(57)【要約】【課題】チューブへの方向記号や識別記号などの表示に関連し、印字表示によってマーカーの装着の手間を省くとともに、擦れによって印字表示が識別不可能な状況の発生を低減するためのチューブを提供する。【解決手段】チューブであって、チューブ上に印字された印字表示と、印字表示をコーティングする保護膜と、を備えたチューブが提供される。また、好ましくは、印字表示は、チューブを識別する識別記号であり、識別記号と保護膜は、インクジェット方式でチューブに付与されることとする。【選択図】図３
2014047880.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
チューブであって、
該チューブ上に印字された印字表示と、
該印字表示をコーティングする保護膜と、を備えたチューブ。
【請求項２】
前記印字表示は、前記チューブを識別する識別記号であり、
該識別記号と前記保護膜は、インクジェット方式で前記チューブに付与される、
ことを特徴とする請求項１に記載のチューブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は流体が流れるチューブに関する。
【背景技術】
【０００２】
産業機械や製造装置には水やエアといった各種の流体を用いるものが多い。例えば、半導体デバイスの製造工程において、半導体ウェーハを研削して薄化するグラインダと呼ばれる研削装置や、薄化された半導体ウェーハをチップ状に分割するダイサーと呼ばれる切削装置においては、装置の所要箇所にエアや加工液、吸引力等を伝達する配管が張り巡らされることが知られている（例えば、特許文献１、２参照。）。
【０００３】
より具体的には、切削装置は、少なくとも半導体ウェーハを吸引保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された半導体ウェーハを切削する切削ブレードを含むエアベアリング式のスピンドルユニットと、切削された半導体ウェーハを洗浄する洗浄装置とを備えている。
【０００４】
また、研削装置は、少なくとも半導体ウェーハを吸引保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された半導体ウェーハを研削する研削ホイールを含むエアベアリング式のスピンドルユニットと、研削された半導体ウェーハを洗浄する洗浄装置とを備えている。
【０００５】
更に、これらの切削装置や研削装置では、チャックテーブルに半導体ウェーハを吸引するための負圧を発生させるエア吸引源や、エアベアリングに高圧エアを供給するエア供給源、洗浄装置に洗浄液を供給する洗浄液供給源等を備えるとともに、流体の吸引源や供給源からそれぞれの作用箇所へ流体を導くための配管が設けられている。
【０００６】
このような切削装置や研削装置における各種流体の配管としては、直径数ｍｍ〜数十ｍｍ程度の柔軟性を有するチューブが一般的に用いられており、適切な長さに切断されたチューブが装置内の適所に接続されている。
【０００７】
そして、長さや太さが異なる複数のチューブを適正に接続するためには、チューブの種類を識別する必要がある。そこで、従来では、チューブ番号を示す数字等の識別情報が印字された短い筒状のマーカーをチューブの両端部に装着してチューブの識別を可能にするとともに、流れる流体の向きが印字された短い筒状のマーカーをチューブの両端部に装着して装置内での流体の流れを確認できるようにしていた。
【０００８】
一方、このような流体を流すためのチューブは、通常リールに巻かれた状態で蓄積されており、リールから引き出したチューブを目的の長さに切断した後、手作業で両端部に方向記号や識別記号を示す短い筒状のマーカーを装着することが行われていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開平１０−３２１５６２号公報
【特許文献２】特開昭５５−１１２７６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
ところが従来技術のように流体の流動方向を示す方向記号やチューブの種別を示す識別記号が印字された筒状のマーカーをチューブの両端部に装着する方法では、作業者が誤ったマーカーをチューブに装着してしまうことや、チューブに装着したマーカーが外れてチューブの識別ができず、装置内にチューブを適正に接続する作業が滞るという問題が発生していた。また、マーカーを装着する作業自体に手間がかかるという問題があった。
