(57)【要約】      （修正有）【課題】分散板の変形を抑制し、気体の分布を改善することができ、上部電極装置内の気体の分布の安定性を向上させ、コーティング装置の膜厚の均一性を向上させることができる分散板の提供。【解決手段】コーティング装置に用いられる分散板１は、気体を通過させるための気孔１０が等間隔で設けられている有効領域と、前記有効領域の周囲に位置し、コーティングすべき基板の無効領域の位置に対応し、複数の切断線１５，１６を備え、前記分散板１と外部装置を接続するための無効領域と、を備える。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
コーティング装置に用いられる分散板であって、
気体を通過させるための気孔が均一に設けられている有効領域と、
前記有効領域の周囲に位置し、コーティングすべき基板の無効領域の位置に対応し、複数の切断線を備え、前記分散板と外部装置を接続するための無効領域と、
を備え、
長辺と短辺を有し、前記長辺と前記短辺にそれぞれ複数の前記切断線を有し、
前記切断線は、物理的な加工を利用して、分散板のエッジにおいて分散板の一部を切り取ることにより形成される
ことを特徴とする分散板。
【請求項２】
前記長辺に位置する切断線は、長さが３〜５ｍｍであり、幅が０.５〜１ｍｍであり、数が３〜５であり、
前記短辺に位置する切断線は、長さが１〜２ｍｍであり、幅が０.５〜１ｍｍであり、数が２〜３である
請求項１に記載の分散板。
【請求項３】
前記長辺の中央部に位置する切断線同士の間隔は、前記長辺の両端部に位置する切断線同士の間隔より狭い
請求項１に記載の分散板。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機発光ダイオードによる表示パネルの製造分野に関し、特に、分散板及び当該分散板を備えるコーティング装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ）の技術は、その自発光の原理によって、薄く、携帯しやすい表示装置又は照明装置をより容易に製作することができるため、注目されつつある。ＯＬＥＤは、アノードとカソード以外に、さらに、アノードとカソードの間に含まれる多層有機化合物を有する。当該多層有機化合物の各々は、電子とホールを伝送したり、光子を励起したりし、それぞれ異なる機能を有する。
【０００３】
薄膜コーティングは、フラットパネルディスプレイの製造プロセスで非常に重要なプロセスであり、プロセスの各パラメーターに対する制御も非常に厳しい。コーティングの均一度は、上記パラメーターの一つであり、コーティング装置内の気体の分布の影響を受ける。
【０００４】
従来技術のコーティング装置において、分散板は、上部電極装置内に設けられる。図１に示すように、従来技術の上部電極装置は、三層式の構造であり、最上部が上部電極２であり、最上部の中心にガス注入孔（ｇａｓ ｉｎｌｅｔ）３を備え、三層式の構造のうち、最上層と中間層がそれぞれ分散板１１、１２であり、最下層がシャワー（shower）板４である。
【０００５】
分散板１１、１２は、金属製のフラットプレートから構成され、数百又は数千個の気孔１０を有する。気体を下の層まで分散させる時間に影響を与えないために、一般的に、当該分散板１１、１２の厚さを１０ｍｍ以下とし、金属又はセラミックス材の固定部材により分散板１１、１２を上部電極装置の側壁に固定する。このような設計は、プラズマ強化堆積装置の上部電極にもよく応用され、プロセスの温度が概ね４００℃程度になるように制御される。分散板１１、１２は、このような高温の状態で、それ自体の受熱が十分に均一でないため変形が生じやすく、分散板１１、１２の変形形態は、図２に示すとおりである。なお、固定箇所（分散板と上部電極装置の側壁の固定箇所）で変形が生じるおそれもある。これにより、２層の分散板の間の距離が変化し、さらに気体の分布に影響がもたらされ、薄膜の不均一性がもたらされる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
従来技術に存在する課題について、本発明は、従来技術のコーティング装置において分散板が変形しやすく、変形した後に気体の分布に影響を与え、さらに薄膜の膜厚の均一度にも影響を与えるという技術課題を解決するために、コーティング装置に用いる分散板を提供することを目的とする。
【０００７】
本発明は、本発明の分散板を備えるコーティング装置を提供することをもう１つの目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の目的を実現するために、本発明は、下記のような技術を提供する。
