(57)【要約】【課題】ランプの温度上昇を抑制可能な照射装置及び擬似太陽光照射装置を提供する。【解決手段】線状のランプ２２、２３と、このランプ２２、２３の照射光を調整し照射範囲を規定する光学要素２６、２７とを備えた照射装置において、ランプ２２、２３の照射光の影にならない位置に、ランプ２２、２３の長さ方向に所定の間隔で吸／排気口４２を設ける構成とする。【選択図】図４
2014053242.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
線状のランプと、このランプの照射光を調整し照射範囲を規定する光学要素とを備えた照射装置において、
前記光学要素によって規定される範囲の前記ランプの照射光の影にならない位置に、前記ランプの長さ方向に所定の間隔で吸／排気口を設けたことを特徴とする照射装置。
【請求項２】
非透過性の部材を前記ランプに沿って配置し、
前記部材に前記吸／排気口を設けたことを特徴とする請求項１に記載の照射装置。
【請求項３】
ランプを収容し、被照射体との対向面に放射面が形成され、この放射面に前記ランプの光をスペクトル調整する光学フィルタを設けた擬似太陽光照射ボックスを有し、前記光学フィルタでスペクトル調整した擬似太陽光を前記被照射体に照射する擬似太陽光照射装置において、
前記ランプの照射光の影にならない位置に、前記ランプの長さ方向に所定の間隔で吸／排気口を設けたことを特徴とする擬似太陽光照射装置。
【請求項４】
前記擬似太陽光照射ボックス内に、前記光学フィルタで裏面反射した裏面反射光を吸収する吸収部材を設け、
前記吸収部材に、前記吸／排気口を設けたことを特徴とする請求項３に記載の擬似太陽光照射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、冷却構造を備える照射装置及び擬似太陽光照射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
照射装置として、例えば、太陽電池の光電変換特性などの、各種太陽エネルギ利用機器の性能測定及び加速劣化試験のために、自然太陽光のスペクトル分布を再現した擬似太陽光を、被照射体に照射する擬似太陽光照射装置が知られている。
この種の擬似太陽光照射装置においては、キセノンランプ等の光源を箱体の中に設置し、箱体の放射面に光学要素としての光学フィルタを設けて、光源の光を該光学フィルタに通すことで放射面から擬似太陽光を放射する擬似太陽光照射ボックス（ランプユニット）が用いられている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−２９６３１９号号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
近年、種々の太陽電池が開発されており、その中には、照射時間を長くした擬似太陽光照射装置を要求するものがある。照射時間を長くすると、装置全体の温度が上昇し、例えば装置に使用されるアルミ等の金属が膨張するので、ランプや光学フィルタ等の位置関係がずれ、被照射面の照度分布の場所ムラや、照射光のスペクトル等の光学性能の悪化を招くおそれがある。
本発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであり、ランプの温度上昇を抑制可能な照射装置及び擬似太陽光照射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成するために、本発明は、線状のランプと、このランプの照射光を調整し照射範囲を規定する光学要素とを備えた照射装置において、前記光学要素によって規定される範囲の前記ランプの照射光の影にならない位置に、前記ランプの長さ方向に所定の間隔で吸／排気口を設けたことを特徴とする。
【０００６】
上記構成において、非透過性の部材を前記ランプに沿って配置し、前記部材に前記吸／排気口を設けてもよい。
【０００７】
