(57)【要約】【課題】アライメントマークを有する２つのワークを高精度で実装することができる。【解決手段】第１アライメントマーク１１が形成された第１のワーク１０を載置するとともに、位置を調整するステージ２と、第２アライメントマーク２１が形成された透過性を有する第２のワーク２０を保持する保持手段３と、重畳した状態のアライメントマークを撮像する撮像手段４と、撮像手段４を、アライメントマークの一方を撮像する第１の撮像位置と、他方を撮像する第２の撮像位置とに移動させる移動制御手段３２と、撮像した動画像を表示する表示手段４０と、第１の撮像位置で撮像した動画像を表示手段４０の第１の分割領域４１に、第２の撮像位置で撮像した動画像を第２の分割領域４２に表示させる表示制御手段３５と、を備え、一方の分割領域に動画像を表示させる際に、他方の分割領域に表示させた動画像の最終画像を静止画として表示させたままとする。【選択図】図１
2014053556.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
１組の第１アライメントマークが形成された第１のワークを載置するとともに、該第１のワークの位置を調整するステージと、
１組の第２アライメントマークが形成された透過性を有する第２のワークを、前記第１のワークの上方で前記第２アライメントマークを除く位置で保持する保持手段と、
前記第２のワークの上方から該第２のワーク越しに前記第１のワークを撮像して、前記第２アライメントマークと前記第１アライメントマークが重畳した状態のアライメントマークを撮像する撮像手段と、
前記撮像手段を、前記アライメントマークの一方を撮像する第１の撮像位置と、前記アライメントマークの他方を撮像する第２の撮像位置とに移動させる移動制御手段と、
前記撮像手段が撮像した動画像を表示する表示手段と、
前記撮像手段が前記第１の撮像位置で撮像した前記アライメントマークの動画像を前記表示手段の第１の分割領域に表示させ、前記撮像手段が前記第２の撮像位置で撮像した前記アライメントマークの動画像を前記表示手段の第２の分割領域に表示させる表示制御手段と、を備え、
前記表示制御手段は、前記表示手段の一方の分割領域に動画像を表示させる際に、他方の分割領域に表示させた動画像の最終画像を静止画として表示させたままとすることを特徴とする実装装置。
【請求項２】
前記移動制御手段は、前記撮像装置の前記第１の撮像位置と前記第２の撮像位置を記憶し、
前記撮像装置を前記第１の撮像位置および前記第２の撮像位置間を連続して移動させる制御を行うことを特徴とする請求項１に記載の実装装置。
【請求項３】
前記第１の撮像位置と前記第２の撮像位置との間の距離は、前記撮像手段の対物レンズの直径よりも小さいことを特徴とする請求項１または２に記載の実装装置。
【請求項４】
前記第１のワークとしてガラスチップ、前記第２のワークとしてセンサチップを用いることを特徴とする請求項１から３までのいずれかに記載の実装装置。
【請求項５】
前記表示制御手段は、前記表示手段における動画像を表示させている分割領域と、静止画を表示させている分割領域との表示形式を異なるものとすることを特徴とする請求項１から４までのいずれかに記載の実装装置。
【請求項６】
１組の第１アライメントマークが形成された第１のワークを載置するとともに、該第１のワークの位置を調整するステージと、
１組の第２アライメントマークが形成された透過性を有する第２のワークを、前記第１のワークの上方で前記第２アライメントマークを除く位置で保持する保持手段と、
前記第２のワークの上方から該第２のワーク越しに前記第１のワークを撮像して、前記第２アライメントマークと前記第１アライメントマークが重畳した状態のアライメントマークを撮像する撮像手段と、
前記撮像手段が撮像した動画像を表示させる表示手段と、を備えた実装装置による実装方法であって、
前記撮像手段を、前記アライメントマークの一方を撮像する第１の撮像位置と、前記アライメントマークの他方を撮像する第２の撮像位置とに移動させる移動制御ステップと、
