(57)【要約】      （修正有）【課題】被験体を断層撮像する装置を提供する。【解決手段】装置は、被験体を照明するために、コヒーレント光から構成され且つ光軸に対して垂直な平面においてランダム位相分布を有する照明を発生するように構成された照明ユニットと、参照光束と被験体光束とを互いに干渉するように組み合わせる結合器と、被験体光と参照コヒーレント光との相対位相差をシフトするように構成されたシフタと、参照コヒーレント光及び被験体光により発生される干渉を位相ごとに検出するように構成された検出器と、位相ごとに検出された干渉に基づいて光伝播を計算するように構成されたプロセッサとを含む。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
被験体を断層撮像する装置であって、
被験体を照明するために、コヒーレント光から成り且つ光軸に対して垂直な平面においてランダム位相分布を有する照明光を発生するように構成された照明ユニットと、
参照コヒーレント光と、前記照明ユニットから発生され且つ前記被験体を通過した被検体光とを組み合わせる結合器であり、前記参照コヒーレント光と前記被検体光とが干渉する結合器と、
前記被検体光と前記参照コヒーレント光との相対位相差をシフトするように構成されたシフタと、
前記参照コヒーレント光及び前記被検体光により発生される干渉を位相ごとに検出するように構成された検出器と、
位相ごとに検出された前記干渉に基づいて光伝播を計算するように構成されたプロセッサと、
を備えることを特徴とする装置。
【請求項２】
前記参照コヒーレント光は静止ランダム位相分布を有することを特徴とする請求項１記載の装置。
【請求項３】
前記照明ユニットは、第１のランダム位相分布を有する第１の照明である前記照明を第２のランダム位相分布を有する第２の照明に変更し、前記シフタ及び前記検出器は、前記第１のランダム位相分布及び前記第２のランダム位相分布に対して動作することを特徴とする請求項１記載の装置。
【請求項４】
前記照明は円板形状又はリング形状であることを特徴とする請求項１記載の装置。
【請求項５】
位相シフトアパーチャを更に備え、前記被験体光は前記位相シフトアパーチャを通過することを特徴とする請求項１記載の装置。
【請求項６】
前記照明は二重リング形状又は点状二重リング形状であることを特徴とする請求項５記載の装置。
【請求項７】
前記検出器は、前記参照コヒーレント光と位相シフトアパーチャを通過しなかった前記被験体光との干渉を検出し、
前記プロセッサは、前記参照コヒーレント光と位相シフトアパーチャを通過しなかった前記被験体光との干渉に基づいて、前記被験体光が前記位相シフトアパーチャを通過すると想定した場合の影響を反映する前記光伝播の複素振幅を計算することを特徴とする請求項１記載の装置。
【請求項８】
前記照明は二重リング形状又は点状二重リング形状であることを特徴とする請求項７記載の装置。
【請求項９】
前記検出器は、前記参照コヒーレント光と位相シフトアパーチャを通過しなかった前記被験体光との干渉を検出し、
前記プロセッサは、前記参照コヒーレント光と位相シフトアパーチャを通過しなかった前記被験体光との干渉に基づいて、前記位相シフトアパーチャを通過したと想定される前記被験体光を前記光伝播として考慮に入れて複素振幅を計算することを特徴とする請求項１記載の装置。
【請求項１０】
前記検出器は、前記参照コヒーレント光と位相シフトアパーチャを通過しなかった前記被験体光との干渉を検出し、
前記プロセッサが前記光伝播として複素振幅を計算する場合、前記プロセッサは、前記参照コヒーレント光と、位相シフトアパーチャを通過しなかった前記被験体光との干渉に基づいて、前記位相シフトアパーチャを通過すると想定される前記被験体光から発生する影響を前記複素振幅に反映させることを特徴とする請求項１記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、断層撮像装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
断層撮像の分野では、断層撮像により３Ｄ画像を測定するいくつかの技術が以前から知られている。例えば、１つの技術は、ＣｈｒｉｓｔｏｐｈｅｒＦａｎｇ‐Ｙｅｎ他により開示されている（Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ Ｏｐｔｉｃｓ１６（１）、０１１００５（２０１１年１月号）、「Ｖｉｄｅｏ‐ｒａｔｅｔｏｍｏｇｒａｐｈｉｃ ｐｈａｓｅ ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｙ」）（以下、「Ｆａｎｇ‐Ｙｅｎ」という）。更に詳細には、Ｆａｎｇ‐Ｙｅｎは、多角走査を使用することにより３Ｄ画像を再構成する技術を開示する。この技術によれば、投影画像から３Ｄ画像が再構成されるので（ホログラムに基づいて計算される複素振幅に従って）、多くの照明角度、例えば１００の照明角度が必要とされる。これは、撮像を１００回実行する必要があることを意味する。従って、数回の撮像、例えば４回の撮像で適切な画像を得ることは期待できない。更に、１回の撮像で３Ｄ画像を再構成することは不可能である。そのため、従来の技術（例えばＦａｎｇ‐Ｙｅｎ）を使用する場合、３Ｄ画像の再構成には多くの撮像回数、従って長い時間が必要である。
【発明の概要】
【０００３】
本発明の一実施形態によれば、被験体を断層撮像する装置であって、コヒーレント光から成り且つ光軸に対して垂直な平面においてランダム位相分布を有する照明を被験体に対して発生するように構成された照明ユニットと、参照コヒーレント光と、照明ユニットから発生され且つ被験体を通過する被験体光とを組み合わせる結合器であり、参照コヒーレント光と被験体光とが干渉する結合器と、被験体光と参照コヒーレント光との相対位相差をシフトするように構成されたシフタと、参照コヒーレント光及び被験体光により発生される干渉を位相ごとに検出するように構成された検出器と、位相ごとに検出される干渉に基づいて光伝播を計算するように構成されたプロセッサとを含む装置が提供される。従って、従来と比較して短い時間で３Ｄ画像を撮像できる。
