(57)【要約】【課題】少量の洗浄液で被洗浄物を効果的に洗浄しつつ、洗浄液の長期的な使用量を低減可能な洗浄装置を提供する。【解決手段】支持部１１は、処理部品１を支持可能である。ノズル２４は、洗浄液を大気圧下では沸点以上となる加圧過加熱状態で処理部品１に対し噴射可能である。回収液槽３０は、支持部１１に支持される処理部品１の鉛直方向下側に位置する回収開口部３５を有している。復水液槽４０は、外縁部が回収開口部３５の外側に位置する復水開口部４２を有している。フリーボード部５０は、復水開口部４２の外縁部から鉛直方向上側へ延び、支持部１１に支持される処理部品１の周囲を取り囲むように形成されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被洗浄物（１）を洗浄する洗浄装置（１０）であって、
前記被洗浄物を支持可能な支持手段（１１）と、
洗浄液を大気圧下では沸点以上となる加圧過加熱状態で前記被洗浄物に対し噴射可能な噴射手段（２１、２２、２３、２４）と、
前記支持手段に支持される前記被洗浄物の鉛直方向下側に位置する回収開口部（３５）を有する回収液槽（３０）と、
外縁部が前記回収開口部の外側に位置する復水開口部（４２）を有する復水液槽（４０）と、
前記復水開口部の外縁部から鉛直方向上側へ延び、前記支持手段に支持される前記被洗浄物の周囲を取り囲むように形成されるフリーボード部（５０）と、
を備える洗浄装置。
【請求項２】
前記フリーボード部に設けられ、前記フリーボード部の内側を冷却可能な第１冷却手段（６１）をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の洗浄装置。
【請求項３】
前記復水液槽に設けられ、前記復水液槽の内側を冷却可能な第２冷却手段（６２）をさらに備えることを特徴とする請求項１または２に記載の洗浄装置。
【請求項４】
前記フリーボード部は、開口部が長方形状となるよう形成され、
前記フリーボード部の鉛直方向の長さをＬ１、前記フリーボード部の開口部の長辺の長さをＬ２、短辺の長さをＬ３とすると、前記フリーボード部は、Ｌ１／Ｌ３≧１の関係を満たすよう形成されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の洗浄装置。
【請求項５】
前記支持手段に支持された前記被洗浄物の鉛直方向の投影面積をＡ１、前記回収開口部の開口面積をＡ２、前記復水開口部の開口面積をＡ３とすると、前記回収液槽および前記復水液槽は、Ａ３＞Ａ２＞Ａ１の関係を満たすよう形成されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の洗浄装置。
【請求項６】
前記回収液槽は、前記回収開口部が前記復水開口部の中央に位置するよう形成されていることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載の洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被洗浄物を洗浄する洗浄装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、洗浄液を加圧過加熱状態で被洗浄物に対し噴射し、被洗浄物の表面を洗浄する洗浄装置が知られている。ここで、加圧過加熱状態とは、大気圧下では沸点以上となる程度に加圧および加熱された状態のことである。例えば特許文献１に記載された洗浄装置では、被洗浄物に対し加圧過加熱状態の洗浄液を噴射すると、噴射された洗浄液は、瞬時に飽和蒸気に相変化するとともに微細なミスト状となって混相流の状態で被洗浄物の表面に衝突する。これにより、被洗浄物の表面に付着した薬液等の異物を払拭除去する。また、被洗浄物の表面では、ミスト状の洗浄液や蒸気から相変化することで形成された凝縮水層により、薬液等の異物が可溶化除去される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１２−２４６８５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１の洗浄装置では、被洗浄物の周囲に保液部材を設け、噴射された洗浄液を被洗浄物表面と保液部材との間の所定の隙間に保持しながら洗浄することにより、洗浄液の使用量の低減を図っている。しかしながら、特許文献１の洗浄装置では、被洗浄物に曲げ部や凹凸があると、被洗浄物との間に所定の隙間を形成する保液部材を形成するのが困難になる問題がある。よって、洗浄装置で洗浄可能な被洗浄物に形状的な制約が生じる場合がある。
