(57)【要約】      （修正有）【課題】微細ピッチのＩＣの検査が可能な異方導電性部材を提供する。【解決手段】第一の可動部材１３０と第二の可動部材１４０とが電気的接触を維持しつつ相対位置を変動することを可能とする第一の摺動部１３４を備え、第二の可動部材は、弾性ソケット１１０の貫通孔から突出する部分に位置し、使用時に検査装置の検査用基板と対向する端部を含み、検査用基板に接触するための基板接触部１４１、および、第一の摺動部と摺動接触構造を構成する第二の摺動部１４４を備え、第一のアーム部１３３および第一の摺動部は一の板材を加工して得られる形状を有し、第二の摺動部も板材を加工して得られる形状を有し、第一のアーム部は、電極接触部１３１および基板接触部を弾性ソケットの厚さ方向に近づける外力が付与されたときにこれらを離間させる向きの弾性復元力が弾性ソケットに生じるように、弾性ソケットの一方の主面を押圧可能とされる。【選択図】図１ａ
2014235779.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶縁性で弾性を有する材料からなり主面を貫通する複数の貫通孔を有する板状の弾性ソケットと、前記弾性ソケットの複数の貫通孔のそれぞれに対応して設けられ、前記貫通孔内に配置される部分を有して前記弾性ソケットの厚さ方向に電流を通過させる複数の電気貫通部とを備える異方導電性部材であって、
前記電気貫通部のそれぞれは、電気的に接続しつつ前記弾性ソケットの厚さ方向に相対位置を変動可能な第一の可動部材および第二の可動部材を備え、
前記第一の可動部材は、
当該第一の可動部材における前記弾性ソケットの貫通孔から突出する部分に位置し、使用時に検査対象物と対向する端部を含み、前記検査対象物に付設された電極に接触するための電極接触部、
前記第一の可動部材における前記弾性ソケットの貫通孔の電極側開口から突出する部分に位置し、前記弾性ソケットの一方の主面に接する部分を有するように設けられた第一のアーム部、および
前記第二の可動部材が備える第二の摺動部と摺動接触構造を構成して、前記第一の可動部材と前記第二の可動部材とが電気的接触を維持しつつ相対位置を変動することを可能とする第一の摺動部を備え、
前記第二の可動部材は、
当該第二の可動部材における前記弾性ソケットの貫通孔から突出する部分に位置し、使用時に検査装置の検査用基板と対向する端部を含み、前記検査用基板に接触するための基板接触部、および、
前記第一の摺動部と摺動接触構造を構成する前記第二の摺動部を備え、
前記第一のアーム部および前記第一の摺動部は一の板材を加工して得られる形状を有し、
さらに、前記第二の摺動部も板材を加工して得られる形状を有し、
前記第一のアーム部は、前記電極接触部および前記基板接触部を前記弾性ソケットの厚さ方向に近づける外力が付与されたときにこれらを離間させる向きの弾性復元力が前記弾性ソケットに生じるように、前記弾性ソケットの一部を前記弾性ソケットの厚さ方向に圧縮可能とされること
を特徴とする異方導電性部材。
【請求項２】
前記第一の摺動部および前記第二の摺動部により構成される摺動接触構造は、前記弾性ソケットの貫通孔内に位置する部分を有する、請求項１に記載の異方導電性部材。
【請求項３】
前記第一の摺動部および前記第二の摺動部により構成される摺動接触構造は、前記弾性ソケットの貫通孔外に位置する部分を有する、請求項１または２に記載の異方導電性部材。
【請求項４】
前記摺動接触構造は、二枚の板材の主面同士が対向するように配置されることによって構成される、請求項１に記載の異方導電性部材。
【請求項５】
前記第一のアーム部の前記弾性ソケットの一方の主面に接する部分の、前記弾性ソケットの貫通孔に対する配置は、前記第一の可動部材が前記弾性ソケットの貫通孔の中心軸に対して傾いたときに、前記摺動接触構造が維持されなくなることを防止するように設定される、請求項４に記載の異方導電性部材。
【請求項６】
前記摺動接触構造は、二枚の板材の主面同士が直交するように配置されることによって構成される、請求項１に記載の異方導電性部材。
【請求項７】
前記摺動接触構造は、前記第一の可動部材および前記第二の可動部材の少なくとも一方の一部に設けられたスリット内に、前記第一の可動部材および前記第二の可動部材の他方の一部が摺動しながら入り込むように配置されることによって構成される、請求項４または６に記載の異方導電性部材。
【請求項８】
前記スリットは、前記一の板材の一部を折り曲げ加工することにより得られる形状を有する、請求項７に記載の異方導電性部材。
【請求項９】
前記第一のアーム部は、前記一の板材の一部を折り曲げ加工することにより得られる形状を有する、請求項１に記載の異方導電性部材。
【請求項１０】
前記第一のアーム部は、前記第一の摺動部の主面と平行な直線形状を有し、隣接する当該第一のアーム部は互いに直交するように配置されている、請求項１に記載の異方導電性部材。
【請求項１１】
前記第一のアーム部は、前記弾性ソケットの貫通孔の中心から当該第一のアーム部の最も遠い端部までの距離が、当該弾性ソケットの貫通孔の中心とそれに隣接する貫通孔の中心との距離の１／２から２５μｍ差し引いた距離よりも大きい、請求項１に記載の異方導電性部材。
【請求項１２】
前記異方導電性部材は、絶縁性で剛性を有する材料からなり前記弾性ソケットの貫通孔に対応する複数の貫通孔を有し、前記弾性ソケットの前記電極接触部側の主面上に前記弾性ソケットから離間しつつ配置されて、前記摺動接触構造が維持されなくなることを防止する板状の剛性ソケットをさらに備え、
前記第一のアーム部は、前記弾性ソケットに対向する面の反対側の面の少なくとも一部において前記剛性ソケットの前記弾性ソケットに対向する側の主面に対して係止可能とされる、請求項１に記載の異方導電性部材。
【請求項１３】
前記第一のアーム部と前記電極接触部とは別部材からなり、これらの電気的接続を維持しつつ、前記弾性ソケットの主面内方向に互いに相対位置を変化可能であって、
前記電極接触部は、その前記剛体ソケットの貫通孔の前記弾性ソケット側の端部から突出する部分に、前記剛体ソケットの主面内方向と平行な方向に突出する係止突起を有し、当該係止突起によって、前記電極接触部は前記剛体ソケットの厚さ方向の前記第一のアーム部から離間する向きへの移動が制限され、前記第一のアーム部は、前記係止突起を介して、前記剛性ソケットにおける前記弾性ソケットに対向する側の主面に対して係止可能とされる、
請求項１２に記載の異方導電性部材。
【請求項１４】
前記電極接触部は一の板材を加工することによって形成される形状以外の形状を有する、請求項１３に記載の異方導電性部材。
【請求項１５】
前記第二の摺動部は、一つの板材を曲げ加工して得られるガイド部を有し、前記第一の摺動部は、その一部が当該ガイド部に内包されるように配置されている、請求項１に記載の異方導電性部材。
【請求項１６】
前記第一のアーム部は、前記弾性ソケットの貫通孔に対して回転することが抑制されている、請求項１に記載の異方導電性部材。
【請求項１７】
前記第一のアーム部と前記電極接触部とは一の部材からなる、請求項１に記載の異方導電性部材。
【請求項１８】
前記第二の可動部材における前記弾性ソケットの貫通孔の前記検査用基板側開口から突出する部分に位置し、前記弾性ソケットの他方の主面に接する部分を有するように設けられた第二のアーム部をさらに備え、
前記第二のアーム部および前記第二の摺動部は一の板材を加工して得られる形状を有し、
前記第二のアーム部は、前記電極接触部および前記基板接触部を前記弾性ソケットの厚さ方向に近づける外力が付与されたときにこれらを離間させる向きの弾性復元力が前記弾性ソケットに生じるように、前記弾性ソケットの他方の主面を押圧可能とされる、
請求項１に記載の異方導電性部材。
【請求項１９】
前記検査装置の検査用基板はスルーホールを有し、前記基板接触部は当該スルーホールにはんだ付けされている、請求項１に記載の異方導性部材。
【請求項２０】
前記第一の摺動部および第二の摺動部の少なくともいずれか一方は段差部を有し、当該段差部が、前記弾性ソケットの貫通孔の開口の周縁部または貫通孔内に設けられた段差部と係止することにより、当該第一の摺動部および第二の摺動部の少なくともいずれか一方は前記弾性ソケットの貫通孔から脱離することが防がれている、請求項１に記載の異方導電性部材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＩＣの検査などに使用される異方導電性部材に関する。
【背景技術】
【０００２】
多数の端子を備えるＩＣを検査するときには、ＩＣにおける隣接する端子同士での電気的接続を抑制しつつ、ＩＣの各端子と、ＩＣを検査するための検査装置（ＩＣテスター）に接続された検査用基板における各端子に対応する電極とを電気的に接続するための、異方導電性部材が使用される。
【０００３】
その異方導電性部材は、全体形状としてはおおむね板状であり、その主面の法線方向の導電性は十分に高いため電気信号を通過させるが、主面の面内方向には絶縁されていて電気を通さないという特性を有する。この特性に基づき、異方導電性部材は、主面の法線方向に電流を通過させる部分を検査対象のＩＣの端子に対応して多数備える構造を有する。本明細書において、ＩＣの端子に対応してこの主面の法線方向に電流を通過させる部分を電気貫通部という。
【０００４】
電気貫通部の具体的な構造は任意であり、異方導電性部材の双方の主面から露出するようにその部材に埋設された金属などの導電性細線を備える構造、双方の主面間に充填された一群の導電性微粒子を備える構造、両端が部分的に閉塞されつつ開口された管状体とこの管状体の内部に配置されたコイルスプリングとこのコイルスプリングに付勢されながら上記の部分的な閉塞部に係止された状態で管状体から部分的に突出する二つの接触部材とからなるプローブピンなどが例示される。
【０００５】
使用時における電気貫通部では、ＩＣの端子および検査用基板と異方導電性部材における電気貫通部の主面上の端部とが、これらの間の電気的接触を安定化させるために所定の圧力で接触している。上記の電気的接触の安定化を実現する程度に接触圧力が発生するように、多くの場合において、電気貫通部には弾性復元力を利用した接触圧力発生のための構造が設けられている。
【０００６】
例えば、上記の導電性細線を用いる電気貫通部や一群の導電性微粒子を用いる電気貫通部は、これらの部材が弾性体内に埋設される構造を備えることによって、これらの部材とＩＣの端子および検査用基板との接触圧力を発生させている。また、プローブピンでは、コイルスプリングが二つの接触部材を離間するように付勢することによって、これらの接触部材とＩＣの端子および検査用基板との接触圧力を発生させている。
【０００７】
上記の例以外に、特許文献１には、検査対象物の接触端子に対応する位置に貫通孔が形成された非伝導性材質の弾性板と；前記貫通孔の上部側に結合され、前記弾性板によって弾支されるプランジャーヘッド部及び前記プランジャーヘッド部の下部面中心から延設されるプランジャー本体から構成されるプランジャーと；中心部に前記プランジャー本体と接触する収容部が陥没形成され、前記貫通孔の下部側に結合される接触ピンと；を含んでなることを特徴とする、半導体チップ検査用探針装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００８−１８０６８９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
特許文献１に開示される半導体チップ検査用探針装置（本明細書における「異方導電性部材」に相当する。）では、図１２に示されるような、プランジャーと接触ピンとからなる可動部材によって構成される電気貫通部が、絶縁性材質の弾性板（本明細書において「弾性ソケット」ともいい、その定義については後述する。）の弾性復元力を用いて弾性板の厚さ方向に可変に配置されている。
【００１０】
このような異方導電性部材は、弾性ソケットに設けられた貫通孔の構造が複雑で加工が難しい上、可動部材の最大外径に対して貫通孔の内径が大きく、微細化が難しいなどの問題がある。
【００１１】
可動部材が弾性板の厚さ方向に可変に配置された構造においては、弾性板の貫通孔の内径よりも大きな可動部材の最大外径部分が貫通孔の開口の周縁部分を圧縮することにより弾性復元力を得ているが、貫通孔の内径に対して可動部材の最大外径部分に十分な大きさがないと、圧縮した時に可動部材の最大外径部分が貫通孔内に埋没し、可動部材が可動不良を起こす危険性がある。本明細書において、貫通孔の中心軸に平行な方向から見たときに可動部材の最大外形部分が作る形状を、「最大外形」ともいう。
