(57)【要約】【課題】  極薄鋼帯コイル材の巻き癖が取られており、歪・反りが矯正されていて、しかも平坦度が確保された高品質化極薄鋼帯とその製造方法、並びに極薄鋼帯の高品質化方法を提供することを課題とする。【解決手段】  巻き出された極薄鋼帯コイル材について、下記の（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）の処理を順次行う、高品質極薄鋼帯の製造方法を提供するものである。（Ａ）ロール直径２０〜３０ｍｍのロールを上側に少なくとも４本、下側に少なくとも３本設け、上下に千鳥状に配置した予備矯正機の前記上下ロール間を通し、１〜１０ｋｇの張力にて扱く処理（Ｂ）窒素ガス雰囲気中において炉内温度２５０〜６００℃にて、張力１〜１０ｋｇ、速度１〜３ｍ／分の条件での張力を加えたままの熱処理（Ｃ）化学研磨処理【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
巻き出された極薄鋼帯コイル材について、下記の（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）の処理を順次行う、高品質極薄鋼帯の製造方法。
（Ａ）ロール直径２０〜３０ｍｍのロールを上側に少なくとも４本、下側に少なくとも３本設け、上下に千鳥状に配置した予備矯正機の前記上下ロール間を通し、１〜１０ｋｇの張力にて扱く処理
（Ｂ）窒素ガス雰囲気中において炉内温度２５０〜６００℃にて、張力１〜１０ｋｇ、速度１〜３ｍ／分の条件での張力を加えたままの熱処理
（Ｃ）化学研磨処理
【請求項２】
請求項１記載の方法により得られる、高品質極薄鋼帯。
【請求項３】
製造合格率が９５％以上である、請求項２記載の高品質極薄鋼帯。
【請求項４】
巻き出された極薄鋼帯コイル材を、；
ロール直径２０〜３０ｍｍのロールを上側に少なくとも４本、下側に少なくとも３本設け、上下に千鳥状に配置した予備矯正機の前記上下ロール間を張力１〜１０ｋｇを掛けて通し扱いた後、窒素ガス雰囲気中において炉内温度２５０〜６００℃にて、張力１〜１０ｋｇ、速度１〜３ｍ／分にて、張力を加えたまま熱処理し、次いで化学研磨を施すことからなる、極薄鋼帯の高品質化方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、製造合格率が極めて高い高品質化極薄鋼帯とその製造方法、並びに極薄鋼帯の高品質化方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
板厚０．０２５〜０．１０ｍｍという極薄鋼帯（極薄鋼板）は、パソコン、携帯電話、スマートフォンなどの電子情報機器の材料をはじめ、各種産業機器の材料として広く採用されている。これら電子情報機器の出荷数量は、３種合計で、２０１０年では１６７，６８３万台であり、２０１４年には２１０，９１５万台になると予想されている。我が国でも、現在、人口の２／３に相当する９，０００万台ものこれら電子情報機器が出回っており、将来有望視されている分野である。
【０００３】
このような極薄鋼帯は、製造された後、一般にコイル状に巻かれて保管されるが、このとき巻き癖がついてしまったり、歪・反りが増幅されていることが多い。
また、極薄鋼帯は、板厚０．０２５〜０．１０ｍｍと極めて薄いことから、平坦度を確保するために、表面仕上げ・表面粗さの調整がシビアになっている。
【０００４】
そこで、従来、極薄鋼帯については、単品物の場合であると、歪・反りの矯正作業は、水平板２枚からなる治具で挟み、加圧した状態でそのまま熱処理炉に操入後、昇温して熱処理を行い、硬度を調整すると同時に、歪・反りを矯正する、いわゆるプレステンパーにより行っていた。
一方、極薄鋼帯のコイル材における歪・反りの矯正は、上下数本のロール間を加圧しながら通過させることにより行っていた。
【０００５】
しかしながら、このような矯正作業を施してあるにも関わらず、極薄鋼帯の製造合格率（製造歩留まり）は、一般に３０〜４０％に過ぎない。これは、製造合格率（製造歩留まり）としては、ワースト１であり、企業内部では、不採算部門として、改善が強く要望されていた。
ここで製造合格率（製造歩留まり）が３０〜４０％に過ぎないのは、極薄鋼帯表面の酸化スケールを取り除くためにブラシ研磨、例えば砥石研磨を施しているため、研磨加工熱により、極薄鋼帯に内部応力が蓄積されるからである。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、上記従来の問題を解決するためになされたものであり、その目的とするところは、極薄鋼帯コイル材の巻き癖が取られており、歪・反りが矯正されていて、しかも硬度が高く均一で、さらに表面光沢や表面粗さ（Ｒａ）にも優れていて、平坦度の良い、高品質化極薄鋼帯とその製造方法、並びに極薄鋼帯の高品質化方法を提供することにある。
これにより、本発明は、製造合格率が９５％以上と、製造合格率が極めて高い高品質化極薄鋼帯とその製造方法、並びに極薄鋼帯の高品質化方法を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
即ち、本発明は第１に、
巻き出された極薄鋼帯コイル材について、下記の（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）の処理を順次行う、高品質極薄鋼帯の製造方法を提供するものである。
（Ａ）ロール直径２０〜３０ｍｍのロールを上側に少なくとも４本、下側に少なくとも３本設け、上下に千鳥状に配置した予備矯正機の前記上下ロール間を通し、１〜１０ｋｇの張力にて扱く処理
（Ｂ）窒素ガス雰囲気中において炉内温度２５０〜６００℃にて、張力１〜１０ｋｇ、速度１〜３ｍ／分の条件での張力を加えたままの熱処理
（Ｃ）化学研磨処理
次に、本発明は第２に、請求項１記載の方法により得られる、高品質極薄鋼帯を提供するものである。