【０００４】
本発明の更なる特徴は、添付の図面を参照する以下の例示的な実施形態の説明から明らかになるだろう。
【図面の簡単な説明】
【０００５】
【図１Ａ】位相シフトホログラム（複素振幅）を取得するための例示的なシステム構成を示す図である。
【図１Ｂ】位相シフトホログラム（複素振幅）を取得するための例示的なシステム構成を示す図である。
【図１Ｃ】位相シフトホログラム（複素振幅）を取得するための例示的なシステム構成を示す図である。
【図２】コンピュータハードウェアの一例を示すブロック図である。
【図３Ａ】円板形状の例示的な照明振幅分布を示す図である。
【図３Ｂ】円板形状の例示的な照明位相分布を示す図である。
【図４Ａ】被験体の一例を示すｚ＝−５〜＋５（μｍ）における振幅分布を示す図である。
【図４Ｂ】被験体の一例を示すｚ＝−５〜＋５（μｍ）における振幅分布を示す図である。
【図４Ｃ】被験体の一例を示すｚ＝−５〜＋５（μｍ）における振幅分布を示す図である。
【図５】例示的な一実施形態に係る断層画像の撮像を示すフローチャートである。
【図６Ａ】π／２位相シフトによる例示的な位相シフトホログラムを示す図である。
【図６Ｂ】π位相シフトによる例示的な位相シフトホログラムを示す図である。
【図６Ｃ】３π／２位相シフトによる例示的な位相シフトホログラムを示す図である。
【図６Ｄ】２π位相シフトによる例示的な位相シフトホログラムを示す図である。
【図７Ａ】例示的な複素振幅を示す図である。
【図７Ｂ】例示的な複素振幅を示す図である。
【図７Ｃ】例示的な複素振幅を示す図である。
【図７Ｄ】例示的な複素振幅を示す図である。
【図８Ａ】円板形状照明によるｚ＝−５〜＋５（μｍ）における例示的な再構成画像を示す図である。
【図８Ｂ】円板形状照明によるｚ＝−５〜＋５（μｍ）における例示的な再構成画像を示す図である。
【図８Ｃ】円板形状照明によるｚ＝−５〜＋５（μｍ）における例示的な再構成画像を示す図である。
【図９Ａ】円板形状照明によるｚ＝−５〜＋５（μｍ）における別の例示的な再構成画像を示す図である。
【図９Ｂ】円板形状照明によるｚ＝−５〜＋５（μｍ）における別の例示的な再構成画像を示す図である。
【図９Ｃ】円板形状照明によるｚ＝−５〜＋５（μｍ）における別の例示的な再構成画像を示す図である。
【図１０Ａ】リング形状の別の例示的な照明振幅分布を示す図である。
【図１０Ｂ】リング形状の別の例示的な照明位相分布を示す図である。
【図１１Ａ】リング形状の照明によるｚ＝−５〜＋５（μｍ）における別の例示的な再構成画像を示す図である。
【図１１Ｂ】リング形状の照明によるｚ＝−５〜＋５（μｍ）における別の例示的な再構成画像を示す図である。
【図１１Ｃ】リング形状の照明によるｚ＝−５〜＋５（μｍ）における別の例示的な再構成画像を示す図である。
【図１２Ａ】椀形状の別の例示的な照明振幅分布を示す図である。
【図１２Ｂ】椀形状の別の例示的な照明位相分布を示す図である。
【図１３Ａ】椀形状の照明によるｚ＝−５〜＋５（μｍ）における別の例示的な再構成画像を示す図である。
【図１３Ｂ】椀形状の照明によるｚ＝−５〜＋５（μｍ）における別の例示的な再構成画像を示す図である。
【図１３Ｃ】椀形状の照明によるｚ＝−５〜＋５（μｍ）における別の例示的な再構成画像を示す図である。
【図１４】図１４は、機械式位相シフトアパーチャを使用する位相シフトホログラム（複素振幅）の撮像のための例示的なシステム構成を示す図である。
【図１５Ａ】ｚ＝−５〜＋５（μｍ）における位相被験体の振幅分布を示す図である。
【図１５Ｂ】ｚ＝−５〜＋５（μｍ）における位相被験体の位相分布を示す図である。
【図１５Ｃ】ｚ＝−５〜＋５（μｍ）における位相被験体の振幅分布を示す図である。
【図１５Ｄ】ｚ＝−５〜＋５（μｍ）における位相被験体の位相分布を示す図である。
【図１５Ｅ】ｚ＝−５〜＋５（μｍ）における位相被験体の振幅分布を示す図である。
【図１５Ｆ】ｚ＝−５〜＋５（μｍ）における位相被験体の位相分布を示す図である。
【図１６Ａ】＝−５〜＋５（μｍ）におけるゼルニケ位相リング照明の場合の例示的な再構成画像を示す図である。
【図１６Ｂ】ｚ＝−５〜＋５（μｍ）におけるゼルニケ位相リング照明の場合の例示的な再構成画像を示す図である。
【図１６Ｃ】ｚ＝−５〜＋５（μｍ）におけるゼルニケ位相リング照明の場合の例示的な再構成画像を示す図である。
【図１７Ａ】ｚ＝−５（μｍ）におけるゼルニケ位相リング照明の場合の例示的な再構成画像を示す図である。
【図１７Ｂ】ｚ＝＋５（μｍ）におけるゼルニケ位相リング照明の場合の例示的な再構成画像を示す図である。
【図１８】位相シフトアパーチャなしの光学系による断層画像の撮像を示すフローチャートである。
【図１９Ａ】π／２位相シフトによる例示的な位相シフトホログラムを示す図である。
【図１９Ｂ】π位相シフトによる例示的な位相シフトホログラムを示す図である。
【図１９Ｃ】３π／２位相シフトによる例示的な位相シフトホログラムを示す図である。
【図１９Ｄ】２π位相シフトによる例示的な位相シフトホログラムを示す図である。
【図２０Ａ】例示的な一実施形態に係る例示的な複素振幅を示す図である。
【図２０Ｂ】例示的な一実施形態に係る例示的な複素振幅を示す図である。
【図２０Ｃ】例示的な一実施形態に係る例示的な複素振幅を示す図である。
【図２０Ｄ】例示的な一実施形態に係る例示的な複素振幅を示す図である。
【図２１Ａ】例示的な一実施形態に係る例示的な再計算後の複素振幅を示す図である。
【図２１Ｂ】例示的な一実施形態に係る例示的な再計算後の複素振幅を示す図である。
【図２１Ｃ】例示的な一実施形態に係る例示的な再計算後の複素振幅を示す図である。
