(57)【要約】【課題】屈曲性を安定して得られる圧延銅箔を提供する。【解決手段】２００℃で０．５時間加熱後に、ＲＤ方向の結晶方位をステレオ三角表示し、このステレオ三角表示をω、ψでそれぞれ５度ずつ分割して３６個のボックスを表示し、［００１］方位をボックス番号１とし、以下、ωが大きく、かつψが大きくなるほどボックス番号が大きくなるようにし、［１１１］方位をボックス番号３６としたとき、（但し、ψは［１００］方位と前記試料のＲＤ方向とがなす角であり、ωはｔａｎω＝ｔａｎλ・ｔａｎψで求められる値、λは［００１］方位と前記試料のＮＤ方向とがなす角）ボックス番号１の平均強度Ｉ１が２０以上であり、かつボックス番号７、１１、１６にそれぞれ対応する結晶方位の平均強度Ｉ７、Ｉ１１、Ｉ１６がそれぞれ１．５以下、１．０以下、０．５以下のいずれかを満たす圧延銅箔である。【選択図】図２
2014058704.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
２００℃で０．５時間加熱後に、ＲＤ方向の結晶方位をステレオ三角表示し、このステレオ三角表示をω、ψでそれぞれ５度ずつ分割して３６個のボックスを表示し、［００１］方位をボックス番号１とし、以下、ωが大きく、かつψが大きくなるほどボックス番号が大きくなるようにし、［１１１］方位をボックス番号３６としたとき、
（但し、ψは［１００］方位と前記試料のＲＤ方向とがなす角であり、ωはｔａｎω＝ｔａｎλ・ｔａｎψで求められる値、λは［００１］方位と前記試料のＮＤ方向とがなす角）
ボックス番号１の平均強度Ｉ１が２０以上であり、かつボックス番号７、１１、１６にそれぞれ対応する結晶方位の平均強度Ｉ７、Ｉ１１、Ｉ１６がそれぞれ１．５以下、１．０以下、０．５以下のいずれかを満たす圧延銅箔。
【請求項２】
ＲＤ方向の結晶方位をステレオ三角表示し、このステレオ三角表示をω、ψでそれぞれ５度ずつ分割して３６個のボックスを表示し、［００１］方位をボックス番号１とし、以下、ωが大きく、かつψが大きくなるほどボックス番号が大きくなるようにし、［１１１］方位をボックス番号３６としたとき、
（但し、ψは［１００］方位と前記試料のＲＤ方向とがなす角であり、ωはｔａｎω＝ｔａｎλ・ｔａｎψで求められる値、λは［００１］方位と前記試料のＮＤ方向とがなす角）
ボックス番号１の平均強度Ｉ１が２０以上であり、かつボックス番号７、１１、１６にそれぞれ対応する結晶方位の平均強度Ｉ７、Ｉ１１、Ｉ１６がそれぞれ１．５以下、１．０以下、０．５以下のいずれかを満たす圧延銅箔。
【請求項３】
前記平均強度Ｉ１、Ｉ７、Ｉ１１、Ｉ１６につき、（Ｉ７／Ｉ１）×１００（％）が８以下であり、かつ（Ｉ１１／Ｉ１）×１００（％）、（Ｉ１６／Ｉ１）×１００（％）がそれぞれ５以下、３以下のいずれかを満たす、請求項１又は２に記載の圧延銅箔。
【請求項４】
Ｉ７、Ｉ１１、Ｉ１６がそれぞれ１．５以下、１．０以下、０．５以下をすべて満たす請求項１〜３のいずれかに記載の圧延銅箔。
【請求項５】
最終冷間圧延前でかつ再結晶焼鈍後の状態で前記ステレオ三角表示し、かつ前記ボックスを表示し、
前記ボックス番号１、７、１１、１６にそれぞれ対応する結晶方位の平均強度をＩ１ｂ、Ｉ７ｂ、Ｉ１１ｂ、Ｉ１６ｂとし、最終冷間圧延加工度をη（但し、η＝Ｌｎ｛（最終冷間圧延前の厚み）／（最終冷間圧延後の厚み）｝）としたとき、（Ｉ７ｂ／Ｉ１ｂ／η）×１００（％）が１以上４以下である、請求項１〜４のいずれか一項に記載の圧延銅箔。
【請求項６】
