(57)【要約】      （修正有）【課題】押圧対象物に均一性の高い押圧力を付与できる押圧装置等を提供する。【解決手段】第１端部と第２端部とを有し押圧対象物ＡＳを押圧する押圧手段２０と、前記第１端部２２ａと第２端部２２ｂとを保持する保持手段３０と、前記第１端部２２ａと第２端部２２ｂとの間に位置し、前記押圧対象物側ＡＳからの反力により前記押圧手段２０が撓むことを防止する第１矯正手段４０と、前記第１端部２２ａと第２端部２２ａとの間に位置し、前記押圧手段２０が自重で撓むことを防止する第２矯正手段５０と、を有する押圧装置７０。【選択図】図２
2014099502.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１端部と第２端部とを有し接着シートを被着体に押圧する押圧手段と、
前記第１端部と第２端部とを保持する保持手段と、
前記第１端部と第２端部との間に位置し、前記接着シート側からの反力により前記押圧手段が撓むことを防止する第１矯正手段と、
前記第１端部と第２端部との間に位置し、前記押圧手段が自重で撓むことを防止する第２矯正手段と、
前記押圧手段と相対移動する前記被着体に対し、当該押圧手段と被着体との間に前記接着シートを供給するシート供給手段と、
を有するシート貼付装置。
【請求項２】
第１端部と第２端部とを有し押圧対象物を押圧する押圧手段と、
前記第１端部と第２端部とを保持する保持手段と、
前記第１端部と第２端部との間に位置し、前記押圧対象物側からの反力により前記押圧手段が撓むことを防止する第１矯正手段と、
前記第１端部と第２端部との間に位置し、前記押圧手段が自重で撓むことを防止する第２矯正手段と、
を有する押圧装置。
【請求項３】
前記第１矯正手段および前記第２矯正手段の少なくとも一方は、前記第１端部と第２端部との間の位置に応じて、前記押圧手段に作用する領域を変えることができる請求項２に記載の押圧装置。
【請求項４】
第１端部と第２端部とを有する押圧手段で接着シートを被着体に押圧する工程と、
前記第１端部と第２端部との間で、前記接着シート側からの反力により前記押圧手段が撓むことを防止する工程と、
前記第１端部と第２端部との間で、前記押圧手段が自重で撓むことを防止する工程と、
前記押圧手段と相対移動する被着体に対し、当該押圧手段と被着体との間に前記接着シートを供給する工程と、
を有するシート貼付方法。
【請求項５】
第１端部と第２端部とを有する押圧手段で押圧対象物を押圧する工程と、
前記第１端部と第２端部との間で、前記押圧対象物側からの反力により前記押圧手段が撓むことを防止する工程と、
前記第１端部と第２端部との間で、前記押圧手段が自重で撓むことを防止する工程と、
を有する押圧方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、接着シートを被着体に押圧して貼付するシート貼付装置及び貼付方法、並びに、押圧対象物を押圧する押圧装置及び押圧方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
押圧対象物を押圧する押圧装置では、押圧するためのローラに撓みが発生する問題があるため、例えば、紙送り機構に用いられる圧接ローラでは、圧接ローラを付勢する矯正部材が設けられた技術が提案されている（特許文献１等参照）。
【０００３】
また、他のローラ装置では、ローラの周面を非磁性かつ導電性とした上で、ローラの周辺に交流電磁石を配置し、当該ローラを変形させる技術が提案されている（特許文献２等参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−１１２５０９号公報
