(57)【要約】【課題】  欠陥検出のための撮影において用いられるＬＥＤ照明装置で、長さ方向に制限がなく、簡単な構造のＬＥＤ照明装置を提供する。更には、従来に比べて、欠陥の検出感度を上げることができるＬＥＤ照明装置を提供する。【解決手段】  細長の筺体で、且つ、その長手方向の一つの外壁面に、長手方向に沿い開口を形成した筺体の内部において前記開口の長手方向に沿ってライン状にＬＥＤ発光素子を複数配列したもので、前記配列したＬＥＤ発光素子の両側に、それぞれ、前記開口の長手方向に沿い、且つ、前記開口に直交して、前記配列したＬＥＤ発光素子側から前記開口側に至る、細長い反射性の平板を配しており、前記ＬＥＤ発光素子からの発光光を、直接、あるいは、前記配列したＬＥＤ発光素子の両側の反射性の平板で反射させて、前記開口側に到達させ、前記開口を通過した発光光を、前記板状物の表面をライン状に照明する照明光とするものである。【選択図】  図１
2014098594.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
固体撮像素子を用いた撮像装置に対して、所定の一方向に板状物を相対的に移動しながら、前記撮像装置にて、前記板状物の表面を撮影した後、撮影にて得られた撮像画像データを用いてデータ処理を行い、前記板状物の表面の凹部欠陥を検出する欠陥検出方法における、前記撮影の際に用いられる前記板状物の表面をライン状に照明するＬＥＤ照明装置であって、細長の筺体で、且つ、その長手方向の一つの外壁面に長手方向に沿い開口を形成した筺体の内部において、前記開口がある外壁面と対向する側の筺体の外壁面に、放熱グリスを介して支持されたプリント基板の上、前記開口に対向する位置に、前記開口の長手方向に沿ってライン状にＬＥＤ発光素子を複数配列したものであり、前記配列したＬＥＤ発光素子の両側に、それぞれ、前記開口の長手方向に沿い、且つ、前記開口に直交して、前記配列したＬＥＤ発光素子側から前記開口側に至る、反射性の平板を配しており、前記ＬＥＤ発光素子からの発光光を、直接、あるいは、前記配列したＬＥＤ発光素子の両側の反射性の平板で反射させて、前記開口側に到達させ、前記開口を通過した発光光を、前記板状物の表面をライン状に照明する照明光とするものであることを特徴とするＬＥＤ照明装置。
【請求項２】
請求項１記載のＬＥＤ照明装置であって、前記配列したＬＥＤ発光素子の両側の反射性の平板は、アルミ板からなることを特徴とするＬＥＤ照明装置。
【請求項３】
請求項２に記載のＬＥＤ照明装置であって、前記アルミ板の表面に微小な凹凸を設けていることを特徴とするＬＥＤ照明装置。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれか１項に記載のＬＥＤ照明装置であって、前記板状物がガラス基板であることを特徴とするＬＥＤ照明装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＬＥＤ照明装置に関し、特に、板状物の表面の欠陥検出のために前記板状物の表面撮影に用いられる照明用のＬＥＤ照明装置の構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、低消費電力、長寿命、低ノイズ、高輝度等の理由により、ＬＥＤ照明装置が用いられるようになってきた。
このような中、板状物の表面の凹部欠陥（キズ欠陥）検出のための撮影においても、ライン状に照明する、図４に示すような、細長いＬＥＤ照明装置１１０が用いられるようになってきた。
板状物１２０の表面の凹部欠陥の検出のための撮影は、通常、図４に示すように、板状物１２０を搬送しながら、ＬＥＤ照明装置１１０にて板状物１２０の表面をライン状に照射して、イメージセンサとして固体撮像素子を用いたカメラで撮影して、板状物１２０の表面の画像データを得るものであり、撮影により得られた画像データを用いてデータ処理を行い、欠陥検出をしている。
