(57)【要約】【課題】検査対象物の内部に存在する異物およびその異物の量をより正確に検出し、検査対象物の良品判定をより高精度に行なうことが可能な異物検査装置および異物検査方法を得る。【解決手段】異物検査装置１００ａは、試料台３と、照明部１ａと、照明部１ａの光を検出する検出部２とを備える。検出部２は、照明部１ａからの光１１ａの進行方向と異なる直線上にある散乱方向Ａ，Ｂに散乱された光１１ｂを検出可能な位置に配置される。検出部２は散乱方向に沿う方向に試料台３に対して相対的に移動してピントを調整することにより、撮影された異物１２の存在および異物１２の位置を検出可能である。【選択図】図３
2014185903.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象物を載置可能な試料台と、
前記検査対象物内に光を照射する照明部と、
前記照明部が前記検査対象物内に照射した光を検出する検出部とを備え、
前記検出部は、前記照明部から前記検査対象物に向かう照射方向に進行する光のうち前記検査対象物内の異物により前記照射方向と異なる直線上にある散乱方向に散乱された光を検出可能な位置に配置され、
前記検出部は前記検査対象物内を撮影する撮影装置を含み、前記撮影装置は、前記散乱方向に沿う方向に前記試料台に対して相対的に移動してピントを調整することにより前記撮影装置が撮影した異物の存在および前記異物の位置を検出可能である、異物検査装置。
【請求項２】
前記散乱方向が前記照射方向と垂直であり、前記照射方向は前記試料台の主面に沿う方向である、請求項１に記載の異物検査装置。
【請求項３】
前記試料台は光吸収性の材料により構成されている、請求項１または２に記載の異物検査装置。
【請求項４】
前記試料台には、前記検査対象物を固定する試料固定部と、前記照明部を固定する照明固定部とに挟まれた、前記検査対象物を載置するための対象物設置部が形成され、
前記対象物設置部の前記照射方向に関する寸法をＬ1、前記対象物設置部の前記散乱方向に関する寸法をＴ1、前記照明部から前記検査対象物に照射される光の前記散乱方向に関する高さをｔ、前記光の前記検査対象物内において前記照射方向に対して広がる角度をθとすれば、
Ｌ1≦（Ｔ1−ｔ）／（２ｔａｎθ）である、請求項１〜３のいずれか１項に記載の異物検査装置。
【請求項５】
前記照明部は複数の光源を含み、
複数の前記光源のそれぞれから前記照射方向に進行する光が集光可能である、請求項１〜４のいずれか１項に記載の異物検査装置。
【請求項６】
前記検査対象物の合否を判定可能な判定部をさらに備え、
前記判定部は、前記撮影装置が撮影する撮影像に検出される前記検査対象物内の異物の検出個数と前記撮影像内の異物の撮影面積との少なくともいずれかを検出した結果をもとに前記検査対象物の合否を判定可能である、請求項１〜５のいずれか１項に記載の異物検査装置。
【請求項７】
検査対象物を準備する工程と、
前記検査対象物内に光を照射する工程と、
検出部により前記検査対象物内に照射した光を検出する工程とを備え、
前記光を検出する工程は、光を照射する照明部から前記検査対象物に向かう照射方向に照射され前記検査対象物内の異物により前記照射方向と異なる直線上の散乱方向に散乱された光を検出する工程と、前記検査対象物を載置可能な試料台に対して前記検出部を前記散乱方向に沿う方向に相対的に移動することにより前記異物に対するピントを調整する工程とを含む、異物検査方法。
【請求項８】
前記散乱方向が前記照射方向と垂直であり、前記照射方向は前記試料台の主面に沿う方向である、請求項７に記載の異物検査方法。
【請求項９】
前記検査対象物の前記照明部と対向する面の領域および前記検出部と対向する面以外の面の少なくとも一部は光吸収性の材料で覆われている、請求項７または８に記載の異物検査方法。
【請求項１０】
前記検査対象物のうち前記照明部と対向する照明部対向面は前記照射方向に垂直であり、前記照明部対向面は鏡面を形成している、請求項７〜９のいずれか１項に記載の異物検査方法。
【請求項１１】
前記異物に対するピントを調整する工程は、前記検査対象物の前記散乱方向に交差する一方の面に第１のマークを付する工程と、前記一方の面に対向する他方の面に第２のマークを付する工程と、前記検出部を前記試料台に対して前記散乱方向に沿う方向に相対的に移動させることにより前記第１および第２のマークの間の位置に存在する前記異物にピントを合わせる工程と、前記試料台に対して前記検出部を相対的に移動させた距離から前記異物の位置を導出する工程とを有する、請求項７〜１０のいずれか１項に記載の異物検査方法。
【請求項１２】
前記異物に対するピントを調整する工程は、前記異物により散乱された光の画像を、あらかじめ準備された異物にピントが合ったときのサンプル画像と比較することにより、前記異物に対してピントが合ったかどうかを判別する工程を有する、請求項７〜１０のいずれか１項に記載の異物検査方法。
【請求項１３】
前記異物に対するピントを調整する工程は、前記異物により散乱された光の画像の輪郭のサイズが最小となるように、前記検出部を前記試料台に対して前記散乱方向に沿う方向に相対的に移動させることにより前記異物に対するピントを合わせる工程を有する、請求項７〜１０のいずれか１項に記載の異物検査方法。
【請求項１４】
前記試料台に対して前記検出部を相対的に移動させた距離から前記異物の位置を導出する工程をさらに有する、請求項１２または１３に記載の異物検査方法。
【請求項１５】
前記検査対象物の前記照射方向に関する寸法をＬ2、前記検査対象物の前記散乱方向に関する寸法をＴ2、前記照明部から前記検査対象物に照射される光の前記散乱方向に関する高さをｔ、前記光の前記検査対象物内において前記照射方向に対して広がる角度をθとすれば、
Ｌ2≦（Ｔ2−ｔ）／（２ｔａｎθ）である、請求項７〜１４のいずれか１項に記載の異物検査方法。
【請求項１６】
前記光を検出する工程の後、
前記検出部による撮影像に検出される前記検査対象物内の異物の検出個数と前記撮影像内の異物の撮影面積との少なくともいずれかを算出する工程と、
前記異物の検出個数と前記異物の撮影面積との少なくともいずれかをあらかじめ設定しておいた基準値と比較する工程と、
前記比較する工程において導き出された結果に基づいて前記検査対象物の合否を判定し前記検査対象物を選別する工程をさらに備える、請求項７〜１５のいずれか１項に記載の異物検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は異物検査装置および異物検査方法に関し、特に検査対象物内の微小な異物を高精度に検出可能な異物検査装置および異物検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
