(57)【要約】【課題】全体を薄くでき、安価で、かつ製造が容易な半導体装置およびその製造方法、ならびに半導体装置用基板およびその製造方法を提供する。【解決手段】半導体装置１０は、各々が内部端子面１３ｂと外部端子面１３ａとを有する複数の端子部１３と、ダイパッド１２と、ダイパッド１２上に搭載された半導体素子１５とを備えている。ダイパッド１２、端子部１３、半導体素子１５、および接続部１７は、封止樹脂部１１により封止されている。各端子部１３の外部端子面１３ａおよびダイパッド１２の外面１２ａは同一平面上に並び、各端子部１３は、ニッケル層１３ｃと、金層１３ｄおよび銀層１３ｅからなるボンディング用貴金属めっき層１３ｆとを有している。該貴金属めっき層１３ｆの合計厚みは、貴金属めっき層１３ｆの表面がニッケル層１３ｃの粗面１３Ｒを維持する程度の厚みとなっている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
各々が内部端子面と外部端子面とを有する複数の端子部と、
ダイパッドと、
ダイパッド上に搭載され、各端子部の内部端子面と接続部により電気的に接続された半導体素子と、
各端子部の外部端子面を外方へ露出させるようにダイパッド、端子部、半導体素子、および接続部を封止する封止樹脂部とを備え、
各端子部の外部端子面およびダイパッドの外面は同一平面上に並び、
各端子部は、上面が粗面となるニッケル層と、ニッケル層上に設けられたボンディング用貴金属めっき層とを有し、
該貴金属めっき層の合計厚みは、該貴金属めっき層の表面がニッケル層の粗面を維持する程度の厚みとなることを特徴とする半導体装置。
【請求項２】
該貴金属めっき層の合計厚みは、０．５μｍ以下となることを特徴とする請求項１に記載の半導体装置。
【請求項３】
該貴金属めっき層は、Ａｕ／Ａｇ、Ｐｄ、Ｐｄ／Ａｕ、Ｐｄ／Ａｇ、またはＡｕ／Ｐｄのうちいずれかの層構成からなることを特徴とする請求項１または２に記載の半導体装置。
【請求項４】
少なくともダイパッドの内面に撥水処理加工がなされていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項記載の半導体装置。
【請求項５】
金属基板と、
該金属基板上に設けられ、各々が内部端子面と外部端子面とを有する複数の端子部と、
該金属基板上に設けられ、内面と外面とを有するダイパッドとを備え、
各端子部の外部端子面およびダイパッドの外面は同一平面上に並び、
各端子部は、上面が粗面となるニッケル層と、ニッケル層上に設けられたボンディング用貴金属めっき層とを有し、
該貴金属めっき層の合計厚みは、該貴金属めっき層の表面がニッケル層の粗面を維持する程度の厚みとなることを特徴とする半導体装置用基板。
【請求項６】
該貴金属めっき層の合計厚みは、０．５μｍ以下となることを特徴とする請求項５に記載の半導体装置用基板。
【請求項７】
該貴金属めっき層は、Ａｕ／Ａｇ、Ｐｄ、Ｐｄ／Ａｕ、Ｐｄ／Ａｇ、またはＡｕ／Ｐｄのうちいずれかの層構成からなることを特徴とする請求項６に記載の半導体装置用基板。
【請求項８】
少なくともダイパッドの内面に撥水処理加工がなされていることを特徴とする請求項５乃至７のいずれか１項記載の半導体装置用基板。
【請求項９】
半導体装置の製造方法において、
金属基板の表面に所望のめっきパターンを有するレジストを設けるとともに、金属基板の裏面に所望のエッチングパターンを有するレジストを設ける工程と、
金属基板の裏面側をカバーで覆って金属基板の表面側にめっきを施し、各々が外部端子面と内部端子面とを有する複数の端子部を形成するとともに、内面と外面とを有するダイパッドを形成し、かつ裏面側のカバーを剥離する工程と、
金属基板の表面側をカバーで覆って金属基板の裏面側にエッチングを施して、金属基板に所望の開口を形成し、かつ表面側のカバーを剥離する工程と、
金属基板の表面側および裏面側のレジストを同時に剥離する工程と、
ダイパッド上に半導体素子を搭載する工程と、
半導体素子と端子部の内部端子面とを接続部により接続する工程と、
金属基板上のダイパッド、端子部、半導体素子、および接続部を封止樹脂により樹脂封止する工程と、
裏面側の金属基板を除去する工程と、
封止樹脂を半導体素子毎にダイシングする工程とを備え、
端子部を形成する工程は、上面が粗面となるニッケル層を形成する工程と、ニッケル層上にボンディング用貴金属めっき層を形成する工程とを有し、
該貴金属めっき層の合計厚みは、該貴金属めっき層の表面がニッケル層の粗面を維持する程度の厚みとなることを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項１０】
