(57)【要約】【課題】液体吐出ヘッドの製造上のばらつきの影響を受けることなく、液体のスムーズな供給を確保しつつ所望の大きさの異物を確実に捕捉して、液体の良好な吐出性能を維持することができる液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置を提供すること。【解決手段】ヒータボード１と天板５との間に、それらの対向間隔が比較的小さい範囲Ａ０と、それらの対向間隔が比較的大きい範囲Ａ２と、を形成する。ヒータボード１に、範囲Ａ０と範囲Ａ２の両方に渡って延在する複数の突起１１を設ける。突起１１の先端部は、天板５の内面に接しない一定の高さのまま、範囲Ａ０と範囲Ａ２の両方に渡って延在する。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と天板との間に、複数の吐出口に連通する複数の液流路と、前記複数の液流路に連通する共通液室と、が形成され、
前記共通液室から前記液流路に供給された液体を当該液流路に対応する前記吐出口から吐出可能な液体吐出ヘッドであって、
前記基板と前記天板との間に、第１の対向間隔の第１領域と、前記第１の対向間隔よりも大きい第２の対向間隔の第２領域と、が形成され、
前記第１領域に前記複数の液流路が形成され、
前記第２領域に前記共通液室が形成され、
前記基板と前記天板の対向部の一方に、前記第１領域と前記第２領域の両方に渡って延在する複数の突起が設けられ、
前記突起は、前記対向部の他方に接しない先端部を含む
ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記先端部は、一定の高さのまま前記第１領域と前記第２領域の両方に渡って延在することを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記複数の突起は、前記共通液室から前記液流路への液体の供給方向と交差する方向に配列することを特徴とする請求項１又は２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記突起の先端部と前記天板との間を通過可能な最大の第１仮想球体の第１の直径は、前記共通液室から前記液流路を通って前記吐出口に至るまでの間を通過可能の最大の第２仮想球体の第２の直径よりも小さいことを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記第１の直径は、互いに隣接する２つの前記突起の前記先端部の上の２点と、前記天板の上の１点と、の計３点に接する最小の仮想円の直径であることを特徴とする請求項４に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
互いに隣接する前記突起の間隔は、前記第２の直径よりも小さいことを特徴とする請求項４に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】
前記突起の形成材料は、前記液流路の形成材料と同じであることを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項８】
前記突起および前記液流路の形成材料は、感光性樹脂材料であることを特徴とする請求項７に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項９】
前記第１領域に、前記複数の液流路と前記共通液室との間を連通する共通流路を形成することを特徴とする請求項１から８のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１０】
液体を吐出可能な液体吐出ヘッドを用い、前記液体吐出ヘッドから吐出される液体を処理部材に付与する液体吐出装置において、
前記液体吐出ヘッドとして、請求項１から９のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドを用いる
ことを特徴とする液体吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、インクを吐出可能なインクジェット記録ヘッド、および、それを備えるインクジェット記録装置などとして、広く適用可能な液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種の液体吐出ヘッドには、一般に、液体の供給方向の上流側から吐出口に向う液流路が設けられており、その液流路には、電気熱変換体（ヒータ）やピエゾ素子などの吐出エネルギー発生素子が備えられている。電気熱変換体を備えた場合には、その発熱により液流路内の液体を発泡させ、その発泡エネルギーを利用して吐出口から液体を吐出することができる。
