(57)【要約】      （修正有）【課題】光ファイバによる光量変動分の校正と測定セルによる光量変動分の校正とを分けることにより、ユーザの使い勝手を向上することができる光学分析装置を提供する。【解決手段】光源及び測定セル２の間、又は測定セル２及び光検出部の間の少なくとも一方に設けられた光ファイバ５１（５２）と、光伝達手段により形成される光路Ｌが測定セル２を通過する測定セル通過状態Ｐ、及び光伝達手段により形成される光路Ｌが測定セル２とは異なる領域を通過する測定セル非通過状態Ｑを切り替える光路切替手段６とを備え、測定セル通過状態Ｐとされた状態で校正周期の長い第１校正のための校正処理を行い、測定セル非通過状態Ｑとされた状態で校正周期の短い第２校正のための校正処理を行う。【選択図】図２
2014106160.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源及び測定セルの間、又は前記測定セル及び光検出部の間の少なくとも一方に設けられた光ファイバと、
前記光ファイバを通過する光の光路が前記測定セルを通過する測定セル通過状態、及び前記光ファイバを通過する光の光路が前記測定セルとは異なる領域を通過する測定セル非通過状態を切り替える光路切替手段とを備え、
前記測定セル通過状態で校正周期の長い第１校正のための校正処理を行い、前記測定セル非通過状態で校正周期の短い第２校正のための校正処理を行う光学分析装置。
【請求項２】
前記光ファイバが固定されており、
前記光路切替手段が、前記測定セル、又は前記光ファイバ及び前記測定セルの間に設けられた光学要素を移動させることによって、前記測定セル通過状態及び前記測定セル非通過状態を切り替えるものである請求項１記載の光学分析装置。
【請求項３】
前記光源の光を前記測定セルに導く第１光ファイバと、前記測定セル及び前記光検出部の間に設けられ、前記測定セルを通過した光を前記光検出部に導く第２光ファイバと、前記第１光ファイバ及び前記測定セルの間に設けられた第１反射部材と、前記測定セル及び前記第２光ファイバの間に設けられた第２反射部材とを備え、
前記第１光ファイバ及び前記第２光ファイバが固定されているとともに、前記第１反射部材及び前記第２反射部材が移動可能に設けられており、
前記光路切替手段が、前記第１反射部材及び前記第２反射部材を移動させることによって、前記測定セル通過状態及び前記測定セル非通過状態を切り替えるものである請求項１又は２記載の光学分析装置。
【請求項４】
前記第１校正が、前記測定セルに校正液を流して行うものであり、
前記第２校正が、前記測定セルに校正液を流さずに行うものである請求項１乃至３の何れかに記載の光学分析装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学分析装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の光学分析装置としては、図６に示すように、光源からの光を光ファイバで測定セルまで導き、測定セルを通過した光を光ファイバで分光器に導くものがある。そして、この構成においては、光ファイバと光源及び分光器との間に設けられた反射ミラーを有する光路切替手段によって、光源からの光を光ファイバを介して測定セルに導入する光路Ａと、光源からの光を光ファイバを介さずに分光器に導入する光路Ｂとを切り替えるように構成されている。
【０００３】
そして、この光学分析装置では、定期的に光路Ｂとして光源の光量変動を校正する光源光量校正と、光路Ａの状態で定期的に測定セルに吸光度既知の校正液を流して光ファイバ及び測定セルを含めた光学系全体の光量変動を校正する光学系光量校正とを行うようにしている。
【０００４】
ここで、前記光学系光量校正により校正される光学系全体の光量変動の要因としては、光ファイバの温度変化、振動又は曲率変化等の状態変化及び測定セルの汚れや光路長変化等の状態変化などが考えられる。そして、本願発明者は、光ファイバ及び光源の状態変化が、測定セルの状態変化に比べて起こりやすく、光学系全体の光量変動において、その大部分が、光ファイバ及び光源の状態変化に起因するものであり、測定セルの汚れや光路長変化等の状態変化による光量変動分が比較的小さいことを見出した。
