(57)【要約】      （修正有）【課題】透明体の平行度を高精度かつ短時間で測定できる平行度測定装置および透明体の平行度測定方法を提供する。【解決手段】対向する第１端面９０ａおよび第２端面９０ｂを有する透明体９０の平行度を測定する装置１００であって、透明体９０を透過する光を照射する光源１０と、透明体９０の第１端面９０ａおよび第２端面９０ｂで反射される光を受光する受光面８０ａを有する受光部８０と、コリメートレンズ３０と、入射光路上に配置され、コリメートレンズ３０からの光を透過させて透明体９０に入射させるとともに、透明体９０の第１端面９０ａ又は第２端面９０ｂから反射される光を受光部８０の受光面８０ａに向けて反射する光路変更部４０と、透明体９０の位置を調整することが可能な位置調整部６０と、光路変更部４０によって反射される光を受光部８０の受光面８０ａに集光する集光レンズ７０とを備える透明体の平行度測定装置１００。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
対向する第１端面および第２端面を有する透明体の平行度を測定する透明体の平行度測定装置であって、
前記透明体を透過させることが可能な光を出射する光源と、
前記透明体の前記第１端面および前記第２端面で反射される光を受光する受光面を有する受光部と、
前記光源から前記透明体に光が入射されるまでの入射光路上に配置され、前記光源から出射される光をコリメートするコリメートレンズと、
前記入射光路上に配置され、前記コリメートレンズからの光を透過させて前記透明体に入射させるとともに、前記透明体の前記第１端面又は前記第２端面から反射される光を前記受光部の前記受光面に向けて反射する光路変更部と、
前記透明体の位置を調整することが可能な位置調整部と、
前記光路変更部によって反射される光を前記受光部の前記受光面に集光する集光レンズと、
を備える透明体の平行度測定装置。
【請求項２】
前記入射光路のうち前記光路変更部と前記透明体とを結ぶ光路上に配置され、互いに平行で且つ前記光路に対して垂直な第１面および第２面を有する平行平面板をさらに備える、請求項１に記載の透明体の平行度測定装置。
【請求項３】
前記入射光路のうち、前記光源と前記コリメートレンズとを結ぶ光路上に、前記光源から出射される光のビーム径を拡大するビーム径拡大部をさらに有する請求項１又は２に記載の透明体の平行度測定装置。
【請求項４】
対向する第１端面および第２端面を有する透明体の平行度を測定する透明体の平行度測定方法であって、
光源から出射される光を、コリメートレンズでコリメートし、光路変更部を透過させた後、前記透明体の前記第１端面で反射させ、この反射光を前記光路変更部で反射させ、集光レンズを通して受光部の受光面に集光させ、前記透明体の前記第１端面からの反射光が前記コリメートレンズの光軸と平行になるように、前記透明体の位置を調整して前記受光面上に第１投影点を得る第１工程と、
前記光源から出射される光を、前記コリメートレンズでコリメートし、前記光路変更部を透過させた後、前記透明体の前記第２端面で反射させ、この反射光を前記光路変更部で反射させ、前記集光レンズを通して前記受光面に集光させ、前記受光面上に第２投影点を得る第２工程と、
前記受光面上の前記第１投影点と、前記受光面上の前記第２投影点との間の距離と、前記集光レンズの焦点距離とに基づき、透明体の平行度を算出する第３工程と、
を含む透明体の平行度測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、透明体の平行度測定装置および透明体の平行度測定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
レーザー発振素子に用いられるレーザー結晶、光アイソレータに用いられる偏光板、アイソレータ結晶などの透明体は、相対向する２つの端面を有しており、これら２つの端面は高い精度で平行であることが求められる。
【０００３】
