(57)【要約】【課題】手動で容易にフィードフォワード量を調整できるようにする。【解決手段】第１の波形表示領域２０に表示される、フィードフォワード量のレベルを、４つの区間でそれぞれ４つのレベルで調整するための第１〜第４のレベル調整用スライダバー２２〜２５と、フィードフォワード量の調整区間を規定する開始時間調整用スライダバー２６および終了時間調整用スライダバー２７を用いて、その区間およびレベルを調整することにより、調整されたフィードフォワード量に応じた制御量のシミュレーション波形が、第２の波形表示領域２１に表示され、所望の制御応答が得られるように、フィードフォワード量を調整することができる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
制御対象からの制御量と目標値との偏差に基づいて、前記制御対象に対する操作量を出力する制御部を備え、前記目標値および前記操作量の少なくとも一方を、フィードフォワード量によって補正する制御装置における前記フィードフォワード量の調整を支援する装置であって、
前記フィードフォワード量または前記制御量の調整に応じて、制御対象モデルおよび制御装置モデルを用いて制御量またはフィードフォワード量の波形をシミュレーション演算するシミュレーション演算部と、
前記フィードフォワード量または前記制御量の調整波形を表示するとともに、シミュレーション演算された制御量またはフィードフォワード量のシミュレーション波形を表示する表示部と、
前記フィードフォワード量または前記制御量の調整量を、手動で設定する設定部とを備え、
前記設定部は、複数の異なる時間の区間についてそれぞれ前記フィードフォワード量の調整レベルを調整するレベル調整部を有し、
前記表示部は、前記区間について調整されたフィードフォワード量に応じて変化する前記制御量のシミュレーション波形が前記目標値と共に表示される、
ことを特徴とするフィードフォワード量調整支援装置。
【請求項２】
前記表示部は、前記時間の区間ごとの前記調整レベルを示す波形と前記シミュレーション波形とを時間を対応させて表示する、
請求項１に記載のフィードフォワード量調整支援装置。
【請求項３】
前記設定部はさらに、前記フィードフォワード量の調整の開始時間を規定する開始時間調整部および、終了時間を規定する終了時間調整部とを有する、
請求項１または２に記載のフィードフォワード量調整支援装置。
【請求項４】
前記シミュレーション演算部は、前記制御対象によって間接的に制御される間接制御対象モデルを有し、前記フィードフォワード量の調整に応じて、前記制御対象モデル、前記制御装置モデルおよび間接制御対象モデルを用いて制御量または前記間接制御対象の間接制御量の波形をシミュレーション演算し、
前記表示部は、前記フィードフォワード量の調整波形を表示するとともに、シミュレーション演算された前記制御量または前記間接制御量のシミュレーション波形を表示する請求項１から３に記載のフィードフォワード量調整支援装置。
【請求項５】
制御対象からの制御量と目標値との偏差に基づいて、前記制御対象に対する操作量を出力する制御部を備え、前記目標値および前記操作量の少なくとも一方を、フィードフォワード量によって補正する制御装置における前記フィードフォワード量の調整を支援するプログラムであって、
前記フィードフォワード量または前記制御量の調整に応じて、制御対象モデルおよび前記制御装置モデルを用いて制御量またはフィードフォワード量の波形をシミュレーション演算する演算ステップと、
前記フィードフォワード量または前記制御量の調整波形を表示するとともに、シミュレーション演算された制御量またはフィードフォワード量のシミュレーション波形を表示する表示ステップと、
前記フィードフォワード量または前記制御量の調整量を、手動で設定する設定ステップとをコンピュータに実行させ、
前記設定ステップは、複数の異なる時間の区間についてそれぞれ前記フィードフォワード量の調整レベルを調整し、
前記表示ステップは、前記フィードフォワード量の調整によって変化する前記制御量のシミュレーション波形を前記目標値と共に表示する、
ことを特徴とするフィードフォワード量調整支援プログラム。
【請求項６】
前記表示ステップは、前記時間の区間ごとの前記調整レベルを示す波形と前記シミュレーション波形とを時間を対応させて表示する、
ことを特徴とするフィードフォワード量調整支援プログラム。
【請求項７】
前記設定ステップはさらに、前記フィードフォワード量の調整する時間の区間を開始時間調整および終了時間調整で規定する、