また、本発明は、ランプを収容し、被照射体との対向面に放射面が形成され、この放射面に前記ランプの光をスペクトル調整する光学フィルタを設けた擬似太陽光照射ボックスを有し、前記光学フィルタでスペクトル調整した擬似太陽光を前記被照射体に照射する擬似太陽光照射装置において、前記ランプの照射光の影にならない位置に、前記ランプの長さ方向に所定の間隔で吸／排気口を設けたことを特徴とする。
【０００８】
上記構成において、前記擬似太陽光照射ボックス内に、前記光学フィルタで裏面反射した裏面反射光を吸収する吸収部材を設け、前記吸収部材に、前記吸／排気口を設けてもよい。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、擬似太陽光照射ボックス内の、ランプの照射光の影にならない位置に、ランプの長さ方向に所定の間隔で吸／排気口を設けたため、ランプ全体を光学要素より近い位置で冷却できるとともに、光学要素の過度の温度上昇を防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の実施形態に係る擬似太陽光照射装置の構成を模式的に示す縦断面図である。
【図２】擬似太陽光照射装置の右半分を示す平面図である。
【図３】擬似太陽光照射装置を示す横断面図である。
【図４】擬似太陽光照射ボックスの構成を示す図である。
【図５】擬似太陽光照射装置の左半分を示す縦断面図である。
【図６】擬似太陽光照射ボックスを拡大して示す横断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、図面を参照して本発明の好適な実施の形態について説明する。
図１は、本実施の形態における擬似太陽光照射装置の構成を模式的に示す縦断面図である。なお、図１中Ｗは幅方向を、Ｈは高さ方向を示している。
擬似太陽光照射装置（照射装置）１は、複数の角柱状のフレーム２を格子状に組んだ枠体４を有し、この枠体４は、本実施の形態では、長さが略２３００ｍｍ、幅が略１３００ｍｍ、高さが略１１８０ｍｍの寸法に構成されている。枠体４の四方の各側面は、遮光板（不図示）で覆われている。
【００１２】
擬似太陽光照射装置１は、この枠体４の長さ方向において対面する側面間に、擬似太陽光を放射する擬似太陽光照射ボックス（ランプユニット）６を渡設し、この擬似太陽光照射ボックス６の下面６Ａに対向させて反射面（被照射面）８を配置すると共に、擬似太陽光照射ボックス６の上面６Ｂに対向させて太陽電池パネル等の平坦な被照射面１０Ａを有する被照射体１０を配置して構成されている。
【００１３】
反射面８は、擬似太陽光照射ボックス６の下面６Ａからの擬似太陽光を反射して被照射面１０Ａを照射する反射板３０を傾動自在に保持する複数（本実施の形態では、１８個）の反射装置３２を有して構成されている。
被照射体１０は、枠体４の上に取り付けられた試料支持枠１２に載置されることで、擬似太陽光照射ボックス６から所定の距離Ｌだけ離間した位置に被照射面１０Ａが配置されている。この被照射面１０Ａは、擬似太陽光照射ボックス６の上面６Ｂから放射される直接光と、反射面８で反射された反射光によって照射される。すなわち、反射光の配光を制御することで、被照射面１０Ａでの直接光の照度むらを補償し、被照射面１０Ａでの照度の均一性を図ることができる。
【００１４】
図２は、擬似太陽光照射装置１の右半分を示す平面図である。図３は、擬似太陽光照射装置１を示す横断面図である。
擬似太陽光照射ボックス６の中には、２本の直管型のランプ（光源）２２、２３が擬似太陽光照射ボックス６に沿って同軸に配置されている。これらのランプ２２、２３には、自然太陽光に近い光を発するキセノンランプ等が用いられている。ランプ２２、２３のそれぞれの両端部には、端子台５１が配設されている。
【００１５】
反射板３０は、表面が金属の板材であり、擬似太陽光照射ボックス６に沿って略平行に延在している。この反射板３０と、反射板３０を保持する保持具３１とにより反射装置３２が構成されている。そして、枠体４の底床４Ａ上に、複数の反射装置３２が並設されることで、複数の反射板３０が敷き詰められて設けられ、これらの反射板３０により反射面８が形成されている。
