(57)【要約】【課題】マザー基板の寸法の制約を受けずにかつ部品点数を増加させることなく所望の大きさの薄膜太陽電池モジュールを製造可能にする。【解決手段】薄膜太陽電池モジュールの製造方法は、薄膜太陽電池素子１１０が形成された第１基板としてのマザー基板３００と当該マザー基板３００より小さい第２基板としての裏面側基板２００との間において薄膜太陽電池素子１１０を封止する工程と、マザー基板３００を切断する工程とを備える。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
薄膜太陽電池素子が形成された第１基板と前記第１基板より小さい第２基板との間において前記薄膜太陽電池素子を封止する工程と、
前記第１基板を切断する工程とを備えた、薄膜太陽電池モジュールの製造方法。
【請求項２】
前記第２基板として、強化ガラスが用いられる、請求項１に記載の薄膜太陽電池モジュールの製造方法。
【請求項３】
前記第１基板の切断後において、前記第１基板の切断面を含む端部を研磨する工程をさらに備えた、請求項１または２に記載の薄膜太陽電池モジュールの製造方法。
【請求項４】
前記第１基板を切断する工程において、前記第２基板の端部に沿うように前記第１基板が切断される、請求項１から３のいずれかに記載の薄膜太陽電池モジュールの製造方法。
【請求項５】
前記第１基板を切断する工程において、前記第１基板の切断面が前記第２基板の端面と同一平面上に位置するように、前記第１基板が切断される、請求項４に記載の薄膜太陽電池モジュールの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、薄膜太陽電池モジュールの製造方法に関し、特に対向配置された表面側基板と裏面側基板との間において薄膜太陽電池素子が封止されてなる薄膜太陽電池モジュールの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
薄膜太陽電池モジュールの製造方法の一例として、たとえば、特開２００２−０７６３８０号公報（特許文献１）には、大面積のガラス基板上にストリング状にスクライブされた透明電極層、光電変換半導体層および裏面電極層を順次形成して互いに直列に接続された複数の太陽電池セルを形成した後、ガラス基板を切断して所定のサイズの薄膜太陽電池モジュールを製造するにあたり、太陽電池セルの膜面に機械的なダメージを加える処理、例えばガラス基板の周縁部に形成されている膜を研磨する縁研磨処理およびガラス基板の切断を行った後に逆バイアス処理を行う方法が開示されている。
【０００３】
一方、薄膜太陽電池モジュールの製造方法のその他の例として、たとえば、特開２００２−２９９６５３号公報（特許文献２）には、ほぼ全面に集積型太陽電池構造を形成した基板の分割予定領域に、封止樹脂に対する接着阻害部材を設け、該接着阻害部材を含む該太陽電池構造全体を封止樹脂層を介して保護フィルムで封止した後、該保護フィルムから該封止樹脂層および該接着阻害部材に対して該基板表面に至る切断線を形成し、この切断線に沿って該基板を分割し、該切断された接着阻害部材を該封止樹脂層および該保護フィルムの該切断部分とともに取り除き、それにより露出した基板表面部分を含めて該基板の分割端面を面取り加工することを特徴とする分割により複数の太陽電池モジュールを製造する方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−０７６３８０号公報
【特許文献２】特開２００２−２９９６５３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
近年、薄膜太陽電池モジュールにおいては、その用途が多様化しており、各種の用途に応じて異なる大きさの薄膜太陽電池モジュールを製造することが要求されている。そのため、製造コストの削減の観点から、共通の設備を用いて異なる大きさの薄膜太陽電池モジュールを製造することが必要となっている。
【０００６】
しかしながら、一般的に、薄膜太陽電池モジュールの製造ラインにおいては、後続のラインに連続して効率よく基板を搬送することでその生産効率を向上させるために、搬送する基板の寸法が統一される。このため、搬送装置や各処理工程において使用される各種処理装置においても、基板の寸法に関する仕様が統一される場合が多い。
【０００７】
そのため、一旦、搬送装置や各種処理装置が対応できる基板の寸法に関する仕様が決定されると、その仕様に応じた寸法の基板しか製造ラインに投入することができず、基板の寸法の制約を受けずに異なる大きさの薄膜太陽電池モジュールを製造することが困難であった。
