(57)【要約】      （修正有）【課題】粗アライメントから精密アライメントへの移行が円滑に行われ、アライメント作業が効率よく行われる様にした眼科装置を提供する。【解決手段】非接触で眼機能を測定する眼科装置２に於いて、被検眼にアライメント光を投光し、被検眼からの反射光に基づき被検眼のＺアライメント位置検出を行う複数の独立したＺアライメント検出系１１，１２と、アライメントを制御する制御部５６とを有し、前記複数のＺアライメント検出系は倍率が異なる様に構成され、該複数のＺアライメント検出系は被検眼からの反射光を共通の受光素子３６に投影し、前記制御部は前記受光素子から得られる信号の内、低倍率のＺアライメント検出系で得られる信号に基づき粗Ｚアライメントを実行し、高倍率のＺアライメント検出系で得られる信号に基づき精密Ｚアライメントを実行する様構成した。【選択図】図１
2014150903.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
非接触で眼機能を測定する眼科装置に於いて、被検眼にアライメント光を投光し、被検眼からの反射光に基づき被検眼のＺアライメント位置検出を行う複数の独立したＺアライメント検出系と、アライメントを制御する制御部とを有し、前記複数のＺアライメント検出系は倍率が異なる様に構成され、該複数のＺアライメント検出系は被検眼からの反射光を共通の受光素子に投影し、前記制御部は前記受光素子から得られる信号の内、低倍率のＺアライメント検出系で得られる信号に基づき粗Ｚアライメントを実行し、高倍率のＺアライメント検出系で得られる信号に基づき精密Ｚアライメントを実行する様構成したことを特徴とする眼科装置。
【請求項２】
前記受光素子は、各Ｚアライメント検出系に対応する受光領域を有し、各Ｚアライメント検出系は対応する受光領域に反射光を投影し、前記制御部は受光領域毎に受光信号を検出可能とした請求項１の眼科装置。
【請求項３】
前記複数のＺアライメント検出系のアライメント光は、波長が異なる請求項１又は請求項２の眼科装置。
【請求項４】
前記受光素子に形成される複数の受光領域の境界には遮蔽部材が設けられた請求項２又は請求項３の眼科装置。
【請求項５】
前記受光素子はラインセンサであり、該ラインセンサの１回の走査で各領域から各領域に対応するＺアライメント検出系で検出した位置情報を取得可能である請求項１〜請求項４のいずれかに記載の眼科装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は非接触で眼機能を測定する眼科装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
眼科装置では、被検眼と眼科装置の測定光学系、或は観察光学系とのアライメントを行うアライメント装置を備えている。
【０００３】
従来より、眼科装置と被検眼とのアライメントは、被検眼にアライメント光を照射し、被検眼からの反射光を受光素子で受光し、反射光の受光位置に基づきアライメントを実行している。
【０００４】
例えば、測定光学系の測定光軸に対して直交する方向（Ｘ方向、Ｙ方向）のアライメント（Ｘアライメント、Ｙアライメント）では、測定光軸上からアライメント光を被検眼に照射し、受光素子により反射光を受光し、受光素子上で測定光軸と受光位置との偏差を求め、偏差が無くなる様に測定光学系をＸ方向、Ｙ方向に移動させる。
【０００５】
又、Ｚ方向のアライメント（Ｚアライメント）では、測定光軸に対して所定の角度を持ってアライメント光を入射させ、反射光を受光素子で受光する。被検眼が測定光軸方向に移動すると、光梃子の原理で、受光素子上での受光位置が変るので、アライメントされた場合の受光位置に対する実際の受光位置との偏差が無くなる様に測定光学系をＺ方向に移動させる。
【０００６】
尚、Ｚ方向のアライメントは３０μｍ程度の精度が要求されるので、通常粗アライメント光学系と該粗アライメント光学系より高倍率の精密アライメント光学系とを具備し、先ず粗アライメント光学系により所定の範囲にアライメントし、次に精密アライメント光学系により精密アライメントを行っている。
