(57)【要約】      （修正有）【課題】研磨面に切削溝を形成しながらも、弾性樹脂シートの耐久性が高い研磨パッドを提供すること。【解決手段】研磨パッドの有する弾性樹脂シート２の研磨面Ｓｐには、断面がＶ字型の切削溝８０が形成されている。気泡１０の傾斜部１２が研磨面Ｓｐに向かって伸びる方向を第一方向としたときに、切削溝８０は、第一方向に沿った手前側に位置する第一傾斜面Ｓｃ１と、第一方向に沿った奥側に位置する第二傾斜面Ｓｃ２とにより区画されており、第二傾斜面Ｓｃ２が研磨面Ｓｐに対してなす角度θ２は、気泡１０の傾斜部１２が研磨面Ｓｐに対してなす角度θ３よりも小さい。【選択図】図３
2014034083.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
弾性樹脂シートの一方側の面を研磨面とし、他方側の面を被支持面とする研磨パッドであって、
前記弾性樹脂シートの内部には、前記被支持面から前記研磨面に向かって伸びる細長い気泡が複数形成され、
それぞれの前記気泡は、少なくとも前記研磨面の近傍において、前記研磨面に対して傾斜するように形成された傾斜部を有しており、
前記研磨面に垂直な方向に沿って見た場合において、前記弾性樹脂シートのうち少なくとも一部の第一領域に形成された複数の前記気泡は、前記傾斜部が前記研磨面に向かって伸びる方向が互いに略同一の第一方向となっており、
前記第一領域における前記研磨面には、断面がＶ字型の切削溝が、前記第一方向とは略垂直な第二方向に沿って形成され、
前記切削溝は、前記第一方向に沿った手前側に位置する第一傾斜面と、前記第一方向に沿った奥側に位置する第二傾斜面とにより区画されており、
前記第二傾斜面が前記研磨面に対してなす角度は、前記傾斜部が前記研磨面に対してなす角度よりも小さいことを特徴とする研磨パッド。
【請求項２】
前記弾性樹脂シートは平面視で円形を成す形状であって、
前記研磨面に垂直な方向に沿って見た場合において、それぞれの前記気泡は、前記傾斜部が前記研磨面に向かって伸びる方向が、前記弾性樹脂シートの周方向と略一致するように形成されていることを特徴とする、請求項１に記載の研磨パッド。
【請求項３】
前記弾性樹脂シートは平面視で円形を成す形状であって、
前記研磨面に垂直な方向に沿って見た場合において、それぞれの前記気泡は、前記傾斜部が前記研磨面に向かって伸びる方向が、前記弾性樹脂シートの中心に向かう方向と略一致するように形成されていることを特徴とする、請求項１に記載の研磨パッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、弾性樹脂シートの一方側の面を研磨面とする研磨パッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
ベアシリコン、半導体デバイス、磁気ディスク基板等は、その表面を平滑にするために研磨加工が施される。かかる研磨加工は、砥粒をアルカリ溶液又は、酸性溶液等に分散させた研磨液（スラリー）を被研磨面に供給しながら、当該被研磨面に対し研磨パッドを押し当てて回転させるものであり、所謂化学機械研磨（ＣＭＰ）と称されるものである。
【０００３】
研磨パッドは、求められる平滑度に応じて種々の材質のものが用いられる。特に最終仕上げ用の研磨パッドにおいては、湿式成膜法により形成されたウレタン樹脂等の弾性材料からなる弾性樹脂シートが用いられることが多い。湿式成膜法とは、樹脂を溶解させた樹脂溶液を成膜基材の一方側の面に塗布し、これを凝固液の槽に浸漬することにより、塗布した樹脂溶液を凝固させるものである。樹脂溶液中の溶媒と凝固液とが置換されることにより樹脂溶液中の樹脂が凝集して再生（凝固）され、弾性樹脂シートが形成される。
【０００４】
湿式成膜法により形成された弾性樹脂シートの内部には、弾性樹脂シートの一方側の面から他方側の面に向かって伸びる細長い気泡が複数形成される（下記特許文献１）。当該気泡は、湿式成膜法により樹脂が凝集する過程において形成されるものであり、研磨加工を行う際においては、スラリーを一時的に貯留するための空間として機能する。
【０００５】
例えば、回転する研磨パッドの一部に被研磨物が押し当てられると、当該部分における気泡は収縮し、内部に貯留されていたスラリーが被研磨物に向けて排出される。また、被研磨物が他の部分に移動すると、上記気泡は拡大して元の大きさに戻り、その過程でスラリーを内部に貯留する。このように、気泡がスラリーの排出及び貯留を繰り返すことで、研磨パッドの研磨面と被研磨物との間には常に所定量のスラリーが循環供給される。その結果、研磨パッドの目詰まりが防止されて研磨レートが向上し、且つ表面品位に優れた研磨を行うことが可能となる。
【０００６】
本発明者らは、弾性樹脂シート内の細長い気泡を研磨面に対して略垂直に形成するのではなく、研磨面に対して傾斜するように形成すると、研磨パッドの研磨レートが更に向上することを見出した。これは、気泡が研磨面に対して垂直な場合と比較して、気泡におけるスラリーの排出及び貯留がよりスムーズに行われるためであると推測される。
【０００７】
すなわち、細長く形成された気泡は、研磨面側の先端において開口を有しており、当該開口を通じて上記のようなスラリーの排出及び貯留が行われる。気泡が研磨面に対して傾斜していると、被研磨物が押し当てられて気泡が収縮を開始した時点においては、上記開口は未だ被研磨物によって塞がれていない。換言すれば、気泡が収縮を開始するタイミングと、気泡先端の開口が塞がれるタイミングとに時間差が生じる。その結果として、スラリーの排出等がスムーズに行われるものと思われる。
【０００８】
細長い気泡を研磨面に対して傾斜するように形成するための方法としては、湿式成膜法の凝固工程（樹脂を溶解させた樹脂溶液を、凝固液に浸漬して凝固させる工程）において、樹脂溶液が塗布された成膜基材を、凝固液の液面に対して垂直な状態を保ちながらゆっくりと下降させて浸漬してゆく方法が挙げられる。この場合、気泡は、成膜基材とは反対側（研磨面側）の先端が凝固液側（下方）に向かって傾斜するように形成される。
【０００９】
研磨パッドは、このような弾性樹脂シートを単体で用いるか、複数枚を並べて用いることにより形成される。その結果、弾性樹脂シートを研磨面に垂直な方向に沿って見た場合、研磨面のうち少なくとも一部の領域においては、それぞれの気泡の傾斜方向が略同一の方向となっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開２００５−３３５０２８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