【図２１Ｄ】例示的な一実施形態に係る例示的な再計算後の複素振幅を示す図である。
【図２２Ａ】二重リング形状の別の例示的な照明振幅分布を示す図である。
【図２２Ｂ】二重リング形状の別の例示的な照明位相分布を示す図である。
【図２３Ａ】二重リング形状の照明によるｚ＝−５〜＋５（μｍ）における別の例示的な再構成画像を示す図である。
【図２３Ｂ】二重リング形状の照明によるｚ＝−５〜＋５（μｍ）における別の例示的な再構成画像を示す図である。
【図２３Ｃ】二重リング形状の照明によるｚ＝−５〜＋５（μｍ）における別の例示的な再構成画像を示す図である。
【図２４Ａ】点状二重リング形状の別の例示的な照明振幅分布を示す図である。
【図２４Ｂ】点状二重リング形状の別の例示的な照明位相分布を示す図である。
【図２５Ａ】点状二重リング形状の照明によるｚ＝−５〜＋５（μｍ）における別の例示的な再構成画像を示す図である。
【図２５Ｂ】点状二重リング形状の照明によるｚ＝−５〜＋５（μｍ）における別の例示的な再構成画像を示す図である。
【図２５Ｃ】点状二重リング形状の照明によるｚ＝−５〜＋５（μｍ）における別の例示的な再構成画像を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００６】
添付の図面を参照して、以下に本発明に係る例示的な実施形態を説明する。図中、同一の図中符号は一貫して同一の部材を示し、同一の部材については繰り返して説明しない。 [振幅被験体の測定]
図１Ａは、被験体の断層撮像を実行するための光学系／装置１０００の一例を示す。例示的な本実施形態の光学系は、照明分布（照明アパーチャ１１０３）とアパーチャ１０１１とを入れ替えることにより、振幅被験体及び位相被験体の双方を支持する。図１Ａは、振幅被験体を支持する場合の光学系を示し、以下にその動作を説明する。位相被験体を支持する場合の光学系について以下に詳細に説明する。図１Ａに示されるように、レーザー源（レーザー１００１）によりコヒーレント光束が発生され、光束は、ハーフミラー１００２により被験体光束１００３と参照光束１０２０とに分割される。
【０００７】
被験体光束はミラー１  １００４により反射され、照明アパーチャ１１０３及び拡散板１１０４を通過する。レーザー１００１、ミラー１００４、照明アパーチャ１１０３及び拡散板１１０４は、照明ユニットとして動作する。
【０００８】
モータ（図示せず）が拡散板１１０４を駆動し、拡散板１１０４は、モータの駆動に従って光軸を中心に回転する。ＣＰＵ２００１（図２に示される）は、Ｉ／Ｏコントローラ２００６を介してモータへ制御信号を出力し且つ拡散板１１０４の回転位置を調整する。拡散板１１０４の回転位置は回転角度に対応する。ＣＰＵ２００１は、被験体１００９に照射されるコヒーレント光のランダム位相分布を変化させるために回転位置を変化させる。このランダム位相分布は、光軸に対して垂直な平面における分布である。しかし、例示的な本実施形態は、ランダム位相分布を変化させる方法に限定されない。例えば、モータの駆動に従って拡散板をいずれかの方向（例えば左、右、上又は下）へ動かすために本実施形態が適用されてもよい。このように、位置を回転させる種々の方法を使用することにより同一の効果を実現できる。
【０００９】
その後、光束は、拡散板１１０４から離間して焦点距離の位置に配置された集光レンズ１００８を通過し、更に被験体１００９を通過する。光束は被験体と干渉する。次に、光束は、対物レンズ１０１０、アパーチャ１０１１及び円柱レンズ１０１２を通過する。被験体光束は、ハーフミラー２  １０１３により参照光束と統合され、２つの光束（参照光束１０２０及び被験体光束１００３）は互いに干渉する。一体化された光束（干渉）はセンサ１０１４により検出される。ミラー２１０２３及びハーフミラー２ １０１３は、結合器として機能する。
【００１０】
ハーフミラー１  １００２により参照光束１０２０が発生された後、参照光束１０２０は２つの音響光学変調器（ＡＯＭ）１１０１及び１１０２を通過する。ＡＯＭ１１０１及び１１０２は、参照光束を複数回位相シフトする。ＡＯＭは格子と同様に作用するので、２つのＡＯＭの組み合わせは、光軸に沿った光路長を変化させることにより位相遅延（位相シフト）を発生する。ＡＯＭ１１０１及び１１０２は、被験体光と参照光束１０２０（参照コヒーレント光）との相対位相差をシフトするシフタとして作用する。その後、参照光束１０２０は、参照光束の直径を被験体光束の直径と一致するように変化させるためのレンズ１  １０２１及びレンズ２  １０２２を通過する。次に、参照光束１０２０はミラー２  １０２３により反射される。複数の位相のうち１つの位相に設定された参照光束１０２０は、前述のように、ハーフミラー２１０１３により被験体光束と統合される。センサ１０１４は光検出器を含む。光検出器は２次元アレイとして配列される。各光検出器は、受光し、受光した光の光量に基づいて電気信号を出力する。センサ１０１４の一例はＣＭＯＳセンサである。
【００１１】
図１Ｂは、光学系の別の例を示す。光学系２０００は、光学系１０００の照明アパーチャ１１０３及び拡散板１１０４の代わりに、コンピュータ生成ホログラム（ＣＧＨ）１１０７を含む。ＯＧＨ１１０７及びＦＴレンズ１００６により拡散照明１１０５が発生される。レーザー１００１、ミラー１１００４及びＯＧＨ１１０７は、照明ユニットとして機能する。その他の部品は図１Ａに示される部品と同様であり且つ先に説明した通りであるので、ここでは繰り返し説明しない。主に相違点を説明する。ＯＧＨ１１０７は、拡散照明１１０５と呼ばれる平面で所望の照明分布を有するように構成される。ＯＧＨ板１１０７は回転可能である。ＯＧＨ板１１０７が回転されると、ＯＧＨ板の位置に従ってコヒーレント光のランダム位相分布も変化する。
【００１２】