【０００７】
前記粗アライメント光学系と前記精密アライメント光学系とは独立した光学系であり、それぞれ粗アライメント用、精密アライメント用の受光素子を備え、又粗アライメント用のアライメント光を発して被検眼からの反射光を粗アライメント用受光素子で受光して粗アライメントを実行し、所定のアライメント範囲に納ると精密アライメント光学系によるアライメントに切替え精密アライメントを実行していた。
【０００８】
従来のアライメント装置では、特にＺ方向のアライメントでは、粗アライメント用受光素子と精密アライメント用受光素子と異なる受光素子からの信号に基づきそれぞれ、粗アライメント、精密アライメントを実行しているので、粗アライメント用受光素子と精密アライメント用受光素子それぞれを信号処理、処理の制御を行う必要があり、信号処理回路が複雑となる。更に、異なる受光素子からの信号を切替えて用いられるので、信号の同時性が問題となる。即ち、信号が切替えられる間で信号の非連続が生じ、又信号の切替えに伴う回路上の遅れが発生する。
【０００９】
この為、信号切替え時に被検眼が動く等変化があった場合、例えば瞬きをした場合等では粗アライメント用受光素子からの信号と精密アライメント用受光素子からの信号とが大きく異なり、粗アライメントから精密アライメントへ移行できなくなる。この様な場合は、再び粗アライメントに戻り、粗アライメントをやり直し、更に精密アライメントへ移行する処理が行われる。
【００１０】
この為、従来では、粗アライメントから精密アライメントへ円滑に移行できない場合があるという問題があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】特開２００４−２９０２８６号公報
【特許文献２】特開２０１２−１４７８３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
本発明は斯かる実情に鑑み、粗アライメントから精密アライメントへの移行が円滑に行われ、アライメント作業が効率よく行われる様にした眼科装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明は、非接触で眼機能を測定する眼科装置に於いて、被検眼にアライメント光を投光し、被検眼からの反射光に基づき被検眼のＺアライメント位置検出を行う複数の独立したＺアライメント検出系と、アライメントを制御する制御部とを有し、前記複数のＺアライメント検出系は倍率が異なる様に構成され、該複数のＺアライメント検出系は被検眼からの反射光を共通の受光素子に投影し、前記制御部は前記受光素子から得られる信号の内、低倍率のＺアライメント検出系で得られる信号に基づき粗Ｚアライメントを実行し、高倍率のＺアライメント検出系で得られる信号に基づき精密Ｚアライメントを実行する様構成した眼科装置に係るものである。
【００１４】
又本発明は、前記受光素子は、各Ｚアライメント検出系に対応する受光領域を有し、各Ｚアライメント検出系は対応する受光領域に反射光を投影し、前記制御部は受光領域毎に受光信号を検出可能とした眼科装置に係るものである。
【００１５】
又本発明は、前記複数のＺアライメント検出系のアライメント光は、波長が異なる眼科装置に係るものである。
【００１６】
又本発明は、前記受光素子に形成される複数の受光領域の境界には遮蔽部材が設けられた眼科装置に係るものである。
【００１７】
