(57)【要約】      （修正有）【課題】高い位置精度でワークの保持及び保持解除が可能で、且つ振動に強いクランプ装置。【解決手段】ワークＷの保持及び保持解除が可能なクランプ装置１０１であって、ワーク保持台３１上で、先端３１ｂ側に設けられた先端側固定ブロック４１，４２と、基端３１ａ側に設けられた基端側固定ブロック５１，５２と、可動ブロック６１とを備えており、各固定ブロック４１，４２，５１，５２は上向き固定傾斜面４１ａ，４２ａ，５１ａ，５２ａが形成され、可動ブロック６１は下向き可動傾斜面６１ａが形成されており、ワークＷの保持を行う際には、上向き固定傾斜面４１ａ，４２ａ，５１ａ，５２ａに跨がってワークＷを載置させた状態で、可動ブロック６１を下向き可動傾斜面６１ａがワークＷの側面に当接するよう進出させ、ワーク保持台３１でワークＷの保持解除を行う際には、可動ブロック６１をワークＷとは反対方向に退避させるように構成した。【選択図】図９
2014086472.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワーク保持台上でワークの保持及び保持解除が可能なクランプ装置であって、
前記ワーク保持台上で、その先端側に設けられた先端側固定ブロックと、ワークを挟んで前記先端側固定ブロックと対向する基端側に設けられた基端側固定ブロックと、当該基端側固定ブロックに近接する位置に配され、ワークを挟んで前記先端側固定ブロック側に進退可能に設けられた可動ブロックとを備えており、
前記各固定ブロックはワークの中心方向に向かって下方に傾斜する上向き固定傾斜面が形成され、
前記可動ブロックはワークの中心方向に向かって上方に傾斜する下向き可動傾斜面が形成されており、
ワーク保持台上でワークの保持を行う際には、前記各固定ブロックの上向き固定傾斜面に跨がってワークを載置させた状態で、前記可動ブロックを下向き可動傾斜面がワークの側面に当接するよう進出させ、
ワーク保持台でワークの保持解除を行う際には、前記可動ブロックをワークとは反対方向に退避させるようにしたことを特徴とするクランプ装置。
【請求項２】
前記可動ブロックの中心を所定の動作直線上で移動させるようにしており、
平面視において前記動作直線を挟んで互いに対称となる位置に、一対で前記先端側固定ブロックが配されていることを特徴とする請求項１記載のクランプ装置。
【請求項３】
平面視において前記動作直線を挟んで互いに対称となる位置に、一対で前記基端側固定ブロックが配されていることを特徴とする請求項２記載のクランプ装置。
【請求項４】
前記先端側固定ブロックが、上向き固定傾斜面の上端に連続して鉛直上方に延びる突出部を備えていることを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載のクランプ装置。
【請求項５】
前記ワークが前記側面を外周面とする円板状に形成されているものであることを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載のクランプ装置。
【請求項６】
請求個１〜５の何れかに記載のクランプ装置をハンド部に備えていることを特徴とするワーク搬送ロボット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、高精度な位置決めを要するワークを搬送する際に、このワークを保持するクランプ装置、及び、このクランプ装置を備えるワーク搬送ロボットに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体ウェハやガラス基板等のワークを搬送するために、これらのワークをハンド部上に保持して搬送するワーク搬送ロボットが使用されている。
【０００３】
こうしたワークに精密加工を施す場合には、ワーク搬送ロボットには、次工程の装置に高い位置精度で受け渡すことが必要とされる。そのため、ワーク搬送ロボットには、ハンド部上に載置されたワークを、ハンド部上で高精度に位置合わせを行った状態で保持して搬送し、その位置精度を保ったまま次の装置に受け渡すことが要求される。
【０００４】
