(57)【要約】      （修正有）【課題】ウエハから個片化された複数の圧電振動片を製造するまでの時間の短縮化と、製造コストの低減化を図ると共に、個片化する際にチッピングが生じないようにして製造歩留まりを向上する。【解決手段】ウエハ１に複数の矩形領域を形成し、前記矩形領域を個片化することで当該ウエハ１から複数の圧電振動片を製造する方法であって、各矩形領域の短辺側に短辺方向に沿うブレーク用溝８，９を形成し、各矩形領域の長辺側を長辺方向にダイシングブレードにより貫通切断した後、各矩形領域を短辺方向に沿ってブレーク用溝８，９を利用してブレークして、各矩形領域を複数の圧電振動片に個片化する。【選択図】図８
2014014009.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電性単結晶材からなるウエハ上に複数の矩形領域（薄肉部の周囲に厚肉部を有した逆メサ型の圧電振動片に個片化される領域）を形成し、前記矩形領域を個片化することで当該ウエハから複数の圧電振動片を製造する方法であって、
前記各矩形領域における一方の平行する辺に沿って当該ウエハにブレーク用溝を形成し、
次いで前記各矩形領域における他方の平行する辺に沿ってダイシングブレードにより当該ウエハを貫通切断し、
次いで前記各矩形領域を、前記ブレーク用溝を利用してブレークして、前記各矩形領域を複数の圧電振動片に個片化する、
ことを特徴とする圧電振動片の製造方法。
【請求項２】
前記各矩形領域を、前記他方の平行する辺を長辺に、また、前記一方の平行する辺を短辺とする矩形領域となし、
前記各矩形領域の短辺方向に沿って当該ウエハにブレーク用溝を形成し、
次いで前記各矩形領域の長辺方向に沿ってダイシングブレードにより当該ウエハを貫通切断し、
次いで前記各矩形領域を、前記ブレーク用溝を利用してブレークして、前記各矩形領域を複数の圧電振動片に個片化する、
ことを特徴とする請求項１に記載の圧電振動片の製造方法。
【請求項３】
前記ブレーク用溝は、
短辺方向に連続する直線的なスリットからなる溝、または短辺方向の直線上において不連続な複数のスリットからなる溝、または短辺方向の直線上においてミシン目状の複数の小穴からなる溝である、
請求項１または２に記載の製造方法。
【請求項４】
前記ブレーク用溝を、ウエハの片面側だけに形成する
請求項１ないし３のいずれかに記載の製造方法。
【請求項５】
前記ブレーク用溝を、ウエハの両面に形成する
請求項１ないし３のいずれかに記載の製造方法。
【請求項６】
前記矩形領域にエッチング技術でその片面または両面に凹部を形成して前記薄肉部を形成する、
請求項４または５に記載の製造方法。
【請求項７】
前記ウエハをＡＴカット水晶で形成すると共に、前記矩形領域の両面にエッチングで凹部を形成して前記薄肉部および前記厚肉部を形成する際に、同時に前記エッチングで当該ウエハの両面それぞれに、前記ブレーク用溝を、前記ＡＴカット水晶の結晶軸であるＹ軸方向で略対向した状態に形成する、
請求項１または２に記載の製造方法。
【請求項８】
前記ウエハをＡＴカット水晶で形成すると共に、前記矩形領域の前記一方の対向する辺を前記ＡＴカット水晶の結晶軸のＸ軸またはＺ軸のいずれか一方の軸方向、前記他方の対向する辺を結晶軸のＸ軸またはＺ軸のいずれか他方の軸方向となるよう当該矩形領域を作製する、
請求項７に記載の製造方法。
【請求項９】
前記各矩形領域を、前記他方の平行する辺を長辺、前記一方の平行する辺を短辺とする矩形領域に作製し、前記各矩形領域の長辺方向を前記結晶軸のＸ軸方向、前記短辺方向を前記結晶軸のＺ軸方向とする請求項８に記載の製造方法。
【請求項１０】
前記両ブレーク用溝の底部の頂点が前記Ｙ軸方向で略一致した状態で対向して、両頂点間のウエハ部分がブレークポイントとなるように前記エッチングを行い、
前記各矩形領域を短辺方向に沿って前記ブレーク用溝を利用してブレークするに際しては、前記ブレークポイントにおいてブレークして、前記各矩形領域から、個片化された圧電振動片を得る、
