(57)【要約】【課題】フィルムをスムーズに搬送できると共に、転がり軸受けの各部材の摩耗を抑えて、耐久性を高めて長寿命化を図ることができる、フィルムの搬送装置を提供する。【解決手段】  このフィルムの搬送装置１０は、フィルムＦの搬送径路の両側に沿って配置され、一対のガイドレール２１，２１からなるガイド部材２０と、一対のガイドレール２１，２１に挟持されてガイド部材２０に沿って移動するチェーン３０と、チェーン３０に取付けられフィルムＦの両端部を保持する保持プレート５０とを備え、チェーン３０は、転がり軸受６０Ａ，６０Ｂを介してガイド部材２０に当接しており、該転がり軸受６０Ａ，６０Ｂは、内輪６１と、外輪６３と、複数の転動体６５と、保持器６７とを有しており、その保持器６７の面の少なくとも一部は潤滑剤の被膜が形成されており、そのラジアル内部すきまが、４５〜１００μｍとされている。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
帯状をなすフィルムを、少なくとも一部に加熱処理領域を有する搬送経路に沿って、搬送させるためのフィルムの搬送装置であって、
前記フィルムの搬送径路の両側に沿って配置され、一対のガイドレールからなるガイド部材と、一対のガイドレールに挟持されて前記ガイド部材に沿って移動するチェーンと、該チェーンに取付けられた、前記フィルムの両端部を保持する保持プレートとを備え、
前記チェーンは、転がり軸受を介して前記ガイド部材に当接しており、前記転がり軸受は、内輪と、その外周に配置される外輪と、前記内輪及び前記外輪の間に転動自在に配設された複数の転動体と、前記転動体を回転可能に保持する保持器とを有しており、その保持器の面の少なくとも一部は潤滑剤の被膜が形成されており、さらに、ラジアル内部すきまが、４５〜１００μｍであることを特徴とするフィルムの搬送装置。
【請求項２】
ラジアル内部すきまが、４５〜６５μｍであることを特徴とする請求項１記載のフィルムの搬送装置。
【請求項３】
前記フィルムは、ポリイミドの自己支持性フィルムであり、前記フィルムの搬送装置は、同フィルムの両端部を保持して加熱するようにしたテンター装置である請求項１または２記載のフィルムの搬送装置。
【請求項４】
前記転がり軸受は、前記チェーンに、その走行方向と直交する支軸を介して回転可能に装着され、前記ガイドレールの上端面に当接して、前記チェーンを支持する上方転がり軸受を含む請求項１〜３のいずれか１項に記載のフィルムの搬送装置。
【請求項５】
前記チェーンは、一対の外側プレートと、一対の内側プレートと、前記内側プレートの端部どうしを貫通して配置されたブッシュと、前記ブッシュ内に挿入されて、前記外側プレート及び前記内側プレートの端部どうしを連結するピンとを有し、
前記転がり軸受は、前記ブッシュの外周に装着され、前記一対のガイドレール間に配置されて前記チェーンの移動をガイドする下方転がり軸受を含む請求項１〜４のいずれか１項に記載のフィルムの搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、帯状をなすフィルムの両端部を保持しつつ、転がり軸受を介してガイド部材に沿って移動するチェーンによってフィルムを搬送する、フィルムの搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、フィルムの搬送装置として、移動するチェーンにフィルムの両端部を保持させて搬送する装置が知られている。例えば、フレキシブル回路基板のベースフィルム等に用いられるポリイミドフィルムは、ポリイミド前駆体の溶媒溶液を支持体上にキャストして得た自己支持性フィルム（以下、単に「ポリイミドの自己支持性フィルム」ということがある）を所定条件で加熱処理して製造されるが、この自己支持性フィルムは加熱により収縮するので、その両端部をテンター装置と呼ばれるフィルムの搬送装置で保持しながら加熱処理するようにしている。
【０００３】
