(57)【要約】【課題】  本発明は、二重構造のペリクルフレーム１１で構成されるペリクル１０の収納容器であって、その構造が簡便で低コストであると共に、輸送中に異物の付着やケース内での脱落といった不具合がないペリクル収納容器５０を提供する。【解決手段】  本発明は、ペリクル膜１３が接着されると共にマスク粘着層１４が設けられた内枠１１ａと、該内枠１１ａに密着し該内枠１１ａから分離可能な外枠１１ｂとを有するペリクルフレーム１１で構成されるペリクル１０の収納容器であって、該ペリクル１０を載置する容器本体５１と、該容器本体５１を覆いかつ周縁部で該容器本体５１と嵌合係止する蓋体５２とから構成され、前記外枠１１ｂの少なくとも３箇所を支持することで前記ペリクルフレーム１１を前記容器本体５１から離間して支持すると共に、前記外枠１１ｂは前記蓋体５２の内側において上部から押圧固定されることを特徴とする。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ペリクル膜が接着されるとともにマスク粘着層が設けられた内枠と、該内枠に密着し該内枠から分離可能な外枠とを有するペリクルフレームで構成されるペリクルの収納容器であって、該ペリクルを載置する容器本体と、該容器本体を覆いかつ周縁部で該容器本体と嵌合係止する蓋体とから構成され、前記外枠の少なくとも３箇所を支持することで前記ペリクルフレームを前記容器本体から離間して支持するとともに、前記外枠は前記蓋体の内側において上部から押圧固定されることを特徴とするペリクル収納容器。
【請求項２】
前記外枠を押圧固定する蓋体の内側部位には、樹脂からなる緩衝体が取り付けられていることを特徴とする請求項１に記載のペリクル収納容器。
【請求項３】
前記外枠の少なくとも３箇所を支持する支持手段のうち、２箇所は前記外枠の角部を支持するように設けられるとともに、該２箇所の支持手段には、前記ペリクルの水平方向への移動を制限する構造が設けられていることを特徴とする請求項１または２に記載のペリクル収納容器。
【請求項４】
前記ペリクルの前記マスク粘着層にはセパレータが設けられておらず、前記マスク粘着層は露出した状態で、前記容器本体に接触することなく容器本体から離間して支持されることを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載のペリクル収納容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体デバイス、ICパッケージ、プリント基板、液晶ディスプレイ或いは有機ELディスプレイ等を製造する際のゴミよけとして使用されるペリクルの収納容器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
LSI、超LSIなどの半導体或いは液晶ディスプレイ等の製造においては、半導体ウエハー或いは液晶用ガラス板に紫外光を照射してパターンを作製するが、この時に用いるフォトマスクにゴミが付着していると、このゴミが紫外光を遮ったり、反射してしまうために、転写したパターンの変形、短絡などが発生し、品質が損なわれるという問題があった。
【０００３】
このため、これらの作業は通常クリーンルームで行われているが、それでもフォトマスクを常に清浄に保つことが難しいので、フォトマスク表面にゴミよけとしてペリクルを貼り付けた後に露光を行っているのが現状である。この場合、異物はフォトマスクの表面には直接付着せずにペリクル上に付着するために、リソグラフィー時に焦点をフォトマスクのパターン上に合わせておけば、ペリクル上の異物は転写に無関係となる。
【０００４】
一般に、ペリクルには、光を良く透過させるニトロセルロース、酢酸セルロース或いはフッ素樹脂などの材質からなる透明なペリクル膜がアルミニウム、ステンレス、ポリエチレンなどの材質からなるペリクルフレームの上端面に貼り付け又は接着されている。また、ペリクルフレームの下端にはフォトマスクに装着するためにポリブデン樹脂、ポリ酢酸ビニル樹脂、アクリル樹脂、シリコーン樹脂等からなる粘着層及び粘着層の保護を目的とした離型層（セパレータ）が設けられる。
【０００５】
