(57)【要約】【課題】吸着材の再生後、吸着処理を再開する際に発生し得る吸着能力の低下を、コストアップや時間的ロスを招くことなく抑制する。【解決手段】二酸化炭素に含まれる不純物質を吸着させる吸着材の再生装置２０は、吸着材が充填された吸着塔１１に再生ガスを供給する再生ガス供給手段２３と、吸着塔１１に供給される再生ガスを加熱する加熱手段２５と、吸着塔１１に供給された再生ガスを、吸着塔１１を含む循環経路３０に沿って循環させるガス循環手段２７と、循環経路３０に沿って循環する再生ガスを冷却する冷却手段２８と、吸着塔１１に再生ガスを加熱して供給した後、循環経路３０に沿って、再生ガスを冷却しながら循環させる制御手段２９と、を有している。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
二酸化炭素に含まれる不純物質を吸着させる吸着材の再生装置であって、
前記吸着材が充填された吸着塔に再生ガスを供給する再生ガス供給手段と、
前記吸着塔に供給される前記再生ガスおよび前記吸着塔のいずれかを加熱する加熱手段と、
前記吸着塔に供給された前記再生ガスを、前記吸着塔を含む循環経路に沿って循環させるガス循環手段と、
前記循環経路に沿って循環する前記再生ガスを冷却する冷却手段と、
前記吸着塔に前記再生ガスを加熱して供給するか、または、加熱した前記吸着塔に前記再生ガスを供給した後、前記循環経路に沿って、前記再生ガスを冷却しながら循環させる制御手段と、
を有する、吸着材の再生装置。
【請求項２】
ガス排出弁を介して前記吸着塔に接続され、前記吸着塔に供給された前記再生ガスを排出するためのガス排出ラインと、
ガス戻り弁を介して前記吸着塔に接続され、前記循環経路を形成するガス戻りラインと、を有し、
前記制御手段は、前記再生ガスを前記吸着塔に流通させた後で、前記再生ガスを前記循環経路に沿って循環させるように、前記ガス排出弁と前記ガス戻り弁とを制御する、請求項１に記載の吸着材の再生装置。
【請求項３】
前記ガス戻りラインは、前記ガス排出弁の上流側で前記ガス排出ラインに接続されている、請求項２に記載の吸着材の再生装置。
【請求項４】
前記前記吸着塔に前記再生ガスを導入するためのガス導入ラインであって、前記再生ガス供給手段が前記再生ガス供給弁を介して接続されたガス導入ラインを有する、請求項１から３のいずれか１項に記載の吸着材の再生装置。
【請求項５】
前記ガス戻りラインは、前記ガス導入ラインに接続されている、請求項４に記載の吸着材の再生装置。
【請求項６】
前記再生ガスが、不活性ガスである、請求項１から５のいずれか１項に記載の吸着材の再生装置。
【請求項７】
前記不活性ガスが、窒素である、請求項６に記載の吸着材の再生装置。
【請求項８】
二酸化炭素に含まれる不純物質を吸着させる吸着材の再生方法であって、
前記吸着材が充填された吸着塔に再生ガスを加熱して供給し、該加熱した再生ガスを前記吸着塔に流通させるか、または、前記吸着塔を加熱し、該加熱した吸着塔に前記再生ガスを流通させて、前記吸着材を再生するステップと、
前記吸着材を再生した後、前記吸着塔を含む循環経路に沿って、前記再生ガスを冷却しながら循環させるステップと、
を含む、吸着材の再生方法。
【請求項９】
前記再生ガスを冷却しながら循環させる前に、前記再生ガスを前記吸着塔に供給しながら、前記再生ガスまたは前記吸着塔の前記加熱を停止するステップをさらに含む、請求項８に記載の吸着材の再生方法。
【請求項１０】
前記吸着材を再生するステップが、前記再生ガスとして不活性ガスを供給することを含む、請求項８または９に記載の吸着材の再生方法。
【請求項１１】
前記不活性ガスが、窒素である、請求項１０に記載の吸着材の再生方法。
【請求項１２】
二酸化炭素に含まれる不純物質を吸着させる吸着材が充填された吸着塔と、前記吸着材を再生するための再生装置と、を有する吸着装置を備えた二酸化炭素精製装置であって、
前記再生装置が、
前記吸着塔に再生ガスを供給する再生ガス供給手段と、
前記吸着塔に供給される前記再生ガスおよび前記吸着塔のいずれかを加熱する加熱手段と、
前記吸着塔に供給された前記再生ガスを、前記吸着塔を含む循環経路に沿って循環させるガス循環手段と、
前記循環経路に沿って循環する前記再生ガスを冷却する冷却手段と、
