(57)【要約】【課題】磁区細分化処理の直後に鋼板の磁区構造を可視化検査することにより歩留まりの改善をすること。【解決手段】本発明にかかる鋼板検査装置１は、検査対象である鋼板の磁区構造を光学特性として検出可能な光学特性へ変換する磁気光学素子５と、磁気光学素子５に直線偏光を照射する光源７と、磁気光学素子５に転写された鋼板の磁区構造に応じて偏光面が回転された直線偏光を検出する検出器１２と、鋼板と磁気光学素子５とを接触離脱するように少なくとも磁気光学素子５を駆動する駆動機構とを備えることを特徴とする。【選択図】図２
2014070972.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象である鋼板の磁区構造を光学特性として検出可能な磁気光学素子と、
前記磁気光学素子に直線偏光を照射する光源と、
前記磁気光学素子に転写された前記鋼板の磁区構造に応じて偏光面が回転された前記直線偏光を検出する検出器と、
前記鋼板と前記磁気光学素子とを接触離脱するように少なくとも前記磁気光学素子を駆動する駆動機構と、
を備えることを特徴とする鋼板検査装置。
【請求項２】
前記磁気光学素子は、前記鋼板に面する方向から順に、保護膜、反射膜、磁気光学膜、および基板により構成され、
前記直線偏光は、前記基板側から入射され、前記反射膜にて反射される、
ことを特徴とする請求項１に記載の鋼板検査装置。
【請求項３】
前記磁気光学膜は、磁性ガーネットを組成に含むことを特徴とする請求項２に記載の鋼板検査装置。
【請求項４】
さらに偏光子、ハーフミラー、および検光子を備え、
前記光源から射出された光線は、前記偏光子、前記ハーフミラー、前記磁気光学素子、前記ハーフミラー、前記検光子、および前記検出器の順に伝播されることを特徴とする請求項１〜３の何れか１項に記載の鋼板検査装置。
【請求項５】
前記駆動機構は、前記光源、前記偏光子、前記ハーフミラー、前記磁気光学素子、前記検光子、および前記検出器を収容する検査ユニットを駆動することにより、前記鋼板と前記磁気光学素子とを接触離脱することを特徴とする請求項１〜４の何れか１項に記載の鋼板検査装置。
【請求項６】
前記磁気光学素子は、弾性体を介して前記検査ユニットに固定されていることを特徴とする請求項５に記載の鋼板検査装置。
【請求項７】
検査対象である鋼板の磁区構造を光学特性として検出可能な磁気光学素子を前記鋼板に接触させる接触ステップと、
前記磁気光学素子に直線偏光を照射する照射ステップと、
前記磁気光学素子にて反射する直線偏光の偏光面の回転を検出する検出ステップと、
前記偏光面の回転から前記鋼板の磁区構造を測定する測定ステップと、
前記磁気光学素子を前記鋼板から離脱させる離脱ステップと、
を含むことを特徴とする鋼板検査方法。
【請求項８】
前記磁気光学素子は、前記鋼板に面する方向から順に、保護膜、反射膜、磁気光学膜、および基板により構成され、
前記直線偏光は、前記基板側から入射され、前記反射膜にて反射される、
ことを特徴とする請求項７に記載の鋼板検査方法。
【請求項９】
前記磁気光学膜は、磁性ガーネットを組成に含むことを特徴とする請求項８に記載の鋼板検査方法。
【請求項１０】
鋼板の表面に電子ビームまたはレーザを照射する磁区細分化ステップと、
前記電子ビームまたはレーザを照射した鋼板の領域に、鋼板の磁区構造を光学特性として検出可能な磁気光学素子を接触させる接触ステップと、
前記磁気光学素子に直線偏光を照射する照射ステップと、
前記磁気光学素子にて反射する直線偏光の偏光面の回転を検出する検出ステップと、
前記電子ビームまたはレーザを照射したことにより形成された磁区不連続部を抽出する抽出ステップと、
前記磁区不連続部の平均幅を評価する幅評価ステップと、
前記幅評価ステップによる評価に基づいて前記電子ビームまたはレーザの出力を増加減する出力調整ステップと、
を含むことを特徴とする鋼板製造方法。
【請求項１１】
前記出力調整ステップの後に、前記電子ビームまたはレーザの出力を増加減前の条件で製造された前記鋼板の出荷を回避する出荷回避ステップ
