(57)【要約】【課題】複数の検査対象物の電気特性を安定して測定する。【解決手段】複数の検査対象物の一部において、接触子１１２の所定の第１位置にバンプ電極１２を当接させつつ検査対象物と検査用回路基板とを押圧させた状態で検査対象物の電気特性を測定する第１測定工程と、第１測定工程後、複数の検査対象物の他の一部において、接触子１１２の第１位置とは少なくとも一部において重ならない接触子１１２の第２位置にバンプ電極１２を当接させつつ検査対象物と検査用回路基板とを押圧させた状態で検査対象物の電気特性を測定する第２測定工程とを備える。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
バンプ電極を有する複数の検査対象物の電気特性を、該バンプ電極に当接する金属製の突起からなる接触子を有する検査用回路基板を用いて順次測定するバンプ電極検査方法であって、
前記複数の検査対象物の一部において、前記接触子の所定の第１位置に前記バンプ電極を当接させつつ前記検査対象物と前記検査用回路基板とを押圧させた状態で前記検査対象物の電気特性を測定する第１測定工程と、
前記第１測定工程後、前記複数の検査対象物の他の一部において、前記接触子の前記第１位置とは少なくとも一部において重ならない前記接触子の第２位置に前記バンプ電極を当接させつつ前記検査対象物と前記検査用回路基板とを押圧させた状態で前記検査対象物の電気特性を測定する第２測定工程と
を備える、バンプ電極検査方法。
【請求項２】
前記第１測定工程において所定回数連続して前記検査対象物の電気特性の測定値が異常値を示した後、前記第２測定工程に移行する、請求項１に記載のバンプ電極検査方法。
【請求項３】
前記第１測定工程において前記接触子の外観を撮影装置で撮影し、前記接触子の前記第１位置における形状または色彩が所定の範囲を超えて変化した後、前記第２測定工程に移行する、請求項１に記載のバンプ電極検査方法。
【請求項４】
前記接触子が互いに平行に延在する複数の前記金属製の突起からなり、
前記第１測定工程において、互いに隣接する２つの前記金属製の突起の前記第１位置に前記バンプ電極を当接させ、
前記第２測定工程において、前記第１位置を通過して前記金属製の突起の延在方向に延びる直線上に位置する前記第２位置に前記バンプ電極を当接させる、請求項１から３のいずれかに記載のバンプ電極検査方法。
【請求項５】
前記接触子が互いに平行に延在する３つ以上の前記金属製の突起からなり、
前記第１測定工程において、互いに隣接する２つの前記金属製の突起の前記第１位置に前記バンプ電極を当接させ、
前記第２測定工程において、前記２つの金属製の突起のうちの一方と、それに隣接して前記２つの金属製の突起のうちの他方とは反対側に位置する前記金属製の突起との前記第２位置に前記バンプ電極を当接させる、請求項１から３のいずれかに記載のバンプ電極検査方法。
【請求項６】
バンプ電極を有する複数の検査対象物のバンプ電極検査装置であって、
前記バンプ電極に当接する金属製の突起からなる接触子を有する検査用回路基板と、
前記検査対象物の前記バンプ電極と前記検査用回路基板の前記接触子とが当接するように位置合わせする位置合わせ手段と、
前記バンプ電極と前記接触子とが当接した状態で前記検査対象物と前記検査用回路基板とを押圧させる押圧手段と、
前記検査対象物と前記検査用回路基板とが押圧された状態で前記検査対象物の電気特性を測定する測定手段と、
前記複数の検査対象物のうちの一部において、前記接触子の所定の第１位置に前記バンプ電極を当接させ、かつ、前記複数の検査対象物の他の一部において、前記接触子の前記第１位置とは少なくとも一部において重ならない前記接触子の第２位置に前記バンプ電極を当接させるように、前記位置合わせ手段を制御する制御手段と
を備える、バンプ電極検査装置。
【請求項７】
前記制御手段は、前記接触子の前記第１位置に前記バンプ電極を当接させて測定した前記検査対象物の電気特性の測定値が所定回数連続して異常値を示した場合、前記接触子の前記第２位置に前記バンプ電極を当接させるように前記位置合わせ手段を制御する、請求項６に記載のバンプ電極検査装置。
【請求項８】
前記接触子の外観を撮影する撮影装置をさらに備え、
