(57)【要約】【課題】ディスクの交換速度をさらに高速化することによって、さらに高速にディスク検査が可能なディスク検査装置及びディスク検査方法を提供する。【解決手段】複数の検査デッキのそれぞれスピンドルにおけるテスト終了からスピンドル停止までを計測した停止時間をそれぞれ格納し、複数のスピンドルのうちで最初にテストが終了したスピンドルのディスクをハンドリングする位置で待機するか、２番目にテストが終了したスピンドルからディスクをハンドリングする位置で待機するかを判断する判断手段を有し、ディスク搬送機構を制御して、スピンドルから検査済磁気ディスクをディスク供受給部に移載し、未検査磁気ディスクをディスク供受給部から検査装置本体のスピンドルに移載する。【選択図】図５
2014199691.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気ディスクを装着する複数のスピンドルを備え前記スピンドルそれぞれに装着された磁気ディスクの特性を個々に検査する複数の検査デッキ、及び、前記検査デッキ及び前記スピンドルを制御する第１の制御部を有する検査装置本体と、
前記検査装置本体で検査する前の未検査磁気ディスク及び前記検査装置で検査した検査済磁気ディスクを保管するディスクマガジンを載置する回転テーブルを有するディスク供受給部と、
前記ディスク供受給部から前記未検査磁気ディスクを前記検査装置本体のスピンドルに移載し、前記スピンドルから前記検査済磁気ディスクを前記ディスク供受給部の所定のディスクマガジンに移載するディスク搬送機構を有し、
前記ディスク供受給部または前記ディスク搬送機構に、前記検査装置本体、前記ディスク供受給部、及び前記ディスク搬送機構を制御する第２の制御部を有し、
前記第２の制御部は、前記複数の検査デッキの前記スピンドルにおけるテスト終了からスピンドル停止までを計測した停止時間をそれぞれ格納し、前記複数の検査デッキの前記スピンドルのうちで最初にテストが終了したスピンドルのディスクをハンドリングする位置で待機するか、２番目にテストが終了したスピンドルからディスクをハンドリングする位置で待機するかを判断する判断手段を有し、前記ディスク搬送機構を制御して、前記スピンドルから前記検査済磁気ディスクを前記ディスク供受給部に移載し、前記未検査磁気ディスクを前記ディスク供受給部から前記検査装置本体のスピンドルに移載することを特徴とするディスク検査装置。
【請求項２】
請求項１記載のディスク検査装置において、さらに、前記ディスク供受給部と前記検査装置本体との境界部付近ディスク受渡しホルダを設け、
前記ディスク搬送機構は、前記ディスク供受給部から前記未検査磁気ディスクを前記ディスク受渡しホルダに移載し、前記ディスク受渡しホルダから前記検査済磁気ディスクを前記ディスク供受給部の所定のディスクマガジンに移載するカセットハンドと、前記ディスク受渡しホルダから前記未検査磁気ディスクを前記検査装置本体のスピンドルに移載し、前記スピンドルから前記検査済磁気ディスクを前記ディスク受渡しホルダに移載するテスタハンドを備えることを特徴とするディスク検査装置。
【請求項３】
請求項２記載のディスク検査装置において、前記ディスク受渡しホルダは、前記検査済磁気ディスクを載置する検査後ホルダと、前記未検査磁気ディスクを載置する検査前ホルダとをそれぞれ有することを特徴とするディスク検査装置。
【請求項４】
請求項２または請求項３記載のディスク検査装置において、
前記カセットハンドは、前記未検査磁気ディスクを前記ディスク供受給部から前記ディスク受渡しホルダに移載し、前記ディスク受渡しホルダから前記検査済み磁気ディスクを前記ディスク供受給部に移載する第１のチャック部を有し、
前記テスタハンドは、前記未検査磁気ディスクを前記ディスク受渡しホルダから前記検査装置本体のスピンドルに移載する第２のチャック部と、前記検査装置本体のスピンドルから前記検査済み磁気ディスクを前記ディスク受渡しホルダに移載する第３のチャック部を有することを特徴とするディスク検査装置。
【請求項５】
請求項２乃至請求項４のいずれか１つに記載のディスク検査装置において、
前記第２の制御部は、前記複数の検査デッキの前記スピンドルから検査終了信号を受信した場合に、受信した当該スピンドルからディスクをハンドリングする位置に前記テスタハンドを移動し、当該スピンドルの回転が停止するまで待機させることを特徴とするディスク検査装置。
【請求項６】
請求項５記載のディスク検査装置において、
前記第２の制御部は、前記待機中に、他のスピンドルから検査終了信号を受信した場合に、検査終了信号を受信したすべてのスピンドルから検査済み磁気ディスクを前記ディスク受渡しホルダまたは前記ディスク供受給部に移載するまでの時間を算出し、最も早く移載可能なスピンドルを決定し、決定されたスピンドルのディスクを前記ディスク供受給部に移載することを特徴とするディスク検査装置。
【請求項７】
請求項５または請求項６記載のディスク検査装置において、
前記第２の制御部は、前記待機中に、他のスピンドルから検査終了信号を受信した場合に、検査終了信号を受信したすべてのスピンドルから検査済み磁気ディスクを前記ディスク受渡しホルダまたは前記ディスク供受給部に移載するまでの時間を算出し、最も早く移載可能なスピンドルを決定し、当該スピンドルからディスクをハンドリングする位置に前記テスタハンドを移動し、当該スピンドルの回転が停止するまで待機させることを特徴とするディスク検査装置。
【請求項８】
磁気ディスクを装着する複数のスピンドルを備え、前記複数のスピンドルにそれぞれに装着された磁気ディスクの特性を個々に検査するディスク検査装置のディスク検査方法において、
ディスク検査の終了後スピンドルが停止するまでの停止時間をそれぞれのスピンドル毎に格納し、ディスク検査が終了したそれぞれのスピンドルについて、前記停止時間に基づいて前記スピンドルに装着されたディスクをディスク供受給部またはディスク受渡しホルダに移載するまでの時間を算出し、最もディスク交換が早いスピンドルについてディスクの移載を実行することを特徴とするディスク検査方法。
【請求項９】
請求項８記載のディスク検査方法において、前記格納されたそれぞれのスピンドル毎の停止時間は、予め計測して取得することを特徴とするディスク検査方法。
【請求項１０】
請求項８または請求項９記載のディスク検査方法において、前記格納されたそれぞれのスピンドル毎の停止時間は、検査終了後からスピンドル停止までの時間を常にあるいは所定の間隔（所定時間毎または所定回数毎）で計測し、制御部５８に格納された停止時間データを更新することを特徴とするディスク検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気ディスクを効率よく検査するディスク検査装置及びディスク検査方法に関わり、特に、グライド検査とサーティファイ検査等、磁気ディスクの特性を検査するディスク検査装置及びディスク検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
