(57)【要約】【課題】搬送時における短冊状基板の取扱いを容易にし、短冊状基板の接触熱抵抗を低減して冷却することができる短冊状基板の搬送トレイ、その押さえ治具及びそれらの搬送方法を提供する。【解決手段】静電吸着板に一定の高さで凸設して複数設けた上面方形状の載置台に、複数の短冊状基板Ｂを搬送して載置する搬送トレイであって、平板状の板部１１と、各々の載置台を挿入可能に板部１１を方形状に貫通して形成した複数の貫通孔１２と、貫通孔１２の対面する１対の内面１２ａに各々形成すると共に、上面に複数の短冊状基板Ｂの端部を載置する段差部１３とを有し、当該搬送トレイを静電吸着板上に載置したときの段差部１３の上面を、載置台を凸設した高さより低くすると、複数の短冊状基板Ｂが段差部１３から離れて載置台の上面に載置される。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
静電吸着板に一定の高さで凸設して複数設けた上面方形状の載置台に、複数の短冊状基板を搬送して載置する搬送トレイであって、
平板状の第１の板部と、
各々の前記載置台を挿入可能に前記第１の板部を方形状に貫通して形成した複数の貫通孔と、
前記貫通孔の対面する１対の内面に各々形成すると共に、上面に複数の前記短冊状基板の端部を載置する段差部とを有し、
当該搬送トレイを前記静電吸着板上に載置したときの前記段差部の上面を、前記載置台を凸設した高さより低くしたことを特徴とする短冊状基板の搬送トレイ。
【請求項２】
静電吸着板に一定の高さで凸設して複数設けた上面方形状の載置台に、複数の短冊状基板を搬送して載置する搬送トレイであって、
平板状の第１の板部と、
各々の前記載置台を挿入可能に前記第１の板部を方形状に貫通して形成した複数の貫通孔と、
前記貫通孔の対面する１対の内面に各々形成すると共に、複数の前記短冊状基板の端部を挿入するコの字断面形状の溝部とを有し、
当該搬送トレイを前記静電吸着板上に載置したとき、前記溝部の下面を、前記載置台を凸設した高さより低くし、前記溝部の上面を、前記載置台の上面に載置した前記短冊状基板の上面の高さより高くしたことを特徴とする短冊状基板の搬送トレイ。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載の短冊状基板の搬送トレイにおいて、
隙間無く並べた複数の前記短冊状基板の端部の裏面に、当該裏面を貼り付ける貼付部材を設けて、前記段差部の上面又は前記溝部の下面に載置する場合、
当該搬送トレイを前記静電吸着板上に載置したときの前記段差部の上面又は前記溝部の下面を、前記載置台の高さから前記貼付部材の厚さを引いた高さより低くしたことを特徴とする短冊状基板の搬送トレイ。
【請求項４】
請求項１に記載の短冊状基板の搬送トレイにおいて、
各々の前記貫通孔に被せるトレイカバーを備え、
前記トレイカバーは、平板状の第２の板部と、前記貫通孔に対応して前記第２の板部を方形状に貫通して形成した第１の開口部と、前記第１の開口部の対面する１対の内面の下端の縁に沿って各々形成すると共に、前記段差部を形成した前記貫通孔の内面に挿入する凸設部とを有し、
前記貫通孔に前記トレイカバーを被せたときの前記凸設部の下面を、前記載置台の上面に載置した前記短冊状基板の上面の高さより高くしたことを特徴とする短冊状基板の搬送トレイ。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれか１つに記載の短冊状基板の搬送トレイにおいて、
複数の前記短冊状基板を前記貫通孔の内側に隙間無く並べる場合、前記貫通孔の前記内面とは異なる内面に、前記短冊状基板を保持する器具を出し入れ可能な空間を形成することを特徴とする短冊状基板の搬送トレイ。
【請求項６】
請求項１から請求項５のいずれか１つに記載の短冊状基板の搬送トレイの押さえ治具であって、
非金属材料の平板状の第３の板部と、前記貫通孔に対応して前記第３の板部を貫通して形成した複数の第２の開口部と、各々の前記第２の開口部の内面の下端の縁に沿って凸設した非金属材料の押さえ部とを有し、
前記搬送トレイを前記静電吸着板上に載置しているとき、前記搬送トレイ上に一時的に載せて、複数の前記短冊状基板を前記押さえ部と前記載置台とで挟み込むことを特徴とする短冊状基板の搬送トレイの押さえ治具。
【請求項７】
請求項１から請求項５のいずれか１つに記載の短冊状基板の搬送トレイの押さえ治具であって、
非金属材料の平板状の第３の板部と、前記貫通孔に対応して前記第３の板部を貫通して形成した複数の第２の開口部と、各々の前記第２の開口部に上下動可能に挿入した非金属材料の筒形状の押さえ部とを有し、
前記搬送トレイを前記静電吸着板上に載置しているとき、前記搬送トレイ上に一時的に載せて、複数の前記短冊状基板を前記押さえ部と前記載置台とで挟み込むことを特徴とする短冊状基板の搬送トレイの押さえ治具。
【請求項８】
請求項１から請求項５のいずれか１つに記載の短冊状基板の搬送トレイの押さえ治具であって、
金属材料の平板状の第３の板部と、前記貫通孔に対応して前記第３の板部を貫通して形成した複数の第２の開口部と、各々の前記第２の開口部の内部に配置した金属材料の押さえ部と、前記押さえ部を上面側から支持する金属材料の板バネとを有し、
前記搬送トレイを前記静電吸着板上に載置しているとき、前記搬送トレイ上に一時的に載せて、複数の前記短冊状基板を前記押さえ部と前記載置台とで挟み込むことを特徴とする短冊状基板の搬送トレイの押さえ治具。
【請求項９】
請求項６から請求項８のいずれか１つに記載の短冊状基板の搬送トレイ及びその押さえ治具の搬送方法であって、
複数の前記短冊状基板を載置した前記搬送トレイを前記静電吸着板上へ搬送した後に、前記搬送トレイ上に前記押さえ治具を搬送し、又は、複数の前記短冊状基板を載置した前記搬送トレイ上に前記押さえ治具を載せた後に、前記静電吸着板上へ前記搬送トレイ及び前記押さえ治具を搬送し、
複数の前記短冊状基板を前記押さえ治具の前記押さえ部と前記載置台とで挟み込んだ後に、複数の前記短冊状基板を前記載置台の上面に静電吸着し、
静電吸着後に、前記搬送トレイ上から前記押さえ治具を取り出すことを特徴とする短冊状基板の搬送トレイ及びその押さえ治具の搬送方法。
【請求項１０】
請求項９に記載の短冊状基板の搬送トレイ及びその押さえ治具の搬送方法において、
静電吸着の停止前に、前記搬送トレイ上に前記押さえ治具を搬送し、複数の前記短冊状基板を前記押さえ治具の前記押さえ部と前記載置台とで挟み込んだ後に静電吸着を停止し、
静電吸着の停止後に、前記静電吸着板上から前記押さえ治具と共に前記搬送トレイを取り出すことを特徴とする短冊状基板の搬送トレイ及びその押さえ治具の搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、短冊状基板の搬送トレイ、その押さえ治具及びそれらの搬送方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
通常の円板状の基板（ウェハ）上に半導体素子や磁気素子などのデバイスを多数形成し、その基板を短冊状に切断し、切断した短冊状基板に対して、成膜などの処理を行う必要がある場合がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−０６６６０１号公報
