(57)【要約】  【課題】  シールパターンを形成しながら気泡によってシールパターンに生じた断線部を検出することができるシール塗布装置を提供する。  【解決手段】  シール塗布装置１であって、基板２と平行な平面内をＸ方向およびＹ方向に移動する塗布ステージ３と、シール材５ｄを基板２に塗布するシリンジ５が設けられたシリンジ支持体４と、シール材５ｄに混入した気泡がシリンジ５の先端部から出る際に発生する気泡の破裂音を検出する集音器６と、集音器７で検出された破裂音が入力されて破裂音検出信号を作成する音声処理部７とを備え、音声処理部７からの破裂音検出信号が入力された際に、塗布ステージ３の位置座標信号（Ｘ，Ｙ）から塗布ステージ３の位置座標（Ｘ，Ｙ）を検出してシールパターンに生じた断線部の位置座標（ｘ，ｙ）を検出する塗布ステージ対応位置検出部９を備えている。【選択図】  図１
2014085526.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シール材が塗布される基板が載置される、該基板と平行な平面内をＸ方向およびＹ方向に移動する塗布ステージと、該塗布ステージの上方に配置された、貯留された前記シール材を前記基板に塗布するシリンジが設けられたシリンジ支持体とを備え、前記基板が載置された前記塗布ステージをＸ方向およびＹ方向に移動させて、前記シリンジの先端部から前記シール材を前記基板に塗布して所定のシールパターンを形成するシール塗布装置において、
前記シリンジ支持体における前記シリンジの先端部の近傍に配置された、貯留された前記シール材に混入した気泡が前記シリンジの先端部から出る際に発生する前記気泡の破裂音を検出する集音器と、
該集音器で検出された破裂音が入力されて破裂音検出信号を作成する音声処理部と、
前記塗布ステージのＸ方向およびＹ方向の移動方向を制御するとともに前記塗布ステージの位置座標（Ｘ，Ｙ）をモニターして前記塗布ステージの位置座標信号（Ｘ，Ｙ）を作成する塗布ステージ制御部と、
前記塗布ステージの移動に合わせて前記位置座標信号（Ｘ，Ｙ）が入力されるとともに前記音声処理部から出力された前記破裂音検出信号が入力された際に、前記位置座標信号（Ｘ，Ｙ）から前記位置座標（Ｘ，Ｙ）を検出して前記気泡の破裂によって前記シールパターンに生じた断線部の位置座標（ｘ，ｙ）を検出する塗布ステージ対応位置検出部と
を備えたことを特徴とするシール塗布装置。
【請求項２】
シール材が塗布される基板が載置される、該基板と平行な平面内をＸ方向およびＹ方向に移動する塗布ステージと、該塗布ステージの上方に配置された、貯留された前記シール材を前記基板に塗布するシリンジが設けられたシリンジ支持体とを備え、前記基板が載置された前記塗布ステージをＸ方向およびＹ方向に移動させて、前記シリンジの先端部から前記シール材を前記基板に塗布して所定のシールパターンを形成するシール塗布装置において、
前記シリンジ支持体における前記シリンジの先端部の近傍に配置された、貯留された前記シール材に混入した気泡が前記シリンジの先端部から出る際に発生する前記気泡の破裂音を検出する集音器と、
前記シリンジ支持体に設けられた、前記基板に形成された前記シールパターンのパターン形状を検知する検知カメラと、
前記集音器で検出された破裂音が入力されて破裂音検出信号を作成する音声処理部と、
前記塗布ステージのＸ方向およびＹ方向の移動方向を制御するとともに前記塗布ステージの位置座標（Ｘ，Ｙ）をモニターして前記塗布ステージの位置座標信号（Ｘ，Ｙ）を作成する塗布ステージ制御部と、
前記塗布ステージの移動に合わせて前記位置座標信号（Ｘ，Ｙ）が入力されるとともに前記音声処理部から出力された前記破裂音検出信号が入力された際に、前記位置座標信号（Ｘ，Ｙ）から前記位置座標（Ｘ，Ｙ）を検出して前記気泡の破裂によって前記シールパターンに生じた断線部の位置座標（ｘ，ｙ）を検出して、前記検知カメラの検知領域内に前記位置座標（ｘ，ｙ）が位置するように前記塗布ステージを移動させるための第１の塗布ステージ移動制御信号を作成して前記塗布ステージ制御部に出力する塗布ステージ・検知カメラ対応位置検出部と、
前記検知カメラで検知された前記断線部の形状の画像信号が入力されて、該画像信号を画像処理して前記断線部の一方の端部の位置座標（ｘ１，ｙ１）を検出するとともに、前記断線部に新たに前記シール材を塗布するために前記位置座標（ｘ１，ｙ１）に前記シリンジの先端部を合わせるように前記塗布ステージを移動させるための第２の塗布ステージ移動制御信号を作成して前記塗布ステージ制御部に出力する塗布ステージ対応シール塗布位置検出部と
を備えたことを特徴とするシール塗布装置。
【請求項３】
シール材が塗布される基板が載置される塗布ステージと、該塗布ステージの上方に配置され、貯留された前記シール材を前記基板に塗布するために前記基板と平行な平面内をＸ方向に移動するシリンジが設けられた、前記塗布ステージに沿ってＹ方向に移動するシリンジ支持体とを備え、前記シリンジおよび前記シリンジ支持体をそれぞれＸ方向およびＹ方向に移動させて、前記シリンジの先端部から前記シール材を前記基板に塗布して所定のシールパターンを形成するシール塗布装置において、