このような研磨パッドにおいては、被研磨物との間におけるスラリーの循環性を更に高めることを目的として、研磨面の一部に切削溝を形成することが行われている。このような切削溝は、研磨面の一部を切削することにより形成されるものであり、断面がＶ字型の溝である。換言すれば、二つの傾斜面により区画された溝である。
【００１２】
しかしながら、細長い気泡が傾斜するように形成された弾性樹脂シートに対して上記のような切削溝を形成した場合、当該切削溝における弾性樹脂シートの耐久性が低下してしまうことがあった。このため、被研磨物から受ける力によって弾性樹脂シートの一部が破損し、一様な研磨を行うことができずに所謂研磨ムラが発生してしまう場合があった。
【００１３】
本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、研磨面に切削溝を形成しながらも、弾性樹脂シートの耐久性が高い研磨パッドを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記課題を解決するために本発明に係る研磨パッドは、弾性樹脂シートの一方側の面を研磨面とし、他方側の面を被支持面とする研磨パッドであって、前記弾性樹脂シートの内部には、前記被支持面から前記研磨面に向かって伸びる細長い気泡が複数形成され、それぞれの前記気泡は、少なくとも前記研磨面の近傍において、前記研磨面に対して傾斜するように形成された傾斜部を有しており、前記研磨面に垂直な方向に沿って見た場合において、前記弾性樹脂シートのうち少なくとも一部の第一領域に形成された複数の前記気泡は、前記傾斜部が前記研磨面に向かって伸びる方向が互いに略同一の第一方向となっており、前記第一領域における前記研磨面には、断面がＶ字型の切削溝が、前記第一方向とは略垂直な第二方向に沿って形成され、前記切削溝は、前記第一方向に沿った手前側に位置する第一傾斜面と、前記第一方向に沿った奥側に位置する第二傾斜面とにより区画されており、前記第二傾斜面が前記研磨面に対してなす角度は、前記傾斜部が前記研磨面に対してなす角度よりも小さいことを特徴としている。
【００１５】
本発明に係る研磨パッドは弾性樹脂シートを有しており、当該弾性樹脂シートの内部には、被支持面から研磨面に向かって伸びる細長い気泡が複数形成されている。また、それぞれの気泡は、少なくとも研磨面の近傍において、研磨面に対して傾斜するように形成された傾斜部を有している。このような気泡が形成されているため、研磨加工を行う際にはそれぞれの気泡においてスラリーの貯留及び排出が行われ、被研磨面に対するスラリーの循環供給が促される。
【００１６】
また、本発明では、弾性樹脂シートを研磨面に垂直な方向に沿って見た場合において、弾性樹脂シートのうち少なくとも一部の第一領域に形成された複数の気泡は、傾斜部が研磨面に向かって伸びる方向（傾斜部に沿って研磨面に向かう方向）が互いに略同一の方向（第一方向）となるように形成されている。弾性樹脂シートは、全体が一つの第一領域であってもよく、複数の第一領域に分かれていてもよい。いずれにしても、同じ第一領域に含まれる気泡は、弾性樹脂シートを研磨面に垂直な方向に沿って見た場合において、傾斜部が研磨面に向かって伸びる方向が互いに略同一の第一方向となっている。
【００１７】
本発明においては更に、第一領域における研磨面に、断面がＶ字型の切削溝が形成されている。当該切削溝は、第一方向とは略垂直な第二方向に沿って形成されており、二つの傾斜面（第一傾斜面、第二傾斜面）によって区画されている。第一傾斜面とは、二つの傾斜面のうち第一方向に沿った手前側に位置する方の傾斜面である。第二傾斜面とは、二つの傾斜面のうち第一方向に沿った奥側に位置する方の傾斜面である。換言すれば、研磨面に垂直な方向に沿って見た場合において、第一傾斜面から第二傾斜面に向かう方向は、気泡の傾斜部が研磨面に向かって伸びる方向（第一方向）と一致する。
【００１８】
第二傾斜面が研磨面に対してなす角度は、（同じ第一領域に属する気泡の）傾斜部が研磨面に対してなす角度よりも小さい。本発明者らは、切削溝の形状をこのようなものとすることで、弾性樹脂シートの耐久性が著しく向上することを見出した。その理由としては、以下のようなものが考えられる。
【００１９】
切削溝は弾性樹脂シートの一部を切削することにより形成されるため、平面視で切削溝と重なる位置に存在する気泡は、その一部が切り欠かれた状態となる。すなわち、切削溝を区画する傾斜面の一部には、気泡と連通する連通孔が形成される。
【００２０】
ここで、第二傾斜面が研磨面に対してなす角度が、傾斜部が研磨面に対してなす角度よりも仮に大きい場合、上記連通孔は、気泡のうち研磨面から比較的遠い位置に形成されることとなる。この場合、弾性樹脂シートのうち上記連通孔と研磨面との間に位置する部分の強度は著しく低下してしまうため、当該部分は被研磨物からの力を受けて破損してしまう可能性がある。
【００２１】
これに対して、本発明では、第二傾斜面が研磨面に対してなす角度が、傾斜部が研磨面に対してなす角度よりも小さい。この場合、弾性樹脂シートのうち上記連通孔と研磨面との間には、強度が低下するような部分が形成されない。その結果、被研磨物からの力を受けて破損してしまうような部分は、少なくとも研磨面の近傍には形成されにくい。
【００２２】
以上のように、本発明によれば、研磨面に切削溝を形成しながらも、当該切削溝を区画する傾斜面の形状を工夫することにより、弾性樹脂シートの耐久性が高くなっている。
【００２３】
また本発明に係る研磨パッドでは、前記弾性樹脂シートは平面視で円形を成す形状であって、前記研磨面に垂直な方向に沿って見た場合において、それぞれの前記気泡は、前記傾斜部が前記研磨面に向かって伸びる方向が、前記弾性樹脂シートの周方向と略一致するように形成されていることも好ましい。
【００２４】
この好ましい態様では、弾性樹脂シートを研磨面に垂直な方向に沿って見た場合において、それぞれの気泡は、傾斜部が研磨面に向かって伸びる方向が、平面視で円形を成す弾性樹脂シートの周方向と略一致するように形成されている。
【００２５】
このような構成により、研磨面に向かって伸びる気泡の傾斜方向が、研磨加工を行う際において当該気泡が被研磨物に対して進行する方向に沿ったものとなる。このため、被研磨物が押し当てられて気泡が収縮するタイミングと、気泡の開口が被研磨物で塞がれるタイミングとの時間差が最大限に確保される。その結果、被研磨物との間におけるスラリーの循環性を更に高めることができる。