端子部を形成する工程において、該貴金属めっき層の合計厚みは、０．５μｍ以下となることを特徴とする請求項９に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項１１】
該貴金属めっき層は、Ａｕ／Ａｇ、Ｐｄ、Ｐｄ／Ａｕ、Ｐｄ／Ａｇ、またはＡｕ／Ｐｄのうちいずれかの層構成からなることを特徴とする請求項１０に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項１２】
ダイパッド上に半導体素子を搭載する工程の前に、少なくともダイパッドの内面を撥水処理加工する工程が設けられていることを特徴とする請求項９乃至１１のいずれか１項記載の半導体装置の製造方法。
【請求項１３】
半導体装置用基板の製造方法において、
金属基板の表面に所望のめっきパターンを有するレジストを設けるとともに、金属基板の裏面に所望のエッチングパターンを有するレジストを設ける工程と、
金属基板の裏面側をカバーで覆って金属基板の表面側にめっきを施し、各々が外部端子面と内部端子面とを有する複数の端子部を形成するとともに、内面と外面とを有するダイパッドを形成し、かつ裏面側のカバーを剥離する工程と、
金属基板の表面側をカバーで覆って金属基板の裏面側にエッチングを施して、金属基板に所望の開口を形成し、かつ表面側のカバーを剥離する工程と、
金属基板の表面側および裏面側のレジストを同時に剥離する工程とを備え、
端子部を形成する工程は、上面が粗面となるニッケル層を形成する工程と、ニッケル層上にボンディング用貴金属めっき層を形成する工程とを有し、
該貴金属めっき層の合計厚みは、該貴金属めっき層の表面がニッケル層の粗面を維持する程度の厚みとなることを特徴とする半導体装置用基板の製造方法。
【請求項１４】
端子部を形成する工程において、該貴金属めっき層の合計厚みは、０．５μｍ以下となることを特徴とする請求項１３に記載の半導体装置用基板の製造方法。
【請求項１５】
該貴金属めっき層は、Ａｕ／Ａｇ、Ｐｄ、Ｐｄ／Ａｕ、Ｐｄ／Ａｇ、またはＡｕ／Ｐｄのうちいずれかの層構成からなることを特徴とする請求項１４に記載の半導体装置用基板の製造方法。
【請求項１６】
少なくともダイパッドの内面を撥水処理加工する工程が更に設けられていることを特徴とする請求項１３乃至１５のいずれか１項記載の半導体装置用基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表面実装タイプの樹脂封止型半導体装置およびその製造方法、ならびにこのような半導体装置を製造する際に用いられる半導体装置用基板およびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、半導体装置は、高集積化や小型化技術の進歩、電子機器の高性能化と軽薄短小化の傾向から、ＬＳＩのＡＳＩＣに代表されるように、ますます高集積化、高機能化が進んできている。このように高集積化、高機能化された半導体装置においては、外部端子（ピン）の総和の増加や更なる多端子（ピン）化が要請されている。
【０００３】
このような半導体装置としては、リードフレームにＩＣチップ、ＬＳＩチップなどの半導体チップが搭載され、絶縁性樹脂で封止された構造をもつ半導体パッケージがある。このような半導体装置では、高集積化および小型化が進むに従ってパッケージの構造が、ＳＯＪ（Small Outline J-Leaded Package）やＱＦＰ（Quad Flat Package）のような樹脂パッケージの側壁から外部リードが外側に突出したタイプを経て、外部リードが外側に突出せずに樹脂パッケージの裏面に外部リードが露出するように埋設された、ＱＦＮ（Quad Flat Non-leaded package）やＳＯＮ（Small Outline Non-leaded Package）などの薄型で実装面積の小さいタイプに進展している。
【０００４】
またＱＦＰが抱える実装効率、実装性の問題を回避するために、半田ボールをパッケージの外部端子として備えた表面実装型パッケージであるＢＧＡ(Ball Grid Array)と呼ばれる樹脂封止型の半導体装置が量産されている。また、ＢＧＡの半田ボールに代えてマトリックス状の平面電極からなる外部端子が設けられた表面実装型パッケージとして、ＬＧＡ(Land Grid Array)と呼ばれる半導体装置が存在する。
【０００５】
