(57)【要約】【課題】板状物の加工によるディンプルの発生を防ぐことにより、加工品質を向上させる。【解決手段】表面２３に保護部材４０が配設された板状物の裏面２２を加工する際に、搬出ステップにおいて板状物を吸引して保持する吸引保持部１２６を有する搬出手段１２を使用して板状物の裏面２２を吸引保持し、板状物が収容されたカセット３０ａから板状物２０を搬出する。次に、保持ステップにおいては、保持テーブルを使用して、保護部材４０を介して搬出ステップでカセット３０ａから搬出した板状物の表面２３側を保持する。次に、加工ステップにおいて、研削手段または研磨手段を使用して、保持ステップで保持した板状物の裏面２２側を加工する。搬出ステップにおいて板状物の裏面２２を保持するため、保持ステップにおいて保護部材４０と保持テーブルとの間に異物が入り込まないため、板状物にディンプルが発生しない。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状物の裏面を研削又は研磨する加工方法であって、
表面に保護部材が配設された板状物が収容されたカセットから、板状物を吸引保持する吸引保持部を有する搬出手段で、板状物の裏面を吸引保持して搬出する搬出ステップと、
該搬出ステップを実施した後、板状物の表面側を、該保護部材を介して保持テーブルで保持する保持ステップと、
該保持テーブルで保持された板状物の裏面側を、研削手段で研削し又は研磨手段で研磨する加工ステップと、
を備える、加工方法。
【請求項２】
前記カセットには、複数の板状物が、前記裏面が同一の方向を向いた状態で鉛直方向に整列して収容され、
連続して複数の板状物に対して前記搬出ステップと前記保持ステップと前記加工ステップとをそれぞれ実施し、
該搬出ステップにおいて、該カセットの上端または下端のうち板状物の裏面が対面している側の板状物から順に搬出する、
請求項１記載の加工方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、板状物の裏面を研削または研磨する加工方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ウェーハなどの板状物は、保護シートなどの表面保護部材が表面に貼着され、１つのカセットに複数の板状物が収容された状態で、研削装置や研磨装置などの加工装置に供給される。加工装置は、カセットから板状物を１枚ずつ搬出し、板状物の表面保護部材側が面した状態で保持テーブルにおいて保持し、裏面側を加工する。
【０００３】
カセットには、複数の棚が設けられており、１つの棚に１枚の板状物が収容されている。一方、加工装置には、ロボットアームを有する搬出手段を備えており、カセットの内部に搬出手段を挿入し、板状物に貼着された表面保護部材側を保持して、カセットから板状物を搬出している（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１１―１７１５９１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、搬出手段によって板状物を保持してカセットから搬出する際に、板状物の表面保護部材側に異物が付着する場合がある。表面保護部材に付着した異物が保持テーブルとの間に挟み込まれると、異物を挟み込んだ部分だけ板状物が盛り上がる。この状態で、板状物の裏面側を研削し又は研磨すると、その部分だけが局所的に薄くなるいわゆるディンプルが発生してしまうという問題がある。
【０００６】
本発明は、このような問題にかんがみなされたもので、研削又は研磨により板状物にディンプルが発生するのを防ぐことにより、加工品質を向上させることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係る加工方法は、板状物の裏面を加工する加工方法であって、表面に保護部材が配設された板状物が収容されたカセットから、板状物を吸引保持する吸引保持部を有する搬出手段で、板状物の裏面を吸引保持して搬出する搬出ステップと、該搬出ステップを実施した後、板状物の表面側を、該保護部材を介して保持テーブルで保持する保持ステップと、該保持テーブルで保持された板状物の裏面側を、研削手段で研削し又は研磨手段で研磨する加工ステップと、を備える。