【特許文献２】特開２００６−０６６６０２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
短冊状基板に成膜などの処理を行う際、短冊状基板は薄く細長い形状であるため、搬送時などにおける取扱いが困難であった。
【０００５】
又、短冊状基板に形成されたデバイスが成膜などの処理中の温度上昇により故障するおそれがあるため、短冊状基板には上限温度（例えば、磁気抵抗素子では１５０〜２００℃）があり、上限温度を越えないように冷却する必要がある。
【０００６】
又、短冊状基板は、当初の基板から切り出して加工しているため、歪んでいることがある。その場合、成膜などの処理を行う際には、歪みによる接触熱抵抗を低減させる必要がある。
【０００７】
本発明は上記課題に鑑みなされたもので、搬送時における短冊状基板の取扱いを容易にし、短冊状基板の接触熱抵抗を低減して冷却することができる短冊状基板の搬送トレイ、その押さえ治具及びそれらの搬送方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決する第１の発明に係る短冊状基板の搬送トレイは、
静電吸着板に一定の高さで凸設して複数設けた上面方形状の載置台に、複数の短冊状基板を搬送して載置する搬送トレイであって、
平板状の第１の板部と、
各々の前記載置台を挿入可能に前記第１の板部を方形状に貫通して形成した複数の貫通孔と、
前記貫通孔の対面する１対の内面に各々形成すると共に、上面に複数の前記短冊状基板の端部を載置する段差部とを有し、
当該搬送トレイを前記静電吸着板上に載置したときの前記段差部の上面を、前記載置台を凸設した高さより低くしたことを特徴とする。
従って、複数の短冊状基板を載置した上記搬送トレイを静電吸着板上に載置したときには、複数の貫通孔に複数の載置台が各々挿入されると共に、複数の短冊状基板が段差部から離れて載置台の上面に載置されることになる。
【０００９】
上記課題を解決する第２の発明に係る短冊状基板の搬送トレイは、
静電吸着板に一定の高さで凸設して複数設けた上面方形状の載置台に、複数の短冊状基板を搬送して載置する搬送トレイであって、
平板状の第１の板部と、
各々の前記載置台を挿入可能に前記第１の板部を方形状に貫通して形成した複数の貫通孔と、
前記貫通孔の対面する１対の内面に各々形成すると共に、複数の前記短冊状基板の端部を挿入するコの字断面形状の溝部とを有し、
当該搬送トレイを前記静電吸着板上に載置したとき、前記溝部の下面を、前記載置台を凸設した高さより低くし、前記溝部の上面を、前記載置台の上面に載置した前記短冊状基板の上面の高さより高くしたことを特徴とする。
従って、複数の短冊状基板を載置した上記搬送トレイを静電吸着板上に載置したときには、複数の貫通孔に複数の載置台が各々挿入されると共に、複数の短冊状基板が、溝部の下面から離れ、且つ、溝部の上面に接触することなく、載置台の上面に載置されることになる。
【００１０】
上記課題を解決する第３の発明に係る短冊状基板の搬送トレイは、
上記第１又は第２の発明に記載の短冊状基板の搬送トレイにおいて、
隙間無く並べた複数の前記短冊状基板の端部の裏面に、当該裏面を貼り付ける貼付部材を設けて、前記段差部の上面又は前記溝部の下面に載置する場合、
当該搬送トレイを前記静電吸着板上に載置したときの前記段差部の上面又は前記溝部の下面を、前記載置台の高さから前記貼付部材の厚さを引いた高さより低くしたことを特徴とする。
【００１１】
上記課題を解決する第４の発明に係る短冊状基板の搬送トレイは、
上記第１の発明に記載の短冊状基板の搬送トレイにおいて、
各々の前記貫通孔に被せるトレイカバーを備え、
前記トレイカバーは、平板状の第２の板部と、前記貫通孔に対応して前記第２の板部を方形状に貫通して形成した第１の開口部と、前記第１の開口部の対面する１対の内面の下端の縁に沿って各々形成すると共に、前記段差部を形成した前記貫通孔の内面に挿入する凸設部とを有し、
前記貫通孔に前記トレイカバーを被せたときの前記凸設部の下面を、前記載置台の上面に載置した前記短冊状基板の上面の高さより高くしたことを特徴とする。
【００１２】
上記課題を解決する第５の発明に係る短冊状基板の搬送トレイは、
上記第１〜第４のいずれか１つの発明に記載の短冊状基板の搬送トレイにおいて、
複数の前記短冊状基板を前記貫通孔の内側に隙間無く並べる場合、前記貫通孔の前記内面とは異なる内面に、前記短冊状基板を保持する器具を出し入れ可能な空間を形成することを特徴とする。
【００１３】
上記課題を解決する第６の発明に係る短冊状基板の搬送トレイの押さえ治具は、
上記第１〜第５のいずれか１つの発明に記載の短冊状基板の搬送トレイの押さえ治具であって、
非金属材料の平板状の第３の板部と、前記貫通孔に対応して前記第３の板部を貫通して形成した複数の第２の開口部と、各々の前記第２の開口部の内面の下端の縁に沿って凸設した非金属材料の押さえ部とを有し、
前記搬送トレイを前記静電吸着板上に載置しているとき、前記搬送トレイ上に一時的に載せて、複数の前記短冊状基板を前記押さえ部と前記載置台とで挟み込むことを特徴とする。
【００１４】
上記課題を解決する第７の発明に係る短冊状基板の搬送トレイの押さえ治具は、
上記第１〜第５のいずれか１つの発明に記載の短冊状基板の搬送トレイの押さえ治具であって、
非金属材料の平板状の第３の板部と、前記貫通孔に対応して前記第３の板部を貫通して形成した複数の第２の開口部と、各々の前記第２の開口部に上下動可能に挿入した非金属材料の筒形状の押さえ部とを有し、
前記搬送トレイを前記静電吸着板上に載置しているとき、前記搬送トレイ上に一時的に載せて、複数の前記短冊状基板を前記押さえ部と前記載置台とで挟み込むことを特徴とする。
【００１５】
上記課題を解決する第８の発明に係る短冊状基板の搬送トレイの押さえ治具は、
上記第１〜第５のいずれか１つの発明に記載の短冊状基板の搬送トレイの押さえ治具であって、
金属材料の平板状の第３の板部と、前記貫通孔に対応して前記第３の板部を貫通して形成した複数の第２の開口部と、各々の前記第２の開口部の内部に配置した金属材料の押さえ部と、前記押さえ部を上面側から支持する金属材料の板バネとを有し、
前記搬送トレイを前記静電吸着板上に載置しているとき、前記搬送トレイ上に一時的に載せて、複数の前記短冊状基板を前記押さえ部と前記載置台とで挟み込むことを特徴とする。
【００１６】
上記課題を解決する第９の発明に係る短冊状基板の搬送トレイ及びその押さえ治具の搬送方法は、
上記第６から第８のいずれか１つに記載の短冊状基板の搬送トレイ及びその押さえ治具の搬送方法であって、
複数の前記短冊状基板を載置した前記搬送トレイを前記静電吸着板上へ搬送した後に、前記搬送トレイ上に前記押さえ治具を搬送し、又は、複数の前記短冊状基板を載置した前記搬送トレイ上に前記押さえ治具を載せた後に、前記静電吸着板上へ前記搬送トレイ及び前記押さえ治具を搬送し、
複数の前記短冊状基板を前記押さえ治具の前記押さえ部と前記載置台とで挟み込んだ後に、複数の前記短冊状基板を前記載置台の上面に静電吸着し、
静電吸着後に、前記搬送トレイ上から前記押さえ治具を取り出すことを特徴とする。
【００１７】
上記課題を解決する第１０の発明に係る短冊状基板の搬送トレイ及びその押さえ治具の搬送方法は、
