(57)【要約】      （修正有）【課題】金属薄板の寸法を精度良く測定することのできる金属薄板の寸法測定装置、及び、金属薄板の寸法測定方法を提供する。【解決手段】金属薄板が載置される載置板２１と、載置板上に載置される金属薄板の対向する各縁部領域を保持するようになっている一対の保持機構２２ａ、２２ｂと、一対の保持機構２２ａ、２２ｂの互いに対する距離を拡げることによって金属薄板に対し引張力を与えるようになっている引張機構２３と、金属薄板の所望の引張方向に基づいて、引張機構による引張力の方向に対する載置板上における金属薄板の載置姿勢を案内するようになっている案内部材と、引張力を与えられた状態の金属薄板の少なくとも１つの寸法を測定する測定機構１３と、を備える金属薄板の寸法測定装置である。【選択図】図１
2014098592.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属薄板が載置される載置板と、
前記載置板上に載置される前記金属薄板の対向する各縁部領域を保持するようになっている一対の保持機構と、
前記一対の保持機構の互いに対する距離を拡げることによって前記金属薄板に対し引張力を与えるようになっている引張機構と、
前記金属薄板の所望の引張方向に基づいて、前記引張機構による引張力の方向に対する前記載置板上における前記金属薄板の載置姿勢を案内するようになっている案内部材と、
前記引張力を与えられた状態の前記金属薄板の少なくとも１つの寸法を測定する測定機構と、
を備えたことを特徴とする金属薄板の寸法測定装置。
【請求項２】
前記案内部材は、前記載置板上における前記金属薄板の一側の縁部領域に当接する案内ピンを含み、
前記案内ピンは、前記金属薄板の所望の引張方向と前記引張機構による引張力の方向とが整合するように、移動可能となっている
ことを特徴とする請求項１に記載の金属薄板の寸法測定装置。
【請求項３】
前記案内ピンは、各々独立に移動可能な複数のピンを含んでいる
ことを特徴とする請求項２に記載の金属薄板の寸法測定装置。
【請求項４】
前記測定機構は、前記引張力を与えられた状態の前記金属薄板の画像を撮像する測定用カメラと、撮像された画像を処理する画像処理装置と、を有している
ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の金属薄板の寸法測定装置。
【請求項５】
前記載置板には、帯電防止処理が施されている
ことを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の金属薄板の寸法測定装置。
【請求項６】
前記保持機構により保持された状態の前記金属薄板と前記載置板との間にエアを圧入するエア圧入機構を有している
ことを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の金属薄板の寸法測定装置。
【請求項７】
前記載置板の少なくとも一部を前記一対の保持機構に対して下降させる載置板下降機構を有している
ことを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の金属薄板の寸法測定装置。
【請求項８】
前記載置板は少なくとも２つの載置板部分に分離されていて、一対の保持機構の各々は異なる載置板部分に設けられている
ことを特徴とする請求項１乃至７のいずれかに記載の金属薄板の寸法測定装置。
【請求項９】
金属薄板が載置される複数の載置板と、
前記載置板上に載置される前記金属薄板の対向する各縁部領域を各対が保持するようになっている複数対の保持機構と、
各対の保持機構の互いに対する距離を拡げることによって前記金属薄板に対し引張力を与えるようになっている複数の引張機構と、
前記金属薄板の所望の引張方向に基づいて、前記複数の引張機構による引張力の方向に対する前記複数の載置板上における前記金属薄板の載置姿勢を案内するようになっている案内部材と、
前記引張力を与えられた状態の前記金属薄板の少なくとも１つの寸法を測定する測定機構と、
を備えたことを特徴とする金属薄板の寸法測定装置。
【請求項１０】
金属薄板の所望の引張方向を決定する工程と、
前記金属薄板の所望の引張方向に基づいて載置板上における前記金属薄板の載置姿勢を案内するように案内部材を位置決めする工程と、
前記案内部材による案内に従って前記金属薄板を前記載置板に載置する工程と、
一対の保持機構によって前記載置板に載置された前記金属薄板の対向する各縁部領域を保持する工程と、
引張機構によって前記金属薄板を保持した状態の前記一対の保持機構の互いに対する距離を拡げることによって前記金属薄板に対し引張力を与える工程と、
測定機構によって前記引張力を与えられた状態の前記金属薄板の少なくとも１つの寸法を測定する工程と、
を備えたことを特徴とする金属薄板の寸法測定方法。
【請求項１１】
前記案内部材は、前記載置板上における前記金属薄板の一側の縁部領域に当接する案内ピンを含み、
前記位置決めする工程は、前記金属薄板の所望の引張方向と前記引張機構による引張力の方向とが整合するように、前記案内ピンを移動させる工程を含んでいる
ことを特徴とする請求項１０に記載の金属薄板の寸法測定方法。
【請求項１２】
前記測定する工程は、前記引張力を与えられた状態の前記金属薄板の画像を撮像する工程と、撮像された画像を処理する工程と、を含んでいる
ことを特徴とする請求項１０または１１に記載の金属薄板の寸法測定方法。
【請求項１３】
前記引張力を与える工程の前に、前記一対の保持機構で保持された状態の前記金属薄板と前記載置板との間にエアを圧入する工程
を更に備えたことを特徴とする請求項１０乃至１２のいずれかに記載の金属薄板の寸法測定方法。
【請求項１４】
前記引張力を与える工程の前に、前記載置板の少なくとも一部を前記一対の保持機構に対して下降させる工程
を更に備えたことを特徴とする請求項１０乃至１２のいずれかに記載の金属薄板の寸法測定方法。
【請求項１５】
金属薄板の所望の引張方向を決定する工程と、
前記金属薄板の所望の引張方向に基づいて前記複数の載置板上における前記金属薄板の載置姿勢を案内するように案内部材を位置決めする工程と、
前記案内部材による案内に従って前記金属薄板を前記複数の載置板に載置する工程と、
複数対の保持機構の各対によって前記複数の載置板に載置された前記金属薄板の対向する各縁部領域を保持する工程と、
複数の引張機構によって前記金属薄板を保持した状態の前記複数対の保持機構の各対の互いに対する距離を拡げることによって前記金属薄板に対し引張力を与える工程と、
測定機構によって前記引張力を与えられた状態の前記金属薄板の少なくとも１つの寸法を測定する工程と、
を備えたことを特徴とする金属薄板の寸法測定方法。
【請求項１６】
金属薄板が載置される載置板と、
前記載置板上に載置される前記金属薄板の対向する各縁部領域を保持するようになっている一対の保持機構と、
前記一対の保持機構の互いに対する距離を拡げることによって前記金属薄板に対し引張力を与えるようになっている引張機構と、
前記金属薄板の所望の引張方向に基づいて、前記載置板上における前記金属薄板の載置姿勢に対する前記一対の保持機構の位置を変更するようになっている位置変更機構と、
前記引張力を与えられた状態の前記金属薄板の少なくとも１つの寸法を測定する測定機構と、
を備えたことを特徴とする金属薄板の寸法測定装置。
【請求項１７】
前記位置変更機構は、各保持機構を所定の回転中心周りに回転させるようになっている
ことを特徴とする請求項１６に記載の金属薄板の寸法測定装置。
【請求項１８】
前記位置変更機構は、前記一対の保持機構を互いに対して並進移動させるようになっている
ことを特徴とする請求項１６または１７に記載の金属薄板の寸法測定装置。
【請求項１９】
前記測定機構は、前記引張力を与えられた状態の前記金属薄板の画像を撮像する測定用カメラと、撮像された画像を処理する画像処理装置と、を有している
ことを特徴とする請求項１６乃至１８のいずれかに記載の金属薄板の寸法測定装置。
【請求項２０】
前記載置板には、帯電防止処理が施されている
ことを特徴とする請求項１６乃至１９のいずれかに記載の金属薄板の寸法測定装置。
【請求項２１】
前記保持機構により保持された状態の前記金属薄板と前記載置板との間にエアを圧入するエア圧入機構を有している
ことを特徴とする請求項１６乃至２０のいずれかに記載の金属薄板の寸法測定装置。
【請求項２２】
前記載置板の少なくとも一部を前記一対の保持機構に対して下降させる載置板下降機構を有している
ことを特徴とする請求項１６乃至２０のいずれかに記載の金属薄板の寸法測定装置。
【請求項２３】
前記載置板は少なくとも２つの載置板部分に分離されていて、一対の保持機構の各々は異なる載置板部分に設けられている
ことを特徴とする請求項１６乃至２２のいずれかに記載の金属薄板の寸法測定装置。
【請求項２４】
金属薄板が載置される複数の載置板と、
前記載置板上に載置される前記金属薄板の対向する各縁部領域を各対が保持するようになっている複数対の保持機構と、
各対の保持機構の互いに対する距離を拡げることによって前記金属薄板に対し引張力を与えるようになっている複数の引張機構と、
前記金属薄板の所望の引張方向に基づいて、前記複数の載置板上における前記金属薄板の載置姿勢に対する各対の保持機構の位置を変更するようになっている複数の位置変更機構と、
前記引張力を与えられた状態の前記金属薄板の少なくとも１つの寸法を測定する測定機構と、