【０００５】
また、特許文献１の洗浄装置では、被洗浄物を洗浄した後の薬液等の異物を含む洗浄液は、被洗浄物から鉛直方向下側へ落下し、洗浄液の蒸気の凝縮水とともに貯液槽に回収される。貯液槽に回収された洗浄液は、被洗浄物を洗浄する洗浄液として再利用されるものの、薬液等の異物を含むため、被洗浄物を洗浄する効果が低下するおそれがある。
また、特許文献１の洗浄装置では、被洗浄物は、貯液槽の外部、かつ、鉛直方向上側に位置する状態で洗浄される。そのため、噴射された洗浄液が貯液槽の開口部の外側へ飛び散ったり、噴射された洗浄液の蒸気が貯液槽の開口部の外側へ流れたりするおそれがある。よって、噴射された洗浄液の回収量が低下するおそれがある。
【０００６】
本発明は、上述の問題に鑑みてなされたものであり、その目的は、少量の洗浄液で被洗浄物を効果的に洗浄しつつ、洗浄液の長期的な使用量を低減可能な洗浄装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、被洗浄物を洗浄する洗浄装置であって、支持手段と噴射手段と回収液槽と復水液槽とフリーボード部とを備えている。
支持手段は、被洗浄物を支持可能である。噴射手段は、洗浄液を大気圧下では沸点以上となる加圧過加熱状態で被洗浄物に対し噴射可能である。回収液槽は、支持手段に支持される被洗浄物の鉛直方向下側に位置する回収開口部を有している。復水液槽は、外縁部が回収開口部の外側に位置する復水開口部を有している。フリーボード部は、復水開口部の外縁部から鉛直方向上側へ延び、支持手段に支持される被洗浄物の周囲を取り囲むように形成されている。
【０００８】
上記構成により、本発明では、支持手段に支持された被洗浄物に対し加圧過加熱状態の洗浄液を噴射手段から噴射すると、噴射された洗浄液は、瞬時に飽和蒸気に相変化するとともに微細なミスト状となって混相流の状態で被洗浄物の表面に衝突する。この物理的作用により被洗浄物の表面に付着した薬液等の異物を払拭除去することができる。さらに、被洗浄物の表面では、ミスト状の洗浄液や蒸気から相変化することで形成された凝縮水層により、上述の物理的作用で除去しきれなかった薬液等の異物が可溶化除去される。これにより、少量の洗浄液で、被洗浄物の表面を効果的に洗浄することができる。
【０００９】
また、本発明では、被洗浄物を洗浄するときに被洗浄物の表面に生じる、薬液等の異物を含む洗浄液は、被洗浄物の鉛直方向下側へ落下し、回収開口部を経由して回収液槽に回収される。一方、噴射手段から噴射されて被洗浄物に衝突しなかった洗浄液は、相変化して液体（復水）となり、復水開口部を経由して復水液槽に回収される。このように、本発明では、被洗浄物洗浄後の薬液等の異物を含む洗浄液と薬液等の異物を含まない洗浄液とを、回収液槽と復水液槽とに分離回収することができる。これにより、回収液槽に回収された、薬液等の異物を含む洗浄液を廃棄処分したり、あるいは、洗浄液に含まれる薬液を再利用したりすることが可能である。また、復水液槽に回収された、薬液等の異物を含まない洗浄液は、被洗浄物を洗浄するための洗浄液として再利用することができる。よって、洗浄液の浪費が抑制され、結果、洗浄液の長期的な使用量を低減することができる。
【００１０】
また、本発明では、支持手段に支持される被洗浄物の周囲を取り囲むようにフリーボード部が形成されているため、噴射手段から噴射された洗浄液がフリーボード部の外へ飛散すること、および、蒸気となった洗浄液がフリーボード部の外へ漏れることを抑制できる。これにより、復水液槽に回収される洗浄液の回収量が低下するのを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一実施形態による洗浄装置を示す模式図。
