(57)【要約】      （修正有）【課題】ガスの巻き込みのみならずクラックの発生も少ない成形が可能で、かつ成形型を長期に亘って繰り返し使用することができるＴｉＯ２含有石英ガラスの成形方法を提供する。【解決手段】上下両端を開口させた内周面を成形面とする筒状体１１と、筒状体１１の下端開口を閉塞する上面を成形面とする底板１３と、筒状体１１の上端開口を閉塞し、かつ筒状体１１の内周面に沿って摺動可能に装着される下面を成形面とする天板１２とを備えたカーボン製成形型１内で、ＴｉＯ２含有石英ガラス２を加熱溶融して成形する方法であって、底板１３の成形面に、開口幅１ｍｍ未満のガス抜き用の溝１４が設けられており、この溝１４から成形型１内のガスを外部に排出しつつ成形を行う。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
上下両端を開口させた内周面を成形面とする筒状体と、前記筒状体の下端開口を閉塞する上面を成形面とする底板と、前記筒状体の上端開口を閉塞し、かつ前記筒状体の内周面に沿って摺動可能に装着される下面を成形面とする天板とを備えたカーボン製成形型内で、ＴｉＯ２含有石英ガラスを加熱溶融して成形する方法であって、
前記底板の成形面に、開口幅１ｍｍ未満のガス抜き用の溝が設けられており、この溝から前記成形型内のガスを外部に排出しつつ前記成形を行うことを特徴とするＴｉＯ２含有石英ガラスの成形方法。
【請求項２】
前記ガス抜き用溝の深さが０．５〜１０ｍｍである請求項１に記載のＴｉＯ２含有石英ガラスの成形方法。
【請求項３】
前記ガス抜き用溝の開口幅が０．５ｍｍ未満である請求項１または２に記載のＴｉＯ２含有石英ガラスの成形方法。
【請求項４】
前記溝は、前記底板の成形面に複数本、互いに略平行に設けられている請求項１〜３のいずれか１項に記載のＴｉＯ２含有石英ガラスの成形方法。
【請求項５】
互いに略平行する前記複数本の溝の溝間距離が１〜３０ｍｍである請求項４に記載の石英ガラスの成形方法。
【請求項６】
１４００〜１８００℃の温度で成形する請求項１〜５のいずれか１項に記載のＴｉＯ２含有石英ガラスの成形方法。
【請求項７】
前記筒状体及び／または天板の成形面にガス抜き用の溝が設けられている請求項１〜６のいずれか１項に記載のＴｉＯ２含有石英ガラスの成形方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＴｉＯ２含有石英ガラスの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＴｉＯ２を含有する石英ガラスは、純石英ガラスよりも小さい熱膨張係数を有する超低熱膨張材料として知られ、半導体用フォトマスク、なかでもＥＵＶ光（極端紫外光）を露光光源とするフォトリソグラフィ技術に用いるフォトマスクの材料として注目されている。
【０００３】
一般に、ＴｉＯ２含有石英ガラスは、直接法やスート法と称する方法（ＭＣＶＤ法、ＯＶＤ法、ＶＡＤ法等）等によって、透明ガラス体を作製した後、成形型を用いて、適用するフォトマスク等の形状に合わせて、円柱状、角柱状等の成形体に成形し、次いで、アニール、研削等の工程を経て、所定の厚さに切断（スライス）される。
【０００４】
上記透明ガラス体の成形には、従来、カーボン製の成形型が使用され、その中で透明ガラス体を、例えば１５００〜１７００℃に加熱し溶融させて所望の形状に成形する。その際、成形型が酸化燃焼するのを防止するため、成形型内を真空にするか、または減圧してＡｒ等の不活性ガスを充填することが一般的である。
【０００５】
