(57)【要約】【課題】室内低露点環境の保持を一層確実にする。【解決手段】給気風量ｑ３の増加を伴う閉扉モード運転から開扉モード運転への移行において過渡モード運転を介在させる。この過渡モード運転では、循環用バイパス路３２を開いて、除湿機５から送出される低露点空気ＳＡのうち設定増加風量Δｑ３と等しい風量の低露点空気ΔＳＡを循環用バイパス路３２を通じて循環させながら、導入路１２を通じ閉扉モード運転時と同じ基本導入風量ｑ２の原空気ＭＡを導入して、それら原空気ＭＡと循環低露点空気ΔＳＡとの混合空気を除湿機５で除湿処理する処理形態にした状態で、閉扉モード運転時と同じ基本給気風量の低露点空気ＳＡを低露点室１又は室間開口部３の配設域２６に送給する。【選択図】図２
2014085032.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
低露点室を補助室に対して開放する室間開口部に、その室間開口部を開閉する室間扉を設けるとともに、
導入路を通じて導入する原空気を除湿処理して低露点温度の低露点空気を生成する除湿機を設け、
この除湿機で生成した低露点空気を前記低露点室又は前記室間開口部の配設域に送給する給気路を設け、
前記室間扉が開かれた状態にあるときには、前記室間扉が閉じられた状態にあるときに比べ、前記除湿機で設定給気露点温度まで除湿処理する原空気の風量を増加させて、設定給気露点温度の状態で前記低露点室又は前記室間開口部の配設域に送給する低露点空気の風量を増加させる低露点空調設備の運転方法であって、
前記給気路と前記導入路とを短絡的に接続する循環用バイパス路を設けておき、
前記室間扉が閉じられた状態にあるときには、前記循環用バイパス路を閉じた状態で前記導入路を通じて導入する基本導入風量の原空気を前記除湿機で設定給気露点温度まで除湿処理して、設定給気露点温度で基本給気風量の低露点空気を前記低露点室又は前記室間開口部の配設域に送給する閉扉モード運転を実施し、
前記室間扉が開かれた状態にあるときには、前記循環用バイパス路を閉じた状態で前記導入路を通じて導入する原空気の風量を前記閉扉モード運転時の基本導入風量より設定増加風量だけ増加させて、その増加させた原空気を前記除湿機で設定給気露点温度まで除湿処理することで、設定給気露点温度で前記低露点室又は前記室間開口部の配設域に送給する低露点空気の風量を前記閉扉モード運転時の基本給気風量よりも設定増加風量だけ増加させた開扉モード運転を実施し、
閉じられた前記室間扉を開く際には、その室間扉の開き操作に先立ち過渡モード運転を実施し、
この過渡モード運転では、前記循環用バイパス路を開いて、前記除湿機から送出される低露点空気のうち前記設定増加風量と等しい風量の低露点空気を前記循環用バイパス路を通じて循環させながら、前記導入路を通じ前記閉扉モード運転時と同じ基本導入風量の原空気を導入して、その基本導入風量の原空気と前記設定増加風量と等しい風量の循環低露点空気との混合空気を前記除湿機で除湿処理する処理形態にした状態で、前記閉扉モード運転時と同じ基本給気風量の低露点空気を前記低露点室又は前記室間開口部の配設域に送給するとともに、
前記除湿機の除湿能力を調整することで、前記除湿機から送出される低露点空気の露点温度を設定給気露点温度に調整し、
この過渡モード運転の実施において前記除湿機から送出される低露点空気の露点温度が設定給気露点温度に安定化した後、前記循環用バイパス路を閉じて前記開扉モード運転に移行し、その上で前記室間扉を開き操作する低露点空調設備の運転方法。
【請求項２】
前記過渡モード運転から前記開扉モード運転に移行した後、前記除湿機の除湿能力の調整に対して、前記除湿機から送出される低露点空気の露点温度が設定給気露点温度に安定化した後に、前記室間扉を開き操作する請求項１に記載した低露点空調設備の運転方法。
【請求項３】
前記給気路を通じて設定給気露点温度で前記低露点室又は前記室間開口部の配設域に送給する低露点空気の給気風量について、前記室間扉の開き操作時における前記低露点室又は前記室間開口部の配設域での水分負荷の予測上昇量を処理するのに必要な増加給気風量を予め演算し、
その演算風量を設備の運転実施に先立ち前記設定増加風量として予め設定しておく請求項１又は２に記載した低露点空調設備の運転方法。
【請求項４】
前記室間扉を閉じる際は、前記室間扉の閉じ操作を完了した後、前記開扉モード運転から前記閉扉モード運転へ設備の運転を直接的に切り換える請求項１〜３のいずれか１項に記載した低露点空調設備の運転方法。
【請求項５】
前記給気路を通じて送給される低露点空気を供給する給気口として、前記低露点室に対する第１給気口と、前記補助室に対する第２給気口と、前記室間開口部の配設域に対する第３給気口とを設けるとともに、
これら第１〜第３給気口から供給した低露点空気は最終的に前記補助室の室内を経て、その一部又は全部を前記原空気として前記導入路を通じ前記除湿機に戻す構成にしておき、
前記室間扉が開かれた状態にあるときには、
前記第１及び第２給気口の夫々からの低露点空気の供給風量を前記室間扉が閉じられた状態にあるときの供給風量と同じ風量に保った状態で、前記第３給気口からの低露点空気の供給風量のみを前記室間扉が閉じられた状態にあるときの供給風量よりも増加させる、
又は、前記第２給気口からの低露点空気の供給風量を前記室間扉が閉じられた状態にあるときの供給風量と同じ風量に保った状態で、前記第１及び第３給気口の夫々からの低露点空気の供給風量を前記室間扉が閉じられた状態にあるときの供給風量よりも増加させる、
又は、前記第２及び第３給気口の夫々からの低露点空気の供給風量を前記室間扉が閉じられた状態にあるときの供給風量と同じ風量に保った状態で、前記第１給気口からの低露点空気の供給風量のみを前記室間扉が閉じられた状態にあるときの供給風量よりも増加させる請求項１〜４のいずれか１項に記載した低露点空調設備の運転方法。
【請求項６】
低露点室を補助室に対して開放する室間開口部に、その室間開口部を開閉する室間扉を設けるとともに、
導入路を通じて導入する原空気を除湿処理して低露点温度の低露点空気を生成する除湿機を設け、
この除湿機で生成した低露点空気を前記低露点室又は前記室間開口部の配設域に送給する給気路を設け、
前記室間扉が開かれた状態にあるときには、前記室間扉が閉じられた状態にあるときに比べ、前記除湿機で設定給気露点温度まで除湿処理する原空気の風量を増加させて、設定給気露点温度の状態で前記低露点室又は前記室間開口部の配設域に送給する低露点空気の風量を増加させる制御手段を設けてある低露点空調設備であって、
前記給気路と前記導入路とを短絡的に接続する循環用バイパス路を設け、
前記制御手段は、
前記室間扉が閉じられた状態にあるときには、前記循環用バイパス路を閉じた状態で前記導入路を通じて導入する基本導入風量の原空気を前記除湿機で設定給気露点温度まで除湿処理して、設定給気露点温度で基本給気風量の低露点空気を前記低露点室又は前記室間開口部の配設域に送給する閉扉モード運転を実施し、
