(57)【要約】【課題】伝達線の発埃や破損を抑制しつつ、可動部の移動に円滑に追従するように伝達線を固定する伝達線固定部材を提供すること。【解決手段】複数の伝達線（８５）を第１の箇所と第２の箇所との間に掛け渡し、第１の箇所に対して第２の箇所が相対的に移動した際に、伝達線を屈曲させながら移動させて第１の箇所と第２の箇所との間の掛け渡しを維持する伝達線固定部材（７）であって、側面ブロック（７１）と、各側面ブロックの両端に開口した孔（７１５，７１６ａ，７１６ｂ）と、隣り合う側面ブロックの孔に係合し側面ブロック同士を屈曲自在に連結する屈曲軸（７１４）とから構成され、複数の側面ブロックが長鎖状に連結されており、長鎖状に連結された複数の側面ブロックに並列させた複数本の伝達線は、屈曲軸の中空部内を通した締結部材（７２）により締結されるようにした。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のリード線又はチューブからなる伝達線を第１の箇所と第２の箇所との間に掛け渡し、前記第１の箇所に対して前記第２の箇所が相対的に移動した際に、前記伝達線を屈曲させながら移動させて前記第１の箇所と前記第２の箇所との間の掛け渡しを維持する伝達線固定部材であって、
側面ブロックと、各側面ブロックの両端に開口した２つの孔と、隣り合う前記側面ブロックの前記孔に係合し前記側面ブロック同士を屈曲自在に連結する屈曲軸とから構成され、複数の前記側面ブロックが複数の前記屈曲軸により長鎖状に連結されており、
前記屈曲軸は中空部を有し、
長鎖状に連結した複数の前記側面ブロックに並列させた複数本の伝達線は、前記屈曲軸の前記中空部内を通した締結部材により前記屈曲軸に締結され、
屈曲の際には、前記屈曲軸が前記伝達線の屈曲に追従して回転すること、を特徴とする伝達線固定部材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、リード線やチューブなどの伝達線を、可動部の移動に追従できるように固定する伝達線固定部材に関する。
【背景技術】
【０００２】
切削装置などの加工装置は、被加工物を吸着保持する保持手段（チャックテーブル）と、被加工物を加工処理する加工手段とを可動部として備えている。保持手段には、吸着面に吸引力を伝達するチューブや、モータなどの駆動部に電力を供給するリード線などが接続されている。加工手段には、切削水を供給するチューブや、モータなどの駆動部に電力を供給するリード線などが接続されている。可動部に接続されるチューブやリード線などの伝達線は、加工装置の基台内から引き出されている。
【０００３】
加工装置の保持手段や加工手段などの可動部は、被加工物の加工の際に、基台に対して相対的に移動される。このため、伝達線は、可動部の移動に追従できるように余裕をもった長さで基台内から引き出されている。伝達線は、可動部の移動の妨げにならないように、例えば、伝達線固定部材にまとめた状態で収容されている。このような伝達線固定部材として、複数の枠体を回動可能に連結して長鎖状にしたものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
特許文献１に記載の伝達線固定部材は、複数の枠体が円孤状に屈曲可能に連結されている。この伝達線固定部材を備える加工装置では、例えば、伝達線固定部材の一端部が可動部としての保持手段に固定され、伝達線固定部材の他端部が基台に固定される。そして、伝達線固定部材の一端部は、保持手段の移動によって、基台に固定された他端部に対して一方向に移動される。これにより、伝達線固定部材の円弧状の屈曲部分の位置が連続的に移り変わり、伝達線固定部材内に収容された伝達線は保持手段の移動に追従される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００２−１７６２７４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１の伝達線固定部材を使用する場合、伝達線は可動部の移動に追従されるものの、伝達線固定部材内で伝達線同士の擦れや、伝達線と伝達線固定部材の内壁面との擦れなどが発生する。この伝達線の擦れによって発埃し、伝達線が破損するおそれがあった。
