(57)【要約】【課題】搬送されつつあるフィルムの検査精度の低下を抑制する。【解決手段】フィルム検査装置１００では、搬送されつつある電解質膜フィルムＭｆを面状発光光源３０４の発した光で照射した上で、ラインセンサー２１２を電解質膜フィルムＭｆの下方側においてフィルム幅方向に沿って斜めに走査する。そして、面状発光光源３０４の発した光は、液晶パネル３０６が形成する光透過パターンＬｐを透過した後に電解質膜フィルムＭｆを透過し、ラインセンサー２１２にてセンシングされる。その上で、性状検査のために電解質膜フィルムＭｆを照射する際の液晶パネル３０６の光透過パターンＬｐを、ラインセンサー２１２の走査に同期して当該センサーの走査軌跡に沿ってフィルム幅方向に走査させ、この際には、光照射に関与する面状発光光源３０４といった機器の位置移動を伴わない。【選択図】図５
2014085252.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フィルム検査方法であって、
搬送されつつあるフィルムを照明装置にて照射した上で、フィルム性状を検査するセンサーを前記フィルムの下方側においてフィルム幅方向に走査し、
前記照明装置は、前記フィルムにおける前記センサーのセンシング箇所に前記センサーによる前記フィルム性状のセンシングに適合した形態での光照射を行う光照射箇所が前記センサーに同期して前記センサーの走査軌跡に沿って走査するように、前記光照射箇所を、前記光照射に関与する機器の位置移動を前記フィルムの搬送領域において伴わないまま、前記フィルム幅方向において推移させる
フィルム検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フィルム検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種のフィルム検査方法は、フィルム単体の検査の他、フィルムに形成された薄膜の形成状況の検査にも多用されており、搬送されつつあるフィルムを照射する照明装置とセンサーとを、フィルム幅方向に一体的に走査することが提案されている（特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−４４０４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
照明装置をセンサーと共に走査する場合、その照明装置をリニアレールで移動可能に支持した上で、ボールネジ機構にて機械的に位置移動させる。リニアレールやボールネジは、その直線摺動性や回転摺動性を維持する上で、潤滑油や潤滑剤スプレー等を用いた薬液保守が必要である。そして、こうした薬液が仮に過剰であると、照明装置の位置移動に際して、これら薬液が微小な液滴としてフィルム表面に付着し、検査対象たるフィルムの検査精度の低下を招くことが危惧される。また、機械的な位置移動に伴って仮に微小な粉塵が発生すると、この粉塵がフィルム表面に付着し、粉塵付着済みの欠陥品を生じたり、検査対象たるフィルムの検査精度の低下を招くことが危惧される。このため、欠陥品の製造を回避したり、フィルムの検査精度の低下を抑制することが要請されるに到った。また、こうした欠陥品の製造回避や検査精度低下の抑制を図るに当たり、保守作業の増加や、複雑な機器構成を採ることによるコストアップを招かないことが求められている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記した目的の少なくとも一部を達成するために、本発明は、以下の形態として実施することができる。
【０００６】