前記室間扉が開かれた状態にあるときには、前記循環用バイパス路を閉じた状態で前記導入路を通じて導入する原空気の風量を前記閉扉モード運転時の基本導入風量より設定増加風量だけ増加させて、その増加させた原空気を前記除湿機で設定給気露点温度まで除湿処理することで、設定給気露点温度で前記低露点室又は前記室間開口部の配設域に送給する低露点空気の風量を前記閉扉モード運転時の基本給気風量よりも設定増加風量だけ増加させた開扉モード運転を実施し、
前記室間扉の開き操作を要求する開扉要求信号を受信したときには、その室間扉の開き操作に先立つ運転として過渡モード運転を実施し、
この過渡モード運転では、前記循環用バイパス路を開いて、前記除湿機から送出される低露点空気のうち前記設定増加風量と等しい風量の低露点空気を前記循環用バイパス路を通じて循環させながら、前記導入路を通じ前記閉扉モード運転時と同じ基本導入風量の原空気を導入して、その基本導入風量の原空気と前記設定増加風量と等しい風量の循環低露点空気との混合空気を前記除湿機で除湿処理する処理形態にした状態で、前記閉扉モード運転時と同じ基本給気風量の低露点空気を前記低露点室又は前記室間開口部の配設域に送給するとともに、
前記除湿機の除湿能力を調整することで、前記除湿機から送出される低露点空気の露点温度を設定給気露点温度に調整し、
この過渡モード運転の実施において前記除湿機から送出される低露点空気の露点温度が設定給気露点温度に安定化した後、前記循環用バイパス路を閉じて前記開扉モード運転に移行し、その上で、前記室間扉の開き操作が可能になったことを報知する、又は、前記室間扉を自動的に開き操作する構成にしてある低露点空調設備。
【請求項７】
前記制御手段は、前記過渡モード運転から前記開扉モード運転に移行した後、前記除湿機の除湿能力の調整に対して、前記除湿機から送出される低露点空気の露点温度が設定給気露点温度に安定化した後に、前記室間扉の開扉が可能になったことを報知する又は前記室間扉を自動的に開き操作する構成にしてある請求項６に記載した低露点空調設備。
【請求項８】
前記給気路を通じて設定給気露点温度で前記低露点室又は前記室間開口部の配設域に送給する低露点空気の給気風量について、前記室間扉の開き操作時における前記低露点室又は前記室間開口部の配設域における水分負荷の予測上昇量を処理するのに必要な増加給気風量を前記設定増加風量として予め記憶させておく記憶手段を設け、
前記制御手段は、この記憶手段から読み出した前記設定増加風量に基づいて前記過渡モード運転及び前記開扉モード運転を実施する構成にしてある請求項６又は７に記載した低露点空調設備。
【請求項９】
前記記憶手段は、前記設定増加風量として、前記室間扉の開き操作時における状況条件ごとの複数種の前記設定増加風量を記憶する構成にし、
前記制御手段は、これら複数種の設定増加風量のうち、前記開扉要求信号に伴い付与される状況情報に適合する設定増加風量を前記記憶手段から読み出して、その読み出した設定増加風量に基づいて前記過渡モード運転及び前記開扉モード運転を実施する構成にしてある請求項８に記載した低露点空調設備。
【請求項１０】
前記制御手段は、前記室間扉の閉じ操作が完了したことを知らせる閉扉完了信号を受信したとき、前記開扉モード運転から前記閉扉モード運転へ設備の運転を直接的に切り換える構成にしてある請求項６〜９のいずれか１項に記載した低露点空調設備。
【請求項１１】
前記給気路を通じて送給される低露点空気を供給する給気口として、前記低露点室に対する第１給気口と、前記補助室に対する第２給気口と、前記室間開口部の配設域に対する第３給気口とを設けるとともに、
これら第１〜第３給気口から供給した低露点空気は最終的に前記補助室の室内を経て、その一部又は全部を前記原空気として前記導入路を通じ前記除湿機に戻す構成にしておき、
前記制御手段は、前記室間扉が開かれた状態にあるとき、
前記第１及び第２給気口の夫々からの低露点空気の供給風量を前記室間扉が閉じられた状態にあるときの供給風量と同じ風量に保った状態で、前記第３給気口からの低露点空気の供給風量のみを前記室間扉が閉じられた状態にあるときの供給風量よりも増加させる、
又は、前記第２給気口からの低露点空気の供給風量を前記室間扉が閉じられた状態にあるときの供給風量と同じ風量に保った状態で、前記第１及び第３給気口の夫々からの低露点空気の供給風量を前記室間扉が閉じられた状態にあるときの供給風量よりも増加させる、
又は、前記第２及び第３給気口の夫々からの低露点空気の供給風量を前記室間扉が閉じられた状態にあるときの供給風量と同じ風量に保った状態で、前記第１給気口からの低露点空気の供給風量のみを前記室間扉が閉じられた状態にあるときの供給風量よりも増加させる構成にしてある請求項６〜１０のいずれか１項に記載した低露点空調設備。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、リチウム電池や薄膜あるいは有機ＥＬの製造工程などにおいて必要な低露点環境を形成する低露点空調設備に関する。
【０００２】
詳しくは（図１参照）、低露点室１を補助室２に対して開放する室間開口部３に、その室間開口部３を開閉する室間扉４を設けるとともに、
導入路１２を通じて導入する原空気ＭＡを除湿処理して低露点温度の低露点空気ＳＡを生成する除湿機５を設け、
この除湿機５で生成した低露点空気ＳＡを低露点室１又は室間開口部３の配設域に送給する給気路２１を設け、
室間扉４が開かれた状態にあるときには、室間扉４が閉じられた状態にあるときに比べ、除湿機５において設定給気露点温度ｔｓまで除湿処理する原空気ＭＡの風量を所要の増加風量Δｑ３だけ増加させて、設定給気露点温度ｔｓの状態で低露点室１又は室間開口部３の配設域に送給する低露点空気ＳＡの風量を増加させる低露点空調設備に関する。
【背景技術】
【０００３】
従来、この種の低露点空調設備として、特許文献１には（同図１参照）、室間扉４の開閉にかかわらず給気路２１を通じて第１給気口２２及び第２給気口２４から低露点室１及び補助室２の夫々に定量供給する低露点空気ＳＡとは別に、室間扉４が開かれた状態にあるときは、給気路２１から分流した低露点空気ＳＡを低露点室１におけるエアカーテン用の給気口（第３給気口２７に相当）から室間開口部３に供給し、これにより、室間扉４が開かれた状態にある室間開口部３に低露点空気ＳＡから成るエアカーテンを形成する低露点空調設備が提案されている。
【０００４】
即ち、この低露点空調設備では、低露点室１に対する物品の搬出入や低露点室１のメンテナンスなどのために室間扉４が開かれることに対して、上記エアカーテンを形成することで、室間開口部３を通じた補助室２から低露点室１への空気侵入に伴う水分侵入を防止して、低露点室１の室内を所要の低露点環境に保つようにしている。
【０００５】
また、特許文献２には、共通の補助室２に対して複数の低露点室１を設けた設備構成において、それら複数の低露点室１の夫々に給気路２１を通じて低露点空気ＳＡを供給するともに、いずれかの低露点室１の室間扉４が開かれたときには、その低露点室１に対する低露点空気ＳＡの供給風量を増加させるようにした低露点空調設備も提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１２−５２７１８号公報
