(57)【要約】      （修正有）【課題】弁を内蔵するノズルにおいて、簡易に耐久性を向上することが可能なノズルを提供する。【解決手段】目標とする対象に水を噴射するノズル２３であって、水の流路を備えるノズル本体２４と、ノズル本体の流路２４ａの内側に配置される弁２５と、を備え、流路２４ａの内面のうち、弁２５と接触する部位を含む少なくとも一部にはダイヤモンドライクカーボンによる被膜が形成されている。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
目標とする対象に水を噴射するノズルであって、
前記水の流路を備えるノズル本体と、
前記ノズル本体の前記流路の内側に配置される弁と、を備え、
前記流路の内面のうち、前記弁と接触する部位を含む少なくとも一部にはダイヤモンドライクカーボンによる被膜が形成されている、ノズル。
【請求項２】
前記弁は開閉弁である請求項１に記載のノズル。
【請求項３】
前記接触する部位は、前記弁が前記流路の内面に接触することにより前記水の噴射を禁止し、前記接触から離脱の姿勢に移動することで前記水の噴射が許容される部位である、請求項１又は２に記載のノズル。
【請求項４】
前記接触する部位は、前記弁が前記流路内面に常に接触する部位であり、前記弁の開閉に伴って前記接触する部位が前記流路内面を摺動する部位である、請求項１〜３のいずれかに記載のノズル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、目的物に水を噴射するノズルに関する。
【背景技術】
【０００２】
圧延による鋼板の製造装置（製造ライン）では、形成されたスケールを除去することや、高温の鋼板を冷却する目的で鋼板に対して水を噴射する工程がある。このような水の噴射は公知のようにノズルから行われる。
【０００３】
特許文献１〜４には、このようなノズルのそれぞれに弁を内蔵する技術が開示されている。個々のノズルに弁を備えることにより、水を噴射させるノズル、水を噴射させないノズルを個別に選択することができ、過剰な給水、排水を抑制することが可能となるため、省エネルギーや効率化を図ることができる。
また、ノズルに水を供給する上流側の大きな配管に開閉弁を設けてここでノズルへの給水を制御すると、いわゆるウォーターハンマーと呼ばれる衝撃が大きく、配管等に悪影響を与えることがある。個々のノズルに弁を設けることによりこれを抑制することができる。
なお、高圧配管に使用される弁には弁の耐摩耗性向上のためステライト加工肉盛りがなされていることがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開昭５９−７６６１６号公報
【特許文献２】特開昭６０−１３３９１３号公報
【特許文献３】特開平６−９１３２０号公報
【特許文献４】特開平９−５２１１１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記のようにノズルに弁を設けると、ノズル内で弁が作動することにより流路の閉鎖、開放が行われるので、弁と流路内面との間で接触及び離脱、並びに摺動する部位が生じる。従来は、高圧配管に取り付ける弁にはステライト加工肉盛りがなされていたため同様に、このような部位に対してステライト加工肉盛りを行うことにより耐摩耗性を向上させてきた。しかしながら、ステライト加工肉盛りは加工そのものが高価であった。このためステライト加工肉盛りを施した弁付きノズルを大量に使用する場合、そのコストが高くつくため導入を断念することがあった。
【０００６】
また、摺動部においては弁の繰り返しの使用により摺動抵抗力に対してシール部材が耐えられなくなり、シールの変形、破損に至り、シール不良が早い時期に発生してしまうことがあった。
【０００７】
そこで本発明は、上記問題を鑑み、弁を内蔵するノズルにおいて簡易かつ安価に耐久性を向上することが可能なノズルを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
以下、本発明について説明する。
【０００９】
