(57)【要約】【課題】本発明は、圧電素子の分極方法、圧電素子の分極装置及びインクジェットプリントヘッドに関する。【解決手段】本発明による圧電素子の分極方法は、異なる電圧によって圧電素子の予備分極を２回以上行い、それぞれの電圧に対する上記圧電素子のコンダクタンスを測定する段階と、電圧とコンダクタンスとの関係式を制定する段階と、上記圧電素子が目標圧電特性を発揮するための目標コンダクタンスを算出する段階と、目標コンダクタンスに対応する目標電圧を選定し、目標電圧によって上記圧電素子の最終分極を行う段階と、を含むことができる。【選択図】図１
2014158006.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
異なる電圧によって圧電素子の予備分極を２回以上行い、それぞれの電圧に対する前記圧電素子のコンダクタンスを測定する予備分極実行段階と、
電圧とコンダクタンスとの関係式を制定する段階と、
前記圧電素子が目標圧電特性を発揮するための目標コンダクタンスを算出する段階と、
前記目標コンダクタンスに対応する目標電圧を選定し、当該目標電圧によって前記圧電素子の最終分極を行う段階と、を含む、圧電素子の分極方法。
【請求項２】
前記予備分極実行段階は、
第１電圧によって前記圧電素子の第１予備分極を行い、当該第１電圧に対する前記圧電素子の第１コンダクタンスを測定する段階と、
第２電圧によって前記圧電素子の第２予備分極を行い、当該第２電圧に対する前記圧電素子の第２コンダクタンスを測定する段階と、を含む、請求項１に記載の圧電素子の分極方法。
【請求項３】
前記第２電圧は、前記第１電圧より大きい、請求項２に記載の圧電素子の分極方法。
【請求項４】
前記予備分極を行う電圧は、前記目標電圧より小さく設定される、請求項１から３の何れか１項に記載の圧電素子の分極方法。
【請求項５】
前記圧電素子は、インクジェットプリントヘッドに搭載される複数のアクチュエータである、請求項１から４の何れか１項に記載の圧電素子の分極方法。
【請求項６】
前記目標圧電特性は、インクの吐出速度である、請求項５に記載の圧電素子の分極方法。
【請求項７】
複数の圧電素子を分極するために異なるサイズの電圧を生成する電圧発生ユニットと、
前記複数の圧電素子の各々のコンダクタンスを測定するコンダクタンス測定ユニットと、
前記電圧発生ユニットにより生成される電圧及び前記コンダクタンス測定ユニットにより測定されるコンダクタンスをそれぞれ保存し、保存された電圧とコンダクタンスとの関係式によって前記複数の圧電素子の最終分極を行うための目標電圧をそれぞれ設定する制御ユニットと、を含む、圧電素子の分極装置。
【請求項８】
前記制御ユニットは、前記複数の圧電素子に対する最終分極電圧を個別に設定する、請求項７に記載の圧電素子の分極装置。
【請求項９】
前記制御ユニットは、前記複数の圧電素子に対する最終分極電圧を一括に設定する、請求項７に記載の圧電素子の分極装置。
【請求項１０】
複数の圧力室に駆動力を提供するための複数の圧電素子を含み、
前記複数の圧電素子の均一度（％ｒａｎｇｅ）は、３０パーセント以下である、インクジェットプリントヘッド。
（ここで、均一度（％ｒａｎｇｅ）は、圧電素子の最大変位と最少変位との差異を平均変位で割った値を、パーセント（％）で示したものである）
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電素子に関するもので、より詳細には、圧電素子の分極信頼性を向上させ、分極時間を短縮させることができる圧電素子の分極方法、圧電素子の分極装置及びインクジェットプリントヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
圧電素子は、インクジェットプリントヘッド、マイクロポンプ、マイクロ流体吐出装置、その他の小型機器の駆動手段として広く用いられている。このような圧電素子は、電極を通じて供給される電流によって所定の変位を発生させることで、それぞれの装置に必要な駆動力を提供する。
【０００３】
一般に、圧電素子の変位は、圧電素子の分極（ｐｏｌｉｎｇ）条件によって異なることができる。例えば、圧電素子の変位は、分極電圧のサイズ及び／または印加時間などによって異なることができる。これにより、圧電素子が用いられる装置の類型によって分極条件を調整することで、圧電素子の変位を任意に調節することができる。
【０００４】
