(57)【要約】【課題】レーザに関する装置などの特殊な装置を用いることなく且つ回路規模の増大を招くことなく抵抗値を調整することを可能とする。【解決手段】抵抗器１は、トリミング抵抗Ｒ１〜Ｒ４、メイン抵抗Ｒ５〜Ｒ８、所定の電圧を印加するための第１端子および第２端子を備える。トリミング抵抗Ｒ１〜Ｒ４およびメイン抵抗Ｒ５〜Ｒ８は、互いに並列接続されている。トリミング抵抗Ｒ１〜Ｒ４およびメイン抵抗Ｒ５〜Ｒ８の一方の端子を共通接続する部分は、第１配線Ｌ１となっている。トリミング抵抗Ｒ１〜Ｒ４およびメイン抵抗Ｒ５〜Ｒ８の他方の端子を共通接続する部分は、第２配線Ｌ２となっている。第１配線Ｌ１および第２配線Ｌ２は、それぞれ第１端子および第２端子に接続されている。トリミング抵抗Ｒ１〜Ｒ４の第１配線Ｌ１側の端部には、互いに幅の異なる調整部ａ１〜ａ４が設けられている。【選択図】図２
2014053413.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
抵抗値の調整が可能な抵抗器（１）であって、
定格電力が互いに異なる複数の抵抗（Ｒ１〜Ｒ８）と、
前記複数の抵抗（Ｒ１〜Ｒ８）の一方の端子を共通接続する第１配線（Ｌ１）と、
前記複数の抵抗（Ｒ１〜Ｒ８）の他方の端子を共通接続する第２配線（Ｌ２）と、
前記第１配線（Ｌ１）および前記第２配線（Ｌ２）の間に、少なくとも前記複数の抵抗（Ｒ１〜Ｒ８）のうち最も定格電力の小さい抵抗における消費電力がその定格電力以上の電力となるような所定の電圧を印加する、または所定の電流を供給するための第１端子（Ｐ１）および第２端子（Ｐ２）と、
を備えていることを特徴とする抵抗器。
【請求項２】
前記複数の抵抗（Ｒ１〜Ｒ８）は、その一部分の幅が互いに異なることを特徴とする請求項１に記載の抵抗器。
【請求項３】
前記複数の抵抗（Ｒ１〜Ｒ８）は、その一部分の長さが互いに異なることを特徴とする請求項１または２に記載の抵抗器。
【請求項４】
前記複数の抵抗（Ｒ１〜Ｒ８）は、その中間部分の幅が互いに異なることを特徴とする請求項２に記載の抵抗器。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一つに記載の抵抗器の抵抗値を調整する方法であって、
前記第１配線（Ｌ１）および前記第２配線（Ｌ２）の間の抵抗値を測定する測定ステップと、前記第１端子（Ｐ１）および前記第２端子（Ｐ２）を通じて前記所定の電圧を印加または前記所定の電流を供給する調整ステップとを、前記測定ステップにおいて測定される抵抗値が所望の値となるまで繰り返し実行するものであり、
前記調整ステップを繰り返す度に、当該調整ステップにおいて印加する電圧または供給する電流を増加させることを特徴とする抵抗値調整方法。
【請求項６】
前記測定ステップでは、前記第１端子（Ｐ１）および前記第２端子（Ｐ２）を通じて前記抵抗値を測定することを特徴とする請求項５に記載の抵抗値調整方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、抵抗値の調整が可能な抵抗器およびその抵抗器の抵抗値調整方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
抵抗器の抵抗値を調整する方法としては、レーザによるアナログ調整およびデジタル調整や、ＭＯＳトランジスタによる調整などが挙げられる。レーザによるアナログ調整（アナログトリム）は、抵抗素子をレーザによりカットして抵抗値を連続的に調整するものである。レーザによるデジタル調整（デジタルトリム）は、複数の抵抗素子を互いに並列接続しておき、それら抵抗素子のいずれかをレーザによりカットして抵抗値（並列合成抵抗の値）を離散的に調整するものである。
【０００３】