前記吸着塔に前記再生ガスを加熱して供給するか、または、加熱した前記吸着塔に前記再生ガスを供給した後、前記循環経路に沿って、前記再生ガスを冷却しながら循環させる制御手段と、
を有する、二酸化炭素精製装置。
【請求項１３】
二酸化炭素に含まれる不純物質を吸着させる吸着材の再生方法を含む二酸化炭素精製方法であって、
前記再生方法が、
前記吸着材が充填された吸着塔に再生ガスを加熱して供給し、該加熱した再生ガスを前記吸着塔に流通させるか、または、前記吸着塔を加熱し、該加熱した吸着塔に前記再生ガスを流通させて、前記吸着材を再生するステップと、
前記吸着材を再生した後、前記吸着塔を含む循環経路に沿って、前記再生ガスを冷却しながら循環させるステップと、
を含む、二酸化炭素精製方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、吸着材の再生装置、吸着材の再生方法、二酸化炭素精製装置、および二酸化炭素精製方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
二酸化炭素（ＣＯ2）は、気体状態で様々な用途に使用されるほか、液体状態あるいは超臨界状態で、例えば、洗浄や乾燥などの工程に使用されている。近年では、半導体デバイスの製造プロセスにおける洗浄工程を、液体ＣＯ2や超臨界ＣＯ2を用いて行うことが提案されている。
【０００３】
半導体デバイスの製造プロセスにおいて液体ＣＯ2や超臨界ＣＯ2を使用するためには、ユースポイント（例えば洗浄装置）に対して、不純物量が極めて少なく高純度に精製された液体ＣＯ2や超臨界ＣＯ2を連続的に供給する必要がある。例えば、特許文献１には、循環精製型の流体供給システムが開示されている。このシステムでは、液体ＣＯ2を気化させ、そのＣＯ2ガスを凝縮させて再び液体ＣＯ2にする循環系が用いられ、この循環系内でＣＯ2の気化と凝縮とを繰り返すことによってＣＯ2の純度が高められている。
【０００４】
一方、半導体デバイスの製造プロセスでは、ユースポイントで使用されたＣＯ2を回収して精製し、同じ製造プロセスで再利用することも求められている。例えば、特許文献２には、洗浄装置や乾燥装置で使用された超臨界ＣＯ2または液体ＣＯ2を回収して再生させる再生回収装置が開示されている。
【０００５】
ところで、上述のような循環系では、ガスボンベなどのＣＯ2供給源から、循環系内にＣＯ2が随時供給されるが、ＣＯ2供給源からのＣＯ2には、水分、油分、または揮発性不純物などが含まれている。また、半導体デバイス製造プロセスで用いられる洗浄装置や乾燥装置から回収されるＣＯ2にも、同様の不純物質が含まれている。特許文献１に記載の流体供給システムや特許文献２に記載の再生回収装置では、気液分離手段やフィルタなどの濾過手段などを用いてＣＯ2の精製が行われているが、これらの手段だけでは、上述の不純物質を十分に除去することが困難である。
【０００６】
そこで、ＣＯ2に含まれる、水分、油分、または揮発性不純物などの不純物質を確実に除去し、高純度のＣＯ2を精製する方法として、吸着材を用いる方法が提案されている（例えば、特許文献３，４参照）。この方法では、除去対象物質や処理条件などにより吸着材を適宜選択することで、さまざまな不純物質を除去することが可能となる。
【０００７】
ただし、吸着材の吸着能力には限界があり、吸着能力が限界に近づいたり、吸着量が一定以上になったりすると、ＣＯ2に含まれる不純物質を十分に取り除くことができなくなる。そのため、吸着量が一定以上になった時点で、吸着材の再生を行う必要がある。このような吸着材の再生方法として、例えば、特許文献５には、吸着材が充填された吸着塔に、不活性ガスを再生ガスとして導入する方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００６−３２６４２９号公報
【特許文献２】特開２００５−２８１０１６号公報
【特許文献３】特表２００９−５０６９６７号公報
【特許文献４】特表２００９−５０４３８３号公報
【特許文献５】特開２００３−１１７３３９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