【図２】図１のＩＩ−ＩＩ線断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の実施形態による洗浄装置を図面に基づき説明する。
（一実施形態）
本発明の一実施形態による洗浄装置、および、その一部を図１、２に示す。
【００１３】
洗浄装置１０は、例えばめっき等の処理部品１に付着しているめっき薬液を洗浄するために用いられる。処理部品１は、例えば電気部品のプレート状の金属製のターミナル（端子）であって、めっき処理の後、めっき薬液が表面に付着した状態で洗浄装置１０に移送される。ここで、処理部品１は、特許請求の範囲における「被洗浄物」に対応する。
【００１４】
洗浄装置１０は、図１に示すように、支持部１１、配管２１、加圧ポンプ２２、熱交換器２３、ノズル２４、回収液槽３０、復水液槽４０、フリーボード部５０、気相冷却管６１および液相冷却管６２等を備えている。
支持部１１は、板状の処理部品１を例えば板厚方向から挟むようにして支持可能である。本実施形態では、支持部１１は、処理部品１の板厚方向が鉛直方向に略一致するよう処理部品１を支持する。ここで、支持部１１は、特許請求の範囲における「支持手段」に対応している。
【００１５】
配管２１は、一端が洗浄液供給槽１２に接続するようにして設けられている。洗浄液供給槽１２には、洗浄液が貯留されている。本実施形態では、洗浄液は水である。
加圧ポンプ２２は、配管２１の洗浄液供給槽１２近傍に設けられている。加圧ポンプ２２は、例えば電動のポンプであって、洗浄液供給槽１２内の洗浄液を加圧しつつ配管２１の他端側へ送出可能である。
【００１６】
熱交換器２３は、配管２１の加圧ポンプ２２に対し洗浄液供給槽１２とは反対側に設けられている。熱交換器２３は、配管２１に沿うようにして配置されるヒーター２３１を有している。ヒーター２３１は、配管２１内の洗浄液との間で熱交換を行う。本実施形態では、ヒーター２３１は、加圧ポンプ２２によって加圧された配管２１内の洗浄液を例えば１３０℃（０．３ＭＰａ）〜２００℃（１．５ＭＰａ）程度に加熱する。これにより、配管２１内の洗浄液は、大気圧沸点（飽和温度）以上の加圧過加熱液、または、その圧力における沸点近くの過加熱液の状態、所謂亜臨界水の状態となる。
【００１７】
ノズル２４は、配管２１の他端に設けられている。ノズル２４は、噴孔２４１を有している。本実施形態では、噴孔２４１の噴孔径は、例えばφ０．３〜１．０に設定されている。ノズル２４は、支持部１１に支持された処理部品１に噴孔２４１が水平方向から対向するよう設けられている。ノズル２４は、噴孔２４１を開閉可能な開閉手段（図示せず）を有している。これにより、開閉手段が噴孔２４１を開くと、配管２１内で加圧過加熱液の状態となった洗浄液が噴孔２４１から処理部品１に向かって噴射される。
このように、配管２１、加圧ポンプ２２、熱交換器２３およびノズル２４は、特許請求の範囲における「噴射手段」を構成している。
【００１８】
回収液槽３０は、側壁部３１、底壁部３２、上壁部３３、筒部３４および回収開口部３５を有している。
側壁部３１は、例えば矩形筒状に形成されている。底壁部３２は、側壁部３１の一端を塞ぐよう側壁部３１と一体に形成されている。上壁部３３は、側壁部３１の他端を塞ぐよう側壁部３１と一体に形成されている。上壁部３３の中央には、上壁部３３を板厚方向に貫く穴部３３１が形成されている。
【００１９】
筒部３４は、筒状に形成され、一端が上壁部３３の穴部３３１の外縁部に接続するようにして設けられている。ここで、筒部３４は、軸が鉛直方向に沿うような状態で設けられている。
回収開口部３５は、筒部３４の他端に形成されている。すなわち、回収開口部３５は、筒部３４の他端開口に一致する。ここで、回収液槽３０は、回収開口部３５が、支持部１１に支持される処理部品１の鉛直方向下側に位置するよう形成されている。なお、回収液槽３０は、側壁部３１の軸が鉛直方向に沿うような状態で設けられている。
【００２０】
復水液槽４０は、側壁部４１および復水開口部４２を有している。
