(57)【要約】【課題】共振周波数毎に共振電極を設けることなく、複数の共振周波数で効率良く動作を行うことができる光変調器の駆動方法を提供すること。【解決手段】電気光学効果を有する基板と、前記基板上に一方向に沿って形成された光導波路と、前記光導波路に沿って設けられた共振電極と、前記共振電極に対向して配置され、前記共振電極とは離れて配置され、前記共振電極への信号入力により前記共振電極上に形成される複数の定在波のそれぞれの腹に対応する位置に配置された給電部とを備える光変調器の駆動方法であって、前記共振電極上に前記複数の定在波が同時に形成されるように前記給電部に対して電気信号を供給する。【選択図】図１
2014199353.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気光学効果を有する基板と、
前記基板上に一方向に沿って形成された光導波路と、
前記光導波路に沿って設けられた共振電極と、
前記共振電極に対向して配置され、前記共振電極とは離れて配置され、前記共振電極への信号入力により前記共振電極上に形成される複数の定在波のそれぞれの腹に対応する位置に配置された給電部と
を備える光変調器の駆動方法であって、
前記共振電極上に前記複数の定在波が同時に形成されるように前記給電部に対して電気信号を供給する
光変調器の駆動方法。
【請求項２】
前記複数の定在波の周波数は、共振周波数に一致する
請求項１に記載の光変調器の駆動方法。
【請求項３】
前記複数の定在波は、
周波数が第一共振周波数である第一定在波と、
周波数が前記第一共振周波数の整数倍の周波数である第二定在波と
のうち少なくとも一方を含む
請求項１又は請求項２に記載の光変調器の駆動方法。
【請求項４】
前記共振電極のうち前記一方向の両端が、共に電気的に短絡されている場合又は共に開放されている場合、前記給電部は、前記一方向について前記共振電極の中央部に対向するように配置される
請求項１から請求項３のうちいずれか一項に記載の光変調器の駆動方法。
【請求項５】
前記共振電極のうち前記一方向の第一端部が電気的に短絡され、前記第一端部とは異なる第二端部が開放されている場合、前記給電部は、前記第二端部に対向するように配置される
請求項１から請求項３のうちいずれか一項に記載の光変調器の駆動方法。
【請求項６】
前記共振電極及び前記給電部は、複数設けられており、
複数の前記給電部について、対応する前記共振電極上に前記複数の定在波が同時に形成されるように前記電気信号を供給する
請求項１から請求項５のうちいずれか一項に記載の光変調器の駆動方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光変調器の駆動方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
電気光学効果を有する基板に形成された光導波路の近傍に共振電極を備えた共振型の光変調器が知られている（例えば特許文献１〜５参照）。これらの文献では、直線型あるいはマッハツェンダー型光導波路と共振電極を組み合わせた共振型光変調器が開示されており、共振電極と給電線路の接続部とが直接接続された構成となっている。
【０００３】
共振型光変調器では、共振電極に所定の周波数の電気信号（マイクロ波）を入力すると、共振電極上に定在波が形成され、当該定在波により共振電極の周囲に電界が生じる。この電界による基板の電気光学効果により光導波路の相互作用部において屈折率が変化し、光導波路を伝搬する光の速度が変化する。これにより、光導波路を伝搬する光の位相を制御することができる。
【０００４】
共振電極に電気信号を効率良く供給するためには、給電線路の特性インピーダンスと共振電極への入力インピーダンスとの整合が必須である。特許文献１では、給電線路を共振電極の中心からずらすことにより、給電線路からみた入力インピーダンスを調整し、インピーダンス整合を達成している。
【０００５】
