(57)【要約】  【課題】  真空注入法の液晶注入装置で使用される液晶材の使用効率を向上させることができる液晶注入装置を提供する。  【解決手段】  液晶注入装置１であって、第１回目の注入の際に供給量制御部６ｃに予めメモリーされている供給量に基づいてシリンジ６ａから液晶材６ｄが液晶皿４ｂに供給されて、液晶材６ｄが収容された液晶皿４ｂが液晶皿載置部材４で測定された第１の液晶皿質量ｗ１および第１回目の注入後の液晶皿４ｂが液晶皿載置部材４で測定された第２の液晶皿質量ｗ２が入力されて、注入による液晶材６ｄの減少量Δｗ＝ｗ１−ｗ２を演算するとともに、第２回目の注入の際に減少量Δｗの液晶材６ｄをシリンジ６ａから第１回目の注入後の液晶皿４ｂに供給するための液晶材供給信号を作成して供給量制御部６ｃに出力する液晶材質量制御部８を有している。【選択図】  図１
2014048301.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
上面に開口した第１の貫通孔を有するステージと、該ステージの上面に設けられた、前記第１の貫通孔に繋がるように形成された第２の貫通孔を有し、液晶材が収容される液晶皿が前記第２の貫通孔に対応して上面に載置されて前記液晶皿の質量を測定する液晶皿載置部材と、前記第１の貫通孔内および前記第２の貫通孔内を上下方向に移動して前記液晶皿載置部材に載置される前記液晶皿を昇降させる液晶皿昇降部と、前記液晶皿載置部材に隣接して配置されており、前記液晶材が貯留されて前記液晶材を前記液晶皿に供給するシリンジが設けられた、前記液晶材を前記液晶皿に供給する際に前記液晶皿載置部材の上方に移動するシリンジ土台を有するとともに、前記液晶材の供給量を制御する供給量制御部を有する液晶材供給部と、前記液晶皿載置部材の上方に設けられた、シール材で液晶注入口が形成された液晶セルが前記液晶注入口を下側にして注入カセットに挿入されて保持される液晶セル保持部とを真空槽内に備え、前記液晶皿載置部材に載置された前記液晶皿に前記シリンジから前記液晶材を供給し、前記液晶皿昇降部によって前記液晶皿を前記液晶セルに向かって上昇させて前記液晶材を前記液晶注入口に接触させて前記液晶セルに前記液晶材を注入する液晶注入装置であって、
前記液晶セルへの前記液晶材の第１回目の注入の際に前記供給量制御部に予めメモリーされている基準の供給量に基づいて前記シリンジから前記液晶材が前記液晶皿に供給されて、前記液晶材が収容された前記液晶皿が前記液晶皿載置部材で測定された第１の液晶皿質量ｗ１および前記第１回目の注入後の前記液晶皿が前記液晶皿載置部材で測定された第２の液晶皿質量ｗ２がそれぞれ入力されて、前記第１の液晶皿質量ｗ１と前記第２の液晶皿質量ｗ２との差に基づいて注入による前記液晶材の減少量Δｗ＝ｗ１−ｗ２を演算するとともに、前記液晶セルへの前記液晶材の第２回目の注入の際に前記減少量Δｗに相当する質量の前記液晶材を前記シリンジから前記第１回目の注入後の前記液晶皿に供給するための液晶材供給信号を作成して前記供給量制御部に出力する液晶材質量制御部を有することを特徴とする液晶注入装置。
【請求項２】
上面に開口した第１の貫通孔を有するステージと、該ステージの上面に設けられた、前記第１の貫通孔に繋がるように形成された第２の貫通孔を有し、液晶材が収容される液晶皿が前記第２の貫通孔に対応して上面に載置されて前記液晶皿の質量を測定する液晶皿載置部材と、前記第１の貫通孔内および前記第２の貫通孔内を上下方向に移動して前記液晶皿載置部材に載置される前記液晶皿を昇降させる液晶皿昇降部と、前記液晶皿載置部材に隣接して配置されており、前記液晶材が貯留されて前記液晶材を前記液晶皿に供給するシリンジが設けられた、前記液晶材を前記液晶皿に供給する際に前記液晶皿載置部材の上方に移動するシリンジ土台を有するとともに、前記液晶材の供給量を制御する供給量制御部を有する液晶材供給部と、前記液晶皿載置部材の上方に設けられた、シール材で液晶注入口が形成された液晶セルが前記液晶注入口を下側にして注入カセットに挿入されて保持される液晶セル保持部とを真空槽内に備え、前記液晶皿載置部材に載置された前記液晶皿に前記シリンジから前記液晶材を供給し、前記液晶皿昇降部によって前記液晶皿を前記液晶セルに向かって上昇させて前記液晶材を前記液晶注入口に接触させて前記液晶セルに前記液晶材を注入する液晶注入装置であって、
