(57)【要約】【課題】多くの電子部品及び半導体部品に対応可能で、製造業者が全てのレベルにおいて効率向上が可能な基板プロセス装置を提供する。【解決手段】基板ロードデバイス１０は、フレーム１６、カセット支持部３６、３４、及びユーザインターフェースを有している。フレーム１６は基板プロセス装置１４に接続されている。フレーム１６は搬送開口部３０Ｄを有しており、かかる搬送開口部３０Ｄを経て、基板は基板ロードデバイス１０と基板プロセス装置１４との間を搬送される。カセット支持部３６、３４は、フレーム１６に接続され、少なくとも１つの基板保持カセットを保持する。前記ユーザインターフェースは、情報を入力するために形成され、フレーム１６に一体化してマウントされている。【選択図】図１
2014225695.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板ローディングデバイスであって、
前記デバイスを基板プロセス装置に接続し、前記デバイスとプロセス装置との間で基板が搬送される際に前記基板が通過する搬送開口部を有するフレームと、
基板搬送コンテナを保持し、前記フレームに移動自在に接続される少なくとも１つの搬送コンテナシャトルと、を含み、
前記シャトルは、前記フレームに対して、第１終端位置と第２終端位置との間を移動自在であり、異なった複数の搬送コンテナが前記シャトルにより前記第２終端位置に搬送されるとき、前記第２終端位置は、前記少なくとも１つの搬送コンテナシャトル上の前記搬送コンテナの表面とフレーム表面との間の所定の隙間を維持するために変更可能であることを特徴とする基板ローディングデバイス。
【請求項２】
請求項１に記載の基板ローディングデバイスであって、前記シャトルの前記第２の終端位置を検出する検出システムをさらに含むことを特徴とする基板ローディングデバイス。
【請求項３】
請求項２に記載の基板ローディングデバイスであって、前記検出システムに通信可能に接続され、前記検出システムからの信号を受信するコントローラを更に含み、前記コントローラは前記搬送コンテナとともに前記少なくとも１つの搬送コンテナシャトルを前記第２の終端位置に停止させるために前記信号を使用するようにプログラムされていることを特徴とする基板ローディングデバイス。
【請求項４】
請求項２に記載の基板ローディングデバイスであって、前記検出システムはビームセンサを含むことを特徴とする基板ローディングデバイス。
【請求項５】
請求項４に記載の基板ローディングデバイスであって、前記センサは前記基板搬送コンテナの特徴部分を検出することを特徴とする基板ローディングデバイス。
【請求項６】
請求項４に記載の基板ローディングデバイスであって、前記センサは前記基板搬送コンテナの基準面を検出して、基板搬送コンテナ間の寸法変化に依らずに前記第２の終端位置を規定することを特徴とする基板ローディングデバイス。
【請求項７】
請求項４に記載の基板ローディングデバイスであって、前記センサは前記基板搬送コンテナの前面を検出することを特徴とする基板ローディングデバイス。
【請求項８】
請求項４に記載の基板ローディングデバイスであって、前記少なくとも１つの搬送コンテナシャトルは２以上の搬送コンテナシャトルを含み、前記基板ローディングデバイスは前記搬送コンテナシャトルの各々に対するセンサをさらに含むことを特徴とする基板ローディングデバイス。
【請求項９】
請求項２に記載の基板ローディングデバイスであって、前記少なくとも１つの搬送コンテナシャトルは複数の搬送コンテナシャトルを含み、前記複数の搬送コンテナシャトルの各々は前記検出システムによって独立的に検出されることを特徴とする基板ローディングデバイス。
【請求項１０】
基板ローディングデバイスであって、
前記基板ローディングデバイスを基板プロセス装置に接続し、前記基板ローディングデバイスと前記基板プロセス装置との間で基板が搬送される際に前記基板が通過する搬送開口部を有するフレームと、
基板搬送コンテナを保持しかつ前記フレームに移動自在に接続され、第１の終端位置と第２の終端位置との間で前記フレームに対して移動自在な少なくとも１つの搬送コンテナシャトルと、
前記フレームに接続され、前記少なくとも１つの搬送コンテナシャトルによって前記基板搬送コンテナが移動させられる際に前記搬送コンテナの特徴部分を遠隔的に検出して、前記フレームに対する前記特徴部分の位置を判定するセンサと、
を含むことを特徴とする基板ローディングデバイス。
【請求項１１】
請求項１０に記載の基板ローディングデバイスであって、前記センサに通信可能に接続されて前記センサからの信号を受信するコントローラをさらに含み、前記コントローラは前記信号を用いて前記少なくとも１つの搬送コンテナシャトルの終端位置を計算するようにプログラミングされていることを特徴とする基板ローディングデバイス。
【請求項１２】
請求項１０に記載の基板ローディングデバイスであって、前記センサがビームセンサを含むことを特徴とする基板ローディングデバイス。
【請求項１３】
請求項１０に記載の基板ローディングデバイスであって、前記センサが前記基板搬送コンテナの基準面を検出して、基板搬送コンテナ間の寸法の差異に依らずに前記第２の終端位置を規定することを特徴とする基板ローディングデバイス。
【請求項１４】
請求項１０に記載の基板ローディングデバイスであって、前記センサは前記基板搬送コンテナの前面を検出することを特徴とする基板ローディングデバイス。
【請求項１５】
請求項１０に記載の基板ローディングデバイスであって、前記少なくとも１つの搬送コンテナシャトルは２以上の搬送コンテナシャトルを含み、前記基板ローディングデバイスは前記搬送コンテナシャトルの各々に対するセンサを含むことを特徴とする基板ローディングデバイス。
【請求項１６】
請求項１０に記載の基板ローディングデバイスであって、前記少なくとも１つの搬送コンテナシャトルは複数の搬送コンテナシャトルを含み、前記複数の搬送コンテナシャトルの各々は前記センサによって独立的に検出されることを特徴とする基板ローディングデバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は基板プロセス装置に関し、特には基板プロセス装置のための改良したロードポートモジュールに関する。
【背景技術】
【０００２】
消費者がより安価な電子装置を求めることが、装置の製造業者に効率性の改善を促している。実際に、現在の市場においては、多くのデバイス並びにより広範囲の電子部品及び半導体部品が、装置に使用され、必需品となっている。電子及び半導体装置の製造業者は全てのレベルにおいて効率が向上することを望んでいるが、製造施設すなわちＦＡＢ及びＦＡＢ内において使用される基板プロセス装置の形態、構造及び操作に特に重点をおいている。
【発明の概要】
【０００３】
本発明の１つの例示的な実施例においては、基板ローディングデバイスが提供される。かかる基板ローディングデバイスは、フレーム、カセット支持部、及びユーザインターフェースを含んでいる。フレームはデバイスを基板プロセス装置に接続する。フレームは、基板がデバイスとプロセス装置との間を搬送される際に通過する搬送開口部を有している。カセット支持部は、フレームに接続され、少なくとも１つの基板保持カセットを保持する。ユーザインターフェースが情報を入力するために配置される。ユーザインターフェースは、フレームにマウントされ、ユーザインターフェースはフレームと一体化する。
【０００４】
本発明の他の例示的な実施例においては、基板ローディングデバイスが提供される。かかる基板ローディングデバイスは、フレーム、カセット支持部、及びディスプレイを含んでいる。フレームはデバイスを基板プロセス装置に接続する。フレームは、基板がデバイスとプロセス装置との間を搬送される際に通過する搬送開口部を有している。カセット支持部が、フレームに接続され、少なくとも１つの基板保持カセットを保持する。ディスプレイは、デバイスの所定の特徴に関する情報を表示するために配置されている。ディスプレイはグラフィカルユーザインターフェースとして機能し得る。ディスプレイは、フレームと一体化され得、ユニットとして形成され、ユニットとしてプロセス装置から取り外され得る。
【０００５】
本発明の他の例示的な実施例においては、基板ロードデバイスが提供される。かかる基板ロードデバイスは、フレーム及び基板搬送コンテナ支持部を含んでいる。フレームはデバイスを基板プロセス装置に接続する。フレームは、基板がデバイスとプロセス装置との間を搬送される際に通過する搬送開口部を有している。基板搬送コンテナ支持部は、フレームに接続され、少なくとも１つの基板搬送コンテナを保持する。搬送コンテナ支持部は、カバー部、少なくとも１つの検出器、及び、部材を含んでいる。カバー部は、少なくとも１つの基板搬送コンテナが配置される支持部の少なくとも一部を被覆する。カバー部は弾性可撓性部を有している。少なくとも１つの検出器は、カバー部に接続され、支持部における少なくとも１つの搬送コンテナの存在を検出する。部材は、カバー部の可撓部に接続され、可撓部とのユニットとして移動する。部材は、検出器と協働し、検出器に支持部における搬送コンテナの存在を検出させる。
【０００６】
本発明の他の例示的な実施例によれば、基板ロードデバイスが提供される。かかる基板ロードデバイスは、フレーム及び基板搬送コンテナ支持部を含んでいる。フレームはデバイスを基板プロセス装置に接続する。フレームは、基板がデバイスとプロセス装置との間を搬送される際に通過する搬送開口部を有している。基板搬送コンテナ支持部は、フレームに接続され、少なくとも１つの基板搬送コンテナを保持する。支持部は、カバー部及び少なくとも１つの検出器を含んでいる。カバー部は少なくとも１つの基板搬送コンテナが配置される支持部の少なくとも一部を被覆する。少なくとも１つの検出器が、カバー部に接続され、少なくとも１つの搬送コンテナが支持部に存在するときに検出する。カバー部は一体構造であり且つ弾性可撓性タブを有している。検出器はタブにマウントされる部材を含み、かかる部材は、検出器と共に、支持部における少なくとも１つの搬送コンテナの検出を行う。
【０００７】
本発明のさらに別の実施例によれば、基板ロードデバイスが提供される。かかるデバイスはフレーム及び搬送コンテナシャトルを含んでいる。フレームはデバイスを基板プロセス装置に接続する。フレームは、基板がデバイスとプロセス装置との間を搬送される際に通過する搬送開口部を含んでいる。搬送コンテナシャトルは、基板搬送コンテナを保持するために形成され、フレームに運動自在に接続されている。シャトルは、フレームに対して第１終端位置と第２終端位置との間において運動自在である。異なる搬送コンテナがかかるシャトルにより第２終端位置に搬送されるときに、第２終端位置は、シャトル上の搬送コンテナの表面とフレーム面との間の所定の隙間を維持するために変更可能である。
【０００８】
本発明の更に別の実施例によれば、基板ロードデバイスが提供される。かかるデバイスはフレーム、搬送コンテナシャトル、及びセンサを含んでいる。フレームはデバイスを基板プロセス装置に接続する。フレームは、基板がデバイスとプロセス装置との間を搬送される際に通過する搬送開口部を有している。搬送コンテナシャトルは、基板搬送コンテナを保持するために形成され、フレームに運動自在に接続されている。シャトルは、フレームに対して第１終端位置と第２終端位置との間において運動自在である。センサが、フレームに接続され、シャトルにより動かされるとき、搬送コンテナの特徴を遠隔的に検出しフレームに対する特徴部の位置を決定する。
【０００９】
本発明のさらに別の実施例によれば、基板ロードデバイスが提供される。かかる基板ロードデバイスは、フレーム、可動フレーム部材、駆動部、及びセンサを含んでいる。フレームは、基板がフレームの外側上の基板搬送コンテナとフレームの内側との間の基板搬送路に沿って搬送される際に通過する開口部を形成する。可動フレーム部材は、フレームに運動自在に接続され、基板搬送路を閉鎖及び開放する。駆動部は、フレームに接続され、可動フレーム部材を第１方向へ動かし基板搬送路を開放する。デバイスは、フレーム部材を第１方向に運搬する運搬部材を有している。センサは基板の存在を検出することが可能である。センサは、フレーム部材から独立して運搬部材に運動自在に接続される。運搬部材は、フレーム部材を第１方向に動かすとき、センサを第１方向に運搬する。センサはフレームに対して、第１方向とは異なる第２方向に運動自在である。センサは、センサが搬送コンテナにおける基板の存在を検出可能である位置への第２方向に運動自在である。
【００１０】
本発明の前述の形態及び特徴は、添付図面に関する以下の記述において説明される。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】図１は１つの例示的な実施例による本発明の特徴を含む基板プロセス装置及び基板搬送コンテナＴの全体斜視図である。
【図２】図２は図１におけるプロセス装置のロードポートモジュールのフロントを示す部分斜視図である。
【図３】図３は図２におけるロードポートモジュールのフレームの部分斜視図である。
【図４】図４は図３におけるロードポートモジュールのリア側面を示す斜視図である。
【図５】図５は本発明の例示的な実施例によるロードポートモジュールを示す斜視図である。
【図６】図６はロードポートモジュールの後方を示す斜視図である。
【図６Ａ】図６Ａはロードポートモジュールの側面図である。
【図７Ａ】図７Ａは図３におけるロードポートモジュールの搬送コンテナ支持部の斜視図である。
【図７Ｂ】図７Ｂは図３におけるロードポートモジュールの搬送コンテナ支持部の頂部平面図である。
【図７Ｃ】図７Ｃは図３におけるロードポートモジュールの搬送コンテナ支持部の正面図である。
【図７Ｄ】図７Ｄは図３におけるロードポートモジュールの搬送コンテナ支持部の側面図である。
【図８】図８は支持部の一体化コンテナ検出スイッチを示す図７Ａにおける搬送コンテナ指示部の部分斜視図である。
【図９Ａ】図９Ａは異なる位置から見た従来技術による例示的な基板搬送コンテナＴの斜視図である。
【図９Ｂ】図９Ｂは異なる位置から見た従来技術による例示的な基板搬送コンテナＴの斜視図である。
【図１０】図１０はロードポートモジュールの基板搬送コンテナ締結システムの全体斜視図である。
【図１１】図１１はロードポートモジュールの一部及び第１位置に配置されたロードポートモジュールの可動部を伴うロードポートモジュールの収容位置の基板搬送コンテナＴの部分斜視図である（ロードポートモジュールの部分は簡潔性のために省略されている）。
【図１２】図１２は図１１に類似しているが他の位置における可動部を示しているロードポートモジュール及び基板搬送コンテナの斜視図である。
【図１３】図１３は本発明の例示的な実施例による方法を示すブロックダイアグラムである。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
図１を参照すると、本発明の特徴を含んだ基板プロセス装置１０の斜視図が示されている。本発明は図面に示した実施例を参照しつつ説明されるが、本発明は実施例の多くの別の形態に実施され得ることを理解すべきである。さらに、任意の適切なサイズ、形状、種類の要素若しくは材料が使用され得る。
【００１３】
図１に示した実施例においては、装置１０が、例示の目的のためだけに、通常の基板バッチプロセスツール構造を有するとして示されている。別の実施例においては、基板プロセス装置は、任意の他の形態を有し得る。なぜなら、以下において詳しく説明されるように、本発明の特徴は、個別に基板をプロセスするツールを含む任意の基板プロセスツール構造に等しく適用可能であるからである。装置１０は、２００ｍｍ若しくは３００ｍｍ半導体ウエハ、半導体実装基板（例えば、高密度配線）、半導体製造処理イメージプレート（例えば、マスク若しくはレチクル）、及びフラットパネルディスプレイ用の基板のような任意の望まれる種類のフラットパネル若しくは基板を操作し、プロセスし得る。装置１０は、フロント部１２とリア部１４とを通常有し得る。フロント部１２（ここではフロントという用語は表示の例示的なフレームを明らかにするために便宜上使用される。別の実施例においては、装置のフロントは装置の任意の望まれる側面に設定され得る。）は、ＦＡＢから装置１０の内部への基板の搬送を可能にする接触面を具備するシステム（以下においてより詳しく説明される）を有する。フロント部１２はハウジング１６及び該ハウジング内に配置された自動化要素を通常有し、かかる自動化要素はリア部１４と外部に対するフロント部の接触面との間において基板を操作する。リア部１４はフロント部のハウジングに接続されている。装置のリア部１４は制御された雰囲気（例えば、真空、不活性ガス）を有し得、基板をプロセスするプロセスシステムを通常含んでいる。例えば、リア部は中央搬送チャンバを含み得る。かかる中央搬送チャンバは、該装置内において、基板搬送デバイス及び基板に望まれる製造プロセス（例えば、エッチング、材料堆積、清掃、焼き入れ、検査等）を実行する周辺プロセスモジュールを有している。基板は、ＦＡＢ内において、コンテナＴでプロセス装置１０に搬送され得る。コンテナＴは、フロント部の接触面上に配置され得るか、若しくは近接して配置され得る。コンテナから、基板は、フロント部における自動化要素を用いて、接触面を経て、フロント部１２へ搬送され得る。基板は、ロードロックを経て、１つ以上のプロセスモジュールにおいてプロセスする雰囲気制御されたリア部へ搬送され得る。その後、プロセスされた基板は、除去のために、略反対にされた方法で、フロント部１２に戻され、その後、搬送コンテナＴに戻される。
