(57)【要約】【課題】樹脂組成物を搬送する搬送装置において、金属異物の発生を確実に防止する。【解決手段】樹脂で構成された駆動スプロケット１３と、樹脂で構成された従動スプロケット１４と、樹脂で構成され、駆動スプロケット１３及び従動スプロケット１４に巻き掛けられ、外周面１６Ｂ上に配置された樹脂組成物を搬送する搬送ベルト１６と、を搬送装置１０が有すること。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
樹脂で構成された駆動スプロケットと、
樹脂で構成された従動スプロケットと、
樹脂で構成され、前記駆動スプロケット及び前記従動スプロケットに巻き掛けられ、外周面上に配置された樹脂組成物を搬送する搬送ベルトと、
を有する搬送装置。
【請求項２】
前記樹脂組成物は、エポキシ樹脂組成物をシート状に圧延した圧延物である、請求項１に記載の搬送装置。
【請求項３】
前記搬送ベルトを構成する樹脂が、ポリアセタールであり、
前記駆動スプロケット及び前記従動スプロケットを構成する樹脂が、ポリアミドである、請求項２に記載の搬送装置。
【請求項４】
前記駆動スプロケットと前記従動スプロケットの間に配置され、前記搬送ベルトの内周面を支持し、かつ、前記搬送ベルトとの接触部分が樹脂で構成された支持手段を有する、請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の搬送装置。
【請求項５】
前記支持手段の前記搬送ベルトとの接触部分を構成する樹脂が、ナイロンである、請求項４に記載の搬送装置。
【請求項６】
前記支持手段は、前記搬送ベルトに対して従動回転可能なローラを含む、請求項４又は請求項５に記載の搬送装置。
【請求項７】
前記支持手段は、支持板を含む、請求項４〜請求項６のいずれか１項に記載の搬送装置。
【請求項８】
前記支持手段は、前記樹脂組成物の搬送方向に延びるレールを含む、請求項４〜請求項６のいずれか１項に記載の搬送装置。
【請求項９】
前記搬送ベルトは、開口を有する周方向に複数に分割されたベルト構成部材と、隣り合う前記ベルト構成部材どうしを回転可能に連結する連結部材と、を含んで構成されている、請求項１〜請求項８のいずれか１項に記載の搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、樹脂組成物を搬送する搬送装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体封止用エポキシ樹脂組成物の製造方法としては、この樹脂組成物を構成する成分を所定量配合、混合した後、ローラ、１軸押出機、１軸押出機とローラの組み合わせ、又は２軸押出機により混練を行い、混練物をシート状に圧延し、この圧延物を搬送装置で搬送しながら冷却した後、ハンマーミル、回転羽根等を用いて粉砕を行い、必要に応じて円柱状のタブレットに加工する方法が知られている。
【０００３】
前述のような製造方法において用いられる搬送装置としては、特許文献１に記載のコンベアが知られている。このコンベアでは、上記樹脂組成物と接触し、搬送する部品を金属製のネットとしている。このネットは、金属製の駆動スプロケット及び金属製の従動スプロケットに巻き掛けられた金属製のチェーンに接続され、駆動スプロケットからの駆動力を受けて周回するチェーンと共に回って上記樹脂組成物を搬送する。また、このチェーンには、ネット両端に配置された金属のレール上を回転するコロが設けられている。上記コンベアでは、金属部品どうしの接触によって発生する金属異物（金属粉）が上記樹脂組成物に混入するのを抑制するために、筐体内を仕切板を用いて上記樹脂組成物が搬送される搬送エリアとチェーンが回転するエリアとに仕切っている。
【０００４】
