(57)【要約】      （修正有）【課題】外部衝撃によって容易に破損しない安定した構造のフィルタを有するインクジェットプリントヘッドを提供する。【解決手段】インクジェットプリントヘッド１００は、第１フィルター３１０が形成される振動基板１３０と、第１フィルター３１０と連結される第２フィルター３２０及び圧力室２２０が形成される流路形成基板１２０とで構成する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１フィルターが形成される振動基板と、
前記第１フィルターと連結される第２フィルター及び圧力室が形成される流路形成基板と、を含む、インクジェットプリントヘッド。
【請求項２】
前記第１フィルターと前記第２フィルターは同一の形状を有する、請求項１に記載のインクジェットプリントヘッド。
【請求項３】
前記第１フィルターは、第１方向に沿って形成される複数の第１溝を有し、
前記第２フィルターは、第２方向に沿って形成される複数の第２溝を有する、請求項１に記載のインクジェットプリントヘッド。
【請求項４】
前記第１方向と前記第２方向は互いに交差する、請求項３に記載のインクジェットプリントヘッド。
【請求項５】
前記第１フィルターは、第１大きさを有する複数の第１孔を有し、
前記第２フィルターは、第２大きさを有する複数の第２孔を有する、請求項１に記載のインクジェットプリントヘッド。
【請求項６】
前記振動基板の厚さは１．３μｍ以下である、請求項１から５の何れか１項に記載のインクジェットプリントヘッド。
【請求項７】
リストリクターとノズルが形成されるノズル形成基板を含み、
前記リストリクターは前記第１フィルターと前記圧力室を連結し、
前記ノズルは前記圧力室と連結される、請求項１から６の何れか１項に記載のインクジェットプリントヘッド。
【請求項８】
第１フィルターが形成される振動基板と、
前記第１フィルターと連結される第２フィルターが形成される第１流路形成基板と、
前記第２フィルターと連結される第３フィルターが形成される第２流路形成基板と、を含む、インクジェットプリントヘッド。
【請求項９】
前記第１フィルター、前記第２フィルター及び前記第３フィルターのうち少なくとも二つは互いに同一の形状を有する、請求項８に記載のインクジェットプリントヘッド。
【請求項１０】
前記第１フィルター、前記第２フィルター及び前記第３フィルターは互いに異なる形状を有する、請求項８に記載のインクジェットプリントヘッド。
【請求項１１】
前記第１フィルターは、第１方向に沿って形成される複数の第１溝を有し、
前記第２フィルターは、第２方向に沿って形成される複数の第２溝を有する、請求項８に記載のインクジェットプリントヘッド。
【請求項１２】
前記第１方向と前記第２方向は互いに交差する、請求項１１に記載のインクジェットプリントヘッド。
【請求項１３】
前記第３フィルターは、前記第１方向に沿って形成される複数の第３溝を有する、請求項１１に記載のインクジェットプリントヘッド。
【請求項１４】
前記第３フィルターは、前記第１方向及び前記第２方向とは異なる第３方向に沿って長く延長される複数の第３溝である、請求項１１に記載のインクジェットプリントヘッド。
【請求項１５】
前記第１フィルターは、第１大きさを有する複数の第１孔を有し、
前記第２フィルターは、第２大きさを有する複数の第２孔を有し、
前記第３フィルターは、第３大きさを有する複数の第３孔を有する、請求項８に記載のインクジェットプリントヘッド。
【請求項１６】
前記第１大きさ、前記第２大きさ及び前記第３大きさは互いに異なる、請求項１５に記載のインクジェットプリントヘッド。
【請求項１７】
前記振動基板の厚さは１．３μｍ以下である、請求項８から１６の何れか１項に記載のインクジェットプリントヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェットプリントヘッドに関し、より詳細には、安定した構造のフィルターを有するインクジェットプリントヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェットプリントヘッドは、事務用及び産業用に広く用いられている。また、インクジェットプリントヘッドの使用範囲が拡大されるにつれて、インクジェットプリントヘッドの性能も次第に向上している。
