(57)【要約】【課題】ボンディングパッドの下の層間絶縁膜にクラックが入ることを防止する。【解決手段】第一金属膜１２と第２金属膜１５との間に小径金属プラグ１４ａと大径金属プラグ１４ｂを配置し、大径金属プラグ１４ｂの上方の第二金属膜１５表面に凹部１７を設ける。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ボンディングパッドを有する半導体装置であって、
第一層間絶縁膜上の第一金属膜と、
前記第一金属膜上の第二層間絶縁膜と、
前記第二層間絶縁膜を貫通して形成された金属プラグと、
前記第二層間絶縁膜上に前記金属プラグを介して電気的に接続して設けられた第二金属膜からなる前記ボンディングパッドと、
を備え、
前記金属プラグは大径の第一金属プラグを含み、前記第一金属プラグに前記第二金属膜が入り込むことで、前記第一金属プラグ直上の前記ボンディングパッドの表面には凹部が形成されていることを特徴とする半導体装置。
【請求項２】
前記金属プラグは、さらに、前記第一金属プラグよりも径の小さい小径の第二金属プラグを含んでいることを特徴とする請求項１記載の半導体装置。
【請求項３】
前記第一金属プラグは、高融点金属膜と前記第二金属膜からなり、第二金属プラグは高融点金属膜のみからなり、前記第二金属プラグ直上の前記第二金属膜の表面は平坦であることを特徴とする請求項２記載の半導体装置。
【請求項４】
前記第二金属プラグが前記ボンディングパッド領域外に配置されていることを特徴とする請求項２あるいは３に記載の半導体装置。
【請求項５】
前記第一金属プラグと前記第二金属プラグとが、前記ボンディングパッド領域内で交互に配置されていることを特徴とする請求項２乃至４のいずれか1項に記載の半導体装置。
【請求項６】
前記金属プラグは、前記ボンディングパッド領域内で同心円状に配置されていることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の半導体装置。
【請求項７】
前記金属プラグは、前記ボンディングパッドの角部方向を除き、前記ボンディングパッド領域内で同心円状に配置されていることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の半導体装置。
【請求項８】
前記金属プラグは、前記ボンディングパッド領域内でうずまき状に配置されていることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の半導体装置。
【請求項９】
前記金属プラグは、前記ボンディングパッドの中央部に円形配置され、さらに、その外側にうずまき状に配置されていることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の半導体装置。
【請求項１０】
前記金属プラグは、前記金属プラグを複数集合して台形の領域としたものが、前記ボンディングパッド領域内で、前記ボンディングパッドの四辺に沿って４つ配置されていることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の半導体装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ボンディングパッドを有する半導体装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ボンディングパッドを有する従来の半導体装置について説明する。図１３は、従来の半導体装置を示す断面図である。
ボンディングパッド付近の断面において、第一金属膜１３２は、層間絶縁膜１３１の上に設けられ、層間絶縁膜１３３が、第一金属膜１３２を覆うように設けられる。既知のフォトリソグラフィーおよびエッチングもしくはＣＭＰ技術により、金属プラグ１３４は、第一金属膜１３２の上に配置形成される。第二金属膜１３５は、金属プラグ１３４を介して第一金属膜１３２と接続するように、且つ第一金属膜１３２の上方に設けられる。保護膜１３６は、第二金属膜１３５の上に開口部を有する。また、保護膜１３６は、保護膜１３６の開口部以外で第二金属膜１３５を覆う。
【０００３】
ここで、金属プラグ１３４は埋め込みタングステンプラグを使用しており、金属プラグの径はプロセスルール上形成できる最小径に近いサイズで統一されており、第二の金属膜１３５の表面は平坦である。（例えば、特許文献１参照）