【００１２】
しかしながら、特許文献１に開示された異方導電性部材のように可動部材の最大外形が真円形状をなしている場合には、最大外形を大きくすると微細ピッチに配列した時に隣接する電気貫通部の可動部材と接触するおそれがあるので、ピッチに対しては最大外形を一定以上は大きくすることができない。
【００１３】
したがって、貫通孔を備える弾性ソケットと２つの可動部材を備え、２つの可動部材の少なくとも一方が貫通孔を貫通する構造の異方導電性部材においては、電気貫通部を微細ピッチで配列した時に、隣接する可動部材と接触することがなく、弾性ソケットの貫通孔にも容易には埋没しない構造の可動部材が望まれる。
【００１４】
本発明は、上記の問題を解決し、微細ピッチのＩＣの検査が可能な異方導電性部材を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上記課題を解決するために提供される本発明は次のとおりである。
【００１６】
上記課題を解決するために提供される本発明は、一態様において、絶縁性で弾性を有する材料からなり主面を貫通する複数の貫通孔を有する板状の弾性ソケットと、弾性ソケットの複数の貫通孔のそれぞれに対応して設けられ、貫通孔内に配置される部分を有して弾性ソケットの厚さ方向に電流を通過させる複数の電気貫通部とを備える異方導電性部材であって、電気貫通部のそれぞれは、電気的に接続しつつ弾性ソケットの厚さ方向に相対位置を変動可能な第一の可動部材および第二の可動部材を備え、第一の可動部材は、当該第一の可動部材における弾性ソケットの貫通孔から突出する部分に位置し、使用時に検査対象物と対向する端部を含み、検査対象物に付設された電極に接触するための電極接触部、第一の可動部材における弾性ソケットの貫通孔の電極側開口から突出する部分に位置し、弾性ソケットの一方の主面に接する部分を有するように設けられた第一のアーム部、および第二の可動部材が備える第二の摺動部と摺動接触構造を構成して、第一の可動部材と第二の可動部材とが電気的接触を維持しつつ相対位置を変動することを可能とする第一の摺動部を備え、第二の可動部材は、当該第二の可動部材における弾性ソケットの貫通孔から突出する部分に位置し、使用時に検査装置の検査用基板と対向する端部を含み、検査用基板に接触するための基板接触部、および、第一の摺動部と摺動接触構造を構成する第二の摺動部を備え、第一のアーム部および第一の摺動部は一の板材を加工して得られる形状を有し、さらに、第二の摺動部も板材を加工して得られる形状を有し、第一のアーム部は、電極接触部および基板接触部を弾性ソケットの厚さ方向に近づける外力が付与されたときにこれらを離間させる向きの弾性復元力が弾性ソケットに生じるように、弾性ソケットの一部を弾性ソケットの厚さ方向に圧縮可能とされることを特徴とする異方導電性部材である。
【００１７】
上記の発明は、次の（ｉ）から（ｘｖ）の特徴の一つ以上をさらに備えていてもよい。
【００１８】
（ｉ）第一の摺動部および第二の摺動部により構成される摺動接触構造は、弾性ソケットの貫通孔内に位置する部分を有する。
【００１９】
（ｉｉ）第一の摺動部および第二の摺動部により構成される摺動接触構造は、弾性ソケットの貫通孔外に位置する部分を有する。
【００２０】
（ｉｉｉ）摺動接触構造は、二枚の板材の主面同士が対向するように配置されることによって構成される。さらに、第一のアーム部の弾性ソケットの一方の主面に接する部分の、弾性ソケットの貫通孔に対する配置は、第一の可動部材が弾性ソケットの貫通孔の中心軸に対して傾いたときに、摺動接触構造が維持されなくなることを防止するように設定されていてもよい。さらに、第一のアーム部は、第一の摺動部の主面と直交し、当該主面に対して同じ向きに伸延する部位を備え、当該部位が延伸する向きは、第一の摺動部の主面が第二の摺動部の主面に対向する向きであってもよい。
【００２１】
（ｉｖ）摺動接触構造は、二枚の板材の主面同士が直交するように配置されることによって構成される。さらに、摺動接触構造は、第一の可動部材および第二の可動部材の少なくとも一方の一部に設けられたスリット内に、第一の可動部材および第二の可動部材の他方の一部が摺動しながら入り込むように配置されることによって構成されていてもよい。また、スリット内にその一部が配置された第一の可動部材および第二の可動部材の他方は、スリットによって回転することが抑制されていてもよい。このスリットは、一の板材の一部を折り曲げ加工することにより得られる形状を有していてもよい。
【００２２】
（ｖ）第一のアーム部は、一の板材の一部を折り曲げ加工することにより得られる形状を有する。
【００２３】
（ｖｉ）第一のアーム部は、第一の摺動部の主面と平行な直線形状を有し、隣接する当該第一のアーム部は互いに直交するように配置されている。
【００２４】
（ｖｉｉ）第一のアーム部は、弾性ソケットの貫通孔の中心から当該第一のアーム部の最も遠い端部までの距離が、当該弾性ソケットの貫通孔の中心とそれに隣接する貫通孔の中心との距離の１／２から２５μｍ差し引いた距離よりも大きい。
【００２５】
（ｖｉｉｉ）異方導電性部材は、絶縁性で剛性を有する材料からなり弾性ソケットの貫通孔に対応する複数の貫通孔を有し、弾性ソケットの電極接触部側の主面上に弾性ソケットから離間しつつ配置されて、摺動接触構造が維持されなくなることを防止する板状の剛性ソケットをさらに備え、第一のアーム部は、弾性ソケットに対向する面の反対側の面の少なくとも一部において剛性ソケットの弾性ソケットに対向する側の主面に対して係止可能とされる。
【００２６】
上記の剛性ソケットを備える場合において、さらに、剛性ソケットの貫通孔は、弾性ソケットに近位な開口から遠位な開口に向けて口径が小さくなるテーパー構造を有していてもよい。
【００２７】
上記の剛性ソケットを備える場合のいずれかにおいて、さらに、第一のアーム部と電極接触部とは別部材からなり、これらの電気的接続を維持しつつ、弾性ソケットの主面内方向に互いに相対位置を変化可能であって、電極接触部は、その剛体ソケットの貫通孔の弾性ソケット側の端部から突出する部分に、剛体ソケットの主面内方向と平行な方向に突出する係止突起を有し、当該係止突起によって、電極接触部は剛性ソケットの厚さ方向の第一のアーム部から離間する向きへの移動が制限され、第一のアーム部は、係止突起を介して、剛性ソケットにおける弾性ソケットに対向する側の主面に対して係止可能とされていてもよい。さらに、電極接触部は一の板材を加工することによって形成される形状以外の形状を有していてもよい。
【００２８】
（ｉｘ）第二の摺動部は一つの板材を曲げ加工することによって形成されるガイド部を備え、第一の摺動部はその一部がガイド部内に配置されている。第一のアーム部は、ガイド部によって回転することが抑制されていてもよい。さらに、第一のアーム部がガイド部と係止することにより、第一の摺動部がガイド部から脱離することが防がれていてもよい。
【００２９】
（ｘ）第一のアーム部は、弾性ソケットの貫通孔に対して回転することが抑制されている。
【００３０】
（ｘｉ）第一のアーム部と電極接触部とは一の部材からなる。
【００３１】
（ｘｉｉ）第二の可動部材における弾性ソケットの貫通孔の検査用基板側開口から突出する部分に位置し、弾性ソケットの他方の主面に接する部分を有するように設けられた、第二のアーム部をさらに備え、第二のアーム部および第二の摺動部は一の板材を加工して得られる形状を有し、第二のアーム部は、電極接触部および基板接触部を弾性ソケットの厚さ方向に近づける外力が付与されたときにこれらを離間させる向きの弾性復元力が弾性ソケットに生じるように、弾性ソケットの他方の主面を押圧可能とされる。
【００３２】
（ｘｉｉｉ）電極接触部は一の板材を加工することによって形成される形状を有する。このとき、電極接触部は、摺動接触構造を構成するスリットを備えてもよい。
【００３３】
（ｘｉｖ）検査装置の検査用基板はスルーホールを有し、基板接触部は当該スルーホールにはんだ付けされている。
【００３４】
（ｘｖ）第一の摺動部および第二の摺動部の少なくともいずれか一方は段差部を有し、当該段差部が、弾性ソケットの貫通孔の開口の周縁部または貫通孔内に設けられた段差部と係止することにより、当該第一の摺動部および第二の摺動部の少なくともいずれか一方は弾性ソケットの貫通孔から脱離することが防がれている。
【００３５】
上記の発明は、摺動接触構造に関し、次のいずれかの特徴を有していてもよい。
摺動接触構造は、面と面とが摺動接触する構造である。
摺動接触構造は、面と点とが摺動接触する構造である。さらに、摺動接触構造は、一の面に対して複数の点が摺動接触する構造であってもよい。
【００３６】
上記の発明は、第一のアーム部に関し、次のいずれかの特徴を有していてもよい。
第一のアーム部は、第一の摺動部の主面と直交し、当該主面に対して相互に反対向きに伸延する部位を備える。
第一のアーム部は、第一の摺動部の主面と直交し、当該主面に対して同じ向きに伸延する部位を備える。
【００３７】
上記の発明において、弾性ソケットの貫通孔の、弾性ソケットの厚さ方向から見た形状は、矩形であってもよいし、十字形であってもよい。
【００３８】
上記の発明において、電極接触部は円筒形状を有していてもよい。
【００３９】
上記の発明において、剛性ソケットは、電極接触部と連動し、弾性ソケットの厚さ方向に変動可能とされていてもよい。
【発明の効果】
【００４０】
本発明によれば、第一の可動部材が備える弾性ソケットを圧縮する部位が板材を加工することによって得られる形状を有するため、弾性ソケットの貫通孔の開口から遠位な位置で第一の可動部材が弾性ソケットを押圧することが可能となる。したがって、電気貫通部の配列ピッチが狭くなっても、可動部材が弾性ソケットに埋没することが回避される。
また、第一の可動部材が備える弾性ソケットを圧縮する部位は、弾性ソケットの貫通孔に対して回転することが抑制されているため、隣接する電気貫通部が接触して導通することも回避される。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１ａ】本発明の第一の実施形態に係る異方導電性部材を、第一の摺動部を構成する板材の主面に平行な面を切断面として、第一の摺動部の板厚方向中央部にて切断して得られる断面（図１ｂにおける切断線Ｂ−Ｂを含む面である。）の一部を概念的に示す図である。
【図１ｂ】図１ａに示される本発明の第一の実施形態に係る異方導電性部材を、第一の摺動部を構成する板材の板厚方向および弾性ソケットの厚さ方向を含む面を切断面として、第一の摺動部を構成する板状部材の板幅方向中央部にて切断して得られる断面（図１ａにおける切断線Ａ−Ａを含む面である。）の一部を概念的に示す図である。
【図１ｃ】図１ａに示される本発明の第一の実施形態に係る異方導電性部材の使用状態を、図１ａと同じ切断面で切断して得られる断面の一部を概念的に示す図である。
【図１ｄ】図１ａに示される本発明の第一の実施形態に係る異方導電性部材の第一の可動部材および第二の可動部材が、弾性ソケット内に電気貫通部として組み立てられた状態を概念的に示す、（ａ）正面図、（ｂ）側面図ならびに（ｃ）切断線Ｃ−Ｃを含む断面図（上）および切断線Ｄ−Ｄを含む断面図（下）である。
【図１ｅ】図１ａに示される本発明の第一の実施形態に係る異方導電性部材を、図１ａにおいて切断線Ｅ−Ｅにより示される弾性ソケットの主面内方向に平行な切断面で切断して得られる断面の一部を概念的に示す図である。
【図１ｆ】（ａ）図１ａに示される本発明の第一の実施形態に係る異方導電性部材の変形例の１つについて、図１ａに示される切断線Ｅ−Ｅと同様な切断線にて切断して得られる断面、および（ｂ）特許文献１に開示される異方導電性部材と同様の最大外形の形状を有する異方導電性部材について、図１ａに示される切断線Ｅ−Ｅを含む切断面と同様な面で切断して得られる断面の一部を概念的に示す図である。
【図１ｇ】本発明の第一の実施形態に係る異方導電性部材の変形例の他の１つについて、図１ａに示される切断線Ｅ−Ｅを含む切断面と同様な面で切断して得られる断面の一部を概念的に示す図である。