をさらに含むことを特徴とする請求項１０に記載の鋼板製造方法。
【請求項１２】
前記磁気光学素子は、前記鋼板に面する方向から順に、保護膜、反射膜、磁気光学膜、および基板により構成され、
前記直線偏光は、前記基板側から入射され、前記反射膜にて反射される、
ことを特徴とする請求項１０または請求項１１に記載の鋼板製造方法。
【請求項１３】
前記磁気光学膜は、磁性ガーネットを組成に含むことを特徴とする請求項１２に記載の鋼板製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、鋼板検査装置、鋼板検査方法、および鋼板製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
電磁鋼板は、透磁率が高くて鉄損が少ないという磁気特性に優れた鋼板である。例えば、方向性電磁鋼板は、変圧器のコアに多く用いられている。変圧器のコアに巻かれた電線に流れる交流電流は、コアの内部に交流磁場を発生させ、一般に鋼板内に交流磁場が印加された場合には、渦電流損とヒステリシス損とが生じる。電磁鋼板は、これら渦電流損およびヒステリシス損を低減することが要請されている。
【０００３】
鋼板内に交流磁場が印加された際の渦電流損の発生は不可避であり、周波数が高いほど渦電流損は大きくなる。この渦電流損に影響を与える因子の一つとして鋼板の磁区の幅があり、この幅が狭いほど、渦電流損を低減することができる。このように鋼板の磁気特性と磁区の形状とは、非常に深い結びつきがあることが知られている。
【０００４】
そこで、方向性電磁鋼板の製造工程では、渦電流損を低減するために、磁区を細分化する手法（磁区細分化処理）が施されている。方向性電磁鋼板の磁区は圧延方向に延びており、この磁区を横切る方向に歪みを入れたり、溝を形成したりすることにより、磁区を細分化することができる。歪みを入れる方法としては、レーザや電子ビームなどを磁区を横切る方向に照射して、熱歪みを与える方法が知られている。この磁区細分化処理が適切に施されているか否か検査するために、磁区の形状などの磁区構造を観察する技術が知られている（特許文献１および２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００７−１０１５１９号公報
【特許文献２】特開２００２−２５７７１８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、従来の検査技術では、磁区細分化処理が施された鋼板の磁区構造を磁区細分化処理直後に直ちに検出することができず、別途鋼板をサンプリングしてオフラインで検査する必要があった。例えば、特許文献１に記載の検査技術では、磁性粉が溶液中を移動して磁区構造を反映した像を形成するのに時間が必要である。このため、磁区細分化処理にて不具合が発生した場合でも、不良品を製造し続けることによる歩留まりの低下が発生してしまう。また、特許文献２に記載の検査技術は、磁気光学効果を利用するものであるが、光ビームスポットを形成して、この光ビームスポットを１次元または２次元走査して磁区の検査を行うので、製造ライン上での検査としては長時間の検査時間が必要となってしまう。
【０００７】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、その目的は、磁区細分化処理の直後に鋼板の磁区構造を可視化検査することにより歩留まりの改善ができる鋼板検査装置、鋼板検査方法および鋼板製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明にかかる鋼板検査装置は、検査対象である鋼板の磁区構造を光学特性として検出可能な磁気光学素子と、前記磁気光学素子に直線偏光を照射する光源と、前記磁気光学素子に転写された前記鋼板の磁区構造に応じて偏光面が回転された前記直線偏光を検出する検出器と、前記鋼板と前記磁気光学素子とを接触離脱するように少なくとも前記磁気光学素子を駆動する駆動機構とを備えることを特徴とする。