コンピュータシステム等に使用される磁気ディスク（以下、単に、ディスクと称する）は、製造過程でその特性が検査される。特性の検査項目には、ディスクの表面に存在する突起に対するグライド検査と、テストデータの書込み／読出しによるサーティファイ検査などがあり、それぞれに適した磁気ヘッドを使用して検査される。
近年、ディスクは、ますます小型化及び高密度化され、各種のサイズのものが混在している。またその需要も増加し、これに対応して生産量が飛躍的に増大しており、これらの各種、多量のディスクの検査を自動化して効率的に行うことが必要とされている。
以上に対して特許文献１のように、各種のサイズのディスクに対する磁気ヘッドの交換などが容易なヘッドローディング機構が提案されている。
以下、特許文献１の技術を抜粋して従来技術として説明する。
【０００３】
特許文献１の技術を、図１〜図３によって説明する。図１は多連磁気ディスク検査装置１０の全体の構成図であり、図２はデッキ位置決め機構８の構成図であり、図３はデッキ位置決め機構８の部分詳細図である。
【０００４】
図１において、多連磁気ディスク検査装置１０は、共通フレーム４と、これに出し入れ自由として並列に配列された複数組（この場合４組）の検査デッキ５Ａ、５Ｂ、５Ｃおよび５Ｄを具備する。共通フレーム４に隣接してディスク供受給部６を設け、ディスク供受給部６と各検査デッキ５Ａ〜５Ｄの間にディスク搬送機構７を配設して構成される。各検査デッキ５Ａ〜５Ｄは同一で、制御及びデータ処理を行う制御部（図示省略）を内蔵した筐体５１と、その上部に弾性的に支持されたベース盤５２を設け、ベース盤５２に対して、スピンドル２を有する２組の回転機構（図示省略）と、各スピンドル２に装着されたディスク１に対して、それぞれ２組のローディング機構３ａ、３ｂ、及び３ｃ、３ｄを図示のように対向して配設して構成される。この場合、各検査デッキ５Ａ〜５Ｄは、図２で説明するデッキ位置決め機構９により、それぞれのスピンドル２が一直線Ｌをなすように位置決めされる。
なお図示を省略するが、各検査デッキの出し入れを容易にするために筐体５１の底面にキャスターが設けられる。
各ローディング機構は後述の図４のローディング機構３と同一とし、一方の組のローディング機構３ａ、３ｂは、例えばグライド検査を実行している間は、他方の組のローディング機構３ｃ、３ｄは、サーティファイを実行している。ディスク供受給部６は、回転テーブル６１を設け、これに複数のディスクマガジン６２が放射状に載置される。ディスク搬送機構７は、ガイドレール７１と、これに沿って移動する移動部７２、および移動部７２に取り付けられたロボットハンド７３よりなり、それぞれは図示しない制御部により制御されて動作し、ディスク１の搬入及び搬出を行う。
【０００５】
図２において、各検査デッキのベース盤５２は、筐体５１の４箇所に弾性支持具５３により弾性的に支持されている。デッキ位置決め機構８は、ベース盤５２の図示の３箇所と、これに対応した共通フレーム４の３箇所に、それぞれ固設された位置決め具８１ａ、８１ｂと、８２ａ、８２ｂ、及び８３ａ、８３ｂよりなる。
図３（ａ）は、位置決め具８１ａ、８１ｂを示す図である。位置決め具８１ａは、固定された平ローラー８１１と、平ローラー８１１へスプリング８１３により付勢された平ローラー８１２よりなる。また、位置決め具８１ｂは、テーパー付きの丸棒よりなり、位置決め具８１ｂが両ローラーの間に嵌入すると、平ローラー８１１を基準としてこの部分のＺ方向が位置決めされる。
図３（ｂ）は、位置決め具８２ａ、８２ｂを示す図である。位置決め具８２ａは、固定された溝付きローラー８２１とスプリング８２３により溝付ローラー８２１に付勢された平ローラー８２２よりなる。また、位置決め具８１ｂは、テーパー付きの丸棒よりなり、位置決め具８１ｂが両ローラーの間に嵌入して溝付ローラー８２１を基準としてＸ及びＺ方向が位置決めされる。
図３（ｃ）は、位置決め具８３ａ、８３ｂを示す図である。位置決め具８３ｂは、テーパー付きの丸棒である。また、位置決め具８３ａは、３個の平ローラー８３１、８３２、８３３よりなり、それぞれの表面が丸棒の対称的な３点（線）に接触するように配設されたものである。位置決め具８３ａにおいては、嵌入した丸棒が各平ローラー８３１、８３２、８３３の表面に接触することにより、Ｘ、Ｙ、Ｚ方向が位置決めされる。
以上により、ヘッド交換や点検修理のために共通フレーム４から引出された検査デッキ５Ａ〜５Ｄは、これが終了すると共通フレーム４に押し込まれ、上記の３箇所の位置決めにより、そのスピンドル２が直線Ｌに位置決めされる。
【０００６】
次に、図４は、従来のヘッドローディング機構の構成例の概略を示す図である。
被検査ディスク１は、回転機構（図示省略）のスピンドル２に装着されて回転する。これに対するローディング機構３は、ベース３１にそれぞれ固定されたキャリッジ機構３２と、２組の駆動機構３３Ａ、３３Ｂを有するローディングユニット３３、及び、それぞれ２個の磁気ヘッド（以下、単に、ヘッドという）３４１ａ、３４１ｂを有し、キャリッジ機構３２の移動子３２３に着脱自由に装着された２組のヘッドユニット３４Ａ、３４Ｂよりなる。
【０００７】
ディスク１の検査においては、キャリッジ機構３２のキャリッジモータ３２１によりボールねじ３２２を回転すると、その移動子３２３と共に、各ヘッドユニット３４Ａ、３４Ｂの両ヘッド３４１ａ、３４１ｂが移動して、ディスク１の所定のトラックをシークする。ここでグライド検査側の駆動機構３３Ａのロードモータ３３１を動作すると、その回動アーム３３２が左右に回動して、ヘッドユニット３４Ａの両ヘッド３４１ａ、３４１ｂがディスク１の表面と裏面にそれぞれローディングされ、グライド検査がなされる。
この検査中には、サーティファイのヘッドユニット３４Ｂはその両ヘッドがアンロードの状態で待機しており、グライド検査終了後、グライドヘッドをアンロードし、サーティファイをローディングする。従って２種類の検査が停止することなく継続されて検査効率が向上する。なお、上記のローディング機構３においては、両ヘッドのローディング動作は、各駆動機構３３Ａ、３３Ｂの回動アーム３３２に係合したリンク機構（図示省略）を介して、いわば間接的になされるので、各駆動機構の振動は両ヘッドで減衰して、ヘッドローディングとデータアクセスが良好になされることが特徴である。
【０００８】
以下、図１に図４を併用して、多連磁気ディスク検査装置１０によるディスクの検査手順と、その検査能力を説明する。
回転テーブル６１を回転して、被検査のディスク１を収納したディスクマガジン６２を所定の位置に停止し、これに対してディスク搬送機構７の移動部７２を移動して、そのロボットハンド７３によりディスク１をチャックし、例えば検査デッキ５Ａのスピンドル２に装着する。
