(57)【要約】【課題】ウエーハに形成するストリートの幅を狭くすることができるとともに、デバイスに欠けを発生させることなく分割することができるウエーハの加工方法を提供する。【解決手段】表面に格子状に形成されたストリートによって区画された複数の領域にデバイスが形成されたウエーハをストリートに沿って分割するウエーハの加工方法であって、ウエーハの表面に保護部材を貼着する保護部材貼着工程と、ウエーハの裏面側からストリートに沿って切削ブレードを位置付け、ストリートに対応する領域に表面に至らない所定の厚みを残して分割溝を形成する分割溝形成工程と、分割溝形成工程が実施されたウエーハの裏面を環状のフレームに装着されたダイシングテープに貼着するとともに保護部材を剥離するウエーハ支持工程と、ウエーハ支持工程が実施されダイシングテープに貼着されたウエーハに外力を付与し、ウエーハを分割溝が形成されたストリートに沿って個々のデバイスに分割するウエーハ分割工程とを含む。【選択図】図６
2014053526.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面に格子状に形成されたストリートによって区画された複数の領域にデバイスが形成されたウエーハをストリートに沿って分割するウエーハの加工方法であって、
ウエーハの表面に保護部材を貼着する保護部材貼着工程と、
ウエーハの裏面側からストリートに沿って切削ブレードを位置付け、ストリートに対応する領域に表面に至らない所定の厚みを残して分割溝を形成する分割溝形成工程と、
該分割溝形成工程が実施されたウエーハの裏面を環状のフレームに装着されたダイシングテープに貼着するとともに該保護部材を剥離するウエーハ支持工程と、
該ウエーハ支持工程が実施され該ダイシングテープに貼着されたウエーハに外力を付与し、ウエーハを分割溝が形成されたストリートに沿って個々のデバイスに分割するウエーハ分割工程と、を含む、
ことを特徴とするウエーハの加工方法。
【請求項２】
該保護部材貼着工程を実施した後、該分割溝形成工程を実施する前にウエーハの裏面を研削してウエーハをデバイスの仕上がり厚みに形成する裏面研削工程を実施する、請求項１記載のウエーハの加工方法。
【請求項３】
該裏面研削工程を実施した後、該分割溝形成工程を実施する前にウエーハのストリートに対応する領域における表面の高さ位置を計測し高さデータを作成する高さデータ作成工程を実施し、該分割溝形成工程は高さデータ作成工程で作成された高さデータに基づいて切削ブレードを制御しウエーハのストリートに対応する領域に表面に至らない所定の厚みを残して分割溝を形成する、請求項２記載のウエーハの加工方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表面に格子状に形成されたストリートによって区画された複数の領域にデバイスが形成されたウエーハをストリートに沿って個々のデバイスに分割するウエーハの加工方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイス製造工程においては、略円板形状である半導体ウエーハの表面に格子状に配列されたストリートと呼ばれる分割予定ラインによって複数の領域が区画され、この区画された領域にＩＣ、ＬＳＩ等のデバイスを形成する。そして、半導体ウエーハをストリートに沿って切断することによりデバイスが形成された領域を分割して個々のデバイスを製造している。また、サファイア基板や炭化珪素基板の表面に窒化ガリウム系化合物半導体等が積層された光デバイスウエーハもストリートに沿って切断することにより個々の発光ダイオード、レーザーダイオード等の光デバイスに分割され、電気機器に広く利用されている。
【０００３】
上述した半導体ウエーハや光デバイスウエーハ等のストリートに沿った切断は、通常、ダイサーと呼ばれている切削装置によって行われている。この切削装置は、半導体ウエーハや光デバイスウエーハ等の被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削するための切削手段と、チャックテーブルと切削手段とを相対的に移動せしめる切削送り手段とを具備している。切削手段は、回転スピンドルと該スピンドルに装着された切削ブレードおよび回転スピンドルを回転駆動する駆動機構を含んでいる。切削ブレードは円盤状の基台と該基台の側面外周部に装着された環状の切れ刃からなっており、切れ刃は例えば粒径３μｍ程度のダイヤモンド砥粒を電鋳によって基台に固定し厚さ１５μｍ程度に形成されている。（例えば、特許文献１参照。）