【００１１】
そこで、このようなマーカーを使用する代わりに、方向記号や識別記号をチューブに印字する方策が考えられる。しかしながら、単に印字するだけであると、印字表示が他の部位に擦れることなどにより剥離或いは損傷し、識別不可能となってしまうことが懸念される。
【００１２】
特に、チューブを取り付けた加工装置内で摺動する箇所に使用されるチューブにおいては、印字表示が擦れることによって識別不可能な状況を引き起こすおそれが大きくなってしまう。
【００１３】
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、チューブへの方向記号や識別記号などの表示に関連し、印字表示によってマーカーの装着の手間を省くとともに、擦れによって印字表示が識別不可能な状況の発生を低減するためのチューブを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
請求項１に記載の発明によると、チューブであって、チューブ上に印字された印字表示と、印字表示をコーティングする保護膜と、を備えたチューブが提供される。
【００１５】
請求項２に記載の発明によると、印字表示は、チューブを識別する識別記号であり、識別記号と保護膜は、インクジェット方式でチューブに付与される、ことを特徴とする請求項１に記載のチューブが提供される。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によると、マーカーに代わって印字表示を備えるため、チューブにマーカーを装着する手間を省くことが可能となる。さらに、印字表示が保護膜によって保護されるため、印字表示の擦れによる表示の識別不可能な状況の発生を低減することができる。
【００１７】
さらに、請求項２に記載の発明によれば、印字表示と保護膜をインクジェットでチューブに付与することになるため、印字表示や保護膜の種類が多くなる場合であっても、適宜に対応することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】切削装置の外観斜視図である。
【図２】ダイシングテープを介して環状フレームで支持された半導体ウェーハの斜視図である。
【図３】本発明のチューブの原理を説明する図である。
【図４】本発明のチューブの他の実施形態について示す図である。
【図５】本発明のチューブの引き回しの例について示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図１は配管に本発明のチューブを利用した切削装置２の外観斜視図を示している。切削装置２の前面側には、オペレータが加工条件等の装置に対する指示を入力するための操作手段４が設けられている。装置上部には、オペレータに対する案内画面や後述する撮像手段によって撮像された画像が表示されるＣＲＴ等の表示手段６が設けられている。
【００２０】
図２に示すように、ダイシング対象の発光デバイスウェーハＷ（以下、単に「ウェーハＷ」とも称する）の表面においては、第１のストリート（分割予定ライン）Ｓ１と第２のストリートＳ２とが直交して形成されており、第１のストリートＳ１と第２のストリートＳ２とによって区画されてＬＥＤ等の多数のデバイスＤがウェーハＷ上に形成されている。
【００２１】
ウェーハＷは粘着テープであるダイシングテープＴに貼着され、ダイシングテープＴの外周縁部は環状フレームＦに貼着されている。これにより、ウェーハＷはダイシングテープＴを介してフレームＦに支持された状態となり、図１に示したウェーハカセット８中にウェーハが複数枚（例えば２５枚）収容される。ウェーハカセット８は上下動可能なカセットエレベータ９上に載置される。
【００２２】
ウェーハカセット８の後方には、ウェーハカセット８から切削前のウェーハＷを搬出するとともに、切削後のウェーハをウェーハカセット８に搬入する搬出入手段１０が配設されている。ウェーハカセット８と搬出入手段１０との間には、搬出入対象のウェーハが一時的に載置される領域である仮置き領域１２が設けられており、仮置き領域１２には、ウェーハＷを一定の位置に位置合わせする位置合わせ手段１４が配設されている。
