(57)【要約】【課題】偶発故障期間の故障率を想定された範囲内に収めるために、また想定される摩耗故障期間までの期間が短くならないようにするために、導電膜を使用した電子機器の設置環境判定装置を提供すること。【解決手段】絶縁物の基材に成膜されている温度・湿度に対応して時間経過により抵抗値が上昇する導電膜は、温度・湿度が低いと抵抗値の上昇スピードが遅くなかなか抵抗値が上昇しないが、温度・湿度が高いと抵抗値の上昇スピードが速く、その抵抗値の上昇が基準となる温度・湿度における抵抗値の上昇よりも速い場合は、温度・湿度が高く信頼性的に問題ありとしてアラーム出力を行い、アラームに対応することにより、想定された寿命よりも短くなることを防ぎ、偶発故障期間の故障率の上昇を防ぐことができる。【選択図】図２
2014013213.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子機器に設けられ、前記電子機器の設置環境を判定する設置環境判定装置であって、前記電子機器内の回路上に設けられた導電膜と、
前記導電膜の抵抗値を所定時間毎あるいは所定のタイミング毎に測定する測定部と、
前記測定部により測定した抵抗値を使用開始時からの経過時間または製造時からの経過時間に対応付けて記憶する測定値記憶部と、
基準となる温度・湿度における導電膜の抵抗値と基準時間として用いられる経過時間との関係を記憶した基準時間記憶部と、
前記測定した抵抗値が所定の抵抗値となった時の前記経過時間と前記基準時間における経過時間を比較する比較部と、
前記比較部による比較の結果を出力する比較結果出力部とを有することを特徴とする電子機器の設置環境判定装置。
【請求項２】
電子機器に設けられ、前記電子機器の設置環境を判定する設置環境判定装置であって、前記電子機器内の回路上に設けられた導電膜と、
前記導電膜の抵抗値を所定時間毎あるいは所定のタイミング毎に測定する測定部と、
前記測定部により測定した抵抗値を測定時刻に対応付けて記憶する測定値記憶部と、
基準となる温度・湿度における導電膜の抵抗値と基準時間として用いられる経過時間との関係を記憶した基準時間記憶部と、
前記測定した抵抗値が所定の抵抗値となった時の前記測定時刻より算出した使用開始時からの経過時間または製造時からの経過時間と前記基準時間における経過時間を比較する比較部と、
前記比較部による比較の結果を出力する比較結果出力部とを有することを特徴とする電子機器の設置環境判定装置。
【請求項３】
電子機器に設けられ、前記電子機器の設置環境を判定する設置環境判定装置であって、前記電子機器内の回路上に設けられた導電膜と、
前記導電膜の抵抗値を所定時間毎あるいは所定のタイミング毎に測定する測定部と、
前記測定部により測定した抵抗値を使用開始時からの経過時間または製造時からの経過時間に対応付けて記憶する測定値記憶部と、
基準となる温度・湿度における導電膜の抵抗値と基準時間として用いられる経過時間との関係を記憶した基準時間記憶部と、
前記測定した抵抗値が所定の抵抗値となった時、前記測定値記憶部に記憶した抵抗値と経過時間から経過時間の増分と抵抗値の増分との測定比を算出する測定比算出部と、
前記基準時間記憶部に記憶した抵抗値と経過時間から算出した経過時間の増分と抵抗値の増分との基準比を算出する基準比算出部と、
前記算出した測定比と基準比とを比較する比較部と、
前記比較部による比較の結果を出力する比較結果出力部とを有することを特徴とする電子機器の設置環境判定装置。
【請求項４】
電子機器に設けられ、前記電子機器の設置環境を判定する設置環境判定装置であって、前記電子機器内の回路上に設けられた導電膜と、
前記導電膜の抵抗値を所定時間毎あるいは所定のタイミング毎に測定する測定部と、
前記測定部により測定した抵抗値を測定時刻に対応付けて記憶する測定値記憶部と、
基準となる温度・湿度における導電膜の抵抗値と基準時間として用いられる経過時間との関係を記憶した基準時間記憶部と、
前記測定した抵抗値が所定の抵抗値となった時、前記測定値記憶部に記憶した抵抗値と時刻から経過時間の増分と抵抗値の増分との測定比を算出する測定比算出部と、
前記基準時間記憶部に記憶した抵抗値と経過時間から算出した経過時間の増分と抵抗値の増分との基準比を算出する基準比算出部と、
前記算出した測定比と基準比とを比較する比較部と、
前記比較部による比較の結果を出力する比較結果出力部とを有することを特徴とする電子機器の設置環境判定装置。
【請求項５】
前記比較結果出力部は、前記所定の抵抗値となった時の経過時間が前記基準時間よりも短い場合、または前記所定の抵抗値となった時の経過時間と前記基準時間との差が所定範囲内にある場合にアラームを出力することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一つに記載の電子機器の設置環境判定装置。
【請求項６】
前記基準時間を複数設け、前記比較結果出力部は前記所定の抵抗値となった時の経過時間が前記複数の基準時間のうち最も近い基準時間に対応したアラームまたはメッセージを出力することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一つに記載の電子機器の設置環境判定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、各種電子機器に使用される電気・電子部品において想定された寿命よりも短くならないように、また偶発故障期間の故障率が上がらないようにするために設置環境が悪く（温度・湿度が高く）ないか判定し、前もって設定した設置環境条件と比較して、設置環境が悪い（温度・湿度が高い）場合は、設置環境を改善するようにアラームを出す導電膜を使用した電子機器の設置環境判定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電気・電子機器に使用される部品等が故障する場合、図１に示す、初期故障期間、偶発故障期間、摩耗故障期間の３つの内のいずれかで発生する。初期故障期間は時間とともに故障率が減少し、バーンインなどを実施し故障したものを取り除くことで市場での故障率を減少させることができる。
【０００３】
偶発故障期間はランダムに故障が発生し、故障率は一般的にほぼ一定となる。摩耗故障期間はいわゆる寿命として故障しはじめる（寿命を迎えるものが出始める）期間である。時間と共に故障率が上昇する。
【０００４】