【０００４】
しかるに、切削ブレードは１５μｍ程度の厚さを有するため、デバイスを区画する分割予定ラインとしては幅が５０μｍ程度必要となる。このため、例えば大きさが１mｍ×１mｍ程度のデバイスの場合には、ストリートの占める面積比率が多くなり、生産性が悪いという問題がある。また、ウエーハを切削ブレードによって切断すると、切断面の下面側に欠けが生じてデバイスの品質を低下させるという問題がある。
【０００５】
一方、近年半導体ウエーハ等の板状の被加工物を分割する方法として、ウエーハに対して透過性を有する波長のパルスレーザー光線を用い、分割すべき領域の内部に集光点を合わせてパルスレーザー光線を照射するレーザー加工方法が試みられている。このレーザー加工方法を用いた分割方法は、ウエーハの一方の面側から内部に集光点を合わせてウエーハに対して透過性を有する波長のパルスレーザー光線をストリートに沿って照射し、ウエーハの内部にストリートに沿って改質層を連続的に形成し、この改質層が形成されることによって強度が低下したストリートに沿って外力を加えることにより、ウエーハを個々のデバイスに分割するものである。（例えば、特許文献２参照。）
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００２−６６８６５号公報
【特許文献２】特許第３４０８８０５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上記特許文献２に開示されたウエーハの加工方法においては、ウエーハの第１の方向に形成されたストリートに沿って内部に第１の改質層を形成した後に、第１の方向と直交する第２の方向に形成されたストリートに沿って内部に第２の改質層を形成すると、交差部において第２の方向に形成されたストリートに沿って内部に位置付けられたパルスレーザー光線の集光点が第１の改質層によって遮断され、第２の改質層を交差部において十分な厚みに形成することができず、改質層が形成されたストリートに沿って外力を加えることによりウエーハを個々のデバイスに分割すると、デバイスに欠けが発生するという問題がある。
【０００８】
本発明は上記事実に鑑みてなされたものであり、その主たる技術課題は、ウエーハに形成するストリートの幅を狭くすることができるとともに、デバイスに欠けを発生させることなく分割することができるウエーハの加工方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、表面に格子状に形成されたストリートによって区画された複数の領域にデバイスが形成されたウエーハをストリートに沿って分割するウエーハの加工方法であって、
ウエーハの表面に保護部材を貼着する保護部材貼着工程と、
ウエーハの裏面側からストリートに沿って切削ブレードを位置付け、ストリートに対応する領域に表面に至らない所定の厚みを残して分割溝を形成する分割溝形成工程と、
該分割溝形成工程が実施されたウエーハの裏面を環状のフレームに装着されたダイシングテープに貼着するとともに該保護部材を剥離するウエーハ支持工程と、
該ウエーハ支持工程が実施され該ダイシングテープに貼着されたウエーハに外力を付与し、ウエーハを分割溝が形成されたストリートに沿って個々のデバイスに分割するウエーハ分割工程と、を含む、
ことを特徴とするウエーハの加工方法が提供される。
【００１０】
上記保護部材貼着工程を実施した後、分割溝形成工程を実施する前にウエーハの裏面を研削してウエーハをデバイスの仕上がり厚みに形成する裏面研削工程を実施する。
また、上記裏面研削工程を実施した後、上記分割溝形成工程を実施する前にウエーハのストリートに対応する領域における表面の高さ位置を計測し高さデータを作成する高さデータ作成工程を実施し、上記分割溝形成工程は高さデータ作成工程で作成された高さデータに基づいて切削ブレードを制御しウエーハのストリートに対応する領域に表面に至らない所定の厚みを残して分割溝を形成する。