【００２３】
仮置き領域１２の近傍には、ウェーハＷと一体となったフレームＦを吸着して搬送する旋回アームを有する搬送手段１６が配設されており、仮置き領域１２に搬出されたウェーハＷは、搬送手段１６により吸着されてチャックテーブル１８上に搬送され、このチャックテーブル１８に吸引されるとともに、複数の固定手段（クランプ）１９によりフレームＦが固定されることでチャックテーブル１８上に保持される。
【００２４】
チャックテーブル１８は、回転可能且つＸ軸方向に往復動可能に構成されており、チャックテーブル１８のＸ軸方向の移動経路の上方には、ウェーハＷの切削すべきストリートを検出するアライメント手段２０が配設されている。
【００２５】
アライメント手段２０は、ウェーハＷの表面を撮像する撮像手段２２を備えており、撮像により取得した画像に基づき、パターンマッチング等の処理によって切削すべきストリートを検出することができる。撮像手段２２によって取得された画像は、表示手段６に表示される。
【００２６】
アライメント手段２０の左側には、チャックテーブル１８に保持されたウェーハＷに対して切削加工を施す切削手段（切削ユニット）２４が配設されている。切削手段２４はアライメント手段２０と一体的に構成されており、両者が連動してＹ軸方向及びＺ軸方向に移動する。
【００２７】
切削手段２４は、回転可能なスピンドル２６の先端に切削ブレード２８が装着されて構成され、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に移動可能となっている。切削ブレード２８は撮像手段２２のＸ軸方向の延長線上に位置している。
【００２８】
２５は切削が終了したウェーハＷを洗浄装置２７まで搬送する搬送手段であり、洗浄装置２７では、ウェーハＷを洗浄するとともにエアノズルからエアを噴出させてウェーハＷを乾燥する。
【００２９】
次に図３を参照して、本発明のチューブの原理を説明する。チューブ１１は、例えば、柔軟性を呈する樹脂から形成されており、チューブ１１上にはチューブ１１内を流動する流体の流れる方向を示す方向記号１３や、チューブ１１の属性情報を示す識別記号１５や、流体の種別を示す流体種別記号２９が表示されている。
【００３０】
方向記号１３は２以上の直線、または、曲線の組み合わせから形成されることが好ましい。２以上とすることで、１とする場合にも、流体が流れる方向Ａが視認しやすくなる。また、線で表示することにより、印字に使用するインクの量を抑えることが可能となる。
【００３１】
本実施形態では、２本の折れ線からなる略「く」字状の方向記号１３を、２箇所に配置することで、方向記号１３の尖端側に向かって流体が流動することを一目で視認できるようにしている。
【００３２】
このような実施形態によれば、例えば、長方形状の一端を尖らせ、他端を窪ませた形態の帯状の矢印記号の場合と比較すると、方向を示すという機能を確保しながらも、印字に使用するインクの量を効果的に抑えることが可能となる。
【００３３】
識別記号１５は、例えば、使用機種や、使用部位を表示するものである。例えば、本実施形態の「Ｄ  ＳＰ１」では、「Ｄ」は、切削装置（ダイサー）に使用されることを示し、「ＳＰ」は、スピンドル２６（図１参照）に関連する配管系統に使用されることを示し、「１」は、スピンドル２６（図１参照）に関連する差込口のうち差込口１番に差し込まれることが示される。
【００３４】
加えて、方向記号１３と識別記号１５とは同一色を有することが好ましい。つまり、同一色のインクによって印字されることが好ましい。
【００３５】
これにより、複数色のインク管理の手間が省けるとともに、同一色のインクを大量購入することなどによるコスト削減が可能となる。
【００３６】
流体種別記号２９は、チューブ１１内を流体の種別を示すものである。流体の種別としては、空気、窒素、液体、切削・洗浄液、など各種のものが想定され、図３に示す本実施形態では、液体の意味を表す「ＬＩＱＵＩＤ」の頭文字「Ｌ」が表示されている。
【００３７】
以上の各種記号１３，１５，２９は、インクジェット方式によりチューブ１１の表面に印字されることとしている。インクジェット方式とすることにより、各チューブについてそれぞれ個別に付与されることが想定される種類の異なる印字表示を、各チューブに容易に付与することが可能となる。
