(57)【要約】      （修正有）【課題】レーザ計測によるガス中のガス組成計測装置を提供する。【解決手段】レーザ光２２を導入する送光用光ファイバ２３と、レーザ光を導出する受光用光ファイバ２５と、中心軸に沿って中空孔を有し、中空孔の周囲のクラッドに複数の微小細孔が形成されたガス導入及び光送光用光ファイバ１１と、光ファイバ１１の一端１１ａ側に接続する第１の接続部３１ａと、送光用光ファイバ２３と接続する第２の接続部３１ｂと、内部にガス４０を導入するガス導入口３１ｃとを有し、導入したガスを光ファイバの中空孔に導入する第１のＴ型コネクタ３１と、光ファイバ１１の他端１１ｂ側に接続する第３の接続部３２ａと、受光用光ファイバとを接続する第４の接続部３２ｂと、外部にガスを排出するガス排出口３２ｃとを有し、ガス導入及び光送光用光ファイバ１１の一端から中空孔に導入したガスを排出する第２のＴ型コネクタ３２と、を具備する。【選択図】図１
2014115200.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ送光器からのレーザ光を導入するコア及びクラッドからなる送光用光ファイバと、
レーザ受光器へレーザ光を導出するコア及びクラッドからなる受光用光ファイバと、
中心軸に沿って中空孔を有し、中空孔の周囲のクラッドに複数の微小細孔が形成されたガス導入及び光送光用光ファイバと、
前記ガス導入及び光送光用光ファイバの一端側に接続する第１の接続部と、前記送光用光ファイバと接続する第２の接続部と、内部にガスを導入するガス導入口とを有し、導入したガスを前記ガス導入及び光送光用光ファイバの中空孔に導入する第１のＴ型コネクタと、
前記ガス導入及び光送光用光ファイバの他端側に接続する第３の接続部と、前記受光用光ファイバとを接続する第４の接続部と、外部にガスを排出するガス排出口とを有し、前記ガス導入及び光送光用光ファイバの一端から中空孔に導入したガスを排出する第２のＴ型コネクタと、
を具備することを特徴とするレーザ計測によるガス中のガス組成計測装置。
【請求項２】
請求項１において、
複数のガス導入及び光送光用光ファイバを、ガス導入口を有するＴ型コネクタで接続してなることを特徴とするレーザ計測によるガス中のガス組成計測装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザ計測によるガス中のガス組成計測装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、配合ガスに含まれる特定物質の濃度測定を行う装置としてレーザ式ガス分析計が知られている。このレーザ式ガス分析計は、気体状のガス分子がそれぞれ固有の光吸収波長を有するという特性を利用し、特定物質が含まれるガスにレーザ光を照射し、その特定波長の吸光量から特定物質の濃度を測定するものである。
【０００３】
下記特許文献１には、アンモニアを含むガスが流通する配管ユニットからガスを吸引し、吸引したガスをレーザ式ガス分光計に導いてガス中に含まれるアンモニア濃度を測定する技術が開示されている。
【０００４】
特許文献２には、煙道の内部に挿入されて排ガスを採取するサンプリング管と、サンプリング管に対して加熱導管を介して接続されるフローセルユニットと、フローセルユニットに接続されるレーザ式ガス分析計とを備えるアンモニア濃度測定装置が開示されている。特許文献２に開示されているアンモニア濃度測定装置では、サンプリング管の内部に三酸化硫黄（ＳＯ３）を吸着するがアンモニアを通過させる吸着剤を装填し、排ガスから三酸化硫黄を除去したガスをレーザ式ガス分析計に導入させることで、アンモニアの測定精度を向上させている。
【０００５】