光学センサに用いられるレンズなどの光学部品は、内部に異物が発生すると使用上問題となる場合がある。具体的には、たとえば光学部品の内部または表面に異物が存在し、それにより光学センサの光路上に異物が存在すれば、異物の存在する個所が陰となり、部分的に光量が所望の量よりも低下する場合がある。また異物の存在により光が散乱すれば上記と逆に光量が所望の量よりも増加する場合がある。このように局所的に光量が所望の量に対して増減すれば、当該光学部品を有する光学センサの光量検出精度が劣化し、当該光学センサの信頼性が低下する。このように光学部品の内部の異物の存在は光学部品の製品不良につながるため、光学部品の異物検査を行なう要請がある。当該光学部品を用いる光学センサが高精度になれば、その分だけ当該光学センサに用いる光学部品において検出すべき対象となる異物が微小になる。
【０００３】
ところが特に検出すべき異物が微小となれば、光学部品などの検査対象物の内部などに存在する異物と、検査対象物自体に含まれる粒子との判別が困難になる可能性がある。そこでたとえば特開２００３−６５９６６号公報（特許文献１）では、照明光の照射角および波長が異なる斜方照明と落射照明との２系統の検出光学系を備えることにより、２種類の大きさや材質の異なる異物を分別するように検出可能な検査装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−６５９６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１においては、斜方照明光が樹脂種の塊異物を導電性粒子から区別して検出し、波長が制御された落射照明光が金属種の異物を導電性粒子から区別して検出することができる。しかし特許文献１の検査装置による検査では、特に落射照明光が検査対象物の表面および外部など、検査時に検出しようとしていない領域において強い強度で反射する。つまり特許文献１においては意図せず強い反射光が検出されるため、異物により散乱された本来検出されるべき光が上記反射光に埋もれて検出されにくくなる可能性がある。これは特許文献１においては検出すべき異物により散乱された光と、検査対象物の表面および外部から乱反射する光との判別について考慮されていないためである。したがって特許文献１のような従来の検査装置では、たとえば検査対象物の表面および外部の異物により乱反射する光を不必要に検出すれば、実際にはその検査対象物は良品であるのに不良品であると判定するなど、検査結果に影響を及ぼす可能性がある。
【０００６】
また、光学部品の内部に存在する異物が単体では上記の光量検出精度に影響を及ぼさない程度の極めて微小なものであっても、複数の微小な異物が異物検査を行なう検査装置の投影面上で偶然に一体となるように連なった場合、それら複数の微小な異物が大きな単一の異物として検出され、当該異物を含む光学部品が不良品と判定される可能性がある。特許文献１のような従来の検査装置においてはこのように実際の異物よりも大きな異物として検出される可能性に対する考慮がなされていない。
【０００７】
この発明は、上述のような課題を解決するためになされたもので、その目的は、検査対象物の内部に存在する異物およびその異物の個数をより正確に検出し、検査対象物の良品判定をより高精度に行なうことが可能な異物検査装置および異物検査方法を得ることである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この発明に係る異物検査装置においては、試料台と、照明部と、照明部の光を検出する検出部とを備える。検出部は、照明部からの光の進行方向と異なる直線上にある散乱方向に散乱された光を検出可能な位置に配置される。検出部は散乱方向に沿う方向に試料台に対して相対的に移動してピントを調整することにより、撮影された異物の存在および異物の位置を検出可能である。
【０００９】
この発明に係る異物検査方法においては、検査対象物内に光が照射され、検出部により当該光が検出される。光が検出される工程には、照明部から検査対象物に向かう照射方向に照射され検査対象物内の異物により照射方向と異なる直線上の散乱方向に散乱された光を検出する工程と、検査対象物を載置可能な試料台に対して検出部を散乱方向に沿う方向に相対的に移動することにより異物に対するピントを調整する工程とを含む。
【発明の効果】
【００１０】
この発明は、検査対象物内の異物により照射方向と異なる直線上の散乱方向に散乱された光のみを検出可能な構成を有することにより、検査対象物内の異物の個数および位置を正確に検出し、検査対象物の良品／不良品の判定をより高精度に行なうことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】この発明の実施の形態１を示す異物検査装置の概略斜視図である。
【図２】図１の照明部の構成を詳細に示す概略断面図である。
【図３】図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿う部分の概略断面図である。
【図４】この発明の実施の形態１の異物検査方法を示すフローチャートである。
【図５】検査対象物内の検査範囲の上限および下限をマークで示す概略図である。
【図６】サンプル画像およびサンプル画像を用いて異物の画像のピントを調整する方法を示す概略図である。
【図７】異物の画像の輪郭のサイズが最小となるように異物の画像のピントを調整する方法を示す概略図である。
【図８】この発明の実施の形態１の第１の変形例を示す異物検査装置の概略斜視図である。
【図９】この発明の実施の形態１の第２の変形例を示す異物検査装置の概略断面図である。
【図１０】この発明の実施の形態２を示す異物検査装置の概略斜視図である。
【図１１】図１０の照明部の構成を詳細に示す概略断面図である。
【図１２】この発明の実施の形態３を示す異物検査装置の概略断面図である。
【図１３】光学センサにおいて検査対象物内に互いにばらばらの位置に存在する異物を投影面が偶然異物塊として映し出す態様を示す概略図である。
【図１４】この発明の実施の形態３の異物検査方法を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
実施の形態１．