前記撮像手段が前記第１の撮像位置で撮像した前記アライメントマークの動画像を前記表示手段の第１の分割領域に表示させ、前記撮像手段が前記第２の撮像位置で撮像した前記アライメントマークの動画像を前記表示手段の第２の分割領域に表示させる際に、前記表示手段の一方の分割領域に動画像を表示させる際に、他方の分割領域に表示させた動画像の最終画像を静止画として表示させたままとする表示制御ステップを行うことを特徴とする実装方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、実装装置および実装方法に関する。さらに詳述すると、２つのワークが有するアライメントマークを用いて２つのワークを実装するための実装装置および実装方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、試料（ワーク、チップなど）の両端に形成された１組のアライメントマークと、アライメントマークに相当する位置に配置された観察系（顕微鏡、マシンビジョンカメラなどの撮像手段）によって１組のアライメントマークを重ねて同時に観察することでＸ方向、Ｙ方向、θ方向（回転方向）の位置あわせを達成するマスクアライナー（マスクアライメント装置）が知られている。
【０００３】
例えば、イメージセンサと光学素子等の２つのチップ同士の実装において、各チップに形成されたアライメントマークを撮像して位置関係を認識、計算し、両チップの実装位置を調整した上で圧着することで、２つのチップを実装する実装装置が既に知られている。
【０００４】
特許文献１には、撮像光学系をワークの間に位置させることなく、その対向面に形成されたアライメントマークを撮像して、ワークの位置ずれを正確に検出できるようにすることを目的として、Ｚ軸方向に所定のクリアランスで配置された二つのワークを、二台の赤外線撮像装置で、ＸＹ面に直交する共通光軸を介して一方向から同軸的に撮像する位置ずれ検出装置が開示されている。この位置ずれ検出装置では、二台の赤外線撮像装置の合焦領域は、各ワークの対向面に形成された夫々のアライメントマークを択一的に撮像できる位置となっている。
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載の技術では、二台の撮像手段を用いて二つのワークの相対位置調整を行っており、撮像手段は高価であるため、装置のコストの上昇を招くという問題があった。
【０００６】
また、特許文献１のように、複数の観察系を用いる場合、同一試料中の１組のアライメントマーク間の距離が、アライメントマークを観察する１組の観察系が互いに干渉しないように十分離れている必要がある。そのため、アライメントマーク間の距離が小さい（例えば、１０ｍｍ未満）チップ同士の高精度のアライメントには適用できないという問題があった。加えて、複数の観察系の相対位置関係の補正（キャリブレーション）が必要であった。
【０００７】
これらの問題に対し、特許文献２には、基板を載置するステージと、部品を保持するヘッドに光路変換手段（ミラーやプリズム）を設け、１つの撮像手段が移動して基板と部品のアライメントマークをそれぞれ認識することで基板と部品を実装する実装装置が開示されている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
特許文献２に記載の実装装置によれば、１つの撮像手段でアライメントを実現して低コスト化を図るとともに、アライメントマーク間の距離の小さいチップにも適用が可能となり、また、２つの観察系のキャリブレーションも不要となる。
【０００９】
しかしながら、特許文献２に記載の技術では、光路変換手段が必要とされるため装置のコストが上昇する問題があり、また、特許文献２等の従来のアライメントマークを認識する実装装置では、例えば、実装精度１μｍ未満のような高い実装精度を実現することは困難であるという問題が残されていた。
【００１０】
そこで本発明は、撮像手段で撮像されるアライメントマークの表示制御により、アライメントマークを有する２つのワークを高精度で実装可能とする実装装置および実装方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
かかる目的を達成するため、本発明に係る実装装置は、１組の第１アライメントマークが形成された第１のワークを載置するとともに、該第１のワークの位置を調整するステージと、１組の第２アライメントマークが形成された透過性を有する第２のワークを、前記第１のワークの上方で前記第２アライメントマークを除く位置で保持する保持手段と、前記第２のワークの上方から該第２のワーク越しに前記第１のワークを撮像して、前記第２アライメントマークと前記第１アライメントマークが重畳した状態のアライメントマークを撮像する撮像手段と、前記撮像手段を、前記アライメントマークの一方を撮像する第１の撮像位置と、前記アライメントマークの他方を撮像する第２の撮像位置とに移動させる移動制御手段と、前記撮像手段が撮像した動画像を表示する表示手段と、前記撮像手段が前記第１の撮像位置で撮像した前記アライメントマークの動画像を前記表示手段の第１の分割領域に表示させ、前記撮像手段が前記第２の撮像位置で撮像した前記アライメントマークの動画像を前記表示手段の第２の分割領域に表示させる表示制御手段と、を備え、前記表示制御手段は、前記表示手段の一方の分割領域に動画像を表示させる際に、他方の分割領域に表示させた動画像の最終画像を静止画として表示させたままとするものである。