(57)【要約】【課題】同時に噴射する液体の消費量に関わらず、吐出される液滴の重量のばらつきを抑制して、塗布ムラが生じるのを抑制することができる液体噴射装置を提供する。【解決手段】マニホールド１００内の液体をノズル開口２１から液滴として吐出する液体噴射ヘッド２と、前記マニホールド１００に液体を供給する供給路と、前記供給路に設けられて前記液体を圧送する圧送手段９と、前記マニホールド１００から前記液体が排出される排出路と、を具備し、前記マニホールド１００からの流出流路抵抗は、前記圧送手段９から前記マニホールド１００までの供給流路抵抗よりも小さい。【選択図】      図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
マニホールド内の液体をノズル開口から液滴として吐出する液体噴射ヘッドと、
前記マニホールドに液体を供給する供給路と、
前記供給路に設けられて前記液体を圧送する圧送手段と、
前記マニホールドから前記液体が排出される排出路と、を具備し、
前記マニホールドからの排出流路抵抗は、前記圧送手段から前記マニホールドまでの供給流路抵抗よりも小さいことを特徴とする液体噴射装置。
【請求項２】
前記圧送手段から前記マニホールドまでの前記供給路には、当該供給路を横断するフィルターが設けられていることを特徴とする請求項１記載の液体噴射装置。
【請求項３】
前記流路抵抗の調整が、前記供給路及び前記排出路の断面積の大きさで調整されていることを特徴とする請求項１又は２記載の液体噴射装置。
【請求項４】
前記液体噴射ヘッドを複数具備し、前記圧送手段から前記液体噴射ヘッドに液体を供給する前記供給路が分岐されていることを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載の液体噴射装置。
【請求項５】
前記ノズル開口の液体のメニスカスの圧力調整が、前記ノズル開口が開口する液体噴射面と前記液体貯留手段との水頭差によって調整されていることを特徴とする請求項１〜４の何れか一項に記載の液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズル開口から液体を噴射する液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置に関し、特に液体としてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッドを具備するインクジェット式記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体を吐出する液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置としては、圧力発生手段によって流路内に圧力を発生させて、流路に連通するノズル開口からインク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッドを具備するインクジェット式記録装置が挙げられる。
【０００３】
このようなインクジェット式記録ヘッドでは、インクの増粘や成分の沈降、気泡の混入等に起因して、ノズル開口の目詰まり等の吐出不良が発生するという問題がある。このため、インクが貯留された液体貯留手段からインクジェット式記録ヘッドの各ノズル開口に連通する流路に共通する共通液室であるマニホールドにインクを供給する供給路の他に、インクジェット式記録ヘッドのマニホールドから増粘や成分の沈降、気泡の混入等をしたインクを外部に排出する排出路を設けるようにした液体噴射装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１２−５６２４８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、外部からインクをインクジェット式記録ヘッドに供給し、インクジェット式記録ヘッドのインクを外部に排出させる構成では、全てのノズル開口からインク滴を吐出する場合と、１つのノズル開口からインク滴を吐出する場合など、同時に吐出するインクの消費量の差によってマニホールド内の圧力に差が生じ、吐出されるインク滴の重量にばらつきが生じてしまうという問題がある。
【０００６】
なお、このような問題はインクジェット式記録装置に限定されず、インク以外の液体を噴射する液体噴射装置においても同様に存在する。
【０００７】
本発明はこのような事情に鑑み、同時に噴射する液体の消費量に関わらず、吐出される液滴の重量のばらつきを抑制して、塗布ムラが生じるのを抑制することができる液体噴射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決する本発明の態様は、マニホールド内の液体をノズル開口から液滴として吐出する液体噴射ヘッドと、前記マニホールドに液体を供給する供給路と、前記供給路に設けられて前記液体を圧送する圧送手段と、を具備し、前記マニホールドからの流出流路抵抗は、前記圧送手段から前記マニホールドまでの供給流路抵抗よりも小さいことを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、排出路の流路抵抗を小さくすることで、同時に吐出する液体の数の変化に応じて、マニホールド内の圧力に差が生じるのを抑制することができ、吐出される液体の重量に差が生じるのを抑制して、塗布ムラが発生するのを抑制することができる。また、圧送手段によって液体を圧送することで、高い圧力で液体を供給することができる。