【００２６】
また本発明に係る研磨パッドでは、前記弾性樹脂シートは平面視で円形を成す形状であって、前記研磨面に垂直な方向に沿って見た場合において、それぞれの前記気泡は、前記傾斜部が前記研磨面に向かって伸びる方向が、前記弾性樹脂シートの中心に向かう方向と略一致するように形成されていることも好ましい。
【００２７】
この好ましい態様では、弾性樹脂シートを研磨面に垂直な方向に沿って見た場合において、それぞれの気泡は、傾斜部が研磨面に向かって伸びる方向が、平面視で円形を成す弾性樹脂シートの中心に向かう方向と略一致するように形成されている。
【００２８】
このような構成により、それぞれの気泡から研磨面に排出されるスラリーは、研磨面の中央に向かうこととなる。その結果、被研磨物と研磨面との間におけるスラリーの保持性能を向上させることができる。
【発明の効果】
【００２９】
本発明によれば、研磨面に切削溝を形成しながらも、弾性樹脂シートの耐久性が高い研磨パッドを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明の第一実施形態に係る研磨パッドの一部を示す断面図である。
【図２】図１に示した研磨パッドの弾性樹脂シートに形成された気泡及び切削溝の配置を示す図である。
【図３】図２に示した切削溝の具体的な形状を説明するための断面図である。
【図４】図１に示した研磨パッドの製造工程の概略を示す工程図である。
【図５】図４に示した工程のうち、凝固工程を説明するための模式図である。
【図６】本発明の第二実施形態に係る研磨パッドの弾性樹脂シートに形成された気泡及び切削溝の配置を示す図である。
【図７】図６に示した研磨パッドの製造工程のうち、凝固工程を説明するための模式図である。
【図８】図６に示した研磨パッドの製造工程のうち、凝固工程を説明するための模式図である。
【図９】本発明の第三実施形態に係る研磨パッドの弾性樹脂シートに形成された気泡及び切削溝の配置を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００３１】
以下、添付図面を参照しながら本発明の実施の形態について説明する。説明の理解を容易にするため、各図面において同一の構成要素に対しては可能な限り同一の符号を付して、重複する説明は省略する。
【００３２】
まず、本発明の第一実施形態に係る研磨パッド１の構成について、図１及び図２を参照しながら説明する。図１は研磨パッド１の一部を示す断面図であり、図２は研磨パッドの弾性樹脂シート２に形成された気泡１０及び切削溝８０の配置を示す図である。図１及び図２に示したように、研磨パッド１は、平面視で円形を成す弾性樹脂シート２を有している。
【００３３】
弾性樹脂シート２の一方側の面は、被研磨物を研磨加工するための研磨面Ｓｐとなっている。また、弾性樹脂シート２の他方側の面は、研磨装置に研磨パッド１を取り付けるための被支持面Ｓｆとなっている。本実施形態においては、被支持面Ｓｆにはパッド基材２０が接着されている。パッド基材２０は、平面視で円形を成すシート状のポリエチレンテレフタレート（以下、ＰＥＴと表記する）により形成されている。
【００３４】
当該パッド基材２０のうち被支持面Ｓｆに接する面の反対側には、両面テープ３０が貼り付けられている。両面テープ３０の剥離紙（不図示）を除去した後で、研磨装置の研磨定盤上に両面テープ３０を貼り付けることで、研磨パッド１が研磨装置に取り付けられる。
【００３５】
弾性樹脂シート２の材質は、所謂湿式成膜法により形成されたポリウレタン樹脂が発明の目的を一層有効且つ確実に奏する観点から好ましいが、疎水性且つ極性溶媒に可溶の弾性材料であれば、特に限定されない。
【００３６】
弾性樹脂シート２の内部には無数の気泡が形成されている。気泡は大小様々な大きさに形成されており、これらが網目状に連通した状態となっている。以下の説明では、これら気泡のうち、被支持面Ｓｆから研磨面Ｓｐに向かって伸びるように形成された細長い気泡であって、且つ弾性樹脂シート２の厚さ方向の略全体にわたるように形成された比較的大きな気泡のみに着目し、これらを特に「気泡１０」として表記することとする。このような気泡１０は、弾性樹脂シート２の内部において多数形成されているが、図示及び説明の便宜上、図１及び図２においてはその一部のみを抜粋して描いている。
【００３７】
図１に示したように、それぞれの気泡１０は、パッド基材２０側（被支持面Ｓｆ側）の部分において比較的大径に形成された大径部１１と、大径部１１から研磨面Ｓｐ向かって細長く伸びる傾斜部１２とを有している。傾斜部１２の伸びる方向は、研磨面Ｓｐに対して垂直ではなく、研磨面Ｓｐに対して傾斜する方向となっている。
【００３８】
気泡１０は、研磨面Ｓｐ側の先端において開口１３が形成されている。一方、被支持面Ｓｆ側の先端には開口は形成されていない（尚、気泡１０と被支持面Ｓｆとの間には微小な気泡が存在しているため、これら微小な気泡を介して気泡１０が被支持面Ｓｆ側と連通する場合はありうる）。
【００３９】
気泡１０はこのような形状を有しているため、研磨パッド１により研磨を行う際においては、研磨面Ｓｐと被研磨物との間に対しスラリーを循環供給するためのポンプのような機能を発揮する。すなわち、回転する研磨パッド１のうち研磨面Ｓｐの一部に被研磨物が押し当てられると、弾性樹脂シート２が変形することにより当該部分における気泡１０は収縮し、内部に貯留されていたスラリーが被研磨物に向けて排出される。また、被研磨物が他の部分に（相対的に）移動すると、気泡１０は拡大して元の大きさに戻り、その過程でスラリーを内部に貯留する。このように、気泡１０がスラリーの排出及び貯留を繰り返す（ポンピングを行う）ことで、研磨パッド１の研磨面Ｓｐと被研磨物との間には常に所定量のスラリーが循環供給される。その結果、研磨パッド１の目詰まりが防止されて研磨レートが向上し、且つ表面品位に優れた研磨が行われる。
【００４０】