上記のような機能をハンド部に持たせるため、ハンド部にはワークを精密に保持するためのクランプ装置が設けられている。このクランプ装置としては、例えば下記特許文献１記載の基板保持装置がある。これは、ハンド部（ハンド）の先端及び基端側に固定クランプをそれぞれ一対設けるとともに、基端側の固定クランプ間に可動クランプを設ける構成となっている。また、これら固定クランプ及び可動クランプには、全てワーク（ウェハ）の中心方向に向かって下方に傾斜する上向き傾斜面が形成されている。そして、ワークを固定クランプ上に載置した後にワークの外側より中心方向に向かって可動クランプを移動させることで、先端側の固定クランプと可動クランプによって精密にワークの位置合わせを行いつつワークの保持が行われるようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第４６００８５６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記特許文献１記載のクランプ装置（基板保持装置）は、ワークを保持する際に先端側の固定クランプと基端側の可動クランプによって位置決めを行うため、基端側の固定クランプよりワークが離間した状態となる恐れがある。そのため、可動クランプを退避させてワークの保持を解除する際には、ワークの基端側が可動クランプにより支持された状態より、固定クランプ支持された状態に移行することになるため、これに伴ってワークの位置がずれる可能性がある。
【０００７】
ここで、上記の問題点を具体的に説明するために、特許文献１と同様の構成を有する従来のクランプ装置９０１を模式的に図１１及び図１２に示す。
【０００８】
このクランプ装置９０１は、ワーク保持台３１の先端３１ｂ側と基端３１ａ側に、固定ブロック（固定クランプに相当）９４１，９５１がそれぞれ一対（図中では一つずつに省略して記載）設けられており、これらの固定ブロック９４１，９５１には、ワークＷの中心に向けて下方に傾斜した上向き傾斜面９４１ａ，９５１ａがそれぞれ設けられている。また、先端側３１ｂ側の固定ブロック９４１には、上向き傾斜面９４１ａと連続して、上方に延びる突出部９４１ｂが形成され、その内側の側面９４１ｃはワークＷの側面に当接可能となっている。
【０００９】
また、基端３１ａ側に設けられた一対の固定ブロック９５１の間に可動ブロック（可動クランプに相当）９６１が設けられており、その先端にはワークＷの中心に向けて下方に傾斜した上向き傾斜面９６１ａが形成されている。また傾斜面９６１ａと連続して、上方に延びる垂直面９６１ｃが形成されることもある。
【００１０】
このように構成されるクランプ装置を用いてワークＷを保持する際には、まず、図１１（ａ）に示すように、ワークＷの側面、具体的にはこの側面の一部を形成する下方側のエッジが各固定ブロック９４１，９５１の上向き傾斜面９４１ａ，９５１ａに当接するように載置する。そして、図１１（ｂ）→（ｃ）のように可動ブロック９６１をワークＷの中心方向に移動させることにより、ワークＷを移動させて、その側面を先端側の固定ブロック９４１の側面９４１ｃに当接させつつ位置決めを行うとともにワークＷを保持する。
【００１１】
この際、反対側すなわち図中左側のエッジは、可動ブロック９６１の上向き傾斜面９６１ａまたは垂直面９６１ｃによって支持され、基端３１ａ側の固定ブロック９５１の上向き傾斜面９５１ａより離間することになる。
【００１２】
こうしてワークＷを保持した状態で搬送した後、所定の位置で保持の解除を行う場合、図１２（ｄ）→（ｅ）のように可動ブロック９６１をワークＷとは反対方向に動作させて退避させる。この際、ワークＷは可動ブロック９６１の上向き傾斜面９６１ａによる支持を失い、再び基端３１ａ側の固定ブロック９５１の上向き傾斜面９５１ａによって支持される。この時、ワークＷの保持の際に離間していた分だけ、ワークＷの位置がずれる可能性があり、図中で示すように、ワークＷが傾く場合も、全体的に下方に変位する場合も想定される。
【００１３】
また、図１１（ｃ）より分かるように、この構成では、ワークＷを保持する際に側方または下方より支持するのみで、上方が解放されているため、上下方向の振動が生じた場合にはワークＷが上方に浮き上がって保持が不能となる可能性もある。すなわち、振動に対するワークＷの保持力が小さいといえる。