しかし、圧電素子の変位は、同一の分極条件で行っても、圧電素子の圧電特性、製造環境または製造者によって異なる可能性がある。これは、同一の条件で分極された複数の圧電素子が異なる変位を有することを意味し、これにより、複数の圧電素子をアクチュエータとして使用する機器（例えば、インクジェットプリントヘッド）の信頼性が阻害されるおそれがある。
【０００５】
このような問題点を解決するための先行技術としては、特許文献１が挙げられる。特許文献１では、複数の分極段階において測定された圧電素子の変位を測定して最終分極電圧を算出する技術が紹介されている。
【０００６】
しかし、圧電素子の変位は、圧電素子の部位ごとに相違するのみならず、これによって得られた変位と分極電圧との相関関係が必ず比例するとは言えないため、信頼性がある最終分極電圧を得ることが困難である。
【０００７】
また、特許文献１に紹介された最終分極電圧を得るまでには相当な時間が必要とされるため、複数の圧電素子を一括に分極することが困難である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】韓国公開特許第２００９−０００５６３１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は、上記のような問題点を解決するためのもので、圧電素子の分極信頼性を向上させ、分極時間を短縮させることができる圧電素子の分極方法、圧電素子の分極装置及びインクジェットプリントヘッドを提供することにその目的がある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するための本発明の一実施形態による圧電素子の分極方法は、異なる電圧によって圧電素子の予備分極を２回以上行い、それぞれの電圧に対する上記圧電素子のコンダクタンスを測定する段階と、電圧とコンダクタンスとの関係式を制定する段階と、上記圧電素子が目標圧電特性を発揮するための目標コンダクタンスを算出する段階と、目標コンダクタンスに対応する目標電圧を選定し、目標電圧によって上記圧電素子の最終分極を行う段階と、を含むことができる。
【００１１】
本発明の一実施形態による圧電素子の分極方法において、上記予備分極の遂行は、第１電圧によって上記圧電素子の第１予備分極を行い、第１電圧に対する上記圧電素子の第１コンダクタンスを測定する段階と、第２電圧によって上記圧電素子の第２予備分極を行い、第２電圧に対する上記圧電素子の第２コンダクタンスを測定する段階と、を含むことができる。
【００１２】
本発明の一実施形態による圧電素子の分極方法において、上記第２電圧は、上記第１電圧より大きいことができる。
【００１３】
本発明の一実施形態による圧電素子の分極方法において、上記予備分極を行う電圧は、上記目標電圧より小さく設定されることができる。
【００１４】
本発明の一実施形態による圧電素子の分極方法において、上記圧電素子は、インクジェットプリントヘッドに搭載される複数のアクチュエータであることができる。
【００１５】
本発明の一実施形態による圧電素子の分極方法において、上記目標圧電特性は、インクの吐出速度であることができる。
【００１６】
上記目的を達成するための本発明の一実施形態による圧電素子の分極装置は、複数の圧電素子を分極するために異なるサイズの電圧を生成する複数の電圧発生ユニットと、上記圧電素子のコンダクタンスを測定する複数のコンダクタンス測定ユニットと、上記電圧発生ユニットにより生成される電圧及び上記コンダクタンス測定ユニットにより測定されるコンダクタンスをそれぞれ保存し、保存された電圧とコンダクタンスとの関係式によって上記複数の圧電素子の最終分極を行うための目標電圧をそれぞれ設定する制御ユニットと、を含むことができる。
【００１７】
本発明の一実施形態による圧電素子の分極装置において、上記制御ユニットは、上記複数の圧電素子に対する最終分極電圧を個別に設定することができる。
【００１８】
本発明の一実施形態による圧電素子の分極装置において、上記制御ユニットは、上記複数の圧電素子に対する最終分極電圧を一括に設定することができる。
【００１９】
上記目的を達成するための本発明の一実施形態によるインクジェットプリントヘッドは、複数の圧力室に駆動力を提供するための複数の圧電素子を含み、上記複数の圧電素子の均一度（％ｒａｎｇｅ）は３０パーセント以下であることができる。
【００２０】
ここで、均一度（％ｒａｎｇｅ）は、圧電素子の最大変位と最少変位との差異を平均変位で分けた後、パーセント（％）で示したものである。