【図１ｈ】図１ｇに示される本発明の第一の実施形態の他の１つの変形例に係る異方導電性部材の第一の可動部材および第二の可動部材が、弾性ソケット内に電気貫通部として組み立てられた状態を概念的に示す、（ａ）正面図、（ｂ）側面図ならびに（ｃ）切断線Ｆ−Ｆを含む断面図（上）および切断線Ｇ−Ｇを含む断面図（下）である。
【図１ｉ】本発明の第一の実施形態に係る異方導電性部材の変形例の別の他の１つにおける、第一の可動部材および第二の可動部材が、弾性ソケット内に電気貫通部として組み立てられた状態を概念的に示す、（ａ）正面図および（ｂ）側面図である。
【図１ｊ】本発明の第一の実施形態に係る異方導電性部材の変形例のさらに別の他の１つを、第一の摺動部を構成する板材の板厚方向および弾性ソケットの厚さ方向を含む面を切断面として、第一の摺動部を構成する板状部材の板幅方向中央部にて切断して得られる断面（図１ｂにおける断面と同様である。）の一部を概念的に示す図である。
【図２ａ】本発明の第二の実施形態に係る異方導電性部材の断面の一部を概念的に示す図であって、交互に配置された電気貫通部の一方の電気貫通部の第一の摺動部を構成する板材の主面に平行な面を切断面として、その第一の摺動部の板厚方向中央部にて切断して得られる断面（図１ａにおける断面と同様である。）が示され、この切断面は、交互に配置されたもう一方の電気貫通部においては、その第一の摺動部を構成する板材の板厚方向および弾性ソケットの厚さ方向を含む面と平行であり、その第一の摺動部を構成する板状部材の板幅方向中央部にて切断された断面（図１ｂにおける断面と同様である。）が示されている。
【図２ｂ】図２ａに示される本発明の第二の実施形態に係る異方導電性部材を、図２ａにおいて切断線Ｈ−Ｈにより示される弾性ソケットの主面内方向に平行な切断面で切断して得られる断面の一部を概念的に示す図である。
【図３ａ】本発明の第三の実施形態に係る異方導電性部材を、第一の摺動部を構成する板材の主面に平行な面を切断面として、第一の摺動部の板厚方向中央部にて切断して得られる断面（図１ａにおける断面と同様である。）の一部を概念的に示す図である。
【図３ｂ】図３ａに示される本発明の第三の実施形態に係る異方導電性部材の第一の可動部材および第二の可動部材が、弾性ソケット内に電気貫通部として組み立てられた状態を概念的に示す、（ａ）正面図、（ｂ）側面図ならびに（ｃ）切断線Ｉ−Ｉを含む断面図（上）および切断線Ｊ−Ｊを含む断面図（下）である。
【図３ｃ】本発明の第三の実施形態に係る異方導電性部材の変形例の１つにおける、第一の可動部材および第二の可動部材が、弾性ソケット内に電気貫通部として組み立てられた状態を概念的に示す、（ａ）正面図および（ｂ）側面図ならびに（ｃ）切断線Ｋ−Ｋを含む断面図である。
【図３ｄ】本発明の第三の実施形態に係る異方導電性部材の変形例の他の１つにおける、第一の可動部材および第二の可動部材が、弾性ソケット内に電気貫通部として組み立てられた状態を概念的に示す、（ａ）正面図および（ｂ）側面図ならびに（ｃ）切断線Ｋ２−Ｋ２を含む断面図（上）、切断線Ｋ３−Ｋ３を含む断面図（中）および切断線Ｋ４−Ｋ４を含む断面図（下）である。
【図３ｅ】本発明の第三の実施形態に係る異方導電性部材の変形例の別の他の１つにおける、第一の可動部材および第二の可動部材が、弾性ソケット内に電気貫通部として組み立てられた状態を概念的に示す、（ａ）正面図および（ｂ）側面図である。
【図４ａ】本発明の第四の実施形態に係る異方導電性部材における、第一の可動部材および第二の可動部材が、弾性ソケット内に電気貫通部として組み立てられた状態を概念的に示す、（ａ）正面図および（ｂ）側面図である。
【図４ｂ】本発明の第四の実施形態に係る異方導電性部材の変形例の１つにおける、第一の可動部材および第二の可動部材が、弾性ソケット内に電気貫通部として組み立てられた状態を概念的に示す、（ａ）正面図および（ｂ）側面図である。
【図５ａ】本発明の第五の実施形態に係る異方導電性部材を、第一の摺動部を構成する板材の主面に平行な面を切断面として、第一の摺動部の板厚方向中央部にて切断して得られる断面（図１ａにおける断面と同様である。）の一部を概念的に示す図である。
【図５ｂ】本発明の第五の実施形態に係る異方導電性部材の変形例の１つを、第一の摺動部を構成する板材の主面に平行な面を切断面として、第一の摺動部の板厚方向中央部にて切断して得られる断面（図１ａにおける断面と同様である。）の一部を概念的に示す図である。
【図６ａ】本発明の第六の実施形態に係る異方導電性部材を、第一の摺動部を構成する板材の主面に平行な面を切断面として、第一の摺動部の板厚方向中央部にて切断して得られる断面（図１ａにおける断面と同様である。）の一部を概念的に示す図である。
【図６ｂ】図６ａに示される本発明の第六の実施形態に係る異方導電性部材を、第一の摺動部を構成する板材の板厚方向および弾性ソケットの厚さ方向を含む面を切断面として、第一の摺動部を構成する板状部材の板幅方向中央部にて切断して得られる断面（図１ｂにおける断面と同様である。）の一部を概念的に示す図である。
【図６ｃ】図６ａに示される本発明の第六の実施形態に係る異方導電性部材の使用状態を、図６ａと同じ切断面で切断して得られる断面の一部を概念的に示す図である。
【図６ｄ】本発明の第六の実施形態に係る異方導電性部材の変形例の１つの断面の一部を概念的に示す図であって、交互に配置された電気貫通部の一方の電気貫通部の第一の摺動部を構成する板材の主面に平行な面を切断面として、その第一の摺動部の板厚方向中央部にて切断して得られる断面（図１ａにおける断面と同様である。）が示され、この切断面は、交互に配置されたもう一方の電気貫通部においては、その第一の摺動部を構成する板材の板厚方向および弾性ソケットの厚さ方向を含む面と平行であり、その第一の摺動部を構成する板状部材の板幅方向中央部にて切断された断面（図１ｂにおける断面と同様である。）が示されている。
【図７】本発明の第七の実施形態に係る異方導電性部材を、第一の摺動部を構成する板材の主面に平行な面を切断面として、第一の摺動部の板厚方向中央部にて切断して得られる断面（図１ａにおける断面と同様である。）の一部を概念的に示す図である。
【図８ａ】本発明の第八の実施形態に係る異方導電性部材の断面の一部を概念的に示す図であって、交互に配置された電気貫通部の一方の電気貫通部の第一の摺動部を構成する板材の主面に平行な面を切断面として、その第一の摺動部の板厚方向中央部にて切断して得られる断面（次に説明するもう一方の電気貫通部の切断線Ｌ−Ｌを含む断面である。）が示され、この切断面は、交互に配置されたもう一方の電気貫通部においては、その第一の摺動部を構成する板材の板厚方向および弾性ソケットの厚さ方向を含む面と平行であり、その第一の摺動部を構成する板状部材の板幅方向中央部にて切断された断面（図１ｂにおける断面と同様である。）が示されている。なお、この本発明の第八の実施形態に係る異方導電性部材においては、隣接する電気貫通部の電極接触部の中心点を一直線上に配置したとき、図８ａに示したとおり、上記の一方の電気貫通部（図では左側）の第二の摺動部を構成する板材は図に示された切断面上には位置していない。
【図８ｂ】図８ａに示される本発明の第三の実施形態に係る異方導電性部材の第一の可動部材および第二の可動部材が、弾性ソケット内に電気貫通部として組み立てられた状態を概念的に示す、（ａ）正面図および（ｂ）側面図ならびに（ｃ）切断線Ｍ−Ｍを含む断面図である。
【図９】本発明の第九の実施形態に係る異方導電性部材を、第一の摺動部を構成する板材の板厚方向および弾性ソケットの厚さ方向を含む面を切断面として、第一の摺動部を構成する板状部材の板幅方向中央部にて切断して得られる断面（図１ｂにおける断面と同様である。）の一部を概念的に示す図である。
【図１０ａ】本発明の第十の実施形態に係る異方導電性部材を、第一の摺動部を構成する板材の主面に平行な面を切断面として、第一の摺動部の板厚方向中央部にて切断して得られる断面（図１ａにおける断面と同様である。）の一部を概念的に示す図である。
【図１０ｂ】本発明の第十の実施形態に係る異方導電性部材の他の１つを、第一の摺動部を構成する板材の板厚方向および弾性ソケットの厚さ方向を含む面を切断面として、第一の摺動部を構成する板状部材の板幅方向中央部にて切断して得られる断面（図１ｂにおける断面と同様である。）の一部を概念的に示す図である。
【図１１】本発明の第十一の実施形態に係る異方導電性部材を、第一の摺動部を構成する板材の板厚方向および弾性ソケットの厚さ方向を含む面を切断面として、第一の摺動部を構成する板状部材の板幅方向中央部にて切断して得られる断面（図１ｂにおける断面と同様である。）の一部を概念的に示す図である。
【図１２】特許文献１に開示される異方導電性部材の構造を概念的に示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００４２】
以下、本発明の実施形態について説明する。
図１ａ、１ｂおよび１ｃは、本発明の第一の実施形態に係る異方導電性部材１００の弾性ソケット１１０の厚さ方向の断面の一部を概念的に示す図である。図１ａと図１ｂはそれぞれ直交する異なる方向の断面を概念的に示し、図１ｃは異方導電性部材１００の使用時、すなわち検査対象であるＩＣを検査している状態の異方導電性部材１００の断面を概念的に示している。
【００４３】
本発明の第一の実施形態に係る異方導電性部材１００は、絶縁体からなり弾性を有する板状の弾性ソケット１１０を備える。弾性ソケット１１０の材質は特に限定されない。その材質を例示すれば、シリコーンゴムやフッ素ゴム、あるいはアクリル系エラストマーなど弾性を有する絶縁材料が挙げられる。
【００４４】
上記弾性ソケット１１０は、複数の貫通孔１１１を備える。ここで本発明の第一の実施形態に係る異方導電性部材１００が備える弾性ソケット１１０の貫通孔１１１の孔形状は特に限定されないが、後述のとおり、貫通孔１１１が第一の可動部材１３０の回転止めの機能を備える場合は、正方形を含む長方形、あるいは十字形状をなすことを特徴とする。その貫通孔１１１の形成方法も特に限定されないが、正方形を含む長方形、あるいは十字形状の貫通孔１１１を形成するためには、弾性ソケット１１０は金型により成形加工されることが想定される。円形の貫通孔１１１であれば、板状の弾性部材にマイクロドリルなどを用いて貫通孔１１１を形成してもよい。なお、貫通孔１１１を長方形、あるいは十字形状などに形成する場合、製造上の制約から、角部は丸くなることが想定される。本明細書において、正方形を含む長方形、あるいは十字形状とは、そのように角部が丸い形状も含むものとする。
【００４５】
さらに、本発明の第一の実施形態に係る異方導電性部材１００は、弾性ソケット１１０が備える複数の貫通孔１１１のそれぞれに対応して設けられ、貫通孔１１１を貫通する部分を有して弾性ソケット１１０の厚さ方向に電流を通過させる複数の電気貫通部１２０を備える。
【００４６】
電気貫通部１２０は、互いに電気的に接続しつつ弾性ソケット１１０の厚さ方向に相対位置を変動可能な第一の可動部材１３０および第二の可動部材１４０を備える。これらの可動部材のうち、第一の可動部材１３０は、検査対象物（具体的にはＩＣが例示される。）に付設された電極（具体的にははんだボールや金属バンプが例示される。）に接触するための電極接触部１３１を検査対象物と対向する側（図１ａでは上側）の端部に備え、第二の可動部材１４０は、検査装置の検査用基板に接触するための基板接触部１４１を検査用基板と対向する側（図１ａでは下側）の端部に備える。
【００４７】
ここで本発明の第一の実施形態に係る異方導電性部材１００においては、第一の可動部材１３０、第二の可動部材１４０および弾性ソケット１１０は次の関係を満たすように配置される。すなわち、電極接触部１３１および基板接触部１４１を弾性ソケット１１０の厚さ方向に近接させる外力が付与されたとき（具体的には、使用状態において、検査用基板上に載置された異方導電性部材１００の電極接触部１３１に対して、はんだボールなどのＩＣの電極が、検査用基板に対して近接するような力を付与されながら接触する場合が例示される。）に、電極接触部１３１および基板接触部１４１を離間させる向きの弾性復元力が弾性ソケット１１０に生じるように、第一の可動部材１３０および第二の可動部材１４０は弾性ソケット１１０の一部を圧縮可能に配置される。
【００４８】
