Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
(57)【要約】【課題】矩形波駆動のブラシレスモータは広く普及しているが、効率、振動、騒音特性に優れた正弦波駆動方式に市場は移りつつある。 正弦波駆動では回転子のより詳細な角度情報を必要とするために矩形波駆動で使用されていた分解能60°のホール素子によるエンコーダでは分解能が不足していた。 その為、エンコーダの分解能を上げる為に余分なコストが掛っていた。【解決手段】  ホール素子は磁界の強さに比例した出力電圧を発生するが、矩形波駆動ではこの信号を２値化して使用していた。 代わりにこの信号をADコンバータを使い正負の整数に数値化し、それぞれのホール素子の配置方向と同じ方向の単位ベクトルにそれぞれ掛け合わす事で、３つの新たなベクトルを生成し、これらのベクトルの総和ベクトルの方向角を回転子の電気角をするエンコーダの構造とする。【選択図】図３
2014106010.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
３つのホール素子と回転子に取り付けた磁石を使用した、回転子位置検出エンコーダであって、ホール素子の出力端子に生じた電位を少なくとも１０ビット以上のＡＤコンバータによって、正負の整数に数値化し、それぞれのホール素子の対応する電気角（０°、１２０°、および２４０°）に対応した単位ベクトルにそれぞれ掛ける事によって得られた３つのベクトルの総和を回転子の電気角とする回転子位置検出エンコーダ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は特に正弦波駆動を行うブラシレスモータ用のエンコーダに関するものである。 正弦波駆動は従来の矩形波駆動に比べて効率が良く、かつ低振動、低騒音となることが知られている。 しかし、正弦波駆動では矩形波駆動に比べ、より高い分解能での回転子の位置検出が必要になる。 本発明は矩形波駆動で使用されている、安価な磁気センサをそのまま使用し、高分解能の回転子位置検出機構（エンコーダ）を実現するものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００２】
【特許文献１】特許公開２００４−３３５６９９
【特許文献２】特許公開２００４−１１７１０１
【特許文献３】特許公開平７−２３９２４７
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
矩形波駆動モータに使用される安価な回転子位置検出装置は回転子の磁気的な電気角に対し、120°ずつ角度を付けて配置した3個のホール素子の出力電圧を電圧比較回路によって、2値化した、３種類の信号を発生する。 この３本の信号により、回転子の電気角を60°ごとに検出できる。 このエンコーダは回転子の電気角を６分割する。 しかし、安定な正弦波駆動を達成するにはその4倍から８倍の分解能で回転子の電気角を計測する必要がある為、分解能の優れた高価なエンコーダを使う場合もある。 そこで、現在のホール素子機構を使用して、高分解能エンコーダを実現する事が望まれている。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
ホール素子の出力を2値化せず、素子の起電力をADコンバータにより直接測定し、そこで得られた値を使用してベクトル演算する事で回転子の電気角を直接算出する事が出来る。
【図面の簡単な説明】
【０００５】
【図１】説明用に回転子とホール素子の配置を示す。 角度については電気角を使用する。
【図２】一般的なホール素子の起電力グラフ。 電気角の360°を１周期とする周期波形となる。
【図３】ADコンバータで得られた各ホール素子の電圧値MU,MV,MWを使用して、回転子の角度位置(RA)を算出する方法。
【図４】本発明の実施例を示す。
【発明を実施するための形態】
【０００６】
図1に示す様なホール素子を使った角度検出機構に置いて、回転子(104)が0°から360°回転すると図2の201〜２０３に示す様な正弦波に近い波形となる。 図1では右方向が電気角0°となっており、反時計回りで角度は増える。 図1のホール素子（１０１）の出力は図2のグラフ(201)に対応している。 以下、ホール素子（１０２）はグラフ（２０２）、ホール素子（１０３）はグラフ（２０３）に対応しており、グラフはほぼ３相交流を呈している。
