(57)【要約】【課題】プロービング時に押込み力が作用しても被検査基板の検査座標が位置変動しないように支持する基板検査用サポートピン等の提供。【解決手段】被検査基板の一側表面側へのプローブピン時の押し込みを阻止すべく配置される基板検査用サポートピン１１において、該基板検査用サポートピン１１は、進退可能なピン本体１２と、該ピン本体１２の導電性先端面１３ａ側からその進出方向に弾性的な付勢力を伴って浮上配置される接触検知子２２とを備え、該接触検知子２２には、ピン本体１２の進出中に接触検知子２２の絶縁性表面２４ａ側が被検査基板の他側表面側と接触して押し戻されてその導電性裏面２４ｂ側がピン本体１２の先端面１３ａと導通接触することを契機にピン本体１２の動きを停止させるスイッチ機能を付与して、被検査基板の他側表面側を支持した状態でのプロービングを可能とした。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査ステージに定置された被検査基板の一側表面側からのプローブピンによる過剰な押し込みを阻止すべく、そのプロービング時に前記被検査基板の他側表面側への当接支持を可能に配置される基板検査用サポートピンにおいて、
該基板検査用サポートピンは、制御された進退移動を可能に配設されるピン本体と、該ピン本体の導電性先端面側からその進出方向に弾性的な付勢力を伴って浮上配置される接触検知子とを少なくとも備え、
前記基板検査用サポートピンには、前記ピン本体の進出中に前記接触検知子の絶縁性表面側が被検査基板の前記他側表面側と接触して押し戻されてその導電性裏面側がピン本体の前記導電性先端面側と電気的に導通接触することを契機に前記ピン本体の動きを停止させるスイッチ機能を付与したことを特徴とする基板検査用サポートピン。
【請求項２】
請求項１に記載の基板検査用サポートピンにおける前記ピン本体を、進退駆動部を介して進退移動を可能に配置するとともに、
接触検知子の前記導電性裏面側からは一側導線が引き出され、ピン本体の前記導電性先端面側からは他側導線が引き出され、
接触検知子の前記導電性裏面側がピン本体の前記導電性先端面側と電気的に導通接触した際に前記一側導線と前記他側導線との間を流れる電流を停止制御信号とする駆動制御部を介して前記進退駆動部の駆動を停止させることで、被検査基板の前記他側表面側を支持させた状態でのプロービングを可能に前記基板検査用サポートピンを配置したことを特徴とするサポートピン駆動機構。
【請求項３】
前記検査ステージへの前記被検査基板の定置を可能に形成された装置本体に対し請求項２に記載のサポートピン駆動機構を配設したことを特徴とする回路基板検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、反りのある被検査基板に対しプロービング時にプローブピンによる反りとは反対の方向への押込み力が作用しても、反りの程度により予め調整されている検査座標に変動が生じないように支持する基板検査用サポートピンおよびサポートピン駆動機構並びに該機構を備える回路基板検査装置に関する技術である。
【背景技術】
【０００２】
回路基板検査装置により検査される被検査基板は、その面方向でのいずれか一方の側に向かう反りがあるのが一般的である。このため、プロービング時における被検査基板は、反った状態のもとで回路基板検査装置の検査ステージに定置されることになる。なお、本明細書では、この場合における被検査基板面の反り方向につき、プロービングがプローブピンの上下方向の移動で行われる際の上反りと下反りとを例にして説明しているが、プローブピンを左右方向に移動させて行われる場合における右反りと左反りという相対的な位置関係を含むものとする。
【０００３】
すなわち、従来からある回路基板検査装置においては、被検査基板が下反りして検査ステージに定置された際、被検査基板の下方に配置されているサポートピンをその先端が被検査基板の下面側に接触した状態のもとで予め定められている基準位置にまで進出させて自動的に停止させることで、その下反り部分が水平になるように押し上げるようにして被検査基板を下支えすることができるようになっている。
