(57)【要約】      （修正有）【課題】Ｘ線管の真空度を回復するためのエージングを短時間で行うことができるＸ線検査装置を提供すること。【解決手段】Ｘ線管１２がＸ線を停止してからのＸ線停止時間を計算する不使用時間計算部６３と、Ｘ線管１２の内部の真空度を検出する真空度検出部６９と、不使用時間計算部６３が計算したＸ線停止時間と真空度検出部６９が検出した真空度に応じて、Ｘ線管１２の真空度を回復するエージング動作のエージング条件を決定するエージング条件決定部５４と、エージング条件決定部５４が決定したエージング条件でエージング動作を実行する高圧電源制御部６６と、を備える。【選択図】図３
2014002023.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査物（Ｗ）にＸ線を照射するＸ線管（１２）と、
前記被検査物を透過したＸ線を検出するＸ線検出手段（１０）と、
前記Ｘ線検出手段が検出したＸ線透過量に基づいて前記被検査物中の異物を検出する異物検出手段（４４）と、を備えたＸ線検査装置であって、
前記Ｘ線管がＸ線を停止してからのＸ線停止時間を計算する不使用時間計算手段（６３）と、
前記Ｘ線管の内部の真空度を検出する真空度検出手段（６９）と、
前記不使用時間計算手段が計算したＸ線停止時間と前記真空度検出手段が検出した真空度に応じて、前記Ｘ線管の真空度を回復するエージング動作のエージング条件を決定するエージング条件決定手段（５４）と、
前記エージング条件決定手段が決定したエージング条件で前記エージング動作を実行するエージング動作実行手段（６６）と、を備えたことを特徴とするＸ線検査装置。
【請求項２】
前記エージング条件決定手段が、前記エージング条件として前記エージング動作を行うエージング時間を決定し、
前記エージング動作実行手段が前記エージング動作を実行しているとき、前記エージング条件決定手段が決定したエージング時間から既にエージング動作を実行した時間を減算してエージング動作の残り時間を表示するエージング残時間表示手段（５）を備えたことを特徴とする請求項１に記載のＸ線検査装置。
【請求項３】
前記真空度検出手段が検出した真空度を表示する真空度表示手段（５）を備えたことを特徴とする請求項１または請求項２に記載のＸ線検査装置。
【請求項４】
前記エージング条件決定手段が、エージング動作の実行後に、前記真空度検出手段が検出した真空度が所定値に満たないときは、エージング条件を再び決定し、
前記エージング動作実行手段が、前記エージング条件決定手段により再び決定されたエージング条件で前記エージング動作を再び実行することを特徴とする請求項１乃至請求項３の何れかに記載のＸ線検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、肉、魚、加工食品、医薬品等の被検査物中に混入した異物を検出するＸ線検査装置に関し、特に、Ｘ線発生器から照射されて被検査物を透過したＸ線をＸ線検出器により検出して異物を検出するＸ線検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば食品などの被検査物への異物の混入の有無を検出するために、従来からＸ線検査装置が用いられている。この種の従来のＸ線検査装置では、搬送される被検査物にＸ線を照射し、この照射したＸ線の透過量から被検査物中に異物が混入しているか否かを検出して異物の有無を検査している。
【０００３】
この種の従来のＸ線検査装置においては、Ｘ線検査装置に搭載されるＸ線管は、そのＸ線管内部の真空度がある一定以上に保たれていないと真空放電により故障に至る場合があるため、Ｘ線管内部にジリコニウム等の物質を塗布し気体分子を吸着することで真空度を回復させる構造にするとともに、運転条件による吸着効率のバラツキを考慮して決定した時間だけ、真空度を回復させるためのエージング（スクリーニング、またはウォームアップと呼ばれることもある）を行っている。