上記第９に記載の短冊状基板の搬送トレイ及びその押さえ治具の搬送方法であって、
静電吸着の停止前に、前記搬送トレイ上に前記押さえ治具を搬送し、複数の前記短冊状基板を前記押さえ治具の前記押さえ部と前記載置台とで挟み込んだ後に静電吸着を停止し、
静電吸着の停止後に、前記静電吸着板上から前記押さえ治具と共に前記搬送トレイを取り出すことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、搬送時における短冊状基板の取扱いを容易にし、短冊状基板の接触熱抵抗を低減して冷却することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明に係る短冊状基板の搬送トレイの実施形態の一例を示す図であり、（ａ）は、搬送トレイの斜視図、（ｂ）は、搬送トレイの載置孔の拡大図、（ｃ）は、（ｂ）に示した載置孔に短冊状基板を載置した状態を示す図、（ｄ）は、短冊状基板を載置した載置孔の断面図である。
【図２】（ａ）、（ｂ）は、図１に示した搬送トレイの載置孔の変形例を示す拡大図である。
【図３】図１に示した搬送トレイに対応する静電吸着板の一例を示す図であり、（ａ）は、静電吸着板の斜視図、（ｂ）は、静電吸着板の載置台の拡大図、（ｃ）は、短冊状基板と共に搬送トレイを静電吸着板に載置したときの断面図である。
【図４】本発明に係る短冊状基板の搬送トレイの実施形態の他の一例として、図１に示した搬送トレイに載置する短冊状基板の載置構造の一例を示す図であり、（ａ）は、載置構造の斜視図、（ｂ）は、短冊状基板と共に搬送トレイを静電吸着板に載置したときの断面図である。
【図５】本発明に係る短冊状基板の搬送トレイの実施形態の他の一例を示す図であり、（ａ）は、搬送トレイの載置孔の拡大図、（ｂ）は、短冊状基板を載置した載置孔の断面図、（ｃ）は、短冊状基板と共に搬送トレイを静電吸着板に載置したときの断面図である。
【図６】本発明に係る短冊状基板の搬送トレイの実施形態の他の一例として、図１に示した搬送トレイに取り付けるトレイカバーの一例を示す図であり、（ａ）は、トレイカバーの斜視図、（ｂ）は、搬送トレイへのトレイカバーの取り付けを説明する断面図、（ｃ）は、トレイカバー、短冊状基板と共に搬送トレイを静電吸着板に載置したときの断面図である。
【図７】本発明に係る短冊状基板の搬送トレイの実施形態の他の一例として、図１に示した搬送トレイに用いる押さえ治具の一例を示す図であり、（ａ）は、押さえ治具の斜視図、（ｂ）は、押さえ治具の断面図、（ｃ）は、押さえ治具、短冊状基板と共に搬送トレイを静電吸着板に載置したときの断面図である。
【図８】本発明に係る短冊状基板の搬送トレイの実施形態の他の一例として、図１に示した搬送トレイに用いる押さえ治具の他の一例を示す図であり、（ａ）は、押さえ治具の斜視図、（ｂ）は、押さえ治具の断面図、（ｃ）は、押さえ治具、短冊状基板と共に搬送トレイを静電吸着板に載置したときの断面図である。
【図９】本発明に係る短冊状基板の搬送トレイの実施形態の他の一例として、図１に示した搬送トレイに用いる押さえ治具の他の一例を示す図であり、（ａ）は、押さえ治具及び接地構造を示す斜視図、（ｂ）は、押さえ治具の断面図、（ｃ）は、押さえ治具、短冊状基板と共に搬送トレイを静電吸着板に載置したときの断面図である。
【図１０】図９に示した押さえ治具の接地構造の他の一例を説明する図である。
【図１１】搬送トレイと押さえ治具を搬送する搬送方法の一例を説明する断面図であり、（ａ）は、静電吸着板上に搬送トレイを置くとき、（ｂ）は、搬送トレイ上に押さえ治具を置くとき、（ｃ）は、搬送トレイ上に押さえ治具を置いたときの図である。
【図１２】搬送トレイと押さえ治具を搬送する搬送方法の他の一例を説明する斜視図である。
【図１３】図１２のＡ−Ａ線の断面図であり、（ａ）は、静電吸着板上に搬送トレイを置くとき、（ｂ）は、静電吸着板上に搬送トレイを置いたとき、（ｃ）は、搬送トレイ上に押さえ治具を置くとき、（ｄ）は、搬送トレイ上に押さえ治具を置いたときの図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明に係る短冊状基板の搬送トレイ、その押さえ治具及びそれらの搬送方法の実施形態について、図１〜図１３を参照して説明を行う。
【００２１】
（実施例１）
図１は、本実施例の短冊状基板の搬送トレイを示す図であり、図１（ａ）は、搬送トレイの斜視図、図１（ｂ）は、搬送トレイの載置孔の拡大図、図１（ｃ）は、図１（ｂ）に示した載置孔に短冊状基板を載置した状態を示す図、図１（ｄ）は、短冊状基板を載置した載置孔の断面図である。又、図２（ａ）、（ｂ）は、図１に示した搬送トレイの載置孔の変形例を示す拡大図である。又、図３は、図１に示した搬送トレイに対応する静電吸着板の一例を示す図であり、図３（ａ）は、静電吸着板の斜視図、図３（ｂ）は、静電吸着板の載置台の拡大図、図３（ｃ）は、短冊状基板と共に搬送トレイを静電吸着板に載置したときの断面図である。
【００２２】
円形状の大きい径の基板上に半導体素子や磁気素子などのデバイスを多数形成し、その基板を方形の短冊状（例えば、幅数ｍｍ、長さ数十ｍｍ程度）に切断し、切断された短冊状基板に対して、成膜などの処理（例えば、プラズマによるＣＶＤ処理）が必要な場合がある。このような短冊状基板は、そのままでは、搬送時や処理時などにおける取扱いが困難であるため、本実施例では、図１に示す搬送トレイ１０を用いて、搬送などを行うようにしている。
【００２３】
搬送トレイ１０は、円形平板状の板部１１（第１の板部）と、後述する載置台２２を挿入可能に、板部１１を方形状に貫通して形成された複数の載置孔１２（貫通孔）とを有している。載置孔１２には、対面する１対の内面１２ａに各々段差部１３が形成されており、対面する段差部１３の上面に複数の短冊状基板Ｂの端部が載置される。
【００２４】
載置孔１２の内面１２ａ同士の幅は、短冊状基板Ｂの長手方向の長さより短く、対面する段差部１３の端面１３ａ同士の幅は、短冊状基板Ｂの長手方向の長さより長く形成されており、端面１３ａから短冊状基板Ｂの端部までの隙間の両端の合計より、端面１３ａから内面１２ａまでの長さを長くしている。これにより、短冊状基板Ｂがその長手方向にずれても、段差部１３から落ちることはない。
【００２５】
又、載置孔１２の内面１２ｂ同士の幅は、処理面を上面として載置したときの短冊状基板Ｂの上面の幅のｎ枚分（ｎは２以上の整数）の幅に形成されている。載置孔１２の内面１２ｂ同士の幅が、ｎ枚分の短冊状基板Ｂの幅に形成されて、載置孔１２にｎ枚の短冊状基板Ｂを載置する場合には、幅方向にｎ枚の短冊状基板Ｂの端部を揃えて並べ、短冊状基板Ｂ同士を隙間無く敷き詰めることにより、短冊状基板Ｂがその幅方向にずれないようにしている。
【００２６】
ｎ枚の短冊状基板Ｂ同士を隙間無く並べる場合には、端部側の短冊状基板Ｂを敷き詰め易いように、載置孔１２の段差部１３が形成されていない内面１２ｂの少なくとも一方に切欠部１４を設け、短冊状基板Ｂを保持する器具（例えば、作業者が使用するピンセットや載置装置の基板保持具など）を出し入れ可能な空間を内面１２ｂに設けるようにしてもよい。
【００２７】