【０００３】
一例として、インクジェットプリントヘッドは、インクに含まれた異物を濾過するためのフィルターを備えることができる。このようなフィルターは振動基板に設けられてインクタンクからインクジェットプリントヘッドに供給されるインクに含まれた異物を除去することができる。
【０００４】
しかし、近年、インクジェットプリントヘッドが薄型化することで、インクジェットプリントヘッド（特に、振動基板）にフィルターを形成することが困難になっている。
【０００５】
一方、インクジェットプリントヘッドにフィルターを形成した先行技術としては特許文献１及び２が挙げられる。ここで、特許文献１は流路ユニット３０にフィルター部１２０を形成しており、特許文献２はインク供給口１３にメンブレンフィルター構造１６を形成している。しかし、特許文献１のフィルター部１２０は打ち抜き加工によって形成するものであるため、薄型化したインクジェットプリントヘッドに適用することが困難であり、特許文献２のフィルター構造１６は十分な強度を有していないため外部衝撃によって破損しやすい。
【０００６】
したがって、通常のインクジェットプリントヘッドの製造工程により形成することができ、構造的に安定したフィルター構造を有するインクジェットプリントヘッドの開発が切実に求められている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】ＪＰ２００９‐１０１６４３  Ａ
【特許文献２】ＪＰ２００５‐１７８３６４  Ａ
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、上記のような問題点を解決するためのものであり、外部衝撃によって容易に破損しない安定した構造のフィルターを有するインクジェットプリントヘッドを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するための本発明の一実施例によるインクジェットプリントヘッドは、第１フィルターが形成される振動基板と、上記第１フィルターと連結される第２フィルター及び圧力室が形成される流路形成基板と、を含むことができる。
【００１０】
本発明の一実施例によるインクジェットプリントヘッドにおいて、上記第１フィルターと上記第２フィルターは同一の形状を有することができる。
【００１１】
本発明の一実施例によるインクジェットプリントヘッドにおいて、上記第１フィルターは、第１方向に沿って長く延長される複数の第１溝であり、上記第２フィルターは、第２方向に沿って長く延長される複数の第２溝であることができる。
【００１２】
本発明の一実施例によるインクジェットプリントヘッドにおいて、上記第１溝と上記第２溝は互いに交差するように形成されることができる。
【００１３】
本発明の一実施例によるインクジェットプリントヘッドにおいて、上記第１フィルターは、第１大きさを有する複数の第１孔であり、上記第２フィルターは、第２大きさを有する複数の第２孔であることができる。
【００１４】
本発明の一実施例によるインクジェットプリントヘッドにおいて、上記振動基板の厚さは１．３μｍ以下であることができる。
【００１５】
本発明の一実施例によるインクジェットプリントヘッドは、リストリクターとノズルが形成されるノズル形成基板を含み、上記リストリクターは上記第１フィルターと上記圧力室を連結し、上記ノズルは上記圧力室と連結されることができる。
【００１６】
上記目的を達成するための本発明の他の実施例によるインクジェットプリントヘッドは、第１フィルターが形成される振動基板と、上記第１フィルターと連結される第２フィルターが形成される第１流路形成基板と、上記第２フィルターと連結される第３フィルターが形成される第２流路形成基板と、を含むことができる。
【００１７】