ＭＯＳトランジスタによる調整は、複数の抵抗素子およびＭＯＳトランジスタの直列回路を互いに並列接続しておき、ＭＯＳトランジスタの各ゲートに与える信号により、ＭＯＳトランジスタをＯＮまたはＯＦＦ駆動させ、抵抗値（並列合成抵抗の値）を離散的に調整するものである（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平３−１６７６１３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述した抵抗値の調整方法のうち、レーザを用いる方法は、レーザに関する装置を用意する必要があるという問題を有する。一方、ＭＯＳトランジスタを用いる方法は、ＭＯＳトランジスタおよびそのゲートに信号を与えるための信号線などが必要となり、回路規模が増加するという問題がある。さらに、この方法では、所望の抵抗値を得るための各ＭＯＳトランジスタのＯＮ／ＯＦＦ情報を、例えばメモリなどに格納する必要がある。つまり、別途メモリを設ける必要があるため、回路規模が一層増加する。
【０００６】
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、レーザに関する装置などの特殊な装置を用いることなく且つ回路規模の増大を招くことなく抵抗値を調整することができる抵抗器およびその抵抗器の抵抗値調整方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１に記載の手段によれば、定格電力が互いに異なる複数の抵抗と、それら複数の抵抗の一方の端子を共通接続する第１配線と、それら複数の抵抗の他方の端子を共通接続する第２配線と、第１端子と、第２端子とを備えた抵抗器である。第１端子および第２端子は、第１配線および第２配線の間に、少なくとも複数の抵抗のうち最も定格電力の小さい抵抗における消費電力がその定格電力以上の電力となるような所定電圧を印加する、または所定の電流を供給するためのものである。上記構成の抵抗器は、その抵抗値、つまり第１配線および第２配線の間の抵抗値を、次のように調整することが可能である。
【０００８】
すなわち、後述する電圧の印加または電流の供給を行う前の状態における第１配線および第２配線間の抵抗値、つまり抵抗器の抵抗値の初期値としては、複数の抵抗の全ての抵抗の並列合成抵抗の値となっている。このときの抵抗値が、所望の値であれば、以降の抵抗値の調整を行う必要がない。一方、このときの抵抗値が所望の値でない場合、第１端子および第２端子を通じて、複数の抵抗のうち最も定格電力の小さい抵抗における消費電力がその定格電力以上の電力となるような所定の電圧を印加する、または所定の電流を供給する。すると、複数の抵抗のうち、最も定格電力の小さい抵抗が断線状態となる（カットされる）。これにより、抵抗器の抵抗値は、複数の抵抗のうち、カットされた１つの抵抗を除く抵抗の並列合成抵抗の値となり、初期値よりも高い抵抗値となる。
【０００９】
このときの抵抗値が、所望の値であれば、この時点で抵抗値の調整を終了する。一方、このときの抵抗値が所望の値でない場合、第１端子および第２端子を通じて、複数の抵抗のうち２番目に定格電力の小さい抵抗における消費電力がその定格電力以上の電力となるような所定の電圧を印加する、または所定の電流を供給する。すると、複数の抵抗のうち、２番目に定格電力の小さい抵抗が断線状態となる。これにより、抵抗器の抵抗値は、複数の抵抗のうち、カットされた２つの抵抗を除く抵抗の並列合成抵抗の値となり、１つの抵抗がカットされたときの値よりも高い抵抗値となる。このような調整作業を、抵抗器の抵抗値が所望の値となるまで繰り返し実行する。
【００１０】
