(57)【要約】【課題】  吐出される液体の粘度が異なる条件下、例えば環境温度が異なる場合であっても、条件に応じて設計された駆動波形を印加し、効率の良い空吐出動作を実現可能な液体吐出ヘッドの駆動方法を提供する。【解決手段】  液体吐出ヘッドの駆動方法において、圧力発生手段５０に印加される駆動波形は、圧力室２２の体積を拡大させてノズルメニスカスを引き込む立下げ要素Ｔｆと、前記ノズルメニスカスの状態を保持する要素Ｐｗと、前記圧力室の体積を縮小させて前記ノズルメニスカスを押し出す立上げ要素Ｔｒとからなる駆動パルスを複数含むパルス群で構成され、ノズル３１から画像形成に寄与しない液滴を吐出させる空吐出動作時に、前記駆動パルス間の間隔Ｔｄを、圧力室２２内の圧力共振周期Ｔｃに対応させる液体吐出ヘッドの駆動方法。【選択図】図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を収容した圧力室の容積を圧力発生手段によって変化させ、前記圧力室に連通するノズルから液滴を吐出させて画像形成を行う液体吐出ヘッドの駆動方法において、
前記圧力発生手段に印加される駆動波形は、前記圧力室の体積を拡大させてノズルメニスカスを引き込む立下げ要素と、前記ノズルメニスカスの状態を保持する要素と、前記圧力室の体積を縮小させて前記ノズルメニスカスを押し出す立上げ要素とからなる駆動パルスを複数含むパルス群で構成され、
前記ノズルから画像形成に寄与しない液滴を吐出させる空吐出動作時に、前記駆動パルス間の間隔Ｔｄを、前記圧力室内の圧力共振周期Ｔｃに対応させることを特徴とする液体吐出ヘッドの駆動方法。
【請求項２】
前記駆動パルスに含まれる前記ノズルメニスカスの状態を保持する要素をパルス幅Ｐｗとしたとき、前記空吐出動作時の前記駆動波形のパルス幅Ｐｗを、環境温度に応じた前記圧力共振周期Ｔｃの第一ピークのパルス幅とすることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッドの駆動方法。
【請求項３】
前記駆動パルス間の間隔Ｔｄを、環境温度が低いほど短くすることを特徴とする請求項１または２に記載の液体吐出ヘッドの駆動方法。
【請求項４】
前記駆動パルスの電圧の波高値を、環境温度が低いほど大きくすることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの駆動方法。
【請求項５】
前記パルス幅Ｐｗを、環境温度が低いほど長くすることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの駆動方法。
【請求項６】
任意の環境温度において、前記空吐出動作時の空吐出滴の滴速度が一定の値となる電圧とすることを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの駆動方法。
【請求項７】
異なる環境温度において設定される複数のパルス間隔Ｔｄ、パルス幅Ｐｗ及び電圧の値から連続性を有する予測曲線を求め、該予測曲線に基づき前記駆動波形を設計することを特徴とする請求項１から６のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの駆動方法。
【請求項８】
任意の滴数の空吐出を連続して行う空吐出群を一の単位とし、前記空吐出動作は前記空吐出群の単位を間欠的に実行することにより行われることを特徴とする請求項１から７のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの駆動方法。
【請求項９】
前記空吐出動作の前記駆動パルスの電圧の波高値は、最初に実行される前記空吐出群において最も大きく、実行回数の増加に伴い小さくなることを特徴とする請求項８に記載の液体吐出ヘッドの駆動方法。
【請求項１０】
液体を収容した圧力室の容積を圧力発生手段によって変化させ、前記圧力室に連通するノズルから液滴を吐出させて画像形成を行う液体吐出ヘッドと、
前記圧力発生手段に印加される駆動波形は、前記圧力室の体積を拡大させてノズルメニスカスを引き込む立下げ要素と、前記ノズルメニスカスの状態を保持する要素と、前記圧力室の体積を縮小させて前記ノズルメニスカスを押し出す立上げ要素とからなる駆動パルスを複数含むパルス群で構成され、前記ノズルから画像形成に寄与しない液滴を吐出させる空吐出動作時に、前記駆動パルス間の間隔Ｔｄを、前記圧力室内の圧力共振周期Ｔｃに対応させる制御手段と、を備えることを特徴とする吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体吐出ヘッドの駆動方法、及び前記液体吐出ヘッドの駆動方法により駆動される液体吐出ヘッドを備えた吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体の記録液（以下、「インク」ともいう。）の液滴（以下、「インク滴」ともいう。）を吐出する液体吐出ヘッドで構成した記録ヘッドを含む吐出装置としては、プリンタ、ファクシミリ、複写装置、プロッタ及びこれらの複数の機能を備える複合機等の画像形成装置が知られている。画像形成装置としては、例えば、インクを用いて、媒体（以下「用紙」ともいうが材質を限定するものではなく、また、被記録媒体、記録媒体、転写材、記録紙なども同義で使用する。）を搬送しながら、インクを用紙に付着させて画像形成（記録、印刷、印写、印字も同義語で用いる。）を行なうものがある。
「吐出装置」とは、液体吐出ヘッドから液体を吐出する装置であれば特に限定されないが、以下、画像形成装置を例として説明する。
【０００３】
「画像形成装置」は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックス等の媒体に液体を吐出して画像形成を行う装置を意味し、また、「画像形成」とは、文字や図形等の意味を持つ画像を媒体に対して付与することだけでなく、パターン等の意味を持たない画像を媒体に付与することをも意味する。また、「液体」とは、記録液（インク）に限るものではなく、吐出されるときに流体となるものであれば特に限定されるものではない。