図１Ｃは、光学系の別の例を示す。光学系３０００は空間光変調器（ＳＬＭ）１１０６を含む。レーザー１００１、ミラー１  １００４及びＳＬＭ１１０６は、照明ユニットとして機能する。ＳＬＭはシフタとしても動作する。ＳＬＭ１１０６は各画素で個別に位相をシフトし、すべての画素で同一の位相をシフトする場合、ＳＬＭ１１０６は、被験体光と参照光束１０２０（参照コヒーレント光）との相対位相差をシフトするシフタとして動作できる。その他の部品は図１Ａ又は図１Ｂに示される部品と同様であり且つ先に説明した通りであるので、ここでは繰り返し説明しない。主に相違点を説明する。ＳＬＭ１１０６にＯＧＨの場合と同一の分布を持たせることにより、拡散照明１１０５が生成される。尚、ＳＬＭは移相の機能を有するので、この光学系３０００にはＡＯＭ１１０１及び１１０２は不要だろう。
【００１３】
図２は、データ処理装置の例示的なハードウェア構成を示す。ＣＰＵ２００１は、主メモリ及び作業領域としてランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）２００２を使用して、読出し専用メモリ（ＲＯＭ）２００３に記憶されている種々のプログラムに従って各要素を制御する。ディスプレイコントローラ２００４はディスプレイ２００７を制御する。Ａ／Ｄ変換器２００５は、アナログ信号をデジタル信号に変換する。センサ１０１４により検出された信号は、Ａ／Ｄ変換器２００５に入力され、Ａ／Ｄ変換器２００５はそれらの入力信号を変換する。Ｉ／Ｏコントローラ２００６は、外部デバイスと通信するためのインタフェースである。Ｉ／Ｏコントローラ２００６はモータ又は駆動源に接続される。例えば、Ｉ／Ｏコントローラ２００６は、拡散板１１０４の回転位置を調整するモータに接続されてもよい。また、ＣＰＵ２００１は、ＡＯＭ１  １１０１及びＡＯＭ２  １１０２の位相又はＳＬＭ１１０６の位相を設定するための制御信号を出力する。
【００１４】
図３Ａ及び図３Ｂは、円板形状の照明分布の一例を示す。図３Ａは振幅分布を示し、図３Ｂは位相分布を示す。図１Ａの照明アパーチャ１１０３及び拡散板１１０４により規定される照明平面は、アパーチャ１０１１により規定されるアパーチャ平面と共役する。この形状は、センサ１０１４の前面側又は背面側にあり且つ光軸に対して垂直であるデフォーカス平面で疎らな被験体１００９の各点の像を形成することが可能である。図３Ｂに示されるように、拡散板１１０４が拡散板として作用している場合、位相分布はランダムになる。
【００１５】
図４Ａ、図４Ｂ及び図４Ｃは、それぞれ、試験用物体（被験体１１０９）の（ａ）ｚ＝−５（μｍ）、（ｂ）ｚ＝０（μｍ）、（ｃ）ｚ＝５（μｍ）における振幅分布を示す。軸ｚは光軸に沿った軸である。この被験体は蛍光体であると考えられる。例えば、ｚ＝−５（μｍ）の位置に円板形状の蛍光体があり、ｚ＝５（μｍ）の位置に矩形の蛍光体がある。ｚ＝０（μｍ）には何も存在しないので、その場所には再構成画像として何の存在も予測されないこと、すなわち円板又は矩形の形状がまったく予測されないことは注目に値する。
＜複素振幅及び数値合焦を計算するためのフローチャート＞
図５は、複素振幅及び数値合焦を計算するためのフローチャートである。ステップＳ５０１において、ＣＰＵ２００１は、変数「ｉ」、「ｄ」及び「ｎ」を０に初期設定する。ステップＳ５０２において、ＣＰＵ２００１はＣＬ（ｄ）を設定する。「ＣＬ」は、静止ランダム位相分布を有するコヒーレント光を意味する。例えば、ＣＰＵ２００１は拡散板を第１の位置に設定する。尚、以下に拡散板を設定するいくつかの方法を説明するが、その１つは拡散板を回転させる方法である。
【００１６】
ステップＳ５０３において、ＣＰＵ２００１はＲＢＰ（ｉ）を設定する。「ＲＢＰ」は参照ビーム位相を意味する。ステップＳ５０４において、センサ１０１４は統合光束を検出する。検出された光束に対応する信号がＡ／Ｄ変換器２００５に入力されると、Ａ／Ｄ変換器２００５は、その入力アナログ信号をデジタル信号に変換する。次に、ＣＰＵ２００１は、変換後のデジタルデータをデータ（ｄ，ｉ）としてＲＡＭ２００２に一時的に記憶する。データ（ｄ，ｉ）は、ＣＰＵ２００１がＣＬ（ｄ）を位相分布として設定し且つＲＢＰ（ｉ）を参照光束位相として設定する場合のセンサ１０１４による検出結果に従ったデジタル信号の集合を意味する。各デジタル信号は１つの（ｘ，ｙ）座標に対応する。簡単に言えば、データ（ｄ，ｉ）は、２次元分布を有するデータである。図６Ａ〜図６Ｄはデータ（ｄ，ｉ）を示す。また、各デジタル信号は、検出された光の輝度を示し、それぞれの輝度は、後に詳細に説明する式（１）における「Ｉｉ」に対応する。
【００１７】
ステップＳ５０５において、ＣＰＵ２００１は、変数「ｉ」が３と等しいか否かを判定する。変数「ｉ」が３と等しくない場合、ステップＳ５０６において、ＣＰＵ２００１は変数「ｉ」に１を加算し、ステップＳ５０３に戻る。そこで、ＣＰＵ２００１は、先にステップＳ５０３で設定されていた参照光束を変化させる。これに対し、変数「ｉ」が３と等しい場合、ステップＳ５０７へ進む。ステップＳ５０７において、ＣＰＵ２００１は、変数「ｄ」が３と等しいか否かを判定する。変数「ｄ」が３と等しくない場合、ＣＰＵ２００１はステップＳ５０８へ進む。ステップＳ５０８において、ＣＰＵ２００１は変数「ｄ」に１を加算する。ステップＳ５０９において、ＣＰＵ２００１はＣＬ（ｄ）を設定する。すなわち、別のランダム位相分布を有するコヒーレント光が設定される。詳細には、例えば、ＣＰＵ２００１は、拡散板１１０４を９０°（π／２）回転させるためにＩ／Ｏコントローラ２００６を介してモータ（図示せず）を制御する。そこで、被験体１００９を照射する照明の位相分布が変化する。更に、回転後の位置は第１の位置に対して第２の位置と呼ばれる。第１の位置は第１のランダム位相分布に対応し、第２の位置は第２のランダム位相分布に対応する。「ｄ」が３と等しくない場合、ステップＳ５１０において、ＣＰＵ２００１は変数「ｉ」を０に初期設定する。その後、ＣＰＵ２００１はステップＳ５０３に戻る。これに対し、変数「ｄ」が３と等しい場合、ＣＰＵ２００１はステップＳ５２１へ進む。
