(57)【要約】【課題】高精度で製品寿命を保証する電気光学装置の検査方法を提供する事。【解決手段】電気光学装置の検査方法は、表示面２００に極性反転駆動を用いて中間階調の検査画像が表示され、検査画像のフリッカー値ＦＬＫが表示面のｋヶ所（ｋは２以上の整数）の計測点にて計測され、フリッカー値ＦＬＫから直流成分電位ＶDCが計算され、ｋ個の直流成分電位ＶDCの第一統計処理結果が第一規定条件を満たしているかが検査される。こうする事で、電気光学装置に存在する僅かな電気的非対称性が定量的に評価されるので、電気光学装置の製品寿命を高精度に保証し得る検査方法を提供ができる。【選択図】図５
2014048303.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表示面に極性反転駆動を用いて中間階調の検査画像が表示され、
前記検査画像のフリッカー値ＦＬＫが前記表示面のｋヶ所（ｋは２以上の整数）の計測点にて計測され、
前記ｋヶ所の計測点にて計測された前記フリッカー値ＦＬＫの各々からｋ個の直流成分電位ＶDCが、前記フリッカー値ＦＬＫの極性に応じた係数であるＶ0とαとβとを含む数式１に従って計算され、
前記ｋ個の直流成分電位ＶDCの第一統計処理結果が第一規定条件を満たしているかが検査される事を特徴とする電気光学装置の検査方法。
【数１】
2014048303.tif 000009
【請求項２】
前記第一統計処理結果は、ｋ個の直流成分電位ＶDCの最大値と最小値との差であり、前記第一規定条件が０．１２Ｖ以下である事を特徴とする請求項１に記載の電気光学装置の検査方法。
【請求項３】
前記第一統計処理結果は、隣り合う前記計測点の直流成分電位ＶDCの差の中の最大値であり、前記第一規定条件が０．０２３Ｖ以下である事を特徴とする請求項１に記載の電気光学装置の検査方法。
【請求項４】
表示面に極性反転駆動を用いて中間階調の検査画像が表示され、
前記検査画像のフリッカー値ＦＬＫが前記表示面のｋヶ所（ｋは２以上の整数）の計測点にて計測され、
前記ｋヶ所の計測点にて計測された前記フリッカー値ＦＬＫの各々からｋ個の直流成分電位ＶDCが、前記フリッカー値ＦＬＫの極性に応じた係数であるＶ0とαとβとを含む数式２に従って計算され、
前記ｋ個の直流成分電位ＶDCの第一統計処理結果が第一規定条件を満たしているか、及び、前記ｋ個の直流成分電位ＶDCの第二統計処理結果が第二規定条件を満たしているか、が検査される事を特徴とする電気光学装置の検査方法。
【数２】
2014048303.tif 000010
【請求項５】
前記第一統計処理結果は、ｋ個の直流成分電位ＶDCの最大値と最小値との差であり、前記第一規定条件が０．１２Ｖ以下であり、
前記第二統計処理結果は、隣り合う前記計測点の直流成分電位ＶDCの差の中の最大値であり、前記第二規定条件が０．０２３Ｖ以下である事を特徴とする請求項４に記載の電気光学装置の検査方法。
【請求項６】
前記フリッカー値ＦＬＫが正極性の際には、Ｖ0＝＋１Ｖ、α＝７．９４７７、β＝１．０２２３であり、
前記フリッカー値ＦＬＫが負極性の際には、Ｖ0＝−１Ｖ、α＝８．３５３８、β＝１．３２９４である事を特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項に記載の電気光学装置の検査方法。
【請求項７】
前記電気光学装置は、画素電極と共通電極とを有し、
前記表示面で、前記検査画像の補助フリッカー値ＦＬＫＡがｋヶ所（ｋは２以上の整数）の前記計測点にて計測され、
前記補助フリッカー値ＦＬＫＡが計測される際の前記共通電極の電位は、前記フリッカー値ＦＬＫが計測される際の前記共通電極の電位よりも高く、
前記フリッカー値ＦＬＫが前記補助フリッカー値ＦＬＫＡよりも大きい際には、前記フリッカー値ＦＬＫは前記正極性であり、
前記フリッカー値ＦＬＫが前記補助フリッカー値ＦＬＫＡよりも大きくない際には、前記フリッカー値ＦＬＫは前記負極性である事を特徴とする請求項６に記載の電気光学装置の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気光学装置の検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
プロジェクターは、透過型電気光学装置や反射型電気光学装置に光を照射し、これらの電気光学装置により変調された透過光や反射光をスクリーン上に投射する電子機器である。これは光源から発せられた光を電気光学装置に集光して入射させ、電気信号に応じて変調された透過光又は反射光を、投射レンズを通じて、スクリーンに拡大投射する様に構成される物で、大画面を表示するとの長所を有している。この様な電子機器に使用される電気光学装置としては液晶装置が知られており、これは液晶の誘電異方性と液晶層における光の旋光性とを利用して画像を形成している。
【０００３】
