(57)【要約】【課題】ムービングコイル方式を採用し、光スキャナーに適用した場合に２次元的に光を走査することができるアクチュエーターにおいて、省電力化を図ることができるアクチュエーター、光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイを提供すること。【解決手段】光スキャナー１は、基部１１１と、基部１１１をＹ軸周りに揺動可能に支持する軸部１２ａ、１２ｂと、軸部１２ａ、１２ｂを支持する枠体部１３と、枠体部１３をＸ軸周りに揺動可能に支持する軸部１４ａ〜１４ｄと、軸部１４ａ〜１４ｄを支持する支持部１５と、枠体部１３に設けられたコイル３１と、コイル３１に作用する磁界を発生させる永久磁石２１と、支持部１５に設けられた軟磁性体２２、２３とを備え、平面視にて、Ｘ軸およびＹ軸により分割された支持部１５の４つの領域のうちＸ軸とＹ軸との交点Ｐに対して点対称に位置する２つの領域に軟磁性体２２、２３が位置している。【選択図】図１
2014048615.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の軸周りに揺動可能な可動部と、
前記可動部を前記第１の軸周りに揺動可能に支持する第１軸部と、
前記第１軸部を支持するとともに、前記第１の軸に交差する第２の軸周りに揺動可能な枠体部と、
前記枠体部を前記第２の軸周りに揺動可能に支持する第２軸部と、
前記第２軸部を支持する支持部と、
前記枠体部に設けられたコイルと、
前記コイルに作用する磁界を発生させる永久磁石と、
前記支持部に設けられ、前記永久磁石と前記コイルとの間の磁路を形成する第１の軟磁性体および第２の軟磁性体と、を備え、
前記第１の軸および前記第２の軸に対して垂直な方向からみた平面視にて、前記第１の軸および前記第２の軸により分割された前記支持部の４つの領域のうち、１つの領域を第１の領域とし、前記第１の領域に対して前記第１の軸と前記第２の軸との交点に対して点対称の位置となる領域を第２の領域としたとき、前記第１の軟磁性体が前記第１の領域に位置し、前記第２の軟磁性体が前記第２の領域に位置していることを特徴とするアクチュエーター。
【請求項２】
前記第１の軟磁性体は、前記平面視にて、前記第１の軸を跨いで前記第１の領域外へ延びる部分を有するとともに、前記第２の軸に対して前記第１の領域側に設けられ、
前記第２の軟磁性体は、前記平面視にて、前記第１の軸を跨いで前記第２の領域外へ延びる部分を有するとともに、前記第２の軸に対して前記第２の領域側に設けられている請求項１に記載のアクチュエーター。
【請求項３】
前記コイルは、前記枠体部の一方の面側に設けられ、
前記第１の軟磁性体および前記第２の軟磁性体は、それぞれ、前記支持部の前記コイルと同じ面側に設けられている請求項１または２に記載のアクチュエーター。
【請求項４】
前記第１の軟磁性体および前記第２の軟磁性体は、それぞれ、前記平面視にて、前記コイル側に向けて、幅が漸次減少する形状をなす請求項１ないし３のいずれか一項に記載のアクチュエーター。
【請求項５】
前記第１の軟磁性体および前記第２の軟磁性体は、それぞれ、板状をなす請求項１ないし４のいずれか一項に記載のアクチュエーター。
【請求項６】
前記支持部は、前記第１の軟磁性体および前記第２の軟磁性体が設けられる凹部を有する請求項１ないし５のいずれか一項に記載のアクチュエーター。
【請求項７】
前記第１の軟磁性体および前記第２の軟磁性体の前記支持部とは反対側の面に、光の反射率を低減する反射低減部を備える請求項１ないし６のいずれか一項に記載のアクチュエーター。
【請求項８】
前記可動部に固定され、かつ光反射性を有する光反射部が設けられた光反射板を有し、
前記枠体部は、前記可動部を囲んで設けられ、
前記光反射板は、前記第１軸部に対して前記光反射板の板厚方向に離間するとともに、前記板厚方向からみたときに前記第１軸部の少なくとも一部と重なって設けられている請求項１ないし７のいずれか一項に記載のアクチュエーター。
【請求項９】
前記コイルに電圧を印加する電圧印加部を備え、
前記電圧印加部は、
第１周波数の第１の電圧を発生させる第１電圧発生部と、
前記第１周波数と周波数の異なる第２周波数の第２の電圧を発生させる第２電圧発生部と、
前記第１の電圧と前記第２の電圧とを重畳する電圧重畳部と、を有し、
前記可動部を、前記第１周波数で前記第１の軸周りに揺動させるとともに、前記第２周波数で前記第２の軸周りに揺動させる請求項１ないし８のいずれか一項に記載のアクチュエーター。
【請求項１０】
第１の軸周りに揺動可能な可動部と、
前記可動部に固定され、かつ光反射性を有する光反射部が設けられた光反射板と、
前記可動部を前記第１の軸周りに揺動可能に支持する第１軸部と、
前記第１軸部を支持するとともに、前記第１の軸に交差する第２の軸周りに揺動可能な枠体部と、
前記枠体部を前記第２の軸周りに揺動可能に支持する第２軸部と、
前記第２軸部を支持する支持部と、
前記枠体部に設けられたコイルと、
前記コイルに作用する磁界を発生させる永久磁石と、
前記支持部に設けられ、前記永久磁石と前記コイルとの間の磁路を形成する第１の軟磁性体および第２の軟磁性体と、を備え、
前記第１の軸および前記第２の軸に対して垂直な方向からみた平面視にて、前記第１の軸および前記第２の軸により分割された前記支持部の４つの領域のうち、１つの領域を第１の領域とし、前記第１の領域に対して前記第１の軸と前記第２の軸との交点に対して点対称の位置となる領域を第２の領域としたとき、前記第１の軟磁性体が前記第１の領域に位置し、前記第２の軟磁性体が前記第２の領域に位置していることを特徴とする光スキャナー。
【請求項１１】
第１の軸周りに揺動可能な可動部と、
前記可動部に固定され、かつ光反射性を有する光反射部が設けられた光反射板と、
前記可動部を前記第１の軸周りに揺動可能に支持する第１軸部と、
前記第１軸部を支持するとともに、前記第１の軸に交差する第２の軸周りに揺動可能な枠体部と、
前記枠体部を前記第２の軸周りに揺動可能に支持する第２軸部と、
前記第２軸部を支持する支持部と、
前記枠体部に設けられたコイルと、
前記コイルに作用する磁界を発生させる永久磁石と、
前記支持部に設けられ、前記永久磁石と前記コイルとの間の磁路を形成する第１の軟磁性体および第２の軟磁性体と、を備え、
前記第１の軸および前記第２の軸に対して垂直な方向からみた平面視にて、前記第１の軸および前記第２の軸により分割された前記支持部の４つの領域のうち、１つの領域を第１の領域とし、前記第１の領域に対して前記第１の軸と前記第２の軸との交点に対して点対称の位置となる領域を第２の領域としたとき、前記第１の軟磁性体が前記第１の領域に位置し、前記第２の軟磁性体が前記第２の領域に位置していることを特徴とする画像表示装置。
【請求項１２】
第１の軸周りに揺動可能な可動部と、
前記可動部に固定され、かつ光反射性を有する光反射部が設けられた光反射板と、
前記可動部を前記第１の軸周りに揺動可能に支持する第１軸部と、
前記第１軸部を支持するとともに、前記第１の軸に交差する第２の軸周りに揺動可能な枠体部と、
前記枠体部を前記第２の軸周りに揺動可能に支持する第２軸部と、
前記第２軸部を支持する支持部と、
前記枠体部に設けられたコイルと、
前記コイルに作用する磁界を発生させる永久磁石と、
前記支持部に設けられ、前記永久磁石と前記コイルとの間の磁路を形成する第１の軟磁性体および第２の軟磁性体と、を備え、
前記第１の軸および前記第２の軸に対して垂直な方向からみた平面視にて、前記第１の軸および前記第２の軸により分割された前記支持部の４つの領域のうち、１つの領域を第１の領域とし、前記第１の領域に対して前記第１の軸と前記第２の軸との交点に対して点対称の位置となる領域を第２の領域としたとき、前記第１の軟磁性体が前記第１の領域に位置し、前記第２の軟磁性体が前記第２の領域に位置していることを特徴とするヘッドマウントディスプレイ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、アクチュエーター、光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、プロジェクター等に用いられるアクチュエーター（光学デバイス）として、２次元的に光を走査する光スキャナーが知られている（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１に記載の光スキャナーは、一対の永久磁石が設けられた絶縁基板と、一対の永久磁石の間に位置するように絶縁基板に支持されたスキャナー本体とを有する。そして、スキャナー本体は、枠状の支持部と、支持部の内側に設けられた枠状の外側可動板と、外側可動板の内側に設けられた内側可動板（ミラー）とを有している。また、外側可動板は、Ｘ軸方向に延在する１対の第１トーションバーを介して支持部に連結されており、内側可動板は、Ｘ軸方向と直交するＹ軸方向に延在する１対の第２トーションバーを介して外側可動板に連結している。また、外側可動板および内側可動板には、それぞれコイルが設けられている。
