(57)【要約】【課題】搬送されている光透過性部材のエッジ位置を容易且つ高精度に検出することができ、しかも設置レイアウト性を向上させることを可能にする。【解決手段】エッジ位置検出装置１０は、搬送されている透明ウエブ１４に検査光を照射し、前記透明ウエブ１４の内部に沿って前記検査光を伝播させる投光機構２６と、前記投光機構２６から前記検査光が直接照射される照射領域Ｓの外部に配置されるとともに、前記透明ウエブ１４の内部を伝播した前記検査光が、該透明ウエブ１４のエッジ部１４ｅから外部に散乱する散乱光を検出する受光機構２８と、検出された前記散乱光に基づいて、前記透明ウエブ１４の前記エッジ部１４ｅの位置を検出するエッジ位置検出回路３０と、を備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送されている光透過性部材に検査光を照射し、前記光透過性部材の内部に沿って前記検査光を伝播させる投光機構と、
前記投光機構から前記検査光が直接照射される照射領域の外部に配置されるとともに、前記光透過性部材の内部を伝播した前記検査光が、該光透過性部材のエッジ部から外部に散乱する散乱光を検出する受光機構と、
検出された前記散乱光に基づいて、前記光透過性部材の前記エッジ部の位置を検出する機構と、
を備えることを特徴とするエッジ位置検出装置。
【請求項２】
請求項１記載のエッジ位置検出装置において、
前記光透過性部材に前記検査光を照射する際に、該光透過性部材に密着して湾曲搬送するローラ部材を備えることを特徴とするエッジ位置検出装置。
【請求項３】
光透過性部材を搬送しながら、前記光透過性部材に検査光を照射し、前記光透過性部材の内部に沿って前記検査光を伝播させる工程と、
前記光透過性部材の内部を伝播した前記検査光が、該光透過性部材のエッジ部から外部に散乱する散乱光を検出する工程と、
前記検出された前記散乱光に基づいて、前記光透過性部材の前記エッジ部の位置を検出する工程と、
を有することを特徴とするエッジ位置検出方法。
【請求項４】
請求項３記載のエッジ位置検出方法において、
前記光透過性部材は、ローラ部材に密着して湾曲搬送されながら、検査光が照射されることを特徴とするエッジ位置検出方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送されているウエブ状又はシート状の光透過性部材のエッジ位置を検出するエッジ位置検出装置及びエッジ位置検出方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、長尺状フイルム等のウエブを用いた製造設備やラミネート処理等を行う処理設備では、前記ウエブを所定の搬送路に沿って搬送する搬送ラインを備えている。
【０００３】
その際、搬送ラインに沿って搬送されるウエブは、搬送方向に交差する幅方向にずれる場合がある。このため、作業ステーションに搬送されたウエブは、エッジ位置が変動し易く、所望の作業を高精度に遂行することができないという問題がある。そこで、搬送されたウエブのエッジ位置を修正するために、例えば、特許文献１に開示されているウエブのエッジ位置検出装置を備えた、エッジ位置修正装置が知られている。
【０００４】
ところが、透明フイルムのような光透過性ウエブでは、通常の光学式エッジ検出装置によるエッジ位置の検出が困難である。そこで、光透過性ウエブに対応する装置として、例えば、特許文献１では、超音波式や空気式のエッジ位置検出装置が提案されている。
【０００５】
しかしながら、特許文献１のエッジ位置検出装置のような投光器と受光器との間にウエブが挿入される透過型の検出装置では、前記ウエブのエッジにカール等の変形が発生すると、前記エッジの位置検出精度が大幅に低下するという問題がある。さらに、超音波式や空気式では、検出幅が数ｍｍと短いため、エッジの位置に対応して検出器の位置を追従させる移動機構が必要である。従って、設備全体が複雑化且つ大型化するという問題がある。
【０００６】
