(57)【要約】【課題】コンタクトアームの数が増加した場合に小型化やスループットの向上を図ることが可能な電子部品ハンドリング装置を提供する。【解決手段】ハンドラ１００は、ＤＵＴ１０を保持する保持部３８０をそれぞれ有し、第１の方向に沿って配列された複数のコンタクトアーム３００を備え、各コンタクトアーム３００は、コンタクトアーム３００の基部３１０に対して保持部３８０を相対移動させる調整ユニット３３０を有し、ハンドラ１００は、ＤＵＴ１０及び保持部３８０を撮像可能な撮像ユニット２２０と、調整ユニット３３０を操作する操作ユニット２３０と、撮像ユニット２２０及び操作ユニット２３０をＸ方向に沿って移動させる移動ユニット２１０と、を備え、調整ユニット３３０は、操作ユニット２３０の操作に従って保持部３８０の相対位置を調整する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品を保持する保持部をそれぞれ有し、第１の方向に沿って配列された複数のコンタクトアームを備えた電子部品ハンドリング装置であって、
それぞれの前記コンタクトアームは、前記コンタクトアームの基部に対して前記保持部を相対移動させる調整ユニットを有しており、
前記電子部品ハンドリング装置は、
前記電子部品及び前記保持部の少なくとも一方を撮像可能な撮像ユニットと、
前記撮像ユニットを前記第１の方向に沿って移動させる第１の移動手段と、
前記調整ユニットを操作する操作ユニットと、
前記操作ユニットを前記第１の方向に沿って移動させる第２の移動手段と、を備えており、
前記調整ユニットは、前記操作ユニットの操作に従って、前記基部に対する前記保持部の相対位置を調整することを特徴とする電子部品ハンドリング装置。
【請求項２】
請求項１に記載の電子部品ハンドリング装置であって、
前記撮像ユニットにより撮像された画像情報に基づいて、前記基部に対する前記保持部の相対移動量を算出する算出手段をさらに備えており、
前記操作ユニットは、前記保持部が前記相対移動量を移動するように、前記調整ユニットを操作することを特徴とする電子部品ハンドリング装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の電子部品ハンドリング装置であって、
前記第１の移動手段と前記第２の移動手段は同一の移動手段であり、
前記撮像ユニットと前記操作ユニットは前記第１の方向に沿って所定ピッチ離れるように前記移動手段に設けられていることを特徴とする電子部品ハンドリング装置。
【請求項４】
請求項１〜３の何れかに記載の電子部品ハンドリング装置であって、
前記操作ユニットは、前記第２の移動手段による前記第１の方向に沿った移動に伴って、前記調整ユニットを操作することを特徴とする電子部品ハンドリング装置。
【請求項５】
請求項１〜４の何れかに記載の電子部品ハンドリング装置であって、
前記調整ユニットは、
前記操作ユニットによって操作される入力部と、
前記入力部から入力された駆動力によって、前記基部に対して前記保持部を相対的に平面移動及び回転させる動作部と、を有することを特徴とする電子部品ハンドリング装置。
【請求項６】
請求項５に記載の電子部品ハンドリング装置であって、
前記操作ユニットは、
複数の第１のカムと、
前記第１の方向に対して実質的に直交する方向に沿って前記第１のカムをそれぞれ独立して移動させる複数の駆動部と、を有し、
前記入力部は、前記第１のカムにそれぞれ追従する複数のカムフォロアを有することを特徴とする電子部品ハンドリング装置。
【請求項７】
請求項６に記載の電子部品ハンドリング装置であって、
それぞれの前記第１のカムは、
前記第１の方向に対して傾斜した第１のカム面と、
前記第１のカム面の端部から前記第１の方向とは反対の方向に延在する平坦な第２のカム面と、を有することを特徴とする電子部品ハンドリング装置。
【請求項８】
請求項６又は７に記載の電子部品ハンドリング装置であって、
前記動作部は、
前記カムフォロアに連結された押圧子と、
前記保持部に固定されていると共に、前記押圧子によって押圧される受圧部と、を有することを特徴とする電子部品ハンドリング装置。
【請求項９】
請求項８に記載の電子部品ハンドリング装置であって、
前記押圧子は、前記カムフォロアにシャフトを介して連結された第２のカムを含むことを特徴とする電子部品ハンドリング装置。
【請求項１０】
請求項８又は９に記載の電子部品ハンドリング装置であって、
前記動作部は、前記受圧部が前記押圧子に当接する方向に前記保持部を付勢する付勢手段を有することを特徴とする電子部品ハンドリング装置。
【請求項１１】
請求項１〜１０の何れかに記載の電子部品ハンドリング装置であって、
前記コンタクトアームは、前記基部に対する前記保持部の相対移動を拘束する拘束ユニットを有することを特徴とする電子部品ハンドリング装置。
【請求項１２】
請求項１〜１１の何れかに電子部品ハンドリング装置であって、
前記撮像ユニットは、
単一の撮像手段と、
前記撮像手段の光軸の向きを前記電子部品又は前記保持部に切り替える切替手段と、を有することを特徴とする電子部品ハンドリング装置。
【請求項１３】
請求項１２に記載の電子部品ハンドリング装置であって、
前記電子部品は、
一方の主面に設けられた第１の端子と、
他方の主面に設けられた第２の端子と、を有し、
前記保持部は、前記第２の端子と接触する中継ソケットを有しており、
前記撮像ユニットは、
所定位置に載置された前記電子部品、
前記電子部品を保持する前の前記保持部、及び、
前記保持部に保持された状態の前記電子部品を撮像可能であることを特徴とする電子部品ハンドリング装置。
【請求項１４】
電子部品を保持する保持部を有するコンタクトアームを備えた電子部品ハンドリング装置であって、
前記コンタクトアームは、前記コンタクトアームの基部に対して前記保持部を相対移動させる調整ユニットを有しており、
前記電子部品ハンドリング装置は、
前記電子部品及び前記保持部を撮像可能な撮像ユニットと、
前記調整ユニットを操作する操作ユニットと、を備えており、
前記撮像ユニットは、
単一の撮像手段と、
前記撮像手段の光軸の向きを前記電子部品又は前記保持部に切り替える切替手段と、を有し、
前記調整ユニットは、前記操作ユニットの操作に従って、前記基部に対する前記保持部の相対位置を調整することを特徴とする電子部品ハンドリング装置。
【請求項１５】
電子部品を試験するための電子部品試験装置であって、
請求項１〜１４の何れかに記載の電子部品ハンドリング装置と、
前記電子部品と電気的に接触するソケットを有するテストヘッドと、
前記テストヘッドに電気的に接続されたテスタと、を備えており、
前記コンタクトアームが前記電子部品を前記ソケットに押し付けることを特徴とする電子部品試験装置。
【請求項１６】
電子部品を試験する方法であって、
複数のコンタクトアームの保持部によって電子部品をそれぞれ保持する第１のステップと、
前記保持部に保持された状態の複数の前記電子部品を順次撮像して第１の画像情報を順次取得する第２のステップと、
前記第１の画像情報に基づいて、前記保持部に保持されている状態の前記電子部品をソケットに対して順次位置決めする第３のステップと、
複数の前記コンタクトアームによって複数の前記電子部品を前記ソケットに押し付ける第４のステップと、を備えたことを特徴とする電子部品の試験方法。
【請求項１７】
請求項１６に記載の電子部品の試験方法であって、
前記第２のステップが終了する前に前記第３のステップを開始することを特徴とする電子部品の試験方法。
【請求項１８】
請求項１６又は１７に記載の電子部品の試験方法であって、
前記第３のステップの前に前記ソケットを撮像して第２の画像情報を取得する第５のステップをさらに備えており、
前記第３のステップは、前記第１の画像情報と前記第２の画像情報に基づいて、前記保持部に保持されている状態の前記電子部品をソケットに対して位置決めすることを含むことを特徴とする電子部品の試験方法。
【請求項１９】
請求項１６〜１８の何れかに記載の電子部品の試験方法であって、
所定位置にそれぞれ載置されている複数の前記電子部品を順次撮像して第３の画像情報を順次取得する第６のステップと、
前記第３の画像情報に基づいて、前記保持部を前記電子部品に対して順次位置決めする第７のステップと、をさらに備えており、
前記第６及び第７のステップは、前記第１のステップの前に実行されることを特徴とする電子部品の試験方法。
【請求項２０】
請求項１９に記載の電子部品の試験方法であって、
前記第６のステップが終了する前に前記第７のステップを開始することを特徴とする電子部品の試験装置。
【請求項２１】
請求項１９又は２０に記載の電子部品の試験方法であって、
前記第７のステップの前に前記保持部を撮像して第４の画像情報を取得する第８のステップをさらに備えており、
前記第７のステップは、前記第３の画像情報と前記第４の画像情報に基づいて、前記保持部を前記電子部品に対して位置決めすることを含むことを特徴とする電子部品の試験方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体集積回路素子等の被試験電子部品（以下単にＤＵＴ（Device Under Test）とも称する。）を、画像処理技術を用いて位置決めする電子部品ハンドリング装置、それを備えた電子部品試験装置、及び、それを用いた電子部品の試験方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