図８は、このような従来の半導体装置の１つを示している。図８において、半導体装置５０は、水平方向に突出する突起部５３ａを有する断面きのこ形状の端子部５３と、水平方向に突出する突起部５２ａを有する断面きのこ形状のダイパッド５２と、このダイパッド５２上に搭載され、各端子部５３とワイヤ５７により電気的に接続された半導体素子５５とを有している。また、これらダイパッド５２、端子部５３、半導体素子５５、およびワイヤ５７は、封止樹脂部５１により封止されている。
【０００６】
図８において、半導体装置５０の端子部５３およびダイパッド５２が突起部５３ａ、５２ａを有しているのは、端子部５３やダイパッド５２が上述した封止樹脂部５１から外れることを防止するためである。しかしながら、端子部５３およびダイパッド５２をこのような断面きのこ形状とするためには、端子部５３およびダイパッド５２のめっきの厚みを少なくとも２０μｍ以上とする必要がある。したがって、端子部５３およびダイパッド５２を作成するために時間が長くかかり、製造コストの上昇に繋がっている。また半導体装置５０の製造工程において、端子部５３間に形成されるドライフィルムレジストを確実に剥離するため、各端子部５３間に１５０μｍ以上のスペースを設けることが必要となる。
【０００７】
また従来より、半導体装置の端子部の内部端子面側に、ワイヤボンディング用の貴金属めっきが施される場合がある。しかしながら、このような貴金属めっきは、一般的に０．５μｍ〜２．０μｍ程度の厚い金層からなっているため、非常に高価である。
【特許文献１】特開昭５９−２０８７５６号公報
【特許文献２】特開２００２−９１９６号公報
【特許文献３】特開２００２−２８９７３９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明はこのような点を考慮してなされたものであり、全体を薄くすることができるとともに、安価で、かつ容易に製造することができる半導体装置およびその製造方法、ならびにこのような半導体装置を製造する際に用いられる半導体装置用基板およびその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、各々が内部端子面と外部端子面とを有する複数の端子部と、ダイパッドと、ダイパッド上に搭載され、各端子部の内部端子面と接続部により電気的に接続された半導体素子と、各端子部の外部端子面を外方へ露出させるようにダイパッド、端子部、半導体素子、および接続部を封止する封止樹脂部とを備え、各端子部の外部端子面およびダイパッドの外面は同一平面上に並び、各端子部は、上面が粗面となるニッケル層と、ニッケル層上に設けられたボンディング用貴金属めっき層とを有し、該貴金属めっき層の合計厚みは、該貴金属めっき層の表面がニッケル層の粗面を維持する程度の厚みとなることを特徴とする半導体装置である。
【００１０】
本発明は、該貴金属めっき層の合計厚みは、０．５μｍ以下となることを特徴とする半導体装置である。
【００１１】
本発明は、該貴金属めっき層は、Ａｕ／Ａｇ、Ｐｄ、Ｐｄ／Ａｕ、Ｐｄ／Ａｇ、またはＡｕ／Ｐｄのうちいずれかの層構成からなることを特徴とする半導体装置である。
【００１２】
本発明は、少なくともダイパッドの内面に撥水処理加工がなされていることを特徴とする半導体装置である。
【００１３】
本発明は、金属基板と、該金属基板上に設けられ、各々が内部端子面と外部端子面とを有する複数の端子部と、該金属基板上に設けられ、内面と外面とを有するダイパッドとを備え、各端子部の外部端子面およびダイパッドの外面は同一平面上に並び、各端子部は、上面が粗面となるニッケル層と、ニッケル層上に設けられたボンディング用貴金属めっき層とを有し、該貴金属めっき層の合計厚みは、該貴金属めっき層の表面がニッケル層の粗面を維持する程度の厚みとなることを特徴とする半導体装置用基板である。
【００１４】
本発明は、該貴金属めっき層の合計厚みは、０．５μｍ以下となることを特徴とする半導体装置用基板である。
【００１５】
本発明は、該貴金属めっき層は、Ａｕ／Ａｇ、Ｐｄ、Ｐｄ／Ａｕ、Ｐｄ／Ａｇ、またはＡｕ／Ｐｄのうちいずれかの層構成からなることを特徴とする半導体装置用基板である。
【００１６】
本発明は、少なくともダイパッドの内面に撥水処理加工がなされていることを特徴とする半導体装置用基板である。
【００１７】