【発明の効果】
【００２１】
本発明は、圧電素子の分極速度を向上させることができる。
【００２２】
また、本発明は、均一な圧電特性を有する圧電素子を製作することができる。これにより、本発明によると、複数の圧電素子が搭載された装置（例えば、インクジェットプリントヘッド）の作動信頼性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】インクジェットプリントヘッドの断面斜視図である。
【図２】本発明の一実施形態による圧電素子の分極装置の構成図である。
【図３】本発明の一実施形態による圧電素子の分極方法の順序図である。
【図４】コンダクタンスと電圧との関係を示した図面である。
【図５】コンダクタンスと圧電素子の変位との関係を示した図面である。
【図６】コンダクタンスとインク吐出速度との関係を示した図面である。
【図７】本発明の他の実施形態による圧電素子の分極方法の順序図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
複数の圧電素子が搭載された装置は、圧電素子の圧電特性によって装置の性能が左右される可能性がある。例えば、インクジェットプリントヘッドは、圧電素子の圧電特性によってインクの吐出品質が左右される可能性がある。特に、圧電素子は、製造環境によって異なる圧電特性を有する可能性があるため、インクジェットプリントヘッドにおいて全てのノズルの吐出特性を均一に形成することが困難になる。
【００２５】
本発明は、このような問題点を解消するためのもので、インクジェットプリントヘッドに圧電素子を搭載した状態において、圧電素子の分極を行うことで、インクジェットプリントヘッドのインク吐出特性を均一に形成することができる。
【００２６】
また、本発明は、圧電素子の電気的特性（例えば、インピーダンスまたはコンダクタンス）を用いて圧電素子の分極を行うため、圧電素子の分極を迅速に行うことができる。
【００２７】
以下では、添付の図面を参照し、本発明の好ましい実施形態について説明する。しかし、本発明の実施形態は様々な他の形態に変形されることができ、本発明の範囲は以下で説明する実施形態に限定されない。また、本発明の実施形態は、当該技術分野で平均的な知識を有する者に本発明をより完全に説明するために提供されるものである。なお、図面における要素の形状及び大きさなどはより明確な説明のために誇張されることがある。
【００２８】
図１はインクジェットプリントヘッドの断面斜視図であり、図２は本発明の一実施形態による圧電素子の分極装置の構成図であり、図３は本発明の一実施形態による圧電素子の分極方法の順序図であり、図４はコンダクタンスと電圧との関係を示した図面であり、図５はコンダクタンスと圧電素子の変位との関係を示した図面であり、図６はコンダクタンスとインク吐出速度との関係を示した図面であり、図７は本発明の他の実施形態による圧電素子の分極方法の順序図である。
【００２９】
以下では、図１を参照して複数の圧電素子が搭載されるインクジェットプリントヘッドの構造を簡単に説明する。参考までに、アクチュエータ及び圧電素子は同一の構成を意味する用語として使用し、これら構成には同一の図面符号１４０を用いる。
【００３０】
インクジェットプリントヘッド１００は、マニホールド１１０と、圧力室１２０と、ノズル１３０と、アクチュエータ１４０と、を含むことができる。ここで、マニホールド１１０は、インクを複数の圧力室１２０に供給することができ、圧力室１２０は、１回の吐出に必要な量のインクを保存することができる。また、アクチュエータ１４０は、圧力室１２０のインクがノズル１３０を通じて吐出されるのに必要な駆動力を提供することができる。
【００３１】
複数の圧力室１２０は、同一量のインクを吐出できるように同一サイズを有することができる。これと同様に、それぞれのアクチュエータ１４０は、圧力室１２０に同一サイズの駆動力を提供できるように同一の圧電特性を有する圧電素子を含むことができる。
【００３２】
しかし、上記の通り、アクチュエータ１４０を構成する圧電素子は、製造環境によって異なる圧電特性を有する可能性がある。これにより、同一の電気信号によってアクチュエータ１４０が駆動されても、それぞれのノズル１３０を通じて吐出されるインクの量が異なる可能性がある。
【００３３】
