(57)【要約】【課題】衝撃検査装置において、検査物における二次元的に異なる位置に対して連続して衝撃を与えることができ、再現性の高い安定した衝撃検査を行うことができる。【解決手段】この発明の衝撃検査装置１００においては、カム面３ｂに不連続の段差部を有した円筒カム３を検査物ＬＣＤ面と垂直な回転軸にて回転動作させ、円筒カム３の周囲に複数配置される衝撃ピン１を備える従節部５が円筒カム３のカム面３ｂによる作用により上方向に持ち上げられた後に前記段差部により落下動作され、衝撃ピン１が検査物ＬＣＤ面に衝撃を印加するものである。【選択図】図１
2014048066.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
平板状検査物の主面に対し、衝撃ピンを衝突させて衝撃検査を行う衝撃検査装置であって、
前記平板状検査物の主面と垂直な回転軸を有して回転動作され前記回転軸より等距離の位置に該回転軸方向で異なる高さを有する上面であるカム面を有する円筒カムを備え、
前記カム面は、前記円筒カムの回転角度に応じて、前記高さが上昇した後に不連続に下降変位する段差部を有しており、
前記カム面に当接するカムフォロワと、前記衝撃ピンとを備える従節部が、前記円筒カムの周囲に複数配置され、前記複数の従節部のそれぞれが、
前記円筒カムが回転動作する際における前記カム面による前記カムフォロワへの作用により上方向に持ち上げられた後に前記段差部により落下動作され、前記複数の従節部のそれぞれが備える前記衝撃ピンが、前記平板状検査物の主面に衝突されることを特徴とする衝撃検査装置。
【請求項２】
平板状検査物が、液晶パネルであることを特徴とする請求項１に記載の衝撃検査装置。
【請求項３】
円筒カムのカム面における段差部を形成する上側および下側のカム面において、少なくとも前記上側のカム面に一定の高さの水平面となる平坦部が形成されることを特徴とする請求項１或いは請求項２に記載の衝撃検査装置。
【請求項４】
複数の従節部は、円筒カムの周囲に少なくとも３セット以上、分散して配置されることを特徴とする請求項１から請求項３の何れかに記載の衝撃検査装置。
【請求項５】
円筒カムのカム面が有する段差部が、前記円筒カムの１回転あたり複数設けられることを特徴とする請求項１から請求項４の何れかに記載の衝撃検査装置。
【請求項６】
円筒カムの１回転あたり複数設けられる段差部に対して、それぞれの段差部間の角度差と同じ角度差の位置に複数の従節部をそれぞれ配置することにより、前記複数の従節部の落下動作が連動されることを特徴とする請求項５に記載の衝撃検査装置。
【請求項７】
従節部において、衝撃ピンとカムフォロワとの水平方向での位置関係を変更して取り付け固定することが可能な取り付け機構を備えることを特徴とする請求項１から請求項６の何れかに記載の衝撃検査装置。
【請求項８】
円筒カムと平板状検査物の主面との垂直方向での距離を調整可能な移動機構を備えることを特徴とする請求項１から請求項７の何れかに記載の衝撃検査装置。
【請求項９】
円筒カムを回転動作させるモータと、該モータの回転速度を所定の一定速度に制御可能な制御機構を備えることを特徴とする請求項１から請求項８の何れかに記載の衝撃検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、特に液晶パネルなどの平板状検査物に対し、衝撃ピンを衝突させて衝撃検査を行う衝撃検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、様々な工業製品に対して、製品の常用時において衝撃力が加わることを想定し、常用時に加わる衝撃と同レベルの衝撃強度や回数、或いは、やや強いレベルの衝撃強度や回数までの所定の衝撃を印加することで衝撃耐性について検査し、特に製造バラツキの範囲で内在的に衝撃耐性の劣る製品を脱落させることで、製品の信頼性を確保する検査手法である衝撃検査或いは衝撃試験が行われている。
【０００３】
特に液晶パネルについては、製造バラツキの範囲で液晶の充填量が適正値より不足する場合において、外的な衝撃力が加わることによって、液晶パネル内に液晶が入って無い部分となる気泡が発生することがあり、上記の衝撃検査を適正に行うことによって、気泡発生における衝撃耐性の劣る製品を脱落させることが、製品の信頼性を確保する意味で重要となっている。また、この気泡の発生は、液晶パネルが低温の状態で衝撃力が印加されることで、より顕著となることから、この液晶パネルに対し行われる衝撃検査は液晶パネルを低温に冷却した状態で実施されることが多い。
【０００４】
このような衝撃検査に関して、特許文献１においては、タイヤやゴムホースなどの内圧が連続的に作用するゴム部材を検査対象として、水平方向の回転軸を有して回転するカムによって、衝撃ピンを上下動作させることで、特定の時間、連続的にゴム部材に対して衝撃を印加し続けることにより当該ゴム部材の衝撃疲労耐性の評価を行うことのできる衝撃疲労試験装置が開示されている。また、特許文献２においては、液晶パネルにおける気泡発生を誘発させる試験として、液晶パネルを単に低温に冷却して放置する低温放置試験、所定の高さから硬球（鉄球）などを液晶パネル表面に対して落下させる衝撃試験、更に、冷却した液晶パネルに対し行う衝撃試験、つまり、低温放置試験と衝撃試験を同時に行う試験方法について開示されている。更に、特許文献３においては、より軽度の気泡発生要因に対し気泡を誘発させる試験として、液晶パネルを低圧下にした状態で衝撃試験を行う方法が有効であること、低圧下にした装置内において安定して衝撃力を印加するために、液晶パネルに衝突される衝撃ピンの上下動作をエアシリンダなどにより自動化して連続動作させる試験方法、より簡便な装置構成で同じ衝撃力を印加できる試験方法として、磁石を用いた遠隔操作により鉄球を所定の高さまで持ち上げたのちに自由落下する試験方法、などが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開昭５８−１１７４０号公報
【特許文献２】特開２００５−３００９０１号公報
【特許文献３】特開２０００−２５８７４３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
然しながら、特許文献１の衝撃疲労試験装置では、かなり長い時間に渡って連続的に、更に局所的に衝撃が加わり続けた場合における疲労を試験するものであり、衝撃ピンが水平な回転軸を有したカムにより連続して上下動作されることから、検査物の特定の場所に連続的に衝撃を掛け続けることにおいては優れた方法であるものの、平板状などの二次元的或いは平面的な拡がりを有した検査物の検査に要求される平面内の色々な位置に衝撃を印加するために適した方法ではない。また、衝撃ピンの下降動作の際、カム面に保持されながら動作して検査物に衝突されることから、カム面からの抗力の作用が入ることになる。このカム面からの抗力は回転速度に依存することから、衝撃力に相当する位置エネルギーは検査における回転速度などの条件設定により変動する。つまり、検査物に加わる衝撃力についても変動を伴ってしまう。
【０００７】