このような構成の光スキャナーでは、通電により各コイルから発生する磁界と一対の永久磁石間に発生する磁界との相互作用により、外側可動板が内側可動板とともに第１トーションバーを中心軸としてＸ軸まわりに揺動し、内側可動板が第２トーションバーを中心軸としてＹ軸まわりに揺動する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平８−３２２２２７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、特許文献１に記載の光スキャナーは、永久磁石とコイルとの間にヨークやコアが設けられていないため、永久磁石からの磁界の磁力線をコイルの内側に集中させることができない。そのため、内側可動板および外側可動板をそれぞれ所望の揺動角（振れ角）で揺動させるには、コイルへの電流を大きくする必要がある。このようなことから、従来の光スキャナーでは、消費電力の増大を招くという問題があった。
本発明の目的は、ムービングコイル方式を採用し、光スキャナーに適用した場合に２次元的に光を走査することができるアクチュエーターにおいて、省電力化を図ることができるアクチュエーター、光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明のアクチュエーターは、第１の軸周りに揺動可能な可動部と、
前記可動部を前記第１の軸周りに揺動可能に支持する第１軸部と、
前記第１軸部を支持するとともに、前記第１の軸に交差する第２の軸周りに揺動可能な枠体部と、
前記枠体部を前記第２の軸周りに揺動可能に支持する第２軸部と、
前記第２軸部を支持する支持部と、
前記枠体部に設けられたコイルと、
前記コイルに作用する磁界を発生させる永久磁石と、
前記支持部に設けられ、前記永久磁石と前記コイルとの間の磁路を形成する第１の軟磁性体および第２の軟磁性体と、を備え、
前記第１の軸および前記第２の軸に対して垂直な方向からみた平面視にて、前記第１の軸および前記第２の軸により分割された前記支持部の４つの領域のうち、１つの領域を第１の領域とし、前記第１の領域に対して前記第１の軸と前記第２の軸との交点に対して点対称の位置となる領域を第２の領域としたとき、前記第１の軟磁性体が前記第１の領域に位置し、前記第２の軟磁性体が前記第２の領域に位置していることを特徴とする。
このように構成されたアクチュエーターによれば、ムービングコイル方式を採用し、光スキャナーに適用した場合に２次元的に光を走査することができるアクチュエーターにおいて、省電力化を図ることができる。
【０００６】
本発明のアクチュエーターでは、前記第１の軟磁性体は、前記平面視にて、前記第１の軸を跨いで前記第１の領域外へ延びる部分を有するとともに、前記第２の軸に対して前記第１の領域側に設けられ、
前記第２の軟磁性体は、前記平面視にて、前記第１の軸を跨いで前記第２の領域外へ延びる部分を有するとともに、前記第２の軸に対して前記第２の領域側に設けられていることが好ましい。
これにより、コイルに作用する磁界の第１の軸に平行な方向成分を多くし、枠体部を第２の軸周りに効率的に揺動させることができる。
【０００７】
本発明のアクチュエーターでは、前記コイルは、前記枠体部の一方の面側に設けられ、
前記第１の軟磁性体および前記第２の軟磁性体は、それぞれ、前記支持部の前記コイルと同じ面側に設けられていることが好ましい。
これにより、第１の軸および第２の軸に対して垂直な方向において第１の軟磁性体および第２の軟磁性体の中心とコイルの中心とを一致または近づけることができる。ここで、支持部のコイルと同じ面側には、通常、コイルへの通電のための配線や端子が配置されるが、第１の軟磁性体および第２の軟磁性体が支持部の一部の領域に設けられているため、支持部の第１の軟磁性体および第２の軟磁性体が設けられていない残部の領域に、かかる配線や端子を配置することができる。
【０００８】
本発明のアクチュエーターでは、前記第１の軟磁性体および前記第２の軟磁性体は、それぞれ、前記平面視にて、前記コイル側に向けて、幅が漸次減少する形状をなすことが好ましい。
これにより、永久磁石からの磁界を効率的にコイルに集中させることができる。
本発明のアクチュエーターでは、前記第１の軟磁性体および前記第２の軟磁性体は、それぞれ、板状をなすことが好ましい。
これにより、低コスト化および小型化を図ることができる。また、可動部に光反射板を固定した場合に、光反射板の揺動のための空間を確保しつつ、第１の軟磁性体および第２の軟磁性体を設置することができる。
【０００９】
本発明のアクチュエーターでは、前記支持部は、前記第１の軟磁性体および前記第２の軟磁性体が設けられる凹部を有することが好ましい。
これにより、第１の軟磁性体および第２の軟磁性体の厚さがコイルの厚さよりも厚くても、第１の軸および第２の軸に対して垂直な方向において第１の軟磁性体および第２の軟磁性体の中心とコイルの中心とを一致または近づけることができる。また、可動部に光反射板を固定した場合に、光反射板の揺動のための空間を確保しつつ、第１の軟磁性体および第２の軟磁性体を設置することができる。
【００１０】
本発明のアクチュエーターでは、前記第１の軟磁性体および前記第２の軟磁性体の前記支持部とは反対側の面に、光の反射率を低減する反射低減部を備えることが好ましい。
これにより、第１の軟磁性体または第２の軟磁性体に入射した不要光が迷光となるのを防止することができる。
本発明のアクチュエーターでは、前記可動部に固定され、かつ光反射性を有する光反射部が設けられた光反射板を有し、
前記枠体部は、前記可動部を囲んで設けられ、
前記光反射板は、前記第１軸部に対して前記光反射板の板厚方向に離間するとともに、前記板厚方向からみたときに前記第１軸部の少なくとも一部と重なって設けられていることが好ましい。
これにより、アクチュエーターの小型化を図ることができる。
【００１１】
本発明のアクチュエーターでは、前記コイルに電圧を印加する電圧印加部を備え、
前記電圧印加部は、
第１周波数の第１の電圧を発生させる第１電圧発生部と、
前記第１周波数と周波数の異なる第２周波数の第２の電圧を発生させる第２電圧発生部と、
前記第１の電圧と前記第２の電圧とを重畳する電圧重畳部と、を有し、
前記可動部を、前記第１周波数で前記第１の軸周りに揺動させるとともに、前記第２周波数で前記第２の軸周りに揺動させることが好ましい。
これにより、アクチュエーターの小型化を図ることができる。
【００１２】
本発明の光スキャナーは、第１の軸周りに揺動可能な可動部と、
前記可動部に固定され、かつ光反射性を有する光反射部が設けられた光反射板と、
前記可動部を前記第１の軸周りに揺動可能に支持する第１軸部と、
前記第１軸部を支持するとともに、前記第１の軸に交差する第２の軸周りに揺動可能な枠体部と、
前記枠体部を前記第２の軸周りに揺動可能に支持する第２軸部と、
前記第２軸部を支持する支持部と、
前記枠体部に設けられたコイルと、
前記コイルに作用する磁界を発生させる永久磁石と、
前記支持部に設けられ、前記永久磁石と前記コイルとの間の磁路を形成する第１の軟磁性体および第２の軟磁性体と、を備え、
前記第１の軸および前記第２の軸に対して垂直な方向からみた平面視にて、前記第１の軸および前記第２の軸により分割された前記支持部の４つの領域のうち、１つの領域を第１の領域とし、前記第１の領域に対して前記第１の軸と前記第２の軸との交点に対して点対称の位置となる領域を第２の領域としたとき、前記第１の軟磁性体が前記第１の領域に位置し、前記第２の軟磁性体が前記第２の領域に位置していることを特徴とする。
このように構成された光スキャナーによれば、ムービングコイル方式により２次元的に光を走査する光スキャナーにおいて、省電力化を図ることができる。
【００１３】
本発明の画像表示装置は、第１の軸周りに揺動可能な可動部と、
前記可動部に固定され、かつ光反射性を有する光反射部が設けられた光反射板と、
前記可動部を前記第１の軸周りに揺動可能に支持する第１軸部と、
前記第１軸部を支持するとともに、前記第１の軸に交差する第２の軸周りに揺動可能な枠体部と、
前記枠体部を前記第２の軸周りに揺動可能に支持する第２軸部と、
前記第２軸部を支持する支持部と、
前記枠体部に設けられたコイルと、
前記コイルに作用する磁界を発生させる永久磁石と、
前記支持部に設けられ、前記永久磁石と前記コイルとの間の磁路を形成する第１の軟磁性体および第２の軟磁性体と、を備え、
前記第１の軸および前記第２の軸に対して垂直な方向からみた平面視にて、前記第１の軸および前記第２の軸により分割された前記支持部の４つの領域のうち、１つの領域を第１の領域とし、前記第１の領域に対して前記第１の軸と前記第２の軸との交点に対して点対称の位置となる領域を第２の領域としたとき、前記第１の軟磁性体が前記第１の領域に位置し、前記第２の軟磁性体が前記第２の領域に位置していることを特徴とする。
このように構成された画像表示装置によれば、ムービングコイル方式により２次元的に光を走査する光スキャナーの省電力化を図ることができる。
【００１４】