【０００５】
このため、光ファイバ及び光源による光量変動分を校正する校正処理は頻繁に行う必要があるものの、測定セルによる光量変動分を校正する校正処理はそれ程頻繁に行う必要が無いことになる。
【０００６】
しかしながら、上記の光学系光量校正では、光ファイバ及び光源による光量変動分及び測定セルによる光量変動分を合わせて校正するものであり、光ファイバ及び光源による光量変動分を校正する頻度に合わせて、測定セルに校正液を収容する必要がある。そうすると、測定セルの中身を液体試料から校正液に置換して行う校正処理を頻繁に行う必要があり、ユーザにとって不便となる。
【０００７】
また、図６に示す校正とは全く異なる校正を行うものではあるが、特許文献１に示すように、サンプルセルと校正セルが並列に配置されており、光伝達手段である光ファイバを移動させることによって、サンプルセルに光が照射される測定位置と、校正セルに光が照射される校正位置との間で切り替えるように構成したものがある。
【０００８】
しかしながら、サンプルセルとは別に校正セルを設ける構成では、当該校正セルに校正液を流すための校正液ラインが必要となってしまう。仮に校正セルに校正液を封入する構成とした場合には、校正液が劣化して正確な校正を行うことができない。また、測定セル自体の汚れに起因する変動分を校正することができず、測定誤差を生じてしまうという問題がある。さらに、特許文献１のものは、上述したように、互いに異なる２つの校正を行うものではなく、光ファイバを校正位置とした状態で単一の校正を行うように構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００７−１５５４９４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
そこで本発明は、光ファイバによる光量変動分の校正と測定セルによる光量変動分の校正とを分けることにより、ユーザの使い勝手を向上することをその主たる課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
すなわち本発明に係る光学分析装置は、光源及び測定セルの間、又は前記測定セル及び光検出部の間の少なくとも一方に設けられた光ファイバと、前記光ファイバを通過する光の光路が前記測定セルを通過する測定セル通過状態、及び前記光ファイバを通過する光の光路が前記測定セルとは異なる領域を通過する測定セル非通過状態を切り替える光路切替手段とを備え、前記測定セル通過状態で校正周期の長い第１校正のための校正処理を行い、前記測定セル非通過状態で校正周期の短い第２校正のための校正処理を行うことを特徴とする。なお、光ファイバを通過す光の光路とは、光源及び測定セルの間に光ファイバが設けられた場合には、当該光ファイバから出た光の光路をいい、測定セル及び光検出部の間に光ファイバが設けられた場合には、光ファイバに入る光の光路をいう。
【００１２】
このようなものであれば、光ファイバを通過する光の光路を測定セル通過状態として第１校正を行い、測定セル非通過状態として第２校正を行っているので、測定セルを含む光学系全体の光量変動分の校正と、測定セルを含まない光学系の光量変動分の校正とを別々に行うことができる。つまり、測定セル非通過状態として第２校正を行い、測定セルを通過させずに光ファイバを通過する光を光検出部に導いているので、測定セルとは別に光ファイバ及び光源の状態変化に伴う光量変動分を校正することができる。
また、測定セル通過状態で校正周期の長い第１校正のための校正処理を行い、測定セル非通過状態で校正周期の短い第２校正のための校正処理を行うので、測定セル２の状態変化に伴う光量変動分を校正する第１校正を、光ファイバ及び光源の状態変化に伴う光量変動分を校正する第２校正に比べて頻度を減らすことができる。一方、光ファイバ及び光源の状態変化は比較的短期間で生じるところ、この光ファイバ及び光源による光量変動を、第２校正により校正することができるため、光ファイバ及び光源による光量変動を短い周期で校正することができる。このように測定セルによる光量変動分を校正するための校正処理を長周期で行うとともに、光ファイバ及び光源による光量変動分を校正するための校正処理を短周期で行うことができるので、ユーザの使い勝手を向上させることができる。
