(57)【要約】【課題】シート状の誘電体の厚さを、誘電体の外部から、精度良く測定することを可能とする膜厚測定装置を提供することを目的とする。【解決手段】誘電性の材料から構成される被測定物（１）と対向して配置され且つ導体（２１）により周囲を囲まれた誘電性の材料から構成される電極基台（２２）と、交流信号発生源（３１）と、電極基台に配置され且つ交流信号発生源と接続された送信電極（２３）と、電極基台に配置された受信電極（２４）と、送信電極と受信電極との間に設けられた移相部（３３、３４）と、移相部で移相された信号と受信電極で受信された信号とを合成して合成信号を生成する合成部（３９）と、合成信号と交流信号発生源から出力される信号の位相のずれに対応した信号を出力する位相検出部（３６）と、位相検出部から出力された信号に基づいて被測定物の膜厚を演算する演算部（４０）を有することを特徴とする膜厚測定装置（１０）。【選択図】図１
2014199199.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
誘電性の材料から構成される被測定物と対向して配置され、導体により周囲を囲まれた誘電性の材料から構成される電極基台と、
交流信号発生源と、
前記電極基台に配置され、前記交流信号発生源と接続された送信電極と、
前記電極基台に配置された受信電極と、
前記送信電極と前記受信電極との間に設けられた移相部と、
前記移相部で移相された信号と前記受信電極で受信された信号とを合成して合成信号を生成する合成部と、
前記合成信号と前記交流信号発生源から出力される信号の位相のずれに対応した信号を出力する位相検出部と、
前記位相検出部から出力された信号に基づいて被測定物の膜厚を演算する演算部と、
を有することを特徴とする膜厚測定装置。
【請求項２】
前記送信電極及び前記受信電極はリング状の形状を有し、前記電極基台に同心円状に配置されている、請求項１に記載の膜厚測定装置。
【請求項３】
前記送信電極及び前記受信電極は、前記電極基台において、被測定物と対向する面の裏側に配置されている、請求項１又は２に記載の膜厚測定装置。
【請求項４】
前記送信電極及び前記受信電極は、前記電極基台において、被測定物と対向する面側に配置されている、請求項１又は２に記載の膜厚測定装置。
【請求項５】
前記電極基台は、前記送信電極及び前記受信電極上に配置された保護膜を有する、請求項４に記載の膜厚測定装置。
【請求項６】
前記移相部は、抵抗及びコンデンサを含む、請求項１〜５のいずれか一項に記載の膜厚測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、膜厚測定装置に関し、特に、誘電体の膜厚を測定する膜厚測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
非破壊で曲面を有する誘電体の厚みを測定することができる誘電体の膜厚測定装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の膜厚測定装置では、測定端子と電極で測定対象物（プラスチックフィルム）を挟み込み、測定端子の接触面積、静電容量及び誘電率から、測定対象物の厚みを求めている。
【０００３】
しかしながら、特許文献１に記載の方法では、例えば、シート状の誘電体の厚さを、誘電体の外部から、誘電体を挟み込むことなく、測定することはできなかった。
【０００４】
また、測定電極と収納タンクとの間の静電容量が、その間の収納物のレベルに応じて変化することを利用し、静電容量を検出することが知られている（例えば、特許文献２参照）。特許文献２では、静電容量が変化すると発振回路を構成するトランジスタの動作状態が変化するような回路を構成し、トランジスタに供給される電流の変化を検出して、静電容量の変化を検出している。
