(57)【要約】【課題】被形成体に形成される正規パターンの被認識度が規格外となったことを精度よく検出する。【解決手段】被形成体を基準位置に位置決めする位置決め部と、前記基準位置に位置決めされた前記被形成体に対して、正規パターンと、該正規パターンの被認識度が規格外となる場合にパターン認識が可能な認識限度を超える被認識度とされるテストパターンと、を形成する形成部と、を備える。【選択図】図１
2014151521.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被形成体を基準位置に位置決めする位置決め部と、
前記基準位置に位置決めされた前記被形成体に対して、正規パターンと、該正規パターンの被認識度が規格外となる場合にパターン認識が可能な認識限度を超える被認識度とされるテストパターンと、を形成する形成部と、
を備える形成装置。
【請求項２】
前記形成部は、
前記正規パターンと、該正規パターンの前記被認識度としての濃度が規格外となる場合に前記認識限度を超える濃度とされるテストパターンと、を形成する
請求項１に記載の形成装置。
【請求項３】
前記テストパターンを認識する認識部を備え、
前記形成部は、
正規パターンと、該正規パターンの被認識度が規格外となる場合に前記認識部の前記認識限度を超える被認識度とされるテストパターンと、を形成する
請求項１又は２記載の形成装置。
【請求項４】
前記テストパターンは、前記正規パターンよりも細いパターンで構成された線図である請求項１〜３のいずれか１項に記載の形成装置。
【請求項５】
前記形成部は、前記被形成体に対してレーザーを照射して、前記正規パターン及び前記テストパターンを形成し、
前記位置決め部は、前記形成部の照射方向において前記被形成体を前記基準位置に位置決めする
請求項１〜４のいずれか１項に記載の形成装置。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか１項に記載の形成装置を準備する準備工程と、
前記形成部により、前記被形成体に前記正規パターン及び前記テストパターンを形成する形成工程と、
前記テストパターンの有無を検査する検査工程と、
を備えたパターン形成物の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、形成装置、パターン形成物の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、文字を中心とする印刷物における印刷濃度を検出する検査方法および装置が開示されている。
【０００３】
特許文献１の検査方法及び装置では、印刷物の印刷面を光学的に走査して濃度信号を取出し、この濃度信号をサンプリングして所望数の濃度サンプルデータを取出し、この濃度サンプルデータのうち最も濃度の高いものから順次適宜数のデータを、また最も濃度の低いものから順次適宜数のデータをそれぞれ抽出し、これら各適宜数のデータにつき濃度の高いものの平均値および濃度の低いものの平均値をそれぞれ算出し、これら両平均値の差を求め、前記差と予め標準印刷物から求められている前記差と同様の差とを比較し、この比較の結果が所定範囲を超えているときに濃度不良と判定する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平０５−１８５５８４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、被形成体に形成される正規パターンの被認識度が規格外となったことを精度よく検出することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１の発明は、被形成体を基準位置に位置決めする位置決め部と、前記基準位置に位置決めされた前記被形成体に対して、正規パターンと、該正規パターンの被認識度が規格外となる場合にパターン認識が可能な認識限度を超える被認識度とされるテストパターンと、を形成する形成部と、を備える形成装置である。
【０００７】
請求項２の発明は、前記形成部は、前記正規パターンと、該正規パターンの前記被認識度としての濃度が規格外となる場合に前記認識限度を超える濃度とされるテストパターンと、を形成する請求項１に記載の形成装置である。
【０００８】