【０００７】
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、伝達線の発埃や破損を抑制しつつ、可動部の移動に円滑に追従するように伝達線を固定する伝達線固定部材を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の伝達線固定部材は、複数のリード線又はチューブからなる伝達線を第１の箇所と第２の箇所との間に掛け渡し、前記第１の箇所に対して前記第２の箇所が相対的に移動した際に、前記伝達線を屈曲させながら移動させて前記第１の箇所と前記第２の箇所との間の掛け渡しを維持する伝達線固定部材であって、側面ブロックと、各側面ブロックの両端に開口した２つの孔と、隣り合う前記側面ブロックの前記孔に係合し前記側面ブロック同士を屈曲自在に連結する屈曲軸とから構成され、複数の前記側面ブロックが複数の前記屈曲軸により長鎖状に連結されており、前記屈曲軸は中空部を有し、長鎖状に連結した複数の前記側面ブロックに並列させた複数本の伝達線は、前記屈曲軸の前記中空部内を通した締結部材により前記屈曲軸に締結され、屈曲の際には、前記屈曲軸が前記伝達線の屈曲に追従して回転すること、を特徴とする。
【０００９】
この構成によれば、伝達線は、締結部材により屈曲軸に締結されるので、伝達線固定部材に伝達線を支持するための内壁を設ける必要がなくなり、伝達線と伝達線固定部の内壁との擦れを防止できる。よって、伝達線の擦れを抑制して、伝達線からの発埃及び伝達線の破損を防止できる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、伝達線の発埃や破損を抑制しつつ、可動部の移動に円滑に追従するように伝達線を固定する伝達線固定部材が提供される。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】実施の形態１に係る切削装置の斜視図である。
【図２】実施の形態１に係る伝達線固定部材の周辺の斜視図である。
【図３】実施の形態１に係る伝達線固定部材の一部を拡大して示す斜視図である。
【図４】実施の形態１に係る伝達線固定部材の一部を分解した状態を示す分解斜視図である。
【図５】実施の形態１に係る伝達線固定部材の屈曲動作を説明する模式図である。
【図６】変形例に係る伝達線固定部材の一部を分解した状態を示す分解斜視図である。
【図７】実施の形態２に係る伝達線固定部材の一部を分解した状態を示す分解斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、添付図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。なお、以下では、伝達線固定部材を加工装置としての切削装置に適用する構成について説明するが、本発明はこの構成に限定されるものではない。本発明に係る伝達線固定部材は、可動部が伝達線の屈曲を伴って移動する任意の加工装置に適用可能である。
【００１３】
（実施の形態１）
図１は、本実施の形態に係る切削装置の斜視図である。なお、図１では、説明の便宜上、ブレードユニット用の伝達線固定部材を省略している。
【００１４】
図１に示すように、切削装置１は、切削ブレード４１を有する一対のブレードユニット４と被加工物Ｗを保持したチャックテーブル３とを相対移動させて、被加工物Ｗを切削するように構成されている。被加工物Ｗは、略円板状に形成されており、表面において格子状に配列された分割予定ラインによって複数の領域に区画されている。この区画された領域にはデバイスが形成されている。被加工物Ｗは、貼着テープＴを介して環状フレームＦに支持された状態で切削装置１に搬入される。