を備えたことを特徴とする金属薄板の寸法測定装置。
【請求項２５】
金属薄板の所望の引張方向を決定する工程と、
前記金属薄板を載置板に載置する工程と、
一対の保持機構によって前記載置板に載置された前記金属薄板の対向する各縁部領域を保持する工程と、
引張機構によって前記金属薄板を保持した状態の前記一対の保持機構の互いに対する距離を拡げることによって前記金属薄板に対し引張力を与える工程と、
測定機構によって前記引張力を与えられた状態の前記金属薄板の少なくとも１つの寸法を測定する工程と、
を備え、
前記金属薄板を保持する工程の前に、前記金属薄板の所望の引張方向に基づいて、前記載置板上における前記金属薄板の載置姿勢に対する前記一対の保持機構の位置を変更する工程を含んでいる
ことを特徴とする金属薄板の寸法測定方法。
【請求項２６】
前記測定する工程は、前記引張力を与えられた状態の前記金属薄板の画像を撮像する工程と、撮像された画像を処理する工程と、を含んでいる
ことを特徴とする請求項２５に記載の金属薄板の寸法測定方法。
【請求項２７】
前記引張力を与える工程の前に、前記一対の保持機構で保持された状態の前記金属薄板と前記載置板との間にエアを圧入する工程
を更に備えたことを特徴とする請求項２５または２６に記載の金属薄板の寸法測定方法。
【請求項２８】
前記引張力を与える工程の前に、前記載置板の少なくとも一部を前記一対の保持機構に対して下降させる工程
を更に備えたことを特徴とする請求項２５または２６に記載の金属薄板の寸法測定方法。
【請求項２９】
金属薄板の所望の引張方向を決定する工程と、
前記金属薄板を複数の載置板に載置する工程と、
複数対の保持機構の各対によって前記載置板に載置された前記金属薄板の対向する各縁部領域を保持する工程と、
複数の引張機構によって前記金属薄板を保持した状態の前記複数対の保持機構の各対の互いに対する距離を拡げることによって前記金属薄板に対し引張力を与える工程と、
測定機構によって前記引張力を与えられた状態の前記金属薄板の少なくとも１つの寸法を測定する工程と、
を備え、
前記金属薄板を保持する工程の前に、前記金属薄板の所望の引張方向に基づいて、前記複数の載置板上における前記金属薄板の載置姿勢に対する各対の保持機構の位置を変更する工程を含んでいる
ことを特徴とする金属薄板の寸法測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、金属薄板の寸法測定装置及び金属薄板の寸法測定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）用の蒸着マスクなどに用いられるメタルマスクは、厚さ数十μｍ〜数百μｍの金属薄板に、所望のパターンにエッチング（穴あけ）加工して開口部を形成することにより作製される。メタルマスクは、取り扱いやすいように、架張された状態で剛性のあるフレームに溶接される。
【０００３】
メタルマスクをフレームに溶接する際の作業不良を削減するために、メタルマスクの各種の寸法、例えば外形寸法、開口部の寸法、開口部のピッチ間隔等が、寸法測定装置を用いて測定されている。
【０００４】
例えば特許文献１（特開２０１１−２３７３９４号公報）には、そのような寸法測定方法の従来例が開示されている。この寸法測定方法は、２次元測長機による測定値の補正方法に関している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１１−２３７３９４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１の寸法測定方法では、載置板に載置された時の金属薄板が湾曲していたり浮き上がったりしていた場合には、測定値のバラツキが大きくなりすぎて、十分な補正が実現できず、測定値の誤差が大きすぎる。
【０００７】
本発明は、このような点を考慮してなされたものであり、金属薄板の寸法を精度良く測定することのできる金属薄板の寸法測定装置、及び、金属薄板の寸法測定方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、金属薄板が載置される載置板と、前記載置板上に載置される前記金属薄板の対向する各縁部領域を保持するようになっている一対の保持機構と、前記一対の保持機構の互いに対する距離を拡げることによって前記金属薄板に対し引張力を与えるようになっている引張機構と、前記金属薄板の所望の引張方向に基づいて、前記引張機構による引張力の方向に対する前記載置板上における前記金属薄板の載置姿勢を案内するようになっている案内部材と、前記引張力を与えられた状態の前記金属薄板の少なくとも１つの寸法を測定する測定機構と、を備えたことを特徴とする金属薄板の寸法測定装置である。
【０００９】
本発明によれば、金属薄板は一対の保持機構によって保持されて引張機構によって引っ張られた状態で少なくとも１つの寸法が測定される。したがって、載置板に載置された時の金属薄板が湾曲していたり浮き上がったりしていたとしても、そのような変形状態が除去ないし緩和された状態で金属薄板の寸法が測定されるため、測定精度が向上する。さらに、金属薄板の所望の引張方向に基づいて、引張機構による引張力の方向に対する載置板上における金属薄板の載置姿勢が案内されるため、金属薄板に対して適切な方向に引張力を与えることができる。
【００１０】
好ましくは、前記案内部材は、前記載置板上における前記金属薄板の一側の縁部領域に当接する案内ピンを含み、前記案内ピンは、前記金属薄板の所望の引張方向と前記引張機構による引張力の方向とが整合するように、移動可能となっている。この場合、載置板上における金属薄板の載置姿勢を容易に案内することができる。
【００１１】
好ましくは、前記案内ピンは、各々独立に移動可能な複数のピンを含んでいる。この場合、複数の案内ピンの配列方向を変更することにより、載置板上における金属薄板の載置姿勢を容易に案内することができる。
【００１２】
好ましくは、前記測定機構は、前記引張力を与えられた状態の前記金属薄板の画像を撮像する測定用カメラと、撮像された画像を処理する画像処理装置と、を有している。この場合、金属薄板の寸法を容易に測定することができる。
【００１３】
また、好ましくは、載置板には、帯電防止処理が施されている。この場合、金属薄板と載置板との間の摩擦力や静電気力等が抑制され、金属薄板が載置板上を滑らかに動くことができるため、金属薄板に張力が与えられる際、金属薄板に局所的な応力が生じることが抑制され、測定精度が向上する。
【００１４】
また、好ましくは、本発明の金属薄板の寸法測定装置は、前記保持機構により保持された状態の前記金属薄板と前記載置板との間にエアを圧入するエア圧入機構を有している。この場合も、金属薄板と載置板との間の摩擦力や静電気力等が抑制され、金属薄板が載置板上を滑らかに動くことができるため、金属薄板に局所的な応力が生じることが抑制され、測定精度が向上する。
【００１５】
また、好ましくは、本発明の金属薄板の寸法測定装置は、前記載置板の少なくとも一部を前記一対の保持機構に対して下降させる載置板下降機構を有している。この場合も、金属薄板と載置板との間の摩擦力や静電気力等が抑制され、金属薄板が載置板上を滑らかに動くことができるため、金属薄板に局所的な応力が生じることが抑制され、測定精度が向上する。
【００１６】
また、好ましくは、前記載置板は少なくとも２つの載置板部分に分離されていて、一対の保持機構の各々は異なる載置板部分に設けられている。この場合、金属薄板に張力が与えられる際、当該張力が付与される保持機構付近で載置板と金属薄板とが互いに摺動することが抑制されるため、金属薄板に局所的な応力が生じることが抑制され、測定精度が向上する。
【００１７】
あるいは、本発明は、金属薄板が載置される複数の載置板と、前記載置板上に載置される前記金属薄板の対向する各縁部領域を各対が保持するようになっている複数対の保持機構と、各対の保持機構の互いに対する距離を拡げることによって前記金属薄板に対し引張力を与えるようになっている複数の引張機構と、前記金属薄板の所望の引張方向に基づいて、前記複数の引張機構による引張力の方向に対する前記複数の載置板上における前記金属薄板の載置姿勢を案内するようになっている案内部材と、前記引張力を与えられた状態の前記金属薄板の少なくとも１つの寸法を測定する測定機構と、を備えたことを特徴とする金属薄板の寸法測定装置である。
【００１８】
本発明によれば、金属薄板に二次元的に（平面的に）引張力が与えられるため、金属薄板の変形状態が二次元的に除去ないし緩和され、測定精度がより一層向上する。
【００１９】
あるいは、本発明は、金属薄板の所望の引張方向を決定する工程と、前記金属薄板の所望の引張方向に基づいて載置板上における前記金属薄板の載置姿勢を案内するように案内部材を位置決めする工程と、前記案内部材による案内に従って前記金属薄板を前記載置板に載置する工程と、一対の保持機構によって前記載置板に載置された前記金属薄板の対向する各縁部領域を保持する工程と、引張機構によって前記金属薄板を保持した状態の前記一対の保持機構の互いに対する距離を拡げることによって前記金属薄板に対し引張力を与える工程と、測定機構によって前記引張力を与えられた状態の前記金属薄板の少なくとも１つの寸法を測定する工程と、を備えたことを特徴とする金属薄板の寸法測定方法である。
【００２０】