また、特許文献２や特許文献３に開示される硬球（鉄球）を所定の位置より落下させる方法は、衝撃力の安定性においては優れるが、ある程度、連続的に衝撃を印加することや、液晶パネル面上の衝撃印加位置を正確に決定したり、幾つかの位置を選択したり、液晶パネルに応じて、最適な検査条件を細かく設定することが難しい。また、特許文献３に開示される衝撃ピンの上下動作を自動化して連続して衝撃を印加する方法は、逆に連続的に衝撃を印加することに優れるが、上下動作は機械的な動作であることから、機械の出力や経時変化などによって、いつも同じ衝撃力が印加されるとは限らない。つまり、検査物に印加される衝撃力の安定性に劣る。更に、衝撃試験機構を備えた真空装置や冷却装置内に検査物を入れて検査するものであり、真空装置や冷却装置にエアシリンダなどの複雑な動作機構を備えた大掛かりな衝撃試験装置を準備する必要がある。
【０００８】
以上説明のとおり、特許文献１から特許文献３の衝撃試験装置或いは衝撃試験方法も含めて、従来においては、平板状の検査物、特に液晶パネルなどの検査物を検査する衝撃検査装置への要求である平面内の色々な位置に衝撃を印加すること、印加される衝撃力が再現性良く安定していること、或いは装置が軽量で取り扱い易く安価であること、などの条件を満たした適当な衝撃試験装置は存在しなかった。
【０００９】
この発明は、上述のような問題を解決するために為されたもので、平板状の検査物、特に液晶パネルなどの検査物を検査する衝撃検査装置において、平面内の色々な位置に衝撃を印加すること、印加される衝撃力が再現性良く安定していること、或いは装置が軽量で取り扱い易く安価であることなどの特徴を有した衝撃検査装置を得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の衝撃検査装置においては、平板状検査物の主面と垂直な回転軸を有して回転動作される円筒カムを備え、円筒カムのカム面は、高さが上昇した後に不連続に下降変位する段差部を有しており、カム面に当接するカムフォロワと衝撃ピンとを備える従節部が円筒カムの周囲に複数配置され、これら複数の従節部のそれぞれが、円筒カムが回転動作する際におけるカム面による作用により上方向に持ち上げられた後に前記段差部により落下動作され、前記複数の従節部のそれぞれが備える前記衝撃ピンが、前記平板状検査物の主面に衝突されて衝撃を印加するものである。
【発明の効果】
【００１１】
本発明は、衝撃検査装置において、平板状の検査物の表面における二次元的に異なる位置に対して連続して衝撃を与えることができ、再現性の高い安定した衝撃印加を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の実施の形態１の衝撃検査装置の装置全体図である。
【図２】本発明の実施の形態１の衝撃検査装置の円筒カムとカム面高さについての説明図である。
【図３】本発明の実施の形態１の衝撃検査装置における円筒カムに対する従節部の配置図である。
【図４】本発明の実施の形態１の衝撃検査装置における従節部の説明図である。
【図５】本発明の実施の形態１の衝撃検査装置における従節部の機能説明図である。
【図６】本発明の実施の形態１の衝撃検査装置の検査実施時における、液晶パネルと装置主要部との位置関係を示す説明図である。
【図７】本発明の実施の形態１の衝撃検査装置の検査実施時における、動作状態の説明図である
【図８】本発明の実施の形態１の衝撃検査装置の円筒カムの回転角度に対応する従節部の動作の説明図である。
【図９】本発明の実施の形態１の第１の変形例の衝撃検査装置の回転カムの円筒カムとカム面高さについての説明図である。
【図１０】本発明の実施の形態１の第１の変形例の衝撃検査装置の作用についての説明図である。
【図１１】本発明の実施の形態１の第２の変形例の衝撃検査装置の回転カムの円筒カムとカム面高さについての説明図である。
【図１２】本発明の実施の形態２の衝撃検査装置の装置全体図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
実施の形態１．
ここでは、本発明を適用した例となる実施の形態１の液晶パネル用衝撃検査装置について説明を行う。先ず、本発明を適用した実施の形態１の液晶パネル用衝撃検査装置の構成について図１〜図４を用いて説明する。ここで、図１は本実施の形態１の衝撃検査装置の装置全体の側面概略図、図２は当該衝撃検査装置の要部構成となる円筒カムの概略図とカム面高さを示すグラフ、図３は円筒カムに対する従節部(動作出力側の構成)の配置関係を示す上面図、図４は従節部(動作出力側の構成)の構成を示す概略図を其々示した説明図である。なお、図は模式的なものであり、示された構成要素の正確な大きさなどを反映するものではない。また、図中、既出の図において説明したものと同一の構成には同一の符号を付し、適宜、その説明を省略する。以下の図においても同様とする。
【００１４】
先ず、本実施の形態１の液晶パネル用衝撃検査装置の全体構成について、図１の装置全体の概略図を用いて説明を行う。図１に示すように、本実施の形態１の衝撃検査装置１００は、当該衝撃検査装置１００が衝撃検査を行う対象となる平板状の検査物である液晶パネルＬＣＰを載せるステージＳＴと、液晶パネルＬＣＰに対して衝突され、所定の衝撃力を印加する衝撃ピン１と、衝撃ピン１に上下動作を与える動作機構となるカム機構と、主要な構成のカム機構を収納する筐体部２と、筐体部２を液晶パネルＬＣＰ或いはステージＳＴに対して、所定の位置関係に据える脚部２ａとを備えている。
【００１５】
なお、衝撃ピン１については、所定の衝撃力を印加できれば、どのような構成や材質でも良いが、磨耗などにより変形すると衝撃力の変動につながることから、当接される衝撃ピン１の特に先端部については、比較的硬い金属材料、セラミック、強化プラスチックなどの材質によりなり、形状としては、鋭利な先端や局所的な突出部を有しない形状、例えば滑らかな球面などに加工されたものが好ましい。
【００１６】
また、カム機構について、カムとその動作系は、円筒カム３と、円筒カム３に回転力を与えるモータ４と、円筒カム３とモータ４間を連結して回転力を伝達する連結部４ａとから構成され、カムの動作により受動的に動作される従節部５(動作出力側の構成)は、円筒カム３のカム面と当接して作用を受けるカムフォロワ６と、カムフォロワ６が取り付けられ上下動作する可動アーム７と、可動アーム７に取り付け固定される衝撃ピン１とから構成される。円筒カム３の回転方向は、平板状の検査物である液晶パネルＬＣＰの主面に対して、回転軸が垂直方向、すなわち、回転面が水平方向に設定されている。なお、従節部５は、水平方向に回転面を有する円筒カム３に対して、周囲に３セット設けられている。また、モータ４は、筐体部２にモータ固定ネジ４ｂにより固定されている。更に、円筒カム３とモータ４間を連結する連結部４ａは、円筒カム３と一体に成形されていても良く、円筒カム３がモータ４の軸に直接取り付けられる構成として省略することも可能である。別途設けるか省略するかは、円筒カム３とモータ４の軸との距離に応じて、適宜選択すれば良い。また、モータ４には、回転速度を所定の一定速度に制御可能な制御機構（図示省略）を備えるものとする。
【００１７】
また、可動アーム７は、筐体部２の下部面に開けた開口部と、開口部に取り付けられたブッシュ８を介して、筐体部２の内側より外側に延在して配置されている。このブッシュ８は、開口部と可動アーム７との隙間を埋める金属やプラスチックでできた部品であり、筐体部２の開口部に対する可動アーム７の動きの遊び（ガタツキ）を無くし、可動アーム７の動きをある程度滑らかに上下方向に動作するよう規制する役割をしている。
【００１８】