【０００８】
したがって、異なる大きさの薄膜太陽電池モジュールを共通の設備を用いて製造するためには、大型のマザー基板上に薄膜太陽電池素子を形成した後に当該マザー基板を切断することで所望の大きさの薄膜太陽電池モジュールを得る手法を採用することが望ましいことになる。
【０００９】
しかしながら、特許文献１に開示の薄膜太陽電池モジュールの製造方法を採用した場合には、マザー基板と裏面側基板との間において薄膜太陽電池素子を封止する前にマザー基板を切断することとなってしまうため、後工程との関係において、切断後のマザー基板の横幅寸法（搬送方向に直交する方向に沿った基板の長さ）を切断前のマザー基板の幅寸法と同一にする必要が生じてしまい、結果的に縦幅寸法（搬送方向に沿った基板の長さ）の調整しか行なえず、必ずしも所望の大きさの太陽電池モジュールを得ることができない問題が生じてしまう。
【００１０】
一方、特許文献２に開示の薄膜太陽電池モジュールの製造方法を採用した場合には、マザー基板と裏面側基板としての保護フィルムとの間において薄膜太陽電池素子を封止した後にマザー基板を分断することとなるため、マザー基板の寸法の制約を受けることがない反面、接着阻害部材を別途設ける必要があるため、部品点数が増加することで製造コストが増大してしまう問題が生じてしまう。
【００１１】
さらに、特許文献２に開示の薄膜太陽電池モジュールの製造方法を採用した場合であって、かつ裏面側基板として保護フィルムではなく強化ガラスを用いる場合には、強化ガラス側からマザー基板に至る分断線を形成して強化ガラスおよび表面側基板を分断することは困難であり、この点からも所望の大きさの薄膜太陽電池モジュールを製造することができない問題が生じてしまう。
【００１２】
本発明は、上記のような問題に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、マザー基板の寸法の制約を受けずにかつ部品点数を増加させることなく所望の大きさの薄膜太陽電池モジュールを製造することができる薄膜太陽電池モジュールの製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明に基づく薄膜太陽電池モジュールの製造方法は、薄膜太陽電池素子が形成された第１基板と上記第１基板より小さい第２基板との間において上記薄膜太陽電池素子を封止する工程と、上記第１基板を切断する工程とを備える。
【００１４】
上記本発明に基づく薄膜太陽電池モジュールの製造方法にあっては、上記第２基板として、強化ガラスが用いられることが好ましい。
【００１５】
上記本発明に基づく薄膜太陽電池モジュールの製造方法は、上記第１基板の切断後において、上記第１基板の切断面を含む端部を研磨する工程をさらに備えることが好ましい。
【００１６】
上記本発明に基づく薄膜太陽電池モジュールの製造方法にあっては、上記第１基板を切断する工程において、上記第２基板の端部に沿うように上記第１基板が切断されることが好ましい。
【００１７】
上記本発明に基づく薄膜太陽電池モジュールの製造方法にあっては、上記第１基板を切断する工程において、上記第１基板の切断面が上記第２基板の端面と同一平面上に位置するように、上記第１基板が切断されることが好ましい。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、マザー基板の寸法の制約を受けずにかつ部品点数を増加させることなく所望の大きさの薄膜太陽電池モジュールを製造することができる薄膜太陽電池モジュールの製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の実施の形態１に係る薄膜太陽電池モジュールの製造方法に従って製造された薄膜太陽電池モジュールの模式背面図である。
【図２】図１中に示すＩＩ−ＩＩ線に沿った薄膜太陽電池モジュールの模式断面図である。
【図３】図１に示す薄膜太陽電池モジュールの製造フローを示す図である。
【図４】図３に示すトリミング工程における概略斜視図である。
【図５】図３に示すリード線取付工程における概略斜視図である。
【図６】図３に示す端子箱取付工程における概略斜視図である。
【図７】図３に示す切断工程における概略斜視図である。
【図８】図３に示す研磨工程後における薄膜太陽電池モジュールの切断された端部の状態の一例を示す模式断面図である。
【図９】図３に示す研磨工程後における薄膜太陽電池モジュールの切断された端部の状態の他の一例を示す模式断面図である。
【図１０】本発明の実施の形態２に係る薄膜太陽電池モジュールの製造方法における切断工程を示す概略斜視図である。