（Ｉ１１ｂ／Ｉ１ｂ／η）×１００（％）、（Ｉ１６ｂ／Ｉ１ｂ／η）×１００（％）がそれぞれ、６以下、４以下のいずれかを満たす、請求項５に記載の圧延銅箔。
【請求項７】
η≧２．３である請求項５記載の圧延銅箔。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか一項に記載の銅箔と、樹脂とからなる銅張積層板。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばフレキシブル配線板（ＦＰＣ：Ｆｌｅｘｉｂｌｅ  Ｐｒｉｎｔｅｄ  Ｃｉｒｃｕｉｔ）に使用され、銅張積層板に適した圧延銅箔に関する。
【背景技術】
【０００２】
フレキシブル配線板（ＦＰＣ）は樹脂層と銅箔を積層してなり、繰り返し屈曲部に好適に用いられる。このようなＦＰＣに用いられる銅箔としては、屈曲性に優れた圧延銅箔が広く用いられている。圧延銅箔の屈曲性を向上させる方法として、再結晶焼鈍後の立方体集合組織を発達させる技術が報告されている（特許文献１）。又、再結晶焼鈍後の立方体集合組織を発達させる方法として、最終冷間圧延加工度や圧延条件を規定することや（特許文献２）、最終冷間圧延後に立方体方位を残すこと（特許文献３）が挙げられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第３００９３８３号公報
【特許文献２】特開２００９−１８５３７６号公報
【特許文献３】特開２０１０−１５０５９７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来の立方体集合組織を発達させる方法は、最終冷間圧延加工度を調整するため、立方体集合組織が成長する最終冷間圧延前焼鈍時の銅箔素材の厚みを最終製品の厚みに応じて変更する、特殊な条件で冷間圧延を行うなどの必要があり、生産性が低下するという問題がある。
また、従来は立方体集合組織の発達度を、銅箔表面の｛２００｝面のＸ線回折平均強度を用いて評価していた。しかし、実際に銅箔が屈曲により変形する際の応力は、銅箔の面内方向、特に材料の長手方向であることから、銅箔の屈曲性に直接的に影響を与えるのは、面内の圧延方向（ＲＤ方向）の結晶方位である。そのため、銅箔の屈曲性を向上させるためには、ＲＤ方向に結晶を配向させることが重要である。
【０００５】
すなわち、本発明は上記の課題を解決するためになされたものであり、優れた屈曲性を安定して得られる圧延銅箔の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明者らは種々検討した結果、銅箔の［００１］方位がＲＤ方向に多く存在すると、優れた屈曲性が得られることを見出した。
【０００７】
すなわち本発明の圧延銅箔は、２００℃で０．５時間加熱後に、ＲＤ方向の結晶方位をステレオ三角表示し、このステレオ三角表示をω、ψでそれぞれ５度ずつ分割して３６個のボックスを表示し、［００１］方位をボックス番号１とし、以下、ωが大きく、かつψが大きくなるほどボックス番号が大きくなるようにし、［１１１］方位をボックス番号３６としたとき（但し、ψは［１００］方位と前記試料のＲＤ方向とがなす角であり、ωはｔａｎω＝ｔａｎλ・ｔａｎψで求められる値、λは［００１］方位と前記試料のＮＤ方向（圧延面に対して垂直な方向）とがなす角）、ボックス番号１の平均強度Ｉ１が２０以上であり、かつボックス番号７、１１、１６にそれぞれ対応する結晶方位の平均強度Ｉ７、Ｉ１１、Ｉ１６がそれぞれ１．５以下、１．０以下、０．５以下のいずれかを満たす。
【０００８】