このような問題点を解消するために、インクジェットプリントヘッド１００に圧電素子が搭載された状態で圧電素子の分極を行うことができる。この場合、圧電素子の分極条件（即ち、分極電圧）をノズル１３０の吐出特性（例えば、インクの吐出量または吐出速度）と比較して調整することができるという長所がある。
【００３４】
しかし、ノズルの吐出特性を測定するのは実質的に不可能であるため、圧電素子が有する他の特性を測定して圧電素子の最終分極電圧を決定することができる。例えば、圧電素子の変位を測定して圧電素子の最終分極電圧を調整することができる。
【００３５】
しかし、インクジェットプリントヘッド１００において、圧電素子１４０の変位が圧電素子１４０の長さ方向に沿って非線形的に変化するため、圧電素子１４０の変位によって最終分極電圧を決定すると、信頼性が低下するという問題がある。このため、圧電素子１４０の最終分極電圧を決定するために圧電素子１４０の変位を用いる場合は、複数の地点において圧電素子１４０の変位を測定しなければならない。しかし、このような方法は、相当な時間を必要とするため、複数の圧電素子１４０が搭載されたインクジェットプリントヘッドのような装置に適さない。
【００３６】
本発明は、このような点を解消することができる分極方法及び分極装置を提供することができる。
【００３７】
本発明の一実施形態による圧電素子の分極方法は、圧電素子の電気的特性（例えば、インピーダンスまたはコンダクタンス）を用いて圧電素子の最終分極電圧を決定することができる。ここで、圧電素子の電気的特性のうちインピーダンス及びコンダクタンスには、測定が容易であるという長所がある。また、圧電素子のインピーダンス及びコンダクタンスは、ノズルの吐出特性と概して線形的な関係を有するため、インクジェットプリントヘッドの吐出特性を向上させるのに極めて効果的であることができる。
【００３８】
ここで、本発明の一実施形態による圧電素子の分極装置２００は、図２に示されているように、電圧発生ユニット２１０と、コンダクタンス測定ユニット２２０と、制御ユニット２３０と、を含むことができる。
【００３９】
電圧発生ユニット２１０は、インクジェットプリントヘッド１００と電気的に連結され、複数のアクチュエータ１４０または圧電素子に所定の電圧を印加することができる。また、電圧発生ユニット２１０は、複数のアクチュエータ１４０に同一サイズの電圧を一律に印加したり、またはそれぞれのアクチュエータ１４０に異なる電圧を選択的に印加することができる。ここで、電圧発生ユニット２１０により印加される電圧のサイズは、制御ユニット２３０によって調整されることができる。
【００４０】
コンダクタンス測定ユニット２２０は、インクジェットプリントヘッド１００と電気的に連結され、アクチュエータ１４０または圧電素子のコンダクタンスを測定することができる。コンダクタンス測定ユニット２２０は、測定されたアクチュエータ１４０のコンダクタンスまたは圧電素子のコンダクタンスを制御ユニット２３０に送出することができる。参考までに、本詳細な説明には、アクチュエータ１４０または圧電素子のコンダクタンスを測定するために、コンダクタンス測定ユニット２２０を備えるように説明されているが、コンダクタンス測定ユニット２２０に代わってアクチュエータ１４０または圧電素子のインピーダンスを測定するインピーダンス測定ユニットを用いてもよい。
【００４１】
制御ユニット２３０は、電圧発生ユニット２１０及びコンダクタンス測定ユニット２２０と連結されることができる。また、制御ユニット２３０は、電圧発生ユニット２１０により生成される電圧のサイズを調整し、コンダクタンス測定ユニット２２０により送出されるアクチュエータ１４０または圧電素子のコンダクタンスを保存することができる。なお、制御ユニット２３０は、圧電素子に印加される電圧のサイズと測定されたコンダクタンスとの関係式を制定することができる。そのため、制御ユニット２３０は、別途の演算部を備えることができる。さらに、制御ユニット２３０は、制定された関係式に基づいて圧電素子の最終分極電圧（請求範囲における目標電圧）を設定することができる。ここで、目標電圧は、圧電素子の目標圧電特性に対応するコンダクタンス値を関係式に代入することで得ることができる。
【００４２】
以下では、図３を参照して本発明の一実施形態による圧電素子の分極方法について説明する。
【００４３】
本実施形態による圧電素子の分極方法は、１次予備分極段階と、１次コンダクタンスの測定段階と、２次予備分極段階と、２次コンダクタンスの測定段階と、目標コンダクタンスの選定段階と、最終分極段階と、を含むことができる。
【００４４】
