(57)【要約】【課題】第一に、高周波誘導加熱によって、エネルギーロスを抑制しつつ短時間でインゴットをスライス台に接着固定することができると共に、安価でリサイクル可能なインゴットのスライス台を提供する。第二に、安価で切断性の良いインゴットのスライス台を提供する。【解決手段】ウェハ３を製造する際に用いられるインゴット１のスライス台２に関する。第一のスライス台２が、炭素材料及びバインダ材料を含有する成形材料４を成形して得られる。スライス台２の体積固有抵抗率が０．１Ω・ｍ以下である。第二のスライス台２が、充填材及びバインダ材料を含有する成形材料４を成形して得られる。成形材料４が、バインダ材料１００質量部に対して充填材が２５０質量部以上含有される。充填材の最大粒子径が１ｍｍ以下の粉末状である。バインダ材料が、不飽和ポリエステル樹脂、ビニルエステル樹脂、フェノール樹脂、エポキシ樹脂から選ばれるものである。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
インゴットをスライス台に接着固定した後、前記インゴットを切断してウェハを製造する際に用いられるインゴットのスライス台であって、前記スライス台が、炭素材料及びバインダ材料を含有する成形材料を成形して得られたものであり、前記スライス台の体積固有抵抗率が０．１Ω・ｍ以下であることを特徴とするインゴットのスライス台。
【請求項２】
前記炭素材料が、コークス、カーボンブラック、黒鉛から選ばれるものであり、最大粒子径が３ｍｍ以下の粉末状であることを特徴とする請求項１に記載のインゴットのスライス台。
【請求項３】
前記バインダ材料が、不飽和ポリエステル樹脂、ビニルエステル樹脂、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、メラミン樹脂、ユリア樹脂から選ばれるものであることを特徴とする請求項１又は２に記載のインゴットのスライス台。
【請求項４】
前記成形材料が、前記バインダ材料１００質量部に対して前記炭素材料が２５０質量部以上含有されているものであることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載のインゴットのスライス台。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか一項に記載のスライス台とインゴットとの間に熱硬化性接着剤を介在させ、前記スライス台を高周波誘導加熱して前記熱硬化性接着剤を熱硬化させることによって、前記インゴットを前記スライス台に接着固定した後、前記インゴットを切断してウェハを製造することを特徴とするウェハの製造方法。
【請求項６】
インゴットをスライス台に接着固定した後、前記インゴットを切断してウェハを製造する際に用いられるインゴットのスライス台であって、前記スライス台が、充填材及びバインダ材料を含有する成形材料を成形して得られたものであり、前記成形材料が、前記バインダ材料１００質量部に対して前記充填材が２５０質量部以上含有され、前記充填材の最大粒子径が１ｍｍ以下の粉末状であり、前記バインダ材料が、不飽和ポリエステル樹脂、ビニルエステル樹脂、フェノール樹脂、エポキシ樹脂から選ばれるものであることを特徴とするインゴットのスライス台。
【請求項７】
請求項６に記載のスライス台にインゴットを接着固定した後、前記インゴットを切断してウェハを製造することを特徴とするウェハの製造方法。
【請求項８】
請求項６に記載のスライス台にインゴットを接着固定した後、前記インゴットを切断してウェハを製造するにあたって、前記スライス台の切断速度が、前記インゴットの切断速度よりも速く、且つ、前記スライス台の切断抵抗が、前記インゴットの切断抵抗よりも小さいことを特徴とするウェハの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェハを製造する際に用いられるインゴットのスライス台及びこれを用いてウェハを製造するウェハの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
シリコンやサファイア等のウェハは、まずインゴットをスライス台に接着固定し、次にこれをワイヤーソー等の切断機にセットして切断した後、接着剤を剥離することにより製造されている。すなわち、ウェハの製造方法では、（１）接着工程、（２）切断工程、（３）剥離工程が必要とされる。
【０００３】
（１）接着工程では、図８（ａ）（ｂ）に示すようにインゴット１をスライス台２にエポキシ樹脂等の接着剤１５を用いて接着固定する。従来、接着剤１５としては、２液性の接着剤１５や熱硬化性の接着剤１５が用いられている。２液性の接着剤１５を用いる場合には、この接着剤１５をスライス台２に塗布し、この塗布面にインゴット１を貼り付けた後、これをそのまま室温で放置することによって、インゴット１をスライス台２に固定させているが、この場合には通常８時間以上の長時間を必要とする。一方、熱硬化性の接着剤１５を用いる場合には、この接着剤１５をスライス台２に塗布し、この塗布面にインゴット１を貼り付けた後、これを図８（ｃ）に示すように乾燥機１６に投入し、１００℃近くの温度で加熱することによって、インゴット１をスライス台２に固定させている。
【０００４】
（２）切断工程では、通常、図２に示すようにスライス台２に固定されたインゴット１を、インゴット１が下方に、スライス台２が上方になるように、ワイヤーソー等の切断機１０にセットする。そして、インゴット１を下降させることにより、ワイヤー１２でインゴット１を切断する。このときワイヤー１２が撓むため、切断終了が近づくと、図６に示すようにスライス台２の一部も切断される。切断終了後、ウェハ３は、図３に示すようにスライス台２に接着剤５、１５を介してぶら下がった状態となる。
【０００５】
（３）剥離工程では、スライス台２にぶら下がったウェハ３を温水浴や溶剤浴等の容器１４に漬けて接着剤５、１５を剥離することにより、図４に示すようにウェハ３を複数枚得ることができる。
【０００６】
そして、上記のようなウェハ３の製造方法において、スライス台２としては、用途や切断方法によって様々な形状や材質のものが用いられている。
【０００７】
例えば、太陽電池用のシリコンインゴットブロックのスライス台２としては、従来からガラス板が主に用いられている。また、半導体用のシリコンインゴットのスライス台２としては、インゴットとの接触面が湾曲に加工されたカーボン材が用いられている。また、ＬＥＤ用のサファイアインゴットやパワー半導体用のＳｉＣやＧａＮなどのインゴットのスライス台２としては、カーボン材、セラミック材などが用いられている。
