(57)【要約】【課題】基板上に正確な物理的測定重量ＷＰ１を有する塗布材料を塗布することができる塗布装置を提供する。【解決手段】重量測定部７と、塗布材料吐出ヘッド４を、基板２上、及び重量測定部７上に移動させる移動ステージ８とを設け、システム制御部は、移動ステージ８を制御し、塗布材料吐出ヘッド４を、基板２上、及び重量測定部７上に移動させ、吐出量制御部を制御し、塗布材料吐出ヘッド４から、塗布材料を、重量測定部７上の台座９に、所定量吐出し、塗布材料を第２の塗布物１０として台座９上に塗布し、重量測定部７を制御し、台座９に吐出された第２の塗布物１０の物理的測定重量ＷＰ２を測定し、少なくとも前記第１の塗布物の物理的測定重量ＷＰ１、もしくは第２の塗布物の物理的測定重量ＷＰ２のどちらか一方に基づいて、前記塗布材料の前記測定重量換算関係もしくは前記塗布材料の塗布量を変更する可能である塗布装置１とした。【選択図】図１
2014161818.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に、塗布材料を所定量吐出し、前記塗布材料を第１の塗布物として前記基板上に塗布する塗布材料吐出手段と、
前記塗布物吐出手段による前記塗布材料の吐出量を制御する吐出量制御部と、
前記第１の塗布物を撮像し、前記塗布物の画像データを取得する撮像部と、
前記第１の塗布物の画像データに基づいて、前記第１の塗布物の光学的測定重量を算出し、その後、前記第１の塗布物の光学的測定重量を、予め準備された測定重量換算関係を用いて、前記第１の塗布物の物理的測定重量を算出する重量算出部と、
前記吐出量制御部と、前記撮像部と、前記重量算出部を制御するシステム制御部と、
を有する塗布装置において、
重量測定部と、
前記塗布材料吐出手段を、前記基板上、及び前記重量測定部上に移動させる移動手段と、
を備え、
前記システム制御部は、
前記移動手段を制御し、前記塗布材料吐出手段を、前記基板上、及び前記重量測定部上に移動させ、
前記吐出量制御部を制御し、前記塗布材料吐出手段から、前記塗布材料を、前記重量測定部上の台座に、前記所定量吐出し、前記塗布材料を第２の塗布物として前記台座上に塗布し、
前記重量測定部を制御し、前記台座に吐出された第２の塗布物の物理的重量を測定し、
少なくとも前記第１の塗布物の物理的測定重量、もしくは第２の塗布物の物理的重量のどちらか一方に基づいて、少なくとも前記塗布材料の吐出量、もしくは前記測定重量換算関係のどちらか一方を変更することが可能である、
塗布装置。
【請求項２】
前記システム制御部は、前記第１の塗布物の物理的測定重量と、前記第２の塗布物の物理的重量とを比較し、前記第１の塗布物の物理的測定重量と前記第２の塗布物の物理的重量との差が予め定められた範囲外であった場合には、前記測定重量換算関係を変更する、
請求項１に記載の塗布装置。
【請求項３】
前記システム制御部は、前記第１の塗布物の物理的測定重量と、前記第２の塗布物の物理的重量とを比較し、前記第１の塗布物の物理的測定重量と前記第２の塗布物の物理的重量とが不一致であった場合には、第２の塗布物の物理的重量に基づいて、前記測定重量換算関係における前記第１の塗布物の光学的測定重量から前記第１の塗布物の物理的測定重量へ換算する換算式を変更する、
請求項１に記載の塗布装置
【請求項４】
前記換算式は、一次関数である請求項２〜３にいずれか一つに記載の塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板上に塗布する塗布装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の塗布装置は、基板上に、塗布材料を所定量吐出し、前記塗布材料を（第１の）塗布物として前記基板上に塗布する塗布材料吐出手段と、前記（第１の）塗布物を撮像し、前記塗布物の画像データを取得する撮像部と、前記（第１の）塗布物の画像データに基づいて、前記（第１の）塗布物の光学的測定重量を算出し、その後、前記（第１の）塗布物の光学的測定重量を、予め準備された測定重量換算関係を用いて、前記（第１の）塗布物の物理的測定重量を算出する重量算出部と、前記吐出量制御部と、前記撮像部と、前記重量算出部を制御するシステム制御部と、から構成されていた（例えば特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】国際公開２００９／１０４３９８号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
