(57)【要約】【課題】側面に開口した溝を有する溝付き板状ワーク溝から吸引力がもれないように溝付き板状ワークを吸引保持して搬送することを目的とする。【解決手段】保持テーブル２に保持され裏面Ｗｂ側に表出した溝Ｇを有する溝付き板状ワークＷを搬送手段４によって搬出する際に、搬送パッド４０の保持面４００において溝付き板状ワークＷの裏面Ｗｂを吸引するとともに、水供給手段５の供給口５１から側面Ｗｃに水９を供給し続けることにより水９によって溝Ｇを封止し、溝Ｇから吸引力がもれるのを防ぎ、溝付き板状ワークＷを確実に吸引保持する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面に溝が形成され該表面に保護テープが貼着された溝付き板状ワークの該表面を該保護テープを介して保持する保持テーブルと、該保持テーブルに保持された溝付き板状ワークの裏面を研削し該溝を該裏面側から表出させる研削手段と、該研削手段により研削された溝付き板状ワークの該裏面を吸引保持して該保持テーブルから溝付き板状ワークを搬出する搬出手段と、を少なくとも備える研削装置を用いて溝付き板状ワークを該保持テーブルから搬出する搬出方法であって、
該搬出手段は、溝付き板状ワークを吸引保持する保持面を有する搬送パッドと、該保持面と吸引源との間の連通と遮断とを切り替える第１の開閉バルブと、該搬送パッドを上下動作させる上下駆動部と、により少なくとも構成され、
該保持テーブルが保持する溝付き板状ワークの裏面に該搬送パッドの該保持面が接触したときに該溝付き板状ワークの側面に水を供給する水供給手段が該搬送パッドの外周側に配設され、
該水供給手段は、該搬送パッドの外周側から水を放出する供給口と、
該供給口と水供給源とを連通させる供給路と、
該供給路に配設され該供給路を開閉する第２の開閉バルブと、から少なくとも構成されており、
該上下駆動部の駆動により該保持テーブルが保持する研削加工後の溝付き板状ワークの裏面に該搬送パッドの該保持面を接触させ、該第１の開閉バルブを開き該搬送パッドの該保持面が吸引源に連通して該保持面が溝付き板状ワークの裏面を吸引する吸引工程と、
該吸引工程を継続しつつ、該水供給手段の該第２の開閉バルブを開き該供給口から該溝付き板状ワークの側面に水を供給し、該搬送パッドによって該溝付き板状ワークを吸引保持するワーク吸引保持工程と、
該ワーク吸引保持工程を継続しつつ、該保持テーブルによる該溝付き板状ワークの保持を解除するとともに該上下駆動部によって該搬送パッドを上昇させ、該溝付き板状ワークを該保持テーブルから搬出する搬出工程と、からなる搬出方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、板状ワークを搬送する搬送方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
板状ワークの面を研削する研削装置では、被研削面に研削砥石を接触させて板状ワークを研削加工した後、搬送パッドが板状ワークの研削面に接触するとともに搬送パッドの保持面で板状ワークを吸引保持し、例えば研削装置に備えるスピンナー装置に当該板状ワークを搬送する。
【０００３】
搬送パッドとしては、例えば、円形の板状ワークを吸引保持する保持面を有する保持部と、この保持部の周方向に沿ってリング状のシャワー部とを備えたものがある。そして、シャワー部から水を板状ワークの裏面に供給して板状ワークにコンタミが付着するのを防止しつつ、保持部の保持面において板状ワークを吸引保持することができる（例えば、下記の特許文献１及び特許文献２を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０００−２０８５９３号公報
【特許文献２】特開２０１０−１１４３５３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、表面に溝が形成された板状ワークの裏面を研削することにより当該溝が裏面から表出している場合は、裏面側については搬送パッドによって溝を塞いだ状態で保持することができるものの、当該溝が板状ワークの側面側に開口していると、当該溝が開口している部分から吸引力がもれるという問題がある。そして、上記のように搬送パッドのシャワー部から水を放出しても、その水は搬送パッドの保持面に対して略垂直に流れるため、板状ワークの溝から吸引力がもれてしまい、板状ワークを吸引保持することができないという問題がある。