一方、特許文献２のコンベアでは、樹脂組成物を搬送するベルトの外層を非金属として、樹脂組成物への金属異物の混入を抑制している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１２−１２６８４７号公報
【特許文献２】特開２０１１−１８３６１８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、特許文献１では、仕切板に金属ネットが通る開口が形成されているため、金属異物が樹脂組成物の搬送エリア内に侵入する虞がある。
一方、特許文献２では、ベルトの下地層（内層）が金属製とされていることから、主動プーリ及び従動プーリに繰り返し巻き掛けられることで、下地層が削られて金属異物が発生し、発生した金属異物が樹脂組成物に混入する虞がある。
【０００７】
本発明は、上記の事情を鑑みて、樹脂組成物を搬送する搬送装置において、金属異物の発生を確実に防止することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
すなわち、本発明は以下の通りである。
（１）樹脂で構成された駆動スプロケットと、樹脂で構成された従動スプロケットと、樹脂で構成され、前記駆動スプロケット及び前記従動スプロケットに巻き掛けられ、外周面上に配置された樹脂組成物を搬送する搬送ベルトと、を有する搬送装置。
（２）前記樹脂組成物は、エポキシ樹脂組成物をシート状に圧延した圧延物である、前記（１）に記載の搬送装置。
（３）前記搬送ベルトを構成する樹脂が、ポリアセタールであり、前記駆動スプロケット及び前記従動スプロケットを構成する樹脂が、ポリアミドである、前記（２）に記載の搬送装置。
（４）前記駆動スプロケットと前記従動スプロケットの間に配置され、前記搬送ベルトの内周面を支持し、かつ、前記搬送ベルトとの接触部分が樹脂で構成された支持手段を有する、前記（１）〜前記（３）のいずれか１項に記載の搬送装置。
（５）前記支持手段の前記搬送ベルトとの接触部分を構成する樹脂が、ナイロンである、前記（４）に記載の搬送装置。
（６）前記支持手段は、前記搬送ベルトに対して従動回転可能なローラを含む、前記（４）又は前記（５）に記載の搬送装置。
（７）前記支持手段は、支持板を含む、前記（４）〜前記（６）のいずれか１項に記載の搬送装置。
（８）前記支持手段は、前記樹脂組成物の搬送方向に延びるレールを含む、前記（４）〜前記（６）のいずれか１項に記載の搬送装置。
（９）前記搬送ベルトは、開口を有する周方向に複数に分割されたベルト構成部材と、隣り合う前記ベルト構成部材どうしを回転可能に連結する連結部材と、を含んで構成されている、前記（１）〜前記（８）のいずれか１項に記載の搬送装置。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、樹脂組成物を搬送する搬送装置において、金属異物の発生を確実に防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の第１実施形態の搬送装置で樹脂組成物を搬送している状態を示す模式図である。
【図２】第１実施形態の搬送装置の搬送ベルト上に樹脂組成物が配置された状態を示す搬送ベルトの模式的な平面図である。
【図３】第１実施形態の搬送装置を側方から見た側面図である。
【図４】第１実施形態の搬送装置の駆動スプロケット、従動スプロケット及びローラの配置を示す平面図である。
【図５】第１実施形態の搬送ベルトの外周面の平面図である。
【図６】図５の６Ｘ−６Ｘ線断面図である。
【図７】本発明の第２実施形態の搬送装置を側方から見た側面図である。
【図８】第２実施形態の駆動スプロケット、従動スプロケット及びレールの配置を示す平面図である。
【図９】本発明の第３実施形態の搬送装置を側方から見た側面図である。
【図１０】第３実施形態の駆動スプロケット、従動スプロケット、ローラ及びレールの配置を示す平面図である。