【特許文献２】特開２００２−３５７２１６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、従来技術に係る装置は、押圧ローラの中央部分が押圧対象物から受ける力により、押圧方向とは反対の方向（以下「反押圧方向」という）に撓むことを防止するだけのものであり、例えば、自重により押圧ローラの中央部が反押圧方向以外の方向に撓む問題には対処していない。したがって、従来技術に係る装置は、押圧ローラで押圧対象物に均一な押圧力を付与できないといった不都合がある。また、押圧ローラの位置によって付与する押圧力がばらつくといった不都合を生じる。
【０００６】
本発明の目的は、接着シート等の押圧対象物に均一性の高い押圧力を付与して押圧対象物を被着体に貼付するシート貼付装置及び貼付方法、並びに、そのような押圧力を付与できる押圧装置及び押圧方法を提供することである。
また、本発明の別の目的は、押圧手段の位置によって付与する押圧力がばらつくことを抑制することができるシート貼付装置及び貼付方法、並びに、そのような押圧力を付与できる押圧装置及び押圧方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
このような目的を達成するために、本発明に係るシート貼付装置は、第１端部と第２端部とを有し接着シートを被着体に押圧する押圧手段と、
前記第１端部と第２端部とを保持する保持手段と、
前記第１端部と第２端部との間に位置し、前記接着シート側からの反力により前記押圧手段が撓むことを防止する第１矯正手段と、
前記第１端部と第２端部との間に位置し、前記押圧手段が自重で撓むことを防止する第２矯正手段と、
前記押圧手段と相対移動する前記被着体に対し、当該押圧手段と被着体との間に前記接着シートを供給するシート供給手段と、を有する。
【０００８】
本発明に係る押圧装置は、第１端部と第２端部とを有し押圧対象物を押圧する押圧手段と、
前記第１端部と第２端部とを保持する保持手段と、
前記第１端部と第２端部との間に位置し、前記押圧対象物側からの反力により前記押圧手段が撓むことを防止する第１矯正手段と、
前記第１端部と第２端部との間に位置し、前記押圧手段が自重で撓むことを防止する第２矯正手段と、
を有する。
【０００９】
また、例えば、本発明に係る押圧装置及びシート貼付装置において、前記第１矯正手段および前記第２矯正手段の少なくとも一方は、前記第１端部と第２端部との間の位置に応じて、前記押圧手段に作用させる力を変えることができても良い。
【００１０】
本発明に係るシート貼付方法は、第１端部と第２端部とを有する押圧手段で接着シートを被着体に押圧する工程と、
前記第１端部と第２端部との間で、前記被着体側からの反力により前記押圧手段が撓むことを防止する工程と、
前記第１端部と第２端部との間で、前記押圧手段が自重で撓むことを防止する工程と、
前記押圧手段と相対移動する前記被着体に対し、前記押圧手段と被着体との間に、前記接着シートを供給する工程とを有する。
【００１１】
本発明に係る押圧方法は、第１端部と第２端部とを有する押圧手段で押圧対象物を押圧する工程と、
前記第１端部と第２端部との間で、前記押圧対象物側からの反力により前記押圧手段が撓むことを防止する工程と、
前記第１端部と第２端部との間で、前記押圧手段が自重で撓むことを防止する工程と、を有する。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、押圧対象物から受ける力により、押圧手段が反押圧方向に撓むことを防止する第１矯正手段と、自重により押圧手段が反押圧方向以外の方向に撓むことを防止する第２矯正手段とを備えたことで、押圧対象物に均一性の高い押圧力を付与することができる上、押圧手段の位置によって付与する押圧力がばらつくことを抑制することができる。
【００１３】
また、第１矯正手段および第２矯正手段の少なくとも一方が、第１端部と第２端部との間の位置に応じて押圧手段に作用させる力を変化させることができる構成とすることにより、押圧対象物からの反力の分布が、押圧対象物の搬送等に伴って変化する場合にでも、均一性の高い押圧力を付与することができる上、付与する押圧力のばらつきを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】第１実施形態に係るシート貼付装置の側面図。