前記シリンジ支持体における前記シリンジの先端部の近傍に配置されて前記シリンジに連動して移動する、貯留された前記シール材に混入した気泡が前記シリンジの先端部から出る際に発生する前記気泡の破裂音を検出する集音器と、
該集音器で検出された破裂音が入力されて破裂音検出信号を作成する音声処理部と、
前記シリンジおよび前記シリンジ支持体の移動に合わせて前記シリンジの位置座標信号（Ｘ，Ｙ）が入力されるとともに前記音声処理部から出力された前記破裂音検出信号が入力された際に、前記位置座標信号（Ｘ，Ｙ）から前記シリンジの位置座標（Ｘ，Ｙ）を検出して前記気泡の破裂によって前記シールパターンに生じた断線部の位置座標（ｘ，ｙ）を検出するシリンジ対応位置検出部と
を備えたことを特徴とするシール塗布装置。
【請求項４】
シール材が塗布される基板が載置される塗布ステージと、該塗布ステージの上方に配置され、貯留された前記シール材を前記基板に塗布するために前記基板と平行な平面内をＸ方向に移動するシリンジが設けられた、前記塗布ステージに沿ってＹ方向に移動するシリンジ支持体とを備え、前記シリンジおよび前記シリンジ支持体をそれぞれＸ方向およびＹ方向に移動させて、前記シリンジの先端部から前記シール材を前記基板に塗布して所定のシールパターンを形成するシール塗布装置において、
前記シリンジ支持体における前記シリンジの先端部の近傍に配置されて前記シリンジに連動して移動する、貯留された前記シール材に混入した気泡が前記シリンジの先端部から出る際に発生する前記気泡の破裂音を検出する集音器と、
前記シリンジ支持体に設けられてＸ方向およびＹ方向に移動する、前記基板に形成された前記シールパターンのパターン形状を検知する検知カメラと、
前記集音器で検出された破裂音が入力されて破裂音検出信号を作成する音声処理部と、
前記シリンジのＸ方向およびＹ方向の移動方向を制御しながら、前記シリンジおよび前記シリンジ支持体の移動に合わせて前記シリンジの位置座標信号（Ｘ，Ｙ）が入力されるとともに前記音声処理部から前記破裂音検出信号が入力された際に、前記位置座標信号（Ｘ，Ｙ）から前記シリンジの位置座標（Ｘ，Ｙ）を検出して前記気泡の破裂によって前記シールパターンに生じた断線部の位置座標（ｘ，ｙ）を検出して、前記検知カメラの検知領域内に前記位置座標（ｘ，ｙ）が位置するように前記検知カメラを移動させるための検知カメラ移動制御信号を作成して前記検知カメラに出力するシリンジ・検知カメラ対応位置検出部と、
前記検知カメラで検知された前記断線部の形状の画像信号が入力されて、該画像信号を画像処理して前記断線部の一方の端部の位置座標（ｘ１，ｙ１）を検出するとともに、前記断線部に新たに前記シール材を塗布するために前記位置座標（ｘ１，ｙ１）に前記シリンジの先端部を合わせるように前記シリンジを移動させるためのシリンジ移動制御信号を作成して前記シリンジ・検知カメラ対応位置検出部に出力するシリンジ対応シール塗布位置検出部と
を備えたことを特徴とするシール塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、携帯電話、デジタルカメラあるいは携帯型情報端末などの様々な用途に用いられる液晶表示装置の製造プロセスにおいて、塗布ステージに載置された液晶セルの基板上にシール材を塗布するシール塗布工程で使用するシール塗布装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置は、一対の基板からなる液晶セルを製造するために、例えば、ガラス基板等の基板の周縁部にシリンジを用いてシール材を所定のシールパターンで塗布して一対の基板を貼り合わせている。シリンジを用いたシール材の塗布において、シール材に気泡が混入している場合には、気泡によってシールパターンに断線が生じることがあり、このシールパターンに生じた断線部をシールパターンの全周に沿って検知カメラを移動させて検出する方法がある。このような方法としては、例えば、特許文献１に開示されているものがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平９−９０３８４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に開示された方法では、シールパターンを形成した後に、シールパターンの全周に沿って検知カメラを移動させてシールパターンの断線部を検出しているので、断線部の検出効率が低いという問題点があった。
【０００５】
本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、シールパターンを形成しながら気泡によってシールパターンに生じた断線部を検出することができるシール塗布装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のシール塗布装置は、シール材が塗布される基板が載置される、該基板と平行な平面内をＸ方向およびＹ方向に移動する塗布ステージと、該塗布ステージの上方に配置された、貯留された前記シール材を前記基板に塗布するシリンジが設けられたシリンジ支持体とを備え、前記基板が載置された前記塗布ステージをＸ方向およびＹ方向に移動させて、前記シリンジの先端部から前記シール材を前記基板に塗布して所定のシールパターンを形成するシール塗布装置において、前記シリンジ支持体における前記シリンジの先端部の近傍に配置された