さらに、本発明の第一の実施形態に係る異方導電性部材１００が備える可動部材１３０，１４０は、少なくとも可動部材１３０，１４０の弾性ソケット１１０を圧縮する部位が板状体からなる。また、いくつかの実施形態においては、板状体は曲げ加工部分を有する。そのような板状体は、プレス加工により製造されることが想定される。あるいは、板状体の全体をエッチングにより製造し、曲げ加工部分をプレス加工してもよい。なお、図１ａに示した可動部材１３０，１４０には曲げ加工部分の上下に切り込み部１３２，１４２を設けているが、これは曲げ加工を可能とするための切り込み部である。
【００４９】
以下、図１ａから１ｃに示した本発明の第一の実施形態に係る異方導電性部材１００が備える電気貫通部１２０の構造を、図１ｄをも用いて詳しく説明する。図１ｄは本発明の第一の実施形態に係る異方導電性部材１００の第一の可動部材１３０および第二の可動部材１４０が、弾性ソケット１１０内に電気貫通部１２０として組み立てられた状態を概念的に示す図である。
【００５０】
本発明の第一の実施形態に係る異方導電性部材１００においては、電気貫通部１２０は電極接触部１３１を備える第一の可動部材１３０と、基板接触部１４１を備える第二の可動部材１４０から構成され、第一の可動部材１３０、および第二の可動部材１４０はともに全体が板状体である。第一の可動部材１３０は、第一の可動部材１３０における弾性ソケット１１０の貫通孔１１１の電極接触部１３１側開口から突出する部分に位置し、弾性ソケット１１０の一方の主面１１０Ａに接する部分を有するように設けられた第一のアーム部１３３を備える。第二の可動部材１４０は、第二の可動部材１４０における弾性ソケット１１０の貫通孔１１１の基板接触部１４１側開口から突出する部分に位置し、弾性ソケット１１０の他方の主面１１０Ｂに接する部分を有するように設けられた第二のアーム部１４３を備える。
【００５１】
第一の可動部材１３０は、第二の可動部材１４０が備える第二の摺動部１４４と摺動接触構造を構成して、第一の可動部材１３０と第二の可動部材１４０とが電気的接触を維持しつつ相対位置を変動することを可能とする第一の摺動部１３４を備える。また、第二の可動部材１４０は第一の摺動部１３４と摺動接触構造を構成する第二の摺動部１４４を備える。
【００５２】
第一の可動部材１３０と第二の可動部材１４０とは、第一の摺動部１３４の一方の主面１３４Ａと第二の摺動部１４４の一方の主面１４４Ａとが対向するように、弾性ソケット１１０に形成された貫通孔１１１内に配置されている。これらの対向する二面が摺動面となって摺動接触構造を構成している。かかる摺動接触構造によって、第一の可動部材１３０と第二の可動部材１４０とは、電気的な接続を維持しつつ弾性ソケット１１０の厚さ方向に相対位置を変動させることができる。
【００５３】
本発明の第一の実施形態に係る第一の可動部材１３０では、第一のアーム部１３３および第一の摺動部１３４は一の板材を加工して得られる形状を有し、電極接触部１３１も、この一の板材を加工して得られる形状を有している。また、本発明の第一の実施形態に係る第二の可動部材１４０では、第二のアーム部１４３および第二の摺動部１４４は別の一の板材を加工して得られる形状を有し、基板接触部１４１も、この別の一の板材を加工して得られる形状を有している。
【００５４】
本発明の第一の実施形態に係る異方導電性部材１００においては、図１ｄに示したとおり、第一の可動部材１３０が備える第一のアーム部１３３は、一の板材の一部を折り曲げ加工することにより得られる形状を有する。また、第一のアーム部１３３は、第一の摺動部１３４の主面と直交し、当該主面に対して相互に反対向きに伸延する部位を備える。すなわち、図１ｄ（ｃ）に示したように、弾性ソケット１１０の主面の法線と平行な方向から見たときに、クランク形状をなすように、第一のアーム部１３３および第一の摺動部１３４の形状は構成されている。
【００５５】
本発明の第一の実施形態に係る異方導電性部材１００においては、図１ｄに示したとおり、第二の可動部材１４０が備える第二のアーム部１４３は、別の一の板材の一部を折り曲げ加工することにより得られる形状を有する。また、第二のアーム部１４３は、第二の摺動部１４４の主面と直交し、当該主面に対して相互に反対向きに伸延する部位を備える。すなわち、図１ｄ（ｃ）に示したように、弾性ソケット１１０の主面の法線と平行な方向から見たときに、クランク形状をなすように、第二のアーム部１４３および第二の摺動部１４４の形状は構成されている。
【００５６】
ここで本発明の第一の実施形態に係る異方導電性部材１００は、第一のアーム部１３３および第二のアーム部１４３が弾性ソケット１１０の貫通孔１１１に対して回転することが抑制されている。本発明の第一の実施形態に係る異方導電性部材１００においては、電極接触部１３１は第一のアーム部１３３と一体であり、電極接触部１３１も板状体からなるので、弾性ソケット１１０の貫通孔１１１の中心軸に平行な方向から弾性ソケット１１０の貫通孔１１１を見たときの形状（本明細書において、「貫通孔の断面形状」という。他の部材の貫通孔についても同様とする。）を長方形とすることにより、第一のアーム部１３３および第二のアーム部１４３が回転することを抑制してもよいし、後述する電極接触部側板状部材（剛性ソケット）１５０の貫通孔１５１の断面形状を長方形とすることにより第一のアーム部１３３が回転することを抑制してもよい。
【００５７】
さらに、本発明の第一の実施形態に係る異方導電性部材１００においては、第一のアーム部１３３に連結する第一の摺動部１３４の摺動面１３４Ａおよび第二のアーム部１４３に連結する第二の摺動部１４４の摺動面１４４Ａが対向しているので、第一の可動部材１３０と第二の可動部材１４０の双方がアーム部（第一のアーム部１３３および第二のアーム部１４３）を備える場合、少なくとも一方のアーム部の回転を抑制しておけば、他方のアーム部の回転も抑制されるが、弾性ソケット１１０の貫通孔１１１の断面形状を長方形とすることによりアーム部が回転することを抑制しておけば、双方のアーム部がより確実に回転を抑制されるので好ましい。以下のアーム部（第一のアーム部１３３および／または第二のアーム部１４３）の形状の説明においては、一例として、弾性ソケット１１０の貫通孔１１１の断面形状を長方形とした場合を説明する。また、本発明の第一の実施形態に係る異方導電性部材１００では、第二のアーム部１４３は第一のアーム部１３３と同じ形状であるので、第一のアーム部１３３を例として説明する。なお、図１ａから１ｃに示される本発明の第一の実施形態では、弾性ソケット１１０の貫通孔１１１の断面形状が長方形であるとともに、その断面形状が長方形である貫通孔１５１を有する電極接触部側板状部材（剛性ソケット）１５０も備えている。
【００５８】
図１ｄに示したとおり、第一のアーム部１３３は、第一の摺動部１３４の主面と直交し、当該主面に対して相互に反対向きに伸延する部位を備える。ここで図１ｅを用いて、図１ｄに示した本発明の第一の実施形態に係る異方導電性部材１００が備える第一のアーム部１３３と弾性ソケット１１０に形成された貫通孔１１１とについてさらに詳しく説明する。図１ｅは、図１ａに示される本発明の第一の実施形態に係る異方導電性部材１００を、図１ａにおいて切断線Ｅ−Ｅにより示される弾性ソケット１１０の主面内方向に平行な切断面で切断して得られる断面の一部を概念的に示す図である。図１ｅに示したとおり、弾性ソケット１１０の貫通孔１１１の断面形状は長方形であり、第一のアーム部１３３が第一の摺動部１３４の主面と直交し当該主面に対して相互に反対向きに伸延する部位を備えることにより、アーム部は貫通孔１１１の開口の周縁部から大きく突出した部分を有する。その結果、異方導電性部材の使用時においてアーム部が貫通孔１１１に埋没する危険性が大幅に低減されるとともに、電気貫通部１２０を弾性ソケット１１０の貫通孔１１１に配置した時に、隣接するアーム部と接触することなく狭ピッチで配列することが可能となる。また、板状の第一の摺動部１３４が長方形の断面形状を有する貫通孔１１１に内包されていることにより、第一の摺動部１３４と一体に形成された第一のアーム部１３３は貫通孔１１１に対して回転することが抑制されているので、第一のアーム部１３３が回転することにより隣接する第一のアーム部１３３同士が接触することも回避されている。
【００５９】
ここで特許文献１に開示された形状、すなわち円筒形の可動部材の最大外径部分が弾性ソケットを圧縮する部位である場合と、本発明の第一の実施形態に係る第一の可動部材１３０が備える第一のアーム部１３３が弾性ソケット１１０を圧縮する部位である場合を図によって比較する。図１ｆは微細ピッチの一例として貫通孔のピッチが０．３ｍｍである場合の拡大図である。
【００６０】
先ず特許文献１に開示された形状は可動部材の細径部が円柱であり、強度を考慮すると細径部の直径はφ０．１ｍｍ程度必要となる。また、摺動性を考慮すると細径部の外周と貫通孔の内径には若干のクリアランスがあることが望ましい。さらに、隣接する最大外径部分が可動時に接触することを避けるため、最大外径の間隔は０．０５ｍｍ程度必要となる。これらを考慮し、図１ｆ（ｂ）においては、貫通孔の直径をφ０．１１ｍｍ、最大外径をφ０．２５ｍｍとした。この場合、貫通孔の開口縁部から最大外径までの距離は０．０７ｍｍとなる。
【００６１】
他方、本発明の第一の実施形態に係る第一の可動部材１３０が備える第一の摺動部１３４は板状体からなるので、板幅があれば板厚は０．０５ｍｍあれば強度的には充分である。図１ｆ（ａ）では板厚を０．０５ｍｍ、板幅を０．１５ｍｍとした。板状体からなる第一の摺動部１３４の外側面と貫通孔１１１の内側面には同様に若干のクリアランスがあることが望ましいので、図１ｆ（ａ）においては、断面形状が長方形の貫通孔１１１は短辺０．１１ｍｍ、長辺０．１６ｍｍとした。第一のアーム部１３３の間隔は同様に０．０５ｍｍとした。この場合、図１ｆ（ａ）に示したとおり、第一のアーム部１３３はほとんど貫通孔１１１の開口の周縁部のさらに外側にあるので、貫通孔１１１の開口縁部から第一のアーム部１３３の端部までの距離は第一のアーム部１３３の長さ、すなわち０．２５ｍｍとなる。特許文献１に開示された形状と比較して約３．６倍の長さとなる。また、貫通孔１１１の短辺の長さ０．１１ｍｍに対して貫通孔１１１の開口縁部から第一のアーム部１３３の端部までが０．２５ｍｍあれば、第一のアーム部１３３が貫通孔１１１に埋没する危険性はほとんどない。
【００６２】
ここで上記の相違を数式的に記述するならば、特許文献１に開示された異方導電性部材においては、弾性ソケット１１０を圧縮する部位は最大外径部からなり、弾性ソケット１１０の貫通孔１１１の中心から最大外径部までの距離は、最大、電気貫通部１２０の隣接ピッチの１／２から接触する危険性を安定的に回避するための間隔である０．０５ｍｍの１／２を差し引いた値であることに対し、本発明の第一の実施形態に係る異方導電性部材１００においては、弾性ソケット１１０を圧縮する部位は回転することを抑制された第一のアーム部１３３からなり、弾性ソケット１１０の貫通孔１１１の中心から第一のアーム部１３３の先端までの距離は、最大、隣接ピッチから第一のアーム部１３３の板厚の１／２と接触する危険性を安定的に回避するための間隔である０．０５ｍｍを差し引いた値となり、第一の可動部材１３０が弾性ソケット１１０の貫通孔１１１に埋没する危険性を大幅に低減することを実現している。
【００６３】
続いて、本発明の第一の実施形態に係る異方導電性部材１００の変形例の他の１つとして、第一のアーム部の形状が異なる異方導電性部材を、図１ｇを用いて説明する。図１ａから図１ｅに例示した第一のアーム部１３３は、第一の摺動部１３４の主面と直交し、当該主面に対して相互に反対向きに伸延する部位を備える。これに対し、図１ｇに示される第一のアーム部１３５は、第一の摺動部１３４の主面と直交し当該主面に対して同じ向きに伸延する部位を備える。これらの部位が同じ向きに伸延していても、図１ｅに示した第一のアーム部１３３における互いに反対方向に伸延する部位と同程度の長さとすることができる。
【００６４】