画像処理技術を用いてＤＵＴの位置決めを行う電子部品試験装置が知られている（例えば特許文献１及び２参照）。こうした電子部品試験装置では、カメラを用いてＤＵＴの位置を認識した後に、アライメント装置によって当該ＤＵＴの位置決めを行っている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】国際公開第０３／０７５０２３号
【特許文献２】特開２０１１−２２６８０６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記の電子部品試験装置では、ＤＵＴの位置認識と位置決めの作業をコンタクトアーム毎に個別に繰り返している。そのため、コンタクトアームの数（すなわち同時測定数）が増加すると、アライメント装置を増設しなければ、アライメントに要する作業時間が長くなってしまうという問題がある。
【０００５】
本発明が解決しようとする課題は、コンタクトアームの数が増加した場合に小型化やスループットの向上を図ることが可能な電子部品ハンドリング装置、電子部品試験装置、及び電子部品の試験方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
［１］本発明に係る電子部品ハンドリング装置は、電子部品を保持する保持部をそれぞれ有し、第１の方向に沿って配列された複数のコンタクトアームを備えた電子部品ハンドリング装置であって、それぞれの前記コンタクトアームは、前記コンタクトアームの基部に対して前記保持部を相対移動させる調整ユニットを有しており、前記電子部品ハンドリング装置は、前記電子部品及び前記保持部の少なくとも一方を撮像可能な撮像ユニットと、前記撮像ユニットを前記第１の方向に沿って移動させる第１の移動手段と、前記調整ユニットを操作する操作ユニットと、前記操作ユニットを前記第１の方向に沿って移動させる第２の移動手段と、を備えており、前記調整ユニットは、前記操作ユニットの操作に従って、前記基部に対する前記保持部の相対位置を調整することを特徴とする。
【０００７】
［２］上記発明において、前記電子部品ハンドリング装置は、前記撮像ユニットにより撮像された画像情報に基づいて、前記基部に対する前記保持部の相対移動量を算出する算出手段をさらに備えており、前記操作ユニットは、前記保持部が前記相対移動量を移動するように、前記調整ユニットを操作してもよい。
【０００８】
［３］上記発明において、前前記第１の移動手段と前記第２の移動手段は同一の移動手段であり、前記撮像ユニットと前記操作ユニットは前記第１の方向に沿って所定ピッチ離れるように前記移動手段に設けられていてもよい。
【０００９】
［４］上記発明において、前記操作ユニットは、前記第２の移動手段による前記第１の方向に沿った移動に伴って、前記調整ユニットを操作してもよい。
【００１０】
［５］上記発明において、前記調整ユニットは、前記操作ユニットによって操作される入力部と、前記入力部から入力された駆動力によって、前記基部に対して前記保持部を相対的に平面移動及び回転させる動作部と、を有してもよい。
【００１１】
［６］上記発明において、前記操作ユニットは、複数の第１のカムと、前記第１の方向に対して実質的に直交する方向に沿って前記第１のカムをそれぞれ独立して移動させる複数の駆動部と、を有し、前記入力部は、前記第１のカムにそれぞれ追従する複数のカムフォロアを有してもよい。
【００１２】
［７］上記発明において、それぞれの前記第１のカムは、前記第１の方向に対して傾斜した第１のカム面と、前記第１のカム面の端部から前記第１の方向とは反対の方向に延在する平坦な第２のカム面と、を有してもよい。
【００１３】
［８］上記発明において、前記動作部は、前記カムフォロアに連結された押圧子と、前記保持部に固定されていると共に、前記押圧子によって押圧される受圧部と、を有してもよい。
【００１４】
［９］上記発明において、前記押圧子は、前記カムフォロアにシャフトを介して連結された第２のカムを含んでもよい。
【００１５】
［１０］上記発明において、前記動作部は、前記受圧部が前記押圧子に当接する方向に前記保持部を付勢する付勢手段を有してもよい。
【００１６】
［１１］上記発明において、前記コンタクトアームは、前記基部に対する前記保持部の相対移動を拘束する拘束ユニットを有してもよい。
【００１７】
［１２］上記発明において、前記撮像ユニットは、単一の撮像手段と、前記撮像手段の光軸の向きを前記電子部品又は前記保持部に切り替える切替手段と、を有してもよい。
【００１８】
［１３］上記発明において、前記電子部品は、一方の主面に設けられた第１の端子と、他方の主面に設けられた第２の端子と、を有し、前記保持部は、前記第２の端子と接触する中継ソケットを有しており、前記撮像ユニットは、所定位置に載置された前記電子部品、前記電子部品を保持する前の前記保持部、及び、前記保持部に保持された状態の前記電子部品を撮像可能であってもよい。
【００１９】
［１４］本発明に係る電子部品ハンドリング装置は、電子部品を保持する保持部を有するコンタクトアームを備えた電子部品ハンドリング装置であって、前記コンタクトアームは、前記コンタクトアームの基部に対して前記保持部を相対移動させる調整ユニットを有しており、前記電子部品ハンドリング装置は、前記電子部品及び前記保持部を撮像可能な撮像ユニットと、前記調整ユニットを操作する操作ユニットと、を備えており、前記撮像ユニットは、単一の撮像手段と、前記撮像手段の光軸の向きを前記電子部品又は前記保持部に切り替える切替手段と、を有し、前記調整ユニットは、前記操作ユニットの操作に従って、前記基部に対する前記保持部の相対位置を調整することを特徴とする。
【００２０】
［１５］本発明に係る電子部品試験装置は、電子部品を試験するための電子部品試験装置であって、上記の電子部品ハンドリング装置と、前記電子部品と電気的に接触するソケットを有するテストヘッドと、前記テストヘッドに電気的に接続されたテスタと、を備えており、前記コンタクトアームが前記電子部品を前記ソケットに押し付けることを特徴とする。
【００２１】
［１６］本発明に係る電子部品の試験方法は、電子部品を試験する方法であって、複数のコンタクトアームの保持部によって電子部品をそれぞれ保持する第１のステップと、前記保持部に保持された状態の複数の前記電子部品を順次撮像して第１の画像情報を順次取得する第２のステップと、前記第１の画像情報に基づいて、前記保持部に保持されている状態の前記電子部品をソケットに対して順次位置決めする第３のステップと、複数の前記コンタクトアームによって複数の前記電子部品を前記ソケットに押し付ける第４のステップと、を備えたことを特徴とする。
【００２２】
［１７］上記発明において、前記第２のステップが終了する前に前記第３のステップを開始してもよい。
【００２３】
［１８］上記発明において、前記試験方法は、前記第３のステップの前に前記ソケットを撮像して第２の画像情報を取得する第５のステップをさらに備えており、前記第３のステップは、前記第１の画像情報と前記第２の画像情報に基づいて、前記保持部に保持されている状態の前記電子部品をソケットに対して位置決めすることを含んでもよい。
【００２４】
［１９］上記発明において、前記試験方法は、所定位置にそれぞれ載置されている複数の前記電子部品を順次撮像して第３の画像情報を順次取得する第６のステップと、前記第３の画像情報に基づいて、前記保持部を前記電子部品に対して順次位置決めする第７のステップと、をさらに備えており、前記第６及び第７のステップは、前記第１のステップの前に実行されてもよい。
【００２５】
［２０］上記発明において、前記第６のステップが終了する前に前記第７のステップを開始してもよい。
【００２６】
［２１］上記発明において、前記試験方法は、前記第７のステップの前に前記保持部を撮像して第４の画像情報を取得する第８のステップをさらに備えており、前記第７のステップは、前記第３の画像情報と前記第４の画像情報に基づいて、前記保持部を前記電子部品に対して位置決めすることを含んでもよい。
【発明の効果】
【００２７】
本発明では、複数の保持部や複数の電子部品の撮像を連続的に行うことができると共に、複数の保持部の位置調整も連続的に行うことができる。このため、コンタクトアームの数が増加した場合に、電子部品ハンドリング装置の小型化を図ると共に、アライメント作業時間の短縮化によりスループットの向上も図ることができる。
【００２８】
また、本発明では、コンタクトアームが調整ユニットを有すると共に、電子部品ハンドリング装置が操作ユニットを有しているので、調整ユニットをコンタクトアームの外部から操作ユニットによって操作することができ、複数の保持部の位置調整を連続的に行うことが可能となる。また、撮像ユニットが切替手段を有しており、一つの撮像手段で保持部と電子部品を撮像することができるので、電子部品ハンドリング装置の小型化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】図１は、本発明の実施形態における電子部品試験装置を示す平面図である。