又、本発明の圧延銅箔は、ＲＤ方向の結晶方位をステレオ三角表示し、このステレオ三角表示をω、ψでそれぞれ５度ずつ分割して３６個のボックスを表示し、［００１］方位をボックス番号１とし、以下、ωが大きく、かつψが大きくなるほどボックス番号が大きくなるようにし、［１１１］方位をボックス番号３６としたとき、（但し、ψは［１００］方位と前記試料のＲＤ方向とがなす角であり、ωはｔａｎω＝ｔａｎλ・ｔａｎψで求められる値、λは［００１］方位と前記試料のＮＤ方向とがなす角）ボックス番号１の平均強度Ｉ１が２０以上であり、かつボックス番号７、１１、１６にそれぞれ対応する結晶方位の平均強度Ｉ７、Ｉ１１、Ｉ１６がそれぞれ１．５以下、１．０以下、０．５以下のいずれかを満たす。
【０００９】
前記平均強度Ｉ１、Ｉ７、Ｉ１１、Ｉ１６につき、（Ｉ７／Ｉ１）×１００（％）が８以下であり、かつ（Ｉ１１／Ｉ１）×１００（％）、（Ｉ１６／Ｉ１）×１００（％）がそれぞれ５以下、３以下のいずれかを満たすことが好ましい。
Ｉ７、Ｉ１１、Ｉ１６がそれぞれ１．５以下、１．０以下、０．５以下をすべて満たすことが好ましい。
最終冷間圧延前でかつ再結晶焼鈍後の状態で前記ステレオ三角表示し、かつ前記ボックスを表示し、前記ボックス番号１、７、１１、１６にそれぞれ対応する結晶方位の平均強度をＩ１ｂ、Ｉ７ｂ、Ｉ１１ｂ、Ｉ１６ｂとし、最終冷間圧延加工度をη（但し、η＝Ｌｎ｛（最終冷間圧延前の厚み）／（最終冷間圧延後の厚み）｝）としたとき、（Ｉ７ｂ／Ｉ１ｂ／η）×１００（％）が１以上４以下であることが好ましい。
（Ｉ１１ｂ／Ｉ１ｂ／η）×１００（％）、（Ｉ１６ｂ／Ｉ１ｂ／η）×１００（％）がそれぞれ、６以下、４以下のいずれかを満たすことが好ましい。
η≧２．３であることが好ましい。
本発明の銅張積層板は、前記銅箔と、樹脂とからなる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、屈曲性に優れる圧延銅箔を安定して得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】集合組織の三次元結晶方位の逆極点図をステレオ投影してステレオ三角表示した例を示す図である。
【図２】ステレオ三角表示を３６個のボックスに分割して表示した例を示す図である。
【図３】屈曲試験装置により屈曲疲労寿命の測定を行う方法を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の実施形態に係る圧延銅箔について説明する。本発明の実施形態に係る圧延銅箔は、屈曲性に優れると共に、繰返し変形に対して高い耐性を示すことから、電池の集電体やタブ等にも好適である。
【００１３】
＜成分組成＞
銅箔の成分組成としては、ＪＩＳ−Ｈ３１００（Ｃ１１００）に規格するタフピッチ銅（ＴＰＣ）又はＪＩＳ−Ｈ３１００（Ｃ１０２０）の無酸素銅（ＯＦＣ）を好適に用いることができる。又、添加元素としてＳｎを１０〜５００質量ｐｐｍ含有し、及び／又はＡｇを１０〜５００質量ｐｐｍ含有し、残部を上記タフピッチ銅又は無酸素銅としてもよい。
又、添加元素としてＳｎ、Ａｇ、Ｉｎ、Ｔｉ、Ｚｎ、Ｚｒ、Ｆｅ、Ｐ、Ｎｉ、Ｓｉ、Ｔｅ、Ｃｒ、Ｎｂ、Ｂ及びＶの群から選ばれる元素の一種以上を合計で１０〜５００質量ｐｐｍ含有し、残部を上記タフピッチ銅又は無酸素銅としてもよい。
なお、ＦＰＣに用いられる圧延銅箔は屈曲性を要求されることから、圧延銅箔の厚みは２０μｍ以下が好ましい。圧延銅箔の厚みの下限は特に限定する必要は無いが、製造性を考慮すると例えば４μｍ以上が好ましく、より好ましくは５μｍ以上である。
【００１４】
＜圧延銅箔の結晶方位＞
