(57)【要約】【課題】誤動作を防止して安全を確保することができる機械装置を提供する。【解決手段】機械装置１００は、可動部１０と、動力源２０と、制御部３０と、を備え、可動部１０が近接したことを検出するセンサ４１と、センサ４１が可動部１０の近接を検出したときに、情報を無線信号で送信する送信機４２と、を有するセンサユニット４０と、制御部３０に接続され、送信機４２から送信される無線信号を受信すると共に、受信する周波数の電界強度を示す信号を出力する機能を備えた受信機５０と、を有し、センサユニット４０は、起点から動作点までの間で可動部１０が移動する経路の近傍に、一箇所配置以上され、制御部３０は、受信した無線信号を基に動力源２０を制御し、制御部３０は、可動部１０を動作させる制御を行う前に電界強度を示す信号を取得し、取得した電界強度を示す信号が規定の値を超えていた場合に可動部の動作を開始しない。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
可動範囲の中で、起点と動作点との間で繰り返し動作を行う可動部と、
前記可動部を動作させる動力源と、
前記動力源を制御する制御部と、を有する機械装置において、
前記可動部が近接したことを検出するセンサと、前記センサが前記可動部の近接を検出したときに、情報を無線信号で送信する送信機と、を有するセンサユニットと、
前記制御部に接続され、前記センサユニットの前記送信機から送信される無線信号を受信すると共に、受信する周波数の電界強度を示す信号を出力する機能を備えた受信機と、を有し、
前記センサユニットは、前記起点から前記動作点までの間で前記可動部が移動する経路の近傍に、少なくとも一箇所配置され、
前記制御部は、受信した前記無線信号を基に前記動力源を制御し、
前記制御部は、前記可動部を動作させる制御を行う前に前記電界強度を示す信号を取得し、取得した前記電界強度を示す信号が規定の値を超えていた場合に前記可動部の動作を開始しないことを特徴とする機械装置。
【請求項２】
前記制御部は、前記可動部を始動する制御信号を出力すると共に時間の計測を開始し、前記可動部を始動してから一定時間経過後に受信機を制御して前記電界強度を示す信号を取得し、取得した前記電界強度を示す信号が規定の値を超えていた場合に前記可動部の動作を停止することを特徴とする請求項１に記載の機械装置。
【請求項３】
前記制御部に接続された表示手段を更に有し、
前記制御部は、前記可動部を始動する制御信号を出力すると共に時間の計測を開始し、
前記可動部がセンサユニットに近接したことを示す信号を受信できずに、所定時間以上経過した場合には、可動部を停止すると共に、
センサユニットからの無線信号が受信できなかったことを、表示手段に表示することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の機械装置。
【請求項４】
前記制御部は、動作を開始しない、または可動部を停止させる制御をしたときに、時刻、無線信号の受信の有無、電界強度を示す信号の値、を記録すること特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載の機械装置。
【請求項５】
前記センサユニットに発電装置を備え、前記発電装置から、前記センサ及び前記送信機に電力が供給されることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の機械装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、産業用の組立てロボットなどの機械装置に関し、特に、誤動作を防止して安全を確保することができる機械装置を提供することができる機械装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、各種工業製品を生産する製造ラインでは、効率化や作業の均一化等のために、自動制御で部品など物品の搬送や加工、工業製品の組立て等を行う自動機や組立てロボットなどの機械装置が導入されている。
【０００３】
特許文献１では、図４に示すように、機械装置９０２の状態を測定するロボットセンサ装置９１１において運動エネルギーを電力に変換する発電モジュール９０４を用いることでセンサ９０３及び無線回路９０６の電力供給を行う。またバッテリ９０５を併用することで生成される電力不足を補う。供給源を切り替える手段を持つことで電源の切り忘れや電力不足に対応することができ、安定的な供給や動作を実現することが可能となる。