上記の光変調器において、共振電極に対して複数の周波数の定在波を発生させる技術が知られている。特許文献１に記載の技術では、各共振周波数における最適な給電位置が大きく異なるため、全ての周波数において効率良く変調動作をさせることは困難である。
【０００６】
これに対して、周波数ごとに共振電極を分けて、それぞれの共振電極に対して最適な給電位置とする技術が知られている（例えば、特許文献２参照）。この構成においては、複数の共振電極は最適な給電位置に設定されているため、それぞれは効率良く変調動作が可能となっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】国際公開第２００５／１２４４３７号
【特許文献２】特開２０１２−１９８４９２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、上記構成においては、分岐回路や共振電極を複数有することにより素子の大きさが大きくなってしまう。また分岐回路を形成したことにより、共振電極へ供給されるマイクロ波のパワーが小さくなり、効率良い動作もできない。
【０００９】
以上のような事情に鑑み、本発明は、共振周波数毎に共振電極を設けることなく、複数の共振周波数で効率良く動作を行うことができる光変調器の駆動方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明に係る光変調器の駆動方法は、電気光学効果を有する基板と、前記基板上に一方向に沿って形成された光導波路と、前記光導波路に沿って設けられた共振電極と、前記共振電極に対向して配置され、前記共振電極とは離れて配置され、前記共振電極への信号入力により前記共振電極上に形成される複数の定在波のそれぞれの腹に対応する位置に配置された給電部とを備える光変調器の駆動方法であって、前記共振電極上に前記複数の定在波が同時に形成されるように前記給電部に対して電気信号を供給する。
【００１１】
また、前記複数の定在波の周波数が、共振周波数に一致する構成であってもよい。
【００１２】
また、前記複数の定在波が、周波数が第一共振周波数である第一定在波と、周波数が前記第一共振周波数の整数倍の周波数である第二定在波とのうち少なくとも一方を含む構成であってもよい。
【００１３】
また、前記共振電極のうち前記一方向の両端が、共に電気的に短絡されている場合又は共に開放されている場合、前記給電部は、前記一方向について前記共振電極の中央部に対向するように配置される構成であってもよい。
【００１４】
また、前記共振電極のうち前記一方向の第一端部が電気的に短絡され、前記第一端部とは異なる第二端部が開放されている場合、前記給電部は、前記第二端部に対向するように配置される構成であってもよい。
【００１５】
また、前記共振電極及び前記給電部は、複数設けられており、複数の前記給電部について、対応する前記共振電極上に前記複数の定在波が同時に形成されるように前記電気信号を供給する構成であってもよい。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、共振電極に対向して配置され、共振電極とは離れて配置され、共振電極への信号入力により共振電極上に形成される複数の定在波のそれぞれの腹に対応する位置に配置された給電部に対して、共振電極上に当該複数の定在波が同時に形成されるように電気信号を供給するため、共振周波数毎に共振電極を設けることなく、複数の共振周波数で効率良く動作を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】第一実施形態に係る光変調器の構成等を示す図。
【図２】第二実施形態に係る光変調器の構成を示す図。
【図３】第三実施形態に係る光変調器の構成を示す図。
【図４】第四実施形態に係る光変調器の構成を示す図。
【図５】変形例に係る光変調器の構成を示す図。
【図６】変形例に係る光変調器の構成を示す図。
【図７】変形例に係る光変調器の構成を示す図。
【図８】変形例に係る光変調器の構成を示す図。