また、筐体部２と脚部２ａ間には、脚部２ａ、液晶パネルＬＣＰ、或いはステージＳＴに対して、装置の主要な構成のカム機構やカム機構を収納する筐体部２などの垂直方向の相対位置を調整可能とするため、上下機構９が設けられている。上下機構９は、垂直方向のボールネジなどを備え、手動やモータ駆動などにより、脚部２ａに対して筐体部２を上下動作でき、特定位置で固定できる機能を有していれば良い。これら構成により、カム機構やカム機構を収納する筐体部２を特に検査対象となる液晶パネルＬＣＰに対して、上下方向の所定の位置に位置決めすることができる。また、液晶パネルＬＣＰに対する水平方向の位置決めについては、本実施の形態１では、脚部２ａの其々の内側端部を、液晶パネルＬＣＰの端面と対向して配置される設計とされており、脚部２ａの間に液晶パネルＬＣＰが配置されるように衝撃検査装置１００を据えることで、液晶パネルＬＣＰに対して脚部２ａが位置決めされ、筐体部２も所定の位置に配置される。なお、更に上下機構９に、水平方向の移動機構も備えた構成とすれば、衝撃検査装置１００を据えたあとも、液晶パネルＬＣＰに対するカム機構やカム機構を収納する筐体部２の水平方向の位置を調整可能な構成とすることも可能である。
【００１９】
ステージＳＴは衝撃検査装置１００が専用に備える必要性は必ずしも無いが、本実施の形態１では、ステージＳＴを衝撃検査装置１００の一部構成として備えることとし、ステージＳＴには、所定の低温にステージＳＴと液晶パネルＬＣＰを冷却するための冷却機構ＣＰを備えることとした。冷却機構ＣＰとしては、所定温度の冷媒を循環させる受動的な冷却手段でも良いし、熱交換器など能動的な冷却手段でも良く、ステージＳＴ或いは液晶パネルＬＣＰの温度を測定する温度センサを備えて、冷却手段の動作と連動させて、液晶パネルＬＣＰの温度を所定温度範囲に維持できるようにすると良い。
【００２０】
続いて、図２を用いて、円筒カム３について詳細に説明する。ここで、図２（ａ）は円筒カム３の上面概略図、図２（ｂ）は斜め上側よりの斜視概略図、図２（ｃ）はカム面高さの回転角度依存性を示すグラフに対応する。先ず、本実施の形態１の衝撃検査装置１００に用いられる円筒カム３は、図より明らかなとおり、詳細な分類で言えば円筒リブカムであり、円筒カム３の基部となる円筒形状のカム胴体部３ａと、このカム胴体部３ａの周囲に螺旋形状を有して突出して配置されるリブ３ｂとから構成される。この螺旋形状を有するリブ３ｂの上面に相当するリブ上面３ｃによりカム面が形成されている。また、円筒カム３の動作方向は図２（ａ）、図２（ｂ）中に円筒軸の周囲に図示された矢印で示されるように、円筒軸を中心に上面視では時計回りの方向に回転動作される。つまり、円筒軸と回転軸は一致される。また、カム面となるリブ上面３ｃは、図２（ａ）、図２（ｂ）から明らかなとおり、或いはリブ３ｂが螺旋形状を有することからも明らかなとおり、この回転軸より等距離の位置に設けられており、回転軸方向、つまり、螺旋形状の上下方向で異なる高さを有している。
【００２１】
また、リブ３ｂは、カム胴体部３ａの周囲において平面的には重複することなく設けられる。つまり、図２（ａ）でも示されるとおり、平面的には、螺旋形状における下側のリブ３ｂの端部と上側のリブ３ｂの端部は一致している。更に言えば、リブ３ｂは、カム胴体部３ａの周囲において、３６０度の角度範囲に設けられていることになる。また、カム面となるリブ上面３ｃで言えば、この下側のリブ３ｂの端部と上側のリブ３ｂの端部の一致部分において、カム面は不連続となり、回転軸方向或いは円筒軸方向と、平行な方向にギャップ（段差部）が形成される。
【００２２】
また、下側のリブ３ｂの端部近傍と上側のリブ３ｂの端部近傍では、ある角度範囲においてリブ３ｂは水平に形成されている。従って、カム面を構成するリブ上面３ｃについて言えば、下側のリブ３ｂの端部近傍と上側のリブ３ｂの端部近傍では、水平面が形成されており、それぞれ、下側のリブ３ｂの端部近傍ではリブ平坦部３ｄが、上側のリブ３ｂの端部近傍では、リブ平坦部３ｅが設けられている。
【００２３】
カム面の設計について、より正確に説明するために、図２（ｃ）のカム面高さを示すグラフを用いて説明を行う。このカム面高さを示すグラフは、図２（ａ）に示される角度θ（リブ平坦部３ｄとリブ平坦部３ｅの境界線を基準とし、カム面上の任意の点Ｐまでの角度で規定）に対し、カム面上の任意の点Ｐの相対高さ（図２（ｂ）中に示す回転軸に垂直な基準面ＢＦよりの高さ）を示すものである。また、図２（ｂ）中に示すとおり、リブ平坦部３ｄの基準面ＢＦよりの高さをＨ１、リブ平坦部３ｅの基準面ＢＦよりの高さをＨ２としている。カム面は、この図２（ｃ）のカム面高さを示すグラフに示されるとおり、基準角度０度から、下側のリブ３ｂの端部近傍でのリブ平坦部３ｄの形成角度に相当して、高さＨ１が一定角度維持される。その後、リブ平坦部３ｄを外れた後は、一定の傾斜角度でカム面となるリブ上面３ｃは高さを増加していく。最後に再び高さＨ２のリブ平坦部３ｅに掛かるとリブ平坦部３ｄの形成角度に相当して、高さＨ２が一定角度維持される。更に、角度θが３６０度を超える際、つまり、基準角度０度をまたぐ際には、前後で高さＨ２より高さＨ１まで不連続に下降変位するギャップ（段差部）が形成されることとなっている。
【００２４】
続いて、図３、図４および図５を用いて、円筒カム３の周囲に配置される従節部５について詳細に説明する。先ず、図３の円筒カム３に対する従節部５の配置関係を示す上面図にて示されるとおり、円筒カム３の周囲に、円筒カム３の回転軸を中心に回転対称の位置に３セットの従節部５を構成する可動アーム７を等角度間隔、つまり１２０度ずつ回転した位置に放射状に配置している。また、それぞれの可動アーム７に取り付けられた計３つのカムフォロワ６についても、円筒カム３のカム面に当接する位置において、同様に回転軸を中心に１２０度ずつ回転した回転対称の位置に配置されることとなる。また、可動アーム７に取り付け固定される衝撃ピン１は、図示されるとおり、衝撃ピン固定具１０を介して可動アーム７に対して、やはり放射状の方向に取り付けられている。衝撃ピン１の位置も、回転軸を中心に概ね回転対称の位置に配置され、衝撃ピン固定具１０を構成する取り付けネジ１０ａにより固定されている。
【００２５】
続いて、図４および図５を用いて従節部５の詳細な構成と機能などについて説明を行う。図４は従節部５の詳細な構成を示す図で、図４（ａ）は側面図、図４（ｂ）は上面図を其々示したものである。図５は従節部５の機能などを説明する図であり、図５（ａ）は側面図、図５（ｂ）および図５（ｃ）は上面図を其々示したものである。図４（ａ）、図４（ｂ）に示すように、従節部５において、カムフォロワ６は、円筒ころが回転自在に可動アーム７に取り付けられたものであり、円筒カム３のカム面に当接しながら回転して、カム面の凹凸をスムーズにトレースできるようになっている。また、可動アーム７は、カムフォロワ６が取り付けられるＬ字形状の部材と、筐体部２の開口部に取り付けられたブッシュ８と当接しながら上下動作することとなる円柱棒状部材とからなる。この可動アーム７の円柱棒状部材に対して、衝撃ピン固定具１０を介して衝撃ピン１は取り付けられ、取り付けネジ１０ａにより固定される。衝撃ピン固定具１０には、可動アーム７の円柱棒状部材の取り付けに対応して上下方向に貫通する長穴となる調整溝１０ｂと、取り付けネジ１０ａの取り付けに対応して水平方向に開口された長穴となる調整溝１０ｃが形成されており、図５（ａ）、図５（ｂ）に往復矢印で示すように、衝撃ピン１の可動アーム７からの水平距離を長穴の長さの範囲で調整可能となっている。また、図３においては、可動アーム７から衝撃ピン固定具１０、衝撃ピン１までを概ね直線上に配置し、円筒カム３の回転軸に対して放射状に配置するようにしたが、図５（ｃ）に示すとおり、衝撃ピン固定具１０を可動アーム７に対して取り付ける際に、図中の回転方向を示す矢印にて示すとおり、取り付け角度を自由に変えて取り付けても良い。先に説明した可動アーム７からの水平距離の調整と共に実施することで、可動アーム７の円柱棒状部材を中心にして長穴の長さの範囲の領域内で、衝撃ピン１の水平方向の位置、すなわち、衝撃を印加する位置を自由に調整することができる。