本発明の他の実施例によるインクジェットプリントヘッドにおいて、上記第１フィルター、上記第２フィルター及び上記第３フィルターのうち少なくとも二つは互いに同一の形状を有することができる。
【００１８】
本発明の他の実施例によるインクジェットプリントヘッドにおいて、上記第１フィルター、上記第２フィルター及び上記第３フィルターは互いに異なる形状を有することができる。
【００１９】
本発明の他の実施例によるインクジェットプリントヘッドにおいて、上記第１フィルターは、第１方向に沿って長く延長される複数の第１溝であり、上記第２フィルターは、第２方向に沿って長く延長される複数の第２溝であることができる。
【００２０】
本発明の他の実施例によるインクジェットプリントヘッドにおいて、上記第１溝と上記第２溝は互いに交差するように形成されることができる。
【００２１】
本発明の他の実施例によるインクジェットプリントヘッドにおいて、上記第３フィルターは、上記第１方向に沿って長く延長される複数の第３溝であることができる。
【００２２】
本発明の他の実施例によるインクジェットプリントヘッドにおいて、上記第３フィルターは、第３方向に沿って長く延長される複数の第３溝であることができる。
【００２３】
本発明の他の実施例によるインクジェットプリントヘッドにおいて、上記第１フィルターは、第１大きさを有する複数の第１孔であり、上記第２フィルターは、第２大きさを有する複数の第２孔であり、上記第３フィルターは、第３大きさを有する複数の第３孔であることができる。
【００２４】
本発明の他の実施例によるインクジェットプリントヘッドにおいて、上記第１孔、上記第２孔及び上記第３孔は互いに異なる大きさを有することができる。
【００２５】
本発明の他の実施例によるインクジェットプリントヘッドにおいて、上記振動基板の厚さは１．３μｍ以下であることができる。
【発明の効果】
【００２６】
本発明は、フィルターの強度を向上させることができるため、外部衝撃によってフィルターが破損又は変形する現象を軽減させることができる。
【００２７】
また、本発明は、フィルターの形成に制約を受けないため、インクジェットプリントヘッドの薄型化に有利であることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明の第１実施例によるインクジェットプリントヘッドの部分切開斜視図である。
【図２】図１に図示された振動基板の平面図である。
【図３】図１に図示された流路形成基板の平面図である。
【図４】本発明の第２実施例によるインクジェットプリントヘッドの部分切開斜視図である。
【図５】図４に図示された振動基板の平面図である。
【図６】図４に図示された流路形成基板の平面図である。
【図７】本発明の第３実施例によるインクジェットプリントヘッドの部分切開斜視図である。
【図８】図７に図示された振動基板の平面図である。
【図９】図７に図示された流路形成基板の平面図である。
【図１０】本発明の第４実施例によるインクジェットプリントヘッドの部分切開斜視図である。
【図１１】図１０に図示された振動基板の平面図である。
【図１２】図１０に図示された第１流路形成基板の平面図である。
【図１３】図１０に図示された第２流路形成基板の平面図である。
【図１４】本発明の第５実施例によるインクジェットプリントヘッドの部分切開斜視図である。
【図１５】図１４に図示された振動基板の平面図である。
【図１６】図１４に図示された第１流路形成基板の平面図である。
【図１７】図１４に図示された第２流路形成基板の平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
以下では、添付の図面を参照して本発明の好ましい実施形態について説明する。しかし、本発明の実施形態は様々な他の形態に変形されることができ、本発明の範囲は以下で説明する実施形態に限定されない。また、本発明の実施形態は、当該技術分野で平均的な知識を有する者に本発明をより完全に説明するために提供されるものである。したがって、図面における要素の形状及び大きさなどはより明確な説明のために誇張されることがある。