本発明の一形態によれば、フィルム検査方法が提供される。このフィルム検査方法では、搬送されつつあるフィルムを照明装置にて照射した上で、フィルム性状を検査するセンサーを前記フィルムの下方側においてフィルム幅方向に走査する。そして、前記照明装置は、前記フィルムにおける前記センサーのセンシング箇所に前記センサーによる前記フィルム性状のセンシングに適合した形態での光照射を行う光照射箇所が前記センサーに同期して前記センサーの走査軌跡に沿って走査するように、前記光照射箇所を、前記光照射に関与する機器の位置移動を前記フィルムの搬送領域において伴わないまま、前記フィルム幅方向において推移させる。よって、上記形態のフィルム検査方法によれば、フィルムの搬送領域においては光照射に関与する機器の位置移動が無いことから、機器の位置移動維持に伴う薬液保守が不要となると共に、粉塵も発生させないので、粉塵付着済みの欠陥品を製造しないようにできることに加え、検査精度の低下を抑制できる。
【０００７】
本発明は、搬送されつつあるフィルムを検査するフィルム検査装置としての形態でも実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の第１実施形態としてのフィルム検査装置１００を正面視した際の概略構成をその前後におけるフィルム搬送の様子を合わせて示す説明図である。
【図２】フィルム検査装置１００を側面視した際の概略構成を示す説明図である。
【図３】フィルム検査装置１００の要部を平面視した際の概略構成を搬送されるフィルムとの関係を合わせて示す説明図である。
【図４】本実施形態のフィルム検査装置１００における液晶パネル３０６の光透過パターンを示す説明図である。
【図５】ラインセンサー２１２による電解質膜フィルムＭｆの性状センシングの様子を液晶パネル３０６の光透過パターンＬｐを透過した光との関係を合わせて示す説明図である。
【図６】走査起点端から走査折返端までのラインセンサー２１２の走査の様子を電解質膜フィルムＭｆのフィルム幅と合わせて示す説明図である。
【図７】図６のセンサー走査によるラインセンサー２１２でのセンシング領域の推移の様子を示す説明図である。
【図８】第２実施形態における液晶パネル３０６の制御の様子をラインセンサー２１２による電解質膜フィルムＭｆの性状センシングの様子を合わせて示す説明図である。
【図９】第３実施形態におけるラインセンサー２１２による電解質膜フィルムＭｆの性状センシングの様子を光照射推移との関係を合わせて示す説明図である。
【図１０】第４実施形態におけるパネル３４０_1〜３４０_nの制御の様子をラインセンサー２１２による電解質膜フィルムＭｆの性状センシングの様子を合わせて示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明の実施の形態について、図面に基づき説明する。図１は本発明の第１実施形態としてのフィルム検査装置１００を正面視した際の概略構成をその前後におけるフィルム搬送の様子を合わせて示す説明図である。図示するように、フィルム検査装置１００は、巻き取りローラーＭＲから検査対象である電解質膜フィルムＭｆの搬送を受け、搬送されつつある電解質膜フィルムＭｆを後述するセンサーにより検査して、検査後の電解質膜フィルムＭｆを後工程、例えば電極触媒層形成装置Ｅａｔに搬送する。この電極触媒層形成装置Ｅａｔは、フィルム検査装置１００にて正常とされた電解質膜フィルムＭｆの検査済み領域において、アノード触媒層Ｅａとカソード触媒層Ｅｃとを、電解質膜フィルムＭｆを挟んで対向させ、当該フィルムにホットプレス等の手法で接合し、膜電極接合体（Membrane Electrode Assembly／ＭＥＡ）を形成する。なお、フィルム検査装置１００の後工程では、検査済みの電解質膜フィルムＭｆを改めてロール状に巻き取り、その巻き取りロールを図示しないＭＥＡ製造装置や、燃料電池製造ラインに供給するようにすることもできる。
【００１０】