上記のように、高温環境下でフィルムの両端部を保持しつつ搬送するテンター装置として、下記特許文献１には、ウエブの搬送路の両側に配置された一対のテンターレールと、一対のテンターレールに沿って移動する一対のテンターチェーンと、各テンターチェーンに設けられたウエブ固定用の固定部材とを有するテンター装置が記載されている。前記テンターチェーンには、上コロ及び下コロが回動自在に設けられ、これらが各テンターレールの内側支持壁及び外側支持壁の間に配置されている。
【０００４】
そして、テンターチェーンは、ウエブの収縮により引張られて斜めに傾き、上コロや下コロが内側支持壁や外側支持壁に接触しながら回転し、テンターレールに沿って移動するようになっている。しかしながら、上コロ及び下コロがテンターレールの各支持壁に接触することから、その接触した部分で各コロや各支持壁が摩耗して金属粉等の粉塵が発生しやすいため、この粉塵がフィルム面に付着して品質の面で問題となるおそれがあった。
【０００５】
上記のような場合、高温環境下で使用可能な転がり軸受を採用して、チェーンとレールとの摩擦抵抗を少なくすることが考えられる。例えば、下記特許文献２には、テンタークリップに取付けられ、ガイドレール上を転動するガイドローラとして高温環境下で用いられる転がり軸受において、内輪と、外輪と、内輪の外周の転走面及び外輪の内周の転走面の間に複数配置された転動体と、各転動体をポケットに収納して転動自在に保持する保持器とを備え、該保持器のポケットの一つに、二つ一組の半球状の潤滑部材を組み込んだ、固体潤滑転がり軸受が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００１−１４６３４４号公報
【特許文献２】特開２０１２−６７８６０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、転がり軸受の内部すきまとして、ラジアル内部すきまとアキシアル内部すきまがあり、一般的に、転がり軸受は内輪回転で用いられることが多く、これらの内部すきまが小さいほどガタ付きが小さくなるので、内部すきまの小さいものが好ましい用途が多い。
【０００８】
しかしながら、テンター装置のようなフィルムの搬送装置においては、転がり軸受は外輪回転で用いられることが多く、且つ、高温環境下で大きな張力を受けながら移動するので、内部すきま、特にラジアル内部すきまが小さいと、内輪や外輪、転動体が熱膨張して、転動体が内輪や外輪に大きな荷重で接触し、各部材が摩耗しやすいという問題があった。
【０００９】
そして、転がり軸受の各部材が摩耗すると、金属粉等の粉塵が発生して、これがフィルムに付着してフィルムの品質が低下したり、或いは、転動体の縮径や内外輪の真円度の悪化を招いて、転がり軸受の耐久性や寿命、回転性能が低下したり等の不都合が生じることがあった。
【００１０】
上記特許文献２に記載の固体潤滑転がり軸受は、高温環境下で用いられることを想定しているが、上記のようなラジアル内部すきまについて何ら考慮しておらず、上記問題を解決することはできなかった。
【００１１】
したがって、本発明の目的は、転がり軸受によりフィルムをスムーズに搬送することができると共に、転がり軸受けの内輪や外輪、転動体の摩耗を抑えて、耐久性を高めて長寿命化を図ることができる、フィルムの搬送装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成するため、本発明のフィルムの搬送装置は、帯状をなすフィルムを、少なくとも一部に加熱処理領域を有する搬送経路に沿って搬送させるためのものであって、前記フィルムの搬送径路の両側に沿って配置され、一対のガイドレールからなるガイド部材と、一対のガイドレールに挟持されて前記ガイド部材に沿って移動するチェーンと、該チェーンに取付けられた、前記フィルムの両端部を保持する保持プレートとを備え、前記チェーンは、転がり軸受を介して前記ガイド部材に当接しており、前記転がり軸受は、内輪と、その外周に配置される外輪と、前記内輪及び前記外輪の間に転動自在に配設された複数の転動体と、前記転動体を回転可能に保持する保持器とを有しており、その保持器の面の少なくとも一部は潤滑剤の被膜が形成されており、そのラジアル内部すきまが、４５〜１００μｍであることを特徴とする。
【００１３】
