(57)【要約】【課題】クリーンかつ容易に設置可能であり、免震構造の設置によって生じるデッドスペースが少ない免震構造を提供する。【解決手段】免震架台に固着した第一軌道と、建築物に固着した第二軌道と、それぞれを軌道とし各軌道間に介在する免震支承部材とを有し、前記免震架台が前記建築物に対して平面上をスムーズに運動することができる免震構造。粘弾性体シートとそれを挟み込むことによって保持する１対の結束部とを有し、前記結束部の一方を前記免震支承部材に、他方を前記第一軌道または第二軌道に固定することで、復元及び減衰効果を得る復元減衰装置を備えた前記免震構造。鉛直方向からの所定の荷重を支える強度を有し、かつ水平方向からの所定の衝撃に対し圧潰され緩衝しつつ、前記免震構造の免震運動を阻害しないことを特徴とする間隙用緩衝架台を備えた前記免震構造。【選択図】図２
2014015989.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
水平に設置された複数の根太と、これら複数の根太の上に設置された複数の支柱と、これら複数の支柱により水平に支持された固定架台を備えて建築物の床が構成され、
前記固定架台の一部に設置孔が形成され、該設置孔の下方の支柱が略されて可動スペースが形成され、前記設置孔の内側に免震架台がその周縁部と前記設置孔の内周縁部との間に移動スペースをあけて設置され、前記免震架台の底部に前記根太と直交方向に延在する複数の第１軌道が設置され、
前記複数の第１軌道と前記複数の根太との交差部分に、前記第１軌道の長さ方向に沿う移動を可能とする第１案内スライド機構を上部に、前記根太の長さ方向に沿う移動を可能とする第２案内スライド機構を下部にそれぞれ備え、前記第１軌道と前記根太の間に挟まれて前記根太上に前記第１軌道を水平支持する免震支承部材が介在され、
前記免震架台が前記根太の長さ方向と前記第１軌道の長さ方向に前記免震支承部材を介し移動自在に支持されたことを特徴とする免震構造。
【請求項２】
請求項１に記載の免震構造において、前記第一軌道または前記根太と前記免震支承部材の間に転送板を介在させたことを特徴とする免震構造。
【請求項３】
請求項２に記載の免震構造において、前記第一軌道または前記根太と前記転送板の間に緩衝材を介在させたことを特徴とする免震構造。
【請求項４】
請求項１に記載の免震構造に具備される復元減衰装置であって、粘弾性体からなる索条体と、前記索条体の両端を個々に保持した１対の結束部とを備え、前記結束部の一方が前記免震支承部材に固定され、他方が前記第一軌道または前記根太に固定され、
前記一対の結束部が前記索条体の自然長よりも離間した状態では復元力を作用させ、前記一対の結束部が前記索条体の自然長よりも近接した状態では復元力を作用させないことを特徴とする復元減衰装置。
【請求項５】
請求項１に記載の免震構造において、前記第一軌道に沿って、前記免震支承部材の両端に各々請求項４に記載の復元減衰装置が設けられ、
前記根太に沿って、前記免震支承部材の両端に各々請求項４に記載の復元減衰装置が設けられたことを特徴とする免震構造。
【請求項６】
請求項１に記載の免震構造において、前記移動スペースに設けられる間隙用緩衝架台であって、天板と、設置面と、これらの間に前記天板の周縁部からはみ出て介在させた立体スペーサーとからなり、
前記天板下面と前記設置面のうち一方または両方に傾斜面を有する複数の突起部が形成され、
前記立体スペーサーは、前記免震架台と前記固定架台の振動入力時の相対移動により圧潰される構造を有し、
前記立体スペーサーは、前記天板と前記設置面との間に、突起部の間に位置して前記天板下面と前記設置面上面に接するように設備され、
前記免震架台と前記固定架台の振動入力時の相対移動により、圧潰された前記立体スペーサーが前記突起部の傾斜面に乗り上げて前記天板と前記設置面の間隔を広げることを特徴とする間隙用緩衝架台。
【請求項７】
請求項６に記載の間隙用緩衝架台であって、前記免震架台と前記固定架台の振動入力時の相対移動により、前記突起部と前記立体スペーサーが水平方向にずらされた場合に、前記突起部の傾斜面に乗り上げて広げられる天板と設置面の間隔が少なくとも前記天板の板厚以上であることを特徴とする間隙用緩衝架台。
【請求項８】
請求項１に記載の免震構造に、請求項４に記載の復元減衰装置および請求項６に記載の間隙用緩衝架台を備えたことを特徴とする免震床構造。
【請求項９】
請求項８に記載の免震床構造を備えたことを特徴とするクリーンルーム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、免震構造、免震床構造およびそれを備えたクリーンルームに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般的に精密機器等を守るための免震装置として、復元機構、減衰機構を有し平面上のいかなる方向の振動に対しても免震することができる装置が様々提案されている。
例えば特許文献１には重心位置が偏位した設置物を架台に設置した場合であっても、その設置物の転倒を防止する免震架台に関する技術が記載されている。
また、特許文献２には振幅が大きな地震に対しても免震効果が低下しない免震台に関する技術が記載されている。
さらに、特許文献３には、レール上を転動するローラー機構を有する免震構造であって、免震装置の外形寸法が、レール長に制限されない免震構造に関して記載されている。
一方、半導体デバイスや電子デバイス等の製造および計測等は、精密機器等を用いて、高いクリーン度が保たれたクリーンルームにおいて行われるが、これらのクリーンルームの免震化は種々の問題点を抱えている。クリーンルームの地震対策は、同構造の“耐震化”であり、建築構造の剛性を高めて地震に耐えることができても、クリーンルーム内に配置される機器類は地震の被害を受け、製品製造への悪影響や機器自体の破損へつながる虞がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平１０−７３１４６号公報
【特許文献２】特開平１１−２４７９２５号公報
【特許文献３】特開２００３−１３０１２９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
現代の半導体製造プロセスでは、集積回路の超高密度化によりクリーンルーム内の極僅かな微細パーティクルやクリーンルーム内に放出されたガス中の微量不純物が半導体の欠陥を生む原因となる。こういったクリーンルームでのクリーン度は外部からの侵入物のみならず、クリーンルーム施工時に出た切粉やガスに影響されることもあり、従来工法による免震構造の導入は容易ではない。
【０００５】
ところで、図１で示すように、一般的なクリーンルーム１１の床構造は、二重床となっており、コンクリートで作られた基礎等からなるスラブ３３の上に複数のポスト（支柱）３２を所定の間隔で建て、それらの上に複数の大梁鉄骨３０が所定の間隔で設置される。さらにそれらの大梁鉄骨３０上には、鉄骨の根太２０が複数、大梁鉄骨３０と直交するように施設され、それらの上に、支柱２１により、固定架台（アクセスフロア）２２が敷設される構造が一般的である。
クリーンルーム１１では、この固定架台２２上に種々の精密な製造機器類１０が設置される。