本発明は、半導体装置の製造方法において、金属基板の表面に所望のめっきパターンを有するレジストを設けるとともに、金属基板の裏面に所望のエッチングパターンを有するレジストを設ける工程と、金属基板の裏面側をカバーで覆って金属基板の表面側にめっきを施し、各々が外部端子面と内部端子面とを有する複数の端子部を形成するとともに、内面と外面とを有するダイパッドを形成し、かつ裏面側のカバーを剥離する工程と、金属基板の表面側をカバーで覆って金属基板の裏面側にエッチングを施して、金属基板に所望の開口を形成し、かつ表面側のカバーを剥離する工程と、金属基板の表面側および裏面側のレジストを同時に剥離する工程と、ダイパッド上に半導体素子を搭載する工程と、半導体素子と端子部の内部端子面とを接続部により接続する工程と、金属基板上のダイパッド、端子部、半導体素子、および接続部を封止樹脂により樹脂封止する工程と、裏面側の金属基板を除去する工程と、封止樹脂を半導体素子毎にダイシングする工程とを備え、端子部を形成する工程は、上面が粗面となるニッケル層を形成する工程と、ニッケル層上にボンディング用貴金属めっき層を形成する工程とを有し、該貴金属めっき層の合計厚みは、該貴金属めっき層の表面がニッケル層の粗面を維持する程度の厚みとなることを特徴とする半導体装置の製造方法である。尚、バックエッチング後における外部端子面の半田濡れ性を確保するために、バックエッチング後に無電解金めっきを施しても良い。あるいは、あらかじめ基板製造時の一番最初のめっきとして、ニッケルめっきを施す前に半田にぬれる金めっきや金めっき／パラジウムめっき等の多層めっきを施しておいても良い。
【００１８】
本発明は、端子部を形成する工程において、該貴金属めっき層の合計厚みは、０．５μｍ以下となることを特徴とする半導体装置の製造方法である。
【００１９】
本発明は、該貴金属めっき層は、Ａｕ／Ａｇ、Ｐｄ、Ｐｄ／Ａｕ、Ｐｄ／Ａｇ、またはＡｕ／Ｐｄのうちいずれかの層構成からなることを特徴とする半導体装置の製造方法である。
【００２０】
本発明は、ダイパッド上に半導体素子を搭載する工程の前に、少なくともダイパッドの内面を撥水処理加工する工程が設けられていることを特徴とする半導体装置の製造方法である。
【００２１】
本発明は、半導体装置用基板の製造方法において、金属基板の表面に所望のめっきパターンを有するレジストを設けるとともに、金属基板の裏面に所望のエッチングパターンを有するレジストを設ける工程と、金属基板の裏面側をカバーで覆って金属基板の表面側にめっきを施し、各々が外部端子面と内部端子面とを有する複数の端子部を形成するとともに、内面と外面とを有するダイパッドを形成し、かつ裏面側のカバーを剥離する工程と、金属基板の表面側をカバーで覆って金属基板の裏面側にエッチングを施して、金属基板に所望の開口を形成し、かつ表面側のカバーを剥離する工程と、金属基板の表面側および裏面側のレジストを同時に剥離する工程とを備え、端子部を形成する工程は、上面が粗面となるニッケル層を形成する工程と、ニッケル層上にボンディング用貴金属めっき層を形成する工程とを有し、該貴金属めっき層の合計厚みは、該貴金属めっき層の表面がニッケル層の粗面を維持する程度の厚みとなることを特徴とする半導体装置用基板の製造方法である。
【００２２】
本発明は、端子部を形成する工程において、該貴金属めっき層の合計厚みは、０．５μｍ以下となることを特徴とする半導体装置用基板の製造方法である。
【００２３】
本発明は、該貴金属めっき層は、Ａｕ／Ａｇ、Ｐｄ、Ｐｄ／Ａｕ、Ｐｄ／Ａｇ、またはＡｕ／Ｐｄのうちいずれかの層構成からなることを特徴とする半導体装置用基板の製造方法である。
【００２４】
本発明は、少なくともダイパッドの内面を撥水処理加工する工程が更に設けられていることを特徴とする半導体装置用基板の製造方法である。
【発明の効果】
【００２５】
本発明によれば、各端子部はニッケル層と薄い貴金属めっき層（Ａｕ／Ａｇ、Ｐｄ、Ｐｄ／Ａｕ、Ｐｄ／Ａｇ、Ａｕ／Ｐｄ）とからなっているので、従来の厚い金層を含む端子部と比較して安価に製造することができる。また、従来の厚い金層を含むめっき層の場合と比較して、各端子部の内部端子面にワイヤを容易に取付けることができる。すなわち各端子部の内部端子面にワイヤを取付ける際（ワイヤーボンディング）の条件（例えば温度、超音波強度等）を緩やかなものとすることができる。
【００２６】
また、本発明によれば、端子部のニッケル層上面が粗面となるとともに、薄い貴金属めっき層（Ａｕ／Ａｇ、Ｐｄ、Ｐｄ／Ａｕ、Ｐｄ／Ａｇ、Ａｕ／Ｐｄ）の合計厚みは、該貴金属めっき層の表面がニッケル層の粗面を維持する程度の厚みに抑えられている。したがって、内部端子面の最表面が粗面となるので、端子部が封止樹脂部から外れることを防止することができる。
【００２７】