【０００５】
しかしながら、特許文献２に記載される静電容量の変化の検出方法を、例えば、シート状誘電体の厚さを、誘電体の外部から、誘電体を挟み込むことなく、測定する事に適用することは困難であった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平１１−１０８６０８号公報
【特許文献２】特開２００６−１０５９４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
そこで、本発明は、シート状の誘電体の厚さを、誘電体の外部から、精度良く測定することを可能とする膜厚測定装置を提供することを目的とする。
【０００８】
また、本発明は、袋状に製造されるシート状の誘電体の厚さを、誘電体の外部から、誘電体を挟み込むことなく、測定することを可能とする膜厚測定装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に係る膜厚測定装置は、誘電性の材料から構成される被測定物と対向して配置され且つ導体により周囲を囲まれた誘電性の材料から構成される電極基台と、交流信号発生源と、電極基台に配置され且つ交流信号発生源と接続された送信電極と、電極基台に配置された受信電極と、送信電極と受信電極との間に設けられた移相部と、移相部で移相された信号と受信電極で受信された信号とを合成して合成信号を生成する合成部と、合成信号と交流信号発生源から出力される信号の位相のずれに対応した信号を出力する位相検出部と、位相検出部から出力された信号に基づいて被測定物の膜厚を演算する演算部を有することを特徴とする。
【００１０】
また、本発明に係る膜厚測定装置では、送信電極及び受信電極はリング状の形状を有し、電極基台に同心円状に配置されていることが好ましい。
【００１１】
また、本発明に係る膜厚測定装置では、送信電極及び受信電極は、電極基台において、被測定物と対向する面の裏側に配置されていることが好ましい。
【００１２】
また、本発明に係る膜厚測定装置では、送信電極及び受信電極は、電極基台において、被測定物と対向する面側に配置されていることが好ましい。
【００１３】
また、本発明に係る膜厚測定装置では、電極基台は、送信電極及び受信電極上に配置された保護膜を有することが好ましい。
【００１４】
また、本発明に係る膜厚測定装置では、移相部は、抵抗及びコンデンサを含むことが好ましい。
【発明の効果】
【００１５】
本発明に係る膜厚測定装置では、被測定物の一方の面側から測定部を被測定物に対向させることによって、被測定物の膜厚を測定することができる。したがって、本発明に係る膜厚測定装置では、袋状に成形されるシート状の誘電体のように、被測定物を挟み込むことができないような場合であっても、膜厚の測定を精度良く行うことが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】（ａ）は膜厚測定装置１０を構成する各要素を示す概略図であり、（ｂ）は膜厚測定装置１０を矢印Ａ側から観察した場合の平面図である。
【図２】検出回路３０の一例を示す回路図である。
【図３】第１の電極２３及び第２の電極２４間に想定される等価回路図である。
【図４】（ａ）及び（ｂ）は、膜厚検査の原理を説明するための図である。
【図５】（ａ）及び（ｂ）は、膜厚測定装置１０をポリエチレンフィルムの膜厚測定に利用する場合を説明するための概念図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下図面を参照して、膜厚測定装置について説明する。但し、本発明の技術的範囲はそれらの実施の形態に限定されず、特許請求の範囲に記載された発明とその均等物に及ぶ点に留意されたい。