【０００３】
このような液体吐出ヘッドは、液体を吐出口へ安定して供給するために、液流路の断面積が吐出口の断面積よりも大きくなっている。そのため、液体中に不純物粒子等のゴミが存在した場合には、そのゴミが液流路を通過して吐出口の近傍に達するおそれがある。吐出口近傍にゴミが達した場合には、液体を吐出する際に、その吐出方向がずれたり、吐出量が変化したりして、正常な吐出が行われなくなるおそれがある。また、吐出口がゴミによって塞がれた場合には、液体が吐出できなくなるおそれがある。また、気泡が混在した液体が液体吐出ヘッドに供給された場合には、液流路内に進入した気泡によって液体のスムーズな流れが妨げられて、吐出性能が不安定となるおそれがあった。
【０００４】
特許文献１には、このようなゴミによる悪影響を回避するために、液流路における吐出エネルギー発生素子の位置よりも反吐出口側の位置に、（ａ），（ｂ），（ｃ），（ｄ）のいずれかのフィルタ構造を備えた記録ヘッドが記載されている。（ａ）は、複数の開口部が曲路を形成する構造、（ｂ）は、開口部と突起で形成される断面を有する構造、（ｃ）は、開口部の吐出口側に凹部を有する柱を設ける構造、（ｄ）は、複数の突起が設けられた断面を有する構造である。
【０００５】
また、特許文献２には、液体吐出ヘッドの基板と天板との間の比較大きい空間に共通液室を形成し、その共通液室内の基板に複数の突起を設け、それらの突起の先端を自由端とするフィルタ構造が記載されている。これら複数の突起は、液体のスムーズな供給を損なうことなく、ゴミなどの異物を補足するように構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平６−３１２５０６号公報
【特許文献２】特開２０１１−２５５５１１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１のフィルタ構造における突起は、共通液室や液流路を形成する基板と天板との間に掛け渡されるように形成されているため、その突起によって流路抵抗が増大し、液体のスムーズな供給が阻害されるおそれがある。
【０００８】
一方、特許文献２のフィルタ構造は、基板と天板とを接合する工程において、それらの相対位置にずれが生じた場合に、突起の先端と対向する天板の内面の部分がずれて、それらの対向部分の隙間の大きさが変化するおそれがある。この場合には、突起の先端と天板の内面との間にて捕捉可能な異物の大きさにばらつきが生じて、所望の大きさの異物を確実に捕捉することが難しくなるおそれがある。
【０００９】
本発明の目的は、液体吐出ヘッドの製造上のばらつきの影響を受けることなく、液体のスムーズな供給を確保しつつ所望の大きさの異物を確実に捕捉して、液体の良好な吐出性能を維持することができる液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の液体吐出ヘッドは、基板と天板との間に、複数の吐出口に連通する複数の液流路と、前記複数の液流路に連通する共通液室と、が形成され、前記共通液室から前記液流路に供給された液体を当該液流路に対応する前記吐出口から吐出可能な液体吐出ヘッドであって、前記基板と前記天板との間に、第１の対向間隔の第１領域と、前記第１の対向間隔よりも大きい第２の対向間隔の第２領域と、が形成され、前記第１領域に前記複数の液流路が形成され、前記第２領域に前記共通液室が形成され、前記基板と前記天板の対向部の一方に、前記第１領域と前記第２領域の両方に渡って延在する複数の突起が設けられ、前記突起は、前記対向部の他方に接しない先端部を含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、基板と天板がずれて接合された場合に、基板と天板との対向部の一方に設けた突起の先端部と、それらの対向部の他方と、の対向間隔を維持して、所望の大きさの異物を確実に捕捉することができる。また、突起の先端を自由端とすることにより、異物が捕捉された状態においても液体をスムーズに供給することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の第１の実施形態の液体吐出ヘッドとしての記録ヘッドを備えた記録装置の概略正面図である。