請求項３の発明は、前記テストパターンを認識する認識部を備え、前記形成部は、正規パターンと、該正規パターンの被認識度が規格外となる場合に前記認識部の前記認識限度を超える被認識度とされるテストパターンと、を形成する請求項１又は２記載の形成装置である。
【０００９】
請求項４の発明は、前記テストパターンは、前記正規パターンよりも細いパターンで構成された線図である請求項１〜３のいずれか１項に記載の形成装置である。
【００１０】
請求項５の発明は、前記形成部は、前記被形成体に対してレーザーを照射して、前記正規パターン及び前記テストパターンを形成し、前記位置決め部は、前記形成部の照射方向において前記被形成体を前記基準位置に位置決めする請求項１〜４のいずれか１項に記載の形成装置である。
【００１１】
請求項６の発明は、請求項１〜５のいずれか１項に記載の形成装置を準備する準備工程と、前記形成部により、前記被形成体に前記正規パターン及び前記テストパターンを形成する形成工程と、前記テストパターンの有無を検査する検査工程と、を備えたパターン形成物の製造方法である。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の請求項１の構成によれば、正規パターンとテストパターンとが同じ被認識度である構成に比べ、被形成体に形成される正規パターンの被認識度が規格外となったことを精度よく検出できる。
【００１３】
本発明の請求項２の構成によれば、正規パターンとテストパターンとが同じ濃度である構成に比べ、被形成体に形成される正規パターンの濃度が規格外となったことを精度よく検出できる。
【００１４】
本発明の請求項３の構成によれば、テストパターンを認識する認識部を有さない場合に比べ、正規パターンの被認識度が規格外となったことを認識部によって精度よく検出できる。
【００１５】
本発明の請求項４の構成によれば、テストパターンが線図でない場合に比べ、正規パターンの被認識度が規格外となったことを精度よく検出できる。
【００１６】
本発明の請求項５の構成によれば、正規パターンとテストパターンとが同じ被認識度である構成に比べ、被形成体が基準位置から照射方向にずれることで、被形成体に形成される正規パターンの被認識度が規格外となったことを精度よく検出できる。
【００１７】
本発明の請求項６の製造方法によれば、検査工程を有さない場合に比べ、製造されるパターン形成物（パターンが形成されたもの）の歩留まりを向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本実施形態に係るレーザー印刷装置の構成を示す斜視図である。
【図２】図１に示すレーザー印刷装置のレーザー印刷部によって印刷される正規画像とテスト画像を示す平面図である。
【図３】正規画像の印刷濃度とテスト画像の印刷濃度との関係を示す図である。
【図４】正規画像の印刷濃度とテスト画像の印刷濃度との関係を示す図である。
【図５】変形例に係る正規パターンとテストパターンを示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下に、本発明に係る実施形態の一例を図面に基づき説明する。
【００２０】
（レーザー印刷装置１０の構成）
まず、形成装置の一例としてのレーザー印刷装置１０の構成を説明する。図１は、レーザー印刷装置１０の構成を示す斜視図である。
【００２１】
レーザー印刷装置１０は、図１に示されるように、被形成体の一例としてのラベル（シール）７０の表面に対してレーザー印刷を施す印刷装置である。レーザー印刷とは、レーザー光を被印刷体（ここではラベル７０）に照射して被印刷体の表面の一部を剥離することで画像（パターンの一例）を形成する印刷である。
【００２２】
被印刷体としてのラベル７０は、剥離紙（台紙）７２上に剥離可能に複数設けられている。複数のラベル７０は、剥離紙（台紙）７２上に図１における矢印Ｘ方向に沿って一列に配置されている。また、各ラベル７０の表面は、有色のインク（例えば、黒色インク）などで印刷されることで、予めベタ状に着色されている。
【００２３】
レーザー印刷装置１０は、具体的には、図１に示されるように、ラベル７０（剥離紙７２）を搬送する搬送部２０と、搬送部２０によって搬送されたラベル７０をレーザー印刷位置（基準位置の一例）に位置決めする位置決め部３０と、位置決め部３０によってレーザー印刷位置に位置決めされたラベル７０にレーザー印刷を施すレーザー印刷部４０（形成部の一例）と、レーザー印刷部４０によってラベル７０に形成された画像を検査する画像検査装置５０（認識部の一例）と、を備えている。
