(57)【要約】【課題】所定位置に金属球が埋め込まれた、厚さが均一なはんだシートを製造する。【解決手段】はんだシート３０の所定位置５０に、金属球４０（球状体）を支持可能な形状の穴部６０を形成した後、所定位置５０に金属球４０を配置して、その後、金属球４０をはんだシート３０の厚み方向に加圧して、はんだシート３０の内部に埋め込む。【選択図】図３
2014151353.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
はんだシートの所定位置に、前記はんだシートの表面から前記はんだシートの厚み方向に延びる壁部で囲まれた空隙部を有して、前記壁部と前記はんだシートの表面との交線の中の少なくとも一部において金属の球状体を支持可能な穴部を形成する工程と、
前記所定位置に前記球状体を配置する工程と、
前記球状体を前記はんだシートの厚み方向に加圧して、前記はんだシートの内部に埋め込む工程と、からなり、
加圧された前記球状体が前記はんだシートに埋め込まれる際に、前記球状体によって加圧された前記はんだシートの被加圧部位が変形して、変形した前記はんだシートの被加圧部位が、前記空隙部の中に入り込むことを特徴とするはんだシートの製造方法。
【請求項２】
前記穴部は、前記球状体を前記所定位置に支持する少なくとも３か所の支持部を有することを特徴とする請求項１に記載のはんだシートの製造方法。
【請求項３】
前記穴部は、複数の前記支持部を通る閉曲線の周方向に沿って、支持部と空隙部が交互に配置されるように形成されることを特徴とする請求項２に記載のはんだシートの製造方法。
【請求項４】
前記穴部は、前記球状体を前記所定位置に配置したときに、前記穴部の縁によって構成される周縁部の全て、または一部が前記支持部をなすように形成されることを特徴とする請求項２に記載のはんだシートの製造方法。
【請求項５】
前記穴部を形成する工程は、プレス加工によって行われるものであることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項に記載のはんだシートの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、金属球を含有したはんだシートの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、電子部品のはんだ付けを効率的に行う方法として、予め、はんだ付けを行う接合箇所にシート状のはんだ（以下、はんだシートと呼ぶ）を設置して、そのはんだシートの上に基板や実装部品を置いて、その後、加熱することによってはんだ付けを行う、所謂リフロー方式と呼ばれるはんだ付け方式が実用化されている。特に、電動車両用に用いられるインバータなどの半導体モジュールを構成する半導体と、冷却器や回路基板とのはんだ付けなどに、このはんだ付け方式が用いられている。
【０００３】
このとき、はんだシートの厚さの均一性を保つことにより、はんだ層が一様な厚さをなすようにはんだ付けを行わないと、冷却器とインバータとの距離が均一にならず、これによってインバータが所定の放熱特性を確保できないため、金属球が埋めこまれたはんだシートを用いて、はんだシートの厚さが金属球の直径と同等になるように保った上で、はんだ付けを行っている。
【０００４】
このように金属球が埋め込まれたはんだシートは、例えば、金属球が粘着された転写シートを、はんだシートとともにローラに押し込んで、これをロール加圧することによって、はんだシートの内部に金属球を埋め込むことによって製造されている（例えば、特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００７−３０１５７５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１に記載された金属球含有はんだシートの製造方法によると、金属球が粘着された転写シートをはんだシートとともにローラに押し込む際に、金属球が粘着された位置からずれて、これにより、はんだシートへの金属球の埋め込み場所にずれが生じてしまうという問題があった。