ここで図１ｇに示した第一のアーム部１３５が同じ向きに伸延する部位を備える場合には、異方導電性部材の使用時において、すなわち第一のアーム部１３５が弾性ソケット１１０の主面１１０Ａを圧縮している状態において、弾性ソケット１１０の弾性復元力により、第一のアーム部１３５および第一のアーム部１３５に連結する第一の摺動部１３４には一方向に傾斜しようとする力が加わる。したがって、第一のアーム部１３５が同じ向きに伸延する部位を備える場合には、第一のアーム部１３５に弾性復元力が加わった時に、第一の摺動部１３４に設けられた摺動面１３４Ａが、これに対向するように配置される第二の摺動部１４４の摺動面１４４Ａに対して近接する方向に傾斜するように、第一の摺動部１３４と第二の摺動部１４４を配置しておくことが望ましい。第一の摺動部１３４と第二の摺動部１４４をこのように配置した状態を図１ｈに示す。図１ｈは図１ｇに示される本発明の第一の実施形態の他の変形例に係る異方導電性部材１００の第一の可動部材１３０および第二の可動部材１４０が、弾性ソケット１１０内に電気貫通部１２０として組み立てられた状態を概念的に示す図である。
【００６５】
図１ｈに示したとおり、第一のアーム部１３５を第一の摺動部１３４の板厚方向摺動面側に伸延する方向に配置することにより、第一のアーム部１３５に弾性復元力が加わった時に、第一の摺動部１３４の摺動面１３４Ａは第二の摺動部１４４の摺動面１４４Ａと近接する方向に傾斜しようとするので、異方導電性部材１００の使用時において摺動面１３４Ａ，１４４Ａがかい離することを防ぐことができる。また、この時、摺動面１３４Ａ，１４４Ａには弾性復元力による接触圧力が加わるので、異方導電性部材１００の使用時において外部振動が加わるような場合には、外部振動により電気貫通部１２０が瞬断することを回避することも可能である。なお、図１ｈにおいては、第一の摺動部１３４および第二の摺動部１４４を所定の方向に配置し易いように、第一の摺動部１３４の端部および第二の摺動部１４４の端部のそれぞれにテーパー部１３６，１４６を設けているが、これらのテーパー部１３６，１４６はなくてもよい。
【００６６】
また、本発明の第一の実施形態に係る異方導電性部材１００が備える摺動面１３４Ａ，１４４Ａには突起部１３７，１４７が設けられてもよい。摺動面１３４Ａ，１４４Ａに突起部１３７，１４７を設けることにより、摺動面１３４Ａ，１４４Ａが突起部先端と他方の摺動面１３４Ａ，１４４Ａの平面との点接触になるので、摺動面１３４Ａ，１４４Ａにゴミなどが付着しても接触不良を防止することができる。突起部１３７，１４７は摺動面１３４Ａ，１４４Ａの一方に設けてもよいし、双方に設けてもよい。突起部１３７，１４７を双方の摺動面１３４Ａ，１４４Ａに設ければ摺動面１３４Ａ，１４４Ａは二箇所において点接触するので、電気的接続がより安定して好ましい。一例として、第一の摺動部１３４の摺動面１３４Ａおよび第二の摺動部１４４の摺動面１４４Ａの双方に突起部１３７，１４７を備える電気貫通部１２０の外観を図１ｉに示す。
【００６７】
さらに、本発明の第一の実施形態に係る異方導電性部材１００においては、第一の摺動部１３４が配置される弾性ソケット１１０の貫通孔１１１の摺動部の板厚方向に平行な方向の孔長を小さくしてもよい。図１ｂに例示した異方導電性部材について、弾性ソケット１１０の貫通孔１１１における、上記の板厚方向の孔長を小さくした場合を図１ｊに示す。第一の摺動部１３４が配置される部分については、弾性ソケット１１０の貫通孔１１１の上記の板厚方向の孔長を、第一の摺動部１３４の板厚程度とすることにより、弾性ソケット１１０の貫通孔１１１の第一のアーム部１３３側の開口部形状が小さくなり、第一のアーム部１３３が貫通孔１１１に埋没する危険性がさらに低減される。
【００６８】
また、本発明の第一の実施形態に係る異方導電性部材１００は、弾性ソケット１１０の電極接触部１３１側主面１１０Ａにその主面の一方が対向し、弾性ソケット１１０の貫通孔１１１に対応する位置に貫通孔１５１を備える、剛体からなる電極接触部側板状部材（剛性ソケット）１５０を備えてもよい。電極接触部側板状部材（剛性ソケット）１５０を備えることにより、第一の可動部材１３０は第一のアーム部１３３が脱離止めとなり、異方導電性部材１００の使用時に第一の可動部材１３０が弾性ソケット１１０から脱離することが防がれる。この時、電極接触部側板状部材（剛性ソケット）１５０の貫通孔１５１の断面形状を長方形とすることにより、第一のアーム部１３３が回転することを抑止できることは前述のとおりである。なお、前述のとおり、図１ａから１ｃは断面形状が長方形の貫通孔１５１を有する電極接触部側板状部材（剛性ソケット）１５０を備えている場合を例示している。以下に説明する他の実施形態に係る異方導電性部材１００も電極接触部側板状部材（剛性ソケット）１５０を備えてもよい。
【００６９】
続いて本発明の第二の実施形態に係る異方導電性部材２００を図２ａに示す。図２ａは本発明の第二の実施形態に係る異方導電性部材２００の弾性ソケットの厚さ方向の断面の一部を概念的に示す図である。本発明の第二の実施形態に係る異方導電性部材２００が備える第一の可動部材２３０は、第一のアーム部２３３が曲げ加工されず板幅方向に伸延する部位を有し、電気貫通部を配列した時に、第一のアーム部２３３の板幅方向に伸延した部位同士が接触することがないよう、隣接する電気貫通部を９０度回転させながら配列している。本発明の第二の実施形態に係る異方導電性部材２００では、第二の可動部材２４０が備える第二のアーム部２４３も、同様の構成を備える。本発明の第二の実施形態に係る異方導電性部材２００におけるその他の構造は本発明の第一の実施形態に係る異方導電性部材１００の構造と同じである。
【００７０】
ここで本発明の第二の実施形態に係る異方導電性部材２００においても、電極接触部はアーム部と一体であり、電極接触部も板状体からなるので、電極接触部側板状部材（剛性ソケット）の貫通孔の断面形状を長方形とすることにより第一のアーム部２３３が回転することを抑制してもよいし、弾性ソケットの貫通孔の断面形状を長方形とすることにより、第一のアーム部２３３が回転することを抑制してもよい。弾性ソケットの貫通孔の断面形状を長方形とする場合には、隣接する貫通孔の断面形状が互いに９０度回転させた長方形となるように設けられていることが好ましい。なお、本発明の第一の実施形態に係る異方導電性部材と同様に、図２ａに示される異方導電性部材は、弾性ソケットの貫通孔の断面形状が長方形であるとともに、断面形状が長方形の貫通孔を有する電極接触部側板状部材（剛性ソケット）も備える。
【００７１】
本発明の第二の実施形態に係る異方導電性部材２００が備える第一のアーム部２３３と、その弾性ソケットに形成された複数の貫通孔の開口形状とを、図２ｂに示す。図２ｂは図２ａに示される本発明の第二の実施形態に係る異方導電性部材２００を、図２ａにおいて切断線Ｈ−Ｈにより示される弾性ソケットの主面内方向に平行な切断面で切断して得られる断面の一部を概念的に示す図である。図２ｂに示したとおり、本発明の第二の実施形態に係る異方導電性部材２００においても、第一のアーム部２３３は貫通孔の開口の周縁部から大きく突出し、異方導電性部材の使用時において第一のアーム部２３３が貫通孔に埋没する危険性が大幅に低減されるとともに、電気貫通部を弾性ソケットの貫通孔に配置した時に、隣接する第一のアーム部２３３同士が接触することなく狭ピッチで配列することが可能となっている。
【００７２】
ここで図１ｅと図２ｂを比較してわかるとおり、アーム部の回転が許容される範囲、すなわちアーム部が回転しても隣接するアーム部と接触しない角度は、図２ｂのアーム形状の方が図１ｅのアーム形状よりも大きい。したがって、本発明の第二の実施形態に係る異方導電性部材２００においては、アーム部２３３，２４３がある程度回転しても隣接するアーム部同士が接触する危険性は十分に低減されている。
【００７３】
また、本発明の第二の実施形態に係る異方導電性部材２００においても、本発明の第一の実施形態に係る異方導電性部材と同様に、摺動面に突起部を設けてもよいし、第一の摺動部が配置される部分において、貫通孔の板厚方向の孔長を小さくしてもよい。
【００７４】
続いて本発明の第三の実施形態に係る異方導電性部材３００を図３ａに示す。図３ａは本発明の第三の実施形態に係る異方導電性部材３００の弾性ソケットの厚さ方向の断面の一部を概念的に示す図である。本発明の第三の実施形態に係る異方導電性部材３００が備える可動部材は、第一の摺動部および第二の摺動部の何れか一方に、その電極接触部あるいは基板接触部と反対側の端部に一定の長さのスリット３１０を備える。ここでスリット３１０の幅は、スリット３１０を備えない他方の摺動部の板厚よりも若干大きく設定される。
【００７５】
さらに、第一の可動部材と第二の可動部材とは、第一の摺動部と第二の摺動部とが互いに直交するように弾性ソケットに形成された貫通孔内に配置され、第一の摺動部および第二の摺動部の何れか一方に設けられたスリット３１０における弾性ソケットの厚さ方向に平行な２つの内側面と、他方の摺動部の主面とを摺動面とする摺動接触構造を備える。かかる摺動接触構造により、第一の可動部材と第二の可動部材とは、電気的な接続を維持しつつ弾性ソケットの厚さ方向に相対位置を変動させることができる。図３ｂに本発明の第三の実施形態に係る異方導電性部材３００が備える電気貫通部の外観および断面を示す。
【００７６】
ここで本発明の第三の実施形態に係る異方導電性部材３００においても、弾性ソケットに形成された貫通孔の断面形状は任意であるが、弾性ソケットの貫通孔によりアーム部が回転することを抑制する場合には、貫通孔の断面形状を十字形状とすることが望ましい。また、アーム部は本発明の第一の実施形態に係る異方導電性部材１００のアーム部と同様に、互いに反対向きに伸延する部位を有していてもよいし、同じ向きに伸延する部位を有していてもよい。あるいは、本発明の第二の実施形態に係る異方導電性部材２００のアーム部と同様に、アーム部は板幅方向に伸延する部位を有し、隣接する電気貫通部を９０度回転させながら配列してもよい。弾性ソケットの貫通孔を十字形状とした場合でも、電気貫通部は９０度回転させながら配列可能である。また、第一の摺動部と第二の摺動部は直交するように配置され、一方に設けられたスリット３１０における弾性ソケットの厚さ方向に平行な２つの内側面が摺動面となっているので、第一の摺動部または第二の摺動部の一方が他方の摺動部に対して傾斜しても摺動接触構造を構成する摺動面がかい離する危険性が低く、その点においては、アーム部の形状は任意に選択が可能である。なお、図３ａおよび３ｂは一例として、第一の摺動部にスリット３１０を設け、アーム部が互いに反対向きに伸延する部位を有している異方導電性部材３００を例示している。スリットは第二の摺動部側に設けてもよい。
【００７７】
さらに、本発明の第三の実施形態に係る異方導電性部材３００においてアーム部の回転を抑制するには、図３ｃに示されるように、スリット３２０を備える摺動部３３０の板厚を厚くし、スリット３２０の平行に対向する内側面によって他方の摺動部の回転を抑制してもよい。特にアーム部が板幅方向に伸延する部位を有し、隣接する電気貫通部を９０度回転させながら配列する場合には、前述のとおり、アーム部はある程度回転しても隣接するアーム部と接触する危険性は十分に低減されているので、スリット３２０の平行に対向する内側面によって他方の摺動部の回転を抑制しておけば、隣接するアーム部同士が接触する危険性は十分回避することができる。スリット３２０は第一の摺動部、第二の摺動部の何れにあってもよいが、検査対象物に付設された電極への接触圧力を高める観点から電極接触部の板厚は薄い方が好ましいので、スリット３２０は第二の摺動部側に設けていることが好ましい。一例として、図３ｃに、第二の摺動部３３０がスリット３２０を備え、第二の摺動部３３０の板厚を厚くして第一の摺動部の回転を抑制した実施形態を例示している。なお、図３ｃはアーム部が板幅方向に伸延する部位を有し、隣接する電気貫通部を９０度回転させながら配列した場合を例示している。図３ｃに示したとおり、電気貫通部における摺動部の断面が長方形となり、弾性ソケットの貫通孔を十字形状にすることなく、アーム部の回転を抑制することができる。
【００７８】
あるいは、図３ｄに示した第二の可動部材３４０のように、一つの板材の一方の主面が対向する部分を有するように板材の一部を折り曲げ加工することによりスリット３２１を形成してもよい。この場合には、第二の摺動部３４１は、その主面における対向する部分からなる２つの摺動面を有する。ここで、図３ｄに例示した第二の可動部材３４０では、基板接触部３４２および第二のアーム部３４３が第二の摺動部３４１と一体に形成されるため、第二のアーム部３４３は、折り曲げられた板材の屈曲点を含まず、弾性ソケットの主面に接するべき部位を４つ備えるが、一つの板材の一部を折り曲げることにより形成されたスリットを備える可動部材の詳細構造はこれに限定されない。例えば、後に説明する本発明の第五の実施形態のように、電極接触部が第一のアーム部とは別部材からなり、第一のアーム部と第一の摺動部とが一の部材からなる場合には、第一のアーム部が板材の屈曲点を含むように折り曲げてもよい。