【０００４】
また、液体吐出ヘッドを備える画像形成装置としては、記録ヘッドをキャリッジに搭載して用紙の送り方向と直交する主走査方向に移動させることで記録を行うシリアル型画像記録装置と、記録領域の略全幅にわたって液滴を吐出する複数の吐出口（ノズル）を列設したライン型ヘッドを用いるライン型画像記録装置がある。
【０００５】
液体吐出ヘッドは、インク滴を吐出させるためのアクチュエータ手段の種類により、いくつかの方式に大別される。
例えば液室の壁の一部を薄い振動板とし、これに対応して電気機械変換素子としての圧電素子を配置し、電圧印加に伴って発生する圧電素子の変形により振動板を変形させることで圧力室内の圧力を変化させて、インク滴を吐出させるピエゾ方式のもの、液室内部に発熱体素子を配置し、通電による発熱体の加熱によって気泡を発生させ、気泡の圧力によってインク滴を吐出させるバブルジェット（登録商標）方式のものが一般に良く知られている。また、液室の壁面を形成する振動板と、この振動板に対向して配置された液室外の個別電極とを備え、振動板と電極との間に電界を印加することで発生する静電力により振動板を変形させて、液室内の圧力／体積を変化させることによりノズルからインク滴を吐出させる静電型のものも提案されている。
【０００６】
ところで、液体吐出ヘッドは吐出口からインクを吐出させて記録を行うものであることから、インクを吐出しない状態が続くと、ノズル内のインクの溶媒が蒸発することにより粘度が増加し、そのまま液滴の吐出動作を行うと吐出状態が乱れて吐出不能状態に陥り印刷品質が劣化してしまうことがある。また、インク流動がないため、放置時間と共に液室内のインクの気体溶存量も高くなり、インクに混入した気泡により圧力変動が吸収され、吐出不良が生じることもある。
【０００７】
上記の問題を解決するために、ノズルから記録（画像形成）に寄与しない液滴を吐出する動作によって、増粘したインクや流路内の気泡を排出する空吐出動作が行われることが既に知られており、空吐出動作の制御方法も提案されている（例えば、特許文献１〜４参照）。
【０００８】
特許文献１には、液体流路内に存在する気泡の排出性を向上させることが可能な液体噴射装置を提供する目的で、検出した環境温度に基づいてメンテナンス用駆動パルスの時間幅を補正することが開示されている。特許文献２には、ノズルに形成されたメニスカスを破壊されにくくして、空吐出動作による回復効率を向上する目的で、インクの増粘状態に応じてパルス幅、パルス間の間隔を変えることが開示されている。特許文献３には、ノズルの噴射不良の原因となる気泡を有効に除去することができる液体噴射装置を提供する目的で、気泡除去フラッシング実行時の外気温を検出して、それに応じてパルス幅を設定することが開示されている。特許文献４には、環境温度に関わらず粘度の高い液体の吐出を良好に行う目的で、環境温度に応じて電圧軸方向及び時間軸方向に波形を伸縮して印加することが開示されている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、環境温度が低い場合等、インクの粘度が高くなった状態における空吐出動作では、所望の滴速度を得るために高い電圧が必要となる。一方、高い電圧でインクを吐出させると、ノズル部のメニスカスの引き込みが大きくなり、メニスカスが共振するａ圧力室の振動周期（圧力振動周期）が短くなることがわかっている。
通常、常温における基本特性に基づき、共振のタイミングで最も効率的なパルス幅、パルス間の間隔を設定しているため、上記のような低温環境温度下において常温と同じパルス幅・パルス間の間隔の空吐出用駆動波形を印加すると、共振ポイントから外れたタイミングでパルスが印加され、所望の滴速度を得るのに必要な電圧は大きくなり、空吐出の効率が悪化するという問題があった。
【００１０】
特許文献４には、環境温度に応じた波形の調整において、時間軸方向に一定倍率で伸縮させることが開示されている。しかしながら、この場合には波形を構成する立上り時間と立下り時間がともに変化することとなり、波形の傾きが急峻になった場合は瞬間電流が増大し、発熱量が多くなるという懸念がある。
【００１１】
そこで、本発明は上記課題を鑑み、吐出される液体の粘度が異なる条件下、例えば環境温度が異なる場合であっても、条件に応じて設計された駆動波形を印加して、効率の良い空吐出動作を実現可能な液体吐出ヘッドの駆動方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記課題を解決するために、本発明に係る液体吐出ヘッドの駆動方法は、液体を収容した圧力室の容積を圧力発生手段によって変化させ、前記圧力室に連通するノズルから液滴を吐出させて画像形成を行う液体吐出ヘッドの駆動方法において、前記圧力発生手段に印加される駆動波形は、前記圧力室の体積を拡大させてノズルメニスカスを引き込む立下げ要素と、前記ノズルメニスカスの状態を保持する要素と、前記圧力室の体積を縮小させて前記ノズルメニスカスを押し出す立上げ要素とからなる駆動パルスを複数含むパルス群で構成され、前記ノズルから画像形成に寄与しない液滴を吐出させる空吐出動作時に、前記駆動パルス間の間隔Ｔｄを、前記圧力室内の圧力共振周期Ｔｃに対応させることを特徴とする液体吐出ヘッドの駆動方法である。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の液体吐出ヘッドの駆動方法によれば、吐出される液体の粘度が異なる条件下、例えば環境温度が異なる場合であっても、条件に応じて設計された駆動波形を印加し、効率の良い空吐出動作を実現可能な液体吐出ヘッドの駆動方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】液体吐出ヘッドの一例の液室長手方向に沿った断面図である。
【図２】液体吐出ヘッドの一例の液室短手方向に沿った断面図である。
【図３】吐出装置の制御手段の一例を示すブロック図である。
【図４】印刷制御部及びヘッドドライバの一例を示すブロック図である。