請求項７ないし９のいずれかに記載の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電振動片の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
通信機器の高周波数化やマイクロコンピュータの動作周波数の高周波数化に伴って、水晶振動子や水晶フィルタ、水晶共振器等の圧電振動デバイスも高周波数化が要求されつつある。一般に、高周波数化に対応した圧電基板として、ＡＴカット水晶基板の厚みすべり振動がよく用いられており、周知のとおりその周波数は圧電基板の厚さで決定され、周波数と厚さとは反比例する。そのため、水晶基板としては極薄型のものが必要になる。このような極薄板の加工は、研磨作業が難しく製造歩留まりを向上させることが困難であった。そこで、この課題を解決するために、所謂逆メサ型と呼ばれる構成の圧電振動片を備えた圧電振動デバイスが提案されている。
【０００３】
このような圧電振動片に対応する矩形領域を１枚のウエハ上に多数パターニングでマトリクス状に整列形成し、このウエハをスクライバ等のダイシングブレードで各矩形領域を個々に切断して圧電振動片を製造する技術が例えば特許文献１で提案されている。
【０００４】
従来の製造方法を、図９（ａ）（ｂ）を参照して説明する。
【０００５】
図９（ａ）はウエハの部分平面図、図９（ｂ）は図９（ａ）のＢ−Ｂ線の拡大断面図である。
【０００６】
まず圧電単結晶材としての水晶からなるウエハ５１を用意する。
【０００７】
このウエハ５１に、仮想線Ｃ１，Ｃ２で囲む複数の矩形領域５２を作製する。矩形領域５２は、圧電振動片に個片化される領域であり、長辺と短辺とを有する矩形形状をなし、その長辺方向が水晶の結晶軸であるＸ軸方向に、また、短辺方向がＺ軸方向になる。
【０００８】
そして、各矩形領域５２の中央部分の表裏両面に周知のエッチング技術により凹部を設けて、該中央部分に平面視矩形形状の薄肉部（振動領域）５３と、該薄肉部５３を補強する厚肉部５４とを形成する。
【０００９】
薄肉部５３に励振電極５５ａ，５５ｂを配置形成して、矩形領域５２を、逆メサ型構成の圧電振動片領域とする。
【００１０】
次に、ウエハ５１を仮想線Ｃ１，Ｃ２に沿ってダイシングブレードにより順次に貫通切断する。これにより、各矩形領域５２を、個片化して、複数の圧電振動片を得る。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】特開２００６−４９９７９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
上記従来の製造方法では、各矩形領域５２を切断線Ｃ１，Ｃ２で切断して複数の圧電振動片に個片化するに際して、長辺側が切断線Ｃ１に沿って既にダイシングブレードで切断されている状態で、短辺側を切断線Ｃ２に沿ってダイシングブレードで貫通切断するようにしている。
【００１３】
しかしながら、このような従来の製造方法は、一方の平行する辺である長辺側が切断された状態で、他方の平行する辺である短辺側をダイシングブレードで貫通切断するので、技術的に容易な製造方法ではなく、そのため短辺側を貫通切断して、ウエハから個片化された複数の圧電振動片を製造するまでに相当程度に長い時間を要し、全体的に製造歩留まりが悪い製造方法である。
【００１４】
また、従来の製造方法では、長辺側がダイシングブレードで貫通切断されているので、短辺側をダイシングブレードで貫通切断する際に、短辺側のダイシングブレード方向端部に進行性のチッピングが生じやすく、この点からも製造歩留まりが悪い製造方法である。