請求項１に記載の発明は、目標とする対象に水を噴射するノズルであって、水の流路を備えるノズル本体と、ノズル本体の流路の内側に配置される弁と、を備え、流路の内面のうち、弁と接触する部位を含む少なくとも一部にはダイヤモンドライクカーボンによる被膜が形成されている、ノズルである。
【００１０】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のノズルにおいて、弁は開閉弁である。
【００１１】
請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載のノズルにおいて、接触する部位は、弁が流路の内面に接触することにより水の噴射を禁止し、接触から離脱の姿勢に移動することで水の噴射が許容される部位である。
【００１２】
請求項４に記載の発明は、請求項１〜３のいずれかに記載のノズルにおいて、接触する部位は、弁が流路内面に常に接触する部位であり、弁の開閉に伴って接触する部位が流路内面を摺動する部位である。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、弁とノズル内面との接触及び離脱部位、並びに摺動部位において、耐久性を簡易にかつ安価に向上させることが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】１つの実施形態を説明する図であり、熱延鋼板の製造装置１０の一部を概略的に示した図である。
【図２】図１のうち冷却装置２０が備えられた部位を拡大して示し、冷却装置２０の構成を説明するための図である。
【図３】図２にＩＩＩで示した方向から製造装置１０をみた模式図である。
【図４】図３のうち給水手段２１の部分に注目した図である。
【図５】図４の一部を拡大した図である。
【図６】図５にＶＩ−ＶＩで示した線に沿った断面である。
【図７】ノズル２３の閉鎖の姿勢を説明する図である。
【図８】作動流体の流れを説明する図である。
【図９】他の例のノズルを説明する断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
本発明の上記した作用および利得は、次に説明する発明を実施するための形態から明らかにされる。以下本発明を図面に示す実施形態に基づき説明する。ただし本発明はこれら実施形態に限定されるものではない。
【００１６】
図１は、１つの実施形態を説明する図であり、熱延鋼板の製造装置１０の一部を概略的に示した図である。図１では、鋼板１は紙面左（上工程側、上流側）から右（下工程側、下流側）の方向へと搬送されており、紙面上下方向が鉛直方向である。当該上工程側（上流側）から下工程側（下流側）方向を通板方向と記載することがあり、これに直交する方向で、通板される鋼板の板幅の方向を板幅方向と記載することがある。また、図において見易さのため繰り返しとなる符号の記載は省略することがある。
【００１７】
図１に示すように、熱延鋼板の製造装置１０は、熱間仕上圧延機列１１、搬送ロール１２、水切りロール１３、および冷却装置２０を備えている。
また図示及び説明は省略するが、熱間仕上圧延機列１１より上工程側には、加熱炉や粗圧延機列等が配置され、熱間仕上圧延機列１１に入るための鋼板の条件を整えている。また、熱間仕上圧延機１１の入側には急冷開始温度を測定するための入側温度計が設置されている。
一方、水切りロール１３の下工程側には、水切りロール１３と鋼板１との隙間から僅かに漏れ出る、冷却装置から噴射された加圧水を切るための水切りスプレーが設置されている。さらに水切りロール１３の出側には、急冷停止温度（急冷をしない場合は圧延仕上温度）を測定するための出側温度計が設置されている。また、鋼板に所定の張力を付与するピンチロールも配置されている。
【００１８】
熱延鋼板は概ね次のように製造される。すなわち、加熱炉から抽出され、粗圧延機で所定の厚さまで圧延された粗バーが、温度を制御されながら連続的に熱間仕上圧延機列１１で所定の厚さまで圧延される。その後、鋼板は冷却装置２０内で冷却される。水切りロール１３を通過した鋼板は他の冷却装置により所定の巻き取り温度まで冷却され、巻き取り機によりコイル状に巻き取られる。
【００１９】