本発明によれば、保持プレートでフィルムの両端部を保持しつつ、転がり軸受を介してガイド部材に沿って移動するチェーンによって、フィルムを搬送することができる。このとき、転がり軸受のラジアル内部すきまが４５〜１００μｍとされているため、加熱処理領域を通るときに、内輪や外輪、転動体が熱膨張しても、転動体が内輪や外輪の転走面に大きな荷重で接触することを防止して、それらの摩耗を抑制することができるので、金属粉等の粉塵の発生を抑えてフィルムの品質を向上させることができると共に、転がり軸受の耐久性を高めて長寿命化を図ることができ、更に回転性能も維持することができる。
【００１４】
本発明のフィルムの搬送装置においては、前記ラジアル内部すきまは、４５〜６５μｍであることが好ましい。
【００１５】
本発明のフィルムの搬送装置においては、前記フィルムは、ポリイミドの自己支持性フィルムであり、前記フィルムの搬送装置は、同フィルムの両端部を保持して加熱するようにしたテンター装置であることが好ましい。
【００１６】
この態様によれば、ポリイミドの自己支持性フィルムを加熱硬化するため、１５０〜５００℃の温度で加熱処理する際、内輪や外輪、転動体が熱膨張しても、転動体が内輪や外輪の転走面に大きな荷重で接触することを防止することができ、転がり軸受の回転性能を維持して、チェーンをスムーズに移動させることができる。
【００１７】
本発明のフィルムの搬送装置においては、前記転がり軸受は、前記チェーンに、その走行方向と直交する支軸を介して回転可能に装着され、前記ガイドレールの上端面に当接して、前記チェーンを支持する上方転がり軸受を含むことが好ましい。
【００１８】
この態様によれば、上方転がり軸受によって、チェーンとガイド部材との摩擦力を低減することでき、摩耗による金属粉等の粉塵の発生をより軽減することができる。
【００１９】
本発明のフィルムの搬送装置においては、前記チェーンは、一対の外側プレートと、一対の内側プレートと、前記内側プレートの端部どうしを貫通して配置されたブッシュと、前記ブッシュ内に挿入されて、前記外側プレート及び前記内側プレートの端部どうしを連結するピンとを有し、前記転がり軸受は、前記ブッシュの外周に装着され、前記一対のガイドレール間に配置されて前記チェーンの移動をガイドする下方転がり軸受を含むことが好ましい。
【００２０】
この態様によれば、チェーンがフィルムの収縮力によって引っ張られたとき、下方転がり軸受が、フィルム搬送経路側に位置するガイドレールの内面に当接するので、チェーンのピンの軸心がガイドレールに対して傾きにくくなり、チェーンとガイド部材との摩擦力をより効果的に軽減することができる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、転がり軸受のラジアル内部すきまが４５〜１００μｍとされているので、加熱処理領域を通るときに、内輪や外輪、転動体が熱膨張しても、内輪や外輪、転動体の摩耗を抑制することができ、粉塵の発生を抑えてフィルムの品質を向上させることができると共に、転がり軸受の耐久性を高めて長寿命化を図ることができ、回転性能も維持することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明に係るフィルムの搬送装置の一実施形態を示しており、その平面図である。
【図２】同フィルムの搬送装置の要部拡大平面図である。
【図３】同フィルムの搬送装置の要部拡大断面図である。
【図４】同フィルムの搬送装置に組み込まれる転がり軸受を示しており、一部を破断した状態における斜視図である。
【図５】同転がり軸受の平面図である。
【図６】同転がり軸受の要部拡大断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、図１〜６を参照して、本発明に係るフィルムの搬送装置の一実施形態について説明する。
【００２４】