側壁部４１は、回収液槽３０の側壁部３１と同様、例えば矩形筒状に形成されている。側壁部４１は、側壁部３１と同軸となるよう、かつ、一端が側壁部３１の他端に接続するよう形成されている。これにより、側壁部４１は、一端が回収液槽３０の上壁部３３に塞がれた状態となる。復水開口部４２は、側壁部４１の他端に形成されている。すなわち、復水開口部４２は、側壁部４１の他端開口に一致する。ここで、復水液槽４０は、復水開口部４２の外縁部が回収開口部３５の外側に位置するよう形成されている（図２参照）。また、回収開口部３５は、復水開口部４２よりも支持部１１側に位置している（図１参照）。
【００２１】
本実施形態では、復水液槽４０の側壁部４１の内側に所定量の復水液２（水）が貯留されている。これにより、復水液槽４０の側壁部４１の内側には「液相」が形成されている。
また、復水液槽４０には、復水開口部４２の内縁部の周方向の一部に、復水開口部４２から鉛直方向下側へ段差を成す段差部１３が形成されている。これにより、復水液槽４０の復水液２が復水開口部４２以上にあふれた場合、あふれた復水液２は、段差部１３に流れる。段差部１３には、復水液ドレン１４の一端が接続されている。復水液ドレン１４の他端は、洗浄液供給槽１２に接続されている。そのため、段差部１３に流れた復水液２は、復水液ドレン１４を経由して洗浄液供給槽１２に回収される。
【００２２】
フリーボード部５０は、側壁部５１および開口部５２を有している。
側壁部５１は、回収液槽３０の側壁部３１および復水液槽４０の側壁部４１と同様、例えば矩形筒状に形成されている（図１、２参照）。側壁部５１は、側壁部４１と同軸となるよう、かつ、一端が側壁部４１の他端に接続するよう形成されている。つまり、側壁部５１は、復水開口部４２の外縁部から鉛直方向上側へ延びるようにして形成されている。ここで、側壁部５１は、支持部１１に支持される処理部品１の周囲を取り囲むように形成されている。すなわち、支持部１１は、側壁部５１の両端面間に位置する。開口部５２は、側壁部５１の他端に形成されている。すなわち、開口部５２は、側壁部５１の他端開口に一致する。
ここで、フリーボード部５０の開口部５２は大気に開放されているため、側壁部５１の内側には空気が存在している。これにより、フリーボード部５０の側壁部５１の内側には「気相」が形成されている。
【００２３】
気相冷却管６１は、フリーボード部５０の側壁部５１の内壁に設けられている。気相冷却管６１は、側壁部５１の内壁面に沿って周方向に環状に巻かれるようにして設けられている。本実施形態では、気相冷却管６１は、下端が復水開口部４２から所定距離鉛直方向上側へ離れた位置となるよう設けられている（図１参照）。
【００２４】
気相冷却管６１は、内部に冷却流体が流通可能なよう形成されている。これにより、気相冷却管６１は、内部の冷却流体と気相冷却管６１外部の空気、すなわち側壁部５１の内側の空気との間で熱交換を行うことによって、側壁部５１の内側の空気（気相）を冷却可能である。ここで、気相冷却管６１は、特許請求の範囲における「第１冷却手段」に対応している。
【００２５】
液相冷却管６２は、復水液槽４０の側壁部４１の内壁に設けられている。液相冷却管６２は、側壁部４１の内壁面に沿って周方向に環状に巻かれるようにして設けられている。本実施形態では、液相冷却管６２は、上端が復水開口部４２から所定距離鉛直方向下側へ離れた位置となるよう設けられている（図１参照）。
【００２６】
液相冷却管６２は、内部に冷却流体が流通可能なよう形成されている。これにより、液相冷却管６２は、内部の冷却流体と液相冷却管６２外部の液体、すなわち側壁部４１の内側の復水液２との間で熱交換を行うことによって、側壁部４１の内側の復水液２（液相）を冷却可能である。ここで、液相冷却管６２は、特許請求の範囲における「第２冷却手段」に対応している。
【００２７】
本実施形態では、フリーボード部５０の開口部５２は、略長方形状に形成されている（図２参照）。ここで、フリーボード部５０の鉛直方向の長さ、すなわち側壁部５１の軸方向の長さをＬ１（図１参照）、フリーボード部５０の開口部５２の長辺の長さをＬ２（図１、２参照）、短辺の長さをＬ３（図２参照）とすると、フリーボード部５０は、Ｌ１／Ｌ３≧１の関係を満たすよう形成されている。つまり、フリーボード部５０は、所謂フリーボード比（Ｌ１／Ｌ３）が１以上となるよう形成されている。
【００２８】