図１を参照して、この発明の実施の形態１の異物検査装置１００ａは、照明部１ａと、検出部２と、試料台３とを主に有している。試料台３は、検査対象物６ａを載置可能であり、異物検査装置１００ａ全体の土台をなす部分である。異物検査装置１００ａは、検査対象物６ａ内の微小な異物からの散乱光を検出することにより検査対象物６ａ内の微小な異物を検出する装置である。
【００１３】
試料台３はおおむね矩形の平面形状を有しており、土台としての試料台本体３ａの上面に接するように、試料固定部４ａおよび照明固定部５ａが固定されている。すなわち試料台３は、試料台本体３ａと、試料固定部４ａと、照明固定部５ａとを有している。
【００１４】
試料固定部４ａおよび照明固定部５ａは、試料台本体３ａの主面３ｓ上に、互いに間隔をあけてかつ主面３ｓに沿う方向に関して互いに対向するように固定されている。試料台本体３ａ、試料固定部４ａおよび照明固定部５ａは平面視において矩形状を有している。試料固定部４ａおよび照明固定部５ａはそれぞれ試料台本体３ａの平面視における矩形状の１つの辺の近傍および当該１つの辺に対向する他の辺の近傍に、互いに対向するように配置されている。
【００１５】
主面３ｓ上において試料固定部４ａと照明固定部５ａとに挟まれた領域が対象物設置部１０ａであり、対象物設置部１０ａの主面３ｓ上に検査対象物６ａが載置可能な構成となっている。試料台本体３ａ、試料固定部４ａおよび照明固定部５ａがいずれも矩形の平面形状を有するため、対象物設置部１０ａも矩形の平面形状を有している。たとえば検査対象物６ａがレンズの一部を矩形の平面形状（直方体状）に成形された樹脂片であれば、検査対象物６ａの形成されるサイズを制御することにより、当該検査対象物６ａは対象物設置部１０ａの壁すなわち試料固定部４ａが照明固定部５ａと対向する面および照明固定部５ａが試料固定部４ａと対向する面を押し付けて接するように対象物設置部１０ａ内にフィットさせることができる。
【００１６】
言い換えれば検査対象物６ａが対象物設置部１０ａに載置される際には、検査対象物６ａは試料固定部４ａと照明固定部５ａとに挟まれるように主面３ｓ上に載置される。直方体状の検査対象物６ａが照明固定部５ａと対向する照明部対向面６ｃのほぼ全面は、照明固定部５ａの内側（対象物設置部１０ａ側）を向く面（または後述する照明部１ａ）にほぼ平行に接している。
【００１７】
照明部１ａは、異物検査装置１００ａに載置された検査対象物６ａ内に光を照射するための部材である。具体的には図２を参照して、照明部１ａはたとえば矩形の平面形状（直方体状）を有しており、照明筐体７ａと、点光源８ａと、フレネルレンズ９ａとを有している。
【００１８】
照明筐体７ａは直方体の箱型であるが、当該直方体の１つの面の中央部には開口部７ｃが形成されている。点光源８ａは照明筐体７ａ内の中央部に設置されており、たとえばＬＥＤ（Light Emitting Diode）により白色光を開口部７ｃから照明筐体７ａの外部に放出可能な構成を有している。ただし照明筐体７ａの開口部７ｃ以外の個所からは点光源８ａの放出する光が外部に漏洩しないように照明筐体７ａが設計されている。照明筐体７ａの内部から外部への光の漏洩を抑制するために、照明筐体７ａはたとえば光吸収性の材料（つや消し処理を行なった黒色の樹脂材料など）により形成されることが好ましい。
【００１９】
フレネルレンズ９ａは、たとえば検査対象物６ａと同一の樹脂材料により形成されており、照明筐体７ａの開口部７ｃを平面的に塞ぐように照明筐体７ａ内の開口部７ｃ近傍に配置されている。フレネルレンズ９ａは、点光源８ａから放射状に放出される光をおおむね平行光に変える機能を有している。すなわち点光源８ａから出力される光は、開口部７ｃから照明筐体７ａの外部に放出される際に平行光１１ａとなる。
【００２０】
図１および図３を参照して、照明固定部５ａには照明部１ａ（照明筐体７ａ）を嵌挿するための開口部５ｃが形成されており、当該開口部５ｃ内に照明部１ａの一部が嵌挿されることにより照明部１ａは照明固定部５ａに固定されている。開口部５ｃ内に嵌挿された照明部１ａは照明固定部５ａの検査対象物６ａと対向（接触）する面と同一平面となる位置まで嵌まり込むことにより、照明部１ａの一部は検査対象物６ａと対向（接触）してもよい。図１および図３においては照明固定部５ａ内において主面３ｓとほぼ平行になるように、かつ図１の幅方向に関して開口部５ｃの稜と照明固定部５ａの稜とがほぼ平行になるように、開口部５ｃが照明固定部５ａに形成されている。
【００２１】
この開口部５ｃにより照明部１ａ（照明筐体７ａ）は試料台３の照明固定部５ａに固定されている。図１においては試料台本体３ａの主面３ｓと照明部１ａの（開口部７ｃが形成された面に直交する）面とがほぼ平行となるように、かつ図１の奥行き方向および幅方向（図の左右方向）に関して照明部１ａの稜と試料台３（照明固定部５ａ）の稜とがほぼ平行になるように、照明部１ａが照明固定部５ａに固定されている。
【００２２】
したがって、照明部１ａから外部に放出される光は図２に示す平行光１１ａとして、一定の方向、たとえば図１の試料台３の幅方向に沿う方向（右方から左方）に、かつ試料台３の主面３ｓに沿うように進行する。このため平行光１１ａは、対象物設置部１０ａの壁すなわち対象物設置部１０ａに載置された検査対象物６ａの照明部対向面６ｃに接する面にほぼ垂直な方向に進行する。
【００２３】
なお点光源８ａから放出される光は２００００ｌｘ以上の照度を有することが好ましい。このようにすれば、点光源８ａから検査対象物６ａ内に照射される光により、検査対象物６ａ内の微小な異物による散乱光を容易に検出することができる。
【００２４】
検出部２は、照明部１ａが検査対象物６ａ内に照射入力した光に対する光の出力を検出する部材である。検出部２は、試料台３の対象物設置部１０ａの真上に、試料台３と間隔を隔てて設置されている。検出部２の平面視における占有面積は対象物設置部１０ａ（対象物設置部１０ａに載置された検査対象物６ａ）の平面視における面積よりも小さい。このため検出部２は検査対象物６ａの一部の領域からの散乱光を検出する構成となっている。しかし検出部２は、対象物設置部１０ａ（対象物設置部１０ａに載置された検査対象物６ａ）の全領域の真上を走査可能な構成となっている。このため検出部２を検査対象物６ａ上にて走査させることにより、検査対象物６ａの全領域の検査を行なうことができる。検出部２はその真下の検査対象物６ａ内の領域に存在する異物の、図１および図３の左右方向および奥行き方向に関する位置を特定することができる。