前記従来例における塗布装置は、その塗布装置によって、前記塗布物を測定し、その塗布物の塗布量が正しいかどうかを判断するのであるが、前記基板の製造ロットが変更になった等、様々な要因によって、塗布物の光学的測定重量から算出された物理的測定重量と、実際に実測された塗布物の物理的測定重量とが一致しない場合が発生し、その結果として、基板上に正確な物理的測定重量を有する塗布材料を塗布できないという課題を有していた。
【０００５】
そこで本発明では、基板上に正確な物理的測定重量を有する塗布材料を塗布することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
そして、この目的を達成するために本発明の塗布装置は、基板上に、塗布材料を所定量吐出し、前記塗布材料を第１の塗布物として前記基板上に塗布する塗布材料吐出手段と、前記塗布物吐出手段による前記塗布材料の吐出量を制御する吐出量制御部と、前記第１の塗布物を撮像し、前記塗布物の画像データを取得する撮像部と、前記第１の塗布物の画像データに基づいて、前記第１の塗布物の光学的測定重量を算出し、その後、前記第１の塗布物の光学的測定重量を、予め準備された測定重量換算関係を用いて、前記第１の塗布物の物理的測定重量を算出する重量算出部と、前記吐出量制御部と、前記撮像部と、前記重量算出部を制御するシステム制御部と、を有する塗布装置において、重量測定部と、前記塗布材料吐出手段を、前記基板上、及び前記重量測定部上に移動させる移動手段と、を備え、前記システム制御部は、前記移動手段を制御し、前記塗布材料吐出手段を、前記基板上、及び前記重量測定部上に移動させ、前記吐出量制御部を制御し、前記塗布材料吐出手段から、前記塗布材料を、前記重量測定部上の台座に、前記所定量吐出し、前記塗布材料を第２の塗布物として前記台座上に塗布し、前記重量測定部を制御し、前記台座に吐出された第２の塗布物の物理的重量を測定し、少なくとも前記第１の塗布物の物理的測定重量、もしくは第２の塗布物の物理的重量のどちらか一方に基づいて、少なくとも前記塗布材料の吐出量、もしくは前記測定重量換算関係のどちらか一方を変更することが可能である塗布装置とした。
【０００７】
これにより所期の目的を達成するものである。
【発明の効果】
【０００８】
以上のように、本発明の塗布装置は、重量測定部と、前記塗布材料吐出手段を、前記基板上、及び前記重量測定部上に移動させる移動手段と、を備え、前記システム制御部は、前記移動手段を制御し、前記塗布材料吐出手段を、前記基板上、及び前記重量測定部上に移動させ、前記吐出量制御部を制御し、前記塗布材料吐出手段から、前記塗布材料を、前記重量測定部上の台座に、前記所定量吐出し、前記塗布材料を第２の塗布物として前記台座上に塗布し、前記重量測定部を制御し、前記台座に吐出された第２の塗布物の物理的重量を測定し、少なくとも前記第１の塗布物の物理的測定重量、もしくは第２の塗布物の物理的重量のどちらか一方に基づいて、少なくとも前記塗布材料の吐出量、もしくは前記測定重量換算関係のどちらか一方を変更することが可能である塗布装置としたものであるので、基板上に正確な物理的測定重量を有する塗布材料を塗布することができる。
【０００９】
