(57)【要約】【課題】半導体ウエハ等の基板に保護テープなどのテープを残存応力なく貼り付けることで基板の反りやエッジの欠けを防止する。【解決手段】基板Ｗ上にテープＴを貼り付けるテープ貼り付け装置１である。テープ貼り付け装置１は、保持テーブル９と、テープ供給手段１５と、貼り付けユニット４０と、前記テープ供給手段１５と貼り付けユニット４０との間に設けられた保持ローラ４３とを備える。貼り付けユニット４０は、貼り付けローラ４７と、テープＴを傾斜状態で保持する送り出しローラ４４と、セパレータＳを剥離する剥離手段５１と、前記貼り付けローラ４７、送り出しローラ４４及び剥離手段５１を一体に保持すると共に基板Ｗの貼り付け面と平行に移動自在な移動枠４１とを有し、さらに保持ローラ４３を送り出しローラ４４と平行に設け、テープＴを送り出しローラ４４と保持ローラ４３との間で平行に保持するように構成される。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に繰り出されたテープを該基板に貼り付けローラで押圧して貼り付ける基板へのテープ貼り付け装置において、
前記基板を保持する保持テーブルと、
前記テープを基板上に繰り出すテープ供給手段と、
前記テープを基板に貼り付けする貼り付けユニットと、
前記テープ供給手段と前記貼り付けユニットとの間に設けられた保持ローラとを備え、
前記貼り付けユニットは、
前記基板上を押圧転動する貼り付けローラと、
前記貼り付けローラの後方上位に設けられ該テープを前記貼り付けローラとの間で傾斜状態に保持する一対の送り出しローラと、
前記テープに仮着されたセパレータをその途中で折り返して剥離する剥離手段と、
前記貼り付けローラ、前記送り出しローラ及び前記剥離手段を一体に保持すると共に前記基板の貼り付け面と平行に移動自在な移動枠とを有し、
前記保持ローラを前記送り出しローラと平行に設け、前記テープ供給手段で供給されたテープを前記送り出しローラとの間で平行に保持するように構成し、前記貼り付けユニットの移動により、前記送り出しローラと保持ローラとの間に保持されたテープのストローク分を使用して基板にテープを貼り付けるようにしたことを特徴とする基板へのテープ貼り付け装置。
【請求項２】
前記一対の送り出しローラを互いに離間させて自由状態にすると共に前記貼り付けローラの後方側に上下動自在の補助ローラを設け、該補助ローラの上下動により前記テープの貼り付け角度を調整自在にしたことを特徴とする請求項１に記載の基板へのテープ貼り付け装置。
【請求項３】
前記テープを前記送り出しローラで予め送り出して該テープが前記基板に貼り付かない程度に弛ませ、前記貼り付けローラの移動と前記送り出しローラの送り出し量を同期させて前記テープの弛み量を一定にしながら貼り付けるようにしたことを特徴とする請求項１に記載の基板へのテープ貼り付け装置。
【請求項４】
前記テープ供給手段でテープを繰り出す際に前記セパレータを自由状態で送り出すようにしたことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の基板へのテープ貼り付け装置。
【請求項５】
基板上に繰り出されたテープを貼り付けローラで押圧して該基板に貼り付けるテープ貼り付け方法において、
テープ供給手段で予め貼り付けに使用される量のテープを繰り出して送り出しローラと保持ローラとの間に保持し、
前記基板に貼り付けローラでテープを押圧転動しながら貼り付けていくと共に貼り付けユニットの移動枠を前記基板の貼り付け面と平行に移動させることで前記送り出しローラと保持ローラとの間に保持されたテープのストローク分を使用して基板にテープを貼り付けるようにしたことを特徴とする基板へのテープ貼り付け方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハ等の基板に保護テープ等のテープを貼り付ける基板へのテープの貼り付け装置及び方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、半導体ウエハ（以下、単にウエハという）は、携帯機器等への使用の要請もあり、小型化が進められている。そして、このウエハの小型化にあたり、表面に回路面が形成されたウエハの回路面に保護テープを貼り付けた後、ウエハの裏面を研削して薄厚化することが行なわれている。最近では、携帯機器の発展から、ウエハの薄厚化が進行し、５０μｍ以下の厚さまで裏面研削が行われている。さらには、生産効率の向上として、ウエハの大径化も行われ、３００ｍｍ径以上のウエハも多く取り扱われるようになってきている。
【０００３】
上記のように研削されたウエハは、裏面にダイボンドテープが貼り付けられ、ダイシングによりチップ化された後、そのチップは前記ダイボンドテープを介してダイにマウントされ、樹脂等でモールドされて半導体素子が形成される。
【０００４】