【図１１】本発明の実施の形態３に係る薄膜太陽電池モジュールの製造方法におけるリード線取付工程を示す概略斜視図である。
【図１２】本発明の実施の形態３に係る薄膜太陽電池モジュールの製造方法における切断工程を示す概略斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明の実施の形態について、図を参照して詳細に説明する。なお、以下に示す実施の形態においては、同一のまたは共通する部分について図中同一の符号を付し、その説明は繰り返さない。
【００２１】
後述する実施の形態１ないし３に係る薄膜太陽電池モジュールの製造方法においては、表面側基板となる部分を含む第１基板としてマザー基板を用い、第２基板として裏面側基板を用いる。また、第２基板は第１基板よりも小さいものとする。
【００２２】
（実施の形態１）
図１は、本発明の実施の形態１に係る薄膜太陽電池モジュールの製造方法に従って製造された薄膜太陽電池モジュールの模式背面図である。図２は、図１中に示すＩＩ−ＩＩ線に沿った模式断面図である。まず、これら図１および図２を参照して、本実施の形態に係る薄膜太陽電池モジュールの製造方法に従って製造された薄膜太陽電池モジュールの概略的な構成について説明する。
【００２３】
図１および図２に示すように、薄膜太陽電池モジュール１は、表面（受光面）側に位置する表面側基板１００と、裏面（非受光面）側に位置する裏面側基板２００と、これらの間において封止部材１６０を用いて封止された平面視略矩形状の薄膜太陽電池素子１１０と、バスバー１１１，１１２と、リード線１１３，１１４と、端子箱１１５とを具備している。
【００２４】
図２に示すように、薄膜太陽電池素子１１０は、表面側基板１００の背面上に位置しており、表面側基板１００の背面側に設けられた表面側電極層１０１と、表面側電極層１０１の背面側に設けられた光電変換層１０３と、光電変換層１０３の背面側に設けられた裏面側電極層１０５とを含んでいる。裏面側電極層１０５の背面側には、封止部材１６０が位置しており、封止部材１６０の背面側には、裏面側基板２００が位置している。
【００２５】
また、表面側電極層１０１、光電変換層１０３および裏面側電極層１０５は、それぞれ所定の形状にパターニングされており、これによりこれら表面側電極層１０１、光電変換層１０３および裏面側電極層１０５のそれぞれには、所定方向に沿って延びる第１分離ライン１０２、第２分離ライン１０４および第３分離ライン１０６が設けられている。
【００２６】
表面側電極層１０１に設けられた第１分離ライン１０２は、光電変換層１０３によって埋め込まれている。光電変換層１０３に設けられた第２分離ライン１０４は、裏面側電極層１０５によって埋め込まれている。また、裏面側電極層１０５に設けられた第３分離ライン１０６は、封止部材１６０によって埋め込まれている。
【００２７】
第２分離ライン１０４によって分断された個々の光電変換層１０３は、第１分離ライン１０２によって分断された個々の表面側電極層１０１と、第３分離ライン１０６によって分断された個々の裏面側電極層１０５とによって挟まれた状態にあり、表面側電極層１０１とこれに隣り合う裏面側電極層１０５とは、光電変換層１０３を分断する第２分離ライン１０４を埋め込むように構成された部分の裏面側電極層１０５（当該部分の裏面側電極層１０５は、特にコンタクトラインと称される）を介して接続されている。
【００２８】
これにより、個々の光電変換層１０３が、裏面側電極層１０５および表面側電極層１０１を介して相互に接続された状態となり、複数の太陽電池セル１０８が、電気的に直列に接続されることになる。そして、複数の太陽電池セル１０８が電気的に直列に接続されることで、薄膜太陽電池素子１１０が形成されている。
【００２９】
図１に示すように、第１分離ライン１０２、第２分離ライン１０４および第３分離ライン１０６が延びる方向と直交する方向（すなわち、太陽電池セル１０８が並ぶ方向）における薄膜太陽電池素子１１０の一方端には、外部引き出し用電極としてのバスバー１１１が接続されており、他方端には、外部引き出し用電極としてのバスバー１１２が接続されている。バスバー１１１の所定位置には、リード線１１３が接続されており、バスバー１１２の所定位置には、リード線１１４が接続されている。
【００３０】
バスバー１１１，１１２と、リード線１１３，１１４の上記バスバー１１１，１１２に取付けられた方の端部とは、いずれも封止部材１６０によって封止されている。一方、リード線１１３，１１４の上記バスバー１１１，１１２に取付けられていない方の端部は、封止部材１６０の外部に引き出されることで露出している。そして、封止部材１６０から引き出されたリード線１１３，１１４の端部には、端子箱１１５が取付けられている。