また、本実施形態では、支持部１１に支持された処理部品１の鉛直方向の投影面積をＡ１、回収開口部３５の開口面積をＡ２、復水開口部４２の開口面積をＡ３とすると（図２参照）、回収液槽３０および復水液槽４０は、Ａ３＞Ａ２＞Ａ１の関係を満たすよう形成されている。
また、本実施形態では、回収液槽３０は、回収開口部３５が復水開口部４２の中央に位置するよう形成されている（図２参照）。
【００２９】
次に、本実施形態の洗浄装置１０による処理部品１の洗浄に係る工程の一例を説明する。
処理部品１の洗浄を開始する前、気相冷却管６１および液相冷却管６２によりフリーボード部５０および復水液槽４０内の気液相を例えば１０℃以下、望ましくは５℃以下まで冷却しておく。すなわち、気相冷却管６１によりフリーボード部５０の内側の空気を冷却し、液相冷却管６２により復水液槽４０の内側の復水液２を冷却しておく。また、加圧ポンプ２２および熱交換器２３を作動させることにより、加圧過加熱液（亜臨界水）の状態（１３０℃（０．３ＭＰａ）〜２００℃（１．５ＭＰａ）程度）の洗浄液を配管２１内に生成しておく。
【００３０】
（支持工程）
めっき処理後、表面にめっき薬液が付着した処理部品１をフリーボード部５０の内側へ移送し、支持部１１で支持する。このとき、支持部１１は、処理部品１の板厚方向が鉛直方向に略一致するよう処理部品１を支持する。
【００３１】
（洗浄工程）
続いて、ノズル２４の開閉手段により噴孔２４１を開くことで、噴孔２４１から加圧過加熱液状態の洗浄液を処理部品１に対し噴射する。噴孔２４１から噴射された洗浄液は、圧力開放により洗浄液の飽和蒸気および微細な洗浄液ミストとなり（「気液混相流」）、処理部品１の表面に衝突する。この気液混相流の衝突の物理的作用により、処理部品１の表面に付着しためっき薬液が払拭除去される。当該払拭除去されためっき薬液は、処理部品１の鉛直方向下側に位置する回収開口部３５を経由して回収液槽３０に飛散落下する。
【００３２】
さらに、処理部品１の表面では、洗浄液ミストの付着や蒸気から相変化した凝縮水層が形成され、上述の物理的作用で除去しきれなかっためっき薬液の残渣は、凝縮水へ可溶化し凝縮水とともに回収開口部３５を経由して回収液槽３０に落下する。これにより、めっき薬液を含んだ凝縮水が回収液３として回収液槽３０に回収貯留される。
【００３３】
本実施形態では、回収液槽３０に回収液ドレン１５が接続されている（図１参照）。これにより、回収液槽３０に貯留された回収液３を回収液ドレン１５を経由して回収し、めっき薬液を含む回収液３を廃棄処分することができる。あるいは、回収した回収液３に含まれるめっき薬液を、めっき工程の薬液として再利用することができる。
【００３４】
一方、ノズル２４から噴射され処理部品１のめっき薬液の除去に用いられなかった飽和蒸気および微細な洗浄液ミストは、気相冷却管６１の表面および復水液２の液表面で凝縮し、復水液２として回収される。回収された飽和蒸気および洗浄液ミストは、復水液２として復水開口部４２からオーバーフローし、段差部１３に流れる。段差部１３に流れた復水液２は、復水液ドレン１４を経由して洗浄液供給槽１２に回収される。これにより、回収した復水液２を処理部品１の洗浄液として再利用することができる。
【００３５】
洗浄工程を繰り返すと、復水液２の液表面、および、回収液３の上層には、洗浄液の飽和蒸気層が形成される（図１の「蒸気ライン」参照）。この飽和蒸気層の蒸気は、気相冷却管６１および液相冷却管６２によって冷却された復水液２の液表面へ流れるよう気流制御される。
【００３６】
次に、本実施形態による洗浄装置１０の洗浄能力に関する実験結果を示す。
この実験では、高速度スルファミン酸ニッケル浴（約８００ｇ／Ｌ）のめっき薬液が付着したＣｕ製の電子部品のターミナル（表面積０．０５ｄｍ2）を被洗浄物とし、大気圧沸点（飽和温度）が１００℃の洗浄液（水）を０．５ＭＰａ、１５０℃の状態とし、噴孔径φ０．５のノズル２４から距離１０ｍｍでターミナルに対し噴射した。洗浄後のターミナルを脱イオン水に抽出し、導電率換算によりめっき薬液の残渣量を定量したところ、洗浄時間（噴射時間）３秒で２５倍希釈、１０秒で２００倍以上に、付着しためっき薬液を希釈できることを確認した。