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によるウエーハの加工方法においては、ウエーハの表面に保護部材を貼着する保護部材貼着工程と、ウエーハの裏面側からストリートに沿って切削ブレードを位置付け、ストリートに対応する領域に表面に至らない所定の厚みを残して分割溝を形成する分割溝形成工程と、分割溝形成工程が実施されたウエーハの裏面を環状のフレームに装着されたダイシングテープに貼着するとともに該保護部材を剥離するウエーハ支持工程と、ウエーハ支持工程が実施されダイシングテープに貼着されたウエーハに外力を付与し、ウエーハを分割溝が形成されたストリートに沿って個々のデバイスに分割するウエーハ分割工程とを含んでいるので、ウエーハ分割工程においてダイシングテープに貼着されたウエーハに外力を付与すると、ウエーハにはストリートに対応する領域に沿って分割溝が形成されているため、ウエーハの表面側に残存されている領域は分割溝が破断の起点となって破断される。従って、ウエーハの表面側に残存されているデバイスが形成されているデバイス層は破断されるだけなので、ストリートの幅を狭くすることができる。また、分割溝は交差部においても全てが所定の深さに形成されているので、交差部において欠けを発生させることなくウエーハを個々のデバイスに確実に破断することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明によるウエーハの加工方法によって分割されるウエーハとしての半導体ウエーハの斜視図。
【図２】本発明によるウエーハの加工方法における保護部材貼着工程を示す説明図。
【図３】本発明によるウエーハの加工方法における裏面研削工程を実施するための研削装置の要部斜視図。
【図４】本発明によるウエーハの加工方法における裏面研削工程を示す説明図。
【図５】本発明によるウエーハの加工方法における分割溝形成工程を実施するための切削装置の要部斜視図。
【図６】本発明によるウエーハの加工方法における分割溝形成工程を示す説明図。
【図７】本発明によるウエーハの加工方法におけるウエーハ支持工程を示す説明図。
【図８】本発明によるウエーハの加工方法におけるウエーハ分割工程を実施するためのウエーハ分割装置の斜視図。
【図９】本発明によるウエーハの加工方法におけるウエーハ分割工程を示す説明図。
【図１０】ウエーハの表面に貼着された保護部材の厚みは均一でない場合に、裏面研削工程が実施されたウエーハを誇張して示す側面図。
【図１１】本発明によるウエーハの加工方法における高さデータ作成工程を示す説明図。
【図１２】図１１に示す高さデータ作成工程によって作成された高さデータに基づいて実施される分割溝形成工程を示す説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明によるウエーハの加工方法の好適な実施形態について、添付図面を参照して詳細に説明する。
【００１４】
図１には、本発明に従って加工されるウエーハとしての半導体ウエーハの斜視図が示されている。図１に示す半導体ウエーハ２は、例えば直径が２００mmで厚みが６００μmのシリコンウエーハからなっており、表面２ａに複数のストリート２１が格子状に形成されているとともに、該複数のストリート２１によって区画された複数の領域にＩＣ、ＬＳＩ等のデバイス２２が形成されている。以下、この半導体ウエーハ２をストリート２１に沿って個々のデバイス２２に分割するウエーハの加工方法について説明する。
【００１５】
先ず、半導体ウエーハ２の表面２aに形成されたデバイス２２を保護するために、半導体ウエーハ２の表面２aに保護部材を貼着する保護部材貼着工程を実施する。即ち、図２に示すように半導体ウエーハ２の表面２aに保護部材としての保護テープ３を貼着する。なお、保護テープ３は、図示の実施形態においては厚さが１００μｍのポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）からなるシート状基材の表面にアクリル樹脂系の糊が厚さ５μｍ程度塗布されている。
【００１６】