液晶装置は基板間に液晶層を挟持した構成を取るが、液晶層にイオン性の不純物が存在すると、表示不良になる事が知られている。この為に、液晶装置に含まれるイオン性不純物の密度を把握する事が、製品品質や製品寿命を保証する上で重要となる。イオン性不純物の密度を見積もる方法としては、例えば、特許文献１に記載されている様に、１Ｈｚ程度の低い周波数の矩形波を印加して、フリッカーを観測し、観測されたフリッカーの振幅又は面積から、検量線を用いて、液晶装置内のイオン密度を見積もっていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−４９７１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載されている測定方法では、微量イオンの検出が困難であるという課題があった。特許文献１に記載されている測定方法では検出不能な極微量のイオン性不純物であっても、これらが液晶層に存在すると、液晶装置は経時劣化を起こす事がある。即ち、製造直後には良好な表示品質を示していても、長期間使用している間に、イオン性不純物が液晶層内で局所的に集積し、しみやむら等の表示不良を起こす事があった。換言すると、従来の測定方法では、電気光学装置の製品寿命を高精度に保証する事が困難であるという課題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、前述の課題の少なくとも一部を解決する為になされたものであり、以下の形態又は適用例として実現する事が可能である。
【０００７】
本適用例に係わる電気光学装置の検査方法は、表示面に極性反転駆動を用いて中間階調の検査画像が表示され、検査画像のフリッカー値ＦＬＫが表示面のｋヶ所（ｋは２以上の整数）の計測点にて計測され、ｋヶ所の計測点にて計測されたフリッカー値ＦＬＫの各々からｋ個の直流成分電位ＶDCが、フリッカー値ＦＬＫの極性に応じた係数であるＶ0とαとβとを含む数式１に従って計算され、ｋ個の直流成分電位ＶDCの第一統計処理結果が第一規定条件を満たしているかが検査される事を特徴とする。
【数１】
2014048303.tif 000003
この構成によれば、電気光学装置に存在する僅かな電気的非対称性を定量的に評価するので、電気光学装置の製品寿命を高精度に保証し得る検査方法を提供する事ができる。
【０００８】
上記適用例に係わる電気光学装置の検査方法において、第一統計処理結果は、ｋ個の直流成分電位ＶDCの最大値と最小値との差であり、第一規定条件が０．１２Ｖ以下である事が好ましい。
この構成によれば、電気光学装置に存在する僅かなイオン性不純物が将来表示品質に悪影響を及ぼすか否かを判定する事ができる。
【０００９】
上記適用例に係わる電気光学装置の検査方法において、第一統計処理結果は、隣り合う計測点の直流成分電位ＶDCの差の中の最大値であり、第一規定条件が０．０２３Ｖ以下である事が好ましい。
この構成によれば、電気光学装置に存在する僅かなイオン性不純物が将来表示品質に悪影響を及ぼすか否かを判定する事ができる。
【００１０】
本適用例に係わる電気光学装置の検査方法は、表示面に極性反転駆動を用いて中間階調の検査画像が表示され、検査画像のフリッカー値ＦＬＫが表示面のｋヶ所（ｋは２以上の整数）の計測点にて計測され、ｋヶ所の計測点にて計測されたフリッカー値ＦＬＫの各々からｋ個の直流成分電位ＶDCが、フリッカー値ＦＬＫの極性に応じた係数であるＶ0とαとβとを含む数式２に従って計算され、ｋ個の直流成分電位ＶDCの第一統計処理結果が第一規定条件を満たしているか、及び、ｋ個の直流成分電位ＶDCの第二統計処理結果が第二規定条件を満たしているか、が検査される事を特徴とする。
【数２】
2014048303.tif 000004
この構成によれば、電気光学装置に存在する僅かな電気的非対称性を定量的に評価するので、電気光学装置の製品寿命を高精度に保証し得る検査方法を提供する事ができる。
【００１１】
上記適用例に係わる電気光学装置の検査方法において、第一統計処理結果は、ｋ個の直流成分電位ＶDCの最大値と最小値との差であり、第一規定条件が０．１２Ｖ以下であり、第二統計処理結果は、隣り合う計測点の直流成分電位ＶDCの差の中の最大値であり、第二規定条件が０．０２３Ｖ以下である事が好ましい。
この構成によれば、電気光学装置に存在する僅かなイオン性不純物が将来表示品質に悪影響を及ぼすか否かを判定する事ができる。
【００１２】
上記適用例に係わる電気光学装置の検査方法において、フリッカー値ＦＬＫが正極性の際には、Ｖ0＝＋１Ｖ、α＝７．９４７７、β＝１．０２２３であり、フリッカー値ＦＬＫが負極性の際には、Ｖ0＝−１Ｖ、α＝８．３５３８、β＝１．３２９４である事が好ましい。
この構成によれば、フリッカー値ＦＬＫから直流成分電位ＶDCを計算する事ができる。
【００１３】
上記適用例に係わる電気光学装置の検査方法において、電気光学装置は、画素電極と共通電極とを有し、表示面で、検査画像の補助フリッカー値ＦＬＫＡがｋヶ所（ｋは２以上の整数）の計測点にて計測され、補助フリッカー値ＦＬＫＡが計測される際の共通電極の電位は、フリッカー値ＦＬＫが計測される際の共通電極の電位よりも高く、フリッカー値ＦＬＫが補助フリッカー値ＦＬＫＡよりも大きい際には、フリッカー値ＦＬＫは正極性であり、フリッカー値ＦＬＫが補助フリッカー値ＦＬＫＡよりも大きくない際には、フリッカー値ＦＬＫは負極性である、事が好ましい。
この構成によれば、フリッカー値ＦＬＫが正極性であるか、負極性であるかを判定できるので、フリッカー値ＦＬＫから直流成分電位ＶDCを計算する事ができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】電気光学装置としての液晶装置の構成を示す概略図。
【図２】液晶装置の電気的な構成を示す等価回路図。
【図３】電子機器としての三板式プロジェクターの構成を示す平面図。