【０００４】
エージングとは、Ｘ線管を初めて使用するときや、長い不使用期間の後に使用を再開するときに行われ、高い管電圧を急に印可させずに管電圧を徐々に高くしていく動作である。このエージングにより、焦点軌道面の突起等の異物を融解して焦点軌道面をならして耐高電圧特性が向上される。エージング動作を行わないＸ線検査装置では、長時間未使用の状態が続き真空状態が悪くなった状態で急にＸ線を出力すると、上記放電現象のために装置が故障する場合がある。
【０００５】
また、この種の従来のＸ線検査装置としては、表示手段と、Ｘ線管に放電が発生したことを検出する放電検出手段と、放電検出手段により放電が検出された回数をカウントする放電回数カウント手段と、Ｘ線管のメンテナンスを実施したタイミングを記憶する記憶手段と、記憶されたタイミングに基づいて、前回のメンテナンスの実施からの経過時間を算出する算出手段と、カウントされた放電の検出回数が所定範囲内であり、かつ、算出手段により算出された経過時間が所定時間以下である場合に、Ｘ線管のエージングを実施するか否かをユーザに判断させる情報を表示手段に表示させる制御手段と、を備えたものが知られている（例えば、特許文献１参照）。すなわち、特許文献１に記載のものは、メンテナンス以降のＸ線管の放電回数や放電時間が所定条件である場合に、Ｘ線管の真空度を回復するためのエージング動作をユーザに促すようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特許第４８６８８０６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、従来のＸ線検査装置では、Ｘ線管内部にジリコニウム等の物質を塗布し気体分子を吸着することで真空度を回復させる構成の場合は、真空度を監視する構成になっておらず、また、吸着効率のバラツキを考慮してエージング時間を決定しているため、確実に真空度を回復するために必要以上の長時間のエージングを行わざるを得ず、エージングに長時間を要してしまうという問題があった。
【０００８】
また、特許文献１に記載されたように、メンテナンス以降のＸ線管の放電回数や放電時間が所定条件である場合にエージングを実行する場合も、真空度を監視していないため、確実に真空度を回復するためには必要以上の長時間のエージングを行わざるを得ず、エージングに長時間を要してしまうという問題があった。
【０００９】
そこで、本発明は、前述のような従来の問題を解決するためになされたもので、Ｘ線管の真空度を回復するためのエージングを短時間で行うことができるＸ線検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明に係るＸ線検査装置は、被検査物（Ｗ）にＸ線を照射するＸ線管（１２）と、前記被検査物を透過したＸ線を検出するＸ線検出手段（１０）と、前記Ｘ線検出手段が検出したＸ線透過量に基づいて前記被検査物中の異物を検出する異物検出手段（４４）と、を備えたＸ線検査装置であって、前記Ｘ線管がＸ線を停止してからのＸ線停止時間を計算する不使用時間計算手段（６３）と、前記Ｘ線管の内部の真空度を検出する真空度検出手段（６９）と、前記不使用時間計算手段が計算したＸ線停止時間と前記真空度検出手段が検出した真空度に応じて、前記Ｘ線管の真空度を回復するエージング動作のエージング条件を決定するエージング条件決定手段（５４）と、前記エージング条件決定手段が決定したエージング条件で前記エージング動作を実行するエージング動作実行手段（６６）と、を備えたことを特徴とする。
【００１１】
この構成により、エージング動作のエージング条件がＸ線管の真空度に応じて決定されるため、エージング動作を必要以上に長い時間行うことを防止し、真空度の回復に必要な時間だけエージングを行うことができる。したがって、Ｘ線管の真空度を回復するためのエージングを短時間で行うことができる。
【００１２】