【００３０】
図１は本発明の第１実施例によるインクジェットプリントヘッドの部分切開斜視図であり、図２は図１に図示された振動基板の平面図であり、図３は図１に図示された流路形成基板の平面図であり、図４は本発明の第２実施例によるインクジェットプリントヘッドの部分切開斜視図であり、図５は図４に図示された振動基板の平面図であり、図６は図４に図示された流路形成基板の平面図であり、図７は本発明の第３実施例によるインクジェットプリントヘッドの部分切開斜視図であり、図８は図７に図示された振動基板の平面図であり、図９は図７に図示された流路形成基板の平面図であり、図１０は本発明の第４実施例によるインクジェットプリントヘッドの部分切開斜視図であり、図１１は図１０に図示された振動基板の平面図であり、図１２は図１０に図示された第１流路形成基板の平面図であり、図１３は図１０に図示された第２流路形成基板の平面図であり、図１４は本発明の第５実施例によるインクジェットプリントヘッドの部分切開斜視図であり、図１５は図１４に図示された振動基板の平面図であり、図１６は図１４に図示された第１流路形成基板の平面図であり、図１７は図１４に図示された第２流路形成基板の平面図である。
【００３１】
図１から図３を参照して本発明の第１実施例によるインクジェットプリントヘッドについて説明する。
【００３２】
本実施例によるインクジェットプリントヘッド１００は、ノズル形成基板１１０と、流路形成基板１２０と、振動基板１３０と、アクチュエーター１４０と、を含むことができる。また、インクジェットプリントヘッド１００は、第１フィルター３１０と、第２フィルター３２０と、をさらに含むことができる。ここで、ノズル形成基板１１０、流路形成基板１２０、振動基板１３０は、上下方向（図１におけるＺ軸方向）に沿って順に積層されることができる。
【００３３】
ノズル形成基板１１０は単結晶のシリコン基板からなることができる。しかし、ノズル形成基板１１０は、必要に応じて、ＳＯＩ（Ｓｉｌｉｃｏｎ  ｏｎ  ｉｎｓｕｌａｔｏｒ）基板からなることもできる。この場合、ノズル形成基板１１０は、シリコン基板と多数の絶縁部材が積層された積層構造物であることができる。
【００３４】
ノズル形成基板１１０には多数のノズル２１０が形成されることができる。詳細に説明すると、ノズル２１０は、ノズル形成基板１１０を上下方向に完全に貫通することができる。すなわち、ノズル２１０の深さはノズル形成基板１１０の厚さと同一又は小さくすることができる。ノズル２１０の断面の大きさは、図１に図示されたように、ノズル形成基板１１０の厚さ方向に沿って一定であることができる。しかし、ノズル２１０の断面の大きさがノズル形成基板１１０の厚さ方向に沿って必ず一定である必要はない。例えば、ノズル２１０の断面の大きさは、ノズル形成基板１１０の上面から下面に向かって徐々に縮小することができる。このように形成されるノズル２１０は、ノズル形成基板１１０の一方向（図１におけるＸ軸方向）に沿って間隔をおいて形成されることができる。
【００３５】
ノズル形成基板１１０にはリストリクター２３０とマニホールド２４０がさらに形成されることができる。リストリクター２３０は所定の深さで形成され、図１に図示されたように、圧力室２２０と連結されることができる。一方、本実施例では、リストリクター２３０がノズル形成基板１１０に形成されると説明しているが、必要に応じて、リストリクター２３０を流路形成基板１２０に形成することもできる。
【００３６】
マニホールド２４０は、リストリクター２３０によって圧力室２２０と連結されることができる。マニホールド２４０は、流路形成基板１２０の長さ方向（図１におけるＸ軸方向）に沿って長く形成されることができる。すなわち、マニホールド２４０は、流路形成基板１２０の長さ方向に沿って一体に形成され、多数の圧力室２２０と同時に連結されることができる。マニホールド２４０は図面に図示されていないが、インク供給タンクと連結されることができる。したがって、インク供給タンクのインクはマニホールド２４０を介してそれぞれの圧力室２２０に供給されることができる。