【図４】実施形態１に係わる検査方法を実施する装置を説明した図。
【図５】実施形態１に係わる検査方法を説明した図。
【図６】液晶に印加される電圧と、表示される画像の輝度及びフリッカーの大きさを説明する図。
【図７】フリッカー値の一例を説明する図。
【図８】各計測点で計測されたフリッカー値の一例を示す図。
【図９】フリッカー値と直流成分電位との関係を説明する図。
【図１０】各計測点で計測された直流成分電位の一例を示す図。
【図１１】実施形態２に係わる電気光学装置の検査方法による結果を説明する図。
【図１２】変形例１に係わる検査方法を実施する装置を説明した図。
【図１３】変形例１に係わる検査方法を実施する装置を説明した図。
【図１４】変形例１に係わる検査方法を実施する装置を説明した図。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。尚、以下の各図においては、各層や各部材を認識可能な程度の大きさにするため、各層や各部材の尺度を実際とは異ならせしめている。
【００１６】
（実施形態１）
「電気光学装置の概要」
図１は電気光学装置としての液晶装置の構成を示す概略図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＨ−Ｈ’線で切った断面図である。尚、以下の形態において、「○○上に」と記載された場合、○○の上に接する様に配置される場合、又は、○○の上に他の構成物を介して配置される場合、又は、○○の上に一部が接する様に配置され一部が他の構成物を介して配置される場合、を表すものとする。
【００１７】
まず、液晶装置１００について図１を参照して説明する。図１（ａ）及び（ｂ）に示す様に、本実施形態の液晶装置１００は、対向配置された素子基板１１０及び対向基板１２０と、これら一対の基板によって挟持された液晶層１５０とを有する。素子基板１１０の基材１１０ｓ及び対向基板１２０の基材１２０ｓは、透明な例えば石英基板やガラス基板などが用いられている。
【００１８】
素子基板１１０は対向基板１２０よりも一回り大きく、両基板は、対向基板１２０の外周に沿って配置されたシール材１４０を介して貼り合わされ、その隙間に正または負の誘電異方性を有する液晶が封入されて液晶層１５０を構成している。シール材１４０は、例えば熱硬化性または紫外線硬化性のエポキシ樹脂などの接着剤が採用されている。シール材１４０には、一対の基板の間隔を一定に保持するためのスペーサー（図示省略）が混入されている。
【００１９】
シール材１４０の内側には、見切り部１２１が設けられている。見切り部１２１は、例えば遮光性の金属あるいは金属酸化物などからなり、見切り部１２１の内側が画素領域Ｅとなっている。画素領域Ｅには、マトリックス状に画素Ｐが複数配置されている。
【００２０】
画素領域Ｅは、表示に寄与する有効な複数の画素Ｐを囲む様に配置された複数のダミー画素を含んでいるとしてもよい。尚、図１では図示省略したが、画素領域Ｅにおいても複数の画素Ｐを平面的に区分する遮光部が素子基板１１０と対向基板１２０とにそれぞれ設けられている。
【００２１】
素子基板１１０の第一辺部に沿ったシール材１４０とこの第一辺部との間に信号線駆動回路１０１が設けられている。また、この第一辺部に対向する第二辺部に沿ったシール材１４０の内側に検査回路１０３が設けられている。さらに、第一辺部と直交し互いに対向する第三及び第四辺部に沿ったシール材１４０の内側に走査線駆動回路１０２が設けられている。第二辺部のシール材１４０の内側には、２つの走査線駆動回路１０２を繋ぐ複数の配線１０５が設けられている。これら信号線駆動回路１０１、走査線駆動回路１０２に繋がる配線は、第一辺部に沿って配列した複数の外部接続用端子１０４に接続されている。第一辺部の中央付近にはシール材１４０が配置されていない開口部Ｏｐが設けられており、この開口部Ｏｐから液晶が、素子基板１１０と対向基板１２０との間に注入される。開口部Ｏｐの外側には、封止材１２２が設けられ、液晶注入後に開口部Ｏｐを封止している。以降、第一辺部に沿った方向をＸ方向とし、第一辺部と直交し互いに対向する第三及び第四辺部に沿った方向をＹ方向として説明する。
【００２２】
図１（ｂ）に示す様に、基材１１０ｓの液晶層１５０側の表面には、画素Ｐごとに設けられた光透過性を有する画素電極１１５及びスイッチング素子としての薄膜トランジスター（ＴＦＴ；Ｔｈｉｎ  Ｆｉｌｍ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ、以下、ＴＦＴと称する）１３０と、信号配線（図示省略）と、複数の画素電極１１５を覆う配向膜１１８とが形成されている。又、ＴＦＴ１３０における半導体層に光が入射して光リーク電流が流れ、不適切なスイッチング動作となる事を防ぐ遮光構造が採用されている。即ち、本実施形態における素子基板１１０は、基材１１０ｓと、画素電極１１５と、ＴＦＴ１３０と、信号配線と、配向膜１１８を少なくとも含むものである。
【００２３】
基材１２０ｓの液晶層１５０側の表面には、見切り部１２１と、見切り部１２１を覆う様に成膜された平坦化層１２３と、少なくとも画素領域Ｅに亘って平坦化層１２３を覆う様に設けられた共通電極１２４と、共通電極１２４を覆う配向膜１２５とが設けられている。即ち、本実施形態における対向基板１２０は、基材１２０ｓと、遮光性の見切り部１２１と、平坦化層１２３と、共通電極１２４と、配向膜１２５とを少なくとも含むものである。