以下、熱延鋼板の製造装置１０（以下単に「製造装置１０」と記載することがある。）について詳しく説明する。図２は、図１のうち冷却装置２０が備えられた部位を拡大して示し、冷却装置２０の構成を説明するための図である。図３は、図２にＩＩＩで示した方向から製造装置１０をみた模式図である。従って図３では紙面上下が製造装置１０の鉛直方向、紙面左右が板幅方向、及び紙面奥から手前方向が通板方向となる。
【００２０】
本実施形態における熱間仕上圧延機列１１は、図１からわかるように７機のスタンド１１ａ、…、１１ｆ、１１ｇが通板方向に沿って並列されている。ぞれぞれのスタンド１１ａ、…、１１ｆ、１１ｇは、圧延機を備えており、最終製品の鋼板に必要とされる厚さ、機械的性質、表面品質等の条件を満たすことができるように圧下率等の圧延条件が設定されている。
【００２１】
各スタンド１１ａ、…、１１ｆ、１１ｇの圧延機は、実際に鋼板を挟んで圧下する一対のワークロール１１ａｗ、１１ａｗ、…、１１ｆｗ、１１ｆｗ、１１ｇｗ、１１ｇｗと、該ワークロールに外周同士を接するように配置された一対のバックアップロール１１ａｂ、１１ａｂ、…、１１ｆｂ、１１ｆｂ、１１ｇｂ、１１ｇｂとを有している。また当該ワークロール、及びバックアップロールの回転軸は、該ワークロール及びバックアップロールを内側に含むように設けられたハウジング１１ａｈ、…、１１ｆｈ、１１ｇｈの対向して立設された立設部（最終スタンド１１ｇにおいては図３の立設部１１ｇｒを参照。）間に配置されている。すなわち、ハウジングの立設部は、図３からわかるように、鋼板１の通板のライン（パスライン）を挟むように立設されている。
【００２２】
搬送ロール１２は、鋼板１のテーブルであるとともに該鋼板１を通板方向に搬送するロールである。従って、搬送ロール１２は通板方向に沿って所定の間隔で複数並べられている。
水切りロール１３は、圧延時に鋼板１を挟みむことにより冷却装置２０から噴射された加圧水が下工程側に流出することを防止するロールである。
【００２３】
冷却装置２０は、熱間仕上圧延機列１１と水切りロール１３との間に配置され圧延後の鋼板を冷却する装置である。冷却装置２０は上面側の給水手段２１、下面側の給水手段３１、上面側のガイド板４１、下面側のガイド板４２を備えている。
【００２４】
上面側の給水手段２１は、パスラインの上方に配置され、鋼板１の上面側に冷却水を供給する手段であり、ヘッダ２２及びノズル２３を具備している。
【００２５】
ヘッダ２２は、図２、図３からわかるように、板幅方向に延びる配管であり、このようなヘッダ２２が通板方向に複数並列されている。ヘッダ２２へは図３に表れているように給水管２０ａから冷却水が供給され、各ノズル２３に冷却水を供給する。
【００２６】
ノズル２３はヘッダ２２から分岐する複数のノズルであり、その噴射口が鋼板１（パスライン）の上面側に向けられている。図４には図３のうち給水手段２１の部分に注目した図を示した。図５には図４のうちその一部分を拡大した図を示した。さらに図６には図５にＶＩ−ＶＩで示した線に沿った断面を表した。従って図６にはノズル２３の断面が表れている。
【００２７】
ノズル２３は、図３〜図５からわかるように、ヘッダ２２の管長方向に沿って、すなわち板幅方向に複数、櫛歯状に設けられている。
本実施形態のノズル２３は、扇状の冷却水噴流（例えば、５〜３０ｍｍ程度の厚さ。）を形成可能なフラットタイプのスプレーノズルである。ただしこれに限定されることなく、ノズル２３は、長円吹きノズル、またはフルコーンノズル等を用いることができる。これらによれば冷却の際に温度ムラが発生し難い。
【００２８】
また、図６からわかるようにノズル２３は、ノズル本体２４を有し、その内側に加圧水が通る流路２４ａが形成されている。該流路２４ａの一端はヘッダ２２内に通じ、他端は開放端である。そして当該流路２４ａ内に開閉弁２５が配置されている。開閉弁２５は流路２４ａ内を移動することにより流路の閉鎖及び開放を切り替えることができるように構成されている。具体的には次の通りである。
【００２９】
開閉弁２５は一方側に底２５ａを有し、他方側が開放されている有底筒状の部材である。開閉弁２５の外周は、流路２４ａの内周より若干小さくなるように形成されている。また、底２５ａの外周側エッジ部は斜めに切り欠かれており、流路２４ａの内周面の拡管に伴う傾斜部に沿うように形成されている。