上記構成によれば、抵抗値を測定するための装置と、電圧を印加するための装置または電流を印加するための装置といった一般的な装置を用いるだけで抵抗値の調整を行うことができる。また、上記構成では、ＭＯＳトランジスタやそのＯＮ／ＯＦＦ情報を格納するためのメモリなどを必要としないため、回路規模を小さくすることができる。つまり、本手段によれば、レーザに関する装置などの特殊な装置を用いることなく且つ回路規模の増大を招くことなく抵抗値を調整することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】第１の実施形態を示すもので、抵抗器の回路構成を概略的に示す図
【図２】抵抗器の概略的な構造を示す平面図
【図３】抵抗値の調整が実施される際における抵抗器および他の装置を示す図
【図４】抵抗値モニタ回路の構成例を示す図
【図５】測定ステップにおいて測定される抵抗値と調整ステップにおいて印加される電圧との関係を示す図
【図６】第２の実施形態を示す図２相当図
【図７】第３の実施形態を示す図２相当図
【図８】第４の実施形態を示すもので、抵抗器の概略的な構造を示す断面図
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の複数の実施形態について図面を参照して説明する。なお、各実施形態において実質的に同一の構成には同一の符号を付して説明を省略する。
（第１の実施形態）
以下、第１の実施形態について図１〜図５を参照しながら説明する。
まず、抵抗器１の概略的な回路構成について図１を参照して説明する。図１に示す抵抗器１は、例えば半導体集積回路（ＩＣ）における抵抗として用いられるものである。抵抗器１は、４つのトリミング抵抗Ｒ１〜Ｒ４（抵抗に相当）、４つのメイン抵抗Ｒ５〜Ｒ８（抵抗に相当）、第１端子Ｐ１および第２端子Ｐ２を備えている。トリミング抵抗Ｒ１〜Ｒ４およびメイン抵抗Ｒ５〜Ｒ８は、互いに並列接続されている。
【００１３】
トリミング抵抗Ｒ１〜Ｒ４およびメイン抵抗Ｒ５〜Ｒ８の一方の端子を共通接続する部分は、第１配線Ｌ１となっている。第１配線Ｌ１は、第１端子Ｐ１に接続されている。トリミング抵抗Ｒ１〜Ｒ４およびメイン抵抗Ｒ５〜Ｒ８の他方の端子を共通接続する部分は、第２配線Ｌ２となっている。第２配線Ｌ２は、第２端子Ｐ２に接続されている。第１端子Ｐ１および第２端子Ｐ２は、ＩＣのパッケージの外部に露出する端子でもよいし、あるいは、製造段階（調整段階）においてプローブなどを接触させることが可能なパッドなどでもよい。
【００１４】
トリミング抵抗Ｒ１〜Ｒ４の抵抗値は、おおむね１０ｋΩに設定されている。また、メイン抵抗Ｒ５〜Ｒ８の抵抗値は、１０ｋΩに設定されている。このような構成の抵抗器１の抵抗値、つまり第１配線Ｌ１および第２配線Ｌ２間の抵抗値（抵抗Ｒ１〜Ｒ８の並列合成抵抗の値）は、１．２５ｋΩとなる。また、詳細は後述するが、トリミング抵抗Ｒ１〜Ｒ４は、第１配線Ｌ１および第２配線Ｌ２間から電気的に切り離す（カットする）ことが可能となっている。そのため、抵抗器１の抵抗値は、次のような値に調整することが可能である。
【００１５】
すなわち、トリミング抵抗Ｒ１〜Ｒ４のうち、いずれか１つがカットされると、抵抗器１の抵抗値は、３つのトリミング抵抗および４つのメイン抵抗Ｒ５〜Ｒ８の並列合成抵抗の値（約１．４ｋΩ）となる。また、トリミング抵抗Ｒ１〜Ｒ４のうち、いずれか２つがカットされると、抵抗器１の抵抗値は、２つのトリミング抵抗および４つのメイン抵抗Ｒ５〜Ｒ８の並列合成抵抗の値（約１．７ｋΩ）となる。また、トリミング抵抗Ｒ１〜Ｒ４のうち、いずれか３つがカットされると、抵抗器１の抵抗値は、１つのトリミング抵抗および４つのメイン抵抗Ｒ５〜Ｒ８の並列合成抵抗の値（２ｋΩ）となる。また、トリミング抵抗Ｒ１〜Ｒ４が全てカットされると、抵抗器１の抵抗値は、４つのメイン抵抗Ｒ５〜Ｒ８の並列合成抵抗の値（２．５ｋΩ）となる。