尚、図３（ａ）は、図４に示す細長いＬＥＤ照明装置１１０を出射光側を上側にして示した外観の概略図で、図３（ｂ）は、図３（ａ）に示すＬＥＤ照明装置１１０の長手方向に直交する方向の断面図で、図３（ｃ）は、図３（ｂ）のＢ１−Ｂ２から矢印の方向に見た概略断面図である。
また、図３（ｂ）の太い点線矢印は、出射光を示している。
図４に示すＬＥＤ照明装置１１０は、図３（ｃ）に示すように、ＬＥＤ発光素子１１２を、複数、長手方向に沿って直線状に配列し、配列されたＬＥＤ発光素子１１２全体を覆うように、図３（ｂ）に示す断面が円である円筒状のロッドレンズ１１５を配し、ＬＥＤ発光素子１１２の発光光を、ロッドレンズ１１５を介して、集光して拡散板１１６を通して出射するものである。
ＬＥＤ発光素子１１２は、プリント基板１１３上に配列されており、プリント基板１１３、ＬＥＤ発光素子１１２、ロッドレンズ１１５は、いずれも、ロッドレンズ１１５のＬＥＤ発光素子１１２側とは反対側に開口１１１Ｓを設けたアルミ製の筺体１１１により囲まれ、筺体１１１の開口１１１Ｓは、拡散板１１６を配して、塞がれている。
ロッドレンズ１１５により、ＬＥＤ発光素子１１２から出射された光が筺体１１１の各面にて乱反射することを防止しており、また、拡散板１１６により、拡散光として出射している。
プリント基板１１３と筺体１１１の底面１１１ｂとの間に放熱グリス１１４を塗膜しており、ＬＥＤ発光素子１１２により加熱されるが、プリント基板１１３から放熱グリス１１４を経て、筺体１１１側に熱が伝わり、放熱される。
【０００３】
しかし、従来用いられていたＬＥＤ照明装置１１０は、図３（ｂ）に示すように、ロッドレンズ１１５を用いているため、長さに制限があり、また、ロッドレンズ自体が高価であり、これらが問題となっていた。
更に、従来用いられていたＬＥＤ照明装置１１０は、図３（ｂ）に示すように、拡散板１１６を介して光を出射しているが、図３（ｂ）のＢ０から出射される光の強度分布は概略的には、拡散板１１６に直交する方向に光強度を最大として、該方向近くの方向に集中して光強度を大とする強度分布をもつものであるため、板状物の表面の凹部欠陥（キズ欠陥）検出のための撮影において、ライン状に照明する照明装置として用いた場合、図３（ｂ）に示すＢ０を通り拡散板１１６に直交する方向の一方向側への出射光の強度は大きく、この方向およびこの方向に近い所定の方向の出射光が、主に照明光として働く。
図４では、この所定の方向の出射光を太い点線矢印で示している。
したがって、図４に示すように、ＬＥＤ照明装置１１０を用い、所定の一方向に凹部欠陥（キズ欠陥）検出の対象とする板状物１２０を搬送させながら、カメラ１３０にて板状物１２０の表面を撮影し、該撮影により得られた撮像画像データを、データ処理して、板状物１２０表面の凹部欠陥（キズ欠陥）を検出する、従来の欠陥検出方法においては、凹部欠陥（キズ欠陥）が、板状物１２０の搬送方向に沿った細長い凹部欠陥（キズ欠陥）である場合、撮影の際に、凹部欠陥（キズ欠陥）の側面側へ照射される照明光は少なく、板状物１２０の搬送方向にある凹部欠陥（キズ欠陥）の検出感度は低くなり、問題となっていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−２０４７４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記のように、近年、ＬＥＤ照明装置の使用は盛んとなり、板状物の表面の凹部欠陥の欠陥検出における撮影においても、図３に示すようなロッドレンズを用いて、ライン状に照明するＬＥＤ照明装置が用いられるようになってきたが、長さ方向に制限があり、また、ロッドレンズ自体が高価で、長さ方向に制限がなく、簡単な構造のものが求められていた。