図２に示したように、弾性樹脂シート２を研磨面Ｓｐに対し垂直な方向に沿って見た場合において、それぞれの傾斜部１２が研磨面Ｓｐに向かって伸びる方向（図２において矢印ＡＲ１で示した方向）と、当該傾斜部１２の位置における弾性樹脂シート２の周方向（図２において矢印ＡＲ２で示した方向）とのなす角度（第一角度）は、全て約１８０度となっている。尚、弾性樹脂シート２の周方向とは、平面視で円形を成す弾性樹脂シート２が、その円周に沿って回転する方向である。本実施形態においては、弾性樹脂シート２が被研磨物に対して相対的に回転する方向ということもできる。図２においては、上面視で円形を成す弾性樹脂シート２の中心を回転軸として、右回転する方向が周方向である。
【００４１】
本実施形態に係る研磨パッド１は、上記第一角度が全ての気泡１０において略同一（約１８０度）となっているため、以下のような効果を奏する。弾性樹脂シート２が被研磨物に対して相対的に回転すると、被研磨物は気泡１０に対して大径部１１側から接近することとなる。すなわち、被研磨物は矢印ＡＲ２とは反対の方向に向かって相対的に移動し、気泡１０に接近することとなる。
【００４２】
弾性樹脂シート２は被研磨物が押しつけられることによって変形するため、上記のように被研磨物が接近すると、まず気泡１０のうち大径部１１が圧縮されてその容積が減少する。このとき、当該気泡１０の開口１３は未だ被研磨物によって塞がれていない。従って、気泡１０の内部に貯留されていたスラリーは、開口１３を通じてスムーズに排出され、研磨面Ｓｐと被研磨物との間に供給される。
【００４３】
その後、被研磨物は更に相対移動して開口１３を塞ぐ。その直後、被研磨物が更に相対移動することで開口１３は開放され、気泡１０は元の大きさに戻る。その際、研磨面Ｓｐと被研磨物との間に存在していたスラリーが吸引され、気泡１０の内部に再び貯留される。
【００４４】
上記のように、気泡１０の容積が減少し始めるタイミングと、開口１３が塞がれるタイミングとに時間差が存在するため、スラリーの排出及び貯留がスムーズに行われる。当該時間差は、気泡１０の傾斜部１２が研磨面Ｓｐに対して傾斜していることに起因して生じるものである。
【００４５】
更に本実施形態においては、第一角度が全ての気泡１０について略同一（約１８０度）となっているため、当該時間差についても全ての気泡１０について略同一となっている。その結果、スラリーを貯留及び排出する機能は、それぞれの気泡１０において略一様に発揮されるため、研磨ムラの発生を抑制することが可能となっている。
【００４６】
図２に示したように、弾性樹脂シート２の研磨面Ｓｐには、弾性樹脂シート２の半径に沿うような６本の切削溝８０が形成されている。切削溝８０は、研磨面Ｓｐの一部を切削するように形成された、断面がＶ字型の溝である。本実施形態に係る研磨パッド１では、このような切削溝８０を形成することにより、被研磨物と研磨面Ｓｐとの間におけるスラリーの循環性を向上させている。
【００４７】
ここで、図２のように研磨面Ｓｐに垂直な方向に沿って見た場合において、弾性樹脂シート２のうちそれぞれの切削溝８０の近傍の領域では、当該領域に含まれる気泡１０の傾斜方向が全ての気泡１０について略同一となっている。すなわち、当該領域においては、それぞれの気泡１０の傾斜部１２が研磨面Ｓｐに向かって伸びる方向（矢印ＡＲ１で示した方向：第一方向）が、当該領域を通る切削溝８０が伸びる方向（弾性樹脂シート２の半径方向：第二方向）に対して略垂直となっている。
【００４８】
続いて、切削溝８０の具体的な形状について、図３（Ｂ）を参照しながら説明する。図３（Ｂ）は、弾性樹脂シート２を、切削溝８０が伸びる方向（第二方向）に対して垂直に切断した場合の断面の一部を模式的に示している。図３（Ｂ）に示したように、切削溝８０は、第一傾斜面Ｓｃ１と第二傾斜面Ｓｃ２によって区画されている。
【００４９】
第一傾斜面Ｓｃ１は、切削溝８０を区画する二つの傾斜面のうち、第一方向（図２において矢印ＡＲ１で示した方向であって、図３では右向きの方向である）に沿った手前側に位置する傾斜面である。第一傾斜面Ｓｃ１が研磨面Ｓｐに対してなす角度は、角度θ１となっている。
【００５０】
第二傾斜面Ｓｃ２は、切削溝８０を区画する二つの傾斜面のうち、第一方向に沿った奥側に位置する傾斜面である。第二傾斜面Ｓｃ２が研磨面Ｓｐに対してなす角度は、角度θ２となっている。
【００５１】
気泡１０の傾斜部１２が研磨面Ｓｐに対してなす角度は、それぞれの気泡１０について略同一の角度θ３となっている。本実施形態においては図３（Ｂ）に示したように、角度θ２が角度θ３よりも小さくなるよう切削溝８０が形成されている。切削溝８０の形状をこのように形成したことの効果について、以下に説明する。
【００５２】
図３（Ａ）は、図３（Ｂ）と同様に弾性樹脂シート２の断面を模式的に示すものであるが、本実施形態とは異なり、角度θ２が角度θ３よりも大きくなるように切削溝８０を形成した場合の断面を示している。図３（Ａ）に示したように、角度θ２が角度θ３よりも大きい場合、切削溝８０はその底部（研磨面Ｓｐから最も遠い部分）において気泡１０の一部を切り欠いた状態となる可能性が高い。このとき、切削溝８０を区画する第二傾斜面Ｓｃ２の一部には、気泡１０と連通する連通孔ＨＬが形成される。
【００５３】
連通孔ＨＬは、気泡１０のうち研磨面Ｓｐから比較的遠い位置に形成される。その結果、弾性樹脂シート２のうち連通孔ＨＬから研磨面Ｓｐまでの部分（強度低下部ＷＰ）は、研磨面Ｓｐの近傍でのみ支持された薄板状となるため、その強度が著しく低下する。
【００５４】
従って、研磨加工を行う際においては、研磨物からの力を受けることにより、強度低下部ＷＰが研磨面Ｓｐから突出した状態となったり、もげ落ちてしまったりする可能性が高い。このように弾性樹脂シート２の一部が破損してしまうと、被研磨物を一様に研磨することができなくなり、所謂研磨ムラ等が発生してしまうこととなる。
【００５５】
これに対し、本実施形態に係る切削溝８０は、図３（Ｂ）に示したように角度θ２が角度θ３よりも小さくなるように形成されている。この場合、弾性樹脂シート２のうち切削溝を形成する際に除去される部分には、気泡１０のうち研磨面Ｓｐに最も近い部分（開口１３の近傍）が含まれることとなる。換言すれば、切削溝の近傍における気泡１０は、研磨面Ｓｐに最も近い部分が切り欠かれた状態となっている。その結果、図３（Ｂ）においても連通孔ＨＬが形成されるが、弾性樹脂シート２のうち連通孔ＨＬと研磨面Ｓｐとの間には、強度が低下するような部分は形成されない。その結果、被研磨物からの力を受けて破損してしまうような部分（強度低下部ＷＰ）は、少なくとも研磨面Ｓｐの近傍には形成されにくいということができる。
【００５６】