【００１４】
エンビロンメンタルフロントエンドモジュール（environmental front end module）すなわちＥＦＥＭとして言及されるフロント部１２は、保護された環境すなわちミニエンビロンメントを形成するシェルすなわちケーシングを有し得る。かかる保護された環境すなわちミニエンビロンメントにおいて、基板は、ＦＡＢ内において基板を搬送するために使用される搬送コンテナＴとリアプロセス部１４において制御された雰囲気への入り口を具備するロードロック１４Ｌとの間の汚染の最小の可能性を伴いアクセスされ、操作される。ロードポートすなわちロードポートモジュール２４（以下において説明されるように１つ若しくは複数）が、フロント部とＦＡＢとの間の接触面を具備するフロント部の１つ若しくは複数の側面に配置され得る。ロードポートモジュールは、ＥＦＥＭの内部と外部との間の閉成自在な接触面を形成する閉成自在なポート３０Ｏを有し得る。図１において見て取れるように、ロードポートモジュールは、基板搬送コンテナＴのための支持エリアを有し得る。第２保持エリアが、かかる支持エリアの下方に設けられ得、搬送コンテナが一時的にバッファされ得る。搬送コンテナ支持エリアは、搬送コンテナ支持エリアに支持された搬送コンテナＴの最終すなわち収容（docked）位置への自動動作を可能にする。動作の前に、支持エリアにおける搬送コンテナＴの適切な配置が、支持エリアのカバー部すなわちケーシングに一体化された検出スイッチにより検出され、実証され得る。再び動作の前に、ロードポート支持エリアにおける搬送コンテナのポジティブ（positive）係合すなわち固定が、以下においてさらに詳しく説明されるように、ロードポートの駆動された留め具により実施され得る。最終すなわち収容位置（つまり、基板が搬送コンテナとＥＦＥＭケーシング内部との間を搬送されるポートに隣接する搬送コンテナの位置）へのロードポートの支持エリア上の搬送コンテナの搬送は、触れられない（つまり、汚染されていない）位置センサにより検出され得る。以下において説明するように、装置制御システムと協働して、位置センサは、搬送コンテナの寸法における誤差の変化にもかかわらず、コンテナとロードポートフレームとの間に最小の隙間を有する搬送コンテナ収容位置を繰り返し確立する働きをする。また、以下において説明するように、搬送コンテナの自動動作の間の挟み込み検出（pinch detection）が、搬送モータへの電流をモニタする１つ以上のセンサにより提供され得る。挟み込みセンサは、制御システムに接続され、かかる制御システムは、挟み込みセンサから適当な信号を受信すると、自動的に停止し、搬送の向きを反対にするプログラムを有している。搬送コンテナを開成するために収容位置にある一方、以下において見られるように、ロードポートフレームにおけるアクセスポート３０Ｏを開成するとき、ロードポートモジュールのポートドアは、搬送コンテナと係合し得、搬送コンテナ内の基板へのアクセス及びコンテナとＥＦＥＭ内部との間において基板を搬送するアクセスを提供する。ポートドアと搬送コンテナとの間の係合は、以下において説明するように、不適当な係合若しくは操作を検出する独立したセンサを有する独立して操作自在なキーにより実施され得る。ポー���ドアは、弾性可撓性マウント部にマウントされ得、かかる弾性可撓性マウント部は、堅固にドアを支持する一方、アクセスポートフレーム若しくは他のロードポートモジュール構造の障害物を除去するために開成するとき、十分な動作範囲を有するドアを具備する。基板搬送のためのポートを開成するドアの更なる動作は、ドア動作が、開成／閉成するとき、ＥＦＥＭの面と略平行であるように、所定の位置へ枢動される駆動部によりなされ得る。ロードポートモジュールは、搬送コンテナ内側の基板の存在を検出するセンサを有し得る。センサは、搬送コンテナ内部にアクセスするように駆動され、アクセスポートを開成するポートドアの動作と同時に、搬送コンテナの内部をスキャンするように動かされる。センサは、制御システムに接続され、搬送コンテナ内側における基板の存在、位置、及び向きを明らかにする。以下において説明するように、他の特徴は、ロードポートモジュールがインテリジェントロードポートモジュールであり得ることである。ロードポートは、一体化ユーザインターフェースを有し、かかる一体化ユーザインターフェースは、制御システム、コントローラ、及びセンサに通信自在に接続され、ユーザが、プロセス装置の操作及び衛生状態モニタのためのデータ、情報、プログラムを部分的に入力することを可能にする。ユーザインターフェースは、グラフィカルディスプレイを含み得、かかるグラフィカルディスプレイは、装置の望まれる操作状態及び衛生状態データ及び制御システムにおいて利用可能な任意の望まれる利用可能な情報とみなす情報を図表を用いて表示し得る。ユーザインターフェースは、ティーチペンダント（teach pendant）のような周辺デバイスを接続する適当なＩ／Ｏポートを有し得、周辺デバイスがユーザインターフェースに接続されているとき、周辺デバイスとの双方向通信を可能にする。ロードポートモジュールには、望まれる自動化要素の動作を見るために配置されたカメラが設けられ得る。カメラは、制御システムに通信自在に接続され得、かかる制御システムは自動化要素の動作におけるカメラ信号エラーを識別するようにプログラムされている。ユーザインターフェースのディスプレイは、カメラにより生成された視野フレーム（view frames）若しくはビデオストリームを出力し得る。
【００１５】
図２を参照し詳しく説明する。図２はかかる例示的な実施例によるプロセス装置のロードポートモジュール２４の斜視図であり、かかるロードポートモジュール２４は、搬送コンテナ保持部すなわち支持エリア２８及び閉成自在なポート３０Ｏを形成する（前述した）フレーム２９を有しており、かかる支持エリア及びポート３０Ｏを経て、基板はフロント部ハウジング１６の内側のミニエンビロンメントの内外へ搬送される。ＥＦＥＭのハウジング１６及びロードポートモジュール２４は、以下において説明するように、外部から十分閉ざされたチャンバすなわち空間２５を形成し、前述のように、フロント部１２内に制御された雰囲気すなわちミニエンバイロメントを具備するように接続される。例えば、フロント部は、通気孔、ルーバー（louvers）、層流（laminar flow）システムのような制御された空気流システム（図示せず）を含み得、粒子汚染がフロント部１２におけるミニエンバイロメントに入ることを防止する。図１及び図２において見て取れるように、ロードポートモジュール２４の搬送コンテナ保持エリア２８は、１次すなわち第１ステーション３６及び２次ステーション３４を有し得る。この実施例においては、保持エリア２８の各ステーション３６、３４が搬送コンテナＴを保持し得るが、別の実施例においては、搬送コンテナ保持エリアはより多い若しくはより少ない保持ステーションを有し得、各保持ステーションは任意の望まれる数の基板搬送コンテナを保持し得る。保持ステーション３６、３４に配置して示された搬送コンテナＴは、例示の目的のために、フロント開口ユニホームポッド（front opening uniform pods）（ＦＯＵＰ）型コンテナとして示されているが、別の実施例においては、ロードポート保持エリアの保持ステーションはＳＭＩＦのような任意の望まれる種類の搬送コンテナを保持し得る。図１に示した実施例においては、フロント部１２は、例示目的のために、フロント部１２のフロント面１２Ｆに配置されたロードポートモジュール２４を有している。この位置においては、ロードポットモジュール２４は、ブルックスオートメーション社のエアロローダ（AeroLoader(R)）のような自動材料ハンドリングシステム（ＡＭＨＳ）（図示せず）を用いて、ロードポートモジュール保持エリア２８の少なくとも１つの保持ステーション３４、３６上への搬送コンテナＴの配置及び除去を容易にするように配置され得る。図１乃至図２において見て取れるように、ロードポートモジュール保持エリア２８は、フロント部の表面１２Ｆから前方に突出しており、ＡＭＨＳによる保持エリア２８上の搬送コンテナＴの除去／配置のためのアクセスは頂部若しくは前方からなされ得る。別の実施例においては、ロードポートモジ
ュールは、望まれるように、フロント部の他の側面に配置され得る。さらに別の実施例においては、ロードポートモジュールはフロント部１２の２つ以上の側面に配置され得る。図２において見て取れるように、この例示的な実施例におけるロードポートモジュール２４は、ロードポートモジュール２４のベースプレートから外側に突出する伸長ゾーン３８を有し得る。
【００１６】
図３を参照すると、ロードポートモジュール２４のフレーム２９の斜視図が示されている。 例示的な実施例においては、フレーム２９は、ベースプレート２９２及び補強材レール２９４を含み得る。ベースプレート２９２及びレール２９４は、スチールから形成され得、フレームにおける予想された荷重に適しており、かかるスチールは、例えば、望まれる厚さのプレート若しくは部分を圧延若しくは型打ちされた任意の商業的に入手可能な標準的な構造のスチール（例えば、ＡＳＴＭ：Ａ３６）である。望まれるならば、ベースプレート及びレールは、ロードポートモジュールの質量を低減するために、高強度スチール（例えば、ＡＳＴＭ：Ａ２４２）から形成され得る。別の実施例においては、任意の望まれる金属が使用され得る。ベースプレート２９２は、フロント部１２のマウント面１２Ｆの寸法に対して望まれるようなサイズに形成され得る。図１に示した実施例においては、フロント部１２は、略同一である２つのロードポートモジュール２４を有している（別の実施例においては、フロント部は、望まれるように、より少ない若しくはより多いロードポートモジュールを有し得る）。従って、各ロードポートモジュール２４のフレーム２９は、例えば、フロント部の幅の約半分まで伸長し得る。ベースプレート２９２の高さは、例えば、フロント部の全高さまで伸長し得るか、若しくは少し低く、フロント部ハウジング１６との適切な接触及びシールを可能にする。図３において見て取れるように、例示目的のために通常のチャネル断面を有するとして示されているレール２６４が、この例示的な実施例におけるベースプレート２９２の側方エッジに配置されている。別の実施例においては、レールは任意の望まれる標準的な圧延若しくは型打ちされた部分（例えば、Ｔ、角度等）を有し得、ベースプレートに望まれるように配置され得、フレームに望まれる強度及び曲げ剛性を提供する。もし、望まれる形状／サイズが一般的に入手できないならば、望まれる形状／及びサイズは、標準的な断面の１つ以上のフランジの部分を切断することにより容易に形成され得る。この実施例においては、ベースプレート２９２は、一端において隆起したフランジ２９２Ｆ（図３参照）を有し得、他端において外に突出したチャネル２９１０を形成するように形成される（例えば、型打ち加工、圧延加工）。レール２９４、隆起したフランジ２９２Ｆ、及びチャネル２９１０は、通常の構造の箱構造（フレームの歪みを最小にする）を形成し、自己支持構造を具備するように接続され得る。別の実施例においては、ベースプレートは任意の他の望まれる方法により形成され得、より多い若しくはより少ない数のレールが望まれる構造特性を具備するように望まれるように配置され得る。この実施例においては、ベースプレート２９２及びレール２９４は、ＳＭＡＷ、ＭＩＧ若しくはＴＩＧ溶接等により互いに溶接され得る。溶接はスポット溶接若しくは連続溶接であり得る。別の実施例においては、ベースプレート及びレールは、ろう付け、圧力若しくは化学的接着、又は機械的な締結等の望まれる手段により構造的に接合され得る。さらに他の実施例においては、フレームベースプレート及びレールは、フレームの形成の間に��体化され得、フレームは、単一構造の単一部材となる。自己支持構造により、ロードポートモジュール（ＬＰＭ）２４の周りのフレームは、フレームにマウントされた全てのＬＰＭ要素（以下において説明される）と共に、構造的な適切さを維持する更なるろう付けすなわち支持を必要としないユニットとして搬送される。
【００１７】
図３において最も良く見て取れるように、この実施例においては、ベースプレート２９２は、所定の部分２９１０に形成された開口部２９１２とプレートの下部に形成された開口部２９１４とを有している。前述したように、開口部２９１６は、ベースプレート２９２において形成され、ロードポートモジュールのアクセスポート３０Ｏを形成する。開口部２９１２は、以下においてより詳しく説明するように、ベースプレートの中心線に中心を配置され得、ユーザインターフェース１０２（図２参照）のグラフィカルディスプレイに適切であるサイズに形成される。別の実施例においては、ディスプレイ開口部は、グラフィカルディスプレイをフレームに配置し、マウントする任意の適切な位置、サイズ、及び形状を有し得る。図３において見て取れるように、ベースプレートの下部における開口部２９１４は、通常の箱状壁部２９８により略囲まれている。箱状壁部２９８は、スチールのような金属薄板により形成され得、スポット溶接、化学的接着若しくは任意の他の望まれる手段によりベースプレートに接合され得る。箱状壁部２９８はロードポートモジュールの伸長部３８（図２参照）に配置され得る。箱状壁部２９８は、以下において詳しく説明するように、アクセスポートドア３０Ｄ（図１参照）の操作メカニズムのための枠及び支持部を形成し得る。この実施例及び以下において見て取れるように、ドア操作メカニズムは、ドアとの係合のための開口部２９１４を経て伸長する。ドア操作メカニズムを伸長部３８内に配置することは、フロント部ハウジング１６内のドア操作メカニズムのための空間を取り除くか、若しくは少なくとも最小化する。次に、これは従来の装置と比較して、フロント部ハウジング１６のサイズの低減を可能にし得る。
【００１８】
この実施例においては、ベースプレートにおける開口部２９１４は、閉成若しくはシールされなくてもよく、フロント部ハウジング１６の内部と箱状壁部２９８内の空間との間は自由に通じるようになる。箱状壁部２９８は、箱状壁部２９８のフロント側を閉成するせき止め（flashing）すなわちカバー部３８Ｃ（図２参照）により被覆されている。カバー部３８Ｃはベースプレート２９２若しくはロードポートの他の構造に対してシールされ得、ロードポートモジュール２４がフロント部ハウジングに接続されているとき、フロント部内のミニエンバイロメントは、開口部２９１４を経て、ロードポートモジュールの伸長領域３８へ延在し得る。別の実施例においては、ロードポートモジュールのフレームはフレームを経て伸長するドア操作メカニズムのための開口部を有していなくともよい。以下において詳しく説明されるように、フレーム２９の一部は、取り外し自在にマウントされ得、ＬＰＭ要素への迅速なアクセスを提供する。
【００１９】
再度図３を参照すると、フレーム２９は、搬送コンテナ保持エリア２８のための支持構造部２９６を有している。支持構造部２９６は、スチール（若しくは任意の他の望まれる金属）プレート若しくは薄板を望まれる構造に圧延加工、型打ち加工若しくは曲げ加工することにより形成され得る。示した実施例においては、支持構造部は、平坦な上部２９６Ｈ、垂直端壁部２９６、及び内部に突出するフランジ２９６Ｆを伴うフランジ付きチャネル構造を有するように形成される。支持構造部２９６は、金属薄板の単一部品を望まれる構造に曲げることにより形成されるとき、単一構造であり得る。別の実施例においては、支持構造部は、構造を、例えば、溶接、ろう付け、接着、若しくは締結により、中心継ぎ目線において接合された２つの類似する部品に形成するような多数の部品の溶接物若しくはアッセンブリであり得る。支持構造部２９６の形成の後、かかる支持構造部２９６は、スポット溶接、ろう付け、接着、若しくは機械的締結を含む任意の適当な手段により、ロードポートフレームのベースプレートに取り付けら得る。図３に示したように、支持構造部２９６は、箱状壁部２９８の上方に配置され、必要ならば、箱状壁部は、支持構造部２９６へ伸長されて接合され得るので、フレーム２９に増大した剛性を提供する。この実施例における支持構造部２９６は伸長され、かかる支持構造部２９６は、剛性を増大させるために、例えば、溶接により、ベースプレートの側方側面に接着するレール２９４に構造的に結合される。別の実施例においては、搬送コンテナ保持エリア支持構造部は、ロードポートモジュールフレームの箱状壁部に接合されなくともよい。前述したように、できる限り標準的な市販のプレート及び標準的な断面の部材を用いるロードポートモジュールフレーム２９の組み立ては、従来の装置と比較して、ロードポートモジュールフレームの組み立てに関連した費用及び時間を非常に低減する。ロードポートモジュールフレームの従来の組み立ては、ストック鋼片（stock billet）から最終構造に機械加工された部材、又は、特に、最終形状に鋳造されたか形成された部材を通常使用し、かかる部材は、機械的な締結により互いに接合され、フレームを形成する。
【００２０】