【図２】図１に示すシート貼付装置の部分正面図。
【図３】図２に示すＡ１-Ａ１断面Ｂ１矢視図。
【図４】第２実施形態に係るシート貼付装置の部分側面図。
【図５】（Ａ）は、第２実施形態の変形例、（Ｂ）は、他の変形例を示す部分側面図。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
第１実施形態
以下、本発明の一実施形態に係るシート貼付装置１０を図１乃至図３に基づいて説明する。
なお、本明細書におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸及びＹ軸は、水平面内の軸とし、Ｚ軸は、水平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸の紙面に直交する手前方向、「後」がその逆方向とする。
【００１６】
シート貼付装置１０は、第１端部２２ａと第２端部２２ｂとを有し押圧対象物としての接着シートＡＳを被着体としてのウエハＷＦに押圧する押圧手段２０と、第１端部２２ａと第２端部２２ｂとを保持する保持手段３０と、第１端部２２ａと第２端部２２ｂとの間に位置し、接着シートＡＳ側からの反力により押圧手段２０が撓むことを防止する第１矯正手段４０と、第１端部２２ａと第２端部２２ｂとの間に位置し、押圧手段２０が自重で撓むことを防止する第２矯正手段５０と、押圧手段２０と相対移動するウエハＷＦに対し、当該押圧手段２０とウエハＷＦとの間に接着シートＡＳを供給するシート供給手段６０とを有し、駆動機器としてのリニアモータＬＭのスライダＬＭ１上に支持されるとともに、上面でウエハＷＦを吸着保持可能に設けられた支持テーブルＨＴの上方に配置されている。
なお、押圧手段２０と、保持手段３０と、第１矯正手段４０と、第２矯正手段５０とで押圧装置７０が構成されている。
【００１７】
押圧手段２０は、支持軸２１と、図示しないベアリングや滑り軸受等の回転軸受を介して当該支持軸２１に対して相対回転可能に設けられた略円柱状又は円筒状の外形状を有する押圧ローラ２２とで構成されている。支持軸２１の中心軸は、Ｙ軸方向に向けられ、当該支持軸２１の後側端部が第１端部２２ａとされ、同前側端部が第２端部２２ｂとされる。なお、本実施形態の場合、支持軸２１及び押圧ローラ２２は、少なくとも一方が磁着可能な磁性体によって構成されている。
【００１８】
保持手段３０は、支持軸２１の前後両側に設けられ、押圧力付与手段であり駆動機器としての直動モータ３１と、各直動モータ３１の出力軸３２に支持され支持軸２１を相対回転不能に保持する保持部材３３とで構成されている。なお、押圧力付与手段は、スプリング、ゴム、樹脂等によって構成されてもよく、押圧ローラ２２に接着シートＡＳへ向かう方向に押圧力が付与できるものであれば何ら限定されるものではない。なお、各直動モータ３１は、押圧ローラ２２の押圧面積に応じて押圧力を増減させることで、接着シートＡＳにおける単位面積当たりの押圧力を所定の値とすることができる。
【００１９】
第１矯正手段４０は、前後両側に設けられた駆動機器としての直動モータ４１の出力軸４２に支持されたブラケット４３と、ブラケット４３に対して図示しないベアリングや滑り軸受等の回転軸受によって相対回転可能に支持された中空軸４４と、中空軸４４に対して回転不能に支持された複数の矯正ローラ４５とで構成されている。矯正ローラ４５は、その回転中心が押圧ローラ２２の回転中心の直上で平行となるように配置され、直動モータ４１によって押圧ローラ２２に接触可能に設けられている。なお、直動モータ３１、４１の支持構造については、図示を省略している。
【００２０】
第２矯正手段５０は、図２における部分拡大断面図に示すように、個々の矯正ローラ４５の内部に収納された電磁石等の磁気発生手段５１と、図示しないロータリコネクタ等の回転接点を介して電源に接続されるとともに、個々の磁気発生手段５１に個別に電力を供給する分配手段５２とで構成されている。
