(57)【要約】【課題】  対象物の輪郭を正確に画像化できるＸ線ＣＴ装置を提供する。【解決手段】  Ｘ線ＣＴ装置１であって、再構成演算部２１ｂは、ｓｋ番目のプロジェクションでの透視Ｘ線像において、第一方向でＡ番目のＸ線透過データｇＡとＡ番目と異なるＢ番目のＸ線透過データｇｂとの差分である第一方向差分値と、第一方向と直交する第二方向でＣ番目のＸ線透過データｇＣとＣ番目と異なるＤ番目のＸ線透過データｇＤとの差分である第二方向差分値とを少なくとも用いて、強調Ｘ線透過データＤを算出していくことにより、ｓｋ番目のプロジェクションでの強調透視Ｘ線像を作成して、Ｋ個（ｓ１、・・・、ｓＫ）のプロジェクションの強調透視Ｘ線像を用いて、対象物の断層像を再構成する。【選択図】図１
2014048277.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対象物に透視用Ｘ線を照射するＸ線発生装置と、Ｍ個（ｕ１、・・・、ｕＭ）のチャンネルとＮ個（ｖ１、・・・、ｖＮ）のラインとに配列された画素からなる透視Ｘ線像を撮影するＸ線検出器とを有するＸ線測定光学系と、
前記Ｘ線発生装置と前記Ｘ線検出器との間に設けられ、前記対象物を配置するための試料ステージと、
前記Ｘ線測定光学系と前記試料ステージとを相対的に回転させる回転機構と、
透視用Ｘ線を照射しながら前記回転機構を駆動し、一定角度の回転角度ごとに透視Ｘ線像を撮影してＫ種の回転角度での透視Ｘ線像を記憶させていくＸ線透過データ記憶制御部と、
前記Ｘ線透過データ記憶制御部により記憶されたＫ個（ｓ１、・・・、ｓＫ）のプロジェクションでの透視Ｘ線像を用いて、前記対象物の断層像を再構成する再構成演算部とを備えるＸ線ＣＴ装置であって、
前記再構成演算部は、ｓｋ番目のプロジェクションでの透視Ｘ線像において、第一方向でＡ番目のＸ線透過データｇＡと当該Ａ番目と異なるＢ番目のＸ線透過データｇｂとの差分である第一方向差分値と、前記第一方向と直交する第二方向でＣ番目のＸ線透過データｇＣと当該Ｃ番目と異なるＤ番目のＸ線透過データｇＤとの差分である第二方向差分値とを少なくとも用いて、強調Ｘ線透過データＤを算出していくことにより、ｓｋ番目のプロジェクションでの強調透視Ｘ線像を作成して、
Ｋ個（ｓ１、・・・、ｓＫ）のプロジェクションの強調透視Ｘ線像を用いて、前記対象物の断層像を再構成することを特徴とするＸ線ＣＴ装置。
【請求項２】
前記第一方向は、チャンネル方向であり、前記第二方向は、ライン方向であることを特徴とする請求項１記載のＸ線ＣＴ装置。
【請求項３】
前記Ａ番目は、Ｕｍ＋１番目であり、前記Ｂ番目は、Ｕｍ−１番目であり、前記Ｃ番目は、Ｖｎ＋１番目であり、前記Ｄ番目は、Ｖｎ−１番目であることを特徴とする請求項２に記載のＸ線ＣＴ装置。
【請求項４】
前記第一方向は、前記チャンネル方向と４５°で異なる第一斜め方向であり、前記第二方向は、前記チャンネル方向と−４５°で異なる第二斜め方向であることを特徴とする請求項１記載のＸ線ＣＴ装置。
【請求項５】
前記Ａ番目は、前記チャンネル方向でＵｍ−１番目、前記ライン方向でＶｎ−１番目であり、前記Ｂ番目は、前記チャンネル方向でＵｍ＋１番目、前記ライン方向でＶｎ＋１番目であり、前記Ｃ番目は、前記チャンネル方向でＵｍ＋１番目、前記ライン方向でＶｎ−１番目であり、前記Ｄ番目は、前記チャンネル方向でＵｍ−１番目、前記ライン方向でＶｎ＋１番目であることを特徴とする請求項４に記載のＸ線ＣＴ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、産業用のＸ線ＣＴ装置に関し、特に回路基板上の半田ボールと配線パターンとの接合状況や、金属等のＸ線吸収率の高い物質と樹脂等のＸ線吸収率の低い物質とが混在しているような対象物における樹脂中のクラック等の有無等を、良好に可視化することのできるＸ線ＣＴ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