次に、ローディング機構３ａの動作により、その両ヘッド３４１ａ、３４１ｂをディスク１の表面と裏面にローディングして、ディスク１の両面がグライド検査される。
グライド検査が終了すると、両ヘッド３４１ａ、３４１ｂはアンローディングされ、これに代わってローディング機構３ｂの両ヘッド３４１ａ、３４１ｂが同様にローディングされて両面がサーティファイ検査される。サーティファイ検査の終了により、ディスク１はロボットハンド７３によりスピンドル２から脱去されて回転テーブル６１まで搬送され、検査結果の良否により区別されて検査良好または不良用のマガジン６２にそれぞれ収納される（搬出）。
このような検査手順が他の各検査デッキ５Ｂ〜５Ｃによっても並行して行われる。多連磁気ディスク検査装置１０の稼働実績によると、４組の検査デッキの、都合８個のスピンドル２と１６組のローディング機構３のフル稼働することができる。このようにフル稼働することにより、ディスク１の検査スループットは毎時約１２０枚に達し、昼夜２４時間の連続稼働を一月間に２５日行うと、月当たり７万枚以上の検査能力が得られるものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開平７−１６９２４６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
上述のように、特許文献１に記載の多連磁気ディスク検査装置は、多連磁気ディスク検査装置は、共通フレームと、これに出し入れ自由として並列に配列された複数組の検査デッキ、共通フレームに隣接して設けたディスク供受給部、及び、ディスク供受給部と各検査デッキの間に配設されたディスク搬送機構とにより構成される。
そして、特許文献１に記載の多連磁気ディスク検査装置では、検査デッキによる検査が終了すると、ロボットハンドは次に検査するディスクを用意して、その検査デッキの場所でロボットハンドが待機している。
しかし、検査デッキが検査を終了してから、実際にスピンドルが停止するまでは、個々の検査デッキで異なるため、最初に検査が終了した検査デッキが必ずしも最初にスピンドルが停止するとは限らない。そのため、ロボットハンドが最初に検査を終了した検査デッキで待機して、最初の検査デッキでディスクを交換していると、より高速に検査をしようとすることができない。
本発明の目的は、上記のような問題を鑑みて、ディスクの交換速度をさらに高速化することによって、さらに高速にディスク検査が可能なディスク検査装置及びディスク検査方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記の目的を達成するため、本発明のディスク検査装置は、磁気ディスクを装着する複数のスピンドルを備え前記スピンドルそれぞれに装着された磁気ディスクの特性を個々に検査する複数の検査デッキ、及び、前記検査デッキ及び前記スピンドルを制御する第１の制御部を有する検査装置本体と、前記検査装置本体で検査する前の未検査磁気ディスク及び前記検査装置で検査した検査済磁気ディスクを保管するディスクマガジンを載置する回転テーブルを有するディスク供受給部と、前記ディスク供受給部から前記未検査磁気ディスクを前記検査装置本体のスピンドルに移載し、前記スピンドルから前記検査済磁気ディスクを前記ディスク供受給部の所定のディスクマガジンに移載するディスク搬送機構を有し、前記ディスク供受給部または前記ディスク搬送機構に、前記検査装置本体、前記ディスク供受給部、及び前記ディスク搬送機構を制御する第２の制御部を有し、前記第２の制御部は、前記複数の検査デッキの前記スピンドルにおけるテスト終了からスピンドル停止までを計測した停止時間をそれぞれ格納し、前記複数の検査デッキの前記スピンドルのうちで最初にテストが終了したスピンドルのディスクをハンドリングする位置で待機するか、２番目にテストが終了したスピンドルからディスクをハンドリングする位置で待機するかを判断する判断手段を有し、前記ディスク搬送機構を制御して、前記スピンドルから前記検査済磁気ディスクを前記ディスク供受給部に移載し、前記未検査磁気ディスクを前記ディスク供受給部から前記検査装置本体のスピンドルに移載することを第１の特徴とする。
【００１２】
上記本発明の第１の特徴のディスク検査装置において、さらに、前記ディスク供受給部と前記検査装置本体との境界部付近ディスク受渡しホルダを設け、
前記ディスク搬送機構は、前記ディスク供受給部から前記未検査磁気ディスクを前記ディスク受渡しホルダに移載し、前記ディスク受渡しホルダから前記検査済磁気ディスクを前記ディスク供受給部の所定のディスクマガジンに移載するカセットハンドと、前記ディスク受渡しホルダから前記未検査磁気ディスクを前記検査装置本体のスピンドルに移載し、前記スピンドルから前記検査済磁気ディスクを前記ディスク受渡しホルダに移載するテスタハンドを備えることを本発明の第２の特徴とする。
【００１３】
上記本発明の第２の特徴のディスク検査装置において、前記ディスク受渡しホルダは、前記検査済磁気ディスクを載置する検査後ホルダと、前記未検査磁気ディスクを載置する検査前ホルダとをそれぞれ有することを本発明の第３の特徴とする。
【００１４】
上記本発明の第２の特徴または第３の特徴のディスク検査装置において、前記カセットハンドは、前記未検査磁気ディスクを前記ディスク供受給部から前記ディスク受渡しホルダに移載し、前記ディスク受渡しホルダから前記検査済み磁気ディスクを前記ディスク供受給部に移載する第１のチャック部を有し、
前記テスタハンドは、前記未検査磁気ディスクを前記ディスク受渡しホルダから前記検査装置本体のスピンドルに移載する第２のチャック部と、前記検査装置本体のスピンドルから前記検査済み磁気ディスクを前記ディスク受渡しホルダに移載する第３のチャック部を有することを本発明の第４の特徴とする。
【００１５】
上記本発明の第２の特徴乃至第４の特徴のいずれかのディスク検査装置において、前記第２の制御部は、前記複数の検査デッキの前記スピンドルから検査終了信号を受信した場合に、受信した当該スピンドルからディスクをハンドリングする位置に前記テスタハンドを移動し、当該スピンドルの回転が停止するまで待機させることを本発明の第５の特徴とする。
【００１６】
上記本発明の第５の特徴のディスク検査装置において、前記第２の制御部は、前記待機中に、他のスピンドルから検査終了信号を受信した場合に、検査終了信号を受信したすべてのスピンドルから検査済み磁気ディスクを前記ディスク受渡しホルダまたは前記ディスク供受給部に移載するまでの時間を算出し、最も早く移載可能なスピンドルを決定し、決定されたスピンドルのディスクを前記ディスク供受給部に移載することを本発明の第６の特徴とする。
【００１７】
