状冷却媒体によって作動する冷却装置は遥かにより大きい冷却能力ないし効率を達成可能とするということが明らかにされた。この改善された冷却装置によって、既知の走査顕微鏡の性能ないしパフォーマンスのはっきりとした向上が達成可能である。とりわけ、Ｓ／Ｎ比は、検出装置を適切に冷却することによりはっきりと改善される。
【０００９】
従って、本発明の走査顕微鏡により、構造的に単純な手段によって効率的な冷却が達成される走査顕微鏡が提供される。
【００１０】
冷却装置は、走査顕微鏡の複数の異なる構成要素の冷却に利用可能である。特に有利な一実施形態では、冷却装置は、具体的に、走査装置の冷却のために構成することができる。とりわけ走査装置の、走査ミラーの方向（ないし回転角度）変化に利用されるガルバノメータ（複数）の領域には、最終的に過熱損傷を惹起し得る大量の熱が生成し得るため、冷却装置は、とりわけ走査装置のラインスキャニングないし行方向偏向操作（Zeilenablenkung）の際に、走査装置の少なくとも１つのガルバノメータ（等のラインスキャナないし行方向偏向装置）の冷却を実行するよう構成することができる。
【００１１】
冷却装置は、代替的又は追加的に、検出装置を冷却するよう構成することも可能である。この場合、検出装置の検出器として使用可能な１又は複数の光電子増倍管を冷却するととりわけ好都合である。というのは、このような光電子増倍管は、通常、著しく温度が上昇する（発熱する）ダイノードの高電圧印加装置及び分圧器を有するからである。このため、最終的に、検出装置の領域におけるＳ／Ｎ比の改善が達成される。
【００１２】
更に、冷却装置は、代替的又は追加的に、電子装置を冷却するよう構成することも可能である。この場合、通常作動中に廃熱を生成するＡＤ変換器及び／又はマイクロコントローラの冷却がとりわけ実行される。この場合も、顕微鏡の構成要素を損傷を引き起こす過熱から保護することが可能であると共に、熱雑音の発生を回避することも可能である。
【００１３】
顕微鏡構成要素の冷却のために、これら構成要素は、冷却媒体による貫流のための１又は複数のチャンネルを有することが可能である。この場合、冷却媒体は、貫流する冷却媒体を介して直接顕微鏡構成要素から熱を受容（吸収）する。そして、この熱は、適切な方法で冷却媒体によって運び去られる。換言すれば、冷却されるべき構成要素は、適切な方法で１又は複数のチャンネルと共に構成されるべきである。
【００１４】
具体的には、走査装置及び／又は少なくとも１つのガルバノメータ及び／又はラインスキャナ（行方向偏向装置）及び／又は検出装置及び／又は光電子増倍管及び／又は電子装置及び／又はＡＤ変換器及び／又はマイクロコントローラ及び／又はこれら走査顕微鏡構成要素のケース（ハウジング）又は結合（連結）装置（Sockel）及び／又は走査顕微鏡のその他の構成要素のケース（ハウジング）又は結合（連結）装置が、冷却媒体による貫流のための１又は複数のチャンネルを有することができる。
【００１５】
非常に高性能（高効率）でかつ多方面に利用可能な冷却装置を構成するために、冷却装置は、ペルティエ冷却装置と組合せることができる。この場合、冷却装置は、選択的に、液状冷却媒体による冷却装置が作動可能であるか、ペルティエ冷却装置が作動可能であるか又はこれら２つの冷却装置が同時に作動可能であるように構成することが可能である。この場合、利用者は、使用目的に応じて、適切な冷却方法を選択することができる。
【００１６】
走査顕微鏡の廃熱を確実に運び去るという観点から、冷却装置は、好ましくは外設される（顕微鏡の外部に配設される）冷却媒体−空気熱交換器を有することが可能である。尤も、特別にコンパクトな走査顕微鏡を実現するために、冷却装置は、走査顕微鏡内又はスキャンヘッド（Scankopf）内に配設される熱交換器を有することも可能である。この場合、個々の使用目的及び必要な冷却能力に適するよう構成されるべきである。
【００１７】
走査顕微鏡の冷却されるべき領域（冷却領域）に冷却媒体を確実に供給することを保証するために、冷却装置は、冷却媒体ポンプ（供給）装置を有することができる。冷却媒体ポンプ装置は、冷却媒体の貫流量が冷却媒体ポンプ装置によって調整可能又は予め設定可能であるように構成することができる。
【００１８】
