(57)【要約】【課題】ノズルの高密度化の要求に対応することが可能な流路ユニット、液体吐出ヘッド、液体吐出装置を提供する。【解決手段】流路ユニットＵ０は、変形可能な振動板１１と、壁の一部である振動板１１の変形により液体Ｆに圧力が加わる圧力室２１と、を備える。また、流路ユニットＵ０の振動板１１の少なくとも１層は立方晶のジルコニアを主とし、振動板１１と異なる圧力室２１の壁は、正方晶のジルコニアを主とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
壁となる振動板を変形させて圧力室内の液体を吐出させる流路ユニットであって、
前記振動板の少なくとも１層は立方晶のジルコニアを主とし、
前記振動板と異なる前記圧力室の壁は、正方晶のジルコニアを主とする、流路ユニット。
【請求項２】
壁となる振動板を変形させて圧力室内の液体を吐出させる液体吐出ヘッドであって、
前記振動板の少なくとも１層は前記振動板と異なる圧力室の壁と比べて、立方晶のジルコニアの割合が多い、流路ユニット。
【請求項３】
壁となる振動板を変形させて圧力室内の液体を吐出させる液体吐出ヘッドであって、
前記振動板の少なくとも１層は前記振動板と異なる圧力室の壁と比べて、希土類元素及び第２族元素の少なくともいずれかの割合が多く、
前記振動板の少なくとも１層と前記振動板と異なる前記圧力室の壁はジルコニアを主成分とする、流路ユニット。
【請求項４】
前記振動板の厚みは、１マイクロメートルから３マイクロメートルである、請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の流路ユニット。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の流路ユニットと、ノズルと、を有する液体吐出ヘッド。
【請求項６】
請求項５に記載の液体吐出ヘッドを搭載した、液体吐出装置。
【請求項７】
前記液体吐出装置は、被記録媒体を搬送方向に搬送しつつ、前記液体吐出ヘッドが前記被記録媒体に対して液体を吐出させる構成であって、
前記液体吐出ヘッドの前記搬送方向の同じ位置に併設される前記圧力室に応じたノズルは、ノズル密度が２００ｎｐｉから８００ｎｐｉである、請求項６に記載の液体吐出装置。
【請求項８】
壁となる振動板を変形させて圧力室内の液体を吐出させる流路ユニットの製造方法であって、
前記振動板のセラミックス製の基材と、前記振動板以外の圧力室の壁の基材とを含む前駆体を構成する第１の工程と、
前記前駆体を焼成して前記圧力室を含んだ流路部材を形成する第２の工程と、を有し、
前記振動板の基材と、前記振動板以外の圧力室の壁の基材とは、含まれる希土類元素及び第２族元素の少なくともいずれかの割合が異なる、流路ユニットの製造方法。 
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流路ユニット、液体吐出ヘッド、液体吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェットヘッド等の液体噴射ヘッドを構成する流路ユニットとして、例えば、液体流路用の空所を形成したグリーンシートと振動板用のグリーンシートとを一体焼成したものが知られている（特許文献１参照。）。液体流路には、例えば、壁の一部である振動板の変形によりインク等の液体に圧力が加わる圧力室、この圧力室への液体の供給路、及び、圧力室からノズルに連通する連通路が含まれる。液体噴射ヘッドは、前述の流路基板とノズルプレート等の接合基板とを接合することにより形成される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第３１４４９４８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
近年のノズルは、印刷物等の出力物の高画質化及び高速化に向けて高密度化が進んでいることを鑑み、本発明の目的の一つは、ノズルの高密度化の要求に対応することが可能な技術を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の態様の一つとして、本発明は、壁となる振動板を変形させて圧力室内の液体を吐出させる流路ユニットであって、前記振動板の少なくとも１層は立方晶のジルコニアを主とし、記振動板と異なる圧力室の壁は、正方晶のジルコニアを主とする、態様を有する。
