(57)【要約】【課題】目視マクロ検査装置における照明角度と視線角度を、自動マクロ検査装置における適切な照明角度と撮像角度として簡単に設定できる基板検査システム及び自動マクロ検査装置を提供する。【解決手段】基板検査システム１における自動マクロ検査装置３のホストコンピュータ４１は、目視マクロ検査装置１から受信した角度情報に基づいて検査対象、照明部３２及び撮像部３３のうち少なくとも１つを段階的に動かした状態で検査対象を複数回撮像して得られた複数の画像から選択された画像の撮像時の検査対象に対する照明部３２の照明角度θ３ａと角度情報から得られた照明角度θ３との第１の差θｄ１と、選択された画像の撮像時の検査対象に対する撮像部３３の撮像角度θ４ａと目視角度θ２から得られた撮像角度θ４との第２の差θｄ２とに基づいて、照明駆動機構などの可動部の動作を制御する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象の外観不良を検査者の目視により検査する目視マクロ検査装置と、前記検査対象の外観不良を画像処理により検査する自動マクロ検査装置とが信号ラインで接続された基板検査システムにおいて、
前記目視マクロ検査装置は、
前記検査対象を照明する第１の照明部と、
前記検査対象及び前記第１の照明部のうち少なくとも一つを動かす第１の可動部と、
前記検査対象に対する前記第１の照明部の第１の照明角度と前記検査者の目視角度を取得する角度情報取得部と、
前記角度情報取得部により取得された前記第１の照明角度と前記目視角度を含む角度情報を送信する送信部と、
を備え、
前記自動マクロ検査装置は、
前記検査対象を照明する第２の照明部と、
前記検査対象を撮像して画像データを生成する撮像部と、
前記画像データから前記検査対象の欠陥を検出する欠陥検出部と、
前記目視マクロ検査装置の前記送信部からの前記角度情報を受信する受信部と、
前記検査対象、前記第２の照明部及び前記撮像部のうち少なくとも１つを動かす第２の可動部と、
受信した前記角度情報に基づいて前記検査対象、前記第２の照明部及び前記撮像部のうち少なくとも１つを段階的に動かした状態で前記検査対象を複数回撮像して得られた複数の画像から選択された画像の撮像時の前記検査対象に対する前記第２の照明部の第２の照明角度と前記第１の照明角度から得られた第３の照明角度との第１の差と、前記選択された画像の撮像時の前記検査対象に対する前記撮像部の撮像角度と前記目視角度から得られた撮像角度との第２の差とに基づいて、前記第２の可動部の動作を制御する制御部と、
を備える基板検査システム。
【請求項２】
前記第１の差と前記第２の差の情報を記憶する差情報記憶部を有し、
前記制御部は、前記差情報記憶部に記憶された前記第１の差を加味して、前記第１の照明角度を変換して前記第２の照明角度を決定し、前記差情報記憶部に記憶された前記第２の差を加味して、前記撮像角度を決定し、決定した前記第２の照明角度と前記撮像角度で前記検査対象を撮像するように、前記第２の可動部を制御することを特徴とする請求項１に記載の基板検査システム。
【請求項３】
前記自動マクロ検査装置は、前記検査対象を複数回撮像して得られた前記複数の画像から１つの画像を選択させる画像選択部を有することを特徴とする請求項２に記載の基板検査システム。
【請求項４】
検査対象を照明する照明部と、
前記検査対象を撮像して画像データを生成する撮像部と、
前記画像データから前記検査対象の欠陥を検出する欠陥検出部と、
目視マクロ検査装置における、前記検査対象に対する第１の照明角度と検査者の目視角度を含む角度情報を受信する受信部と、
前記検査対象、前記照明部及び前記撮像部のうち少なくとも１つを動かす可動部と、
受信した前記角度情報に基づいて前記検査対象、前記照明部及び前記撮像部のうち少なくとも１つを段階的に動かした状態で前記検査対象を複数回撮像して得られた複数の画像から選択された画像の撮像時の前記検査対象に対する前記照明部の第２の照明角度と前記第１の照明角度から得られた第３の照明角度との第１の差と、前記選択された画像の撮像時の前記検査対象に対する前記撮像部の撮像角度と前記目視角度から得られた撮像角度との第２の差とに基づいて、前記可動部の動作を制御する制御部と、
を備える自動マクロ検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板検査システム及び自動マクロ検査装置に関し、特に、フラットパネルディスプレイ等に用いられる基板を検査する基板検査システム及び自動マクロ検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、フラットパネルディスプレイ（以下、FPDという）等の製造工程においては、ガラス基板等の基板に塗布されたレジスト等の膜ムラや、異物、汚れ、キズ等の欠陥の検査が行われている。