すなわち、本発明においては、撮像部と、前記塗布材料吐出手段を、前記基板上、及び前記重量測定部上に移動させる移動手段と、を設け、前記システム制御部は、前記移動手段を制御し、前記塗布材料吐出手段を、前記基板上、及び前記重量測定部上に移動させ、前記吐出量制御部を制御し、前記塗布材料吐出手段から、前記塗布材料を、前記重量測定部上の台座に、前記所定量吐出し、前記塗布材料を第２の塗布物として前記台座上に塗布し、前記重量測定部を制御し、前記台座に吐出された第２の塗布物の物理的測定重量を測定し、少なくとも前記第１の塗布物の物理的測定重量、もしくは第２の塗布物の物理的重量ＷＰ２のどちらか一方に基づいて、少なくとも前記塗布材料の吐出量、もしくは前記測定重量換算関係のどちらか一方を変更することができるので、前記（第１の）塗布物の物理的測定重量と、実測された前記（第２の）塗布物の物理的測定重量とが一致しない場合においても、速やかに、前記塗布材料の吐出量、もしくは前記測定重量換算関係を変更することができるので、その結果として、基板上に正確な物理的測定重量を有する塗布材料を塗布することができるのである。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の実施の形態１における塗布装置の斜視図
【図２】本発明の実施の形態１における塗布装置の動作を示すフローチャート
【図３】本発明の実施の形態１における基板の第１の移動工程後の塗布装置の斜視図
【図４】図３内の拡大斜視図
【図５】本発明の実施の形態１における基板の第２の移動工程後の塗布装置の斜視図
【図６】図５内の拡大斜視図
【図７】本発明の実施の形態１における塗布物３の物理的測定重量ＷＰ１と塗布物３の光学的測定重量ＷＯ１との相関関係を示す一例を示す図
【図８】本発明の実施の形態１における塗布装置の動作における塗布装置校正確認工程の詳細のフローチャート
【図９】本発明の実施の形態１における塗布物吐出ヘッド移動工程後の塗布装置の斜視図
【図１０】図９内の拡大斜視図
【図１１】本発明の実施の形態１における塗布物３の物理的測定重量ＷＰ１と塗布物３の光学的測定重量ＷＯ１との相関関係（測定重量換算関係）と、測定重量換算関係校正工程における測定重量換算関係を説明する図
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下に、本発明の一実施形態を図面とともに詳細に説明する。
【００１２】
（実施の形態１）
［１］塗布装置１の構成
まずはじめに、図１を用いて、本実施形態の塗布装置１に関して説明する。図１は、本発明の実施の形態１における塗布装置の斜視図を示すものである。
本実施形態における塗布装置１は、図１に示すように、基板２上に、塗布材料を所定量吐出し、塗布材料（図示なし）を塗布物（第１の塗布物の一例）３として基板２上に塗布する塗布物吐出ヘッド（塗布材料吐出手段の一例）４と、塗布物吐出ヘッド４による塗布材料の吐出量を制御する吐出量制御部（図示なし）と、塗布物３を撮像し、塗布物３の画像データを取得する撮像部６とが備えられている。
【００１３】
また、本実施形態における塗布装置１は、塗布物３の画像データに基づいて、塗布物３の光学的測定重量ＷＯ１を算出し、その後、塗布物３の光学的測定重量ＷＯ１を、予め準備された測定重量換算関係を用いて、塗布物３の物理的測定重量ＷＰ１を算出する重量算出部（図示なし）が設けられている。
【００１４】
また、本実施形態における塗布装置１は、塗布物３の物理的測定重量ＷＰ１に基づいて、基板２上に塗布された塗布物３が予め定められた範囲内であるかどうかの判定、
即ち、塗布物３の塗布量の合否判定を行う塗布量判定部（図示なし）が設けられている。
【００１５】
更に、本実施形態における塗布装置１は、図１に示すように、例えば、その上部に物体が載せられると、その物体の重さを測定することによって、その物体の物理的重量を測定する重量測定部７が設けられている。本実施形態における重量測定部７は、その上部にのせられた物体の物理的重量を、非常に高精度で測定することが可能な電子天秤（ＭＥＴＴＬＥＲ  ＴＯＬＥＤＯ社製、製品名：ＷＭＣ２５-ＳＨ）を用いた。
【００１６】
更に、本実施形態における塗布装置１は、図１に示すように、塗布物吐出ヘッド４を、基板２上、及び重量測定部７上に移動させることができる移動ステージ（移動手段の一例）８が備えられている。
【００１７】
また、本実施形態における塗布装置１は、図１に示すように、基板２を載せたパレット１１を、移動させることが可能なパレット移動ステージ（基板移動手段の一例）１２を備えている。
【００１８】
また、本実施形態における塗布装置１は、それぞれ、吐出量制御部（図示なし）、撮像部６、重量算出部、塗布量判定部、重量測定部７、移動ステージ８等、個々の動作制御、及び塗布装置１全体を制御するシステム制御部（図示なし）が設けられている。