【００１８】
ステップＳ５２１において、ＣＰＵ２００１は変数「ｄ」を０に初期設定する。次に、ステップＳ５２２において、ＣＰＵ２００１は複素振幅画像を撮像する（複素振幅を計算する）。更に詳細には、ＣＰＵ２００１は、ＲＡＭ２００２に記憶されている変数「ｄ」の現在の値に対応するデータを読み取る。例えば、変数「ｄ」が「０」である場合、ＣＰＵ２００１は、ＲＡＭ２００２からデータ（０，０）、データ（０，１）、データ（０，２）、データ（０，３）を読み取る。それらのデータは、図６Ａ〜図６Ｄのように考えられてもよい。ＣＰＵ２００１は、読み取ったデータ及び式（１）を使用して複素振幅を計算する。式（１）の詳細は後に説明する。図６Ａ〜図６Ｄに関する詳細も後に説明する。ステップＳ５２３において、ＣＰＵ２００１は、変数「ｄ」が３と等しいか否かを判定する。「ｄ」が３と等しくない場合、ステップＳ５２４において、ＣＰＵ２００１は変数「ｄ」に１を加算し、ＣＰＵ２００１は処理をステップＳ５２２に戻す。これに対し、変数「ｄ」が３と等しい場合、ＣＰＵ２００１は処理をステップＳ５２５へ進め、変数「ｄ」を０に初期設定する。ステップＳ５２６において、ＣＰＵ２００１は数値合焦位置を判定する。例えば、位置として、ｚ＝−５（μｍ）、ｚ＝０（μｍ）、ｚ＝＋５（μｍ）が設定される。ステップＳ５２６において、ＣＰＵ２００１は目標数値合焦位置を設定する。次に、ＣＰＵ２００１は、ステップＳ５２７において数値合焦を計算し、ステップＳ５２８において画像を再構成する。ステップＳ５２９及びＳ５３０において、ＣＰＵ２００１は、ステップＳ５２３及びＳ５２４と同一の処理動作をそれぞれ実行する（すなわち、「ｄ」が３と等しいか否かを判定し、等しくない場合、ｄを１増分する）。ステップＳ５３１において、ＣＰＵ２００１は、すべての位置が設定されたか否かを判定する。すべての位置が設定されてはいないと判定された場合、ＣＰＵ２００１は処理をステップＳ５２６に戻す。これに対し、すべての位置が設定済みであると判定された場合、ＣＰＵ２００１は、このフローチャートの処理を終了する。処理後、計算結果はディスプレイに表示される。
【００１９】
ＣＰＵ２００１は、すべての検出データ（ｄ，ｉ）がＲＡＭ２００２に記憶された後に複素振幅及び数値合焦を計算すると説明したが、例示的な実施形態はこれに限定されない。例えば、ＣＰＵ２００１がある特定の「ｄ」値及びすべての「ｉ」値に対してデータ（ｄ，ｉ）を記憶する場合（例えばｄ＝０；ｉ＝１，２，３）、ＣＰＵ２００１は、シーケンス中の次の「ｄ」値（例えばｄ＝１；ｉ＝１，２，３）をＣＬ（ｄ）に設定する前に、その特定の「ｄ」値及びすべての「ｉ」値に対して複素振幅及び数値合焦を計算してもよい。
【００２０】
電界である複素振幅は直接検出できない。複素振幅を取得する方法の１つとして、先に説明した移相方法がある。図６Ａ、図６Ｂ、図６Ｃ及び図６Ｄは、位相シフトされた４つの参照光束π／２、π、３π／２及び２πによる位相シフトホログラムを示す。位相シフトホログラムをそれぞれＩ０、Ｉ１、Ｉ２及びＩ３とする。「Ｉ０」は、図６Ａ〜図６Ｄにおける１つの白色の点に対応し、この白点はいずれか１つの光検出器により検出される。各光検出器により検出された検出結果は、図６Ａ〜図６Ｄに点の集合として示される。Ｉ０〜Ｉ３は同一の光検出器により検出される。そこで、ＣＰＵ２００１により次の式（１）に従って複素振幅「ｖ」が計算される。この式（１）は、被験体光束及び参照光束の輝度が同一又は同様であるという条件の下で「ｖ」を計算するための式の一例である。ＣＰＵ２００１は、各光検出器に従ってすべての複素振幅を計算する。それらの処理は、図５のステップＳ５２２に相当する。
【００２１】
【数１】
2014013234.tif 000002
【００２２】
この場合、式１の√（（Ｉ０＋Ｉ１＋Ｉ２＋Ｉ３）／４）は、図７Ａ〜図７Ｄの振幅に対応し、式（１）のａｒｃｔａｎ（Ｉ１−Ｉ３）／（Ｉ０−Ｉ２）は、図７Ａ〜図７Ｄの位相に対応する。ＣＰＵ２００１は、式（１）の左側のｖ（ｘ，ｙ，０）を式（１）の右側のｖ（ｘ，ｙ，０）に入力する。
【００２３】
図７Ａ〜図７Ｄは、式（１）に基づいてＣＰＵ２００１により計算された例示的な複素振幅を示す。例えば、図７Ａは「ｄ＝０」に対応し、図７Ｂは「ｄ＝１」に対応し、図７Ｃは「ｄ＝２」に対応し、図７Ｄは「ｄ＝３」に対応すると考えられる。これらの平面は物体平面のｚ＝０（μｍ）と共役する。図７Ａ、図７Ｂ、図７Ｃ及び図７Ｄの振幅はｚ＝±５（μｍ）における被験体の形状を含むが、裸眼でその形状を認識することは難しいだろう。図７Ａ、図７Ｂ、図７Ｃ及び図７Ｄの位相はランダムに見えるが、ｚ＝±５（μｍ）における被験体の再構成画像を計算するための何らかの情報を含む。
【００２４】
次に、数値合焦を詳細に説明する。以下の説明は、ステップＳ５２７の詳細な説明に対応する。数値合焦は、電界（複素振幅）の光伝播を計算する方法である。以下に示す式は、電界ｖ（ｘ，ｙ）をｚ＝−ｋ（μｍ）からｚ＝＋ｋ（μｍ）へ伝播する計算の一例を示す。この方法は角度スペクトルの伝播と呼ばれる。ｖ（ｘ，ｙ，０）は、ｚ＝０における電界を意味し、図７Ａはｖ（ｘ，ｙ，０）と考えられてもよい。式（２）はフーリエ変換であるので、Ｖ（α，β，０）はｖ（ｘ，ｙ，ｚ（μｍ））のスペクトルである。式（３）は、伝播の位相係数ｅｘｐ［ｉ＊２π／λ＊ｓｑｒｔ（１−α＾２−β＾２）］を適用した後の逆フーリエ変換である。そこで、ｖ（ｘ，ｙ，ｚ）は、結果としてｚ＝ｋにおける電界である。図９Ａは、図７Ａに基づいて計算されたｖ（ｘ，ｙ，−５）の振幅を示し、図９Ｂは、ｖ（ｘ，ｙ，０）の振幅を示し、図９Ｃは、ｖ（ｘ，ｙ，５）の振幅を示す。式中、（ｘ，ｙ，ｚ）は実空間内の１つの場所であり、（λ，β）はフーリエ空間における１つの場所であり、λは波長である。