【図２】図２は、図１のII-II線に沿った断面図である。
【図３】図３は、図２のIII-III線に沿った断面図である。
【図４】図４は、図２に示すアライメント装置の拡大図である。
【図５】図５は、図３に示すアライメント装置の拡大図である。
【図６】図６は、本発明の実施形態における操作ユニットの拡大図である。
【図７】図７は、図３に示すコンタクトアームの拡大図である。
【図８】図８は、本発明の実施形態におけるコンタクトアームの内部構造を示す部分断面図である。
【図９】図９は、図８のIX-IX線に沿った断面図である。
【図１０】図１０（ａ）は、調整ユニットの変形例を示す断面図であり、図１０（ｂ）は、図１０（ａ）のXB-XB線に沿った断面図である。
【図１１】図１１は、図８のXI-XI線に沿った断面図である。
【図１２】図１２は、本発明の実施形態におけるハンドラの制御システムの一部を示すブロック図である。
【図１３】図１３は、本発明の実施形態における電子部品の試験方法を示すフローチャートである。
【図１４】図１４は、図１３のステップＳ１０におけるコンタクトアーム及びアライメント装置を示す図である。
【図１５】図１５（ａ）及び図１５（ｂ）は、図１３のステップＳ１４における操作ユニットと調整ユニットの拡大図である。
【図１６】図１６は、図１３のステップＳ２０におけるコンタクトアーム及びアライメント装置を示す図である。
【図１７】図１７は、図１３のステップＳ３０におけるコンタクトアーム及びアライメント装置を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
【００３１】
先ず、本実施形態における電子部品試験装置１の全体構成について、図１を参照しながら概説する。図１は本実施形態における電子部品試験装置を示す平面図である。
【００３２】
本実施形態における電子部品試験装置１は、図１に示すように、ハンドラ１００と、テストヘッド４００と、テスタ５００と、を備えており、画像処理技術を用いてＤＵＴ１０（図８等参照）等の位置決めを行った後に当該ＤＵＴ１０の試験を行う装置である。
【００３３】
テストヘッド４００は、ハンドラ１００のベースプレート１０１の下方に形成された空間１０２（図２参照）に挿入されており、テストヘッド４００のソケット４１０が、当該ベースプレート１０１に形成された開口１０３（図２参照）を介して、ハンドラ１００内に臨んでいる。このテストヘッド４００は、ケーブル５１０を介してテスタ５００に電気的に接続されている。このテストヘッド４００上には１６個（２行８列）のソケット４１０が設けられており、１６個のＤＵＴ１０を同時に試験することが可能となっている。
【００３４】
なお、テストヘッド４００上のソケット４１０の数は、特に限定されず、例えば、４、８、３２、或いは６４個のソケットをテストヘッド上に設けてもよい。本実施形態におけるハンドラ１００が、本発明における電子部品ハンドリング装置の一例に相当する。
【００３５】
この電子部品試験装置１では、ハンドラ１００が、試験前のＤＵＴ１０をカスタマトレイ２０Ａからテストヘッド４００に搬送し、コンタクトアーム３００を用いて当該ＤＵＴ１０をテストヘッド４００のソケット４１０に押し付ける。そして、テストヘッド４００とテスタ５００がＤＵＴ１０を試験した後に、ハンドラ１００が試験済みのＤＵＴ１０を試験結果に応じて分類しながらカスタマトレイ２０Ｂに収容する。
【００３６】
本実施形態におけるＤＵＴ１０は、下面１１に設けられた第１の端子１２に加えて、上面１３に設けられた第２の端子１４を有している（図８参照）。そのため、後述するように、画像処理技術を用いて、コンタクトアーム３００の保持部３８０に設けられた中継ソケット３８２（図８参照）をＤＵＴ１０に対して相対的に位置決めしたり、保持部３８０に保持されたＤＵＴ１０をテストヘッド４００のソケット４１０に対して相対的に位置決めを行う。
【００３７】
なお、本実施形態におけるＤＵＴ１０の下面１１が本発明における電子部品の一方の面の一例に相当し、本実施形態におけるＤＵＴ１０の上面１３が本発明における電子部品の他方の面の一例に相当する。
【００３８】
以下に、本実施形態におけるハンドラ１００の構成について、図１を参照しながら詳説する。
【００３９】
本実施形態におけるハンドラ１００は、図１に示すように、３つの搬送装置１１０〜１３０と、２つのＸ方向バッファ１４０，１５０と、２つのＹ方向バッファ１６０，１７０と、ヒートプレート１８０と、２つのアライメント装置２００，２００と、を備えている。
【００４０】
第１の搬送装置１１０は、Ｙ方向レール１１１と、供給アーム１１２と、第１の移載アーム１１５と、を有している。Ｙ方向レール１１１は、ハンドラ１００のベースプレート１０１の上方に架設されており、Ｙ方向に沿って延在している。
【００４１】
供給アーム１１２は、Ｘ方向レール１１３と、可動ヘッド１１４と、を有している。Ｘ方向レール１１３は、Ｙ方向レール１１１上をＹ方向に沿って移動することが可能となっている。可動ヘッド１１４は、このＸ方向レール１１３上をＸ方向に沿って移動することが可能となっている。特に図示しないが、この可動ヘッド１１４は、ＤＵＴ１０を吸着保持することが可能な１６個の吸着ヘッドを有しており、それぞれの吸着ヘッドは相互に独立して上下動可能となっている。
【００４２】
ベースプレート１０１の窓部１０４にカスタマトレイ２０Ａ，２０Ｂが配置されており、供給アーム１１２はカスタマトレイ２０Ａから試験前のＤＵＴ１０を取り上げてヒートプレート１８０に移動させる。なお、図１において、図中左側２つのカスタマトレイ２０Ａには試験前のＤＵＴ１０が収容されている。これに対し、図中右側の５つのカスタマトレイ２０Ｂには試験済みのＤＵＴ１０が収容されており、それぞれのカスタマトレイ２０Ｂは、ＤＵＴ１０の試験結果に対応付けられている。因みに、２つのカスタマトレイ２０Ａの図中右隣りに位置するカスタマトレイ２０Ｃは、ＤＵＴ１０を収容していない空のカスタマトレイである。
【００４３】
ヒートプレート１８０の表面には多数の凹部１８１が形成されており、供給アーム１１２によって当該凹部１８１内にＤＵＴ１０が載置されると、ヒートプレート１８０内に埋設されたヒータ（不図示）によってＤＵＴ１０が加熱される。ＤＵＴ１０が十分に加熱されたら、供給アーム１１２は当該ＤＵＴ１０をヒートプレート１８０から第１のＸ方向バッファ１４０に移動させる。
【００４４】
第１のＸ方向バッファ１４０は、Ｘ方向レール１４１と、移動プレート１４２と、を有している。Ｘ方向レール１４１は、ベースプレート１０１上に設けられており、後述する第１の移載アーム１１５の動作範囲と第２の移載アーム１３５の動作範囲との間をＸ方向に沿って延在している。移動プレート１４２は、このＸ方向レール１４１上をＸ方向に沿って移動することが可能となっている。移動プレート１４２の表面には、ＤＵＴ１０を収容可能な１６個の凹部１４３が形成されており、供給アーム１１２によってこの凹部１４３内にＤＵＴ１０が載置される。
【００４５】
ここで、後述するように、第２の搬送装置１２０は２つの可動ヘッド１２２，１２３を有しているため、一方の可動ヘッド１２２（又は１２３）がアライメント作業を行っている間に、他方の可動ヘッド１２３（又は１２２）がＤＵＴ１０をソケット４１０に押し付けることが可能となっており、これによりアライメント作業時間を相互に吸収することでスループットの向上が図られている。
【００４６】
このため、本実施形態では、図１中左側の第１の可動ヘッド１２２にＤＵＴ１０を供給する場合には、第１のＸ方向バッファ１４０は、第１の供給アーム１１２によるＤＵＴ１０の載置の後も、第１の移載アーム１１５の動作範囲内に位置したままでいる。これに対し、図中右側の第２の可動ヘッド１２３にＤＵＴ１０を供給する場合には、第１のＸ方向バッファ１４０は、第１の供給アーム１１２によるＤＵＴ１０の載置の後に、第２の移載アーム１３５の動作範囲内に移動する。
【００４７】
第１の可動ヘッド１２２にＤＵＴ１０を供給する場合には、第１の移載アーム１１５がＤＵＴ１０を第１のＸ方向バッファ１４０から第１のＹ方向バッファ１６０に移動させる。
【００４８】
第１の移載アーム１１５は、Ｙ方向レール１１１上をＹ方向に沿って移動可能な可動ヘッド１１６を有している。この可動ヘッド１１６は、特に図示しないが、ＤＵＴ１０を吸着保持することが可能な１６個の吸着ヘッドを有しており、それぞれの吸着ヘッドは相互に独立して上下動可能となっている。
【００４９】
一方、第１のＹ方向バッファ１６０は、Ｙ方向レール１６１と、移動プレート１６２と、を有している。Ｙ方向レール１６１は、ベースプレート１０１上に設けられており、第１の移載アーム１１５の動作範囲と第１の可動ヘッド１２２の動作範囲との間をＹ方向に沿って延在している。移動プレート１６２は、このＹ方向レール１６１上をＹ方向に沿って移動することが可能となっている。この移動プレート１６２の表面には、ＤＵＴ１０を収容可能な１６個の凹部１６３が形成されており、第１の移載アーム１１５によってこの凹部１６３内にＤＵＴ１０が載置される。
【００５０】
この第１のＹ方向バッファ１６０は、第１の移載アーム１１５によってＤＵＴ１０が載置されると、第２の搬送装置１２０の第１の可動ヘッド１２２の動作範囲内に移動プレート１６２を移動させる。