【図１１】（ａ）比較例の搬送装置の平面図である。（ｂ）比較例の搬送装置の側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の第１実施形態の搬送装置１０について説明する。
図１に示すように、第１実施形態の搬送装置１０は、エポキシ樹脂、硬化剤及び無機充填材を含む半導体封止用エポキシ樹脂組成物（以下、単に「エポキシ樹脂組成物」と記載する。）１５の搬送に用いられている。具体的には、搬送装置１０は、エポキシ樹脂組成物の製造工程において、溶融混練されたエポキシ樹脂組成物を圧延ローラ３０でシート状に圧延した圧延物１５Ｓの搬送に用いられている。
【００１２】
図１及び図３に示すように、搬送装置１０は、樹脂で構成された駆動スプロケット１３と、樹脂で構成された従動スプロケット１４と、樹脂で構成され、駆動スプロケット１３及び従動スプロケット１４に巻き掛けられた搬送ベルト１６を有している。なお、図１〜図５中の矢印Ａは、搬送装置１０の樹脂組成物の搬送方向（以下、単に「搬送方向」と記載する。）を示し、図１、図３及び図６中の矢印Ｕ及び矢印Ｄは、それぞれ搬送装置１０の上方向及び下方向（以下、単に「装置上方向」及び「装置下方向」と記載する。）を示している。また、図２、図４、及び図５中の矢印Ｗは、平面視で搬送方向と直交する方向、言い換えると、搬送ベルト１６の幅方向（以下、単に、「装置幅方向」と記載する。）を示している。また、図１、図３及び図６（図６では駆動スプロケット１３のみ示す。）中では、駆動スプロケット１３及び従動スプロケット１４の各々の回転方向を黒矢印（符号省略）で示している。
【００１３】
図４に示すように、駆動スプロケット１３は、装置幅方向に間隔をあけて設けられた一対のフレーム（図示省略）に回転可能に支持された回転軸２０に取り付けられている。この回転軸２０は、軸方向が装置幅方向に沿うように配置（本実施形態では、平行に配置）されている。また、この回転軸２０は、駆動モータ（図示省略）に接続されており、この駆動モータからの駆動力によって回転するようになっている。また、本実施形態では、駆動スプロケット１３が回転軸２０の軸方向に間隔をあけて複数取り付けられている。なお、本発明は上記構成に限定されず、回転軸２０に駆動スプロケット１３が一つ取り付けられる構成であってもよい。
【００１４】
従動スプロケット１４は、上記一対のフレームに回転可能に支持された回転軸２１に取り付けられている。この回転軸２１は、回転軸２０から搬送方向に離間して配置されている。また、回転軸２１は、軸方向が回転軸２０の軸方向に沿うように配置（本実施形態では、平行に配置）されている。また、本実施形態では、従動スプロケット１４が回転軸２１の軸方向に間隔をあけて複数取り付けられている。具体的には、従動スプロケット１４の配置間隔及び数量は、駆動スプロケット１３の配置間隔及び数量と同じになっている。なお、本発明は上記構成に限定されず、例えば、従動スプロケット１４の配置間隔は、駆動スプロケット１３の配置間隔と異なっていてもよく、従動スプロケット１４の数量は、駆動スプロケット１３の数量と異なってもよい。
【００１５】
図３に示すように、搬送ベルト１６は、無端帯状とされている。この搬送ベルト１６は、内周面１６Ａに駆動スプロケット１３の歯部１３Ａ及び従動スプロケット１４の歯部１４Ａが挿入されて係合する係合凹部２２が形成されている（図６参照）。この係合凹部２２に歯部１３Ａが係合した状態で駆動スプロケット１３が回転することで、駆動モータからの駆動力が搬送ベルト１６に伝達されて、この搬送ベルト１６が駆動スプロケット１３と従動スプロケット１４の周りを周回する。このように搬送ベルト１６が周回することで、搬送ベルト１６の外周面１６Ｂ上に配置された圧延物１５Ｓが搬送される。
【００１６】
図５に示すように、搬送ベルト１６は、樹脂で構成され、周方向（言い換えると、搬送ベルト１６の長手方向）に複数に分割されたベルト構成部材２３と、樹脂で構成され、隣り合うベルト構成部材２３どうしを回転可能に連結する連結軸２４（図６参照）と、を含んで構成されている。