ところで作業スペースを効率的に活用するためにはその製造ラインの変更に応じて精密機器類１０の配置を変更できるようにすることが重要であるが、一般的な床下免震構造を採用すると、免震機能部の位置を変更することができない問題がある。
【０００６】
従来の免震構造は、コンクリート床の下などの平面上に施工することを前提としており、鉄骨根太２０や大梁鉄骨３０が組まれた二重床に免震構造を配置することは容易ではない。
【０００７】
また、従来の免震構造は、免震構造を実現するために設けられたストローク部がデッドスペースとなる問題がある。従来の免震構造におけるデッドスペースについて図１３を用いて説明する。
免震対象物を載せる免震架台（免震床）５０は、地震発生時に建築物からの振動入力を受け流す機構を有する免震構造８０に支柱２１Ａを介して固着しており、図中ＸＹ平面上を一定ストロークで可動する。それに対して固定架台２２は、建築物の土台等に支柱２１Ａ等を介して固着しているため、振動入力をそのまま受ける。
【０００８】
ここで地震時の振動が入力された場合、固定架台２２は建築物と一体となって振動するが、免震構造８０に設置された免震架台５０は免震効果によって、運動が抑制される。それにより、免震架台５０と固定架台２２は相対運動をするが、これを阻害しない目的で、免震架台５０と固定架台２２の間には免震構造８０のストロークと等しい幅Ｌ１の隙間の間隙３３０が設けられる。しかし間隙３３０は固定架台２２上で作業を行う作業者にとって、危険な溝であるため、パネル（隙間カバー）２３を設けることにより、落下の危険がないようにふさがれている。
【０００９】
パネル２３は免震架台５０と固着しており、振動の際は免震架台５０と一体となって、固定架台２２に対して相対運動する。パネル２３はこの相対運動時にも隙間を覆うことが必要であるため、パネル２３は固定架台２２の上には免震構造８０のストロークと等しい重なり部の幅Ｌ２が必要となり、パネル２３の幅は、少なくともＬ１＋Ｌ２が必要となる。パネル上のＬ１＋Ｌ２の幅の部分には、振動が発生したときの免震架台２３の動きを阻害しないために、重量物を置くことが禁止される。さらに、上述の相対運動の際に、重なり部の運動を阻害しないために、図１３中のＬ３（≒Ｌ１≒Ｌ２）で示す領域には、物を配置することができない。従って、免震構造８０のストロークの３倍（Ｌ１＋Ｌ２＋Ｌ３）に相当する、重量物を配置することができないデッドスペースが生まれることになり、作業スペースに制限が生まれ、クリーンルームという限られた空間を有効利用することができないという問題がある。
【００１０】
さらに、従来の免震構造は、振動を受け流す免震機構部に、コイルスプリングからなる復元装置とオイルダンパからなる減衰装置を備えることで、地震による振動を抑制する。しかしオイルダンパを備えたロッド状の減衰装置は、少なくとも可動ストロークと同じ長さのロッド長さが必要であり、免震構造の設置スペースが大きくなり、容易に設置および取り外しが困難となる。
【００１１】
本発明は、これらの課題を解決し、クリーンルームに設置される精密機器による製造ラインおよび精密機器本体を地震から守るべく、免震構造を根太上に設ける構造を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
前記の課題を解決するため、本発明の免震装置は、水平に設置された複数の根太と、これら複数の根太の上に設置された複数の支柱と、これら複数の支柱により水平に支持された固定架台を備えて建築物の床が構成され、前記固定架台の一部に設置孔が形成され、該設置孔の下方の支柱が略されて可動スペースが形成され、前記設置孔の内側に免震架台がその周縁部と前記設置孔の内周縁部との間に移動スペースをあけて設置され、前記免震架台の底部に前記根太と直交方向に延在する複数の第１軌道が設置され、前記複数の第１軌道と前記複数の根太との交差部分に、前記第１軌道の長さ方向に沿う移動を可能とする第１案内スライド機構を上部に、前記根太の長さ方向に沿う移動を可能とする第２案内スライド機構を下部にそれぞれ備え、前記第１軌道と前記根太の間に挟まれて前記根太上に前記第１軌道を水平支持する免震支承部材が介在され、前記免震架台が前記根太の長さ方向と前記第１軌道の長さ方向に前記免震支承部材を介し移動自在に支持されたことを特徴としている。
根太の上に設けた可動スペースに基本的に免震支承部材と第一軌道と免震架台を順次積み上げて設置する構造を有することで、各部材を積み重ねていくことで容易に施工、および取り外しが可能な免震構造を提供することができる。従って、本発明の免震構造は施工時に各部材への加工を行う必要がなく現場で切りくずやガスが発生しないクリーンな施工が可能である。また、被免震物の設置場所を変更したい場合などに、積み上げた免震支承部材と第一軌道と免震架台を順次取り外して別の場所に設置しなおすことで、免震構造の位置を移動することが可能になる。
【００１３】
また前記の免震構造において、前記第一軌道または前記根太と前記免震支承部材の間に転送板を介在させてもよい。
このような構造を有し、転送板の表面を第一軌道または根太の表面よりも平滑とした場合に、免震支承部材の軌道上の移動が円滑となり、部材の揺れに伴う騒音を抑制できる。また、転送板に焼き入れを施して表面の硬度を高くした場合には、クリープ現象を防ぐことができるので、軌道が変形し難く、免震支承部材が軌道上において円滑な移動ができる。
【００１４】
前記の転送板を有する免震構造において、前記第一軌道または前記根太と前記転送板の間に緩衝材を介在させた構成を採用してもよい。
このような構造を有することで、免震支承部材が転送板上を移動する際の振動音と、第一軌道、根太などの自励振動を抑制することができる。また、緩衝材の両面に接着層を備え、施工時に剥離紙をはがし接着により固定する場合には、転送板取り付けの際に固定部材を用いることなく容易に施工することが可能となる。
【００１５】
前記の免震構造に具備される復元減衰装置であって、粘弾性体からなる索条体と、前記索条体の両端を個々に保持した１対の結束部とを備え、前記結束部の一方が前記免震支承部材に固定され、他方が前記第一軌道または前記根太に固定され、前記一対の結束部が前記索条体の自然長よりも離間した状態では復元力を作用させ、前記一対の結束部が前記索条体の自然長よりも近接した状態では復元力を作用させないことを特徴としている。
粘弾性体からなる索条体は自然長より長く伸ばされた時に復元力を作用させるが、自然長より短くなるたわんだ状態では復元力を発生しない。このため免震支承部材と根太との間、あるいは免震支承部材と第一軌道との間に索条体を固定すると、免震支承部材が地震時に移動する範囲内においてのみ索条体が伸縮することで、免震支承部材を元の位置に戻す復元力を発生できる。従って、免震支承部材が移動する範囲の外側に何かの部材が移動することがないため省スペース構成にできる。
これに対しオイルダンパを備えた長尺ロッド状の減衰装置では、長いロッドを床下に配置するので減衰装置の移動スペースが大きくなり、現実的ではない。
また、復元減衰装置と免震構造との接続は施工に先だって行うことが可能で、その場合は、施工現場での復元減衰装置の調整はもとよりボルト締結等も不要であり、容易に施工可能である。
【００１６】
