(57)【要約】【課題】無線データの信頼性低下の可能性の有無を確実に判断する。【解決手段】無線データ管理装置は、無線通信機能を備える計測機器等のデータ送信機器１から無線データを受信して保持する無線データ受信部２と、放電現象発生情報を取得する放電現象発生情報取得部３と、無線データに信頼性低下の可能性があるか否かを放電現象発生情報に基づいて判定し、信頼性低下の可能性がある場合には、無線データに信頼性低下の可能性を示す信頼性低下情報を加えるデータ加工処理部４と、データ加工処理部４によって加工された無線データ、および加工されることなくデータ加工処理部４を通過した無線データを記憶するデータベース部５とを備える。【選択図】  図１
2014099740.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
データ送信機器から送信される無線データを受信する無線データ受信手段と、
放電現象発生情報を取得する放電現象発生情報取得手段と、
前記無線データに信頼性低下の可能性があるか否かを前記放電現象発生情報に基づいて判定し、信頼性低下の可能性がある場合には、前記無線データに信頼性低下の可能性を示す信頼性低下情報を加えるデータ加工処理手段と、
このデータ加工処理手段によって加工された無線データ、および加工されることなく前記データ加工処理手段を通過した無線データを記憶する記憶手段とを備えることを特徴とする無線データ管理装置。
【請求項２】
請求項１記載の無線データ管理装置において、
さらに、データ処理の際に前記記憶手段からデータを取得するデータ取得手段と、
前記記憶手段から取得したデータに信頼性低下の可能性があるか否かを前記信頼性低下情報に基づいて確認し、取得したデータのうち信頼性低下の可能性があるデータを削除するデータ削除手段と、
前記記憶手段から取得したデータのうち削除されていないデータを外部のデータ処理装置に出力するデータ出力手段とを備えることを特徴とする無線データ管理装置。
【請求項３】
請求項１または２記載の無線データ管理装置において、
さらに、テストモードを実行させる指示を入力するテスト指示手段と、
テスト用の無線データを送信するテストデータ送信手段と、
前記テスト用の無線データを前記無線データ受信手段が受信するべきタイミングにおいて、適切に受信できているか否かを判定する受信判定手段と、
前記テスト用の無線データを適切に受信できていないと判定されたときに、無線データをデータ加工の対象として扱うように情報登録する加工対象登録手段とを備え、
前記データ加工処理手段は、無線データをデータ加工の対象として扱うことを示す情報が登録された場合に、前記無線データ受信手段が受信した無線データに前記信頼性低下情報を加えることを特徴とする無線データ管理装置。
【請求項４】
請求項１記載の無線データ管理装置において、
さらに、前記記憶手段からデータを取得するデータ取得手段と、
前記記憶手段から取得したデータを対象とし、信頼性低下の可能性有りとして加工されたデータの量の割合を算出する割合算出手段と、
この割合算出手段によって算出された割合を提示する割合提示手段と、
前記割合算出手段によって算出された割合が予め規定された閾値を超える場合に、無線使用の不適を通知する無線適性通知手段とを備えることを特徴とする無線データ管理装置。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか１項に記載の無線データ管理装置において、
前記放電現象発生情報は、雷が発生する時間帯を示すことを特徴とする無線データ管理装置。
【請求項６】
請求項１乃至４のいずれか１項に記載の無線データ管理装置において、
前記放電現象発生情報は、アーク溶接が実行される時間帯を示すことを特徴とする無線データ管理装置。
【請求項７】
請求項１乃至４のいずれか１項に記載の無線データ管理装置において、
前記放電現象発生情報は、プラズマ処理が実行される時間帯を示すことを特徴とする無線データ管理装置。
【請求項８】
無線データ受信手段がデータ送信機器から送信される無線データを受信する無線データ受信ステップと、
放電現象発生情報を取得する放電現象発生情報取得ステップと、
前記無線データに信頼性低下の可能性があるか否かを前記放電現象発生情報に基づいて判定し、信頼性低下の可能性がある場合には、前記無線データに信頼性低下の可能性を示す信頼性低下情報を加えるデータ加工処理ステップと、
このデータ加工処理ステップで加工した無線データ、および加工されることなく前記データ加工処理ステップを終えた無線データを記憶手段に格納する記憶ステップとを含むことを特徴とする無線データ管理方法。
【請求項９】
請求項８記載の無線データ管理方法において、
さらに、データ処理の際に前記記憶手段からデータを取得するデータ取得ステップと、
前記記憶手段から取得したデータに信頼性低下の可能性があるか否かを前記信頼性低下情報に基づいて確認し、取得したデータのうち信頼性低下の可能性があるデータを削除するデータ削除ステップと、
前記記憶手段から取得したデータのうち削除されていないデータを外部のデータ処理装置に出力するデータ出力ステップとを含むことを特徴とする無線データ管理方法。
