(57)【要約】【課題】正確な配線検査を行うことができる表示パネル検査システム及び検査方法を提供する。【解決手段】表示パネルと、前記表示パネルの配線を検査するための検査用プローブとを含む、表示パネル検査システムであって、前記表示パネルは、並列に配置された複数の配線を含み、前記複数の配線のそれぞれには、前記検査用プローブと接触する検査用パッドが形成されており、隣り合う前記検査用パッドの間隙には、前記複数の配線とは電気的に絶縁された支持部が形成されており、前記検査用プローブは、円弧状又は多角形状の先端部を有しており、前記先端部の径は、前記検査用パッドの間隙よりも大きいことを特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
表示パネルと、前記表示パネルの配線を検査するための検査用プローブとを含む、表示パネル検査システムであって、
前記表示パネルは、並列に配置された複数の配線を含み、
前記複数の配線のそれぞれには、前記検査用プローブと接触する検査用パッドが形成されており、
隣り合う前記検査用パッドの間隙には、前記複数の配線とは電気的に絶縁された支持部が形成されており、
前記検査用プローブは、円弧状又は多角形状の先端部を有しており、前記先端部の径は、前記検査用パッドの間隙よりも大きい、
ことを特徴とする表示パネル検査システム。
【請求項２】
前記検査用プローブが隣り合う２つの前記検査用パッドに同時に接触しないように、前記支持部の上面の高さが設定されている、ことを特徴とする請求項１に記載の表示パネル検査システム。
【請求項３】
前記支持部の上面の高さは、前記検査用パッドの上面の高さ以下に設定されている、ことを特徴とする請求項２に記載の表示パネル検査システム。
【請求項４】
前記支持部の上面の高さは、前記間隙が小さいほど該支持部の上面の高さが高くなるように設定されている、ことを特徴とする請求項３に記載の表示パネル検査システム。
【請求項５】
前記配線と前記検査用パッドと前記支持部とは、同一材料で形成されている、ことを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の表示パネル検査システム。
【請求項６】
前記検査用パッドは、表示領域の外に形成される、ことを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載の表示パネル検査システム。
【請求項７】
表示パネルの配線を検査用プローブにて検査する、表示パネル検査方法であって、
前記表示パネルは、並列に配置された複数の配線を含み、
前記複数の配線のそれぞれには、前記検査用プローブと接触する検査用パッドが形成されており、
隣り合う前記検査用パッドの間隙には、前記複数の配線とは電気的に絶縁された支持部が形成されており、
前記検査用プローブは、円弧状又は多角形状の先端部を有しており、前記先端部の径は、前記検査用パッドの間隙よりも大きい、
ことを特徴とする表示パネル検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表示パネル検査システム及び検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
検査用プローブを表示パネルの複数の配線に順次接触させて検査する、所謂、接触式配線検査の技術が知られている。
【０００３】
図４は、従来の接触式配線検査における検査状態を説明するための図である。図４に示す通り、接触式配線検査においては、検査用プローブ１３を、基板１の上に形成された配線１４に順次接触するように図中の矢印方向に走査し、配線毎の欠陥の有無を検査する。
【０００４】
また、特許文献１には、接触式配線検査を行う表示パネルにおいて、検査用プローブを配線に接触しやすくするために、配線における検査用プローブの接触部の高さを調整する調整層を設けた構成が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１０−２４３７２２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
近年、表示パネルにおいては、高解像度化、小型化等に伴い、隣り合う配線の間隔は縮小される傾向にある。このような表示パネルに上記従来の技術を用いると、検査用プローブが隣り合う配線の間に位置した場合、検査用プローブが隣り合う配線に同時に接触してしまい、配線検査ができないという問題が生じる。
【０００７】