さらに、本発明によれば、端子部の形状を水平方向に突出する突起部を有する断面きのこ形状としても、しなくてもよく、きのこ形状としない場合は、端子部の厚みを薄くすることができ、かつ端子部間のスペースを狭くすることができる。これにより、半導体装置全体を薄型に構成することができる。また端子部が薄いので、端子部を作成するのに必要なめっき加工時間を短縮することができ、半導体装置の製造コストを低減することができる。さらに、端子部間の隙間を狭くすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下、本発明の一実施の形態について、図１乃至図７を参照して説明する。
ここで、図１は、本発明による半導体装置の一実施の形態を示す概略断面図であり、図２は、端子部の拡大図である。また図３は、ダイパッドの拡大図であり、図４は、本発明による半導体装置用基板の一実施の形態を示す概略断面図である。また図５は、本発明による半導体装置用基板の製造方法の一実施の形態を示す工程図であり、図６は、基板上に端子部（ダイパッド）を形成する工程を示す図である。また図７は、本発明による半導体装置の製造方法の一実施の形態を示す工程図である。
【００２９】
まず、図１乃至図３により、本実施の形態による半導体装置の概略について説明する。
図１において、半導体装置１０はＬＧＡタイプの樹脂封止型半導体装置であり、各々が内部端子面１３ｂと外部端子面１３ａとを有する複数の端子部１３と、この端子部１３の配列の略中央に設けられたダイパッド１２とを備えている。各端子部１３の外部端子面１３ａおよびダイパッド１２の外面１２ａは、同一平面上に並んでいる。
【００３０】
また、ダイパッド１２の内面１２ｂ上に、電気絶縁性材料１６を介して半導体素子１５がその素子面と反対側を固着されて搭載されている。この半導体素子１５の端子１５ａは、各端子部１３の内部端子面１３ｂにワイヤ（接続部）１７によって電気的に接続されている。そして、端子部１３の外部端子面１３ａと、ダイパッド１２の外面１２ａを外方へ露出させるように、ダイパッド１２、端子部１３、半導体素子１５、およびワイヤ１７が封止樹脂部１１により封止されている。なお、封止樹脂部１１は、従来から樹脂封止型半導体装置に用いられている電気絶縁性の樹脂材料を用いることができ、特に制限はない。
【００３１】
図２に示すように、各端子部１３は、上面が粗面１３Ｒとなるニッケル（Ｎｉ）層１３ｃと、ニッケル層１３ｃ上の金（Ａｕ）層１３ｄと、金層１３ｄ上の銀（Ａｇ）層１３ｅとを有している。このうち金層１３ｄおよび銀層１３ｅによって貴金属めっき層１３ｆが構成される。この貴金属めっき層１３ｆの合計厚みは、貴金属めっき層１３ｆの表面（すなわち銀層１３ｅの表面であって内部端子面１３ｂ）がニッケル層１３ｃの粗面１３Ｒを維持する程度の厚みとなっている。このような貴金属めっき層１３ｆは、Ａｕ／Ａｇめっき層に限らず、Ｐｄ、Ｐｄ／Ａｕ、Ｐｄ／Ａｇ、またはＡｕ／Ｐｄのいずれかの層構成であれば、薄いめっきでボンディング可能となる。なお、上述した「Ａｕ／Ａｇ」とは、外部端子面１３ａ側から内部端子面１３ｂ側に、順にＡｕ層およびＡｇ層が設けられていることをいう。
【００３２】
また金層１３ｄおよび銀層１３ｅの厚みは、それぞれ０．０１μｍ乃至０．５μｍとなっている。この金層１３ｄ（銀層１３ｅ）の厚みが０．０１μｍを下回ると、ボンディング性が低下する。他方、金層１３ｄ（銀層１３ｅ）の厚みが０．５μｍを上回ると、内部端子面１３ｂがニッケル層１３ｃの粗面１３Ｒを維持することが難しい。すなわち貴金属めっき層１３ｆ（金層１３ｄおよび銀層１３ｅ）の合計厚みは、０．５μｍ以下となることが好ましい。
【００３３】
また図２において、各端子部１３の高さｈ（すなわちニッケル層１３ｃ、金層１３ｄ、および銀層１３ｅの厚さの合計）は、５μｍ乃至２０μｍとなっている。このように、端子部１３の厚みを薄くすることができるので、半導体装置１０全体の厚さを２００μｍ乃至３００μｍ程度まで薄くすることができる。また各端子部１３間の間隔ｗは（図１参照）、約１００μｍとなっている。
【００３４】
一方、銀層１３ｅの表面（すなわち内部端子面１３ｂ）の粗さは、少なくともＲａ：０．１６μｍ以上、Ｒｔ：２．３０以上、総面積パラメータ８０００μｍ2以上となることが好ましい。このように銀層１３ｅの表面が粗くなっていることにより、端子部１３を封止している封止樹脂部１１にこの銀層１３ｅの粗い表面が係合し、これにより端子部１３を封止樹脂部１１に確実に固定することができる。他方、総面積パラメータが８０００μｍ2未満であると、このように端子部１３を封止樹脂部１１に強固に固定することが難しい。なお、上述した総面積パラメータは、株式会社菱化システム製の非接触表面形状計測システム（VertScan R5300H）により測定および算出したものである。
【００３５】