【００１９】
以上のように、本実施形態における塗布装置１は、上述のように構成することによって、基板２上に塗布物３を塗布し、その後、基板２上に塗布物３を撮像部６によって、塗布物３の画像データを取得し、その画像データを画像処理することによって、塗布物３の光学的測定重量ＷＯ１を測定し、更に、塗布物３の光学的測定重量ＷＯ１を、予め準備された測定重量換算関係を用いて、塗布物３の物理的測定重量ＷＰ１を算出し、その算出された塗布物３の物理的測定重量ＷＰ１により、基板２上に塗布物３の塗布量が、予め定められた範囲内であるかどうかを判定し、その塗布量の合否判定を行うことができるような構成となっている。
【００２０】
更に、本実施形態における塗布装置１は、後述で詳しく説明するが、定期的に、塗布物３の光学的測定重量ＷＯ１が正しく測定できているかどうか、あるいは塗布物吐出ヘッド４による塗布材料の吐出量が予め定められた範囲内で吐出されているかどうか（即ち、基板２上に正しい吐出量の塗布材料が吐出されているかどうか）をチェックするために、移動ステージ８と、重量測定部７とを設け、更に、吐出量制御部（図示なし）を制御し、塗布物吐出ヘッド４から、塗布材料を、重量測定部７上の台座９に、所定量吐出し、その吐出された塗布材料を塗布物（第２の塗布物の一例）１０として、台座９上に塗布し、その後、重量測定部７を制御し、台座９上に吐出された塗布物１０の物理的重量を測定し、塗布物３の物理的測定重量ＷＰ１、及び塗布物１０の物理的重量ＷＰ２に基づいて、塗布材料の吐出量、もしくは前記測定重量換算関係を変更することが可能な構成となっている。
【００２１】
以上のように、本実施形態における塗布装置１は構成されている。
【００２２】
[２]  塗布装置１の動作
次に、本実施形態における塗布装置の動作に関して説明する。
【００２３】
図２は、本発明の実施の形態１における塗布装置の動作を示すフローチャートである。
本実施形態における塗布装置１の動作は、大きく分けて、
（１）ステップ１（Ｓ１）：基板の第１の移動工程
（２）ステップ２（Ｓ２）：第１の塗布物の塗布工程
（３）ステップ３（Ｓ３）：基板の第２の移動工程
（４）ステップ４（Ｓ４）：光学的測定重量測定工程
（５）ステップ５（Ｓ５）：第１の塗布物の物理的重量算出工程
（６）ステップ６（Ｓ６）：第１の塗布物の塗布量判定工程
（７Ａ）ステップ７Ａ（Ｓ７Ａ）：基板の第３の移動工程
（７Ｂ）ステップ７Ｂ（Ｓ７Ｂ）：基板の廃棄
（８）ステップ８（Ｓ８）：塗布装置校正確認工程
（９）ステップ９（Ｓ９）：塗布完了判定工程
のステップ１〜ステップ９にて、構成されている。
【００２４】
本実施形態の塗布装置１の通常時の動作としては、基板２に塗布物３を塗布し（上記Ｓ２に相当）、その後、塗布物３の物理的測定重量ＷＰ１を算出し（上記Ｓ５に相当）、その算出された塗布物３の物理的測定重量ＷＰ１が、予め定められた範囲内であるかどうかを判定（上記Ｓ６）し、その後、基板２上の塗布物３の塗布量が予め定められた範囲内であれば、良品と判定し（上記Ｓ７Ａに相当）、もしくは、基板２上に塗布物３の塗布量が、予め定められた範囲外であれば、基板２を不良品とし、図示されていない後の工程（例えば、上記Ｓ９以降）で廃棄される（上記Ｓ７Ａに相当）。そして、全ての基板２に塗布が完了した後は、この塗布装置の動作を終了し（図２中の矢印Ａ相当）、もし、別の基板２に塗布をするのであれば、これら動作を継続する（図２中の矢印Ａ相当）のである。
【００２５】
それでは、まずはじめに、図２〜図７を用いて、本実施形態の塗布装置１の通常時の動作に関して説明する。
【００２６】
[２]―（１）ステップ１（Ｓ１）：基板の第１の移動工程
図３は、本発明の実施の形態１における基板の第１の移動工程後の塗布装置の斜視図を示し、図４は、図３内の拡大斜視図を示すものである。
【００２７】
まずはじめに、図３、図４に示すように、システム制御部は、基板２の所定位置上に塗布物吐出ヘッド４が来るように、ステージ移動ステージ１２を移動させる。
【００２８】
[２]―（２）ステップ２（Ｓ２）：第１の塗布物の塗布工程