【０００３】
例えば、このような検査に用いられる基板検査装置として、基板を一定方向に移動させながら、基板の移動方向と交差する方向に画素が並んだラインセンサカメラで基板の表面を走査して撮像した画像を処理することによって検査を行う自動マクロ検査装置がある。自動マクロ検査装置では、照明光が検査すべき基板に対して適切な照明角度で照射され、カメラは予め設定されたカメラ角度でその基板を撮像する。基板の欠陥は検査対象から反射された光の明暗などにより観察し得る。
【０００４】
従って、反射光において最も明暗などが明瞭となるように検査対象を撮像するために、照明手段と撮像手段のそれぞれの角度を適切に設定する必要がある。適切な照明手段の角度を設定する方法としては、複数の入射角度で測定された検査対象の欠陥を有していない部位の反射率データを取得し、反射率データに基づいて欠陥の検出に用いる画像の撮像時の入射角度を設定するものがある（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００５−２７４１５６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、自動マクロ検査装置のような自動基板検査装置において、検査対象の撮像画像において欠陥部分の明暗が明瞭となるように撮像を行うため、照明手段の照明角度と撮像手段のカメラ角度を適切に設定する必要があるが、欠陥部分の明暗が最も明瞭となる角度は欠陥の種類などにより異なることもあるため設定は容易ではない。
【０００７】
そこで、例えば、自動マクロ検査装置による自動基板検査装置を稼働させる前に、熟練した検査者が目視により検査を行うための目視マクロ検査装置において、照明手段の適切な照明角度と検査者の視線角度を見出しておき、その照明角度と視線角度の値を、それぞれ自動マクロ検査装置の照明角度とカメラ角度として設定することが考えられる。
【０００８】
しかし、目視マクロ検査装置と自動マクロ検査装置は、別個の独立した装置であるため、目視マクロ検査装置の照明角度などの情報を自動マクロ検査装置に設定するためには、人が自動マクロ検査装置にマニュアルでそれらの情報を設定する必要がある。
【０００９】
さらに、自動マクロ検査装置の光源の種類が目視マクロ検査装置の光源の種類と異なっていると、目視マクロ検査装置における照明角度が、自動マクロ検査装置における最適な照明角度でない場合や、目視マクロ検査装置における検査者の視線角度が、自動マクロ検査装置のカメラ角度として適切でない場合もあり得る。  
そのため、目視マクロ検査装置の各種情報の自動マクロ検査装置への設定を、短時間で行うはできない。
【００１０】
本発明は、上述した問題点に鑑みてなされたものであって、自動マクロ検査装置に、検査対象の欠陥部分の明暗が明瞭となる適切な照明部の照明角度と撮像部の撮像角度を短い時間で設定することができる基板検査システム及び自動マクロ検査装置を提供することを目的とする。
【００１１】
そこで、本発明は、目視マクロ検査装置における照明角度と視線角度を、自動マクロ検査装置における適切な照明角度と撮像角度として簡単に設定できる基板検査システム及び自動マクロ検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の一態様の基板検査システムは、検査対象の外観不良を検査者の目視により検査する目視マクロ検査装置と、前記検査対象の外観不良を画像処理により検査する自動マクロ検査装置とが信号ラインで接続された基板検査システムである。前記目視マクロ検査装置は、前記検査対象を照明する第１の照明部と、前記検査対象及び前記第１の照明部のうち少なくとも一つを動かす第１の可動部と、前記検査対象に対する前記第１の照明部の第１の照明角度と前記検査者の目視角度を取得する角度情報取得部と、前記角度情報取得部により取得された前記第１の照明角度と前記目視角度を含む角度情報を送信する送信部と、を備える。前記自動マクロ検査装置は、前記検査対象を照明する第２の照明部と、前記検査対象を撮像して画像データを生成する撮像部と、前記画像データから前記検査対象の欠陥を検出する欠陥検出部と、前記目視マクロ検査装置の前記送信部からの前記角度情報を受信する受信部と、前記検査対象、前記第２の照明部及び前記撮像部のうち少なくとも１つを動かす第２の可動部と、受信した前記角度情報に基づいて前記検査対象、前記第２の照明部及び前記撮像部のうち少なくとも１つを段階的に動かした状態で前記検査対象を複数回撮像して得られた複数の画像から選択された画像の撮像時の前記検査対象に対する前記第２の照明部の第２の照明角度と前記第１の照明角度から得られた第３の照明角度との第１の差と、前記選択された画像の撮像時の前記検査対象に対する前記撮像部の撮像角度と前記目視角度から得られた撮像角度との第２の差とに基づいて、前記第２の可動部の動作を制御する制御部と、を備える。