【０００９】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明にかかる鋼板検査方法は、検査対象である鋼板の磁区構造を光学特性として検出可能な磁気光学素子を前記鋼板に接触させる接触ステップと、前記磁気光学素子に直線偏光を照射する照射ステップと、前記磁気光学素子にて反射する直線偏光の偏光面の回転を検出する検出ステップと、前記偏光面の回転から前記鋼板の磁区構造を測定する測定ステップと、前記磁気光学素子を前記鋼板から離脱させる離脱ステップとを含むことを特徴とする。
【００１０】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明にかかる鋼板製造方法は、鋼板の表面に電子ビームまたはレーザを照射する磁区細分化ステップと、前記電子ビームまたはレーザを照射した鋼板の領域に、磁区構造を光学特性として検出可能な磁気光学素子を接触させる接触ステップと、前記磁気光学素子に直線偏光を照射する照射ステップと、前記磁気光学素子にて反射する直線偏光の偏光面の回転を検出する検出ステップと、前記電子ビームまたはレーザを照射したことにより形成された磁区不連続部を抽出する抽出ステップと、前記磁区不連続部の平均幅を評価する幅評価ステップと、前記幅評価ステップによる評価に基づいて前記電子ビームまたはレーザの出力を増加減する出力調整ステップとを含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明にかかる鋼板検査装置、鋼板検査方法および鋼板製造方法は、磁区細分化処理の直後に鋼板の磁区構造を可視化検査することにより歩留まりの改善ができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】図１は、本発明の実施形態にかかる鋼板検査装置の配置を示す製造ライン構成図である。
【図２】図２は、鋼板検査装置の検査ユニットの内部構成例を示す模式図である。
【図３】図３は、磁気光学素子の構成例を示す断面図である。
【図４】図４は、鋼板検査装置の駆動機構の側面図である。
【図５】図５は、鋼板検査装置の駆動機構の上面図である。
【図６】図６は、本発明の実施形態にかかる鋼板検査装置の駆動方式の変形例を説明する概略構成図である。
【図７】図７は、本発明の実施形態にかかる鋼板検査方法を示すフローチャートである。
【図８】図８は、本発明の実施形態にかかる鋼板検査装置および鋼板検査方法による方向性電磁鋼板の検査画像の例を示す画像である。
【図９】図９は、本発明の実施形態にかかる鋼板検査装置を組み入れた製造ラインを示す構成図である。
【図１０】図１０は、本発明の実施形態にかかる鋼板製造方法を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下に、本発明の実施形態にかかる鋼板検査装置、鋼板検査方法および鋼板製造方法を図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下に説明する実施形態により本発明が限定されるものではない。
【００１４】
〔鋼板検査装置〕
図１は、本発明の実施形態にかかる鋼板検査装置１の配置を示す製造ライン構成図である。図１に示されるように、本発明の実施形態にかかる鋼板検査装置１は、鋼板Ｓの磁区細分化処理を行う磁区細分化装置２の後段に配置される。磁区細分化装置２は、内部に電子銃３を備え、電子銃３から鋼板Ｓに電子ビームを照射することにより、鋼板Ｓの磁区を横切る方向に熱歪みを与える装置である。
【００１５】
鋼板検査装置１は、製造ラインの一時停止時に、検査ユニット４を駆動することにより、鋼板Ｓに接触して鋼板Ｓの磁区構造を検査する装置である。以下、図２から図５を参照しながら、鋼板検査装置１の構成例を説明する。
【００１６】