図４を参照すると、図２の斜視図の反対の方向（後方）から見たロードポートモジュール２４の斜視図が示されている。図３及び図４において見て取れるように、フレーム２４には、制御面すなわち基準面２９６Ｄ１、２９６Ｄ２、２９４Ｄ１乃至２９４Ｄ４が設けられ得、かかる基準面は、ロードポートモジュールフレームにマウントされたか配置されたインターフェース要素同士の間の適切な向き及びアライメントを提供し、ロードポーロモジュール２４（及びロードポートモジュールにマウントされている任意の要素）及び装置のフロント部若しくはリア部１２、１４の他のインターフェース要素の適切な向き及びアライメントを提供する。例えば、線２９１６Ｄ１、２９１６Ｄ２により示されている基準面は、ベースプレート２９２におけるアクセスポートホール２９１６のエッジの付近に設けられている。ポートが閉成されるとき、開口部２９１６のエッジの表面はポートドア３０Ｄ（図２参照）により接触され得、表面の平坦性及び平面性（垂直軸と水平軸とに対する）が制御されることが望まれる。搬送コンテナ保持エリア支持構造部２９６には、例えば、２９６Ｄ１、２９６Ｄ２のような基準面が設けられ、かかる基準面は、例えば、アクセスポートにおける基準面２９１６Ｄ１、２９１６Ｄ２に対する支持構造部２９６の平坦性及び垂直性を確立する。以下において詳しく説明されるように、これは、保持エリア２８に配置された任意の搬送コンテナとアクセスポートのドアとの間の接触のための適切且つ反復自在なアライメントを確実にする助けとなる。図４において見て取れるように、基準面／線２９４Ｄ１乃至２９４Ｄ４は、ロードポートモジュールフレームのリア側面に設けられ、ハウジングへロードポートモジュール２４を接触する表面２９４Ｉの平坦性及び平面配向を制御する。接触面２９４Ｉには、ＢＯＴＬＳ型接触面（図示せず）が設けられ、かかるＢＯＴＬＳ型接触面がロードポートモジュール２４及びフロント部ハウジング１６を互いに固定している。別の実施例においては、ロードポートモジュールは任意の他の望まれる接触面の種類を有し得る。接触面の種類にかかわらず、ロードポートモジュールフレームのリア側面における基準面／線２９４Ｄ１乃至２９４Ｄ４のシステムは、参照システムを具備し、かかる参照システムは、装置１０に類似する任意の装置のフロント部若しくはリア部１２、１４に対するロードポートモジュール２４及びかかるロードポートモジュール２４にマウントされた要素の反復自在なアライメントを可能にする。これは、フレーム２９に類似するフレームを伴うロードポートモジュールが異なる装置同士の間において取り替えられることを可能にする。フレーム２９における基準面が、望まれるならば、フレームの組み立ての完了の後に、局所機械加工若しくは任意の他の望まれる手段により設けられ得る。表面は、テストベンチ若しくはジグを用いるか、または光学アライメントシステムを用いて確認され得る。機械加工可能な金属材料若しくはくさびが、基準面を形成する前に、表面を補強するように設けられ得る。アダプタ（図示せず）がロードポートモジュール２４をＥＦＥＭのケーシング１６に接触するために使用され得、かかるアダプタの例は、米国特許第０９／６００，８２９号に説明されており、かかる米国特許の全内容を参照しつつ、本出願に組み込むものとする。
【００２１】
図４において見て取れるように、ロードポートモジュールフレーム２９は、一体化したマウント面及びマウント構造部２９１８、２９２０を含み得、フロント部のミニエンバイロメントに配置された望まれる自動化要素を支持する。前述したように、プロセス装置のフロント部１２は、搬送コンテナＴ（図１に示したロードポートモジュールに配置されている）と装置１０のリア部１４との間の基板の搬送において使用される様々な自動化要素を含み得る。一例として、この実施例においては、フロント部１２は、搬送コンテナ検出装置（mapper）２００（図６参照）、基板搬送装置４０（図５参照）、アライナ４２（図５参照）、及びバッファ４４のような自動化要素を含み得る。検出装置２００は、以下において詳しく説明されるが、保持エリア２８における搬送コンテナＴの内側に配置された基板を検出するように配置され得る。図５には基板搬送装置４００が簡略化して示されている。搬送装置４０は、θ（回転）及びＲ（半径）動作（図５においてθ及びＲの矢印により示されている）において基板を保持及び搬送可能な搬送部４０Ａを通常含み得る。望まれるならば、搬送装置４０は、この実施例においては、図５において矢印Ｌにより示されるように、ロードポートモジュールを側方に横切って搬送部４０Ａを動かし得る運搬システム４０Ｃを含み得る。θ、Ｒ動作部４０Ａは、ＳＣＡＲＡ型アームのような任意の適切な種類及び構造であり得る。例示目的のために、搬送部４０Ａが、図５においてＳＣＡＲＡ型構造を有するとして簡略化して示されている（アームの２つのリンクだけが示されており、エンドエフェクタは簡潔性のために省略されている）。装置１０において使用され得るＳＣＡＲＡ型アームの適切な例は、ブルックスオートメーション社のアクトラン（AcuTran）７ロボットである。別の実施例においては、θ、Ｒ動作搬送部は任意の他の望まれる構造を有し得る。搬送部４０Ａは、図５において矢印Ｚにより示されるような垂直すなわちＺ方向に搬送部４０Ａを動かす駆動部を有するハウジングすなわちケーシング４０Ａ１に運動自在に保持され得る。ケーシング４０Ａ１は、側方搬送システム４０Ｃの運搬部（図示せず）にマウントされ得る。アライナ４２（図５において点線で示されている）は、ブルックスオートメーション社のアクライナー（AcuLigner）７のような任意の適当な種類であり得る。アライナ４２は、搬送装置４０が基板を取り上げる／配置することを可能にするために配置される。バッファ部４４は、フロント部１２の内側に望まれる数の基板をバッファすることを可能にする任意の適当な構造を有し得る。別の実施例においては、フロント部は、他の異なる種類の自動化要素か、又はより多い若しくはより少ない類似する自動化要素（例えば、１つ以上の検出装置、アライナ）を有し得る。前述したように、この実施例においては、検出装置２００、搬送装置４０、アライナ４２、及びバッファ部４４はロードポートモジュールフレーム２９に（直接的若しくは間接的に）マウントされ得、ロードポートモジュール２４に一体化される。従って、フロント部１２への及びフロント部１２からの検出装置、搬送装置、アライナ、及びバッファモジュールの取り付け若しくは取り外しは、ロードポートモジュールの取り付け若しくは取り外しにおいて実施される。さらに、例えば、搬送装置、アライナ、及びバッファのような１つ以上のロードポートモジュール要素が、サブモジュール（図示せず）若しくはロードポートモジュール２４にマウントされ得る。ＬＰＭがケーシング１６にマウントされたときに、該トランスポートモジュール２４はＬＰＭから取り外されるか又は取り付けられる。ＬＭＰのための取り外し自在なサブモジュールの例が、２００４年６月１５日出願の米国仮出願第６０／５７９，８６２号に開示されており、全内容を本出願に組み込むものとする。
【００２２】
図４に示したように、搬送装置４０のためのマウント面若しくはマウント構造部２９１８、２９２０（図４に概略が示されている）はフレーム２９に設けられている。マウント面若しくはマウント構造部２９１８、２９２０は、任意の適切な方法により形成され得、図４に示した実施例においては、フレームのレール２９４に配置されている。別の実施例においては、搬送装置のマウント面／構造部は望まれる強度及び剛性を有するフレームの任意の他の望まれる部分に配置され得る。マウント面２９１８、２９２０は、フレーム２９の参照基準２９４Ｄ１乃至２９４Ｄ４に対して配置され得、側方運搬システム４０Ｌのための取り付けポイントか、若しくは、搬送装置が側方運搬システムを含んでいない場合には、θ、Ｒ動作搬送部４０Ａのケーシング４０Ａ１のための取り付けポイントを設けられ得る。同様に、マウント構造部２９２３Ｃ（図５参照）が、アライナ４２をロードポートモジュールにマウントするために設けられ得、バッファをロードポートモジュールフレームにマウントするマウント構造部（図示せず）が設けられ得る。これら支持構造部は、望まれる誤差内で、フレームの参照基準２９４Ｄ１乃至２９４Ｄ４に対して位置的に制御されている。従って、ロードポートモジュールのフレーム２９及びロードポートモジュールは他の類似するロードポートモジュールと完全に交換自在であり得る。
【００２３】
ロードポートモジュールフレーム２９は、側方インターフェースシステム２９２２、２９２４（図４参照）を更に含み、かかる側方インターフェースシステム２９２２、２９２４は、ロードポートモジュールを並んで取り付けることを可能にし、図５において示したように、大きなすなわち複合のモジュール２４１を形成する。この実施例においては、１つの側方インターフェースシステム２９２２、２９２４が、ロードポートモジュール２４の各側方側面に設けられる。よって、他のモジュールがロードポートモジュールフレームの片側若しくは両側に取り付けられ得る。ロードポートモジュール同士の間のインターフェースシステム２９２２、２９２４は、アライメント手段２９２２Ａ、２９２２Ｐ（システム２９２２のためのアライメント手段だけが示されており、システム２９２４も同様である）を含み得、互いに取り付けられたモジュール同士を調整する。例えば、この実施例においては、アライメント手段は、レール２９４において、基準２９４Ｄ２のような望まれる基準に対して正確に配置されたホール２９２２Ａを含み得る。３つのホール２９２２Ａが図４において示されているが、別の実施例においては、アライメント手段は任意の望まれる数のホールを有し得る。該アライメント手段は、各ホール２９２２Ａへの挿入のためのダウエルピンすなわち適合ピン２９２２Ｐを含み得る（例示目的のために、１つのピン２９２２Ｐだけが図４に示されている）。対応するピン２９２２Ｐが、１つのロードポートモジュールのフレーム２９における各アライメントホール２９２２Ａを経て及び隣接するロードポートモジュールフレームにおけるホール２９２２Ａに類似する整合ホール（図示せず）を経て、挿入され得る。これは、互いに及び全体的な参照符に対する隣接するロードポートモジュール同士のアライメントを確立する。アライメントの後、局所的な参照基準（フレーム２９のための参照基準２９４Ｄ１乃至２９４Ｄ３により説明されたように、各ロードポートモジュールのための基準面を形成する）は、図５に示した大きなモジュールの参照基準面２９Ｄ５と略同一平面である。インターフェースシステム２９２２、２９２４は側方設置面（表面２９２４Ｓだけが図４において見ることができる）及びシール部２９２４Ｏを含み得る。表面２９２４Ｓのような設置面は、隣接するロードポートモジュール同士が互いに接触されることを可能にし、シール部２９２４Ｏ（任意の適切なエラストマ若しくは粘弾性材料から形成され得る）は隣接するフレーム部材同士の間の隙間をシールし、複合モジュールの表面にわたってミニエンバイロメントを維持する。例えば、機械的締結具の締結システム（図示せず）若しくは溶接若しくは接着による取り付けが、ロードポートモジュールを互いに堅固に固定するために使用され得る。このように、任意の望まれる数のロードポートモジュール２４が並んで取り付けられ得る。
【００２４】
図５は、複数のロードポートモジュール２４Ａ、２４Ｂ、２４Ｃを並んで取り付けることにより形成された複合ロードポートモジュール２４'の斜視図である。示した実施例においては、複合モジュール２４'は３つのロードポートモジュール２４Ａ、２４Ｂ、２４Ｃを含んでいる。別の実施例においては、複合モジュールは任意の数のロードポートモジュールから形成され得る。ロードポートモジュール２４Ａ、２４Ｂ、２４Ｃは、前述し且つ図２乃至図４に示したロードポートモジュール２４に略類似している。ロードポートモジュール２４Ａ、２４Ｂ、２４Ｃは、インターフェースシステム２９２２、２９２４（図４参照）に類似するインターフェースシステムにより互いに取り付けられ、かかるインターフェースシステムは、各モジュールを参照基準面２９Ｄ５（前述したように）に対して調整し、各モジュール同士を接合し、単一の一体化ユニットを形成する。複合モジュール２４'のフレーム２９'は各モジュールのフレーム２９Ａ、２９Ｂ、２９Ｃの一体化した複合物である。従って、複合ロードポートモジュール２４'は、かかる複合ロードポートモジュールに取り付けられた一体化自動化要素４０、４２と共にユニットとして、装置のフロント部１２に取り付けられるか、若しくは取り外され得る。図５に示した実施例においては、搬送装置４０は、１つ以上のモジュールフレーム２９Ａ、２９Ｂ、２９Ｃのマウント構造部２９１８、２９２０に類似するマウント構造部にマウントされ得る。この実施例における側方運搬装置４０Ｃは、３つのモジュール２４Ａ、２４Ｂ、２４Ｃの全てに沿って伸長している。よって、搬送部４０Ａは複合モジュール２４の幅全体を（矢印Ｌにより示される方向に）横切ることができる。別の実施例においては、複合モジュールにおける１つ以上のモジュールが、かかるモジュールにマウントされる専用の搬送装置を有し得る。図５に示した実施例においては、モジュール２４Ｃがアライナ４２をマウントする支持構造部２９２３Ｃを有している。別の実施例においては、アライナ支持部は複合モジュールを形成するモジュールのいずれかに存在し得る。前述したように、各モジュール２４Ａ、２４Ｂ、２４Ｃのフレームは、追加のフレーム支持部材なしに、モジュールが互いに結合されることを可能にし、任意の望まれる幅の複合モジュール（図５に示したように）を形成する。いずれにせよ、各モジュール２４、２４Ａ、２４Ｂ、２４Ｃのフレーム２９は、モジュールがフロント部ハウジング１６に独立してマウントされることを可能にする。
【００２５】
再度図１乃至図３を参照すると、ロードポートモジュール２４の搬送コンテナ保持エリア２８は、上方支持ステーション３６と下方支持ステーション３４とを有し得、各支持ステーション３６、３４は、図１に示したように、搬送コンテナＴを保持又は支持し得る。この実施例においては、下方ステーション３４は、上方ステーション３６の下方に通常配置されている。下方支持ステーション３４は、搬送コンテナＴの構造に一致して係合し得る対向部材３４Ｌ（図３に１つだけが示されている）を含み得、搬送コンテナＴが下方支持ステーション３４に配置されたときに、搬送コンテナは部材３４Ｌにより支持される。図９Ａ乃至図９Ｂは基板搬送コンテナＴの前方及び底部斜視図である。図９Ａ乃至図９ＢにおけるコンテナＴは、ＦＯＵＰ型構造を有するとして示されている。別の実施例においては、基板コンテナは、図９Ａにおいて最も良く見て取れるような任意の他の望まれる構造を有し得、搬送コンテナＴは、ケーシングＴ２及びかかるケーシングに取り外し自在に接続されているケーシングカバー部すなわちドアＴ４を通常有し得る。ケーシングＴ４は上面Ｔ６から突出している固定具Ｔ８を伴う上面Ｔ６を有している。固定具Ｔ８は、側方フランジすなわち外方向に突出する設置面Ｔ１０を有し得、かかる設置面Ｔ１０は、ケーシングの上面からの距離をオフセットされている。設置面Ｔ１０は、ＳＥＭＩ：Ｅ４７．１―１００１に合致するハンドリングフランジの一部であり得る。設置面Ｔ１０は、自動マテリアルハンドリングシステム（例えば、エアロローダ（AeroLoader(R)））のコンテナ搬送装置の結合部（図示せず）と係合し、搬送装置からのコンテナを支持するのに役立つ。再度図２乃至図３を参照すると、ロードポートモジュール保持エリア２８における下方ステーション３４の支持部材３４Ｌが、この実施例においては、角度若しくはＬ字状構造を有するとして示されている。部材３４Ｌは、示したように、内側に突出するフランジ３４Ｆを有している。別の実施例においては、支持部材３４Ｌは任意の他の適切な形状を有し得る。支持部材３４Ｌは、例えば、金属、プラスチック、若しくは任意の他の適切な材料であり得、 図３に示したようにロードポートフレーム２９の支持構造部２９６に接続され得る。内側を示すフランジ３４Ｆは、搬送コンテナにおける設置面Ｔ１０（図９参照）とコンテナの上面Ｔ６との間に入るようなサイズに形成されている。対向部材３４Ｌのフランジは、対応するフランジ３４Ｆに（少なくとも部分的に）覆い被さる外側突出設置面により、フランジ同士の間にコンテナＴの支持固定具Ｔ８を挿入することを可能にするように、十分に間隔を開けられている。従って、搬送コンテナＴが下方ステーション３４に置かれたとき、搬送コンテナＴはフランジ３４Ｆに設置された設置面Ｔ１０により保持される。
【００２６】
この実施例においては、搬送コンテナＴは、（図２における矢印Ｉにより示される方向に）コンテナを挿入することにより、オペレータによって下方ステーション３４に手動で配置され得、固定具Ｔ８はフランジ３４Ｆ同士の間を動かされる。別の実施例においては、下方支持ステーションの支持部材は、任意の他の望まれる向きを有し得、搬送コンテナが任意の他の望まれる向きから配置されることを可能にする。下方ステーション３４からの搬送コンテナＴの除去は、略反対方式で行われ得、ユーザは挿入とは反対方向にコンテナを手動で引き抜く。下方支持ステーション３４は、上方支持ステーション３６が、他の搬送コンテナにより占有されているか、若しくは上方ステーションにおける搬送コンテナＴの配置を防止する状態（例えば、検査）である場合、ユーザが搬送コンテナＴを配置し得る他のコンテナ積載部を有するロードポートモジュールを具備する。前述したように、別の実施例においては、ロードポートモジュールは搬送コンテナ保持エリア２８における下方支持ステーションを有していなくともよい。