【０００７】
本発明は上記事情に鑑みなされたもので、所定位置に確実に金属球が埋め込まれて、はんだシートの厚さを均一に保つことができるはんだシートを製造する方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係るはんだシートの製造方法は、所定位置に金属球が埋め込まれたはんだシートを製造する方法に関するものである。
【０００９】
すなわち、本発明に係るはんだシートの製造方法は、はんだシートの所定位置に、前記はんだシートの表面から前記はんだシートの厚み方向に延びる壁部で囲まれた空隙部を有して、前記壁部と前記はんだシートの表面との交線の中の少なくとも一部において金属の球状体を支持可能な穴部を形成する工程と、前記所定位置に前記球状体を配置する工程と、前記球状体を前記はんだシートの厚み方向に加圧して、前記はんだシートの内部に埋め込む工程と、からなり、加圧された前記球状体が前記はんだシートに埋め込まれる際に、前記球状体によって加圧された前記はんだシートの被加圧部位が変形して、変形した前記はんだシートの被加圧部位が、前記空隙部の中に入り込むことを特徴とする。
【００１０】
このように構成されたはんだシートの製造方法によれば、はんだシートの所定位置に、金属の球状体を支持可能な形状の穴部を形成した後、所定位置に球状体を配置して、その後、球状体をはんだシートの厚み方向に加圧して、球状体をはんだシートの内部に埋め込む際に、球状体によって加圧されたはんだシートの中の被加圧部位が変形して、こうして変形したはんだシートの中の被加圧部位が、穴部を構成する壁部によって囲まれた空隙部の中に入り込むため、球状体を、所定位置からずれることなく、はんだシートの内部に埋め込むことができるとともに、球状体を埋め込んだことによるはんだシートの厚さ方向の変形が抑制されるため、はんだシートの厚さを均一に保つことができる。
【００１１】
また、本発明に係るはんだシートの製造方法は、前記穴部が、前記球状体を前記所定位置に支持する少なくとも３か所の支持部を有することを特徴とする。
【００１２】
このように構成されたはんだシートの製造方法によれば、穴部が、所定位置に配置された球状体を支持する少なくとも３か所の支持部からなるように形成されるため、球状体を所定位置に確実に配置することができる。
【００１３】
また、本発明に係るはんだシートの製造方法は、前記穴部が、複数の前記支持部を通る閉曲線の周方向に沿って、支持部と空隙部が交互に配置されるように形成されることを特徴とする。
【００１４】
このように構成されたはんだシートの製造方法によれば、穴部が、所定位置を中心として、複数の支持部を通る閉曲線の周方向に沿って、支持部と空隙部が交互に配置された形状に形成されるため、球状体によって加圧された支持部が変形して、この変形した支持部が、支持部に隣接する空隙部の中に移動するため、球状体がはんだシートに埋め込まれても、変形した支持部がはんだシートの表面に突出することがない。したがって、球状体が埋め込まれても、はんだシートの厚さを一定に保つことができる。
【００１５】
また、本発明に係るはんだシートの製造方法は、前記穴部が、前記球状体を前記所定位置に配置したときに、前記穴部の周縁部の全て、または一部が前記支持部をなすように形成されることを特徴とする。
【００１６】
このように構成されたはんだシートの製造方法によれば、球状体を所定位置に配置したときに、穴部の周縁部の全て、または一部が支持部をなすため、球状体を所定位置に確実に配置することができる。
【００１７】
また、本発明に係るはんだシートの製造方法は、前記穴部を形成する工程が、プレス加工によって行われるものであることを特徴とする。
【００１８】