また、本発明に係るＸ線検査装置は、前記エージング条件決定手段が、前記エージング条件として前記エージング動作を行うエージング時間を決定し、前記エージング動作実行手段が前記エージング動作を実行しているとき、前記エージング条件決定手段が決定したエージング時間から既にエージング動作を実行した時間を減算してエージング動作の残り時間を表示するエージング残時間表示手段（５）を備えたことを特徴とする。
【００１３】
この構成により、利用者はエージングが終了するまでの残り時間を知ることができる。
【００１４】
また、本発明に係るＸ線検査装置は、前記真空度検出手段が検出した真空度を表示する真空度表示手段（５）を備えたことを特徴とする。
【００１５】
この構成により、利用者は、エージング動作を実行する前またはエージング動作の実行中にＸ線管の真空度を知ることができる。
【００１６】
また、本発明に係るＸ線検査装置は、前記エージング条件決定手段が、エージング動作の実行後に、前記真空度検出手段が検出した真空度が所定値に満たないときは、エージング条件を再び決定し、前記エージング動作実行手段が、前記エージング条件決定手段により再び決定されたエージング条件で前記エージング動作を再び実行することを特徴とする。
【００１７】
この構成により、真空度が所定値まで回復するまでＸ線管のエージング動作が行われるので、Ｘ線管の真空度を確実に回復することができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明は、Ｘ線管の真空度を回復するためのエージングを短時間で行うことができるＸ線検査装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の実施の形態に係るＸ線検査装置の概略構成を示す斜視図である。
【図２】本発明の実施の形態に係るＸ線検査装置の側面および内部構成を示す図である。
【図３】本発明の実施の形態に係るＸ線検査装置の論理構成の一例を表す概略ブロック図である。
【図４】本発明の実施の形態に係るＸ線検査装置のエージングの主要動作を説明するためのフローチャートである。
【図５】本発明の実施の形態に係るＸ線検査装置がエージング動作のときに用いる「Ｘ線管の不使用時間および真空度に応じて設定されている複数のエージング条件」の表の一例である。
【図６】本発明の実施の形態に係るＸ線検査装置のエージング条件の一例としての「ショート調整プログラム」の内容を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。
【００２１】
まず構成について説明する。
【００２２】
図１に示すように、Ｘ線検査装置１は、搬送部２と検出部３とを筐体４の内部に備え、表示部５を筐体４の前面上部に備えている。
【００２３】
搬送部２は、被検査物である被検査物Ｗを所定間隔をおいて順次搬送するものである。この搬送部２は、例えば筐体４の内部で水平に配置されたベルトコンベアにより構成されている。搬送部２は、図１に示す駆動モータ６の駆動により予め設定された搬送速度で搬入口７から搬入された被検査物Ｗを搬出口８側（図中Ｘ方向）に向けて搬送面としてのベルト面２ａ上を搬送させるようになっている。筐体４の内部においてベルト面２ａ上を搬入口７から搬出口８まで貫通する空間は搬送路２１を形成している。
【００２４】
検出部３は、順次搬送される被検査物Ｗに対し、搬送路２１の途中の検査空間２２においてＸ線を照射するとともに被検査物Ｗを透過するＸ線を検出するものであり、搬送路２１の途中の検査空間２２の上方に所定高さ離隔して配置されたＸ線発生器９と、搬送部２内にＸ線発生器９と対向して配置されたＸ線検出器１０を備えている。
【００２５】