ことを特徴とするフィードフォワード量調整支援プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フィードフォワード制御における操作量や目標値の補正量であるフィードフォワード量の調整を支援する装置およびプログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
ＰＩＤ制御などによるフィードバック制御だけでは、例えば、予測可能な外乱が印加されたときには、それによって制御量が変化してからでないと操作量が調整されないために、応答の遅れは回避することはできず、制御量に乱れが生じることになる。
【０００３】
このため、所望の制御応答を得られるように、フィードフォワード制御を追加する場合がある。（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０００−２２７８０１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
かかるフィードフォワード制御においては、制御部からの操作量に、上記予測可能な外乱の影響をキャンセルするように、フィードフォワード量である補正操作量を加えるようにしているが、この補正操作量と制御量との関係が、直感的でないために、補正操作量の調整は、容易ではなく、特に高精度な制御では、補正操作量が時間関数となるために、調整要素が多くなり、調整が一層困難となる。
【０００６】
また、補正操作量を調整するために、実際の装置を繰り返し動作させると、調整に時間がかかるとともに、材料などを消費してしまうので、実際の装置を動作させる回数は、できる限り少なくする必要がある。
【０００７】
本発明は、上述のような点に鑑みて為されたものであって、容易にフィードフォワード量を調整できるようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
（１）本発明のフィードフォワード量調整支援装置は、制御対象からの制御量と目標値との偏差に基づいて、前記制御対象に対する操作量を出力する制御部を備え、前記目標値および前記操作量の少なくとも一方を、フィードフォワード量によって補正する制御装置における前記フィードフォワード量の調整を支援する装置であって、前記フィードフォワード量または前記制御量の調整に応じて、前記制御対象モデルおよび前記制御装置モデルを用いて制御量またはフィードフォワード量の波形をシミュレーション演算するシミュレーション演算部と、前記フィードフォワード量または前記制御量の調整波形を表示するとともに、シミュレーション演算された制御量またはフィードフォワード量のシミュレーション波形を表示する表示部とを備えている。
【０００９】
シミュレーション演算部では、フィードフォワード量の調整に応じて、制御対象モデルおよび制御装置モデルを用いて制御量の波形をシミュレーション演算し、また、制御量の調整に応じて、制御対象モデルおよび制御装置モデルを用いてフィードフォワード量の波形をシミュレーション演算する。
【００１０】
本発明のフィードフォワード量調整支援装置によると、フィードフォワード量の調整に応じて制御量がどのように変化するか、あるいは、制御量の調整に応じてフィードフォワード量がどのように変化するかが、シミュレーション演算されて表示部に表示されるので、所望の制御応答が得られるように、フィードフォワード量を調整するのが容易となる。しかも、シミュレーション演算によってフィードフォワード量を調整するので、フィードフォワード量の調整のために実際に制御装置を動作させる必要はなく、制御対象モデルなどを生成するのに必要にデータを収集するために動作させればよい。
【００１１】
（２）本発明のフィードフォワード量調整支援装置の一つの実施形態では、前記フィードフォワード量または前記制御量の調整量を、手動で設定する設定部を備えている。設定部では、フィードフォワード量または制御量を、複数の区間に分けて複数のレベルで調整できるのが好ましい。
【００１２】
この実施形態によると、フィードフォワード量または制御量の調整量を設定することにより、その調整量に応じた制御量またはフィードフォワード量のシミュレーション波形が表示されるので、所望の制御応答が得られる調整量の設定が容易となる。
【００１３】
（３）本発明のフィードフォワード量調整支援装置の他の実施形態では、前記制御量の制御応答の評価指標を選択する選択部を備え、前記シミュレーション演算部は、選択された評価指標に対応する前記制御量の調整量に応じて、前記制御対象モデルおよび前記制御装置モデルを用いて前記フィードフォワード量の波形をシミュレーション演算する。
【００１４】