このように構成されたはんだシートの製造方法によれば、穴部を形成する工程がプレス加工によって行われるため、ドリルによる穴加工を行う必要がなく、穴部の形成を行う装置を安価に構成することができる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明に係るはんだシートの製造方法によれば、はんだシートの厚さが均一に保たれて、所定位置に金属球が埋め込まれたはんだシートを製造することができるという効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】（ａ）は本願発明で製造したはんだシートを、冷却器とセラミック基板とのはんだ付けに使用した一例を示す図である。（ｂ）はセラミック基板に実装されるチップやビームリードの構成を示す図である。
【図２】（ａ）は冷却器にセラミック基板がはんだ付けされた様子を図１の断面Ａ−Ａで切断した断面図である。（ｂ）は冷却器にセラミック基板がはんだ付けされた様子を図１の断面Ｂ−Ｂで切断した断面図である。
【図３】はんだシートに金属球が埋め込まれる工程を説明する図であり、（ａ）は加工前のはんだシートを示す図である。（ｂ）ははんだシートの所定位置に穴部を形成した様子を示す図である。（ｃ）は形成された穴部に金属球を配置する様子を示す図である。（ｄ）は形成された穴部に金属球が埋め込まれた様子を示す図である。（ｅ）はこうして製造されたはんだシートを用いて冷却器とセラミック基板がはんだ付けされた様子を図１の断面Ａ−Ａで切断した断面図である。
【図４】穴部の形状について説明する図である。
【図５】穴部の別の形状について説明する図であり、（ａ）は穴部の形状が星形である例について説明する図である。（ｂ）は穴部が、３方向に延びた溝部からなる形状である例について説明する図である。
【図６】穴部の別の形状について説明する図であり、（ａ）は穴部の形状が円形である例について説明する図である。（ｂ）は（ａ）の穴部に金属球を配置した様子を示す断面図である。（ｃ）は穴部の形状が六角形である例について説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明に係るはんだシートの製造方法の実施例について、図面を参照して説明する。
【実施例１】
【００２２】
以下、本発明の第１の実施例を、図１から図４を用いて説明する。
【００２３】
本発明のはんだシートの製造方法を適用して製造されたはんだシートは、例えば、車載パワーデバイスのひとつであるインバータの製造に用いられる。
【００２４】
図１（ａ）は、インバータのドライブ回路やゲート回路を構成するパワーデバイスの外観を示す。冷却器１０の上面には、複数の基板ＡＳＳＹ２０が、それぞれ、はんだシート３０によって冷却器１０の表面にはんだ付けされて固定されている。
【００２５】
図１（ｂ）は、基板ＡＳＳＹ２０の詳細な構造を示す。基板ＡＳＳＹ２０は、セラミック基板２２の上面に複数のはんだシート２４を介して、半導体素子であるＩＧＢＴやダイオード等の電子部品であるチップ２６がはんだ付けされている。そして、チップ２６の上面には、はんだシート２５を介して、異なるチップ２６同士を接続して導通させる、例えば銅板で構成された、導電性を有する配線部材であるビームリード２８がはんだ付けされている。
【００２６】
[従来の問題点の説明]
次に、図２を用いて、従来のはんだシートの製造方法の問題点を説明する。図２（ａ）は、図１（ａ）に示した、基板ＡＳＳＹ２０がはんだ付けされた冷却器１０のＡ−Ａ断面図を示す。すなわち、冷却器１０の上面には、厚さｔのはんだシート３０を介して、冷却器１０の上面とセラミック基板２２の下面とがはんだ付けされている。そして、セラミック基板２２の上面には、複数のチップ２６が実装されて、それぞれ、はんだシート２４によって、セラミック基板２２の上面にはんだ付けされている。
【００２７】
また、図２（ｂ）は、図１（ａ）に示した、基板ＡＳＳＹ２０がはんだ付けされた冷却器１０のＢ−Ｂ断面を示す。すなわち、冷却器１０の上面には、はんだシート３０が置かれて、冷却器１０の上面とセラミック基板２２の下面とがはんだ付けされている。そして、セラミック基板２２の上面には、複数のチップ２６が実装されて、それぞれ、はんだシート２４によって、セラミック基板２２の上面にはんだ付けされている。さらに、チップ２６の上面には、ビームリード２８が実装されて、はんだシート２５によって、チップ２６の上面にはんだ付けされている。