特許文献１、２に開示されているサンプリング方式の濃度測定装置では、以下のような問題点があった。
ガスを吸引して測定用の配管に導く際、測定の高速化が困難である。
ガスを測定用の配管に引き込んだ後に濃度測定を行うことから、配管を流通しているガスと測定管に引き込まれたガスの状態（例えば、温度等）が異なってしまい、測定精度が低下する。
流通ガスを局所的に採取して濃度測定を行うため、局所的なガス濃度測定はできても、濃度分布を取得することができない。また、サンプリング箇所を逐次変えて濃度測定を行えば、濃度分布を取得することは可能であるが、位置毎にガスの吸引、排出が必要となり、作業が煩雑であるとともに時間がかかる。
【０００６】
また、上記のように、ガスを測定用の配管に吸引するのではなく、ガスが流通する管そのものにレーザ式ガス分析計を配置する方法も提案されている（例えば、特許文献３参照）。特許文献３には、ガスが存在する内部空間に突出させた外筒と、外筒内にレーザを透過する光透過性部材によって閉塞された密閉空間を有する内筒とからなる二重管ノズルをレーザ光照射装置とレーザ光受光装置とにそれぞれ設け、この二重管ノズルの間の距離及び突出位置を調節することにより、二重管ノズル間に存在する特定物質の濃度を測定する技術が開示されている。
【０００７】
また、特許文献４には、煙道内に挿入されるレーザ光を反射するプローブと、レーザ光の光路を切り替える光路切替器と、プローブ内に形成された長孔のガス通路でのレーザ光の光強度を計測し、ガス中の硫黄酸化物の濃度を求めることが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２０１２−８００８号公報
【特許文献２】特開２０１０−２３６８７７号公報
【特許文献３】特開２０１１−３８８７７号公報
【特許文献４】特開２０１０−１８５６９４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、特許文献４のガス濃度測定装置では、レーザ光を切り替える光学系である光切り替え装置が設けられているので、例えばボイラからの燃焼排ガス等における大型プラントでの実機適用においては、操業中における振動による光学系のレーザ光の光軸のズレが生じることがある。
また、ガス計測部では一つの長孔にガスを導入して計測しているが、反射鏡に導入する前のレーザ光も排ガス中に晒されるので、散乱が発生し、適切なビーム形状を維持できなくなり、ノイズ信号が増大するという、問題がある。
【００１０】
よって、ボイラプラントの排ガス中のガス組成を安定して計測ができる排ガス中のガス成分濃度計測装置の出現が切望されている。
【００１１】
本発明は、前記問題に鑑み、排ガス中のガス組成を安定して計測ができるレーザ計測によるガス中のガス組成計測装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上述した課題を解決するための本発明の第１の発明は、レーザ送光器からのレーザ光を導入するコア及びクラッドからなる送光用光ファイバと、レーザ受光器へレーザ光を導出するコア及びクラッドからなる受光用光ファイバと、中心軸に沿って中空孔を有し、中空孔の周囲のクラッドに複数の微小細孔が形成されたガス導入及び光送光用光ファイバと、前記ガス導入及び光送光用光ファイバの一端側に接続する第１の接続部と、前記送光用光ファイバと接続する第２の接続部と、内部にガスを導入するガス導入口とを有し、導入したガスを前記ガス導入及び光送光用光ファイバの中空孔１４に導入する第１のＴ型コネクタと、前記ガス導入及び光送光用光ファイバの他端側に接続する第３の接続部と、前記受光用光ファイバとを接続する第４の接続部と、外部にガスを排出するガス排出口とを有し、前記ガス導入及び光送光用光ファイバの一端から中空孔に導入したガスを排出する第２のＴ型コネクタと、を具備することを特徴とするレーザ計測によるガス中のガス組成計測装置にある。