【００２６】
続いて、図６〜図８を用いて、本実施の形態１の衝撃検査装置１００の動作について説明を行う。図６は、検査実施時における、検査対象となる液晶パネルＬＣＰと衝撃検査装置１００の特に主要部との位置関係を示すための上面図であり、図７は、検査実施時における、衝撃検査装置１００の動作状態を示す装置全体の側面概略図である。また、図８は、円筒カム３により動作される衝撃ピン１などの従節部５の位置の動きを円筒カム３の回転角度に対して示したグラフである。先に行った図２を用いた円筒カム３の説明部分においては、リブ平坦部３ｄとリブ平坦部３ｅの境界線を基準とし、カム面上の任意の点Ｐまでの角度θを用い説明を行ったが、ここでも、同様に、円筒カム３のリブ平坦部３ｄとリブ平坦部３ｅの境界線を基準とし、この角度θの変化に応じて、それぞれの構成の動作について説明を行うことにする。
【００２７】
図６に示すとおり、本実施の形態１の衝撃検査装置１００においては、検査物となる液晶パネルＬＣＰにおける主面である特に画像を表示する表示領域ＤＡ内の３ヶ所に衝撃ピン１により所定の強度で衝撃を与えることができる。衝撃ピン１を衝突させる検査物の主面は、液晶パネルＬＣＰでは、特に表示領域ＤＡの形成される表面と裏面の何れ側であっても良く、検査の仕様によって適宜選択すれば良い。なお、図中では、３つの衝撃ピン１の下部に位置する液晶パネルＬＣＰに、おおよそ、衝撃ピン１による衝撃が作用する領域として、衝撃領域ＨＡを網掛けで示している。
【００２８】
また、図５を用いて説明したように、可動アーム７に対する衝撃ピン１の取り付け位置を検査の開始前に予め調整しておくことで、可動アーム７の円柱棒状部材を中心にして、図中の長点線で囲う領域内で衝撃領域ＨＡの位置を変更することも可能である。なお、可動アーム７に対する衝撃ピン１の取り付け位置の調整による衝撃領域ＨＡの位置の調整は、図６に示すように、特定の液晶パネルＬＣＰに対して行うものでなくても良い。つまり、異なる大きさの液晶パネルＬＣＰを検査する際などに、液晶パネルＬＣＰの表示領域ＤＡの大きさに応じて、適度に衝撃領域ＨＡが分散して配置させるように調整を行うために活用しても良い。
【００２９】
続いて、円筒カム３の回転角度に応じた衝撃ピン１などの従節部５の動作について説明を行う。ここでは、３セット設けられた従節部５のうち、特に図６中において、θで示された位置に配置される従節部５と、この従節部５を構成するカムフォロワ６、可動アーム７、衝撃ピン１の動作を例に取って説明を行うことにする。この着目する従節部５において、図６、図７に位置を示すとおり、特に動作として意味のある液晶パネルＬＣＰ面に衝撃を印加することとなる衝撃ピン１の先端部に相当する位置を位置Ｑ１、また、円筒カム３のカム面より直接作用を受けるカムフォロワ６の軸部の位置を位置Ｑ２とし、これらの位置の高さ方向の変化の詳細について図８を用いて説明を行う。
【００３０】
先ず、円筒カム３の回転動作と衝撃ピン１などの従節部５の動作の概要について、図６、図７を用いて説明を行う。円筒カム３が連続的に回転動作することで、カム面に追従するカムフォロワ６は、カム面の作用により、円筒カム３に設けられた高さＨ１より高さＨ２まで連続的に上昇した（持ち上げられた）後、再び、高さＨ１まで不連続に下降変位するカム面に設けられた段差部により落下動作され、連続的な上昇と落下を繰り返す動作をする。また、カムフォロワ６と連動される可動アーム７、衝撃ピン１、更にこれら構成よりなる従節部５についても、連動してカムフォロワ６と同じ動作をする。
【００３１】
特に、液晶パネルＬＣＰ面へ衝撃ピン１が衝突される動作としては、図７において、点線で示されるカムフォロワ６、可動アーム７、衝撃ピン１よりなる従節部５のとおり、高さＨ２まで変位される。その後、更に円筒カム３の回転が進み、この高さＨ２より高さＨ１へ不連続に下降変位するカム面の段差部をカムフォロワ６がまたぐことで、図７において、図中矢印で示される下方へ、つまり、図中実線で示されるカムフォロワ６、可動アーム７、衝撃ピン１よりなる従節部５の位置まで落下される。このようにして、衝撃ピン１が液晶パネルＬＣＰ面に衝突されることとなる。つまり、この高さＨ２まで持ち上げられて蓄積された従節部５の重さによる位置エネルギーについて、このように従節部５のカムフォロワ６が円筒カム３のカム面の段差部を超えることによって保持されなくなって従節部５が落下し、このカムフォロワ６と従節部５に連動する衝撃ピン１が液晶パネルＬＣＰ面に衝突されることで、当該蓄積された位置エネルギーが衝撃力として液晶パネルＬＣＰ面に印加されるのが基本動作となる。
【００３２】
また、本実施の形態１の衝撃検査装置１００においては、円筒カム３のカム面に形成される段差部は１回転につき１ヶ所であることから、円筒カム３の１回転の動作につき、一つの従節部５については１回の落下により、１回の衝撃ピン１による液晶パネルＬＣＰ面への衝撃印加がされる。また、円筒カム３に対して、従節部５は３セット角度を変えて設けられて、円筒カム３の１回転の動作につき、液晶パネルＬＣＰ面に対して、３ケ所の衝撃領域ＨＡに順次衝撃印加がされる。
【００３３】
続いて、図８を用い、衝撃ピン１などの従節部５の動作について、より詳細な説明を行う。図８は、円筒カム３により動作される衝撃ピン１などの従節部５の位置の動きを円筒カム３の回転角度に対して示したグラフである。先ず、従節部５の動作は円筒カム３のカム面が基準となることから、図２（ｃ）で説明したカム面高さを示すグラフをベースとしている。つまり、図２（ｃ）と同様にカム面上の任意の点Ｐの相対高さを図８にもプロットしている。但し、ここでは、図２（ｃ）で用いたリブ平坦部３ｄの基準面ＢＦよりの高さＨ１、リブ平坦部３ｅの基準面ＢＦよりの高さＨ２について、基準面ＢＦを液晶パネルＬＣＰ面としており、高さＨ１、高さＨ２については、液晶パネルＬＣＰ面よりの高さに相当する。従って、図８の縦軸も液晶パネルＬＣＰ面からの高さで示している。この液晶パネルＬＣＰ面からの高さとして、衝撃ピン１の先端部の位置Ｑ１、カムフォロワ６の軸部の位置Ｑ２についても、図８中に示されており、位置Ｑ１は実線で、位置Ｑ２は長破線で、それぞれ示されている。なお、カム面高さに相当する位置Ｐについては点線で示されている。
【００３４】
図８に示されるとおり、円筒カム３の回転角度θに応じて、円筒カム３のカム面の位置Ｐが変化し、回転角度θが０度より３６０度までの円筒カム３が１回転する範囲において、位置Ｐは、高さＨ１より上昇を開始し、高さＨ２まで連続的に上昇した後、３６０度を過ぎて、次の回転に至る際に、高さＨ２より高さＨ１へ不連続に下降変位する。基本的には、このカム面の位置Ｐの変位に追従して、カムフォロワ６、可動アーム７、衝撃ピン１よりなる従節部５が上下動作する。そして、この円筒カム３のカム面に当接して直接作用を受けるカムフォロワ６の軸の位置Ｑ２についても、基本的には、つまり、カムフォロワ６が円筒カム３のカム面に当接している間は、この位置Ｐより、カムフォロワ６の半径に相当する距離高い位置を変位することとなる。