【００２８】
ここで、図２（ｂ）において、冷却器１０の上面とセラミック基板２２の下面とは平行にはんだ付けされておらず、はんだシート３０が、図２（ｂ）の紙面右側ほど薄くなった状態ではんだ付けされている。
【００２９】
これは、はんだシート３０の厚さｔの均一性が十分に高くないことによって生じる現象である。そして、こうして冷却器１０とセラミック基板２２の間隔に偏りが生じると、間隔が広い領域において、セラミック基板２２が十分に放熱されなくなる。また、間隔が狭い領域ではシートはんだ３０の熱膨張・収縮に対する応力吸収が低下する。そして、最悪の場合、冷却不足によるチップ２６の故障や、はんだ厚さ不足によるシートはんだ３０の疲労破壊、インバータに接続された外部のシステムの故障を引き起こす可能性がある。
【００３０】
［実施例１の作用説明］
以下、図３を用いて、実施例１の動作の流れを説明する。
【００３１】
まず、図３（ａ）に示すように、はんだシート３０を準備する。
【００３２】
次に、図３（ｂ）に示すように、はんだシート３０の中の所定位置５０，５２，５４，５６に、所定の形状の穴部６０，６１，６３，６５を形成する。穴部６０，６１，６３，６５ははんだシート３０を貫通させるように設けてもよいし、はんだシート３０を貫通しないように設けてもよい。
【００３３】
このとき形成する穴部６０，６１，６３，６５の位置は、はんだシート３０にはんだ付けされる、セラミック基板２２の外周よりも内側になるように設定する。また、この穴部は、穴部の形状を有するプレス型を用いてプレス加工することによって形成される。
【００３４】
なお、このときに形成する穴部６０，６１，６３，６５の形状については後述する。
【００３５】
そして、穴部６０，６１，６３，６５の形成が完了した後で、図３（ｃ）に示すように、所定位置５０，５２，５４，５６に、それぞれ金属球４０，４２，４４，４６を配置する。この金属球４０，４２，４４，４６は、例えばニッケル製の球体であって、その直径は、はんだシート３０の厚さｔと同等程度である。
【００３６】
そして、所定位置５０，５２，５４，５６に配置された金属球４０，４２，４４，４６は、それぞれ、図３（ｄ）に示すように、はんだシート３０の上面から加圧されてはんだシート３０の内部に圧入される。
【００３７】
図３（ｅ）は、金属球４０，４２，４４，４６が圧入されたはんだシート３０を用いて、前述したはんだ付けを行った様子を示す図である。金属球４０，４２，４４，４６の融点ははんだシート３０の融点に比べて非常に高いため、はんだ付けを行った後も、金属球の形態を保持している。
【００３８】
そして、図３（ｅ）からわかるように、はんだシート３０の内部に圧入された金属球によって、はんだシート３０の厚さｔが一定に保持されるため、冷却器１０とセラミック基板２２の平行度が保持されて、これにより、セラミック基板２２、および、そこにはんだ付けされたチップ２６を均一に冷却することができる。
【００３９】
すなわち、例えば、はんだシート３０の厚さｔが０．４ｍｍであり、金属球の直径が０．３ｍｍであるときには、はんだシート３０の厚さは０．３ｍｍ以上を確保することができる。
【００４０】
［穴部の形状の説明］
次に、図４を用いて、穴部６０，６１，６３，６５の形状について説明する。図４は、穴部６０の構成を詳細に示したものである。
【００４１】
図４に示すように、穴部６０は、所定位置５０を中心とする十字形状の溝部によって構成されており、はんだシート３０を貫通している。そして、断面Ｃ−Ｃで切断した断面図に示すように、各々の溝部６２，６４，６６，６８は、壁部６０Ｗに囲まれており、所定位置５０から互いに９０度ずつ離隔した４方向に延びている。
【００４２】