【０００４】
電源を発電モジュール９０４とし、信号出力を無線回路９０６と機械装置コントローラ９０１の間で無線により行うのでセンサ装置と機械装置コントローラを無配線で接続でき、機械装置が多回転の旋回動作を行う場合でも機械装置先端のセンサ情報を測定できる。
【０００５】
電力は発電モジュール９０４から供給されるので、無線付きセンサ装置全体を小型軽量に構成することができる。また無配線にすることができるため、センサ装置の配置の自由度が向上し、多自由度で動き回るロボットのような機械でも必要部分に容易に取り付けることが可能となりセンサ信号を得ることができる機械装置の技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００９−９０４２１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上述した従来例では、信号出力を無線回路９０６と機械装置コントローラ９０１の間で無線により行うことは記載されているが、無線通信の場合、他の無線通信や電磁雑音などの妨害波により信号を受信できない場合がある。そのような妨害波によって通信が阻害された場合の誤動作について考慮されておらず、誤動作によって、機械装置や機械装置周辺の部品や製品などを損傷する虞がある、と言う課題があった。
【０００８】
本発明は、上述した課題を解決するもので、誤動作を防止して安全を確保することができる機械装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
この課題を解決するために、請求項１に記載の機械装置は、可動範囲の中で、起点と動作点との間で繰り返し動作を行う可動部と、前記可動部を動作させる動力源と、前記動力源を制御する制御部と、を有する機械装置において、前記可動部が近接したことを検出するセンサと、前記センサが前記可動部の近接を検出したときに、情報を無線信号で送信する送信機と、を有するセンサユニットと、前記制御部に接続され、前記センサユニットの前記送信機から送信される無線信号を受信すると共に、受信する周波数の電界強度を示す信号を出力する機能を備えた受信機と、を有し、前記センサユニットは、前記起点から前記動作点までの間で前記可動部が移動する経路の近傍に、少なくとも一箇所配置され、前記制御部は、受信した前記無線信号を基に前記動力源を制御し、前記制御部は、前記可動部を動作させる制御を行う前に前記電界強度を示す信号を取得し、取得した前記電界強度を示す信号が規定の値を超えていた場合に前記可動部の動作を開始しないことを特徴とする。
【００１０】
また、請求項２に記載の機械装置は、前記制御部は、前記可動部を始動する制御信号を出力すると共に時間の計測を開始し、前記可動部を始動してから一定時間経過後に受信機を制御して前記電界強度を示す信号を取得し、取得した前記電界強度を示す信号が規定の値を超えていた場合に前記可動部の動作を停止することを特徴とする。
【００１１】
また、請求項３に記載の機械装置は、前記制御部に接続された表示手段を更に有し、前記制御部は、前記可動部を始動する制御信号を出力すると共に時間の計測を開始し、前記可動部がセンサユニットに近接したことを示す信号を受信できずに、所定時間以上経過した場合には、可動部を停止すると共に、センサユニットからの無線信号が受信できなかったことを、表示手段に表示することを特徴とする。
【００１２】
また、請求項４に記載の機械装置は、前記制御部は、動作を開始しない、または前記可動部を停止させる制御をしたときに、時刻、無線信号の受信の有無、電界強度を示す信号の値、を記録すること特徴とする。
【００１３】
また、請求項５に記載の機械装置は、前記センサユニットに発電装置を備え、前記発電装置から、前記センサ及び前記送信機に電力が供給されることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
請求項１の発明によれば、制御部は、可動部を動作させる制御を行う前に受信する周波数の電界強度を示す信号（以下、ＲＳＳＩと記す）を取得し、取得したＲＳＳＩが規定の値を超えていた場合に可動部の動作を開始しないよう制御を行う。このため、電磁雑音などによって受信する周波数の電界強度が大きいことを示すＲＳＳＩが得られた場合、受信機が送信機から送信される無線信号を正しく受信することが難しいと判断し、機械装置を動作させないことができる。従って、誤動作を防止し安全を確保することができる機械装置を提供することができる。