【００１７】
図６に示すように、ベルト構成部材２３は、搬送ベルト１６の外周面１６Ｂを構成する表面が平坦状とされている。このベルト構成部材２３は、装置幅方向に沿って延びる基部２３Ａを有している。この基部２３Ａは、裏面側に歯部１３Ａ及び歯部１４Ａが係合する係合凹部２２が装置幅方向に間隔をあけて複数形成されている。また、基部２３Ａには、表面及び裏面を貫通する通気用の開口である貫通孔２３Ｄが形成されている。
ベルト構成部材２３には、基部２３Ａから周方向の一方側に突出する突出部２３Ｂが装置幅方向に間隔（本実施形態では、一定間隔）をあけて複数形成されている。また、ベルト構成部材２３には、基部２３Ａから周方向の他方側に突出する突出部２３Ｃが装置幅方向に間隔（本実施形態では、一定間隔）をあけて複数形成されている。これらの突出部２３Ｂ、２３Ｃはそれぞれ装置幅方向に対してずれた位置で基部２３Ａから周方向に突出している。また、突出部２３Ｂ及び突出部２３Ｃには、それぞれ装置幅方向に貫通する貫通孔２５が形成されている。
【００１８】
連結軸２４は、円柱状とされ、一方のベルト構成部材２３の突出部２３Ｂ間に他方のベルト構成部材２３の突出部２３Ｃを挿入して各々の貫通孔２５の位置を合わせた状態で貫通孔２５に挿入されている。また、連結軸２４は、両端にストッパ（図示省略）が取付けられて、貫通孔２５からの抜け出しが抑制されている。なお、本実施形態の連結軸２４は、本発明の連結部材の一例である。
【００１９】
図４に示すように、搬送装置１０は、駆動スプロケット１３と従動スプロケット１４の間に搬送ベルト１６の内周面１６Ａを支持するローラ１９を有している。具体的には、ローラ１９は、搬送ベルト１６の圧延物１５Ｓを搬送する側（図３では上側）の内周面１６Ａを支持している。このローラ１９は、軸方向両端が上記一対のフレームに回転可能に支持されており、搬送ベルト１６に対して従動回転可能になっている。また、ローラ１９は、軸方向が回転軸２０の軸方向に沿うように配置（本実施形態では、平行に配置）され、かつ、搬送方向に間隔をあけて複数配置されている。なお、ローラ１９は、搬送ベルト１６が自重と圧延物１５Ｓの荷重で弛まずに圧延物１５Ｓを搬送できるように荷重を分散して、搬送ベルト１６の搬送側の外周面１６Ｂが平坦状となるように配置されている。なお、ローラ１９の数量は、搬送ベルト１６の搬送側の外周面１６Ｂの平坦状態を維持できるのであれば、限定されない。
また、ローラ１９は、搬送ベルト１６との接触部分が樹脂で構成（形成）されている。なお、本実施形態では、ローラ１９全体が樹脂で構成されている。すなわち、本実施形態のローラ１９は、樹脂の一体成型品である。なお、本発明は上記構成に限定されず、ローラ１９の少なくとも外周部分が樹脂で構成されていればよい。また、ローラ１９が各部位ごとに異なる種類の樹脂で構成されてもよい。
【００２０】
図３に示すように、駆動スプロケット１３と従動スプロケット１４の間には、搬送ベルト１６の蛇行防止用に樹脂で構成されたガイドスプロケット２６が配置されている。このガイドスプロケット２６は、歯部２６Ａが搬送ベルト１６の係合凹部２２（図６参照）に係合するように設けられているため、搬送ベルト１６の脱輪を防止することができる。
また、図４に示すように、ガイドスプロケット２６は、上記一対のフレームに回転可能に支持された回転軸２７に取り付けられている。この回転軸２７は、軸方向が回転軸２０の軸方向に沿うように配置（本実施形態では、平行に配置）されている。また、本実施形態では、ガイドスプロケット２６が回転軸２７の軸方向に間隔をあけて複数取り付けられている。具体的には、ガイドスプロケット２６の配置間隔及び数量は、駆動スプロケット１３の配置間隔及び数量と同じになっている。なお、本発明は上記構成に限定されず、例えば、ガイドスプロケット２６の配置間隔は、駆動スプロケット１３の配置間隔と異なっていてもよく、ガイドスプロケット２６の数量は、駆動スプロケット１３の数量と異なってもよい。