次に、フィルム検査装置１００の構成について、他の図面を併用して詳述する。図２はフィルム検査装置１００を側面視した際の概略構成を示す説明図、図３はフィルム検査装置１００の要部を平面視した際の概略構成を搬送されるフィルムとの関係を合わせて示す説明図である。
【００１１】
図１〜図３に示すように、フィルム検査装置１００は、工場フロアーに設置される装置筐体１０２を備え、当該筐体内の架台１１０に、搬入側ローラー１１２と、搬出側ローラー１１４と、センシング機構２００とを備え、装置筐体１０２の天井板１０３の下面側に照明機器群３００を備える。この他、フィルム検査装置１００は、装置筐体１０２の内部に制御装置４００を、天井板１０３の上面にモニター装置４１０と、操作装置４２０とを備える。搬入側ローラー１１２と搬出側ローラー１１４は、巻き取りローラーＭＲから搬送される電解質膜フィルムＭｆを搬入側と搬出側で支えると共に、図示しないテンションローラーと共に、電解質膜フィルムＭｆを所定のテンションを掛けつつフィルム長手方向に搬送する。これにより、電解質膜フィルムＭｆは、反りや弛みを起こすことなく、フィルム検査装置１００のセンシング機構２００と照明機器群３００との間を通過するよう搬送され、後工程の電極触媒層形成装置Ｅａｔに受け渡される。
【００１２】
センシング機構２００は、センサー機器群２１０と、これを駆動する駆動機器群２２０とを備える。センサー機器群２１０は、ラインセンサー２１２と、レンズ２１４と、ミラー２１６とを、走査ステージ２１８の上面に並べて備える。ラインセンサー２１２は、固体撮像素子（ＣＣＤ／Charge Coupled Device）をミラー２１６に対向させて水平にライン状に並べて構成され、各ＣＣＤの撮像信号（センシング信号）を後述の制御装置４００に送信する。ミラー２１６は、後述の照明機器群３００からの光を上方から受けて水平方向に反射させるので、その反射光は、レンズ２１４での集光を受けてラインセンサー２１２の各ＣＣＤに導かれる。こうした反射光のラインセンサー２１２への入射の様子については、後述する。駆動機器群２２０は、ボールネジを内蔵して電解質膜フィルムＭｆの下方側において延びる走査駆動源部２２２と、ボールネジを正逆回転駆動するサーボモーター２２４と、モーターの駆動量を検出するエンコーダー２２６と、走査駆動源部２２２と並行に延びる一対のリニアガイドレール２２８とを、矩形テーブル２３０の上面に備える。駆動機器群２２０は、矩形テーブル２３０を角度調整機器２３２を介して架台１１０の上面に係合するので、角度調整機器２３２の調整を経て、矩形テーブル２３０とその上面の走査駆動源部２２２およびリニアガイドレール２２８は、図３に示すように、搬送されつつある電解質膜フィルムＭｆの下方側で当該フィルムに対して傾斜する。駆動機器群２２０は、走査駆動源部２２２をセンサー機器群２１０の走査ステージ２１８に固定し、当該ステージをリニアガイドレール２２８にて案内するので、センサー機器群２１０のラインセンサー２１２は、電解質膜フィルムＭｆの下方側においてフィルム幅方向に斜めに走査することになり、ラインセンサー２１２の走査軌跡は電解質膜フィルムＭｆに対して傾斜することになる。本実施形態では、ラインセンサー２１２は、電解質膜フィルムＭｆのフィルム幅を超える範囲において走査可能とされ、図３に示すように、電解質膜フィルムＭｆに掛からないフィルム一端側から、電解質膜フィルムＭｆを超えたフィルム他端側までフィルム幅方向に斜めに走査する。以下、図３における図中下端のフィルム一端側を、ラインセンサー２１２の走査起点端と称し、図中上端のフィルム他端側を、ラインセンサー２１２の走査折返端と称することとする。
【００１３】