、貯留された前記シール材に混入した気泡が前記シリンジの先端部から出る際に発生する前記気泡の破裂音を検出する集音器と、該集音器で検出された破裂音が入力されて破裂音検出信号を作成する音声処理部と、前記塗布ステージのＸ方向およびＹ方向の移動方向を制御するとともに前記塗布ステージの位置座標（Ｘ，Ｙ）をモニターして前記塗布ステージの位置座標信号（Ｘ，Ｙ）を作成する塗布ステージ制御部と、前記塗布ステージの移動に合わせて前記位置座標信号（Ｘ，Ｙ）が入力されるとともに前記音声処理部から出力された前記破裂音検出信号が入力された際に、前記位置座標信号（Ｘ，Ｙ）から前記位置座標（Ｘ，Ｙ）を検出して前記気泡の破裂によって前記シールパターンに生じた断線部の位置座標（ｘ，ｙ）を検出する塗布ステージ対応位置検出部とを備えたことを特徴とするものである。
【０００７】
また、本発明のシール塗布装置は、シール材が塗布される基板が載置される塗布ステー
ジと、該塗布ステージの上方に配置され、貯留された前記シール材を前記基板に塗布するために前記基板と平行な平面内をＸ方向に移動するシリンジが設けられた、前記塗布ステージに沿ってＹ方向に移動するシリンジ支持体とを備え、前記シリンジおよび前記シリンジ支持体をそれぞれＸ方向およびＹ方向に移動させて、前記シリンジの先端部から前記シール材を前記基板に塗布して所定のシールパターンを形成するシール塗布装置において、前記シリンジ支持体における前記シリンジの先端部の近傍に配置されて前記シリンジに連動して移動する、貯留された前記シール材に混入した気泡が前記シリンジの先端部から出る際に発生する前記気泡の破裂音を検出する集音器と、該集音器で検出された破裂音が入力されて破裂音検出信号を作成する音声処理部と、前記シリンジおよび前記シリンジ支持体の移動に合わせて前記シリンジの位置座標信号（Ｘ，Ｙ）が入力されるとともに前記音声処理部から出力された前記破裂音検出信号が入力された際に、前記位置座標信号（Ｘ，Ｙ）から前記シリンジの位置座標（Ｘ，Ｙ）を検出して前記気泡の破裂によって前記シールパターンに生じた断線部の位置座標（ｘ，ｙ）を検出するシリンジ対応位置検出部とを備えたことを特徴とするものである。
【発明の効果】
【０００８】
本発明のシール塗布装置によれば、シールパターンを形成しながら気泡によってシールパターンに生じた断線部を検出することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】第１の実施の形態に係るシール塗布装置の概略側面図である。
【図２】図１に示すシール塗布装置の塗布ステージの平面図である。
【図３】（ａ）は図１に示すシール塗布装置のシリンジの断面図、（ｂ）および（ｃ）は図１に示すシール塗布装置でシール材の塗布の際に発生する気泡の破裂音を説明する説明図である。
【図４】（ａ）および（ｂ）は図１に示すシール塗布装置でシール材を塗布してシールパターンを形成する状態を説明する説明図である。
【図５】第２の実施の形態に係るシール塗布装置の概略側面図である。
【図６】図５に示すシール塗布装置の検知カメラで検知した断線部の画像を説明する説明図である。
【図７】第３の実施の形態に係るシール塗布装置の概略側面図である。
【図８】図７に示すシール塗布装置の塗布ステージとシリンジ支持体との関係を説明する説明図である。
【図９】（ａ）および（ｂ）は図７に示すシール塗布装置のシリンジの移動の機能を説明する説明図である。
【図１０】第４の実施の形態に係るシール塗布装置の概略側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
＜実施の形態１＞
以下、本発明の第１の実施の形態（実施の形態１という）に係るシール塗布装置１について、図１乃至図４を参照しながら説明する。なお、図１は、本発明の実施の形態１に係るシール塗布装置１を側面から見た概略側面図である。
【００１１】
実施の形態１に係るシール塗布装置１は、図１および図２に示すような構成であり、シリンジ５を用いて基板２にシール材５ｄを塗布するものであり、塗布ステージ３と、シリンジ支持体４と、シリンジ５と、集音器６と、音声処理部７と、塗布ステージ制御部８と、塗布ステージ対応位置検出部９とで構成されている。
【００１２】
シール塗布装置１は、シール材５ｄが塗布される基板２が載置される、基板２と平行な平面内をＸ方向およびこのＸ方向に直交するＹ方向に移動する塗布ステージ３と、塗布ス
テージ３の上方に配置された、貯留されたシール材５ｄを基板２に塗布するシリンジ５が設けられたシリンジ支持体４とを備えている。
【００１３】
そして、シール塗布装置１は、基板２が載置された塗布ステージ３をＸ方向およびＹ方向に移動させて、シリンジ５の先端部からシール材５ｄを基板２に塗布して所定のシールパターン５ｆを形成する。
【００１４】
基板２は、液晶表示装置を構成する基板であり、例えば、カラーフィルタ基板、あるいは、画像信号等の信号配線および画素電極等の電極が形成されたアレイ基板等である。基板２は、周縁部にシール材５ｄが塗布されて所定のシールパターン５ｆが形成される。ここでは、基板２は、１つの液晶セルに対応するシールパターン５ｆがシール材５ｄの塗布によって形成される場合で説明しているが、これに限らない。基板２は、複数の液晶セルに対応する複数のシールパターン５ｆがシール材５ｄによって形成される、基板２から液晶セルがいわゆる多面取りされる場合であってもよい。