また、本実施形態では、ガイドスプロケット２６が搬送方向の中央に配置されている。なお、本発明は上記構成に限定されず、搬送ベルト１６の蛇行を防止できれば、例えば、ガイドスプロケット２６は搬送方向の中央部からずれた位置に配置されてもよい。また、ガイドスプロケット２６を複数配置してもよい。
【００２１】
前述の駆動スプロケット１３、従動スプロケット１４、搬送ベルト１６、ローラ１９及びガイドスプロケット２６には、各々独立にエンジニアリングプラスチックとして一般に使用されている樹脂を特に制限なく使用できる。樹脂としては、ナイロン、ポリアミド、ポリアセタール、ポリオキシメチレン、ポリカーボネート（ＰＣ）、ＰＣ／ＡＢＳアロイ、ポリフェニレンエーテル、変性ポリフェニレンエーテル、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンテレフタレート、熱可塑性ポリエステル系コンポジットシート、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリエーテルサルホン、ポリフェニレンサルファイド、ポリアリレート、ポリアミドイミド、ポリエーテルイミド、ポリエーテルエーテルケトン、超高分子量ポリエチレン、アイソタクテックポリスチレン、液晶ポリマー、ナイロン６２０、ナイロン６１２、ナイロン１１、ナイロン１２、ナイロン４６、ポリアミドＭＸＤ６、ＭＣナイロン（「ＭＣナイロン」は登録商標。）、ポリイミド、フッ素樹脂、ポリアミノビスマレインイミド、シリコーン樹脂、ポリトリアジン、架橋ポリアミドイミド、耐熱エポキシ樹脂等が挙げられ、これらを１種単独で用いても２種以上組み合わせて用いてもよい。
【００２２】
搬送ベルト１６には、張力が作用するため、機械的強度が求められる。これらの観点から、搬送ベルト１６を構成する樹脂としては、ポリアセタールが好ましい。
【００２３】
一方、駆動スプロケット１３及び従動スプロケット１４には、搬送ベルト１６が巻き掛けられるため、機械的強度が求められる。また、駆動スプロケット１３及び従動スプロケット１４には、各々の歯部１３Ａ、１４Ａが搬送ベルト１６の係合凹部２２（図６参照）に挿入されるため、低摩擦及び低摩耗が求められる。これらの観点から駆動スプロケット１３、従動スプロケット１４等を構成する樹脂としては、ポリアミドが好ましい。
同様の理由から、ガイドスプロケット２６を構成する樹脂として、ポリアミドが好ましい。
【００２４】
また、ローラ１９の搬送ベルト１６との接触部分には、搬送ベルト１６の内周面１６Ａとの間で摩擦が生じるため、低摩擦及び低摩耗が求められる。これらの観点からローラ１９の上記接触部分を構成する樹脂としては、ナイロンが好ましい。
【００２５】
図３に示すように、搬送装置１０の搬送角度αは圧延物１５Ｓを搬送できるのであればいかなる角度を用いてもよいが、−３０〜３０度の範囲内であることが好ましく、０〜２０度の範囲内であることがより好ましい。搬送角度αが−３０〜３０度の範囲内であれば、圧延物１５Ｓの搬送ベルト１６の接触面に対する垂直抗力を確保でき、圧延物１５Ｓを摩擦力で適切に搬送できる。また、搬送角度αを与えることにより搬送長さを変えることなく装置の長さを短くできる。
なお、「搬送角度α」とは、搬送ベルト１６の搬送側（図３では上側）の外周面１６Ｂの水平面に対する角度を意味する。また、搬送角度αがマイナスの場合には、圧延物１５Ｓが斜め下方（装置下方）に向かって搬送され、搬送角度αがプラスの場合には、圧延物１５Ｓが斜め上方（装置上方）に向かって搬送される。
【００２６】