また、本発明は第３に、製造合格率が９５％以上である、請求項２記載の高品質極薄鋼帯を提供するものである。
さらに、本発明は第４に、
巻き出された極薄鋼帯コイル材を、；
ロール直径２０〜３０ｍｍのロールを上側に少なくとも４本、下側に少なくとも３本設け、上下に千鳥状に配置した予備矯正機の前記上下ロール間を張力１〜１０ｋｇを掛けて通し扱いた後、窒素ガス雰囲気中において炉内温度２５０〜６００℃にて、張力１〜１０ｋｇ、速度１〜３ｍ／分にて、張力を加えたまま熱処理し、次いで化学研磨を施すことからなる、極薄鋼帯の高品質化方法を提供するものである。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、極薄鋼帯コイル材の巻き癖が取られており、歪・反りが矯正されていて、しかも硬度が高く均一で、さらに表面光沢や表面粗さにも優れていて、平坦度の良い、高品質化極薄鋼帯が得られる。
得られた高品質化極薄鋼帯は、製造合格率が９５％以上と、製造合格率が極めて高い高品質なものとなっている。
即ち、本発明により、予備矯正機を通して扱いた（しごいた）後、張力１〜１０ｋｇを加えたまま熱処理を施して、硬度の確保と平坦度の良い、高品質化極薄鋼帯にした後、化学研磨を施した結果、１７０ｍｍ角の極薄鋼帯１００枚のうち、９８枚の良品（製造合格率９８％）を確認することができた。
このため、本発明により得られた高品質化極薄鋼帯によれば、川下企業に於ける研磨加工時間を大幅に短縮することができるばかりか、能率良く良質な製品を製造することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の第１による高品質化極薄鋼帯の製造工程の一態様を示す説明図である。
【図２】極薄鋼帯コイル材１を、コイル巻き出し機２を用いて巻き出し、巻き出された極薄鋼帯コイル材１Ａ（極薄鋼帯１Ａ）について、（Ａ）工程の処理として、予備矯正機３を用いて処理する様子を示す説明図である。
【図３】コイル巻き出し機２の一態様を示す、正面から見た説明図である。
【図４】予備矯正機（リザーブ矯正機）の一態様を示す、斜めから見た説明図である。
【図５】予備矯正機（リザーブ矯正機）の一態様を示す、正面から見た説明図である。
【図６】予備矯正機（リザーブ矯正機）の一態様を示す、側面から見た説明図である。
【図７】ローラ機構４の一態様を示す、正面から見た説明図である。
【図８】（Ａ）工程の処理として、予備矯正機３を用いて処理した後、次の（Ｂ）工程の処理を行う様子を示す説明図である。
【図９】テンションコントローラー付きのピンチ駆動機６の一態様を示す、正面から見た説明図である。
【図１０】巻き取り機７の一態様を示す、正面から見た説明図である。
【図１１】（Ｂ）工程の処理に続いて、次の（Ｃ）工程の化学研磨処理を行う様子を示す説明図である。
【図１２】参考例１で作製したラッピングホルダー（砥粒研磨治具）を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
本発明の第１は、匠の技術（扱き）を応用した高品質極薄鋼帯の製造方法に関し、
巻き出された極薄鋼帯コイル材について、下記の（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）の処理を順次行うものである。
（Ａ）ロール直径２０〜３０ｍｍのロールを上側に少なくとも４本、下側に少なくとも３本設け、上下に千鳥状に配置した予備矯正機の前記上下ロール間を通し、１〜１０ｋｇの張力にて扱く処理
（Ｂ）窒素ガス雰囲気中において炉内温度２５０〜６００℃にて、張力１〜１０ｋｇ、速度１〜３ｍ／分の条件での張力を加えたままの熱処理
（Ｃ）化学研磨処理
本発明の第２は、本発明の第１の製造方法により得られる、高品質極薄鋼帯に関するものである。
本発明の第３は、製造合格率が９５％以上である、請求項２記載の高品質極薄鋼帯を提供するものである。
さらに本発明は第４に、匠の技術（扱き）を応用した極薄鋼帯の高品質化方法に関し、
巻き出された極薄鋼帯コイル材を、；
ロール直径２０〜３０ｍｍのロールを上側に少なくとも４本、下側に少なくとも３本設け、上下に千鳥状に配置した予備矯正機の前記上下ロール間を張力１〜１０ｋｇを掛けて通し扱いた後、窒素ガス雰囲気中において炉内温度２５０〜６００℃にて、張力１〜１０ｋｇ、速度１〜３ｍ／分にて、張力を加えたまま熱処理し、次いで化学研磨を施すことからなる、極薄鋼帯の高品質化方法である。
【００１１】
以下、本発明の第１を、図面を参照しつつ詳細に説明する。
図１は、本発明の第１による高品質化極薄鋼帯の製造工程の一態様を示す説明図である。
図２は、極薄鋼帯コイル材１を、コイル巻き出し機２を用いて巻き出し、巻き出された極薄鋼帯コイル材１Ａ（極薄鋼帯１Ａ）について、（Ａ）工程の処理として、予備矯正機３を用いて処理する様子を示す説明図である。図中、符号４は、ローラ機構である。
【００１２】
図中、符号１は、極薄鋼帯コイル材、つまりコイル状に巻かれた極薄鋼帯である。
ここで極薄鋼帯としては、板厚０．０２５〜０．１０ｍｍのものが用いられる。極薄鋼帯の板幅は特に制限されないが、一般に、１７０〜３００ｍｍ程度のものが用いられる。
このような極薄鋼帯コイル材１を、コイル巻き出し機（アンコイラー）２などを用いて巻き出し、巻き出された極薄鋼帯コイル材１Ａ（以下、単に「極薄鋼帯１Ａ」と称することがある。）について、予備矯正機３を用いての処理が行われる。
コイル巻き出し機２としては、バックテンション及びテンションセンサー付のものが用いられる。
【００１３】
図３は、コイル巻き出し機２の一態様を示す、正面から見た説明図である。
コイル巻き出し機２における極薄鋼帯コイル材１の巻き出しは、テンションリール２１に巻かれている極薄鋼帯コイル材１をＳ字型に巻き出すための一対のフリーロール２２，２２と；この一対のフリーロール２２，２２の中間に設けられている、もう一つのフリーロール２２と、感知部２３との間；を経由して行われる。