【００３７】
流路形成基板１２０は、ノズル形成基板１１０と同様に、単結晶のシリコン基板からなることができる。しかし、流路形成基板１２０は、必要に応じて、ＳＯＩ（Ｓｉｌｉｃｏｎ  ｏｎ  ｉｎｓｕｌａｔｏｒ）基板からなることもできる。この場合、流路形成基板１２０は、シリコン基板と多数の絶縁部材が積層された積層構造物であることができる。このように構成された流路形成基板１２０はノズル形成基板１１０の一面（上面）に形成されることができる。
【００３８】
流路形成基板１２０には圧力室２２０と第２フィルター３２０が形成されることができる。
【００３９】
圧力室２２０は所定の体積を有することができる。詳細に説明すると、圧力室２２０は、アクチュエーター１４０の１回作動によって吐出されることができるインクの体積と同一又はこれより大きい体積を有することができる。ここで、前者はインクの定量吐出に有利で、後者はインクジェットプリントヘッド１００の連続吐出に有利であることができる。
【００４０】
第２フィルター３２０はマニホールド２４０と連結されることができ、多数の第２孔で構成されることができる。例えば、第２フィルター３２０は流路形成基板１２０の第１方向（図１におけるＸ軸方向）と第２方向（図１におけるＹ軸方向）に沿って所定の間隔で配置される多数の第２孔からなることができる。このように構成された第２フィルター３２０は、インクに含まれた異物を除去又は軽減させることができる。
【００４１】
振動基板１３０は流路形成基板１２０に形成されることができる。詳細に説明すると、振動基板１３０は流路形成基板１２０の一面（上面）に形成されることができる。このように構成された振動基板１３０は、アクチュエーター１４０によって発生する駆動力を圧力室２２０に伝達することができる。一方、振動基板１３０の厚さ（又は高さ）は１．３μｍ以下であることができる。このように振動基板１３０の厚さを１．３μｍ以下に変更すると、アクチュエーター１４０の高さを低めてもアクチュエーター１４０の駆動力を圧力室２２０に効果的に伝達することができる。したがって、インクジェットプリントヘッド１００の全体の高さを大幅に減少させることができ、これによりインクジェットプリントヘッド１００の小型化及び薄型化を達成することができる。
【００４２】
振動基板１３０には第１フィルター３１０が形成されることができる。ここで、第１フィルター３１０は多数の第１孔で構成されることができる。例えば、第１フィルター３１０は、振動基板１３０の第１方向（図１におけるＸ軸方向）と第２方向（図１におけるＹ軸方向）に沿って所定の間隔で配置される多数の第１孔からなることができる。このように構成された第１フィルター３１０はインクに含まれた異物を除去又は軽減させることができる。
【００４３】
第１フィルター３１０は第２フィルター３２０と連結されることができる。ここで、第１フィルター３１０を構成する孔の大きさＤ１は第２フィルター３２０を構成する孔の大きさＤ２と同一であることができる。さらに、第１フィルター３１０を構成する孔同士の間隔Ｓ１は、第２フィルター３２０を構成する孔同士の間隔Ｓ２と同一であることができる。すなわち、第１フィルター３１０と第２フィルター３２０は同一の形状を有することができる。したがって、本実施例よると、第１フィルター３１０の母体となる振動基板１３０の厚さが薄くても、流路形成基板１２０の第２フィルター３２０により第１フィルター３１０の剛性が補強されることができる。
【００４４】
アクチュエーター１４０は振動基板１３０の上部に形成されることができる。アクチュエーター１４０は、圧力室２２０の長さ（Ｙ軸方向の長さ）と幅（Ｘ軸方向の長さ）に対応する大きさを有することができる。詳細に説明すると、アクチュエーター１４０の長さは圧力室２２０の長さと同一であることができ、アクチュエーター１４０の幅は圧力室２２０の幅と同一であることができる。しかし、アクチュエーター１４０と電極との容易な接続のためにアクチュエーター１４０の長さと幅を圧力室２２０の長さと幅より大きくすることができる。
【００４５】