【図５】空吐出用駆動波形を構成する駆動パルスの波形形状を示す説明図である。
【図６】吐出滴の滴速度をプロットしたＰｗ特性のイメージ図である。
【図７】空吐出用駆動波形の従来例を説明する図である。
【図８】第１の実施形態に係る空吐出用駆動波形を説明する図である。
【図９】空吐出用駆動波形を規定する流れの一例を示したフロー図である。
【図１０】第３の実施形態に係る空吐出用駆動波形を説明する図である。
【図１１】第５〜８の実施形態に係る空吐出用駆動波形を説明する図である。
【図１２】画像形成装置の一例の機構部の全体構成を説明する概略構成図である。
【図１３】画像形成装置の一例の要部平面の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明に係る液体吐出ヘッドの駆動方法及び液滴吐出装置について図面を参照して説明する。なお、本発明は以下に示す実施例の実施形態に限定されるものではなく、他の実施形態、追加、修正、削除など、当業者が想到することができる範囲内で変更することができ、いずれの態様においても本発明の作用・効果を奏する限り、本発明の範囲に含まれるものである。
【００１６】
図１及び２は液体吐出ヘッドの駆動方法により駆動される液体吐出ヘッドの一例を示したもので、図１は液室長手方向に沿った断面図であり、図２は液室短手方向に沿った断面図である。
【００１７】
液体吐出ヘッド（以下、「インクジェットヘッド」ともいう。）は、インク供給口（図示せず）と共通液室１２となる彫り込みを形成したフレーム１０と、流体抵抗部２１、圧力室２２となる彫り込みとノズル３１に連通する連通口（液体導入部）２３を形成した流路板２０と、ノズル３１を形成するノズル板と、凸部６１、ダイアフラム部６２およびインク流入口６３を有する振動板６０と、振動板６０に接着層を介して接合された圧力発生手段（積層圧電素子）５０と、積層圧電素子５０を固定しているベース４０を備えている。
【００１８】
ベース４０はチタン酸バリウム系セラミックからなり、積層圧電素子５０を２列配置して接合している。
【００１９】
積層圧電素子５０は、厚さ１０〜５０μｍ／１層のチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）の圧電層５１と、厚さ数μｍ／１層の銀・パラジューム（ＡgＰd）からなる内部電極層５２とを交互に積層している。内部電極層５２は両端で外部電極５３に接続する。
積層型圧電素子５０はハーフカットのダイシング加工により櫛歯上に分割され、1つ毎に駆動部５５と支持部５６（非駆動部）として使用する。積層型圧電素子５０は、厚さ１０〜５０μｍ／１層のチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）の圧電層５１と、厚さ数μｍ／１層の銀・パラジューム（ＡｇＰｄ）からなる内部電極層５２とを交互に積層したものであり、内部電極5-2を交互に端面の端面電極（外部電極）である個別電極５３、共通電極５４に電気的に接続したものである。
【００２０】
本実施態様の液体吐出ヘッドは、圧力発生手段として厚み方向変位であるｄ３３方式での積層型圧電素子５０を使用する構成とし、積層型圧電素子５０の伸縮により液体を収容した圧力室２２を収縮、膨張させて容積を変化させるようになっている。
積層型圧電素子５０に駆動信号が印加され充電が行われると伸長し、また積層型圧電素子５０に充電された電荷が放電すると反対方向に収縮するようになっている。
【００２１】
駆動部の個別電極５３にはＦＰＣ７０が半田接合されている。
また、共通電極５４は積層圧電素子の端部に電極層を設けて回し込んでＦＰＣ７０のＧｎｄ電極に接合している。ＦＰＣ７０には図示しないドライバＩＣが実装されており、これにより駆動部５５への駆動電圧印加を制御している。
【００２２】
振動板６０は、薄膜のダイアフラム部６２と、このダイアフラム部６２の中央部に形成した駆動部５５となる積層圧電素子５０と接合する島状凸部（アイランド部）６１と、支持部に接合する梁を含む厚膜部と、インク流入口６３となる開口を電鋳工法によるＮｉメッキ膜を２層重ねて形成している。
【００２３】
流路板２０はシリコン単結晶基板を用いて、流体抵抗部２１、圧力室２２、液体導入部２３となる彫り込み、およびノズル３１に対する位置に連通口２５となる貫通口をエッチング工法でパターニングした。エッチングで残された部分が圧力室２２の隔壁２４となる。
【００２４】
ノズルプレート３０は金属材料、例えば電鋳工法によるＮｉメッキ膜等で形成したもので、インク滴を飛翔させるための微細な吐出口であるノズル３１を多数形成している。このノズル３１の内部形状（内側形状）は、ホーン形状（略円柱形状又は略円錘台形状でもよい。）に形成している。
【００２５】
このノズルプレート３０のインク吐出面（ノズル表面側）は、図示しない撥水性の表面処理を施した撥水処理層を設けている。ＰＴＦＥ−Ｎｉ共析メッキやフッ素樹脂の電着塗装、蒸発性のあるフッ素樹脂（例えばフッ化ピッチなど）を蒸着コートしたもの、シリコン系樹脂・フッ素系樹脂の溶剤塗布後の焼き付け等、インク物性に応じて選定した撥水処理膜を設けて、インクの滴形状、飛翔特性を安定化し、高品位の画像品質を得られるようにしている。
【００２６】
インク供給口１１と共通液室１２となる彫り込みを形成するフレーム１は樹脂成形で作製している。
【００２７】
このように構成したインクジェットヘッドにおいては、記録信号に応じて駆動部５６に駆動波形（１０〜５０Ｖのパルス電圧）を印加することによって、駆動部５６に積層方向の変位が生起し、振動板３０を介して圧力室２２が加圧されて圧力が上昇し、圧力室２２に連通するノズル３１からインク滴が吐出される。
【００２８】
その後、インク滴吐出の終了に伴い、圧力室２２内のインク圧力が低減し、インクの流れの慣性と駆動パルスの放電過程によって圧力室２２内に負圧が発生してインク充填行程へ移行する。このとき、インクタンクから供給されたインクは共通液室１２に流入し、共通液室１２からインク流入口６３を経て液体導入部２３、流体抵抗部２１を通り、圧力室２２内に充填される。