ペリクル膜については、一般的には薄い樹脂で作られているので、これを弛み無くシワも無くペリクルフレームで支持するために、適切な大きさの張力がかかった状態でペリクルフレームに接着させている。したがって、通常用いられている矩形のペリクルは、ペリクル膜が貼り付けられた後では、ペリクル膜の張力によりいくらか内側へ撓みが生じることになる。この現象は、例えばプリント基板や液晶ディスプレイ製造に用いられるペリクルフレームの辺長が大きい大型のペリクルにおいて現れるし、半導体製造用の小型のペリクルでもその材質や寸法上の制約によって低剛性のフレームを採用した場合においても顕著に現れる。
【０００６】
一方、フォトマスクについては、低コスト化のためにできるだけ露光領域を広く確保したいという要求がある。ペリクルフレームが内側へ撓むとその分だけ利用できる露光領域が減少するという問題が発生するから、撓み量をできるだけ抑制しつつ、より幅の狭いペリクルフレームを開発して内側の露光可能面積を広くすることができれば、コスト低減の効果はより大きいといえる。
【０００７】
そこで、本発明者らは、このような課題を解決するために、先に、図５乃至８に示すような二重構造のペリクルフレーム１１で構成されるペリクル１０に係る発明を提案した（特願２０１２−２２８５８２号）。
【０００８】
このペリクル１０について、図５乃至図８に基づいて説明すると、ペリクル１０におけるペリクルフレーム１１は、内枠１１ａおよび外枠１１ｂの二重構造で構成され、その内枠１１ａの上面にはペリクル膜接着層１２が設けられ、ペリクル膜１３が接着されている。また、その反対の面にはフォトマスク（図示しない）へ貼付けるためのマスク粘着層１４が設けられる。
【０００９】
一方、ペリクルフレーム１１の外枠１１ｂは、その内面が内枠１１ａの外面にスムーズに脱着出来る程度に嵌合される構成であり、製造や搬送の間は内枠１１ａと一体で取り扱われるために、内枠１１ａの変形やペリクル膜のシワなどの不具合が発生しないように十分な剛性を有している。
【００１０】
また、内枠１１ａと外枠１１ｂは、ボルト３２などの締結手段により固定されており、図８に示すように、フォトマスク４１への貼付け後に外枠１１ｂを取り外してフォトマスク上には内枠１１ａで構成されたペリクル１０′だけを残すことができる構成とされている。
【００１１】
先に提案した上記ペリクル１０は、以上のような構成となっているから、製造工程ならびに搬送工程の全工程に渡って、ペリクルフレーム１１の外枠１１ｂによって、ペリクルフレーム１１の剛性が維持されるために、特に内枠１１ａの剛性はさほど必要がなく、フォトマスク４１への貼付け後にフォトマスク４１上でペリクル膜１３を保持することができる程度の剛性があれば良いことになる。
【００１２】
したがって、ペリクルフレーム１１の幅については、ペリクル膜１３を保持することができる程度の最小の設計とすることが可能となるし、また、金属や樹脂等の様々な材質を選択することも可能となるから、大型のペリクル１０の場合でも極めて幅の狭いペリクルフレーム１１を使用することが可能となり、最大限の露光領域が達成されることになる。
【００１３】
このような二重構造のペリクルフレーム１１で構成されるペリクル１０の場合でも、ペリクル収納容器に収納して搬送されるから、ペリクル収納容器については、搬送中に振動等でペリクルが動いたり、ケース内での脱落や異物の付着といった不具合がないことが求められる。
【００１４】
そこで、従来のペリクル収納容器についてみてみると、例えば、ペリクルフレーム外側面に設けた孔にフレーム保持ピンを挿入して、容器本体上に設けた位置決め部品との間でペリクルを固定する構造のものが知られている（特許文献１）。また、別の例として、マスク粘着層を保護するセパレータ（ライナー）の一部を外側へ突出させ、この突出部を粘着テープで容器上に貼付け固定するペリクル収納方法も知られている（特許文献２）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１５】
【特許文献１】特許第４３９１４３５号
【特許文献２】特許第４４９７８４５号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１６】