又、上述した切欠部１４に代えて、例えば、図２（ａ）に示すように、段差部１３の少なくとも一方の端部に突起部１５を設け、内面１２ｂとの間に空間を設けるようにしてもよいし、図２（ｂ）に示すように、内面１２ｂの少なくとも一方に空間部１２ｃを設けておき、全ての短冊状基板Ｂを敷き詰めた後、空間部１２ｃの段差部１３に凸形状の挿入部材１６を挿入するようにしてもよい。凸形状の挿入部材１６を挿入することで、ｎ枚の短冊状基板Ｂ同士の締め付けを期待でき、短冊状基板Ｂの幅方向の防止に繋がる。又、突起部１５を設けることや、凸形状の挿入部材１６を挿入することで、載置孔１２の内面同士の幅を適宜調整することも可能となる。そのため、ｎ枚分の短冊状基板Ｂの幅を調整したい場合に、あえて搬送トレイ１０の載置孔１２を作り変える必要がなくなる。
【００２８】
このような搬送トレイ１０を用い、その載置孔１２に複数の短冊状基板Ｂを載置して、短冊状基板Ｂの搬送を行っており、これにより、搬送時における取扱いが容易となる。このような搬送トレイ１０に対応して、短冊状基板Ｂを吸着する静電吸着板２０が形成されている。静電吸着板２０は、成膜やその他の処理を行う際に短冊状基板Ｂが高温になるおそれがある処理装置、例えば、プラズマＣＶＤ装置などでは、支持台（図示省略）上に取り付けられており、支持台は、冷媒などを用いて冷却されて、温度管理装置（図示省略）により温度が低温に管理されている。
【００２９】
静電吸着板２０は、円形平板状の板部２１と、載置孔１２の数、位置、形状、大きさ等に対応して、一定の高さで凸設して形成された複数の載置台２２とを有している。そして、載置台２２は、上面が方形状に形成された載置面２２ａと、載置面２２ａの四方に形成された傾斜面２２ｂとを有している。短冊状基板Ｂを載置した搬送トレイ１０を静電吸着板２０上に載置すると、載置孔１２の開口部分に載置台２２が挿入されることになるが、その位置が多少ずれても、傾斜面２２ｂに案内されて、所定の正しい位置に配置されるようになっている。そのため、傾斜面２２ｂの水平方向の長さは、搬送トレイ１０を搬送する搬送装置の搬送精度より大きくなっている。
【００３０】
このようにして、搬送トレイ１０と共に載置された複数の短冊状基板Ｂは、載置台２２の載置面２２ａ上に載置されて、短冊状基板Ｂの裏面は、その長手方向の両端部を除いて、載置面２２ａに接触することになる。このとき、短冊状基板Ｂの長手方向の両端部は、搬送時に短冊状基板Ｂの端部を載置していた搬送トレイ１０の段差部１３から離れて、載置台２２に載置されており、短冊状基板Ｂの裏面と段差部１３の上面との間には隙間が形成されている。つまり、搬送トレイ１０を静電吸着板２０上に載置したときの段差部１３の上面の高さは、静電吸着板２０から凸設した載置台２２の高さより低くなっている。
【００３１】
そして、各載置台２２の内部には、静電吸着のための電極２３が各々設けられており、電極２３に静電吸着用電圧を印加することにより、載置面２２ａ上に載置された複数の短冊状基板Ｂは、載置台２２に静電吸着されることになる。
【００３２】
静電吸着板２０は支持台と共に冷却されて、温度が管理されており、短冊状基板Ｂを静電吸着により静電吸着板２０の載置台２２に直接接触させることにより、冷却された静電吸着板２０との伝導伝熱により、短冊状基板Ｂを冷却することになる。例えば、短冊状基板ＢにプラズマＣＶＤによる成膜を施す場合には、短冊状基板Ｂにプラズマによる入熱があるが、静電吸着板２０との伝導伝熱により短冊状基板Ｂを冷却するので、短冊状基板Ｂが所定の上限温度（例えば、磁気抵抗素子では１５０〜２００℃）を越えないように冷却して、処理時の短冊状基板Ｂの温度を低く抑えることができる。
【００３３】
そして、成膜などの処理が終了すると、電極２３への静電吸着用電圧の印加が停止されて、静電吸着板２０上から搬送トレイ１０が取り上げられるが、このとき、複数の短冊状基板Ｂは、再び、搬送トレイ１０の段差部１３に載置されて、搬送トレイ１０と共に搬送することができる。以下に、上述した搬送トレイ１０を用いた搬送手順を説明する。
【００３４】
（１）
大気中において、作業者又は載置装置により、搬送トレイ１０の載置孔１２に短冊状基板Ｂを載置する。
（２）
短冊状基板Ｂと共に搬送トレイ１０を、処理装置の真空環境の処理容器内へ搬送し、その支持台上に取り付けられた静電吸着板２０上に載置する。
（３）
短冊状基板Ｂを静電吸着板２０に静電吸着力により固定する。
（４）
成膜などの処理を開始し、処理中の入熱を短冊状基板Ｂと静電吸着板２０の熱伝導により冷却する。
（５）
成膜などの処理が終了すると、静電吸着を停止する。
（６）
処理容器から短冊状基板Ｂと共に搬送トレイ１０を取り出し、大気中へ搬送する。
（７）
搬送トレイ１０から短冊状基板Ｂを回収する。
【００３５】
このような、手順を繰り返し行うことにより、多数の短冊状基板Ｂに成膜などの処理を施すことになる。
【００３６】
（実施例２）
図４は、本実施例の短冊状基板の搬送トレイとして、図１に示した搬送トレイに載置する短冊状基板の載置構造の一例を示す図であり、図４（ａ）は、載置構造の斜視図、図４（ｂ）は、短冊状基板と共に搬送トレイを静電吸着板に載置したときの断面図である。
【００３７】
本実施例でも、実施例１で説明した搬送トレイ１０、静電吸着板２０を用いるが、実施例１とは、短冊状基板Ｂの載置構造に相違がある。具体的には、図４に示すように、複数の短冊状基板Ｂの裏面にポリイミドテープなどの貼付部材１７を設けている。
【００３８】
短冊状基板Ｂを搬送トレイ１０の載置孔１２に複数載置すると、搬送トレイ１０の取扱い時に、短冊状基板Ｂ同士が重なったり、載置孔１２から落下したりするおそれがある。そこで、本実施例では、短冊状基板Ｂ同士を隙間無く並べると共に、短冊状基板Ｂの長手方向の両端部の裏面（処理面の反対側の面）に、当該裏面を貼り付ける貼付部材１７を設けて、短冊状基板Ｂの幅方向に沿って固定している。このとき、貼付部材１７は、短冊状基板Ｂの裏面に貼り付けているが、搬送トレイ１０の載置孔１２の段差部１３に乗る範囲であって、静電吸着板２０の載置台２２に乗り上げない範囲に貼り付けると、成膜などの処理の影響、例えば、プラズマの影響を最小にできる。
【００３９】
又、貼付部材１７には所定の厚さがあるため、短冊状基板Ｂを静電吸着板２０の載置台２２に載置したときに、搬送トレイ１０の段差部１３から貼付部材１７が離れるようにする必要がある。そこで、搬送トレイ１０を静電吸着板２０上に載置したときの段差部１３の上面の高さを、静電吸着板２０の載置台２２の高さから貼付部材１７の厚さを引いた高さより低くしている。
【００４０】
このように、複数隙間無く並べた短冊状基板Ｂの長手方向の両端部を貼付部材１７で固定することにより、搬送トレイ１０を取り扱う際の短冊状基板Ｂのズレや落下を防止することができる。
【００４１】
なお、静電吸着板２０の構成や搬送トレイ１０を用いた搬送手順は、実施例１と同様であるので、ここでは、それらの説明は省略する。
【００４２】
（実施例３）
図５は、本実施例の短冊状基板の搬送トレイを示す図であり、図５（ａ）は、搬送トレイの載置孔の拡大図、図５（ｂ）は、短冊状基板を載置した載置孔の断面図、図５（ｃ）は、短冊状基板と共に搬送トレイを静電吸着板に載置したときの断面図である。
【００４３】
本実施例でも、実施例１で説明した静電吸着板２０を用いるが、実施例１で説明した搬送トレイ１０に代えて、図５に示す搬送トレイ３０を用いている。
【００４４】