ｎ個（ｎは自然数）の前記液晶セルへの前記液晶材の第１回目の注入の際に前記供給量制御部に予めメモリーされている基準の供給量に基づいて前記シリンジから前記液晶材が前記液晶皿に供給されて、前記液晶材が収容された前記液晶皿が前記液晶皿載置部材で測定された第１の液晶皿質量ｗ１および前記第１回目の注入後の前記液晶皿が前記液晶皿載置部材で測定された第２の液晶皿質量ｗ２がそれぞれ入力されて、前記第１の液晶皿質量ｗ１と前記第２の液晶皿質量ｗ２との差に基づいて注入による前記液晶材の減少量Δｗ＝ｗ１−ｗ２、液晶セル１個当たりの前記液晶材の減少量Δｗ１＝Δｗ／ｎおよび前記供給量制御部に予めメモリーされている第２回目に注入される前記液晶セルの個数Ｎ（Ｎは自然数）と前記減少量Δｗ１とに基づいてＮ個の前記液晶セルの注入に必要な必要量Δｗ２＝
Δｗ１×Ｎを演算するとともに、前記液晶セルへの前記液晶材の第２回目の注入の際に前記必要量Δｗ２に相当する量の前記液晶材を前記シリンジから前記第１回目の注入後の前記液晶皿に供給するための液晶材供給信号を作成して前記供給量制御部に出力する液晶材質量制御部を有することを特徴とする液晶注入装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の液晶注入装置であって、
前記シリンジ土台は、前記シリンジを前記シリンジ土台の移動方向に垂直な方向に移動させる手段を有していることを特徴とする液晶注入装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、携帯電話、デジタルカメラあるいは携帯型情報端末などの様々な用途に用いられる液晶表示装置の製造プロセスにおいて、液晶セルに液晶材を注入する液晶注入工程で使用する液晶注入装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置は、液晶セルに液晶材を注入するために、真空槽内部に液晶材を貯留させた液晶皿を配置してこの液晶材に液晶注入口を浸漬して液晶セルに液晶材を注入する真空注入法が行なわれる。このような真空注入法としては、例えば、特許文献１に開示されているものがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平２−２０８６２４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に開示された真空注入法では、液晶材を液晶セルに注入した後に、次の液晶セルの注入のために液晶皿に液晶材が供給されるが、実際に注入に使用した量に基づいて液晶皿に液晶材が供給されておらず、液晶材の使用効率が低いという問題点があった。
【０００５】
本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、真空注入法の液晶注入装置で使用される液晶材の使用効率を向上させることができる液晶注入装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の液晶注入装置は、上面に開口した第１の貫通孔を有するステージと、該ステージの上面に設けられた、前記第１の貫通孔に繋がるように形成された第２の貫通孔を有し、液晶材が収容される液晶皿が前記第２の貫通孔に対応して上面に載置されて前記液晶皿の質量を測定する液晶皿載置部材と、前記第１の貫通孔内および前記第２の貫通孔内を上下方向に移動して前記液晶皿載置部材に載置される前記液晶皿を昇降させる液晶皿昇降部と、前記液晶皿載置部材に隣接して配置されており、前記液晶材が貯留されて前記液晶材を前記液晶皿に供給するシリンジが設けられた、前記液晶材を前記液晶皿に供給する際に前記液晶皿載置部材の上方に移動するシリンジ土台を有するとともに、前記液晶材の供給量を制御する供給量制御部を有する液晶材供給部と、前記液晶皿載置部材の上方に設けられた、シール材で液晶注入口が形成された液晶セルが前記液晶注入口を下側にして注入カセットに挿入されて保持される液晶セル保持部とを真空槽内に備え、前記液晶皿載置部材に載置された前記液晶皿に前記シリンジから前記液晶材を供給し、前記液晶皿昇降部によって前記液晶皿を前記液晶セルに向かって上昇させて前記液晶材を前記液晶注入口に接触させて前記液晶セルに前記液晶材を注入する液晶注入装置であって、前記液晶セルへの前記液晶材の第１回目の注入の際に前記供給量制御部に予めメモリーされている基準の供給量に基づいて前記シリンジから前記液晶材が前記液晶皿に供給されて、前記液晶材が収容された前記液晶皿が前記液晶皿載置部材で測定された第１の液晶皿質量ｗ１および前記第１回目の注入後の前記液晶皿が前記液晶皿載置部材で測定された第２の液晶皿質量ｗ２がそれぞれ入力されて、前記第１の液晶皿質量ｗ１と前記第２の液晶皿質量ｗ２との差に基づいて注入による前記液晶材の減少量Δｗ＝ｗ１−ｗ２を演算するとともに、前記液晶セルへの前記液晶材の第２回目の注入の際に前記減少量Δｗに相当する質量の前記液晶材を前記シリンジから前記第１回目の注入後の前記液晶皿に供給するための液晶材供給信号を作成して前記供給量制御部に出力する液晶材質量制御部を有することを特徴とするものである。