【０００６】
本発明は、上記の事情にかんがみてなされたものであり、側面において開口した溝を有する溝付き板状ワークの搬送時に、搬送パッドの保持面が吸引保持する溝付き板状ワークの溝から吸引力がもれないようにすることに発明の解決すべき課題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、表面に溝が形成され該表面に保護テープが貼着された溝付き板状ワークの表面を該保護テープを介して保持する保持テーブルと、該保持テーブルに保持された溝付き板状ワークの裏面を研削し該溝を該裏面側から表出させる研削手段と、該研削手段により研削された溝付き板状ワークの該裏面を吸引保持して該保持テーブルから溝付き板状ワークを搬出する搬出手段と、を少なくとも備える研削装置を用いて溝付き板状ワークを該保持テーブルから搬出する搬出方法であって、該搬出手段は、溝付き板状ワークを吸引保持する保持面を有する搬送パッドと、該保持面と吸引源との間の連通と遮断とを切り替える第１の開閉バルブと、該搬送パッドを上下動作させる上下駆動部と、により少なくとも構成され、該保持テーブルが保持する溝付き板状ワークの裏面に該搬送パッドの該保持面が接触したときに該溝付き板状ワークの側面に水を供給する水供給手段が該搬送パッドの外周側に配設され、該水供給手段は、該搬送パッドの外周側から水を放出する供給口と、該供給口と水供給源とを連通させる供給路と、該供給路に配設され該供給路を開閉する第２の開閉バルブと、から少なくとも構成されており、該上下駆動部の駆動により該保持テーブルが保持する研削加工後の溝付き板状ワークの裏面に該搬送パッドの該保持面を接触させ、該第１の開閉バルブを開き該搬送パッドの該保持面が吸引源に連通して該保持面が溝付き板状ワークの裏面を吸引する吸引工程と、該吸引工程を継続しつつ、該水供給手段の該第２の開閉バルブを開き該供給口から該溝付き板状ワークの側面に水を供給し、該搬送パッドによって溝付き板状ワークを吸引保持するワーク吸引保持工程と、該ワーク吸引保持工程を継続しつつ、該保持テーブルによる溝付き板状ワークの保持を解除するとともに該上下駆動部によって該搬送パッドを上昇させ、溝付き板状ワークを該保持テーブルから搬出する搬出工程と、により溝付き板状ワークを搬送する。
【発明の効果】
【０００８】
本発明にかかる搬送方法では、搬出手段による溝付き板状ワークの搬出中に、水供給手段によって溝付き板状ワークの側面に水を供給し続けるため、溝付き板状ワークの溝から吸引力がもれるのを防ぐことができる。したがって、溝付き板状ワークを確実に保持することができ、搬出中に溝付き板状ワークが落下したりすることがない。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】研削装置の構成を示す断面図である。
【図２】研削装置に備える搬出手段の構成を示す斜視図である。
【図３】溝付き板状ワークの構成を示す斜視図である。
【図４】吸引工程を実施する状態を示す断面図である。
【図５】吸引工程を継続しつつ、ワーク吸引保持工程を実施する状態を示す断面図である。
【図６】ワーク吸引保持工程を継続しつつ、搬出工程を実施する状態を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
図１に示す研削装置１は、表面に溝が形成された被加工物の面を研削することによって当該溝を裏面側から露出させて個々のデバイスを形成することができる研削装置である。研削装置１は、被加工物の表面を保持する保持テーブル２と、保持テーブル２に保持された被加工物の裏面を研削して表面に形成された溝を裏面側から表出させる研削手段３と、研削手段３によって研削された被加工物の裏面を吸引保持して保持テーブル２から被加工物を搬出する搬出手段４と、を少なくとも備えている。
【００１１】