【００１５】
塗布ステージ３は、シール材５ｄが塗布される基板２と平行な平面内をＸ方向およびＹ方向に移動する。また、塗布ステージ３は、基板２を所定の位置に吸着固定する機能を有している。塗布ステージ３は、例えば、四角形状を有している。
【００１６】
ここで、塗布ステージ３の移動の機能について、図１および図２を参照しながら説明する。
【００１７】
塗布ステージ３は、Ｙ軸ステージ３ｆの上に配置されている。そして、Ｙ軸ステージ３ｆは、塗布ステージ土台３ｌ上に設けられている。塗布ステージ３は、図２に示すように、それ自身は単独ではＸ方向に移動する。そして、Ｙ軸ステージ３ｆはＹ方向に移動する。したがって、塗布ステージ３がＸ方向に移動するとともにＹ軸ステージ３ｆがＹ方向に移動することによって、塗布ステージ３は、全体として基板２と平行な平面内をＸ方向およびＹ方向に移動することができる。
【００１８】
まず、Ｙ軸ステージ３ｆのＹ方向への移動について説明する。
【００１９】
Ｙ軸ステージ３ｆは、Ｙ軸ナット３ｋによって固定されている。そして、Ｙ軸ナット３ｋがＹ軸ボールスクリュー３ｈに結合されており、このＹ軸ボールスクリュー３ｈがＹ軸モータ３ｇと連動している。したがって、Ｙ軸ステージ３ｆは、Ｙ軸ナット３ｋに固定されているので、Ｙ軸ボールスクリュー３ｈとＹ軸モータ３ｇとの駆動によってＹ方向に移動することができる。
【００２０】
また、Ｙ軸レール３ｊが、Ｙ軸ボールスクリュール３ｈに平行な方向に塗布ステージ土台３ｌに設けられている。そして、Ｙ軸ステージ３ｆの下面にはＹ軸レール３ｊに対応するようにＹ軸ガイド３ｉが設けられている。したがって、Ｙ軸ステージ３ｆは、上述の移動機構によってＹ軸ガイド３ｉが塗布ステージ土台３ｌに設けられているＹ軸レール３ｊ上をＹ方向に移動する。
【００２１】
次に、塗布ステージ３のＸ方向への移動について説明する。
【００２２】
塗布ステージ３は、Ｘ軸ナット３ｅによって固定されている。そして、Ｘ軸ナット３ｅがＸ軸ボールスクリュー３ｂに結合されており、このＸ軸ボールスクリュー３ｂがＸ軸モータ３ａと連動している。したがって、塗布ステージ３は、Ｘ軸ナット３ｅに固定されているので、Ｘ軸ボールスクリュー３ｂとＸ軸モータ３ａとの駆動によってＸ軸方向に移動することができる。
【００２３】
また、Ｘ軸レール３ｄが、Ｘ軸ボールスクリュー３ｂに平行な方向にＹ軸ステージ３ｆに設けられている。そして、塗布ステージ３の下面にはＸ軸レール３ｄに対応するようにＸ軸ガイド３ｃが設けられている。したがって、塗布ステージ３は、上述の移動機構によってＸ軸ガイド３ｃがＹ軸ステージ３ｆに設けられているＸ軸レール３ｄ上をＸ方向に移動する。
【００２４】
このように、塗布ステージ３は、上述したように、塗布ステージ３がＸ方向に、Ｙ軸ステージ３ｆがＹ方向に移動することによって、全体として、基板２に平行な平面内をＸ方向およびＹ方向に移動することができる。
【００２５】
シリンジ支持体４は、図１に示すように、シリンジ５が設けられている上板と２つの側板とで構成されている。
【００２６】
シリンジ５は、図３（ａ）に示すように、内部は密閉されており、内部にシール５ｄが貯留されている。シリンジ５は、先端部からシール材５ｄを出して基板２に所定のシールパターン５ｆを形成する。シリンジ５は、例えば、円筒形のステンレスで構成されている。また、シリンジ５は、図３（ａ）に示すように、シリンジ５の内部を加圧するためのガス導入系Ａが設けられており、内部の加圧によって基板２に対してシール材５ｄの塗布の制御を行なっている。
【００２７】
したがって、シリンジ５は、図３（ａ）に示すように、例えば、内部にガス導入系Ａから一定圧力の不活性ガスを導入することによって、先端部から出て基板２に塗布されるシール材５ｄの塗布量を調整することができる。
【００２８】
シリンジ５は、内部が不活性ガスで加圧されることによってシリンジ５の先端部からシール材５ｄを出して基板２に所定のシールパターン５ｆを形成する。すなわち、シリンジ５は、内部にガス導入系Ａから窒素ガス等の不活性ガスを導入して不活性ガスの圧力によってシリンジ５の先端部からシール材５ｄを出して基板２に塗布している。
【００２９】
集音器６は、シリンジ支持体４におけるシリンジ５の先端部の近傍に配置されている。そして、集音器６は、貯留されたシール材５ｄに混入した気泡５ｅがシリンジ５の先端部から出る際に発生する気泡５ｅの破裂音を検出するものである。また、集音器６は、シリンジ５の先端部の近傍であって気泡５ｅの破裂音を検出することができる範囲に配置されていればよい。
【００３０】
音声処理部７は、集音器６で検出された破裂音が入力されて破裂音検出信号を作成するものである。
【００３１】
塗布ステージ制御部８は、塗布ステージ３のＸ方向およびＹ方向の移動方向を制御するとともに塗布ステージ３の位置座標（Ｘ，Ｙ）をモニターして塗布ステージ３の位置座標信号（Ｘ，Ｙ）を作成する。また、塗布ステージ３は、例えば、図２に示すように、塗布ステージ３のＤで示す位置を塗布ステージ３の位置座標（Ｘ、Ｙ）の原点として設定している。この塗布ステージ３の位置座標（Ｘ、Ｙ）の原点を基準として、全ての位置座標が決定される。なお、塗布ステージ３の位置座標（Ｘ、Ｙ）の原点は、塗布ステージ３のどの位置に設けてもよい。