アクチュエーター１４０は、下部電極と、圧電素子と、上部電極と、を含むことができる。下部電極は振動基板１３０の上部に形成されることができる。圧電素子は下部電極の上部に形成されることができる。詳細に説明すると、圧電素子は、圧力室２２０に対応する部分に形成されることができる。ここで、圧電素子の長さが及び幅は、圧力室の長さ及び幅と同一又は大きくすることができる。上部電極は圧電素子の上部に形成されることができる。ここで、上部電極の大きさは、圧電素子の大きさと同一又は小さくすることができる。このように構成されたアクチュエーター１４０は、下部電極と上部電極を介して供給される電流信号により圧電素子が変形されることで駆動力を発生することができる。
【００４６】
このように構成されたインクジェットプリントヘッド１００は、第１フィルター３１０と第２フィルター３２０が互いに接合される構造を有するため、振動基板１３０の厚さ及び流路形成基板１２０の厚さを大幅に減少させてもフィルター３１０、３２０の剛性を十分に保障することができる。したがって、フィルター３１０、３２０が外部の衝撃又は振動基板１３０の過度な振動によって破損する現象を著しく減少させることができる。
【００４７】
以下では本発明の他の実施例について説明する。参考までに、下記の実施例に関する説明において、上述した第１実施例と同一の構成要素は同一の図面符号を使用し、これら構成要素に関する詳細な説明は省略する。
【００４８】
図４から図６を参照して本発明の第２実施例によるインクジェットプリントヘッドについて説明する。
【００４９】
本実施例によるインクジェットプリントヘッド１００は、第１フィルター３１０及び第２フィルター３２０の構成において上述した実施例と区別される。
【００５０】
本実施例において、第１フィルター３１０と第２フィルター３２０は、互いに異なる大きさと互いに異なる配列形態を有することができる。例えば、第１フィルター３１０は、図５に図示されたように第１大きさＤ１を有する複数の第１孔からなることができる。ここで、第１孔は、Ｄ１とインク流入口（不図示）の大きさに応じて複数の列（Ｘ‐Ｙ平面基準）に形成されることができ、第１孔と第１孔との間隔は第１間隔Ｓ１であることができる。
【００５１】
これと異なり、第２フィルター３２０は、図６に図示されたようにＤ１より小さい第２大きさＤ２を有する複数の第２孔からなることができる。ここで、第２孔は、Ｄ２とインク流入口（不図示）の大きさに応じて複数の列（Ｘ‐Ｙ平面基準）に形成されることができ、第２孔と第２孔との間隔は第１間隔Ｓ１より小さい第２間隔Ｓ２であることができる。一方、第１フィルター３１０を構成する第１孔の第１大きさＤ１と第１間隔Ｓ１は第２フィルター３２０を構成する第２孔と部分的に重なるように決定されることができる。
【００５２】
このように構成されたインクジェットプリントヘッド１００は、第１フィルター３１０と第２フィルター３２０による異物除去効果を極大化させることができる。さらに、本インクジェットプリントヘッド１００は、第１フィルター３１０と第２フィルター３２０が互いに部分的に重なって支持する構造を有するため、振動基板１３０の厚さを減少させても第１フィルター３１０が破損する現象を軽減させることができる。
【００５３】
図７から図９を参照して本発明の第３実施例によるインクジェットプリントヘッドについて説明する。
【００５４】
本実施例によるインクジェットプリントヘッド１００は、第１フィルター３１０と第２フィルター３２０の形状において上述した実施例と区別される。
【００５５】
本実施例において、第１フィルター３１０は、図８に図示されたようにＸ軸方向に沿って長く延長される第１溝であることができる。第１溝は、第１長さＬ１と第１幅Ｗ１を有する略長方形の溝であることができ、Ｘ軸方向に沿って所定間隔で配列されることができる。ここで、第１溝と第１溝の第１間隔はＳ１であることができる。
【００５６】
これと異なり、第２フィルター３２０は、図９に図示されたようにＹ軸方向に沿って長く延長される第２溝であることができる。第２溝は第２長さＬ２と第２幅Ｗ２を有する略長方形の溝であることができ、Ｘ軸方向に沿って所定間隔で配列されることができる。ここで、第２溝と第２溝の第２間隔はＳ２であることができる。