半導体ウエーハ２の表面２aに保護部材としての保護テープ３を貼着したならば、半導体ウエーハ２の裏面２aを研削して半導体ウエーハ２をデバイスの仕上がり厚みに形成する裏面研削工程を実施する。この裏面研削工程は、図３に示す研削装置４を用いて実施する。図３に示す研削装置４は、被加工物を保持するチャックテーブル４１と、該チャックテーブル４１に保持された被加工物を研削する研削手段４２を具備している。チャックテーブル４１は、保持面である上面に被加工物を吸引保持するように構成されており、図示しない回転駆動機構によって図３において矢印４１aで示す方向に回転せしめられる。研削手段４２は、スピンドルハウジング４２１と、該スピンドルハウジング４２１に回転自在に支持され図示しない回転駆動機構によって回転せしめられる回転スピンドル４２２と、該回転スピンドル４２２の下端に装着されたマウンター４２３と、該マウンター４２３の下面に取り付けられた研削ホイール４２４とを具備している。この研削ホイール４２４は、円環状の基台４２５と、該基台４２５の下面に環状に装着された研削砥石４２６とからなっており、基台４２５がマウンター４２３の下面に締結ボルト４２７によって取り付けられている。
【００１７】
上述した研削装置４を用いて上記裏面研削工程を実施するには、図３に示すようにチャックテーブル４１の上面（保持面）に上記保護部材貼着工程が実施された半導体ウエーハ２の保護テープ３側を載置する。そして、図示しない吸引手段を作動することによってチャックテーブル４１上に半導体ウエーハ２を保護テープ３を介して吸着保持する（ウエーハ保持工程）。従って、チャックテーブル４１上に保持された半導体ウエーハ２は、裏面２bが上側となる。このようにチャックテーブル４１上に半導体ウエーハ２を保護テープ３を介して吸引保持したならば、チャックテーブル４１を図３において矢印４１aで示す方向に例えば３００ｒｐｍで回転しつつ、研削手段４２の研削ホイール４２４を図３において矢印４２４aで示す方向に例えば６０００ｒｐｍで回転せしめて、図４に示すように研削砥石４２６を被加工面である半導体ウエーハ２の裏面２bに接触せしめ、研削ホイール４２４を図３および図４において矢印４２４bで示すように例えば１μm／秒の研削送り速度で下方（チャックテーブル４１の保持面に対し垂直な方向）に所定量研削送りする。この結果、半導体ウエーハ２の裏面２bが研削されて半導体ウエーハ２は所定の厚み（例えば１００μm）に形成される。
【００１８】
次に、半導体ウエーハ２の裏面側からストリートに沿って切削ブレードを位置付け、ストリートに対応する領域に表面に至らない所定の厚みを残して分割溝を形成する分割溝形成工程を実施する。この分割溝形成工程は、図５に示す切削装置５を用いて実施する。図５に示す切削装置５は、被加工物を保持するチャックテーブル５１と、該チャックテーブル５１上に保持された被加工物を切削する切削ブレード５２１を備えた切削手段５２と、チャックテーブル５１上に保持された被加工物を撮像する撮像手段５３を具備している。切削ブレード５２１は、円盤状の基台と該基台の側面外周部に装着された環状の切れ刃からなっており、切れ刃は例えば粒径３μｍ程度のダイヤモンド砥粒を電鋳によって基台に固定し厚さ１１μｍに形成されている。上記撮像手段５３は、図示の実施形態においては可視光線によって撮像する通常の撮像素子（ＣＣＤ）の外に、被加工物に赤外線を照射する赤外線照明手段と、該赤外線照明手段によって照射された赤外線を捕らえる光学系と、該光学系によって捕らえられた赤外線に対応した電気信号を出力する撮像素子（赤外線ＣＣＤ）等で構成されており、撮像した画像信号を図示しない制御手段に送る。このように構成された切削装置５を用いて分割溝形成工程を実施するには、チャックテーブル５１上に上述した裏面研削工程が実施され半導体ウエーハ２の保護テープ３側を載置する。そして、図示しない吸引手段を作動することによってチャックテーブル５１上に半導体ウエーハ２を保護テープ３を介して吸着保持する（ウエーハ保持工程）。従って、チャックテーブル５１上に保持された半導体ウエーハ２は、裏面２bが上側となる。このようにして、半導体ウエーハ２を吸引保持したチャックテーブル５１は、図示しない切削送り手段によって撮像手段５３の直下に位置付けられる。
【００１９】
半導体ウエーハ２を保持したチャックテーブル５１が撮像手段５３の直下に位置付けられると、撮像手段５３および図示しない制御手段によって半導体ウエーハ２の切削加工すべき加工領域を検出するアライメント作業を実行する。即ち、撮像手段５３および図示しない制御手段は、半導体ウエーハ２に所定方向に形成されているストリート２１と、切削ブレード５２１との位置合わせを行うためのパターンマッチング等の画像処理を実行し、切削領域のアライメントを遂行する（アライメント工程）。また、半導体ウエーハ２に形成されている上記所定方向に対して直交する方向に延びるストリート２１に対しても、同様に切削領域のアライメントを遂行する。なお、ストリート２１が形成されている表面２aは下側に位置付けられているが、撮像手段５３が上述したように赤外線照明手段と赤外線を捕らえる光学系および赤外線に対応した電気信号を出力する撮像素子（赤外線ＣＣＤ）等で構成された撮像手段を備えているので、裏面２ｂ側から透かしてストリート２１を撮像することができる。