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、アライメントマークを有する２つのワークを高精度で実装することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本実施形態に係る実装装置の機能ブロックと実装する２つのワークを模式的に示した構成図である。
【図２】実装に用いるセンサチップと、ガラスチップと、アライメントマークの模式図である。
【図３】アライメントマークを重ね合わせ時の説明図である。
【図４】実装装置のアライメント動作の説明図（１）である。
【図５】実装装置のアライメント動作の説明図（２）である。
【図６】実装装置のアライメント動作の説明図（３）である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明に係る構成を図１から図６に示す実施の形態に基づいて詳細に説明する。
【００１５】
本実施形態に係る実装装置（実装装置１）は、１組の第１アライメントマーク（センサ側アライメントマーク１１Ｌ，１１Ｒ）が形成された第１のワーク（センサチップ１０）を載置するとともに、該第１のワークの位置を調整するステージ（ステージ２）と、１組の第２アライメントマーク（ガラス側アライメントマーク２１Ｌ，２１Ｒ）が形成された透過性を有する第２のワーク（ガラスチップ２０）を、第１のワークの上方で第２アライメントマークを除く位置で保持する保持手段（保持手段３）と、第２のワークの上方から該第２のワーク越しに第１のワークを撮像して、第２アライメントマークと第１アライメントマークが重畳した状態のアライメントマークを撮像する撮像手段（カメラユニット４）と、撮像手段を、アライメントマークの一方を撮像する第１の撮像位置（撮像位置Ｌ）と、アライメントマークの他方を撮像する第２の撮像位置（撮像位置Ｒ）とに移動させる移動制御手段（移動制御手段３２）と、撮像手段が撮像した動画像を表示する表示手段（ディスプレイ４０）と、撮像手段が第１の撮像位置で撮像したアライメントマークの動画像を表示手段の第１の分割領域（左側４１）に表示させ、撮像手段が第２の撮像位置で撮像したアライメントマークの動画像を表示手段の第２の分割領域（右側４２）に表示させる表示制御手段（表示制御手段３５）と、を備え、表示制御手段は、表示手段の一方の分割領域に動画像を表示させる際に、他方の分割領域に表示させた動画像の最終画像を静止画として表示させたままとするものである。なお、括弧内は実施形態での符号、適用例を示す。
【００１６】
（実装装置）
図１に本実施形態に係る実装装置１の機能ブロックと実装する２つのワークを模式的に示した構成図を示す。
【００１７】
実装装置１は、１組の第１アライメントマーク１１Ｌ，１１Ｒ（以下、区別しない場合はアライメントマーク１１と称する）が形成された第１のワーク１０を載置するステージ２を有している。ステージ２は、Ｘ方向、Ｙ方向、Ｚ方向およびθ方向（ＸＹ平面における回転方向）の４軸で移動可能なステージであって、載置される第１のワーク１０の位置を調整する。
【００１８】
また、実装装置１は、１組の第２アライメントマーク２１Ｌ，２１Ｒ（以下、区別しない場合はアライメントマーク２１と称する）が形成された第２のワーク２０を保持する保持手段３（ホルダ）を有している。第２のワーク２０は透過性を有する部品であり、保持手段３は、第２のワーク２０のアライメントマーク２１が上方から遮られない位置で第２のワーク２０を保持する。なお、保持手段３は、第２のワーク２０を固定的に保持するものであるが、変位可能に第２のワーク２０を保持するものであっても良い。
【００１９】
以下、第１アライメントマーク１１Ｌおよび第２アライメントマーク２１ＬをアライメントマークＬ（Ｌ側）ともいい、第１アライメントマーク１１Ｒおよび第２アライメントマーク２１ＲをアライメントマークＲ（Ｒ側）ともいう。なお、第１のワーク１０、第２のワーク２０にそれぞれ形成されるアライメントマーク１１，２１は１組（２つ）のアライメントマークであるが、アライメントマークの数は限られるものではない。
