(57)【要約】【課題】樹脂シートの表面に形成された透明電極と周辺回路電極とを同時に観察することができる透明電極シートの観察装置を提供すること。【解決手段】樹脂シートＦの表面に透明電極Ｐとその周辺回路電極Ｃとが形成された透明電極シートに樹脂シートＦと透明電極Ｐの光学的性質に差を生じさせる光を照射する光源１と、透明電極シートに可視光を照射する光源２と、光源１から照射した光と光源２から照射した可視光とが作用した透明電極シートを観察する観察手段とを備えたので、樹脂シートＦの表面に形成された透明電極Ｐと周辺回路電極Ｃとを同時に観察することができる。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
樹脂シートの表面に透明電極とその周辺回路電極とが形成された透明電極シートに樹脂シートと透明電極の光学的性質に差を生じさせる光を照射する第１の光照射手段と、
前記透明電極シートに可視光を照射する第２の光照射手段と、
前記第１の光照射手段から照射した光と前記第２の光照射手段から照射した可視光とが作用した透明電極シートを観察する観察手段と
を備えたことを特徴とする透明電極シートの観察装置。
【請求項２】
前記第２の光照射手段は、前記樹脂シートの裏側から光を照射することを特徴とする請求項１に記載の透明電極シートの観察装置。
【請求項３】
前記第１の光照射手段は、前記透明電極の光透過率が５０％以下であって、前記樹脂シートを励起して蛍光発光する波長帯域の紫外線光を少なくとも含む光を照射することを特徴とする請求項１または２に記載の透明電極シートの観察装置。
【請求項４】
前記観察手段は、前記樹脂シートの裏側の光の強度を測定する光強度測定手段を有することを特徴とする請求項１〜３のいずれか一つに記載の透明電極シートの観察装置。
【請求項５】
前記観察手段は、
３６５ｎｍ以上の波長帯域の光のみを透過する光学フィルタ手段と、
前記光学フィルタ手段を透過した可視域の波長に感度を有する画像を撮影する撮像手段と
を備えたことを特徴とする請求項１〜４のいずれか一つに記載の透明電極シートの観察装置。
【請求項６】
前記樹脂シートが蛍光発光した光の強度を基準として、暗い領域を透明電極が形成された領域と判別し、明るい領域を周辺回路電極が形成された領域と判別する判別手段を備えたことを特徴とする請求項３に記載の透明電極シートの観察装置。
【請求項７】
樹脂シートの表面に透明電極とその周辺回路電極とが形成された透明電極シートに樹脂シートと透明電極の光学的性質に差を生じさせる光と可視光とを照射し、
前記樹脂シートと透明電極の光学的性質に差を生じさせる光と前記可視光とが作用した透明電極シートを観察する
ことを特徴とする透明電極シートの観察方法。
【請求項８】
前記可視光は、前記樹脂シートの裏側から照射することを特徴とする請求項７に記載の透明電極シートの観察方法。
【請求項９】
前記樹脂シートと透明電極の光学的性質に差を生じさせる光は、前記透明電極の光透過率が５０％以下であって、前記樹脂シートを励起して蛍光発光する波長帯域の紫外線を少なくとも含む光であることを特徴とする請求項７または８に記載の透明電極シートの観察方法。
【請求項１０】
前記観察において、前記樹脂シートの裏側の光強度を測定することを特徴とする請求項７〜９のいずれか一つに記載の透明電極シートの観察方法。
【請求項１１】
前記観察において、３６５ｎｍ以上の波長帯域の光のみを透過させ、透過した可視域の波長に感度を有する画像を撮像することを特徴とする請求項７〜１０のいずれか一つに記載の透明電極シートの観察方法。
【請求項１２】
前記樹脂シートが蛍光発光した光の強度を基準として、暗い領域を透明電極が形成された領域と判別し、明るい領域を周辺回路電極が形成された領域と判別することを特徴とする請求項９に記載の透明電極シートの観察方法。
【請求項１３】
前記周辺回路電極が、導電性インクで形成された電極であることを特徴とする請求項７〜１２のいずれかに一つに記載の透明電極シートの観察方法。
【請求項１４】
前記樹脂シートが透明なプラスチックシートであることを特徴とする請求項７〜１３のいずれか一つに記載の透明電極シートの観察方法。
【請求項１５】
前記透明なプラスチックシートがポリエチレンテレフタレートを主成分とすることを特徴とする請求項１４に記載の透明電極シートの観察方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、透明電極シートの観察装置および透明電極シートの観察方法に関するもので、特に、樹脂シートの表面に透明電極と周辺回路電極とが形成された透明電極シートの観察装置および透明電極シートの観察方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
樹脂シートの表面に透明電極が形成された透明電極シートを観察する場合には、紫外線領域における分光スペクトル特定の差異を利用したパターンの可視化による手法が一般的であった（たとえば、特許文献１または２参照）。
【０００３】
近年、パターンをフィルム上に形成するようになってきたが、フィルムの紫外線透過率がガラスに比べて低いこともあり、従来の手法ではパターンをコントラストよく認識することが難しかった。また、紫外線透過率を可視化する手法の場合、透明電極パターンとドライブＩＣを繋ぐ周辺回路電極の部分も、透明電極の部分と同じく暗領域として扱われるため、得られた画像からはその暗領域が透明電極なのか周辺回路電極なのかを判別することは難しかった。
【０００４】
なお、タッチパネルの品質管理において、周辺回路電極の透明電極へのはみ出しは、製品として供することのできない欠点となる。たとえば液晶パネルのタッチセンサとして使用する場合には、周辺回路電極のはみ出しは液晶画面を遮ることとなり、製品として供することのできない欠点となる。また、透明電極と周辺回路電極との接合がずれると、断線や短絡、接合間違いにより、製品として供することのできない欠点となる。