本発明の実施形態に係る圧延銅箔は、２００℃で０．５時間加熱後にＲＤ方向の結晶方位をステレオ三角表示し、このステレオ三角表示をω、ψでそれぞれ５度ずつ分割して３６個のボックスを表示し、［００１］方位をボックス番号１とし、以下、ωが大きく、かつψが大きくなるほどボックス番号が大きくなるようにし、［１１１］方位をボックス番号３６としたとき、
ボックス番号１の平均強度Ｉ１が２０以上であり、かつボックス番号７、１１、１６にそれぞれ対応する結晶方位の平均強度Ｉ７、Ｉ１１、Ｉ１６がそれぞれ１．５以下、１．０以下、０．５以下のいずれかを満たす。
ここで、ＲＤ方向とは、銅箔の圧延方向である。又、ψは［１００］方位と試料のＲＤ方向とがなす角であり、ωはｔａｎω＝ｔａｎλ・ｔａｎψで求められる値、λは［００１］方位と試料のＮＤ方向とがなす角である。ω、ψの２角を指定することで、材料に対する結晶の方位を指定することができる。
なお、銅箔を樹脂フィルムと接合してＣＣＬ（銅張積層板）にする際、銅箔に熱が加わる。そこで、ＣＣＬ製造工程において銅箔に付与される温度履歴を模した熱処理条件（２００℃で３０分間）で銅箔を加熱した状態で、銅箔の結晶方位を測定する。
【００１５】
ここで、図１及び図２を参照し、ステレオ三角表示及びボックス表示について説明する。
図１に示すように、集合組織の三次元結晶方位を逆極点図法により測定し、さらに逆極点図をステレオ投影してステレオ三角表示することが一般に行われている（（１）Ｐ．  Ｄ．  Ｒｕｅｒ  ａｎｄ  Ｒ．  Ｂａｒｏ  ：Ｊ．  Ａｐｐｌ．  Ｃｒｙｓｔ．，  １０（１９７７），  ４５８、（２）長嶋晋一、「ベクトル法による集合組織の３次元解析」、日本金属学会会報，  ２１（１９８２），  ｐ８４２）。なお、図１、図２は、上記文献（２）から引用した。
さらに、図２に示すように、ステレオ三角表示をω、ψでそれぞれ５度ずつ分割すると、三角内に３６個のボックスが表示される。そして、ステレオ三角の［００１］方位をボックス番号１とし、以下、ωが大きく（図２の右へ）、かつψが大きくなる（図２の上へ）ほどボックス番号が大きくなるようにして、連続番号を振る。例えば、ボックス番号２は、ボックス番号１に隣接してωが５度だけ大きく、ψが０度であり、ボックス番号３は、ボックス番号２とωが同じで、ψが５度大きい。このようにして、ステレオ三角の［１１１］方位をボックス番号３６とする。ボックス番号３６ではω＝ψ＝４５度である。
【００１６】
本発明者らは種々検討した結果、銅箔の［００１］方位がＲＤ方向に多く存在すると、優れた屈曲性が得られることを見出した。そして、ステレオ三角表示のボックス番号１（三角形の左端）は結晶方位の［００１］方位を表すため、ボックス番号１におけるＲＤ方向のＸ線強度（平均強度）が強いと、材料のＲＤ方向と結晶の［００１］方位が近づくことになる。そこで、ボックス番号１の平均強度Ｉ１を２０以上と規定する。一方Ｉ１の上限は特に規定する必要は無いが、例えば６０以下、また、例えば５５以下、例えば５０以下、例えば４５以下である。
【００１７】
なお、各ボックス番号にそれぞれ対応する結晶方位の平均強度（Ｘ線強度）は、測定対象とする試料をＳｃｈｕｌｚの反射法を用いてＸ線回折したときの極点図測定と、純銅粉末試料のＸ線回折測定とをもとに、対象試料の各測定点における回折強度を純銅粉末の値で割って規格化する（規格化強度という）ことで求めることができる。特定のボックスのＸ線強度が１であれば、集合組織を持たないランダムな純銅粉末試料のＸ線回折強度と同じであるから、その方位への集積がないことを示す。