【００２０】
また、実装装置１は、第２のワーク２０の上方から第２のワーク２０越しに第１のワーク１０を撮像して、第１アライメントマーク１１および第２アライメントマーク２１を重畳した状態で撮像する撮像手段４を有している。
【００２１】
また、実装装置１は、制御手段（制御装置）３０を有しており、実装装置１を構成するステージ２、保持手段３、撮像手段４等は、制御手段３０により制御される。なお、本実施形態のように保持手段３が固定保持のみ行う保持手段である場合は、制御手段３０による制御は不要である。保持手段３による位置調整を可能とする場合は、後述するステージ制御手段３４が保持手段３の位置制御も兼ねるものとする。
【００２２】
また、実装装置１は、拡大光学系５を備える撮像装置４で撮像された動画像等を表示する表示手段４０と、制御手段３０へ各種の情報を入力、指示する入力手段（図示せず）と、を有している。
【００２３】
制御手段３０は、撮像手段４で撮像される動画像、静止画像等が入力される画像入力手段３１と、撮像手段４を１組の第１および第２アライメントマーク１１，２１の一方（ここでは、アライメントマークＬ側とする）を撮像する第１の撮像位置と、他方（アライメントマークＲ側）を撮像する第２の撮像位置とに移動させる移動制御手段３２と、画像入力手段３１からの入力画像と入力手段からの指示に基づいてステージ２の位置制御の補正量等を演算する演算手段３３と、演算手段３３での演算結果に基づいてステージ２（および保持手段３）の位置制御を実行するステージ制御手段３４と、表示手段４０への動画像の表示制御を行う表示制御手段３５と、を有している。
【００２４】
本実施形態では、第２のワーク２０は固定されているので、第１の撮像位置は第２のワーク２０のアライメントマーク２１Ｌ、第２の撮像位置は第２のワーク２０のアライメントマーク２１Ｒを撮像可能な位置となる。
【００２５】
表示手段４０は、その表示領域を複数に分割して表示可能であって、本実施形態では、表示領域の左半分を第１の分割領域４１、右半分が第２の分割領域４２となっている。
【００２６】
表示制御手段３５は、撮像手段４が第１の撮像位置で撮像したアライメントマーク１１Ｌ，２１Ｌの動画像を表示手段４０の第１の分割領域４１に表示し、また、撮像手段４が第２の撮像位置で撮像したアライメントマーク１１Ｒ，２１Ｒの動画像を表示手段４０の第２の分割領域４２に表示させるようにしている。
【００２７】
また、表示制御手段３５は、表示手段４０の一方の分割領域に動画像を表示させる際に、他方の分割領域に表示させた動画像の最終画像を静止画として表示させたままとするようにしている。
【００２８】
実装装置１によるアライメント動作を説明する。先ず、実装する２つのチップ（第１のワーク１０，第２のワーク２０）の一方（第２のワーク２０）を固定し、他方（第１のワーク１０）を固定したチップ直下でアライメント可能なようにＸ，Ｙ，Ｚ，θ方向が移動調整可能なステージ２に配置する。
【００２９】
次に、固定チップ（第２のワーク２０）側に設けた２箇所のアライメントマーク（第二アライメントマーク２１Ｌ，２１Ｒ）をそれぞれ撮像できるように撮像装置４の位置を記憶させる。記憶される位置が、第１の撮像位置、第２の撮像位置であって、移動制御手段３２がこれらを記憶する。
【００３０】
２つのワーク１０，２０間の距離を、アライメントマーク１１，２１が同時に観察できるように十分に近接させ、移動制御手段３２は、撮像装置４を２箇所のアライメントマークを連続的に撮像するように第１の撮像位置、第２の撮像位置間を往復移動させる。
【００３１】
この時に、撮像手段４の撮像画像（動画像）を表示する表示手段４０は、画面内で左右に分割されており（第１の分割領域４１、第２の分割領域４２）、アライメントマーク１１Ｌ，２１Ｌ側の動画像は画面左側、アライメントマーク１１Ｒ，２１Ｒ側の動画像は画面右側に出力される。
【００３２】
さらに、撮像手段４が一方のアライメントマーク側を撮像している際は、撮像動画をリアルタイムで該当する側の分割領域に表示し、その後、撮像手段４が撮像位置を移動して、他方のアライメントマーク側を撮像している際は、撮像した動画を他方の分割領域に表示するとともに、移動する直前の画像（動画像を構成する最終静止画像）をそのまま一方の分割領域に表示させたままとするものである。