上記のような透明体の平行度を測定する装置として、下記特許文献１には、光を透明体の一方の端面に入射させ、透明体を透過してもう一方の端面から出射された透過光をスクリーン等の受光面に投影し、入射光の光軸に対する透過光の傾斜角から平行度を算出する平行度測定装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平９−１３８１２０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、上記特許文献１の測定装置は以下の課題を有していた。
【０００６】
すなわち、上記特許文献１の測定装置では、入射光の光軸に対する透過光の傾斜角から平行度を算出するために、入射光の光軸及び受光面の交点と受光面上の透過光の投影点との距離ｄと、透過光が出射される側の端面と受光面との距離ｌの２つの距離を測定する必要があった。この場合、各距離の測定値に誤差が生じるため、これらの距離に基づいて平行度を算出すると、平行度の誤差は大きくなる。さらに、上記特許文献１の測定装置では、平行度を算出するために、２つの距離を測定する必要があるため、測定に長時間を要するという問題点があった。
【０００７】
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、透明体の互いに対向する両側端面の平行度を高精度かつ短時間で測定することができる透明体の平行度測定装置および透明体の平行度測定方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明者は、透明体の一方の端面に光を照射した場合、空気と透明体の端面との境界で反射される光（外部反射光）と、透明体のもう一方の端面と空気との境界で反射される光（内面反射光）に着目し、透明体の外部反射光が受光面に投影する点と内面反射光が受光面に投影する点との間の距離を測定することにより、透明体の平行度を求めることができるのではないかと考え、鋭意研究を行った。
【０００９】
その結果、本発明者は、透明体からの外部反射光と内面反射光とを同時に集光して投影する機構と、透明体の位置を調整する機構とを備えた装置により、上記課題を解決し得ることを見出し、本発明を完成するに至った。
【００１０】
すなわち本発明は、対向する第１端面および第２端面を有する透明体の平行度を測定する透明体の平行度測定装置であって、前記透明体を透過させることが可能な光を出射する光源と、前記透明体の前記第１端面および前記第２端面で反射される光を受光する受光面を有する受光部と、前記光源から前記透明体に光が入射されるまでの入射光路上に配置され、前記光源から出射される光をコリメートするコリメートレンズと、前記入射光路上に配置され、前記コリメートレンズからの光を透過させて前記透明体に入射させるとともに、前記透明体の前記第１端面又は前記第２端面から反射される光を前記受光部の前記受光面に向けて反射する光路変更部と、前記透明体の位置を調整することが可能な位置調整部と、前記光路変更部によって反射される光を前記受光部の前記受光面に集光する集光レンズとを備える透明体の平行度測定装置である。
【００１１】
本発明の透明体の平行度測定装置によれば、以下のようにして透明体の平行度が測定される。すなわち、まず、光源から光を出射させると、光は、コリメートレンズでコリメートされ、光路変更部を透過した後、透明体の第１端面で反射され、この反射光が光路変更部で反射され、集光レンズを通して受光部の受光面に集光される。このとき、位置調整部により、透明体の第１端面からの反射光がコリメートレンズの光軸と平行になるように透明体の位置を調整すると、受光部の受光面上に第１投影点が得られる。次に、光源から出射される光が、コリメートレンズでコリメートされ、光路変更部を透過した後、透明体の第２端面で反射され、この反射光が光路変更部で反射され、集光レンズを通して受光部の受光面に集光されると、受光面上に第２投影点が得られる。そして、受光面上の第１投影点と、受光面上の第２投影点との間の距離と、集光レンズの焦点距離とに基づき、透明体の平行度が算出される。このように、本発明の透明体の平行度測定装置によれば、透明体の第１端面と受光面との間の距離を測定する必要がなく、平行度の算出に必要な測定値は第１投影点と第２投影点との間の距離のみである。従って、算出される平行度の誤差を小さくすることが可能となり、算出される平行度を高精度に測定することができる。また平行度の算出に必要な測定値は第１投影点と第２投影点との間の距離のみであるため、平行度の算出に必要な時間を短縮することも可能となる。