【０００７】
図２の下段：矩形波駆動に使用されているエンコーダでは各ホール素子の電圧がゼロクロスするところをしきい値にして２値化している。 Ｕ（２０１）の２値化信号がＨＵとなっている。
【０００８】
本発明ではホール素子の起電力を２値化せずに直接ADコンバートする。 図３に示すように３個の単位ベクトル（ベクトルの向きが０°、１２０°、２４０°の３種類）を用意し、ＭＵの値（正負の実数）を角度０°の単位ベクトルに乗じる。 同様にＭＶは１２０°、ＭＷは２４０°に乗じる事で３つのベクトルが生成される。 これらのベクトルの総和ベクトルは回転子の電気角と同じ傾きを持つ。
【実施例】
【０００９】
図４に実施例を示す。 図４−４０１はホール素子で、４０２の固定子コイルと共に永久磁石の回転子を持ったモータ機械部の主要部品を構成する。
【００１０】
ホール素子に発生した電位は４０３のＡＤコンバータによって数値化され、４０４の演算回路（もしくはソフトウエア）によって、回転子の電気角に変換され、４０５の正弦波発生回路に送られる。
【００１１】
４０５の正弦波発生回路では回転子の電気角に対して、９０°もしくは−９０°の角度を付けて固定子の電磁石に電流を流す様に４０６のモータドライバに指示を与え、モータの制御をおこなう。
【図１】
2014106010.tif 000003
【図２】
2014106010.tif 000004
【図３】
2014106010.tif 000005
【図４】
2014106010.tif 000006
(57)【要約】【課題】液体を計量する場合、計量カップや目盛付きカップを用いる必要がある。コーヒーの抽出量を計量する場合、計量カップでは計量したコーヒーを再度飲料するためのカップやグラスに移しかえる必要があり不便だった。目盛付きカップでは、飲料に使用するカップが限定されてしまい、任意のカップやグラスを使用できないという問題があった。本発明は、計量カップや目盛付きカップを用いることなく直接飲料用の任意のカップやグラスで液体の抽出量を計測できることを特徴とする液体抽出量計量器を提供する。【解決手段】計量板の上部に引っ掛け部を設け、計量板の表面に最適な液体の抽出量を計測するための印を設ける。更に計量板の上部に持ち易くする為及び、使用するカップやグラス、抽出する液体の種類等を記録するための持ち手部兼記録部を設ける。【選択図】図２
2014106223.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
計量板（１）の上部に引っ掛け部（２）を設け、計量板（１）の表面に最適な液体の抽出量を計測するための印（３）を設け、更に計量板（１）の上部に持ち易くする為及び、使用するカップやグラス、抽出する液体の種類等を記録するための持ち手部兼記録部（４）を設けることで、計量カップや目盛付きカップを用いることなく直接飲料用の任意のカップやグラスで液体の抽出量を計測できることを特徴とする液体抽出量計量器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、任意のカップやグラスへの液体抽出量の確認が容易な計量器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】  手動でコーヒーやカプチーノ等をカップやグラスへ抽出する場合、最適な味や濃さを確保するためには液体の抽出量を計測する必要がある。液体の抽出量を計測するには、従来計量カップを用いる（特許文献１参照）又は、目盛付きカップを用いる（特許文献２参照）等の方法があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許公開２０１２−７８１１６号公報
【特許文献２】特許公開２００３−７２７６８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】  従来の液体計量器は次のような欠点があった。
（イ）、計量カップでは、計量カップで計量した液体を、再度飲料するためのカップやグラスに移しかえる必要があり不便であった。
（ロ）、目盛付きカップでは、飲料に使用するカップが限定されてしまい、任意のカップやグラスを使用できなかった。