一方、特許文献２に開示されている被験体の厚さ測定方法では、厚さを測定しようとする被験体を突出した湾曲体表面に位置づけ、前記被験体における湾曲体と被験体との接触部に測定対象断面が観測可能となる性質を有する照明光を照射するとともに、前記接触部における湾曲体の略接線方向から被験体を観測し、被験体の測定対象断面を透過又は反射した光によって被験体の厚さを測定することを特徴としている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００１−２２６００５号公報
【特許文献２】特開平２−２９７００７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、上記の特許文献２では、特に被験体の光透過率が高い場合に、測定対象断面と周囲環境との境界を峻別することが困難になる。さらに、湾曲体（ローラ）の材質や形状によって、検出感度が低下し易く、誤検出が惹起されるという問題がある。
【０００９】
この種の課題は、透明フイルムの搬送時に限定されるものではなく、その他、シート状の透明ガラス体やウエブ状の透明ガラス体を搬送するシステムにも該当する。
【００１０】
本発明は、このような課題を考慮してなされたものであり、搬送されている光透過性部材のエッジ位置を容易且つ高精度に検出することができ、しかも設置レイアウト性を向上させることが可能なエッジ位置検出装置及びエッジ位置検出方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明に係るエッジ位置検出装置は、搬送されている光透過性部材に検査光を照射し、前記光透過性部材の内部に沿って前記検査光を伝播させる投光機構と、前記投光機構から前記検査光が直接照射される照射領域の外部に配置されるとともに、前記光透過性部材の内部を伝播した前記検査光が、該光透過性部材のエッジ部から外部に散乱する散乱光を検出する受光機構と、検出された前記散乱光に基づいて、前記光透過性部材の前記エッジ部の位置を検出する機構と、を備えている。
【００１２】
また、このエッジ位置検出装置では、光透過性部材に検査光を照射する際に、前記光透過性部材に密着して湾曲搬送するローラ部材を備えることが好ましい。
【００１３】
さらに、本発明に係るエッジ位置検出方法は、光透過性部材を搬送しながら、前記光透過性部材に検査光を照射し、前記光透過性部材の内部に沿って前記検査光を伝播させる工程と、前記光透過性部材の内部を伝播した前記検査光が、該光透過性部材のエッジ部から外部に散乱する散乱光を検出する工程と、前記検出された前記散乱光に基づいて、前記光透過性部材の前記エッジ部の位置を検出する工程と、を有している。
【００１４】
さらにまた、このエッジ位置検出方法では、光透過性部材は、ローラ部材に密着して湾曲搬送されながら、検査光が照射されることが好ましい。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、例えば、ウエブ状又はシート状の光透過性部材に照射された検査光は、前記光透過性部材の内部に沿って伝播された後、該光透過性部材のエッジ部から外部に散乱している。このため、受光機構は、エッジ部からの散乱光を検出することにより、前記エッジ部の位置を容易且つ正確に検出することができる。
【００１６】
しかも、エッジ位置検出装置は、光透過性部材に検査光を照射する投光機構と、前記光透過性部材のエッジ部から外部に散乱する散乱光を検出する受光機構とを備えている。従って、例えば、蛍光灯やＬＥＤ照明等の投光器と、ＣＣＤカメラ（集光レンズを備えた）等の受光器を用いることにより、容易に広い範囲を検査することができ、検査範囲（検査距離及び検査幅を含む）が拡大し、検出器をエッジ位置に追従して移動させる機構が不要になる。
【００１７】
特に、投光機構と受光機構とを近接して配置するスペースがなくても、前記投光機構と前記受光機構とは、互いに離間してそれぞれ個別のスペースに良好に配置することができる。これにより、エッジ位置検出装置は、設置レイアウト性の向上が図られる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の第１の実施形態に係るエッジ位置検出装置の概略構成説明図である。