【０００９】
ここで、前記圧送手段から前記マニホールドまでの前記供給路には、当該供給路を横断するフィルターが設けられていることが好ましい。これによれば、フィルターによって供給路の流路抵抗が排出路の流路抵抗よりも大きくなる。
【００１０】
また、前記流路抵抗の調整が、前記供給路及び前記排出路の断面積の大きさで調整されていてもよい。
【００１１】
また、前記液体噴射ヘッドを複数具備し、前記圧送手段から前記液体噴射ヘッドに液体を供給する前記供給路が分岐されていることが好ましい。これによれば、１つの圧送手段によって複数の液体噴射ヘッドに液体を供給することができるため、複数の圧送手段が不要となりコストを低減することができる。また、複数の液体噴射ヘッドのマニホールド内の圧力に差が生じるのを抑制して、複数の液体噴射ヘッドから吐出される液体の重量のばらつきを抑制することができる。
【００１２】
また、前記ノズル開口の液体のメニスカスの圧力調整が、前記ノズル開口が開口する液体噴射面と前記液体貯留手段との水頭差によって調整されていることが好ましい。これによれば、圧力調整を行う負圧ポンプ等が不要となってコストを低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】実施形態１に係る記録装置の概略構成を示す斜視図である。
【図２】実施形態１に係る記録装置の構成を模式的に示す断面図である。
【図３】実施形態１に係る記録ヘッドの分解斜視図である。
【図４】実施形態１に係る記録ヘッドの平面図である。
【図５】実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。
【図６】実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。
【図７】実施形態１に係るヘッド本体の分解斜視図である。
【図８】実施形態１に係るヘッド本体の平面図である。
【図９】実施形態１に係るヘッド本体の断面図である。
【図１０】他の実施形態に係る記録装置の構成を模式的に示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係る液体噴射装置の一例であるインクジェット式記録装置の概略構成を示す斜視図であり、図２は、インクジェット式記録装置の概略構成を模式的に示す断面図である。
【００１５】
図１に示すように、本実施形態の液体噴射装置の一例であるインクジェット式記録装置Ｉは、複数のインクジェット式記録ヘッド２を有するヘッドユニットＩＩを装置本体４に固定し、搬送方向に記録シートＳ等の被噴射媒体を搬送することで印刷を行う、いわゆるライン式のインクジェット式記録装置である。
【００１６】
ヘッドユニットＩＩは、ベースプレート１と、ベースプレート１に保持された複数のインクジェット式記録ヘッド２とを具備する。各インクジェット式記録ヘッド２のインクの吐出面となるノズルプレートは、ベースプレート１の一方面側に現れている。このようなベースプレート１は、フレーム部材３を介して装置本体４に固定されている。
【００１７】
装置本体４には給紙ローラー５が設けられている。給紙ローラー５は、装置本体４に給紙された紙等の記録シートＳを搬送し、記録シートＳをインクジェット式記録ヘッド２のインクの吐出面側を通過させる。なお、ヘッドユニットＩＩには、４つのインクジェット式記録ヘッド２が記録シートＳの搬送方向とは直交する方向に並設されている。ちなみに、詳しくは後述するが、各インクジェット式記録ヘッド２は、ノズル開口の並設方向（第１の方向Ｘ）が４つのインクジェット式記録ヘッド２の並設方向となるように配置されている。
【００１８】
また、インクジェット式記録装置Ｉには、装置本体４に固定されて内部にインクが貯留されたインクタンク等の液体貯留手段６が設けられている。この液体貯留手段６には、インクジェット式記録ヘッド２にインクを供給する供給管７と、インクジェット式記録ヘッドからのインクを排出（回収）する排出管８と、が接続されている。
【００１９】
供給管７及び排出管８は、フレキシブルチューブ等の管状部材からなり、内部にそれぞれインクを供給する第１供給路２００と、インクを排出する第１排出路２１０とが設けられている。そして、供給管７の途中には、液体貯留手段６に貯留されたインクをインクジェット式記録ヘッド２に圧送するポンプ等の圧送手段９が設けられている。
【００２０】
なお、本実施形態では、図２に示すように、供給管７（第１供給路２００）は、圧送手段９の下流側で分岐されており、１つの圧送手段９によって複数のインクジェット式記録ヘッド２にインクを加圧して供給する。
【００２１】