Ｘ線ＣＴ装置は、表示装置に画像表示される断層像によって、外観から判断できない内部欠陥や内部構造等を観察することができるため、例えば電子部品やその他の工業製品の内部検査に利用されている。
【０００３】
このようなＸ線ＣＴ装置においては、一般に、Ｘ線発生装置とＸ線検出器との間に、対象物を配置するための試料ステージを設け、Ｘ線発生装置とＸ線検出器との対と試料ステージとを相対的に微小角度Δｓずつ回転させることにより、Ｋ種の方向からの対象物のＸ線透過データ（透視Ｘ線像）を収集し、そのＸ線透過データにフィルタ処理等を施した後、再構成演算を行うこと、つまり逆投影を行うことで、対象物の断層像を得ている。
【０００４】
図５は、従来のＸ線ＣＴ装置で得られる三段円筒体（対象物）の断層像から作成された斜視画像の一例である。この図では、分かりやすくするために、３次元的に得られた三段円筒体データを中心線に沿って切った断面部分が見えるように表示している。なお、Ｘ線ＣＴ装置におけるＸ線発生装置とＸ線検出器とを結ぶ方向をＸ方向とし、Ｘ方向と垂直な一方向をＹ方向とし、Ｙ方向とＸ方向とに垂直な方向をＺ方向とする。
【０００５】
しかしながら、対象物によっては、所望の部位の断層像を正確に得ることができない場合があった。例えば、回路基板に形成された配線パターンに対して、半田ボールを介して半導体チップ等を接合した試料において、半田ボールと配線パターンとの間の微小なクラックや隙間等が実際の回路基板上で存在するにもかかわらず、クラックや隙間等を正確に画像化することができなかった。
【０００６】
また、対象物が金属のようなＸ線吸収率の高い物質と樹脂のようなＸ線吸収率の低い物質等の複数の材質からなる物質が混在しているような物品の場合、樹脂内部の微小なクラック等の微妙なコントラストを、Ｘ線吸収率の高い物質の影響で正確に画像化することができなかった。
【０００７】
そこで、均一なＸ線吸収率を有する部分（中身）は空洞のようになって、輪郭部分だけが像となる空間変動データ（強調透視Ｘ線像）を得ることができるＸ線ＣＴ装置が開示されている（例えば、特許文献１参照）。このようなＸ線ＣＴ装置は、相対的な回転を与えつつＸ線検出器により基準位置と参照位置の各１ライン分のＸ線透過データをそれぞれ取り込み、各回転角度ごとの基準位置と参照位置のライン間の対応画素間のＸ線透過データの差分値を算出し、その差分値を用いて断層像再構成演算手段による断層像の再構成演算と同じ演算を実行する強調断層像再構成演算手段を備える。
【０００８】
このようなＸ線ＣＴ装置によれば、対象物を回転させて取り込んだ各回転角度ごとのＸ線透過データから、隣接するラインでの画素間のＸ線透過データのライン差分値等の、対象物の各部位におけるＸ線吸収率の空間変動データを求め、その空間変動データを用いて対象物の断層像を構築するので、対象物内部でＸ線吸収率の空間的変化が大きな部位が強調された断層像が得られる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００５−９８８７５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、上述したようなＸ線ＣＴ装置では、対象物の上面や下面の輪郭については正確に画像化することができるが、対象物の側面の輪郭を正確に画像化することができなかった。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明者らは、対象物の輪郭を正確に画像化する方法について検討した。