【００２４】
見切り部１２１は、図１（ａ）に示す様に平面的に走査線駆動回路１０２、検査回路１０３と重なる位置に設けられている。これにより対向基板１２０側から入射する光を遮蔽して、これらの駆動回路を含む周辺回路の光による誤動作を防止する役目を果たしている。また、不必要な迷光が画素領域Ｅに入射しない様に遮蔽して、画素領域Ｅの表示における高いコントラストを確保している。
【００２５】
平坦化層１２３は、例えば酸化シリコンなどの無機材料からなり、光透過性を有して見切り部１２１を覆う様に設けられている。つまり、平坦化層１２３は、見切り部１２１によって基材１２０ｓ上に生ずる凹凸を緩和している。このような平坦化層１２３の形成方法としては、例えばプラズマＣＶＤ法などを用いて成膜する方法が挙げられる。
【００２６】
共通電極１２４は、例えばＩＴＯなどの透明導電膜からなり、平坦化層１２３を覆うと共に、図１（ａ）に示す様に対向基板１２０の四隅に設けられた上下導通部１０６により素子基板１１０側の配線に電気的に接続している。
【００２７】
画素電極１１５を覆う配向膜１１８及び共通電極１２４を覆う配向膜１２５は、液晶装置１００の光学設計に基づいて選定される。例えば、ポリイミドなどの有機材料を成膜して、その表面をラビングする事により、正の誘電異方性を有する液晶分子に対して略水平配向処理が施されたものや、ＳｉＯｘ（酸化シリコン）などの無機材料を気相成長法を用いて成膜して、負の誘電異方性を有する液晶分子に対して略垂直配向処理が施されたものが挙げられる。
【００２８】
このような液晶装置１００は透過型であって、本実施形態では画素Ｐが非駆動時に暗表示となるノーマリーブラックモードの光学設計が採用される。そして、画像信号に基づいて液晶装置１００を駆動すれば、照明光を光変調して表示光を出射する事ができる。
【００２９】
「回路構成」
図２は、液晶装置の電気的な構成を示す等価回路図である。以下、液晶装置１００の電気的な構成を、図２を参照しながら説明する。
【００３０】
図２に示す様に、液晶装置１００は、画素領域Ｅを構成する複数の画素Ｐを有している。各画素Ｐには、それぞれ画素電極１１５が配置されている。又、画素Ｐには、ＴＦＴ１３０が形成されている。
【００３１】
ＴＦＴ１３０は、画素電極１１５へ通電制御を行う画素スイッチング素子である。ＴＦＴ１３０のソース側には、信号線１７が電気的に接続されている。各信号線１７には、例えば、信号線駆動回路１０１から画像信号Ｓ１、Ｓ２、…、Ｓｎが供給される様になっている。
【００３２】
又、ＴＦＴ１３０のゲート側には、走査線１６が電気的に接続されている。走査線１６には、例えば、走査線駆動回路１０２から所定のタイミングでパルス的に走査信号Ｇ１、Ｇ２、…、Ｇｍが供給される様になっている。又、ＴＦＴ１３０のドレイン側には、画素電極１１５が電気的に接続されている。
【００３３】
走査線１６から供給された走査信号Ｇ１、Ｇ２、…、Ｇｍは画素スイッチング素子に対する選択電位で、画素スイッチング素子は選択電位が印加された際に導通状態となり、非選択電位が印加された際に非導通状態となる。即ち、スイッチング素子であるＴＦＴ１３０は選択電位が供給された一定期間だけオン状態となる事で、信号線１７から供給された画像信号Ｓ１、Ｓ２、…、Ｓｎが、画素電極１１５を介して画素Ｐに所定のタイミングで書き込まれる様になっている。
【００３４】
画素Ｐに書き込まれた所定電位の画像信号Ｓ１、Ｓ２、…、Ｓｎは、画素電極１１５と共通電極１２４との間で形成される液晶容量で一定期間保持される。尚、保持された画像信号Ｓ１、Ｓ２、…、Ｓｎの電位が、漏れ電流により、低下する事を抑制すべく、画素電極１１５と容量線４７とで保持容量４８が形成されている。
【００３５】
液晶層１５０に電圧信号が印加されると、印加された電圧レベルにより、液晶分子の配向状態が変化する。これにより、液晶層１５０に入射した光が変調されて、画像光が生成される。画素領域Ｅに画像を表示する際には、フリッカーや表示された画像の焼き付き等の表示不具合を抑制する為に、極性反転駆動が採用される。これは、共通電極１２４の電位を基準にして、所定期間毎に画素電極１１５と共通電極１２４との間に印加される電界の向きを反転させる表示方法である。例えば、一枚の画像（フレーム）毎に画素電極１１５に書き込まれる画像信号の電圧の極性を、共通電極１２４の電位に対して反転させる。この場合には、第一の画像（第一フレーム）で液晶層１５０に印加される電界の向きが画素電極１１５から共通電極１２４へ向かっていれば、第一の画像（第一フレーム）に引き続く第二の画像（第二フレーム）では、液晶層１５０に印加される電界の向きは共通電極１２４から画素電極１１５へ向かう事になる。電界の向きを反転させる所定期間は、フレーム期間である場合もあるし（フレーム反転駆動）、走査線１６の選択期間である場合もあるし（走査線反転駆動）、信号線１７の選択期間である場合もあるが（画素反転駆動）、本実施形態では、６０Ｈｚのフレーム反転駆動を採用している。即ち、１／６０秒の間に第一フレームと、第一フレームに対して極性反転された第二フレームと、が表示される。
【００３６】
「電子機器」
図３は、電子機器としての三板式プロジェクターの構成を示す平面図である。次に図３を参照して、本実施形態に係る電子機器の一例としてプロジェクターを説明する。
【００３７】