【００５１】
本実施形態では、この第１のＹ方向バッファ１６０の動作範囲と第１の可動ヘッド１２２の動作範囲との重複部分にアライメント装置２００が設けられている。このアライメント装置２００を用いて中継ソケット３８２やＤＵＴ１０の位置決めを行いながら、第１の可動ヘッド１２２がＤＵＴ１０を第１のＹ方向バッファ１６０から取り上げる。なお、このアライメント装置２００の構造については後に詳述する。
【００５２】
第２の搬送装置１２０は、Ｘ方向レール１２１と、第１の可動ヘッド１２２と、第２の可動ヘッド１２３と、を備えている。Ｘ方向レール１２１は、ハンドラ１００のベースプレート１０１の上方に架設されており、Ｘ方向に沿って延在している。第１及び第２の可動ヘッド１２２，１２３は、このＹ方向レール上をＸ方向に沿って相互に独立して移動することが可能となっている。
【００５３】
第１及び第２の可動ヘッド１２２，１２３は、２行８列に配列された１６個のコンタクトアーム３００をそれぞれ有しており、１６個のＤＵＴ１０を同時に保持することが可能となっている（図２参照）。また、第１及び第２の可動部１２２，１２３には、テストヘッド４００のソケット４１０を撮像するための第１のカメラ１２５が設けられている（図２参照）。なお、コンタクトアーム３００の構成については後述する。
【００５４】
なお、第１及び第２の可動ヘッド１２２，１２３が有するコンタクトアーム３００の数は、上記の特に限定されず、上述のテストヘッド４００上のソケット４１０の数に応じて設定される。
【００５５】
第１の可動ヘッド１２２は、ＤＵＴ１０をテストヘッド４００のソケット４１０の上方に移動させた後、それぞれのコンタクトアーム３００を下降させることで、ＤＵＴ１０をソケット４１０に電気的に接触させる。この状態で、テストヘッド４００とテスタ５００がＤＵＴ１０に対して試験信号を入出力することで当該ＤＵＴ１０をテストする。
【００５６】
ＤＵＴ１０の試験が完了したら、第１の可動ヘッド１２２は、当該ＤＵＴ１０を第１のＹ方向バッファ１６０に返送する。そして、この試験済みのＤＵＴ１０は、第１のＹ方向バッファ１６０によって、第１の移載アーム１１５の動作範囲内に移動し、第１の移載アーム１１５によって、第１のＹ方向バッファ１６０から第２のＸ方向バッファ１５０に積み替えられた後、第２のＸ方向バッファ１５０によって、第３の搬送装置１３０の分類アーム１３２の動作範囲内に搬送される。
【００５７】
なお、第２のＸ方向バッファ１５０は、上述の第１のＸ方向バッファ１４０と同様に、Ｘ方向レール１５１と、移動プレート１５２と、を有しており、ＤＵＴ１０を第１の移載アーム１１５の動作範囲と分類アーム１３２の動作範囲との間で移動させることが可能となっている。
【００５８】
一方、図１中右側の第２の可動ヘッド１２３にＤＵＴ１０を供給する場合には、第１のＸ方向バッファ１４０が第３の搬送装置１３０の第２の移載アーム１３５の動作範囲内に移動し、第２の移載アーム１３５がＤＵＴ１０を第１のＸ方向バッファ１４０から第２のＹ方向バッファ１７０に積み替える。
【００５９】
第３の搬送装置１３０は、Ｙ方向レール１３１と、分類アーム１３２と、第２の移載アーム１３５と、を有している。Ｙ方向レール１３１は、ハンドラ１００のベースプレート１０１の上方に架設されており、Ｙ方向に沿って延在している。
【００６０】
第２の移載アーム１３５は、Ｙ方向レール１３１上をＹ方向に沿って移動可能な可動ヘッド１３６を有している。この可動ヘッド１３６は、特に図示しないが、ＤＵＴ１０を吸着保持することが可能な１６個の吸着ヘッドを有しており、それぞれの吸着ヘッドは相互に独立して上下動可能となっている。
【００６１】
この第２の移載アーム１３５によってＤＵＴ１０が第２のＹ方向バッファ１７０に載置されると、第２のＹ方向バッファ１７０が第２の搬送装置１２０の第２の可動ヘッド１２３の動作範囲内に移動する。
【００６２】
この第２のＹ方向バッファ１７０は、上述の第１のＹ方向バッファ１６０と同様に、Ｙ方向レール１７１と、移動プレート１７２と、を有しており、ＤＵＴ１０を第２の移載アーム１３５の動作範囲と第２の可動ヘッド１２３の動作範囲との間で移動させることが可能となっている。
【００６３】
この第２のＹ方向バッファ１７０の動作範囲と第２の可動ヘッド１２３の動作範囲との重複部分にもアライメント装置２００が設けられている。このアライメント装置２００を用いて中継ソケット３８２やＤＵＴ１０の位置決めを行いながら、第２の可動ヘッド１２３がＤＵＴ１０を第２のＹ方向バッファ１７０から取り上げる。
【００６４】
そして、第２の可動ヘッド１２３は、ＤＵＴ１０をソケット４１０の上方に移動させた後にコンタクトアーム３００を下降させることで、ＤＵＴ１０をソケット４１０に電気的に接触させる。この状態で、テストヘッド４００とテスタ５００がＤＵＴ１０に対して試験信号を入出力することで当該ＤＵＴ１０をテストする。
【００６５】
ＤＵＴ１０の試験が完了したら、第２の可動ヘッド１２３は、当該ＤＵＴ１０を第２のＹ方向バッファ１７０に返送する。そして、この試験済みのＤＵＴ１０は、第２のＹ方向バッファ１７０によって、第２の移載アーム１３５の動作範囲内に移動し、第２の移載アーム１３５によって、第２のＹ方向バッファ１７０から第２のＸ方向バッファ１５０に積み替えられる。
【００６６】
第３の搬送装置１３０の分類アーム１３２は、Ｘ方向レール１３３と、可動ヘッド１３４と、を有している。Ｘ方向レール１３３は、Ｙ方向レール１３１上をＹ方向に沿って移動することが可能となっている。また、可動ヘッド１３４は、このＸ方向レール１３３上をＸ方向に沿って移動することが可能となっている。特に図示しないが、この可動ヘッド１３４は、ＤＵＴ１０を吸着保持することが可能な１６個の吸着ヘッドを有しており、それぞれの吸着ヘッドは相互に独立して上下動可能となっている。
【００６７】
この分類アーム１３２は、試験済みのＤＵＴ１０を、第２のＸ方向バッファ１５０からカスタマトレイ２０Ｂに積み替える。この際、分類アーム１３２は、試験結果に対応したカスタマトレイ２０ＢにＤＵＴ１０を移動させることで、試験結果に応じてＤＵＴ１０を分類する。
【００６８】
次に、本実施形態におけるアライメント装置２００の構成について、図２〜図６を参照しながら説明する。
【００６９】
なお、以下に、第１の可動ヘッド１２２の動作範囲内に設けられたアライメント装置２００の構成について説明するが、第２の可動ヘッド１２３の動作範囲内に設けられたアライメント装置２００も同様の構成を備えている。
【００７０】
図２は図１のII-II線に沿った断面図、図３は図２のIII-III線に沿った断面図、図４及び図５は図２及び図３にそれぞれ示すアライメント装置の拡大図であり、図６は本発明の実施形態における操作ユニットの拡大図である。
【００７１】
本実施形態におけるアライメント装置２００は、中継ソケット３８２やＤＵＴ１０の位置決めに用いられる装置であり、図２〜図５に示すように、移動ユニット２１０と、撮像ユニット２２０と、操作ユニット２３０と、を備えている。本実施形態における移動ユニット２１０が、本発明における移動手段の一例に相当する。
【００７２】
移動ユニット２１０は、Ｘ方向レール２１１と、スライド部２１２と、を有している。一対のＸ方向レール２１１は、第１の可動ヘッド１２２の動作範囲内に位置する第１のＹ方向バッファ１６０の移動プレート１６２の左右両側に位置するように、Ｘ方向に沿って延在している。
【００７３】
スライド部２１２は、特に図示しないモータとベルト機構によって、このＸ方向レール２１１上をＸ方向に沿ってスライドすることが可能となっている。このスライド部２１２には、撮像ユニット２２０と操作ユニット２３０が組み込まれており、スライド部２１２と共に撮像ユニット２２０と操作ユニット２３０もＸ方向に移動することが可能となっている。
【００７４】
本実施形態では、撮像ユニット２２０と操作ユニット２３０は、Ｘ方向においてコンタクトアーム３００同士のピッチと実質的に同一のピッチだけ相互に離れるように、スライド部２１２に設けられている。このため、撮像ユニット２２０によるＤＵＴ１０や中継ソケット３８２の撮像と、操作ユニット２３０による調整ユニット３３０の操作と、を同時に実行することが可能となっている。
【００７５】
なお、撮像ユニット２２０と操作ユニット２３０のピッチは、上記のピッチに特に限定されない。また、撮像ユニット２２０と操作ユニット２３０をそれぞれ独立した移動ユニットに設けて、相互に独立して移動可能に構成してもよい。
【００７６】
撮像ユニット２２０は、第２のカメラ２２１と、ミラー２２２と、エアシリンダ２２３と、照明２２４と、を有している。第２のカメラ２２１は、例えばＣＣＤ素子やレンズ等を有する撮像手段であり、スライド部２１２内に横向きに設置されている。この第２のカメラ２２１の光軸上にはミラー２２２が配置されている。
【００７７】
このミラー２２２は、エアシリンダ２２３の駆動軸に固定されている。このエアシリンダ２２３が駆動することで、駆動軸を介してミラー２２２を９０度回動することが可能となっており、第２のカメラ２２１の光軸を上方又は下方に切り替えることが可能となっている。本実施形態におけるミラー２２２及びエアシリンダ２２３が、本発明における切替手段の一例に相当する。