【００２５】
図３に示すように、検出部２は、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）カメラ２ａ（撮影装置）と拡大レンズ２ｂとを有している。ＣＣＤカメラ２ａは検査対象物６ａから検出部２に入力された光を電子画像のデータとして取り込み画像として検出する機能を有している。また拡大レンズ２ｂは検査対象物６ａから検出部２に取り込まれＣＣＤカメラ２ａが検出する画像を拡大出力するためのレンズである。拡大レンズ２ｂの倍率は、ＣＣＤカメラ２ａの解像度に応じて、検出部２が１μｍの異物を検出可能とするように（見えるように）選定することが好ましい。一例として、ＣＣＤカメラ２ａの解像度が１００万画素である場合、拡大レンズ２ｂの倍率は５倍以上であることが好ましい。
【００２６】
なおここで異物の大きさとは一般的には検出部２から見たときの（検出部２が計測する）異物の最大寸法を示すが、特に当該最大寸法が１０μｍ未満の非常に微細な異物は、実質的に球形または正多面体状であるため、異物の大きさとはこれを球形と仮定したときの直径（仮定した球形からはみ出さない直径）と近似してよい。
【００２７】
上記のように照明部１ａは照明固定部５ａ内を含む対象物設置部１０ａの外側の領域に配置されるのに対し、検出部２は試料台３の対象物設置部１０ａの真上に設置される。したがって対象物設置部１０ａから見て照明部１ａの配置される方向と検出部２の配置される方向とが交差（たとえば直交）するような位置に、照明部１ａと検出部２とが配置されている。
【００２８】
図２および図３を参照して、照明部１ａから外部に放出される平行光１１ａは照明部１ａに隣接する検査対象物６ａ内に進入し、試料台３（検査対象物６ａ）の幅方向に、試料台３の主面３ｓに沿うように進行する。ここで、検査対象物６ａ内には本来存在すべきでない微細な異物１２が存在することが考えられる。異物１２は、たとえば検査対象物６ａ（を用いた光学部品）を樹脂材料から製造する工程にて外部から混入するコンタミネーション、たとえば酸化防止剤や離型剤のような樹脂に必要な添加物が凝集または析出したもの、合成触媒など製造に必要な添加物で取り除ききれなかった残渣物、樹脂材料が熱で炭化などした変質物が含まれる。
【００２９】
上記の異物１２により平行光１１ａが図３の矢印に示す方向に散乱される。この散乱光はいわゆる乱反射であり、散乱光１１ｃ，１１ｄ，１１ｅのように平行光１１ａ（検査対象物６ａ）の進行方向（照射方向）に対して斜めの方向に散乱される成分もあるが、直行光１１ｂのように平行光１１ａの進行方向である主面３ｓに沿う方向に対してほぼ直交する方向に散乱される成分もある。
【００３０】
検出部２は、照明部１ａから試料台３の主面３ｓに沿いながら検査対象物６ａ内に向かう照射方向に進行する平行光１１ａのうち、検査対象物６ａ内の異物１２により照射方向と垂直な方向（散乱方向）に散乱された直行光１１ｂを輝点として検出可能である。具体的には検出部２は、検出部２の真下の、検査対象物６ａの一部の領域に存在する異物１２による直行光１１ｂの輝点を検出することにより、検出部２の真下の領域に存在する異物１２のみを確実に検出することができる。上記のように対象物設置部１０ａから見て照明部１ａの配置される方向と検出部２の配置される方向とが交差（たとえば直交）するように照明部１ａと検出部２とが配置されているため、検出部２は照明部１ａからの平行光１１ａに対する直行光１１ｂを検出可能な位置に配置されている。
【００３１】
検出部２の真下からの直行光１１ｂは、検出部２により強い輝点として検出できる。このため検出部２は、その真下からの直行光１１ｂを、検出部２に入射する他の光と区別して検出することができる。
【００３２】
たとえば図３の検出部２の真下の異物１２によって直行光１１ｂとは異なる方向（平行光１１ａの照射方向に対して直交しない斜め方向）に散乱される散乱光１１ｃは、検出部２の方に向かわないため検出部２によっては検出されない。図３の検出部２の真下以外の領域の異物１２によって直行光１１ｂとは異なる斜め方向に散乱される散乱光１１ｄについても同様である。またたとえば図３の散乱光１１ｅのように、検査対象物６ａ内の検出部２の真下以外の領域に存在する異物１２から、直行光１１ｂとは異なる方向（平行光１１ａの照射方向に対して直交しない斜めの方向）に散乱される散乱光１１ｅが検出部２に向かう方向に進行し、検出部２に入射する可能性がある。しかしこの散乱光１１ｅは検出部２が異物１２での散乱による輝点として検出できるほどの強度を有さず、やや明るい背景光としてぼんやりと視認できる程度の明るさしか有さない。これは当該異物１２から検出部２までの距離が長いことと、当該異物１２が検出部２の視認可能な視野の範囲に入らないことに起因する。
【００３３】
したがって他のあらゆる散乱光、または平行光１１ａにより検出部２が背景光として認識する光に比べて非常に強く明るい、検出部２の真下からの直行光１１ｂのみを、検出部２に入射する他の光と区別して検出することができる。また上記のように検出部２は検査対象物６ａ上を走査することにより検査対象物６ａの全領域の真上に配置されるよう移動することができる。このため検出部２を走査しながら検査を繰り返すことにより、検査対象物６ａ内の全領域の異物１２の個数を正確に検出することができる。
【００３４】
また検出部２は検査対象物６ａ内を検査中に、図３の矢印Ａの方向（直行光１１ｂの散乱方向に沿う方向）に移動することにより、検出された直行光１１ｂを散乱させる異物１２に対するピントを調整することができる。ただし検出部２を矢印Ａの方向に移動する代わりに試料台３を（矢印Ａの方向と同じ）矢印Ｂの方向に移動させてもよい。すなわち試料台３に対して検出部２（ＣＣＤカメラ２ａ）を相対的に移動させて異物１２に対するピントを調整する。異物１２に対する画像のピントが合ったところでの移動距離をもとに、異物１２の矢印Ａ，Ｂの方向に関する位置を特定することにより、検出部２の真下における異物１２の存在に加え当該異物１２の（特に図３の上下方向に関する）位置を正確に検出することができる。以上より検出部２は検査対象物６ａ内の異物１２の、図３の上下、左右、奥行き方向のすべてに関する位置（３次元の位置座標）を正確に検出することができる。
【００３５】