【０００７】
また、本発明の液晶注入装置は、上面に開口した第１の貫通孔を有するステージと、該ステージの上面に設けられた、前記第１の貫通孔に繋がるように形成された第２の貫通孔を有し、液晶材が収容される液晶皿が前記第２の貫通孔に対応して上面に載置されて前記液晶皿の質量を測定する液晶皿載置部材と、前記第１の貫通孔内および前記第２の貫通孔内を上下方向に移動して前記液晶皿載置部材に載置される前記液晶皿を昇降させる液晶皿昇降部と、前記液晶皿載置部材に隣接して配置されており、前記液晶材が貯留されて前記液晶材を前記液晶皿に供給するシリンジが設けられた、前記液晶材を前記液晶皿に供給する際に前記液晶皿載置部材の上方に移動するシリンジ土台を有するとともに、前記液晶材の供給量を制御する供給量制御部を有する液晶材供給部と、前記液晶皿載置部材の上方に設けられた、シール材で液晶注入口が形成された液晶セルが前記液晶注入口を下側にして注入カセットに挿入されて保持される液晶セル保持部とを真空槽内に備え、前記液晶皿載置部材に載置された前記液晶皿に前記シリンジから前記液晶材を供給し、前記液晶皿昇降部によって前記液晶皿を前記液晶セルに向かって上昇させて前記液晶材を前記液晶注入口に接触させて前記液晶セルに前記液晶材を注入する液晶注入装置であって、ｎ個（ｎは自然数）の前記液晶セルへの前記液晶材の第１回目の注入の際に前記供給量制御部に予めメモリーされている基準の供給量に基づいて前記シリンジから前記液晶材が前記液晶皿に供給されて、前記液晶材が収容された前記液晶皿が前記液晶皿載置部材で測定された第１の液晶皿質量ｗ１および前記第１回目の注入後の前記液晶皿が前記液晶皿載置部材で測定された第２の液晶皿質量ｗ２がそれぞれ入力されて、前記第１の液晶皿質量ｗ１と前記第２の液晶皿質量ｗ２との差に基づいて注入による前記液晶材の減少量Δｗ＝ｗ１−ｗ２、液晶セル１個当たりの前記液晶材の減少量Δｗ１＝Δｗ／ｎおよび前記供給量制御部に予めメモリーされている第２回目に注入される前記液晶セルの個数Ｎ（Ｎは自然数）と前記減少量Δｗ１とに基づいてＮ個の前記液晶セルの注入に必要な必要量Δｗ２＝Δｗ１×Ｎを演算するとともに、前記液晶セルへの前記液晶材の第２回目の注入の際に前記必要量Δｗ２に相当する量の前記液晶材を前記シリンジから前記第１回目の注入後の前記液晶皿に供給するための液晶材供給信号を作成して前記供給量制御部に出力する液晶材質量制御部を有することを特徴とするものである。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の液晶注入装置によれば、真空注入法の液晶注入装置で使用される液晶材の使用効率を向上させることができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】第１の実施の形態に係る液晶注入装置の概略側面図である。
【図２】（ａ）は図１に示す液晶注入装置の液晶セル保持部を除いた概略斜視図、（ｂ）は図１に示す液晶注入装置のシリンジの断面図、（ｃ）はシリンジ土台支持体の配置を説明する説明図である。
【図３】（ａ）は図１に示す液晶注入装置のシリンジ土台の移動の機能を説明する説明図、（ｂ）は図１に示す液晶注入装置のシリンジの移動の機能を説明する説明図である。
【図４】図１に示す液晶注入表示装置で液晶材を液晶皿に供給する状態を説明する説明図である。
【図５】図１に示す液晶注入装置での液晶材を液晶皿に供給する方法を示すフローチャートである。
【図６】図１に示す液晶注入表示装置で液晶皿載置部材に液晶皿が載置されて液晶材が供給される状態を説明する説明図である。
【図７】図１に示す液晶注入表示装置で液晶材が供給された液晶皿の重量が測定される状態を説明する説明図である。
【図８】図１に示す液晶注入表示装置で液晶セルに液晶材が注入される状態を説明する説明図である。
【図９】図１に示す液晶注入表示装置で注入後の液晶皿の重量が測定される状態を説明する説明図である。
【図１０】図１に示す液晶注入表示装置で注入後の液晶皿に液晶材が供給される状態を説明する説明図である。
【図１１】第２の実施の形態に係る液晶注入装置の概略側面図である。
【図１２】図１１に示す液晶注入装置での液晶材を液晶皿に供給する方法を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