制御量の制御応答の評価指標としては、例えば、制御量のオーバーシュート量、制御量の目標値への復帰時間、制御量の目標値への到達時間、目標値と制御量とで囲まれた領域の面積などを用いることができる。
【００１５】
この実施形態によると、手動で調整量を設定しなくても、評価指標を選択して制御量の制御応答を指定することによって、選択された制御応答になるように制御量が調整され、それに応じたフィードフォワード量のシミュレーション波形が得られることになる。
【００１６】
（４）本発明のフィードフォワード量調整支援装置は、前記シミュレーション演算部は、前記制御対象によって間接的に制御される間接制御対象モデルを有し、前記フィードフォワード量の調整に応じて、前記制御対象モデル、前記制御装置モデルおよび間接制御対象モデルを用いて制御量または前記間接制御対象の間接制御量の波形をシミュレーション演算し、前記表示部は、前記フィードフォワード量の調整波形を表示するとともに、シミュレーション演算された前記制御量または前記間接制御量のシミュレーション波形を表示する。
【００１７】
この実施形態では、制御対象の制御量、例えば、熱板の温度のみではなく、制御対象によって間接的に制御される間接制御対象、例えば、熱板によって加熱処理されるウェハなどのワークの温度をシミュレーション演算するので、ワークなどの間接制御対象の制御量が所望の応答になるようにフィードフォワード量を調整することができる。
【００１８】
（５）本発明のフィードフォワード量調整支援プログラムは、制御対象からの制御量と目標値との偏差に基づいて、前記制御対象に対する操作量を出力する制御部を備え、前記目標値および前記操作量の少なくとも一方を、フィードフォワード量によって補正する制御装置における前記フィードフォワード量の調整を支援するプログラムであって、前記フィードフォワード量または前記制御量の調整に応じて、前記制御対象モデルおよび前記制御装置モデルを用いて制御量またはフィードフォワード量の波形をシミュレーション演算する演算ステップと、前記フィードフォワード量または前記制御量の調整波形を表示するとともに、シミュレーション演算された制御量またはフィードフォワード量のシミュレーション波形を表示する表示ステップとをコンピュータに実行させるものである。
このフィードフォワード量調整支援プログラムは、光ディスク、フレキシブルディスク、ハードディスク、光磁気ディスク、ＣＤ−ＲＯＭ、磁気テープ、不揮発性のメモリカード、ＲＯＭ等の記録媒体に記録してもよい。
【００１９】
本発明のフィードフォワード量調整支援プログラムを、コンピュータに実行させることにより、フィードフォワード量の調整に応じて制御量がどのように変化するか、あるいは、制御量の調整に応じてフィードフォワード量がどのように変化するかが、シミュレーション演算されて表示部に表示されるので、所望の制御応答が得られるようにフィードフォワード量を調整するのが容易となる。しかも、シミュレーション演算によってフィードフォワード量を調整するので、フィードフォワード量の調整のために実際に制御装置を動作させる必要はない。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、フィードフォワード量の調整に応じて制御量がどのように変化するか、あるいは、制御量の調整に応じてフィードフォワード量がどのように変化するかが、シミュレーション演算されて表示部に表示されるので所望の制御応答が得られるようにフィードフォワード量を調整するのが容易となる。
【００２１】
しかも、シミュレーション演算によってフィードフォワード量を調整するので、フィードフォワード量の調整のために実際に制御装置を動作させる必要はなく、これによって、フィードフォワード量の調整時間を短縮できるとともに、材料などを消費することもない。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の実施形態に係るフィードフォワード量調整支援装置および温度調節器を備えるシステムの構成図である。
【図２】図１の実施形態のシミュレーションの操作画面を示す図である。
【図３】図１の実施形態の動作説明に供するフローチャートである。
【図４】本発明の他の実施形態のシミュレーションの操作画面を示す図である。
【図５】図４の実施形態の動作説明に供するフローチャートである。
【図６】本発明の他の実施形態の図１に対応する構成図である。
【図７】図６の実施形態のシミュレーションの操作画面を示す図である。
【図８】本発明の更に他の実施形態の図１に対応する構成図である。
【図９】図８の実施形態のシミュレーションの操作画面を示す図である。