図２は、鋼板検査装置１の検査ユニット４の内部構成例を示す模式図である。図２に示されるように、検査ユニット４は、鋼板Ｓの磁区構造を光学特性へ変換する磁気光学素子５と、磁気光学素子５を弾性体を介して検査ユニット４に固定するホルダ６と、磁気光学素子５に直線偏光を照射して磁気光学素子５から反射される反射偏光を検出する落射光学系を備える。すなわち、検査ユニット４は、落射光学系として、光源７と、コリメータレンズ８と、偏光子（偏光フィルター）９と、ハーフミラー１０と、検光子（偏光フィルター）１１と、検出器１２と、を備える。
【００１７】
磁気光学素子５は、ファラデー効果と呼ばれる磁気光学効果により鋼板Ｓの磁区構造を光学特性へ変換する素子である。ファラデー効果とは、直線偏光を物質に透過させたときに、その物質が感じる磁場によって偏光面が回転する効果であり、このファラデー効果を奏する代表的な物質として磁性ガーネットが挙げられる。
【００１８】
検査ユニット４を駆動することにより、磁気光学素子５は鋼板Ｓに接触し、鋼板Ｓの磁区構造が磁気光学素子５に転写され、磁気光学素子５に照射される偏光の偏光面が回転する。なお、ホルダ６は、検査ユニット４を駆動して磁気光学素子５を鋼板Ｓに接触させる際の衝撃を和らげるために、弾性体を介して磁気光学素子５を検査ユニット４に固定している。
【００１９】
光源７は、磁気光学素子５に直線偏光を照射するためのものであり、例えば半導体レーザ光源またはＬＥＤ光源など一般的光源が用いられる。光源７は、直接的に偏光を射出する光源である必要はなく、偏光子（偏光フィルター）９と組合わせて磁気光学素子５に照射する直線偏光を発生させる。また、光源７は、偏光を平行光として射出し得るように、コリメータレンズ８など光学素子と組合わせて用いられている。
【００２０】
偏光子９は、光源７から射出された光線を直線偏光に変換する偏光フィルターである。偏光子９は、検光子１１との相対的角度を調整することにより、検出器１２にて検出される偏光の調整を行う。すなわち、偏光子９は、回転機構を有し、直線偏光の偏光面の角度を調整することができる。なお、検光子１１に回転機構を有した場合、偏光子９における回転機構は省略可能である。
【００２１】
ハーフミラー１０は、偏光子９を透過した直線偏光を磁気光学素子５へ導き、磁気光学素子５から反射される反射偏光を検出器１２へ導く光路分割手段である。検光子１１は、先述の偏光子９との相対的角度を調整することにより、検出器１２にて検出される偏光の調整を行う。検出器１２は、いわゆるＣＣＤカメラまたはＣＭＯＳカメラなど一般的な２次元画像取得装置である。検出器１２にて検出された画像は、ＰＣ等の別途の画像処理手段１３により適切な画像処理を施される。
【００２２】
なお、図２には図示されないレンズ等の光学素子より、磁気光学素子５に照射される際の光束径が磁気光学素子５の大きさに一致するように調整されている。さらに、磁気光学素子５から検出器１２までの光学系は、テレセントリック光学系となっている。
【００２３】
図３は、磁気光学素子５の構成例を示す断面図である。図３に示されるように、磁気光学素子５は、鋼板Ｓに面する方向から順に、保護膜５ａ、反射膜５ｂ、磁気光学膜５ｃ、および基板５ｄにより構成される。なお、磁気光学膜５ｃは、磁性ガーネットを組成に含むことが好ましい。この磁気光学素子５に照射される偏光は、基板５ｄに入射され、磁気光学膜５ｃを透過し、反射膜５ｂにて反射した後、再度磁気光学膜５ｃおよび基板５ｄを透過して、磁気光学素子５から射出される。
【００２４】
図４および図５は、本発明の実施形態にかかる鋼板検査装置１の駆動方式を説明する概略構成図である。図４は、鋼板検査装置１の駆動機構の側面図であり、図５は、鋼板検査装置１の駆動機構の上面図である。
【００２５】
図４および図５に示されるように、本発明の実施形態にかかる鋼板検査装置１では、鋼板Ｓの製造ラインの両脇に垂置されたレール１４に沿って検査ユニット４が上下移動可能となっている。検査ユニット４は、車輪１５によりレール１４上を移動可能に設置されており、車輪１５の車軸１６には、それぞれモータ１７が設けられている。検査ユニット４は、モータ１７の回転駆動によりレール１４に沿って上下移動する。
【００２６】