【００２７】
再度図２を参照すると、ロードポートモジュール２４における搬送コンテナ保持エリア２８の上方支持ステーション３６は、ベース支持部すなわち棚部５０及びかかる棚部に移動自在にマウントされた運搬部すなわちシャトル５２を通常含んでいる。シャトル駆動システム５４が、シャトル５２を棚部５０に操作自在に接続し、棚部上のシャトルを動かし得る。駆動システム５４は、第１位置と第２位置との間において（図２において矢印Ｍにより示される方向に）シャトルを動かす。以下において説明されるように、シャトル５２は、搬送コンテナＴの配置を可能にするように形成される。第１シャトル位置は、搬送コンテナＴが自動マテリアルハンドリングシステム（図示せず）により運搬部に自動的に配置される（若しくは運搬部から取り上げられる）ように位置する。シャトル５３が動かされ得る第２位置は、以下において説明されるように、シャトル上の搬送コンテナＴがドア３０Ｄ（図１参照）に収容され得るように位置する。シャトルがこの第２位置にあるとき、かかるシャトルにおける搬送コンテナＴは、便宜目的のために収容位置として参照される位置に配置される。コントローラ４００が、以下において説明するように、シャトル及び駆動システム上のセンサに通信自在に接触されている。
【００２８】
図１において見て取れるように、搬送コンテナＴは、シャトル５２に配置され、コンテナの底面がシャトル上に設置される。シャトル５２は、以下において説明されるように、搬送コンテナＴの底部と一致して係合するように形成されている。図９Ｂは例示的な基板搬送コンテナＴの底部Ｔ３の特徴を示す底面図である。この実施例においては、搬送コンテナの底部Ｔ３は、ＳＥＭＩ：Ｅ４７．１における仕様に通常適合する特徴を有している。別の実施例においては、基板搬送コンテナの底部は、任意の他の望まれる特徴を有し得る。この場合では、底部Ｔ３は、キャリア検出パッドＴ１２、工程のフロントエンド（ＦＥＯＬ）及び工程のバックエンド（ＢＥＯＬ）情報パッドＴ１４、Ｔ１６、キャリア容量（すなわち、基板保持部の数）情報パッドＴ１８、並びに箱若しくはカセット情報パッドＴ２０を通常含んでいる。コンテナ底部Ｔ３は、シャトル上における位置決め／運動学的な（kinematic）結合ピンによる係合のためのスロットＴ２２を含み得る。底面内の第１凹部Ｔ２４が第１保持部として設けられる。コンテナの底部は、かかるコンテナの底部に形成された第２保持部Ｔ２６を有している。第２保持部は、底部に形成された円形凹部Ｔ３０を含み、略四角形にされたエッジＴ３４（係合縁部Ｔ３６を形成する）と共に外側開口部Ｔ３２を有している。
【００２９】
図７Ａ乃至図７Ｄは、シャトル５２及び支持棚部の一部の斜視図、上面図、前方及び側方拡大図であり、シャトルは該支持棚部に位置する（支持棚部５０は図７Ｃ乃至図７Ｄにおいてのみ可視できる）。シャトル５２は、シャーシすなわちフレーム５５及びかかるシャーシ上に配置されたカバー部５６を通常含んでいる。シャトル５２は、コンテナＴをシャトルに適切に配置することを助ける位置決め部５８、配置されたコンテナのシャトルとのポジティブ結合のための結合部６０、並びにシャトル５２上におけるコンテナＴの存在及び正確な配置を検出する検出システム６２を通常有している。シャトル５２の部分断面図を示している図８を参照すると、シャーシ５５は、任意の適切な形状を有し得、任意の適切な材料から形成され得、シャトル上のコンテナＴの配置及び取り外し並びに第１位置と第２位置との間のコンテナ及びシャトルの動作に関する静的な及び動的な荷重を支持し得る。シャーシ５５は、ローラ若しくはスライドのようなモーションシステム（図示せず）を有し得、ロードポートモジュールフレームの支持棚部５０に対するシャトル５２の自由な動作（図２における矢印Ｍにより示された方向における）が可能になる。図８において部分的に示された支持棚部５０（図２参照）は、フレーム２９（図３参照）の支持構造部２９６により形成され得る。棚部５０は、シャーシ５５のモーションシステムが乗るフレーム支持構造部２９６（例えば、頂部プレート２９６Ｈ若しくは側部プレート２９６Ｅ）上に若しくは独立して形成されたトラック若しくはレール（図示せず）を含み得る。コンテナ位置決め部５８、結合部６０、検出システム６２、及びカバー部５６はシャーシにマウントされている。
【００３０】
図７Ａ乃至図７Ｂにおいて最も良く見て取れるように、この実施例においては、シャトル５２におけるコンテナ位置決め部５８は突出した係合部材６４を含み得る。この実施例においては、係合部材６４は、コンテナの底部Ｔ３における位置決め凹部Ｔ２４（図９参照）の形状に一致する一般的な角錐台の形状を有し得る。係合部材６４は、シャーシ５５に固着（anchored）され、カバー部５６における適切な開口部を経てカバー部の上面５６Ｕより十分に上方に突出し、コンテナＴがシャトル５２上に配置されたとき、コンテナにおける位置決め凹部Ｔ２４と係合する。係合部材６４は、コンテナ位置決め部のエッジと協働するカム面６４Ｃを有し得、シャトルにおけるコンテナＴの適切な自動位置決めを助ける。別の実施例においては、シャトルは部材６４のような係合部材を有していなくともよい。この実施例においては、シャトル５２は位置決めポスト６６を有し得る。ポスト６６は、シャトル５２におけるコンテナＴの適切な位置決めを助ける位置決め部として、且つコンテナＴをシャトル５２にポジティブ結合（すなわち、運動学的結合）する手段を提供するとして役立つ。図７Ｂ及び図９Ｂから理解されるように、ポスト６６はシャトル５２上に配置され、コンテナ底部Ｔ３におけるスロットＴ２２と協働する。金属若しくはプラスチックのような適当な材料から形成され得るポスト６６は、図８において示したように、シャトルのシャーシ５４に直接固着され得る。ポスト６６は、カバー部５６（の適切なホール）を経て突出し得、コンテナの底部のスロットＴ２２（図９Ｂ参照）と係合する。この実施例においては、ポスト６６はシャトルにおける搬送コンテナＴのための支持面を形成する。ポスト６６の端部すなわち先端部６６Ｔは、図７Ｄ及び図８において見て取れるように、通常の円錐形若しくは丸くされた形状を有し得る。これは、シャトルにおけるコンテナのための支持面の正確且つ反復可能な形成のためのシャトル５２とコンテナの底部との間の望まれる３つの接触ポイントを提供する。理解され得るように、ポスト６６はコンテナＴの質量を支持し、図８に示したフランジのような構造を有し、コンテナの質量をシャーシに分散する。ポスト６６の円錐形の頂部６６Ｔは、コンテナ底部におけるスロットＴ２２の傾斜側面に対するカム面として機能し、シャトルにおけるコンテナの望まれる位置（スロットＴ２２及びポスト６６の頂部６６Ｔの幾何学的構造により実施される）が確立されるまで、支持面に沿ってコンテナを機械的にガイドする。
【００３１】
シャトル５２の検出システム６２は、シャトルのエリアに配置された多数のスイッチ６８を通常含んでいる。スイッチ６８はシャトル５２上に位置決めされ、コンテナの底部におけるキャリア検出パッドＴ１２、ＦＥＯＬ及びＢＥＯＬ情報パッドＴ１４、Ｔ１６、キャリア容量及びカセット情報パッドＴ１８，Ｔ２０と協働する。図７Ｂはシャトル５２のカバー部及びスイッチ６８上において重なったコンテナＴの底部におけるパッドＴ１２乃至Ｔ２０の位置を示している。この実施例においては、スイッチ６８は、同一の種類及び互いに類似しており、典型的なスイッチを参照しつつ以下において説明される。別の実施例においては、異なる種類のスイッチは、シャトル上の異なる位置に使用され得、コンテナＴの異なる情報パッドＴ１６乃至Ｔ２０による付与されたスイッチに中継され得る異なる種類の情報に対応する。代表的なスイッチ６８の構造が図８において最もよく見てとられる。この実施例においては、スイッチ６８は、ベースすなわちセンサ部６８Ｏ及び駆動部６８Ｉを通常含む電気光学スイッチである。駆動部６８Ｉは、以下において説明されるように、バネ仕掛けであり、コンテナ底部における対応するパッドとの接触により駆動される。センサ部６８Ｏは、駆動部の駆動を検出し、制御システムに信号を送信する。図８において見られるように、センサ部６８Ｏは、シャトルのシャーシ５５に配置されたＰＣＢ７４にマウントされ得る。ＰＣＢ７４は、パワー及び信号伝達のためのかかるＰＣＢに形成された配線６８Ｅを有し得る。配線６８Ｅは、適切な表面接触部（図示せず）に終端され得、電子部品の接触ターミナルが、望まれるように、接続され得る（同じ高さの（flush）ウェーブはんだ付を含む、電子部品をＰＣＢにマウントする任意の適切な手段を用いる）。センサ部６８Ｏの接触ターミナル（パワーと信号の両方）は、類似の方法によりＰＣＢ７４における配線６８Ｅに接続され得る。スイッチ６８のセンサ部のような電子部品を配線と一体化したＰＣＢにマウントすることは、各コンダクタ並びにシャーシへの取り付けのコスト及び時間の消費を解消するのに役立ち、他には、電力供給源及び制御システムに部品を接続するのに使用される。ＰＣＢにおける配線６８Ｅは、可撓性のワイヤハーネス７２（図７参照）の接続端が接続されるターミナルコネクタ（図示せず）に延在する。理解され得るように、ワイヤハーネスが、ＰＣＢ７４における配線６８Ｅ、並びに制御システム４００（図２参照）及び電力供給源（図示せず）に対する検出スイッチ６８のセンサ部のような電子部品に接続され得る。センサ部６８Ｏは、例えば、ＬＥＤのような適切な光源及び光電管のような光検出器を有し得る。スイッチの非駆動状態においては、光源は、例えば、光電管を照らし、センサ部が信号を（配線６８Ｅを介して）コントロールシステムに送信し、スイッチが非駆動状態であると制御システムにより解釈される。例えば、スイッチの駆動部６８Ｉの一部により光源が障害されると、光電管からの信号は変化し、次に、スイッチが駆動状態であると制御システムにより解釈される。別の実施例においては、センサ部は、スイッチが非駆動状態のとき、光源が遮断され、駆動状態のとき、光源が光電管���照らすように形成され得る。
【００３２】
図８において見て取れるように、スイッチ６８の駆動部６８Ｉはシャトルのカバー部５６に一体化されている。駆動部６８Ｉを付勢するバネが、この実施例においては、カバー部５６の一部により形成されている。シャトル５２のカバー部５６は、例えば、プラスチック、金属薄板、若しくは任意の他の適切な材料から形成され得る。この実施例においては、カバー部５６は１つの部材（すなわち単一構造）であり得る。カバー部５６がプラスチックである場合、カバー部５６は、例えば、射出形成若しくは任意の他の適切なプロセスにより形成され得る。図７Ａ乃至図７Ｄにおいて見て取れるように、この実施例におけるカバー部５６は、上面５６Ｕとかかる上面から突出する周壁部５６Ｗとを伴う通常の六面体の形状を有し得る。別の実施例においては、シャトルカバー部は任意の他の適当な形状を有し得る。図２において最も良く見て取れるように、カバー部５６がシャーシ５５にマウントされたとき、カバー部５６はシャーシを略囲むのに役立つが、小さな隙間が、カバー部周壁部５６Ｗの底部エッジと棚部５０との間に設けられ、シャトルの自由な相対的な動作を容易にする一方、シャトルシステムへのほこり若しくは他の粒子の進入を最小化する。カバー部の上面５６Ｕは、図７Ａに示したように、かかる上面５６Ｕに形成されたスルーホール５６Ｈを有している。図８において最も良く見て取れるように、ホール５６Ｈは、ポスト６６がカバー部５６を経て延在することを可能にする。図８に示したように、この実施例におけるホール５６Ｈは、シャトルシャーシ５５へのカバー部５６を配置するのに役立ち（ホールエッジとポストとの間の隙間は非常に小さい）、ポスト６６はシャーシ５５に対するカバー部５６の正確な位置決めを提供する。さらに、この実施例においては、図８に示したように、ホール５６Ｈの縁は、ポスト６６のカラー（collar）部６６Ｃに配置され、ポストからカバー部５６を支持する。別の実施例においては、カバー部は、カバー部及びシャーシを取り付ける任意の他の望まれるマウントシステムを有し得る。図７Ａ乃至図７Ｂにおいて見て取れるように、カバー部の上面５６Ｕは、かかる上面に形成された多数の弾性可撓性タブすなわち指状部７０を有している。タブ７０は、カバー部５６の上面５６Ｕをカットするような任意の適切な手段により形成される。タブ７０の数は、検出システム６２のスイッチ６８の数に一致している。この実施例においては、８つのタブ７０がカバー部の上面に形成されている。別の実施例においては、カバー部は、任意の他の望まれる数の可撓性のタブを有し得る。他の別の実施例においては、可撓性のタブはカバー部の任意の他の望まれる表面に形成され得る。図７Ａ乃至図７Ｂに示した実施例においては、タブ７０は互いに略類似しており、よって、タブ７０は類似する弾性可撓性の特徴を有し得る。別の実施例においては、異なるタブの形状（すなわち、長さ、断面）が、異なる可撓性の特徴を有する異なるタブを設けるために変えられ得る。この実施例においては、タブ７０の先端部７０Ｅはカバー部上に配置され、カバー部がシャーシにマウントされたとき、各先端部７０Ｅは対応するスイッチ６８（図８参照）のセンサ部６８Ｏに略配置される。別の実施例においては、タブは、タブの任意の他の望まれる位置（すなわち、タブの中間部）が対応するスイッチのセンサ部上に位置決めされるように配置され得る。カバー部の上面５６Ｕにおけるタブの向きは、拘束されていないカンチレバー（unrestrained cantilever）の可撓性を有するタブを設けるのに望まれ得ように選択され得る。図７Ａ乃至図７Ｂに示したタブ７０の向きは単に例示的のためであり、タブは任意の他の望まれる向きを有し得る。
【００３３】
図８において最も良く見て取れるように、この実施例においては、スイッチ６８の駆動部６８Ｉは対応するタブ７０の先端部７０Ｅにマウントされるか、若しくは配置される。駆動部６８Ｉは、タブ７０をと単一構造であり得る（例えば、カバー部の上面の型取り成形の間に形成される）か、若しくは、接着剤のような適当な接着手段によりタブ７０にマウントされ得る。駆動部６８Ｉはカバー部の上面５６Ｕから十分に突出し、ポスト６６に配置されたコンテナの対応するパッドＴ１２乃至Ｔ２０と接触し、この接触により、タブ７０の十分なたわみを形成し、駆動部の遮断フラッグ部６８Ｆを動かし、（例えば、光源を遮断し）スイッチ６８を駆動させる。コンテナＴがシャトル５２から取り除かれるとき、可撓性のタブ７０は、たわみの無い位置に戻され、スイッチを非駆動状態に戻す。理解され得るように、もし、コンテナＴがシャトル上に適切に置かれていないならば、コンテナのパッドＴ１２乃至Ｔ２０とスイッチ６８の少なくとも幾つかの駆動部６８Ｉとの間に幾つかの調整不足が存在し、少なくとも幾つかのスイッチは駆動していない。駆動している幾つかのスイッチと他の駆動していないスイッチとの信号の組み合わせは、シャトルにおけるコンテナＴの不適切な配置のしるしとして、制御システム４００により解釈され得る。その後、制御システムのプログラムが、シャトル５２の動きを防止し、適切な動作を命令し、シャトルへ上にコンテナを適切に配置するか、若しくはシャトルからコンテナを適切に除去する。
【００３４】
前述したように、シャトル５２は、シャトルへの搬送コンテナのポジティブ結合のための結合部６０を有し得る。また前述したように、ポスト６６は、シャトルの動作の間、シャトルとコンテナとの間の運動学的結合手段として役立つ。この実施例においては、シャトル結合部６０はコンテナ締結システム６１を含み得る。図１０は１つの例示的な実施例における締結システム６１の斜視図である。締結システム６１は、締結キー７６を通常有し、かかる締結キーは、上方と下方とに運動自在であり、且つ回転自在であり、コンテナ保持部Ｔ２６（図９Ｂ参照）を経て、搬送コンテナと係合する。図１０に示した実施例においては、締結システム６１は、送りねじ７８を回転させる駆動モータ７４を有している。締結キー７６は送りねじ７８にマウントされるか、若しくは接続され、送りねじの回転は、説明されるように、締結キーに軸方向の動作と回転動作とを提供する。モータ７４は双方向回転できるＡＣ若しくはＤＣモータのような任意の適当な種類のモータであり得る。モータケーシングが、図７Ｄに示したようにシャトルシャーシ５５にマウントされ得る。任意の適切なサイズに形成され得る送りねじ７８は、モータの出力部に接続されている。モータ７４は、モータの回転の向きと回転の範囲とを命令するコントローラ４００に通信自在に接続されている。モータ７４は、シャフトの回転を特定し、コントローラ４００に適切な信号を送信するエンコーダ若しくは他の適当なデバイスを含み得る。図１０において見て取れるように、この実施例においては、締結キー７６は、結合部７６Ｃ及びキー部７６Ｋを有している。結合部７６Ｃはコンテナ底部における開口部Ｔ３４を経て、収容されるサイズに形成され、任意の適切な形状を有し得、締結キー７６が送りねじにねじ込まれることを可能にするサイズに形成されたねじ穴部７６Ｂを有している。キー部７６Ｋは締結部の頂部に配置される。締結キー７６は単一構造であり得、鋳造若しくは鋼片機械加工により形成される。別の実施例においては、結合部及びキー部は任意の他の適切な手段により接続され得る。図１０において見て取れるように、キー部７６Ｋは、結合部７６Ｃから外側に延在する突出フランジ７６Ｒを伴う伸ばされた形状を有し、結合部７６Ｃを伴う通常のＴ字状部を形成する。キー部７６Ｋが、キー部７６Ｋの大きい方の直径が開口部３４の大きい方の寸法に調整されるような向きにされたときのみ、キー部７６Ｋの伸ばされた形状は、キー部７６Ｋがコンテナ保持部の開口部Ｔ３４（図９Ｂ参照）を通ること可能にする。この向きは、キーの挿入／除去位置として言及される。図９Ｂ及び図１０から理解され得るように、キー７６Ｋの大きい方の寸法が開口部Ｔ３４の大きい方の寸法に対して角度付けられている向きへのキーの回転（凹部Ｔ３０への開口部Ｔ３４を経た挿入の後）は、フランジ７６Ｋを動かし、コンテナ保持部２６の係合縁部Ｔ３６と係合する。この実施例においては、大きい方の寸法がホールＴ３４の大きい方の寸法に略直交するとき、キー７６は係合位置にあり、キーフランジ７６Ｆと縁部（lips）Ｔ３６との間の係合は最大となる。