【００３７】
以上説明したように、本実施形態では、支持部１１に支持された処理部品１に対し加圧過加熱状態の洗浄液をノズル２４から噴射すると、噴射された洗浄液は、瞬時に飽和蒸気に相変化するとともに微細なミスト状となって混相流の状態で処理部品１の表面に衝突する。この物理的作用により処理部品１の表面に付着しためっき薬液を払拭除去することができる。さらに、処理部品１の表面では、ミスト状の洗浄液や蒸気から相変化することで形成された凝縮水層により、上述の物理的作用で除去しきれなかっためっき薬液が可溶化除去される。これにより、少量の洗浄液で、処理部品１の表面を効果的に洗浄することができる。
【００３８】
また、本実施形態では、処理部品１を洗浄するときに処理部品１の表面に生じる、めっき薬液を含む洗浄液は、処理部品１の鉛直方向下側へ落下し、回収開口部３５を経由して回収液槽３０に回収される。一方、ノズル２４から噴射されて処理部品１に衝突しなかった洗浄液は、相変化して液体（復水）となり、復水開口部４２を経由して復水液槽４０に回収される。このように、本実施形態では、処理部品１洗浄後のめっき薬液を含む洗浄液とめっき薬液を含まない洗浄液とを、回収液槽３０と復水液槽４０とに分離回収することができる。これにより、回収液槽３０に回収された、めっき薬液を含む洗浄液（回収液３）を廃棄処分したり、あるいは、洗浄液（回収液３）に含まれるめっき薬液を再利用したりすることが可能である。また、復水液槽４０に回収された、めっき薬液を含まない洗浄液（復水液２）は、処理部品１を洗浄するための洗浄液として再利用することができる。よって、洗浄液の浪費が抑制され、結果、洗浄液の長期的な使用量を低減することができる。
【００３９】
また、本実施形態では、支持部１１に支持される処理部品１の周囲を取り囲むようにフリーボード部５０が形成されているため、ノズル２４から噴射された洗浄液がフリーボード部５０の外へ飛散すること、および、蒸気となった洗浄液がフリーボード部５０の外へ漏れることを抑制できる。これにより、復水液槽４０に回収される洗浄液の回収量が低下するのを抑制することができる。
【００４０】
また、本実施形態では、フリーボード部５０に設けられ、フリーボード部５０の内側を冷却可能な気相冷却管６１を備えている。そのため、フリーボード部５０の内側の空気（気相）を冷却することができる。これにより、ノズル２４から噴射された加圧過加熱液状態の洗浄液の相変化を促進することができ、処理部品１の洗浄効果を高めることができる。また、気相冷却管６１でフリーボード部５０の内側の空気を冷却することにより、ノズル２４から噴射され処理部品１の洗浄に用いられなかった洗浄液の飽和蒸気の凝縮を促し、復水液２として効率良く回収することができる。
【００４１】
また、本実施形態では、復水液槽４０に設けられ、復水液槽４０の内側を冷却可能な液相冷却管６２をさらに備えている。そのため、復水液槽４０内の復水液２を冷却することができる。これにより、復水液２の液表面付近の蒸気の凝縮を促し、復水液２として効率良く回収することができる。
【００４２】
また、本実施形態では、洗浄工程を繰り返すと、復水液２の液表面、および、回収液３の上層には、洗浄液の飽和蒸気層が形成されるが、この飽和蒸気層の蒸気は、気相冷却管６１および液相冷却管６２によって冷却された復水液２の液表面へ流れるよう気流制御される。このように、比較的簡単な構成で、洗浄時に生じる蒸気の気流制御が可能である。
【００４３】
また、本実施形態では、フリーボード部５０は、開口部５２が長方形状となるよう形成されている。そして、フリーボード部５０の鉛直方向の長さをＬ１、フリーボード部５０の開口部５２の長辺の長さをＬ２、短辺の長さをＬ３とすると、フリーボード部５０は、Ｌ１／Ｌ３≧１の関係を満たすよう形成されている。つまり、フリーボード部５０は、所謂フリーボード比（Ｌ１／Ｌ３）が１以上となるよう形成されている。よって、ノズル２４から噴射された洗浄液がフリーボード部５０の外へ飛散すること、および、蒸気となった洗浄液がフリーボード部５０の外へ漏れることをより抑制できる。
【００４４】
