(57)【要約】【課題】電子部品に含まれる金属を簡易に分析できる分析方法、及び分析装置の提供。【解決手段】電子部品と王水とを混合して王水を含む混合物を得た後に、前記王水を含む混合物を、王水を含む溶液と前記王水を含む混合物の固形分とに分離する工程と、前記王水を含む混合物の前記固形分をフッ酸と混合してフッ酸を含む混合物を得た後に、前記フッ酸を含む混合物を、フッ酸を含む溶液と前記フッ酸を含む混合物の固形分とに分離する工程と、前記フッ酸を含む混合物の前記固形分を、液状のアルカリ塩と混合してアルカリ塩を含む混合物を得る工程と、前記王水を含む溶液、前記フッ酸を含む溶液、及び前記アルカリ塩を含む混合物について、誘導結合プラズマ発光分光分析及び誘導結合プラズマ質量分析のいずれかを行う工程とを含む金属の分析方法である。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品と王水とを混合して王水を含む混合物を得た後に、前記王水を含む混合物を、王水を含む溶液と前記王水を含む混合物の固形分とに分離する工程と、
前記王水を含む混合物の前記固形分をフッ酸と混合してフッ酸を含む混合物を得た後に、前記フッ酸を含む混合物を、フッ酸を含む溶液と前記フッ酸を含む混合物の固形分とに分離する工程と、
前記フッ酸を含む混合物の前記固形分を、液状のアルカリ塩と混合してアルカリ塩を含む混合物を得る工程と、
前記王水を含む溶液、前記フッ酸を含む溶液、及び前記アルカリ塩を含む混合物について、誘導結合プラズマ発光分光分析及び誘導結合プラズマ質量分析のいずれかを行う工程とを含むことを特徴とする金属の分析方法。
【請求項２】
電子部品と王水とを混合して王水を含む混合物を得た後に、前記王水を含む混合物を、王水を含む溶液と前記王水を含む混合物の固形分とに分離する工程と、
前記王水を含む混合物の前記固形分を液状のアルカリ塩と混合してアルカリ塩を含む混合物を得た後に、前記アルカリ塩を含む混合物を水と混合してアルカリ塩及び水を含む混合物を得て、更に前記アルカリ塩及び水を含む混合物を、アルカリ塩水溶液と前記アルカリ塩及び水を含む混合物の固形分とに分離する工程と、
前記アルカリ塩及び水を含む混合物の前記固形分をフッ酸と混合してフッ酸を含む混合物を得る工程と、
前記王水を含む溶液、前記アルカリ塩水溶液、及び前記フッ酸を含む混合物について、誘導結合プラズマ発光分光分析及び誘導結合プラズマ質量分析のいずれかを行う工程とを含むことを特徴とする金属の分析方法。
【請求項３】
電子部品とフッ酸とを混合してフッ酸を含む混合物を得た後に、前記フッ酸を含む混合物を、フッ酸を含む溶液と前記フッ酸を含む混合物の固形分とに分離する工程と、
前記フッ酸を含む混合物の前記固形分を王水と混合して王水を含む混合物を得た後に、前記王水を含む混合物を、王水を含む溶液と前記王水を含む混合物の固形分とに分離する工程と、
前記王水を含む混合物の前記固形分を、液状のアルカリ塩と混合してアルカリ塩を含む混合物を得る工程と、
前記フッ酸を含む溶液、前記王水を含む溶液、及び前記アルカリ塩を含む混合物について、誘導結合プラズマ発光分光分析及び誘導結合プラズマ質量分析のいずれかを行う工程とを含むことを特徴とする金属の分析方法。
【請求項４】
前記王水が、７０℃〜９０℃であり、前記フッ酸が、１９０℃〜２１０℃であり、前記アルカリ塩が、９００℃〜１，１００℃である請求項１から３のいずれかに記載の金属の分析方法。
【請求項５】
前記王水を含む混合物に硝酸を加える処理、及び前記フッ酸を含む混合物に硝酸を加える処理を含む請求項１から４のいずれかに記載の金属の分析方法。
【請求項６】
前記アルカリ塩が、ホウ酸塩である請求項１から５のいずれかに記載の金属の分析方法。
【請求項７】
王水を含む容器と、フッ酸を含む容器と、アルカリ塩を含む容器と、誘導結合プラズマ発光分光分析装置及び誘導結合プラズマ質量分析装置のいずれかとを有することを特徴とする金属の分析装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本件は、金属の分析方法、及び分析装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
現在、インターネット社会に代表されるように、ＩＣＴ（Ｉｎｆｏｒｍａｔｉｏｎ  ａｎｄ  Ｃｏｍｍｕｎｉｃａｔｉｏｎ  Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ、情報通信技術）の発展は目覚しく、その製品、及びサービスは、様々な分野で活用されている。
【０００３】
前記ＩＣＴに使用されるＩＣＴ機器には、その機能性を向上させるために、貴金属及び希少金属を含有した素材及び部品が多種多様に使用されている。これらの金属は、近年のアジア諸国の急激な経済発展に伴う金属資源の需要拡大、価格高騰などにより、その安定供給が懸念されている。
【０００４】
そこで、金属を含有する電子部品、及び電気製品のリサイクル処理が注目されている。
前記リサイクル処理としては、例えば、一次処理とマテリアル化処理とからなる廃棄製品のリサイクル処理方法であって、前記一次処理は少なくとも、（１）収集された廃棄製品を分別及び手分解するプロセスと、（２）低速高トルク型破砕機により破砕サイズを２０ｍｍ以下に破砕するプロセスと、（３）電磁選別、磁気選別及び振動選別の組合せにより鉄、アルミニウム、非鉄金属及び廃プラに選別するプロセスと、（４）粉砕機により粉砕サイズを３ｍｍ以下に粉砕するプロセスと、（５）風力選別及び振動選別の組合せにより、金属鉱さいを選別するプロセスと、からなる廃棄製品のリサイクル処理方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
しかし、電子部品、及び電気製品のリサイクルの現状としては、リサイクルコストの格差により国内リサイクル原料が海外に流出する、リサイクル原料の確保が不透明であるためのリサイクル設備の導入が進展しない、電子部品中の金属の含有状況が明らかでないために回収されず廃棄されるといった問題がある。特に、電子部品中の金属の含有状況が明らかでないと、リサイクルに要する費用と、リサイクルにより回収できる金属から得られる利益とのバランスが分からないためにリサイクルの事業化が難しい。
【０００６】