【００５７】
このように構成されたインクジェットプリントヘッド１００は、第１フィルター３１０と第２フィルター３２０が長方形であるため、フィルターの加工が容易であることができる。
【００５８】
図１０から図１３を参照して本発明の第４実施例によるインクジェットプリントヘッドについて説明する。
【００５９】
本実施例によるインクジェットプリントヘッド１００は、三つのフィルター３１０、３２０、３３０を含む点において上述した実施例と区別される。このために流路形成基板１２０は、第１流路形成基板１２２と第２流路形成基板１２４からなることができる。詳細に説明すると、第１フィルター３１０は振動基板１３０に形成され、第２フィルター３２０は第２流路形成基板１２４に形成され、第３フィルター３３０は第１流路形成基板１２２に形成されることができる。
【００６０】
ここで、第１フィルター３１０を構成する第１孔の大きさＤ１及び第１孔同士の第１間隔Ｓ１は、第２フィルター３２０を構成する第２孔の大きさＤ２及び第２孔同士の第２間隔Ｓ２、及び第３フィルター３３０を構成する第３孔の大きさＤ３及び第３孔同士の第３間隔Ｓ３と相違することができる。
【００６１】
参考までに、添付の図面では、第１孔は第２孔及び第３孔より大きく、第２孔は第３孔より大きい。さらに、第１間隔Ｓ１は第２間隔Ｓ２及び第３間隔Ｓ３より大きく、第２間隔Ｓ２は第３間隔Ｓ３より大きい。しかし、これは単なる例示的な形態であるため、これと異なる組み合わせに変更することもできる。
【００６２】
図１４から図１７を参照して本発明の第５実施例によるインクジェットプリントヘッドについて説明する。
【００６３】
本実施例によるインクジェットプリントヘッド１００は、フィルター３１０、３２０、３３０の形状において上述した第４実施例と区別される。詳細に説明すると、フィルター３１０、３２０、３３０は、一方向に長く延長された溝形状であることができる。ここで、第１フィルター３１０を構成する第１溝の大きさ（長さＬ１及び幅Ｗ１）及び間隔は、第３実施例による第１溝と同一であり、第２フィルター３２０を構成する第２溝の大きさ（長さＬ２及び幅Ｗ２）及び間隔は、第３実施例による第２溝と同一であることができる。
【００６４】
一方、第３フィルター３３０を構成する第３溝は、第１溝と同一の方向（Ｘ軸方向）に延長される長方形であることができる。また、第３溝は、第１溝及び第２溝とは異なる方向（第３方向）に延長されることができる。ただし、第３溝の大きさ（長さＬ３及び幅Ｗ３）及び間隔は、第２溝の大きさ及び間隔とほぼ同一であることができる。
【００６５】
このように構成された第４及び第５実施例によるインクジェットプリントヘッド１００は、三つのフィルター３１０、３２０、３３０が互いに交差するように配置されるため、フィルターによる異物除去効果を極大化することができる。さらに、フィルター３１０、３２０、３３０の脆弱部分が下部に位置した他のフィルターによって支持されるため、フィルター３１０、３２０、３３０部分の強度を向上させることができる。したがって、本実施例よると、振動基板１３０及び流路形成基板１２０（１２２、１２４）の厚さを大幅に減少させすることができ、これによりインクジェットプリントヘッド１００の薄型化を効果的に達成することができる。
【００６６】
以上、本発明の実施形態について詳細に説明したが、本発明の権利範囲はこれに限定されず、特許請求の範囲に記載された本発明の技術的思想から外れない範囲内で多様な修正及び変形が可能であるということは、当技術分野の通常の知識を有する者には明らかである。
【符号の説明】
【００６７】
１００  インクジェットプリントヘッド
１１０  ノズル形成基板
１２０  流路形成基板
１３０  振動基板
１４０  アクチュエーター
２１０  ノズル
２２０  圧力室
２３０  リストリクター
３１０  第１フィルター
３２０  第２フィルター
３３０  第３フィルター
【図１】