【０００４】
このため、被検査基板は、下反りが修正されることで予め定められている検査座標を検査ポイントとすることができるので、該検査ポイントに対し所定どおりにプローブピンを接触させることで被検査基板に対するプロービングを正確に行うことができることになる。
【０００５】
一方、被検査基板が上反りして検査ステージに定置されている場合には、サポートピンの先端が予め定められている基準位置に到達するように進出させた上で自動停止させたとしても、該基準位置よりも上方に位置する被検査基板の上反り部位にサポートピンの先端を接触させることができず、両者の間に空隙が生じて上反り状態が解消されることなくそのまま残されてしまうことになる。
【０００６】
このような不都合を解消するための手法としては、例えば特許文献１の図４および図５に開示されているように、被検査基板の反り矯正機能を備えた基板検査装置も既に提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平１０−２５３７１６号公報
【０００８】
特許文献１に開示されている被検査基板の反り矯正手法は、下方に向けて伸縮するエアシリンダを使用した上反り矯正用プッシャーと、被検査基板の下反りを矯正する下受け治具とを基板検査装置に具備させることで、被検査基板の上反りと下反りとを解消させようとするものである。
【０００９】
一方、上反りしている被検査基板については、図４に示すように回路基板検査装置１における装置本体２の検査ステージ３に固定用治具４を用いて定置させた後、予めにレーザー測長装置などの高さ測定手段５を用いて上反り状態にある被検査基板５１の一定範囲毎に分けて検査ポイントを含む２点間の距離を計測し、これを直線補間することで予め定められている検査座標を調整して反り状態に対応させた正しい検査ポイントとすることでプロービングすることも行われている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかし、図４に示すプロービング手法による場合には、既に説明したように被検査基板５１が上反りしている結果、サポートピン７の先端７ａは予め定められている基準位置Ｌ１には到達しているものの、被検査基板５１側とは非接触状態となってしまうために被検査基板５１とサポートピン７の先端７ａとの間には隙間ｔができてしまうことになる。
【００１１】
このように被検査基板５１とサポートピン７の先端７ａとの間に隙間ｔができた状態のもとでプロービングが行われる場合には、予め定められている検査座標を調整して反り状態に対応させてある検査ポイントに対し、やや傾けて配置されているプローブピン６が押し出されてこれに接触することになる。
【００１２】
このとき、被検査基板５１が多数のスリット入りのものであったり、例えば０．６〜１．６ｍｍ程度の薄い厚さのものであったり、剛性の乏しい材質からなるものであったりする場合には、被検査基板５１がプロービング時の接触圧を受けた際に図５において破線で示す位置にまで押し込まれてしまい、調整後の検査ポイントとプローブピン６の実際の接触位置との間に位置ズレが生じてしまい、検査ポイントに正確にプローブピン６を接触させることができなくなる不都合があった。
【００１３】