上記本発明の第５の特徴または第６の特徴のディスク検査装置において、前記第２の制御部は、前記待機中に、他のスピンドルから検査終了信号を受信した場合に、検査終了信号を受信したすべてのスピンドルから検査済み磁気ディスクを前記ディスク受渡しホルダまたは前記ディスク供受給部に移載するまでの時間を算出し、最も早く移載可能なスピンドルを決定し、当該スピンドルからディスクをハンドリングする位置に前記テスタハンドを移動し、当該スピンドルの回転が停止するまで待機させることを本発明の第７の特徴とする。
【００１８】
また上記の目的を達成するため、本発明のディスク検査方法は、磁気ディスクを装着する複数のスピンドルを備え、前記複数のスピンドルにそれぞれに装着された磁気ディスクの特性を個々に検査するディスク検査装置のディスク検査方法において、ディスク検査の終了後スピンドルが停止するまでの停止時間をそれぞれのスピンドル毎に格納し、ディスク検査が終了したそれぞれのスピンドルについて、前記停止時間に基づいて前記スピンドルに装着されたディスクをディスク供受給部またはディスク受渡しホルダに移載するまでの時間を算出し、最もディスク交換が早いスピンドルについてディスクの移載を実行することを本発明の第８の特徴とする。
【００１９】
上記本発明の第８の特徴のディスク検査方法において、前記格納されたそれぞれのスピンドル毎の停止時間は、予め計測して取得することを本発明の第９の特徴とする。
【００２０】
上記本発明の第８の特徴または第９の特徴のディスク検査方法において、前記格納されたそれぞれのスピンドル毎の停止時間は、検査終了後からスピンドル停止までの時間を常にあるいは所定の間隔（所定時間毎または所定回数毎）で計測し、制御部５８に格納された停止時間データを更新することを本発明の第１０の特徴とする。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、ディスクの交換速度をさらに高速化することができる。その結果、さらに高速にディスク検査が可能となった。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】多連磁気ディスク検査装置１０の全体の構成図である。
【図２】デッキ位置決め機構８の構成図である。
【図３】デッキ位置決め機構８の部分詳細図である。
【図４】従来のヘッドローディング機構の構成例の概略を示す図である。
【図５】本発明の多連磁気ディスク検査装置の全体構成の一実施例を説明するための斜視図である。
【図６】本発明の多連磁気ディスク検査装置を使ったディスク検査方法の動作手順の一実施例を説明するためのフローチャートである。
【図７】本発明の多連磁気ディスク検査装置を使ったディスク検査方法の停止時間取得ステップの動作手順の一実施例を説明するためのフローチャートである。
【図８】本発明の多連磁気ディスク検査装置を使ったディスク検査方法の検査実行ステップの動作手順の一実施例を説明するためのフローチャートである。
【図９】本発明の多連磁気ディスク検査装置を使ったディスク検査方法の動作手順の一実施例を説明するためのフローチャートである。
【図１０】本発明の多連磁気ディスク検査装置を使ったディスク検査方法の検査実行ステップの動作手順の一実施例を説明するためのフローチャートである。
【図１１】本発明の多連磁気ディスク検査装置を使ったディスク検査方法の動作手順の一実施例を説明するためのフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下に本発明の一実施形態について、図面等を用いて説明する。
なお、以下の説明は、本発明の一実施形態を説明するためのものであり、本願発明の範囲を制限するものではない。従って、当業者であればこれらの各要素若しくは全要素をこれと均等なものに置換した実施形態を採用することが可能であり、これらの実施形態も本願発明の範囲に含まれる。
また、各図の説明において、従来の技術を説明した図１〜図４を含め、同一の機能を有する構成要素には同一の参照番号を付し、重複を避けるため、できるだけ説明を省略する。
【実施例１】
【００２４】
本発明の多連磁気ディスク検査装置の第１の実施形態を図５〜図８によって説明する。
【００２５】
まず、本発明の磁気ディスク検査装置の全体構成の一実施例を図５によって説明する。図５は、本発明の多連磁気ディスク検査装置の全体構成の一実施例を説明するための斜視図である。
図５において、多連磁気ディスク検査装置５０の装置本体は、共通フレーム４と、これに出し入れ自由として並列に配列された複数組（この場合４組）の検査デッキ５Ａ、５Ｂ、５Ｃ及び５Ｄを具備する。さらに、多連磁気ディスク検査装置５０は、共通フレーム４に隣接して、ディスク供受給部５６を設け、ディスク供受給部５６と各検査デッキ５Ａ〜５Ｄの間にディスク搬送機構５７を配設して構成される。
【００２６】
各検査デッキ５Ａ〜５Ｄはほぼ同一の機能を有し、それぞれが制御及びデータ処理を行う制御ユニット（図示省略）を内蔵し、さらに各検査デッキ５Ａ〜５Ｄを一元化して制御及びデータ処理を行う制御部５９を設けている。
また、各検査デッキ５Ａ〜５Ｄは、その上部に弾性的に支持されたベース盤５２を設け、ベース盤５２に対して、スピンドル２をそれぞれ有する２組の回転機構（図示省略）と、各スピンドル２に装着されたディスク１に対して、それぞれ２組のローディング機構３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄを図示のように対向して配設して構成される。この場合、各検査デッキ５Ａ〜５Ｄは、デッキ位置決め機構９により、それぞれのスピンドル２が一直線Ｌをなすように位置決めされる。
なお図示を省略するが、各検査デッキの出し入れを容易にするために筐体５１の底面にキャスターが設けられる。
この複数組の検査デッキ５Ａ〜５Ｄと制御部５９を合わせて、検査装置本体と称する。
各ローディング機構３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄは、上述した図４のローディング機構３と同一の機構である。そして例えば、一方の組のローディング機構３ａ、３ｂがグライド検査を実行している間は、他方の組のローディング機構３ｃ、３ｄは、サーティファイ検査を実行している。このようにして、検査装置本体は、各スピンドル２に装着されたディスク１を、個々に特性検査する。
【００２７】
ディスク供受給部５６は、回転テーブル６１を設け、これに複数のディスクマガジン６２が放射状に載置される。ディスクマガジン６２には、検査済み磁気ディスクと検査前磁気ディスクが、それぞれ所定の場所に保管されている。
ディスク搬送機構５７は、ガイドレール７１と、これに沿って移動する移動部７２ａ及び７２ｂ、並びに、移動部７２ａに取付けられたカセットハンド７３ａ及び移動部７２ｂに取付けられたテスタハンド７３ｂよりなる。なお、カセットハンド７３ａとテスタハンド７３ｂをガイドするガイドレール７１は、共通のガイドレールを用いる必要はなく、別々のガイドレールとしても良い。
ディスク供受給部５６及びディスク搬送機構５７、並びに制御部５９は、制御部５８により制御されて動作する。ディスク供受給部５６またはディスク搬送機構５７のいずれかに制御部５８が設けられる。