感知部２３には、張力を感知しうるテンションセンサーが設けられている。
また、図中、符号２４は、テンションリール２１駆動用のモーターである。また、符号２５は、テンションリール２１の張力をコントロールするためのパウダークラッチであり、符号２６は、感知部２３からの信号を受け、設定張力（１〜１０ｋｇ）を保つために設けられているテンションコントローラ（トルク自動制御器）である。
感知部２３に設けられているテンションセンサーで張力を感知し、設定張力（１〜１０ｋｇ）範囲外となるような場合には、テンションコントローラ（トルク自動制御器）により、パウダークラッチ２５を操作して、バックテンション（逆転張力）を掛け、設定張力（１〜１０ｋｇ）を維持するようにされている。
【００１４】
予備矯正機３を用いての処理として具体的には、巻き出された極薄鋼帯コイル材１Ａについて、（Ａ）ロール直径２０〜３０ｍｍのロールを上側に少なくとも４本、下側に少なくとも３本設け、上下に千鳥状に配置した予備矯正機３の前記上下ロール間を通し、１〜１０ｋｇの張力にて扱く処理が行われる。
【００１５】
図４は、予備矯正機（リザーブ矯正機）３の一態様を示す、斜めから見た説明図であり、図５は、予備矯正機（リザーブ矯正機）３の一態様を示す、正面から見た説明図であり、図６は、予備矯正機（リザーブ矯正機）３の一態様を示す、側面から見た拡大説明図である。
予備矯正機３におけるロールは、上側ロール３Ａと、下側ロール３Ｂと、からなっている。
これら上側ロール３Ａと、下側ロール３Ｂとは、上下に千鳥状に配置されている。ここで「千鳥状に配置」とは、図４，５に示すように、上下のロールが互い違いに配置されていることを指している。このため、下側ロール３Ｂは、上側ロール３Ａの本数より、１本少なく配置されている。
【００１６】
本発明においては、上側ロール３Ａは、少なくとも４本（４〜６本）、配置されている。一方、下側ロール３Ｂは、上側ロール３Ａより１本少なく、少なくとも３本（３〜５本）、配置されている。
【００１７】
予備矯正機３としては、上記のように、ロール直径２０〜３０ｍｍのロールを上側に少なくとも４本（上側ロール３Ａ）、下側に少なくとも３本（下側ロール３Ｂ）設け、いずれのロールにも駆動機構を持たさずに、上下に千鳥状に配置したものである。
図中、符号３１は予備矯正機本体フレームであり、符号３２は加圧調整用ハンドルであり、符号３３は加圧ロール位置カウンターである。また、符号３４はベアリングである。
ここで上側ロール３Ａと下側ロール３Ｂとは、それぞれ別々のブロックに組み込まれている。
【００１８】
このうち下側ロール３Ｂは、ベアリング３４により自由に回転するようにされているものの、その位置が固定されていて、上下に動いて高さが変化するようなことはない。
一方、上側ロール３Ａは、ベアリング３４により自由に回転するようにされていると共に、加圧調整用ハンドル３２により、その高さを変えられるようにされている。
即ち、上側ロール３Ａは、加圧調整用ハンドル３２と連結している、上下昇降用シャフト３５に取り付けられた、上下昇降治具３６の上下昇降に合わせて上下昇降するように設置されている。
従って、加圧調整用ハンドル３２を回転させると、上下昇降用シャフト３５に取り付けられた上下昇降治具３６が上下に昇降し、これに合わせて上側ロール３Ａも上下に昇降する。
なお、上側ロール３Ａの上下の昇降は、通常、５〜１５ｍｍ程度の範囲で行えるようにされている。
極薄鋼帯コイル材１（巻き出された極薄鋼帯コイル材１Ａ）の厚さを考慮して、上側ロール３Ａと下側ロール３Ｂとの間の上下の間隔は概ね決定されているが、本発明においては、扱き処理を行えるようにするため、上記のように上側ロール３Ａの高さ位置を変えられるようにしている。
ここで上側ロール３Ａと下側ロール３Ｂとは、互い違いになるように上下に千鳥状に配置されており、いずれもが抵抗がかかったときだけ回転するようにされている（即ち、いずれもが、駆動ロールではなく、駆動源を持たない従動ロールとされている）ことから、加圧調整用ハンドル３２により、上側ロール３Ａの高さ位置を変えて、上側ロール３Ａと下側ロール３Ｂとの高さの間隔が殆どないようにすると、抵抗がかかり、極薄鋼帯コイル材１（巻き出された極薄鋼帯コイル材１Ａ）の進入につれて、上側ロール３Ａと下側ロール３Ｂは抵抗がかかった状態で回転し、極薄鋼帯コイル材１（巻き出された極薄鋼帯コイル材１Ａ）について、あたかも匠が行う「扱き」と同様の扱き処理が可能となる。
即ち、「扱き」処理とは、一般に両面から圧力をかけた状態で挟み、両面を左右に動かす処理を指すが、本発明によれば、これと同様の処理が行えることになる。
このように加圧調整用ハンドル３２により、上側ロール３Ａの高さ位置を変えることにより、荷重や負荷量張力の設定を行うことができる。その設定値は、加圧ロール位置カウンター３３を見ることにより判断することができる。
【００１９】
本発明においては、巻き出された極薄鋼帯コイル材１Ａ（極薄鋼帯１Ａ）を、ロール直径２０〜３０ｍｍのロールを上側に少なくとも４本、下側に少なくとも３本設け、上下に千鳥状に配置した予備矯正機３の前記上下ロール間を通して、加圧調整用ハンドル３２により、上側ロール３Ａの高さ位置を変えることにより、張力１〜１０ｋｇを掛けて通し扱く。
なお、上側ロール３Ａと下側ロール３Ｂとは、それぞれ両端が、ベアリングを入れたベアリングハウス３７内に収容されている。
このとき、上側ロール３Ａと下側ロール３Ｂとは、若干の遊び部分（余裕）をもって両端のベアリング軸３８が、ベアリングを入れたベアリングハウス３７内に収容されている。
【００２０】
本発明においては、この予備矯正機３で行う扱き処理において、ロールに過度の負荷がかからないようにするために、次のような工夫をしている。