【００１４】
本発明は、上記のような課題を有効に解決することを目的としており、具体的には、高い位置精度でワークを保持するとともに、その位置精度を維持したまま保持解除が可能であり、さらには振動に対しても強い保持力を有するクランプ装置及びこれを備えたワーク搬送ロボットを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明は、かかる目的を達成するために、次のような手段を講じたものである。
【００１６】
すなわち、本発明のクランプ装置は、ワーク保持台上でワークの保持及び保持解除が可能なクランプ装置であって、前記ワーク保持台上で、その先端側に設けられた先端側固定ブロックと、ワークを挟んで前記先端側固定ブロックと対向する基端側に設けられた基端側固定ブロックと、当該基端側固定ブロックに近接する位置に配され、ワークを挟んで前記先端側固定ブロック側に進退可能に設けられた可動ブロックとを備えており、前記各固定ブロックはワークの中心方向に向かって下方に傾斜する上向き固定傾斜面が形成され、前記可動ブロックはワークの中心方向に向かって上方に傾斜する下向き可動傾斜面が形成されており、ワーク保持台上でワークの保持を行う際には、前記各固定ブロックの上向き固定傾斜面に跨がってワークを載置させた状態で、前記可動ブロックを下向き可動傾斜面がワークの側面に当接するよう進出させ、ワーク保持台でワークの保持解除を行う際には、前記可動ブロックをワークとは反対方向に退避させるようにしたことを特徴とする。
【００１７】
このように構成すると、ワークの保持に際して固定ブロックと可動ブロックとが協働して精密にワークの位置決めを行うことが可能であるとともに、その際に各上向き固定傾斜面よりワークが離間することが無いため、ワークの保持解除に際して可動ブロックを退避させても各上向き固定傾斜面によってワークを支持させたままとすることができ、ワークの位置ずれを生じることなく高い位置精度を維持することが可能となる。また、ワークを保持する際に上下方向よりワークを支持するため、強い保持力を発揮して、振動が生じた場合でもワークを強固に保持することが可能となる。
【００１８】
ここで、本願発明において、ワークの側面に当接するといった状態には、側面を形成するエッジに当接することをも含むものである。
【００１９】
また、可動ブロックがワークに向かって進出してワークの保持を行う際に、この進出方向に直交する横方向にワークの位置ずれが生じることなく、より安定して精密な位置決めを行うことを可能とするためには、前記可動ブロックの中心を所定の動作直線上で移動させるようにしており、平面視において前記動作直線を挟んで互いに対称となる位置に、一対で前記先端側固定ブロックが配されているように構成することが好適である。
【００２０】
また、可動ブロックがワークに向かって進出してワークの保持を行う際に、上下方向へのワークの位置ずれをも防止して、より一層安定した精密な位置決めを可能とするためには、平面視において前記動作直線を挟んで互いに対称となる位置に、一対で前記基端側固定ブロックが配されているように構成することが好適である。
【００２１】
また、ワークの保持に際して高精度な位置決めを可能とするためには、前記先端側固定ブロックが、上向き固定傾斜面の上端に連続して鉛直上方に延びる突出部を備えているように構成することが好適である。
【００２２】
より上記の効果を顕著に得ることができるようにするためには、保持対象となるワークの形状が特定のものであることが好ましく、前記ワークが前記側面を外周面とする円板状に形成されているものであることが好適である。
【００２３】
また、本発明のワーク搬送ロボットは、上記のクランプ装置をハンド部に備えていることを特徴とする。このように構成することで、高い位置精度で且つ振動に強い大きな保持力でもってワークを保持することが可能であるとともに、所定の搬送先に搬送させた後、高い位置精度を維持したまま保持解除することでワークを受け渡すことが可能となる。
【発明の効果】
【００２４】