【００１３】
第２の発明は、第１の発明において、複数のガス導入及び光送光用光ファイバを、ガス導入口を有するＴ型コネクタで接続してなることを特徴とするレーザ計測によるガス中のガス組成計測装置にある。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、送光用光ファイバを通過したレーザ光は、第１のＴ型コネクタに接続されるガス導入及び光送光用光ファイバの一端側の中空孔から導入された排ガスと接触することとなり、ここで排ガス中のガス成分による吸収が生じることとなり、この特定成分が吸収されたレーザ光が受光用光ファイバを通過して受光器に送られ、ここでガス濃度が計測される。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】図１は、実施例１に係るレーザ計測によるガス中のガス組成計測装置の概略図である。
【図２】図２は、ガス導入及び光送光用光ファイバの斜視図である。
【図３】図３は、ガス導入及び光送光用光ファイバの部分拡大図である。
【図４−１】図４−１は、Ｔ型コネクタと光ファイバとの接続状態を示す概略図である。
【図４−２】図４−２は、Ｔ型コネクタと光ファイバとの接続状態を示す概略図である。
【図５】図５は、吸収分光計測の概念図である。
【図６】図６は、吸収分光計測の吸収チャート図である。
【図７】図７は、排ガス中の煤塵濃度とレーザ光透過率との関係を示す図である。
【図８】図８は、実施例２に係るレーザ計測によるガス中のガス組成計測装置の概略図である。
【図９】図９は、実施例２に係る他のレーザ計測によるガス中のガス組成計測装置の概略図である。
【図１０】図１０は、実施例３に係るレーザ計測によるガス中のガス組成計測装置の概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下に添付図面を参照して、本発明の好適な実施例を詳細に説明する。なお、この実施例により本発明が限定されるものではなく、また、実施例が複数ある場合には、各実施例を組み合わせて構成するものも含むものである。
【実施例１】
【００１７】
図１は、実施例１に係るレーザ計測によるガス中のガス組成計測装置の概略図である。図２は、ガス導入及び光送光用光ファイバの斜視図である。図３は、ガス導入及び光送光用光ファイバの部分拡大図である。
図１に示すように、本実施例に係るレーザ計測によるガス中のガス組成計測装置１０は、レーザ送光器（以下「送光器」という）２１からのレーザ光２２を導入するコア及びクラッドからなる送光用光ファイバ２３と、レーザ受光器（以下「受光器」という）２４へレーザ光２２を導出するコア及びクラッドからなる受光用光ファイバ２５と、中心軸に沿って中空孔１４を有し、中空孔１４の周囲のクラッド１３に複数の微小細孔１２が形成されたガス導入及び光送光用光ファイバ１１と、前記ガス導入及び光送光用光ファイバ１１の一端１１ａ側に接続する第１の接続部３１ａと、前記送光用光ファイバ２３と接続する第２の接続部３１ｂと、内部にガス４０を導入するガス導入口３１ｃとを有し、導入したガス４０を前記ガス導入及び光送光用光ファイバ１１の中空孔１４に導入する第１のＴ型コネクタ３１と、前記ガス導入及び光送光用光ファイバ１１の他端１１ｂ側に接続する第３の接続部３２ａと、前記受光用光ファイバ２５とを接続する第４の接続部３２ｂと、外部にガスを排出するガス排出口３２ｃとを有し、前記ガス導入及び光送光用光ファイバ１１の一端から中空孔１４に導入したガス４０を排出する第２のＴ型コネクタ３２と、を具備するものである。