したがって、電子部品に含まれる金属を簡易に分析できる分析方法、及び分析装置の提供が求められているのが現状である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００６−１４２１２９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本件は、従来における前記諸問題を解決し、以下の目的を達成することを課題とする。即ち、本件は、電子部品に含まれる金属を簡易に分析できる分析方法、及び分析装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記課題を解決するための手段としては、以下の通りである。即ち、
開示の金属の分析方法は、
電子部品と王水とを混合して王水を含む混合物を得た後に、前記王水を含む混合物を、王水を含む溶液と前記王水を含む混合物の固形分とに分離する工程と、
前記王水を含む混合物の前記固形分をフッ酸と混合してフッ酸を含む混合物を得た後に、前記フッ酸を含む混合物を、フッ酸を含む溶液と前記フッ酸を含む混合物の固形分とに分離する工程と、
前記フッ酸を含む混合物の前記固形分を、液状のアルカリ塩と混合してアルカリ塩を含む混合物を得る工程と、
前記王水を含む溶液、前記フッ酸を含む溶液、及び前記アルカリ塩を含む混合物について、誘導結合プラズマ発光分光分析及び誘導結合プラズマ質量分析のいずれかを行う工程とを含む。
【００１０】
開示の金属の分析方法は、
電子部品と王水とを混合して王水を含む混合物を得た後に、前記王水を含む混合物を、王水を含む溶液と前記王水を含む混合物の固形分とに分離する工程と、
前記王水を含む混合物の前記固形分を液状のアルカリ塩と混合してアルカリ塩を含む混合物を得た後に、前記アルカリ塩を含む混合物を水と混合してアルカリ塩及び水を含む混合物を得て、更に前記アルカリ塩及び水を含む混合物を、アルカリ塩水溶液と前記アルカリ塩及び水を含む混合物の固形分とに分離する工程と、
前記アルカリ塩及び水を含む混合物の前記固形分をフッ酸と混合してフッ酸を含む混合物を得る工程と、
前記王水を含む溶液、前記アルカリ塩水溶液、及び前記フッ酸を含む混合物について、誘導結合プラズマ発光分光分析及び誘導結合プラズマ質量分析のいずれかを行う工程とを含む。
【００１１】
開示の金属の分析方法は、
電子部品とフッ酸とを混合してフッ酸を含む混合物を得た後に、前記フッ酸を含む混合物を、フッ酸を含む溶液と前記フッ酸を含む混合物の固形分とに分離する工程と、
前記フッ酸を含む混合物の前記固形分を王水と混合して王水を含む混合物を得た後に、前記王水を含む混合物を、王水を含む溶液と前記王水を含む混合物の固形分とに分離する工程と、
前記王水を含む混合物の前記固形分を、液状のアルカリ塩と混合してアルカリ塩を含む混合物を得る工程と、
前記フッ酸を含む溶液、前記王水を含む溶液、及び前記アルカリ塩を含む混合物について、誘導結合プラズマ発光分光分析及び誘導結合プラズマ質量分析のいずれかを行う工程とを含む。
【００１２】
開示の金属の分析装置は、王水を含む容器と、フッ酸を含む容器と、アルカリ塩を含む容器と、誘導結合プラズマ発光分光分析装置及び誘導結合プラズマ質量分析装置のいずれかとを有する。
【発明の効果】
【００１３】
開示の金属の分析方法によれば、電子部品に含まれる金属を簡易に分析できる分析方法を提供できる。
開示の金属の分析装置によれば、電子部品に含まれる金属を簡易に分析できる分析装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】図１は、実施例１の分析方法のフロー図である。
【図２】図２は、実施例２の分析方法のフロー図である。
【図３】図３は、実施例３の分析方法のフロー図である。
【図４】図４は、実施例１の分析結果を１００％とした時の実施例２〜３、比較例１〜３の分析結果を示すグラフである。
【図５】図５は、実施例４の分析結果を１００％とした時の実施例５〜６、比較例４〜６の分析結果を示すグラフである。
【図６】図６は、実施例７の分析結果を１００％とした時の実施例８〜９、比較例７〜９の分析結果を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
（金属の分析方法、及び分析装置）
開示の金属の分析方法は、王水処理工程と、フッ酸処理工程と、アルカリ塩処理工程と、分析工程とを含み、更に必要に応じて、その他の工程を含む。
開示の金属の分析装置は、王水を含む容器と、フッ酸を含む容器と、アルカリ塩を含む容器と、誘導結合プラズマ発光分光分析装置及び誘導結合プラズマ質量分析装置のいずれかとを少なくとも有し、更に必要に応じて、その他の部材を有する。
【００１６】
前記開示の金属の分析方法は、電子部品に含まれる金属を分析する方法である。
前記開示の金属の分析装置は、電子部品に含まれる金属を分析する装置である。
【００１７】
開示の金属の分析方法は、開示の金属の分析装置により好適に実施できる。
【００１８】
＜電子部品＞
前記電子部品としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、ＩＣチップ、ＬＳＩチップ、抵抗器、コンデンサ、トランス、インダクタンス、フィルタ、発振子、振動子などが挙げられる。
前記電子部品の大きさ、形状としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができる。
【００１９】
前記電子部品を前記金属の分析方法に用いる際には、前記電子部品は、小片に裁断又は粉砕されることが好ましい。
前記電子部品を前記金属の分析装置に用いる際には、前記電子部品は、小片に裁断又は粉砕されることが好ましい。
【００２０】
前記金属の分析方法は、前記王水処理工程、及び前記アルカリ塩処理工程をこの順で含む。そうすることにより、前記電子部品に含まれる金属とその他の成分とを分離し、かつ前記電子部品に含まれる金属の揮発を極力減らして、前記電子部品に含まれる金属のほとんど全てを誘導結合プラズマ発光分光分析及び誘導結合プラズマ質量分析のいずれかに供することができる。
【００２１】
開示の金属の分析方法としては、例えば、以下の３つの態様などが挙げられる。
以下の３つの態様は、前記王水処理工程、及び前記アルカリ塩処理工程をこの順で含む点で共通する特徴を有する。
【００２２】
＜第１の態様＞
第１の態様の金属の分析方法は、王水処理工程と、フッ酸処理工程と、アルカリ塩処理工程と、分析工程とをこの順で含み、更に必要に応じて、その他の工程を含む。
【００２３】
＜＜第１の態様における王水処理工程＞＞
前記第１の態様における前記王水処理工程としては、前記電子部品と王水とを混合して王水を含む混合物を得た後に、前記王水を含む混合物を、王水を含む溶液と前記王水を含む混合物の固形分とに分離する工程であれば、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができる。