前記制御手段は、前記撮影装置による撮影により前記接触子の前記第１位置における形状または色彩の所定の範囲を超えた変化を確認した場合、前記接触子の前記第２位置に前記バンプ電極を当接させるように前記位置合わせ手段を制御する、請求項６に記載のバンプ電極検査装置。
【請求項９】
前記接触子が互いに平行に延在する複数の前記金属製の突起からなり、
前記制御手段は、前記複数の検査対象物の一部において、互いに隣接する２つの前記金属製の突起の前記第１位置に前記バンプ電極を当接させるように前記位置合わせ手段を制御し、前記複数の検査対象物の他の一部において、前記第１位置を通過して前記金属製の突起の延在方向に延びる直線上に位置する前記第２位置に前記バンプ電極を当接させるように前記位置合わせ手段を制御する、請求項６に記載のバンプ電極検査装置。
【請求項１０】
前記接触子が互いに平行に延在する３つ以上の前記金属製の突起からなり、
前記制御手段は、前記複数の検査対象物の一部において、互いに隣接する２つの前記金属製の突起の前記第１位置に前記バンプ電極を当接させるように前記位置合わせ手段を制御し、前記複数の検査対象物の他の一部において、前記２つの金属製の突起のうちの一方と、それに隣接して前記２つの金属製の突起のうちの他方とは反対側に位置する前記金属製の突起との前記第２位置に前記バンプ電極を当接させるように前記位置合わせ手段を制御する、請求項６に記載のバンプ電極検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、バンプ電極検査方法およびバンプ電極検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体チップの検査を行なう検査用プローブ基板を開示した先行文献として、特開２００１−２９８０５９号公報(特許文献１)がある。
【０００３】
特開２００１−２９８０５９号公報(特許文献１)に記載された検査用プローブ基板は、絶縁性がある基板と、基板上に形成された所定の配線パターンと、配線パターン上に電気的に接続されるように形成され、半導体装置もしくは電子装置の外部端子と接触する金属製の突起とを備えている。金属製の突起は、所定の配置ルールの基で、外部端子の径より小さいピッチで設けられた複数個の突起からなる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−２９８０５９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
１つの検査用回路基板を用いて複数の検査対象物を順次検査する場合、検査用回路基板の金属製の突起に汚れの蓄積または摩耗が生じて、検査対象物の検査を安定して行なうことができないことがある。
【０００６】
本発明は上記の問題点に鑑みてなされたものであって、複数の検査対象物の電気特性を安定して測定できる、バンプ電極検査方法およびバンプ電極検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に基づくバンプ電極検査方法は、バンプ電極を有する複数の検査対象物の電気特性を、このバンプ電極に当接する金属製の突起からなる接触子を有する検査用回路基板を用いて順次測定するバンプ電極検査方法である。バンプ電極検査方法は、複数の検査対象物の一部において、接触子の所定の第１位置にバンプ電極を当接させつつ検査対象物と検査用回路基板とを押圧させた状態で検査対象物の電気特性を測定する第１測定工程と、第１測定工程後、複数の検査対象物の他の一部において、接触子の第１位置とは少なくとも一部において重ならない接触子の第２位置にバンプ電極を当接させつつ検査対象物と検査用回路基板とを押圧させた状態で検査対象物の電気特性を測定する第２測定工程とを備える。
【０００８】
本発明の一形態においては、第１測定工程において所定回数連続して検査対象物の電気特性の測定値が異常値を示した後、第２測定工程に移行する。
【０００９】
本発明の一形態においては、第１測定工程において接触子の外観を撮影装置で撮影し、接触子の第１位置における形状または色彩が所定の範囲を超えて変化した後、第２測定工程に移行する。
【００１０】