【図９】変形例に係る光変調器の構成を示す図。
【図１０】変形例に係る光変調器の構成を示す図。
【図１１】変形例に係る光変調器の構成等を示す図。
【図１２】変形例に係る光変調器の構成を示す図。
【図１３】変形例に係る光変調器の構成を示す図。
【図１４】変形例に係る光変調器の構成を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。  
［第一実施形態］  
図１（ａ）は、本実施形態に係る光変調器１００の全体構成を示す断面図である。  
図１（ａ）に示すように、光変調器１００は、基板１０と、基板１０に形成された光導波路２０と、光導波路に沿って延びる共振電極３０と、共振電極３０とは非接触に設けられた給電電極４０と、共振電極３０を幅方向に挟むように配置された接地電極５０とを備えている。
【００１９】
基板１０は、ニオブ酸リチウムのＺカット基板である。基板１０としては、電気光学効果を有する基板を用いることができる。基板１０としては、例えば、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウム、ＰＬＺＴ（ジルコン酸チタン酸鉛ランタン）、及び石英系の材料、及びこれらの組み合わせが利用可能である。これらのうちでも、ニオブ酸リチウム（ＬＮ）、タンタル酸リチウム（ＬＴ）の結晶基板を好適に用いることができる。
【００２０】
基板１０は、平面視で矩形状に形成されている。基板１０は、所定の方向（図１（ａ）において左右方向）が長手となるように形成されている。なお、以下の説明においては、基板１０の長手方向を第一方向と表記し、基板１０のうち第一方向に直交する方向（短手方向）を第二方向と表記する。
【００２１】
光導波路２０は、例えば直線型の光導波路である。  
光導波路２０は、本実施形態の場合、基板１０の一部の屈折率を調整する方法により形成された導波路である。光導波路２０は、例えば、基板１０の表面にチタンを熱拡散させる方法や、プロトン交換を施す方法により、領域選択的に屈折率を高くすることで形成することができる。
【００２２】
基板１０上には、コプレーナ（ＣＰＷ）型の電極が形成されている。  
共振電極３０は、第一方向に沿って直線状に形成されている。共振電極３０は、第一方向に長さＬ１で形成されている。共振電極３０は、共振電極３０のうち第一方向の両端（第一端部３１、第二端部３２）は、接地電極５０によって短絡されている。
【００２３】
給電電極４０は、共振電極３０に沿って形成された第一電極４１と、当該第一電極４１に接続された第二電極４２とを有している。第一電極４１は、第一方向に長手となるように平面視で矩形状に形成されている。第一電極４１は、共振電極３０に対して基板１０の端辺１０ｂ側に配置されている。第一電極４１は、共振電極３０との間に隙間を空けて配置されている。第一電極４１は、共振電極３０と平行となるように第一方向に沿って延びている。第一電極４１は、共振電極３０に対して非接触となっており、すなわち、共振電極３０とは離れて配置されており、共振電極３０との間で電気的に絶縁された状態となっている。このため、共振電極３０と第一電極４１との間は容量結合された状態となっている。第一電極４１の第一方向における寸法は、共振電極３０の第一方向における寸法よりも小さくなっている。第一電極４１は、共振電極３０の第一方向の中心部に対向するように配置されている。
【００２４】
第二電極４２は、第二方向に長手となるように平面視で矩形に形成されている。第二電極４２は、第一電極４１のうち第一方向の中央部に接続されている。第二電極４２は、第一電極４１から基板１０の端辺１０ｂへ向けて直線状に形成されている。このように、第二電極４２は、分岐導波路２２を第二方向に跨がないように引き回されている。本実施形態では、第一電極４１及び第二電極４２は、平面視でＴ字型に形成されている。
【００２５】