【０００８】
その他、用途や切断対象などに関係なく、例えば、特許文献１−３に記載されているような無機フィラー等を含有する樹脂製のスライス台２も用いられている。
【０００９】
すなわち、特許文献１に記載のシリコンスライス台は、アクリル樹脂に、水酸化アルミニウム等からなる群から選ばれた少なくとも１種の無機フィラーを配合して得られた成形材料を成形して得られるものである。
【００１０】
また特許文献２に記載の半導体結晶インゴットのスライス用固定支持具は、熱硬化性樹脂／ガラス繊維複合成形材料を成形してなるものである。
【００１１】
また特許文献３に記載のインゴットスライス台は、ビニルエステル樹脂と、反応性モノマーと、充填材とを含有しているインゴットスライス台用組成物が硬化され成形されているものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１２】
【特許文献１】特開平１１−９９５１８号公報
【特許文献２】特開平１０−１１９０３４号公報
【特許文献３】特開２０１０−６７７１２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
特許文献１〜３に記載されているような無機フィラー等を含有する樹脂製のスライス台２は、特に接着工程に着目すると、ウェハ３の製造効率を低下させる要因となっている。すなわち、無機フィラー等を含有する樹脂製のスライス台２を用いる場合、２液性の接着剤１５でインゴット１をスライス台２に接着することが一般的であるが、上述のように接着固定するために長時間を必要とする。速硬化型の接着剤１５を用いることもできるが、このような接着剤１５は非常に高価である。
【００１４】
一方、熱硬化性の接着剤１５を用いる場合、無機フィラー等を含有する樹脂製のスライス台２では熱伝導性が悪くなるため、インゴット１及びスライス台２の一式を上述のように乾燥機１６に投入して、全体を加熱する必要がある。このため、エネルギーの無駄が非常に大きい。
【００１５】
本発明の第一の態様は、上記の点に鑑みてなされたものであり、高周波誘導加熱によって、エネルギーロスを抑制しつつ短時間でインゴットをスライス台に接着固定することができると共に、安価でリサイクル可能なインゴットのスライス台及びウェハの製造方法を提供することを目的とするものである。
【００１６】
また、特に太陽電池用のウェハ３を製造するにあたっては、太陽電池モジュールの価格低下に伴い、さらなるプロセスの効率化や消耗部材の低価格化が必要である。従来、太陽電池用のシリコンインゴットブロックのスライス台２としては、安価なガラス板が主に用いられてきた。
【００１７】
しかし、ガラス板はシリコンインゴットブロックよりも硬く、切断性が悪い。そのため、シリコンインゴットブロックの切断工程で、インゴットの切り終わりに近づいた際に、ワイヤー１２にぶれが生じ、ウェハ３にダメージを与える。その結果、ウェハ３の生産性を著しく低下させる。また、ワイヤー１２でガラス板が切断されると、ワイヤー１２の消耗が著しく寿命が短くなる。その結果、ワイヤー１２の交換回数が増加するなどして高コストになる。
【００１８】
そこで、ワイヤー１２によるウェハ３のダメージを抑えてウェハ３の生産性を向上させ、ワイヤー１２の消耗を抑えて寿命を長くするために、スライス台２として、カーボン材や樹脂製のスライス台２が検討されている。
【００１９】
しかし、カーボン材のスライス台２は依然として高価であり、また、樹脂製のスライス台２は高価であると共に切断性は不十分である。
【００２０】
本発明の第二の態様は、上記の点に鑑みてなされたものであり、安価で切断性の良いインゴットのスライス台、及びワイヤーによるウェハのダメージを抑え、ワイヤーの消耗を抑えて寿命を長くして、ウェハの生産性を向上させることができるウェハの製造方法を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００２１】
本発明の第一の態様に係るインゴットのスライス台は、インゴットをスライス台に接着固定した後、前記インゴットを切断してウェハを製造する際に用いられるインゴットのスライス台であって、前記スライス台が、炭素材料及びバインダ材料を含有する成形材料を成形して得られたものであり、前記スライス台の体積固有抵抗率が０．１Ω・ｍ以下であることを特徴とするものである。
【００２２】
前記インゴットのスライス台において、前記炭素材料が、コークス、カーボンブラック、黒鉛から選ばれるものであり、最大粒子径が３ｍｍ以下の粉末状であることが好ましい。
【００２３】
前記インゴットのスライス台において、前記バインダ材料が、不飽和ポリエステル樹脂、ビニルエステル樹脂、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、メラミン樹脂、ユリア樹脂から選ばれるものであることが好ましい。
【００２４】
前記インゴットのスライス台において、前記成形材料が、前記バインダ材料１００質量部に対して前記炭素材料が２５０質量部以上含有されているものであることが好ましい。
【００２５】
本発明の第一の態様に係るウェハの製造方法は、前記スライス台とインゴットとの間に熱硬化性接着剤を介在させ、前記スライス台を高周波誘導加熱して前記熱硬化性接着剤を熱硬化させることによって、前記インゴットを前記スライス台に接着固定した後、前記インゴットを切断してウェハを製造することを特徴とするものである。
【００２６】
本発明の第二の態様に係るインゴットのスライス台は、インゴットをスライス台に接着固定した後、前記インゴットを切断してウェハを製造する際に用いられるインゴットのスライス台であって、前記スライス台が、充填材及びバインダ材料を含有する成形材料を成形して得られたものであり、前記成形材料が、前記バインダ材料１００質量部に対して前記充填材が２５０質量部以上含有され、前記充填材の最大粒子径が１ｍｍ以下の粉末状であり、前記バインダ材料が、不飽和ポリエステル樹脂、ビニルエステル樹脂、フェノール樹脂、エポキシ樹脂から選ばれるものであることを特徴とするものである。
【００２７】
本発明の第二の態様に係るウェハの製造方法は、前記スライス台にインゴットを接着固定した後、前記インゴットを切断してウェハを製造することを特徴とするものである。