そして、液体貯留手段６のインクは第１供給路２００を介してインクジェット式記録ヘッド２に供給され、ノズル開口から噴射されなかったインクは第１排出路２１０を介して液体貯留手段６に回収される。本実施形態では、液体貯留手段６に貯留されたインクを第１供給路２００によってインクジェット式記録ヘッド２に供給し、インクジェット式記録ヘッド２から排出されたインクは第１排出路２１０を介して同じ液体貯留手段６に排出するようにしている。このため、第１供給路２００と第１排出路２１０とは、同じ液体貯留手段６のインクをインクジェット式記録ヘッド２との間で循環する循環流路の一部を構成している。
【００２２】
ここで、このようなインクジェット式記録装置Ｉに搭載されるインクジェット式記録ヘッド２の一例について詳細に説明する。なお、図３は、本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図であり、図４は、インクジェット式記録ヘッドの平面図であり、図５は、図４のＡ−Ａ′線の要部断面図であり、図６は、図４のＢ−Ｂ′線の要部断面図である。
【００２３】
図示するように、本実施形態の液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッド２は、液体としてインク滴を吐出するヘッド本体１１０と、ヘッド本体１１０にインクを供給する流路部材１２０と、流路部材１２０に保持された回路基板１３０と、回路基板１３０に接続された配線基板１４０と、を具備する。
【００２４】
ヘッド本体１１０は、詳しくは後述するが、供給されたインクをインク滴としてノズル開口から吐出するものであり、ノズル開口に連通する流路と、流路内のインクに圧力変化を生じさせる圧力発生手段である圧電アクチュエーター等が設けられている。
【００２５】
また、ヘッド本体１１０には、一端部が圧電アクチュエーター（圧力発生手段）に接続されたフレキシブル配線部材である駆動配線１０１を具備する。駆動配線１０１には、例えば、圧電アクチュエーター（圧力発生手段）を駆動するための駆動回路（駆動ＩＣ）等が設けられていてもよい。すなわち、駆動配線１０１は、駆動回路が実装されたＣＯＦ基板であってもよい。
【００２６】
このようなヘッド本体１１０のノズル開口が開口する液体噴射面２２側には、ノズル開口を露出した状態で保護するカバーヘッド１５０が固定されている。
【００２７】
流路部材１２０は、流路部材本体１２１と、流路部材本体１２１の両側面にそれぞれ設けられた第１の蓋部材１２２と第２の蓋部材１２３と、を具備する。
【００２８】
また、流路部材１２０には、液体としてインクが貯留された液体貯留手段６（図１参照）の第１供給路２００に連通してヘッド本体１１０にインクを供給する第２供給路２０１と、ヘッド本体１１０からのインクを第１排出路２１０に排出する第２排出路２１１と、が設けられている。
【００２９】
ここで、インクジェット式記録ヘッド２に設けられた第２供給路２０１は、第１供給路に接続された導入口２０１１と、導入口２０１１に連通する第１流路２０１２と、第１流路２０１２に接続されたフィルター室２０１３と、フィルター室２０１３とヘッド本体１１０とを接続する第２流路２０１４と、を具備する。
【００３０】
図５に示すように、第１流路２０１２及びフィルター室２０１３は、流路部材本体１２１に側面（第１の蓋部材１２２側）に開口する溝状に設けられて、第１の蓋部材１２２で開口が封止されて画成されている。
【００３１】
また、第２流路２０１４は、一端がフィルター室２０１３に連通し、他端がヘッド本体１１０の流路に接続されるように形成されている。
【００３２】
さらに、フィルター室２０１３には、インクに含まれるゴミや気泡などの異物を除去するためのフィルター１２４が設けられている。フィルター１２４は、液体であるインク中に含まれるゴミや気泡などの異物を除去するためのものであり、例えば、金属や樹脂等の繊維を細かく編むことで複数の微細孔が形成されたシート状のものや、金属や樹脂等の板状部材に複数の微細孔を貫通させたものなどを用いることができる。なお、フィルター１２４は、不織布等を用いてもよく、その材料は特に限定されるものではない。
【００３３】
また、流路部材本体１２１には、第１流路２０１２及びフィルター室２０１３が開口する第１の蓋部材１２２とは反対側の第２の蓋部材１２３側に開口する凹部１２５が設けられている。回路基板１３０は、この流路部材本体１２１の凹部１２５内に挿入される。そして、凹部１２５内に挿入された回路基板１３０は、流路部材本体１２１と凹部１２５の開口を塞ぐ第２の蓋部材１２３との間で保持される。
【００３４】
回路基板１３０は、図示しない電子部品や配線等が設けられたプリント基板からなる。このような回路基板１３０には、ヘッド本体１１０の駆動配線が電気的に接続されると共に、図示しない配線基板１４０が電気的に接続されている。これにより、外部の制御回路等からの印刷信号は配線基板１４０、回路基板１３０及び駆動配線１０１を介して駆動信号として詳しくは後述する圧電アクチュエーターに供給される。また、回路基板１３０からの信号（後述する温度情報）は、配線基板１４０を介して外部の制御回路等に送られる。このような回路基板１３０は、フレキシブル基板及びリジット基板の何れか、又はこれらが組み合わされた複合基板であってもよい。
