(57)【要約】【課題】帯状の基材を適切且つ効率よく処理する。【解決手段】帯状の金属箔が軸心６１に巻き取られた電極ロール６０を収容する収容容器８０は、電極ロール６０を収容する容器本体９０と、容器本体９０の側面に形成された開口部９１を開閉可能で、且つ容器本体９０の内部を密閉可能な蓋体と、容器本体９０の内部に設けられ、軸心６１の両端部を支持する軸受部材９３と、容器本体９０の内部に設けられ、軸受部材９３に支持された軸心６１を固定する固定機構９４と、を有する。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
帯状の基材が軸心に巻き取られたロール状体を収容する収容容器であって、
前記ロール状体を収容する容器本体と、
前記容器本体の側面に形成された開口部を開閉可能で、且つ前記容器本体の内部を密閉可能な蓋体と、
前記容器本体の内部に設けられ、前記軸心の両端部を支持する軸受部材と、
前記容器本体の内部に設けられ、前記軸受部材に支持された前記軸心を固定する固定機構と、を有することを特徴とする、ロール状体の収容容器。
【請求項２】
前記固定機構は、
前記軸受部材に支持された前記軸心を固定可能な固定部と、
前記蓋体に連動して動作し、前記固定部を移動させる移動部と、を有し、
前記移動部は、前記蓋体が前記開口部を閉じた際には、前記軸心を固定するように前記固定部を移動させ、前記蓋体が前記開口部を開けた際には、前記軸心の固定を開放するように前記固定部を移動させることを特徴とする、請求項１に記載のロール状体の収容容器。
【請求項３】
前記移動部は弾性体を有し、
前記蓋体が前記開口部を閉じた際には、前記弾性体によって前記固定部が付勢されて前記軸心に当接するように移動し、前記蓋体が前記開口部を開けた際には、前記弾性体による前記固定部の付勢が開放され、前記固定部が前記軸心から退避するように移動することを特徴とする、請求項２に記載のロール状体の収容容器。
【請求項４】
前記容器本体の下面には、前記固定機構と当該固定機構の駆動部とを接続する接続部が形成されていることを特徴とする、請求項１に記載のロール状体の収容容器。
【請求項５】
前記容器本体には、当該容器本体の内部に所定の気体を供給するための給気口が形成されていることを特徴とする、請求項１又は４に記載のロール状体の収容容器。
【請求項６】
帯状の基材を処理する基材処理システムであって、
請求項１〜５のいずれか一項に記載の収容容器を載置する載置台と、
前記載置台上の前記収容容器の前記蓋体を移動させて前記開口部の開閉を行う開閉機構と、
基材に対して所定の処理を行う処理装置と、
ドライ環境下において、前記載置台上の前記収容容器と前記処理装置との間で前記ロール状体を搬送する搬送装置と、を有することを特徴とする、基材処理システム。
【請求項７】
前記処理装置は、
基材を巻き出す巻出部と、
前記巻出部の下流側に設けられ、基材の両面に活物質合剤を塗工する塗工部と、
前記塗工部の下流側に設けられ、基材の両面に塗工された前記活物質合剤を乾燥させて活物質層を形成する乾燥部と、
前記乾燥部の下流側に設けられ、前記活物質層が形成された基材を前記軸心に巻き取る巻取部と、を有し、
前記巻取部はドライ環境の空間に配置されることを特徴とする、請求項６に記載の基材処理システム。
【請求項８】
前記処理装置は、前記乾燥部の下流側に設けられ、前記活物質層が形成された基材を短手方向に所定の幅で切断する切断部を有し、
前記巻取部は複数設けられ、
前記巻取部は、前記切断部で切断された基材を巻き取ることを特徴とする、請求項７に記載の基材処理システム。
【請求項９】
前記処理装置は、複数の前記ロール状体を収容した状態で、当該ロール状体の基材の両面に塗工された活物質合剤を真空雰囲気下で乾燥させる真空乾燥装置であることを特徴とする、請求項６に記載の基材処理システム。
【請求項１０】
帯状の基材を処理する基材処理方法であって、
処理装置において基材に所定の処理を行う処理工程と、
その後、当該基材が軸心に巻き取られたロール状体を、ドライ環境下で搬送装置によって載置台上に載置された収容容器に搬送して収容する収容工程と、を有し、
前記収容工程では、
前記収容容器の容器本体の側面に形成された開口部から前記ロール状体を搬入し、
その後、前記軸心の両端部を支持する軸受部材に前記ロール状体を受け渡し、
その後、前記軸受部材に支持された前記軸心を固定機構によって固定すると共に、蓋体によって前記開口部を閉じて前記容器本体の内部を密閉することを特徴とする、基材処理方法。
【請求項１１】
前記固定機構は、前記軸受部材に支持された前記軸心を固定可能な固定部と、前記蓋体に連動して動作し、前記固定部を移動させる移動部と、を有し、
前記収容工程において、前記蓋体によって前記開口部を閉じた際に、前記移動部によって前記固定部を移動させて前記軸心を固定し、
その後、前記蓋体によって前記開口部を開けた際には、前記移動部によって前記固定部を移動させて前記軸心の固定を開放することを特徴とする、請求項１０に記載の基材処理方法。
【請求項１２】
前記移動部は弾性体を有し、
前記収容工程において、前記蓋体によって前記開口部を閉じた際に、前記弾性体によって前記固定部が付勢されて前記軸心に当接するように移動し、
その後、前記蓋体によって前記開口部を開けた際には、前記弾性体による前記固定部の付勢が開放され、前記固定部が前記軸心から退避するように移動することを特徴とする、請求項１１に記載の基材処理方法。
【請求項１３】
前記収容工程において、前記固定機構は、前記容器本体の下面側外部に設けられた駆動部により作動して前記軸心を固定することを特徴とする、請求項１０に記載の基材処理方法。
【請求項１４】
前記収容工程において、前記蓋体によって前記容器本体の内部を密閉した後、当該容器本体の内部に所定の気体を供給することを特徴とする、請求項１０又は１３に記載の基材処理方法。
【請求項１５】
前記処理工程は、
巻出部から基材を巻き出す巻出工程と、
その後、塗工部において、基材の両面に活物質合剤を塗工する塗工工程と、
その後、乾燥部において、基材の両面に塗工された前記活物質合剤を乾燥させて活物質層を形成する乾燥工程と、
その後、ドライ環境の空間に配置された巻取部において、前記活物質層が形成された基材を前記軸心に巻き取る巻取工程と、を有することを特徴とする、請求項１０〜１４のいずれか一項に記載の基材処理方法。
【請求項１６】
前記乾燥工程後であって前記巻取工程前に、切断部において、前記活物質層が形成された基材を短手方向に所定の幅で切断することを特徴とする、請求項１５に記載の基材処理方法。
【請求項１７】