本発明によれば、金属薄板を一対の保持機構によって保持して引張機構によって引っ張った状態で少なくとも１つの寸法を測定する。したがって、載置板に載置された時の金属薄板が湾曲していたり浮き上がったりしていた場合でも、そのような変形状態が除去ないし緩和された状態で金属薄板の寸法を測定できるため、測定精度が向上する。さらに、金属薄板の所望の引張方向に基づいて、引張機構による引張力の方向に対する載置板上における金属薄板の載置姿勢を案内するため、金属薄板に対して適切な方向に引張力を与えることができる。
【００２１】
好ましくは、前記案内部材は、前記載置板上における前記金属薄板の一側の縁部領域に当接する案内ピンを含み、前記位置決めする工程は、前記金属薄板の所望の引張方向と前記引張機構による引張力の方向とが整合するように、前記案内ピンを移動させる工程を含んでいる。この場合、載置板上における金属薄板の載置姿勢を容易に案内することができる。
【００２２】
好ましくは、前記測定する工程は、前記引張力を与えられた状態の前記金属薄板の画像を撮像する工程と、撮像された画像を処理する工程と、を含んでいる。この場合、金属薄板の寸法を容易に測定することができる。
【００２３】
また、好ましくは、本発明の金属薄板の寸法測定方法は、前記引張力を与える工程の前に、前記一対の保持機構で保持された状態の前記金属薄板と前記載置板との間にエアを圧入する工程を更に備えている。この場合、金属薄板と載置板との間の摩擦力や静電気力等が抑制され、金属薄板が載置板上を滑らかに動くことができるため、金属薄板に局所的な応力が生じることが抑制され、測定精度が向上する。
【００２４】
また、好ましくは、本発明の金属薄板の寸法測定方法は、前記引張力を与える工程の前に、前記載置板の少なくとも一部を前記一対の保持機構に対して下降させる工程を更に備えている。この場合も、金属薄板と載置板との間の摩擦力や静電気力等が抑制され、金属薄板が載置板上を滑らかに動くことができるため、金属薄板に局所的な応力が生じることが抑制され、測定精度が向上する。
【００２５】
あるいは、本発明は、金属薄板の所望の引張方向を決定する工程と、前記金属薄板の所望の引張方向に基づいて前記複数の載置板上における前記金属薄板の載置姿勢を案内するように案内部材を位置決めする工程と、前記案内部材による案内に従って前記金属薄板を前記複数の載置板に載置する工程と、複数対の保持機構の各対によって前記複数の載置板に載置された前記金属薄板の対向する各縁部領域を保持する工程と、複数の引張機構によって前記金属薄板を保持した状態の前記複数対の保持機構の各対の互いに対する距離を拡げることによって前記金属薄板に対し引張力を与える工程と、測定機構によって前記引張力を与えられた状態の前記金属薄板の少なくとも１つの寸法を測定する工程と、を備えたことを特徴とする金属薄板の寸法測定方法である。
【００２６】
本発明によれば、金属薄板に二次元的に（平面的に）引張力を与えるため、金属薄板の変形状態が二次元的に除去ないし緩和され、測定精度がより一層向上する。
【００２７】
あるいは、本発明は、金属薄板が載置される載置板と、前記載置板上に載置される前記金属薄板の対向する各縁部領域を保持するようになっている一対の保持機構と、前記一対の保持機構の互いに対する距離を拡げることによって前記金属薄板に対し引張力を与えるようになっている引張機構と、前記金属薄板の所望の引張方向に基づいて、前記載置板上における前記金属薄板の載置姿勢に対する前記一対の保持機構の位置を変更するようになっている位置変更機構と、前記引張力を与えられた状態の前記金属薄板の少なくとも１つの寸法を測定する測定機構と、を備えたことを特徴とする金属薄板の寸法測定装置である。
【００２８】
本発明によれば、金属薄板は一対の保持機構によって保持されて引張機構によって引っ張られた状態で少なくとも１つの寸法が測定される。したがって、載置板に載置された時の金属薄板が湾曲していたり浮き上がったりしていたとしても、そのような変形状態が除去ないし緩和された状態で金属薄板の寸法が測定されるため、測定精度が向上する。さらに、金属薄板の所望の引張方向に基づいて、載置板上における金属薄板の載置姿勢に対する一対の保持機構の位置が変更されるため、金属薄板に対して適切な方向に引張力を与えることができる。
【００２９】
好ましくは、前記位置変更機構は、各保持機構を所定の回転中心周りに回転させるようになっている。この場合、引張機構による引張力の方向を所望の引張方向に整合させることが容易である。
【００３０】
また、好ましくは、前記位置変更機構は、前記一対の保持機構を互いに対して並進移動させるようになっている。この場合も、引張機構による引張力の方向を所望の引張方向に整合させることが容易である。
【００３１】
また、好ましくは、前記測定機構は、前記引張力を与えられた状態の前記金属薄板の画像を撮像する測定用カメラと、撮像された画像を処理する画像処理装置と、を有している。この場合、金属薄板の寸法を容易に測定することができる。
【００３２】
また、好ましくは、前記載置板には、帯電防止処理が施されている。この場合、金属薄板と載置板との間の摩擦力や静電気力等が抑制され、金属薄板が載置板上を滑らかに動くことができるため、金属薄板に張力が与えられる際、金属薄板に局所的な応力が生じることが抑制され、測定精度が向上する。
【００３３】
また、好ましくは、本発明の金属薄板の寸法測定装置は、前記保持機構により保持された状態の前記金属薄板と前記載置板との間にエアを圧入するエア圧入機構を有している。この場合も、金属薄板と載置板との間の摩擦力や静電気力等が抑制され、金属薄板が載置板上を滑らかに動くことができるため、金属薄板に局所的な応力が生じることが抑制され、測定精度が向上する。
【００３４】
また、好ましくは、本発明の金属薄板の寸法測定装置は、前記載置板の少なくとも一部を前記一対の保持機構に対して下降させる載置板下降機構を有している。この場合も、金属薄板と載置板との間の摩擦力や静電気力等が抑制され、金属薄板が載置板上を滑らかに動くことができるため、金属薄板に局所的な応力が生じることが抑制され、測定精度が向上する。
【００３５】
また、好ましくは、前記載置板は少なくとも２つの載置板部分に分離されていて、一対の保持機構の各々は異なる載置板部分に設けられている。この場合、金属薄板に張力が与えられる際、当該張力が付与される保持機構付近で載置板と金属薄板とが互いに摺動することが抑制されるため、金属薄板に局所的な応力が生じることが抑制され、測定精度が向上する。
【００３６】
あるいは、本発明は、金属薄板が載置される複数の載置板と、前記載置板上に載置される前記金属薄板の対向する各縁部領域を各対が保持するようになっている複数対の保持機構と、各対の保持機構の互いに対する距離を拡げることによって前記金属薄板に対し引張力を与えるようになっている複数の引張機構と、前記金属薄板の所望の引張方向に基づいて、前記複数の載置板上における前記金属薄板の載置姿勢に対する各対の保持機構の位置を変更するようになっている複数の位置変更機構と、前記引張力を与えられた状態の前記金属薄板の少なくとも１つの寸法を測定する測定機構と、を備えたことを特徴とする金属薄板の寸法測定装置である。
【００３７】
本発明によれば、金属薄板に二次元的に（平面的に）引張力が与えられるため、金属薄板の変形状態が二次元的に除去ないし緩和され、測定精度がより一層向上する。
【００３８】
あるいは、本発明は、金属薄板の所望の引張方向を決定する工程と、前記金属薄板を載置板に載置する工程と、一対の保持機構によって前記載置板に載置された前記金属薄板の対向する各縁部領域を保持する工程と、引張機構によって前記金属薄板を保持した状態の前記一対の保持機構の互いに対する距離を拡げることによって前記金属薄板に対し引張力を与える工程と、測定機構によって前記引張力を与えられた状態の前記金属薄板の少なくとも１つの寸法を測定する工程と、を備え、前記金属薄板を保持する工程の前に、前記金属薄板の所望の引張方向に基づいて、前記載置板上における前記金属薄板の載置姿勢に対する前記一対の保持機構の位置を変更する工程を含んでいることを特徴とする金属薄板の寸法測定方法である。
【００３９】
本発明によれば、金属薄板は一対の保持機構によって保持されて引張機構によって引っ張られた状態で少なくとも１つの寸法が測定される。したがって、載置板に載置された時の金属薄板が湾曲していたり浮き上がったりしていたとしても、そのような変形状態が除去ないし緩和された状態で金属薄板の寸法が測定されるため、測定精度が向上する。さらに、金属薄板の所望の引張方向に基づいて、載置板上における金属薄板の載置姿勢に対する一対の保持機構の位置を変更するため、金属薄板に対して適切な方向に引張力を与えることができる。
【００４０】
好ましくは、前記測定する工程は、前記引張力を与えられた状態の前記金属薄板の画像を撮像する工程と、撮像された画像を処理する工程と、を含んでいる。この場合、金属薄板の寸法を容易に測定することができる。
【００４１】
また、好ましくは、本発明の金属薄板の寸法測定方法は、前記引張力を与える工程の前に、前記一対の保持機構で保持された状態の前記金属薄板と前記載置板との間にエアを圧入する工程を更に備えている。この場合、金属薄板と載置板との間の摩擦力や静電気力等が抑制され、金属薄板が載置板上を滑らかに動くことができるため、金属薄板に局所的な応力が生じることが抑制され、測定精度が向上する。
【００４２】