摩耗故障期間の故障、いわゆる寿命に関しては、耐環境性が劣ったものを使用して被試験部品の寿命を短くし、残存寿命を予測する方法（特許文献１参照）などがある。異常な温度や湿度を感知するために、温度センサおよび湿度センサを装置内の電気回路に設置（実装）し、温度・湿度をモニタする方法（特許文献２参照）などがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０００−２１４２０５号公報
【特許文献２】特許第３２９５００５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
偶発故障期間の故障はランダムに発生するので、バーンインなどで取り除くことはできない。また、使用環境によって故障率が大きく変化する。つまり、高温高湿（多湿）で使用すると、偶発故障期間の故障率は上昇する。また、摩耗故障期間に入るまでの時間が短くなり、本来製品寿命まで保つはずであった部品などが、製品寿命前に故障率が急に高くなり問題となる。例えば製品寿命が１０年とすると、少なくとも１０年間は部品などが摩耗故障期間に入らないようにしなければならない。ただし、消耗品として交換が前提になっている部品などを除く。したがって、高温高湿（高温多湿）で使用しないことが重要である。
【０００７】
なお、摩耗故障期間に入るまでの時間や偶発故障期間の故障率（以下、「摩耗偶発信頼性」という。）は、ある温度とある湿度（一定の条件）において使用されたと仮定して推定される。よって摩耗偶発信頼性に関する推定に使用された温度と湿度に対して設置環境の温度と湿度が高い場合は、推定された摩耗故障期間に入るまでの時間が短くなり、偶発故障期間の故障率は高くなってしまう。よって、設置環境の温度と湿度を知る必要があるが、刻々と変わる温度と湿度を測定して分かったとしても、推定に使用した一定な温度と湿度に対して、個々の測定した温度と湿度が高いのか、等しいのか、あるいは低いのかは分かるが、ある一定期間で比較することが難しかった。つまり、ある一定期間（３ヶ月や半年や１年など）使用した場合に、その期間の刻々と変化する使用条件（温度・湿度の条件）が摩耗偶発信頼性の推定に使用された一定な温度と湿度と比較して良いのか悪いのか判定することが難しかった。
【０００８】
例えば日本のように四季があったり梅雨の期間があったりするような温度や湿度が大きく変化する環境では、温度と湿度が一定ではないので、ある一定期間で比較する場合に、想定した偶発故障期間の故障率の範囲内となる設置環境なのか、また想定される製品寿命（消耗品を除き、ある温度とある湿度で使用したときに期待される使用期間（例えば５年間とか１０年間）内に摩耗故障期間に入らないように設計されている。）より短くなる設置環境でないかを知ることは難しかった。なお、例として日本の四季を挙げたが、東南アジアにおいても温度や湿度は変化するし、エアーコンディショナーの使用不使用により信頼性が大きく変わるため、ある設置環境で、ある一定期間使用した場合、推定に使用した温度と湿度に対して高いのか低いのかを明確に知ることは難しかった。
【０００９】
そして、特許文献１に開示される技術では残存寿命が分かるだけである。故障する前に交換することが必要であり、消耗品の考え方である。想定した寿命を短くしないという考え方ではないし、偶発故障期間の想定した故障率があがらないようにする考え方ではない。また、特許文献２に開示される技術は、密封された容器に穴が開くなどのような障害に対して、温度・湿度のモニタで発見することを目的としており、日々刻々と変化する温度・湿度をモニタして想定される偶発故障期間の故障率が高くならないように、想定される摩耗故障期間までの期間が短くならないようにする技術ではない。
【００１０】
そこで、本発明は、上記従来技術の問題点に鑑み、制御装置や電子機器が設置されている環境を判定し、制御装置や電子機器内に設けられた部品などに影響がある（寿命が想定よりも短くなるとか、偶発故障期間の故障率が高くなる）場合、影響に応じたアラームなどを出力し、アラームに対処する（環境を改善する）ことにより、摩耗故障期間（寿命）までの時間が短くなることを防ぎ、偶発故障期間の故障率を想定された範囲内に収めることが可能な導電膜を使用した電子機器の設置環境判定装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
温度・湿度に対応して異なった抵抗値の上昇スピードを示す導電膜を使用し、後述するように前もって温度・湿度を変えて試験を行い、時間に対する抵抗値の変化を調べる。この試験結果をもとに、基準となる導電膜の抵抗値と基準となる時間を求めておく。実使用において、導電膜の抵抗値をある時間毎に測定し、その抵抗値が基準の値になったら（基準値の近傍に入ったらまたは基準値を超えたら）、基準の時間と比較することにより設置されている環境が推定に使用したものの温度・湿度に対して高いのか低いのか同じかが分るので、制御装置や電子機器などが設置されている環境が適切かどうか判断し、不適切な場合はアラームで示す。不適切な環境を適切な状態に改善することにより、寿命が短くなることを防ぎ、偶発故障期間の故障率を想定された範囲内に収めることができる。
【００１２】
温度・湿度に対応して抵抗値の上昇スピードが異なる導電膜について、薄い導電膜、例えば、タッチパネルなどの電極として使用されるほど薄い透明導電膜がプラスチックフィルム上に形成させる場合、構造や膜質などによっては高温高湿（高温多湿）に弱い（例えば抵抗値が上昇する）ので、信頼性向上のため、プラスチックフィルム上のバリア層を設けたり複層構造にする技術、熱膨張係数の相違の緩和のための層を設ける技術、非晶質の導電膜を加熱処理し結晶化する技術、炭素に着目した技術などがある。
【００１３】
これらからも明らかなように、薄い導電膜において構造や膜質によっては、温度・湿度の条件（高温・高湿）により抵抗値が上昇する。本発明は、温度・湿度に強い導電膜（温度・湿度が高くても抵抗値が一定に近い導電膜、本発明では透明性は必要しないので、単に導電膜とする）についてのものではなく、逆に、温度・湿度が高いと抵抗値が上昇する導電膜を利用するものである。
【００１４】
本発明は、高温・高湿（高温・多湿）の下で抵抗値が上昇する性質を有する導電膜を利用し、空気中の水分（水蒸気）が侵入できるような構造にする（つまり、セラミックなどの空気中の水分（水蒸気））が侵入しない材料をすべての面に使用して密閉構造としない）ことにより、温度・湿度によって抵抗値が時間とともに上昇することを利用する。