【００２０】
以上のようにしてチャックテーブル５１上に保持されている半導体ウエーハ２の切削領域を検出するアライメントが行われたならば、半導体ウエーハ２を保持したチャックテーブル５１を切削作業領域に移動し、図6の(a)に示すように所定のストリート２１の一端を切削ブレード５２１の直下より図6の(a)において僅かに右側に位置付ける。次に、切削ブレード５２１を矢印５２１aで示す方向に回転するとともに、図示しない切り込み送り手段を作動して切削ブレード５２１を２点鎖線で示す退避位置から矢印Ｚ１で示す方向に所定量切り込み送りする。この切り込み送り位置は、切削ブレード５２１の外周縁が半導体ウエーハ２の表面２a（下面）から例えば１０〜１５μm上側の位置に設定されている。このようにして、切削ブレード５２１の切り込み送りを実施したならば、切削ブレード５２１を矢印５２１aで示す方向に回転しつつチャックテーブル５１を図６の(a)において矢印Ｘ1で示す方向に所定の切削送り速度（例えば５０mm／秒）で移動し、チャックテーブル５１に保持された半導体ウエーハ２の他端が図６の(b)に示すように切削ブレード５２１の直下より僅かに左側に達したら、チャックテーブル５１の移動を停止するとともに、切削ブレード５２１を矢印Ｚ２で示す方向に２点鎖線で示す退避位置まで上昇せしめる。この結果、半導体ウエーハ２は図６の(c)に示すように所定のストリート２１に沿って表面２aに至らない所定の厚みt（図示の実施形態においては１０〜１５μm）を残して分割溝２３が形成される（分割溝形成工程）。なお、半導体ウエーハ２の表面２a側に残存される所定の厚みt（図示の実施形態においては１０〜１５μm）は、デバイス２２が形成されているデバイス層の厚み（例えば５μm）の２〜３倍程度に設定されている。
【００２１】
上述した分割溝形成工程を半導体ウエーハ２の所定方向に形成された全てのストリート２１に沿って実施したならば、チャックテーブル５１を９０度回動せしめて、上記所定方向に形成されたストリート２１に対して直交する方向に延びるストリート２１に沿って上記分割溝形成工程を実行する。
【００２２】
次に、分割溝形成工程が実施された半導体ウエーハ２の裏面を環状のフレームに装着されたダイシングテープに貼着するとともに該保護部材を剥離するウエーハ支持工程を実施する。即ち、図７に示すように上記分割溝形成工程が実施された半導体ウエーハ２の裏面２bを環状のフレームFに装着された伸張可能なダイシングテープTに貼着する。従って、半導体ウエーハ２の表面に貼着されている保護テープ３は上側となる。そして、半導体ウエーハ２の表面２ａに貼着されている保護テープ３を剥離する。
【００２３】
上記ウエーハ支持工程を実施したならば、環状のフレームFに装着されたダイシングテープTに貼着された半導体ウエーハ２を個々デバイスに分割するウエーハ分割工程を実施する。このウエーハ分割工程は、図８に示すウエーハ分割装置６を用いて実施する。図８に示すウエーハ分割装置６は、上記環状のフレームFを保持するフレーム保持手段６１と、該フレーム保持手段６１に保持された環状のフレームFに装着されたダイシングテープTを拡張するテープ拡張手段６２と、ピックアップコレット６３を具備している。フレーム保持手段６１は、環状のフレーム保持部材６１１と、該フレーム保持部材６１１の外周に配設された固定手段としての複数のクランプ６１２とからなっている。フレーム保持部材６１１の上面は環状のフレームFを載置する載置面６１１ａを形成しており、この載置面６１１ａ上に環状のフレームFが載置される。そして、載置面６１１ａ上に載置された環状のフレームFは、クランプ６１２によってフレーム保持部材６１１に固定される。このように構成されたフレーム保持手段６１は、テープ拡張手段６２によって上下方向に進退可能に支持されている。
【００２４】