【００２４】
（搬送部２０）
搬送部２０は、ラベル７０が設けられた剥離紙７２を載せて搬送する搬送部材２２を備えている。搬送部２０では、搬送部材２２が、図示しない駆動部によって矢印Ｘ方向へ移動することで、搬送部材２２に載せられた剥離紙７２(ラベル７０)を搬送するようになっている。搬送部材２２としては、具体的には、例えば、無端状の搬送ベルトが用いられる。なお、ラベル７０は、搬送部材２２における搬送方向（矢印Ｘ方向）及び当該搬送方向と直交する幅方向（矢印Ｙ方向）において、予め定められた位置に載せられるようになっており、搬送部材２２が各ラベル７０をレーザー印刷部４０の照射領域に搬送すると共に当該照射領域で停止するように構成されている。
【００２５】
（位置決め部３０）
位置決め部３０は、複数（例えば２つ）の位置決め部材３２を有している。複数（例えば２つ）の位置決め部材３２は、搬送部材２２の幅方向（矢印Ｙ方向）の両端側で、剥離紙７２及びラベル７０を上方から下方の搬送部材２２へ押し付けるようになっている。これにより、ラベル７０が、レーザー印刷部４０におけるレーザーの照射方向（矢印Ｚ方向）において、予め定められたレーザー印刷位置（基準位置の一例）に位置決めされるようになっている。
【００２６】
（画像検査装置５０）
画像検査装置５０は、レーザー印刷部４０のレーザー印刷によってラベル７０に形成された画像を撮像する撮像カメラ５２と、撮像カメラ５２が撮像した撮像画像の良、不良を判定する判定部５４と、を備えている。
【００２７】
判定部５４では、例えば、撮像カメラ５２で撮像された撮像画像と、予め定められた（予め記憶された）比較用基準画像と、を比較することで、良、不良を判定する。判定部５４は、例えば、本来あるべき画像が認識できない場合、すなわち、画像の一部又は全部に欠けが発生した場合では、基準画像と撮像画像が異なるとして、不良判定を行う。また、判定部５４は、例えば、本来あるべき画像が認識できる場合、すなわち、画像の一部又は全部に欠けが発生していない場合では、基準画像と撮像画像が同じであるとして、良判定を行う。
【００２８】
（レーザー印刷部４０）
レーザー印刷部４０は、レーザー光Ｌを発光する発光部４０Ａを有している。具体的は、レーザー印刷部４０は、発光部４０Ａ内の発振器から増幅して放射される光（レーザー光Ｌ）を、レンズにより集光させて、ラベル７０の単一色（例えば、黒色）で形成されたベタ状の部分に照射するようになっている。そして、レーザー光Ｌが照射された部分に熱が加わることで、その照射部分が焼かれて剥離され、剥離された部分が白抜きの画像として形成されるようになっている。
【００２９】
レーザー印刷部４０では、発光部４０Ａを搬送部材２２の搬送方向（矢印Ｘ方向）及び幅方向（Ｙ方向）に移動させて、一本のレーザー光Ｌを走査することによってラベル７０に画像を形成するようになっている。この一本のレーザー光Ｌは、少なくとも一部が重なるように複数回走査されて、ラベル７０に画像が形成されるようになっている。レーザー印刷部４０では、ラベル７０が位置決めされるレーザー印刷位置とレーザー光Ｌの焦点位置とが一致しており、レーザー印刷位置においてレーザー光Ｌの強度が最大となるようになっている。
【００３０】
本実施形態では、レーザー印刷部４０は、位置決め部３０によってレーザー印刷位置に位置決めされたラベル７０（図２（Ａ）参照）に対して、図２（Ｂ）に示されるように、正規パターンの一例としての正規画像６０と、テストパターンの一例としてのテスト画像６２と、をレーザー印刷するように構成されている。
【００３１】
テスト画像６２とは、検査（テスト）に用いられる画像である。また、テスト画像６２は、一例として、ラベル７０毎に印刷されるようになっている。ここでの検査とは、ラベル７０の正規画像６０の印刷濃度（被認識度の一例）が、規格内であるか否かを検出するための検査である。
【００３２】
なお、被認識度とは、画像が形成される背景に対して画像が認識（識別）される度合である。従って、例えば、背景（黒色）に対して画像の白さ（すなわちコントラスト）が強ければ、被認識度（印刷濃度）が高く、背景（黒色）に対して画像の白さが弱ければ、被認識度（印刷濃度）が低いことになる。
【００３３】