【図１０】本発明の他の実施形態の図８に対応する構成図である。
【図１１】図１０のシミュレーションの操作画面を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、図面によって本発明の実施の形態について詳細に説明する。
【００２４】
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態に係るフィードフォワード量調整支援装置およびこのフィードフォワード量調整支援装置によってフィードフォワード量が調整される温度調節器を含むシステムの構成図である。
【００２５】
温度調節器１は、予測可能な定型の外乱が印加される制御対象２の温度を制御するものであり、制御対象２としては、例えば、ウェハを熱処理する熱板を想定し、定型の外乱としては、定期的に熱板に載置されて熱板の熱を奪う前記ウェハを想定することができる。
【００２６】
温度調節器１は、制御対象２からの制御量ＰＶと設定された目標値ＳＰとの偏差に基づいて、ＰＩＤ演算等を行って操作量を出力する制御部３と、この制御部３からの操作量に、フィードフォワード量調整支援装置４によって、後述のようにして調整されたフィードフォワード量である補正操作量（ＦＦＭＶ）を、外乱の印加のタイミングに応じて生成して加算する操作量補正部５とを備えており、この加算された操作量ＭＶに基づいて、制御対象２の温度を制御するものであり、前記補正操作量によって、外乱の影響をキャンセルするようにしている。
【００２７】
この実施形態のフィードフォワード量調整支援装置４は、外乱の影響をキャンセルするためのフィードフォワード量である補正操作量ＦＦＭＶの調整を支援するものである。
【００２８】
このフィードフォワード量調整支援装置４は、例えば、パーソナルコンピュータで構成されており、予め、目標値（ＳＰ）、操作量（ＭＶ）、制御量（ＰＶ）、外乱信号などのデータを収集するデータ収集部６と、収集したデータを格納するデータ記憶部７と、制御対象２のモデル、制御部３のモデルおよび操作量補正部５のモデルを有してシミュレーション演算を行うシミュレーション演算部８と、ユーザの調整操作に応じて制御量（ＰＶ）の変更を行うＰＶ変更部９と、それに応じた表示を行うＰＶ表示部１０と、ユーザの調整操作に応じて目標値（ＳＰ）の変更を行うＳＰ変更部１１と、それに応じた表示を行うＳＰ表示部１２と、ユーザの調整操作に応じてフィードフォワード量である補正操作量（ＦＦＭＶ）の変更を行うＦＦＭＶ変更部１３と、それに応じた表示を行うＦＦＭＶ表示部１４と、所望の制御応答を得るための最適計算の評価指標を選択する評価指標選択部１５と、評価指標の計算結果と順番を表示する表示部１６と、評価指標の計算部１７と、表示するデータの選択部１８と、シミュレーションによって得られたフィードフォワード量である補正操作量（ＦＦＭＶ）の生成用データを温度調節器１に対して送信するデータ送信部１９とを備えている。
【００２９】
シミュレーション演算部８における制御対象２のモデルは、数学モデルとして、例えば、「一次遅れ＋無駄時間」などの伝達関数を想定して、制御対象２へ与えられる操作量ＭＶの時系列データと、それに応じて制御対象２から出力される制御量ＰＶの時系列データとを使って、その伝達関数の持つパラメータを同定することで、制御対象モデルを生成し、これを、定型外乱が印加されている状態において、予め、データ収集部６で収集した制御データを使って実施する。
【００３０】
また、制御部３のモデルおよび操作量補正部５のモデルは、温度調節器１によって構造は決まっており、温度調節器１から通信で読み出すことで、モデルを生成することができる。
【００３１】
このシミュレーション演算部８は、後述のように、補正操作量（ＦＦＭＶ）を調整することによって、その補正操作量に対応する制御量（ＰＶ）をシミュレーション演算するものであり、具体的には、勾配法やＧＡ遺伝的アルゴリズムなどの最適化手法を用いて、選択した評価指標に対応した目的関数を最小（または最大）にするような補正操作量（ＦＦＭＶ）の生成用データを算出する。
【００３２】
また、このシミュレーション演算部８は、逆に、制御量ＰＶを調整することによって、その制御量に対応する補正操作量（ＦＦＭＶ）をシミュレーション演算することもでき、具体的には、勾配法やＧＡ遺伝的アルゴリズムなどの最適化手法を用いて、入力された希望の制御量（ＰＶ）を満足するような補正操作量（ＦＦＭＶ）の生成用データを算出する。
【００３３】