前記処理工程において、複数の前記ロール状体を収容した状態で、当該ロール状体の基材の両面に塗工された活物質合剤を真空雰囲気下で乾燥させることを特徴とする、請求項１０〜１４のいずれか一項に記載の基材処理方法。
【請求項１８】
請求項１０〜１７のいずれか一項に記載の基材処理方法を基材処理システムによって実行させるように、当該基材処理システムを制御する制御部のコンピュータ上で動作するプログラム。
【請求項１９】
請求項１８に記載のプログラムを格納した読み取り可能なコンピュータ記憶媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、帯状の基材が軸心に巻き取られたロール状体を収容する収容容器、帯状の基材を処理する基材処理システム、帯状の基材を処理する基材処理方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、小型で軽量、且つエネルギー密度が高く、さらに繰り返し充放電が可能な特性を活かして、リチウムイオンキャパシタ（ＬＩＣ：Ｌｉｔｈｉｕｍ  Ｉｏｎ  Ｃａｐａｃｉｔｏｒ）、電気二重層キャパシタ（ＥＤＬＣ：Ｅｌｅｃｔｒｉｃ  Ｄｏｕｂｌｅ  Ｌａｙｅｒ  Ｃａｐａｃｉｔｏｒ）及びリチウムイオン電池（ＬＩＢ：Ｌｉｔｈｉｕｍ  Ｉｏｎ  Ｂａｔｔｅｒｙ）などの電気化学素子の需要が急速に拡大している。
【０００３】
リチウムイオン電池は、エネルギー密度が比較的大きいことから、携帯電話やノート型パーソナルコンピュータなどの分野で利用されている。また、電気二重層キャパシタは急速充放電が可能なので、パーソナルコンピュータ等のメモリーバックアップ小型電源として利用されている。さらに電気二重層キャパシタは電気自動車用の大型電源としての応用が期待されている。また、リチウムイオン電池の利点と電気二重層キャパシタの利点とを組み合わせたリチウムイオンキャパシタは、エネルギー密度、出力密度ともに高いことから注目を集めている。
【０００４】
このような電気化学素子の電極は、例えば基材としての集電体である金属箔の表面に活物質や溶媒を含む活物質合剤を塗工した後、当該活物質合剤を乾燥し活物質層を形成して製造される。かかる電極の製造には、例えば巻出部（巻出ロール）と巻取部（巻取ロール）との間に塗工部と乾燥部を配置した電極製造装置が用いられる（特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１２−１４６８５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、電極を製造するに際して、金属箔の表面の活物質合剤を乾燥させて活物質層を形成した後、例えば金属箔が外気により再び吸湿して製品化された場合、電気化学素子の使用時に電極に電圧を印可すると、水が電気分解されてガスが発生し電極が膨張するため、不良製品となるおそれがある。また、水分が電解液成分と反応して腐食性ガスを発生させる。そこで、金属箔の活物質合剤を乾燥させた後は、金属箔をドライ環境下（露点温度が所定の温度、例えば−５０℃以下の雰囲気環境下）で取り扱う必要がある。この点、特許文献１に記載された電極製造装置では、製造された電極が巻き取られた巻取ロールに対する吸湿対策までは具体的に開示されていない。
【０００７】
このような吸湿対策としては、例えば巻取ロールを包装材で真空パックすることが考えられる。しかしながら、すべての巻取ロールを包装材で包むのは作業が煩雑で、電極を製造するスループットが低下する。
【０００８】
また吸湿対策として、例えば電極製造装置をドライ環境に維持された室内に配置することが考えられる。しかしながら、室内全体をドライ環境に維持するのはコストがかかる。
【０００９】
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、帯状の基材を適切且つ効率よく処理することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
前記の目的を達成するため、本発明は、帯状の基材が軸心に巻き取られたロール状体を収容する収容容器であって、前記ロール状体を収容する容器本体と、前記容器本体の側面に形成された開口部を開閉可能で、且つ前記容器本体の内部を密閉可能な蓋体と、前記容器本体の内部に設けられ、前記軸心の両端部を支持する軸受部材と、前記容器本体の内部に設けられ、前記軸受部材に支持された前記軸心を固定する固定機構と、を有することを特徴としている。
【００１１】
本発明の収容容器を用いた場合、例えば基材に所定の処理を行った後、当該基材が軸心に巻き取られたロール状体を収容容器に搬送して収容することができる。具体的には、収容容器の容器本体の開口部からロール状体を搬入し、軸受部材にロール状体を受け渡した後、軸受部材に支持された軸心を固定機構によって固定すると共に、蓋体によって前記開口部を閉じて容器本体の内部を密閉する。このように内部が密閉された収容容器内にロール状体を収容できるので、基材に所定の処理を行った後も、当該基材が吸湿するのを抑制することができる。また、基材にパーティクル等の汚染物質が付着するのも抑制することができる。したがって、基材を適切に処理して保管することができる。
【００１２】
しかも基材の処理後、ロール状体を収容容器に搬送するだけでよいので、例えばロール状体を包装材に包む等の煩雑な作業が不要となる。また、基材の処理からロール状体の収容容器への収容まで自動で行うことも可能となる。このため、基材処理のスループットを向上させることができる。
【００１３】
さらに、ロール状体が収容された収容容器の内部をドライ環境にすればよく、すなわち、かかる環境制御を局所的にすることができる。このため、基材処理にかかるコストを低廉化することができる。したがって、基材を効率よく処理して保管することができる。
【００１４】
前記固定機構は、前記軸受部材に支持された前記軸心を固定可能な固定部と、前記蓋体に連動して動作し、前記固定部を移動させる移動部と、を有し、前記移動部は、前記蓋体が前記開口部を閉じた際には、前記軸心を固定するように前記固定部を移動させ、前記蓋体が前記開口部を開けた際には、前記軸心の固定を開放するように前記固定部を移動させてもよい。かかる場合、前記移動部は弾性体を有し、前記蓋体が前記開口部を閉じた際には、前記弾性体によって前記固定部が付勢されて前記軸心に当接するように移動し、前記蓋体が前記開口部を開けた際には、前記弾性体による前記固定部の付勢が開放され、前記固定部が前記軸心から退避するように移動してもよい。
【００１５】
前記容器本体の下面には、前記固定機構と当該固定機構の駆動部とを接続する接続部が形成されていてもよい。