【００１８】
図１（ａ）は膜厚測定装置１０を構成する各要素を示す概略図であり、図１（ｂ）は膜厚測定装置１０を矢印Ａ側から観察した場合の平面図である。
【００１９】
膜厚測定装置１０は、測定部２０及びＰＣ４０から構成され、測定部２０は、筐体２１、電極基台２２、第１の電極２３、第２の電極２４、及び検出回路３０等から構成されている。
【００２０】
筐体２１は、導体、例えばＡｌ又はＦｅ等で構成され、測定部２０全体を覆い、ＧＮＤに接地されている。
【００２１】
電極基台２２は、誘電体で構成され、被測定物と対向する側（以後、「表側」と言う）において、筐体２１で周囲を囲まれるようにして、筐体２１に嵌め込まれている。電極基台２２の厚さは０．５ｍｍに設定したが、所定の強度が維持できれば、更に薄くすることも可能である。電極基台２２は、アルミナ（ε（比誘電率）＝９．６）、窒化ケイ素（ε＝７．７）、フォルステライト（ε＝６．６）、石英硝子（ε＝３．３）、ガラエポ（ε＝５．０）、硝子シリコン積層（ε＝４．０）等から構成することができるが、強度等を考慮すると、フォルステライトで構成することが最も好ましい。
【００２２】
また、電極基台２２の裏側には、被測定物と接触することによって摩耗しない様に、第１の電極２３及び第２の電極２４が配置されている。第１の電極２３及び第２の電極２４は、同心円状に配置されたリング状の電極により構成されている。なお、測定精度を上げるために、電極基台２２の厚さを薄くすることや、電極基台２２の表側に第１の電極２３及び第２の電極２４を配置し且つその上から摩耗を防止するための保護膜としてＤＬＣコート膜を配置することが好ましい。
【００２３】
図１に示す例では、第１の電極２３を外側、第２の電極２４を内側にして、同心円状に配置されたリング状の電極を示したが、第１の電極２３を内側、第２の電極２４を外側に配置しても良い。また、第１の電極２３及び第２の電極２４は、同心円状に配置されたリング状の電極ではなく、例えば、平行に配置された直線状の電極を含む、所謂すだれ形状の電極であっても良い。
【００２４】
図２は、検出回路３０の一例を示す回路図である。
【００２５】
検出回路３０は、発振器３１を有しており、発振器３１で生成した信号に基づいた正弦波信号Ｅａを第１の電極（送信アンテナ）２３によって、被検査領域へ放射する。発振器３１は、正弦波信号Ｅａを発生する交流信号発生源であり、例えば水晶振動子を用いて構成される。送信電極である第１の電極２３から放射される正弦波信号Ｅａの周波数及び強度の安定性が、膜厚測定装置１０の出力の安定性を左右する。したがって、発振器３１として、周波数の安定度が高く、位相ノイズが少なく、且つ、温度や経時変化等に対して安定な水晶振動子を用いるのが望ましい。
【００２６】
検出回路３０は、バッファ３２を有しており、バッファ３２は発振器３２へ後段の回路からの影響が、周波数や振幅に変化を生じるのを防止する為に設けられている。
【００２７】
検出回路３０は、第１の電極２３と、受信電極であり且つ被検査領域からの正弦波信号Ｅｂを受信する第２の電極（受信アンテナ）２４とを電気的に接続する移相部を有している。移相部は、抵抗３３とコンデンサ３４から構成されている。
【００２８】
図２に示す検出回路３０では、移相部はコンデンサ３４を含んでいるが、例えば、第２の電極２４の出力を増幅する増幅器３５が、オペアンプを利用した電流電圧変換回路等によって構成される場合、必ずしもコンデンサ３４は必要ではない。なお、アンテナ部（第１の電極２３及び第２の電極２４）及びその配線は、一般にかなり大きな寄生容量を持つことになるので、新たにコンデンサ３４を付加する必要がない場合が多いと考えられる。しかしながら、第２の電極２４の出力を増幅する増幅器３５が、単にその出力を増幅するアンプで構成される場合には、出力端子３８からの位相差に応じた電圧値を得る際のＳＮ比を向上させることが可能となるので、コンデンサ３４を設けた方が良い。