開閉弁２５の側壁の一部には孔２５ｂが設けられており、筒状の内外を連通している。
さらに開閉弁２５の外周面からは突起２５ｃが突出するように設けられている。
また、開閉弁２５の外周面の各所には、流路２４ａの内面に接触する部位にシール材２６が設けられている。本実施形態では、孔２５ｂの下流側縁部、突起２５ｃの外周部、及び開閉弁２５の下流側端部の外周部にそれぞれ配置されている。シール材２６はシール性を高めるため、通常ゴム等により構成されていることが多い。
【００３０】
このような開閉弁２５が図６に示したようにノズル本体２４の流路２４ａ内に配置される。すなわち、底２５ａが流路２４ａの上流側となるように配置される。上記のように開閉弁２５の外周は流路２４ａの内周より小さく形成されているので、開閉弁２５と流路２４ａの内面との間には間隙が形成される。そして、底２５ａの外面と流路２４ａの内面とが接触及び離脱を切り替えることによりノズル２３の開閉を切り替えることができる。
【００３１】
また、突起２５ｃが、ノズル本体２４の流路２４ａに設けられた内径が拡張された拡張部２４ｂ内に配置され、突起２５ｃが拡張部２４ｂを仕切るように位置づけられる。仕切られた一方、及び他方にはそれぞれ作動流体が流出入する流路２４ｃ、２４ｄが接続されている。流路２４ｃから作動流体で加圧されると開閉弁２５は図６に矢印ｑで示した方向に動き、流路が開放される。一方、流路２４ｄから作動流体で加圧されると開閉弁２５は図６に矢印ｐで示した方向に動き、流路が閉鎖される。
【００３２】
本実施形態では、流路２４ａの内面、及び開閉弁２５の底部２５ａのうち流路２４ａの内面に接触する部位にダイヤモンドライクカーボン（以下「ＤＬＣ」と記載することがある。）による被膜が形成されている。これにより、底部２５ａと流路２４ａとの接触部においてその耐摩耗性を向上させることができる。またシール２６と流路２４ａの内面との接触部では摺動性を向上させることが可能となる。すなわち、耐摩耗性及び摺動性が向上することにより、ノズルの耐久性を向上させることができる。また、ＤＬＣの製膜はステライト加工肉盛りに比べて安価におこなうことができるので、上記からもわかるように、製造装置１０には多量のノズルを適用する必要があることを鑑みるとそのコストの観点からの利点も非常に大きいものとなる。
【００３３】
さらに、発明者らは以下の検討により、ノズルに使用する場合に限ってステライト加工肉盛りをＤＬＣに置き換えることが可能であることを見出した。すなわち、一般的には、高圧配管の弁を閉じた際、弁の下流側において水は慣性で移動し、弁の下流近傍では真空部が発生し周囲の水が減圧され水の中に気泡が生じるキャビテーションと呼ばれる現象が生じる。その後、水の圧力が元に戻るときに気泡は消滅するが、消滅する際に衝撃波が生じる。配管内に付着した気泡が消滅すると壊食（エロージョン）が発生し、配管を損傷させる。また、弁が開いた状態であっても弁のある流路が狭い箇所で水圧が高まり、その後水圧が低下する際もキャビテーションが発生する虞がある。従って、高圧配管において弁のように水密が要求される箇所には丈夫なステライト加工肉盛りが最適である。
【００３４】
一方、発明者は次のように考えた。ノズルに弁を取り付ける場合、弁を閉じても弁からノズルの外までは短いため、ノズル内部に外部から空気が入り込み、弁の周囲が真空になることは無く、キャビテーションは発生しない。弁の開度を絞った場合、キャビテーションは起こり得るが、気泡が消滅するだけの高い水圧になる前に水はノズル外に放出される。従って、壊食に耐性のあるステライト加工肉盛りに限るこなく、壊食に耐性の無い手段であっても弁付きノズルに適用可能である。この推定に基づき、発明者はある程度の厚みのある肉盛りではなく、弁の開閉部及び摺動部に耐摩耗性を高めるコーティング（被膜）を適用しても弁付きノズルの寿命延長ができると考えた。かかる観点から、コーティングの種類は、ＴｉＣＮ、ＴｉＮ、ＴｉＡｌＮ、ＣｒＮ等を考察したが、水を噴射するノズルには耐熱性は要求されないため、摩擦係数が低くかつ高硬度、低摩擦の膜で、しかも比較的低温（２００℃）でコーティングでき、コーティングの際にノズルや弁を痛めないＤＬＣコーティングが適切であるという結論に至った。そしてこれを適用した試作品を用意し、機能に問題が無いか確認試験を行った。その結果、ステライト加工肉盛りを適用した試作品と遜色のない結果が得られた。