保持具３１は、反射板３０の傾斜角度を調節するための角度調整機構を有し、これにより、反射板３０のそれぞれを、互いに独立して光の反射角度を調整することができるようになっている。このとき、図１に示すように、枠体４の幅方向における両側面に近い幾つかの保持具３１の高さが順次高くなされており、両側面側の反射板３０の反射光が内側の反射板３０に遮蔽されるのを防止している。
【００１６】
また、枠体４の長さ方向において対面する側面側には、図２及び図３に示すように、長さ方向における両端側に向けて光を反射する補助反射面５０が設けられている。補助反射面５０は、擬似太陽光照射ボックス６に沿って略平行に延在する表面が金属の板材が複数配列されて構成されている。この補助反射面５０は、例えば、擬似太陽光照射ボックス６の長さ方向における両端側での直接光の照度低下が顕著な場合に、この補助反射面５０の反射角度（傾斜角度）を調整して照度低下を補うことなどに使用可能である。
【００１７】
図４は、擬似太陽光照射ボックス６の構成を示す図である。
擬似太陽光照射ボックス６は、擬似太陽光照射ボックス６の長手方向の両側面２０Ａ、２０Ｂを構成する長板状の一対のサイドフレーム２４、２４と、上面６Ｂを構成する複数（本実施の形態では、一対）のフィルタ２６、２６と、下面６Ａを構成する複数（本実施の形態では、一対）のフィルタ２７、２７と、これらサイドフレーム２４及びフィルタ２６、２７を組み留める金具２８とを有している。
サイドフレーム２４は、光遮光性材により形成され、或いは、光の透過を防止する遮光材が表面に塗布されている。
【００１８】
フィルタ２６は、外側に配置されて放射面を構成するＩＲカットフィルタ（光学フィルタ、光学要素）２６Ａと、各サイドフレーム２４に載置されてＩＲカットフィルタ２６Ａを内側から保持するＩＲカットフィルタ保持具２６Ｂとを備えている。フィルタ２７は、内側に配置されて放射面を構成するＩＲカットフィルタ（光学フィルタ、光学要素）２７Ａと、各サイドフレーム２４に嵌め込まれてＩＲカットフィルタ２７Ａを外側から保持するＩＲカットフィルタ保持具２７Ｂとを備えている。
ＩＲカットフィルタ保持具２６Ｂ、２７Ｂは、アクリル等の透明な材質で形成されている。ＩＲカットフィルタ２６Ａ、２７Ａは、赤外波長成分をカットする多層蒸着膜が蒸着形成されたスペクトル調整用の透過型の光学フィルタであり、ランプ２２、２３の発する光から赤外波長成分を除去することで擬似太陽光を生成する。
【００１９】
ＩＲカットフィルタ２６Ａ、２７Ａでカットしたスペクトル成分の光（赤外波長成分の光）は、図４に矢印Ａ及び矢印Ｂで示すように、該ＩＲカットフィルタ２６Ａ、２７Ａの裏面で反射される。このように上面６Ｂ及び下面６ＡのＩＲカットフィルタ２６Ａ、２７Ａの裏面で反射した裏面反射光Ａ、Ｂは、直接的に、或いは、擬似太陽光照射ボックス６の内面等で反射して、他方のＩＲカットフィルタ２６Ａ、２７Ａに向かうことになる。
【００２０】
擬似太陽光照射ボックス６内には、裏面反射光Ａ、Ｂを吸収する一対の吸収部材２１、２１がランプ２２、２３を挟んで両側面２０Ａ、２０Ｂの各々に設けられている。
吸収部材２１は、擬似太陽光照射ボックス６の長手方向に延在し、ランプ２２、２３に向けて傾斜する傾斜面２１Ｂを有するブロックであり、その表面が光を吸収する性質を有するように、例えば、アルミニウムなどの金属材料の上に黒塗装（例えば、黒アルマイト処理）するか、又は、さらにその上に例えばガラスクロスにフッ素樹脂ディスパージョンをコーディングした黒色の遮光シートを被せる等の光吸収処理を施したものを用いて形成されている。また、吸収部材２１は、裏面反射光Ａ、Ｂを十分に吸収し、また、上面６Ｂ及び下面６ＡのＩＲカットフィルタ２６Ａ、２７Ａで生じ他方のＩＲカットフィルタ２６Ａ、２７Ａに向う裏面反射光Ａ、Ｂを十分に遮蔽可能にするために、その先端２１Ａをランプ２２、２３に当接しない程度の近傍にまで延出させて配置されている。
【００２１】
図５は、図１の擬似太陽光照射装置１の左半分を示す縦断面図であって、ランプ２２、２３の下側に配置される反射装置３２を省略したものである。