正規画像６０とは、テスト画像６２以外の画像、すなわち、検査（テスト）に用いられない画像であり、ラベル７０に情報や模様などを付与すべく形成された画像である。ラベル７０に印刷される情報としては、例えば、ラベル７０が貼り付けられる製品ごとに異なる製品名や識別番号、その他の製品情報やバーコードなどがある。
【００３４】
なお、レーザー印刷部４０によるレーザー印刷では、レーザー印刷部４０が取得した画像データに基づき画像形成が可能であり、レーザー印刷部４０が取得する画像データを変更することで、ラベル７０に対して印刷される正規画像６０を変更可能となっている。
【００３５】
そして、本実施形態では、テスト画像６２の印刷濃度は、正規画像６０における被認識度としての印刷濃度が規格外となる場合に、画像検査装置５０の画像認識が可能な認識限度を超える印刷濃度とされている。
【００３６】
ここで、正規画像６０の印刷濃度及びテスト画像６２の印刷濃度について、図３を用いて説明する。図３における縦軸は、印刷濃度を示し、縦軸の上側へいくほど印刷濃度が高いことを示している。図３における横軸は、レーザー光Ｌの焦点位置（レーザー印刷位置）に対するラベル７０の距離を示しており、縦軸との交点Ｋが距離０を示している。従って、当該交点Ｋから左側又は右側へいくほど、レーザー光Ｌの焦点位置（レーザー印刷位置）対するラベル７０のズレ量が大きいことを示している。また、実線６０Ａが正規画像６０の印刷濃度を示し、実線６２Ａがテスト画像６２の印刷濃度を示している。
【００３７】
正規画像６０及びテスト画像６２は、図３に示されるように、レーザー光Ｌの焦点位置（レーザー印刷位置）において、印刷濃度が最大となり、レーザー光Ｌの焦点位置（レーザー印刷位置）に対するラベル７０のズレ量が大きくなるに従って、印刷濃度が低下する。
【００３８】
当該印刷濃度の低下は、ラベル７０（剥離紙７２）が搬送部材２２から浮き上がって、ラベル７０がレーザー印刷位置（レーザー光Ｌの焦点位置）からずれることで、レーザー印刷部４０のレーザー光Ｌの強度が弱まり、ラベル７０のベタ部分の剥離不足によって生じる。
【００３９】
正規画像６０は、レーザー光Ｌの焦点位置（レーザー印刷位置）に対するラベル７０のズレ量が予め定められた範囲Ａにあれば、適正印刷濃度となり、印刷濃度が規格内とされる。一方、レーザー光Ｌの焦点位置（レーザー印刷位置）に対するラベル７０のズレ量が予め定められた範囲Ａを超えると、正規画像６０の印刷濃度は規格外とされる。
【００４０】
テスト画像６２は、その印刷濃度が、正規画像６０の印刷濃度よりも予め低くされており、レーザー光Ｌの焦点位置（レーザー印刷位置）に対してラベル７０がズレることにより、正規画像６０及びテスト画像６２の印刷濃度が共に低下した場合において、正規画像６０の印刷濃度が規格外となるときに、画像検査装置５０でテスト画像６２を認識できない印刷濃度に設定されている。
【００４１】
すなわち、レーザー光Ｌの焦点位置（レーザー印刷位置）に対するラベル７０のズレ量が予め定められた範囲Ａにあれば、一点鎖線Ｂの上側領域で示されるように、画像検査装置５０によってテスト画像６２が認識される。一方、レーザー光Ｌの焦点位置（レーザー印刷位置）に対するラベル７０のズレ量が予め定められた範囲Ａを超えると、一点鎖線Ｂの下側領域で示されるように、画像検査装置５０によってテスト画像６２が認識されないようになっている。
【００４２】
ここで「画像認識が可能な認識限度を超える（テスト画像６２が認識できない）」とは、テスト画像６２の元々の形状が認識できないことをいい、テスト画像６２の全部がラベル７０の背景に埋没してテスト画像６２の全体が消失する場合や、テスト画像６２の一部に欠けが発生する場合が含まれる。また、当該認識限度は、画像検査装置５０（撮像カメラ５２）の性能（解像度）によって、変化しうる。
【００４３】
従って、正規画像６０の印刷濃度が低下して規格外となる場合は、例えば、図２（Ｃ）に示されるように、テスト画像６２の全部が消失し、画像検査装置５０によってテスト画像６２が認識できず、画像検査装置５０の判定部５４において、不良判定がなされるようになっている。
【００４４】
一方、レーザー光Ｌの強度低下による濃度低下がなければ、正規画像６０は適正印刷濃度で印刷され、テスト画像６２は適正印刷濃度よりも低い濃度であって、画像検査装置５０で認識可能な濃度で印刷される。
【００４５】
なお、「正規画像６０及びテスト画像６２における印刷濃度の低下」とは、正規画像６０及びテスト画像６２の濃度が、背景（本実施形態では黒色）の濃度に近づき、背景に対する濃度差（コントラスト）が低下することをいう。
