(57)【要約】【課題】  組み付け性を改善し、生産性を向上させることが可能なストロークセンサを提供する。【解決手段】  被検出体の移動に伴い移動するシャフト３に設けた磁石４の移動量を検出するストロークセンサ１において、シャフト３の長手方向にシャフト３を付勢する弾性部材５と、シャフト３と弾性部材５とを配置する第一ケース体７と、シャフト３と弾性部材５と第一ケース体７とを備えた第一ユニット２と、磁石４の磁界を検出する磁気検出素子と、この磁気検出素子を実装する回路基板１０と、磁気検出素子と回路基板１０を配置する第二ケース体１３と、磁気検出素子と回路基板１０と第二ケース体１３とを備えた第二ユニット８と、を備え、第一、第二ケース体７、１３は筒状に形成され、第二ユニット８を第一ユニット２内に組み込んだものである。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検出体の移動に伴い移動するシャフトに設けた磁石の移動量を検出するストロークセンサにおいて、
前記シャフトの長手方向に前記シャフトを付勢する弾性部材と、
前記シャフトと前記弾性部材とを配置する第一ケース体と、
前記シャフトと前記弾性部材と前記第一ケース体とを備えた第一ユニットと、
前記磁石の磁界を検出する磁気検出素子と、
この磁気検出素子を実装する回路基板と、
前記磁気検出素子と前記回路基板を配置する第二ケース体と、
前記磁気検出素子と前記回路基板と前記第二ケース体とを備えた第二ユニットと、
を備え、
前記第一、第二ケース体は筒状に形成され、前記第二ユニットを前記第一ユニット内に組み込んだことを特徴とするストロークセンサ。
【請求項２】
前記第一ケース体内に収納した前記第二ケース体を固定するかしめ部を前記第一ケース体の開口端に設けたことを特徴とする請求項１に記載のストロークセンサ。
【請求項３】
前記第一ケース体と前記第二ケース体とは底部を備え、
前記第一ケース体の底部の内側と前記第二ケース体の底部の外側との間にシール部材を配設したことを特徴とする請求項１に記載のストロークセンサ。
【請求項４】
前記シール部材を位置決め装着する配設部を前記第二ケース体の底部に設けたことを特徴とする請求項３に記載のストロークセンサ。
【請求項５】
前記第二ケース体の第二収納部は、壁部によって少なくとも二分割されており、二分割した前記第二収納部の内、前記回路基板を配置した前記第二収納部に充填材を充填したことを特徴とする請求項１に記載のストロークセンサ。
【請求項６】
前記壁部は、前記第二ケース体の前記第二収納部の開口に達していることを特徴とする請求項５に記載のストロークセンサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被検出体の移動量を検出するストロークセンサに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のストロークセンサは、例えば、特許文献１に開示されるものがある。このストロークセンサは、摺動孔を有した第１のケースと、第１のケースに結合することにより、互いの間に油を充填した油室を構成する第２のケースと、第１のケースに形成した油室を外部に連通させる連通通路と、先端部が外部に露出する状態で第１のケースの摺動孔に進退可能に嵌合し、かつ油室の内部に摺動孔よりも太径となるフランジを収容したシャフトと、油室に配設し、シャフトの先端部を第１のケースから常時突出する方向に押圧する押圧バネと、第２のケースの外部においてシャフトの変位量に応じた電気信号を出力するホール素子とを備えたものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−２１０４９３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載のストロークセンサは、円筒状の第１のケースのほぼ中央にシャフトを配置し、このシャフトと同軸上に磁石を配置し、この磁石の上もしくは下側、いわゆる第１のケースの径方向の外側に位置するようにホールＩＣを備えた回路基板を配置するといった各構成部品を積上げて組み付けなければならず、生産性の更なる改善が望まれているといった問題点を有している。