【００３５】
但し、図８に示される位置Ｑ２のグラフより、回転角度θが０度から一定の範囲で、位置Ｑ２の高さは、カムフォロワ６の半径に相当する距離を超える範囲で、円筒カム３のカム面の位置Ｐよりも高くなっている。つまり、回転角度θが０度から一定範囲では、カムフォロワ６は、明らかに、円筒カム３のカム面に当接されず、円筒カム３のカム面より上方に位置していることが解かる。この範囲での状態については、衝撃ピン１の先端部の位置Ｑ１のグラフの方において、位置Ｑ１、すなわち、液晶パネルＬＣＰ面からの衝撃ピン１の先端部の位置Ｑ１の高さがゼロを示していることから解かるとおり、衝撃ピン１の先端が液晶パネルＬＣＰ面に当接している状態を示している。これは、円筒カム３の回転角度θが０度より３６０度までの一連の動作の範囲内で、衝撃ピン１を液晶パネルＬＣＰ面に衝突させるために設定されるものである。また、この範囲では、カム面がカムフォロワ６と接触して、少しでも上向きの作用をしてしまうと、衝撃ピン１から液晶パネルＬＣＰに与える所定の衝撃力が変動しまうことから、確実にカム面がカムフォロワ６と接触されない設定が必要である。よって、カム面の位置Ｐを衝撃ピン１の先端位置Ｑ１が液晶パネルＬＣＰ面に当接している状態におけるカムフォロワ６の下面よりも低く形成しておくことで上記の設定とすることができる。
【００３６】
続いて、衝撃検査装置１００の動作のポイントである衝撃ピン１が液晶パネルＬＣＰ面へ衝突させる動作に関わる、回転角度θが３６０度をまたぐ前後における動作について説明する。円筒カム３のカム面の位置Ｐが高さＨ２まで上昇するのに従って、カムフォロワ６の軸の位置Ｑ２、連動する衝撃ピン１の先端部の位置Ｑ１も、図８に示されるとおりカム面の位置Ｐの変位と同じ動きをする。但し、高さＨ２のリブ平坦部３ｅにカムフォロワ６が至った直後には、これまで継続してカム面からのカムフォロワ６へ上向きの力が作用していたことから、カムフォロワ６、衝撃ピン１などを含む従節部５は、慣性に従って、上昇を続けることとなる。よって、図８の位置Ｑ１と位置Ｑ２のグラフ中にて、上向きの矢印で示す方向に若干のオーバーシュートを生じ、一時的に、カムフォロワ６は、カム面より離れることになる。特にこのオーバーシュートは、円筒カム３の回転が速い場合には、カムフォロワ６へ加わっていた上向きの力が大きくなることから顕著となる。
【００３７】
なお、本実施の形態１の衝撃検査装置１００においては、円筒カム３のカム面に高さＨ２のリブ平坦部３ｅが設けられることから、カムフォロワ６は、上記説明のオーバーシュートが発生した後、再びカム面に当接されて高さＨ２のリブ平坦部３ｅにより暫く一定高さＨ２に保持されることとなる。よって、以下に説明する衝撃ピン１が液晶パネルＬＣＰ面へ落下されることとなるカムフォロワ６が段差部にかかる前において、カムフォロワ６が一定高さＨ２に保持されることになる。
【００３８】
その後、回転角度θが３６０度をまたぐ際、つまり、円筒カム３のカム面に形成されるリブ平坦部３ｅとリブ平坦部３ｄにより形成される段差部をカムフォロワ６がまたぐ際に、カムフォロワ６は、急遽、下方より保持されない状態となり、カムフォロワ６、衝撃ピン１などを含む従節部５は下方への落下状態に進むことになる。但し、カムフォロワ６に対するカム面、つまり、リブ平坦部３ｅからの保持が無くなった直後に衝撃ピン１が液晶パネルＬＣＰ面へ当接する位置まで落下することはできない。いわゆる自由落下状態となるだけであるので、衝撃ピン１が液晶パネルＬＣＰ面へ当接する位置まで落下するまで、ある一定の落下時間が必要となる。カムフォロワ６、衝撃ピン１などを含む従節部５の実際の動作としては、図８の位置Ｑ１と位置Ｑ２のグラフ中にて、右向きの矢印で示す方向にカム面より離れた動作をすることになる。具体的には、回転角度θが３６０度から、衝撃ピン１の先端部の位置Ｑ１がゼロとなるまで、すなわち、衝撃ピン１が液晶パネルＬＣＰ面へ落下するまでの一定の範囲で放物線上を動作することになる。特にこの右向きのカム面より離れる動作は、円筒カム３の回転が速い場合には、衝撃ピン１が液晶パネルＬＣＰ面へ当接する位置まで落下する落下時間が一定であることから、より顕著となる。
【００３９】
なお、本実施の形態１の衝撃検査装置１００においては、円筒カム３のカム面の特に下側にリブ平坦部３ｄが形成されており、リブ平坦部３ｅとリブ平坦部３ｄにより形成される段差部をまたぎ、衝撃ピン１などを含む従節部５が落下動作をする際において、衝撃ピン１が液晶パネルＬＣＰ面へ当接する前にカム面の特に傾斜面などにカムフォロワ６が先に当接してしまう場合が発生し難い構成となっている。特に衝撃ピン１が液晶パネルＬＣＰ面へ当接し、カムフォロワ６がカム面より離れている回転角度θの範囲について、回転角度θが０度から衝撃ピン１が液晶パネルＬＣＰ面へ落下する位置までの角度範囲と比較して大きく設定していることから、多少、円筒カム３の回転を速く設定しても、衝撃ピン１が液晶パネルＬＣＰ面へ直接落下されることとなり、衝撃ピン１などを含む従節部５について所定の落下距離が再現され、所定の衝撃力による安定した衝撃印加を行うことができる。
【００４０】
また、図８で説明した従節部５の動作は、３セット設けられた従節部５のうちの１つについてであり、その他の従節部５の動作については、図８に示される位置Ｑ１、位置Ｑ２のグラフについて、回転角度θに対して１２０度と２４０度、それぞれ移動したものが対応する。よって、円筒カム３の１回の回転動作に対して、３セット設けられた従節部５の特に３本の衝撃ピン１が、それぞれ１回ずつ、時間差で同じ上下動作をすることとなる。
【００４１】
以上説明のとおり、本実施の形態１の衝撃検査装置１００においては、検査物である液晶パネルＬＣＰの主面に対して垂直方向の回転軸を有して回転動作される円筒カム３に対して、周囲に３セット設けられた従節部５のそれぞれが、円筒カム３が回転動作する際に、円筒カム３のカム面によって、従節部５のカムフォロワ６への作用により上方向に持ち上げられた後に落下動作され、それぞれの従節部５に取り付けられた３本の衝撃ピン１が液晶パネルＬＣＰ面に衝突されることで、液晶パネルＬＣＰ面における二次元的に異なる位置に対して、時間差的に連続して衝撃を与えることができる。また、モータ４の回転速度を制御機構によって、所定の一定速度に制御することによって、回転速度に応じて、衝撃ピン１の落下する時間的間隔を自由に調整することができる。また、同じ衝撃力で衝撃を連続して印加する衝撃検査を比較的迅速に実施することができる。
【００４２】
また、円筒カム３の周囲に配置する従節部５については、本実施の形態１のように３セットに限られないが、３セット以上を設け、本実施の形態１のように、衝撃ピン１の位置を円筒カム３の回転軸に対して、例えば放射状の位置に等角度間隔で設けるなど、分散して配置することで、特に液晶パネルＬＣＰ面に対して、比較的広い範囲において、二次元的に異なる位置に衝撃を印加できる点において優れることとなる。
【００４３】