上流側から下流側へと、例えば４本並んで配置されている上側ロール３Ａに関して、まず上流側の上側ロール３Ａと下側ロール３Ｂとの間に、極薄鋼帯コイル材１が送られてきたときに、上側ロール３Ａがより上方へと上がるように、上流側の上側ロール３Ａのベアリングハウス３７をより長穴形状のものとしている。即ち、上流側の上側ロール３Ａのベアリング軸が、下流側の上側ロール３Ａのベアリング軸より、より長穴のベアリングハウス３７に入った如きものとしている。
これにより、最上流側の上側ロール３Ａが、最下流側の上側ロール３Ａと比べて、角度でいうと２．５度程度上へ上がることになり、この予備矯正機３で行う扱き処理において、ロールに過負荷がかからないものとなっている。最初に極薄鋼帯コイル材１が入るところでロールに過負荷がかかりやすいことから、これを解消するためであり、ロールに一度に過負荷をかけないようにするためである。
【００２１】
予備矯正機３におけるロールは、その直径が２０〜３０ｍｍで、従来、矯正用に用いられているロールの直径が５０〜１００ｍｍであるのと比べて、明らかに小径のものとされている。ここで、予備矯正機３におけるロールの直径が２０ｍｍ未満であると、張力に負荷がかかり過ぎとなり、一方、予備矯正機３におけるロールの直径が３０ｍｍを超えると、張力の効果が出ないため、いずれも好ましくない。
【００２２】
予備矯正機３を用いての上記処理は、巻き出された極薄鋼帯コイル材１Ａに、１〜１０ｋｇの張力（テンション）をかけて行われる。この張力は、０．０２５〜０．１０ｍｍという板厚を考慮して決定され、板厚が厚い場合には、この範囲内でより高い張力をかけて行えばよい。
予備矯正機３の一方の先は、コイル巻き出し機２に接続され、また、予備矯正機３の他方の先は、後述するローラ機構４（Ｓ字ドライブ）やピンチ駆動機６に接続されているため、張力（テンション）がかけられている。
巻き出された極薄鋼帯コイル材１Ａは、このように張力（テンション）を加えられながら、予備矯正機３の中を移動させられることから、極薄鋼帯１に扱き（しごき）が加えられることとなる。
【００２３】
このように、巻き出された極薄鋼帯コイル材１Ａについて、まず（Ａ）ロール直径２０〜３０ｍｍｍｍのロールを上側に少なくとも４本、下側に少なくとも３本設け、上下に千鳥状に配置した予備矯正機３の前記上下ロール間を、１〜１０ｋｇの張力（テンション）をかけて通す処理を行うことにより、巻き出された極薄鋼帯コイル材１Ａは、あたかも扱き（しごき）が施されている如き状態となり、一方向性の歪（内部応力）が付加されていて、極薄鋼帯コイル材の巻き癖が取られ、歪・反りが矯正され、平坦度の向上したものとなっている。
従来の矯正機では、ロールを駆動させ、駆動の回転で矯正を行っていた。
本発明においては、ロールをフリーにし、上部より加圧調整しながら、張力による「しごき作業」を行う事で材料に内部歪を加え、平坦度を良くする。
即ち、予備矯正機３を用いての上記処理を施すことにより、巻き出された極薄鋼帯コイル材１Ａに敢えて内部応力を与えるようにする。これにより、巻き出された極薄鋼帯コイル材１Ａが従来持っていた歪を消滅させることができ、一方向性の歪に統一することができる。
【００２４】
上記のように、極薄鋼帯コイル材１を、コイル巻き出し機２を用いて巻き出し、巻き出された極薄鋼帯コイル材１Ａ（極薄鋼帯１Ａ）について、（Ａ）工程の処理として、予備矯正機３を用いて処理した後、次の（Ｂ）工程の処理（熱処理）を行うが、（Ｂ）工程の処理をする前に、ローラ機構４を通しておくとよい。
ローラ機構４を通すことにより、巻き出された極薄鋼帯コイル材１Ａの巻き癖を取ると共に、スピードコントロールと兼ねた安定した巻き出しを行うことができる。
図７は、ローラ機構４の一態様を示す、正面から見た説明図である。
図７中、符号４１はフリーロールであり、符号４２は駆動ロールである。
予備矯正機３を用いて処理された極薄鋼帯コイル材１Ａは、フリーロール４１と駆動ロール４２との間を通り、さらに反転して駆動ロール４２とニップロール４３との間を通って、Ｓ字形になり、次の（Ｂ）工程の処理へと向かうことになる。
ローラ機構４としては、図に示すようにＳ字ドライブのものを用いるとよい。Ｓ字ドライブのローラ機構４は、ロール（フリーロール４１、駆動ロール４２）の直径が１５０〜２００ｍｍと大きく、このため小さな歪を消滅させ、大きな歪も合わせて均一にする効果がある。
【００２５】
次に、本発明においては、（Ｂ）工程の処理として、窒素ガス雰囲気中において炉内温度２５０〜６００℃にて、張力１〜１０ｋｇ、速度１〜３ｍ／分の条件での張力を加えたままの熱処理が行われる。
図８は、（Ａ）工程の処理として、予備矯正機３を用いて処理した後、次の（Ｂ）工程の処理を行う様子を示す説明図である。
図中、符号５は、熱処理炉であり、符号６はピンチ駆動機であり、符号７は巻き取り機である。
【００２６】
（Ｂ）工程においては、前記した（Ａ）工程において予備矯正機３を用いて処理された極薄鋼帯１Ａについて、熱処理炉５を用い、窒素ガス雰囲気中において炉内温度２５０〜６００℃にて、張力１〜１０ｋｇ、速度１〜３ｍ／分の条件での張力を加えたままの熱処理を行う。
【００２７】
（Ｂ）工程において用いる熱処理炉５としては、極薄鋼帯１Ａを連続的に処理することができ、さらに張力（テンション）をかけることができることから、メッシュベルト式連続熱処理炉ではなく、トンネル炉（連続式の加熱炉）が挙げられる。
熱処理炉５としては、このトンネル炉であって、炉内温度を２５０〜６００℃の範囲に設定することのできるものが用いられる。
このため熱処理炉５の加熱ゾーンは、二重構造とされているものが好ましい。熱処理炉５は、レトルトの中を極薄鋼帯１Ａが通るようにされており、レトルトの外側へ熱風を送って熱処理できるようにされている。熱風は循環されて用いられる。なお、熱処理炉５としては、ガス炉が用いられるが、必要に応じて、電気炉を用いることもできる。