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−２２１４３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、従来の技術では、プローブ針２００あるいはボンディングボール３００を形成するためのワイヤーボンディングの衝撃で発生した応力により、第二金属膜１３５及び第一金属膜１３２が歪んでしまうと、ボンディングパッド下方向に応力が集中し、層間絶縁膜１３３にクラック１３７が入ってしまう危険性がある。
【０００６】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたもので、ボンディングパッドの下の絶縁膜にクラックが入ることをより防止できる半導体装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、上記課題を解決するため、以下の手段を用いた。
まず、ボンディングパッドを有する半導体装置において、第一層間絶縁膜上の第一金属膜と、前記第一金属膜上の第二層間絶縁膜と、前記第二層間絶縁膜を貫通して形成された金属プラグと、前記第二層間絶縁膜上に前記金属プラグを介して電気的に接続して設けられた第二金属膜と、を備え、前記金属プラグは大径の第一金属プラグと小径の第二金属プラグからなり、前記第一金属プラグ直上の前記第二金属膜の表面には凹部があることを特徴とする半導体装置とした。
【０００８】
また、前記第一金属プラグは、高融点金属膜と前記第二金属膜からなり、第二金属プラグは高融点金属膜のみからなり、前記第二金属プラグ直上の前記第二金属膜の表面は平坦であることを特徴とする半導体装置とした。
また、前記第二金属プラグが前記ボンディングパッド領域外に配置されていることを特徴とする半導体装置とした。
また、前記第二金属プラグが前記ボンディングパッド領域内に配置されていることを特徴とする半導体装置とした。
また、前記第一金属プラグと前記第二金属プラグとが、前記ボンディングパッド領域内で交互に配置されていることを特徴とする半導体装置とした。
【０００９】
また、前記金属プラグは、同心円状に配置されていることを特徴とする半導体装置とした。
また、前記金属プラグは、ボンディングパッドの角部方向を除き、同心円状に配置されていることを特徴とする半導体装置とした。
また、前記金属プラグは、うずまき状に配置されていることを特徴とする半導体装置とした。
また、前記金属プラグは、前記ボンディングパッドの中央部に円形配置され、さらに、その外側にうずまき状に配置されていることを特徴とする半導体装置とした。
そして、前記金属プラグは、複数の金属プラグを集合して台形の領域としたものがボンディングパッドの四辺に沿って４つ配置されていることを特徴とする半導体装置とした。
【発明の効果】
【００１０】
上記手段を用いることにより、ボンディングパッド表面に加えられた応力が、第二金属膜の凹部への移動により分散され、これによりボンディングパッド下の絶縁膜にクラックが入ることが防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の半導体装置を示す平面図と断面図である。
【図２】本発明の半導体装置のプローブテスト工程、ワイヤーボンディング工程における断面図である。
【図３】本発明の半導体装置を示す平面図である。
【図４】本発明の半導体装置を示す平面図である。
【図５】本発明の半導体装置を示す平面図である。
【図６】本発明の半導体装置を示す平面図である。
【図７】本発明の半導体装置を示す平面図である。
【図８】本発明の半導体装置を示す平面図である。
【図９】本発明の半導体装置を示す平面図である。
【図１０】本発明の半導体装置を示す平面図である。
【図１１】本発明の半導体装置を示す平面図である。
【図１２】本発明の半導体装置を示す平面図である。
【図１３】従来の半導体装置のプローブテスト工程、ワイヤーボンディング工程における断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の実施形態を、図面を参照して説明する。
まず、ボンディングパッドを有する半導体装置の基本構造について説明する。図１は、本発明の半導体装置を示す平面図と断面図である。
【００１３】