しかし、このような方法では、成形型を構成するカーボンと透明ガラス体の表面に存在するＴｉＯ２が反応してＣＯガスやＣＯ２ガス等が発生し、これらのガスが透明ガラス体内に巻き込まれる結果、ガラス成形体の質量歩留まりが低下するという問題があった。
【０００６】
この種の問題に関し、例えば、内面にガス抜き用の溝を設けた成形型を用いて純石英ガラスを成形する方法が提案されている（例えば、特許文献１参照。）。ガス抜き用の溝から成形型内に残留するガスを外部に排出しつつ成形することによって、ガスのガラス成形体への巻き込みを抑制しようとするものである。しかしながら、この従来の純石英ガラスを対象とした技術をＴｉＯ２含有石英ガラスに適用すると、ガスは排出されるものの、純石英ガラスとＴｉＯ２含有石英ガラスの性状や成形条件等（例えば、ガラス成分のカーボンに対する反応性、成形温度等）の相違により、加熱溶融したガラスがガス抜き用の溝に入り込んでしまい、次のような問題を生じた。すなわち、ガラス成形体を成形型から取り出し難くなり、その際に成形体の表面にクラックが発生しやすくなる。クラックの発生は歩留まりの低下を招く。また、ガラス成形体を取り出した後もガラスの一部または全部が溝内に残るため、成形型を繰り返し使用するためには、残ったガラスを溝から除去する作業が必要になるが、その作業は容易ではなく、成形型を破損させるおそれもある。さらに、成形型の温度低下に伴い、入り込んだガラスと成形型を構成するカーボンの熱膨張差に起因して、成形型に割れや反りが発生し、その再使用ができなくなるおそれがある。また、溝に入り込んだガラスによって、ガラスの流動が妨げられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特許第３７７８２５０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、ガスの巻き込みのみならずクラックの発生も少ない成形が可能で、かつ成形型を長期に亘って繰り返し使用することができるＴｉＯ２含有石英ガラスの成形方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の一態様に係るＴｉＯ２含有石英ガラスの成形方法は、上下両端を開口させた内周面を成形面とする筒状体と、前記筒状体の下端開口を閉塞する上面を成形面とする底板と、前記筒状体の上端開口を閉塞し、かつ前記筒状体の内周面に沿って摺動可能に装着される下面を成形面とする天板とを備えたカーボン製成形型内で、ＴｉＯ２含有石英ガラスを加熱溶融して成形する方法であって、前記底板の成形面に、開口幅１ｍｍ未満のガス抜き用の溝が設けられており、この溝から前記成形型内のガスを外部に排出しつつ前記成形を行うことを特徴としている。
【発明の効果】
【００１０】
本発明のＴｉＯ２含有石英ガラスの成形方法においては、底板に設けた溝から成形型内のガスを外部に排出させることができる一方、この溝へのガラスの侵入を阻止ないし抑制することができる。したがって、成形時のガスの巻き込みのみならず、成形後の成形体取り出し時のクラックの発生も抑制でき、その質量歩留まりを向上させることができる。また、成形型を長期に亘って繰り返し使用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一実施形態に使用される成形型を概略的に示す斜視図である。
【図２】図１に示す成形型の要部を示す分解斜視図である。
【図３Ａ】図１に示す成形型の底板を示す上面図である。
【図３Ｂ】図３ＡのＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
