(57)【要約】【課題】小型化してもパッケージなどへの振動漏れを抑制することができ、ＣＩ値を低く抑えることができる振動片、この振動片を備えた振動子、発振器、電子機器および移動体を提供する。【解決手段】一方の端部と他方の端部を有する基部と、前記基部と一体に設けられ、前記一方の端部側に配置されている第１の振動腕と第２の振動腕と、を含み、前記基部は、平面視で、前記第１の振動腕と前記第２の振動腕との間の中心を通り、且つ、前記第１の振動腕と前記第２の振動腕が並ぶ方向に対して直交する方向に沿った仮想中心線に向い、且つ、前記基部の中央から離れるに従って、前記一方の端部及び前記他方の端部の少なくともいずれかの前記並ぶ方向に沿った幅が小さくなっている縮幅部を含み、前記基部の前記一方の端部と前記他方の端部の間に固定部が設けられている振動片。【選択図】図１
2014086933.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方の端部及び平面視で前記一方の端部とは反対側の他方の端部を有する基部と、
前記基部と一体に設けられ、前記一方の端部側に配置されている第１の振動腕と、
前記第１の振動腕に沿って、前記基部と一体に設けられ、前記一方の端部側に配置されている第２の振動腕と、
を含み、
前記基部は、
平面視で、前記第１の振動腕と前記第２の振動腕との間の中心を通り、且つ、前記第１の振動腕と前記第２の振動腕が並ぶ方向に対して直交する方向に沿った仮想中心線に向い、且つ、前記基部の中央から離れるに従って、前記一方の端部及び前記他方の端部の少なくともいずれかの前記並ぶ方向に沿った幅が小さくなっている縮幅部を含み、
前記基部の前記一方の端部と前記他方の端部の間に固定部が設けられていることを特徴とする振動片。
【請求項２】
請求項１において、
前記縮幅部の外縁は、平面視で、前記仮想中心線に対して対称形状であることを特徴とする振動片。
【請求項３】
請求項１又は２において、
前記縮幅部の外縁は、曲線状であることを特徴とする振動片。
【請求項４】
請求項１又は２において、
前記縮幅部の外縁は、
前記並ぶ方向に対して互いに逆方向に傾斜している一対の傾斜部を含むことを特徴とする振動片。
【請求項５】
請求項４において、
前記縮幅部は、前記一対の傾斜部を辺とした角を含むことを特徴とする振動片。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれか一項において、
前記縮幅部は前記一方の端部側に設けられていることを特徴とする振動片。
【請求項７】
請求項１乃至５のいずれか一項において、
前記縮幅部は前記他方の端部側に設けられていることを特徴とする振動片。
【請求項８】
請求項１乃至５のいずれか一項において、
前記縮幅部は、前記一方の端部側と前記他方の端部側の両側に設けられていることを特徴とする振動片。
【請求項９】
請求項１乃至８のいずれか一項に記載の振動片と、
前記振動片の前記固定部が固定されている容器と、
を備えていることを特徴とする振動子。
【請求項１０】
請求項９において、
前記固定部の一箇所が固定されていることを特徴とする振動子。
【請求項１１】
請求項９又は１０において、
前記固定部側の一方の主面とは反対側の前記基部の他方の主面に設けられている電極パッドと、前記容器に設けられている電極端子とがワイヤーにより接続されていることを特徴とする振動子。
【請求項１２】
請求項９において、
前記固定部が前記仮想中心線上の互いに異なる２箇所に位置し、
前記基部の前記並ぶ方向の長さをＷ、前記仮想中心線から前記固定部の中心までの長さをＸ１としたとき、
Ｘ１／（Ｗ／２）が、０％以上４５％以下であることを特徴とする振動子。
【請求項１３】
請求項９において、
前記固定部が前記並ぶ方向の互いに異なる２箇所に位置し、
前記基部の前記並ぶ方向の長さをＷ、前記仮想中心線から前記固定部の中心までの長さをＸ１としたとき、
Ｘ１／（Ｗ／２）が、１８％以上４５％以下であることを特徴とする振動子。
【請求項１４】
請求項１乃至８のいずれか一項に記載の振動片と、
発振回路と、
を備えていることを特徴とする発振器。
【請求項１５】
請求項１乃至８のいずれか一項に記載の振動片を備えていることを特徴とする電子機器。
【請求項１６】
請求項１乃至８のいずれか一項に記載の振動片を備えていることを特徴とする移動体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動片、振動子、発振器、電子機器及び移動体に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＨＤＤ（ハード・ディスク・ドライブ）、モバイルコンピューター、あるいはＩＣカード等の小型の情報機器や、携帯電話、自動車電話、またはページングシステム等の移動体通信機器等において、振動子や発振器等の電子デバイスが広く使用されている。
従来、電子デバイスに用いられている振動片の一例を図３１に示す。
図３１において、振動片１０１は、水晶などの圧電材料をエッチングすることにより、図示する外形を形成するもので、パッケージ（図示せず）等に取付けられる矩形の基部１１２と、基部１１２の振動腕を支持、連結する本体部１１４から図において上方に延長された一対の振動腕１２０，１２２を備えており、これら振動腕の主面（表裏面）に溝１２８，１３０を形成するとともに、必要な駆動用の電極（図示せず）を形成したものである。
このような振動片１０１においては、駆動用の電極を介して駆動電圧が印加されると、各振動腕１２０，１２２の先端部が互いに近接と離間を繰り返すようにして、屈曲振動することにより、所定の周波数の信号が取り出されるようになっている。
【０００３】
ところで、このような振動片１０１は、振動腕１２０，１２２の屈曲振動に伴い、その振動が基部１１２側に伝搬し、基部１１２から振動片を固定している部材（接着剤や金属バンプ等）に振動が漏れる場合がある。これにより、振動片１０１では、Ｑ値の低下を招き、結果としてＣＩ（クリスタルインピーダンス）値の上昇を招くという問題があった。
これに対処するため、特許文献１では、基部に、そのパッケージなどへの固定箇所よりも振動腕側の位置に、切り込みを形成した構造の振動片が開示されている。
また、特許文献２では、やはり、パッケージなどへの固定箇所よりも振動腕側の位置に、貫通溝を形成した構造の振動片が開示されている。
切り込みや貫通溝の作用により、振動腕からの振動の漏れが低減され、基部から振動片を固定している部材への振動の漏れを抑制するようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−２６１５７５号公報
【特許文献２】特開２００５−２３６５６３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、このような振動片を搭載する各種機器の小型化が進展する中で、振動片自体も極力小型化することが要請されている。
このため、特許文献１や特許文献２に開示された振動片では、基部に切り込みや貫通溝を設けて、振動腕側から固定箇所への振動漏れの伝達経路を長くしているので、振動片長さが長くなり、小型化することは困難であるという課題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
【０００７】
［適用例１］本適用例に係る振動片は、一方の端部及び平面視で前記一方の端部とは反対側の他方の端部を有する基部と、前記基部と一体に設けられ、前記一方の端部側に配置されている第１の振動腕と、前記第１の振動腕に沿って、前記基部と一体に設けられ、前記一方の端部側に配置されている第２の振動腕と、を含み、前記基部は、平面視で、前記第１の振動腕と前記第２の振動腕との間の中心を通り、且つ、前記第１の振動腕と前記第２の振動腕が並ぶ方向に対して直交する方向に沿った仮想中心線に向い、且つ、前記基部の中央から離れるに従って、前記一方の端部及び前記他方の端部の少なくともいずれかの前記並ぶ方向に沿った幅が小さくなっている縮幅部を含み、前記基部の前記一方の端部と前記他方の端部の間に固定部が設けられていることを特徴とする。
【０００８】
本適用例によれば、振動片の基部の、振動腕の延びる方向の長さを短くしても、第１の振動腕と第２の振動腕とを接続する基部に縮幅部を設けることにより、基部の一方の端部又は他方の端部の剛性を強くし、２本の振動腕の屈曲振動に伴う一方の端部又は他方の端部の変形が低減され、基部の固定部から固定部材への振動漏れを低減でき、小型の振動片が得られるという効果がある。更に、振動漏れに起因したＱ値の低下を低減することができる。
【０００９】
［適用例２］上記適用例に記載の振動片において、前記縮幅部の外縁は、平面視で、前記仮想中心線に対して対称形状であることを特徴とする。
【００１０】
本適用例によれば、基部に設けた縮幅部の外縁を仮想中心線に対して左右対称形状にすることにより、２本の振動腕が屈曲振動すると生じる仮想中心線に対して左右対称の変形に伴う基部への応力を、左右から均等に受け相殺することができるため、基部の固定部の変形を抑え、振動漏れを抑制することができ、小型の振動片が得られるという効果がある。
【００１１】
［適用例３］上記適用例に記載の振動片において、前記縮幅部の外縁は、曲線状であることを特徴とする。
【００１２】
本適用例によれば、縮幅部の外縁形状を曲線状とすることによって、基部の一方の端部又は他方の端部の剛性をより強くすることができるため、基部の中央部の変形を抑え、より振動漏れを抑制することができ、小型の振動片が得られるという効果がある。
【００１３】
［適用例４］上記適用例に記載の振動片において、前記縮幅部の外縁は、前記並ぶ方向に対して互いに逆方向に傾斜している一対の傾斜部を含むことを特徴とする。
【００１４】
本適用例によれば、一対の傾斜部の突出方向の先端側の端部同士が空間的に接続されていて、基部より突出していることによって、基部の縮幅部がある一方の端部又は他方の端部の剛性をより強くすることができるため、基部の中央部の変形を抑え、より振動漏れを抑制することができ、小型の振動片が得られるという効果がある。
【００１５】
［適用例５］上記適用例に記載の振動片において、前記縮幅部は、前記一対の傾斜部を辺とした角を含むことを特徴とする。
【００１６】
本適用例によれば、一対の傾斜部を辺とした角となることで、基部の縮幅部がある一方の端部又は他方の端部の剛性をより強くすることができ、基部の固定部の変形を抑え、より振動漏れを抑制することができ、小型の振動片が得られるという効果がある。
【００１７】