【請求項１０】
請求項８または９記載の無線データ管理方法において、
さらに、テストモードを実行させる指示を入力するテスト指示ステップと、
テスト用の無線データを送信するテストデータ送信ステップと、
前記テスト用の無線データを前記無線データ受信手段が受信するべきタイミングにおいて、適切に受信できているか否かを判定する受信判定ステップと、
前記テスト用の無線データを適切に受信できていないと判定したときに、無線データをデータ加工の対象として扱うように情報登録する加工対象登録ステップとを含み、
前記データ加工処理ステップは、無線データをデータ加工の対象として扱うことを示す情報が登録された場合に、前記無線データ受信ステップで受信した無線データに前記信頼性低下情報を加えることを特徴とする無線データ管理方法。
【請求項１１】
請求項８記載の無線データ管理方法において、
さらに、前記記憶手段からデータを取得するデータ取得ステップと、
前記記憶手段から取得したデータを対象とし、信頼性低下の可能性有りとして加工されたデータの量の割合を算出する割合算出ステップと、
この割合算出ステップで算出した割合を提示する割合提示ステップと、
前記割合算出ステップで算出した割合が予め規定された閾値を超える場合に、無線使用の不適を通知する無線適性通知ステップとを含むことを特徴とする無線データ管理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、無線データを受信する上位側で無線データの信頼性の低い状況を検出し、無線データの加工処理を行なう無線データ管理装置および方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
石油、化学、鉄鋼の大型プラントで利用される差圧発信機などの計測機器は、プラント状態管理の補助的な計測を行なうものとして後付的に設置される場合、省配線を目的として無線通信機能を備えるタイプのものが採用されることがある。同様に、建物の空調システムで利用される温湿度センサなどの計測機器は、空調状態管理の補助的な計測を行なうものとして後付的に設置される場合、省配線を目的として無線通信機能を備えるタイプのものが採用されることがある。また、半導体製造装置で利用される温度センサなどの計測機器は、装置内状態管理の補助的な計測を行なうものとして後付的に設置される場合、省配線を目的として無線通信機能を備えるタイプのものが採用されることがある。
【０００３】
無線通信の場合、有線通信に比べ通信状態の安定性は低く、無線通信により状態計測値が、上位側（受信側）において一定周期でデータ収集されていたとしても、正しく伝送されたものとは限らない場合があり得る。
ゆえにデータ管理が重要になり、その一例として、計測機器の自己診断機能や通信状態の確認動作を利用して、その診断結果を無線データに付加する技術が提案されている（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１２−００４７９０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に開示された技術のように、無線通信機能を備える計測機器側の事情で、無線データの有効性を判断することは可能である。しかし、特許文献１に開示された技術は、あくまでもシステム全体の下位側（計測機器側）で無線データの有効性を判断しようとするものなので、下位側で把握できない事情により無線データが不確実になる場合に対しては不十分である。ゆえに、さらなるデータ管理の向上が望まれている。
【０００６】
本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、無線データを送信する側でデータの有効性を判断する場合と比較して、無線データの信頼性低下の可能性の有無を確実に判断することができる無線データ管理装置および方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の無線データ管理装置は、データ送信機器から送信される無線データを受信する無線データ受信手段と、放電現象発生情報を取得する放電現象発生情報取得手段と、前記無線データに信頼性低下の可能性があるか否かを前記放電現象発生情報に基づいて判定し、信頼性低下の可能性がある場合には、前記無線データに信頼性低下の可能性を示す信頼性低下情報を加えるデータ加工処理手段と、このデータ加工処理手段によって加工された無線データ、および加工されることなく前記データ加工処理手段を通過した無線データを記憶する記憶手段とを備えることを特徴とするものである。
また、本発明の無線データ管理装置の１構成例は、さらに、データ処理の際に前記記憶手段からデータを取得するデータ取得手段と、前記記憶手段から取得したデータに信頼性低下の可能性があるか否かを前記信頼性低下情報に基づいて確認し、取得したデータのうち信頼性低下の可能性があるデータを削除するデータ削除手段と、前記記憶手段から取得したデータのうち削除されていないデータを外部のデータ処理装置に出力するデータ出力手段とを備えることを特徴とするものである。