【０００５】
そのため、従来は主に以下の２手法の組み合わせにより、透明電極と周辺回路電極の接合に問題がないかを確認していた。
（１）電気的な導通チェック
透明電極パターン付フィルムについては以前より電気回路パターンの検査に用いられることが多い、電気的な同通チェックが行われていたが、電気チェックでは、パターンの細りや太りが判別できず、またオープンやショートは検査できても、その位置が特定できない。
（２）周辺回路電極単独の自動外観検査
従来より存在する光学式自動外観検査装置（ＡＯＩ）により、通常の光学系で可視化可能な周辺回路電極を検査する。この場合、周辺回路のパターン形状の確からしさは概ね正確に品質を評価することは可能であるが、透明電極との接合状態については確認することができない。そのため、（１）の結果より導通の有無を確認するのみで、どの程度の精度で透明電極と周辺回路電極とが重ねあわされているかを確認することはできなかった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平４−２８２４４１号公報
【特許文献２】特開２０１０−１７５４３３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
以上の理由から、生産量も増え、パターンもますます微細化していく傾向にある透明電極パターンの歩留りを向上させるため、透明電極パターンと周辺回路電極パターンを同時に観察することは非常に意義があるものであった。
【０００８】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、樹脂シートの表面に形成された透明電極と周辺回路電極とを同時に観察することができる透明電極シートの観察装置および透明電極シートの観察方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、樹脂シートの表面に透明電極とその周辺回路電極とが形成された透明電極シートに樹脂シートと透明電極の光学的性質に差を生じさせる光を照射する第１の光照射手段と、前記透明電極シートに可視光を照射する第２の光照射手段と、前記第１の光照射手段から照射した光と前記第２の光照射手段から照射した可視光とが作用した透明電極シートを観察する観察手段とを備えたことを特徴とする。
【００１０】
また、本発明は、上記発明において、前記第２の光照射手段は、前記樹脂シートの裏側から光を照射することを特徴とする。
【００１１】
また、本発明は、上記発明において、前記第１の光照射手段は、前記透明電極の光透過率が５０％以下であって、前記樹脂シートを励起して蛍光発光する波長帯域の紫外線光を少なくとも含む光を照射することを特徴とする。
【００１２】
また、本発明は、上記発明において、前記観察手段は、前記樹脂シートの裏側の光の強度を測定する光強度測定手段を有することを特徴とする。
【００１３】
また、本発明は、上記発明において、前記観察手段は、３６５ｎｍ以上の波長帯域の光のみを透過する光学フィルタ手段と、前記光学フィルタ手段を透過した可視域の波長に感度を有する画像を撮影する撮像手段とを備えたことを特徴とする。
【００１４】
また、本発明は、上記発明において、前記樹脂シートが蛍光発光した光の強度を基準として、暗い領域を透明電極が形成された領域と判別し、明るい領域を周辺回路電極が形成された領域と判別する判別手段を備えたことを特徴とする。
【００１５】
また、本発明は、樹脂シートの表面に透明電極とその周辺回路電極とが形成された透明電極シートに樹脂シートと透明電極の光学的性質に差を生じさせる光と可視光とを照射し、前記樹脂シートと透明電極の光学的性質に差を生じさせる光と前記可視光とが作用した透明電極シートを観察することを特徴とする。
【００１６】
また、本発明は、上記発明において、前記可視光は、前記樹脂シートの裏側から照射することを特徴とする。
【００１７】
また、本発明は、上記発明において、前記樹脂シートと透明電極の光学的性質に差を生じさせる光は、前記透明電極の光透過率が５０％以下であって、前記樹脂シートを励起して蛍光発光する波長帯域の紫外線を少なくとも含む光であることを特徴とする。
【００１８】
また、本発明は、上記発明の観察において、前記樹脂シートの裏側の光強度を測定することを特徴とする。
【００１９】
また、本発明は、上記発明の観察において、３６５ｎｍ以上の波長帯域の光のみを透過させ、透過した可視域の波長に感度を有する画像を撮像することを特徴とする。
【００２０】
また、本発明は、上記発明において、前記樹脂シートが蛍光発光した光の強度を基準として、暗い領域を透明電極が形成された領域と判別し、明るい領域を周辺回路電極が形成された領域と判別することを特徴とする。
【００２１】
また、本発明は、上記発明において、前記周辺回路電極が、導電性インクで形成された電極であることを特徴とする。
【００２２】
また、本発明は、上記発明において、前記樹脂シートが透明なプラスチックシートであることを特徴とする。
【００２３】
また、本発明は、上記発明において、前記透明なプラスチックシートがポリエチレンテレフタレートを主成分とすることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２４】
本発明にかかる透明電極シートの観察装置は、樹脂シートの表面に透明電極とその周辺回路電極とが形成された透明電極シートに樹脂シートと透明電極の光学的性質に差を生じさせる光を照射する第１の光照射手段と、前記透明電極シートに可視光を照射する第２の光照射手段と、前記第１の光照射手段から照射した光と前記第２の光照射手段から照射した可視光とが作用した透明電極シートを観察する観察手段とを備えたので、樹脂シートの表面に形成された透明電極と周辺回路電極とを同時に観察することができる。