【００１３】
本発明の一態様の自動マクロ検査装置は、検査対象を照明する照明部と、前記検査対象を撮像して画像データを生成する撮像部と、前記画像データから前記検査対象の欠陥を検出する欠陥検出部と、目視マクロ検査装置における、前記検査対象に対する第１の照明角度と検査者の目視角度を含む角度情報を受信する受信部と、前記検査対象、前記照明部及び前記撮像部のうち少なくとも１つを動かす可動部と、受信した前記角度情報に基づいて前記検査対象、前記照明部及び前記撮像部のうち少なくとも１つを段階的に動かした状態で前記検査対象を複数回撮像して得られた複数の画像から選択された画像の撮像時の前記検査対象に対する前記照明部の第２の照明角度と前記第１の照明角度から得られた第３の照明角度との第１の差と、前記選択された画像の撮像時の前記検査対象に対する前記撮像部の撮像角度と前記目視角度から得られた撮像角度との第２の差とに基づいて、前記可動部の動作を制御する制御部と、を備える。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、目視マクロ検査装置における照明角度と視線角度を、自動マクロ検査装置における適切な照明角度と撮像角度として簡単に設定できる基板検査システム及び自動マクロ検査装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の実施の形態に係わる目視マクロ検査装置の検査部の概略構成を説明するための図である。
【図２】本発明の実施の形態に係わる自動マクロ検査装置の検査部の概略構成を説明するための図である。
【図３】本発明の実施の形態に係わる、目視マクロ検査装置と自動マクロ検査装置の概略構成を説明するための基板検査システムのブロック図である。
【図４】本発明の実施の形態に係わる、目視マクロ検査装置２における目視マクロ検査の手順を示すフローチャートである。
【図５】本発明の実施の形態に係わる、自動マクロ検査装置３における自動マクロ検査の手順を示すフローチャートである。
【図６】本発明の実施の形態に係わる、照明角度θ１と目視角度θ２の組み合わせにおける照明角度θ３のオフセット値を記憶する照明角度オフセット情報テーブルTBL１の例を示す図である。
【図７】本発明の実施の形態に係わる、２つのオフセット値θｄ１，θｄ２を利用した自動マクロ検査装置３における基板検査の処理の流れの例を示すフローチャートである。
【図８】本発明の実施の形態に係わる、１台の目視マクロ検査装置２に対して、複数の自動マクロ検査装置３が通信ライン４により接続された基板検査システム１Aの構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。  
図１は、目視マクロ検査装置の検査部の概略構成を説明するための図である。図２は、自動マクロ検査装置の検査部の概略構成を説明するための図である。図３は、目視マクロ検査装置と自動マクロ検査装置の概略構成を説明するための基板検査システムのブロック図である。
【００１７】
本実施の形態の基板検査システム１は、目視マクロ検査装置２と、自動マクロ検査装置３とを含み、目視マクロ検査装置２と自動マクロ検査装置３は、互いにデータの送受信ができるように信号ラインで接続されたシステムである。
【００１８】
まず、目視マクロ検査装置２の構成を、図１及び図３を用いて説明する。目視マクロ検査装置２は、検査対象の外観不良を検査者の目視により検査するための装置であり、照明部１１と、ホルダー１２と 、ベース部１３と 、本体装置１４とを具備している。本体装置１４には、制御部１５が搭載されている。
【００１９】
検査対象であるガラス基板１６は、FPD用の矩形状のガラス基板であり、このガラス基板１６上に、配線やフィルター等のパターンが作製される。ガラス基板１６の欠陥とは、フィルターの膜や、製造過程で一時的に塗布されるレジスト膜等のパターン自体に膜ムラが発生しているような巨視的なものを指す。
【００２０】