【００１５】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、高い製造歩留まりでウエハから複数の圧電振動片を個片化できる圧電振動片の製造方法を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明に係る圧電振動片の製造方法は、圧電性単結晶材からなるウエハ上に複数の矩形領域（薄肉部の周囲に厚肉部を有した逆メサ型の圧電振動片に個片化される領域）を形成し、前記矩形領域を個片化することで当該ウエハから複数の圧電振動片を製造する方法であって、前記各矩形領域の一方の平行する辺に沿って当該ウエハにブレーク用溝を形成し、次いで前記各矩形領域の他方の平行する辺に沿ってダイシングブレードにより当該ウエハを貫通切断し、次いで前記各矩形領域を、前記ブレーク用溝を利用してブレークして、前記各矩形領域を複数の圧電振動片に個片化する、ことを特徴とする。
【００１７】
なお、前記矩形領域は、平面視外形の形状が長方形、正方形のいずれの場合も含み、前記矩形領域が長方形の場合は、前記一方の平行する辺および前記他方の平行する辺は、該長方形の長辺、短辺のいずれであってもよい。また、前記矩形領域が正方形の場合は、前記一方の平行する辺および前記他方の平行する辺は、該正方形のいずれの辺であってもよい。
【００１８】
本発明によれば、ダイシングブレードでの貫通切断が前記他方の平行する辺に沿う工程のみであり、前記一方の平行する辺はダイシングブレードで切断するのではなく、予め形成されたブレーク用溝に沿ってブレークすればよいので、従来よりも、ウエハから複数の個片化された圧電振動片を製造するまでの時間が大幅に短縮され、全体的には、製造時間の短縮および製造コストの低減が可能となる。
【００１９】
また、本発明では、前記他方の平行する辺がダイシングブレードで貫通切断されても、前記一方の平行する辺をダイシングブレードで貫通切断するのではなく、ブレークするので、当該一方の平行する辺側には、従来のようにダイシングブレード方向の端部に進行性のチッピングが生じることがなくなり、この点からも従来よりも製造歩留まりが向上する。
【００２０】
また、本発明では、前記一方の平行する辺のみブレーク用溝を形成するので、前記一方と他方の辺方向のいずれにもブレーク用溝を形成する場合と比較して、矩形領域を小さく形成することが可能となり、１枚のウエハから個片化できる圧電振動片の個数が増加し、それだけ、製造歩留まりが向上する上に、圧電振動片の小型化が容易となる。
【００２１】
なぜならば、いずれの平行する辺の方向にもブレーク用溝を形成すると、それだけ、ブレーク用溝形成の領域を確保するうえで、矩形領域全体の面積が大きくなる。そうすると、１枚のウエハに形成できる矩形領域の領域数が減るので、１枚のウエハから個片化できる圧電振動片の個数が減り、製造歩留まりが低下するだけでなく、圧電振動片のサイズも大型化するからである。
【００２２】
また、本発明では、前記他方の平行する辺方向にはダイシングブレードでブレードするものの、前記一方の平行する辺方向にはダイシングブレードではなく、ブレーク用溝においてブレークするので、ダイシングブレードの使用機会が減り、それだけ、ダイシングブレードの磨耗、損傷が低減され、その交換やメンテナンスの作業機会が少なくなり、この点からも、製造時間の短縮や、製造コストの低減を図れるようになる。
【００２３】
なお、前記各矩形領域を前記他方の平行する辺を長辺に、また、前記一方の平行する辺を短辺とする矩形領域となし、前記各矩形領域の短辺方向に沿って当該ウエハにブレーク用溝を形成し、次いで前記各矩形領域の長辺方向に沿ってダイシングブレードにより当該ウエハを貫通切断し、次いで前記各矩形領域を、前記ブレーク用溝を利用してブレークして、前記各矩形領域を複数の圧電振動片に個片化するようにしてもよい。
【００２４】
また、前記圧電振動片は、中央部分に薄肉部を有し、その周囲に厚肉部を有する逆メサ型のものであればよい。この場合、厚肉部の形状は、特に限定しないが、薄肉部の全周を囲むものであってもよいし、その一部に薄肉部の厚さと同程度の厚さの領域を有するものでもよい。
【００２５】