【００３５】
このような回路基板１３０は、流路部材本体１２１の凹部１２５内に流路部材本体１２１と第２の蓋部材１２３との間に挟持される。
【００３６】
一方、図６に示すように、流路部材１２０に設けられた第２排出路２１１は、ヘッド本体１１０（マニホールド）に供給されたインクを液体貯留手段に回収させるためのものであり、流路部材１２０の第２供給路２０１とは反対側の端部に設けられている。
【００３７】
この第２排出路２１１は、図６に示すように、ヘッド本体１１０が固定された面と、これとは反対側の面とを貫通して設けられている。
【００３８】
このような本実施形態のインクジェット式記録ヘッド２では、図１に示す液体貯留手段６からのインクを流路部材１２０の第２供給路２０１を介してヘッド本体１１０の詳しくは後述するマニホールド内に取り込み、マニホールドからノズル開口に至るまで内部をインクで満たした後、駆動回路等からの記録信号に従い、圧電アクチュエーターを駆動させることでノズル開口からインク滴が吐出される。また、ヘッド本体１１０のマニホールド内に供給されたインクは、流路部材１２０の第２排出路２１１を介して液体貯留手段６に戻される。すなわち、液体貯留手段６のインクは、第１供給路２００及び第２供給路２０１を介してヘッド本体１１０に供給され、ヘッド本体１１０から第２排出路２１１及び第１排出路２１０を介して液体貯留手段６に排出される。
【００３９】
ここで、本実施形態のヘッド本体の一例について図７〜図９を参照して詳細に説明する。なお、図７は、本発明の実施形態１に係るヘッド本体の分解斜視図であり、図８は、ヘッド本体の平面図であり、図９は、図８のＣ−Ｃ′線断面図及びＤ−Ｄ′線断面図である。
【００４０】
図示するように、本実施形態の液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッド２を構成する流路形成基板１０には、壁部１１によって区画された複数の圧力発生室１２が同じ色のインクを吐出する複数のノズル開口２１が並設される方向に沿って並設されている。以降、この方向を圧力発生室１２の並設方向、又は第１の方向Ｘと称する。また、流路形成基板１０には、圧力発生室１２が第１の方向Ｘに並設された列が複数列、本実施形態では、２列設けられている。この圧力発生室１２が第１の方向Ｘに沿って形成された圧力発生室１２の列が複数列設された列設方向を、以降、第２の方向Ｙと称する。
【００４１】
また、各列の圧力発生室１２の第２の方向Ｙの外側の領域には連通部１３が形成され、連通部１３と各圧力発生室１２とが、各圧力発生室１２毎に設けられたインク供給路１４及び連通路１５を介して連通されている。連通部１３は、後述する保護基板３０のマニホールド部３１と連通して圧力発生室１２の列毎に共通のインク室となるマニホールド１００の一部を構成する。インク供給路１４は、圧力発生室１２よりも狭い幅で形成されており、連通部１３から圧力発生室１２に流入するインクの流路抵抗を一定に保持している。なお、本実施形態では、流路の幅を片側から絞ることでインク供給路１４を形成したが、流路の幅を両側から絞ることでインク供給路を形成してもよい。また、流路の幅を絞るのではなく、厚さ方向から絞ることでインク供給路を形成してもよい。さらに、各連通路１５は、圧力発生室１２の幅方向両側の壁部１１を連通部１３側に延設してインク供給路１４と連通部１３との間の空間を区画することで形成されている。すなわち、流路形成基板１０には、圧力発生室１２の第１の方向Ｘの断面積より小さい断面積を有するインク供給路１４と、このインク供給路１４に連通すると共にインク供給路１４の第１の方向Ｘの断面積よりも大きい断面積を有する連通路１５とが複数の壁部１１により区画されて設けられている。なお、本実施形態では、流路形成基板１０には、ノズル開口２１に連通する流路として圧力発生室１２、連通部１３、インク供給路１４及び連通路１５が設けられており、本実施形態では、これら圧力発生室１２、連通部１３、インク供給路１４、連通路１５及び詳しくは後述するマニホールド１００（マニホールド部３１）を合わせて下流流路と称する。
【００４２】
また、流路形成基板１０の開口面側には、第２の方向Ｙにおいて各圧力発生室１２のインク供給路１４とは反対側の端部近傍に連通するノズル開口２１が穿設されたノズルプレート２０が、接着剤や熱溶着フィルム等によって固着されている。本実施形態では、流路形成基板１０に圧力発生室１２が並設された列を２列設けたため、１つのインクジェット式記録ヘッド２には、ノズル開口２１の並設されたノズル列が２列設けられている。また、本実施形態では、上述したカバーヘッド１５０によってノズルプレート２０のノズル開口２１の周囲が覆われるが、ノズルプレート２０のカバーヘッド１５０が露出するノズル開口２１が開口する面を液体噴射面２２と称する。
【００４３】