【００７９】
また、本発明の第三の実施形態に係る異方導電性部材３００においても、異方導電性部材が備える摺動面に突起部を設けてもよい。本発明の第三の実施形態に係る異方導電性部材３００において摺動面に突起部を設ける場合は、第一の摺動部および第二の摺動部の何れか一方に設けられたスリットにおける弾性ソケットの厚さ方向に平行な２つの内側面の開口端部近傍に突起部を設ければよい。突起部は一方の内側面に設けてもよいが、他方の摺動部の摺動面である摺動部の２つの主面とも点接触となるように、スリットの２つの内側面のそれぞれに設けることが望ましい。一例として、スリットの２つの内側面のそれぞれに突起部３５０，３５１を設けた電気貫通部の外観を図３ｅに示す。
【００８０】
続いて本発明の第四の実施形態に係る異方導電性部材の電気貫通部４１０を図４ａに示す。図４ａは本発明の第四の実施形態に係る異方導電性部材の電気貫通部４１０の外観を示した図である。
【００８１】
本発明の第四の実施形態に係る異方導電性部材は、第一の摺動部および第二の摺動部の双方が、電極接触部および基板接触部と反対側の端部に一定の長さのスリットを備える。スリットの幅は、本発明の第三の実施形態に係る異方導電性部材３００と同様に、他方の摺動部の板厚よりも若干大きく設定される。
【００８２】
さらに、第一の可動部材と第二の可動部材とは、本発明の第三の実施形態に係る異方導電性部材３００と同様に、第一の摺動部と第二の摺動部とが互いに直交するように弾性ソケットに形成された貫通孔内に配置されるとともに、第一の摺動部と第二の摺動部とが備えるそれぞれのスリットに他方の可動部材の一部が摺動しながら入り込むように配置されることにより、それぞれのスリットの２つの内側面と他方の摺動部の主面とを摺動面とする２つの摺動接触構造を備える。これらの摺動接触構造により、第一の可動部材と第二の可動部材とは、電気的な接続を維持しつつ弾性ソケットの厚さ方向に相対位置を変動させることができる。このように本発明の第四の実施形態に係る異方導電性部材は２つの摺動接触構造を備えるため、例えば外部振動などにより一方の摺動接触構造に係る摺動面が瞬間的に離れても導通を維持することが可能となる。本発明の第四の実施形態に係る異方導電性部材におけるその他の構造は本発明の第三の実施形態に係る異方導電性部材３００の構造と同じである。
【００８３】
ここで本発明の第四の実施形態に係る異方導電性部材においても、弾性ソケットの貫通孔の形状は任意であるが、本発明の第三の実施形態に係る異方導電性部材３００と同様に、弾性ソケットの貫通孔によりアーム部が回転することを抑制する場合には、貫通孔の形状を十字形状とすることが望ましい。また、アーム部も本発明の第一の実施形態に係る異方導電性部材１００のアーム部と同様に、互いに反対向きに伸延する部位を有していてもよいし、同じ向きに伸延する部位を有していてもよい。あるいは、本発明の第二の実施形態に係る異方導電性部材２００のアーム部と同様に、アーム部は板幅方向に伸延する部位を有し、隣接する電気貫通部を９０度回転させながら配列してもよい。図４ａは一例として、アーム部が互いに反対向きに伸延する部位を有している異方導電性部材の電気貫通部を例示している。
【００８４】
さらに、本発明の第四の実施形態に係る異方導電性部材においても、スリットの２つの内側面の開口端部近傍に突起部を設けてもよい。突起部は何れか一方のスリットに設けてもよいが、安定した摺動接触を得るためには双方のスリットに設けることが好ましい。一例として、双方のスリットの２つの内側面の開口端部近傍に突起部４２０，４２１，４２３，４２４を設けた電気貫通部４１０の外観を図４ｂに示す。
【００８５】
続いて、本発明の第五の実施形態に係る異方導電性部材５００を図５ａに示す。図５ａは本発明の第五の実施形態に係る異方導電性部材５００の弾性ソケットの厚さ方向の断面の一部を概念的に示す図である。
【００８６】
本発明の第五の実施形態に係る異方導電性部材５００は、第一の可動部材５１０の電極接触部が第一のアーム部とは別部材からなる。なお、第一のアーム部は、第一の摺動部と同一の部材からなる。したがって、本発明の第五の実施形態に係る第一の可動部材は、電極接触部を構成する部材（本明細書において「電極接触部材」ともいう。）５１１と、その他の部材５１２との２つの部材から構成される。この本発明の第五の実施形態に係る構成は、本発明の第一の実施形態、第二の実施形態、第三の実施形態、および第四の実施形態の何れにおいても変形例として適用可能である。図５ａは、一例として、本発明の第一の実施形態に係る異方導電性部材の第一の可動部材５１０が上記の２つの部材５１１，５１２から構成される場合について示している。
【００８７】
本発明の第五の実施形態に係る異方導電性部材５００が備える弾性ソケットの製造方法は任意であるが、弾性ソケットを金型により成形加工する場合、弾性体の成形加工時の収縮率は樹脂などよりも大きいため、樹脂と比べて高精度で成形加工することが難しい。他方、電極接触部側板状部材（剛性ソケット）５２０は高精度で加工することが可能であり、電極接触部側板状部材（剛性ソケット）５２０の貫通孔は検査対象物に付設された電極と対向するよう高精度に配列することができる。
【００８８】
本発明の第五の実施形態に係る異方導電性部材５００は、製造時の加工精度などの理由により弾性ソケットの貫通孔にピッチズレが生じている場合でも、貫通孔に配置された第一の摺動部およびそれに連結する第一のアーム部（その他の部材５１２）と電極接触部材５１１とが分離されているので、電極接触部材５１１が第一のアーム部に対して弾性ソケットの面内方向に位置をずらして配置可能であり、電極接触部材５１１の検査対象物に付設された電極に接触する端部を、電極に対向する位置に高精度で配置することができる。
【００８９】
ここで分離された電極接触部材５１１が第一のアーム部を含むその他の部材５１２と離間することを防止するため、図５ａに示したとおり、異方導電性部材は電極接触部側板状部材（剛性ソケット）５２０を備え、電極接触部材５１１には電極接触部側板状部材（剛性ソケット）５２０の貫通孔の開口の周縁部に係止する係止突起５１３を設けておくことが望ましい。具体的には、電極接触部をなす電極接触部材５１１における電極接触部側板状部材（剛性ソケット）５２０の貫通孔の弾性ソケット側の端部から突出する部分に、電極接触部側板状部材（剛性ソケット）５２０の主面内方向と平行な方向に突出する係止突起５１３を有する。この場合、第一のアーム部を含むその他の部材５１２は、係止突起５１３を介して電極側接触部板状部材（剛性ソケット）５２０における弾性ソケットに対向する側の主面の貫通孔の開口の周縁部に係止される。
【００９０】
また、本発明の第五の実施形態に係る異方導電性部材５００においては、弾性ソケットの貫通孔に配置された第一の摺動部およびそれに連結する第一のアーム部からなるその他の部材５１２と電極接触部材５１１とが分離されているので、電極接触部側板状部材（剛性ソケット）５２０の貫通孔を長方形としても第一のアーム部の回転を抑制することができない。したがって、弾性ソケットの貫通孔を長方形、あるいは十字形状とすることにより、第一のアーム部が回転することを抑制しておくことが好ましい。あるいは、この本発明の第五の実施形態に係る構成を本発明の第三の実施形態の変形例として適用する場合には、スリットを備える第二の摺動部の板厚を厚くし、スリットの平行に対向する内側面によって第一のアーム部の回転を抑制してもよい。
【００９１】
さらに、本発明の第五の実施形態に係る異方導電性部材５００においては、電極接触部材５１１は第一のアーム部と分離されているので、電極接触部材５１１は板状体ではなく円筒体であってもよい。円筒体であれば電極接触部材５１１の検査対象物に付設された電極と接触する部分をクラウンカットと呼ばれる立体加工された形状とすることも可能となる。クラウンカットは多点接触になるので、電極と接触する部分に高い信頼性が求められる場合に好適である。なお、本発明の第五の実施形態に係る異方導電性部材５００においては、第一のアーム部は弾性ソケットの貫通孔、あるいは第二の摺動部が備えるスリットの内側面により回転することが抑制されているので、円筒体の電極接触部材５１１が電極接触部側板状部材（剛性ソケット）５２０の貫通孔において自由に回転しても何ら問題はない。
【００９２】
また、図１ｈに示した本発明の第一の実施形態の他の変形例に係る異方導電性部材、すなわちアーム部１３５が同じ向きに伸延する部位を有し、アーム部１３５が弾性ソケットを圧縮した時に摺動面が近接する方向に摺動部が傾斜するように可動部材を弾性ソケットの貫通孔に配置した異方導電性部材において、第一の摺動部およびそれに連結する第一のアーム部１３５と電極接触部材５１１とを分離し、電極接触部材５１１を円筒体とする場合には、第一のアーム部１３５の中心部、すなわち折り曲げ部以外の電極接触部材５１１側の端部の一部に突出部５１４を設け、第一のアーム部１３５の折り曲げ部と電極接触部材５１１のアーム部側の端面に隙間を設けてもよい。このように第一のアーム部１３５の折り曲げ部と電極接触部材５１１の第一のアーム部側の端面に隙間を設けておけば、電極接触部材５１１が外力、すなわち異方導電性部材の使用時に検査対象に付設された電極と接触することにより何れの方向に傾斜しても、第一のアーム部１３５は弾性ソケットの弾性復元力により所定の方向に傾斜しようとすることが阻害されず、第一の摺動部の摺動面は第二の摺動部の摺動面と近接する方向に傾斜するので、異方導電性部材の使用時において摺動面がかい離する危険性を低減させることができる。図５ｂに第一のアーム部の中心部に突出部５１４を設けた本発明の第五の実施形態の変形例に係る異方導電性部材５０１を例示する。なお、突出部５１４は電極接触部材５１１の第一のアーム部１３５側端面の中心付近に設けてもよい。
【００９３】
ここで、本発明の第五の実施形態に係る異方導電性部材５００では、電極接触部材５１１が第一の可動部材を構成する他の部材５１２と分離されているので、その組立方法としては、第一の摺動部を構成する他の部材５１２と第二の摺動部とを弾性ソケットの貫通孔に挿入し、それとは別に電極接触部材５１１を電極接触部側板状部材（剛性ソケット）の貫通孔に挿入し、組立中に電極接触部材５１１が電極接触部側板状部材（剛性ソケット）の貫通孔から脱落することがないように、電極接触部５１１を鉛直方向下向きに向けた状態で、第一の摺動部と第二の摺動部とが挿入された弾性ソケットを電極接触部側板状部材（剛性ソケット）に組み合わせることが想定される。
【００９４】
続いて、本発明の第六の実施形態に係る異方導電性部材６００を図６ａ、６ｂおよび６ｃに示す。図６ａ、６ｂおよび６ｃは、本発明の第六の実施形態に係る異方導電性部材６００の弾性ソケットの厚さ方向の断面の一部を概念的に示す図である。図６ａと図６ｂはそれぞれ直交する異なる方向の断面を示し、図６ｃは異方導電性部材６００の使用時、すなわち検査対象であるＩＣを検査している状態の異方導電性部材６００の断面を示している。
【００９５】
本発明の第六の実施形態に係る異方導電性部材６００が備える電気貫通部は、一方の可動部材６２０にスリットを備え、第一の可動部材６１０と第二の可動部材６２０とが互いに直交するように配置される点においては、本発明の第三の実施形態に係る異方導電性部材３００に類似している。本発明の第六の実施形態に係る異方導電性部材６００では、第一の可動部材６１０が備える第一の摺動部６１１は、第一のアーム部６１２および電極接触部６１３に統合されている。すなわち、第一の可動部材６１０の第一の摺動部６１１は、その摺動面６１１Ａが第一のアーム部６１２および電極接触部６１３を構成する板材の主面により構成されている。本発明の第六の実施形態に係る異方導電性部材６００が備える第一の可動部材は、本発明の第一の実施形態から第五の実施形態に係る異方導電性部材１００〜５００が備える第一の可動部材とはその構成が異なるため、以下に詳しく説明する。
【００９６】