【００１６】
このように、本実施形態の抵抗器１は、その抵抗値を５段階（１．２５ｋΩ、１．４ｋΩ、１．７ｋΩ、２ｋΩ、２．５ｋΩ）に調整することが可能となっている。これにより、例えば、抵抗器１を製造する際における抵抗値のばらつきを補正したり、抵抗器１が用いられるシステムの仕様変更などに伴い抵抗値を可変したりすることが可能となる。
【００１７】
続いて、抵抗器１の概略的な構造について図２を参照して説明する。トリミング抵抗Ｒ１〜Ｒ４およびメイン抵抗Ｒ５〜Ｒ８は、その厚さが均一の値（本実施形態では１μｍ）になるように形成されている。メイン抵抗Ｒ５〜Ｒ８は、その横幅（抵抗幅）が均一の値（本実施形態では５μｍ）になるように形成されている。トリミング抵抗Ｒ１〜Ｒ４は、後述する調整部ａ１〜ａ４を除く部分については、その横幅（抵抗幅）が均一の値（本実施形態では５μｍ）になるように形成されている。
【００１８】
トリミング抵抗Ｒ１〜Ｒ４の第１配線Ｌ１側の端部（上端部）には、調整部ａ１〜ａ４が設けられている。なお、調整部ａ１〜ａ４は、トリミング抵抗Ｒ１〜Ｒ４の第２配線Ｌ２側の端部（下端部）に設けられていてもよい。調整部ａ１〜ａ４は、その他の部分である本体部ｂ１〜ｂ４に比べて横幅が細くなるように形成されている。調整部ａ１〜ａ４は、シート抵抗が１ｋΩ（長さ×幅＝１μｍ２、厚さ＝１μｍ）であり、定格電力０．１Ｗである材料により構成されている。本実施形態では、調整部ａ１、ａ２、ａ３、ａ４の横幅は、それぞれ１μｍ、２μｍ、３μｍ、４μｍとなっている。つまり、トリミング抵抗Ｒ１〜Ｒ４は、その一部分の幅が互いに異なっている。
【００１９】
なお、トリミング抵抗Ｒ１〜Ｒ４において、調整部ａ１〜ａ４が占める割合は、本体部ｂ１〜ｂ４その他の部分が占める割合に比べて非常に小さい。そのため、調整部ａ１〜ａ４が、トリミング抵抗Ｒ１〜Ｒ４の抵抗値に与える影響は小さい。従って、トリミング抵抗Ｒ１〜Ｒ４の抵抗値は、メイン抵抗Ｒ５〜Ｒ８とほぼ同等の構成である本体部ｂ１〜ｂ４により定まる。
【００２０】
トリミング抵抗Ｒ１〜Ｒ４の調整部ａ１〜ａ４の定格電力Ｗ１〜Ｗ４は、互いに異なる値となっており、具体的には次のとおりである。すなわち、横幅が１μｍの調整部ａ１は、１０ｍＡの電流が流れると破断する。そのため、調整部ａ１の定格電力Ｗ１は、下記（１）式に示す値となる。
Ｗ１＝１０［ｍＡ］×１０［ｍＡ］×１０［ｋΩ］＝１［Ｗ］      …（１）
【００２１】
横幅が２μｍの調整部ａ２は、２０ｍＡの電流が流れると破断する。そのため、調整部ａ２の定格電力Ｗ２は、下記（２）式に示す値となる。
Ｗ２＝２０［ｍＡ］×２０［ｍＡ］×１０［ｋΩ］＝４［Ｗ］      …（２）
【００２２】
横幅が３μｍの調整部ａ３は、３０ｍＡの電流が流れると破断する。そのため、調整部ａ３の定格電力Ｗ３は、下記（４）式に示す値となる。
Ｗ３＝３０［ｍＡ］×３０［ｍＡ］×１０［ｋΩ］＝９［Ｗ］      …（３）
【００２３】
横幅が４μｍの調整部ａ４は、４０ｍＡの電流が流れると破断する。そのため、調整部ａ４の定格電力Ｗ４は、下記（４）式に示す値となる。
Ｗ４＝４０［ｍＡ］×４０［ｍＡ］×１０［ｋΩ］＝１６［Ｗ］      …（４）
【００２４】
調整部ａ１〜ａ４が破断すると、トリミング抵抗Ｒ１〜Ｒ４が第１配線Ｌ１および第２配線Ｌ２間から電気的に切り離されることになる。従って、トリミング抵抗Ｒ１〜Ｒ４の各定格電力は、それぞれ調整部ａ１〜ａ４の定格電力Ｗ１〜Ｗ４と同一であると言える。すなわち、トリミング抵抗Ｒ１〜Ｒ４は、定格電力（電流能力、破断電流）が互いに異なっている。
【００２５】