【００２４】
前記王水を含む混合物は、前記電子部品と王水とを混合して得られる。
前記電子部品と前記王水とを混合することで、前記電子部品に含まれる金属を前記王水に溶解することができる。
前記王水とは、濃塩酸と濃硝酸とを約３：１の体積比で混合してできる橙赤色の液体である。
【００２５】
前記混合は、前記王水を含む容器に前記電子部品を添加して行うことが好ましい。前記容器としては、例えば、ガラス容器などが挙げられる。
【００２６】
前記混合の際の前記王水の温度としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、金属を溶解しやすい点で７０℃〜９０℃が好ましい。
【００２７】
前記電子部品と前記王水とを混合する時間としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、５分間〜２時間が好ましく、１０分間〜１時間がより好ましい。前記時間が、５分間未満であると、前記電子部品中の金属を十分に前記王水に溶解できないことがあり、２時間を超えると、分析時間が長くなることがある。
【００２８】
前記電子部品と王水とを混合して前記王水を含む混合物を得る際には、前記王水を含む混合物に酸を加えることが好ましい。前記酸としては、例えば、硝酸、塩酸などが挙げられる。これらの中でも、酸化力が強い点で、硝酸が好ましい。
前記王水を含む混合物中で、前記電子部品中の金属の前記王水への溶解が進むにつれ、前記金属の溶解が遅くなるが、前記酸を前記王水を含む混合物に添加することで、前記金属の溶解速度を維持することができる。
前記王水を含む混合物に前記酸を加える際の前記酸の量としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、センサーなどを用いて、前記王水中の前記金属の溶解状況を確認しながら、前記酸の量を決定することができる。前記センサーとしては、金属の溶解状況を確認できるセンサーであれば、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、光センサー、超音波センサーなどが挙げられる
【００２９】
前記王水を含む混合物を、前記王水を含む溶液と前記王水を含む混合物の固形分とに分離する方法としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、ろ過、遠心分離などが挙げられる。これらの中でも、簡便な点で、ろ過が好ましい。
【００３０】
前記王水を含む溶液には前記電子部品中の金属が溶解している。前記金属としては、例えば、Ｂｅ、Ｓｃ、Ｔｉ、Ｖ、Ｃｒ、Ｍｎ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｇａ、Ｇｅ、Ｓｅ、Ｒｂ、Ｓｒ、Ｙ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｍｏ、Ｒｈ、Ｐｄ、Ａｇ、Ｃｄ、Ｉｎ、Ｓｂ、Ｔｅ、Ｃｓ、Ｂａ、Ｈｆ、Ｔａ、Ｗ、Ｒｅ、Ｐｔ、Ａｕ、Ｔｌ、Ｐｂ、Ｂｉ、ランタノイド類などが挙げられる。
【００３１】
＜＜第１の態様におけるフッ酸処理工程＞＞
前記第１の態様における前記フッ酸処理工程としては、前記王水を含む混合物の前記固形分をフッ酸（フッ化水素酸）と混合してフッ酸を含む混合物を得た後に、前記フッ酸を含む混合物を、フッ酸を含む溶液と前記フッ酸を含む混合物の固形分とに分離する工程であれば、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができる。
【００３２】
前記フッ酸を含む混合物は、前記王水を含む混合物の前記固形分とフッ酸とを混合して得られる。
前記王水を含む混合物の前記固形分をフッ酸と混合することで、前記固形分に含まれる、セラミック、ガラスなどに付着していた又は被覆されていた金属を前記フッ酸に溶解することができる。
【００３３】
前記混合は、前記フッ酸を含む容器に前記王水を含む混合物の前記固形分を添加して行うことが好ましい。前記容器としては、例えば、白金容器などが挙げられる。
【００３４】
前記混合の際の前記フッ酸の温度としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、金属を溶解しやすい点で１９０℃〜２１０℃が好ましい。
【００３５】
前記王水を含む混合物の前記固形分と前記フッ酸とを混合する時間としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、５分間〜２時間が好ましく、１０分間〜１時間がより好ましい。前記時間が、５分間未満であると、前記固形分中の金属を十分に前記フッ酸に溶解できないことがあり、２時間を超えると、分析時間が長くなることがある。
【００３６】
前記固形分とフッ酸とを混合して前記フッ酸を含む混合物を得る際には、前記フッ酸を含む混合物に酸を加えることが好ましい。前記酸としては、例えば、硝酸、塩酸などが挙げられる。これらの中でも、酸化力が強い点で、硝酸が好ましい。
前記フッ酸を含む混合物中で、前記固形分中の金属の前記フッ酸への溶解が進むにつれ、前記金属の溶解が遅くなるが、前記酸を前記フッ酸を含む混合物に添加することで、前記金属の溶解速度を維持することができる。
前記フッ酸を含む混合物に前記酸を加える際の前記酸の量としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、センサーなどを用いて、前記フッ酸中の前記金属の溶解状況を確認しながら、前記酸の量を決定することができる。前記センサーとしては、金属の溶解状況を確認できるセンサーであれば、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、光センサー、超音波センサーなどが挙げられる
【００３７】
前記フッ酸を含む混合物を、前記フッ酸を含む溶液と前記フッ酸を含む混合物の固形分とに分離する方法としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、ろ過、遠心分離などが挙げられる。これらの中でも、簡便な点で、ろ過が好ましい。
【００３８】
前記フッ酸を含む溶液には前記固形分中の金属が溶解している。前記金属としては、例えば、Ｂｅ、Ｓｃ、Ｔｉ、Ｖ、Ｃｒ、Ｍｎ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｇａ、Ｇｅ、Ｓｅ、Ｒｂ、Ｓｒ、Ｙ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｍｏ、Ｒｈ、Ｐｄ、Ａｇ、Ｃｄ、Ｉｎ、Ｓｂ、Ｔｅ、Ｃｓ、Ｂａ、Ｈｆ、Ｔａ、Ｗ、Ｒｅ、Ｐｔ、Ａｕ、Ｔｌ、Ｐｂ、Ｂｉ、ランタノイド類などが挙げられる。