本実施形態の搬送装置１０は、筐体３１内に収容されている（図１参照）。この筐体３１には、低温気体を筐体３１内に送る冷却装置３２が接続されている。この冷却装置３２によって、搬送装置１０で搬送中の圧延物１５Ｓが強制的に冷却されるようになっている。
【００２７】
次に、第１実施形態の搬送装置１０の作用効果について説明する。
搬送装置１０では、圧延物１５Ｓ（シート状に圧延されたエポキシ樹脂組成物１５）と接触する搬送ベルト１６を樹脂で構成し、この搬送ベルト１６と接触する駆動スプロケット１３、従動スプロケット１４、ガイドスプロケット２６及びローラ１９（ローラ１９の搬送ベルト１６との接触部分）をすべて樹脂で構成（形成）していることから、金属異物の発生を確実に防止できる。
【００２８】
また、搬送ベルト１６を構成する樹脂をポリアセタールとしていることから、搬送ベルト１６に不具合が生じにくい。
また、駆動スプロケット１３及び従動スプロケット１４を構成する樹脂をポリアミドとしていることから、駆動スプロケット１３及び従動スプロケット１４に不具合が生じにくく、また、低摩擦のため駆動エネルギーの損失を抑えられる。
さらに、ローラ１９の搬送ベルト１６との接触部分を構成する樹脂をナイロンとしていることから、ローラ１９に不具合が生じにくく、また、低摩擦のため駆動エネルギーの損失を抑えられる。
【００２９】
また、搬送ベルト１６の搬送側の内周面１６Ａをローラ１９で支持していることから、搬送ベルト１６が自重と圧延物１５Ｓの荷重で弛むのを抑制することができる。またさらに、ローラ１９が搬送ベルト１６の上記内周面１６Ａを支持しつつ、搬送ベルト１６に対して従動回転するため、搬送ベルト１６との間の摩擦が少なく、駆動スプロケット１３を回転させる駆動モータの駆動エネルギーの損失を抑制できる。
【００３０】
搬送ベルト１６を、樹脂で構成されたベルト構成部材２３と、樹脂で構成され、かつ隣り合うベルト構成部材２３どうしを連結する連結軸２４で構成していることから、不具合が生じた場合の部品交換が容易になる。一方、上記のように、ローラ１９を配置することで、ベルト構成部材２３と連結軸２４で構成した搬送ベルト１６の弛みを抑制することができる。
【００３１】
第１実施形態の搬送装置１０では、ガイドスプロケット２６を設けているが、本発明はこの構成に限定されず、搬送ベルト１６の長さが短く、蛇行が生じにくい場合には、ガイドスプロケット２６を省略してもよい。なお、ガイドスプロケット２６を省略する上記構成については後述する第２実施形態及び第３実施形態に適用してもよい。
【００３２】
また、第１実施形態では、搬送装置１０を筐体３１内に収容し、この筐体３１内に冷却装置３２から低温気体を送って搬送中の圧延物１５Ｓを強制冷却する構成としているが、本発明はこの構成に限定されず、筐体３１を設けずに冷却装置３２から直に低温気体を搬送中の圧延物１５Ｓに吹き当てて強制冷却する構成としてもよく、筐体３１及び冷却装置３２を設けずに、自然冷却で搬送中の圧延物１５Ｓを冷却する構成としてもよい。なお、圧延物１５Ｓの強制冷却の効率性の観点からは、搬送装置１０は筐体３１内に収容することが好ましい。また、作業性からも搬送装置１０は筐体３１内に収容されることが好ましい。
また、樹脂組成物の冷却に関する上記構成については、後述する第２実施形態及び第３実施形態に適用してもよい。
【００３３】
（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態の搬送装置について説明する。なお、第１実施形態と同一構成には同一符号を付し、その説明は省略する。
図７及び図８に示すように、本実施形態の搬送装置４０は、ローラ１９の代わりに、レール４１が設けられる構成を除いて、第１実施形態の搬送装置１０と同一の構成である。
【００３４】
図７に示すように、レール４１は、搬送方向に沿って延びている。具体的には、隣り合うガイドスプロケット２６の間を通り抜けて、駆動スプロケット１３の近傍から従動スプロケット１４近傍まで延びている。また、レール４１は、搬送ベルト１６を支持する上面４１Ａが平坦状とされている。