これら従来のペリクル収納容器も、二重構造のペリクルフレーム１１で構成されるペリクル１０を収納して搬送することは可能であるが、特許文献１の収納容器の場合は、フレーム保持ピンを利用して固定する場合に、外枠のさらに外側にフレーム保持ピンの固定機構を配置しなければならないため、ペリクル収納容器全体の寸法がかなり大きくなるほかに、容器も含めた全体の部品点数が極めて多くなるという問題がある。
【００１７】
また、特許文献２の収納方法は、粘着テープでライナーを固定する場合に、外枠を含めたペリクル全体の重量が通常のペリクルの重量に比べてかなり重くなるため、粘着テープだけの固定では固着力が十分でなく、輸送中の振動等によりペリクルが容器内で動いて脱落する恐れがあるという問題もある。
【００１８】
このように、本発明者らが先に提案した上記二重構造のペリクルフレーム１１で構成されるペリクル１０を従来の収納容器を用いて搬送する上で幾つかの問題があり、このペリクル１０の収納に最適な収納容器が見当たらないのが実情である。
【００１９】
そこで、本発明は、二重構造のペリクルフレーム１１で構成されるペリクルに係る上記問題を解決するためになされたものであり、収納容器の構造が簡便で、かつ低コストであるとともに、輸送中に異物の付着やケース内での脱落といった不具合がないようなペリクル収納容器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
すなわち、本発明のペリクル収納容器は、ペリクル膜が接着されるとともにマスク粘着層が設けられた内枠と、該内枠に密着し該内枠から分離可能な外枠とを有するペリクルフレームで構成されるペリクルの収納容器であって、該ペリクルを載置する容器本体と、該容器本体を覆いかつ周縁部で該容器本体と嵌合係止する蓋体とから構成され、前記外枠の少なくとも３箇所を支持することで前記ペリクルフレームを前記容器本体から離間して支持するとともに、前記外枠は前記蓋体の内側において上部から押圧固定されることを特徴とするものである。
【００２１】
また、本発明のペリクル収納容器は、前記外枠を押圧固定する蓋体の内側部位に樹脂からなる緩衝体が取り付けられていることが好ましく、前記外枠の少なくとも３箇所を支持する支持手段のうち、２箇所は前記外枠の角部を支持するように設けられるとともに、該２箇所の支持手段には、前記ペリクルの水平方向への移動を制限する構造が設けられていることが好ましい。
【００２２】
さらに、本発明のペリクル収納容器は、前記ペリクルの前記マスク粘着層にセパレータが設けられておらず、前記マスク粘着層は露出した状態で、前記容器本体に接触することなく容器本体から離間して支持されることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００２３】
本発明によれば、内枠と外枠からなる二重構造のペリクルフレームで構成されたペリクルを収納し搬送しても、ペリクル膜とマスク粘着層を有した細いフレーム幅の内枠に破損や変形が起こらず、異物の付着やケース内での脱落といった不具合を起こすこともないとともに、その構造が簡便で、かつ低コストで作製することができる。また、フォトマスク粘着層はペリクル収納容器本体から離間して支持されるために、セパレータを省略することもできるから、より一層の低コスト化が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】図１は、本発明の収納容器の一実施形態を示す平面図である。
【図２】図２は、図１のＣ−Ｃ断面図である。
【図３】図３は、図１のＤ−Ｄ断面図である。
【図４】図４は、図１のＥ−Ｅ断面図である。
【図５】図５は、本発明が収納するペリクルの一実施形態を示す平面図である。
【図６】図６は、図５のＡ−Ａ断面図である。
【図７】図７は、図５のＢ部の断面拡大図である。
【図８】図８は、ペリクルの貼付け後の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、本発明を実施するための形態について説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。図５乃至図８は、本発明のペリクル収納容器に収納するペリクルの一実施形態を示すものであるが、このペリクル１０におけるペリクルフレーム１１の構成については、前述したとおりである。
