(57)【要約】      （修正有）【課題】スピンドルとの間で強い噛み付きが生じたマウントフランジを片手のみを使用して容易に取り外すことの出来るマウントフランジ取り外し治具を提供すること。【解決手段】取っ手部８２と、外周にマウントフランジ５８の雌ねじ６４に螺合する雄ねじ８６が形成され、取っ手部８２に固定された係合部と、係合部の先端から一体的に突出し、先端に接触面を有する突起部８８とを備え、取っ手部８２を回転させて係合部の雄ねじ８６をボス部６０の雌ねじ６６に螺合して突起をスピンドル５４の先端に突き当て、更に取っ手部８２を回転させて係合部の雄ねじ８６をボス部６０の雌ねじ６６に深く螺合させることで、突起部８８の接触面がスピンドル５４の先端面に圧接する反力により、マウントフランジ５８をスピンドル５４から取り外す。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
先端にテーパ部を有するスピンドルの該テーパ部に強固に装着された、ボス部と該ボス部と一体的に形成された鍔部を有し、該ボス部に雄ねじと雌ねじが形成されたマウントフランジを取り外すマウントフランジ取り外し治具であって、
取っ手部と、
外周にマウントフランジの雌ねじに螺合する雄ねじが形成され、該取っ手部に固定された係合部と、
該係合部の先端から一体的に突出し、先端に接触面を有する突起部と、を備え、
該取っ手部を回転させて該係合部の雄ねじを該ボス部の雌ねじに螺合して該突起を該スピンドルの先端に突き当て、更に該取っ手部を回転させて該係合部の雄ねじを該ボス部の雌ねじに深く螺合させることで、該突起部の該接触面が該スピンドルの先端面に圧接する反力により、該マウントフランジを該スピンドルから取り外すことを特徴とするマウントフランジ取り外し治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、切削装置のスピンドルに装着される切削ブレードを保持するためのマウントフランジをスピンドルから取り外すマウントフランジ取り外し治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエーハを個々のデバイスに分割する切削装置は、ウエーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハの分割予定ラインを切削する切削ブレードを回転可能に支持した切削手段とを具備しており、ウエーハを高精度に個々のデバイスに分割することができる。
【０００３】
切削手段は、スピンドルを回転駆動するモータと、スピンドルの先端に取り付けられたマウントフランジと、このマウントフランジに装着された薄い切刃を有する切削ブレードと、切削ブレードをマウントフランジに固定する固定ナットとから構成される。
【０００４】
マウントフランジを取り付けるスピンドルの先端はテーパ形状に形成されており、マウントフランジはスピンドルのテーパ形状に対応したテーパ形状の係合穴を有しており、この係合穴を介してマウントフランジはスピンドルに装着される。
【０００５】
マウントフランジの半径と切削ブレードの半径の差が切削ブレードの切刃の長さとなるが、切削ブレードの厚さに比較して切刃の長さが長くなると一気に切削ブレードの剛性が低下し、切削溝の蛇行や切削ブレードの破損の原因となる。よって、切削ブレードの半径に合わせて適宜マウントフランジのサイズも変更する必要がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特許第４１４９７３５号公報
【特許文献２】特開２００９−２６２２６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
マウントフランジは切削ブレードと共に４００００ｒｐｍ等の高速で回転されるため、遠心力によってマウントフランジの内径が拡張し、テーパ形状のスピンドル先端の奥方向に移動し、スピンドルとの間で強い噛み付きが生じてスピンドルから取り外せなくなるという問題がある。
【０００８】
特に、マウントフランジはスピンドルのテーパ部に装着されているため、奥方向に移動すれば移動するほど噛み付きが強くなり、取り外すのが難しい。そこで、特許文献２に開示されたような取り外し治具が開発されたが、この取り外し治具は二つのパーツに分かれているため、それぞれのパーツを別々に又は決まった順番に螺合する必要があり、基本的には両手で作業することになり、利便性に欠けているという課題が残されていた。
【０００９】