また、好ましくは、本発明の金属薄板の寸法測定方法は、前記引張力を与える工程の前に、前記載置板の少なくとも一部を前記一対の保持機構に対して下降させる工程を更に備えている。この場合も、金属薄板と載置板との間の摩擦力や静電気力等が抑制され、金属薄板が載置板上を滑らかに動くことができるため、金属薄板に局所的な応力が生じることが抑制され、測定精度が向上する。
【００４３】
あるいは、本発明は、金属薄板の所望の引張方向を決定する工程と、前記金属薄板を複数の載置板に載置する工程と、複数対の保持機構の各対によって前記載置板に載置された前記金属薄板の対向する各縁部領域を保持する工程と、複数の引張機構によって前記金属薄板を保持した状態の前記複数対の保持機構の各対の互いに対する距離を拡げることによって前記金属薄板に対し引張力を与える工程と、測定機構によって前記引張力を与えられた状態の前記金属薄板の少なくとも１つの寸法を測定する工程と、を備え、前記金属薄板を保持する工程の前に、前記金属薄板の所望の引張方向に基づいて、前記複数の載置板上における前記金属薄板の載置姿勢に対する各対の保持機構の位置を変更する工程を含んでいることを特徴とする金属薄板の寸法測定方法である。
【００４４】
本発明によれば、金属薄板に二次元的に（平面的に）引張力を与えるため、金属薄板の変形状態が二次元的に除去ないし緩和され、測定精度がより一層向上する。
【発明の効果】
【００４５】
本発明によれば、金属薄板は一対の保持機構によって保持されて引張機構によって引っ張られた状態で少なくとも１つの寸法が測定される。したがって、載置板に載置された時の金属薄板が湾曲していたり浮き上がったりしていたとしても、そのような変形状態が除去ないし緩和された状態で金属薄板の寸法が測定されるため、測定精度が向上する。さらに、金属薄板の所望の引張方向に基づいて、引張機構による引張力の方向に対する載置板上における金属薄板の載置姿勢が案内されるため、金属薄板に対して適切な方向に引張力を与えることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】図１は、本発明の第１の実施の形態による寸法測定装置を概略的に示す斜視図である。
【図２】図２は、寸法測定装置で測定される金属薄板の寸法の例を説明するための概略図である。
【図３】図３は、寸法測定装置で測定される金属薄板の寸法の例を説明するための概略図である。
【図４】図４は、本発明の第１の実施の形態による寸法測定装置における、載置板と、保持機構と、引張機構と、を概略的に示す平面図である。
【図５】図５は、本発明の第１の実施の形態による寸法測定装置における、載置板と、載置板下降機構と、を概略的に示す側面図である。
【図６】図６は、本発明の第１の実施の形態による寸法測定装置における保持機構を概略的に示す側面図である。
【図７】図７は、本発明の第１の実施の形態による寸法測定装置における引張機構を概略的に示す図であって、（ａ）は引張力付与前の状態を示しており、（ｂ）は引張力付与時の状態を示している。
【図８】図８は、本発明の第１の実施の形態による寸法測定装置における案内部材を概略的に示す図であって、（ａ）は案内ピンの移動の仕方を平面図で示しており、（ｂ）は案内ピンの移動の仕方を側面図で示している。
【図９】図９は、金属薄板の所望の引張方向の例を説明するための概略図である。
【図１０】図１０は、図９に示す金属薄板の所望の引張方向と、引張機構による引張力の方向と、が整合するような金属薄板の載置板上における載置姿勢を説明するための概略図である。
【図１１】図１１は、引張機構による引張力の方向の例を説明するための概略図である。
【図１２】図１２は、引張機構による引張力の方向を検出する方法を説明するための図であって、エアシリンダが伸長する前の引張機構が実線で示されており、エアシリンダが伸長した後の引張機構が二点鎖線で示されている。
【図１３】図１３は、本発明の第２の実施の形態による寸法測定装置における、載置板と、保持機構と、引張機構と、を概略的に示す平面図である。
【図１４】図１４は、本発明の第３の実施の形態による寸法測定装置における、載置板と、保持機構と、引張機構と、を概略的に示す平面図である。
【図１５】図１５は、本発明の第４の実施の形態による寸法測定装置における、載置板と、保持機構と、引張機構と、を概略的に示す平面図であって、（ａ）は保持機構と引張機構の位置が変更される前の状態を示しており、（ｂ）は保持機構と引張機構の位置が変更された時の状態を示している。
【図１６】図１６は、本発明の第４の実施の形態による寸法測定装置における、位置変更機構を概略的に示す側面図である。
【図１７】図１７は、本発明の第５の実施の形態による寸法測定装置における、載置板と、保持機構と、引張機構と、を概略的に示す平面図であって、（ａ）は保持機構と引張機構の位置が変更される前の状態を示しており、（ｂ）は保持機構と引張機構の位置が変更された時の状態を示している。
【発明を実施するための形態】
【００４７】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
【００４８】
図１は、本発明の一実施の形態による寸法測定装置の一例を概略的に示す斜視図である。図１に示すように、本実施の形態の寸法測定装置１１は、金属薄板３１が載置される載置板２１と、載置板２１上に載置される金属薄板３１の対向する各縁部領域を保持するようになっている一対の保持機構２２ａ，２２ｂと、一対の保持機構２２ａ，２２ｂの互いに対する距離を拡げることによって金属薄板３１に対し引張力を与えるようになっている引張機構２３と、金属薄板３１の所望の引張方向に基づいて、引張機構２３による引張力の方向に対する載置板２１上における金属薄板３１の載置姿勢を案内するようになっている案内部材８０ａ，８０ｂと、引張力を与えられた状態の金属薄板３１の少なくとも１つの寸法を測定する測定機構１３と、を備えている。図１の例では、載置板２１が並列に７枚並んでいる。
【００４９】
本実施の形態においては、測定機構１３は、引張力を与えられた状態の金属薄板３１の画像を撮像する測定用カメラ１３１と、撮像された画像を処理する画像処理装置１３２と、を有している。測定用カメラ１３１は、載置板２１に載置された金属薄板３１上を、鉛直方向、水平面内の縦方向及び横方向に移動することができるようになっている。
【００５０】
測定機構１３によって測定される金属薄板３１の寸法とは、例えば金属薄板３１が有機ＥＬ用の蒸着マスクなどに用いられるメタルマスクの作製に用いられる場合、図２に示すように、メタルマスク３４が作製される領域であるメタルマスク作製領域３３の幅ａや、各メタルマスク３４の横幅ｂないし縦幅ｃである。あるいは、図３に示すように、メタルマスク開口部３５の横幅ｄないし縦幅ｅ、メタルマスク開口部３５の横方向のピッチ間隔ｆないし縦方向のピッチ間隔ｇ等である。画像処理の際には、金属薄板３１に付された測定マーク３２の中心位置を割り出すことによって、各寸法が決定（測定）される。
【００５１】
また、金属薄板３１が載置される載置板２１は、図４に示すように、載置板２１の長手方向（図４の左右方向）の両縁部に、載置板縁部２１２ａ，２１２ｂを有している。また、載置板２１は、一方の載置板縁部２１２ａの側方から他方の載置板縁部２１２ｂの側方まで延びるように配置された一対の載置板枠体２１３と、当該一対の載置板枠体２１３と載置板縁部２１２ａ，２１２ｂとで囲まれた領域内に配置された２つの載置板中央部２１１ａ，２１１ｂと、を有している。
【００５２】
図４及び図５に示すように、各載置板中央部２１１ａ，２１１ｂの左右の各辺には軸受２１４が突設されており、当該軸受２１４には、一対の載置板枠体２１３によって偏心支持された偏心棒２１５が通されている。
【００５３】
このような軸受２１４と偏心棒２１５とによって、載置板下降機構２１６が構成されている。すなわち、偏心棒２１５が回転されることにより、載置板中央部２１１ａ，２１１ｂは、一対の保持機構２２ａ，２２ｂに対して偏心の分だけ下降されるようになっている。
【００５４】
図４から明らかなように、載置板縁部２１２ａ，２１２ｂと後述するクランプ基台２２１ａ，２２１ｂとの互いに向き合う各辺は、波状に形成されている。これによって、載置板縁部２１２ａ，２１２ｂとクランプ基台２２１ａ，２２１ｂとが互いに離れた状態となっても、載置板２１に載置された金属薄板３１が載置板２１から垂れ下がることが抑制される。
【００５５】
載置板２１の長手方向の両側に、一対の保持機構２２ａ，２２ｂが、載置板２１上に載置される金属薄板３１の対向する各縁部領域を保持するように設けられている。
【００５６】
各保持機構２２ａ，２２ｂは、図４及び図６に示すように、クランプ基台２２１ａ，２２１ｂと、クランプ基台２２１ａ，２２１ｂと共同して金属薄板３１を挟むクランプ部２２２と、クランプ部２２２をクランプ基台２２１ａ，２２１ｂに対して押圧する押圧レバー２２３と、押圧レバー２２３に押圧力を提供するようになっているワッシャー２２４及びコイルバネ２２５と、を有している。
【００５７】
保持機構２２ａ，２２ｂは、それぞれ、載置板２１の長手方向に延びるように設けられたレール６１ａ，６１ｂ上に摺動可能に載置されている。
【００５８】
図４に戻って、一方の保持機構２２ａの載置板２１とは反対の側に、一対の保持機構２２ａ，２２ｂの互いに対する距離を拡げることによって金属薄板３１に対し引張力を与えるための引張機構２３が設けられている。