制御部５８と制御部５９は、互いにそれぞれのデータや制御情報を共有できるように、データバスやＬＡＮ（Local Area Network）等によって接続されており、起動後は、操作員が制御部５８を用いて図示省略のＭＭＩ（Man Machine Interface）を介して操作する。なお、操作員の判断が必要な事項が発生していない場合には、制御部５８は、記憶されている実行プログラムに従って、多連ディスク検査装置５０を自動的に制御し、ディスク検査を実行している。また、制御部５８と制御部５９は、内部または外部に記憶装置（図示省略）を有し、例えば、ＰＣ（Personal Computer）、また例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）である。
制御部５８は、検査前のディスク１の搬入及び検査後のディスクの搬出動作を制御し、制御部５９は、ディスク１のグライド検査及びサーティファイ検査の動作を制御する。
【００２８】
また、ディスク供受給部５６は、直線Ｌ上のディスク供受給部５６と検査装置本体との境界部付近に、ディスク受渡しホルダ５５を設けている。
ディスク受渡しホルダ５５には、２つのホルダがある。一方のホルダは、検査前のディスクの載置専用の検査前ホルダ１ａである。カセットハンド７３ａは、移動部７２ａによってガイドレール７１上を矢印方向（Ｘ方向）に移動して、回転テーブル６１上の所定のディスクマガジン６２から被検査前のディスク１をハンドリングして検査前ホルダ１ａに載置する。また、他方のホルダは検査後のディスクの載置専用の検査後ホルダ１ｂである。テスタハンド７３ｂは、移動部７２ｂによってガイドレール７１上を矢印方向（Ｘ方向）にスピンドルからディスクをハンドリングする位置まで移動して、検査デッキ５Ａ〜５Ｄのいずれかのスピンドル２から検査が終わったディスク１を脱去して検査後ホルダ１ｂに載置する。なお、後述するディスクの搬入とは、ディスク供受給部５６のディスクマガジン６２から検査前のディスクを取り出し、検査デッキ５Ａ〜５Ｄのいずれかのスピンドル２に載置するまでの動作を言う。また、後述するディスクの搬出とは、検査デッキ５Ａ〜５Ｄのいずれかのスピンドル２から検査後のディスクを脱去し、ディスク供受給部５６のディスクマガジン６２に載置するまでの動作を言う。また、ディスクの搬入及びディスクの搬出の動作を共通して移載とも称する。即ち、移載とは、ディスク搬送機構が有る場所からハンドリングし、他の場所に載置する動作をいう。
また、カセットハンド７３ａは、検査前のディスクを検査前ホルダ１ａに載置後、検査後のホルダ１ｂに検査後のディスクを脱去し、回転テーブル６１上の所定のディスクマガジン６２に検査後のディスク１をハンドリングして載置する。この時、カセットハンド７３ａは、制御部５８の制御に基づいて、当該検査後のディスクが不良品か良品かで分類して所定のディスクマガジン６２に載置する。また、良品に等級差がある場合には、等級別に定められた所定のディスクマガジン６２に載置する。
【００２９】
図５において、移動部７２ａに設けたカセットハンド７３ａは、簡略化されており、円５７３ａ内に拡大したカセットハンド７３ａの一実施例を示す。カセットハンド７３ａは、ディスク１を着脱する１つのチャック部７３ａａから成り、Ｚ軸方向及びＹ軸方向に任意に平行移動可能であり、かつ、ＸＹ平面上及びＸＺ平面上で任意に回転可能にしている。また、チャック部７３ａａは、ディスク１を着脱自在な機構を備える。
同様に、移動部７２ｂに設けたテスタハンド７３ｂは、簡略化されており、円５７３ｂ内に拡大したテスタハンド７３ｂの一実施例を示す。テスタハンド７３ｂは、互いに９０［°］角度が異なるディスク１を着脱する２つのチャック部７３ｂａと７３ｂｂから構成されている。例えば、一方のチャック部７３ｂａ（または７３ｂｂ）が着脱動作をしている時には、他方のチャック部７３ｂｂ（または７３ｂａ）は、チャック部７３ｂａ（または７３ｂｂ）の動作を妨げないように構成されている。チャック部７３ｂａ、７３ｂｂは、Ｚ軸方向及びＹ軸方向に任意に平行移動可能であり、かつ、ＸＹ平面上及びＸＺ平面上で任意に回転可能にしている。また、チャック部７３ｂａ、７３ｂｂは、ディスク１を着脱自在な機構を備える（図示省略）。
而して、チャック部７３ａａ、７３ｂａ及び７３ｂｂは、Ｚ軸方向及びＹ軸方向に任意に平行移動可能であり、かつ、ＸＹ平面上及びＸＺ平面上で任意に回転可能にしている。
なお、ディスク搬送装置５７のロボットハンド７３、カセットハンド７３ａ及びテスタハンド７３ｂ、並びにガイドレール７１は、ディスク１の搬入及び搬出が可能であれば、どのような形態でも良いことは勿論のことである。
【００３０】
図６によって、本発明の多連磁気ディスク検査装置を使ったディスク検査方法の処理動作について説明する。図６は、本発明の多連磁気ディスク検査装置を使ったディスク検査方法の動作手順の一実施例を説明するためのフローチャートである。
図６において、制御部５８は、ステップＳ１１０、Ｓ１２０、及びステップＳ１４０を実行する。
ここで、制御部５８は、移動部７２ａ及びカセットハンド７３ａを制御して、ディスク受渡しホルダ５５の検査前ホルダ１ａにディスクが無ければ検査前のディスクを装着する動作を常に行っている。また、制御部５８は、移動部７２ａ及びカセットハンド７３ａを制御して、検査後ホルダ１ｂにディスクがあれば当該検査後のディスクをディスクマガジン６２の所定の場所に移動する動作を常に行っている。
なお、移動部７２ａは、上述のディスク受渡しホルダ５５とディスクマガジン６２間のディスク着脱動作終了後は、速やかに所定の位置に移動して待機する。この所定の位置は、例えば、移動部７２ｂがディスク受渡しホルダ５５とスピンドル間のディスク着脱動作を行う動作を妨げない位置である。
【００３１】
制御部５８は、新規のディスクについてディスク検査が開始されると、データ有無確認ステップＳ１１０を実行する。即ち、データ有無確認ステップＳ１１０では、被検査ディスク（検査前ディスク）１について各検査デッキ５Ａ〜５Ｄにおいて、テスト終了からディスク停止までの時間のデータ（以下、停止時間データと称する）が制御部５９に保存されているか否かを確認する。なお、一般的には、停止時間データは制御部５８または制御部５９のどちらかに保存されている。本実施例では、制御部５９に保存されているとして説明する。しかし、停止時間データを制御部５９に保存せず、制御部５８に保存する場合には、停止時間データの有無の確認（データ有無確認ステップＳ１１０）では、制御部５９に保存されているか否かを確認する。
この場合、制御部５８は、制御部５９に停止時間データが保存されている場合には、当該停止時間データを自機の記憶装置にコピーして格納し、検査実行ステップＳ１４０の処理に移行する。また、制御部５８は、制御部５９に停止時間データがない場合には、停止時間取得ステップＳ１２０の処理に移行する。
