(57)【要約】      （修正有）【課題】内部回路パターンを容易に形成することができ、外部電極との連結性に優れ、熱衝撃に対する信頼性を確保することができる薄膜型コモンモードノイズフィルタの、磁性層材料として含まれるフェライト粉末とその製造方法を提供する。【解決手段】コモンモードノイズフィルタの磁性層材料として、表面のポアが除去された球形のフェライト粉末を使用する。前記フェライト粉末はＦｅ−Ｎｉ−Ｚｎ−Ｃｕ系であり、平均粒径を１０〜５０μｍとする。前記フェライト粉末の製造方法は、フェライト粉末原料を混合して噴霧乾燥（ｓｐｒａｙ  ｄｒｙｉｎｇ）する段階と、前記噴霧乾燥された混合物を８００〜９００℃で３０分〜９０分間仮焼する段階と、前記仮焼された混合物を１０００〜１２００℃で１００分〜１５０分間反応させる段階と、を含む。【選択図】図３
2014033198.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面にポア（ｐｏｒｅ）を有しないことを特徴とするフェライト粉末。
【請求項２】
Ｆｅ‐Ｎｉ‐Ｚｎ‐Ｃｕ系フェライト粉末であることを特徴とする請求項１に記載のフェライト粉末。
【請求項３】
平均粒径が１０〜５０μｍであることを特徴とする請求項１または２に記載のフェライト粉末。
【請求項４】
球形であることを特徴とする請求項１から３の何れか１項に記載のフェライト粉末。
【請求項５】
Ｃｏ、Ｂｉ、及びＴｉからなる群から選択される１種以上をさらに含むことを特徴とする請求項１から４の何れか１項に記載のフェライト粉末。
【請求項６】
フェライト粉末原料を混合して噴霧乾燥（ｓｐｒａｙ  ｄｒｙｉｎｇ）する段階と、
前記噴霧乾燥された混合物を８００〜９００℃で３０分〜９０分間仮焼する段階と、
前記仮焼された混合物を１０００〜１２００℃で１００分〜１５０分間反応させる段階と、を含む、表面にポア（ｐｏｒｅ）を有しないフェライト粉末の製造方法。
【請求項７】
前記フェライト粉末は、Ｆｅ‐Ｎｉ‐Ｚｎ‐Ｃｕ系フェライト粉末であることを特徴とする請求項６に記載の表面にポア（ｐｏｒｅ）を有しないフェライト粉末の製造方法。
【請求項８】
表面にポア（ｐｏｒｅ）を有しないＦｅ‐Ｎｉ‐Ｚｎ‐Ｃｕ系フェライト粉末を磁性層として含むことを特徴とするコモンモードノイズフィルタ。
【請求項９】
前記磁性層は、前記フェライト粉末と高分子バインダーの複合体で構成されることを特徴とする請求項８に記載のコモンモードノイズフィルタ。
【請求項１０】
前記高分子バインダーは、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂及びポリアニリン樹脂からなる群から選択される１種以上であることを特徴とする請求項９に記載のコモンモードノイズフィルタ。
【請求項１１】
前記磁性層は、フェライト粉末と高分子バインダーが７：１〜１０：１の重量比で混合されることを特徴とする請求項９または１０に記載のコモンモードノイズフィルタ。
【請求項１２】
前記フェライト粉末の平均粒径は１０〜５０μｍであることを特徴とする請求項８から１１の何れか１項に記載のコモンモードノイズフィルタ。
【請求項１３】
前記フェライト粉末は球形であることを特徴とする請求項８から１２の何れか１項に記載のコモンモードノイズフィルタ。
【請求項１４】
前記フェライト粉末は、Ｃｏ、Ｂｉ、及びＴｉからなる群から選択される１種以上をさらに含むことを特徴とする請求項８から１３の何れか１項に記載のコモンモードノイズフィルタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フェライト粉末とその製造方法、及びそれを磁性層材料として含むコモンモードノイズフィルタに関する。
【背景技術】
【０００２】
我々の周辺に存在する電子機器は、多かれ少なかれ放射ノイズを発生させる。このようなノイズは、自由に且つ急激に変化するため、電子機器自体がノイズの発生源となることを防止するとともに、外来ノイズによる誤動作なども防止することができる耐性（Ｉｍｍｕｎｉｔｙ）対策が必要である。これがＥＭＣの基本的な思考である。
