(57)【要約】【課題】チューブを連結する際にチューブの先端部内側にコアパイプを挿入する必要がないチューブコネクターを提供する。【解決手段】チューブを接続するための接続穴を備えたコネクター本体と、コネクター本体の接続穴の内周面に装着され接続穴に挿入されたチューブの外周面をシールするシールリングおよびチューブの外周面を係止する係止手段とを具備するチューブコネクターであって、コネクター本体の接続穴内に配設されチューブの接続穴への挿入によりチューブの先端部内側に嵌入するコアパイプがコネクター本体に固定されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
チューブを接続するための接続穴と備えたコネクター本体と、該コネクター本体の接続穴の内周面に装着され接続穴に挿入されたチューブの外周面をシールするシールリングおよびチューブの外周面を係止する係止手段と、を具備するチューブコネクターであって、
該コネクター本体の接続穴内に配設されチューブの接続穴への挿入によりチューブの先端部内側に嵌入するコアパイプが該コネクター本体に固定されている、
ことを特徴とするチューブコネクター。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体を導入または導出するためのチューブを接続するためのチューブコネクターに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイス製造工程においては、略円板形状である半導体ウエーハの表面に格子状に配列されたストリートと呼ばれる分割予定ラインによって複数の領域が区画され、この区画された領域にＩＣ、ＬＳＩ等のデバイスを形成する。そして、半導体ウエーハをストリートに沿って切削装置によってダイシングすることにより個々の半導体デバイスを製造している。切削装置は、ウエーハ等の被加工物を吸引保持する保持テーブルを備えた保持手段と、該保持手段に保持された被加工物に切削水を供給しつつ切削加工を施す切削手段と、保持手段と切削手段とを相対的に加工送り方向に加工送りする加工送り手段と、切削手段によって切削された被加工物に洗浄水を供給して洗浄する洗浄手段を具備している。このような切削装置においては、被加工物を吸引保持する保持テーブルを備えた保持手段は吸引源に連通するチューブがチューブコネクターを介して連結され、切削手段や洗浄手段は切削水や洗浄水を供給する純水供給源に連通するチューブがチューブコネクターを介して連結されている。
【０００３】
上記チューブコネクターは、コネクター本体の接続部にチューブを挿入する際にチューブの先端がつぶれて水やエアー等の流体が漏れないように、チューブの先端部内側にコアパイプが配設される。（例えば、特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−２０４８８３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
而して、上記特許文献１に記載されたチューブコネクターは、チューブを接続する際に、チューブの先端部内側にコアパイプを挿入して配設しなければならず作業が面倒であるとともに、コアパイプの挿入を忘れる虞があるという問題がある。
【０００６】
本発明は上記事実に鑑みてなされたものであり、その主たる技術課題は、チューブを連結する際にチューブの先端部内側にコアパイプを挿入する必要がないチューブコネクターを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、チューブを接続するための接続穴を備えたコネクター本体と、該コネクター本体の接続穴の内周面に装着され接続穴に挿入されたチューブの外周面をシールするシールリングおよびチューブの外周面を係止する係止手段と、を具備するチューブコネクターであって、
該コネクター本体の接続穴内に配設されチューブの接続穴への挿入によりチューブの先端部内側に嵌入するコアパイプが該コネクター本体に固定されている、
ことを特徴とするチューブコネクターが提供される。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によるチューブコネクターは、コネクター本体の接続穴内に配設されチューブの接続穴への挿入によりチューブの先端部内側に嵌入するコアパイプが該コネクター本体に固定されているので、コネクター本体の接続穴にチューブを挿入し、チューブの先端部をコアパイプのチューブ保持部に嵌入するだけでチューブを連結することができる。従って、チューブにコアパイプを挿入する作業が不要になるとともに、コアパイプを付け忘れるという問題を解消することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明に従って構成されたチューブコネクターの断面図。