ガス炉での燃焼ガスは、都市ガス又はＬＰ（プロパンガス）を使用し、燃焼で加熱した熱風を炉内のレトルトの外側を通して循環させ、省エネ対策がとられている。
【００２８】
（Ｂ）工程においては、前記した（Ａ）工程において予備矯正機３を用いて処理された極薄鋼帯１Ａについて、熱処理炉５を用い、窒素ガス雰囲気中において炉内温度２５０〜６００℃、好ましくは２５０〜４００℃にて熱処理を行う。
熱処理は、窒素ガス雰囲気中において行われる。窒素ガス雰囲気中で熱処理することにより、極薄鋼帯１Ａについて酸化皮膜の発生を有効に抑えることができる。
【００２９】
この熱処理は、張力（テンション）を加えたまま連続的に行われる。張力は、１〜１０ｋｇの範囲で、板厚を考慮して決定される。
また、この熱処理は、極薄鋼帯１Ａを速度１〜３ｍ／分、好ましくは２〜３ｍ／分の条件で移動させながら行われる。
このため、熱処理炉５の上流側（図では熱処理炉５の左側）にコイル巻き出し機２があって、ここから極薄鋼帯１Ａが巻き出されており、一方、熱処理炉５の下流側（図では熱処理炉５の右側）の出口付近には、テンションコントローラー付きのピンチ駆動機６が備えられている。
【００３０】
図９は、テンションコントローラー付きのピンチ駆動機６の一態様を示す、正面から見た説明図である。図９中、符号６１、６２は、それぞれフリーロールである。フリーロール６２には、張力感知部が備えられており、予備矯正機３との張力（設定張力）を保つようにされている。また、符号６３は駆動ロールであり、符号６４はニップロールであり、符号６５は、ニップロール６４を上下させるためのエアーシリンダーである。符号６６は、駆動ロール６３とニップロール６４を駆動させるためのモーターであり、符号６７はパウダークラッチである。
【００３１】
熱処理炉５で熱処理された極薄鋼帯１Ａは、テンションコントローラー付きのピンチ駆動機６に導入される。
具体的には、熱処理炉５で熱処理された極薄鋼帯１Ａは、フリーロール６１の上面を通り、次いでフリーロール６２の下面を通った後、駆動ロール６３の上部よりニップロール６４で極薄鋼帯１Ａを押え、設定スピード及び設定トルクで、極薄鋼帯１Ａを動かすようにしている。
従って、このピンチ駆動機６の設定条件で、極薄鋼帯１Ａの歪取り・極薄鋼帯１Ａの硬度・極薄鋼帯１Ａの表面粗さの調整が取り行われることになる。
一方、熱処理炉５の上流側（図では熱処理炉５の左側）には、前記した予備矯正機３（さらに、その前方には、コイル巻き出し機２）が配置されていることから、特に張力（テンション）を加えるための装置は必要ではないが、必要に応じて、前述したＳ字ドライブのローラ機構４を配置しておくとよい。
このＳ字ドライブのローラ機構４を配置しておくことにより、コイル巻き出し機２に巻かれていた極薄鋼帯１Ａの巻き癖を除去すると共に、安定した巻き出しを行うことが可能となる。
【００３２】
なお、図１や図８では、熱処理炉５の下流側（図では熱処理炉５の右側）の出口付近に配置されているテンションコントローラー付きのピンチ駆動機６の後に、巻き取り機７を設けて、一旦、（Ｂ）工程の処理を施された極薄鋼帯１Ａを巻き取るようにしている。
図１０は、巻き取り機７の一態様を示す、正面から見た説明図である。
巻き取り機７について述べると、（Ｂ）工程の処理を施された極薄鋼帯１Ａは、その端面を感知するセンサー７２（光電感知器などからなる）、次いでフリーロール７３を経て、テンションリール７１に巻き取られる。
図１０中、符号７４は電動アクチュエーター、符号７５はスライドガイドであり、センサー７２の信号により電動アクチュエーター７４が前後し、エッジを揃え、このとき、スライドガイド７５の働きにより、スムーズに前後できるようにされている。
また、符号７６は、テンションリール７１を駆動するモーターであり、符号７７は、巻き取る張力（トルク）をコントロールするパウダークラッチである。さらに、符号７８は、センサー７２を制御する制御盤である。
なお、図１や図８に示すように、巻き取り機７を設けた場合には、極薄鋼帯１Ａについて、耳を揃え、弛みのないコイル状に巻き取り、これを次の（Ｃ）化学研磨処理工程のコイル巻き出し機８に送って、（Ｃ）化学研磨処理工程を開始することになる。
【００３３】
上記（Ｂ）工程（熱処理工程）を行うことにより、一方向性の歪（内部応力）が除去され、歪・反りがなく、均一な高硬度で、しかも平坦度の良い安定した高品質の極薄鋼帯が得られる。
この（Ｂ）工程（熱処理工程）を行うことにより、一種の焼き戻し（テンパー）を行い、内部応力を除去し、平坦度を向上させ、さらに、安定した組織として形状を安定させている。この結果、粘り強く、しかも折れにくくなる。
【００３４】
しかし、熱処理によって、極薄鋼帯１Ａには、それほど多くはないものの酸化皮膜が一部生じており、また、表面粗さ（Ｒａ）も必ずしも十分でない。
そこで、酸化皮膜の除去と表面粗さ（Ｒａ）の調整のために、次の（Ｃ）化学研磨処理が行われる。
【００３５】
図１１は、（Ｂ）工程の処理に続いて、次の（Ｃ）工程の化学研磨処理を行う様子を示す説明図である。
前記したように、図中、符号８はコイル巻き出し機である。コイル巻き出し機８としては、（Ａ）工程の説明中で述べたコイル巻き出し機２と同様のものを用いることができる。
コイル巻き出し機から巻き出された極薄鋼帯１Ａは、化学研磨槽９に送られ、この化学研磨槽９において、極薄鋼帯１Ａに対して化学研磨処理が行われる。
【００３６】
なお、図中、符号１０は一次水洗槽、符号１１は二次水洗槽、符号１２は中和・アルカリ槽、符号１３は超音波水洗槽、符号１４は防錆槽、符号１５は乾燥室、符号１６は放熱室であって、これらにより化学研磨ラインを形成している。
また、符号１７は一対の絞りロール、符号１８はテンションコントローラー付きのピンチ駆動機、符号１９は巻き取り機（コイラー）である。
【００３７】