【００５９】
具体的には、本実施の形態の引張機構２３は、図７に示すように、保持機構２２ａに固定された引張牽引部２３１と、引張牽引部２３１によって金属薄板３１に対して与えられる引張力を検出することができるロードセル７１と、ロードセル７１を介して引張牽引部２３１に接続された引張牽引アーム２３２と、引張牽引アーム２３２を押すことによって引張牽引部２３１を図４の左方向に（一対の保持機構２２ａ，２２ｂを互いに離すように）移動させることができるエアシリンダ２３３と、を有している。
【００６０】
エアシリンダ２３３は、レール６１ａの引張機構２３側の端部に固定されていて、エアシリンダ２３３が伸長することによって保持機構２２ａとは反対の方向（図７の左方向）に移動可能なエアシリンダヘッド２３４を有している。
【００６１】
引張牽引アーム２３２は、図４に示すような湾曲形状を有すると共に、一方の端部がエアシリンダヘッド２３４に当接され、エアシリンダ２３３が伸長してエアシリンダヘッド２３４が移動すると図４の左側に押されるようになっている。
【００６２】
引張牽引部２３１は、ロードセル７１を介して引張牽引アーム２３２の他方の端部に接続されており、エアシリンダヘッド２３４の移動に伴って、レール６１ａの引張機構２３側の端部（エアシリンダ２３３の固定部）を基点にして、図４の左側に移動されるようになっている。
【００６３】
ロードセル７１は、一方の端部（図４の上側の端部）が引張牽引アーム２３２に、他方の端部（図４の下側の端部）が引張牽引部２３１に接続されており、引張牽引アーム２３２によって引張牽引部２３１に与えられる引張力、したがって引張牽引部２３１によって金属薄板３１に対して与えられる引張力、を検出することができるようになっている。
【００６４】
図４に戻って、本実施の形態の寸法測定装置１１には、他方の保持機構２２ｂの載置板２１とは反対の側に、一対の保持機構２２ａ，２２ｂによって保持されて引張機構２３によって引張力が与えられた金属薄板３１を載置板２１の長手方向に揺らすことによって、金属薄板３１に与えられた引張力を金属薄板３１に「なじませる」（全体に亘って均一化させる）ための揺動機構２４が設けられている。
【００６５】
具体的には、本実施の形態の揺動機構２４は、保持機構２２ｂに固定された揺動牽引部２４１と、揺動牽引部２４１を図４の左右方向に揺動させることができるマイクロメータ２４３と、を有している。
【００６６】
マイクロメータ２４３は、レール６１ｂに固定されており、マイクロメータ２４３が伸長及び縮退することによって載置板２１の長手方向（図４の左右方向）に揺動可能なマイクロメータヘッド２４４を有している。
【００６７】
揺動牽引部２４１は、図４に示すような湾曲形状を有すると共にマイクロメータヘッド２４４に当接される揺動牽引アーム２４２と一体になっており、マイクロメータヘッド２４４の揺動に伴って、レール６１ｂ上のマイクロメータ２４３の固定部を基点にして同様に揺動されるようになっている。
【００６８】
案内部材８０ａ，８０ｂは、本実施の形態では、図８に示すように、金属薄板３１の載置板２１上における載置姿勢を案内するための案内ピン８１ａ，８１ｂを含んでいる。案内ピン８１ａ，８１ｂは、それぞれ、載置板縁部２１２ａ，２１２ｂの金属薄板３１が載置される側の面から突出するように設けられている。案内部材８０ａ，８０ｂは、さらに、案内ピン８１ａ，８１ｂを移動させるためのシリンダ８２ａ,８２ｂを含んでいる。シリンダ８２ａ,８２ｂは、載置板２１の平面に平行、且つ、載置板２１の長手方向軸に対して垂直な方向に伸長可能である。これにより、シリンダ８２の伸長方向に沿って案内ピン８１ａ，８１ｂを移動させることができるようになっている。案内ピン８１ａ，８１ｂが設けられる位置としては、金属薄板３１の載置板２１上における載置姿勢を案内できれば他の位置であってもよく、また、案内ピン８１ａ，８１ｂを移動させる方式としては、シリンダを用いた方式に限られない。さらに、案内ピン８１ａ，８１ｂは、金属薄板３１の載置板２１上における載置姿勢を案内できれば、ピンの形状に限られない。
【００６９】
本実施の形態の寸法測定装置１１は、シリンダ８２ａ,８２ｂのそれぞれの伸長の大きさを決定する制御機構８５を有している。制御機構８５は、金属薄板３１の所望の引張方向に基づいて、個々の案内ピン８１ａ,８１ｂの位置、すなわち個々のシリンダ８２ａ,８２ｂの伸長の大きさを決定するようになっている。具体的には、制御機構８５は、金属薄板３１の一側の縁部領域が案内ピン８１ａ，８１ｂに当接された状態で金属薄板３１が載置板２１に載置された際に金属薄板３１の所望の引張方向と引張機構２３による引張力の方向とが整合するような位置に案内ピン８１ａ，８１ｂが配置されるように、シリンダ８２ａ,８２ｂの伸長の大きさを決定するようになっている。
【００７０】
例えば、金属薄板３１の所望の引張方向が金属薄板３１の長手方向（金属薄板３１の中心線Ｌ１の延びる方向）とは異なる図９の矢印で示すような方向であり、且つ、引張機構２３による引張力の方向が載置板２１の長手方向に平行である場合には、金属薄板３１は、載置板２１上に図１０に示すような姿勢で載置される必要がある。この場合、制御機構８５は、金属薄板３１の一側の縁部領域が案内ピン８１ａ，８１ｂに当接された状態で金属薄板３１が載置板２１に載置された際に金属薄板３１が図１０に示すような姿勢となるように案内ピン８１ａ，８１ｂを移動させるべく、シリンダ８２ａ,８２ｂの伸長の大きさを決定する。
【００７１】
また、例えば、金属薄板３１の所望の引張方向が金属薄板３１の長手方向であり、引張機構２３による引張力の方向が載置板２１の長手方向（載置板２１の中心線Ｌ２の延びる方向）とは異なる図１１の矢印で示すような方向である場合にも、金属薄板３１は、載置板２１上に図１０に示すような姿勢で載置される必要がある。したがって、この場合も、制御機構８５は、金属薄板３１の一側の縁部領域が案内ピン８１ａ，８１ｂに当接された状態で金属薄板３１が載置板２１に載置された際に金属薄板３１が図１０に示すような姿勢となるように案内ピン８１ａ，８１ｂを移動させるべく、シリンダ８２ａ,８２ｂの伸長の大きさを決定する。
【００７２】
図１１に示す場合において、好ましくは、金属薄板３１の一側の縁部領域が案内ピン８１ａ，８１ｂに当接された状態で金属薄板３１が載置板２１に載置された際に、図１１に示すエアシリンダ２３３の固定部の中心点Ａを通り引張機構２３による引張力の方向に平行な線と、金属薄板３１の中心線Ｌ１と、が一致するように、シリンダ８２ａ,８２ｂの伸長の大きさを決定する。
【００７３】
本実施の形態では、寸法測定装置１１は、金属薄板３１の所望の引張方向を決定するために必要な情報を入力する入力手段８６を有しており、制御機構８５は、入力手段８６から得られた情報に基づいて金属薄板３１の所望の引張方向を決定するようになっている。ここで、金属薄板３１の所望の引張方向を決定するために必要な情報とは、例えば、金属薄板３１の変形状態、引張機構２３による引張力の方向、案内ピン８１ａ，８１ｂの位置等である。これらの情報は、測定機構１３の測定用カメラ１３１により取得された金属薄板３１やエアシリンダ２３３の画像等を、画像処理装置１３２が処理することによって得てもよいし、記憶装置に予め保持しておいてもよい。
【００７４】
測定用カメラ１３１及び画像処理装置１３２によって引張機構２３による引張力の方向を検出する場合、例えば、図１２に示すようにクランプ基台２２１ａには引張方向検出用マーク２８が設けられており、測定用カメラ１３１は、エアシリンダ２３３の伸長前と伸長後とにおいて引張方向検出用マーク２８の画像を取得するようになっており、画像処理装置１３２は、測定用カメラ１３１によって取得された引張方向検出用マーク２８の画像から、エアシリンダ２３３の伸長前後における引張方向検出用マークの移動方向、すなわち引張機構２３による引張力の方向、を検出するようになっている。
【００７５】
次に、このような構成からなる本実施の形態の作用について説明する。
【００７６】
まず、金属薄板３１が載置板２１に載置される際には、引張機構２３のエアシリンダヘッド２３４と引張牽引アーム２３２とが当接されており、揺動機構２４のマイクロメータヘッド２４４と揺動牽引アーム２４２とが当接されている。
【００７７】
入力手段８６により金属薄板３１の所望の引張方向を決定するために必要な情報が入力されると、制御機構８５により金属薄板３１の所望の引張方向が決定される。そして、金属薄板３１の所望の引張方向に基づいて、シリンダ８２ａ,８２ｂのそれぞれの伸長の大きさが、決定される。
【００７８】
シリンダ８２ａ,８２ｂは、それぞれ、制御機構８５によって決定された伸長の大きさに従って伸長される。これにより、案内ピン８１ａ，８１ｂは、金属薄板３１の一側の縁部領域が案内ピン８１ａ，８１ｂに当接された状態で金属薄板３１が載置板２１に載置された際に金属薄板３１の所望の引張方向と引張機構２３による引張力の方向とが整合するような位置に、移動される。
【００７９】
そして、金属薄板３１が、その一側の縁部領域が案内ピン８１ａ，８１ｂに当接された状態で載置板２１上に載置され、金属薄板３１の対向する各縁部領域が、一対の保持機構２２ａ，２２ｂによって保持される。具体的には、各保持機構２２ａ，２２ｂにおいて、ワッシャー２２４及びバネ２２５によって押圧レバー２２３に押圧力が提供され、押圧レバー２２３によってクランプ部２２２がクランプ基台２２１ａ，２２１ｂに対して押圧されることにより、クランプ基台２２１ａ，２２１ｂとクランプ部２２２との間に金属薄板３１の対向する各縁部領域が挟まれて保持される。