【００２９】
流体抵抗部２１は、吐出後の残留圧力振動の減衰に効果が有る反面、表面張力による最充填（リフィル）に対して抵抗になる。流体抵抗部を適宜に選択することで、残留圧力の減衰とリフィル時間のバランスが取れ、次のインク滴吐出動作に移行するまでの時間（駆動周期）を短くできる。
【００３０】
次に、液体吐出ヘッドの駆動方法に係る吐出装置の制御手段の概要について図３を参照して説明する。
図３は、吐出装置の一実施態様としての画像形成装置の制御手段のブロック図である。
制御部５００は、この装置全体の制御を司っており本発明に係る空吐出動作の制御を行う手段を兼ねるＣＰＵ５１１と、ＣＰＵ５１１が実行するプログラム、その他の固定データを格納するＲＯＭ５０２と、画像データ等を一時格納するＲＡＭ５０３と、装置の電源が遮断されている間もデータを保持するための書き換え可能な不揮発性メモリ５０４と、画像データに対する各種信号処理、並び替え等を行う画像処理やその他装置全体を制御するための入出力信号を処理するＡＳＩＣ５０５とを備えている。
【００３１】
また、液体吐出ヘッド（以下、「記録ヘッド」ともいう。）２３４を駆動制御するためのデータ転送手段、駆動信号発生手段を含む印刷制御部５０８と、キャリッジ２３３側に設けた記録ヘッド２３４を駆動するためのヘッドドライバ（ドライバＩＣ）５０９と、キャリッジ２３３を移動走査する主走査モータ２５４、搬送ベルト２５１を周回移動させる副走査モータ２５５、維持回復機構の維持回復モータ２５６を駆動するためのモータ駆動部５１０と、帯電ローラー２５６にＡＣバイアスを供給するＡＣバイアス供給部５１１などを備えている。
【００３２】
また、この制御部５００には、この装置に必要な情報の入力及び表示を行うための操作パネル５１４が接続されている。
【００３３】
この制御部５００は、ホスト側とのデータ、信号の送受を行うためのＩ／Ｆ５０６を持っていて、パーソナルコンピュータ等の情報処理装置、イメージスキャナなどの画像読み取り装置、デジタルカメラなどの撮像装置などのホスト６００側から、ケーブル或いはネットワークを介してＩ／Ｆ５０６で受信する。
【００３４】
そして、制御部５００のＣＰＵ５０１は、Ｉ／Ｆ５０６に含まれる受信バッファ内の印刷データを読み出して解析し、ＡＳＩＣ５０５にて必要な画像処理、データの並び替え処理等を行い、この画像データを印刷制御部５０８からヘッドドライバ５０９に転送する。
なお、画像出力するためのドットパターンデータの生成はホスト６００側のプリンタドライバ６０１で行っている。
【００３５】
印刷制御部５０８は、上述した画像データをシリアルデータで転送するとともに、この画像データの転送及び転送の確定などに必要な転送クロックやラッチ信号、制御信号などをヘッドドライバ５０９に出力する以外にも、ＲＯＭに格納されている駆動パルスのパターンデータをＤ／Ａ変換するＤ／Ａ変換器及び電圧増幅器、電流増幅器等で構成される駆動信号生成部を含み、１の駆動パルス或いは複数の駆動パルスで構成される駆動信号をヘッドドライバ５０９に対して出力する。
【００３６】
ヘッドドライバ５０９は、シリアルに入力される記録ヘッド３４の１行分に相当する画像データに基づいて印刷制御部５０８から与えられる駆動信号を構成する駆動パルスを選択的に記録ヘッド７の液滴を吐出させるエネルギーを発生する駆動素子（例えば圧電素子）に対して印加することで記録ヘッド７を駆動する。
このとき、駆動信号を構成する駆動パルスを選択することによって、例えば、大滴、中滴、小滴など、大きさの異なるドットを打ち分けることができる。
【００３７】
Ｉ／Ｏ部５１３は、装置に装着されている各種のセンサ群５１５からの情報を取得し、プリンタの制御に必要な情報を抽出し、印刷制御部５０８やモータ制御部５１０、ＡＣバイアス供給部５１１の制御に使用する。
センサ群５１５は、用紙の位置を検出するための光学センサや、機内の温度を監視するためのサーミスタ、帯電ベルトの電圧を監視するセンサ、カバーの開閉を検出するためのインターロックスイッチなどがあり、Ｉ／Ｏ部５１３は様々のセンサ情報を処理することができる。
【００３８】
次に、印刷制御部５０８及びヘッドドライバ５０９の一例について図４を参照して説明する。
印刷制御部５０８は、上述したように、画像形成時に１印刷周期内に複数の駆動パルス（駆動信号）で構成される駆動波形（共通駆動波形）を生成して出力し、空吐出動作時に１空吐出周期内に複数の駆動パルス（駆動信号）で構成される駆動波形（共通駆動波形）を生成して出力する駆動波形生成部７０１と、印刷画像に応じた２ビットの画像データ（階調信号０、１）と、クロック信号、ラッチ信号（ＬＡＴ）、滴制御信号Ｍ０〜Ｍ３を出力するデータ転送部７０２とを備えている。
【００３９】
なお、滴制御信号は、ヘッドドライバ５０９の後述するスイッチ手段であるアナログスイッチ７１５の開閉を滴毎に指示する２ビットの信号であり、共通駆動波形の印刷周期に合わせて選択すべき波形でＨレベル（ＯＮ）に状態遷移し、非選択時にはＬレベル（ＯＦＦ）に状態に遷移する。
【００４０】
ヘッドドライバ５０９は、データ転送部７０２からの転送クロック（シフトクロック）及びシリアル画像データ（階調データ：２ビット／１チャンネル（１ノズル）を入力するシフトレジスタ７１１と、シフトレジスタ７１１の各レジスト値をラッチ信号によってラッチするためのラッチ回路７１２と、階調データと制御信号Ｍ０〜Ｍ３をデコードして結果を出力するデコーダ７１３と、デコーダ７１３のロジックレベル電圧信号をアナログスイッチ７１５が動作可能なレベルへとレベル変換するレベルシフタ７１４と、レベルシフタ７１４を介して与えられるデコーダ７１３の出力でオン／オフ（開閉）されるアナログスイッチ７１５とを備えている。
【００４１】
このアナログスイッチ７１５は、各圧電素子５０の選択電極（個別電極）５３に接続され、駆動波形生成部７０１からの共通駆動波形が入力されている。したがって、シリアル転送された画像データ（階調データ）と制御信号ＭＮ０〜ＭＮ３をデコーダ７１３でデコードした結果に応じてアナログスイッチ７１５がオンにすることにより、共通駆動波形を構成する所要の駆動信号が通過して（選択されて）圧電素子５０に印加される。