又本発明は、前記受光素子はラインセンサであり、該ラインセンサの１回の走査で各領域から各領域に対応するＺアライメント検出系で検出した位置情報を取得可能である眼科装置に係るものである。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、非接触で眼機能を測定する眼科装置に於いて、被検眼にアライメント光を投光し、被検眼からの反射光に基づき被検眼のＺアライメント位置検出を行う複数の独立したＺアライメント検出系と、アライメントを制御する制御部とを有し、前記複数のＺアライメント検出系は倍率が異なる様に構成され、該複数のＺアライメント検出系は被検眼からの反射光を共通の受光素子に投影し、前記制御部は前記受光素子から得られる信号の内、低倍率のＺアライメント検出系で得られる信号に基づき粗Ｚアライメントを実行し、高倍率のＺアライメント検出系で得られる信号に基づき精密Ｚアライメントを実行する様構成したので、粗Ｚアライメントから精密Ｚアライメントに切替えた場合の前記受光素子から得られる信号の同時性が確保でき、粗Ｚアライメントから精密Ｚアライメントへの移行が円滑に行える。
【００１９】
又本発明によれば、前記受光素子は、各Ｚアライメント検出系に対応する受光領域を有し、各Ｚアライメント検出系は対応する受光領域に反射光を投影し、前記制御部は受光領域毎に受光信号を検出可能としたので、複数のＺアライメント検出系からの反射光がそれぞれ異なる領域で受光され、前記受光素子からの信号を各Ｚアライメント検出系毎に分離して取得することができる。
【００２０】
又本発明によれば、前記複数のＺアライメント検出系のアライメント光は、波長が異なるので、アライメント光が相互に影響することなく、Ｚアライメント検出系毎の検出結果を得ることができる。
【００２１】
又本発明によれば、前記受光素子に形成される複数の受光領域の境界には遮蔽部材が設けられたので、受光時の乱反射による検出結果の劣化が防止できる。
【００２２】
更に又本発明によれば、前記受光素子はラインセンサであり、該ラインセンサの１回の走査で各領域から各領域に対応するＺアライメント検出系で検出した位置情報を取得可能であるので、容易に、而も瞬時に位置情報を取得することができるという優れた効果を発揮する。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の実施例に係る角膜内皮撮影装置の概略構成図である。
【図２】図１のＡ矢視図である。
【図３】前記角膜内皮撮影装置に於けるＺアライメント受光素子と受光したアライメント光の関係を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、図面を参照しつつ本発明の実施例を説明する。
【００２５】
先ず、非接触で眼機能を測定する眼科装置の概略構成について、図１、図２により説明する。
【００２６】
図１中、Ｅは被検眼、２はＸＹＺの三軸方向に移動可能な装置本体を示している。該装置本体２の内部に、前眼部観察光学系３、撮影用照明光学系４、撮影光学系５、精密Ｚアライメント投影系６、粗Ｚアライメント投影系７、ＸＹアライメント投影系８、固視投影系９、ＸＹアライメント受光系１０、精密Ｚアライメント受光系１１、粗Ｚアライメント受光系１２とを有している。尚、前記ＸＹアライメント受光系１０と前記前眼部観察光学系３とは共用となっている。ここで、前記精密Ｚアライメント投影系６と前記精密Ｚアライメント受光系１１は精密アライメント検出系を構成し、前記粗Ｚアライメント投影系７と前記粗Ｚアライメント受光系１２は粗アライメント検出系を構成し、前記ＸＹアライメント投影系８と前記ＸＹアライメント受光系１０はＸＹアライメント検出系を構成する。
【００２７】
更に、構成を説明する。
【００２８】
図１に於いて、前記前眼部観察光学系３は左右の被検眼Ｅに対応してそれぞれ配設され、前記前眼部観察光学系３の主光軸Ｏ１はそれぞれ前記被検眼Ｅの光軸と合致する様に設けられ、前記主光軸Ｏ１は前記被検眼Ｅの角膜の頂点Ｐを通過する様に設定される。
【００２９】
前記主光軸Ｏ１上に被検眼Ｅ側から波長フィルタ１４、ハーフミラー１５、対物レンズ１６、受光素子１７が設けられている。該受光素子１７には、ＣＣＤ素子が用いられ、又、該受光素子１７は前記対物レンズ１６に関して被検眼Ｅの角膜Ｃと共役の位置に配置されている。
【００３０】