前記の免震構造であって、前記第一軌道に沿って、前記免震支承部材の両端に各々前記復元減衰装置が設けられ、前記根太に沿って、前記免震支承部材の両端に各々前記復元減衰装置が設けられたことを特徴とする。
免震支承部材の両側に各々粘弾性体の各索条体を設けた構造では、第一軌道に沿って前後方向、根太に沿って前後方向、いずれの４方向にも免震支承部材が移動できるので、免震架台は水平面に沿っていずれの方向への振動に対しても免震ができる。
【００１７】
前記の免震構造において、前記移動スペースに設けられる間隙用緩衝架台であって、天板と、設置面と、これらの間に前記天板の周縁部からはみ出て介在させた立体スペーサーとからなり、前記天板下面と前記設置面のうち一方または両方に傾斜面を有する複数の突起部が形成され、前記立体スペーサーは、前記免震架台と前記固定架台の振動入力時の相対移動により圧潰される構造を有し、前記立体スペーサーは、前記天板と前記設置面との間に、突起部の間に位置して前記天板下面と前記設置面上面に接するように設備され、
前記免震架台と前記固定架台の振動入力時の相対移動により、圧潰された前記立体スペーサーが前記突起部の傾斜面に乗り上げて前記天板と前記設置面の間隔を広げることを特徴としている。
地震時の固定架台と免震架台の相対移動により、固定架台と免震架台が近接した場合、固定架台と免震架台とにより挟まれて、立体スペーサーが圧潰し、天板が上に移動する構造を有することで、定常時においては固定架台と免震架台と天板が面一で設置可能で、作業空間内の前記免震架台の周縁部に設けられた移動スペースによる間隙を段差なく埋めることが可能となる。
また、免震架台と間隙用緩衝架台が分離し、地震時に間隙用緩衝架台の天板が自由に移動できる構造を有するため、従来構造の重量物を配置できないデッドスペースを削減することが可能で、作業スペースを有効利用できる。加えて、立体スペーサー圧潰時の緩衝作用によって地震時の振動による衝撃を緩衝することができる。
【００１８】
前記の間隙用緩衝架台であって、前記免震架台と前記固定架台の振動入力時の相対移動により、前記突起部と前記立体スペーサーが水平方向にずらされた場合に、前記突起部の傾斜面に乗り上げて広げられる天板と設置面の間隔が少なくとも前記天板の板厚以上であることを特徴とする間隙用緩衝架台。
地震時の固定架台と免震架台の相対移動により、固定架台と免震架台が近接した場合、固定架台と免震架台とにより挟まれて、立体スペーサーが圧潰し、天板が上部に天板の厚み以上の高さだけ持ち上がる構造を有することで免震架台の天板が移動スペースから除外され、免震架台の移動を阻害することがない。
【００１９】
本発明の免震床構造は、前記の免震構造に、前記の復元減衰装置および前記の間隙用緩衝架台を備えたことを特徴としている。
前記の免震構造に前記の復元減衰装置および前記の間隙用緩衝架台を備えることによって、先に記載の復元減衰装置の作用効果と、先に記載の間隙用緩衝架台の作用効果を奏する免震床構造を提供することができる。
【００２０】
本発明のクリーンルームは前記の免震床構造を備えたことを特徴とする。
クリーンルームに前記の免震床構造を備えることによって、先に記載の免震床構造の奏する効果を得ることができる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、施工時に各部材への加工を行う必要がなく現場で切りくずやガスが発生しないクリーンな施工が可能で、かつ容易に免震対象場所の変更が可能な免震構造を提供するものである。また、本発明によれば、構造物床下の根太を第一軌道に用い、床下空間を有効に活用することで、作業空間を侵すことなく免震構造を実現する免震構造を提供することが可能である。さらに、本発明によれば、作業空間内の前記免震架台の周縁部に設けられた移動スペースによる間隙を段差なく埋め、可動スペース作業空間として利用することが可能となり、限られたクリーン領域を有効活用することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】クリーンルームの床構造の一例の説明図である。
【図２】本発明の免震構造の実施形態である床全体を表す正面図である。
【図３】本実施形態の免震支承部材の斜視図である。
【図４】本実施形態の免震構造の分解斜視図である。
【図５】本実施形態の免震構造の分解正面図である。
【図６】本実施形態の免震構造の斜視図である。
【図７】本実施形態の免震構造の正面図である。
【図８】本実施形態の免震構造に備えられる粘弾性体の変形量と反力の関係を表したグラフである。
【図９】本実施形態の復元減衰装置の模式図である。
【図１０】本実施形態の復元減衰装置の斜視図である。
【図１１】本実施形態の復元減衰装置をそなえた免震構造の斜視図である。
【図１２】本実施形態の復元減衰装置を備えた免震構造に振動入力を与えたときの状態を表しており、図１２（ａ）、図１２（ｂ）、図１２（ｃ）は各位相の状態を表す模式図である。
【図１３】従来技術における、固定架台と免震架台の設置例の説明図である。
【図１４】本実施形態の間隙用緩衝架台の分解図である。
【図１５】本実施形態の間隙用緩衝架台に備えられる立体スペーサーおよびその構成要素である十字状構造体の構造を表しており、図１５（ａ）は本実施形態の間隙用緩衝架台に供えられる十字状構造体の分解図、図１５（ｂ）は十字状構造体の説明図、図１５（ｃ）は前記十字状構造体を等間隔に配置した立体スペーサーの説明図、図１５（ｄ）は前記立体スペーサーが圧潰された状態を表す説明図である。
【図１６】本実施形態の間隙用緩衝架台に用いられる、天板（または底板）を表しており、図１６（ａ）は平面図、図１６（ｂ）は側面図である。
【図１７】本実施形態の緩衝架台において、立体スペーサーと天板および底板の関係の説明図である。えたときの各状態における正面図である。
【図１８】本実施形態における間隙用緩衝架台の設置例の説明図である。
【図１９】本実施形態の免震構造全体に振動入力を与えたときの状態を表しており、図１９（ａ）、図１９（ｂ）、図１９（ｃ）、図１９（ｄ）は各位相の状態を表す模式図である。
【図２０】本実施形態における、間隙用緩衝架台の変形例１の模式図である。
【図２１】本実施形態における、間隙用緩衝架台の変形例２の模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
（クリーンルームの床構造）
本発明の免震構造が適用されるクリーンルームの一実施形態の床構造について説明する。
図１は本発明が適用されるクリーンルームの床構造の一例を示したものである。建築物１２の一部として構築されたクリーンルーム１１は二重床となっており、コンクリート構造物等からなるスラブ３３の上に高さ２〜６ｍの複数のポスト３２を建て、それらの上に複数の大梁鉄骨３０が概ね６ｍピッチで設置されている。さらにそれらの大梁鉄骨３０上には、断面が１００ｍｍ×１００ｍｍ程度のＨ鋼からなる根太２０が複数、大梁鉄骨３０と直交するように６００ｍｍ間隔で架設されている。それらの根太２０の上に１００ｍｍ〜５００ｍｍ程度の高さを有する支柱２１が立設され、配管、配線のための所定高さのユーティリティスペース３１が設けられている。