本発明は、以上の問題点を解決するために発明されたものである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】  計量板（１）の上部に引っ掛け部（２）を設け、計量板（１）の表面に最適な液体の抽出量を計測するための印（３）を設ける。更に計量板（１）の上部に持ち易くする為及び、使用するカップやグラス、抽出する液体の種類等を記録するための持ち手部兼記録部（４）を設ける。
以上の構成よりなる液体抽出量計量器である。
【発明の効果】
【０００６】  本発明を使用することによって、計量カップや目盛付きカップを用いることなく直接飲料用の任意のカップやグラスで液体の抽出量を計測できる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】本発明の斜視図。
【図２】本発明の使用状態を示す斜視図。
【発明を実施するための形態】
【０００８】  以下、本発明の実施の形態を説明する。
（イ）、計量板（１）の上部に引っ掛け部（２）を設け、計量板（１）の表面に最適な液体の抽出量を計測するための印（３）を設ける。
（ロ）、計量板（１）の上部に持ち易くする為及び、使用するカップやグラス、抽出する液体の種類等を記録するための持ち手部兼記録部（４）を設ける。
本発明は以上の構成よりなるが、これを実際に使用する時は、使用したいカップ（５）の飲み口（縁）に液体抽出量計量器の引っ掛け部（２）を引っ掛ける。計量したい液体の液面（６）が計量板（１）の表面にある印（３）と同じ高さになるまで液体を注ぎ込むことで、液体の抽出量を計測できる。
計量板（１）の表面にある印（３）は、使用するカップやグラス、注ぎ込む液体の種類に応じて最適な液量となるように予め付与しておくものとする。使用するカップやグラス、注ぎ込む液体量により計量部の印の位置は変化するのでそれぞれの組み合わせに応じて液体抽出量計量器は複数用意する。使用するカップやグラス及び、抽出する液体の種類等は持ち手部兼記録部（４）に記録しておく。
本発明を使用し、コーヒー抽出機を用いてカプチーノを作る手順を以下に例示する。カプチーノはコーヒー抽出機を用いて最初にコーヒーカップにミルクを注ぎその後エスプレッソを注ぐ。抽出するミルク及びエスプレッソの適量は２００Ｍｌと５０Ｍｌと仮定する。
まず最初に事前準備として使用するカップ（５）の飲み口（縁）に液体抽出量計量器の引っ掛け部（２）を引っ掛ける。既存の計量カップ等で計量したミルク相当の水等の液体２００Ｍｌを注ぎその液面（６）の位置を計量板（１）の表面に印（３）として付与する。次に同様の手順でエスプレッソ相当の水等の液体５０Ｍｌをカップ（５）に追加で注ぎ入れ、その液面（６）の位置を計量板（１）の表面に印（３）として付与する。この例では、計量板（１）の表面に印（３）が２ヶ所付与されることになる。計量板（１）には、使用するカップ（５）の識別と抽出する液体の種類（この例ではカプチーノ）を持ち手部兼記録部（４）にペン等で直接記載又は識別のシール等を貼り付けることで記録しておく。使用するカップやグラス及び、好みに応じて抽出する液量を変える場合には、別の液体抽出量計量器を準備し、同様の手順で最適な印（３）を付与しておく。
実際にカプチーノを作る場合は、このカップ（５）とカプチーノ用に準備した計量板（１）を、カップ（５）の飲み口（縁）に液体抽出量計量器の引っ掛け部（２）を引っ掛け、コーヒー抽出機を用いて計量板（１）の表面の下の印（３）までミルクを注ぎ、同様の手順で、計量板（１）の表面の上の印（３）までエスプレッソを注ぐ。これにより任意のカップやグラスを用いても毎回簡単に好みのカプチーノを作ることが可能となる。
【符号の説明】
【０００９】１  計量板
２  引っ掛け部
３  印
４  持ち手部兼記録部
５  カップ
６  液面
【図１】
2014106223.tif 000003
【図２】
2014106223.tif 000004
(57)【要約】【課題】円板共振器方式には、２枚の試料に挟まった円板共振器シートを金属板の中央に測定時毎回設置するひつよう問題があった。また、同一特性、同一厚さの試料が２枚必要であり、試料が小さいと２枚確保できないことがあり、また同一条件でないと測定誤差が大きくなった。【解決手段】共振面を一面にすることによって円板共振器シートをあらかじめ設置しておけるようにする。すると試料も一枚でよくなった。【選択図】図３
2014106224.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料シートが１枚で誘電率および誘電損失を測定する円板共振器