なお、これまで極薄鋼帯の表面処理（表面の仕上げと表面粗さの調整）は、一般に、砥粒を使用したブラシ研磨加工（ここでは、砥石研磨、ワイヤー線金ブラシ、真鍮線金ブラシ、ナイロンブラシなどを含む概念である。）により行われていたが、ブラシ研磨によって発生する摩擦熱と加工硬化による内部応力が発生し、その影響で平坦度に関する品質が損なわれていた。
本発明では、この（Ｃ）工程を化学研磨（ケミカル研磨）処理とすることにより、酸化皮膜の除去、並びに表面粗さも調整が可能となり、平坦度の精度が格段に向上したものである。さらに、酸化皮膜が除去されていることから、プレス加工時の金型寿命も大幅に延長できている。
なお、これまで極薄鋼帯に、化学研磨（ケミカル研磨）処理を施すことは行われていない。
【００３８】
本発明において、（Ｃ）工程について、ブラシ研磨処理でなく、化学研磨（ケミカル研磨）処理を行っているのは、その前工程として、前記（Ａ）工程と（Ｂ）工程を行っており、まず前記（Ａ）工程を行うことにより、巻き出された極薄鋼帯コイル材１Ａが従来持っていた歪を消滅させることができ、一方向性の歪に統一することができ、次いで、（Ｂ）工程を行うことにより、一方向性の歪（内部応力）を除去し、均一な硬度で、平坦度の良い安定した高品質の極薄鋼帯としているため、可能となったものである。この結果、ブラシ研磨処理による内部応力の発生、ひいては平坦度の低下といった問題や、研磨加工ミスなどの発生が解消されている。
【００３９】
本発明においては、（Ｃ）工程として、化学研磨処理を行うことができるものであればよいので、最低限、化学研磨槽を備えたものであれば良いが、少なくとも化学研磨槽と、水洗槽と、中和槽とを備えたものが好ましく、特に上記符号８〜１９で示す各装置[即ち、コイル巻き出し機８、化学研磨槽９、一次水洗槽１０、二次水洗槽１１、中和・アルカリ槽１２、超音波水洗槽１３、防錆槽１４、乾燥室１５、放熱室１６、さらには一対の絞りロール１７、テンションコントローラー付きのピンチ駆動機１８、巻き取り機（コイラー）１９]を全て備えたものが最も好ましい。
【００４０】
なお、前記のように図４で巻き取り機７により一旦巻き取られた極薄鋼帯１Ａを、図１や図１１で示すように、コイル巻き出し機８から巻き出し、巻き出された極薄鋼帯１Ａについて、一連の化学研磨ラインでの処理を施すようにしている。
【００４１】
一連の化学研磨ラインでの処理を施すにあたっては、各槽内、各室内に送りロールを設け、さらに化学研磨ラインの終わりには、テンションコントローラー付きのピンチ駆動機１８が配置されていて、極薄鋼帯１Ａが連続的に送られるようになっている。
【００４２】
化学研磨槽９において、極薄鋼帯１Ａに対して化学研磨処理が行われる。
化学研磨槽９としては、公知の化学研磨槽を用いればよい。この化学研磨槽９には、強酸液、具体的には硫酸液が貯えられている。
この化学研磨槽９には、化学研磨槽９に貯えられている硫酸液を、適当な濃度と温度で管理する、管理槽が備えられている。
この管理槽は、極薄鋼帯１Ａが直接化学研磨される化学研磨槽９に対して、その化学研磨槽９に適正な液濃度と液温度の溶液を循環して送るものであって、化学研磨槽９の下段に設けられている。管理槽の化学研磨液タンクの容量としては、４００Ｌ以上が望ましい。液量が多い程、バラツキのない安定した品質が得られる。
【００４３】
化学研磨槽９において、極薄鋼帯１Ａに対して化学研磨処理を行った後、極薄鋼帯１Ａは、一次水洗槽１０に導入される。
この一次水洗槽１０において、極薄鋼帯１Ａに付着した強酸が水で洗浄される。
【００４４】
一次水洗槽１０に導入され、洗浄された極薄鋼帯１Ａは、次いで二次水洗槽１１に導入され、水で洗浄され、水洗の仕上げが施される。
これにより、極薄鋼帯１Ａに付着した強酸が洗浄・除去される。
なお、この二次水洗槽１１には、強酸が除去されたことを管理する、管理槽が備えられている。
この管理槽には、循環水でなく、純水（水温１０〜２０℃；流量２０〜３０Ｌ/分）が供給され、水洗の仕上げとなる。
【００４５】
次に、二次水洗槽１１に導入され、付着した強酸が洗浄・除去された極薄鋼帯１Ａは、中和・アルカリ槽１２に導入される。
この中和・アルカリ槽１２には、水酸化ナトリウム溶液などのアルカリ溶液が貯えられており、二次水洗槽１１にて強酸が除去された極薄鋼帯１について、中和・アルカリ処理が施される。
なお、この中和・アルカリ槽１２には、水酸化ナトリウム溶液などのアルカリ溶液を適当な濃度（３〜７％）と液温で管理する、管理槽が備えられている。
この管理槽は、中和・アルカリ槽１２と循環され、適正な液濃度と液温度を保つ役目を持っている。
なお、管理槽のアルカリ溶液タンクの容量として、４００Ｌ以上が望ましい。液の量が多い程、バラツキのない安定した品質が得られる。
【００４６】
中和・アルカリ槽１２に導入された極薄鋼帯１Ａは、さらに、超音波水洗槽１３に導入される。
この超音波水洗槽１３は、超音波発信器を用いて水洗する槽であって、超音波発信器を水中に配置したものである。
極薄鋼帯１Ａをこの超音波水洗槽１３に導入し、超音波発信器を用いて水洗することにより、汚れや不純物を取り除くことができる。
なお、この超音波水洗槽１３には、汚れや不純物を吸着して液管理する、管理槽が備えられている。
この管理槽には、汚れや不純物を吸着するカートリッジフィルターを設けて浮遊物をキャッチさせ、２４〜４８時間で交換する。
【００４７】
次に、超音波水洗槽１３に導入された極薄鋼帯１Ａは、さらに、防錆槽１４に導入される。
この防錆槽１４には、防錆液が貯えられており、防錆槽１４に極薄鋼帯１Ａを導入することにより、上記水洗処理により清浄となった極薄鋼帯１Ａに、防錆液を付着させるものである。
防錆液としては、環境対応型の防錆剤入り洗剤等を用いることができる。
なお、図中、符号１７は、一対の絞りロールであって、防錆槽１４に導入された極薄鋼帯１Ａを挟み込み、極薄鋼帯１Ａに付着している防錆液を絞りとるために用いられる。