質的にとりわけ高度な測定結果を得るという観点から、冷却媒体ポンプ装置は、低振動的ないし無振動的に構成することができる。このため、冷却媒体ポンプ装置によって引き起こされる振動が試料（被検対象）又は走査顕微鏡の個々の構成要素に対し又は走査顕微鏡全体に対し妨害的な態様で伝達されることが回避される。
【００１９】
具体的には、低振動的ないし無振動的であると共に寿命が長いメンブランポンプ（Membranpumpe）を使用することができる。（代替的又は追加的に、）これらの特性を改善するための付加的な緩衝装置を備えることも可能である。
【００２０】
冷却装置は、冷却媒体による貫流のための冷却されるべき構成要素に形成されるべきチャンネルに対し代替的又は追加的に、冷却部位に接触（結合）可能な１又は複数のモジュールないし冷却モジュールを有することができる。このようなモジュールないし冷却モジュールは、冷却媒体によって貫流可能に構成されることが可能であり、このため、可及的良好な熱伝導経路を形成するモジュールないし冷却モジュールによって接触（結合）可能に構成された冷却されるべき構成要素から熱を運び去ることができる。
【００２１】
１又は複数のモジュールないし冷却モジュールは金属で形成することができるが、使用する金属としては例えば銅が好ましい。いずれにせよ、モジュールないし冷却モジュールの製造に使用される材料は可及的に大きな熱伝導性を有することが保証されるべきである。接触電圧（Kontaktspannung）を回避するためには、全てのモジュールないし冷却モジュールが同じ材料で作成されるべきである。究極的には、冷却サイクル（の実行に関与する要素ないし部材）に同じ材料のみが使用されるのが好ましい。とりわけ、冷却媒体を介した接触電圧を阻止するために、冷却器及び熱交換器が同じ材料で製造されると好都合である。
【００２２】
孤立型の（別体の）モジュールないし冷却モジュールの利点は、とりわけ（複数の）モジュールないし冷却モジュールの極めてフレキシブルな使用可能性である。このため、モジュールないし冷却モジュールは、使用態様に応じて異なる位置及び冷却部位に配することができる。このため、１又は複数のモジュールないし冷却モジュールを、冷却媒体によって形成される冷却装置の冷却サイクルを中断することなく、冷却部位に接触（結合）可能ないし取付け可能及び／又は取外し可能とすることができる。このため、冷却装置のとりわけ大きな順応性（フレキシビリティ）が達成される。
【００２３】
具体的には、冷却装置は、１又は複数のチューブ又は１又は複数のチューブ連結装置（Schlauchverbindungen）を有することができる。このため、それぞれの使用目的及び使用される顕微鏡に適合化されて、冷却装置のフレキシブルかつ個別の（個々に独自の）形態が実現される。このため、とりわけ、複数の異なるモジュールないし冷却モジュールの個別かつフレキシブルな配置が実現される。とりわけ好ましいチューブとして、シリコーンチューブを使用することができる。藻の発生及び／又は藻の成長（増殖）を回避するために、１又は複数のチューブ又はチューブ連結装置又は貯蔵容器（Vorratsgefaesse）を、暗化（光遮断ないし遮光）されるか（Abgedunkelt）又は暗化された領域に配することができる。この場合、上記構成要素を、更に、被覆装置によって被覆することも可能である。
【００２４】
更に、冷却装置のとりわけフレキシブルな形態の観点から、冷却装置は、自動閉鎖式連結装置を有することができる。このため、冷却装置を変形したり例えばモジュールないし冷却モジュールを交換したりする場合に、冷却装置からの冷却媒体の不測の漏出が回避される。
【００２５】
冷却装置を確実に機能させるという観点から、及び異物、外来物質等の蓄積を回避するために、冷却装置は、フィルタを有することができる。フィルタは、冷却装置の適切な位置に、好ましくは冷却媒体ポンプの領域に配することができる。
【００２６】
とりわけ価格的に妥当でかつ問題なく取り扱い可能な冷却媒体としては、水を使用することができる。尤も、他の冷却媒体を使用することも可能である。
【００２７】
とりわけ有利な一実施形態では、冷却媒体は、とりわけ熱容量を増大するための、藻の成長を阻止するための、腐食を阻止するための及び／又は凝固点を低下するための添加物質を含むことができる。この場合、その都度の使用目的に応じて選択されるべきである。とりわけ走査顕微鏡又は冷却装置の運搬のために、凝固点を低下するための添加物質を冷却媒体に混合することができる。