【００１８】
本発明で用いるガス導入及び光送光用光ファイバ１１は、図２及び３に示すように、ガス導入及び光送光用光ファイバ１１の軸に沿って中心に中空孔１４を有すると共に、該中空孔１４を囲うように所定間隔ｄを持って微小細孔１２が、軸に沿って複数配設されている。
ここで、微小細孔１２、１２同士の間隔ｄは、ガス導入及び光送光用光ファイバ１１に入射するレーザ光の波長（λ）と同一又は３倍の間隔（３λ）とすることで、微小細孔１２の内部領域がコア１５の機能を発揮するようにしたものである。
【００１９】
そして、図３に示すように、ガス導入及び光送光用光ファイバ１１は、クラッド１３の中心部分の微小細孔１２で囲まれた部分（図中斜線部分）が、コア１５を構成することとなる。なお、斜線部分もクラッド１３の材料であるが、微小細孔１２が囲むので、コア１５の機能が発揮されることとなる。
【００２０】
この結果、ガス導入及び光送光用光ファイバ１１の中心部分の中空孔１４にはガスが流れると共に、光ファイバに導入されたレーザ光はコア１５に沿って送光されることとなる。
【００２１】
図４−１及び図４−２は、Ｔ型コネクタと光ファイバとの接続状態を示す概略図である。
図４−１は、第１のＴ型コネクタ３１の送光用光ファイバ２３とガス導入及び光送光用光ファイバ１１との接続状態を示し、図４−２は、第２のＴ型コネクタ３２の受光用光ファイバ２５とガス導入及び光送光用光ファイバ１１との接続状態を示している。
【００２２】
第１のＴ型コネクタ３１は、図４−１に示すように、ガス導入及び光送光用光ファイバ１１の一端１１ａ側に接続する第１の接続部３１ａと、送光用光ファイバ２３の端部２３ａと接続する第２の接続部３１ｂと、内部にガス４０を導入するガス導入口３１ｃとを有している。そして、ガス導入口３１ｃより導入したガス４０は、コネクタ内部の通路を介して前記ガス導入及び光送光用光ファイバ１１の中空孔１４に導入している。
【００２３】
第２のＴ型コネクタ３２は、図４−２に示すように、前記ガス導入及び光送光用光ファイバ１１の他端１１ｂ側に接続する第３の接続部３２ａと、前記受光用光ファイバ２５の端部２５ａとを接続する第４の接続部３２ｂと、外部にガス４０を排出するガス排出口３２ｃとを有している。そして、ガス導入及び光送光用光ファイバ１１の中空孔１４内を通過したガス４０を、その一端１１ｂから排出し、コネクタ内の通路を介して、排出口３２ｃから外部の排気ライン３３に排出している。
【００２４】
そして、この中空孔１４内を通過するガス４０にレーザ光２２が導入されると、ガス４０中の各ガス成分がレーザ光を吸収し、その吸収度合いを受光器２４で計測する。
すなわち、送光用光ファイバ２３を通過してレーザ光２２は、第１のＴ型コネクタ３１に接続されるガス導入及び光送光用光ファイバ１１の一端１１ａ側の中空孔１４から導入されたガス４０と接触することとなり、ここでガス４０中のガス成分による吸収が生じることとなり、この特定成分が吸収されたレーザ光が受光用光ファイバ２５を通過して受光器２４に送られ、ここでガス濃度が計測されることとなる。
【００２５】
ここで、中空孔１４を有するガス導入及び光送光用光ファイバ１１の長さをＬとする。また、中空ファイバ前後の光強度をそれぞれＩ0、Ｉ1とし、中空ファイバ中のガス濃度をｃとすると、-ｌｎ(Ｉ1／Ｉ0)＝α×ｃ×Ｌの関係が成立する。
上式より、あらかじめファイバ長さＬを把握し、Ｉ0、Ｉ1を測定することによって、ガス濃度ｃを導出することができる。
【００２６】
ここで、例えばミラー光学系などを設置した場合、煩雑なレーザ光軸調整を必要とする。これに対して、本発明によれば、その光軸調整が不要となる。具体的には、測定部にファイバを設置すれば、ただちに対象ガス濃度が計測可能となり、レーザ吸収法を適用した高精度なガス分析を簡易に行うことが可能な手法となる。