本発明は、上記した従来技術の課題に鑑み、プロービング時に被検査基板側に押込み力が作用しても、予め反りの程度との関係で調整されている検査座標の位置に変動が生じることのないようにその当初位置を維持させ続けることができるようにした基板検査用サポートピンおよびサポートピン駆動機構並びに該機構を備える回路基板検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明は、上記目的を達成すべくなされたものであり、そのうちの第１の発明（基板検査用サポートピン）は、検査ステージに定置された被検査基板の一側表面側からのプローブピンによる過剰な押し込みを阻止すべく、そのプロービング時に前記被検査基板の他側表面側への当接支持を可能に配置される基板検査用サポートピンにおいて、該基板検査用サポートピンは、制御された進退移動を可能に配設されるピン本体と、該ピン本体の導電性先端面側からその進出方向に弾性的な付勢力を伴って浮上配置される接触検知子とを少なくとも備え、前記基板検査用サポートピンには、前記ピン本体の進出中に前記接触検知子の絶縁性表面側が被検査基板の前記他側表面側と接触して押し戻されてその導電性裏面側がピン本体の前記導電性先端面側と電気的に導通接触することを契機に前記ピン本体の動きを停止させるスイッチ機能を付与したことを最も主要な特徴とする。
【００１５】
また、第２の発明（サポートピン駆動機構）は、請求項１に記載の基板検査用サポートピンにおける前記ピン本体を、進退駆動部を介して進退移動を可能に配置するとともに、接触検知子の前記導電性裏面側からは一側導線が引き出され、ピン本体の前記導電性先端面側からは他側導線が引き出され、接触検知子の前記導電性裏面側がピン本体の前記導電性先端面側と電気的に導通接触した際に前記一側導線と前記他側導線との間を流れる電流を停止制御信号とする駆動制御部を介して前記進退駆動部の駆動を停止させることで、被検査基板の前記他側表面側を支持させた状態でのプロービングを可能に前記基板検査用サポートピンを配置したことを最も主要な特徴とする。
【００１６】
さらに、第３の発明（回路基板検査装置）は、前記検査ステージへの前記被検査基板の定置を可能に形成された装置本体に対し請求項２に記載のサポートピン駆動機構を配置したことを最も主要な特徴とする。
【発明の効果】
【００１７】
請求項１に係る発明によれば、基板検査用サポートピンには、ピン本体の進出方向への移動中に接触検知子の絶縁性表面側が被検査基板の他側表面側と接触して押し戻されてその導電性裏面側がピン本体の導電性先端面に導通接触した際にピン本体の移動を停止させるスイッチ機能を付与することができる。
【００１８】
請求項２に係る発明によれば、ピン本体の進出方向への移動中に接触検知子の絶縁性表面側が被検査基板の他側表面側と接触して押し戻されてその導電性裏面側がピン本体の導電性先端面側に導通接触させられた際に、一側導線と他側導線との間を流れる電流を停止制御信号とする駆動制御部を介して進退駆動部の駆動を停止させて基板検査用サポートピンの移動を停止させることができるので、該基板検査用サポートピンによる被検査基板の他側表面側を支持させた状態でのプロービングを可能とすることができる。
【００１９】
請求項３に係る発明によれば、回路基板検査装置は、装置本体における検査ステージに定置される被検査基板をその反り状態を維持させた状態のもとで安定的に支持する請求項２に記載のサポートピン駆動機構を備えているので、プロービング時に被検査基板側にプローブピンによる押込み力が作用しても、予め反りの程度との関係で調整されている検査座標に変動が生じることのないようにその位置で支え続けさせることで、検査座標として調整された検査ポイントに対し常に正確にプローブピンを接触させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】第１の発明（基板検査用サポートピン）の一例を模式的に示す説明図であり、そのうちの（ａ）は、全体構成例を、（ｂ）は、（ａ）における一点鎖線による囲繞部位の拡大断面構造例をそれぞれ示す。
【図２】第２の発明（サポートピン駆動機構）の構成例を模式的に示す説明図。
【図３】第３の発明（回路基板検査装置）におけるプロービング時の状態例の概要を模式的に示す説明図。
【図４】従来からある回路基板検査装置の要部構成例を模式的に示す説明図。