搬送トレイ３０は、円形平板状の板部３１（第１の板部）と、載置台２２を挿入可能に、板部３１を方形状に貫通して形成された複数の載置孔３２（貫通孔）とを有している。載置孔３２には、対面する１対の内面３２ａに各々コの字断面形状の溝部３３が形成されており、対面する溝部３３に複数の短冊状基板Ｂの端部が挿入される。
【００４５】
対面する溝部３３の底部３３ａ同士の幅は、短冊状基板Ｂの長手方向の長さより長く、載置孔３２の内面３２ａ同士の幅は、短冊状基板Ｂの長手方向の長さより短く形成されており、底部３３ａから短冊状基板Ｂの端部までの隙間の両端の合計より、溝部３３の底部３３ａから内面３２ａまでの長さ（溝部３３の深さ）を長くしている。これにより、短冊状基板Ｂがその長手方向にずれても、溝部３３から落ちることはない。
【００４６】
又、載置孔３２の内面３２ｂ同士の幅は、処理面を上面として載置したときの短冊状基板Ｂの上面の幅のｎ枚分の幅に形成されている。載置孔３２の内面３２ｂ同士の幅が、ｎ枚分の短冊状基板Ｂの幅に形成されて、載置孔３２にｎ枚の短冊状基板Ｂを載置する場合には、幅方向にｎ枚の短冊状基板Ｂの端部を揃えて並べ、短冊状基板Ｂ同士を隙間無く敷き詰めることにより、短冊状基板Ｂがその幅方向にずれないようにしている。
【００４７】
本実施例でも、ｎ枚の短冊状基板Ｂ同士を隙間無く並べる場合には、端部側の短冊状基板Ｂを敷き詰め易くするため、例えば、図２（ｂ）で示した構造と同じように、内面３２ｂの少なくとも一方に溝やくぼみなどからなる空間部を設けると共に段差部を設けておき、ｎ枚の短冊状基板Ｂを敷き詰めた後、その空間部の段差部に凸形状の挿入部材を挿入するようにすればよい。このとき、更に、実施例２に示した貼付部材１７を用いるようにしてもよい。
【００４８】
実施例１の搬送トレイ１０では、取扱い時に、段差部１３にある短冊状基板Ｂの端部が板部１１の上面を越えてずれるおそれがあるが、本実施例の搬送トレイ３０では、溝部３３にある短冊状基板Ｂの端部が、溝部３３から出て、ずれることはない。又、溝部３３の底部３３ａの高さは、少なくとも、短冊状基板Ｂの幅より小さい方がよく、望ましくは、短冊状基板Ｂの厚さの２倍より小さい方がよい。溝部３３の底部３３ａの高さが、短冊状基板Ｂの幅より小さい場合には、搬送トレイ３０の取扱い時に短冊状基板Ｂが裏返しになることはなく、又、短冊状基板Ｂの厚さの２倍より小さい場合には、短冊状基板Ｂが隣の短冊状基板Ｂを越えて幅方向にずれることはなく、搬送トレイ３０を裏返しにして取扱いすることも可能になる。
【００４９】
このような搬送トレイ３０を用い、その載置孔３２に複数の短冊状基板Ｂを載置して、短冊状基板Ｂの搬送を行っており、これにより、搬送時における取扱いが容易となる。このような搬送トレイ３０に対応して、短冊状基板Ｂを吸着する静電吸着板２０が形成されている。
【００５０】
静電吸着板２０の構成は、実施例１と同様である。従って、複数の短冊状基板Ｂを載置した搬送トレイ３０を静電吸着板２０上に載置すると、複数の載置孔３２に複数の載置台２２が各々挿入される。そして、搬送トレイ３０と共に載置された複数の短冊状基板Ｂは、静電吸着板２０の載置台２２の載置面２２ａ上に載置されて、短冊状基板Ｂの裏面は、その長手方向の両端部を除いて、載置面２２ａに接触することになる。このとき、短冊状基板Ｂの長手方向の両端部は、搬送時に短冊状基板Ｂの端部を載置していた搬送トレイ３０の溝部３３の下面からは離れた状態となり、かつ、溝部３３の上面には接触しない状態となって、載置台２２に載置されており、短冊状基板Ｂの裏面と溝部３３の下面との間、そして、短冊状基板Ｂの上面と溝部３３の上面との間には隙間が形成されている。つまり、搬送トレイ３０を静電吸着板２０上に載置したとき、その溝部３３の下面の高さは、静電吸着板２０から凸設した載置台２２の高さより低くなっており、その溝部３３の上面の高さは、載置台２２の上面に載置した短冊状基板Ｂの上面の高さより高くなっている。
【００５１】
なお、搬送トレイ３０を用いた搬送手順は、実施例１と同様であるので、ここでは、その説明は省略する。
【００５２】
（実施例４）
図６は、本実施例の短冊状基板の搬送トレイとして、図１に示した搬送トレイに取り付けるトレイカバーを示す図であり、図６（ａ）は、トレイカバーの斜視図、図６（ｂ）は、搬送トレイへのトレイカバーの取り付けを説明する断面図、図６（ｃ）は、トレイカバー、短冊状基板と共に搬送トレイを静電吸着板に載置したときの断面図である。
【００５３】
本実施例でも、実施例１で説明した搬送トレイ１０、静電吸着板２０を用いるが、更に、図６に示すように、実施例１の搬送トレイ１０の各々の載置孔１２に被せるトレイカバー４０を備えている。
【００５４】
短冊状基板Ｂを搬送トレイ１０の載置孔１２に複数載置すると、搬送トレイ１０の取扱い時に、短冊状基板Ｂ同士が重なったり、載置孔１２から落下したりするおそれがある。そこで、本実施例では、短冊状基板Ｂ同士を隙間無く並べると共に、各々の載置孔１２に取り付けるトレイカバー４０を用いて、短冊状基板Ｂ同士が重なったり、載置孔１２から落下したりしないようにしている。このとき、更に、実施例２に示した貼付部材１７を用いるようにしてもよい。
【００５５】
トレイカバー４０は、方形平板状の板部４１（第２の板部）と、貫通孔１２に対応して板部４１を方形状に貫通して形成された開口部４２（第１の開口部）とを有しており、開口部４２の対面する１対の内面４２ａには、その下端の縁に沿って、各々凸設部４３が形成されている。つまり、搬送トレイ１０の段差部１３とトレイカバー４０の凸設部４３とにより、実施例３の搬送トレイ３０の溝部３３に該当する構造が形成されており、対面する段差部１３に複数の短冊状基板Ｂの端部が載置された後、段差部１３を形成した貫通孔１２の内面１２ａ側に凸設部４３を挿入して、トレイカバー４０を取り付けることにより、短冊状基板Ｂの端部が段差部１３と凸設部４３との間に配置されることになる。
【００５６】
トレイカバー４０の開口部４２の内面４２ａ同士の幅は、搬送トレイ１０の載置孔１２の対面する内面１２ａ同士の幅と同等の幅でよい。又、開口部４２の内面４２ｂ同士の幅も、搬送トレイ１０の載置孔１２の対面する内面１２ｂ同士の幅と同等の幅でよい。
【００５７】
又、搬送トレイ１０の載置孔１２にトレイカバー４０を被せたとき、トレイカバー４０の凸設部４３の下面の高さは、載置台２２の上面に載置した短冊状基板Ｂの上面の高さより高くする。又、搬送トレイ１０の段差部１３の上面とトレイカバー４０の凸設部４３の下面との間の高さは、実施例３の搬送トレイ３０の溝部３３と同様に、少なくとも、短冊状基板Ｂの幅より小さい方がよく、望ましくは、短冊状基板Ｂの厚さの２倍より小さい方がよい。段差部１３の上面と凸設部４３の下面との間の高さが、短冊状基板Ｂの幅より小さい場合には、トレイカバー４０を取り付けた搬送トレイ１０の取扱い時に短冊状基板Ｂが裏返しになることはなく、又、短冊状基板Ｂの厚さの２倍より小さい場合には、短冊状基板Ｂが隣の短冊状基板Ｂを越えて幅方向にずれることはなく、更に、トレイカバー４０を搬送トレイ１０に固定した場合には、搬送トレイ１０を裏返しにして取扱い可能になる。
【００５８】
実施例１の搬送トレイ１０のみでは、取扱い時に、段差部１３にある短冊状基板Ｂの端部が板部１１の上面を越えてずれるおそれがあるが、本実施例のように、トレイカバー４０を取り付ければ、短冊状基板Ｂの端部が板部１１の上面を越えてずれることはない。