このシミュレーション演算部８では、制御部３のモデルや操作量補正部５のモデル、制御対象２のモデルを利用して、実機で行われることと同様のことをシミュレーションする。その際、補正操作量（ＦＦＭＶ）の生成用データを、操作量補正部５のモデルに設定して、補正操作量（ＦＦＭＶ）と制御量（ＰＶ）とを演算する。
【００３４】
図２は、この実施形態のシミュレーションの操作画面例を示すものであり、この例は、フィードフォワード量である補正操作量（ＦＦＭＶ）の手動調整によって、制御量（ＰＶ）がどのように変化するかをシミュレーションする場合の画面例である。
【００３５】
下段の矩形の第１の波形表示領域２０には、ユーザが手動で調整する補正操作量（ＦＦＭＶ）が表示され、上段の矩形の第２の波形表示領域２１には、補正操作量の調整によって変化する制御量（ＰＶ）のシミュレーション波形が、目標値（ＳＰ）と共に表示される。
【００３６】
第１の波形表示領域２０の左方には、補正操作量のレベルを、４つの各区間で調整するための第１〜第４のレベル調整用スライダバー２２〜２５が表示され、第１の波形表示領域２０の下方には、補正操作量の調整区間を規定する開始時間調整用スライダバー２６および終了時間調整用スライダバー２７が表示される。
【００３７】
この実施形態では、ユーザは、各スライダバー２２〜２７を操作することによって、第１の波形表示領域２０に表示されるフィードフォワード量である補正操作量を、４つの区間および４つのレベルで調整することができ、調整した補正操作量によって、制御量がどのように変化するかのシミュレーション波形が、第２の波形表示領域２１に表示される。
【００３８】
なお、この実施形態では、補正操作量を、４つの区間および４つのレベルで調整したけれども、４つでなくてもよく、また、矩形状に限らず、三角形状やその他の形状であってもよい。
【００３９】
ユーザは、第２の波形表示領域２１に表示される制御量のシミュレーション波形の、例えば、制御量のオーバーシュート量、制御量の目標値への復帰時間などを目視確認しながら所望の応答波形が得られるように、補正操作量を調整する。
【００４０】
なお、調整した補正操作量では、操作量が飽和して動作限界を越えるような場合には、シミュレーション波形の表示色を、例えば、赤色に変えて表示したり、警告音などによってユーザに知らせる。
【００４１】
以上は、手動で調整する場合の例であるが、自動で補正操作量を調整することもできる。
【００４２】
すなわち、ユーザが、所望の応答特性を、評価指標、例えば、オーバーシュート量、目標値への復帰時間、目標値と制御量とで囲まれた領域の面積などの評価指標を、キーボード等に入力手段で選択することにより、最適となる補正操作量を決定するとともに、制御量の波形を表示するものである。
【００４３】
また、補正操作量と制御量のデータを保存し、制御応答の良い順、すなわち、評価指標が良好な順にソートして表示することもできる。
【００４４】
図３は、以上の処理の手順を説明するためのフローチャートである。
【００４５】
先ず、データ収集部６で、温度調節器１で実際に制御を行って、目標値、操作量、制御量、外乱信号などの制御データを取得し（ステップｎ１）、制御対象２、制御部３および補正量操作部５のモデルを生成する（ステップｎ２）。
【００４６】
次に、ユーザによって手動調整または自動調整のいずれが選択されたかを判断し（ステップｎ３）、手動調整が選択された場合には、ユーザが、上述の図２のスライダバー２２〜２７を操作して補正操作量（ＦＦＭＶ）を調整変更する（ステップｎ４）。また、ステップｎ３で、自動調整が選択されたときには、ユーザが、所望の応答特性に対応する評価指標を選択し（ステップｎ５）、選択された評価指標に対応する補正操作量（ＦＦＭＶ）を算出する（ステップｎ６）。
【００４７】
次に、補正操作量に基づいて、シミュレーション演算を実行し（ステップ７）、操作量が飽和している区間を計算し（ステップｎ８）、評価指標を計算し（ステップｎ９）、評価指標の計算値と記憶済のシミュレーション結果から制御応答の順番を計算し（ステップｎ１０）、シミュレーション結果を記憶し（ステップｎ１１）、シミュレーション結果を表示する（ステップｎ１２）。
【００４８】
次に、記憶済みのシミュレーション結果を表示するか否かを判断し（ステップ１３）、表示するデータを選択し（ステップｎ１４）、選択したシミュレーション結果を表示し（ステップｎ１５）、確定の指示があったか否かを判断し（ステップｎ１６）、あったときには、決定した補正操作量を温度調節器１に設定して終了する（ステップｎ１７）。
【００４９】
この実施形態では、補正操作量を調整し、補正操作量に応じた制御量のシミュレーション波形を表示したけれども、本発明の他の実施形態として、制御量を所望の応答が得られるように調整し、補正操作量のシミュレーション波形を表示してもよい。