【０００３】
伝導ノイズは、コンデンサによってグラウンドに「バイパス（Ｂｙ−Ｐａｓｓ）」されたり、抵抗及びフェライトコア（Ｆｅｒｒｉｔｅ  Ｃｏｒｅ）、チップビーズ（Ｃｈｉｐ  Ｂｅａｄ）などによって「吸収」されて、熱に変換されて除去されることが一般的である。
【０００４】
伝導ノイズに対する対策として、また一つの重要な方法がある。これは、インダクタ（Ｉｎｄｕｃｔｏｒ）の特性を利用してノイズ電流を「反射」させる方法である。インダクタにおいて、直流電流は円滑に流れるが、交流電流はインピーダンス（Ｉｍｐｅｄａｎｃｅ；交流電流に対する抵抗）が高くなって円滑に流れないためである。ところが、伝導ノイズの伝達方式には、差動モード（Ｄｉｆｆｅｒｅｎｔｉａｌ  Ｍｏｄｅ）とコモンモード（Ｃｏｍｍｏｎ  Ｍｏｄｅ）の二つのタイプがあり、その違いに応じたノイズ対策が要求される。ノイズのタイプを確認しないと、ノイズ抑制部品を回路に追加しても、ノイズが却って増加する状況をもたらすこともある。
【０００５】
コモンモード（Ｃｏｍｍｏｎ  Ｍｏｄｅ）とは、往路及び復路に対して同じ方向に流れる伝導モードである。コモンモードノイズは、配線系のインピーダンスの不平衡などによって生じることもあり、高周波であるほど顕著になる。また、コモンモードノイズは地面などにも伝達され、大きいループを描いて戻ってくるため、遠く離れている電子機器にも様々なノイズ障害を発生させる。
【０００６】
従って、デジタル機器において、差動モードノイズ（Ｄｉｆｆｅｒｅｎｔｉａｌ  Ｍｏｄｅ  Ｎｏｉｓｅ）に対する対策は勿論、コモンモードノイズに対する対策がさらに重視されている。
【０００７】
このようなコモンモードノイズフィルタ１０は、図１のように、フェライト基板１１に内部コイル導体１２が形成された絶縁層１３を設け、前記コイル導体１２をビア電極（不図示）に連結させた後、前記基板１１の外周面には外部電極端子１４が連結された構造を有する。また、前記コイル導体１２の内側には、絶縁層１３を貫通する開口部１５が形成されており、前記開口部１５の内部には磁性体が充填された磁性層１６が含まれる。
【０００８】
図２は、前記図１の構造を上部から見たときの図面である。
【０００９】
前記磁性層１６はフェライト及び高分子バインダーが混合されたフェライト複合体の形態で構成されるが、前記フェライトとしては、１種の粉末、または異なるサイズを有する２種の粉末を用いる。しかし、フェライト複合体の充填率を高めるために球形のフェライト粉末を用いる場合、チップの製作及び実装時、前記高分子バインダーとの接着力の不足のため、熱衝撃によってクラックなどの不良が発生する。
【００１０】
また、透磁率値を改善するために、フェライトの粒径を大きくしたり、高分子バインダーの量を減らしたり、または成形時の温度を高くする方法などが用いられる。しかし、フェライトの粒径を大きくすると高周波特性が悪くなり、高分子バインダーの量を減らすと圧粉体の絶縁性及び耐電圧特性が悪くなる。また、温度を高くする方法は、作業性の低下、設備コスト及びフィルタの信頼性において問題が生じる恐れがあるため好ましくない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】日本公開特許第２００５‐３０６６９６号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
本発明は、従来の巻線型、積層型のコモンモードノイズフィルタの問題点を改善するためのものであって、高精度の微細線幅及び優れた上下パターンの連結性を有して、内部回路パターンを容易に形成することができ、外部電極との連結性に優れた薄膜型コモンモードノイズフィルタの磁性層材料として含まれるフェライト粉末とその製造方法を提供することを目的とする。
【００１３】