【図４】成形型の底板に設けられる溝の断面形状を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の実施の形態について説明する。なお、説明は図面に基づいて行うが、それらの図面は図解のために提供されるものであり、本発明はそれらの図面に何ら限定されるものではない。
【００１３】
まず、本発明の一実施形態の石英ガラスの成形方法に用いられる成形型の構成を図１、図２、図３Ａ及び図３Ｂを用いて説明する。なお、図１は成形型の全体構成を概略的に示す斜視図であり、図２は成形型の要部構成を示す分解斜視図であり、図３Ａは成形型に使用される底板の構成を示す上面図であり、図３Ｂはその断面図である。
【００１４】
図１及び図２に示すように、この成形型１は、上下両端を開口させた円筒状、角筒状等の筒状体（図１の例では、角筒状の筒状体）１１と、筒状体１１の上下両端の開口をそれぞれ閉塞する天板１２及び底板１３とを備えている。筒状体１１、天板１２及び底板１３はいずれもカーボンまたはカーボンを主体とする材料、例えば黒鉛等で形成されており、また、天板１２は、筒状体１１内を上下方向に摺動可能に配置されている。
【００１５】
この成形型１では、底板１３上に成形すべき石英ガラス２が載置され、筒状体１１の内周面、天板１２の下面、底板１３の上面が、それぞれ成形面となる。そして、これらの成形面の内、底板１３の成形面となる上面に、外部に連通する複数本のガス抜き用の溝１４が設けられている。
【００１６】
複数本のガス抜き用の溝１４の形成パターンとしては、放射状、格子状、ストライプ状等が挙げられるが、特にこれらに限定されるものではなく、溝１４の一端、好ましくは両端が底板１３の外縁、すなわち、筒状体１１との接合面に達するように設けられていればよい。溝１４を介して底板１３の外縁に達したガスは、底板１３と筒状体１１の接合面の僅かな隙間等から外部に排出される。ガス抜け性や溝の形成の容易さ等の観点からは、ストライプ状、すなわち、複数本の溝１４が互いに略平行するように設けられていることが好ましく、特に、図面の例のように、矩形状の底板１３の場合には、底板１３の１辺に平行なストライプ状に設けられていることが好ましい。また、溝１４は、図面の例のように、底板１３の上面全体に略均一なパターンで設けられていることが好ましい。
【００１７】
また、溝１４の形状も特に限定されるものではなく、断面矩形状、断面矩形状で底面部分のみ略半円状（すなわち、断面Ｕ字状）、三角形状またはその他の形状であるもの、断面Ｖ字状等、任意の形状であってよい。これらのなかでも、断面矩形状、断面矩形状で底面部分のみ略半円状、三角形状またはその他の形状のものが好ましい。しかしながら、溝１４の大きさについては、図４に示すように、開口幅（ｗ）、すなわち溝の１４の上端の幅を１ｍｍ未満とする。開口幅（ｗ）が１ｍｍもしくそれ以上であると、加熱溶融したＴｉＯ２含有石英ガラスが、溝１４に入り込んでしまい、ガラス成形体を成形型１から取り出し難くなるうえ、その際に成形体の表面にクラックが発生しやすくなる。また、ガラス成形体を取り出した後もガラスの一部または全部が溝１４内に残るため、成形型１を繰り返し使用するためには、残ったガラスを溝１４から除去する作業が必要になり、場合により、底板１３を破損させるおそれがある。さらに、成形型１の温度低下に伴い、入り込んだガラスと成形型１を構成するカーボンの熱膨張差に起因して、成形型に割れや反りが発生するおそれもある。またさらに、溝１４に入り込んだガラスによって、ガラスの流動が妨げられるおそれもある。溝１４の開口幅（Ｗ）は、好ましくは０．５ｍｍ未満であり、より好ましくは０．２ｍｍ以下である。但し、開口幅（Ｗ）があまり小さいとガス抜け効果が低下するうえ、溝１４の形成も技術的に困難になるため、溝１４の開口幅（Ｗ）は０．０５ｍｍ以上とすることが好ましい。