【０００８】
また、本発明の無線データ管理装置の１構成例は、さらに、テストモードを実行させる指示を入力するテスト指示手段と、テスト用の無線データを送信するテストデータ送信手段と、前記テスト用の無線データを前記無線データ受信手段が受信するべきタイミングにおいて、適切に受信できているか否かを判定する受信判定手段と、前記テスト用の無線データを適切に受信できていないと判定されたときに、無線データをデータ加工の対象として扱うように情報登録する加工対象登録手段とを備え、前記データ加工処理手段は、無線データをデータ加工の対象として扱うことを示す情報が登録された場合に、前記無線データ受信手段が受信した無線データに前記信頼性低下情報を加えることを特徴とするものである。
また、本発明の無線データ管理装置の１構成例は、さらに、前記記憶手段からデータを取得するデータ取得手段と、前記記憶手段から取得したデータを対象とし、信頼性低下の可能性有りとして加工されたデータの量の割合を算出する割合算出手段と、この割合算出手段によって算出された割合を提示する割合提示手段と、前記割合算出手段によって算出された割合が予め規定された閾値を超える場合に、無線使用の不適を通知する無線適性通知手段とを備えることを特徴とするものである。
【０００９】
また、本発明の無線データ管理装置の１構成例において、前記放電現象発生情報は、雷が発生する時間帯を示すものである。
また、本発明の無線データ管理装置の１構成例において、前記放電現象発生情報は、アーク溶接が実行される時間帯を示すものである。
また、本発明の無線データ管理装置の１構成例において、前記放電現象発生情報は、プラズマ処理が実行される時間帯を示すものである。
【００１０】
また、本発明の無線データ管理方法は、無線データ受信手段がデータ送信機器から送信される無線データを受信する無線データ受信ステップと、放電現象発生情報を取得する放電現象発生情報取得ステップと、前記無線データに信頼性低下の可能性があるか否かを前記放電現象発生情報に基づいて判定し、信頼性低下の可能性がある場合には、前記無線データに信頼性低下の可能性を示す信頼性低下情報を加えるデータ加工処理ステップと、このデータ加工処理ステップで加工した無線データ、および加工されることなく前記データ加工処理ステップを終えた無線データを記憶手段に格納する記憶ステップとを含むことを特徴とするものである。
また、本発明の無線データ管理方法の１構成例は、さらに、データ処理の際に前記記憶手段からデータを取得するデータ取得ステップと、前記記憶手段から取得したデータに信頼性低下の可能性があるか否かを前記信頼性低下情報に基づいて確認し、取得したデータのうち信頼性低下の可能性があるデータを削除するデータ削除ステップと、前記記憶手段から取得したデータのうち削除されていないデータを外部のデータ処理装置に出力するデータ出力ステップとを含むことを特徴とするものである。
【００１１】
また、本発明の無線データ管理方法の１構成例は、さらに、テストモードを実行させる指示を入力するテスト指示ステップと、テスト用の無線データを送信するテストデータ送信ステップと、前記テスト用の無線データを前記無線データ受信手段が受信するべきタイミングにおいて、適切に受信できているか否かを判定する受信判定ステップと、前記テスト用の無線データを適切に受信できていないと判定したときに、無線データをデータ加工の対象として扱うように情報登録する加工対象登録ステップとを含み、前記データ加工処理ステップは、無線データをデータ加工の対象として扱うことを示す情報が登録された場合に、前記無線データ受信ステップで受信した無線データに前記信頼性低下情報を加えることを特徴とするものである。
また、本発明の無線データ管理方法の１構成例は、さらに、前記記憶手段からデータを取得するデータ取得ステップと、前記記憶手段から取得したデータを対象とし、信頼性低下の可能性有りとして加工されたデータの量の割合を算出する割合算出ステップと、この割合算出ステップで算出した割合を提示する割合提示ステップと、前記割合算出ステップで算出した割合が予め規定された閾値を超える場合に、無線使用の不適を通知する無線適性通知ステップとを含むことを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、放電現象発生情報を取得することにより、無線データを受信する上位側で無線データの信頼性の低い状況を検出し、信頼性低下の可能性がある無線データの加工処理を行なうので、信頼性の高いデータと信頼性の低いデータとを識別できるようにすることが可能となる。
【００１３】
また、本発明では、無線データが統計処理などのデータ処理に利用されるときに、信頼性低下の可能性がある無線データを削除するようにしたので、データ処理に信頼性の低いデータが混入する恐れを低減することができる。
【００１４】