【０００８】
該カセットには、複数の板状物が、前記裏面が同一の方向を向いた状態で鉛直方向に整列して収容され、連続して複数の板状物に対して前記搬出ステップと前記保持ステップと前記加工ステップとをそれぞれ実施し、該搬出ステップにおいて、該カセットの上端または下端のうち板状物の裏面が対面している側の板状物から順に搬出することが望ましい。
【発明の効果】
【０００９】
本発明に係る加工方法によれば、板状物の裏面を吸引保持してカセットから板状物を搬出するので、板状物の表面側に異物が付着するのを防ぐことができる。これにより、加工によるディンプルの発生を防ぐことができるので、加工品質を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】加工装置を示す斜視図。
【図２】搬出手段を示す斜視図。
【図３】カセットを示す斜視図。
【図４】保持テーブルを示す側面視断面図。
【図５】研削手段の一部を示す側面図。
【図６】加工方法の手順を示すフロー図。
【図７】搬出ステップにおけるカセットを示す正面図。
【図８】板状物を収容した別のカセットを示す正面図。
【図９】カセット載置ステップにおけるカセットを示す側面視断面図。
【図１０】搬出ステップにおけるカセットを示す正面図。
【図１１】搬出ステップにおけるカセットを示す正面図。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
図１に示す加工装置１０は、本体１１と、板状物２０をカセット３０ａ，３０ｂに対して搬出入する搬出手段１２と、搬出手段１２がカセット３０ａから搬出した板状物２０の位置決めをする位置決めテーブル１３と、位置決めテーブル１３で位置決めされた板状物２０を保持機構１５に搬入する搬入機構１４と、搬入機構１４が搬入した板状物２０を保持する保持機構１５と、保持機構１５が保持した板状物２０の裏面を粗研削する粗研削手段１６と、粗研削手段１６が粗研削した板状物２０の裏面を仕上げ研削する仕上げ研削手段１７と、仕上げ研削手段１７が仕上げ研削した板状物２０を保持機構１５から搬出する搬出機構１８と、搬出機構１８が搬出した板状物２０を洗浄する洗浄手段１９とを備える。
【００１２】
搬出手段１２は、例えばロボットアームであり、円板状のウェーハなどの板状物２０を保持してカセット３０ａから搬出し、裏面側を上に向けた状態で位置決めテーブル１３に載置する。また、搬出手段１２は、洗浄手段１９が洗浄した板状物２０を保持してカセット３０ｂに収容する。
【００１３】
位置決めテーブル１３は、ＸＹ平面（水平面）内で所定の中心位置から等距離に配置された複数の位置決めピン１３１を有する。中心位置と各位置決めピン１３１との間の距離は可変であり、位置決めテーブル１３に板状物２０を載置した状態で、位置決めピン１３１を中心位置に近づけると、板状物２０の中心が位置決めテーブル１３の中心位置に一致する。
【００１４】
搬入機構１４は、一端が軸部１４３に固定された回動アーム１４２を回動して、回動アーム１４２の先端に設けられた吸引部１４１を、位置決めテーブル１３の中心位置の直上に移動し、位置決めテーブル１３が位置決めした板状物２０を吸引部１４１で吸引して保持する。搬入機構１４は、回動アーム１４２を回動して、保持した板状物２０を搬送し、保持機構１５の保持テーブル１５２の上に載置して解放する。
【００１５】
保持機構１５は、±Ｚ方向（鉛直方向）と平行な軸を中心としてターンテーブル１５１を回転し、ターンテーブル１５１の上に設置された３つの保持テーブル１５２を移動させる。保持機構１５は、ターンテーブル１５１を回転させて、いずれかの保持テーブル１５２を搬入機構１４の吸引部１４１の近くに移動させ、搬入機構１４が搬入した板状物２０を受け取る。これにより、保持テーブル１５２は、板状物２０の中心が保持テーブル１５２の中心上に位置した状態で、板状物２０を保持する。
【００１６】
保持機構１５は、ターンテーブル１５１を回転させて、板状物２０を保持した保持テーブル１５２を粗研削手段１６の直下に移動させる。粗研削手段１６は、保持テーブル１５２が保持した板状物２０の裏面を粗研削する。粗研削終了後、保持機構１５は、ターンテーブル１５１を更に回転させて、粗研削が終わった板状物２０を保持した保持テーブル１５２を仕上げ研削手段１７の直下に移動させる。そして、仕上げ研削手段１７は、保持テーブル１５２が保持した板状物２０の裏面を仕上げ研削する。