次に、システム制御部は、基板２上に、塗布材料を所定量吐出し、塗布材料（図示なし）を塗布物（第１の塗布物の一例）３として基板２上に塗布する。
【００２９】
本実施形態においては、塗布物３の物理的測定重量ＷＰ１が３［ｍｇ］となるように、具体的には、重量測定部７を用いて、重量測定部７の台座９上へ塗布材料を吐出する吐出量を３［ｍｇ］となるように、予め、吐出量制御部（図示なし）によって、塗布物吐出ヘッド４の塗布材料に対する吐出圧力と吐出時間を調整している。
【００３０】
[２]―（３）ステップ３（Ｓ３）：基板の第２の移動工程
図５は、本発明の実施の形態１における基板の第２の移動工程後の塗布装置の斜視図を示し、図６は、図５内の拡大斜視図を示すものである。
【００３１】
次に、システム制御部は、基板２上の塗布物３上に、撮像部６が来るように、ステージ移動ステージ１２を移動させる。
【００３２】
[２]―（４）ステップ４（Ｓ４）：光学的測定重量測定工程
次に、システム制御部は、撮像部６を動作させることによって、塗布物３を撮像し、その後、その塗布物３の画像データ３を、撮像部６より、重量算出部に出力する。
【００３３】
その後、重量算出部は、塗布物３の画像データに基づいて、塗布物３の光学的測定重量ＷＯ１を算出する。この塗布物３の画像データに基づいて、塗布物３の光学的測定重量ＷＯ１を算出する方法に関しては、よく知られた方法（例えば、特許文献である国際公開２００９／１０４３９８号等を参照）であるので、説明の煩雑化を避けるため、簡単に説明する。重量算出部は、塗布物３の画像データに基づいて、（上記特許文献である国際公開２００９／１０４３９８号に記載されて方法等を用いて）塗布物３の体積Ｍを算出する。塗布物３の光学的測定重量ＷＯ１を、以下の式（１）で求める。
【００３４】
【数１】
2014161818.tif 000003
【００３５】
ここで、塗布物３の光学的測定重量ＷＯ１は、塗布物３の画像データから算出された体積（これを本明細書内部では光学的測定重量と記述している）であるが、この塗布物３の光学的測定重量ＷＯ１と、実際の塗布物３の物理的測定重量ＷＰ１とは、ごく微量ではあるが、誤差が生じる。
【００３６】
そこで、本実施形態においては、ステップ５（Ｓ５）：第１の塗布物の物理的測定重量算出工程において、塗布物３の光学的測定重量ＷＯ１に基づいて、予め、測定重量換算関係、具体的には、塗布物３の物理的測定重量ＷＰ１と塗布物３の光学的測定重量ＷＯ１との相関関係を測定し、その相関関係を重量算出部に保管しておく。そして、この光学的測定重量ＷＯ１を算出後、この塗布物３の物理的測定重量ＷＰ１と塗布物３の光学的測定重量ＷＯ１との相関関係を用いて、物理的測定重量ＷＰ１を求めるのである。
【００３７】
[２]―（５）ステップ５（Ｓ５）：第１の塗布物の物理的測定重量算出工程
次に、重量算出部は、前述のステップ４（Ｓ４）：光学的測定重量測定工程において求めた塗布物３の光学的測定重量ＷＯ１に基づいて、予め、測定重量換算関係、具体的には、塗布物３の物理的測定重量ＷＰ１と塗布物３の光学的測定重量ＷＯ１との相関関係を測定し、その相関関係を重量算出部に保管しておく。そして、この光学的測定重量ＷＯ１を算出後、この塗布物３の物理的測定重量ＷＰ１と塗布物３の光学的測定重量ＷＯ１との相関関係を用いて、物理的測定重量ＷＰ１を求める。
【００３８】
図７は、本発明の実施の形態１における塗布物３の物理的測定重量ＷＰ１と塗布物３の光学的測定重量ＷＯ１との相関関係を示す一例を示す図である。この図７内の縦軸は光学的測定重量ＷＯ１を示し、図７内の横軸は、塗布物３の物理的測定重量ＷＰ１を示す。
【００３９】
図７からも理解されるように、本実施形態における塗布物３の物理的測定重量ＷＰ１と塗布物３の光学的測定重量ＷＯ１との相関関係、すなわち、測定重量換算関係は
一次関数の換算式で表す（近似する）ことができる。
【００４０】
従って、塗布物３の光学的測定重量ＷＯ１を算出し、その後、この測定重量換算関係を用いて、塗布物３の光学的測定重量ＷＯ１より、塗布物３の物理的測定重量ＷＰ１を算出することによって、より精度の高い塗布物３の塗布量を測定することができる。