また、本発明の他の目的は、前記フェライト粉末を磁性層材料として用いて、電気的特性及び信頼性に優れた薄膜型コモンモードノイズフィルタを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明の一実施形態によるフェライト粉末は、表面にポア（ｐｏｒｅ）を有しないことを特徴とする。
【００１５】
本発明の一実施形態による前記フェライト粉末は、Ｆｅ‐Ｎｉ‐Ｚｎ‐Ｃｕ系フェライト粉末であることが好ましい。
【００１６】
前記フェライト粉末の平均粒径は１０〜５０μｍであることが好ましい。
【００１７】
前記フェライト粉末は球形であることが好ましい。
【００１８】
前記フェライト粉末は、Ｃｏ、Ｂｉ、及びＴｉからなる群から選択される１種以上をさらに含むことができる。
【００１９】
また、本発明の一実施形態によると、フェライト粉末原料を混合して噴霧乾燥（ｓｐｒａｙ  ｄｒｙｉｎｇ）する段階と、前記噴霧乾燥された混合物を８００〜９００℃で３０分〜９０分間仮焼する段階と、前記仮焼された混合物を１０００〜１２００℃で１００分〜１５０分間反応させる段階と、を含む、表面にポア（ｐｏｒｅ）を有しないフェライト粉末の製造方法を提供することができる。
【００２０】
前記フェライト粉末は、Ｆｅ‐Ｎｉ‐Ｚｎ‐Ｃｕ系であることが好ましい。
【００２１】
また、本発明の他の一実施形態によると、表面にポア（ｐｏｒｅ）を有しないＦｅ‐Ｎｉ‐Ｚｎ‐Ｃｕ系フェライト粉末を磁性層として含むコモンモードノイズフィルタを提供することができる。
【００２２】
前記磁性層は、前記フェライト粉末と高分子バインダーの複合体で構成されることができる。
【００２３】
前記高分子バインダーは、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂及びポリアニリン樹脂からなる群から選択される１種以上であることができる。
【００２４】
前記磁性層は、フェライト粉末と高分子バインダーが７：１〜１０：１の重量比で混合されることが好ましい。
【００２５】
前記フェライト粉末の平均粒径は１０〜５０μｍであることが好ましい。
【００２６】
前記フェライト粉末は球形であることが好ましい。
【００２７】
前記フェライト粉末は、Ｃｏ、Ｂｉ、及びＴｉからなる群から選択される１種以上をさらに含むことができる。
【発明の効果】
【００２８】
本発明によると、コモンモードノイズフィルタの磁性層材料として用いられる表面のポアが除去された球形のフェライト粉末は、高い密度を有するため、分散性が向上され、混合される高分子バインダーとの接着力を向上させることができる。
【００２９】
また、本発明によると、前記高分子バインダーとフェライト粉末との間の接着力が向上されることにより、チップの製作及び実装時、前記高分子バインダーとの接着力の不足のため熱衝撃によって発生するクラックなどの不良を抑制して、熱衝撃に対する信頼性を確保することができる。
【００３０】
また、本発明の磁性層に含まれた球形のフェライト粉末は、分散が容易であるため、コモンモードノイズフィルタの透磁率を改善して、微細線幅を有し、比較的厚い厚さの薄膜型コモンモードノイズフィルタを製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】従来のコモンモードノイズフィルタの構造を示した図面である。
【図２】従来のコモンモードノイズフィルタの構造を示した図面である。
【図３】本発明の一実施形態によるフェライト粉末の構造を示した図面である。
【図４】仮焼段階を経た従来のフェライト粉末の構造を示した図面である。
【図５】本発明の一実施形態によるフェライト粉末の製造段階毎の表面構造の変化を示した図面である。
【図６】本発明の一実施形態によるコモンモードノイズフィルタの構造を示した図面である。
【図７】本発明の一実施形態によるコモンモードノイズフィルタの構造を示した図面である。
【図８】本発明によるコモンモードノイズフィルタの製造過程を示した図面である。
【図９】比較例１によるフェライト粉末の構造を示した図面である。
【図１０】本発明の実施例２−１による熱膨脹率（ＣＴＥ）の測定グラフである。