【０００６】
また、本発明は、前記流路ユニットを備える液体吐出ヘッドの態様を有する。
そして、前記液体吐出ヘッドを搭載した、インクジェットプリンター等の液体吐出装置の態様を有する。
【０００７】
上述した態様において、ジルコニアを主成分とする振動板を薄膜化していくと、振動板の劣化が生じ、液が染み出す場合がある。なお、染み出る液は、圧力室内の液体そのものに限られず、溶媒など液体の成分の一部を含む。振動板の劣化はジルコニアの結晶構造が正方晶から単斜晶に相変位することで生じる。
そこで、振動板の少なくとも１層を構成するジルコニアの結晶構造を立方晶としている。ここで、ジルコニアの結晶構造は単斜晶、正方結晶、立方晶のいずれかの構造を取るが、立方晶は単斜晶への相転移が生じにくく、このような結晶構造を取るジルコニアにより振動板を構成することで上述した劣化現象を生じにくくすることができる。
一方で、立方晶を主とするジルコニアは、強度が強くなる一方で、微細な加工には適していないことが知られている。そのため、圧力室等の微細な加工を必要とする振動板以外の部位では、正方晶のジルコニアを主とし、加工を行い易くしている。なお、振動板ほど薄くない振動板以外の部位では、ジルコニアの結晶構造が正方晶から単斜晶に相変位しても液が染み出しにくい。
【０００８】
ところで、ジルコニアの結晶構造を立方晶にする場合、格子配列中に希土類元素や、第２族元素等を混入すると良いことが知られている。このような希土類元素としては、例えばイットリウム（Ｙ）やセリウム（Ｓｅ）が知られており、第２族元素としては、例えばカルシウム（Ｃａ）やマグネシウム（Ｍｇ）が知られている。そのため、本発明は、振動板の少なくとも１層は前記振動板と異なる圧力室の壁と比べて、希土類元素及び第２族元素の少なくともいずれかの割合が多い構成としてもよい。希土類元素は希少価値が高いが、振動板が薄くなるため、使用される希土類元素の量も僅かでありコストを抑制できる。
【０００９】
振動板の結晶構造（立方晶、正方晶）を観察する手法としては、例えば、周知の透過型電子顕微鏡（Transmission Electron Microscope; TEM）を用いた解析により観察することができる。
また、結晶に含まれる希土類又は第２族元素の含有量の解析方法としては、例えば、ＩＣＰ発光分光（ICP-OES Optical Emission Spectrometry）、（ICP-MS(ICP - Mass Spectrometry；ICP-MS)、エネルギー分散型X線分析(Energy dispersive X-ray spectrometry,EDX)、X線光電子分光分析法(X-ray Photoelectron Spectroscopy：XPS)を用いることができる。
【００１０】
上記のような態様により、本発明は、ノズルの高密度化の要求に答える最適な製品を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】圧電素子３を設けた流路ユニットＵ０を模式的に例示する図。
【図２】液体噴射ヘッド１の構成を模式的に例示する分解斜視図。
【図３】（ａ）は図２のＡ１−Ａ１の位置における液体噴射ヘッド１の断面図、（ｂ）は図２のＡ２−Ａ２の位置における液体噴射ヘッド１の断面図。
【図４】（ａ）〜（ｃ）は液体噴射ヘッド１の製造工程を模式的に例示するための断面図。
【図５】添加される希土類元素と、ジルコニアの結晶構造との関係を示す。
【図６】液体吐出装置２００の構成の概略を例示する図。
【図７】液体吐出装置２００に組み込まれる液体吐出ヘッドをノズル６２の開口側から見た図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の実施形態を説明する。むろん、以下の実施形態は本発明を例示するものに過ぎず、実施形態に示す特徴の全てが発明の解決手段に必須になるとは限らない。
【００１３】
１．第１の実施形態：