図１に示すように、検査対象であるガラス基板１６を照明するための照明部１１は、照明光Ｌを発光する光源部１１Ａと、照明光Ｌの光路を変更する反射ミラー１１Ｂとを含む。  
ホルダー１２は、ガラス基板１６を上面側で位置決めして吸着保持するもので、ベース部１３上において基端部が支持軸１７により回動自在に軸支され、ガラス基板１６を回動機構により水平状態から所定角度まで立ち上げることができる。すなわち、ホルダー１２は、検査対象であるガラス基板１６を動かす可動部である。
【００２１】
図３に示すように、制御部１５は、目視マクロ検査装置２の全体制御を行なうためのもので、検査者による各種操作入力に応じて種々の制御信号や情報を出力する処理部である。制御部１５は、ホストコンピュータ２１と、照明制御部２２と、ホルダー制御部２３と、通信部２４とを含む。ホストコンピュータ２１には、ジョイスティック２５と、ボタンスイッチ２６と、モニター２７と、キーボード２８と、マウス２９が接続されている。
【００２２】
照明制御部２２は、検査者Pにより入力された設定情報に基づいて、照明部１１に対して照明光Ｌの光量、波長、照射位置、照射範囲などの照明条件の設定を行ない、それらの設定値で照明部１１を駆動するように制御する。
【００２３】
ホルダー制御部２３は、ガラス基板１６上の欠陥を目視で観察するのに適した傾斜角度に回動させるための回動移動機構を制御して、ホルダー１２を支持軸１７回りに回動させて、基板１６を傾ける。
【００２４】
また、目視マクロ検査装置２では、モニター２７に表示される操作画面に従って、検査者Pがキーボード２８、マウス２９などの入力手段によりホストコンピュータ２１に、各種設定情報の入力や操作入力を行なうことができるようになっている。ホストコンピュータ２１は、入出力処理に加え、照明制御部２２とホルダー制御部２３と通信部２４への各種命令指示、照明角度と目視角度の計算等の各種演算処理等を行い、さらに記憶装置（図示せず）を有する。
【００２５】
ジョイスティック２５は、ホルダー１２を回動し、それぞれ所望の位置、姿勢に設定するための操作入力手段である。ジョイスティック９は、ボタン入力、数値入力する場合に比べて感覚的に操作することができるので、本実施形態のように、観察者８がそれらの移動を視認しながらリアルタイムに位置を操作できるため、操作性がよい。  
なお、ジョイスティック２５により、照明部１１からの照明光Lの照射方向を変更できるように、照明部１１も駆動できるようにしてもよい。すなわち、検査対象であるガラス基板１６に代えて、あるいは検査対象と共に照明部１１を動かす可動部を、さらに有していてもよい。
【００２６】
ボタンスイッチ２６は、照明条件などを含む特定の機能の切替、選択、あるいはレベル変更ができるように設けられた操作入力手段である。例えば、照明条件の変更としては、照明部１１の照度を変更したり、光源部１１Ａのフィルターを切り替えて照明光Ｌの波長を変更したりすることなどである。また、他の機能として、例えば、検査終了の際にホルダー１２の位置を初期化したり、ガラス基板１６の吸着解除、搬出を制御したりすることなどが挙げられる。  
通信部２４は、通信ライン４に接続され、基板１６に対する照明部１１の照明角度と、検査者の目視角度等の情報の送信を自動マクロ検査装置１０へ送信するための通信インターフェースである。すなわち、通信部２４は、照明部１１の照明角度、及び検査者の視線角度である目視角度を含む角度情報を、自動マクロ検査装置３へ送信する送信部である。
【００２７】
次に、自動マクロ検査装置１０の構成を、図２と図３を用いて説明する。  
自動マクロ検査装置３は、検査対象の外観不良を画像処理により検査する装置であり、ステージ３１と、照明部３２と、撮像部３３と、制御部３４とを具備している。  
図２に示すように、ステージ３１は、ガラス基板１６を保持並びに移動させる支持機構である。本実施の形態において、ステージ３１はガラス基板１６を保持して、互いに直交する所定の２つの軸方向に沿って移動させ得るように構成されている。なお、本実施の形態では、一方の軸線をＸ軸とし、他方の軸線をＹ軸とする。
【００２８】
検査対象であるガラス基板１６を照明する照明部３２は、Ｙ方向に平行な細長の照明光を基板表面に向かって照射するライン照射用光源３２Ａと照明駆動機構３２Ａａを有している。ライン照明用光源３２Ａは、例えば、棒状のロッドレンズの端面に光源を配した光源である。照明光の照明角度を変更するための照明駆動機構３２Ａａには、ライン照明用光源３２Ａが取り付けられている。
【００２９】