第二電極４２は、不図示の給電回路に接続されている。給電回路は、第二電極４２を介して第一電極４１に所定の波長を有する電気信号（例、マイクロ波）を入力可能となっている。第一電極４１は、第一方向の両端部が自由端となっている。第一電極４１は、電気信号が入力される場合に定在波が形成されるように形成されている。すなわち、第一電極４１の第一方向の寸法は、入力された電気信号が第一電極４１の端部で反射することで定在波が形成されるような寸法に形成されている。
【００２６】
接地電極５０は、共振電極３０を第二方向に挟むようにして設けられている。接地電極５０は、共振電極３０の第一端部３１と第二端部３２とを接続する。
【００２７】
基板１０上に形成された各電極（共振電極３０、給電電極４０、接地電極５０）は、金（Ａｕ）めっき等により形成することができる。電極形成用の導電材料としては、金のほか、銅、アルミニウム、チタン、クロム、及びこれらの合金や、ＩＴＯ（インジウム錫酸化物）等を用いることができる。電極を構成する薄膜は、単層膜、積層膜のいずれであってもよい。
【００２８】
上記のように構成された光変調器１００において、図示略の給電回路から給電電極４０を介して共振電極３０に電気信号（マイクロ波）を入力すると、共振電極３０の第一端部３１及び第二端部３２が短絡端（固定端）であるため、入力された電気信号によって第一端部３１及び第二端部３２が節となる定在波が形成される。
【００２９】
本実施形態では、共振電極３０において複数の定在波が同時に形成されるように給電電極４０に対して電気信号を供給する。このような電気信号としては、例えば矩形波の電気信号などが挙げられる。
【００３０】
ここで、共振電極３０に形成される定在波の腹の部分は、共振電極３０と給電電極４０とが対向して形成される容量結合部の近傍に存在する必要がある。共振電極３０の第一端部３１及び第二端部３２が短絡されているため、最も次数の小さい定在波Ｗ１１の周波数をｆ１１（Λ／２共振）とすると次に条件を満たす定在波Ｗ１２の共振周波数ｆ１２は、ｆ１２＝３ｆ１１となる（３Λ／２共振）。同様に、さらにその次に条件を満たす定在波Ｗ１３の共振周波数ｆ１２は、ｆ１２＝５ｆ１１となる（５Λ／４共振）。
【００３１】
したがって、（２ｎ−１）Λ／２倍（ｎ＝１，２，３，…）となるような共振状態を取り得る。
【００３２】
本実施形態では、給電電極４０に矩形波を供給することにより、定在波Ｗ１１、Ｗ１２、Ｗ１３を同時に発生させることができる。これらの定在波Ｗ１１、Ｗ１２、Ｗ１３の振動の腹は、第一電極４１の第一方向の中央部に一致しているため、定在波Ｗ１１、Ｗ１２、Ｗ１３が同時に効率良く発生することになる。
【００３３】
なお、これら定在波Ｗ１１、Ｗ１２、Ｗ１３により、共振電極３０の周囲に電界が生じる。この電界による基板１０の電気光学効果により光導波路２０の相互作用部において屈折率が変化し、光導波路２０を伝搬する光の速度が変化する。上記の動作により、給電電極４０を介して入力する電気信号の電圧によって光導波路２０を伝搬する光の位相を制御することができる。
【００３４】
図１（ｂ）は、光変調器の周波数特性を示すグラフである。グラフの横軸は周波数（単位はＨｚ）であり、縦軸は出力値（相対値）である。グラフ（１）は、共振電極と給電電極とが物理的に接続された場合の結果である。グラフ（２）は、共振電極３０と給電電極４０とが物理的に離れた構成（本実施形態の構成）の結果である。
【００３５】
当該グラフ（１）及びグラフ（２）は、共振電極に複数の周波数（７ＧＨｚ帯、２０ＧＨｚ帯、３８ＧＨｚ帯）の全ての周波数において、最も効率良く動作するように最適化した場合の周波数特性を示す。共振電極と給電電極を物理的に接続した場合では、周波数３８ＧＨｚ帯における反射特性が悪いのに対し、共振電極３０と給電電極４０とを物理的に離した場合では、全ての周波数において反射特性が良好であることがわかる。
【００３６】