図５は、従来の接触式配線検査において異常な状態を説明するための図である。図５に示す通り、検査用プローブが隣り合う配線に同時に接触すると、正確な配線検査を行うことができない。このような、検査用プローブが隣り合う配線に同時に接触する状態は、主に、検査用プローブの先端部分の径よりも、配線の間隙が小さい場合に起こり得る。
【０００８】
本発明は上記課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、正確な配線検査を行うことができる表示パネル検査システム及び検査方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の表示パネル検査システム及び検査方法は、上述した課題を解決するため、以下のような特徴を有する。
【００１０】
（１）表示パネルと、前記表示パネルの配線を検査するための検査用プローブとを含む、表示パネル検査システムであって、前記表示パネルは、並列に配置された複数の配線を含み、前記複数の配線のそれぞれには、前記検査用プローブと接触する検査用パッドが形成されており、隣り合う前記検査用パッドの間隙には、前記複数の配線とは電気的に絶縁された支持部が形成されており、前記検査用プローブは、円弧状又は多角形状の先端部を有しており、前記先端部の径は、前記検査用パッドの間隙よりも大きい、ことを特徴とする。
【００１１】
（２）上記（１）に記載の表示パネル検査システムにおいて、前記検査用プローブが隣り合う２つの前記検査用パッドに同時に接触しないように、前記支持部の上面の高さが設定されている、ことを特徴とする。
【００１２】
（３）上記（２）に記載の表示パネル検査システムにおいて、前記支持部の上面の高さは、前記検査用パッドの上面の高さ以下に設定されている、ことを特徴とする。
【００１３】
（４）上記（３）に記載の表示パネル検査システムにおいて、前記支持部の上面の高さは、前記間隙が小さいほど該支持部の上面の高さが高くなるように設定されている、ことを特徴とする。
【００１４】
（５）上記（１）から（４）のいずれか１項に記載の表示パネル検査システムにおいて、前記配線と前記検査用パッドと前記支持部とは、同一材料で形成されている、ことを特徴とする。
【００１５】
（６）上記（１）から（５）のいずれか１項に記載の表示パネル検査システムにおいて、前記検査用パッドは、表示領域の外に形成される、ことを特徴とする。
【００１６】
（７）表示パネルの配線を検査用プローブにて検査する、表示パネル検査方法であって、前記表示パネルは、並列に配置された複数の配線を含み、前記複数の配線のそれぞれには、前記検査用プローブと接触する検査用パッドが形成されており、隣り合う前記検査用パッドの間隙には、前記複数の配線とは電気的に絶縁された支持部が形成されており、前記検査用プローブは、円弧状又は多角形状の先端部を有しており、前記先端部の径は、前記検査用パッドの間隙よりも大きい、ことを特徴とする表示パネル検査方法。
【発明の効果】
【００１７】
本発明の表示パネル検査システム及び表示パネル検査方法によれば、検査用パッドの間隙が検査用プローブの先端部の径よりも狭い場合であっても、検査用プローブが隣り合う検査用パッドに同時に接触せず、正確な配線検査を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の表示パネル検査システムに係る検査状態を説明するための図である。
【図２】液晶表示パネルの全体を示す概略図である。
【図３】液晶表示パネルの配線、検査用パッド、及び支持部について説明するための図である。
【図４】従来の接触式配線検査における検査状態を説明するための図である。
【図５】従来の接触式配線検査において異常な状態を説明するための図である。
【図６】支持部の別の構成を説明するための図である。
【図７】支持部の高さを説明するための図である。
【図８】支持部の高さを説明するための図である。
【図９】支持部の高さを説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
本発明に係る表示パネル検査システムについて、以下に詳細に説明する。本発明の表示パネル検査システムは、主に、表示パネル及び検査用プローブにより構成される。また、本発明に係る表示パネル検査方法は、上記検査用プローブを上記表示パネルに配置される複数の配線に順次接触させることにより行われる。
【００２０】
まず、本発明に係る表示パネル検査システムを構成する表示パネルについて説明する。以下では、表示パネルとして液晶表示パネルを例に説明するが、表示パネルはこれに限らず、基板上に複数の配線が配置される構成を有していればよく、例えば有機ＥＬパネルであってもよい。