【００１５】
導電膜の材料としては、金、銀、パラジウムなどの金属薄膜、インジウム酸化物、スズ酸化物、インジウム−スズ酸化物（ＩＴＯ）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）などの金属酸化物が使用できるが、本発明は透明性が必要ないので、これらの金属薄膜や金属酸化物に限定されない。  
導電膜の成膜には、真空蒸着法、スパッタリング法などが使用できる。本発明の場合、導電膜の膜質は結晶質よりも非晶質の方がよい。非晶質、結晶質の成膜温度については、基板温度が１００℃以下であるときはほぼ非晶質であり、結晶質にするためには、１５０℃以上が必要である。
【００１６】
導電膜を成膜させる基材となるものについては、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリイミド、ポリカーボネート、アクリル系、ポリエチレン系などが使用できるが、本発明においては、透明である必要がないので、プラスチック全般について使用することができる。また、導電膜を成膜させる基材となるのは、プラスチックに限らず、絶縁基材であればよいので、例えばセラミックやガラスなどを使用することができる。なお、セラミックやガラスなどを基材とする時は導電膜の少なくとも、一方から空気中の水分が浸入することが必要になる。例えば、セラミック上に導電膜を成膜したときは、セラミックで密封すると空気中の水分が入ってこないので、水蒸気透過性を有する絶縁物と透湿性の被覆材として導電膜の表面を保護するか、保護なし（表面を外部に露出）とするなど空気中の水分の浸入が可能なようにする必要がある。
【００１７】
そして、本願の請求項１に係る発明は、電子機器に設けられ、前記電子機器の設置環境を判定する設置環境判定装置であって、前記電子機器内の回路上に設けられた導電膜と、前記導電膜の抵抗値を所定時間毎あるいは所定のタイミング毎に測定する測定部と、前記測定部により測定した抵抗値を使用開始時からの経過時間または製造時からの経過時間に対応付けて記憶する測定値記憶部と、基準となる温度・湿度における導電膜の抵抗値と基準時間として用いられる経過時間との関係を記憶した基準時間記憶部と、前記測定した抵抗値が所定の抵抗値となった時の前記経過時間と前記基準時間における経過時間を比較する比較部と、前記比較部による比較の結果を出力する比較結果出力部とを有することを特徴とする電子機器の設置環境判定装置である。  
請求項２に係る発明は、電子機器に設けられ、前記電子機器の設置環境を判定する設置環境判定装置であって、前記電子機器内の回路上に設けられた導電膜と、前記導電膜の抵抗値を所定時間毎あるいは所定のタイミング毎に測定する測定部と、前記測定部により測定した抵抗値を測定時刻に対応付けて記憶する測定値記憶部と、基準となる温度・湿度における導電膜の抵抗値と基準時間として用いられる経過時間との関係を記憶した基準時間記憶部と、前記測定した抵抗値が所定の抵抗値となった時の前記測定時刻より算出した使用開始時からの経過時間または製造時からの経過時間と前記基準時間における経過時間を比較する比較部と、前記比較部による比較の結果を出力する比較結果出力部とを有することを特徴とする電子機器の設置環境判定装置である。  
請求項３に係る発明は、電子機器に設けられ、前記電子機器の設置環境を判定する設置環境判定装置であって、前記電子機器内の回路上に設けられた導電膜と、前記導電膜の抵抗値を所定時間毎あるいは所定のタイミング毎に測定する測定部と、前記測定部により測定した抵抗値を使用開始時からの経過時間または製造時からの経過時間に対応付けて記憶する測定値記憶部と、基準となる温度・湿度における導電膜の抵抗値と基準時間として用いられる経過時間との関係を記憶した基準時間記憶部と、前記測定した抵抗値が所定の抵抗値となった時、前記測定値記憶部に記憶した抵抗値と経過時間から経過時間の増分と抵抗値の増分との測定比を算出する測定比算出部と、前記基準時間記憶部に記憶した抵抗値と経過時間から算出した経過時間の増分と抵抗値の増分との基準比を算出する基準比算出部と、前記算出した測定比と基準比とを比較する比較部と、前記比較部による比較の結果を出力する比較結果出力部とを有することを特徴とする電子機器の設置環境判定装置である。
【００１８】
請求項４に係る発明は、電子機器に設けられ、前記電子機器の設置環境を判定する設置環境判定装置であって、前記電子機器内の回路上に設けられた導電膜と、前記導電膜の抵抗値を所定時間毎あるいは所定のタイミング毎に測定する測定部と、前記測定部により測定した抵抗値を測定時刻に対応付けて記憶する測定値記憶部と、基準となる温度・湿度における導電膜の抵抗値と基準時間として用いられる経過時間との関係を記憶した基準時間記憶部と、前記測定した抵抗値が所定の抵抗値となった時、前記測定値記憶部に記憶した抵抗値と時刻から経過時間の増分と抵抗値の増分との測定比を算出する測定比算出部と、前記基準時間記憶部に記憶した抵抗値と経過時間から算出した経過時間の増分と抵抗値の増分との基準比を算出する基準比算出部と、前記算出した測定比と基準比とを比較する比較部と、前記比較部による比較の結果を出力する比較結果出力部とを有することを特徴とする電子機器の設置環境判定装置である。  
請求項５に係る発明は、前記比較結果出力部は、前記所定の抵抗値となった時の経過時間が前記基準時間よりも短い場合、または前記所定の抵抗値となった時の経過時間と前記基準時間との差が所定範囲内にある場合にアラームを出力することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一つに記載の電子機器の設置環境判定装置である。  
請求項６に係る発明は、前記基準時間を複数設け、前記比較結果出力部は前記所定の抵抗値となった時の経過時間が前記複数の基準時間のうち最も近い基準時間に対応したアラームまたはメッセージを出力することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一つに記載の電子機器の設置環境判定装置である。
【発明の効果】
【００１９】