【００３９】
＜＜第１の態様におけるアルカリ塩処理工程＞＞
前記第１の態様における前記アルカリ塩処理工程としては、前記フッ酸を含む混合物の前記固形分を、液状のアルカリ塩と混合してアルカリ塩を含む混合物を得る工程であれば、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができる。
【００４０】
前記アルカリ塩を含む混合物は、前記フッ酸を含む混合物の前記固形分と液状のアルカリ塩とを混合して得られる。
前記フッ酸を含む混合物の前記固形分と前記液状のアルカリ塩とを混合することにより、前記固形分に含まれる前記電子部品に由来する有機物（例えば、プラスチック）を除去できる。また、前記電子部品に由来する金属を溶解することができる。前記金属としては、例えば、Ｂｅ、Ｓｃ、Ｔｉ、Ｖ、Ｃｒ、Ｍｎ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｇａ、Ｇｅ、Ｓｅ、Ｒｂ、Ｓｒ、Ｙ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｍｏ、Ｒｈ、Ｐｄ、Ａｇ、Ｃｄ、Ｉｎ、Ｓｂ、Ｔｅ、Ｃｓ、Ｂａ、Ｈｆ、Ｔａ、Ｗ、Ｒｅ、Ｐｔ、Ａｕ、Ｔｌ、Ｐｂ、Ｂｉ、ランタノイド類などが挙げられる。
【００４１】
前記アルカリ塩としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、ホウ酸塩、炭酸塩などが挙げられる。前記ホウ酸塩としては、例えば、ホウ酸リチウム、ホウ酸ナトリウム、ホウ酸バリウムなどが挙げられる。前記炭酸塩としては、例えば、炭酸リチウムなどが挙げられる。これらの中でも、液状の状態において、金属を溶解しやすい点から、ホウ酸塩が好ましく、ホウ酸リチウムがより好ましい。
【００４２】
前記混合は、前記液状のアルカリ塩を含む容器に前記フッ酸を含む混合物の前記固形分を添加して行うことが好ましい。前記容器としては、例えば、白金容器などが挙げられる。
【００４３】
前記混合の際の前記アルカリ塩の温度としては、前記アルカリ塩が液状になる温度であれば、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、金属を溶解しやすい点で９００℃〜１，１００℃が好ましい。
【００４４】
前記フッ酸を含む混合物の前記固形分と前記液状のアルカリ塩とを混合する時間としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、１分間〜２０分間が好ましく、３分間〜１０分間がより好ましい。前記時間が、１分間未満であると、前記固形分に含まれる有機物を十分に除去できないことがあり、２０分間を超えると、分析時間が長くなることがある。
【００４５】
＜＜第１の態様における分析工程＞＞
前記第１の態様における前記分析工程としては、前記王水を含む溶液、前記フッ酸を含む溶液、及び前記アルカリ塩を含む混合物について、誘導結合プラズマ発光分光分析及び誘導結合プラズマ質量分析のいずれかを行う工程であれば、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができる。
前記誘導結合プラズマ発光分光分析及び誘導結合プラズマ質量分析のいずれかを行う前記フッ酸を含む溶液には、ホウ酸を加えることが好ましい。そうすることで、フッ酸による分析装置の損傷を防ぐことができる。
【００４６】
前記分析工程としては、前記王水を含む溶液、前記フッ酸を含む溶液、及び前記アルカリ塩を含む混合物を混合して得られた混合物について、誘導結合プラズマ発光分光分析及び誘導結合プラズマ質量分析のいずれかを行うことが、分析時間が短縮できる点で好ましい。
【００４７】
前記アルカリ塩を含む混合物を、前記王水を含む溶液、及び前記フッ酸を含む溶液と混合せずに誘導結合プラズマ発光分光分析及び誘導結合プラズマ質量分析のいずれかを行う場合には、前記アルカリ塩を含む混合物を水に溶解させて測定試料を調製することが好ましい。
【００４８】
前記分析工程に用いる誘導結合プラズマ発光分光分析装置及び誘導結合プラズマ質量分析装置のいずれかとしては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、市販品を用いることができる。
【００４９】
＜第２の態様＞
第２の態様の金属の分析方法は、王水処理工程と、アルカリ塩処理工程と、フッ酸処理工程と、分析工程とをこの順で含み、更に必要に応じて、その他の工程を含む。
【００５０】
＜＜第２の態様における王水処理工程＞＞
前記第２の態様における前記王水処理工程としては、前記電子部品と王水とを混合して王水を含む混合物を得た後に、前記王水を含む混合物を、王水を含む溶液と前記王水を含む混合物の固形分とに分離する工程であれば、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、前記第１の態様における前記王水処理工程と同様に行うことができる。前記第２の態様における前記王水処理工程の好ましい態様は、前記第１の態様における前記王水処理工程の好ましい態様と同様である。
【００５１】
＜＜第２の態様におけるアルカリ塩処理工程＞＞
前記第２の態様における前記アルカリ塩処理工程としては、前記王水を含む混合物の前記固形分を液状のアルカリ塩と混合してアルカリ塩を含む混合物を得た後に、前記アルカリ塩を含む混合物を水と混合してアルカリ塩及び水を含む混合物を得て、更に前記アルカリ塩及び水を含む混合物を、アルカリ塩水溶液と前記アルカリ塩及び水を含む混合物の固形分とに分離する工程であれば、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができる。
【００５２】
−アルカリ塩を含む混合物−
前記アルカリ塩を含む混合物は、前記王水を含む混合物の前記固形分と液状のアルカリ塩とを混合して得られる。
前記王水を含む混合物の前記固形分と前記液状のアルカリ塩とを混合することにより、前記固形分に含まれる前記電子部品に由来する有機物（例えば、プラスチック）を除去できる。
前記アルカリ塩としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、前記第１の態様の前記アルカリ塩処理工程において例示した前記アルカリ塩などが挙げられる。好ましい態様も同様である。