＜実施の形態１＞
以下、本発明の第１の実施の形態（実施の形態１という）に係る液晶注入装置１について、図１乃至図３を参照しながら説明する。なお、図１は、本発明の実施の形態１に係る液晶注入装置１を側面から見た図である。
【００１１】
実施の形態１に係る液晶注入装置１は、図１乃至図３に示すような構成であり、真空注入法によって液晶セル７ａに液晶材６ｄを注入するものである。
【００１２】
液晶注入装置１は、ステージ３と、ステージ３の上面に設けられた液晶皿載置部材４と、液晶皿載置部材４に載置される液晶皿４ｂを昇降させる液晶皿昇降部５と、液晶材６ｄを液晶皿４ｂに供給するシリンジ６ａを有する液晶材供給部６と、注入カセット７ｂに挿入された液晶セル７ａが保持される液晶セル保持部７とを真空槽２内に備えている。なお、真空槽２は、内部を真空引きする機能を有している。
【００１３】
液晶注入装置１は、液晶皿載置部材４に載置された液晶皿４ｂにシリンジ６ａから液晶材６ｄを供給する。そして、液晶注入装置１は、液晶皿昇降部５によって液晶皿４ｂを液晶セル７ａに向かって上昇させて、液晶皿４ｂの液晶材６ｄを液晶セル７ａの液晶注入口に接触させることによって、液晶セル７ａに液晶材６ｄを注入する。
【００１４】
ステージ３は、真空槽２内の下方に配置されている。そして、ステージ３は、上面に開口した第１の貫通孔３ａを有しており、この第１の貫通孔３ａ内を液晶皿昇降部５が上下方向に移動する。ステージ３は、例えば、四角形状を有している。
【００１５】
液晶皿載置部材４は、ステージ３の上面に設けられている。そして、液晶皿載置部材４は、第２の貫通孔４ａを有しており、この第２の貫通孔４ａは第１の貫通孔３ａに繋がるように形成されている。
【００１６】
液晶載置部材４には、液晶材６ｄが収容される液晶皿４ｂが上面に載置される。そして、液晶皿４ｂは、第２の貫通孔４ａに対応して載置される。すなわち、液晶皿４ｂは、液晶皿載置部材４の上面の第２の貫通孔４ａの開口領域に載置されて、第１の貫通孔３ａ内および第２の貫通孔４ａ内を上下方向に移動する液晶皿昇降部５によって昇降する。
【００１７】
また、液晶皿載置部材４は、上面に載置された液晶皿４ｂの質量を測定する機能を有している。液晶載置部材４は、例えば、電子天秤等の質量を測定するもので構成されている。
【００１８】
液晶皿昇降部５は、第１の貫通孔３ａ内および第２の貫通孔４ａ内を上下方向に移動して液晶皿載置部材４に載置される液晶皿４ｂを昇降させる。なお、液晶皿昇降部５は、例えば、エアーシリンダーまたはギアによるモータ駆動等によって第１の貫通孔３ａ内および第２の貫通孔４ａ内を上下方向に移動する。
【００１９】
液晶皿４ｂは、図２（ａ）に示すように、液晶材６ｄを収容させるために溝４ｂ１が液晶皿４ｂの長手方向に設けられている。溝４ｂ１の深さは、液晶材６ｄを安定に収容させるために、例えば、０．１（ｍｍ）〜２（ｍｍ）である。液晶皿４ｂは、例えば、四角形状であり、アルミニウム等の材料からなる。また、液晶皿４ｂの大きさは、例えば、縦が１００（ｍｍ）〜３００（ｍｍ）、横が３０（ｍｍ）〜１００（ｍｍ）であり、液晶皿４ｂの質量は、例えば、３００（ｇ）〜７００（ｇ）である。
【００２０】
液晶材供給部６は、液晶材６ｄを供給するシリンジ６ａと、シリンジ６ａが設けられているシリンジ土台６ｂと、液晶材６ｄの供給量を制御する供給量制御部６ｃとで構成されている。
【００２１】
シリンジ６ａは、図２（ｂ）に示すように、内部は密閉されて液晶材６ｄが貯留されており、シリンジ６ａの先端部から液晶材６ｄを液晶皿４ｂの溝部４ｂ１に供給する。シリンジ６ａは、例えば、円筒形のステンレスで構成されている。また、シリンジ６ａは、図２（ｂ）に示すように、ガス導入系Ａおよび真空排気系Ｂが設けられており、これらによって液晶材６ｄの供給および停止の制御を行なっている。
【００２２】
シリンジ６ａの先端部から液晶皿４ｂに液晶材６ｄを供給する場合には、シリンジ６ａは、内部が加圧されることによってシリンジ６ａの先端部から液晶材６ｄを液晶皿４ｂに供給する。例えば、シリンジ６ａは、内部にガス導入系Ａから窒素ガス等の不活性ガスを導入して不活性ガスの圧力によってシリンジ６ａの先端部から液晶皿４ｂに液晶材６ｄを供給している。
【００２３】
液晶材６ｄの液晶皿４ｂへの供給量は、供給量制御部６ｃからの制御により、例えば、ガス導入系Ａから一定圧力の不活性ガスを導入することによって、シリンジ６ａから液晶材６ｄが供給される供給時間で調整することができる。なお、供給量制御部６ｃは、液晶材６ｄの供給量を調整するために、液晶材６ｄの供給量と供給時間との関係が予めメモリーされている。なお、供給量制御部６ｃは、例えば、ＰＬＣ（プログラマブルコントローラ）で、マイクロコンピュータとメモリーとを内蔵したものである。