【００５９】
なお、静電吸着板２０の構成や搬送トレイ１０を用いた搬送手順は、実施例１と同様であるので、ここでも、それらの説明は省略する。
【００６０】
（実施例５）
図７は、本実施例の短冊状基板の搬送トレイとして、図１に示した搬送トレイに用いる押さえ治具を示す図であり、図７（ａ）は、押さえ治具の斜視図、図７（ｂ）は、押さえ治具の断面図、図７（ｃ）は、押さえ治具、短冊状基板と共に搬送トレイを静電吸着板に載置したときの断面図である。
【００６１】
本実施例でも、実施例１で説明した搬送トレイ１０、静電吸着板２０を用いるが、更に、図７に示すように、実施例１の搬送トレイ１０の上に置く押さえ治具５０を用いるようにしている。なお、ここでは、一例として、実施例１の搬送トレイ１０の上に押さえ治具５０を置く場合を説明するが、押さえ治具５０は、上記実施例２〜４の場合にも適用可能である。
【００６２】
短冊状基板Ｂは、当初の基板から切り出して加工して作成しており、そのため、弾性変形して、歪んでいることがある。その場合、短冊状基板Ｂの裏面（接触面）は平坦ではないため、短冊状基板Ｂを平坦にして、静電吸着板２０の載置台２２の載置面２２ａに密着させる必要がある。又、短冊状基板Ｂへの成膜などの処理後、短冊状基板Ｂと共に搬送トレイ１０を持ち上げる際には、静電吸着板２０の載置台２２における残留吸着力と短冊状基板Ｂ自身の弾性とにより、短冊状基板Ｂが跳ねてしまい、段差部１３にある短冊状基板Ｂの端部が板部１１の上面を越えてずれるおそれがある。そこで、本実施例では、短冊状基板Ｂをその上方から押さえる押さえ治具５０を用いるようにしている。
【００６３】
押さえ治具５０は、全て非金属材料、例えば、セラミクスなどから構成されており、円形平板状の板部５１（第３の板部）と、貫通孔１２に対応して板部５１を貫通して円形状に形成された複数の開口部５２（第２の開口部）と、各々の開口部５２の内周面の下端の縁に沿って凸設された押さえ部５３とを有している。
【００６４】
この押さえ治具５０は、搬送トレイ１０を静電吸着板２０上に載置しているときに、搬送トレイ１０上に一時的に載せることで、複数の短冊状基板Ｂを押さえ部５３と載置台２２とで挟み込むようにしている。例えば、搬送トレイ１０を用いて短冊状基板Ｂを静電吸着板２０の載置台２２に載置した後、押さえ治具５０の押さえ部５３を用い、短冊状基板Ｂを静電吸着板２０の載置台２２との間に挟み込んで押さえつけて、静電吸着を開始すれば、短冊状基板Ｂを平坦にして、載置台２２の載置面２２ａに密着させることができる。なお、ここでは、押さえ部５３は円筒形状となっているが、短冊状基板Ｂを静電吸着板２０の載置台２２との間に挟み込んで押さえることができれば、他の形状、例えば、四角筒形状でもよい。
【００６５】
プラズマを用いる処理装置において、非金属からなる押さえ治具５０を用いる場合には、プラズマ側から短冊状基板Ｂの一部が見える開口部５２が必要である。この開口部５２を設けることにより、プラズマを点灯し、静電吸着を開始した後に、非金属からなる押さえ治具５０を搬送トレイ１０上から取り出しても、短冊状基板Ｂの静電吸着は維持される。
【００６６】
なお、静電吸着板２０の構成は、実施例１と同様であるので、ここでも、その説明は省略するが、搬送トレイ１０と共に押さえ治具５０を用いた搬送手順は、実施例１と相違する部分があるので、別途、後述する実施例８として説明する。
【００６７】
本実施例では、押さえ治具５０を用い、後述する実施例８の手順を行うことにより、歪みによる短冊状基板Ｂの接触熱抵抗を低減させて、短冊状基板Ｂを均一に冷却することができる。又、静電吸着の停止後、静電吸着板２０上から搬送トレイ１０と共に押さえ治具５０を持ち上げることにより、短冊状基板Ｂの跳ねを防止して、短冊状基板Ｂがずれたり、落下したりすることを防止することができる。
【００６８】
ここでは、プラズマを用いる処理装置において、非金属からなる押さえ治具５０を用いる場合を説明したが、後述の実施例７で説明するように、金属からなる押さえ治具５０を用いる場合には、開口部５２は不要となるので、短冊状基板Ｂの端部を除く全面を載置台２２との間に挟み込んで押さえる構成、例えば、貫通穴がない円柱形状の押さえ部により、短冊状基板Ｂを押さえるようにしてもよい。
【００６９】
（実施例６）
図８は、本実施例の短冊状基板の搬送トレイとして、図１に示した搬送トレイに用いる押さえ治具の他の一例を示す図であり、図８（ａ）は、押さえ治具の斜視図、図８（ｂ）は、押さえ治具の断面図、図８（ｃ）は、押さえ治具、短冊状基板と共に搬送トレイを静電吸着板に載置したときの断面図である。
【００７０】
本実施例でも、実施例１で説明した搬送トレイ１０、静電吸着板２０を用いると共に、実施例５と同様に、図８に示すような押さえ治具６０を用いて、短冊状基板Ｂをその上方から押さえるようにしている。なお、ここでも、一例として、実施例１の搬送トレイ１０の上に押さえ治具６０を置く場合を説明するが、押さえ治具６０は、上記実施例２〜４の場合にも適用可能である。
【００７１】
押さえ治具６０は、全て非金属材料、例えば、セラミクスなどから構成されており、円形平板状の板部６１（第３の板部）と、貫通孔１２に対応して板部６１を貫通して円形状に形成された複数の開口部６２と、各々の開口部６２に上下動可能に挿入した円筒形状の押さえ部材６４（押さえ部）とを有している。開口部６２には、その内周面に沿って、段差部６３が形成され、押さえ部材６４の上部の外周側には、フランジ部６５が延設され、開口部６２の段差部６３の上面にフランジ部６５の下面が載置されており、このような構成により、押さえ部材６４を上下方向に移動可能に保持している。そのため、短冊状基板Ｂを静電吸着板２０の載置台２２との間に挟み込んで押さえつける際には、押さえ部材６４の下端部６６を介して、押さえ部材６４の重さで短冊状基板Ｂを押さえつけることになる。
【００７２】
この押さえ治具６０は、搬送トレイ１０を静電吸着板２０上に載置しているときに、搬送トレイ１０上に一時的に載せることで、複数の短冊状基板Ｂを押さえ部材６４と載置台２２とで挟み込むようにしている。例えば、搬送トレイ１０を用いて短冊状基板Ｂを静電吸着板２０の載置台２２に載置した後、押さえ治具６０の押さえ部材６４を用い、短冊状基板Ｂを静電吸着板２０の載置台２２との間に挟み込んで押さえつけて、静電吸着を開始すれば、短冊状基板Ｂを平坦にして、載置台２２の載置面２２ａに密着させることができる。実施例５に示した押さえ部５３とは異なり、個々の押さえ部材６４は、押さえ治具６０の板部６１から独立して移動可能であるので、各載置台２２において、載置してある短冊状基板Ｂに同じ圧力（重さ）を付与することができる。なお、ここでも、押さえ部材６４は円筒形状となっているが、短冊状基板Ｂを静電吸着板２０の載置台２２との間に挟み込んで押さえることができれば、他の形状、例えば、四角筒形状でもよい。
【００７３】
プラズマを用いる処理装置において、非金属からなる押さえ治具６０を用いる場合には、プラズマ側から短冊状基板Ｂの一部が見える開口部６２が必要である。この開口部６２を設けることにより、プラズマを点灯し、静電吸着を開始した後に、非金属からなる押さえ治具６０を搬送トレイ１０上から取り出しても、短冊状基板Ｂの静電吸着は維持される。