上記の保護テープ貼り付けにおいては、保護テープに残存応力が残らないよう低い張力でウエハに貼り付けないと、ウエハの裏面を研削して薄厚化した際に残存応力によりウエハが反り、ウエハが破損することがあった。また、ウエハの反りにより、吸着して搬送する際に吸着ミス等による搬送ミスが発生する問題もあった。さらには、保護テープの残存応力によりウエハを裏面研削した際にウエハの外周端が欠ける問題があった。
【０００５】
また、保護テープの場合と同様に、ダイボンドテープにも残存応力が残らないようにウエハに貼り付けないと、貼り付け後にウエハが反ってしまう問題があった。
【０００６】
そこで、これらを解決するために低張力でウエハに各種のテープを貼り付ける技術が開示されている。
【０００７】
そこで、テープの残存応力を緩和するために、保護フィルム（保護テープに相当）をウエハの表面に貼り付ける際に、保護フィルムの送り方向とは逆向きの引っ張り力を与え、引っ張り力の大きさを調整可能とすることが開示されている（例えば、特許文献１）。
【０００８】
また、シート（保護テープまたはダイボンドテープに相当）の張力を一定に保ちながら板状部材（基板に相当）にシートを貼り付けることが行なわれている。この板状部材へのシートの貼り付けは、繰出しヘッドを備えた繰出しユニットと押圧ローラとの間にシートの張力を測定する張力測定手段を設けておき、張力測定手段による測定結果によって、前記繰出しヘッドを移動させて、貼り付け時の張力を一定に保つものである（例えば、特許文献２）。
【０００９】
また、粘着テープ（保護テープに相当）のウエハへの貼り付け時に貼り付けローラの転動移動に伴って、粘着テープのウエハに向けての強制送り込み量を変更制御し、貼り付け時の粘着テープの張力を設定範囲内に維持することも知られている（例えば、特許文献３）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特許第３７５９８２０号公報
【特許文献２】特許第４４４１４５０号公報
【特許文献３】特許第４３６０６８４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
ところで、上記特許文献１の方法は、保護フィルムに逆向きの張力を付与するためにウエハに保護フィルムが貼り付かない程度の力を付与しており、この力の付与にはローラを保護フィルムの送り出し方向と逆向きに回転させて保護フィルムへの摩擦力により調整している。しかしながら、ウエハに保護フィルムが貼り付かない程度の力を付与するには保護フィルムの重量等もあるため、ある程度大きな摩擦力を付与する必要がある。即ち、引っ張りが弱いとウエハ上に保護フィルムが垂れて、ウエハと先付きしてしまい、しわや気泡発生の原因となる。そこで、引っ張り力を強くした場合、保護フィルムに残存応力が残るため、引っ張りの強弱を制御する機構が非常に複雑化するという問題がある。特にテープの種類が変わると顕著にこの問題が発生する。
【００１２】
また、特許文献２の方法は、張力を測定しながら、繰出しヘッドの移動を制御することで張力を一定に保とうとするものであるが、繰出しヘッドの移動が斜め方向であるため、貼り付けローラの移動と繰り出しヘッドの移動との制御が非常に複雑になる問題がある。即ち、貼り付けローラの移動が水平方向であることに対し、繰出しヘッドの移動が斜めであるため、接着シートの繰り出し量を一定に保つために複雑な制御が必要になる。また、この貼り付けローラの移動と繰り出しヘッドの移動の同期がずれた場合、貼り付け角度がずれたり、接着シートに無理な力が働いて接着シートに残存応力が発生したりすることがあった。
【００１３】
また、特許文献３の方法は、貼り付けローラの転動移動に伴って、粘着テープのウエハへの強制送り込み量を変更制御しているが、貼り付けローラの移動に伴って粘着テープの繰り出し量を断続的に変化させなければならず、制御が複雑化する問題がある。また、この強制送り込み量の変更制御は、リニアに行われることが理想であるが、リニアに制御するためには分解能の良いモータや制御手段を設ける必要があり、コストが高く付く問題があった。
【００１４】
そこで、本発明は、制御を簡素化し、貼り付け時にテープに残存応力を発生させず、さらには、一定の角度を維持してテープをウエハ等の基板に貼り付けることが可能な基板へのテープ貼り付け装置及び方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
請求項１の発明は、  基板上に繰り出されたテープを該基板に貼り付けローラで押圧して貼り付ける基板へのテープ貼り付け装置において、
前記基板を保持する保持テーブルと、
前記テープを基板上に繰り出すテープ供給手段と、
前記テープを基板に貼り付けする貼り付けユニットと、
前記テープ供給手段と前記貼り付けユニットとの間に設けられた保持ローラとを備え、
前記貼り付けユニットは、
前記基板上を押圧転動する貼り付けローラと、