【図５】図４に示す回路基板検査装置を用いた場合の非プロービング時とプロービング時とにおける状態の概要を模式的に示す説明図。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下に、図面を参照して本発明の実施形態について具体的に説明する。図１は、第１の発明（基板検査用サポートピン）の一例を模式的に示す説明図であり、そのうちの（ａ）は全体構成例を、（ｂ）は（ａ）における一点鎖線による囲繞部位の拡大断面構造例をそれぞれ示す。
【００２２】
同図によれば、基板検査用サポートピン１１は、例えば図３に第３の発明として示す回路基板検査装置４１における装置本体４２の検査ステージ４３に定置された被検査基板５１の一側表面（図示例では上面）５１ａ側からのプローブピン４５による過剰な押し込みを阻止すべく、そのプロービング時に被検査基板５１の他側表面（図示例では下面）５１ｂ側への当接支持を可能にして配置されている。
【００２３】
すなわち、基板検査用サポートピン１１は、図２に示すサポートピン駆動機構３１により制御された進退移動を可能に配設されるピン本体１２と、該ピン本体１２の導電性先端面１３ａ側からその進出方向に弾性的な付勢力を伴って浮上配置される接触検知子２２とを少なくとも備えて構成されている。
【００２４】
これらのうち、ピン本体１２は、截頭円錐形状を呈するピン頭部１３と、該ピン頭部１３の下端面１３ｂ側から一体的に垂設されている支杆部１９とで形成されており、その全体は少なくてもＺ軸方向への移動が可能に配設されている。なお、ピン本体１２は、必要により３軸（Ｘ，Ｙ，Ｚ）方向への移動を可能に配設するものであってもよい。
【００２５】
しかも、ピン頭部１３の先端部１４には、その導電性先端面１３ａ側に設けられたガイド孔１５を介して外部と連通させた空間部１６が内設されており、該空間部１６には反発力が比較的弱い圧縮用コイルバネなどからなるバネ材１８が配置されている。なお、バネ材１８は、後述する一側導線３３２側と接続される場合には、導電性部材により形成され、一側導線３３２側と接続されない場合には、非導電性部材により形成するのが望ましい。
【００２６】
一方、接触検知子２２は、ピン頭部１３の空間部１６からガイド孔１５を介してその先端部２３ａ側が出没可能に配置される適宜長さのロッド部２３と、該ロッド部２３の先端部２３ａ側をピン頭部１３の導電性先端面１３ａ側から突出させた際にその頂端側にロッド部２３の長さ方向と直交する位置関係のもとで配置される接触片部２４とを少なくとも備えて形成されている。
【００２７】
この場合、接触検知子２２は、例えば図１（ｂ）に示されているようにロッド部２３の基端側にバネ材１８の先端１８ａ側に載置させるためのフランジ状のバネ受け部２６を設けて該バネ材１８に下支えさせたり、このようなバネ受け部２６を設けることなくロッド部２３の基端側にバネ材１８の先端１８ａ側を直結するなどして連結させたりすることができる構造を備えている。
【００２８】
また、ピン本体１２に対する接触検知子２２の配置関係は、接触片部２４側を加圧しない状態のもとでバネ材１８側にロッド部２３を下支えさせた際、図１（ｂ）に示すように接触片部２４がその進出方向に弾性的な付勢力を伴ってピン頭部１３の導電性先端面１３ａ側から所要長さ分だけ浮上させて配置できるものであればよい。
【００２９】
しかも、基板検査用サポートピン１１には、ピン本体１２の進出中に接触検知子２２の絶縁性表面２４ａ側が被検査基板５１の他側表面５１ｂ側と接触して押し戻されてその導電性裏面２４ｂ側がピン本体１２の導電性先端面１３ａと電気的に導通接触することを契機にピン本体１２の動きを停止させることができるスイッチ機能が付与されている。
【００３０】
これを具体的に説明すれば、基板検査用サポートピン１１は、少なくともピン本体１２におけるピン頭部１３の導電性先端面１３ａが適宜の導電部材からなる導電部１７により、接触検知子２２における接触片部２４の導電性裏面２４ｂが適宜の導電部材からなる導電部２５によりそれぞれ形成されている。なお、接触検知子２２における導電部２５を除くその他の部位は、適宜の絶縁性金属材を用いて形成する必要があり、ピン本体１２における導電部１７を除くその他の部位も絶縁性金属材を用いて形成するのが望ましい。