照明光の反射光の光路上には、撮像部３３が配置されている。撮像部３３は、検査対象であるガラス基板１６を撮像して画像データを生成する撮像部であり、カメラレンズ３３Ａと、ラインセンサカメラ３３Ｂと、撮像角度であるカメラ角度を変更可能な撮像部駆動機構３３Ｂａとを備えている。カメラレンズ３３Ａの前には、干渉フィルター３３Ｃが光路上に挿抜自在に配置され、干渉フィルター３３Cの挿抜は、制御部３４の制御の下で行われる。
【００３０】
図３に示すように、制御部３４は、自動マクロ検査装置３の全体制御を行なうためのもので、検査者による各種操作入力に応じて種々の制御信号を出力する処理部である。制御部３４は、ホストコンピュータ４１と、ステージ制御部４２と、照明制御部４３と、撮像制御部４４と、画像処理部４５と、通信部４６とを含む。ホストコンピュータ４１には、モニター４７と、キーボード４８と、マウス４９が接続されている。
【００３１】
ステージ制御部４２はステージ３１を制御し、所定の方向に所定の速度で、ステージ３１上に載置されたガラス基板１６を移動させる。
【００３２】
照明制御部４３はライン照明用光源３２Ａの発光制御及び照明光の照明角度の制御を行う。  
撮像制御部４４は干渉フィルター３３Ｃの挿抜を制御し、ラインセンサカメラ３３Ｂから出力されたライン毎の画像データを取り込み、各ラインの画像データを合成して２次元の画像データを生成する。
【００３３】
画像処理部４５は、撮像制御部４４で生成された２次元の画像データを画像処理し、欠陥検出を行う。すなわち、画像処理部４５は、撮像部３３により撮像して得られた画像データから検査対象であるガラス基板１６の欠陥を検出する欠陥検出部を構成する。
【００３４】
ホストコンピュータ４１は、設定情報の入力や検出された欠陥情報（欠陥の種類、位置などの情報）の出力の入出力処理、ステージ制御部４２、照明制御部４３、撮像制御部４４、画像処理部４５及び通信部４６への命令処理等を行い、かつ記憶装置４１ａを有する。さらに、ホストコンピュータ４１には、画像を表示するモニター４７と、検査者の操作を受け付けるキーボード４８、マウス４９が接続されている。
【００３５】
通信部４６は、通信ライン４に接続され、ガラス基板１６についての照明角度と目視角度等の情報を目視マクロ検査装置２から受信するための通信インターフェースである。すなわち、通信部４６は、目視マクロ検査装置２の通信部２４からの角度情報を受信する受信部を構成する。
【００３６】
続いて、本実施形態の基板検査システム１の動作について図４から図６を用いて説明する。  
まず、目視マクロ検査装置２を用いた目視マクロ検査について説明する。図４は、目視マクロ検査装置２における目視マクロ検査の手順を示すフローチャートである。  
目視マクロ検査装置２によりガラス基板１６を検査するために、不図示の搬送手段によりガラス基板１６が、ホルダー１２上に配置され、吸着されて保持される。
【００３７】
検査者Pは、ボタンスイッチ２６などを操作して照明条件を設定し、照明部１１により上方からガラス基板１６に向けて照明光Ｌを照射する。検査者Pは目視観察によりガラス基板１６の傷、ほこり、膜ムラなど表面欠陥の有無を検査する。
【００３８】
このとき、検査者Pは、ガラス基板１６を目視しながら、ジョイスティック２５を操作して、上方より照明された照明光Ｌによってガラス基板１６上の欠陥を良好に目視観察できる傾斜角度を決定するためにホルダー１２を傾斜させながら揺動させる（ステップS1）。
【００３９】
検査者Pは、ガラス基板１６の欠陥が明瞭に目視観察できる角度でホルダー１２の傾斜動作を停止し、キーボード２８あるいはマウス２９を用いて欠陥位置を入力する（ステップS2）。  
ホストコンピュータ２１は、既知の照明部１１の角度とホルダー制御部２３から得たホルダー１２の角度からガラス基板１６に対する照明角度θ１を算出する（S3）。
【００４０】
また、ホストコンピュータ２１は、予め登録済みの検査者Pの身長、ホルダー制御部２３から得たホルダー１２の角度、入力された欠陥位置からガラス基板１６に対する検査者Pの視線角度である目視角度θ２を算出する（S4）。ホストコンピュータ２１によって実行されるS3とS4の処理が、検査対象であるガラス基板１６に対する照明部１１の照明角度θ１と検査者Pの目視角度θ２を取得する角度情報取得部を構成する。
【００４１】
なお、本実施形態では、検査者Pの身長とホルダー１２の角度と、目視により検出された欠陥位置から、ガラス基板１６に対する目視角度θ２を算出しているが、検査者Pの身長の入力ではなく、カメラと画像処理機能を用いて検査者Pの姿勢が一定でない場合においても、より正確に検査者Pの目の位置を捉えるようにしてもよい。