【図２】図１における記録ヘッドの分解斜視図である。
【図３】図２における記録ヘッドのノズル部分の一部切欠き斜視図である。
【図４】（ａ）は、図２の記録ヘッドにおけるノズルおよび突起の部分を天板側から視た平面図、（ｂ）は、（ａ）のＩＶＢ−ＩＶＢ線に沿う断面図、（ｃ）は、（ｂ）のＩＶＣ矢視図、（ｄ）は、（ｂ）のＩＶＤ矢視図である。
【図５】図２における記録ヘッド内のインクの流れの説明図である。
【図６】（ａ）から（ｅ）は、図２における吐出エレメントの製造工程を説明するための断面図である。
【図７】（ａ）から（ｅ）は、図２における吐出エレメントの製造工程を説明するための断面図であり、それぞれ図６（ａ）から（ｅ）のＶＩＩ−ＶＩＩ線に沿う断面である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の実施形態を図面を参照しつつ説明する。  
【００１４】
（第１の実施形態）
図１は、本発明を適用可能なインクジェット記録装置（液体吐出装置）２００の内部構造の概略を示す正面図であり、本発明の液体吐出ヘッドの一実施形態としてのインクジェット記録ヘッド１００が備えられている。記録装置２００には、液体としてのインクを吐出する複数の記録ヘッド１００が交換可能に備えられている。２０１は、それぞれの記録ヘッド１００に個別に対応する回復ユニットであり、２０２は、インクを収納するカートリッジ形態のインクタンクであり、２０３は、オペレーションパネル部である。２０４は記録媒体の搬送部、２０５は、記録媒体を記録装置本体に送給する給紙部である。
【００１５】
本例の記録装置２００は、いわゆるフルラインタイプのインクジェット記録装置であり、記録媒体を図１中の右方から左方に連続的に搬送しつつ、記録ヘッド１００の吐出口からインクを吐出することにより、記録媒体に画像を記録することができる。本例の場合には、インクタンク２０２から供給されたイエロー（Ｙ），ライトマゼンタ（ＬＭ），マゼンタ（Ｍ），ライトシアン（ＬＣ），シアン（Ｃ），ブラック（Ｋ）のインクを対応する記録ヘッド１００から吐出する。これにより、カラー画像を記録することができる。回復ユニット２１０は、記録ヘッド１００におけるインクの吐出状態を良好に維持するための回復処理に用いられる。その回復処理としては、記録ヘッドとインクタンクとの間においてインクを循環させて、その循環経路においてインク中のゴミや気泡を除去する循環回復動作を含むことができる。さらに、画像の記録に寄与しないインクを吐出口からキャップ内に吐出する予備吐出動作、および、記録ヘッド内のインクを加圧して、それを吐出口からキャップ内に強制的に排出させる加圧回復動作などを含むことができる。さらに、吐出口からキャップ内にインクを吸引排出させる吸引回復動作、吐出口が形成される記録ヘッド１００の吐出口面をワイピングするワイピング動作などを含むこともできる。
【００１６】
図２は、記録ヘッド１００の分解斜視図である。
【００１７】
１０１は、記録ヘッド１００の主要部をなす吐出エレメントであり、その一側面がセラミック製のベースプレート１０２に支持されている。吐出エレメント１０１には、後述するように、共通液室と、複数の吐出口と、共通液室と吐出口との間を連通する複数のインク流路（液流路）と、吐出エネルギー発生素子と、が備えられている。本例の場合、吐出エネルギー発生素子として、電気熱変換体（ヒータ）が備えられている。吐出エレメント１０１の他側面には配線基板１０３が配されており、その配線基板１０３は、吐出エレメント１０１上に設けられる配線（吐出エネルギー発生素子やその駆動素子用などの配線）の電極部に対して、ワイヤボンディングにより電気的に接続される。１０４は、吐出エレメント１０１に対するインクの供給経路を形成するためのインク流路形成部材であり、配線基板１０３に設けた開口を通して、吐出エレメント１０１内に設けられる後述の共通液室に接続される。
【００１８】
本例におけるインクの供給経路は、記録ヘッド１００とインクタンク２０２との間においてインクを循環可能な循環経路を形成している。すなわち、インクタンク２０２内のインクは、インク流路形成部材１０４を介して吐出エレメント１０１内の共通液室に移送され、その移送されたインクが共通液室から、それぞれのインク流路に分配される。また、共通液室内のインクは、インク流路形成部材１０４を介してインクタンク２０２に還流させることができる。
【００１９】