ダイパッド１２は、各端子部１３と同様にして作成される。したがって、ダイパッド１２の構成は、図２に示す各端子部１３の構成と略同一である。すなわち図３に示すように、ダイパッド１２は、上面が粗面１２Ｒとなるニッケル（Ｎｉ）層１２ｃと、ニッケル層１２ｃ上の金（Ａｕ）層１２ｄと、金層１２ｄ上の銀（Ａｇ）層１２ｅとを有している。このうち金層１２ｄおよび銀層１２ｅによって貴金属めっき層１２ｆが構成される。これらニッケル層１２ｃ、金層１２ｄ、および銀層１２ｅの各厚さは、上述した端子部１３のニッケル層１３ｃ、金層１３ｄ、および銀層１３ｅの厚さとそれぞれ略同一である。またダイパッド１２の内面１２ｂの粗さは、上述した端子部１３の内部端子面１３ｂの粗さと略同一である。なお、後述するように、ダイパッド１２の内面１２ｂに撥水処理加工がなされていても良い。
【００３６】
なお、図２および図３において、端子部１３（ダイパッド１２）は、外部端子面１３ａ（１２ａ）側から内部端子面１３ｂ（１２ｂ）側にニッケル層１３ｃ（１２ｃ）、金層１３ｄ（１２ｄ）、銀層１３ｅ（１２ｅ）という順でめっき層が積層されている（以下、このようなめっき層の構成をＮｉ／Ａｕ／Ａｇという）。しかしながら、端子部１３（ダイパッド１２）を構成するめっき層の構成は、これに限らず、（１）Ｎｉ／Ｐｄ、（２）Ｎｉ／Ｐｄ／Ａｕ、（３）Ｎｉ／Ｐｄ／Ａｇ、（４）Ｎｉ／Ａｕ／Ｐｄ、（５）Ｎｉ／Ｃｕ／Ｎｉ／Ｐｄ、（６）Ｎｉ／Ｃｕ／Ｎｉ／Ｐｄ／Ａｕ、（７）Ｎｉ／Ｃｕ／Ｎｉ／Ｐｄ／Ａｇ、（８）Ｎｉ／Ｃｕ／Ｎｉ／Ａｕ／Ｐｄ、（９）Ａｕ／Ｎｉ／Ｐｄ、（１０）Ａｕ／Ｎｉ／Ｐｄ／Ａｕ、（１１）Ａｕ／Ｎｉ／Ｐｄ／Ａｇ、（１２）Ａｕ／Ｎｉ／Ａｕ／Ｐｄ、（１３）Ａｕ／Ｎｉ／Ｃｕ／Ｎｉ／Ｐｄ、（１４）Ａｕ／Ｎｉ／Ｃｕ／Ｎｉ／Ｐｄ／Ａｕ、（１５）Ａｕ／Ｎｉ／Ｃｕ／Ｎｉ／Ｐｄ／Ａｇ、（１６）Ａｕ／Ｎｉ／Ｃｕ／Ｎｉ／Ａｕ／Ｐｄ、（１７）Ａｕ／Ｐｄ／Ｎｉ／Ｐｄ、（１８）Ａｕ／Ｐｄ／Ｎｉ／Ｐｄ／Ａｕ、（１９）Ａｕ／Ｐｄ／Ｎｉ／Ｐｄ／Ａｇ、（２０）Ａｕ／Ｐｄ／Ｎｉ／Ａｕ／Ｐｄ、（２１）Ａｕ／Ｐｄ／Ｎｉ／Ｃｕ／Ｎｉ／Ｐｄ、（２２）Ａｕ／Ｐｄ／Ｎｉ／Ｃｕ／Ｎｉ／Ｐｄ／Ａｕ、（２３）Ａｕ／Ｐｄ／Ｎｉ／Ｃｕ／Ｎｉ／Ｐｄ／Ａｇ、（２４）Ａｕ／Ｐｄ／Ｎｉ／Ｃｕ／Ｎｉ／Ａｕ／Ｐｄという構成であってもよい。
【００３７】
次に、図４を用いて、上述した半導体装置１０を製造する際に用いられる半導体装置用基板２０について説明する。
図４において、半導体装置用基板２０は、金属基板２１と、この金属基板２１上に設けられ、各々が内部端子面１３ｂと外部端子面１３ａとを有する複数の端子部１３と、金属基板２１上に設けられ、内面１２ｂと外面１２ａとを有するダイパッド１２とを備えている。また金属基板２１の所定位置に開口２２が形成されている。なお各端子部１３の外部端子面１３ａおよびダイパッド１２の外面１２ａは、同一平面上に並んでいる。
【００３８】
なお金属基板２１は、銅または銅合金からなることが望ましい。
【００３９】
各端子部１３は、上述したように（図２参照）、上面が粗面１３Ｒとなるニッケル（Ｎｉ）層１３ｃと、ニッケル層１３ｃ上の金（Ａｕ）層１３ｄと、金層１３ｄ上の銀（Ａｇ）層１３ｅとを有している。このうち金層１３ｄおよび銀層１３ｅの合計厚みは、銀層１３ｅの表面（すなわち内部端子面１３ｂ）がニッケル層１３ｃの粗面１３Ｒを維持する程度の厚み、すなわち０．５μｍ以下となることが好ましい。なお、金層１３ｄおよび銀層１３ｅによって貴金属めっき層１３ｆが構成される。
【００４０】
一方ダイパッド１２は、上述したように（図３参照）、上面が粗面１２Ｒとなるニッケル（Ｎｉ）層１２ｃと、ニッケル層１２ｃ上の金（Ａｕ）層１２ｄと、金層１２ｄ上の銀（Ａｇ）層１２ｅとを有している。なお金層１２ｄおよび銀層１２ｅによって貴金属めっき層１２ｆが構成される。
【００４１】
次に、本実施の形態による半導体装置用基板の製造方法について、図５（ａ）−（ｅ）、図６（ａ）−（ｃ）を用いて説明する。
【００４２】
図５において、まず金属基板２１を準備する（図５（ａ））。この金属基板２１は、上述したように銅または銅合金からなることが望ましい。
【００４３】
次に、金属基板２１の表面に所望のめっき用パターンを有するレジスト層３１を設けるとともに、裏面に所望のエッチング用パターンを有するレジスト層３２を設ける（図５（ｂ））。このうち表面側のレジスト層３１は、ダイパッド１２および端子部１３の形成部位に相当する箇所に開口部３１ａ、３１ｂが形成され、この開口部３１ａ、３１ｂには金属基板２１が露出している。この表面側のレジスト層３１の厚さは、形成しようとするダイパッド１２および端子部１３の厚さより厚いことが好ましい。一方、裏面側のレジスト層３２は、開口２２の形成部位に相当する箇所に開口部３２ａが形成され、この開口部３２ａには金属基板２１が露出している。