以上のように、本実施形態に係る光変調器１００は、共振電極３０に対向して配置され、共振電極３０とは離れて配置され、共振電極３０への信号入力により共振電極３０上に形成される複数の定在波Ｗ１１、Ｗ１２、Ｗ１３のそれぞれの腹に対応する位置に配置された給電電極４０に対して、共振電極３０上に当該複数の定在波Ｗ１１、Ｗ１２、Ｗ１３が同時に形成されるように電気信号（例、矩形波）を供給するため、共振周波数毎に共振電極を設けることなく、複数の共振周波数で効率良く動作を行うことができる。
【００３７】
［第二実施形態］  
次に、本発明の第二実施形態を説明する。  
図２は、本実施形態に係る光変調器２００の構成を示す平面図である。
【００３８】
図２に示すように、光変調器２００は、基板２１０と、基板２１０に形成された光導波路２２０と、光導波路に沿って延びる共振電極２３０と、共振電極２３０とは非接触に設けられた給電電極２４０と、不図示の接地電極とを備えている。
【００３９】
本実施形態では、共振電極２３０のうち第一方向の第一端部２３１及び第二端部２３２が共に開放端となっている。この構成において、給電電極２４０は、共振電極２３０のうち第一方向の中央部に対向して配置されている。共振電極２３０は、第一方向の長さがＬ２となるように形成されている。
【００４０】
本実施形態においても、共振電極２３０において複数の定在波が同時に形成されるように給電電極２４０に対して電気信号を供給する。このような電気信号としては、例えば矩形波の電気信号などが挙げられる。
【００４１】
ここで、共振電極２３０に形成される定在波の腹の部分は、共振電極２３０と給電電極２４０とが対向して形成される容量結合部の近傍に存在する必要がある。共振電極２３０の第一端部２３１及び第二端部２３２が開放されているため、最も次数の小さい定在波Ｗ２１の周波数をｆ２１（Λ共振）とすると次に条件を満たす定在波Ｗ２２の共振周波数ｆ２２は、ｆ２２＝２ｆ２１となる（２Λ共振）。同様に、さらにその次に条件を満たす定在波Ｗ２３の共振周波数ｆ２３は、ｆ２３＝４ｆ２１となる（４Λ共振）。
【００４２】
したがって、２（ｎ−１）Λ／２倍（ｎ＝１，２，３，…）となるような共振状態を取り得る。
【００４３】
本実施形態では、給電電極２４０に矩形波を供給することにより、定在波Ｗ２１、Ｗ２２、Ｗ２３を同時に発生させることができる。給電電極２４０が、共振電極２３０に形成される定在波Ｗ２１、Ｗ２２、Ｗ２３の振動の腹に対応する位置に配置されているため、定在波Ｗ２１、Ｗ２２、Ｗ２３が同時に効率良く発生することになる。
【００４４】
［第三実施形態］  
次に、本発明の第三実施形態を説明する。  
図３は、本実施形態に係る光変調器３００の構成を示す平面図である。
【００４５】
図３に示すように、光変調器３００は、基板３１０と、基板３１０に形成された光導波路３２０と、光導波路に沿って延びる共振電極３３０と、共振電極３３０とは非接触に設けられた給電電極３４０と、不図示の接地電極とを備えている。
【００４６】
本実施形態では、共振電極３３０のうち第一方向の第一端部３３１が開放端となっており、第二端部３３２が短絡端となっている。この構成において、給電電極３４０は、共振電極３３０の第一端部３３１に対向して配置されている。共振電極３３０は、第一方向の長さがＬ３となるように形成されている。
【００４７】
本実施形態においても、共振電極３３０において複数の定在波が同時に形成されるように給電電極３４０に対して電気信号を供給する。このような電気信号としては、例えば矩形波の電気信号などが挙げられる。
【００４８】
ここで、共振電極３３０に形成される定在波の腹の部分は、共振電極３３０と給電電極３４０とが対向して形成される容量結合部の近傍に存在する必要がある。第一端部３３１が開放端となっており、第二端部３３２が短絡端となっているため、最も次数の小さい定在波Ｗ３１の周波数をｆ３１（Λ／４共振）とすると次に条件を満たす定在波Ｗ３２の共振周波数ｆ３２は、ｆ３２＝３ｆ２１となる（３Λ／４共振）。同様に、さらにその次に条件を満たす定在波Ｗ２３の共振周波数ｆ２３は、ｆ２３＝５ｆ２１となる（５Λ／４共振）。