本発明により、制御装置や電子機器が設置されている環境を判定し、制御装置や電子機器内に設けられた部品などに影響がある（寿命が想定よりも短くなるとか、偶発故障期間の故障率が高くなる）場合、影響に応じたアラームなどを出力し、アラームに対処する（環境を改善する）ことにより、摩耗故障期間（寿命）までの時間が短くなることを防ぎ、偶発故障期間の故障率を想定された範囲内に収めることが可能な導電膜を使用した電子機器の設置環境判定装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】初期故障期間では故障率が時間とともに減少し、偶発故障期間では故障率はほぼ一定、摩耗故障期間では故障率は時間とともに増加し、故障が発生する場合はこれらの３つの内のいずれかであることを説明する図である。
【図２】水蒸気透過性を有する絶縁物の基材に、温度・湿度に対応して時間経過により抵抗値が上昇する導電膜と導電膜と接続される両側に形成された導体（電極）からなる構造を説明する図である。
【図３】水蒸気透過性を有しない絶縁物の基材に、温度・湿度に対応して時間経過により抵抗値が上昇する導電膜と導電膜と接続される両側に形成された導体（電極）からなる構造を説明する図である。
【図４】基板（プリント基板やアルミナ基板など）上の導体パターン間に温度・湿度によって抵抗値が上昇する導電膜を成形した例を説明する図である。
【図５】導電膜における時間と抵抗値の関係を説明する図である。
【図６】抵抗値がＲ１の場合について、ワイブル分布のグラフにプロットしたグラフを説明する図である。
【図７】設定された累積パーセントとなる時間と「１／温度」の関係を説明する図である。
【図８】設定された累積パーセントとなる時間と「１／湿度」の関係を説明する図である。
【図９】温度・湿度を（（Ｅ／ｋ（Ｔ＋２７３））＋（β／ＲＨ））に代入して求めた値と時間の関係を説明する図である。
【図１０】環境条件１〜３の温度・湿度を（（Ｅ／ｋ（Ｔ＋２７３））＋（β／ＲＨ））に代入して求めた値と時間の関係を説明する図である。
【図１１】Ｒ１〜Ｒｎについて、環境条件１〜３の温度・湿度を（（Ｅ／ｋ（Ｔ＋２７３））＋（β／ＲＨ））に代入して求めた値と時間の関係を説明する図である。
【図１２】Ｔｍ＿Ｒｘ（ｘは１〜ｎ）から（（Ｅ／ｋ（Ｔ＋２７３））＋（β／ＲＨ））の値を求め、求められた値と設置条件１〜３の（（Ｅ／ｋ（Ｔ＋２７３））＋（β／ＲＨ））の値との関係を説明する図である。
【図１３】抵抗値測定部・比較（判定）部・記憶部・アラーム出力部を備えた本発明の実施形態を説明する図である。
【図１４】抵抗値測定部・算出及び比較（判定）部・記憶部・アラーム出力部を備えた本発明の実施形態を説明する図である。
【図１５】ロッカー上に設けられた温度・湿度に対応して時間経過により抵抗値が上昇する導電膜を示す図である。
【図１６】ロッカーの内面に設けられた温度・湿度に対応して時間経過により抵抗値が上昇する導電膜を示す図である。
【図１７】プリント板に設けられた温度・湿度に対応して時間経過により抵抗値が上昇する導電膜を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明の実施形態を図面と共に説明する。  
＜本発明の実施形態に用いられる導電膜＞  
本発明の実施形態に用いられる導電膜（例えばＩＴＯ膜で非結晶タイプのもの）は、温度・湿度が低いと抵抗値の上昇スピードが遅くなかなか抵抗値が上昇しない。温度・湿度（温度および湿度）が高いと抵抗値の上昇スピードが速い（なお、上昇したものは下降しない。）。本発明はこの性質を利用し、導電膜の抵抗値の上昇をある時間毎にモニタリングし、その抵抗値の上昇が基準となる温度・湿度における抵抗値の上昇よりも速い場合は、温度・湿度が高く信頼性的に問題ありとしてアラーム出力を行う。アラームに対応することにより、想定された寿命よりも短くなることを防ぎ、偶発故障期間の故障率の上昇を防ぐことができる。
【００２２】
本発明の実施形態に用いられる導電膜は以下に述べるような構造の素子として、または、プリント基板に直に形成して使用することができる。  
図２に示されるように、水蒸気透過性を有する絶縁物の基材４に、温度・湿度に対応して時間経過により抵抗値が上昇する導電膜５（例えば、ＩＴＯ膜）と、導電膜５と接続される両側に形成された導体（電極６，６）を備える。この場合は導電膜５の表面を外部に露出させてもよいし、水蒸気透過性を有する絶縁物を透湿層の被覆材として導電膜５を覆ってもよいし、水蒸気透過性を有しない絶縁物で導電膜５の表面を覆ってもよい。水蒸気透過性を有する絶縁物の基材としては、プラスチック全般を指すが、ＰＥＴ程度以上の水蒸気透過性（ＰＥＴフィルム厚２５μｍで２０〜３０ｇ／ｍ2・２４ｈ、４０℃、９０％ＲＨ）を有するプラスチックが好ましい。
【００２３】
図３に示す素子は、水蒸気透過性を有しない絶縁物の基材７（例えば、セラミック、ガラスなど）に温度・湿度に対応して時間経過により抵抗値が上昇する導電膜５（例えばＩＴＯ膜）と、導電膜５と接続される両側に形成された導体（電極６，６）からなる。この場合は導電膜５の表面を外部に露出させてもよいし、水蒸気透過性を有する絶縁物を透湿層の被覆材として導電膜５の表面を覆ってもよい。水蒸気透過性を有する絶縁物の基材としては、プラスチック全般を指すが、ＰＥＴ程度以上の水蒸気透過性を有するプラスチックが好ましい。また、導電膜５の部分の被覆材において孔径と孔数、つまり、孔面積を変化させてもよい。また、導電膜５の部分の被覆材においてスリットを入れて空気中の水分が導電膜５に到達しやすくしてもよい。
【００２４】
次に、温度・湿度に対応して時間経過により抵抗値が上昇する導電膜５について説明する。導電膜５はスパッタリング法で成膜する。膜厚は５〜２００ｎｍ程度が好ましい。温度は、１００℃以下が好ましく、非晶質が好ましい。なお、温度・湿度に対応して経過時間により抵抗値の上昇が大きすぎる場合は、バリア層を設けたり、熱を加えて非晶質を結晶化したり、水蒸気透過性を有する絶縁物において水蒸気が透過し難くしたりすることなどにより抵抗値の上昇のスピードを調整することができる。バリア層が不十分であったりＩＴＯ膜が十分に結晶化していない場合は、温度・湿度の条件により、ＩＴＯ膜の抵抗値の上昇スピードが異なるため、その上昇した抵抗値と時間を算出することにより、温度・湿度が信頼性上問題無い範囲か推測することが可能である。
【００２５】
なお、図４に示すように基板（プリント基板やアルミナ基板など）上の導体パターン間（配線パターン９，９の間）に図２あるいは図３の温度・湿度によって抵抗値が上昇する導電膜５を成形してもよい。導電膜５の保護膜の有無や保護については前述のとおりである。