【００８０】
金属薄板３１が一対の保持機構２２ａ，２２ｂによって保持されると、載置板２１の偏心棒２１５が回転されて、載置板中央部２１１ａ，２１１ｂが、一対の保持機構２２ａ，２２ｂに対して偏心の分だけ下降される。これにより、後述するように金属薄板３１に引張力が与えられる際、金属薄板３１と載置板２１との間の摩擦力や静電気力等が抑制され、金属薄板３１が載置板２１上を滑らかに動くことができるため、金属薄板３１に局所的な応力が生じることが抑制され、測定精度が向上する。
【００８１】
この状態で、引張機構２３によって一対の保持機構２２ａ，２２ｂの互いに対する距離が拡げられ、金属薄板３１に引張力が与えられる。
【００８２】
具体的には、エアシリンダ２３３が伸長することによって、エアシリンダヘッド２３４が保持機構２２ａとは反対の方向（図７の左方向）に移動されて引張牽引アーム２３２の一方の端部がエアシリンダヘッド２３４の移動方向と同じ方向に押される。このように引張牽引アーム２３２の一方の端部がエアシリンダヘッド２３４に押されることによって、引張牽引部２３１が、レール６１ａの引張機構２３側の端部（エアシリンダ２３３の固定部）を基点にして、図４の左方向に一対の保持機構２２ａ，２２ｂを互いに離すように移動される。すなわち、引張牽引部２３１が保持機構２２ａとは反対の方向に移動されることによって、一方の保持機構２２ａがレール６１ａ上を引張牽引部２３１と共に移動され、一対の保持機構２２ａ，２２ｂの互いに対する距離が拡げられる。
【００８３】
金属薄板３１に与えられる引張力は、ロードセル７１によって検出され、当該検出結果に基づいてエアシリンダ２３３の伸長の程度が制御される。これにより、金属薄板３１に与えられる引張力を調整することができる。
【００８４】
また、本実施の形態では、金属薄板３１に引張力が与えられた状態で、揺動機構２４によって金属薄板３１が載置板２１の長手方向に揺らされる。これによって、金属薄板３１に与えられた引張力を金属薄板３１に「なじませる」（全体に亘って均一化させる）ことができる。
【００８５】
具体的には、マイクロメータ２４３が伸長及び縮退することによって、マイクロメータヘッド２４４が載置板２１の長手方向（図４の左右方向）に揺動される。このようなマイクロメータヘッド２４４の揺動に伴って、揺動牽引部２４１が、レール６１ｂ上のマイクロメータ２４３の固定点を基点にして同様に揺動され、他方の保持機構２２ｂがレール６１ｂ上を揺動牽引部２４１と共に揺動される。これによって、金属薄板３１が、結果的に載置板２１の長手方向に揺動されることになる。
【００８６】
前述のように金属薄板３１が揺動された後、全体に亘ってほぼ均一に引張力を与えられた状態の金属薄板３１の画像が、測定用カメラ１３１によって取得され、撮像された画像が画像処理装置１３２によって処理され、金属薄板３１の少なくとも１つの寸法が測定される。これによって、載置板２１に載置された時の金属薄板３１が湾曲していたり浮き上がったりしていた場合でも、そのような変形状態が除去ないし緩和された状態で金属薄板３１の各種寸法が測定される。
【００８７】
以上のように、本実施の形態によれば、金属薄板３１は、一対の保持機構２２ａ，２２ｂによって保持されて引張機構２３によって引っ張られた状態で少なくとも１つの寸法が測定される。したがって、載置板２１に載置された時の金属薄板３１が湾曲していたり浮き上がったりしていた場合でも、そのような変形状態が除去ないし緩和された状態で金属薄板３１の寸法が測定されるため、測定精度が向上する。さらに、金属薄板３１の所望の引張方向に基づいて、引張機構２３による引張力の方向に対する載置板２１上における金属薄板３１の載置姿勢が案内されるため、金属薄板３１に対して適切な方向に引張力を与えることができる。
【００８８】
また、案内部材８０ａ，８０ｂは、載置板２１上における金属薄板３１の一側の縁部領域に当接する案内ピン８１ａ，８１ｂを含み、案内ピン８１ａ，８１ｂは、金属薄板３１の所望の引張方向と引張機構２３による引張力の方向とが整合するように、移動可能となっている。したがって、載置板２１上における金属薄板３１の載置姿勢を容易に案内することができる。
【００８９】
さらに、案内ピン８１ａ，８１ｂは、各々独立に移動可能である。したがって、案内ピン８１ａ，８１ｂの配列方向を変更することにより、載置板２１上における金属薄板３１の載置姿勢を容易に案内することができる。
【００９０】
また、測定機構１３は、引張力を与えられた状態の金属薄板３１の画像を撮像する測定用カメラ１３１と、撮像された画像を処理する画像処理装置１３２と、を有している。したがって、金属薄板３１の寸法を容易に測定することができる。
【００９１】
また、寸法測定装置１１は、載置板２１の少なくとも一部を一対の保持機構２２ａ，２２ｂに対して下降させる載置板下降機構を有している。したがって、金属薄板３１と載置板２１との間の摩擦力や静電気力等が抑制され、金属薄板３１に局所的な応力が生じることが抑制され、測定精度が向上する。
【００９２】
載置板下降機構２１６の代わりに、一対の保持機構２２ａ，２２ｂにより保持された状態の金属薄板３１と載置板２１との間にエアを圧入するエア圧入機構が設けられていてもよい。この場合も、金属薄板３１と載置板２１との間の摩擦力や静電気力等が抑制され、金属薄板３１に局所的な応力が生じることが抑制され、測定精度が向上する。
【００９３】
また、載置板下降機構２１６やエア圧入機構を設ける代わりに、金属薄板３１と載置板２１との間の静電気を防止したり金属薄板３１と載置板２１との間の滑り性を向上させる処理を、載置板２１に対して施してもよい。例えば、載置板２１表面に、カーボンないし金属酸化物などの帯電防止剤や界面活性剤を施したり、静電気を帯びない性質をもったフィルムを貼付したり、フッ素やシリコンなどの滑り性を向上させる処理を施したフィルム、例えばポリエステル製のフィルム、を貼付してもよい。また、載置板２１として、導電性のテフロン加工した金属板を用いてもよい。
【００９４】
このような場合、金属薄板３１が載置板２１上を滑らかに動くことができるため、金属薄板３１に張力が与えられる際、金属薄板３１に局所的な応力が生じることが抑制され、測定精度が向上する。
【００９５】
また、載置板２１は２つの載置板部分に分離されていて、各載置板部分に各保持機構２２ａ，２２ｂが設けられていてもよい。この場合、金属薄板３１に張力が与えられる際、保持機構２２ａ，２２ｂ付近で載置板２１と金属薄板３１とが互いに摺動することが抑制されるため、金属薄板３１に張力が与えられる際、金属薄板３１に局所的な応力が生じることが抑制され、測定精度が向上する。
【００９６】
また、金属薄板３１に位置決めするための穴を設け、当該穴と案内ピン８１ａ，８１ｂとの位置を合わせながら金属薄板３１を載置板２１上に載置してもよい。
【００９７】
また、保持機構２２ａ，２２ｂは、クランプ部２２２をネジやエアでクランプ基台２２１ａ，２２１ｂに押し付けることにより、金属薄板３１をクランプ部２２２とクランプ基台２２１ａ，２２１ｂとの間に保持するタイプものであってもよい。
【００９８】
また、引張機構２３は、重りやモータ、バネなどによって保持機構２２ａを引っ張るものであってもよい。
【００９９】
次に、図１３により、本発明による寸法測定装置の第２の実施の形態について説明する。
【０１００】
図１３は、本発明の第２の実施の形態による寸法測定装置における、載置板と、保持機構と、引張機構と、を概略的に示す平面図である。図１３に示すように、本実施の形態の寸法測定装置１１は、第１の実施の形態の寸法測定装置に対して、複数の載置板２１と、載置板２１上に載置される金属薄板３１の対向する各縁部領域を各対が保持するようになっている複数対の保持機構２２ａ，２２ｂと、各対の保持機構２２ａ，２２ｂの互いに対する距離を拡げることによって金属薄板３１に対し引張力を与えるようになっている複数の引張機構２３と、金属薄板３１の所望の引張方向に基づいて、複数の引張機構２３による引張力の方向に対する複数の載置板２１上における金属薄板３１の載置姿勢を案内するようになっている案内部材８０ａ,８０ｂと、備えた点が異なっている。また、本実施の形態の寸法測定装置１１は、金属薄板３１に与えられた引張力を金属薄板３１に「なじませる」（全体に亘って均一化させる）ための複数の揺動機構２４を有している。
【０１０１】
その他の構成は、図１及び図４に示す第１の実施の形態と略同様である。図１３において、第１の実施の形態と同一の部分には同一の符号を付して詳細な説明は省略する。
【０１０２】
本実施の形態の寸法測定装置１１では、図１３に示すように、複数の載置板２１が、載置板２１の長手方向に垂直な方向（図１３の上下方向）に並列に設けられており、各載置板２１の両側に、一対の保持機構２２ａ，２２ｂ、引張機構２３及び揺動機構２４が、第１の実施の形態と略同様に設けられている。本実施の形態では、案内機構８０ａ，８０ｂは、一方の載置板２１にのみ設けられているが、両方の載置板２１に設けられていてもよい。
【０１０３】
次に、このような構成からなる本実施の形態の作用について説明する。
【０１０４】