【００７８】
また、スライド部２１２には、ミラー２２２によって反射された第２のカメラ２２１の光軸が通過する開口２１３，２１４が形成されている。このため、第２のカメラ２２１は、ミラー２２２による光軸の方向の切り替えに応じて、第１のＹ方向バッファ１６０の移動プレート１６２に載置されたＤＵＴ１０を撮像したり、コンタクトアーム３００の保持部３８０を撮像することが可能となっている。
【００７９】
また、スライド部２１２の開口２１３，２１４には、ＬＥＤが環状に配列された照明２２４がそれぞれ設けられており、第２のカメラ２２１の撮影の際に移動プレート１６２上のＤＵＴ１０や保持部３８０を照らすことが可能となっている。
【００８０】
操作ユニット２３０は、後述するコンタクトアーム３００の調整ユニット３３０を操作するユニットであり、３つの操作部２４０〜２６０を備えている。
【００８１】
第１の操作部２４０は、調整ユニット３３０の第１の調整部３４０（後述）を操作するための機構であり、第１のモータ２４１と、第１のシャフト２４２と、第１の直進カム２４３と、を有している。
【００８２】
第１のモータ２４１は、移動ユニット２１０のスライド部２１２に固定されており、第１のシャフト２４２をＺ軸方向に沿って伸縮させることが可能となっている。この第１のシャフト２４２の先端には、第１の直進カム２４３が取り付けられている。
【００８３】
この第１の直進カム２４３は、図６に示すように、第１の調整部３４０の第１のカムフォロア３４２（後述）が転動するカム面２４４を有しており、このカム面２４４は、第１の平坦面２４５と、傾斜面２４６と、第２の平坦面２４７と、から構成されている。
【００８４】
本実施形態における第１の直進カム２４３が本発明における第１のカムの一例に相当し、本実施形態における傾斜面２４６が本発明における第１のカム面の一例に相当し、本実施形態における第２の平坦面２４７が本発明における第２のカム面の一例に相当する。
【００８５】
第１及び第２の平坦面２４５，２４７は、スライド部２１２の移動方向（Ｘ方向）に実質的に平行に延在している。一方、傾斜面２４６は、この２つの平坦面２４５，２４７の間に設けられており、スライド部２１２の移動方向（Ｘ方向）に対して傾斜している。
【００８６】
第２の操作部２５０は、調整ユニット３３０の第２の調整部３５０（後述）を操作するための機構である。この第２の操作部２５０も、第１の操作部２４０と同様に、第２のモータ２５１と、第２のシャフト２５２と、第２の直進カム２５３と、を有している。本実施形態における第２の直進カム２５３が、本発明における第１のカムの一例に相当する。
【００８７】
第２のモータ２５１は、移動ユニット２１０のスライド部２１２に固定されており、第２のシャフト２５２をＺ軸方向に沿って伸縮させることが可能となっている。この第２のシャフト２５２の先端には、上述の第１の直進カム２４３と同一形状を有する第２の直進カム２５３が取り付けられている。この第２の直進カム２５３のカム面を、第２の調整部３５０の第２のカムフォロア３５２（後述）が転動する。
【００８８】
第３の操作部２６０は、調整ユニット３３０の第３の調整部３６０（後述）を操作するための機構である。この第３の操作部２６０も、第１及び第２の操作部２４０，２５０と同様に、第３のモータ２６１と、第３のシャフト２６２と、第３の直進カム２６３と、を有している。しかしながら、第３のシャフト２６２をＹ方向に沿って伸縮させるように、第３のモータ２６１が移動ユニット２１０のスライド部２１２に固定されている点で、第３の操作部２６０は第１及び第２の操作部２４０，２５０と相違している。本実施形態における第３の直進カム２６３が、本発明における第１のカムの一例に相当する。
【００８９】
この第３のシャフト２６２の先端には、上述の第１及び第２の直進カム２４３，２５３と同一形状を有する第３の直進カム２６３が取り付けられている。この第３の直進カム２６３のカム面を、第３の調整部３６０の第３のカムフォロア３６２（後述）が転動する。
【００９０】
本実施形態では、１６個のコンタクトアーム３００が第２の搬送装置１２０の第１の可動ヘッド１２２に２行８列で配列されていることから、２組の撮像ユニット２２０がスライド部２１２に設けられていると共に、２組の操作ユニット２３０がスライド部２１２に設けられている。
【００９１】
次に、本実施形態におけるコンタクトアーム３００の構成について、図７〜図１０を参照しながら説明する。
【００９２】
なお、以下に、第１の可動ヘッド１２２のコンタクトアーム３００の構成について説明するが、第２の可動ヘッド１２３のコンタクトアーム３００も同様の構成を備えている。
【００９３】
図７は図３に示すコンタクトアームの拡大図、図８はコンタクトアームの内部構造を示す部分断面図、図９は図８のIX-IX線に沿った断面図、図１０（ａ）及び図１０（ｂ）は第２の調整部の変形例を示す図、図１１は図８のXI-XI線に沿った断面図である。
【００９４】
本実施形態におけるコンタクトアーム３００は、図７及び図８に示すように、基部３１０と、フローティング部３２０と、調整ユニット３３０と、ロックアンドフリーユニット３７０と、保持部３８０と、を備えている。本実施形態におけるロックアンドフリーユニット３７０が、本発明における拘束手段の一例に相当する。
【００９５】
コンタクトアーム３００の基部３１０は、Ｚ方向アクチュエータ１２４を介して、第１の可動ヘッド１２２に連結されている。なお、図７に示すように、本例では、２つのコンタクトアーム３００が１つの基部３１０を共用しているが、特にこれに限定されず、例えば、それぞれのコンタクトアーム３００が相互に独立した基部３１０を有してもよい。
【００９６】
この基部３１０の下側にはハウジング３１１が固定されている。図８に示すように、このハウジング３１１の中に、フローティング部３２０、調整ユニット３３０、及び、ロックアンドフリーユニット３７０が収容されている。
【００９７】
フローティング部３２０は、２枚のプレート３２１，３２２と、３本の支柱３２３〜３２５と、連結シャフト３２６と、を備えている。第１のプレート３２１と第２のプレート３２２との間には第１〜第３の支柱３２３〜３２５が設けられており、２枚のプレート３２１，３２２はこの３本の支柱３２３〜３２５で連結されている。
【００９８】
図９に示すように、第１の支柱３２３は、第２のプレート３２２の図中右下に配置されているのに対し、第２の支柱３２４は、当該第２のプレート３２２の図中左上に配置されており、第１の支柱３２３と第２の支柱は第２のプレート３２２の同一対角線上に配置されている。これに対し、第３の支柱３２５は、第２のプレート３２２の略中央に配置されえている。
【００９９】
因みに、後述するように、第１の支柱３２３には、調整ユニット３３０の第１の板カム３４４が当接し、第２の支柱３２４には、調整ユニット３３０の第２の板カム３５４が当接し、第３の支柱３２５には、調整ユニット３３０の押圧ブロック３６４が当接する。本実施形態における第１〜第３の支柱３２３〜３２５が、本発明における受圧部の一例に相当する。
【０１００】
図８に示すように、フローティング部３２０の第２のプレート３２２と、ハウジング３１１の内底面３１２との間には、ボールベアリング３１３が介装されている。このため、フローティング部３２０は、当該内底面３１２に対して実質的に平行な平面（以下単に、ＸＹ平面と称する。）上においてフローティング状態でハウジング３１１に保持されており、当該ＸＹ平面上において水平移動及び回転することが可能となっている。
【０１０１】
また、フローティング部３２０の第２のプレート３２２の下面には連結シャフト３２６が固定されている。この連結シャフト３２６は、ハウジング３１１の内底面３１２に形成された開口３１４を介して下方に向かって延在しており、当該連結シャフト３２６の下端は保持部３８０に連結されている。このため、当該保持部３８０は、ハウジング３１１が固定された基部３１０に対して相対的に平面移動及び回転することが可能となっている。なお、ハウジング３１１の外底面３１５と保持部３８０の上面との間にもボールベアリング３１６が介装されている。
【０１０２】
調整ユニット３３０は、図８及び図９に示すように、３つの調整部３４０〜３６０を備えており、上述の操作ユニット２３０の操作に従って、フローティング部３２０をＸＹ平面上で水平移動及び回転させるための機構である。
【０１０３】
第１の調整部３４０は、第１の入力レバー３４１と、第１のカムフォロア３４２と、第１のシャフト３４３と、第１の板カム３４４と、第１のばね３４５と、を有している。
【０１０４】
なお、本実施形態における第１の入力レバー３４１及び第１のカムフォロア３４２が本発明における入力部の一例に相当し、本実施形態における第１の板カム３４４が本発明における第２のカムの一例に相当し、本実施形態における第１のばね３４５が本発明における付勢手段の一例に相当する。
【０１０５】
第１の入力レバー３４１の一端には、ハウジング３１１に向かって突出する第１のカムフォロア３４２が取り付けられている。この第１のカムフォロア３４２は、第１の入力レバー３４１に回転自在に保持されている。この第１のカムフォロア３４２は、上述の操作ユニット２３０の第１の直進カム２４３のカム面２４４に追従する。