そして、所定位置５０の近傍には、はんだシート３０の表面と、隣り合う２つの溝部とが交線によって形成される４箇所の支持部７０，７２，７４，７６が形成されている。
【００４３】
ここで、溝部６２，６４，６６，６８の幅ｗは、金属球４０，４２，４４，４６の直径よりも小さい寸法で形成されている。したがって、図３（ｃ）において、金属球４０，４２，４４，４６を所定位置５０，５２，５４，５６に配置したとき、例えば、金属球４０は、支持部７０，７２，７４，７６の４点において支持される。
【００４４】
このように、穴部６０，６１，６３，６５は、所定位置５０，５２，５４，５６を中心として、４箇所の支持部７０，７２，７４，７６を通過する閉曲線である円Ｏ１の円周方向に沿って、溝部と支持部が交互に形成されている。
【００４５】
すなわち、図４に記載した円Ｏ１の円周方向に沿って、反時計回りに、溝部６２，支持部７０，溝部６４，支持部７２，溝部６６，支持部７４，溝部６８，支持部７６が順に形成されている。
【００４６】
［金属球圧入時の穴部の変形の説明］
次に、図３に示した金属球４０，４２，４４，４６を、それぞれ穴部６０，６１，６３，６５に圧入する際に、穴部６０，６１，６３，６５が変形する様子について説明する。
【００４７】
穴部６０の所定位置５０に金属球４０を配置した状態で、金属球４０の上方からはんだシート３０の厚さ方向に加重をかけて金属球４０をはんだシート３０に圧入したとき、金属球４０は、図４に示した支持部７０，７２，７４，７６を押圧してはんだシート３０の内部に侵入する。
【００４８】
このとき、押圧された支持部７０，７２，７４，７６は変形して、この変形された部位は、支持部に隣接する溝部の内部に侵入する。
【００４９】
すなわち、支持部７０ははんだシート３０の厚さ方向に押圧されて変形し、こうして変形した部位は、支持部７０に隣接する溝部６２、または溝部６４の内部に侵入する。
【００５０】
なお、支持部７０が押圧されて変形したときに、溝部６２の内部に侵入するのか、溝部６４の内部に侵入するのかは、金属球４０のサイズ、金属球４０を押圧する力、はんだシート３０の厚さｔ、溝部６２，６４の深さなどに依存するため、一概には決まらない。
【００５１】
そして、同様にして、支持部７２ははんだシート３０の厚さ方向に押圧されて変形し、こうして変形した部位は、支持部７２に隣接する溝部６４、または溝部６６の内部に侵入する。
【００５２】
また、支持部７４ははんだシート３０の厚さ方向に押圧されて変形し、こうして変形した部位は、支持部７４に隣接する溝部６６、または溝部６８の内部に侵入する。
【００５３】
さらに、支持部７６ははんだシート３０の厚さ方向に押圧されて変形し、こうして変形した部位は、支持部７６に隣接する溝部６８、または溝部６２の内部に侵入する。
【００５４】
したがって、金属球４０を圧入したときに、はんだシート３０の表面に、圧入による盛り上がりや変形が生じることはない。
【００５５】
［穴部の形状の変形例の説明］
なお、穴部６０の形状は、図４に示したものに限定されるものではない。
【００５６】
図５は、穴部の別の形状の一例を示すものである。すなわち、図５（ａ）に示す穴部８０は、所定位置５０に形成された星形形状を有している。また、図５（ｂ）に示す穴部１００は、所定位置５０に形成された３方向に延びる溝部からなる形状を有している。
【００５７】
すなわち、図５に示した穴部８０，１００は、図４で示した穴部６０とは、溝部の数、支持部の数が異なっている。
【００５８】
すなわち、図５（ａ）の例では、所定位置５０の周りに、反時計回りに、溝部８２，支持部９０，溝部８４，支持部９２，溝部８６，支持部９４，溝部８８，支持部９６，溝部８９，支持部９８が順に形成されている。
【００５９】
また、図５（ｂ）の例では、所定位置５０の周りに、反時計回りに、溝部１０２，支持部１１０，溝部１０４，支持部１１２，溝部１０６，支持部１１４が順に形成される。
【００６０】