【００２９】
また、抵抗３３は、第１の電極２３と第２の電極２４の結合抵抗であり、第２の電極２４から入力する信号に、発振器３１の中間電位を基準電位として与える。抵抗３３は、電源電圧の振幅を有する正弦波信号Ｅａを第２の電極２４からの正弦波信号Ｅｂに対して、あまり違わない大きさになるような値に定める機能も有している。
【００３０】
検出回路３０では、発振器３１からの信号の振幅を抵抗３３により大きく減衰させて微細な振幅を持つ第２の電極２４からの信号と合成する。ここで互いの振幅を同程度とする理由を述べる。すなわち、発振器３１からの信号を減衰させる抵抗３３の値が大きいと、信号に対する抵抗３３が出すノイズの割合が大きくなり、また外部からの回りこみノイズの割合も増加する。一方減衰が大きい場合は、第２の電極２４からの信号の振幅の変化が、より大きく合成波の位相の変化に反映して、見かけの感度が増大するというメリットもある。従って、設定する振幅の割合は感度とノイズ増加との兼ね合いとなるが、発明者が検討したところによれば、両者を同程度の振幅にするのが最適であった。
【００３１】
検出回路３０では、第２の電極２４の仕様と、要求される増幅率を考慮して、抵抗３３の抵抗値を０．１ＭΩ〜１０ＭΩとした。コンデンサ３４の値は、抵抗３３の値が決定した後に、設定する位相遅れ量と、回路の寄生容量や受信アンテナ部分の寄生容量を考慮して決定する。
【００３２】
膜厚測定装置１０において、設定する位相遅れ量は、０°、１８０°、３６０°以外であればよい。すなわち、このような位相遅れの信号同士を合成した場合は、片方の信号の振幅変化で合成信号の位相が変化しないためである。双方の位相に少しでもずれがある場合は、片方の信号の振幅変化は合成信号の位相変化を引き起こすことはよく知られている。詳しくは、後述するが、膜厚測定装置１０では、発振器３１からの信号の、第２の電極２４からの信号に対する位相の遅れ量を９０°としている。なお、位相遅れ量は、必ずしも９０°である必要はなく、例えば、４５°や６０°であっても、第２の電極２４からの信号の振幅の変化は、合成波の移相の変化に変換できる。なお、以下の説明にあっては、位相遅れを９０°として説明する。
【００３３】
検出回路３０は、さらに、第２の電極２４の出力を増幅する増幅器３５、発振器３１の出力信号により第２の電極２４で受信した信号を検波する検波器３６、検波器３６の出力を平滑化するＬＰＦ（ローパスフィルタ）３７、及び、出力端子３８を有している。検波器３６は、位相検出部の一例である。
【００３４】
検出回路３０では、検波器３６で検波を行う参照信号として、バッファ３２の出力をそのまま利用している。また、ＬＰＦ３７からの出力は、ＰＣ４０へ入力されるように構成されている。
【００３５】
以下、検出回路３０の動作について説明する。
【００３６】
検出回路３０では、発振器３１が生成した正弦波信号を、第１の電極２３により被検査領域へ正弦波信号Ｅａとして放射する。第１の電極２３から放射した正弦波信号Ｅａは、第１の電極２３で生成された電荷によって、被検査領域に電界を形成する。第２の電極２４は、被検出領域に存在する大気，誘電体及び導体等による分極からの寄与を含めた電界から、電荷を生成する。即ち、第２の電極２４は、被検査領域に形成される電界に応じた正弦波信号Ｅｂを受信する。
【００３７】