【００１７】
保持機構１５は、ターンテーブル１５１を更に回転させて、仕上げ研削が終わった板状物２０を保持した保持テーブル１５２を移動させる。搬出機構１８は、一端が軸部１８３に固定された回動アーム１８２を回動して、回動アーム１８２の先端に設けられた吸引部１８１を保持テーブル１５２の中心の直上に移動させ、保持テーブル１５２が保持した板状物２０を吸引部１８１で吸引して保持する。搬出機構１８は、回動アーム１８２を回動して、保持した板状物２０を搬送し、洗浄手段１９に載置して解放する。
【００１８】
洗浄手段１９は、例えばスピンナ洗浄装置であり、搬出機構１８が載置した板状物２０をスピンナテーブルが吸引保持して回転し、洗浄液を板状物２０に噴出して板状物２０を洗浄する。
【００１９】
搬出手段１２は、図２に示すように、本体１１に固定された基部１２１と、基部１２１から＋Ｚ方向に延びる支持部材１２２と、支持部材１２２の上端から水平方向に延びる第一アーム１２３と、第一アーム１２３の先端から水平方向に延びる第二アーム１２４と、第二アーム１２４の先端に設けられた駆動部１２５と、板状物２０を保持する吸引保持部１２６と、吸引保持部１２６の吸引保持面２６１に配設された４つの吸引部１２７とを有する。
【００２０】
支持部材１２２は、±Ｚ方向に昇降するとともに、±Ｚ方向と平行な軸を中心として回転する。第一アーム１２３は、支持部材１２２に固定され、支持部材１２２の回転に伴って、ＸＹ平面内で回動する。第二アーム１２４は、第一アーム１２３の先端を軸として、ＸＹ平面内で回動する。駆動部１２５は、±Ｚ方向と平行な軸を中心として回転する。また、駆動部１２５は、吸引保持部１２６を支持し、水平な回転軸２６２を中心として吸引保持部１２６を回転させる。
【００２１】
吸引保持部１２６は、板状であり、駆動部１２５に近い側に板状物２０の外周に沿う形状の肉厚部２６３を有する。各吸引部１２７は、吸引保持部１２６の吸引保持面２６１に設けられた開口であり、吸引源（不図示）に接続されている。板状物２０が吸引保持面２６１に当接した状態で吸引源を動作させると、吸引部１２７が板状物２０を吸引して保持する。吸引保持部１２６は、回転軸２６２を中心として少なくとも１８０度回転し、吸引保持面２６１を＋Ｚ方向に向けることができるとともに、−Ｚ方向にも向けることができる。
【００２２】
カセット３０ａ、３０ｂは、図３に示すように、直方体箱状の箱体３１と、箱体３１の内側に設けられた複数の棚３２とを有する。箱体３１は、−ｙ方向が開口している。各棚３２は、箱体３１の−ｘ方向側面または＋ｘ方向側面の内側から突出している。±ｚ方向の同じ高さに一対の棚３２が対向して設けられ、一方は、箱体３１の−ｘ方向側面の内側から突設され、他方は、箱体３１の＋ｘ方向側面の内側から突設されている。板状物２０の直径は、箱体３１の±ｘ方向の内寸より小さく、対向している一対の棚３２の間隔より大きい。板状物２０は、対向している一対の棚３２の間に架け渡した状態で、カセット３０に収容される。この例では、１１対（２２個）の棚３２が設けられているので、１つのカセット３０に最大１１枚の板状物２０が収容できる。±ｚ方向に隣接した棚３２の間隔は、板状物２０の厚さより大きい。−ｚ方向一番下の棚３２と箱体３１の−ｚ方向底面との間隔は、搬出手段１２の吸引保持部１２６を板状物２０の下に挿入するため、±ｚ方向に隣接した棚３２の間隔よりも大きい。
【００２３】
保持テーブル１５２は、図４に示すように、多孔質材料で形成された保持部１５３の上に板状物２０を載置し、保持部１５３に接続された吸引源を動作させることにより、板状物２０を吸引して保持する。
板状物２０は、例えば、ウェーハ２１の表面２３に複数のデバイス２４が形成されて構成されている。ウェーハ２１の表面２３には、保護テープなど、デバイス２４を保護する表面保護部材４０が貼り付けられている。板状物２０は、加工対象である裏面２２側を上（＋Ｚ方向）に向け、表面保護部材４０が配設された表面２３側を下（−Ｚ方向）に向けた状態で、表面保護部材４０を介して保持テーブル１５２に保持される。