【０１０６】
一方、第１の入力レバー３４１の他端には第１のシャフト３４３の一端が接続されている。この第１のシャフト３４３は、ハウジング３１１の側面３１７に形成された貫通孔３１８を介して、ハウジング３１１の内部に入り込んでおり、特に図示しない軸受を介してハウジング３１１に回転自在に保持されている。
【０１０７】
この第１のシャフト３４３の他端には第１の板カム３４４が固定されている。この第１の板カム３４４は、略卵型の外周面を有しており、フローティング部３２０の第１の支柱３２３に接触している。
【０１０８】
図９に示すように、ハウジング３１１とフローティング部３２０との間には第１のばね３４５が介装されている。この第１のばね３４５は、フローティング部３２０の第１の支柱３２３を第１の板カム３４４に向かって付勢する引張ばねである。この第１のばね３４５によって、第１の板カム３４４と第１の支柱３２３とが常に接触していると共に、第１のシャフト３４３を介して第１の入力レバー３４１が図８中時計廻りに付勢されている。
【０１０９】
この第１の調整部３４０は次のように動作する。
【０１１０】
すなわち、第１のカムフォロア３４２が第１の直進カム２４３のカム面２４４上を転動して第１の入力レバー３４１が押し上げられると、第１のシャフト３４３を介して第１の板カム３４４が図８中反時計廻りに回転し第１の支柱３２３を図８中左方向（−Ｘ方向）に押圧する。
【０１１１】
一方、第１の支柱３２３に対する第１の板カム３４４の押圧力が解放されると、第１のばね３４５の弾性力によって第１の支柱３２３が図８中右方向（＋Ｘ方向）に移動し、第１のシャフト３４３を介して第１の入力レバー３４１が図８中時計廻りに回転する。
【０１１２】
第２の調整部３５０も、第１の調整部３４０と同様に、第２の入力レバー３５１と、第２のカムフォロア３５２と、第２のシャフト３５３と、第２の板カム３５４と、第２のばね３５５と、を有している。
【０１１３】
本実施形態における第２の入力レバー３５１及び第２のカムフォロア３５２が本発明における入力部の一例に相当し、本実施形態における第２の板カム３５４が本発明における第２のカムの一例に相当し、本実施形態における第２のばね３５５が本発明における付勢手段の一例に相当する。
【０１１４】
第２のカムフォロア３５２は、ハウジング３１１から離れる方向に突出するように第２の入力レバー３５１に取り付けられており、操作ユニット２３０の第２の直進カム２５３のカム面に追従する。また、第２の板カム３５４は、フローティング部３２０の第２の支柱３２４に接触している。
【０１１５】
図９に示すように、第２のばね３５５は、フローティング部３２０の第２の支柱３２４を第２の板カム３５４に向かって付勢する引張ばねであり、ハウジング３１１とフローティング部３２０との間に介装されている。この第２のばね３５５によって、第２の板カム３５４と第２の支柱３２４とが常に接触していると共に、第２のシャフト３５３を介して第２の入力レバー３５１が図８中時計廻りに付勢されている。
【０１１６】
この第２の調整部３５０は、次のように動作する。
【０１１７】
すなわち、第２のカムフォロア３５２が第２の直進カム２５３のカム面上を転動して第２の入力レバー３５１が押し上げられると、第２のシャフト３５３を介して第２の板カム３５４が図８中反時計廻りに回転し第２の支柱３２４を図８中右方向（＋Ｘ方向）に押圧する。
【０１１８】
一方、第２の支柱３２４に対する第２の板カム３５４の押圧力が解放されると、第２のばね３５５の弾性力によって第２の支柱３２４が図８中左方向（−Ｘ方向）に移動し、第２のシャフト３５３を介して第２の入力レバー３５１が図８中時計廻りに回転する。
【０１１９】
なお、図１０（ａ）に示すように、第２の板カム３５４の先端が上側を向くように当該第２の板カム３５４を第２のシャフト３５３に固定してもよい。この場合には、図１０（ｂ）に示すように、第２の調整部３５０にねじりばね３５６を追加する。このねじりばね３５６は、第２の入力レバー３５１を図１０（ａ）中時計廻りに付勢する。
【０１２０】
第３の調整部３６０も、第１及び第２の調整部３４０，３５０と同様に、第３の入力レバー３６１と、第３のカムフォロア３６２と、第３のシャフト３６３と、第３のばね３６５と、を有しているが、板カム３４４，３５４に代えて、押圧ブロック３６４を有している。
【０１２１】
、本実施形態における第３の入力レバー３６１及び第３のカムフォロア３６２が本発明における入力部の一例に相当し、本実施形態における押圧ブロック３６４が本発明における押圧部の一例に相当し、本実施形態における第３のばね３６５が本発明における付勢手段の一例に相当する。
【０１２２】
第３のカムフォロア３６２は、下方に向かって突出するように第３の入力レバー３６１の一端に取り付けられており、操作ユニット２３０の第３の直進カム２６３のカム面に追従する。また、第３のシャフト３６３の端部に固定された押圧ブロック３６４は、フローティング部３２０の第３の支柱３２５に接触している。
【０１２３】
図９に示すように、第３のばね３６５は、フローティング部３２０の第３の支柱３２５を押圧ブロック３６４に向かって付勢する圧縮ばねであり、ハウジング３１１とフローティング部３２０との間に介装されている。この第３のばね３６５によって、押圧ブロック３６４と第３の支柱３６４とが常に接触していると共に、第３のシャフト３６３を介して第３の入力レバー３６１が図９中下方向（−Ｙ方向）に付勢されている。
【０１２４】
この第３の調整部３６０は次のように動作する。
【０１２５】
すなわち、第３のカムフォロア３６２が第３の直進カム２６３のカム面上を転動して第３の入力レバー３６１が図９中上方向（＋Ｙ方向）に押されると、第３のシャフト３６３及び押圧ブロック３６４を介して第３の支柱３２５が図９中上方向（＋Ｙ方向）に押圧される。
【０１２６】
一方、第３の支柱３２５に対する押圧ブロック３６４の押圧力が解放されると、第３のばね３６５の弾性力によって第３の支柱３２５が図９中下方向（−Ｙ方向）に移動し、第３のシャフト３６３を介して第３の入力レバー３６１も図９中下方向（−Ｙ方向）に移動する。
【０１２７】
以上に説明した調整ユニット３３０では、例えば、第１の入力レバー３４１と第２の入力レバー３５１を操作することで、フローティング部３２０をＸＹ平面上で水平移動させたり回転させることができる。また、第３の入力レバー３６１を押し込むことで、フローティング部３２０をＹ方向に水平移動させることができる。
【０１２８】
コンタクトアーム３００のロックアンドフリーユニット３７０は、図８及び図１１に示すように、第１のエアシリンダ３７１と、第２のエアシリンダ３７３と、受け部３７５と、鋼球３７６と、を備えている。図１１に示すように、２つの第１のエアシリンダ３７１がＹ方向に沿って配置されていると共に、２つの第２のエアシリンダ２７３がＸ方向に沿って配置されている。
【０１２９】
第１のエアシリンダ３７１は、フローティング部３２０の第１のプレート３２１に当接可能なピストン３７２を有している。この第１のエアシリンダ３７１は、ピストン３７２で第１のプレート３２１を押圧することでフローティング部３２０の動きを拘束することができる一方で、当該ピストン３７２の押圧を弱めることでフローティング部３２０の拘束を解除することが可能となっている。
【０１３０】
また、フローティング部３２０の第１のプレート３２１上には、凹状の曲面を有する受け部３７５が設けられている。この受け部３７５上には鋼球３７６が載置されており、第２のエアシリンダ３７３のピストン３７４は、上方からこの鋼球３７６に接触している。
【０１３１】
第２のエアシリンダ３７３のピストン３７４が鋼球３７６を押圧すると、受け部３２５の曲面の中央部が鋼球３７６に対向するように、フローティング部３２０がハウジング３１１に対して相対移動する。これにより、保持部３８０が基部３１０に対してセンタリングされ、基部３１０に対する保持部３８０の相対位置が初期状態に復帰（初期化）される。
【０１３２】
コンタクトアーム３００の保持部３８０は、図８に示すように、吸着パッド３８１と、中継ソケット３８２と、を備えている。吸着パッド３８１は、保持部３８０の下端の略中央で開口していると共に、当該保持部３８０内に形成された通路を介して真空ポンプ（不図示）に接続されており、ＤＵＴ１０を吸着保持することが可能となっている。
【０１３３】
中継ソケット３８２は、この吸着パッド３８１を囲うように保持部３８０の下端に装着されている。この中継ソケット３８２は、コンタクトピン３８３と、コンタクトパッド３８４と、を有している。コンタクトピン３８３は、ＤＵＴ１０の第２の端子１４に対応するように配置されている。一方、コンタクトパッド３８４は、ソケット４１０の第２のコンタクトピン４１２に対応するように配置されている。
【０１３４】
試験の際にコンタクトアーム３００によってＤＵＴ１０がソケット４１０に押し付けられると、ＤＵＴ１０の第１の端子１２がソケット４１０の第１のコンタクトピン４１１に接触すると共に、ＤＵＴ１０の第２の端子１４が中継ソケット３８２のコンタクトピン３８３に接触し、さらに、中継ソケット３８２のコンタクトパッド３８４がソケット４１０の第２のコンタクトピン４１２に接触する。これにより、ＤＵＴ１０の第２の端子１４が、中継ソケット３８２を介して、ソケット４１０に電気的に接続される。