【００４９】
したがって、（２ｎ−１）Λ／４倍（ｎ＝１，２，３，…）となるような共振状態を取り得る。
【００５０】
本実施形態では、給電電極３４０に矩形波を供給することにより、定在波Ｗ３１、Ｗ３２、Ｗ３３を同時に発生させることができる。給電電極３４０が、共振電極３３０に形成される定在波Ｗ３１、Ｗ３２、Ｗ３３の振動の腹に対応する位置に配置されているため、定在波Ｗ３１、Ｗ３２、Ｗ３３が同時に効率良く発生することになる。
【００５１】
［第四実施形態］  
次に、本発明の第四実施形態を説明する。  
図４は、本実施形態に係る光変調器４００の構成を示す平面図である。
【００５２】
図４に示すように、光変調器４００は、基板４１０と、基板４１０に形成された光導波路４２０と、光導波路に沿って延びる共振電極４３０と、共振電極４３０とは非接触に設けられた給電電極４４０と、不図示の接地電極とを備えている。
【００５３】
本実施形態では、共振電極４３０が複数（例、２つ）設けられた構成となっている。つまり、共振電極４３０は、第一共振電極４３１及び第二共振電極４３２を有している。なお、第一共振電極４３１の端部４３１ａ、４３１ｂは、開放端となっている。また、第二共振電極４３２の端部４３２ａ、４３２ｂについても、開放端となっている。
【００５４】
この構成において、給電電極４４０は、２つの共振電極４３０（第一共振電極４３１、第二共振電極４３２）のそれぞれに対向する２つの給電電極（第一給電電極４４１第二給電電極４４２）と、基部電極４４３とを有している。第一給電電極４４１は、第一共振電極４３１の第一方向の中央部に対向している。第二給電電極４４２は、第二共振電極４３２の第一方向の中央部に対向している。第一共振電極４３１は、第一方向の長さがＬ４１となるように形成されている。第二共振電極４３２は、第一方向の長さがＬ４２となるように形成されている。
【００５５】
本実施形態においては、第一共振電極４３１及び第二共振電極４３２のそれぞれにおいて複数の定在波が同時に形成されるように第一給電電極４４１及び第二給電電極４４２に対して電気信号を供給する。このような電気信号としては、例えば矩形波の電気信号などが挙げられる。
【００５６】
ここで、第二共振電極４３２に形成される定在波の腹の部分は、第二共振電極４３２と第二給電電極４４２とが対向して形成される容量結合部の近傍に存在する必要がある。第二共振電極４３２の端部４３２ａ、４３２ｂが開放されているため、最も次数の小さい定在波Ｗ４１の周波数をｆ４１（Λ共振）とすると次に条件を満たす定在波Ｗ４２の共振周波数ｆ４２は、ｆ４２＝２ｆ４１となる（２Λ共振）。同様に、さらにその次に条件を満たす定在波Ｗ４３の共振周波数ｆ４３は、ｆ４３＝４ｆ４１となる（４Λ共振）。
【００５７】
また、第一共振電極４３１に形成される定在波の腹の部分は、第一共振電極４３１と第一給電電極４４１とが対向して形成される容量結合部の近傍に存在する必要がある。第一共振電極４３１においては、共振周波数ｆ４４＝６ｆ４１を満たす定在波Ｗ４４と（６Λ共振）、共振周波数ｆ４５＝８ｆ４１を満たす定在波Ｗ４５と（８Λ共振）、共振周波数ｆ４６＝１０ｆ４１を満たす定在波Ｗ４６と（１０Λ共振）、である。したがって、２（ｎ−１）Λ／２倍（ｎ＝１，２，３，…）となるような共振状態を取り得る。
【００５８】
本実施形態では、第一給電電極４４１及び第二給電電極４４２に矩形波を供給することにより、定在波Ｗ４１、Ｗ４２、Ｗ４３、及び、定在波Ｗ４４、Ｗ４５、Ｗ４６を同時に発生させることができる。第二給電電極４４２が、第二共振電極４３２に形成される定在波Ｗ４１、Ｗ４２、Ｗ４３の振動の腹に対応する位置に配置されているため、定在波Ｗ４１、Ｗ４２、Ｗ４３が同時に効率良く発生することになる。また、第一給電電極４４１が、第一共振電極４３１に形成される定在波Ｗ４４、Ｗ４５、Ｗ４６の振動の腹に対応する位置に配置されているため、定在波Ｗ４４、Ｗ４５、Ｗ４６が同時に効率良く発生することになる。
【００５９】