上記被照射面１０Ａは、擬似太陽光照射ボックス６（ランプ２２、２３）を中心として左右の２つの領域に等分割され、図５に示すように、擬似太陽光照射ボックス６の上面６Ｂに設けた左半分のＩＲカットフィルタ２６Ａが被照射面１０Ａ上の左半分の領域Ｘ１に擬似太陽光を照射するように設けられるとともに、右半分のＩＲカットフィルタ２６Ａが被照射面１０Ａ上の右半分の領域に擬似太陽光を照射するように設けられている。
また、反射面８も同様に、擬似太陽光照射ボックス６（ランプ２２、２３）を中心として左右の２つの領域に等分割され、擬似太陽光照射ボックス６の下面６Ａに設けた左半分のＩＲカットフィルタ２７Ａが反射面８上の左半分の領域に擬似太陽光を照射し、右半分のＩＲカットフィルタ２７Ａが反射面８上の右半分の領域に擬似太陽光を照射するように設けられている。
【００２２】
このとき、ランプ２２、２３の中心から被照射面１０Ａまでの距離Ｌと、被照射面１０Ａの左半分の領域Ｘ１の横幅Ｚ１とに基づいて、ランプ２２、２３からみた左半部の領域Ｘ１の照射角度θはＡｒｃｔａｎ（Ｚ１／Ｌ）として規定され、また、被照射面１０Ａがランプ２２、２３を中心に左右対称であるから、右半部の領域の照射角度も左半分の領域Ｘ１と同じ照射角度θとなる。
同様に、下面２Ｂにおいては、ランプ２２、２３の中心から反射面８までの距離と、反射面８の左右の半分の領域の横幅とに基づいて、ランプ２２、２３からみた左右の領域への照射角度φが規定される。
【００２３】
そして、上記吸収部材２１は、図４に示すように、擬似太陽光照射ボックス６内で、ランプ２２、２３からみて照射角度θ、φの範囲を避けた位置に配置されており、これにより、被照射面１０Ａ、又は反射面８に向う光が吸収部材２１により遮蔽されるのを防止すると共に、上記のように吸収部材２１の先端２１Ａを照射角度θ、φの範囲を避けた位置でランプ２２、２３の近傍まで側面２０Ａ、２０Ｂから最大限延出させることで、上面及び下面のＩＲカットフィルタ２６Ａ、２７Ａから他方のＩＲカットフィルタ２６Ａ、２７Ａに向う裏面反射光Ａ、Ｂが吸収部材２１で十分に遮蔽されることとなる。
【００２４】
このように、ＩＲカットフィルタ２６Ａ、２７Ａで裏面反射した裏面反射光Ａ、Ｂは、擬似太陽光照射ボックス６に設けられた吸収部材２１に吸収され、被照射面１０Ａに照射される事が無く、被照射面１０Ａの全体に、所望のスペクトル分布の擬似太陽光を均一に照射することができる。吸収部材２１は、ランプ２２、２３からの光の照射角度θ、φを避けて配置されているので、被照射体１０及び反射面８への光を遮ることが無く、これにより、被照射面１０Ａの照度分布が均一に維持される。また、吸収部材２１は、その先端２１Ａをランプ２２、２３に当接しない程度の近傍まで側面２０Ａ、２０Ｂから延出させて配置されているので、ＩＲカットフィルタ２６Ａ、２７Ａで裏面反射した裏面反射光Ａ、Ｂを十分に遮蔽及び吸収することができる。
【００２５】
従来の擬似太陽光照射装置では、例えば、発光時投入エネルギが最大で４０００Ｊ（ジュール）のランプを、最大発光時間１００ミリ秒、最短間隔１５秒で連続点灯させており、これらの条件下では、擬似太陽光照射ボックスの温度は最大で約１００℃まで上昇する。
ところで、近年では、種々の新しい太陽電池の開発が進んでおり、その中には、照射時間を長くすることを要求するものがある。この要求に対応すべく、例えば３００ミリ秒という比較的長いパルス発光幅でランプを発光させると、擬似太陽光照射装置全体の温度が上昇し、例えば擬似太陽光照射ボックスに使用されるアルミ等の金属が膨張するので、ランプやＩＲカットフィルタ等の位置関係がずれ、被照射面の照度分布の場所ムラや、照射光のスペクトル等の光学性能の悪化を招くおそれがある。また、擬似太陽光照射装置全体の温度上昇が、被照射体の特性を測定する測定装置による正確なデータ取得の妨げになる可能性がある。
一般に、擬似太陽光照射装置は、クリーンルームもしくはそれに近い環境に置かれるため、排気量の多いブロア等を使用することができない。また、ブロアが必要とする排気施設は、スペースを取るとともにコストが高くつくため、使用することは好ましくない。