【００３５】
本実施形態では、図６に黒色で塗りつぶした部位のように、流路２４ａ内面のうち、上記のように特に耐摩耗性、摺動性が必要とされる、開閉弁２５の底２５ａとの接触部、およびシール材２６との接触（摺動）範囲にＤＬＣを被膜した。
ただし、このように局所的なＤＬＣの製膜に限定されることなく、流路２４ａの内面の全部、又は上記必要とされる部位よりも広い範囲となる一部にＤＬＣを被膜してもよい。
【００３６】
上記のように、開閉弁２５の底２５ａとノズル本体２４の流路２４ａの内面との接触は、接触と離脱とが繰り返されることによりノズル２３の開閉が行われるので、この部位では耐摩耗性が高いことが好ましい。一方、シール材２６と流路２４ａの内面とは摺動性がよい（摩擦係数が小さい）ことが好ましい。ＤＬＣによれば、従来に比べていずれの性能も向上させることができるので、両者の性能を併せて向上させることが可能である。
ただし、さらなる性能向上を鑑み、開閉弁２５の底２５ａとノズル本体２４の内面２４ａとの接触部位には、耐摩耗性が高められたＤＬＣが適用されてもよい。このためには例えばＤＬＣに含有される水素の割合を減らすことによる方法を挙げることができる。
【００３７】
以上のような各種ＤＬＣの製膜には公知の方法を用いることが可能である。
【００３８】
図２、図３に戻って、下面側の給水手段３１について説明する。下面側の給水手段３１は、図２、図３からわかるように、パスラインの下方に配置され、鋼板１の下面側に加圧水を供給する手段である。下面側の給水手段３１は、上記した上面側の給水手段３１に対向して設けられ、加圧水の噴射方向が異なるが、その個々の構成は上記した上面側の給水手段２１と同様である。
ただし、鋼板１の下方には搬送ロール１２が配置されているので、下面の給水手段３１は搬送ロール１２間から加圧水を鋼板１の下面側に噴射する態様となる。
【００３９】
上面側のガイド板４１は、鋼板１が搬送されるパスラインと上面側の給水手段２１との間に配置される板状の部材である。上面側のガイド板４１は鋼板１の先端、およびそれ以外の鋼板１の部位が上面側の給水手段２１に接触したり、引っかかったりすることを防止する。
上面側のガイド板４１にはノズル２３から噴射された加圧水が通過する穴が設けられて、ノズル２３から噴射された加圧水は当該穴を通過して鋼板１に達する。また上面側のガイド板４１には排水を通過させる排水孔が設けられてもよい。
【００４０】
下面側のガイド板４２は、下面側の給水手段３１と鋼板１が搬送されるパスラインとの間に配置される板状の部材である。これにより、特に鋼板１を製造装置１０に通す際に鋼板１の最先端が給水手段３１や搬送ロール１２に引っ掛かることを防止できる。
また、下面側のガイド板４２には下面側の給水手段３１からの加圧水の噴流を通過させる流入孔が設けられている。これにより、下面側の給水手段３１からの加圧水噴流が下面側のガイド板４２を通過して鋼板１の下面に達し、適切な冷却をすることが可能となる。また下面側のガイド板４２には排水を通過させる排水孔が設けられてもよい。
ここで下面側のガイド板４２は、ワークロール１１ｇｗと搬送ロール１２との間、２つの搬送ロール１２の間、および搬送ロール１２と水切りロール１３との間にそれぞれ配置されている。
【００４１】
以上のような製造装置１０の特に冷却装置２０のノズル２３の構成により、水の噴射および停止のためのノズル２３内の開閉弁２５の移動にともなう接触部位における耐久性を向上させることができる。また、このような耐久性を向上させるに際し、従来よりも安価に簡易にこれを行うことが可能である。上記したように１つの製造装置、及び冷却装置に用いられるノズルの数量は多いので、その効果は非常に大きいものとなる。
【００４２】
次に、給水手段２１、３１を用いた熱延鋼板の製造方法の例を説明する。