本発明のヘッドマウントディスプレイは、第１の軸周りに揺動可能な可動部と、
前記可動部に固定され、かつ光反射性を有する光反射部が設けられた光反射板と、
前記可動部を前記第１の軸周りに揺動可能に支持する第１軸部と、
前記第１軸部を支持するとともに、前記第１の軸に交差する第２の軸周りに揺動可能な枠体部と、
前記枠体部を前記第２の軸周りに揺動可能に支持する第２軸部と、
前記第２軸部を支持する支持部と、
前記枠体部に設けられたコイルと、
前記コイルに作用する磁界を発生させる永久磁石と、
前記支持部に設けられ、前記永久磁石と前記コイルとの間の磁路を形成する第１の軟磁性体および第２の軟磁性体と、を備え、
前記第１の軸および前記第２の軸に対して垂直な方向からみた平面視にて、前記第１の軸および前記第２の軸により分割された前記支持部の４つの領域のうち、１つの領域を第１の領域とし、前記第１の領域に対して前記第１の軸と前記第２の軸との交点に対して点対称の位置となる領域を第２の領域としたとき、前記第１の軟磁性体が前記第１の領域に位置し、前記第２の軟磁性体が前記第２の領域に位置していることを特徴とする。
このように構成されたヘッドマウントディスプレイによれば、ムービングコイル方式により２次元的に光を走査する光スキャナーの省電力化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明のアクチュエーター（光スキャナー）の第１実施形態を示す平面図である。
【図２】図１に示すアクチュエーターの断面図（Ｘ軸に沿った断面図）である。
【図３】図１に示すアクチュエーターが備える駆動部の電圧印加部を説明するためのブロック図である。
【図４】図３に示す第１電圧発生部および第２電圧発生部での発生電圧の一例を示す図である。
【図５】図１に示すアクチュエーターが備える第１の軟磁性体および第２の軟磁性体を説明するための図である。
【図６】本発明のアクチュエーター（光スキャナー）の第２実施形態を示す断面図である。
【図７】図６に示すアクチュエーターが備える第１の軟磁性体および第２の軟磁性体を説明するための図である。
【図８】本発明の画像表示装置の実施形態を模式的に示す図である。
【図９】本発明の画像表示装置の応用例１を示す斜視図である。
【図１０】本発明の画像表示装置の応用例２を示す斜視図である。
【図１１】本発明の画像表示装置の応用例３を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明のアクチュエーター、光スキャナーおよび画像表示装置の好適な実施形態について、添付図面を参照しつつ説明する。なお、以下の実施形態では、本発明のアクチュエーターを光スキャナー（光学デバイス）に適用した場合について代表的に説明する。
＜第１実施形態＞
図１は、本発明のアクチュエーター（光スキャナー）の第１実施形態を示す平面図、図２は、図１に示すアクチュエーターの断面図（Ｘ軸に沿った断面図）である。また、図３は、図１に示すアクチュエーターが備える駆動部の電圧印加部を説明するためのブロック図、図４は、図３に示す第１電圧発生部および第２電圧発生部での発生電圧の一例を示す図である。また、図５は、図１に示すアクチュエーターが備える第１の軟磁性体および第２の軟磁性体を説明するための図である。なお、以下では、説明の便宜上、図２中の上側を「上」、下側を「下」と言う。また、図１では説明上、可動ミラー部を透視した状態の平面図を示す。
【００１７】
図１および図２に示すように、光スキャナー１は、可動ミラー部１１と、１対の軸部１２ａ、１２ｂ（第１軸部）と、枠体部１３と、２対の軸部１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄ（第２軸部）と、支持部１５と、永久磁石２１と、軟磁性体（第１の軟磁性体）２２と、軟磁性体（第２の軟磁性体）２３と、コイル３１と、電圧印加部４（図示せず）とを備える。
【００１８】
ここで、可動ミラー部１１および１対の軸部１２ａ、１２ｂは、Ｙ軸（第１の軸）周りに揺動（往復回動）する第１の振動系を構成する。また、可動ミラー部１１、１対の軸部１２ａ、１２ｂ、枠体部１３、２対の軸部１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄおよびコイル３１は、Ｙ軸に直交（交差）するＸ軸（第２の軸）周りに揺動（往復回動）する第２の振動系を構成する。
また、永久磁石２１、軟磁性体２２、２３、コイル３１および電圧印加部４（図示せず）は、前述した第１の振動系および第２の振動系を駆動（すなわち、可動ミラー部１１をＸ軸およびＹ軸周りに揺動）させる駆動部を構成する。
【００１９】
以下、光スキャナー１の各部を順次詳細に説明する。
可動ミラー部１１は、基部（可動部）１１１と、スペーサー１１２を介して基部１１１に固定された光反射板１１３とを有する。
光反射板１１３の上面（一方の面）には、光反射性を有する光反射部１１４が設けられている。
この光反射板１１３は、軸部１２ａ、１２ｂに対して光反射板１１３の板厚方向に離間するとともに、光反射板１１３の板厚方向（Ｘ軸およびＹ軸の双方に垂直な方向）からみたときに（以下、「平面視」ともいう）、軸部１２ａ、１２ｂと重なって設けられている。
【００２０】
そのため、軸部１２ａと軸部１２ｂとの間の距離を短くしつつ、光反射板１１３の板面の面積を大きくすることができる。また、軸部１２ａと軸部１２ｂとの間の距離を短くすることができることから、枠体部１３の小型化を図ることができる。さらに、枠体部１３の小型化を図ることができることから、軸部１４ａ、１４ｂと軸部１４ｃ、１４ｄとの間の距離を短くすることができる。また、軸部１４ａ、１４ｂと軸部１４ｃ、１４ｄとの間の距離を短くすることができることから、支持部１５の小型化を図ることができる。さらに、支持部１５の小型化を図ることができることから、後述する永久磁石２１の１対の磁極を支持部１５の外側に配置した場合において、当該１対の磁極間の距離を短くすることができる。
このようなことから、光反射板１１３の板面の面積を大きくしても、光スキャナー１の小型化を図ることができる。
【００２１】
また、永久磁石２１の１対の磁極を支持部１５の外側に配置した場合において、当該１対の磁極間の距離を短くすることができることから、永久磁石２１の磁界を効率的にコイル３１へ作用させることができる。そのため、永久磁石２１の小型化を図りつつ、光反射板１１３の揺動角を大きくすることができる。
また、光反射板１１３は、平面視にて、軸部１２ａ、１２ｂの全体を覆うように形成されている。言い換えると、軸部１２ａ、１２ｂは、それぞれ、平面視にて、光反射板１１３の外周に対して内側に位置している。これにより、光反射板１１３の板面の面積が大きくなり、その結果、光反射部１１４の面積を大きくすることができる。また、不要な光（例えば、光反射部１１４に入射できなかった光）が軸部１２ａ、１２ｂで反射して迷光となるのを防止することができる。
【００２２】
また、光反射板１１３は、平面視にて、枠体部１３の全体を覆うように形成されている。言い換えると、枠体部１３は、平面視にて、光反射板１１３の外周に対して内側に位置している。これにより、光反射板１１３の板面の面積が大きくなり、その結果、光反射部１１４の面積を大きくすることができる。また、不要な光が枠体部１３で反射して迷光となるのを防止することができる。
【００２３】
さらに、光反射板１１３は、平面視にて、軸部１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄの全体を覆うように形成されている。言い換えると、軸部１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄは、それぞれ、平面視にて、光反射板１１３の外周に対して内側に位置している。これにより、光反射板１１３の板面の面積が大きくなり、その結果、光反射部１１４の面積を大きくすることができる。また、不要な光が軸部１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄで反射して迷光となるのを防止することができる。
【００２４】
本実施形態では、光反射板１１３は、平面視にて、円形をなしている。なお、光反射板１１３の平面視形状は、これに限定されず、例えば、楕円形、四角形等の多角形であってもよいし、振動系全体の外形に沿った外形を有する形状であってもよい。光反射板１１３をＸ軸およびＹ軸に沿った方向にそれぞれ突出した形状にすることで、光反射板１１３の慣性モーメント増加を抑えることができる。
このような光反射板１１３の下面（他方の面、光反射板１１３の基部１１１側の面）には、硬質層１１５が設けられている。
【００２５】
硬質層１１５は、光反射板１１３本体の構成材料よりも硬質な材料で構成されている。これにより、光反射板１１３の剛性を高めることができる。そのため、光反射板１１３の揺動時における撓みを防止または抑制することができる。また、光反射板１１３の厚さを薄くし、光反射板１１３のＸ軸およびＹ軸周りの揺動時における慣性モーメントを抑えることができる。