【００２６】
＜温度・湿度に対応して経過時間により抵抗値が上昇する導電膜を利用した設置環境判定装置を設けた数値制御装置の実施形態＞  
コンピュータ内蔵の数値制御装置は工作機械の制御を行う。工作機械は悪環境（例えば空調がきいておらず、夏は温度が非常に高く梅雨時は湿度が高くなる建屋内や、周囲に高温となる設備があり、その影響を受ける場所）に設置されることがある。悪環境に設置されたまま使用を続けると数値制御装置の故障率は想定されたものよりも高くなってしまうし、寿命は想定されたものよりも短くなってしまう。
【００２７】
これを防ぐためには、どのような環境に数値制御装置が設置されて使用されているかを知る必要がある。使用時の温度や湿度がある一定値を超えたらアラームを出すようにしているものもあるが、その設定の温度や湿度は一般的に高くされているため、その設定に近い温度や湿度で経年的に使用を続けると寿命が短くなったり、偶発故障期間の故障率が高くなったりする。  
そこで、適切な温度・湿度で使用されているのか経時的に分かるようにしたものが以下の実施形態である。
【００２８】
温度・湿度に対応して時間経過により抵抗値が上昇する導電膜を利用した設置環境判定装置が例えば数値制御装置に設けられた場合の実施形態は以下のとおりである。本発明の実施形態における回路構成を図１３に示す。抵抗値測定・比較（判定）・記憶・アラーム出力の回路５０は抵抗値測定部５１、比較（判定）部５４、記憶部５５、及びアラーム出力部５６を有する。
【００２９】
まず、記憶部５５に保存されるデータについて説明する。例えば導電膜としてのＩＴＯ膜の抵抗値は、図５のように変化する。あるサンプル数で、ある温度・湿度条件（例えば、６０℃／９５％や５０℃／９５％）での試験を実施することによって時間（対数軸）と抵抗値（対数軸とか対数・対数軸とか対数・対数・対数軸など）の関係が求められる。
【００３０】
試験条件（１）から試験条件（４）は、あるサンプル数（図５ではサンプル数はｎ個である）分の結果例を表している。温度・湿度の試験条件は、試験条件（１）がＴ１℃，φ１％ＲＨ、試験条件（２）がＴ１℃，φ２％ＲＨ、試験条件（３）がＴ２℃，φ１％ＲＨ、試験条件（４）がＴ２℃，φ２％ＲＨと仮定する。温度・湿度と、ある抵抗値に上昇するまでの時間の関係は、数１式や数２式などで表される。ここでは、数１式に当てはまる場合の例について説明する。
【００３１】
【数１】
2014013213.tif 000003
【００３２】
【数２】
2014013213.tif 000004
【００３３】
数１式において、湿度を一定にした場合、ある抵抗値になるまでの、温度Ｔ１（℃）での試験結果の時間をＬ１、温度Ｔ２（℃）での試験結果の時間をＬ２（Ｔ１＞Ｔ２、Ｌ１＜Ｌ２）とすると、活性化エネルギーＥは、数３式で求められる。
【００３４】
【数３】
2014013213.tif 000005
【００３５】
同様に温度を一定にした場合、ある抵抗値になるまでの、湿度φ１（％ＲＨ）での試験結果の時間をＬ１、湿度φ２（％ＲＨ）での試験結果の時間をＬ２（φ１＞φ２、Ｌ１＜Ｌ２）とすると、加速性βは、数４式で求められる。
【００３６】
【数４】
2014013213.tif 000006
【００３７】
つまり、最低、温度２条件、湿度２条件（試験の条件としては、例えば（Ｔｐ，φｍ）、（Ｔｑ，φｍ）、（Ｔｑ，φｎ）の３つ実施すれば湿度を一定にした場合の最低、温度２つ、温度を一定にした場合の最低、湿度２つが求まる）で活性化エネルギーＥおよび加速性βが求まる。しかし、より正確に求めるには、温度条件３条件以上、湿度３条件以上が望ましい。
【００３８】
活性化エネルギーＥと加速性βが分かれば定数Ａが求まる。
【００３９】
さて、試験を行いグラフにプロットして活性化エネルギーＥ、加速性β、定数Ａを求める場合について述べる。上記に述べたように温度３条件以上、湿度３条件以上が望ましいが、説明を簡単にするために、温度２条件、湿度２条件の場合について説明する。温度の条件としてＴ１℃、Ｔ２℃（Ｔ１＞Ｔ２）、湿度２条件としてφ１％ＲＨ、φ２％ＲＨ（φ１＞φ２）の４条件で試験を行う。つまり試験条件（１）（Ｔ１℃、φ１％ＲＨ）、試験条件（２）（Ｔ１℃、φ２％ＲＨ）、試験条件（３）（Ｔ２℃、φ１％ＲＨ）、試験条件（４）（Ｔ２℃、φ２％ＲＨ）の４つの試験条件で試験を行う。サンプル数を各々ｎ個とする。これらのサンプルを各々の試験条件（試験条件（１），試験条件（２），試験条件（３），試験条件（４））で試験を行う。
【００４０】
時間毎に導電膜の抵抗値を測定して図５のようにプロットする。時間軸と抵抗軸について対数をとったりすることで、時間と抵抗の関係が直線になるようにする。温度・湿度が、試験条件（１）（Ｔ１℃、φ１％ＲＨ）、試験条件（２）（Ｔ１℃、φ２％ＲＨ）、試験条件（３）（Ｔ２℃、φ１％ＲＨ）、試験条件（４）（Ｔ２℃、φ２％ＲＨ）である。図５では全サンプルの結果を帯状の直線で表している。図５の抵抗値をＲ１〜Ｒｎに分ける。  
まず、抵抗がＲ１の場合について説明する。温度・湿度の試験条件（１）のＴ１℃、φ１％ＲＨの各サンプルの抵抗がＲ１になる時間を読み取り図６のようにワイブル確率のグラフにプロットし直線で表す。他の３つの試験条件についてもワイブル確率のグラフにプロットし直線で表す。図５の符号２２は図６の符号３２の直線に変換され、図５の符号２４は図６の符号３４の直線に変換され、図５の符号２６は図６の符号３６の直線に変換され、図５の符号２８は図６の符号３８の直線に変換される。なお、ワイブル・プロットは公知である。
【００４１】
これより抵抗値がＲ１になる時間と累積パーセント（％）（Ｆ（ｔ））が試験条件（試験条件（１），試験条件（２），試験条件（３），試験条件（４））毎に分かる。図６のように累積パーセント（％）をｘ％（ｘは任意である）と選択すると、それぞれの試験条件においての時間がわかる。図６のＲ１になるまでの累積ｘ（％）となる時間をＴ１℃およびφ１％ＲＨの試験条件（１）でｔ11、Ｔ１℃およびφ２％ＲＨの試験条件（２）でｔ12、Ｔ２℃およびφ１％ＲＨの試験条件（３）でｔ21、Ｔ２℃およびφ２％ＲＨの試験条件（４）でｔ22とする。
【００４２】