まず、金属薄板３１が複数の載置板２１に載置される際には、各載置板２１に対して備えられた引張機構２３のエアシリンダヘッド２３４と引張牽引アーム２３２とが当接されており、各載置板２１に対して備えられた揺動機構２４のマイクロメータヘッド２４４と揺動牽引アーム２４２とが当接されている。
【０１０５】
次に、制御機構８５によって、案内ピン８１ａ，８１ｂが、金属薄板３１の所望の引張方向に基づいて移動される。具体的には、金属薄板３１の一側の縁部領域が案内ピン８１ａ，８１ｂに当接された状態で金属薄板３１が複数の載置板２１に載置された際に、金属薄板３１の所望の引張方向と、複数の引張機構２３による引張力の合力の方向と、が整合するような位置に移動される。
【０１０６】
そして、金属薄板３１が、その一側の縁部領域が案内ピン８１ａ，８１ｂに当接された状態で複数の載置板２１上に載置され、複数対の保持機構２２ａ，２２ｂの各対によって複数の載置板２１に載置された金属薄板３１の対向する各縁部領域が保持される。
【０１０７】
金属薄板３１が複数対の保持機構２２ａ，２２ｂによって保持された後、載置板下降機構２１６によって載置板中央部２１１ａ，２１１ｂが、複数対の保持機構２２ａ，２２ｂに対して下降され、複数の引張機構２３によって複数対の保持機構２２ａ，２２ｂの互いに対する距離が拡げられる。これによって、金属薄板３１に対して二次元的に（平面的に）引張力が与えられる。
【０１０８】
金属薄板３１に引張力が与えられた状態で、複数の揺動機構２４によって、金属薄板３１は各載置板２１の長手方向（図１３の左右方向）に揺動される。これによって、金属薄板３１に二次元的に与えられた引張力を、金属薄板３１に二次元的に「なじませる」（全体に亘って均一化させる）ことができる。
【０１０９】
前述のように金属薄板３１が揺動された後、全体に亘ってほぼ均一に引張力を与えられた状態の金属薄板３１の画像が、測定用カメラ１３１によって取得され、撮像された画像が画像処理装置１３２によって処理され、金属薄板３１の少なくとも１つの寸法が測定される。
【０１１０】
以上のように、本実施の形態によれば、金属薄板に二次元的に（平面的に）引張力が与えられるため、金属薄板の変形の状態が二次元的に除去ないし緩和され、測定精度がより一層向上する。
【０１１１】
次に、図１４により、本発明による寸法測定装置の第３の実施の形態について説明する。
【０１１２】
図１４は、本発明の第３の実施の形態による寸法測定装置における、載置板と、保持機構と、引張機構と、を概略的に示す平面図である。本実施の形態の寸法測定装置１１は、図１４に示すように、載置板２１が複数に分かれていない点を除いて、図１３に示す第２の実施の形態と同様である。
【０１１３】
図１４において、図１３に示す実施の形態と同一の部分には同一の符号を付して詳細な説明は省略する。
【０１１４】
本実施の形態によっても、図１３に示す実施の形態と同様に、金属薄板に二次元的に（平面的に）引張力が与えられるため、金属薄板の変形の状態が二次元的に除去ないし緩和され、測定精度がより一層向上する。
【０１１５】
次に、図１５により、本発明による寸法測定装置の第４の実施の形態について説明する。
【０１１６】
図１５は、本発明の第４の実施の形態による寸法測定装置における、載置板と、保持機構と、引張機構と、を概略的に示す平面図である。図１５に示すように、本実施の形態の寸法測定装置１１は、第１の実施例による寸法測定装置に対し、案内部材８０ａ，８０ｂの代わりに、一対の保持機構２２ａ，２２ｂの位置を変更するための位置変更機構９０を備えている点が異なっている。位置変更機構９０は、詳しくは、金属薄板３１の所望の引張方向に基づいて載置板２１上における金属薄板３１の載置姿勢に対する一対の保持機構２２ａ，２２ｂの位置を変更するようになっている。その他の構成は、第１の実施の形態と略同様である。図１５において、第１の実施の形態と同一の部分には同一の符号を付して詳細な説明は省略する。
【０１１７】
位置変更機構９０は、本実施の形態においては、図１６に示すように、保持機構２２ａ及び引張機構２３の下方に設けられて保持機構２２ａ及び引張機構２３を一体として移動させる回転機構９１ａ及び並進機構９２ａを含んでいる。回転機構９１ａは、保持機構２２ａ及び引張機構２３を一体として水平面内において所定の回転中心周りに回転させるようになっている。また、並進機構９２ａは、保持機構２２ａ及び引張機構２３を一体として水平面内において並進させるようになっている。
【０１１８】
位置変更機構９０は、さらに、保持機構２２ｂ及び揺動機構２４の下方に設けられて保持機構２２ｂ及び揺動機構２４を一体として移動させる回転機構９１ｂ及び並進機構９２ｂを含んでいる。回転機構９１ｂは、保持機構２２ｂ及び揺動機構２４を一体として水平面内において所定の回転中心周りに回転させるようになっている。また、並進機構９２ｂは、保持機構２２ｂ及び揺動機構２４を一体として水平面内において並進させるようになっている。
【０１１９】
制御機構８５は、本実施の形態においては、金属薄板３１の所望の引張方向に基づいて、載置板２１上における金属薄板３１の載置姿勢に対する回転機構９１ａ，９１ｂの回転角度と、並進機構９２ａ，９２ｂの並進方向及び並進距離と、を決定するようになっている。
【０１２０】
例えば、金属薄板３１の所望の引張方向が金属薄板３１の長手方向とは異なる図９の矢印で示すような方向であり、金属薄板３１が載置板２１上に載置板２１の長手方向軸に平行に載置される場合には、保持機構２２ａ及び引張機構２３は、載置板２１に対して図１５（ｂ）に示すような位置に移動される必要がある。この場合、制御機構８５は、保持機構２２ａ及び引張機構２３の移動後の位置が図１５（ｂ）に示す位置となるように、回転機構９１ａの回転角度と、並進機構９２ａの並進方向及び並進距離と、を決定するようになっている。
【０１２１】
また、保持機構２２ａ及び引張機構２３が移動される場合、保持機構２２ｂ及び揺動機構２４も、移動後の引張機構２３の位置に対応して移動される必要がある。具体的には、保持機構２２ｂ及び揺動機構２４は、移動後の引張機構２３による引張力の方向と、移動後の揺動機構２４による金属薄板３１の揺動方向とが、整合するように移動される必要がある。したがって、保持機構２２ａ及び引張機構２３が図１５（ｂ）に示す位置に移動される場合、制御機構８５は、保持機構２２ｂ及び揺動機構２４の移動後の位置が図１５（ｂ）に示す位置となるように、回転機構９１ｂの回転角度と、並進機構９２ｂの並進方向及び並進距離と、を決定するようになっている。
【０１２２】
次に、このような構成からなる本実施の形態の作用について説明する。本実施の形態では、金属薄板３１は、載置板２１上に載置板２１の長手方向軸に平行に載置されるものとする。
【０１２３】
まず、金属薄板３１が載置板２１に載置される際には、引張機構２３のエアシリンダヘッド２３４と引張牽引アーム２３２とが当接されており、揺動機構２４のマイクロメータヘッド２４４と揺動牽引アーム２４２とが当接されている。
【０１２４】
入力手段８６により金属薄板３１の所望の引張方向を決定するために必要な情報が入力されると、制御機構８５により金属薄板３１の所望の引張方向が決定される。そして、金属薄板３１の所望の引張方向に基づいて、載置板２１上における金属薄板３１の載置姿勢に対する各回転機構９１ａ，９１ｂの回転角度と各並進機構９２ａ，９２ｂの並進方向及び並進距離とが、決定される。具体的には、回転機構９１ａの回転角度と並進機構９２ａの並進方向及び並進距離とは、回転及び並進後の引張機構２３による引張力の方向が所望の引張方向に一致するように決定される。また、回転機構９１ｂの回転角度と並進機構９２ｂの並進方向及び並進距離とは、回転及び並進後の揺動機構２４の揺動方向が回転及び並進後の引張機構２３による引張力の方向に整合するように決定される。
【０１２５】
保持機構２２ａ及び引張機構２３は、制御機構８５によって決定された回転角度に従って、回転機構９１ａによって回転される。さらに、保持機構２２ａ及び引張機構２３は、制御機構８５によって決定された並進方向及び並進距離に従って、並進機構９２ａによって並進される。これにより、保持機構２２ａ及び引張機構２３は、移動後の引張機構２３による引張力の方向が所望の引張方向に一致するように移動される。
【０１２６】
また、保持機構２２ｂ及び揺動機構２４は、制御機構８５によって決定された回転角度に従って、回転機構９１ｂによって回転される。さらに、保持機構２２ｂ及び揺動機構２４は、制御機構８５によって決定された並進方向及び並進距離に従って、並進機構９２ｂによって並進される。これにより、保持機構２２ｂ及び揺動機構２４は、移動後の揺動機構２４の揺動方向が移動後の引張機構２３による引張力の方向に整合するように移動される。
【０１２７】
そして、金属薄板３１が載置板２１上に載置板２１の長手方向軸に平行に載置されると、金属薄板３１の対向する各縁部領域が一対の保持機構２２ａ，２２ｂによって保持される。
【０１２８】
金属薄板３１が一対の保持機構２２ａ，２２ｂによって保持されると、載置板２１の偏心棒２１５が回転されて、載置板中央部２１１ａ，２１１ｂが、一対の保持機構２２ａ，２２ｂに対して偏心の分だけ下降される。
【０１２９】
この状態で、引張機構２３によって一対の保持機構２２ａ，２２ｂの互いに対する距離が拡げられ、金属薄板３１に引張力が与えられる。
【０１３０】
金属薄板３１に引張力が与えられた状態で、揺動機構２４によって金属薄板３１が、マイクロメータ２４３の伸長及び縮退方向に揺らされる。