さらにこれら支柱２１の上に、エアの床吸い込みを実現するための多孔板やグレーチングからなる約６００ｍｍ四方のクリーンルーム用フロア材を固定架台２２として敷設した床構造が形成されている。
なお、ここに記載したポスト３２の高さ、大梁鉄骨３０のピッチ、根太２０の大きさ、ピッチ等は一例であって、設置するクリーンルーム１１の大きさや規模に合わせて適宜設定可能である。
【００２４】
（免震構造）
次に、上述の固定架台２２を敷設した床構造に適用した本発明の第一実施形態の免震構造８０に関して図２を基に説明する。
なお、図２には説明のため免震対象物である精密機器１０を二点鎖線で図示した。また以下の説明では図２の右方向を＋Ｘ方向、図２の紙面奥方向を＋Ｙ方向、免震構造上方向（すなわち図２の上方向）を＋Ｚ方向として説明する。
【００２５】
本実施形態の免震構造を備えたクリーンルーム１１において、複数水平に架設された大梁鉄骨３０の上に根太２０が複数水平に設置され、固定架台（固定床、アクセスフロア）２２は前記根太２０の上に立設された複数の支柱２１の上に設置されている。クリーンルーム１１の作業者は主にこの固定架台２２の上で作業を行う。
【００２６】
クリーンルーム１１の固定架台２２の一部に矩形上の設置孔１３が形成され、設置孔１３の下方の支柱２１が形成され、この設置孔１３の下方の支柱２１が略されて可動スペース１３Ａが形成されている。設置孔１３の内側に免震架台５０などが設置されて免震構造８０が形成されている。
図２に示す実施形態において免震架台５０は設置孔１３より若干小さい矩形上の構造物であるとされ、免震架台５０とその周辺の設置孔１３の内周縁との間には移動スペース１３ａ、１４ｂが形成されている。免震架台５０の上面と固定架台２２の上面は面一とされている。免震架台５０の上にはクリーンルーム１１内で免震対象物である精密機器１０を設置することができる。
【００２７】
ここで、免震架台５０はその下面５０ｃにおいてＨ鋼からなる第一軌道９０に固定され、さらに第一軌道９０は免震支承部材１００の上に設置されている。免震架台５０と第一軌道９０の固定方法は、一般的な溶接により固定されるが、例えばボルト固定とし、施工の際に現場で組み立てを行ってもよい。免震架台５０は、鋼材を井桁状に組んだ構造物の上に精密機器１０を設置するパネルをそれぞれ溶接によって接続した構造を有する。本実施形態においては井桁構造とされ、後述する間隙用緩衝架台３００を設置するため、周縁部に縁５０ｄを設けることにより段差が設けられている。
【００２８】
免震支承部材１００は、第一軌道９０に沿って図２のＹ方向に所定のストロークだけ自由に相対移動することができる機構を有し、それによりＹ方向の免震機能を果たしている。次に免震支承部材１００は根太２０を第二軌道として設置され、図２のＸ方向にも所定のストロークだけ自由に相対移動することができる機構を有するため、Ｘ方向の免震機能を果たすことができる。免震支承部材１００の構造および動作についてより詳しくは後述する。
【００２９】
免震構造８０は、免震支承部材１００が免震機能を果たし、免震架台５０がＸＹ平面上を移動する際には前記移動スペース（図中１３ａ、１４ｂ等）の範囲内で移動できる。
以上のように、本実施形態の免震構造８０ではクリーンルーム床構造部材である根太２０を有効に利用し、第二軌道とする点に特徴がある。
【００３０】
次に本実施形態の免震構造８０に備えられる、免震支承部材１００の構造に関して説明する。図３は免震支承部材１００の斜視図である。
免震支承部材１００は、軸１０１と、前記軸１０１の両端に設置された２個のベアリング１０２と、その外輪を保持部１０３ｄで支持するハウジング１０３とからなる一つのローラー機構１０４を有する。ベアリング１０２は内輪と外輪の間に転動体を介在させた転がり軸受である。
【００３１】
軸１０１には両端部近くに鍔板１０１ａが形成され、ベアリング１０２の内輪を軸１０１の端部から鍔板１０１ａの近くまで挿入し、嵌合によって軸１０１の両端部にベアリング１０２が取り付けられている。また、前記免震支承部材１００において、ハウジング１０３は各軌道幅に応じた凹溝１０３ａを有しており、前記の軸１０１両端部近くの鍔板とあわせて、免震支承部材１００が軌道から脱線することを防ぐことができる。
【００３２】
四角ブロック型のハウジング１０３はその上面中央に図３のＹ方向に延在する凹溝１０３ａが形成され、この凹溝１０３ａの幅方向（図３のＸ方向）に延在するように２本の軸１０１が配置されている。凹溝１０３ａの幅方向の両端側に形成されている肉厚の軸受壁１０３ｃ、１０３ｃに丸孔型の保持部１０３ｄが形成され、この保持部１０３ｄ内に、ベアリング１０２が内在されている。ベアリング１０２、１０２間の軸１０１はその周面上部を凹溝１０３ａの内底面１０３ｆより若干上に出して回転自在にベアリング１０２、１０２により支持されている。
【００３３】
また、保持部１０３ｄの凹溝１０３ａ側の開口部に保持部１０３ｄの凹溝１０３ａ側の開口より大きな、鍔板１０１ａを収納可能な大きさの収納溝１０３ｅが形成されている。この収納溝１０３ｅに鍔板１０１ａを収納することで鍔板１０１ａが凹溝１０３ａの内側面に沿って収まり、この凹溝１０３ａによって、免震支承部材１００は第一軌道９０に沿って脱線なく滑動することができる。
【００３４】
ハウジング１０３はその下面中央に図３のＸ方向に延在する下側の凹溝１０３ａが形成され、この凹溝１０３ａの溝方向（図３のＹ方向）に延在するように２本の軸１０１が配置されている。下側に凹溝１０３ａの両側の肉厚の軸受壁１０３ｃ、１０３ｃにベアリング１０２が内在されている。これら下側のベアリング１０２と２本の軸１０１とベアリング保持部１０３ｄの構成は、ハウジング１０３の上側のベアリング１０２、軸１０１、ベアリング保持部１０３ｄとの同等の構成であるが、それらの方向が９０°ずれている点が異なるのみなので詳細な説明は略する。
【００３５】
さらにローラー機構１０４を２個、ハウジング１０３の上部に平行に配置し、Ｙ方向の１軸運動を実現するスライド機構１０５ａを構成する。同様にローラー機構１０４を２個、ハウジング１０３の下部に平行に配置したＸ方向の１軸運動を実現するスライド機構１０５ｂを構成する。ただし、本実施形態では２個のローラー機構１０４で１つのスライド機構１０５ａ，１０５ｂをそれぞれ構成しているが、免震対象物の重量や、ベアリング、軸等の耐荷重に応じて、適当な個数のローラー機構１０４を１組のスライド機構として配置してもよい。
これにより各軸軌道と合わせて、免震支承部材１００の上部側と下部側とから付加される、ＸＹ平面上の振動時の振動を受け流す機構を構成する。
【００３６】
次に前記の免震支承部材１００が備えられる、免震構造８０について図４〜７を用いて更に説明する。図４は、図６で示される本実施形態における免震構造８０を分解した様子を表した図である。図５は、図７で示される本実施形態における免震構造８０を分解した様子を表した図である。これらに示すように、第一軌道９０と根太（第二軌道）２０の間に前記免震支承部材１００が備えられる。
【００３７】
ここで、図４に示すように、第一軌道はＨ型鋼からなり、鋼鉄製の２枚のフランジ９０ａ、９０ａとウェブ９０ｂがＨ型に一体化されてなる。根太２０もＨ型鋼からなり、２枚のフランジ２０ａ、２０ａとウェブ２０ｂがＨ型に一体化されてなる。
【００３８】