【００１５】
なお、本実施の形態においては、被加工物Ｗとしてシリコン、ガリウムヒ素などの半導体ウェーハを例に挙げて説明するが、この構成に限定されるものではない。セラミック、ガラス、サファイア（Al2O3）などの無機材料基板、半導体製品のパッケージ、半導体ウェーハの裏面に設けられるＤＡＦ（Die  Attach  Film）などの粘着部材、各種電気部品やミクロンオーダーの加工位置精度が要求される各種部材を被加工物としてもよい。
【００１６】
切削装置１は、基台１１を有しており、基台１１上にはチャックテーブル３をＸ軸方向に加工送りするチャックテーブル移動機構５が設けられている。また、基台１１上には、チャックテーブル移動機構５を跨ぐように立設された門型の柱部１２が設けられ、柱部１２には、チャックテーブル３の上方において一対のブレードユニット４をＹ軸方向に割出送りするブレードユニット移動機構６が設けられている。
【００１７】
チャックテーブル移動機構５は、基台１１の上面に配置されたＸ軸方向に平行な一対のガイドレール５２と、一対のガイドレール５２にスライド可能に設置されたモータ駆動のＸ軸テーブル５１とを有している。Ｘ軸テーブル５１の上部には、チャックテーブル３が設けられている。また、Ｘ軸テーブル５１の背面側には、図示しないナット部が形成され、このナット部にボールネジ５３が螺合されている。そして、ボールネジ５３の一端部には、駆動モータ５４が連結されている。駆動モータ５４によりボールネジ５３が回転駆動され、Ｘ軸テーブル５１がガイドレール５２に沿ってＸ軸方向に移動される。
【００１８】
チャックテーブル３は、Ｘ軸テーブル５１の上面に固定されたＺ軸回りに回転可能なθテーブル３１と、θテーブル３１の上部に設けられ、被加工物Ｗを吸着保持する保持部３２とを有している。保持部３２は、所定の厚みを有する円盤状であり、上面中央部分にはポーラスセラミック材による吸着面が形成されている。保持部３２の周囲には、θテーブル３１の四方から径方向外側に延びる一対の支持アームを介して４つのクランプ部３３が設けられている。４つのクランプ部３３は、エアーアクチュエータにより駆動され、被加工物Ｗを支持する環状フレームＦを挟持固定する。
【００１９】
また、チャックテーブル３には、吸着面に吸引力を伝達するチューブや、θテーブル３１などの駆動装置に電力を供給するリード線などが接続されている。チューブやリード線などの各種の伝達線８５は、基台１１の上面から余裕をもった長さで引き出されており、途中部分で円弧状に屈曲（湾曲）されている。基台１１から引き出された伝達線８５は、伝達線８５の捩れや断線を防止するための長鎖状の伝達線固定部材７に固定されている。なお、伝達線固定部材７の詳細については後述する。
【００２０】
ブレードユニット移動機構６は、柱部１２の前面においてＹ軸方向に平行な一対のガイドレール６３と、一対のガイドレール６３にスライド可能に設置されたモータ駆動の一対のＹ軸テーブル６１とを有している。また、ブレードユニット移動機構６は、各Ｙ軸テーブル６１の前面に配置されたＺ軸方向に平行な一対のガイドレール６４と、各ガイドレール６４にスライド可能に設置されたモータ駆動のＺ軸テーブル６２とを有している。各Ｚ軸テーブル６２には、ブレードユニット４が設けられている。
【００２１】
また、各Ｙ軸テーブル６１、各Ｚ軸テーブル６２の背面側には、それぞれ図示しないナット部が形成され、これらナット部にボールネジ６５、６６が螺合されている。そして、Ｙ軸テーブル６１用のボールネジ６５、Ｚ軸テーブル６２用のボールネジ６６の一端部には、それぞれ駆動モータ６７、６８が連結されている。これら駆動モータ６７、６８によりボールネジが回転駆動され、ブレードユニット４がガイドレール６３、６４に沿ってＹ軸方向及びＺ軸方向に移動される。