【００２５】
本発明にかかる透明電極シートの観察方法は、樹脂シートの表面に透明電極とその周辺回路電極とが形成された透明電極シートに樹脂シートと透明電極の光学的性質に差を生じさせる光と可視光とを照射し、樹脂シートと透明電極の光学的性質に差を生じさせる光と可視光とが作用した透明電極シートを観察するので、樹脂シートの表面に形成された透明電極と周辺回路電極とを同時に観察することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】図１は、本発明の実施の形態で観察する透明電極と周辺回路電極が形成された樹脂シートを示す模式図である。
【図２】図２は、図１に示した樹脂シートの蛍光スペクトルを示す図である。
【図３】図３は、図１に示した透明電極の分光透過率を示す図である。
【図４】図４は、本発明の実施の形態１である透明電極シートの観察装置を示す概念図である。
【図５】図５は、図４に示した透明電極シートの観察装置の制御構成を示すブロック図である。
【図６】図６は、図４および図５に示した透明電極シートの観察装置で得られる画像を示す図である。
【図７】図７は、透明電極が形成された側から樹脂シートに紫外線光を照射し、撮像した画像を示す模式図である。
【図８】図８は、図６に示した画像から透明電極が形成された領域を抽出した画像を示す模式図である。
【図９】図９は、図６に示した画像から周辺回路電極が形成された領域を抽出した画像を示す模式図である。
【図１０】図１０は、透明電極と周辺回路電極の検査手法を説明するための説明図である。
【図１１】図１１は、図１０に示した検査手法と異なる検査手法を説明するための説明図である。
【図１２】図１２は、透明電極と周辺回路電極との関係を観察した例を示す図である。
【図１３】図１３は、本発明の実施の形態２である透明電極シートの観察装置を示す概念図である。
【図１４】図１４は、本発明の実施の形態３である透明電極シートの観察装置を示す概念図である。
【図１５】図１５は、本発明の実施の形態４である透明電極シートの観察装置を示す概念図である。
【図１６】図１６は、膜内干渉を説明する図である。
【図１７】図１７は、本発明の実施の形態５である透明電極シートの観察装置を示す概念図である。
【図１８】図１８は、Ｐ偏光の屈折率特性を例示した図である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下に、本発明にかかる透明電極シートの観察装置および透明電極シートの観察方法の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。
【００２８】
図１は、本発明の実施の形態で観察する透明電極と周辺回路電極が形成された樹脂シートを示す模式図である。図１に示すように、本発明の実施の形態で観察する透明電極Ｐと周辺回路電極Ｃが形成された樹脂シートＦは、合成樹脂による有機系材料のシートであって、紫外線光を照射した場合に照射した紫外線光によって励起され、蛍光発光する組成を有するものである。具体的には、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）の樹脂シートのほか、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、ポリカーボネート、ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）、環状ポリオレフィン（ＣＯＰ）、透明ポリイミドなどの樹脂シートを用いることができるが、本実施の形態では、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）を主成分とする樹脂シート（以下、「ＰＥＴシート」という）を用いることにする。なお、樹脂シートＦには、樹脂シートＦの片面または両面に、ウェットコーティングやドライコーティングしたものが含まれる。具体的には、接着性やブロッキング性、透明性などを向上させるため、表面または裏面に、アクリル系やポリエステル系、ウレタン系などのコーティング材、または、純金属、各種合金などの金属材料、もしくは、酸化物などの化合物材料による機能性膜が付与されたものが含まれる。
【００２９】
一方、本発明の実施の形態で観察する透明電極Ｐは、樹脂シートＦの表面に形成された透明な電極であって、酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）のほか、酸化亜鉛（ＺｎＯ）、高分子膜などで形成することができるが、本実施の形態では、ＩＴＯの薄膜で形成するものとする。
【００３０】
他方、本発明の実施の形態で観察する周辺回路電極Ｃは、回路の配線材料として一般的に使用される金銀銅などの金属電極材料、またはこれらの微粒子を塗料混合した導電性ペーストなどで形成することができるが、本実施の形態では、導電性ペーストを用いた周辺回路電極とする。
【００３１】
図２は、図１に示した樹脂シートの蛍光スペクトル、具体的には、波長２５４ｎｍの紫外線光を照射した場合のＰＥＴシートの蛍光スペクトルを示す図であって、光の波長（Ｗａｖｅｌｅｎｇｔｈ）（ｎｍ）を横軸に、光の強度（ｉｎｔｅｎｓｉｔｙ）を縦軸に示したものである。図２に示すように、ＰＥＴシートの蛍光スペクトルにおいて、波長が４０６ｎｍのときに強度が最大となり、３６５ｎｍ以上の波長帯域の光は、強度が０．１以上となる。
【００３２】