【請求項２】
円板共振器の測定に寄与しない面の表面電気抵抗を大きくした円板共振器
【請求項３】
円板共振器の測定に寄与しない面の表面に多数の凸凹を形成した請求項２の円板共振器
【請求項４】
円板共振器の測定に寄与しない面の表面に多数の凸凹を形成し、さらに電気抵抗層を形成した請求項２の円板共振器
【発明の詳細な説明】
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】シート状誘電体の誘電率と誘電損失の測定に関する。
【背景技術】
【０００２】
【特許文献】なし
【０００３】
【非特許文献】［１］Ｈｉｒｏｓｕｋｅ  Ｓｕｚｕｋｉ，Ｍａｓａｔｏ  Ｉｎｏｕｅ“Ｃｏｍｐｌｅｘ  Ｐｅｒｍｉｔｔｉｖｉｔｙ  Ｍｕｌｔｉ−Ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ  Ｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｓ  ｆｏｒ  Ｄｉｅｌｅｃｔｒｉｃ  Ｓｈｅｅｔｓ  ｕｓｉｎｇ  ａ  Ｃｉｒｃｕｌａｒ  Ｄｉｓｋ  Ｒｅｓｏｎａｔｏｒ”，２０１２  ＩＥＥＥ  ＩＭＳ２０１２  ＴＨＰＢ−１．
【発明の開示】
【発明が開示しようとする課題】
【０００４】円板共振器方式の誘電率、誘電損失測定システムの構成を図１に示した。円板共振器シートＣＲＳを２枚の試料で挟み、１対の金属板の中心とこの円板共振器シートの中心が一致するように調整しながら、すべてを一体に挟む。ネットワークアナライザから出力したマイクロ波を上のプローブＰから入力する。そしてネットワークアナライザからの出力の周波数を低周波から高周波に振る。この出力を下のプローブＰから取り出し、ネットワークアナライザに入力する。図２に多数の共振点を示したが、この共振周波数と共振の鋭さを示すＱ値を用いて試料の誘電率と誘電損失を理論計算から求める。図３に従来の円板共振器を示したが大きな問題点が２つある。１つは円板共振器シートを金属板の中心に設置することが難しい。円板共振器シートは大きさの不ぞろいの２枚の試料を挟んであるので、中心がどこにあるのか分かりにくい。２つ目は同じ特性の試料が２枚必要なことである。同じ特性でしかも同じ厚さの試料が２枚必要なのである。上のプローブＰから共振器に入力した電磁波は上の金属板Ｍと円板共振器シートＣＲＳの間で試料Ｓの特性に応じた共振をする。この電磁波が外側に漏れ出し、下側の共振器で同じように共振して下のプローブＰから出力する。以上から２枚の試料が同じ特性、同じ厚さでないと、共振が割れてしまったり、共振波形が広がってしまったりする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】下側の共振器が共振しないようにする。なお、上側の共振器から漏れ出した電磁波が下部のプローブＰに集まるように誘電体シートを置く。なお、このシートの誘電率や厚さは測定に影響なく、自由である。なお、誘電損失は小さいことが必要である。そして、下部のプローブＰに電磁波が少ない減衰で集まれば良い。
【発明を実施するための最良の形態】
【実施例】
【０００６】具体例を図４に示した。一辺が１００ｍｍの金属板Ｍを２つ用意した。なお、金属板中央のプローブＰには直径１．２ｍｍのセミリジット５０Ω同軸ケーブルを用いた。直径４０．０ｍｍの電解銅シートの凸凹の有る面に接着剤を塗布して、一辺が１００ｍｍ、厚さ３ｍｍのふっ素樹脂ＰＴＦＥの中央に張り付けた。なお、貼り付け強度を増すためにＰＴＦＥシートの中央部の直径４０ｍｍにはあらかじめ薬品処理をした。このようにして出来上がったＰＴＦＥシートを下側の金属板の真上に乗せた。このとき、上の金属板も真上に乗るようにあらかじめ４隅にＬ字の案内用の金具を用意した。円板共振器シートの上に適当に試料シートを置き、その上に金属板を置いた。
そして、試料、共振器などに隔間が空かないように重しを置いて測定をしたところ。従来法の誘電率との誤差は３％以内、誘電正接の誤差は６％以内であった。なお、電解銅の凸凹面の凸凹の深さは３μｍであった。【０００７】実施例［０００６］では電解銅の凸凹面に接着剤を塗布したが、この接着剤にカーボンブラックを２０ｗｔ％混入したところ、従来法との誤差が誘電率で２％、誘電正接で４％と誤差が改善した。
【産業上の利用可能性】