まず、流路ユニット及び液体噴射ヘッドの例を説明する。図１は、圧電素子３を設けた流路ユニットＵ０を模式的に例示する図である。図２は、流路ユニットＵ０を含む液体噴射ヘッド１の構成の概略を例示している。図３（ａ）は、液体噴射ヘッド１を図２のＡ１−Ａ１の位置での断面図を示している。図３（ｂ）は、液体噴射ヘッド１を図２のＡ２−Ａ２の位置での断面図を示している。
【００１４】
上述した図中、符号Ｄ１は振動板１１及び流路ユニットＵ０の厚み方向を示している。符号Ｄ３は、流路ユニットＵ０の長手方向を示し、例えば、長尺状の圧力室２１の併設方向であり、圧力室２１の幅方向とされる。符号Ｄ４は、流路ユニットＵ０の短手方向を示し、例えば、圧力室２１の長手方向とされる。各方向Ｄ１，Ｄ３，Ｄ４は、互いに直交するものとするが、互いに交わっていれば直交していなくてもよい。分かり易く示すため、各方向Ｄ１，Ｄ３，Ｄ４の拡大率は異なることがあり、圧電素子３の面積率も異なることがあり、各図は整合していないことがある。
【００１５】
なお、本明細書で説明する位置関係は、発明を説明するための例示に過ぎず、発明を限定するものではない。従って、圧力室の上以外の位置、例えば、下、左、右、等に振動板が配置されることも、本発明に含まれる。また、方向や位置等の同一、直交、等は、厳密な同一、直交、等のみを意味するのではなく、製造時等に生じる誤差も含む意味である。更に、接すること、及び、接合することは、間に接着剤等の介在するものが有ることと、間に介在するものが無いこととの両方を含む。
【００１６】
図１（ａ）等に示す流路ユニットＵ０は、変形可能な振動板１１と、壁の一部である振動板１１の変形により液体Ｆに圧力が加わる圧力室２１を備えるスペーサー部２０と、を備える。振動板１１とそれ以外の圧力室２１の壁（即ちスペーサー部２０）はジルコニア（ＺｒＯ２）を主とするセラミックスにより構成されている。
【００１７】
また、振動板１１を構成する層の内、少なくとも１つの層は結晶構造が立方晶の安定化ジルコニアを主としている。一方で、圧力室２１の振動板１１以外の壁は、結晶構造が正方晶のジルコニアを主としている。ここで、振動板１１は、ある層が立方晶の安定化ジルコニアを主とする場合も含まれる。
【００１８】
図３（ｂ）等を参照して、高画質化及び高速化に向けたノズルの高密度化と低コスト化との両立と液漏れについて説明する。ノズル６２を高密度化するには、ノズル６２のピッチＰを狭くする必要がある。ノズルピッチＰを狭くするには、圧力室２１の幅Ｗを狭くする必要がある。圧力室の幅Ｗが狭くなるだけだと、液滴を吐出するための振動板の変位量が低下する。この変位量の低下を抑えるためには、振動板厚Ｔを例えば１〜３μｍ程度と薄くしなければならない。しかし、セラミック製の振動板を薄くすると、振動板から液の染み出しが発生する。
【００１９】
上記した液の染み出しの要因となる隙間の発生は、薄膜化を進めるにつれ生じるジルコニアの低温劣化現象が要因の１つであることが考えられる。図１（ｂ）に示すように、ジルコニアの低温劣化現象は、ジルコニアの結晶構造が正方晶から単斜晶に相転移することで生じている。ジルコニアの結晶構造が単斜晶となると、ジルコニニウム（Ｚｒ）と酸素（Ｏ）の結合が圧力室２１を流れる液体Ｆの溶液成分で加水分解を起こすことで劣化し、振動板１１の劣化が起こる。低温劣化現象は、２００度（℃）〜３００度（℃）付近で生じる現象であるが、圧電素子３による振動板１１の超音波振動により、比較的低い温度の環境下で使用される液体噴射ヘッド１の内部においてもこの現象が生じていると考えられる。
このような振動板１１の劣化により隙間が生じた場合、この隙間による「液漏れ」は振動板が厚い場合には、途中で液が止まり、顕在化していなかったので、液漏れは振動板の厚みについて薄く極限を追求するようになって顕在化した問題と言える。
【００２０】
また、振動板を薄くしても液漏れが生じないようにするためＳｉウエハーを使うと、高価な半導体製造装置を用いる必要があり、液体噴射ヘッドのコストアップとなる。また、圧力室に面した振動板の表面をパラキシリレン系のポリマーでコーティングする方法は、使用中にコーティングが剥がれるという耐久性の問題と、パラキシリレン系のポリマーの付着により接合基板との接着強度が低下するという問題とがある。