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、スピンドルとの間で強い噛み付きが生じたマウントフランジを片手のみを使用して容易に取り外すことの出来るマウントフランジ取り外し治具を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明によると、先端にテーパ部を有するスピンドルの該テーパ部に強固に装着された、ボス部と該ボス部と一体的に形成された鍔部を有し、該ボス部に雄ねじと雌ねじが形成されたマウントフランジを取り外すマウントフランジ取り外し治具であって、取っ手部と、外周にマウントフランジの雌ねじに螺合する雄ねじが形成され、該取っ手部に固定された係合部と、該係合部の先端から一体的に突出し、先端に接触面を有する突起部と、を備え、該取っ手部を回転させて該係合部の雄ねじを該ボス部の雌ねじに螺合して該突起を該スピンドルの先端に突き当て、更に該取っ手部を回転させて該係合部の雄ねじを該ボス部の雌ねじに深く螺合させることで、該突起部の該接触面が該スピンドルの先端面に圧接する反力により、該マウントフランジを該スピンドルから取り外すことを特徴とするマウントフランジ取り外し治具が提供される。
【発明の効果】
【００１１】
本発明のマウントフランジ取り外し治具によると、スピンドルとの間で強い噛み付きが生じたマウントフランジでも、係合部の外周に形成された雄ねじをマウントフランジのボス部に形成された雌ねじに螺合させて取っ手部を回転することで、マウントフランジを片手で容易にスピンドルから取り外すことができるため、非常に簡単に取り外し作業ができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】切削装置の外観斜視図である。
【図２】切削ブレードをスピンドルに装着する様子を示す分解斜視図である。
【図３】マウントフランジ取り外し治具の斜視図である。
【図４】マウントフランジ取り外し治具の一部断面側面図である。
【図５】マウントフランジ取り外し治具をマウントフランジに螺合する直前の一部断面側面図である。
【図６】螺合後突起部の接触面がスピンドルの先端に突き当たった時の一部断面側面図である。
【図７】マウントフランジ取り外し治具を更に回転させることで、圧接反力によりマウントフランジを取り外している状態の一部断面側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図１を参照すると、切削装置２の外観斜視図が示されている。切削装置２の静止基台４上にはＸ軸方向に伸長する一対のガイドレール６が固定されている。
【００１４】
Ｘ軸移動ブロック８が、ボールねじ１０及びパルスモーター１２とから構成されるＸ軸移動機構（加工送り機構）１４によりガイドレール６に案内されて加工送り方向、即ちＸ軸方向に移動可能に配設されている。Ｘ軸移動ブロック８上には円筒状支持部材２０を介してチャックテーブル１６が搭載されている。
【００１５】
チャックテーブル１６は多孔性セラミックス等から形成された吸引保持部１８を有している。チャックテーブル１６は、円筒状支持部材２０内に収容されたモータにより回転可能に構成されている。
【００１６】
静止基台４上には一対のガイドレール６を跨ぐように門型フレーム２２が立設されている。門型フレーム２２には、Ｙ軸方向に伸長する一対のガイドレール２４が固定されている。
【００１７】
Ｙ軸移動ブロック２６が、ボールねじ２８及びパルスモーター３０とから構成されるＹ軸移動機構（割出送り機構）３２によりガイドレール２４に沿ってＹ軸方向に移動可能に配設されている。
【００１８】
Ｙ軸移動ブロック２６にはＺ軸方向（上下方向）に伸長する一対のガイドレール３４が固定されている。Ｚ軸移動ブロック３６は、ボールねじ３８及びパルスモーター４０から構成されるＺ軸移動機構（切り込み送り機構）により一対のガイドレール３４に沿ってＺ軸方向に移動可能に配設されている。
【００１９】
Ｚ軸移動ブロック３６には、切削ユニット４４とアライメントユニット４８が配設されている。アライメントユニット４８は、顕微鏡及びＣＣＤカメラ等のカメラを有する撮像ユニット５０を含んでいる。
【００２０】
切削ユニット４４は、図２に示すように、スピンドルハウジング５２中に収容され、その先端部５４がテーパ面に形成されたスピンドルを有している。スピンドル先端部（スピンドルテーパ部）５４の端面にはねじ穴５６が形成されている。
【００２１】
５８はマウントフランジであり、円筒状ボス部６０と、円筒状ボス部６０と一体的に形成された鍔部６２とから構成される。円筒状ボス部６０の外周には雄ねじ６４が形成されているとともに、その内周には雌ねじ６６が形成されている。マウントフランジ５８は更にテーパ状の係合穴６８を有している。