上述した再生方法では、吸着材に吸着した成分を脱着させるために、加熱した再生ガスを吸着塔に導入し、吸着材を加熱する方法が採用されている。そのため、吸着材は、再生工程が終了した時点で高温状態となるが、この状態ではＣＯ2の精製工程（吸着処理）を再開することはできない。これは、吸着材の吸着能力は高温状態では低下してしまうためである。したがって、吸着材の再生工程終了後、吸着処理を再開する前には、吸着材を冷却する必要がある。
【００１０】
吸着材を冷却する方法としては、吸着材が十分に冷却するまで冷却ガスを吸着塔に流通させることが考えられるが、このためには大量の冷却ガスを消費することになり、コストへの影響が大きくなる。また、発熱した吸着材を放熱により再冷却するには、かなりの時間が必要となり、時間的ロスが問題となる。
【００１１】
そこで、本発明の目的は、吸着材の再生後、吸着処理を再開する際に発生し得る吸着能力の低下を、コストアップや時間的ロスを招くことなく抑制することである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上述した目的を達成するために、本発明の吸着材の再生装置は、二酸化炭素に含まれる不純物質を吸着させる吸着材の再生装置であって、吸着材が充填された吸着塔に再生ガスを供給する再生ガス供給手段と、吸着塔に供給される再生ガスおよび吸着塔のいずれかを加熱する加熱手段と、吸着塔に供給された再生ガスを、吸着塔を含む循環経路に沿って循環させるガス循環手段と、循環経路に沿って循環する再生ガスを冷却する冷却手段と、吸着塔に再生ガスを加熱して供給するか、または、加熱した吸着塔に再生ガスを供給した後、循環経路に沿って、再生ガスを冷却しながら循環させる制御手段と、を有している。
【００１３】
また、本発明の吸着材の再生方法は、二酸化炭素に含まれる不純物質を吸着させる吸着材の再生方法であって、吸着材が充填された吸着塔に再生ガスを加熱して供給し、加熱した再生ガスを吸着塔に流通させるか、または、吸着塔を加熱し、加熱した吸着塔に再生ガスを流通させて、吸着材を再生するステップと、吸着材を再生した後、吸着塔を含む循環経路に沿って、再生ガスを冷却しながら循環させるステップと、を含んでいる。
【００１４】
また、本発明の二酸化炭素精製装置は、二酸化炭素に含まれる不純物質を吸着させる吸着材が充填された吸着塔と、吸着材を再生するための再生装置と、を有する吸着装置を備え、再生装置が、吸着塔に再生ガスを供給する再生ガス供給手段と、吸着塔に供給される再生ガスおよび吸着塔のいずれかを加熱する加熱手段と、吸着塔に供給された再生ガスを、吸着塔を含む循環経路に沿って循環させるガス循環手段と、循環経路に沿って循環する再生ガスを冷却する冷却手段と、吸着塔に再生ガスを加熱して供給するか、または、加熱した吸着塔に再生ガスを供給した後、循環経路に沿って、再生ガスを冷却しながら循環させる制御手段と、を有している。
【００１５】
また、本発明の二酸化炭素精製方法は、二酸化炭素に含まれる不純物質を吸着させる吸着材の再生方法を含み、再生方法が、吸着材が充填された吸着塔に再生ガスを加熱して供給し、加熱した再生ガスを吸着塔に流通させるか、または、吸着塔を加熱し、加熱した吸着塔に再生ガスを流通させて、吸着材を再生するステップと、吸着材を再生した後、吸着塔を含む循環経路に沿って、再生ガスを冷却しながら循環させるステップと、を含んでいる。
【００１６】
このような装置および方法では、吸着塔を含む循環経路に沿って再生ガスを冷却しながら循環させることが可能となる。これにより、再生工程により高温状態となった吸着材を迅速に冷却することができる。また、冷却のための再生ガスを無駄にすることがないため、コストアップのおそれもない。
【発明の効果】
【００１７】
以上、本発明によれば、吸着材の再生後、吸着処理を再開する際に発生し得る吸着能力の低下を、コストアップや時間的ロスを招くことなく抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明が適用される二酸化炭素精製装置を備えた二酸化炭素循環供給システムの構成例を示す概略図である。
【図２】本発明の一実施形態における吸着装置を示す概略図である。
【図３】本実施形態の吸着材再生装置における吸着材の第１の再生方法を示すフローチャートである。
【図４】本実施形態の吸着材再生装置における吸着材の第２の再生方法を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。