【００１８】
溝１４の深さ（Ｄ）（図４）は、あまり浅いと十分なガス抜け効果が得られないおそれがあり、逆に深過ぎても、ガス抜け効果は変わらずに、溝形成が困難になることから、０．５〜１０ｍｍの範囲が好ましい。溝１４の深さ（Ｄ）は、より好ましくは１〜５ｍｍであり、より一層好ましくは１〜３ｍｍである。
【００１９】
また、図面の例のように、複数本の溝１４が、互いに略平行に設けられている場合、隣接する溝１４と溝１４の間の距離、すなわち図３Ｂに示す溝間距離（Ｐ）は、溝１４の大きさ等にもよるが、通常、５〜２００ｍｍ、好ましくは５〜１００ｍｍ、より好ましくは５〜５０ｍｍ、より一層好ましくは１０〜３０ｍｍ、特に好ましくは１０〜２０ｍｍである。溝間距離（Ｐ）が５ｍｍ未満では、隣接する溝間の距離(Ｐ)が短く十分なガス抜け効果の向上が期待できず、また、溝数が多くなることで加工費用の増大が発生する。一方、２００ｍｍを超えると、ガスの排出が不十分になるおそれがある。
【００２０】
このような溝１４が形成される底板１３、また、天板１２および筒状体１１の厚さは、特に限定されるものではなく、従来、一般に使用されている範囲のものが使用される。
【００２１】
本実施形態では、ガス抜き用の溝１４は、底板１３の上面にのみ設けられているが、これは、成形時に発生するガスが、特に成形型１の底部に滞留しやすいからである。しかしながら、成形材料、成形条件、成形型の構造等によっては、ＴｉＯ２含有石英ガラス２と天板１２、ＴｉＯ２含有石英ガラス２と筒状体１１との間にも相当量のガスが滞留し、成形体の気泡の原因になることがある。したがって、底板１３の上面に加え、天板１２の下面、筒状体１１の内周面、またはこれらの両方にも、同様のガス抜き用の溝を設けるようにしてもよい。筒状体１１の内周面に設ける溝は、底部に滞留するガスの外部への放出性を高める効果を併せ有し、この効果をさらに高めるためには、底板１３上面に設けた溝１４と筒状体１１の内周面に設ける溝が連通するようにすることが好ましい。
【００２２】
なお、図示した例では、筒状体１１は４枚の側板１１ａで角筒状に形成されており、その上下両端の嵌合させた上部枠体１５及び下部枠体１６によってその形状が保持されるようになっている。
【００２３】
以下、上記成形型１を用いた本発明の一実施形態の石英ガラスの成形方法について説明する。
【００２４】
本実施形態においては、図１に示すように、成形型１の底板１３上に成形すべきＴｉＯ２含有石英ガラス２を載せ、その上にさらに天板１２を載せた後、適当な加熱装置（図示なし）で成形型１を加熱して、ＴｉＯ２含有石英ガラス２を加熱溶融し、成形する。
【００２５】
成形材料であるＴｉＯ２含有石英ガラス２は、いかなる方法で製造されたＴｉＯ２含有石英ガラスであってもよい。すなわち、ＴｉＯ２含有石英ガラスの製造方法としては、例えば、シリカ前駆体とチタニア前駆体をそれぞれ蒸気形態に転化させて混合し、これを酸水素火炎に供給し火炎中で反応させて生成したガラス微粒子（スート）を基材上に堆積、成長させて、多孔質ガラス母材を得た後、得られた多孔質ガラス母材を減圧下またはヘリウム雰囲気で緻密化温度以上に加熱し、さらに透明ガラス化温度以上に加熱して透明ガラスを得る方法（スート法）や、ガラス微粒子を耐火性容器中等に堆積させ、堆積と同時に透明ガラス化して透明ガラスを得る方法（直接法）等が知られるが、これらのいずれの方法で製造されたものであってもよい。なお、スート法には、多孔質ガラス母材の作り方により、ＭＣＶＤ法、ＯＶＤ法、ＶＡＤ法等がある。また、ＴｉＯ２含有石英ガラス中に含まれるＴｉＯ２の量も特に限定されるものではなく、ＴｉＯ２を種々の濃度で含有する様々な石英ガラスの成形に適用することができる。その一例としては、ＥＵＶ光を露光光源とするフォトリソグラフィ技術に用いるフォトマスクの用途に用いるＴｉＯ２含有石英ガラスが挙げられる。通常、この用途の石英ガラスには、１〜１２質量％のＴｉＯ２が含まれている。