図１に示すように、この実施形態におけるフィルムの搬送装置１０（以下、「搬送装置１０」という）は、図示しないローラから引き出されて帯状をなして搬送されるフィルムＦの、搬送経路の両側に沿って配置されたガイド部材２０と、このガイド部材２０に沿って移動する無端状のチェーン３０，３０とを有している。各チェーン３０の一端部には、図示しない駆動手段により回動可能とされた駆動スプロケット２５が歯合し、他端部には従動スプロケット２７が歯合しており、図示しない駆動手段により駆動スプロケット２５が回動すると、各チェーン３０が図１の矢印に示す方向に移動するようになっている。
【００２５】
この実施形態の搬送装置１０は、フィルムＦの両側部それぞれに、一対のガイド部材２０，２０が平行に配設されており、合計で４つのガイド部材２０を備えている。各ガイド部材２０は、レール状に伸びると共に所定間隔で互いに平行に配置された一対のガイドレール２１，２１からなり、これらのガイドレール２１，２１の間にチェーン３０が挟持され、その移動がガイドされるようになっている。
【００２６】
図２及び図３に示すように、無端状のチェーン３０は、互いに平行な一対の外側プレート３１，３２と、互いに平行な一対の内側プレート３３，３４とが、交互に連結された構造となっている。内側プレート３３，３４の両端部には、ローラ４０を回動可能に外装したブッシュ３５の上下両端部がそれぞれ圧入され、内側プレート３３，３４どうしが一体化されている。また、内側プレート３３，３４の端部外側に外側プレート３１，３２の端部が配置され、それらの端部どうしが、外側プレート３１，３２及びブッシュ３５内に挿入されるピン３６を介して、互いに回動可能となるように連結されている。このピン３６の一端が外側プレート３２に係合し、他端がワッシャ３７を介してナット３８により締付け固定され、両プレートが抜け止め保持されている。
【００２７】
前記ブッシュ３５の外周であって前記ローラ４０の上方には、同ローラ４０よりも大きな外径の下方転がり軸受６０Ａが、ガイド部材２０のガイドレール２１，２１の間に挟み込まれるようにして回動可能に配置されている。
【００２８】
図２及び図３に示すように、上方の外側プレート３１の中間部には、その長手方向及びチェーン３０の走行方向（図１、図２の矢印Ａ参照）に直交する支軸４１が固設されている。そして、この支軸４１の両端に上方転がり軸受６０Ｂ，６０Ｂが回動可能にそれぞれ取付けられている。これらの上方転がり軸受６０Ｂ，６０Ｂが、各ガイド部材２０のガイドレール２１，２１上に当接配置され、チェーン３０がガイド部材２０の長手方向に沿って移動可能に支持されるようになっている。
【００２９】
上記外側プレート３１には、フィルムＦの搬送経路内に向けて延出されたアーム５５を介して、フィルムＦの長辺側の一端部を保持する保持プレート５０が取付けられている。この保持プレート５０は長板状をなし、上面から複数の突き刺しピン５１が突設され、これがフィルムＦに突き刺さって、フィルムＦを保持するようになっている。
【００３０】
図２及び図３に示すように、この実施形態のアーム５５は、略コ字状に屈曲形成された屈曲部５６と、この屈曲部５６の一側部５６ａに対して外方に曲げられ、前記保持プレート５０に固定される先端部５７と、前記屈曲部５６の他側部５６ｂに対して外方に曲げられ、前記外側プレート３１に固定される基端部５８，５８とから構成されており、アーム５５は、基端部５８，５８を介してチェーン３０の外側プレート３１に取付けられるようになっている。
【００３１】
次に、上記搬送装置１０に組み込まれた下方転がり軸受６０Ａ、及び、上方転がり軸受け６０Ｂについて、図４〜６を参照して説明する。
【００３２】
各転がり軸受６０Ａ，６０Ｂは、円筒状の内輪６１と、同じく円筒状をなし前記内輪６１の外周に所定間隔を設けて同心状に配置される外輪６３と、内輪６１及び外輪６３の間に転動自在に配設された、球状をなした複数の転動体６５と、これらの転動体６５を回転可能に保持する保持器６７と、環状をなすと共に前記内輪６１及び前記外輪６３の隙間に装着された一対のシールド７０，７０（図６参照）とから構成されている。なお、図４及び図５においては、便宜上、シールド７０を記載していない。
【００３３】