さらに、染み出た液体は溶液の一部であり、原液と濃度が大きく異なる。これは、粒子がフィルタリングされた為である。故に染み出しが生じる隙間は微小であり制御が難しく、一部制御できてもばらつきによる歩留まりの低下を招く。
【００２１】
そこで、本流路ユニットＵ０は、振動板１１を構成するジルコニアの結晶構造を主として立方晶とすることで、低温劣化現象を抑制している。立方晶は、完全安定相として知られており、立方晶から正方晶への相転移が生じにくい。その結果、振動板１１の低温劣化現象による隙間の発生を抑制し、流路ユニットの使用中に圧力室２１内の液体Ｆに由来する液の振動板１１からの染み出しを抑制することが可能である。
一方で、正方晶を主とするジルコニアは、強度が強くなる反面、反り等を起こしやすく微細な加工には適していない。そのため、圧力室等の微細な加工を必要とする振動板以外の部位では、正方晶のジルコニアを主とし、微細な流路を精度良く加工できるようにしている。
【００２２】
図２に例示する液体噴射ヘッド１は、符号１０，２０，３０の各部を有する流路ユニットＵ０と、圧力室２１に連通するノズル６２と、を備え、インク（液体）を噴射（吐出）するインクジェット式記録ヘッドである。図６に例示する液体吐出装置２００は、前述のような液体噴射ヘッドを搭載したインクジェットプリンター（記録装置）である。
なお、液体噴射ヘッド１は、封止プレート４０やリザーバープレート５０を必ずしも備える必要は無い。例えば、封止プレートが無い場合にはリザーバープレートを接合基板にすることができ、リザーバープレートも無い場合にはノズルプレートを接合基板にすることができる。また、液体噴射ヘッドはいわゆるコンプライアンスプレート等の他のプレートを備えていてもよく、例えば、コンプライアンスプレートがリザーバープレートとノズルプレートとの間に配置されてもよい。更に、これらのプレートが複数のプレートで構成されてもよいし、複数のプレートの機能を一枚のプレートが備えていてもよい。
【００２３】
振動板部１０は、振動板１１、圧電素子３、リード電極８４、等を有する圧電アクチュエーターである。振動板部１０は、駆動信号ＳＧ１に応じて変形して圧力室２１内の液体に圧力を加える。
振動板１１は、スペーサー部２０の一方の面（表面２０ａ）を封止し、該スペーサー部２０と接する裏面１１ｂとは反対側の表面１１ａに圧電素子３（少なくとも一対の電極と、一対の電極に挟まれた圧電体とで構成される）、リード電極８４、等が設けられている。振動板の裏面１１ｂは、圧力室２１の壁面の一部を構成する。すなわち、圧力室２１の壁の一部である振動板１１は、圧電素子３により駆動信号ＳＧ１に応じた変形をする。振動板１１は、矩形板状でもよいし、矩形板状でなくてもよい。
【００２４】
振動板１１を構成する成分は立方晶である安定化ジルコニアが主成分となっている。一方、スペーサー部２０を構成する成分は正方晶のジルコニアが主成分となっている。また、ジルコニアに希土類元素や、第２族元素等を混入することで結晶構造が立方晶である安定化ジルコニアを生成できることが知られている。このような希土類元素としては、例えばイットリウム（Ｙ）やセリウム（Ｓｅ）が知られており、第２族元素としては、例えばカルシウム（Ｃａ）やマグネシウム（Ｍｇ）が知られている。そのため、このように作成することで、結果として振動板１１は圧力室２１の壁を形成するスペーサー部２０と比べて、希土類元素及び第２族元素の少なくともいずれかの割合が多い構成ともなる。希土類元素は希少価値が高いが、振動板１１の厚みが１マイクロメートル（μｍ）から３マイクロメートル（μｍ）と薄くできるため、使用される希土類元素の量も僅かでありコストを抑制できる。なお、振動板１１は、立方晶である安定化ジルコニアが主成分となっている層を含む複数層からなっていてもよい。例えば、圧電素子３の一つの電極が振動板１１の一つの層を兼ねていてもよいし、圧力室２１の壁面の一部となる領域に保護膜の層を振動板１１の層の一つとして有していてもよい。
【００２５】
振動板の結晶構造（立方晶、正方晶）を観察する手法としては、周知の透過型電子顕微鏡（Transmission Electron Microscope; TEM）を用いた解析により観察することができる。