【００２６】
そこで、本実施の形態の擬似太陽光照射装置１には、温度上昇を抑制する冷却装置４０が設けられている。以下、図２、図４及び図６を参照し、冷却装置４０について詳細に説明する。
図６は、擬似太陽光照射ボックス６を拡大して示す横断面図である。なお、図６では、ランプ２３側の擬似太陽光照射ボックス６を示しているが、ランプ２２側についても同一の構成のため、ランプ２２側については説明を省略する。図６中、符号５２は、インバータ電源（不図示）に繋がる電線であり、円錐台状の端子台（碍子）５１を介してランプ２２、２３からの配線（不図示）に接続されており、ランプ２２、２３に電力を供給する機能を有する。
【００２７】
図６に示すように、一方の吸収部材２１には、ランプ２２、２３に沿って延びる吸／排気路４１が吸収部材２１の長さに渡って形成されている。この吸／排気路４１は、吸収部材２１の端部両側に形成された連通口４１Ａを介して擬似太陽光照射ボックス６内の空間Ｓに連通している。また、吸収部材２１には、ランプ２２、２３の長さ方向に所定の間隔で複数の吸／排気口４２が形成されている。各吸／排気口４２は吸／排気路４１から吸収部材２１の先端２１Ａに向けて延出している。本実施の形態では、各吸／排気口４２は吸／排気路４１に直交するように設けられているが、吸／排気路４１に対して斜めに設けられてもよい。上述したように、吸収部材２１の先端２１Ａは、ランプ２２、２３に当接しない程度の近傍まで延出しているため、吸／排気口４２はランプ２２、２３の近傍に位置することとなる。
【００２８】
図２及び図６に示すように、擬似太陽光照射ボックス６の端部両側には、擬似太陽光照射ボックス６内の空気を擬似太陽光照射ボックス６の外部に排出するためのファン４３がそれぞれ設けられている。このファン４３を駆動することで、ランプ２２、２３近傍の空気が吸／排気口４２から吸い込まれ、吸／排気路４１及び擬似太陽光照射ボックス６内の空間Ｓを介して外部に排気される。
【００２９】
なお、本実施の形態では、擬似太陽光照射ボックス６内の空気を外部に排出するようにファン４３を設けたため、吸／排気口４２が吸込口として機能したが、外部の空気を擬似太陽光照射ボックス６内に導入するようにファン４３を設けてもよく、その場合、吸／排気口４２がランプ２２、２３に空気を吹き出す吹出口として機能する。吸／排気口４２を吹出口として機能させる場合には、例えば、空気を圧縮する空気圧縮手段（不図示）を設け、圧縮空気を吸／排気口４２を通してランプ２２、２３に直接吹き付ける。この際、擬似太陽光照射ボックス６内の空気を擬似太陽光照射ボックス６の両端側又は一端側に設けたファン等によって擬似太陽光照射ボックス６の外部に排気することで、擬似太陽光照射ボックス６内の圧力上昇が抑制される。
これらの吸／排気路４１、吸／排気口４２及びファン４３は、本実施の形態の冷却装置４０を構成している。
【００３０】
次に、本実施の形態の作用について説明する。
吸／排気口４２をランプ２２、２３の近傍に配置したため、特にランプ２２、２３の発光の瞬間に高温になるランプ２２、２３周辺の空気を効率良く排気することができ、ランプ２２、２３全体を確実に冷却することができる。また、ランプ２２、２３の温度を抑えることで、ランプ２２、２３の始動性や寿命を向上させることができる。
さらに、ランプ２２、２３の発光によって温められた、擬似太陽光照射ボックス６内の空気が外部に排出されるので、擬似太陽光照射ボックス６自体の温度上昇を防止できる。
ランプ２２、２３は所定の間隔（例えば、１５秒）で点灯させているので、点灯時の熱量の高い空気を全て排気した後は、擬似太陽光照射ボックス６を冷却することができる。
【００３１】
しかも、吸／排気口４２をランプ２２、２３とＩＲカットフィルタ２６、２７の間に設けたため、ＩＲカットフィルタ２６、２７よりも近い位置でランプ２２、２３を冷却できるので、ＩＲカットフィルタ２６、２７の過度の温度上昇を防止できる。したがって、温度上昇によるＩＲカットフィルタ２６、２７の変形を防止できるので、光学特性に影響を与えることがない。