図３は、吐出エレメント１０１のノズル近傍を示す一部破断の斜視図である。ヒータボード（基板）１には、複数のインク流路３のそれぞれに対応する位置に、吐出エネルギー発生素子としての電気熱変換体（ヒータ）２が配置されている。ヒータ２の発熱によってインク流路３内のインクが発泡され、その発泡エネルギーを利用して、吐出口７からインクを吐出させることができる。以下においては、インク流路３と吐出口７とをまとめて「ノズル」ともいう。ヒータ２としては、チッ化タンタル等の抵抗体が用いられ、その厚さやシート抵抗については特に限定されるものではない。
【００２０】
ヒータボード１上において、互いに隣接するヒータ２の間には、インク流路３を仕切るためのノズル側壁４が形成されている。そのノズル側壁４の上面には、厚さ２μｍ程度の天板接着層（図示せず）を介して、Ｓｉ等で形成された天板５が配置される。これにより、ヒータボード１、ノズル側壁４、および天板接着層によって囲まれた管状のインク流路３が形成される。天板５には、異方性エッチング等の方法によって開口５Ａが形成されており、この開口５Ａにインク流路形成部材１０４が接続されることによって、共通液室６へのインクの導入等が可能となる。ヒータボード１および天板５との間には、後述する共通流路１２、共通流路入口１３、およびノズル入口１４が形成されている。共通液室６と共通流路１２の間の位置には、複数の柱状の突起１１が設けられており、それらの突起１１の基端はヒータボード１に固定され、それらの先端は、天板５に接しない自由端（先端部）１１Ａとなっている。したがって、突起１１は、ヒータボード１に片持ちされている。複数の突起１１は、ゴミや気泡などの異物を捕捉するためのフィルタとして機能するものであり、ノズルの配列方向に並ぶように配列されている（本実施形態においては、ノズルの配列方向に平行に並ぶように配列されている）。これらの複数の突起１１の配列方向は、後述するように、共通液室６から共通流路１２を通してインク流路３へインクを供給する方向と交差（本例の場合は直交）する。
【００２１】
ヒータボード１において、ノズルが形成される側の反対側には、記録信号をヒータ２に伝達するための電気パッド９Ａが形成されている。その電気パッド９Ａは、電気配線板８のパッド部９Ｂとワイヤー１０により電気的に接続されている。
【００２２】
以上の構成において、記録ヘッドの外部から入力される記録信号に応じて、制御用ＩＣがスイッチングトランジスタを駆動制御することによって、ヒータ２の通電がオン／オフされる。共通液室６から各インク流路３に供給されたインクは、ヒータ２上において加熱されて発泡する。そして、その発泡による圧力により、ヒータ２よりもインクの供給方向下流側のインクが吐出口７から吐出される。そのインクは、飛翔して記録媒体に着弾することによりドットを形成する。
【００２３】
図４は、記録ヘッドにおけるノズルと突起１１の部分の説明図である。図４（ａ）は、ノズルおよび突起１１の部分を天板５側から視た平面図、図４（ｂ）は、図４（ａ）のＩＶＢ−ＩＶＢ線に沿う断面図、図４（ｃ）は、図４（ｂ）のＩＶＣ矢視図、図４（ｄ）は、図４（ｂ）のＩＶＤ矢視図である。
【００２４】
図４（ａ），（ｂ）において、Ｐ１は、ノズル側壁４の端部の位置であり、この位置Ｐ１と吐出口７との間にノズルのインク流路３が形成されるため、以下、このノズル内の位置Ｐ１をノズル入口１４ともいう。Ｐ２は、天板５がヒータボード１から、インク流路３に供給されるインクの供給方向（図４（ａ）中の矢印Ｘ方向）に関して離れる方向（図４（ｂ）中の右斜め上方）に傾斜し始める位置であり、この位置Ｐ２から図４（ａ），（ｂ）中の右方の範囲Ａ２に共通液室６が形成される。位置Ｐ１は、インク流路３に供給されるインクの供給方向に関して位置Ｐ２よりも吐出口７側（下流側）にずれており、それらの位置Ｐ１，Ｐ２の間の範囲Ａ１には共通流路１２が形成されている。以下、この位置Ｐ２を共通流路入口１３ともいう。共通流路１２にはノズル側壁４が形成されていないため、それは、複数のノズルに対して共通する通路となる。したがって、共通液室６内に供給されたインクは、共通流路１２を通ってから、複数のインク流路３のそれぞれに導入されることになる。
【００２５】
天板５の内面は共通流路入口１３の位置Ｐ２から図４（ｂ）中の右斜め上方に傾斜するため、共通液室６が形成される範囲Ａ２は、ヒータボード１と天板５との対向間隔（第２の対向間隔）が比較的大きい領域（第２領域）となる。一方、吐出口７から共通流路入口１３の位置Ｐ２までの範囲Ａ０は、ヒータボード１と天板５との対向間隔（第１の対向間隔）が第２の対向間隔よりも小さい領域（第１領域）となる。