テープ拡張手段６２は、上記環状のフレーム保持部材６１１の内側に配設される拡張ドラム６２１を具備している。この拡張ドラム６２１は、環状のフレームFの内径より小さく該環状のフレームFに装着されたダイシングテープTに貼着される基板２の外径より大きい内径および外径を有している。また、拡張ドラム６２１は、下端に支持フランジ６２２を備えている。図示の実施形態におけるテープ拡張手段６２は、上記環状のフレーム保持部材６１１を上下方向に進退可能な支持手段６２３を具備している。この支持手段６２３は、上記支持フランジ６２２上に配設された複数のエアシリンダ６２３aからなっており、そのピストンロッド６２３bが上記環状のフレーム保持部材６１１の下面に連結される。このように複数のエアシリンダ６２３aからなる支持手段６２３は、図９の（ａ）に示すように環状のフレーム保持部材６１１を載置面６１１ａが拡張ドラム６２１の上端と略同一高さとなる基準位置と、図９の（ｂ）に示すように拡張ドラム６２１の上端より所定量下方の拡張位置の間を上下方向に移動せしめる。
【００２５】
以上のように構成されたウエーハ分割装置６を用いて実施するウエーハ分割工程について図９を参照して説明する。即ち、半導体ウエーハ２が貼着されている環状のフレームFが装着された環状のフレームFを、図９の（ａ）に示すようにフレーム保持手段６１を構成するフレーム保持部材６１１の載置面６１１ａ上に載置し、クランプ６１２によってフレーム保持部材６１１に固定する（フレーム保持工程）。このとき、フレーム保持部材６１１は図９の（ａ）に示す基準位置に位置付けられている。次に、テープ拡張手段６２を構成する支持手段６２３としての複数のエアシリンダ６２３ａを作動して、環状のフレーム保持部材６１１を図９の（ｂ）に示す拡張位置に下降せしめる。従って、フレーム保持部材６１１の載置面６１１ａ上に固定されている環状のフレームFも下降するため、図９の（ｂ）に示すように環状のフレームFに装着されたダイシングテープTは拡張ドラム６２１の上端縁に接して拡張せしめられる（テープ拡張工程）。この結果、ダイシングテープTに貼着されている半導体ウエーハ２には放射状に引張力が作用する。このように半導体ウエーハ２に放射状に引張力が作用すると、半導体ウエーハ２には上述したように格子状に設定されたストリートに対応する領域に沿って分割溝２３が形成されているので、図９の（c）に示すように半導体ウエーハ２の表面２a側に残存されている領域は分割溝２３が破断の起点となって破断される（ウエーハ分割工程）。従って、半導体ウエーハ２の表面２a側に残存されているデバイス２２が形成されているデバイス層は破断されるだけなので、ストリートの幅を狭くすることができる。また、分割溝２３は交差部においても全てが所定の深さに形成されているので、交差部において欠けを発生させることなくウエーハを個々のデバイスに確実に破断することができる。このように半導体ウエーハ２が破断されることによって個々に分割されたデバイス２２間には隙間Sが形成される。
【００２６】
上述したようにウエーハ分割工程を実施したならば、図９の（d）に示すようにピックアップコレット６３を作動してデバイス２２を吸着し、ダイシングテープTから剥離してピックアップする（ピックアップ工程）。なお、ピックアップ工程においては、上述したようにダイシングテープTに貼着されている個々のデバイス２２間には隙間Sが形成されているので、隣接するデバイス２２と接触することなく容易にピックアップすることができる。
【００２７】
次に、本発明の他の実施形態について、図１０乃至図１２を参照して説明する。
上述したように半導体ウエーハ２の表面２aに形成されたデバイス２２を保護するために、半導体ウエーハ２の表面２aに貼着する保護部材としての保護テープ３は、厚みが均一ではない場合がある。保護テープ３の厚みが均一でないと、保護テープ３が表面aに貼着された半導体ウエーハ２は、上記裏面研削工程が実施されると、図１０に誇張して示すように裏面２b（上面）が保護テープ３の下面と平行に研削されるため、厚みが不均一となる。このように厚みが不均一に研削された半導体ウエーハ２に対して上記分割溝形成工程を実施すると、半導体ウエーハ２の表面２a側に残存される所定の厚みが不均一となり、次工程であるウエーハ分割工程において欠けが発生したり分割されない部分が生じる原因となる。
【００２８】