プロジェクター２１００において、超高圧水銀ランプで構成される光源２１０２から出射された光は、内部に配置された３枚のミラー２１０６及び２枚のダイクロイックミラー２１０８によって赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の三原色の光に分離され、各原色に対応する液晶装置１００Ｒ、１００Ｇ及び１００Ｂに導かれる。尚、青色の光は、他の赤色や緑色と比較すると、光路が長いので、その損失を防ぐ為に、入射レンズ２１２２、リレーレンズ２１２３及び出射レンズ２１２４からなるリレーレンズ系２１２１を介して導かれる。
【００３８】
液晶装置１００Ｒ、１００Ｇ及び１００Ｂは、上述した構成を取り、外部装置（図示省略）から供給される赤、緑、青の各色に対応する画像信号にて、それぞれ駆動される。
【００３９】
液晶装置１００Ｒ、１００Ｇ、１００Ｂによってそれぞれ変調された光は、ダイクロイックプリズム２１１２に三方向から入射する。そして、このダイクロイックプリズム２１１２において、赤色及び青色の光は９０度に屈折される一方、緑色の光は直進する。ダイクロイックプリズム２１１２において合成されたカラー画像を表す光は、レンズユニット２１１４によって拡大投射され、スクリーン２１２０上にフルカラー画像が表示される。
【００４０】
尚、液晶装置１００Ｒ、１００Ｂの透過像がダイクロイックプリズム２１１２により反射した後に投射されるのに対し、液晶装置１００Ｇの透過像はそのまま投射されるため、液晶装置１００Ｒ、１００Ｂにより形成される画像と、液晶装置１００Ｇにより形成される画像とが左右反転の関係になる様に設定されている。
【００４１】
「検査装置構成」
図４は実施形態１に係わる検査方法を実施する装置を説明した図である。次に、図４を参照して、検査装置の構成を説明する。
【００４２】
検査装置は電気光学装置によって形成された画像の照度を検査する。本実施形態の様に電子機器がプロジェクター２１００の場合は、液晶装置１００の製品品質を、投射された画像を解析する事で、検査する。この場合、画像が投射されているスクリーン２１２０上の領域が表示面２００となる。尚、直視型の電気光学装置の場合には、画素領域Ｅが表示面２００に相当する。
【００４３】
表示面２００にｋ個（ｋは２以上の整数）の光センサー２１０を配置する。一つの光センサー２１０が配置されている点が、一つの計測点となる。図４では、説明の便宜を図る為に、８個の光センサー２１０が描かれているが、例えば１３台の光センサー２１０が表示面２００に配列されていてもよい。光センサー２１０はほぼ直線となる様に配列され、表示面２００のｘ方向の中央付近にｙ方向に沿ってほぼ一列となる様に配列されている。表示面２００のｘ方向の中央付近は、図１にて説明した様に、液晶装置１００の開口部Ｏｐに相当する場所である。液晶装置１００では開口部Ｏｐからイオン性の不純物が液晶層１５０に混入する可能性が高いので、開口部Ｏｐに相当する場所を基準点として、基準点から等間隔で大きくなる同心円上で、直線にほぼ載る様に光センサー２１０を配置する。即ち、隣り合う光センサー２１０の間隔がほぼ同一となる様に、規則的に光センサー２１０を配置する。本実施形態ではｙ座標に関して光センサー２１０は等間隔に並び、ｘ座標に関しては、一つ毎に左右にジグザグとなる配置がなされている。光センサー２１０の形状からこの様なジグザク配置となったが、光センサー２１０のｘ座標がほぼ一致する様に、光センサー２１０を配置するのが、理想的である。
【００４４】
ｋ個（ｋは２以上の整数）の光センサー２１０は１台の光センサー制御装置２２０で制御される。光センサー２１０からは照度がアナログ信号（照度のアナログ信号ＡＮＧ、図７参照）としてロガー２３０に入力され、ロガー２３０は全ての光センサー２１０の照度のアナログ信号ＡＮＧを一括でコンピューター２４０に転送する。コンピューター２４０はこうした照度のアナログ信号ＡＮＧを解析し、光センサー２１０のフリッカー値を計算する。尚、照度の時間に対する変動がフリッカーであるが、これに関しては後述する。
【００４５】
「検査方法」
図５は実施形態１に係わる検査方法を説明した図である。図６は液晶に印加される電圧と、表示される画像の輝度及びフリッカーの大きさを説明する図である。図７はフリッカー値の一例を説明する図である。図８は各計測点で計測されたフリッカー値の一例を示す図である。図９はフリッカー値と直流成分電位との関係を説明する図で、（ａ）はフリッカー値が正極性の場合で、（ｂ）はフリッカー値が負極性の場合である。図１０は各計測点で計測された直流成分電位の一例を示す図である。次に、図５乃至図１０を参照して、検査方法を説明する。
【００４６】
図５に示す様に、検査が開始されると、表示面２００には極性反転駆動を用いて中間階調の検査画像が表示される（Ｓ１）。検査画像は全ての画素Ｐで同一階調の静止画である。極性反転駆動の周期は６０Ｈｚや１２０Ｈｚ、２４０Ｈｚが適しており、５０Ｈｚ以上であればよい。前述の如く、本実施形態では６０Ｈｚでフレーム反転駆動とした。
【００４７】