【特許文献２】特開２００７−２６５８８０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、これら従来の低露点空調設備ではいずれも（同図１参照）、室間扉４が開かれたとき、エアカーテンの形成や供給風量の増加のため、除湿機５で除湿処理する原空気ＭＡ（一般的には、外気ＯＡや補助室２からの還気空気ＲＡ）の風量を直ちに増加させて低露点空気ＳＡの生成風量を増加させるが、このとき、風量増加した原空気ＭＡを低露点室１への供給に必要な増加前と同じ低露点温度ｔｓに除湿処理できる状態まで除湿機５が能力的に立ち上がるのに相応の時間が必要なため、いわゆる立ち上がり遅れが生じる。
【０００８】
そして、この立ち上がり遅れの為、除湿機５から給気路２１を通じて供給する低露点空気ＳＡの露点温度が室間扉４を開いた直後に一時的せよ上昇し、これが原因で、エアカーテンの形成や供給風量の増加にもかかわらず、低露点室１における室内低露点環境の悪化を招く虞があった。
【０００９】
この実情に鑑み本発明の主たる課題は、合理的な運転形態を採ることで、上記の如き問題を効果的に解消して、室間扉の開き操作にかかわらず低露点室の室内を所要の低露点環境に一層確実かつ安定的に保持できるようにする点にある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の第１特徴構成は低露点空調設備の運転方法に係り、その特徴は、
低露点室を補助室に対して開放する室間開口部に、その室間開口部を開閉する室間扉を設けるとともに、
導入路を通じて導入する原空気を除湿処理して低露点温度の低露点空気を生成する除湿機を設け、
この除湿機で生成した低露点空気を前記低露点室又は前記室間開口部の配設域に送給する給気路を設け、
前記室間扉が開かれた状態にあるときには、前記室間扉が閉じられた状態にあるときに比べ、前記除湿機で設定給気露点温度まで除湿処理する原空気の風量を増加させて、設定給気露点温度の状態で前記低露点室又は前記室間開口部の配設域に送給する低露点空気の風量を増加させる低露点空調設備の運転方法であって、
前記給気路と前記導入路とを短絡的に接続する循環用バイパス路を設けておき、
前記室間扉が閉じられた状態にあるときには、前記循環用バイパス路を閉じた状態で前記導入路を通じて導入する基本導入風量の原空気を前記除湿機で設定給気露点温度まで除湿処理して、設定給気露点温度で基本給気風量の低露点空気を前記低露点室又は前記室間開口部の配設域に送給する閉扉モード運転を実施し、
前記室間扉が開かれた状態にあるときには、前記循環用バイパス路を閉じた状態で前記導入路を通じて導入する原空気の風量を前記閉扉モード運転時の基本導入風量より設定増加風量だけ増加させて、その増加させた原空気を前記除湿機で設定給気露点温度まで除湿処理することで、設定給気露点温度で前記低露点室又は前記室間開口部の配設域に送給する低露点空気の風量を前記閉扉モード運転時の基本給気風量よりも設定増加風量だけ増加させた開扉モード運転を実施し、
閉じられた前記室間扉を開く際には、その室間扉の開き操作に先立ち過渡モード運転を実施し、
この過渡モード運転では、前記循環用バイパス路を開いて、前記除湿機から送出される低露点空気のうち前記設定増加風量と等しい風量の低露点空気を前記循環用バイパス路を通じて循環させながら、前記導入路を通じ前記閉扉モード運転時と同じ基本導入風量の原空気を導入して、その基本導入風量の原空気と前記設定増加風量と等しい風量の循環低露点空気との混合空気を前記除湿機で除湿処理する処理形態にした状態で、前記閉扉モード運転時と同じ基本給気風量の低露点空気を前記低露点室又は前記室間開口部の配設域に送給するとともに、
前記除湿機の除湿能力を調整することで、前記除湿機から送出される低露点空気の露点温度を設定給気露点温度に調整し、
この過渡モード運転の実施において前記除湿機から送出される低露点空気の露点温度が設定給気露点温度に安定化した後、前記循環用バイパス路を閉じて前記開扉モード運転に移行し、その上で前記室間扉を開き操作する点にある。
【００１１】
この構成によれば、室間扉を開き操作するのに先立ち上記過渡モード運転を実施し、この過渡モード運転において、室間扉が閉じられている状態での先の閉扉モード運転に比べ、除湿機における処理風量を開扉モード運転時の設定増加風量と等しい風量だけ予め増加させる。
【００１２】
しかし、この過渡モード運転での処理風量の増加は、除湿機で除湿処理した低露点空気の一部（即ち、設定増加風量と等しい風量の低露点空気）を循環用バイパス路において循環させることにより生じさせる処理風量の増加であって、この処理風量の増加による除湿負荷の増加は少ないことから、この過渡モード運転において除湿機から送出される低露点空気の露点温度を設定給気露点温度に調整するのに要する除湿機の増強側への除湿能力の調整幅は、先述の従来設備の如く閉扉モード運転から開扉モード運転へ設備の運転を直接に切り換える場合に比べ、小さいものになる。
【００１３】
このことから、この過渡モード運転において、後続の開扉モード運転への移行に先立ち除湿機の除湿能力をある程度まで予め高めておくことができ、また、先述の如き立ち上がり遅れに原因する供給低露点空気の露点温度上昇が過渡モード運転において生じることも抑止することができる。
【００１４】
続いて、上記構成では、過渡モード運転において除湿機から送出される低露点空気の露点温度が設定給気露点温度に安定化した後、循環用バイパス路を閉じて開扉モード運転に移行し、この開扉モード運転では、循環低露点空気による処理風量の増加に代え、先述の従来設備と同様、導入路を通じて導入する原空気の風量を設定増加風量だけ増加させることで除湿機の処理風量（換言すれば、低露点空気の生成風量）を増加させる。
【００１５】
しかし、この開扉モード運転への移行の際は、上述の如く先の過渡モード運転において除湿機の除湿能力をある程度まで予め高めてあることから、この開扉モード運転において除湿機から送出される低露点空気の露点温度を設定給気露点温度に調整するのに要する除湿機の増強側への除湿能力の調整幅も、閉扉モード運転から開扉モード運転へ設備の運転を直接に切り換える場合に比べ、小さいものになる。
【００１６】
このことから、過渡モード運転の場合と同様、先述の如き立ち上がり遅れに原因する供給低露点空気の露点温度上昇が開扉モード運転への移行において生じることも抑止することができる。
【００１７】
そしてまた、上記構成では、開扉モード運転への移行により低露点室又は室間開口部の配設域に供給風量を増加させて、低露点室又は室間開口部の配設域における除湿機能を予め高めた上で室間扉を開き操作することからも、室間開口部を通じた水分浸入などに原因する低露点室の室内低露点環境の悪化を一層効果的に防止することができる。
【００１８】
これらのことから、上記構成によれば、低露点空調設備において従前に比べ、室間扉の開き操作にかかわらず低露点室の室内を所要の低露点環境に一層確実かつ安定的に保持することができる。
【００１９】
本発明の第２特徴構成は、第１特徴構成の実施において、
前記過渡モード運転から前記開扉モード運転に移行した後、前記除湿機の除湿能力の調整に対して、前記除湿機から送出される低露点空気の露点温度が設定給気露点温度に安定化した後に、前記室間扉を開き操作する点にある。