照明機器群３００は、電解質膜フィルムＭｆを挟んでセンシング機構２００と向かい合うよう配設され、装置筐体１０２の天井板下面に固定される固定プレート３０２と、面状発光光源３０４と、当該光源にその発光側に装着された液晶パネル３０６とを備える。照明機器群３００は、面状発光光源３０４を角度調整機器３０８を介して固定プレート３０２の下面に係合するので、角度調整機器３０８の調整を経て、面状発光光源３０４とその発光側の液晶パネル３０６は、矩形テーブル２３０と同様に、搬送されつつある電解質膜フィルムＭｆの上方側で当該フィルムに対して傾斜し、電解質膜フィルムＭｆを挟んでセンシング機構２００と向かい合う。面状発光光源３０４は、例えば、発光ダイオード（ＬＥＤ）を２次元的に多列配置して、面状に発光し、液晶パネル３０６は、面状発光光源３０４の発光領域において、所定の光透過パターンを形成する。図４は本実施形態のフィルム検査装置１００における液晶パネル３０６の光透過パターンを示す説明図である。液晶パネル３０６は、後述の制御装置４００の制御を受けて、図４に示すように、長寸の矩形形状の光透過パターンＬｐを形成し、この光透過パターンＬｐを、図４における左右方向に往復移動させる。この図４における光透過パターンＬｐの移動方向は、図３におけるセンサー機器群２１０、詳しくはラインセンサー２１２の走査方向に沿ったものであり、面状発光光源３０４とその発光側の液晶パネル３０６は、既述したように、電解質膜フィルムＭｆを挟んでセンシング機構２００と向かい合って傾斜する。よって、液晶パネル３０６の光透過パターンＬｐを透過する光は、当該パターンに倣った長寸の矩形形状の形態で電解質膜フィルムＭｆをその上面から照射しつつ、その光照射箇所は、長寸の矩形形状の形態で、ラインセンサー２１２の走査軌跡に沿ってフィルム幅方向に走査する。この光照射箇所の走査には、液晶パネル３０６における光透過パターンＬｐのフィルム幅方向の走査を伴うに過ぎず、こうした光照射に関与する面状発光光源３０４は、電解質膜フィルムＭｆの上面側において全く移動しない。
【００１４】
制御装置４００は、論理演算を実行するＣＰＵやＲＯＭ、ＲＡＭを備えたコンピューターとして構成され、図示しない各種スイッチやセンサーの入力を受けつつ、既述した搬入側ローラー１１２や搬出側ローラー１１４の回転速度を調整制御するほか、ラインセンサー２１２からのセンシング信号（画像信号）の解析を経た電解質膜フィルムＭｆの性状検査の算出演算や、演算した性状検査の電極触媒層形成装置Ｅａｔへの出力、エンコーダー２２６からの信号に基づいたサーボモーター２２４の正逆転制御、液晶パネル３０６における光透過パターンＬｐの形成とその走査等についても、これを制御する。モニター装置４１０は、制御装置４００の演算したフィルム性状の検査結果や電解質膜フィルムＭｆの搬送速度、性状検査の進行状況等を、制御装置４００の制御下で表示する。操作装置４２０は、電解質膜フィルムＭｆの搬送速度設定やフィルム幅等の入力を作業者の機器操作を経て受け付け、その入力操作を制御装置４００に出力する。
【００１５】
次に、本実施形態のフィルム検査装置１００にて行う電解質膜フィルムＭｆの性状検査の様子について説明する。図５はラインセンサー２１２による電解質膜フィルムＭｆの性状センシングの様子を液晶パネル３０６の光透過パターンＬｐを透過した光との関係を合わせて示す説明図である。
【００１６】
図示するように、面状発光光源３０４（図４参照）から面状に発せられた光は、液晶パネル３０６の光透過パターンＬｐを透過して、この透過光だけが電解質膜フィルムＭｆを透過した後にミラー２１６にて水平に反射する。電解質膜フィルムＭｆは、ＭＥＡを構成する電解質膜であって、例えば、フッ素系樹脂等のプロトン伝導性を有する高分子材料からなるイオン交換膜の薄膜であるので、透光性を備える。そして、この電解質膜フィルムＭｆは、その性状により光の透過に影響を及ぼす、例えば、フィルム性状に基づいた光の分散や吸収等を起こす。