【００１３】
特に本発明の効果を顕著にするためには、前記第１校正が、前記測定セルに校正液を流して行うものであり、前記第２校正が、前記測定セルに校正液を流さないで行うものであることが望ましい。第２校正よりも長い校正周期の第１校正が、校正液を収容して行うものであり、測定セルの中身を試料から校正液に置換する頻度を減らすことができる。つまり、測定セルによる光量変動が測定に影響を与えるようになった段階で、測定セルを含む光学系全体による光量変動を校正するようにできるので、測定セルに校正液を収容する頻度を低減することができ、ユーザの不便を解消することができる。
【００１４】
光ファイバは、温度変化、振動又は曲率変化等によって光量変動が生じてしまうため、光ファイバを移動させて測定セル非通過状態として第２校正を行うと、第２校正後の試料測定において、光ファイバの状態が、第２校正時の光ファイバの状態と異なり、それによって光量変動が生じてしまう。この問題を解決して光ファイバによる光量変動をより一層低減するためには、前記光ファイバが固定されており、前記光路切替手段が、前記測定セル、又は前記光ファイバ及び前記測定セルの間に設けられた光学要素を移動させることによって、前記測定セル通過状態及び前記測定セル非通過状態を切り替えるものであることが望ましい。
【００１５】
また、測定セルを移動させることによって測定セル通過状態及び測定セル非通過状態を切り替えることが考えられるが、そうすると、測定セルに接続される配管を移動させる必要が生じ、配管の可動部からの液漏れの心配や配置スペース等の問題が生じ得る。また、配管に可動部が無く配管が柔軟性を有さない管から構成されるものの場合、測定セルを移動させることができない。このため、光路切替手段が、前記光ファイバ及び前記測定セルの間に設けられた光学要素を移動させることによって、前記測定セル通過状態及び前記測定セル非通過状態を切り替えるものであることが望ましい。
【００１６】
また、光学分析装置が、前記光源の光を前記測定セルに導く第１光ファイバと、前記測定セル及び前記光検出部の間に設けられ、前記測定セルを通過した光を前記光検出部に導く第２光ファイバと、前記第１光ファイバ及び前記測定セルの間に設けられた第１反射部材と、前記測定セル及び前記第２光ファイバの間に設けられた第２反射部材とを備え、前記第１光ファイバ及び前記第２光ファイバが固定されているとともに、前記第１反射部材及び前記第２反射部材が移動可能に設けられており、前記光路切替手段が、前記第１反射部材及び前記第２反射部材を移動させることによって、前記測定セル通過状態及び前記測定セル非通過状態を切り替えるものであることが望ましい。このように、光源からの光を測定セルに導く第１光ファイバ及び測定セルを通過した光を光検出部に導く第２光ファイバを有するものでは、光ファイバの状態変化による光量変動の影響が大きくなるが、これら２つの光ファイバを固定して、第１反射部材及び第２反射部材を移動させることで、本発明の効果を一層顕著にすることができる。また、測定セルを固定しているので、測定セルに接続される配管を移動させる必要が無く、配管の可動部からの液漏れの心配や配置スペース等の問題も生じない。
【発明の効果】
【００１７】
このように構成した本発明によれば、光ファイバによる光量変動分の校正と測定セルによる光量変動分の校正とを分けることができるので、ユーザの使い勝手を向上することができる。また、別途、校正液を収容する校正用セルを設ける必要も無いため、それに付随する周辺設備を簡略化することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本実施形態の光学分析装置の構成を示す模式図。
【図２】同実施形態の測定セル収容筐体の内部構成を示す模式図。
【図３】同実施形態の反射部材の移動による光路切り替え態様を示す模式図。
【図４】変形例における測定セルの移動による光路切り替え態様を示す模式図。
【図５】変形例における光ファイバの移動による光路切り替え態様を示す模式図。
【図６】従来の光学分析装置の構成を示す模式図。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下に本発明に係る光学分析装置について図面を参照して説明する。