【０１３５】
なお、特に図示しないが、ＤＵＴ１０の温度を制御するための温度調整機構や、当該ＤＵＴ１０の温度を計測するための温度センサ等が、保持部３８０の内部に埋設されていてもよい。
【０１３６】
図１２は本実施形態におけるハンドラの制御システムを示すブロック図である。
【０１３７】
以上に説明した撮像ユニット２２０や操作ユニット２３０、ロックアンドフリーユニット３７０は、図１２に示すように、ハンドラ１００の制御装置１０５に接続されており、この制御装置１０５によって制御されている。なお、この制御装置１０５は、ハンドラ１００全体を制御している。本実施形態における制御装置１０５が、本発明における算出手段の一例に相当する。
【０１３８】
具体的には、第２の搬送装置１２０に設けられた第１のカメラ１２５は、テストヘッド４００のソケット４１０を撮像した後に、当該画像情報を制御装置１０５に送信することが可能となっている。同様に、撮像ユニット２２０の第２のカメラ２１１も、第１のＹ方向バッファ１６０上に載置されたＤＵＴ１０やコンタクトアーム３００の保持部３８０の中継ソケット３８２を撮像した後に、当該画像情報を制御装置１０５に送信することが可能となっている。
【０１３９】
制御装置１０５は、例えば、ＣＰＵ、ＲＡＭ、ＲＯＭ等を備えたコンピュータから構成されており、画像情報に対して画像処理を施す機能を備えている。そして、この制御装置１０５は、第１のカメラ１２５によって取得された画像情報に対して画像処理を行うことで、ソケット４１０のコンタクトピン４１１，４１２の位置及び姿勢（以下単に「ソケット位置」とも称する。）を認識することが可能となっている。
【０１４０】
なお、このソケット位置の認識は、例えば、ＤＵＴ１０の品種交換等に伴ってソケット４１０が交換された際に行われる。この第１のカメラ１２５によってソケット４１０を撮像してソケット位置を認識しておく工程が、本発明における第５のステップの一例に相当する。このソケット位置は、後述する図１３のステップＳ３４で使用される。
【０１４１】
また、制御装置１０５は、第２のカメラ２１１によって取得された画像情報に対して画像処理を行うことで、ＤＵＴ１０の第１の端子１２の位置及び姿勢（以下単に「第１端子位置」とも称する。）、ＤＵＴ１０の第２の端子１４の位置及び姿勢（以下単に「第２端子位置」とも称する。）、或いは、中継ソケット３８２のコンタクトピン３８３やコンタクトパッド３８４の位置及び姿勢（以下単に「中継ソケット位置」とも称する。）を認識することが可能となっている。
【０１４２】
具体的には、第２のカメラ２１１によって取得された画像情報が、第１のＹ方向バッファ１６０の移動プレート１６２上に載置されたＤＵＴ１０（すなわち、コンタクトアーム３００に保持される前のＤＵＴ１０）の画像情報である場合には、制御装置１０５は、その画像情報から第２端子位置を認識する。この第２端子位置は、後述する図１３のステップＳ１３で認識され、同図のステップＳ１４で使用される。
【０１４３】
これに対し、第２のカメラ２１１によって取得された画像情報が、ＤＵＴ１０を保持する前の保持部３８０の画像情報である場合には、制御装置１０５は、その画像情報から中継ソケット位置を認識する。なお、この中継ソケット位置の認識は、例えば、ＤＵＴ１０の品種交換等に伴って中継ソケット３８２が交換された際に行われる。この際、後述する図１３のステップＳ１２やステップＳ３２と同様に、移動ユニット２１０によって撮像ユニット２２０を移動させながら複数の保持部３８０を連続的に撮像する。この第２のカメラ２２１によって中継ソケット３８２を撮像して中継ソケット位置を認識しておく工程が、本発明における第８のステップの一例に相当する。また、この中継ソケット位置は、後述する図１３のステップＳ１４で使用される。
【０１４４】
また、第２のカメラ２１１によって取得された画像情報が、保持部３８０に保持されたＤＵＴ１０の画像情報である場合には、制御装置１０５は、その画像情報から第１端子位置を認識する。この第１端子位置は、後述する図１３のステップＳ３３で認識され、同図のステップＳ３４で使用される。
【０１４５】
さらに、制御装置１０５は、上述の認識結果に基づいて、基部３１０に対する保持部３８０の相対移動量を算出し、さらにこの相対移動量を実現するための操作ユニット２３０の駆動量を算出することが可能となっている。
【０１４６】
具体的には、コンタクトアーム３００がＤＵＴ１０を保持する際には、制御装置１０５は、第２端子位置と中継ソケット位置を相対的に一致させるような相対移動量を算出し、さらにこの相対移動量を実現するための操作ユニット２３０の駆動量を算出する。そして、操作ユニット２３０の第１〜第３のモータ２４１，２５１，２６１が、制御装置１０５から指示された駆動量だけを動作することで、ＤＵＴ１０に対して中継ソケット３８２が相対的に位置決めされる（後述の図１３のステップＳ１４）。
【０１４７】
一方、コンタクトアーム３００がＤＵＴ１０をソケット４１０に押し付ける際には、制御装置１０５は、ソケット位置と第１端子位置を相対的に一致させるような相対移動量を算出し、さらにこの相対移動量を実現するための操作ユニット２３０の駆動量を算出する。そして、操作ユニット２３０の第１〜第３のモータ２４１，２５１，２６１が、制御装置１０５から指示された駆動量だけ動作することで、ソケット４２０に対してＤＵＴ１０が相対的に位置決めされる（後述の図１３のステップＳ３４）。
【０１４８】
次に、本実施形態におけるアライメント装置２００を用いたＤＵＴ１０の試験方法について、図１３〜図１７を参照しながら説明する。
【０１４９】
なお、以下に第１の可動ヘッド１２２を用いたＤＵＴ１０の試験方法について説明するが、第２の可動ヘッド１２３を用いたＤＵＴ１０の試験方法も同様であるのでその説明は省略する。
【０１５０】
図１３は本実施形態におけるＤＵＴの試験方法を示すフローチャート、図１４、図１６及び図１７は図１３のステップＳ１０、Ｓ２０、Ｓ３０におけるコンタクトアーム及びアライメント装置を示す図、図１５（ａ）及び図１５（ｂ）は図１３のステップＳ１４における操作ユニットと調整ユニットの拡大図である。
【０１５１】
本実施形態では、図１３に示すように、一次アライメントＳ１０によってＤＵＴ１０に対して中継ソケット３８２を相対的に位置決めした後に、コンタクトアーム３００によってＤＵＴ１０を保持する（ステップＳ２０）。次いで、二次アライメントＳ３０によってＤＵＴ１０をソケット４１０に対して相対的に位置決めした後に、コンタクトアーム３００によってＤＵＴ１０をソケット４１０に押し付け（ステップＳ４０）、その状態でテストヘッド４００とテスタ５００がＤＵＴ１０の試験を実行する（ステップＳ５０）。
【０１５２】
具体的には、図１３のステップＳ１１において、制御装置１０５が、ロックアンドフリーユニット３７０の全てのエアシリンダ３７１，３７３を解放して、基部３１０に対して保持部３８０を非拘束な状態とする。
【０１５３】
次いで、図１４に示すように、アライメント装置２００のスライド部２１２をＸ方向に沿って移動させながら、以下に説明するステップＳ１２〜Ｓ１５の処理を実行する。
【０１５４】
先ず、図１３のステップＳ１２において、撮像ユニット２２０の第２のカメラ２２１によって第１のＹ方向バッファ１６０上のＤＵＴ１０を撮像する。
【０１５５】
次いで、図１３のステップＳ１３において、制御装置１０５が、その画像情報に対して画像処理を行って第２端子位置を認識する。
【０１５６】
次いで、図１３のステップＳ１４において、制御装置１０５が、この第２端子位置と、予め認識されている中継ソケット位置と、から操作ユニット２３０の駆動量を算出し、当該駆動量を操作ユニット２３０に指示する。
【０１５７】
そして、操作ユニット２３０は、その指示に従って調整ユニット３３０を操作する。例えば、図１５（ａ）及び図１５（ｂ）に示すように、制御装置１０５からの指示に基づいて第１のモータ２４１が第１の直進カム２４３を所定の高さに位置させた状態で、第１の直進カム２４３の傾斜面２４６によって第１の入力レバー３４１が押し上げられると、第１の板カム３４４によって第１の支柱３２３が図中左方向に押圧される。
【０１５８】
なお、操作ユニット２３０は、スライド部２１２の移動に伴って直進カム２４３，２５３，２６３が調整ユニット３３０のカムフォロア３４２，３５２，３６２に当接する前に、指示された駆動を完了させておくことが好ましいが、特にこれに限定されない。遅くとも、カムフォロア３４２，３５２，３６２が直進カム２４３，２５３，２６３の第２の平坦面２４７に到達する前に、指示された駆動を操作ユニット２３０が完了させておけばよい。
【０１５９】
次いで、図２のステップＳ１５において、ロックアンドフリーユニット３７０の第１のエアシリンダ３７１にエアを供給してフローティング部３２０をロックする。これにより、ＤＵＴ１０に対する中継ソケット３８２の相対的な位置決めが完了する。
【０１６０】
なお、このステップＳ１５では、調整ユニット３３０の全てのカムフォロア３４２，３５２，３６２が直進カム２４３，２５３，２６３の第２の平坦面２４７上を転動している間に、第１のエアシリンダ３７１をロックする。