【００１５】
請求項２の発明によれば、制御部は、可動部を始動する制御信号を出力すると共に時間の計測を開始し、可動部を始動してから一定時間経過後に受信機を制御してＲＳＳＩを取得し、取得したＲＳＳＩが規定の値を超えていた場合に可動部の動作を停止する制御を行う。このため、可動部を始動した後、センサユニットから、無線信号が送信される直前に、ＲＳＳＩを取得し、受信機が送信機から送信される無線信号を正しく受信することが難しくなったと判断される場合には、動作を停止することができる。従って、誤動作を防止し安全を確保することができる機械装置を提供することができる。
【００１６】
請求項３の発明によれば、制御部は、可動部を始動する制御信号を出力すると共に時間の計測を開始し、可動部がセンサユニットに近接したことを示す信号を受信機が受信できずに所定時間以上経過した場合には、可動部を停止するよう制御する。このため、誤動作を防止し安全を確保することができる。また、センサユニットからの無線信号が受信できなかったことを、表示手段に表示するので、機械装置がセンサユニットから送信される無線信号を受信できなかったことを表示することを表示して知らせることができる。
【００１７】
請求項４の発明によれば、制御部は、動作を開始しない、または可動部を停止させる制御をしたときに、時刻、無線信号の受信の有無、ＲＳＳＩの値、を記録する。このため機械装置が、動作を開始しない、または可動部を停止させるなどの異常動作となった場合に記録された情報を読み出すことで、異常動作の原因解析をスムーズに行うための情報を提供することができる。
【００１８】
請求項５の発明によれば、センサユニットに発電装置を備え、発電装置から、センサ及び送信機に電力が供給される。このため、機械装置周辺にセンサ及び送信器に電力を供給する配線を配置する必要がなく、電池のように定期的な交換等を行う必要がないので、機械装置周辺に人が立ち入る機会を減らすことができる。
【００１９】
以上により、本発明によれば、誤動作を防止して安全を確保することができる機械装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の実施形態に係る機械装置の外観を示す模式図である。
【図２】本発明の実施形態に係る機械装置の構成を示すブロック図である。
【図３】本実施形態に係る機械装置の動作を示すフローチャートである。
【図４】従来技術の機械装置を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
［第１実施形態］
以下に第１実施形態における機械装置１００について説明する。
【００２２】
まず始めに本実施形態における機械装置１００の構成について図１ないし図３を用いて説明する。図１は機械装置１００の外観を示す模式図で、図１（ａ）は、機械装置１００が動作する前の状態である初期状態の例を示す図であり、図１（ｂ）は、機械装置１００の可動部１０が動作点まで動作した状態を示している。図２は機械装置１００の構成を示すブロック図である。図３は機械装置１００の動作を示すフローチャートである。
【００２３】
機械装置１００は、図１に示すように、設置場所に固定される基部１と、基部１に取り付けられた可動部１０を有している。基部１は台座１ａと台座１ａに固定して設置された支柱部１ｂとで構成されている。
【００２４】
可動部１０は、基部１の支柱部１ｂに連結され、支柱部１ｂとの連結部が可動軸として可動する第１の腕部２と、第１の腕部２に連結され、第１の腕部２との連結部を可動軸として可動する第２の腕部３と、第２の腕部３に連結される作業部４とで構成される。
【００２５】
機械装置１００が図１（ａ）に示す初期状態のとき、可動部１０及び可動部１０を構成する第１の腕部２、第２の腕部３及び作業部４はそれぞれ起点の位置にいることとなるが、以下作業部４の起点を起点Ｐとして説明を進める。
【００２６】
図１（ｂ）に示すように、機械装置１００の可動部１０に備えられた作業部４は、起点Ｐから動作点Ｐ’までの間を軌跡Ｐ-Ｐ’を描いて移動する。
【００２７】
すなわち、可動部１０の作業部４は、動作を開始する前の位置である起点Ｐから、動作を行う位置である動作点Ｐ’までの間を可動範囲として移動する。従って、作業部４は起点Ｐから動作点Ｐ’までの間と、動作点Ｐ’から起点Ｐまでの間を交互に移動し、繰り返し動作を行う。また、可動部１０には、永久磁石１１が備えられている。