この時、第１の電極２３及び第２の電極２４間のアンテナ間容量Ｃａに応じて、第２の電極２４が受信する正弦波信号Ｅｂの位相及び振幅が変化する。測定時において測定部２０における第１の電極２３及び第２の電極２４間のアンテナ間容量Ｃａは、主に、第１の電極２３及び第２の電極２４に近接又は接触している被測定物である誘電体に応じて変化する。
【００３８】
図２に示す検出回路３０では、移相部が位相した信号（第１の電極２３が送信する正弦波信号Ｅａに相当する信号を抵抗３３で減衰させ、さらに抵抗３３及びコンデンサ３４で移相した信号）と、第２の電極２４が受信した正弦波信号Ｅｂとを、合成部である接点３９で合成している。さらに、接点３９で合成された信号を増幅器３５で増幅し、増幅された信号を検波器３６へ入力してバッファ３２の出力で検波し、検波された信号をローパスフィルタ３７へ出力している。ローパスフィルタ３７は、位相差に応じた信号を電圧値Ｖｉに変換して、出力端子３８から出力する。すなわち、出力端子３８からＰＣ４０へ出力される直流の電圧値Ｖｉは、正弦波信号Ｅａと正弦波信号Ｅｂと間の容量に比例した値を有している。
【００３９】
図３は、第１の電極２３及び第２の電極２４間に想定される等価回路図である。
【００４０】
図３に示す様に、第１の電極２３及び第２の電極２４との間の容量であるアンテナ間容量Ｃａは、図２に示す検出回路３０における抵抗３３と並列に配置されていると考えられる。ここで、アンテナ間容量Ｃａ及び抵抗３３と、コンデンサ３４とを含む閉回路に流れる電流をＩ、ＧＮＤを基準として測定される接点３９の電圧をＶ１、発振器３１の出力電圧をＶ３１、アンテナ間容量Ｃａ及び抵抗３３の合成インピーダンスをＺとすると、電圧Ｖ１は、Ｖ３１に対してＺＩだけ電位が下がっていることとなる。すなわち、以下の式（１）のように表すことができる。
Ｖ１＝Ｖ３１−ＺＩ      （１）
【００４１】
一方、接点３９の電圧Ｖ１は、コンデンサ３４の容量をＣ（Ｃは寄生容量であっても良い）、発振器３１の周波数をｆ、ω＝２πｆとすると、以下の式（２）にように表すことができる。
Ｖ１＝Ｉ／ｊωＣ      （２）
【００４２】
Ｚ＝Ｒ／（１＋ｊωＣａＲ）であるので、式（１）及び式（２）より、Ｖ１は以下の式（３）のように表すことができる。
Ｖ１＝Ｖ３１・（１＋ω２Ｒ２Ｃａ（Ｃａ＋Ｃ）−ｊωＣＲ）／（１＋ω２Ｒ２（Ｃａ＋Ｃ）２）      （３）
【００４３】
式（３）より、接点３９での合成波形の位相差をＰ（°）とすると、位相差Ｐは以下の式（４）のように表すことができる。
Ｐ＝−ａｔａｎ（ωＣＲ／（１＋ω２Ｒ２Ｃａ（Ｃａ＋Ｃ）））      （４）
【００４４】
上記の式（４）より、電圧移相には、アンテナ間容量Ｃａ及びコンデンサ３４の容量Ｃの双方から寄与があることが理解できる。また、ａｔａｎ関数の性質から、アンテナ間容量Ｃａの微小な変化に対して、位相差Ｐが相関し、これを移相検波した電圧出力はアンテナ間容量Ｃａにほぼ比例するように周波数ω（ｆ）、抵抗３３の抵抗値Ｒ、コンデンサ３４の容量Ｃを設定できることが分かる。
【００４５】
図４（ａ）及び図４（ｂ）は、膜厚検査の原理を説明するための図である。なお、図４（ａ）及び図４（ｂ）おける電気力線をＥＬとして示す。
【００４６】
平板平行コンデンサ１００の容量Ｃは、誘電率をε０、間隔をｄ０、面積をＳとすると、Ｃ＝ε０・Ｓ／ｄ０と表すことができる。図４（ａ）に示す様に、平板平行コンデンサ１００の間に、誘電体１１０（誘電率ε１、厚さｄ１、面積Ｓ）が挿入された場合の平板平行コンデンサ１００の容量Ｃ´は、挿入された誘電体１１０の部分の平板平行コンデンサ（容量Ｃ１、誘電率ε１、間隔ｄ１、面積Ｓ）と、それ以外の部分の平板平行コンデンサ（容量Ｃ２、誘電率ε０、間隔（ｄ０−ｄ１）、面積Ｓ）が直列接続された場合と同様に計算することができる。即ち、Ｃ´＝Ｃ１・Ｃ２／（Ｃ１＋Ｃ２）であり、ここで、Ｃ１＝ε１・Ｓ／ｄ１であり、Ｃ２＝ε０・Ｓ／（ｄ０−ｄ１）である。