【００３１】
図３は、図１に示す薄膜太陽電池モジュールの製造フローを示す図である。図４は、図３に示すトリミング工程における概略斜視図である。図５は、図３に示すリード線取付工程における概略斜視図である。図６は、図３に示す端子箱取付工程における概略斜視図である。図７は、図３に示す切断工程における概略斜視図である。次に、これら図３ないし図７を参照して、本実施の形態に係る薄膜太陽電池モジュールの製造方法について説明する。
【００３２】
まず、図３に示すように、マザー基板準備工程（Ｓ１０）において、第１基板としてのマザー基板３００が準備される。マザー基板３００としては、たとえば、ガラス基板等の透光性の絶縁基板が用いられる。
【００３３】
次に、太陽電池素子形成工程（Ｓ２０）において、まず、ＣＶＤ法やスパッタ法により、マザー基板３００上に第１導電膜が成膜される。第１導電膜としては、たとえば、ＩＴＯ、ＺｎＯなどの透明な金属酸化物膜が用いられる。そして、成膜された第１導電膜にレーザ光が照射されることにより、第１分離ライン１０２が形成されるとともに、所定の形状にパターニングされた表面側電極層１０１が形成される。なお、マザー基板準備工程（Ｓ１０）において、マザー基板３００に予め表面側電極層１０１が形成されたものを準備してもよい。
【００３４】
続いて、ＣＶＤ法等により、マザー基板３００とは反対側に位置する表面側電極層１０１の主面上に半導体膜が成膜される。このとき、半導体膜は、第１分離ライン１０２内に充填される。半導体膜としては、たとえば、非晶質シリコン系半導体、微結晶シリコン系半導体が用いられる。そして、成膜された半導体膜にレーザ光が照射されることにより、第２分離ライン１０４が形成される。
【００３５】
さらに、蒸着法やスパッタ法により、マザー基板３００とは反対側に位置する半導体膜の主面上に第２導電膜が成膜される。このとき、第２導電膜は、第２分離ライン１０４内に充填される。第２導電膜としては、たとえば、Ａｇ、Ａｌ、Ｃｒ、Ｔｉ等の金属材料が用いられる。そして、成膜された第２導電膜と半導体膜とにレーザ光が照射されることにより、第３分離ライン１０６が形成されるとともに、所定の形状にパターニングされた光電変換層１０３および裏面側電極層１０５が形成される。
【００３６】
このように、マザー基板３００上に成膜された第１導電膜、半導体膜および第２導電膜にレーザ光が照射されることにより、表面側電極層１０１、光電変換層１０３および裏面側電極層１０５がパターニングされることになり、太陽電池セル１０８が直列に接続された薄膜太陽電池素子１１０が形成されることになる。
【００３７】
次に、図３に示すように、トリミング工程（Ｓ３０）において、薄膜太陽電池素子１１０の一部がトリミングされる。具体的には、図４に示すように、マザー基板３００が切断されることで表面側基板１００となる部分に対応した大きさを有する第１領域１２１の外周に沿ってレーザ加工が行なわれることにより、薄膜太陽電池素子１１０がトリミングされる。これにより、薄膜太陽電池素子１１０には枠状の溝部１２０が形成され、当該溝部１２０によって薄膜太陽電池素子１１０が第１領域１２１と第１領域以外の領域である第２領域１２２とに分割されることになる。ここで、第１領域１２１の絶縁を図るために、当該第１領域１２１の外縁がマザー基板３００の表面側基板１００となる部分の端部および裏面側基板２００の端部のいずれよりも内側に位置することとなるように、薄膜太陽電池素子１１０のトリミングが行なわれる。
【００３８】
なお、薄膜太陽電池素子１１０をトリミングする方法としては、レーザ加工に限られず、研磨、サンドブラスト、エッチング等の手段を用いてもよい。また、ここでは、マザー基板３００の全面に薄膜太陽電池素子１１０を形成してその一部をトリミングすることにより、薄膜太陽電池素子１１０を第１領域１２１と第２領域１２２とに分割するように構成した場合を例示したが、成膜工程において、所定の大きさの開口を有するマスクを用いることとすれば、薄膜太陽電池素子１１０として表面側基板１００となる部分に対応した大きさの第１領域１２１のみを形成することもできる。
【００３９】