【０００５】
そこで本発明は、前記問題点を解消し、組み付け性を改善し、生産性を向上させることが可能なストロークセンサを提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のストロークセンサは、被検出体の移動に伴い移動するシャフトに設けた磁石の移動量を検出するストロークセンサにおいて、前記シャフトの長手方向に前記シャフトを付勢する弾性部材と、前記シャフトと前記弾性部材とを配置する第一ケース体と、前記シャフトと前記弾性部材と前記第一ケース体とを備えた第一ユニットと、前記磁石の磁界を検出する磁気検出素子と、この磁気検出素子を実装する回路基板と、前記磁気検出素子と前記回路基板を配置する第二ケース体と、前記磁気検出素子と前記回路基板と前記第二ケース体とを備えた第二ユニットと、を備え、前記第一、第二ケース体は筒状に形成され、前記第二ユニットを前記第一ユニット内に組み込んだものである。
【０００７】
また、前記第一ケース体内に収納した前記第二ケース体を固定するかしめ部を前記第一ケース体の開口端に設けたものである。
【０００８】
また、前記第一ケース体と前記第二ケース体とは底部を備え、前記第一ケース体の底部の内側と前記第二ケース体の底部の外側との間にシール部材を配設したものである。
【０００９】
また、前記シール部材を位置決め装着する配設部を前記第二ケース体の底部に設けたものである。
【００１０】
また、前記第二ケース体の第二収納部は、壁部によって少なくとも二分割されており、二分割した前記第二収納部の内、前記回路基板を配置した前記第二収納部に充填材を充填したものである。
【００１１】
また、前記壁部は、前記第二ケース体の第二収納部の開口に達しているものである。
【発明の効果】
【００１２】
以上の構成によって、本発明は、所期の目的を達成することができ、組み付け性を改善し、生産性を向上させることが可能なストロークセンサを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の第１実施形態を示す断面図。
【図２】同実施形態の第一ユニットの断面図。
【図３】同実施形態のシャフトの断面図。
【図４】同実施形態の第二ユニットの断面図。
【図５】同実施形態の充填材が未充填の第二ユニットの背面図。
【図６】本発明の他の実施形態の第一ユニットの断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下に、本発明の実施形態を添付図面に基づいて説明する。
【００１５】
本発明の実施形態のストロークセンサ１は、第一ユニット２と第二ユニット８の２つのユニットから構成される。なお、Ｌ１は、ストロークセンサ１の後述するシャフト３が移動する軸である。
【００１６】
第一ユニット２は、シャフト３と、磁石４と、弾性部材であるコイルスプリング５と、第二軸受部６と、第一ケース体７から構成され、移動するシャフト３を備えたユニットである。
【００１７】
シャフト３は、真鍮やステンレス鋼等から形成されており、図示しない被検出体と接触し、シャフト３の軸Ｌ１（長手方向）に沿って移動するものである。
【００１８】
シャフト３は、円柱形であり、その後端（図１中右側）の空洞部３ａで磁石４を接着やかしめ止め等によって固定している。空洞部３ａを含むシャフト３の後端側は、後述する第二ケース体１３に設けた第一収納部１３ａ内に配置される。
【００１９】
シャフト３は、その中央部のやや先端側に、ストッパ部となる径大部３ｂを備えている。この径大部３ｂは、第一ケース体７の第一軸受部７ａの内径より大きく、コイルスプリング５と当接する受け部を兼ねている。
【００２０】
また、シャフト３は、径大部３ｂよりシャフト３の先端側の径小部３ｃが、第一ケース体７の第一軸受部７ａによって移動可能に支持されており、径大部３ｂの後側の径中部３ｄが、第二軸受部６（の内径部６ｃ）によって移動可能に支持されている。なお、本実施形態では、シャフト３の径小部３ｃ、径中部３ｄ、径大部３ｂの直径は、径小部３ｃ＜径中部３ｄ＜径大部３ｂである。
【００２１】