また、前記内輪６１の外周面に、凹溝状をなした転走面６１ａが形成されていると共に、前記外輪６３の内周面にも、凹溝状をなした転走面６３ａが形成されており、これらの転走面６１ａ，６３ａにより転動体６５が転動自在に挟持されるようになっている。更にこの実施形態における保持器６７は、周方向に複数の円弧状枠部６８ａが設けられた環状フレーム６８，６８どうしをピンやカシメ等により連結し、１個の転動体６５を保持するポケット６９が周方向に沿って均等な間隔で形成された構造をなしている。この実施形態の保持器６７は、９個のポケット６９を備えている。なお、保持器としては、例えば、ポケットを周方向に広く形成して、複数の転動体６５を収納保持するようにしてもよく、その構造は特に限定されない。
【００３４】
そして、この搬送装置１０においては、同搬送装置１０に組み込まれる下方転がり軸受６０Ａ及び上方転がり軸受６０Ｂの、ラジアル内部すきまが、４５〜１００μｍとなるように構成されている。また、このラジアル内部すきまは、４５〜８５μｍであることが好ましく、４５〜６５μｍであることがより好ましく、４５〜６０μｍであることがさらに好ましく、４８〜５７μｍが特に好ましい。
【００３５】
ここでラジアル内部すきまは、図６に示すように、転動体６５の外径をＤとし、外輪６３の内周の転走面６３ａの内径をＦとし、内輪６１の外周の転走面６１ａの外径をＥとしたときに、Ｆ−（Ｅ＋２×Ｄ）で定義される。
【００３６】
上記ラジアル内部すきまが４５μｍ未満の場合には、加熱処理領域を通るときに、内輪や外輪、転動体が熱膨張して、転動体６５が内輪６１の転走面６１ａや外輪６３の転走面６３ａに大きな荷重で接触しやすくなり、各部材が摩耗しやすくなる。一方、ラジアル内部すきまが１００μｍを超える場合には、がたつきが生じやすくなり、使用中の転がり軸受の破損や騒音・振動の原因となる。
【００３７】
上記の内輪６１、外輪６３、転動体６５、保持器６７は、例えば、軸受鋼（ＳＵＪ）、ステンレス鋼（ＳＵＳ）、チタン合金、銅合金、アルミニウム合金等の金属や、セラミック、更にはポリイミド樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂等の樹脂から形成することができる。
【００３８】
また、保持器の面の少なくとも一部には、滑り性を向上させるために、潤滑剤の被膜が形成されることが好ましい。潤滑剤としては、天然または人造の黒鉛材料、窒化ホウ素、二硫化モリブデン、二硫化タングステンなどの公知の固体潤滑剤を単独または２種類以上組み合わせて被膜を形成することが好ましい。
【００３９】
なお、これらの被膜の膜厚は、５〜５０μｍであることが好ましく、２０〜３０μｍであることがより好ましい。
【００４０】
次に、上記構造からなるフィルムの搬送装置１０の使用方法及び作用効果について説明する。
【００４１】
フィルムＦとしては、例えば、合成樹脂からなる薄膜状のものや、紙や布などの繊維からなるシート状のもの、更には金属からなる金属箔等を含むものを用いることができる。この中でも、電気絶縁フィルム、断熱性フィルム、フレキシブル回路基板のベースフィルム等として用いることが可能な、ポリイミドフィルムが好ましく、また、テトラカルボン酸二無水物成分とジアミン成分とから得られるポリイミド前駆体の溶媒溶液を支持体上に流延又は塗布してなる、ポリイミドの自己支持性フィルムであることが好ましい。ポリイミドの自己支持性フィルムを得るための具体的な方法は次のとおりである。
【００４２】
ポリイミド前駆体を構成するテトラカルボン酸二無水物成分としては、３，３’，４，４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、ピロメリット酸二無水物、２，３’，３，４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、３，３’，４，４’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、２，２’，３，３’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、２、２−ビス（３，４−ジカルボキシフェニル）プロパン二無水物、２，２−ビス（２，３−ジカルボキシフェニル）プロパン二無水物