【００２１】
図２は、液晶表示パネルの全体を示す概略図である。図２に示す通り、液晶表示パネル６は、平行に配置された一対の基板を有している。第１の基板１、及び第２の基板２は、例えばガラスから成り、第１の基板１は、第２の基板２と比較して、その面積が大きくなるように形成される。そして、例えば、第１の基板１、及び第２の基板２は、図２に示すように、平面視で、左側辺部及び上側辺部において第１の基板１が第２の基板２から露出するように、対向して配置される。
【００２２】
第１の基板１上において、第２の基板２から露出する左側辺部及び上側辺部には、それぞれ複数の走査信号ドライバ７及び映像信号ドライバ８が配置される。走査信号ドライバ７は、後述するゲート線と接続され、該ゲート線に走査信号を供給する。また、映像信号ドライバ８は、後述するドレイン線と接続され、該ドレイン線に映像信号を供給する。
【００２３】
第１の基板１上には、複数のゲート線９及びドレイン線１０が配置される。ゲート線９は、横方向に延在し縦方向に並列に配列しており、その一端は走査信号ドライバ７に電気的に接続される。また、ドレイン線１０は、縦方向に延在し横方向に並列に配列しており、その一端は映像信号ドライバ８に電気的に接続される。
【００２４】
隣り合うゲート線９及び隣り合うドレイン線１０で囲まれた矩形領域は、画素が形成される領域であり、複数の画素がマトリクス状に形成された領域全体が表示領域１１である。
【００２５】
第１の基板１、及び第２の基板２の間には、液晶が配置される。該液晶は、その周囲を囲むシール（不図示）によって、第１の基板１、及び第２の基板２の間に封入されている。液晶表示パネルにおいては、走査信号ドライバ７からの走査信号及び映像信号ドライバ８からの映像信号に応じて画素単位で液晶の透過率が制御され、表示領域１１に画像が形成される。
【００２６】
上記構成を有する液晶表示パネルにおいて、並列に配置された少なくとも一部の配線には、表示領域１１外の一部に、検査用パッドが設けられており、更に、隣り合う該検査用パッドの間隙に支持部が配置されている。ここで、上記配線は、例えば、ゲート線９、ドレイン線１０又は、コモン線（不図示）である。
【００２７】
図３は、液晶表示パネルの配線、検査用パッド、及び支持部について説明するための図である。検査用パッド３は、検査用プローブが配線１２に接触しやすくするために設けられ、配線１２と同一工程で形成される。検査用パッド３は、配線１２の一部であり、その幅は配線１２の幅よりも広く形成されている。
【００２８】
支持部４は、隣り合う検査用パッド３の間隙に形成される。また、支持部４と、配線１２及び検査用パッド３とは電気的に絶縁されている。ここで、支持部４は、配線１２及び検査用パッド３と同一工程、同一材料により形成される。こうすることで、支持層４の上面の高さを配線１２及び検査用パッド３の上面の高さと同じにすることが容易であり、また、支持部４を形成するために別途工程を設ける必要がない。
【００２９】
続いて、検査用プローブ、及びこれを用いて前述した液晶表示パネルを検査する態様について説明する。
【００３０】
図１は、本発明の表示パネル検査システムに係る検査状態を説明するための図である。図１は、図３の検査用パッド３を検査用プローブが矢印方向に走査する場合の一点鎖線ＣＤにおける断面を示す。
【００３１】
図１に示す通り、検査用プローブ５は、先端部が円弧状又は多角形状であるという特徴を有している。検査用プローブ５は、プローブ軸の先端部分の径、即ち、図１に示す鎖線ＡＢの長さが検査用パッド３の間隙よりも大きいが、先端部が円弧状又は多角形状をしていることで、検査用パッド３と接触する部分における幅は、検査用パッド３の間隙よりも小さい。
【００３２】
図１では、検査用プローブ５の先端が、検査用パッド３と支持部４に同時に接触しているが、支持部４は、配線１２（図３参照）及び検査用パッド３とは電気的に絶縁されているので、配線検査には影響を与えない。また、支持部４は、検査用プローブ５を支持しており、検査用プローブ５が隣り合う検査用パッド３の間隙に落ち込んで、隣り合う検査用パッド３に同時に接触することを防止している。
【００３３】
以上で説明した表示パネル検査システムによれば、配線の間隔が検査用プローブの先端部の径よりも小さい場合においても、検査用プローブが隣り合う検査用パッドに同時に接触することを防止し、正確に液晶表示パネルの配線検査を行うことができる。
【００３４】