図４および図５に示されるように、検査ユニット４は、近接センサー１８を備えている。近接センサー１８は、検査ユニット４と鋼板Ｓの表面との距離を測定するためのセンサーである。本発明の実施形態にかかる鋼板検査装置１は、検査ユニット４が下降して磁気光学素子５を鋼板Ｓの表面に接触させる際に、鋼板Ｓの表面および磁気光学素子５が衝突により損傷を受けないように、鋼板Ｓの近傍では低速で降下する。近接センサー１８は、検査ユニット４の降下速度を低速に変更すべき高さを検知する。
【００２７】
なお、図４および図５に示される駆動機構は、本発明の実施形態にかかる鋼板検査装置１に適用可能な一例に過ぎない。したがって、図４および図５に示される駆動機構に限らず、ウィンチ式など他の機構を採用することも可能である。また、図４および図５に示される駆動機構は、検査ユニット４を一体として駆動しているが、検査ユニット４に含まれる一部の構成要素、例えば磁気光学素子５およびホルダ６のみを駆動する構成とすることも可能である。
【００２８】
〔変形例〕
図６は、本発明の実施形態にかかる鋼板検査装置１の駆動方式の変形例を説明する概略構成図である。図６に示されるように、本発明の実施形態にかかる鋼板検査装置１の駆動方式の変形例は、通板中の鋼板Ｓを併走させながら鋼板Ｓの表面と磁気光学素子５とを接着させる。
【００２９】
図６に示されるように、検査ユニット４は、鋼板Ｓに近いレール１４ａおよび鋼板Ｓから遠いレール１４ｂの上を移動する。検査ユニット４が鋼板Ｓに近いレール１４ａを移動しているとき、検査ユニット４の磁気光学素子５は、鋼板Ｓの表面に接触し、鋼板Ｓの磁区構造を検査可能な状態となる。一方、検査ユニット４が鋼板Ｓに遠いレール１４ｂを移動しているとき、検査ユニット４の磁気光学素子５が鋼板Ｓの表面に接触しないので、検査ユニット４は、次回の検査のために鋼板Ｓの通板の上流に移動する。
【００３０】
なお、鋼板Ｓに近いレール１４ａと鋼板Ｓから遠いレール１４ｂとの接続方法は、図６に示されるように、切換え方式とすることもできるが、周回軌道とすることもできる。また、検査ユニット４がレール上を移動する動力は、図４および図５に示された駆動方法と同様に車輪の車軸に設けられたモータにより供給されている。なお、検査ユニット４の内部構成は、図２に示された検査ユニット４の内部構成例と同様のものとすることができる。
【００３１】
〔鋼板検査方法〕
以下、本発明の実施形態にかかる鋼板検査方法について説明する。なお、以下の説明では、本発明の実施形態にかかる鋼板検査装置の構成の図面などを参照しながら本発明の実施形態にかかる鋼板検査方法について説明するが、本発明の実施形態にかかる鋼板検査方法は、これらの図面に表された構成により限定されるものではない。
【００３２】
図７は、本発明の実施形態にかかる鋼板検査方法を示すフローチャートである。図７に示されるように、本発明の実施形態にかかる鋼板検査方法は、鋼板Ｓの製造ラインが停止された状態で行なわれる（ステップＳ１１）。ただし、上記鋼板検査装置１の駆動方式の変形例のように、鋼板Ｓの製造ラインが停止しない状況での鋼板検査方法の場合は、このステップＳ１１を省略した実施形態も採用し得る。
【００３３】
次に、鋼板検査装置１の検査ユニット４が鋼板Ｓの表面へ降下する（ステップＳ１２）。検査ユニット４が鋼板Ｓの表面へ降下することにより、磁気光学素子５が鋼板Ｓの表面へ接触し、鋼板Ｓの磁区構造が磁気光学素子５の磁気光学膜５ｃに転写される。
【００３４】
その後、鋼板Ｓの磁区構造が可視化検査される（ステップＳ１３）。すなわち、磁気光学素子５に直線偏光が照射され、磁気光学素子５の磁気光学膜５ｃを直線偏光が通過することにより、ファラデー効果による偏光面の回転が発生し、検査ユニット４は、この偏光面の回転をもって鋼板Ｓの磁区構造の可視化検査を行う。
【００３５】
なお、可視化された鋼板Ｓの磁区構造は、ＰＣ等の別途の画像処理手段１３により適切な画像処理を施される。画像処理手段１３は、可視化された鋼板Ｓの磁区構造の画像について、磁区不連続部評価を行い、磁区と磁区不連続部の境界を検出する。さらに、画像処理手段１３は、磁気光学素子５の大きさ、測定光学系の倍率、鋼板Ｓまでの距離などをもとにして、磁区不連続部の幅を計算し、所定の幅となっているかどうかを確認する。