【００２０】
本実施形態の光学分析装置１００は、例えば半導体製造ラインに組み込まれて使用されるものであり、例えば半導体製造における洗浄工程に用いられる薬液の濃度を測定する分光吸光光度計である。なお、薬液としては、ＳＣ−１（アンモニア過酸化水素水溶液）、ＳＣ−２（塩酸過酸化水素水溶液）、ＳＰＭ（硫酸過酸化水素水溶液）、ＦＰＭ（フッ酸過酸化水素水溶液）、ＢＨＦ（バッファードフッ酸溶液）等である。
【００２１】
具体的に光学分析装置１００は、図１に示すように、例えば薬液などの液体試料が収容される測定セル２と、前記測定セル２に光を照射するための例えばハロゲンランプなどの光源３と、前記測定セル２を通過した光を検出するための光検出部４と、光源３からの光を前記測定セル２に導くとともに、前記測定セル２を通過した光を光検出部４に導く光伝達手段５とを備えている。
【００２２】
測定セル２は、例えば半導体洗浄装置の薬液槽に接続された薬液配管により形成される循環経路に設けられたフローセルである。なお、測定セル２は、半導体洗浄装置内配管に直接組み込みインラインフローセルであっても良い。
【００２３】
光検出部４は、測定セル２を通過した光を分光して、その分光スペクトル（波長毎の光量）を検出する分光器である。この分光器４により得られた分光スペクトルデータは、図示しない演算装置に出力されて、当該演算装置により、分光器４により得られた分光スペクトルと、後述する校正液の分光スペクトルとから、薬液の吸光度スペクトルを算出し、この吸光度スペクトルを用いて液体試料に含まれる成分の濃度が算出される。
【００２４】
光伝達手段５は、光源３及び測定セル２の間に設けられ、光源３の光を測定セル２に導く第１光ファイバ５１と、測定セル２及び光検出部４の間に設けられ、測定セル２を通過した光を光検出部４に導く第２光ファイバ５２と、第１光ファイバ５１及び測定セル２の間に設けられた反射ミラー等の第１反射部材５３と、測定セル２及び第２光ファイバ５２の間に設けられた反射ミラー等の第２反射部材５４とを備えている。
【００２５】
また、第１光ファイバ５１の光導入端面と光源３との間には、光源３の光を前記光導入端面に集光するための集光レンズ５５が設けられている。第１光ファイバ５１の光導出端面と第１反射部材５３との間には、前記光導出端面から出た光を測定セル２に集光するための集光レンズ５６が設けられている。
【００２６】
さらに、第２光ファイバ５２の光導入端面及び第２反射部材５４の間には、第２反射部材５４からの光を前記光導入端面に集光するための集光レンズ５７が設けられている。第２光ファイバ５２の光導出端面及び光検出部４の間には、前記光導出端面から出た光を分光器４の入射スリットに集光するための集光レンズ５８が設けられている。
【００２７】
本実施形態では、光源３を収容する光源収容筐体Ｃ１と、測定セル２を収容する測定セル収容筐体Ｃ２とが、第１光ファイバ５１によって接続され、前記測定セル収容筐体Ｃ２と、光検出部４を収容する光検出部収容筐体Ｃ３とが第２光ファイバ５２によって接続されている。ここで、第１光ファイバ５１の光導入端部（光導入端面を有する部分）は光源収容筐体Ｃ１の側壁に固定されており、第１光ファイバ５１の光導出端部（光導出端面を有する部分）は測定セル収容筐体Ｃ２の側壁に固定されており、第１光ファイバ５１全体が固定されている。また、第２光ファイバ５２の光導入端部（光導入端面を有する部分）は測定セル収容筐体Ｃ２の側壁に固定されており、第２光ファイバ５２の光導出端部（光導入端面を有する部分）は光検出部収容筐体Ｃ３に固定されており、第２光ファイバ５２全体が固定されている。なお、本実施形態では、第１光ファイバ５１の光導出端部及び第２光ファイバ５２の光導入端部は、測定セル収容筐体Ｃ２における同一の側壁に固定されている。これにより測定セル収容筐体Ｃ２のメンテナンスを行い易くしている。さらに、光源収容筐体Ｃ１内には、集光レンズ５５が収容されている。測定セル収容筐体Ｃ２には、第１反射部材５３、第２反射部材５４、集光レンズ５６、５７が収容されている。光検出部収容筐体Ｃ３には、集光レンズ５８が収容されている。なお、光源収容筐体Ｃ１及び光検出部収容筐体Ｃ３をさらに単一の筐体Ｃ４に収容しているが、光源収容筐体Ｃ１及び光検出部収容筐体Ｃ３を単一の筐体としても良い。また、前記各筐体Ｃ１〜Ｃ４は、全面を覆い外部空間と隔離されたものの他、一部（例えば一面）が開口したものであっても良い。