【００１６】
前記容器本体には、当該容器本体の内部に所定の気体を供給するための給気口が形成されていてもよい。
【００１７】
別な観点による本発明は、帯状の基材を処理する基材処理システムであって、前記収容容器を載置する載置台と、前記載置台上の前記収容容器の前記蓋体を移動させて前記開口部の開閉を行う開閉機構と、基材に対して所定の処理を行う処理装置と、ドライ環境下において、前記載置台上の前記収容容器と前記処理装置との間で前記ロール状体を搬送する搬送装置と、を有することを特徴としている。なお、本発明におけるドライ環境とは、露点温度が所定の温度、例えば−５０℃以下の雰囲気環境をいう。
【００１８】
前記処理装置は、基材を巻き出す巻出部と、前記巻出部の下流側に設けられ、基材の両面に活物質合剤を塗工する塗工部と、前記塗工部の下流側に設けられ、基材の両面に塗工された前記活物質合剤を乾燥させて活物質層を形成する乾燥部と、前記乾燥部の下流側に設けられ、前記活物質層が形成された基材を前記軸心に巻き取る巻取部と、を有し、前記巻取部はドライ環境の空間に配置されてもよい。
【００１９】
前記処理装置は、前記乾燥部の下流側に設けられ、前記活物質層が形成された基材を短手方向に所定の幅で切断する切断部を有し、前記巻取部は複数設けられ、前記巻取部は、前記切断部で切断された基材を巻き取ってもよい。
【００２０】
前記処理装置は、複数の前記ロール状体を収容した状態で、当該ロール状体の基材の両面に塗工された活物質合剤を真空雰囲気下で乾燥させる真空乾燥装置であってもよい。
【００２１】
また別な観点による本発明は、帯状の基材を処理する基材処理方法であって、処理装置において基材に所定の処理を行う処理工程と、その後、当該基材が軸心に巻き取られたロール状体を、ドライ環境下で搬送装置によって載置台上に載置された収容容器に搬送して収容する収容工程と、を有し、前記収容工程では、前記収容容器の容器本体の側面に形成された開口部から前記ロール状体を搬入し、その後、前記軸心の両端部を支持する軸受部材に前記ロール状体を受け渡し、その後、前記軸受部材に支持された前記軸心を固定機構によって固定すると共に、蓋体によって前記開口部を閉じて前記容器本体の内部を密閉することを特徴としている。
【００２２】
前記固定機構は、前記軸受部材に支持された前記軸心を固定可能な固定部と、前記蓋体に連動して動作し、前記固定部を移動させる移動部と、を有し、前記収容工程において、前記蓋体によって前記開口部を閉じた際に、前記移動部によって前記固定部を移動させて前記軸心を固定し、その後、前記蓋体によって前記開口部を開けた際には、前記移動部によって前記固定部を移動させて前記軸心の固定を開放してもよい。かかる場合、前記移動部は弾性体を有し、前記収容工程において、前記蓋体によって前記開口部を閉じた際に、前記弾性体によって前記固定部が付勢されて前記軸心に当接するように移動し、その後、前記蓋体によって前記開口部を開けた際には、前記弾性体による前記固定部の付勢が開放され、前記固定部が前記軸心から退避してもよい。
【００２３】
前記収容工程において、前記固定機構は、前記容器本体の下面側外部に設けられた駆動部により作動して前記軸心を固定してもよい。
【００２４】
前記収容工程において、前記蓋体によって前記容器本体の内部を密閉した後、当該容器本体の内部に所定の気体を供給してもよい。
【００２５】
前記処理工程は、巻出部から基材を巻き出す巻出工程と、その後、塗工部において、基材の両面に活物質合剤を塗工する塗工工程と、その後、乾燥部において、基材の両面に塗工された前記活物質合剤を乾燥させて活物質層を形成する乾燥工程と、その後、ドライ環境の空間に配置された巻取部において、前記活物質層が形成された基材を前記軸心に巻き取る巻取工程と、を有していてもよい。
【００２６】
前記乾燥工程後であって前記巻取工程前に、切断部において、前記活物質層が形成された基材を短手方向に所定の幅で切断してもよい。
【００２７】
前記処理工程において、複数の前記ロール状体を収容した状態で、当該ロール状体の基材の両面に塗工された活物質合剤を真空雰囲気下で乾燥させてもよい。
【００２８】
また別な観点による本発明によれば、前記基材処理方法を基材処理システムによって実行させるように、当該基材処理システムを制御する制御部のコンピュータ上で動作するプログラムが提供される。
【００２９】
さらに別な観点による本発明によれば、前記プログラムを格納した読み取り可能なコンピュータ記憶媒体が提供される。
【発明の効果】
【００３０】
本発明によれば、帯状の基材を適切且つ効率よく処理することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本実施の形態にかかる基材処理システムの内部構成の概略を示す側面図である。
【図２】本実施の形態にかかる基材処理システムの内部構成の概略を示す平面図である。
【図３】基材処理システムで製造される電極の側面図である。
【図４】基材処理システムで製造される電極の平面図である。
【図５】塗工ヘッドの構成の概略を示す斜視図である。
【図６】収容容器の概略を示す斜視図である。
【図７】収容容器の概略を示す斜視図である。
【図８】収容容器の内部構成の概略を示す斜視図である。
【図９】載置台の概略を示す斜視図である。
【図１０】他の実施の形態にかかる収容容器の内部構成の概略を示す斜視図である。
【図１１】他の実施の形態において固定機構により軸心を固定する様子を示す説明図である。
【図１２】他の実施の形態において固定機構により軸心の固定を開放する様子を示す説明図である。
【図１３】他の実施の形態にかかる固定機構の構成の概略を示す側面図である。
【図１４】他の実施の形態にかかる固定機構の構成の概略を示す側面図である。
【図１５】他の実施の形態にかかる基材処理システムの内部構成の概略を示す側面図である。
【図１６】他の実施の形態にかかる基材処理システムの内部構成の概略を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３２】
以下、本発明の実施の形態について説明する。図１は、本実施の形態にかかる基材処理システム１の内部構成の概略を示す側面図である。図２は、基材処理システム１の内部構成の概略を示す平面図である。本実施の形態の基材処理システム１では、リチウムイオンキャパシタの電極を製造する。なお、本明細書および図面において、実質的に同一の機能構成を有する要素においては、同一の符号を付することにより重複説明を省略する。
【００３３】