【００２７】
例えばガス４０中のガス成分であるアンモニア（ＮＨ3）を計測する場合について説明する。
ここで、図５は、吸収分光計測の概念図である。図６は、吸収分光計測の吸収チャート図である。
そして、ガス４０中のガス成分を計測する場合には、所定濃度の煤塵が含まれる送光点と受光点との間のレーザ経路（光路長）Ｌであるガス導入及び光送光用光ファイバ１１の中空孔の計測領域（Ｌ）を通過した後の受光強度（Ｉ0’）を基準とし、この基準から特定のガス組成の吸収による光強度（Ｉ）を求める。
そして、（Ｉ）／（Ｉ0’）によりガス成分（例えばアンモニア（ＮＨ3））濃度を求める。なお、受光強度（Ｉ0）は、大気中で煤塵がない環境で測定した光透過率の初期データである。
【００２８】
ガス成分（アンモニア等）の濃度を求める場合の光透過率は、下記数１に示すランベルト・ベールの式を用いて算出することができる。
【００２９】
【数１】
2014115200.tif 000003
ここで、Ｉは、ガス成分（アンモニア）の吸収による光強度である。
Ｉ0’は、煤塵有りの状態での中空光ファイバ透過後のアンモニアの光吸収がない場合のレーザ光強度である。
αは、アンモニア吸光係数（ｐｐｍ／ｍ2）である。
Ｃは、アンモニア濃度（ｐｐｍ／ｍ3）である。
Ｌは、中空光ファイバの長さである。
ｔは、温度補正値である。
上式より、あらかじめファイバ長さＬを測定し、Ｉ0、Ｉ1を測定することによって、アンモニアガス濃度Ｃを計測することができる。
アンモニア（ＮＨ3）を計測する場合には、半導体レーザ（半導体素子：ＩｎＧａＡｓを例示することができる。波長：１．５μｍ、出力：１ｍＷ程度のものを例示することができる。
【００３０】
排ガス中のその他のガス成分として、上記構成を備えるガス中のガス組成計測装置１０においては、以下のような手順により、煙道４１内を通過するガス４０中の濃度測定領域の例えば一酸化窒素（ＮＯ）の濃度を取得することができる。
【００３１】
ここで、ガスとして排ガス中のＮＯを計測するには量子カスケードレーザ（半導体素子：ＩｎＧａＡｓ／ＩｎＡｌＡｓを例示することができる。波長：５〜６μｍ、出力：１ｍＷ）を用いている。
【００３２】
なお、例えば窒素酸化物（ＮＯｘ）を計測する場合には、量子カスケードレーザ（半導体素子：ＩｎＧａＡｓ／ＩｎＡｌＡｓを例示したが、本発明はこれに限定されるものではない。
【００３３】
排ガス中のその他のガス成分として、例えばアンモニア（ＮＨ3）を計測する場合には、半導体レーザ（半導体素子：ＩｎＧａＡｓを例示することができる。波長：１．５μｍ、出力：１ｍＷ程度のものを例示することができる）を用いることができる。
【００３４】
例えばアンモニア以外のガス成分として、ＳＯ2（酸化硫黄）を計測する場合には、量子カスケードレーザ（波長：７．０〜７．５μｍを例示することができる）を用いることができる。
【００３５】
また、ガス成分として、メタン（ＣＨ4）を計測する場合には、半導体レーザ（半導体素子：ＩｎＧａＡｓを例示することができる。波長：１．６μｍ、出力：１ｍＷ程度のものを例示することができる）を用いることができる。
【００３６】
また、例えばボイラからのガス４０には、煤塵が含まれているので、計測領域であるレーザ光２２と排ガスとが通過する中空孔１４の光路長Ｌの長さを長くすると、煤塵の影響により光透過率が減衰することとなる。
図７は、排ガス中の煤塵濃度とレーザ光透過率との関係を示す図である。
図７では、波長が１．５μｍの場合、煤塵濃度が６ｇ／Ｎｍ3程度の石炭灰中に２ｍの光路長で計測が可能であることを確認している。