尚、以上では、支持部４は、配線１２及び検査用パッド３と同工程で形成され、支持部４の上面の高さは配線１２及び検査用パッド３の上面の高さと同じである場合について説明したが、支持部の構成は、これに限らない。例えば、配線１２及び検査用パッド３よりも前工程で形成される各種の層によって支持部を形成しても構わない。これについて以下に説明する。
【００３５】
図６は、支持部の別の構成を説明するための図である。図６は、配線１２及び検査用パッド３よりも前工程で形成される、例えば、配線や電極に使用される金属層１５、及び配線１２及び検査用パッド３と金属層１５とを絶縁する絶縁層１６によって支持層を形成した場合を示す。この場合は、金属層１５に対応する絶縁層１６の突起部分が支持部に該当する。ここで、金属層１５は、絶縁層１６の一部分を他の部分よりも高くするものであれば良く、金属層に拘らず、他の絶縁層や半導体層等であっても構わない。こうした支持部を形成するには、まず、平面視で検査用パッド３の間隙となる位置に、金属層１５を形成する。そして、その上に絶縁層１６を形成し、絶縁層１６の上に配線１２及び検査用パッド３を形成する。ここで、金属層１５の厚さを配線１２及び検査用パッド３の厚さと同じになるように形成すれば、支持部の上面の高さは配線１２及び検査用パッド３の上面の高さと同じになる。
【００３６】
また、例えば、支持部の上面の高さを、配線１２及び検査用パッド３の上面の高さと異なるように支持部を形成しても構わない。前述したような、配線１２及び検査用パッド３よりも前工程で形成される金属層１５及び絶縁層１６によって支持部を形成する場合においては、金属層１５の厚さを変更することによって、配線１２及び検査用パッド３の上面の高さに対する支持部の上面の高さを変更することができる。
【００３７】
図７乃至９は、支持部の高さを説明するための図である。図７は、金属層１５の厚さを配線１２及び検査用パッド３の厚さよりも薄く形成した場合の支持部及び検査状態を示す。図７では、支持部の上面の高さは、配線１２及び検査用パッド３の上面の高さよりも低いが、検査用プローブ５の先端は支持部により支持されているので、検査用プローブ５が、隣り合う検査用パッド３に同時に接触せず、正確な配線検査を行うことができる。
【００３８】
また、図８は、図７と同様に、金属層１５の厚さを配線１２及び検査用パッド３の厚さよりも薄く形成する場合において、配線１２及び検査用パッド３の間隙が更に縮小された場合の支持部及び検査状態を示す。このように、配線１２および検査用パッド３の間隙が縮小されるほど、検査用プローブ５が、隣り合う検査用パッド３に同時に接触するのを防止するために必要な支持部の上面の高さは高くなる。金属層１５の厚さを配線１２及び検査用パッド３の厚さよりも薄く形成する場合においては、以上の様にして、隣り合う検査用パッド３の間隙の大きさに応じて、支持部の高さを設定すれば良い。
【００３９】
液晶表示パネルにおいては、ゲート線の配列間隔とドレイン線の配列間隔が異なる場合がある。このような場合には、その配列間隔の大きさに応じて、以上の様にして支持部の高さを設定すれば良い。例えば、ゲート線の配列間隔よりも、ドレイン線の配列間隔の方が狭い場合には、ゲート線の間隙に形成される支持部の高さよりも、ドレイン線の間隙に形成される支持部の高さが高くなるように支持部の高さを設定すれば良い。
【００４０】
また、図９は、金属層１５の厚さを配線１２及び検査用パッド３の厚さよりも厚く形成した場合の支持部及び検査状態を示す。この場合は、支持部の上面の高さは、配線１２及び検査用パッド３の上面の高さよりも高くなる。よって、検査用プローブ５は、図９に示す状態から矢印の方向へ移動すると、支持部によって、配線１２及び検査用パッド３よりも高い位置に支持され、検査用プローブ５は隣り合う検査用パッド３に同時に接触しない。
【００４１】
尚、配線１２及び検査用パッド３の上面の高さと、支持部の上面の高さとを異ならせる上記構成は、図１に示した支持部４自身の高さを変更することにより実現してもよい。
【符号の説明】
【００４２】
１  第１の基板、２  第２の基板、３  検査用パッド、４  支持層、５、１３  検査用プローブ、６  液晶表示パネル、７  走査信号ドライバ、８  映像信号ドライバ、９  ゲート線、１０  ドレイン線、１１  表示領域、１２、１４  配線、１５  金属層、１６  絶縁層。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2014235402.tif 000009
【図８】
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【図９】
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