【００２６】
本実施形態においては、このようなＴｉＯ２含有石英ガラス２に対し、通常、１４００〜１８００℃、好ましくは１５００〜１７００℃で加熱し成形する。１４００℃未満では、成形に長時間を要する上、成形体に失透を生じやすい。また、１８００℃を超えると、ガラス成分と成形型を構成するカーボンの反応によるガスの発生量が多くなり、成形型内からのガスの排出が不十分になるおそれがある。
【００２７】
成形は、真空、または減圧下、アルゴン、ヘリウム等の不活性ガス雰囲気下で、上記温度を、好ましくは０．５〜１００時間保持することにより行うことができる。保持時間が０．５時間未満では石英ガラス２が十分に溶融せず、所望の形状、大きさの成形体に成形することができないおそれがある。また、保持時間が１００時間を超えると、成形効果は変わらずに、ガラス成分と成形型１を構成するカーボンとの反応が進行し、成形型１内からのガスの排出が不十分になるおそれがある。
【００２８】
なお、石英ガラス２に荷重を付加して成形する場合、成形後の底板１３面における面荷重を０．５ｋｇ／ｃｍ２以下とすることが好ましく、０．２ｋｇ／ｃｍ２以下とすることがより好ましい。成形後の底板１３面における面荷重が０．５ｋｇ／ｃｍ２を超える場合、ガス抜け性が低下するおそれがある。
【００２９】
このようにしてＴｉＯ２含有石英ガラス２の加熱成形が完了した後、成形型１の加熱を中止し、所定の速度で冷却し、成形型１を開放し、内部のガラス成形体を取り出す。
【００３０】
このような方法においては、ＴｉＯ２含有石英ガラス２をカーボン、またはカーボンを主体とする材料からなる成形型１内で加熱溶融すると、ガラス成分とカーボンとが反応し、ＣＯやＣＯ２等のガスが発生するが、成形型１の底板１３の上面にはガス抜き用の溝１４が形成されているため、ＴｉＯ２含有石英ガラス２と底板１３界面で生じたガスは、ガス抜き用の溝１４から、筒状体１１とＴｉＯ２含有石英ガラス２の間隙、筒状体１１と天板１２、及び筒状体１１と底板１３の各接触面における隙間、筒状体１１が図１に示すように複数枚の側板１１ａから形成されている場合には、さらに、それらの側板１１ａの接触面における隙間を介して外部に排出される。このため、ガラスと底板１３との界面でのＣＯ、ＣＯ２等のガスの滞留が抑制され、石英ガラス２内部に気泡が混入したり、これらのガスが溶融状態の石英ガラス２と接してその表面を荒らしたりするのを防止することができる。
【００３１】
しかも、溝１４はその開口幅（ｗ）が１ｍｍ未満であるため、成形時に溶融したガラスが入り込むことがなく、あるいは、たとえ入り込むことがあっても、非常に少ない量であるうえ、溝１４の開口側に留まる。このため、ガラス成形体を成形型１から容易に取り出すことができる。すなわち、ガラスが溝に入り込んでいない場合にはガラス成形体は成形型１から抵抗なく容易に、また、溝１４にガラスが入り込んだ場合には、入り込んだガラスはガラス成形体と一体に容易に取り出すことができる。したがって、成形型１から取り出す際にガラス成形体の表面にクラックが発生することはなく、クラックを除去するために表面を研削する必要がなくなり、質量歩留まりを向上させることができる。また、ガラス成形体を取り出した後の溝１４にガラスが残留することがないため、溝１４からガラスを除去する作業が不要となり、成形型１の破損を防止することができる。さらに、溝１４内にガラスが入り込まないか、入り込んでもその量が僅かであるため、ガラスと成形型１４を構成するカーボンの熱膨張差に起因する成形型の割れや反り等の発生を抑制することができ、また、ガラスの流動が大きく妨げられることもない。