【００５０】
図４は、この場合のシミュレーションの操作画面例を示すものであり、上述の図２に対応する図である。制御量（ＰＶ）が表示される矩形の第２の波形表示領域２１の左方には、オーバーシュートの最大幅を調整するオーバーシュート調整用のスライダバー２８が表示され、第２の波形表示領域２１の上方には、制御量が目標値に復帰して安定するまでの時間を調整する時間調整用スライダバー２９が表示される。
【００５１】
ユーザは、これらスライダバー２８，２９を操作して制御量の応答波形が所望の応答になるように調整し、これによって、第１の波形表示領域２０には、調整された制御量の応答が得られる補正操作量のシミュレーション波形が表示される。
【００５２】
図５は、この場合の処理の手順を説明するためのフローチャートであり、上述の図３に対応するフローチャートである。
【００５３】
ステップｎ３において、上述のようにスライダバー２８，２９を操作して制御量を調整変更し、ステップｎ４において、補正操作量を算出する以外は、上述の図３と同様である。
【００５４】
（実施形態２）
図６は、本発明の他の実施形態のフィードフォワード量調整支援装置４−１を備えるシステムの構成図であり、図１に対応する部分には、同一の参照符号を付す。
【００５５】
上述の実施形態１では、制御対象２の制御量、例えば、熱板の温度の外乱応答を所望の応答にするために補正操作量を調整したけれども、この実施形態では、更に、制御対象２によって処理される被処理物、例えば、熱板によって熱処理されるウェハ等のワークを間接的な間接制御対象３０とし、この間接制御対象３０の制御量（ワーク温度）の応答を所望の応答にするように補正操作量を調整するものである。
【００５６】
この実施形態のフィードフォワード量調整支援装置４−１のシミュレーション演算部８−１は、この間接制御対象のモデルを有しており、また、フィードフォワード量調整支援装置４−１は、間接制御対象３０であるワークの制御量（ＷＰＶ）を調整変更するＷＰＶ変更部３１と、それに応じた表示を行うＷＰＶ表示部３２とを備えており、データ収集部６では、上述の目標値、操作量、制御量、外乱信号などのデータに加えて、間接制御対象３０の制御量であるワークの温度（ＷＰＶ）のデータを収集する。このワークの温度は、ワークに温度センサを取り付けて計測することにより、収集する。その他の構成は、上述の実施形態１と同様である。
【００５７】
図７は、この実施形態のシミュレーションの操作画面例を示すものであり、上述の図２に対応する図である。
【００５８】
制御対象２の制御量（ＰＶ）のシミュレーション波形が表示される第２の波形表示領域２１の上方には、矩形の第３の波形表示領域３３が設けられ、第１の波形表示領域２０に表示される補正操作量の調整に応じた間接制御対象３０の制御量（ＷＰＶ）のシミュレーション波形が表示される。
【００５９】
したがって、ユーザは、各スライダバー２２〜２７を操作して調整した補正操作量によって、制御対象２の制御量および間接制御対象３０の制御量がどのように変化するかを把握することができ、所望の応答波形が得られるように、補正操作量を調整することができる。
【００６０】
その他の構成は、上述の実施形態１と同様である。
【００６１】
（実施形態３）
上述の各実施形態では、外乱応答に適用したけれども、本発明の他の実施形態として、図８に示すように、目標値応答にも適用であるものである。
【００６２】
図８は、フィードフォワード量調整支援装置４−２およびこのフィードフォワード量調整支援装置４−２によってフィードフォワード量である補正目標値が調整される温度調節器１−２を含むシステムの構成図である。
【００６３】
この温度調節器１−２は、設定された目標値（ＳＰ）と、目標値補正部３４で生成したフィードフォワード量調整支援装置４−２によって調整された補正目標値（ＦＦＳＰ）とを加算し、加算した目標値と、制御対象２からの制御量ＰＶとの偏差に基づいて、ＰＩＤ演算等を行って操作量を出力する制御部３を備えている。
【００６４】
この実施形態のフィードフォワード量調整支援装置４−２は、フィードフォワード量である補正目標値ＦＦＳＰの調整を支援するものであり、シミュレーション演算部８−２は、目標値補正部３４のモデルを有しており、また、このフィードフォワード量調整支援装置４−２は、補正目標値（ＦＦＳＰ）を調整変更するＦＦＳＰ変更部３５と、それに応じた表示を行うＦＦＳＰ表示部３６とを備えている。その他の構成は、上述の実施形態１と同様である。
【００６５】