基材処理システム１では、図３及び図４に示すように、帯状の基材としての金属箔Ｍの両面に活物質層Ｆが形成された電極Ｅが製造される。金属箔Ｍの両面の活物質層Ｆは、対向して形成される。また、活物質層Ｆは、例えば金属箔Ｍの短手方向（Ｘ方向）の中央部に形成され、且つ金属箔Ｍの長手方向（Ｙ方向）に複数形成される。
【００３４】
金属箔Ｍは、リチウムイオンキャパシタの場合は、例えば多孔質の集電体である。また、電気二重層キャパシタや、リチウムイオン電池などの場合は、例えば孔がない集電体である。電極Ｅとして正極を製造する際には、例えば金属箔Ｍとしてアルミニウム箔が用いられる。一方、負極を製造する際には、例えば金属箔Ｍとして銅箔が用いられる。
【００３５】
また、活物質層Ｆを形成するため、後述するように金属箔Ｍの表面にスラリー状の活物質合剤が塗工される。正極を製造する際の正極活物質合剤は、例えば活物質としての活性炭と、結着剤としてのアクリル系バインダと、分散剤としてのカルボキシメチルセルロースと、導電助材としてのアセチレンブラック等の導電性炭素粉末とを混合し、これに溶媒として水を添加、混練して生成される。一方、負極を製造する際の負極極活物質合剤は、例えばリチウムイオンを吸蔵・放出可能な活物質としての非晶質炭素と、結着剤としてのポリフッ化ビニリデンと、導電助材としてのアセチレンブラック等の導電性炭素材とを混合し、これに溶媒として水を添加、混練して生成される。
【００３６】
正極と負極とでは、上述したように材料は異なるが、金属箔Ｍ及び活物質層Ｆの幅や厚み等は大差がない（乾燥後で正極が負極の約２倍の厚さである）。このため、基材処理システム１は、リチウムイオンキャパシタの正極も負極も製造することができる。以下、これら正極と負極を電極Ｅと称して説明する。
【００３７】
なお、本実施の形態では、活物質層Ｆは金属箔Ｍの長手方向に複数形成されているが、基材処理システム１において、例えば連続した１つの活物質層Ｆを備えた電極Ｅや、連続した複数列の活物質層Ｆを備えた電極Ｅを製造してもよい。
【００３８】
基材処理システム１は、図１及び図２に示すように、処理装置２と、搬送装置３と、搬出装置４とを一体に接続した構成を有している。処理装置２は、金属箔Ｍに対して所定の処理を行い、電極Ｅを製造する。搬送装置３は、処理装置２から搬出装置４に後述するロール状体としての電極ロール６０を搬送する。搬出装置４は、電極ロール６０を基材処理システム１の外部に搬出する。
【００３９】
処理装置２は、通常環境室１０とドライ環境室１１に区分けされている。通常環境室１０の内部は、通常の大気雰囲気の通常環境にあり、簡易クリーンルームレベルに制御されていればよい。ドライ環境室１１の内部は、ドライ環境、露点温度が所定の温度、例えば−５０℃以下の雰囲気環境に制御されている。具体的には、ドライ環境室１１の上部に設けられたドライエア供給源１２からドライ環境室１１内にドライエアが供給されて、ドライ環境に制御されている。さらにこのようにドライエアが供給されることで、ドライ環境室１１内におけるパーティクル等の汚染物質も抑制され、清浄な雰囲気に制御される。また、ドライ環境室１１の内部は通常環境室１０の内部より陽圧に維持されている。このため、通常環境室１０とドライ環境室１１との間に形成された金属箔Ｍの通過口１３を介して、通常環境室１０の大気雰囲気がドライ環境室１１内に流入しないようになっている。なお、ドライ環境室１１にはドライエアに代えて、不活性ガス、例えば窒素ガスを供給してもよい。
【００４０】
通常環境室１０には、ロール状の金属箔Ｍを巻き出す巻出部２０と、金属箔Ｍの両面に活物質合剤を塗工する塗工部２１と、金属箔Ｍの両面に塗工された活物質合剤を乾燥させて活物質層Ｆを形成する乾燥部２２と、が設けられている。巻出部２０、塗工部２１、乾燥部２２は、金属箔Ｍの搬送方向に上流側からこの順で配置されている。
【００４１】
ドライ環境室１１には、活物質層Ｆが形成された金属箔Ｍを短手方向に所定の幅で複数、例えば２つに切断する切断部２３と、切断部２３で切断された金属箔Ｍ（電極Ｅ）を巻き取る巻取部２４が設けられている。切断部２３、巻取部２４は、金属箔Ｍの搬送方向に上流側からこの順で配置されている。また、巻取部２４は複数、例えば２つ鉛直方向に並べて配置されている。なお、切断部２３で金属箔Ｍを切断する個数は任意に設定でき、金属箔Ｍが切断される個数に応じて巻取部２４の個数が設定される。
【００４２】
巻出部２０と塗工部２１間、乾燥部２２と通過口１３間、通過口１３と切断部２３間、切断部２３と巻取部２４間には、それぞれ金属箔Ｍのガイドロール２５が複数設けられている。これら複数のガイドロール２５の配置は任意に設定することができる。
【００４３】
また巻出部２０と巻取部２４との間には、適宜箇所に駆動機構（図示せず）およびテンション調整部（図示せず）が設けられている。これら駆動機構とテンション調整部によって、巻出部２０から巻き出された金属箔Ｍが搬送され、適正な張力を保って巻取部２４に巻き取られるようになっている。
【００４４】
巻出部２０には、巻出ロール３０が配置される。巻出ロール３０は、その軸方向が水平方向（Ｘ方向）となる向きに配置されている。巻出ロール３０の軸心３１には未処理の金属箔Ｍが巻回されており、巻出ロール３０は軸心３１を中心に回転可能に構成されている。そして、金属箔Ｍは、その長手方向に引っ張られるのにつられて、巻出ロール３０から巻き出されるようになっている。
【００４５】
なお、巻出部２０の構成は以上の実施の形態に限定されず、金属箔Ｍを巻き出す構成であれば種々の構成を取り得る。
【００４６】
塗工部２１は、金属箔Ｍの表面に活物質合剤を塗工する塗工ヘッド４０を有している。塗工ヘッド４０は、搬送中の金属箔Ｍの両側に対向して配置されている。
【００４７】
塗工ヘッド４０は、図５に示すように水平方向（Ｘ方向）に延伸する略直方体形状を有している。塗工ヘッド４０は、例えば金属箔Ｍの短手方向よりも長く形成されている。塗工ヘッド４０の金属箔Ｍに対向する面には、活物質合剤を吐出するスリット状の塗工口４１が形成されている。塗工口４１は、水平方向（Ｘ方向）に延伸して形成されている。また、塗工口４１は、金属箔Ｍの短手方向の中央部に活物質合剤を供給できる位置に形成されている。また塗工ヘッド４０には、活物質合剤供給源４２に連通する供給管４３が接続されている。活物質合剤供給源４２の内部には活物質合剤が貯留されており、活物質合剤供給源４２から塗工ヘッド４０に活物質合剤を供給できるようになっている。
【００４８】
なお、塗工部２１の構成は以上の実施の形態に限定されず、金属箔Ｍの表面に活物質合剤を塗工できる構成であれば種々の構成を取り得る。例えば塗工部２１において、インクジェット方式で金属箔Ｍの表面に活物質合剤を塗工してもよいし、またローラを金属箔Ｍの表面に当接させて当該金属箔Ｍに活物質合剤を塗工してもよい。