【００２０】
この構成によれば、過渡モード運転から開扉モード運転に移行した直後で、除湿機から送出される低露点空気の露点温度が未だ安定しない状況において室間扉を開き操作したために、室間扉の開き操作後に、低露点室又は室間開口部の配設域に供給される低露点空気の露点温度が不用意に設定給気露点温度よりも高くなり、そのことで、低露点室の室内低露点環境の悪化を招く、といったことを防止することができる。
【００２１】
本発明の第３特徴構成は、第１又は第２特徴構成において、
前記給気路を通じて設定給気露点温度で前記低露点室又は前記室間開口部の配設域に送給する低露点空気の給気風量について、前記室間扉の開き操作時における前記低露点室又は前記室間開口部の配設域での水分負荷の予測上昇量を処理するのに必要な増加給気風量を予め演算し、
その演算風量を設備の運転実施に先立ち前記設定増加風量として予め設定しておく点にある。
【００２２】
この構成によれば、例えば、室間扉を実際に開く際に、その都度、低露点室又は室間開口部の配設域における水分負荷の上昇量を判断して、その水分負荷の上昇量を処理するのに必要な低露点空気の増加給気風量を演算するのに比べ、前述の如き風量増加の処置（即ち、過渡モード運転を介在させる閉扉モード運転から開扉モード運転への移行処置）を容易かつ迅速に行うことができる。
【００２３】
本発明の第４特徴構成は、第１〜第３特徴構成のいずれかの実施において、
前記室間扉を閉じる際は、前記室間扉の閉じ操作を完了した後、前記開扉モード運転から前記閉扉モード運転へ設備の運転を直接的に切り換える点にある。
【００２４】
この構成によれば、室間扉の閉じ操作を完了した上で、開扉モード運転から閉扉モード運転への運転切り換えを行なうから、例えば、室間扉の閉じ操作と開扉モード運転から閉扉モード運転への運転切り換えとを同時に行なう場合に、室間扉が未だ完全に閉じられていない状況で、開扉モード運転から閉扉モード運転へ切り換えられて低露点室又は室間開口部の配設域に対する低露点空気の供給風量（給気風量）が減少し、そのことで、低露点室における室内低露点環境の悪化を不測に招くといったことを確実に防止することができる。
【００２５】
本発明の第５特徴構成は、第１〜第４特徴構成のいずれかの実施において、
前記給気路を通じて送給される低露点空気を供給する給気口として、前記低露点室に対する第１給気口と、前記補助室に対する第２給気口と、前記室間開口部の配設域に対する第３給気口とを設けるとともに、
これら第１〜第３給気口から供給した低露点空気は最終的に前記補助室の室内を経て、その一部又は全部を前記原空気として前記導入路を通じ前記除湿機に戻す構成にしておき、
前記室間扉が開かれた状態にあるときには、
前記第１及び第２給気口の夫々からの低露点空気の供給風量を前記室間扉が閉じられた状態にあるときの供給風量と同じ風量に保った状態で、前記第３給気口からの低露点空気の供給風量のみを前記室間扉が閉じられた状態にあるときの供給風量よりも増加させる、
又は、前記第２給気口からの低露点空気の供給風量を前記室間扉が閉じられた状態にあるときの供給風量と同じ風量に保った状態で、前記第１及び第３給気口の夫々からの低露点空気の供給風量を前記室間扉が閉じられた状態にあるときの供給風量よりも増加させる、
又は、前記第２及び第３給気口の夫々からの低露点空気の供給風量を前記室間扉が閉じられた状態にあるときの供給風量と同じ風量に保った状態で、前記第１給気口からの低露点空気の供給風量のみを前記室間扉が閉じられた状態にあるときの供給風量よりも増加させる点にある。
【００２６】
この構成によれば、第１〜第３給気口から供給した低露点空気の一部又は全部を原空気として導入路を通じ除湿機に戻すから、例えば、原空気として全て外気を用いるのに比べ、原空気の露点温度変動を小さくすることができて、低露点室又は室間開口部の配設域に送給する低露点空気の露点温度を一層安定化することができる。
【００２７】
また、過渡モード運転及び開扉モード運転の夫々において要する除湿機の増強側への除湿能力調整の調整幅も一層小さくすることができて、立ち上がり遅れに原因する供給低露点空気の露点温度上昇をさらに効果的に抑止することができ、これらのことで、低露点室の室内を所要の低露点環境にさらに確実かつ安定的に保持することができる。
【００２８】
本発明の第６特徴構成は低露点空調設備に係り、その特徴は、
低露点室を補助室に対して開放する室間開口部に、その室間開口部を開閉する室間扉を設けるとともに、
導入路を通じて導入する原空気を除湿処理して低露点温度の低露点空気を生成する除湿機を設け、
この除湿機で生成した低露点空気を前記低露点室又は前記室間開口部の配設域に送給する給気路を設け、
前記室間扉が開かれた状態にあるときには、前記室間扉が閉じられた状態にあるときに比べ、前記除湿機で設定給気露点温度まで除湿処理する原空気の風量を増加させて、設定給気露点温度の状態で前記低露点室又は前記室間開口部の配設域に送給する低露点空気の風量を増加させる制御手段を設けてある低露点空調設備であって、
前記給気路と前記導入路とを短絡的に接続する循環用バイパス路を設け、
前記制御手段は、
前記室間扉が閉じられた状態にあるときには、前記循環用バイパス路を閉じた状態で前記導入路を通じて導入する基本導入風量の原空気を前記除湿機で設定給気露点温度まで除湿処理して、設定給気露点温度で基本給気風量の低露点空気を前記低露点室又は前記室間開口部の配設域に送給する閉扉モード運転を実施し、
前記室間扉が開かれた状態にあるときには、前記循環用バイパス路を閉じた状態で前記導入路を通じて導入する原空気の風量を前記閉扉モード運転時の基本導入風量より設定増加風量だけ増加させて、その増加させた原空気を前記除湿機で設定給気露点温度まで除湿処理することで、設定給気露点温度で前記低露点室又は前記室間開口部の配設域に送給する低露点空気の風量を前記閉扉モード運転時の基本給気風量よりも設定増加風量だけ増加させた開扉モード運転を実施し、
前記室間扉の開き操作を要求する開扉要求信号を受信したときには、その室間扉の開き操作に先立つ運転として過渡モード運転を実施し、
この過渡モード運転では、前記循環用バイパス路を開いて、前記除湿機から送出される低露点空気のうち前記設定増加風量と等しい風量の低露点空気を前記循環用バイパス路を通じて循環させながら、前記導入路を通じ前記閉扉モード運転時と同じ基本導入風量の原空気を導入して、その基本導入風量の原空気と前記設定増加風量と等しい風量の循環低露点空気との混合空気を前記除湿機で除湿処理する処理形態にした状態で、前記閉扉モード運転時と同じ基本給気風量の低露点空気を前記低露点室又は前記室間開口部の配設域に送給するとともに、
前記除湿機の除湿能力を調整することで、前記除湿機から送出される低露点空気の露点温度を設定給気露点温度に調整し、
この過渡モード運転の実施において前記除湿機から送出される低露点空気の露点温度が設定給気露点温度に安定化した後、前記循環用バイパス路を閉じて前記開扉モード運転に移行し、その上で、前記室間扉の開き操作が可能になったことを報知する、又は、前記室間扉を自動的に開き操作する構成にしてある点にある。
【００２９】