また、ブレーク用溝は、短辺方向に直線的に連続したスリット状の溝であってもよいし、短辺方向に不連続な複数のスリットからなる溝であっても、また、短辺方向に不連続な複数の複数のミシン目状からなる溝、その他の溝であってもよい。これらブレーク用溝の形状は、ウエハのハンドリングでウエハの損傷しないように機械的強度を保持する一方、ブレーク用溝でのブレークのし易さの兼ね合いで決めることができる。
【００２６】
前記ブレーク用溝は、一方向に連続または不連続に形成された溝でもよいし、両面からブレーク用溝を形成する場合は、表裏面でそれらブレーク用溝の形状が相違していてもよい。例えば、一方の面がスリット状のブレーク用溝、他方の面がミシン目状のブレーク用溝でもよい。また、両面のブレーク用溝はその形成方向で多少ずれて形成されてもよい。
【００２７】
前記ブレーク用溝の形成手段は、特に限定しない。この場合、実施形態では、エッチング技術によりブレーク用溝を形成してもよいし、ダイシングブレードでハーフカット状に形成してもよい。
【００２８】
ウエハは、圧電性単結晶材であれば、特に水晶に限定されないが、ＡＴカット水晶でウエハを作製した場合、前記矩形領域の長辺方向は水晶の結晶軸のＸ軸方向、短辺方向をＺ軸方向とするのが好ましい。
【００２９】
また、前記ブレーク用溝は、ウエハの片面側だけに形成してもよいが、ウエハの両面側に設けた場合は、ブレークに際して、短辺側に進行性のチッピングがより生じにくく、製造歩留まりが向上する。
【００３０】
特に、ウエハの片面または両面にエッチング技術で凹部を形成して薄肉部を形成するに際しては、ブレーク用溝を同時にそのエッチングで形成すると、ブレーク用溝の形成に特段、コストを必要としなくなり、製造コストを削減できる。
【００３１】
また、ウエハをＡＴカット水晶で構成し、そのウエハの両面にエッチングで凹部を形成して薄肉部を形成し、同時に、当該両面にブレーク用溝を当該エッチングで形成するにあたり、前記両ブレーク用溝の頂点をウエハの厚さ方向で略対向させ、この対向するウエハ部分をブレークポイントに設定し、該ブレークポイントでブレークさせると、そのブレーク箇所に多少チッピングが生じたとしても、そのチッピングの進行が抑制され、圧電振動片の製造歩留まりが向上する。
【００３２】
なお、前記ウエハをＡＴカット水晶で形成すると共に、前記矩形領域の両面にエッチングで凹部を形成して前記薄肉部および前記厚肉部を形成する際に、同時に前記エッチングで当該ウエハの両面それぞれに、前記ブレーク用溝を、前記ＡＴカット水晶の結晶軸であるＹ軸方向で略対向した状態に形成してもよい。
【００３３】
また、前記ウエハをＡＴカット水晶で形成すると共に、前記矩形領域の前記一方の対向する辺を前記ＡＴカット水晶の結晶軸のＸ軸またはＺ軸のいずれか一方の軸方向、前記他方の対向する辺を結晶軸のＸ軸またはＺ軸のいずれか他方の軸方向となるよう当該矩形領域を作製してもよい。
【００３４】
また、前記各矩形領域を、前記他方の平行する辺を長辺、前記一方の平行する辺を短辺とする矩形領域に作製し、前記各矩形領域の長辺方向を前記結晶軸のＸ軸方向、前記短辺方向を前記結晶軸のＺ軸方向としてもよい。
【００３５】
さらに、前記両ブレーク用溝の底部の頂点が前記Ｙ軸方向で略一致した状態で対向して、両頂点間のウエハ部分がブレークポイントとなるように前記エッチングを行い、前記各矩形領域を短辺方向に沿って前記ブレーク用溝を利用してブレークするに際しては、前記ブレークポイントにおいてブレークして、前記各矩形領域から、個片化された圧電振動片を得るようにしてもよい。
【００３６】
なお、本発明の圧電性単結晶材は、水晶に限定されず、ニオブ酸リチウムや、タンタル酸リチウム等の他の圧電性単結晶材でもよい。
【００３７】
なお、製造した圧電振動片をパッケージに収納して圧電振動デバイスを構成することができる。
【発明の効果】
【００３８】