【００３２】
塗布ステージ対応位置検出部９は、塗布ステージ３の移動に合わせて、塗布ステージ制御部８から塗布ステージ３の位置座標信号（Ｘ，Ｙ）が入力されるとともに音声処理部７から出力された破裂音検出信号が入力された際に、塗布ステージ３の位置座標信号（Ｘ，
Ｙ）から塗布ステージ３の位置座標（Ｘ，Ｙ）を検出して気泡５ｅの破裂によってシールパターンに生じた断線部Ｃの位置座標（ｘ，ｙ）を検出する。これによって、断線がシールパターン５ｆのどの位置で発生したか、すなわち、シールパターン５ｆの断線部Ｃの位置座標（ｘ，ｙ）を検出することができる。
【００３３】
シールパターン５ｆに生じた断線部Ｃの位置座標（ｘ，ｙ）を検出について以下に説明する。
【００３４】
気泡５ｅの破裂音は、図３に示すように、貯留されたシール材５ｄに混入した気泡５ｅがシリンジ５の先端部から外部に出る際に発生する。
【００３５】
シール材５ｄを基板２に塗布する際に、貯留されたシール材５ｄに混入された気泡５ｅは、図３（ｂ）に示すように、シール材５ｄの基板２への塗布が始まるとシリンジ５の先端部の細孔の内部に導かれて入っていく。
【００３６】
次に、シール材５ｄに混入された気泡５ｅは、図３（ｃ）に示すように、シリンジ５の先端部の細孔から出て開放されると破裂して破裂音を発生する。
【００３７】
この気泡５ｅの破裂音は、図３（ｃ）に示すように、シリンジ５の近傍に配置された集音器６によって検出される。そして、音声処理部７では、破裂音が入力されて破裂音検出信号が作成される。なお、集音器６によって破裂音を検出した位置が、シールパターン５ｆに生じた断線部Ｃの位置座標（ｘ，ｙ）である。
【００３８】
シールパターン５ｆは、図４（ａ）に示すように、塗布ステージ３がＸ方向およびＹ方向に移動してシリンジ５の先端部からシール材５ｄを基板２に塗布して形成される。そして、このシールパターン５ｆの形成中に、シール材５ｄに混入された気泡５ｅがあると、気泡５ｅはシリンジ５の先端部の細孔から外部に出て開放されることによって破裂して破裂音を発生する。この気泡５ｅの破裂音は、シリンジ５の近傍に配置された集音器６によって検出される。
【００３９】
そして、シリンジ５は、気泡５ｅの破裂によってシールパターン５ｆに断線部Ｃが生じても、図４（ｂ）に示すように、シール材５ｄの塗布を継続してシールパターン５ｆを形成する。
【００４０】
したがって、塗布ステージ対応位置検出部９は、集音器６が気泡５ｅの破裂音を検出して、音声処理部７から出力された破裂音検出信号が入力された際に、塗布ステージ３の位置座標信号（Ｘ，Ｙ）から塗布ステージ３の位置座標（Ｘ，Ｙ）を検出して気泡５ｅの破裂によってシールパターン５ｆに生じた断線部Ｃの位置座標（ｘ，ｙ）を検出することができる。この断線部Ｃの位置座標（ｘ，ｙ）によって、シールパターン５ｆに断線を生じたものを不良として取り除くことができる。
【００４１】
シール塗布装置１では、シール材５ｄを基板２に塗布してシールパターン５ｆを形成しながら、シールパターン５ｆの断線部Ｃの位置座標（ｘ，ｙ）を検出することができるので、断線部Ｃの位置座標の検出効率を向上させることができる。
【００４２】
本発明は上述の第１の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更、改良等が可能である。以下、他の実施の形態について説明する。なお、他の実施の形態に係るシール塗布装置のうち、第１の実施の形態に係るシール塗布装置１と同様な部分については、同一の符号を付して適宜説明を省略する。
【００４３】
＜実施の形態２＞
以下、本発明の第２の実施の形態（実施の形態２という）に係るシール塗布装置１Ａについて、図５および図６を参照しながら説明する。なお、図５は、本発明の実施の形態２に係るシール塗布装置１Ａを側面から見た概略側面である。
【００４４】
実施の形態２に係るシール塗布装置１Ａは、図５に示すような構成であり、シリンジ５を用いて基板２にシール材５ｄを塗布するものであり、塗布ステージ３と、シリンジ支持体４と、シリンジ５と、集音器６と、検知カメラ１０と、音声処理部７と、ステージ制御部８と、塗布ステージ・検知カメラ対応位置検出部１１と、塗布ステージ対応シール塗布位置検出部１２とで構成されている。
【００４５】
シール塗布装置１Ａは、シール塗布装置１の構成に対して、検知カメラ１０を備えている。検知カメラ１０は、シリンジ支持体４に設けられており、基板２に形成されたシールパターン５ｆのパターン形状を検知するものである。すなわち、検知カメラ１０は、シールパターン５ｆの形状を画像認識する。
【００４６】
また、シール塗布装置１Ａは、シール塗布装置１の塗布ステージ対応位置検出部９に新たな機能を追加した塗布ステージ・検知カメラ対応位置検出部１１を備えるとともに、さらに、シールパターン５ｆの断線部Ｃに新たなシール材５ｄを塗布するための塗布ステージ対応シール塗布位置検出部１２を備えている。
【００４７】
塗布ステージ・検知カメラ対応位置検出部１１は、次に述べる３つ動作を行なう。まず、第１は、シール材５ｄを基板２に塗布する際の塗布ステージ３のＸ方向およびＹ方向の移動に合わせて、塗布ステージ制御部８から塗布ステージ３の位置座標信号（Ｘ，Ｙ）が入力される。