【００２８】
本発明の第二の態様に係るウェハの製造方法は、前記スライス台にインゴットを接着固定した後、前記インゴットを切断してウェハを製造するにあたって、前記スライス台の切断速度が、前記インゴットの切断速度よりも速く、且つ、前記スライス台の切断抵抗が、前記インゴットの切断抵抗よりも小さいことを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００２９】
本発明の第一の態様によれば、高周波誘導加熱によって、エネルギーロスを抑制しつつ短時間でインゴットをスライス台に接着固定することができると共に、安価でリサイクル可能である。
【００３０】
また、本発明の第二の態様によれば、安価で切断性の良いスライス台を使用することにより、ワイヤーによるウェハのダメージを抑え、ワイヤーの消耗を抑えて寿命を長くしながらウェハを製造することができ、ウェハの生産性を向上させることが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明に係るウェハの製造方法における接着工程を示すものであり、（ａ）は接着前の斜視図、（ｂ）は接着時の断面図である。
【図２】本発明に係るウェハの製造方法における切断工程を示す斜視図である。
【図３】本発明に係るウェハの製造方法における切断工程を示すものであり、（ａ）は切断後の断面図、（ｂ）は（ａ）のＡ部分の拡大図である。
【図４】本発明に係るウェハの製造方法における剥離工程を示す断面図である。
【図５】スライス台及びインゴットのサンプルの切断試験方法を示すものであり、（ａ）は切断試験機の概略図、（ｂ）は切断後のサンプルの概略斜視図である。
【図６】本発明に係るウェハの製造方法における切断工程を示すものであり、（ａ）は切断中の断面図、（ｂ）は（ａ）のＢ部分の拡大図である。
【図７】切断抵抗の経時変化を示すグラフである。
【図８】従来のウェハの製造方法における接着工程を示すものであり、（ａ）は接着前の斜視図、（ｂ）（ｃ）は接着時の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３２】
以下、本発明の実施の形態を説明する。
（第一の態様）
本発明の第一の態様に係るインゴット１のスライス台２は、インゴット１が接着固定されるものであり、その後、この状態でインゴット１を切断してウェハ３を製造する際に用いられるものである。
【００３３】
インゴット１としては、例えば、シリコンインゴットやサファイアインゴット等を用いることができ、このようなインゴット１をスライスすることにより、半導体用、太陽電池用、ＬＥＤ用、パワー半導体用等のウェハ３を製造することができる。インゴットの形状は、図１に示すものでは直方体状であるが、円柱状でもよく、特に限定されるものではない。
【００３４】
スライス台２は、炭素材料及びバインダ材料を含有する成形材料４を圧縮成形等により成形して得られたものである。このように、成形材料４が炭素材料を含有することによって、スライス台２の体積固有抵抗率が低くなって導電性が高くなり、スライス台２を高周波方式により誘導加熱（induction heating、ＩＨ）することができるようになる。また、成形材料４がバインダ材料を含有することによって、従来のカーボン材のみで形成されたスライス台２よりも、成形加工性及び強度に優れているものである。スライス台２は通常、複雑な形状ではないので切削加工のみで成形することができるが、上記のような成形材料４であれば、複雑な形状であってもプレス加工等で成形することができるものである。スライス台２の形状は、図１に示すものでは平板状であるが、インゴット１を接着固定できる形状であれば、特に限定されるものではない。一般的にスライス台２は、後述の切断工程において、数ｍｍ程度の切り込み６が入るため、インゴット１が接着固定される部分のスライス台２の厚さは１０ｍｍ前後である。
【００３５】
炭素材料は、粉末状のものであれば特に限定されるものではないが、コークス、カーボンブラック、黒鉛から選ばれるものであることが好ましい。すなわち、これらの中から１種のみを用いたり、２種を混合して用いたり、３種全てを混合して用いたりすることが好ましい。
【００３６】
特に材料コストの観点からは、コークスの粉砕物を炭素材料として用いることが好ましい。コークスは、石炭や石油ピッチを乾留したものであり、不純物が多いものの、少なくとも固定炭素量は８５％以上であり、高い導電性を示す。一般的にコークスは塊状であるが、容易に粉砕することが可能であり、鉄鋼用あるいは鋳物用の安価な材料として用いられている。本発明では、炭素含量の少ないコークス粉末を用いても、スライス台２が高周波誘導加熱できることが見出されている。これにより、従来のカーボン材のみで形成されたスライス台２よりも圧倒的に安価なスライス台２を提供することが可能となる。
【００３７】
カーボンブラックは、工業的に安定的に製造され、着色材や導電性フィラーとして一般的に用いられている。これはコークスよりも若干高価であるが、炭素含量が高く、導電性も高いため、炭素材料として用いると高周波誘導加熱しやすいスライス台２が得られる。
【００３８】
黒鉛も、着色材や導電性フィラーとして一般的に用いられている。これもコークスよりも若干高価であるが、導電性や誘導加熱性の観点からは、コークスやカーボンブラックと比べて、性能として最も優れている。この黒鉛粉末をコークス粉末に一部添加して成形すると、コークス単独の場合よりも、導電性や誘導加熱性が向上する。
【００３９】
なお、炭素材料として、石炭の粉砕物を用いることも可能であるが、硫黄や燐等の不純物を多く含むことから、廃水処理等の後処理に負担がかかるおそれがある。
【００４０】
炭素材料の粒子径は、特に限定されるものではないが、ミクロンオーダーの微粉体よりも、ミリオーダー程度のある程度粒子径が大きいものが好ましい。具体的には炭素材料は、最大粒子径が３ｍｍ以下の粉末状であることが好ましい。つまり、目開きが３ｍｍの篩（ふるい）を通過する粉末状の炭素材料であることが好ましい。上述のように、通常のスライス台２の厚さは１０ｍｍ前後であるため、このような炭素材料であれば、成形材料４中に均一に含有させることができるものである。同一種類の炭素材料で同一の配合量であっても、粒子径のより大きい炭素材料が配合された成形材料４の方が導電パスを形成しやすく、後述の接着工程における誘導加熱時にバインダ材料や空隙による抵抗が少なくなる。なお、炭素材料の最大粒子径の下限は、特に限定されるものではないが、０．０１μｍ程度である。