［適用例６］上記適用例に記載の振動片において、前記縮幅部は前記一方の端部側に設けられていることを特徴とする。
【００１８】
本適用例によれば、第１の振動腕と第２の振動腕とを接続する基部の上部（振動腕）側に縮幅部を設けることで、基部の下部（振動腕が接続していない）方向への剛性を強くすることができ、特に、２本の振動腕の先端部が近接した際に生じる基部の中央部の下部方向への変形を低減することができるので、基部の固定部から接合部材などへの振動漏れを防止することができ、小型の振動片が得られるという効果がある。
【００１９】
［適用例７］上記適用例に記載の振動片において、前記縮幅部は前記他方の端部側に設けられていることを特徴とする。
【００２０】
本適用例によれば、第１の振動腕と第２の振動腕とを接続する基部の下部側に縮幅部を設けることで、上部方向への剛性を強くすることができ、特に、２本の振動腕の先端部が離間した際に生じる基部の中央部の上部方向への変形を抑えることができるので、基部の固定部から接合部材などへの振動漏れを防止することができる振動片が得られるという効果がある。
【００２１】
［適用例８］上記適用例に記載の振動片において、前記縮幅部は、前記一方の端部側と前記他方の端部側の両側に設けられていることを特徴とする。
【００２２】
本適用例によれば、第１の振動腕と第２の振動腕とを接続する基部の上部（振動腕）側と下部（振動腕の無い）側に縮幅部を設けることで、上部と下部の両方向への剛性をより強くすることができ、２本の振動腕の先端部が近接、離間した際に生じる基部の中央部の上部や下部の両方向への変形を抑えることができるので、基部の固定部から接合部材などへの振動漏れを大幅に低減し、Ｑ値の低下を低減した振動片が得られるという効果がある。
【００２３】
［適用例９］本適用例に係る振動子は、上記適用例に記載の振動片と、前記振動片の前記固定部が固定されている容器と、を備えていることを特徴とする。
【００２４】
本適用例によれば、振動片を容器に搭載することで、温度変化や湿度変化などの外乱の影響や汚染による影響を低減することができるため、周波数再現性及び周波数エージング特性に優れた振動子が得られるという効果がある。
【００２５】
［適用例１０］上記適用例に記載の振動子は、前記固定部の一箇所が固定されていることを特徴とする。
【００２６】
本適用例によれば、振動片の固定部の一箇所を固定することにより、容器との線膨張係数の差による実装歪を低減できるため、実装歪による周波数温度特性、周波数再現性及び周波数エージング特性の劣化を低減した振動子が得られるという効果がある。
【００２７】
［適用例１１］上記適用例に記載の振動子は、前記固定部側の一方の主面とは反対側の前記基部の他方の主面に設けられている電極パッドと、前記容器に設けられている電極端子とがワイヤーにより接続されていることを特徴とする。
【００２８】
本適用例によれば、振動片の電極パッドと容器の電極端子とをワイヤーで接続することにより、振動片の固定が一箇所とすることができるため、容器との線膨張係数の差による実装歪を低減できるため、実装歪による周波数温度特性、周波数再現性及び周波数エージング特性の劣化を低減した振動子が得られるという効果がある。
【００２９】
［適用例１２］上記適用例に記載の振動子は、前記固定部が前記仮想中心線上の互いに異なる２箇所に位置し、前記基部の前記並ぶ方向の長さをＷ、前記仮想中心線から前記固定部の中心までの長さをＸ１としたとき、Ｘ１／（Ｗ／２）が、０％以上４５％以下であることを特徴とする。
【００３０】
本適用例によれば、基部の一方の端部又は他方の端部に縮幅部を有する振動片を容器に実装する際に、固定部の位置をＸ１／（Ｗ／２）が０％以上４５％以下の範囲にすることで、基部の固定部から接合部材などへの振動漏れをより低減することができるため、Ｑ値の低下を低減した振動片が得られるという効果がある。
【００３１】
［適用例１３］上記適用例に記載の振動子は、前記固定部が前記並ぶ方向の互いに異なる２箇所に位置し、前記基部の前記並ぶ方向の長さをＷ、前記仮想中心線から前記固定部の中心までの長さをＸ１としたとき、Ｘ１／（Ｗ／２）が、１８％以上４５％以下であることを特徴とする。
【００３２】
本適用例によれば、基部の一方の端部又は他方の端部に縮幅部を有する振動片を容器に実装する際に、固定部の位置をＸ１／（Ｗ／２）が１８％以上４５％以下の範囲にすることで、基部の固定部から接合部材などへの振動漏れをより低減することができるため、Ｑ値の低下を低減した振動片が得られるという効果がある。
【００３３】
［適用例１４］本適用例に係る発振器は、上記適用例に記載の振動片と、発振回路と、を備えていることを特徴とする。
【００３４】
本適用例によれば、振動漏れに起因したＱ値の低下を低減し、小型化を可能とした振動片と振動片を励振する発振回路等により構成することができるため、安定な発振特性を有する小型の発振器が得られるという効果がある。
【００３５】
［適用例１５］本適用例に係る電子機器は、上記適用例に記載の振動片を備えていることを特徴とする。
【００３６】
本適用例によれば、振動漏れに起因したＱ値の低下を低減し、小型の振動片を用いているため、安定な発振特性を有する小型の発振器を備えた電子機器が構成できるという効果がある。
【００３７】
［適用例１６］本適用例に係る移動体は、上記適用例に記載の振動片を備えていることを特徴とする。
【００３８】
本適用例によれば、振動漏れに起因したＱ値の低下を低減し、小型の振動片を用いているため、安定な発振特性を有する小型の発振器を備えた高精度で安定な電子制御ユニットを搭載した移動体が構成できるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本発明の第１実施形態に係る振動片の構造を示した概略図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）はＡ−Ａ断面図。
【図２】シミュレーションに用いた従来技術に係る振動片（特許文献２参照）の構造を示した平面図。
【図３】シミュレーションに用いた第１実施形態に係る振動片の構造を示した平面図。
【図４】振動漏れ抑制の原理を説明する平面図であり、（ａ）は従来の振動片の概略平面図、（ｂ）は簡略化モデルの平面図。
【図５】振動漏れ抑制の原理を説明する図であり、（ａ）は連結部が上部にある分解図、（ｂ）は連結部が中央にある分解図、（ｃ）は連結部が下部にある分解図、（ｄ）は連結部が回転体の下部にある分解図。
【図６】振動漏れ抑制の原理を説明する平面図であり、（ａ）は第１実施形態に係る振動片の概略平面図、（ｂ）は簡略化モデルの平面図。
【図７】振動漏れ抑制の原理を説明する図であり、（ａ）は連結部が上部にある分解図、（ｂ）は連結部が中央にある分解図、（ｃ）は連結部が下部にある分解図、（ｄ）はアーチ形状の連結部が回転体の上部にある分解図。
【図８】本発明の第２実施形態に係る振動片の構造を示した平面図。
【図９】振動漏れ抑制の原理を説明する平面図であり、（ａ）は第２実施形態に係る振動片の概略平面図、（ｂ）は簡略化モデルの平面図。
【図１０】振動漏れ抑制の原理を説明する図であり、（ａ）は連結部が上部にある分解図、（ｂ）は連結部が中央にある分解図、（ｃ）は連結部が下部にある分解図、（ｄ）はアーチ上の連結部が回転体の下部にある分解図。
【図１１】本発明の第３実施形態に係る振動片の構造を示した平面図。
【図１２】本発明の第４実施形態に係る振動片の構造を示した平面図。
【図１３】本発明の第５実施形態に係る振動片の構造を示した平面図。
【図１４】本発明の第６実施形態に係る振動片の構造を示した平面図。
【図１５】本発明の第７実施形態に係る振動片の構造を示した平面図。
【図１６】本発明の第８実施形態に係る振動片の構造を示した平面図。
【図１７】本発明の実施形態に係る振動片を縦２点接着した場合の接着剤中心位置とＱ値との関係を示す図であり、（ａ）は縦２点接着時における接着剤の位置を示した平面図、（ｂ）は接着剤中心位置とＱ値との関係を示す図。
【図１８】本発明の実施形態に係る振動片を横２点接着した場合の接着剤中心位置とＱ値との関係を示す図であり、（ａ）は横２点接着時における接着剤の位置を示した平面図、（ｂ）は接着剤中心位置とＱ値との関係を示す図。
【図１９】本発明の実施形態に係る振動片を１点接着した場合の接着剤中心位置とＱ値との関係を示す図であり、（ａ）は１点接着時における接着剤の位置を示した平面図、（ｂ）は接着剤中心位置とＱ値との関係を示す図。
【図２０】本発明の実施形態に係る振動片に電極を配線した例を示した概略図であり、（ａ）は表面の電極配線図、（ｂ）はＢ−Ｂ断面図、（ｃ）は裏面の電極配線図、（ｄ）はＣ−Ｃ断面図。
【図２１】本発明の実施形態に係る振動子の構造を示した概略図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）はＡ−Ａ断面図。
【図２２】本発明の実施形態に係る振動片をパッケージへ実装した変形例１を示した概略図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）はＡ−Ａ断面図。
【図２３】本発明の実施形態に係る振動片をパッケージへ実装した変形例２を示した概略図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）はＡ−Ａ断面図。
【図２４】本発明の実施形態に係る振動片をパッケージへ実装した変形例３を示した概略図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）はＡ−Ａ断面図。
【図２５】本発明の実施形態に係る振動片をパッケージへ実装した変形例４を示した概略図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）はＡ−Ａ断面図。
【図２６】本発明の実施形態に係る発振器の構造を示す断面図。
【図２７】本発明の実施形態に係る振動片を備える電子機器としてのモバイル型（又はノート型）のパーソナルコンピューターの構成を示す斜視図。
【図２８】本発明の実施形態に係る振動片を備える電子機器としての携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図。
【図２９】本発明の実施形態に係る振動片を備える電子機器としてのデジタルカメラの構成を示す斜視図。
【図３０】本発明の実施形態に係る振動片を備える振動子や発振器を適用した移動体としての自動車の構成を示す斜視図。
【図３１】一般的な振動片の構造を示した平面図。
【発明を実施するための形態】
【００４０】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００４１】