【図１１】本発明の実施例２−２による熱膨脹率（ＣＴＥ）の測定グラフである。
【図１２】本発明の実施例２−３による熱膨脹率（ＣＴＥ）の測定グラフである。
【図１３】本発明の実施例２−４による熱膨脹率（ＣＴＥ）の測定グラフである。
【図１４】本発明の比較例１−１による熱膨脹率（ＣＴＥ）の測定グラフである。
【図１５】本発明の比較例１−２による熱膨脹率（ＣＴＥ）の測定グラフである。
【発明を実施するための形態】
【００３２】
以下、添付の図面を参照して、本発明をより詳細に説明する。
【００３３】
本明細書で用いられる用語は、特定の実施形態を説明するために用いられ、本発明を限定しようとするものではない。本明細書に用いられたように、単数型は文脈上異なる場合を明白に指摘するものでない限り、複数型を含むことができる。また、本明細書で用いられる「含む（ｃｏｍｐｒｉｓｅ）」及び／または「含んでいる（ｃｏｍｐｒｉｓｉｎｇ）」は言及された形状、数字、段階、動作、部材、要素、及び／またはこれらの組み合わせが存在することを特定するものであり、一つ以上の他の形状、数字、段階、部材、要素、及び／またはこれらの組み合わせの存在または付加を排除するものではない。
【００３４】
本発明は、コモンモードノイズフィルタの磁性層材料として含まれるフェライト粉末とその製造方法、及びそれを磁性層として含むコモンモードノイズフィルタに関する。
【００３５】
１．フェライト粉末
コモンモードノイズフィルタの磁性層材料として含まれる本発明のフェライト粉末は、表面にポア（ｐｏｒｅ）を有しないことを特徴とし、その構造は図３に示したとおりである。
【００３６】
図３に示すように、本発明によるフェライト粉末は、その表面にポアを有しない密な（ｄｅｎｓｅ）構造を有する。本発明において「表面にポアを有しない密な構造を有する」とは、前記フェライト粉末表面に、ポア、例えば、１０〜１０００ｎｍサイズのポア（気孔）を実質的に有するか、または約１〜５％以内で有することを意味する。
【００３７】
前記フェライト粉末の表面に形成されたポアを反応によって閉塞することにより、本発明による表面にポアを有しないフェライト粉末が得られる。
【００３８】
本発明の一実施形態による前記フェライト粉末としては、Ｆｅ‐Ｎｉ‐Ｚｎ‐Ｃｕ系が好ましく用いられることができ、選択的に、Ｃｏ、Ｂｉ、及びＴｉからなる群から選択される１種以上をさらに含むことができる。
【００３９】
また、本発明によるフェライト粉末は球形（ｓｐｈｅｒｉｃａｌ）であることが、均一な分散のために好ましい。
【００４０】
本発明によるフェライト粉末の平均粒径は１０〜５０μｍであることが、透磁率の向上のために好ましい。
【００４１】
２.フェライト粉末の製造方法
以下、本発明による表面にポア（ｐｏｒｅ）を有しないフェライト粉末の製造方法を説明する。
【００４２】
本発明の一実施形態によるフェライト粉末は、フェライト粉末原料を混合して噴霧乾燥（ｓｐｒａｙ  ｄｒｙｉｎｇ）する段階と、前記噴霧乾燥された混合物を８００〜９００℃で３０分〜９０分間仮焼する段階と、前記仮焼された混合物を１０００〜１２００℃で１００分〜１５０分間反応させる段階と、を経て製造されることができる。
【００４３】
第１段階では、前記フェライト粉末を構成する各原料粉末を約７〜１０時間に亘ってアトリションミル（Ａｔｔｒｉｔｉｏｎ  ｍｉｌｌ）で混合した後、約２００〜４００℃で噴霧乾燥する。
【００４４】
前記フェライト粉末を構成する各原料は、Ｆｅ‐Ｎｉ‐Ｚｎ‐Ｃｕ系であることが好ましく、選択的に、Ｃｏ、Ｂｉ、及びＴｉからなる群から選択される１種以上をさらに含むことができる。
【００４５】
第２段階では、前記噴霧乾燥された混合物を８００〜９００℃で３０分〜９０分間仮焼する。第２段階の仮焼工程を経たフェライト粉末は、図４のように、その表面に１００〜７００ｎｍのポアが形成された構造を有する。また、前記フェライト粉末は、微細な粒子が互いに凝集している構造を有する。
【００４６】