先ず、本発明の第六の実施形態に係る異方導電性部材６００の構造の目的を説明する。前述のとおり、第一の摺動部と第二の摺動部とを互いに直交するように弾性ソケットの貫通孔に配置した本発明の第三の実施形態および第四の実施形態に係る異方導電性部材３００および４００においては、弾性ソケットの貫通孔は十字形状にすることが望ましい。しかしながら、そのような弾性ソケットを金型で製造するには金型を十字形状に加工する必要があり、微細ピッチに加工するためには高精度な加工機が求められ、金型製作費が高くなる。
【００９７】
そこで本発明の第六の実施形態に係る異方導電性部材６００は、第一の摺動部６１１と第二の摺動部６２１とが互いに直交するように配置される電気貫通部において、第一の摺動部６１１を弾性ソケットの貫通孔から露出させることにより、弾性ソケットの貫通孔には第二の摺動部６２１のみを配置し、弾性ソケットの貫通孔を長方形とすることを可能としたものである。
【００９８】
図６ａ、６ｂおよび６ｃを用いて、本発明の第六の実施形態に係る異方導電性部材６００を詳しく説明する。ここで本発明の第六の実施形態に係る異方導電性部材６００においても、スリットは第一の可動部材６１０、第二の可動部材６２０の何れに設けてもよいが、図６ａ、６ｂおよび６ｃに示される異方導電性部材では、第二の可動部材６２０にスリットを設けた場合を例示している。
【００９９】
図６ａ、６ｂおよび６ｃに示したとおり、本発明の第六の実施形態に係る異方導電性部材６００においても、第二の可動部材６２０は第二の摺動部６２１を備え、基板接触部の第二の摺動部６２１側の端部には第二のアーム部が設けられている。また、第二の摺動部６２１の端部には一定の長さのスリットを備える。ここでスリットの幅は、電極接触部６１３および第一のアーム部６１２を構成する板材の厚さよりも若干大きく設定される。他方、第一の可動部材６１０は、前述のとおり、電極接触部６１３と、その一方の端部に設けられた第一のアーム部６１２とを備え、第一の摺動部６１１は、電極接触部６１３および第一のアーム部６１２に統合されている。
【０１００】
さらに、第一の可動部材６１０と第二の可動部材６２０とは、第一の可動部材６１０の電極接触部６１３と第二の可動部材６２０の第二の摺動部６２１とが互いに直交するように、電極接触部６１３は電極接触部側板状部材（剛性ソケット）に形成された貫通孔内に、第二の摺動部６２１は弾性ソケットに形成された貫通孔内に配置され、第二の摺動部６２１に設けられたスリットの２つの内側面６２１Ａ，６２１Ｂと、その一部を電極接触部６１３の主面とする摺動面とによって摺動接触構造を備える。かかる摺動接触構造により、第一の可動部材６１０と第二の可動部材６２０とは、電気的な接続を維持しつつ弾性ソケットの厚さ方向に相対位置を変動させることが可能である。
【０１０１】
ここで電極接触部６１３を備える第一の可動部材６１０は、本発明の第五の実施形態に係る異方導電性部材５００の第一の可動部材５１０と同様に弾性ソケットから分離されているので、その組立方法も本発明の第五の実施形態に係る異方導電性部材５００と同様に、第二の摺動部６２０を弾性ソケットの貫通孔に挿入し、それとは別に電極接触部６１３を電極接触部側板状部材（剛性ソケット）の貫通孔に挿入し、第二の摺動部６２１が挿入された弾性ソケットを電極接触部側板状部材（剛性ソケット）に組み合わせることが想定される。この際、組み合わせが容易となるように、図６ｂに示した第二の摺動部６２１が備えるスリットの開口にはテーパー部が設けられているが、このテーパー部はなくてもよい。
【０１０２】
また、電極接触部６１３を備える第一の可動部材６１０が弾性ソケットから分離されていることから、弾性ソケットの貫通孔を長方形としても第一のアーム部６１２が回転することは抑制されないので、電極接触部側板状部材（剛性ソケット）の貫通孔を長方形としておくことが好ましい。あるいは、スリットを備える第二の摺動部６２１の板厚を厚くし、スリットの平行に対向する内側面によって第一のアーム部６１２の回転を抑制してもよい。
【０１０３】
ここで、本発明の第六の実施形態に係る異方導電性部材６００においても、第一のアーム部６１２の形状と第二のアーム部の形状とは任意に選定可能である。また、本発明の第三の実施形態に係る異方導電性部材３００と同様に、第二の摺動部６２１が備えるスリットの２つの内側面６２１Ａ，６２１Ｂからなる摺動面に突起部が設けられていてもよい。
【０１０４】
続いて、本発明の第六の実施形態の変形例の１つである第一の可動部材にスリットを設けた場合を、図６ｄを用いて説明する。図６ｄは、本発明の第六の実施形態の変形例の１つに係る異方導電性部材６０１の弾性ソケットの厚さ方向の断面の一部を概念的に示す図である。
【０１０５】
本発明の第六の実施形態に係る異方導電性部材６００においても、第一のアーム部６１２の形状と第二のアーム部の形状とは任意に選定可能であるが、電極接触部にスリットを設ける場合は、電極接触部に第一のアーム部の曲げ加工を可能とするための切り込み部（図６ａに示した電極接触部６１３において第一のアーム部６１２の上に設けられた切り込み６１４）があると、その部分の板幅が狭くなるため、スリットを設けるには板幅が不足する場合がある。そのような場合は、本発明の第二の実施形態に係る異方導電性部材２００と同様に、アーム部は板幅方向に伸延する部位を有し、隣接する電気貫通部を９０度回転させながら配列すればよい。さらに、隣接する電気貫通部を９０度回転させながら配列すれば、電極接触部６１３も９０度回転しながら配列されるので、電極接触部６１３の板幅方向を大きくすることも可能であり、電極接触部６１３にスリットを設けることがより容易となる。図６ｄは第一のアーム部が板幅方向に伸延する部位を有し、電極接触部６１３を９０度回転させながら配列した場合の異方導電性部材６０１を例示している。
【０１０６】
このように第一の可動部材６１０にもスリットを設けることは可能であるので、図６ｄに示したとおり、第一の可動部材６１０に設けられたスリットの２つの内側面６１１Ｂ，６１１Ｃを一方の摺動面とする摺動接触構造によって、第一の可動部材６１０と第二の可動部材６２０とは、電気的な接続を維持しつつ弾性ソケットの厚さ方向に相対位置を変動させることが可能である。なお、図６ｄに示した第一の可動部材６１０が備えるスリットの開口にもテーパー部を設けている。また、第一の可動部材６１０が備えるスリットの摺動面に突起部を設けてもよい。
【０１０７】
続いて、本発明の第七の実施形態に係る異方導電性部材７００を図７に示す。図７は、本発明の第七の実施形態に係る異方導電性部材７００の弾性ソケットの厚さ方向の断面の一部を概念的に示す図である。
【０１０８】
本発明の第七の実施形態に係る異方導電性部材７００では、第一の可動部材は本発明の第六の実施形態に係る異方導電性部材６００のアーム部と同様に電極接触部とその一方の端部に設けられた第一のアーム部とを備え、第一の摺動部は電極接触部および第一のアーム部に統合される。本発明の第七の実施形態に係る異方導電性部材７００は、第一の可動部材を構成する板材にスリットを備え、第二の可動部材は第二の摺動部を構成する板材にスリットを備え、第一の可動部材と第二の可動部材とは、本発明の第六の実施形態に係る異方導電性部材６００と同様に、第一の可動部材と第二の摺動部が互いに直交するように、電極接触部は電極接触部側板状部材（剛性ソケット）に形成された貫通孔内に、第二の摺動部の一部は弾性ソケットに形成された貫通孔内に配置されるとともに、第一の可動部材を構成する板材と第二の摺動部を構成する板材とが備えるそれぞれのスリットに他方の可動部材の一部が摺動しながら入り込むように配置されることにより、それぞれのスリットの２つの内側面と他方の板材の主面とを摺動面とする２つの摺動接触構造を備える。
【０１０９】
これらの摺動接触構造により、第一の可動部材と第二の可動部材とは、電気的な接続を維持しつつ弾性ソケットの厚さ方向に相対位置を変動させることが可能である。本発明の第七の実施形態に係る異方導電性部材７００は、本発明の第四の実施形態に係る異方導電性部材４００と同様に、２つの摺動接触構造を備えるため、例えば外部振動などにより一方の摺動接触構造の摺動面が瞬間的に離れても導通を維持することが可能となる。本発明の第七の実施形態に係る異方導電性部材７００においても、第一のアーム部の形状および第二のアーム部の形状は任意に選定可能である。図７は、第一の可動部材にスリットを設け易い構造として、第一のアーム部が板幅方向に伸延する部位を有し、電極接触部を９０度回転させながら配列した場合の異方導電性部材を例示している。また、本発明の第四の実施形態に係る異方導電性部材４００と同様に、第一の可動部材が備えるスリットの摺動面、および第二の摺動部が備えるスリットの摺動面に突起部を設けてもよい。本発明の第六の実施形態に係る異方導電性部材６００と同様に、図７に例示したスリットの開口にはテーパー部が設けられている。
【０１１０】
ここで、第七の実施形態に係る異方導電性部材７００においては、図７に示したとおり、第二の摺動部はその一部が弾性ソケットの貫通孔内に配置され、第二の摺動部のスリットが設けられた部位は弾性ソケットの電極接触部側主面から突出し、さらに、その一部は電極接触部側板状部材（剛性ソケット）の貫通孔に内包される。したがって、本発明の第七の実施形態に係る異方導電性部材７００においては、弾性ソケットの貫通穴は長方形とすることができる。一方、電極接触部側板状部材（剛性ソケット）の貫通孔は十字形状とするか、第二の摺動部の一部を内包するための座繰り部を備えることが好ましい。
【０１１１】
続いて、本発明の第八の実施形態に係る異方導電性部材８００を図８ａおよび８ｂに示す。図８ａは、本発明の第八の実施形態に係る異方導電性部材８００の弾性ソケットの厚さ方向の断面の一部を概念的に示す図であり、図８ｂはその電気貫通部の外観と断面の一部を示した図である。
【０１１２】
図８ａおよび８ｂに示したとおり、本発明の第八の実施形態に係る異方導電性部材８００においても、第一の可動部材８１０は弾性ソケットの貫通孔から露出し、第一の可動部材８１０は、電極接触部８１１と、その一方の端部に設けられた第一のアーム部８１２とを備え、第一の摺動部８１３は、電極接触部８１１および第一のアーム部８１２に統合されている。したがって、弾性ソケットの貫通孔には第二の摺動部８２１のみが配置されている。
【０１１３】
ここで第一の摺動部８１３および第二の摺動部８２１は、本発明の第一の実施形態に係る異方導電性部材と同様に、第一の摺動部８１３の一方の主面８１３Ａと第二の摺動部８２１の一方の主面８２１Ａとが対向するように配置されている。このように第一の摺動部８１３および第二の摺動部８２１が配置される場合には、異方導電性部材が電極接触部側板状部材（剛性ソケット）を備え、その貫通孔内に電極接触部８１１を配置しても、電極接触部８１１は貫通孔内において若干傾斜可能であり、第一の摺動部８１３と第二の摺動部８２１がかい離することを防ぐことは困難である。
【０１１４】
そこで本発明の第八の実施形態に係る異方導電性部材８００においては、第二の摺動部８２１にガイド部８２２を設け、第一の摺動部８１３の一部がガイド部８２２に内包されるように、第一の摺動部８１３および第二の摺動部８２１を配置している。かかる構成によって、電極接触部８１１が傾斜した場合であっても、第一の摺動部８１３と第二の摺動部８２１とがかい離することは防止される。
【０１１５】
図８ｂに示したとおり、ガイド部８２２は、第二の摺動部８２１を構成する板材が、他の部分よりも板幅方向に延設された状態で用意され、その延設された部分を曲げ加工することにより形成される。具体的には、ガイド部８２２を含む第二の摺動部８２１の断面は、図８ｂ（ｃ）に示されるように、おおよそ箱形状（Ｃ字型）を有する。ガイド部８２２の内側面８２２Ａ，８２２Ｂ，８２２Ｃ，８２２Ｄも第二の摺動部８２１の一部となるため、電極接触部８１１が傾斜しても、第一の摺動部８１３と第二の摺動部８２１の摺動接触構造は維持される。
【０１１６】
さらに、第二の摺動部８２１に設けられたガイド部８２２によって、第一のアーム部８１２は第二の摺動部８２１に対して回転することが抑制されるとともに、第一のアーム部８１２はその電極接触部８１１側の端部が第二の摺動部８２１に設けられたガイド部８２２の基板接触部側の端部と対向するように配置されているので、第一のアーム部８１２がガイド部８２２に係止され、ガイド部８２２によって第一の可動部材８１０が弾性ソケットから脱離することが防がれている。そのため、本発明の第八の実施形態に係る異方導電性部材８００においては、電極接触部側板状部材（剛性ソケット）を備えなくてもよい。図８ａは電極接触部側板状部材（剛性ソケット）を備えない場合を例示している。