【００３８】
そして、本実施形態においては、識別記号１５が保護膜３０にてコーティングされる構成としている。この保護膜３０は、例えば、透明、或いは、半透明の塗料をインクジェット方式によって塗布することによって、チューブ１１の表面に付与することができる。なお、インクジェット方式によるほか、透明、或いは、半透明のシールを貼付することとしてもよい。
【００３９】
これにより、識別記号１５は保護膜３０によって保護することができ、例えば、識別記号１５の部位が装置の可動部と接触して擦れるような状況が発生したとしても、識別記号１５が直接的に可動部に接触するのではなく、保護膜３０によって識別記号１５が保護されることになるため、識別記号１５が剥離或いは損傷することが防止される。
【００４０】
そして、識別記号１５の剥離或いは損傷が防止されることにより、識別記号１５が識別不可能な状況の発生を低減することができる。なお、識別記号１５を目視で識別可能とするために、保護膜３０は透明、或いは、半透明とすることが好ましいが、例えば、保護膜３０を不透明としつつ、専用の光を当てた場合にのみ識別記号１５が確認可能となる実施形態なども考えられる。
【００４１】
また、本実施形態では、識別記号１５の箇所についてのみ保護膜３０によるコーティングを実施することとしたが、方向記号１３や流体種別記号２９の箇所についても、保護膜３０によるコーティングが実施されることとしてもよい。もちろん、識別記号１５以外の箇所についてのみ保護膜３０によるコーティングを実施することとしてもよい。
【００４２】
このように、保護膜３０によるコーティングの箇所は、必要に応じて適宜選定することが可能であり、また、必要な箇所についてのみ保護膜３０を配置させることにより、保護膜３０を形成するためのインクの使用量を最低限に抑えることが可能となる。
【００４３】
図４は、チューブの他の実施形態を示すものである。この実施形態では、印字表示として取付手順情報表示１３Ａを付与した例である。
【００４４】
以下取付手順情報表示１３Ａの具体例について説明すると、チューブ１１の一端１１ａに「スピンドル  アウトポート２  差込位置」の文字からなる接続先表示１３ｆが表示され、このチューブ１１の一端１１ａが、「スピンドル  アウトポート２」に接続されることが表示されている。
【００４５】
また、接続先表示１３ｆよりも更にチューブ１１の端部に近い側には、「横線」からなる接続位置表示１３ｇが表示されている。この接続位置表示１３ｇは、「横線」の位置までチューブ１１が図示せぬ「スピンドル  アウトポート２」に接続されることを意味するものであり、作業者は、「横線」が「スピンドル  アウトポート２」にしっかりと入り込むまでチューブ１１を差し込むことを認識することが可能となり、これにより、チューブ１１の脱落などの不具合発生を防止できることになる。
【００４６】
また、図４の例において、チューブ１１の長さ方向の中途部には、「次はフレーム３の第２ポイントへ固定」の文字からなる誘導表示１３ｈが表示されている。作業者は、この誘導表示１３ｈを視認することによって、例えば、チューブ１１の一端１１ａの接続から引き回しを開始した場合に、チューブ１１に対して次に行われるべき作業を事前に知ることが可能となる。例えば、次の作業を見越してチューブ１１の引き回しの方法（他の部材のかわしかたや、回り込む方向など）を検討し、実施することが可能となる。
【００４７】
さらに、図４の例において、チューブ１１の長さ方向の中途部には、「フレーム３の第２ポイント固定位置」の文字からなる固定先表示１３ｋと、「横線」からなる固定位置表示１３ｍが表示されている。ここで、「横線」は、この線の部分においてチューブ１１が固定されることを意味する表示である。
【００４８】
そして、この図４の例の場合、チューブ１１の一端１１ａを「スピンドル  アウトポート２」に対し、接続位置表示１３ｇまで差し込むことから作業が開始されることとする。次にチューブ１１を辿ると、「次はフレーム３の第２ポイントへ固定」の文字からなる誘導表示１３ｈを発見することになり、作業者は、チューブ１１を辿ればフレーム３の第２ポイントの固定位置の表示を発見できることを予期できる（先読みできる）。