【００１２】
上記透明体の平行度測定装置は、前記入射光路のうち前記光路変更部と前記透明体とを結ぶ光路上に配置され、互いに平行で且つ前記光路に対して垂直な第１面および第２面を有する平行平面板をさらに備えることが好ましい。
【００１３】
この場合、平行平面板を有しない平行度測定装置に比べて、第１投影点と第２投影点との間の距離を大きくすることができる。このため、透明体における第１端面および第２端面の平行度をより高精度に算出することができる。
【００１４】
また、上記透明体の平行度測定装置は、前記入射光路のうち、前記光源と前記コリメートレンズとを結ぶ光路上に、前記光源から出射される光束のビーム径を拡大するビーム径拡大部をさらに有することが好ましい。
【００１５】
この場合、光源から出射される光のビーム径が上記ビーム径拡大部によって拡大されるため、透明体の第１端面および第２端面のそれぞれにおいてより広い範囲に光が入射する。このため、第１端面又は第２端面で反射される光の受光部における第１投影点又は第２投影点の位置は、第１端面又は第２端面の表面状態に影響されにくくなる。したがって、透明体の第１端面および第２端面の平行度をより高精度で測定することができる。
【００１６】
また、本発明は、対向する第１端面および第２端面を有する透明体の平行度を測定する透明体の平行度測定方法であって、光源から出射される光を、コリメートレンズでコリメートし、光路変更部を透過させた後、前記透明体の前記第１端面で反射させ、この反射光を前記光路変更部で反射させ、集光レンズを通して受光部の受光面に集光させ、前記透明体の前記第１端面からの反射光が前記コリメートレンズの光軸と平行になるように前記透明体の位置を調整して前記受光面上に第１投影点を得る第１工程と、前記光源から出射される光を、前記コリメートレンズでコリメートし、前記光路変更部を透過させた後、前記透明体の前記第２端面で反射させ、この反射光を前記光路変更部で反射させ、前記集光レンズを通して前記受光面に集光させ、前記受光面上に第２投影点を得る第２工程と、前記受光面上の前記第１投影点と、前記受光面上の前記第２投影点との間の距離と、前記集光レンズの焦点距離とに基づき、透明体の平行度を算出する第３工程と、を含む透明体の平行度測定方法である。
【００１７】
このように、本発明の透明体の平行度測定方法によれば、透明体の第１端面と受光部との間の距離を測定する必要がなく、平行度の算出に必要な測定値は第１投影点と第２投影点との間の距離のみである。従って、算出される平行度の誤差を小さくすることが可能となり、算出される平行度を高精度に測定することができる。また平行度の算出に必要な測定値は第１投影点と第２投影点との間の距離のみであるため、平行度の算出に必要な時間を短縮することも可能となる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、透明体の互いに対向する両側端面の平行度を高精度かつ短時間で測定することができる透明体の平行度測定装置および透明体の平行度測定方法が提供される。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の透明体の平行度測定装置の一実施形態を示す概略図である。
【図２】本発明の透明体の平行度測定方法により透明体の平行度を測定する際に、透明体によって反射される光の光路を示す概略図である。