以上説明した本発明によれば、高い位置精度でワークを保持するとともに、その位置精度を維持したままワークの保持解除が可能であり、さらには振動に対しても強い保持力を有するクランプ装置及びワーク搬送ロボットを提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の一実施形態に係るクランプ装置及びこれを備えたワーク搬送ロボットの斜視図。
【図２】同ワーク搬送ロボットの要部を分解して示す斜視図。
【図３】同クランプ装置の斜視図。
【図４】同クランプ装置の平面図。
【図５】図３におけるＡ部及びＢ部を拡大して示す拡大斜視図。
【図６】図３におけるＣ部及びＤ部を拡大して示す拡大斜視図。
【図７】図３におけるＥ部を拡大して示す拡大斜視図。
【図８】図４におけるＦ部を拡大して示す拡大平面図。
【図９】本発明のクランプ装置の動作を模式的に説明する説明図。
【図１０】図９に引き続き本発明のクランプ装置の動作を模式的に説明する説明図。
【図１１】従来のクランプ装置の動作を模式的に説明する説明図。
【図１２】図１１に引き続き従来のクランプ装置の動作を模式的に説明する説明図。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、本発明の実施形態を、図面を参照して説明する。
【００２７】
図１は、本実施形態におけるワーク搬送ロボット１００を示すものである。このワーク搬送ロボット１００は、半導体ウェハ等の円板状のワークＷを受け取り、次工程の装置に向けて搬送して受け渡すことが可能となっている。なお、本実施形態において説明に用いる図面では、図１１及び図１２を用いて説明した従来のクランプ装置と同一の部分に同じ符号を用いている。また、以下においてワークＷの側面とは円板の外周面を指す。
【００２８】
図１に示すように、このワーク搬送ロボット１００は、３つの関節を有する水平関節形のロボットとして構成しており、ベース４に対して第１アーム要素１１、第２アーム要素１２、ハンド部１３が順次相対回転可能に設けられている。具体的には、ベース４上に設定される鉛直方向の回転軸ＳＴ回りに第１アーム要素１１は回転可能とされている。また、第１アーム要素１１の先端に設定される鉛直方向の回転軸ＳＲ回りに第２アーム要素１２は回転可能とされている。さらに、第２アーム要素１２の先端に設定される鉛直方向の回転軸ＳＨ回りにハンド部１３は回転可能とされている。
【００２９】
ハンド部１３はクランプ装置１０１を備えており、このクランプ装置１０１を介してワークＷを保持することが可能となっている。
【００３０】
これらアーム要素１１，１２とハンド部１３の回転、及び、クランプ装置１０１の動作は、図示しない制御部によって制御され、ワークＷの保持及び保持解除並びにワークＷの搬送を行うことが可能となっている。
【００３１】
本実施形態におけるワーク搬送ロボット１００は、図２に示すように、同一の回転軸ＳＨ上に２つのハンド部１３Ａ，１３Ｂを備えている。これらのハンド部１３Ａ，１３Ｂは、回転軸ＳＨ回りに独立して回転可能とされており、それぞれワークＷを保持して、異なる搬送先に受け渡すことが可能となっている。なお、こうしたハンド部１３をさらに上下方向に増やした構成とすることも可能である。
【００３２】
ハンド部１３Ａ，１３Ｂは、第２アーム要素１２に対して回転可能に支持される基部２１，２２の構成が異なるのみで、基本的な構成は同じであり、ワークＷを保持するためのクランプ装置１０１は同一のものを備えている。そのため、以下においては、下方に設けられているハンド部１３Ａに着目して、クランプ装置１０１の詳細な説明を行っていく。
【００３３】
図３に示すように、ハンド部１３Ａ（１３）は回転軸ＳＨ回りに回転可能に支持された基部２２に、クランプ装置１０１が設けられることで構成されている。このクランプ装置１０１は、大きく分けて、ワーク保持台３１と、固定ブロック４１，４２，５１，５２及び可動ブロック６１より構成されている。
【００３４】
ワーク保持台３１は、基端３１ａ側の幅広部３５より先端３１ｂ側に向かって二つの延出部３２，３３が延出した略Ｕ字状の平板として形成されており、基端３１ａ側において基部２２に取り付けられることで、略水平に配置された状態で基部２２と一体的に回転可能となっている。
【００３５】