コーティング装置に用いられる分散板であって、気体を通過させるための気孔が等間隔で設けられている有効領域と、前記有効領域の周囲に位置し、コーティングすべき基板の無効領域の位置に対応し、複数の切断線を備え、前記分散板と外部装置を接続するための無効領域と、を備え、長辺と短辺を有し、前記長辺と前記短辺にそれぞれ複数の前記切断線を有し、前記切断線は、物理的な加工を利用して、分散板のエッジにおいて分散板の一部を切り取ることにより形成される。
【０００９】
好ましくは、本発明の分散板において、前記長辺に位置する切断線は、長さが３〜５ｍｍであり、幅が０.５〜１ｍｍであり、数が３〜５であり、前記短辺に位置する切断線は、長さが１〜２ｍｍであり、幅が０.５〜１ｍｍであり、数が２〜３である。
【００１０】
好ましくは、本発明の分散板において、前記短辺に位置する切断線は、前記長辺に位置する切断線に垂直であり、かつ、前記長辺に平行である。
【００１１】
好ましくは、本発明の分散板において、各前記切断線の延長線は、前記分散板の幾何学的中心で交わる。
【００１２】
好ましくは、本発明の分散板において、前記切断線は、前記長辺に等間隔で配置され、  前記切断線は、前記短辺に等間隔で配置される。
【００１３】
好ましくは、本発明の分散板において、前記長辺の中央部に位置する切断線同士の間隔は、前記長辺の両端部に位置する切断線同士の間隔より狭い。
【００１４】
本発明のコーティング装置は、本発明の分散板を備える。
好ましくは、本発明のコーティング装置において、前記コーティング装置は、少なくとも２層の分散板を備える。
【００１５】
好ましくは、本発明のコーティング装置において、前記分散板の厚さは１０ｍｍ未満である。
【発明の効果】
【００１６】
本発明は以下の有利な効果を有する。即ち、本発明の分散板及び当該分散板を備えるコーティング装置において、切断線により、分散板の変形する際に分散板に方向性を持たせ、分散板を従来の垂直方向に沿って変形させず、その変形方向を水平方向に調整することができ、分散板の変形を抑制し、気体の分布を改善することができ、上部電極装置内の気体の分布の安定性を向上させ、コーティング装置の膜厚の均一性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】一般的なコーティング装置の上部電極装置の断面を模式的に示す図である。
【図２】従来技術の分散板の変形及び気体の分布の変化を模式的に示す図である。
【図３】本発明の第１の実施例に係る分散板を模式的に示す図である。
【図４】本発明の第２の実施例に係る分散板を模式的に示す図である。
【図５】本発明の実施例に係る分散板における気体の流れ方向を模式的に示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の特徴と利点を表す典型的な実施例について、詳細に説明する。本発明の異なる実施例は、本発明の範囲を逸脱しない範囲で様々な変形が可能であると考えられるべきであり、その説明及び図面は、実質的に、説明するためのものであり、本発明に対する制限的なものではないことは言うまでもない。
【００１９】
本発明の実施例におけるコーティング装置は、本発明の各実施例の分散板を備える。本発明の各実施例の分散板は、すべて本発明の実施例におけるコーティング装置に応用できる。以下、本発明の実施例におけるコーティング装置及び本発明の２つの実施例に係る分散板について、具体的に説明する。
【００２０】
本発明の実施例におけるコーティング装置において、分散板以外、他の部品は従来技術のコーティング装置の対応する部品と同じものであってもよい。同様に、本発明の分散板も上部電極装置に設けられ、図１に示すように、本発明の実施例におけるコーティング装置の上部電極装置は、多層式の構造であり、少なくても２層の分散板を備え、例えば、２〜５層の分散板を備える。
【００２１】
図１に示すように、２層の分散板１１、１２を例として、上部電極装置は、最上部が上部電極２であり、その中心にガス注入孔（ｇａｓ ｉｎｌｅｔ）３を備え、三層式構造のうち、最上層と中間層がそれぞれ分散板１１、１２であり、最下層がシャワー板４である。
【００２２】
本発明の各実施例に係る分散板は、金属制のフラットプレートから構成され、数百又は数千個の気孔１０を有する。気体を下の層まで分散させる時間に影響を与えないために、一般的に、当該分散板の厚さを１０ｍｍ以下とし、図１と図３に示すように、金属又はセラミックス材の固定部材１７により分散板を上部電極装置の側壁に固定する。
【００２３】