【００５３】
前記混合は、前記アルカリ塩を含む容器に前記王水を含む混合物の前記固形分を添加して行うことが好ましい。前記容器としては、例えば、白金容器などが挙げられる。
【００５４】
前記混合の際の前記アルカリ塩の温度としては、前記アルカリ塩が液状になる温度であれば、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、金属を溶解しやすい点で９００℃〜１，１００℃が好ましい。
【００５５】
前記王水を含む混合物の前記固形分と前記液状のアルカリ塩とを混合する時間としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、１分間〜２０分間が好ましく、３分間〜１０分間がより好ましい。前記時間が、１分間未満であると、前記固形分に含まれる有機物を十分に除去できないことがあり、２０分間を超えると、分析時間が長くなることがある。
【００５６】
−アルカリ塩及び水を含む混合物−
前記アルカリ塩及び水を含む混合物は、前記アルカリ塩を含む混合物と水とを混合して得られる。
【００５７】
前記アルカリ塩を含む混合物と水とを混合する時間としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができる。
【００５８】
前記混合の際の温度としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、２０℃〜３０℃などが挙げられる。
【００５９】
前記アルカリ塩及び水を含む混合物を、前記アルカリ塩水溶液と前記アルカリ塩及び水を含む混合物の固形分とに分離する方法としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、ろ過、遠心分離などが挙げられる。これらの中でも、簡便な点で、ろ過が好ましい。
【００６０】
＜＜第２の態様におけるフッ酸処理工程＞＞
前記第２の態様における前記フッ酸処理工程としては、前記アルカリ塩及び水を含む混合物の前記固形分をフッ酸と混合してフッ酸を含む混合物を得る工程であれば、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができる。
【００６１】
前記第２の態様における前記フッ酸処理工程は、前記第１の態様における前記フッ酸処理工程において、前記王水を含む混合物の前記固形分を、前記アルカリ塩及び水を含む混合物の前記固形分に代える以外は、前記第１の態様における前記フッ酸処理工程と同様の方法で行うことができる。前記第２の態様における前記フッ酸処理工程の好ましい態様は、前記第１の態様における前記フッ酸処理工程の好ましい態様と同様である。ただし、前記第２の態様における前記フッ酸処理工程においては、前記フッ酸を含む混合物を更に固液分離することは通常行わない。
【００６２】
＜＜第２の態様における分析工程＞＞
前記第２の態様における前記分析工程としては、前記王水を含む溶液、前記アルカリ塩水溶液、及び前記フッ酸を含む混合物について、誘導結合プラズマ発光分光分析及び誘導結合プラズマ質量分析のいずれかを行う工程であれば、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、前記第１の態様における前記分析工程と同様に行うことができる。前記第２の態様における前記分析工程の好ましい態様は、前記第１の態様における前記分析工程の好ましい態様と同様である。
【００６３】
＜第３の態様＞
第３の態様の金属の分析方法は、フッ酸処理工程と、王水処理工程と、アルカリ塩処理工程と、分析工程とをこの順で含み、更に必要に応じて、その他の工程を含む。
【００６４】
＜＜第３の態様におけるフッ酸処理工程＞＞
前記第３の態様における前記フッ酸処理工程としては、前記電子部品とフッ酸とを混合してフッ酸を含む混合物を得た後に、前記フッ酸を含む混合物を、フッ酸を含む溶液と前記フッ酸を含む混合物の固形分とに分離する工程であれば、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができる。
【００６５】
前記第３の態様における前記フッ酸処理工程は、前記第１の態様における前記フッ酸処理工程において、前記王水を含む混合物の前記固形分を、前記電子部品に代える以外は、前記第１の態様における前記フッ酸処理工程と同様の方法で行うことができる。前記第３の態様における前記フッ酸処理工程の好ましい態様は、前記第１の態様における前記フッ酸処理工程の好ましい態様と同様である。
【００６６】
＜＜第３の態様における王水処理工程＞＞
前記第３の態様における前記王水処理工程としては、前記フッ酸を含む混合物の前記固形分を王水と混合して王水を含む混合物を得た後に、前記王水を含む混合物を、王水を含む溶液と前記王水を含む混合物の固形分とに分離する工程であれば、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができる。
【００６７】
前記第３の態様における前記王水処理工程は、前記第１の態様における前記王水処理工程において、前記電子部品を、前記フッ酸を含む混合物の前記固形分に代える以外は、前記第１の態様における前記王水処理工程と同様の方法で行うことができる。前記第３の態様における前記王水処理工程の好ましい態様は、前記第１の態様における前記王水処理工程の好ましい態様と同様である。
【００６８】
＜＜第３の態様におけるアルカリ塩処理工程＞＞
前記第３の態様における前記アルカリ塩処理工程としては、前記王水を含む混合物の前記固形分を、液状のアルカリ塩と混合してアルカリ塩を含む混合物を得る工程であれば、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができる。
【００６９】
前記第３の態様における前記アルカリ塩処理工程は、前記第１の態様における前記アルカリ塩処理工程において、前記フッ酸を含む混合物の前記固形分を、前記王水を含む混合物の前記固形分に代える以外は、前記第１の態様における前記アルカリ塩処理工程と同様の方法で行うことができる。前記第３の態様における前記アルカリ塩処理工程の好ましい態様は、前記第１の態様における前記アルカリ塩処理工程の好ましい態様と同様である。
【００７０】
＜＜第３の態様における分析工程＞＞