そして、各延出部３２，３３上の先端３１ｂ近傍には、それぞれ先端側固定ブロック４１，４２が設けられている。同様に幅広部３５の基端３１ａ側には、基端側固定側ブロック５１，５２が設けられている。これら４個の固定ブロック４１，４２，５１，５２は、平面視において矩形状に配されており、協働して保持対象であるワークＷの側面、すなわち外周面を支持可能な位置関係とされている。
【００３６】
なお、本願においては、ワークＷの側面には、側面を形成するエッジを含むものとして定義し、側面を支持する、あるいは側面に当接するといった記載は、この側面を形成するエッジを支持する、あるいはエッジに当接することを含むものとする。
【００３７】
また、基端側固定ブロック５１，５２の間でこれらに近接する位置に、且つ、やや基端３１ａ側の位置に、後述の可動ブロック６１が設けられている。
【００３８】
図４は、クランプ装置１０１を平面視によって図示したものである。
【００３９】
この図から分かるように、上記固定ブロック４１，４２，５１，５２は、これらを頂点とする矩形の中心が、保持状態におけるワークＷの中心位置Ｐと略同一の位置となるように設定している。また、この矩形の長辺が、ワーク保持台３１の基端３１ａから先端３１ｂへと延在する方向に沿ったものとなるように設定している。こうすることで、ワークＷの重心を中心として、バランスよく固定ブロック４１，４２，５１，５２が配されており、安定してワークＷを保持することが可能となっている。
【００４０】
前述の可動ブロック６１は、基部２２の内部に設けられた駆動手段７１の先端に接続されている。駆動手段７１は、上記クランプ装置１０１の一部をなすものであり、直動型のエアシリンダ７２と直動ガイド７３を備え、可動ブロック６１を、ワークＷの中心位置Ｐに向かって直線状に所定のストロークで移動可能としている。
【００４１】
図８を用いて、より具体的に説明すると、直動ガイド７３上で、直線動作可能にブロック体７４が支持されており、一対の棒状ガイド部材７５，７５によって上記ブロック体７４とベースブロック６２とが接続されている。そして、このベースブロック６２の上部に形成された矩形状の切り欠き部６２ａの内部に可動ブロック６１が設けられている。こうすることで、ブロック体７４と一体的に可動ブロック６１が動作することができ、ブロック体７４を上記エアシリンダ７２によって動作させることで可動ブロック６１を直線的に移動させることが可能となっている。
【００４２】
この際の可動ブロック６１のワークＷに向かう移動方向を進出方向、これと反対の方向を退避方向と称する。また、この可動ブロック６１は、幅広部３５の基端部３１ａ側に形成された開口部３６の内部に配されており、その内部で進退動作することが可能となっている。
【００４３】
可動ブロック６１は、図中の実線で示す通常の退避位置において、ワークＷの側面に接触することが無いように設定しており、ワークＷに向かって進出することでワークＷの側面に当接して、ワークＷの位置決め及び保持が可能となっている。図４に戻って説明すると、可動ブロック６１は、その中心が、平面視において回転軸ＳＨとワークＷの中心位置Ｐとを結ぶ直線Ｘ上を移動するように設定されている。この直線Ｘを可動ブロック６１における動作直線Ｘと称する。このように、可動ブロック６１の動作する向きがワークの中心位置Ｐ、すなわち重心位置に向かう方向となっているため、より安定してワークＷの位置決めを行うことが可能となっている。
【００４４】
また、上述した各固定ブロック４１，４２，５１，５２がワークＷの中心位置Ｐと同一の中心を有する矩形状に配置されている点を、上記可動ブロック６１の移動方向を示す動作直線Ｘを基準として換言すると、先端側固定ブロック４１，４２同士、基端側固定ブロック５１，５２同士はそれぞれ動作直線Ｘを挟んで対称となる位置に配されているものといえる。
【００４５】
先端側固定ブロック４１，４２は、図５に示すように構成している。図５（ａ）は、延出部３２に設けられた先端側固定ブロック４１を示し、図５（ｂ）は、延出部３３に設けられた先端側固定ブロック４２を示している。これらの先端側固定ブロック４１，４２は、ワーク保持台３１上での取付け位置及び取付方向が異なるのみで、同一の形状となっている。先端側固定ブロック４１，４２は平面視で略矩形状に形成されている。延出部３２，３３の各先端３１ｂ，３１ｂ近傍には、先端側固定ブロック４１，４２よりもやや大きな略矩形状の凹部３２ａ，３３ａが形成されており、これらの内部に先端側固定ブロック４１，４２が各々固定されている。凹部３２ａ，３３ａは、ワーク保持台３１の各延出部３２，３３に対して高精度に形成されており、これら凹部３２ａ，３３ａの内側面をガイドとして各々取り付けることで先端側固定ブロック４１，４２を高精度に取り付けることが可能となっている。