以上をまとめると、異物検査装置１００ａを用いた異物検査方法としては、図４に示すように、まず検査対象物６ａが準備される（Ｓ１０）。なお検査対象物６ａは、たとえば光学センサを構成するレンズなどの光学部品を形成するために用いられる樹脂と同一材料の試験片（樹脂片）であることが好ましく、光学部品自体であってもよい。具体的には検査対象物６ａは、たとえばポリメタクリル酸メチル、ポリカーボネート、ポリスチレン、ポリエチレンテレフタラート、環状ポリオレフィン、透明性ポリアミド、フルオレン系ポリエステルからなる群から選択される少なくとも１種により形成されることが好ましい。検査対象物６ａは上記の樹脂材料をたとえば押出成形、プレス成形または射出成形することにより直方体状に形成され、その厚み（図の上下方向の寸法）は３ｍｍ以上とすることが好ましい。
【００３６】
次に検査対象物６ａの内部に、照明部１ａ（点光源８ａ）からの光１１（平行光１ａ）が照射され（Ｓ２０）、検査対象物６ａ内の異物１２などにより乱反射した光のうち照明部１ａから検査対象物６ａの内部への照射方向と垂直な方向に散乱された直行光１１ｂが検出される（Ｓ３０）。
【００３７】
異物１２により検出される直行光１１ｂ（輝点）のピントを調整するに先立ち、図５を参照して、まずたとえば直方体状の検査対象物６ａの、図の上下方向（直行光１１ｂの散乱方向に沿う方向）交差（直交）する一方の面（図１、図３における上側の面である検出部対向面６ｄ）に第１のマーク１３が、また上記一方の面に対向する他方の面（図１、図３における最下面）に第２のマーク１４が、付される。これらのマーク１３，１４はそれぞれ、異物１２に対するピントを調整するためにたとえば検出部２を矢印Ａの方向に移動しながら検査するときの検査開始点および検査終了点となる。
【００３８】
第１のマーク１３にピントが合う位置から第２のマーク１４にピントが合う位置まで、検出部２を矢印Ａの方向に移動させながら（または試料台３を矢印Ｂの方向に移動させながら）、検出部２の検出する画像を出力し、異物１２に対するピントを合わせることを試みる。検出部２の真下の第１のマーク１３と第２のマーク１４との間の位置（すなわち検査対象物６ａ内）に異物１２が存在すれば、当該異物１２に対し検出部２（ＣＣＤカメラ２ａ）が検出する画像のピントの合う（図５の上下方向の）位置が存在する。その異物１２の画像のピントが合う上下方向の位置は、検出部２を試料台３に対して相対的に移動させた距離から導出することができる。
【００３９】
図６を参照して、異物１２に対するピントを合わせる方法としては、異物１２により散乱された直行光１１ｂによる検出画像１６が、あらかじめ準備された異物１２にピントが合ったときのサンプル画像１５と比較する。たとえば検出画像１６がサンプル画像１５に対して輪郭がぼやけているなど外観的な差異が大きい場合には、検出画像１６のピントが合っていないと判別し、ピントが合う位置まで検出部２を移動させるなどの措置をとることができる。また検出画像１７のように、サンプル画像１５と同様に鮮明な輪郭を有する場合には、検出画像１７のピントが合っていると判別することができ、そのときの（上下方向の）位置に異物１２が存在すると判別することができる。その異物１２の画像のピントが合う上下方向の位置は、検出部２を試料台３に対して相対的に移動させた距離から導出することができる。
【００４０】
またサンプル画像１５が存在しない場合には、異物１２に対するピントを合わせるための以下の方法を用いることができる。図７を参照して、たとえば検出部２を移動させながら観察される検出画像１６の輪郭のサイズが検出画像１７のように最小となる位置を探す。このように輪郭のサイズが最小の検出画像１７は、当該異物１２に対する検出部２の位置のピントが合ったときに観察できる。ピントが合っていない場合には検出画像１６のようにその輪郭がぼやけてかつサイズが比較的大きくなるためである。このようにして検出画像１７が検出されたときの（上下方向の）位置に異物１２が存在すると判別することができる。その異物１２の画像のピントが合う上下方向の位置は、検出部２を試料台３に対して相対的に移動させた距離から導出することができる。
【００４１】
図５〜図７の方法を用いることにより異物１２の画像のピントを確実に合わせ、異物１２の上下方向の位置を高精度に導出することができる。
【００４２】
以上のようにして異物１２を検出すれば、検出部２の真下の領域に存在する異物１２の個数および位置を正確に判断することができる。また検出部２を検査対象物６ａの真上にて走査しながら上記と同様の検査を繰り返し行なえば、検査対象物６ａ内の全領域の異物１２の個数の総和およびそれぞれの異物１２の位置を正確に判断することができる。またピント調整により異物１２による画像データを高精度に検出可能であるため、実施の形態１の異物検査装置１００ａは１μｍ程度の微細な異物１２を検出することが可能である。
【００４３】
異物検査装置１００ａ全体が遮光性のある黒色の箱で囲まれてもよい。また試料台３（試料台本体３ａ、試料固定部４ａおよび照明固定部５ａ）は光吸収性の材料、すなわちたとえば遮光性のある黒色の材料により構成されていてもよい。逆に言えば、対象物設置部１０ａに載置される検査対象物６ａは、照明部対向面６ｃのうち開口部５ｃ内の照明部１ａと（接触するように）対向する領域、および検出部と対向する検出部対向面６ｄ以外の面の少なくとも一部は光吸収性の材料で覆われている（光吸収性の材料とたとえば接するように対向する）ことが好ましい。このようにすれば、たとえば試料台３の各部の表面からの強い反射光や散乱光などが検出部２に入ることによる直行光１１ｂ（異物１２）の検出精度の低下を抑制することができる。
【００４４】
実施の形態１においては、上記のように照明部１ａから検査対象物６ａの照明部対向面６ｃに照射される平行光１１ａは、対象物設置部１０ａの壁すなわち対象物設置部１０ａに載置された検査対象物６ａの照明部対向面６ｃに接する面にほぼ垂直な方向に進行する。このため検査対象物６ａの照明部対向面６ｃは、平行光１１ａの照射方向に垂直であることが好ましい。また検査対象物６ａが試料固定部４ａと対向する試料固定部対向面６ｅは照明部対向面６ｃと対向する。このため検査対象物６ａが直方体状である場合には試料固定部対向面６ｅも平行光１１ａの照射方向に垂直であることが好ましい。この構成は、検査対象物６ａが対象物設置部１０ａ内にフィットし照明部対向面６ｃおよび試料固定部対向面６ｅがそれぞれ照明固定部５ａ（開口部５ｃに嵌挿した照明部１ａを含む）および試料固定部４ａに押し付けるように接することにより実現される。
【００４５】