本発明によれば、各矩形領域の長辺方向と短辺方向とのうち、長辺方向のみダイシングブレードで貫通切断し、短辺方向については、ダイシングブレードによる貫通切断ではなく、ブレーク用溝を用いて短辺方向にブレークするので、ウエハから複数の圧電振動片を個片化するまでの時間が格段に短縮され、全体の製造歩留まりが向上し、その結果として、圧電振動片の製造コストが従来よりも低減する。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】図１は、本発明の実施形態に係る圧電振動片の製造方法で作製されるウエハの平面図である。
【図２】図２は、図１のＡ−Ａ線に沿う拡大断面図である。
【図３】図３は、他のブレーク用溝を有するウエハの平面図である。
【図４】図４は、さらに他のブレーク用溝を有するウエハの平面図である。
【図５】図５（ａ）は、ウエハの両面に形成されるブレーク用溝近傍の拡大断面図、図５（ｂ）は、ウエハの両面に形成される別のブレーク用溝近傍の拡大断面図である。
【図６】図６は、ウエハの片面に形成される別のブレーク用溝近傍の拡大断面図である。
【図７】図７は、ウエハをダイシングブレードで切断する工程の説明に供するウエハの平面図である。
【図８】図７は、ウエハのブレーク工程の説明に供する図である。
【図９】図９（ａ）は従来の製造方法の説明に供するもので、ウエハの部分平面図、図９（ｂ）は図９（ａ）のＢ−Ｂ線の拡大断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００４０】
以下、添付した図面を参照して、本発明の実施の形態に係る圧電振動片の製造方法を説明する。
【００４１】
図１ないし図８を参照して、本実施形態の圧電振動片の製造方法を説明する。まず、本実施形態では、図１および図２で示すウエハ１を準備する。図１は、同ウエハの平面図、図２は、図１のＡ−Ａ線に沿う拡大断面図である。このウエハ１は、圧電性単結晶材としてＡＴカット水晶から作製される。
【００４２】
ウエハ１は、平板形状であり、このウエハ１には、仮想線Ｃ１，Ｃ２で囲むように、長辺と短辺がそれぞれ同一方向に整列した複数の矩形領域２を作製する。これら各矩形領域２は、平行する一方と他方の２辺とで囲まれる領域であり、それら平行する２辺のうち、短辺が一方の平行する辺、長辺が他方の平行する辺となる矩形領域であり、逆メサ型の圧電振動片に個片化される領域を形成する。
【００４３】
各矩形領域２の長辺方向は、ＡＴカット水晶の結晶軸であるＸ軸方向となり、短辺方向は、該結晶軸のＺ軸方向となり、厚さ方向は該結晶軸のＹ軸方向となる。
【００４４】
各矩形領域２の中央部分の表裏両面に周知のウェットエッチング等のエッチング技術により凹部３，４を設け、該中央部分に平面視矩形形状の薄肉部５を形成する。薄肉部５の形成により、薄肉部５の周囲に、薄肉部５を補強する厚肉部６を同時に形成する。なお、薄肉部５の周囲の全体に厚肉部６に形成することに限定されず、厚肉部６の一部に、薄肉部５の厚さと同等の厚さとして、後述する引出電極を引き出す電極引き出し領域を形成してもよい。
【００４５】
このように矩形領域２は、公知のエッチング等により逆メサ型に形成することができる。そして、本実施形態では、前記エッチングにより前記凹部３，４を形成するときに、同時に、仮想線Ｃ２に沿って、当該エッチングによりブレーク用溝８，９をウエハ１両面に同時に形成する。
【００４６】
このようにして、ウエハ１に凹部３，４と、ブレーク用溝８，９とを同時に形成した後、各矩形領域２それぞれの薄肉部３の両面に励振電極７ａ，７ｂを配置形成することで、個片化されることで圧電振動片を得る矩形領域２を形成する。
【００４７】
なお、励振電極７ａ，７ｂは、実施形態では、薄肉部３を間にして対向する一対の電極であったが、これに限定されず、例えば一方が共通電極で、他方が一対の分割電極としたモノリシック圧電振動片（モノリシック水晶フィルタ）であってもよい。
【００４８】