【００４９】
作業者がチューブ１１を更に辿ると、作業者は予期したとおり、「フレーム３の第２ポイント固定位置」の文字からなる固定先表示１３ｋと、「横線」からなる固定位置表示１３ｍを発見することになり、当該固定位置表示１３ｍにてチューブ１１の固定を行うことができる。
【００５０】
ここで、誘導表示１３ｈによる効果としては、上述のように次の作業を見越すことができるものであるが、実際に作業する際には誘導されながら引き回しを行うことができるという、従来のチューブの引き回し作業では到底得られない感覚を得ることができ、ひいては、作業者に対し小気味よい感覚を与えられることも期待される。また、誘導表示があることで、逐一設計図などを参照してチューブの次の固定位置や接続先を確認する必要が無くなり、チューブの組み付け作業が容易に、かつ、短時間で行えることになる。
【００５１】
図５は、実際にチューブ１１を引き回した状態について示しており、切削手段２４のスピンドル  アウトポートの２番に対し、チューブ１１の一端１１ａが接続され、その後、チューブ１１の中途部には誘導表示１３ｈが表示されている。そして、フレーム３の第２ポイントとなる位置において、結束バンド５２によってチューブ１１が固定されるようになっている。
【００５２】
そして、以上の図４及び図５に示される構成において、各種表示について保護膜３０によるコーティングを実施している。これにより、各種表示が保護膜３０によって保護されることになり、チューブ１１の組み付け時に各種表示が消えてしまって、組み付けが不便になってしまう状況の発生を防止することができる。
【００５３】
具体的には、例えば、保護膜３０がない場合には、チューブ１１の搬送時や引き回しの際に印字が消えてしまう不具合の発生が懸念されるが、保護膜３０による保護を実施することによって、このような不具合発生を確実に防止できることになる。
【００５４】
以上の実施形態のようにして本発明を実施することができる。
即ち、図３の例に示すように、チューブ１１であって、チューブ１１上に印字された印字表示としての識別記号１５と、識別記号１５をコーティングする保護膜３０と、を備えたチューブとするものである。
【００５５】
これにより、マーカーに代わる印字表示を備えるため、チューブにマーカーを装着する手間を省くことが可能となる。さらに、印字表示が保護膜によって保護されるため、印字表示の擦れによる表示の識別不可能な状況の発生を低減することができる。
【００５６】
また、図３の例に示すように、印字表示は、チューブ１１を識別する識別記号１５であり、識別記号１５と保護膜３０は、インクジェット方式でチューブ１１に付与されることとするものである。
【００５７】
これにより、印字表示と保護膜をインクジェットでチューブに付与することになるため、印字表示や保護膜の種類が多くなる場合であっても、適宜に対応することが可能となる。
【００５８】
なお、以上に説明した実施形態とするほか、チューブ１１に表示される情報については、直線、破線、鎖線、数字、英文字、漢字、片仮名、平仮名、図形等で構成することができ、これらを組み合わせてなるものであってもよい。
【００５９】
また、インクジェット方式による印字を行う場合には、各種表示を同一の色で印字することによれば、印字コスト削減を図ることが可能となる。また、チューブ１１の色については、特に限定されるものではないが、各種表示を視認しやすくするために、各種表示の色とコントラストの強い色が採用されることが好ましい。
【００６０】
また、上述した実施形態では、本発明のチューブを切削装置の配管に適用した例について説明したが、本発明のチューブの使用はこれに限定されるものではなく、例えば研削装置、研磨装置等の他の加工装置の配管にも同様に適用である。
【符号の説明】
【００６１】
１１    チューブ
１３    方向記号
１３Ａ    取付手順情報表示
１３ｆ    接続先表示
１５    識別記号
２５    流体種別記号
３０    保護膜
【図１】
2014047880.tif 000003
【図２】
2014047880.tif 000004
【図３】
2014047880.tif 000005
【図４】
2014047880.tif 000006
【図５】
2014047880.tif 000007