前記貼り付けローラの後方上位に設けられ該テープを前記貼り付けローラとの間で傾斜状態に保持する一対の送り出しローラと、
前記テープに仮着されたセパレータをその途中で折り返して剥離する剥離手段と、
前記貼り付けローラ、前記送り出しローラ及び前記剥離手段を一体に保持すると共に前記基板の貼り付け面と平行に移動自在な移動枠とを有し、
前記保持ローラを前記送り出しローラと平行に設け、前記テープ供給手段で供給されたテープを前記送り出しローラとの間で平行に保持するように構成し、前記貼り付けユニットの移動により、前記送り出しローラと保持ローラとの間に保持されたテープのストローク分を使用して基板にテープを貼り付けるようにした基板へのテープ貼り付け装置である。
【００１６】
請求項２の発明は、前記一対の送り出しローラを互いに離間させて自由状態にすると共に前記貼り付けローラの後方側に上下動自在の補助ローラを設け、該補助ローラの上下動により前記テープの貼り付け角度を調整自在にした請求項１に記載の基板へのテープ貼り付け装置である。
【００１７】
請求項３の発明は、前記テープを前記送り出しローラで予め送り出して該テープが前記基板に貼り付かない程度に弛ませ、前記貼り付けローラの移動と前記送り出しローラの送り出し量を同期させて前記テープの弛み量を一定にしながら貼り付けるようにした請求項１に記載の基板へのテープ貼り付け装置である。
【００１８】
請求項４の発明は、前記テープ供給手段でテープを繰り出す際に前記セパレータを自由状態で送り出すようにした請求項１乃至３のいずれかに記載の基板へのテープ貼り付け装置である。
【００１９】
請求項５の発明は、基板上に繰り出されたテープを貼り付けローラで押圧して該基板に貼り付けるテープ貼り付け方法において、
テープ供給手段で予め貼り付けに使用される量のテープを繰り出して送り出しローラと保持ローラとの間に保持し、
前記基板に貼り付けローラでテープを押圧転動しながら貼り付けていくと共に貼り付けユニットの移動枠を前記基板の貼り付け面と平行に移動させることで前記送り出しローラと保持ローラとの間に保持されたテープのストローク分を使用して基板にテープを貼り付けるようにした基板へのテープ貼り付け方法である。
【発明の効果】
【００２０】
請求項１及び５の発明によれば、送り出しローラと保持ローラとの間に保持されたテープ量と貼り付けローラの押圧転動によるテープ貼り付け量が同等となるように構成されているので、予め繰り出して一定の張力に保持されたテープを使用しながら貼り付けることになり、簡素な制御で基板に一定の張力でテープを貼り付けることができる。従って、貼り付け途中にテープ張力を測定しなくても、一定の張力でテープを貼り付けることが可能である。また、貼り付けローラの転動移動に伴ってテープの強制送り込み量の変更制御をする必要が無く、絶えず貼り付けローラを移動させるだけでテープの張力を一定に保って貼り付けすることができる。
【００２１】
請求項２の発明によれば、補助ローラでテープの貼り付け角度を容易に変更でき、また、設定した貼り付け角度を一定に保った状態で、しかも一定の張力で基板にテープを貼り付けることができる。従って、テープの種類や基板の表面状態等が変わってもそれに準じた適正な貼り付けを行うことができる。
【００２２】
請求項３の発明によれば、予め基板に貼り付かない程度にテープを弛ませた状態を維持しながら基板にテープを貼り付けることが可能であり、残存応力を限りなく低減した状態で基板にテープを貼り付けることができる。即ち、貼り付け時に絶えず逆向きの張力をテープに与え続けなくとも、初期に設定したテープの弛み状態を維持して基板にテープを貼り付けることができる。従って、基板が反ることがなく、基板が破損したり、吸着ミスで搬送できなくなったりすることを防止できる。
【００２３】
請求項４の発明によれば、テープ繰り出し時に離型シートを自由状態で送り出すようにしているので、離型シート剥離時にテープに伝わる引っ張り力を最小限にできる。即ち、テープに残存応力が発生することを低減できる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】は、本発明の一実施形態に係る基板へのテープ貼り付け装置の全体平面図である。
【図２】は、図１のＡ−Ａ方向断面矢視図である。
【図３】は、図２のＢ−Ｂ方向断面矢視図である。
【図４】は、図２のＣ−Ｃ方向断面矢視図である。
【図５】（ａ）及び（ｂ）は、本発明の基板へのテープ貼り付け装置の動作を表す説明図である。
【図６】（ｃ）及び（ｄ）は、本発明の基板へのテープ貼り付け装置の動作を表す説明図である。
【図７】（ａ）及び（ｂ）は、本発明の基板へのテープ貼り付け装置の動作を表す説明図である。
【図８】（ｃ）及び（ｄ）は、本発明の基板へのテープ貼り付け装置の動作を表す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、本発明の一実施形態に係る基板へのテープ貼り付け装置を図１乃至図４に基づいて説明する。