図３は、図１に示した透明電極の分光透過率、具体的には、ＩＴＯの分光透過率を示す図であって、光の波長（Ｗａｖｅｌｅｎｇｔｈ）（ｎｍ）を横軸に、光透過率（Ｔ）(％)を縦軸に示したものである。図３に示すように、ＩＴＯの分光透過率において、３３２ｎｍ以下の波長帯域の光は、光透過率が５０％以下となり、３０７ｎｍ以下の波長帯域の光は、光透過率が１％以下となる。
【００３３】
［実施の形態１］
図４は、本発明の実施の形態１である透明電極シートの観察装置を示す概念図であり、図５は、図４に示した透明電極シートの観察装置の制御構成を示すブロック図である。本発明の実施の形態１である透明電極シートの観察装置は、樹脂シートＦの表面に形成された透明電極Ｐと周辺回路電極Ｃとを観察するもので、図４に示すように、第１の光照射手段１００、第２の光照射手段２００、観察手段３００を備えている。
【００３４】
第１の光照射手段１００は、樹脂シートＦと透明電極Ｐの光学的性質（屈折率、反射率、透過率、吸収率）に差を生じさせる光を透明電極Ｐが形成された側（表側）から樹脂シートＦに照射するものである。具体的には、樹脂シートＦの表面に形成された透明電極Ｐの光透過率が５０％以下となる波長帯域の紫外線光を含む光を透明電極Ｐが形成された側から樹脂シートＦに照射する光源１である。光源１が、樹脂シートＦの表面に形成された透明電極Ｐの光透過率が５０％以下となる波長帯域の紫外線光を含む光を照射するのは、樹脂シートＦを励起し、蛍光発光させる一方、透明電極Ｐに紫外線光を遮断させるためであり、紫外線光が照射され、励起されると、樹脂シートＦは蛍光発光して明るくなる一方、紫外線光が遮断され、紫外線光がほとんど到達しないと樹脂シートＦは暗くなる。したがって、紫外線光が照射され、励起された部位（樹脂シートＦ）は蛍光発光することにより明るくなり、紫外線光が遮断され、紫外線光がほとんど到達しなかった部位（樹脂シートＦ）は暗くなる。これにより、可視光では視認することが困難な透明電極Ｐの形状を特定できる。なお、透明電極Ｐについてより鮮明な像が求められる場合には、透明電極Ｐの光透過率が１％以下となる波長帯域の紫外線光を照射する光源１を用いる。
【００３５】
図３に示すように、ＩＴＯの光透過率が５０％以下となるのは、３３２ｎｍ以下の波長帯域であり、透明電極ＰにＩＴＯの薄膜を用いる場合には、３３２ｎｍ以下、より好ましくは３００ｎｍ以下の波長帯域の紫外線光を含む光を照射する光源１を用いる。本実施の形態では、２００〜３００ｎｍの波長帯域の紫外線光、たとえば、２５４ｎｍの波長の紫外線光を照射する低圧水銀灯を用いる。
【００３６】
なお、光源１が照射する紫外線光の波長帯域の制限は、透明電極Ｐの形状の特定に作用する波長帯域について規定するものである。光透過率が５０％以上の波長帯域の光が照射されても、後述する観察手段３００で測定される光の強度に占めるオフセット成分の比率が増加するだけある。オフセット成分の比率が増加しても、樹脂シート上の透明電極Ｐとそれ以外の部分との判別には影響がないことから、光源１が照射する紫外線光には、透過率が５０％以上の波長帯域の光が含まれていても良い。
【００３７】
また、図４に示す例において、第１の光照射手段１００は、照射する光が樹脂シートＦと直交するように配置してあるが、透明電極Ｐが形成された側から樹脂シートＦに向けて照射する位置に配置してあれば、樹脂シートＦに対しての角度は問わない。
【００３８】
第２の光照射手段２００は、樹脂シートＦと周辺回路電極Ｃの光学的性質に差を生じさせる光を透明電極Ｐが形成された側と反対となる側（裏側）から樹脂シートＦに照射するものである。具体的には、樹脂シートＦと透明電極Ｐを透過する一方、周辺回路電極Ｃに反射する可視光を含む光を樹脂シートＦに照射する光源２で、本実施の形態では、透明電極Ｐが形成された側と反対となる側（裏側）から樹脂シートＦに可視光を含む光を照射する光源２を用いる。本実施の形態では、特定の波長帯域に偏ったスペクトルを照射する光源、たとえば、赤／青／緑色のＬＥＤ光源を用いることができるが、ここでは、白色光を照射する白色ＬＥＤ光源を用いる。
【００３９】
また、光源２が透明電極Ｐが形成された側と反対となる側（裏側）から樹脂シートＦに可視光を含む光を照射するのは、導電性インクのように、表面が平坦でない材料で周辺回路電極Ｃを形成しても、樹脂シートＦとの界面は概ね平坦となるので、周辺回路電極Ｃのエッジ部分まで正確な形状を可視化できるからである。
【００４０】
なお、樹脂シートＦからの蛍光に対してオフセット成分が乗らないように、可視光を照射する光源２の光軸がカメラの光軸と一致しない位置に配置するのが好ましい。しかしながら、周辺回路電極Ｃと樹脂シートＦの接合面形状がたとえば光沢調であった場合、光軸が一致しない位置からの光はカメラには受光されない。これにより、周辺回路電極Ｃを可視化することができないため、同軸落射を含む正反射条件でカメラと可視光による第２の光源を配置してもよい。
【００４１】
また、光源１と光源２は、一つにまとめても良く、たとえば、高圧水銀灯光源から３００ｎｍ以下の波長帯域の紫外線光成分のみを取り出すフィルタを経由した光を樹脂シートＦの表側から照射し、３６５ｎｍ以上の波長帯域の光成分のみを取り出すフィルタを経由した光を裏側から照射してもよい。
【００４２】
観察手段３００は、第１の光照射手段１００（光源１）から照射された紫外線光によって励起され、蛍光発光するとともに、第２の光照射手段２００（光源２）から照射された可視光が反射した樹脂シートＦを観察するためのもので、蛍光発光した樹脂シートＦの光の強度と反射した光の強度を測定する測定手段３２０と、測定手段３２０が測定した光の強度に基づいて、透明電極Ｐの形状や周辺回路電極Ｃを計測する計測手段３３０とを備えている。
【００４３】