【００２０】
本発明は、二酸化炭素（ＣＯ2）に含まれる不純物質、特に、水分、油分、または揮発性不純物などを吸着させて除去するための吸着装置、およびそれを備えた二酸化炭素精製装置に好適に適用される。このような二酸化炭素精製装置としては、半導体デバイスの製造プロセスにおける二酸化炭素精製装置、特に、ＣＯ2を循環させながら精製し、精製したＣＯ2をユースポイントに供給する循環精製装置や、ユースポイントにおいて使用されたＣＯ2を回収して粗精製を行う回収精製装置が挙げられる。
【００２１】
図１は、本発明が適用される二酸化炭素精製装置を備えた、半導体デバイス製造プロセスのＣＯ2供給システムの構成例を示す概略図である。以下では、ユースポイントとして、半導体デバイスの洗浄装置を例に挙げて説明するが、これに限定されるものではなく、半導体デバイスの乾燥装置であってもよい。
【００２２】
ＣＯ2供給システム１は、ユースポイントとしての洗浄装置２に高純度のＣＯ2を供給するシステムであり、ＣＯ2を循環させながら精製し、精製したＣＯ2を洗浄装置２に供給する循環精製装置３と、洗浄装置２で使用されたＣＯ2を回収して粗精製を行う回収精製装置４と、を有している。回収精製装置４により粗精製されたＣＯ2は、循環精製装置３へと送られ、そこで最終的に洗浄装置２に供給可能な高純度のＣＯ2に精製されるようになっている。また、ＣＯ2供給システム１は、循環精製装置３にＣＯ2を供給するための、ガスボンベなどのＣＯ2供給源５が設けられている。
【００２３】
循環精製装置３は、液体ＣＯ2を気化させる蒸発器、気化したＣＯ2ガスを再び液化する凝縮器、および液化した液体ＣＯ2を貯留する貯槽（いずれも図示せず）などから構成された循環ライン３ａを有している。循環ライン３ａには、液体ＣＯ2やＣＯ2ガスに含まれる微粒子を除去するための複数のフィルタ（図示せず）が設けられている。洗浄装置（ユースポイント）２には、フィルタを通過した後の液体ＣＯ2が、循環ライン３ａから分岐して供給されるようになっている。また、ＣＯ2供給源５からのＣＯ2は、循環ライン内の凝縮器に供給されるようになっている。蒸発器の代わりに、液体ＣＯ2を気化させる他の手段が設けられていてもよい。
【００２４】
一方、回収精製装置４は、洗浄装置２から回収されたＣＯ2中の不純物の一部を場合によっては液化した上で分離除去する気液分離器、分離されたＣＯ2ガスを再び液化する凝縮器、および液化した液体ＣＯ2を貯留する貯槽（いずれも図示せず）などから構成された回収ライン４ａを有している。回収ライン４ａには、液体ＣＯ2やＣＯ2ガスに含まれる微粒子を除去するための複数のフィルタ（図示せず）が設けられている。回収ライン４ａは、フィルタを通過した後の液体ＣＯ2が循環精製装置３の蒸発器に供給されるように、循環精製装置３の蒸発器の前段に接続されている。
【００２５】
さらに、循環精製装置３の循環ライン３ａおよび回収精製装置４の回収ライン４ａには、それぞれ、ＣＯ2に含まれる不純物質、特に、水分、油分、または揮発性不純物などを吸着させて除去するための吸着装置６，７が設けられている。吸着装置６，７は、循環精製装置３では蒸発器の後段に、回収精製装置４では気液分離器の後段にそれぞれ設けられ、蒸発器で気化されるか、気液分離器で粗精製されたＣＯ2ガスに含まれる不純物質を吸着材に吸着させて精製するようになっている。これらの吸着装置６，７に本発明が適用される。
【００２６】
図２は、本発明が適用される吸着装置の一実施形態を示す概略図である。なお、精製装置３および回収精製装置４のそれぞれの吸着装置６，７の基本的な構成は同じであり、図２に示す構成をいずれの吸着装置６，７も含んでいる。
【００２７】
図２を参照すると、吸着装置１０は、ＣＯ2に含まれる不純物質を吸着させる吸着材が充填された吸着塔１１と、精製されるＣＯ2ガスを吸着塔に導入するための被精製ガス導入ライン１２と、吸着塔１１で精製されたＣＯ2ガスを排出するための精製ガス排出ライン１３と、を有している。被精製ガス導入ライン１２は、上流側が蒸発器や気液分離器（図示せず）に接続され、精製されるＣＯ2ガスを吸着塔に導入するようになっている。精製ガス排出ライン１３は、下流側がフィルタ（図示せず）に接続され、精製されたＣＯ2ガスをフィルタを介して凝縮器に供給するようになっている。