【００２６】
図１乃至図３のように、テープ貼り付け装置１は矩形状に枠組みされた機枠２上に水平に設けられた機台３上に基板Ｗを積層して収納する基板収納部６と、前記基板Ｗを搬送する搬送ロボット７と、テープ貼り付け部２４とを備えて構成されている。
【００２７】
前記機台３の中央には支持枠４がテープ貼り付け装置１の幅方向に沿って立設され、この支持枠４と間隔を開けて支持板５が立設されている。前記支持枠４と支持板５の間には、テープ貼り付け部２４が形成されている。
【００２８】
前記テープ貼り付け部２４は、位置決めされた基板Ｗを載置して保持する保持テーブル９と、前記基板Ｗのノッチ７６から位置決めするアライメントテーブル１０と、位置決めされた基板Ｗをアライメントテーブル１１から前記保持テーブル９へと搬送する吸着ハンド１１と、前記基板Ｗ上に貼り付けするテープＴを供給するテープ供給リール１５と、前記基板Ｗ上にテープＴを引き出すテープチャックユニット２５と、前記基板ＷにテープＴを貼り付ける貼り付けユニット４０と、テープＴから剥離されたセパレータＳを巻き取るセパレータ回収リール２１と、前記基板Ｗに貼り付けられたテープＴを基板Ｗの形状に繰り抜くカッターユニット３０と、前記基板Ｗに貼り付けられた後の余剰部分のテープＴを巻き取るテープ回収リール１６とを備えて構成されている。
【００２９】
前記基板収納部６は、機台２奥側に設けられ、図示しない適宜の機構で昇降自在の昇降台上に複数枚の基板Ｗを多段状に収納するカセットが載置されて構成されている。前記基板収納部６の近傍には多関節のアームを備えた搬送ロボット７が設けられ、前記アームの先端部には基板Ｗを吸着保持する吸着ハンド８が設けられている。前記搬送ロボット７は吸着ハンド８により基板収納部６から基板Ｗを１枚ずつ取出し、その基板Ｗを前記アライメントテーブル１０へと搬送するようになっている。
【００３０】
前記アライメントテーブル１０は、円形に形成され、その上面で基板Ｗを吸着保持するようになっている。また、前記アライメントテーブル１０は、図示しない適宜の駆動源で昇降動と回転が自在になっており、載置された基板Ｗを回転させて、この基板Ｗの外周に形成されたノッチやオリフラを光学的なセンサ３３で検出することで位置決めするようになっている。
【００３１】
前記アライメントテーブル１０の図示左側には基板Ｗを保持する保持テーブル９が設けられている。前記保持テーブル９は、機枠２の基底部に立設された適宜の駆動源により、昇降自在になっている。また、前記保持テーブル９は、矩形状のテーブル枠の内側に円形のポーラス体９ａが設けられ、図示しない吸引源によりそのポーラス体９ａの上面で基板Ｗを吸着保持するようになっている。また、前記ポーラス体９ａの中央付近には、そのポーラス体９ａの表面からの突没が自在でその頂部に吸着部を備える図示しない突き上げピンが複数本設けられ、基板Ｗを前記吸着ハンド８で受け渡しする際や、後述する吸着ハンド１１から基板Ｗを受け取る際に前記ポーラス体９ａから突出し、基板Ｗを保持テーブル９の吸着面から浮上させるようになっている。
【００３２】
また、図３及び図４のようにアライメントテーブル１０上には、吸着ハンド１１が設けられている。前記吸着ハンド１１は、機台３の奥側に向かって延設された支持部上に設けられたスライドガイド１３が支持枠４の背面に沿って敷設されたレール１２に摺動自在に嵌合しており、前記支持部上に設けられたナット部材７２が前記レール１２に沿って設けられたボールネジ１４に螺合している。また、前記ボールネジ１４はその一端にモータ７７が接続されており、そのモータ７７を駆動することで前記ボールネジ１４が回転駆動され、前記吸着ハンド１１がレール１２に沿ってアライメントテーブル１０と保持テーブル９との間を自在に移動するようになっている。前記吸着ハンド１１は、位置決めの終了した基板Ｗをアライメントテーブル１０から受け取って保持テーブル９上へ搬送する。
【００３３】
次にテープ貼り付け部２４のテープＴの供給経路について説明する。前記テープＴは、その粘着面にセパレータＳが仮着されており、前記支持枠４にその一端が軸支されたリール軸に脱着自在に固定されたテープ供給リール（テープ供給手段）１５に巻き付けられている。前記テープ供給リール１５から繰り出されたテープＴは、ガイドローラ５８を経由し、テンションローラ１８に巻き掛けられた後、支持枠４、５の上方に軸支された保持ローラ４３に懸架される。前記保持ローラ４３に懸架されたテープＴは、後述する貼り付けユニット４０の送り出しローラ４４、ガイドローラ４６、貼り付けローラ４７を経由してテープチャックユニット２５のテープチャック２８、ガイドローラ２９に導かれる。前記テープチャックユニット２５を経由したテープＴは、複数のガイドローラ１９に懸架された後、テンションローラ２０に巻き掛けられ、ピンチローラ３４を経由してテープ回収リール１６に巻き取られるようになっている。