保持テーブル２は、多孔質部材により形成された保持部２０を有しており、保持部２０の上面側が被加工物を吸引保持する保持面２１となっている。保持部２０の下端には、エアーが流れる流路２２が形成されている。保持部２０は、バルブ２３を介して吸引源２４に接続されており、バルブ２３を開いた状態では、保持部２０に作用する吸引力によって被加工物を下方から吸引保持することができる。また、保持部２０は、バルブ２５を介して供給源２６に接続されており、バルブ２５を開いた状態では、供給源２６から保持面２１に保持された被加工物の下方にむけてエアーを供給することができる。
【００１２】
研削手段３は、スピンドル３０と、スピンドル３０の下部にマウント３１を介して装着された研削ホイール３２と、研削ホイール３２の下部に環状に固着された砥石３３と、を少なくとも備えており、砥石３３によって被加工物を押圧しながら被加工物を研削することができる。
【００１３】
搬出手段４は、被加工物を吸引保持する保持部材４０ａ及び保持部材４０ａを支持する枠体４０ｂを有する搬送パッド４０を備えている。保持部材４０ａの下面は被加工物を吸引保持する保持面４００となっている。また、搬出手段４には、保持面４００と吸引源４６との間の連通と遮断とを切り替える第１の開閉バルブ４３と、搬送パッド４０を上下動作させる上下駆動部４４とにより少なくとも構成されている。搬送パッド４０を構成する保持部材４０ａは、例えば、多孔質部材により形成されている。
【００１４】
図１に示すように、搬送パッド４０には、連結部４１を介して搬送アーム４２が連結されている。保持パッド４０の中央部分には、保持面４００と吸引源４６とを連通させる吸引路４５が形成されており、吸引路４５に第１の開閉バルブ４３が配設されている。吸引源４６の作動とともに第１の開閉バルブ４３を開くと、吸引源４６と搬送パッド４０の保持面４００とが連通し、保持面４００に吸引作用を生じさせることができる。
【００１５】
搬送アーム４２の一端には、鉛直方向にのびる支持部７が接続されており、これに昇降部６を介して上下駆動部４４が配設されている。上下駆動部４４は、鉛直方向にのびるボールネジ４４０と、ボールネジ４４０の一端に接続されたモータ４４１とにより構成されている。そして、モータ４４１によって駆動されてボールネジ４４０が回動すると、昇降部６が上下方向（Ｚ軸方向）に移動することにより、搬送パッド４０をＺ軸方向に動作させることができる。さらに、搬出手段４には、移動駆動部８が備えてあり、搬送パッド４０を水平方向（Ｘ軸方向）に移動させることができる。
【００１６】
図１及び図２に示すように、搬送パッド４０の外周側には水供給手段５が配設されている。水供給手段５は、ハウジング５０と、搬送パッド４０の外周側から水を放出可能な環状の供給口５１と、水供給源５４と供給口５１とを連通させる供給路５２と、供給路５２に配設され供給路５２を開閉する第２の開閉バルブ５３と、から少なくとも構成されている。
【００１７】
図１に示す搬送パッド４０の外周部４０１の下部には、傾斜面を有する傾斜部４０２が形成されており、傾斜部４０２に沿って供給口５１が配置されている。図２（ａ）に示す水供給源５４が作動するとともに第２の開閉バルブ５３を開くと、供給路５２に水が流れ込み供給口５１から水が放出される。そして、図２（ｂ）に示す傾斜部４０２に沿って水が流れていくため、保持面４００に吸引保持された被加工物の側面にむけて水を供給することが可能となる。
【００１８】
以下では、研削装置１を用いた被加工物の搬出方法について説明する。図３（ａ）に示す被加工物である溝付き板状ワークＷは、その表面Ｗａ側に裏面Ｗｂまで貫通しない格子状の溝Ｇが形成され、溝Ｇによって区画されて複数のデバイスＤが形成されている。溝付き板状ワークＷの側面Ｗｃには、結晶方位を識別するためのノッチＮが形成されている。溝付き板状ワークＷを研削する際には、図３（ｂ）に示すように、表面Ｗａに保護テープＴを貼着し、表面Ｗａと反対側にある面である裏面Ｗｂを上向きにして露出させ、図１に示した研削手段３によって溝付き板状ワークＷの裏面Ｗｂを研削して溝Ｇを表出させる。
【００１９】
（１）  吸引工程