【００３５】
１つのモータのよるキー７６の軸方向の動作（図１０において矢印ＫＡにより示され、保持部２６へのキーの挿入／除去に使用される）とキー７６の回転動作（図１０において矢印ＫＲにより示され、キーの係合／開放に使用される）とを具備するために、この実施例における締結システム６１はバックラッシュの無いナット（anti-backlash nut）８０及び回転停止部８２、８４を有し得る。バックラッシュの無いナット８０はねじ穴部を有し、かかるナットは送りねじ７８にマウントされている。ナット８０は、回転停止部８２、８４と協働する停止面８０ＣＷ及び８０ＣＣＷを有し、望まれる回転位置におけるナットの回転を制限する。停止面８０ＣＷは、停止部８２と係合し、ナットの時計回りの回転を停止し、停止面８０ＣＣＷは、停止部８４と係合し、反時計回りのナットの回転を停止する。停止部８２、８４及びナットにおける停止面８０ＣＷ、８０ＣＣＷの相対的な位置は、この実施例においては、ナットの最大回転を約９０°（キー挿入／除去と係合位置との間の角度差）に制限するようにされる。例えば、図１０においては、ナット８０は、時計回り停止部８２に対向する時計回り停止面８０ＣＷによる位置に示されている。従って、角度の隙間Ｒが、反時計回り停止面８０ＣＣＷと反時計回り停止部８４との面の間に形成されている。この位置における角度の隙間Ｒは、ナットの最大角度移動に等しく、この実施例においては、９０°である。別の実施例においては、停止部及びナットにおける停止面の幾何学的形状は、ナットの最大回転を任意の望まれる値に設定されるように形成され得る。図１０において見て取れるように、ナット８０及びキー７６は送りねじにマウントされ、ナット８０の上面８０Ｓはキー結合部７６Ｃの底部に対向して配置されている。ナット８０と結合部７６Ｃとの間の予め加えられた圧縮荷重の望まれる値が、（ナット８０と結合部７６Ｃとの間の相対的な回転により）提供され得、ナット８０と送りねじ７８との間の回転摩擦の望まれる値を生成し、ナットの回転が停止部８２、８４の１つにより妨害されない場合、ナットはねじ７８と略一致して回転することを確実にする。シャトル５２へのコンテナの締結が以下のように実施され得る。コンテナＴがシャトル５２上に適切に配置されたという検出システム６２からの指示を受信した後、コントローラはモータ７４の駆動を命令し、ねじ７８を例えば反時計回りの方向に回転させる。シャトル５２へのコンテナＴの配置の後であるが、モータの動作を命令する前において、キー７６は、挿入／除去位置に向かされたコンテナ底部Ｔ３の凹部Ｔ３０（図９Ｂ参照）の内側に配置されたキー部７６Ｋにより位置決めされる。ナット８０は時計回り停止得８２により係合される。ねじ７８の反時計回りの回転は、ナット８０が半時計回り停止部８４と係合するまで（この実施例においては約９０°）、ナット８０及びキー７６を反時計回りに回転させる。従って、キー７６は係合位置まで回転させられる（フランジ７６Ｆはコンテナ係合縁部Ｔ３６に覆い被さる）。コントローラ４００はねじ７８の反時計回りの回転を続けるように命令し、キー７６及びナット８０が軸方向下向きに動かされ、コンテナ係合縁部Ｔ３６及びコンテナをシャ���ルに締結する。コントローラ４００は、キーの軸方向の動作の望まれる値が達成されたというモータエンコーダからのデータを受信すると、回転を停止させる。コンテナを緩めるために、ねじの動きは反対にされ、まず、キー７６及びナット８０がコンテナ係合縁部Ｔ３６を持ち上げ（キーと係合縁部との間の初期の摩擦が、キー／ナットと送りねじとの間の相対的な回転を可能にする）、その後キー７６及びナット８０を時計回り停止部８２まで回転させ（このとき、キーは係合していない）、その後キー及びナットを初期の位置まで軸方向上に動かす。その後、コンテナはシャトルから取り外され得る。
【００３６】
別の実施例においては、締結システムのバックラッシュの無いナット構造を有する単一モータはデュアルモータシステムにより交換され得る。かかる場合、モータは可逆のステッピングモータであり得る。一方のモータがキーの軸方向の動きを提供するのに関わり得、他方のモータが挿入／除去位置と係合位置との間でキーを回転させるのに関わり得る。軸方向駆動モータには、ナットが回転自在にマウントされ得る送りねじ（図１０における送りねじ７８に類似している）が設けられ得る。送りねじの回転の間のベースナットの動きは、ベースナットを直線ガイドレールに接続させることにより制限され得る。
【００３７】
回転駆動モータが適当なトランスミッションによりベースナットにマウントされるか、若しくは接続され、ベースナットの軸方向の動作は、回転駆動モータの軸方向の動作をもたらす。締結キーは、図１０における締結キー７６に類似しており、保持部Ｔ２６（図９Ｂ参照）を経て搬送コンテナを操作自在に締結する。締結キーは、回転駆動モータに操作自在に接続され、キーは、前述したように、挿入／除去位置と係合位置との間を回転モータにより回転させられ得る。軸方向モータにより提供される軸方向の動作は、回転駆動部を経て締結キーに伝達され得る。積層モータ（stacked motor）構造が、キーに軸方向の動作と回転動作とを提供し、前述したように、コンテナＴをシャトルに締結する。
【００３８】
再度図２及び図７Ａ乃至図７Ｄを参照すると、シャトル５２はシャトルの第１すなわちローディング位置と収容位置との間を駆動システム５４により（図２における矢印Ｍにより示された方向に）動かされ得る。 図７Ｃ乃至図７Ｄにおいて最もよく見て取れるように、この実施例におけるシャトル駆動システム５４は、送りねじ５７を駆動する電気モータ５３を通常含んでいる。別の実施例においては、シャトルは気圧式若しくは液圧式駆動システムのような任意の種類の駆動システムを有し得る。この実施例における電気モータ５３は、ＡＣ若しくはＤＣモータ、ステッピングモータ、又はサーボモータのような任意の適切な種類のモータであり得る。モータ５３は棚部５０に固定してマウントされ得る。送りねじ５７はモータの出力シャフトに接続されている。モータは、時計回りと半時計回りとに送りねじを回転させ得る。送りねじ５７はシャトルのシャーシ５５に駆動自在に係合される。送りねじとシャーシとの間の係合は、例えば、シャーシに固定され、送りねじにより螺合自在に係合されたねじ山を切られた軸受筒のような任意の適切な手段により設けられ得る。モータ５３による送りねじの回転は、モータ５３が固定されている棚部に対する、送りねじ上の軸受筒の軸方向の動作、並びにシャーシ及びシャトルの軸方向の動作をもたらす。図７Ｃにおいて見て取れるように、モータ５３は、適当な回路９１によりコントローラ４００に通信自在に接続されている。コントローラ４００は、指示信号とパワーとを回路９１上のモータに供給し得る。モータ５４は、位置指示データをコントローラに送信するモータエンコーダ５８Ｅ（図７Ｄ参照）を含み得る。コントローラ４００は、モータエンコーダデータを処理し、ロードポートにおけるシャトルの位置を識別する。別の実施例においては、直線エンコーダが、シャトルと支持棚部との間にマウントされ得、動作の間のシャトルの位置を識別する。図７Ｃにおいて見て取れるように、この実施例にいては、回路９１は、シャトルの動作に対する障害物を検知し得る挟み込み防止回路（pinch protection circuit）９０を含み得る。挟み込み防止回路は、任意の適当な種類であり、モータ５３への電流変化を測定できる望まれる検出感度の電流センサ９２を含み得る。電流センサ９２は、回路９１を経てモータ５３に供給された電流をモニターするように形成されている。センサ９２からの測定信号は回路９０によりコントローラ４００に送信される。挟み込み防止回路９０は、望まれるように、閉ループ若しくは開ループシステムであり得る。理解され得るように、シャトルが、駆動モータ５３により前進させられ、障害物に出くわすとき、（回路９１を介して）モータに供給された電流は、障害物により付与されたシャトルに対する抵抗のレベルに比例して通常増大する。「超過の」電流がセンサ９２により検出され、情報は回路４００を介してコントローラ４００に中継される。センサ９２は、未加工すなわち未処理のセンサデータをコントローラ４００に送信し得る。コントローラはプログラム（適切なアルゴリズムのような）を設けられており、障害物を示すのに十分なレベル及び十分な継続時間の超過電流がモータ５３に供給されたとき、センサからのデータをノ��ズから明確に処理する。コントローラ４００は、自動反転プログラム４０２（図１参照）を有しており、超過電流（及びシャトルの動作に対する障害）を識別すると、コントローラはモータ５３に指示信号を送信し、前に指示された動作を停止し、モータの向きを逆動させる。シャトル５２の動作を実施する送りねじ５７の回転は、反転され、従って、シャトルの動作は障害物からはなれるように逆動される。エンコーダ５３Ｅ情報から確立された予め決められた距離を逆動され得る別の実施例においては、電流センサ９２は、超過電流を検出する望まれる設定ポイントを選択するようにプログラム可能である。この実施例においては、電流センサは、プログラムされた設定ポイントを超過するレベル及び継続時間を有する超過電流を検出すると、適当な信号をコントローラに送信する。電流センサから信号を受信すると、コントローラは、コントローラメモリ内の自動反転プログラム４０２にアクセスする。これは、偏向自在な棒（すなわち、こじり棒（pinch bar））を使用する従来のシステムと比較すると、低コストで、優れた障害物検出及びリカバーリーシステムを提供する。
【００３９】
再度図２を参照すると、示された実施例におけるロードポートモジュールは搬送コンテナ前進検出システム１１０（図２において簡略化され示されている）を有し得る。 コンテナ前進検出システム１１０は、非接触システムであり、シャトル５２にマウントされ、シャトル５２により前進させられるコンテナＴの特徴を検出し、シャトルを停止させ、コンテナが収容位置にあるとき、コンテナの前面は、異なるコンテナ同士の寸法差にかかわらず、望まれる反復自在な位置にある。ロードポートシャトルの前進動作を停止させ、コンテナとロードポートフレーム２９との間の実際の接触なしにコンテナとロードポートフレーム２９との間に最小の隙間があることが望まれる。コンテナの寸法は、特に製造品によって変わるので、従来のシステムにおいては、シャトルの動作は「最悪の場合」に通常調整され、大抵の場合、過度に大きな隙間が存在する。ロードポートモジュール２４のコンテナ前進検出システム１１０は、従来のシステムの問題を解決し、異なるコンテナが所定の位置Ｌ１においてフロント面を停止させられ、最小の隙間を設ける。この実施例における検出システム１１０は、エネルギを放出するエミッタすなわち供給源とエミッタからの放出エネルギを検出する検出器とを伴う「直進ビーム」センサ構造を有している。例えば、この実施例においては、検出システム１１０は、適切なリモート光源に接続された光ファイバの終端におけるＬＥＤすなわちレーザダイオードのような光源１１２を有し得る。システム１１０は供給源１１２からの光線を感知する光電管のような適切な光感知部１１４をも有し得る。図２において見て取れるように、光源１１２及びセンサ１１４は、シャトルの両側面且つ望まれる高さに配置され、シャトル５２にマウントされ且つシャトル５２により搬送されるコンテナＴは、供給源１１２により放射され且つセンサ１１４の少なくとも感知部を照射する光線Ｂを遮断する。図１０において示されていないが、光源１１２及びセンサ１１４は、接触及び粒子防護のための適当なカバー部に収容され得、シャトル５２により搬送されたコンテナ以外の物体によるビームの不注意な遮断を防止する。図２において見て取れるように、センサ１１２、１１４は、シャトル搬送の方向（図２において矢印Ｍにより示される）におけるオフセットされた距離に配置され、シャトルにより収容位置にもたらされたとき、光線Ｂは、コンテナＴの前面の位置Ｌ１から望まれる距離ｄの間隔を開けられている。理解されるように、収容位置Ｌ１からの所定の距離ｄにおいて、シャトルにより前進させられたコンテナＴの前面はビームＢを遮断する。コントローラ４００は所定の距離ｄをプログラムされている。コントローラ４００は、モータエンコーダ（図７参照）によりコントローラに提供されるようなシャトル動作情報及び距離ｄを使用するアルゴリズムをもプログラムされ（図１におけるプログラムモジュール４０１）、シャトル前進動作が停止されるべきときを決定する（シャトル上のコンテナのフロント面が位置Ｌ１にあるように）。よって、前進するコンテナＴの前面がビームを遮断するとき、センサ１１４は適当な信号をコントローラ４００に送信し、コンテナのフロント面の検出のコン��ローラに情報を伝達する。その後、コントローラ４００は、上述したように、シャトルの前進を停止する指示をするときを決定し得、指示をシャトル駆動部５４に所定の時間で送信する。このように、シャトルにより搬送される各コンテナＴは、コンテナ同士の間の寸法の違いに関わらず、収容位置に適切に位置決めされ、所定の位置Ｌ１にコンテナフロント面を有する。
【００４０】
図１に示したように、収容位置におけるコンテナＴにより、コンテナのドアＴ４は、ロードポートモジュールアクセスポート３０Ｏのドア３０Ｄにより係合され得る。コンテナＴのフロント面におけるドアＴ４は図９Ａに簡略化されて示されている。ドアＴ４は、係合したとき、コンテナボックスにおけるドアＴ４を保持するラッチシステムＴ４０、Ｔ４２を含み得る。コンテナのためのラッチシステムの例は、米国特許第５，７７２、３８６号に開示され、全内容を本発明に組み込むものとする。ドアラッチシステムＴ４０、Ｔ４２は、ラッチタブＴ４６が関節結合自在に接続され得る枢動自在なハブＴ４４を含み得る。ハブＴ４４の回転は、ラッチタブＴ４６を駆動させ、コンテナハウジングと係合及び開放させる。ラッチハブＴ４４は、ドアＴ４におけるラッチキーアクセスホールＴ５０を経てアクセス自在である。コンテナドアＴ４は、図９Ａに示したように、位置決めピンホールＴ５２をも有し得る。再度図２を参照すると、ロードポートモジュールのアクセスポートドア３０Ｄは、コンテナのドアＴ４における位置決めピンホールＴ５２及びラッチキーアクセスホールＴ５０に相補的にすなわち適合する構造の位置決めピン１２０及びラッチキー１２２を有している。ポートドア３０Ｄにおける位置決めピン１２０及びラッチキー１２２は、米国特許第５，７７２，３８６号（予め組み込まれている）における位置決めピン及びラッチキーに類似している。ポートドア３０Ｄのラッチキー１２２は、コンテナドアにおけるキーアクセスソールＴ５０の形状及びラッチシステムのハブＴ４４におけるキーホールの形状に一致する。ポートドア３０ＤがコンテナドアＴ４と係合するとき、アクセスドア３０Ｄにおけるラッチキー１２２は、キーアクセスホールＴ５０を経てコンテナのラッチハブＴ４４に形成されたキーホールに入る。ラッチキー１２２の回転は、ハブＴ４４を回転させ、及びラッチシステムを駆動させ、ラッチタブを係合／開放させ、コンテナからコンテナドアを閉成させるか、若しくは開放させる。
【００４１】
理解され得るように、ラッチキー１２２は、アクセスドア部に回転自在にマウントされる。ラッチキー１２２は、アクセスドアに枢動自在に保持されるスピンドルシャフトを含み得る。スピンドルシャフト１２２Ｓの遠端が図４において示されている。図４はラッチキーを駆動する駆動システム１２４をも示している。図４から見て取れるように、ラッチキー１２２は個別に駆動される。この実施例においては、ラッチキー駆動システム１２４は、対応するラッチキーをそれぞれ駆動する２つのサーボモータ１２６Ａ、１２６Ｂを含んでいる。サーボモータ１２６Ａは、適当な伝達部１２８Ａにより、一方のラッチキーのスピンドルシャフト１２２Ｓに接続され、サーボモータ１２６Ｂは、異なる伝達部１２８Ｂにより、他方のラッチキーのスピンドルシャフト１２２Ｓに接続されている。図４において見て取れるように、サーボモータ１２６Ａ及びモータをキースピンドルシャフトに接続する伝達部１２８Ａとサーボモータ１２６Ｂ及びモータをキースピンドルシャフトに接続する伝達部１２８Ｂとは独立している。よって、各キー１２２は独立して駆動され得る。サーボモータ１２６Ａ、１２６Ｂは、コントローラ４００に通信自在に接続され、サーボモータの動作を命令する駆動指示を受信し、駆動指示に応答するサーボモータにより達成された動作を識別する適当な信号をコントローラに送信する。望まれるならば、コントローラは、ラッチキー１２２の駆動に同調され得、略同時間における略同一の動作範囲を経て動かす。さもなければ、コントローラ４００は、各キーが最適な速度で回転することを可能にし、指示された動作が完了したというサーボモータからの信号を待ち得る。どちらの場合においても、各ラッチキー１２２を独立して駆動する独立した駆動モータ１２６Ａ、１２６Ｂは、両ラッチキーのための共通の駆動部を有する従来のシステムと比較して、鍵の開成／閉成の問題（ポートドアとコンテナボックスとの間、若しくはコンテナドアとコンテナボックスとの間の調整不足又はコンテナボックスに対する損傷により起こる）に対する約２倍の鋭敏さを具備する。コンテナドアラッチシステムＴ４０、Ｔ４２の鍵を開成すること（前述したように、ポートドアのラッチキー１２２の駆動による）は、コンテナボックスからコンテナドアを開成する。開成されると、コンテナドアに係合されたラッチキー１２２はフロントドア３０ＤからのコンテナドアＴ４を支持するのに役立つ。