【００４２】
ホストコンピュータ２１は通信部２４を介して、自動マクロ検査装置３へ、基板種別情報、欠陥情報、照明の照度、照明光の波長（以下、照明波長という）、及びガラス基板１６に対する照明角度θ１と目視角度θ２を、検査情報ＤＩとして送信する（S5）。
【００４３】
図５は、自動マクロ検査装置３における自動マクロ検査の手順を示すフローチャートである。自動マクロ検査装置３の通信部４６は、受信した基板種別情報、欠陥情報、照明の照度、照明波長、照明角度θ１及び目視角度θ２をホストコンピュータ４１へ送り、ホストコンピュータ４１はガラス基板１６に対する照明角度θ１と目視角度θ２を、自動マクロ検査装置３での照明角度θ３とカメラ角度θ４に変換し、記憶装置４１ａに保存する（S11）。
【００４４】
次に、照明角度θ１と目視角度θ２からそれぞれ変換して得られた照明角度θ３とカメラ角度θ４に対して所定の範囲内で、各々の角度を段階的に変更し撮像を行い、撮像して得られた複数の画像をモニター４７に表示する（S12）。
【００４５】
照明角度θ３を中心に、プラスマイナス方向に所定の角度ｄ１の範囲内で、照明角度を段階的に変更し、その変更した照明角度毎に、カメラ角度θ４をプラスマイナス方向に所定の角度ｄ２の範囲内で、カメラ角度を段階的に変更して、ガラス基板１６を撮像して、モニター４７に表示する。例えば、照明角度が（θ３−ｄ１）でかつカメラ角度が（θ４−ｄ２）で撮影し、次に照明角度が（θ３−ｄ１）でかつカメラ角度が（θ４−ｄ２＋ｄｃ）で撮影する。以下、同様に、カメラ角度だけ角度ｄｃずつ増加させるようにして、カメラ角度を（θ４＋ｄ２）まで段階的に変更して、照明角度（θ３−ｄ１）における撮像を行なう。そして、次に、照明角度が（θ３−ｄ１＋ｄｄ）でかつカメラ角度が（θ４−ｄ２）で撮影し、次に照明角度が（θ３−ｄ１＋ｄｄ）でかつカメラ角度が（θ４−ｄ２＋ｄｃ）で撮影する。以下、同様に、カメラ角度だけ角度ｄｃずつ増加させるようにして、カメラ角度を（θ４＋ｄ２）まで段階的に変更して、照明角度（θ３−ｄ１＋ｄｄ）における撮像を行なう。以下同様にして撮像を行い、照明角度θ３を（θ３−ｄ１）から（θ３＋ｄ１）の範囲で、カメラ角度θ４を（θ４−ｄ２）から（θ４＋ｄ２）の範囲で変更して撮像した画像が得られる。
【００４６】
その結果、照明角度θ３とカメラ角度θ４の両方を所定の範囲で段階的に変更して、ガラス基板１６を撮像して得られた複数の画像がモニター４７に表示される。そして、検査者Pは、その表示された複数の画像の中から、欠陥の最も明瞭に撮像された画像を、マウス４９などの入力手段を用いて選択する（S13）。S13の処理が、検査対象であるガラス基板１６を複数回撮像して得られた複数の画像から１つの画像を選択させる画像選択部を構成する。
【００４７】
ホストコンピュータ４１は、検査者Ｐによって選択された画像取得時の照明角度θ３ｓとカメラ角度θ４ｓと、元の（すなわちS11の時）の照明角度θ３とカメラ角度θ４のそれぞれの差をオフセット値として記憶装置４１ａに記憶する（S14）。すなわち、S11の照明角度θ３と検査者Pが選択した画像の照明角度θ３ｓの差であるオフセット値θｄ１と、S11のカメラ角度θ４と検査者Pが選択した画像のカメラ角度θ４ｓの差であるオフセット値θｄ２を、照明角度θ１と目視角度θ２とに関連付けて、記憶装置４１ａに記憶する。
【００４８】
以上のように、自動マクロ検査装置３は、目視マクロ検査装置２から通信ライン４を介して検査情報ＤＩを受信すると、S11からS14の処理を行い、ガラス基板１６についての基板種別と欠陥情報と共に、照明角度θ３のオフセット値θｄ１とカメラ角度θ４のオフセット値θｄ２を保存する。
【００４９】
自動マクロ検査装置３は、目視マクロ検査装置２から検査情報ＤＩを受信する度に、検査対象のガラス基板１６についての基板種別と欠陥情報と共に、照明角度θ３とカメラ角度θ４のそれぞれのオフセット値θｄ１，θｄ２を保存する。
【００５０】
図６は、照明角度θ１と目視角度θ２の組み合わせにおける照明角度θ３のオフセット値θｄ１を記憶する照明角度オフセット情報テーブルTBL１の例を示す図である。図６に示すように、オフセット情報テーブルTBL１は、照明角度θ１と目視角度θ２の組み合わせ毎に照明角度θ３のオフセット値θｄ１を記憶するテーブルである。図６に示すように、記憶装置４１ａに記憶される照明角度オフセット情報テーブルTBL１には、複数のオフセット値θｄ１が登録される。  