【００２６】
複数の突起１１は、ノズルの配列方向（図４（ａ）中の上下方向）に配列されている。それらの突起１１の配列方向と、共通液室６から共通流路１２を通してインク流路３に供給されるインクの供給方向（図４（ａ）中の矢印Ｘ方向）と、は互いに交差（本例の場合は直交）する。
【００２７】
本実施形態における突起１１は、断面が長丸の柱状体である。本例の場合、突起１１の断面形状は長丸形状であり、図４（ａ）中の上下方向（インク流路３に供給されるインクの供給方向と交差する方向）に並んだ長さＳの２つの直線部（角部）１１ａと、図４（ａ）中の左右方向（インク流路３に供給されるインクの供給方向）に並んで位置する２つの半円形部１１ｂと、からなる。直線部１１ａは、インク流路３に供給されるインクの供給方向に関して、その中間部が位置Ｐ２上に位置し、その一方側は共通液室６内に延在し、その他方側は共通流路１２内に延在している。図４（ｃ）において、互いに隣接する２つの突起１１，１１の自由端１１Ａ，１１Ａ上の２点と、天板５の内面５Ｂ上の１点と、の計３点を通る最小の仮想円（以下、最小円という）ＣＡの直径（第１の直径）をＤ１とする。それらの３点をそれぞれＣ１，Ｃ２，Ｃ３とする。天板５の内面５Ｂにおいて、最小円ＣＡと接する点Ｃ３は、内面５Ｂがヒータボード１に最も接近する位置Ｐ２となる。本例において、突起１１は天面が長丸形状のため、Ｃ１およびＣ２は突起１１の直線部１１ａ上の点となる。直径がＤ１を越える仮想の球体（第１仮想球体）は、隣接する２つの突起１１，１１の自由端１１Ａ，１１Ａ側の直線部１１ａと、天板５の内面５Ｂとの間を通過できない。
【００２８】
図４（ｄ）中の仮想円（以下、最大円という）ＣＢは、共通流路入口１３から吐出口７に至るまでの間の流路を通過可能な最大の仮想球体（第２仮想球体）の外周であり、その直径（第２の直径）をＤ２とする。したがって、直径がＤ２以下の球体は、共通流路入口１３から吐出口７に至るまでの間の流路を通過可能であり、直径がＤ２を超える球体は、その通路を通過することができない。本例の場合、共通流路入口１３から吐出口７に至るまでの間の流路の各部分の断面の内、吐出口７の断面が最小であり、図４（ｄ）のように、吐出口７の上下の内面に接する円が最大円ＣＢとなる。Ｄ１とＤ２は、Ｄ１＜Ｄ２の関係となっている。互いに隣接する突起１１の間隔は、第２仮想球体の直径Ｄ２よりも小さくすることができる。
【００２９】
共通液室６内のインクは、隣接する突起１１，１１間の隙間を通してインク流路３内に流入する。また、突起１１の自由端１１Ａが天板５に接することなく、それらの間に空間が形成されているため、共通液室６内のインクは、突起１１の自由端１１Ａの上方からもインク流路３内に流入する。このように、共通液室６内のインクは、前者の隙間のみにならず、後者の空間をも通過するため、共通液室６から共通流路１２に流入するインクの流抵抗を小さくして、共通液室６内のインクをインク流路３内にスムーズに供給することができる。したがって、後述するように異物１５が捕捉された場合にもインクをインク流路３内にスムーズに供給することができる。
【００３０】
図５は、共通液室６にゴミなどの異物が流入した場合において、共通液室６内のインクがノズル内に流入する際の異物の挙動の説明図である。
【００３１】
図５のように、共通液室６内に直径Ｄ３（Ｄ３＞Ｄ１）の異物１５が流入した場合、その異物１５は、互いに隣接する突起１１，１１の自由端１１Ａ，１１Ａと、天板５の内面５Ｂと、の間を通過できず、それらの間において捕捉される。したがって、その異物１５は、共通流路１２内への進入が阻止される。一方、直径Ｄ４（Ｄ４＜Ｄ１）の異物１６が混入した場合、その異物１６は、共通流路入口１３から吐出口７に至る流路内において引っかかることなく導入され、最終的には、インク滴１７と共に外部に排出される。
【００３２】
次に、記録ヘッド１００における吐出エレメント１０１の製造方法について説明する（図６および図７参照）。
【００３３】
図６（ａ）から（ｅ）は、製造段階における吐出エレメント１０１を吐出口７側から見るように断面した図である。図７（ａ）から（ｅ）は、それぞれ、対応する図６（ａ）から（ｅ）のＶＩＩ−ＶＩＩ線に沿う断面図であり、製造段階における吐出エレメント１０１をノズルの長手方向に沿って断面した図である。本実施形態では、２つの吐出エレメント１０１を一体的に製造する段階を経てから、図７（ｄ）中の切断線ＣＬに沿って切断されることにより、図７（ｅ）のような吐出エレメント１０１が２つ製造され、切断線ＣＬに沿う切断面に吐出口７が形成される。吐出エレメントの製造方法は、本例の方法に限定されるものではなく、それを単体で製造する方法であってもよい。