【００２５】
【数２】
2014013234.tif 000003
【００２６】
【数３】
2014013234.tif 000004
【００２７】
図８Ａ〜図８Ｃは、再構成画像の結果を示す。再構成画像処理を詳細に説明する。ステップＳ５２８において、ＣＰＵ２００１は、同一の平面（ｚ位置）でデフォーカス状態にある数値合焦振幅の和を求める。次に、図８Ａ〜図８Ｃに示されるように再構成画像が取得される。図８Ａ及び図８Ｃは、図４Ａ及び図４Ｃの被験体をそれぞれ明確に表す。図８Ｂは、何らかの形状が観察されてはいるが、図４Ｂの被験体を表す。尚、図８Ｂは上述の手続きにより取得可能であるが、数値合焦量が０であるので、図８Ｂは、図７Ａ〜図７Ｄで単に振幅の和を求めるだけでも取得できる。
【００２８】
図８Ａ〜図８Ｃは、それぞれ図９Ａ〜図９Ｃより明確であるが、図９Ａ〜図９Ｃは、それぞれ図４Ａ〜図４Ｃを表していると考えられてもよい。言い換えれば、光学系は、照明のある１つの特定のランダム位相分布に対応する図７Ａ、図７Ｂ図７Ｃ又は図７Ｄに基づいて再構成画像を取得できるということになる。従って、１つ以上の複素振幅及び照明の１つ以上のランダム位相分布に基づいて再構成画像を取得することが可能である。
【００２９】
図３は円板形状の照明分布を示すが、本発明はこれに限定されない。例えば、図１０Ａ及び図１０Ｂは、別のリング形状の照明分布の例を示す。図１０Ａは振幅分布を示し、図１０Ｂは位相分布を示す。これらの分布は、図１Ａの照明アパーチャ１１０３、拡散板１１０４及びアパーチャ１０１１の代わりにリング形状に適応する照明アパーチャ、拡散板及びアパーチャを使用することにより取得できる。また、これらの分布は、図１ＢのＣＧＨ１１０７の代わりにリング形状に適応するＣＧＨを使用することによっても取得可能である。更に、これらの分布は、ＳＬＭ１１０６の代わりにリング形状に適応するＳＬＭを使用することによっても取得可能である。この形状は、デフォーカス平面で疎らな点より大きい被験体１００９の各点の像を形成することが可能である。
【００３０】
図１１Ａ〜図１１Ｃは、各ｚ位置における再構成画像及び振幅分布を示す。再構成画像は、図１０Ａ及び図１０Ｂに示される振幅分布及び位相分布を有する照明が使用された場合に取得される複素振幅に基づいて計算される。図１１Ａは図４Ａの被験体を更に明確に示し、図１１Ｃは図４Ｃの被験体を更に明確に示す。図１１Ｂは図４Ｂの被験体を表し、先に説明した実施形態より疎らであるが、リング形状の照明に対応する形状がわずかに観察される。
【００３１】
更に、図１２Ａ及び図１２Ｂは、椀形状の照明分布の一例を示す。図１２Ａは振幅分布を示し、図１２Ｂは位相分布を示す。これらの分布は、図１Ａの照明アパーチャ１１０３、拡散板１１０４及びアパーチャ１０１１の代わりに椀形状に適応する照明アパーチャ、拡散板及びアパーチャを使用することにより取得できる。また、これらの分布は、図１ＢのＣＧＨ１１０７の代わりに椀形状に適応するＣＧＨを使用することによっても取得可能である。更に、これらの分布は、図１ＢのＳＬＭ１１０６の代わりに椀形状に適応するＳＬＭを使用することによっても取得可能である。この形状は、デフォーカス平面で疎らな相対的に大きい被験体の各点の像を形成することが可能である。図１３Ｂからわかるように、光学系は、図１２Ａ及び図１２Ｂに示される照明分布を使用することにより位相情報を更に忠実に再生できる。
【００３２】
図１３Ａ〜図１３Ｃは、各ｚ位置における再構成画像及び振幅分布を示す。再構成画像は、図１２Ａ及び図１２Ｂに示される振幅分布及び位相分布を有する照明が使用された場合に取得される複素振幅に基づいて計算される。図１３Ａは図４Ａの被験体を更に明確に示し、図１３Ｃは図４Ｃの被験体を更に明確に示す。図１３Ａ及び図１３Ｃの画像の鮮明さは、先に説明した実施形態の場合より明らかである。図１３Ｂは、図４Ｂの被験体を更に明確に示す。
【００３３】
従って、後処理により、データ収集に余分な時間を費やすことなく、振幅被験体に関する光軸に沿った情報又は断層画像を取得可能である。後処理として数値合焦を使用して複素振幅画像を撮像することにより、振幅被験体に要する収集時間は著しく短縮され、従来の機械式合焦は不要になる。
＜位相被験体の測定＞
次に、位相被験体に対応する光学系を説明する。図１４は、位相シフトアパーチャ２０１１を有する光学系４０００の一例を示す。図１Ａとの相違点は、位相シフトアパーチャ２０１１及び照明分布の形状である。光学系が位相被験体を測定する場合、図１Ａのアパーチャ１０１１の代わりに位相シフトアパーチャ２０１１が使用され、図１０Ａ及び図１０Ｂ又は図１２Ａ及び図１２Ｂに示される照明分布を適用できる。位相シフトアパーチャ２０１１は、照明の振幅分布と同一の振幅分布を有し、振幅が０である場合の位相シフト量は０であり、振幅が０でない場合の位相シフト量はπ／２である。図３に示される照明分布を図１４に示される光学系に適用することは不可能である。また、図１Ｂ及び図１Ｃに示される光学系を図１Ａと同様に変形すれば、位相被験体を測定するための装置に変形後の光学系を適用可能である。
【００３４】
図１５Ａ〜図１５Ｆは、位相被験体である被験体である。図１５Ａは、ｚ＝−５（μｍ）における被験体の振幅分布を示し、図１５Ｂは、ｚ＝−５（μｍ）における被験体の位相分布を示す。図１５Ｃは、ｚ＝０（μｍ）における被験体の振幅分布を示し、図１５Ｄは、ｚ＝０（μｍ）における被験体の位相分布を示す。図１５Ｅは、ｚ＝５（μｍ）における被験体の振幅分布を示し、図１５Ｆは、ｚ＝５（μｍ）における被験体の位相分布を示す。軸ｘは光軸に沿った軸である。この被験体は位相被験体であると考えることができる。例えば、ｚ＝−５（μｍ）で周囲と比較して円板形状の屈折率差があり、ｚ＝５（μｍ）では矩形の屈折率差物体がある。ｚ＝０（μｍ）の位置には何も存在しないので、その場所には再構成画像として何の存在も予測されないこと、すなわち円板又は矩形の形状がまったく予測されないことは注目に値する。