【００２４】
粗研削手段１６は、図５に示すように、±Ｚ方向と平行な軸を中心として軸部１６１を回転させることにより、軸部１６１の先端に設けられたホイール支持部１６２に取り付けられた研削ホイール５０が回転し、研削ホイール５０のホイール５１の下側に設けられた研削砥石５２が、板状物２０の裏面２２を研削する。研削ホイール５０を回転した状態で、粗研削手段１６を−Ｚ方向に移動させて保持テーブル１５２に接近させ、研削砥石５２を板状物２０の裏面２２に接触させることにより、裏面２２の研削を開始する。そして、粗研削手段１６を徐々に−Ｚ方向に移動させて研削を進め、板状物２０が所望の厚さに形成されるまで研削したら、粗研削手段１６を＋Ｚ方向に移動させて板状物２０の裏面２２から離間させることにより、研削を終了する。
仕上げ研削手段１７の構成及び動作は、研削砥石の種類が異なる点を除き、粗研削手段１６と同様である。
【００２５】
図６に示す加工方法６０は、図１に示した加工装置１０を用いて板状物２０を研削加工する方法を示しており、板状物２０が収容されたカセット３０ａを加工装置１０に載置するカセット載置ステップ６１と、カセット３０ａから板状物２０を搬出する搬出ステップ６２と、保持テーブル１５２で板状物２０を保持する保持ステップ６３と、保持テーブル１５２で保持した板状物２０を加工する加工ステップ６４と、加工が終了した板状物２０をカセット３０ｂに収容する収容ステップ６５とを備える。
【００２６】
カセット載置ステップ６１においては、板状物２０を収容したカセット３０ａを、加工装置１０の所定位置に載置する。カセット載置ステップ６１は、作業員が手作業で実行してもよいし、カセット搬送用ロボットが実行してもよい。あるいは、カセット搬送用コンベアによって搬送されてきたカセット３０ａが自動的に所定位置に載置されるよう、カセット搬送用コンベアを配置してもよい。
【００２７】
搬出ステップ６２においては、搬出手段１２が、カセット３０ａに収容された板状物２０を１枚ずつ搬出し、位置決めテーブル１３に搬送する。搬出ステップの詳細については後述する。
【００２８】
搬出ステップ６２を実施した後、搬出手段１２によってカセット３０ａから搬出され位置決めテーブル１３に搬送された板状物２０を、図１に示した位置決めピン１３１を互いが近づく方向に移動させることにより、所定の位置に位置決めする。そして、保持ステップ６３において、搬入機構１４を構成する吸引部１４１が板状物２０の裏面２２を吸引保持し、板状物２０を保持テーブル１５２に搬送する。図４に示したように、保持テーブル１５２においては、板状物２０の表面２３側が、表面保護部材４０を介して保持される。
【００２９】
加工ステップ６４においては、図５に示したように、保持テーブル１５２において表面保護部材４０側が吸引保持される。そして、回転する研削砥石を板状物２０の裏面２２に接触させることにより、粗研削手段１６が裏面２２を粗研削する。粗研削の終了後は、ターンテーブル１５１を所定角度回転させた後、同様の原理により仕上げ研削手段１７が裏面２２を仕上げ研削する。仕上げ研削の終了後は、搬出機構１８が板状物２０を洗浄手段１９に搬送し、板状物２０の裏面２２を洗浄する。
【００３０】
収容ステップ６５においては、洗浄手段１９が洗浄した板状物２０を、搬出手段１２が搬送して、カセット３０ｂに収容する。
【００３１】
以上説明した搬出ステップ６２と、保持ステップ６３と、加工ステップ６４と、収容ステップ６５とは、連続して複数の板状物２０に対してそれぞれ実施される。
なお、実際には、これらのステップは、同時に並行して実行される。例えば、保持テーブル１５２ｂが保持した第一の板状物２０を粗研削手段１６が粗研削するのと並行して、保持テーブル１５２ｃが保持した第二の板状物２０を仕上げ研削手段１７が仕上げ研削する。更にこれらと並行して、仕上げ研削が終わった第三の板状物２０を搬出機構１８が保持テーブル１５２ａから洗浄手段１９に搬送して、洗浄手段１９が洗浄する。これにより保持テーブル１５２ａが空くので、位置決めテーブル１３が位置決めした研削前の板状物２０を搬入機構１４が保持テーブル１５２ａに搬送し、保持テーブル１５２ａが保持する。これにより位置決めテーブル１３が空くので、搬出手段１２がカセット３０ａから次の研削前の板状物２０を搬出して、位置決めテーブル１３に搬送する。