又、本発明では、各ボックスのＸ線強度を「平均強度」で表す。「平均強度」とは、対応するボックスが占める領域（ψ５°×ω５°の面積）内に含まれる複数の測定点のそれぞれにおける上記規格化強度の総和を、領域に含まれる測定点数で除した値をいう。
【００１８】
ここで、ボックス番号１に対応する［００１］方位以外の方位を持つ結晶粒の割合が多いと、屈曲時に応力印加方向とすべり方向が近くなるためにすべり変形を起こしにくく、屈曲性が低下する。特に、ボックス番号７、１１、１６にそれぞれ対応する方位がすべり変形を起こし難い。
従って、ボックス番号７、１１、１６にそれぞれ対応する結晶方位の平均強度Ｉ７、Ｉ１１、Ｉ１６がそれぞれ１．５以下、１．０以下、０．５以下のいずれかを満たすことが必要である。
【００１９】
さらに、Ｉ１、Ｉ７、Ｉ１１、Ｉ１６につき、（Ｉ７／Ｉ１）×１００（％）が８以下であり、かつ（Ｉ１１／Ｉ１）×１００（％）、（Ｉ１６／Ｉ１）×１００（％）がそれぞれ５以下、３以下のいずれかを満たすことが好ましい。
（Ｉ７／Ｉ１）、（Ｉ１１／Ｉ１）、（Ｉ１６／Ｉ１）の値が小さいほど、屈曲性に寄与する［００１］方位の割合が多くなって屈曲性を向上させる。なお、（Ｉ７／Ｉ１）、（Ｉ１１／Ｉ１）、（Ｉ１６／Ｉ１）の値は低いほど屈曲性が高くなるが、典型的にはこれらの値は０．１％以上である。
なお、上記した「２００℃で０．５時間加熱」を既に行った銅箔製品が出荷されることがある。そこで、請求項２に係る発明は、上記焼鈍を既に行った出荷後の製品を対象とし、この製品にさらに上記焼鈍を行わない状態であっても、ＲＤ方向の結晶方位をステレオ三角表示し、このステレオ三角表示をω、ψでそれぞれ５度ずつ分割して３６個のボックスを表示し、［００１］方位をボックス番号１とし、以下、ωが大きく、かつψが大きくなるほどボックス番号が大きくなるようにし、［１１１］方位をボックス番号３６としたとき、ボックス番号１の平均強度Ｉ１が２０以上であり、かつボックス番号７、１１、１６にそれぞれ対応する結晶方位の平均強度Ｉ７、Ｉ１１、Ｉ１６がそれぞれ１．５以下、１．０以下、０．５以下のいずれかを満たすことを規定する。
【００２０】
＜圧延銅箔の製造＞
本発明の実施形態に係る圧延銅箔は、インゴットを熱間圧延後、冷間圧延と焼鈍を繰り返した後、焼鈍前冷間圧延、再結晶焼鈍、及び最終冷間圧延して製造することができる。
一般に銅箔の製造工程においては最終冷間圧延加工の加工度が高いため、最終冷間圧延前の組織を制御しても、その影響が最終冷間圧延後まで充分に残りにくい傾向にある。そこで、最終冷間圧延前の組織と最終冷間圧延の加工度とを共に管理することで、２００℃で０．５時間加熱後の銅箔において前記結晶方位が得られ、充分な屈曲性が得られる。
この場合、最終冷間圧延前でかつ再結晶焼鈍後の試料を上記ステレオ三角表示し、かつボックス表示したとき、ボックス番号１、７、１１、１６にそれぞれ対応する結晶方位の平均強度をＩ１ｂ、Ｉ７ｂ、Ｉ１１ｂ、Ｉ１６ｂとし、（Ｉ７ｂ／Ｉ１ｂ／η）×１００（％）が１以上４以下となるよう、最終冷間圧延前の再結晶焼鈍条件と最終冷間圧延加工度を選択することが望ましい。（Ｉ７ｂ／Ｉ１ｂ／η）×１００（％）が１以上３以下であることがより好ましい。但し、η＝Ｌｎ｛（最終冷間圧延前の厚み）／（最終冷間圧延後の厚み）｝である。
（Ｉ７ｂ／Ｉ１ｂ／η）×１００（％）が４を超えると、最終冷間圧延後に２００℃で０．５時間加熱した銅箔において上記結晶方位が得られず、充分な屈曲性が得られない場合がある。（Ｉ７ｂ／Ｉ１ｂ／η）×１００（％）の値が低いほど屈曲性が高くなるが、実用上は１％以上の値となる。