そこで、Ｘ線透過データにおいて、ｖｎ番目のラインのＸ線透過データとしてｖ（ｎ＋１）番目のラインのＸ線透過データとｖ（ｎ−１）番目のラインのＸ線透過データとの対応画素間での差分であるライン差分値を算出するとともに、ｕｍ番目のチャンネルのＸ線透過データとしてｕ（ｍ＋１）番目のチャンネルのＸ線透過データとｕ（ｍ−１）番目のチャンネルのＸ線透過データとの対応画素間での差分であるチャンネル差分値を算出して、ライン差分値とチャンネル差分値との両方を用いて空間変動データを作成し、空間変動データを用いて、対象物の断層像を再構成した。図２は、このようにして得られた三段円筒体の断層像から作成された斜視画像の一例である。この図でも図５と同様に分かりやすくするために、３次元的に得られた三段円筒体データを中心線に沿って切った断面部分が見えるように表示している。図２に示すように、対象物の上面や下面や側面の輪郭を正確に画像化することができている。このように、ライン差分値とチャンネル差分値のように直交する二方向の差分値を用いて空間変動データを作成すれば、対象物の縦横両方の輪郭を明瞭に画像化することができる。さらにこの考え方はライン差分値とチャンネル差分値以外の方向の直交する２方向の差分値を利用することに一般化できる。
【００１２】
すなわち、本発明のＸ線ＣＴ装置は、対象物に透視用Ｘ線を照射するＸ線発生装置と、Ｍ個（ｕ１、・・・、ｕＭ）のチャンネルとＮ個（ｖ１、・・・、ｖＮ）のラインとに配列された画素からなる透視Ｘ線像を撮影するＸ線検出器とを有するＸ線測定光学系と、前記Ｘ線発生装置と前記Ｘ線検出器との間に設けられ、前記対象物を配置するための試料ステージと、前記Ｘ線測定光学系と前記試料ステージとを相対的に回転させる回転機構と、透視用Ｘ線を照射しながら前記回転機構を駆動し、一定角度の回転角度ごとに透視Ｘ線像を撮影してＫ種の回転角度での透視Ｘ線像を記憶させていくＸ線透過データ記憶制御部と、前記Ｘ線透過データ記憶制御部により記憶されたＫ個（ｓ１、・・・、ｓＫ）のプロジェクションでの透視Ｘ線像を用いて、前記対象物の断層像を再構成する再構成演算部とを備えるＸ線ＣＴ装置であって、前記再構成演算部は、ｓｋ番目のプロジェクションでの透視Ｘ線像において、第一方向でＡ番目のＸ線透過データｇＡと当該Ａ番目と異なるＢ番目のＸ線透過データｇｂとの差分である第一方向差分値と、前記第一方向と直交する第二方向でＣ番目のＸ線透過データｇＣと当該Ｃ番目と異なるＤ番目のＸ線透過データｇＤとの差分である第二方向差分値とを少なくとも用いて、強調Ｘ線透過データＤを算出していくことにより、ｓｋ番目のプロジェクションでの強調透視Ｘ線像を作成して、Ｋ個（ｓ１、・・・、ｓＫ）のプロジェクションの強調透視Ｘ線像を用いて、前記対象物の断層像を再構成するようにしている。
【００１３】
ここで、「第一方向」とは、操作者等によって予め決められた任意の一方向であり、例えば、チャンネル方向やライン方向や斜め方向等が挙げられ、「第二方向」は、第一方向と直交するものとなる。ここで、チャンネル方向とはＸ線検出器の画素の横方向（ｕ１からｕＭにいたる方向）をいい、ライン方向とはＸ線検出器の画素の縦方向（ｖ１からｖＮにいたる方向）をいう。
また、「Ａ番目と異なるＢ番目」としては、例えば、（Ａ＋１）番目や（Ａ＋２）番目等が挙げられ、「Ｃ番目と異なるＤ番目」としても、例えば、（Ｃ＋１）番目や（Ｃ＋２）番目等が挙げられる。
【発明の効果】
【００１４】
以上のように、本発明のＸ線ＣＴ装置によれば、対象物を回転させて取り込んだ各回転角度ごとのＸ線透過データ（透視Ｘ線像）から、例えば、隣接するラインでの対応画素間のＸ線透過データの差分であるライン差分値と、隣接するチャンネルでの対応画素間のＸ線透過データの差分であるチャンネル差分値とを用いて、対象物の各部位におけるＸ線吸収率の空間変動データ（強調透視Ｘ線像）を求め、その空間変動データを用いて対象物の断層像を構築するので、対象物内部でＸ線吸収率の空間的変化が大きな部位がライン方向にもチャンネル方向にも強調された断層像が得られる。つまり、ビームハードニング現象や各種散乱による偽像（アーチファクト）の影響を低く抑えることができ、その結果、半田ボールと回路基板上の配線パターンとの間の微小なクラックや、金属と樹脂等のＸ線吸収率の相違する材質が混在している部品における金属内部や樹脂内部の微小なクラックを鮮明化した断層像が得られ、これらのクラック等の存在の有無を正確に判別することが可能となる。