蛍光発光した樹脂シートＦの光の強度と反射した光の強度を測定するのは、所定値（たとえば、０．１）以上の光の強度を有する可視光を透過する光学フィルタ（光学フィルタ手段）３２であり、光学フィルタ３２を透過した可視光は所定値（たとえば、０．１）以上の強度を有することになる。また、光学フィルタ３２により、光源１から照射される可視光成分や外乱光などのノイズ成分が除去される。
【００４４】
図２に示すように、波長２５４ｎｍの紫外線光を照射した場合のＰＥＴシートの蛍光スペクトルにおいて、強度が０．１以上となるのは、３６５ｎｍ以上の波長帯域であり、樹脂シートＦにＰＥＴシートを用いる場合には、３６５ｎｍ以上の波長帯域の光を透過する光学フィルタを用いる。本実施の形態では、４００〜５００ｎｍの波長帯域の光を透過する光学フィルタ３２を用いる。
【００４５】
透明電極Ｐの形状を計測するのは、光学フィルタ（光学フィルタ手段）３２を透過した可視域の波長に感度を有するカメラ（撮像手段）３３であり、カメラ３３が撮影した画像は、図６に示すように、樹脂シートＦが蛍光発光した部位（画像ＦＡ）の光の強度を基準として、透明電極Ｐが形成された部位(画像ＰＡ)は暗く表され、周辺回路電極Ｃが形成された部位（画像ＣＡ）は明るく表される。
【００４６】
なお、樹脂シートＦからの蛍光は、波長が４００〜５００ｎｍにピークを有する光であるので、紫外線に感度を有さないレンズ・カメラを選定すればよく、光源１の光軸上にカメラ３３を設置しても紫外線光は受光しない。また、カメラ３３の全面に光学フィルタ３２を設置することにより、光源１から照射した可視光成分や外乱光などのノイズ成分を除去し、コントラストよく蛍光による透明電極パターン形状画像を撮像することができる。
【００４７】
透明電極シートの観察装置は、さらに、検査手段４００を備えている。検査手段４００は、上述したカメラ（撮像手段）３３が撮影した画像に基づいて、透明電極Ｐと周辺回路電極Ｃとを検査するもので、透明電極Ｐと周辺回路電極Ｃとのズレを検査する。検査手段４００は、図１０に示すように、カメラ３３が撮影した画像を二値化し、予め設定され、メモリに記憶されたマスタ画像と比較し、透明電極Ｐの画像ＰＡと周辺回路電極Ｃの画像ＣＡとのズレを明示する。具体的には、図８に示すように、撮像画像から透明電極Ｐの画像ＰＡのみが観察されるように、二値化し、また、図９に示すように、撮像画像から周辺回路電極Ｃの画像ＣＡのみが観察されるように二値化する。そして、それぞれの画像についてマスタ画像ＭＰＡ，ＭＣＡとの位置ズレ量を測定し、その位置ズレ測定量の差を求める。このように、位置ズレ測定量の差を求めれば、検査対象パターンにおける透明電極Ｐと周辺回路電極Ｃの位置ズレ量を抽出することができる。そして、このように求めた位置ズレ量を、予め定めた閾値と比較することにより、欠点か否かを判定する。
【００４８】
上述した本発明の実施の形態１である透明電極シートの観察装置を用いた透明電極シートの観察方法では、まず、樹脂シートＦと透明電極Ｐの光学的性質に差を生じさせる光を透明電極が形成された側（表側）から樹脂シートＦに照射するとともに、樹脂シートＦと周辺回路電極Ｃの光学的性質に差を生じさせる光を透明電極が形成された側と反対となる側（裏側）から樹脂シートＦに照射する。樹脂シートＦと透明電極Ｐの光学的性質に差を生じさせる光は、透明電極Ｐの光透過率が５０％以下となる波長帯域の紫外線光を含む光であり、樹脂シートＦと周辺回路電極Ｃの光学的性質に差を生じさせる光は、樹脂シートＦと透明電極Ｐを透過する一方、周辺回路電極Ｃに反射する可視光を含む光である。
【００４９】
樹脂シートＦの表面に形成された透明電極Ｐの光透過率が５０％以下となる波長帯域の紫外線光を含む光を照射するのは、樹脂シートＦを励起し、蛍光発光させる一方、透明電極Ｐに光を遮断させるためであり、紫外線光が照射され、励起されると、樹脂シートＦは蛍光発光して明るくなる一方、紫外線光が遮断され、紫外線光がほとんど到達しないと樹脂シートＦは暗くなる。したがって、紫外線光が照射され、励起された部位（樹脂シートＦ）は蛍光発光することにより明るくなり、紫外線光が遮断され、紫外線光が到達しなかった部位（樹脂シートＦ）の画像ＦＡは暗くなる。これにより、可視光では視認することが困難な透明電極Ｐの形状を特定できる。なお、透明電極Ｐについてより鮮明な像が求められる場合には、透明電極Ｐの光透過率が１％以下となる波長帯域の紫外線光を照射する光源を用いる。
【００５０】
図３に示すように、ＩＴＯの光透過率が５０％以下となるのは、３３２ｎｍ以下の波長帯域であり、透明電極ＰにＩＴＯの薄膜を用いる場合には、３３２ｎｍ以下の波長帯域の紫外線光を含む光を照射する。本実施の形態では、２００〜３００ｎｍの波長帯域の紫外線光、たとえば、２５４ｎｍの波長の紫外線光を照射する。
【００５１】
そして、照射された紫外線光によって励起され、蛍光発光した樹脂シートＦを観察する。具体的には、蛍光発光した樹脂シートＦの光の強度を測定し、測定した光の強度に基づいて、透明電極Ｐの形状を計測する。
【００５２】
蛍光発光した樹脂シートＦの光の強度を測定するのは、所定値（たとえば、０．１）以上の光の強度を有する光学フィルタ（光学フィルタ手段）３２であり、光学フィルタ３２を透過した光は所定値（たとえば、０．１）以上の強度を有することになる。また、光学フィルタ３２により、光源１から照射される可視光成分や外乱光などのノイズ成分が除去される。
【００５３】
図２に示すように、波長２５４ｎｍの紫外線光を照射した場合のＰＥＴシートの蛍光スペクトルにおいて、強度が０．１以上となるのは、３６５ｎｍ以上の波長帯域であり、樹脂シートＦにＰＥＴシートを用いる場合には、３６５ｎｍ以上の波長帯域の光を透過する光学フィルタを用いる。本実施の形態では、４００〜５００ｎｍの波長帯域の光を透過する光学フィルタ３２を用いる。
【００５４】