また、この防錆槽１４には、防錆液を管理する、管理槽が備えられている。
一対の絞りロール１７で絞られて除去された防錆液（防錆剤入り洗剤）は、管理槽に戻る。
【００４８】
一対の絞りロール１７で、付着している防錆液を絞りとられた極薄鋼帯１Ａは、次に乾燥室１５に導入される。
この乾燥室１５では、極薄鋼帯１Ａに５０〜６０℃程度の温風を吹き付けて乾燥させる。
【００４９】
次いで、極薄鋼帯１Ａは、放熱室１６に導入され、放熱させられる。このため、放熱室１６は、冷却ファンを用いて常温に冷却される。
【００５０】
このようにして一連の化学研磨工程を終えた極薄鋼帯１Ａは、テンションコントローラー付きのピンチ駆動機１８を経て、巻き取り機１９に巻き取られる。
テンションコントローラー付きのピンチ駆動機１８は、化学研磨工程全体を引率し、化学研磨工程を終了した極薄鋼帯１Ａは、巻き取り機１９により、コイル状に巻き取られる。
ここでテンションコントローラー付きのピンチ駆動機１８としては、熱処理工程で述べたテンションコントローラー付きのピンチ駆動機６と同様のものを用いることができる。
また、巻き取り機１９としては、前記した巻き取り機７と同様のものを用いることができる。
【００５１】
このようにして、本発明の第１により、高品質極薄鋼帯が製造される。
本発明の第１により製造された高品質極薄鋼帯を提供するのが、本発明の第２である。
即ち、本発明の第１により製造された極薄鋼帯は、極薄鋼帯コイル材の巻き癖が取られており、歪・反りが矯正されていて、しかも硬度が高く均一で、さらに表面光沢や表面粗さにも優れていて、平坦度の良い、高品質のものである。
従って、従来品の製造合格率が３０〜４０％程度であるのと比べて、本発明の第１により製造された極薄鋼帯は、研磨加工ミスも解消されており、製造合格率が９５％以上と極めて高く、高品質なものである。
このため、本発明により得られた高品質化極薄鋼帯によれば、研磨加工時間を大幅に短縮することができるばかりか、良質な製品を製造することが可能となる。
また、本発明により得られた高品質化極薄鋼帯は、酸化皮膜が除去されていることから、プレス加工時の金型寿命も大幅に延長することができる。
【００５２】
また、本発明の第１と同様にして、
巻き出された極薄鋼帯コイル材を、；
ロール直径２０〜３０ｍｍのロールを上側に少なくとも４本、下側に少なくとも３本設け、上下に千鳥状に配置した予備矯正機の前記上下ロール間を張力１〜１０ｋｇを掛けて通し扱いた後、；
窒素ガス雰囲気中において炉内温度２５０〜６００℃にて、張力１〜１０ｋｇ、速度１〜３ｍ／分にて、張力を加えたまま熱処理し、硬度の確保と平坦度の良い、高品質化極薄鋼帯にした後、次いで化学研磨を施すことによって、後加工性の良いものとし、これによって、極薄鋼帯を高品質化させることができる。
このような極薄鋼帯の高品質化方法を提供するのが、本発明の第４である。
【００５３】
本発明の第４においては、まず、巻き出された極薄鋼帯コイル材を、；ロール直径２０〜３０ｍｍのロールを上側に少なくとも４本、下側に少なくとも３本設け、上下に千鳥状に配置した予備矯正機の前記上下ロール間を張力１〜１０ｋｇを掛けて通し扱く。
この処理は、前記した本発明の第１の（Ａ）工程の「ロール直径２０〜３０ｍｍのロールを上側に少なくとも４本、下側に少なくとも３本設け、上下に千鳥状に配置した予備矯正機の前記上下ロール間を通し、１〜１０ｋｇの張力にて扱く処理」と同様にして、同様の条件で行うことができ、また、予備矯正機などの意味も同様である。
【００５４】
次に、本発明の第４においては、窒素ガス雰囲気中において炉内温度２５０〜６００℃にて、張力１〜１０ｋｇ、速度１〜３ｍ／分にて、張力を加えたまま熱処理する。
この処理は、前記した本発明の第１の（Ｂ）工程の「窒素ガス雰囲気中において炉内温度２５０〜６００℃にて、張力１〜１０ｋｇ、速度１〜３ｍ／分の条件での張力を加えたままの熱処理」と同様にして、同様の条件で行うことができる。
【００５５】
さらに、本発明の第４においては、次いで化学研磨を施し、これら一連の処理により、極薄鋼帯を高品質化させる。
この処理は、前記した本発明の第１の（Ｃ）工程の「化学研磨処理」と同様にして、同様の条件で行うことができる。
【００５６】
このように、本発明の第４による極薄鋼帯の高品質化方法は、本発明の第１についての説明中において述べたと同様にして行うことができるので、適宜、本発明の第１についての説明が参照される。
【実施例】
【００５７】
以下に本発明を実施例により詳しく説明するが、本発明の範囲はこれらの実施例によって何ら限定されるものではない。
【００５８】
＜実施例１＞
板厚０.０３ｍｍ、板幅１７０ｍｍの極薄鋼帯コイル材について、図１〜１１に示す如き装置を用いて、高品質化処理を行った。
なお、この鋼帯コイル材の材質は、炭素工具鋼板ＳＫ−４であり、硬度（ＨＶ）が６５０±１０であり、平坦度がＬ＝１００ｍｍに対して０．１ｍｍ以下であり、表面粗さ（Ｒａ）が０.１〜０.４μｍの範囲のものであった。
ここで予備矯正機（リザーブ矯正機）３としては、図４、５、６に示す如き構造のものを用いた。具体的には、４本の上側ロール３Ａと、３本の下側ロール３Ｂと、からなり、各ロールの直径が３０ｍｍであって、４本の上側ロール３Ａと３本の下側ロール３Ｂとを上下に千鳥状に配置したものを用いた。
【００５９】
前記極薄鋼帯コイル材１Ａ（極薄鋼帯１Ａ）を巻き出し機２より巻き出し、巻き出された極薄鋼帯コイル材１Ａ（極薄鋼帯１Ａ）を、予備矯正機（リザーブ矯正機）３に導入し、４本の上側ロール３Ａと３本の下側ロール３Ｂとの間を通して、加圧調整用ハンドル３２により、上側ロール３Ａの高さ位置を変えることにより、張力５ｋｇを掛けて通し扱いた（Ａ工程の処理）。
【００６０】