【００１５】
（その他の課題を解決するための手段および効果）
また、上記発明において、前記第一方向は、チャンネル方向であり、前記第二方向は、ライン方向であるようにしてもよい。
また、上記発明において、前記Ａ番目は、Ｕｍ＋１番目であり、前記Ｂ番目は、Ｕｍ−１番目であり、前記Ｃ番目は、Ｖｎ＋１番目であり、前記Ｄ番目は、Ｖｎ−１番目であるようにしてもよい。
【００１６】
そして、上記発明において、前記第一方向は、前記チャンネル方向と４５°で異なる第一斜め方向であり、前記第二方向は、前記チャンネル方向と−４５°で異なる第二斜め方向であるようにしてもよい。
さらに、上記発明において、前記Ａ番目は、前記チャンネル方向でＵｍ−１番目、前記ライン方向でＶｎ−１番目であり、前記Ｂ番目は、前記チャンネル方向でＵｍ＋１番目、前記ライン方向でＶｎ＋１番目であり、前記Ｃ番目は、前記チャンネル方向でＵｍ＋１番目、前記ライン方向でＶｎ−１番目であり、前記Ｄ番目は、前記チャンネル方向でＵｍ−１番目、前記ライン方向でＶｎ＋１番目であるようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の一実施形態であるＸ線ＣＴ装置の構成を示すブロック図。
【図２】本発明のＸ線ＣＴ装置により得られた三段円筒体の断層像から作成された斜視画像の一例を示す図。
【図３ａ】Ｎ行Ｍ列の画素からなる透視Ｘ線像を示す図。
【図３ｂ】Ｎ行Ｍ列の画素からなる透視Ｘ線像を示す図。
【図３ｃ】Ｎ行Ｍ列の画素からなる透視Ｘ線像を示す図。
【図３ｄ】Ｎ行Ｍ列の画素からなる強調透視Ｘ線像を示す図。
【図４ａ】Ｎ行Ｍ列の画素からなる透視Ｘ線像を示す図。
【図４ｂ】Ｎ行Ｍ列の画素からなる透視Ｘ線像を示す図。
【図４ｃ】Ｎ行Ｍ列の画素からなる透視Ｘ線像を示す図。
【図４ｄ】Ｎ行Ｍ列の画素からなる強調透視Ｘ線像を示す図。
【図５】従来のＸ線ＣＴ装置で得られる三段円筒体（対象物）の断層像から作成された斜視画像の一例を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の実施形態について図面を用いて説明する。なお、本発明は、以下に説明するような実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の態様が含まれる。
【００１９】
図１は、本発明の一実施形態であるＸ線ＣＴ装置の構成を示すブロック図である。なお、Ｘ線発生装置とＸ線検出器とを結ぶ方向をＸ方向とし、Ｘ方向と垂直な一方向（水平方向）をＹ方向とし、Ｙ方向とＸ方向とに垂直な方向（鉛直方法）をＺ方向とする。
Ｘ線ＣＴ装置１は、Ｘ線発生装置１１とＸ線検出器１２とを有するＸ線測定光学系１３と、対象物Ｗを載置するための試料ステージ１４と、試料ステージ駆動機構（回転機構）１６と、検出器移動機構１５と、Ｘ線ＣＴ装置１全体の制御を行う制御系（コンピュータ）２０とにより構成される。
【００２０】
Ｘ線発生装置１１は、そのＸ線光軸が水平方向（Ｘ方向）に向くように配置され、Ｘ線発生装置１１の水平方向（Ｘ方向）に対向してＸ線検出器１２が配置されている。Ｘ線発生装置１１には、制御系２０からの制御信号に応じた管電圧と管電流とが供給され、Ｘ線焦点を頂点としたコーン状のＸ線ビームが発生するようになっている。また、Ｘ線検出器１２は、画素がＭ個（ｕ１、・・・、ｕＭ）のチャンネルとＮ個（ｖ１、・・・、ｖＮ）のラインとに配列されてなる２次元Ｘ線検出器である。図３ａは、Ｎ行Ｍ列の画素からなる透視Ｘ線像を示す図である。そして、各画素ｇ（ｕｍ、ｖｎ）からＸ線吸収率を示すＸ線透過データが制御系２０にそれぞれ出力されるようになっている。
