(57)【要約】【課題】基板の一主面の全面上に成膜可能な方法を提供する。【解決手段】第１の方向に沿って延び、第１の方向に対して垂直な第２の方向の一方側を向く固定面２０の上に、第１の主面１０ａが第２の方向の一方側を向くように基板１０を配置し、固定面２０の上に設けられた第１及び第２の固定具２１，２２により配置された基板１０を固定する固定工程を行う。第１の固定具２１は、第１の方向において基板１０の一方側に配されており、基板１０の端面に当接する第１の当接面２１ａを有する。第２の固定具２２は、第１の方向において基板１０の他方側に配されており、基板１０の端面に当接する第２の当接面２２ａを有する。固定工程において、第１の主面１０ａを第１及び第２の固定具２１，２２から露出させた状態で、第１及び第２の当接面２１ａ、２２ａにより基板１０を挟持させることにより基板１０を固定面２０上に固定する。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１及び第２の主面と、前記第１の主面と前記第２の主面とを接続しており、平面視において、少なくとも一部が前記第１の主面から外側に突出した端面を有し、前記端面の少なくとも一部が厚み方向に対して非平行に延びる基板と、前記基板の前記第１の主面の上に設けられた膜とを備える膜付基板を製造する方法であって、
第１の方向に沿って延び、前記第１の方向に対して垂直な第２の方向の一方側を向く固定面の上に、前記第１の主面が前記第２の方向の一方側を向くように前記基板を配置し、前記固定面の上に設けられた第１及び第２の固定具により前記配置された基板を固定する固定工程と、
前記固定された基板の前記第１の主面の上に前記膜を形成する工程と、
を備え、
前記第１の固定具は、前記第１の方向において前記基板の一方側に配されており、前記基板の端面に当接する第１の当接面を有し、
前記第２の固定具は、前記第１の方向において前記基板の他方側に配されており、前記基板の端面に当接する第２の当接面を有し、
前記固定工程において、前記第１の主面を前記第１及び第２の固定具から露出させた状態で、前記第１及び第２の当接面により前記基板を挟持させることにより前記基板を前記固定面上に固定する、膜付基板の製造方法。
【請求項２】
前記第１及び第２の固定具の主面は、前記第１の主面と面一もしくは前記第１の主面よりも前記固定面側に位置している、請求項１に記載の膜付基板の製造方法。
【請求項３】
前記第１の固定具が、前記第２の固定具に対して前記第１の方向に相対的に変位可能に設けられている、請求項１または２に記載の膜付基板の製造方法。
【請求項４】
前記第１の方向が鉛直方向であり、
前記第１の固定具が前記第２の固定具の上方において、鉛直方向に変位可能に設けられており、
前記固定工程において、前記第１の固定具の自重によって前記第１及び第２の固定具で前記基板を挟持させる、請求項３に記載の膜付基板の製造方法。
【請求項５】
第１及び第２の主面を有し、貫通孔が設けられた基板と、前記基板の前記第１の主面の上に設けられた膜とを備え、平面視において、前記貫通孔の内壁が、前記第１の主面よりも、前記貫通孔の中心側に向かって突出している膜付基板を製造する方法であって、
鉛直方向に沿って延び、水平方向の一方側を向く固定面の上に、前記第１の主面が水平方向の一方側を向くように前記基板を配置し、前記固定面の上に設けられた固定具によって前記配置された基板を固定する固定工程と、
前記固定された基板の前記第１の主面の上に前記膜を形成する工程と、
を備え、
前記固定具は、前記基板の内壁に当接する当接面を有し、