１）１次予備分極段階（Ｓ１１０）
【００４５】
本段階では、インクジェットプリントヘッド１００に搭載された複数の圧電素子１４０に１次電圧を印加することができる。ここで、１次電圧は、従来の公知の圧電素子の最終分極電圧より相当低い電圧であることができる。
【００４６】
また、本段階において、１次電圧は、複数の圧電素子１４０に一律に印加されることができる。しかし、１次電圧を全ての圧電素子１４０に印加する必要はない。例えば、複数の圧電素子１４０のうち一部のみを標本にして１次電圧を印加することができる。参考までに、１次電圧の周波数は１ｋＨｚであることができる。
【００４７】
２）１次コンダクタンスの測定段階（Ｓ１２０）
【００４８】
本段階では、１次電圧が印加された状態において、圧電素子１４０の１次コンダクタンスを測定することができる。ここで、１次コンダクタンスは、それぞれの圧電素子１４０ごとに個別に測定されることができる。測定された１次コンダクタンスは、制御ユニット２３０に送出されることができる。また、制御ユニット２３０に送出された１次コンダクタンスは、１次電圧とともに保存されることができる。
【００４９】
３）２次予備分極段階（Ｓ１３０）
【００５０】
本段階では、インクジェットプリントヘッド１００に搭載された複数の圧電素子１４０に２次電圧を印加することができる。ここで、２次電圧は、１次電圧より高い電圧であることができる。また、２次電圧は、従来の公知の圧電素子の最終分極電圧に近い数値であることができる。この場合、電圧とコンダクタンスとの関係式を用いることで得られる最終分極電圧に対する信頼性が向上することができる。
【００５１】
本段階において、２次電圧は、１次電圧と同様に複数の圧電素子１４０に一律に印加されることができる。しかし、２次電圧を全ての圧電素子１４０に印加する必要はなく、複数の圧電素子１４０のうち一部のみを標本にして２次電圧を印加することができる。参考までに、２次電圧の周波数は１ｋＨｚであることができる。
【００５２】
４）２次コンダクタンスの測定段階（Ｓ１４０）
【００５３】
本段階では、２次電圧が印加された状態において、圧電素子１４０の２次コンダクタンスを測定することができる。ここで、２次コンダクタンスは、１次コンダクタンスと同様にそれぞれの圧電素子１４０ごとに個別に測定されることができる。また、測定された２次コンダクタンスは、制御ユニット２３０に送出されることができる。制御ユニット２３０に送出された２次コンダクタンスは、２次電圧とともに保存されることができる。参考までに、２次コンダクタンスの測定周波数は１ｋＨｚであることができる。
【００５４】
５）目標コンダクタンスの選定段階（Ｓ１５０）
【００５５】
本段階では、電圧とコンダクタンスとの関係式を制定し、制定された関係式に基づいて目標コンダクタンスを選定することができる。ここで、電圧とコンダクタンスとの関係式は、電圧とコンダクタンスとの線形成を算出して制定することができ、それぞれの圧電素子ごとに別途の関係式を制定することができる。
【００５６】
目標コンダクタンスは、圧電素子の目標圧電特性に対応するコンダクタンス値を選定することができる。ここで、目標コンダクタンスの選定は、実験によって得られたコンダクタンスと圧電特性との関係（例えば、図５及び図６）を用いて行われることができる。
【００５７】
６）最終分極段階（Ｓ１６０）
【００５８】
本段階では、圧電素子の最終分極電圧（または目標電圧）を設定し、設定された目標電圧によって圧電素子を分極することができる。付加的に、目標電圧によって圧電素子の予備分極を行い、圧電素子のコンダクタンスを測定することができる。
【００５９】
ここで、測定されたコンダクタンスと目標コンダクタンスとの偏差が誤差範囲にあると、目標電圧によって圧電素子の最終分極を行うことができる。これとは異なって、測定されたコンダクタンスと目標コンダクタンスとの偏差が誤差範囲を外れると、偏差のサイズによって目標電圧を補正することができる。
【００６０】
参考までに、目標電圧条件における分極作業は、予備分極とは異なって高温、高圧状態で行われることができ、予備分極より長い時間行われることができる。
【００６１】
一方、圧電素子のインピーダンスまたはコンダクタンスとノズルの吐出特性との相関関係は、図４から図６によって確認することができる。このような相関関係は、出願人による繰り返し実験で確認された。
【００６２】