【０１３１】
前述のように金属薄板３１が揺動された後、全体に亘ってほぼ均一に引張力を与えられた状態の金属薄板３１の画像が、測定用カメラ１３１によって取得され、撮像された画像が画像処理装置１３２によって処理され、金属薄板３１の少なくとも１つの寸法が測定される。
【０１３２】
以上のように、本実施の形態によれば、金属薄板３１の所望の引張方向に基づいて、載置板２１上における金属薄板３１の載置姿勢に対する一対の保持機構２２ａ，２２ｂの位置が変更されるため、金属薄板３１に対して適切な方向に引張力を与えることができる。
【０１３３】
また、位置変更機構９０は、各保持機構２２ａ，２２ｂを所定の回転中心周りに回転させるようになっているため、引張機構による引張力の方向を所望の引張方向に整合させることが容易である。
【０１３４】
さらに、位置変更機構９０は、一対の保持機構２２ａ，２２ｂを互いに対して並進移動させるようになっているため、このことによっても、引張機構による引張力の方向を所望の引張方向に整合させることが容易である。
【０１３５】
なお、一対の保持機構２２ａ，２２ｂの位置が変更される代わりに、載置板２１の位置が変更されてもよい。
【０１３６】
また、寸法測定装置１１は、本発明の第１の実施の形態による寸法測定装置における案内部材８０ａ，８０ｂを更に有していてもよい。この場合、案内部材８０ａ，８０ｂが案内する金属薄板の載置姿勢と、一対の保持機構２２ａ，２２ｂの移動後の位置と、の両方を調整することで、金属薄板３１の所望の引張方向と、引張機構２３による引張力と、を、より柔軟に整合させることができる。
【０１３７】
次に、図１７により、本発明による寸法測定装置の第５の実施の形態について説明する。
【０１３８】
図１７は、本発明の第５の実施の形態による寸法測定装置における、載置板と、保持機構と、引張機構と、を概略的に示す平面図である。図１７に示すように、本実施の形態の寸法測定装置１１は、図１５及び図１６に示す実施の形態の寸法測定装置に対し、複数の載置板２１と、載置板２１上に載置される金属薄板３１の対向する各縁部領域を各対が保持するようになっている複数対の保持機構２２ａ，２２ｂと、各対の保持機構２２ａ，２２ｂの互いに対する距離を拡げることによって金属薄板３１に対し引張力を与えるようになっている複数の引張機構２３と、金属薄板３１の所望の引張方向に基づいて、複数の載置板２１上における金属薄板３１の載置姿勢に対する各対の保持機構２２ａ，２２ｂ位置を変更するようになっている複数の位置変更機構９０と、を備えた点が異なっている。また、本実施の形態の寸法測定装置１１は、金属薄板３１に与えられた引張力を金属薄板３１に「なじませる」（全体に亘って均一化させる）ための複数の揺動機構２４を有している。
【０１３９】
その他の構成は、図１５及び図１６に示す実施の形態と略同様である。図１７において、図１５及び図１６に示す実施の形態と同一の部分には同一の符号を付して詳細な説明は省略する。
【０１４０】
次に、このような構成からなる本実施の形態の作用について説明する。
【０１４１】
まず、金属薄板３１が載置板２１に載置される際には、各載置板２１に設けられた引張機構２３のエアシリンダヘッド２３４と引張牽引アーム２３２とが当接されており、各載置板２１に設けられた揺動機構２４のマイクロメータヘッド２４４と揺動牽引アーム２４２とが当接されている。
【０１４２】
入力手段８６により金属薄板３１の所望の引張方向を決定するために必要な情報が入力されると、制御機構８５により金属薄板３１の所望の引張方向が決定される。そして、金属薄板３１の所望の引張方向に基づいて、各回転機構９１ａ，９１ｂの回転角度と各並進機構９２ａ，９２ｂの並進方向及び並進距離とが、決定される。具体的には、各回転機構９１ａの回転角度と並進機構９２ａの並進方向及び並進距離とは、回転及び並進後の複数の引張機構２３による引張力の合力の方向が所望の引張方向に一致するように決定される。また、各回転機構９１ｂの回転角度と並進機構９２ｂの並進方向及び並進距離とは、回転及び並進後の全ての揺動機構２４により金属薄板３１が揺動される方向が回転及び並進後の複数の引張機構２３による引張力の合力の方向に整合するように決定される。
【０１４３】
各保持機構２２ａ及び各引張機構２３は、制御機構８５によって決定された回転角度に従って、各々の回転機構９１ａによって回転される。さらに、各保持機構２２ａ及び各引張機構２３は、制御機構８５によって決定された並進方向及び並進距離に従って、各々の並進機構９２ａによって並進される。これにより、複数の保持機構２２ａ及び複数の引張機構２３は、移動後の複数の引張機構２３による引張力の合力方向が所望の引張方向に一致するように移動される。
【０１４４】
また、各保持機構２２ｂ及び各揺動機構２４は、制御機構８５によって決定された回転角度に従って、各々の回転機構９１ｂによって回転される。さらに、各保持機構２２ｂ及び各揺動機構２４は、制御機構８５によって決定された並進方向及び並進距離に従って、各々の並進機構９２ｂによって並進される。これにより、複数の保持機構２２ｂ及び複数の揺動機構２４は、移動後の複数の揺動機構２４による揺動方向が移動後の複数の引張機構２３による引張力の合力の方向に整合するように移動される。
【０１４５】
そして、金属薄板３１が複数の載置板２１上に複数の載置板２１の長手方向軸に平行に載置されると、金属薄板３１の対向する各縁部領域が複数対の保持機構２２ａ，２２ｂの各対によって保持される。
【０１４６】
金属薄板３１が複数対の保持機構２２ａ，２２ｂの各対によって保持されると、それぞれの載置板２１の偏心棒２１５が回転されて、載置板中央部２１１ａ，２１１ｂが、複数対の保持機構２２ａ，２２ｂに対して偏心の分だけ下降される。
【０１４７】
金属薄板３１が複数対の保持機構２２ａ，２２ｂによって保持された後、載置板下降機構２１６によって載置板中央部２１１ａ，２１１ｂが、複数対の保持機構２２ａ，２２ｂに対して下降され、複数の引張機構２３によって複数対の保持機構２２ａ，２２ｂの互いに対する距離が拡げられる。これによって、金属薄板３１に対して二次元的に（平面的に）引張力が与えられる。
【０１４８】
金属薄板３１に引張力が与えられた状態で、複数の揺動機構２４によって、金属薄板３１は、マイクロメータ２４３の伸長及び縮退方向に揺動される。これによって、金属薄板３１に二次元的に与えられた引張力を、金属薄板３１に二次元的に「なじませる」（全体に亘って均一化させる）ことができる。
【０１４９】
前述のように金属薄板３１が揺動された後、全体に亘ってほぼ均一に引張力を与えられた状態の金属薄板３１の画像が、測定用カメラ１３１によって取得され、撮像された画像が画像処理装置１３２によって処理され、金属薄板３１の少なくとも１つの寸法が測定される。
【０１５０】
以上のように、本実施の形態によれば、金属薄板に二次元的に（平面的に）引張力が与えられるため、金属薄板の変形の状態が二次元的に除去ないし緩和され、測定精度がより一層向上する。
【符号の説明】
【０１５１】
１１  寸法測定装置
１３  測定機構
１３１  測定用カメラ
１３２  画像処理装置
２１  載置板
２１１ａ  載置板中央部
２１１ｂ  載置板中央部
２１２ａ  載置板縁部
２１２ｂ  載置板縁部
２１３  載置板枠体
２１４  軸受
２１５  偏心棒
２１６  載置板下降機構
２２ａ  一方の保持機構
２２ｂ  他方の保持機構
２２１ａ  クランプ基台
２２１ｂ  クランプ基台
２２２  クランプ部
２２３  押圧レバー
２２４  ワッシャー
２２５  バネ
２３  引張機構
２３１  引張牽引部
２３２  引張牽引アーム
２３３  エアシリンダ
２３４  エアシリンダヘッド
２４  揺動機構
２４１  揺動牽引部
２４２  揺動牽引アーム
２４３  マイクロメータ
２４４  マイクロメータヘッド
３１  金属薄板
３２  測定マーク
３３  メタルマスク作製領域
３４  メタルマスク
３５  メタルマスク開口部
６１ａ  レール
６１ｂ  レール
７１  ロードセル
８０ａ  案内部材
８０ｂ  案内部材
８１ａ  案内ピン
８１ｂ  案内ピン
８２ａ  シリンダ
８２ｂ  シリンダ
８５  制御機構
８６  入力手段
９０  位置変更機構
９１  回転機構
９２  並進機構
【図１】
2014098592.tif 000003
【図２】
2014098592.tif 000004
【図３】
2014098592.tif 000005
【図４】
2014098592.tif 000006
【図５】
2014098592.tif 000007
【図６】
2014098592.tif 000008
【図７】
2014098592.tif 000009
【図８】
2014098592.tif 000010
【図９】
2014098592.tif 000011
【図１０】
2014098592.tif 000012
【図１１】
2014098592.tif 000013
【図１２】
2014098592.tif 000014
【図１３】
2014098592.tif 000015
【図１４】
2014098592.tif 000016
【図１５】
2014098592.tif 000017
【図１６】
2014098592.tif 000018
【図１７ａ】
2014098592.tif 000019
【図１７ｂ】
2014098592.tif 000020