【００３４】
また、前記テープ供給リール１５から繰り出され貼り付けユニット４０に供給されたテープＴは途中で剥離手段としての剥離板５１によって急激に折り返されて、セパレータＳが剥離され、この剥離されたセパレータＳはピンチローラ５２、テンションローラ２２を経由してセパレータ回収リール２１に巻き取られるようになっている。また、前記ピンチローラ５２は、モータ７４が設けられており、巻き取り方向、送り出し方向の両方向に駆動することが可能になっている。
【００３５】
前記テンションローラ１８は、テープ供給リール１５の近傍に設けられ、該テープ供給リール１５から供給されるテープＴを折り返すように保持するようになっている。また、前記テンションローラ１８は、その両端がテンションアーム１７の先端に軸支されている。前記テンションアーム１７の他端側は、回転軸に軸支され、該回転軸は支持枠４を介してリンク板６５と接続されると共に該リンク板６５がシリンダ６４に接続されている。また、前記テンションアーム１７は、テープＴに適宜な張力を付与するようになっており、前記テープチャックユニット２５でテープＴが引き出される際に制御機構でテープＴに負荷がかかり過ぎないように制御される。前記テンションローラ１８で適宜な張力が付与されたテープＴは、保持ローラ４３へと供給される。
【００３６】
前記テンションローラ２０は、テープ回収リール１６の近傍に設けられ、適宜の駆動源で上下動することで該テンションローラ２０に巻き掛けられたテープＴに適宜の張力を付与するようになっている。前記テンションローラ２０を経由したテープＴはピンチローラ３４を経由し、テープ回収リール１６に巻き取られる。
【００３７】
前記ピンチローラ３４は、一対のローラで形成され、その一方にシリンダ２３が接続されることで開閉自在になっている。通常テープＴを送り出す際は、テープＴを挟持し、図示しない適宜のモータにより回転するようになっている。
【００３８】
前記テープ回収リール（テープ回収手段）１６は、図示しないモータが接続され、前記ピンチローラ３４で送り出される不要部分のテープＴを巻き取るようになっている。
【００３９】
前記テンションローラ２２は、図示しない適宜の駆動源で上下動するようになっている。また、前記テンションローラ２２は、テープＴから剥離されたセパレータＳを巻き取るセパレータ回収リール２１の近傍に設けられ、前記セパレータの巻き取りまたは、送り出しの際にセパレータＳに適宜の張力を付与するようになっている。
【００４０】
前記セパレータ回収リール１５は、図示しない適宜のモータが接続され、セパレータＳを巻き取って回収するようになっている。
【００４１】
前記貼り付けユニット４０は、テープ供給方向に沿って両側に間隔を開けて設けられた移動枠４１、４１間に形成されている。前記貼り付けユニット４０は、移動枠４１、４１間に保持された貼り付けローラ４７と、補助ローラ４９と、送り出しローラ４４と、セパレータＳを剥離する剥離板５１と、ピンチローラ５２と、テープＴの経路を維持するガイドローラ４６と、前記移動枠４１、４１の後方で支持枠４に軸支された保持ローラ４３とを備えて構成されている。
【００４２】
前記移動枠４１、４１は、その下端に水平に形成された水平部と、前記水平部の後方に形成され、水平部から右上がり傾斜した傾斜部と、前記傾斜部から垂直上方に向けて形成された立設部とから形成されている。また、前記両移動枠４１、４１の立設部はその幅方向に上部枠４２が設けられ、両移動枠４１、４１を支持している。
【００４３】
前記移動枠４１、４１の水平部の前端には、貼り付けローラ４７が支持枠３８を介して軸支され、前記貼り付けローラ４７は、該支持枠３８に設けられたシリンダ４８によりガイド６８に沿って上下動するようになっている。また、貼り付けローラ４７は、下降時に保持テーブル９上を押圧転動し、保持テーブル９上に保持された基板ＷにテープＴを貼り付けするようになっている。
【００４４】
また、前記移動枠４１、４１の貼り付けローラ４７の後方には、補助ローラ４９が支持枠３９を介して軸支され、前記補助ローラ４９は、該支持枠３９に設けられたシリンダ５０によりガイド６９に沿って上下動するようになっている。なお、前記補助ローラ４９は、貼り付けローラ４７よりも上位に位置し、前記補助ローラ４９が下降した際に補助ローラ４９と貼り付けローラ４７との間で適宜の角度となるようにテープＴを保持するようになっている。詳細は後述するが、この補助ローラ４９は、下降時にはテープＴの貼り付け角度を所定の角度に維持し、上昇時には、テープＴから離間して、該テープを自由状態にするようになっている。
【００４５】