また、本実施の形態１の衝撃検査装置１００では、カム面に段差部を形成する上側および下側のカム面において、上側には高さＨ２のリブ平坦部３ｅが設けられ、下側には、リブ平坦部３ｄが形成されている。つまり、一定の高さの水平面となる平坦部が設けられることから、円筒カム３の回転速度が速くなった場合にも落下前後で落下距離が安定する。特に、円筒カム３の回転速度が速くなった場合には、カムフォロワ６、衝撃ピン１、および従節部５が落下動作される直前まで、カムフォロワ６がカム面より上向きの作用を受けることから、カム面の段差部の上側面よりも高い位置までカムフォロワ６が上昇してしまうオーバーシュートを発生し、落下距離が変わってしまうことが生じ易い。このように、リブ平坦部３ｅが形成されていることによって、オーバーシュートを発生し、カム面よりカムフォロワ６が一時的に離れた場合にも、再びカム面に当接されて高さＨ２のリブ平坦部３ｅにより暫く一定高さＨ２に保持される。その後、カムフォロワ６、衝撃ピン１、および従節部５は、このリブ平坦部３ｅにより保持された一定高さＨ２より落下動作されることから、オーバーシュートによる影響を受けることなく、安定した衝撃印加動作をすることができる。
【００４４】
また、円筒カム３のカム面の下側に形成されたリブ平坦部３ｄによって、衝撃ピン１などを含む従節部５が落下動作をする際において、衝撃ピン１が液晶パネルＬＣＰ面へ当接する前にカム面の特に傾斜面などにカムフォロワ６が先に当接してしまう場合が発生し難い構成となっていることも、上記説明の落下前後で落下距離が安定することに寄与している。なお、カム面の下側に形成されたリブ平坦部３ｄについては、従節部５が落下動作をする際において、カム面がカムフォロワ６に先に当接しなければ、同様の作用をすることから、必ずしも平坦面である必要は無い。少なくとも、段差部の下側において、ある程度の回転カム３の回転角度θの範囲で、衝撃ピン１が液晶パネルＬＣＰ面へ当接する高さでのカムフォロワ６の位置よりも低く、回転カムのカム面が配置されていれば良く、その場合には、上記説明の落下前後で落下距離が安定する効果の得られる構成が得られる。
【００４５】
また、本実施の形態１の衝撃検査装置１００では、筐体部２と脚部２ａ間に、脚部２ａ、液晶パネルＬＣＰ、或いはステージＳＴに対して、装置の主要な構成のカム機構やカム機構を収納する筐体部２などの垂直方向の相対位置を調整可能とする上下機構９を備えた構成とすることや、併せて示唆したとおり、水平移動機構を備え位置調整可能な構成とすることで、検査条件について自由に調整可能となる。また、一旦、調整された検査条件は動作中には変動しにくく、重さが衝撃力の大小に比例する従節部５の重さと、落下距離に相当する従節部５が円筒カム３のリブ平坦部３ｅに保持される位置から衝撃ピン１が液晶パネルＬＣＰ面に当接される位置までの動作距離とにより決定される所定の位置エネルギーに相当する衝撃力を、検査物における所定の水平位置に対し、安定して、再現性良く印加することができる。
【００４６】
また、上記説明のような移動機構によって、検査条件を自動調整させる場合には、検査条件の再現性の点では、逆に悪くなる面もあることから、移動機構を設ける場合も自動などで常時調整するのではなく、調整した位置において、固定ネジなどで位置関係を完全に固定することができる構成とすると良い。また、衝撃力の調整には、円筒カム３の取り付け位置の調整や、重さが衝撃力の大小に比例する従節部５の重さを変更することにより、調整すると良い。以上のようにすれば、自動調整による動作のバラツキなどの変動要因が入ることなく、重さと落下距離により決定される所定の位置エネルギーに相当する衝撃力を、検査物における所定の水平位置に対し、安定して、再現性良く印加することができる
【００４７】
また、本実施の形態１の衝撃検査装置１００では、円筒カム３を回転動作させる機構として、モータ４を利用した自動化した構成としたが、衝撃ピン１によって印加される衝撃力は、回転動作に関わらず、従節部５の重さと落下距離により決定される所定値を安定して加えることが可能であることから、円筒カム３は回転可能に配置し、動力のみを回転レバーなどを用いた手動で行う構成としても同様の効果が得られる。なお、モータ４を利用した場合には、衝撃ピン１の落下する時間的間隔を一定値とすることや、自由に調整することができる点は、手動により円筒カム３を回転させる場合に対して優れることは先に説明のとおりである。また、液晶パネルＬＣＰへの衝撃検査を液晶パネルＬＣＰも衝撃検査装置１００も含めて低温中において実施したい場合にもおいても、人の入れない環境下で自動化して衝撃検査を実施できる点で、実施の形態１の衝撃検査装置１００は優れている。
【００４８】
また、本実施の形態１の衝撃検査装置１００では、複数配置した衝撃ピン１によって、同じ衝撃力を印加することを前提として説明を行った。例えば、液晶パネルＬＣＰに対して、表示領域ＤＡのみでなく、表示領域ＤＡの周辺領域や、端子の形成される端子領域に対しても同時に衝撃試験を行いたい場合もある。このように検査物において異なる部分に対しては、それそれの部分での衝撃耐力などに応じて衝撃力を適宜変えた条件設定とすることが望まれる。このような場合にも、複数配置した従節部５のそれぞれで、例えば、従節部５の重さを異なるものとすることで、それぞれの従節部５における衝撃ピン１により印加可能な衝撃力を異なる設定とすることも容易である。円筒カム３の構成を変えることなく、従節部５の重さのみを異なるものとすれば、実施の形態１で得られた効果、例えば、所定の衝撃力を再現性良く印加できる効果については変わらずに得ることができることから、実施の形態１で得られた効果に加えて、それぞれの衝撃ピン１で異なる所定の衝撃力を再現性良く印加することができるという新たな効果を同時に得ることができることになる。
【００４９】
続いて、先に説明を行った実施の形態１の衝撃検査装置より、回転カム３の構成のみ変更を行った実施の形態１の衝撃検査装置の変形例について説明を行う。以下、実施の形態１との変更部を重点的に説明することとする。先ず、実施の形態１の第１の変形例の衝撃検査装置の回転カム３１の構成について、図９を用いて説明する。ここで、図９（ａ）は、回転カム３１の上面概略図であり、実施の形態１の回転カム３での図２（ａ）に相当する。また、図９（ｂ）は、回転カム３１のカム面高さの回転角度依存性を示すグラフであり、実施の形態１の回転カム３での図２（ｃ）に相当する。なお、実施の形態１と同じ構成については同じ番号を付し適宜説明を省略する。
【００５０】
図９（ａ）および図９（ｂ）に示されるとおり、第１の変形例の回転カム３１においては、基部となる円筒形状のカム胴体部３ａと、このカム胴体部３ａの周囲に螺旋形状を有して突出して配置されるリブ３ｂとから構成される点までは、実施の形態１の回転カム３と類似している。しかしながら、第１の変形例の回転カム３１のリブ３ｂについては、実施の形態１の回転カム３のリブ３ｂがカム胴体部３ａの周囲において、３６０度の角度範囲に設けられていたのと異なり、半分の１８０度の角度範囲に設けられ、それぞれ点対称の位置に１対のリブ３ｂが設けられる構成となっている。また、リブ３ｂが１対設けられることに相当して、螺旋形状における下側のリブ３ｂの端部と上側のリブ３ｂについても、それぞれのリブ３ｂに設けられており、更に下側のリブ３ｂの端部と上側のリブ３ｂの端部に設けられるカム面が不連続となるギャップ（段差部）についても２ヵ所形成されることになる。また、実施の形態１の回転カム３と同様に、下側のリブ３ｂの端部近傍と上側のリブ３ｂの端部近傍で水平面が形成されることから、下側のリブ３ｂの端部近傍に設けられるリブ平坦部３ｄと、上側のリブ３ｂの端部近傍に設けられるリブ平坦部３ｅについても、それぞれ１対設けられている。
【００５１】