照明部対向面６ｃが平行光１１ａの照射方向に垂直であれば、照明部１ａからの平行光１１ａは照明部対向面６ｃを透過して主面３ｓに平行な方向に進むか、照明部対向面６ｃで反射されて照明部１ａ内に戻る。また試料固定部対向面６ｅが平行光１１ａの照射方向に垂直であれば、試料固定部対向面６ｅで反射された光は主面３ｓに沿って照明部１ａに戻るように進む。このため照明部対向面６ｃおよび試料固定部対向面６ｅでの反射光または散乱光が検出部２の方に進んで異物１２の検出精度が低下する可能性を抑制することができる。
【００４６】
さらに検査対象物６ａの照明部対向面６ｃおよび検出部対向面６ｄは鏡面であることが好ましい。たとえば照明部対向面６ｃおよび検出部対向面６ｄが鏡面でなければ、照明部１ａからの平行光１１ａが照明部対向面６ｃおよび検出部対向面６ｄで散乱することにより平行光１１ａ（光１１）の平行度が損なわれて平行光でなくなり、検査対象物６ａの各面などでの散乱光が増加する可能性がある。このようになれば検出部２が検出すべき異物１２の直行光１１ｂが、増加した散乱光に埋もれて検出困難になる可能性がある。しかし照明部対向面６ｃおよび検出部対向面６ｄを鏡面にすることにより、上記のような散乱光の増加を抑制することができるため、検出部２の異物１２の検出精度が低下する不具合を抑制することができる。
【００４７】
次に図３を再度参照して、異物検査装置１００ａの対象物設置部１０ａの、平行光１１ａの上記照射方向（図３の左右方向）に関する寸法をＬ1とし、対象物設置部１０ａの上記散乱方向（図３の上下方向）に関する寸法（照明部対向面６ｃの寸法）をＴ1とする。照明部１ａから検査対象物６ａに照射される光の散乱方向に関する高さ（開口部５ｃの高さ）をｔとする。また検査対象物６ａに照射される光１１は平行光１１ａでありその照射方向は基本的に主面３ｓに沿う方向であるが、光１１全体としてはやや図３の上下方向に関する幅が徐々に広くなるように広がりを持つ。検査対象物６ａ内において光１１が照射方向に対して広がる角度をθとする。このとき
Ｌ1≦（Ｔ1−ｔ）／（２ｔａｎθ）であることが好ましい。
【００４８】
上記は異物検査装置１００ａに着目した場合に成り立つ数式であるが、次に検査対象物６ａに着目した場合に成り立つ数式を考える。検査対象物６ａの、平行光１１ａの照射方向に関する寸法をＬ2とし、検査対象物６ａの上記散乱方向に関する寸法をＴ2とする。このとき
Ｌ2≦（Ｔ2−ｔ）／（２ｔａｎθ）であることが好ましい。なお以上において高さｔは、開口部５ｃが照明部対向面６ｃの上側または下側に偏ることなく照明部対向面６ｃの上下方向に関する中央に形成されることを前提としている。またＴ1≒Ｔ2であると考えてもよい。
【００４９】
上下方向に関して徐々に広くなるようにテーパを有する光１１の（上下方向に関する）幅が検査対象物６ａの寸法Ｔ2または照明部対向面６ｃの寸法Ｔ1に達すれば、光１１が検出部対向面６ｄもしくはその対向面、または試料台本体３ａの主面３ｓに達しそこで反射または散乱する。この散乱光が大きくなれば異物１２に対する輝点がこの散乱光に埋もれて検出困難となる可能性がある。しかし上記の数式が成立するように検査対象物６ａ（異物検査装置１００ａ）の寸法を設計すれば、図３のように検査対象物６ａに入射した光１１が上下方向に広がったとしてもこの光１１が試料固定部４ａに達するまで検出部対向面６ｄもしくはその対向面、または試料台本体３ａの主面３ｓに達しない。このため検出部対向面６ｄ、検出部対向面６ｄに対向する下面または主面３ｓでの光１１の反射または散乱を抑制することができる。
【００５０】
上記の数式を言い換えれば、対象物設置部１０ａおよび検査対象物６ａの長さＬ1、Ｌ2はなるべく短く、またＴ1、Ｔ2とｔとの差がなるべく大きくなるようにすることが好ましい。
【００５１】
図１においては検査対象物６ａの照明部対向面６ｃの（開口部５ｃに対向する領域を除く）一部の領域、検出部対向面６ｄ、および下面が、光吸収性のある照明固定部５ａ、試料固定部４ａおよび試料台本体３ａに覆われている。しかし図８のように検査対象物６ａは奥行き方向の２面についても光吸収性のある部材に覆われていることが好ましい。たとえば試料固定部４ａが平面視において検査対象物６ａを四方から覆う構成であってもよい。図８の異物検査装置１００ａでは、照明部１ａは試料固定部４ａにより（図１の異物検査装置１００ａと同様に）固定される。
【００５２】
なお図１の異物検査装置１００ａは照射方向に対して散乱方向が垂直となるように構成されている。散乱方向を照射方向に対して垂直とし、かつ照射方向を試料台３の主面３ｓに沿う方向にすれば、ノイズとなる平行光１１ａの異物１２以外の場所での散乱光をより確実に抑制し、かつ検出部２の異物１２からの散乱光の検出感度をいっそう高めることができる。
【００５３】
しかし平行光１１ａの照射方向と散乱方向とは必ずしも完全に垂直になっておらず、たとえば図９に示すように照射方向が散乱方向に対して垂直よりやや傾いていてもよい。
【００５４】
たとえば平行光１１ａの照射方向と異物１２による散乱方向とが同じ直線上の互いに反対方向（互いに１８０°の方向）であれば、平行光１１ａが試料台３や検査対象物６ａの面で反射または散乱された光が強い強度で検出部２に入射する。つまり検出部２に入力される異物１２による直行光１１ｂが、試料台３や検査対象物６ａの面で発生する背景光として無視できない程度に非常に強い反射光に埋もれて検出困難になる可能性がある。
【００５５】
しかし少なくとも照射方向と散乱方向とは同じ直線上に乗らないように（互いに異なる直線上に乗るように）異なった方向であり、特に図９に示すように照射方向と散乱方向とが完全な垂直よりやや傾いた程度の（垂直に近い）角度であれば、上記のようなノイズである強い反射光または散乱光の検出をほぼ回避することができるため、実施の形態１と同様の作用効果を奏する。殊に図３に示すように、たとえば上記の数式に類する関係が成り立つように各部の寸法を調整することで、検査対象物６ａ内で光１１が検出部対向面６ｄおよび検査対象物６ａの下面などに達することを抑制することができれば、ノイズとしての強い反射光または散乱光による異物１２の検出精度の低下を抑制することができる。
実施の形態２．