【００４１】
バインダ材料は、粉末状の炭素材料をつなぎ合わせ、成形材料４をスライス台２として成形させることが可能であるものが好ましい。さらにバインダ材料は、高周波誘導加熱によりインゴット１とスライス台２とを接着させるため、１００℃近くの温度でも本来の特性を維持することができる程度の耐熱性を有することが好ましい。そのため、バインダ材料は、熱硬化性樹脂であることが好ましい。具体的にはバインダ材料は、不飽和ポリエステル樹脂、ビニルエステル樹脂、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、メラミン樹脂、ユリア樹脂から選ばれるものであることが好ましい。すなわち、これらの中から１種のみを用いたり、２〜５種を混合して用いたり、６種全てを混合して用いたりすることが好ましい。これらの樹脂は耐熱性を有するほか、一般的に安価でもある。なお、バインダ材料として熱硬化性樹脂を用いる場合には必要に応じて反応開始剤を添加してもよい。
【００４２】
ところで、後述のインゴット１の切断工程ではスライス台２の一部も切断されるが、このときバインダ材料が熱可塑性樹脂であると、ワイヤー１２による切断によって摩擦熱が生じ、切り子がワイヤー１２にまとわりつき、切断機１０の切断性能を著しく低下させるおそれがある。しかし、熱硬化性樹脂並みの耐熱性があれば、バインダ材料として熱可塑性樹脂や環境に優しい植物由来接着剤等を用いてもよい。
【００４３】
成形材料４において炭素材料は可能な限り多い方が好ましい。炭素材料の配合量が多くなると、導電パスが形成されやすくなり、スライス台２が高周波誘導加熱されやすくなる。炭素材料間に存在する空隙は誘導加熱の抵抗となるので、この空隙を可能な限り埋めるために、種類や粒子径の異なる炭素材料を２種以上組み合わせて用いて最密充填させることが好ましい。これによりスライス台２の導電性が高くなると共に強度も増加する。
【００４４】
成形材料４においてバインダ材料は可能な限り少ない方が好ましい。バインダ材料は通常、絶縁性であるため、バインダ材料の配合量が多くなると、スライス台２の導電性が低下し、高周波誘導加熱が阻害されやすくなる。
【００４５】
具体的には成形材料４は、バインダ材料１００質量部に対して炭素材料が２５０質量部以上含有されているものであることが好ましい。これにより、短時間でスライス台２を高周波誘導加熱することができ、しかも後述の接着工程における加熱によるスライス台２の反りも抑制される。さらに成形材料４は、バインダ材料１００質量部に対して炭素材料が３００質量部以上含有されているものであることがより好ましい。この場合、炭素材料の種類によらずにスライス台２を十分に高周波誘導加熱することができ、加熱によるスライス台２の反りも一層抑制される。
【００４６】
スライス台２は、上記の成形材料４を均一に混合した後、所定の型枠に入れ、所定の温度でプレス機等で圧縮成形することによって製造することができる。このときの圧力、温度、時間等のプレス成形条件は特に限定されるものではない。また圧縮成形後、乾燥機にてスライス台２の硬化をさらに進めてもよい。上記のようにして得られたスライス台２の体積固有抵抗率は０．１Ω・ｍ以下（下限は１００μΩ・ｍ）である。このように、スライス台２の導電性が高いので、高周波誘導加熱によって、短時間でスライス台２の加熱が可能であり、この熱により熱硬化性接着剤５を熱硬化させてインゴット１をスライス台２に接着固定することが可能となる。
【００４７】
上記のようにして得られたスライス台２を用いて、ウェハ３は、次のような（１）接着工程、（２）切断工程、（３）剥離工程を経て製造することができる。
【００４８】
（１）接着工程では、図１（ａ）（ｂ）に示すように、上記のスライス台２とインゴット１との間に熱硬化性接着剤５を介在させる。熱硬化性接着剤５としては、特に限定されるものではなく、例えばエポキシ樹脂を主成分とするもの等を用いることができる。熱硬化性接着剤５の形態も、液状、シート状、フィルム状など特に限定されるものではない。そして、誘導加熱装置７を用いてスライス台２を非接触で高周波誘導加熱する。このときの周波数は、特に限定されるものではないが、例えば１０〜１０００ｋＨｚ程度である。誘導加熱装置７としては、特に限定されるものではないが、例えば高周波電源ユニット８に誘導加熱コイル９がセットされたものを用いることができる。スライス台２の体積固有抵抗率は０．１Ω・ｍ以下であって、熱伝導性が良好であるので、スライス台２は自己発熱しやすく、直ちにこの熱は熱硬化性接着剤５に伝導される。このように、高周波誘導加熱によって熱硬化性接着剤５を熱硬化させることによって、従来よりも短時間でインゴット１をスライス台２に接着固定することができる。しかもインゴット１及びスライス台２を全体的に加熱するわけではなく、スライス台２そのものを部分的に加熱するので、非常に加熱効率が高く、エネルギーロスを抑制し、エネルギーを効率的に利用することもできるものである。
【００４９】
（２）切断工程では、図２に示すようにスライス台２に固定されたインゴット１を、インゴット１が下方に、スライス台２が上方になるように、切断機１０にセットする。図２では切断機１０としては、複数本のローラー１１に一定ピッチで極細のワイヤー１２を巻き付けて形成されたマルチワイヤーソーを用いているが、特にこれに限定されるものではない。そして、図２の矢印で示すように、インゴット１を下降させることにより、高速走行する複数本のワイヤー１２でインゴット１を切断する。このときワイヤー１２が撓むため、スライス台２の一部も切断される（図３参照）。切断終了後、複数枚のウェハ３が、図３に示すようにスライス台２に熱硬化性接着剤５を介してぶら下がった状態となる。
【００５０】
（３）剥離工程では、スライス台２に熱硬化性接着剤５を介してぶら下がったウェハ３をウェハホルダー１３に入れ、図４に示すようにこのウェハホルダー１３を温水浴や溶剤浴等の容器１４に漬ける。温水浴の場合、温水によってウェハ３から熱硬化性接着剤５が剥離する。溶剤浴の場合、溶剤によって熱硬化性接着剤５が溶解し、ウェハ３から剥離する。熱硬化性接着剤５の剥離を促進するため超音波を併用してもよい。上記のようにして熱硬化性接着剤５を剥離し、容器１４からウェハホルダー１３を引き上げることにより、ウェハ３を複数枚得ることができる。