前記第３の態様における前記分析工程としては、前記フッ酸を含む溶液、前記王水を含む溶液、及び前記アルカリ塩を含む混合物について、誘導結合プラズマ発光分光分析及び誘導結合プラズマ質量分析のいずれかを行う工程であれば、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、前記第１の態様における前記分析工程と同様に行うことができる。前記第３の態様における前記分析工程の好ましい態様は、前記第１の態様における前記分析工程の好ましい態様と同様である。
【実施例】
【００７１】
以下、実施例を挙げて開示の金属の分析方法、及び分析装置をより具体的に説明するが、開示の金属の分析方法、及び分析装置は、これらの実施例に何ら制限されるものではない。
【００７２】
（実施例１）
＜第１の態様による金属の分析＞
測定対象の電子部品として、サーバ向けＣＰＵ（中央処理装置、Ｃｅｎｔｒａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ）２２．５８ｇを用いた。
実施例１における分析方法のフロー図を図１に示した。
【００７３】
＜＜王水処理工程＞＞
前記電子部品を、８０℃に加熱した王水（１，１２９ｍＬ）を入れたガラス容器に３０分間浸漬させた。浸漬中、前記電子部品に含まれる金属の溶解具合を確認しながら、５６５ｍＬの硝酸を前記ガラス容器内に滴下した。
浸漬後に得られた、王水を含む混合物を、ろ紙（５種Ｃ、アドバンテック東洋株式会社製）を用いてろ過し、王水を含む溶液（約１，６９４ｍＬ）と、固形分（５．６ｇ）とに分離した。
【００７４】
＜＜フッ酸処理工程＞＞
前記王水処理工程において得られた前記固形分（５．６ｇ）を、２００℃に加熱したフッ酸（２８０ｍＬ）を入れた白金容器に３０分間浸漬させた。浸漬中、前記固形分中の金属の溶解具合を確認しながら、１４０ｍＬの硝酸を前記白金容器内に滴下した。
浸漬後に得られた、フッ酸を含む混合物を、ろ紙（５種Ｃ、アドバンテック東洋株式会社製）を用いてろ過し、フッ酸を含む溶液（約４２０ｍＬ）と、固形分（０．５ｇ）とに分離した。
【００７５】
＜＜アルカリ塩処理工程＞＞
前記フッ酸処理工程において得られた前記固形分（０．５ｇ）を、１，０００℃に加熱した液状のホウ酸リチウム（５ｇ）を入れた白金容器に５分間浸漬させ、ホウ酸リチウムを含む混合物（約５．５ｇ）を得た。
【００７６】
＜＜分析工程＞＞
前記フッ酸処理工程により得られた前記フッ酸を含む溶液にホウ酸を加えフッ酸を中和した後に、前記王水処理工程により得られた前記王水を含む溶液と、前記フッ酸処理工程により得られた前記フッ酸を含む溶液と、前記アルカリ塩処理工程により得られた前記ホウ酸リチウムを含む混合物とを混合して混合物を得た。得られた混合物を、誘導結合プラズマ発光分光分析（ＩＣＰ分析）に供した。Ｃｕ、Ｓｒ、Ｉｎについて分析した結果を表１に示した。
【００７７】
（実施例２）
＜第２の態様による金属の分析＞
測定対象の電子部品として、実施例１に用いたサーバ向けＣＰＵと同じＣＰＵ２２．５８ｇを用いた。
実施例２における分析方法のフロー図を図２に示した。
なお、以下の実施例２〜９、及び比較例１〜９において、王水及びフッ酸は、浸漬させる固形分に対して５０倍量（質量）を用いた。ホウ酸リチウムは、浸漬させる固形分に対して１０倍量（質量）を用いた。硝酸は、王水又はフッ酸に対して０．５倍量（容量）を用いた。
【００７８】
＜＜王水処理工程＞＞
実施例１と同様にして、王水処理工程を行った。
【００７９】
＜＜アルカリ塩処理工程＞＞
前記王水処理工程において得られた固形分（５．６ｇ）を、１，０００℃に加熱した液状のホウ酸リチウムを入れた白金容器に５分間浸漬させ、ホウ酸リチウムを含む混合物を得た。
得られた前記ホウ酸リチウムを含む混合物を、水と混合し、ホウ酸リチウム及び水を含む混合物を得た。得られた前記ホウ酸リチウム及び水を含む混合物を、ろ紙（５種Ｃ、アドバンテック東洋株式会社製）を用いてろ過し、ホウ酸リチウム水溶液と、固形分とに分離した。
【００８０】
＜＜フッ酸処理工程＞＞
前記アルカリ塩処理工程において得られた前記固形分を、２００℃に加熱したフッ酸を入れた白金容器に３０分間浸漬させた。浸漬中、前記固形分中の金属の溶解具合を確認しながら、硝酸を前記白金容器内に滴下した。そして、フッ酸を含む混合物を得た。
【００８１】
＜＜分析工程＞＞
前記フッ酸処理工程により得られた前記フッ酸を含む混合物にホウ酸を加えフッ酸を中和した後に、前記王水処理工程により得られた前記王水を含む溶液と、前記アルカリ塩処理工程により得られた前記ホウ酸リチウム水溶液と、前記フッ酸処理工程により得られた前記フッ酸を含む混合物とを混合して混合物を得た。得られた混合物を、誘導結合プラズマ発光分光分析（ＩＣＰ分析）に供した。Ｃｕ、Ｓｒ、Ｉｎについて分析した結果を表１及び図４に示した。
【００８２】
（実施例３）
＜第３の態様による金属の分析＞
測定対象の電子部品として、実施例１に用いたサーバ向けＣＰＵと同じＣＰＵ２２．５８ｇを用いた。
実施例３における分析方法のフロー図を図３に示した。
【００８３】
＜＜フッ酸処理工程＞＞
前記電子部品を、２００℃に加熱したフッ酸を入れた白金容器に３０分間浸漬させた。浸漬中、前記電子部品に含まれる金属の溶解具合を確認しながら、硝酸を前記白金容器内に滴下した。
浸漬後に得られた、フッ酸を含む混合物を、ろ紙（５種Ｃ、アドバンテック東洋株式会社製）を用いてろ過し、フッ酸を含む溶液と、固形分とに分離した。
【００８４】
＜＜王水処理工程＞＞
前記フッ酸処理工程において得られた前記固形分を、８０℃に加熱した王水を入れたガラス容器に３０分間浸漬させた。浸漬中、前記固形分中の金属の溶解具合を確認しながら、硝酸を前記ガラス容器内に滴下した。
浸漬後に得られた、王水を含む混合物を、ろ紙（５種Ｃ、アドバンテック東洋株式会社製）を用いてろ過し、王水を含む溶液と、固形分とに分離した。
【００８５】
＜＜アルカリ塩処理工程＞＞
前記フッ酸処理工程において得られた前記固形分を、１，０００℃に加熱した液状のホウ酸リチウムを入れた白金容器に５分間浸漬させ、ホウ酸リチウムを含む混合物を得た。
【００８６】
＜＜分析工程＞＞
前記フッ酸処理工程により得られた前記フッ酸を含む溶液にホウ酸を加えフッ酸を中和した後に、前記フッ酸処理工程により得られた前記フッ酸を含む溶液と、前記王水処理工程により得られた前記王水を含む溶液と、前記アルカリ塩処理工程により得られた前記ホウ酸リチウムを含む混合物とを混合して混合物を得た。得られた混合物を、誘導結合プラズマ発光分光分析（ＩＣＰ分析）に供した。Ｃｕ、Ｓｒ、Ｉｎについて分析した結果を表１及び図４に示した。
【００８７】
（比較例１）
測定対象の電子部品として、実施例１に用いたサーバ向けＣＰＵと同じＣＰＵ２２．５８ｇを用いた。
【００８８】