また、本発明では、例えばアーク溶接やプラズマ処理の実行中にテストモードを実行してテスト用の無線データを適切に受信できているか否かを判定することにより、アーク溶接やプラズマ処理の実行中にデータ送信機器の信頼性が低下するか否かを判定することができ、テスト用の無線データを適切に受信できていない場合には、データ送信機器から送信される、信頼性低下の可能性がある無線データの加工処理を行なうので、信頼性の高いデータと信頼性の低いデータとを識別できるようにすることが可能となる。
【００１５】
また、本発明では、信頼性低下の可能性有りとして加工されたデータの量の割合を算出することにより、無線使用の適否を判定することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る無線データ管理装置の構成を示すブロック図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態に係る無線データ管理装置のテストモード時の動作を示すフローチャートである。
【図３】本発明の第１の実施の形態に係る無線データ管理装置の無線通信時の動作を示すフローチャートである。
【図４】本発明の第１の実施の形態に係る無線データ管理装置のデータ利用時の動作を示すフローチャートである。
【図５】本発明の第１の実施の形態に係る無線データ管理装置の無線使用検証時の動作を示すフローチャートである。
【図６】本発明の第２の実施の形態に係る空調システムの構成を示すブロック図である。
【図７】本発明の第３の実施の形態に係るプラントの構成を示すブロック図である。
【図８】本発明の第４の実施の形態に係る半導体製造装置の構成を示すブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
［発明の原理１］
無線通信の安定性を損ねる要因として、放電現象がある。放電現象としては、例えば、自然現象である雷、金属製品工場などで利用されるアーク溶接、半導体製造装置などで利用されるプラズマ処理がある。これらにより放電現象が発生している時間帯は、無線通信の状態が乱れる可能性が高い。
発明者は、無線データを受信する上位側において無線通信とは別の方法で放電現象の発生を把握することが可能であることに着眼した。
【００１８】
例えば雷については、建物のエネルギー最適化を行なうための気象情報取得システムにより、発生している時間帯を特定できる。アーク溶接については、工場の操業管理システムにより、発生している時間帯を特定できる。プラズマ処理については、半導体製造装置で普及してきているＥＥＳ（Equipment Engineering System）により、発生している時間帯を特定できる。また、これら気象情報取得システム、操業管理システム、ＥＥＳに送信される信号を利用すれば、リアルタイムでも放電現象の発生を把握できる。
【００１９】
そして、発明者は、無線データを受信する上位側で放電現象発生の情報を受信し、放電現象が発生している時間帯の無線データを加工することに想到した。データ加工の例としては、例えば、放電現象発生中の無線データについては、信頼性低下を示すフラグを付けるなどのデータ加工（データ処理）がある。
【００２０】
［発明の原理２］
信頼性低下を示すフラグを付けるデータ加工は、計測データを適正値に修正するわけではないので、計測データを有効利用することはできない。フラグが付けられたデータを例えば統計処理などに用いてしまうと、統計処理の信頼性が低下してしまうので、統計処理などに際して、フラグが付けられたデータを削除する（あるいは、統計処理における加重を自動的に小さくする）のが好ましい。
【００２１】
［発明の原理３］
放電現象発生時に、工場内や装置内の全ての無線データの信頼性が低下するとは限らない。つまり、影響を受けやすい場所にある計測機器と、影響を受けにくい場所にある計測機器とが混在する。
雷の発生にはあてはまらないが、アーク溶接やプラズマ処理は、場所も特定した上で計画的に実行することが可能である。したがって、アーク溶接やプラズマ処理については、実際にアーク溶接やプラズマ処理のテスト実行中にテスト用の無線データを送信し、信頼性が低下する計測機器を特定するのが好ましい。このような計測機器の特定は、テストモードを実行することに相当する。
【００２２】
［発明の原理４］
アーク溶接やプラズマ処理の場合、実行頻度が高く、無線データの信頼性低下の頻度も高くなることが考えられる。そこで、データに付けられたフラグを基に、信頼性の低いデータの量の割合を確認することで、無線使用の適否を判断することができる。
【００２３】
［第１の実施の形態］
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。本実施の形態は、上記発明の原理１、発明の原理２、発明の原理３、発明の原理４に対応するものであり、無線データの信頼性低下時の現象としては、無線経路が遮断され、上位側のデータ取得部に登録されるデータが更新されずに一定値のままになるという現象を仮定する。
【００２４】