【００５１】
剥離工程終了後のスライス台２は、図４に示すように複数本の切り込み６が入っているので、そのままでは再利用しにくい。本発明の第一の態様に係るスライス台２は、高価なカーボン材等の炭素材料のみからなるものではなく、炭素材料以外にバインダ材料も含有されているので比較的安価である。そのためスライス台２は、ウェハ３を製造するたびに使い捨てとしてもよいが、切り込み６の入ったスライス台２を粉砕して粉末状とし、この粉砕物を成形材料４として再度用いるようにしてもよい。粉砕物はそのままでは成形しにくいおそれがあるので、この場合にはバインダ材料を適宜追加し、さらに配合量を調整するため、必要に応じて炭素材料も適宜追加してもよい。このように、本発明の第一の態様に係るスライス台２はリサイクル可能でもある。
【００５２】
なお、従来の代表的なカーボン材のスライス台２は、コークスやピッチ等を約３０００℃で熱処理して得られた人造黒鉛を切り出したものである。このような高価なカーボン材のスライス台２でも、切断工程終了後、上述のように粉砕して粉末状とし、この粉砕物を成形材料４として再度用いれば、本発明の第一の態様に係るスライス台２として再生させることが可能である。
（第二の態様）
本発明の第二の態様に係るインゴット１のスライス台２も、インゴット１が接着固定されるものであり、その後、この状態でインゴット１を切断してウェハ３を製造する際に用いられるものである。
【００５３】
インゴット１としては、第一の態様と同様のものを用いることができる。
【００５４】
スライス台２は、充填材及びバインダ材料を含有する成形材料４を圧縮成形等により成形して得られたものである。このように、成形材料４がバインダ材料を含有することによって、従来のカーボン材のみで形成されたスライス台２よりも、成形加工性及び強度に優れているものである。上記のような成形材料４であれば、切削加工で成形することができるほか、複雑な形状であってもプレス加工等で成形することができる。スライス台２の形状は、第一の態様と同様に、特に限定されるものではない。また、インゴット１が接着固定される部分のスライス台２の厚さは、第一の態様と同様の厚さを採用することができる。
【００５５】
充填材は、粉末状のものであれば特に限定されるものではないが、コークス、カーボンブラック、黒鉛などの炭素材料と、炭酸カルシウム、シリカ、カオリン、クレー、水酸化アルミニウム、硫酸バリウム、アルミナ、タルク、マイカ、ガラス、金属粉などの無機材料と、インゴット１をスライスする際に発生する切り屑（シリコン屑、ＳｉＣ屑、ＧａＮ屑、サファイア屑、アルミナ屑、ガラス屑）とから選ばれるものであることが好ましい。これらの中から１種のみを用いたり、２種以上を混合して用いたりすることが好ましい。
【００５６】
なお、充填材として炭素材料を用いる場合は、第二の態様においても、第一の態様と同様の効果を得ることができる。
【００５７】
充填材の粒子径は、最大粒子径が１ｍｍ以下の粉末状である。つまり、目開きが１ｍｍの篩（ふるい）を通過する粉末状の充填材である。通常のワイヤー１２の径は５０〜５００μｍ前後であるため、上記のような粒子径の充填材であれば、ワイヤー１２は充填材の各粒子そのものを切断するのではなく粒子同士の間をすり抜けることとなり、充填材の種類や硬さに関係なく、スライス台２を切断しやすくすることができる。なお、充填材の最大粒子径の下限は、特に限定されるものではないが、０．０１μｍ程度である。
【００５８】
バインダ材料は、粉末状の充填材をつなぎ合わせ、成形材料４をスライス台２として成形させることが可能であるものが好ましい。さらにバインダ材料は、加熱によりインゴット１とスライス台２とを接着させる場合が多いため、１００℃近くの温度でも本来の特性を維持することができる程度の耐熱性を有することが好ましい。そのため、バインダ材料は、熱硬化性樹脂であることが好ましい。この場合、必要に応じて反応開始剤を添加してもよい。熱硬化性樹脂のなかでも、不飽和ポリエステル樹脂、ビニルエステル樹脂、フェノール樹脂、エポキシ樹脂から選ばれる。すなわち、これらの中から１種のみを用いたり、２又は３種を混合して用いたり、４種全てを混合して用いる。これらの樹脂は、耐熱性を有するほか、一般的に安価でもある。さらに、これらの樹脂をバインダ材料として用いることで、スライス台２の切断性が良くなる。
【００５９】
ここで、切断性の良いスライス台２とは、インゴット１と同一の切断条件で切断した際に、インゴット１よりも、切断速度が速く、且つ、切断抵抗が低いスライス台２を意味する。切断速度及び切断抵抗の測定方法については後述する。
【００６０】
ところで、バインダ材料が熱可塑性樹脂であると、ワイヤー１２による切断によって摩擦熱が生じ、切り子がワイヤー１２にまとわりつき、切断機１０の切断性能を著しく低下させるおそれがある。しかし、熱硬化性樹脂並みの耐熱性があれば、バインダ材料として熱可塑性樹脂や環境に優しい植物由来接着剤等を用いてもよい。
【００６１】
バインダ材料の密度は一般的に充填材の密度よりも低いため、バインダ材料の配合量が相対的に多くなると、切り子の排出性が悪くなる。しかし、充填材の配合量を可能な限り多く、バインダ材料の配合量を可能な限り少なくすれば、切り子の排出性を向上させることができる。具体的には、本発明の第二の態様では、成形材料４には、バインダ材料１００質量部に対して充填材を２５０質量部以上含有するようにしている。そのため、スライス台２の切断速度の低下が軽減され、切断性が良くなる。さらに成形材料４には、バインダ材料１００質量部に対して充填材が３００〜６００質量部含有されていることが好ましい。この場合、スライス台２の切断性が良くなるだけでなく、成形されたスライス台２の表面状態も良くなるため接着剤１５を塗布しやすくなる。また、適当な強度を維持することも可能となる。さらに、充填材は通常、バインダ材料よりも安価なため、充填材の配合量を多くすることで、スライス台２を安価に製造することが可能となる。バインダ材料１００質量部に対して充填材が２５０質量部未満であると、スライス台２の切断速度が低下する。
【００６２】
スライス台２は、上記の成形材料４を均一に混合した後、所定の型枠に入れ、所定の温度でプレス機等で圧縮成形することによって製造することができる。このときの圧力、温度、時間等のプレス成形条件は特に限定されるものではない。また圧縮成形後、乾燥機にてスライス台２の硬化をさらに進めてもよい。
【００６３】