なお、コイルスプリング５は、径大部３ｂと第二軸受部６との間に設けられており、シャフト３は、コイルスプリング５の弾性によって、シャフト３の径大部３ｂを第一軸受部７ａに設けた当接部７ｂに当接するように付勢し、シャフト３の初期位置を定めている。
【００２２】
シャフト３は、第一ケース体７に設けた第一軸受部７ａと、後述する第一ケース体７の第一収納部７ｃに圧入設置される第二軸受部６との２つの軸受部７ａ、６内を直線運動することで、軸Ｌ１に沿ってストロークすることができる。
【００２３】
また、第二軸受部６の内径部６ｃの内径を第一軸受部７ａの内径よりも小さくした場合、シャフト３が、軸Ｌ１方向以外で変位する軌跡は、第二軸受部６を支点とした円弧となるため、磁石４の軸Ｌ１方向以外のブレを、第一軸受部７ａを支点とした場合よりも抑えることができ、結果的に良好な出力特性を得ることができる。
【００２４】
磁石４は、円柱形状に形成され、Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ系永久磁石やＳｍＣｏ磁石といった磁石からなり、着磁方向は、磁極が軸Ｌ１方向に着磁されている。なお、着磁方向は、磁極が軸Ｌ１方向に対して、垂直方向に着磁されたものでもよい。
【００２５】
磁石４は、シャフト３のストローク運動とともに、後述する第二ケース体１３に設けられた第一収納部１３ａ内をストロークする。
【００２６】
コイルスプリング５は、例えば、バネ用ステンレス材等からなり、シャフト３の径中部３ｄの周囲に配置され、第一ケース体７の第一収納部７ｃ内に収納されている。
【００２７】
また、コイルスプリング５は、シャフト３の径大部３ｂを、第一ケース体７の当接部７ｂに当て、初期位置を定める役割を果たし、さらに、前記被検出体とシャフト３が接触した際、常時、前記被検出体を付勢し押し付けるため、振動等によるストローク量の変位を抑えることができる。
【００２８】
第二軸受部６は、真鍮やステンレス鋼等からなり、環状をしている。また、第二軸受部６は、直径の異なる径大部６ａと径小部６ｂで構成されている。径小部６ｂは、第一ケース体７の第一収納部７ｃに圧入保持され、第二軸受部６を貫通する孔である内径部６ｃが、軸受機構となっており、シャフト３をストローク可能に支持する。なお、内径部６ｃはすべりを良くするために、メッキや樹脂コーティング等の摺動性が向上する表面処理が施されている。
【００２９】
また、第二軸受部６は、コイルスプリング５の弾性により、シャフト３を前方へ常時付勢するように、径小部６ｂにコイルスプリング５のスプリング受部６ｄを設け、コイルスプリング５と当接し、コイルスプリング５の付勢を受けている。
【００３０】
第一ケース体７は、非磁性の金属、例えば、ステンレス鋼等からなり、主に第一収納部７ｃと第二収納部７ｄを備えている。
【００３１】
第一収納部７ｃは、底部となる第一軸受部７ａを備えた円筒状であり、シャフト３とコイルスプリング５とを収納する。そして、シャフト３とコイルスプリング５とを保持するために、第二軸受部６が、抜け止めとして第一収納部７ｃに圧入される。第一収納部７ｃの第一軸受部７ａが、シャフト３の径小部３ｃの軸受となっている。また、第一軸受部７ａの第一収納部７ｃに臨む面が、コイルスプリング５と当接する当接部７ｂとなっており、シャフト３のストッパ部である径大部３ｂと当接し、シャフト３の移動を規制する役割を果たしている。
【００３２】
第一ケース体７の第二収納部７ｄは、底部７ｅを備えた円筒状であり、後述する第二ユニット８を収納する。底部７ｅには、第一収納部７ｃがつながっており、底部７ｅの中央部分に第一収納部７ｃが設けられている。第二収納部７ｄの底部７ｅが、第二ユニット８と当接することで、第二収納部７ｄが、第二ユニット８を受けるとともに、第一ケース体７の第二収納部７ｄの開口端に設けられたかしめ部７ｆを、図２に示す状態から図１に示すように、第二収納部７ｄの内側に折り曲げることによって、第二ユニット８が第一ケース体７の第二収納部７ｄ内に収納保持される。
【００３３】
また、第一ケース体７は、前記被検出体などに組み付け固定するための取付部７ｇを備えている。この取付部７ｇは、第一ケース体７の少なくとも第一軸受部７ａと第二軸受部６との間に対応する部分、すなわち、第一収納部７ｃに対応する部分に設けられており、第一収納部７ｃの外周面に設けられている。なお、この取付部７ｇには、取付部７ｇが雄ねじとなるように、雄ねじのねじ山が設けられており、ストロークセンサ１を螺着することが可能である。