各磁気発生手段５１は、分配手段５２から電力が供給されると磁場を発生させ、押圧ローラ２２を磁気の引付力によって引きつけ、押圧ローラ２２の中央部が自重で下方に撓むことを防止することができる。
なお、各磁気発生手段５１は、分配手段５２による電流値の変更やオンオフ動作等により、押圧ローラ２２に加える矯正力を個別に変化させることができる。
【００２１】
シート供給手段６０は、帯状の剥離シートＲＬ上に所定形状の接着シートＡＳが仮着された原反ＲＳを支持する支持軸６１と、複数のガイドローラ６２と、剥離シートＲＬを折り返して当該剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離する剥離板６３と、駆動機器としての回動モータ６４によって駆動されるとともに、ピンチローラ６５とで剥離シートＲＬを挟み込むドライブローラ６６と、図示しない駆動機器で駆動され、剥離シートＲＬを回収する回収ローラ６７とで構成されている。
【００２２】
次に、第１実施形態に係るシート貼付装置１０の動作について説明する。
まず、原反ＲＳを図１（Ａ）に示すようにシート供給手段６０にセットし、図示しない操作パネル等を介して運転開始の信号が入力されると、第１矯正手段４０が直動モータ４１を駆動し、矯正ローラ４５を押圧ローラ２２の上方に接するように配置させるとともに、第２矯正手段５０が磁気発生手段５１に電力を供給し、押圧ローラ２２を磁気の引付力によって引きつける。次いで、シート供給手段６０が回動モータ６４を駆動し、原反ＲＳを繰り出す。これにより、剥離板６３で折り返された剥離シートＲＬの折り返し縁で接着シートＡＳが剥離され、当該接着シートＡＳが所定長さ繰り出されたことが図示しないセンサによって検知されると、シート供給手段６０が回動モータ６４を停止し、スタンバイ状態となる。
【００２３】
次に、図１（Ａ）中実線で示す位置で待機中の支持テーブルＨＴ上に、図示しない搬送手段等によってウエハＷＦが載置されると、当該ウエハＷＦは、吸着保持された後、リニアモータＬＭの駆動によって左方向に搬送される。そして、ウエハＷＦが図１（Ａ）中２点鎖線で示す所定の位置に達したことが図示しないセンサによって検知されると、シート供給手段６０が回動モータ６４を駆動し、ウエハＷＦの搬送速度と同じ速度で接着シートＡＳを剥離シートＲＬから剥離しながら当該接着シートＡＳを押圧ローラ２２とウエハＷＦとの間に供給する。供給された接着シートＡＳは、押圧ローラ２２によってウエハＷＦの上面に押圧され（図１（Ｂ）参照）、当該接着シートＡＳ全体が押圧ローラ２２の下方を通過した時点でウエハＷＦへの接着シートＡＳの貼付が完了する。なお、接着シートＡＳの貼付が完了した後も、シート供給手段６０が回動モータ６４を駆動し続け、次の接着シートＡＳが剥離シートＲＬから剥離され、当該次の接着シートＡＳが所定長さ繰り出されたことが図示しないセンサによって検知された時点で、シート供給手段６０が回動モータ６４を停止し、再びスタンバイ状態となる。その後、支持テーブルＨＴは、押圧手段２０の左方で停止し、接着シートＡＳが貼付されたウエハＷＦは、図示しない搬送手段等によって次工程へ搬送される。そして、支持テーブルＨＴが図１（Ａ）中実線で示す位置に復帰し、以降上記同様の動作が繰り返される。
【００２４】
ここで、押圧ローラ２２は、接着シートＡＳがその下方を通過している間、直動モータ３１によって下方へ向かう押圧方向に押圧力が付与されるので、接着シートＡＳ側からの反力で当該押圧ローラ２２の中央部が上方に撓もうとする。この押圧ローラ２２の上方への撓みを放置しておくと、接着シートＡＳにおける中央領域がその前後領域（Ｙ軸方向両領域）に比べて押圧力不足となり、押圧斑ができてしまう。しかしながら、本実施形態の場合、矯正ローラ４５が押圧ローラ２２の上方に接するように配置されているので、当該押圧ローラ２２の中央部が上方に撓むことを防止し、接着シートＡＳに押圧斑ができてしまうことを防止することができる。また、ウエハＷＦのように接着シートＡＳの貼付の進行に伴い、その押圧領域が刻々変化するような場合、押圧領域の大きさに応じて単位面積当たりの押圧力が同じとなるように直動モータ３１の出力を調整するなど、押圧ローラ２２の押圧力を変更可能に設定することができる。このような場合にでも、押圧ローラ２２の中央部が上方に撓むことがないので、接着シートＡＳにおける中央領域とその前後領域とで単位面積当たりの押圧力に差ができてしまうことを防止することができる。