検査画像をなす静止画は、明るさが最大値の略５０％になる中間階調とする。即ち、液晶装置１００の画素電極１１５と共通電極１２４との間に印加される電圧を、輝度が最高輝度の略５０％になる電圧とする。これは、図６に示される様に、液晶への印加電圧（Ｖ）と画像の輝度（Ｔ）との関係を示す曲線（ＶＴ特性曲線）の傾き（ＶＴ特性曲線の電圧微分曲線）が最大となる点が、輝度が最高輝度の５０％となる点となるからである。ＶＴ特性曲線の電圧微分曲線で最大値を取る点では、図６に示される様に、フリッカーによる輝度振幅が最大となる。即ち、輝度が最高輝度の大凡５０％となる中間階調を表示すると、フリッカーを最も高感度に計測する事ができる。輝度が最高輝度の略５０％となる点は、厳密には、液晶装置１００毎に変わり得る。例えば、図６に示す様に、本実施形態では、液晶への印加電圧ＶLCの絶対値が３．１Ｖ程度で、輝度が最高輝度の５０％となるが、別の液晶装置１００ではそれが２．９Ｖ程度の事もあり得る。液晶装置１００毎に検査条件を変えるのは効率的とは言い難いので、液晶装置１００の設計を鑑みて、大凡５０％の輝度となる中間階調の電圧値を以て検査を行う。本実施形態では、輝度が最高輝度の略５０％となる電圧として、液晶への印加電圧ＶLCの絶対値を３．０Ｖとした。尚、上述の様に３枚の液晶装置１００を用いるプロジェクターに組み込んで、検査を行う場合には、検査対象の液晶装置１００が中間階調の表示を行い、検査対象外の液晶装置は黒表示とする。又、液晶への印加電圧ＶLCと、画素電極１１５の電位Ｖpxと、共通電極１２４の電位Ｖcomとの関係は、ＶLC＝Ｖpx−Ｖcomとなり、画素電極１１５と共通電極１２４との電位差が液晶への印加電圧ＶLCである（図７参照）。
【００４８】
表示面２００には、図４で説明した様に、ｋヶ所（ｋは２以上の整数）の計測点が設けられ、各計測点に対して、検査画像のフリッカー値ＦＬＫが計測される（図５のＳ２）。図７には、画素電極１１５の電位Ｖpxと、照度のアナログ信号ＡＮＧの一例と、が描かれている。画素電極１１５の電位Ｖpxは６０Ｈｚの矩形波で、動作中の画素電極１１５の電位Ｖpxの時間平均値が共通電極１２４の電位Ｖcomとほぼ一致する。従って、液晶層１５０に印加される電圧ＶLCは、６０Ｈｚの矩形波で、前半の半周期と後半の半周期とで、極性反転されている。本実施形態では、共通電極１２４の電位を６．６３Ｖとし、これに対して、±３．０Ｖの振幅を与えて、画素電極１１５の電位Ｖpxとなる矩形波としてある。即ち、画素電極１１５の電位Ｖpxの最高値は９．６３Ｖであり、最低値は３．６３Ｖである。これに伴い、照度のアナログ信号ＡＮＧも変化している。照度のアナログ信号ＡＮＧは電圧信号として取り出され、図７の横軸は時間になる。極性反転駆動の１周期内で前半の半周期と後半の半周期との間に現れる照度の差Ｖ1は、液晶層１５０における電気的な非対称性により、直流的な電界が液晶層１５０に残留している事を示している。一方、極性反転駆動の半周期内に現れる照度の変動Ｖ2は、液晶層１５０におけるイオン性不純物の量を反映し、半周期内でイオン性不純物が液晶層１５０を泳動している事を示している。照度の時間平均値をＶAとした際に、フリッカー値ＦＬＫは数式３にて表される。
【００４９】
【数３】
2014048303.tif 000005
【００５０】
数式３に示される様に、フリッカー値ＦＬＫは、極性反転駆動の１周期内の前半の半周期と後半の半周期との間に現れる照度の差を照度の時間平均値で除した値の自然対数である。フリッカー値ＦＬＫの単位はデシベル（ｄＢ）となる。この様にして、各計測点にて、検査画像のフリッカー値ＦＬＫが計測される（図５のＳ２）。図８は、こうして１３個の計測点で計測されたフリッカー値ＦＬＫの一例を示しており、縦軸がフリッカー値ＦＬＫであり、横軸は計測点を示す。３枚の液晶装置（ｓａｍｐｌｅ  Ａ、ｓａｍｐｌｅ  Ｂ、ｓａｍｐｌｅ  Ｃ）に関して、フリッカー値ＦＬＫが描かれている。
【００５１】
次に表示面２００のｋヶ所（ｋは２以上の整数）の各計測点にて、検査画像の補助フリッカー値ＦＬＫＡが計測される（図５のＳ３）。補助フリッカー値ＦＬＫＡの計測方法は上述のフリッカー値ＦＬＫの計測と同様であるが、計測される際の共通電極１２４の電位は、フリッカー値ＦＬＫが計測される際の共通電極１２４の電位よりも高く設定される。一例として、フリッカー値ＦＬＫが計測された際の共通電極１２４の電位よりも、補助フリッカー値ＦＬＫＡを計測する際には、共通電極１２４の電位を３０ミリボルト（ｍＶ）高くする。従って、本実施形態では、補助フリッカー値ＦＬＫＡを計測する際の共通電極１２４の電位は６．６６Ｖであり、画素電極１１５の電位Ｖpxの最高値は９．６６Ｖ、最低値は３．６６Ｖであった。
【００５２】
補助フリッカー値ＦＬＫＡが得られたら、この値を、先に得られたフリッカー値ＦＬＫと比較する（図５のＳ４）。フリッカー値ＦＬＫが補助フリッカー値ＦＬＫＡよりも大きい際には、フリッカー値ＦＬＫは正極性である。一方、フリッカー値ＦＬＫが補助フリッカー値ＦＬＫＡよりも大きくない際には、フリッカー値ＦＬＫは負極性である。
【００５３】
次に、フリッカー値ＦＬＫから直流成分電位ＶDCが数式４に従って計算される（図５のＳ５−１及びＳ５−２）。
【００５４】
【数４】
2014048303.tif 000006
【００５５】
数式４の計算を行う際に、フリッカー値ＦＬＫが正極性の際には（図５のＳ５−１）、正極性係数（Ｖ0＝＋１Ｖ、α＝７．９４７７、β＝１．０２２３）を用い、フリッカー値ＦＬＫが負極性の際には（図５のＳ５−２）、負極性係数（Ｖ0＝−１Ｖ、α＝８．３５３８、β＝１．３２９４）を用いる。フリッカー値ＦＬＫが補助フリッカー値ＦＬＫＡと比較されると（図５のＳ４）、フリッカー値ＦＬＫが、正極性であるか、負極性であるかを判定できるので、フリッカー値ＦＬＫから直流成分電位ＶDCを正確に計算する事ができる。