【００２２】
ブレードユニット４は、Ｙ軸回りに回転するスピンドルの先端に設けられた円盤状の切削ブレード４１と、切削部分に切削水を噴射する図示しない噴射ノズルとを有している。ブレードユニット４は、スピンドルにより切削ブレード４１を高速回転させ、複数のノズルから切削部分に切削水を噴射しつつ被加工物Ｗを切削加工する。
【００２３】
また、ブレードユニット４には、噴射ノズルに切削水を供給するチューブや、スピンドルの駆動装置に電力を供給するリード線などが接続されている。チューブやリード線などの各種の伝達線（不図示）は、柱部１２の前面から余裕をもった長さで引き出されおり、途中部分で円弧状に屈曲（湾曲）されている。柱部１２から引き出された伝達線は、伝達線の捩れや断線を防止するための長鎖状の伝達線固定部材（不図示）に固定されている。なお、この伝達線固定部材は、伝達線８５を固定するための伝達線固定部材７と同様の構成を有している。
【００２４】
この切削装置１においては、Ｙ軸テーブル６１の移動によって切削ブレード４１が被加工物Ｗの分割予定ラインに位置合わせされる。次に、Ｚ軸テーブル６２の移動によって回転された切削ブレード４１の被加工物Ｗに対する切り込み深さが調整される。そして、切削ブレード４１に対してＸ軸テーブル５１が相対移動されることにより、チャックテーブル３に保持された被加工物Ｗが分割予定ラインに沿って切削される。
【００２５】
図２から図４を参照して、伝達線固定部材７について説明する。図２は、本実施の形態に係る伝達線固定部材７の周辺の斜視図である。図３は、本実施の形態に係る伝達線固定部材７の一部を拡大して示す斜視図である。図４は、本実施の形態に係る伝達線固定部材７の一部を分解した状態を示す分解斜視図である。
【００２６】
図２及び図３に示すように、伝達線固定部材７は、円弧状に屈曲される複数の伝達線８５を固定可能なように、複数の側面ブロック７１を長鎖状に連結させた２組のユニット７ａ，７ｂを含んでいる。複数の伝達線８５は、Ｘ軸テーブル５１の下面の第１の箇所と基台１１の上面の第２の箇所とを掛け渡すように延在されている。複数の伝達線８５は、Ｘ軸方向に延びるガイドレール５２に沿って配置されたユニット７ａ，７ｂに、締結部材７２を介して固定されることで、Ｘ軸方向に延在するように揃えられている。なお、伝達線８５は、切削装置１の可動部分に追従されれば良く、チューブやリード線には限定されない。具体的には、例えば、光ファイバなどの通信ケーブルでもよい。
【００２７】
伝達線固定部材７の２組のユニット７ａ，７ｂは、複数の伝達線８５に沿って円弧状に屈曲可能に構成されている。ユニット７ａ，７ｂの一端部は、Ｘ軸テーブル５１の下面に接続され、ユニット７ａ，７ｂの他端部は、基台１１の上面に接続されている。ユニット７ａ，７ｂの一端部は、Ｘ軸テーブル５１のＸ軸方向への移動に伴い、基台１１に固定された他端部に対して相対的に移動される。ユニット７ａ，７ｂは、他端部に対する一端部の相対移動によって円弧状の屈曲部分の位置がＸ軸方向に連続的に移り変わることで、Ｘ軸テーブル５１の移動に追従可能となっている。
【００２８】
図４に示すように、ユニット７ａ，７ｂを構成する側面ブロック７１は、略直方体形状の本体部７１１を有している。本体部７１１の長手方向の一端側には、幅方向の中央部分から外向きに延出される板状の連結部７１２が設けられている。また、本体部７１１の長手方向の他端側には、連結部７１２に対応する一対の連結部７１３ａ，７１３ｂが設けられている。連結部７１３ａ，７１３ｂは、本体部７１１の幅方向の両端部分から外向きに延出されており、共に板状の形状を有している。
【００２９】