これらの時間を、「１／温度」と時間のグラフにプロットしたものが図７である。ここで温度は、ケルビン温度（絶対温度）を分母とするためにセ氏（℃）の温度に２７３を加えて、（Ｔ＋２７３）とする。４条件の試験結果より、２本の直線が引ける。これらの直線は平行となる。平行とならない場合は、同一の活性化エネルギーＥ，同一の加速性βでの加速となっていないため、温度・湿度の試験条件を変えて実施する。この直線の傾きにボルツマン定数をかけたものが活性化エネルギーＥである。
【００４３】
同様に、これらの時間を、「１／湿度」と時間のグラフにプロットしたものが図８である。この場合も温度と同様に、２本の直線に引ける。これらの直線は平行となる。平行とならない場合は、同一の活性化エネルギーＥ，同一の加速性βでの加速となっていないため、温度・湿度の試験条件を変えて実施する。この直線の傾きが湿度の加速性βを表す。
【００４４】
数１式から、Ｒ１になる時間をＬR1、Ｒ１における定数をＡR1とすると、ＬR1＝ＡR1・ＥＸＰ（Ｅ／ｋ（Ｔ＋２７３）））・ＥＸＰ（β／ＲＨ）で表される。この式より、数５式として表される。
【００４５】
【数５】
2014013213.tif 000007
【００４６】
なお、抵抗値がＲ２では数６式で表される。
【００４７】
【数６】
2014013213.tif 000008
【００４８】
また、抵抗値がＲｎでは数７式で表される。
【００４９】
【数７】
2014013213.tif 000009
【００５０】
試験条件の温度・湿度とＲ１になるまでのｔ11、ｔ12、ｔ21、ｔ22は数５式を満足する（Ｔ＝Ｔ１，ＲＨ＝φ１を代入するとＬR1＝ｔ11となり、Ｔ＝Ｔ１，ＲＨ＝φ２を代入すると、ＬR1＝ｔ12となり、Ｔ＝Ｔ２，ＲＨ＝φ１を代入するとＬR1＝ｔ21となり、Ｔ＝Ｔ２，ＲＨ＝φ２を代入するとＬR1＝ｔ22となる）ので、横軸に（（Ｅ／ｋ（Ｔ＋２７３））＋（β／ＲＨ））をとり縦軸に対数の時間軸をとれば、ｔ11、ｔ12、ｔ21、ｔ22と、試験条件の温度・湿度を（（Ｅ／ｋ（Ｔ＋２７３））＋（β／ＲＨ））に代入して求めた数値をプロットした点は直線となる。これらを（（Ｅ／ｋ（Ｔ＋２７３））＋（β／ＲＨ））と時間のグラフにプロットしたものが図９であり、直線が引ける。
【００５１】
ここで、摩耗偶発信頼性に関する推定に使用する温度・湿度に対する時間の求め方について説明する。温度Ｔｘ（℃）、湿度φｘ（％ＲＨ）とし、（（Ｅ／ｋ（Ｔ＋２７３））＋（β／ＲＨ））で計算したものが図９の（Ｔｘ、φｘ）の点とする。その点から時間軸に平行な線を引き、直線との交点ｉ１から時間軸に垂直に線を引き、時間軸との交点をＬｘとする。温度Ｔｘ（℃）、湿度φｘ（％ＲＨ）での使用ではＲ１になるまでの時間はＬｘであることがわかる。  
同様に温度Ｔｙ（℃）、湿度φｙ（％ＲＨ）とし、（（Ｅ／ｋ（Ｔ＋２７３））＋（β／ＲＨ））で計算したものが図９の（Ｔｙ、φｙ）の点とする。その点から時間軸に平行に線を引き、直線との交点ｉ２から時間軸に垂直に線を引き、時間軸との交点をＬｙとすると、温度Ｔｙ（℃）、湿度φｙ（％ＲＨ）での使用では、Ｒ１になるまでの時間はＬｙであることがわかる。  
つまり、摩耗偶発信頼性に関する推定に使用された温度と湿度が（Ｔｘ、φｘ）であったり（Ｔｙ、φｙ）であったりし、対応する時間が分かるということである。
【００５２】
この考え方をどのように適用するかを次に説明する。  
設置環境条件を下記のようにする。  
設置環境条件１：ただちに温度・湿度を下げる対策が必要。  
設置環境条件２：温度・湿度の条件が厳しいので、温度・湿度を下げること。  
設置環境条件３：温度・湿度の条件は想定使用範囲内。
【００５３】
設置環境条件１〜３の温度・湿度を（（Ｅ／ｋ（Ｔ＋２７３））＋（β／ＲＨ））で計算したものが図１０の各点とすると、図９で求めたように各設置条件１〜３に対応するＲ１になる時間が求められる。纏めたものを表１に表す。
【００５４】
【表１】
2014013213.tif 000010
【００５５】
Ｒ１について求めたように、Ｒ２・・・Ｒｎについても求める。その結果を図１１とする。図１０で求めたように各Ｒに対する各環境設置条件に対応した時間を求めたものが表２である。
【００５６】
【表２】
2014013213.tif 000011
【００５７】
表２のように、設置環境条件１のＲ１に対応する時間をｔR1_1、Ｒ２に対応する時間をｔR2_1、Ｒｎに対応する時間をｔRn_1、設置環境条件２のＲ１に対応する時間をｔR1_2、Ｒ２に対応する時間をｔR2_2、Ｒｎに対応する時間をｔRn_2、設置環境条件３のＲ１に対応する時間をｔR1_3、Ｒ２に対応する時間をｔR2_3、Ｒｎに対応する時間をｔRn_3とし、Ｒ１〜Ｒｎ、および設置環境条件１のＲ１〜Ｒｎに対応するｔR1_1〜ｔRn_1、および設置環境条件２のＲ１〜Ｒｎに対応するｔR1_2〜ｔRn_2、および設置環境条件３のＲ１〜Ｒｎに対応するｔR1_3〜ｔRn_3の値のデータとして基準時間記憶部に保存する。
【００５８】
なお、設置環境条件と時間との対応について表２のようなデータを基準時間記憶部に記憶してもよいし、各設置環境条件の温度・湿度と活性化エネルギーＥや加速性βやボルツマン定数ｋと数５式〜数７式のＡR1からＡRnのデータを基準時間記憶部に記憶して数５式〜数７式から計算してもよい。
【００５９】
数値制御装置が設置され稼働したら、導電膜の抵抗値を測定し、測定した抵抗値と、対応する時間を測定値記憶部に保存する。なお、必要に応じて数値制御装置製造時に測定した抵抗値と測定時の時刻がすでに保存されているものとする。例えば、装置の製造からユーザでの使用開始までが長く保存状態が不明な場合など、製造時から使用開始までの時間を補正して使用する場合に必要になることがある。その後は、例えば、一日毎や一週間毎などに、導電膜の抵抗値を調べる。測定値に対応する時間は、その時の時刻（測定時刻）でも、使用開始からの経過時間でも、前回の測定からの経過時間でもどれでもよい。
【００６０】
表３は、抵抗測定値と対応する測定時間と経過時間を測定値記憶部に記憶した例を説明する表である。
【００６１】
【表３】
2014013213.tif 000012
【００６２】
表３のＲm_0は稼働初期の導電膜の抵抗の測定値である。測定値に対応する時間として例えば年と月と日と時間を示すＹ0：Ｍ0：Ｄ0：ｈ0（Ｙ＝年、Ｍ＝月、Ｄ＝日、ｈ＝時間）が記憶されているとする。よってこの場合の測定値に対応する時間とは測定時刻である。Ｒm_R1はＲ１になったと判断された時の抵抗値であり、その時の時刻をＹR1：ＭR1：ＤR1：ｈR1とすると、経過した時間ｔm_R1はＹR1：ＭR1：ＤR1：ｈR1からＹ0：Ｍ0：Ｄ0：ｈ0を引いた値となり、経過時間として測定値記憶部に記憶されているとする。時刻を記憶しておけば経過時間は計算で求めることができるが、説明しやすいように経過時間も記憶されているとする。