【００３５】
レール４１は、搬送ベルト１６との接触部分が樹脂で構成（形成）されている。なお、本実施形態では、レール４１全体が樹脂で構成されているが、本発明はこの構成に限定されず、レール４１の少なくとも上部が樹脂で構成されていればよい。また、レール４１は、第１実施形態においてローラ１９に用いることができる樹脂と同じ種類の樹脂を用いることができる。
【００３６】
次に、本実施形態の搬送装置４０の作用効果について説明する。なお、本実施形態の作用効果のうち、第１実施形態と同様の作用効果は、その説明を適宜省略する。
搬送装置４０では、上面４１Ａが平坦状とされたレール４１を用いていることから、搬送ベルト１６の搬送側の外周面１６Ｂをより平坦状に近づけられる。これにより、圧延物１５Ｓからの荷重を搬送ベルト１６の外周面１６Ｂに分散させることができ、圧延物１５Ｓの滑りを抑制できる。
【００３７】
また、レール４１は、隣り合うガイドスプロケット２６の間を通り抜け、駆動スプロケット１３の近傍と従動スプロケット１４の近傍まで延びていることから、搬送ベルト１６の搬送側の外周面１６Ｂを広い範囲で平坦状に近づけられる。
【００３８】
本実施形態のレール４１は、駆動スプロケット１３の近傍から従動スプロケット１４近傍まで延びているが、本発明はこの構成に限定されず、レール４１を搬送方向に複数に分割すると共に搬送方向に間隔をあけて配置してもよい。
【００３９】
（第３実施形態）
次に、本発明の第３実施形態の搬送装置について説明する。なお、第１実施形態と同一構成には同一符号を付し、その説明は省略する。
図９及び図１０に示すように、本実施形態の搬送装置５０は、ローラ１９とレール５１がそれぞれ設けられる構成を除いて、第１実施形態の搬送装置１０と同一の構成である。
【００４０】
図９に示すように、レール５１は、搬送ベルト１６の投入された圧延物１５Ｓを受ける部分（搬送方向上流側）に配置されている。具体的には、上記圧延物１５Ｓを受ける部分に装置幅方向に間隔をあけて複数配置されている。このレール５１は、搬送方向に沿って延びており、搬送ベルト１６との接触部分が樹脂で構成（形成）されている。なお、本実施形態では、レール５１全体が樹脂で構成されているが、本発明はこの構成に限定されず、レール５１の少なくとも上部が樹脂で構成されていればよい。レール５１は、搬送ベルト１６を支持する上面５１Ａが平坦状とされている。また、レール５１は、第１実施形態においてローラ１９に用いることができる樹脂と同じ種類の樹脂を用いることができる。
一方、ローラ１９は、レール５１よりも搬送方向の下流側に搬送方向に間隔をあけて複数配置されている。
【００４１】
次に、本実施形態の搬送装置５０の作用効果について説明する。なお、本実施形態の作用効果のうち、第１実施形態と同様の作用効果は、その説明を適宜省略する。
搬送ベルト１６の投入された圧延物１５Ｓを受ける部分にレール５１を配置することで、搬送ベルト１６の上記受ける部分が弛むのを抑制することができる。これにより、搬送ベルト１６上に配置する圧延物１５Ｓが蛇行するのを抑制することができる。
【００４２】
本実施形態では、搬送ベルト１６の投入された圧延物１５Ｓを受ける部分にレール５１を配置する構成としたが、本発明はこの構成に限定されず、例えば、搬送方向に隣り合うローラ１９間にもレール５１を配置してもよい。
【００４３】
本実施形態においてはレールを用いているが、レールに限らず、支持板等の板状のものを用いてもよい。
【００４４】
第１〜３実施形態の搬送装置１０、４０、５０では、駆動スプロケット１３、従動スプロケット１４及び搬送ベルト１６を用いて圧延物１５Ｓを搬送したが、本発明はこの構成に限定されず、圧延物１５Ｓを搬送することができれば、他の構成を用いてもよい。例えば、駆動スプロケット１３と従動スプロケット１４に樹脂で構成されたチェーンを巻き掛け、このチェーンに搬送ベルト１６を接続する構成を用いてもよい。