【００３３】
これにより、２つのアライメントマークＬ、Ｒを連続して往復させながら撮像するとともに、その表示制御を上記のような制御とすることで、２つのアライメントマークを擬似的に同時に確認することを可能とし、固定側チップとのアライメントを容易にすることができる。
【００３４】
以下に具体的な構成例について説明する。
【００３５】
（ワーク）
図２に第１のワーク１０の一例としてのセンサチップ（撮像センサ、シリコンワーク）１０と、第２のワーク２０の一例としてのガラスチップ（ガラスワーク）２０の模式図を示す。また、図２では、センサチップ１０に設けられるアライメントマーク（以下、センサ側アライメントマーク）１１とガラスチップ２０に設けられるアライメントマーク（以下、ガラス側アライメントマーク）２１の拡大模式図も併せて示している。
【００３６】
センサチップ１０は、長辺側も１０ｍｍ未満で形成され、中央部に受光面１２が、外周部に配線用電極１３が形成されている。また、受光面１２の外部にセンサ側アライメントマーク１１Ｌ，１１Ｒが形成されている。
【００３７】
ガラスチップ２０は、センサチップ１０の受光面１２より大きく、センサチップ１０の外周の配線用電極１３の配線工程（ワイヤボンド等）を妨害しない程度に小さな外形（例えば、長辺側が５００μｍ程度である)としている。
【００３８】
ガラスチップ２０のセンサチップ１０の受光面１２の上部に配置される領域には波長や偏光成分をフィルタリングするような特定の光学機能を発現するための構造（光学フィルタ２２）が形成される。光学機能面の外周にセンサ側アライメントマーク１１Ｌ，Ｒに相当するガラス側アライメントマーク２１Ｌ，Ｒを形成している。なお、ガラス側アライメントマーク２１の形成位置は、光学機能面の外側ではなく、光学機能面内の一部の領域に設けてもよい。
【００３９】
センサ側アライメントマーク１１およびガラス側アライメントマーク２１は、例えば、アルミニウム（ＡＬ）等の金属のパターンや、パッシベーション膜（保護膜）により形成される。また、センサチップ１０に特定のパターンが形成できない場合には、特徴的なパターンをもって代替することとしても良い。本明細書では、特徴的なパターンもセンサ側アライメントマーク１１に含めるものとする。
【００４０】
図３にセンサ側アライメントマーク１１とガラス側アライメントマーク２１とを重ね合わせた状態を示す。図３は重ね合わせ精度が最高値の状態を示している。本実施形態では、一方のアライメントマーク（センサ側アライメントマーク１１）が他方（ガラス側アライメントマーク２１）よりもわずかに大きくパターンとなっており、重ね合わせた際にパターン間に生じる隙間が上下左右で等間隔になる場合が位置合わせ精度が最高の状態となる。
【００４１】
これをセンサチップ１０の受光面１２の両端側に形成されたアライメントマーク１１Ｌ，１１Ｒで等しく達成することで精度良く位置合わせがなされる。
【００４２】
なお、本実施形態ではアライメントマーク１１，２１として、十字型のアライメントマークを例として示しているが、アライメントマークの形状、大きさ等は特に限られるものではなく、その他のパターンを用いても良いのは勿論である。
【００４３】
ここで、例えば、センサチップ１０は、受光面側にマイクロレンズを備えるとともに、ガラスチップ２０は、センサチップ１０とは発現するパターンが異なる光学機能を有する光学フィルタ２２を備えており、センサチップ１０の受光面１２と、ガラスチップ２０が備える光学フィルタ２２とは接着剤により接着される。また、接着剤は、屈折率がマイクロレンズの屈折率よりも低く、センサチップ１０の受光面１２の裏面側でハンダボールにより配線基板と接着されてなるものである。
【００４４】
（アライメント手順）
図４から図６を参照して本実施形態に係る実装装置１によるアライメント動作について説明する。なお、図４〜図６では図示省略しているが、図１に示したように、センサチップ１０はステージ２に固定され、ガラスチップ２０はアライメントマークの観察に干渉しないように保持手段３で固定されている。
【００４５】
アライメントマーク１１，２１を撮像するための撮像手段としてのカメラユニット４は、ガラスチップ２０側に配置され、ガラスを透過してガラスチップ２０およびセンサチップ１０に形成されたアライメントマーク２１，１１を同時に観察、撮像する。
【００４６】