【００４８】
次に、第２は、音声処理部７から出力された破裂音検出信号が入力された際に、塗布ステージ３の位置座標信号（Ｘ，Ｙ）から塗布ステージ３の位置座標（Ｘ，Ｙ）を検出して気泡５ｅの破裂によってシールパターン５ｆに生じた断線部Ｃの位置座標（ｘ，ｙ）を検出する。
【００４９】
最後に、第３は、検知カメラ１０の検知領域内に断線部Ｃの位置座標（ｘ，ｙ）が位置するように塗布ステージ３を移動させるための第１の塗布ステージ移動制御信号を作成して塗布ステージ制御部８に出力する。
【００５０】
塗布ステージ対応シール塗布位置検出部１２は、次に述べる２つの動作を行なう。まず、第１は、検知カメラ１０で検知された断線部Ｃの形状の画像信号が入力されて、画像信号を画像処理して、図６に示すように、断線部Ｃの一方の端部の位置座標（ｘ１，ｙ１）を検出する。なお、図６に示すＥの位置が、断線部Ｃの一方の端部の位置座標（ｘ１，ｙ１）である。
【００５１】
そして、第２は、断線部Ｃに新たにシール材５ｆを塗布するために断線部Ｃの一方の端部の位置座標（ｘ１，ｙ１）にシリンジ５の先端部を合わせるように塗布ステージ３を移動させるための第２の塗布ステージ移動制御信号を作成して塗布ステージ制御部８に出力する。
【００５２】
シリンジ５は、先端部がシールパターン５ｆの断線部Ｃの一方の端部の位置座標（ｘ１，ｙ１）に合わせられて、その位置座標にシリンジ５の先端部から新たにシール材５ｄを基板２に塗布する。これによって、シール塗布装置１Ａは、シールパターン５ｆの形成後に、シールパターン５ｆに生じた断線部Ｃの修復を行なうことができる。
【００５３】
したがって、シールパターン５ｆに断線が生じても、シールパターン５ｆの形成後に、断線部Ｃに対して新たにシール材５ｄを塗布することによって断線部Ｃを修復して良品にすることができる。
【００５４】
シール塗布装置１Ａでは、シールパターン５ｆの形成しながら、シールパターン５ｆに生じた断線部Ｃを検出するとともにその断線部Ｃの修復を行なうことができるので、シールパターン５ｆの断線部Ｃの検出効率を向上させるとともに、生産効率も向上させることができる。
【００５５】
＜実施の形態３＞
以下、本発明の第３の実施の形態（実施の形態３という）に係るシール塗布装置１Ｂについて、図７乃至図９を参照しながら説明する。なお、図７は、本発明の実施の形態３に係るシール塗布装置１Ｂを側面から見た概略側面である。
【００５６】
実施の形態３に係るシール塗布装置１は、図７乃至図９に示すような構成であり、シリンジ５Ａを用いて基板２にシール材５ｄを塗布するものであり、塗布ステージ３Ａと、シリンジ支持体４Ａと、シリンジ５Ａと、集音器６Ａと、音声処理部７と、シリンジ対応位置検出部１３とで構成されている。
【００５７】
シリンジ５Ａの先端部からシール材５ｄを基板２に塗布する際に、シール塗布装置１およびシール塗布装置１Ａはシリンジ５が固定されて塗布ステージ３が移動して基板２に所定のシールパターン５ｆを形成するのに対して、シール塗布装置１Ｂは、塗布ステージ３Ａが固定されており、シリンジ５Ａおよび集音器６Ａが塗布ステージ３の上方を移動して、シリンジ５Ａの先端部からシール材５ｄを基板２に塗布して所定のシールパターン５ｆを形成する。
【００５８】
シール塗布装置１Ｂは、シール材５ｄが塗布される基板２が載置される塗布ステージ３Ａと、塗布ステージ３の上方に配置されて、塗布ステージ３に沿ってＹ方向に移動するシリンジ支持体４Ａとを備えている。また、シリンジ支持体４Ａには、貯留されたシール材５ｄを基板２に塗布するために基板２と平行な平面内を上述のＹ方向に直交するＸ方向に移動するシリンジ５が設けられている。
【００５９】
したがって、シリンジ５ＡはＸ方向に移動し、シリンジ５Ａが設けられているシリンジ支持体４ＡはＹ方向に移動する。これによって、シリンジ５Ａは、基板２に平行な平面内をＸ方向およびＹ方向に移動して、シール材５ｄを塗布して基板２に所定のシールパターン５ｆを形成する。
【００６０】
集音器６Ａは、シリンジ支持体４Ａにおけるシリンジ５Ａの先端部の近傍に配置されてシリンジ５Ａに連動して移動する。そして、貯留されたシール材５ｄに混入した気泡５ｅがシリンジ５Ａの先端部から出る際に発生する気泡５ｅの破裂音を検出するものである。
【００６１】
そして、シール塗布装置１Ｂは、シリンジ５Ａおよびシリンジ支持体４ａをそれぞれＸ方向およびＹ方向に移動させて、シリンジ５Ａの先端部からシール材５ｄを基板２に塗布して所定のシールパターン５ｆを形成する。
【００６２】
シリンジ対応位置検出部１３は、シリンジ５Ａおよびシリンジ支持体４Ａの移動に合わせてシリンジ５の位置座標信号（Ｘ，Ｙ）が入力されるとともに音声処理部７から出力された破裂音検出信号が入力された際に、シリンジ５Ａの位置座標信号（Ｘ，Ｙ）からシリンジ５Ａの位置座標（Ｘ，Ｙ）を検出して気泡５ｅの破裂によってシールパターン５ｆに
生じた断線部Ｃの位置座標（ｘ，ｙ）を検出するものである。なお、シリンジ５Ａは、塗布ステージ３Ａの任意の位置をシリンジ５の位置座標（Ｘ，Ｙ）の原点として設定している。このシリンジ５Ａの位置座標（Ｘ、Ｙ）の原点を基準として、全ての位置座標が決定される。
【００６３】