【００４２】
次に、従来の空吐出動作時に印加される空吐出用駆動波形の例について、図５、図６及び図７を参照して説明する。
図５は、空吐出用駆動波形を構成する駆動パルス（単パルス）の波形形状であり、図６は、駆動パルスに含まれる要素のパルス幅Ｐｗを振って吐出滴の滴速度をプロットしたＰｗ特性のイメージ図であり、図７は、環境温度が異なる場合における空吐出用駆動波形（駆動パルスを複数含むパルス群）の例を説明する図である。
【００４３】
空吐出動作の際に圧力発生手段である圧電素子５０に印加される空吐出用駆動波形は、吐出される液体が収容された圧力室２２の体積を拡大させてノズルメニスカスを引き込む立下げ要素と、前記ノズルメニスカスの状態を保持する要素と、圧力室２２の体積を縮小させて前記ノズルメニスカスを押し出す立上げ要素とからなる駆動パルス（単パルス）により構成される。
すなわち、該駆動パルスの波形形状は図５に示すように、駆動パルスの電位が基準電位Ｖｅから立下がる波形要素（立下り時間）Ｔｆにより積層型圧電素子５０が収縮し、圧力室２２の容積が膨張する。次いで、立下り後の前記ノズルメニスカスの状態が変化しない（保持された）ホールド状態はパルス幅Ｐｗで表される。さらに、前記ホールド状態から立上る波形要素（立上り時間）Ｔｒにより、積層型圧電素子５０が伸長して圧力室２２が収縮する。
【００４４】
図６は、常温（例えば、２３〜２５℃）におけるＰｗ特性を示したもので、従来の空吐出用駆動波形を構成する駆動パルスのパルス幅Ｐｗは、Pw_1の値で設定されている。Pw_1は、圧力共振の第一ピーク値である。なお、ピークはノズル３１の開口や圧力室２２の大きさをはじめとした振動系の共振により生じるもので、例えば、パルス幅Ｐｗを変化させながら吐出滴の滴速度を測定した場合に、一番最初にあらわれた滴速度のピークを第一ピークという。パルス幅Ｐｗの増大に伴い、第二ピークPw_2、第三ピークPW_3（図示せず）のように複数のピークを生じる。圧力共振の周期（以下、「固有周期」ともいう。）Ｔｃは、第一ピーク及び第二ピークの差から算出される。
【００４５】
図７は、環境温度が高温、常温、低温の場合における空吐出用駆動波形の例を示したもので、高温は破線の７ａ、常温は実線の７ｂ、低温は一点破線の７ｃで表している。ここで、高温とは、常温より約５℃以上高い温度であり、低温とは常温より約５℃以上低い温度を意味する。
図７では、空吐出用駆動波形は５個の駆動パルス（単パルス）を含むパルス群で構成された例を示しているが、含まれるパルスの数は限定されず、目的に応じて適宜選択することができる。
【００４６】
図７に示す従来例では、駆動パルスのパルス幅Ｐｗの終端から、次の駆動パルスのＰｗの終端までの長さが、固有周期Ｔｃの２倍となるように駆動パルス間の間隔Ｔｄを設定している。なお、図７中に４箇所存在するＴｄの長さはすべて同じである。
【００４７】
いずれの環境温度においても、空吐出動作による滴速度が同じになるよう制御したものであり、高温環境の場合（７ａ）では、常温環境（７ｂ）に比べてインクの粘度が低いため、常温と同じ滴速度（Ｖｊ）を得るために必要な電圧の波高値は低くなっている。これに対し、低温環境（７ｃ）では、常温環境（７ｂ）に比べてインク粘度が高いため、電圧の波高値は大きくなっている。
つまり、図７に示す従来の例では、環境温度に応じて変更しているのは電圧の波高値のみであり、パルス幅Ｐｗやパルス間の間隔Ｔｄは同じ値が使用されている。
【００４８】
従来の空吐出動作では、全ての環境温度において空吐出用駆動波形を構成するパルスのパルス幅やパルス間の間隔は変えずにパルスの電圧の波高値を変えることで増粘インクを排出させていた。通常、常温での基本特性に基づき、共振のタイミングで最も効率的なパルス幅Ｐｗ、パルス間の間隔Ｔｄとしている。しかしながら、低温環境のような空吐出用駆動波形の電圧が高くなると、ノズル部のメニスカスの引き込みが大きくなり、固有周期が短くなることがわかっている。このような状態では圧力共振ポイントから外れたタイミングでパルスが印加されるため、所望の滴速度を出すのに必要な電圧は大きくなってしまい、効率的とはいえない。
これに対し、以下に説明する液体吐出ヘッドの駆動方法の空吐出動作時の駆動波形では、環境温度によって空吐出用駆動波形のパルス間の間隔Ｔｄを圧力共振するタイミングで調整して印加するため、インク粘度の変化にかかわらず、すなわちどのような環境温度においても効率よく空吐出動作を実行させることができる。
【００４９】
＜液体吐出ヘッドの駆動方法＞
〔第１の実施形態〕
液体吐出ヘッドの駆動方法の第一の実施形態について、図８を参照して説明する。
図８は、空吐出用駆動波形を示した図であり、図８（ａ）は高温環境での空吐出用駆動波形、図８（ｂ）は常温環境での空吐出用駆動波形、図８（ｃ）は低温環境での空吐出用駆動波形である。なお、高温環境とは約３０℃以上、低温環境とは約１８℃以下、常温環境とはその間の温度帯、特に約２３〜２５℃であることを意味する。
【００５０】
前記液体吐出ヘッドの駆動方法は、液体を収容した圧力室２２の容積を圧力発生手段（圧電素子）５０によって変化させ、圧力室２２に連通するノズルから液滴を吐出させて画像形成を行う液体吐出ヘッドの駆動方法において、圧力発生手段５０に印加される駆動波形は、圧力室２２の体積を拡大させてノズルメニスカスを引き込む立下げ要素と、前記ノズルメニスカスの状態を保持する要素と、圧力室２２の体積を縮小させて前記ノズルメニスカスを押し出す立上げ要素とからなる駆動パルスを複数含むパルス群で構成され、ノズル３１から画像形成に寄与しない液滴を吐出させる空吐出動作時に、駆動パルス間の間隔Ｔｄを、圧力室２２内の圧力共振周期Ｔｃに対応させる方法である。
【００５１】
本実施形態では、図７に示した従来例とは異なり、各環境温度において環境温度に応じて空吐出用駆動波形を構成している駆動パルス間の間隔Ｔｄを制御している。