【００４４】
次に、金属基板２１の裏面側をカバー３３で覆って、金属基板２１の表面側に電解めっきを施す。これにより金属基板２１上に金属を析出させて、各々が外部端子面１３ａと内部端子面１３ｂとを有する複数の端子部１３を形成するとともに、内面１２ｂと外面１２ａとを有するダイパッド１２を形成する（図５（ｃ））。
【００４５】
この場合、図６（ａ）−（ｃ）に示すように、まず基板２１上に電気めっきを施して、上面が粗面１３Ｒ（１２Ｒ）となるニッケル層１３ｃ（１２ｃ）を形成する（図６（ａ））。この際、めっき液として、例えば高塩化ニッケル濃度のスルファミン酸ニッケル浴またはワット浴を用いることができる。
【００４６】
次に、ニッケル層１３ｃ（１２ｃ）上に金層１３ｄ（１２ｄ）を形成する（図６（ｂ））。この場合、めっき液として例えばストライクめっき浴を用いることができる。その後、金層１３ｄ（１２ｄ）上に銀層１３ｅ（１２ｅ）を形成する（図６（ｃ））。このようにして金層１３ｄ（１２ｄ）および銀層１３ｅ（１２ｅ）からなる貴金属めっき層１３ｆ（１２ｆ）が形成される。この場合、めっき液として例えばフラッシュめっき浴を用いることができる。
【００４７】
次に、図５（ｄ）に示すように、金属基板２１の表面側をカバー３４で覆うとともに、金属基板２１の裏面側のカバー３３を剥離する。次に金属基板２１の裏面側にエッチングを施すことにより、金属基板２１上のレジスト層３２の開口部３２ａに対応する位置に、所望の開口２２を形成する。なお、この開口２２は、後述する半導体装置の製造工程において半導体装置用基板２０を搬送する際に用いられる。
【００４８】
次に、金属基板２１の表面側のカバー３４を剥離し、更に金属基板２１の表面側および裏面側のレジスト層３１、３２を同時に剥離する。このようにして、図４に示す半導体装置用基板２０を得ることができる（図５（ｅ））。
【００４９】
なお、半導体装置の製造工程（後述）において半導体素子１５をダイパッド１２上に固着しやすくするように、少なくともダイパッド１２の内面１２ｂ上に撥水処理加工がなされていることが好ましい。これにより、電気絶縁性材料１６が、ダイパッド１２の内面１２ｂに形成された粗面上に広がり過ぎることによりめっき面と封止樹脂間の密着強度が損なわれる恐れがない、あるいは、ダイパッド上へボンディングする際に失敗する恐れがない。
【００５０】
次に、本実施の形態による半導体装置の製造方法について、図５（ａ）−（ｅ）、図７（ａ）−（ｅ）を用いて説明する。
【００５１】
まず、図５（ａ）−（ｅ）に示す工程により、図４に示す半導体装置用基板２０を作成する。次に、半導体装置用基板２０のダイパッド１２上に電気絶縁性材料１６を介して半導体素子１５を搭載する（図７（ａ））。
【００５２】
次に、半導体素子１５の端子１５ａと、半導体装置用基板２０の端子部１３の内部端子面１３ｂとを、ワイヤ（接続部）１７を用いてそれぞれ接続する（ワイヤボンディング）（図７（ｂ））。この場合、ワイヤボンディングの条件（例えば温度、超音波強度等）が比較的広いので、各端子部１３の内部端子面１３ｂにワイヤ１７を取付けるのが容易であり、半導体装置１０を製造する際の歩留まりを向上させることができる。
【００５３】
その後、金属基板２１上のダイパッド１２、端子部１３、半導体素子１５、およびワイヤ１７を封止樹脂１１により封止する（図７（ｃ））。次いで、裏面側の金属基板２１を除去する。この場合、例えばエッチングにより金属基板２１を除去する（図７（ｄ））。この場合、エッチング液として塩化アンモニウム系のエッチング液を使用することができる。
【００５４】
次に、半田濡れ性を向上させるため、端子部１３の外部端子面１３ａに無電解ニッケルめっきを施し、次いで無電解金めっきを施す。
【００５５】
次に、封止樹脂１１を半導体素子１５毎にダイシングすることにより、図１に示す半導体装置１０を作成する（図７（ｅ））。
【００５６】
このように、本実施の形態によれば、各端子部１３はニッケル層１３ｃと金層１３ｄと銀層１３ｅとからなっているので、従来の厚い金層とを含む端子部と比較して安価に製造することができる。また、従来の厚い金層を含む端子部の場合と比較して、各端子部１３の内部端子面１３ｂにワイヤ１７を容易に取付けることができる。すなわち各端子部１３の内部端子面１３ｂにワイヤ１７を取付ける際（ワイヤボンディング）の条件（例えば温度、超音波強度等）を緩やかなものとすることができる。
【００５７】