上記Ｘ線検出器には、イメージインテンシファイア（以下、ＩＩと略す）とＣＣＤカメラとを組み合わせたものが一般に用いられるが、最近ではＩＩとＣＣＤカメラとを組み合わせたＸ線検出器に代えて、フラットパネルＸ線検出器を使用したものも利用されている。
【００２１】
Ｘ線検出器１２は、検出器移動機構１５に取り付けられており、検出器移動機構１５の駆動によってＸ方向とＹ方向とＺ方向とに移動することができるようになっている。検出器移動機構１５によるＸ線検出器１２の移動は、制御系２０から供給される駆動信号によって駆動制御される。
【００２２】
Ｘ線発生装置１１とＸ線検出器１２との間で対象物Ｗを配置するための試料ステージ１４には、対象物Ｗを搭載して回転を与える回転テーブル１４ａが配置されている。回転テーブル１４ａは、試料ステージ駆動機構１６の駆動によってＸ線光軸に直交する鉛直方向（Ｚ方向）に沿った回転軸Ｒを中心として回転することができるようになっている。また、回転テーブル１４ａは、試料ステージ駆動機構１６の駆動によってＸ方向とＹ方向とＺ方向とに移動することができるようになっている。試料ステージ駆動機構１６による回転テーブル１４ａのＸ方向とＹ方向とＺ方向とへの移動や、回転テーブル１４ａの回転軸Ｒの回りの回転移動は、制御系２０から供給される駆動信号によって駆動制御される。
【００２３】
制御系（コンピュータ）２０は、汎用のコンピュータ装置により構成され、そのハードウェアをブロック化して説明すると、ＣＰＵ２１と、キーボードやマウス等の入力装置２２と、液晶パネル等の表示装置２３と、メモリ２４とにより構成される。また、ＣＰＵ２１が処理する機能をブロック化して説明すると、Ｘ線透過データ記憶制御部２１ａと、再構成演算部２１ｂとを有する。さらに、メモリ２４は、Ｘ線透過データ（透視Ｘ線像）を記憶するためのＸ線透過データ記憶領域２４ａと、強調Ｘ線透過データ（強調透視Ｘ線像）を記憶するための強調Ｘ線透過データ記憶領域２４ｂと、断層像データ（断層像）を記憶するための断層像データ記憶領域２４ｃとを有する。
【００２４】
Ｘ線透過データ記憶制御部２１ａは、試料ステージ駆動機構１６に駆動信号を出力し、回転軸Ｒを中心として回転テーブル１４ａを回転移動させながら、予め設定された微小回転角度Δｓ（＝３６０／Ｋ）ごとに対象物ＷのＸ線透過データｇ（ｓｋ、ｕｍ、ｖｎ）を順次撮影し、回転テーブル１４ａを３６０°回転させたときにはＫ個（ｓ１、・・・、ｓＫ）のプロジェクションでのＸ線透過データｇ（ｓｋ、ｕｍ、ｖｎ）をＸ線透過データ記憶領域２４ａに記憶させる制御を行う。具体的には、Ｘ線透過データ記憶制御部２１ａは、ｓ１番目のプロジェクションでのＸ線透過データｇ（ｓ１、ｕｍ、ｖｎ）として、Ｍ個（ｕ１、・・・、ｕＭ）のチャンネルとＮ個（ｖ１、・・・、ｖＮ）のラインとに配列された画素からなるデータを作成し、次にｓ２番目のプロジェクションでのＸ線透過データｇ（ｓ２、ｕｍ、ｖｎ）として、Ｍ個（ｕ１、・・・、ｕＭ）のチャンネルとＮ個（ｖ１、・・・、ｖＮ）のラインとに配列された画素からなるデータを作成していくように、Ｋ個（ｓ１、・・・、ｓＫ）のプロジェクションでのＸ線透過データｇ（ｓｋ、ｕｍ、ｖｎ）を作成する（図３ａ参照）。
そして、Ｘ線透過データ記憶制御部２１ａは、Ｋ個（ｓ１、・・・、ｓＫ）のプロジェクションでのＸ線透過データｇ（ｓｋ、ｕｍ、ｖｎ）を、感度補正し、空間歪補正し、重みづけ処理を実行して、Ｋ個（ｓ１、・・・、ｓＫ）のプロジェクションでのＸ線透過データｇ（ｓｋ、ｕｍ、ｖｎ）をＸ線透過データ記憶領域２４ａに記憶させる。
【００２５】