【００４６】
また、テスト画像６２の印刷濃度は、レーザー印刷部４０におけるレーザー強度（レーザー出力）や、レーザーの走査速度、レーザーの走査回数によって、調整可能である。従って、テスト画像６２は、レーザー印刷部４０におけるレーザー強度（レーザー出力）を低下させること、レーザーの走査速度を上昇させること、及びレーザーの走査回数を低下させることの少なくとも１つにより、印刷濃度を正規画像６０の印刷濃度よりも予め低下させておくようになっている。
【００４７】
さらに、例えば、図４の符号６２Ｂに示されるように、テスト画像６２の印刷濃度を、符号６２Ａで示される印刷濃度よりも予め高く設定することで、適正印刷濃度の範囲を広く調整することも可能である。
【００４８】
この場合では、レーザー光Ｌの焦点位置（レーザー印刷位置）に対するラベル７０のズレ量が予め定められた範囲Ａ１にあれば、正規画像６０の印刷濃度は規格内とされ、テスト画像６２は、一点鎖線Ｂの上側領域で示されるように、画像検査装置５０によって認識される。一方、レーザー光Ｌの焦点位置（レーザー印刷位置）に対するラベル７０のズレ量が予め定められた範囲Ａ１を超えると、正規画像６０の印刷濃度は規格外とされ、テスト画像６２は、画像検査装置５０によって認識されないようになっている。このように、テスト画像６２の印刷濃度を調整することにより、範囲Ａ（Ａ１）及び正規画像６０の適正印刷濃度の範囲が調整される。
【００４９】
さらに、テスト画像６２は、正規画像６０よりも細い細線で構成された線図とされている。線図としては、図２（Ｂ）に示されるように、四角形状（枠状）や、１本又は数本で構成された直線などがある。
【００５０】
（本実施形態に係る作用）
次に、本実施形態に係る作用として、パターン形成物としての印刷物の製造方法について説明する。
【００５１】
本実施形態に係る印刷物の製造方法では、まず、前述のレーザー印刷装置１０を準備する（準備工程）。すなわち、レーザー印刷装置１０の電源を入れて、レーザー印刷装置１０を稼働できる状態にする。
【００５２】
次に、レーザー印刷装置１０のレーザー印刷部４０により、ラベル７０に正規画像６０及びテスト画像６２を形成する（形成工程）。ここで、テスト画像６２の印刷濃度が、正規画像６０の印刷濃度よりも低くされており、正規画像６０の印刷濃度が規格外となった場合に、画像検査装置５０がテスト画像６２を認識できない印刷濃度でテスト画像６２が印刷される。
【００５３】
次に、画像検査装置５０によってテスト画像６２の有無を検査する（検査工程）。すなわち、テスト画像６２が認識できるか否かを検査する。具体的には、撮像カメラ５２でテスト画像６２を撮像し、判定部５４は、当該撮像画像と、予め定められた基準画像と、を比較する。判定部５４は、本来認識されるべき、テスト画像６２が認識できない場合、すなわち、テスト画像６２の全部又は一部に欠けが発生している場合には、基準画像と撮像画像が異なる（一致しない）として、テスト画像６２無しの判定（不良判定）を行う。
【００５４】
このように、本実施形態では、予めテスト画像６２の印刷濃度を低下させておくことで、直接、正規画像６０の濃度を検出するのではなく、テスト画像６２の有無（テスト画像６２の全部又は一部に欠けが発生しているか否か）によって、正規画像６０の濃度低下が規格外であるか否かを判定する。
【００５５】
このため、ラベル７０が基準位置からずれてレーザー光Ｌの強度が低下することで、ラベル７０に形成される正規画像６０の印刷濃度が微小に低下し、正規画像６０の印刷濃度が規格外となった場合でも、正規画像６０の濃度が規格外となったことが精度よく検出される。
【００５６】
また、本実施形態では、テスト画像６２は、線図とされている。このため、微小な濃度低下でも線が欠けて、画像検査装置５０によってテスト画像６２が認識できなくなるので、正規画像６０の濃度が規格外となったことが精度よく検出される。
【００５７】
（変形例）
前述の実施形態では、パターンとしての画像が形成される場合について説明したが、これに限られるものではない。パターンとしては、レーザー加工などにより、基板等の被形成体に形成される切欠（溝・孔）であってもよい。この場合の被認識度としては、切欠（溝・孔）の幅及び深さ（背景に対する占有割合）が該当する。
【００５８】