【００３４】
まずは、図６（ａ）および図７（ａ）のように、シリコンウエハからなるヒータボード１上に、半導体製造工程において用いる製造装置と同様の装置を用いて、ホウ化ハフニウムやチッ化タンタル等からなるヒータ２を形成する。ヒータボード１には、ヒータ２を選択的に駆動するためのスイッチングトランジスタ等の半導体素子を含む駆動回路を予め作り込んでおくことができる。その後、ヒータボード１の表面洗浄を行ってから、図６（ｂ）および図７（ｂ）のように、密着性が向上されたヒータボード１上に感光性樹脂フィルムＤＦをラミネートする。そして、フォトマスクを介して、ノズル側壁４および突起１１として残す感光性樹脂フィルムＤＦの部分に、紫外線を照射する。
【００３５】
次に、感光性樹脂フィルムＤＦを現像液によって現像し、感光性樹脂フィルムＤＦの未露光部分を融解させる。これにより、図６（ｃ）および図７（ｃ）のように、ヒータボード１上に所望の形状のノズル側壁４と突起１１が形成される。
【００３６】
次に、図６（ｄ）および図７（ｄ）のように、ノズル側壁４の上に、感光性樹脂フィルムを材料とした天板接着層が予めラミネートされた天板５を溶着する。このとき、２００℃程度のキュアを要する。
【００３７】
以上の工程を経て２つの吐出エレメント１０１を一体的に製造した後に、図６（ｅ）および図７（ｅ）のように、それらの吐出エレメント１０１の吐出口７の突合せ面に対応する切断線ＣＬに沿って切断する。これにより、それら２つの吐出エレメント１０１を分離する。例えば、ダイシングマシンを用いて切断することにより、２つの吐出エレメント１０１を切り離す。その後、それらの切断面を平滑化するための研磨を行うことによって、吐出エレメント１０１が完成する。
【００３８】
このような記録ヘッドの製造工程において、ヒータボード１と天板５の位置関係が図５中の左右方向にずれたとしても、最小円ＣＡの大きさは一定となる。すなわち、ヒータボード１側の突起１１と、天板５側の内面５Ａと、の位置関係が図５中の左右方向にずれた場合、最小円ＣＡに接する突起１１の直線部１１ａの位置が図５中の左右方向にずれるだけであり、３つの点Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３の位置関係は変化しない。突起１１の直線部１１ａの図５中の左右方向の長さは、ヒータボード１と天板５の図５中左右方向の相対位置の製造上のばらつきを考慮して、そのばらつきの大きさ以上に設定する。この結果、記録ヘッドの製造上のばらつきの影響を受けることなく、突起１１と天板５側の内面５Ａとの位置関係を維持して、所望の大きさ以上の異物を確実に捕捉することができる。
【００３９】
（他の実施形態）
本発明の液体吐出ヘッドは、インクを吐出可能なインクジェット記録ヘッドの他、種々の液体を吐出するためのヘッドとして広く適用することができ、例えば、種々の処理液や薬剤などを吐出するためのヘッドとして用いることもできる。また、本発明の液体吐出装置は、インクジェット記録ヘッドを用いるインクジェット記録装置の他、種々の処理液や薬剤などを処理部材に付与するための装置として、広く適用することができる。
【００４０】
また、突起の設置位置は、ヒータボード上のみに特定されず、天板上であってもよい。突起は、ヒータボードと天板の対向部の一方に設けることができる。また、突起の形状は、天面を長丸とした柱形状のみに特定されず任意である。突起は、ヒータボードと天板の対向部の一方に設けられて第１領域と第２領域の両方に渡って延在し、かつ先端部が、ヒータボードと天板の対向部の他方に接しない一定の高さのまま、第１領域と第２領域の両方に渡って延在するものであればよい。また突起の形成材料は、液流路と同じ形成材料（感光性樹脂材料など）とすることが好ましい。
【符号の説明】
【００４１】
１  ヒータボード（基板）
２  ヒータ
３  インク流路
４  ノズル側壁
５  天板
６  共通液室
７  吐出口
１１  突起
１１Ａ  自由端
１１ａ  直線部
１１ｂ  円形部
１２  共通流路
【図１】
2014024190.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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