【００２４】
シリンジ土台６ｂは、図２（ａ）に示すように、液晶皿載置部材４に隣接して配置されており、シリンジ６ａが設けられている上板と２つの側板とで構成されている。そして、シリンジ土台６ｂの側板はそれぞれシリンジ土台支持体６ｅに配設されており、シリンジ土台支持体６ｅは、シリンジ土台６ｂを図２（ａ）に示すＸの方向に移動させる機能を有している。
【００２５】
シリンジ土台支持体６ｅは、図２（ｃ）に示すように、真空槽２に設けられた扉２ａを介して真空槽２の内部から真空槽２の槽外に延在して設けられており、シリンジ土台６ｂを真空槽２の槽外に移動させることができる。シリンジ土台支持体６ｅが、真空槽２の槽外に移動した状態を図２（ｃ）において破線で示している。なお、真空槽２に設けられた扉２ａは、真空槽２を密閉する機能を有している。
【００２６】
シリンジ６ａからの液晶材６ｄの供給を停止する場合には、供給量制御部６ｃは、ガス導入系Ａからのシリンジ６ａの内部への不活性ガスの導入を停止する。そして、真空排気系Ｂを介してシリンジ６ａの内部を真空にする。これによって、シリンジ６ａは、内部が
負圧になる。
【００２７】
すなわち、不活性ガスの導入を停止してシリンジ６ａから液晶材６ｄを供給しない場合には、供給量制御部６ｃからの制御によって、シリンジ６ａの内部は真空排気系Ｂを介して真空引きされて負圧になる。このようにシリンジ６ａの内部を負圧にすることによって、シリンジ６ａは、液晶材６ｄの自重によってシリンジ６ａの先端部から液晶材６ｄが漏れにくくなる。
【００２８】
また、真空槽２の内部を真空引きする場合には、シリンジ土台６ｂを真空槽２の槽外に移動させることによって、シリンジ６ａは真空槽２の槽外に置かれる。すなわち、真空槽２の内部を真空状態にする場合には、シリンジ６ａは内部を負圧の状態にして真空槽２の槽外に置かれる。これによって、シリンジ６ａは先端部から液晶材６ｄが漏れるのを抑制することができる。なお、シリンジ土台６ｂは、真空槽２の内部を大気圧に戻した後に、真空槽２の槽外から内部に移動して液晶皿載置部材４に隣接するように配置される。
【００２９】
また、シリンジ土台６ｂは、液晶材６ｄを液晶皿４ｂに供給する際に、液晶皿載置部材４の上方に位置するように移動する。そして、シリンジ土台６ｂが移動することによって、シリンジ６ａは載置されている液晶皿４ｂの長手方向の中央部に位置する。すなわち、シリンジ土台６ｂは、シリンジ６ａと液晶皿４ｂとが対向して、シリンジ６ａの先端部から液晶皿４ｂの溝４ｂ１に液晶材６ｄを供給できるように液晶皿載置部材４の上方に移動する。
【００３０】
そして、液晶材６ｄは、シリンジ６ａの先端部から液晶皿４ｂの溝４ｂ１の中央部に供給される。溝４ｂ１の中央部に供給された液晶材６ｄは、溝４ｂ１内を流動して溝４ｂ１の中央部から端部に向かって溝４ｂ１の全体に拡がっていく。また、シリンジ土台６ｂは、液晶皿４ｂに液晶材６ｄを供給した後は、液晶皿載置部材４に隣接するように元の位置に移動する。
【００３１】
ここで、シリンジ土台６ｂのＸ方向への移動の機構について述べる。なお、図３（ａ）に示す移動手段が、シリンジ土台支持体６ｅに設けられている。シリンジ土台６ｂは、図３（ａ）に示すように、シリンジ土台駆動用ボールねじサポートユニット６ｈによって固定されている。そして、このシリンジ土台駆動用ボールねじサポートユニット６ｈがシリンジ土台駆動用ボールねじ６ｇに結合されており、このシリンジ土台駆動用ボールねじ６ｇが第１のステッピングモータ６ｆ１と連動している。シリンジ土台６ｂは、シリンジ土台駆動用ボールねじサポートユニット６ｈに固定されているので、シリンジ土台駆動用ボールねじ６ｇと第１のステッピングモータ６ｆ１との駆動によってＸ方向に移動することができる。
【００３２】
シリンジ土台６ｂは、シリンジ６ａの先端部から液晶材６ｄを液晶皿４ｂに供給するために液晶皿載置部材４の上方に移動する。そして、シリンジ土台６ｂは、シリンジ６ａと液晶皿４ｂとが対向するように配置される。シリンジ土台６ｂは、シリンジ６ａから液晶材６ｄを液晶皿４ｂに供給する際に、シリンジ６ａを液晶皿４ｂの長手方向に移動させる機能を有していてもよい。これによって、シリンジ６ａを長手方向に移動させながら液晶材６ｄを液晶皿４ｂの溝４ｂ１に供給することができる。すなわち、シリンジ土台６ｂは、液晶材６ｄを液晶皿４ｂに供給する際に、シリンジ６ａを液晶皿４ｂの長手方向に、すなわち、図２に示すＹ方向に移動させる機能を有していてもよい。