よって、煤塵濃度がそれ以上の場合には、１．５ｍ、より好適には１．０ｍ前後の光路長で計測することが良好である。
ここで、ガス導入及び光送光用光ファイバ１１の一端部１１ａから他端部１１ｂまでに距離が、光路長Ｌとなる。
【００３７】
このように、本実施例では、赤外領域で計測しているが、本発明はこれに限定されず、可視・紫外領域での光吸収分光計測にも適用できる。
【実施例２】
【００３８】
図８は、実施例２に係るレーザ計測によるガス中のガス組成計測装置を用いて排ガス中のガス成分を計測する様子を示す概略図である。なお、実施例１のガス中のガス組成計測装置の構成と同一部材については、同一符号を付してその説明は省略する。
図８に示すように、煙道４１の側壁に設けた光ファイバ取付ポート４２を介してレーザ計測によるガス中のガス組成計測装置１０のガス導入及び光送光用光ファイバ１１と第１のＴ型コネクタ３１と、第２のＴ型コネクタ３２とが煙道４１内に配設されている。
【００３９】
また、第２のＴ型コネクタ３２から排出ライン３３を介して排出されるガス４０はポンプＰを介して吸引し、排出ポート４３を介して、煙道４１内に排出している。
【００４０】
本発明に係るレーザ計測によるガス中のガス組成計測装置１０によれば、光軸調整を不要とし、光軸ズレがなく、簡易な構成でガス中のガス組成をレーザ光分析により取得することができる。
光ファイバ取付ポート４２をハンディタイプとすることで、煙道の任意の箇所に計測手段を簡易に取り付けることができる。
【００４１】
図８に示すガス組成計測装置では、１つのガス導入及び光送光用光ファイバ１１を用いて、排ガス中のガス組成を計測しているが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば図９に示すガス中のガス組成計測装置のように、煙道４１内の奥行き方向（図中右方向）の異なる領域において、ガス４０Ａ、４０Ｂ、４０Ｃ中のガス組成を計測するように、複数（３本）のガス導入及び光送光用光ファイバ１１Ａ、１１Ｂ、１１Ｃを用いて計測するようにしている。
【００４２】
本実施例では、レーザ光２２のチャンネルを選択するチャンネルセレクタ５１ａ、５１ｂを光ファイバ２３、２４に介装している。
チャンネルセレクタ５１ａ、５１ｂを選択することで順次ガス導入及び光送光用光ファイバ１１Ａ、１１Ｂ、１１Ｃ内にレーザ光２２を送り、内部を通過して、排ガス４０Ａ、４０Ｂ、４０Ｃ中のガス組成を吸収したレーザ光２２を受光器２５で順次受光するようにしている。
【００４３】
これにより、任意の領域での複数個所でのガス４０Ａ、４０Ｂ、４０Ｃ中のガス組成の計測を行うことができる。
【００４４】
また、第１及び第２のＴ型コネクタ３１、３２に、中空孔１４を洗浄する洗浄用のパージガスを導入するガス導入ポートを設け、中空孔１４内の洗浄を実施するようにしてもよい。
【００４５】
本発明による光ファイバを用いたレーザ計測によるガス中のガス組成計測装置１０によれば、装置のコンパクト化を図ると共に、振動が多い実機の近傍にレーザ光用の送光器及び受光器を設けることがなくなるので、装置の簡略化と共に、測定精度の向上を図ることができる。
【実施例３】
【００４６】
図１０は、実施例３に係るレーザ計測によるガス中のガス組成計測装置を用いて排ガス中のガス成分を計測する様子を示す概略図である。なお、実施例１及び２のガス中のガス組成計測装置の構成と同一部材については、同一符号を付してその説明は省略する。
【００４７】
本実施例では、ガスリークが発生するおそれがあるような各種設備６０において、その設備６０の外側に沿って、レーザ計測によるガス中のガス組成計測装置１０を設けたものである。
【００４８】