（振動片）
＜第１実施形態＞
図１は本発明の第１実施形態に係る振動片の構造を示した概略図であり、図１（ａ）は平面図、図１（ｂ）は図１（ａ）のＡ−Ａ断面図である。図２と図３はシミュレーションした振動片の構造を示す平面図であり、図２は従来技術に係る振動片（特許文献２参照）の平面図、図３は本発明の第１実施形態に係る振動片の平面図である。なお、各図では、説明の便宜上、互いに直交する３つの軸として、Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸を図示している。また、以下の説明では、説明の便宜上、Ｚ軸方向から見たときの平面視を単に「平面視」とも言う。
【００４２】
図１に示す振動片１は、基部１２と、振動腕２０，２２と、錘部２４，２６と、溝２８ａ，２８ｂ，３０ａ，３０ｂと、を備えた振動基板１０で構成されている。
振動基板１０は、例えば、水晶、特に、Ｚカット水晶板で構成されている。これにより、振動片１は、優れた振動特性を発揮することができる。Ｚカット水晶板とは、水晶のＺ軸（光軸）を厚さ方向とする水晶基板である。Ｚ軸は、振動基板１０の厚さ方向と一致しているのが好ましいが、常温近傍における周波数温度変化を小さくする観点からは、厚さ方向に対して若干（例えば、１５°未満程度）傾けてもよい。
【００４３】
ここで、水晶基板をウェットエッチングすることにより振動基板１０を外形加工する場合、振動基板１０の輪郭には水晶の結晶面が出現し、振動片１の形状対称性を劣化させてしまうが、結晶面の出現を低減した形状を形成する為には振動基板１０の厚さを７０μｍ以下とすることが好ましい。また、ＣＩ値を小さくする為には、駆動領域を大きくする意味で、振動基板１０の厚さを７０μｍより厚く、３００μｍよりも薄くすることが好ましい。更に、結晶面の出現し易い厚さであっても、これを小さくするために、外形エッチングの際には、ウェットエッチングにより厚さ方向へ貫通するエッチング量（エッチング時間）に対して２倍から３０倍のエッチング量（エッチング時間）にするのが好ましい。
【００４４】
つまり、エッチング量（時間）を２〜３０倍にするとはオーバーエッチングすることで振動片の外形に現れるヒレの発生を抑圧することができる。外形形状のエッチングで貫通した時点をオーバーエッチングなしと定義した、これに対して、オーバーエッチングを施すことで外形に現れるヒレを小さくし、振動漏れし難い構造にすることができる。
振動基板１０は、基部１２と、基部１２から＋Ｙ軸方向へ突出し、且つ、Ｘ軸方向に並んで設けられた２つの振動腕２０，２２とを有している。このような振動基板１０は、Ｙ軸と平行な仮想中心線Ｙ１に対して対称となるように形成されている。
【００４５】
基部１２は、ＸＹ平面に広がりを有し、Ｚ軸方向に厚さを有する略板状をなしている。このような基部１２は、振動腕２０，２２を支持、連結する本体部１４と、振動漏れを抑制する縮幅部１６とを有している。
本体部１４は、その幅（Ｘ軸方向の長さ）がＹ軸方向に沿ってほぼ一定である。すなわち、本体部１４は、略矩形の平面視形状を有している。そして、本体部１４の＋Ｙ軸方向側の外縁に、縮幅部１６が接続されている。すなわち、縮幅部１６は、本体部１４を介して各振動腕２０，２２と同一側に設けられている。
【００４６】
縮幅部１６の輪郭は、曲線状の曲線部１７ａで構成されており、曲線部１７ａの曲率半径は、その全域にわたって一定となっている。また、曲線部１７ａの両端の仮想延長線上は、本体部１４の＋Ｙ軸方向側の各角と接続されている。
また、水晶基板をウェットエッチングすることにより振動基板１０を外形加工する場合、振動基板１０の輪郭には水晶の結晶面が出現するため、微視的に見ると、曲線部１７ａは、短い直線状の部分の集合体となっているとも言えるが、このような場合も「曲線状」に含まれるものとする。また、この場合には、短い直線状の部分の集合体となった曲線部１７ａよりも内側（本体部１４側）に、結晶面が現れない程度に追加でウェットエッチングを施して曲線を形成してもよい。
【００４７】
振動腕２０，２２は、Ｘ軸方向に並んで設けられており、それぞれ、基部１２から＋Ｙ軸方向に延出している。また、振動腕２０，２２は、それぞれ、その先端部に、振動腕２０，２２の基部１２側よりもＸ軸方向の幅が広い錘部２４，２６を有している。錘部２４，２６を設けることによって、振動片１の小型化を図ることができたり、振動腕２０，２２の屈曲振動の周波数を低めたりすることができる。なお、錘部２４，２６は、必要に応じてＸ軸方向に複数の幅を有していてもよく、また省略してもよい。
【００４８】
また、振動腕２０には、一方の主面２０ａに開放する有底の溝２８ａと、他方の主面２０ｂに開放する有底の溝２８ｂとが形成されている。同様に、振動腕２２には、一方の主面２２ａに開放する有底の溝３０ａと、他方の主面２２ｂに開放する有底の溝３０ｂとが形成されている。これら溝２８ａ，２８ｂ，３０ａ，３０ｂは、Ｙ軸方向に延在して設けられており、互いに同じ形状をなしている。そのため、図１（ｂ）に示すように、振動腕２０，２２は、表裏に夫々凹部を有する横断面形状をなしている。このような溝２８ａ，２８ｂ，３０ａ，３０ｂを形成することによって、屈曲振動によって発生する熱が拡散（熱伝導）し難くなり、屈曲振動周波数（機械的屈曲振動周波数）ｆが熱緩和周波数ｆ０より大きな領域（ｆ＞ｆ０）である断熱的領域では、熱弾性損失を抑制することができる。なお、溝２８ａ，２８ｂ，３０ａ，３０ｂは、必要に応じて設ければよく、省略してもよい。
【００４９】
溝の深さは、振動片１の厚みに対して３０％以上５０％未満の深さであり、当該溝を振動腕の表裏に形成すると、熱弾性損失が小さくなり、且つ、励振電極で挟まれる領域が大きくなることによってＣＩ値を小さくすることができる。
更に、振動腕の幅から溝の幅を差引いたものの半分を側壁幅とすると、側壁幅は２０μｍ以下にすると、励振電極の間に挟まれる領域に発生する電界が強くなるので、ＣＩ値を小さくすることができる。更に、側壁幅は熱弾性損失が最も低下する、５μｍ以上９μｍ以下の範囲であることがより好ましい。
【００５０】
Ｚ方向に対して２つの振動腕が同一方向に振動するモードはＺ同相モード。Ｚ方向に対して２つの振動腕が互いに離間する方向に振動するモードはＺ逆相モード。Ｘ方向に対して２つの振動腕が同一方向に振動するモードはＸ同相モード。Ｘ方向に対して２つの振動腕が互いに離間又は、接近する方向に振動するモードはＸ逆相モード。２つの振動腕が夫々Ｙ軸に平行なＹ２軸とＹ３軸を軸として回転変形する同相モードは捩り同相モード。それの逆相モードは捩り逆相モード。とすれば、本発明で励振されるモードはＸ逆相モードであり、Ｘ逆相モードは、Ｚ同相モードとその高次モード、Ｚ逆相モードとその高次モード、Ｘ同相モードとその高次モード、捩り同相モードとその高次モード、捩り逆相モードとその高次モードとは、共振周波数が異なるように形状が工夫されている。これにより、Ｘ逆相モードが他のモードと強く結合する虞がなく、結合による周波数温度特性の劣化や振動漏れの増大のない、特性バラツキの小さい安定した振動片を得ることができる。
【００５１】
以上、振動片１の構成について簡単に説明した。次に、前述した縮幅部１６を設けることによって、振動特性が向上することをシミュレーション結果に基づいて証明する。なお、以下では、振動腕２０，２２が互いに近づいたり離れたりする屈曲振動の基本モードに於ける屈曲振動周波数（機械的屈曲振動周波数）ｆ＝３２．７６８ｋＨｚ近傍の振動片を用いたシミュレーションを代表して用いる。しかし、振動腕２０，２２が互いに近づいたり離れたりする屈曲振動を用いた場合には、後述するメカニズムからも容易に想像できるように、屈曲振動周波数ｆを変更しても、下記に示すシミュレーション結果と同様の傾向となることが、発明者らによって確認されている。
【００５２】
図２は、シミュレーションに用いた従来技術に係る振動片（特許文献２参照）の構造を示す平面図であり、図３は、シミュレーションに用いた第１実施形態に係る振動片の構造を示した平面図である。
本シミュレーションで用いた振動片の振動腕２０，２２のサイズは、それぞれ、長さＬｂ（錘部２４，２６を含む長さ）が１０３８μｍ、厚さが１１４μｍ、幅Ｗｂが７１μｍであり、基部１２の幅Ｗは、５２０μｍである。なお、発明者らによって、振動腕２０，２２や基部１２のサイズを変更しても、下記に示すシミュレーション結果と同様の傾向となることが確認されている。
ここで、本シミュレーションでは、振動漏れのみに起因して劣化するＱ値の程度を解析、評価を行った。
【００５３】
図２は、基部１２に基部１２の振動腕２０，２２を支持、連結する部分の長さ（Ｙ軸方向の長さ）Ｌが１２２μｍで、基部１２全体の長さＬｈが３４５μｍである従来技術に係る振動片（特許文献２参照）であり、Ｑ値は３８，２３０である。また、図３は、基部１２に縮幅部１６が形成され、基部１２の振動腕２０，２２の連結部から基部１２の連結部とは反対側の端部までの長さＬが１２２μｍで、縮幅部１６の長さＬ１が４２μｍである本発明の第１実施形態に係る振動片であり、Ｑ値は５３，８９９である。
【００５４】
Ｑ値の結果から、図３の本発明の第１実施形態に係る振動片は、図２の従来技術に係る振動片よりも全長が１６％（＝（３４５μｍ−１２２μｍ）／（１０３８μｍ＋３４５μｍ））短いにも拘らずＱ値が顕著に高い。図２の振動片の構造において各振動腕２０，２２から漏洩する互いに逆相の振動（Ｘ軸方向の振動）を相殺する振動相殺部８２が設けられている。しかし、振動相殺部８２によって十分に振動が相殺されていない領域から、固定部であるアイランド部８６へ枠部８４が延在されているため十分に振動漏れを低減することができず、結果としてＱ値が劣化してしまっている。これに対して、本願発明の構造は、枠部を有さず縮幅部１６を有する本体部１４の中央部に固定部を設けることにより、振動漏れが低減され、優れた振動特性を発揮することができる振動片を実現した。
【００５５】
本願発明の構造において振動漏れが低減された理由は、以下のような作用が生じていることによるものである。
図４は、振動漏れ抑制の原理を説明する平面図であり、図４（ａ）は従来技術に係る振動片の概略平面図、図４（ｂ）は簡略化モデルの平面図であり、図５は、振動漏れ抑制の原理を説明する図であり、図５（ａ）は連結部が上部にある分解図、図５（ｂ）は連結部が中央にある分解図、図５（ｃ）は連結部が下部にある分解図、図５（ｄ）は連結部が回転体の下部にある分解図である。