以下、本発明の２つの実施例に係る分散板について、説明する。
［本発明の第１の実施例に係る分散板］
図３に示すように、分散板１は、有効領域と無効領域を備え、有効領域において、気体を通過させるための複数の気孔１０が均一に設けられ、無効領域は有効領域の周囲に位置し、分散板１の無効領域の位置がコーティングすべき基板の無効領域の位置に対応し、無効領域により分散板１と外部装置（例えば、上部電極装置の側壁）を接続することが可能であり、分散板１の無効領域に切断線１５、１６を有し、具体的には、分散板１の周辺の、コーティングすべきガラス基板の無効領域に対応する位置、即ちガラス基板のエッジから１０ｍｍの範囲内に、切断線１５、１６を有する。分散板１に対して物理的加工を行って、分散板１の長辺と短辺においてそれぞれ分散板の一部を切り取ることにより、切断線１５、１６を形成する。なお、他の方法を利用して切断線１５、１６を形成してもよく、分散板１を形成する際に切断線１５、１６を一体に形成してもよい。
【００２４】
図３において、分散板１の左右方向の辺が長辺となり、上下方向の辺が短辺となり、長辺に切断線１６が形成され、短辺に切断線１５が形成される。分散板１の長辺に位置する切断線１６は、長さが３〜５ｍｍであり、幅が０.５〜１ｍｍであり、数が３〜５である。分散板１の短辺に位置する切断線１５は、長さが１〜２ｍｍであり、幅が０.５〜１ｍｍであり、数が２〜３である。つまり、長辺に位置する切断線１６の長さは、一般的に短辺に位置する切断線１５の長さより大きいが、幅は一般的に同様である。
【００２５】
図１に示すように、分散板１は矩形であり、本実施例において、長辺に位置する切断線１６が互いに平行であるとともに、短辺に位置する切断線１５も互いに平行である。即ち、長辺に位置する切断線１６は、すべて長辺に垂直かつ短辺に平行な線であり、短辺に位置する切断線１５は、すべて短辺に垂直かつ長辺に平行な線である。このため、短辺に位置する切断線１５は、長辺に位置する切断線１６に垂直であり、かつ当該長辺に平行である。本発明は、これに限定されるものではなく、以下の第２の実施例のように、各切断線が互いに平行でなくてもよい。
【００２６】
［本発明の第２の実施例に係る分散板］
本実施例において、分散板１の切断線１５、１６の位置、仕様及び形成方法は、第１の実施例に係る分散板１と同様であってもよく、第１の実施例に係る分散板１との相違点は、切断線１５、１６の方向にある。本実施例において、長辺に位置する切断線１６と短辺に位置する切断線１５を含む各切断線の延長線は、分散板１の幾何学的中心で交わる。つまり、本実施例において、切断線１５、１６は、放射状に配置されている。
【００２７】
上記の２つの実施例において、切断線１５、１６は、均一に分布されてもよく、不均一に分布されてもよい。不均一に分布される場合は、中央部は密度が高く、両端部は密度が低くなるように分布される、即ち、上記長辺（或いは短辺）の中央部に位置する切断線同士の間隔が上記長辺の両端部に位置する切断線同士の間隔より狭くなるように設定することが好ましい。例を挙げて説明すると、長辺に左から右まで８つの切断線Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅ、Ｆ、Ｇ、Ｈが順次配置され、長辺の中心点が切断線Ｄと切断線Ｅの間にあるとすれば、距離ＤＥ＜距離ＥＦ＜距離ＦＧ＜距離ＧＨ、距離ＤＥ＜距離ＣＤ＜距離ＢＣ＜距離ＡＢのように配置しても良い。さらに、左右対称のように配置しても良い。
【００２８】
本発明の各実施例に係る分散板において、切断線１５、１６の設置は、固定部材１７により分散板１を上部電極装置の側壁に固定することに対して影響を与えることがない。切断線１５、１６は、分散板１が変形する際に分散板１に方向性を持たせる機能を果し、分散板１を従来の垂直方向に沿って変形させず、その変形方向を水平方向に調整することができ、図５に示すように、このようにすれば、分散板の間隔を変化させず、気体の分布にも影響を与えなくなる。このため、分散板の変形を抑制し、気体の分布を改善することができ、上部電極装置内の気体の分布の安定性を向上させ、コーティング装置の膜厚の均一性を向上させる。
【００２９】
本発明の請求項に開示された本発明の範囲と主旨を逸脱しない状況において行われる各種の変更及び修正が全て本発明が請求する保護範囲に含まれることは、当業者にとって言うまでもない。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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