【０１１７】
ここで第二の摺動部８２１にガイド部８２２が設けられた第二の可動部材８２０と、第一のアーム部８１２がガイド部８２２に係止される第一の可動部材８１０を弾性ソケットと組み立てるには、先に第一の可動部材８１０を電極接触部８１１側からガイド部８２２に挿入し、その後に第二の摺動部８２１を基板接触部側から弾性ソケットの貫通孔に挿入することが想定される。したがって、第二の可動部材８２０が第二のアーム部を備えていると第二の摺動部８２１を弾性ソケットの貫通孔内に配置することが困難になるので、第二の可動部材８２０は第二のアーム部を備えていないことが好ましい。具体的には、後述する本発明の第九の実施形態に係る異方導電性部材９００のように、基板接触部が検査用基板のスルーホールにはんだ付けされた構造であればよい。
【０１１８】
また、第一のアーム部８１２の形状は他の実施形態と同様に任意に選択可能であるが、微細ピッチにおいてはガイド部８２２の大きさもかなり小さくなり、正確に曲げ加工することが難しく、ガイド部８２２の箱形状は若干変形することが想定され、第一の可動部材８１０はガイド部８２２内においてある程度回転する可能性がある。そのため、第一のアーム部８１２がある程度回転しても隣接するアーム部同士が接触することがないよう、第一のアーム部８１２は、本発明の第二の実施形態に係る異方導電性部材２００と同様に、アーム部は板幅方向に伸延する部位を有し、隣接する電気貫通部を９０度回転させながら配列しておくことが望ましい。図８ａおよび８ｂは、第一のアーム部８１２が板幅方向に伸延する部位を有し、電極接触部８１１を９０度回転させながら配列し、第二の可動部材８２０が第二のアーム部を備えず、基板接触部を検査用基板に設けられたスルーホールにはんだ付けした場合の異方導電性部材を例示している。
【０１１９】
続いて、本発明の第九の実施形態から第十一の実施形態に係る異方導電性部材９００〜１１００を説明する。これらの実施形態は、本発明の第一の実施形態から第八の実施形態のすべてに変形例として適用可能であり、以下の説明においては、一例として、本発明の第一の実施形態に係る異方導電性部材に適用した場合を説明する。
【０１２０】
先ず、本発明の第九の実施形態に係る異方導電性部材９００を図９に示す。図９は本発明の第九の実施形態に係る異方導電性部材９００の弾性ソケットの厚さ方向の断面の一部を概念的に示す図である。
【０１２１】
本発明の第九の実施形態に係る異方導電性部材９００は、検査用基板にスルーホールがあり、基板接触部がスルーホールにはんだ付けされている。
【０１２２】
本発明の第九の実施形態に係る異方導電性部材９００が使用されるＩＣの検査には、ＩＣの機能を検査するファンクションテストの他、ＩＣを一定の高温下で連続動作させることにより、ＩＣの初期不良を選別するバーインテストがある。バーインテストは検査時間が長いため、多数の異方導電性部材を使用して一回の検査で多数のＩＣを選別するのが一般的である。多数の異方導電性部材を一枚の検査用基板に取り付けるためには、異方導電性部材がはんだ付け可能であることが望ましい。本発明の第九の実施形態に係る異方導電性部材９００は、このようなバーインテストに対応するために、基板接触部を検査用基板のスルーホールにはんだ付け可能としたものである。なお、ファンクションテストは検査時間が短く、異方導電性部材が短期間に多数回使用されるため、異方導電性部材が劣化した時に容易に交換可能であることが望ましい。本発明の第一の実施形態から第七の実施形態に係る異方導電性部材１００〜７００は基板接触部がはんだ付けされていないので、容易に交換可能である。
【０１２３】
ここで基板接触部がスルーホールにはんだ付けされた本発明の第九の実施形態に係る異方導電性部材９００においては、基板接触部をスルーホールに挿入し易いように、基板接触部の整列のために弾性ソケットの基板接触部側主面にその主面の一方が対向し、基板接触部に対向する位置に貫通孔を備える、剛体からなる基板接触部側板状部材９１０を備えてもよい。図９は、一例として、基板接触部側板状部材９１０を備えている場合を例示している。また、基板接触部は弾性ソケットの弾性復元力により検査用基板の電極に押圧される必要はないので、第二のアーム部はなくてもよい。その場合、異方導電性部材の使用時において弾性ソケットを圧縮する部位は第一のアーム部および基板接触部側板状部材９１０、または第一のアーム部であって、後者の場合には第一のアーム部と検査用基板との間に押圧力が加えられることとなる。
【０１２４】
続いて、本発明の第十の実施形態に係る異方導電性部材を図１０ａに示す。図１０ａは本発明の第十の実施形態に係る異方導電性部材の弾性ソケットの厚さ方向の断面の一部を概念的に示す図である。
【０１２５】
図１０ａに示したとおり、本発明の第十の実施形態に係る異方導電性部材は、弾性ソケットに形成された貫通孔の内部に段差部を備えるとともに、その貫通孔に配置される第二の摺動部の一部にも段差部を備え、二つの段差部が互いに係止するように配置される。弾性ソケットは弾性体からなるため、弾性ソケットの貫通孔の内側面は、第二の摺動部との接触により一時的に変形可能である。このため、第二の摺動部は貫通孔の内側面を変形させながら貫通孔を貫通して段差部を超え貫通孔内に配置される。このような段差部を備える異方導電性部材は、段差部を備える第二の摺動部が貫通孔の段差部と係止するため、弾性ソケットから脱落しにくい。それゆえ、異方導電性部材の組立時に段差部を備える可動部材が弾性ソケットから脱落しにくく、異方導電性部材の組立が容易となる。
【０１２６】
図１０ａに示される異方導電性部材では、弾性ソケットの貫通孔における、第二の可動部材が挿入される側の開口近傍に段差部が設けられている。第一の可動部材の脱落も防止するのであれば、段差部は、第一の摺動部および第一の可動部材が挿入される側の貫通孔の開口近傍に設けられていてもよい。ここで弾性ソケットの製造上の制約から、弾性ソケットの貫通孔に段差部を設けることが困難な場合は、弾性ソケットを主面内方向に２分割し、それぞれに孔径の異なる貫通孔を形成し、２つの弾性ソケットを重ね合わせることにより、貫通孔の連結部を段差部として利用してもよい。
【０１２７】
さらに、本発明の本発明の第六の実施形態に係る異方導電性部材６００、第七の実施形態に係る異方導電性部材７００および第八の実施形態に係る異方導電性部材８００においては、第二の摺動部の一部が貫通孔から突出しているので、弾性ソケットの貫通孔には段差部を設けず、弾性ソケットの貫通孔から突出している第二の摺動部の一部に段差部を設け、段差部を備える第二の摺動部が弾性ソケットの貫通孔の開口の周縁部と係止するようにしてもよい。図１０ｂに、本発明の第六の実施形態に係る異方導電性部材６００において、このような段差部を設けた場合を例示する。
【０１２８】
続いて、本発明の第十一の実施形態に係る異方導電性部材を図１１に示す。図１１は本発明の第十一の実施形態に係る異方導電性部材の弾性ソケットの厚さ方向の断面の一部を概念的に示す図である。
【０１２９】
図１１に示したとおり、本発明の第十一の実施形態に係る異方導電性部材は、電極接触部側板状部材（剛性ソケット）の貫通孔にテーパー部を備える。第一の可動部材が備える電極接触部が板状部材からなる場合には、特に電極接触部の板幅方向には一定の幅があるため、電極接触部が傾斜した時に電極接触部側板状部材（剛性ソケット）の貫通孔と電極接触部が摺動不良を起こす危険性がある。その対策として、電極接触部側板状部材（剛性ソケット）の貫通孔に図１１に示したようなテーパー部を設けてもよい。電極接触部側板状部材（剛性ソケット）は剛性を確保するためある程度の厚みが必要なので、テーパー部を設けることにより、電極接触部が傾斜した時に電極接触部側板状部材（剛性ソケット）の貫通孔と接する面積を小さくすることができる。
【０１３０】
ここで、電極接触部側板状部材（剛性ソケット）は弾性ソケットに固定されていてもよいし、第一の可動部材と連動して第一の可動部材の可動方向に可動としてもよい。第一の可動部材と連動することにより、電極接触部と電極接触部側板状部材（剛性ソケット）の貫通孔が摺動する範囲が小さくなるので、摺動不良を起こす危険性を低減することができる。
【０１３１】
なお、本発明の第九の実施形態から第十一の実施形態に係る構成は、単独で用いられてもよいし、これらの実施形態に係る構成の複数が同時に用いられてもよい。
【０１３２】
以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって、本発明を限定するために記載されたものではない。したがって、上記の実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。
【符号の説明】
【０１３３】
１００…異方導電性部材
１１０…弾性ソケット
１２０…電気貫通部
１３０…第一の可動部材
１４０…第二の可動部材
１５０…電極接触部側板状部材（剛性ソケット）
【図１ａ】
2014235779.tif 000003
【図１ｂ】
2014235779.tif 000004
【図１ｃ】
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【図１ｄ】
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【図１ｅ】
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【図１ｆ】
2014235779.tif 000008
【図１ｇ】
2014235779.tif 000009
【図１ｈ】
2014235779.tif 000010
【図１ｉ】
2014235779.tif 000011
【図１ｊ】
2014235779.tif 000012
【図２ａ】
2014235779.tif 000013
【図２ｂ】
2014235779.tif 000014
【図３ａ】
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【図３ｂ】
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【図３ｃ】
2014235779.tif 000017
【図３ｄ】
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【図３ｅ】
2014235779.tif 000019
【図４ａ】
2014235779.tif 000020
【図４ｂ】
2014235779.tif 000021
【図５ａ】
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【図５ｂ】
2014235779.tif 000023
【図６ａ】
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【図６ｂ】
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【図６ｃ】
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【図６ｄ】
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【図７】
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【図８ａ】
2014235779.tif 000029
【図８ｂ】
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【図９】
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【図１０ａ】
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【図１０ｂ】
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【図１１】
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【図１２】
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