2014111348.tif 000003
【図２】
2014111348.tif 000004
【図３】
2014111348.tif 000005
【図４】
2014111348.tif 000006
【図５】
2014111348.tif 000007
【図６】
2014111348.tif 000008
【図７】
2014111348.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【手続補正書】
【提出日】平成26年1月8日(2014.1.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１フィルターが形成される振動基板と、
前記第１フィルターと連結される第２フィルター及び圧力室が形成される流路形成基板と、
リストリクターと、ノズルとが形成されるノズル形成基板と、
を含み、
前記リストリクターは前記第２フィルターと前記圧力室を連結し、
前記ノズルは前記圧力室と連結される、インクジェットプリントヘッド。
【請求項２】
前記第１フィルターと前記第２フィルターは同一の形状を有する、請求項１に記載のインクジェットプリントヘッド。
【請求項３】
前記第１フィルターは、第１方向に沿って形成される複数の第１長孔を有し、
前記第２フィルターは、第２方向に沿って形成される複数の第２長孔を有する、請求項１に記載のインクジェットプリントヘッド。
【請求項４】
前記第１方向と前記第２方向は互いに交差する、請求項３に記載のインクジェットプリントヘッド。
【請求項５】
前記第１フィルターは、第１大きさを有する複数の第１孔を有し、
前記第２フィルターは、第２大きさを有する複数の第２孔を有する、請求項１に記載のインクジェットプリントヘッド。
【請求項６】
前記振動基板の厚さは１．３μｍ以下である、請求項１から５の何れか１項に記載のインクジェットプリントヘッド。
【請求項７】
第１フィルターが形成される振動基板と、
前記第１フィルターと連結される第２フィルター及び圧力室が形成される第１流路形成基板と、
前記第２フィルターと連結される第３フィルターが形成される第２流路形成基板と、
リストリクターと、マニホールドと、ノズルとが形成されるノズル形成基板と、
を含み、
前記マニホールドは前記第３フィルターと前記リストリクターとを連結し、
前記ノズルは前記圧力室と連結される、インクジェットプリントヘッド。
【請求項８】
前記第１フィルター、前記第２フィルター及び前記第３フィルターのうち少なくとも二つは互いに同一の形状を有する、請求項７に記載のインクジェットプリントヘッド。
【請求項９】
前記第１フィルター、前記第２フィルター及び前記第３フィルターは互いに異なる形状を有する、請求項７に記載のインクジェットプリントヘッド。
【請求項１０】
前記第１フィルターは、第１方向に沿って形成される複数の第１長孔を有し、
前記第２フィルターは、第２方向に沿って形成される複数の第２長孔を有する、請求項７に記載のインクジェットプリントヘッド。
【請求項１１】
前記第１方向と前記第２方向は互いに交差する、請求項１０に記載のインクジェットプリントヘッド。
【請求項１２】
前記第３フィルターは、前記第１方向に沿って形成される複数の第３長孔を有する、請求項１０に記載のインクジェットプリントヘッド。
【請求項１３】
前記第３フィルターは、前記第１方向及び前記第２方向とは異なる第３方向に沿って長く延長される複数の第３長孔である、請求項１０に記載のインクジェットプリントヘッド。
【請求項１４】
前記第１フィルターは、第１大きさを有する複数の第１孔を有し、
前記第２フィルターは、第２大きさを有する複数の第２孔を有し、
前記第３フィルターは、第３大きさを有する複数の第３孔を有する、請求項７に記載のインクジェットプリントヘッド。
【請求項１５】
前記第１大きさ、前記第２大きさ及び前記第３大きさは互いに異なる、請求項１４に記載のインクジェットプリントヘッド。
【請求項１６】
前記振動基板の厚さは１．３μｍ以下である、請求項７から１５の何れか１項に記載のインクジェットプリントヘッド。