前記撮影用照明光学系４は、前記主光軸Ｏ１に対して所定角度、例えばθ１の角度で傾斜し、前記頂点Ｐを通過する投光光軸Ｏ２を有し、該投光光軸Ｏ２上に被検眼Ｅから離反する位置から撮影用照明光源２１、集光レンズ２２、ダイクロイックミラー２３、開口絞り２４、対物レンズ２５が設けられている。
【００３１】
前記撮影用照明光源２１には、例えば可視光を発するキセノンランプ、或は、緑色光を発する発光ダイオード（ＬＥＤ）が用いられる。前記ダイクロイックミラー２３は可視光を透過させて赤外光を反射する透過特性を有し、前記開口絞り２４は前記対物レンズ２５に関して角膜Ｃと共役な位置に設けられている。
【００３２】
前記精密Ｚアライメント投影系６は、前記ダイクロイックミラー２３によって分岐される精密Ｚ投光光軸Ｏ３上に精密Ｚアライメント用光源２６、集光レンズ２７、スリット板２８が設けられている。該スリット板２８と前記角膜Ｃとは前記対物レンズ２５に関して共役となっている。前記精密Ｚアライメント用光源２６としては、赤外光を出射する発光ダイオード（ＬＥＤ）が用いられる。
【００３３】
前記精密Ｚアライメント用光源２６から発せられたアライメント光は、前記スリット板２８を透過することでスリット状の精密アライメント光として投光される。該精密アライメント光は、前記ダイクロイックミラー２３に反射されて前記開口絞り２４に導かれ、該開口絞り２４を透過した後に前記対物レンズ２５により集束され、角膜Ｃに導かれる。
【００３４】
従って、照明光が前記角膜Ｃに入射する投光光軸Ｏ２と前記精密アライメント光を前記角膜Ｃに入射させる精密Ｚ投光光軸Ｏ３とは共通になっている。
【００３５】
前記粗Ｚアライメント投影系７は、前記主光軸Ｏ１に対して所定角度、例えばθ２（θ２＞θ１）の角度で傾斜し、前記頂点Ｐを通過する粗Ｚ投光光軸Ｏ４を有し、該粗Ｚ投光光軸Ｏ４上に粗Ｚアライメント用光源３１、波長フィルタ３２、集光レンズ３３が設けられている。該粗Ｚアライメント用光源３１は粗アライメント光としての赤外光を発する。該粗アライメント光の波長は、前記精密アライメント光とは異なる波長帯であり、又前記波長フィルタ３２によって粗アライメント光の波長と、前記精密アライメント光の波長とは完全に分離される。
【００３６】
前記精密Ｚアライメント受光系１１は、精密Ｚアライメント光軸Ｏ５を有し、該精密Ｚアライメント光軸Ｏ５は前記主光軸Ｏ１に関して前記精密Ｚ投光光軸Ｏ３（投光光軸Ｏ２）と対称となっている。又、該精密Ｚアライメント光軸Ｏ５は前記頂点Ｐを透過する。
【００３７】
該精密Ｚアライメント光軸Ｏ５上には、前記被検眼Ｅ側から対物レンズ３４、ダイクロイックミラー５７、波長フィルタ３５、アライメント用受光素子３６を有し、前記角膜Ｃで反射された精密アライメント光が前記対物レンズ３４で集光され、前記波長フィルタ３５を通して前記アライメント用受光素子３６に受光される様になっている。該アライメント用受光素子３６にはラインセンサが用いられる。前記ダイクロイックミラー５７は、可視光を反射し、赤外光を透過する様になっている。即ち、前記撮影用照明光源２１からの照明光を反射し、前記精密アライメント光、前記粗アライメント光を透過する。前記波長フィルタ３５は、前記精密Ｚアライメント用光源２６が発する赤外光を透過させると共に後述する波長フィルタ４４とは異なる透過波長帯域を有する。
【００３８】
前記精密Ｚアライメント投影系６で投光された精密アライメント光はスリット光であり、前記精密アライメント光が前記アライメント用受光素子３６に投影される状態は、前記アライメント用受光素子３６に対して直交する様に、光学系が構成される。
【００３９】
前記粗Ｚアライメント受光系１２は、粗Ｚアライメント光軸Ｏ６を有し、該粗Ｚアライメント光軸Ｏ６は前記主光軸Ｏ１に関し前記粗Ｚ投光光軸Ｏ４と対称となっている。尚、前記精密Ｚアライメント受光系１１と前記粗Ｚアライメント受光系１２との関係は、前記精密Ｚアライメント受光系１１の倍率が前記粗Ｚアライメント受光系１２に対して大きくなっており、前記アライメント用受光素子３６で検出される前記装置本体２のＺ方向の変位は、前記精密Ｚアライメント受光系１１で大きく現れる様になっている。