【００５６】
本願発明者が鋭意研究したところによると、図９に示される様に、フリッカー値ＦＫＬと直流成分電位ＶDCとの間には、数式５に示される相関関係が成り立つ。
【００５７】
【数５】
2014048303.tif 000007
【００５８】
尚、図９（ａ）はフリッカー値が正極性の場合で、正極性係数が適応され、（ｂ）はフリッカー値が負極性の場合で、負極性係数が適応される。図９（ａ）のフリッカー値が正極性の場合には、相関係数Ｒ2＝０．９６３５となり、図９（ｂ）のフリッカー値が負極性の場合には、相関係数Ｒ2＝０．９２２６となった。数式５を逆に解いて、数式４が得られるので、フリッカー値ＦＬＫから直流成分電位ＶDCを正確に計算する事ができる。図８に示したフリッカー値ＦＬＫを上述の方法で直流成分電位ＶDCに変換した結果が図１０である。
【００５９】
次に、こうして得られたｋ個の直流成分電位ＶDCに第一統計処理を施し（図５のＳ６）、第一統計処理結果が第一規定条件を満たしているかが検査される（図５のＳ７）。ここで、第一統計処理結果とは、ｋ個の直流成分電位ＶDCの最大値と最小値との差である（この差をＧｌｏｂａｌと命名する）。又、第一規定条件とは、この差（Ｇｌｏｂａｌ）が０．１２Ｖ以下であるか否かを判定する条件である。Ｇｌｏｂａｌが第一規定条件を満たさない場合（Ｇｌｏｂａｌ≧０．１２Ｖの場合）、検査はＧｌｏｂａｌ不良として終了する（図５のＥ１）。
【００６０】
Ｇｌｏｂａｌが第一規定条件を満たす場合（Ｇｌｏｂａｌ＜０．１２Ｖの場合）、次に、ｋ個の直流成分電位ＶDCに第二統計処理を施し（図５のＳ８）、第二統計処理結果が第二規定条件を満たしているかが検査される（図５のＳ９）。ここで、第二統計処理結果とは、隣り合う計測点の直流成分電位ＶDCの差の中の最大値である（この差をＬｏｃａｌと命名する）。又、第二規定条件とは、この差（Ｌｏｃａｌ）が０．０２３Ｖ以下であるか否かを判定する条件である。Ｌｏｃａｌが第二規定条件を満たさない場合（Ｌｏｃａｌ≧０．０２３Ｖの場合）、検査はＬｏｃａｌ不良として終了する（図５のＥ２）。これに対して、Ｌｏｃａｌが第二規定条件を満たす場合（Ｌｏｃａｌ＜０．０２３Ｖの場合）、検査は液晶装置１００を良品として終了する（図５のＥ３）。第二統計処理結果が、隣り合う計測点の直流成分電位ＶDCの差を比較するので、ｋ個の計測点は等間隔に配置されている事が、計測精度を上げる点から、好ましい。
【００６１】
第一規定条件（Ｇｌｏｂａｌ＜０．１２Ｖ）と第二規定条件（Ｌｏｃａｌ＜０．０２３Ｖ）とは、本願発明人が多くの液晶装置１００に対して、上述の検査と加速耐久性試験とを繰り返し実験した結果として得られた。これら両条件が満たされると、将来イオン性不純物由来のシミやムラが発現する、などといった不良の発生確率は低下し、液晶装置１００を良品と判定する事ができる。即ち、上述の検査方法で、電気光学装置や電子機器の製品品質信頼性を早期に見積もる事が可能になる。要するに、電気光学装置に存在する僅かなイオン性不純物が将来表示品質に悪影響を及ぼすか否かを判定する事ができると共に、電気光学装置に存在する僅かな電気的非対称性を定量的に評価するので、電気光学装置の製品寿命を高精度に保証し得る検査方法を提供する事ができる。
【００６２】
尚、本実施形態では、第一統計処理結果が第一規定条件を満たしているかと、第二統計処理結果が第二規定条件を満たしているかと、の二種類の検査が行われたが、これはどちらか一つであっても良い。即ち、第一統計処理結果を、ｋ個の直流成分電位ＶDCの最大値と最小値との差とし、第一規定条件が０．１２Ｖ以下であるとして判定を行っても良いし、或いは、第一統計処理結果を、隣り合う計測点の直流成分電位ＶDCの差の中の最大値とし、第一規定条件が０．０２３Ｖ以下として判定を行っても良い。
【００６３】
本実施形態で、電子機器は、図３を参照して説明したプロジェクターであったが、この他にも、電子機器は、リアプロジェクション型テレビ、直視型テレビ、携帯電話、携帯用オーディオ機器、パーソナルコンピューター、ビデオカメラのモニター、カーナビゲーション装置、ページャー、電子手帳、電卓、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、ＰＯＳ端末、ディジタルスチルカメラなどであっても構わない。そして、これらの電子機器や電気光学装置に対しても、本実施形態にて詳述した検査方法を適用させる事ができる。
【００６４】
（実施形態２）
「照度の変動Ｖ2を用いた検査方法」
図１１は、実施形態２に係わる電気光学装置の検査方法による結果を説明する図で、（ａ）は良品を示し、（ｂ）は不良品を示している。以下、図１１を参照して本実施形態に関わる電気光学装置の検査方法を説明する。尚、実施形態１と同一の構成部位については、同一の符号を附し、重複する説明は省略する。
【００６５】
実施形態１では、数式３に示される様に、極性反転駆動の１周期内で前半の半周期と後半の半周期との間に現れる照度の差Ｖ1（図７参照）を用いて検査を行っていた。これに対して、本実施形態では、極性反転駆動の半周期内に現れる照度の変動Ｖ2を用いて検査を行う。図７に示される、極性反転駆動の半周期内に現れる照度の変動Ｖ2は、液晶層１５０におけるイオン性不純物の量を反映し、半周期内でイオン性不純物が液晶層１５０を泳動している事を示している。そこで、照度の時間平均値をＶAとした際に、イオン性フリッカー値ＩＦＬＫを数式６にて定義する。