図１０に示すように、本実施例のレーザ計測によるガス中のガス組成計測装置は、ガス導入及び光送光用光ファイバ１１Ａ、１１Ｂ、１１Ｃを内部に電磁弁を備えたＴ型コネクタ６２Ａ〜６２Ｃ、６３を設けることにより、各Ｔ型コネクタ６２Ａ、６２Ｂ、６２Ｃのガス導入口から導入されるガス中にリークガスがあるか否かを判断することができる。
なお、電磁弁を備えたＴ型コネクタ６２Ａ〜６２Ｃの構成は、第１のＴ型コネクタ３１と同様であり、さらに内部の通路を遮断する電磁弁が設けられている。また、電磁弁を備えたＴ型コネクタ６３の構成は、第２のＴ型コネクタ３２と同様であり、さらに内部の通路を遮断する電磁弁が設けられている。
【００４９】
すなわち、第１のガス導入及び光送光用光ファイバ１１Ａ内にガスを導入する場合には、第２のガス導入及び光送光用光ファイバ１１Ｂ、第３のガス導入及び光送光用光ファイバ１１Ｃにガスがコネクタを介して流入しないように、第２及び第３のＴ型コネクタ６２Ｂ、６２Ｃ内の電磁弁を閉じておく。
そして、第１のＴ型コネクタ６２Ａの電磁弁を開放しておくことで、ここからのみ、ガスの流入を許容することで、流入したガス中にリークガス６１が含まれているか否かを計測することができる。
【００５０】
また、第２のガス導入及び光送光用光ファイバ１１Ｂ内にガスを導入する場合には、第１のガス導入及び光送光用光ファイバ１１Ａ、第３のガス導入及び光送光用光ファイバ１１Ｃにガスがコネクタを介して流入しないように、第１及び第３のＴ型コネクタ６２Ａ、６２Ｃ内の電磁弁を閉じておく。
そして、第２のＴ型コネクタ６２Ｂ内の電磁弁を開放しておくことで、ここからのみ、ガスの流入を許容することで、流入したガス中にリークガス６１が含まれているか否かを計測することができる。
【００５１】
また、第３のガス導入及び光送光用光ファイバ１１Ｃ内にガスを導入する場合には、第１のガス導入及び光送光用光ファイバ１１Ａ、第２のガス導入及び光送光用光ファイバ１１Ｂにガスがコネクタを介して流入しないように、第１及び第２のＴ型コネクタ６２Ａ、６２Ｂ内の電磁弁を閉じておく。
そして、第３のＴ型コネクタ６２Ｃ内の電磁弁を開放しておくことで、ここからのみ、ガスの流入を許容することで、流入したガス中にリークガス６１が含まれているか否かを計測することができる。
なお、流入したガスは排出用口を有するＴ型コネクタ６３により排出される。
【００５２】
よって、このように複数のガス導入及び光送光用光ファイバとガス流入用のＴ型コネクタを用いることで、設備の表面に沿って配置することで、ガスリーク検知対策に適用することができる。
【００５３】
すなわち、雰囲気ガスは常に同じガス組成であるが、リークガス６１が発生した場合には、雰囲気ガスに加えてリークガス６１が存在するので、そのリークガスを吸収するレーザ光とすることでガス検知が可能となる。
【符号の説明】
【００５４】
１０  レーザ計測によるガス中のガス組成計測装置
２１  レーザ送光器
２２  レーザ光
２３  送光用光ファイバ
２４  レーザ受光器
２５  受光用光ファイバ
３１  第１のＴ型コネクタ
３２  第２のＴ型コネクタ
【図１】
2014115200.tif 000004
【図２】
2014115200.tif 000005
【図３】
2014115200.tif 000006
【図４−１】
2014115200.tif 000007
【図４−２】
2014115200.tif 000008
【図５】
2014115200.tif 000009
【図６】
2014115200.tif 000010
【図７】
2014115200.tif 000011
【図８】
2014115200.tif 000012
【図９】
2014115200.tif 000013
【図１０】
2014115200.tif 000014