【００４９】
乾燥部２２は、図１及び図２に示すように、金属箔Ｍ上の活物質合剤を例えば赤外線による輻射加熱によって乾燥させる加熱機構５０を有している。加熱機構５０は、搬送中の金属箔Ｍの両側に対向して配置されている。加熱機構５０には、赤外線を照射するロッドヒータ５１が、金属箔Ｍの長手方向（Ｙ方向）に並べて複数配置されている。ロッドヒータ５１は、水平方向（Ｘ方向）に、金属箔Ｍの短手方向の長さよりも長く延伸している。すなわち、ロッドヒータ５１は、金属箔Ｍの短手方向全体に赤外線を照射することができる。なお、加熱機構５０において、ロッドヒータ５１を挟んで金属箔Ｍと対向する位置には、ロッドヒータ５１からの赤外線を金属箔Ｍ側に反射させる反射板（図示せず）が設けられていてもよい。
【００５０】
なお、乾燥部２２の構成は以上の実施の形態に限定されず、金属箔Ｍ上の活物質合剤を乾燥できる構成であれば種々の構成を取り得る。例えば加熱手段は上記のロッドヒータ５１に限らず、赤外線を発光する複数のＬＥＤを配置してもよいし、温風乾燥でもよい。
【００５１】
切断部２３は、カッター（図示せず）を有し、金属箔Ｍを短手方向に所定の幅で切断する。
【００５２】
巻取部２４には、ロール状体としての電極ロール６０が配置される。電極ロール６０は、その軸方向が水平方向（Ｘ方向）となる向きに配置されている。電極ロール６０は、軸心６１を中心に回転可能に構成されている。そして、活物質層Ｆが形成された金属箔Ｍ（電極Ｅ）は軸心６１に巻き取られて、電極ロール６０となる。なお軸心６１の両端部は、それぞれ金属箔Ｍの両端部から例えば２０ｍｍ以上突出している。また軸心６１には、例えばアルミニウム等が用いられる。
【００５３】
搬送装置３は、電極ロール６０を搬送する搬送機構７０を有している。搬送機構７０は、電極ロール６０の軸心６１の両端部を保持するアーム７１、７１と、例えばモータ（図示せず）を内蔵した駆動部７２と、を有している。アーム７１は、駆動部７２によって作動し、電極ロール６０の受け取り、保持、受け渡しが可能になっている。また搬送機構７０は、駆動部７２によって、鉛直方向（Ｚ方向）と水平方向（Ｘ方向及びＹ方向）に移動可能になっている。
【００５４】
搬送装置３の内部は、ドライ環境、露点温度が所定の温度、例えば−５０℃以下の雰囲気環境に制御されている。具体的には、搬送装置３の上部に設けられたドライエア供給源７３から搬送装置３内にドライエアが供給されて、ドライ環境に制御されている。さらにこのようにドライエアが供給されることで、搬送装置３内におけるパーティクル等の汚染物質も抑制され、清浄な雰囲気に制御される。なお、搬送装置３にはドライエアに代えて、不活性ガス、例えば窒素ガスを供給してもよい。
【００５５】
搬出装置４には、電極ロール６０を収容するための収容容器８０を載置する載置台８１が複数、例えば２つ設けられている。複数の載置台８１は、水平方向（Ｘ方向）に並べて配置されている。各載置台８１上には、載置板８２が設けられている。載置板８２は、基材処理システム１の外部に対して収容容器８０を搬入出する際に、収容容器８０を載置することができる。また各載置台８１の搬送装置３側には、収容容器８０の後述する蓋体９２を移動させて開口部９１の開閉を行う開閉機構としてのオープナー８３が設けられている。オープナー８３は、駆動部（図示せず）によって鉛直方向（Ｚ方向）に移動可能に構成されている。
【００５６】
なお、収容容器８０、載置台８１、載置板８２、オープナー８３の個数は本実施の形態に限定されず、任意に設定することができる。また本実施の形態では、複数の載置台８１が設けられたが、１つの載置台８１に複数の載置板８２と複数のオープナー８３を設けてもよい。
【００５７】
収容容器８０は、図６及び図７に示すように電極ロール６０を収容する容器本体９０を有している。容器本体９０は、略直方体形状を有し、一の側面に電極ロール６０を搬入出するための開口部９１が形成されている。開口部９１には、当該開口部９１を開閉可能な蓋体９２が設けられている。蓋体９２は、上述したオープナー８３によって鉛直方向に移動し、開口部９１が開閉される。そして蓋体９２は、開口部９１を閉じた際に容器本体９０の内部を密閉可能に構成されている。なお、載置台８１上で収容容器８０の開口部９１が開けられた際にも、当該開口部９１はドライ環境に制御された搬送装置３に開放され、容器本体９０の内部に外気が流入することはない。
【００５８】
容器本体９０の内部であって下面９０ａ上には、図８に示すように電極ロール６０の軸心６１を支持する軸受部材９３が設けられている。軸受部材９３は、軸心６１の両端部にそれぞれ設けられている。軸受部材９３の上部９３ａは、軸心６１の下部を支持するように当該軸心６１の形状に沿って下方に窪んでいる。そして下方に窪んだ上部９３ａによって、軸心６１が位置決めされる。
【００５９】
また容器本体９０の内部には、軸受部材９３に支持された軸心６１を固定する固定機構９４が設けられている。固定機構９４は、軸心６１の両端部にそれぞれ設けられている。
【００６０】
固定機構９４は、軸心６１に当接して固定する固定アーム９５と、固定アーム９５を鉛直方向に移動させるためのエアシリンダ９６とを有している。固定アーム９５と軸受部材９３との間には、バネ９７は設けられている。そして固定アーム９５は、エアシリンダ９６によって移動して軸心６１に当接し、さらにバネ９７によって軸心６１側に付勢されて、軸心６１を固定する。
【００６１】
容器本体９０の下面９０ａには、エアシリンダ９６にエアを供給する、接続部としてのエア供給口９８が形成されている。エア供給口９８は、図９に示すように載置板８２に形成された他のエア供給口９９に対応して形成されている。またエア供給口９８は、他のエア供給口９９を介して、図８に示すようにエアシリンダ９６の駆動部としてのエア供給源１００に連通している。そして、エア供給源１００からエア供給口９９、９８を介してエアシリンダ９６にエアが供給されるようになっている。なおエア供給源１００は、例えば載置台８１の内部に配置されている。
【００６２】
また容器本体９０の下面９０ａには、容器本体９０の内部に所定の気体であるドライエアを供給するための給気口１０１が形成されている。給気口１０１は、図９に示すように載置板８２に形成された他の給気口１０２に対応して形成されている。また給気口１０１は、他の給気口１０１を介して、図８に示すようにドライエア供給源１０３に連通している。ドライエア供給源１０３は、例えば載置台８１の内部に配置されている。なお、給気口１０１から供給される気体は、ドライエアに代えて、不活性ガス、例えば窒素ガスを供給してもよい。