更に、所定の一方向に対象とする板状物を搬送させながら、前記ライン状に照明するＬＥＤ照明装置にて照明して、イメージセンサとして固体撮像素子を用いた撮像装置（カメラとも言う）にて板状物の表面を撮影し、得られた撮像画像データを用いてデータ処理を行い、板状物表面の凹部欠陥を検出する欠陥検出においては、板状物の搬送方向にある凹部欠陥の検出感度は低くなり、これが問題となり、その対応が求められていた。
本発明は、これらに対応するもので、長さ方向に制限がなく、簡単な構造のＬＥＤ照明装置を提供しようとするもので、更には、ライン状に照明するＬＥＤ照明装置にて照明して、イメージセンサとして固体撮像素子を用いた撮像装置（カメラ）にて板状物の表面を撮影し、得られた撮像画像データを用いてデータ処理を行い、板状物表面の凹部欠陥を検出する欠陥検出において、従来のＬＥＤ照明装置を用いた場合に比べて、板状物の搬送方向にある凹部欠陥の検出感度を上げることができるＬＥＤ照明装置を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のＬＥＤ照明装置は、固体撮像素子を用いた撮像装置に対して、所定の一方向に板状物を相対的に移動しながら、前記撮像装置にて、前記板状物の表面を撮影した後、撮影にて得られた撮像画像データを用いてデータ処理を行い、前記板状物の表面の凹部欠陥を検出する欠陥検出方法における、前記撮影の際に用いられる前記板状物の表面をライン状に照明するＬＥＤ照明装置であって、細長の筺体で、且つ、その長手方向の一つの外壁面に長手方向に沿い開口を形成した筺体の内部において、前記開口がある外壁面と対向する側の筺体の外壁面に、放熱グリスを介して支持されたプリント基板の上、前記開口に対向する位置に、前記開口の長手方向に沿ってライン状にＬＥＤ発光素子を複数配列したものであり、前記配列したＬＥＤ発光素子の両側に、それぞれ、前記開口の長手方向に沿い、且つ、前記開口に直交して、前記配列したＬＥＤ発光素子側から前記開口側に至る、反射性の平板を配しており、前記ＬＥＤ発光素子からの発光光を、直接、あるいは、前記配列したＬＥＤ発光素子の両側の反射性の平板で反射させて、前記開口側に到達させ、前記開口を通過した発光光を、前記板状物の表面をライン状に照明する照明光とするものであることを特徴とするものである。
尚、ここで、開口に直交する方向とは、開口を形成する外壁面により規定される該外壁面に沿う開口領域に直交する方向を意味する。
また、ここで、相対的に移動とは、撮像装置とＬＥＤ照明装置を位置固定して、板状物を移動させる、あるいは、板状物を位置固定して、撮像装置、ＬＥＤ照明装置を一体として移動させて、撮像装置とＬＥＤ照明装置に対して板状物を相対的に移動させることを意味する。
そして、上記のＬＥＤ照明装置であって、前記配列したＬＥＤ発光素子の両側の反射性の平板は、アルミ板からなることを特徴とするものであり、前記アルミ板の表面に微小な凹凸を設けていることを特徴とするものである。
また、上記いずれかのＬＥＤ照明装置であって、前記板状物がガラス基板であることを特徴とするものである。
【０００７】
（作用）
本発明のＬＥＤ照明装置は、このような構成にすることにより、長さ方向に制限がなく、簡単な構造のＬＥＤ照明装置を提供しようとするもので、更には、ライン状に照明するＬＥＤ照明装置にて照明して、イメージセンサとして固体撮像素子を用いた撮像装置にて板状物の表面を撮影し、得られた撮像画像データを用いてデータ処理を行い、板状物表面の凹部欠陥を検出する欠陥検出において、従来のＬＥＤ照明装置を用いた場合に比べて、板状物の搬送方向にある凹部欠陥の検出感度を上げることができるＬＥＤ照明装置の提供を可能としている。