前記固定工程において、前記当接面が前記基板の内壁に当接するように、前記固定具を前記貫通孔内に挿入し、前記第１の主面を前記固定具から露出させた状態で、前記固定具に前記基板を引っ掛けることにより前記基板を固定する、膜付基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、膜付基板の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来膜付基板の製造方法として、スパッタリング法が知られている。スパッタリング法により膜付基板を製造するに際しては、基板を基板フォルダに固定する必要がある。通常、特許文献１に記載されているように、基板フォルダは、基板の裏面側を支持するフォルダ本体と、フォルダ本体に取り付けられており、基板のおもて面に当接する係止部材とを備える。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−２１１１３３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載のフォルダを用いた場合、基板のおもて面の一部が係止部材により覆われる。このため、基板のおもて面の全面上に成膜することができない。
【０００５】
本発明の主な目的は、基板の一主面の全面上に成膜可能な方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る第１の膜付基板の製造方法は、第１及び第２の主面と、第１の主面と第２の主面とを接続しており、平面視において、少なくとも一部が第１の主面から外側に突出した端面を有し、端面の少なくとも一部が厚み方向に対して非平行に延びる基板と、基板の第１の主面の上に設けられた膜とを備える膜付基板を製造する方法である。本発明に係る第１の膜付基板の製造方法では、第１の方向に沿って延び、第１の方向に対して垂直な第２の方向の一方側を向く固定面の上に、第１の主面が第２の方向の一方側を向くように基板を配置し、固定面の上に設けられた第１及び第２の固定具により配置された基板を固定する固定工程を行う。固定された基板の第１の主面の上に膜を形成する。第１の固定具は、第１の方向において基板の一方側に配されており、基板の端面に当接する第１の当接面を有する。第２の固定具は、第１の方向において基板の他方側に配されており、基板の端面に当接する第２の当接面を有する。固定工程において、第１の主面を第１及び第２の固定具から露出させた状態で第１及び第２の当接面により基板を挟持させることにより基板を固定面上に固定する。
【０００７】
本発明に係る第１の膜付基板の製造方法において、第１及び第２の固定具の主面は、第１の主面と面一もしくは第１の主面よりも固定面側に位置していることが好ましい。
【０００８】
本発明に係る第１の膜付基板の製造方法において、第１の固定具が、第２の固定具に対して第１の方向に相対的に変位可能に設けられていることが好ましい。
【０００９】
本発明に係る第１の膜付基板の製造方法において、第１の方向が鉛直方向であり、第１の固定具が第２の固定具の上方において、鉛直方向に変位可能に設けられており、固定工程において、第１の固定具の自重によって第１及び第２の固定具で基板を挟持させることが好ましい。
【００１０】
本発明に係る第２の膜付基板の製造方法は、第１及び第２の主面を有し、貫通孔が設けられた基板と、基板の第１の主面の上に設けられた膜とを備え、平面視において、貫通孔の内壁が、第１の主面よりも、貫通孔の中心側に向かって突出している膜付基板を製造する方法である。本発明に係る第２の膜付基板の製造方法では、鉛直方向に沿って延び、水平方向の一方側を向く固定面の上に、第１の主面が水平方向の一方側を向くように基板を配置し、固定面の上に設けられた固定具によって配置された基板を固定する固定工程を行う。固定された基板の第１の主面の上に膜を形成する。固定具は、基板の内壁に当接する当接面を有する。固定工程において、当接面が基板の内壁に当接するように、固定具を貫通孔内に挿入し、第１の主面を固定具から露出させた状態で固定具に基板を引っ掛けることにより基板を固定する。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、基板の一主面の全面上に成膜可能な方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】第１の実施形態における成膜治具の略図的平面図である。