【００３４】
コイルスプリング５は、第一ケース体７の取付部７ｇの内部、つまり、第一収納部７ｃに収納されるため、ストロークセンサ１のシャフト３の軸Ｌ１方向の小型化を図ることができ、更に、ストロークセンサ１が、組付けられた時、ストロークセンサ１の取付け面からの突出（飛出し）量を少なくすることが可能となる。
【００３５】
第二ユニット８は、磁気検出パッケージ９と、回路基板１０と、電線１１と、シール部材１２と、第二ケース体１３と、充填材１４から構成されたユニットである。
【００３６】
磁気検出パッケージ９は、ホールＩＣやＭＲ素子等の磁気検出素子を合成樹脂で覆ったものである。また、磁気検出パッケージ９の平面９ｂが、シャフト３の軸Ｌ１に対して並行な配置であり、磁気検出パッケージ９の平面９ｂが、磁石４の端面４ａに対向するように配置され、シャフト３のストローク運動とともにストロークする磁石４の動きに応じて変化する磁界の強さを検出している。なお、磁石４と磁気検出パッケージ９の距離を可能な限り小さくすることで、十分な磁束を確保することができ、外部磁界や磁石４の位置ズレといった出力変化に起因する影響を小さくすることができる。
【００３７】
磁気検出パッケージ９は、回路基板１０に設けられており、磁気検出パッケージ９に内蔵された磁気検出素子は、図示しないリードを介して回路基板１０と電気的に接続され、シャフト３のストローク運動とともに移動する磁石４の動きに応じて変化する磁界の強さを検出し、この検出した結果を検出信号に変換し、この検出信号を回路基板１０と電気的に接続された電線１１を通じて（アナログやＰＷＭといった出力形式で）外部に出力するものである。
【００３８】
回路基板１０は、例えば、ガラスエポキシ樹脂などの硬質な絶縁体からなる硬質回路基板からなり、第二ケース体１３の第二収納部１３ｂ内に収納固定される。
【００３９】
回路基板１０には、磁気検出パッケージ９の他に図示しないコンデンサ等の各種電子部品が実装されている。
【００４０】
回路基板１０には、電線１１を取り付ける図示しない貫通する孔が設けられ、図示しない半田によって電線１１と回路基板１０上に設けられた図示しない配線パターンとを電気的に接続している。
【００４１】
シール部材１２は、二トリルゴム、シリコンゴム、フッ素ゴムといった合成ゴムからなり、環状であり、第二ケース体１３の底部（端面）１３ｃの外側に施された配設部である環状の溝部１３ｄに装着され、第二ユニット８（第二ケース体１３）を第一ユニット２（第一ケース体７）に収納し組み込まれた際、シール部材１２は、第一ケース体７の底部７ｅの内側と第二ケース体１３の底部１３ｃの外側との間に配設され、第一ケース体７と第二ケース体１３とで押し圧される。このシール部材１２によって、気密性を確保することができ、たとえば、シャフト３と第一ケース体７（特に、第一軸受部７ａ）との間からストロークセンサ１内部に浸入した油や水などの液体が、第一ケース体７と第二ケース体１３との間を通って、電線１１を設けた側に前記液体が通り抜けていくことを防止する。
【００４２】
シール部材１２は、第二ケース体１３の底部１３ｃに装着することで、小型化を図ることができる。それは、例えば、第二ケース体１３の円筒状の外周面に設置する場合、シール部材１２を装着する配接部となる溝部を設けなければならなくなり、第二ケース体１３が径方向に大きくなり、大型化を招いてしまうからである。
【００４３】
また、シール部材１２を第二ケース体１３の前記外周面に設置する場合、第二ケース体１３を成形する際、スライド型を採用する必要があるため、コスト高となってしまうが、第二ケース体１３の底部１３ｃに装着された場合、スライド型を用いないためコストを抑えることができる。
【００４４】
また、シール部材１２を第二ケース体１３の前記外周面に設置する場合、第二ユニット８を第一ユニット２に組込む際に、シール部材１２のめくれの発生や挿入負荷が増えることで、工程不良や効率ダウンを招いてしまうため、シール部材１２を底部１３ｃに装着した方が望ましい。