上記のようにして得られたスライス台２の切断性の良否は、次のようにして確認することができる。具体的には、図５（ａ）に示すようなシングルワイヤーソー試験機等の切断試験機を用いて、スライス台２のサンプル１７及びインゴット１のサンプル１８の切断速度及び切断抵抗を測定し、インゴット１のサンプル１８の測定値を基準として、最適なスライス台２を選択することができる。
【００６４】
図５（ａ）に示す切断試験機は、サンプル１７、１８を切断する切断部と、サンプル１７、１８を固定して移動させる移動部とからなる。
【００６５】
切断部は、一つのメインローラー２１及び二つのプーリー２０からなり、ワイヤー１９がメインローラー２１およびプーリー２０に巻かれている。ワイヤー１９の全長は、例えば５０ｍ程度であり、ワイヤー１９の大部分はメインローラー２１に複数回巻きつけられている。ワイヤー１９としては、例えばダイヤモンド固定砥粒ワイヤーを用いることができる。ワイヤー１９は、メインローラー２１およびプーリー２０が高速で正転又は逆転することにより、高速で往復走行する。
【００６６】
移動部は、サンプル１７、１８を取り付ける取り付けサポート２６、取り付け金具２７、接着剤２５、取り付け台２４、移動ステージ２２、抵抗センサー２３からなる。取り付け金具２７の片面に、サンプル１７、１８および取り付けサポート２６を、接着剤２５を用いて接着固定する。そして、取り付け金具２７のもう片方の面は、取り付け台２４に密着させて、ネジ３０で取り付け台２４に取り付ける。抵抗センサー２３は、取り付け台２４と移動ステージ２２の間に設置されている。移動ステージ２２は、二つのプーリー２０の間のワイヤー１９に接近する方向及び離れる方向に往復移動可能である。なお、ワイヤー１９の摩擦熱によって、切断部位が高温になるため、切断時に冷却材であるクーラント２９を用いることが好ましい。
【００６７】
次に、上記の切断試験機を用いて、サンプル１７、１８の切断速度及び切断抵抗を測定する方法について説明する。
【００６８】
まず、スライス台２のサンプル１７を用意する。このサンプル１７の大きさは特に限定されないが、例えば□２５ｍｍ程度、厚さ５ｍｍ程度の大きさである。さらに、スライス台２のサンプル１７と同一の大きさである、インゴット１のサンプル１８も用意する。
【００６９】
次に、サンプル１７と取り付けサポート２６に、接着剤２５を塗り、取り付け金具２７に接着し、サンプル１７と取り付けサポート２６とが接着された取り付け金具２７を取り付け台２４にネジ３０で固定する。このようにして、サンプル１７を、取り付け台２４及び抵抗センサー２３を介して、移動ステージ２２に取り付ける。
【００７０】
そして、移動ステージ２２を、二つのプーリー２０の間のワイヤー１９に接近する方向に一定速度で移動させることで、サンプル１７をワイヤー１９に接触させる。同時に、メインローラー２１を正転回転させ、ワイヤー１９をサンプル１７に対して上から下へ走行させ、二つのプーリー２０の間のワイヤー１９でサンプル１７を切断する。そして、ワイヤー１９が正転方向に完全に巻き取られる前に、メインローラー２１の回転を停止させる。次に、メインローラー２１を逆転回転させ、今度はワイヤー１９をサンプル１７に対して下から上へ走行させる。そして、ワイヤー１９が逆転方向に完全に巻き取られる前に、メインローラー２１の回転を停止し、正転回転させる。ワイヤー１９の走行速度は一定に保っているため、所定時間ごとに、これらの正転逆転の往復動を繰り返す。このときの切断条件としては、ワイヤー１９の走行速度を例えば最大１ｍ／秒とし、サンプル１７の送り速度を例えば１ｍｍ／分とするように移動ステージ２２を、二つのプーリー２０の間のワイヤー１９に接する方向に一定速度で移動させる。例えば、ワイヤー１９の、全長が５０ｍ、走行速度が１ｍ／秒の場合、メインローラー２１は、５０秒毎に正転逆転を繰り返すことになる。また、図７に示すように、抵抗センサー２３で正転時および逆転時の切断抵抗値を経時的に測定する。
【００７１】
インゴット１のサンプル１８についても、スライス台２のサンプル１７と同一条件下で切断試験を行う。
【００７２】
上記のような切断試験を行った後、切断速度は、図５（ｂ）のように、ワイヤー１９によるサンプル１７、１８の切り込み２８の長さと、この切断に要した切断時間より算出することができる。また、切断抵抗は、図７のように、抵抗センサー２３で検出された正転時および逆転時の平均切断抵抗値の差を意味する。図７において、ＲＳはスライス台２のサンプル１７の切断抵抗、ＲＩはインゴット１のサンプル１８の切断抵抗を意味する。
【００７３】
上記のような切断試験方法は、例示するものであって、上記に限定されるものではない。
【００７４】
このように、インゴット１のサンプル１８とスライス台２のサンプル１７について、同一の試験条件下で切断試験を行い、その時に測定された切断抵抗と切断速度を比較することによって、切断性の良さを評価することができる。具体的には、サンプル１７の切断速度がサンプル１８よりも速く、かつサンプル１７の切断抵抗がサンプル１８よりも小さいものを、切断性の良いスライス台２として選択することができる。そして、このようなスライス台２をウェハ３の製造に用いることが好ましい。
【００７５】
ウェハ３は、次のような（１）接着工程、（２）切断工程、（３）剥離工程を経て製造することができる。
【００７６】
（１）接着工程では、図１（ａ）（ｂ）に示すように、上記のスライス台２とインゴット１との間に接着剤１５を介在させる。接着剤１５としては、特に限定されるものではなく、例えばエポキシ樹脂を主成分とするもの等を用いることができる。接着剤１５の形態も、液状、シート状、フィルム状など特に限定されるものではない。接着剤１５の接着方法も、加熱硬化性、二液反応性、ＵＶ硬化性など特に限定されるものではない。特に、充填材として第一の態様と同様の炭素材料を用いたスライス台２と、接着剤１５として熱硬化性接着剤５とを用いる場合、スライス台２の熱伝導性が良好であるので、スライス台２は自己発熱しやすく、直ちにこの熱は熱硬化性接着剤５に伝導される。よって、短時間でインゴット１をスライス台に接着固定することができる。
【００７７】
（２）切断工程では、図２に示すようにスライス台２に固定されたインゴット１を、インゴット１が下方に、スライス台２が上方になるように、切断機１０にセットする。図２では切断機１０としては、複数本のローラー１１に一定ピッチで極細のワイヤー１２を巻き付けて形成されたマルチワイヤーソーを用いているが、特にこれに限定されるものではない。そして、図２の矢印で示すように、インゴット１を下降させることにより、高速走行する複数本のワイヤー１２でインゴット１を切断する。