【００４５】
第１〜３実施形態の搬送装置１０、４０、５０では、半導体封止用エポキシ樹脂組成物１５を搬送する構成としたが、本発明はこの構成に限定されず、半導体封止用エポキシ樹脂組成物以外の樹脂組成物を搬送してもよい。
【００４６】
以上、実施形態を挙げて本発明の実施の形態を説明したが、これらの実施形態は一例であり、要旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施できる。また、本発明の権利範囲がこれらの実施形態に限定されないことは言うまでもない。
【実施例】
【００４７】
以下、本発明の搬送装置の好適な実施例について説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。
【００４８】
（実施例１）
実施例１の搬送装置は、第１実施形態の搬送装置１０において、搬送ベルト１６をポリアセタール製、幅７６２ｍｍ、周長１５４４２ｍｍとした。また、駆動スプロケット１３、従動スプロケット１４及びガイドスプロケット２６をそれぞれポリアミド製とし、各々の回転軸２０、２１、２７にそれぞれ１０個取り付けた。また、ローラ１９をＭＣナイロン製、幅８６０ｍｍ、直径５０ｍｍとした。また、搬送角度αを１０．５度とした。
【００４９】
（実施例２）
実施例２の搬送装置は、第２実施形態の搬送装置４０において、搬送ベルト１６をポリアセタール製、幅７６２ｍｍ、周長１５４４２ｍｍとした。また、駆動スプロケット１３、従動スプロケット１４及びガイドスプロケット２６をそれぞれポリアミド製とし、各々の回転軸２０、２１、２７にそれぞれ１０個取り付けた。また、レール４１をＭＣナイロン製、幅１００ｍｍ、長さ７１４９ｍｍとし、５本を分割して配置した。また、搬送角度αを１０．５度とした。
【００５０】
実施例１の搬送装置および実施例２の搬送装置にて搬送ベルト１６の速度を３ｍｍ／ｍｉｎとして、１６時間空運転した後、確認したところ、金属異物の発生は無かった。
【００５１】
（比較例１）
図１１には、比較例１の搬送装置１００を示した。金属製のネット１０１を使用した搬送装置１００の金属異物を確認するため、搬送物を載せずにコンベア速度３ｍ／ｍｉｎで空運転を行い、金属異物を採取した。採取箇所は図１１に示すようにネット１０１（ＳＵＳ４３０製）の周り１０１Ｒ、レール１０２（Ｆｅ製）の周り１０２Ｒ、駆動スプロケット（Ｆｅ製）１０３Ｒの周りとし、採取箇所にポリエチレン袋を設置し、空運転後回収した。６時間空運転後、量２９ｍｇ、最大サイズ１７６０μｍの金属異物を確認した。
【００５２】
実施例１の搬送装置では、金属異物の発生要因が無くなり、またローラの回転軸を搬送ベルトの搬送方向直角に設けたため、搬送ベルトの外周面を平坦状に維持することが可能となった。
【００５３】
実施例２の搬送装置では、金属異物の発生要因が無くなり、またレールを装置幅方向に複数配置したため、搬送ベルトの外周面を平坦状に維持することが可能となった。
【符号の説明】
【００５４】
１０    搬送装置
１３    駆動スプロケット
１４    従動スプロケット
１５    半導体封止用エポキシ樹脂組成物（樹脂組成物）
１６    搬送ベルト
１６Ａ  内周面
１６Ｂ  外周面
１９    ローラ（支持手段）
２３    ベルト構成部材
２４    連結軸（連結部材）
４０    搬送装置
４１    レール（支持手段）
５０    搬送装置
５１    レール（支持手段）
Ａ      搬送方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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