また、図６は、振動漏れ抑制の原理を説明する平面図であり、図６（ａ）は第１実施形態に係る振動片の概略平面図、図６（ｂ）は簡略化モデルの平面図であり、図７は、振動漏れ抑制の原理を説明する図であり、図７（ａ）は連結部が上部にある分解図、図７（ｂ）は連結部が中央にある分解図、図７（ｃ）は連結部が下部にある分解図、図７（ｄ）はアーチ形状の連結部が回転体の上部にある分解図である。
【００５６】
＜従来技術に係る基部の構造の場合＞
先ず、図４（ａ）に示すような縮幅部の無い従来の如き構造の場合は、図４（ｂ）に示すように回転軸１５５を回転の中心とし、所定の半径Ｒを有する擬似的な剛体の回転体１５４に弾性棒１５１が接続されたものと、回転軸１５７を回転の中心とし、半径Ｒを有する擬似的な剛体の回転体１５６に弾性棒１５２が接続されたものが、簡略化された基部１５３によって接続されているものと見做すことができる（理由は後述する）。
また、図５に示すように、簡略化された基部１５３の代表的な連結部として、回転軸１５５，１５７よりも弾性棒１５１，１５２側に設けられた第１の連結部１５８と、回転軸１５５，１５７との間に設けられた第２の連結部１５９と、回転軸１５５，１５７よりも弾性棒の在る方向とは反対側に設けられた第３の連結部１６０と、第３の連結部１６０よりも弾性棒の在る方向とは反対側に設けられた第４の連結部１６１と、を考える。
【００５７】
２本の振動腕２０，２２が互いに離間するように屈曲変形した場合、弾性棒１５１，１５２が互いに離間するように屈曲変形したと見做すが、この場合、振動腕２０，２２の根元周辺から振動腕の先端方向とは反対方向の所定の場所に、変位ベクトルの渦が形成される。この渦の中心は、基部１２を含む振動腕２０，２２の根元付近である場合が多いが、振動腕２０，２２や基部１２の領域には属さない、仮想的な空間上に形成される場合もある。
【００５８】
ここでは説明の都合上、この渦の中心は基部１２の領域に属するとし、且つ、弾性棒１５１，１５２からの距離は等しいとすると共に、この渦の中心を図４（ｂ）における回転軸１５５，１５７とした。なお、この回転軸１５５，１５７を回転の中心とし、半径Ｒを有する擬似的な剛体の回転体１５４，１５６の外周の接線方向における変位は、弾性棒１５１，１５２の先端方向側で最も大きく、弾性棒１５１，１５２の先端方向とは反対側の方向で最も小さい。このため、“擬似的”な剛体と表現した。
【００５９】
図５（ａ）において、簡略化された基部１５３の代表的な第１の連結部１５８は、擬似的な剛体の回転体１５４，１５６の回転運動によって強く伸ばされながら弾性棒１５１，１５２の先端方向に小さく移動する
図５（ｂ）において、簡略化された基部１５３の代表的な第２の連結部１５９も同様に、擬似的な剛体の回転体１５４，１５６の回転運動によって伸ばされながら弾性棒１５１，１５２の先端方向に移動する。
【００６０】
また、図５（ｃ）において、簡略化された基部１５３の代表的な第３の連結部１６０は、擬似的な剛体の回転体１５４，１５６の回転運動によって圧縮されながら弾性棒１５１，１５２の先端方向に移動し、このとき、第３の連結部１６０の長さ方向（弾性棒１５１，１５２の並ぶ方向）の中央周辺は、弾性棒１５１，１５２の先端方向、或は弾性棒１５１，１５２の先端方向とは反対側の方向のどちらかに変形する潜在力を有している。
【００６１】
また、図５（ｄ）において、簡略化された基部１５３の代表的な第４の連結部１６１の場合は、半径Ｒよりも大きい半径Ｒ’を有し、回転軸１５５，１５７を回転の中心とする擬似的な剛体の回転体１６２，１６３を新たに考えれば、簡略化された基部の代表的な第３の連結部１６０と同様に、擬似的な剛体の回転体１６２，１６３の回転運動によって小さく圧縮されながら弾性棒１５１，１５２の先端方向に小さく移動し。この時、第４の連結部１６１の長さ方向の中央周辺は、弾性棒１５１，１５２の先端方向、或は弾性棒１５１，１５２の先端方向とは反対側の方向のどちらかに変形する潜在力を有している。
【００６２】
第１乃至４の連結部１５８，１５９，１６０，１６１はすべてが弾性棒１５１，１５２の先端方向に移動するため、第３乃至第４の有する潜在力による変形は、弾性棒１５１，１５２の先端側に変位するような変形になる。
従って、弾性棒１５１，１５２の離間運動によって、簡略化された基部１５３の代表的な第１乃至４の連結部１５８，１５９，１６０，１６１において、回転軸１５５と１５７を結ぶ方向へは圧縮や伸張の変形を発生させながら振動変位を相殺する作用が働く。そして、すべてが弾性棒１５１，１５２の先端側の方向に変位することになり、簡略化された基部１５３に固定部材を形成すると、即ち、基部１２に固定部材を形成すると、この弾性棒１５１，１５２の先端方向への変位に随伴するエネルギーが固定部材を介して外部へ漏洩することとなる。これが振動漏れであり、漏洩したエネルギーに相当する分だけＱ値を劣化させることになる。
【００６３】
＜本発明に係る基部の上側（振動腕が配置されている側）に縮幅部が在る場合＞
これに対して、本発明に係る縮幅部を基部の振動腕２０，２２が延在されている側の端部に形成した場合を図６（ａ）に示す。これは上述と同様に、図６（ｂ）に示したように回転軸１５５を回転の中心とし、所定の半径Ｒを有する擬似的な剛体の回転体１５４に弾性棒１５１が接続されたものと、回転軸１５７を回転の中心とし、半径Ｒを有する擬似的な剛体の回転体１５６に弾性棒１５２が接続されたものとが、簡略化された基部１６５によって接続されているものと見做すことができる。
【００６４】
また図７に示すように、簡略化された基部１６５の代表的な連結部として、回転軸１５５，１５７よりも弾性棒１５１，１５２側に設けられた第１の連結部１５８と、回転軸１５５，１５７との間に設けられた第２の連結部１５９と、回転軸１５５，１５７よりも弾性棒の在る方向とは反対側に設けられた第３の連結部１６０と、第１の連結部１５８よりも弾性棒の先端方向に設けられた第４の連結部１６６と、を考える。
【００６５】
２本の振動腕２０，２２が互いに近接するように屈曲変形した場合、弾性棒１５１，１５２が互いに近接するように屈曲変形したと見做すが、この場合、振動腕２０，２２の根元周辺から振動腕の先端方向とは反対方向の所定の場所に、変位ベクトルの渦が形成される。この渦の中心は、基部１６４を含む振動腕２０，２２の根元付近である場合が多いが、振動腕２０，２２や基部１６４の領域には属さない、仮想的な空間上に形成される場合もある。ここでは説明の都合上、この渦の中心は基部１６４の領域に属するとし、且つ、弾性棒１５１，１５２からの距離は等しいとすると共に、この渦の中心を図６における回転軸１５５，１５７とした。
【００６６】
なお、この回転軸１５５，１５７を回転の中心とし、半径Ｒを有する擬似的な剛体の回転体１５４，１５６の外周の接線方向における変位は、弾性棒１５１，１５２の先端方向側で最も大きく、弾性棒１５１，１５２の先端方向とは反対側の方向で最も小さい。また、この場合は、２本の振動腕２０，２２が互いに離間した場合とは変位の方向は反対向きになる。
【００６７】
図７（ａ）において、簡略化された基部１６５の代表的な第１の連結部１５８は、擬似的な剛体の回転体１５４，１５６の回転運動によって強く圧縮されながら弾性棒１５１，１５２の先端方向とは反対側の方向に小さく移動し、このとき、第１の連結部１５８の長さ方向の中央周辺は、弾性棒１５１，１５２の先端方向、或は弾性棒１５１，１５２の先端方向とは反対側の方向のどちらかに変形する潜在力を有している。
図７（ｂ）において、簡略化された基部１６５の代表的な第２の連結部１５９も同様に、擬似的な剛体の回転体１５４，１５６の回転運動によって伸ばされながら弾性棒１５１，１５２の先端方向とは反対側の方向に移動する。
【００６８】
また、図７（ｃ）において、簡略化された基部１６５の代表的な第３の連結部１６０は、擬似的な剛体の回転体１５４，１５６の回転運動によって伸ばされながら弾性棒１５１，１５２の先端方向とは反対側の方向に移動する。
図７（ｄ）において、簡略化された基部１６５の代表的な第４の連結部１６６の場合は、擬似的な剛体の回転体１５４，１５６の回転運動によって圧縮されるが、アーチ形状をしている為に変形し難く、更に変形する場合には、第４の連結部１６６の長さ方向の中央周辺が弾性棒１５１，１５２の先端方向に変位するように変形する。
【００６９】
従って、弾性棒１５１，１５２の接近する運動によって、簡略化された基部１６５の代表的な第１乃至４の連結部１５８，１５９，１６０，１６６において、回転軸１５５と１５７を結ぶ方向へは圧縮や伸張の変形を発生させながら振動変位を相殺させる作用が働く。そして、第１乃至３の連結部１５８，１５９，１６０が弾性棒１５１，１５２の先端方向とは反対側の方向に変位するのを、第４の連結部１６６の変形し難さが妨げると共に、第４の連結部１６６の長さ方向の中央付近が弾性棒１５１，１５２の先端側の方向に変位するように変形することで相殺することができる。
【００７０】
結果として、簡略化された基部１６５に固定部材を形成した場合、即ち、基部１６４に固定部材を形成した場合、固定部材を介して外部へ漏洩するエネルギーが減少するので、振動漏れを低減させ、Ｑ値の減少を低減させることができる。
【００７１】
＜第２実施形態＞
次に、本発明の第２実施形態について説明する。
図８は、本発明の第２実施形態に係る振動片の平面図である。
以下、第２実施形態について、前述した第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
第２実施形態は、縮幅部の構成（形状）が異なる以外は、第１実施形態とほぼ同様である。なお、図８では、前述した第１実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。
【００７２】
図８に示す振動片１ａでは、縮幅部１８が本体部１４の−Ｙ軸方向側に配置されており、縮幅部１８の輪郭は、曲線状の曲線部１９ａで構成されており、曲線部１９ａの両端が、本体部１４の−Ｙ軸方向側の各角と接続されている。このような曲線部１９ａの曲率半径は、その全域にわたって一定となっている。
このような形状の縮幅部１８を設けることによっても、前述した第１実施形態と同様に振動特性が向上することをシミュレーション結果に基づいて証明する。なお、本シミュレーションで用いた振動片は、縮幅部の形状が異なる以外は、前述した第１実施形態で用いたものと同様のものである。
【００７３】
本実施形態に属する振動片１ａは、振動腕２０，２２と基部１２ａの寸法が第１実施形態と同等で、縮幅部１８の長さＬ２が４０μｍで、縮幅部１８の輪郭が一定の曲率半径を有する曲線部１９ａで構成されている。この振動片１ａのＱ値は４３，３６２と従来技術に属する振動片（Ｑ値３８，２３０）に比べ顕著に高い。従って、本実施形態のように、振動腕２０，２２を支持、連結する本体部１４の−Ｙ軸方向側の外縁に、曲線状の輪郭を有する縮幅部１８が構成された振動片であっても、従来と比較して、振動漏れが抑制され、優れた振動特性を発揮することができることが解った。