連結部７１２は、主表面７１２ａに対して垂直な方向に突出される円筒状の屈曲軸７１４を備えている。屈曲軸７１４は、連結部７１２を貫通する中空部を有している。屈曲軸７１４の中空部により、孔７１５が形成されている。連結部７１３ａ，７１３ｂは、屈曲軸７１４と係合可能な孔７１６ａ，７１６ｂを有している。側面ブロック７１の屈曲軸７１４を、隣り合う別の側面ブロック７１の孔７１６ａ，７１６ｂに係合させることで、側面ブロック７１は連結される。
【００３０】
側面ブロック７１は、例えば、樹脂材料で形成されており、容易に変形できる。このため、連結部７１３ａと連結部７１３ｂとの間隔を広げるように変形させて、別の側面ブロック７１の連結部７１２を挿入させれば、屈曲軸７１４と孔７１６ａ，７１６ｂとを係合させることができる。このように、屈曲軸７１４と孔７１６ａ，７１６ｂとを係合させて、任意の数の側面ブロック７１を連結させることで、複数の側面ブロック７１を長鎖状に連結させた２組のユニット７ａ，７ｂ（図２又は図３参照）が形成される。
【００３１】
屈曲軸７１４の外径は、孔７１６ａ，７１６ｂの内径より僅かに小さくなっている。このため、長鎖状に連結された側面ブロック７１は、それぞれ、隣り合う側面ブロック７１の屈曲軸７１４を中心に回動される。これにより、長鎖状のユニット７ａ，７ｂは、各側面ブロック７１の屈曲軸７１４を支点に屈曲可能となっている。
【００３２】
屈曲軸７１４の中空部（孔７１５）には、複数の伝達線８５を固定させるための締結部材７２（図２又は図３参照）が通される。図３に示すように、締結部材７２は、帯状のバンド部７２１と、バンド部７２１の一端側のヘッド部７２２とを備えている。ヘッド部７２２には、バンド部７２１の通る孔７２３が形成されており、孔７２３の内部には、バンド部７２１を固定させるための爪部（不図示）が設けられている。ヘッド部７２２のサイズは、孔７１５（図４参照）の径より大きくなっている。
【００３３】
このように構成された伝達線固定部材７に、複数の伝達線８５を固定させる。複数の伝達線８５の固定は、例えば、図３に示すように、同じ側面ブロック７１の中空部（孔７１５）に対して、２本の締結部材７２を逆向きに通すことで行われる。具体的には、まず、複数の伝達線８５を間に挟むようにユニット７ａ，７ｂを平行に配置して、ユニット７ａ，７ｂにおいて対向する１組の側面ブロック７１の中空部に２本の締結部材７２のバンド部７２１を通す。この際、一方の締結部材７２のヘッド部７２２はユニット７ａの外側（ユニット７ｂとは反対側）に位置付けられ、他方の締結部材７２のヘッド部７２２はユニット７ｂの外側（ユニット７ａとは反対側）に位置付けられるようにする。また、２本の締結部材７２で、複数の伝達線８５の上下が挟まれるようにする。
【００３４】
そして、一方の締結部材７２のヘッド部７２２の孔７２３に他方の締結部材７２のバンド部７２１を通し、他方の締結部材７２のヘッド部７２２の孔７２３に一方の締結部材７２のバンド部７２１を通す。これにより、２本の締結部材７２は、複数の伝達線８５の上下を挟んだ状態で連結され、側面ブロック７１に固定される。つまり、複数の伝達線８５は、２本の締結部材７２を介してユニット７ａ，７ｂに締結される。ヘッド部７２２のサイズは、孔７１５の径より大きくなっているので、２本の締結部材７２がユニット７ａ，７ｂから脱落されることはない。
【００３５】
上述のような締結部材７２による締結は、ユニット７ａ，７ｂにおいて対向する複数の側面ブロック７２の組に対して行われる。本実施の形態では、ユニット７ａ，７ｂを構成する複数の側面ブロック７２の組に対して、１つ置きに締結部材７２を締結させ、複数の伝達線８５を固定する。ただし、本発明はこれに限定されず、任意の側面ブロック７１に締結部材７２を締結させて複数の伝達線８５を固定させることができる。例えば、全ての側面ブロック７１の組に締結部材７２を締結させても良い。この場合、複数の伝達線８５を強固に固定できる。
【００３６】