また、結晶に含まれる希土類又は第２族元素の含有量の解析方法としては、ＩＣＰ発光分光（ICP-OES Optical Emission Spectrometry）、（ICP-MS(ICP - Mass Spectrometry；ICP-MS)、エネルギー分散型X線分析(Energy dispersive X-ray spectrometry,EDX)、X線光電子分光分析法(X-ray Photoelectron Spectroscopy：XPS)を用いることができる。
【００２６】
圧電素子３は、圧電体層８２と、該圧電体層の圧力室２１側に設けられた下電極（第一電極）８１と、圧電体層８２の他方側に設けられた上電極（第二電極）８３とを有する圧力発生部である。図２に示す各圧電素子３は、各圧力室２１に対応した位置にある。圧電素子３を駆動制御するための制御回路基板９１は、例えば、上電極８３に対してフレキシブル基板等といったケーブル類９２を介して接続される。電極８１，８３の一方は、共通電極にされてもよい。上下電極の構成金属には、例えば、Ｐｔ（白金）、Ａｕ（金）、Ｉｒ（イリジウム）、Ｔｉ（チタン）、等の一種以上を用いることができる。圧電体層８２には、例えば、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛、Ｐｂ（Ｚｒx，Ｔｉ1-x）Ｏ3）といった強誘電体、非鉛系ペロブスカイト型酸化物、といったペロブスカイト構造を有する材料等を用いることができる。リード電極８４は、下電極８１に接続されてもよいし、上電極８３に接続されてもよい。リード電極の構成金属には、Ａｕ、Ｐｔ、Ａｌ（アルミニウム）、Ｃｕ（銅）、Ｎｉ（ニッケル）、Ｃｒ（クロム）、Ｔｉ、等の一種以上を用いることができる。
【００２７】
スペーサー部２０には、厚み方向Ｄ１へ貫通した圧力室２１が形成されている。このスペーサー部２０が振動板１１と接続部３０とに挟まれることにより、圧力室２１が流路ユニットＵ０の内部に設けられる。スペーサー部２０は、矩形板状でもよいし、矩形板状でなくてもよい。
各圧力室２１は、長手方向を流路基板の短手方向Ｄ４に向けた長尺状に形成され、流路基板の長手方向Ｄ３へ複数並べられている。圧力室２１同士の間は、隔壁２２とされる。圧力室２１内の液体には、壁の一部である振動板１１の変形により圧力が加わる。圧力室２１の形状は、この形状に限定されるものではなく任意な形状とすることができる。例えば、圧力室２１の幅や長さは、裏面２０ｂ側の長さが表面２０ａ側の長さよりも短くされてもよい。流路基板の長手方向Ｄ３へ並んだ圧力室２１の列は、流路基板の短手方向Ｄ４へ複数並べられてもよい。
【００２８】
接続部３０には、各圧力室２１に連通する位置で厚み方向Ｄ１へ貫通した液体の供給孔３１及びノズル連通孔３２が形成されている。すなわち、接続部３０は、孔３１，３２を除いてスペーサー部２０における表面２０ａとは反対側の他方の面（裏面２０ｂ）を封止する。接続部３０は、矩形板状でもよいし、矩形板状でなくてもよい。各供給孔３１は各圧力室２１の長手方向（Ｄ４）の一端に対応する位置に設けられ、各ノズル連通孔３２は各圧力室２１の長手方向（Ｄ４）の他端に対応する位置に設けられている。孔３１，３２及び圧力室２１は、流路ユニットＵ０の液体流路Ｆ１となる。
【００２９】
なお、振動板１１、スペーサー部２０及び接続部３０は、一体焼成をすることで一体の流路ユニットＵ０となっている。なお、流路ユニットといった場合には、接続部３０が無く手もよい。
【００３０】
接続部３０の裏面３０ｂに接合される封止プレート４０には、厚み方向Ｄ１へ貫通した液体の共通供給孔４１、ノズル連通孔４２、及び、リザーバー５１への液体導入孔４３（図３（ａ）参照）が形成されている。共通供給孔４１は、長手方向を封止プレート４０の長手方向Ｄ３に向けた長尺状に形成され、接続部の複数の供給孔３１に連通する位置に設けられている。各ノズル連通孔４２は、接続部の各ノズル連通孔３２に連通する位置に設けられている。液体導入孔４３は、流路ユニットＵ０に接しない位置に設けられている。封止プレートの裏面４０ｂは、リザーバー５１の壁面の一部を構成する。
リザーバープレート５０には、厚み方向Ｄ１へ貫通したリザーバー５１及びノズル連通孔５２が形成されている。リザーバー５１は、共通供給孔４１と液体導入孔４３とに連通した共通インク室である。各ノズル連通孔５２は、封止プレートの各ノズル連通孔４２に連通する位置に設けられている。