【００２８】
しかして本実施形態の光学分析装置１００は、図２及び図３に示すように、光伝達手段５により形成される光路Ｌが測定セル２を通過する測定セル通過状態Ｐ（図３（１）参照）、及び光伝達手段５により形成される光路Ｌが測定セル２とは異なる領域を通過する測定セル非通過状態Ｑ（図３（２））を切り替える光路切替手段６とを備えている。ここで、光路Ｌは、第１光ファイバ５１の光導出端面から出た光の通過する経路であって、測定セル２を通過した光が第２光ファイバ５２の光導入端面に入る光が通過する経路である。なお、測定セル非通過状態Ｑにおいては、第１反射部材５３及び第２反射部材５４の間の空間に何も無い構成として、第１反射部材５３及び第２反射部材５４の間の光路Ｌが空気を通過する構成としているが、別途、校正用フィルタを配置して、第１反射部材５３及び第２反射部材５４の間の光路Ｌが校正用フィルタを通過する構成としても良い。
【００２９】
光路切替手段６は、測定セル収容筐体Ｃ２内に設けられており、光ファイバ５１、５２及び測定セル２の間に設けられた光学要素である第１反射部材５３及び第２反射部材５４を移動させることによって、第１反射部材５３及び第２反射部材５４の間に測定セル２が位置する測定セル通過状態Ｐと、第１反射部材５３及び第２反射部材５４の間に測定セル２が位置しない測定セル非通過状態Ｑを切り替えるものである。
【００３０】
この光路切替手段６の具体的構成としては、前記第１反射部材５３及び第２反射部材５４を保持する保持部材６１と、当該保持部材６１を直線移動させる移動機構６２と、当該移動機構６２を制御する制御部６３とを有する。保持部材６１は、第１反射部材５３及び第２反射部材５４を一体的に保持する単一の部材とし、当該単一の保持部材６１を移動機構６２により移動することで、第１反射部材５３及び第２反射部材５４の相対位置を変化させることなく、測定セル通過状態Ｐ及び測定セル非通過状態Ｑを切り替えるように構成している。移動機構６２は、保持部材６１をガイドするガイド機構と、当該ガイド機構に沿って保持部材６１を移動させるアクチュエータとを備える。ここでアクチュエータは、雰囲気に薬液ガスが存在するため安全性の観点から、エアシリンダ等のエアー式アクチュエータを用いている。また、制御部６３は、前記演算装置により構成されたものであっても良いし、前記演算装置とは別体に設けられても良い。
【００３１】
また、光伝達手段５において、上述したように第１反射部材５３及び第２反射部材５４が移動可能に構成されており、第１光ファイバ５１及び第２光ファイバ５２は、測定セル通過状態Ｐ及び測定セル非通過状態Ｑの切り替えにおいて移動しないように固定されている。光伝達手段５を構成するその他の構成要素、つまり集光レンズ５５〜５８も測定セル通過状態Ｐ及び測定セル非通過状態Ｑの切り替えにおいて移動しないように固定されている。つまり、第１反射部材５３及び第２反射部材５４の移動のみにより、測定セル通過状態Ｐ及び測定セル非通過状態Ｑの切り替えが行われる。
【００３２】
次に、このように構成された光学分析装置１００の校正動作について説明する。
本実施形態の光学分析装置１００は、前記測定セル通過状態Ｐとされた状態で校正周期の長い第１校正のための校正処理を行い、前記測定セル非通過状態Ｑとされた状態で校正周期の短い第２校正のための校正処理を行うように構成されている。以下、具体的に説明する。
【００３３】
前記光路切替手段６によって測定セル通過状態Ｐとされている場合には、通常、薬液槽からの薬液が流れており、薬液の濃度測定が行われている。
【００３４】
そして、この測定セル通過状態Ｐにおいて第１校正を行う場合には、測定セル２に流れる薬液を停止するとともに、測定セル２に吸光度既知の校正液（例えば脱イオン水等の純水）を流す。なお、半導体製造ラインの例えば半導体洗浄装置等の半導体製造装置は、例えば半年に１回メンテナンス時にその装置配管を洗浄するために純水が用いられるが、この純水を校正液として用いることが考えられる。そして、このときの光量（初期校正液光量）を光検出部４により計測する。また、この第１校正において、光路切替手段６により測定セル非通過状態Ｑとして、そのときの光量（第１リファレンス光量）を光検出部４により計測する。