よって、電解質膜フィルムＭｆを透過してミラー２１６にて反射した反射光は、電解質膜フィルムＭｆの性状による影響を受けた状態で、レンズ２１４により集光されてラインセンサー２１２に到達する。ラインセンサー２１２は、図５の反射光側概略矢視に示すように水平に一列もしくは複数列でライン状に並べた各ＣＣＤ（画素）から、当該ＣＣＤに到達した光（反射光）に対応するセンシング信号を制御装置４００に出力する。本実施形態では、８０００画素／３５ＫＨｚ程度のＣＣＤを用い、その分解能を５μｍ／画素とした。制御装置４００は、入力を受けたセンシング信号を所定の画像処理に掛けて、電解質膜フィルムＭｆの性状を解析して、その結果を検査結果とする。この場合、液晶パネル３０６およびラインセンサー２１２のサイズから、光透過パターンＬｐを透過した光（反射光）は、ＣＣＤの並びを含む照射領域Ｌｐｒでラインセンサー２１２に到達する。そして、液晶パネル３０６は、ラインセンサー２１２の走査に同期して、光透過パターンＬｐをフィルム幅方向において推移させ、こうした光透過パターンＬｐのフィルム幅方向の推移には、光照射に関与する面状発光光源３０４といった機器の位置移動を伴わない。
【００１７】
このようにしてラインセンサー２１２からセンシング信号を得るに当たり、本実施形態のフィルム検査装置１００では、制御装置４００にて、次のようにラインセンサー２１２、詳しくはセンサー機器群２１０および駆動機器群２２０を駆動制御する。図６は走査起点端から走査折返端までのラインセンサー２１２の走査の様子を電解質膜フィルムＭｆのフィルム幅と合わせて示す説明図、図７は図６のセンサー走査によるラインセンサー２１２でのセンシング領域の推移の様子を示す説明図である。
【００１８】
図６は、横軸を時間軸とし、縦軸をラインセンサー２１２の移動距離とした上で、この移動距離と電解質膜フィルムＭｆのフィルム幅とを対応付けて示している。制御装置４００は、操作装置４２０からの電解質膜フィルムＭｆの設定搬送速度とフィルム幅等の入力を受けた上で、作業者の検査開始の機器操作があると、フィルム搬送速度に適合した走査速度Ｖｓでラインセンサー２１２が移動するよう、駆動機器群２２０のサーボモーター２２４を駆動制御（正転駆動）する。この走査速度Ｖｓは、電解質膜フィルムＭｆのフィルム幅と搬送速度にラインセンサー２１２の既述した分解能（５μｍ／画素）および電解質膜フィルムＭｆに対するラインセンサー２１２の走査軌跡の傾きを加味した上で決定される。具体的には、搬送されつつある電解質膜フィルムＭｆに対してラインセンサー２１２を走査速度Ｖｓで走査させた場合のセンシング信号が、停止した電解質膜フィルムＭｆをフィルム幅方向に直交走査した場合とほぼ等価となるように、走査速度Ｖｓが規定される。このように規定した走査速度Ｖｓでラインセンサー２１２を走査起点端から走査折返端まで斜めに走査することで、図７に示すように、ラインセンサー２１２は、ＣＣＤの並びで規定されるセンシング幅で、斜めに電解質膜フィルムＭｆを短冊状にセンシングして、このセンシング短冊Ｓｔに亘る検出信号を制御装置４００に出力する。制御装置４００は、ラインセンサー２１２が走査折返端まで達すると、駆動機器群２２０のサーボモーター２２４を駆動制御（逆転駆動）し、ラインセンサー２１２を復帰速度Ｖｂで走査起点端に復帰させる。この際の復帰速度Ｖｂは、走査速度Ｖｓを上回る速度とされ、ラインセンサー２１２は、次のセンシングに際して、その直前でのセンシングの際の電解質膜フィルムＭｆのセンシング開始箇所に隣り合う次のセンシング開始箇所から電解質膜フィルムＭｆのセンシングを開始する。制御装置４００は、こうしたラインセンサー２１２の走査駆動を復帰駆動を繰り返すので、図７に示すように、斜めの短冊が繰り返されるようにして、電解質膜フィルムＭｆの性状をラインセンサー２１２からのセンシング信号により解析する。この場合、図７に示す一つの斜めのセンシング短冊Ｓｔは、静止した電解質膜フィルムＭｆをフィルム幅方向に直交して走査した場合のセンシング短冊と等価となる。