【００３３】
ここで、シリンジ６ａのＹ方向への移動の機構について述べる。なお、図３（ｂ）に示す移動手段が、シリンジ土台６ｂに設けられている。シリンジ６ａは、図３（ｂ）に示すように、シリンジ駆動用ボールねじサポートユニット６ｊによって固定されている。そし
て、このシリンジ駆動用ボールねじサポートユニット６ｊがシリンジ駆動用ボールねじ６ｉに結合されており、このシリンジ駆動用ボールねじ６ｉが第２のステッピングモータ６ｆ２と連動している。シリンジ６ａは、シリンジ駆動用ボールねじサポートユニット６ｊに固定されているので、シリンジ駆動用ボールねじ６ｉと第２のステッピングモータ６ｆ２との駆動によってＹ方向に移動することができる。
【００３４】
このような構成によって、シリンジ６ａは、液晶皿４ｂの溝４ｂ１の一端部から他端部に向かって液晶材６ｄを連続的に供給しながら液晶皿４ｂの長手方向に移動することができる。これによって、液晶材６ｄを液晶皿４ｂの溝４ｂ１に均一に供給することができる。
【００３５】
また、液晶材６ｄの液晶皿４ｂへの供給は、これに限らない。図４に示すように、液晶材６ｄを液晶皿４ｂの溝４ｂ１内に均一に供給させるために、シリンジ６ａは、液晶皿４ｂの長手方向の３箇所（Ｃ１〜Ｃ３）に液晶材６ｄを１／３ずつ供給することができる。なお、液晶材６ｄを供給する箇所は、３箇所に限らず、液晶皿４ｂの大きさによって、２箇所あるいは４箇所以上であってもよく、液晶皿４ｂの大きさに応じて適宜選択される。
【００３６】
これによって、液晶皿４ｂの１箇所に液晶材６ｄを供給する場合に比べて、シリンジ６ａは、液晶材６ｄを液晶皿４ｂに少量ずつ供給することができる。したがって、液晶材６ｄを少量ずつ供給することによって、液晶材６ｄは液晶皿４ｂの溝４ｂ１から溢れにくくなる。
【００３７】
供給量制御部６ｃは、液晶材質量制御部８からの出力される液晶材供給信号に基づいて液晶材６ｄの供給量を制御する。なお、液晶材質量制御部８については後述する。液晶皿４ｂに供給される液晶材６ｄの供給量は、例えば、液晶材６ｄの供給時間と供給量とで制御することができる。すなわち、予め供給量制御部６ｃにメモリーされている液晶材６ｄの供給量と供給時間との関係に基づいて液晶材６ｄの供給量が制御される。
【００３８】
例えば、一定の圧力下で、液晶材６ｄの供給量と供給時間との関係が１０ｍｇ＝３．５秒とメモリーされているとする。この場合に、液晶材質量制御部８からの液晶材供給信号が１０ｍｇの液晶材６ｄを液晶皿４ｂに供給するという信号であれば、供給量制御部６ｃは、液晶材供給信号が供給量制御部６ｃに入力されることによって、液晶材供給信号に基づいて、ガス導入系Ａから不活性ガスを導入して一定の圧力でシリンジ６ａ内部を加圧して液晶皿４ｂに液晶材６ｄを３．５秒間供給することによって、液晶皿４ｂに１０ｍｇの液晶材６ｄを供給することができる。
【００３９】
液晶セル保持部７は、真空槽２の内部の液晶皿載置部材４の上方に設けられている。そして、シール材で液晶注入口が形成された液晶セル７ａが液晶注入口を下側にして注入カセット７ｂに挿入されて保持される。
【００４０】
液晶セル７ａは、例えば、カラーフィルタ基板およびアレイ基板からなる一対のガラス基板からなり、両基板の周縁に沿って配置されたシール材を介して一体化して構成されている。また、一対のガラス基板の周縁に配置されるシール材は、その一部に液晶材６ｄを注入するための液晶注入口を形成するように設けられており、液晶セル７ａの内部は液晶材６ｄを注入できるように中空構造となっている。
【００４１】
液晶セル７ａのカラーフィルタ基板とアレイ基板とのセルギャップは、例えば、２（μｍ）〜８（μｍ）である。液晶セル７ａは、液晶皿４ｂの液晶材６ｄに液晶セル７ａの液晶注入口を浸して毛細管現象によって、液晶セル７ａの空間部に液晶材６ｄが注入される。さらに、液晶セル７ａは、液晶セル７ａの液晶注入口を封止材で封止することによって、カラーフィルタ基板とアレイ基板との間に液晶材６ｄが密封される。
【００４２】
液晶材質量制御部８は、液晶皿４ｂに液晶材６ｄを供給するために液晶材供給信号を作成して供給量制御部６ｃに出力するものである。
【００４３】
液晶セル７ａへの液晶材６ｄの第１回目の注入の際に、供給量制御部６ｃに予めメモリーされている基準の供給量に基づいて、シリンジ６ａから液晶材６ｄが液晶皿４ｂに供給される。
【００４４】