【００３５】
演算装置は、前記２つの状態Ｐ、Ｑで得られた光量から、吸光度Ａｂｓ（校正液）＝ｌｏｇ（「第１リファレンス光量」／「初期校正液光量」）を算出し、この吸光度Ａｂｓ（校正液）を校正用基準値とする。
なお、この校正用基準値は、第１校正を行うごとに設定されるものであり、次の第１校正を行うまでは、校正用基準値は変更されない。また、セルの側壁分の吸光度は、予め取得したデータをパラメータとして補正演算している。
【００３６】
前記第１校正終了後、演算装置は、通常の薬液測定において計測される光量（サンプル光量）及び前記初期校正液光量から、薬液の吸光度Ａｂｓ（サンプル）＝ｌｏｇ（「初期校正液光量」／「サンプル光量」）を算出する。このようにして得られた吸光度Ａｂｓ（サンプル）から、演算装置は薬液の濃度を算出する。
【００３７】
一方、前記第１校正終了後における通常の薬液測定の途中に定期的に第２校正が行われる。この第２校正を行う場合には、光路切替手段６により測定セル非通過状態Ｑとして、そのときの光量（第２リファレンス光量）を光検出部４により計測する。なお、このとき測定セル２には薬液が収容されたままである。
【００３８】
演算装置は、上記の校正用基準値及び測定セル非通過状態Ｑにおいて得られる第２リファレンス光量を用いて、校正液光量（以下、演算校正液光量）を算出する。第２校正において用いられる校正用基準値は、直近の第１校正により求められたものである。
【００３９】
具体的には、演算装置は、校正用基準値が一定であるとして、ｌｏｇ（「第１リファレンス光量」／「初期校正液光量」）＝ｌｏｇ（「第２リファレンス光量」／「演算校正液光量」）から、「演算校正液光量」を算出する。
【００４０】
そして、演算装置は、前記吸光度Ａｂｓ（サンプル）＝ｌｏｇ（「初期校正液光量」／「サンプル光量」）の「初期校正液光量」を「演算校正液光量」に置き換える。この「演算校正液光量」の置き換えは、第２校正毎に行われる。
【００４１】
前記第２校正終了後、演算装置は、通常の薬液測定において計測される光量（サンプル光量）及び前記演算校正液光量から、薬液の吸光度Ａｂｓ（サンプル）＝ｌｏｇ（「演算校正液光量」／「サンプル光量」）を算出する。このようにして得られた吸光度Ａｂｓ（サンプル）から、演算装置は薬液の濃度を算出する。
【００４２】
つまり、本実施形態の光学分析装置１００は、校正周期の長い第１校正において、初期校正液光量を計測するとともに、校正用基準値を算出し、校正周期の短い第２校正において、第２リファレンス光量を計測するとともに、当該第２リファレンス光量及び前記校正用基準値から演算校正液光量を算出する。
【００４３】
なお、測定セル２に校正液を流して行う第１校正は、測定セル２の状態変化による光量変動分を校正することを目的とし、その校正周期は、測定セル２の状態（汚れやセル長）が急激に変化しないことから、前記第２校正よりも長周期で行う。この第１校正の校正周期は、例えば６カ月から１年に１回程度である。また、第１校正により校正される光量変動分に起因する要素は、光源３、第１光ファイバ５１、測定セル２、校正液、第２光ファイバ５２等である。
【００４４】
一方、測定セル２に校正液を流さずに行う第２校正は、光源３、第１光ファイバ５１及び第２光ファイバ５２の状態変化による光量変動分を校正することを目的とするものであり、その校正周期は、光ファイバ５１、５２の状態が比較的短期間で変化することから、第１校正よりも短周期で行う。この第２校正の校正周期は、例えば１０分に１回である。また、第２校正により校正される光量変動分に起因する要素は、光源３、第１光ファイバ５１、第２光ファイバ５２、空気等である。
【００４５】
このように構成した本実施形態に係る光学分析装置１００によれば、第１光ファイバ５１及び第２光ファイバ５２を有する光伝達手段５より形成される光路Ｌを測定セル通過状態Ｐとして第１校正を行い、測定セル非通過状態Ｑとして第２校正を行っているので、測定セル２を含む光学系全体の光量変動分の校正と、測定セル２を含まない光学系の光量変動分の校正とを別々に行うことができる。つまり、測定セル非通過状態Ｑとして第２校正を行い、測定セル２を通過させずに光ファイバ５１、５２により伝達された光を光検出部４に導いているので、測定セル２とは別に光ファイバ５１、５２の状態変化に伴う光量変動分を校正することができる。