この構成によれば、制御手段の制御動作により、前記した第１特徴構成の運転方法を自動的に実施する形態にして、その効果を得ることができる。
【００３０】
本発明の第７特徴構成は、第６特徴構成の実施において、
前記制御手段は、前記過渡モード運転から前記開扉モード運転に移行した後、前記除湿機の除湿能力の調整に対して、前記除湿機から送出される低露点空気の露点温度が設定給気露点温度に安定化した後に、前記室間扉の開扉が可能になったことを報知する又は前記室間扉を自動的に開き操作する構成にしてある点にある。
【００３１】
この構成によれば、制御手段の制御動作により、前記した第２特徴構成の運転方法を自動的に実施する形態にして、その効果を得ることができる。
【００３２】
本発明の第８特徴構成は、第６又は第７特徴構成の実施において、
前記給気路を通じて設定給気露点温度で前記低露点室又は前記室間開口部の配設域に送給する低露点空気の給気風量について、前記室間扉の開き操作時における前記低露点室又は前記室間開口部の配設域での水分負荷の予測上昇量を処理するのに必要な増加給気風量を前記設定増加風量として予め記憶させておく記憶手段を設け、
前記制御手段は、この記憶手段から読み出した前記設定増加風量に基づいて前記過渡モード運転及び前記開扉モード運転を実施する構成にしてある点にある。
【００３３】
この構成によれば、制御手段の制御動作により、前記した第３特徴構成の運転方法を自動的に実施する形態にして、その効果を得ることができる。
【００３４】
本発明の第９特徴構成は、第８特徴構成の実施において、
前記記憶手段は、前記設定増加風量として、前記室間扉の開き操作時における状況条件ごとの複数種の前記設定増加風量を記憶する構成にし、
前記制御手段は、これら複数種の設定増加風量のうち、前記開扉要求信号に伴い付与される状況情報に適合する設定増加風量を前記記憶手段から読み出して、その読み出した設定増加風量に基づいて前記過渡モード運転及び前記開扉モード運転を実施する構成にしてある点にある。
【００３５】
この構成によれば、室間扉の開き操作時における状況として、例えば室間開口部の配設域に配置する人員数などの条件が異なる複数種の状況（即ち、処理すべき増加水分量が異なる複数種の状況）がある場合にも対応して、上記第８特徴構成による効果を得ることができる。
【００３６】
本発明の第１０特徴構成は、第６〜第８特徴構成のいずれかの実施において、
前記制御手段は、前記室間扉の閉じ操作が完了したことを知らせる閉扉完了信号を受信したとき、前記開扉モード運転から前記閉扉モード運転へ設備の運転を直接的に切り換える構成にしてある点にある。
【００３７】
この構成によれば、制御手段の制御動作により、前記した第４特徴構成の運転方法を自動的に実施する形態にして、その効果を得ることができる。
【００３８】
本発明の第１１特徴構成は、第６〜第１０特徴構成のいずれかの実施において、
前記給気路を通じて送給される低露点空気を供給する給気口として、前記低露点室に対する第１給気口と、前記補助室に対する第２給気口と、前記室間開口部の配設域に対する第３給気口とを設けるとともに、
これら第１〜第３給気口から供給した低露点空気は最終的に前記補助室の室内を経て、その一部又は全部を前記原空気として前記導入路を通じ前記除湿機に戻す構成にしておき、
前記制御手段は、前記室間扉が開かれた状態にあるとき、
前記第１及び第２給気口の夫々からの低露点空気の供給風量を前記室間扉が閉じられた状態にあるときの供給風量と同じ風量に保った状態で、前記第３給気口からの低露点空気の供給風量のみを前記室間扉が閉じられた状態にあるときの供給風量よりも増加させる、
又は、前記第２給気口からの低露点空気の供給風量を前記室間扉が閉じられた状態にあるときの供給風量と同じ風量に保った状態で、前記第１及び第３給気口の夫々からの低露点空気の供給風量を前記室間扉が閉じられた状態にあるときの供給風量よりも増加させる、
又は、前記第２及び第３給気口の夫々からの低露点空気の供給風量を前記室間扉が閉じられた状態にあるときの供給風量と同じ風量に保った状態で、前記第１給気口からの低露点空気の供給風量のみを前記室間扉が閉じられた状態にあるときの供給風量よりも増加させる構成にしてある点にある。
【００３９】
この構成によれば、制御手段の制御動作により、前記した第５特徴構成の運転方法を自動的に実施する形態にして、その効果を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】閉扉モード運転状態にある低露点空調設備を示す設備構成図
【図２】過渡モード運転状態にある低露点空調設備を示す設備構成図
【図３】開扉渡モード運転状態にある低露点空調設備を示す設備構成図
【図４】設備運転のフローチャート
【発明を実施するための形態】
【００４１】
図１は低露点空調設備を示し、１は室内での生産作業や物品の室内保管などにおいて室内を低露点環境に保つことが要求される低露点室、２は低露点室１に対する物品の搬出入や低露点室１に対するメンテナンスなどを行なう補助室であり、この補助室２は準低露点室として低露点室１に次ぐ室内低露点環境が要求される。
【００４２】
低露点室１には、その室内を補助室２に対して開放する室間開口部３を設けるとともに、この室間開口部３を開閉する室間扉４を設けてある。
【００４３】
この室間扉４は通常、閉じておくことで低露点室１の室内低露点環境を保全し、必要時に室間扉４を開くことで室間開口部３を通じて低露点室１に対する物品の搬出入や低露点室１の室内に対するメンテナンスなどを行なう。
【００４４】
５は、設定給気露点温度ｔｓ（例えば−６０℃ＤＰ）の低露点空気ＳＡを生成する吸着ロータ式の除湿機である。
【００４５】
この除湿機５は、中心軸芯周りで一定方向ｒに回転させる円盤状の吸着ロータ６を備えており、この吸着ロータ６は、中心軸芯方向（即ち、回転軸芯方向）において通気可能なハニカム材を主材として構成し、このハニカム材には、ゼオライトなどの吸着剤ｘを担持させてある。
【００４６】
吸着ロータ６の収容室７（換言すれば、吸着ロータ６の回転域）は、再生域７ａとパージ域７ｂと処理域７ｃと外気処理域７ｄとの４域に、その順にロータ回転方向ｒの上手側から並べた状態で区画してあり、吸着ロータ６は、これら４域７ａ〜７ｄに跨らせた状態で回転させる。
【００４７】
この除湿機５では、外気ファン８により外気取入路９を通じて取り入れた一定風量ｑｏ外気ＯＡを、冷却器１０での冷却に続き外気処理域７ｄに通過させて、吸着ロータ６のうち外気処理域７ｄの域内通過過程にある吸着ロータ部分に通気することで、その通気過程において外気ＯＡを吸着剤ｘによる水分吸着により予除湿する。
【００４８】
予除湿後の外気ＯＡ′は、処理ファン１１により導入路１２を通じて冷却器１３での冷却に続き処理域７ｃに通過させるが、この予除湿後の外気ＯＡ′は冷却器１３での冷却の前に、還気路１４を通じて補助室２から戻る還気空気ＲＡと混合する。
【００４９】
即ち、この除湿機５では、この混合空気ＭＡを除湿処理対象の原空気とし、その混合空気ＭＡを処理域７ｃに通過させて、処理域７ｃの域内通過過程にある吸着ロータ部分に通気することで、その通気過程において原空気としての混合空気ＭＡを吸着剤ｘによる水分吸着により除湿し、これにより、低露点温度の低露点空気ＳＡを生成する。