【００４２】
図６乃至図６Ａは、ロードポートモジュール２４の別の斜視図及び側面拡大図を示している。 前述したように、ポートモジュール３０Ｄはロードポートモジュールフレーム２９に運動自在にマウントされている。以下において詳しく説明されるように、ポートモジュール３０Ｄは、フレーム２９に相対的に動かされ得、アクセスポート３０Ｏ（図２参照）を経た十分なアクセスを提供し、アクセスポートを経た基板搬送を容易にする。図６においては、便宜上参照されるポートドア３０Ｄは閉成したすなわち初期位置Ｄ１において示されている。この実施例においては、初期位置に配置されたとき、ドア３０Ｄは、フレームのエッジ若しくはアクセスポート３０Ｄの縁と接触し得、アクセスポート全体を十分にシールする。別の実施例においては、閉成位置におけるドアは、フレームに接触していなくてもよく、若しくはアクセスポートの周りにシールを形成しなくともよい。他の別の実施例においては、閉成位置におけるドアは、アクセスポートを部分的にのみ遮断し得、アクセスポートの周りのフレームエッジからの距離をオフセットされ得る。ロードポートモジュール２４は、ポートドア３０Ｄを閉成位置Ｄ１から図６Ａに簡略化して示された開成位置Ｄ２に動かし得るドア搬送システム１３０を有している。望まれるならば、ポートドア３０Ｄは、コンテナドアＴ４への係合及びコンテナボックスからのコンテナドアの開成の後、閉成位置から動かされ得る。前述したように、コンテナボックスからの開成の後、コンテナドアＴ４は、ポートドア３０Ｄにより支持され、ポートドア３０Ｄと一致して動く。この実施例におけるドア搬送システム１３０は電気機械式駆動システムであるが、別の実施例においては、気圧式若しくは液圧式駆動システムのような任意の適切な駆動システムが使用され得る。搬送システム１３０は図６乃至図６Ａに簡略化して示されている。搬送システム１３０は、ステッピングモータのような適当な駆動モータ（図示せず）がマウントされているフレーム１３０Ｆを通常有し得る。フレーム１３０Ｆは、ポートドア３０Ｄが固定してマウントされる運搬部１３４を運動自在に支持する。適当な直線駆動伝達部１３２が、フレームにおける駆動モータをドア運搬部に駆動自在に接続し、モータの駆動により、運搬部は、搬送システム駆動軸（図６Ａにおいて矢印ＤＡにより示されている）に沿って、フレーム１３０Ｆに相対的に動く。駆動軸ＤＡに沿って運動自在だが、運搬部はフレーム１３０に対して固定されている。直線駆動伝達部１３２は、例えば、駆動モータの出力シャフトにより駆動され且つドア運搬部１３４におけるナットに係合される送りねじを含み得る。図６において見て取れるように、搬送システム１３０のフレーム１３０Ｆは、可動マウント部１３８によりロードポートモジュールのフレーム２９にマウントされている。以下において詳しく説明される可動マウント部１３８は、搬送システムフレーム１３０Ｆがロードポートモジュールフレームに対して枢動（マウント構造部１３８のピボット軸の周り）することを可能にする（図６Ａにおいて矢印Ｐにより示されている）。フレーム１３０Ｆが枢着されているとき、運搬部１３４及びドア３０Ｄを伴う搬送システムは、マ��ント部１８８のピボット軸の周りを枢動される。
【００４３】
図６Ａは、ポートドア３０Ｄが閉成位置Ｄ１にあるときの搬送システム１３０の位置を最も良く示している。図６Ａは、この実施例における搬送システムのポートドア３０Ｄと駆動軸ＤＡとの間の相対的な傾斜を最も良く示している。運搬部１３４に固定されたポートドア３０Ｄは、搬送システム１３０の駆動軸ＤＡとの角度αを形成する向きを有している。ドア３０Ｄが閉成位置にあるとき、ドアのフロント面は、ロードポート参照システムの垂直軸Ｚ（すなわち、アクセスポートのリア面）に十分に調整され得る。前述したように、コンテナが収容位置にあるとき、垂直軸Ｚへの閉成位置におけるポートドアの調整は、コンテナドアＴ４との適切な係合を確実にする。この位置においては、図６Ａにおいて見て取れるように、搬送フレーム１３０Ｆは、前方に傾斜され、駆動軸ＤＡはＺ軸との角度αを形成する。ポートドア３０Ｄを開成するために、この実施例においては、搬送システムフレームは、矢印Ｐにより示される向きに、駆動軸が垂直となる位置（この位置においては、駆動軸はＤＡ'として示されている）まで回転させられ、その後、運搬部１３４は駆動軸ＤＡ'に沿って位置Ｄ２に動かされる。ドアを閉成することは、開成と略同一であるが、反対に実施される。図６Ａにおいて見て取れるように、電気ソレノイド又は気圧式ピストンのような適切なアクチュエータ１３６がフレームに枢着するのに使用され得る。前述したように、この実施例においては、ドア３０Ｄは、ドア運搬部１３４に対し固定された向きを有し、運搬部１３４は、軸ＤＡ'に沿って搬送フレーム１３０Ｆに対し搬送自在だが、搬送システムにおける運搬部の動きの全範囲を通して駆動軸に対して固定された向きを維持する。よって、ドア３０Ｄの向きは搬送駆動軸ＤＡ'に対して固定されたままである。さらに、ピボット１３８の周りの搬送フレーム１３０Ｆの回転は、ピボットの周りのドア３０Ｄの回転と同程度である。例えば、閉成位置（従って、搬送システム駆動軸を図６Ａにおける矢印ＤＡ'により示される垂直位置に配置する）から角度αを経たフレーム１３０Ｆの回転はドア３０Ｄを動かし、もし、コンテナドアＴ４（図９Ａ参照）がポートドア３０Ｄに支持されているならば、かかるコンテナドアＴ４はアクセスポート３０Ｏ（図１参照）を経てフロント部１２へ動かされる。枢動された後だが搬送の前のポートドア３０Ｄの位置は図６Ａにおける線Ｄ２Ａにより簡略化して示されている。この位置においては、ポートドア３０Ｄは垂直軸に対して角度αの角度を付けられている。この実施例においては、ポートドア３０Ｄは、駆動軸が垂直位置に動かされた後、運搬部１３４により、駆動軸（矢印ＤＡ'により示されている）に沿って位置Ｄ２に搬送され得る。
【００４４】
再度図６乃至図６Ａを参照すると、この実施例においては、トラック１３０Ｆが傾斜位置（図６Ａにおいて位置Ｉにより示されている）にあるときと、トラックが垂直位置まで回転させられているときには、ドア搬送システム１３０は、ロードポートモジュール２４のフロント伸長部３８の略内側に収容されている。ポートドア３０Ｄがマウントされる運搬支持部１３４Ｓの部分は、ドアと運搬支持部との間の接続を可能にするのに十分であるだけ、アクセスポート３０Ｏの平面（ベースプレート２９２により形成されている。図３乃至図４参照）を越えて突出している。図６乃至図６Ａに示されている実施例においては、ドアと運搬支持部との間の接続は、運搬支持部の突出部１３４Ｓがアクセスポートの平面から、約ドアの厚みと同じ距離だけ突出するとこからなる。図６乃至図６Ａから理解され得るように、ロードポートモジュールの伸長部３８の内側（すなわち、アクセスポートの平面のフロント）におけるドア搬送システム１３０の配置は、従来のシステムのようにフロントエンドモジュール１２を伴う搬送システムを受け入れるためのスペースの要求を相応に解消する。従って、エンドモジュール１２のためのスペースの包装部（envelope）は、従来のシステムと比較して低減され得る。さらに、ドア搬送システムを収容する伸長部３８は、搬送コンテナ保持ステーション３４の設置面積内に配置されているので、この実施例におけるロードポートモジュール２４の全体の設置面積は、従来のロードポートモジュールの設置面積と略同程度である。よって、フロントエンドモジュール１２及びロードポートモジュール３４の全体の設置面積は従来のシステムの設置面積より小さい。
【００４５】
ドア搬送システム１３０をロードポートフレーム２９にマウントする可動マウント部１３８が図６乃至図６Ａ及び図１１に示されている。前述したようなマウント部１３８は、ドア搬送システムの十分な枢動（図６Ａにおける矢印Ｐにより示されている向き）を可能にするように形成され、ドア３０Ｄは閉成位置と開成位置との間を動かされ得る。この実施例においては、可動マウント部は、ベース部１３８Ｂ及びかかるベース部に接続された弾性可撓性部１３８Ｆを通常有している。搬送システムフレームは可撓性マウント部１３８の弾性可撓性部１３８Ｆに取り付けられ、支持され、弾性可撓性部の弾性は、ロードポートモジュールフレームに対する搬送システム及びドア３０Ｄの動作を可能にする。図６乃至図６Ａに示した実施例においては、可動マウント部１３８は、マウント部の底部において、通常のＬ字状若しくはベース部１３８Ｂとの角度を有する部分を有し、可撓性部１３８Ｆはベース部から上方に伸長するとして代表的に示されている。マウント部１３８は、単一構造であり得、金属、プラスチック若しくは複合物のような適当な材料から形成され得る。平坦なフレームとしてこの実施例において示されたベース部１３８Ｂは、マウント部をロードポートフレームにマウントするフランジのような表面を十分マウントする任意の適当な形状を有し得る。ベース部１３８Ｂは、可撓性部１３８Ｆに対し非常に堅く、前述したように、搬送システムの動作のためのマウント構造部１３８の略全動作は、可撓性部の弾性のたわみから得られる。この実施例においては、可撓性部１３８Ｆは、ベース部から片持ちされた（cantilevered）通常の板バネ若しくは半板バネ（semi-leaf spring）部を有している。別の実施例においては、可撓性部は、搬送システムの望まれる動作を生成可能なねじりバネ若しくは粘弾性部のような任意の適切な弾性可撓性要素を有し得、ドア３０Ｄを閉成位置と開成位置との間において動かす。図６乃至図６Ａ及び図１１に示した実施例においては、可動マウント部１３８の可撓性部１３８Ｆは、例示目的のために一枚板バネとして示され、可撓性部は、任意の望まれる数の板バネ部材を含み得、かかる板バネ部材は、単一面に互いに並んで配置されるか、若しくは複数の略平行面に連続して整列され、一緒にたわみ、搬送システムの望まれる動作を生成する。この実施例においては、可撓性部１３８Ｆは、板バネ部を搬送システムフレームの底部１３０Ｂの近傍の搬送システムフレーム１３０Ｆに（機械的な締結、冶金的若しくは化学的接着のような任意の適切な手段により）取り付けられる。別の実施例においては、搬送システムの可動マウント部は搬送システムの長さに沿って任意の望まれる位置に配置され得る。理解され得るように、可撓性部１３８Ｆは、ドアが閉成位置（図６Ａに示したＤ１）にあるとき、板バネはたわんでいない構造であるように配置される。搬送システム１３０を外し且つドア３０Ｄを開成するアクチュエータ１３６の操作は、マウント部１３３の弾性可撓性部１３８Ｆをたわませ（矢印Ｐにより示されている向きにおける板バネの弾性曲げによる）、ドアが角度αを経て回転させられ、開口位置Ｄ２Ａに到達することを可能にする。ドア３０Ｄを閉成するアクチュエータ１３６の操作は、可撓性部１３８Ｆをたわみの無い位置に戻させる。可撓性部１３８Ｆは、非常に多数のドア動作サイクルに耐えるサイズに形成される。この例示的な実施例におけるドア３０Ｄを運動自在に支持する可動マウント部１３８は、可撓性部にあり、動きを容易にし、隙間を有さない（従来の可動マウント構造部に設けられるように、可動部品同士の間の相対的な滑動を可能にする）。これは、閉成位置と開成位置との間のドア３０Ｄの動きが同一の経路に略沿って起こり、ドアが、確実で簡単に各回及び毎回、略同一の閉成位置に戻ることを確実にし、これは従来の可動マウント部を用いては可能でない。ドア３０Ｄの位置におけるこの正確さは、搬送コンテナＴにおけるドアＴ４（図９参照）との接触、及びコンテナを閉成するとコンテナドアと箱との間の取り付けを容易にする。可動マウント構造部１３８は、マウント要素同士の間の滑動（回転若しくは直線）を使用する従来の可動マウント部と比較して、組み立て及び取り付けを容易にする。
【００４６】
ロードポートモジュール２４は、コンテナドアＴ４が取り除かれたとき、コンテナＴ内における基板の存在を検出可能なセンサ２００を有している。図６乃至図６Ａに示した実施例においては、センサ２００は、搬送システム１３０の運搬部１３４にマウントされ、運搬部１３４と共に動く。センサ２００は、以下において説明するように、直線ビームセンサ（例えば、電磁ビーム源及び検出器）、ＣＣＤ若しくは容量感知センサ（capacitive influence sensor）のような任意の適切な種類であり得る。図６に示した実施例においては、センサ２００は、例示目的のためだけに、２つのセンサヘッド２０４、２０６（ビーム源及び検出器）を伴う直線ビームセンサとして示されている。この実施例においては、センサ２００はドア３０Ｄの上方に配置されている。この実施例においては、センサ２００はフレーム２０２にマウントされている。図６において最もよく見て取れるように、フレームは、ドア３０Ｄの周りに通常延在し、センサを運搬部１３４にマウントする。この実施例におけるフレーム２０２は、ドア３０Ｄを通常取り囲むが、ドア３０Ｄに接触していない通常の輪状構造を有している。輪状フレーム２０２は、ドア３０Ｄの上方に配置された通常の横断部材２０８を有し、センサ２００のセンサヘッドのための支持面を具備する。センサフレーム２０２は、ドア運搬部１３４に運動自在にマウントされたベース部２１０をも有している。フレーム２００と運搬部１３４との間を運動自在にマウントすることは、収容すなわちバッテリ位置と展開位置との間のフレーム若しくはフレームの少なくとも一部の動作を可能にする。該収容すなわちバッテリ位置は、センサ２００が図６Ａに示したようにＥＦＥＭ内に配置される位置であり、該展開位置は、センサ２００が、以下において説明するように、アクセスポート３０Ｄを経て搬送コンテナＴに配置される位置である。図６乃至図６Ａに示した例示的な実施例においては、ピボット接続部すなわちヒンジ２１２が、フレーム２０２を運搬部１３４に接続している。ヒンジ２１２は、矢印ＳＲ（図６参照）により示される向きのフレームの回転を可能にする。別の実施例においては、例えば、滑動部（線形若しくは回転）若しくは弾性可撓性マウント部のようなセンサフレームと運搬部との間の任意の望まれる相対的な動作（すなわち、直線若しくは回転）を可能にし、任意の他の適切な種類の可動マウント部が使用されうる。さらに別の実施例においては、センサフレームは、運搬部に固定してマウントされ得、運搬マウント部とセンサプラットフォームとの間に中間可動接合部を含み、センサプラットフォームが運搬部に相対的に動くことを可能にし、センサを搬送コンテナに配置する。
【００４７】
図６において見て取れるように、駆動部２１８が、フレームに操作自在に接続され、矢印ＳＲにより示される向きにヒンジ２１２の周りのフレームの動作を実施する。センサ駆動部２１８は、サーボモータ、ステッピングモータ、若しくは気圧式駆動部のような任意の適切な種類であり得る。バネのような付勢部材（図示せず）が、設けられ得、駆動部２１８に対するパワーロスの場合、バッテリ位置へのセンサフレームの自動の戻りを可能にする。さらに、ポジティブ停止部２１６が、抑制面（snubbing surfaces）（例えば、フレーム２０２における部分２１４）と相互作用し、駆動部２１８からの非指示駆動入力から起こり得るフレームの望まれない動作を停止する。さらに以下において説明されるように、駆動部２１８は、ポートドア３０Ｄに対するセンサ２００の独立した動作（図６にいて矢印ＳＲにより示された向き）を容易にする。前述したように、センサ２００は図６乃至図６Ａにおいてバッテリ位置に示されている。この実施例においては、センサフレーム２０２は、センサがバッテリ位置にあるとき、フレーム２０２及びセンサ２０４、２０６がドア３０Ｄの最も内側のエッジを越えてＥＦＥＭの内側に突出しないように形成されている。よって、センサ及びフレーム２０２を収容できるフロント面１２ＦからＥＦＥＭまでのスペース包装部は、ポートドア３０Ｄと略同一である。別の実施例においては、センサフレームは任意の他の望まれる輪郭を有している。
【００４８】