【００１９】
以上説明したように、本実施形態のフィルム検査装置１００では、搬送されつつある電解質膜フィルムＭｆを面状発光光源３０４の発した光で照射した上で、ラインセンサー２１２を電解質膜フィルムＭｆの下方側においてフィルム幅方向に沿って斜めに走査する。そして、面状発光光源３０４は、液晶パネル３０６が形成する光透過パターンＬｐを透過した光を電解質膜フィルムＭｆを透過させた上で、このフィルム透過光を、ラインセンサー２１２のセンシング箇所であるライン状のＣＣＤに、ミラー２１６にて反射させて到達させる。つまり、本実施形態では、電解質膜フィルムＭｆの性状検査に当たり、検査対象となる部位の電解質膜フィルムＭｆを透過した透過光をラインセンサー２１２にてセンシングし、このセンシングに適した透過光としての形態で、電解質膜フィルムＭｆの光照射を行う。その上で、本実施形態のフィルム検査装置１００では、性状検査のために電解質膜フィルムＭｆを照射する際の液晶パネル３０６の光透過パターンＬｐを、ラインセンサー２１２の走査に同期して当該センサーの走査軌跡に沿ってフィルム幅方向に走査させ（図５参照）、この際には、光照射に関与する面状発光光源３０４といった機器の位置移動を伴わないようにした。この結果、本実施形態のフィルム検査装置１００によれば、搬入側ローラー１１２と搬出側ローラー１１４との間の電解質膜フィルムＭｆの搬送領域およびラインセンサー２１２によるセンシング領域において、機器の位置移動維持に伴う薬液保守を不要とできると共に粉塵も発生させないので、粉塵付着済みの欠陥品を製造しないようにできることに加え、電解質膜フィルムＭｆの性状検査の精度低下を抑制できる。
【００２０】
また、本実施形態のフィルム検査装置１００では、搬送されつつある電解質膜フィルムＭｆをラインセンサー２１２にて走査するに当たり、その走査軌跡を電解質膜フィルムＭｆに対して斜めにした上で、ラインセンサー２１２の分解能や電解質膜フィルムＭｆの搬送速度並びにフィルム幅を考慮して走査速度Ｖｓを調整した。このため、静止した電解質膜フィルムＭｆをフィルム幅方向に直交して走査した場合とほぼ等価の性状検査の結果を、搬送しつつある電解質膜フィルムＭｆからいわゆるインラインで取得できる。このことから、本実施形態のフィルム検査装置１００によれば、ラインセンサー２１２のセンシング信号に基づいた性状解析の演算の簡略化を図ることができると共に、検査効率の向上に寄与できる。
【００２１】
また、本実施形態のフィルム検査装置１００では、液晶パネル３０６における光透過パターンＬｐをフィルム幅方向に推移させればよいことから、その制御は簡便であり、機器構成の簡略化、延いてはコスト低減を図ることもできる。
【００２２】
次に、他の実施形態について説明する。この実施形態では、ラインセンサー２１２による電解質膜フィルムＭｆのセンシング箇所を、面状発光光源３０４の発した光で直接照射されないようにして、センシング箇所周囲を透過した光が当該センシング箇所に入り込むようにしてセンシングを行う点に特徴がある。図８は第２実施形態における液晶パネル３０６の制御の様子をラインセンサー２１２による電解質膜フィルムＭｆの性状センシングの様子を合わせて示す説明図である。
【００２３】