そして、液晶材質量制御部８には、液晶材６ｄが収容された液晶皿４ｂが液晶皿載置部材４によって測定された第１の液晶皿質量ｗ１が入力される。さらに、第１回目の液晶材６ｄの注入が終了した後に、第１回目の注入後の液晶皿４ｂが液晶皿載置部材４によって測定された第２の液晶皿質量ｗ２が入力される。
【００４５】
そして、液晶材質量制御部８は、入力された第１の液晶皿質量ｗ１と第２の液晶皿質量ｗ２との差に基づいて第１回目の注入による液晶材６ｄの減少量Δｗ＝ｗ１−ｗ２を演算する。その後、液晶材質量制御部８は、新たな液晶セル７ａへの液晶材４ｂの第２回目の注入の際に、減少量Δｗに相当する質量の液晶材４ｂをシリンジ６ａから第１回目の注入後の液晶皿４ｂに供給するための液晶材供給信号を作成して供給量制御部６ｃに出力する。なお、液晶材質量制御部８は、例えば、ＰＬＣ（プログラマブルコントローラ）で、マイクロコンピュータとメモリーとを内蔵したものである。
【００４６】
ここで、以下に、液晶セル７ａの液晶注入方法について述べる。
【００４７】
注入カセット７ｂを準備する。液晶セル７ａの液晶注入口を下側にして、注入カセット７ｂに液晶セル７ａを挿入して収納する。注入カセット７ｂを真空槽２の液晶セル保持部７に配置する。
【００４８】
注入皿４ｂを真空槽２内で液晶皿載置部材４の上面の開口領域に位置するように載置する。そして、シリンジ土台６ｂを液晶皿載置部材４に隣接している位置から液晶皿載置部材４の上方に移動させる。そして、シリンジ６ａを載置されている液晶皿４ｂと対向させる。シリンジ６ａから載置されている液晶皿４ｂに液晶材６ｄを供給する。また、液晶セル７ａに液晶材６ｄを注入するために、液晶材６ｄを液晶皿４ｂに供給した後に、シリンジ土台６ｂは液晶皿載置部材４に隣接する元の位置に移動させる。
【００４９】
次に、真空槽２の内部を真空引きする。そして、液晶皿昇降部５によって液晶皿４ｂを液晶セル７ａに向かって上昇させる。液晶セル７ａは、液晶材６ｄの注入の際に液晶注入口が注入皿に浸漬するように注入皿４ｂによって上方に持ち上げられる。これによって、液晶セル７ａは、液晶注入口が注入皿４ｂの液晶材６ｄに浸漬されて毛細管現象によって液晶セル７ａの空隙部に液晶材６ｄが注入される。
【００５０】
ここで、液晶注入装置１での液晶材６ｄの供給量制御について、図５乃至図１０を参照しながら説明する。
【００５１】
まず、図５および図６に示すように、第１回目の注入の際に、液晶皿４ｂが液晶皿載置部材４に載置されて、供給量制御部６ｃに予めメモリーされている基準の供給量に基づいて、液晶材６ｄがシリンジ６ａから液晶皿４ｂに供給される。そして、液晶皿載置部材４によって、図５および図７に示すように、液晶材６ｄが供給された液晶皿４ｂの質量測定が行なわれる。この液晶皿４ｂの質量測定値が第１の液晶皿質量ｗ１である。
【００５２】
次に、図５および図８に示すように、第１回目の注入として、真空槽２が真空引きされて、液晶セル７ａに液晶材６ｄが注入される。そして、第１回目の注入後に、真空槽２の真空を解除して、液晶皿載置部材４によって、図５および図９に示すように、第１回目の液晶材６ｄの注入後の液晶皿４ｂの質量測定が行われる。この液晶皿の質量測定値が第２の液晶皿質量ｗ２である。
【００５３】
そして、第１の液晶皿質量ｗ１および第２の液晶皿質量ｗ２がそれぞれ液晶材質量制御部８に入力される。液晶材質量制御部８は、液晶材の減少量Δｗ＝ｗ１−ｗ２を演算するとともに、液晶セル７ａへの液晶材６ｄの第２回目の注入の際に減少量Δｗに相当する質量の液晶材６ｄをシリンジ６ａから第１回目の注入後の液晶皿４ｂに供給するための液晶材供給信号を作成して供給量制御部６ｃに出力する。
【００５４】
さらに、供給量制御部６ｃは、図５および図１０に示すように、液晶材供給信号が入力され、この液晶材供給信号に基づいて、シリンジ６ａから液晶材６ｄの減少量Δｗを液晶皿４ｂに供給する。このように、供給量制御部６ｃが液晶材６ｄを供給することによって液晶材６ｄの液晶皿４ｂへの供給量制御は終了する。なお、液晶材６ｄの供給後に、真空槽２の内部を真空引きして、新たな液晶セル７ａへの液晶材６ｄの第２回目の注入が開始される。
【００５５】
液晶注入装置１では、実際に注入に使用した量に基づいて液晶皿４に液晶材６ｄが供給されるので、液晶材６ｄの使用効率を向上させることができる。
【００５６】
また、液晶皿４ｂの質量測定および液晶材６ｄの供給等が真空槽２内部で行なわれており、液晶材６ｄがクリーンな環境下で処理されるので、液晶材６ｄの汚染を抑制することができる。
【００５７】
本発明は上述の第１の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更、改良等が可能である。以下、他の実施の形態について説明する。なお、他の実施の形態に係る液晶注入装置のうち、第１の実施の形態に係る液晶注入装置１と同様な部分については、同一の符号を付して適宜説明を省略する。