【０００８】従来の円板共振器方式を本方式に改善すると円板共振器シートが金属板の中央にあらかじめ取付いているので、毎回円板共振器シートを金属板の中央に取付ける必要が無い。また、従来、同一特性、同一厚さの試料が２枚必要であったが、一枚で良いので、試料が少量で良い。また２枚の間に誤差があるとき、測定値に問題が生じるが、この問題はない。以上のことから大変便利に利用できるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図１】円板共振器方式誘電率測定装置の構成
【図２】共振波形
【図３】従来の円板共振器の構成
【図４】本方式の円板共振器の構成
【符号の説明】ＣＲ：円板共振器
Ｐ：同軸プローブ
Ｍ：金属板
ＣＲＳ：円板共振シート
Ｓ：試料
ＮＡ：ネットワークアナライザ
Ｄ：誘電体
ｔ１：試料の厚さ
ｔ２：誘電体の厚さ
ｔｃ：円板共振シートの厚さ
ＥＡ：電気抵抗層
【図１】
2014106224.tif 000003
【図２】
2014106224.tif 000004
【図３】
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【図４】
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(57)【要約】      （修正有）【課題】半導体ウェハの電極位置検出および、プローブカードの針先検出の為にチャックを、半導体ウェハとプローブカードの大きさ和の距離だけ移動させていた。これを半導体ウェハの試験に必要な距離だけチャックを動かすことを可能にするプローブの針先と被検査体の電極との位置合わせカメラを提供する。【解決手段】プローバーの検査ステージ２２とは別に、半導体ウェハ１２の電極位置を検出する撮像装置３０と、プローブ針先３８の位置を検出する撮像装置３２を移動させるカメラステージ５０を用意することにより、半導体ウェハを移動させることなく、半導体ウェハの電極位置検出および、プローブカード２６の針先検出を行い、位置合わせを行う。【選択図】図３
2014106216.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体ウェハの電極位置を検出する撮像装置１と、プローブ針先の位置を検出する撮像装置２を搭載するカメラステージが、プローブカードとチャックの間に移動し、対応する電極とプローブ針先の位置を検出し、プローブの針先と被検査装置の電極との位置合わせ方法。
【請求項２】
撮像装置１と撮像装置２を強固に固定し、撮像装置間の位置補正を不要、もしくは長期間不要とした請求項１の位置合わせ装置
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プローブ針先と被検査体の電極の位置合わせに使用するカメラの位置に関する発明である。          
【背景技術】
【０００２】
複数の集積回路が形成された半導体ウエーハのような被検査体は、各集積回路が仕様書通りの機能を有するか否かの通電試験をされる。この種の通電試験は、一般に、被検査体の電極に個々に対応された複数のプローブを有するプローブカードを用いるプローバ（検査装置）を用いて行われる。各プローブは、対応する電極に押圧される先端すなわち針先を有する。
【０００３】
プローバは、一般に、プローブカード及び被検査体を、それぞれ、それらの相対的位置関係が許容範囲内となるように、取り付けるための位置決めピンやストッパのような位置決め部材及びステージのような位置決め機構を備えている。
【０００４】
プローブ位置を検出するには被検査体を保持する検査ステージに取り付けられたカメラを使用している。また被検査体の電極位置を検出するにはプローブカードを保持するベースプレートに取り付けられているカメラを使用している。両者からの位置情報を基に位置決めを行っている。
【０００５】
一方、近年製造技術の進歩によって、被検査体の寸法が大きくなっている。被検査体である半導体ウエハが３００ｍｍφを超えて大口径化するに連れて、検査装置が大型し、検査装置が高コスト化すると共にクリーンルーム内の専有面積が急激に拡大し、さらに高コスト化している。
【０００６】
また被検査体の寸法が大きくなるのに加え、素子の微細化により検査電極の数も増えている。このため電極を接続する為に必要とされる検査ステージをプローブカードに押しつける力も増加している。そのため検査ステージの重量も増加し、これを精度よく長い距離を移動させることにコストがさらに上昇する。