【図２】前記エッジ位置検出装置を構成する投光機構及び受光機構の配置状態の説明図である。
【図３】前記投光機構の配置状態の説明図である。
【図４】透明ウエブの内部を伝播する検査光の説明図である。
【図５】前記受光機構の他の配置状態の説明図である。
【図６】前記受光機構による撮影画像である。
【図７】本発明の第２の実施形態に係るエッジ位置検出装置の概略構成説明図である。
【図８】本発明の第３の実施形態に係るエッジ位置検出装置の概略構成説明図である。
【図９】本発明の第４の実施形態に係るエッジ位置検出装置の概略構成説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
図１に示すように、本発明の第１の実施形態に係るエッジ位置検出装置１０は、ウエブ処理システム１２に組み込まれる。
【００２０】
ウエブ処理システム１２は、透明な長尺フイルムである透明ウエブ（光透過性部材）１４が巻回された巻き戻しローラ１６を備える。巻き戻しローラ１６から巻き戻される透明ウエブ１４は、第１ガイドローラ１８ａ及び第２ガイドローラ１８ｂに掛け渡された後、折り返しローラ部材（ローラ部材）２０に送られる。折り返しローラ部材２０の下流には、透明ウエブ１４を巻き取る巻き取りローラ２２が配置される。透明ウエブ１４は、例えば、ラミネートフイルム等の他、各種合成樹脂製フイルムやガラス製フイルム等が使用され、特に光透過率が高い程、好ましい。
【００２１】
第１ガイドローラ１８ａ及び第２ガイドローラ１８ｂは、透明ウエブ１４の搬送方向に交差する幅方向の位置（エッジ位置）を調整するために、例えば、傾動可能に構成される。巻き取りローラ２２には、巻き取り用モータ２４が連結される。
【００２２】
エッジ位置検出装置１０は、搬送されている透明ウエブ１４に検査光ＬINを照射し、前記透明ウエブ１４の内部に沿って前記検査光ＬINを伝播させる投光機構２６（図１〜図３参照）と、前記投光機構２６から前記検査光ＬINが直接照射される照射領域Ｓの外部に配置されるとともに、前記透明ウエブ１４の内部を伝播した前記検査光ＬINが、該透明ウエブ１４のエッジ部１４ｅから外部に散乱する散乱光ＬOUTを検出する受光機構２８（図１及び図２参照）と、検出された前記散乱光ＬOUTに基づいて、前記透明ウエブ１４の前記エッジ部１４ｅの位置を検出するエッジ位置検出回路（機構）３０と、を備える。
【００２３】
なお、図１に示すように、投光機構２６から照射される検査光ＬINは、折り返しローラ部材２０等で反射することにより反射光（散乱光）ＬREFを発生させる。このため、受光機構２８は、好ましくは、折り返しローラ部材２０等からの反射光ＬREFを受光しない位置に配置されることが必要である。
【００２４】
投光機構２６及び受光機構２８は、透明ウエブ１４の一方のエッジ部１４ｅに対応して設けてもよく、又は、前記透明ウエブ１４の両側のエッジ部１４ｅ、１４ｅに対応して設けてもよい。
【００２５】
図１に示すように、投光機構２６は、光源、例えば、発光ダイオード（ＬＥＤ）２６ａを備える。発光ダイオード２６ａの光路上には、拡散板２６ｂ及び集光レンズ２６ｃが配設される。投光機構２６は、透明ウエブ１４の面方向に対して所定の角度α１゜だけ傾斜するとともに、前記透明ウエブ１４の幅方向に長尺な長方形状を有する（図２及び図３参照）。
【００２６】
図４に示すように、透明ウエブ１４内での検査光ＬINの臨界角θｃは、ウエブ屈折率ｎ１及び空気屈折率ｎ２とすると、θｃ゜＝ｓｉｎ-1（ｎ２／ｎ１）となる。検査光ＬINは、臨界角θｃ゜よりも大きな角度で入射することにより、透明ウエブ１４の内部で全反射して伝播することができ、前記検査光ＬINを遠くまで導光することが可能になる。
【００２７】
透明ウエブ１４の内部で検査光ＬINを全反射させて伝播（導光）させるために、角度α１゜（＝９０゜−θｃ゜）は、小さい方が好ましく、略０゜に近似することが好ましい。投光機構２６は、透明ウエブ１４の照射面に可及的に近接して配置されることが好ましく、また、ウエブ幅方向の寸法Ｗ（図２参照）は、検査幅に応じて設定されることが好ましく、例えば、数百ｍｍの照射範囲を有する。
【００２８】