一方、このような流路形成基板１０のノズルプレート２０とは反対側には、弾性膜５０が形成され、この弾性膜５０上には、絶縁体膜５５が形成されている。さらに、この絶縁体膜５５上には、第１電極６０と、電気機械変換作用を示す圧電材料である圧電体層７０と、第２電極８０とが順次積層形成されて、本実施形態の圧力発生手段である圧電アクチュエーター３００を構成している。ここで、圧電アクチュエーター３００は、第１電極６０、圧電体層７０及び第２電極８０を含む部分をいう。一般的には、圧電アクチュエーター３００の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極及び圧電体層７０を各圧力発生室１２毎にパターニングして構成する。そして、ここではパターニングされた何れか一方の電極及び圧電体層７０から構成され、両電極への電圧の印加により圧電歪みが生じる部分を圧電体能動部という。本実施形態では、流路形成基板１０側の第１電極６０を圧電アクチュエーター３００の共通電極とし、第２電極８０を圧電アクチュエーター３００の個別電極としているが、駆動回路や配線の都合でこれを逆にしても支障はない。なお、上述した例では、弾性膜５０、絶縁体膜５５及び第１電極６０が振動板として作用するが、勿論これに限定されるものではなく、例えば、弾性膜５０及び絶縁体膜５５を設けずに、第１電極６０のみが振動板として作用するようにしてもよい。また、圧電アクチュエーター３００自体が実質的に振動板を兼ねるようにしてもよい。
【００４４】
また、圧電アクチュエーター３００の個別電極である各第２電極８０には、絶縁体膜５５上まで延設されたリード電極９０（接続端子）が接続されている。リード電極９０は、一端部が第２電極８０に接続されていると共に、他端部側が、圧電アクチュエーター３００が並設された列と列との間に延設されている。すなわち、リード電極９０の他端部側は、第２の方向Ｙで互いに隣り合う圧電アクチュエーター３００の間に延設されている。そして、このリード電極９０の延設された他端部は、駆動配線１０１と接続されている。
【００４５】
このような圧電アクチュエーター３００が形成された流路形成基板１０上、すなわち、第１電極６０、絶縁体膜５５及びリード電極９０上には、マニホールド１００の少なくとも一部を構成するマニホールド部３１を有する保護基板３０が接着剤３５を介して接合されている。このマニホールド部３１は、本実施形態では、保護基板３０を厚さ方向に貫通して圧力発生室１２の幅方向に亘って形成されており、上述のように流路形成基板１０の連通部１３と連通されて各圧力発生室１２の共通のインク室となるマニホールド１００を構成している。なお、本実施形態では、流路形成基板１０にマニホールド１００となる連通部１３を設けるようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、流路形成基板１０の連通部１３を圧力発生室１２毎に複数に分割して、マニホールド部３１のみをマニホールドとしてもよい。また、例えば、流路形成基板１０に圧力発生室１２のみを設け、流路形成基板１０と保護基板３０との間に介在する部材（例えば、弾性膜５０、絶縁体膜５５等）にマニホールドと各圧力発生室１２とを連通するインク供給路１４を設けるようにしてもよい。
【００４６】
また、保護基板３０の圧電アクチュエーター３００に対向する領域には、圧電アクチュエーター３００の運動を阻害しない程度の空間を有する保持部である圧電アクチュエーター保持部３２が設けられている。圧電アクチュエーター保持部３２は、圧電アクチュエーター３００の運動を阻害しない程度の空間を有していればよく、当該空間は密封されていても、密封されていなくてもよい。なお、本実施形態では、圧電アクチュエーター３００が並設された列が２列設けられているため、圧電アクチュエーター保持部３２を圧電アクチュエーター３００の並設された各列に対応してそれぞれ設けるようにした。すなわち、保護基板３０には、圧電アクチュエーター保持部３２が第２の方向Ｙに２つ並設されている。
【００４７】
また、保護基板３０には、保護基板３０を厚さ方向に貫通する貫通孔３３が設けられている。貫通孔３３は、本実施形態では、２つの圧電アクチュエーター保持部３２の間に設けられている。そして、各圧電アクチュエーター３００から引き出されたリード電極９０の端部近傍は、貫通孔３３内に露出するように設けられている。
【００４８】
圧電アクチュエーター３００を駆動するための駆動ＩＣ等の駆動回路１０２は、可撓性を有する駆動配線１０１に実装してある。すなわち、駆動配線１０１は、駆動回路１０２が実装されたＣＯＦ等からなる。
【００４９】
さらに、図９に示すように、保護基板３０上には、封止膜４１及び固定板４２とからなるコンプライアンス基板４０が接合されている。ここで、封止膜４１は、剛性が低く可撓性を有する材料（例えば、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）フィルム）からなり、この封止膜４１によってマニホールド部３１の一方面が封止されている。また、固定板４２は、金属等の硬質の材料（例えば、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等）で形成される。この固定板４２のマニホールド１００に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部４３となっているため、マニホールド１００の一方面は可撓性を有する封止膜４１のみで封止されている。また、コンプライアンス基板４０には、マニホールド１００にインクを供給する導入口４４と、マニホールド１００のインクを排出する排出口４５とが設けられている。なお、導入口４４と排出口４５とは、マニホールド１００マニホールド部３１の第１の方向Ｘの両端部側に設けられている。