次に、図３に示すように、バスバー取付工程（Ｓ４０）において、バスバー１１１，１１２が第１領域１２１に取付けられる。具体的には、図５に示すように、第３分離ライン１０６と垂直な方向における第１領域１２１の一方端および他方端において、第３分離ライン１０６と平行な方向に沿って、裏面側電極層１０５上にＡｇペースト等の導電ペースト１１６が点状に塗布される。そして、バスバー１１１，１１２が導電ペースト１１６上で半田付けされ、バスバー１１１，１１２と第１領域１２１とが電気的に接続される。
【００４０】
そして、図３に示すように、封止部材載置工程（Ｓ５０）において、封止部材１６０が第１領域１２１上に載置される。具体的には、図５に示すように、バスバー１１１，１１２および第１領域１２１を覆うように第１領域１２１上に、第１領域１２１に対応した大きさの複数の封止部材１６０が積層されて載置される。このようにすれば、マザー基板３００の切断後において廃材となる部分（第２領域に対応する部分）上に封止部材１６０が載置されることがなくなるため、不要な部材が発生することが防止可能となる。
【００４１】
封止部材１６０としては、たとえば、三井・デュポンポリケミカル株式会社製の「ハイミラン（登録商標）」が用いられる。また、これに限定されず、封止部材１６０としてエチレンビニルアセテート樹脂（ＥＶＡ）製のものが用いられてもよい。
【００４２】
続いて、図３に示すように、リード線取付工程（Ｓ６０）において、リード線１１３，１１４が、半田付け等によって、バスバー１１１，１１２に取付けられる。このとき、図５に示すようにリード線１１３，１１４の先端は、マザー基板３００の外部へ引き出される。リード線１１３，１１４としては、たとえば、銅箔が用いられるが、リード線１１３，１１４は耐熱性を備えた絶縁フィルムで覆われているため、太陽電池素子である第１領域１２１とは短絡しない。
【００４３】
次に、図３および図６に示すように、裏面側基板載置工程（Ｓ７０）において、封止部材１６０上に、表面側基板１００となる部分に対応した大きさを有する第２基板としての裏面側基板２００が載置される。裏面側基板２００としては、たとえばガラス基板等の透光性の絶縁基板が用いられる。特に、薄膜太陽電池モジュール１の強度をより高く確保する場合には、裏面側基板２００として強化ガラスを用いることができる。
【００４４】
一方、第２領域１２２上には、裏面側基板２００は載置されない。このようにすれば、マザー基板３００の切断後において廃材となる部分（第２領域に対応する部分）上に裏面側基板２００が載置されることがなくなるため、不要な部材が発生することが防止可能となる。
【００４５】
続いて、図３に示すように、封止工程（Ｓ８０）において、マザー基板３００と裏面側基板２００との間に所定の大きさの圧力が加えられながら封止部材１６０が加熱されることにより、薄膜太陽電池素子１１０の第１領域１２１がマザー基板３００と裏面側基板２００との間において封止される。
【００４６】
次に、図３に示すように、端子箱取付工程（Ｓ９０）において、リード線１１３，１１４の先端に端子箱１１５が取付けられる。より具体的には、リード線１１３，１１４のそれぞれの端部が、端子箱１１５の内部において外部接続用の一対の出力端子（不図示）に対応して接続される。
【００４７】
続いて、図３に示すように、切断工程（Ｓ１００）において、第１領域１２１に対応した大きさにマザー基板３００が切断される。具体的には、図７に示すように、まず、ダイヤモンドカッターや超硬合金製のホイールカッターなどを備えたヘッド部をマザー基板３００に対して相対的に移動させることにより、マザー基板３００上に切断用の切れ込み線１３０，１３１が形成される。
【００４８】
このとき、トリミング工程（Ｓ３０）において形成された溝部１２０のうち、マザー基板３００の外縁と重ならない溝部１２０内を通過するようにヘッド部が走査される。これにより、第１領域１２１の外縁に沿って、第３分離ライン１０６に垂直な方向および平行な方向に切断用の切れ込み線１３０が形成されることになる。
【００４９】
そして、切断用の切れ込み線１３０，１３１が設けられた部分に対して所定の応力が負荷されるように、マザー基板３００に対して外力が加えられることにより、マザー基板３００が切断用の切れ込み線１３０，１３１に沿って分断される。これにより、マザー基板３００から表面側基板１００が切り出されることになり、その結果、表面側基板１００と裏面側基板２００との間において薄膜太陽電池素子１１０が封止されてなる所望の大きさの薄膜太陽電池モジュール１が得られることになる。
【００５０】
なお、マザー基板３００を切断する場合のその他の切断方法として、レーザ光等を照射して基板を切断する方法、ウォータージェット等により基板を研磨して切断する方法等を用いることもできる。
【００５１】