本発明の一形態においては、接触子が互いに平行に延在する複数の金属製の突起からなる。第１測定工程において、互いに隣接する２つの金属製の突起の第１位置にバンプ電極を当接させる。第２測定工程において、第１位置を通過して金属製の突起の延在方向に延びる直線上に位置する第２位置にバンプ電極を当接させる。
【００１１】
本発明の一形態においては、接触子が互いに平行に延在する３つ以上の金属製の突起からなる。第１測定工程において、互いに隣接する２つの金属製の突起の第１位置にバンプ電極を当接させる。第２測定工程において、上記２つの金属製の突起のうちの一方と、それに隣接して上記２つの金属製の突起のうちの他方とは反対側に位置する金属製の突起との第２位置にバンプ電極を当接させる。
【００１２】
本発明に基づくバンプ電極検査装置は、バンプ電極を有する複数の検査対象物のバンプ電極検査装置である。バンプ電極検査装置は、バンプ電極に当接する金属製の突起からなる接触子を有する検査用回路基板と、検査対象物のバンプ電極と検査用回路基板の接触子とが当接するように位置合わせする位置合わせ手段とを備える。また、バンプ電極検査装置は、バンプ電極と接触子とが当接した状態で検査対象物と検査用回路基板とを押圧させる押圧手段と、検査対象物と検査用回路基板とが押圧された状態で検査対象物の電気特性を測定する測定手段とを備える。さらに、バンプ電極検査装置は、複数の検査対象物のうちの一部において、接触子の所定の第１位置にバンプ電極を当接させ、かつ、複数の検査対象物の他の一部において、接触子の第１位置とは少なくとも一部において重ならない接触子の第２位置にバンプ電極を当接させるように、位置合わせ手段を制御する制御手段とを備える。
【００１３】
本発明の一形態においては、制御手段は、接触子の第１位置にバンプ電極を当接させて測定した検査対象物の電気特性の測定値が所定回数連続して異常値を示した場合、接触子の第２位置にバンプ電極を当接させるように位置合わせ手段を制御する。
【００１４】
本発明の一形態においては、バンプ電極検査装置は、接触子の外観を撮影する撮影装置をさらに備える。制御手段は、撮影装置による撮影により接触子の第１位置における形状または色彩の所定の範囲を超えた変化を確認した場合、接触子の第２位置にバンプ電極を当接させるように位置合わせ手段を制御する。
【００１５】
本発明の一形態においては、バンプ電極検査装置は、接触子が互いに平行に延在する複数の金属製の突起からなる。制御手段は、複数の検査対象物の一部において、互いに隣接する２つの金属製の突起の第１位置にバンプ電極を当接させるように位置合わせ手段を制御する。複数の検査対象物の他の一部において、第１位置を通過して金属製の突起の延在方向に延びる直線上に位置する第２位置にバンプ電極を当接させるように位置合わせ手段を制御する。
【００１６】
本発明の一形態においては、接触子が互いに平行に延在する３つ以上の金属製の突起からなる。制御手段は、複数の検査対象物の一部において、互いに隣接する２つの金属製の突起の第１位置にバンプ電極を当接させるように位置合わせ手段を制御する。複数の検査対象物の他の一部において、上記２つの金属製の突起のうちの一方と、それに隣接して上記２つの金属製の突起のうちの他方とは反対側に位置する金属製の突起との第２位置にバンプ電極を当接させるように位置合わせ手段を制御する。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、複数の検査対象物の電気特性を安定して測定できる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の実施形態１に係るバンプ電極検査装置の構成を示す斜視図である。
【図２】検査対象物と検査用回路基板とが互いに押圧される状態を示す側面図である。
【図３】接触子の第１位置にバンプ電極を当接させて検査対象物と検査用回路基板とを押圧させた状態を示す平面図である。
【図４】図３の状態をＩＶ方向から見た図である。
【図５】接触子の第２位置にバンプ電極を当接させて検査対象物と検査用回路基板とを押圧させた状態を示す平面図である。
【図６】同実施形態の変形例において、測定装置の測定結果に基づいてバンプ電極と接触子との当接位置を変更させる状態を示す斜視図である。