Ｘ線発生源としてのＸ線発生器９は、金属製の箱体１１の内部に設けられた円筒状のＸ線管１２を図示しない絶縁油に浸漬した構成を有しており、Ｘ線管１２の陰極からの電子ビームを陽極のターゲットに照射させてＸ線を生成している。Ｘ線管１２は、その長手方向が被検査物Ｗの搬送方向（Ｘ方向）となるよう配置されている。Ｘ線管１２により生成されたＸ線は、下方のＸ線検出器１０に向けて、図示しないスリットにより略三角形状のスクリーン状となって搬送方向（Ｘ方向）を横切るように照射されるようになっている。
【００２６】
Ｘ線検出器１０は、搬送される被検査物Ｗの搬送方向（Ｘ方向）の平面上で搬送方向と直交するＹ方向に複数の検出素子が一直線上に配置されたものである。具体的には、Ｘ線検出器１０は、ライン状に整列して配設された複数の検出素子としてのフォトダイオード（不図示）と、フォトダイオード上に設けられたシンチレータ（不図示）とからなるラインセンサ（不図示）とを含んで構成される。
【００２７】
また、Ｘ線検出器１０は、図２に示すように、Ａ／Ｄ変換部４１を備えており、このＡ／Ｄ変換部４１によりフォトダイオードからの輝度値データをデジタルデータに変換し、濃度データであるＸ線画像として出力するようになっている。Ｘ線検出器１０は、被検査物Ｗの搬送方向（Ｘ方向）の平面上で直交する方向（Ｙ方向）に直線状に延在するラインセンサによって被検査物Ｗを透過するＸ線を検出し、検出したＸ線の量に応じた濃淡画像を出力するようになっている。
【００２８】
図２に示すように、搬送路２１内の天井部２１ａには、搬送方向（Ｘ方向）に沿って複数個所にＸ線遮蔽用の遮蔽カーテン１６が吊り下げ配置されている。遮蔽カーテン１６は、Ｘ線を遮蔽する鉛粉を混入したゴムシートをのれん状（上部が繋がっており下部が帯状に分割された状態）に加工したものから構成されており、検査空間２２から搬送路２１を介してＸ線が筐体４の外部に漏えいすることを防止するものである。
【００２９】
遮蔽カーテン１６は、本実施の形態では、搬入口７と検査空間２２との間、および検査空間２２と搬出口８との間にそれぞれ２枚ずつ設けられており、１つの遮蔽カーテン１６が被検査物Ｗと接触して弾性変形して隙間が生じた場合でも、他の遮蔽カーテン１６がＸ線を遮蔽するので漏えい基準量を超えることなくＸ線の漏えいを防止できるようになっている。搬送路２１における遮蔽カーテン１６により囲まれた内側の空間が検査空間２２を構成している。
【００３０】
Ｘ線検査装置１は、Ｘ線検出器１０からのＸ線画像が入力されるとともに被検査物Ｗ中の異物の有無を検査する制御回路４０と、制御回路４０による検査結果等を含む各種の情報を表示出力する表示部５と、制御回路４０への各種パラメータ等の設定入力を行う設定操作部４５とを備えている。
【００３１】
表示部５は、平面ディスプレイ等から構成されており、ユーザに対する表示出力を行うようになっている。この表示部５は、被検査物Ｗの良否判定結果を「ＯＫ」や「ＮＧ」等の文字または記号で表示するとともに、総検査数、良品数、ＮＧ総数などの検査結果を、既定設定として、または、設定操作部４５からの所定のキー操作による要求に基づいて表示するようになっている。
【００３２】
設定操作部４５は、ユーザが操作する複数のキーやスイッチ等で構成され、制御回路４０への各種パラメータ等の設定入力や動作モードの選択を行うものである。なお、表示部５と設定操作部４５とを、タッチパネル式表示器として一体構成してもよい。
【００３３】
制御回路４０は、Ｘ線検出器１０から受け取ったＸ線画像を記憶するＸ線画像記憶部４２と、Ｘ線画像記憶部４２から読み出したデータに対して各種画像処理アルゴリズム等を適用した画像処理を施す画像処理部４３と、画像処理されたデータに対して被検査物Ｗと異物との判別を行って異物の混入の有無を判定する判定部４４と、を備えている。ここで、画像処理アルゴリズムとは、複数の画像処理フィルタや特徴抽出するための画像処理を組み合わせてなるものである。
【００３４】
また、制御回路４０は、ＣＰＵおよび制御プログラムの記憶領域または作業領域としてのメモリなどを備えて構成された主制御部４６およびＸ線管制御部５１を備えている。主制御部４６は、Ｘ線管制御部５１にＸ線管制御指令を出力することを含む、Ｘ線検査装置１の全体の制御を行うものであり、Ｘ線管制御部５１は、Ｘ線管１２のエージング動作等を制御するものである。