【００３１】
ノズルプレート６０には、各ノズル連通孔５２に連通する位置で厚み方向Ｄ１へ貫通したノズル６２が形成されている。ノズルプレート６０の裏面は、ノズル６２から液滴を噴射するノズル面６０ｂとされる。図２に示すノズルプレート６０は、各圧力室２１に連通するノズル６２が所定方向（Ｄ３）へ所定間隔で並べられたノズル列を有している。複数のノズルは、千鳥状に配置されてもよい。
なお、上記プレート４０，５０，６０を含む種々のプレートの材料には、例えば、ステンレスやニッケルといった金属、合成樹脂、セラミックス、等の一種以上を用いることができる。
【００３２】
上述した液体噴射ヘッド１において、インク等の液体は、液体導入孔４３から導入されてリザーバー５１内を満たし、共通供給孔４１及び個別の供給孔３１を通って圧力室２１内を満たす。制御回路基板９１からの駆動電圧（駆動信号ＳＧ１）に応じて振動板１１を圧力室２１側へ膨らませるように圧電素子３が変形すると、それに応じて振動板１１も変形し、振動板１１の変形により圧力室２１内の液体の圧力が高まり、ノズル連通孔３２，４２，５２を介してノズル６２から液滴が噴射される。
【００３３】
次に、図１〜３とともに図４を参照して、液体噴射ヘッドの製造方法を例示する。図４は、流路基板の短手方向Ｄ４に沿った垂直断面図である。
【００３４】
まず、振動板１１とスペーサー部２０のセラミック製の基材を少なくとも含む前駆体１００を形成する（第１の工程Ｓ１）。以下に示す前駆体１１０と前駆体１２０、１３０とは、添加される希土類酸化物又は第２族元素のモル比が異なる。
例えば、ジルコニア（ＺｒＯx）に酸化イットリウム（ＹＯx）を異なるモル比でそれぞれ添加した粉体をバインダー等に分散したペーストをシート状に成形して２種類のグリーンシートを形成する。振動板１１のもととなる前駆体１１０用のグリーンシートは、ジルコニア（ＺｒＯx）に酸化イットリウム（ＹＯx）をモル比で８％以上、及び二酸化ケイ素（ＳｉＯ２）をモル比で２％〜３％添加して作成する。
一方、スペーサー部２０を含む前駆体１２０，１３０用のグリーンシートは、ジルコニア（ＺｒＯx）に酸化イットリウム（ＹＯx）をモル比で２％〜３％、及び二酸化ケイ素（ＳｉＯ２）をモル比で２％〜３％添加して作成する。
【００３５】
グリーンシートの成形には、ドクターブレード装置やリバースロールコーター装置等といった一般的な装置を用いることができる。スペーサー部２０用のグリーンシート１２０、及び、接続部３０用のグリーンシート１３０には、切断や切削や打ち抜き等といった機械加工やレーザー加工を施す。これにより、圧力室２１を有するシート状のスペーサー部前駆体１２０が得られ、孔３１，３２を有するシート状の接続部前駆体１３０が得られる。振動板１１用のグリーンシートは、必要無ければ加工は不要である。得られる振動板前駆体１１１とスペーサー部前駆体１２０と接続部前駆体１３０とを積層すると、図４（ａ）に示すような前駆体１００となる。
【００３６】
希土類酸化物として酸化イットリウム（ＹＯx）を用いることは一例であり、酸化セリウム（ＹＯx）であってもよい。また、第２族元素として酸化カルシウム（ＣａＯx）、酸化マグネシュウム（ＭｇＯx）を同モルだけ添加するものであってもよい。
また、二酸化ケイ素（ＳｉＯ２）を添加したのは、バインダー等に含まれる炭素を除去することを目的としたものであり、必ずしも添加しなくとも良い。
【００３７】
次いで、上記前駆体１００を一体焼成し、図４（ｂ）に示すようにセラミック製の振動板１１を含む流路ユニット本体１０１を形成する（第２の工程Ｓ２）。焼成温度は、一体化されたセラミック製流路ユニット本体が形成される温度であれば特に限定されず、例えば、１３００〜１５００℃程度とすることができる。焼成前に、焼成温度よりも低い脱脂温度で加熱して前駆体１００を脱脂してもよい。更に、脱脂前に、脱脂温度よりも低い乾燥温度で加熱して前駆体を乾燥させてもよい。得られる流路ユニット本体１０１は、特別な接着処理等を加える必要が無く、各部１１，２０，３０の重ね合わせ面のシール性が得られる。
なお、流路ユニット本体は、セラミック粉体とバインダーと溶媒を含むスラリーを用いるゲルキャスト法等により形成してもよい。