具体的には、図８（ａ）に示す高温環境での空吐出用駆動波形の駆動パルス間の間隔（Ｔｄ−Ｈ）は、図８（ｂ）に示す常温環境での駆動パルス間の間隔（Ｔｄ−Ｍ）よりも長く設定されている。また、図８（ｃ）に示す低温環境での空吐出用駆動波形の駆動パルス間の間隔（Ｔｄ−Ｌ）は、Ｔｄ−Ｍよりも短く設定されている。これは、環境温度が変化することにより、圧力共振周期（以下、「固有周期」ともいう。）Ｔｃが変化することに基づく。
【００５２】
図８（ｃ）の低温環境の場合で説明すると、低温環境では常温環境と比べてインクの粘度が高くなっているため、所望の滴速度を得るために必要な電圧は高くなる。高い電圧でインクを吐出させる場合、ノズル部のメニスカスの引き込みが大きくなり、低い電圧でインクを吐出させた場合と比べて固有周期Ｔｃが短くなることが実験からわかっている。したがって、低温環境ではＴｃ−Ｌは短くなるため、それに合わせてＴｄ−Ｌも短くなっている。
【００５３】
同様に、図８（ａ）の高温環境の場合は、低電圧駆動のため固有周期Ｔｃ−Ｈは長くなり、それに合わせてパルス間隔Ｔｄ−Ｈも、Ｔｄ−Ｍと比較して長くなっている。
【００５４】
いずれの環境温度においても、共振のタイミングにあわせて、すなわちＴｃまたはＴｃの整数倍のタイミングで空吐出動作が行われるようにパルス間の間隔Ｔｄを設定することにより、従来の電圧のみを制御する方法よりも効率的に空吐出動作を実行させることができ、いずれの環境温度においても同等の空吐出効果を得ることができる。
【００５５】
なお、電圧は上述の従来の駆動方法と同様、任意の環境温度において、空吐出動作時の空吐出滴の滴速度が一定の値となる電圧とする。
【００５６】
〔第２の実施形態〕
液体吐出ヘッドの駆動方法の第２の実施形態について説明する。
第２の実施形態では、第１の実施形態において示した圧力共振周期Ｔｃに対応して空吐出動作が行われるように、駆動パルス間の間隔Ｔｄを設定するとともに、駆動パルスに含まれる前記ノズルメニスカスの状態を保持する要素をパルス幅Ｐｗとしたとき、前記空吐出動作時の駆動波形のパルス幅Ｐｗを、圧力共振周期Ｔｃの第一ピークのパルス幅とする。
【００５７】
図６を参照してパルス幅Ｐｗの特性を説明する。高い電圧を印加した場合に、パルス幅特性の第一のピークPw_1はパルス幅が長くなる方向にシフトし、第二のピークPw_2はパルス幅が短くなる方向にシフトする。このため、図８（ｃ）に示した低温環境の空吐出用駆動波形のパルス幅Ｐｗ−Ｌは、パルス幅を長くして当該環境温度における圧力共振周期Ｔｃの第一のピークPw_1にあわせるように設定される。
【００５８】
低温環境においては、パルス間の間隔Ｔｄは短く、パルス幅Ｐｗは長く、電圧の波高値は高くなっている。環境温度の上昇に伴い、パルス間間隔Ｔｄは長くなり、パルス幅Ｐｗは短くなり、電圧の波高値は低くなる。
このため、空吐出用駆動波形は、パルス間の間隔Ｔｄを環境温度が低いほど短くし、駆動パルスの電圧の波高値を環境温度が低いほど大きくし、パルス幅Ｐｗを環境温度が低いほど長くする。
【００５９】
このように、環境温度の変化に伴うパルス間の間隔Ｔｄ、パルス幅Ｐｗ、及び電圧の波高値の変化はいずれも一定の方向性を有し、例えば、値の変化をグラフに示した場合には変曲点を有する曲線とはならない。よって、任意に選択した複数の温度条件下におけるパルス間隔Ｔｄ、パルス幅Ｐｗ及び電圧の値から、連続性を有する予測曲線を求め、該予測曲線に基づき前記駆動波形を設計することができる。
選択する温度条件下における空吐出用駆動波形を設計すれば、隣接する２点間の温度の波形を予測して補完することができる。選択する温度条件を多く設定するほど、補完される駆動波形の精度は高くなる。
【００６０】
〔制御のフロー〕
空吐出用駆動波形を規定する具体的な流れを、図９のフロー図を参照して説明する。
まず、液体吐出ヘッドの温度を検出し（Ｓ０１）、得られた温度に基づいて最適なパルス間の間隔Ｔｄ、パルス幅Ｐｗを決定する（Ｓ０２）。次いで、空吐出用駆動波形の最適な電圧の波高値を決定することにより（Ｓ０３）、その温度条件下における空吐出用駆動波形が決定される（Ｓ０４）。決定された空吐出用駆動波形が圧力発生手段５０に印加されることにより空吐出駆動が行われ（Ｓ０５）、空吐出動作が実行される。
「決定」には、上記予測曲線などから最適な値を得るとともに、得られた値に基づき波形を設計することを含む。
このフローに従って空吐出動作を行うことにより、いずれの環境温度においても同等の空吐出効果を得ることができる。
【００６１】
〔第３の実施形態〕
液体吐出ヘッドの駆動方法の第３の実施形態について、図１０を参照して説明する。
図１０（ａ）は高温環境での空吐出用駆動波形、図１０（ｂ）は常温環境での空吐出用駆動波形、図１０（ｃ）は低温環境での空吐出用駆動波形である。
本実施形態は、第１の実施形態と同様に圧力共振周期Ｔｃに対応して空吐出動作が行われるように、駆動パルス間の間隔Ｔｄを設定する方法であるが、第１の実施形態が圧力共振周期Ｔｃの２倍となる共振タイミングでＴｄを設定しているのに対し、本実施形態ではＴｃの共振タイミングでＴｄを設定している。
【００６２】
本実施形態の方法によれば、後続の駆動パルスの吐出効率が向上するため、所望の滴速度を得るのに必要な電圧を小さくすることができる。さらに、パルス間隔Ｐｗが短くなることにより、空吐出用駆動波形の波形全体の長さを短くすることができる。
空吐出用駆動波形が短くなることにより高周波で圧力発生手段５０を駆動させることができ、空吐出動作に要する時間を短縮することが可能になる。
【００６３】
〔第４の実施形態〕
液体吐出ヘッドの駆動方法の第４の実施形態について説明する。
第４の実施形態では、第３の実施形態において示したように駆動パルス間の間隔Ｔｄを圧力共振周期Ｔｃに対応させるとともに、パルス幅Ｐｗを、環境温度に応じた圧力共振周期Ｔｃの第一ピークのパルス幅とする。
【００６４】
上述のとおり、高い電圧を印加した場合に、パルス幅特性の第一のピークPw_1はパルス幅が長くなる方向にシフトし、第二のピークPw_2はパルス幅が短くなる方向にシフトする。このため、図１０（ｃ）に示した低温環境の空吐出用駆動波形のパルス幅Ｐｗ−Ｌについて、パルス幅を長くして当該環境温度における圧力共振周期Ｔｃの第一のピークPw_1にあわせるようにする。