【００３２】
カセット３０ａに収容された板状物２０を搬出ステップ６２ですべて搬出した場合、空になったカセット３０ａを外して、カセット載置ステップ６１に戻り、板状物２０を収容した別のカセット３０ａを加工装置１０に載置する。空になったカセット３０ａの取り外しは、作業員が手作業で実行してもよいし、カセット搬送用ロボットが実行してもよい。
カセット３０ｂに板状物２０をこれ以上収容できなくなった場合、いっぱいになったカセット３０ｂを外して、空の別のカセット３０ｂを加工装置１０に載置する。このとき、空になったカセット３０ａを、カセット３０ｂとして使用してもよい。いっぱいになったカセット３０ｂの取り外しや、空のカセット３０ｂの載置は、作業員が手作業で実行してもよいし、カセット搬送用ロボットが実行してもよい。
【００３３】
以下では、搬出ステップ６２の詳細について説明する。
図７に示すカセット３０ａには、複数の板状物２０ａ〜２０ｋが、裏面２２が同一方向を向いた状態で鉛直方向に整列して収容されている。図７の例では、収容されたすべての板状物２０は、裏面２２が下（−ｚ方向）、表面２３が上（＋ｚ方向）を向いている。表面２３には、表面保護部材４０が貼着されている。
【００３４】
搬出ステップ６２においては、カセット３０ａの上端または下端のうち板状物２０の裏面２２が対面している側の板状物２０から順に搬出していく。図７に示したカセット３０ａでは、裏面２２がカセット３０ａの下端に対面しているため、搬出ステップ６２においては、搬出手段１２は、カセット３０ａに収容された複数の板状物２０ａ〜２０ｋのうち、下端側の板状物２０ｋから順に１枚ずつ搬出する。まず、搬出手段１２は、一番下の棚３２に載置された板状物２０ｋと、箱体３１の−ｚ方向底面との間に、吸引保持面２６１を上に向けた吸引保持部１２６を挿入する。
【００３５】
次に、搬出手段１２は、吸引保持部１２６を上に移動させて、一番下の板状物２０ｋの裏面２２に吸引保持面２６１を当接させる。搬出手段１２は、吸引保持部１２６を更に上に移動させて、吸引保持面２６１の上に板状物２０ｋを載せて持ち上げ、吸引部１２７で裏面２２を吸引して、吸引保持面２６１に載置された板状物２０ｋを保持する。
【００３６】
次に、搬出手段１２は、吸引保持部１２６を手前（−ｙ方向）に移動させて、保持した板状物２０ｋをカセット３０ａから搬出する。搬出手段１２は、回転軸２６２を軸として吸引保持部１２６を回転させて、吸引保持面２６１を下に向ける。吸引部１２７が吸引して板状物２０を保持しているので、吸引保持面２６１を下に向けても、板状物２０ｋは、落ちることなく保持され続ける。これにより、板状物２０ｋは、裏面２２が上、表面２３が下を向いた状態になる。
【００３７】
搬出手段１２は、吸引保持部１２６を図１に示した位置決めテーブル１３の上に移動させて、位置決めテーブル１３に板状物２０ｋを載せ、吸引部１２７が吸引を止めて板状物２０ｋを解放する。
【００３８】
このように、板状物２０ｋの表面２３に配設された表面保護部材４０には触れることなく、カセット３０ａから板状物２０ｋを搬出するので、表面２３側に異物が付着するのを防ぐことができる。これにより、加工ステップにおけるディンプルの発生を防ぐことができるので、加工品質を向上することができる。また、板状物２０を保持した吸引保持部１２６を１８０度回転するので、裏面２２を下に向けた状態でカセット３０ａに収容されている板状物２０ｋの裏面２２を上に向けることができる。これにより、裏面２２に対する研削を行うことができる。
【００３９】
カセット３０ａに収容された２枚目以降の板状物２０ａ〜２０ｊについても、同様の手順でカセット３０ａから搬出する。板状物２０ａ〜２０ｊを下から順に搬出するので、搬出すべき板状物２０（例えば板状物２０ｆ）より下側に収容されていた板状物（例えば板状物２０ｇ〜２０ｊ）は既に搬出済である。したがって、搬出すべき板状物２０の下側には、箱体３１の−ｚ方向底面までの広い空間が形成されている。このため、吸引保持部１２６を板状物２０の下方に容易に挿入することができる。カセット３０ａに収容された板状物と板状物との間に吸引保持部１２６を挿入する必要はないので、±ｚ方向に隣接する棚３２の間には、板状物２０を収容するのに十分な間隔があればよい。このため、１つのカセット３０ａに、より多くの板状物２０を収容することができ、板状物２０を収容したカセット３０ａの載置や、空になったカセット３０ａの取り外しをする回数が減り、作業効率が向上する。