【００４５】
なお、シール部材１２は、図６に示すように、第一ケース体７の底部７ｅの内側に配設部である溝部７ｈを設け、この溝部７ｈに装着しても構わないが、シール部材１２を第二ケース体１３の底部１３ｃに装着した方が、シール部材１２を第一ケース体７の奥まった位置の底部７ｅに装着する場合に比べて、作業性は良好である。
【００４６】
第二ケース体１３は、ポリブチレンテレフタレート等の熱可塑性樹脂材料からなり、その外形は、有底の円筒形状であり、主に、第一収納部１３ａと第二収納部１３ｂを備えている。
【００４７】
第一収納部１３ａは、第二収納部１３ｂ内に位置しており、第一収納部１３ａと第二収納部１３ｂとは、互いに連通しないように仕切り１３ｋで区切られており、この仕切り１３ｋは、有底の円筒形状をしている。この仕切り１３ｋを間に挟んで磁気検出パッケージ９と磁石４とが対向するように設けられている。なお、第一収納部１３ａ、第二収納部１３ｂ及び仕切り１３ｋは、一体に形成されている。第一収納部１３ａの開口１３ｍと第二収納部１３ｂの開口１３ｎとは、第二ケース体１３の断面円形状の中心軸に対して、互いに反対の位置にその開口１３ｍ、１３ｎが向いている。本実施形態では、第一収納部１３ａの開口１３ｍが、第一ケース体７の底部７ｅ側に向いており、シャフト３の一部と、磁石４を収納する。
【００４８】
第二収納部１３ｂの開口１３ｎは、第一ケース体７のかしめ部７ｆ側に向いており、磁気検出パッケージ９、回路基板１０を収納固定する。
【００４９】
第二収納部１３ｂ内は、充填材１４によって満たされている。この充填材１４は、エポキシやシリコーン等の液体から固体へと硬化する樹脂からなり、例えば、ＵＶ硬化型あるいは熱硬化型樹脂などであり、磁気検出パッケージ９と回路基板１０が、第二収納部１３ｂ内において気密的に収納保持されるようになっている。
【００５０】
また、第二収納部１３ｂは、組立工程で、第一ユニット２に第二ユニット８をかしめ保持する際、確実に、第二ケース体１３の底部１３ｃが、第一ケース体７の底部７ｅに押付けられよう、組立工具（かしめ機押し治具）が当接する受面１３ｅを設けている。
【００５１】
なお、受面１３ｅは、図５に示すように、偏肉による成形時、あるいは、成形後のヒケや反り、または、充填材１４を熱硬化させる際の変形といった形状変形の影響を抑えるために、例えば、第二ケース体１３の外周壁１３ｇと同等の肉厚であった方が良い。
この受面１３ｅは、第二ケース体１３の第二収納部１３ｂを二分割する壁部１３ｐの端部に設けられている。壁部１３ｐに設けた受面１３ｅは、第二ケース体１３の第二収納部１３ｂの開口１３ｎに達している。
【００５２】
壁部１３ｐによって、分割された第二収納部１３ｂの回路基板１０を配置した第二収納部１３ｂには、充填材１４が充填されている。回路基板１０などが配置されている空間にのみ充填材１４を充填していることで、充填材１４と第二収納部１３ｂの内壁との密着面積を少なくすることができ、熱膨張した際、線膨張の違う二つの材質の応力影響を小さく抑えることができ、充填材１４と第二収納部１３ｂの内壁との界面におけるクラック発生を抑制させ、気密性を良好とすることが可能となる。
【００５３】
なお、本実施形態では、第二収納部１３ｂは、壁部１３ｐによって二分割されているが、本実施形態に限定されるものではなく、第二収納部１３ｂを三分割以上に分割するように壁部１３ｐを設けてもよい。この場合、壁部１３ｐを設けることで、受面１３ｅの面積が増え、前記組立工具と接する面積が増加し、前記組立工具との接触が安定する。また、壁部１３ｐを充填材１４を充填しない第二収納部１３ｂに設けることで、第二ケース体１３の強度を増すことが可能となる。
【００５４】
第二収納部１３ｂには、回路基板１０の配設位置を決定する位置決め部１３ｉが設けられ、断面形状が三角形の圧入部１３ｊによって、回路基板１０を位置決め部１３ｉに押付けている。なお、この圧入部１３ｊは、回路基板１０の固定前は突起形状であるが、回路基板１０を取り付ける際、圧入部１３ｊの先端部が潰れて、回路基板１０が外れないようにするものである。
【００５５】
また、第二ケース体１３は、底部１３ｃの外側にシール部材１２を装着する溝部１３ｄを備えている。