【００４０】
前記粗Ｚアライメント光軸Ｏ６上に第１ミラー３７、第２ミラー３８を有し、該第１ミラー３７、第２ミラー３８で偏向された前記粗Ｚアライメント光軸Ｏ６は前記精密Ｚアライメント光軸Ｏ５と平行とされ、前記粗Ｚアライメント光軸Ｏ６は前記アライメント用受光素子３６に入射する様になっている。更に、前記粗Ｚアライメント光軸Ｏ６上には、前記角膜Ｃで反射された粗アライメント光を前記アライメント用受光素子３６に結像させる為のリレーレンズ４０，４１，４２及び結像レンズ４３、前記リレーレンズ４２と前記ダイクロイックミラー５７との間に設けられた波長フィルタ４４とを有する。
【００４１】
該波長フィルタ４４の透過波長帯域は、前記波長フィルタ３５の透過波長帯域とは異なったものとなっており、精密アライメント光と粗アライメント光とが前記波長フィルタ３５、前記波長フィルタ４４を透過することで、完全に分離される様になっている。
【００４２】
図２に示される様に、前記ダイクロイックミラー５７で分岐された光軸Ｏ８上には結像レンズ５８、撮影用受光素子５９が設けられ、前記ダイクロイックミラー５７で反射された前記照明光が前記撮影用受光素子５９に結像される様になっている。前記精密Ｚアライメント光軸Ｏ５上に設けられた前記対物レンズ３４、前記ダイクロイックミラー５７、前記結像レンズ５８は前記撮影光学系５を構成し、更に該撮影光学系５及び前記撮影用受光素子５９は、撮像部１９を構成する。
【００４３】
尚、前記ダイクロイックミラー５７を可視光透過、赤外光反射とし、前記撮影光学系５を前記ダイクロイックミラー５７で分岐された光軸上に設けたが、前記撮影光学系５を前記ダイクロイックミラー５７を透過した光軸上に設け、前記精密Ｚアライメント受光系、前記粗Ｚアライメント受光系を前記ダイクロイックミラー５７で分岐され、或は偏向された光軸上に設けてもよい。
【００４４】
図３に示される様に、前記アライメント用受光素子３６は、精密アライメント光４５ａを受光する受光領域３６ａと、粗アライメント光４５ｂを受光する受光領域３６ｂとに分割され、前記受光領域３６ａと前記受光領域３６ｂとの境界には遮蔽部材４６が設けられる。該遮蔽部材４６は、両前記受光領域３６ａ，３６ｂに反射光が投影された際の乱反射が各受光領域３６ａ，３６ｂでの受光状態に影響を及さない様にしている。又、前記受光領域３６ａ及び前記受光領域３６ｂはそれぞれ基準位置３９ａ、基準位置３９ｂを有し、前記装置本体２が被検眼Ｅに対してＺ方向のアライメントが完全になされた状態で、前記精密アライメント光４５ａ、前記粗アライメント光４５ｂがそれぞれ前記基準位置３９ａ，３９ｂに合致する様に設定されている。
【００４５】
前記主光軸Ｏ１、前記投光光軸Ｏ２、前記精密Ｚ投光光軸Ｏ３、前記粗Ｚ投光光軸Ｏ４、前記精密Ｚアライメント光軸Ｏ５、前記粗Ｚアライメント光軸Ｏ６及び前記アライメント用受光素子３６は、同一平面上に配置される。
【００４６】
前記ハーフミラー１５により前記主光軸Ｏ１が分岐され、分岐された光軸Ｏ７上にはリレーレンズ４８、ダイクロイックミラー４９が設けられ、更に該ダイクロイックミラー４９の通過光軸上には固視光源５０が設けられている。
【００４７】
前記ダイクロイックミラー４９で分岐された光軸上には、リレーレンズ５２、ＸＹアライメント用光源５３が設けられている。該ＸＹアライメント用光源５３には、ＸＹアライメント光として点状の赤外光を発する発光ダイオードが用いられる。前記リレーレンズ５２、前記ＸＹアライメント用光源５３等は、前記ＸＹアライメント投影系８を構成する。
【００４８】
該ＸＹアライメント投影系８から投光されたＸＹアライメント光は、前記主光軸Ｏ１を経て前記角膜Ｃに入射し、該角膜Ｃで反射される。反射されたＸＹアライメント光は前記主光軸Ｏ１、前記前眼部観察光学系３を経て前記受光素子１７に受光される。
【００４９】