実施の形態１の異物検査装置１００ａは試料台３および検査対象物６ａが平面視において矩形状を有しているが、図１０の異物検査装置１００ｂのように、試料台３および検査対象物６ａが平面視において円形であってもよい。すなわち異物検査装置１００ｂの試料台３は、いずれも平面視において円形状（または円弧形状）の試料台本体３ｂと試料固定部４ｂと照明固定部５ｂとを有している。試料台３の試料固定部４ｂと照明固定部５ｂとに挟まれた対象物設置部１０ｂには円形の平面形状（円柱状）に成形された検査対象物６ｂが、試料固定部４ｂおよび照明固定部５ｂに押し付けて接するように載置されている。検査対象物６ｂは、その平面視における円形の曲率が試料固定部４ｂおよび照明固定部５ｂの平面視における円形（円弧）の曲率にほぼ等しくなるように成形されており、これにより検査対象物６ｂは対象物設置部１０ｂにフィットすることができる。
【００５６】
照明固定部５ｂには図示しない開口部が形成されており、当該開口部内に照明部１ｂが部分的に嵌挿されるように固定されている。照明部１ｂは照明固定部５ｂの円弧部に沿うように嵌挿、固定されており、ここから実施の形態１と同様に主面３ｓに沿う方向に進行する平行光１１ａが放出される。
【００５７】
図１１を参照して、照明部１ｂは複数（たとえば３つ）の光源すなわち点光源８ｂを有し、それぞれの点光源８ｂに対してフレネルレンズ９ｂを有している。このフレネルレンズ９ｂにより、それぞれの点光源８ｂからは、検査対象物６ｂの中心およびその先の試料固定部４ｂに向かい、かつ試料台本体３ｂの主面３ｓに沿うように、平行光１１ａが放出される。このため平行光１１ａは、検査対象物６ｂの外周面に接するように対向する照明固定部５ｂの面にほぼ垂直な方向に進行する。したがって実施の形態１と同様に、平行光１１ａの照射方向と検査対象物６ｂの円周部をなす外周面とはほぼ垂直であり、かつ鏡面を形成していることが好ましい。
【００５８】
ただし図１１に示すようにフレネルレンズ９ｂは円弧状ではなく平板状であるため、平行光１１ａの進行方向と検査対象物６ｂの円周部をなす外周面とは完全には垂直にならない。しかしフレネルレンズ９ｂの延在方向は検査対象物６ｂの円周部の各点における接線の方向にほぼ等しい。このためここでは図１０，１１の構成は平行光１１ａの照射方向と検査対象物６ｂの円周部をなす外周面とは垂直であるとみなすことにする。この構成においても少なくともたとえば検査対象物６ｂの上面および下面、ならびに試料台本体３ｂの主面３ｓからの反射光および散乱光の発生を確実に抑制することができるため、検出部２に及ぼす影響を十分に低減することができる。
【００５９】
なお照明部１ｂ内においては各点光源８ｂの間に仕切り壁Ｓが設けられており、これにより１つの点光源８ｂから出た光がこれに対応するフレネルレンズ９ｂ以外のフレネルレンズ９ｂから放出され、平行光１１ａが不均一になるなどの不具合の発生を抑制することができる。
【００６０】
照明部１ｂは複数の点光源８ｂを有し、それぞれの点光源８ｂから検査対象物６ｂ内に向かって照射される平行光１１ａがほぼ同一の点（たとえば検査対象物６ｂの中央部）に集光するように配置されている。このため、特定の点における輝点の強度をより高めることができ、異物１２の検出精度がより向上する。またはそれぞれの点光源８ｂから出力される光量を低減することができる。
【００６１】
以上の説明において名称または符号が実施の形態１と同一である構成要素は、実施の形態１における当該構成要素と同一の機能を有し、基本的に同一の材料で形成されている。
【００６２】
なお図１０の試料固定部４ｂおよび照明固定部５ｂは、平面視において対象物設置部１０ｂに載置される検査対象物６ｂの周を部分的に覆う円弧形状であるが、たとえば試料固定部４ｂが平面視において対象物設置部１０ｂに載置される検査対象物６ｂの全体（１周分）を覆う構成であってもよい。このようにすれば検査対象物６ｂの外周面およびその近傍からの散乱光が検出部２に及ぼす影響をより確実に低減することができる。
【００６３】
また実施の形態２に関する上記以外の内容は基本的に実施の形態１と同様である。したがってたとえば異物検査装置１００ｂの対象物設置部１０ｂの、平行光１１ａの上記照射方向（図１０の左右方向）に関する寸法をＬ1とし、検査対象物６ａの、平行光１１ａの照射方向に関する寸法をＬ2とすれば、実施の形態１と同様の不等式が成り立つことが好ましい。
実施の形態３．
図１２に示すように、異物検査装置１００ａは判定部２１を有していてもよい。判定部２１は検査対象物６ａ内の異物１２の混入状況を判定することにより、検査対象物６ａ（検査対象物６ａを用いた光学部品）の製品としての合否を判定することができる。なお詳細な説明を省略するが異物検査装置１００ｂが図１２と同様の判定部２１を有していてもよい。
【００６４】
検査対象物６ａ内の異物１２の中でも特に添加物が析出したものは非常に微細で１０μｍ以下のものが多い。検査対象物６ａ内の異物１２は完全に取り除くことは不可能であり、また検査対象物６ａ内の異物１２の混入量を制御することも困難である。数μｍ程度の非常に微細な異物１２は単体であれば、これがたとえ高精度な光学センサに用いられる光学部品内に存在しても、当該光学センサの光量検出精度が変化する可能性は低い。しかし光学部品内において複数の微小な異物１２が偶然１か所に集まって単一の大きな異物となれば、当該光学部品を用いる光学センサの光量検出精度が劣化するため、光学センサが不良品となる可能性がある。
【００６５】
また図１３に示すように、実際には検査対象物６ａ内には光学センサの光量検出精度に影響しない程度の微細な異物１２同士が３次元的にまったく異なる位置に点在するだけであるにもかかわらず、たとえば光学部品の光路投影面でそれらの異物１２による像が偶然重なるために光学センサ２００の投影面２２上で単一の大きな異物塊１２０として映し出される可能性がある。すなわち光学センサ用の光学部品である検査対象物６ａ内の複数の異物１２同士の位置関係が、それらの異物１２の投影面２２上での射影が偶然連なるような位置関係である場合、光学センサ２００は検査対象物６ａ内の異物１２を光学センサはこれを単一の大きな異物の塊として認識する可能性がある。すると投影面２２上での異物塊１２０によりセンサとしての光量検出精度などの信頼性が低下する。この場合、実際にはそのような大きな異物は存在しないにも関わらず、光学センサは単一の大きな異物が存在するものと認識してセンサとしての動作機能を損ない当該光学センサは不良品とされる可能性がある。また光学センサ２００に使用した際にこのような動作不良を引き起こす光学部品（検査対象物６ａ）はたとえ実際はそのような大きな異物は存在しなくても、偶然異物塊１２０を形成して動作不良を誘発する可能性が高いため、不良品と判定されることになる。
【００６６】