【００３８】
図５は、添加される希土類元素と、ジルコニアの結晶構造との関係を示す図である。図５の各グラフは、横軸を焼成温度とし、縦軸を結晶中の各結晶構造の割合を示す。なお、図５（ａ）は、立方晶に、図５（ｂ）は、正方晶に、そして、図５（ｃ）は、単斜晶にそれぞれ対応している。また、□は希土類元素が８モル比（％）の場合を、○は希土類元素が２モル比（％）の場合を、△は希土類元素が３モル比（％）の場合をそれぞれ示す。
【００３９】
上記のように、振動板１１は、希土類元素を８モル％以上（□で繋がる線分）含んだグリーンシートを焼成して形成されるため、図５（ａ）に示すように、ジルコニアの結晶構造が主に立方晶となる。そのため、単斜晶への転移が起こらず、薄膜化に伴い生じる振動板１１の低温劣化現象を抑制することができる。
一方で、スペーサー部２０は、希土類元素を２モル％〜３モル％含んだグリーンシートを焼成して形成されるため、図５（ｂ）に示すように、ジルコニアの結晶構造が主に正方晶となる。
【００４０】
振動板１１を含む流路ユニットＵ０を形成した後、図４（ｃ）に示すように、振動板１１上に下電極８１、リード電極８４（図３（ａ）参照）、圧電体層８２、及び、上電極８３を形成する（Ｓ３）。電極８１，８３，８４は、スパッタ法等といった気相法で形成してもよいし、スピンコート法等といった液相法で形成した塗布膜を加熱する方法等で形成してもよい。スピンコート法等といった液相法によって圧電体層を形成する場合、例えば、ＰＺＴを構成する金属の有機物を分散媒に分散した前駆体溶液の塗布工程、例えば１７０〜１８０℃程度の乾燥工程、例えば３００〜４００℃程度の脱脂工程、及び、例えば５５０〜８００℃程度の焼成工程の組合せを複数回行えばよい。不要箇所の電極や圧電体層は、パターニングにより除去してもよい。また、レジストパターンを振動板上に形成し、振動板全面上に電極や圧電体層を形成した後にレジストパターンとともに電極や圧電体層を除去してもよい。
【００４１】
その後、流路ユニットＵ０、封止プレート４０、リザーバープレート５０、及び、ノズルプレート６０を接合し、制御回路基板９１をケーブル類９２で圧電素子３に接続する。部材Ｕ０，４０，５０，６０間の接合は、プレートと略同じ孔を形成した熱圧着用接着シートを部材間に挟んだ状態で部材同士を熱圧着する方法、液状の接着剤を部材間に塗布する方法、熱圧着性（自己圧着性）を有する部材を用いて部材同士を熱圧着する方法、等が可能である。制御回路基板９１の接続は、部材Ｕ０，４０，５０，６０間の一部又は全部を接合する前に行ってもよい。
以上により、図３（ａ），（ｂ）で示したような液体噴射ヘッド１が製造される。
【００４２】
２．第２の実施形態：
図６は、上述した液体噴射ヘッド１を有するインクジェット式の記録装置である液体吐出装置２００の外観を示している。液体噴射ヘッド１を記録ヘッドユニット２１１，２１２に組み込むと、液体吐出装置２００を製造することができる。図６に示す液体吐出装置２００は、記録ヘッドユニット２１１，２１２のそれぞれに、液体噴射ヘッド１が設けられ、外部インク供給手段であるインクカートリッジ２２１，２２２が着脱可能に設けられている。記録ヘッドユニット２１１，２１２を搭載したキャリッジ２０３は、装置本体２０４に取り付けられたキャリッジ軸２０５に沿って往復移動可能に設けられている。駆動モーター２０６の駆動力が図示しない複数の歯車及びタイミングベルト２０７を介してキャリッジ２０３に伝達されると、キャリッジ２０３がキャリッジ軸２０５に沿って走査方向Ｄ５に移動する。また、図示しない給紙ローラー等により給紙される記録シート２９０は、プラテン２０８上に紙送り方向Ｄ６に搬送され、インクカートリッジ２２１，２２２から供給され液体噴射ヘッド１から噴射されるインク滴により印刷がなされる。
【００４３】
図７は、液体吐出装置２００に組み込まれる液体吐出ヘッドをノズル６２の開口側（ノズル面６０ｂ）から見た図である。液体吐出装置２００に組み込まれる液体吐出ヘッド１は、圧力室２１の併設方向Ｄ４が記録シート２９０の紙送り方向Ｄ６と同じ向きとなっている。そして、この液体吐出ヘッド１は、紙送り方向Ｄ６に併設される圧力室２１に応じたノズル６２の数が、３００ｎｐｉのノズル密度となっている。即ち、この液体吐出ヘッド１では、１インチ四方に３００個×３００個（９００００個）のノズル６２が配置されている。そのため、図７に示すように、圧力室２１が紙送り方向Ｄ６に１インチ当たり３００個配列することとなる。