【００２１】
又、（Ｉ１１ｂ／Ｉ１ｂ／η）×１００（％）、（Ｉ１６ｂ／Ｉ１ｂ／η）×１００（％）がそれぞれ、６以下、４以下のいずれかを満たすよう、最終冷間圧延前の再結晶焼鈍条件と最終冷間圧延加工度を選択することが望ましい。（Ｉ１１ｂ／Ｉ１ｂ／η）×１００（％）が１以上５以下であることがより好ましい。（Ｉ１６ｂ／Ｉ１ｂ／η）×１００（％）が１以上３以下であることがより好ましい。
最終冷間圧延前でかつ再結晶焼鈍後の試料において、（Ｉ７ｂ／Ｉ１ｂ／η）×１００（％）を１以上４以下に制御するためには、最終冷間圧延前の再結晶焼鈍の際の昇温速度を５〜５０℃／ｓとすると好ましい。該昇温速度が速すぎると結晶方位がランダムとなり、（Ｉ７ｂ／Ｉ１ｂ／η）×１００（％）が大きくなる。該昇温速度が遅すぎると、生産性が低下する。
又、最終冷間圧延前でかつ再結晶焼鈍後の試料において、（Ｉ１１ｂ／Ｉ１ｂ／η）×１００（％）、（Ｉ１６ｂ／Ｉ１ｂ／η）×１００（％）がそれぞれ、６以下、４以下のいずれかを満たすよう制御するためには、最終冷間圧延前の再結晶焼鈍の際の昇温速度を５〜４５℃／ｓとすると好ましい。該昇温速度が速すぎるとＩ１１ｂ／Ｉ１ｂ／η）×１００（％）、（Ｉ１６ｂ／Ｉ１ｂ／η）×１００（％）が大きくなる。該昇温速度が遅すぎると、生産性が低下する。
【００２２】
最終冷間圧延の加工度ηは２．３以上であることが好ましい。ηが２．３未満であると、Ｉ１、Ｉ７、Ｉ１１、Ｉ１６が上記関係を満たすことが難しくなる。
【実施例】
【００２３】
まず、表１に記載の組成の銅インゴットを製造し、厚み１０ｍｍまで熱間圧延を行った。その後、冷間圧延と焼鈍を繰り返し、その後所定の厚みまで焼鈍前冷間圧延した後に７００〜８００℃の温度に設定した焼鈍炉で再結晶焼鈍した。さらに、表２に示す加工度（η）で最終冷間圧延し、表１に示す厚みの銅箔を得た。なお、再結晶焼鈍の際の昇温速度を表１に示す。
【００２４】
＜結晶方位＞
最終冷間圧延して得られた銅箔を２００℃で０．５時間加熱して再結晶させた後、Ｘ線回折装置（ＲＩＮＴ−２５００：理学電機製）を用い、それぞれ（１１１）、（２００）、（３１１）面の正極点測定（Ｘ線反射平均強度）を行った。得られた測定結果を、ＳｔａｎｄａｒｄＯＤＦ（株式会社ノルム工学製）を用いて逆極点表現に変換した。変換した逆極点データを、解析支援ソフトであるＩｎｖｅｒｓＤｉｓｐ（Ｈｅｌｐｅｒｔｅｘ社製）を用いてＲＤ方向のステレオ三角表示（この三角内に３６分割されたボックス表記）に変換した。
Ｘ線回折の測定条件は、入射Ｘ線源：Ｃｏ、加速電圧：３０ｋＶ、管電流：１００ｍＡ、発散スリット：０．５度、散乱スリット：４ｍｍ、受光スリット：４ｍｍ、発散縦制限スリット：１．２ｍｍとした。又、同一条件でＸ線回折を行った純銅粉末の値（Ｘ線反射平均強度）を用いて規格化した。なお、各ボックスのＸ線強度を「平均強度」で表した。「平均強度」とは、対応するボックスが占める領域（ψ５°×ω５°の面積）内に含まれる複数の測定点のそれぞれにおける上記規格化強度の総和を、領域に含まれる測定点数で除した値をいう。
また、最終冷間圧延前であって、７００〜８００℃の温度に設定した焼鈍炉で再結晶焼鈍した後の試料についても、前述の方法で同様に測定を行った
【００２５】
＜屈曲性＞
最終冷間圧延して得られた銅箔試料を２００℃で０．５時間加熱して再結晶させた後、図３に示す屈曲試験装置により、屈曲疲労寿命の測定を行った。この装置は、発振駆動体４に振動伝達部材３を結合した構造になっており、被試験銅箔１は、矢印で示したねじ２の部分と３の先端部の計４点で装置に固定される。振動部３が上下に駆動すると、銅箔１の中間部は、所定の曲率半径ｒでヘアピン状に屈曲される。本試験では、以下の条件下で屈曲を繰り返した時の破断までの回数を求めた。