次に、図３に示すように、研磨工程（Ｓ１１０）において、表面側基板１００の切断面が研磨される。ここで言う研磨には、表面側基板１００の切断面の角部を面取りするための研磨や、表面側基板１００の切断面と裏面側基板２００の端面とが離れている場合に表面側基板１００の切断面を曲面に加工する研磨が含まれる。なお、その詳細については後述することとする。
【００５２】
上述のような一連の製造工程（Ｓ１０〜Ｓ１１０）を経ることにより、図１に示した薄膜太陽電池モジュール１が製造されることになる。
【００５３】
なお、本実施の形態においては、表面側基板１００となる部分が矩形状であり、これに基づき矩形状の薄膜太陽電池モジュール１を製造する場合を例示して説明を行なったが、これに限定されず、表面側基板１００となる部分の形状は、円形状や多角形状、星型形状等、任意の形状を選択することができる。その場合にも、トリミング工程（Ｓ３０）においてこれらの形状に対応した第１領域１２１が形成された後に、これらの形状に対応した構成部材（バスバーおよびリード線）が取付られ、当該第１領域１２１上にこれらの形状に対応した封止部材１６０および裏面側基板２００が載置され、第１領域１２１が裏面側基板２００とマザー基板３００との間に封止された後に、切断工程（Ｓ１００）においてこれらの形状に対応してマザー基板３００が裏面側基板２００の端部に沿うように切断されることにより、円形状や多角形状、星型形状等、任意の形状の薄膜太陽電池モジュールを製造することができる。
【００５４】
以上において説明した本実施の形態に係る薄膜太陽電池モジュールの製造方法に従って薄膜太陽電池モジュール１を製造することにより、第１基板としてのマザー基板３００と第２基板としての裏面側基板２００との間において薄膜太陽電池素子１１０が封止された後にマザー基板３００のみが切断されることで表面側基板１００が切り出されて薄膜太陽電池モジュール１が製造されることになるため、マザー基板３００の寸法の制約を受けずに所望の大きさの薄膜太陽電池モジュールを得ることができる。また、接着阻害部材といったような付加的な部材を用いる必要もないため、部品点数が増加してしまうこともない。したがって、安価に所望の大きさの薄膜太陽電池モジュールを製造することができる。また、マザー基板３００を所望の形状に切断することにより、容易に所望の形状の薄膜太陽電池モジュールを製造することができる。
【００５５】
さらには、裏面側基板２００として強化ガラスを用いる場合にも、本実施の形態に係る薄膜太陽電池モジュールの製造方法に従えば、薄膜太陽電池素子１１０の第１領域１２１に対応した大きさの裏面側基板２００を用いることでこれを切断することなく薄膜太陽電池モジュールを製造することが可能になる。したがって、高い強度が確保された薄膜太陽電池モジュールを容易にかつ安価に製造することができる。また、裏面側基板２００として所望の形状の強化ガラスを用い、マザー基板３００を所望の形状に切断することにより、容易に所望の形状の薄膜太陽電池モジュールを製造することができる。
【００５６】
以下、上述した研磨工程（Ｓ１１０）について詳細に説明する。図８は、図３に示す研磨工程後における薄膜太陽電池モジュールの切断された端部の状態の一例を示す模式断面図であり、図９は、図３に示す研磨工程後における薄膜太陽電池モジュールの切断された端部の状態の他の一例を示す模式断面図である。なお、図８および図９においては、表面側基板１００上に形成された薄膜太陽電池素子１１０の図示は省略している。
【００５７】
上述した切断工程（Ｓ１００）においては、図８に示すように、好ましくは表面側基板１００の切断面１００ａが裏面側基板２００の端面２００ａと同一平面上に位置するようにマザー基板３００が切断されることが好ましい。このように切断されることにより、薄膜太陽電池モジュールの側面が面一になるため、太陽光発電システム等を構築する際に薄膜太陽電池モジュールを架台等に容易に組み付けることが可能になる。なお、上述した切断工程（Ｓ１００）において形成される切断面を含まない薄膜太陽電池モジュールの端面において、裏面側基板２００の端面とマザー基板３００の端面とを同一平面上に位置させるためには、上述した裏面側基板載置工程（Ｓ７０）において、これら端面が同一平面上に揃うように裏面側基板２００を載置すればよい。
【００５８】
この場合、研磨工程（Ｓ１１０）においては、表面側基板１００の受光面側に位置する角部において面取り加工を施すための研磨処理が行なわれ、これにより当該角部に面取り部１８０が形成されることになる。このように表面側基板１００の所定の角部に面取り部１８０を設けることにより、表面側基板１００が周囲の部材等と接触した際にクラックが発生してしまうことが抑制でき、薄膜太陽電池モジュールの梱包の際や運搬時、設置時等における破損を未然に防止することができる。