【００４６】
先端側固定ブロック４１，４２は、ワークＷの側面を保持する上向き固定傾斜面４１ａ，４２ａを備えている。この上向き固定傾斜面４１ａ，４２ａは平面状に形成されており、ワークＷの中心位置Ｐ（図３参照）に向かって、下方に傾斜する向きに形成されている。また、上向き固定傾斜面４１ａ，４２ａの上端に連続して、鉛直上方に延びる突出部４１ｂ，４２ｂが形成されており、これらの内側、すなわち上向き固定傾斜面４１ａ，４２ａ側の側面４１ｃ，４２ｃはワークＷに対する中心方向に対して垂直な面となり、ワークＷの位置合わせを行う際の当て面として機能する。
【００４７】
基端側固定ブロック５１，５２は、図６に示すように構成している。図６（ａ），（ｂ）は、幅広部３５に設けられた基端側固定ブロック５１，５２をそれぞれ示している。これらの基端側固定ブロック５１，５２は、ワーク保持台３１上での取付け位置及び取付方向が異なるのみで、同一の形状となっている。基端側固定ブロック５１，５２は平面視で略矩形状に形成されている。幅広部３５の基端３１ａ側で、且つ左右方向に離間した位置には、上記基端側固定ブロック５１，５２よりもやや大きな略矩形状の凹部３５ａ，３５ｂが形成されており、これらの内部に基端側固定ブロック５１，５２が各々固定されている。
【００４８】
基端側固定ブロック５１，５２も先端側固定ブロック４１，４２と同様、ワークＷの側面を保持する上向き固定傾斜面５１ａ，５２ａを備えている。この上向き固定傾斜面５１ａ，５２ａは平面状に形成されており、ワークＷの中心位置Ｐ（図３参照）に向かって、下方に傾斜する向きに形成されている。また、上向き固定傾斜面５１ａ，５２ａと連続して、ワークＷとは反対側の位置に水平面５１ｂ，５２ｂが形成されている。
【００４９】
可動ブロック６１は、図７に示すように構成している。可動ブロック６１は、ワークＷの中心位置Ｐ（図３参照）に向かって上方に傾斜して形成された下向き可動傾斜面６１ａを備えている。下向き可動傾斜面６１ａは、上述したようにワークＷ側に進出することで、ワークＷの側面に当接可能となっている。
【００５０】
上記のように構成したクランプ装置１０１を用いることで、次のように動作させて、ワークＷの保持及び搬送が可能となっている。以下、図３を参照しつつ、図９及び図１０を用いて説明を行う。図９及び図１０は、本実施形態のクランプ装置１０１を模式的に示し、ワークＷの保持及び保持解除に係る動作を説明する説明図である。
【００５１】
まず、図９（ａ）に示すように、ワーク保持台３１上にワークを受け取る。この際、先端側固定ブロック４１，４２と基端側固定ブロック５１，５２の各上向き固定傾斜面４１ａ，４２ａ，５１ａ，５２ａ上に跨がるようにワークＷが載置される。固定ブロック４１，４２，５１，５２は、上述したようにワークＷの中心位置Ｐ、すなわち重心位置を中心として矩形状に配されているため、各上向き固定傾斜面４１ａ，４２ａ，５１ａ，５２ａにワークＷの側面が均等に当接した状態となる。ただし、可動ブロック６１の進出がなされていない場合には、ワークＷは正確に位置決めされておらず、水平になっているとは限らない。
【００５２】
この状態より、可動ブロック６１をワークＷに向けて進出させると、ストローク端に至る途中で、図９（ｂ）に示すように、下向き可動傾斜面６１ａがワークＷの側面に当接する。
【００５３】
さらに、可動ブロック６１をワークＷに向けて進出させて、図９（ｃ）に示すように、ストローク端にまで到達させ、ワークＷを保持状態とする。この保持状態に至る過程において、可動ブロック６１は下向き可動傾斜面６１ａによってワークＷを先端側固定ブロック４１，４２に向かって押し込み、各上向き固定傾斜面４１ａ，４２ａに沿ってワークＷの先端側を上方に持ち上げ、側面４１ｃ，４２ｃに当接する位置にする。この際、可動ブロック６１の中心が移動する動作直線Ｘを挟んで一対の先端側固定ブロック４１，４２が互いに対称となる位置に配されているため、可動ブロック６１による押し込み方向に対してワークＷの位置が横方向にずれることなく、位置調整を効果的に行うことができる。