【図７】本発明の実施形態２に係るバンプ電極検査装置において、撮影装置の撮影結果に基づいてバンプ電極と接触子との当接位置を変更させる状態を示す斜視図である。
【図８】本発明の実施形態３に係るバンプ電極検査装置において、バンプ電極と接触子との当接位置を変更させる状態を示す斜視図である。
【図９】同実施形態において、接触子の第１位置にバンプ電極を当接させて検査対象物と検査用回路基板とを押圧させた状態を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の実施形態１に係るバンプ電極検査方法およびバンプ電極検査装置について図を参照して説明する。以下の実施形態の説明においては、図中の同一または相当部分には同一符号を付して、その説明は繰り返さない。
【００２０】
(実施形態１)
図１は、本発明の実施形態１に係るバンプ電極検査装置の構成を示す斜視図である。図１に示すように、本発明の実施形態１に係るバンプ電極検査装置１は、基材１１の一方の主面にバンプ電極１２を有する複数の検査対象物１０の電気特性を順次検査する装置である。
【００２１】
検査対象物１０は、電気装置または電子部品である。もしくは、検査対象物１０は、複数の素子が形成されている半導体ウエハなどの集合体である。
【００２２】
基材１１の下面に、半田からなるバンプ電極１２が形成されている。本実施形態においては、基材１１は平面視略矩形状の外形を有しているが、基材１１の平面視における外形はこれに限られず、円形または楕円形など様々な形状であってよい。
【００２３】
検査対象物１０には４つのバンプ電極１２が形成されているが、バンプ電極１２の数はこれに限られず、１つ以上であればよい。本実施形態においては、４つのバンプ電極１２は、基材１１の下面の中心に関して点対称となるようにそれぞれ位置している。
【００２４】
バンプ電極検査装置１は、載置台１２０、測定装置１６０、接続線１４０、検査用回路基板１１０および検査対象物搬送装置１３０を含む。
【００２５】
検査用回路基板１１０は、載置台１２０の上面に載置される。本実施形態においては、載置台１２０は、直方体状の外形を有している。載置台１２０の側方に、銅線などからなる接続線１４０により検査用回路基板１１０と接続されて、検査用回路基板１１０の電気特性を測定する測定装置１６０が配置されている。電気特性としては、たとえば、電気抵抗値または入力信号に対する出力信号などである。
【００２６】
載置台１２０の上方に、梁部１３１と梁部１３１の両端から下方に延在している把持部１３２とからなる検査対象物搬送装置１３０が配置されている。検査対象物搬送装置１３０は、図示しない駆動部を含み、鉛直方向および水平方向に移動可能である。
【００２７】
また、検査対象物搬送装置１３０は、把持部１３２により検査対象物１０を把持した状態で矢印１９０で示す方向に下降することにより、検査対象物１０を検査用回路基板１１０に押圧することができる。さらに、検査対象物搬送装置１３０は、載置台１２０の上面と平行な面内で矢印１９１で示す方向に移動可能である。なお、検査対象物１０の保持方法は、把持に限られず、たとえば、吸着ノズルにより検査対象物１０を吸着して保持してもよい。
【００２８】
検査対象物搬送装置１３０には、検査対象物搬送装置１３０の動作を制御する制御装置１８０が接続されている。
【００２９】
本実施形態に係る検査用回路基板１１０は、絶縁性基板１１１と、絶縁性基板１１１の一方の主面に形成された金属製の突起１１２ａ，１１２ｂからなる接触子１１２と、絶縁性基板１１１の側面に形成された同軸コネクタ１１３と、接触子１１２と同軸コネクタ１１３とを電気的に接続する図示しない信号ラインとを含む。
【００３０】
本実施形態においては、絶縁性基板１１１は平面視略矩形状の外形を有しているが、絶縁性基板１１１の平面視における外形はこれに限られず、円形または楕円形など様々な形状であってよい。
【００３１】
ポリイミドなどの絶縁性材料からなる絶縁性基板１１１の上面に、２つの突起１１２ａ，１１２ｂからなる４つの接触子１１２が形成されている。検査用回路基板１１０には８個の突起１１２ａ，１１２ｂが形成されているが、突起の数はこれに限られず、検査対象物１０に形成されたバンプ電極１２の数、および、接触子１１２を構成する突起の数に対応して決定される。