【００３２】
停止時間取得ステップＳ１２０では、被検査ディスク１について各検査デッキ５Ａ〜５Ｄにおける停止時間データを取得し、制御部５８の記憶装置に格納して、検査実行ステップＳ１４０の処理に移行する。
検査実行ステップＳ１４０では、ディスク検査を実行する。
操作員からＭＭＩを介して被検査ディスク１のディスク検査の終了指示があった場合には、ディスク検査を終了する。終了時に制御部５８は、自機に格納していた停止時間データを制御部５９に送信し、制御部５９は当該停止時間データを、検査したディスクに関連付けて保存する。
【００３３】
次に、図７によって停止時間取得ステップＳ１２０の処理動作の一実施例を説明する。図７は、本発明の多連磁気ディスク検査装置を使ったディスク検査方法の停止時間取得ステップＳ１２０の動作手順の一実施例を説明するためのフローチャートである。
制御部５８は、以下のステップＳ２１１、Ｓ２０１〜Ｓ２０８、及びＳ２１２の処理を実行する。
パラメータｌ（エル）初期化ステップＳ２１１では、パラメータｌを１に設定する（ｌ＝１）。なお、ｌは、１以上の自然数である。例えば、ｌは４（ｌ＝４）または５（ｌ＝５））とする。
パラメータｎ、ｊの初期化ステップＳ２０１では、パラメータｎとパラメータｊを１に設定する（ｎ＝１、ｊ＝１）。なお、ｎ、ｊは、自然数である。
次に、ディスク搬入ステップＳ２０２では、ｎ番目のスピンドルに検査前のディスク１を搬入する。
なお、初めて各検査デッキ５Ａ〜５Ｄのそれぞれ２つスピンドルにディスクを装着する場合には、ディスク供給部５６に近い方から順番にディスクを装着する。
次に、ディスク検査開始ステップＳ２０３では、制御装置５９に指令して、装着されたディスクについてグライド検査及びサーティファイ検査を開始する。
次のパラメータ加算ステップＳ２０４では、パラメータｎに１を加算する（ｎ＝ｎ＋１）。
【００３４】
検査終了確認ステップＳ２０５では、ディスク検査が終わり、かつ停止時間を取得していないスピンドルがあるか否かを確認する。ディスク検査が終わり、かつ停止時間を取得していないスピンドルがない場合には、ディスク搬入終了確認ステップＳ２０６の処理に移行する。またディスク検査が終わり、かつ停止時間を取得していないスピンドルがあった場合には、停止時間算出ステップＳ２０７の処理に移行する。
なお、ディスク検査の終了は、制御部５９を介してまたは、検査が終了したスピンドルの検査デッキから送信される検査終了信号を、制御部５８が受信することによって確認される。
ディスク搬入終了確認ステップＳ２０６では、パラメータｎの値がｍより大であるか否かによってすべてのスピンドルにディスク１が搬入されたか否かを確認する。ここで、ｍは、多連磁気ディスク検査装置５０のスピンドルの数である。すべてのスピンドルにディスク１が搬入されていない（ｎ≦ｍ）場合にはディスク搬入ステップＳ２０２の処理に移行する。また、すべてのスピンドルにディスク１が搬入された（ｎ＞ｍ）場合には検査終了確認ステップＳ２０５の処理に移行する。ここで、ｍは、検査デッキすべてのスピンドルの台数である。
【００３５】
停止時間算出ステップＳ２０７では、当該スピンドルにおいて、ディスク検査が終了してから、スピンドルの回転が停止するまでの時間Ｄ１を算出する。そして、式（１）に示すようにして平均の停止時間Ｄ０を算出し、パラメータ加算ステップＳ２０８の処理に移行する。
Ｄ＝｛（Ｄ０×（ｌ−１））＋Ｄ１｝／（ｌ＋１）      ・・・式（１）
ただし、Ｄ０は前回まで保存されていたデータの値、Ｄ１は今回計測された停止時間の値である。この結果、それぞれのスピンドルについて、停止時間の平均値を算出することができる。
なお、各検査デッキ５Ａ〜５Ｄにおいて、検査終了からディスク停止までの時間の測定は、各検査デッキ５Ａ〜５Ｄのスピンドル毎に数回行い、その平均値を算出し、記憶装置に保存する。この理由は、各スピンドルについて、検査終了からディスク停止までの時間が異なるためにスピンドルごとに計測し、それぞれのスピンドルについて計測の信頼性を上げるため複数回計測してその平均を算出している。
【００３６】
また、移動部７２ｂを回転が停止したスピンドル２まで移動させ、テスタハンド７３ｂのチャック部７３ｂａまたは７３ｂｂのうちディスクをハンドリングしていないチャック部に検査後のディスクをスピンドル２から脱去する。また、もう１つのチャック部に検査前のディスクがある場合には、その検査前のディスクをスピンドル２に装着する。検査前のディスクを装着された当該スピンドル２は、ディスク検査を開始する。なお、ハンドリングとは、チャック部が、スピンドル２、ディスク受け渡しホルダ５５、あるいはディスクマガジン６２からディスクを脱去して保持する動作を言う。また、チャック部が、スピンドル２、ディスク受け渡しホルダ５５、あるいはディスクマガジン６２に保持したディスク１を載置する動作を装着ともいい、脱去及び装着の動作を合わせて、着脱と称する。
その後、移動部７２ｂは、ディスク受渡しホルダ５５のハンドリング位置まで移動し、テスタハンド７３ｂは、検査後のディスクを検査後ホルダ１ｂの装着し、検査前のディスクを検査前ホルダ１ａから脱去してハンドリングし、所定の位置に移動して待機する。ここで、所定の位置は、例えば、検査デッキ５Ｄのディスク受渡しホルダ５５に近いスピンドル位置である。また、この所定の位置は、移動部７２ａがディスク受渡しホルダ５５に検査前のディスクを装着する動作及び検査後のディスクをハンドリングする動作を妨げない位置である。
【００３７】
パラメータｊ、ｌの加算ステップＳ２０８では、パラメータｊ及びｌにそれぞれ１を加算する（ｊ＝ｊ＋１、ｌ＝ｌ＋１）。
ディスク搬入終了確認ステップＳ２０９では、パラメータｊの値がｍより大であるか否かを確認する。ｊ≦ｍの場合にはディスク搬入終了確認ステップＳ２０６の処理に移行する。また、ｊ＞ｍの場合には、取得終了確認ステップＳ２１２の処理に移行する。
取得終了確認ステップＳ２１２では、ｌの値がｉより大であるか否かによってすべてのスピンドルの停止時間が取得されたか否かを確認する。すべてのスピンドルの停止時間が取得されていない（ｌ≦ｉ）場合にはディスク搬入終了確認ステップＳ２０６の処理に移行する。すべてのスピンドルの停止時間が取得された（ｌ＞ｉ）場合には、停止時間取得ステップＳ１２０の処理を終了する。
なお、図７の実施例では、検査前のディスクを使用して停止時間のデータを取得したが、ダミーディスク等、製品ではない停止時間取得用のディスクを用いても良い。
【００３８】
次に、図８によって検査実行ステップＳ１４０の処理動作の一実施例を説明する。図８は、本発明の多連磁気ディスク検査装置を使ったディスク検査方法の検査実行ステップＳ１４０の動作手順の一実施例を説明するためのフローチャートである。
制御部５８は、以下のステップＳ４０１〜Ｓ４０８の処理を実行する。