図３に示すように、投光機構２６は、透明ウエブ１４のエッジ部１４ｅに平行な方向から前記エッジ部１４ｅ側に傾斜する。投光機構２６からの検査光ＬINは、エッジ部１４ｅに平行な方向に対して所定の角度α２°だけ傾斜して配置される。投光機構２６から導出された検査光ＬINは、透明ウエブ１４内を伝播してエッジ部１４ｅから外方に散乱し易いからである。
【００２９】
受光機構２８は、例えば、ＣＣＤカメラが使用されるが、その他、赤外線カメラやフォトトランジスタ等の光検出器を用いてもよい。受光機構２８の光路上には、集光レンズ３２が配置されるとともに、この光路は、透明ウエブ１４の検査面に直交する方向から角度α３゜だけ傾斜する。なお、受光機構２８は、図１中、二点鎖線で示すように、検査面に直交する方向に光路を一致させて配置することもできる。その他、受光機構２８は、照射領域Ｓの外部で且つ反射光ＬREFを受光する位置を避けた位置であれば、任意の位置に設置することができる。
【００３０】
図２に示すように、受光機構２８は、透明ウエブ１４のエッジ部１４ｅに沿って光軸が設定される。受光機構２８の撮像範囲は、エッジ部１４ｅを含んで透明ウエブ１４の端縁部から折り返しローラ部材２０の一部に亘っている。なお、図５に示すように、受光機構２８の光軸は、エッジ部１４ｅに対して角度α４゜だけ傾斜してもよい。その際、撮像面が傾斜するため、画像の補正処理が必要である。
【００３１】
図１に示すように、エッジ位置検出回路３０は、コントローラ３４の機能として設けられる。コントローラ３４は、巻き取り用モータ２４の駆動制御を含めてウエブ処理システム１２全体の制御を行う。コントローラ３４は、ローラ傾動回路３６としての機能を有し、前記ローラ傾動回路３６は、第１ガイドローラ１８ａ及び第２ガイドローラ１８ｂを傾動させ、透明ウエブ１４のエッジ部１４ｅの位置を調整する。
【００３２】
次に、このように構成されるエッジ位置検出装置１０の動作について、本実施形態に係るエッジ位置検出方法との関連で、以下に説明する。
【００３３】
図１に示すように、予め、巻き戻しローラ１６から透明ウエブ１４の先端が引き出され、この先端が第１ガイドローラ１８ａ、第２ガイドローラ１８ｂ及び折り返しローラ部材２０に掛け渡しされた後、巻き取りローラ２２に固定される。
【００３４】
次いで、コントローラ３４の作用下に、巻き取り用モータ２４が駆動されると、前記巻き取り用モータ２４が連結された巻き取りローラ２２が矢印方向に回転する。このため、巻き取りローラ２２に先端が固定された透明ウエブ１４は、巻き戻しローラ１６から繰り出されて前記巻き取りローラ２２に巻き取られる。
【００３５】
上記のように、透明ウエブ１４を搬送しながら、投光機構２６から前記透明ウエブ１４に検査光ＬINが照射される。検査光ＬINは、図４に示すように、透明ウエブ１４の内部を全反射して伝播（導光）する。その際、図３に示すように、投光機構２６は、透明ウエブ１４のエッジ部１４ｅに平行な方向から前記エッジ部１４ｅ側に傾斜している。従って、透明ウエブ１４の内部を伝播する検査光ＬINは、エッジ部１４ｅ側に向かって進み易くなり、前記エッジ部１４ｅから外部に散乱して散乱光ＬOUTが発生する。
【００３６】
図１及び図２に示すように、受光機構２８は、透明ウエブ１４のエッジ部１４ｅを含んで検査部位の撮像を行っている。これにより、受光機構２８は、エッジ部１４ｅからの散乱光ＬOUTを撮影し、図６に示すような撮影画像が得られる。図６では、エッジ部１４ｅからの散乱光ＬOUTにより、前記エッジ部１４ｅが他の部位に比べて明るく表示される。このため、エッジ位置検出回路３０では、受光機構２８の撮影画面に基づいて、透明ウエブ１４のエッジ部１４ｅの位置を検出することができる。特に、エッジ位置検出回路３０では、透明ウエブ１４の外側から内側に向かって（図６中、矢印Ｍ方向）サーチすることにより、エッジ部１４ｅを確実に検出することが可能になる。
【００３７】
エッジ位置検出回路３０によりエッジ部１４ｅの位置が検出されると、透明ウエブ１４の幅方向の位置調整が必要か否かが判断される。そして、コントローラ３４では、透明ウエブ１４の搬送路補正が必要であると判断されると、ローラ傾動回路３６を介して第１ガイドローラ１８ａ及び第２ガイドローラ１８ｂが傾動され、前記透明ウエブ１４のエッジ部１４ｅの位置が調整される。