【００６３】
以下同様に、Ｒ２となったと判断された時、Ｒ３になったと判断された時と続く。なお、通常、測定値記憶部に記憶される抵抗値が基準時間記憶部に記憶されているＲｎに到達する前に製品寿命となるものとする。  
なお、例ではＲ１やＲ２になった時のデータを記憶させているが、それ以外の測定毎に測定した抵抗値と対応する測定時刻、経過時間を個々に記憶させてもよい。表３、表４では測定毎のデータは記憶させていない。尚、全て記憶させるか間引いて記憶させるかは任意である。
【００６４】
表４は、経過時間が、測定値記憶部に記憶されるデータ例を説明する表である。
【００６５】
【表４】
2014013213.tif 000013
【００６６】
表４のＲm_0は稼働初期の導電膜の抵抗の測定値であり表３のＲm_0と同じであるが、時間は例えばタイマースタートの時間としたものである。よって、表４のｔm_0に対応した経過時間の欄には０が入ることになる。表４のＲm_R1はＲ１になったと判断された時の抵抗値であり、表３のＲm_R1と同じであるが、対応する時間はタイマースタートからの時間がｔm_R1である。よって、この場合、ｔm_R1が経過時間となる。以下、同様である。以下の説明では表３の方を利用する。
【００６７】
次に、導電膜の抵抗値の測定などについて説明する。  
抵抗値測定・比較（判定）・記憶・アラーム出力の回路５０は、例えば図１３の抵抗値・比較（判定）・記憶・アラーム出力部として構成される。Ｒｘは既知の抵抗である。導電膜Ｒｐは温度・湿度に対応して経過時間により抵抗値が上昇する導電膜の抵抗である。符号５１は抵抗値測定部、符号５２はＯＰアンプ、符号５３はＡ／Ｄコンバータ、符号５４は比較（判定）部、符号５５は記憶部、符号５６はアラーム出力部である。抵抗Ｒｘと導電膜Ｒｐを図１３の抵抗値測定・比較（判定）・記憶・アラーム出力部のように接続し、ＲｘとＲｐの接続点の電圧をＶｘとすると、導電膜Ｒｐの抵抗値は、数８式により求められる。なお、数８式では導電膜Ｒｐの抵抗値を単にＲｐと表す。なお、具体的には、比較（判定）部５４は比較（判定）の処理を行うプロセッサ（ＣＰＵ）である。また、記憶部５５は、メモリであり、例えば、Ｆｌａｓｈ  ＲＯＭ（フラッシュロム）、電源バックアップされたＲＡＭ、ＥＥＰＲＯＭなどである。
【００６８】
【数８】
2014013213.tif 000014
【００６９】
抵抗Ｒｘと導電膜Ｒｐの接続点をＯＰアンプ５２の＋（プラス）に接続し、ＯＰアンプ５２の−（マイナス）はＯＰアンプの出力に接続する。いわゆるボルテージフォロア接続とする。ＯＰアンプ５２の出力はＶｘを出力するのでＡ／Ｄコンバータ５３の入力に接続し、Ａ／Ｄコンバータ５３はアナログ値Ｖｘをデジタル値に変換する。Ａ／Ｄコンバータ５３のデジタル値は、比較（判定）部５４に入力される。比較（判定）部５４はデジタル値としてＶｘの値が分かるので、数８式を使って導電膜Ｒｐの抵抗値を求める。
【００７０】
稼働始めの時には測定したＲｐの抵抗値（例えばＲm_0とする）と時刻（たとえばＹ0：Ｍ0：Ｄ0：ｈ0）を、表３に対応する測定値記憶部（記憶部５５の所定の記憶領域）に記憶させる。その後、測定したＲｐの抵抗値と基準時間記憶部（記憶部５５の所定の記憶領域）に記憶されているＲ１のデータを比較し、やがてＲ１になったら（Ｒ１±ｙ％（ｙは任意の数））内に入ったらまたはＲ１を超えたら、表３に対応する測定値記憶部に、Ｒ１の抵抗値（ＲｐのＲ１になった時の抵抗値をＲm_R1とする）と対応する時刻（例えばＹR1：ＭR1：ＤR1：ｈR1とする）を記憶し、ＹR1：ＭR1：ＤR1：ｈR1―Ｙ0：Ｍ0：Ｄ0：ｈ0を計算し経過時間ｔm_R1として記憶する。
【００７１】
測定値記憶部のｔm_R1と、基準値記憶部に記憶されているＲ１時の設置環境条件１のｔR1_1、設置環境条件２のｔR1_2、設置環境条件３のｔR1_3を以下のように比較し、比較した結果として記載例の動作を行う。
【００７２】
ｔm_R1＜ｔR1_1
ならば、比較（判定）部５４は異常と判定し、例として次の動作を行う。比較（判定）部５４は、温度・湿度が非常に高いことをアラーム出力部５６にアラーム出力し、ただちに温度・湿度を下げるように警告する。アラーム出力部５６の表示器は、このまま使用すれば近々に障害発生となるのでただちに温度・湿度を下げるように画面に表示したり、スタックライトや警告灯は赤色を点灯したり、ブザーは緊急音を出したりすることで緊急に対応を行うよう作業者などに通報する。
【００７３】
ｔR1_1≦ｔm_R1≦ｔR1_2 
において、ｔm_R1がｔR1_2よりもｔR1_1に近いならば比較（判定）部５４は異常と判定し、ｔm_R1相当の警告を行う。  
ｔm_R1がｔR1_2に近いならば比較（判定）部５４は温度・湿度が高いと判定し、温度・湿度が高いことをアラーム出力し、温度・湿度が高いので温度を下げるように警告する。アラーム出力部５６の表示器は温度・湿度が高いので温度・湿度を下げるように表示したり、スタックライトや警告灯は橙色を点灯したり、ブザーはやや緊急である音を出したりすることで、今後このまま継続使用すれば問題となることを作業者などに通報する。なお、ｔm_R1の抵抗値がｔR1_1とｔR1_2のどのあたりにあるかによって警告の仕方を変更するのがよい。
【００７４】
ｔR1_2≦ｔm_R1＜ｔR1_3 
において、ｔm_R1がｔR1_2とｔR1_3のどのあたりにあるのかにより、比較（判定）部５４は温度・湿度が高いと判定したり、温度・湿度がやや高いと判定したりする。その判定により比較（判定）部５４は前述のｔm_R1がｔR1_2に近い時相当のアラーム出力し、警告を行ったり、温度・湿度が通常よりもやや高いことをアラーム出力し警告（アラーム出力部５６の表示器は温度・湿度がやや高いことを表示したり、スタックライトや警告灯は黄色を点灯したり、ブザーは緊急でない音を出したりすることで緊急でないが今後温度・湿度を下げた方がよいことを作業者などに通報する。）を行ったり、警告を行わず内部的に保持したりする。
ｔR1_3≦ｔm_R1 
ならば比較（判定）部５４は問題なしと判定する。
同様にやがてＲ２になったら、Ｒ２になるまでの時間ｔm_R2を使用し同様にｔR2_1、ｔR2_2、ｔR2_3、と比較処理（前述のＲ１と同様な処理を実施）する。