さらに、図４〜図７で示すように、免震支承部材１００と第一軌道９０の間および免震支承部材１００と根太２０の間には、転送板１１４と緩衝材１１５が介在されている。
転送板１１４は、長方形状の鋼板１１４ａの幅方向両側に、図４に示すような直角に立ち上がった係止片１１４ｂを形成し、図５で示すように、断面逆Ｕ字形状となる。この断面逆Ｕ字形状は、図７に示すように、根太２０（または第一軌道９０）のフランジ２０ａ（またはフランジ９０ａ）の幅に対して、わずかに広く設定されており、それにより、転送板１１４が根太（または第一軌道９０）から脱落することを防ぐことができる。
【００３９】
本実施形態においては、第一軌道９０と根太２０の上下のフランジ９０ａおよびフランジ２０ａの幅は等しいため、転送板１１４および緩衝材１１５は、第一軌道９０および根太２０に設置されるにあたって、それぞれで同等の物を流用して用いることができるが、フランジ９０ａおよびフランジ２０ａの幅が異なる場合には、それに応じて、転送板１１４の両端面に立ち上がった係止片１１４ｂの幅を設定したものを用いる必要がある。
同様に、脱線を防ぐ目的で備えられた、免震支承部材１００の凹溝１０３ａおよび、軸１０１に備えられた鍔板１０１ａに関しても、凹部の両壁面１０３ｂの距離は、図７に示すように、転送板１１４の幅に対してわずかに広くする必要があり、転送板１１４の幅に応じて適切に設定する必要がある。
【００４０】
転送板１１４を免震支承部材１００と第一軌道９０、または免震支承部材１００と根太２０の間に介在させることで、免震支承部材１００の軌道上の動きがスムーズになる。このため、免震支承部材１００が移動する、転送板１１４の転動面１１４ｃの表面粗さは適切に規制されており、またクリープを防ぐことを目的とし、焼き入れを施した鉄鋼材料を用いることが好ましい。
【００４１】
緩衝材１１５は両面に粘着層を備えており、施工時に剥離紙をはがし接着により固定する。材料としてゴム、またはエラストマ―樹脂等を用いることが好ましく、その理由は弾性材料を用いることで、根太２０と転送板１１４、または第一軌道９０と転送板１１４の間で微小な凹凸を補填し、強固に接着することができるためである。また、同時に免震支承部材１００が転送板１１４に沿って移動する際の振動音と、第一軌道９０、根太２０などの自励振動を抑制することができる。
緩衝材１１５は、第一軌道９０または、根太２０と転送板１１４の設置面内に収まる大きさとされているが、接着力を維持できれば、必ずしも全面を接着する必要はない。
【００４２】
以上のように、本実施形態の免震構造８０は、根太２０に対して、緩衝材１１５、転送板１１４、免震支承部材１００、転送板１１４、緩衝材１１５、第一軌道９０を順に重ねることで構成されている。本実施形態において、これらの部材の積み重ねで構成されているため、クリーンルーム床への施工時に切りくずやガスが発生する加工を必要とせず、クリーンな施工が可能である。また、積み重ねていくことで容易に施工でき、取り外す時は積み重ねた順に外していけばよいので、取り外しが容易である。このためクリーンルーム内において、精密機器の設置場所を変更したい場合などに、容易に免震架台（免震床）５０と固定架台（固定床）２２の位置を入れ替えることができる。
【００４３】
（復元減衰装置）
本実施形態において、振動に対して復元および減衰を行うため、減衰作用と弾性作用とを有する、粘弾性体を利用した復元減衰装置を用いる。図８に本実施形態において用いるシート状の粘弾性体の変形量と反力の関係を表すグラフを示す。変位を与えられた粘弾性体は、変位に比例して反力を発生する。しかし、変位の解放時には履歴減衰（ヒステリシス）を示し、この履歴減衰によって、振動エネルギーを吸収する。粘弾性体は、免震対象物の重量や、振動入力の振幅等に合わせて、適切な減衰特性および弾性特性を有する材料を選ぶことができ、例としてエラストマ―樹脂やゴムを採用することができる。また形状においては、本実施形態で示されるシート状である必要はなく、一例として、紐形状やテープ形状等でもよい。より具体的には、株式会社エクシールコーポレーションのハイパーゲルシート（商品名）を用いることができる。
【００４４】
本実施形態における復元減衰装置を、図９、図１０に示す。なお図９はモデル図であって、図１０に示される、結束金具２２１、２３１の形状を一部省略した模式形態として表した。
同図に示すように、復元減衰装置２００は粘弾性体シート２１０の両端に結束部２２０および結束部２３０を有する。また、粘弾性体シート２１０は、必要な復元力に応じて、適当な枚数を選択可能であって、特に複数枚使用する場合においては、両端の結束部２２０および結束部２３０において、粘弾性体シート２１０の間に介挿板２０１を介在させることが好ましい。介挿板２０１を挿入することによって、粘弾性体シート２１０の間に不要な摩擦力が働くことを防ぐことができる。摩擦力は温度やほこりの付着等の環境パラメーターに依存し、復元特性および減衰特性を複雑にしてしまうため、これを除外することで、特性の制御を容易にすることができる。
【００４５】
また、結束部２２０、２３０においては、粘弾性体シート２１０は固定ボルト２４０と固定ナット２５０によって、締結力が加わり、挟み込むようにして固定されている。この際、固定ボルト２４０および固定ナット２５０の座面で直接締結するのではなく、介挿板２０１または結束金具２２１（または結束金具２３１）を介し、より広い面で挟み付けることが好ましい。
【００４６】
さらに、図１０で示すように、本実施形態において、各結束部における粘弾性体シート２１０の保持は固定ボルト２４０と固定ナット２５０をそれぞれ二か所に設けているが、粘弾性体シート２１０の幅に応じて適当な箇所で固定を行えば良い。加えて、粘弾性体シート２１０の長さＡおよび厚みは想定される地震時の振動入力の振幅に対して適切に設定する。
【００４７】
図１０に示すように、結束金具（免震支承部材固定側）２２１は粘弾性体シート２１０を締結する締結片２２１ｂに対して、直角に立ちあがた取付片２２１ｃを形成し、この取付片２２１ｃに形成された４か所の固定孔２２１ａにて、免震支承部材１００へボルト止めにより固定される。
同様に結束金具（軌道固定側）２３１は、粘弾性体シート２１０を締結する締結片２３１ｂに対して、下方直角に立ち上がり、かつそれぞれ相対する２つの取付片２３１ｃ、２３１ｃを形成し逆Ｕ字形状となり、この取付片２３１ｃ、２３１ｃに形成された固定孔２３１ａにて第一軌道９０または根太２０の上に設置された転送板１１４にボルト止めにより固定される。
【００４８】
図１１は本実施形態において、前記免震構造８０に前記復元減衰装置２００を設けた一例を示す。以下の説明では、図１１中に座標系で示したように、図１１の左斜め下方向を＋Ｘ方向、図２の紙面右斜め下方向を＋Ｙ方向、図１１の上方向を＋Ｚ方向として説明する。
前記復元減衰装置２００は前記免震支承部材１００を中心としてその＋Ｘ方向、−Ｘ方向、＋Ｙ方向、−Ｙ方向にそれぞれ備えられる。
また、図１１では、根太２０および、第一軌道９０は図示されていないが、＋Ｘ方向、−Ｘ方向に沿って配置された転送板１１４の下に根太２０が設置され、＋Ｙ方向、−Ｙ方向に沿って配置された転送板１１４の上に第一軌道９０が設置される。
【００４９】