【００５６】
以上の構成によって、二つのユニット２、８を予め組み立てておき、ユニット２、８を組み付けることによって、組み付け性を改善し、生産性を向上させることができる。
【００５７】
また、かしめ部７ｆによって、第二ユニット８を第一ユニット２に十分な強度で保持できる。また、第一ユニット２の第一ケース体７が、金属であるため、より強固に固定することができる。また、第一ケース体７が、非磁性材の金属であるため、磁石４の磁界に悪影響を及ぼさず良好な出力特性を得ることができる。
【００５８】
また、第一ケース体７の底部７ｅの内側と第二ケース体１３の底部１３ｃの外側との間にシール部材１２を配設したことによって、第一ケース体７と第二ケース体１３との間の気密性を得ることができる。
【００５９】
また、シール部材１２を位置決め装着する配設部である溝部１３ｄを第二ケース体１３の底部１３ｃに設けたことによって、第二ケース体１３の外周面にシール部材１２を配設する溝部１３ｄを形成しなくて良いので、第二ケース体１３の金型構造において、スライド型が不要となり、第二ケース体１３の金型費を抑え、ひいては、ストロークセンサ１のコストを低く抑えることができる。
【００６０】
また、第二ケース体１３の第二収納部１３ｂは、壁部１３ｐによって少なくとも二分割されており、二分割した第二収納部１３ｂの内、回路基板１０を配置した第二収納部１３ｂに充填材１４を充填したことによって、充填材１４と第二ケース体１３の内壁との密着面積を少なくすることができ、熱膨張した際、線膨張の違う二つの材質の応力影響を小さく抑えることができ、充填材１４と第二ケース体１３との界面のクラック発生を抑制させ、気密性を良好とすることが可能となる。
【００６１】
また、壁部３ｐは、第二ケース体１３の第二収納部１３ｂの開口１３ｎに達していることによって、第一ユニット２と第二ユニット８とを組み付ける際に、壁部３ｐの端部に設けた受面１３ｅに前記組立工具が当接し、第二ユニット８を第一ユニット２に押し付け、かしめ部７ｆをかしめて固定することが可能となり、第一ユニット２の第一ケース体７と第二ユニット８の第二ケース体１３との間に設けたシール部材１２を圧縮することで、良好な気密性を得ることができる。
【産業上の利用可能性】
【００６２】
本発明は、被検出体の移動量を検出するストロークセンサに利用可能である。
【符号の説明】
【００６３】
１        ストロークセンサ
２        第一ユニット
３        シャフト
３ａ      空洞部
３ｂ      径大部（ストッパ部）
３ｃ      径小部
３ｄ      径中部
４        磁石
４ａ      端面
５        弾性部材（コイルスプリング）
６        第二軸受部
６ａ      径大部
６ｂ      径小部
６ｃ      内径部
６ｄ      スプリング受部
７        第一ケース体
７ａ      第一軸受部
７ｂ      当接部
７ｃ      第一収納部
７ｄ      第二収納部
７ｅ      底部
７ｆ      かしめ部
７ｇ      取付部
７ｈ      溝部
８        第二ユニット
９        磁気検出パッケージ
９ｂ      平面
１０        回路基板
１１        電線
１２        シール部材
１３        第二ケース体
１３ａ      第一収納部
１３ｂ      第二収納部
１３ｃ      底部
１３ｄ      配設部（溝部）
１３ｅ      受面
１３ｇ      外周壁
１３ｉ      位置決め部
１３ｊ      圧入部
１３ｋ      仕切り
１３ｍ      開口
１３ｎ      開口
１３ｐ      壁部
１４        充填材
Ｌ１        軸
【図１】
2014048157.tif 000003
【図２】
2014048157.tif 000004
【図３】
2014048157.tif 000005
【図４】
2014048157.tif 000006
【図５】
2014048157.tif 000007
【図６】
2014048157.tif 000008