以下同様である。
【００７５】
上記は経過時間を使用したが、前もって経過時間を記憶しなくても測定時刻のみ記憶しておき測定時刻の差分を使用してもよいことはいままでの説明からいうまでもない。
【００７６】
また、上記は時間で比較し設置されている環境を類推するものであるが、図１２のように測定記憶部のＴm_Rx（ｘは１〜ｎ）から（（Ｅ／ｋ（Ｔ＋２７３））＋（β／ＲＨ））の値を求め、設置条件１〜３の（（Ｅ／ｋ（Ｔ＋２７３））＋（β／ＲＨ））の値と比較してもよい。
【００７７】
なお、製造時に測定した抵抗値を測定値記憶部に記憶している場合は、その値と稼働開始時に測定した抵抗値を比較し、使用開始前の保存状態を知ることができる。保守時の情報として利用したり、抵抗値の上昇の程度によりアラーム出力を行ったりすることができる。
【００７８】
前述では、ある抵抗値になるまでの経過時間を使用したが、ここでは時間の増分と抵抗値の増分から設置されている環境条件を判断する場合について述べる。表３の測定値記憶部にすでにデータが記憶されているとして説明する。測定した導電膜Ｒｐの抵抗値がＲ１、Ｒ２、Ｒ３・・・になったとすると、時間の増分と抵抗値の増分は数９式で表すことができる。
【００７９】
【数９】
2014013213.tif 000015
【００８０】
これは図１４の抵抗値測定部・算出及び比較（判定）部・記憶・アラーム出力の回路６０の算出及び比較（判定）部６４において算出する。数９式を算出する算出部を「測定比算出部」という。
【００８１】
基準時間記憶部に記憶されている設置環境条件１〜３の時間の増分と抵抗値の増分は、例えば表２から設置環境条件１では、数１０式である。
【００８２】
【数１０】
2014013213.tif 000016
【００８３】
設置環境条件２では、数１１式である。
【００８４】
【数１１】
2014013213.tif 000017
【００８５】
設置環境条件３では、数１２式である。
【００８６】
【数１２】
2014013213.tif 000018
【００８７】
数１０〜１２式により、時間の増分／抵抗値の増分の値が求められる。なお、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４、・・・の値はすでに基準値記憶部（記憶部６５の所定の記憶領域）に記憶されているとする。これは図１４の抵抗値測定・算出及び比較（判定）・記憶・アラーム出力の回路６０の算出及び比較（判定）部６４を算出および比較（判定）部として用いる。数１０式〜数１２式を算出するのを、「基準比算出部」という。なお、具体的には、算出及び比較（判定）部６４は算出及び比較（判定）の処理を行うプロセッサ（ＣＰＵ）である。また、記憶部６５は、メモリであり、例えば、Ｆｌａｓｈ  ＲＯＭ（フラッシュロム）、電源バックアップされたＲＡＭ、ＥＥＰＲＯＭなどである。
【００８８】
導電膜Ｒｐの抵抗値を測定し、抵抗値がＲｊ（ｊ≧１）になったら、数９式から時間の増分／抵抗値の増分の「測定比」が求められるので、数１０式〜数１２式より求められる設置環境条件１〜３の「基準比」と比較して実際の設置環境条件を判断し、対応する設置環境受験１〜３の「基準比」と比較して実際の設置環境条件を判断し、対応する設置環境条件によりアラーム出力する。
【００８９】
前述では、設置環境条件を３つに分けて比較したが、多くの設置環境条件に分けて比較すれば、より細かいアラームや注意を出せることはいうまでもない。また複数ではなく、１つとしてもよい。
【００９０】
なお、測定値記憶部（メモリ６５）のデータについて、例えば故障発生時や、一定期間ごとに電話回線やインターネット経由で測定値記憶部のデータを読み込めば使用されている環境条件（温度・湿度）を知ることができるので、商品や改善や設置環境条件の見直しなどを行うことができる。
【００９１】
本発明の実施形態で用いられる導電膜５は図１５のようにロッカー７０上に設けることにより、ロッカー周辺の温度・湿度を検知することができ、タッチパネル等の偶発故障や摩耗故障に対応することができる。また、図１６のようにロッカー７０内の板７２に設けることによりロッカー内のユニット７４や部品の偶発故障や摩耗故障に対応することができる。あるいは、図１７のように部品が実装されたプリント板７６上に設けることによりプリント板７６やユニット７４上の部品に対して偶発故障や摩耗故障に対応することができる。
また、本発明は、工作機械を制御する数値制御装置への適用に限定されず、種々の電子機器に適用できる。
【符号の説明】
【００９２】
４  水蒸気透過性を有する絶縁物の基材
５  導電膜
６  電極
７  水蒸気透過性を有しない絶縁物の基材
９  配線パターン
５０  抵抗値測定・比較（判定）・記憶・アラーム出力の回路
５１  抵抗値測定部
５２  ＯＰアンプ
５３  Ａ／Ｄコンバータ
５４  比較（判定）部
５５  メモリ
５６  アラーム出力部
６０  抵抗値測定・算出及び比較（判定）・記憶・アラーム出力の回路
６１  抵抗値測定部
６２  ＯＰアンプ
６３  Ａ／Ｄコンバータ
６４  算出及び比較（判定）部
６５  メモリ
６６  アラーム出力部
７０  ロッカー
７２  板
７４  ユニット
７６  プリント板
Ｒｘ  抵抗
Ｒｐ  導電膜
Ｆ（ｔ）  累積パーセント
ＲＨ  湿度
Ｔ  温度
【図１】
2014013213.tif 000019
【図２】
2014013213.tif 000020
【図３】
2014013213.tif 000021
【図４】
2014013213.tif 000022
【図５】
2014013213.tif 000023
【図６】
2014013213.tif 000024
【図７】
2014013213.tif 000025
【図８】
2014013213.tif 000026
【図９】
2014013213.tif 000027
【図１０】
2014013213.tif 000028
【図１１】
2014013213.tif 000029
【図１２】
2014013213.tif 000030
【図１３】
2014013213.tif 000031
【図１４】
2014013213.tif 000032
【図１５】
2014013213.tif 000033
【図１６】
2014013213.tif 000034
【図１７】
2014013213.tif 000035