【００３８】
このように、第１の実施形態では、透明ウエブ１４に照射された検査光ＬINは、前記透明ウエブ１４の内部に沿って伝播された後（図４参照）、該透明ウエブ１４のエッジ部１４ｅから外部に散乱している。このため、受光機構２８による検査位置（エッジ部１４ｅに対向する位置）には、周囲の部材に対して光を照射するものが存在しないので、該周囲の部材からの反射光（散乱光）がない。
【００３９】
従って、透明ウエブ１４のエッジ部１４ｅ以外のノイズ信号がなくなる。これにより、受光機構２８は、エッジ部１４ｅからの散乱光ＬOUTを検出することにより、透明ウエブ１４の周囲の部材、例えば、折り返しローラ部材２０の形状や材質に影響されることがなく、前記エッジ部１４ｅの位置を容易且つ正確に検出することができるという効果が得られる。
【００４０】
一方、光の伝播（導光）を用いない検出方法では、投光器から光透過性部材に照射された検査光は、周囲の部材（例えば、密着させている湾曲ローラ）にも照射され、散乱して受光器により受光されてしまう。このため、エッジ部以外のノイズ信号を発生させるとともに、部材によって散乱の仕方が変化して影響が異なり易くなる。
【００４１】
しかも、検査光ＬINは、臨界角θｃ゜よりも大きな角度で入射することにより、透明ウエブ１４の内部で全反射して伝播することができる。これにより、検査光ＬINを遠くまで導光することが可能になり、強度なエッジ信号が得られるという利点がある。
【００４２】
特に、非常に透過率が高い透明ウエブ１４に対しても、高Ｓ／Ｎ比が得られる。従って、安定したエッジ部１４ｅの検出処理が、良好に遂行されるという利点がある。
【００４３】
しかも、透明ウエブ１４は、検査光ＬINが照射される際に、折り返しローラ部材２０に密着しており、前記透明ウエブ１４にカールやうねり等の変形が発生することを可及的に抑制することが可能になる。その上、ローラ部材２０は、遮光機能を有しており、検査光ＬINが受光機構２８に照射されることを一層確実に阻止することができる。
【００４４】
さらに、投光機構２６は、光源として、例えば、発光ダイオード２６ａを用いるとともに、受光機構２８は、例えば、ＣＣＤカメラ（集光レンズ３２を備えた）を用いている。これにより、容易に広い範囲を検査することができ、検査範囲（検査距離及び検査幅を含む）が拡大し、投光機構２６と受光機構２８とは、互いに離間して配置することが可能になる。
【００４５】
特に、投光機構２６と受光機構２８とを近接して配置するスペースがなくても、前記投光機構２６と前記受光機構２８とは、互いに離間してそれぞれ個別のスペースに良好に配置することができる。このため、エッジ位置検出装置１０では、設置レイアウトの自由度が向上し、省スペース化が容易に図られるという効果が得られる。さらにまた、エッジ位置の検査範囲（検査距離及び検査幅を含む）を拡大することができ、例えば、検出器を前記エッジ位置に追従して移動させる機構が不要になり、構成の簡素化及び小型化が容易に図られる。
【００４６】
図７に示すように、本発明の第２の実施形態に係るエッジ位置検出装置４０は、ウエブ処理システム４２に組み込まれる。なお、第１の実施形態に係るウエブ処理システム１２と同一の構成要素には、同一の参照符号を付して、その詳細な説明は省略する。また、以下に説明する第３以降の実施形態においても同様に、その詳細な説明は省略する。
【００４７】
ウエブ処理システム４２は、透明ウエブ１４の搬送路上に沿って第１折り返しローラ部材（ローラ部材）４４ａと第２折り返しローラ部材（ローラ部材）４４ｂと互いに離間して配置する。第１折り返しローラ部材４４ａに対応して受光機構２８が配置される一方、第２折り返しローラ部材４４ｂに対応して投光機構２６が配置される。
【００４８】
受光機構２８は、投光機構２６から検査光ＬINが直接照射される照射領域Ｓの外部に配置される。なお、第１折り返しローラ部材４４ａ及び第２折り返しローラ部材４４ｂは、検査光ＬINの通過を阻止する遮光機能を有するため、投光機構２６と受光機構２８との設置位置や設置角度等の自由度が向上する。