以上のように、本実施形態に係る研磨パッド１においては、研磨面Ｓｐに切削溝８０を形成してスラリーの循環性を高め、研磨レートを向上させる一方で、切削溝８０を形成したことによる弾性樹脂シート２の耐久性低下を抑制している。
【００５７】
尚、本実施形態に係る研磨パッド１では、研磨面Ｓｐに形成された全ての切削溝８０において、上記のように第一方向と第二方向とのなす角度が同一（略垂直）となっている。しかしながら、本発明の実施形態は上記のような態様に限定されるものではない。例えば、第一方向と第二方向とのなす角度が他の切削溝８０における角度とは異なるような切削溝が、研磨面Ｓｐの一部に追加形成されていてもよい。
【００５８】
また、断面がＶ字型以外の形状である切削溝が、研磨面Ｓｐの一部に追加形成されていてもよい。更に、切削以外の方法で形成された溝が、研磨面Ｓｐの一部に追加形成されていてもよい。
【００５９】
続いて、研磨パッド１の製造工程について、図４及び図５を参照しながら説明する。図４は研磨パッド１の製造工程の概略を示す工程図であり、図５は、当該製造工程のうち、特に凝固工程を説明するための模式図である。以下、図４に示した工程順に説明する。
【００６０】
まず準備工程（Ｓ１）は、ポリウレタン樹脂を溶解させた樹脂溶液を準備する工程である。具体的には、ポリウレタン樹脂、ポリウレタン樹脂を溶解可能な水混和性の有機溶媒、及び添加剤を混合することにより、ポリウレタン樹脂を溶解させる。
【００６１】
有機溶媒としては、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド（以下、ＤＭＦと略記する。）を用いた。ポリウレタン樹脂は、ポリエステル系、ポリエーテル系、ポリカーボネート系等のポリウレタン樹脂から選択される。なお、ポリウレタン樹脂は、１００％モジュラスが４〜５０ＭＰａのものを選択して用いることが望ましい。１００％モジュラスが４ＭＰａよりも低いポリウレタン樹脂を用いると、得られるシートの硬度が低すぎて、研磨平坦性を著しく損なうために好ましくない。また、１００％モジュラスが５０ＭＰａよりも高い樹脂を用いると、得られるシートの柔軟性が低すぎて、研磨傷を招きやすくなるために好ましくない。ポリウレタン樹脂を溶解させた樹脂溶液の樹脂濃度と粘度は特に限定されないが、均一に塗布し、均一に凝固できるよう、用いるコーターや凝固条件によって、適宜選択すればよい。
【００６２】
弾性樹脂シート２の内部に比較的大きな気泡１０を形成することに鑑みれば、樹脂溶液はＤＭＦにポリウレタン樹脂を１０〜５０重量％、好ましくは１５〜３０重量％で溶解させたものとし、その粘度は、Ｂ型回転粘度計を使用し２５℃で測定した場合において３〜２０Ｐａ・ｓの範囲、好ましくは３〜１０Ｐａ・ｓの範囲とすることが望ましい。
【００６３】
添加剤は、弾性樹脂シート２に形成される気泡１０の大きさや個数等を制御するために添加されるものであり、カーボンブラック等の顔料、親水性添加剤、疎水性添加剤等を用いることができる。
【００６４】
上記のようにして得られた樹脂溶液は、混合直後においては多数の気泡が混入している。従って、次の塗布工程を行う前において真空脱泡を施すことが望ましい。
【００６５】
続く塗布工程（Ｓ２）は、上記準備工程で得られた樹脂溶液を成膜基材４０の一方側の面に塗布し、被凝固層１５を形成する工程である。当該被凝固層１５は、後に弾性樹脂シート２となる部分である。成膜基材４０とは、湿式成膜法によって弾性樹脂シート２を形成する際の土台となるものであって、本実施形態においては、平面視で円形を成すＰＥＴフィルムを用いた。当該成膜基材４０の平面視における形状は、パッド基材２０の形状と同一である。
【００６６】
塗布工程では、樹脂溶液をナイフコータ等の塗布装置によって成膜基材４０上に略均一に塗布する。本実施形態では、樹脂溶液の塗布厚さ（被凝固層１５の厚さ）が０．８〜１．２ｍｍの範囲となるように、ナイフコータの調整を行った。
【００６７】
続く凝固工程（Ｓ３）は、上記塗布工程で形成された被凝固層１５の表面に対して凝固液ＬＱを接触させ、被凝固層１５を凝固させて弾性樹脂シート２と成す工程である。凝固液ＬＱとは、樹脂溶液中の溶媒（ＤＭＦ）よりもポリウレタン樹脂に対して貧溶媒となる液体であって、本実施形態においては水を使用した。尚、ポリウレタン樹脂の凝固速度（再生速度）を調整するために、ＤＭＦ等の有機溶媒を水に添加したものを凝固液ＬＱとして用いてもよい。凝固液ＬＱの温度は１５〜４０℃となるように管理した。
【００６８】
被凝固層１５（樹脂溶液）の表面に対して凝固液ＬＱを接触させると、被凝固層１５と凝固液ＬＱとの界面におけるＤＭＦが凝固液ＬＱに向けて拡散し、当該部分における樹脂が再生されて被膜が形成される。その結果、被凝固層１５の表面から厚さ数μｍ程度の範囲には、微細な気泡が多く形成された微多孔構造を有するスキン層が形成される。
【００６９】
その後、ＤＭＦがスキン層を通じて被凝固層１５内から凝固液ＬＱに向けて比較的ゆっくりと拡散し、同時に、凝固液ＬＱがスキン層を通じて被凝固層１５内に浸透する。すなわち、ＤＭＦと水とが置換されていく。これに伴い、被凝固層１５においては、スキン層の近くから成膜基材４０側に向かって樹脂の凝集及び再生が進行していく。その凝集速度（再生速度）は、スキン層の近くにおいては速く、スキン層から遠ざかるに従って遅くなる。
【００７０】
樹脂の凝集に伴い、被凝固層１５の内部には凝固液ＬＱに満たされた状態の気泡が形成されるが、凝集が上記のように進行する結果、当該気泡は成膜基材４０側からスキン層側に向かって伸びるように細長く形成される。また、凝集速度の差に起因して、気泡は成膜基材４０側では大径となり、スキン層の近くでは細長く形成される。以上のような経過を経て、図１を参照しながら説明したような、大径部１１と傾斜部１２と有する細長い気泡１０が形成される。
【００７１】
図５を参照しながら、凝固工程について更に具体的に説明する。図５は、凝固工程を行っている途中の状態を模式的に示している。図５に示したように、一方の面側に被凝固層１５が形成された成膜基材４０は、当該面の法線方向が水平となるような状態で図示しない保持装置に保持されている。当該保持装置は回転機構を有しており、成膜基材４０は、被凝固層１５が形成された面の円周に沿って（矢印ＡＲ３で示した方向に）等速で回転している。
【００７２】