図１（ａ）はボンディングパッドの平面図である。保護膜１６を開口した領域には矩形の第二金属膜１５が露出しており、その裏面には小径金属プラグ１４ａと、それよりも断面直径が大きい大径金属プラグ１４ｂが碁盤の目のような正格子の交点を交互に占めるように配置されている。なお、小径金属プラグ１４ａの径はプロセスルール上形成できる最小径に近いサイズである。なお、ボンディングパッド領域外は小径金属プラグ１４ａのみで第二金属膜１５と同層の金属配線と下層の金属配線が電気的に接続されている。
【００１４】
図１（ｂ）はボンディングパッドの断面図である。半導体基板上に設けられた第一層間絶縁膜１１上に矩形の第一金属膜１２が設けられ、第一金属膜１２を覆うように第二層間絶縁膜１３が設けられ、第一金属膜１２上の第二層間絶縁膜１３には第一金属膜１２に達するビアホールが設けられている。ビアホールは大径ビアホールと小径ビアホールの２種が混在し、小径ビアホールには、高融点金属からなるバリアメタル膜とタングステン膜とを充填した小径金属プラグ１４ａが形成され、大径ビアホールにはバリアメタル膜とタングステン膜と第二金属膜１５とを充填した大径金属プラグ１４ｂが形成される。第一金属膜１２の上方には第二層間絶縁膜１３を介して第二金属膜１５が設けられ、第一金属膜１２と第二金属膜１５は大径金属プラグ１４ａと小径金属プラグ１４ｂを介して電気的に接続されている。図からも明らかなように、第二金属膜１５の下面は平坦ではなく、大径ビアホールの中心の窪みに第二金属膜１５が入り込むように成膜されるため、第二金属膜１５表面も平坦ではなく、大径ビアホールの上方、すなわち大径金属プラグ１４ｂの上方に凹部を有する形状となる。そして、第二金属膜１５の端面や側面を覆うように保護膜１６が設けられ、第二金属膜１５の端面以外の保護膜１６を除去して開口領域１８を有する構成である。ここで、第一金属膜成膜以降の製造方法について説明する。第二層間絶縁膜１３にフォトリソグラフィー技術とエッチング技術を用いて大径ビアホールと小径ビアホールを形成した後、ＰＶＤ法でチタン系バリアメタル膜を成膜し、次いで、ＣＶＤ法でタングステン膜を成膜する。このとき、タングステン膜は小径ビアホールを完全充填し、大径ビアホールを部分充填する程度の膜厚で成膜する。小径ビアホールの直径をバリアメタル膜の膜厚とタングステン膜の膜厚との和の２倍よりも小さく、大径ビアホールの直径をバリアメタル膜の膜厚とタングステン膜の膜厚との和の２倍よりも大きくすることで上記のような完全充填、部分充填という成膜が可能となる。次いで、第二層間絶縁膜１３上のタングステン膜をエッチバック法またはＣＭＰ法で除去する。エッチバック法やＣＭＰ法で余分なタングステン膜を除去した後は、いずれの方法でも小径ビアホールはバリアメタル膜とタングステン膜で完全充填され、大径ビアホールは部分充填され、大径ビアホールの中心部には空孔が存在する。このような状態で第二金属膜１５をＰＶＤ法で成膜すると大径ビアホール内に第二金属膜１５は入り込み、その表面に凹部を形成する。次いで、第二金属膜１５と第二層間絶縁膜１３の表面に窒化シリコンなどからなる保護膜１６を成膜し、第二金属膜１５の一部を開口してボンディングパッド（開口領域）１８を形成する。また、図１（ｂ）はエッチバック法を利用した場合の形状であって、大径ビアホールの内壁にタングステンのサイドウォールが形成され、そのサイドウォールの中に第二金属膜１５が充填されている。第二金属膜１５の底面は第一金属膜１２の上面と直接接触する構造である。ＣＭＰ法の場合は大径ビアホール内のタングステン膜が除去されないので第二金属膜１５と第一金属膜１２はタングステン膜とバリアメタル膜を介して電気的に接続する構造である。このようなボンディングパッド構造とすることで、ボンディングパッド直下の半導体素子が損傷を受けずに済むことになる。
【００１５】
次に、本発明の半導体装置に対し、プローブテストまたはワイヤーボンディングを行ったときの応力の分散について説明する。
図２（ａ）は、本発明の半導体装置にプローブ針２００が第二金属膜１５に接触している状態を図示したものである。プローブ針２００はボンディングパッドとの電気的接触を高めるためにある程度の加重をかけて第二金属膜１５の表面を滑らせるが、本発明の半導体装置では表面に凹部があり、この凹部にプローブ針２００の先端が嵌まり込んで停止する。この領域に加えられた応力は直下の大径金属プラグ１４ｂを伝播して第一金属膜１２に分散することになる。したがって、第二層間絶縁膜１３に過度の応力が加わりクラックが生じることを防止できる。