【００７４】
この理由は以下のような作用が生じていることによるものである。
図９は、振動漏れ抑制の原理を説明する平面図であり、図９（ａ）は第２実施形態に係る振動片の概略平面図、図９（ｂ）は簡略化モデルの平面図であり、図１０は、振動漏れ抑制の原理を説明する図であり、図１０（ａ）は連結部が上部にある分解図、図１０（ｂ）は連結部が中央にある分解図、図１０（ｃ）は連結部が下部にある分解図、図１０（ｄ）はアーチ形状の連結部が回転体の下部にある分解図である。
【００７５】
＜本発明に係る基部の下側（振動腕が配置されている側）に縮幅部が在る場合＞
本発明に係る縮幅部を振動腕２０，２２の先端方向と反対側に形成した場合を図９（ａ）に示す。これは前述と同様に、図９（ｂ）に示したように回転軸１５５を回転の中心とし、所定の半径Ｒを有する擬似的な剛体の回転体１５４に弾性棒１５１が接続されたものと、回転軸１５７を回転の中心とし、半径Ｒを有する擬似的な剛体の回転体１５６に弾性棒１５２が接続されたものとが、簡略化された基部１６８によって接続されているものと見做すことができる。
【００７６】
また、簡略化された基部１６８の代表的な連結部として、回転軸１５５，１５７よりも弾性棒１５１，１５２側に設けられた第１の連結部１５８と、回転軸１５５，１５７との間に設けられた第２の連結部１５９と、回転軸１５５，１５７よりも弾性棒の在る方向とは反対側に設けられた第３の連結部１６０と、第３の連結部１６０よりも弾性棒の先端方向とは反対側に設けられた第４の連結部１６９と、を考える。
【００７７】
２本の振動腕２０，２２が互いに離間するように屈曲変形した場合、弾性棒１５１，１５２が互いに離間するように屈曲変形したと見做すが、この場合、振動腕２０，２１の根元周辺から振動腕の先端方向とは反対側の方向の所定の場所に、変位ベクトルの渦が形成される。この渦の中心は、基部１６７を含む振動腕２０，２２の根元付近である場合が多いが、振動腕２０，２２や基部１６７の領域には属さない、仮想的な空間上に形成される場合もある。
【００７８】
ここでは説明の都合上、この渦の中心は基部１６７の領域に属するとし、且つ、弾性棒１５１，１５２からの距離は等しいとすると共に、この渦の中心を図９（ｂ）における回転軸１５５，１５７とした。なお、この回転軸１５５，１５７を回転の中心とし、半径Ｒを有する擬似的な剛体の回転体１５４，１５６の外周の接線方向における変位は、弾性棒１５１，１５２の先端方向の側で最も大きく、弾性棒１５１，１５２の先端方向とは反対側の方向で最も小さい。
【００７９】
図１０（ａ）において、簡略化された基部１６８の代表的な第１の連結部１５８は、擬似的な剛体の回転体１５４，１５６の回転運動によって強く伸ばされながら弾性棒１５１，１５２の先端側の方向に小さく移動する。
図１０（ｂ）において、簡略化された基部１６８の代表的な第２の連結部１５９も同様に、擬似的な剛体の回転体１５４，１５６の回転運動によって伸ばされながら弾性棒１５１，１５２の先端側の方向に移動する。
【００８０】
図１０（ｃ）において、簡略化された基部１６８の代表的な第３の連結部１６０は、擬似的な剛体の回転体１５４，１５６の回転運動によって圧縮されながら弾性棒１５１，１５２の先端側の方向に移動するが、このとき、第３の連結部１６０の長さ方向の中央周辺は、弾性棒１５１，１５２の先端側の方向、或は弾性棒１５１，１５２の先端方向とは反対側の方向のどちらかに変形する潜在力を有している。
図１０（ｄ）において、簡略化された基部１６８の代表的な第４の連結部１６９の場合は、擬似的な剛体の回転体１５４，１５６の回転運動によって圧縮されるが、アーチ形状をしているために変形し難く、更に変形する場合には、第４の連結部１６９の長さ方向の中央周辺が弾性棒１５１，１５２の先端方向とは反対側の方向に変位するように変形する。
【００８１】
従って、弾性棒１５１，１５２の離間運動によって、簡略化された基部１６８の代表的な第１乃至４の連結部１５８，１５９，１６０，１６９において、回転軸１５５と１５７を結ぶ方向へは圧縮や伸張の変形を発生させながら振動変位を相殺させる作用が働く。そして、第１乃至３の連結部１５８，１５９，１６０が弾性棒１５１，１５２の先端側の方向に変位するのを、第４の連結部１６９の変形し難さが妨げると共に、第４の連結部１６９の長さ方向の中央付近が弾性棒１５１，１５２の先端方向とは反対側の方向に変位するように変形することで相殺することができる。
【００８２】
結果として、簡略化された基部１６８に固定部材を形成した場合、即ち、基部１６７に固定部材を形成した場合、固定部材を介して外部へ漏洩するエネルギーが減少するので、振動漏れを低減させ、Ｑ値の減少を低減することができる。
【００８３】
特許文献２に記載されている従来技術に係る振動片の基部の構造について、前述のメカニズムの作用を踏まえて考えると、図２において、振動が相殺或いは抑圧されていない領域である振動腕との付け根部分に枠部８４が接続されているので、枠部８４との接続部分において、振動漏れが生じてしまう。よって、振動腕の屈曲振動と共に、枠部８４も一緒に振動してしまうこととなる。従って、枠部の他端のアイランド部８６を固定部とした場合、アイランド部８６がＹ軸方向に振動してしまい、結果的に振動漏れが低減できずＱ値が劣化してしまうという問題が生じるのである。
【００８４】
＜第３実施形態＞
次に、本発明の第３実施形態について説明する。
図１１は、本発明の第３実施形態に係る振動片の平面図である。
以下、第３実施形態について、前述した第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
第３実施形態は、縮幅部の構成（形状）が異なる以外は、第１実施形態とほぼ同様である。なお、図１１では、前述した第１実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。
【００８５】
図１１に示す振動片１ｂでは、基部１２ｂは、本体部１４と、本体部１４の＋Ｙ軸方向側に位置する縮幅部１６と、本体部１４の−Ｙ軸方向側に位置する縮幅部１８とを有している。言い換えれば、本実施形態の基部１２ｂは、本体部１４を介して対向配置された２つの縮幅部１６，１８を有している。
【００８６】
振動片１ｂは、２つの縮幅部１６，１８が設けられることで、より効果的に振動漏れを抑制することができる。具体的には、振動腕２０，２２の振動は、振動腕２０，２２が互いに近接した場合、主に、本体部１４の−Ｙ軸方向側への変位が縮幅部１６によって抑制され、振動腕２０，２２が互いに離れた場合、主に、本体部１４の＋Ｙ軸方向側への変位が縮幅部１８によって抑制されるので、より効果的に振動漏れを抑制することができる。
【００８７】
２つの縮幅部１６，１８が設けられた形状の振動片１ｂについても、前述した第１実施形態と同様に振動特性が向上することをシミュレーション結果に基づいて証明する。なお、本シミュレーションで用いた振動片は、縮幅部１８の形状が追加された以外は、前述した第１実施形態で用いたものと同様のものである。
【００８８】
本実施形態に属する振動片１ｂは、縮幅部１６の長さＬ１が４２μｍで、縮幅部１８の長さＬ２が４０μｍであり、且つ、縮幅部１６と１８の輪郭が一定の曲率半径を有する曲線部１７ａと１９ａで構成されている。この振動片１ｂのＱ値は１５６，２１１と従来技術に係る振動片（Ｑ値３８，２３０）に比べ約４倍と非常に高い。従って、本実施形態のように、本体部１４を介して対向配置された曲線状の輪郭を有する２つの縮幅部１６，１８を備えることで、従来と比較し、振動漏れが非常に良く抑制され、優れた振動特性を発揮することができることが解った。
【００８９】
この理由としては、基部１２ｂのＹ軸方向の両側に縮幅部１６，１８を設けることで、基部１２ｂの中央部の高さ（Ｙ軸方向の長さ）が大きくなり、Ｙ軸の両方向への剛性を強くすることができ、曲がり難くなる。そのため、２本の振動腕２０，２２の先端部が近接、離間した際に生じる基部１２ｂのＹ軸両方向への変形を大幅に抑えることができるので、より効果的に振動漏れを抑制することができ、Ｑ値の大幅な向上に繋がったものと推察される。
【００９０】
＜第４実施形態＞
次に、本発明の第４実施形態について説明する。
図１２は、本発明の第４実施形態に係る振動片の平面図である。
以下、第４実施形態について、前述した第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
第４実施形態は、縮幅部の構成（形状）が異なる以外は、第１実施形態とほぼ同様である。なお、図１２では、前述した第１実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。
【００９１】
図１２に示す振動片１ｃでは、縮幅部１６ａが基部１２ｃにおける本体部１４の＋Ｙ軸方向側に配置されており、縮幅部１６ａの輪郭は、平面視にて、Ｘ軸およびＹ軸の両軸に対して傾斜する直線状の傾斜部１７ｂ，１７ｃで構成されており、これら傾斜部１７ｂ，１７ｃの一端（＋Ｙ軸方向側の端）同士が、Ｙ軸と平行で第１の端部と交差する仮想中心線Ｙ１上で接続されている。そのため、縮幅部１６ａは、その先端部に角を有し、尖っている。縮幅部１６ａをこのような形状とすることにより、第１実施形態の縮幅部１６が曲線状であるのと同様に、振動漏れを効果的に抑制することができるとともに、縮幅部の構成の簡易化を図ることができる。
【００９２】
なお、長さＬ３の縮幅部１６ａの傾斜部１７ｂ，１７ｃとＸ軸とのなす角度θ１としては、特に限定されないが、例えば、５°以上、７０°以下程度であるのが好ましい。
また、水晶基板をウェットエッチングすることにより振動基板１０をパターニングする場合、振動基板１０の輪郭には水晶の結晶面が出現するため、この結晶面と平行な傾斜部１７ｂ，１７ｃをフォトマスクを用いて形成しパターニングしておけば、形状のばらつきが小さくなり、安定した性能を得ることができる。特に水晶のＸ軸に対して３０°や６０°を成す結晶面と平行にするとよい。
このような第４実施形態においても、前述した第１実施形態と同様の効果を奏することができる。
【００９３】
＜第５実施形態＞
次に、本発明の第５実施形態について説明する。
図１３は、本発明の第５実施形態に係る振動片の平面図である。
以下、第５実施形態について、前述した第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