この状態で、凝固液供給装置５０から凝固液ＬＱを吐出させ、吐出した当該凝固液ＬＱを被凝固層１５の表面に接触させる。凝固液供給装置５０は、成膜基材４０の半径と略同一の長さであるスリット５１が形成された容器であって、内部に蓄えた凝固液ＬＱを、スリット５１から外部に吐出する装置である。凝固液供給装置５０は、図示しない加圧装置を有しており、スリット５１から吐出される凝固液ＬＱの量（単位時間当たりの吐出量）が、当該加圧装置によって制御される。
【００７３】
図５に示したように、凝固液供給装置５０は、スリット５１の一端を成膜基材４０の中心位置に配置し、他端を成膜基材４０の外周端に配置した状態で、スリット５１を被凝固層１５の表面に近接させた状態となっている。この状態で、スリット５１から凝固液ＬＱが吐出される。単位時間あたりに吐出される凝固液ＬＱの量は、被凝固層１５の表面のうちスリット５１と対向している部分の全体が、常に凝固液ＬＱに接触している状態が維持される程度の量である。
【００７４】
凝固液供給装置５０は静止しており、成膜基材４０（被凝固層１５）は上記のように回転している。このため、被凝固層１５の表面のうち凝固液ＬＱと接触している位置は、時間の経過とともに被凝固層１５の周方向（矢印ＡＲ３とは反対の方向）に沿って移動して行く。
【００７５】
被凝固層１５の表面のうち、図５におけるスリット５１の近傍且つ上部の部分は、成膜基材４０の回転に伴ってこれから凝固液ＬＱに接触する部分である。当該部分においては、凝固液ＬＱとの接触部分に向かって、すなわち下方に向かって樹脂の凝集が進行し始め、その後で凝固液ＬＱと接触する。その結果、被凝固層１５のうちスリット５１を通過した部分においては、成膜基材４０側から被凝固層１５の表面に向かって伸びるように気泡１０が形成された状態となっている。また、それぞれの気泡１０は、表面側の部分が成膜基材４０の回転方向（矢印ＡＲ３）に沿って傾斜した状態となっている。すなわち、図１及び図２を参照しながら説明したような傾斜部１２が形成されている。
【００７６】
スリット５１からの凝固液ＬＱの吐出を開始してから、成膜基材４０の回転角度が３６０度以上となり、被凝固層の表面全体にスキン層が形成された時点で、成膜基材４０の回転及びスリット５１からの凝固液ＬＱの吐出を停止する。このとき、上記のような気泡１０が被凝固層１５の全体に形成されており、その配置は図２に示したようなものとなっている。このとき、凝固液の垂れを防止する観点から、凝固液中に増粘剤(水溶性多糖類、澱粉、カルボキシメチルセルロース、アルギン酸等)を添加してもよい。
【００７７】
凝固工程が完了した時点における弾性樹脂シート２の厚み及び圧縮率は、成膜基材４０の回転速度によって異なるものとなる。凝固工程においては、厚みが５００〜７００μｍの範囲となり、且つ、圧縮率が７〜２０％の範囲となるよう、事前に実験等で求めておいた回転速度にて成膜基材４０を回転させることが望ましい。弾性樹脂シート２の厚み及び圧縮率が上記の範囲であれば、弾性樹脂シート２の圧縮特性が適切なものとなり研磨レートも向上する。また、弾性樹脂シート２の厚み及び圧縮率が上記の範囲となり、且つ、気泡１０の傾斜部１２が研磨面Ｓｐに対してなす角度θ３が１０〜６５度の範囲となるよう、回転速度の更なる調整を行うことが望ましい。
【００７８】
続く洗浄・乾燥工程（Ｓ４）は、凝固工程により形成された弾性樹脂シート２を洗浄してＤＭＦを除去し、その後乾燥させる工程である。洗浄は、洗浄液（水）が貯留された洗浄槽を用意し、弾性樹脂シート２及び成膜基材４０の全体を洗浄液に複数回浸漬、圧搾させることにより行われる。乾燥は、熱風により加熱乾燥する方式の乾燥機を用いて行われる。
【００７９】
続く研削処理工程（Ｓ５）は、弾性樹脂シート２の表面側（成膜基材４０とは反対側）に研削処理を施し、スキン層表面の凹凸を除去して平坦な研磨面Ｓｐを形成する工程である。かかる研削処理によって、弾性樹脂シート２の厚みばらつきが解消されると同時に、各気泡１０の先端において開口１３が形成される。
【００８０】
続く切削溝形成工程（Ｓ６）は、研磨面Ｓｐの一部を切削することにより切削溝８０を形成する工程である。切削溝形成工程においては、弾性樹脂シート２を切削することが可能な通常の加工機が用いられる。
【００８１】
切削溝形成工程においては、第二傾斜面Ｓｃ２が研磨面Ｓｐに対してなす角度θ２が角度θ３よりも小さく、且つ、角度θ２が６５〜８５度の範囲となるように切削溝８０を形成することが望ましい。また、第一傾斜面Ｓｃ１が研磨面Ｓｐに対してなす角度θ１については０〜８０度の範囲であればよいが、本実施形態では、弾性樹脂シート２を上面視した場合において、弾性樹脂シート２の研磨面Ｓｐ全体に対する切削溝８０の面積が占める割合が３〜３０％の範囲となるよう、角度θ１を調整した。切削溝８０の面積割合が上記の範囲であれば、スラリーの循環性を適切に保ちながら、研磨面Ｓｐの大きさもある程度確保できるため、研磨効率を維持することができる。
【００８２】
続く貼り合わせ工程（Ｓ７）は、弾性樹脂シート２から成膜基材４０を除去した後、弾性樹脂シート２の被支持面Ｓｆ（成膜基材４０と当接していた面）に接着剤を介してパッド基材２０を貼り合わせる工程である。パッド基材２０のうち弾性樹脂シート２とは反対側の面には、一方の剥離紙を除去した両面テープ３０が貼り付けられる。既に説明したように、両面テープ３０は研磨パッド１を研磨装置に取り付けるためのものである。
【００８３】
次に、本発明の第二実施形態に係る研磨パッド１ａの構成について、図６を参照しながら説明する。図６は、研磨パッド１ａの弾性樹脂シート２ａに形成された気泡１０ａ及び切削溝８０ａの配置を示す図である。図６に示したように、研磨パッド１ａは、弾性樹脂シート２ａに形成された気泡１０ａ及び切削溝８０ａの配置についてのみ研磨パッド１と相違しており、その他については研磨パッド１と同様である。以下の説明においては、当該相違点についてのみ説明することとし、研磨パッド１との共通点については詳細な説明を省略する。また、以下では、研磨パッド１ａのうち研磨パッド１の構成（例えばパッド基材２０）に対応する部分を、「パッド基材２０ａ」のように「ａ」の文字を付して表記する。
【００８４】
それぞれの気泡１０ａは、パッド基材２０ａ側（被支持面Ｓｆａ側）の部分において比較的大径に形成された大径部１１ａと、大径部１１ａから研磨面Ｓｐａ向かって細長く伸びる傾斜部１２ａとを有している。傾斜部１２ａの伸びる方向は、研磨面Ｓｐａに対して垂直ではなく、研磨面Ｓｐａに対して傾斜する方向となっている。この点に関しては、研磨パッド１の気泡１０と同様である。
【００８５】