図４に示すように、研削後の溝付き板状ワークＷは、溝Ｇが裏面Ｗｂ側から表出し、裏面Ｗｂが上向きに露出している。バルブ２３は開いた状態となっており、溝付き板状ワークＷの表面Ｗａ側は、吸引源２４からの吸引力により吸引保持されている。上下駆動部４４は、モータ４４１の駆動によりボールネジ４４０を回動させ、搬送パッド４０を溝付き板状ワークＷの裏面Ｗｂにむけて、例えば矢印Ｚ１方向に下降させる。
【００２０】
そして、図５に示すように、搬送パッド４０の保持面４００が溝付き板状ワークＷの裏面Ｗｂに接触した時点で、搬出手段４は、吸引源４６を作動させるとともに第１の開閉バルブ４３を開き、搬送パッド４０の保持面４００によって溝付き板状ワークＷの裏面Ｗｂを吸引する。
【００２１】
（２）ワーク吸引保持工程
吸引工程を継続しながら、水供給手段５によって図３に示した溝付き板状ワークＷの溝Ｇから吸引力がもれないようにワーク吸引保持を実施する。具体的には、図５に示す水供給手段５は、水供給源５４の作動とともに第２の開閉バルブ５３を開き、水９を供給路５２に供給する。
【００２２】
図５の部分拡大図に示すように、供給路５２に供給された水９は、環状の供給口５１から放出され、傾斜部４０２に沿って流れる。傾斜部４０２に沿って流れた水９は、溝付き板状ワークＷの側面Ｗｃにむけて供給されるため、溝付き板状ワークＷの側面Ｗｃは、水９によって封止される。したがって、保持面４００に吸引された溝付き板状ワークＷの溝Ｇから吸引力がもれることがない。
【００２３】
（３）搬出工程
ワーク吸引保持工程を継続しながら、溝付き板状ワークＷを保持テーブル２から搬出する。まず、図５に示す保持テーブル２は、バルブ２３を閉じて溝付き板状ワークＷの吸引保持を解除する。次いで、保持テーブル２は、供給源２６の作動とともにバルブ２５を開いてエアーを溝付き板状ワークＷの表面Ｗａにむけて供給する。これにより、エアーの圧力によって溝付き板状ワークＷが保持面２１から離反しやすい状態となる。
【００２４】
次に、図６に示す上下駆動部４４は、モータ４４１の駆動によりボールネジ４４０を回動させ、溝付き板状ワークＷを吸引保持した搬送パッド４０を矢印Ｚ２方向に上昇させる。さらに、移動駆動部８によって、溝付き板状ワークＷを保持した搬送パッド４０を、例えば矢印Ｘ１方向に移動させる。溝付き板状ワークＷの搬出中は、図６の部分拡大図に示すように、供給口５１から水９を溝付き板状ワークＷの側面Ｗｃに供給し続ける。このようにして、溝付き板状ワークＷを保持テーブル２から搬出する。
【００２５】
以上のように、本発明では、搬出手段４による溝付き板状ワークＷの搬出中に、水供給手段５によって溝付き板状ワークＷの側面Ｗｃに水９を供給し続けるため、溝付き板状ワークＷの溝Ｇから吸引力がもれることがなくなり、溝付き板状ワークＷを確実に保持することができる。
【００２６】
なお、本実施形態に示した水供給手段５を構成する供給口５１は、環状に形成されているが、この構成に限定されるものではない。例えば、ハウジング５０の周方向に複数の供給口を形成するようにしてもよい。
【符号の説明】
【００２７】
１：研削装置
２：保持テーブル
２０：保持部  ２１：保持面  ２２：流路  ２３：バルブ  ２４：吸引源
２５：バルブ  ２６：供給源
３：研削手段  ３０：スピンドル  ３１：マウント  ３２：研削ホイール  ３３：砥石
４：搬出手段  ４０：搬送パッド  ４０ａ：保持部材  ４０ｂ：枠体
４００：保持面  ４０１：外周部  ４０２：傾斜部
４１：連結部
４２：搬送アーム
４３：第１の開閉バルブ
４４：上下駆動部  ４４０：ボールネジ  ４４１：モータ  
４５：吸引路
４６：吸引源
５：水供給手段  ５０：ハウジング  ５１：供給口  ５２：供給路  ５３：第２の開閉バルブ５４：水供給源
６：昇降部
７：支持部
８：移動駆動部
９：水
Ｗ：溝付き板状ワーク  Ｗａ：表面  Ｗｂ：裏面  Ｗｃ：側面
Ｔ：保護テープ  Ｄ：デバイス  Ｇ：溝  Ｎ：ノッチ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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