【００４１】
なお、本実施形態における本実施形態における塗布物３の物理的測定重量ＷＰ１と塗布物３の光学的測定重量ＷＯ１との相関関係、すなわち、測定重量換算関係は、一次関数の換算式を用いたが、一次関数に限定されず、例えば、二次関数、三次関数等、近似できるのであれば、どのような関数を用いた換算式を用いてもよい。
【００４２】
[２]―（６）ステップ６（Ｓ６）：第１の塗布物の塗布量判定工程 
次に、システム制御部は、前述のステップ５（Ｓ５）：第１の塗布物の物理的重量算出工程にて算出された塗布物３の物理的測定重量ＷＰ１に基づいて、基板２上の塗布物３の塗布量（＝塗布物３の物理的測定重量ＷＰ１）が、予め定められた範囲内であるかどうかを判定し、その判定結果に基づいて、塗布物３が塗布された基板３を、良品、もしくは不良品として認識する。
【００４３】
本実施形態においては、システム制御部は、「予め定められた範囲内」を、３．０＋／−１［ｍｇ］と設定し、塗布物３の物理的測定重量ＷＰ１が３．０＋／−１［ｍｇ］の範囲内であれば、良品とし、塗布物３の物理的測定重量ＷＰ１が３．０＋／−１［ｍｇ］の範囲外であれば、不良品として処理するように、制御を行う。
【００４４】
[２]―（７Ａ）ステップ７Ａ（Ｓ７Ａ）：良品認識工程
システム制御部は、前述のステップ６（Ｓ６）：第１の塗布物の塗布量判定工程にて、
塗布物３の物理的測定重量ＷＰ１が３．０＋／−１［ｍｇ］の範囲内であれば、その基板２を良品として認識し、次の工程へ移動させる。
【００４５】
[２]―（７Ｂ）ステップ７Ｂ（Ｓ７Ｂ）：不良品認識工程
また、システム制御部は、ステップ６（Ｓ６）：第１の塗布物の塗布量判定工程にて、塗布物３の物理的測定重量ＷＰ１が３．０＋／−１［ｍｇ］の範囲外であれば、
基板２を不良品として認識し、図示されていない後の工程（例えば、後述のＳ９以降）で廃棄される。
【００４６】
[２]―（８）ステップ８（Ｓ８）：塗布装置校正確認工程
次に、システム制御部は、塗布装置１の塗布動作、及び塗布物３の塗布量の測定が正しく行われているかどうかを確認する必要性の要否を判定し、「要」であった場合、塗布装置校正確認工程を実施する。
【００４７】
例えば、一般的に、製造シフト開始前、基板３の製造管理ロットが変更になった場合、もしくは、規定枚数の基板を処理した場合において、塗布装置1の塗布動作、及び塗布物３の塗布量の測定が正しく行われているかどうかを確認する必要があるため、この必要性を「要」となるように、予め設定されており、これらのタイミング、すなわち、塗布装置校正確認工程にて「要」と判定された場合は、この塗布装置校正確認を行う。
【００４８】
この塗布装置校正確認工程に関しては、後述にて詳しく説明する。
【００４９】
[２]―（９）ステップ９（Ｓ９）：塗布完了判定工程
次に、システム制御部は、全ての基板３に塗布が完了したかどうかを確認する。
【００５０】
本実施形態において、塗布物３を塗布する基板３の枚数は、予め、システム制御部に登録されている。
【００５１】
その登録されている基板３の枚数の塗布動作、及び塗布量の測定が完了していない場合、図２にしめすように、ステップ１（Ｓ１）：基板の第１の移動工程へ戻り（図２中の矢印Ａ）、再び、ステップ１〜ステップ９の工程を繰り返す。
【００５２】
また、その登録されている基板３の枚数の塗布動作、及び塗布量の測定が完了すると、自動的に、塗布装置１の塗布動作と、塗布量の測定・判定動作を停止（図２中の矢印Ｂ）、もしくは、次のパレット１１を投入し、次のパレット１１上の基板２に対する塗布動作を開始する。
【００５３】
以上が、本実施形態における塗布装置１の動作である。
【００５４】
［３］ステップ８（Ｓ８）：塗布装置校正確認工程の詳細説明
次に、本実施形態における塗布装置１の動作のうち、ステップ８（Ｓ８）：塗布装置校正確認工程に関して、詳しく説明する。
【００５５】
図８は、本発明の実施の形態１における塗布装置の動作における塗布装置校正確認工程の詳細のフローチャートを示すものである。
【００５６】
図８に示すように、本実施形態における塗布装置の動作における塗布装置校正確認工程は、
（１）ステップ８０１（Ｓ８０１）：要否判定工程 