図１１乃至図１２は他の例示的な実施例によるセンサ２００Ａを示している。図１１乃至図１２に示したセンサ２００Ａは、前述し、図６乃至図６Ａに示したセンサ２００と略類似し、類似の特徴は類似の番号が付されている。フレーム２０２Ａは、フレーム２０２に略類似しており、ドア上方のセンサヘッド２０４Ａのためのセンサ支持部を具備するが、別の実施例においては、センサヘッドは、ドアに対して任意の望まれる位置に配置され得るか、若しくはフレームに配置され得る。ピボットマウント部２１２Ａは、フレーム２０２Ａを運搬部にマウントし、モータ２１８Ａはフレームを操作し、フレームを回転させ（図６における方向ＳＲに類似する向きに）、従って、センサ保持バッテリ及び展開位置を動かす。実施例におけるセンサバッテリ及び展開位置は、図６乃至図６Ａにおけるセンサ２００のバッテリ位置及び展開位置と略同一である。よって、図６乃至図６Ａと共に図１１乃至図１２は、例えば、コンテナＴにおける基板をマッピングするときのセンサの動作の説明として使用される。前述したように、ドア３０Ｄが閉成位置（図６Ａ参照）にあるとき、センサはバッテリ位置に示されている。搬送システムフレーム１３０Ｆの回転（前述したように）は、ドアを開成し（図６Ａにおける位置Ｄ２Ａ参照）、駆動軸ＤＡを垂直に動かす。理解され得るように、搬送システムの運搬部１３４に独立して（ドア３０Ｄに関して）マウントされたセンサフレーム２０２Ａは、搬送フレームの回転により内側に回転させられる。センサ２００は、動作範囲のバッテリ位置にまだある。センサを展開する前に、運搬部１３４は駆動軸ＤＡに沿って下方のポート開口部３０Ｄ（図１２参照）のエッジの下方の位置認識センサ２００、２００Ａに動かされ得る。示した実施例において、これは、バッテリ位置から展開位置へのセンサの妨害の無い動作を可能にする。図１２は展開位置２００Ａ'におけるセンサを最も良く示している。展開位置へのセンサ２００、２００Ａの動作が、この実施例においては、図６における矢印ＳＲにより示された向きにフレーム２０２、２０２Ａを個別に回転させることにより実施される。図１２において見て取れるように、展開位置においては、センサヘッド２０４Ａは、ポート開口部３０Ｏを経て、コンテナハウジングへ突出し、コンテナＴの内側の基板Ｓの存在を検出する。センサ２００、２００Ａが展開位置２００Ａ'にあるとき、コンテナにおける基板配置のマッピングは、運搬部１３４、１３４Ａを駆動軸ＤＡ'（図６Ａ参照）に沿って下方に動かすことにより実施される。理解され得るように、コンテナＴのマッピングは、位置Ｄ２Ａから位置Ｄ２（図６Ａ参照）へのポートドア３０Ｄの搬送と共に実施され得る。センサ信号は、適切な通信リンク（図示せず）を介してコントローラ４００（図１参照）に伝達され得る。
【００４９】
前述したように、再度図２を参照すると、ロードポートモジュール２４はインテリジェントロードポートモジュールである。ロードポートモジュール２４は、一体化したユーザインターフェース１００を含み、ユーザが、データプログラム命令及び指示を入力し、システムから望まれる情報を受信することを可能にする。この例示的な実施例においては、ユーザインターフェース１００はディスプレイ３００を含んでいる。図２において見て取れるように、ディスプレイ３００はロードポートフレーム２９にマウントされている。この実施例においては、ディスプレイ３００は、フレーム２９における開口部２９１２を経て可視できるように配置されている。フレーム２９におけるディスプレイ開口部２９１２は、ポート開口部３０Ｏの上方に配置され、搬送コンテナＴが支持ステーション３６に配置されたとき、ユーザがディスプレイを妨害されずに見ることを可能にする。別の実施例においては、ユーザインターフェースディスプレイ３００は、ロードポートの任意の他の望まれる位置に配置され得る。この実施例におけるディスプレイ３００は、任意の望まれるグラフィカル情報３０２を表示可能なグラフィカルディスプレイ（例えば、任意の望まれる解像度を有するＬＣＤ）である。このディスプレイ構造は、ディスプレイの前面において弧すなわち約１３０°の任意の位置からディスプレイを見るとき、ディスプレイ情報を読み取り可能なように形成される。ディスプレイ３００は、カラー又は白黒であり得、タッチスクリーン３０４を含み、かかるタッチスクリーン３０４は、ディスプレイ３００に出力された選択自在な特徴と共に、ユーザが、指示を選択し、望まれるデータ及び情報を入力することを可能にする。キーパッド３０６（図１参照）若しくはカーソルトラッキングデバイス（例えば、マウス、ジョイスティック）のような他のユーザインターフェースが、ロードポートモジュールユーザインターフェース１００内に包含され得、ディスプレイ３０２と共に若しくは独立して機能する。図２において見て取れるように、ユーザインターフェース１００の入力デバイス（すなわち、タッチスクリーン３０４、キーパッド３０６）及び出力デバイス（ディスプレイ３００）は、任意の適当な双方向通信リンク５００により、コントローラ４００に接続されている。通信リンクは、ＬＰＭ２４とコントローラ４００との間を例えばファイヤワイヤＴＭ（登録商標）通信プロトコルを用いて接続され得るか、若しくは例えばブルートゥースＴＭ（登録商標）通信プロトコルを用いてワイヤレスに接続され得る。通信リンク５００は、ネットワーク（例えば、ローカルネットワーク、若しくはインターネットのようなグローバルネットワーク）に接続され得るか、若しくは、ＬＰＭユーザインターフェース１００とコントローラ４００との間の専用の直接のリンクであり得る。図２においては、コントローラ４００とユーザインターフェイ１００、シャトル駆動部５４、検出システム６２のようなＬＰＭシステムとの間の通信リンクが、代表的な通信リンクとして示されている。しかしながら、通信リンクは、任意の適切な数の通信経路上に望まれるように配置され得る。例えば、コントローラ４００とユーザインター���ェース１００との間の通信リンクは、１つの経路上に配置され得、コントローラを上述されたＬＰＭのシャトル駆動部５４及び／若しくは検出システム６２及び／若しくは任意の他の操作システムとインターフェースする通信リンクが、異なる通信経路上に配置され得る。与えられたＬＰＭ２４にマウントされたユーザインターフェース１００は、かかるＬＰＭだけのユーザインターフェースとして機能することに制限されないことに注意されたい。示した実施例においては、与えられたＬＰＭフレームにおけるユーザインターフェース１００は、任意の望まれる数のＬＰＭの役に立つ。ユーザインターフェース１００が設けられ得るＬＰＭは、同一のＥＦＥＭ１２（図１参照）に適用され得るか、若しくは複数の異なるＥＦＥＭ（図示せず）に適用され得る。図１に示した実施例においては、コントローラ４００が、例示的な装置１０の２つのＬＰＭ２４に通信自在に接続されている。コントローラ４００と各ＬＰＭの制御自在に操作可能なシステム（例えば、シャトル駆動部５４、コンテナ検出システム６２、コンテナ前進検出システム１１０、ラッチキー駆動システム１２４（図４参照）、ドア搬送システム１３０（図６参照）、マッピングセンサ２００、基板搬送装置４０、アライナ４２（図５参照）等）との間、及びコントローラ４００とＬＰＭ２４のユーザインターフェース１００との間の通信リンク５００は、実際には、各ＬＰＭのユーザインターフェースとどちらかのＬＰＭのシステムとの間の通信リンクを形成する。コントローラ４００は、他のプロセスツール（図示せず）の他のＬＰＭに接続され得、ユーザインターフェース１００と他のＬＰＭにおけるシステムとの間の通信は、同様に実施され得る。図１乃至図２に示した実施例においては、ＥＦＥＭ１２に結合した各ＬＰＭ２４は、一体化ユーザインターフェース１００を有しているが、前述したように、別の実施例においては、１つ以上のＬＰＭは、一体化ユーザインターフェースを有していなくてもよく、他のＬＰＭの一体化ユーザインターフェースを共有していてもよい。図１乃至図２において見て取れるように、通信リンク５００は、コントローラ及びユーザインターフェース１００をロードロック１４Ｌ、プロセス部１４、モジュール搬送部（図示せず）、及び雰囲気制御システム（図示せず）のような装置１０の他の要素及びシステムにさらに接続する。従って、この実施例におけるＬＰＭ２４のユーザインターフェース１００は、モニタからの情報にアクセスし、コントローラと通信する装置の任意の望まれるシステムを制御するのに使用され得る。別の実施例においては、ＬＰＭに一体化したユーザインターフェースが、インターフェースに接続されたコントローラと通信する任意の装置の任意の望まれるシステムとインターフェースするのに使用され得る。図２において見て取れるように、この実施例においては、通信リンク５００は、幾つかの経路すなわちチャネル５００Ａ、５００Ｂを含み得、かかるチャネル５００Ａ、５００Ｂは、コントローラ４００をバイパスし、ユーザインターフェースが一体化されるＬＰＭ２４の１つ以上のシステム及び／若しくはＬＰＭがマウントされるＥＦＥＭ１２の１つ以上のシステム、及び／若���くはツール１０の１つ以上のシステムにユーザインターフェース１００を直接接続する。例えば、通信経路５００Ａは、ユーザインターフェース１００をコンテナシャトル駆動部５４及び検出システム６２に直接接続し得、経路５００Ｂはユーザインターフェースをコンテナ前進検出システム１１０に直接接続し得る。経路５００Ａ、５００Ｂに類似する他の経路（図示せず）が、ユーザインターフェースをＬＰＭ２４の他の一体化システム（例えば、ラッチキー駆動部１２４、ドア搬送部１３０、検出装置２００、基板搬送装置４０、アライナ４２等）に直接接続し得る。この実施例においては、ユーザインターフェース１００は、ディスプレイ３００に結合されたローカルプロセッサ３１０、タッチスクリーン３０４（及び必要ならばキーパッド３０６）をも含み得る。ローカルプロセッサ３１０は、適切な処理能力（しかし、必要ならば、コントローラ４００よりも低い処理能力）を有し得、ユーザインターフェース１００と直接通信する様々なシステムからの未加工の信号を受信し、ディスプレイ３００上における出力のために処理し、コントローラ４００をバイパスする様々なシステムに適切な指示（ユーザインターフェース入力からの支持）をフォーマットし伝達する。例えば、ローカルプロセッサ３１０は、コントローラ４００とは独立して、コンテナシャトル駆動部５４若しくはドア搬送部１３０のような望まれるシステムの駆動を開始／停止する「ソフト」キーを提供し得る。ローカルプロセッサは、「ソフト」キー３０８Ｃをディスプレイ３００上に表示し得、ユーザにより選択されると、キーの出力状態を変更し得る。例えば、もし、ソフトキー３０８Ｃが、「開始」として最初に表示されたならば、ユーザがかかるキーを選択すると、プロセッサ３０６は表示を変更し、「停止」を示す（反対に、「停止」を選択すると「開始」に変える）。ローカルプロセッサ３１０は、オペレータによる選択を記録し、望まれるシステムに伝達される適切な指示を生成する。ローカルプロセッサは、システムの駆動制限（例えば、シャトル搬送のための搬送停止）若しくはシステム故障（例えば、駆動部若しくは動作システムの損傷）のために、指示が行われることができない信号を受信すると、システムからのディスプレイ状態を変更し得る（例えば、一時的に「停止」を表示する）。理解され得るように、ローカルプロセッサ３１０は任意の他の望まれる情報を表示し得る。ローカルプロセッサ３１０とディスプレイ３０２、タッチスクリーン３０４との間、及びローカルプロセッサ３１０とユーザインターフェース１０が直接通信し得るシステムとの間のインターフェースが、コントローラ４００との協働を達成し得る。コントローラ４００は、ディスプレイ３００／タッチスクリーン３０４におけるローカルプロセッサ３１０により提示（brought up）され得る様々な特徴及び情報の表示／選択を可能にするソフトウェアインターロック（図示せず）を有し得る。例えば、ＬＰＭ２４若しくは装置１０が製造サイクル内において動作しないとき、コントローラ４００は、ローカルプロセッサ３１０による出力／選択利用のための「ソフト」キー３０８Ｃを使用可能にする。コントローラ４００と比較して、処理能力及びメモリを制限され得るローカルプロセッサ３１０は、オペレータが与えられた特徴を選択すると、選択された特徴を実施するために、望まれる指示のサブルーチンすなわちアルゴリズムをコントローラ４００からダウンロードし得る。同様に、コントローラ４００は、望まれる状態が存在すると、データ／信号が、ローカルコントローラ３１０に伝達され、コントローラ４００をバイアスするユーザインターフェースへの直通通信経路を有するシステムのいずれか１つに指示し得る。従って、ローカルプロセッサ３１０は、ロードポート及びツールシステムの局所的な制御及びモニタニングを提供し、局所的な制御が望まれる場合、コントローラ４００の使用は、最小化されるか、若しくは望まれるならば、解消される。別の実施例においては、ユーザインターフェース１００には、ローカルプロセッサを設けられなくともよく、略全処理能力はコントローラ４００に類似するコントローラにより提供される。
【００５０】
図２おいて見て取れるように、通信リンク５００は、他のデバイス若しくはネットワーク６００を通信リンク５００に接続し、デバイス／ネットワークとＬＰＭ２４若しくは装置１０の任意の望まれる部品との間の双方向通信を可能にする適当な結合部すなわちシステム接続インターフェース５０２を含み得る。結合部５０２は、図２に簡略化して示され、デバイス／ネットワーク６００のインターフェースパラメータに従い、通信リンク５５０に接続される。例えば、結合部５０２は、ＵＳＢポート、ファイアワイヤ（登録商標）ポート、若しくはイーサネット（登録商標）ポートのような接続インターフェースを含み得る。結合部５２０は、ブルートゥース（BluetoothTM）（登録商標）のような適切なワイヤレスインターフェースをも含み得る。理解され得るように、結合部５０２は、通信リンク５００上に望まれるように配置される任意の望まれる数の独立した結合部を含み得る（図２は例示の目的のために１つの結合部５０２を示しており、配置された位置は単に例示のためにすぎない）。結合部５０２を介して通信自在に接続され得るデバイス６００は、例えば、ＬＰＭの基板搬送装置４０のような搬送システムの動作をプログラムするために使用されるティーチングペンダント６０２若しくはコントローラであり得る。結合部５０２を用いて接続され得る他のデバイスは、ＰＣ、プリンタ、若しくはモデム等の周辺デバイスであり得る。ネットワーク６０４は、ローカルエリアネットワーク（ＬＡＮ）、インターネットのようなワイドエリアネットワーク、若しくは公衆交換電話網であり得る。コントローラ４００は、結合部５０２を介して結合されたデバイス／ネットワーク６０２、６０４に「プラグアンドプレイ（plug and play）」性能を提供するために適切に配置され得る。例えば、コントローラ４００は、プログラムモジュール４０１、４０４内に適切なソフトウェアを含み得、結合部５０２及び結合したデバイス／ネットワークとの通信のための通信プロトコルに対する結びつき（mating）を選択する。結合インターフェースを検出すると、コントローラは、コントローラメモリ４０１、４０４における適切な通信ソフトウェアを初期化し得、結合したデバイス／ネットワークとの通信を実施する。
【００５１】
理解され得るように、コントローラ４００は、ディスプレイ３００を操作し且つユーザインターフェースのユーザ入力デバイス（例えば、タッチスクリーン３０４、キーパッド３０６）とインターフェースする適切なドライバソフトウェアを有している。図１において見て取れるように、コントローラ４００は、ユーザインターフェースのディスプレイ３００及び入力デバイス３０４、３０６のためのインターフェースソフトウェアを伴うプログラムモジュール４０４を有している。図１に示したプログラムモジュール４０４は、コントローラの代表的なプログラムモジュールであり、コントローラの任意の望まれる数の異なるプログラム及び記憶領域を記録（host）し得る。インターフェースソフトウェアは、例えばウィンドウズ（WindowsTM）（登録商標）型アーキテクチャであるメニューオペレーティングアーキテクチャのような任意の適切なアーキテクチャを有し得るが、任意の他の適切なアーキテクチャが使用され得る。
【００５２】
メニューオペレーティングアーキテクチャの場合、コントローラ４００におけるインターフェースソフトウェアは、ユーザインターフェース１００のディスプレイ３００上に選択自在なキー若しくはメニュー部３０８Ａを表示し得る。ソフトウェアは、タッチスクリーン３０４若しくはキーパッド３０６を介して、表示されたメニュー部３０８Ａの選択を可能にする。理解され得るように、インターフェースソフトウェアにより入手される選択自在なメニュー部３０８Ａは、コントローラ４００若しくはローカルプロセッサ３１０のメモリモジュール４０１、４０４おける実行可能な常駐ソフトウェア（executable software resident）に対応する。例えば、実行可能なソフトウェアは、装置１０及びＬＰＭ２４の１つ以上の各要素及びシステム若しくは一体化ユニットとしての装置１０の操作を制御する操作プログラムであり得る。よって、ディスプレイ３００上に表示された選択自在なメニュー部３０８Ａは、装置１０の操作のためのプログラムを開始し達成するコントローラ４００への指示であり得、基板のプロセスを開始する。操作システムアーキテクチャがメニュー型アーキテクチャでない別の実施例においては、ユーザインターフェースは、コントローラに対する操作指示が任意の他の望まれる手段により入力され得ることを除いては、略同様に使用され得る。一例として、ユーザインターフェースキーパッドが、コントローラに対する操作指示を明らかにする１つ以上のキャラクタを入力するために使用され得、キャラクタは、入力されたとき、ユーザインターフェースディスプレイスクリーン上に表示され得る。
【００５３】