【００３１】
図２は、第１の発明である基板検査用サポートピン１１を備える第２の発明（サポートピン駆動機構）の構成例を模式的に示す説明図であり、基板検査用サポートピン１１は、ピン本体１２における支杆部１８側が従動連結される進退駆動部３８を介して進退移動を可能に配置されている。
【００３２】
この場合における進退駆動部３８は、モータ３８ａと、該モータ３８ａからの回転運動を直線運動に変換する運動変換部３８ｂとで構成されている。具体的には、例えばラックとモータ３８ａの回転軸に回転可能に連結されたピニオンとの組合わせ機構により運動変換部３８ｂとしたり、モータ３８ａの回転軸に回転可能に連結されたねじ軸と、該ねじ軸に沿って進退するナット部とを組み合わせたボールねじ機構により運動変換部３８ｂとすることができる。
【００３３】
また、基板検査用サポートピン１１は、接触検知子２２の導電性裏面２４ｂを形成する導電部２５側から引き出された一側導線３２と、ピン本体１２の導電性先端面１３ａを形成する導電部１７側から引き出された他側導線３３とを備えている。
【００３４】
このうち、一側導線３２は、ロッド部２３の先端部２３ａ側から送り込まれてバネ受け部２６側から引き出せるように設けられている図示しない通孔内を挿通させて引き出した上でバネ材１８の先端１８ａ側に接続するとともに、該バネ材１８の基端１８ｂ側にさらに接続させた上で接触検知部３４方向へと引き出されている。また、他側導線３３は、ピン本体１２の導電性先端面１３ａを形成している導電部１７側から電流発生部３５と電圧検出部３６とで構成されている接触検知部３４方向へと引き出されている。
【００３５】
このようにして引き出された一側導線３２と他側導線３３とは、接触検知部３４を構成している電流発生部３５へと接続されて一側導線３２と他側導線３３との間に電流を流すことができるようになっている。また、電圧検出部３６は、一側導線３２と他側導線３３との間に電流が流れた際に電圧が０Ｖになったことを検出することで、接触検知子２２の導電性裏面２４ｂである導電部２５がピン本体１２の導電性先端面１３ａである導電部１７に接触したことを知ることができるようになっている。
【００３６】
しかも、電圧検出部３６と進退駆動部３８におけるモータ３８ａとの間には、モータ３８ａの回転を制御する駆動制御部３７が配置されており、電圧検出部３６が電圧０Ｖを検出した際に駆動制御部３７から停止制御信号を発してモータ３８ａの回転を停止させることができるようになっている。
【００３７】
このため、プロービング時における被検査基板４１の他側表面４１ｂ側は、接触子２２側が後退してピン本体１２側に当接した状態となっている基板検査用サポートピン１１により常に安定的に支持されることになる。
【００３８】
一方、図３は、第３の発明（回路基板検査装置）におけるプロービング時の状態例の概要を模式的に示す説明図であり、回路基板検査装置４１は、検査ステージ４３への被検査基板５１の定置を可能に形成された装置本体４２に対し、既に説明したサポートピン駆動機構３１を配置してその全体が構成されている。
【００３９】
この場合、回路基板検査装置４１は、その装置本体４２の検査ステージ４３側に固定用治具４４を用いて定置された被検査基板５１が上反り状態にある場合、図４に示すと同様に予めにレーザー測長装置などの高さ測定手段５を用いて上反り状態にある被検査基板５１の一側表面５１ａ側を一定範囲毎に分けて検査ポイントを含む２点間の距離を計測し、これを直線補間することで予め定められている検査座標を調整して反り状態に対応させた正しい検査ポイントとして掌握できるようになっている。
【００４０】