【００３５】
図３に示すように、Ｘ線検査装置１は、Ｘ線管１２を制御するＸ線管制御部５１の他に、Ｘ線管１２の状態を測定する測定ユニット６１を備えている。測定ユニット６１はＸ線発生器９に設けられている。
【００３６】
Ｘ線管制御部５１は、演算制御回路５２と、「Ｘ線管１２の不使用時間および真空度に応じて設定されている複数のエージング条件」を記録しているエージング条件記録部５６とを備えている。
【００３７】
一方、測定ユニット６１は、Ｘ線管駆動部６２と、Ｘ線管駆動部６２の電源オフの時刻を記録するオフ時刻記録部６７と、Ｘ線管１２の不使用時間を記録する不使用時間記録部６８とを備えている。
【００３８】
測定ユニット６１を構成するＸ線管駆動部６２は、Ｘ線管１２にＸ線を発生するための高電圧を供給するＸ線管用高圧電源６５と、Ｘ線管用高圧電源６５を制御する高圧電源制御部６６と、Ｘ線管１２の不使用時間を計算し、算出したＸ線管１２の不使用時間を不使用時間記録部６８に格納する不使用時間計算部６３とを含んでいる。
【００３９】
また、Ｘ線管駆動部６２は、Ｘ線管１２の内部の真空度を検出する真空度検出部６９を備えている。真空度検出部６９は、Ｘ線管１２の陰極のフィラメントに電流を流さず、Ｘ線管１２の陽極と陰極間の管電圧（Ｅｐ）に任意の電圧を印加した状態で、Ｘ線管１２の内部に流れる電流（Ｉｐ）を漏れ電流として検出し、この漏れ電流から換算してＸ線管１２の内部の真空度を検出するようになっている。Ｘ線管１２の内部の真空度が正常であれば、漏れ電流は小さな値であるが、Ｘ線管１２の内部の真空度が悪化すると、漏れ電流が増加するため、漏れ電流を検出することにより、真空度を検出することが可能である。
【００４０】
なお、真空度検出部６９を、負圧を検出するバキュームメータとして構成し、このバキュームメータからなる真空度検出部６９により、漏れ電流から換算することなく直接的にＸ線管１２の内部の真空度を検出するように構成してもよい。
【００４１】
また、Ｘ線管駆動部６２は、不使用時間記録部６８から不使用時間計算部６３が算出したＸ線管１２の不使用時間を読み出すとともに、真空度検出部６９から検出された真空度を受け取り、これら不使用時間および真空度を演算制御回路５２に送信する送信部６４とを含んでいる。
【００４２】
なお、図３は論理的な構成を示すブロック図であるので、オフ時刻記録部６７および不使用時間記録部６８は、物理的にはＸ線管駆動部６２の内部に内蔵されていても、Ｘ線管駆動部６２の外部に接続されていても構わない。
【００４３】
Ｘ線管制御部５１を構成する演算制御回路５２は、測定ユニット６１の送信部６４からＸ線管１２の不使用時間および真空度を受信する受信部５３と、この受信部５３からＸ線管１２の不使用時間および真空度が伝達され、複数のエージング条件の内から最適なＸ線管１２のエージング条件を決定（選択）するエージング条件決定部５４とを含んでいる。
【００４４】
また、演算制御回路５２は、エージング条件決定部５４から最適なエージング条件が伝達され、Ｘ線管１２のエージングを実行するコマンドを作成しＸ線管駆動部６２の高圧電源制御部６６に送信するＸ線制御部５５とを含んでいる。
【００４５】
上述したように、図３は論理的な構成を示すブロック図であるので、エージング条件記録部５６は、物理的には演算制御回路５２の内部に内蔵されていても、演算制御回路５２の外部に接続されていても構わない。
【００４６】