【００６６】
【数６】
2014048303.tif 000008
【００６７】
数式６に示される様に、イオン性フリッカー値ＩＦＬＫは、極性反転駆動の半周期内に現れる照度の変動を照度の時間平均値で除した値である。こうして得られたイオン性フリッカー値ＩＦＬＫの計測例を図１１に示す。本願発明人が多くの液晶装置１００に対して、上述の検査と加速耐久性試験とを繰り返し実験した結果、図１１（ａ）に示す様に、イオン性フリッカー値ＩＦＬＫが０．００６（０．６％）未満（ＩＦＬＫ＜０．００６）の場合、加速耐久性試験でイオン性不純物由来のシミやムラが発現する事は希であった。これに対して、図１１（ｂ）に示す様に、イオン性フリッカー値ＩＦＬＫが０．００６（０．６％）以上（ＩＦＬＫ≧０．００６）の場合、加速耐久性試験でイオン性不純物由来のシミやムラが発現する事態がしばしば観測された。従って、イオン性フリッカー値ＩＦＬＫが０．００６（０．６％）未満（ＩＦＬＫ＜０．００６）である事を判定条件として、液晶装置１００の検査を行うと、製品品質の信頼性を早期に見積もる事ができる。
【００６８】
極性反転駆動の半周期内に現れる照度の変動は、イオン性不純物の電気泳動の他に、ＴＦＴ１３０の光リーク電流も原因となる。従って、ＴＦＴ１３０に光リーク電流が発生し難い様な遮光性に優れた電気光学装置で上述の検査方法は取り分け効果を発する事になる。取り分け、画素電極１１５に金属を用いた反射型の液晶装置１００に対して、本実施形態の検査方法を適応するのが好ましい。
【００６９】
尚、本発明は上述した実施形態に限定されず、上述した実施形態に種々の変更や改良などを加えることが可能である。変形例を以下に述べる。
【００７０】
（変形例１）
「計測点の配置が異なる形態」
図１２乃至図１４は変形例１に係わる検査方法を実施する装置を説明した図である。次に、図１２乃至図１４を参照して、本変形例に係わる検査方法を説明する。尚、実施形態１乃至２と同一の構成部位については、同一の符号を附し、重複する説明は省略する。
【００７１】
本変形例は実施形態１乃至２と比べて、光センサー２１０の配置形態が異なっている。即ち、表示面２００での計測点の配置が異なっている。それ以外の構成は、実施形態１乃至２とほぼ同様である。実施形態１乃至２では、図４に示す様に、光センサー２１０は縦一列に配列されていた。光センサー２１０の配置はこれに限らず、様々な配置が可能である。例えば、図１２に示す様に、表示面２００に対して、横一列に光センサー２１０を配置しても良い。図１２には参考の為に、液晶装置１００におけるシール材１４０と開口部Ｏｐとに対応する位置も図示してある。開口部Ｏｐに対応する箇所の近傍に横一列に光センサー２１０を配置すると、液晶注入時やその後に封止する際にイオン性不純物が混入したかどうかを判定できる事になる。
【００７２】
この他に、図１３に示す様に、表示面２００に対して、斜めに光センサー２１０を配置しても良い。図１３には参考の為に、液晶装置１００におけるシール材１４０と開口部Ｏｐとに対応する位置も図示してある。或いは、図１４に示す様に、表示面２００の中央に対して、環状に光センサー２１０を配置しても良い。図１４にも参考の為に、液晶装置１００におけるシール材１４０に対応する位置も図示してある。液晶装置１００を組み立てる際に、素子基板１１０に枠状にシール材１４０を配置した後に、素子基板１１０の中央部に液晶を滴下し、その後に対向基板１２０を貼り合わせる製造方法が採られる事がある。こうした際には、図１４に示す様に、表示面２００の中央を円の中心として、この円弧上に、光センサー２１０を等間隔に配置すると、液晶滴下時にイオン性不純物が混入したかどうかを判定できる事になる。
【符号の説明】
【００７３】
１００…液晶装置、１１０…素子基板、１１５…画素電極、１２０…対向基板、１２２…封止材、１２４…共通電極、１３０…ＴＦＴ、１４０…シール材、１５０…液晶層、２００…表示面、２１０…光センサー、２２０…光センサー制御装置、２３０…ロガー、２４０…コンピューター、２１００…プロジェクター、２１２０…スクリーン。
【図１】
2014048303.tif 000011
【図２】
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【図３】
2014048303.tif 000013
【図４】
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【図５】
2014048303.tif 000015
【図６】
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【図７】
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【図８】
2014048303.tif 000018
【図９】
2014048303.tif 000019
【図１０】
2014048303.tif 000020
【図１１】
2014048303.tif 000021
【図１２】
2014048303.tif 000022
【図１３】
2014048303.tif 000023
【図１４】
2014048303.tif 000024