＜＜フッ酸処理工程＞＞
前記電子部品を、２００℃に加熱したフッ酸を入れた白金容器に３０分間浸漬させた。浸漬中、前記電子部品に含まれる金属の溶解具合を確認しながら、硝酸を前記白金容器内に滴下した。
浸漬後に得られた、フッ酸を含む混合物を、ろ紙（５種Ｃ、アドバンテック東洋株式会社製）を用いてろ過し、フッ酸を含む溶液と、固形分とに分離した。
【００８９】
＜＜アルカリ塩処理工程＞＞
前記フッ酸処理工程において得られた前記固形分を、１，０００℃に加熱した液状のホウ酸リチウムを入れた白金容器に５分間浸漬させ、ホウ酸リチウムを含む混合物を得た。
得られた前記ホウ酸リチウムを含む混合物を、水と混合し、ホウ酸リチウム及び水を含む混合物を得た。得られた前記ホウ酸リチウム及び水を含む混合物を、ろ紙（５種Ｃ、アドバンテック東洋株式会社製）を用いてろ過し、ホウ酸リチウム水溶液と、固形分とに分離した。
【００９０】
＜＜王水処理工程＞＞
前記アルカリ塩処理工程において得られた前記固形分を、８０℃に加熱した王水を入れたガラス容器に３０分間浸漬させた。浸漬中、前記固形分中の金属の溶解具合を確認しながら、硝酸を前記ガラス容器内に滴下し、王水を含む混合物を得た。
【００９１】
＜＜分析工程＞＞
前記フッ酸処理工程により得られた前記フッ酸を含む溶液にホウ酸を加えフッ酸を中和した後に、前記フッ酸処理工程により得られた前記フッ酸を含む溶液と、前記アルカリ塩処理工程により得られた前記ホウ酸リチウム水溶液と、前記王水処理工程により得られた前記王水を含む混合物と、を混合して混合物を得た。得られた混合物を、誘導結合プラズマ発光分光分析（ＩＣＰ分析）に供した。Ｃｕ、Ｓｒ、Ｉｎについて分析した結果を表１及び図４に示した。
【００９２】
（比較例２）
測定対象の電子部品として、実施例１に用いたサーバ向けＣＰＵと同じＣＰＵ２２．５８ｇを用いた。
【００９３】
＜＜アルカリ塩処理工程＞＞
前記電子部品を、１，０００℃に加熱した液状のホウ酸リチウムを入れた白金容器に５分間浸漬させ、ホウ酸リチウムを含む混合物を得た。
得られた前記ホウ酸リチウムを含む混合物を、水と混合し、ホウ酸リチウム及び水を含む混合物を得た。得られた前記ホウ酸リチウム及び水を含む混合物を、ろ紙（５種Ｃ、アドバンテック東洋株式会社製）を用いてろ過し、ホウ酸リチウム水溶液と、固形分とに分離した。
【００９４】
＜＜王水処理工程＞＞
前記アルカリ塩処理工程において得られた前記固形分を、８０℃に加熱した王水を入れたガラス容器に３０分間浸漬させた。浸漬中、前記固形分中の金属の溶解具合を確認しながら、硝酸を前記ガラス容器内に滴下した。
浸漬後に得られた、王水を含む混合物を、ろ紙（５種Ｃ、アドバンテック東洋株式会社製）を用いてろ過し、王水を含む溶液と、固形分とに分離した。
【００９５】
＜＜フッ酸処理工程＞＞
前記王水処理工程において得られた前記固形分を、２００℃に加熱したフッ酸を入れた白金容器に３０分間浸漬させた。浸漬中、前記固形分中の金属の溶解具合を確認しながら、硝酸を前記白金容器内に滴下し、フッ酸を含む混合物を得た。
【００９６】
＜＜分析工程＞＞
前記フッ酸処理工程により得られた前記フッ酸を含む混合物にホウ酸を加えフッ酸を中和した後に、前記アルカリ塩処理工程により得られた前記ホウ酸リチウム水溶液と、前記王水処理工程により得られた前記王水を含む溶液と、前記フッ酸処理工程により得られた前記フッ酸を含む混合物とを混合して混合物を得た。得られた混合物を、誘導結合プラズマ発光分光分析（ＩＣＰ分析）に供した。Ｃｕ、Ｓｒ、Ｉｎについて分析した結果を表１及び図４に示した。
【００９７】
（比較例３）
測定対象の電子部品として、実施例１に用いたサーバ向けＣＰＵと同じＣＰＵ２２．５８ｇを用いた。
【００９８】
＜＜アルカリ塩処理工程＞＞
前記電子部品を、１，０００℃に加熱した液状のホウ酸リチウムを入れた白金容器に５分間浸漬させ、ホウ酸リチウムを含む混合物を得た。
得られた前記ホウ酸リチウムを含む混合物を、水と混合し、ホウ酸リチウム及び水を含む混合物を得た。得られた前記ホウ酸リチウム及び水を含む混合物を、ろ紙（５種Ｃ、アドバンテック東洋株式会社製）を用いてろ過し、ホウ酸リチウム水溶液と、固形分とに分離した。
【００９９】
＜＜フッ酸処理工程＞＞
前記アルカリ塩処理工程において得られた前記固形分を、２００℃に加熱したフッ酸を入れた白金容器に３０分間浸漬させた。浸漬中、前記固形分中の金属の溶解具合を確認しながら、硝酸を前記白金容器内に滴下した。
浸漬後に得られた、フッ酸を含む混合物を、ろ紙（５種Ｃ、アドバンテック東洋株式会社製）を用いてろ過し、フッ酸を含む溶液と、固形分とに分離した。
【０１００】
＜＜王水処理工程＞＞
前記フッ酸処理工程において得られた前記固形分を、８０℃に加熱した王水を入れたガラス容器に３０分間浸漬させた。浸漬中、前記固形分中の金属の溶解具合を確認しながら、硝酸を前記ガラス容器内に滴下し、王水を含む混合物を得た。
【０１０１】
＜＜分析工程＞＞
前記フッ酸処理工程により得られた前記フッ酸を含む溶液にホウ酸を加えフッ酸を中和した後に、前記アルカリ塩処理工程により得られた前記ホウ酸リチウム水溶液と、前記フッ酸処理工程により得られた前記フッ酸を含む溶液と、前記王水処理工程により得られた前記王水を含む混合物とを混合して混合物を得た。得られた混合物を、誘導結合プラズマ発光分光分析（ＩＣＰ分析）に供した。Ｃｕ、Ｓｒ、Ｉｎについて分析した結果を表１及び図４に示した。
【０１０２】
【表１】
2014219255.tif 000003
表１中、各金属量は、分析に用いた電子部品の質量に対する金属量（ｐｐｍ）である。各金属量における（％）は、実施例１の分析結果の各金属量を１００％とした時の（％）である。この（％）を図４に示した。
表１中の工程順序における「１」は、王水処理工程を表し、「２」は、フッ酸処理工程を表し、「３」は、アルカリ塩処理工程を表し、「４」は、分析工程を表す。表２及び３においても同様である。
【０１０３】
表１に示すように、実施例１では、最も定量性が高い結果が得られた。表１及び図４に示すように、続いて、実施例２、実施例３の順で定量性が高い結果となった。
一方、比較例１〜３では、特にＳｒ、Ｉｎの定量性が低い結果となった。これは、各工程の順序によっては、誘導結合プラズマ発光分光分析を行う前に、融点の低い金属が揮発してしまうためと考えられる。
【０１０４】
（実施例４）
実施例１において、電子部品をＣＰＵから炭素被膜抵抗器（０．１６ｇ）に代えた以外は、実施例１と同様にして、金属の分析を行った。
【０１０５】
（実施例５）