【００６３】
さらに容器本体９０の下面９０ａには、容器本体９０の内部を排気するための排気口１０４が形成されている。排気口１０４は、図９に示すように載置板８２に形成された他の排気口１０５に対応して形成されている。また排気口１０４は、他の排気口１０５を介して、図８に示すように真空ポンプ１０６に連通している。真空ポンプ１０６は、例えば載置台８１の内部に配置されている。
【００６４】
このように容器本体９０の下面９０ａに給気口１０１と排気口１０４が形成されていることで、容器本体９０の内部をドライ環境に制御することができる。また給気口１０１と排気口１０４により、容器本体９０におけるパーティクル等の汚染物質も抑制され、清浄な雰囲気に制御される。
【００６５】
以上の基材処理システム１には、図１に示すように制御部１１０が設けられている。制御部１１０は、例えばコンピュータであり、プログラム格納部（図示せず）を有している。プログラム格納部には、基材処理システム１における金属箔Ｍに対する処理、すなわち電極Ｅを製造するための処理を制御するプログラムが格納されている。なお、前記プログラムは、例えばコンピュータ読み取り可能なハードディスク（ＨＤ）、フレキシブルディスク（ＦＤ）、コンパクトディスク（ＣＤ）、マグネットオプティカルデスク（ＭＯ）、メモリーカードなどのコンピュータに読み取り可能な記憶媒体Ｈに記録されていたものであって、その記憶媒体Ｈから制御部１１０にインストールされたものであってもよい。
【００６６】
本実施の形態にかかる基材処理システム１は以上のように構成されている。次に、基材処理システム１における金属箔Ｍに対する処理、すなわち電極Ｅを製造するための処理について説明する。
【００６７】
処理装置２の通常環境室１０において、金属箔Ｍは巻出部２０の巻出ロール３０から巻き出され、塗工部２１に搬送される。この金属箔Ｍは、例えば５００ｍｍの幅を有している。塗工部２１では、搬送中の金属箔Ｍの表面に対して、塗工ヘッド４０からスラリー状の活物質合剤が塗工される。この際、金属箔Ｍの両側に配置された塗工ヘッド４０、４０から活物質合剤を供給することで、金属箔Ｍの両面に活物質合剤が均一な膜厚で同時に塗工される。また、塗工ヘッド４０から供給される活物質合剤は金属箔Ｍの短手方向の中央部に塗工される。さらに、塗工ヘッド４０から活物質合剤を断続的に供給することで、金属箔Ｍの長手方向に複数の領域に活物質合剤が塗工される。
【００６８】
その後、活物質合剤が塗工された金属箔Ｍは、乾燥部２２に搬送される。乾燥部２２では、金属箔Ｍの両側に配置された加熱機構５０からの赤外線による輻射加熱によって、金属箔Ｍの両面の活物質合剤が乾燥され、当該金属箔Ｍの両面に所定の膜厚の活物質層Ｆが形成される。このとき、加熱機構５０のロッドヒータ５１の温度は１００℃〜２００℃程度に設定されている。また、給気機構（図示せず）を設けて気流を形成して乾燥を促進してもよい。
【００６９】
その後、活物質層Ｆが形成された金属箔Ｍは、通常環境室１０から通過口１３を通って、ドライ環境室１１に搬送される。ドライ環境室１１において、金属箔Ｍは切断部２３に搬送される。切断部２３では、金属箔Ｍが短手方向に２つに切断される。２つの金属箔Ｍの幅は等しく、各金属箔Ｍの幅は例えば２５０ｍｍである。
【００７０】
その後、切断された２つの金属箔Ｍは、それぞれ別の巻取部２４に搬送される。巻取部２４では、金属箔Ｍ（電極Ｅ）が軸心６１に巻き取られ、電極ロール６０が製造される。電極ロール６０は例えば２００ｍｍの径を有し、当該電極ロール６０を収容した収容容器８０の重量が例えば２０ｋｇ程度（人が搬送できる程度）になる。
【００７１】
かかるドライ環境室１１の内部は、ドライ且つ清浄な環境に制御されている。そうすると、ドライ環境室１１において、切断部２３で金属箔Ｍが切断され、さらに巻取部２４で金属箔Ｍが巻き取られる際には、金属箔Ｍが吸湿するのを抑制でき、また金属箔Ｍに汚染物質が付着するのも抑制できる。
【００７２】
その後、搬送装置３の搬送機構７０によって、処理装置２のドライ環境室１１から搬出装置４の載置台８１に載置された収容容器８０に電極ロール６０が搬送される。この電極ロール６０の搬送においても、搬送装置３の内部がドライ且つ清浄な環境に制御されているので、金属箔Ｍが吸湿するのを抑制でき、また金属箔Ｍに汚染物質が付着するのを抑制できる。
【００７３】
収容容器８０に電極ロール６０が搬送される際、容器本体９０の開口部９１は開けられている。そして、電極ロール６０は開口部９１から容器本体９０に搬入され、搬送機構７０から軸受部材９３に受け渡される。このとき、開口部９１はドライ環境に制御された搬送装置３に開放され、容器本体９０の内部に外気が流入することはない。
【００７４】
その後、エア供給源１００からエアシリンダ９６にエアを供給して当該エアシリンダ９６を作動させ、固定機構９４の固定アーム９５によって軸受部材９３に支持された軸心６１を固定する。また蓋体９２によって、開口部９１を閉じて容器本体９０の内部を密閉する。
【００７５】
その後、給気口１０１から容器本体９０の内部にドライエアが供給され、当該容器本体９０の内部がドライ環境に制御される。このため、容器本体９０内に収容された電極ロール６０において、金属箔Ｍが吸湿するのを抑制でき、また金属箔Ｍに汚染物質が付着するのを抑制できる。
【００７６】
なお、容器本体９０内に電極ロール６０を収容して保管する期間が長い場合には、排気口１０４から容器本体９０の内部を排気すると共に、給気口１０１から容器本体９０の内部にドライエアを供給して、当該容器本体９０の内部をドライ環境に制御する。
【００７７】
その後、基材処理システム１から収容容器８０が搬出され、基材処理システム１における一連の処理が終了する。
【００７８】
以上の実施の形態によれば、処理装置２のドライ環境室１１の内部、搬送装置３の内部、収容容器８０の容器本体９０の内部がそれぞれドライ環境に制御されるので、活物質層Ｆが形成された金属箔Ｍ（電極Ｅ）が吸湿するのを抑制でき、また金属箔Ｍに汚染物質が付着するのを抑制できる。したがって、金属箔Ｍに対する処理を適切に行うことができる。
【００７９】
また、処理装置２における金属箔Ｍの処理後、電極ロール６０を収容容器８０に搬送するだけでよいので、例えば電極ロール６０を包装材に包む等の煩雑な作業が不要となる。このため、金属箔Ｍの処理のスループットを向上させることができる。
【００８０】
さらに、処理装置２における金属箔Ｍの処理から電極ロール６０の収容容器８０への収容までの一連の処理を一の基材処理システム１で行うことができるので、金属箔Ｍの処理のスループットをさらに向上させることができる。