透明電極Ｐの形状を計測するのは、光学フィルタ（光学フィルタ手段）３２を透過した可視域の波長に感度を有するカメラ（撮像手段）３３であり、カメラ３３が撮影した画像は、図６に示すように、樹脂シートＦが蛍光発光した光の強度を基準として、透明電極Ｐが形成された部位は暗く表され、周辺回路電極Ｃが形成された部位は明るく表される。
【００５５】
図６は、本発明の実施の形態１である透明電極シートの観察装置で得られる画像を示す模式図である。図６に示すように、透明電極Ｐや周辺回路電極Ｃは光源１からの光を反射・吸収するため、その下の樹脂シートＦに照射する紫外線は樹脂シートＦが表側に表れる領域に照射する紫外線よりも少なくなり、透明電極Ｐは暗く撮像される。これに対して樹脂シートＦが表側に表れる領域は、紫外線が直接照射されるので、その表面が励起されて、蛍光発光し、明るく撮像される。周辺回路電極Ｃは、可視光が樹脂シートの裏側から照射されるので、樹脂シートＦと周辺回路電極Ｃの接合面で光が反射・散乱する。この成分をカメラ３３が受光するので、明るく撮像される。これにより、紫外線光を照射する光源１と可視光を照射する光源２の光量をコントロールすることにより、領域ごとの明るさの順位は、周辺回路電極Ｃが形成された領域、樹脂シートのみの領域、透明電極Ｐが形成された領域の順になる。
【００５６】
図７は、透明電極が形成された側から樹脂シートに紫外線光を照射し、撮像した画像を示す模式図である。図７に示すように、周辺回路電極Ｃでは、紫外線照明が遮られるため、暗く撮像されるが、周辺回路電極Ｃが導電性ペーストで形成されている場合、その表面形状は、塗材の表面張力によりエッジに向かって緩やかな勾配で傾斜する凸形状となる。これにより、周辺回路電極Ｃはその位置、線幅などによって厚みが異なることになり、光源１からの光の可視光成分の透過率に差が生じる。すなわち、エッジに近い部分や線幅が細い部分は、線幅が太い部分の厚みがある部分に比べて光透過率が高いため、樹脂シートＦが表面に表れた領域や透明電極Ｐが形成された領域では一様な明るさが観測されたとしても、周辺回路電極Ｃが形成された領域では明るさにムラのある画像ＣＡが取得される。すなわち、周辺回路電極Ｃのエッジ部分や線幅の細い部分は明るく、線幅の太い中央部分は暗く撮像される。
【００５７】
図８は、図６に示した画像から透明電極が形成された領域を抽出した画像を示す模式図である。樹脂シートＦが表側に表れる領域の明るさと透明電極Ｐが形成された領域の明るさとの間に閾値を設定することにより、図８に示すように、透明電極Ｐが形成された領域の画像ＰＡが抽出できる。
【００５８】
図９は、図６に示した画像から周辺回路電極が形成された領域を抽出した画像を示す模式図である。樹脂シートＦが表側に表れる領域の明るさと透明電極Ｐが形成された領域の明るさとの間に閾値を設定することにより、図９に示すように、周辺回路電極Ｃが形成された領域の画像ＣＡが抽出できる。
【００５９】
つぎに、上述したカメラ(撮像手段)３３が撮影した画像に基づいて、透明電極Ｐと周辺回路電極Ｃとを検査する。
【００６０】
図１０は、透明電極と周辺回路電極の検査手法を説明するための説明図である。図１０（ａ）に示すように、まず、透明電極Ｐのみを二値化した画像ＰＡから、マスタ画像ＭＰＡとのズレ量（ΔＰｘ，ΔＰｙ）を計測する。つづいて、図１０（ｂ）に示すように、周辺回路電極Ｃのみを二値化した画像ＣＡからマスタ画像ＭＣＡとのズレ量（ΔＣｘ，ΔＣｙ）を計測する。最後に透明電極Ｐと周辺回路電極Ｃのズレ量を下式（数１）により求める。
【００６１】
【数１】
2014048121.tif 000003
【００６２】
このズレ量が、予め定めた閾値を超える場合に、欠陥と判定する。
【００６３】
なお、透明電極と周辺回路電極の検査は、上記の方法に限られるものではない。図１１は、図１０に示した検査手法と異なる検査手法を説明するための説明図である。図１１に示すように、予め撮像した基準となる画像を二値化し、検査用標準パターンＭとして、これをメモリに記憶させる。つぎに、検査対象となる透明電極シートを撮像して二値化する。図１１に示す例では、透明電極Ｐと周辺回路電極Ｃとが同じ暗領域として二値化されるように、下記のルールで二値化する。（１）暗領域は、閾値１よりも暗い領域、または、閾値２よりも明るい領域。（２）明領域は、閾値１と閾値２の間の明るさの領域。
【００６４】
図１１に示すように、二値化した画像について、メモリに記憶されている検査用標準パターンＭとの位置ズレを補正した後、排他的論理和を求めると、検査対象パターンの検査用標準パターンＭとの差異部分のみが抽出できる。この抽出した欠点候補の面積を計測し、欠陥かどうかを判定する。
【００６５】
上記の方法は、検査の規準となる検査用標準パターンＭを実際に透明電極Ｐが形成された樹脂シートＦから取得しているが、ＣＡＤなどの設計データから取得してもよい。また、予め定める閾値に応じて検査用標準パターンＭの線幅を太り／細り処理させても良い。また、検査方法自体を良品比較法ではなく、パターンの線幅を網羅的に測定する方法を用いても良い。また、実施の形態では、検査対象の二値化画像を透明電極Ｐが形成された領域と周辺回路電極Ｃが形成された領域とを合成するものとしたが、透明電極Ｐが形成された画像ＰＡと、周辺回路電極Ｃが形成された画像ＣＡとをそれぞれ検査してもよい。
【００６６】