そして、図５（ａ），（ｂ）とも、支持部の数と溝部の数は異なっているが、いずれの例も、支持部において金属球を支持することができる。特に、図５（ｂ）の例は支持部が３点からなる例であり、これが、金属球を安定して配置できる最小限の構成である。
【００６１】
さらに、図５（ａ），（ｂ）とも、支持部に隣接した位置には溝部が形成されているため、金属球をはんだシート３０に圧入したときに、押圧された支持部が変形して、変形した支持部が溝部に侵入する構造を有している。
【００６２】
したがって、図５（ａ）に示した穴部８０と図５（ｂ）に示した穴部１００は、ともに、図４に示した穴部６０と同様の作用効果を奏する。
【００６３】
なお、図４，図５（ｂ）に示した例では、溝部の幅は全て等しいものとしたが、溝部の幅が方向によって異なっていても、金属球を配置できる支持部が形成されるものであれば、同様の作用効果を奏する。
【００６４】
さらに、図６も穴部の別の形状の一例を示すものである。すなわち、図６（ａ），（ｂ）に示す穴部１２０は、所定位置５０に形成されて円形状を有している。また、図６（ｃ）に示す穴部１３０は、所定位置５０に形成されて六角形状を有している。
【００６５】
そして、図６（ａ），（ｂ）に示した穴部１２０と図６（ｃ）に示した穴部１３０は、図４で示した穴部６０とは異なり、形成された溝部１２２，１３２に方向性がない。また、支持部１２４，１３４は点ではなく、穴部１２０，１３０とはんだシート３０の表面との交線によって形成される辺縁部が支持部１２４，１３４となる。また、図６（ａ）の穴部１２０は、図６（ｂ）の断面図に示すように、はんだシート３０を貫通しておらず、溝部１２２を構成する壁部１２０Ｗによって囲まれた底部１２０Ｂを有している。なお、穴部１２０は、はんだシート３０を貫通するように形成しても構わない。
【００６６】
すなわち、図６（ａ）の例では、所定位置５０の周りに、所定の径を有する円形状の溝部１２２が形成されて、この溝部１２２の円周部（周縁部）が支持部１２４をなしている。
【００６７】
そして、所定位置５０に金属球４０を配置したとき、金属球４０は、図６（ｂ）に示すように、溝部１２２の円周部（周縁部）で形成された支持部１２４によって支持される。なお、この場合、金属球４０は溝１２２の円周部（周縁部）によって線接触状態で支持される。
【００６８】
また、図６（ｃ）の例では、所定位置５０の周りに、六角形状の溝部１３２が形成されて、この溝部１３２の外周（周縁部）が支持部１３４をなしている。
【００６９】
そして、所定位置５０に金属球４０を配置したとき、金属球４０は、溝部１３２の外周（周縁部）で形成された支持部１３４のうち、この支持部１３４を形成する各辺の中点１３４ａ，１３４ｂ，１３４ｃ，１３４ｄ，１３４ｅ，１３４ｆの６点によって、それぞれ点接触状態で支持される。
【００７０】
次に、図６（ａ）の穴部１２０について、金属球４０を圧入したときの穴部１２０の変形について、図６（ｂ）を用いて説明する。
【００７１】
図６（ｂ）は、はんだシート３０に形成した溝部１２２の円周部で形成された支持部１２４に、金属球４０を配置した様子を示す断面図である。
【００７２】
図６（ｂ）の状態で、金属球４０をはんだシート３０に圧入すると、支持部１２４がはんだシート３０の内部に向かって押圧される。
【００７３】
このとき、支持部１２４は、溝部１２２の壁部１２０Ｗに沿う方向に変形して、この変形した部位は、金属球４０の圧入に伴って、溝部１２２の底部１２０Ｂに向かって移動する。そして、変形した部位は、圧入された金属球４０と溝部１２２の隙間に溜まるため、はんだシート３０の表面に、圧入による盛り上がりや変形が生じることはない。
【００７４】
図６（ｃ）に示した穴部１３０についても同様に、金属球４０を圧入したときに、支持部１３４は、溝部１３２の壁部に沿う方向に変形して、この変形した部位は、金属球４０の圧入に伴って、溝部１３２の底部に向かって移動する。そして、変形した部位は、圧入された金属球４０と溝部１３２の隙間に溜まるため、はんだシート３０の表面に、圧入による盛り上がりや変形が生じることはない。
【００７５】