なお、本実施形態では、第一共振電極４３１の端部４３１ａ、４３１ｂと、第二共振電極４３２の端部４３２ａ、４３２ｂとが全て開放端である構成としたが、これに限られることは無い。例えば端部４３１ａ、４３１ｂ及び端部４３２ａ、４３２ｂが全て短絡端である構成としてもよい。また、端部４３１ａ、４３１ｂの一方を開放端、他方を短絡端としてもよい。この場合、第一給電電極４４１は、開放端に対向させるようにする。また、同様に端部４３２ａ、４３２ｂの一方を開放端、他方を短絡端としてもよい。この場合、第二給電電極４４２は、開放端に対向させるようにする。以上のように、短絡端及び開放端を適宜組み合わせることが可能である。また、共振電極４３０を３つ以上配置してもよい。
【００６０】
本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更を加えることができる。  
例えば、図５に示す光変調器１００Ａに示すように、給電電極４０に対して外部の回路６０Ａから複数の周波数（ｆ１１、ｆ１２、ｆ１３）の信号を入力可能な構成としてもよい。また、図６に示す光変調器１００Ｂのように、給電電極４０に対して外部の回路６０Ｂからパルス信号を入力可能な構成としてもよい。
【００６１】
図７は、光変調器１００Ｃの構成を示す図である。  
図７に示すように、光変調器１００Ｃは、基板１０と、光導波路２０と、共振電極３０と、共振電極３０とは非接触に設けられた（共振電極３０とは離れて配置された）給電電極４０と、不図示の接地電極とを備えている。光変調器１００Ｃは、第二方向について共振電極３０と第一電極４１との間に誘電体層４３が配置されている点で、第一実施形態とは異なっている。他の構成については、第一実施形態と同一である。
【００６２】
光変調器１００Ｃは、容量結合される共振電極３０と第一電極４１との間に誘電体層４３が配置されることで、共振電極３０と第一電極４１との間の容量を調整することができる。なお、共振電極３０と第一電極４１との間の距離を併せて調整してもよい。このような構成であっても、上記実施形態と同様の説明が可能である。
【００６３】
図８は、光変調器１００Ｄの構成を示す平面図である。  
図８に示すように、光変調器１００Ｄは、基板１０と、光導波路２０と、共振電極３０と、共振電極３０とは非接触に設けられた給電電極４０Ｄと、不図示の接地電極とを備えている。
【００６４】
給電電極４０Ｄは、第一電極４１Ｄ及び第二電極４２Ｄを有している。第一電極４１Ｄは、平面視で共振電極３０の下層側であって当該共振電極３０に重なる位置に配置されている。第一電極４１Ｄと共振電極３０との間は、不図示のバッファ層が配置されている。この場合、共振電極３０と第一電極４１Ｄとの間は、積層方向に容量結合されることになる。このような構成であっても、上記実施形態と同様の説明が可能である。
【００６５】
図９は、光変調器１００Ｅの構成を示す平面図である。  
図９に示すように、光変調器１００Ｅは、基板１０と、光導波路２０と、共振電極３０Ｅと、共振電極３０Ｅとは非接触に設けられた給電電極４０Ｅと、不図示の接地電極とを備えている。
【００６６】
給電電極４０Ｅは、第一電極４１Ｅ及び第二電極４２Ｅを有している。第一電極４１Ｅは、平面視で共振電極３０の上層側であって当該共振電極３０に重なる位置に配置されている。第一電極４１Ｅと共振電極３０との間は、不図示のバッファ層が配置されている。この場合、共振電極３０と第一電極４１Ｅとの間は、積層方向に容量結合されることになる。このような構成であっても、上記実施形態と同様の説明が可能である。
【００６７】
図１０（ａ）及び図１０（ｂ）は、本実施形態に係る光変調器１００Ｆの構成を示す図である。図１０（ｂ）は、図１０（ａ）におけるＡ−Ａ断面に沿った構成を示す図である。  
図１０（ａ）及び図１０（ｂ）に示すように、光変調器１００Ｆは、基板１０Ｆと、当該基板１０Ｆに形成された光導波路２０Ｆと、光導波路２０Ｆに沿って延びる共振電極３０と、共振電極３０とは非接触に設けられた給電電極４０と、基板１０の層内に配置された接地電極５０とを備えている。