図１は本実施の形態に係る無線データ管理装置の構成を示すブロック図である。無線データ管理装置１００は、無線通信機能を備える計測機器等のデータ送信機器１から無線データを受信して保持する無線データ受信部２と、放電現象発生情報を取得する放電現象発生情報取得部３と、無線データに信頼性低下の可能性があるか否かを放電現象発生情報に基づいて判定し、信頼性低下の可能性がある場合には、無線データに信頼性低下の可能性を示す信頼性低下情報を加えるデータ加工処理部４と、データ加工処理部４によって加工された無線データ、および加工されることなくデータ加工処理部４を通過した無線データを記憶する記憶手段となるデータベース部５と、統計処理などのデータ処理の際にデータベース部５からデータを取得するデータ取得部６と、データベース部５から取得したデータに信頼性低下の可能性があるか否かを信頼性低下情報に基づいて確認し、取得したデータのうち信頼性低下の可能性があるデータを削除するデータ削除部７と、削除されていないデータを外部のデータ処理装置（不図示）に出力するデータ出力部８と、テストモードを実行させる指示を入力するテスト指示部９と、テスト用の無線データを送信するテストデータ送信部１０と、テスト用の無線データを無線データ受信部２が受信するべきタイミングにおいて、適切に受信できているか否かを判定する受信判定部１１と、テスト用の無線データを適切に受信できていないと判定されたときに、無線データをデータ加工の対象として扱うように情報登録する加工対象登録部１２と、データベース部５に記憶されたデータを対象とし、信頼性低下の可能性有りとして加工されたデータの量の割合を算出する割合算出部１３と、割合算出部１３によって算出された割合を提示する割合提示部１４と、割合算出部１３によって算出された割合が予め規定された閾値を超える場合に、無線使用の不適を通知する無線適性通知部１５とを備えている。
【００２５】
なお、図１では、無線データ管理装置１００の内部に無線データ受信部２を設けているが、無線データ管理装置１００が適用されるシステムが受信機を備えている場合には、この受信機が無線データ受信部２として利用される。
テストデータ送信部１０は、データ送信機器１と同じ計測機器の内部に設けられていてもよいし、計測機器の外部に設けられていてもよい。
【００２６】
データ送信機器１と無線データ受信部２と放電現象発生情報取得部３とデータ加工処理部４とデータベース部５とは、発明の原理１に対応し、データ取得部６とデータ削除部７とデータ出力部８とは、発明の原理２に対応し、テスト指示部９とテストデータ送信部１０と受信判定部１１と加工対象登録部１２とは、発明の原理３に対応し、割合算出部１３と割合提示部１４と無線適性通知部１５とは、発明の原理４に対応している。
【００２７】
以下、本実施の形態の無線データ管理装置１００のテストモード時の動作を図２を用いて説明する。放電現象発生時（例えばアーク溶接やプラズマ処理のテスト実行中）にオペレータが、テストモードを実行させる指示を入力すると、テスト指示部９は、テストデータ送信部１０と受信判定部１１に対してテストモード実行指示信号を入力する（図２ステップＳ１００においてＹＥＳ）。
【００２８】
テストデータ送信部１０は、テストモード実行指示信号が入力されると、テスト用の無線データを無線送信する（図２ステップＳ１０１）。テスト用の無線データとしては、例えば“ＡＡＡＡＢＢＢＢ”というように予め変化パターンまで規定されたデータがある（“Ａ”，“Ｂ”は任意の値）。
無線データ受信部２は、テストデータ送信部１０から送信された無線データを受信して保持する（図２ステップＳ１０２）。
【００２９】
受信判定部１１は、テスト用の無線データを無線データ受信部２が受信するべきタイミングにおいて、テストデータ送信部１０が送信したテスト用の無線データと無線データ受信部２が受信した無線データとを比較することにより、テスト用の無線データを、無線データ受信部２が適切に受信できているか否かを判定する（図２ステップＳ１０３）。例えばテスト用の無線データとして“ＡＡＡＡＢＢＢＢ”というパターンのデータを送信したにも係わらず、無線データ受信部２が受信した無線データが“ＣＣＣＣＣＣＣＣ”という変化しないパターンのデータで、データが一致しない場合、受信判定部１１は、テスト用の無線データを適切に受信できていないと判定する。なお、一般に、無線データ受信部２は、誤り訂正機能を備えている。そこで、テスト用の無線データの誤り率が所定の閾値を超える場合に、テスト用の無線データを適切に受信できていないと判定するようにしてもよい。
【００３０】
加工対象登録部１２は、テスト用の無線データを適切に受信できていないと判定されたときに（図２ステップＳ１０３においてＮＯ）、データ加工処理部４に対して無線データをデータ加工の対象として扱うように指示する（図２ステップＳ１０４）。以上で、テストモード時の動作が終了する。
【００３１】
次に、計測機器などのデータ送信機器１と無線データ受信部２との間で実際に無線通信が行なわれるときの無線データ管理装置１００の動作を図３を用いて説明する。
データ送信機器１は、例えば差圧発信機、温湿度センサ、温度センサなどで計測した計測データを無線データとして無線送信する。