【００５０】
このようなコンプライアンス基板４０上には、ヘッドケース１０５が固定されている。ヘッドケース１０５には、開口部４３に対向する領域に凹形状の逃がし部１０６が形成され、開口部４３のたわみ変形が適宜行われるようになっている。さらに、ヘッドケース１０５には、保護基板３０に設けられた貫通孔３３と連通する挿通孔１０７が設けられており、駆動配線１０１は、挿通孔１０７及び貫通孔３３内に挿通された状態で、駆動配線１０１の下端部がリード電極９０と接続されている。
【００５１】
また、ヘッドケース１０５には、導入口４４に連通して流路部材１２０の第２供給路２０１からのインクをマニホールド１００に供給する第３供給路２０２と、排出口４５に連通して流路部材１２０の第２排出路２１１にインクを排出する第３排出路２１２と、が設けられている。すなわち、図２に示すように、本実施形態では、液体貯留手段６からのインクをマニホールド１００に供給する供給路は、供給管７に設けられた第１供給路２００と、流路部材１２０に設けられた第２供給路２０１と、ヘッドケース１０５に設けられた第３供給路２０２と、導入口４４とを具備する。また、マニホールド１００から液体貯留手段６にインクを排出する排出路は、排出口４５と、ヘッドケース１０５に設けられた第３排出路２１２と、流路部材１２０に設けられた第２排出路２１１と、排出管８の第１排出路２１０とを具備する。
【００５２】
そして、本実施形態では、マニホールド１００からの流出流路抵抗は、圧送手段９からマニホールド１００までの供給流路抵抗よりも小さくなっている。
【００５３】
ここで、流出流路抵抗とは、本実施形態では、各インクジェット式記録ヘッド２のマニホールド１００から液体貯留手段６までインクを排出する排出路（総排出路）の流路抵抗のことである。ちなみに、排出路が液体貯留手段６に接続されずに、外部等に廃棄される場合には、流出流路抵抗は、排出路の廃棄される排気口までの流路抵抗となる。
【００５４】
また、供給流路抵抗とは、液体貯留手段６からマニホールド１００にインクを供給する全ての供給路のうち、圧送手段９からマニホールド１００までの供給路の流路抵抗のことである。
【００５５】
つまり、本実施形態では、各インクジェット式記録ヘッド２のマニホールド１００から液体貯留手段６までインクを排出する排出路（総排出路）の流路抵抗（圧力損失）は、液体貯留手段６からマニホールド１００にインクを供給する全ての供給路のうち、圧送手段９からマニホールド１００までの供給路の流路抵抗（圧力損失）よりも小さくなっている。
【００５６】
具体的には、マニホールド１００から液体貯留手段６までインクを排出する排出路（総排出路）とは、上述したように、排出口４５と、第３排出路２１２と、第２排出路２１１と、第１排出路２１０とのことである。また、圧送手段９からマニホールド１００までの供給路とは、圧送手段９からインクジェット式記録ヘッド２側の第１供給路２００と、第２供給路２０１と、第３供給路２０２と、導入口４４とのことである。そして、本実施形態では、圧送手段９からマニホールド１００までの供給路の途中、具体的には、第２供給路２０１には、当該流路を横断するフィルター１２４が設けられているため、このフィルター１２４によって圧送手段９からマニホールド１００までの供給路は、排出路よりも流路抵抗が高くなっている。
【００５７】
もちろん、流路抵抗の調整は、フィルター１２４に限定されず、流路の断面積を調整することで、排出路の流路抵抗を、圧送手段からマニホールドまでの供給路の流路抵抗よりも小さくしてもよい。すなわち、排出路の断面積を供給路の断面積よりも大きくすれば、排出路の流路抵抗を供給路の流路抵抗よりも小さくすることができる。もちろん、フィルター１２４の圧力損失と流路の断面積との両方を調整するようにしてもよく、その他の方法を用いて調整してもよい。
【００５８】
このように、マニホールド１００から液体貯留手段６までの排出路の流路抵抗を、圧送手段９からマニホールド１００までの供給路の流路抵抗よりも小さくすることで、ノズル開口２１からインク滴が吐出される量が変化したとしても、マニホールド１００内の圧力変動を抑制して、マニホールド１００内を安定した圧力とすることができる。つまり、１つのインクジェット式記録ヘッド２において、１つのノズル開口２１からインク滴を吐出する場合と、全てのノズル開口２１からインク滴を吐出する場合とでは、インクの消費量が異なる。そして、排出路の流路抵抗が高いと、同時に吐出するインクの消費量の違いによってマニホールド１００内の圧力に差が生じてしまう。このようにインク消費量の違いによってマニホールド１００内の圧力に差が生じると、吐出されるインク滴の重量に差が生じ、記録シートＳへのインクの塗布ムラ（印刷ムラ）が生じてしまう。特に同じ色のインク滴を吐出するノズル開口２１の場合、インク滴の吐出重量に差が生じると、スジ状の塗装ムラが生じ易い。本実施形態では、排出路の流路抵抗を小さくすることで、吐出されるインク消費量の違いによってマニホールド１００内の圧力変化が生じ難く、インク滴を同時に吐出するノズル開口２１数に関わらず吐出されるインク滴の重量に差が生じるのを抑制することができる。したがって、記録シートＳへの塗布ムラが生じるのを抑制することができる。