図示するように、この実施形態では、液晶パネル３０６は、光を遮蔽する光遮蔽パターンＬｂを形成し、この光遮蔽パターンＬｂを図における左右方向に推移させる。このため、光遮蔽パターンＬｂの両側では、面状発光光源３０４（図４参照）から面状に発せられた光は、液晶パネル３０６を透過して、電解質膜フィルムＭｆを透過する。その一方、光遮蔽パターンＬｂと対向する箇所の電解質膜フィルムＭｆ（以下、センシング対象箇所）には、面状発光光源３０４からの光は到達しない。このため、ミラー２１６の反射光のラインセンサー２１２への到達状況は、図８の反射光側概略矢視に示すように、ライン状のＣＣＤを含む領域で光未到達領域Ｌｂｒとなり、その上下は、照射領域Ｌｐｒとなる。ところが、光遮蔽パターンＬｂと向かい合う電解質膜フィルムＭｆのセンシング対象箇所には、その周囲の電解質膜フィルムＭｆを透過する際の光が入り込み、こうして入り込んだ光が電解質膜フィルムＭｆのセンシング対象箇所を透過する。こうして電解質膜フィルムＭｆのセンシング対象箇所を透過した透過光であっても、このセンシング対象箇所における電解質膜フィルムＭｆの性状の影響を受けるので、上記の光未到達領域Ｌｂｒにあっても、光量は少ないとはいえ、電解質膜フィルムＭｆの性状の影響を受けた光（反射光）がレンズ２１４により集光されてラインセンサー２１２に到達する。そして、この実施形態であっても、液晶パネル３０６は、ラインセンサー２１２の走査に同期して、光遮蔽パターンＬｂをフィルム幅方向において推移させ、こうした光遮蔽パターンＬｂのフィルム幅方向の推移には、光照射に関与する面状発光光源３０４といった機器の位置移動を伴わない。
【００２４】
図８に示した実施形態にあっては、面状発光光源３０４の発した光を液晶パネル３０６が形成する光遮蔽パターンＬｂにて遮蔽させ、光遮蔽パターンＬｂに向かい合う電解質膜フィルムＭｆのセンシング対象箇所からは、その周囲の電解質膜フィルムＭｆを光が透過する際にセンシング対象箇所に入り込んだ光を、ラインセンサー２１２のセンシング箇所であるライン状のＣＣＤに、ミラー２１６にて反射させて到達させる。つまり、図８に示した実施形態にあっては、電解質膜フィルムＭｆの性状検査に当たり、検査対象となるセンシング対象箇所の電解質膜フィルムＭｆにその周囲から入り込んで透過した透過光をラインセンサー２１２にてセンシングし、このセンシングに適した光としての形態で、電解質膜フィルムＭｆの光照射を行う。その上で、図８に示した実施形態にあっても、性状検査のために電解質膜フィルムＭｆに対して光遮蔽をなす液晶パネル３０６の光遮蔽パターンＬｂを、ラインセンサー２１２の走査に同期して当該センサーの走査軌跡に沿ってフィルム幅方向に走査させ、この際には、光照射に関与する面状発光光源３０４といった機器の位置移動を伴わない。よって、図８に示した実施形態にあっても、既述した効果を奏することができる。
【００２５】
次に、また別の実施形態について説明する。図９は第３実施形態におけるラインセンサー２１２による電解質膜フィルムＭｆの性状センシングの様子を光照射推移との関係を合わせて示す説明図である。
【００２６】
図示するように、この実施形態の照明機器群３００Ａは、面状発光光源３０４と液晶パネル３０６に代わり、光源３３０と、照明パネル群３４０と、切換機器３５０とを備える。照明パネル群３４０は、複数枚のパネル３４０_1〜３４０_nを電解質膜フィルムＭｆの幅方向に重ねて備える。それぞれのパネル３４０_1〜３４０_nは、アクリル等の透光性に富む透光性樹脂から形成され、電解質膜フィルムＭｆに対向する端面を除く各端面が鏡面処理されているので、パネル内に導かれた光を、電解質膜フィルムＭｆに対向する端面（以下、照射端面）からのみ外部に放射する。そして、パネル３４０_1〜３４０_nは、それぞれ光ファイバー３６０_1〜３６０_nにて光源３３０と切換機器３５０を介して接続されている。このため、照明機器群３００Ａは、切換機器３５０にて切り換えたパネル３４０_1〜３４０_nのいずれか一つのパネル、即ち照明オンパネルＬｏｎのみに光源３３０の発する光を導き、その照明オンパネルＬｏｎから電解質膜フィルムＭｆに光を照射する。その上で、照明機器群３００Ａは、電解質膜フィルムＭｆへの光照射を行う照明オンパネルＬｏｎを、ラインセンサー２１２の走査に同期して電解質膜フィルムＭｆの幅方向に切り換え推移させる。この実施形態であっても、照明オンパネルＬｏｎのフィルム幅方向の推移には、光照射に関与する光源３３０といった機器の位置移動を伴わないので、既述した効果を奏することができる。