【００２６】
このような硬質層１１５の構成材料としては、光反射板１１３本体の構成材料よりも硬質な材料であれば、特に限定されず、例えば、ダイヤモンド、水晶、サファイヤ、タンタル酸リチウム、ニオブ酸カリウム、カーボンナイトライド膜などを用いることができるが、特に、ダイヤモンドを用いるのが好ましい。
硬質層１１５の厚さ（平均）は、特に限定されないが、１〜１０μｍ程度であるのが好ましく、１〜５μｍ程度であるのがさらに好ましい。
【００２７】
また、硬質層１１５は、単層で構成されていてもよいし、複数の層の積層体で構成されていてもよい。また、硬質層１１５は、光反射板１１３の下面全体に設けられていてもよいし、下面の一部に設けられていてもよい。なお、硬質層１１５は、必要に応じて設けられるものであり、省略することもできる。
このような硬質層１１５の形成には、例えば、プラズマＣＶＤ、熱ＣＶＤ、レーザーＣＶＤのような化学蒸着法（ＣＶＤ）、真空蒸着、スパッタリング、イオンプレーティング等の乾式メッキ法、電解メッキ、浸漬メッキ、無電解メッキ等の湿式メッキ法、溶射、シート状部材の接合等を用いることができる。
【００２８】
また、光反射板１１３の下面は、スペーサー１１２を介して基部１１１に固定されている。これにより、軸部１２ａ、１２ｂ、枠体部１３および軸部１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄとの接触を防止しつつ、光反射板１１３をＹ軸周りに揺動させることができる。
また、基部１１１は、平面視にて、光反射板１１３の外周に対して内側に位置している。また、基部１１１の平面視での面積は、基部１１１がスペーサー１１２を介して光反射板１１３を支持することができれば、できるだけ小さいのが好ましい。これにより、光反射板１１３の板面の面積を大きくしつつ、軸部１２ａと軸部１２ｂとの間の距離を小さくすることができる。
【００２９】
枠体部１３は、枠状をなし、前述した可動ミラー部１１の基部１１１を囲んで設けられている。言い換えると、可動ミラー部１１の基部１１１は、枠状をなす枠体部１３の内側に設けられている。
そして、枠体部１３は、軸部１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄを介して支持部１５に支持されている。また、可動ミラー部１１の基部１１１は、軸部１２ａ、１２ｂを介して枠体部１３に支持されている。
【００３０】
また、枠体部１３は、Ｙ軸に沿った方向での長さがＸ軸に沿った方向での長さよりも長くなっている。すなわち、Ｙ軸に沿った方向における枠体部１３の長さをａとし、Ｘ軸に沿った方向における枠体部１３の長さをｂとしたとき、ａ＞ｂなる関係を満たす。これにより、軸部１２ａ、１２ｂに必要な長さを確保しつつ、Ｘ軸に沿った方向における光スキャナー１の長さを抑えることができる。
【００３１】
また、枠体部１３は、平面視にて、可動ミラー部１１の基部１１１および１対の軸部１２ａ、１２ｂからなる構造体の外形に沿った形状をなしている。これにより、可動ミラー部１１および１対の軸部１２ａ、１２ｂで構成された第１の振動系の振動、すなわち、可動ミラー部１１のＹ軸周りの揺動を許容しつつ、枠体部１３の小型化を図ることができる。
なお、枠体部１３の形状は、枠状であれば、図示のものに限定されない。
【００３２】
軸部１２ａ、１２ｂおよび軸部１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄは、それぞれ、弾性変形可能である。
そして、軸部１２ａ、１２ｂは、可動ミラー部１１をＹ軸（第１の軸）周りに揺動（回動）可能とするように、可動ミラー部１１と枠体部１３を連結している。また、軸部１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄは、枠体部１３をＹ軸に直交するＸ軸（第２の軸）周りに揺動（回動）可能とするように、枠体部１３と支持部１５を連結している。
【００３３】
軸部１２ａ、１２ｂは、可動ミラー部１１の基部１１１を介して互いに対向するように配置されている。また、軸部１２ａ、１２ｂは、それぞれ、Ｙ軸に沿った方向に延在する長手形状をなす。そして、軸部１２ａ、１２ｂは、それぞれ、一端部が基部１１１に接続され、他端部が枠体部１３に接続されている。また、軸部１２ａ、１２ｂは、それぞれ、中心軸がＹ軸に一致するように配置されている。
【００３４】
このように基部１１１をＹ軸周りに揺動可能に支持する軸部１２ａ、１２ｂは、それぞれ、可動ミラー部１１のＹ軸周りの揺動に伴ってねじれ変形する。
軸部１４ａ、１４ｂおよび軸部１４ｃ、１４ｄは、枠体部１３を介して互いに対向するように配置されている。また、軸部１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄは、それぞれ、Ｘ軸に沿った方向に延在する長手形状をなす。そして、軸部１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄは、それぞれ、一端部が枠体部１３に接続され、他端部が支持部１５に接続されている。また、軸部１４ａ、１４ｂは、Ｘ軸を介して互いに対向するように配置され、同様に、軸部１４ｃ、１４ｄは、Ｘ軸を介して互いに対向するように配置されている。
【００３５】
このように枠体部１３をＸ軸周りに揺動可能に支持する軸部１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄは、枠体部１３のＸ軸周りの揺動に伴って、軸部１４ａ、１４ｂ全体および軸部１４ｃ、１４ｄ全体がそれぞれねじれ変形する。
このように、可動ミラー部１１をＹ軸周りに揺動可能とするとともに、枠体部１３をＸ軸周りに揺動可能とすることにより、可動ミラー部１１（光反射板１１３）を互いに直交するＸ軸およびＹ軸の２軸周りに揺動（回動）させることができる。
なお、軸部１２ａ、１２ｂおよび軸部１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄの形状は、それぞれ、前述したものに限定されず、例えば、途中の少なくとも１箇所に屈曲または湾曲した部分や分岐した部分を有していてもよい。
【００３６】
軸部１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄを支持する支持部１５は、平面視にて、枠体部１３を囲むように形成された枠状をなしている。
前述したような基部１１１、軸部１２ａ、１２ｂ、枠体部１３、軸部１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄおよび支持部１５は、一体的に形成されている。
本実施形態では、基部１１１、軸部１２ａ、１２ｂ、枠体部１３、軸部１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄおよび支持部１５は、第１のＳｉ層（デバイス層）と、ＳｉＯ２層（ボックス層）と、第２のＳｉ層（ハンドル層）とがこの順に積層したＳＯＩ基板をエッチングすることにより形成されている。これにより、第１の振動系および第２の振動系の振動特性を優れたものとすることができる。また、ＳＯＩ基板は、エッチングにより微細な加工が可能であるため、ＳＯＩ基板を用いて基部１１１、軸部１２ａ、１２ｂ、枠体部１３、軸部１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄおよび支持部１５を形成することにより、これらの寸法精度を優れたものとすることができ、また、光スキャナー１の小型化を図ることができる。
【００３７】
そして、基部１１１、軸部１２ａ、１２ｂおよび軸部１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄは、それぞれ、ＳＯＩ基板の第１のＳｉ層で構成されている。これにより、軸部１２ａ、１２ｂおよび軸部１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄの弾性を優れたものとすることができる。また、基部１１１がＹ軸周りに回動する際に枠体部１３に接触するのを防止することができる。
【００３８】
また、枠体部１３および支持部１５は、それぞれ、ＳＯＩ基板の第１のＳｉ層、ＳｉＯ２層および第２のＳｉ層からなる積層体で構成されている。これにより、枠体部１３および支持部１５の剛性を優れたものとすることができる。
また、平面視にて、支持部１５の上面のうち、光反射板１１３の外側に位置する部分には、反射防止処理が施されているのが好ましい。これにより、光反射板１１３以外に照射された不要光が迷光となるのを防止することができる。なお、光反射板１１３を小型化した場合、平面視にて、軸部１２ａ、１２ｂ、軸部１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄおよび枠体部１３の上面のうち、光反射板１１３の外側に位置する部分にも、反射防止処理が施されているのが好ましい。