第３段階では、前記仮焼された混合物を１０００〜１２００℃で１００分〜１５０分間反応させることにより、前記フェライト粉末表面のポアが互いに繋がり、フェライト粉末表面にポアを有しない構造に変化させる。図５は仮焼段階後のフェライト粉末表面と最終製造されたフェライト粉末表面を比較した図面であり、最終製造されたフェライト粉末は、表面のポアが互いに溶融（ｍｅｌｔｉｎｇ）され、粒成長反応によりポアが互いに繋がって、ポアが除去された構造を有する。
【００４７】
また、前記反応により、上記仮焼段階で大きい塊状に凝集していた粒子がそれぞれの粒子に分離される。従って、凝集された粒子が個別的に分離されて磁性層材料として用いられる場合、高分子バインダーとの分散性が向上されることができる。
【００４８】
さらに、第２段階の仮焼工程でのフェライト粉末に比べ、第３段階を経た最終フェライト粉末は、その密度が増加して、熱膨脹特性が改善される効果を有する。
【００４９】
前記過程を経て、平均粒径が約１０〜５０μｍであるフェライト粉末が得られた。
【００５０】
３．コモンモードノイズフィルタ
本発明は、上記記載のフェライト粉末を磁性層材料として含むコモンモードノイズフィルタに関する。
【００５１】
図６は本発明の一実施形態によるコモンモードノイズフィルタ１００の構造を示したものである。これを参照すると、基板１１１上に形成された積層体を構成する複数の絶縁層１１３と、前記複数の絶縁層１１３に含まれる内部電極コイル１１２と、前記内部電極コイル１１２の端部に接続される外部電極端子１１４と、前記積層体の表面に形成された磁性層１１６と、を含む。
【００５２】
本発明は、表面にポア（ｐｏｒｅ）を有しないＦｅ‐Ｎｉ‐Ｚｎ‐Ｃｕ系フェライト粉末を前記磁性層１１６に含むことを特徴とする。前記フェライト粉末は、平均粒径が約１０〜５０μｍであり、表面にポアを有しないため高い密度を有して、優れた分散性を有する。
【００５３】
また、本発明によるフェライト粉末は、球形の形態を有して、従来のフレーク（ｆｌａｋｅ）状の粉末に比べ、熱膨脹特性を効果的に減少させることができる。また、前記フェライト粉末を磁性層材料として含む場合、ノイズフィルタの熱衝撃に対する信頼性を確保することができる。
【００５４】
本発明による前記磁性層１１６は、前記フェライト粉末と高分子バインダーの複合体の形態で含まれることができる。
【００５５】
前記高分子バインダーは、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂及びポリアニリン樹脂からなる群から選択される１種以上であることができる。
【００５６】
また、フェライト粉末と高分子バインダーの複合体の形態で含まれる本発明による前記磁性層１１６は、フェライト粉末と高分子バインダーとが７：１〜１０：１の重量比で混合されることが、分散性及び工程性の点で好ましい。
【００５７】
また、本発明による前記磁性層は、分散剤などの通常の添加剤を含むことができる。
【００５８】
本発明による前記磁性層は５０〜１００μｍの厚さに形成されることが、濡れ性（ｗｅｔｔｉｎｇ  ｐｒｏｐｅｒｔｙ）及び脱泡特性の点で好ましい。
【００５９】
本発明のコモンモードノイズフィルタに用いられる前記基板１１１としては、通常のフェライト基板が用いられることができ、フェライトの材質が特に限定されるものではない。
【００６０】
前記フェライト基板１１１上には複数の絶縁層１１３が積層されて積層体を成しており、前記各絶縁層１１３には内部電極コイル１１２が形成されている。前記各絶縁層１１３の内部電極コイル１１２は、隣合うビア電極（不図示）によって互いに連結されている。
【００６１】
前記絶縁層１１３は、各内部電極コイル１１２を互いに絶縁させるとともに、前記内部電極コイル１１２が形成される表面を平らにする役割をする。このような絶縁層１１３の材料としては、電気的及び磁気的絶縁特性に優れ、加工性が良好な高分子樹脂が好ましく用いられることができ、例えば、エポキシ樹脂またはポリイミド樹脂などが挙げられるが、特にこれに限定されるものではない。