上記した製造装置１０により、全体として例えば次のように鋼板の製造をおこなう。すなわち、先行する鋼板１が巻き取り機により巻き取られ、その後、次の鋼板１の圧延が開始される。
当該次の鋼板１の先端が熱間仕上圧延機列１１を通過し、鋼板１の先端が下工程側に配置された不図示のピンチロールを通過した直後に鋼板１のピンチを開始する。これにより鋼板１に所定の張力が確立され、その後定常領域の圧延が開始される。鋼板１は熱間仕上圧延機列１１を逐次通過して所望の形状および表面性状の鋼板１を得る。
圧延された鋼板１は最終的に巻き取り機によりコイル状に巻き取られる。
【００４３】
このような一連の熱間圧延において熱間仕上圧延機列１１の下工程側に冷却装置２０が配置され、鋼板１に対して給水手段２１、３１から加圧水を噴射することにより鋼板１を所望の温度となるように制御する。給水手段２１、３１の基本的な動作は次の通りである。ここでは給水手段２１を例に説明する。
【００４４】
ノズル２３からは次のように加圧水が噴射される。すなわち、図６に一点鎖線で示したように、開閉弁２５の開放の姿勢でヘッダ２２の管内からノズル２３の流路２４ａ内に加圧水が流れ込み、ノズル本体２４の開放端から加圧水が鋼板１に向かって噴射される。すなわち、加圧水は開閉弁２５の底２５ａに衝突し、流路内面２４ａと開閉弁２５との間を流れ、孔２５ｂから開閉弁２５の内側に流入する。そして、開閉弁２５の他端である開放端に達し、さらにノズル本体２４の開放端から加圧水が噴射される。
【００４５】
一方、開閉弁２５が閉鎖の姿勢では、図６から図７に示した姿勢のように開閉弁２５が上昇し、流路２４ａの内面と底２５ａとが接触している。これにより加圧水の流路が閉鎖され、ノズル２３からの加圧水の噴射が禁止される。
【００４６】
開閉弁２５の開閉は、流路２４ｃ、２４ｄに作動流体が流れることにより行われる。図８に説明のための図を示した。図８は図６を下方から見たときの概念図である。図６〜図８からわかるように、開閉弁２５の作動流体については弁開用の流路２４ｃと弁閉用の流路２４ｄとを独立させている。
従って、弁開用の流路２４ｃ内を加圧し、作動流体を押し込めば図６からわかるように開閉弁２５は矢印ｑの方向に移動し開放の姿勢となる。その際には弁閉用の流路２４ｄ内の作動流体は押し出されるように移動する。開閉弁２５を閉鎖させるときには、弁閉用の流路２４ｄ内を加圧すればよく、これにより図７の姿勢となる。
【００４７】
図９は他の例の給水手段を示した図である。図９は図６と同じ視点による図である。
本例の給水手段ではノズル２３の代わりにノズル２３’を備えている点が異なる。ノズル２３’はいわゆるチェック弁と呼ばれる開閉弁２５’が備えられた例である。これはバネ２６’により付勢された弁本体２５’ａがノズル本体２４’の流路２４’ａの内面に接触して流路２４’ａを閉鎖する。一方、噴射すべき加圧水が弁本体２５’ａを押圧し、バネ２６’の付勢力に抗して弁本体２５’ａを移動させ、流路２４’ａの内面から弁本体２５’ａを離脱させることにより流路２４’ａが開放され加圧水が噴出する。弁本体２５’ａには上記した孔２５ｂと同様な孔２５’ｂが具備されており、その加圧水の流れは上記ノズル２３と同様である。
【００４８】
従って、本例の形態でも弁本体２５’ａと流路２４’ａの内面との接触部分には耐摩耗性が求められ、図９に黒塗りで示した部分のように、当該部分には上記ＤＬＣを適用することができる。
【００４９】
上記したノズルおよび冷却装置は、熱延鋼板製造ラインにおける熱延鋼板の冷却装置用として有用である。これ以外にも、たとえば熱延鋼板のデスケーリング装置（用）としての適用も考えられる。
【符号の説明】
【００５０】
１  鋼板
１０  製造装置
１１  熱間仕上圧延機列
１２  搬送ロール
１３  水切りロール
２０  冷却装置
２１  上面側の給水手段
２２  ヘッダ
２３  ノズル
２４  ノズル本体
２５  開閉弁
３１  下面側の給水手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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