【００３２】
本発明は、以上説明した実施の形態の記載内容に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能であることはいうまでもない。
【実施例】
【００３３】
次に、本発明を実施例によりさらに詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例に何ら限定されるものではない。
【００３４】
（実施例１）
図１に示すカーボン製の成形型１を用いて、ＴｉＯ２含有石英ガラス（ＴｉＯ２）を成形した。
まず、下部枠体１６上に、縦１７５ｍｍ、横１７５ｍｍ、厚さ２０ｍｍの底板１３を配置し、その上に、直径１３５ｍｍ、高さ１５９ｍｍの円柱状のＴｉＯ２含有石英ガラス（５．０ｋｇ；ＴｉＯ２含有量７質量％）を載置した。底板１３の上面には、開口幅（Ｗ）０．２ｍｍ、深さ（Ｄ）２．０ｍｍの断面矩形状の溝１４が９本、１辺に平行に、各溝間距離（Ｐ）が１５ｍｍで、最も外側の各溝１４から両側の各辺までの距離が略等しくなるように設けられている。
【００３５】
次いで、下部枠体１６上に、底板１３を取り囲むように４枚の厚さ３０ｍｍの側板１１ａを配置し、筒状体１１を組み立てた。底板１３は、下部枠体１６により、筒状体１１の下端に、筒状体１１の下端開口を閉塞するように固定されることになり、底板１３上には、１辺が１７５ｍｍ、深さ５１０ｍｍの角柱状中空部が形成される。
【００３６】
次いで、筒状体１１の上端開口より筒状体１１内に縦１７５ｍｍ、横１７５ｍｍ、厚さ１００ｍｍの天板１２を挿入するとともに、さらに、筒状体１１の上端に上部枠体１５を嵌合させ、４枚の側板１１ａの上部を固定した。
【００３７】
この後、上記成形型１を加熱炉内に設置し、加熱炉内をＡｒガス雰囲気（圧力０．１ＭＰａ）とした後、１７２５℃（設定温度）まで加熱し、１０時間保持した。その後、加熱を中止し、加熱炉内の温度を室温まで降下させた後、成形型１を開放して、内部の石英ガラスを取り出した。取り出しは円滑に行うことができた。
【００３８】
上記ＴｉＯ２含有ガラス成形体の表面を観察したところ、成形型１の底板１３に接していた面に、肉眼で確認できるガスの巻き込みによる気泡もクラックも認められなかったが、若干の表面荒れが認められたため、表面を薄く研削し、縦１７５ｍｍ、横１７５ｍｍ、高さ７１ｍｍの角柱状のＴｉＯ２含有石英ガラス成形体を得た。研削後のガラス成形体の質量は４．８ｋｇで、次式より求めた質量歩留まりは９６％であった。
質量歩留まり＝（研削後のガラス成形体質量／成形前のガラス質量）×１００（％）
【００３９】
また、ＴｉＯ２含有ガラス成形体を取り出した後の底板１３の溝１４を観察し、その溝内にガラスが残留している場合には、スクレーパ等の工具を用いて除去し、その除去に要した時間（ガラス除去作業時間）を記録するとともに、除去したガラスの体積（ガラス総残留体積）を求め、次式より、溝内のガラス残留率を算出した。また、ガラス除去後の底板１３の変形の有無についても観察した。
ガラス残留率
＝｛ガラス総残留体積（ｍｍ３）／溝の総体積（ｍｍ３）｝×１００（％）
さらに、底板１３の寿命特性を評価するため、同じ成形型１を用いて上記成形工程を複数回、底板が反り、欠け等による破損、ガラスとの反応による劣化等により使用が不可能になるまで繰り返し、その回数を調べた。
【００４０】