【００２２】
マウントフランジ５８の係合穴６８をスピンドルテーパ部５４に挿入し、ねじ７０をマウントフランジ５８の係合穴６８を通してねじ穴５６に螺合して締め付けることにより、マウントフランジ５８はスピンドルテーパ部５４に装着される。
【００２３】
切削ブレード４６は全体が電鋳された切り刃から構成されるワッシャータイプの切削ブレードであり、切削ブレード４６をマウントフランジ５８のボス部６０に挿入し、その外側から押さえフランジ７２をボス部６０に挿入して、固定ナット７６をボス部６０の雄ねじ６４に螺合して締め付けることにより、切削ブレード４６がマウントフランジ５８と押さえフランジ７２とに挟持されてスピンドルテーパ部５４に装着される。
【００２４】
図３を参照すると、マウントフランジ取り外し治具８０の斜視図が示されている。図４はその一部断面側面図である。マウントフランジ取り外し治具８０は、取っ手部８２と、取っ手部８２に固定された外周に雄ねじ８６を有する係合部８４と、係合部８４と一体的に形成された突起部８８とから構成される。
【００２５】
図４を参照すると明らかなように、係合部８４は、係合部８４と一体的に形成された固定ピン８５を取っ手部８２に打ち込むことにより取っ手部８２に固定されている。突起部８８はその先端に接触面８８ａを有している。
【００２６】
切削ブレード４６をスピンドルテーパ部５４に装着してウエーハ等の被加工物の切削を継続すると、マウントフランジ５８は切削ブレード４６とともに高速で回転されるため、遠心力によってマウントフランジ５８の内径が拡張し、マウントフランジ５８はスピンドルテーパ部５４の奥方向に移動し、スピンドルテーパ部５４との間で強い噛みつきが生じる。その結果、マウントフランジ５８は通常手で持って取り外すことはできない。
【００２７】
以下、このように強い噛みつきが生じたマウントフランジ５８をスピンドルテーパ部５４から取り外すための、上述した実施形態に係るマウントフランジ取り外し治具８０の作用について図５乃至図７を参照して説明する。スピンドルは回転が停止すると、ロック機構によりロックされているものとする。
【００２８】
図５に示すように、スピンドルテーパ部５４に強固に装着されたマウントフランジ５８に対して、作業者がマウントフランジ取り外し治具８０の取っ手部８２を片手で持ってマウントフランジ取り外し治具８０を近づけ、図６に示すように、マウントフランジ取り外し治具８０の係合部８４に形成された雄ねじ８６をマウントフランジ５８のボス部６０に形成された雌ねじ６６に螺合する。
【００２９】
そして、矢印Ａ方向にマウントフランジ取り外し治具８０を回転させて突起部８８をスピンドルの奥方向に移動して、突起部８８の接触面８８ａをスピンドルテーパ部５４の端面に当接させる。
【００３０】
図７に示すように、スピンドル取り外し治具８０を矢印Ａ方向に更に回転させると、突起部８８の接触面８８ａはスピンドルテーパ部５４の端面に圧接してそれ以上奥方向に移動できないため、圧接反力によりマウントフランジ５８が矢印Ｂ方向に移動して、マウントフランジ５８をスピンドルテーパ部５４から取り外すことができる。
【００３１】
本実施形態のマウントフランジ取り外し治具８０は、大径の取っ手部８２を有しているため、取っ手部８２を手で持って回転させることにより、十分なトルクを発生することができ、マウントフランジ５８を比較的容易にスピンドルテーパ部５４から取り外すことができる。
【符号の説明】
【００３２】
２    切削装置
１６    チャックテーブル
４４    切削ユニット
４６    切削ブレード
５４    スピンドルテーパ部
５８    マウントフランジ
６０    円筒状ボス部
６２    鍔部
６４    雄ねじ
６６    雌ねじ
６８    係合穴
７２    押さえフランジ
７６    固定ナット
８０    マウントフランジ取り外し治具
８２    取っ手部
８４    係合面
８６    雄ねじ
８８    突起部
８８ａ    接触面
【図１】
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【図２】
2014079843.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2014079843.tif 000008
【図７】
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