【００２５】
更に、弱い押圧力、例えば、押圧ローラ２２の重力荷重の４割に値する荷重で接着シートＡＳを押圧する場合、当該押圧ローラ２２で接着シートＡＳを押圧している間、直動モータ３１は、押圧ローラ２２の重力荷重の６割に値する上方へ向かう力を当該押圧ローラ２２に付与し、押圧ローラ２２を持ち上げるように制御される。ここで、押圧ローラ２２は、接着シートＡＳがその下方を通過している間、自重で中央部が下方に撓もうとする。この押圧ローラ２２の下方への撓みを放置しておくと、接着シートＡＳにおける中央領域がその前後領域に比べて押圧力過多となり、押圧斑ができてしまう。しかしながら、本実施形態の場合、磁気発生手段５１によって押圧ローラ２２を磁気の引力によって引きつけることができるので、押圧ローラ２２の中央部が下方に撓むことを防止し、接着シートＡＳに押圧斑ができてしまうことや、単位面積当たりの押圧力に差ができてしまうことを防止することができる。
【００２６】
また、第２矯正手段５０は、Ｙ方向の位置に応じて磁気発生手段５１を個別に制御し、押圧ローラ２２に作用する領域、即ち、押圧ローラ２２を磁気の引力によって引きつける領域を変えることができる。たとえば、ウエハＷＦのように接着シートＡＳの貼付の進行に伴い、その貼付領域が刻々変化するような場合、第２矯正手段５０は、全部の磁気発生手段５１に電力を供給するのではなく、分配手段５２を介して押圧ローラ２２が接着シートＡＳを押圧している領域に対応する磁気発生手段５１にのみ電力を供給することができる。これにより、接着シートＡＳに対して均一性の高い押圧力を付与することができる上、電力を節約することもできる。また、押圧ローラ２２及び矯正ローラ４５の負荷を軽減して耐久性を向上させることもできる。なお、矯正ローラ４５は、押圧ローラ２２の回転に伴って回転することにより、押圧ローラ２２の円滑な回転を補助することができる。
【００２７】
以上のような実施形態によれば、接着シートＡＳに均一性の高い押圧力を付与することができる上、押圧ローラ２２の位置によって付与する押圧力がばらつくことを抑制することができる。
【００２８】
第２実施形態
第２実施形態に係るシート貼付装置１０Ａは、図４に示すように、ウエハＷＦの搬送方向が上方向である点と、第１矯正手段４０Ａと第２矯正手段５０Ａとが、別個のローラによって構成されている点を除き、第１実施形態に係るシート貼付装置１０と同様であるため、重複部分については説明を省略する。
【００２９】
第１矯正手段４０Ａを構成する矯正ローラ４５Ａは、その回転中心が押圧ローラ２２の回転中心の右方で平行となるように配置され、内部に磁気発生手段５１及び分配手段５２は設置されていない。
【００３０】
第２矯正手段５０Ａは、前後両側に設けられた駆動機器としての直動モータ５３Ａの出力軸５４Ａに支持されたブラケット５５Ａと、ブラケット５５Ａに対して図示しないベアリングや滑り軸受等の回転軸受によって相対回転可能に支持された中空軸５６Ａと、中空軸５６Ａに対して回転不能に支持された複数の矯正ローラ５７Ａと、個々の矯正ローラ５７Ａの内部に収納された図示しない電磁石等の磁気発生手段と、回転接点を介して電源に接続されるとともに、個々の磁気発生手段に個別に電力を供給する図示しない分配手段とで構成されている。矯正ローラ５７Ａは、その回転中心が押圧ローラ２２の回転中心の直上で平行となるように配置され、直動モータ５３Ａによって押圧ローラ２２に接触可能に設けられている。
【００３１】