本実施形態によれば、第３の実施形態の方法よりもさらに、空吐出動作の効率を向上させることができる。
【００６５】
〔第５の実施形態〕
液体吐出ヘッドの駆動方法の第５の実施形態について、図１１を参照して説明する。
図１１（ａ）に示すように、空吐出用駆動用波形は、任意の滴数の空吐出を連続して行う空吐出群（Ｐａ１、Ｐａ２、…ＰａＮ）を一の単位とし、空吐出動作は前記空吐出群の単位を間欠的に実行することにより行われる。
【００６６】
図１１（ｂ）は、空吐出群を構成する空吐出用駆動波形を示したもので、１１ａは図１１（ａ）のＰａ１の空吐出群を構成する波形であり、１１ｂは図１１（ａ）のＰａ２の空吐出群を構成する波形である。図１１（ｂ）に示すように、先に実行される１１ａの電圧の波高値が後に実行される１１ｂよりも大きい。これは、先に実行される空吐出群を構成する駆動波形の電圧を大きくすることにより粘度の高いインクを排出させ、次いで実行される空吐出群を構成する駆動波形の電圧を先のものより小さくすることにより、メニスカス状態を整えることを意図した制御である。
【００６７】
図１１（ａ）及び（ｂ）では、空吐出群が２つの例を示しているが、空吐出群の数はこれに限定されない。空吐出群の数が２以上である場合は、空吐出動作の駆動パルスの電圧の波高値が、最初に実行される空吐出群において最も大きく、実行回数の増加に伴い小さくなるように制御される。
【００６８】
本実施形態では、図１１（ｂ）の１１ａの波形として、圧力共振周期Ｔｃの２倍となる共振タイミング（２Ｔｃ）で空吐出動作が行われるように駆動パルス間の間隔Ｔｄが設定された第１の実施形態の空吐出用駆動波形を使用している。
【００６９】
本実施形態の方法により制御された空吐出動作は、連続的に実行される空吐出動作よりもインク消費量を低減することができ、画像形成を行う前のメニスカス状態を整えることができる。
【００７０】
〔第６の実施形態〕
液体吐出ヘッドの駆動方法の第６の実施形態について説明する。
第６の実施形態では、第５の実施形態における図１１（ｂ）の１１ａの波形として、パルス幅Ｐｗが、環境温度に応じた前記圧力共振周期Ｔｃの第一ピークのパルス幅となるように設定された第２の実施形態の空吐出用駆動波形を使用する。
本実施形態の方法により制御された空吐出動作は、第５の実施形態よりも効率が向上した空吐出動作を実現できる。
【００７１】
〔第７の実施形態〕
液体吐出ヘッドの駆動方法の第７の実施形態について説明する。
第７の実施形態では、第５の実施形態における図１１（ｂ）の１１ａの波形として、圧力共振周期Ｔｃの共振タイミングで駆動パルス間の間隔Ｔｄが設定された第３の実施形態の空吐出用駆動波形を使用する。
本実施形態の方法により制御された空吐出動作は、第５の実施形態及び第６の実施形態よりもさらに効率が向上した空吐出動作を実現できる。
【００７２】
〔第８の実施形態〕
液体吐出ヘッドの駆動方法の第８の実施形態について説明する。
第８の実施形態では、第５の実施形態における図１１（ｂ）の１１ａの波形として、圧力共振周期Ｔｃの共振タイミングで駆動パルス間の間隔Ｔｄを設定するとともに、パルス幅Ｐｗを、環境温度に応じた圧力共振周期Ｔｃの第一ピークのパルス幅となるように設定された第４の実施形態の空吐出用駆動波形を使用する。
本実施形態の方法により制御された空吐出動作は、第７の実施形態よりもさらに効率が向上した空吐出動作を実現できる。
【００７３】
＜吐出装置＞
前記駆動方法により駆動される液体吐出ヘッドを備える吐出装置の一実施態様としての画像形成装置について図１２及び図１３を参照して説明する。
図１２は、画像形成装置の機構部の全体構成を説明する概略構成図であり、図１３は同機構部の要部平面説明図である。本実施形態に係る画像形成装置は、シリアル型画像形成装置であり、左右の側板２０１Ａ、２０１Ｂに横架したガイド部品である。
【００７４】
主従のガイドロッド２３１、２３２でキャリッジ２３３を主走査方向に摺動自在に保持し、図示しない主走査モータによってタイミングベルトを介して矢示方向（キャリッジ主走査方向）に移動走査する。
このキャリッジ２３３には、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｋ）の各色のインク滴を吐出するための本発明に係る液体吐出ヘッドからなる液体吐出ヘッド２３４ａ、２３４ｂ（区別しないときは「液体吐出ヘッド２３４」という。）を複数のノズルからなるノズル列を主走査方向と直交する副走査方向に配列し、インク滴吐出方向を下方に向けて装着している。
【００７５】
液体吐出ヘッド２３４は、それぞれ２つのノズル列を有し、液体吐出ヘッド２３４ａの一方のノズル列はブラック（Ｋ）の液滴を、他方のノズル列はシアン（Ｃ）の液滴を、液体吐出ヘッド２３４ｂの一方のノズル列はマゼンタ（Ｍ）の液滴を、他方のノズル列はイエロー（Ｙ）の液滴を、それぞれ吐出する。
また、キャリッジ２３３には、液体吐出ヘッド２３４のノズル列に対応して各色のインクを供給するためのヘッドタンク２３５ａ、２３５ｂ（区別しないときは「ヘッドタンク２３５」という。）を搭載している。このサブタンク２３５には各色の供給チューブ３６を介して、各色のインクカートリッジ２１０から各色のインクが補充供給される。
【００７６】
一方、給紙トレイ２０２の用紙積載部（圧板）２４１上に積載した用紙２４２を給紙するための給紙部として、用紙積載部２４１から用紙２４２を１枚ずつ分離給送する半月コロ（給紙コロ）２４３及び給紙コロ２４３に対向し、摩擦係数の大きな材質からなる分離パッド２４４を備え、この分離パッド２４４は給紙コロ２４３側に付勢されている。
【００７７】
そして、この給紙部から給紙された用紙２４２を液体吐出ヘッド２３４の下方側に送り込むために、用紙２４２を案内するガイド部品２４５と、カウンタローラー２４６と、搬送ガイド部品２４７と、先端加圧コロ２４９を有する押さえ部品２４８とを備えるとともに、給送された用紙２４２を静電吸着して液体吐出ヘッド２３４に対向する位置で搬送するための搬送手段である搬送ベルト２５１を備えている。