シリンジ支持体４Ａは、図８に示すように、塗布ステージ３Ａの上方に配置されており、シリンジ５Ａが設けられている上板と２つの側板とで構成されている。そして、シリンジ支持体４Ａの側板はそれぞれシリンジガイド４ｄに配設されており、シリンジガイド４ｄは、シリンジ支持体４Ａを図８に示すＹの方向に移動させる機能を有している。
【００６４】
ここで、シリンジ支持体４ＡのＹ方向への移動機構について述べる。また、図９（ａ）は、シリンジ支持体４Ａの移動機構を側面から見た概略側面図である。なお、図９（ａ）に示す移動機構が、シリンジガイド４ｄに設けられている。
【００６５】
シリンジ支持体４Ａの側板は、図９（ａ）に示すように、シリンジ支持体駆動用ボールねじサポートユニット４ｃによって固定されている。そして、このシリンジ支持体駆動用ボールねじサポートユニット４ｃがシリンジ支持体駆動用ボールねじ４ｂに結合されており、このシリンジ支持体駆動用ボールねじ４ｂが第１のステッピングモータ４ａと連動している。
【００６６】
したがって、シリンジ支持体４Ａは、シリンジ支持体駆動用ボールねじサポートユニット４ｃに固定されているので、シリンジ支持体駆動用ボールねじ４ｂと第１のステッピングモータ４ａとの駆動によってＹ方向に移動することができる。
【００６７】
また、シリンジ５および集音器６のＸ方向への移動機構について述べる。また、図９（ｂ）は、シリンジ５Ａの移動機構を側面から見た概略側面図である。シリンジ５Ａおよび集音器６Ａは、図９（ｂ）に示すように、連結されており連動してＸ方向に移動する。なお、図９（ｂ）に示す移動機構が、シリンジ支持体４Ａの上板に設けられている。
【００６８】
シリンジ５は、図９（ｂ）に示すように、シリンジ駆動用ボールねじサポートユニット５ｃによって固定されている。そして、このシリンジ駆動用ボールねじサポートユニット５ｃがシリンジ駆動用ボールねじ５ｂに結合されており、このシリンジ駆動用ボールねじ５ｂが第２のステッピングモータ５ａと連動している。
【００６９】
したがって、シリンジ５Ａは、シリンジ駆動用ボールねじサポートユニット５ｃに固定されているので、シリンジ駆動用ボールねじ５ｂと第２のステッピングモータ５ａとの駆動によってＸ方向に移動することができる。
【００７０】
このようなシリンジ５Ａおよびシリンジ支持体４Ａの構成によって、シリンジ５Ａは、塗布ステージ３Ａの上方を基板２に平行な平面内をＸ方向およびＹ方向に移動することができる。これによって、シリンジ５Ａは、先端部からシール材５ｄを基板に塗布して所定のシールパターン５ｆを形成することができる。
【００７１】
ここで、シールパターン５ｆに生じた断線部Ｃの位置座標（ｘ，ｙ）を検出について説明する。
【００７２】
シリンジ５Ａは、塗布ステージ３Ａの上方をシリンジ５ＡがＸ方向およびＹ方向に移動して、先端部からシール材５ｄを基板２に塗布して所定のシールパターン５ｆを形成する。そして、シールパターン５ｆの形成中に、シール材５ｄに混入された気泡５ｅがあると、気泡５ｅはシリンジ５の先端部の細孔から外部に出て開放されることによって破裂して破裂音を発生する。
【００７３】
この気泡５ｅの破裂音は、シリンジ５の近傍に配置された集音器６によって検出される。そして、音声処理部７では、破裂音が入力されて破裂音検出信号が作成される。なお、集音器６によって破裂音を検出した位置が、シールパターン５ｆに生じた断線部Ｃの位置座標（ｘ，ｙ）である。
【００７４】
シリンジ対応位置検出部１３は、シリンジ５ＡのＸ方向およびＹ方向の移動方向を制御するとともにシリンジ５Ａの位置座標（Ｘ，Ｙ）をモニターしてシリンジ５Ａの位置座標信号（Ｘ，Ｙ）を作成している。また、音声処理部７は、集音器６Ａで検出された破裂音が入力されて破裂音検出信号を作成している。
【００７５】
したがって、シリンジ対応位置検出部１３は、シリンジ５Ａおよびシリンジ支持体４Ａの移動に合わせて、シリンジ５Ａの位置座標信号（Ｘ，Ｙ）が入力されるとともに音声処理部７から出力された破裂音検出信号が入力された際に、シリンジ５Ａの位置座標信号（Ｘ，Ｙ）からシリンジ５Ａの位置座標（Ｘ，Ｙ）を検出して気泡５ｅの破裂によってシールパターン５ｆに生じた断線部Ｃの位置座標（ｘ，ｙ）を検出することができる。この断線部Ｃの位置座標（ｘ，ｙ）によって、シールパターン５ｆに断線を生じたものを不良として取り除くことができる。
【００７６】
シール塗布装置１Ｂでは、シール材５ｄを基板２に塗布してシールパターン５ｆを形成しながら、シールパターン５ｆの断線部Ｃの位置座標（ｘ，ｙ）を検出することができるので、断線部Ｃの位置座標の検出効率を向上させることができる。
【００７７】
＜実施の形態４＞
以下、本発明の第４の実施の形態（実施の形態４という）に係るシール塗布装置１Ｃについて、図１０を参照しながら説明する。なお、図１０は、本発明の実施の形態４に係るシール塗布装置１Ｃを側面から見た概略側面である。
【００７８】
実施の形態４に係るシール塗布装置１は、図１０に示すような構成であり、シリンジ５Ａを用いて基板２にシール材５ｄを塗布するものであり、塗布ステージ３Ａと、シリンジ５Ａと、シリンジ支持体４Ａと、集音器６Ａと、検知カメラ１０Ａと、音声処理部７と、シリンジ・検知カメラ対応位置検出部１４と、シリンジ対応シール塗布位置検出部１５とで構成されている。
【００７９】