（２）ステップ８０２（Ｓ８０２）：塗布物吐出ヘッド移動工程
（３）ステップ８０３（Ｓ８０３）：第２の塗布物の塗布工程
（４）ステップ８０４（Ｓ８０４）：第２の塗布物の物理的重量測定工程
（５）ステップ８０５（Ｓ８０５）：吐出量校正工程
（６）ステップ８０６（Ｓ８０６）：測定重量換算関係校正工程
のステップ１〜ステップ９にて、構成されている。
【００５７】
それでは、図１、図８〜図１１を用いて、本実施形態の塗布装置１の動作における塗布装置校正確工程に関して、詳しく説明する。
【００５８】
[３]―（１）ステップ８０１（Ｓ８０１）：要否判定工程
まずはじめに、システム制御部は、塗布装置１の塗布動作、及び塗布物３の塗布量の測定が正しく行われているかどうかを確認する必要性の要否の判定する。
【００５９】
前述のように、例えば、一般的に、製造シフト開始前や、基板２の製造管理ロットが変更になった場合、及び規定枚数の基板２を製造した場合には、塗布装置１の塗布動作、及び塗布物３の塗布量の測定が正しく行われているかどうかを確認する必要があるため、この必要性を「要」となるように、予め設定されており、これらのタイミング、すなわち、塗布装置校正確認工程にて「要」と判定された場合は、後述のステップ８０２〜ステップ８０６を実施する。
【００６０】
[３]―（２）ステップ８０２（Ｓ８０２）：塗布物吐出ヘッド移動工程
図９は、本発明の実施の形態１における塗布物吐出ヘッド移動工程後の塗布装置の斜視図を示し、図１０は、図９内の拡大斜視図を示すものである。
【００６１】
まずはじめに、図９、図１０に示すように、システム制御部は、移動ステージ８によって、塗布物吐出ヘッド４を、重量測定部７の台座９上に移動させる。
【００６２】
[３]―（３）ステップ８０３（Ｓ８０３）：第２の塗布物の塗布工程
次に、システム制御部は、重量測定部７の台座９上に、塗布材料を所定量吐出し、塗布材料（図示なし）を塗布物（第２の塗布物の一例、図１に図示）１０として台座９上に塗布する。本実施形態においては、塗布物１０の物理的重量ＷＰ２が、前述の塗布物３の物理的測定重量ＷＰ１と同量の３［ｍｇ］となる条件（吐出圧力、吐出時間）にて塗布を行う。
【００６３】
[３]―（４）ステップ８０４（Ｓ８０４）：第２の塗布物の物理的重量測定工程
次に、システム制御部は、重量測定部７を用いて、台座９上に塗布された塗布物１０の重量である物理的測定重量ＷＰ２を測定する。
【００６４】
本実施形態における重量測定部７は、前述のように、電子天秤（ＭＥＴＴＬＥＲ  ＴＯＬＥＤＯ社製、製品名：ＷＭＣ２５-ＳＨ）を用いた。
[３]―（５）ステップ８０５（Ｓ８０５）：吐出量校正工程
次に、システム制御部は、前述のステップ８０４（Ｓ８０４）：第２の塗布物の物理的重量測定工程にて測定された塗布物１０の物理的測定重量ＷＰ２に基づいて、塗布物吐出ヘッド４から吐出される塗布材料の吐出量を変更する。
本実施形態においては、塗布物１０の物理的測定重量ＷＰ２が、予め定められた範囲外であった場合に、具体的には、３．０＋／−２０％以上乖離している場合に、システム制御部は、吐出量制御部（図示なし）を制御し、塗布物吐出ヘッド４の塗布材料の吐出圧力や吐出時間を調整することによって、塗布物吐出ヘッド４から吐出される塗布材料の吐出量を変更する。
【００６５】
[３]―（６）ステップ８０６（Ｓ８０６）：測定重量換算関係校正工程
次に、システム制御部は、前述のステップ８０４（Ｓ８０４）：第２の塗布物の物理的重量測定工程にて測定された塗布物１０の物理的測定重量ＷＰ２と、前述のステップ５（Ｓ５）：第１の塗布物の物理的重量算出工程にて算出された塗布物３の物理的測定重量ＷＰ１とに基づいて、前述のステップ５（Ｓ５）：第１の塗布物の物理的重量算出工程における測定重量換算関係を変更する。
本実施形態においては、予め定められた範囲外であった場合に、具体的には、塗布物３の物理的測定重量ＷＰ１が塗布物１０の物理的測定重量ＷＰ２に対し＋／−５％以上乖離している場合に、システム制御部は、前述のステップ５（Ｓ５）：第１の塗布物の物理的重量算出工程における測定重量換算関係を変更する。