【００３５】
図１６Ａ〜図１６Ｃは、各ｚ位置における例示的な再構成画像及び振幅分布を示す。尚、数値合焦を取得するためのＣＰＵ２００１による計算は、先に図５Ａ〜図８Ｃを参照して説明した計算と基本的には同一であるので、ここでは詳細な説明を省略する。しかし、位相シフトにより位相情報は振幅情報に変換される。図１６Ａ〜図１６Ｃは、被験体１００９の位相情報を示す。
【００３６】
図１７Ａ及び図１７Ｂは、再構成画像の別の結果を示す。図１７Ａはｖ（ｘ，ｙ，−５）に対応し、図１７Ｂはｖ（ｘ，ｙ，＋５）に対応する。先に説明した実施形態と同様に、ＣＰＵ２００１は、複素振幅又は照明の１つのランダム位相分布に基づいて、位相情報に関する再構成画像を計算する。
【００３７】
先の説明では、光学系４０００は位相シフトアパーチャ２０１１を含む。しかし、本実施形態はこれに限定されない。位相シフトアパーチャの機能は、ソフトウェアにより後処理として実行されてもよい。この場合、図１４の光学系に対して実行された変形を反映する光学系が適用される。変形は、図１４に示される位相シフトアパーチャ２０１１の代わりに図１Ａに示されるアパーチャ１０１１を使用することにより実行される。その他の構成は図１４を参照して説明した構成と同様であるので、ここでは繰り返し説明しない。
＜複素振幅及び数値合焦を計算するための別のフローチャート＞
図１８は、ハードウェア又は機械式位相シフトアパーチャを含まない光学系によって複素振幅及び数値合焦を計算するためのフローチャートを示す。ステップＳ１８０１において、図５のステップＳ５０１〜Ｓ５２１に示される処理が実行される。図１９Ａ〜図１９Ｄは、ステップＳ１８０１で取得される４つの位相シフト参照光束π／２（図１９Ａ）、π（図１９Ｂ）、３π／２（図１９Ｃ）及び２π（図１９Ｄ）による位相シフトホログラムを示す。ステップＳ５２２において、ＣＰＵ２００１は複素振幅画像を撮像する（複素振幅を計算する）。
【００３８】
図２０Ａ〜図２０Ｄは、式（４）に基づいてＣＰＵ２００１により計算された例示的な複素振幅を示す。ステップＳ１８０２において、ＣＰＵ２００１は、複素振幅ｖ（ｘ，ｙ，０）からＦＦＴによりスペクトルＶを計算する。ＣＰＵ２００１は、現在の変数「ｄ」の値に対応する複素振幅ｖ（ｘ，ｙ，０）を読み取る。ステップＳ１８０３において、新たなスペクトルＶ’を取得するために、スペクトルＶは位相シフトアパーチャ係数ｅｘｐ［ｉ＊π／２＊Ｓ（ｘ，ｙ）］と乗算される。Ｓ（ｘ，ｙ）は照明振幅、例えば図１０Ａである。ステップＳ１８０４において、Ｓ１８０３で取得されたスペクトルＶ’からＩＦＦＴにより複素振幅ｖ’が再計算され、図２１Ａ〜図２１Ｄは、位相シフトアパーチャを通過したと想定される被験体光を考慮に入れた複素振幅ｖ'を示す。ステップＳ１８０２〜Ｓ１８０４に従って、ＣＰＵ２００１は、位相シフトアパーチャ２０１１を通過すると想定される被験体光がステップＳ１８０４で計算される複素振幅に及ぼす影響を反映させる。
【００３９】
【数４】
2014013234.tif 000005
【００４０】
【数５】
2014013234.tif 000006
【００４１】
ステップＳ１８０２〜ＳＳ１８０４によって、画像ｖの位相情報は画像ｖ'の振幅に変換される。ＣＰＵ２００１は、式（５）の左側のｖ’（ｘ，ｙ，０）を式（５）の右側のｖ（ｘ，ｙ，０）に入力する。このようにして、ＣＰＵ２００１は、参照光束１０２と位相シフトアパーチャ２０１１を通過しなかった被験体光束との干渉に基づいて、被験体光が位相シフトアパーチャ２０１１を通過したと想定される場合の影響を反映させた複素振幅を計算する。
【００４２】
図１８では、数値合焦の計算はステップＳ１８０２〜Ｓ１８０４の処理の終了後に実行されるものとして示されるが、例示的な本実施形態はこれに限定されない。処理の順序を変更した場合でも同一の結果が得られる。例えば、位相シフトアパーチャに関連する処理は、数値合焦の計算後に実行されてもよい（Ｓ５２８）。
【００４３】
この場合、ステップＳ５２８の後で、ＣＰＵ２００１は、式（６）の左側のｖ（ｘ，ｙ，０）を式（６）の右側のｖ（ｘ，ｙ，０）に入力する。ＣＰＵ２００１により読み取られるｖ（ｘ，ｙ，０）は、ＲＡＭ２００２に記憶されている現在の変数「ｄ」の値に対応する。次に、ＣＰＵ２００１は、式（６）の左側のＶ（λ／ｖ，β／λ，ｚ）及び式（７）を使用して、式（７）の左側のｖ’（ｘ，ｙ，ｚ）を計算する。ｖ’（ｘ，ｙ，ｚ）は、被験体光が位相シフトアパーチャ２０１１を通過すると想定した場合の影響を反映させた複素振幅に対応する。
【００４４】
【数６】
2014013234.tif 000007
【００４５】
【数７】
2014013234.tif 000008
【００４６】
以上の説明中、図１０Ａ及び図１０Ｂ又は図１２Ａ及び図１２Ｂに示される照明分布に関して説明したが、本実施形態はこれに限定されない。例えば、図２２Ａ及び図２２Ｂは、別の二重リング形状の照明分布の例を示す。図２２Ａは別の例示的な振幅分布を示し、図２２Ｂは別の例示的な位相分布を示す。この形状は、デフォーカス平面で疎らな点より大きい被験体の各点の像を形成することが可能である。図２２Ｂに示されるように、拡散板１１０４が拡散板として作用する場合、位相分布もランダムになる。
【００４７】
図２３Ａ〜図２３Ｃは、各ｚ位置における再構成画像及び振幅分布を示す。図２３Ａは、図１５Ｂの被験体を更に明確に表し、図２３Ｃは、図１５Ｆの被験体を更に明確に表す。図２３Ｂは図１５Ｂの被験体を表し、上述の実施形態より疎らであるが、リング形状の照明形状に対応するかすかな形状が観察される。
【００４８】
図２４Ａ及び図２４Ｂは、別の点状二重リング形状の照明分布の例を示す。図２４Ａは振幅分布を示し、図２４Ｂは位相分布を示す。この形状は、デフォーカス平面で疎らな相対的に大きな被験体の像を形成することが可能である。