【００２８】
また、機械装置１００は図２に示すように、可動部１０と、動力源２０と、制御部３０と、を備え、センサユニット４０と、受信機５０と、表示手段６０と、を有している。
【００２９】
動力源２０は、可動部１０の作業部４を起点Ｐと動作点Ｐ’との間の移動及び、作業部４が動作点Ｐ’での動作を行うための動力を可動部１０へ供給する。
【００３０】
制御部３０は、図示しない演算回路と、タイマと、メモリと、を有しており、動力源２０を制御し、可動部１０に供給される動力を制御することによって、可動部１０の移動及び動作を制御する。
【００３１】
センサユニット４０は図１（ｂ）に示すように、可動部１０の作業部４が起点Ｐから動作点Ｐ’までの間で、可動部１０が移動する経路の近傍に、少なくとも一箇所配置される。
【００３２】
センサユニット４０は近接センサで、図２に示すように、センサ４１と、送信機４２と、を備えている。センサ４１は、コイル４１ａと整流回路４１ｂとで発電装置を構成されており、センサユニット４０に可動部１０が近接することで、可動部１０に備えられた永久磁石１１がセンサ４１のコイル４１ａに近づくことによって、コイル４１ａに電力が生じる。この電力が、整流回路４１ｂを介して送信機４２に供給され、送信機４２は整流回路４１ｂから電力が供給されている間、情報を無線信号で送信することによってセンサユニット４０が近接センサとして動作する。
【００３３】
送信機４２が無線信号で送信する情報は、センサユニット４０を識別するための符号（以下ＩＤ番号と記す）等、受信機５０が受信した無線信号がセンサユニット４０からの無線信号であることを制御部３０が識別するためのデータを含んでいる。
【００３４】
受信機５０は、図２に示すように制御部３０に接続されており、センサユニット４０の送信機４２から送信される無線信号を受信する。また受信機５０は、受信する周波数の電界強度を示す信号（ＲＳＳＩ）を出力する機能を有している。
【００３５】
表示手段６０は、図２に示すように制御部３０に接続されており、制御部３０からの制御信号によって表示する内容を切換えて表示する。
【００３６】
次に、機械装置１００の動作について、図１及び図３を用いて説明する。図３は、機械装置１００の動作を説明するためのフローチャートで、制御部３０の制御による機械装置１００の動作を示している。
【００３７】
機械装置１００が動作を開始する前の状態である初期状態では、図１（ａ）に示すように、可動部１０の作業部４は起点Ｐに位置しており、制御部３０は、動力源２０を制御し、可動部１０に動力が供給されない状態となっている。
【００３８】
まず制御部３０は、図３に示すステップＳ１で受信機５０が出力するＲＳＳＩを取得する。
【００３９】
ステップＳ２で制御部３０は、ステップＳ１で取得したＲＳＳＩとあらかじめ設定している規定の値と、の比較を行う。比較を行った結果、ＲＳＳＩが規定の値より低い場合にはステップＳ３に移行し、ＲＳＳＩが規定の値以上の場合にはステップＳ１１へ移行する。尚このとき、可動部１０はセンサユニット４０には近接していないため、センサユニット４０の送信機４２は無線信号を送信していない。
【００４０】
ステップＳ３で制御部３０は、動力源２０を制御して可動部１０を始動すると共に、タイマに初期値をセットしてタイマによる時間計測を開始する。可動部１０は始動されて起点から動作点Ｐ’に向かって移動を開始し、時間ｔ１経過後にセンサユニット４０に最も近接し、その後、時間ｔ２経過後に動作点Ｐ’に到達するように駆動される。
【００４１】
制御部３０はステップＳ４で、タイマで計測された時間が、時間ｔ１の直前となる、ｔ１より１０ｍｓｅｃ早い時間ｔ３経過した後に受信機５０を制御してＲＳＳＩを取得する。
【００４２】
ステップＳ５で制御部３０は、ステップＳ４で取得したＲＳＳＩとあらかじめ設定している規定の値と、の比較を行う。比較を行った結果、ＲＳＳＩが規定の値より低い場合にはステップＳ６に移行し、ＲＳＳＩが規定の値以上の場合にはステップＳ１１へ移行する。
【００４３】
制御部３０はステップＳ６で、始動から時間ｔ１経過後に受信機５０を制御し、受信信号を取得する。
【００４４】
ステップＳ７で制御部３０は、受信機５０から取得した受信信号が、センサユニット４０の送信機４２から送信された無線信号が正しく受信されていた場合はステップＳ８へ移行し、正しく受信されなかった場合はステップＳ１１へ移行する。