また、前記移動枠４１の立設部には一対のローラからなる送り出しローラ４４が軸支されており、この送り出しローラ４４の上側ローラは、支持枠３７に軸支されている。前記上側ローラは、その支持枠３７が上部枠４２に設けられたシリンダ４５に接続されており、ガイド６０に沿って上下動するようになっている。また、上側ローラは、モータ６６が接続され、駆動回転するようになっている。従って、前記送り出しローラ４４は、前記上側ローラの下降により、テープＴを挟持し、貼り付けローラ４７の貼り付けに伴う移動量に応じてテープＴを送り出すようになっている。なお、この送り出しローラ４４は、上側ローラが下側ローラから離間した状態では、自由状態で、テープＴが送り出される。
【００４６】
前記移動枠４１の傾斜部には、テープＴからセパレータＳを剥離する剥離板５１が設けられている。前記剥離板５１は、その上端が支持板３６に支持され、この支持板３６は、その両端が前記傾斜部に沿って敷設されたレール６３、６３に摺動可能に支持されている。また、前記支持板３６は、両移動枠４１、４１を介してその両側にシリンダ６２、６２が接続され、強制的な上下動が可能になっている。
【００４７】
また、剥離板５１の斜め上方には一対のローラからなるピンチローラ５２が設けられている。前記ピンチローラ５２の下側ローラは、シリンダ７３に接続され、セパレータＳの挟持と解放が自在になっている。また、前記ピンチローラ５２の上側ローラは、モータ７４が接続され、セパレータＳの強制的な巻き取りと、送り出し方向への送り出しが可能に  なっている。
【００４８】
前記ピンチローラ５２の上側ローラの軸の一端は、移動枠４１に軸支されると共に該移動枠４１を貫通し、支持枠４の開口４ｄを介してモータ７４に接続されている。前記モータ７４は、図４のようにモータ７４の固定枠に設けたスライドガイド７１が、支持枠４に水平に設けたレール７０に摺動自在に嵌合しており、前記移動枠４１の移動と共に移動するようになっている。また、前記ピンチローラ５２の前方にはガイドローラ４６が軸支され、供給するテープＴが浮き上がらないように該テープＴを案内するようになっている。
【００４９】
前記貼り付けユニット４０の後方には、テープ供給リール１５から供給されたテープＴを貼り付けユニット４０の送り出しローラ４４に水平状態で案内する保持ローラ４３が前記支持枠４に軸支されている。前記保持ローラ４３は、図２のように前記貼り付けユニット４０が前進位置（二点鎖線位置）に位置する際に前記送り出しローラ４４との間でテープＴを一定量水平方向に保持するようになっている。
【００５０】
前記テープチャックユニット２５は前記貼り付けユニット４０の前方に設けられ、レール７５に沿って図示しない適宜の駆動源により、保持テーブル９上にテープＴを引き出すようになっている。前記テープチャックユニット２５は、ローラとこのローラにテープＴを介して押し付けることにより該テープＴを挟持するテープチャック２８と、複数のガイドローラ２９とを備える。前記テープチャック２８はシリンダ２７により上下動するようになっており、テープＴの挟持と解放が自在になっている。また、前記テープチャック２８と対向するローラは、テープチャックユニット２５の後退に伴って、テープＴの余剰部分の下面側を保持テーブル９上に沿って転動することで、保持テーブル９から余剰部分のテープＴを剥離するようになっている。
【００５１】
前記保持テーブル９の上方には、基板Ｗに貼り付けられたテープＴを基板Ｗの外周に沿って繰り抜くカッターユニット３０が設けられている。前記カッターユニット３０は、図示しない適宜の駆動源により、上昇位置とテープＴを切断する切断位置とを上下動するようになっている。また、前記カッターユニット３０は、カッター３１と、そのカッター３１を回転駆動するモータ３２を備えている。
【００５２】
以上が、本発明のテープ貼り付け装置１の構成であり、次にこのテープ貼り付け装置１の動作について図５乃至図８に基づいて説明する。図５及び図６は、本発明の第１の実施形態に係るテープＴの貼り付け動作の説明図であり、図７及び図８は、本発明の第２の実施形態に係るテープＴの貼り付け動作の説明図である。
【００５３】
まず、図５及び図６に基づいて、本発明の第１の実施形態に係る基板ＷへのテープＴの貼り付け動作について以下説明する。この第１の実施形態に係る基板ＷへのテープＴの貼り付けにおいては、テープＴの張力を限りなくゼロに近づけた張力フリーの状態での貼り付け方法を採用する。
【００５４】
まず、貼り付け動作に先立って基板収納部６から吸着ハンド８で基板Ｗを１枚取り出し、アライメントテーブル１０上に搬送される。前記アライメントテーブル１０上に搬送された基板Ｗは、アライメントテーブル１０上に吸着保持された後、アライメントテーブル１０を回転させて、センサ３３で基板Ｗに形成されたノッチ７６を検出し、位置決めする。
【００５５】
位置決めされた基板Ｗは、吸着ハンド８によってアライメントテーブル１０から保持テーブル９へと搬送され、保持テーブル９に内蔵された図示しない突き上げピンが上昇して基板Ｗを吸着して受け取り、その後、前記突き上げピンが下降して基板Ｗが保持テーブル９上に吸着保持される。