【００５０】
予除湿後の外気ＯＡ′の一部は、導入路１２からの分岐路１５を通じパージ用空気ＰＡとしてパージ域７ｂに通過させて、パージ域７ｂの域内通過過程にある吸着ロータ部分に通気し、これにより、その吸着ロータ部分（即ち、再生域７ａを通過した吸着ロータ部分）をパージ処理する。
【００５１】
パージ域７ｂを通過した使用済のパージ用空気ＰＡ′は、再生ファン１６により再生用空気路１７を通じ加熱器１８での加熱に続き再生用空気ＨＡとして再生域７に通過させて、再生域７ａの域内通過過程にある吸着ロータ部分に通気し、これにより、その吸着ロータ部分における吸着剤ｘ（即ち、処理域７ｃ及び外気処理域７ｄの夫々で水分吸着した吸着剤）を再生処理する。
【００５２】
再生域７ａを通過した使用済の再生用空気ＨＡ′は、排気路１９を通じて外部に排出するが、使用済の再生用空気ＨＡ′の一部は再生用循環路２０を通じて加熱器１８による加熱前の再生用空気ＨＡに混合し、これにより、使用済の再生用空気ＨＡ′が保有する熱量の一部を回収して吸着剤ｘの再生処理に利用する。
【００５３】
一方、低露点室１には、除湿機５により生成されて給気路２１を通じ導かれる低露点空気ＳＡを室内に供給する第１給気口２２を設けてあり、この第１給気口２２に接続した給気路２１の端末部分２１ａには、第１給気口２２から低露点室１に供給する低露点空気ＳＡの風量を設定第１給気風量ｑ１（一定）に自動調整する第１定風量装置２３を装備してある。
【００５４】
補助室２には、同じく給気路２１を通じて導かれる低露点空気ＳＡを室内に供給する第２給気口２４を設けてあり、この第２給気口２４に接続した給気路２１の端末部分２１ｂには、第２給気口２４から補助室２に供給する低露点空気ＳＡの風量を設定第２給気風量ｑ２（一定）に自動調整する第２定風量装置２５を装備してある。
【００５５】
また、同じく給気路２１を通じて導かれる低露点空気ＳＡを室間開口部３の配設域に供給する給気口として、補助室２の側における室間開口部３の対向箇所（開口前箇所２６）には、その開口前箇所２６に対して低露点空気ＳＡをスポット的に供給する第３給気口２７を設けてあり、この第３給気口２７に接続した給気路２１の端末部分２１ｃには、第３給気口２７から開口前箇所２６に供給する低露点空気ＳＡの風量である第３給気風量ｑ３の調整を行なう風量調整ダンパ２８を装備してある。
【００５６】
なお、２９は開口前箇所２６と補助室２との連通を保った状態（略言すれば、非密閉の状態）で開口前箇所２６を覆う遮風具であり、この遮風具２９を設けることで、開口前箇所２６における水分負荷を第３給気口２７から供給する低露点空気ＳＡにより集中的に効率よく処理することができる。
【００５７】
また、第３給気口２７に対する上記風量調整ダンパ２８は全閉操作することで、第３給気口２７からの低露点空気ＳＡの供給を遮断（ｑ３＝０）することもできるものである。
【００５８】
低露点室１には、低露点室１から補助室２への室内低露点空気ＳＡ′の漏出風量ｑｐを自動的に微調整することで、室間扉４が閉じられた状態において低露点室１の室圧ｐ１が補助室２の室圧ｐ２よりも設定室圧差Δｐａ以上に上昇することを回避する差圧保持ダンパ３０を設けてある。
【００５９】
従って、室間扉４が閉じられた状態にあるとき、低露点室１からは、第１給気口２２からの低露点空気ＳＡの供給風量である設定第１給気風量ｑ１と等しい風量ｑｐ（＝ｑ１）の室内低露点空気ＳＡ′が差圧保持ダンパ３０通じて補助室２に流出する。
【００６０】
換言すれば、室間扉４が閉じられた状態にあるとき、補助室２には、第２給気口２４から設定第２給気風量ｑ２の低露点空気ＳＡが供給されるのに加え、差圧保持ダンパ３０を通じて設定第１給気風量ｑ１と等しい風量ｑｐの室内低露点空気ＳＡ′が低露点室１から供給される。
【００６１】
補助室２には、前記還気路１４とともに室内排気路３１を接続してあり、第２給気口２４及び差圧保持ダンパ３０からの補助室２に対する低露点空気ＳＡ，ＳＡ′の供給に伴い、その供給風量（ｑ２＋ｑｐ）の一部に相当する風量ｑｒの室内空気が還気空気ＲＡとして還気路１４を通じ補助室２から除湿機５に戻される。
【００６２】
そして、第２給気口２４及び差圧保持ダンパ３０からの補助室２に対する低露点空気ＳＡ，ＳＡ′の供給に伴い、その供給風量（ｑ２＋ｑｐ）の残部に相当する風量ｑｅの室内空気が排気空気ＥＡとして室内排気路３１を通じ補助室２から外部に排出される。
【００６３】
なお、本例では差圧保持ダンパ３０を採用したが、この差圧保持ダンパ３０に代えて単なる通気口により低露点室１と補助室２とを連通させてもよい。
【００６４】
第１給気口２２から低露点室１に供給する低露点空気ＳＡの風量である設定第１給気風量ｑ１については、室間扉４が閉じられた状態において、その設定第１給気風量ｑ１の低露点空気ＳＡを低露点室１に供給するだけで、差圧保持ダンパ３０の室圧保持機能により低露点室１の室圧ｐ１が補助室２の室圧ｐ２よりも設定室圧差Δｐａだけ高く保たれた状態で、低露点室１の室内が第１目標露点温度ｔ１（例えば−４０℃ＤＰ）以下の低露点環境に保たれる風量を設定してある。
【００６５】
一方、第２給気口２４から補助室２に供給する低露点空気ＳＡの風量である設定第２給気風量Ｑ２については、室間扉４が閉じられた状態において、第２給気口２４から供給する設定第２給気風量Ｑ２の低露点空気ＳＡと、差圧保持ダンパ３０を通じた低露点室１から流入する室内低露点空気ＳＡ′とにより、補助室２での収容人員の呼気や発汗などによる発生水分負荷が処理されて、補助室２の室内が第２目標露点温度ｔ２（例えば−２５℃ＤＰ）以下の低露点環境に保たれる風量を設定してある。
【００６６】
開口前箇所２６に対する第３給気口２７からの低露点空気ＳＡの供給は、室間扉４が閉じられている状況では実施せず、室間扉４が開かれるときのみ、室間扉４が開かれた状態にある低露点室１の室内低露点環境の保持を目的として、風量調整ダンパ２８を開いて第３給気口２７から開口前箇所２６に低露点空気ＳＡを供給する。
【００６７】
給気路２１における除湿機５の出口近傍部分と還気路１４の途中部分とは循環用バイパス路３２により短絡的に接続してあり、この循環用バイパス路３２には、その循環用バイパス路３２の開閉及び通過風量の調整を行なうバイパスダンパ３３を装備してある。
【００６８】
３４は補助室２の側で室間扉４の近傍に設置した操作盤であり、また、３５は操作盤３４からの操作指令に基づいて設備の運転を制御する制御器である。
【００６９】
この操作盤３４には、開扉要求スイッチ３４ａ及び閉扉完了スイッチ３４ｂを設けるとともに、状況情報入力器３４ｃを設けてある。
【００７０】
さらに、操作盤３４には、室間扉４の開き操作が可能であることを点灯により表示する開扉許諾表示灯３４ｘ、及び、室間扉４の開き操作禁止を点灯により表示する開扉禁止表示灯３４ｙを設けてある。
【００７１】
作業者が開扉要求スイッチ３４ａを操作すると、開扉要求信号ｓａが操作盤３４から制御器３５に送信され、同様に、室間扉４の閉じ操作後、作業者が閉扉完了スイッチ３４ｂを操作すると、閉扉完了信号ｓｂが操作盤３４から制御器３５に送信される。