【００３６】
その後、鋼板検査装置１の検査ユニット４が鋼板Ｓの表面から上昇し（ステップＳ１４）、磁気光学素子５が鋼板Ｓの表面から離脱する。そして、鋼板Ｓの製造ラインの運転が再開される（ステップＳ１５）。
【００３７】
最後に、鋼板Ｓの磁区細分化処理の範囲が終了したか否かの判定を行い（ステップＳ１６）、終了していない場合（ステップＳ１６；Ｎｏ）、上記ステップＳ１１〜Ｓ１５までの処理を繰り返す。一方、鋼板Ｓの磁区細分化処理の範囲が終了した場合（ステップＳ１６；Ｙｅｓ）、鋼板検査を終了する。なお、実際に本発明の実施形態にかかる鋼板検査方法を実施した場合、上記ステップＳ１１〜Ｓ１５までの処理は１秒程度となる。
【００３８】
図８は、本発明の実施形態にかかる鋼板検査装置１および鋼板検査方法による方向性電磁鋼板の検査画像の例を示す画像である。なお、図８に示される画像は、方向性電磁鋼板の検査画像における圧延方向１０ｍｍ×板幅方向１０ｍｍを切り取ったものである。
【００３９】
図８に示される画像の取得に際し、磁気光学素子５における磁気光学膜５ｃは、磁性ガーネットの例としてＢｉ置換した鉄ガーネットが用いられている。そして、磁性ガーネットによるファラデー効果を視認しやすくするために、光源７は、緑色ＬＥＤ光源（波長５０５ｎｍ）と偏光フィルタと組合わせて用い、検出器１２にはＣＣＤカメラを用いた。
【００４０】
図８に示されるように、方向性電磁鋼板には、電子ビームまたはレーザを照射させた部分に、圧延方向を向いた主磁区を分断するように還流磁区（以下、磁区不連続部）が形成される。磁区不連続部の幅は、鉄損と良い相関があることが明らかになっている。磁区不連続部は周囲の磁区とは磁気特性が異なっており、本発明の実施形態にかかる鋼板検査装置１および鋼板検査方法を用いれば、磁区不連続部の幅の測定を行うことができることが図８から解る。
【００４１】
磁区不連続部の幅が１５０μｍ〜３００μｍであるとき、鋼板の鉄損が小さくなるという実験結果がある（例えば特開２０１２−５２２３０号公報参照）。また、細分化された磁区の幅が小さくなるほど励磁した際の磁壁の移動距離が短くなり、これに伴う損失も小さくなり、例えば、磁区の幅を２００μｍ以下とすることが好ましい。このような磁区不連続部の幅や磁区の幅を評価する場合、それぞれの幅を測定してもよいが、ある区間について測定した平均値により評価するのが一般的である。図８に示される磁区不連続部の幅は約２００μｍであることが解り、適正範囲内の磁区不連続部が形成されていることが解る。このように、本発明の実施形態にかかる鋼板検査装置１および鋼板検査方法を用いれば、鋼板Ｓの品質評価が可能である。
【００４２】
〔鋼板製造方法〕
次に、本発明の実施形態にかかる鋼板製造方法について説明する。
【００４３】
図９は、本発明の実施形態にかかる鋼板検査装置１を組み入れた製造ラインを示す構成図である。図９に示されるように、本発明の実施形態にかかる鋼板検査装置１は、鋼板Ｓの磁区細分化処理を行う磁区細分化装置２の後段に配置される。磁区細分化装置２は、内部に電子銃３を備え、電子銃３から鋼板Ｓに電子ビームを照射することにより、鋼板Ｓの磁区を横切る方向に熱歪みを与える装置である。
【００４４】
磁区細分化装置２が鋼板Ｓの表面に磁区細分化処理を施し、磁区細分化装置２により磁区細分化処理が施された鋼板Ｓの表面を鋼板検査装置１が検査する。そして、鋼板検査装置１による検査結果に基づき、制御手段１９が磁区細分化装置２を制御する。制御手段１９は、ＰＬＣなど自動制御装置またはオペレータによる手動制御の何れでも構わない。
【００４５】
図１０は、本発明の実施形態にかかる鋼板製造方法を示すフローチャートである。図１０に示されるように、本発明の実施形態にかかる鋼板製造方法では、初めに、磁区細分化装置２により磁区細分化処理が施された鋼板Ｓの表面を鋼板検査装置１が可視化検査する（ステップＳ２１）。
【００４６】