無線データ受信部２は、データ送信機器１から送信された無線データを受信して一時的に保持する（図３ステップＳ２００）。なお、無線データ受信部２は、先入れ先出し（Fast-In Fast-Out）方式で無線データを格納する。
【００３２】
放電現象発生情報取得部３は、例えば気象情報取得システム、工場の操業管理システム、ＥＥＳなどから放電現象発生情報を取得する（図３ステップＳ２０１）。
データ加工処理部４は、放電現象発生情報が示す放電現象発生の時間帯が無線データ受信部２で無線データを受信した時間帯である場合（図３ステップＳ２０２においてＹＥＳ）、無線データ受信部２から読み出した当該時間帯の無線データに信頼性低下の可能性を示す信頼性低下情報を加えるデータ加工を行なう（図３ステップＳ２０３）。具体的には、データ加工処理部４は、信頼性低下情報として無線データに付加されている信頼性低下情報通知フラグを“０”（信頼性低下の可能性無し）から“１”（信頼性低下の可能性有り）に更新すればよい。
【００３３】
また、データ加工処理部４は、加工対象登録部１２から無線データをデータ加工の対象として扱うように指示されている場合（図３ステップＳ２０４においてＹＥＳ）、無線データ受信部２から読み出した無線データに信頼性低下情報を加えるデータ加工を行なう（図３ステップＳ２０３）。
データベース部５は、無線データ受信部２から読み出されデータ加工処理部４によって加工された無線データおよび無線データ受信部２から読み出され加工されることなくデータ加工処理部４を通過した無線データを記憶する（図３ステップＳ２０５）。
無線データ受信部２は、無線データを随時受信して保持し、放電現象発生情報取得部３とデータ加工処理部４とデータベース部５とは、無線データ受信部２から無線データを一定時間毎に読み出して、ステップＳ２０１〜Ｓ２０５の処理を一定時間毎に行う。
【００３４】
次に、無線データが統計処理などに利用されるときの無線データ管理装置１００の動作を図４を用いて説明する。
データ取得部６は、データベース部５からデータを取得する（図４ステップＳ３００）。データ削除部７は、データベース部５から取得したデータに信頼性低下の可能性があるかどうかを確認し（図４ステップＳ３０１）、取得したデータのうち信頼性低下の可能性があるデータを削除する（図４ステップＳ３０２）。データ削除部７は、データベース部５から取得したデータに信頼性低下情報が付加されている場合（信頼性低下情報通知フラグが“１”の場合）、当該データに信頼性低下の可能性があると判断する。
【００３５】
そして、データ出力部８は、データベース部５から取得したデータのうちデータ削除部７によって削除されていないデータを、統計処理などを行なう外部のデータ処理装置（不図示）に出力する（図４ステップＳ３０３）。
【００３６】
次に、無線使用の適否を検証するときの無線データ管理装置１００の動作を図５を用いて説明する。
データ取得部６は、データベース部５からデータを取得する（図５ステップＳ４００）。割合算出部１３は、信頼性低下の可能性有りとして加工されたデータの量の割合を算出する（図５ステップＳ４０１）。具体的には、割合算出部１３は、例えば信頼性低下情報通知フラグが“０”のデータの量αに対する信頼性低下情報通知フラグが“１”のデータの量βの割合β／αを算出すればよい。
【００３７】
割合提示部１４は、割合算出部１３によって算出された割合をオペレータが認識できるように提示（例えばデータベース部５を操作するための操作画面に表示）する（図５ステップＳ４０２）。
無線適性通知部１５は、割合算出部１３によって算出された割合が予め規定された閾値を超えているか否かを判定し（図５ステップＳ４０３）、割合が閾値を超えている場合、無線使用は不適の可能性があるものとして、判定結果をオペレータに通知する（図５ステップＳ４０４）。
【００３８】
以上のように、本実施の形態では、放電現象発生情報を取得することにより、無線データを受信する上位側で無線データの信頼性の低い状況を検出し、信頼性低下の可能性がある無線データの加工処理を行なうので、信頼性の高いデータと信頼性の低いデータとを識別できるようにすることが可能となる。
また、本実施の形態では、無線データが統計処理などに利用されるときに、信頼性低下の可能性がある無線データを削除するようにしたので、データ処理に信頼性の低いデータが混入する恐れを低減することができる。
【００３９】
また、本実施の形態では、アーク溶接やプラズマ処理の実行中にテストモードを実行してテスト用の無線データを適切に受信できているか否かを判定することにより、アーク溶接やプラズマ処理の実行中にデータ送信機器１の信頼性が低下するか否かを判定することができ、テスト用の無線データを適切に受信できていない場合には、データ送信機器１から送信される、信頼性低下の可能性がある無線データの加工処理を行なうので、信頼性の高いデータと信頼性の低いデータとを識別できるようにすることが可能となる。
また、本実施の形態では、信頼性低下の可能性有りとして加工されたデータの量の割合を算出することにより、無線使用の適否を判定することが可能となる。
【００４０】
［第２の実施の形態］