【図２】図１の線ＩＩ−ＩＩにおける略図的断面図である。
【図３】固定工程を説明するための略図的断面図である。
【図４】成膜工程を説明するための略図的断面図である。
【図５】第１の変形例における成膜治具の一部分の略図的断面図である。
【図６】第２の変形例における成膜治具の一部分の略図的断面図である。
【図７】第２の実施形態における成膜治具の略図的平面図である。
【図８】図７の線ＶＩＩＩ−ＶＩＩＩにおける略図的断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明を実施した好ましい形態の一例について説明する。但し、下記の実施形態は、単なる例示である。本発明は、下記の実施形態に何ら限定されない。
【００１４】
また、実施形態等において参照する各図面において、実質的に同一の機能を有する部材は同一の符号で参照することとする。また、実施形態等において参照する図面は、模式的に記載されたものである。図面に描画された物体の寸法の比率などは、現実の物体の寸法の比率などとは異なる場合がある。図面相互間においても、物体の寸法比率等が異なる場合がある。具体的な物体の寸法比率等は、以下の説明を参酌して判断されるべきである。
【００１５】
（第１の実施形態）
本実施形態では、図１、図３及び図４に示す基板１０の主面１０ａ上に、図４に示す膜１１を形成し、基板１０と膜１１とを有する膜付基板１を製造する方法について説明する。
【００１６】
図３及び図４に示される基板１０は、例えば、ガラス板や樹脂板などにより構成されていてもよい。本実施形態において、基板１０の平面視形状は矩形であるが、基板１０の平面視形状は特に限定されない。基板１０の平面視形状は、円形、楕円形、長円形、多角形等であってもよい。
【００１７】
基板１０は、第１の主面１０ａと、第２の主面１０ｂとを有する。第１の主面１０ａと第２の主面１０ｂとは、互いに平行である。第１及び第２の主面１０ａ、１０ｂは、それぞれ、ｘ軸方向及びｚ軸方向に沿って延びる。なお、本実施形態では、ｘ軸方向が鉛直方向であり、ｙ軸方向及びｚ軸方向が水平方向である。
【００１８】
第１の主面１０ａと第２の主面１０ｂとは、端面１０ｃにより接続されている。平面視において（ｙ軸方向から視た際に）、端面１０ｃの少なくとも一部は、第１の主面１０ａよりも外側に突出している。端面１０ｃの少なくとも一部は、厚み方向であるｙ軸方向に対して非平行である。
【００１９】
具体的には、端面１０ｃは、第１の部分１０ｃ１と、第２の部分１０ｃ２とを有する。第１の部分１０ｃ１は、第２の主面１０ｂからｙ軸方向に沿って第１の主面１０ａ側に延びている。第１の部分１０ｃ１は、第１及び第２の主面１０ａ、１０ｂに対して略垂直である。第１の部分１０ｃ１のｙ軸方向におけるｙ２側端部と第１の主面１０ａとは、第２の部分１０ｃ２により接続されている。第２の部分１０ｃ２は、ｙ軸方向及びｘ軸方向のそれぞれに対して傾斜した方向に延びている。第２の部分１０ｃ２は、第１の部分１０ｃ１並びに第１及び第２の主面１０ａ、１０ｂのそれぞれに対して傾斜した方向に延びている。第２の部分１０ｃ２は、第１の主面１０ａから外側に向かって第２の主面１０ｂ側に延びている。
【００２０】
本実施形態では、上述のような構成を有する基板１０の第１の主面１０ａの略全面上に膜１１をスパッタリング法により形成する。
【００２１】
膜１１の形成に際しては、まず、基板１０を固定面２０の上に、第１及び第２の固定具２１，２２を用いて固定する固定工程を行う。その後、固定された基板１０の第１の主面１０ａの上にスパッタリング法により膜１１を形成する。
【００２２】