具体的には、例えば、図５（Ａ）に示されるように、基板等の被形成体１７０に対して、切欠（溝）による正規パターン１６０と、正規パターン１６０より幅及び深さの少なくとも一方が小さい切欠（溝）によるテストパターン１６２を形成し、図５（Ｂ）に示されるように、テストパターン１６２の全部又は一部で欠けが生じたことを検出して、正規パターン１６０が規格外となったことを検出（検査）する構成とされる。
【００５９】
また、前述の実施形態では、画像検査装置５０によって、テスト画像６２の検査を行っていたが、人（作業者）の目視によって、テスト画像６２の検査を行ってもよい。
【００６０】
また、前述の実施形態では、テスト画像６２は、濃度低下がなければ、画像として印刷されるものであるので、正規画像６０に近接させて印刷して、模様の一部として用いる構成であってもよい。
【００６１】
本発明は、上記の実施形態に限るものではなく、種々の変形、変更、改良が可能である。例えば、上記に示した変形例は、適宜、複数を組み合わせて構成しても良い。また、上記した実施形態の位置決め部３０は、複数の位置決め部材３２を有しているものを示したが、枠状にくり抜いた部分を有する１枚の板金等からなる１つの位置決め部材であっても良い。
【符号の説明】
【００６２】
１０   レーザー印刷装置（形成装置の一例）
３０   位置決め部
４０   レーザー印刷部（形成部の一例）
５０   画像検査装置（認識部の一例）
６０   正規画像（正規パターンの一例）
６２   テスト画像（テストパターンの一例）
７０   ラベル（被形成体の一例）
【図１】
2014151521.tif 000003
【図３】
2014151521.tif 000004
【図４】
2014151521.tif 000005
【図５】
2014151521.tif 000006
【図２】
2014151521.tif 000007
【手続補正書】
【提出日】平成25年7月25日(2013.7.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
請求項１の発明は、被形成体を基準位置に位置決めする位置決め部と、前記基準位置に位置決めされた前記被形成体に対して、正規パターンと、該正規パターンの被認識度が規格外となる場合にパターン認識が可能な認識限度を超える被認識度とされるテストパターンと、を形成する形成部と、を備え、前記正規パターンの被認識度が規格内である場合には、前記テストパターンの被認識度が前記認識限度の範囲内とされる形成装置である。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被形成体を基準位置に位置決めする位置決め部と、
前記基準位置に位置決めされた前記被形成体に対して、正規パターンと、該正規パターンの被認識度が規格外となる場合にパターン認識が可能な認識限度を超える被認識度とされるテストパターンと、を形成する形成部と、
を備え、
前記正規パターンの被認識度が規格内である場合には、前記テストパターンの被認識度が前記認識限度の範囲内とされる形成装置。
【請求項２】
前記形成部は、
前記正規パターンと、該正規パターンの前記被認識度としての濃度が規格外となる場合に前記認識限度を超える濃度とされるテストパターンと、を形成する
請求項１に記載の形成装置。
【請求項３】
前記テストパターンを認識する認識部を備え、
前記形成部は、
正規パターンと、該正規パターンの被認識度が規格外となる場合に前記認識部の前記認識限度を超える被認識度とされるテストパターンと、を形成する
請求項１又は２記載の形成装置。
【請求項４】
前記テストパターンは、前記正規パターンよりも細いパターンで構成された線図である請求項１〜３のいずれか１項に記載の形成装置。
【請求項５】
前記形成部は、前記被形成体に対してレーザーを照射して、前記正規パターン及び前記テストパターンを形成し、
前記位置決め部は、前記形成部の照射方向において前記被形成体を前記基準位置に位置決めする
請求項１〜４のいずれか１項に記載の形成装置。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか１項に記載の形成装置を準備する準備工程と、
前記形成部により、前記被形成体に前記正規パターン及び前記テストパターンを形成する形成工程と、
前記テストパターンの有無を検査する検査工程と、
を備えたパターン形成物の製造方法。