【００２８】
吸着塔１１に充填される吸着材としては、ＣＯ2に含まれる、水分、油分、または揮発性不純物などが吸着するものであればよく、ゼオライト、シリカゲル、活性アルミナ、活性炭などが挙げられる。例えば、回収精製装置４の吸着装置７で用いられる場合、洗浄装置２から回収されるＣＯ2には、特にイソプロピルアルコール（ＩＰＡ）などのアルコール類が含まれている。その場合、吸着材としては、ゼオライト、活性アルミナ、活性炭が好適に用いられる。
【００２９】
さらに、吸着装置１０は、吸着材を再生するための吸着材再生装置２０を有している。
【００３０】
吸着材再生装置（以下、単に「再生装置」ともいう）２０は、吸着塔１１に、後述する再生ガスまたは置換ガスを導入するためのガス導入ライン２１と、吸着塔に導入された再生ガスまたは置換ガスを排出するためのガス排出ライン２２と、を有している。ガス排出ライン２２には、ガス排出弁２２ａが設けられている。
【００３１】
また、再生装置２０は、再生ガスを供給する再生ガス供給ライン２３と、置換ガスを供給する置換ガス供給ライン２４とを有している。再生ガス供給ライン２３および置換ガス供給ライン２４は、それぞれ再生ガス供給弁２３ａおよび置換ガス供給弁２４ａを介して、ガス導入ライン２１に接続されている。再生ガス供給弁２３ａおよび置換ガス供給弁２４ａの開閉を切り替えることで、再生ガスおよび置換ガスのいずれかを、吸着塔１１に選択的に導入することができる。
【００３２】
再生ガス供給ライン２３は、ボンベなどの再生ガス供給源（図示せず）から再生ガスを供給するようになっている。本実施形態では、再生ガスとして、窒素（Ｎ2）ガスが用いられる。しかしながら、これに限定されることはなく、アルゴンガスなどの他の不活性ガスを用いることもできる。また、再生ガス供給ライン２３には、再生ガスを加熱するためのヒーター（加熱手段）２５が設けられている。
【００３３】
一方、置換ガスの導入は、後述するように、吸着材を再生するために吸着塔１１に導入された再生ガスを置換するために、吸着塔１１によるＣＯ2精製工程（吸着処理）を再開する前に行われる。したがって、本実施形態では、置換ガスとして、当該吸着塔１１で精製されるガス、すなわちＣＯ2ガスが用いられる。また、同様の理由で、置換ガス（ＣＯ2ガス）の純度は、できるだけ高純度であることが好ましく、例えば、吸着処理の再開後の通常運転により得られる高純度ＣＯ2ガス、すなわち精製ガス排出ライン１３から排出されるＣＯ2ガスの純度と同等かそれ以上であることが好ましい。そのため、置換ガス供給ライン２４は、精製ガス排出ライン１３に接続されていてよく、あるいは、より高純度のＣＯ2ガスの供給源に接続されていてよい。
【００３４】
また、再生装置２０は、吸着塔１１から排出された再生ガスまたは置換ガスを吸着塔１１に戻すためのガス戻りライン２６を有している。ガス戻りライン２６は、ガス排出弁２２ａの上流側のガス排出ライン２２と、ガス導入ライン２１とを接続し、これにより、吸着塔１１を含む閉じた循環経路３０が形成されることになる。さらに、再生装置２０は、ガス戻りライン２６に設けられ、再生ガスまたは置換ガスを循環経路３０に沿って循環させる循環ポンプ（ガス循環手段）２７と、同様にガス戻りライン２６に設けられ、循環経路３０内を循環する再生ガスまたは置換ガスを冷却する冷却装置（冷却手段）２８と、を有している。冷却装置２８は、循環ポンプ２７の上流側に設けられているが、循環するガスを冷却するようになっていればよく、循環ポンプ２７の下流側に設けられていてもよい。また、ガス戻りライン２６には、ガス戻り弁２６ａが設けられている。
【００３５】
さらに、再生装置２０は、以下に示す再生方法に従って、再生装置２０による吸着材の再生動作を制御するコントローラ（制御手段）２９を有している。
【００３６】
次に、本実施形態の吸着材再生装置において実施される吸着材の２つの再生方法について説明する。
【００３７】
（第１の再生方法）
図３は、本実施形態の吸着材再生装置における吸着材の第１の再生方法を示すフローチャートである。
【００３８】
第１の再生方法は、被精製ガス導入ライン１２から吸着塔１１への被精製ガス（ＣＯ2ガス）の供給を停止し、吸着塔１１によるＣＯ2精製工程を停止した後、開始される。このとき、再生装置２０の全ての弁２２ａ、２３ａ，２４ａ，２６ａは、閉止されている。