以上、説明したように、実施例１に係るはんだシートの製造方法によれば、はんだシート３０の所定位置５０に、金属球４０（球状体）を支持可能な形状の穴部６０を形成した後、所定位置５０に金属球４０を配置して、その後、金属球４０をはんだシート３０の厚み方向に加圧して、はんだシート３０の内部に埋め込む際に、金属球４０によって加圧されたはんだシート３０の支持部７０，７２，７４，７６（被加圧部位）が変形して、こうして変形したはんだシート３０の支持部７０，７２，７４，７６が、穴部６０の壁部６０Ｗによって囲まれた溝部６２，６４，６６，６８（空隙部）に入り込むため、金属球４０を、所定位置５０からずれることなく、はんだシート３０の内部に埋め込むことができるとともに、金属球４０を埋め込んだことによるはんだシート３０の厚さ方向の変形が抑制されるため、はんだシート３０の厚さを均一に保つことができる。
【００７６】
また、実施例１に係るはんだシート３０の製造方法によれば、穴部６０が、所定位置５０に配置された金属球４０（球状体）を支持する支持部７０，７２，７４，７６からなるように形成されるため、金属球４０を所定位置５０に確実に配置することができる。
【００７７】
また、実施例１に係るはんだシート３０の製造方法によれば、穴部６０が、所定位置５０を中心として、複数の支持部７０，７２，７４，７６を通る閉曲線である円Ｏ１の周方向に沿って、支持部７０，７２，７４，７６と溝部６２，６４，６６，６８（空隙部）が交互に配置された形状に形成されるため、金属球４０（球状体）によって加圧された支持部７０，７２，７４，７６が左右に変形して、この変形した支持部７０，７２，７４，７６が、隣接する溝部６２，６４，６６，６８の中に移動するため、金属球４０がはんだシート３０に埋め込まれても、変形した支持部７０，７２，７４，７６がはんだシート３０の表面に突出することがない。したがって、金属球４０が埋め込まれても、はんだシート３０の厚さを一定に保つことができる。
【００７８】
また、実施例１に係るはんだシート３０の製造方法によれば、穴部６０が、金属球４０（球状体）を所定位置５０に配置したときに、穴部６０の周縁部の全て、または一部が支持部１２４をなすように形成されるため、金属球４０を所定位置５０に確実に配置することができる。
【００７９】
また、実施例１に係るはんだシート３０の製造方法によれば、穴部６０を形成する工程がプレス加工によって行われるため、ドリルによる穴加工を行う必要がなく、穴部の形成を行う装置を安価に構成することができる。
【００８０】
なお、実施例１においては、穴部の形状を、十字形状、星形形状、３方向に延びる溝部からなる形状、および、円形状、六角形状をなすものとして説明したが、穴部の形状はこれらに限定されることはなく、穴部に金属球（球状体）を保持でき、なおかつ、金属球がはんだシートに埋め込まれたときに、変形したはんだシートの逃げ場が確保されていさえすれば、その他の形状であっても同様の効果を得ることができる。
【００８１】
以上、この発明の実施例を図面により詳述してきたが、実施例はこの発明の例示にしか過ぎないものであるため、この発明は実施例の構成にのみ限定されるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変更等があってもこの発明に含まれることは勿論である。
【符号の説明】
【００８２】
１０    冷却器
２０    基板ＡＳＳＹ
２２    セラミック基板
２６    チップ
２４，３０    はんだシート
４０，４２，４４，４６    金属球
５０，５２，５４，５６    所定位置
６０，６１，６３，６５    穴部
【図１】
2014151353.tif 000003
【図２】
2014151353.tif 000004
【図３】
2014151353.tif 000005
【図４】
2014151353.tif 000006
【図５】
2014151353.tif 000007
【図６】
2014151353.tif 000008