【００２６】
図１乃至図４は、図５等に示す上記ペリクル１０を収納するための本発明のペリクル収納容器の一実施形態を示すものである。この実施形態において、ペリクル１０を載置する容器本体５１は、中央部が低くなった皿状を成しており、蓋体５２は、容器本体を覆って密閉するためのもので、その中央部付近が突出したドーム状となっており、その周縁部で容器本体５１と嵌合するように構成されている。容器本体５１および蓋体５２は、密閉時は、粘着テープまたはクリップ（図示しない）などにより固定されることが好ましい。
【００２７】
また、容器本体５１および蓋体５２は、アルミニウム合金などの軽金属で製作することができるが、特にＰＥＴ、ＰＣ、ＰＭＭＡ、ＡＢＳなどの樹脂を用いて製作することもできる。小型の容器の場合は射出成形によって、また大型の容器の場合は真空成形によってそれぞれ製作されることが好ましい。そして、容器本体５１は、異物の視認性向上のために黒色とし、一方、蓋体５２は、内部の視認性確保の観点から、透明または半透明とすることが好ましく、さらに異物付着の防止のために帯電防止機能を付与しても良い。
【００２８】
容器本体５１上には、少なくとも３箇所のペリクルの支持手段５３および５４が設けられ、その上にペリクルフレームの外枠１１ｂが載置される。これらの支持手段５３および５４のうち、少なくとも２箇所は、図２に示すように、外枠１１ｂの角部を支持するように配置される。また、角部の支持手段５３には、図４に示すように、ペリクルの外枠１１ｂの水平方向への移動を制限する構造が設けられることが好ましい。
【００２９】
この実施形態では、図４に示すように、その構造として、外枠１１ｂの下面に略円錐状の凹部８１を設け、この凹部８１と嵌め合う凸部８２を支持手段５３上に設けて外枠１１ｂの横ズレを防止している。
ここで、凸部８２は支持手段５３と一体で形成されていても良いし、別の部品を取り付けることで構成されていても良い。また、図４に示す例は、ペリクルの移動を制限する構造の一例にすぎず、この他の形態でもかまわない。
【００３０】
一方、他の支持手段５４については、図１に示すように、辺の中央部に配置しても良く、その形状はただの平板形状でもかまわないが、より好ましくは図３に示すような段差を有してペリクルフレームの移動を制限する形状が良い。
【００３１】
これら支持手段５３および５４は、発塵防止の観点から、好ましくはＰＡ、ＰＩ、ＰＯＭ、ＰＥＥＫなどのエンジニアリングプラスチック、さらに好ましくはウレタンゴム、ニトリルゴム、エチレンプロピレンゴム、シリコーンゴム、フッ素ゴムなどのゴム系材料とすることが良い。ゴム系材料を使用する場合は、その硬度がショアＡ３０〜７０の範囲とすることがさらに好ましい。
【００３２】
また、支持手段５３および５４の容器本体５１への取付けは、接着または裏面からのネジ止めにより行うことが良く、その配置個数はペリクルの大きさによって適宜選定されるが、載置するペリクルのフレーム１１の自重撓みを考慮した間隔で配置することが望ましい。
【００３３】
蓋体５２は、その内側に接着あるいはネジ止めなどの手段で緩衝体５５が取り付けられている。蓋体５２を容器本体５１へ被せて密閉した際には、外枠１１ｂはこの緩衝体５５と支持手段５３、５４との間で押圧固定されることになる。ペリクル収納容器が大型である場合は、寸法の成形誤差が大きくなる可能性があるが、この緩衝体５５によってその誤差が吸収されるために、外枠１１ｂは確実に支持手段５３、５４に押圧固定されることになる。また、輸送中に容器に変形が生じたとしても、発塵は極めて少なくなる。
【００３４】
この緩衝体５５の材質としては、樹脂が好ましく、その中でもニトリルゴム、エチレンプロピレンゴム、シリコーンゴム、フッ素ゴムなどのゴム系材料が特に好ましい。また、帯電防止性能を付与することも好ましいし、これらのゴム系材料の硬度がショアＡ２０〜５０の範囲であることがさらに好ましい。
【００３５】
本発明の上記実施形態では、図２および図３に示すように、マスク粘着層１４は、容器本体５１から離間して支持されることになるから、マスク粘着層１４を保護するためのセパレータを省略することが可能となる。