そして、鋼板検査装置１の画像処理手段１３は、可視化された鋼板Ｓの磁区構造の画像について、磁区不連続部評価を行い、磁区と磁区不連続部の境界を検出する（ステップＳ２２）。さらに、鋼板検査装置１の画像処理手段１３は、磁気光学素子５の大きさ、測定光学系の倍率、鋼板Ｓまでの距離などに基づいて、所定範囲内に含まれる磁区不連続部の平均幅を計算する（ステップＳ２３）。
【００４７】
その後、制御手段１９が磁区不連続部の平均幅を評価し、平均幅が所定範囲内であるか否かを判断する（ステップＳ２４）。平均幅が所定範囲内である場合（ステップＳ２４；Ｙｅｓ）、磁区細分化処理が適正に施されているので、鋼板Ｓの製造を継続するためにステップＳ２１へ戻る。一方、平均幅が所定範囲内でない場合（ステップＳ２４；Ｎｏ）、平均幅と所定値とを比較する（ステップＳ２５）。
【００４８】
平均幅が所定値よりも広い場合（ステップＳ２５；平均幅広い）、制御手段１９は、磁区細分化装置２の電子銃３の電子ビームパワーを低減する指令を発し（ステップＳ２６）、既に同一条件にて磁区細分化処理が施された鋼板Ｓの出荷を回避する（ステップＳ２８）。一方、平均幅が所定値よりも狭い場合（ステップＳ２５；平均幅狭い）、制御手段１９は、磁区細分化装置２の電子銃３の電子ビームパワーを増加する指令を発し（ステップＳ２７）、既に同一条件にて磁区細分化処理が施された鋼板Ｓの出荷を回避する（ステップＳ２８）。
【００４９】
その後、制御手段１９は鋼板Ｓの製造ラインの継続操業の可否について判断する（ステップＳ２９）。すなわち、磁区不連続部の平均幅が所定範囲から外れる要因には、電子銃３のフィラメントの寿命によるもの、または装置上の不具合の発生によるものなどがありえる。したがって、制御手段１９は、磁区不連続部の平均幅が所定範囲から外れる要因に基づいて製造ラインの継続操業の可否について判断し、継続操業が可能である場合（ステップＳ２９；Ｙｅｓ）、鋼板Ｓの製造を継続するためにステップＳ２１へ戻る。一方、継続操業が不可である場合（ステップＳ２９；Ｎｏ）、電子銃３のフィラメントの交換などのために、製造ラインを停止する。
【００５０】
本発明の実施形態ににかかる鋼板検査装置１は、検査対象である鋼板Ｓの磁区構造を光学特性として検出可能な磁気光学素子５と、磁気光学素子５に直線偏光を照射する光源７と、磁気光学素子５に転写された鋼板の磁区構造に応じて偏光面が回転された直線偏光を検出する検出器１２と、鋼板と磁気光学素子５とを接触離脱するように少なくとも磁気光学素子５を駆動する駆動機構とを備えるので、磁区細分化処理の直後に鋼板の磁区構造を可視化検査することにより歩留まりの改善をすることができる。
【００５１】
また、本発明の実施形態にかかる磁気光学素子５は、鋼板Ｓに面する方向から順に、保護膜５ａ、反射膜５ｂ、磁気光学膜５ｃ、および基板５ｄにより構成され、直線偏光が、基板５ｄ側から入射され、反射膜５ｂにて反射されるので、入射された直線偏光が磁気光学膜５ｃを往復することにより、ファラデー効果を２倍得ることができる。また、磁気光学膜５ｃは、磁性ガーネットを組成に含むことが好ましい。
【符号の説明】
【００５２】
１  鋼板検査装置
２  磁区細分化装置
３  電子銃
４  検査ユニット
５  磁気光学素子
５ａ  保護膜
５ｂ  反射膜
５ｃ  磁気光学膜
５ｄ  基板
６  ホルダ
７  光源
８  コリメータレンズ
９  偏光子
１０  ハーフミラー
１１  検光子
１２  検出器
１３  画像処理手段
１４，１４ａ，１４ｂ  レール
１５  車輪
１６  車軸
１７  モータ
１８  近接センサー
１９  制御手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図９】
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【図１０】
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【図８】
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