【００６２】
また、前記各絶縁層１１３に形成される内部電極コイル１１２は、導電性及び加工性に優れた銅（Ｃｕ）またはアルミニウム（Ａｌ）などを用いて形成されることができ、その形成方法は、フォトリソグラフィを利用したエッチング法やアディティブ法（メッキ法）を用いることができ、その方法は特に限定されない。
【００６３】
前記各絶縁層１１３の中央、且つ各内部電極コイル１１２の内側には、各絶縁層１１３を貫通する開口部が形成されており、前記各絶縁層１１３に形成された内部電極コイル１１２は各層のビア電極によって電気的に連結される。
【００６４】
また、前記内部電極コイル１１２の各端部は外部電極端子１１４に連結されるが、前記積層体の外周面の両側面に通常四つの外部電極端子１１４が形成されている。図７は図６を上部から見たときの図面である。
【００６５】
図８に、本発明によるコモンモードノイズフィルタの製造過程を示した。これを参照して説明すると、フェライト基板からなる絶縁膜に第１絶縁層を形成し、前記第１絶縁層と第２絶縁層に内部電極コイルを形成して、ビア電極を介して電気的に接続させる。前記内部電極コイルの外周端は、流出端子を介して外部電極端子と連結させる。
【００６６】
次に、前記第２絶縁層と第３絶縁層の内部電極コイルをさらにビア電極を介して電気的に接続させ、前記各絶縁層に形成された内部電極コイルを外部電極端子と連結させる。また、前記最外側の絶縁層に磁性層を形成し、ダイシング工程を経て最終コモンモードノイズフィルタを製造することができる。
【００６７】
本発明の前記磁性層は、表面にポアを有しないフェライト粉末を用いて、高分子バインダー及び添加剤を含んで構成されることができる。前記各フェライト粉末を一定の条件で混合し、噴霧乾燥過程、仮焼過程、及び反応過程を経て、表面にポアを有しない構造を有するようにする。前記磁性層の厚さは５０〜１００μｍに形成されることが、濡れ性（ｗｅｔｔｉｎｇ  ｐｒｏｐｅｒｔｙ）及び脱泡特性の点で好ましい。
【００６８】
以下、本発明の好ましい実施例を詳細に説明する。以下の実施例は、本発明を例示するためのものに過ぎず、本発明の範囲がこれら実施例によって制限されることに解釈されてはならない。また、以下の実施例では、特定化合物を利用して例示したが、これらの均等物を用いた場合においても、同等類似の程度の効果を奏することができるということは、当業者において自明である。
【００６９】
［実施例１：フェライト粉末の製造］
Ｆｅ‐Ｎｉ‐Ｚｎ‐Ｃｕ系フェライト粉末を構成する前記各原料粉末を酸化物形態でアトリションミル（Ａｔｔｒｉｔｉｏｎ  ｍｉｌｌ）で９時間に亘って混合し、３００℃で噴霧乾燥した。前記フェライト粉末には、少量のＣｏ酸化物及びＢｉ酸化物を含ませた。次に、約９００℃で５０分間維持させて前記フェライト粉末を仮焼した。最後に、前記仮焼したフェライト粉末を１１００℃で１２０分間反応（粒成長）させて前記フェライト粉末表面のポアを除去することにより、平均粒径１００〜６０００ｎｍのＦｅ‐Ｎｉ‐Ｚｎ‐Ｃｕ系フェライト粉末を製造した。
【００７０】
［実施例２：コモンモードノイズフィルタの製造］
図８のような過程を経てコモンモードノイズフィルタを製造した。フェライト基板からなる絶縁膜にエポキシ樹脂からなる第１絶縁層を形成した後、前記第１絶縁層上に銅（Ｃｕ）金属を用いて内部電極コイルを形成した。また、エポキシ樹脂からなる第２絶縁層上に銅（Ｃｕ）金属を用いて内部電極コイルを形成した。各絶縁層上に内部電極コイルを形成する工程を繰り返して、追加の絶縁層を形成することができる。また、前記それぞれの第１絶縁層と第２絶縁層に形成された内部電極コイルをビア電極を介して電気的に接続させた。前記内部電極コイルの外周端は流出端子を介して外部電極端子と連結させ、前記第２絶縁層と第３絶縁層の内部電極コイルをさらにビア電極を介して電気的に接続させて、前記各絶縁層に形成された内部電極コイルを外部電極端子と連結させた。
【００７１】