【００４９】
このように構成される第２の実施形態では、第２折り返しローラ部材４４ｂの外周面に密着して湾曲搬送されている透明ウエブ１４に、投光機構２６から検査光ＬINが照射される。透明ウエブ１４の内部を伝播する検査光ＬINは、エッジ部１４ｅから外部に散乱して散乱光ＬOUTが発生する。
【００５０】
従って、第１折り返しローラ部材４４ａに対応して配置されている受光機構２８は、前記第１折り返しローラ部材４４ａの外周面に密着して湾曲搬送されている透明ウエブ１４のエッジ部１４ｅの位置を検出することができる。これにより、透明ウエブ１４のエッジ部１４ｅの位置を容易且つ正確に検出することができる等、上記の第１の実施形態と同様の効果が得られる。
【００５１】
図８に示すように、本発明の第３の実施形態に係るエッジ位置検出装置５０は、ウエブ処理システム５２に組み込まれる。
【００５２】
ウエブ処理システム５２は、巻き戻しローラ１６と巻き取りローラ２２との間に、第１パスローラ部材５４と第２パスローラ部材５６とが配置される。投光機構２６は、第２パスローラ部材５６の近傍に検査光ＬINを照射する位置に配置される一方、受光機構２８は、第１パスローラ部材５４の近傍又は前記第１パスローラ部材５４に密着する透明ウエブ１４のエッジ部１４ｅに対応して配置される。第３の実施形態では、投光機構２６と受光機構２８との間に、パスローラが必ずしも必要ではない。
【００５３】
受光機構２８は、投光機構２６から検査光ＬINが直接照射される照射領域Ｓの外部に配置される。受光機構２８は、さらに投光機構２６から照射された検査光ＬINが透明ウエブ１４の表面で直接反射された反射光ＬREFを受光しない位置に配置される。
【００５４】
このように構成される第３の実施形態では、透明ウエブ１４のエッジ部１４ｅの位置を容易且つ正確に検出することができる等、上記の第１及び第２の実施形態と同様の効果が得られる。
【００５５】
図９に示すように、本発明の第４の実施形態に係るエッジ位置検出装置６０は、ウエブ処理システム６２に組み込まれる。
【００５６】
ウエブ処理システム６２は、透明ウエブ１４の搬送方向を反転させて搬送するために、パスローラ部材６４ａ、６４ｂ、６４ｃ、６４ｄ、６４ｅ及び６４ｆを備える。パスローラ部材６４ａに対向して投光機構２６が配置される一方、パスローラ部材６４ｆに対向して受光機構２８が配置される。
【００５７】
パスローラ部材６４ａとパスローラ部材６４ｆとは、互いに近接して配置され、これらの間には、投光機構２６及び受光機構２８が配置される。投光機構２６と受光機構２８とは、互いに反対方向に向かって透明ウエブ１４に対面する。
【００５８】
このように構成される第４の実施形態では、投光機構２６と受光機構２８とが反対方向を向いて配置されており、透明ウエブ１４のエッジ部１４ｅの位置を容易且つ正確に検出することができる等、上記の第１〜第３の実施形態と同様の効果が得られる。
【００５９】
なお、本発明に係るエッジ位置検出装置は、上述の第１〜第４の実施形態に限らず、本発明の要旨を逸脱することなく、種々の構成を採り得ることはもちろんである。
【符号の説明】
【００６０】
１０、４０、５０、６０…エッジ位置検出装置
１２、４２、５２、６２…ウエブ処理システム
１４…透明ウエブ                    １４ｅ…エッジ部
１６…巻き戻しローラ                １８ａ、１８ｂ…ガイドローラ
２０、４４ａ、４４ｂ…折り返しローラ部材
２２…巻き取りローラ
２４…巻き取り用モータ              ２６…投光機構
２８…受光機構                      ３０…エッジ位置検出回路
３４…コントローラ                  ３６…ローラ傾動回路
５４、５６、６４ａ〜６４ｆ…パスローラ部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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