側面ブロック７２に締結部材７２を締結させた後には、締結部材７２のバンド部７２１に留め具７２４を取り付けて、複数の伝達線８５を任意の本数の単位でまとめる。これにより、複数の伝達線８５が散らばることはなくなるので、複数の伝達線８５の擦れをさらに抑制できる。ただし、留め具７２４は用いなくても良い。
【００３７】
次に、図５を参照して、伝達線固定部材７の屈曲動作について説明する。図５は、本実施の形態に係る伝達線固定部材７の屈曲動作を説明する模式図である。
【００３８】
図５Ａに示すように、本実施の形態に係る伝達線固定部材７は、複数の側面ブロック７１を長鎖状に連結したユニット７ａ，７ｂを含んでいる。複数の伝達線８５は、屈曲軸７１４（図４参照）の中空部を通る締結部材７２により、ユニット７ａ，７ｂと並列に固定されている。すなわち、複数の伝達線８５は、長鎖状のユニット７ａ，７ｂに沿うように延在されている。また、ユニット７ａ，７ｂは、伝達線８５の屈曲に合わせて屈曲されている。
【００３９】
図５Ｂに示すように、Ｘ軸テーブル５１が矢印Ｄ１で示す方向に移動されると、ユニット７ａ，７ｂ及び複数の伝達線８５の屈曲部分も矢印Ｄ１で示す方向に移動される。このように、複数の伝達線８５は、締結部材７２を介してユニット７ａ，７ｂに締結されているので、複数の伝達線８５及びユニット７ａ，７ｂは、Ｘ軸テーブル５１の移動に追従されるように一体に移動される。屈曲部分において、側面ブロック７１の屈曲軸７１４（図４参照）は、伝達線８５の屈曲に追従するように回転される。
【００４０】
以上のように、本実施の形態に係る伝達線固定部材７において、伝達線８５は、締結部材７２により屈曲軸７１４に締結されるので、伝達線固定部材７に伝達線８５を支持するための内壁を設ける必要がなくなり、伝達線８５と伝達線固定部７の内壁との擦れを防止できる。よって、伝達線８５の擦れを抑制して、伝達線８５からの発埃及び伝達線８５の破損を防止できる。
【００４１】
次に、図６を参照して、本実施の形態の変形例に係る伝達線固定部材について説明する。図６は、変形例に係る伝達線固定部材の一部を分解した状態を示す分解斜視図である。なお、変形例に係る伝達線固定部材は、多くの点で上述した伝達線固定部材７と共通している。このため、共通する点についての詳細な説明は省略する。
【００４２】
図６に示すように、変形例に係る伝達線固定部材は、屈曲軸７１４の中空部（孔７１５）に円筒状の回転軸７１７を挿入される点で、上述の伝達線固定部材７と相違している。この伝達線固定部材において、締結部材７２は、回転軸７１７の中空部７１８を通され固定される。中空部７１８の形状は任意であるが、締結部材７２を固定できるようにバンド部７２１の形状に合わせて形成されているとより好ましい。回転軸７１７の外径は、屈曲軸７１４の中空部（孔７１５）の内径より僅かに小さくなっており、回転軸７１７は、伝達線８５の屈曲に応じて回転可能である。
【００４３】
このように、変形例に係る伝達線固定部材において、締結部材７２の通される回転軸７１７は、伝達線８５の屈曲に応じて回転可能なので、伝達線８５と締結部材７２との擦れも抑制できる。よって、伝達線の擦れをさらに抑制して、伝達線からの発埃及び伝達線の破損を防止できる。
【００４４】
（実施の形態２）
本実施の形態では、実施の形態１とは異なる構成の伝達線固定部材について説明する。図７は、本実施の形態に係る伝達線固定部材の一部を分解した状態を示す分解斜視図である。なお、本実施の形態に係る伝達線固定部材は、多くの点で実施の形態１に係る伝達線固定部材７と共通している。このため、共通する点についての詳細な説明は省略する。
【００４５】
図７に示すように、本実施の形態に係る伝達線固定部材に用いられる側面ブロック７３の構成は、実施の形態１に係る伝達線固定部材７に用いられる側面ブロック７１の構成と類似している。側面ブロック７３は、一体の屈曲軸７１４を有していない点において、側面ブロック７１と相違する。つまり、側面ブロック７３の連結部７１２には、屈曲軸７１４は設けられておらず、孔７１５のみが形成されている。