ブレーク用溝８，９は、スリット状で短辺方向に直線的に連続した溝形状をなしていて、互いの溝底部が厚さ方向で対向しており、その対向するウエハ部分の厚さは、他のウエハ部分の厚さよりも薄い。ただし、薄肉部５の厚さは、ブレーク用溝８，９の対向底部間のウエハ部分のそれと同程度であっても、薄肉部５はその周囲を厚肉部６で囲まれるので、短辺方向からの厚さは、ブレーク用溝８，９の底部間のウエハ部分のそれよりも厚い。よって、ブレーク用溝８，９の底部間のウエハ部分で、後述するブレークを実施するに際して、そのウエハ部分にブレーク力が集中する。
【００４９】
なお、ブレーク用溝８，９は、連続したスリット状溝に限定されず、例えば、図３で示すように、短辺方向に複数のスリットが形成された不連続なブレーク用溝８，９であってもよいし、図４で示すように、複数のピット（小穴）が一列に並ぶような、複数のミシン目状の不連続なブレーク用溝８，９であってもよい。また、ブレーク用溝は、その他の形状のブレーク用溝であってもよい。これらブレーク用溝８，９の形状は、ウエハを各工程でハンドリングするに際してウエハが損傷しないようにその機械的強度を保持できる一方で、ブレーク用溝８，９での後述するブレークのし易さの兼ね合いで決めてよい。
【００５０】
図５（ａ）を参照して、ブレーク用溝８，９の形状を詳細に説明する。
【００５１】
ブレーク用溝８，９の内壁は所定の傾斜角度θ１の斜側壁８ａ，９ａに、また、他方側内壁は所定の傾斜角度θ２（＜θ１）の斜側壁８ｂ，９ｂと平坦底壁８ｃ，９ｃとに形成される。前記傾斜角度は、水晶固有であるが、その具体数値は略する。
【００５２】
ブレーク用溝８，９それぞれの頂点は、ウエハ１の厚さ方向で略一致対向し、その対向するウエハ部分１０は、後述のブレーク作業でブレークがしやすいブレークポイントとなる。そして、ブレーク用溝８，９それぞれの頂点間のウェハ部分１０にチッピングが生じたとしても、ブレークポイントがウエハ１の面上に無いので、チッピングの進行を抑制でき、圧電振動片の製造歩留まりが向上する。
【００５３】
図５（ｂ）を参照して、別のブレーク用溝８，９の形状を詳細に説明する。
【００５４】
ブレーク用溝８，９の一方側内壁は、所定の傾斜角度θ３の斜側壁８ｄ，９ｄに、他方側内壁は、所定の傾斜角度θ４（＜θ３）の斜側壁８ｅ，９ｅに形成される。前記傾斜角度も、水晶固有であるが、角度の具体数値は略する。
【００５５】
この場合も、ブレーク用溝８，９の底部それぞれの頂点はウエハの厚さ方向、すなわち、水晶のＹ軸方向で略一致していて両頂点の対向間のウエハ部分１０が、厚さが最も薄くなり、ブレークしやすいブレークポイントとなり、また、このブレークポイントがウエハ１の面上に無いので、前記頂点１１間のウェハ部分１０にチッピングが生じたとしても、チッピングの進行は抑制され、圧電振動片の製造歩留まりが向上する。
【００５６】
ブレーク用溝８，９は、上記のように、図５（ａ）や図５（ｂ）の形状があるが、エッチング技術により他の形状に形成することもでき、本発明のブレーク用溝８，９は、図５（ａ）や図５（ｂ）の形状に限定されない。
【００５７】
なお、図５（ａ）（ｂ）は、エッチングでウエハの両面にブレーク用溝８，９を形成したが、本発明は、ウエハ１の両面にブレーク用溝８，９を形成することに限定されないが、前記チッピングの進行を無視できれば、例えば、図６で示すように、ウエハ１の片面にだけ形成されたブレーク用溝８でもよい。
【００５８】
こうしてウエハ１の両面に各矩形領域２の短辺方向にブレーク用溝８，９を形成した後、図７で示すように、ウエハ１を仮想線Ｃ１に沿ってダイシングブレードで貫通切断することにより、各矩形領域２を長辺方向に切断する。
【００５９】
前記長辺方向の切断が終了すると、ウエハ１を、ブレーク用溝８，９を利用して、短辺方向でブレークする。この短辺方向のブレークの一例を図８（ａ）（ｂ）（ｃ）を参照して詳細に説明する。
【００６０】