【００７８】
また、ワイヤー１２は僅かに撓みながらインゴット１を切断する。このため、インゴット１の切り終わりに近づいた際には、図６（ａ）、（ｂ）のように、インゴット１と接着剤５（１５）、スライス台２が同時に切断される場合がある。この時にスライス台２の切断性がインゴット１よりも良いと、ワイヤー１２にぶれなどが生じにくくなり、ウェハ３に欠けや凹凸が生じることを抑制することができる。そのため、インゴット１より、スライス台２の切断性が良いことが好ましい。インゴット１を完全に切断した後は、スライス台２の一部も切断されており、複数枚のウェハ３が、図３に示すようにスライス台２に接着剤５を介してぶら下がった状態となる。
【００７９】
なお、（２）切断工程では、ワイヤー１２の切断による摩擦熱によって、インゴット１のワイヤー１２による切断部位が高温になりやすい。そのため、この切断部位に大量のクーラント（冷却材）を流して冷却しながら、ワイヤー１２でインゴット１を切断することが好ましい。
【００８０】
（３）剥離工程では、（１）接着工程で用いた接着剤５を剥離するために、第一の態様と同様の工程を用いることができる。
【００８１】
また、（２）の切断工程と（３）の剥離工程の間に、場合によっては、洗浄工程を経ることがある。この洗浄工程では、ウェハ３がぶら下がった状態のまま、洗浄剤を含む水槽の中へ入れ超音波などをかけながら切り屑などを洗浄する。以上より、充填材は、クーラントや洗浄剤等を含む溶液との相互作用が小さい物性を有するものが好ましい。即ち、溶液への溶解度が低いものや、耐酸性、耐アルカリ性、耐薬品性を有する充填材を用いることが好ましい。
【実施例】
【００８２】
（第一の態様）
以下、本発明の第一の態様を実施例によって具体的に説明する。
【００８３】
炭素材料として、以下のものを用いた。なお、いずれも最大粒子径は３ｍｍ以下の粉末状である。
【００８４】
○コークス
ＣＫ−２０００（燃料用小玉コークス、株式会社外塚商店、０．５ｍｍ〜２ｍｍ分級品）
ＣＫ−１０（燃料用小玉コークス、株式会社外塚商店、平均粒子径１０μｍ）
○カーボンブラック
ＣＢ（ＭＡ６００、三菱化学株式会社、平均粒子径１．２μｍ）
○黒鉛
ＰＣ−１０（熱分解黒鉛、伊藤黒鉛工業株式会社、平均粒子径１０μｍ）
ＡＧＢ−１０（人造黒鉛粉砕品、伊藤黒鉛工業株式会社、平均粒子径１０μｍ）
ＡＧＢ−２０００（人造黒鉛粉砕品、伊藤黒鉛工業株式会社、０．５ｍｍ〜２ｍｍ分級品）
またバインダ材料として、以下のものを用いた。
【００８５】
○不飽和ポリエステル樹脂
ＵＰ（ポリホープ６３１５：ジャパンコンポジット株式会社）
○ビニルエステル樹脂
ＶＥ（プロミネートＸＪ６８３：ジャパンコンポジット株式会社）
○メラミン樹脂
ＭＦ（ＭＭ１０２：パナソニック株式会社）
○フェノール樹脂
ＰＦ１（フェノライトＰ−５５１０：ＤＩＣ株式会社）
そして、上記の炭素材料及びバインダ材料を表１及び表２に示す配合量で配合し、均一に混合することによって成形材料を調製した。その後、この成形材料を□６０ｍｍ角の型枠に入れ、プレス機により圧縮成形することによって粗成形品を得た。さらにこの粗成形品の外枠を切削加工することによって、スライス台のサンプルである成形品を製造した。このようにして得られた成形品は□４５ｍｍ角の大きさであり、厚さは仕込み量の成り行きとし、表１及び表２に示すように概ね２〜８ｍｍである。成形品の密度も併せて表１及び表２に示す。
【００８６】
なお、バインダ材料としてＵＰ及びＶＥを用いる場合には、バインダ材料１００質量部に対して、反応開始剤としてパーヘキサＨＣ（日油株式会社）を１質量部添加した。この場合のプレス成形条件は、圧力：２４ＭＰａ、温度：１００℃、時間：１時間とし、その後、乾燥機にて１８０℃で２時間かけて硬化させた。
【００８７】
またバインダ材料としてＭＦ及びＰＦ１を用いる場合のプレス成形条件は、圧力：２４ＭＰａ、温度：１６０℃、時間：３０分とし、その後、乾燥機にて１８０℃で２時間かけて硬化させた。
【００８８】
（体積固有抵抗率）
成形品を銅板で挟み込み、抵抗計を用いて成形品の電気抵抗値を測定し、この測定結果と成形品の厚さ及び面積とから体積固有抵抗率を算出した。
【００８９】
（誘導加熱特性）
誘導加熱特性は、成形品を誘電加熱装置で誘電加熱して得られたＩＨ昇温速度により評価した。誘電加熱装置としては、高周波電源ユニットに銅製のＵ字状の誘導加熱コイルがセットされた小型テスト装置を用いた。そして、誘導加熱コイルから約１５ｍｍ上部に離れた位置に、誘導加熱コイルとほぼ平行となるように成形品セットして、成形品の上部表面の中央温度を非接触式の赤外線式温度センターで経時的に測定し、ＩＨ昇温速度を算出した。周波数は２５０ｋＨｚとし、概ね表面温度が１００℃になる時点まで計測した。
【００９０】
以上の結果を表１及び表２に示す。
【００９１】
【表１】
2014096561.tif 000003
比較例１−１、１−２は、バインダ材料１００質量部に対して炭素材料を１５０質量部配合したものであるが、この場合、体積固有抵抗率は０．１Ω・ｍを超え、成形品のＩＨ昇温速度が非常に遅くなり、誘導加熱特性が悪化することが分かった。
【００９２】
実施例１−１〜１−４は、バインダ材料１００質量部に対して炭素材料を３００質量部配合したものであるが、この場合、炭素材料の粒子径や種類にかかわらず、体積固有抵抗率は０．１Ω・ｍ以下となり、成形品のＩＨ昇温速度が速くなることが分かった。しかも炭素材料として黒鉛を用いた実施例１−３、１−４のＩＨ昇温速度は、コークスを用いた実施例１、２のＩＨ昇温速度よりも速く、誘導加熱特性がさらに良好となることが分かった。
【００９３】
実施例１−５〜１−９は、不飽和ポリエステル樹脂、ビニルエステル樹脂、メラミン樹脂、フェノール樹脂からなるバインダ材料と、カーボンブラック、黒鉛、コークスからなる炭素材料とを種々の組合せで配合したものであるが、体積固有抵抗率はいずれも０．１Ω・ｍ以下となり、ＩＨ昇温速度はいずれも２．３℃／秒以上であった。
【００９４】
【表２】
2014096561.tif 000004
実施例１−１０〜１−１３は、炭素材料として粒子径及び種類の異なるものを２種（炭素材料−１及び炭素材料−２）配合させたものであるが、体積固有抵抗率はいずれも０．１Ω・ｍ以下であり、ＩＨ昇温速度は１．１℃／秒以上であった。