【００７４】
なお、静電吸着板２０の構成は、実施例１と同様であるので、ここでも、その説明は省略するが、搬送トレイ１０と共に押さえ治具６０を用いた搬送手順は、実施例５と同様であるので、別途、後述する実施例８として説明する。
【００７５】
本実施例でも、押さえ治具６０を用い、後述する実施例８の手順を行うことにより、歪みによる短冊状基板Ｂの接触熱抵抗を低減させて、短冊状基板Ｂを均一に冷却することができる。又、静電吸着の停止後、静電吸着板２０上から搬送トレイ１０と共に押さえ治具６０を持ち上げることにより、短冊状基板Ｂの跳ねを防止して、短冊状基板Ｂがずれたり、落下したりすることを防止することができる。
【００７６】
又、ここでも、プラズマを用いる処理装置において、非金属からなる押さえ治具６０を用いる場合を説明したが、後述の実施例７で説明するように、金属からなる押さえ治具６０を用いる場合には、開口部６２は不要となるので、短冊状基板Ｂの端部を除く全面を載置台２２との間に挟み込んで押さえる構成、例えば、貫通穴がない円柱形状の押さえ部材により、短冊状基板Ｂを押さえるようにしてもよい。
【００７７】
（実施例７）
図９は、本実施例の短冊状基板の搬送トレイとして、図１に示した搬送トレイに用いる押さえ治具の他の一例を示す図であり、図９（ａ）は、押さえ治具及び接地構造を示す斜視図、図９（ｂ）は、押さえ治具の断面図、図９（ｃ）は、押さえ治具、短冊状基板と共に搬送トレイを静電吸着板に載置したときの断面図である。又、図１０は、図９に示した押さえ治具の接地構造の他の一例を説明する図である。
【００７８】
本実施例でも、実施例１で説明した搬送トレイ１０、静電吸着板２０を用いると共に、実施例５、実施例６と同様に、図９に示すような押さえ治具７０を用いて、短冊状基板Ｂをその上方から押さえるようにしている。なお、ここでも、一例として、実施例１の搬送トレイ１０の上に押さえ治具７０を置く場合を説明するが、押さえ治具７０は、上記実施例２〜４の場合にも適用可能である。
【００７９】
押さえ治具７０は、全て金属材料、例えば、ステンレススチールなどから構成されており、円形平板状の板部７１（第３の板部）と、貫通孔１２に対応して板部７１を貫通して方形状に形成された複数の開口部７２と、各々の開口部７２の内部に配置した方形状の押さえ部材７３（押さえ部）と、押さえ部材７３を上面側から支持する少なくとも１対の板バネ７４とを有している。このような構成により、押さえ部材７３を上下方向に移動可能に保持している。そのため、短冊状基板Ｂを静電吸着板２０の載置台２２との間に挟み込んで押さえつける際には、押さえ部材７３の重さと共に板バネ７４の付勢力により、短冊状基板Ｂを押さえつけることになる。
【００８０】
又、押さえ治具７０は、アース線７５により接地されている。アース線７５は、ロボットハンドＨの移動方向に沿って配置されている。このようなアース線７５を用いた接地が難しい場合には、例えば、図１０に示すように、押さえ治具７０を支持する支持ピンＰをアース線７７で接地するようにしてもよい。
【００８１】
この押さえ治具７０は、搬送トレイ１０を静電吸着板２０上に載置しているときに、搬送トレイ１０上に一時的に載せることで、複数の短冊状基板Ｂを押さえ部５３と載置台２２とで挟み込むようにしている。例えば、搬送トレイ１０を用いて短冊状基板Ｂを静電吸着板２０の載置台２２に載置した後、押さえ治具７０の押さえ部材７３及び板バネ７４を用い、短冊状基板Ｂを静電吸着板２０の載置台２２との間に挟み込んで押さえつけて、静電吸着を開始すれば、短冊状基板Ｂを平坦にして、載置台２２の載置面２２ａに密着させることができる。実施例６と同様に、個々の押さえ部材７３は、押さえ治具７０の板部７１から独立して移動可能であるので、各載置台２２において、載置してある短冊状基板Ｂに同じ圧力（重さ＋付勢力）を付与することができる。なお、ここでは、押さえ部材７３は方形状となっているが、短冊状基板Ｂを静電吸着板２０の載置台２２との間に挟み込んで押さえることができれば、他の形状、例えば、円柱形状でもよい。
【００８２】
プラズマを用いる処理装置において、金属からなる押さえ治具７０を用いる場合には、押さえ治具７０が導電体であるため、実施例５で示した開口部５２、実施例６で示した開口部６２は不要となる。そのため、図９に示すように、短冊状基板Ｂの端部を除く全面を載置台２２との間に挟み込んで押さえる構成が可能となる。この場合も、実施例５、実施例６と同様に、プラズマを点灯し、静電吸着を開始した後に、金属からなる押さえ治具７０を搬送トレイ１０上から取り出しても、短冊状基板Ｂの静電吸着は維持される。
【００８３】
なお、静電吸着板２０の構成は、実施例１と同様であるので、ここでも、その説明は省略するが、搬送トレイ１０と共に押さえ治具７０を用いた搬送手順は、実施例５と同様であるので、別途、後述する実施例８として説明する。
【００８４】
本実施例でも、押さえ治具７０を用い、後述する実施例８の手順を行うことにより、歪みによる短冊状基板Ｂの接触熱抵抗を低減させて、短冊状基板Ｂを均一に冷却することができる。又、静電吸着の停止後、静電吸着板２０上から搬送トレイ１０と共に押さえ治具７０を持ち上げることにより、短冊状基板Ｂの跳ねを防止して、短冊状基板Ｂがずれたり、落下したりすることを防止することができる。
【００８５】
（実施例８）
本実施例では、搬送トレイ１０と共に実施例５に示した押さえ治具５０を用いた搬送手順を説明する。なお、押さえ治具５０に代えて、実施例６に示した押さえ治具６０又は実施例７に示した押さえ治具７０を用いる場合にも、以下の搬送手順は適用可能である。この場合、後述する押さえ部５３は、押さえ部材６４又は押さえ部材７３と読み替えればよい。
【００８６】
（１）
大気中において、作業者又は載置装置により、搬送トレイ１０の載置孔１２に短冊状基板Ｂを載置する。
（２）
搬送トレイ１０を、処理装置の真空環境の処理容器へ搬送し、その支持台上に取り付けられた静電吸着板２０上に搬送し、載置する。
（３）
搬送トレイ１０上に押さえ治具５０を搬送し、載置する。これにより、押さえ治具５０の押さえ部５３を用いて、短冊状基板Ｂを静電吸着板２０の載置台２２との間に挟み込んで押さえつけ、短冊状基板Ｂを平坦にして、載置台２２の載置面２２ａに密着させる。なお、予め、短冊状基板Ｂを載置した搬送トレイ１０の上に押さえ治具５０を置いておき、搬送トレイ１０と共に押さえ治具５０を静電吸着板２０上に搬送してもよい。
（４）
プラズマを点灯した後、静電吸着を開始し、短冊状基板Ｂを静電吸着板２０の載置台２２の上面に静電吸着力により固定する。このとき、プラズマは、成膜などの処理に寄与しない条件、例えば、不活性ガス、低いＲＦ電力で点灯する。
（５）
静電吸着後、搬送トレイ１０上から押さえ治具５０を取り出す。
（６）
プラズマを成膜などの処理条件に変更して、成膜などの処理を開始し、処理中の入熱を短冊状基板Ｂと静電吸着板２０の熱伝導により冷却する。
（７）
成膜などの処理が終了すると、プラズマの条件を、成膜などの処理に寄与しない条件、例えば、上述した不活性ガス、低いＲＦ電力の条件に変更する。
（８）
搬送トレイ１０上に押さえ治具５０を搬送し、押さえ治具５０の押さえ部５３を用いて、短冊状基板Ｂを静電吸着板２０の載置台２２との間に挟み込んで押さえつける。
（９）