次に、本発明の第２の実施の形態について説明する。本実施の形態は、建物の空調システムに第１の実施の形態の無線データ管理装置１００を適用した場合の例を示すものである。図６は本実施の形態の空調システムの構成を示すブロック図である。空調システムは、空調機２１と、部屋２０の温度を計測する室温センサ２２と、建物のエネルギー最適化を目的として、建築後に設置された無線式の室温センサ２３と、室温センサ２３が計測した室温の計測データを無線データとして送信する無線データ送信部２４と、建物のエネルギー管理を行なうエネルギー管理システム２５と、エネルギー最適化のために必要な気象情報を取得する気象情報取得システム２６とから構成される。
【００４１】
エネルギー管理システム２５は、室温センサ２２によって計測された室温が室温設定値と一致するように空調機２１を制御する。本実施の形態では、室温センサ２２のみによる制御では、例えば冷やし過ぎや暖め過ぎが発生してエネルギー管理が不十分であり、別のセンサによる計測データが必要であるとして建物の建築後に室温センサ２３が設置されたものとする。この室温センサ２３と無線データ送信部２４とが図１のデータ送信機器１を構成している。本実施の形態では、無線データ送信部２４から送信される無線データを受信するために設けられた受信機を無線データ受信部２として利用する。
【００４２】
エネルギー管理システム２５は、室温センサ２２，２３からのデータと気象情報取得システム２６から気象情報とを基に空調機２１の制御を最適化する。
無線データ管理装置１００の放電現象発生情報取得部３は、気象情報取得システム２６から気象情報（放電現象発生情報）を取得する。放電現象発生情報は、雷が発生する時間帯を示している。無線データ管理装置１００の他の構成の動作は第１の実施の形態で説明したとおりである。
【００４３】
外部のデータ処理装置（不図示）が行なう統計処理などのデータ処理の典型例としては、エネルギー最適化の運用状況実績の集計がある。
テストモードについては、雷の発生時を見計らって、オペレータがテストモードの実行指示をテスト指示部９に入力すればよい。
なお、一般に、雷が発生する頻度は低いので、割合算出部１３と割合提示部１４と無線適性通知部１５を設けなくてもよい。
【００４４】
［第３の実施の形態］
次に、本発明の第３の実施の形態について説明する。本実施の形態は、工場のプラントに第１の実施の形態の無線データ管理装置１００を適用した場合の例を示すものである。図７はプラントの構成を示すブロック図である。プラントは、原料を入れるタンク３０と、タンク３０に入れる原料の量を制御するタンク制御装置３１と、タンク３０内の圧力を計測する圧力発振器３２と、工場生産システムの健常性維持管理を目的として、生産システム稼働後に追加設置された無線式の流量計測器３３と、流量計測器３３が計測した原料の流量の計測データを無線データとして送信する無線データ送信部３４と、原料の流量を制御するバルブ３５と、バルブポジショナ３６と、工場全体の製品の生産を管理するトータル生産管理システム３７と、トータル生産管理システム３７の下にあってプラントにおける製品の生産を管理する装置操業管理システム３８と、アーク溶接装置（不図示）を制御するアーク溶接制御装置３９とから構成される。
【００４５】
装置操業管理システム３８は、圧力発振器３２によって計測された圧力が圧力設定値と一致するようにタンク制御装置３１とバルブポジショナ３６とを介してバルブ３５の開度を制御する。本実施の形態では、圧力発振器３２のみによる制御では、健常性維持が不十分であり、別のセンサによる計測データが必要であるとして生産システム稼働後に流量計測器３３が設置されたものとする。この流量計測器３３と無線データ送信部３４とが図１のデータ送信機器１を構成している。本実施の形態では、無線データ送信部３４から送信される無線データを受信するために設けられた受信機を無線データ受信部２として利用する。
【００４６】
トータル生産管理システム３７は、流量計測器３３からのデータを基にプラントが正常に稼働しているかどうかをチェックする。
無線データ管理装置１００の放電現象発生情報取得部３は、装置操業管理システム３８から放電現象発生情報を取得する。放電現象発生情報は、アーク溶接が実行される時間帯を示している。無線データ管理装置１００の他の構成の動作は第１の実施の形態で説明したとおりである。
【００４７】
外部のデータ処理装置（不図示）が行なう統計処理などのデータ処理の典型例としては、健常性維持管理の効果確認のための集計がある。
テストモードについては、テスト目的でアーク溶接装置を稼働させて、オペレータがテストモードの実行指示をテスト指示部９に入力すればよい。
【００４８】
第１の実施の形態で説明したとおり、無線データ管理装置１００を使用すれば、無線使用の適否を判定することができるので、アーク溶接の頻度が高く、かつアーク溶接の影響を受けて無線通信の状態が乱れる位置に追加設置されていると判断される無線式の流量計測器３３については、オペレータが設置位置を再検討したり有線化を検討したりすることができる。
【００４９】
［第４の実施の形態］