また、回路基板検査装置４１は、その装置本体４２側に定置された被検査基板５１の他側表面５１ｂの下方に配置されている第２の発明に係るサポートピン駆動機構３１を備えているので、基板検査用サポートピン１１を予め定められている基準位置Ｌ１を越えて進出させることで、接触検知子２２の接触片部２４の表面２４ａ側を被検査基板４１の他側表面４１ｂ側に接触させることができるようになっている。
【００４１】
しかも、この状態のもとにおいても、基板検査用サポートピン１１におけるピン本体１２は、依然としてその進出を継続しているので、接触片部２４側がバネ材１８の付勢力に抗して強制的に後退させられる結果、やがて接触片部２４の導電性裏面２４ｂである導電部２５がピン本体１２におけるピン頭部１３の導電性先端面１３ａである導電部１７に接触するに至る。
【００４２】
このように接触片部２４側の導電部２５とピン頭部１３側の導電部１７とが接触した際には、進退駆動部３８の動きが停止されてピン本体１２の移動も停止される結果、図３に示されているように上反り状態のもとで定置されている被検査基板４１の他側表面４１ｂ側が基板検査用サポートピン１１により支持できることになる。
【００４３】
次に、上記した構成からなる本発明のうち、まず、第１の発明（基板検査用サポートピン）の作用効果を説明すれば、基板検査用サポートピン１１は、進退移動を可能に配設されるピン本体１２と、該ピン本体１２の導電性先端面１３ａ側からその進出方向にバネ材１８による弾性的な付勢力を伴って浮上配置される接触検知子２２とで構成されているので、該接触検知子２２側は、接触片部２４の絶縁性表面２４ａ側から何らかの加圧を受けるとバネ材１８の付勢力に抗してピン本体１２側へと押し戻されるように動くことになる。
【００４４】
しかも、基板検査用サポートピン１１は、ピン本体１２がその進出方向へと移動しているときに、接触検知子２２における接触片部２４の絶縁性表面２４ａ側が被検査基板４１の他側表面４１ｂ側と接触して押し戻され、やがてその導電性裏面２４ｂである導電部２５がピン本体１２におけるピン頭部１３の先端面１３ａである導電部１７に導通接触する結果、両者の間に形成されているスイッチ機能を作動させてピン本体１２側の移動を停止させることができることになる。
【００４５】
次に、第２の発明（サポートピン駆動機構）の作用効果について説明すれば、基板検査用サポートピン１１は、ピン本体１２が進出方向に移動しているときに接触検知子２２の絶縁性表面２４ａ側が被検査基板５１の他側表面５１ｂ側と接触しても、依然としてその移動を継続する結果、接触検知子２２側がバネ材１８の付勢力に抗してピン本体１２側へと押し戻されることになる。
【００４６】
接触検知子２２側が押し戻されると、その導電性裏面２４ｂである導電部２５は、やがてピン本体１２の導電性先端面１３ａとしての導電部１７と導通接触するに至る。
【００４７】
接触検知子２２の導電部２５がピン本体１２の導電部１７と接触して導通した際には、電流発生部３５と接続されている一側導線３２と他側導線３３との間が閉成されて電流が流れると同時に、電圧検出部３６が０Ｖを検出して駆動制御部３７に伝えられる結果、該駆動制御部３７が停止制御信号を発して進退駆動部３８におけるモータ３８ａの回転を停止させることで、運動変換部３８ｂもその動きを停止する。
【００４８】
運動変換部３８ｂの動きを停止させた際には、運動変換部３８ｂの動きに従動するピン本体１２を含む基板検査用サポートピン１１全体の移動が停止される結果、該基板検査用サポートピン１１により被検査基板５１の他側表面５１ｂ側を支持させた状態のもとでのプロービングを可能とすることができる。
【００４９】
続けて、第３の発明（回路基板検査装置）の作用効果について説明すれば、回路基板検査装置４１は、図４に示す高さ測定手段５を用いて上反り状態にある被検査基板５１の一側表面５１ａ側を一定範囲毎に分けて検査ポイントを含む２点間の距離を計測し、これを直線補間することで予め定められている検査座標を調整して反り状態に対応させた正しい検査ポイントとして掌握することができる。