【００４５】
制御部３０はステップＳ８で、動力源２０を制御し、タイマで計測された時間が、時間ｔ２となるとき可動部１０が一端停止するよう制御する。この制御によって可動部１０の作業部４は、図１（ｂ）に示すように動作点Ｐ’に到達して停止する。
【００４６】
ステップＳ９で制御部３０は、動作点Ｐ’で可動部１０の作業部４が所定の動作を行うよう制御し動作点Ｐ’での可動部１０の動作を完了する。ここでの所定の動作とは、例えば動作点Ｐ’で可動部１０の作業部４が対象物を掴む、あるいは対象物を離す、対象物に対してネジの締結や、溶接等を行うなど、対象物の移動や搬送または加工等に関する一連の動作を行うことを示す。
【００４７】
ステップＳ１０で、制御部３０は動力源２０を、可動部１０が起点へ移動し初期状態となるように制御し、動作を終了する。
【００４８】
前述の通り、ステップＳ２またはステップＳ５でＲＳＳＩが規定の値以上と判定された場合及び、ステップＳ７で受信信号が正しく受信できなかった場合にはステップＳ１１へ移行する。
【００４９】
ステップＳ２またはステップＳ５でＲＳＳＩが規定の値以上と判定された場合、送信機４２が送信していない状態のときに無線信号を受信する周波数が妨害電波等の電磁雑音で電界強度が高くなってしまっている状態と考えられる。このため、センサユニット４０に備えられた送信機４２が送信する無線信号を、受信機５０が正しく受信できない可能性が高くなっている状態である。
【００５０】
また、ステップＳ７で受信信号が正しく受信できなかった場合は以下のような場合が挙げられる。第１に、可動部１０が所要時間でセンサユニット４０に近接しない場合、第２に、可動部１０の近接をセンサユニット４０のセンサ４１が検出できない場合、第３に、送信機４２から無線信号が送信できない場合、第４に送信された無線信号が受信機５０で受信できない場合等である。
【００５１】
いずれの場合も可動部１０がセンサユニット４０に近接したことを検出することができない、またはできない可能性が高いため、制御部３０はステップＳ１１で、動力源２０を制御し、可動部１０を停止させる。そのため、ステップＳ２からステップＳ１１に移行した場合には、可動部１０は動作を開始しないこととなる。またステップＳ５から移行した場合には、可動部１０が始動した後、センサユニット４０に近接する途中で制動が掛かりセンサユニット４０に近づいた状態で動作を停止する。ステップＳ７から移行した場合にはセンサユニット４０に近接した後に制動が掛かり、動作点Ｐ’に達する前で動作を停止する。
【００５２】
ステップＳ１１で動作を停止した後、制御部３０はステップＳ１２で、センサユニット４０からの無線信号が受信できなかったことを、表示手段６０に表示するよう制御し、ステップＳ１３へ移行する。
【００５３】
ステップＳ１３で制御部３０は、可動部１０を停止させる制御をした、時刻、無線信号の受信の有無、電界強度を示す信号の値、をメモリに記録し、動作を終了する。
【００５４】
以下、本実施形態としたことによる効果について説明する。
【００５５】
本実施形態の機械装置１００では、可動範囲の中で、起点Ｐと動作点Ｐ’との間で繰り返し動作を行う可動部１０と、可動部１０を動作させる動力源２０と、動力源２０を制御する制御部３０と、を有すると共に、可動部１０が近接したことを検出するセンサ４１と、センサ４１が可動部１０の近接を検出したときに、情報を無線信号で送信する送信機４２と、を有するセンサユニット４０と、制御部３０に接続され、センサユニット４０の送信機４２から送信される無線信号を受信すると共に、受信する周波数のＲＳＳＩを出力する機能を備えた受信機５０を備え、センサユニット４０は、起点Ｐから動作点Ｐ’までの間で可動部１０が移動する経路の近傍に、少なくとも一箇所配置されると共に、制御部３０は、受信した無線信号を基に動力源２０を制御し、制御部３０は、可動部１０を動作させる制御を行う前に電界強度を示すＲＳＳＩを取得し、取得したＲＳＳＩが規定の値を超えていた場合に可動部１０の動作を開始しないようにした。
【００５６】
このため、電磁雑音などの妨害波によってＲＳＳＩが大きいために、受信機５０がセンサユニット４０の送信機４２から送信される無線信号を受信することが難しいと判断される場合には、機械装置１００を動作させないことで誤動作を防止し安全を確保することができる機械装置を提供することができる。