【００４０】
図８に示す別のカセット３０ｃには、図７の例と異なり、裏面２２が上（＋ｚ方向）、表面２３が下（−ｚ方向）を向いた状態で、複数の板状物２０ａ〜２０ｊが収容されている。また、一番上の棚３２には、板状物２０が収容されない。この例では、１１対の棚３２が設けられているので、１つのカセット３０ｃに最大１０枚の板状物２０が収容できる。
【００４１】
このカセット３０ｃを使用して板状物２０を加工装置１０に供給する場合、図６に示した加工方法６０のカセット載置ステップ６１を、以下に説明するように変更する。
【００４２】
図９に示すように、カセット載置ステップ６１において、カセット３０ｃを１８０度回転させて、上下を逆転させる。カセット３０ｃを回転させるにあたり、カセット３０ｃの−ｙ方向開口を下にするとカセット３０ｃに収容された板状物２０が落下するので、カセット３０ｃの＋ｙ方向側面（＋ｘ方向側面または−ｘ方向側面でも可。）が下になるよう、カセット３０ｃを９０度回転させたのち、更に９０度回転させる。カセット３０ｃの反転作業は、作業員が手作業で実行してもよいし、カセット搬送用ロボットが実行してもよい。あるいは、加工装置１０やカセット搬送用コンベアの途中に、カセット反転機構を設けてもよい。
このようにして反転させたカセット３０ｃを、加工装置１０の所定位置に載置する。
【００４３】
図１０に示すように、加工装置１０に載置されたカセット３０ｃには、裏面２２が下（＋ｚ方向）、表面２３が上（−ｚ方向）を向いた状態で、複数の板状物２０ａ〜２０ｊが収容されている。搬出ステップ６２では、上述した加工方法６０の搬出ステップ６２と同じく、搬出手段１２は、カセット３０ａに収容された複数の板状物２０ａ〜２０ｊを、裏面２２を保持して下から順に１枚ずつ搬出する。
【００４４】
このように、カセット載置ステップ６１でカセット３０ｃを反転させることにより、板状物２０の裏面２２を下向きにし、搬出ステップ６２でカセット３０ｃから板状物２０を搬出する。板状物２０の表面２３に配設された表面保護部材４０には触れることなく、カセット３０ａから板状物２０を搬出するので、表面２３側に異物が付着するのを防ぐことができる。これにより、加工ステップにおけるディンプルの発生を防ぐことができるので、加工品質を向上することができる。
【００４５】
図１１に示すように、加工装置１０に載置されたカセット３０ｃに、裏面２２が上（＋ｚ方向）、表面２３が下（−ｚ方向）を向いた状態で、複数の板状物２０ａ〜２０ｊが収容されている場合であって、カセット載置ステップ６１において、カセット３０ｃを１８０度回転させない場合は、裏面２２がカセット３０ｃの上端に対面しているため、搬出ステップ６２において、搬出手段１２は、カセット３０ｃに収容された複数の板状物２０ａ〜２０ｊを、上から順に１枚ずつ搬出する。
【００４６】
まず、搬出手段１２は、一番上の棚３２に載置された板状物２０ａと、箱体３１の＋ｚ方向天面との間に、吸引保持面２６１を下に向けた吸引保持部１２６を挿入する。次に、搬出手段１２は、吸引保持部１２６を下方に移動させて、一番上の板状物２０ａの裏面２２に吸引保持面２６１を当接させ、吸引部１２７で板状物２０ａ吸引して持ち上げ、吸引保持面２６１に当接した板状物２０ｋを保持する。
次に、搬出手段１２は、吸引保持部１２６を上方に移動させて、保持した板状物２０ａを持ち上げた後、吸引保持部１２６を手前（−ｙ方向）に移動させて、保持した板状物２０ａをカセット３０ｃから搬出する。そして、搬出手段１２は、吸引保持部１２６を位置決めテーブル１３の上に移動させて、位置決めテーブル１３に板状物２０ａを載せ、吸引部１２７が吸引を止めて板状物２０ａを解放する。板状物２０ａは、裏面２２が上、表面２３が下を向いた状態なので、吸引保持部１２６を回転させる必要はない。
【００４７】