根太２０の上に両面に接着層が形成された緩衝材１１５によって根太２０と固定された転送板１１４が設置され、転送板１１４の上に免震支承部材１００が移動可能に設置される。さらに免震支承部材１００の上には転送板１１４が移動可能に設置され、転送板１１４は両面に接着層を有する緩衝材１１５によって、第一軌道９０と固定され、免震構造８０を構成している。
各復元減衰装置２００は前記免震構造８０に対して図１１のように、免震支承部材１００の４方向（＋Ｘ方向、−Ｘ方向、＋Ｙ方向、−Ｙ方向）に免震支承部材１００を取り囲むようにそれぞれ配置され、免震支承部材１００および、転送板１１４にそれぞれ固定される。このように構成されることで、ＸＹ平面上の振動に対して、復元効果および減衰効果を与えることができる。また、復元減衰装置２００は免震構造８０に設置するにあたって、粘弾性体シート２１０を引き延ばしていない自然長の状態で取り付けられる。従って、転送板１１４に設けられる結束金具２３１との接続部は粘弾性体シート２１０の長さＡに合致する適当な場所に設け、結束部２２０と結束部２３０の距離を長さＡと等しくする。
【００５０】
上述したように各復元減衰装置２００と免震構造８０との接続はボルトによる締結であるが、これらは施工に先だって前もって行ってもよい。その場合は、免震構造８０の施工時に調整を行う必要がないばかりでなく、施工時にボルトの締結を行う必要もない。
【００５１】
図１２（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に図１１で説明した復元減衰装置２００を備えた免震構造８０に地震などによるＸ方向の振動入力があったときの各位相の状態を示す。なお、図１１における＋Ｘ方向を図１２の右側方向に配置して、−Ｙ方向から、Ｙ方向を見た状態を示す。ここで図１２（ａ）は定常状態を表し、図１２（ｂ）は免震支承部材１００が、＋Ｘ方向に変位した状態、図１２（ｃ）は−Ｘ方向に変位した状態を表す。
【００５２】
上述したように、定常状態の図１２（ａ）では、各粘弾性体シート２１０は本来の自然長Ａで設置されており、応力もたわみもない状態である。図１２（ｂ）に示すように、免震構造８０にＸ方向の振動入力を与えるとき、免震支承部材１００が定常状態に対し変位ｘ１をもつ。これにより左側の復元減衰装置２００ｌでは、結束部２２０と結束部２３０が離間しクランプ間距離はＡ＋ｘ１となり、粘弾性体シート２１０に引っ張り応力が働く。この引っ張り応力は、免震構造８０において、−Ｘ方向の復元力となり、免震支承部材１００を中心線Ｏに戻す働きをする。また、粘弾性体シート２１０が元の長さＡに戻る際に、ヒステリシス損失が起こり、振動エネルギーは減衰する。
一方、図１２（ｂ）右側の復元減衰装置２００ｒでは、結束部２２０と結束部２３０は近接し、クランプ間距離はＡ−ｘ１となるが、粘弾性体シート２１０はたわむため、復元減衰装置２００ｒは復元力を発生しない。
【００５３】
定常状態を示す図１２（ａ）の免震構造８０にＸ方向の振動が入力されて、図１２（ｂ）のように免震支承部材１００が＋Ｘ方向に変異した後、復元減衰装置２００ｌの復元力が働き、減衰しながら図１２（ａ）の状態を経てさらに、慣性力により、免震支承部材１００は図１２（ｃ）のように−Ｘ方向へ変位ｘ２をもつ。この際、クランプ間距離はＡ−ｘ２となるが、粘弾性体シート２１０はたわむため、復元力は発生しない。一方復元減衰装置２００ｒのクランプ間距離はＡ＋ｘ２となり、引っ張り応力により復元力を発生する。
【００５４】
以上に示すように、免震支承部材１００と根太２０との間、あるいは免震支承部材１００と第一軌道９０との間に復元減衰装置２００を設置すると、復元減衰装置２００の結束部２２０と結束部２３０が離間する際はもちろんのこと、近接する場合においても、粘弾性体シート２１０がたわむことで、免震支承部材１００の移動範囲の水平方向外側にいかなる部材も移動しない。従って、免震支承部材が移動する範囲の外側に何かの部材が移動することがないため省スペース構成にできる。
【００５５】
本実施形態において、図１１を基に説明したように、復元減衰装置２００は図１１および図１２中の＋Ｙ方向および−Ｙ方向にも設置されている。従って、上述の＋Ｘ方向および−Ｘ方向の復元減衰効果が＋Ｙ方向および−Ｙ方向にも働き、ＸＹ平面上のいかなる方向の振動入力に対しても復元減衰効果を発揮することができる。
【００５６】
（間隙用緩衝架台）
本実施形態において、免震構造８０に具備される間隙用緩衝架台３００に関して以下に説明する。
図２で示すように、間隙用緩衝架台３００は免震構造８０において、免震架台５０と固定架台２２の間の移動スペース１３ａに、間隙用緩衝架台３００と免震架台５０と固定架台２２は面一になるように設置される。設置場所を確保するために、免震架台５０の四方の周縁部には、段差となっている縁５０ｄを設け、その上に間隙用緩衝架台３００が設置されている。本実施形態において、縁５０ｄは井桁状に組まれた鉄骨部材で構成されている。
【００５７】
間隙用緩衝架台３００は図１４の分解図で示されるように、立体スペーサー３１０を、厚さｔを有する天板３２０ａと、底板３２０ｂで挟んだ構造を有する。立体スペーサー３１０は十字状構造体３１２を規則的に複数並べて構成されている。また、天板３２０ａの下面には等間隔で規則的に配列された複数の半球形状の突起部３２１が形成され、底板３２０ｂの上面には複数の半球形状の突起部３２１が形成されている。
本実施形態においては、天板３２０ａと底板３２０ｂは同じものであるが上下逆向きに配置されている。
【００５８】
本実施形態においては、設置場所の免震架台５０の縁５０ｄが平面ではなく、井桁状に組まれた鉄骨からなるため、平面部を確保するために底板３２０ｂを備え、その上面を設置面３４０とする。しかし例えば設置場所が平面である場合などは、免震架台５０の縁５０ｄ上面を設置面３４０として、立体スペーサー３１０を配置し底板３２０ｂを略しても良い。この形態に関しては変形例１として、図２０を用いて後に説明する。
【００５９】
図１５の（ａ）、（ｂ）において十字状構造体３１２の構造を示し、図１５（ｃ）、（ｄ）において立体スペーサー３１０に衝撃が与えられた際の挙動を示す。なお、図１５（ｃ）、（ｄ）では図中座標系で示されるように、右側を＋Ｘ方向、上側を＋Ｙ方向、紙面上面側を＋Ｚ方向とする。
【００６０】
図１５（ａ）は十字状構造体３１２の分解図である。十字状構造体３１２は長辺の長さｐ、短辺の長さｈの略長方形で板厚ｗの２枚の長方形板３１１で構成されている。長方形板３１１には長辺の中央部に１辺からのびる深さｄのスリット３１３が設けられており、深さｄと短辺の長さｈにはｄ≧ｈ／２の関係がある。２枚の長方形板３１１はそれぞれのスリット３１３を交叉させて組み付けることで十字状の十字状構造体３１２を構成することができる（図１５（ｂ）参照）。
【００６１】
前記十字状構造体３１２は自立可能であり、これを図１５（ｃ）の模式図で示すように、等間隔、格子状に自立状態で配置して、立体スペーサー３１０を構成されている。十字状構造体３１２は自立可能であるのみならず、図１５（ｃ）におけるＺ方向からの力に対して、所定の強度を持つが、これを等間隔に配置した立体スペーサー３１０では、配置した数量に比例し、Ｚ方向への強度が増す。従って、必要な強度に応じた数量の十字状構造体３１２を配置することが重要である。