第５実施形態は、縮幅部の構成（形状）が異なる以外は、第１実施形態とほぼ同様である。なお、図１３では、前述した第１実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。
【００９４】
図１３に示す振動片１ｄでは、縮幅部１８ａが基部１２ｄにおける本体部１４の−Ｙ軸方向側に配置されており、縮幅部１８ａの輪郭は、平面視にて、Ｘ軸およびＹ軸の両軸に対して傾斜する直線状の傾斜部１９ｂ，１９ｃで構成されており、これら傾斜部１９ｂ，１９ｃの一端（−Ｙ軸方向側の端）同士が仮想中心線Ｙ１上で接続されている。そのため、縮幅部１８ａは、その先端部に角を有し、尖っている形状とすることにより、第２実施形態の縮幅部１８が曲線状であるのと同様に、振動漏れを効果的に抑制することができるとともに、縮幅部の構成の簡易化を図ることができる。
【００９５】
なお、長さＬ４の縮幅部１８ａの傾斜部１９ｂ，１９ｃとＸ軸とのなす角度θ２としては、特に限定されないが、例えば、縮幅部１８ａの過度な大型化を抑制する観点からすると、５°以上、７０°以下であるのが好ましく、１０°以上、５０°以下であるのがより好ましい。
また、水晶基板をウェットエッチングすることにより振動基板１０をパターニングする場合、振動基板１０の輪郭には水晶の結晶面が出現するため、この結晶面と平行な傾斜部１９ｂ，１９ｃをフォトマスクを用いて形成しパターニングしておけば、形状のばらつきが小さくなり、安定した性能を得ることができる。
このような第５実施形態においても、前述した第１実施形態と同様の効果を奏することができる。
【００９６】
＜第６実施形態＞
次に、本発明の第６実施形態について説明する。
図１４は、本発明の第６実施形態に係る振動片の平面図である。
以下、第６実施形態について、前述した第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
第６実施形態は、縮幅部の構成（形状）が異なる以外は、第１実施形態とほぼ同様である。なお、図１４では、前述した第１実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。
【００９７】
図１４に示す振動片１ｅでは、基部１２ｅは、本体部１４と、本体部１４の＋Ｙ軸方向側に位置する縮幅部１６ａと、本体部１４の−Ｙ軸方向側に位置する縮幅部１８ａとを有している。言い換えれば、本実施形態の基部１２ｅは、本体部１４を介して対向配置された２つの縮幅部１６ａ，１８ａを有している。
【００９８】
縮幅部１６ａの輪郭は、平面視にて、Ｘ軸およびＹ軸の両軸に対して傾斜する直線状の傾斜部１７ｂ，１７ｃで構成されており、これら傾斜部１７ｂ，１７ｃの一端（＋Ｙ軸方向側の端）同士が仮想中心線Ｙ１上で接続されている。また、縮幅部１８ａの輪郭は、平面視にて、Ｘ軸およびＹ軸の両軸に対して傾斜する直線状の傾斜部１９ｂ，１９ｃで構成されており、これら傾斜部１９ｂ，１９ｃの一端（−Ｙ軸方向側の端）同士が仮想中心線Ｙ１上で接続されている。
【００９９】
そのため、縮幅部１６ａ，１８ａは、その先端部に角を有し、尖っている形状とすることにより、第３実施形態の縮幅部１６，１８が曲線状であるのと同様に、それぞれの長さがＬ３、Ｌ４である２つの縮幅部１６ａ，１８ａが設けられることで、より振動漏れを効果的に抑制することができる。
このような第６実施形態においても、前述した第１実施形態と同様の効果を奏することができる。
【０１００】
＜第７実施形態＞
次に、本発明の第７実施形態について説明する。
図１５は、本発明の第７実施形態に係る振動片の平面図である。
以下、第７実施形態について、前述した第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
第７実施形態は、縮幅部の構成（形状）が異なる以外は、第１実施形態とほぼ同様である。なお、図１５では、前述した第１実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。
【０１０１】
図１５に示すように、本発明に係る振動片１ｆの縮幅部１６ｂの輪郭は、平面視にて、曲線状や直線状の傾斜部に限定されず、複数の段差を有する階段状のステップで構成しても良い。
このような縮幅部１６ｂを設けることによっても、前述した第１実施形態と同様に振動特性が向上することをシミュレーション解析により実証し、従来技術に係る振動片よりも振動漏れに起因したＱ値の劣化を改善し、低減されていることが確認された。
【０１０２】
従って、本実施形態のような輪郭（外縁）が階段状のステップからなる縮幅部１６ｂを有することによっても、振動漏れが低減され、優れた振動特性を発揮することができることが解った。縮幅部１６ｂは、基部の一方の端部及び他方の端部の何れか、又は両方の端部に設けても良いことは言うまでもない。
【０１０３】
＜第８実施形態＞
次に、本発明の第８実施形態について説明する。
図１６は、本発明の変形例として、第８実施形態に係る振動片の平面図であり、図１６（ａ）が第１変形例、図１６（ｂ）が第２変形例、図１６（ｃ）が第３変形例である。
以下、第８実施形態について、前述した第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
第８実施形態は、縮幅部の構成（形状）が異なる以外は、第１実施形態とほぼ同様である。なお、図１６では、前述した第１実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。
【０１０４】
図１６に示す振動片１ｇ，１ｋでは、縮幅部１６ｃの輪郭は、平面視にて、Ｘ軸およびＹ軸の両軸に対して傾斜する直線状又は曲線状の傾斜部１７ｄ，１７ｅと、傾斜部１７ｄ，１７ｅの＋Ｙ軸（−Ｙ軸）方向側の端同士を連結するＸ軸に平行な接続部１７ｆと、を有している。また、図１６に示す振動片１ｈ，１ｋでは、縮幅部１８ｃの輪郭は、平面視にて、Ｘ軸およびＹ軸の両軸に対して傾斜する直線状又は曲線状の傾斜部１９ｄ，１９ｅと、傾斜部１９ｄ，１９ｅの＋Ｙ軸（−Ｙ軸）方向側の端同士を連結するＸ軸に平行な接続部１９ｆと、を有している。
【０１０５】
このような縮幅部１６ｃ，１８ｃを設けることによっても、前述した第１実施形態と同様に振動特性が向上することをシミュレーション解析により実証し、従来技術に係る振動片よりも振動漏れに起因したＱ値の劣化を改善し、低減されていることが確認された。
従って、本実施形態のような縮幅部１６ｃ，１８ｃを有することによっても、振動漏れが低減され、優れた振動特性を発揮することができることが解った。
【０１０６】
次に、本発明の振動片をパッケージへ実装する場合の接合部材３５の位置とＱ値（振動漏れのみを考慮したＱ値）との関係について説明する。
また、本シミュレーションで用いた振動片は、本発明の第３実施形態に係る振動片であり、接合部材３５は、直径７０μｍのシリコン系導電性接着剤である。なお、以下の説明では、説明の便宜上、接合部材３５を接着剤と称して説明する。
【０１０７】
図１７は、本発明の第３実施形態に係る振動片の基部を縦方向（Ｙ方向）に互いに位置が異なる２箇所で接着した場合の接着剤の中心位置とＱ値との関係を示す図であり、図１７（ａ）は縦２点接着時における接着剤の位置を示した平面図であり、図１７（ｂ）は接着剤中心位置ＸａとＱ値との関係を示す図である。
接着剤中心位置Ｘａとは、下記式（１）で表わすこととする。
Ｘａ＝Ｘ１／（Ｗ／２）  （％）・・・（１）
ここで、Ｘ１とは、振動片の基部のＸ軸方向中心線から接着剤の中心位置までの長さであり、Ｗとは、振動片の基部の幅寸法（Ｘ軸方向の長さ）である。つまり、接着剤の中心位置の基部中心線からのずれを、振動片の基部の幅の半分の長さに対する割合（％）で表したものである。
【０１０８】
図１７より、振動片の基部のＹ軸方向に接着剤を２箇所並べて接着した場合、本発明の第３実施形態に係る振動片は、接着剤中心位置Ｘａが０％から約４５％までの範囲において、図２に示した従来技術に係る振動片（特許文献２参照）のＱ値（＝３８，２３０）に比べ、優れていることが確認できる。
【０１０９】
図１８は、本発明の第３実施形態に係る振動片の基部を横方向（Ｘ方向）に互いに位置が異なる２箇所で接着した場合の接着剤の中心位置とＱ値との関係を示す図であり、図１８（ａ）は横方向に２箇所を接着した時における接着剤の位置を示した平面図であり、図１８（ｂ）は接着剤中心位置ＸａとＱ値との関係を示す図である。
図１８では、振動片の基部のＸ軸方向に接着剤を２箇所並べて接着した構造において、２つの接着剤の中心位置が基部中心線からそれぞれ同一長さで離れているものとして、Ｑ値を計算している。その結果、本発明に属する振動片は、接着剤中心位置Ｘａが１８％から約４５％までの範囲において、図２に示した従来技術に係る振動片（特許文献２参照）のＱ値（＝３８，２３０）に比べ、優れていることが確認できる。
【０１１０】
図１９は、本発明の第３実施形態に係る振動片の基部を１箇所で接着した場合の接着剤の中心位置とＱ値との関係を示す図であり、図１９（ａ）は１点接着時における接着剤の位置を示した平面図であり、図１９（ｂ）は接着剤中心位置ＸａとＱ値との関係を示す図である。
図１９より、接着剤１点接着方式の場合、本発明の第３実施形態に係る振動片は、ほぼ全ての領域で、図２に示した従来技術に係る振動片（特許文献２参照）のＱ値（＝３８，２３０）に比べ、優れていることが確認できる。
【０１１１】
以上の結果から、本発明の効果を奏するために好適な振動片の振動腕と基部の寸法関係について、図３を用いて説明する。なお、Ｌｂは振動腕の全長（錘部を含む）、Ｗｓは２本の振動腕の中心間距離、Ｌは基部１２の振動腕２０，２２の連結部から基部１２の連結部とは反対側の端部までの長さである。
【０１１２】
（ａ）Ｌｂ ＞ Ｗｓであることが好ましい。
基部１２の幅がＸ軸方向に広過ぎてしまう場合に、基部１２が大きく屈曲変形して、振動漏れが増大してしまうことを低減するためにＬｂ ＞ Ｗｓであることが望ましい。
このようにすることで、振動漏れを低減することができる。
【０１１３】
（ｂ）面内屈曲基本モードであることが好ましい。
面内屈曲高次モードでは、波長が短くなるため、基部が大きく屈曲変形して、振動漏れが増大してしまう虞があるので、これを低減するために振動腕の振動は面内屈曲基本モードであることが好ましい。
このようにすることで、振動漏れを低減することができる。
【０１１４】
（ｃ）Ｌ＜Ｗｓ であることが好ましい。
本発明によれば、従来技術係る振動片に比べて振動漏れはかなり小さくなることが実証されている。
従って、Ｌ＜Ｗｓを満足する構造においても振動漏れを小さくでき、振動片のＹ軸方向の長さを短くすることができる。