【００８１】
また、電極ロール６０が収容されて密閉された収容容器８０（容器本体９０）の内部をドライ環境にすればよく、すなわち、かかる環境制御を局所的にすることができる。このため、金属箔Ｍの処理にかかるコストを低廉化することができる。したがって、金属箔Ｍを効率よく処理することができる。
【００８２】
また、収容容器８０には容器本体９０の内部にドライエアを供給するための給気口１０１が形成されているので、当該容器本体９０の内部を常にドライ環境に制御することができ、収容容器８０に電極ロール６０を長期間保管することもできる。
【００８３】
また、収容容器８０において軸受部材９３に支持された軸心６１は固定機構９４によって固定されるので、電極ロール６０を収容した収容容器８０を搬送する際にも、電極ロール６０が損傷を被ることなく適切に収容されて保管される。しかも、収容容器８０内において金属箔Ｍ（電極Ｅ）には何も接触しないので、当該金属箔Ｍの損傷も抑制される。
【００８４】
さらに、固定機構９４のエアシリンダ９６と、当該エアシリンダ９６を駆動させるエア供給源１００とは、容器本体９０の下面９０ａに形成されたエア供給口９８を介して接続されている。このため、収容容器８０を載置台８１に載置するだけで、エアシリンダ９６を作動可能な状態にすることができる。したがって、収容容器８０の構成を簡易にすることができる。
【００８５】
しかも、固定機構９４の駆動部であるエア供給源１００が収容容器８０の外部に設けられているので、かかる観点からも収容容器８０の構成を簡易にすることができる。
【００８６】
また固定機構９４は、蓋体９２を移動させて開口部９１の開閉を行うオープナー８３と連動せず、個別に軸心６１を固定することができる。したがって、収容容器８０において電極ロール６０を収容する際の自由度が向上する。例えばオープナー８３の不具合等、開口部９１の開閉が手動で行われる場合でも、収容容器８０内では電極ロール６０を適切に収容できる。
【００８７】
なお、本実施の形態の基材処理システム１において、例えば巻出部２０の巻出ロール３０における金属箔Ｍの幅が、巻取部２４の電極ロール６０における金属箔Ｍの幅と同じ場合には、切断部２３を省略してもよい。
【００８８】
以上の実施の形態の収容容器８０において、固定機構９４はエアシリンダ９６によって固定アーム９５を移動させて軸心６１を固定するものであったが、固定機構９４の構成はこれに限定されず、種々の構成をとり得る。
【００８９】
例えばエアシリンダ９６に代えて、電気的に作動する移動機構、例えばソレノイド等のアクチュエータであってもよい。かかる場合、エア供給口９８、９９に代えて電子端子が用いられ、エア供給源１００に代えて電源が用いられる。かかる場合であっても、移動機構によって固定アーム９５を移動させることができ、当該固定アーム９５によって軸心６１を固定することができる。
【００９０】
また固定機構９４は、例えば図１０に示すように軸心６１に当接して固定する固定部としての固定アーム１５０と、固定アーム１５０を軸心６１に対して進退自在に移動させる移動部１５１とを有していてもよい。
【００９１】
固定アーム１５０の一端部は、軸心６１の上部に当接するように当該軸心６１の形状に沿って上方に窪んでいる。当該他端部には、移動部１５１が接続されている。また、固定アーム１５０の他端部には、後述する移動部１５１のピン１５６が挿通される長穴１５０ａが形成されている。さらに固定アーム１５０には、軸１５２が取り付けられている。軸１５２は、軸心６１の両端部に設けられた一対の固定アーム１５０、１５０を接続するように設けられる。そして、移動部１５１の水平方向の移動に伴って、固定アーム１５０は軸１５２を中心に回動する。なお、本発明の固定部は、本実施の形態のようにアーム状に限定されず、軸心６１を固定する形状であれば任意の形状を取り得る。
【００９２】
移動部１５１は、例えばプッシュロッド式の機構であって、棒状のロッド１５３を有している。ロッド１５３において蓋体９２側の一端部には、当該蓋体９２に当接するパッド１５４が設けられている。また、当該一端部には弾性体としてのバネ１５５が取り付けられている。ロッド１５３の他端部には、上述した固定アーム１５０の長穴１５０ａを挿通するピン１５６が設けられている。ピン１５６はロッド１５３の水平方向の移動に伴って、長穴１５０ａをその長手方向に移動自在になっている。さらに、ロッド１５３の中央部付近には、ロッド１５３の水平方向の移動をガイドするブッシュ１５７が設けられている。そして、移動部１５１は、蓋体９２の開閉に連動して動作する。なお、本発明の移動部は、本実施の形態のようにプッシュロッド式に限定されず、固定アーム１５０を移動させる方式であれば任意の方式を取り得る。また、本実施の形態において移動部１５１は、一対の固定アーム１５０、１５０の両方に設けられていたが、これら固定アーム１５０、１５０は軸１５２で接続されているため、いずれか一方にのみ設けられていてもよい。
【００９３】
次に、かかる構成を有する固定機構９４の作用について説明する。収容容器８０に電極ロール６０を収容する際には、蓋体９２によって開口部９１を閉じる。この際、図１１に示すように蓋体９２のＸ方向正方向の移動に伴い、移動部１５１のバネ１５５によって、ピン１５６（固定アーム１５０）が付勢されてＸ方向正方向側に移動する。そして、固定アーム１５０は、軸１５２を中心に回動し軸心６１に当接して、当該軸心６１を固定する。
【００９４】
一方、収容容器８０から電極ロール６０を取り出す際には、蓋体９２によって開口部９１を開ける。この際、図１２に示すように蓋体９２のＸ方向負方向の移動に伴い、移動部１５１のバネ１５５によって、ピン１５６（固定アーム１５０）の付勢が開放されてＸ方向負方向側に移動する。そして、固定アーム１５０は、軸１５２を中心に回動し軸心６１から退避するように移動し、当該軸心６１の固定を開放する。
【００９５】
本実施の形態においても、上記実施の形態と同様の効果を享受することができる。また、固定機構９４は蓋体９２に連動して動作するので、蓋体９２を閉じて収容容器８０に電極ロール６０を収容する際には、軸心６１を確実に固定することができ、また蓋体９２を開けて収容容器８０から電極ロール６０を取り出す際には、軸心６１の固定を容易に開放することができる。しかも、このように固定機構９４は蓋体９２に連動して動作するので、当該固定機構９４の動作に際して外力が不要となり、簡易な構造で軸心６１を固定することができる。
【００９６】