Ｘ線管駆動部６２の高圧電源制御部６６は、演算制御回路５２のＸ線制御部５５からＸ線管１２の最適なエージング条件を実行する実行コマンドを受信し、Ｘ線管用高圧電源６５を制御する。高圧電源制御部６６から最適なエージング条件を実行する実行コマンドが伝達されると、Ｘ線管用高圧電源６５は、エージング条件決定部５４が複数のエージング条件の内から決定した最適なエージング条件により、Ｘ線管１２に、電圧（Ｖ）または電流（Ｉ）を、階段波（ランプ波）状に徐々に高くしていくように印加し、Ｘ線管１２のエージングを行う。エージングにより、Ｘ線管１２の焦点軌道面の突起等の異物が融解し、焦点軌道面がならされ、Ｘ線管１２の耐高電圧特性が向上する。
【００４７】
本実施の形態のＸ線検査装置１は、上記のように構成されており、エージング条件記録部５６と、エージング条件決定部５４と、Ｘ線制御部５５とを含むことにより、Ｘ線管１２の不使用時間および真空度に応じて、複数のエージング条件の内から最適なエージング条件を決定して実行するように働くので、Ｘ線管１２の最適なエージング条件によるエージングが可能となる。
【００４８】
つぎに、図４のフロー図を参照してＸ線管のエージングの主要動作を説明する。なお、以下の処理は、測定ユニット６１とＸ線管制御部５１の協働により実行される。
【００４９】
まず、測定ユニット６１では、ステップＳ１１において、前回の使用者がＸ線管駆動部６２の高圧電源をオフにすると、ステップＳ１２において、高圧電源をオフした時刻がオフ時刻記録部６７に記録される。
【００５０】
ついで、ステップＳ１３において、今回の使用者が再びＸ線管駆動部６２の高圧電源をオンすると、ステップＳ１４において、高圧電源をオンした時刻が、レジスタ等のオン時刻記録装置（図示省略）に記録される（「今回の使用者」と「前回の使用者」とが、同一のユーザであっても、異なるユーザであっても構わない。）。
【００５１】
ついで、ステップＳ１５において、不使用時間計算部６３が、Ｘ線管駆動部６２の高圧電源をオンにした時刻とオフにした時刻との差（Ｘ線管１２の不使用時間）を算出する。算出されたＸ線管１２の不使用時間は、不使用時間記録部６８に記録される。
【００５２】
ついで、ステップＳ１６において、真空度検出部６９が、Ｘ線管１２の陰極のフィラメントに流れる漏れ電流から換算してＸ線管１２の内部の真空度を検出する。
【００５３】
ステップＳ１７において、送信部６４は、不使用時間記録部６８からＸ線管１２の不使用時間を読み出すとともに、真空度検出部６９から検出された真空度を受け取り、これら不使用時間および真空度をＸ線管制御部５１へと送信する。
【００５４】
Ｘ線管制御部５１では、ステップＳ２１において、Ｘ線管１２の不使用時間および真空度が、受信部５３によって受信され、エージング条件決定部５４に伝達される。ついで、ステップＳ２２において、エージング条件決定部５４は、エージング条件記録部５６に記録されている「Ｘ線管１２の不使用時間および真空度に応じて設定されている複数のエージング条件」の表を参照して、受信した不使用時間および真空度に応じて最適なエージング条件を決定する。
【００５５】
ついで、ステップＳ２３において、決定された最適なエージング条件は、Ｘ線制御部５５に送信される。ステップＳ２４において、Ｘ線制御部５５が、エージング条件を実行するコマンドを作成する。ステップＳ２５において、作成されたコマンドは、測定ユニット６１に送信される。
【００５６】
ついで、測定ユニット６１では、ステップＳ１８において、高圧電源制御部６６が、エージング条件を実行するコマンドを受信する。つぎに、ステップＳ１９において、エージング条件を実行するコマンドが、Ｘ線管用高圧電源６５に伝達され、自動的にＸ線管１２のエージングが実施される。その後、ステップＳ２０において、今回の使用者はＸ線測定を行うことができる。
【００５７】
ステップＳ２０のＸ線測定が終了すれば、ステップＳ１１に戻り、Ｘ線管駆動部６２の高圧電源をオフにする。その後、再び、ステップＳ１２からステップＳ２０までの処理を繰り返す。ステップＳ２０からステップＳ１１に戻るループにより、Ｘ線管１２の不使用時間および真空度を自動的に検出し、それに対応するＸ線管１２のエージングの実行条件を自動的に決定して、自動的にＸ線管１２のエージングを実施するという処理が繰り返される。