再構成演算部２１ｂは、Ｘ線透過データ記憶領域２４ａに記憶されたＫ個（ｓ１、・・・、ｓＫ）のプロジェクションでのＸ線透過データｇ（ｓｋ、ｕｍ、ｖｎ）を用いて、対象物Ｗの断層像を再構成して断層像データ記憶領域２４ｃに記憶させる制御を行う。
このとき、本発明に係る再構成演算部２１ｂは、まず、図３ａに示すｓｋ番目のプロジェクションでのＸ線透過データｇ（ｓｋ、ｕｍ、ｖｎ）において、下記式（１）に基づいてｕｍ番目のチャンネルの強調Ｘ線透過データＤｕ（ｓｋ、ｕｍ、ｖｎ）として、ｕ（ｍ＋１）番目のチャンネルのＸ線透過データｇ（ｓｋ、ｕ（ｍ＋１）、ｖｎ）とｕ（ｍ−１）番目のチャンネルのＸ線透過データｇ（ｓｋ、ｕ（ｍ−１）、ｖｎ）との差分を２Δｕで除算した絶対値であるチャンネル差分値を算出する（図３ｂ参照）。さらに、下記式（２）に基づいてｖｎ番目のラインの強調Ｘ線透過データＤｖ（ｓｋ、ｕｍ、ｖｎ）として、ｖ（ｎ＋１）番目のラインのＸ線透過データｇ（ｓｋ、ｕｍ、ｖ（ｎ＋１））とｖ（ｎ−１）番目のラインのＸ線透過データｇ（ｓｋ、ｕｍ、ｖ（ｎ−１））との差分を２Δｖで除算した絶対値であるライン差分値を算出する（図３ｃ参照）。
なお、Δｕは、チャンネルとそのチャンネルに隣接するチャンネルとの中心間の距離であり、Δｖは、ラインとそのラインに隣接するラインとの中心間の距離である。つまり、２Δｕは、ｕ（ｍ＋１）番目のチャンネルとｕ（ｍ−１）番目のチャンネルとの中心間の距離となり、２Δｖは、ｖ（ｍ＋１）番目のラインとｖ（ｍ−１）番目のラインとの中心間の距離となる。
【００２６】
【数１】
2014048277.tif 000003
【００２７】
【数２】
2014048277.tif 000004
【００２８】
次に、再構成演算部２１ｂは、下記式（３）に基づいてチャンネル差分値Ｄｕ（ｓｋ、ｕｍ、ｖｎ）とライン差分値Ｄｖ（ｓｋ、ｕｍ、ｖｎ）とを用いて、ｓｋ番目のプロジェクションでの強調Ｘ線透過データＤ（ｓｋ、ｕｍ、ｖｎ）を作成して、Ｋ個（ｓ１、・・・、ｓＫ）のプロジェクションでの強調Ｘ線透過データＤ（ｓｋ、ｕｍ、ｖｎ）を強調Ｘ線透過データ記憶領域２４ｂに記憶させる。図３ｄは、Ｎ行Ｍ列の画素からなる強調透視Ｘ線像を示す図である。
Ｄ（ｓｋ、ｕｍ、ｖｎ）＝ａ×Ｄｕ（ｓｋ、ｕｍ、ｖｎ）＋ｂ×Ｄｖ（ｓｋ、ｕｍ、ｖｎ）    ・・・（３）
ただし、ａ及びｂは、計算や実験的に求められる任意の係数である。チャンネル方向とライン方向の寄与を同じと考えれば、通常はａ＝ｂ＝０．５としておけばよい。なお、式（３）のａ及びｂの方に、式（１）や式（２）におけるΔｕやΔｖの数値を含むようにしてもよい。
【００２９】
最後に、再構成演算部２１ｂは、Ｋ個（ｓ１、・・・、ｓＫ）のプロジェクションでの強調Ｘ線透過データＤ（ｓｋ、ｕｍ、ｖｎ）を用いて、フィルタードバックプロジェクション法（ＦＢＰ法）やコンボリューションバックプロジェクション法（ＣＢＰ法）等で対象物Ｗの断層像を再構成して、複数個の断層像データ（断層像）を断層像データ記憶領域２４ｃに記憶させる。
そして、再構成演算部２１ｂは、複数個の断層像データを、フィルタ処理及び逆投影処理を実行して、複数個の断層像データを断層像データ記憶領域２４ｃに記憶させる。図２は、このようにして得られた三段円筒体の断層像から作成された斜視画像の一例である。この図では、分かりやすくするために、３次元的に得られた三段円筒体データを中心線に沿って切った断面部分が見えるように表示している。ここで注目すべきは、円筒内部のＸ線の吸収係数が均一な部分は空洞のように表示され、上面や側面という全ての表面部分が薄い皮のように表示されていることである。
【００３０】