【００３９】
まず、吸着材の再生工程を行う。具体的には、再生ガス供給弁２３ａを開放するとともに、ガス排出弁２２ａを開放して、再生ガス供給ライン２３から吸着塔１１に再生ガス（Ｎ2ガス）を供給する（ステップＳ１）。それと同時に、ヒーター２５を作動させ、再生ガスを２３０℃まで加熱する（ステップＳ２）。すなわち、加熱した再生ガスを吸着塔１１に流通させることで、吸着材を加熱し、吸着材に吸着した不純物質を脱着させる。このとき脱着した不純物質は、再生ガスと共に、ガス排出ライン２２を介して外部へ排出される。
【００４０】
一定時間、加熱した再生ガスを吸着塔１１に流通させた後、ヒーター２５による再生ガスの加熱を停止して（ステップＳ３）、吸着材の再生工程を終了する。この終了時点は、ガス排出ライン２２に設けられた濃度計などにより、排出される再生ガスに含まれる除去対象物質の濃度を測定することで、判断することもできる。その後、再生ガスの吸着塔１１への供給は継続して行い、徐々に冷却する再生ガスで吸着塔１１を通気することにより、吸着材を冷却する。
【００４１】
その後、ガス排出弁２２ａおよび再生ガス供給弁２３ａを閉止し、吸着塔１１への再生ガスの供給を停止する（ステップＳ４）。そして、ガス戻り弁２６ａを開放した後、循環ポンプ２７を作動させ、吸着塔１１を含む循環経路３０に沿って再生ガスを循環させる（ステップＳ５）。それと同時に、冷却装置２８を作動させて再生ガスを冷却し（ステップＳ６）、再生ガスを冷却しながら循環させることにより、吸着材をさらに冷却する。
【００４２】
吸着材が所定の温度まで低下したら、再生ガスの循環および冷却を停止する（ステップＳ７）。具体的には、冷却した再生ガスの循環を一定時間行った後、あるいは、吸着塔１１に設けられた温度計により吸着材の温度を測定し、その測定値が所定値を下回った場合に、循環ポンプ２７および冷却装置２８の運転を停止し、ガス戻り弁２６ａを閉止する。
【００４３】
再生ガスの循環を停止した後も、再生ガスは吸着塔１１内に残存した状態となる。この状態で吸着塔１１によるＣＯ2精製工程を再開させると、吸着塔１１に残存した再生ガスが精製ガス（ＣＯ2ガス）中に含まれてしまい、所望の純度が得られなくなる。したがって、ＣＯ2精製工程の再開前に、吸着塔１１内に残存した再生ガスを高純度のＣＯ2ガスで置換する置換工程が必要となる。
【００４４】
このために、置換ガス供給弁２４ａおよびガス排出弁２２ａを開放して、置換ガス供給ライン２４から吸着塔１１に置換ガス（高純度ＣＯ2ガス）を供給する（ステップＳ８）。これにより、吸着材に吸着していた再生ガス（Ｎ2ガス）は、高純度ＣＯ2ガスにより置換され、ガス排出ライン２２を介して外部へ排出される。その結果、ＣＯ2精製工程の再開後に、再生ガスが精製ガス中に含まれてしまうことを防止することができる。
【００４５】
置換ガスの流通により吸着塔１１内の再生ガスがほぼすべて置換された後で、置換ガス供給弁２４ａおよびガス排出弁２２ａを閉止して、吸着塔１１への置換ガスの供給を停止する（ステップＳ９）。具体的には、置換ガスを一定時間流通させた後、あるいは、ガス排出ライン２２に設けられた濃度計などにより測定された、排出される置換ガスに含まれる再生ガスの濃度が所定濃度を下回った場合に、吸着塔１１への置換ガスの供給を停止する。
【００４６】
こうして、第１の再生方法は終了し、被精製ガス導入ライン１２から吸着塔１１への被精製ガス（ＣＯ2ガス）の供給を再開して、吸着塔１１によるＣＯ2精製工程を再開する。
【００４７】
以上、第１の再生方法によれば、再生ガスを冷却循環させることで、再生工程により高温状態となった吸着材を迅速に冷却することができる。このとき、冷却のための再生ガスを無駄にすることがないため、コストアップのおそれもない。
【００４８】
（第２の再生方法）