【００５８】
＜実施の形態２＞
以下、本発明の第２の実施の形態（実施の形態２という）に係る液晶注入装置１Ａについて、図１１および図１２を参照しながら説明する。なお、図１１は、本発明の実施の形態２に係る液晶注入装置１Ａを側面から見た図である。
【００５９】
実施の形態２に係る液晶注入装置１Ａは、図１１および図１２に示すような構成であり、真空注入法によって液晶セル７ａに液晶材６ｄを注入するものである。液晶注入装置１Ａは、供給量制御部６ｃ１および液晶材質量制御部８ａの供給量制御のやり方が、実施の形態１に係る液晶注入装置１の供給量制御部６ｃおよび液晶材質量制御部８とは異なっている。
【００６０】
液晶材質量制御部８ａは、液晶皿４ｂに液晶材６ｄを供給するために液晶材供給信号を作成して供給量制御部６ｃ１に出力するものである。また、供給量制御部６ｃ１は、液晶材質量制御部８ａからの出力される液晶材供給信号に基づいて液晶材６ｄの供給量を制御する。
【００６１】
ｎ個（ｎは自然数）の液晶セル７ａへの液晶材６ｄの第１回目の注入の際に、液晶皿４ｂが液晶皿載置部材４に載置されて、供給量制御部６ｃ１に予めメモリーされている基準の供給量に基づいて、液晶材６ｄがシリンジ６ａから液晶皿４ｂに供給される。そして、
液晶材質量制御部８ａには、液晶材６ｄが収容された液晶皿４ｂが液晶皿載置部材４によって測定された第１の液晶皿質量ｗ１が入力される。さらに、第１回目の液晶材６ｄの注入が終了した後に、第１回目の注入後の液晶皿４ｂが液晶皿載置部材４によって測定された第２の液晶皿質量ｗ２が入力される。
【００６２】
そして、液晶材質量制御部８ａは、入力された第１の液晶皿質量ｗ１と第２の液晶皿質量ｗ２との差に基づいて注入による液晶材６ｄの減少量Δｗ＝ｗ１−ｗ２を演算する。そして、液晶セル１個当たりの液晶材６ｄの減少量Δｗ１＝Δｗ／ｎを演算する。さらに、供給量制御部６ｃ１に予めメモリーされている第２回目に注入される液晶セル７ａの個数Ｎ（Ｎは自然数）と減少量Δｗ１とに基づいてＮ個の液晶セル７ａの注入に必要な必要量Δｗ２＝Δｗ１×Ｎを演算する。
【００６３】
その後、液晶材質量制御部８ａは、液晶セル７ａへの液晶材４ｂの第２回目の注入の際に、第２回目の注入に必要な必要量Δｗ２に相当する質量の液晶材４ｂをシリンジ６ａから第１回目の注入後の液晶皿４ｂに供給するための液晶材供給信号を作成して供給量制御部６ｃ１に出力する。
【００６４】
さらに、供給量制御部６ｃ１は、図１２に示すように、液晶材供給信号が入力され、シリンジ６ａから液晶材６ｄの必要量Δｗ２を液晶皿４ｂに供給する。このように、供給量制御部６ｃ１が、第２回目の注入に必要な液晶材６ｄを供給することによって液晶材６ｄの液晶皿４ｂへの供給量制御は終了する。なお、液晶材６ｄの供給後に、真空槽２の内部を真空引きして、新たに液晶セル７ａへの液晶材６ｄの第２回目の注入が開始される。
【００６５】
液晶注入装置１Ａでは、注入される液晶セル７ａの個数に応じて、必要な液晶材６ｄを供給するので、液晶材６ｄの使用効率を向上させることができる。
【００６６】
本発明は、上述した実施の形態１および実施の形態２に特に限定されるものではなく、本発明の範囲内で種々の変更および改良が可能である。
【符号の説明】
【００６７】
１、１Ａ  液晶注入装置
２  真空槽
２ａ  扉
３  ステージ
３ａ  第１の貫通孔
４  液晶皿載置部材
４ａ  第２の貫通孔
４ｂ  液晶皿
４ｂ１  溝
５  液晶皿昇降部
６  液晶材供給部
６ａ  シリンジ
６ｂ  シリンジ土台
６ｃ、６ｃ１  供給量制御部
６ｄ  液晶材
６ｅ  シリンジ土台支持体
６ｆ１  第１のステッピングモータ
６ｆ２  第２のステッピングモータ
６ｇ  シリンジ土台駆動用ボールねじ 
６ｈ  シリンジ土台駆動用ボールねじサポートユニット
６ｉ  シリンジ駆動用ボールねじ     
６ｊ  シリンジ駆動用ボールねじサポートユニット
７  液晶セル保持部
７ａ  液晶セル
７ｂ  注入カセット
８、８ａ  液晶材質量制御部
Ａ  ガス導入系
Ｂ  真空排気系
Ｃ１  第１の滴下点
Ｃ２  第２の滴下点
Ｃ３  第３の滴下点
【図１】
2014048301.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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