カセット３０ｃに収容された２枚目以降の板状物２０ｂ〜２０ｊについても、同様の手順でカセット３０ｃから搬出する。板状物２０ｂ〜２０ｊを上から順に搬出するので、搬出すべき板状物２０（例えば板状物２０ｆ）より上側に収容されていた板状物（例えば板状物２０ａ〜２０ｅ）は既に搬出済である。したがって、搬出すべき板状物の上側には、箱体３１の＋ｚ方向天井面までの広い空間が形成されている。このため、吸引保持部１２６を板状物２０の上方に容易に挿入することができる。カセット３０ｃに収容された板状物と板状物との間に吸引保持部１２６を挿入する必要はないので、±ｚ方向に隣接する棚３２の間には、板状物２０を収容するのに十分な間隔があればよい。したがって、１つのカセット３０ｃにより多くの板状物２０を収容することができ、板状物２０を収容したカセット３０ｃの載置や、空になったカセット３０ｃの取り外しをする回数が減り、作業効率が向上する。
【００４８】
このように、板状物２０の表面２３に配設された表面保護部材４０には触れることなく、カセット３０ｃから板状物２０を搬出するので、表面２３側に異物が付着するのを防ぐことができる。これにより、加工ステップにおけるディンプルの発生を防ぐことができるので、加工品質を向上することができる。また、吸引部１２７が吸引することにより板状物２０を保持するので、板状物２０を上から保持することができる。さらに、裏面２２を上に向けた状態でカセット３０ｃに収容されている板状物２０を、上から吸引して持ち上げるので、板状物２０を裏返すことなく裏面２２に対する研削などの加工をすることができる。
【００４９】
裏面２２が上（＋ｚ方向）、表面２３が下（−ｚ方向）を向いた状態で複数の板状物２０ａ〜２０ｊが収容されたカセット３０ｃから板状物を上から順に１枚ずつ搬出する場合は、吸引保持部１２６を回転させる必要がないため、駆動部１２５は、吸引保持部１２６を回転させる機能を有しなくてよい。
【００５０】
また、カセット３０ｃを反転させないので、一番上の棚３２にも、板状物２０を収容することができる。このため、１つのカセット３０ｃに、より多くの板状物２０を収容することができる。これにより、板状物２０を収容したカセット３０ｃの載置や、空になったカセット３０ｃの取り外しをする回数が減り、作業効率が向上する。
【００５１】
以上説明した実施形態は、一例であり、本発明は、これに限定されるものではない。例えば、本質的でない部分の構成を、他の構成に置き換えてもよい。
例えば、加工装置１０は、粗研削手段１６と仕上げ研削手段１７とを備えるのではなく、１つの研削手段のみを備える構成であってもよいし、仕上げ研削手段１７を研磨手段としてもよい。また、研削手段を備えるのではなく、１つまたは複数の研磨手段を備える構成であってもよい。加工装置１０が研磨手段を備える場合は、図６に示した加工ステップ６４において、板状物２０の裏面を研磨加工する。
【符号の説明】
【００５２】
１０  加工装置、１１  本体、１２  搬出手段、
１２１  基部、１２２  支持部材、１２３  第一アーム、１２４  第二アーム、
１２５  駆動部、１２６  吸引保持部、２６１  吸引保持面、２６２  回転軸、
２６３  肉厚部、
１２７，１４１，１８１  吸引部、
１３  位置決めテーブル、１３１  位置決めピン、
１４  搬入機構、１４２，１８２  回動アーム、１４３，１８３  軸部、
１５  保持機構、１５１  ターンテーブル、１５２  保持テーブル、１５３  保持部、
１６  粗研削手段、１６１  軸部、１６２  ホイール支持部、
１７  仕上げ研削手段、１８  搬出機構、１９  洗浄手段、
２０  板状物、２１  ウェーハ、２２  裏面、２３  表面、２４  デバイス、
３０  カセット、３１  箱体、３２  棚、
４０  表面保護部材、
５０  研削ホイール、５１  ホイール、５２  研削砥石、
６０  加工方法、６１  カセット載置ステップ、６２  搬出ステップ、
６３  保持ステップ、６４  加工ステップ、６５  収容ステップ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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