具体的には、細長の筺体で、且つ、その長手方向の一つの外壁面に長手方向に沿い開口を形成した筺体の内部において、前記開口がある外壁面と対向する側の筺体の外壁面に、放熱グリスを介して支持されたプリント基板の上、前記開口に対向する位置に、前記開口の長手方向に沿ってライン状にＬＥＤ発光素子を複数配列したものであり、前記配列したＬＥＤ発光素子の両側に、それぞれ、前記開口の長手方向に沿い、且つ、前記開口に直交して、前記配列したＬＥＤ発光素子側から前記開口側に至る、反射性の平板を配しており、前記ＬＥＤ発光素子からの発光光を、直接、あるいは、前記配列したＬＥＤ発光素子の両側の反射性の平板で反射させて、前記開口側に到達させ、前記開口を通過した発光光を、前記板状物の表面をライン状に照明する照明光とするものであることにより、これを達成している。
通常、筺体は、長手方向に直交する方向の断面形状は、四角形状であるが、開口部を形成する外壁面と、該外壁面に対向した側に有機ＥＬ発光素子を配置するための外壁面を有していれば良く、場合によっては、断面が台形のような形状でも良い。
特に、配列したＬＥＤ発光素子の両側に、それぞれ、開口の長手方向に沿い、且つ、前記開口に直交して、前記配列したＬＥＤ発光素子側から前記開口側に至る、反射性の平板を配しており、前記ＬＥＤ発光素子からの発光光を、直接、あるいは、前記配列したＬＥＤ発光素子の両側の反射性の平板で反射させて、前記開口側に到達させ、前記開口を通過した発光光を、前記板状物の表面をライン状に照明する照明光とするものであることにより、従来のロッドレンズを用いた照明装置のように、ロッドレンズの長さに制限されずに、簡単な構造とでき、且つ、種々の方向から検査対象の板状物表面を照射することができるものとしている。
搬送方向に沿った凹部欠陥に対しては、凹部欠陥の側面側から当たる光を、従来のロッドレンズを用いた照明装置に比べて、多くすることが可能となり、従来のロッドレンズを用いた照明装置による照明による欠陥検出では、データ処理によっても欠陥部の画像化が困難であった欠陥に対しても、鮮明に画像化することを可能としている。
配列したＬＥＤ発光素子の両側の反射性の平板としては、照明装置への適用の適正を備えていれば特に限定されず、種々の表面反射性の金属板や、表面に反射性の金属層を配した板材が用いられるが、特にアルミ板は、反射性、加工性、耐性等の面から好ましい。
また、前記アルミ板の表面に微小な凹凸を設けた場合には、アルミ板表面の反射において散乱性を良くでき、従来のロッドレンズを用いた照明装置に比べて、一層、種々の方向から検査対象の板状物表面を照射することができるものとしている。
【０００８】
尚、従来、板状物表面の凹部欠陥の検出は、ライン状に照明できる蛍光灯や図３、図４に示すロッドレンズを用いたＬＥＤ照明装置１１０により、凹部欠陥を照らし、撮像装置で撮影し、得られた画像データを用いて、良品部との反射率の差を、欠陥検出のための画像情報として得た後、画像処理を行い凹部欠陥部を画像として抽出していたが、搬送方向にある凹部欠陥（図４の１２１）に対しては、ライン状に照射する蛍光灯や図３、図４に示すロッドレンズを用いたＬＥＤ照明装置による撮影では、検出の感度が低く、画像として抽出することが難しかった。
本発明のライン状に照明できるＬＥＤ照明装置は、搬送方向に沿った形状の凹部欠陥に対して、配列したＬＥＤ発光素子の両側に反射性の平板を備えており、光源からの発光光は、前記配列したＬＥＤ発光素子の両側に反射性の平板により反射されて開口を通過して、照明光となるため、従来のロッドレンズを用いた照明装置による照明に比べて、種々の方向から検査対象の板状物表面を照射することができるものとしている。