【００４６】
本実施の形態に係る側面ブロック７３は、別体の屈曲軸７３１で連結される。具体的には、連結部７１３ａと連結部７１３ｂとの間に、別の側面ブロック７１の連結部７１２を位置付けて、それぞれの孔７１５，７１６ａ，７１６ｂに円筒状の屈曲軸７３１を係合させる。締結部材７２は、屈曲軸７３１の中空部７３２を通され固定される。中空部７３２の形状は任意であるが、締結部材７２を固定できるようにバンド部７２１の形状に合わせて形成されているとより好ましい。屈曲軸７３１の外径は、孔７１５，７１６ａ，７１６ｂの内径より僅かに小さくなっており、屈曲軸７３１は、伝達線８５の屈曲に応じて回転可能である。
【００４７】
このように、本実施の形態に係る伝達線固定部材７において、伝達線８５は、締結部材７２により屈曲軸７３１に締結されるので、伝達線固定部材７に伝達線８５を支持するための内壁を設ける必要がなくなり、伝達線８５と伝達線固定部７の内壁との擦れを防止できる。また、締結部材７２の通される屈曲軸７３１は、伝達線８５の屈曲に応じて回転されるので、伝達線８５と締結部材７２との擦れも抑制できる。よって、伝達線の擦れをさらに抑制して、伝達線からの発埃及び伝達線の破損を防止できる。本実施の形態において示される構成、方法などは、他の実施の形態において示される構成、方法などと適宜組み合わせて実施することができる。
【００４８】
なお、本発明は、上記実施の形態の記載に限定されず、種々変更して実施可能である。例えば、上記実施の形態では、締結部材として、いわゆる結束バンドを用いる構成を例示しているが、締結部材はこれに限られない。例えば、紐状の締結部材を用いても良い。なお、長鎖状のユニットの間隔を一定に保持して複数の伝達線を適切に固定させるためには、ある程度の固さを有する締結部材を用いることが好ましい。
【００４９】
また、上記実施の形態では、２組の長鎖状のユニットを用いた伝達線固定部材を例示しているが、伝達線固定部材に用いられる長鎖状のユニットの数は特に限定されない。固定される複数の伝達線を適切に支持できるように、長鎖状のユニットの数は増減させても良い。例えば、伝達線の数が少ない構成では、１組のユニットで伝達線固定部材を構成できる。一方、伝達線の数が多い構成では、３組以上のユニットを用いて伝達線固定部材を構成すると良い。また、複数の伝達線は、１組のユニットの片側に固定されても良いし、両側に固定されても良い。
【００５０】
その他、上記実施の形態に係る構成、方法などは、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。
【産業上の利用可能性】
【００５１】
本発明の伝達線固定部材は、リード線やチューブなどの伝達線を、可動部の移動に追従可能に固定する際に有用である。
【符号の説明】
【００５２】
１  切削装置
７  伝達線固定部材
７ａ，７ｂ  ユニット
１１  基台
５１  Ｘ軸テーブル
７１，７３  側面ブロック
７２  締結部材
８５  伝達線
７１１  本体部
７１２，７１３ａ，７１３ｂ  連結部
７１２ａ  主表面
７１４，７３１  屈曲軸
７１５，７１６ａ，７１６ｂ，７２３  孔
７１７  回転軸
７１８，７３２  中空部
７２１  バンド部
７２２  ヘッド部
７２４  留め具
【図１】
2014014206.tif 000003
【図２】
2014014206.tif 000004
【図３】
2014014206.tif 000005
【図４】
2014014206.tif 000006
【図５】
2014014206.tif 000007
【図６】
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【図７】
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