シール塗布装置１Ｃは、シール塗布装置１Ｂの構成に対して、検知カメラ１０を備えている。
【００８０】
検知カメラは、シリンジ支持体４Ａに設けられており、Ｘ方向およびＹ方向に移動して基板２に形成されたシールパターン５ｆのパターン形状を検知するものである。すなわち、検知カメラ１０は、シールパターン５ｆの形状を画像認識する。
【００８１】
また、検知カメラ１０Ａは、シリンジ支持体４Ａに設けられており、シリンジ５Ａおよび集音器６Ａに連結させることによってＸ方向およびＹ方向に移動することができる。
【００８２】
シール塗布装置１Ｃは、シール塗布装置１Ｂのシリンジ対応位置検出部に新たな機能を追加したシリンジ・検知カメラ対応位置検出部１４を備えるとともに、さらに、シールパターン５ｆの断線部Ｃに新たなシール材５ｄを塗布するためのシリンジ対応シール塗布位置検出部１５を備えている。
【００８３】
シリンジ・検知カメラ対応位置検出部１１は、次に述べる３つ動作を行なう。まず、第１は、シリンジ５ＡのＸ方向およびＹ方向の移動方向を制御しながら、シリンジ５Ａおよびシリンジ支持体４Ａの移動に合わせてシリンジ５Ａの位置座標信号（Ｘ，Ｙ）が入力され。
【００８４】
次に、第２は、音声処理部７から破裂音検出信号が入力された際に、シリンジ５Ａの位置座標信号（Ｘ，Ｙ）からシリンジ５Ａの位置座標（Ｘ，Ｙ）を検出して気泡５ｅの破裂によって前記シールパターンに生じた断線部Ｃの位置座標（ｘ，ｙ）を検出する。
【００８５】
最後に、第３は、検知カメラ１０Ａの検知領域内に断線部Ｃの位置座標（ｘ，ｙ）が位置するように検知カメラ１０Ａを移動させるための検知カメラ移動制御信号を作成して検知カメラ１０Ａに出力する。
【００８６】
シリンジ対応シール塗布位置検出部１５は、次に述べる２つの動作を行なう。まず、第１は、検知カメラ１０Ａで検知された断線部Ｃの形状の画像信号が入力されて、画像信号を画像処理して断線部Ｃの一方の端部の位置座標（ｘ１，ｙ１）を検出する。
【００８７】
そして、第２は、断線部Ｃに新たにシール材５ｄを塗布するために断線部Ｃの位置座標（ｘ１，ｙ１）にシリンジ５Ａの先端部を合わせるようにシリンジ５Ａを移動させるためのシリンジ移動制御信号を作成してシリンジ・検知カメラ対応位置検出部１４に出力する。
【００８８】
シリンジ５Ａは、先端部がシールパターン５ｆの断線部Ｃの一方の端部の位置座標（ｘ１，ｙ１）に合わせられて、その座標位置にシリンジ５Ａの先端部から新たにシール材５ｄを基板２に塗布する。これによって、シール塗布装置１Ｃは、シールパターン５ｆの断線部Ｃの修復を行なうことができる。
【００８９】
したがって、シールパターン５ｆに断線が生じても、シールパターン５ｆの形成後に、断線部Ｃに対して新たにシール材５ｄを塗布することによって断線部Ｃを修復して良品にすることができる。
【００９０】
シール塗布装置１Ｃでは、シールパターン５ｆの形成しながら、シールパターン５ｆに生じた断線部Ｃを検出するとともにその断線部Ｃの修復を行なうことができるので、シールパターン５ｆの断線部Ｃの検出効率を向上させるとともに、生産効率も向上させることができる。
【００９１】
本発明は、上述した実施の形態１乃至実施の形態４に特に限定されるものではなく、本発明の範囲内で種々の変更および改良が可能である。
【符号の説明】
【００９２】
１、１Ａ、１Ｂ、１Ｃ  シール塗布装置
２  基板
３、３Ａ  塗布ステージ
３ａ  Ｘ軸モータ
３ｂ  Ｘ軸ボールスクリュー
３ｃ  Ｘ軸ガイド
３ｄ  Ｘ軸レール
３ｅ  Ｘ軸ナット
３ｆ  Ｙ軸ステージ
３ｇ  Ｙ軸モータ
３ｈ  Ｙ軸ボールスクリュー
３ｉ  Ｙ軸ガイド
３ｊ  Ｙ軸レール
３ｋ  Ｙ軸ナット
３ｌ  塗布ステージ土台
４、４Ａ  シリンジ支持体
４ａ  第１のステッピングモータ
４ｂ  シリンジ支持体駆動用ボールねじ
４ｃ  シリンジ支持体駆動用ボールねじサポートユニット
４ｄ  シリンジガイド
５、５Ａ  シリンジ
５ａ  第２のステッピングモータ
５ｂ  シリンジ駆動用ボールねじ
５ｃ  シリンジ駆動用ボールねじサポートユニット
５ｄ  シール材
５ｅ  気泡
５ｆ  シールパターン
６、６Ａ  集音器
７  音声処理部
８  塗布ステージ制御部
９  塗布ステージ対応位置検出部
１０、１０Ａ  検知カメラ
１１  塗布ステージ・検知カメラ対応位置検出部
１２  塗布ステージ対応シール塗布位置検出部
１３  シリンジ対応位置検出部
１４  シリンジ・検知カメラ対応位置検出部
１５  シリンジ対応シール塗布位置検出部
Ａ  ガス導入系
Ｂ  検知カメラの検知領域
Ｃ  断線部
Ｄ  塗布ステージの位置座標（Ｘ，Ｙ）の原点
Ｅ  断線部の一方の端部の位置座標（ｘ１、ｙ１）
【図１】
2014085526.tif 000003
【図２】
2014085526.tif 000004
【図３】
2014085526.tif 000005
【図４】
2014085526.tif 000006
【図５】
2014085526.tif 000007
【図６】
2014085526.tif 000008
【図７】
2014085526.tif 000009
【図８】
2014085526.tif 000010
【図９】
2014085526.tif 000011
【図１０】
2014085526.tif 000012