【００７８】
この搬送ベルト２５１は、無端状ベルトであり、搬送ローラー２５２とテンションローラー２５３との間に掛け渡されて、ベルト搬送方向（副走査方向）に周回するように構成している。また、この搬送ベルト２５１の表面を帯電させるための帯電手段である帯電ローラー２５６を備えている。この帯電ローラー２５６は、搬送ベルト２５１の表層に接触し、搬送ベルト２５１の回動に従動して回転するように配置されている。この搬送ベルト２５１は、図示しない副走査モータによってタイミングを介して搬送ローラー２５２が回転駆動されることによってベルト搬送方向に周回移動する。
【００７９】
さらに、液体吐出ヘッド２３４で記録された用紙２４２を排紙するための排紙部として、搬送ベルト２５１から用紙２４２を分離するための分離爪２６１と、排紙ローラー２６２及び排紙コロ２６３とを備え、排紙ローラー２６２の下方に排紙トレイ２０３を備えている。
【００８０】
また、装置本体１の背面部には両面ユニット２７１が着脱自在に装着されている。この両面ユニット２７１は搬送ベルト２５１の逆方向回転で戻される用紙２４２を取り込んで反転させて再度カウンタローラー２４６と搬送ベルト２５１との間に給紙する。また、この両面ユニット２７１の上面は手差しトレイ２７２としている。
さらに、キャリッジ２３３の走査方向一方側の非印字領域には、液体吐出ヘッド２３４のノズルの状態を維持し、回復するための回復手段を含む本発明に係るヘッドの維持回復装置である維持回復機構２８１を配置している。
【００８１】
この維持回復機構２８１には、液体吐出ヘッド２３４の各ノズル面をキャピングするための各キャップ部品（以下「キャップ」という。）２８２ａ、２８２ｂ（区別しないときは「キャップ２８２」という。）と、ノズル面をワイピングするためのブレード部品であるワイパーブレード２８３と、増粘した記録液を排出するために記録に寄与しない液滴を吐出させる空吐出を行うときの液滴を受ける空吐出受け２８４などを備えている。
【００８２】
また、キャリッジ２３３の走査方向他方側の非印字領域には、記録中などに増粘した記録液を排出するために記録に寄与しない液滴を吐出させる空吐出を行うときの液滴を受ける液体回収容器であるインク回収ユニット（空吐出受け）２８８を配置し、このインク回収ユニット２８８には液体吐出ヘッド２３４のノズル列方向に沿った開口部２８９などを備えている。
【００８３】
このように構成したこの画像形成装置においては、給紙トレイ２０２から用紙２４２が１枚ずつ分離給紙され、略鉛直上方に給紙された用紙２４２はガイド２４５で案内され、搬送ベルト２５１とカウンタローラー２４６との間に挟まれて搬送され、更に先端を搬送ガイド２３７で案内されて先端加圧コロ２４９で搬送ベルト２５１に押し付けられ、略９０°搬送方向を転換される。
【００８４】
このとき、帯電ローラー２５６に対してプラス出力とマイナス出力とが交互に繰り返すように、つまり交番する電圧が印加され搬送ベルト２５１が交番する帯電電圧パターン、すなわち、周回方向である副走査方向に、プラスとマイナスが所定の幅で帯状に交互に帯電されたものとなる。このプラス、マイナス交互に帯電した搬送ベルト２５１上に用紙２４２が給送されると、用紙２４２が搬送ベルト２５１に吸着され、搬送ベルト２５１の周回移動によって用紙２４２が副走査方向に搬送される。
【００８５】
そこで、キャリッジ２３３を移動させながら画像信号に応じて液体吐出ヘッド２３４を駆動することにより、停止している用紙２４２にインク滴を吐出して１行分を記録し、用紙２４２を所定量搬送後、次の行の記録を行う。記録終了信号又は用紙２４２の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了して、用紙２４２を排紙トレイ２０３に排紙する。
【００８６】
この画像形成装置は上述の駆動方法により駆動する液体吐出ヘッドを搭載しているので、環境温度にかかわらず効率の良い空吐出を実行することができ、安定した空吐出効果が得られる。
【００８７】
なお、上記実施形態において、吐出装置としてインクジェット記録装置である画像形成装置で説明しているが、これに限るものではなく、例えば、もちろん、画像形成装置としては複写機に限らず、プリンタやファクシミリ、あるいは複数の機能を備える複合機であっても良い。また、ライン型液体吐出ヘッドやライン型画像形成装置にも同様に適用することができる。さらに、ＤＮＡ試料、レジスト、パターン材料などを吐出する液体吐出ヘッドや液体吐出装置にも適用することができる。
【符号の説明】
【００８８】
１０      フレーム
１２      共通液室
２０      流路板
２１      流体抵抗部
２２      圧力室
２３      液体導入部
２４      隔壁
２５      連通口
３０      ノズルプレート
３１      ノズル
４０      ベース
５０      圧力発生手段（圧電素子）
５１      圧電層
５２      内部電極層
５２      個別電極
５４      共通電極
６０      振動板
７０      ＦＰＣ
２３４      液体吐出ヘッド
【先行技術文献】
【特許文献】
【００８９】
【特許文献１】特開２０１１−１０４９１６号公報
【特許文献２】特開２０１１−０５６７２９号公報
【特許文献３】特開２００９−２２０５０５号公報
【特許文献４】特開２００６−２６４２８７号公報
【図３】
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【図４】
2014058045.tif 000004
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１】
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【図２】
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