【００５９】
また、図９に示すように、切断工程（Ｓ１００）において、表面側基板１００の切断面１００ａが裏面側基板２００の端面２００ａと同一平面上に位置せず、外側に向けて突出した状態となるように切断されることも想定される。その場合にも、表面側基板１００の切断面１００ａが裏面側基板２００の端面２００ａよりも突出する長さＬは、これが１．０ｍｍ以内に収まっていることが好ましい。このように切断されることにより、表面側基板１００の端部が周囲の部材等と接触しにくくなり、薄膜太陽電池モジュールの梱包の際や運搬時、設置時等における破損を低減できる。
【００６０】
この場合、研磨工程（Ｓ１１０）においては、表面側基板１００の受光面側に位置する角部において面取り加工を施すための研磨処理が行なわれ、これにより当該角部に面取り部１８０が形成されることになる。このように表面側基板１００の所定の角部に面取り部１８０を設けることにより、表面側基板１００が周囲の部材等と接触した際にクラックが発生してしまうことが抑制でき、薄膜太陽電池モジュールの梱包の際や運搬時、設置時等における破損を未然に防止することができる。
【００６１】
なお、上述した長さＬが１．０ｍｍを超える場合には、上述した研磨工程（Ｓ１１０）において、受光面側に位置する角部に面取り加工を施すのみならず、非受光面側に位置する角部にも面取り加工を施すことが好ましい。また、表面側基板１００の端面の全体を研磨することにより、その長さＬが１．０ｍｍ以下となるようにしてもよい。その場合には、研磨した後の表面側基板１００の端面の形状が全体に亘って湾曲した形状となるように研磨してもよい。このようにすれば、表面側基板１００が周囲の部材等と接触した際にクラックが発生してしまうことをより効果的に抑制することができる。
【００６２】
（実施の形態２）
図１０は、本発明の実施の形態２に係る薄膜太陽電池モジュールの製造方法における切断工程を示す概略斜視図である。以下、図１０を参照して、本実施の形態に係る薄膜太陽電池モジュールの製造方法について説明する。
【００６３】
図１０に示すように、本実施の形態に係る薄膜太陽電池モジュールの製造方法は、上述した実施の形態１に係る薄膜太陽電池モジュールの製造方法と比較した場合に、第１基板としてのマザー基板３００が切断されることで切り出される表面側基板１００となる部分の大きさが相違しており、これに伴ってマザー基板３００上に形成される薄膜太陽電池素子１１０の第１領域１２１の大きさや、封止部材１６０および第２基板としての裏面側基板２００等の大きさ、さらには切断のためにマザー基板３００に形成される切断用の切れ込み線１３０の位置や本数等についても相違している。
【００６４】
具体的には、本実施の形態に係る薄膜太陽電池モジュールの製造方法にあっては、トリミング工程（Ｓ３０）において、第３分離ライン１０６と垂直な方向に亘って溝部１２０がマザー基板３００上に形成されるように、表面側基板１００となる部分に対応した大きさを有する第１領域１２１の外周に沿って薄膜太陽電池素子１１０がトリミングされる。このとき、枠状の溝部１２０のうち３辺がマザー基板３００の外縁と重なる。
【００６５】
その後、上述した実施の形態１における薄膜太陽電池モジュールの製造方法の場合と同様に、第１領域１２１に対応した大きさやの形状等の各構成部材（バスバーおよびリード線）が第１領域１２１に対して取付けられる。
【００６６】
続いて、第１領域１２１に対応する大きさの封止部材１６０が第１領域１２１上に載置され、表面側基板１００となる部分に対応した大きさを有する裏面側基板２００が封止部材１６０上に載置され、第１領域１２１がマザー基板３００と裏面側基板２００との間において封止された後、端子箱１１５がリード線に対して取付けられる。
【００６７】
さらに、その後、切断工程（Ｓ１００）において、単一の切れ込み線１３０に沿ってマザー基板３００が切断される。すなわち、本実施の形態においては、１回の切断で所望の大きさの薄膜太陽電池モジュール１が得られることになる。
【００６８】
このように、本実施の形態に係る薄膜太陽電池モジュールの製造方法とした場合にも、上述した実施の形態１の場合と同様に、第１基板としてのマザー基板３００の大きさの制約を受けずにかつ部品点数が増加することなく所望の大きさの薄膜太陽電池モジュール１を製造することができる。
【００６９】
（実施の形態３）