検査終了確認ステップＳ４０１では、検査を終了したスピンドルがあるか否かを確認する。検査を終了したスピンドルがある場合にはテスタハンド移動ステップＳ４０２の処理に移行し、無い場合には、所定時間後に再度検査終了確認ステップＳ４０１を実行する。
【００３９】
テスタハンド移動ステップＳ４０２では、制御部５８は、移動部７２ｂ及びテスタハンド７３ｂを制御して、検査を終了したスピンドルに移動する。
検査終了確認ステップＳ４０３では、ステップＳ４０２で移動したスピンドル以外に検査終了したスピンドルがあるか否かを確認する。ステップＳ４０２で移動したスピンドル以外に検査終了したスピンドルがある場合には、演算ステップＳ４０４の処理に移行する。また、ステップＳ４０２で移動したスピンドル以外に検査終了したスピンドルが無い場合には、スピンドル停止確認ステップＳ４０６の処理に移行する。
【００４０】
演算ステップＳ４０４では、テスタハンド移動ステップＳ４０２で移動したスピンドルの回転が停止し、その後テスタハンド７３ｂが検査後のディスクを脱去し、更に移動して検査後のディスクをディスク受渡しホルダ５５に搬出するまでの時間を算出する（算出結果Ｉ）。また、テスタハンド３ｂがそれ以外に検査終了したスピンドルに移動し、検査後のディスクを脱去し、更に移動して検査後のディスクをディスク受渡しホルダ５５に搬出するまでの時間を算出する（算出結果ＩＩ）。
それぞれのスピンドル２が検査終了から停止するまでの時間は、停止時間取得ステップＳ１２０で取得するか、または、制御部５９からデータを受信している。
また、テスタハンド７３ｂがそれ以外のスピンドルまで移動する時間は、スピンドルの位置とテスタハンド７３ｂの移動速度から算出できる。
なお、テスタハンド７３ｂが、各スピンドル２から、検査後のディスクを脱去し、検査前のディスクを装着するまでの時間は、同一として演算している。
【００４１】
移動要確認ステップＳ４０５では、算出結果Ｉと算出結果ＩＩを比較し、算出結果ＩＩの時間の方が算出結果Ｉの時間より短い場合には、テスタハンド移動ステップＳ４０２の処理に移行する。また、算出結果Ｉの時間の方が算出結果ＩＩの時間より短い場合には、スピンドル停止確認ステップＳ４０６の処理に移行する。
なお、ステップＳ４０４及びステップＳ４０５は、検査終了信号を送信したすべてのスピンドルについて算出し、その中で最も早くディスク交換を終了する時間が最も早いスピンドルを決定し、決定された当該スピンドルについて、ディスク交換を実行する。
例えば、今、検査終了信号を受信して、移動部７２ｂが検査デッキ５Ｃのスピンドルディスクを交換するための位置（即ち、当該スピンドルからディスクをハンドリングする位置）にある。この場合に、ステップＳ４０５は、ステップＳ４０５では、ステップＳ４０４の演算の結果から、早くディスク交換処理が終了する方のスピンドルを選択する。即ち、ステップＳ４０５では、ディスク搬送機構７が検査デッキ５Ｃのスピンドルディスクを交換するための位置に待機するか、検査デッキ５Ｂのスピンドルを交換するための位置に移動するかを判断する。ディスク搬送機構７が検査デッキ５Ｂに移動すると、移動している間に検査デッキ５Ｃのスピンドルが停止するとき（ステップＳ４０５がＮｏのとき）、ディスク搬送機構７は検査デッキ５Ｃで待機し、検査デッキ５Ｃのスピンドル停止信号を検出する（ステップＳ４０６）。一方、検査デッキ５Ｃのスピンドルが停止するよりも、ディスク搬送機構７が検査デッキ５Ｂに移動して、検査デッキ５Ｂのスピンドルが停止するのが早いときは（ステップＳ４０５がＹｅｓのとき）、ディスク搬送機構７が検査デッキ５Ｂに移動する（ステップＳ４０２）。このように、ディスク搬送機構７が検査デッキ５Ｂに移動すると、ディスク搬送機構７が検査デッキ５Ｃで待機し続けるよりも、未検査ディスクを早く交換することができる。
【００４２】
スピンドル停止確認ステップＳ４０６では、スピンドルの回転が停止したか否かを確認する。スピンドルの回転が停止していない場合には、検査終了ステップＳ４０３の処理に移行する。スピンドルの回転が停止した場合には、ディスク交換ステップＳ４０７の処理に移行する。
ディスク交換ステップＳ４０７では、テスタハンド７３ｂのチャック部７３ｂａまたは７３ｂｂのうちディスクをハンドリングしていないチャック部に検査後のディスクをスピンドル２から脱去する。また、他のチャック部から検査前のディスクをスピンドル２に装着する。検査前のディスクを装着された当該スピンドル２は、ディスク検査を開始する。
なお、上述したように、制御部５８は、ディスク受渡しホルダ５５の検査前ホルダ１ａにディスクが無ければ検査前のディスクを装着する動作と、検査後ホルダ１ｂにディスクがあれば検査後のディスクを所定のディスクマガジンに移動する動作を常に行っている。従って、ディスク受渡しホルダ５５の検査ホルダ１ｂにある検査後のディスク１は、移動部７２ａ及びカセットハンド７３ａによって、所定のディスクマガジン６２に移動する。
【００４３】
検査停止確認ステップＳ４０８では、操作員のＭＭＩを介した指示によって検査停止の指令があるか否かを確認する。検査停止の指令があった場合には、ディスク検査を終了する。また、検査停止の指令が無い場合には、再度、ステップＳ４０１から検査実行ステップＳ１４０の処理を実行する。
【００４４】
上述の実施例１によれば、スピンドルに装着された磁気ディスクを検査する複数の検査装置と、前記検査装置で検査する前の未検査磁気ディスク（検査前ディスク）及び前記検査装置で検査した検査済磁気ディスク（検査後ディスク）を保管する保管手段と、前記検査前ディスクを前記保管手段から前記検査装置の前記スピンドルに搬入し、検査後ディスクを前記検査装置の前記スピンドルから前記保管手段に搬出する搬送装置と、を有し、前記搬送装置は、前記複数の検査装置におけるテスト終了からスピンドル停止までを計測した時間を格納し、前記複数の検査装置のうちで最初にテストが終了した検査装置で待機するか、２番目にテストが終了した検査装置で待機するかを判断する判断手段を有することによって、磁気ディスクの交換速度をさらに高速化することができる。その結果、さらに高速に磁気ディスク検査ができる。
【実施例２】
【００４５】
本発明の多連磁気ディスク検査装置の第２の実施形態を図５、図９、及び図１０によって説明する。
図５の本発明の多連磁気ディスク検査装置の全体構成は、既に説明した通りである。
【００４６】
図９によって、本発明の多連磁気ディスク検査装置を使ったディスク検査方法の処理動作について説明する。図９は、本発明の多連磁気ディスク検査装置を使ったディスク検査方法の動作手順の一実施例を説明するためのフローチャートである。
図９において、制御部５８は、ステップＳ１１０、Ｓ１２０、Ｓ１６０、及びステップＳ１６１を実行する。
図９は、図６のフローチャートの検査実行ステップＳ１４０に替えて検査実行ステップＳ１６０を実行し、さらに、停止時間データ書き込みステップＳ１６１を実行するものである。