【図３】本発明の透明体の平行度測定方法により透明体の平行度を測定する際に、透明体の第１端面から出射した光が受光面に投影されるまでの光路を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。
【００２１】
図１は、本発明の透明体の平行度測定装置の一実施形態を示す概略図である。図１において、符号９０は、平行度の測定対象となる透明体９０であり、２点鎖線で示されている。透明体９０は、互いに対向する第１端面９０ａと第２端面９０ｂとを有する。
【００２２】
図１に示すように、透明体の平行度測定装置１００（以下、単に「平行度測定装置」と呼ぶ）は、透明体９０を透過させることが可能な光を出射する光源１０と、透明体９０の第１端面９０ａおよび第２端面９０ｂで反射される光を受光する受光面８０ａを有する受光部８０と、光源１０から透明体９０に光が入射されるまでの入射光路上に配置され、光源１０から出射される光をコリメートするコリメートレンズ３０と、上記入射光路上に配置され、コリメートレンズ３０からの光を透過させて透明体９０の第１端面９０ａに入射させるとともに、透明体９０の第１端面９０ａ又は第２端面９０ｂから反射される光を受光部８０の受光面８０ａに向けて反射するハーフミラー（光路変更部）４０と、透明体９０の位置を調整することが可能な位置調整部６０と、ハーフミラー４０によって反射される光を受光部８０の受光面８０ａに集光する集光レンズ７０とを備えている。
【００２３】
ここで、集光レンズ７０は、その光軸がコリメートレンズ３０の光軸と直交するように設置されている。また、ハーフミラー４０は平板状であり、透明体９０の第１端面９０ａ又は第２端面９０ｂからの反射光を反射する反射面４０ａの法線がコリメートレンズ３０の光軸に対して４５°の角度をなすように配置されている。さらに入射光路のうちハーフミラー４０と透明体９０とを結ぶ光路上には、互いに平行な第１面５０ａおよび第２面５０ｂを有する平行平面板５０が配置されている。平行平面板５０は、第１面５０ａおよび第２面５０ｂが入射光路に対して垂直となるように配置されている。さらに受光部８０は、集光レンズ７０と受光部８０の受光面８０ａとの距離が集光レンズ７０の焦点距離ｆと一致するように且つ受光面８０ａの法線が集光レンズ７０の光軸と平行になるように配置される。
【００２４】
また、平行度測定装置１００においては、入射光路のうち、光源１０とコリメートレンズ３０とを結ぶ光路上に、光源１０から出射される光束のビーム径を拡大するビーム径拡大部２０が配置されている。
【００２５】
次に、上述した平行度測定装置１００を用いる透明体９０の平行度測定方法について説明する。
【００２６】
まず、光源１０から光を出射させる。そして、この出射光をビーム径拡大部２０で拡大させ、コリメートレンズ３０でコリメートし、ハーフミラー４０を透過させ、平行平面板５０の第１面５０ａで反射させた後、ハーフミラー４０の反射面４０ａで反射させ、集光レンズ７０を通して受光部８０の受光面８０ａに集光させる。このときの受光部８０の受光面８０ａにおける投影点を観測し、この投影点を点Ｏとする。
【００２７】
（第１工程）
次に、透明体９０を位置調整部６０に固定する。このとき、第１端面９０ａは、ハーフミラー４０側に向け、第２端面９０ｂは、ハーフミラー４０とは反対側に向ける。
【００２８】
次に、光源１０からの出射光をビーム径拡大部２０で拡大させ、コリメートレンズ３０でコリメートし、ハーフミラー４０および平行平面板５０を透過させ、透明体９０の第１端面９０ａで反射させた後、ハーフミラー４０の反射面４０ａで反射させ、集光レンズ７０を通して受光部８０の受光面８０ａに集光させる。そして、透明体９０の第１端面９０ａからの反射光の受光面８０ａにおける第１投影点を観測する。
【００２９】
そして、位置調整部６０により、第１端面９０ａからの反射光の第１投影点が点Ｏと一致するように透明体９０の位置を調整する。
【００３０】