【００３２】
接触子１１２は、検査用回路基板１１０の主面と検査対象物１０の主面とを対向させた状態で、絶縁性基板１１１の上面の中心点と基材１１の下面の中心点とを対向させた際に、バンプ電極１２の形成位置に対応するように位置している。
【００３３】
突起１１２ａ，１１２ｂは、絶縁性基板１１１の上面から略直角に立設して、上面が平坦になるように形成されている。突起１１２ａ，１１２ｂは、導電性の高い金属で構成されており、たとえば、金、銀、白金、ロジウム、パラジウム、銅、ニッケル、などの金属または合金から構成されている。
【００３４】
接触子１１２に含まれる２つの突起１１２ａ，１１２ｂは、同軸コネクタ１１３が設けられている絶縁性基板１１１の側面に直交する方向に延在して、互いに所定の間隔をおいて対向している。２つの突起１１２ａ，１１２ｂの延在方向における長さは、バンプ電極１２の直径以上である。
【００３５】
信号ラインは、絶縁性基板１１１上に設けられた銅箔などの導電性材料をパターニングすることにより形成されている。
【００３６】
以下、本実施形態に係るバンプ電極検査装置１によるバンプ電極検査方法について説明する。
【００３７】
図１に示すように、載置台１２０上に検査用回路基板１１０が載置された状態において、検査対象物１０を検査対象物搬送装置１３０により検査用回路基板１１０に対向するように保持する。
【００３８】
このとき、検査対象物１０のバンプ電極１２と検査用回路基板１１０の接触子１１２とが当接するように位置合わせする。本実施形態においては、検査対象物搬送装置１３０が位置合わせ手段を構成している。
【００３９】
検査対象物搬送装置１３０が矢印１９０で示す方向に下降することにより、バンプ電極１２と接触子１１２とが当接する。
【００４０】
さらに、検査対象物搬送装置１３０が矢印１９０で示す方向に下降することにより、バンプ電極１２と接触子１１２とが当接した状態で検査対象物１０と検査用回路基板１１０とを押圧させる。
【００４１】
図２は、検査対象物と検査用回路基板とが互いに押圧される状態を示す側面図である。図２に示すように、検査対象物搬送装置１３０が下降することにより、検査対象物１０は、バンプ電極１２が形成されている主面とは反対側の主面から押圧力１９２を受ける。
【００４２】
検査用回路基板１１０は、載置台１２０上に載置されているため、押圧力１９２によって検査対象物１０が検査用回路基板１１０に押圧される。本実施形態においては、検査対象物搬送装置１３０が押圧手段を構成している。バンプ電極１２と接触子１１２とが当接した状態で検査対象物１０と検査用回路基板１１０とを押圧することにより、バンプ電極１２の表面に付着している酸化膜が接触子１１２との摺動によって剥がれるいわゆるセルフクリーニング効果を得ることができる。
【００４３】
測定手段である測定装置１６０は、検査対象物１０と検査用回路基板１１０とが押圧された状態で検査対象物１０の電気特性を測定する。電気特性の測定が終了した後、検査対象物搬送装置１３０は上昇して、検査対象物１０と検査用回路基板１１０とを互いに対向させた状態で保持する。
【００４４】
このように、複数の検査対象物１０の電気特性を順次測定すると、次第に検査用回路基板１１０の突起１１２ａ，１１２ｂに汚れの蓄積または摩耗が生じる。汚れとしては、たとえばバンプ電極１２の表面の酸化物が突起１１２ａ，１１２ｂの上面に付着することにより発生する。突起１１２ａ，１１２ｂにおける汚れの蓄積または摩耗が進行すると、検査対象物１０の検査を安定して行なうことができなくなる。
【００４５】
そこで、本実施形態においては、制御装置１８０により検査対象物搬送装置１３０を制御して、バンプ電極１２と接触子１１２との当接位置を変更させる。具体的には、複数の検査対象物１０のうちの一部において、接触子１１２の第１位置にバンプ電極１２を当接させ、複数の検査対象物１０のうちの他の一部において、接触子１１２の第２位置にバンプ電極１２を当接させる。第２位置は、第１位置とは少なくとも一部において重ならない位置である。