図１２は、透明電極と周辺回路電極との関係を観察した例を示す図である。（ａ）は、透明電極Ｐと周辺回路電極Ｃとが適正な関係にある例で、境界Ｅを境に透明電極Ｐ（画像ＰＡ）と周辺回路電極Ｃ（画像ＣＡ）とが接する。（ｂ）は、周辺回路電極Ｃ（画像ＣＡ）が境界Ｅをはみ出して形成された例で、（ｃ）は、透明電極Ｐ（画像ＰＡ）に対して周辺回路電極Ｃ（画像ＣＡ）が横方向にΔｌずれて形成された例である。このように、周辺回路電極Ｃが境界Ｅをはみ出して形成されたり、透明電極Ｐに対して周辺回路電極Ｃが横方向にずれて形成されたりすると、透明電極シートとして用いる際に、液晶や有機ＥＬなどの画面表示部分を遮ることになったり、透明電極Ｐからの信号を正しく周辺回路電極Ｃに伝えることができなかったりする原因となる。このため、電極間のずれ量の検査が必要である。このようなはみ出し量の検査は、透明電極Ｐと周辺回路電極Ｃの位置が同時に可視化できる本発明の実施の形態である光学系によって、初めて実現できる。たとえば、周辺回路電極Ｃのパターン自体は正常でも、形成位置が全体的にあるべき位置からシフトしているような不良の場合、高精度に検査するには同時撮像による検査が、単体での検査よりも高精度にずれ量を検知可能である。
【００６７】
上述した本発明の実施の形態である透明電極シートの観察装置は、樹脂シートＦの表面に形成された透明電極Ｐの光透過率が５０％以下となる２００〜３００ｎｍの波長帯域の紫外線光を透明電極Ｐが形成された側（表側）から樹脂シートＦに照射するとともに、可視光を透明電極Ｐが形成された側と反対となる側から樹脂シートＦに照射し、樹脂シートを観察するので、樹脂シートＦが蛍光発光した光の強度を基準として、透明電極Ｐが形成された部位(画像ＰＡ)は暗く表され、周辺回路電極Ｃが形成された部位(画像ＣＡ)は明るく表される。これにより、透明電極Ｐの形状と周辺回路電極Ｃの形状とを特定でき、透明電極シートの検査に必要な測定精度を得ることができる。
【００６８】
なお、透明電極Ｐを観察する方法には、紫外線蛍光方式（透過）、紫外線蛍光方式（反射）、反射率方式（膜内干渉）、Ｐ偏光反射率方式などが想定される。以下、具体的に説明する。
【００６９】
［実施の形態２］
図１３は、本発明の実施の形態２である透明電極シートの観察装置を示す概念図である。本発明の実施の形態２である透明電極シートの観察装置は、紫外線蛍光方式（透過）を採用したもので、透明電極Ｐが形成された側（表側）から樹脂シートＦに紫外線を照射し、透明電極Ｐが形成された側と反対となる側（裏側）で樹脂シートＦを観察するものである。
【００７０】
本発明の実施の形態２である透明電極シートの観察装置は、透明電極Ｐが形成された領域で紫外線が反射吸収され、透明電極Ｐが形成されていない領域（樹脂シートＦが表面に表れる領域）に紫外線が直接照射されるため、当該領域で樹脂シートＦは励起され、蛍光発光する。この蛍光を透明電極Ｐが形成された側と反対となる側（裏側）で観察すると、樹脂シートＦが蛍光発光する領域の光を受光できる。なお、紫外線光は、樹脂シートＦを透過しないので、観察に際して用いる撮像手段は、紫外線を遮断するフィルタを用意しなくても、透明電極Ｐが形成された領域が影となった像を撮像できる。
【００７１】
［実施の形態３］
図１４は、本発明の実施の形態３である透明電極シートの観察装置を示す概念図である。本発明の実施の形態３である透明電極シートの観察装置は、紫外線蛍光方式（反射）を採用したもので、透明電極Ｐが形成された側（表側）から樹脂シートＦに紫外線を照射し、透明電極Ｐが形成された側（表側）で樹脂シートＦを観察するものである。
【００７２】
本発明の実施の形態３である透明電極シートの観察装置は、透明電極Ｐが形成された領域で紫外線が反射吸収され、透明電極Ｐが形成されていない領域（樹脂シートＦが表面に表れる領域）に紫外線が直接照射されるため、当該領域で樹脂シートＦは励起され、蛍光発光する。この蛍光を透明電極Ｐが形成された側（表側）で観察すると、樹脂シートＦが蛍光発光する領域の光を受光できる。なお、撮像手段が紫外線光を受光しない構成としておけば、本実施の形態では４００〜５００ｎｍの波長帯域にピークを有する光である蛍光成分を受光できる。これにより、透明電極Ｐが形成された領域が影となった像を撮像できる。
【００７３】
［実施の形態４］
図１５は、本発明の実施の形態４である透明電極シートの観察装置を示す概念図である。本発明の実施の形態４である透明電極シートの観察装置は、反射率方式（膜内干渉）を採用したもので、透明電極Ｐが形成された側（表側）から樹脂シートＦに光を照射し、その入射角に対応する受光角上に撮像手段を配置する。これにより、図１６（ａ）に示すように、樹脂シートＦが表面に表われる領域では入射光と反射光に位相のずれは生じない。一方、透明電極Ｐが形成された部分では、図１６（ｂ）に示すように、樹脂シートＦと透明電極Ｐの界面で反射した光と、透明電極Ｐの表面で反射した光に光路差があるため位相がずれることにより、互いに干渉する膜内干渉が生じ、図１６（ｃ）のように、光が弱められる。なお、膜内干渉しても、位相が一致すれば、光が弱められることはない。この膜内干渉による反射率の低下によって、透明電極Ｐが形成された領域が、樹脂シートＦが表面に表われる領域よりも暗くなった像を撮像できる。なお、照射する光は、透明電極Ｐと樹脂シートＦとの間での反射率を高くするためにも、可視光よりも短い波長が好ましい。また、光の入射角度、反射角度は、正反射（入射角度と反射角度が同一）であれば、何度であってもよい。また、照射する光が樹脂シートＦを透過可能な条件の光であれば、光の照射は、透明電極Ｐが形成された側（表側）に限られるものではなく、裏側から照射するものであってもよい。
【００７４】
［実施の形態５］