【００３９】
かかる反射防止処理としては、特に限定されないが、例えば、反射防止膜（誘電体多層膜）の形成、粗面化処理、黒色処理等が挙げられる。
なお、前述した基部１１１、軸部１２ａ、１２ｂおよび軸部１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄの構成材料および形成方法は、一例であり、本発明は、これに限定されるものではない。
【００４０】
また、本実施形態では、スペーサー１１２および光反射板１１３も、ＳＯＩ基板をエッチングすることにより形成されている。そして、スペーサー１１２は、ＳＯＩ基板のＳｉＯ２層および第２のＳｉ層からなる積層体で構成されている。また、光反射板１１３は、ＳＯＩ基板の第１のＳｉ層で構成されている。
このように、ＳＯＩ基板を用いてスペーサー１１２および光反射板１１３を形成することにより、互いに接合されたスペーサー１１２および光反射板１１３を簡単かつ高精度に製造することができる。
【００４１】
このようなスペーサー１１２は、例えば、接着剤、ろう材等の接合材（図示せず）により基部１１１に接合されている。
前述した軸部１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄを支持する枠体部１３の上面（光反射板１１３側の面）には、コイル３１が接合されている。
コイル３１は、枠体部１３の周方向に沿って形成された環状をなす。そのため、このコイル３１は、電圧が印加されることにより、枠体部１３の内側付近においてＸ軸およびＹ軸の双方に直交する方向の磁界を発生させる。
【００４２】
コイル３１と枠体部１３との接合方法としては、特に限定されないが、例えば、接着剤を用いた接合方法を用いることができる。
なお、コイル３１は、予めコイルの形態をなすものを枠体部１３に接合したものであってもよいし、枠体部１３に公知の成膜法を用いてコイルの形状にパターニングすることにより形成されたものであってもよい。
【００４３】
このようなコイル３１は、電圧印加部４に電気的に接続されている。なお、電圧印加部４については、後に詳述する。
また、このようなコイル３１には、永久磁石２１からの磁界が作用する。ここで、永久磁石２１とコイル３１との間には、永久磁石２１とコイル３１との間の磁路を形成する軟磁性体２２、２３が設けられている。そのため、永久磁石２１からの磁界は、軟磁性体２２、２３を介してコイル３１に作用する。また、本実施形態における永久磁石２１は、第２の軟磁性体２３、コイル３１、および第１の軟磁性体２２を順次通過する磁界を発生させるように配置されている。
【００４４】
なお、永久磁石２１は、磁極２１ａを有する永久磁石と、磁極２１ｂを有する永久磁石とからなる１対の永久磁石で構成されていてもよいし、磁極２１ａ、２１ｂを有する１つの永久磁石で構成されていてもよい。また、磁極２１ａは、軟磁性体２２と接触していてもよく、同様に、磁極２１ｂは、軟磁性体２３と接触していてもよい。さらに、磁極２１ａと軟磁性体２２との間、および、磁極２１ｂと軟磁性体２３との間には、それぞれ、他の軟磁性体（コア、ヨーク）が設けられていてもよい。また、図示の例では、平面視にて、永久磁石２１の磁極２１ａと磁極２１ｂとを結ぶ線分がＸ軸およびＹ軸に対して傾斜しているが、永久磁石２１からの磁界を軟磁性体２２、２３に導くことによって、軟磁性体２２、２３間に後述するような磁界を生じさせることができれば、永久磁石２１の形状、配置等は特に限定されない。例えば、第１の軟磁性体２２と第２の軟磁性体２３とを、それぞれ支持部１５の上面および下面から挟むように設けられた２対の磁石を有していてもよい。
このような永久磁石２１としては、例えば、ネオジム磁石、フェライト磁石、サマリウムコバルト磁石、アルニコ磁石、ボンド磁石等を好適に用いることができる。
【００４５】
軟磁性体２２、２３は、支持部１５の上面に設けられている。
ここで、図５に示すように、平面視にて、Ｘ軸およびＹ軸により分割された支持部１５の４つの領域Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３、Ｓ４のうち、１つの領域Ｓ１（第１の領域）に軟磁性体２２（第１の軟磁性体）が偏在（位置）し、領域Ｓ１に対してＸ軸とＹ軸との交点Ｐを介して対向する（すなわち、交点Ｐに対して点対称の位置である）領域Ｓ２（第２の領域）に軟磁性体２３（第２の軟磁性体）が偏在（位置）している。なお、図５では、説明の便宜上、軟磁性体２２、２３の形成領域に網掛け模様を付している。また、領域Ｓ３は、Ｘ軸を介して領域Ｓ１に対向（隣接）するとともに、Ｙ軸を介して領域Ｓ２に対向（隣接）している。また、領域Ｓ４は、Ｘ軸を介して領域Ｓ２に対向（隣接）するとともに、Ｙ軸を介して領域Ｓ１に対向（隣接）している。
【００４６】
すなわち、平面視にて、Ｘ軸に対して一方側（図５にて右側）に軟磁性体２２が偏在し、Ｘ軸に対して他方側（図５にて左側）に軟磁性体２３が偏在している。また、平面視にて、Ｙ軸に対して一方側（図５にて上側）に軟磁性体２２が偏在し、Ｙ軸に対して他方側（図５にて下側）に軟磁性体２３が偏在している。
なお、ここで、「平面視にて領域Ｓ１に軟磁性体２２が偏在している」とは、平面視における軟磁性体２２の主たる形成領域が領域Ｓ１であること、より具体的には、平面視にて軟磁性体２２の領域Ｓ１に位置する面積が軟磁性体２２の領域Ｓ２、Ｓ３、Ｓ４に位置する面積よりも大きいことをいう。同様に、「平面視にて領域Ｓ２に軟磁性体２３が偏在している」とは、平面視における軟磁性体２３の主たる形成領域が領域Ｓ２であること、より具体的には、平面視にて軟磁性体２３の領域Ｓ２に位置する面積が軟磁性体２３の領域Ｓ１、Ｓ３、Ｓ４に位置する面積よりも大きいことをいう。
【００４７】
そして、軟磁性体２３は、永久磁石２１の一方の磁極２１ｂからコイル３１への磁路を形成する。また、軟磁性体２２は、コイル３１から永久磁石２１の他方の磁極２１ａへの磁路を形成する。すなわち、永久磁石２１の一方の磁極２１ｂから、軟磁性体２３、コイル３１、および軟磁性体２２を順に経由して、永久磁石２１の他方の磁極２１ａへの磁路を形成している。
【００４８】
このような軟磁性体２２と軟磁性体２３との間には、平面視にて、Ｘ軸およびＹ軸に対して傾斜する方向となる磁界が発生する。すなわち、永久磁石２１により軟磁性体２２と軟磁性体２３との間に生じる磁界は、Ｘ軸に平行な方向成分と、Ｙ軸に平行な方向成分とを有する。
したがって、かかる磁界と枠体部１３に設けられたコイル３１の磁界との相互作用により、枠体部１３をＸ軸周りおよびＹ軸周りに揺動または振動させることができる。
【００４９】
しかも、軟磁性体２２、２３が永久磁石２１からの磁界の磁力線をコイル３１の内側に集中させることができる。そのため、光スキャナー１の省電力化を図ることができる。
また、軟磁性体２２は、平面視にて、Ｙ軸を跨いで領域Ｓ１外（すなわち領域Ｓ４内）へ延びる部分を有するとともに、Ｘ軸に対して領域Ｓ１側（すなわち領域Ｓ１内）に設けられている。同様に、軟磁性体２３は、平面視にて、Ｙ軸を跨いで領域Ｓ２外（すなわち領域Ｓ３内）へ延びる部分を有するとともに、Ｘ軸に対して領域Ｓ２側（すなわち領域Ｓ２内）に設けられている。
【００５０】
このように軟磁性体２２、２３がそれぞれＹ軸を跨ぐ部分を有することにより、Ｙ軸方向において軟磁性体２２と軟磁性体２３とが重なる領域を形成することができる。また、軟磁性体２２、２３がＸ軸を跨がないようにすることにより、Ｘ軸方向において軟磁性体２２と軟磁性体２３とが重ならないようにすることができる。このようなことから、コイル３１に作用する磁界のＹ軸に平行な方向成分を多くし、枠体部１３をＸ軸周りに効率的に揺動させることができる。
【００５１】
本実施形態では、軟磁性体２２は、Ｘ軸に沿った縁部２２１と、Ｙ軸に沿った縁部２２２とを有し、縁部２２１が平面視にてＸ軸に一致し、縁部２２２がＹ軸に対して領域Ｓ４側に位置している。同様に、軟磁性体２３は、Ｘ軸に沿った縁部２３１と、Ｙ軸に沿った縁部２３２とを有し、縁部２３１が平面視にてＸ軸に一致し、縁部２３２がＹ軸に対して領域Ｓ３側に位置している。
【００５２】
縁部２２１、２３１が平面視にてＸ軸上に位置していると、コイル３１に作用する磁界について、Ｙ軸に平行な方向成分を減少させることなく、Ｘ軸に平行な方向成分を最も大きくすることができる。なお、縁部２２１、２３１は、縁部２２１、２３１を通り、かつ、Ｘ軸に平行な線分がコイル３１の内側を通るように配置されていれば、コイル３１に作用する磁界は、Ｘ軸に平行な方向成分を有する。
【００５３】
また、平面視にて、縁部２２２（特に縁部２２２のコイル３１側の端部）を通り、かつ、Ｙ軸に平行な線分Ｌ１、および、縁部２３２（特に縁部２３２のコイル３１側の端部）を通り、かつ、Ｙ軸に平行な線分Ｌ２が、それぞれ、コイル３１の内側を通る。これにより、コイル３１に作用する磁界のＹ軸に平行な方向成分を効率的に大きくすることができる。
【００５４】