また固定機構９４は、例えば図１３に示すように固定部材２００によって軸心６１を固定してもよい。固定部材２００は、例えば棒形状を有している。そして固定部材２００は、軸受部材９３に支持された軸心６１の上部において、水平方向に移動自在に構成されている。
【００９７】
さらに固定機構９４は、例えば図１４に示すように固定部材２１０によって軸心６１を固定してもよい。固定部材２１０は、軸受部材９３に支持された軸心６１の外周に沿った形状、例えば円弧状の形状を有している。そして固定部材２１０は、軸心６１の外周に沿った方向に移動自在に構成され、すなわち軸心６１の軸方向を中心に回動自在に構成されている。
【００９８】
上記固定部材２００、２１０のいずれによっても、軸心６１を適切に固定することができる。
【００９９】
以上の実施の形態の基材処理システム１において、処理装置２では他の処理を行ってもよい。
【０１００】
例えば処理装置２において、上記実施の形態で製造された電極ロール６０に対して、真空乾燥処理を行ってもよい。すなわち、上記実施の形態では乾燥部２２において金属箔Ｍ上の活物質合剤を乾燥させているが、かかる活物質合剤の乾燥をより完全に行うために真空乾燥処理を行ってもよい。
【０１０１】
かかる場合、図１５及び図１６に示すように基材処理システム１の処理装置２の内部には、複数のチャンバ２２０が設けられている。チャンバ２２０は、鉛直方向（Ｚ方向）と水平方向（Ｘ方向）にそれぞれ複数設けられている。各チャンバ２２０の搬送装置３側の側面には、ゲートバルブ２２１が設けられている。そしてゲートバルブ２２１を閉じた状態で、チャンバ２２０の内部は所定の真空雰囲気に制御可能になっている。また、チャンバ２２０の内部には加熱機構（図示せず）が設けられている。
【０１０２】
なお、その他の搬送装置３と搬出装置４の構成は、それぞれ上記実施の形態の搬送装置３と搬出装置４の構成と同様であるので説明を省略する。但し、本実施の形態の搬出装置４は、基材処理システム１の外部に対する収容容器８０の搬出を行うと共に搬入も行う。
【０１０３】
そして、上記実施の形態の形態で製造された電極ロール６０は、収容容器８０に収容された状態で本実施の形態の基材処理システム１に搬入され、載置台８１に載置される。
【０１０４】
その後、搬送機構７０によって、載置台８１に載置された収容容器８０から電極ロール６０が取り出され、処理装置２のチャンバ２２０内に搬送される。その後、チャンバ２２０の内部が真空雰囲気に制御され、電極ロール６０に対して加熱処理が行われる。そして、金属箔Ｍの両面の活物質合剤が乾燥される。その後、搬送機構７０によって、チャンバ２２０から収容容器８０に電極ロール６０が搬送され、当該電極ロール６０が収容容器８０に収容される。こうして、基材処理システム１における一連の真空乾燥処理が終了する。
【０１０５】
本実施の形態においても、上記実施の形態と同様の効果を享受できる。すなわち、搬送装置３の内部、収容容器８０の容器本体９０の内部がそれぞれドライ環境に制御されるので、活物質層Ｆが形成された金属箔Ｍが吸湿するのを抑制でき、また金属箔Ｍに汚染物質が付着するのを抑制できる。したがって、金属箔Ｍに対する処理を適切に行うことができる。
【０１０６】
また基材処理システム１の処理装置２において、さらに他の処理を行ってもよい。例えばリチウムイオンキャパシタを製造する際には、組み立て工程等の後工程がさらに続く。処理装置２ではこれら後工程を行ってもよい。
【０１０７】
さらに以上の実施の形態では、リチウムイオンキャパシタの電極Ｅを製造する場合について説明したが、電気二重層キャパシタに用いられる電極やリチウムイオン電池に用いられる電極を製造する場合にも、本発明の基材処理システム１を用いることができる。かかる場合、製造される電極の種類に応じて、金属箔Ｍの材質や活物質合剤の材料等を変更すればよい。
【０１０８】
以上の実施の形態の収容容器８０は、基材処理システム１で製造された電極ロール６０を収容するために用いられたが、種々のロール状体を収容するために用いることができる。例えば収容容器８０は、リチウムイオンキャパシタや、電気二重層キャパシタ、リチウムイオン電池等に用いられるセパレータを軸心に巻き取り、当該セパレータのロール状体を収容してもよい。
【０１０９】
以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明はかかる例に限定されない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された思想の範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
【符号の説明】
【０１１０】
１      基材処理システム
２      処理装置
３      搬送装置
４      搬出装置
１０    通常環境室
１１    ドライ環境室
２０    巻出部
２１    塗工部
２２    乾燥部
２３    切断部
２４    切断部
６０    電極ロール
６１    軸心
８０    収容容器
８１    載置台
８３    オープナー
９０    容器本体
９１    開口部
９２    蓋体
９３    軸受部材
９４    固定機構
９５    固定アーム
９６    エアシリンダ
９７    バネ
９８    エア供給口
１００  エア供給源
１０１  給気口
１０４  排気口
１１０  制御部
１５０  固定アーム
１５１  移動部
１５２  軸
１５３  ロッド
１５４  パッド
１５５  バネ
１５６  ピン
１５７  ブッシュ
２２０  チャンバ
Ｅ      電極
Ｆ      活物質層
Ｍ      金属箔
【図１】
2014158016.tif 000003
【図２】
2014158016.tif 000004
【図３】
2014158016.tif 000005
【図４】
2014158016.tif 000006
【図５】
2014158016.tif 000007
【図６】
2014158016.tif 000008
【図７】
2014158016.tif 000009
【図８】
2014158016.tif 000010
【図９】
2014158016.tif 000011
【図１０】
2014158016.tif 000012
【図１１】
2014158016.tif 000013
【図１２】
2014158016.tif 000014
【図１３】
2014158016.tif 000015
【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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