【００５０】
また、回路基板検査装置４１は、その装置本体４２側に定置された被検査基板５１の他側表面５１ｂの下方に配置されている第２の発明に係るサポートピン駆動機構３１を備えているので、進退駆動部３８を駆動させて基板検査用サポートピン１１を予め定められている基準位置Ｌ１を越えて進出させることで、接触検知子２２の接触片部２４の絶縁性表面２４ａ側を被検査基板５１の他側表面５１ｂ側に接触させることができる。
【００５１】
しかも、この状態のもとにおいても、基板検査用サポートピン１１におけるピン本体１２は、依然としてその進出を継続しているので、相対的に接触片部２４側がバネ材１８の付勢力に抗して強制的に後退させられる結果、やがて該接触片部２４の裏面２４ｂがピン本体１２におけるピン頭部１３の導電性先端面１３ａに接触するに至る。
【００５２】
このとき、接触片部２４の導電性裏面２４ｂとピン頭部１３の先端面１３ａとは、それぞれの導電部１７，２５を介して導通接触した際に形成されるスイッチ機能によりピン本体１２の移動が停止される結果、図３に示されているように上反り状態のもとで定置されている被検査基板５１の他側表面５１ｂ側が基板検査用サポートピン１１により支持されることになる。
【００５３】
したがって、回路基板検査装置４１は、装置本体４２における検査ステージ４３に被検査基板５１をその反り状態を維持させた状態のもとで定置させるとともに、該被検査基板５１をその他側表面５１ｂ側から基板検査用サポートピン１１で安定的に支持させることにより、プロービング時に被検査基板５１の一側表面５１ａ側からプローブピン３５による押込み力が作用しても、図５に示す従来手法とは異なり、予め反りの程度との関係で調整されている検査座標に変動が生じることのないようにその位置で支え続けさせることことができるので、検査座標として調整された検査ポイントに対し常に正確にプローブピン４５を接触させることができる。
【００５４】
したがって、回路基板検査装置４１は、被検査基板５１をその他側表面５１ｂ側から基板検査用サポートピン１１で支持（図示例では下支え）させた状態とすることで、図４に示す高さ測定手段５を用いて既に取得されている調整後の検査座標に変動を生じさせることなく効果的に活かして正確なプロービングを行うことができることになる。
【００５５】
以上は、本発明を図示例に即して説明したものであり、その具体的な実施形態はこれに限定されるものではない。例えば、本発明は、被検査基板５１が図示例のように水平方向に配置される場合に限らず、縦方向に配置される場合についても適用することができる。また、一側導線３２は、接触検知子２２のロッド部２３の外側に配線して電流発生部３５へと直接結線させるものであってもよい。
【符号の説明】
【００５６】
１１  基板検査用サポートピン
１２  ピン本体
１３  ピン頭部
１３ａ  導電性先端面
１３ｂ  下端面
１４  先端部
１５  ガイド孔
１６  空間部
１７  導電部
１８  バネ材
１８ａ  先端
１８ｂ  基端
１９  支杆部
２２  接触検知子
２３  ロッド部
２３ａ  先端部
２４  接触片部
２４ａ  絶縁性表面
２４ｂ  導電性裏面
２５  導電部
２６  バネ受け部
３１  サポートピン駆動機構
３２  一側導線
３３  他側導線
３４  接触検出部
３５  電流発生部
３６  電圧検出部
３７  駆動制御部
３８  進退駆動部
３８ａ  モータ
３８ｂ  運動変換部
４１  回路基板検査装置
４２  装置本体
４３  検査ステージ
３４  固定用治具
４５  プローブピン
５１  被検査基板
５１ａ  一側表面
５１ｂ  他側表面
Ｌ１  基準位置
【図１】
2014185912.tif 000003
【図２】
2014185912.tif 000004
【図３】
2014185912.tif 000005
【図４】
2014185912.tif 000006
【図５】
2014185912.tif 000007