【００５６】
次に図５（ａ）のように、テープチャック２８でテープＴを挟持し、テープチャックユニット２５を二点鎖線位置から実線位置へと移動させると共にテープ供給リール１５を駆動回転させてテープＴを基板Ｗ上に引き出す。なお、この時、予め送り出しローラ４４でテープＴを挟持しつつ、前記送り出しローラ４４を僅かに送り出し方向に回転させて、基板ＷにテープＴが貼り付かない程度に弛ませておく。なお、この時補助ローラ４９は、上昇位置に位置させて、テープＴから離間させた状態にしておく。
【００５７】
次に、テープチャックユニット２５の移動と同期させて送り出しローラ４４を送り出し方向に回転させると共にテープ供給リール１５を駆動回転させて、テープＴの送り出しを行う。このように送り出しローラ４４をテープチャックユニット２５の移動と同期させて回転させることでテープＴの弛んだ状態を維持しながらテープＴを基板Ｗ上に供給できる。この時、テープＴの粘着面に仮着されたセパレータＳは、テープＴと共に剥離板５１の下方にまで弛んだ状態で送り出される。
【００５８】
続いて、前記貼り付けユニット４０を二点鎖線位置から実線位置へと前進させると共に送り出しローラ４４のテープＴの送り出しと貼り付けユニット４０の移動とを同期させることでテープＴの弛んだ状態を維持させる。また、貼り付けユニット４０の移動と共に送り出しローラ４４と保持ローラ４３との間にテープＴが貼り付けに要するストローク分だけ前記保持テーブル９と平行に保持される。なお、前記貼り付けユニット４０は、テープチャック２８でテープＴを引き出すのと同時に二点鎖線位置から実線位置へと移動させるようにしても良い。
【００５９】
次に前記セパレータＳをピンチローラ５２とセパレータ回収リール２１の駆動により該セパレータ回収リール２１に巻き取って回収する。この時、剥離板５１もテープＴに追従して上昇する。なお、この時、必要に応じて、セパレータＳの剥離によるテープＴへの引っ張り力が働かないように、ピンチローラ５２でセパレータＳを所定量送り出して弛んだ状態を維持させることもできる。
【００６０】
次に図５（ｂ）のように、保持テーブル９を上昇させて貼り付けローラ４７と保持テーブル９とでテープＴを挟持してテープＴの貼り付けを開始する。続いて貼り付けユニット４０を後退させることで貼り付けローラ４７が基板Ｗ上をテープＴを介して押圧転動し、基板ＷにテープＴが貼り付けられる。なお、保持テーブル９の貼り付けローラ４７への押し込み量または、貼り付けローラ４７の加圧量は基板Ｗの表面状態（バンプの有無等）やテープＴの材質に応じて適宜選択でき、また、基板Ｗの貼り付け面積に応じて、段階ごとに圧力を制御して貼り付けることもできる。
【００６１】
続いて、図６（ｃ）のようにカッターユニット３０が下降し、カッター３１が回転駆動されることで基板Ｗに沿ってテープＴが切断される。なお、カッター３１は、保持テーブル９と干渉しないよう、ポーラス体９ａの外周部分に図示しない溝が形成されている。
【００６２】
この後、図６（ｄ）のようにカッターユニット３０が上昇して退避すると共にテープチャックユニット２５が後退する。この時、テープチャック２８と一対に設けられた下側ローラが保持ローラ９上を転動することで不要な余剰部分のテープＴが剥離される。
【００６３】
続いて、テープＴが貼り付けられた基板Ｗが保持テーブル９の図示しない突き上げピンによって上昇され、支持板４の開口４ａから吸着ハンド８によって取り出され、基板収納部６に収納される。なお、収納用に前記基板収納部６とは別途に基板収納部を設けても良い。
【００６４】
以上が、本発明の第１実施形態に係る基板ＷへのテープＴの貼り付け動作である。このように前記貼り付け動作においては、貼り付けに要する分のテープＴを張力がフリーとなるように保持テーブル９と平行に保持しておき、この予め平行に保持されたテープＴのストローク分だけ上記の平行に保持されたテープＴと平行に貼り付けローラ４７が移動するので、予め設定したテープＴの弛み状態の形状を維持したまま、貼り付けを行うことが可能となる。即ち、テープＴの送り出す量が絶えず一定となり、制御が至って容易となる。また、絶えずテープＴの送り出し量が一定であり、テープＴの弛み状態を維持しながら貼り付けることが可能であるので、限りなく低張力で基板ＷにテープＴを貼り付けることが可能であり、テープＴに残存応力が残らないため、基板Ｗを薄厚化しても反ったり、破損したりすることがなく、基板Ｗのエッジ部がテープＴの残存応力により欠けたりすることもない。
【００６５】
次に本発明の第２の実施形態に係る基板Ｗへのテープの貼り付け動作を図７及び図８に基づいて以下に説明する。
【００６６】
第１の実施形態との違いは、送り出しローラ４４が解放状態となり、補助ローラ４９が下降状態にある点が異なっており、それ以外の動作は、第１の実施形態と同様であるので、相違点以外の説明は、一部省略する。
【００６７】