【００６２】
また、立体スペーサー３１０は、図中Ｘ方向からの、衝撃に対し、立体スペーサー３１０が圧潰され、圧潰されて十字状構造体３１２を構成する長方形板３１１の交差角が変化することで、衝撃を吸収することができる（図１５（ｄ）参照）。これにより、立体スペーサー３１０はＸ方向に縮み、Ｙ方向には延びる。図１５（ｄ）では、Ｘ方向から衝撃を与えた際の挙動が示されるが、同図Ｙ方向からの衝撃に対しても同様の結果が得られ、長方形板３１１に対して斜方向からの衝撃であれば、圧潰されることで衝撃を吸収することができる。従って、間隙用緩衝架台３００を設置する際には、衝撃方向に対して、長方形板３１１が斜になるように、立体スペーサー３１０を配置することが好ましい。
【００６３】
図１６（ａ）は天板３２０ａあるいは底板３２０ｂの平面図であり、図１６（ｂ）は天板３２０ａあるいは底板３２０ｂの側面図である。
天板３２０ａには突起部３２１が等間隔ｑに隙間ｖをあけて三角格子位置に配置されているが、ここで突起部３２１の間隔ｑと前記十字状構造体３１２を構成する長方形板３１１の長辺の長さｐにはｑ≒ｐ／２の関係があり、長方形板３１１の厚みｗと突起の隙間ｖにはｖ≒ｗの関係がある。これにより、図１７に示すように立体スペーサー３１０と天板３２０ａの平面位置を一致させることにより、立体スペーサー３１０を突起部３２１の隙間に沿って位置決めすることができる。
【００６４】
位置決め時には、容易に立体スペーサー３１０と天板３２０ａが外れることを防ぐため、立体スペーサー３１０と天板３２０ａの接触部に接着剤を塗布してもよい。ただし、立体スペーサー３１０に横方向の衝撃が加えられた際に容易に接着面が剥離する必要があるため、せん断方向の接着力が弱い接着剤を選定しなければならない。
【００６５】
また天板３２０ａの突起部３２１は高さｓの半球形状であり、天板３２０ａの平らなプレート平面部３２２に対してなだらかな傾斜面３２１ａを持つ。ただし、突起部３２１は必ずしも半球形状である必要はなく、プレート平面部３２２に対してなだらかな傾斜面を有し、かつ、上述したように立体スペーサー３１０の位置決めを行うことができる形状であればよく、例えば突起部３２１はピラミッド型や円錐形でもよい。
【００６６】
底板３２０ｂには天板３２０ａと同様の構成を有する突起部３２１が形成され、立体スペーサー３１０と底板３２０ｂの平面位置を一致させることにより、立体スペーサーを位置決めすることができる。このとき、せん断方向の接着力が弱い接着剤を、立体スペーサー３１０と底板３２０ｂの接触部に塗布することで、定常状態において、立体スペーサー３１０と天板３２０ａが外れることを防ぐことができる。底板３２０ｂに形成される突起部３２１は天板３２０ａに形成される突起部と同様に、様々な形状が考えられる。
【００６７】
立体スペーサー３１０は所定の方向からの衝撃に対して圧潰されることは上述のとおりである。この際、立体スペーサー３１０が圧潰される動きに応じて、前記天板３２０ａおよび底板３２０ｂに備わる突起部３２１の傾斜面３２１ａを立体スペーサー３１０が滑動する。これにより、底板３２０ｂに対して、立体スペーサー３１０は上方に突起部の高さｓだけ押し上げられ、同様に天板３２０ａは立体スペーサー３１０に対して突起部３２１の高さｓだけ押し上げられる。従って、天板３２０ａは底板３２０ｂに対しては２ｓだけ押し上げられることになる。（厳密には、十字状構造体３１２が圧潰されて、突起部３２１を滑動しても、十字状構造体３１２は突起部３２１の半球形状の頂点には達しないため、天板の押し上げ量は２ｓよりわずかに小さい値となる）
【００６８】
ここで本実施形態において、突起部３２１の高さｓとプレート板厚ｔとの関係は２ｓ＞ｔである。従って、十字状構造体３１２に所定の方向から衝撃を与えると、天板３２０ａはプレート自身の厚さｔ以上、上方に押し上げられる。これにより、免震架台５０と固定架台２２の移動スペースに設けられる間隙用緩衝架台３００は、地震時に立体スペーサー３１０の圧潰に応じて天板３２０ａが上部に天板３２０ａの厚みｔ以上に上部に持ち上がり、前記免震架台５０の水平移動スペースから除外され、免震架台５０と固定架台２２の相対移動を阻害することがない。
【００６９】
本実施形態においては、天板３２０ａと底板３２０ｂは伴に突起部３２１を有しているが、突起部３２１は天板３２０ａと３２０ｂのいずれか一方に備えられておれば同様の効果を得ることができる。ただし、その際の天板３２０ａの厚みｔと突起部３２１の高さｓの関係はｓ＞ｔでなければならない。これにより、地震時に立体スペーサー３１０の圧潰に応じて天板３２０ａが上部に天板３２０ａの厚みｔ以上に上部に持ち上がることができ、免震架台５０と固定架台２２の相対移動を阻害しない。
【００７０】
図１８に本実施形態において、免震架台（免震床）５０の縁５０ｄに間隙用緩衝架台３００を設置した状態を示す。このとき、立体スペーサー３１０は天板３２０ａと底板３２０ｂに挟まれて位置決めされている。
ここで、図１３に従来技術における免震構造の間隙部の構造を示し、これと比較しながら以下に本実施形態を説明する。なお、図１３および図１８において、地震による振動入力は図中左右方向のみを問題とするものとする。この振動入力を受けることにより、免震架台５０と固定架台２２は左右方向に相対移動をする。
【００７１】
図１３に示された従来の免震構造では、免震架台５０と固定架台２２の間には、免震架台５０と固定架台２２の相対運動を阻害しないために、免震構造の可動ストロークと同等以上の長さＬ１の間隙３３０が設けられている。作業者に危険がないように、間隙３３０はパネル２３で覆われている。パネル２３は免震架台５０に固定されており、地震による振動入力時には、免震架台５０と一体となって動作する。パネル２３は自重でたわむ為、固定架台２２と重なり部を有し、その重なり部で固定架台２２によって支持されている。パネル２３の端部において、固定架台２２とパネル２３は、パネル２３の厚みだけ段差が生じる。前述の相対運動によって、免震架台５０と固定架台２２が離間した場合においても、パネル２３は免震架台２２によって支持されている必要があるため、パネル２３と免震架台２２の重なり部の長さＬ２は、前述の相対運動の可動ストロークの同等以上の長さが必要となる。上述のようにパネル２３は、固定架台２２によって支持されているため、地震による振動入力時に、この免震構造がスムーズに相対運動をするために、パネル２３の上には、重量物を配置することができない。又、前述の相対運動を阻害しないため、パネル２３の可動範囲であるＬ３の領域にも物を配置できない。ここで、Ｌ１≒Ｌ２≒Ｌ３≒免震構造の可動ストロークであるので、従来の免震構造においては、免震構造の可動ストロークの３倍の物を配置することができないデッドスペースが生まれることになる。
【００７２】
これに対し本実施形態は、図１８を参照することにより、間隙用緩衝架台３００は、段差を有する免震架台５０の一段下がった縁５０ｄに設置される。設置後は免震架台５０の床面と、固定架台２２の床面が間隙用緩衝架台３００の天板３２０ａの上面と面一になる。免震架台５０に設けられた段差の幅は、免震構造８０の左右方向の可動ストロークに等しくｌ１である。
【００７３】