これ故、本発明のライン状に照明できるＬＥＤ照明装置は、図３、図４に示す従来のロッドレンズを用いたＬＥＤ照明装置の照明に比べて、側面側から当たる光の量を増やすことができ、結果、欠陥検出の感度を向上させることができるのである。
特に、配列したＬＥＤ発光素子の両側の反射性の平板としてアルミ板を用いて、表面に凹凸をつけた形態の場合には、表面の反射において散乱性を上げることができ、図３、図４に示す従来のロッドレンズを用いたＬＥＤ照明装置の照明に比べて、側面側から当たる光の量をより一層増やすことができ、結果、欠陥検出の感度を向上させることができる。  アルミ板に凹凸を付ける方法としては、砥粒を用いた研磨方法や電解研磨方法等が挙げられる。
【０００９】
板状物がガラス基板である場合には、図３に示すロッドレンズを用いた従来のＬＥＤ装置では、検出が難しかった、欠陥検出において板状物表面を撮影する際の、板状物の移動方向に沿った細長い凹部欠陥（キズ欠陥）も検出可能としており、このような欠陥検出には、特に、有効である。
【００１０】
尚、欠陥検出において板状物表面を撮影する際の、板状物の移動方向に沿った細長い凹部欠陥（キズ欠陥）は、例えば、以下のようにして発生している。
表示装置に用いられるカラーフィルタをガラス基板に形成する製造では、図５（ａ）に示すように、ダイコート方式でガラス基板２１０の表面に着色樹脂層２３０を塗膜する工程があるが、ダイコータのヘッド２２０とガラス基板２１０との間に異物２４０を噛んだ状態で塗膜した場合に、ガラス基板の面を異物で引っ掻き、キズが入ることがある。
一方また、ガラス基板２１０の裏面に関しては、図５（ｂ）に示すように、ガラス基板２１０を搬送するコロコンベアの一部のコロ２６３に異常が発生し、回転が渋い場合、搬送されているガラス基板２１０とコロ２６３とが擦れるため、搬送方向にキズが発生することがある。
このような、ガラス基板２１０を搬送する方向に入るキズの検査に、特に本発明のＬＥＤ照明装置による照明は適している。
【発明の効果】
【００１１】
本発明は、このように、長さ方向に制限がなく、簡単な構造のＬＥＤ照明装置の提供を可能とし、更には、ライン状に照明するＬＥＤ照明装置にて照明して、イメージセンサとして固体撮像素子を用いた撮像装置（カメラ）にて板状物の表面を撮影し、得られた撮像画像データを用いてデータ処理を行い、板状物表面の凹部欠陥を検出する欠陥検出において、ロッドレンズを用いた従来のＬＥＤ照明装置を用いた場合に比べて、板状物の搬送方向にある凹部欠陥の検出感度を上げることができる新たなＬＥＤ照明装置の提供を可能とした。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】図１（ａ）は、本発明のＬＥＤ照明装置の１例の外観を示した斜視図で、図１（ｂ）は、図１（ａ）に示すＬＥＤ照明装置の長手方向に直交する断面を示した概略断面図で、図１（ｃ）は、図１（ａ）に示すＬＥＤ照明装置を用いた欠陥検出のための撮影方法の概略構成を示した図である。
【図２】図２（ａ）は、図１（ｂ）のＡ１−Ａ２において矢印の方向に見た図で、図２（ｂ）は、開口の長手方向に沿う方向において、ＬＥＤ発光素子から出射される発光光を示した概略図で、図２（ｃ）は、図１（ｂ）の断面におけるＬＥＤ発光素子から出射される発光光を示した概略図である。
【図３】図３（ａ）は、従来のＬＥＤ照明装置の１例の外観を示した斜視図で、図３（ｂ）は、図３（ａ）に示すＬＥＤ照明装置の長手方向に直行する断面を示した概略断面図で、図３（ｃ）は、図３（ｂ）のＢ１ーＢ２断面から矢印方向に見た図である。
【図４】図３に示す従来ＬＥＤ照明装置を用いた欠陥検出のための撮影方法の概略構成を示した図である。