図１に示されるように、固定面２０は、鉛直方向であるｘ軸方向と、水平に延びるｚ軸方向に対しそれぞれに平行に設けられている。図２〜図４に示されるように、固定面２０は、水平に延び、ｚ軸方向及びｘ軸方向に対して垂直なｙ軸方向のｙ２側を向いている。もっとも、本発明において、固定面は、例えば水平に設けられていてもよいし、水平方向及び鉛直方向のそれぞれに対して傾斜した方向に沿って設けられていてもよい。
【００２３】
固定面２０には、ｚ軸方向に沿って設けられた細長形状を有する第１及び第２の固定具２１，２２が設けられている。本実施形態では、第１の固定具２１は、第２の固定具２２の上方において、鉛直方向（ｘ軸方向）に変位可能に設けられている。具体的には、第１の固定具２１は、ｘ軸方向に沿って延びる線状の貫通孔２０ａに挿入されたボルト２４によって固定面２０に固定されている。このため、第１の固定具２１は、上下方向に変位可能である。第２の固定具２２は、第１の固定具２１に対し、相対的に鉛直方向の下側に設けられている。第２の固定具２２は、ボルト２３によって固定面２０に変位不能に固定されている。
【００２４】
これら第１及び第２の固定具２１，２２によって、第１の主面１０ａが固定面２０とは反対側（ｙ２側）を向くように基板１０が固定される。第１の固定具２１は、固定された基板１０のｘ軸方向の一方側（上側）に配され、第２の固定具２２は、固定された基板１０のｘ軸方向の他方側（下側）に配される。
【００２５】
第１の固定具２１は、第１の当接面２１ａを有する。第２の固定具２２は、第２の当接面２２ａを有する。これら第１及び第２の当接面２１ａ、２２ａは、基板１０の端面１０ｃに当接する。第１及び第２の当接面２１ａ、２２ａは、端面１０ｃの第１の部分１０ｃ１の少なくとも一部に当接すると共に、第２の部分１０ｃ２の少なくとも一部にも当接する。第１及び第２の当接面２１ａ、２２ａのそれぞれには、ｘ軸方向において基板１０側に突出する突起部２１ｂ、２２ｂが設けられており、突起部２１ｂ、２２ｂの表面が第２の部分１０ｃ２の少なくとも一部に当接する。
【００２６】
固定面２０に基板１０を固定するに際しては、まず、図３に示されるように、第１の固定具２１を上方に移動させ、第１の固定具２１と第２の固定具２２との間の距離を基板１０の幅以上とする。その状態で、第２の固定具２２の上に基板１０を鉛直に配置する。次に、図４に示されるように、第１の固定具２１を下方に移動させ、第１の固定具２１の自重により、基板１０を第１及び第２の固定具２１，２２で挟持し、基板１０を固定面２０の上に固定する。この場合、成膜終了後、第１の固定具２１を上方に移動させて膜付基板１を固定面２０から容易に取り外すことができる。もっとも、必要に応じて、第１及び第２の固定具２１，２２により基板１０を狭持した状態で、第１の固定具２１をボルト２４によって固定してもよい。
【００２７】
本実施形態では、端面１０ｃが第１の主面１０ａよりも外側に突出しているため、第１及び第２の固定具２１，２２により基板１０がｙ軸方向に係止される。よって、基板１０の第１の主面１０ａが第１及び第２の固定具２１，２２によって覆われることなく、第１及び第２の固定具２１，２２から露出させた状態で、第１の固定具２１の第１の当接面２１ａ及び第２の固定具２２の第２の当接面２２ａにより基板１０を挟持することにより、ｘ軸方向及びｙ軸方向のそれぞれにおいて変位不能に固定することができる。従って、第１の主面１０ａの全面に膜１１を好適に形成し得る。
【００２８】
また、本実施形態では、第１及び第２の固定具２１，２２が基板１０と同じ厚みを有するか、基板１０よりも薄い。このため、第１及び第２の固定具２１，２２のｙ２側の主面２１ｃ、２２ｃは、基板１０の第１の主面１０ａと面一もしくは基板１０の第１の主面１０ａよりも固定面２０側に位置している。このため、成膜時において、基板１０に向けて飛散してきた膜の原料粒子が第１及び第２の固定具２１，２２に遮られない。よって、第１の主面１０ａの第１及び第２の固定具２１，２２近傍に位置する部分にも好適に膜１１を形成することができる。