このような観点から、線分Ｌ１、Ｌ２とＹ軸との間の距離がＸ軸方向におけるコイル３１の内側の最大幅の１／２に等しいとき、コイル３１に作用する磁界のＹ軸に平行な方向成分を最も効率的に大きくすることができると言える。
このような軟磁性体２２、２３は、それぞれ、平面視にて、コイル３１側に向けて、幅（縁部２２１と縁部２２２との間の間隔、縁部２３１と縁部２３２との間の間隔）が漸次減少する形状をなす部分を有する。これにより、永久磁石２１からの磁界を効率的にコイル３１に集中させることができる。
【００５５】
また、前述したコイル３１は、枠体部１３の一方の面側（上側）に設けられているが、軟磁性体２２、２３は、それぞれ、支持部１５のコイル３１と同じ面側（上側）に設けられている。
これにより、Ｘ軸およびＹ軸に対して垂直な方向において軟磁性体２２、２３の中心とコイル３１の中心とを一致または近づけることができる。
【００５６】
ここで、図示しないが、支持部１５のコイル３１と同じ面側には、コイル３１への通電のための配線や端子が配置されている。光スキャナー１では、軟磁性体２２、２３が支持部１５の一部の領域（主に領域Ｓ１、Ｓ２）に設けられているため、支持部１５の軟磁性体２２、２３が設けられていない残部の領域（領域Ｓ３、Ｓ４）に、かかる配線や端子を配置することができる。また、光スキャナー１には、図示しないが、軸部１２ａまたは１２ｂに可動ミラー部１１の挙動（例えばＹ軸周りの揺動角、周波数等）を検出するためのピエゾ抵抗素子が設けられ、軸部１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄのいずれかに枠体部１３の挙動（例えばＸ軸周りの揺動角、周波数等）を検出するためのピエゾ抵抗素子が設けられている。これらピエゾ抵抗素子の配線も、支持部１５のコイル３１と同じ面側に設けられている。
【００５７】
すなわち、軟磁性体２２、２３は、コイル３１やピエゾ抵抗素子の配線や端子に対して、電気的に絶縁されるように、パターニングされている。
なお、軟磁性体２２、２３の表面に絶縁処理を施した場合、軟磁性体２２、２３上に、コイル３１やピエゾ抵抗素子の配線や端子を設けてもよい。
本実施形態では、軸部１４ｂ、１４ｃの支持部１５側の端部付近には、軟磁性体２２、２３が存在しないため、前述したような各配線を軸部１４ｂ、１４ｃを経由して、支持部１５上に設けられた端子に接続することができる。
【００５８】
また、軟磁性体２２、２３は、それぞれ、板状をなしている。なお、薄いシート状をなしている場合も、板状の範囲である。これにより、低コスト化および小型化を図ることができる。また、光反射板１１３の揺動のための空間を確保しつつ、軟磁性体２２、２３を設置することができる。
このような板状またはシート状をなす軟磁性体２２、２３は、公知の成膜法を用いて支持部１５上に成膜することによって形成されたものであってもよいが、軟磁性体２２、２３の厚さを容易かつ安価に厚くすることができることから、板状またはシート状の軟磁性体を打ち抜き加工したものを支持部１５上に接着剤等により固定したものであるのが好ましい。
【００５９】
また、軟磁性体２２、２３の厚さｔ２は、それぞれ、特に限定されないが、コイル３１の厚さｔ１に対し、１倍以上４倍以下であることが好ましく、具体的には、５μｍ以上２００μｍ以下であることが好ましい。
なお、図示では、軟磁性体２２、２３の厚さが全域において一定となっているが、厚さが異なる部分を有していてもよい。例えば、永久磁石２１の磁極２１ａ、２１ｂ側の部分を厚くすることにより、永久磁石２１からの磁界をより効率的にコイル３１へ導くことができる。
【００６０】
また、軟磁性体２２、２３は、それぞれ、軟磁性材料を主材料として構成されている。このような軟磁性材料としては、特に限定されず、例えば、Ｆｅ、各種Ｆｅ合金（ケイ素鉄、パーマロイ、アモルファス、センダスト）等が挙げられる。なお、軟磁性体２２、２３は、全体として軟磁性体の特性を有すれば、軟磁性材料以外の材料が含まれていてもよい。
【００６１】
また、軟磁性体２２の支持部１５とは反対側の面（上面）には、光の反射率を低減する反射低減部が設けられているのが好ましい。同様に、軟磁性体２３の支持部１５とは反対側の面にも、光の反射率を低減する反射低減部が設けられているのが好ましい。
これにより、軟磁性体２２、２３に入射した不要光が迷光となるのを防止することができる。
かかる反射低減部は、前述した支持部１５の反射防止処理と同様の処理により形成することができる。
【００６２】
ここで、コイル３１に電気的に接続された電圧印加部４について説明する。
電圧印加部４は、図３に示すように、可動ミラー部１１をＹ軸周りに回動させるための第１の電圧Ｖ１を発生させる第１電圧発生部４１と、可動ミラー部１１をＸ軸周りに回動させるための第２の電圧Ｖ２を発生させる第２電圧発生部４２と、第１の電圧Ｖ１と第２の電圧Ｖ２とを重畳する電圧重畳部４３とを備え、電圧重畳部４３で重畳した電圧をコイル３１に印加する。
【００６３】
第１電圧発生部４１は、図４（ａ）に示すように、周期Ｔ１で周期的に変化する第１の電圧Ｖ１（水平走査用電圧）を発生させるものである。すなわち、第１電圧発生部４１は、第１周波数（１／Ｔ１）の第１の電圧Ｖ１を発生させるものである。
第１の電圧Ｖ１は、正弦波のような波形をなしている。そのため、光スキャナー１は効果的に光を主走査することができる。なお、第１の電圧Ｖ１の波形は、これに限定されない。
また、第１周波数（１／Ｔ１）は、水平走査に適した周波数であれば、特に限定されないが、１０〜４０ｋＨｚであるのが好ましい。
【００６４】
本実施形態では、第１周波数は、可動ミラー部１１および１対の軸部１２ａ、１２ｂで構成される第１の振動系（ねじり振動系）のねじり共振周波数（ｆ１）と等しくなるように設定されている。つまり、第１の振動系は、そのねじり共振周波数ｆ１が水平走査に適した周波数になるように設計（製造）されている。これにより、可動ミラー部１１のＹ軸周りの回動角を大きくすることができる。
【００６５】
一方、第２電圧発生部４２は、図４（ｂ）に示すように、周期Ｔ１と異なる周期Ｔ２で周期的に変化する第２の電圧Ｖ２（垂直走査用電圧）を発生させるものである。すなわち、第２電圧発生部４２は、第２周波数（１／Ｔ２）の第２の電圧Ｖ２を発生させるものである。
第２の電圧Ｖ２は、鋸波のような波形をなしている。そのため、光スキャナー１は効果的に光を垂直走査（副走査）することができる。なお、第２の電圧Ｖ２の波形は、これに限定されない。
【００６６】
第２周波数（１／Ｔ２）は、第１周波数（１／Ｔ１）と異なり、かつ、垂直走査に適した周波数であれば、特に限定されないが、３０〜１２０Ｈｚ（６０Ｈｚ程度）であるのが好ましい。このように、第２の電圧Ｖ２の周波数を６０Ｈｚ程度とし、前述したように第１の電圧Ｖ１の周波数を１０〜４０ｋＨｚとすることで、ディスプレイでの描画に適した周波数で、可動ミラー部１１を互いに直交する２軸（Ｘ軸およびＹ軸）のそれぞれの軸周りに回動させることができる。ただし、可動ミラー部１１をＸ軸およびＹ軸のそれぞれの軸周りに回動させることができれば、第１の電圧Ｖ１の周波数と第２の電圧Ｖ２の周波数との組み合わせは、特に限定されない。
【００６７】
本実施形態では、第２の電圧Ｖ２の周波数は、可動ミラー部１１、１対の軸部１２ａ、１２ｂ、枠体部１３、２対の軸部１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄおよびコイル３１で構成された第２の振動系（ねじり振動系）のねじり共振周波数（共振周波数）と異なる周波数となるように調整されている。
このような第２の電圧Ｖ２の周波数（第２周波数）は、第１の電圧Ｖ１の周波数（第１周波数）よりも小さいことが好ましい。すなわち、周期Ｔ２は、周期Ｔ１よりも長いことが好ましい。これにより、より確実かつより円滑に、可動ミラー部１１をＹ軸周りに第１周波数で回動させつつ、Ｘ軸周りに第２周波数で回動させることができる。
【００６８】
また、第１の振動系のねじり共振周波数をｆ１［Ｈｚ］とし、第２の振動系のねじり共振周波数をｆ２［Ｈｚ］としたとき、ｆ１とｆ２とが、ｆ２＜ｆ１の関係を満たすことが好ましく、ｆ１≧１０ｆ２の関係を満たすことがより好ましい。これにより、より円滑に、可動ミラー部１１を、Ｙ軸周りに第１の電圧Ｖ１の周波数で回動させつつ、Ｘ軸周りに第２の電圧Ｖ２の周波数で回動させることができる。これに対し、ｆ１≦ｆ２とした場合は、第２周波数による第１の振動系の振動が起こる可能性がある。
【００６９】
このような第１電圧発生部４１および第２電圧発生部４２は、それぞれ、制御部７に接続され、この制御部７からの信号に基づき駆動する。このような第１電圧発生部４１および第２電圧発生部４２には、電圧重畳部４３が接続されている。
電圧重畳部４３は、コイル３１に電圧を印加するための加算器４３ａを備えている。加算器４３ａは、第１電圧発生部４１から第１の電圧Ｖ１を受けるとともに、第２電圧発生部４２から第２の電圧Ｖ２を受け、これらの電圧を重畳しコイル３１に印加するようになっている。
【００７０】