【図５】図５（ａ）は、ガラス基板の一面にダイコータにより着色樹脂層の塗膜を行う際の凹部欠陥（キズ欠陥）の発生を説明するための図で、図５（ｂ）は、ガラス基板をコロ搬送する際の凹部欠陥の発生を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
先ず、本発明のＬＥＤ照明装置の１例を図１に基づいて説明する。
本例のＬＥＤ照明装置１０は、図１（ｃ）に示すように、固体撮像素子を用いた撮像装置３０に対して、所定の一方向に板状物２０を相対的に移動しながら、前記撮像装置３０にて、板状物２０の表面を撮影した後、撮影にて得られた撮像画像データを用いてデータ処理を行い、板状物２０の表面の凹部欠陥（キズ欠陥）を検出する欠陥検出方法において、前記撮影の際に用いられる板状物２０の表面をライン状に照明するＬＥＤ照明装置である。
本例のＬＥＤ照明装置は、図１（ａ）に示すように細長の筺体で、且つ、その長手方向の一つの外壁面１１ａに、長手方向に沿い開口１１Ｓがある筺体１１の開口１１Ｓから照明光を照射するものである。
図１（ｂ）に示すように、筺体１１の内部に、開口１１Ｓがある外壁面１１ａと対向する側の筺体の外壁面１１ｂに、放熱グリス１４を介して支持されたプリント基板１３上に、ライン状にＬＥＤ発光素子１２を複数配列したものであって、前記配列したＬＥＤ発光素子１２の両側に、それぞれ、前記開口１１Ｓの長手方向に沿い、且つ、前記開口１１Ｓに直交して、前記配列したＬＥＤ発光素子１２側から前記開口１１Ｓ側に至る、前記配列したＬＥＤ発光素子１２の列方向に細長い反射性の平板１６を配している。
そして、前記ＬＥＤ発光素子１２からの発光光１２Ｌを、直接、あるいは、前記配列したＬＥＤ発光素子１２の両側の反射性の平板１６で反射させて、前記開口１１Ｓ側に到達させ、前記開口１１Ｓを通過した発光光を、前記板状物２０の表面をライン状に照明する照明光としている。
【００１４】
本例のＬＥＤ照明装置においては、ＬＥＤ発光素子１２からの発光光は、直接、あるいは、前記配列したＬＥＤ発光素子１２の両側の反射性の平板１６で反射されて、拡散板１５まで進み、拡散板１５を通過し、開口１１Ｓを通過して、出射され、照明光となる。
ＬＥＤ発光素子から出射された発光光は、全て、拡散板１５まで到達する。
そして、拡散板１５を通過し、開口１１Ｓを通過して、前記板状物２０の表面をライン状に照明する照明光となる。
図２（ｂ）に示すように、開口１１Ｓの長手方向に沿う方向に、ＬＥＤ発光素子から出射された発光光は、出射された方向に進み拡散板１５まで進み、拡散板１５を通過し、開口１１Ｓを通過して、出射され、照明光となる。
但し、開口１１Ｓの長手方向の両端部において発光された発光光については、この限りではない。
また、図２（ｃ）に示すように、ＬＥＤ照明装置の筐体の長手方向に直交する断面において、反射性の平板１６の方向に進むＬＥＤ発光素子から出射された発光光は、反射性の平板１６の表面で反射されて、拡散板１５に至った後、拡散板１５を通過し、開口１１Ｓを通過して、出射され、照明光となる。
尚、本例においては、筺体１１の長手方向に直交する方向の断面形状は、四角形状である。
【００１５】
本例では、図２（ｂ）に示すように、ＬＥＤ発光素子１２からの発光光１２Ｌは、ＬＥＤ発光素子１２の配列方向に沿う方向に分散されて出射されるが、該方向に分散された発光光１２Ｌは、拡散板１５まで到達して、更に拡散板１５において各方向に分散され、拡散板１５を通過した光は、開口１１Ｓ側に到達する。
このようにして、ＬＥＤ発光素子１２から、ＬＥＤ発光素子１２の配列方向に沿う方向に分散されて出射された発光光１２Ｌは、大半、有効に照明光として利用される。