このような複数の段差部が形成されたカム面を有する回転カム３１を備えた衝撃検査装置では、例えば、実施の形態１の衝撃検査装置１００と同様に回転カム３１の周囲に従節部５を３セット、放射状の位置に等角度間隔で配置した場合には、それぞれの従節部５がカム面により上方向に持ち上げられた後に落下動作されるが、回転カム３１の１回転あたりに２ヵ所の段差部により落下動作されることから、３ヶ所の衝撃ピン１により２回ずつ衝撃を印加することができる。つまり、カム面に形成される段差部の数に応じて、それぞれの衝撃ピン１の動作回数を多くすることができる。
【００５２】
また、回転カム３１の２ヶ所の段差部は、回転角度１８０度ずれた位置にそれぞれ設けられることから、例えば、回転カム３１の周囲に従節部５を２セット、１８０度ずれた等角度の位置にそれぞれ配置させれば、２セットの従節部５を連動させることができ、２ヶ所の衝撃ピン１も連動させて衝撃を印加させることができる。更に、回転カム３１の周囲に４セットの従節部５を９０度ずつずれた等角度の位置にそれぞれ配置させれば、対向して１８０度分離して配置される１対の（２セットの）従節部５は連動し、９０度ずれた位置となるもう１対の（２セットの）従節部５は、時間差で連動することとなる。つまり、４ヶ所の衝撃ピン１について、２ヶ所ずつの交互動作させることが可能となる。
【００５３】
例えば、この様な交互動作する衝撃ピン１は、図１０の作用説明図に示すように活用すると有用である。先ず、図１０（ａ）に示すように、平板状の検査物である液晶パネルＬＣＰへの衝撃検査の際に、平板状の検査物に対して、長手方向と短手方向に、上記の２ヶ所ずつ交互動作する１対の衝撃ピンの位置を配置する。図中、長手方向に配列する１対の衝撃ピンを衝撃ピン１ａ、短手方向に配列する１対の衝撃ピンを衝撃ピン１ｂとして、図示している。これら衝撃ピン１ａおよび衝撃ピン１ｂが交互に動作されると、先ず、図１０（ｂ）に示すように、短手方向に配列する１対の衝撃ピン１ｂが、落下されて液晶パネルＬＣＰに衝突されると、図中の１対の衝撃領域ＨＡに衝撃力が作用する。この１対の衝撃領域ＨＡへ作用する衝撃力により、平板状の検査物の液晶パネルＬＣＰは、図では、たわみ状態を誇張して示しているが、長手方向でのたわみを生ずる。なお、たわみは、液晶パネルＬＣＰの場合には、２枚のガラス基板が貼り合わされた構造であるので、衝撃ピン１ｂが直接衝突された上側のガラス基板のたわみと考えると良い。続いて、図１０（ｃ）に示すように、長手方向に配列する１対の衝撃ピン１ａが、落下されて液晶パネルＬＣＰに衝突されると、図中の１対の衝撃領域ＨＡに衝撃力が作用し、今度は平板状の検査物の液晶パネルＬＣＰは、短手方向でのたわみを生ずる。このように、平板状の検査物の液晶パネルＬＣＰに対して、長手方向と短手方向でのたわみを交互に生じさせる衝撃を印加することができ、平板状の検査物の長手方向でのたわみ、短手方向でのたわみを伴った衝撃印加の検査を交互に併せて実施することができる。なお、液晶パネルＬＣＰ全体の（２枚のガラス基板のたわみも含めた）たわみに対する耐性を検査の主要項目とする場合には、液晶パネルＬＣＰのたわみが比較的大きく生ずるように、クッション材などを介して液晶パネルＬＣＰをステージＳＴ上に保持して検査を実施すると良い。
【００５４】
上記説明のとおり、回転カム３１の１回転あたりに２ヶ所設けられる段差部を利用して、それぞれの段差部間の角度差と同じ角度差の位置に複数の従節部５をそれぞれ配置することで、複数の従節部５、つまり衝撃ピン１の上下動作（特に落下動作）を連動させることができる。なお、回転カム３１では、カム胴体部３ａの周囲に螺旋形状を有して突出して配置されるリブ３ｂのカム面は１層であり、全ての従節部５は、この１層のリブ３ｂのカム面の作用により上下動作されることから、１回転あたりに２ヶ所設けられる段差部は、リブ３ｂが０度から１８０度と１８０度から３６０度の範囲の二つに分割された構成により形成されている。例えば、実施の形態１における回転カム３のように、０度から３６０度の範囲で設けられるリブ３ｂを有する構成であっても、この０度から３６０度の範囲で設けられるリブ３ｂをもう１層、回転軸方向に対して上側或いは下側に立体的に追加して配置し、更に、当該追加して設けられるリブ３ｂの段差部の角度をずらして配置することによっても、同様に回転カム３１の１回転あたりに２ヶ所設けられる段差部を形成することができる。より簡単な構成で説明すれば、実施の形態１における回転カム３の上側或いは下側に、全く同じ形状の回転カム３を共通の回転軸を中心として角度のみずらしたものを配置しても良い。これらの上下２層に立体的に配置されるカム面を利用して、１回転あたりに２ヶ所設けられる段差部を設けた回転カムとした場合には、上下それぞれのカム面の高さの差に対応して、別の従節部５、つまり、衝撃ピン１とカムフォロワ６の距離などを調整したものを配置することは必要となるが、回転カム３１を備えた場合と同様に複数の従節部５の上下動作（特に落下動作）を連動させることができる。
【００５５】
続いて、先に説明を行った実施の形態１の第１の変形例より、回転カム３１の構成について、更なる変形を行った実施の形態１の第２の変形例ついて説明を行う。以下、実施の形態１の変形例１からの変更部を重点的に説明することとする。この実施の形態１の第２の変形例の衝撃検査装置の回転カム３２の構成について、図１１を用いて説明する。ここで、図１１（ａ）は、回転カム３２の上面概略図であり、第１の変形例の回転カム３１での図９（ａ）に相当する。また、図１１（ｂ）は、回転カム３２のカム面高さの回転角度依存性を示すグラフであり、第１の変形例の回転カム３１での図９（ｂ）に相当する。
【００５６】
図１１（ａ）および図１１（ｂ）に示されるとおり、第２の変形例の回転カム３２においては、１対設けられる上側のリブ３ｂの端部近傍に設けられる高さＨ２に設けられるリブ平坦部３ｅについて、一方の平坦部の高さを変えて、高さＨ３に設けられるリブ平坦部３ｆに変更されている。これにより、カム面が不連続となるギャップ（段差部）における段差が異なることになる。この回転カム３２を回転動作して、この２種類の異なる段差を有したカム面によって、実施の形態１或いは実施の形態１の第１の変形例と同様に配置される従節部５と衝撃ピン１を動作させると、それぞれの従節部５と衝撃ピン１の落下距離が２種類交互に選択されて、従節部５と衝撃ピン１の落下動作がされることになる。つまり、それぞれの衝撃ピン１が衝撃を印加する同じ位置において、強弱などの２種類の異なる衝撃力によって衝撃を印加することができる。例えば、液晶パネルＬＣＰへの衝撃検査においては、液晶パネルＬＣＰに加わる衝撃力の大きさによって異なるモードの不良などが誘発される場合もあり、上記のとおり、２種類の異なる衝撃力によって衝撃を印加することができることにより、衝撃力の大きさによって発生頻度の異なる２種類のモードの不良に対する検査を同時に実施可能となる。
【００５７】
実施の形態２．
続いて、先に説明を行った実施の形態１および変形例の衝撃検査装置より、一部構成を適宜省略し、より簡素化した構成を有した本発明の適用例となる実施の形態２の液晶パネル用衝撃検査装置について図１２を用いて説明する。ここでは実施の形態１との変更部を重点的に説明することとする。図１２は本実施の形態２の衝撃検査装置の装置全体の側面概略図を示すものである。なお、実施の形態１と同じ構成については同じ番号を付し適宜説明を省略する。
【００５８】