静電吸着を停止し、その後、静電吸着板２０上から搬送トレイ１０と共に押さえ治具５０を持ち上げて取り出し、搬送トレイ１０を処理容器から大気雰囲気へ搬送する。
（１０）
搬送トレイ１０から短冊状基板Ｂを回収する。
【００８７】
このような、手順を繰り返し行うことにより、多数の短冊状基板Ｂに成膜などの処理を施すことになる。そして、このような手順により、歪みによる短冊状基板Ｂの接触熱抵抗を低減させて、短冊状基板Ｂを均一に冷却することができる。又、静電吸着の停止後、静電吸着板２０上から搬送トレイ１０と共に押さえ治具５０を持ち上げるので、短冊状基板Ｂの跳ねを防止して、短冊状基板Ｂがずれたり、落下したりすることを防止することができる。
【００８８】
（実施例９）
図１１は、搬送トレイと押さえ治具を搬送する搬送方法の一例を説明する断面図であり、図１１（ａ）は、静電吸着板上に搬送トレイを置くとき、図１１（ｂ）は、搬送トレイ上に押さえ治具を置くとき、図１１（ｃ）は、搬送トレイ上に押さえ治具を置いたときの図である。
【００８９】
本実施例では、搬送トレイ１０と実施例７に示した押さえ治具７０を、静電吸着板２０上に置く手順の一例を説明する。押さえ治具７０に代えて、実施例５に示した押さえ治具５０又は実施例６に示した押さえ治具６０を用いる場合にも、以下の手順は適用可能である。
【００９０】
本実施例は、１つのロボットハンドＨと２つの支持ピンＰ１、Ｐ２を用いて、搬送トレイ１０及び押さえ治具７０を静電吸着板２０上に置くようにしている。ロボットハンドＨは、水平方向のみに移動可能であり、上下方向には移動しないものである。
【００９１】
（１）
ロボットハンドＨを用いて、短冊状基板Ｂを載置した搬送トレイ１０を静電吸着板２０の上方に搬送し、支持ピンＰ１を上方に移動して、ロボットハンドＨ上から搬送トレイ１０を持ち上げる（図１１（ａ）参照）。その後、ロボットハンドＨを搬送トレイ１０の下から引き抜き、支持ピンＰ１を下方に移動すると、搬送トレイ１０は静電吸着板２０上に載置されることになる。支持ピンＰ１は、支持台８０に形成されたピン穴８１に収容されて、上下方向に移動可能に構成されており、静電吸着板２０にもピン穴８１に対応するピン穴２４が形成されている。この支持ピンＰ１を上方に移動することにより、静電吸着板２０と搬送トレイ１０との間にロボットハンドＨを挿入するスペースが形成されている。
【００９２】
（２）
ロボットハンドＨを用いて、押さえ治具７０を静電吸着板２０及び搬送トレイ１０の上方に搬送し、支持ピンＰ２を上方に移動して、ロボットハンドＨ上から押さえ治具７０を持ち上げる（図１１（ｂ）参照）。その後、ロボットハンドＨを押さえ治具７０の下から引き抜き、支持ピンＰ２を下方に移動すると、押さえ治具７０は搬送トレイ１０上に載置されることになる（図１１（ｃ）参照）。支持ピンＰ２は、支持台８０に形成されたピン穴８２に収容されて、上下方向に移動可能に構成されており、静電吸着板２０にもピン穴８２に対応するピン穴２５が形成され、搬送トレイ１０にもピン穴８２に対応するピン穴１８が形成されている。この支持ピンＰ２を上方に移動することにより、搬送トレイ１０と押さえ治具７０との間に同一のロボットハンドＨを挿入するスペースが形成されている。
【００９３】
上記手順により、搬送トレイ１０及び押さえ治具７０の搬送をスムーズに行うことができる。なお、静電吸着板２０上から搬送トレイ１０及び押さえ治具７０を取り出す場合には、上述した手順と逆の手順で行えばよい。
【００９４】
（実施例１０）
図１２は、搬送トレイと押さえ治具を搬送する搬送方法の他の一例を説明する斜視図であり、図１３は、図１２のＡ−Ａ線の断面図であり、図１３（ａ）は、静電吸着板上に搬送トレイを置くとき、図１３（ｂ）は、静電吸着板上に搬送トレイを置いたとき、図１３（ｃ）は、搬送トレイ上に押さえ治具を置くとき、図１３（ｄ）は、搬送トレイ上に押さえ治具を置いたときの図である。
【００９５】
本実施例では、搬送トレイ１０と実施例７に示した押さえ治具７０を、静電吸着板２０上に置く手順の他の一例を説明する。ここでも、押さえ治具７０に代えて、実施例５に示した押さえ治具５０又は実施例６に示した押さえ治具６０を用いる場合にも、以下の手順は適用可能である。
【００９６】
本実施例は、２つのロボットハンドＨ１、Ｈ２を用いて、搬送トレイ１０及び押さえ治具７０を静電吸着板２０上に置くようにしている。ロボットハンドＨ１、Ｈ２は、水平方向に移動可能であると共に上下方向にも移動可能なものである。
【００９７】
（１）
ロボットハンドＨ１を用いて、短冊状基板Ｂを載置した搬送トレイ１０を静電吸着板２０の上方に搬送する（図１３（ａ）参照）。このロボットハンドＨ１は、搬送トレイ１０用の搬送装置であり、二股に分かれたＹ字形状に形成されて、搬送トレイ１０の外縁部分を保持するものである。ロボットハンドＨ１と静電吸着板２０との接触を避けるため、ロボットハンドＨ１の内側の大きさは静電吸着板２０の大きさ（直径）より大きくなっており、ロボットハンドＨ１が保持する搬送トレイ１０の大きさも静電吸着板２０の直径より大きくなっている。つまり、静電吸着板２０の周囲の搬送トレイ１０の下方には、ロボットハンドＨ１を挿入するスペースが形成されている。
（２）
ロボットハンドＨ１を下方に移動すると、搬送トレイ１０は静電吸着板２０上に載置されることになる。その後、ロボットハンドＨ１を搬送トレイ１０の下から引き抜く（図１３（ｂ）参照）。
【００９８】
（３）
ロボットハンドＨ２を用いて、押さえ治具７０を静電吸着板２０及び搬送トレイ１０の上方に搬送する（図１３（ｃ）参照）。このロボットハンドＨ２は、押さえ治具７０用の搬送装置であり、二股に分かれたＹ字形状に形成されて、押さえ治具７０の外縁部分を保持するものである。ロボットハンドＨ２と搬送トレイ１０との接触を避けるため、ロボットハンドＨ２の内側の大きさは搬送トレイ１０の大きさ（直径）より大きくなっており、ロボットハンドＨ２が保持する押さえ治具７０の大きさも搬送トレイ１０の直径より大きくなっている。つまり、搬送トレイ１０の周囲の押さえ治具７０の下方には、ロボットハンドＨ２を挿入するスペースが形成されている。
（４）
ロボットハンドＨ２を下方に移動すると、押さえ治具７０は搬送トレイ１０上に載置されることになる（図１３（ｄ）参照）。その後、ロボットハンドＨ２を押さえ治具７０の下から引き抜く。
【００９９】
上記手順により、搬送トレイ１０及び押さえ治具７０の搬送をスムーズに行うことができる。なお、静電吸着板２０上から搬送トレイ１０及び押さえ治具７０を取り出す場合には、上述した手順と逆の手順で行えばよい。
【産業上の利用可能性】
【０１００】
本発明は、短冊状基板に成膜やその他の処理を施す際に、当該基板温度が高温となる処理装置、例えば、プラズマＣＶＤ装置などに好適なものである。
【符号の説明】
【０１０１】
１０、３０  搬送トレイ
１２、３２  載置孔
２０  静電吸着板
２２  載置台
４０  トレイカバー
４３  凸設部
５０、６０、７０  押さえ治具
５３  押さえ部
６４、７３  押さえ部材（押さえ部）
Ｂ  短冊状基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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