以上のような検査対象物６ａ内の３次元的にまったく異なる位置に点在する異物１２による光学センサおよび検査対象物６ａが不良品とされる不具合は確率的に発生し、その確率は検査対象物６ａ（樹脂材料）内の異物１２の大きさと個数とに依存する。よって、実施の形態３の判定部２１を有する異物検査装置１００ａにより、検査対象物６ａ内の異物１２の個数および大きさを検査し、その結果から検査対象物６ａの合否を判定する。検査対象物６ａ内の異物１２の個数などの検査結果から不良の発生する確率を計算する方法としては、たとえばここでの複数の微小な異物１２が連なることにより単一の異物塊１２０として認識される確率のような、非常に低い確率である事象を取り扱うポアソン分布が用いられてもよい。
【００６７】
図１４に示すように、図４のフローチャート（実施の形態１）と同様に異物検査装置１００ａにより検査対象物６ａ内の異物１２が検出され（Ｓ１０〜Ｓ３０）、その個数が判定部２１により算出される（Ｓ４１）。なお検査対象物６ａ内の異物１２の個数を算出（Ｓ４１）する代わりに検査対象物６ａ内の異物１２により検出部２内に撮影される異物１２の面積（撮影面積）を算出（Ｓ４２）し、その結果が検査対象物６ａの合否判定のデータとして用いられてもよい。ここで検出部２のＣＣＤカメラ２ａにより取り込まれる異物１２の電子画像の撮影面積は、基本的に図１３に示す光学センサ２００内の投影面２２に撮影される異物１２の面積に対応する。
【００６８】
一例として有効径が５ｍｍで光路長が１０ｍｍである光学部品を考え、その光学部品（検査対象物６ａ）は図１３のように光学センサに用いられたときに有効径領域６ａ内を投影する投影面２２に寸法（直径と近似）が３０μｍ以上の異物の影（異物塊１２０）が形成されれば光学センサに動作不良をもたらし得るものとする。図１２に示す検査対象物６ａが１．４ｍｍ×１．３ｍｍ×０．５ｍｍの大きさの直方体状であり、上記工程（Ｓ１０〜Ｓ４１）により検査対象物６ａ中に直径が１０μｍ未満の微小な異物１２が個数Ｘだけ含まれていることが検出されたものと仮定する。
【００６９】
このとき、検出された異物１２の個数Ｘがあらかじめ設定された検査基準（基準値）と比較され（Ｓ５０）、比較する工程（Ｓ５０）において導き出された結果に基づいて検査対象物６ａの合否が判定され検査対象物６ａが選別される（Ｓ６０）。上記大きさの直方体状の検査対象物６ａを不良品と判定させないために検査対象物６ａ内に存在することが許容される直径１０μｍ未満の微小異物の個数の基準値は２２個以下である。したがって上記工程（Ｓ１０〜Ｓ４１）により検査対象物６ａ中に検出される微小な異物１２の個数Ｘが２２個以下であれば合格、２３個以上であれば不合格と判定される。
【００７０】
なお上記の基準値（検査対象物６ａ内に存在することが許容される１０μｍ未満の微小な異物１２は２２個）は次のようにして算出される（Ｓ５１）。検査対象物６ａ内に１０μｍ未満の微小な異物１２が存在する場合に当該異物１２同士が偶然光学センサに動作不良をもたらし得る程度に大きな塊を形成するために検査対象物６ａが不良品となる確率がポアソン分布により算出される。その算出結果から、検査対象物６ａが不良品となる確率が１０-7未満になることを適用基準として、検査対象物６ａが不良品とならないために検査対象物６ａ内に存在することが許容される１０μｍ未満の微小な異物１２の個数が検査基準としてあらかじめ算出される。
【００７１】
すなわち上記検査対象物６ａ内の１０μｍ未満の微小な異物１２の数が２２個以下であれば、当該異物１２により光学センサの投影面２２において３０μｍ以上の異物塊１２０が形成されて検査対象物６ａが不良品と判定される確率が１０-7未満となる。
【００７２】
実施の形態３の判定部２１を用いた判定方法は、実際には３次元的にまったく異なる位置に点在するために検査対象物６ａが不良品とは判定されないはずの異物１２が偶然集まって不良品となる程度に大きな異物塊１２０を形成する可能性を考慮したものである。したがって実施の形態３は大きな異物塊１２０を形成する確率が高い検査対象物６ａを含むロットを不良品と選別することができる。
【００７３】
たとえば１００個の検査対象物６ａを有するロットのうち数個の検査対象物６ａに対して上記の抜き取り検査を行ない、その結果当該１００個のサンプルの中で１個でも不良品となる確率が一定（１０-7以上）と判定された場合には、そのロットに属する１００個のサンプル全てが不良品として除去されることになる。このようにすればロットに属するサンプル全数のチェックを行なうことなく、ロットに属するサンプルを抜き取り検査することにより、不良品の市場への流入を確実に抑制することができる。
【００７４】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【産業上の利用可能性】
【００７５】
本発明は、内部に含まれる異物による光学部品の合否判定をより高精度に行なう技術として有利に適用され得る。
【符号の説明】
【００７６】
１ａ，１ｂ  照明部、２  検出部、２ａ  ＣＣＤカメラ、２ｂ  拡大レンズ、３  試料台、３ａ，３ｂ  試料台本体、４ａ，４ｂ  試料固定部、５ａ，５ｂ  照明固定部、５ｃ，７ｃ  開口部、１０ａ  対象物設置部、６ａ  検査対象物、６ｃ  照明部対向面、６ｄ  検出部対向面、６ｅ  試料固定部対向面、７ａ  照明筐体、８ａ，８ｂ  点光源、９ａ  フレネルレンズ、１０ａ，１０ｂ  対象物設置部、１１  光、１１ａ  平行光、１１ｂ  直行光、１１ｃ，１１ｄ，１１ｅ  散乱光、１２  異物、１３  第１のマーク、１４  第２のマーク、１５  サンプル画像、１６  検出画像、２１  判定部、２２  投影面、１００ａ，１００ｂ  異物検査装置、１２０  異物塊、２００  光学センサ。
【図１】
2014185903.tif 000003
【図２】
2014185903.tif 000004
【図３】
2014185903.tif 000005
【図４】
2014185903.tif 000006
【図５】
2014185903.tif 000007
【図６】
2014185903.tif 000008
【図７】
2014185903.tif 000009
【図８】
2014185903.tif 000010
【図９】
2014185903.tif 000011
【図１０】
2014185903.tif 000012
【図１１】
2014185903.tif 000013
【図１２】
2014185903.tif 000014
【図１３】
2014185903.tif 000015
【図１４】
2014185903.tif 000016