該受光素子１７には、前記主光軸Ｏ１が通過する位置に基準位置（ＸＹ原点）が設定されている。従って、前記ＸＹアライメント光の受光位置が前記基準位置と合致した場合が、ＸＹ方向のアライメントが完了した状態となる。基準位置に対する受光位置のＸ方向の偏差、Ｙ方向の偏差がそれぞれ被検眼Ｅの視軸と前記主光軸Ｏ１とのＸ方向の偏差、Ｙ方向の偏差に対応する。
【００５０】
前記アライメント用受光素子３６が受光した結果は、アライメント検出部５５で検出され、検出結果は制御部５６に出力される。該制御部５６は検出結果に基づき本体駆動部（図示せず）を制御し、前記装置本体２をＺ方向に移動させ、被検眼Ｅと前記装置本体２とのＺ方向のアライメントが実行される。
【００５１】
前記受光素子１７が受光した結果は、前記アライメント検出部５５で検出され、検出結果は前記制御部５６に出力される。該制御部５６は検出結果に基づき本体駆動部（図示せず）を制御し、前記装置本体２をＸＹ方向に移動させ、被検眼Ｅと前記装置本体２とのＸＹ方向のアライメントが実行される。
【００５２】
アライメントは、前記精密Ｚアライメント用光源２６及び前記粗Ｚアライメント用光源３１が点灯された状態で、前記固視光源５０が点灯され被検眼Ｅが前記固視光源５０を固視した状態で行われる。
【００５３】
前記アライメント用受光素子３６の受光領域３６ａには前記精密Ｚアライメント受光系１１を経て精密アライメント光４５ａが投影され、又前記受光領域３６ｂには前記粗Ｚアライメント受光系１２を経て粗アライメント光４５ｂが投影されている。又、前記受光領域３６ａ及び前記受光領域３６ｂには、前記角膜Ｃで反射された精密アライメント光及び粗アライメント光が同時に投影されている。
【００５４】
又、前記精密Ｚアライメント受光系１１、前記粗Ｚアライメント受光系１２は倍率が異なり、両者で異なる位置検出範囲を有する。即ち、前記受光領域３６ａから得られる受光位置情報に対応するＺ方向の検出位置範囲は小さく、前記受光領域３６ｂから得られる受光位置情報に対応するＺ方向の検出位置範囲は大きくなっている。又、倍率に対応して、前記受光領域３６ｂからの信号に基づきＺ方向の大きな変位量を検出可能であるが、検出精度は低く、又前記受光領域３６ａからの信号に基づき検出できるＺ方向の変位量は小さいが、検出精度は高い。
【００５５】
前記アライメント検出部５５は、前記アライメント用受光素子３６を走査し、前記受光領域３６ａ、前記受光領域３６ｂからの受光信号があるかないかを検出し、前記受光領域３６ａで信号を検出した場合は、略アライメントが完了した状態を示すもので、直ちに前記受光領域３６ａからの信号に基づき精密アライメントを実行する。尚、前記受光領域３６ａで信号を検出できる場合は、前記受光領域３６ｂからの信号も取得できるが、前記受光領域３６ａと前記受光領域３６ｂの両方から信号を取得できる場合は、前記受光領域３６ａから得られる信号を優先する。
【００５６】
アライメントが完全でない場合は、前記受光領域３６ａでの精密アライメント光の受光位置と前記受光領域３６ａの基準位置とはずれている。ここで、前記装置本体２のＺ方向の位置が適正な位置にアライメントされた状態は、受光位置と基準位置とが合致した状態である。
【００５７】
前記アライメント検出部５５は、受光位置と受光領域３６ａの基準位置との偏差を検出し、前記制御部５６に出力する。前記受光領域３６ａに於ける基準位置との偏差は、眼科装置に対する被検眼のＺ方向の位置情報として捉えることができる。
【００５８】
検出された偏差は、前記制御部５６に出力される。該制御部５６は、入力された偏差に基づき図示しない本体駆動部を制御して前記装置本体２のＺ方向の位置を微調整する。
【００５９】
前記装置本体２がＺ方向に変位すると、精密アライメント光の受光位置は、アライメント用受光素子３６の長手方向に変位する。受光位置が、前記基準位置に合致することでＺ方向のアライメントが完了する。
【００６０】