【０１６１】
本実施形態では、以上のようにスライド部２１２を移動させながらステップＳ１２〜Ｓ１５の処理を実行するので、第２のカメラ２２１によって複数のＤＵＴ１０を順次撮像することができると共に、操作ユニット２３０によって複数の調整ユニット３３０を順次操作することができる。このため、コンタクトアーム３００の数が増加した場合に、ハンドラ１００の小型化を図ると共に、アライメント作業時間の短縮化によりスループットの向上も図ることができる。
【０１６２】
また、本実施形態では、ステップＳ１２〜Ｓ１５の処理において、スライド部２１２の移動を利用して、操作ユニット２３０が調整ユニット３３０を操作するので、操作ユニット２３０の構成の簡素化も図ることができる。
【０１６３】
次いで、図１３のステップＳ２０において、図１６に示すように、Ｚ方向アクチュエータ１２４が伸長することでコンタクトアーム３００が下降してＤＵＴ１０を吸着保持する。ＤＵＴ１０を吸着保持したら、Ｚ方向アクチュエータ１２４が短縮することでコンタクトアーム３００が上昇する。
【０１６４】
次いで、図１３のステップＳ３１において、制御装置１０５が、ロックアンドフリーユニット３７０の第１のエアシリンダ３７１を解放して、基部３１０に対して保持部３８０を非拘束な状態とする。
【０１６５】
次いで、図１７に示すように、アライメント装置２００のスライド部２１２をＸ方向に沿って移動させながら、以下に説明するステップＳ３２〜Ｓ３５の処理を実行する。なお、このステップＳ３２〜Ｓ３５を開始する前に、アライメント装置２００のスライド部２１２は−Ｘ方向に戻されている。
【０１６６】
先ず、図１３のステップＳ３２において、撮像ユニット２２０の第２のカメラ２２１によって、保持部３８０に保持された状態のＤＵＴ１０を撮像する。なお、このステップＳ３２を実行する前に、撮像ユニット２２０のエアシリンダ２２３を駆動させて、ミラー２２２を９０度回動させておく。
【０１６７】
次いで、図１３のステップＳ３３において、制御装置１０５が、その画像情報に対して画像処理を行って第１端子位置を認識する。
【０１６８】
次いで、図１３のステップＳ３４において、制御装置１０５が、この第１端子位置と、予め認識されているソケット位置と、から操作ユニット２３０の駆動量を算出し、当該駆動量を操作ユニット２３０に指示する。操作ユニット２３０は、上述のステップＳ１４と同様の要領で、その指示に従って調整ユニット３３０を操作する。
【０１６９】
次いで、図２のステップＳ３５において、ロックアンドフリーユニット３７０の第１のエアシリンダ３７１にエアを供給してフローティング部３２０をロックする。これにより、ソケット４１０に対するＤＵＴ１０の相対的な位置決めが完了する。
【０１７０】
次いで、図２のステップＳ４０において、特に図示しないが、第１の可動ヘッド１２２がテストヘッド４００のソケット４１０の上方に移動した後に、Ｚ方向アクチュエータ１２４が伸長することで第１の可動ヘッド１２２が下降してＤＵＴ１０をソケット４１０に押し付ける。
【０１７１】
これにより、ＤＵＴ１０の第１の端子１２がソケット４１０の第１のコンタクトピン４１１に接触すると共に、ＤＵＴ１０の第２の端子１４が中継ソケット３８２のコンタクトピン３８３に接触し、さらに、中継ソケット３８２のコンタクトパッド３８４がソケット４１０の第２のコンタクトピン４１２に接触する（図８参照）。これにより、ＤＵＴ１０の第２の端子１４が、中継ソケット３８２を介して、ソケット４１０に電気的に接続される。
【０１７２】
この状態で、図２のステップＳ５０において、テストヘッド４１０とテスタ５００がＤＵＴ１０に対して試験信号を入出力することで、当該ＤＵＴ１０の試験を実行する。
【０１７３】
ＤＵＴ１０の試験が完了したら、Ｚ方向アクチュエータ１２４が短縮することでコンタクトアーム３００が上昇し、第１の可動ヘッド１２２は第１のＹ方向バッファ１６０に当該ＤＵＴ１０を移動させる。
【０１７４】
本実施形態では、以上のように、スライド部２１２を移動させながらステップＳ３２〜Ｓ３５の処理を実行するので、第２のカメラ２２１によって複数のＤＵＴ１０を順次撮像することができると共に、操作ユニット２３０によって複数の調整ユニット３３０を順次操作することができる。このため、コンタクトアーム３００の数が増加した場合に、ハンドラ１００の小型化を図ると共に、アライメント作業時間の短縮化によりスループットの向上も図ることができる。
【０１７５】
また、本実施形態では、ステップＳ３２〜Ｓ３５の処理において、スライド部２１２の移動を利用して、操作ユニット２３０が調整ユニット３３０を操作するので、操作ユニット２３０の構成の簡素化も図ることができる。
【０１７６】
本実施形態における図１３のステップＳ２０が本発明における第１のステップの一例に相当し、本実施形態における図１３のステップＳ３２が本発明における第２のステップの一例に相当し、本実施形態における図１３のステップＳ３３〜Ｓ３４が本発明における第３のステップの一例に相当し、本実施形態における図１３のステップＳ４０が本発明における第４のステップの一例に相当する。
【０１７７】
また、本実施形態における図１３のステップＳ１２が本発明における第６のステップの一例に相当し、本実施形態における図１３のステップＳ１３〜Ｓ１４が本発明における第７のステップの一例に相当する。
【０１７８】
なお、以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって、本発明を限定するために記載されたものではない。したがって、上記の実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。
【０１７９】
例えば、上述の図１３を参照しながら説明した試験方法では、スライド部２１２を移動させながらステップＳ１２〜Ｓ１５の処理を並行して実行したが、特にこれに限定されない。スライド部２１２を移動させながら全てのＤＵＴ１０に対してステップＳ１２〜Ｓ１３の処理を実行した後に、スライド部２１２が再度移動しながら全てのコンタクトアーム３００に対してステップＳ１４〜Ｓ１５の処理を実行してもよい。
【０１８０】
同様に、上述の試験方法では、スライド部２１２を移動させながらステップＳ３２〜Ｓ３５の処理を並行して実行したが、特にこれに限定されない。スライド部２１２を移動させながら全てのＤＵＴ１０に対してステップＳ３２〜Ｓ３３の処理を実行した後に、スライド部２１２を再度移動させながら全てのコンタクトアーム３００に対してステップＳ３４〜Ｓ３５の処理を実行してもよい。
【０１８１】
また、上述の実施形態では、両面１１，１３に端子１２，１４が形成されたＤＵＴ１０を試験するためのハンドラ１００に本発明を適用した例について説明したが、特にこれに限定されない。例えば、下面のみに端子が形成されたＤＵＴを試験するためのハンドラに本発明を適用してもよい。
【０１８２】
この場合には、ＤＵＴ１０を保持する前に、第２のエアシリンダ３７３にエアを供給することで、保持部３８０を基部３１０に対してセンタリングしておいてもよい。
【符号の説明】
【０１８３】
１…電子部品試験装置
１００…ハンドラ
１０５…制御装置
２００…アライメント装置
２１０…移動ユニット
２１２…スライド部
２２０…撮像ユニット
２２１…第２のカメラ
２２２…ミラー
２２３…エアシリンダ
２３０…操作ユニット
２４０…第１の操作部
２４１…第１のモータ
２４２…第１のシャフト
２４３…第１の直進カム
２４４…カム面
２４５…第１の平坦面
２４６…傾斜面
２４７…第２の平坦面
２５０…第２の操作部
２６０…第３の操作部
３００…コンタクトアーム
３１０…基部
３２０…フローティング部
３２３〜３２５…第１〜第３の支柱
３３０…調整ユニット
３４０…第１の調整部
３４１…第１の入力レバー
３４２…第１のカムフォロア
３４３…第１のシャフト
３４４…第１の板カム
３４５…第１のばね
３５０…第２の調整部
３６０…第３の調整部
３７０…ロックアンドフリーユニット
３８０…保持部
３８２…中継ソケット
３８３…コンタクトピン
３８４…コンタクトパッド
４００…テストヘッド
４１０…ソケット
４１１…第１のコンタクトピン
４１２…第２のコンタクトピン
５００…テスタ
１０…ＤＵＴ
１２…第１の端子
１４…第２の端子
【図１】
2014085230.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2014085230.tif 000007
【図６】
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【図７】
2014085230.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
2014085230.tif 000015
【図１４】
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【図１５】
2014085230.tif 000017
【図１６】
2014085230.tif 000018
【図１７】
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