【００５９】
なお、このようなインクジェット式記録ヘッド２は、ノズル開口２１が並設された第１の方向Ｘが、記録シートＳの搬送方向とは交差する方向となるように並設される。そして、並設されたインクジェット式記録ヘッド２は、並設方向でノズル開口２１の列が連続するように固定される。これにより、複数のインクジェット式記録ヘッド２のノズル開口２１の列が搬送方向と交差する方向に連続するように並べることで、ノズル列の長さを長くして、幅広の記録シートＳに印刷を行うことができる。そして、本実施形態では、液体貯留手段６のインクを供給する供給管７の第１供給路２００を分岐して複数のインクジェット式記録ヘッド２に同じ色のインク（同じ種類の液体）が供給されるようにした。すなわち、本実施形態のようなライン式のインクジェット式記録装置Ｉでは、ノズル開口２１が記録シートＳの搬送方向と交差する方向で連続するように並設された複数のインクジェット式記録ヘッド２には、同じ色のインク（同じ種類の液体）が供給されるが、上述のように、排出路の流路抵抗を小さくすることで、異なるインクジェット式記録ヘッド２のマニホールド１００内の圧力の差を抑制することができ、インク重量のばらつきを抑制して、特に同じインクを吐出させる際に発生するスジ等の塗布ムラを抑制することができる。
【００６０】
また、本実施形態では、圧送手段９によってインクジェット式記録ヘッド２にインクを加圧して供給するようにした。このため、排出路に吸引ポンプ等を設け、吸引ポンプの吸引による負圧で液体貯留手段６からマニホールド１００にインクを供給する場合に比べて、高い圧力でインクを供給することができる。すなわち、吸引（負圧）でインクを供給する場合、吸引する圧力を高くすると、ノズル開口２１のメニスカスが破壊されてしまう虞があるが、圧送（正圧）でインクを供給する場合には、高い圧力でインクを供給することができる。このため、圧送手段９によってインクを比較的高い圧力で供給することでフィルター１２４に付着した気泡を排出することができるため、フィルター１２４の有効面積を減少させて、インクジェット式記録ヘッド２の小型化を図ることができる。
【００６１】
（他の実施形態）
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明の基本的な構成は上述したものに限定されるものではない。
【００６２】
例えば、上述した実施形態１の液体貯留手段に、さらにインクを補充する補充手段を接続するようにしてもよい。ここで、補充手段の一例について図１０に示す。なお、図１０は、図１０は、インクジェット式記録装置の概略構成を示す断面図である。
【００６３】
図１０に示すように、本実施形態のインクジェット式記録装置Ｉは、インクジェット式記録ヘッド２と、インクを貯留する液体貯留手段６と、液体貯留手段６に液体を補充する補充手段４００と、を具備する。
【００６４】
液体貯留手段６は、インクを貯留すると共に、インクジェット式記録ヘッド２に対して鉛直方向上下に移動可能に設けられている。また、特に図示していないが、液体貯留手段６を鉛直方向上下に移動させる移動手段が設けられている。移動手段としては、例えば、モーターを用いたもの、油圧を用いたもの、電磁力を用いたものなどが挙げられる。
【００６５】
また、補充手段４００は、内部にインクが貯留された貯留タンク等からなり、液体貯留手段６にインクを供給する。具体的には、補充手段４００は、内部に補充路４０１が設けられた充填管４０２を介して液体貯留手段６に接続されている。そして、インクジェット式記録ヘッド２からインク滴として吐出されることで消費されたインクを液体貯留手段６に補充する。なお、特に図示していないが、液体貯留手段６のインク消費を検出する液面センサーや、液面センサーの情報に基づいて補充路４０１を開閉する弁体等が設けられている。
【００６６】
このようなインクジェット式記録装置Ｉでは、移動手段が液体貯留手段６をインクジェット式記録ヘッド２に対して鉛直方向上下に移動する。これにより、液体貯留手段６に貯留されたインクの液面と、インクジェット式記録ヘッド２のノズル開口が開口する液体噴射面との高さｈが変更されて水頭圧に差が生じ、マニホールド１００から貯留手段に排出される負圧が変動する。これにより、マニホールド１００内の圧力を調整して、ノズル開口２１の液体のメニスカスの位置等を制御することができる。
【００６７】
そして、インクジェット式記録ヘッド２からインク滴として吐出されることで消費されたインクは補充手段４００から液体貯留手段６に補充される。