【００４９】
図２５は、各ｚ位置における再構成画像及び振幅分布を示す。図２５Ａは、図１５Ｂ及び図２３Ａの被験体を表し、図２５Ｃは、図１５Ｆ及び図２３Ｃの被験体を表す。図２５Ｂは図１５Ｂの被験体を表すが、上述の実施形態より疎らである。
【００５０】
従って、後処理により、収集に余分な時間を費やすことなく、位相被験体に関する光軸に沿った情報又は断層画像を取得できる。後処理として数値合焦を使用して複素振幅画像を撮像することにより、位相被験体に要する収集時間は著しく短縮され、従来の機械式合焦は不要になる。
【００５１】
以上説明した実施形態の機能を実行するためにメモリデバイスに記録されているプログラムを読み取り且つ実行するシステム又は装置のコンピュータ（あるいはＣＰＵ又はＭＰＵなどのデバイス）、並びに例えば以上説明した実施形態の機能を実行するためにメモリデバイスに記録されているプログラムを読み取り且つ実行することによりシステム又は装置のコンピュータにより実行されるステップを含む方法により、本発明の態様を実現可能である。この目的のために、プログラムは、例えばネットワークを介して又はメモリデバイスとして使用される種々の記録媒体（例えばコンピュータ可読媒体）からコンピュータに提供される。
【図１Ａ】
2014013234.tif 000009
【図１Ｂ】
2014013234.tif 000010
【図１Ｃ】
2014013234.tif 000011
【図２】
2014013234.tif 000012
【図３Ａ】
2014013234.tif 000013
【図３Ｂ】
2014013234.tif 000014
【図４Ａ】
2014013234.tif 000015
【図４Ｂ】
2014013234.tif 000016
【図４Ｃ】
2014013234.tif 000017
【図５】
2014013234.tif 000018
【図６Ａ】
2014013234.tif 000019
【図６Ｂ】
2014013234.tif 000020
【図６Ｃ】
2014013234.tif 000021
【図６Ｄ】
2014013234.tif 000022
【図７Ａ】
2014013234.tif 000023
【図７Ｂ】
2014013234.tif 000024
【図７Ｃ】
2014013234.tif 000025
【図７Ｄ】
2014013234.tif 000026
【図８Ａ】
2014013234.tif 000027
【図８Ｂ】
2014013234.tif 000028
【図８Ｃ】
2014013234.tif 000029
【図９Ａ】
2014013234.tif 000030
【図９Ｂ】
2014013234.tif 000031
【図９Ｃ】
2014013234.tif 000032
【図１０Ａ】
2014013234.tif 000033
【図１０Ｂ】
2014013234.tif 000034
【図１１Ａ】
2014013234.tif 000035
【図１１Ｂ】
2014013234.tif 000036
【図１１Ｃ】
2014013234.tif 000037
【図１２Ａ】
2014013234.tif 000038
【図１２Ｂ】
2014013234.tif 000039
【図１３Ａ】
2014013234.tif 000040
【図１３Ｂ】
2014013234.tif 000041
【図１３Ｃ】
2014013234.tif 000042
【図１４】
2014013234.tif 000043
【図１５Ａ】
2014013234.tif 000044
【図１５Ｂ】
2014013234.tif 000045
【図１５Ｃ】
2014013234.tif 000046
【図１５Ｄ】
2014013234.tif 000047
【図１５Ｅ】
2014013234.tif 000048
【図１５Ｆ】
2014013234.tif 000049
【図１６Ａ】
2014013234.tif 000050
【図１６Ｂ】
2014013234.tif 000051
【図１６Ｃ】
2014013234.tif 000052
【図１７Ａ】
2014013234.tif 000053
【図１７Ｂ】
2014013234.tif 000054
【図１８】
2014013234.tif 000055
【図１９Ａ】
2014013234.tif 000056
【図１９Ｂ】
2014013234.tif 000057
【図１９Ｃ】
2014013234.tif 000058
【図１９Ｄ】
2014013234.tif 000059
【図２０Ａ】
2014013234.tif 000060
【図２０Ｂ】
2014013234.tif 000061
【図２０Ｃ】
2014013234.tif 000062
【図２０Ｄ】
2014013234.tif 000063
【図２１Ａ】
2014013234.tif 000064
【図２１Ｂ】
2014013234.tif 000065
【図２１Ｃ】
2014013234.tif 000066
【図２１Ｄ】
2014013234.tif 000067
【図２２Ａ】
2014013234.tif 000068
【図２２Ｂ】
2014013234.tif 000069
【図２３Ａ】
2014013234.tif 000070
【図２３Ｂ】
2014013234.tif 000071
【図２３Ｃ】
2014013234.tif 000072
【図２４Ａ】
2014013234.tif 000073
【図２４Ｂ】
2014013234.tif 000074
【図２５Ａ】
2014013234.tif 000075
【図２５Ｂ】
2014013234.tif 000076
【図２５Ｃ】
2014013234.tif 000077
【外国語明細書】
2014013234000001.pdf