本実施例では、ガラスは溝１４に残留せず、ガラスの除去作業は不要であり、したがって、ガラス残留率は０％、底板１３の変形もなかった。
【００４１】
上記評価結果を、底板１３に設けたガス抜き用溝の構成とともに表１に示す。
【００４２】
（実施例２）
上面に、開口幅（Ｗ）０．４ｍｍ、深さ（Ｄ）２．０ｍｍの断面矩形状の溝１４が９本、１辺に平行に、各溝間距離（Ｐ）が１５ｍｍで、最も外側の各溝１４から両側の各辺までの距離が略等しくなるように設けられた底板１３を用いた以外は、実施例１と同様の成形型１を用いて、実施例１と同様にして、縦１７５ｍｍ、横１７５ｍｍ、高さ７１ｍｍの角柱状のＴｉＯ２含有石英ガラス成形体を得、評価した。溝の構成及び評価結果を表１に示す。
【００４３】
（実施例３）
上面に、開口幅（Ｗ）０．９ｍｍ、深さ（Ｄ）２．０ｍｍの断面矩形状の溝１４が９本、１辺に平行に、各溝間距離（Ｐ）が１５ｍｍで、最も外側の各溝１４から両側の各辺までの距離が略等しくなるように設けられた底板１３を用いた以外は、実施例１と同様の成形型１を用いて、実施例１と同様にして、縦１７５ｍｍ、横１７５ｍｍ、高さ７１ｍｍの角柱状のＴｉＯ２含有石英ガラス成形体を得、評価した。溝の構成及び評価結果を表１に示す。
【００４４】
（比較例１）
上面に、開口幅（Ｗ）２．０ｍｍ、深さ（Ｄ）２．０ｍｍの断面矩形状の溝１４が９本、１辺に平行に、各溝間距離（Ｐ）が１５ｍｍで、最も外側の各溝１４から両側の各辺までの距離が略等しくなるように設けられた底板を用いた以外は、実施例１と同様の成形型１を用いて、実施例１と同様にして、縦１７５ｍｍ、横１７５ｍｍ、高さ７１ｍｍの角柱状のＴｉＯ２含有石英ガラス成形体を得、評価した。溝の構成及び評価結果を表１に示す。
【００４５】
（比較例２）
上面に溝が全く設けられていない底板を用いた以外は実施例１と同様の成形型を用いて、実施例１と同様にして、縦１７５ｍｍ、横１７５ｍｍ、高さ７１ｍｍの角柱状のＴｉＯ２含有石英ガラス成形体を得、評価した。溝の構成及び評価結果を表１に示す。
【００４６】
【表１】
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【００４７】
表１から明らかなように、実施例１〜３では、ガラス成形体の質量歩留まりが比較例１、２に比べ大幅に向上しており、また、溝内に残るガラスの量も、開口幅１ｍｍ超の溝が設けられた比較例１に比べ大きく減少している。さらに、溝の開口幅が０．２〜０．４ｍｍと細い実施例１、２では、質量歩留まりの点でも、溝に残留するガラスの量の点でも、さらに、寿命特性の点でも、より良好な結果が得られている。なお、実施例１、２で寿命特性が向上しているのは、溝の開口部が細くガラスとの接触面積が小さいことから、溝の劣化が抑制され、その機能が保持されたからと考えられる。
【産業上の利用可能性】
【００４８】
本発明の成形方法においては、ＴｉＯ２含有石英ガラスを歩留まり良く成形でき、かつ成形型の劣化、破損も抑制できる。したがって、フォトマスク等の用途に用いられるＴｉＯ２含有石英ガラスの成形方法として有用である。
【符号の説明】
【００４９】
１…成形型、２…ＴｉＯ２含有石英ガラス、１１…筒状体、１１ａ…側板、１２…底板、１３…天板、１４…ガス抜き用溝、１５…上部枠体、１６…下部枠体。
【図１】
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【図２】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図４】
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