これに対して、図３、図４に示す従来のロッドレンズを用いた照明装置の場合は、ＬＥＤ発光素子１２から、ＬＥＤ発光素子１２の配列方向に沿う方向に分散されて出射された発光光については、一部はロッドレンズにて全反射し、また、ロッドレンズ内に入射されても、一部、ロッドレンズから出射されずに前反射する。
したがって、本例の場合、図３、図４に示す従来のロッドレンズを用いた照明装置の場合に比べ、ＬＥＤ発光素子１２の配列方向に沿う方向における照明光を多くでき、これより、図１（ｃ）に示す搬送方向に沿う凹部欠陥（キズ欠陥）２１（図４の凹部欠陥１２１に相当）を、図３、図４に示す従来のロッドレンズを用いた照明装置の場合に比べて、検出し易いものとしている。
また、図２（ｃ）に示すように、ＬＥＤ発光素子１２からの発光光１２Ｌは、ＬＥＤ発光素子１２の配列方向に沿う方向に直交する方向に分散されて出射されるが、該方向に分散された発光光１２Ｌは、直接、あるいは、ＬＥＤ発光素子１２の両側に配列された反射性の平板１６に反射されて、拡散板１５まで到達して、更に拡散板１５において各方向に分散され、拡散板１５を通過した光は、開口１１Ｓ側に到達する。
このように、ＬＥＤ発光素子１２の配列方向に沿う方向に、また、ＬＥＤ発光素子１２の配列方向に直交する方向にも、効率的に出射されて、照明光となるため、図１（ｃ）に示す搬送方向に沿う凹部欠陥２１のみならず、搬送方向に直交する方向の凹部欠陥２２の欠陥検出を可能としている。
これは、搬送方向に直交する方向における、欠陥検出に有効な斜めの光が、図３、図４に示す従来のロッドレンズを用いた照明装置の場合に比べて、多くなるためである。
【００１６】
そして、配列したＬＥＤ発光素子の両側の反射性の平板としてアルミ板を用い、その表面に凹凸をつけた形態の場合には、表面の反射において散乱性を上げることができ、図３、図４に示す従来のロッドレンズを用いたＬＥＤ照明装置の照明に比べて、側面側から当たる光の量をより一層増やすことができ、結果、欠陥検出の感度を向上させることを可能としている。
【００１７】
各部の材質について、簡単に説明しておく。
＜筺体１１＞
強固で、放熱性がよく、軽く、作製が容易なものであれば特に限定はされないが、通常は、アルミニウム材を用いる。
＜ＬＥＤ発光素子１２＞
市販のＰ型半導体とＮ型半導体を接合した状態のＬＥＤチップ構造のものをＬＥＤ発光素子として配列しても良く、また、目的とする明るさを得ることができれば、有機のＬＥＤ素子（有機ＥＬ素子とも言う）をＬＥＤ発光素子として所定形状にして、配列しても良い。
尚、ここで用いられるＬＥＤ発光素子としては、明るさを重視し、ＬＥＤチップ構造のものでは、従来からある砲弾型ＬＥＤ発光素子よりは、「パワーＬＥＤ」と呼ばれる明るいタイプのＬＥＤ発光素子を使用する。
そして、白色光を照明光とする場合には、Ｒ、Ｇ、Ｂの各色の発光色を混色して白色発光としても良い。
あるいは、青色の発光のＬＥＤにより発光される青色の発光光と、該青色の発光が照射されることにより、それぞれ、赤色、緑色を発光する蛍光体（変換層とも言う）により、青色光、赤色光、緑色光を得て、併せて混色して、白色光としても良い。
＜放熱グリス１４＞
プリント基板１３の固定を十分にでき、放熱性が良く、更に、使いがってが良く、耐熱性があり、高温下でも安定した特性を発揮するものが好ましい。
例えば、シリコーングリース等があるが、これに限定されない。
通常、放熱グリスはシリコーンが主体で、性能を高めるために銀などの金属粒子を混入する。
＜プリント基板１３＞
プリント基板１３としては、配線性、回路機能、耐性等が優れたものが好ましいが、特に、限定はされない。
基材としては、ガラスエポキシ基板、ガラスポリイミド基板、フッ素基板、ガラスＰＰＯ基板、金属基板、セラミック基板等の中から１以上を、適宜用いれば良い。