なお、試験条件は次の通りである：試験片幅：１２．７ｍｍ、試験片長さ：２００ｍｍ、試験片採取方向：試験片の長さ方向が圧延方向と平行になるように採取、曲率半径ｒ：１．５ｍｍ、振動ストローク：２０ｍｍ、振動速度：１０００回／分。
又、以下の基準で、屈曲性を評価した。評価が◎、○、又は△であれば屈曲性が良好である。
◎：屈曲回数が２０万回以上、屈曲性が最も良好である
○：屈曲回数が１０万回以上２０万回未満、屈曲性が良好である
△：屈曲回数が５万回以上１０万回未満、屈曲性に優れる
×：屈曲回数が５万回未満、屈曲性が劣る
【００２６】
得られた結果を表１、表２に示す。
ここで、表１中の組成欄の「ＴＰＣ」はＪＩＳ−Ｈ３１００（Ｃ１１００）に規格するタフピッチ銅（ＴＰＣ）を表し、「ＯＦＣ」はＪＩＳ−Ｈ３１００（Ｃ１０２０）に規格する無酸素銅（ＯＦＣ）を表す。従って、例えば、表１中の組成欄の「１９０ｐｐｍＡｇ−ＴＰＣ」はＪＩＳ−Ｈ３１００（Ｃ１１００）に規格するタフピッチ銅（ＴＰＣ）に１９０質量ｐｐｍのＡｇを添加した組成であることを意味する。また、表１中の組成欄の「１００ｐｐｍＳｎ−ＯＦＣ」はＪＩＳ−Ｈ３１００（Ｃ１０２０）に規格する無酸素銅（ＯＦＣ）に１００質量ｐｐｍのＳｎを添加した組成であることを意味する。
又、表１、表２の（Ｉ７／Ｉ１）等の値は、％表示（つまり、（Ｉ７／Ｉ１）×１００）である。
【００２７】
【表１】
2014058704.tif 000003
【００２８】
【表２】
2014058704.tif 000004
【００２９】
表１から明らかなように、ボックス番号１の平均強度Ｉ１が２０以上であり、かつボックス番号７、１１、１６にそれぞれ対応する結晶方位の平均強度Ｉ７、Ｉ１１、Ｉ１６のいずれかがそれぞれ１．５以下、１．０以下、０．５以下となる各実施例の場合、屈曲性が優れたものとなった。
【００３０】
なお、表１から明らかなように、ボックス番号７、１１、１６にそれぞれ対応する結晶方位の平均強度Ｉ７、Ｉ１１、Ｉ１６のいずれかがそれぞれ１．５、１．０、０．５を超えた実施例２、１０、１３、１４、１９、２１、２３ではそのほかの実施例に比較して屈曲性が若干低下したが、実用上は問題のない程度であった。
なお、表２から明らかなように、すべての実施例で（Ｉ７ｂ／Ｉ１ｂ／η）×１００（％）が１以上４以下であった。又、実施例１３、１４を除く各実施例の場合、（Ｉ１１ｂ／Ｉ１ｂ／η）×１００（％）、（Ｉ１６ｂ／Ｉ１ｂ／η）×１００（％）がそれぞれ、６以下、４以下を共に満たした。
【００３１】
一方、Ｉ１が２０未満である比較例１〜３の場合、屈曲性が劣った。
平均強度Ｉ１が２０以上であるが、平均強度Ｉ７、Ｉ１１、Ｉ１６がそれぞれ１．５、１．０、０．５を超えた比較例４の場合も、屈曲性が劣った。
なお、比較例１〜４は、いずれも（Ｉ７／Ｉ１）×１００（％）が８を超え、かつ（Ｉ１１／Ｉ１）×１００（％）、（Ｉ１６／Ｉ１）×１００（％）がそれぞれ５以下、３以下のいずれかを満たさなかった。
又、比較例１〜４は、いずれも（Ｉ７ｂ／Ｉ１ｂ／η）×１００（％）が４を超え、（Ｉ１１ｂ／Ｉ１ｂ／η）×１００（％）、（Ｉ１６ｂ／Ｉ１ｂ／η）×１００（％）がそれぞれ、６以下、４以下のいずれかを満たさなかった。
【図３】
2014058704.tif 000005
【図１】
2014058704.tif 000006
【図２】
2014058704.tif 000007