図１１は、本発明の実施の形態１における塗布物３の物理的測定重量ＷＰ１と塗布物３の光学的測定重量ＷＯ１との相関関係（測定重量換算関係）と、測定重量換算関係校正工程における測定重量換算関係を説明する図を示すものである。
図１１中の実線は、変更前の塗布物３の物理的測定重量ＷＰ１と塗布物３の光学的測定重量ＷＯ１との相関関係（測定重量換算関係）を示す一次関数近似直線である。  
図１１に示すように、塗布物１０の物理的測定重量ＷＰ２が１．０ｇであり、その時、塗布物３の光学的測定重量ＷＯ１が０．０５ｇとなっている場合に関して説明する。
この場合、ＷＯ１−ＷＰ２は、−０．０５［ｍｇ］であるため、システム制御部は、塗布物３の物理的測定重量ＷＰ１と塗布物３の光学的測定重量ＷＯ１との相関関係（測定重量換算関係）を示す一次関数近似直線を、図１１中の点線で示すように、＋０．０５［ｍｇ］分（図１１においては上方に）シフトさせる。このようにして、システム制御部は、前述のステップ８０４（Ｓ８０４）：第２の塗布物の物理的重量測定工程にて測定された塗布物１０の物理的測定重量ＷＰ２と、前述のステップ５（Ｓ５）：第１の塗布物の物理的重量算出工程にて算出された塗布物３の物理的測定重量ＷＰ１とに基づいて、前述のステップ５（Ｓ５）：第１の塗布物の物理的重量算出工程における測定重量換算関係を変更するのである。
【００６６】
なお、本実施形態においては、塗布物３の物理的測定重量ＷＰ１と塗布物３の光学的測定重量ＷＯ１との相関関係（測定重量換算関係）を示す一次関数近似直線を、図１１中の点線で示すように、＋０．２［ｍｇ］分（図１１においては上方に）シフトさせる方法を用いたが、その他、複数の物理的重量ＷＰ２に対し、複数の物理的測定重量ＷＰ１を求め、その結果を用いて、新たな測定重量換算式を算出する方法も用いてもよい。
【００６７】
以上が、本実施形態の塗布装置１の動作における塗布装置校正確工程の説明である。
【００６８】
[４]本実施形態における効果
すなわち、本発明においては、重量測定部７と、塗布材料吐出ヘッド４を、基板２上、及び重量測定部７上に移動させる移動ステージ８と、を設け、システム制御部は、移動ステージ８を制御し、塗布材料吐出ヘッド４を、基板２上、及び重量測定部７上に移動させ、吐出量制御部（図示なし）を制御し、塗布材料吐出ヘッド４から、塗布材料を、重量測定部７上の台座９に、所定量吐出し、塗布材料を第２の塗布物１０として台座９上に塗布し、重量測定部７を制御し、台座９に吐出された第２の塗布物１０の物理的測定重量ＷＰ２を測定し、少なくとも前記第１の塗布物の物理的測定重量ＷＰ１、もしくは第２の塗布物の物理的測定重量ＷＰ２のどちらか一方に基づいて、前記塗布材料の前記測定重量換算関係もしくは前記塗布材料の塗布量を変更することができるので、その結果として、基板上に正確な物理的測定重量ＷＰ１を有する塗布材料を塗布することができるのである。
【産業上の利用可能性】
【００６９】
本発明は、基板上に正確な物理的測定重量ＷＰ１を有する塗布材料を塗布することができる塗布装置を提供することができるので、例えば、超精密で微量な材料を塗布する必要がある分野における塗布装置として有用である。
【符号の説明】
【００７０】
１  塗布装置
２  基板
３  塗布物（第１の塗布物の一例）
４  塗布物吐出ヘッド（塗布材料吐出手段の一例）
６  撮像部
７  重量測定部
８  移動ステージ（移動手段の一例）
９  台座
１０  塗布物（第２の塗布物の一例）
１１  パレット
１２  パレット移動ステージ（基板移動手段の一例）
【図１】
2014161818.tif 000004
【図２】
2014161818.tif 000005
【図３】
2014161818.tif 000006
【図４】
2014161818.tif 000007
【図５】
2014161818.tif 000008
【図６】
2014161818.tif 000009
【図７】
2014161818.tif 000010
【図８】
2014161818.tif 000011
【図９】
2014161818.tif 000012
【図１０】
2014161818.tif 000013
【図１１】
2014161818.tif 000014