【００４６】
また、測定セル通過状態Ｐで校正周期の長い第１校正のための校正処理を行い、測定セル非通過状態Ｑで校正周期の短い第２校正のための校正処理を行うので、測定セル２の状態変化に伴う光量変動分を校正する第１校正を、光ファイバ５１、５２の状態変化に伴う光量変動分を校正する第２校正に比べて頻度を減らすことができる。一方、光ファイバ５１、５２の状態変化は比較的短期間で生じるところ、この光ファイバ５１、５２による光量変動を、校正液を用いない第２校正により校正することができるため、光ファイバ５１、５２による光量変動を短い周期で校正することができる。このように測定セル２による光量変動分を校正するための校正処理を長周期で行うとともに、光ファイバ５１、５２による光量変動分を校正するための校正処理を短周期で行うことができるので、ユーザの使い勝手を向上させることができる。
【００４７】
なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。
例えば、前記光路切替手段６が、第１反射部材５３及び第２反射部材５４を移動することによって、測定セル通過状態Ｐ及び測定セル非通過状態Ｑを切り替えるものであったが、図４に示すように、第１反射部材５３及び第２反射部材５４を移動させずに、測定セル２を移動させるように構成しても良い。また、第１反射部材５３及び第２反射部材５４と測定セル２との両方を相対移動させるようにしても良い。なお、測定セル２に接続される配管が柔軟性を有する管であれば上記図４のように構成することが可能であるが、柔軟性を有さない管の場合には、不具合があり、前記実施形態のように構成することが望ましい。
【００４８】
また、図５に示すように、第１反射部材５３及び第２反射部材５４を介さずに、第１光ファイバ５１からの光を測定セル２に照射し、測定セル２を通過した光を第２光ファイバ５２に導入するものにおいては、第１光ファイバ５１の光導出端面及び第２光ファイバ５２の光導入端面を測定セル２に対して移動させて、測定セル通過状態Ｐ及び測定セル非通過状態Ｑを切り替えるように構成しても良い。なお、第１光ファイバ５１の光導出端面及び測定セル２の間に集光レンズ（図５において不図示）が設けられ、第２光ファイバ５２の光導入端面及び測定セル２の間に集光レンズ（図５において不図示）が設けられている場合には、これら集光レンズも光ファイバ５１、５２とともに移動させる。図５に示す構成のものにおいて、第１光ファイバ５１及び第２光ファイバ５２を移動させずに、測定セル２を移動させるように構成しても良い。また、第１光ファイバ５１及び第２光ファイバ５２と測定セル２との両方を相対移動させるようにしても良い。
【００４９】
さらに、前記実施形態の光伝達手段５は、第１光ファイバ５１及び第２光ファイバ５２を有するものであったが、何れか一方のみを有するものであっても良い。なお、測定セル２の周囲近傍は、薬液ガスが存在し、或いは設置スペースが制約される恐れがあり、光源３や光検出部４を配置することが難しい。このため、第１光ファイバ５１及び第２光ファイバ５２の両方を用いて、測定セル２から離れた位置に光源３及び光検出部４を配置することが望ましい。
【００５０】
その他、本発明は前記実施形態に限られず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能であるのは言うまでもない。
【符号の説明】
【００５１】
１００・・・光学分析装置
２・・・測定セル
３・・・光源
４・・・光検出部
５・・・光伝達手段
Ｌ・・・光路
５１・・・第１光ファイバ
５２・・・第２光ファイバ
５３・・・第１反射部材
５４・・・第２反射部材
６・・・光路切替手段
Ｐ・・・測定セル通過状態
Ｑ・・・測定セル非通過状態
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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