【００４７】
実際に測定を行うのは、後述する様に薄いフィルム状の誘電体であるので、ｄ０＞＞ｄ１として、２次の微小量を省略し、誘電体の比誘電率をχとすると、Ｃ´は以下の式（５）のように表すことができる。
Ｃ´＝（１−（１−χ）・ｄ１／χ・ｄ０）・（ε０・Ｓ／ｄ０）    （５）
【００４８】
更に、誘電体１１０が挿入されたことによる容量の変化ΔＣは以下の式（６）のように表すことができる。
ΔＣ＝Ｃ−Ｃ´＝（（１−χ）／χ・ｄ０）・ｄ１・（ε０・Ｓ／ｄ０）  （６）
【００４９】
上記の式（６）における（（１−χ）／χ・ｄ０）は定数であり、（ε０・Ｓ／ｄ０）は元の平板平行コンデンサ１００の容量Ｃと同じであるので、容量の変化ΔＣは、挿入された誘電体の厚さｄ１に比例した値となる。
【００５０】
図４（ｂ）に示す様に、平板平行コンデンサの電極を開いて配置した場合、電極近傍の電気力線ＥＬはほぼ並列しているので、被測定物の膜厚が薄く且つ電極近傍に存在していれば、前述した計算結果を利用することが可能である。即ち、図４（ｂ）における電極１１１及び１１２の近傍に、薄いフィルム状の誘電体を配置した場合、電極１１１及び電極１１２間で検出することができる容量の変化ΔＣは、薄いフィルム状の誘電体の厚さに比例した値となる。よって、電極１１１及び電極１１２間で検出することができる容量の変化ΔＣから、電極近傍の薄いフィルム状の誘電体の厚さを、薄いフィルムを挟むことなく、測定することが可能となる。
【００５１】
上記の原理を、膜厚測定装置１０に当てはめた場合、測定部２０の電極基台２２の裏側に配置された２つの同心円状に配置された２つの電極である第１の電極２３及び第２の電極２４の近傍に配置された薄いフィルム状の誘電体の厚さを、第１の電極２３及び第２の電極２４間の容量の変化に基づいて求めることが可能となる。
【００５２】
すなわち、上述した式（１）において、連続して測定を行った場合、周波数ω（ｆ）、抵抗３３の抵抗値Ｒ、及びコンデンサ３４の容量Ｃは既知であるので、位相差Ｐの変化に比例した電圧値Ｖｉの変化から、アンテナ間容量Ｃａの値の変化（ΔＣａ）を算出することが可能である。更に、上述した式（６）を用いて、ΔＣａから、被測定物の膜厚（ｄ０）を求めることが可能となる。なお、上記の演算は、出力端子３８から出力された電圧値Ｖｉに基づいて、ＰＣ４０が有するＣＰＵが、メモリに予めインストールされたプログラムに基づいて行い、ＰＣ４０の表示部に表示する。
【００５３】
なお、膜厚測定装置１０では、ＰＣ４０と測定部２０とを別体としたが、出力端子３８から出力される電圧値Ｖｉから膜厚を演算する演算部（記憶部を含む）と、演算部によって演算された膜厚を表示する表示部を、測定部２０と一体的に設けるようにしても良い。
【００５４】
ところで、第１の電極２３から出力された電気力線ＥＬは、はあらゆる方向に広がることとなる。しかしながら、電極基台２２の周囲は、ＧＮＤに接地された導体で構成された筐体２１が存在するため、筐体２１を通過する電気力線は第２の電極２４に戻ることはない。すなわち、膜厚測定装置１０では、筐体２１で区切られた所定領域（電極基台２２の範囲内）において、被測定物による容量の変化のみを検出していることとなる。したがって、被測定物が、電極基台２２の大きさと比較して非常に大きい面積を有している場合であっても、被測定物が固定されておらず、所定の速度で移動する場合であっても、精度良く測定を行うことが可能である。
【００５５】
また、上記の例では、ＧＮＤに接地された導体の筐体２１で電極基台２１の周囲を覆うように構成したが、筐体２１をプラスチックなどの絶縁物で構成しても良い。その場合、第１の電極２３の外側に導体であるＧＮＤ電極を配置し、電気力線ＥＬが広がらないようにする必要がある。さらに、前記ＧＮＤ電極を延在させて、測定部２０全体を覆うようにしても良い。
【００５６】
図５（ａ）及び図５（ｂ）は、膜厚測定装置１０をポリエチレンフィルムの膜厚測定に利用する場合を説明するための概念図である。
【００５７】
図５（ａ）に示す様に、インフレーション成形機６０には、ポリエチレンフィルム１の原材料（ペレット状）を供給する供給チューブ６１とエアを供給する供給チューブ６２が取り付けられている。インフレーション成形機６０は、ペレット状の原材料を不図示の金型に入れて射出する射出成型機である。インフレーション成形機６０で連続的に成形された筒状のポリエチレンフィルム１はチューブ６２から供給されたエア及び不図示の空調機構によって、矢印Ｂの方向に順次移動されて行く。冷却された筒状のポリエチレンフィルム１は巻き取られて、次段の工程へ送られ、保護用の袋、ゴミ袋等に加工される。
【００５８】
成形された筒状のポリエチレンフィルム１の移動方向には、インフレーション成形機６０から所定の距離だけ離れた位置に、不図示の構造物に支持された回転台６３が配置されている。図５（ｂ）に示す様に、回転台６３には、測定部２０を矢印Ｃの方向に移動可能に支持する支持部材５０が固定されている。また、回転台６３は、不図示のモータ等によって、矢印Ｄの方向に回転可能に構成されている。
【００５９】
インフレーション成形機６０で筒状のポリエチレンフィルム１が成形されている場合に、支持部材５０を制御して、測定部２０の電極基台２２を緩やかに、成形されながら移動している筒状のポリエチレンフィルム１に接触させて、その部分の膜厚を測定する。さらに、回転台６３を制御して、測定部２０ごと回転台６３を少しずつ回転させ、筒状のポリエチレンフィルム１の全周面の膜厚を測定する。
【００６０】
インフレーション成形機６０で成形される筒状のポリエチレンフィルム１では、図５（ａ）に示す矢印Ｂ方向（周方向と直交する方向）については、膜厚がほぼ同じであるという特性がある。すなわち、成形されながら移動している筒状のポリエチレンフィルム１の膜厚は、矢印Ｂ方向では、ほぼ一定であるといえる。したがって、時間をおいて、筒状のポリエチレンフィルム１の全周面の膜厚を測定しても、十分に筒状のポリエチレンフィルム１の膜厚調整を行うことが可能である。なお、測定結果に応じて、インフレーション成形機６０を調整し、所望の膜厚を有する筒状のポリエチレンフィルム１を成形することが可能となった。
【００６１】
図５に示したように、膜厚測定装置１０をポリエチレンフィルム１の膜厚測定に適用する場合、図３において、Ｒ＝１ＭΩ及びｆ＝１００ｋＨｚ、ポリエチレンフィルム１の膜厚が５０μｍ程度であった場合、接点３９及びＶ０間のインピーダンス（Ｚ）の絶対値は約１ＭΩ、アンテナ間容量Ｃａは約０．１ｐｆで、１μｍの精度で、ポリエチレンフィルム１の膜厚を測定することができた。
【符号の説明】
【００６２】
１    ポリエチレンフィルム
１０    膜厚測定装置
２０    測定部
２１    筐体
２２    電極基台
２３    第１の電極
２４    第２の電極
３０    検出回路
３１    発振器
３３    移送部抵抗
３４    移送部コンデンサ
３６    検波器
３７    ローパス回路
３８    出力端子
３９    接点
Ｃａ    アンテナ間容量
【図１】
2014199199.tif 000003
【図２】
2014199199.tif 000004
【図３】
2014199199.tif 000005
【図４】
2014199199.tif 000006
【図５】
2014199199.tif 000007