実施例２において、電子部品をＣＰＵから実施例４と同じ炭素被膜抵抗器（０．１６ｇ）に代えた以外は、実施例２と同様にして、金属の分析を行った。結果を表２及び図５に示した。
【０１０６】
（実施例６）
実施例３において、電子部品をＣＰＵから実施例４と同じ炭素被膜抵抗器（０．１６ｇ）に代えた以外は、実施例３と同様にして、金属の分析を行った。結果を表２及び図５に示した。
【０１０７】
（比較例４）
比較例１において、電子部品をＣＰＵから実施例４と同じ炭素被膜抵抗器（０．１６ｇ）に代えた以外は、比較例１と同様にして、金属の分析を行った。結果を表２及び図５に示した。
【０１０８】
（比較例５）
比較例２において、電子部品をＣＰＵから実施例４と同じ炭素被膜抵抗器（０．１６ｇ）に代えた以外は、比較例２と同様にして、金属の分析を行った。結果を表２及び図５に示した。
【０１０９】
（比較例６）
比較例３において、電子部品をＣＰＵから実施例４と同じ炭素被膜抵抗器（０．１６ｇ）に代えた以外は、比較例３と同様にして、金属の分析を行った。結果を表２及び図５に示した。
【０１１０】
【表２】
2014219255.tif 000004
表２中、各金属量における（％）は、実施例４の分析結果の各金属量を１００％とした時の（％）である。この（％）を図５に示した。
【０１１１】
（実施例７）
実施例１において、電子部品をＣＰＵからアルミ電解コンデンサ（２．３７ｇ）に代えた以外は、実施例１と同様にして、金属の分析を行った。
【０１１２】
（実施例８）
実施例２において、電子部品をＣＰＵから実施例７と同じアルミ電解コンデンサ（２．３７ｇ）に代えた以外は、実施例２と同様にして、金属の分析を行った。結果を表３及び図６に示した。
【０１１３】
（実施例９）
実施例３において、電子部品をＣＰＵから実施例７と同じアルミ電解コンデンサ（２．３７ｇ）に代えた以外は、実施例３と同様にして、金属の分析を行った。結果を表３及び図６に示した。
【０１１４】
（比較例７）
比較例１において、電子部品をＣＰＵから実施例７と同じアルミ電解コンデンサ（２．３７ｇ）に代えた以外は、比較例１と同様にして、金属の分析を行った。結果を表３及び図６に示した。
【０１１５】
（比較例８）
比較例２において、電子部品をＣＰＵから実施例７と同じアルミ電解コンデンサ（２．３７ｇ）に代えた以外は、比較例２と同様にして、金属の分析を行った。結果を表３及び図６に示した。
【０１１６】
（比較例９）
比較例３において、電子部品をＣＰＵから実施例７と同じアルミ電解コンデンサ（２．３７ｇ）に代えた以外は、比較例３と同様にして、金属の分析を行った。結果を表３及び図６に示した。
【０１１７】
【表３】
2014219255.tif 000005
表３中、各金属量における（％）は、実施例７の分析結果の各金属量を１００％とした時の（％）である。この（％）を図６に示した。
【０１１８】
以上の実施例１〜９を含む実施形態に関し、更に以下の付記を開示する。
（付記１）  電子部品と王水とを混合して王水を含む混合物を得た後に、前記王水を含む混合物を、王水を含む溶液と前記王水を含む混合物の固形分とに分離する工程と、
前記王水を含む混合物の前記固形分をフッ酸と混合してフッ酸を含む混合物を得た後に、前記フッ酸を含む混合物を、フッ酸を含む溶液と前記フッ酸を含む混合物の固形分とに分離する工程と、
前記フッ酸を含む混合物の前記固形分を、液状のアルカリ塩と混合してアルカリ塩を含む混合物を得る工程と、
前記王水を含む溶液、前記フッ酸を含む溶液、及び前記アルカリ塩を含む混合物について、誘導結合プラズマ発光分光分析及び誘導結合プラズマ質量分析のいずれかを行う工程とを含むことを特徴とする金属の分析方法。
（付記２）  電子部品と王水とを混合して王水を含む混合物を得た後に、前記王水を含む混合物を、王水を含む溶液と前記王水を含む混合物の固形分とに分離する工程と、
前記王水を含む混合物の前記固形分を液状のアルカリ塩と混合してアルカリ塩を含む混合物を得た後に、前記アルカリ塩を含む混合物を水と混合してアルカリ塩及び水を含む混合物を得て、更に前記アルカリ塩及び水を含む混合物を、アルカリ塩水溶液と前記アルカリ塩及び水を含む混合物の固形分とに分離する工程と、
前記アルカリ塩及び水を含む混合物の前記固形分をフッ酸と混合してフッ酸を含む混合物を得る工程と、
前記王水を含む溶液、前記アルカリ塩水溶液、及び前記フッ酸を含む混合物について、誘導結合プラズマ発光分光分析及び誘導結合プラズマ質量分析のいずれかを行う工程とを含むことを特徴とする金属の分析方法。
（付記３）
電子部品とフッ酸とを混合してフッ酸を含む混合物を得た後に、前記フッ酸を含む混合物を、フッ酸を含む溶液と前記フッ酸を含む混合物の固形分とに分離する工程と、
前記フッ酸を含む混合物の前記固形分を王水と混合して王水を含む混合物を得た後に、前記王水を含む混合物を、王水を含む溶液と前記王水を含む混合物の固形分とに分離する工程と、
前記王水を含む混合物の前記固形分を、液状のアルカリ塩と混合してアルカリ塩を含む混合物を得る工程と、
前記フッ酸を含む溶液、前記王水を含む溶液、及び前記アルカリ塩を含む混合物について、誘導結合プラズマ発光分光分析及び誘導結合プラズマ質量分析のいずれかを行う工程とを含むことを特徴とする金属の分析方法。
（付記４）  前記王水が、７０℃〜９０℃であり、前記フッ酸が、１９０℃〜２１０℃であり、前記アルカリ塩が、９００℃〜１，１００℃である付記１から３のいずれかに記載の金属の分析方法。
（付記５）  前記王水を含む混合物に硝酸を加える処理、及び前記フッ酸を含む混合物に硝酸を加える処理を含む付記１から４のいずれかに記載の金属の分析方法。
（付記６）  前記アルカリ塩が、ホウ酸塩である付記１から５のいずれかに記載の金属の分析方法。
（付記７）  前記アルカリ塩が、ホウ酸リチウムである付記１から６のいずれかに記載の金属の分析方法。
（付記８）  王水を含む容器と、フッ酸を含む容器と、アルカリ塩を含む容器と、誘導結合プラズマ発光分光分析装置及び誘導結合プラズマ質量分析装置のいずれかとを有することを特徴とする金属の分析装置。
【図４】
2014219255.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図１】
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【図２】
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【図３】
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