カメラ角度θ４についても、同様に、照明角度θ１と目視角度θ２の組み合わせ毎にカメラ角度θ４のオフセット値θｄ２を記憶するカメラ角度オフセット情報テーブルTBL２が作成され、複数のオフセット値θｄ２が登録される。よって、記憶装置４１ａの照明角度オフセット情報テーブルTBL１とカメラ角度オフセット情報テーブルTBL２は、照明角度に関する差の情報と、カメラ角度に関する差の情報を記憶する差情報記憶部を構成する。
【００５１】
次に、自動マクロ検査の処理の流れについて説明する。  
図７は、２つのオフセット値θｄ１，θｄ２を利用した自動マクロ検査装置３における基板検査の処理の流れの例を示すフローチャートである。自動マクロ検査装置３は、目視マクロ検査装置２から検査情報ＤＩを受信し、目視マクロ検査装置２から既に受信している同じ種類のガラス基板１６について同じ欠陥の検査を実行するとき、図７の処理を実行する。
【００５２】
ホストコンピュータ４１は、目視マクロ検査装置２から検査情報ＤＩを受信すると、検査情報ＤＩの照明角度θ１と目視角度θ２の組み合わせについて、照明角度オフセット情報テーブルTBL１とカメラ角度オフセット情報テーブルTBL２にそれぞれオフセット値θｄ１，θｄ２があるか否かを判定する（S21）。
【００５３】
照明角度オフセット情報テーブルTBL１とカメラ角度オフセット情報テーブルTBL２のそれぞれに照明角度θ１と目視角度θ２の組み合わせについてオフセット値がある場合（S21:YES）、ホストコンピュータ４１は、目視マクロ検査装置２から受信した照明角度θ１と目視角度θ２を自動マクロ検査装置３の照明角度θ３とカメラ角度θ４に変換する際にオフセット値を加えた照明角度θ３とカメラ角度θ４を設定する（S23）。
【００５４】
また、照明角度オフセット情報テーブルTBL１とカメラ角度オフセット情報テーブルTBL２のそれぞれに照明角度θ１と目視角度θ２の組み合わせについてオフセット値が保存されていない場合（S21:NO）、保存されている他の組み合わせのオフセット値から補完して、２つのオフセット値を推定する（S22）。その推定して得られた照明角度のオフセット値を、照明角度θ３に加算し、カメラ角度のオフセット値をカメラ角度θ４に加算して、照明角度θ３′とカメラ角度θ４′の設定が行われる（S23）。
【００５５】
補完の方法としては、オフセット値が存在しない組み合わせに対して、照明角度と目視角度をそれぞれについて、オフセット値が存在する角度が近いオフセット値の平均を用いる方法等がある。例えば、図６の照明角度オフセット情報テーブルTBL１において、照明角度が４４°で目視角度が４７°の組み合わせのオフセット値は存在しない。その組み合わせの照明角度と目視角度の情報を受信したときには、照明角度が４３°で目視角度が４７°の組み合わせのオフセット値（＋２）と、照明角度が４５°で目視角度が４７°のオフセット値（＋２）と、照明角度が４４°で目視角度が４６°のオフセット値（０）と、照明角度が４４°で目視角度が４８°のオフセット値（０）の４つの値を平均したオフセット値（＋１）を求め、その補完により求めたオフセット値を利用して、照明角度θ３が設定される。カメラ角度のオフセット値に関しても同様である。
【００５６】
自動マクロ検査装置３での自動検査時は、ホストコンピュータ４１によって、照明制御部４３への照明角度θ３′の設定と、撮像制御部４４へのカメラ角度θ４′の設定が行われる。よって、照明部３２を動かす照明駆動機構３２Ａａと撮像部３３を動かす駆動機構３３Ｂａが可動部であり、設定された照明角度θ３′とカメラ角度θ４′になるように、ホストコンピュータ４１によって制御される。
【００５７】
なお、ここでは、照明部３２と撮像部３３を動かしているが、照明部３２と撮像部３３のいずれか一方のみを動かすようにしてもよい。  
さらになお、ガラス基板１６の角度を変更する機構を設け、設定された照明角度θ３とカメラ角度θ４になるように、ホストコンピュータ４１によって検査対象であるガラス基板１６を動かすようにしてもよい。従って、自動マクロ検査装置３における照明駆動機構３２Ａａ等の機構部は、可動部を構成する。  
また、波長を変更するための干渉フィルター３３ｃの有無や種類の設定や、ステージ制御部４２へ駆動命令も、ホストコンピュータ４１によって行われる。
【００５８】
そして、ホストコンピュータ４１は、ステージ制御部４２によりステージ３１をＸ方向へ等速度で移動させるようにステージ３１を制御しながら、照明制御部４３により照明部３２を制御し、撮像制御部４４により撮像部３３を制御して、ガラス基板１６を撮像する（S24）。ガラス基板１６上にライン照明用光源３２Ａからライン照明光が照射され、ガラス基板１６表面からの反射光が、撮像部３３により撮像され、画像データが生成される。