また、本実施の形態によれば、端子部１３のニッケル層１３ｃ上面が粗面１３Ｒとなるとともに、貴金属めっき層１３ｆ（金層１３ｄおよび銀層１３ｅ）の合計厚みは、銀層１３ｅの表面がニッケル層１３ｃの粗面１３Ｒを維持する程度の厚みに抑えられている。したがって、内部端子面１３ｂの最表面が粗面となるので、端子部１３が封止樹脂部１１から外れることを防止することができる。
【００５８】
さらに、本実施の形態によれば、端子部１３の形状が水平方向に突出する突起部を有する断面きのこ形状としてもしなくてもよいので、端子部１３およびダイパッド１２の厚みを薄くすることができ、かつ端子部１３間のスペースを狭くすることができる。これにより、半導体装置１０全体を薄型に構成することができる。また端子部１３が薄いので、端子部１３を作成するのに必要なめっき加工時間を短縮することができ、半導体装置１０の製造コストを低減することができる。さらに、端子部１３間の隙間を狭くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】本発明による半導体装置の一実施の形態を示す概略断面図。
【図２】端子部の拡大断面図。
【図３】ダイパッドの拡大断面図。
【図４】本発明による半導体装置用基板の一実施の形態を示す概略断面図。
【図５】本発明による半導体装置用基板の製造方法の一実施の形態を示す工程図。
【図６】金属基板上に端子部（ダイパッド）を形成する工程を示す図。
【図７】本発明による半導体装置の製造方法の一実施の形態を示す工程図。
【図８】従来の半導体装置を示す断面図。
【符号の説明】
【００６０】
１０    半導体装置
１１    封止樹脂部
１２    ダイパッド
１２ｃ  ニッケル（Ｎｉ）層
１２ｄ  金層
１２ｅ  銀層
１２ｆ  貴金属めっき層
１２Ｒ  粗面
１３    端子部
１３ｃ  ニッケル（Ｎｉ）層
１３ｄ  金層
１３ｅ  銀層
１３ｆ  貴金属めっき層
１３Ｒ  粗面
１５    半導体素子
１６    電気絶縁性材料
１７    ワイヤ（接続部）
２０    半導体装置用基板
２１    金属基板
２２    開口
【図１】
2014053638.tif 000003
【図２】
2014053638.tif 000004
【図３】
2014053638.tif 000005
【図４】
2014053638.tif 000006
【図５】
2014053638.tif 000007
【図６】
2014053638.tif 000008
【図７】
2014053638.tif 000009
【図８】
2014053638.tif 000010
【手続補正書】
【提出日】平成25年11月18日(2013.11.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
各々が内部端子面と外部端子面とを有する複数の端子部と、
ダイパッドと、
ダイパッド上に搭載され、各端子部の内部端子面と接続部により電気的に接続された半導体素子と、
各端子部の外部端子面を外方へ露出させるようにダイパッド、端子部、半導体素子、および接続部を封止する封止樹脂部とを備え、
各端子部の外部端子面およびダイパッドの外面は同一平面上に並び、
各端子部は、上面が粗面となり下面が前記外部端子面となるニッケル層と、ニッケル層上に設けられたボンディング用貴金属めっき層とを有し、
該貴金属めっき層の合計厚みは、該貴金属めっき層の表面がニッケル層の粗面を維持する程度の厚みとなり、
貴金属めっき層の平面形状はニッケル層の平面形状と同一であり、
端子部の高さが５μｍ乃至２０μｍであることを特徴とする半導体装置。
【請求項２】
該貴金属めっき層は、Ａｕ／Ａｇ、Ｐｄ、Ｐｄ／Ａｕ、Ｐｄ／Ａｇ、またはＡｕ／Ｐｄのうちいずれかの層構成からなることを特徴とする請求項１に記載の半導体装置。
【請求項３】
金属基板と、
該金属基板上に設けられ、各々が内部端子面と外部端子面とを有する複数の端子部と、  該金属基板上に設けられ、内面と外面とを有するダイパッドとを備え、
各端子部の外部端子面およびダイパッドの外面は同一平面上に並び、
各端子部は、上面が粗面となり下面が金属基板に接するニッケル層と、ニッケル層上に設けられたボンディング用貴金属めっき層とを有し、
該貴金属めっき層の合計厚みは、該貴金属めっき層の表面がニッケル層の粗面を維持する程度の厚みとなり、
貴金属めっき層の平面形状はニッケル層の平面形状と同一であり、
端子部の高さが５μｍ乃至２０μｍであることを特徴とする半導体装置用基板。
【請求項４】
該貴金属めっき層は、Ａｕ／Ａｇ、Ｐｄ、Ｐｄ／Ａｕ、Ｐｄ／Ａｇ、またはＡｕ／Ｐｄのうちいずれかの層構成からなることを特徴とする請求項３に記載の半導体装置用基板。