、ビス（３，４−ジカルボキシフェニル）エ−テル二無水物、ビス（２，３−ジカルボキシフェニル）エ−テル二無水物、２，３，６，７−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、１，４，５，８−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、１，２，５，６−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、２，２−ビス（３，４−ジカルボキシフェニル）−１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロプロパン二無水物、２，２−ビス（２，３−ジカルボキシフェニル）−１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロプロパン二無水物などが挙げられる。
【００４３】
また、ジアミン成分としては、パラフェニレンジアミン、メタフェニレンジアミン、２，４−ジアミノトルエン、２，６−ジアミノトルエン、４，４’−ジアミノジフェニルメタン、４，４’−ジアミノジフェニルエーテル、３，４’−ジアミノジフェニルエーテル、３，３’−ジメチル−４，４’−ジアミノビフェニル、２，２’−ジメチル−４，４’−ジアミノビフェニル、２，２’−ビス（トリフルオロメチル）−４，４’−ジアミノビフェニル、４，４’−ジアミノベンゾフェノン、３，３’−ジアミノベンゾフェノン、４，４’−ビス（４−アミノフェニル）スルフィド、４，４’−ジアミノジフェニルスルホン、４，４’−ジアミノベンズアニリド、１，４−ビス（４−アミノフェノキシ）ベンゼン、１，３−ビス（４−アミノフェノキシ）ベンゼン、１，３−ビス（３−アミノフェノキシ）ベンゼン、４，４’−ビス（４−アミノフェノキシ）ビフェニル、４，４’−ビス（３−アミノフェノキシ）ビフェニル、２，２−ビス（４−アミノフェノキシフェニル）プロパン、ビス［４−（４−アミノフェノキシ）フェニル］スルホン、ビス［４−（３−アミノフェノキシ）フェニル］スルホン、２，２−ビス［４−（４−アミノフェノキシ）フェニル］ヘキサフルオロプロパンなどが挙げられる。
【００４４】
ポリイミド前駆体の溶媒溶液の合成は、まず有機溶媒中で、略等モルのテトラカルボン酸二無水物成分とジアミン成分とをランダム重合またはブロック重合することによって達成される。また、予めどちらかの成分が過剰である２種類以上のポリイミド前駆体を合成しておき、各ポリイミド前駆体溶液を一緒にした後反応条件下で混合してもよい。このようにして得られたポリイミド前駆体溶液はそのまま、あるいは必要であれば有機溶媒を除去または、新たに有機溶媒を加えて、次の自己支持性フィルムの製造に使用することができる。
【００４５】
ランダム重合またはブロック重合の有機溶媒と、前記新たに加える有機溶媒としては、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ，Ｎ−ジエチルアセトアミドなどが挙げられる。これらの有機溶媒は単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
【００４６】
ポリイミド前駆体溶液には、必要に応じてイミド化触媒、有機リン含有化合物、無機微粒子などを加えてもよい。
【００４７】
上記で得られたポリイミド前駆体を部分イミド化することにより、自己支持性フィルムを製造する方法について説明する。部分イミド化は、熱によるイミド化（熱イミド化）、化学的にイミド化（化学イミド化）、または熱イミド化と化学イミド化とを併用した方法のいずれで行ってもよい。
【００４８】
まず、熱イミド化による自己支持性フィルムの製造方法について説明する。ポリイミド前駆体溶液の自己支持性フィルムは、上記のようなポリイミド前駆体の有機溶媒溶液、あるいはこれにイミド化触媒、有機リン含有化合物、無機微粒子などを加えたポリイミド前駆体溶液を支持体上に流延塗布し、自己支持性となる程度に加熱して部分イミド化することにより製造される。ここで、自己支持性となる程度とは、支持体から剥離可能な状態をいう。