次に、本発明の第４の実施の形態について説明する。本実施の形態は、半導体製造装置に第１の実施の形態の無線データ管理装置１００を適用した場合の例を示すものである。図８は半導体製造装置の構成を示すブロック図である。半導体製造装置は、処理対象のウエハの搬入、搬出を行なうためのワークロードチャンバー４０と、ウエハをプラズマ処理するプラズマチャンバー４１と、プラズマチャンバー４１内の温度を計測する温度センサ４２と、半導体製造装置の稼働状態改善を目的として、製造装置稼働後に追加設置された無線式の非接触温度センサ４３（例えば放射温度計など）と、温度センサ４３が計測したワークロードチャンバー４０内の温度の計測データを無線データとして送信する無線データ送信部４４と、プラズマチャンバー４１内のプラズマ発生量や温度を制御するプラズマコントローラ４５と、電力調整器４６と、電力調整回路４７と、半導体製造装置全体を制御するＰＬＣ（Programmable Logic Controller）／ＰＣ（Personal Computer）モジュール４８とから構成される。
【００５０】
プラズマコントローラ４５は、プラズマ発生量ＭＶ１やプラズマ発生タイミングを調整するとともに、温度センサ４２が計測した温度が温度設定値と一致するように操作量ＭＶ２を算出する。電力調整器４６は、プラズマ発生量ＭＶ１や操作量ＭＶ２に応じた電力を決定し、この決定した電力を電力供給回路４７を通じてプラズマチャンバー４１内のプラズマ発生部（不図示）やヒータ（不図示）に供給する。こうして、プラズマコントローラ４５は、プラズマチャンバー４１内のプラズマ発生量やウエハの温度を制御する。本実施の形態では、温度センサ４２のみによる制御では、半導体製造装置の稼働状態改善が不十分であり、別のセンサによる計測データが必要であるとして製造装置稼働後に温度センサ４３が設置されたものとする。この温度センサ４３と無線データ送信部４４とが図１のデータ送信機器１を構成している。本実施の形態では、無線データ送信部４４から送信される無線データを受信するために設けられた受信機を無線データ受信部２として利用する。
【００５１】
ＰＬＣ／ＰＣモジュール４８は、温度センサ４３からのデータを基にワークロードチャンバー４０内の温度を制御して半導体製造装置の稼働状態を改善する。
無線データ管理装置１００の放電現象発生情報取得部３は、プラズマコントローラ４５から放電現象発生情報を取得する。放電現象発生情報は、プラズマ処理が実行される時間帯を示している。無線データ管理装置１００の他の構成の動作は第１の実施の形態で説明したとおりである。
【００５２】
外部のデータ処理装置（不図示）が行なう統計処理などのデータ処理の典型例としては、稼働状態改善の効果確認のための集計がある。
テストモードについては、テスト目的でプラズマ処理を実行させて、オペレータがテストモードの実行指示をテスト指示部９に入力すればよい。
【００５３】
第１の実施の形態で説明したとおり、無線データ管理装置１００を使用すれば、無線使用の適否を判定することができるので、プラズマ処理の頻度が高く、かつプラズマ処理の影響を受けて無線通信の状態が乱れる位置に追加設置されていると判断される無線式の温度センサ４３については、オペレータが設置位置を再検討したり有線化を検討したりすることができる。
【００５４】
第１〜第４の実施の形態で説明した無線データ管理装置１００は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、記憶装置及びインタフェースを備えたコンピュータと、これらのハードウェア資源を制御するプログラムによって実現することができる。ＣＰＵは、記憶装置に格納されたプログラムに従って第１〜第４の実施の形態で説明した処理を実行する。
【産業上の利用可能性】
【００５５】
本発明は、無線データを受信する上位側で管理する技術に適用することができる。
【符号の説明】
【００５６】
１…データ送信機器、２…無線データ受信部、３…放電現象発生情報取得部、４…データ加工処理部、５…データベース部、６…データ取得部、７…データ削除部、８…データ出力部、９…テスト指示部、１０…テストデータ送信部、１１…受信判定部、１２…加工対象登録部、１３…割合算出部、１４…割合提示部、１５…無線適性通知部、２０…部屋、２１…空調機、２２，２３…室温センサ、２４…無線データ送信部、２５…エネルギー管理システム、２６…気象情報取得システム、３０…タンク、３１…タンク制御装置、３２…圧力発振器、３３…流量計測器、３４…無線データ送信部、３５…バルブ、３６…バルブポジショナ、３７…トータル生産管理システム、３８…装置操業管理システム、３９…アーク溶接制御装置、４０…ワークロードチャンバー、４１…プラズマチャンバー、４２，４３…温度センサ、４４…無線データ送信部、４５…プラズマコントローラ、４６…電力調整器、４７…電力調整回路、４８…ＰＬＣ／ＰＣモジュール、１００…無線データ管理装置。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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