【００２７】
図１０は第４実施形態におけるパネル３４０_1〜３４０_nの制御の様子をラインセンサー２１２による電解質膜フィルムＭｆの性状センシングの様子を合わせて示す説明図である。
【００２８】
図示するように、この実施形態では、照明機器群３００Ａは、照明パネル群３４０を構成するパネル３４０_1〜３４０_nのいずれか一つのパネルのみを照明オフパネルＬｏｆｆとし、この照明オフパネルＬｏｆｆ以外のパネル３４０_1〜３４０_nｏｎについては、全て照明オンパネルＬｏｎとする。そして、照明機器群３００Ａは、電解質膜フィルムＭｆへの光遮蔽をなす照明オフパネルＬｏｆｆを、ラインセンサー２１２の走査に同期して当該センサーの走査軌跡に沿ってフィルム幅方向に走査させ、この際には、光照射に関与する光源３３０といった機器の位置移動を伴わない。よって、図１０に示した実施形態にあっても、既述した効果を奏することができる。
【００２９】
本発明は、上述の実施形態に限られるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において種々の構成で実現することができる。例えば、発明の概要の欄に記載した各形態中の技術的特徴に対応する実施形態の技術的特徴は、上述の課題の一部又は全部を解決するために、或いは、上述の効果の一部又は全部を達成するために、適宜、差し替えや、組み合わせを行うことが可能である。また、その技術的特徴が本明細書中に必須なものとして説明されていなければ、適宜、削除することが可能である。
【００３０】
また、上記の実施形態では、性状検査対象を電解質膜フィルムＭｆとしたが、フィルム状の被検査対象であれば、電解質膜フィルムＭｆに限られず、例えば、２次電池の電極箔やセパレーター等を得るための電極箔フィルム、セパレーターフィルム等について、その性状を検査するようにすることもできる。加えて、フィルム単体に限らず、フィルム表面に薄膜状に塗工形成したその塗工薄膜、例えば、電解質膜フィルムＭｆの表面に塗工形成したアノード電極層やカソード電極層の性状検査にも適用することができる。
【符号の説明】
【００３１】
１００…フィルム検査装置
１０２…装置筐体
１０３…天井板
１１０…架台
１１２…搬入側ローラー
１１４…搬出側ローラー
２００…センシング機構
２１０…センサー機器群
２１２…ラインセンサー
２１４…レンズ
２１６…ミラー
２１８…走査ステージ
２２０…駆動機器群
２２２…走査駆動源部
２２４…サーボモーター
２２６…エンコーダー
２２８…リニアガイドレール
２２９…角度調整機器
２３０…矩形テーブル
２３２…角度調整機器
３００…照明機器群
３００Ａ…照明機器群
３０２…固定プレート
３０４…面状発光光源
３０６…液晶パネル
３０８…角度調整機器
３３０…光源
３４０…照明パネル群
３４０_1〜３４０_n…パネル
３５０…切換機器
３６０_1〜３６０_n…光ファイバー
４００…制御装置
４１０…モニター装置
４２０…操作装置
Ｌｐ…光透過パターン
Ｌｂ…光遮蔽パターン
Ｌｐｒ…照射領域
Ｌｂｒ…光未到達領域
Ｌｏｎ…照明オンパネル
Ｌｏｆｆ…照明オフパネル
Ｍｆ…電解質膜フィルム
ＭＲ…巻き取りローラー
Ｅａｔ…電極触媒層形成装置
Ｅａ…アノード触媒層
Ｅｃ…カソード触媒層
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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