なお、トリミング抵抗Ｒ１〜Ｒ４およびメイン抵抗Ｒ５〜８としては、薄膜抵抗（例えばＣｒＳｉ、Ａｌ配線抵抗、Ｃｕ配線抵抗など）、拡散抵抗（Ｐｏｌｙ抵抗、Ｐｗｅｌｌ抵抗、Ｎｗｅｌｌ抵抗など）など、種々の材質のものを用いることができる。また、トリミング抵抗Ｒ１〜Ｒ４とメイン抵抗Ｒ５〜Ｒ８とは、別々の材料であってもよいし、同一の材料であってもよい。さらに、トリミング抵抗Ｒ１〜Ｒ４は、調整部ａ１〜ａ４と本体部ｂ１〜ｂ４とが、別々の材料であってもよいし、同一の材料であってもよい。
【００２６】
続いて、上記した構成の抵抗器１の抵抗値調整方法について図３〜図５を参照して説明する。ここでは、抵抗器１の抵抗値として所望する値（目標値）が２ｋΩである場合についての調整方法を例に説明する。まず、第１配線Ｌ１および第２配線Ｌ２の間の抵抗値を測定する測定ステップが実施される。図３に示すように、測定ステップでは、抵抗モニタ回路２により抵抗値の測定が行われる。なお、図３には示していないが、測定ステップにおいて、第１端子Ｐ１および第２端子Ｐ２を通じて抵抗値の測定を行ってもよい。
【００２７】
抵抗モニタ回路２としては、例えば一般的なテスタなどを用いることができる。つまり、図４の（ａ）に示すように、電流源３から測定対象となる抵抗（第１配線Ｌ１および第２配線Ｌ２間の抵抗）に対して定電流を供給し、抵抗の端子電圧と所定の基準電圧Ｖrefとをコンパレータ４により比較して抵抗値を測定する構成を採用することができる。また、図４の（ｂ）に示すように、電流源５から測定対象となる抵抗（第１配線Ｌ１および第２配線Ｌ２間の抵抗）に定電流を流すとともに、抵抗の端子間の電圧を電圧計６により測定し、上記定電流の値と電圧計６により測定された電圧値から抵抗値を測定する構成を採用することができる。
【００２８】
トリミング抵抗Ｒ１〜Ｒ４がいずれもカットされていない状態（初期状態）において上記測定ステップが行われると、測定される抵抗値は、１．２５ｋΩとなる（図５（ａ））。この場合、測定された抵抗値が目標値ではないため、調整ステップが実施される。図３に示すように、調整ステップでは、例えば直流安定化電源などの電圧出力装置７から出力される所定の電圧が、第１端子Ｐ１および第２端子Ｐ２を通じて、第１配線Ｌ１および第２配線Ｌ２の間に印加される。
【００２９】
最初に実施される調整ステップでは、第１端子Ｐ１および第２端子Ｐ２を通じて第１配線Ｌ１および第２配線Ｌ２の間に０．１ｋＶの電圧が印加される（図５（ｂ））。これにより、トリミング抵抗Ｒ１〜Ｒ４およびメイン抵抗Ｒ５〜Ｒ８には、それぞれ１０ｍＡの電流が流れる。そうすると、トリミング抵抗Ｒ１の調整部ａ１における消費電力が定格電力Ｗ１に達するため、調整部ａ１が破断してトリミング抵抗Ｒ１がカットされる。その後、再び測定ステップが実施される。この場合、トリミング抵抗Ｒ１がカットされた状態であるため、測定される抵抗値は、１．４ｋΩとなる（図５（ａ））。この場合も、測定された抵抗値が目標値ではないため、再び調整ステップが実施される。
【００３０】
２回目に実施される調整ステップでは、第１端子Ｐ１および第２端子Ｐ２を通じて第１配線Ｌ１および第２配線Ｌ２間に０．２ｋＶの電圧が印加される（図５（ｂ））。これにより、トリミング抵抗Ｒ１〜Ｒ４およびメイン抵抗Ｒ５〜Ｒ８には、それぞれ２０ｍＡの電流が流れる。そうすると、トリミング抵抗Ｒ２の調整部ａ２における消費電力が定格電力Ｗ２に達するため、調整部ａ２が破断してトリミング抵抗Ｒ２がカットされる。その後、再び測定ステップが実施される。この場合、トリミング抵抗Ｒ１、Ｒ２がカットされた状態であるため、測定される抵抗値は、１．７ｋΩとなる（図５（ａ））。この場合も、測定された抵抗値が目標値でないため、再び調整ステップが実施される。
【００３１】