【００４６】
図３は、接触子の第１位置にバンプ電極を当接させて検査対象物と検査用回路基板とを押圧させた状態を示す平面図である。図４は、図３の状態をＩＶ方向から見た図である。図３においては、１つのバンプ電極および１つの接触子のみ図示している。
【００４７】
図３，４に示すように、制御手段である制御装置１８０は、複数の検査対象物１０のうちの一部においては、接触子１１２の延在方向における端部側の所定の第１位置にバンプ電極１２を当接するように、検査対象物搬送装置１３０を制御する。
【００４８】
この状態で検査対象物１０と検査用回路基板１１０とが押圧されることにより、突起１１２ａとバンプ電極１２とは接触領域１１２ｃで接触し、突起１１２ｂとバンプ電極１２とは接触領域１１２ｄで接触する。
【００４９】
このとき、接触子１１２の延在方向における接触領域１１２ｃ，１１２ｄの長さＬは、バンプ電極１２の直径をＤ、突起１１２ａと突起１１２ｂとの間の距離をＷとすると、(Ｄ2−Ｗ2)1/2となる。
【００５０】
図５は、接触子の第２位置にバンプ電極を当接させて検査対象物と検査用回路基板とを押圧させた状態を示す平面図である。図５に示すように、接触子１１２の第１位置に摩耗が発生すると、突起１１２ａに消耗部１１２ｅ、突起１１２ｂに消耗部１１２ｆが現れる。このように摩耗した接触子１１２の第１位置には、バンプ電極１２を安定して当接させることができない。そのため、接触子１１２の第１位置にバンプ電極１２を当接させた状態で検査対象物１０の検査を安定して行なうことができなくなる。
【００５１】
そこで上述のように、本実施形態に係るバンプ電極検査装置１においては、制御装置１８０により検査対象物搬送装置１３０を図１の矢印１９１で示す方向に移動させて、バンプ電極１２と接触子１１２との当接位置を変更させる。
【００５２】
図５に示すように、制御装置１８０は、複数の検査対象物１０のうちの他の一部においては、第１位置を通過して突起１１２ａ，１１２ｂの延在方向に延びる直線上に位置する第２位置にバンプ電極１２を当接させるように検査対象物搬送装置１３０を制御する。
【００５３】
この状態で検査対象物１０と検査用回路基板１１０とが押圧されることにより、突起１１２ａとバンプ電極１２とは接触領域１１２ｇで接触し、突起１１２ｂとバンプ電極１２とは接触領域１１２ｈで接触する。
【００５４】
本実施形態においては、接触子１１２の第１位置と第２位置とは、互いに隣接して重複していない。すなわち、接触子１１２の第１位置に当接した状態のバンプ電極１２の中心１２ａと、接触子１１２の第２位置に当接した状態のバンプ電極１２の中心１２ｂとの間のピッチＰは、上記距離Ｌ＝(Ｄ2−Ｗ2)1/2と等しい。この場合、最も接触子１１２を有効利用することができる。
【００５５】
このように、複数の検査対象物１０のうちの一部の電気特性を測定して摩耗した接触子１１２の第１位置とは重ならない第２位置にバンプ電極１２を当接させて、複数の検査対象物１０のうちの他の一部の電気特性を測定することにより、複数の検査対象物１０の電気特性を安定して測定することができる。
【００５６】
これを可能にするために、本実施形態の２つの突起１１２ａ，１１２ｂの延在方向における長さを、２Ｌ(＝２(Ｄ2−Ｗ2)1/2)以上にしている。
【００５７】
本実施形態においては、接触子１１２の第１位置と第２位置とが重ならないようにしたが、第１位置と第２位置とが一部において互いに重なっていてもよい。この場合でも、接触子１１２の第２位置のうちの第１位置とは重なっていない部分とバンプ電極１２とが当接することにより、複数の検査対象物１０のうちの他の一部の電気特性を安定して測定することが可能である。ただし、第１位置と第２位置とが重なっていない部分が多いほど、複数の検査対象物１０のうちの他の一部の電気特性を安定して測定できる。
【００５８】
本実施形態においては、接触子１１２とバンプ電極１２との接触回数と、接触子１１２における汚れの蓄積または摩耗の進行状況との関係を予め実験により求めておき、接触子１１２とバンプ電極１２との接触回数がこの実験結果に基づいて決定された所定回数に達した時点で、バンプ電極１２と接触子１１２との当接位置を変更している。