【００６８】
図１０（ｂ）に示すように、基板１０Ｆは、第一基材層１１と、当該第一基材層１１上に配置された第一バッファ層１２と、当該第一バッファ層１２上に配置された第二基材層１３と、当該第二基材層１３上に配置された第二バッファ層１４とを有している。光変調器１００Ｆにおいては、光導波路２０Ｆがリッジ型光導波路となっている。リッジ型の光導波路２０Ｆは、基板１０Ｆにおいて光導波路となる部位を残すように、その他の部分を機械的な切削や化学的なエッチングにより除去する方法により形成されている。このような構成であっても、上記実施形態と同様の説明が可能である。
【００６９】
図１１は、光変調器１００Ｇの構成を示す平面図である。  
図１１に示すように、光変調器１００Ｇは、基板１０Ｇと、当該基板１０Ｇに形成された光導波路２０Ｇと、光導波路２０に沿って延びる共振電極３０Ｇと、共振電極３０Ｇとは非接触に設けられた給電電極４０と、接地電極５１、５２とを備えている。
【００７０】
共振電極３０Ｇは、第二方向において分岐導波路２１Ｇと分岐導波路２２Ｇとの間に配置されている。接地電極５１は、分岐導波路２１Ｇに対して端辺１０ａ側に配置されている。接地電極５２は、分岐導波路２２Ｇに対して端辺１０ｂ側に配置されている。
【００７１】
接地電極５２は、共振電極３０Ｇの長さ方向において２つの電極に分割されている。分割された２つの接地電極５２の間には、共振電極３０Ｇとは非接触に設けられた給電電極４０が基板１０の長辺端から共振電極３０の長さ方向の中央位置に向かって延びている。このような構成であっても、上記実施形態と同様の説明が可能である。
【００７２】
図１２は、本実施形態に係る光変調器１００Ｈの構成を示す平面図である。  
図１２に示すように、光変調器１００Ｈは、基板１０と、光導波路２０Ｈと、光導波路２０Ｈに沿って延びる共振電極３０と、共振電極３０とは非接触に設けられた給電電極４０と、不図示の接地電極とを備えている。本実施形態の光変調器１００Ｈにおいて、光導波路２０Ｈは、Ｔｉ拡散などによって形成された方向性結合型の光導波路である。このような構成であっても、上記実施形態と同様の説明が可能である。
【００７３】
図１３は、光変調器１００Ｉの構成を示す平面図である。  
図８に示すように、光変調器１００Ｉは、光導波路２０Ｉを構成する分岐導波路２１Ｉ、２２Ｉのそれぞれに共振電極３０Ｉ、３５Ｉが設けられている点、また、共振電極３０Ｉ、３５Ｉのそれぞれに対して給電電極４０Ｉ、４５Ｉが設けられている点で、上記実施形態とは異なっている。この場合、給電電極４０Ｉと給電電極４５Ｉとの間は、接続電極４４によって接続されている。接続電極４４は、不図示の給電回路に接続されている。このような構成であっても、上記実施形態と同様の説明が可能である。
【００７４】
図１３は、光変調器１００Ｊの構成を示す平面図である。  
図１３に示す光変調器１００Ｊのように、給電電極４０Ｊが平面視でＬ字型に形成された構成であってもよい。この場合、給電電極４０Ｊは、第一電極４１Ｊ及び第二電極４２Ｊを有している。第一電極４１Ｊの先端は、共振電極３０の第一方向の中央部に配置されている。また、第二電極４２Ｊは、第一電極４１Ｊのうち第一方向の端部に接続されている。第二電極４２Ｊは、第一電極４１Ｊから端辺１０ｂ側に直線状に延びた構成とすることができる。このような構成であっても、上記実施形態と同様の説明が可能である。
【符号の説明】
【００７５】
１０…基板  ２０…光導波路  ３０…共振電極  ４０…給電電極  ４１…第一電極  ４２…第二電極  ５０…接地電極  １００、２００、３００、４００、１００Ａ〜１００Ｊ…光変調器
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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