【００２９】
なお、第１及び第２の固定具２１，２２によりｘ軸方向及びｙ軸方向のそれぞれにおいて変位不能に基板１０を固定するためには、基板１０の端面１０ｃの少なくとも一部が第１の主面１０ａから外側に突出していればよい。従って、例えば、図５に示されるように、第２の部分１０ｃ２を曲面状にしてもよい。また、図６に示されるように、端面１０ｃに段差部を設け、第２の部分１０ｃ２を固定面２０と平行にしてもよい。
【００３０】
以下、本発明の好ましい実施形態の他の例について説明する。以下の説明において、上記第１の実施形態と実質的に共通の機能を有する部材を共通の符号で参照し、説明を省略する。
【００３１】
（第２の実施形態）
図７は、第２の実施形態における成膜治具の略図的平面図である。図８は、図７の線ＶＩＩＩ−ＶＩＩＩにおける略図的断面図である。
【００３２】
図７及び図８に示されるように、第２の実施形態では、基板１０には、貫通孔１０ｄが設けられている。貫通孔１０ｄの内壁は、第１の主面１０ａよりも、貫通孔１０ｄの中心側に向かって突出している。具体的には、貫通孔１０ｄの内壁は、第１の部分１０ｄ１と、第２の部分１０ｄ２とを有する。第１の部分１０ｄ１は、第２の主面１０ｂから、第１の主面１０ａ側に向かってｙ軸方向に延びている。第１の部分１０ｄ１は、第１及び第２の主面１０ａ、１０ｂに対して垂直である。第１の部分１０ｄ１と第１の主面１０ａとは、第２の部分１０ｄ２によって接続されている。第２の部分１０ｄ２は、厚み方向であるｙ軸方向に対して非平行である。第２の部分１０ｄ２は、第１の主面１０ａから、貫通孔１０ｄの中心側に向かって第２の主面１０ｂ側に延びている。
【００３３】
固定面２０には、固定具２５が設けられている。固定具２５は、固定面２０からｙ軸方向のｙ２側に向かって突出している。本実施形態では、固定具２５が貫通孔１０ｄに挿入され、固定具２５が貫通孔１０ｄの内壁に引っ掛けられることにより基板１０が固定される。
【００３４】
ここで、固定具２５は、基板１０の貫通孔１０ｄの内壁に当接する当接面２５ａを有する。この当接面２５ａは、内壁の第１の部分１０ｄ１の少なくとも一部に当接すると共に、第２の部分１０ｄ２の少なくとも一部に当接する。当接面２５ａには、突起部２５ｂが設けられており、この突起部２５ｂが内壁の第２の部分１０ｄ２の少なくとも一部と当接する。このため、本実施形態においても、第１の主面１０ａが固定具２５により覆われることなく、固定具２５から露出させた状態で、基板１０を固定具２５に引っ掛けることにより、ｘ方向及びｙ方向のそれぞれにおいて変位不能に固定することができる。従って、第１の主面１０ａの全面の上に膜１１を形成し得る。
【００３５】
また、固定具２５のｙ２側の主面２５ｃが基板１０の第１の主面１０ａと面一もしくは第１の主面１０ａよりも固定面２０側に設けられているため、成膜時において、第１の主面１０ａに向けて飛散する膜の原料粒子が固定具２５によって遮蔽されない。従って、第１の主面１０ａの固定具２５近傍に位置する部分の上にも好適に膜１１を形成することができる。
【符号の説明】
【００３６】
１…膜付基板
１０…基板
１０ａ…第１の主面
１０ｂ…第２の主面
１０ｃ…端面
１０ｃ１…端面の第１の部分
１０ｃ２…端面の第２の部分
１０ｄ…貫通孔
１０ｄ１…貫通孔の内壁の第１の部分
１０ｄ２…貫通孔の内壁の第２の部分
１１…膜
２０…固定面
２０ａ…貫通孔
２１…第１の固定具
２１ａ…第１の当接面
２２…第２の固定具
２２ａ…第２の当接面
２１ｂ、２２ｂ…突起部
２１ｃ、２２ｃ…主面
２３，２４…ボルト
２５…固定具
２５ａ…当接面
２５ｂ…突起部
２５ｃ…主面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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