図１２に示すように、本実施の形態２の衝撃検査装置１００ａでは、実施の形態１の衝撃検査装置１００が専用に備えていた液晶パネルＬＣＰを載せるステージＳＴの構成を省略し、別途準備される台やテーブルなどの平坦面ＦＦ上に検査対象となる液晶パネルＬＣＰを載せた状態で、液晶パネルＬＣＰ上に衝撃検査装置１００ａを載せて、治具的に配置して衝撃検査を実施可能な構成としている。
【００５９】
なお、実施の形態１の冷却するための冷却機構ＣＰを備えたステージＳＴを省略していることから、低温における液晶パネルＬＣＰへの衝撃検査を実施したい場合には、適宜、液晶パネルＬＣＰを冷却設備内で所望の低温まで冷却した後に、衝撃検査装置１００ａによって、速やかに検査を実施すれば良い。特に、実施の形態２の衝撃検査装置１００ａでも、実施の形態１の衝撃検査装置１００と同様に短時間に衝撃検査が実施できることから、冷却機構ＣＰを備えたステージＳＴを省略した場合にも、液晶パネルＬＣＰが温度上昇する前に、比較的速やかに検査を実施することが可能である。
【００６０】
また、衝撃検査装置１００ａ自体が液晶パネルＬＣＰ上に載置できる比較的コンパクトな構成であることから、衝撃検査装置１００ａ自体を液晶パネルＬＣＰ上に載置した状態で、冷却設備内に入れて冷却した後、装置内でモータ４を動作させて検査を実施しても良い。また、所望の圧力での検査など、所望の環境下で検査する場合にも、同様に衝撃検査装置１００ａ自体を液晶パネルＬＣＰ上に載置した状態で所望の環境内に入れて検査を実施すると良い。特に人の入れない環境などでもモータ４を動作させることで検査を実施することができる。また、衝撃力は、位置エネルギーにより決定されることから、重力が作用し、モータ４の動作可能な環境下であれば、所望の安定した条件による検査が実施できる。
【００６１】
また、衝撃検査装置１００ａにおいても、液晶パネルＬＣＰに対して衝突され、所定の衝撃力を印加する衝撃ピン１と、衝撃ピン１に上下動作を与える動作機構となるカム機構と、主要な構成のカム機構を収納する筐体部２などについては、実施の形態１の衝撃検査装置１００と同様の構成を有している。また、カム機構および筐体部２を検査物である液晶パネルＬＣＰに対して、所定の位置関係に据える脚部２ｂを備えている点は共通している。しかしながら、本実施の形態２の衝撃検査装置１００ａについては、液晶パネルＬＣＰに対して、検査者が液晶パネルＬＣＰ上の検査に適当な位置に治具的に載せて衝撃検査を実施する検査形態を想定していることから、実施の形態２の脚部２ｂには、液晶パネルＬＣＰに対する水平方向の位置決め機構は備えておらず、脚部２ｂを液晶パネルＬＣＰに当接させて衝撃検査装置１００ａを液晶パネルＬＣＰ上に載せるだけで、液晶パネルＬＣＰ面に対するカム機構および筐体部２の高さ方向のみ所定の位置に配置できるものである。
【００６２】
従って、脚部２ｂについては、筐体部２に直接取り付けられて、実施の形態１の衝撃検査装置１００の脚部２ａと筐体部２を垂直方向に上下動作可能な上下機構９のような筐体部２の垂直方向の位置調整機構は省略した構成としている。このように、本実施の形態２の衝撃検査装置１００ａでは、筐体部２の垂直方向での位置調整機構を省略していることから、当然のこととして、装置構成が簡素となり、装置の軽量化、装置の取り扱いが容易となること、或いは装置の低コスト化に寄与する。更に、この筐体部２の垂直方向での位置調整機構を省略したことによって、衝撃ピン１により印加される衝撃力に作用する衝撃ピン１、カム機構、カム機構を収納する筐体部２についての検査物である液晶パネルＬＣＰに対する垂直方向の位置関係が変動する余地が無く固定される。よって、検査物が異なる場合にも、多数の検査物を処理した場合にも、異なる日に検査を実施した場合も含め、自動装置による動作のバラツキ、途中で様々な処理条件変更を経たことなどの変動要因が入ることなく、従節部５の重さと落下距離により決定される所定の位置エネルギーに相当する衝撃力を、検査物における所定の水平位置に対し、安定して、再現性良く印加することができるという有利な効果を得ることができる。
【００６３】
なお、衝撃力の大小など、最初に設定する場合には、筐体部２に対する脚部２ｂの取り付け位置や脚部２ｂの長さ調整を行った後に固定しても良く、円筒カム３の取り付け位置の調整や、重さが衝撃力の大小に比例する従節部５の重さを変更することにより、調整しても良い。但し、上記説明の検査条件の再現性を重視するのであれば、衝撃検査装置１００ａの全ての構成と取り付け位置を決定し、衝撃力の大小など最初に設定した後、液晶パネルＬＣＰの検査を開始した以降は、これら調整を実施することなく、検査を継続することで、上記説明の実施の形態２の衝撃検査装置１００ａで得られる効果を同様に得ることができる。
【００６４】
なお、以上説明を行った実施の形態１とその変形例、或いは実施の形態２における衝撃検査装置については、特に液晶パネルＬＣＰを検査対象として、低温に冷却した液晶パネルＬＣＰに所定の衝撃を印加し、特定の不良パネルにおいて発生する気泡不良を検査抽出する低温衝撃検査に用いられる液晶パネル用衝撃検査装置へ適用した場合を例にとって説明を行った。但し、特に本発明の衝撃検査装置が、液晶パネルの表示領域など２次元的に異なる位置に対して所定の条件で衝撃を印加できる点において、特に好適であることから適用例として選定しただけである。本発明の衝撃検査装置は液晶パネルＬＣＰを検査対象とするものに限られるものではなく、例えば、ある程度、２次元的に衝撃印加することが必要となる平板状検査物の主面に対して衝撃ピンを衝突させて衝撃検査を行う衝撃検査装置であれば、本発明の衝撃検査装置は適用することができ、実施の形態１とその変形例、或いは実施の形態２において説明した基本的な効果については得ることができる。
【００６５】
なお、以上説明を行った実施の形態１とその変形例、或いは実施の形態２における衝撃検査装置については、衝撃検査装置が備える円筒カムについて、カム胴体部の周囲に螺旋形状を有して突出して配置されるリブを有した円筒リブカムの例を用いて説明を行った。実施の形態１とその変形例、或いは実施の形態２における円筒カム３、円筒カム３１、および円筒カム３２と同様に、検査物面と垂直な回転軸を有して回転動作され、カム面として、円筒カムの回転角度に応じて、高さが上昇した後に不連続に下降変位する段差部を有する円筒カムであれば、例えば、同様のカム面が螺旋形状の溝の上面に形成される円筒溝カムや、同様のカム面が円筒のカム胴体部外周の螺旋形状の上面を有した端面によって形成される円筒端面カムであっても良く、これら、実施の形態１とその変形例、或いは実施の形態２の衝撃検査装置と同様の効果を得ることができる。
【符号の説明】
【００６６】
１，１ａ，１ｂ  衝撃ピン、２  筐体部、２ａ，２ｂ  脚部、
３，３１，３２  円筒カム、３ａ  カム胴体部、３ｂ  リブ、
３ｃ  リブ上面、３ｄ，３ｅ，３ｆ  リブ平坦部、
４  モータ、４ａ  連結部、４ｂ  モータ固定ネジ、
５  従節部、６  カムフォロワ、７  可動アーム、
８  ブッシュ、９  上下機構、
１０  衝撃ピン固定具、１０ａ  取り付けネジ、１０ｂ，１０ｃ  調整溝、
１００，１００ａ  衝撃検査装置、
ＬＣＰ  液晶パネル、ＳＴ  ステージ、ＤＡ  表示領域、ＨＡ  衝撃領域。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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