図７（ａ）のように、基板Ｗが位置決めされて保持テーブル９に吸着保持される。そして、送り出しローラ４４を解放状態にして、テープチャックユニット２５により、テープＴが保持テーブル９上に供給される。続いて、補助ローラ４９が下降した状態で貼り付けユニット４０が前進する。この補助ローラ４９の下降量は、使用するテープＴの材質や、基板Ｗの表面状態に応じて適正な貼り付け角度となるように設定される。この貼り付けユニット４０の移動に伴って、前記テンションローラ１８に適宜の張力を付与することによりテープＴは、補助ローラ４９に接して適正な角度に維持される。なお、テンションローラ１８への張力の付与は、テンションローラ１８の自重によるものでも良く、シリンダ６４の作用により強制的に張力を付与するものであっても良い。また、前記シリンダ６４でテンションローラ１８の自重による張力を低減させ、テープＴの張力を低減させることもできる。
【００６８】
次に図７（ｂ）のように保持テーブル９を上昇させて、テープＴを保持テーブル９に押圧して貼り付け、貼り付けユニット４０を後退させることで、貼り付けローラ４７が基板Ｗ上を押圧転動して、基板ＷにテープＴが貼り付けられる。この時、予め設定した貼り付け角度が保たれた状態で基板ＷにテープＴが貼り付けられる。
【００６９】
続いて図８（ｃ）のようにカッターユニット３０が作用して、基板Ｗの形状にテープＴが切断される。
【００７０】
続いて図８（ｄ）のようにテープチャックユニット２５の後退に伴って、不要な余剰部分のテープＴが保持テーブル９から剥離され、吸着ハンド８によって基板収納部６に収納される。
【００７１】
以上が、本発明の第２の実施形態に係る基板ＷへのテープＴの貼り付け動作である。このように、テープＴを所定の角度に保った状態でしかも予めテープＴが供給されたストロークを使用して貼り付けを行うので、絶えずテープＴの供給量を一定にしながら、しかも貼り付け角度を一定に保つことができるので制御が容易となる。
【００７２】
本発明は、上記の実施形態に限定されず、発明の範囲内で適宜の変更ができる。例えば本発明においては基板Ｗとして半導体ウエハに各種のテープを貼り付けるようにしたが、各種の薄板状部材にテープを貼り付ける際に適用できる。また、基板の形状も円形だけでなく、例えば矩形状のものにも適用できる。また、貼り付けするテープも保護テープやダイボンドテープだけでなく、各種の粘着テープに適用が可能である。
【符号の説明】
【００７３】
Ｗ    基板
Ｔ    テープ
Ｓ    セパレータ
１    テープ貼り付け装置
２    機枠
３    機台
４    支持枠
４ａ  開口
４ｂ  開口
４ｃ  開口
４ｄ  開口
５    支持板
６    基板収納部
７    搬送ロボット
８    吸着ハンド
９    保持テーブル
９ａ  ポーラス体
１０    アライメントテーブル
１１    吸着ハンド
１２    レール
１３    スライドガイド
１４    ボールネジ
１５    テープ供給リール（テープ供給手段）
１６    テープ回収リール（テープ回収手段）
１７    テンションアーム
１８    テンションローラ
１９    ガイドローラ
２０    テンションローラ
２１    セパレータ回収リール
２２    テンションローラ
２３    シリンダ
２４    テープ貼り付け部
２５    テープチャックユニット
２７    シリンダ
２８    テープチャック
２９    ガイドローラ
３０    カッターユニット
３１    カッター
３２    モータ
３３    センサ
３４    ピンチローラ
３６    支持板
３７    支持枠
３８    支持枠
３９    支持枠
４０    貼り付けユニット
４１    移動枠
４２    上部枠
４３    保持ローラ
４４    送り出しローラ
４５    シリンダ
４６    ガイドローラ
４７    貼り付けローラ
４８    シリンダ
４９    補助ローラ
５０    シリンダ
５１    剥離板（剥離手段）
５２    ピンチローラ
５３    レール
５４    レール
５５    モータ
５６    ボールネジ
５７    ナット部材
５８    ガイドローラ
６０    ガイド
６１    スライドガイド
６２    シリンダ
６３    レール
６４    シリンダ
６５    リンク板
６６    モータ
６７    スライドガイド
６８    ガイド
６９    ガイド
７０    レール
７１    スライドガイド
７２    ナット部材
７３    ピンチローラ
７４    モータ
７５    レール
７６    ノッチ
７７    モータ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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