図９は、この実施形態のシミュレーションの操作画面例を示すものであり、この例は、フィードフォワード量である補正目標値（ＦＦＳＰ）の手動調整によって、制御量（ＰＶ）がどのように変化するかをシミュレーションする場合の画面例である。
【００６６】
下段の矩形の第１の波形表示領域３７には、ユーザが手動で調整する補正目標値（ＦＦＳＰ）が表示され、上段の矩形の第２の波形表示領域３８には、補正目標値の調整によって変化する制御量（ＰＶ）のシミュレーション波形が、目標値（ＳＰ）と共に表示される。
【００６７】
第１の波形表示領域３７の左方には、補正目標値のレベルを、４つの各区間で調整するための第１〜第４のレベル調整用スライダバー３９〜４２が表示され、第１の波形表示領域３７の下方には、補正目標値の調整区間を規定する開始時間調整用スライダバー４３および終了時間調整用スライダバー４４が表示される。
【００６８】
この実施形態では、ユーザは、各スライダバー３９〜４４を操作することによって、第１の波形表示領域３７に表示されるフィードフォワード量である補正目標値を、４つの区間および４つのレベルで調整することができ、調整した補正目標値によって、制御量がどのように変化するかのシミュレーション波形が、第２の波形表示領域３８に表示される。
【００６９】
したがって、ユーザは、第２の波形表示領域３８に表示される制御量のシミュレーション波形の、例えば、制御量のオーバーシュート量、制御量の目標値への到達時間などを目視確認しながら所望の応答波形が得られるように、補正目標値を調整する。
【００７０】
その他は、上述の実施形態１と同様である。
【００７１】
（実施形態４）
図１０は、本発明の他の実施形態のフィードフォワード量調整支援装置４−３を備えるシステムの構成図であり、図８に対応する部分には、同一の参照符号を付す。
【００７２】
上述の実施形態３では、制御対象２の制御量、例えば、熱板の温度が所望の応答にするために補正目標値を調整したけれども、この実施形態では、更に、制御対象２によって処理される被処理物、例えば、熱板によって熱処理されるウェハ等のワークを間接的な間接制御対象３０とし、この間接制御対象３０の制御量（ワーク温度）の応答を所望の応答にするように補正目標値を調整するものである。
【００７３】
この実施形態のフィードフォワード量調整支援装置４−３のシミュレーション演算部８−３は、この間接制御対象３０のモデルを有しており、また、フィードフォワード量調整支援装置４−３は、間接制御対象３０であるワークの制御量（ＷＰＶ）を調整変更するＷＰＶ変更部３１と、それに応じた表示を行うＷＰＶ表示部３２とを備えており、データ収集部６では、上述の目標値、操作量、制御量などのデータに加えて、間接制御対象３０の制御量のデータを収集する。
【００７４】
図１１は、この実施形態のシミュレーションの操作画面例を示すものであり、上述の図９に対応する図である。
【００７５】
制御対象２の制御量（ＰＶ）のシミュレーション波形が表示される第２の波形表示領域３８の上方には、矩形の第３の波形表示領域４５が設けられ、第１の波形表示領域３７に表示される補正目標値の調整に応じた間接制御対象３０の制御量（ＷＰＶ）のシミュレーション波形が表示される。
【００７６】
したがって、ユーザは、各スライダバー３９〜４４を操作して調整した補正目標値によって、制御対象２の制御量および間接制御対象３０の制御量がどのように変化するかを把握することができ、所望の応答波形が得られるように、補正目標値を調整することができる。
【００７７】
その他の構成は、上述の実施形態３と同様である。
【産業上の利用可能性】
【００７８】
本発明は、制御装置のフィードフォワード量の調整に有用である。
【符号の説明】
【００７９】
１，１−２                    温度調節器
２                            制御対象
４，４−１，４−２，４−３    フィードフォワード量調整支援装置
３                            制御部
８，８−１，８−２            シミュレーション演算部
２０，３７                    第１の波形表示領域
２１，３８                    第２の波形表示領域
３０                          間接制御対象
３３，４５                    第３の波形表示領域
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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