次に、光スキャナー１の駆動方法について説明する。なお、本実施形態では、前述したように、第１の電圧Ｖ１の周波数は、第１の振動系のねじり共振周波数と等しく設定されており、第２の電圧Ｖ２の周波数は、第２の振動系のねじり共振周波数と異なる値に、かつ、第１の電圧Ｖ１の周波数よりも小さくなるように設定されている（例えば、第１の電圧Ｖ１の周波数が１８ｋＨｚ、第２の電圧Ｖ２の周波数が６０Ｈｚに設定されている）。
例えば、図４（ａ）に示すような第１の電圧Ｖ１と、図４（ｂ）に示すような第２の電圧Ｖ２とを電圧重畳部４３にて重畳し、重畳した電圧をコイル３１に印加する。
【００７１】
すると、第１の電圧Ｖ１によって、コイル３１の一方の面側（上側）を永久磁石２１の一方の磁極２１ａ側（Ｓ極側）に引き付けようとするとともに、コイル３１の他方の面側（下側）を永久磁石２１の他方の磁極２１ｂ側（Ｎ極側）に引き付けようとする磁界（この磁界を「磁界Ａ１」という）と、コイル３１の一方の面側（上側）を永久磁石２１の他方の磁極２１ｂ側（Ｎ極側）に引き付けようとするとともに、コイル３１の他方の面側（下側）を永久磁石２１の一方の磁極２１ａ側（Ｓ極側）に引き付けようとする磁界（この磁界を「磁界Ａ２」という）とが交互に切り換わる。
【００７２】
ここで、上述したように、永久磁石２１により軟磁性体２２と軟磁性体２３との間に生じる磁界は、平面視にて、Ｘ軸およびＹ軸に対して傾斜している。したがって、永久磁石２１により軟磁性体２２と軟磁性体２３との間に生じる磁界は、Ｘ軸に平行な成分を有する。そのため、磁界Ａ１と磁界Ａ２とが交互に切り換わることで、枠体部１３がＹ軸周りに回動する振動が励振され、その振動に伴って、軸部１２ａ、１２ｂを捩れ変形させつつ、可動ミラー部１１が第１の電圧Ｖ１の周波数でＹ軸まわりに回動する。
また、第１の電圧Ｖ１の周波数は、第１の振動系のねじり共振周波数と等しい。そのため、第１の電圧Ｖ１によって、効率的に、可動ミラー部１１をＹ軸周りに回動させることができる。すなわち、前述した枠体部１３がＹ軸周りに回動する振動が小さくても、その振動に伴う可動ミラー部１１のＹ軸周りの回動角を大きくすることができる。
【００７３】
一方、第２の電圧Ｖ２によって、コイル３１の一方の面側（上側）を永久磁石２１の一方の磁極２１ａ側（Ｓ極側）に引き付けようとするとともに、コイル３１の他方の面側（下側）を永久磁石２１の他方の磁極２１ｂ側（Ｎ極側）に引き付けようとする磁界（この磁界を「磁界Ｂ１」という）と、コイル３１の一方の面側（上側）を永久磁石２１の他方の磁極２１ｂ側（Ｎ極側）に引き付けようとするとともに、コイル３１の他方の面側（下側）を永久磁石２１の一方の磁極２１ａ側（Ｓ極側）に引き付けようとする磁界磁界（この磁界を「磁界Ｂ２」という）とが交互に切り換わる。
【００７４】
ここで、上述したように、永久磁石２１により軟磁性体２２と軟磁性体２３との間に生じる磁界は、平面視にて、Ｘ軸およびＹ軸に対して傾斜している。したがって、永久磁石２１により軟磁性体２２と軟磁性体２３との間に生じる磁界は、Ｙ軸に平行な成分を有する。そのため、磁界Ｂ１と磁界Ｂ２とが交互に切り換わることで、軸部１４ａ、１４ｂおよび軸部１４ｃ、１４ｄをそれぞれ捩れ変形させつつ、枠体部１３が可動ミラー部１１とともに、第２の電圧Ｖ２の周波数でＸ軸周りに回動する。
また、第２の電圧Ｖ２の周波数は、第１の電圧Ｖ１の周波数に比べて極めて低く設定されている。また、第２の振動系のねじり共振周波数は、第１の振動系のねじり共振周波数よりも低く設計されている。そのため、可動ミラー部１１が第２の電圧Ｖ２の周波数でＹ軸周りに回動してしまうことを防止することができる。
【００７５】
以上説明したように、第１の電圧Ｖ１と第２の電圧Ｖ２とを重畳させた電圧をコイル３１に印加することで、可動ミラー部１１を、Ｙ軸周りに第１の電圧Ｖ１の周波数で回動させつつ、Ｘ軸周りに第２の電圧のＶ２の周波数で回動させることができる。これにより、装置の低コスト化および小型化を図るとともに、電磁駆動方式（ムービングコイル方式）により、可動ミラー部１１をＸ軸およびＹ軸のそれぞれの軸周りに回動させることができる。また、駆動源を構成する部品（永久磁石およびコイル）の数を少なくすることができるため、簡単かつ小型な構成とすることができる。
以上説明したような光スキャナー１によれば、ムービングコイル方式により２次元的に光を走査することができるアクチュエーターにおいて、省電力化を図ることができる。
【００７６】
＜第２実施形態＞
次に、本発明の第２実施形態について説明する。
図６は、本発明のアクチュエーター（光スキャナー）の第２実施形態を示す断面図、図７は、図６に示すアクチュエーターが備える第１の軟磁性体および第２の軟磁性体を説明するための図である。なお、以下では、説明の便宜上、図６中の上側を「上」、下側を「下」と言う。
【００７７】
以下、第２実施形態について、前述した第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。なお、図６および図７において、前述した実施形態と同様の構成については、同一符号を付している。
本実施形態のアクチュエーターは、コイルおよび支持部の構成が異なる以外は、前述した第１実施形態のアクチュエーターと同様である。
【００７８】
図６および図７に示すように、第２実施形態の光スキャナー１Ａは、第２の振動系を支持する支持部１５Ａと、支持部１５Ａに設けられた軟磁性体２２Ａ、２３Ａとを有する。
本実施形態の支持部１５Ａの上面には、凹部１５１が形成されている。
そして、この凹部１５１内に軟磁性体２２Ａが設置されている。これにより、軟磁性体２２Ａの厚さｔ２がコイル３１の厚さｔ１よりも厚くても、Ｘ軸およびＹ軸に対して垂直な方向において軟磁性体２２Ａの中心とコイル３１の中心とを一致または近づけることができる。また、光反射板１１３の揺動のための空間を確保しつつ、軟磁性体２２Ａを設置することができる。
また、凹部１５１の内周が軟磁性体２２Ａの外周縁に当接する形状をなすようにすることで、支持部１５Ａに対する軟磁性体２２Ａの位置決めを行うことができる。本実施形態では、平面視にて、凹部１５１と軟磁性体２２Ａとがほぼ一致した形状となっている。
【００７９】
なお、図示しないが、支持部１５には、凹部１５１と同様に、軟磁性体２３Ａが設置される凹部が形成されている。
また、本実施形態では、図７に示すように、軟磁性体２２Ａは、Ｘ軸に沿った縁部２２１Ａと、Ｙ軸に沿った縁部２２２Ａと、軸部１４ａ付近を領域Ｓ１の内側に向かって切り欠いて形成された縁部２２３とを有し、縁部２２１Ａが平面視にてＸ軸に一致し、縁部２２２ＡがＹ軸に対して領域Ｓ４側に位置している。
【００８０】
同様に、軟磁性体２３Ａは、Ｘ軸に沿った縁部２３１Ａと、Ｙ軸に沿った縁部２３２Ａと、軸部１４ｄ付近を領域Ｓ２の内側に向かって切り欠いて形成された縁部２３３とを有し、縁部２３１Ａが平面視にてＸ軸に一致し、縁部２３２ＡがＹ軸に対して領域Ｓ３側に位置している。
このような軟磁性体２２Ａ、２３Ａは、縁部２２３、２３３を有することにより、前述したように支持部１５Ａの凹部に設置されていても、かかる凹部により軸部１４ａ、１４ｄと支持部１５Ａとの接続部の機械的強度が低下するのを防止することができる。
以上説明したような第２実施形態の光スキャナー１Ａによっても、ムービングコイル方式により２次元的に光を走査するアクチュエーター（光スキャナー）において、省電力化を図ることができる。
【００８１】
以上説明したような光スキャナー１、１Ａは、それぞれ、例えば、プロジェクター、ヘッドアップディスプレイ（ＨＵＤ）、ヘッドマウントディスプレイ（ＨＭＤ）のようなイメージング用ディスプレイ等の画像表示装置が備える光スキャナーに好適に適用することができる。このような画像表示装置によれば、ムービングコイル方式により２次元的に光を走査する光スキャナーの省電力化を図ることができる。
【００８２】
＜画像表示装置の実施形態＞
図８は、本発明の画像表示装置の実施形態を模式的に示す図である。
本実施形態では、画像表示装置の一例として、光スキャナー１をイメージング用ディスプレイの光スキャナーとして用いた場合を説明する。なお、スクリーンＳの長手方向を「横方向」といい、長手方向に直角な方向を「縦方向」という。また、Ｘ軸がスクリーンＳの横方向と平行であり、Ｙ軸がスクリーンＳの縦方向と平行である。
【００８３】
画像表示装置（プロジェクター）９は、レーザーなどの光を照出する光源装置（光源）９１と、複数のダイクロイックミラー９２Ａ、９２Ｂ、９２Ｃと、光スキャナー１とを有している。
光源装置９１は、赤色光を照出する赤色光源装置９１１と、青色光を照出する青色光源装置９１２と、緑色光を照出する緑色光源装置９１３とを備えている。
【００８４】
各ダイクロイックミラー９２Ａ、９２Ｂ、９２Ｃは、赤色光源装置９１１、青色光源装置９１２、緑色光源装置９１３のそれぞれから照出された光を合成する光学素子である。