吸／排気口４２の大きさや風量（ファン４３の回転数）は、発生する熱量やファン４３からの距離に応じて設定される。吸／排気口４２を配置する間隔は、等間隔でもよいが、ランプ２２、２３の部位による熱量に応じて設定することで、ランプ２２、２３をより効率良く冷却できる。
【００３２】
これに加え、吸／排気路４１及び吸／排気口４２をランプ２２、２３の照射範囲として使用しない吸収部材２１に形成したため、ＩＲカットフィルタ２６、２７より近い位置でランプ２２、２３全体を冷却できるという構成を満たしつつ、光学性能に影響を与えることのない吸／排気路４１及び吸／排気口４２を容易に形成できる。また、擬似太陽光照射ボックス６内に設ける部品点数も増加しないため、擬似太陽光照射ボックス６を容易に組み立てることができるとともに、光学設計を再度行う必要もない。
このように、本実施の形態では、比較的長いパルス発光幅でランプ２２、２３を発光させても、擬似太陽光照射ボックス６の温度上昇を防止できるので、所要の大きさを持つエネルギの光を大面積の被照射面１０Ａに照射することができる。
【００３３】
以上説明したように、本実施形態によれば、ランプ２２、２３の照射光の影にならない位置に、ランプ２２、２３の長さ方向に所定の間隔で吸／排気口４２を設ける構成とした。この構成により、ランプ２２、２３全体をＩＲカットフィルタ２６、２７より近い位置で冷却できるので、ランプ２２、２３をより確実に冷却することができるとともに、ＩＲカットフィルタ２６、２７の過度の温度上昇を防止できる。
【００３４】
また、本実施形態によれば、吸収部材２１に吸／排気口４２を設けたため、吸収部材２１に吸／排気口４２用の貫通孔を形成するといった簡単な構成で、ランプ２２、２３全体をＩＲカットフィルタ２６、２７より近い位置で冷却できる。
【００３５】
但し、上記実施の形態は本発明の一態様であり、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において適宜変更可能であるのは勿論である。
例えば、上記実施の形態では、擬似太陽光照射ボックス６の長さ方向端部両側にファン４３を設けたが、一方の端部に設けてもよい。また、擬似太陽光照射ボックス６内にファン４３を設けてもよい。ファン４３を設ける位置は擬似太陽光照射ボックス６に限定されるものではなく、例えば、擬似太陽光照射ボックス６に吸／排気管を接続し、この吸／排気管にファンを設けてもよい。
【００３６】
また、上記実施の形態では、一方の吸収部材２１に吸／排気路４１及び吸／排気口４２を形成したが、両方の吸収部材２１に吸／排気路４１及び吸／排気口４２を形成してもよい。
また、上記実施の形態では、擬似太陽光照射ボックス６が下面６Ａ及び上面６Ｂの両方に放射面を有するため、吸／排気路４１及び吸／排気口４２をランプ２２、２３の側方の吸収部材２１に設けたが、これに限定されるものではなく、ランプ２２、２３と光学要素との間に設ければよい。例えば、擬似太陽光照射ボックス６が下面６Ａ及び上面６Ｂの一方に放射面を有する場合には、ランプ２２、２３の側方、あるいは、下面６Ａ及び上面６Ｂの他方に吸／排気路４１及び吸／排気口４２を設けてもよい。
【００３７】
また、上記実施の形態では、本発明を擬似太陽光照射装置に適用する例を説明したが、照射装置は擬似太陽光照射装置に限定されるものではなく、種々の照射装置に適用可能であり、光学要素もＩＲカットフィルタに限定されない。
【符号の説明】
【００３８】
１  擬似太陽光照射装置（照射装置）
６  擬似太陽光照射ボックス
６Ａ  下面
６Ｂ  上面
１０  被照射体
１０Ａ  被照射面
２１  吸収部材（部材）
２２、２３  ランプ
２６Ａ、２７Ａ  ＩＲカットフィルタ（光学フィルタ、光学要素）
４２  吸／排気口
【図１】
2014053242.tif 000003
【図２】
2014053242.tif 000004
【図３】
2014053242.tif 000005
【図４】
2014053242.tif 000006
【図５】
2014053242.tif 000007
【図６】
2014053242.tif 000008