ここで、第１端面９０ａからの反射光の第１投影点が点Ｏと一致するようにするためには、第１端面９０ａからの反射光がコリメートレンズ３０の光軸と平行になるように、すなわち第１端面９０ａの法線がコリメートレンズ３０の光軸と平行になるように透明体９０の位置を調整すればよい。
【００３１】
（第２工程）
次に、透明体９０の第２端面９０ｂからの反射光の受光部８０の受光面８０ａにおける第２投影点を観測する。このとき、第１端面９０ａと第２端面９０ｂとが完全に平行でない場合、第２投影点は第１投影点の位置からずれることになる。
【００３２】
（第３工程）
続いて、第１端面９０ａからの反射光の第１投影点Ｏと、第２端面９０ｂからの反射光の第２投影点Ｐとの距離ＯＰ＝ｄを測定する。そして、以下の計算式（１）により、透明体９０の第１端面９０ａおよび第２端面９０ｂの平行度θ１を算出する。
【数１】
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【００３３】
上記式（１）中、ｎは透明体９０の屈折率を、ｎ０は空気の屈折率を示す。また、ｆは集光レンズ７０の焦点距離を示す。
【００３４】
ここで、透明体９０の平行度θ１の導出過程について、図２及び３を参照しながら詳細に説明する。
【００３５】
図２は、透明体９０の第１端面９０ａの法線とコリメートレンズ３０の光軸とが平行になるように調整された後の光路を示す概略図であり、光源１０から出射されコリメートレンズ３０でコリメートされた光線が、透明体９０に入射し、互いに対向する第１端面９０ａおよび第２端面９０ｂの各々で反射され、透明体９０から出射するまでの光路を示す。図３は、透明体９０の第１端面９０ａの法線とコリメートレンズ３０の光軸とが平行になるように調整された後の光路を示す概略図であり、互いに対向する第１端面９０ａおよび第２端面９０ｂの各々で反射され、透明体９０から出射された光が、平行平面板５０を透過し、ハーフミラー４０で反射され、集光レンズ７０で集光され、受光部８０の受光面８０ａに投影されるまでの光路を示す。なお、図３において、光源１０、ビーム径拡大部２０およびコリメートレンズ３０は省略してある。
【００３６】
図２において、破線Ａ１は第１端面９０ａに平行な面を、破線Ａ２は第２端面９０ｂの法線を、破線Ａ３は第１端面９０ａの法線を示す。そしてＬ１は、第１端面９０ａに入射され、第１端面９０ａで反射される光束に含まれる光線を、Ｌ２は、第２端面９０ｂに入射され、第２端面９０ｂで反射される光束に含まれる光線を示す。上述したように、光線Ｌ１はコリメートレンズ３０の光軸と平行な方向に進む。一方、光線Ｌ２は、透明体９０の第１端面９０ａから出射されるときに第１端面９０ａで屈折する。第２端面９０ｂでの光の反射角をθ２、第１端面９０ａでの光の屈折角をθ３とすると、
θ１＝θ２                                        （２）
であるから、θ２とθ３との関係は、スネルの法則により下記式（３）で表される。
ｎｓｉｎ２θ２＝ｎ０ｓｉｎθ３                    （３）
上記式（３）中、ｎは透明体９０の屈折率を、ｎ０は空気の屈折率を示す。
そして、上記式（２）および（３）より、θ１とθ３との関係は下記式（４）で表される。
ｓｉｎ２θ１＝（ｎ０／ｎ）ｓｉｎθ３              （４）
【００３７】
図３において破線Ａ３は、第１端面９０ａの法線を、破線Ａ４は、平行平面板５０の第１面５０ａ又は第２面５０ｂの法線を示す。また点Ｆは集光レンズ７０の焦点を示す。また、ｌ１は、第１端面９０ａによって反射された光束のうち、集光レンズ７０を通る光線を、ｌ２は、第２端面９０ｂによって反射された光束のうち、集光レンズ７０を通る光線を示す。
【００３８】
第１端面９０ａによって反射された光線ｌ１は、コリメートレンズ３０の光軸と平行な方向に進み、平行平面板５０を透過し、ハーフミラー４０の反射面４０ａで反射され、集光レンズ７０の焦点Ｆを通り、点Ｏに投影される。一方、第２端面９０ｂによって反射された光線ｌ２は、第１端面９０ａから出射されるときにコリメートレンズ３０の光軸に対して屈折角θ３で屈折し、平行平面板５０の第２面５０ｂに入射角θ３で入射され屈折し、平行平面板５０を透過し、平行平面板５０の第１面５０ａで出射され屈折角θ４で屈折し、ハーフミラー４０の反射面４０ａで反射され、集光レンズ７０の焦点Ｆを通り、集光レンズ７０で屈折し、受光面８０ａ上の点Ｐに投影される。