【００４９】
ポリイミド前駆体溶液は、ポリイミド前駆体を１０〜３０質量％程度含むものが好ましい。また、ポリイミド前駆体溶液としては、イミド化後のポリイミドの濃度が８〜２５質量％程度であるものが好ましい。加熱温度および加熱時間は適宜決めることができ、例えば、温度１００〜１８０℃で３〜６０分間程度加熱すればよい。
【００５０】
支持体としては、平滑な基材を用いることが好ましく、例えばステンレス基板、ステンレスベルト、ガラス板などが使用される。自己支持性フィルムは、その加熱減量が２０〜５０質量％の範囲にあること、さらに加熱減量が２０〜５０質量％の範囲で且つイミド化率が８〜５５％の範囲にあることが好ましく、より好ましくは１０〜５０％の範囲にあることが自己支持性フィルムの力学的性質が十分であり、延伸を行う観点から好ましい。
【００５１】
本発明において用いられるフィルムＦとしては、ポリイミドの自己支持性フィルム、又は、ポリイミドの自己支持性フィルムを加熱処理してイミド化を進行させたポリイミドフィルムであることが好ましい。
【００５２】
また、本実施形態における搬送装置１０は、フィルムＦとして、上記のポリイミドの自己支持性フィルムを用い、これをキュア工程（加熱硬化工程）において加熱処理する際に、その両端部を保持して加熱に伴う収縮を抑制するための、いわゆるテンター装置として用いられるものとなっている。ただし、このフィルムの搬送装置は、テンター装置に限定されるものではない。
【００５３】
そして、フィルムＦの長辺側の両端部を、各チェーン３０にアーム５５を介して取付けられた保持プレート５０，５０の間に配置し、それらの突き刺しピン５１をフィルムＦに突き刺すことにより、フィルムＦの両端部が保持プレート５０，５０に保持される。
【００５４】
この状態で図示しない駆動手段により駆動スプロケット２５を回動させると、各チェーン３０が、一対のガイドレール２１，２１からなるガイド部材２０によりガイドされつつ、ガイドレール２１，２１上を移動する上方転がり軸受６０Ｂ，６０Ｂに支持されながら図１の矢印方向に回動すると共に、このチェーン３０の回動に伴って、アーム５５を介して保持プレート５０，５０がフィルムＦの両端部を保持しながら移動して、フィルムＦが図１，２の矢印Ａに示す方向に走行するようになっている。
【００５５】
この実施形態の搬送装置１０においては、上方転がり軸受６０Ｂ，６０Ｂを、ガイド部材２０のガイドレール２１，２１上に当接配置させた構造となっているので、チェーン３０をスムーズに移動させることができる。
【００５６】
そして、フィルムＦの搬送途中において、ポリイミドの自己支持性フィルムが所定の高温環境下で加熱処理されると、各転がり軸受６０Ａ，６０Ｂを構成する内輪６１や外輪６３、転動体６５等が熱膨張することになる。なお、本発明において、加熱処理領域とは、例えば１００〜６００℃の温度条件下、より好ましくは１５０〜５００℃の温度条件下で加熱処理される領域を意味している。
【００５７】
このとき、この搬送装置１０においては、各転がり軸受６０Ａ，６０Ｂのラジアル内部すきまが４５〜１００μｍとされているので、加熱処理領域を通って、例えば１５０〜５００℃に加熱されても、内輪６１や外輪６３、転動体６５が熱膨張しても、転動体６５が内輪６１や外輪６３に大きな荷重で接触することを防止して、内輪６１や外輪６３、転動体６５の摩耗を抑制することができる。その結果、金属粉等の粉塵の発生を抑えて、粉塵がフィルムＦに付着することを妨げて、フィルムＦの品質を向上させることができると共に、各転がり軸受６０Ａ，６０Ｂの耐久性を高めて長寿命化を図ることができ、更に、各転がり軸受６０Ａ，６０Ｂの回転性能も維持することができ、チェーン３０を長期に亘ってスムーズに移動させることができる。
【００５８】
また、フィルムＦが加熱処理されて、その搬送中に収縮すると、保持プレート５０及びアーム５５を介して、チェーン３０にフィルムＦの走行方向と直角方向（図３の矢印Ｂ参照）に張力が作用する。すると、下方転がり軸受６０Ａの外周面が、フィルムＦの搬送経路側のガイドレール２１の内面に当接するので、チェーン３０のピン３６の軸心Ｃ（図３参照）を、ガイドレール２１に対して傾きにくくさせることができると共に、チェーン３０とガイドレール２１との摩擦力を効果的に軽減することができる。