【００１６】
図２（ｂ）は、本発明の半導体装置にボンディングボール３００を接合させた状態を図示したものである。ワイヤーボンディング工程において、金ワイヤーの先端に形成した金ボールを第二金属膜１５に押し付けると、凸部の金属膜は凹部に移動することで応力の緩和を行う。すなわち、第二金属膜１５表面に対し略垂直に加えられた力や超音波振動による衝撃は横方向に分散し、さらには大径金属プラグ１４ｂを介して第一金属膜１２に分散することで第二層間絶縁膜１３に対する衝撃を和らげ、クラック防止を果たすことなる。
【００１７】
図３から図１２には、様々な変形例を示した。
［変形例１］図３（ａ）は、ボンディングパッドに大径金属プラグ１４ｂのみを配置した半導体装置の平面図である。図１（ａ）では、小径金属プラグ１４ａと、それよりも断面直径が大きい大径金属プラグ１４ｂが正格子の交点を交互に占めるように配置したが、本変形例ではすべての交点を大径金属プラグ１４ｂで占める配置とした。このような構成とすることでボンディングパッド領域内の凹部の数が多くなり、応力緩和力が増え、ボンディングパッド下への衝撃を、より減少することができる。図３（ｂ）も大径金属プラグ１４ｂのみを配置した半導体装置の平面図である。図３（ａ）との違いは、奇数行の大径金属プラグ１４ｂと偶数行の大径金属プラグ１４ｂがずれて配置されている点である。言い換えれば、大径金属プラグ１４ｂは千鳥状に配置された形状となっている。このように、ボンディングパッド領域は大径金属プラグ１４ｂのみが配置されているが、ボンディングパッド領域外は第二金属膜１５と同層の金属配線と下層の金属配線とが小径金属プラグ１４ａのみで電気的に接続されている。
【００１８】
［変形例２］図４は同心円状に、大径金属プラグ１４ｂと小径金属プラグ１４ａを交互に配置しても良い。また、図５に示すように、大径金属プラグ１４ｂのみを配置しても良い。図５に示す実施例のほうが図４に示す実施例よりも大径金属プラグ１４ｂの数が多く、応力緩和されやすい。
【００１９】
［変形例３］図４では金属プラグを同心円状に配置していたが、図６に示すように、金属プラグを、ボンディングパッドの角部を除き、４つに分割して円形に配置しても良い。大径金属プラグ１４ｂと小径金属プラグ１４ａを混在させたものを図６に示し、大径金属プラグ１４ｂのみを配置したものを図７に示した。
【００２０】
［変形例４］図４では金属プラグを同心円状に配置していたが、図８に示すように、金属プラグの配置レイアウトを、うずまき状に配置しても良い。大径金属プラグ１４ｂと小径金属プラグ１４ａを混在させたものを図８に示し、大径金属プラグ１４ｂのみを配置したものを図９に示した。なお、うずまきの方向は右巻きでも左巻きでも良い。
【００２１】
［変形例５］図１０に示すように、ボンディングパッドの中央部に大径金属プラグ１４ｂを円形配置し、さらに、その外側にうずまき状に配置しても良い。この場合も右巻き、左巻きのどちらでも構わない。
【００２２】
［変形例６］図１１および図１２では、複数の金属プラグが集合して台形の領域としたものをボンディングパッドの四辺に沿って、４つの台形の領域を配置した。図１１では小径金属プラグ１４ａを交互に配置し、図１２では大径金属プラグ１４ｂのみを配置した。このような構成とすることで、ボンディングの超音波振動発生方向の衝撃による第二金属膜の変形移動の応力が凹部の影響で緩和されやすくなり、且つプローブの侵入方向衝撃の応力も緩和されやすくなる。
【符号の説明】
【００２３】
１１    第一層間絶縁膜
１３    第二層間絶縁膜
１２    第一金属膜
１４ａ  大径金属プラグ
１４ｂ  小径金属プラグ
１５    第二金属膜
１６    保護膜
１７    凹部
１８    ボンディングパッド（開口領域）
１３１  第一層間絶縁膜
１３３  第二層間絶縁膜
１３２  第一金属膜
１３４  小径金属プラグ
１３５  第二金属膜
１３６  保護膜
１３７  クラック
２００  プローブ針
３００  ボンディングボール
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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