【００７２】
また、作業者が室間扉４を開くときの開口前箇所２６における作業人員数や作業内容などの状況情報を状況情報入力器３４ｃに入力すると、その入力状況情報を信号内容とする状況情報信号ｓｉが操作盤３４から制御器３５に送信される。
【００７３】
制御器３５には、自身の動作プログラムＰなどを記憶する記憶部３６を備えさせてあり、この記憶部３６には複数種の設定増加風量Δｑ３を予め記憶させておく。
【００７４】
この設定増加風量Δｑ３については、室間扉４の開き操作時における開口前箇所２６での水分負荷の上昇量を、そのときの開口前箇所２６における作業人員数や作業内容などの状況条件ごとにシミュレーションや試験運転などにより予測する。
【００７５】
そして、これら状況条件ごとの水分負荷予測上昇量の夫々を処理するのに必要な状況条件ごとの第３給気風量ｑ３（即ち、本例では第３給気風量ｑ３のゼロ風量（ｑ３＝０）からの増加風量Δｑ３）を予め演算し、これらの演算風量を状況条件ごとの設定増加風量Δｑ３として設備の始業に先立ち予め記憶部３４に記憶させておく。
【００７６】
これに対し、制御器３３は設備の運転において次ぎの（ａ）〜（ｄ）の制御を実行するものにしてある（図４参照）。
【００７７】
（ａ）室間扉４が閉じられた状態にあるときには閉扉モード運転を実施する。
【００７８】
この閉扉モード運転（図１参照）では、バイパスダンパ３３を閉じて循環用バイパス路３２を閉じるとともに、第３給気口２７に対する風量調整ダンパ２８を閉じる。
【００７９】
また、導入路１２を通じ導入して除湿機５の処理域７ｃに通過させる原空気ＭＡ（即ち、一定風量の予除湿後外気ＯＡ′と補助室２からの還気空気ＲＡとの混合空気）の風量を、処理ファン１１の回転数調整により、低露点室１に対する設定第１給気風量ｑ１と補助室２に対する設定第２給気風量ｑ２との和に等しい基本導入風量ｑｉ（＝ｑ１＋ｑ２）に調整する。
【００８０】
そして、この風量調整に伴い、再生用空気ＨＡの温度調整などにより除湿機５の除湿能力を調整することで、除湿機５の処理域７ｃから送出される除湿後の低露点空気ＳＡの露点温度を設定給気露点温度ｔｓに調整する。
【００８１】
即ち、この閉扉モード運転では、第３給気口２７からの開口前箇所２６に対する低露点空気ＳＡの供給風量である第３給気風量ｑ３はゼロ風量（開口前箇所２６に対する本例での基本給気風量）にした状態で、設定給気露点温度ｔｓで設定第１給気風量ｑ１の低露点空気ＳＡを第１給気口２２から低露点室１に供給するとともに、設定給気露点温度ｔｓで設定第２給気風量ｑ２の低露点空気ＳＡを第２給気口２４から補助室２に供給する。
【００８２】
また、この閉扉モード運転では、操作盤３４における開扉許諾信表示灯３４ｘは消灯させた状態で開扉禁止表示灯３４ｙを点灯させる。
【００８３】
（ｂ）この閉扉モード運転において、作業者による開扉要求スイッチ３４ａの操作及び状況情報入力器３４ｃへの入力操作により操作盤３４から送信される開扉要求信号ｓａ及び状況情報信号ｓｉを受信すると、閉扉モード運転から過渡モード運転に移行する。
【００８４】
この過渡モード運転（図２参照）では、先の閉扉モード運転に続き第３給気口２７に対する風量調整ダンパ２８を閉じた状態で、バイパスダンパ３３を開いて循環用バイパス路３２を開く。
【００８５】
また、記憶部３６に記憶させてある複数の設定増加風量Δｑ３のうち、受信した状況情報信号ｓｉの内容に適合する設定増加風量Δｑ３を記憶部３６から読み出し、導入路１２を通じ導入して除湿機５の処理域７ｃに通過させる処理空気の風量を、処理ファン１１の回転数調整により、記憶部３６から読み出した設定増加風量Δｑ３だけ先の閉扉モード運転での基本導入風量ｑｉ（＝ｑ１＋ｑ２）よりも増加させる。
【００８６】
即ち、この循環用バイパス路３２を開いた状態での風量増加により、除湿機５の処理域７ｃから送出される低露点空気ＳＡのうち、基本導入風量ｑｉ（＝ｑ１＋ｑ２）に等しい風量の低露点空気ＳＡは、閉扉モード運転と同様、給気路２１を通じ第１及び第２給気口２２，２４に送って低露点室１及び補助室２に供給するのに対し、除湿機５の処理域７ｃから送出される低露点空気ＳＡのうち、増加分である設定増加風量Δｑ３に等しい風量の低露点空気ΔＳＡは、循環用バイパス路３２を通じ除湿機５の処理域７ｃに循環させ、これにより、この設定増加風量Δｑ３と等しい風量の循環低露点空気ΔＳＡと基本導入風量ｑｉの原空気ＭＡ（ＯＡ′＋ＲＡ）との混合空気を処理域７ｃに通過させる形態にして、原空気ＭＡ（ＯＡ′＋ＲＡ）の導入風量は先の閉扉モード運転と同じ基本導入風量ｑｉ（＝ｑ１＋ｑ２）に保ったままの状態で、除湿機５の処理風量を増加させる。
【００８７】
そして、過渡モード運転では、この風量調整に伴い、閉扉モード運転と同様、再生用空気ＨＡの温度調整などにより除湿機５の除湿能力を調整することで、除湿機５の処理域７ｃから送出される除湿後の低露点空気ＳＡの露点温度を設定給気露点温度ｔｓに調整する。
【００８８】
なお、この過渡モード運転においても、先の閉扉モード運転に続き操作盤３４における開扉許諾表示灯３４ｘは消灯させた状態で開扉禁止表示灯３４ｙの点灯を維持する。
【００８９】
（ｃ）この過渡モード運転において、除湿機５の処理域７ａから送出される低露点空気ＳＡの露点温度が設定給気露点温度ｔｓに安定した状態になると、過渡モード運転から開扉モード運転に移行する。
【００９０】
この開扉モード運転（図３参照）では、先の過渡モード運転に続いて処理ファン１１の回転数調整により、導入路１２を通じ導入して除湿機５の処理域７ｃに通過させる処理空気の風量を閉扉モード運転での基本導入風量ｑｉ（＝ｑ１＋ｑ２）よりも記憶部３６から読み出した設定増加風量Δｑ３だけ増加させた状態で、バイパスダンパ３３を閉じて循環用バイパス路３２を閉じる。
【００９１】
また、第３給気口２７に対する風量調整ダンパ２８を開くとともに、その風量調整ダンパ２８の開度調整により、第３給気口２７から開口前箇所２６に供給する低露点空気ＳＡの風量である第３給気風量ｑ３を，記憶部３６から読み出した設定増加風量Δｑ３だけ基本給気風量であるゼロ風量から増加させる。
る。
【００９２】
即ち、これらの操作により開扉モード運転では、循環用バイパス路３２を通じた低露点空気ΔＳＡの循環により処理室７ｃに通過させる処理空気の風量を設定増加風量Δｑ３だけ増加させるのに代え、還気路１４を通じて補助室２から戻す還気空気ＲＡの風量の増加により導入路１２を通じ導入する原空気ＭＡ（ＯＡ′＋ＲＡ）そのものの風量を閉扉モード運転での基本導入風量ｑｉ（＝ｑ１＋ｑ２）よりも設定増加風量Δｑ３だけ増大させて、処理域７ｃに通過させる処理空気の風量を増加させる。
【００９３】
また、この風量調整に伴い、閉扉モード運転及び過渡モード運転と同様、再生用空気ＨＡの温度調整などにより除湿機５の除湿能力を調整することで、除湿機５の処理域７ｃから送出される除湿後の低露点空気ＳＡの露点温度を設定給気露点温度ｔｓに調整する。
【００９４】
そして、この能力調整に対して、除湿機５の処理域７ｃから送出される除湿後の低露点空気ＳＡの露点温度が設定給気露点温度ｔｓに安定すると、操作盤３４における開扉禁止表示灯３４ｙを消灯するとともに開扉許諾表示灯３４ｘを点灯して、室間扉４の開き操作が可能であることを報知する。