【００５９】
生成された画像データはホストコンピュータ４１を介して画像処理部４５で欠陥検出処理が行われる（S25）。欠陥検出の結果は、ホストコンピュータ４１を介してモニター４７上に表示される（S26）。
【００６０】
以上のように、制御部であるホストコンピュータ４１は、目視マクロ検査装置２から受信した角度情報に基づいて検査対象、照明部３２及び撮像部３３のうち少なくとも１つを段階的に動かした状態で検査対象であるガラス基板１６を複数回撮像して得られた複数の画像から選択された画像の撮像時のガラス基板１６に対する照明部３２の照明角度θ３ｓと、目視マクロ検査装置の照明角度θ１から得られた照明角度θ３との第１の差と、選択された画像の撮像時のガラス基板１６に対する撮像部３３の撮像角度θ４ｓと目視角度から得られた撮像角度θ４との第２の差とに基づいて、照明駆動機構３２Ａａ等の可動部の動作を制御する。
【００６１】
そして、ホストコンピュータ４１は、差情報記憶部である記憶装置４１ａに記憶された第１の差（選択された画像の撮像時のガラス基板１６に対する照明部３２の照明角度θ３ｓと、目視マクロ検査装置２の照明角度θ１から得られた照明角度θ３との第１の差）を加味して、照明部１１の照明角度θ１を変換して照明角度θ３′を決定し、記憶装置４１ａに記憶された第２の差（選択された画像の撮像時のガラス基板１６に対する撮像部３３の撮像角度θ４ｓと目視角度θ２から得られた撮像角度θ４との第２の差）を加味して、撮像部３３の撮像角度θ４′を決定し、その決定した照明角度θ３′と撮像角度θ４′でガラス基板を撮像するように、照明駆動機構３２Ａａ等の可動部の動作を制御する。
【００６２】
以上のように、上述した実施形態では、観察条件を変えながら観察を行える目視マクロ検査装置２での観察条件に基づいて、自動マクロ検査装置３の撮像条件が決定される。その結果、自動マクロ検査装置３単体で目的の結果を観察できる撮像条件を探索するよりも短い時間で撮像条件を決定することができる。
【００６３】
また、上述した本実施形態では、1台の目視マクロ検査装置１と1台の自動マクロ検査装置１０のシステム構成としたが、1台の目視マクロ検査装置１に対して複数台の自動マクロ検査装置１０を接続したシステム構成とすることもできる。
【００６４】
図８は、１台の目視マクロ検査装置２に対して、複数の自動マクロ検査装置３が通信ライン４により接続された基板検査システム１Aの構成図である。１台の目視マクロ検査装置２の検査情報ＤＩに基づいて、各自動マクロ検査装置３は、照明角度とカメラ角度のオフセット値を有するようにしてもよいし、同じ自動マクロ検査装置であれば、オフセット値のテーブルの情報を自動マクロ検査装置間で共有することが可能となる。
【００６５】
以上のように、上述した実施形態によれば、目視マクロ検査装置における照明角度と視線角度を、自動マクロ検査装置における適切な照明角度と撮像角度として簡単に設定できる基板検査システム及び自動マクロ検査装置を提供することができる。
【００６６】
本発明は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を変えない範囲において、種々の変更、改変等が可能である。
【符号の説明】
【００６７】
１、１A  基板検査システム、２  目視マクロ検査装置、３  自動マクロ検査装置、４  通信ライン、１１  照明部、１１Ａ  光源部、１２  ホルダー、１３  ベース部、１４  本体装置、１５  制御部、１６  ガラス基板、１７  支持軸、２１  ホストコンピュータ、２２  照明制御部、２３  ホルダー制御部、２４  通信部、２５  ジョイスティック、２６  ボタンスイッチ、２７  モニター、２８  キーボード、２９  マウス、３１  ステージ、３２  照明部、３２Ａ  ライン照射用光源、３２Ａａ  照明駆動機構、３３  撮像部、３３Ａ  カメラレンズ、３３Ｂ  ラインセンサカメラ、３３Ｃ  干渉フィルター、３４  制御部、４１  ホストコンピュータ、４２  ステージ制御部、４３  照明制御部、４４  撮像制御部、４５  画像処理部、４６  通信部、４７  モニター、４８  キーボード、４９  マウス。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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