【００５４】
また、先端側固定ブロック４１，４２には、ワークＷと当接するための側面４１ｃ，４２ｃを有する突出部４１ｂ，４２ｃが設けられているために、ワークＷの保持に際して、より一層高精度に位置決めを行うことが可能となっている。
【００５５】
また、ワークＷの保持に際して、基端側では基端側固定ブロック５１，５２の上向き固定傾斜面５１ａ，５２ａ及び可動ブロック６１の下向き可動傾斜面６１ａによってワークＷの側面を上下に挟み込んだ状態となるため、ワークＷの上下方向への移動を抑制して、振動に対して強い保持力を持たせることが可能となる。この際、可動ブロック６１の中心が移動する動作直線Ｘを挟んで、一対の基端側固定ブロック５１，５２が互いに対称となる位置に配されているため、基端側固定ブロック５１，５２及び可動ブロック６１の三点でワークＷの側面を上下方向にバランス良く保持することが可能となり、基端側固定ブロック５１，５２の上向き固定傾斜面５１ａ，５２ａ及び可動ブロック６１の下向き可動傾斜面６１ａの全てがワークＷの側面に当接した状態として上下方向に位置ずれを生じさせることもない。
【００５６】
こうして、強い保持力でもってワークＷを保持した状態で、ハンド部１３（図１参照）を動作させて、所定の位置にまでワークＷを搬送させることが可能となる。振動に強い構成となっているために、高速でワークＷの搬送を行ってもずれが生じること無く、適切にワークＷの位置決めを行うことが可能となる。
【００５７】
さらには、ワークＷを保持している際に、従来のクランプ装置とは異なり、基端側固定ブロック５１，５２の上向き固定傾斜面５１ａ，５２ａにもワークＷが当接させることが可能となっている。
【００５８】
そのため、ワークＷの保持解除のため、図１０（ｄ）→（ｅ）のように可動ブロック６１を退避させた場合でも、ワークＷの側面が基端側固定ブロック５１，５２の上向き固定傾斜面５１ａ，５２ａに当接したままの状態を維持して位置ずれを生じることがない。すなわち、ワークＷの保持解除時にも、従来のクランプ装置と異なり、ワークＷの位置を高精度に保つことができる。
【００５９】
従って、本クランプ装置１０１を用いることによって、ワークＷを受け取った後に、これをハンド部１３上で保持する際には、高精度にワークＷの位置決めを行うととともに、振動に強い保持力を生じさせることが可能となり、ワークＷの保持解除を行う際には、ワークＷに位置ずれを生じさせること無く、高精度に位置を保ったままでワークＷを受け渡すことが可能となっているものといえる。
【００６０】
以上のように、本実施形態におけるクランプ装置１０１は、ワーク保持台３１上でワークＷの保持及び保持解除が可能なクランプ装置１０１であって、ワーク保持台３１上で、その先端３１ｂ側に設けられた先端側固定ブロック４１，４２と、ワークＷを挟んで先端側固定ブロック４１，４２と対向する基端３１ａ側に設けられた基端側固定ブロック５１，５２と、基端側固定ブロック５１，５２に近接する位置に配され、ワークＷを挟んで先端側固定ブロック４１，４２側に進退可能に設けられた可動ブロック６１とを備えており、各固定ブロック４１，４２，５１，５２はワークＷの中心方向に向かって下方に傾斜する上向き固定傾斜面４１ａ，４２ａ，５１ａ，５２ａが形成され、可動ブロック６１はワークＷの中心方向に向かって上方に傾斜する下向き可動傾斜面６１ａが形成されており、ワーク保持台３１上でワークＷの保持を行う際には、各固定ブロック４１，４２，５１，５２の上向き固定傾斜面４１ａ，４２ａ，５１ａ，５２ａに跨がってワークＷを載置させた状態で、可動ブロック６１を下向き可動傾斜面６１ａがワークＷの側面に当接するよう進出させ、ワーク保持台３１でワークＷの保持解除を行う際には、可動ブロック６１をワークＷとは反対方向に退避させるように構成したものである。
【００６１】