即ち、圧電素子のコンダクタンスは、図４に示されているように、分極電圧のサイズにほぼ比例する。これにより、分極対象である圧電素子のコンダクタンスと電圧との関係式を制定することができ、信頼性のある圧電素子の最終分極電圧を設定することができる。
【００６３】
また、出願人は、圧電素子のコンダクタンスが図５及び図６に示されているように、圧電素子の変位及びインクの吐出速度と概して線形的な関係にあることを確認できた。
【００６４】
よって、圧電素子に印加される分極電圧と圧電素子のコンダクタンスとの関係式を明確に制定すると、所望する圧電素子の変位特性またはインクの吐出特性を設定することができるようになる。
【００６５】
参考までに、表１は、同一サイズの電圧によって分極された圧電素子の特性及び該当する圧電素子が搭載されたインクジェットプリントヘッドの吐出特性を示したものである。
【００６６】
【表１】
2014158006.tif 000003
【００６７】
表１から分かるように、圧電素子のコンダクタンスは、インクの吐出体積、インクの吐出速度、圧電素子の変位と相関関係を有する。また、それぞれの圧電素子は、同一の電圧条件によっても異なる圧電特性を発揮している。
【００６８】
以下では、図７を参照して本発明の他の実施形態による圧電素子の分極方法について説明する。
【００６９】
本実施形態による圧電素子の分極方法は、１次予備分極段階（Ｓ２１０）と、１次コンダクタンスの測定段階（Ｓ２２０）と、２次予備分極段階（Ｓ２３０）と、２次コンダクタンスの測定段階（Ｓ２４０）と、３次予備分極段階（Ｓ２５０）と、３次コンダクタンスの測定段階（Ｓ２６０）と、関係式の制定段階（Ｓ２７０）と、目標コンダクタンスの選定段階（Ｓ２８０）と、最終分極段階（Ｓ２９０）と、を含むことができる。
【００７０】
即ち、本実施形態による圧電素子の分極方法は、予備分極段階を３回以上行う点において上記した実施形態と区別されることができる。さらに説明すると、本実施形態による圧電素子の分極方法は、電圧とコンダクタンスとの正確な相関関係及び関係式を導出するために、予備分極段階を３回以上行うことができる。また、電圧とコンダクタンスとの関係式は、最小二乗法を用いて制定することができる。
【００７１】
このように構成された圧電素子の分極方法は、複数の予備分極段階を行って電圧とコンダクタンスとの関係式を制定するため、コンダクタンスによる分極電圧の決定をさらに容易にするとともに、決定された分極電圧の信頼性をより向上させることができる。
【００７２】
表２は、本発明の他の実施形態による圧電素子の分極方法によって測定された圧電素子のコンダクタンスを示したものである。参考までに、１次から３次分極電圧の周波数は１ｋＨｚであることができる。
【００７３】
【表２】
2014158006.tif 000004
（表２において、均一度（％ｒａｎｇｅ）は、インクジェットプリントヘッドに搭載された圧電素子の最大変位と最少変位との差異を平均変位で割った（除算した）値を、パーセント（％）で示したものである）
【００７４】
表２から分かるように、本実施形態による圧電素子の分極方法は、より近似した最終分極電圧を設定することができるため、インクジェットプリントヘッドの均一度を向上させることができる。
【００７５】
即ち、本実施形態による圧電素子の分極方法を用いると、インクジェットプリントヘッドに搭載される圧電素子の圧電特性をほぼ一致させることができるため、インクジェットプリントヘッドの吐出品質を向上させることができるようになる。
【００７６】
以上、本発明の実施形態について詳細に説明したが、本発明の権利範囲はこれに限定されず、特許請求の範囲に記載された本発明の技術的思想から外れない範囲内で多様な修正及び変形が可能であるということは、当技術分野の通常の知識を有するものには明らかである。
【符号の説明】
【００７７】
１００  インクジェットプリントヘッド
１１０  マニホールド
１２０  圧力室
１３０  ノズル
１４０  アクチュエータ
２００  圧電素子の分極装置
２１０  電圧発生ユニット
２２０  コンダクタンス測定ユニット
２３０  制御ユニット
【図１】
2014158006.tif 000005
【図２】
2014158006.tif 000006
【図３】
2014158006.tif 000007
【図４】
2014158006.tif 000008
【図５】
2014158006.tif 000009
【図６】
2014158006.tif 000010
【図７】
2014158006.tif 000011