また、本実施形態では、支持部１１に支持された処理部品１の鉛直方向の投影面積をＡ１、回収開口部３５の開口面積をＡ２、復水開口部４２の開口面積をＡ３とすると、回収液槽３０および復水液槽４０は、Ａ３＞Ａ２＞Ａ１の関係を満たすよう形成されている。これにより、処理部品１を洗浄後めっき薬液を含む洗浄液を回収液３として確実に回収できるとともに、処理部品１の洗浄に用いられなかった洗浄液を復水液２として確実に回収できる。
【００４５】
また、本実施形態では、回収液槽３０は、回収開口部３５が復水開口部４２の中央に位置するよう形成されている。よって、ノズル２４から噴射された洗浄液がフリーボード部５０の外へ飛散すること、および、蒸気となった洗浄液がフリーボード部５０の外へ漏れることをより一層抑制できる。
【００４６】
（他の実施形態）
本発明の他の実施形態では、第１冷却手段はフリーボード部の外側に設けられていてもよい。また、第２冷却手段は復水液槽の外側に設けられていてもよい。
また、本発明の他の実施形態では、第１冷却手段と第２冷却手段とが一体に形成されていてもよい。例えば１つの冷却管で第１冷却手段と第２冷却手段とを構成するといった具合である。
【００４７】
また、本発明の他の実施形態では、第１冷却手段および第２冷却手段は、冷却管に限らず、ペルチェ式冷却板またはチラー等であってもよい。また、本発明の他の実施形態では、洗浄装置は、第１冷却手段および第２冷却手段の少なくとも一方を備えない構成としてもよい。
また、本発明の他の実施形態では、フリーボード部の開口部は長方形状以外の形状に形成されていてもよい。また、フリーボード部のフリーボード比（Ｌ１／Ｌ３）は１より小さくてもよい。
【００４８】
また、本発明の他の実施形態では、回収液槽および復水液槽は、Ａ３＞Ａ２＞Ａ１の関係を満たさない構成であってもよい。
また、本発明の他の実施形態では、回収液槽は、回収開口部が復水開口部の中央以外に位置するよう形成されていてもよい。
また、本発明の他の実施形態では、加圧ポンプは、配管内の洗浄液を所定値以上に加圧可能であれば、電動以外の駆動方式によるポンプあるいは圧縮気体で洗浄液を加圧圧送する加圧タンクであってもよい。
また、ノズルは、被洗浄表面に気液混相流が形成されればよく、支持部に支持された処理部品に噴孔が必ずしも水平方向から対向するように設ける必要はない。
【００４９】
また、本発明の他の実施形態では、配管内の洗浄液を所定値以上に加熱可能であれば、ヒーターに限らず別の方法により加熱することとしてもよい。
また、本発明の他の実施形態では、被洗浄物は、複数が連結した状態で洗浄されることとしてもよい。この場合、複数の被洗浄物を連続的に支持手段に移送、支持しつつ、連続的に洗浄することができる。
【００５０】
また、本発明の他の実施形態では、めっき処理後の処理部品に限らず、めっき薬液以外の薬液等が付着した部品等を洗浄するのに用いてもよい。また、例えば切削加工後または研磨作業後の部品等を被洗浄物として洗浄装置で洗浄し、表面に付着した水溶性加工油や水溶性防錆油等の油剤あるいは、削り屑や研磨粉等の異物を払拭除去することとしてもよい。
また、本発明の他の実施形態では、洗浄液は水に限らず、水以外の洗浄液を用いてもよい。例えば、炭化水素系溶剤やアルコール類あるいは、ＰＦＣ、ＨＦＣ、ＨＦＥ、ＨＦＯ等のフッ素系溶剤があげられる。この場合、付着しているめっき薬液以外の薬液等と可溶化する洗浄液が用いられる。
このように、本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々の形態で実施可能である。
【符号の説明】
【００５１】
１０  ・・・洗浄装置
１１  ・・・支持部（支持手段）
２１  ・・・配管（噴射手段）
２２  ・・・加圧ポンプ（噴射手段）
２３  ・・・熱交換器（噴射手段）
２４  ・・・ノズル（噴射手段）
３０  ・・・回収液槽
３５  ・・・回収開口部
４０  ・・・復水液槽
４２  ・・・復水開口部
５０  ・・・フリーボード部
【図１】
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【図２】
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