前記アライメント検出部５５は、前記アライメント用受光素子３６を走査し、前記受光領域３６ａ、前記受光領域３６ｂからの受光信号があるかないかを検出し、前記受光領域３６ｂからのみ信号を検出した場合は、粗アライメントを実行する。
【００６１】
前記受光領域３６ｂで受光した粗アライメント光の受光位置と前記アライメント用受光素子３６に設定された基準位置との偏差が、前記アライメント検出部５５で検出され、該アライメント検出部５５は検出した偏差を前記制御部５６に出力する。該制御部５６は、前記偏差に基づき図示しない本体駆動部を制御して前記装置本体２のＺ方向の位置を粗調整する。
【００６２】
アライメントが進み、精密アライメント光が前記受光領域３６ａで受光されると、該受光領域３６ａからの受光信号に基づくアライメントに切替えられる。この場合、粗アライメント光を受光している前記受光領域３６ｂと精密アライメント光を受光している前記受光領域３６ａとは同一受光素子であるので、切替え時の同時性が担保されると共に同一の受光素子からの信号を処理するので、信号処理についてタイムラグの発生等は生じることが無く、粗アライメントから精密アライメントへの移行は円滑に行われる。
【００６３】
従って、粗アライメントから精密アライメントへの移行に失敗して、粗アライメントから再スタートする等の重複した操作が省略でき、効率のよいアライメント作業が可能となる。
【００６４】
尚、上記実施例ではアライメント用受光素子３６にラインセンサを用いたが、面積を有する２次元の受光センサを用いてもよい。
【００６５】
又、ＸＹアライメントでは、前記アライメント検出部５５が前記受光素子１７で受光したＸＹアライメント光の受光位置と基準位置とのＸ方向の偏差、Ｙ方向の偏差をそれぞれ検出し、該偏差に基づきＸＹアライメントが実行される。
【００６６】
尚、上記実施例では、Ｚアライメント受光系が２系統設けられ、それぞれ独立してアライメントが検出される構成となっているが、倍率の異なる３系統、或は３系統以上有し、各Ｚアライメント受光系によって導かれるアライメント検出光が１つのアライメント用受光素子に受光される様にし、各Ｚアライメント受光系で得られるアライメント信号の同時性が確保される様にしてもよい。
【符号の説明】
【００６７】
２              装置本体
３              前眼部観察光学系
４              撮影用照明光学系
５              撮影光学系
６              精密Ｚアライメント投影系
７              粗Ｚアライメント投影系
８              ＸＹアライメント投影系
９              固視投影系
１０            ＸＹアライメント受光系
１１            精密Ｚアライメント受光系
１２            粗Ｚアライメント受光系
１５            ハーフミラー
１６            対物レンズ
１７            受光素子
１９            撮像部
２１            撮影用照明光源
２３            ダイクロイックミラー
２６            精密Ｚアライメント用光源
２８            スリット板
３１            粗Ｚアライメント用光源
３２            波長フィルタ
３５            波長フィルタ
３６            アライメント用受光素子
３６ａ          受光領域
３６ｂ          受光領域
４４            波長フィルタ
５０            固視光源
５３            ＸＹアライメント用光源
５５            アライメント検出部
５６            制御部
【図１】
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【図２】
2014150903.tif 000004
【図３】
2014150903.tif 000005