【００２８】
本発明の走査顕微鏡では、とりわけ走査装置の複数の交換可能なガルバノメータを使用する場合、（１つの）冷却体（Kuehlkoerper）又は冷却モジュールは、チューブがフレキシブルであるので、一緒に運動すること（例えば、ガルバノメータを交換するとき、一緒に顕微鏡外に取り出すこと）ができる。このため、走査顕微鏡のとりわけフレキシブルな使用が実現される。
【００２９】
本発明に応じて構成される冷却装置のために、顕微鏡のハウジングは、簡単な方法で、気密性に、従って十分に防振（遮音）性に構成することができる。この場合、冷却装置の本質的構成要素は、走査顕微鏡のハウジングの外部又はスキャンヘッド（Scankopf）の外部に配することができる。更に、粉塵その他の汚染物質の侵入は、冷気の移動が回避されることにより大幅に低減される。
【００３０】
本発明の走査顕微鏡では、例えば、スキャンヘッドにおける５０Ｗの出力により生成される熱が、スキャンヘッドを貫流する１リットル／分未満の冷却媒体によりスキャンヘッドから熱が排出され、スキャンヘッドとその周囲の空気との間の温度差を１０Ｋ未満にするような冷却能力の実現が可能である。
【００３１】
本発明の教示を有利な態様で具体化及び発展させる可能性は多々ある。このため、一方では従属請求項を、他方では図面を用いて以下に説明する本発明の走査顕微鏡の好ましい実施例を参酌することができる。図面を用いた本発明の走査顕微鏡の好ましい実施例の説明と関連して、本発明の教示の一般的に好ましい実施形態及び発展形態も説明される。
【実施例】
【００３２】
図１は、走査装置１と、検出装置２と、走査顕微鏡を作動するための電子（制御）装置３と、走査顕微鏡の少なくとも１つの構成要素を冷却するための冷却装置４とを有する走査顕微鏡の一例の模式図を示す。とりわけ効率的な冷却（の実現）という観点から、冷却装置４は液状冷却媒体を用いて作動する。
【００３３】
この図示の実施例の冷却装置４は、電子装置３を冷却するために構成されている。尤も、冷却装置４は、走査装置１又は検出装置２又は走査顕微鏡のその他の任意の構成要素を冷却するために構成されることも可能である。
【００３４】
冷却装置４は、この実施例では水を有する冷却媒体を循環させるための冷却媒体ポンプ５を有する。冷却装置４は、電子装置３に接触結合可能な冷却モジュール６を有する。この冷却モジュール６は、冷却媒体によって貫流され、電子装置３によって生成された熱を（該冷却媒体を介して）運び去る（排熱する）。
【００３５】
冷却装置４は、冷却モジュール６と冷却装置４のハウジングとの間に延在する複数のチューブ７を有する。冷却装置４のハウジング内には熱交換器が配されている。
【００３６】
走査顕微鏡は、光源としてレーザ８を有し、及び例えば試料（被検対象）によって反射された光ビームのスペクトル拡開（分解）及び検出のためのプリズム９を有する。更に、走査顕微鏡は、対物レンズ１０を有する。見易さの観点から、照明光ビーム及び／又は検出光ビームの光路は図示していない。
【００３７】
複数の冷却モジュール６は、それぞれ、走査顕微鏡の複数の異なる構成要素に接触結合することができる。この場合、それぞれの使用目的ないし使用対象に適合されるべきである。
【００３８】
本発明の走査顕微鏡の更に有利な各実施形態に関しては、繰り返しを避けるために、本書の概説部分及び添付の特許請求の範囲を参照すべきである。
【００３９】
本発明の走査顕微鏡の上述の実施例は、保護が要求されている教示の単なる説明のためのものに過ぎず、本発明の教示をこの実施例に限定して理解すべきではないことを、ここに明確に指摘しておく。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】冷却装置を有する本発明の走査顕微鏡の一実施例の模式図。
【符号の説明】
【００４１】
１    走査装置
２    検出装置
３    電子（制御）装置
４    冷却装置
５    冷却媒体ポンプ装置
６    冷却モジュール
７    チューブ
８    レーザ
９    プリズム
１０  対物レンズ
【図１】
2014052660.tif 000003