前述したように、コントローラ４００のプログラムモジュール４０１、４０４は、ＬＰＭ２４のユーザインターフェース１００からアクセスされ実行される任意の望まれる数のプログラムを含み得る。例えば、プログラムモジュールは、ユーザインターフェースのディスプレイ３００上に出力され得るインストール／操作マニュアル、キャリブレーション（calibration）トラブルシューティング、及びサービスガイドのような任意の望まれるテキスト又はデータプログラム若しくはフィルを含み得る。テキストファイルは、ディスプレイ３００上に表示するための任意の望まれるフォーマットで形成された表、図、グラフ、写真、及びビデオ部を含み得る（例えば、図及び写真はビットマップとして形成され得る）。テキストプログラムは、システムセットアップの間、コントローラ４００のプログラムモジュール４０１、４０４に保存され得るか、若しくは、ＰＣのネットワーク６０４（図２参照）のような適当な外部すなわちリモートソースからその後ダウンロードされ得、コントローラは通信リンク結合部５０２上においてかかるネットワーク６０４と通信し得る。さらに、コントローラ４００の通信パッケージソフト（communication suite）は、オペレータが、リモートソース（例えば、デバイス６０２、６０４）に配置され且つコントローラに常駐しないテキスト及びグラフィカルファイルを見ることを可能にする。同様に、コントローラ４００の通信パッケージソフトは、リモートデバイス６０２、６０４のディスプレイ上に表示された情報がＬＰＭディスプレイ３００上に表示されることを可能にする。例えば、基板搬送装置４０（図３参照）の動作制御のプログラム用として、ティーチペンダント６０２が通信インターフェース５０２に接続されているとき、ティーチペンダントによるプログラムを実行することに関して表示された情報は、ティーチペンダント６０２若しくはティーチペンダント６０２に接続したネットワーク６０４のＰＣのディスプレイ上に表示され得、ＬＰＭユーザインターフェース１００のディスプレイ３００上にも表示され得る。よって、操作プログラム若しくは装置１０に類似する装置の搬送装置の動きを「ティーチング」することは、非常に似た装置のディスプレイ３００上において「ティーチング」に関連した情報を見ることができ、オペレータはティーチングを実施する。プログラムモジュール４０１は、コントローラの機械通信プログラムと協働する様々なグラフィックプログラムを含み得、コントローラ４００に接続したＬＰＭ２４及び装置１０のシステム及び要素からの未加工のデータ若しくは信号を読み込み、ディスプレイ３００上に表示され得るグラフィカルデータに変換し得る。この情報は、装置１０の制御可能なシステムの状態情報及び故障情報を含み得る。ディスプレイオペレーティングソフトウェアは、ユーザが表示されるのを望む情報を選択することを可能にし得る。よって、ＬＰＭのユーザインターフェース及びディスプレイ３００は、オペレータが、更なるハードウェアを使用せず、所定の位置すなわちＬＰＭからのツールセットアップ、検査、トラブルシューティング、及び操作を実施することを可能にする。
【００５４】
図１乃至図５を参照すると、ＬＰＭ２４は、さらに以下において説明するように、装置１０のＥＦＥＭにおける１つ以上の要素をモニタするデジタルカメラ７００を含み得る。図１において見て取れるように、ＬＰＭの内側に存在し得るカメラ７００は、ＥＦＥＭの通常内側に延在するようにマウントされる。カメラは図５において最も良く見られる。前述したように、この例示的な実施例においては、複数のＬＰＭ２４Ａ乃至２４Ｌが、互いに接合され、ＥＦＥＭのフロント面を形成する。この実施例においては、ＬＰＭ２４Ｂが内部カメラ７００を有するとして示されている。別の実施例においては、ＥＦＥＭにおける１つ以上のＬＰＭであるが、全てではないＬＰＭが、図５に示したＬＰＭ２４Ｂに類似するカメラを有し得る。カメラ７００は、ＬＰＭフレーム２９（図３参照）のリア面にマウントされ得、ＥＦＥＭのケーシング１６に対するＬＰＭ２４Ｂの結合（mating）が、カメラをＥＦＥＭ内に配置する。カメラ７００は、ＬＰＭ２４に一体化され得るか、若しくはＬＰＭ２４とは別にＥＦＥＭに取り付けされ得る。カメラ７００は、機械的締結のような任意の適切なマウント手段によりＬＰＭ２４Ｂにマウントされ得る。図５に示した実施例におけるＬＰＭ及びシステム／要素に対するカメラの位置は、単なる例示目的であり、別の実施例においては、カメラはＬＰＭフレームにおける任意の他の適切な位置にマウントされ得る。さらに、カメラ７００は、１つのカメラヘッドとして図１及び図５に簡略化されて示されている。カメラ７００はＬＰＭフレームにおける異なる位置に配置された１つ以上のカメラヘッド（図示せず）を含み得る。カメラすなわちカメラヘッドユニット７００は、適当なカメラチップ７０２及び光学部品７０４を含み、かかる光学部品７０４は、カメラの視野ＦＯＶから適切なイメージを生成するカメラチップに光りを向ける。カメラチップ７０２は、例えば、ＣＭＯＳ型若しくはＣＣＤ型チップ又は任意の他の適切な種類のカメラチップであり得る。望まれるならば、カメラは１つ以上のカメラチップを含み得る。カメラチップは、任意の望まれる解像度を有し得、カラー若しくは白黒のイメージを生成し得る。カメラ光学部品７０４は、例えば、カメラチップ７０２に向けられた光量をガイドし制御する任意の適切なレンズ、フィルタ、ミラー、開口部（図示せず）を含み得る。カメラチップ７０２及び光学部品７０４は、カメラの視野ＦＯＶ及び焦点深度により、カメラがＥＦＥＭ内部の全体を取り囲む空間（すなわち、イメージ範囲）の像を形成するように配置される。別の実施例においては、カメラヘッドは、適切なサーボモータにより水平に支持（gimbaled）されており、視野を回転させ、カメラのための望まれるイメージ範囲を提供する。他の別の実施例においては、前述したように、複数の固定カメラヘッドが、望まれるイメージ範囲を生成するために使用され得る。さらに他の実施例においては、カメラのイメージ範囲は、基板搬送装置、アライナ、若しくはＬＰＭチャージ開口部（LPM charging opening）のようなＥＦＥＭの望まれる領域若しくは要素をカバーするように制限され得る。理解され得るように、図１及び図５に示した実施例においては、カメラ７００のイメージ範��は、ＥＦＥＭに沿った任意の側方位置（矢印Ｌにより示されている）における基板搬送装置４０の（θ、Ｒ）動作（図５におて矢印θ、Ｒにより示されている）の略全範囲を含むのに十分である。装置４０のカメラ７００によるイメージ範囲は、ＬＰＭチャージ開口部３０Ｏ（図４参照）若しくはロードロック１４Ｌ（図１）における装置４０のバッテリ位置（図示せず）と伸長位置（図示せず）との間に伸長する。よって、カメラ７００のイメージ範囲は、カメラが略任意の操作θ、Ｒ位置における搬送装置４０の像を形成することを可能にする。図５に示した例示的な実施例においては、基板搬送装置は、θ、Ｒの矢印により示された方向に運動自在である動作部４０Ａを有し（前述したように）、従って、カメラ７００のイメージ範囲は、装置動作部の操作動作を取り囲む平面若しくは範囲に対応する。別の実施例においては、搬送装置の動作部は、任意の他の種類、動作の範囲を経て操作され得、ＥＦＥＭにおける１つ若しくは複数のカメラには、搬送装置の動作部の範囲／平面に対応するイメージ範囲が設けられ得る。
【００５５】
図５において見て取れるように、カメラ７００は、カメラチップ７０２と協働し、カメラチップに向けられた光からイメージデータを生成し、かかるデータを適切なフォーマットに処理する適切な処理回路７０６を含んでいる。カメラ７００は、前述した通信リンク５００によりコントローラ４００に接続され、かかる通信リンク５００は、カメラとコントローラとの間の双方向通信を可能にする。コントローラ４００のプログラムモジュール４０１、４０４は、カメラ７００を操作するソフトウェアを含み得、望まれるイメージを捕捉する。例えば、コントローラ４００におけるソフトウェアは、生成イメージ指示をカメラ７００に送信可能なより高度なプログラムであり得る。コントローラにおけるソフトウェアは、どのイメージがコントローラに伝達されるかをカメラ７００に指示する。カメラ７００の処理回路７０６は、例えば処理回路の適切な回路に常駐するプログラムモジュール（図示せず）を含み得、コントローラ４００から生成イメージ指示を受信すると、カメラチップ７０２および処理回路７０６によるイメージ生成を直接操作し実施する。この実施例においては、プロセス回路７０６は、望まれるならば、コントローラへのイメージの伝達の前に、１つ以上の電子イメージ若しくは電子イメージを形成するデータをバッファする適切なメモリを有し得る。コントローラ４００におけるソフトウェアは、カメラからイメージを受信し得、以下において詳しく説明されるように、基板搬送装置のような、カメラ７００により像を形成された要素における故障を予測し、トラブルシューティングするためにイメージを使用し得る。コントローラソフトウェアは、カメラ７００からのイメージを前述したＬＰＭ２４のディスプレイ３００（図２参照）上に表示し得る。
【００５６】
図１３を参照すると、装置１０における基板搬送装置４０の故障をモニタし、トラブルシューティングするのを助けるために、カメラ７００を使用する例示的な方法のグラフ表示が示されている。理解され得るように、カメラ７００が、かかるカメラのイメージ範囲内の他の要素／システムをモニタし、トラブルシューティングするために使用されるとき、図１３に示し且つ以下において説明される例示的な方法が、実際に適用可能である。図１３から見て取れるように、ブロックＰ１においては、カメラ７００が、図１３に示した方法を実施するコントローラ４００におけるプログラムに従い操作され得、基板搬送装置４０の動作部４０Ａのベースラインイメージフレームを生成する。なぜなら、それは、θ、Ｒ動作の全範囲又は望まれる範囲を受けるからである。動作部４０Ａがカメラ７００によるベースラインイメージフレームの生成のために動かされるθ、Ｒ動作の望まれる範囲は、ツールのプロセス操作の間、予想されたθ、Ｒ動作及び装置４０における故障をトラブルシューティングするのを助ける望まれるテスト動作を通常含んでいる。ベースラインイメージフレームは、 動作部４０Ａのキャリブレーションの後、及び望まれる操作動作を経て動作部４０を動かすコントローラ４００への「ティーチング」の後に生成され得る。別の実施例においては、ベースラインイメージフレームは任意の時間において取得され得る。コントローラ４００及び／若しくはカメラ７００の処理回路７０６におけるソフトウェアにより指示された動作部の動作の間のイメージフレームのタイミング及び頻度は望まれるように設定され得る。例えば、動作部４０Ａが動作経路の望まれる位置に移動しているとき、カメラ７００は、イメージフレームを生成し得、動作部が停止されるか、若しくは関係ない動作データの部分を伝達するとき、カメラ７００は、イメージフレームを生成しない待機状態であり得る。別の実施例においては、カメラ７００は、動作部４０Ａが動いている略全ての時間においてイメージフレームを生成するように指示され得る。カメラ７００により生成されたイメージジーフレームの頻度は、十分に連続したビデオストリームを形成するのに十分なように望まれるように設定され得る。ベースラインイメージフレームは、コントローラ４００の記憶領域に記録され得る。図１３におけるブロックＰ２において、例えば、装置により実施されるプロセスの支持部における動作部４０Ａの操作動作の間、カメラ７００は動作部の操作中のイメージフレームを生成する。操作中のイメージフレームのタイミング及び頻度は、対応するベースフレームラインイメージフレームのタイミング及び頻度に対応する（すなわち、操作中のイメージフレーム及びベースラインイメージフレームは動作部４０Ａの略同一の動作経路において生成される）。別の実施例においては、操作中のイメージフレームのタイミング及び頻度は、対応するベースフレームラインイメージフレームのタイミング及び頻度と異なり得る（遅い／低い頻度）。この例示的な実施例においては、操作中のイメージフレームは、カメラ７００若しくは他の適切なバッファメモリにバッファされ、以下において説明するように、所定の時間においてコントローラ��伝達され得る。これはコントローラ４００における処理負担を低減する。バッファは、望まれる数のイメージフレームを保存するサイズに形成される。バッファが満たされたとき、バッファされたイメージフレームは消去され得る。動作部４０Ａの操作の間、コントローラ４００は動作部の動作による故障を検出し得る。様々なセンサが、ＥＦＥＭにおける搬送装置４０の動作部４０Ａに含まれ得、動作部の動作の故障の発生を検出し、コントローラに信号を送る。図１３において見て取れるように、ブロックＰ３においては、もし、動作部４０Ａの操作動作の間、コントローラ４００により検出された故障がないならば、幾つかのバッファされた操作イメージフレームがコントローラ４００に周期的にダウンロードされ得る（図１３におけるブロックＰ４参照）。周期的にダウンローダされたイメージフレームは、バッファメモリに存在するイメージフレームから選択されたイメージフレームであり得る。ダウンロードにより選択されたイメージフレームは、動作部の動作の間起こる望まれる状態に対応し、望まれる状態は、例えば、動作部が所定の形態を有し、動作部の駆動部が最大のトルクを伝達し、若しくは動作部のエンドエフェクタが最大の速度若しくは最大の加速度を受けることである。選択されたイメージフレームのダウンロードの周期は、コネクタとの他の通信トラフィックが低減されたとき、動作部４０Ａの動作サイクル毎、若しくは他の動作サイクル毎のように望まれるように設定され得る。図１３のブロックＰ４におけるコントローラへの伝達の後、ダウンロードされたイメージフレームは、ベースラインイメージフレームと比較され、 動作部４０Ａの動作における位置のずれを識別する。動作部の位置の差を決定するイメージフレームの比較は、コントローラ４００に常駐する適切なアルゴリズムにより実施され得、例えば、ベースラインに対する動作部４０Ａの動作のずれを発展させる傾向の存在を識別し、ずれが許容可能な境界を越えるときを予測する。ベースライン及び操作イメージフレームの使用を容易にするために、カメラ７００により生成された各イメージには、時間タグのような識別子が設けられ得るが、任意の他の識別子が使用され得、各イメージフレームは共通の参照フレームに関連付けられ得る。これは、各イメージフレームが、動作部に対するコントローラ指示の時間及び動作部の駆動時間に関連付けられることを可能にする。図１３において見て取れるように、ブロックＰ３において、コントローラが、操作動作の間、故障を検出した場合においては、コントローラ４００はバッファメモリにおける操作イメージフレームをダウンロードする。コントローラ４００は、故障発生の検出の前後の期間において生成され、動作部位置を証明する操作イメージフレームのような選択されたバッファイメージフレームをダウンロードし得るか、若しくは全てのバッファイメージフレームをダウンロードし得る（ブロックＰ５参照）。ブロックＰ５においてダウンロードされたイメージフレームは、故障が検出された時間における動作部４０Ａの位置及び動作部の動作が停止したときを直接識別するために使用され得る。位置情報が、故障をトラブルシューティングし、停止位置から動作部���動かすために動作部に対するコントローラの指示を明らかにするのを助けるために使用され得る。ダウンロードされた操作イメージフレームは、対応するベースラインイメージフレームと比較され、動作部のベースラインからの位置のずれを識別する。前述したように、図１３に示した方法は、ＬＰＭ２４のカメラ７００が使用され得る適切な方法の１つの例示である。カメラ７００は装置１０のＥＦＥＭの操作を改良する他の方法に使用され得る。望まれるならば、カメラ７００は、ユーザインターフェース１００を介して入力されたユーザ指示により操作され得、ディスプレイ３００上においてリアルタイムのＥＦＥＭを見られる。
【００５７】
上記の記述は本発明の例示的なものであることを理解すべきである。様々な代替及び変更が、本発明の精神を逸脱することなく当業者によりなされ得る。従って、本発明は、特許請求の範囲内の代替、変形、及び変更の全てを含むことを意図している。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図６Ａ】
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【図７Ａ】
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【図７Ｂ】
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【図７Ｃ】
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【図７Ｄ】
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【図８】
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【図９Ａ】
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【図９Ｂ】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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