【００５７】
また、制御部３０は、可動部１０を始動する制御信号を出力すると共に時間の計測を開始し、可動部１０を始動してから一定時間経過後に受信機５０を制御してＲＳＳＩを取得し、取得したＲＳＳＩが規定の値を超えていた場合に可動部１０の動作を停止するようにした。
【００５８】
このため、可動部１０を始動すると共に時間の計測を開始し、一定時間経過後に可動部１０がセンサユニット４０に近接する直前にＲＳＳＩを取得することができる。これによって、可動部１０を始動した後に、電磁雑音などによってＲＳＳＩが大きく、受信機５０がセンサユニット４０の送信機４２から送信される無線信号を受信することが難くなったと判断される場合には、動作を停止することできる。従って誤動作を防止し安全を確保することができる機械装置を提供することができる。
【００５９】
また、制御部３０に接続された表示手段６０を更に有し、制御部３０は、可動部１０を始動する制御信号を出力すると共に時間の計測を開始し、可動部１０がセンサユニット４０に近接したことを示す信号を受信できずに、所定時間以上経過した場合には、可動部１０を停止すると共に、センサユニット４０からの無線信号が受信できなかったことを、表示手段６０に表示するようにした。
【００６０】
このため、誤動作を防止し安全を確保することができると共に、機械装置１００がセンサユニット４０から送信される無線信号を受信できなかったことを表示して知らせることができる。
【００６１】
また、制御部３０は、動作を開始しない、または可動部１０を停止させる制御をしたときに、時刻、無線信号の受信の有無、電界強度を示す信号の値、をメモリに記録するようにした。
【００６２】
このため、機械装置１００が、動作を開始しない、または可動部１０を停止させるなどの異常動作となった場合に、記録された情報を読み出すことで異常動作の原因解析をスムーズに行うための情報を提供することができる。
【００６３】
また、センサユニット４０のセンサ４１は、コイル４１ａと整流回路４１ｂとで発電装置が構成され、発電装置から、送信機４２に電力が供給されるようにした。
【００６４】
このため、機械装置１００の周辺にセンサ４１及び送信機４２に電力を供給する配線を配置する必要がなく、電池のように定期的な交換等を行う必要がないので、機械装置１００の周辺に人が立ち入る機会を減らすことができる。
【００６５】
以上説明したように、本実施形態の機械装置１００によれば、誤動作を防止して安全を確保することができる機械装置を提供することができる。
【００６６】
以上のように、本発明の実施形態に係る機械装置について具体的に説明したが、本発明は上記の実施形態に限定されるものではなく、要旨を逸脱しない範囲で種々変更して実施することが可能である。例えば次のように変形して実施することができ、これらの実施形態も本発明の技術的範囲に属する。
【００６７】
（１）本実施形態の機械装置１００の表示手段６０については特に詳細の説明を行わなかったが、電球や発光ダイオードなどの発光素子を点灯あるいは点滅させて表示しても良く、情報等を文字や画像を表示可能な液晶表示装置等を用いて構成しても良い。
【００６８】
（２）本実施形態の機械装置１００の動作について、図３に示したフローチャートを用いて説明したが、動作が一定時間ごとに繰り返されるよう変形して実施しても良い。また動作説明で例示した時間等は、適用する機械装置に求められる条件等に合わせ、適宜変更して適用することができる。
【００６９】
（３）本実施形態の機械装置１００の動作で、異常動作時に、時刻、無線信号の受信の有無、電界強度を示す信号の値、をメモリに記録する例を示して説明を行ったが、記録した内容を液晶表示装置等の表示手段６０に表示させるよう構成しても良い。
【符号の説明】
【００７０】
１      基部
１ａ    台座
１ｂ    支柱部
２      第１の腕部
３      第２の腕部
４      作業部
１０    可動部
１１    永久磁石
２０    動力源
３０    制御部
４０    センサユニット
４１    センサ
４１ａ  コイル
４１ｂ  整流回路
４２    送信機
５０    受信機
６０    表示手段
１００  機械装置
【図１】
2014151378.tif 000003
【図２】
2014151378.tif 000004
【図３】
2014151378.tif 000005
【図４】
2014151378.tif 000006