【００５９】
このように、バンプ電極１２と接触子１１２との当接位置を変更することにより、汚れが接触子１１２の特定の位置に蓄積することを抑制して検査用回路基板１１０のクリーニング頻度を低減することができる。また、接触子１１２の摩耗による検査用回路基板１１０の交換頻度を低減することができる。
【００６０】
すなわち、接触子１１２を接触子１１２の延在方向において分割してそれぞれ利用することにより、接触子１１２を接触子１１２の延在方向の全体に亘って利用でき、検査用回路基板１１０を有効利用できる。
【００６１】
本実施形態においては、検査対象物搬送装置１３０が位置合わせ手段と押圧手段とを兼ねていたが、押圧手段として検査対象物搬送装置１３０とは別の装置を設けてもよい。また、バンプ電極１２と接触子１１２との当接位置を２回以上変更してもよい。
【００６２】
さらに、バンプ電極１２と接触子１１２との当接位置の変更時点を、接触子１１２の第１位置にバンプ電極１２を当接させて測定した検査対象物１０の電気特性の測定値が所定回数連続して異常値を示した時点としてもよい。
【００６３】
図６は、本実施形態の変形例において、測定装置の測定結果に基づいてバンプ電極と接触子との当接位置を変更させる状態を示す斜視図である。
【００６４】
接触子１１２の第１位置にバンプ電極１２を当接させて測定した検査対象物１０の電気特性の測定値が所定回数連続して異常値を示した場合、本当に電気特性が異常である検査対象物１０が所定回数連続することが稀であるため、制御装置１８０は、接触子１１２の第１位置において汚れの蓄積または摩耗が進行したと判断して、図６に示すように、検査対象物搬送装置１３０を矢印１９１で示す方向に移動させる。その結果、接触子１１２の第２位置にバンプ電極１２が当接するようになる。
【００６５】
なお、上記所定回数は、検査対象物１０の過去の検査記録などに基づいて設定する。また、異常値は、たとえば、過去の検査記録の電気特性の中央値に対して±３σ(σ：標準偏差)の範囲を超えた値とする。
【００６６】
このようにした場合にも、複数の検査対象物１０の電気特性を安定して測定することができる。
【００６７】
以下、本発明の実施形態２に係るバンプ電極検査方法およびバンプ電極検査システムについて説明する。
【００６８】
本実施形態に係るバンプ電極検査装置は、撮影装置を備える点のみ実施形態１に係るバンプ電極検査装置１と異なるため、実施形態１に係るバンプ電極検査装置１と同様の構成については説明を繰り返さない。
【００６９】
(実施形態２)
図７は、本発明の実施形態２に係るバンプ電極検査装置において、撮影装置の撮影結果に基づいてバンプ電極と接触子との当接位置を変更させる状態を示す斜視図である。
【００７０】
図７に示すように、本発明の実施形態２に係るバンプ電極検査装置は、接触子１１２の外観を撮影するカメラ３０とモニタ４０とからなる撮影装置を備えている。
【００７１】
接触子１１２に汚れが蓄積すると、突起１１２ａ，１１２ｂの上面の色彩が変化する。すなわち、清浄な部分と汚れが蓄積している部分との色彩が異なる。また、接触子１１２が摩耗すると、突起１１２ａ，１１２ｂの形状が変化する。
【００７２】
そこで、本実施形態においては、制御装置１８０は、撮影装置による撮影により接触子１１２の第１位置における形状または色彩の所定の範囲を超えた変化を確認した場合、検査対象物搬送装置１３０を矢印１９１で示す方向に移動させる。その結果、接触子１１２の第２位置にバンプ電極１２が当接するようになる。なお、上記所定の範囲は、予め実験により決定しておく。すなわち、どの程度色彩または形状が変化した場合に、検査対象物１０の電気特性を測定することが不可能になるかを実験により確認しておく。
【００７３】
本実施形態においても、複数の検査対象物１０の電気特性を安定して測定することができる。
【００７４】
以下、本発明の実施形態３に係るバンプ電極検査方法およびバンプ電極検査システムについて説明する。
【００７５】
本実施形態に係るバンプ電極検査装置は、接触子の構成のみ実施形態１に係るバンプ電極検査装置１と異なるため、実施形態１に係るバンプ電極検査装置１と同様の構成については説明を繰り返さない。
【００７６】