吸着材によっては、ＣＯ2ガスそのものが吸着したときに発熱を伴うものがある。例えば、吸着材が吸着塔に充填されているとすると、吸着塔のサイズや構造、吸着塔へのＣＯ2ガスの供給量にもよるが、吸着材がゼオライトの場合には５０〜１３０℃程度、吸着材が活性炭の場合には４０〜６０℃程度まで、それぞれ塔内温度が上昇することがある。そのような吸着材を用いた場合、次のような問題が生じる可能性がある。すなわち、例えば第１の再生方法の置換工程のように再生ガスをＣＯ2ガスで置換すると、吸着材にＣＯ2ガスそのものが吸着し、冷却された吸着材が再び高温状態となってしまう。この問題に対して、吸着材が十分に冷却するまで置換ガスを吸着塔に流通させることも考えられるが、そのためには大量の置換ガス、すなわち大量の高純度ＣＯ2ガスを消費することになり、コストへの影響が大きくなる。また、発熱した吸着材を放熱により再冷却するには、かなりの時間が必要となり、時間的ロスが問題となる。
【００４９】
第２の再生方法は、このような問題に対処するためのものであり、上述のような吸着材を用いた場合に特に有効である。
【００５０】
以下、図４に示すフローチャートに沿って、本実施形態の吸着材再生装置における吸着材の第２の再生方法について説明する。
【００５１】
第２の再生方法は、第１の再生方法と同様に、被精製ガス導入ライン１２から吸着塔１１への被精製ガス（ＣＯ2ガス）の供給を停止し、吸着塔１１によるＣＯ2精製工程を停止した後、開始される。このとき、再生装置２０の全ての弁２２ａ、２３ａ，２４ａ，２６ａは、閉止されている。
【００５２】
まず、吸着材の再生工程を行う。具体的には、再生ガス供給弁２３ａを開放するとともに、ガス排出弁２２ａを開放して、再生ガス供給ライン２３から吸着塔１１に再生ガス（Ｎ2ガス）を供給する（ステップＳ１１）。それと同時に、ヒーター２５を作動させ、再生ガスを２３０℃まで加熱する（ステップＳ１２）。
すなわち、加熱した再生ガスを吸着塔１１に流通させることで、吸着材を加熱し、吸着材に吸着した不純物質を脱着させる。このとき脱着した不純物質は、再生ガスと共に、ガス排出ライン２２を介して外部へ排出される。
【００５３】
一定時間、加熱した再生ガスを吸着塔１１に流通させた後、ヒーター２５による再生ガスの加熱を停止して（ステップＳ１３）、吸着材の再生工程を終了する。この終了時点は、ガス排出ライン２２に設けられた濃度計などにより、排出される再生ガスに含まれる除去対象物質の濃度を測定することで、判断することもできる。その後、再生ガスの吸着塔１１への供給は継続して行い、徐々に冷却する再生ガスで吸着塔１１を通気することにより、吸着材を冷却する。
【００５４】
その後、再生ガス供給弁２３ａを閉止し、吸着塔１１への再生ガスの供給を停止する（ステップＳ１４）。次いで、置換ガス供給弁２４ａを開放し、置換ガス供給ライン２４から吸着塔１１に置換ガス（高純度ＣＯ2ガス）を供給する（ステップＳ１５）。このとき、ガス排出弁２２ａは開放されており、吸着塔１１の内部に残存した再生ガス（Ｎ2ガス）は、高純度ＣＯ2ガスにより置換され、ガス排出ライン２２を介して外部へ排出される。
【００５５】
高純度ＣＯ2ガスの流通により吸着塔１１内の再生ガスがほぼすべて置換された後で、ガス排出弁２２ａおよび置換ガス供給弁２４ａを閉止して、吸着塔１１への高純度ＣＯ2ガスの供給を停止する（ステップＳ１６）。具体的には、高純度ＣＯ2ガスを一定時間流通させた後、吸着塔１１への置換ガスの供給を停止する。あるいは、ガス排出ライン２２に設けられた濃度計により、排出される高純度ＣＯ2ガスに含まれる再生ガスの濃度を測定し、その濃度が所定濃度を下回った場合、もしくは、排出される高純度ＣＯ2ガスの濃度が所定濃度を上回った場合に、吸着塔１１への置換ガスの供給を停止する。
【００５６】
このとき、吸着塔１１内の吸着材には、置換ガスである高純度ＣＯ2ガスが吸着した状態となる。そのため、吸着材として、上述したような吸着材が使用されている場合、吸着材は発熱することになる。この発熱を抑制するために、置換ガス（高純度ＣＯ2ガス）の冷却循環を行う。具体的には、ガス戻り弁２６ａを開放した後、循環ポンプ２７を作動させ、吸着塔１１を含む循環経路３０に沿って高純度ＣＯ2ガスを循環させる（ステップＳ１７）。それと同時に、冷却装置２８を作動させて高純度ＣＯ2ガスを冷却し（ステップＳ１８）、高純度ＣＯ2ガスを冷却しながら循環させる。これにより、置換工程において高純度ＣＯ2ガスが吸着することで発生した上述の吸着材の発熱を除去することができる。
【００５７】