【０００７】
図２に従来の検査ステージが移動する範囲を示す。検査ステージに取り付けられているカメラはプローブ位置を検出するため、プローブが存在する範囲に移動できなければならない。カメラは検査ステージに取り付けられているので、移動するエリアとして、最低でも被検査物の二倍の距離、四倍の面積が必要となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００７−９５９９３
【０００９】
上記従来技術は従来のプローバの構造および針位置合わせを説明している。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明の目的は、プローバに装着後におけるプローブの針先と被検査体の電極との位置合わせを、従来と比較して装置の専有面積を小さく、かつ安価に実施することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
プローブ位置を検出するカメラおよび被検査体の電極位置を検出するカメラを検査ステージとは独立に移動する機構を設ける。この機構を以下ではカメラステージと呼ぶ。カメラステージは被検査物の寸法とほぼ同じ移動エリアを持つ。この検査ステージを任意の位置で停止し、プローブ位置および検査電極位置を検出する。
【００１２】
本発明に係る、プローブの針先と被検査体の電極との位置合わせの方法は、チャックトップに載る被検査体の電極位置を、カメラステージに設置された第一の撮像装置で検出する機能と、プローブの針先の位置をカメラステージに設置された第二の撮像装置で検出する機能と、チャックトップを任意の位置に移動するアライメント機構をもつ検査ステージを含む。
【００１３】
カメラステージの第一の撮像装置は、カメラステージがチャックトップ上面任意の位置を移動することによりチャックトップ上の被検査体の電極位置を検出する。カメラステージの第二の撮像装置は、カメラステージがプローブカード上のプローブ針先の位置を検出する。第一の撮像装置と第二の撮像装置の位置関係はあらかじめ測定おく。以上より当該電極の位置とプローブ針先の位置関係を知ることができる。この作業を少なくとも三箇所で実施することにより、プローブカードと被検査体の相対位置情報を得ることができる。その情報により検査ステージのアライメント機構により、プローブカード及び被検査体を正しく接続させる
【発明の効果】
【００１４】
検査ステージが移動しなければならないエリアが、ほぼ被検査物をプローブに接触させる範囲となるので、従来の被測定物の寸法と同じ大きさから、被測定物上の各集積回路数個分の大きさとなり、大幅に小さくなる。重量があり、高精度な位置制御をしなければならない検査ステージの移動距離を大幅に小さくできるため、装置自体のコストを下げることが可能となる。
【００１５】
装置自体が小さくなるので、クリーンルームの専有面積を下げることによりクリーンルームの維持コストも下げる。
【００１６】
従来の装置と比較してカメラステージを新たに持つことになるが、これは移動距離の精度は従来の移動ステージの精度より低くすることができ、またそこに必要とされる強度も検査ステージと比較して大幅に少なくてよく、装置全体は低コストとなる。
【００１７】
２つの撮像装置を同一のステージに搭載するので、相対位置が動かない。そのためこの関係を補正する周期を長くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】位置合わせ方法の従来技術による実現例を示す図である。
【図２】位置合わせ方法の従来技術による実現例での検査ステージの移動範囲を示す図である。
【図３】本発明に係る位置合わせ方法の実現例を示す図である。
【符号の説明】
【００１９】
１０  プローバー
１２  被検査体
２０  チャックトップ
２２  検査ステージ
２４  ベースプレート
２６  プローブカード
２８  カードフォルダ
３０  カメラ
３２  カメラ
３８  プローブ
４０  プローブ基板
４２  配線基板
５０  カメラステージ
【図１】
2014106216.tif 000003
【図２】
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【図３】
2014106216.tif 000005