したがって、セパレータの製造コスト、洗浄、貼付けにかかる作業コストがなくなるほか、セパレータに関する不良などの発生がなくなるから、さらに低コスト化を図ることができるというメリットがある。
【実施例】
【００３６】
以下に、本発明の実施例について説明するが、本発明はこの実施例に限定されるものではない。はじめに、二重構造のペリクルフレームで構成されたペリクルを用意した。このペリクルは、図５乃至７に示す構成を有するものであり、その詳細は次のとおりである。
【００３７】
ペリクルフレーム１１の内枠１１ａは、アルミニウム合金を黒色アルマイト処理したもので、外寸４７４ｘ７８２ｍｍ、内寸４６６ｘ７７４ｍｍ、高さ４．９ｍｍであり、その外側面には、非貫通の雌ネジ３１ならびに通気孔１５が設けられ、この通気孔１５はフィルター１６で覆われている。
ペリクルフレーム１１の外枠１１ｂは、アルミニウム合金製で、外寸５１４ｘ８２２ｍｍ、内寸４７４ｘ７８２ｍｍ、高さ４．０ｍｍであり、その表面を黒色アルマイト処理したものである。
【００３８】
内枠１１ａの雌ネジと対応する位置には、ボルト用のザグリ孔３３が設けられ、通気孔１５の付近には、フィルター１６との干渉を避けるために掘り込み部１７が設けられている。この内枠１１ａと外枠１１ｂは、図７に示すボルト３２にて締結され、ペリクルフレーム１１を構成している。また、内枠１１ａの一方の端面にはペリクル膜接着層１２を介してフッ素系樹脂からなる厚さ２．５μｍのペリクル膜１３が接着され、その反対の面にはマスク粘着層１４が設けられている。
【００３９】
次に、このペリクル１０を収納する本発明のペリクル収納容器５０を用意した。このペリクル収納容器５０は、図１乃至図４に示す構成を有するものであり、その詳細は次のとおりである。
【００４０】
容器本体５１は、帯電防止の黒色のＡＢＳ樹脂を用いて真空成形によって製作され、その大きさは、６９０ｘ８９０ｍｍ、高さ３５ｍｍ、厚さ５ｍｍである。同様にして、蓋体５２も、透明のＡＢＳ樹脂を用いて真空成形によって製作され、その大きさは、６９０ｘ８９０ｍｍ、高さ４８ｍｍ、厚さ３ｍｍである。
【００４１】
次に、支持手段５３は、その大きさが４０ｘ３０ｍｍ、高さ８ｍｍであり、支持手段５４は、その大きさが３０ｘ２０ｍｍ、高さ８ｍｍであり、いずれもシリコーンゴム製（硬度：ショアＡ５０）であり、エポキシ系接着剤にて容器本体５１上に接着固定した。
【００４２】
緩衝体５５は、その大きさが１５ｘ１５ｍｍ、高さ６ｍｍのシリコーンゴム製（硬度：ショアＡ２０）であり、エポキシ系接着剤にて蓋体５２に接着固定した。また、この緩衝体５５については、蓋体５２を密閉した際に約１ｍｍ潰れて外枠１１ｂを押圧するように設定した。
【００４３】
以上のような本発明のペリクル収納容器５０は、その後クリーンルームに搬入され、界面活性剤と純水で洗浄し、完全に乾燥させた。次に、このペリクル収納容器５０にペリクル１０を収納し、その周囲を粘着テープで貼付け密封するとともに、ポリエチレン製の袋で二重梱包し、クッション材を介したダンボール製梱包箱へ収納した。
【００４４】
そして、このダンボール製梱包箱へ収納したペリクル収納容器５０をトラックで約１０００ｋｍの陸上輸送試験を行って輸送後のペリクル１０を検査したところ、異物の付着はなく、ペリクル膜の損傷ならびに内枠１１ａと外枠１１ｂとの締結状況に異常は見られなかった。また、外枠１１ｂの押圧されていた箇所を集光ランプで照射しながら入念に観察したところ、異物や擦れ跡も全く確認されなかった。
【符号の説明】
【００４５】
１０  ペリクル
１０’ペリクル（外枠１１ｂ取り外し後）
１１  ペリクルフレーム
１１ａ  内枠
１１ｂ  外枠
１２  ペリクル膜接着層
１３  ペリクル膜
１４  マスク粘着層
１５  通気孔
１６  フィルター
１７  掘り込み部
３１  雌ネジ
３２  ボルト
３３  ザグリ孔
４１  フォトマスク
５０  ペリクル収納容器
５１  容器本体
５２  蓋体
５３  支持手段（角部）
５４  支持手段
５５  緩衝体
８１  凹部
８２  凸部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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