次に、予備矯正機（リザーブ矯正機）３により、張力５ｋｇを掛けて通し扱かれた極薄鋼帯コイル材１Ａ（極薄鋼帯１Ａ）は、Ｓ字ドライブのローラ機構４（フリーロール４１と駆動ロール４２の直径は、それぞれ１５０ｍｍ）を経由してから、熱処理炉５に導入し、窒素ガス雰囲気中において炉内温度２５０℃にて、張力５ｋｇ、速度２ｍ／分の条件での張力を加えたままの熱処理を行った（Ｂ工程の処理）。
次いで、Ｂ工程の処理（熱処理）を施された極薄鋼帯コイル材１Ａ（極薄鋼帯１Ａ）は、熱処理炉５の下流側（図では熱処理炉５の右側）の出口付近に配置されているテンションコントローラー付きのピンチ駆動機６を経由した後、巻き取り機７により、耳を揃え、弛みのないコイル状に巻き取られた。
【００６１】
このとき巻き取られた極薄鋼帯コイル材１Ａ（極薄鋼帯１Ａ）の平坦度と硬度を測定した。
平坦度は、インラインプロファイル測定器（（株）キーエンス製、ＬＪ―Ｖ７０００型）を用いて測定した。
また、硬度は、マイクロビッカース硬度計（（株）アカシ製、ＭＶＫ―Ｅ型）を用いて測定した。
【００６２】
その結果、極薄鋼帯コイル材１Ａ（極薄鋼帯１Ａ）の平坦度（１７０Ｗ×１７０Ｌ）は、０.３ｍｍ以下であった。また、その硬度は、処理前硬度がＨＶ７００であり、処理後は、ＨＶ６４０〜ＨＶ６５０であった。
【００６３】
一旦巻き取り機７に巻き取られた極薄鋼帯コイル材１Ａ（極薄鋼帯１Ａ）は、次の（Ｃ）化学研磨処理工程のコイル巻き出し機８に送られ、（Ｃ）化学研磨処理工程が開始された。
即ち、コイル巻き出し機から巻き出された極薄鋼帯１Ａは、化学研磨槽９に送られ、この化学研磨槽９において、極薄鋼帯１Ａに対して化学研磨処理を行った。
化学研磨槽９としては、硫酸溶液（１５〜２０％含有）２００Ｌが貯えられ、管理槽が備えられているものを用いた。
化学研磨槽９において、化学研磨処理を施された極薄鋼帯１Ａは、次に一次水洗槽１０、さらに二次水洗槽１１に導入され、これに付着した強酸が洗浄・除去された後、水酸化ナトリウム溶液（濃度５％）が貯えられている中和・アルカリ槽１２に導入され、中和・アルカリ処理が施された。二次水洗槽１１と中和・アルカリ槽１２としては、管理槽が備えられているものを用いた。
【００６４】
中和・アルカリ槽１２に導入された極薄鋼帯１Ａは、さらに、超音波発信器を水中に配置した超音波水洗槽１３に導入され、汚れや不純物が取り除かれた。超音波水洗槽１３としては、管理槽が備えられているものを用いた。
超音波水洗槽１３に導入され、汚れや不純物が取り除かれた極薄鋼帯１Ａは、さらに、防錆槽１４に導入され、超音波水洗処理により清浄となった極薄鋼帯１Ａに、防錆液（環境対応型の防錆剤入り洗剤）を付着させた後、一対の絞りロール１７で、極薄鋼帯１Ａに付着している防錆液を絞りとった。防錆槽１４としては、管理槽が備えられているものを用いた。
一対の絞りロール１７で、付着している防錆液を絞りとられた極薄鋼帯１Ａは、次に乾燥室１５に導入され、極薄鋼帯１Ａに５０℃の温風を吹き付けて乾燥させた。
次いで、極薄鋼帯１Ａは、放熱室１６に導入され、冷却ファンを用いて放熱させられ、常温に冷却された。
このようにして一連の化学研磨工程（Ｃ工程の処理）を終えた極薄鋼帯１Ａは、テンションコントローラー付きのピンチ駆動機１８を経て、巻き取り機１９（コイラー）に巻き取られた。
【００６５】
このようにして、高品質化処理された炭素工具鋼板（ＳＫ−４）極薄鋼帯が得られた。
得られた、高品質化処理炭素工具鋼板（ＳＫ−４）極薄鋼帯（炭素工具鋼板ＳＫ―４、板厚０.０３ｍｍ、板幅１７０ｍｍ）の表面粗さを測定したところ、処理前の表面粗さＲａは、０.０７μｍであったのに対して、処理後の表面粗さＲａは、０.２μｍであった。
なお、表面粗さは、表面粗さ測定機（（株）ミツトヨ製、ＳＪ―３１０型）を用いて測定した。
【００６６】
＜参考例１＞
実施例１で得られた、高品質化処理された炭素工具鋼板（ＳＫ−４）極薄鋼帯を用いて、図１２に示す形状のラッピングホルダー（砥粒研磨治具）を作製した。
作製されたラッピングホルダー（砥粒研磨治具）は、酸化スケールは無く、硬度もＨＶ６５０で、表面肌は、化学研磨により半鏡面肌であった。
このため、ここで作製されたラッピングホルダー（砥粒研磨治具）は、砥粒（酸化アルミ）がすぐ食い付き、このことから、従来法により作製されたラッピングホルダー（砥粒研磨治具）と比べて、従来の研磨加工時間５０分を５分の１の１０分で完了でき、大幅に短縮することができた。
また、ここで作製されたラッピングホルダー（砥粒研磨治具）は、熱処理で焼戻し（テンパー）処理済みであることから、材料に粘性が有り、ギヤー折れの発生が約２０％減少した。
【符号の説明】
【００６７】
１：極薄鋼帯コイル材
１Ａ：巻き出された極薄鋼帯コイル材（極薄鋼帯）
２：コイル巻き出し機
３：予備矯正機
３Ａ：上側ロール
３Ｂ：下側ロール
４：ローラ機構（Ｓ字ドライブ）
５：熱処理炉
６：テンションコントローラー付きのピンチ駆動機
７：巻き取り機
８：コイル巻き出し機
９：化学研磨槽
１０：一次水洗槽
１１：二次水洗槽
１２：中和・アルカリ槽
１３：超音波水洗槽
１４：防錆槽
１５：乾燥室
１６：放熱室
１７：一対の絞りロール
１８：テンションコントローラー付きのピンチ駆動機
１９：巻き取り機
【図１】
2014161896.tif 000003
【図２】
2014161896.tif 000004
【図３】
2014161896.tif 000005
【図４】
2014161896.tif 000006
【図５】
2014161896.tif 000007
【図６】
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【図７】
2014161896.tif 000009
【図８】
2014161896.tif 000010
【図９】
2014161896.tif 000011
【図１０】
2014161896.tif 000012
【図１１】
2014161896.tif 000013
【図１２】
2014161896.tif 000014