【０１１５】
（電極構成）
次に、本発明の振動片の電極構成について説明する。
図２０は、本発明の第１実施形態に係る振動片に電極を配線した例を示した概略図であり、図２０（ａ）は表面（＋Ｚ軸方向から見たときの平面）の電極配線図、図２０（ｂ）は図２０（ａ）のＢ−Ｂ断面図、図２０（ｃ）は裏面（−Ｚ軸方向から見たときの平面）の電極配線図、図２０（ｄ）は図２０（ｃ）のＣ−Ｃ断面図である。
【０１１６】
電極は振動片の主面である表裏面及び側面に形成され、振動腕に形成される励振電極４１ａ，４１ｂと、基部や錘部に形成される引き出し電極４２ａ，４２ｂと、基部に形成されるパッド電極４３ａ，４３ｂと、により構成されている。振動腕の溝内と側面に駆動用の電極である励振電極４１ａ，４１ｂが形成されることにより、励振電極に駆動電圧が印加されることによって、駆動時に、各振動腕の内部の電界効率を高めることができるようになっている。
【０１１７】
また、振動片２の基部の中央付近には、パッケージに形成された接続電極（図示せず）と接続するための電極部としてパッド電極４３ａ，４３ｂが形成されている。また、各パッド電極４３ａ，４３ｂと接続されている各引き出し電極４２ａ，４２ｂは、基部の外縁を回り込んで、振動片２の基部の表裏に設けられ、各励振電極４１ａ，４１ｂに接続されている。これにより、パッド電極４３ａ，４３ｂから、引き出し電極４２ａ，４２ｂを通じて、励振電極４１ａ，４１ｂに駆動電圧が印加されることで、振動片の振動腕内で電界が適切に形成され、２本の振動腕の各先端部が互いに接近、離間を繰り返すように面内方向（ＸＹ平面方向）に所定の周波数で振動する。
【０１１８】
なお、励振電極４１ａ，４１ｂや引き出し電極４２ａ，４２ｂ及びパッド電極４３ａ，４３ｂの構成は、特に限定されず、金（Ａｕ）、金合金、白金（Ｐｔ）、銀（Ａｇ）、銀合金、クロム（Ｃｒ）、クロム合金等の金属材料を用いることができる。
【０１１９】
（振動子）
次に、本発明の振動片を適用した振動子について説明する。
図２１は、本発明の振動子の構造を示した概略図であり、図２１（ａ）は振動子の平面図、図２１（ｂ）は図２１（ａ）のＡ−Ａ断面図である。なお、図２１（ａ）において、振動子の内部の構成を説明する便宜上、蓋部材を取り外した状態を図示している。
振動子３は、電極の形成された振動片２と、振動片２を収容するために矩形の箱状に形成されているパッケージ本体５０と、ガラス、セラミック、金属などからなる蓋部材５９と、で構成されている。なお、振動片２を収容するキャビティー７０内はほぼ真空の減圧空間となっている。
【０１２０】
パッケージ本体５０は、図２１（ｂ）に示すように、第１の基板５１と、第２の基板５２と、実装端子４５と、を積層して形成されている。実装端子４５は、第１の基板５１の外部底面に複数形成されている。また、第１の基板５１の上面の所定の位置には、図示しない貫通電極や層間配線を介して、実装端子４５と電気的に導通する複数の接続電極４７が設けられている。第２の基板５２は中央部が除去された環状体であり、振動片２を収容するキャビティー７０が形成されている。
【０１２１】
以上、説明したパッケージ本体５０の、第１の基板５１と第２の基板５２は、絶縁性を有する材料で構成されている。このような材料としては、特に限定されず、例えば、酸化物系セラミックス、窒化物系セラミックス、炭化物系セラミックス等の各種セラミックスを用いることができる。また、パッケージ本体５０に設けられた各電極、端子、あるいはそれらを電気的に接続する配線パターンや層内配線パターンなどは、一般的に、タングステン（Ｗ）、モリブデン（Ｍｏ）などの金属配線材料を絶縁材料上にスクリーン印刷して焼成し、その上にニッケル（Ｎｉ）、金（Ａｕ）などのめっきを施すことにより形成される。
【０１２２】
蓋部材５９は、好ましくは、光を通過する材料、例えば、ホウケイ酸ガラスなどにより形成されており、封止材６８により接合されることで、パッケージ本体５０を気密封止している。これにより、パッケージ本体５０の蓋封止後において、外部からレーザー光を蓋部材５９を介して振動片２の先端付近に照射し、ここに設けた電極を一部蒸散させることにより、質量削減方式による周波数調整をすることができるようになっている。なお、このような周波数調整をしない場合には、蓋部材５９はコバール合金などの金属材料で形成することができる。
【０１２３】
パッケージ本体５０のキャビティー７０内に収納された振動片２は、基部１２に形成されたパッド電極４３ａ，４３ｂとパッケージ本体５０の第１の基板５１の上面に形成された２つの接続電極４７とが位置合わせされ、接合部材３５を介して接合されている。接合部材３５は、例えば、金属あるいは半田などからなるバンプや導電性接着剤などの導電性の接合部材を用いることにより、電気的な接続を図るとともに機械的な接合を行うことができる。
【０１２４】
＜変形例１＞
次に、本発明の振動片をパッケージへ実装する場合の変形例１について説明する。
図２２は、本発明の実施形態に係る振動片をパッケージへ実装した変形例１を示した概略図であり、図２２（ａ）は変形例１の平面図であり、図２２（ｂ）は図２２（ａ）のＡ−Ａ断面図である。
以下、変形例１について、前述した図２１の実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
【０１２５】
変形例１の振動子３ａは、振動片２ａの基部の裏面（−Ｚ軸方向から見たときの平面）に形成されていたパッド電極の一つを基部の表面（＋Ｚ軸方向から見たときの平面）に形成し、導電性接着剤などの軟らかい接合部材３５ａを介して、パッケージ本体５０ａの接続電極に電気的に接続されていることが特徴である。
このような構成により、振動片２ａの基部の裏面（−Ｚ軸方向から見たときの平面）に形成されていた各パッド電極間のショートを防止することができ、振動子の不発を回避する上で、非常に効果がある。
【０１２６】
＜変形例２＞
次に、本発明の振動片をパッケージへ実装する場合の変形例２について説明する。
図２３は、本発明の実施形態に係る振動片をパッケージへ実装した変形例２を示した概略図であり、図２３（ａ）は変形例２の平面図であり、図２３（ｂ）は図２３（ａ）のＡ−Ａ断面図である。
以下、変形例２について、前述した図２１の実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
【０１２７】
変形例２の振動子３ｂは、振動片２ｂの基部の裏面（−Ｚ軸方向から見たときの平面）に形成されていたパッド電極の一つを基部の表面（＋Ｚ軸方向から見たときの平面）に形成し、ボンディングワイヤー３７を介して、パッケージ本体５０ｂの接続電極に電気的に接続されていることが特徴である。
このような構成により、振動片２ｂの基部の裏面（−Ｚ軸方向から見たときの平面）に形成されていた各パッド電極間のショートを防止することができ、振動子の不発を回避する上で、非常に効果がある。更に、基部の裏面（−Ｚ軸方向から見たときの平面）に形成されているパッド電極面積を大きくできるため、より実装強度を向上させる上で、非常に有利である。
【０１２８】
＜変形例３＞
次に、本発明の振動片をパッケージへ実装する場合の変形例３について説明する。
図２４は、本発明の実施形態に係る振動片をパッケージへ実装した変形例３を示した概略図であり、図２４（ａ）は変形例３の平面図であり、図２４（ｂ）は図２４（ａ）のＡ−Ａ断面図である。
以下、変形例３について、前述した図２１の実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
【０１２９】
変形例３の振動子３ｃは、振動片２ｃの基部の裏面（−Ｚ軸方向から見たときの平面）に形成されていたパッド電極の一つを基部の表面（＋Ｚ軸方向から見たときの平面）に形成し、ボンディングワイヤー３７を介して、振動片２ｃの振動腕の間に形成したパッケージ本体５０ｃの接続電極に電気的に接続されていることが特徴である。
このような構成により、振動片２ｃの基部の裏面（−Ｚ軸方向から見たときの平面）に形成されていた各パッド電極間のショートを防止することができ、振動子の不発を回避する上で、非常に効果がある。また、基部の裏面（−Ｚ軸方向から見たときの平面）に形成されているパッド電極面積を大きくできるため、より実装強度を向上させる上で、非常に有利である。更に、ボンディングワイヤー用の接続電極が振動片２ｃの振動腕側に形成されているため、パッケージのＹ軸方向の長さを短くでき、振動子の小型化を図る上で、非常に有効である。
【０１３０】
＜変形例４＞
次に、本発明の振動片をパッケージへ実装する場合の変形例４について説明する。
図２５は、本発明の実施形態に係る振動片をパッケージへ実装した変形例４を示した概略図であり、図２５（ａ）は変形例４の平面図であり、図２５（ｂ）は図２５（ａ）のＡ−Ａ断面図である。
以下、変形例４について、前述した図２１の実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
【０１３１】
変形例４の振動子３ｄは、振動片２ｄの基部の表面（＋Ｚ軸方向から見たときの平面）に２つのパッド電極が形成されており、基部の裏面（−Ｚ軸方向から見たときの平面）を非導電性の接合部材３５ｂで支持、固定され、振動片２ｄのパッド電極とパッケージ本体５０ｄの接続電極とは、ボンディングワイヤー３７を介して、電気的に接続されていることが特徴である。
このような構成により、非導電性の接合部材３５ｂで支持、固定できるので、各パッド電極間のショートを防止することができ、且つ、接合面積を大きくすることができるため、振動子の不発を回避し、実装強度を向上させる上で、非常に有効である。
【０１３２】
（発振器）
次に、本発明の振動片を適用した発振器について説明する。
図２６は、本発明の発振器の構造を示す断面図であり、発振器４は、電極の形成された振動片２と、振動片２を収納するパッケージ本体６０と、振動片２を駆動するためのＩＣチップ（チップ部品）６２と、ガラス、セラミック、金属などからなる蓋部材５９と、で構成されている。なお、振動片２を収容するキャビティー７０内はほぼ真空の減圧空間となっている。
【０１３３】
パッケージ本体６０は、図２６に示すように、第１の基板５１と、第２の基板５２と、第３の基板５３と、第４の基板５４と、実装端子４６と、を積層して形成されている。また、パッケージ本体６０は、上面に開放するキャビティー７０と、下面に開放するキャビティー７２とを有している。
実装端子４６は、第４の基板５４の外部底面に複数形成されている。また、実装端子４６は、第１の基板５１の上面に設けられた接続電極４７や第３の基板５３の下面に設けられた接続電極４８と、図示しない貫通電極や層間配線を介して、電気的に導通されている。