【００９５】
なお、この開扉許諾表示灯３４ｘは、開扉モード運転への移行後、除湿機５の処理域７ｃから送出される除湿後の低露点空気ＳＡの露点温度が設定給気露点温度ｔｓに安定し、かつ、開口前箇所２６における計測露点温度が低露点室１の第１目標露点温度ｔ１以下になったときに点灯させるようにしてもよい。
【００９６】
（ｄ）開扉許諾表示灯３４ｘの点灯を待って作業者が室間扉４を開き操作した後、室間扉４が開かれた状態にある間は、開扉モード運転を継続する。
【００９７】
その後、作業者による室間扉４の閉じ操作が完了して、作業者による閉扉完了スイッチ３４ｂの操作により操作盤３４から送信される閉扉完了信号ｓｂを受信すると、開扉運転モードから閉扉運転モードへ直接的に復帰して、開口前箇所２６に対する第３給気口２７からの低露点空気ＳＡの供給風量である第３給気風量ｑ３は、増加前の基本給気風量であるゼロ風量にした状態で、設定第１給気風量ｑ１の低露点空気ＳＡを第１給気口２２から低露点室１に供給するとともに、設定第２給気風量ｑ２の低露点空気ＳＡを第２給気口２４から補助室２に供給する状態に戻る。
【００９８】
またこのとき、操作盤３４における開扉許諾表示灯３４ｘを消灯するとともに開扉禁止表示灯３４ｙを点灯する。
【００９９】
つまり、上述の如く過渡モード運転を経由して閉扉モード運転から開扉モード運転へ移行することで、閉扉モード運転から開扉モード運転へ直接的に移行するのに比べ、その運転移行の際の除湿機５の能力的な立ち上がり遅れに原因する低露点室１の室内低露点環境の悪化を一層効果的かつ確実に防止する。
【０１００】
〔別実施形態〕
次に本発明の別の実施形態を列記する。
【０１０１】
前述の実施形態では、室間扉４が開かれた状態にあるとき、第１及び第２給気口２２，２４の夫々からの低露点空気ＳＡの供給風量ｑ１，ｑ２を室間扉４が閉じられた状態にあるときの供給風量と同じ風量に保った状態で、第３給気口２７からの低露点空気ＳＡの供給風量ｑ３のみを室間扉４が閉じられた状態にあるときの供給風量より増加させるようにしたが、これに代え、第２給気口２４からの低露点空気ＳＡの供給風量ｑ２を室間扉４が閉じられた状態にあるときの供給風量と同じ風量に保った状態で、第１及び第３給気口２２，２７の夫々からの低露点空気ＳＡの供給風量を室間扉４が閉じられた状態にあるときの供給風量より増加させるようにしてもよい。
【０１０２】
また、第２及び第３給気口２４，２７の夫々からの低露点空気ＳＡの供給風量ｑ２，ｑ３を室間扉４が閉じられた状態にあるときの供給風量と同じ風量に保った状態で、第１給気口２２からの低露点空気ＳＡの供給風量のみを室間扉４が閉じられた状態にあるときの供給風量より増加させるようにしてもよい。
【０１０３】
前述の実施形態では、室間扉４が開かれた状態にあるとき給気風量を増加させる給気口（第３給気口２７）の室間扉４が閉じられた状態にあるときにおける基本給気風量をゼロ風量とする例を示したが、これに代え、室間扉４が開かれた状態にあるとき給気風量を増加させる給気口の室間扉４が閉じられた状態にあるときにおける基本給気風量をゼロ風量以外の風量にしてもよい。
【０１０４】
前述の実施形態では、過渡モード運転から開扉モード運転に移行した後、除湿機５から送出される低露点空気ＳＡの露点温度が設定給気露点温度ｔｓに安定化した上で、開扉許諾表示灯３４ｘの点灯により室間扉４の開き操作が可能であることを報知するようにしたが、この報知は、表示灯３４ｘの点灯による報知に限らず、音声出力やブザー音あるいは文字表示や記号表示による報知にしてもよい。
【０１０５】
また、これらの報知に代え、過渡モード運転から開扉モード運転に移行した後、除湿機５から送出される低露点空気ＳＡの露点温度が設定給気露点温度ｔｓに安定したとき、室間扉４を自動的に開き操作する構成にしてもよい。
【０１０６】
前述の実施形態は、作業者による閉扉完了スイッチ３４ｂの操作により閉扉完了信号ｓｂを制御器３５に送信するようにしたが、これに代え、手動ないし自動による室間扉４の閉じ操作で、その閉じ操作の完了が検出されたとき閉扉完了信号ｓｂを自動的に送信するようにしてもよい。
【０１０７】
第１ないし第３給気口２２、２４、２７は各々、単数の給気口で構成してもよく、また、複数の給気口で構成してもよい。
【０１０８】
室間開口部３は、物品搬出入用の開口、低露点室１に対するメンテナンス用の開口、あるいは、それらを兼ねる開口など、室間扉４の開閉を要する開口であれば、どのような用途の開口であってもよい。
【０１０９】
低露点室１は、生産用室や保管用室あるいは試験用室など、室内を低露点環境に保持する必要がある室空間であれば、どのような用途の室空間であってもよい。
【０１１０】
前述の実施形態では、室間開口部３の配設域に対して第３給気口２７から低露点空気ＳＡを供給するのに、補助室２の側における室間開口部３の対向箇所２６に対して第３給気口２７から低露点空気ＳＡを供給する例を示したが、低露点室１の側における室間開口部３の対向箇所や室間開口部３の開口内などに対して第３給気口２７から低露点空気ＳＡを供給するようにしてもよい。
【０１１１】
本発明は、第２給気口２７を備えず、第１又は第３給気口２２、２７のみを備える低露点空調設備にも適用することができ、また、本発明の実施において除湿機５は吸着ロータ式の除湿機に限らず、種々の除湿方式のものを採用することができる。
【産業上の利用可能性】
【０１１２】
本発明による低露点空調設備の運転方法、及び、低露点空調設備は、各種分野において種々の用途の低露点環境を形成するのに適用することができる。
【符号の説明】
【０１１３】
１              低露点室
２              補助室
３              室間開口部
４              室間扉
１２            導入路
ＭＡ            原空気
ＳＡ            低露点空気
５              除湿機
２６            室間開口部の配設域
２１            給気路
ｔｓ            設定給気露点温度
３２            循環用バイパス路
ｑｉ            基本導入風量
Δｑ３          設定増加風量
ΔＳＡ          循環低露点空気
２２            第１給気口
２４            第２給気口
２７            第３給気口
ｑ１            第１給気口からの低露点空気の供給風量
ｑ２            第２給気口からの低露点空気の供給風量
ｑ３            第２給気口からの低露点空気の供給風量
３５            制御手段
ｓａ            開扉要求信号
３６            記憶手段
ｓｓ            状況情報
ｓｂ            閉扉完了信号
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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