ここで、カメラユニット４の拡大光学系としての対物レンズ５は、一般的な鏡筒サイズの直径２５ｍｍ程度では、長辺側も１０ｍｍ以下であるセンサチップ１０のアライメントマークＬ，Ｒ間の距離より幅が大きくなるため、アライメントマークＬ，Ｒを同時に観察できるように２つのカメラユニット４を配置することはできない。このためカメラユニット４は１つとして移動制御させることが必要となる。
【００４７】
図４（Ａ）に示す初期状態（ｔ＝ｔ１）では、ガラスチップ２０とセンサチップ１０が各々の形状に合わせて設定された不図示のガイドピン等により粗めに位置合わせが行われている。
【００４８】
カメラユニット４はガラスチップ２０およびセンサチップ１０各々の受光面端部に形成されたアライメントマーク２１，１１の片方（図４ではアライメントマークＬ側）を撮像しており、図４（Ｂ）に示すように、表示手段としてのディスプレイ４０の左側４１にはアライメントマークＬが表示される。また、移動制御手段３２は、カメラユニット４がアライメントマークＬを撮像する位置（撮像位置Ｌ、第１の撮像位置)を記憶する。なお、カメラユニット４が移動制御手段３２を備えていても良い。
【００４９】
次に、図５（Ａ）に示すように、初期状態（図４：ｔ＝ｔ１）からΔｔ１の時間をかけてカメラユニット４がアライメントマークＲの撮像位置（撮像位置Ｒ、第２の撮像位置）に移動する（ｔ２＝ｔ１＋Δｔ１）。移動制御手段３２は、撮像位置Ｒの位置座標を記録するとともに、ディスプレイ４０の右側４２にはアライメントＲの画像を出力する。
【００５０】
この時、図５（Ｂ）に示すように、ディスプレイ４０の左側４１には、ｔ＝ｔ１の際に撮像したアライメントマークＬが静止画で表示されている。アライメントマークＲ側はリアルタイムの動画像、アライメントマークＬ側は静止画であるが、擬似的にアライメントマークＬ側およびＲ側が同時に表示され、ガラスチップ２０とセンサチップ１０の間のＸ，Ｙ，Ｚ，θのズレ量が認識可能となる。
【００５１】
ここで、表示制御手段３５は、ディスプレイ４０における静止画表示側の画面表示と動画表示側の画面表示との表示方式を異なるものとすることが好ましい。例えば、静止画表示側の画面表示をグレーアウト表示としたり、明度を低く表示したりすることができる。
【００５２】
次に、図６（Ａ）に示すように、図５の時点（ｔ＝ｔ２＝ｔ１＋Δｔ１）から更にΔｔ２の時間をかけてカメラユニット４が撮像位置Ｌに移動する。この時（ｔ＝ｔ３＝ｔ２＋Δｔ２）は、図５（Ｂ）とは逆に、図６（Ｂ）に示すように、アライメントマークＬはリアルタイムの動画像、アライメントマークＲはｔ＝ｔ２＋ｔ１＋Δｔ１の際に撮像した静止画が表示される。
【００５３】
このようにカメラユニット４を、撮像位置Ｌ，Ｒ間を連続的に往復移動させて、カメラユニット４の位置に応じてディスプレイ４０に静止画、リアルタイム動画を切り替えて表示することで、擬似的に両端のアライメントを同時に表示することができる。したがって、１組のアライメントマークを擬似的に同時に観察できることからアライメントが容易になり、小さいチップにおいても高精度の実装をすることが可能となる。
【００５４】
尚、上述の実施形態は本発明の好適な実施の例ではあるがこれに限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々変形実施可能である。
【符号の説明】
【００５５】
１  実装装置
２  ステージ
３  保持手段（ホルダ）
４  撮像手段（カメラユニット）
５  拡大光学系（対物レンズ）
１０  第１のワーク（センサチップ）
１１，１１Ｌ，１１Ｒ  第１アライメントマーク（センサ側アライメントマーク）
１２  受光面
１３  配線用電極
２０  第２のワーク（ガラスチップ）
２１，２１Ｌ，２１Ｒ  第２アライメントマーク（ガラス側アライメントマーク）
２２  光学フィルタ
３０  制御手段
３１  画像入力手段
３２  移動制御手段
３３  演算手段
３４  ステージ制御手段
３５  表示制御手段
４０  表示手段（ディスプレイ）
４１  第１の分割領域（左側）
４２  第２の分割領域（右側）
【先行技術文献】
【特許文献】
【００５６】
【特許文献１】特開２０００−２７６２３３号公報
【特許文献２】特開２００８−  ８５３２２号公報
【図１】
2014053556.tif 000003
【図２】
2014053556.tif 000004
【図３】
2014053556.tif 000005
【図４】
2014053556.tif 000006
【図５】
2014053556.tif 000007
【図６】
2014053556.tif 000008