免震架台５０と固定架台２２の相対運動によって、天板３２０ａは固定架台２２に乗り上げることになる。この動作について、図１９を参照しながら後に説明するが、ここでこの動作を阻害しないために、固定架台２２には天板３２０ａと同じ幅の領域ｌ２の物を設置することが禁止された領域が必要となる。また前記領域ｌ１においても、固定架台２２に乗り上げる動作を阻害しないために物を設置することができない。よって本実施形態において、ｌ１＋ｌ２の物を設置できない領域が必要であり、ｌ１≒ｌ２≒免震構造の可動ストロークであるので、可動ストロークの２倍の幅の物を設置することができないデッドスペースが生まれる。
【００７４】
以上のように従来の免震構造と比較してデッドスペースが２／３となり、本発明に記載の技術によって、作業空間を効率的に使うことができる。また、作業スペースに段差が生じないため、作業者が躓く等の危険も排除することができる。
【００７５】
図１９の（ａ）〜（ｄ）に本実施形態の、免震構造８０に間隙用緩衝架台３００を具備した際の地震時の振動に対する間隙用緩衝架台３００の挙動を示す。
図１９において、図中座標系で示されるように、図中の右方向を＋Ｘ方向、図中の紙面裏面側に向かう方向を＋Ｙ方向、図中の上方向を＋Ｚ方向とする。さらに、定常状態での免震構造８０の初期位置を中心線Ｏで表す。
【００７６】
図１９（ａ）は免震構造８０の免震架台（免震床）５０の縁５０ｄに間隙用緩衝架台３００を設置した定常状態である。このとき、立体スペーサー３１０は天板３２０ａまたは底板３２０ｂによって位置決めされている。また、天板３２０ａは免震架台５０および固定架台２２と段差なく設置されている。
【００７７】
図１９（ｂ）に示すように、免震構造８０において地震時にＸ方向の振動が作用すると、免震構造８０は−Ｘ方向に変位する。それに伴い、間隙用緩衝架台３００に備えられた、立体スペーサー３１０は圧潰され、その際に振動エネルギーを吸収し、減衰作用をもたらす。また、同時に天板３２０ａおよび底板３２０ｂの突起部３２１の傾斜に立体スペーサー３１０が乗り上げることで、天板３２０ａは板厚ｔ以上押し上げられ、固定架台２２に乗り上げる。それによって間隙用緩衝架台３００は、免震構造８０の免震効果による固定架台２２と免震架台５０の相対運動を阻害しない。
【００７８】
図１９（ｃ）は、定常状態である図１９（ａ）免震構造８０に地震によるＸ方向の振動が与えられ、図１９（ｂ）となった後、復元減衰装置２００の働きで、復元力が働き、免震構造８０が中心線Ｏに戻り、さらに慣性によって＋Ｘ方向に変位した状態を表す。このとき、先ほどと同様に、免震架台５０の縁５０ｄに備えられた間隙用免震架台の立体スペーサー３１０は圧潰され、同時に天板３２０ａおよび底板３２０ｂの突起部３２１の傾斜に立体スペーサー３１０が乗り上げることで、天板３２０ａは板厚ｔ以上押し上げられ、固定架台２２に乗り上げる。
【００７９】
図１９（ｃ）の状態の後、免震構造８０はふたたび中心線Ｏを通りすぎ−Ｘ方向に変位を持つ。しかし、このときは、すでに立体スペーサー３１０は圧潰されており、しかも一旦圧潰されると、自ら復元する機構を有していないため、再び緩衝効果を発揮することはない。
【００８０】
図１９（ｄ）は、地震による振動入力後しばらく経ち、免震架台５０と固定架台２２の相対運動が、間隙用緩衝架台３００と復元減衰装置２００の減衰効果により小さくなって停止した状態を示す。このとき、図１９中の左右いずれの間隙用緩衝架台３００に備えられた立体スペーサー３１０も、圧潰された状態になっている。
【００８１】
図１９においては、Ｘ方向の振動入力に対する、間隙用緩衝架台３００の働きに着目したが、Ｙ方向においても図１９において、免震架台５０の紙面裏側方向、紙面手前方向に間隙用緩衝架台３００をそれぞれ設置することで、同様の効果を得ることができる。
【００８２】
本実施形態において、長方形板３１１、並びに天板３２０ａ、底板３２０ｂは強度、入手性、コストを鑑みて鉄鋼製であり、プレス加工されていることが好ましい。
また、本実施形態において、立体スペーサー３１０は十字状の十字状構造体３１２を規則的に並べた、格子状の構造体群であった。しかし、本発明において、本実施形態の構造はあくまで一例であって、横からの衝撃に対して、緩衝作用を及ぼしながら圧潰される構造を有していればよい。
さらに、本実施形態において、間隙用緩衝架台３００の設置は、免震架台５０の段差部である縁５０ｄに設置されたが、段差が固定架台２２にあって、固定架台の縁に設置されていても同様の効果を得ることができる。
加えて、本実施形態において、天板３２０ａは、免震架台５０と固定架台２２の相対運動によって、固定架台２２に乗り上げるが、免震構造８０が壁際に設置された場合などは、天板３２０ａは免震架台５０に乗り上げるべく、図１８の物を設置できない幅ｌ２を免震架台側に設定してもよい。
【００８３】
図２０、図２１は、それぞれ本実施形態の変形例１および変形例２を示し、図１８に対応している。尚、上述の実施形態と同一形態については、同一符号を付して説明する。
（変形例１）
図２０に示すように、免震架台５０の縁５０ｄの上面を設置面３４０として、間隙用緩衝架台３００を設置することも可能である。同図のように設置面３４０に突起部３２１が形成されない場合は、前述したように、３２０ａに形成される突起の高さが３２０ａの板厚以上でなければならない。ただし、免震架台５０の縁５０ｄの上面である設置面３４０は突起部を有していてもよい。
【００８４】
（変形例２）
図２１に示すように、前記の間隙用緩衝架台５０は、固定架台２２に段差となるように設けられた縁２２ｄを備えて設置場所としてもよい。なぜならば、間隙用緩衝架台の作用は、固定架台２２と免震架台５０の相対運動によるものであって、そのどちらが主体となって運動しているかは問題ではないためである。
【符号の説明】
【００８５】
１０・・・精密機器
１１・・・クリーンルーム
１２・・・建築物
１３・・・設置孔
１３Ａ・・・可動スペース
１４ａ・・・移動スペース
１４ｂ・・・移動スペース
２０・・・根太（第二軌道）
２１・・・支柱
２２・・・固定架台（固定床、アクセスフロア）
３０・・・大梁鉄骨
３１・・・ユーティリティスペース
３２・・・ポスト（支柱）
３３・・・スラブ
５０・・・免震架台（免震床）
８０・・・免震構造
９０・・・第一軌道
１００・・・免震支承部材
１０１・・・軸
１０２・・・ベアリング
１０３・・・ハウジング
１０３ａ・・・凹溝
１０４・・・ローラー機構
１０５ａ・・・第一案内スライド機構
１０５ｂ・・・第二案内スライド機構
１１４・・・転送板
１１５・・・緩衝材
２００・・・復元減衰装置
２０１・・・介挿板
２１０・・・粘弾性体シート（粘弾性索条体）
２２０・・・結束部（免震支承部材固定側）
２２１・・・結束金具
２３０・・・結束部（軌道固定側）
２３１・・・結束金具
３００・・・間隙用緩衝架台
３１０・・・立体スペーサー
３１１・・・長方形板
３１２・・・十字状構造体
３１３・・・スリット
３２０ａ・・・天板
３２０ｂ・・・底板
３２１・・・突起部
３４０・・・設置面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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