また、前記最外側の絶縁層に１００μｍの厚さの磁性層を形成した。前記磁性層は、前記実施例１により製造されたフェライト粉末とポリイミド高分子バインダーとを９：１で混合、塗布することにより形成した。次に、ダイシング工程を経て最終コモンモードノイズフィルタを製造した。
【００７２】
［比較例１］
磁性層を形成する材料として、図９のように、フレーク状を有するＦｅ‐Ｎｉ‐Ｚｎ‐Ｃｕで構成され、粉末表面にポアを有するフェライト粉末を用いることを除き、前記実施例２と同一の過程でコモンモードノイズフィルタを製造した。
【００７３】
［実験例１：段階毎の密度測定］
本発明の実施例１に従って、フェライト粉末の仮焼段階及び反応段階による密度の変化を測定し、その結果を表１に示した。
【００７４】
【表１】
2014033198.tif 000003
【００７５】
前記表１の結果のように、本発明によるフェライト粉末は、仮焼段階を経た後の密度に比べて最後の反応段階を経た後の密度が増加したことを確認することができる。このような密度の変化は、仮焼段階を経た後にフェライト粉末表面に形成されたポアが最後の反応段階で効果的に閉塞されることによると類推することができる。本発明のように、フェライト粉末表面のポアが除去されることにより、フェライト粉末表面のポアで毛細管現象によって高分子バインダーの損失が減少されて、分散性が向上される。また、粒成長による密度の増加によって透磁率が増加するという効果が得られる。
【００７６】
［実験例２：熱膨脹率の測定］
前記実施例２と比較例１により製造されたノイズフィルタの熱膨脹率を測定し、その結果を表２に示した。実施例２の試料は、二つの試料を用いてそれぞれ２回の実験を行い、比較例１の試料に対しても２回の実験を行ってその平均値を取った。
【００７７】
図１０は本発明の実施例２−１による熱膨脹率（ＣＴＥ）の測定グラフであり、図１１は本発明の実施例２−２による熱膨脹率（ＣＴＥ）の測定グラフであり、図１２は本発明の実施例２−３による熱膨脹率（ＣＴＥ）の測定グラフであり、図１３は本発明の実施例２−４による熱膨脹率（ＣＴＥ）の測定グラフであり、図１４は本発明の比較例１−１による熱膨脹率（ＣＴＥ）の測定グラフであり、図１５は本発明の比較例１−２による熱膨脹率（ＣＴＥ）の測定グラフである。
【表２】
2014033198.tif 000004
【００７８】
前記表２の結果のように、表面にポアを有して、フレーク状の粉末を用いた比較例１に比べ、球形であり、表面にポアを有しないフェライト粉末を用いて複合体を製作した本発明の実施例２のノイズフィルタは、その熱膨脹係数（ＣＴＥ）が１／４に減少して、熱衝撃に対して信頼性を確保することができることを確認した。
【００７９】
本発明の球形フェライト粉末の分散性が増加され、高分子バインダーとの接触面積が増加することにより、熱膨脹率の減少を示した。
【００８０】
また、フェライト粉末表面にポアが存在する場合（比較例１‐１、１‐２）に比べ、本発明の実施例によるフェライト粉末は、１００〜１０００ｎｍの粉末がそれぞれ分離されて存在する場合のような分散性を有して、熱膨脹率においても粒成長させた粉末がより優れた特性を示した。
【符号の説明】
【００８１】
１０、１００  コモンモードノイズフィルタ
１１、１１１  フェライト基板
１２、１１２  内部電極コイル
１３、１１３  絶縁層
１４、１１４  外部電極端子
１５  開口部
１６、１１６  磁性層
【図１】
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【図２】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図３】
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【図４】
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【図９】
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