【００３９】
平行平面板５０の屈折率ｎ’、光線ｌ２が平行平面板５０に入射されるときの屈折角をφとすると、平行平面板５０の互いに対向する第１面５０ａおよび第２面５０ｂが平行であることから、光線ｌ２が平行平面板５０から出射されるときの出射角もφとなる。したがって、スネルの法則より、θ３、φおよびθ４の関係は下記式（５）で表される。
ｎ０ｓｉｎθ３＝ｎ’ｓｉｎφ＝ｎ０ｓｉｎθ４        （５）
また、光線ｌ１と光線ｌ２との成す角θ５は、ハーフミラー４０の反射面４０ａで反射される前と後とで変化しないことから、下記式（６）で表される。
θ５＝θ４                                        （６）
そして、集光レンズ７０の焦点Ｆを通る光線ｌ２は、集光レンズ７０によって屈折され、集光レンズ７０の光軸に平行になることから、光線ｌ１と光線ｌ２との成す角θ５は、下記式（７）で表される。
ｓｉｎθ５＝ｄ／（ｄ２＋ｆ２）１／２                  （７）
そして、上記式（４）〜（７）より、透明体９０の第１端面９０ａおよび第２端面９０ｂの平行度θ１は、上記式（１）により表される。
【００４０】
以上のようにして透明体９０の平行度θ１が測定される。
【００４１】
上記のようにして透明体９０の平行度θ１を測定すると、透明体９０の第１端面９０ａと受光部８０の受光面８０ａとの間の距離を測定する必要がなく、平行度θ１の算出に必要な測定値は第１投影点Ｏと第２投影点Ｐとの間の距離ｄのみである。従って、算出される平行度θ１の誤差を小さくすることが可能となり、算出される平行度θ１を高精度に測定することができる。また平行度θ１の算出に必要な測定値は第１投影点Ｏと第２投影点Ｐとの間の距離ｄのみであるため、平行度θ１の算出に必要な時間を短縮することも可能となる。
【００４２】
また平行度測定装置１００では、入射光路のうちハーフミラー４０と透明体９０とを結ぶ光路上に、互いに平行で且つ光路に対して垂直な第１面５０ａおよび第２面５０ｂを有する平行平面板５０が配置されている。このため、平行平面板５０を有しない平行度測定装置に比べて、第１投影点Ｏと第２投影点Ｐとの間の距離ｄを大きくすることができる。このため、透明体９０における第１端面９０ａおよび第２端面９０ｂの平行度をより高精度に算出することができる。
【００４３】
さらに平行度測定装置１００では、入射光路のうち、光源１０とコリメートレンズ３０とを結ぶ光路上に、光源１０から出射される光束のビーム径を拡大するビーム径拡大部２０が配置されている。このため、光源１０から出射される光のビーム径がビーム径拡大部２０によって拡大されるため、透明体９０の第１端面９０ａおよび第２端面９０ｂのそれぞれにおいてより広い範囲に光が入射する。このため、第１端面９０ａ又は第２端面９０ｂで反射される光の受光面８０ａにおける第１投影点Ｏ又は第２投影点Ｐの位置は、第１端面９０ａ又は第２端面９０ｂの表面状態に影響されにくくなる。したがって、透明体９０の第１端面９０ａおよび第２端面９０ｂの平行度をより高精度で測定することができる。
【００４４】
次に、上述した光源１０、ビーム径拡大部２０、コリメートレンズ３０、平行平面板５０、位置調整部６０、集光レンズ７０及び受光部８０について詳細に説明する。
【００４５】
（光源）
光源１０は、透明体９０を透過することが可能な光を出射するものであれば特に制限されるものではないが、単色光であることが好ましい。光源１０としては、例えばヘリウム−ネオン（Ｈｅ−Ｎｅ）レーザー等のレーザー光源が、輝度、直進性及び集光性に優れるため好ましく用いられる。
【００４６】
（ビーム径拡大部）