【００６８】
このような図１０に示す構成であっても、排出路の流路抵抗を圧送手段９からマニホールド１００までの供給路の流路抵抗よりも小さくすることで、マニホールド１００内の圧力変化を減少させて、吐出されるインク滴の重量の差を抑制することができる。もちろん、上述した実施形態１の液体貯留手段６にも、移動手段が設けられていてもよい。なお、図１０に示す例では、移動手段によって液体貯留手段６を鉛直方向に移動することで、その水頭差によってノズル開口２１のインクのメニスカスを調整するようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、排出路の途中に負圧ポンプ等を設け、負圧ポンプの圧力によってメニスカスを調整したり、液体貯留手段６内の水位をセンサーを用いて検出し、水位が減少することに応じて補充手段４００から液体貯留手段６にインクを補充するようにしてもよい。
【００６９】
また、上述した実施形態１では、液体貯留手段６のインクを供給路によってインクジェット式記録ヘッド２に供給し、インクジェット式記録ヘッド２に供給したインクを同じ液体貯留手段６に排出した循環流路の構成を例示したが、特にこれに限定されず、例えば、供給するインクを貯留する供給用液体貯留手段と、排出したインクを貯留する排出用液体貯留手段とを別のものとしてもよい。また、排出したインクは貯留せずに廃棄するようにしてもよい。もちろん、供給用液体貯留手段と排出用液体貯留手段とを接続すれば、循環流路を形成することができる。
【００７０】
また、上述した実施形態１では、圧力発生室１２に圧力変化を生じさせる圧力発生手段として、薄膜型の圧電アクチュエーター３００を用いて説明したが、特にこれに限定されず、例えば、グリーンシートを貼付する等の方法により形成される厚膜型の圧電アクチュエーターや、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電アクチュエーターなどを使用することができる。また、圧力発生手段として、圧力発生室内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズル開口から液滴を吐出するものや、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズル開口から液滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーターなどを使用することができる。
【００７１】
さらに、上述した実施形態１では、インクジェット式記録装置Ｉとして、インクジェット式記録ヘッド２（ヘッドユニットＩＩ）が装置本体４に固定されて、記録シートＳを搬送するだけで印刷を行う、所謂ライン式記録装置を例示したが、特にこれに限定されず、例えば、インクジェット式記録ヘッド２（ヘッドユニットＩＩ）を記録シートＳの搬送方向と交差する主走査方向に移動するキャリッジに搭載して、インクジェット式記録ヘッド２を主走査方向に移動しながら印刷を行う、所謂シリアル型記録装置にも本発明を適用することができる。
【００７２】
さらに、本発明は、広く液体噴射装置全般を対象としたものであり、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種のインクジェット式記録ヘッド等の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等を用いた液体噴射装置にも用いることが可能である。
【符号の説明】
【００７３】
Ｉ  インクジェット式記録装置（液体噴射装置）、  ＩＩ  ヘッドユニット、  １  ベースプレート、  ２  インクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッド）、  ７  供給管、  ８  排出管、  ９  圧送手段、  １０  流路形成基板、  １２  圧力発生室、  １３  連通部、  １４  インク供給路、  １５  連通部、  ２０  ノズルプレート、  ２１  ノズル、  ３０  保護基板、  ３１  マニホールド部、  ３２  圧電アクチュエーター保持部、  ４０  コンプライアンス基板、  ５０  弾性膜、  ５５  絶縁体膜、  ６０  第１電極、  ７０  圧電体層、  ８０  第２電極、  ９０  リード電極、  １００  マニホールド、  １０５  ヘッドケース、  １１０  ヘッド本体、  １２０  流路部材、  １３０  回路基板、  １４０  配線基板、  １５０  カバーヘッド、  ２００  第１供給路、  ２０１  第２供給路、  ２０２  第３供給路、  ２１０  第１排出路、  ２１１  第２排出路、  ２１２  第３排出路、  ３００  圧電アクチュエーター、  ４００  補充手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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