尚、従来型の比較的暗いＬＥＤ発光素子を用いた場合には、上記エポキシ基板等も使われるが、基本的には明るさを求めて「パワーＬＥＤ」と呼ばれるＬＥＤ発光素子を使用するため、熱が問題になり、放熱性能の高い金属基板（アルミ、銅などのメタル基板）が使われています。
＜反射性の平板１６＞
反射性の平板１６としては、表面が、反射性で、強固で、軽く、加工性が良く、更には、放熱性の良いものが好ましく、アルミニウム板が品質面、作製面で適している。
尚、アルミ板は、通常、圧延法や押し出し法にて作製されて、所望の長さ、幅のものを得ることができる。
また、アルミ板の場合、砥粒を用いた研磨方法や電解研磨方法にて表面に凹凸を形成して、反射の際の散乱性を良いものにできる。
【００１８】
本発明は上記の形態に限定はされない。
図１に示すＬＥＤ照明装置において、開口１１Ｓに、拡散板を配していない形態も挙げられる。
また、図１に示すＬＥＤ照明装置においては、筺体１１は、長手方向に直交する方向の断面形状は、四角形状であるが、開口部を形成する外壁面と、該外壁面に対向した側に有機ＥＬ発光素子を配置するための外壁面を有していれば良く、場合によっては、断面が台形のような形状でも良い。
【符号の説明】
【００１９】
１０              ＬＥＤ照明装置
１０Ｌ            出射光
１１              筺体
１１Ｓ            開口
１１ａ          （開口側の）外壁面
１１ｂ            外壁面
１１ｃ、１１ｄ    外壁面
１２              ＬＥＤ発光素子
１２Ｌ            発光光
１３              プリント基板
１４              放熱グリス
１５              拡散板
１６              平板
２０              板状物
２１              凹部欠陥（キズ欠陥とも言う）
２２              凹部欠陥（キズ欠陥とも言う）
３０              撮像装置（カメラとも言う）
３０Ｓ            撮影領域
１１０            ＬＥＤ照明装置
１１０Ｌ          照明光
１１１            筺体
１１１Ｓ          開口
１１１ａ        （開口側の）外壁面
１１１ｂ          外壁面
１１２            ＬＥＤ発光素子
１１３            プリント基板
１１４            放熱グリス
１１５            ロッドレンズ
１１６            拡散板
１１０            ＬＥＤ照明装置
１２０            板状物
１２１、１２２    凹部欠陥（キズ欠陥とも言う）
１３０            撮像装置（カメラとも言う）
１３０Ｓ          撮影領域
２１０            ガラス基板
２２０            ダイコータのヘッド
２３０            着色樹脂層
２４０            異物
２５０            ステージ（載置台とも言う）
２６１〜２６４  （コンベアの）コロ
【図１】
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【図２】
2014098594.tif 000004
【図３】
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【図４】
2014098594.tif 000006
【図５】
2014098594.tif 000007