【００９５】
比較例１−３は、従来用いられているカーボン材からなる成形品（日化精工株式会社製ベース台）であり、体積固有抵抗率は０．０３Ω・ｍ以下であり、ＩＨ昇温速度は１．３℃／秒であるが、カーボン材からなるため非常に高価である。
（第二の態様）
以下、本発明の第二の態様を実施例によって具体的に説明する。
【００９６】
充填材として、以下のものを用いた。
【００９７】
○充填材
コークスＡ（ＣＤＱ微粉、最大粒子径３５５μｍ、平均粒子径４０μｍ、住商ＣＲＭ株式会社）
コークスＢ（ＣＤＱサイクロン粉、最大粒子径１ｍｍ、平均粒子径２００μｍ、住商ＣＲＭ株式会社）
コークスＣ（一般乾燥コークス、最大粒子径３ｍｍ、平均粒子径６００μｍ、住商ＣＲＭ株式会社）
黒鉛（ＡＧＢ−３２、人造黒鉛粉砕品、最大粒子径２ｍｍ、伊藤黒鉛工業株式会社）
炭酸カルシウム（ＮＳ１００、最大粒子径２０μｍ、平均粒子径２.１μｍ、日東粉化工業株式会社）
またバインダ材料として、第一の態様で用いた不飽和ポリエステル樹脂、ビニルエステル樹脂、メラミン樹脂及び以下のものを用いた。
【００９８】
○フェノール樹脂
ＰＦ２（フェノライト３３３７Ａ：ＤＩＣ株式会社）
そして、上記のバインダ材料及び充填材を表３及び表４に示す配合量で配合し、均一に混合することによって成形材料４を調製した。その後、この成形材料４を□８０ｍｍの型枠に入れ、プレス機により圧縮成形することによって粗成形品を得た。さらにこの粗成形品を切削加工することによって、□２５ｍｍ、厚さ５ｍｍのサンプル１７を得た。また、切削加工によって□２５ｍｍ、厚さ５ｍｍのシリコンインゴット１のサンプル１８を製作した。
【００９９】
なお、バインダ材料としてＵＰ及びＶＥを用いる場合には、バインダ材料１００質量部に対して、反応開始剤としてパーヘキサＨＣ（日油株式会社）を１質量部添加した。この場合のプレス成形条件は、圧力：１５ＭＰａ、温度：１００℃、時間：１時間とし、その後、乾燥機にて１８０℃で２時間かけて硬化させた。
【０１００】
またバインダ材料としてＭＦ及びＰＦ２を用いる場合のプレス成形条件は、圧力：１５ＭＰａ、温度：１８０℃、時間：１０分とし、その後、乾燥機にて１８０℃で２時間かけて硬化させた。
【０１０１】
（切断試験）
シングルワイヤーソー試験機（ＯＷ−６０２Ｌ：有限会社オーリー）を使用して切断試験を実施した。ワイヤー１９は、ダイヤモンド固定砥粒ワイヤー（ワイヤー径１２０μｍ、ダイヤモンド径１０−２０μｍ、旭ダイヤモンド工業株式会社）を使用した。取り付け金具２７にロジン接着剤２５を塗り、サンプル１７、１８を取り付けサポート２６とともに接着固定し、取り付け金具２７を取り付け台２４にネジ３０で固定した。ワイヤー１９の走行速度は最大１ｍ／秒とし、移動ステージ２２に取り付けられたサンプル１７、１８の送り速度は、共に１ｍｍ／分とした。ワイヤー１９は、約５０ｍの長さであった。
【０１０２】
切断抵抗は、抵抗センサー２３（三分力圧力ロードセル２６０Ａ１１型：株式会社東陽テクニカ）で検出される正転時および逆転時の平均切断抵抗値の差で算出した。また、切断速度は、実際に切断されたサンプル１７、１８の切り込み２８の長さとこの時に要した切断時間より算出した。
【０１０３】
以上の結果を表３及び表４に示す。
【０１０４】
【表３】
2014096561.tif 000005
比較例２−１は、シリコンインゴットの切断試験結果である。切断速度は０．６８ｍｍ／分、切断抵抗は３．９ｍＮであった。これらの値が切断性評価の基準となり、全く同じ条件で切断試験を行った場合、これよりも切断速度が速く、切断抵抗が低い材料がスライス台として適していることを示す。
【０１０５】
実施例２−１〜２−５は、バインダ材料１００質量部に対して各種充填材を４５０質量部配合したものであるが、この場合、バインダ材料や充填材の種類にかかわらず、シリコンインゴットよりも切断速度が速く、且つ、切断抵抗が低いことが分かった。
【０１０６】
比較例２−２及び２−３は、実施例２−１及び２−２とそれぞれ同一配合で、バインダ材料としてメラミン樹脂を使用したものであるが、切断抵抗はインゴットより低いが、切断速度がシリコンインゴットより遅かった。
【０１０７】
【表４】
2014096561.tif 000006
比較例２−４は、フェノール樹脂のみで、充填材を入れなかった場合の成形体である。また、比較例２−５は、バインダ材料としてフェノール樹脂１００質量部に対して、充填材を１００質量部配合したものである。これらの場合、切断抵抗はインゴットより低いが、切断速度はシリコンインゴットより遅かった。
【０１０８】
実施例２−６〜２−９は、バインダ材料としてのフェノール樹脂１００質量部に対して、充填材の配合量、粒子径、種類を変えたものである。いずれも、シリコンインゴットよりも切断速度が速く、切断抵抗が低い。
【０１０９】
比較例２−６は、バインダ材料としてフェノール樹脂１００質量部に対して、充填材としてコークスＣを４５０質量部配合したものである。充填材の粒子径が大きくなると、切断抵抗はシリコンインゴットより低いが、切断速度はシリコンインゴットより遅かった。
【０１１０】
比較例２−７は、バインダ材料としてメラミン樹脂１００質量部に対して、充填材としてコークスＣを４５０質量部配合したものである。この場合、インゴットよりも切断速度が遅く、且つ、切断抵抗も高かった。
【０１１１】
上記のように、実施例２−１〜２−９では、シリコンインゴットよりも切断速度が速く、且つ、切断抵抗が小さいスライス台を得ることができる。ウェハの製造の際に、このようなスライス台を使用すれば、シリコンインゴットの切り終わりに近づいた際に、ワイヤーにぶれを生じさせることなく、欠けや凹凸のないウェハを得ることができる。
【符号の説明】
【０１１２】
１  インゴット
２  スライス台
３  ウェハ
４  成形材料
５  熱硬化性接着剤
【図１】
2014096561.tif 000007
【図２】
2014096561.tif 000008
【図３】
2014096561.tif 000009
【図４】
2014096561.tif 000010
【図５】
2014096561.tif 000011
【図６】
2014096561.tif 000012
【図７】
2014096561.tif 000013
【図８】
2014096561.tif 000014