３回目に実施される調整ステップでは、第１端子Ｐ１および第２端子Ｐ２を通じて第１配線Ｌ１および第２配線Ｌ２間に０．３ｋＶの電圧が印加される（図５（ｂ））。これにより、トリミング抵抗Ｒ１〜Ｒ４およびメイン抵抗Ｒ５〜Ｒ８には、それぞれ３０ｍＡの電流が流れる。そうすると、トリミング抵抗Ｒ３の調整部ａ３における消費電力が定格電力Ｗ３に達するため、調整部ａ３が破断してトリミング抵抗Ｒ３がカットされる。その後、再び測定ステップが実施される。この場合、トリミング抵抗Ｒ１〜Ｒ３がカットされた状態であるため、測定される抵抗値は、２ｋΩとなる（図５（ａ））。この場合、測定された抵抗値が目標値に一致するため、これをもって調整作業が完了となる。
【００３２】
このように、本実施形態の抵抗器１の抵抗値調整方法では、調整ステップが繰り返される度に、調整ステップにおいて印加される電圧が段階的に増加される（図５の（ｂ）参照）。そして、測定ステップにおいて測定される抵抗値が所望の値となるまで、測定ステップおよび調整ステップが繰り返し実施されることにより、抵抗器１の抵抗値が所望の値に調整される。
【００３３】
以上説明したように、本実施形態によれば、いずれも一般的な装置である抵抗器１の抵抗値を測定するための装置（抵抗モニタ回路２）と、第１端子Ｐ１および第２端子Ｐ２を通じて電圧を印加するための装置（電圧出力装置７）とを準備するだけで、抵抗器１の抵抗値を調整することができる。また、抵抗器１は、ＭＯＳトランジスタ、そのＯＮ／ＯＦＦ情報を格納するためのメモリなどを必要としないため、回路規模を小さく抑えることができる。つまり、本実施形態によれば、レーザに関する装置などの特殊な装置を用いることなく、且つ、回路規模の増大を招くことなく、抵抗値の調整を行うことができる。
【００３４】
（第２の実施形態）
以下、本発明の第２の実施形態について図６を参照しながら説明する。
図６は、第１の実施形態における図２に相当するものであるが、トリミング抵抗Ｒ３、Ｒ４およびメイン抵抗Ｒ５〜Ｒ８の図示を省略している。本実施形態のトリミング抵抗Ｒ１〜Ｒ４は、本体部ｂ１〜ｂ４が２つに分割された構成となっている。そして、それら分割された本体部ｂ１〜ｂ４の間には、それぞれ調整部ａ１〜ａ４が設けられている。
【００３５】
つまり、本実施形態のトリミング抵抗Ｒ１〜Ｒ４は、上端部および下端部ではなく、それらの中間の部分に調整部ａ１〜ａ４が設けられている。このような構成の本実施形態によっても、第１の実施形態と同様の作用および効果が得られる。さらに、本実施形態の構成によれば、トリミング抵抗Ｒ１〜Ｒ４について、サージなどの外部ノイズによる破壊耐量が向上するという効果も得られる。
【００３６】
（第３の実施形態）
以下、本発明の第３の実施形態について図７を参照しながら説明する。
図７は、第１の実施形態における図２に相当するものであるが、トリミング抵抗Ｒ３、Ｒ４およびメイン抵抗Ｒ５〜Ｒ８の図示を省略している。本実施形態のトリミング抵抗Ｒ１〜Ｒ４の調整部ａ１〜ａ４は、その横幅は同一の値（例えば１μｍ）となっている。しかし、調整部ａ１〜ａ４は、その長さが互いに異なっている。つまり、トリミング抵抗Ｒ１〜Ｒ４は、その一部分の長さが互いに異なっている。
【００３７】
上記構成のトリミング抵抗Ｒ１〜Ｒ４においても、調整部ａ１〜ａ４、ひいてはトリミング抵抗Ｒ１〜Ｒ４の各定格電力Ｗ１〜Ｗ４は、第１の実施形態と同様に互いに異なる値となる。従って、このような構成によっても、調整ステップにおいて印加する電圧を変化させることにより、トリミング抵抗Ｒ１〜Ｒ４を所望する分だけカットすることが可能となるため、抵抗器１の抵抗値を調整することができる。すなわち、本実施形態によっても、第１の実施形態と同様の作用および効果が得られる。
【００３８】
（第４の実施形態）