図９の検査実行ステップＳ１６０は、図６の検査実行ステップＳ１４０において、検査終了後からスピンドル停止までの時間を常にあるいは所定の間隔（所定時間毎または所定回数毎）で計測し、制御部５８に格納された停止時間データを更新するようにしたものである。
また検査終了後に、停止時間データ書き込みステップＳ１６１において、更新された停止時間データによって制御部５９の記憶装置のデータを更新または保存するようにしたものである。
なお、停止時間データを制御部５９に保存せず、制御部５８に保存する場合には、停止時間データ書き込みステップＳ１６１は不要である。
【００４７】
図１０によって、検査実行ステップＳ１６０の処理動作の一実施例を説明する。図１０は、本発明の多連磁気ディスク検査装置を使ったディスク検査方法の検査実行ステップＳ１６０の動作手順の一実施例を説明するためのフローチャートである。
制御部５８は、以下のステップＳ４０１〜Ｓ４０６、Ｓ４１７、Ｓ４０７、及びＳ４０８の処理を実行する。即ち、図１０の検査実行ステップＳ１６０は、図８の検査実行ステップＳ１４０に対して、スピンドル停止確認ステップＳ４０６とディスク交換ステップＳ４０７の処理の間に、停止時間算出ステップＳ２１７の処理を挿入したものである。
【００４８】
即ち、図８と同じ処理を実行して、スピンドル停止確認ステップＳ４０６においてスピンドルの回転が停止した場合には、停止時間算出ステップＳ２１７の処理に移行する。
停止時間算出ステップＳ２１７では、当該スピンドルにおいて、ディスク検査が終了してから、スピンドルの回転が停止するまでの時間を算出し、ディスク交換ステップＳ４０７の処理に移行する。
以下、ディスク交換ステップＳ４０７及び検査終了確認ステップＳ４０８の処理は図８と同じである。
【００４９】
図１０の検査終了後に、停止時間データ書き込みステップＳ１６１では、制御部５８は、更新された停止時間データを制御部５９に送信する。制御部５９は、送信された停止時間データと同じディスクの種類のデータが既に保存されていれば、送信されたデータで更新する。また制御部５９は、保存されていない新しいディスクの種類のデータであれば、ディスクの種類と関連付けて新規に保存する。
の記憶装置のデータを更新または保存するようにしたものである。
なお、停止時間データを制御部５９に保存せず、制御部５８に保存する場合には、停止時間データ書き込みステップＳ１６１は不要である。
【００５０】
なお、図１０において、制御部５８が各スピンドルにおける停止時間データを更新する場合には、次の式（２）のようにして、各検査デッキ５Ａ〜５Ｄに存在するそれ２つのスピンドルの停止時間データを更新する。
Ｄ＝｛（Ｄ０×ｋ）＋Ｄ１｝／（ｋ＋１）      ・・・式（２）
ただし、Ｄ０は前回まで保存されていたデータの値、Ｄ１は今回計測された停止時間の値、ｋはＤ０の算出に使用したサンプル数である。
【００５１】
上述の実施例２によれば、実施例１の効果に加え、各スピンドルの停止時間データを更新しているため、さらに正確に移動時間を算出できる。従って、各検査デッキの経時変化や温度変化に対して対応できるため、さらに確実に検査時間を短縮することができる。
【実施例３】
【００５２】
本発明の多連磁気ディスク検査装置の第２の実施形態を図５、図１０、及び図１１によって説明する。
図５の本発明の多連磁気ディスク検査装置の全体構成は、既に説明した通りである。
【００５３】
図１１によって、本発明の多連磁気ディスク検査装置を使ったディスク検査方法の処理動作について説明する。図１１は、本発明の多連磁気ディスク検査装置を使ったディスク検査方法の動作手順の一実施例を説明するためのフローチャートである。
図１１は、図９のフローチャートの停止時間計測ステップＳ１２０に替えて初期値設定ステップＳ１１１を実行するようにして、停止時間計測の処理を省略して、ディスク検査の時間をさらに短縮したものである。
【００５４】
図１１において、制御部５８は、ステップＳ１１０、Ｓ１１１、Ｓ１６０、及びステップＳ１６１を実行する。
データ有無確認ステップＳ１１０において、制御部５９に停止時間データが保存されている場合には、当該停止時間データを自機の記憶装置にコピーして格納し、検査実行ステップＳ１６０の処理に移行する。また、制御部５８は、制御部５９に停止時間データがない場合には、初期値ステップＳ１１１の処理に移行する。
【００５５】
初期値設定ステップＳ１１１では、各検査デッキ５Ａ〜５Ｄにそれぞれ１つあるスピンドルそれぞれについて、予め定められた時間を停止時間として設定する。即ち、予め設定された初期値の停止時間データを設定し、検査実行ステップＳ１６０の処理に移行する。
以下、検査実行ステップＳ１６０の処理及び停止時間データ書き込みステップＳ１６１の処理を実行する。即ち、ステップＳ１６１の処理では、制御部５８が制御部５９に送信する停止時間データは、ディスクの種類と関連付けて新規に保存する。
なお、停止時間データを制御部５９に保存せず、制御部５８に保存する場合には、停止時間データ書き込みステップＳ１６１は不要である。
【００５６】
実施例３によれば、実施例２の効果に加え、停止時間計測の処理を省略しているため、ディスク検査の時間をさらに短縮することができる。
【符号の説明】
【００５７】
１：磁気ディスク（ディスク）、  １ａ：検査前ホルダ、  １ｂ：検査後ホルダ、  ２：スピンドル、  ３、３ａ〜３ｄ：ローディング機構、  ４：共通フレーム、  ５Ａ、５Ｂ、５Ｃ、５Ｄ：検査デッキ、  ６：ディスク供受給部、  ７：ディスク搬送機構、  ８：デッキ位置決め機構、  ９：デッキ位置決め機構、  １０：多連磁気ディスク検査装置、  ３２：キャリッジ機構、  ３３Ａ、３３Ｂ：駆動機構、  ３４Ａ、３４Ｂ：ヘッドユニット、  ５０：多連磁気ディスク検査装置、  ５１：筐体、  ５２：ベース盤、  ５３：弾性支持具、  ５５：ディスク受渡しホルダ、  ５６：ディスク供受給部、  ５７：ディスク搬送機構、  ５８、５９：制御部、  ６１：回転テーブル、  ６２：ディスクマガジン、  ７１：ガイドレール、  ７２、７２ａ、７２ｂ：移動部、  ７３：ロボットハンド、  ７３ａ：カセットハンド、  ７３ｂ：テスタハンド、  ７３ａａ、７３ｂａ、７３ｂｂ：チャック部、  ８１ａ、８１ｂ、８２ａ、８２ｂ、８３ａ、８３ｂ：位置決め具、  ３２１：キャリッジモータ、  ３２２：ボールねじ、  ３３１：ロードモータ、  ３３２：回動アーム、  ３４１ａ、３４１ｂ：磁気ヘッド（ヘッド）、  ８１１、８１２、８２２、８３１、８３２、８３３：平ローラー、  ８１３、８２３：スプリング、  ８２１：溝付きローラー。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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