第２実施形態に係るシート貼付装置１０Ａのように、押圧ローラ２２の押圧方向が重力方向とは異なる場合、第１矯正手段４０Ａと第２矯正手段５０Ａとは、別個のローラによって構成される。第２実施形態の場合、押圧ローラ２２に対して複数の方向から矯正力を加えて撓みを矯正し、接着シートＡＳに均一性の高い押圧力を付与することが可能となる。
また、第２実施形態の変形例に係るシート貼付装置１０Ｂの第２矯正手段５０Ｂは、図５（Ａ）に示すように、押圧ローラ２２の上方から図示しない減圧タンク又は減圧ポンプに接続された減圧ノズル７６によって引付力を発生させ、押圧ローラ２２が自重で下方に撓むことを防止するようになっている。
なお、ウエハＷＦの搬送方向が図５（Ｂ）に示すように下方向である場合は、上述とは逆に、押圧ローラ２２の下方から図示しない加圧タンク又は加圧ポンプに接続された加圧ノズル８６を有する第２矯正手段５０Ｃによって気体を吹き付け、押圧ローラ２２が自重で下方に撓むことを防止するようにしてもよい。
【００３２】
以上、本発明の実施形態を説明してきたが、本発明は上述した実施形態に何等限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々なる態様で実施し得ることは勿論である。例えば、押圧手段としては、円柱状のものに限定されず、角柱状、板状その他の外形状を有するものを採用することが可能である。
【００３３】
また、各実施形態に示した矯正手段を組み合わせるなどして、第１矯正手段及び第２矯正手段が矯正する方向とは異なる方向の撓みを矯正する第３矯正手段を設けても良く、また、これら以外にも、更に多くの方向への撓みを矯正する矯正手段を設けても良い。
更に、第１矯正手段４０は、１の矯正ローラで構成してもよいし、第２矯正手段５０、５０Ａも１の磁気発生手段で構成してもよい。
また、第１矯正手段４０は、間を開けて複数の矯正ローラで構成してもよいし、第２矯正手段５０Ａも間を開けて複数の矯正ローラ５７Ａで構成してもよい。
更に、矯正ローラ４５を磁着可能な磁性体によって構成し、押圧ローラ２２に磁気発生手段を配置してもよい。
また、各実施形態における第１矯正手段および第２矯正手段の具体的構成は特に限定されず、例えば、永久磁石、電磁石、液体噴出手段、圧接ローラ、駆動機器を直接又は間接的に使用するもの等で構成してもよい。
更に、押圧装置７０の用途はシート貼付装置１０に限定されず、貼付装置以外の搬送装置等に用いることもできる。
【００３４】
また、本発明における接着シートＡＳおよび被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳは、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態に限定されることはなく、感熱接着性の接着シートＡＳが採用された場合は、当該接着シートを加熱する適宜な加熱手段を設ければよい。また、このような接着シートは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するもの、基材シートの上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材シートを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体に貼付することができる。
【００３５】
更に、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
【符号の説明】
【００３６】
１０…シート貼付装置
２０…押圧手段
２２ａ…第１端部
２２ｂ…第２端部
３０…保持手段
４０…第１矯正手段
５０…第２矯正手段
６０…シート供給手段
７０…押圧装置
ＷＦ…ウエハ（被着体）
ＡＳ…接着シート
【図１】
2014099502.tif 000003
【図２】
2014099502.tif 000004
【図３】
2014099502.tif 000005
【図４】
2014099502.tif 000006
【図５】
2014099502.tif 000007