【００５８】
図５に、「Ｘ線管１２の不使用時間および真空度に応じて設定されている複数のエージング条件」の表の一例を示す。Ｘ線管１２の不使用時間が１００時間以下のとき、Ｘ線管１２は調整不要である。また、Ｘ線管１２の不使用時間が１００時間を超えるときであって、Ｘ線管１２の真空度が「中」のときは、Ｘ線管１２のエージングはショート調整プログラムで実行される。また、Ｘ線管１２の不使用時間が１００時間を超えるときであって、Ｘ線管１２の真空度が「低」のときは、Ｘ線管１２のエージングはロング調整プログラムで実行される。
【００５９】
ここで、Ｘ線管１２の真空度が「低」である状態とは、Ｘ線管１２の内部の負圧が低い（正の圧力が高い）状態であり、また、Ｘ線管１２の真空度が「中」である状態とは、Ｘ線管１２の内部の負圧が中程度の状態である。Ｘ線管１２の真空度が「低」のときは、真空度が「中」のときより真空度はより悪化している。
【００６０】
また、前述のロング調整プログラムは、ショート調整プログラムよりもエージングの動作を長時間行うプログラムである。すなわち、図５の表では、Ｘ線管１２の真空度が低いほど（真空度が悪化しているほど）、エージングの動作を長時間行うように設定している。
【００６１】
図６は、図５において、Ｘ線管１２の不使用時間が１００時間を超えるときであって、Ｘ線管１２の真空度が「中」のときの、Ｘ線管用高圧電源６５がＸ線管１２のエージングのための階段波（ランプ波）を出力するショート調整プログラムの内容を示す。
【００６２】
図６において、縦軸が電圧（Ｖ）または電流（Ｉ）、横軸が時間（ｔ）である。ショート調整プログラムでは、Ｘ線管１２に電圧（Ｖ）または電流（Ｉ）を比較的短時間の１分間程度の一定の時間加え、その後、電圧（Ｖ）または電流（Ｉ）をステップ的に１〜３ｋＶまたは数十μＡ程度の一定量を増加させ、その後、電圧（Ｖ）または電流（Ｉ）を一定の時間加えるという階段波状の操作を、段階的に繰り返す。高い電圧（Ｖ）または電流（Ｉ）を急に印可させずに、図６に示すように、電圧（Ｖ）または電流（Ｉ）を、階段波（ランプ波）状に徐々に高くしていくことにより、Ｘ線管１２の焦点軌道面の突起等の異物を融解して焦点軌道面をならしてＸ線管１２の耐高電圧特性を向上させることができる。図６に示すエージング条件は、エージング条件記録部５６に記録しておけばよい。
【００６３】
上記のように、本実施の形態のＸ線検査装置１は、Ｘ線管１２の不使用時間および真空度に応じて設定されている複数のエージング条件から最適な条件を決定してＸ線管１２のエージングを実施するようになっている。
【００６４】
なお、図４のフロー図は、Ｘ線管１２のエージングの主要動作のみを示すものであり、これらの主要動作以外にも以下のような動作を追加すると好適である。
【００６５】
例えば、高圧電源制御部６６がエージング動作を実行しているとき、エージング条件決定部５４が決定したエージング時間から既にエージング動作を実行した時間を減算してエージング動作の残り時間を表示部５に表示することが好ましい。この場合、利用者はエージングが終了するまでの残り時間を知ることができる。
【００６６】
また、表示部５には、真空度検出部６９が検出した真空度を表示することが好ましい。
【００６７】
この場合、利用者は、エージング動作を実行する前またはエージング動作の実行中にＸ線管１２の真空度を知ることができる。
【００６８】
また、エージング条件決定部５４が、エージング動作の実行後に、真空度検出部６９が検出した真空度が所定値に満たないときは、エージング条件を再び決定し、高圧電源制御部６６が、エージング条件決定部５４により再び決定されたエージング条件でエージング動作を再び実行することが好ましい。
【００６９】
この場合、真空度が所定値まで回復するまでＸ線管１２のエージング動作が行われるので、Ｘ線管１２の真空度を確実に回復することができる。
【００７０】