このように構成することで、ワークＷの保持に際して固定ブロック４１，４２，５１，５２と可動ブロック６１とが協働して精密にワークＷの位置決めを行うことが可能となっている。また、ワークＷの保持に際して、各上向き固定傾斜面４１ａ，４２ａ，５１ａ，５２ａよりワークＷが離間することが無いため、ワークＷの保持解除として可動ブロック６１を退避させても各上向き固定傾斜面４１ａ，４２ａ，５１ａ，５２ａによってワークＷを支持させたままとすることができるため、ワークＷの位置ずれが生じることなく高い位置精度を維持することが可能となっている。また、ワークＷを保持する際には上下方向よりワークＷを支持することになるため、強い保持力を発揮して、振動が生じた場合でもワークＷを強固に保持することが可能となっている
【００６２】
また、可動ブロック６１の中心を所定の動作直線Ｘ上で移動させるようにしており、平面視において動作直線Ｘを挟んで互いに対称となる位置に、一対で先端側固定ブロック４１，４２が配するように構成しているため、可動ブロック６１がワークＷに対して進出してワークＷの保持を行う際に、可動ブロック６１と、これに対向する先端側ブロック４１，４２とでワークＷを規制することで、横方向へのワークの位置がずれることなく、より安定して精密な位置決めを行うことが可能となっている。
【００６３】
また、平面視において動作直線Ｘを挟んで互いに対称となる位置に、一対で基端側固定ブロック５１，５２が配するように構成しているため、可動ブロック６１がワークＷに対して進出してワークＷの保持を行う際に、ワークＷの基端側を上下方向に三点で位置決めすることができ、上下方向へのワークの位置ずれを防止して、一層安定して精密な位置決めを行うことが可能となっている。
【００６４】
また、先端側固定ブロック４１，４２が、上向き固定傾斜面４１ａ，４２ａの上端に連続して鉛直上方に延びる突出部４１ｂ，４２ｂを備えるように構成しているため、基端側固定ブロック５１，５２及び可動ブロック６２が協働して、ワークＷの側面を精密に保持することができ、ワークＷの保持に際してより高精度に位置決めを行うことが可能となっている。
【００６５】
また、搬送対象となるワークＷが側面を外周面とする円板状に形成されているものであることから、ワークＷの重心バランスを好適に保つことができる上に、可動ブロック６１による押し込み方向の位置を重心位置との関係から適正に保つことができて、より上記の効果を顕著に発揮して、高精度に位置決めを行うことが可能となっている。
【００６６】
さらには、上記のクランプ装置１０１をハンド部１３に備えた本実施形態のワーク搬送ロボット１００は、高い位置精度で且つ振動に強い大きな保持力でワークＷを保持して所定の搬送先に搬送させた後、高い位置精度を維持したまま保持解除してワークＷを受け渡すことが可能となっている。
【００６７】
なお、各部の具体的な構成は、上述した実施形態のみに限定されるものではない。
【００６８】
例えば、上述の実施形態では、ワークＷとして円板状のものを使用したが、四角形や三角形等様々な板状のものであっても本発明を適用することができる。さらには、固定ブロック４１，４２，５１．５２や可動ブロック６１によって支持される面を有してさえいれば、板状に限らず、ブロック状など様々な形状のワークＷを用いることも可能である。但し、ワーク形状が単純で重心バランスが良いものであれば、上記の効果をより顕著に得ることが可能となるため、その点でワークは円板状のものであることが好適である。
【００６９】
その他の構成も、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能である。
【符号の説明】
【００７０】
１３，１３Ａ，１３Ｂ…ハンド部
３１…ワーク保持台
３１ａ…基端
３１ｂ…先端
４１，４２…先端側固定ブロック
４１ａ，４２ａ…上向き固定傾斜面
５１，５２…基端側固定ブロック
５１ａ，５２ａ…上向き固定傾斜面
６１…可動ブロック
６１ａ…下向き可動傾斜面
１００…ワーク搬送ロボット
１０１…クランプ装置
Ｐ…（ワークの）中心位置
Ｗ…ワーク
Ｘ…動作直線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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