【００４４】
ノズル６２を高密度化したことで、振動板厚Ｔを例えば１〜３μｍ程度と薄くしなければならない。そこで、この液体吐出ヘッド１では、振動板の少なくとも１層を構成するジルコニアの結晶構造を立方晶とし、圧力室２１等の微細な加工を必要とする振動板以外の部位では、正方晶のジルコニアを主としている。その結果、ノズルの高密度化の要求に対応させることが可能となった。
無論、ノズル数を１インチ当たり３００とすることは一例に過ぎず、圧力室２１を含めた流路の精度とを考慮すると、ノズル密度は、２００ｎｐｉ個以上、８００ｎｐｉ以下であってもよい。
【００４５】
３．その他の実施形態：
本発明は、種々の変形例が考えられる。例えば、上述の実施形態に以下の変形例を適宜組み合わせてもよい。例えば、スペーサー部にもスペーサー部に行う微細加工の程度に応じて希土類元素や、第２族元素等を混ぜ、立方晶である安定化ジルコニアを混ぜることで、スペーサー部の安定性を高めても良い。この場合でも、振動板１１よりもスペーサー部２０の方が希土類元素や、第２族元素等、ひいては立方晶である安定化ジルコニアの割合が少なければ多少なりとも上述の効果を奏する。
【００４６】
例えば、記録装置は、印刷中に液体噴射ヘッドが移動しないように固定されて、記録シートを移動させるだけで印刷を行ういわゆるラインヘッド型のプリンターでもよい。
流体噴射ヘッドから吐出される液体は、液体噴射ヘッドから吐出可能な材料であればよく、染料等が溶媒に溶解した溶液、顔料や金属粒子といった固形粒子が分散媒に分散したゾル、等の流体が含まれる。このような流体には、インク、液晶、等が含まれる。液体噴射ヘッドは、プリンターといった画像記録装置の他、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造装置、有機ＥＬディスプレーやＦＥＤ（電解放出ディスプレー）等の電極の製造装置、バイオチップ製造装置、等に搭載可能である。
【００４７】
圧力室に圧力を与えるための圧電素子は、図で示したような薄膜型に限定されず、圧電材料と電極材料とを交互に積層させた積層型、縦振動させて各圧力室に圧力変化を与える縦振動型、等でもよい。また、圧電アクチュエーターは、発熱素子の発熱で生じる気泡によってノズルから液滴を噴射させるアクチュエーター、振動板と電極との間に発生させた静電気によって振動板を変形させてノズルから液滴を噴射させるいわゆる静電式アクチュエーター、等でもよい。更には、そのほかの様々な流路ユニットに適用することができる。
【００４８】
振動板は、液体流路を形成するスペーサー部や接続部とは別に焼成されて形成されてからスペーサー部に接合されてもよい。スペーサー部や接続部は、金属、合成樹脂、等、セラミック製でなくてもよい。また、振動板がセラミック製でなくても、本発明を適用可能である。
また、上述した実施形態及び変形例の中で開示した各構成を相互に置換したり組み合わせを変更したりした構成、公知技術並びに上述した実施形態及び変形例の中で開示した各構成を相互に置換したり組み合わせを変更したりした構成、等も実施可能である。本発明は、これらの構成等も含まれる。
【００４９】
以上説明したように、本発明によれば、ノズルの高密度化の要求に沿う流路ユニット、液体吐出ヘッド、液体吐出装置を提供することができる。
【符号の説明】
【００５０】
１…液体吐出ヘッド、３…圧電素子、１０…振動板部、１１…振動板、２０…スペーサー部、２１…圧力室、３０…接続部、３１…供給孔、３２…ノズル連通孔、４０…封止プレート、５０…リザーバープレート、５１…リザーバー、６０…ノズルプレート、６２…ノズル、１００…前駆体、１０１…流路ユニット本体、１１１…振動板前駆体、１２０…スペーサー部前駆体、１３０…接続部前駆体、２００…液体吐出装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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