図１１は、本発明の実施の形態３に係る薄膜太陽電池モジュールの製造方法におけるリード線取付工程を示す概略斜視図である。図１２は、本発明の実施の形態３に係る薄膜太陽電池モジュールの製造方法における切断工程を示す概略斜視図である。以下、図１１および図１２を参照して、本実施の形態に係る薄膜太陽電池モジュールの製造方法について説明する。
【００７０】
図１１および図１２に示すように、本実施の形態に係る薄膜太陽電池モジュールの製造方法は、複数の薄膜太陽電池モジュールを製造できる点において、実施の形態２に係る製造方法と相違する。
【００７１】
具体的には、本実施の形態に係る薄膜太陽電池モジュールの製造方法にあっては、トリミング工程（Ｓ３０）において、第１基板としてのマザー基板３００が切断されることで表面側基板１００となる複数の部分１００Ａ，１００Ｂに対応した大きさを有する第１領域１２１Ａ，１２１Ｂの外周に沿ってレーザ加工が行なわれることにより、薄膜太陽電池素子１１０がトリミングされる。これにより、薄膜太陽電池素子１１０には、枠状の溝部１２０Ａ，１２０Ｂが形成される。
【００７２】
このとき、枠状の溝部１２０Ａ，１２０Ｂのうちそれぞれの３辺がマザー基板３００の外縁と重なり、溝部１２０Ａ，１２０Ｂの共通する部分として、第３分離ライン１０６と垂直な方向に亘って溝部１２０Ｃが形成される。
【００７３】
その後、上述した実施の形態２における薄膜太陽電池モジュールの製造方法の場合と同様に、第１領域１２１Ａ，１２１Ｂに対応した大きさの各構成部材（バスバー１１１Ａ，１１２Ａ，１１１Ｂ，１１２Ｂおよびリード線１１３Ａ，１１４Ａ，１１３Ｂ，１１４Ｂ）が第１領域１２１Ａ，１２１Ｂに対して取付けられる。
【００７４】
続いて、第１領域１２１Ａ，１２１Ｂに対応する大きさの封止部材１６０Ａ，１６０Ｂが第１領域１２１Ａ，１２１Ｂ上に載置され、表面側基板１００となる部分１００Ａ，１００Ｂに対応した大きさを有する第２基板としての裏面側基板２００Ａ，２００Ｂが封止部材１６０Ａ，１６０Ｂ上に載置され、第１領域１２１Ａ，１２１Ｂが裏面側基板２００Ａ，２００Ｂとマザー基板３００との間において封止された後、端子箱１１５Ａ，１１５Ｂがリード線１１３Ａ，１１４Ａ，１１３Ｂ，１１４Ｂに対して取付けられる。
【００７５】
そして、切断工程（Ｓ１００）において、溝部１２０Ｃに形成された単一の切れ込み線１３０に沿ってマザー基板３００が切断される。これにより、本実施の形態においては、所望の大きさの複数の薄膜太陽電池モジュール１Ａ，１Ｂが得られる。
【００７６】
なお、本実施の形態においては、第１基板としてのマザー基板３００を１枚用いて２つの薄膜太陽電池モジュールを製造する場合を例示して説明を行なったが、これに限定されず、１枚のマザー基板３００を用いて所望の大きさを有する３つ以上の薄膜太陽電池モジュールを製造することもできる。
【００７７】
以上において説明した実施の形態１ないし３においては、トリミング工程が太陽電池素子形成工程とバスバー取付工程との間に行なわれる場合を例示して説明を行なったが、これに限定されず、太陽電池素子形成工程後であってかつ切断工程前であればいずれの段階でトリミング工程が行なわれてもよい。
【００７８】
以上、本発明の実施の形態について説明したが、今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではない。本発明の範囲は特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。
【符号の説明】
【００７９】
１  薄膜太陽電池モジュール、１００  表面側基板、１００ａ  切断面、１０１  表面側電極層、１０２  第１分離ライン、１０３  光電変換層、１０４  第２分離ライン、１０５  裏面側電極層、１０６  第３分離ライン、１０８  太陽電池セル、１１０  薄膜太陽電池素子、１１１，１１２，１１１Ａ，１１１Ｂ，１１２Ａ，１１２Ｂ  バスバー、１１３，１１４，１１３Ａ，１１３Ｂ，１１４Ａ，１１４Ｂ  リード線、１１５，１１５Ａ，１１５Ｂ  端子箱、１１６  導電ペースト、１２０，１２０Ａ，１２０Ｂ，１２０Ｃ  溝部、１２１，１２１Ａ，１２１Ｂ  第１領域、１２２  第２領域、１３０，１３１  切れ込み線、１６０，１６０Ａ，１６０Ｂ  封止部材、１８０  面取り部、２００，２００Ａ，２００Ｂ  裏面側基板、２００ａ  端面、３００  マザー基板。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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