【実施例】
【００５９】
下記の実施例１，２及び比較例１，２の転がり軸受を用いたフィルム搬送装置について、回転性能等について試験した。
【００６０】
（実施例１）
図４に示す形状と同じ形状で、軸受基本番号は６００２で、ラジアル内部すきまを４８μｍとした転がり軸受（株式会社南海精工所製）を用いた。転動体はステンレス製であり、保持器には、二硫化モリブデンを主成分とした固体潤滑剤がコーティングされている。
【００６１】
（実施例２）
ラジアル内部すきまを５７μｍとした以外は、前記実施例１と同様の構造の転がり軸受を用いた。
【００６２】
（比較例１）
ラジアル内部すきまを２５μｍとした以外は、前記実施例１と同様の構造の転がり軸受を用いた。
【００６３】
（比較例２）
ラジアル内部すきまを４４μｍとした以外は、前記実施例１と同様の転がり軸受を用いた。
【００６４】
（試験方法）
上記の実施例１，２及び比較例１，２の転がり軸受を、図３に示すフィルムの搬送装置に組み込んで、チェーンを所定距離走行させた。フィルムとしては、ポリイミドの自己支持性フィルムを用いた。ポリイミドを構成するテトラカルボン酸二無水物成分として、３，３’，４，４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物を用い、ジアミン成分としてパラフェニレンジアミンを用いた。３，３’，４，４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物とパラフェニレンジアミンをＮ，Ｎ−ジメチルアセトアミド中で反応させポリイミド前駆体溶液を得た後、ポリイミド前駆体溶液を支持体上に流延塗布し、自己支持性となる程度に加熱して部分イミド化することによりポリイミドの自己支持性フィルムを製造した。
【００６５】
また、チェーン走行後の各転がり軸受について、回転性能、内輪転走面、外輪転走面の真円度、内輪転走面の粗さを評価すると共に、転動体の状態を目視により評価した。その結果を、表１にまとめて示す。表１中の回転性能の欄において、×は回転性能が悪く、○はそれよりも回転性能が良く、◎は○よりも更に回転性能が良いことを意味する。また、内輪転走面、外輪転走面の真円度の許容差は３μｍである。
【００６６】
【表１】
2014070725.tif 000003
【００６７】
上記表１に示すように、比較例１の転がり軸受は、チェーン走行距離が短いにもかかわらず、チェーン走行後の回転性能に問題があり、また、内輪の転送面の真円度も悪く、転動体全面に大きな摩耗痕や、内輪の転走面に摩耗痕と面荒れが確認された。また、比較例２の転がり軸受においても、チェーン走行後の回転性能の低下、及び、内輪の転送面の面荒れが確認された。これに対して、実施例１及び実施例２の転がり軸受の場合は、チェーン走行後の回転性能が良好であり、また、内輪転走面の真円度も良好で、内輪の転走面の状態も良く、耐久性が向上していることが確認できた。
【符号の説明】
【００６８】
１０  フィルムの搬送装置
２０  ガイド部材
２１  ガイドレール
２５  駆動スプロケット
２７  従動スプロケット
３０  チェーン
３１，３２  外側プレート
３３，３４  内側プレート
３５  ブッシュ
３６  ピン
３７  ワッシャ
３８  ナット
４０  ローラ
４１  支軸
５０  保持プレート
５１  ピン
５５  アーム
５６  屈曲部
５６ａ  一側部
５６ｂ  他側部
５７  先端部
５８  基端部
６０Ａ，６０Ｂ  転がり軸受
６１  内輪
６１ａ  転走面
６３  外輪
６３ａ  転走面
６５  転動体
６７  保持器
６８  環状フレーム
６８ａ  円弧状枠部
６９  ポケット
７０  シールド
Ｆ  フィルム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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