以上のように、本実施の形態に係るＸ線検査装置１は、Ｘ線管１２がＸ線を停止してからのＸ線停止時間を計算する不使用時間計算部６３と、Ｘ線管１２の内部の真空度を検出する真空度検出部６９と、不使用時間計算部６３が計算したＸ線停止時間と真空度検出部６９が検出した真空度に応じて、Ｘ線管１２の真空度を回復するエージング動作のエージング条件を決定するエージング条件決定部５４と、エージング条件決定部５４が決定したエージング条件でエージング動作を実行する高圧電源制御部６６と、を備えたことを特徴とする。
【００７１】
この構成により、エージング動作のエージング条件がＸ線管１２の真空度に応じて決定されるため、エージング動作を必要以上に長い時間行うことを防止し、真空度の回復に必要な時間だけエージングを行うことができる。したがって、Ｘ線管１２の真空度を回復するためのエージングを短時間で行うことができる。
【００７２】
また、本実施の形態に係るＸ線検査装置１は、エージング条件決定部５４が、エージング条件としてエージング動作を行うエージング時間を決定し、高圧電源制御部６６がエージング動作を実行しているとき、エージング条件決定部５４が決定したエージング時間から既にエージング動作を実行した時間を減算してエージング動作の残り時間を表示する表示部５を備えたことを特徴とする。
【００７３】
この構成により、利用者はエージングが終了するまでの残り時間を知ることができる。
【００７４】
また、本実施の形態に係るＸ線検査装置１は、真空度検出部６９が検出した真空度を表示する表示部５を備えたことを特徴とする。
【００７５】
この構成により、利用者は、エージング動作を実行する前またはエージング動作の実行中にＸ線管１２の真空度を知ることができる。
【００７６】
また、本実施の形態に係るＸ線検査装置１は、エージング条件決定部５４が、エージング動作の実行後に、真空度検出部６９が検出した真空度が所定値に満たないときは、エージング条件を再び決定し、高圧電源制御部６６が、エージング条件決定部５４により再び決定されたエージング条件でエージング動作を再び実行することを特徴とする。
【００７７】
この構成により、真空度が所定値まで回復するまでＸ線管１２のエージング動作が行われるので、Ｘ線管１２の真空度を確実に回復することができる。
【産業上の利用可能性】
【００７８】
以上のように、本発明に係るＸ線検査装置は、Ｘ線管の真空度を回復するためのエージングを短時間で行うことができるという効果を有し、Ｘ線発生器から照射されて被検査物を透過したＸ線をＸ線検出器により検出して被検査物を検査するＸ線検査装置として有用である。
【符号の説明】
【００７９】
１  Ｘ線検査装置
２  搬送部
２ａ  ベルト面
３  検出部
４  筐体
５  表示部（エージング残時間表示手段、真空度表示手段）
７  搬入口
８  搬出口
９  Ｘ線発生器
１０  Ｘ線検出器（Ｘ線検出手段）
１１  箱体
１２  Ｘ線管
１６  遮蔽カーテン
２１  搬送路
２１ａ  天井部
２２  検査空間
４０  制御回路
４１  Ａ／Ｄ変換部
４２  Ｘ線画像記憶部
４３  画像処理部
４４  判定部（異物検出手段）
４５  設定操作部
４６  主制御部
５１  Ｘ線管制御部
５２  演算制御回路
５３  受信部
５４  エージング条件決定部（エージング条件決定手段）
５５  Ｘ線制御部
５６  エージング条件記録部
６１  測定ユニット
６２  Ｘ線管駆動部
６３  不使用時間計算部（不使用時間計算手段）
６４  送信部
６５  Ｘ線管用高圧電源
６６  高圧電源制御部（エージング動作実行手段）
６７  オフ時刻記録部
６８  不使用時間記録部
６９  真空度検出部（真空度検出手段）
Ｗ  被検査物
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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