まず、図８（ａ）で示すように、熱発泡テープ等の接着テープ１１上にウエハ１を貼り付ける。このウエハ１の各矩形領域２は、既に、前記したように仮想線Ｃ１に沿ってダイシングブレードにより、長辺方向に貫通切断されている。図８（ａ）は、各矩形領域２が長辺方向に貫通切断されて接着テープ１１に貼り付けられたウエハ１を短辺方向から見た側面図である。
【００６１】
次に、図８（ｂ）で示すウエハブレーク装置１２を用いて、ウエハ１をブレーク用溝８，９からブレークする。
【００６２】
ウエハブレーク装置１２は、ウエハ１を搭載して案内する案内台１３と、ウエハ１を案内台１３上に矢印Ｐ１の方向に押さえ込むウエハ押さえ板１４と、接着テープ１１を強制的に矢印Ｐ２の方向に引っ張る図示略の引張り機構と、を備える。
【００６３】
案内台１３は、ウエハ１を途中まで水平に案内する水平台面１３ａと、その途中箇所からウエハ１を、所要角度付けて、斜め下方に案内する斜め台面１３ｂと、を有し、前記途中箇所をウエハ１のブレーク箇所１３ｃとしたものである。
【００６４】
そして、図８（ｂ）で示すように、案内台１３の水平台面１３ａ上にウエハ１を貼り付けた接着テープ１１を搭載すると共に、矢印Ｐ１方向に押さえ板１４を押下するにより、ウエハ１を水平台面１５ａ上に押さえる。
【００６５】
この状態で、接着テープ１１を引張り機構により、水平台面１３ａから斜め台面１３ｂへ向けて搬送する。
【００６６】
そして接着テープ１１がブレーク箇所１３ｃまで搬送され、さらにブレーク箇所１３ｃを越えて、斜め台面１３ｂ上を矢印Ｐ２の方向に引っ張られると、ウエハ１には当該ブレーク箇所１３ｃでブレーク力が作用する。
【００６７】
このとき、ウエハ１は、ブレーク用溝８，９の頂点のウエハ部分１０の厚さが最も薄いのでブレークポイントとなって、そのウエハ部分１０にブレーク力が集中的に作用し、ウエハ１は、図８（ｃ）で示すように、ブレーク用溝８，９のウエハ部分１０で、短辺方向でブレークする。
【００６８】
そうすると、ウエハ１の各矩形領域２は、既に長辺方向で切断されているので、複数の圧電振動片１５に個片化される。こうして、ウエハ１の各矩形領域２から複数の圧電振動片１５を製造することができる。
【００６９】
このブレークによれば、単に、接着テープ１１をウエハ１と共に、水平台面１３ａと斜め台面１３ｂとのブレーク箇所１３ｃでブレークできるので、ブレークが容易である。
【００７０】
以上説明したように、本実施形態の製造方法は、各矩形領域の短辺側に短辺方向に沿うブレーク用溝を形成しておき、次いで各矩形領域の長辺側を長辺方向にダイシングブレードにより貫通切断し、次いで各矩形領域を短辺方向に沿ってブレーク用溝を利用してブレークして、複数の圧電振動片に個片化するので、ダイシングブレードでの貫通切断が長辺方向のみであり、ダイシングブレードの短辺方向の切断は必要でなくなる。これにより、圧電振動片の個片化までの作業時間が短縮し、製造の時間およびコストを低減することができる。
【００７１】
なお、本実施形態では、前記矩形領域は、平面視外形の形状が長辺と短辺を有する長方形であり、該長方形の長辺側をダイシングブレードで貫通切断し、短辺側をブレーク用溝でブレークしたが、該長方形の長辺側をブレークし、短辺側をダイシングブレードで貫通切断する場合も本発明に含む。
【００７２】
また、本実施形態では、前記矩形領域は長方形であったが、該矩形領域を正方形とし、この正方形におけるいずれか一方の平行する辺をダイシングブレードで貫通切断し、いずれか他方の平行する辺をブレークする場合も本発明に含む。
【符号の説明】
【００７３】
１  ウエハ
２  矩形領域
３，４  凹部
５  薄肉部
６  厚肉部
７ａ，７ｂ  励振電極
８，９  ブレーク用溝
１０  ウエハ部分（ブレークポイント）
１１  接着テープ
１２  ウエハブレーク装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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