以上のように、本発明のＸ線ＣＴ装置１によれば、対象物Ｗを回転させて取り込んだ各回転角度ごとのＸ線透過データｇ（ｓｋ、ｕｍ、ｖｎ）から、ｖ（ｎ＋１）番目のラインとｖ（ｎ−１）番目のラインとでの対応画素間のＸ線透過データの差分を２Δｖで除算した絶対値であるライン差分値Ｄｖ（ｓｋ、ｕｍ、ｖｎ）と、ｕ（ｍ＋１）番目のチャンネルとｕ（ｍ−１）番目のチャンネルとでの対応画素間のＸ線透過データの差分を２Δｕで除算した絶対値であるチャンネル差分値Ｄｕ（ｓｋ、ｕｍ、ｖｎ）とを用いて、対象物Ｗの各部位におけるＸ線吸収率の空間変動データＤ（ｓｋ、ｕｍ、ｖｎ）を求め、空間変動データＤ（ｓｋ、ｕｍ、ｖｎ）を用いて対象物Ｗの断層像を構築するので、対象物Ｗ内部でＸ線吸収率の空間的変化が大きな部位がライン方向にもチャンネル方向にも強調された断層像が得られる。その結果、半田ボールと回路基板上の配線パターンとの間の微小なクラックや、金属と樹脂等のＸ線吸収率の相違する材質が混在している部品における金属内部や樹脂内部の微小なクラックを鮮明化した断層像が得られ、これらのクラック等の存在の有無を正確に判別することが可能となる。
【００３１】
＜他の実施形態＞
＜１＞上述したＸ線ＣＴ装置１において、Ｘ線発生装置１１は、コーン状のＸ線ビームを発生する構成としたが、パラレル状のＸ線ビームやファン状のＸ線ビームを発生する構成としてもよい。
【００３２】
＜２＞上述した図１のＸ線ＣＴ装置１では回転テーブル１４ａが配置されている構成としたが、Ｘ線測定光学系１３が回転する構成としてもよく、回転軸方向に回転テーブル１４ａ又はＸ線測定光学系１３が移動するヘリカルスキャンを実行する構成としてもよい。
【００３３】
＜３＞上述したＸ線ＣＴ装置１において、ｕｍ番目のチャンネルの強調Ｘ線透過データＤｕ（ｓｋ、ｕｍ、ｖｎ）として、ｕ（ｍ＋１）番目のチャンネルのＸ線透過データｇ（ｓｋ、ｕ（ｍ＋１）、ｖｎ）とｕ（ｍ−１）番目のチャンネルのＸ線透過データｇ（ｓｋ、ｕ（ｍ−１）、ｖｎ）との差分を２Δｕで除算した絶対値であるチャンネル差分値を算出するとともに、ｖｎ番目のラインの強調Ｘ線透過データＤｖ（ｓｋ、ｕｍ、ｖｎ）として、ｖ（ｎ＋１）番目のラインのＸ線透過データｇ（ｓｋ、ｕｍ、ｖ（ｎ＋１））とｖ（ｎ−１）番目のラインのＸ線透過データｇ（ｓｋ、ｕｍ、ｖ（ｎ−１））との差分を２Δｖで除算した絶対値であるライン差分値を算出する構成としたが、Ｘ線透過データｇ（ｓｋ、ｕ（ｍ＋１）、ｖ（ｎ＋１））とＸ線透過データｇ（ｓｋ、ｕ（ｍ−１）、ｖ（ｎ−１））との差分を（（２Δｕ）２＋（２Δｖ）２）１／２で除算した絶対値である第一斜め方向差分値を算出するとともに、Ｘ線透過データｇ（ｓｋ、ｕ（ｍ＋１）、ｖ（ｎ−１））とＸ線透過データｇ（ｓｋ、ｕ（ｍ−１）、ｖ（ｎ＋１））との差分を（（２Δｕ）２＋（２Δｖ）２）１／２で除算した絶対値である第二斜め方向差分値を算出する構成としてもよい。それを図示したものが図４ａから図４ｄであって、図４ａ、図４ｂ、図４ｃは、Ｎ行Ｍ列の画素からなる透視Ｘ線像を示す図であり、図４ｄは、Ｎ行Ｍ列の画素からなる強調透視Ｘ線像を示す図である。
また、この例はチャンネル方向と＋４５°となる第一斜め方向と、チャンネル方向と−４５°となる第二斜め方向の差分値を利用して強調透視Ｘ線像を作成する例であるが、斜め方向としては±４５°でなくてもよい。任意の方向の斜め方向のデータを利用してもよい。
【００３４】
＜４＞上述したＸ線ＣＴ装置１において、ｕｍ番目のチャンネルの強調Ｘ線透過データＤｕ（ｓｋ、ｕｍ、ｖｎ）として、ｕ（ｍ＋１）番目のチャンネルのＸ線透過データｇ（ｓｋ、ｕ（ｍ＋１）、ｖｎ）とｕ（ｍ−１）番目のチャンネルのＸ線透過データｇ（ｓｋ、ｕ（ｍ−１）、ｖｎ）との差分を２Δｕで除算した絶対値であるチャンネル差分値を算出するとともに、ｖｎ番目のラインの強調Ｘ線透過データＤｖ（ｓｋ、ｕｍ、ｖｎ）として、ｖ（ｎ＋１）番目のラインのＸ線透過データｇ（ｓｋ、ｕｍ、ｖ（ｎ＋１））とｖ（ｎ−１）番目のラインのＸ線透過データｇ（ｓｋ、ｕｍ、ｖ（ｎ−１））との差分を２Δｖで除算した絶対値であるライン差分値を算出する構成としたが、ｕ（ｍ＋１）番目のチャンネルのＸ線透過データｇ（ｓｋ、ｕ（ｍ＋１）、ｖｎ）とｕ（ｍ−１）番目のチャンネルのＸ線透過データｇ（ｓｋ、ｕ（ｍ−１）、ｖｎ）との差分を２Δｕで除算した絶対値であるチャンネル差分値と、ｖ（ｎ＋１）番目のラインのＸ線透過データｇ（ｓｋ、ｕｍ、ｖ（ｎ＋１））とｖ（ｎ−１）番目のラインのＸ線透過データｇ（ｓｋ、ｕｍ、ｖ（ｎ−１））との差分を２Δｖで除算した絶対値であるライン差分値と、Ｘ線透過データｇ（ｓｋ、ｕ（ｍ＋１）、ｖ（ｎ＋１））とＸ線透過データｇ（ｓｋ、ｕ（ｍ−１）、ｖ（ｎ−１））との差分を（（２Δｕ）２＋（２Δｖ）２）１／２で除算した絶対値である第一斜め方向差分値と、Ｘ線透過データｇ（ｓｋ、ｕ（ｍ＋１）、ｖ（ｎ−１））とＸ線透過データｇ（ｓｋ、ｕ（ｍ−１）、ｖ（ｎ＋１））との差分を（（２Δｕ）２＋（２Δｖ）２）１／２で除算した絶対値である第二斜め方向差分値とを算出する構成としてもよい。
また、この例はチャンネル方向とライン方向と第一斜め方向と第二斜め方向との４方向の差分値を利用して強調透視Ｘ線像を作成する例であるが、チャンネル方向とライン方向と第一斜め方向との３方向の差分値や、チャンネル方向とライン方向と第二斜め方向との３方向の差分値や、チャンネル方向と第一斜め方向と第二斜め方向との３方向の差分値や、ライン方向と第一斜め方向と第二斜め方向との３方向の差分値を利用して強調透視Ｘ線像を作成してもよい。
【００３５】
＜５＞上述したＸ線ＣＴ装置１において、感度補正し、空間歪補正し、重みづけ処理を実行した後に、強調Ｘ線透過データＤ（ｓｋ、ｕｍ、ｖｎ）を作成する構成としたが、感度補正し、空間歪補正した後に、強調Ｘ線透過データＤ（ｓｋ、ｕｍ、ｖｎ）を作成して、重みづけ処理を実行する構成としてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００３６】
本発明は、産業用のＸ線ＣＴ装置に利用することができる。
【符号の説明】
【００３７】
１：  Ｘ線ＣＴ装置
１１：  Ｘ線発生装置
１２：  Ｘ線検出器
１３：  Ｘ線測定光学系
１４：  試料ステージ
１６：  試料ステージ駆動機構（回転機構）
２１ａ：  Ｘ線透過データ記憶制御部
２１ｂ：  再構成演算部
２２：  入力装置
２３：  表示装置
２４：  メモリ
【図１】
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【図３ａ】
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【図３ｂ】
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【図３ｃ】
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【図３ｄ】
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【図４ａ】
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【図４ｂ】
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【図４ｃ】
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【図４ｄ】
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【図２】
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【図５】
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