図１７は、本発明の実施の形態５である透明電極シートの観察装置を示す概念図である。本発明の実施の形態５である透明電極シートの観察装置は、Ｐ偏光反射率方式を採用したもので、図１７に示すように、樹脂シートの光学特性値である屈折率により求められるブリュースター角（屈折率の異なる物質の界面においてＰ偏光の反射率が０となる入射角）で光を照射し、その正反射光を受光する。ブリュースター角は、樹脂シートＦのＰ偏光反射率がゼロとなるが、樹脂シートＦと屈折率の異なる物質では、Ｐ偏光の反射率がゼロとならないため、その反射率の差の分だけ、樹脂シートＦよりも透明電極Ｐは明るく撮像される。照射する光は、照射時点と撮像の時点でＰ偏光のみを照射／撮像できるように、偏光フィルタ１Ａなどを配置した構成とするのが好ましい。また、樹脂シートＦと透明電極Ｐとの屈折率の差を大きくするため、照射する光はできるだけ短波長のほうが好ましい。図１８は、Ｐ偏光の屈折率特性を例示した図である。光源１から照射する光の波長における屈折率が１．６となる樹脂シートの場合、Ｐ偏光は５７．９９度で反射率ゼロとなり、ブリュースター角は５７．９９度となる。光源１から照射する光の波長における屈折率が２．０となる透明電極Ｐは、５７．９９度近傍における樹脂シートＦの反射率が０％であるのに対して、０．６２％程度であるので、樹脂シートＦよりも反射率が高い分、明るく撮像される。
【００７５】
また、周辺回路電極Ｃを観察する方法には、樹脂シートの表側から光を照射する方式、樹脂シートの裏側から光を照射する方式が想定される。以下、具体的に説明する。
【００７６】
［実施の形態６］
本発明の実施の形態６である透明電極シートの観察装置は、樹脂シートの表側から光を照射する方式を採用したものである。撮像手段を透明電極が形成された側と反対となる側（裏側）に配置する場合、周辺回路電極で光が遮られた透過構成による像が撮像されるため、表側に樹脂シートが表れる領域は明るく、周辺回路電極が形成された領域は暗く撮像される。したがって、表側に樹脂シートが表れる領域を明るく撮像するためには、撮像手段の光軸と一致した位置から光を照射する必要がある。
【００７７】
一方、撮像手段を透明電極が形成された側（表側）に配置する場合、周辺回路電極が形成された領域では光が散乱・反射し、表側に樹脂シートが表れる領域では光が透過するため、表側に樹脂シートが表れる領域では暗く、周辺回路電極が形成された領域では明るく撮像される。なお、周辺回路電極の表面が平坦であれば、正反射構成を採用するのが好ましいが、周辺回路電極の表面が粗面であるなど、散乱が強い場合は、光軸をずらした散乱光受光構成を採用するのが好ましい。また、導電性インクのように、表面が平坦ではない形状の場合は、光の照射方法を全周方向から光を照射する、光照射面がたとえばリング状やドーム状などの形状で構成される無影照明などの構成を採用するのが好ましい。
【００７８】
［実施の形態７］
本発明の実施の形態７である透明電極シートの観察装置は、樹脂シートの裏側から光を照射する方式を採用したものである。撮像手段を透明電極が形成された側と反対側（裏側）に配置する場合、表側に樹脂シートが表れる領域は光が透過するが、樹脂シートと周辺回路電極の界面で光が散乱・反射するため、表側に樹脂シートが表れる領域は暗く、周辺回路電極が形成された領域は明るく撮像される。なお、樹脂シートの表面形状にもよるが、周辺回路電極と樹脂シートの界面は概ね平坦であるため、周辺回路の状態（表面状態、起伏の形状など）に関係なく、導通部分を正確に撮像できる。また、光照射手段と撮像手段とがなす角は、周辺回路電極の材質が純金属であるなど、光沢調で反射が高い材質の場合は正反射構成が好ましいが、そうでない場合は、光軸ずらした散乱光受光構成が好ましい。撮像面は、樹脂シートと周辺回路電極との界面となるので、光の照射方法を全周方向から光を照射する、無影照明などの構成は必要ない。
【００７９】
また、撮像手段を樹脂シートの表側に配置した場合、周辺回路電極を形成した領域では光が遮られ、表側に樹脂シートが表れる領域では光が透過するため、表側に樹脂シートが表れる領域は明るく、周辺回路電極が形成された領域は暗く撮像される。表側に樹脂シートが表れる領域を明るく撮像するためには、撮像手段の光軸に合わせた位置から光を照射する必要がある。
【００８０】
上述した本発明の実施の形態によれば、透明電極と周辺回路電極を同時に、かつ撮像結果から容易に電極種別を判別可能な状態で撮像することができる。これにより、透明電極シートにおける透明電極と周辺回路電極の形状だけでなく、重なり具合や、透明電極領域への周辺回路電極のはみ出し具合を、精度良く検査することができる。
【符号の説明】
【００８１】
１００    第１の光照射手段
１    光源
１Ａ    偏光フィルタ
２００    第２の光照射手段
２    光源
３００    観察手段
３２０    測定手段
３２    光学フィルタ
３３０    計測手段
３３    カメラ
４００    検査手段
Ｆ    樹脂シート
ＦＡ    画像
Ｐ    透明電極
ＰＡ    画像
ＭＰＡ    マスタ画像
Ｃ    周辺回路電極
ＣＡ    画像
ＭＣＡ    マスタ画像
Ｍ    検査用標準パターン
Ｅ    境界
【図１】
2014048121.tif 000004
【図２】
2014048121.tif 000005
【図３】
2014048121.tif 000006
【図４】
2014048121.tif 000007
【図５】
2014048121.tif 000008
【図８】
2014048121.tif 000009
【図９】
2014048121.tif 000010
【図１１】
2014048121.tif 000011
【図１３】
2014048121.tif 000012
【図１４】
2014048121.tif 000013
【図１５】
2014048121.tif 000014
【図１６】
2014048121.tif 000015
【図１７】
2014048121.tif 000016
【図１８】
2014048121.tif 000017
【図６】
2014048121.tif 000018
【図７】
2014048121.tif 000019
【図１０】
2014048121.tif 000020
【図１２】
2014048121.tif 000021