このような問題を解消するために本発明においては、上記裏面研削工程が実施された後、上記分割溝形成工程を実施する前に上記切削装置５のチャックテーブル５１に保護テープ３を介して半導体ウエーハ２を保持した状態で、半導体ウエーハ２のストリート２１に対応する領域における表面２ａの高さ位置を計測し、高さデータを作成する高さデータ作成工程を実施する。この高さデータ作成工程について図１１を参照して説明する。この高さデータ作成工程は、図１１に示すように非接触式の高さ位置計測手段５５を用いて実施する。なお、高さ位置計測手段５５は、シリコンウエーハに対して透過性を有する波長の検出光を照射し、半導体ウエーハ２の表面２a（下面）で反射した反射光に基づいて半導体ウエーハ２の表面２aの高さ位置を計測する公知の非接触式の高さ位置計測装置を用いることができる。
【００２９】
高さデータ作成工程は、図１１の(a)に示すように先ずチャックテーブル５１に保護テープ３を介して保持されている半導体ウエーハ２に形成された所定のストリート２１の一端（図１１の(a)において左端）を高さ位置計測手段５５の直下に位置付け、高さ位置計測手段５５を作動して半導体ウエーハ２の表面２aの高さ位置を計測する。そして、高さ位置計測手段５５は計測した半導体ウエーハ２の表面２aの高さ位置を図示しない制御手段に送る。次に、チャックテーブル５１を作動して図１１の(b)に示すように半導体ウエーハ２に形成された所定のストリート２１の他端（図１１の(b)において右端）を高さ位置計測手段５５の直下に位置付け、高さ位置計測手段５５を作動して半導体ウエーハ２の表面２aの高さ位置を計測する。そして、高さ位置計測手段５５は計測した半導体ウエーハ２の表面２aの高さ位置を図示しない制御手段に送る。このようにして高さ位置計測手段５５から送られた所定のストリート２１の両端における半導体ウエーハ２の表面２aの高さ位置を入力した図示しない制御手段は、両端の高さ位置から勾配を算出して両端の高さ位置と算出した勾配をメモリに格納する。この高さデータ作成工程を半導体ウエーハ２に形成された全てのストリート２１に対応する領域に対して実施する。
【００３０】
上述したように高さデータ作成工程を実施したならば、切削装置５の図示しない制御手段のメモリに格納された半導体ウエーハ２のストリート２１に対応する領域における表面２ａの高さデータに基づいて、上記分割溝形成工程を実施する。即ち、保護テープ３を介して半導体ウエーハ２を保持したチャックテーブル５１を切削作業領域に移動し、図１２に示すように所定のストリート２１の一端を切削ブレード５２１の直下より図１２において僅かに右側に位置付ける。次に、切削ブレード５２１を矢印５２１aで示す方向に回転するとともに、図示しない切り込み送り手段を作動して切削ブレード５２１を２点鎖線で示す退避位置から矢印Ｚ１で示す方向に所定量切り込み送りする。この切り込み送り位置は、切削ブレード５２１の外周縁が上記高さデータ作成工程において作成された半導体ウエーハ２の表面２aの高さ位置から例えば１０〜１５μm上側の位置に設定されている。このようにして、切削ブレード５２１の切り込み送りを実施したならば、切削ブレード５２１を矢印５２１aで示す方向に回転しつつチャックテーブル５１を図１２において矢印Ｘ1で示す方向に所定の切削送り速度（例えば５０mm／秒）で移動する。このようにチャックテーブル５１を図１２において矢印Ｘ1で示す方向に移動する際に、上記高さデータ作成工程で作成された勾配データに基づいて図示しない切り込み送り手段を制御し、切削ブレード５２１を図１２において２点鎖線で示すように半導体ウエーハ２の表面２aの高さ位置に沿って上下方向に移動することにより、切削ブレード５２１の切り込み送り量を制御する。この結果、半導体ウエーハ２は所定のストリート２１に沿って表面２aに至らない均一な所定の厚み（図示の実施形態においては１０〜１５μm）を残して分割溝を形成することができる。
【００３１】
上述した分割溝形成工程を半導体ウエーハ２に形成された全てのストリート２１に沿って実施した後、上記ウエーハ分割工程を実施する。
【符号の説明】
【００３２】
２：半導体ウエーハ
２１：ストリート
２２：デバイス
２３：分割溝
３：保護テープ
４：研削装置
４１：チャックテーブル
４２：研削手段
４２４：研削ホイール
４２６：研削砥石
５：切削装置
５１：チャックテーブル
５２：切削手段
５２１：切削ブレード
６：ウエーハ分割装置
６１：フレーム保持手段
６２：テープ拡張手段
６３：ピックアップコレット
Ｆ：環状のフレーム
Ｔ：ダイシングテープ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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