ビーム径拡大部２０は、光源１０から出射される光のビーム径を拡大するものであって光源１０からの光を透過させることが可能なものであればよい。ビーム径拡大部２０としては、例えばガラス、蛍石又はプラスチックなどからなる凹レンズ、凹レンズと凸レンズを組み合わせたレンズユニット、又は凸レンズ同士を組み合わせたレンズユニットなどを用いることができる。
【００４７】
（コリメートレンズ）
コリメートレンズ３０は、光源１０から出射された光をコリメートするものであればよい。コリメートレンズ３０としては、例えばガラス、蛍石又はプラスチックなどからなる平凸レンズなどを用いることができる。
【００４８】
（平行平面板）
平行平面板５０は、互いに対向する第１面５０ａおよび第２面５０ｂが平行な透明板であればよい。平行平面板５０を構成する材料としては、例えばガラス、蛍石およびプラスチックなどが挙げられる。
【００４９】
（位置調整部）
図１に示すように、位置調整部６０は、例えば、台座６２と、台座６２の上に設けられる可動部６１とを備える。可動部６１は、例えば、台座６２の平坦な表面６２ａ上に設置され、台座６２に対して図１のＸ方向に移動可能なＸステージ６３と、Ｘステージ６３上に設置され、台座６２に対して図１のＹ方向に移動可能なＹステージ６４と、Ｙステージ６４上に設置される回転ステージ６５と、回転ステージ６５上に設置され、透明体９０の第１端面９０ａに対する入射光の入射角を調整可能な入射角調整部６６と、入射角調整部６６上に設置され、透明体９０を固定するホルダ６７とを備える。回転ステージ６５は、図１のＺ方向の周りに入射角調整部６６を回転させることが可能となっている。ここで、Ｘ方向およびＹ方向は、台座６２の表面６２ａに平行となっており、Ｚ方向は、台座６２の表面６２ａに垂直になっている。また台座６２の表面６２ａは、光源１０の光軸に平行になっている。なお、可動部６１においては、下からＸステージ６３、Ｙステージ６４、回転ステージ６５、入射角調整部６６、ホルダ６７の順序で設置されているが、Ｘステージ６３、Ｙステージ６４、回転ステージ６５および入射角調整部６６は、どのような順序で設置されてもよく、例えば下から入射角調整部６６、Ｘステージ６３、Ｙステージ６４、回転部６５、試料固定部６７の順であってもよい。
【００５０】
（集光レンズ）
集光レンズ７０は、ハーフミラー４０によって反射された光を受光部８０の受光面８０ａに集光することができるものであればよい。集光レンズ７０としては、例えばガラス、蛍石又はプラスチックなどからなる凸レンズなどを用いることができる。
【００５１】
（受光部）
受光部８０としては、例えばスクリーン又は電荷結合素子（CCD: Charge Coupled Device）センサーなどを用いることができる。
【００５２】
本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。例えば上記実施形態では平行平面板５０が設けられているが、平行平面板５０は設けられなくてもよい。
【００５３】
また、上記実施形態ではビーム径拡大部２０が設けられているが、ビーム径拡大部２０は必ずしも設けられなくてもよい。
【００５４】
また上記実施形態では、光路変更部としてハーフミラー４０が用いられているが、光路変更部としては、ハーフミラーの代わりに、２つの直角プリズムを接合したキューブ型のビームスプリッターなどを用いることも可能である。
【符号の説明】
【００５５】
１０…光源
２０…ビーム径拡大部
３０…コリメートレンズ
４０…ハーフミラー（光路変更部）
５０…平行平面板
５０ａ…第１面
５０ｂ…第２面
６０…位置調整部
７０…集光レンズ
８０…受光部
８０ａ…受光面
９０…透明体
９０ａ…第１端面
９０ｂ…第２端面
１００…透明体の平行度測定装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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