以下、本発明の第４の実施形態について図８を参照しながら説明する。
図８において、（ａ）はトリミング抵抗Ｒ１、（ｂ）はトリミング抵抗Ｒ２、（ｃ）はトリミング抵抗Ｒ３、（ｄ）はトリミング抵抗Ｒ４の断面を概略的に示している。図示しないが、本実施形態のトリミング抵抗Ｒ１〜Ｒ４の調整部ａ１〜ａ４は、その横幅は同一の値（例えば１μｍ）となっている。しかし、図８に示すように、本実施形態の調整部ａ１〜ａ４は、その厚さが互いに異なっている。つまり、トリミング抵抗Ｒ１〜Ｒ４は、その一部分の厚さが互いに異なっている。
【００３９】
上記構成のトリミング抵抗Ｒ１〜Ｒ４においても、調整部ａ１〜ａ４、ひいてはトリミング抵抗Ｒ１〜Ｒ４の各定格電力Ｗ１〜Ｗ４は、第１の実施形態と同様に互いに異なる値となる。従って、このような構成によっても、調整ステップにおいて印加する電圧を変化させることにより、トリミング抵抗Ｒ１〜Ｒ４を所望する分だけカットすることが可能となるため、抵抗器１の抵抗値を調整することができる。すなわち、本実施形態によっても、第１の実施形態と同様の作用および効果が得られる。
【００４０】
（その他の実施形態）
なお、本発明は上記し且つ図面に記載した各実施形態に限定されるものではなく、次のような変形または拡張が可能である。
トリミング抵抗Ｒ１〜Ｒ４の構造としては、第１〜第４の実施形態のうち、任意の構造を適宜組み合わせた構造を採用してもよい。
トリミング抵抗およびメイン抵抗の数を変更してもよい。ただし、トリミング抵抗の数を増やせば、抵抗値の調整の段階数が大きくなる（調整範囲が広くなる）ものの、抵抗器１の回路面積が増加する。また、トリミング抵抗の数を減らせば、抵抗器１の回路面積が減少するものの、抵抗値の調整の段階数が小さくなる（調整範囲が狭くなる）。従って、実際には、このような関係を考慮した上で、所望する仕様（抵抗値、抵抗値の調整範囲など）を満たすように、トリミング抵抗およびメイン抵抗の数を適宜設定すればよい。
【００４１】
調整ステップにおいて、第１端子Ｐ１および第２端子Ｐ２を通じて、第１配線Ｌ１および第２配線Ｌ２の間に所定の電流を供給することにより、所望するトリミング抵抗をカットするようにしてもよい。
抵抗器１を用いた抵抗値の調整方法としては、測定ステップおよび調整ステップを同時に実行する方法でもよい。その場合、調整ステップにおいて印加する電圧をリニアに増加させ、測定ステップにおいて測定される抵抗値が所望の値となった時点で、抵抗値の調整を終了すればよい。
【００４２】
トリミング抵抗Ｒ１〜Ｒ４は、互いに全ての幅（長さ、厚さ）が異なる構成でもよい。つまり、トリミング抵抗Ｒ１〜Ｒ４は、調整部ａ１〜ａ４だけで構成されていてもよい。ただし、その場合、各トリミング抵抗Ｒ１〜Ｒ４の抵抗値が互いに大きく異なる値になるため、それらの並列合成抵抗値の計算が煩雑になる。すなわち、トリミング抵抗Ｒ１〜Ｒ４について一部分の幅（長さ、厚さ）を異ならせた上記各実施形態には、並列合成抵抗値の計算を簡単にすることができるというメリットがあると言える。
【符号の説明】
【００４３】
図面中、１は抵抗器、Ｌ１は第１配線、Ｌ２は第２配線、Ｐ１は第１端子、Ｐ２は第２端子、Ｒ１〜Ｒ４はトリミング抵抗（抵抗）、Ｒ５〜Ｒ８はメイン抵抗（抵抗）を示す。
【図１】
2014053413.tif 000003
【図２】
2014053413.tif 000004
【図３】
2014053413.tif 000005
【図４】
2014053413.tif 000006
【図５】
2014053413.tif 000007
【図６】
2014053413.tif 000008
【図７】
2014053413.tif 000009
【図８】
2014053413.tif 000010