一方、図６に示したように、弾性樹脂シート２ａを研磨面Ｓｐａに対し垂直な方向に沿って見た場合において、それぞれの傾斜部１２ａが研磨面Ｓｐａに向かって伸びる方向（図６において矢印ＡＲ４で示した方向）と、当該傾斜部１２ａの位置における弾性樹脂シート２ａの周方向（図６において矢印ＡＲ５で示した方向）とのなす角度（第一角度）は、全て約９０度となっている。この点で、第一角度が全て１８０度であった研磨パッド１とは異なっている。
【００８６】
本実施形態に係る研磨パッド１ａは、第一角度が全ての気泡１０ａについて略同一（約９０度）となっている。その結果、（研磨パッド１と同様の理由により）気泡１０ａがスラリーを貯留及び排出する機能は、それぞれの気泡１０ａにおいて略一様に発揮されるため、研磨ムラの発生を抑制することが可能となっている。
【００８７】
更に本実施形態においては、図６に示したように、全ての傾斜部１２ａが研磨面Ｓｐａの中心に向かって伸びるように傾斜している。このため、開口１３ａから排出されるスラリーが研磨面Ｓｐａの中央に向かうこととなる結果、被研磨物と研磨面Ｓｐａとの間におけるスラリーの保持性能を向上させることができる。
【００８８】
図６に示したように、弾性樹脂シート２ａの研磨面Ｓｐａには、弾性樹脂シート２ａの周方向に沿って２本の切削溝８０ａが同心円状に形成されている。切削溝８０ａは、研磨面Ｓｐａの一部を切削するように形成された、断面がＶ字型の溝である。本実施形態に係る研磨パッド１ａでは、このような切削溝８０ａを形成することにより、被研磨物と研磨面Ｓｐとの間におけるスラリーの循環性を向上させている。
【００８９】
ここで、図６のように研磨面Ｓｐａに垂直な方向に沿って見た場合において、弾性樹脂シート２ａのうち任意の半径近傍の領域においては、当該領域に含まれる気泡１０ａの傾斜方向が全ての気泡１０ａについて略同一となっている。すなわち、当該領域においては、それぞれの気泡１０ａの傾斜部１２ａが研磨面Ｓｐａに向かって伸びる方向（矢印ＡＲ４で示した方向：第一方向）が、当該領域を通る切削溝８０ａが伸びる方向（弾性樹脂シート２の周方向：第二方向）に対して略垂直となっている。
【００９０】
切削溝８０ａの具体的な断面形状については、図３（Ｂ）を参照しながら説明した切削溝８０の断面形状と同一である。すなわち、切削溝８０ａは、第一傾斜面Ｓｃ１ａ（図示省略）と第二傾斜面Ｓｃ２ａ（図示省略）によって区画されている。
【００９１】
第一傾斜面Ｓｃ１ａは、切削溝８０ａを区画する二つの傾斜面のうち、第一方向（図６において矢印ＡＲ４で示した方向）に沿った手前側に位置する傾斜面である。第一傾斜面Ｓｃ１ａが研磨面Ｓｐａに対してなす角度は、角度θ１ａとなっている。
【００９２】
第二傾斜面Ｓｃ２ａは、切削溝８０ａを区画する二つの傾斜面のうち、第一方向に沿った奥側に位置する傾斜面である。第二傾斜面Ｓｃ２ａが研磨面Ｓｐａに対してなす角度は、角度θ２ａとなっている。
【００９３】
気泡１０ａの傾斜部１２ａが研磨面Ｓｐａに対してなす角度は、それぞれの気泡１０ａについて略同一の角度θ３ａとなっている。本実施形態においては図３（Ｂ）に示した切削溝８０の場合と同様に、角度θ２ａが角度θ３ａよりも小さくなるよう切削溝８０ａが形成されている。切削溝８０ａの形状をこのように形成したことの効果は、切削溝８０の場合と同様であるため、その説明を省略する。
【００９４】
続いて、研磨パッド１ａの製造工程について説明する。研磨パッド１ａは、図４に示した研磨パッド１の製造工程とほぼ同様の工程を経て製造されるが、その製造工程は、凝固工程の態様及び切削工程の切削方向においてのみ研磨パッド１の製造工程と異なっている。以下では、研磨パッド１ａの製造工程のうち凝固工程についてのみ説明することとし、他の工程については既に説明したものとほぼ同様であるため、説明を省略する。
【００９５】
図７及び図８を参照しながら説明する。これらは、研磨パッド１ａの製造工程のうち凝固工程を説明するための模式図である。まず、図７（Ａ）に示したように、一方側の面に被凝固層１５ａが形成された成膜基材４０ａと、押型６０が準備される。押型６０は、上面視において成膜基材４０ａと同一の形状を有する円盤状の部材であって、その一方側の面６１が球面の一部を成すように突出しているものである。押型６０は、成膜基材４０ａよりも硬い材質であればよく、例えば金属製のものを用いることができる。
【００９６】
その後、図７（Ｂ）に示したように、成膜基材４０ａのうち被凝固層１５ａが形成されていない方の面（以下、裏面４１ａと称する）に対し、押型６０の面６１を押し付け、成膜基材４０ａを球面状に変形させる。このとき、裏面４１ａの略全体が面６１に接触した状態となっており、かかる状態のまま押型６０と成膜基材４０ａとが図示しない固定治具で固定される。その結果、被凝固層１５ａは面６１に沿うように変形し、その中央部が成膜基材４０ａ側とは反対側に向けて突出した状態となる。
【００９７】
続いて、凝固液ＬＱを貯留した凝固浴７０に対して被凝固層１５ａを浸漬し、凝固させる。このとき、図８に示したように、押型６０と一体となった成膜基材４０ａは、その外周部分が凝固液ＬＱの液面と略平行であり、且つ被凝固層１５ａの表面を凝固液ＬＱの液面と対向した状態とされる。かかる状態を保ちながら、成膜基材４０ａをゆっくりと下降させ、被凝固層１５ａを凝固液ＬＱに浸漬する。
【００９８】
被凝固層１５ａは中央部が下方に向けて突出した状態となっているため、被凝固層１５ａの表面は、最初に上面視で円の中心となる部分が凝固液ＬＱに接触する。その後、成膜基材４０ａが下降するに伴って、被凝固層１５ａの表面のうち凝固液ＬＱと接触している位置は、被凝固層１５ａの中心から外周部に向かって円形に拡がりながら移動する。すなわち、時間の経過とともに被凝固層１５ａの半径方向に沿って移動する。
【００９９】
このとき、被凝固層１５ａの表面のうち、凝固液ＬＱの液面の近傍且つ上部の部分は、成膜基材４０ａの下降に伴ってこれから凝固液ＬＱに接触する部分である。当該部分においては、凝固液ＬＱとの接触部分に向かって、すなわち、被凝固層１５ａの中心に向かって樹脂の凝集が進行し始める。その後、成膜基材４０ａが更に下降するに伴って、上記部分が凝固液ＬＱと接触する。その結果、被凝固層１５ａのうち凝固液ＬＱの液面を通過した部分においては、成膜基材４０ａ側から被凝固層１５ａの表面に向かって伸びるように気泡１０ａが形成された状態となっている。また、それぞれの気泡１０ａは、表面側の部分が成膜基材４０ａの中心に向かう方向に沿って傾斜した状態となっている。すなわち、図６を参照しながら説明したような傾斜部１２ａが形成されている。