【図２】図１に示すチューブコネクターにチューブを連結した状態を示す断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明に従って構成されたチューブコネクターの好適な実施形態について、添付図面を参照して更に詳細に説明する。
【００１１】
図１には、本発明に従って構成されたチューブコネクターの断面図が示されている。
図示の実施形態におけるチューブコネクター２は、チューブ３を連結するためのコネクター本体２１を具備している。コネクター本体２１は、図示の実施形態においてはエルボ型に形成され両端部に接続穴２１１と２１２が形成されており、両接続穴２１１と２１２が連通されている。このコネクター本体２１の一方の接続穴２１１の内周面には、チューブ３が挿入された状態で外周面をシールするシールリング２２が装着されている。また、コネクター本体２１の一方の接続穴２１１の内周面には、チューブ３が挿入された状態でチューブ３の外周面を係止する係止手段２３が配設されている。この係止手段２３は、チューブ３の外周面と係合する爪部材２３１と、該爪部材２３１を接続穴２１１の内周面に保持する爪押え部材２３２とからなっている。更に、接続穴２１１端部には、爪部材２３１のチューブ３の外周面との係合を解除するためのリリースブッシュ２４が軸方向に摺動可能に配設されている。また、接続穴２１１端部には、リリースブッシュ２４の抜けを防止するために抜け止め部材２５が圧入されている。
上述したコネクター本体２１と、シールリング２２と、爪部材２３１と爪押え部材２３２とからなる係止手段２３と、リリースブッシュ２４および抜け止め部材２５の構成は、従来公知の構成であり、更に詳細な説明は省略する。
【００１２】
図１を参照して説明を続けると、図示の実施形態におけるチューブコネクター２は、コネクター本体２１の接続穴２１１内に配設されチューブ３の接続穴２１１への挿入によりチューブ３の先端部内側に嵌入するコアパイプ２６を備えている。このコアパイプ２６は、チューブ３の先端部内側に嵌入するチューブ保持部２６１と、該チューブ保持部２６１の一端に径方向に形成された環状の取り付けフランジ部２６２とからなっており、取り付けフランジ部２６２がコネクター本体２１に固定されている。更に詳細に説明すると、図示の実施形態におけるコアパイプ２６はステンレス鋼等の金属材によって形成されており、コネクター本体２１を鋳造する際にコアパイプ２６の外周部を鋳込む方法によって装着する。このようにしてコネクター本体２１に固定されたコアパイプ２６は、チューブ保持部２６１が接続穴２１１の開口に向けて配設されている。
【００１３】
図示の実施形態におけるチューブコネクター２は以上のように構成されており、チューブ３を連結するには、コネクター本体２１の接続穴２１１にチューブ３を挿入し、図２に示すようにチューブ３の先端部をコアパイプ２６のチューブ保持部２６１に嵌入する。このようにチューブ３の先端部をコアパイプ２６のチューブ保持部２６１に嵌入することにより、チューブ３の外周面がシールリング２２の内周面に密着するとともに、爪部材２３１がチューブ３の外周面に係合する。この爪部材２３１がチューブ３の外周面に係合することにより、チューブ３の抜けが防止される。なお、チューブ３をコネクター本体２１から抜き取る場合には、リリースブッシュ２４を爪部材２３１側に摺動させて爪部材２３１とチューブ３の外周面との係合を解除することにより、チューブ３を容易に抜き取ることができる。
【００１４】
以上のように図示の実施形態におけるチューブコネクター２は、コネクター本体２１の接続穴２１１内にチューブ３の接続穴２１１への挿入によりチューブ３の先端部内側に嵌入するコアパイプ２６がコネクター本体２１に固定して配設されているので、コネクター本体２１の接続穴２１１にチューブ３を挿入し、チューブ３の先端部をコアパイプ２６のチューブ保持部２６１に嵌入するだけでチューブ３を連結することができる。従って、チューブ３にコアパイプを挿入する作業が不要になるとともに、コアパイプを付け忘れるという問題を解消することができる。
なお、上述した実施形態においてはエルボ型のコネクター本体を備えたチューブコネクターについて説明したが、本発明は直線状のコネクター本体を備えたチューブコネクターに適用してもよい。
【符号の説明】
【００１５】
２：チューブコネクター
２１：コネクター本体
２１１、２１２：接続穴
２２：シールリング
２３：係止手段
２３１：爪部材
２３２：爪押え部材
２４：リリースブッシュ
２５：抜け止め部材
２６：コアパイプ
３：チューブ
【図１】
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【図２】
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