【０１３４】
パッケージ本体６０のキャビティー７０は、前述した振動子３と同様に、振動片２に形成されたパッド電極４３ａ、４３ｂとパッケージ本体６０の第１の基板５１の上面に形成された２つの接続電極４７とが位置合わせされ、金属あるいは半田などからなるバンプや導電性接着剤などの導電性の接合部材３５を介して接合され、その後、ホウケイ酸ガラスなどの封止材６８により接合されることで、気密封止されている。
【０１３５】
一方、パッケージ本体６０のキャビティー７２内には、ＩＣチップ６２が収容されており、このＩＣチップ６２は、ろう材あるいは接着剤などの接合部材３５ｃを介して第１の基板５１の下面に接合されている。また、キャビティー７２内には、少なくとも２つの接続電極４８が形成されている。接続電極４８は、ボンディングワイヤー３７によってＩＣチップ６２と電気的に接続されている。また、キャビティー７２内には、樹脂材料６４が充填されており、この樹脂材料６４によって、ＩＣチップ６２が封止されている。
ＩＣチップ６２は、振動片２の駆動を制御するための駆動回路（発振回路）を有しており、このＩＣチップ６２によって振動片２を駆動すると、所定の周波数の信号を取り出すことができる。
【０１３６】
（電子機器）
次いで、本発明の振動片を適用した電子機器について、図２７〜図２９に基づき、詳細に説明する。
図２７は、本発明の振動片を備える電子機器としてのモバイル型（又はノート型）のパーソナルコンピューターの構成を示す斜視図である。この図において、パーソナルコンピューター１１００は、キーボード１１０２を備えた本体部１１０４と、表示部１００を備えた表示ユニット１１０６とにより構成され、表示ユニット１１０６は、本体部１１０４に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。このようなパーソナルコンピューター１１００には、発振器４（振動片１）が内蔵されている。
【０１３７】
図２８は、本発明の振動片を備える電子機器としての携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図である。この図において、携帯電話機１２００は、複数の操作ボタン１２０２、受話口１２０４及び送話口１２０６を備え、操作ボタン１２０２と受話口１２０４との間には、表示部１００が配置されている。このような携帯電話機１２００には、発振器４（振動片１）が内蔵されている。
【０１３８】
図２９は、本発明の振動片を備える電子機器としてのデジタルカメラの構成を示す斜視図である。尚、この図には、外部機器との接続についても簡易的に示されている。ここで、通常のカメラは、被写体の光像により銀塩写真フィルムを感光するのに対し、デジタルカメラ１３００は、被写体の光像をＣＣＤ（Charge Coupled Device）などの撮像素子により光電変換して撮像信号（画像信号）を生成する。
デジタルカメラ１３００におけるケース（ボディー）１３０２の背面には、表示部１００が設けられ、ＣＣＤによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、表示部１００は、被写体を電子画像として表示するファインダーとして機能する。また、ケース１３０２の正面側（図中裏面側）には、光学レンズ（撮像光学系）やＣＣＤなどを含む受光ユニット１３０４が設けられている。
【０１３９】
撮影者が表示部１００に表示された被写体像を確認し、シャッターボタン１３０６を押下すると、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、メモリー１３０８に転送・格納される。また、このデジタルカメラ１３００においては、ケース１３０２の側面に、ビデオ信号出力端子１３１２と、データ通信用の入出力端子１３１４とが設けられている。そして、図示されるように、ビデオ信号出力端子１３１２にはテレビモニター１４３０が、データ通信用の入出力端子１３１４にはパーソナルコンピューター（ＰＣ）１４４０が、それぞれ必要に応じて接続される。更に、所定の操作により、メモリー１３０８に格納された撮像信号が、テレビモニター１４３０や、パーソナルコンピューター１４４０に出力される構成になっている。このようなデジタルカメラ１３００には、発振器４（振動片１）が内蔵されている。
【０１４０】
なお、本発明の振動片を備える電子機器は、図２７のパーソナルコンピューター（モバイル型パーソナルコンピューター）、図２８の携帯電話機、図２９のデジタルカメラの他にも、例えば、インクジェット式吐出装置（例えばインクジェットプリンター）、パーソナルコンピューター、テレビ、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダー、カーナビゲーション装置、ページャー、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシュミレーターなどに適用することができる。
【０１４１】
（移動体）
図３０は、本発明の振動片を備える振動子や発振器を適用した移動体の自動車２１０６を概略的に示す斜視図である。この図において、タイヤ２１０９を制御する電子制御ユニット２１０８に発振器４（振動片１）が内蔵され、車体２１０７に搭載されている。
自動車２１０６には、本発明に係る振動片を備える振動子や発振器が搭載されており、例えば、キーレスエントリー、イモビライザー、カーナビゲーションシステム、カーエアコン、アンチロックブレーキシステム（ＡＢＳ：Antilock Brake System）、エアバック、タイヤプレッシャーモニタリングシステム（ＴＰＭＳ：Tire Pressure Monitoring System）、エンジンコントロール、ハイブリッド自動車や電気自動車の電池モニター、車体姿勢制御システムなどの電子制御ユニット（ＥＣＵ：electronic control unit）２１０８に広く適用できる。
【０１４２】
以上、本発明の振動片、振動子、発振器、電子機器および移動体について、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に、他の任意の構成物が付加されていてもよい。また、各実施形態を適宜組み合わせてもよい。
また、前述した実施形態の縮幅部の輪郭には、突出部や窪み（切り欠き）が形成されていてもよい。
【０１４３】
なお、上記のように本実施形態について詳細に説明したが、本発明の新規事項および効果から実体的に逸脱しない多くの変形が可能であることは当業者には容易に理解できるであろう。従って、このような変形例はすべて本発明の範囲に含まれる。例えば、上記実施形態および変形例では、振動片としての形成材料として水晶を用いた例を説明したが、水晶以外の圧電体材料を用いることができる。例えば、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）や、ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ3）、タンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ3）、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）、四ホウ酸リチウム（Ｌｉ2Ｂ4Ｏ7）、ランガサイト（Ｌａ3Ｇａ5ＳｉＯ14）などの酸化物基板や、ガラス基板上に窒化アルミニウムや五酸化タンタル（Ｔａ2Ｏ5）などの圧電体材料を積層させて構成された積層圧電基板、あるいは圧電セラミックスなどを用いることができる。
【０１４４】
また、圧電体材料以外の材料を用いて振動片を形成することができる。例えば、シリコン半導体材料などを用いて振動片を形成することもできる。また、振動片の振動（駆動）方式は圧電駆動に限らない。圧電基板を用いた圧電駆動型のもの以外に、静電気力を用いた静電駆動型や、磁力を利用したローレンツ駆動型などの振動片においても、本発明の構成およびその効果を発揮させることができる。また、明細書または図面において、少なくとも一度、より広義または同義な異なる用語とともに記載された用語は、明細書または図面のいかなる箇所においても、その異なる用語に置き換えられることができる。
【０１４５】
また、振動片１、振動子３、発振器４、パーソナルコンピューター１１００、携帯電話機（ＰＨＳも含む）１２００、カメラ１３００、自動車２１０６等の構成および動作も本実施形態で説明したものに限定されず、種々の変形が可能である。  更に、本発明に係る振動片１はジャイロセンサーだけでなく、圧力センサー、加速度センサー、傾斜センサー等の各種のセンサーに適用できることは言うまでもない。
【符号の説明】
【０１４６】
１，２…振動片、３…振動子、４…発振器、１０…振動基板、１２…基部、１４…本体部、１６，１８…縮幅部、１７ａ，１９ａ…曲線部、１７ｂ，１７ｃ，１９ｂ，１９ｃ…傾斜部、２０，２２…振動腕、２０ａ，２０ｂ，２２ａ，２２ｂ…主面、２４，２６…錘部、２８ａ，２８ｂ，３０ａ，３０ｂ…溝、３５…接合部材、３７…ボンディングワイヤー、４１ａ，４１ｂ…励振電極、４２ａ，４２ｂ…引き出し電極、４３ａ，４３ｂ…パッド電極、４５，４６…実装端子、４７，４８…接続電極、５０，６０…パッケージ本体、５１…第１の基板、５２…第２の基板、５３…第３の基板、５４…第４の基板、５９…蓋部材、６２…ＩＣチップ、６４…樹脂材料、６８…封止材、７０，７２…キャビティー、８２…振動相殺部、８４…枠部、８６…アイランド部、１００…表示部、１５１，１５２…弾性棒、１５３，１６４，１６５，１６７，１６８…基部、１５４，１５６，１６２，１６３…回転体、１５５，１５７…回転軸、１５８，１５９，１６０，１６１，１６６，１６９…連結部、１１００…パーソナルコンピューター，１１０２…キーボード、１１０４…本体部、１１０６…表示ユニット、１２００…携帯電話機、１２０２…操作ボタン、１２０４…受話口、１２０６…送話口、１３００…デジタルカメラ、１３０２…ケース、１３０４…受光ユニット、１３０６…シャッターボタン、１３０８…メモリー、１３１２…ビデオ信号出力端子、１３１４…入出力端子、１４３０…テレビモニター、１４４０…パーソナルコンピューター、２１０６…自動車、２１０７…車体、２１０８…電子制御ユニット、２１０９…タイヤ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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