【０１００】
被凝固層１５ａの全体が凝固液ＬＱに浸漬された時点で、成膜基材４０の下降を停止する。このとき、上記のような気泡１０ａが被凝固層１５ａの全体に形成されており、その配置は図６に示したようなものとなっている。
【０１０１】
その結果、このような凝固工程を経て形成された弾性樹脂シート２ａにおいては、全ての気泡１０ａにおける第一角度が、図６を参照しながら説明したように全て約９０度となる。
【０１０２】
次に、本発明の第三実施形態に係る研磨パッド１ｂの構成について、図９を参照しながら説明する。図９は、研磨パッド１ｂの弾性樹脂シート２ｂに形成された気泡１０ｂ及び切削溝８０ｂの配置を示す図である。図９に示したように、研磨パッド１ｂは、弾性樹脂シート２ｂに形成された気泡１０ｂ及び切削溝８０ｂの配置について研磨パッド１と相違している。また、弾性樹脂シート２ｂが複数（４枚）に分割されている点においても研磨パッド１と相違している。その他については研磨パッド１と同様である。以下の説明においては、当該相違点についてのみ説明することとし、研磨パッド１との共通点については詳細な説明を省略する。また、以下では、研磨パッド１ｂのうち研磨パッド１の構成（例えばパッド基材２０）に対応する部分を、「パッド基材２０ｂ」のように「ｂ」の文字を付して表記する。
【０１０３】
研磨パッド１ｂの弾性樹脂シート２ｂは、中心角が９０度の扇型に形成された４枚の扇型樹脂シート（２ｂａ、２ｂｂ、２ｂｃ、２ｂｄ）に分割されており、これらを並べることによって上面視で円形を成している。
【０１０４】
それぞれの扇型樹脂シート２ｂａ、２ｂｂ、２ｂｃ、２ｂｄは、湿式成膜法により形成された弾性樹脂シートを、扇型に切り出すことによって形成されている。具体的には、湿式成膜法の凝固工程において、樹脂溶液が塗布された（被凝固層１５ｂが形成された）成膜基材４０ｂを、凝固浴７０に貯留された凝固液ＬＱの水平な液面に対して垂直な状態を保ちながら、ゆっくりと下降させて浸漬してゆく。このように形成された弾性樹脂シートでは、内部に形成された全ての気泡１０ｂの傾斜方向が略同一となっている。
【０１０５】
このような弾性樹脂シートから扇型樹脂シート２ｂａ等を切り出す際は、気泡１０ｂの傾斜部１２ｂが研磨面Ｓｐｂに向かって伸びる方向（矢印ＡＲ６で示した方向：第一方向）が、弾性樹脂シート２ｂの中心に向かう方向となるように切り出される。換言すれば、扇型の半径に対して第一方向が４５度の角度を成すように切り出される。
【０１０６】
その結果、研磨面Ｓｐｂに垂直な方向に見た場合において、弾性樹脂シート２ｂの研磨面Ｓｐｂはそれぞれ扇型を成す４つの領域に分かれており、それぞれの領域に形成された気泡１０ｂは、傾斜部１２ｂが研磨面Ｓｐｂに向かって伸びる方向（第一方向）が互いに略同一となっている。
【０１０７】
それぞれの上記領域における研磨面Ｓｐｂには、当該領域における第一方向とは略垂直な第二方向に沿って、２本の切削溝８０ｂが形成されている。切削溝８０ｂは、研磨面Ｓｐｂの一部を切削するように形成された、断面がＶ字型の溝である。本実施形態に係る研磨パッド１ｂでは、このような切削溝８０ｂを形成することにより、被研磨物と研磨面Ｓｐｂとの間におけるスラリーの循環性を向上させている。
【０１０８】
切削溝８０ｂの具体的な断面形状については、図３（Ｂ）を参照しながら説明した切削溝８０の断面形状と同一である。すなわち、切削溝８０ｂは、第一傾斜面Ｓｃ１ｂ（図示省略）と第二傾斜面Ｓｃ２ｂ（図示省略）によって区画されている。
【０１０９】
第一傾斜面Ｓｃ１ｂは、切削溝８０ｂを区画する二つの傾斜面のうち、第一方向（図９において矢印ＡＲ６で示した方向）に沿った手前側に位置する傾斜面である。第一傾斜面Ｓｃ１ｂが研磨面Ｓｐｂに対してなす角度は、角度θ１ｂとなっている。
【０１１０】
第二傾斜面Ｓｃ２ｂは、切削溝８０ｂを区画する二つの傾斜面のうち、第一方向に沿った奥側に位置する傾斜面である。第二傾斜面Ｓｃ２ｂが研磨面Ｓｐｂに対してなす角度は、角度θ２ｂとなっている。
【０１１１】
気泡１０ｂの傾斜部１２ｂが研磨面Ｓｐｂに対してなす角度は、それぞれの気泡１０ｂについて略同一の角度θ３ｂとなっている。本実施形態においては図３（Ｂ）に示した切削溝８０の場合と同様に、角度θ２ｂが角度θ３ｂよりも小さくなるよう切削溝８０ｂが形成されている。切削溝８０ｂの形状をこのように形成したことの効果は、切削溝８０の場合と同様であるため、その説明を省略する。
【０１１２】
以上、具体例を参照しつつ本発明の実施の形態について説明した。しかし、本発明はこれらの具体例に限定されるものではない。すなわち、これら具体例に、当業者が適宜設計変更を加えたものも、本発明の特徴を備えている限り、本発明の範囲に包含される。例えば、前述した各具体例が備える各要素およびその配置、材料、条件、形状、サイズなどは、例示したものに限定されるわけではなく適宜変更することができる。また、前述した各実施の形態が備える各要素は、技術的に可能な限りにおいて組み合わせることができ、これらを組み合わせたものも本発明の特徴を含む限り本発明の範囲に包含される。
【符号の説明】
【０１１３】
１，１ａ，１ｂ：研磨パッド
２，２ａ，２ｂ：弾性樹脂シート
２ｂａ，２ｂｂ，２ｂｃ，２ｂｄ：扇型樹脂シート
１０，１０ａ，１０ｂ：気泡
１１，１１ａ，１１ｂ：大径部
１２，１２ａ，１２ｂ：傾斜部
１３，１３ａ，１３ｂ：開口
１５，１５ａ，１５ｂ：被凝固層
２０，２０ａ，２０ｂ：パッド基材
３０：両面テープ
４０，４０ａ，４０ｂ：成膜基材
４１ａ：裏面
５０：凝固液供給装置
５１：スリット
６０：押型
６１：面
７０：凝固浴
ＬＱ：凝固液
８０，８０ａ，８０ｂ：切削溝
ＨＬ：連通孔
Ｓｃ１，Ｓｃ１ａ，Ｓｃ１ｂ：第一傾斜面
Ｓｃ２，Ｓｃ２ａ，Ｓｃ２ｂ：第二傾斜面
Ｓｆ，Ｓｆａ，Ｓｆｂ：被支持面
Ｓｐ，Ｓｐａ，Ｓｐｂ：研磨面
ＷＰ：強度低下部
【図１】
2014034083.tif 000003
【図２】
2014034083.tif 000004
【図３】
2014034083.tif 000005
【図４】
2014034083.tif 000006
【図５】
2014034083.tif 000007
【図６】
2014034083.tif 000008
【図７】
2014034083.tif 000009
【図８】
2014034083.tif 000010
【図９】
2014034083.tif 000011