このような画像表示装置９は、図示しないホストコンピューターからの画像情報に基づいて、光源装置９１（赤色光源装置９１１、青色光源装置９１２、緑色光源装置９１３）から照出された光をダイクロイックミラー９２Ａ、９２Ｂ、９２Ｃでそれぞれ合成し、この合成された光が光スキャナー１によって２次元走査され、スクリーンＳ上でカラー画像を形成するように構成されている。
【００８５】
２次元走査の際、光スキャナー１の可動ミラー部１１のＹ軸周りの回動により光反射部１１４で反射した光がスクリーンＳの横方向に走査（主走査）される。一方、光スキャナー１の可動ミラー部１１のＸ軸周りの回動により光反射部１１４で反射した光がスクリーンＳの縦方向に走査（副走査）される。
なお、図８中では、ダイクロイックミラー９２Ａ、９２Ｂ、９２Ｃで合成された光を光スキャナー１によって２次元的に走査した後、その光を固定ミラー９３で反射させてからスクリーンＳに画像を形成するように構成されているが、固定ミラー９３を省略し、光スキャナー１によって２次元的に走査された光を直接スクリーンＳに照射してもよい。
【００８６】
以下に、画像表示装置の応用例について説明する。
＜画像表示装置の応用例１＞
図９は、本発明の画像表示装置の応用例１を示す斜視図である。
図９に示すように、画像表示装置９は、携帯用画像表示装置１００に適用することができる。
この携帯用画像表示装置１００は、手で把持することができる寸法で形成されたケーシング１１０と、ケーシング１１０内に内蔵された画像表示装置９とを有している。この携帯用画像表示装置１００により、例えば、スクリーンや、デスク上等の所定の面に、所定の画像を表示することができる。
【００８７】
また、携帯用画像表示装置１００は、所定の情報を表示するディスプレイ１２０と、キーパット１３０と、オーディオポート１４０と、コントロールボタン１５０と、カードスロット１６０と、ＡＶポート１７０とを有している。
なお、携帯用画像表示装置１００は、通話機能、ＧＳＰ受信機能等の他の機能を備えていてもよい。
【００８８】
＜画像表示装置の応用例２＞
図１０は、本発明の画像表示装置の応用例２を示す斜視図である。
図１０に示すように、画像表示装置９は、ヘッドアップディスプレイシステム２００に適用することができる。
このヘッドアップディスプレイシステム２００では、画像表示装置９は、自動車のダッシュボードに、ヘッドアップディスプレイ２１０を構成するよう搭載されている。このヘッドアップディスプレイ２１０により、フロントガラス２２０に、例えば、目的地までの案内表示等の所定の画像を表示することができる。
なお、ヘッドアップディスプレイシステム２００は、自動車に限らず、例えば、航空機、船舶等にも適用することができる。
【００８９】
＜画像表示装置の応用例３＞
図１１は、本発明の画像表示装置の応用例３を示す斜視図である。
図１１に示すように、画像表示装置９は、ヘッドマウントディスプレイ３００に適用することができる。
すなわち、ヘッドマウントディスプレイ３００は、眼鏡３１０と、眼鏡３１０に搭載された画像表示装置９とを有している。そして、画像表示装置９により、眼鏡３１０の本来レンズである部位に設けられた表示部３２０に、一方の目で視認される所定の画像を表示する。
【００９０】
表示部３２０は、透明であってもよく、また、不透明であってもよい。表示部３２０が透明な場合は、現実世界からの情報に画像表示装置９からの情報を重ねて使用することができる。
なお、ヘッドマウントディスプレイ３００に、２つ画像表示装置９を設け、両方の目で視認される画像を、２つの表示部に表示するようにしてもよい。
【００９１】
以上、本発明のアクチュエーター、光スキャナーおよび画像表示装置について、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、本発明の光スキャナーおよび画像表示装置では、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができ、また、他の任意の構成を付加することもできる。
【００９２】
また、本発明は、前記各実施形態のうちの、任意の２以上の構成（特徴）を組み合わせたものであってもよい。
また、前述した実施形態では、第１軸部が２つ（１対）設けられている場合を例に説明したが、これに限定されず、例えば、第１軸部が４つ（２対）以上設けられていてもよい。
【００９３】
また、前述した実施形態では、第１軸部が第１の軸に平行な方向に延在している場合を例に説明したが、これに限定されず、第１軸部が第１の軸に対して傾斜した方向に延在していてもよい。
また、前述した実施形態では、第２軸部が４つ（２対）設けられている場合を例に説明したが、これに限定されず、例えば、第２軸部が２つ（１対）または６つ（３対）以上であってもよい。
【００９４】
また、前述した実施形態では、第２軸部が第２の軸に平行な方向に延在している場合を例に説明したが、これに限定されず、第２軸部が第２の軸に対して傾斜した方向に延在していてもよい。
また、前述した実施形態では、第１軸部および第２軸部の幅がそれぞれ長手方向での全域で一定となっている場合を例に説明したが、これに限定されず、第１軸部および第２軸部は、幅が異なる部分を有していてもよい。
【００９５】
また、前述した実施形態では、平面視にて光反射板が第１軸部全体、枠体部全体および第２軸部全体を覆う場合を例に説明したが、平面視にて光反射板が第１軸部の少なくとも一部（可動ミラー部の基部側の端部）が覆われていれば、前述したような光学デバイスの小型化、光反射板の大面積化、光反射板の動撓みの防止、第１軸部の基部側の端部による迷光の防止等の効果を奏することができる。
【００９６】
また、前述した実施形態では、ＳＯＩ基板を加工することにより光反射板およびスペーサーを形成した場合を例に説明したが、これに限定されず、例えば、光反射板およびスペーサーを別々の基板から形成してもよい。
また、光反射板と基部との間のスペーサーは、ハンダボールであってもよい。この場合、例えば、光反射板および基部のスペーサー側の面にそれぞれ金属膜を形成しておき、これらの金属膜同士をハンダボールを介して接合すればよい。
【００９７】
また、前述した実施形態では、本発明のアクチュエーターを光スキャナーに適用した場合を例に説明したが、これに限定されず、本発明のアクチュエーターは、例えば、光スイッチ、光アッテネータ等の他の光学デバイスにも適用可能である。
また、前述した実施形態では、枠体部にのみコイルを設け、周波数の異なる２つの電圧を重畳した電圧をコイルに印加することにより、可動部を第１の軸周りおよび第２の軸周りにそれぞれ揺動させる場合を例に説明したが、これに限定されない。例えば、可動部にもコイルを設け、可動部のコイルに第１周波数の電圧を印加し、枠体部のコイルに第１周波数と異なる第２周波数の電圧を印加することによっても、可動部を第１の軸周りおよび第２の軸周りにそれぞれ揺動させることができる。
【符号の説明】
【００９８】
１‥‥光スキャナー  １Ａ‥‥光スキャナー  ４‥‥電圧印加部  ７‥‥制御部  ９‥‥画像表示装置  １１‥‥可動ミラー部  １２ａ‥‥軸部  １２ｂ‥‥軸部  １３‥‥枠体部  １４ａ‥‥軸部  １４ｂ‥‥軸部  １４ｃ‥‥軸部  １４ｄ‥‥軸部  １５‥‥支持部  １５Ａ‥‥支持部  ２１‥‥永久磁石  ２１ａ‥‥磁極  ２１ｂ‥‥磁極  ２２‥‥軟磁性体  ２２Ａ‥‥軟磁性体  ２３‥‥軟磁性体  ２３Ａ‥‥軟磁性体  ３１‥‥コイル  ４１‥‥第１電圧発生部  ４２‥‥第２電圧発生部  ４３‥‥電圧重畳部  ４３ａ‥‥加算器  ９１‥‥光源装置  ９２Ａ‥‥ダイクロイックミラー  ９２Ｂ‥‥ダイクロイックミラー  ９２Ｃ‥‥ダイクロイックミラー  ９３‥‥固定ミラー  １００‥‥携帯用画像表示装置  １１０‥‥ケーシング  １１１‥‥基部（可動部）  １１２‥‥スペーサー  １１３‥‥光反射板  １１４‥‥光反射部  １１５‥‥硬質層  １２０‥‥ディスプレイ  １３０‥‥キーパット  １４０‥‥オーディオポート  １５０‥‥コントロールボタン  １５１‥‥凹部  １６０‥‥カードスロット  １７０‥‥ポート  ２００‥‥ヘッドアップディスプレイシステム  ２１０‥‥ヘッドアップディスプレイ  ２２０‥‥フロントガラス  ２２１‥‥縁部  ２２１Ａ‥‥縁部  ２２２‥‥縁部  ２２２Ａ‥‥縁部  ２２３‥‥縁部  ２３１‥‥縁部  ２３１Ａ‥‥縁部  ２３２‥‥縁部  ２３２Ａ‥‥縁部  ２３３‥‥縁部  ３００‥‥ヘッドマウントディスプレイ  ３１０‥‥眼鏡  ３２０‥‥表示部  ９１１‥‥赤色光源装置  ９１２‥‥青色光源装置  ９１３‥‥緑色光源装置  Ｌ１‥‥線分  Ｌ２‥‥線分  Ｐ‥‥交点  Ｓ‥‥スクリーン  Ｓ１‥‥領域（第１の領域）  Ｓ２‥‥領域（第２の領域）  Ｓ３‥‥領域  Ｓ４‥‥領域  Ｔ１‥‥周期  Ｔ２‥‥周期  ｔ１‥‥厚さ  ｔ２‥‥厚さ  Ｖ１‥‥第１の電圧  Ｖ２‥‥第２の電圧
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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