高純度ＣＯ2ガスの冷却循環を一定時間行った後、あるいは、吸着塔１１に設けられた温度計により吸着材の温度を測定し、その測定値が所定値を一定時間下回った場合に、循環ポンプ２７および冷却装置２８の運転を停止する。その後、ガス戻り弁２６ａを閉止し、高純度ＣＯ2ガスの循環および冷却を停止する（ステップＳ１９）。
【００５８】
ステップＳ１５において、吸着材に吸着している再生ガスの一部が排出されない等の理由により、再生ガスが完全には置換されない可能性があり、その場合には、ステップＳ１９まで実行した後でも、再生ガスが吸着塔１１の内部に残存してしまう可能性がある。そのため、吸着塔１１内の再生ガスを確実に外部へ排出するために、ステップＳ１５〜１９を繰り返し実行することもできる。
【００５９】
こうして、第２の再生方法は終了し、被精製ガス導入ライン１２から吸着塔１１への被精製ガス（ＣＯ2ガス）の供給を再開して、吸着塔１１によるＣＯ2精製工程を再開する。
【００６０】
以上、第２の再生方法によれば、置換ガス（高純度ＣＯ2ガス）が吸着材に吸着したときに発熱を伴う場合であっても、置換ガスを冷却循環させることで、吸着材を迅速に冷却することができる。このとき、冷却のための置換ガスを無駄にすることがないため、コストアップのおそれもない。
【００６１】
なお、上述した実施形態では、吸着装置には１つの吸着塔が設けられていたが、複数の吸着塔が設けられていてもよい。その場合、吸着塔同士は、直列、並列、またはそれらの任意の組み合わせで接続されていてよい。また、それぞれの吸着塔に吸着材再生装置が設けられていてもよく、あるいは、複数の吸着塔に対して１つの吸着材再生装置が設けられていてもよい。
【００６２】
また、上述した実施形態では、再生ガス供給ラインおよび置換ガス供給ラインは共に、ガス導入ラインに接続され、ガス導入ラインを介して吸着塔に接続されていたが、それぞれ吸着塔に直接接続されていてもよい。同様に、ガス戻りラインも、吸着塔を含む閉じた循環経路を形成するようになっていればよく、ガス導入ラインとガス排出ラインとに接続する代わりに、吸着塔に直接接続されていてもよい。
【００６３】
また、再生ガスおよび置換ガスの吸着塔への供給には、吸着塔の上部に接続された精製ガス排出ラインを利用することもできる。すなわち、ガス導入ラインが、吸着塔にではなく、精製ガス排出ラインに接続されていてよく、あるいは、再生ガス供給ラインおよび置換ガス供給ラインが、ガス導入ラインに接続される代わりに、それぞれ精製ガス排出ラインに接続されていてよい。この場合、ガス戻りラインは、精製ガス排出ラインに接続することができる。同様に、再生ガスおよび置換ガスの外部への排出には、吸着塔の下部に接続された被精製ガス導入ラインを利用することができる。すなわち、ガス排出ラインが、吸着塔にではなく、被精製ガス導入ラインに接続されていてよく、この場合、ガス戻りラインも、被精製ガス導入ラインに接続されていてよい。
【００６４】
さらに、上述した実施形態では、加熱した再生ガスを吸着塔に流通させることで、吸着材の再生工程を行っていたが、再生ガスを加熱する代わりに、吸着塔を加熱し、加熱した吸着塔に再生ガスを流通させることで、吸着材を再生するようになっていてもよい。この場合、ヒーターなどの加熱手段は、吸着塔そのものを加熱するようになっていればよく、例えば、吸着塔の外面を覆うように設けられていてもよい。なお、吸着材の再生工程終了後、吸着塔の加熱を停止した後にも、再生ガスの吸着塔への供給を継続して行うのは、再生ガスを加熱する場合と同様である。
【符号の説明】
【００６５】
１  ＣＯ2供給システム
２  洗浄装置
３  循環精製装置
４  回収精製装置
５  ＣＯ2供給源
１０  吸着装置
１１  吸着塔
１２  被精製ガス導入ライン
１３  精製ガス排出ライン
２０  吸着材再生装置
２１  ガス導入ライン
２２  ガス排出ライン
２２ａ  ガス排出弁
２３  再生ガス供給ライン
２３ａ  再生ガス供給弁
２４  置換ガス供給ライン
２４ａ  置換ガス供給弁
２５  ヒータ
２６  ガス戻りライン
２６  ガス戻り弁
２７  循環ポンプ
２８  冷却装置
３０  循環経路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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