(実施形態３)
図８は、本発明の実施形態３に係るバンプ電極検査装置において、バンプ電極と接触子との当接位置を変更させる状態を示す斜視図である。
【００７７】
図８に示すように、本発明の実施形態３に係るバンプ電極検査装置においては、検査用回路基板２１０は、絶縁性基板２１１と、絶縁性基板２１１の一方の主面に形成された接触子２１２とを含む。
【００７８】
接触子２１２は、互いに平行に延在する３つの金属製の突起２１２ａ，２１２ｂ，２１２ｃからなる。本実施形態においては、３つの突起から接触子２１２が構成されているが、これに限られず、３つ以上の突起から接触子が構成されていればよい。
【００７９】
図９は、本実施形態において、接触子の第１位置にバンプ電極を当接させて検査対象物と検査用回路基板とを押圧させた状態を示す平面図である。
【００８０】
図９に示すように、制御装置１８０は、複数の検査対象物１０の一部において、互いに隣接する２つの金属製の突起２１２ａ，２１２ｂの第１位置にバンプ電極１２を当接させるように検査対象物搬送装置１３０を制御する。
【００８１】
この状態で検査対象物１０と検査用回路基板２１０とが押圧されることにより、突起２１２ａとバンプ電極１２とは接触領域２１２ｄで接触し、突起２１２ｂとバンプ電極１２とは接触領域２１２ｅで接触する。
【００８２】
制御装置１８０は、複数の検査対象物１０の他の一部において、２つの金属製の突起のうちの一方２１２ｂと、それに隣接して２つの金属製の突起のうちの他方２１２ａとは反対側に位置する金属製の突起２１２ｃとの第２位置にバンプ電極１２を当接させるように検査対象物搬送装置１３０を制御する。具体的には、制御装置１８０が、検査対象物搬送装置１３０を図８の矢印１９３で示す方向に移動させる。
【００８３】
この状態で検査対象物１０と検査用回路基板２１０とが押圧されることにより、突起２１２ｂとバンプ電極１２とは接触領域２１２ｆで接触し、突起２１２ｃとバンプ電極１２とは接触領域２１２ｇで接触する。
【００８４】
本実施形態においては、接触子２１２の第１位置と第２位置とは、互いに隣接して重複していない。接触子２１２の第１位置に当接した状態のバンプ電極１２の中心１２ａと、接触子２１２の第２位置に当接した状態のバンプ電極１２の中心１２ｃとの間のピッチＰ’は、突起２１２ａ，２１２ｂ，２１２ｃのピッチＰtと等しい。かつ、バンプ電極１２の直径Ｄは、ピッチＰtより小さい。
【００８５】
本実施形態においても、複数の検査対象物１０の電気特性を安定して測定することができる。また、接触子２１２の延在方向における長さを実施形態１に比較して短くすることができる。
【００８６】
なお、制御装置１８０が、検査対象物搬送装置１３０を図８の矢印１９１および矢印１９３で示す方向に移動可能であってもよい。この場合、バンプ電極１２と接触子２１２との当接位置を複数回変更して、３つの突起２１２ａ，２１２ｂ，２１２ｃを延在方向において分割してそれぞれ利用することにより、接触子２１２を接触子２１２の延在方向の全体に亘って利用でき、検査用回路基板２１０をさらに有効利用できる。
【００８７】
今回開示された実施形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【符号の説明】
【００８８】
１  バンプ電極検査装置、１０  検査対象物、１１  基材、１２  バンプ電極、１２ａ，１２ｂ，１２ｃ  中心、３０  カメラ、４０  モニタ、１１０，２１０  検査用回路基板、１１１，２１１  絶縁性基板、１１２，２１２  接触子、１１２ａ，１１２ｂ，２１２ａ，２１２ｂ，２１２ｃ  突起、１１２ｃ，１１２ｄ，１１２ｇ，１１２ｈ，２１２ｄ，２１２ｅ，２１２ｆ，２１２ｇ  接触領域、１１２ｅ，１１２ｆ  消耗部、１１３  同軸コネクタ、１２０  載置台、１３０  検査対象物搬送装置、１３１  梁部、１３２  把持部、１４０  接続線、１６０  測定装置、１８０  制御装置、１９２  押圧力。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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