(57)【要約】【課題】装置へのチューブの組み付けが容易であるとともに、チューブの余剰分の発生を削減することで廃棄分を削減可能とする経済的なチューブを提供する。【解決手段】装置に配設されるチューブであって、チューブ上に表示され、装置における取付手順情報表示を備えた、チューブが提供される。また、好ましくは、取付手順情報表示は、チューブが接続される接続先、チューブが固定される固定先、チューブが接続される接続位置、チューブが固定される固定位置、の少なくとも一つを含む、こととする。【選択図】図３
2014047879.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
装置に配設されるチューブであって、
該チューブ上に表示され、該装置における取付手順情報表示を備えた、チューブ。
【請求項２】
前記取付手順情報表示は、
該チューブが接続される接続先、
該チューブが固定される固定先、
該チューブが接続される接続位置、
該チューブが固定される固定位置、の少なくとも一つを含む、
ことを特徴とする請求項１に記載のチューブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は流体が流れるチューブに関する。
【背景技術】
【０００２】
産業機械や製造装置には水やエアといった各種の流体を用いるものが多い。例えば、半導体デバイスの製造工程において、半導体ウェーハを研削して薄化するグラインダと呼ばれる研削装置や、薄化された半導体ウェーハをチップ状に分割するダイサーと呼ばれる切削装置においては、装置の所要箇所にエアや加工液、吸引力等を伝達する配管が張り巡らされることが知られている（例えば、特許文献１、２参照。）。
【０００３】
より具体的には、切削装置は、少なくとも半導体ウェーハを吸引保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された半導体ウェーハを切削する切削ブレードを含むエアベアリング式のスピンドルユニットと、切削された半導体ウェーハを洗浄する洗浄装置とを備えている。
【０００４】
また、研削装置は、少なくとも半導体ウェーハを吸引保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された半導体ウェーハを研削する研削ホイールを含むエアベアリング式のスピンドルユニットと、研削された半導体ウェーハを洗浄する洗浄装置とを備えている。
【０００５】
更に、これらの切削装置や研削装置では、チャックテーブルに半導体ウェーハを吸引するための負圧を発生させるエア吸引源や、エアベアリングに高圧エアを供給するエア供給源、洗浄装置に洗浄液を供給する洗浄液供給源等を備えるとともに、流体の吸引源や供給源からそれぞれの作用箇所へ流体を導くための配管が設けられている。
【０００６】
このような切削装置や研削装置における各種流体の配管としては、直径数ｍｍ〜数十ｍｍ程度の柔軟性を有するチューブが一般的に用いられており、適切な長さに切断されたチューブが装置内の適所に接続されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平１０−３２１５６２号公報
【特許文献２】特開昭５５−１１２７６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上述した切削装置や研削装置などの各種加工装置には、液体、気体など各種の流体を個別に流動させるために、複数本のチューブが張り巡らされることとなる。そして、各チューブが絡まないようにする目的や、整頓の目的ために、複数のチューブを所定の結束位置で結束したり、例えば加工装置の骨組み等の所定位置に固定する作業が必要になる。
【０００９】
他方、チューブの所定の結束位置での結束や所定位置での固定などを実施する際の取り付け手順は、加工装置の設計図に記載されており、加工装置を組み立てる作業者は、この設計図とチューブを照合しながら、予め適切に切断された長さのチューブを所定のポートに接続したり、所定のフレームなどに固定を行っていた。
【００１０】
しかしながら、設計図を見ながらの作業は、作業性が悪く、大量のチューブを使用する加工装置の組み付け時には、チューブを照合するだけでも非常に手間がかかるという問題があった。
【００１１】
さらに、チューブの引き回しの経路が決定されておらず、或いは、決定されていたとしても作業者によってばらつきが生じてしまう状況では、チューブを所定のポートに接続しようとした際に、チューブの長さが足りなくなる状況が生じることが懸念される。
【００１２】
このため、従来は、チューブの長さに余裕を持たせるようにリールからチューブを引き出して切断することで、接続の際に余剰分をカットすることが行われていた。
【００１３】
ところが、余剰部分は廃棄することになるため非常に非経済的であり、また、廃棄のためのコスト発生や自然環境保護への配慮にも欠けることになる。特に、１台の加工装置に数十〜数百ものチューブを使用する加工装置にとっては、廃棄されるチューブも大量となり、大きな問題となる。
【００１４】
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、装置へのチューブの組み付けが容易であるとともに、チューブの余剰分の発生を削減することで廃棄分を削減可能とする経済的なチューブを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
請求項１に記載の発明によると、装置に配設されるチューブであって、チューブ上に表示され、装置における取付手順情報表示を備えた、チューブが提供される。
【００１６】
請求項２に記載の発明によると、取付手順情報表示は、チューブが接続される接続先、チューブが固定される固定先、チューブが接続される接続位置、チューブが固定される固定位置、の少なくとも一つを含む、ことを特徴とする請求項１に記載のチューブが提供される。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によると、装置に配設されるチューブの取付手順情報表示がチューブに表示されているため、作業者が都度設計図とチューブとを照合しながら組み付ける必要がなく、装置への組み付けが容易になる。また、作業者による不適切なチューブの引き回しによってチューブが過剰に使用されることが防止され、余剰分として廃棄されるチューブが削減可能となり、経済的である。
【００１８】
また、請求項２に記載の発明によれば、チューブの接続先、接続位置、固定先、固定位置が明確になり、装置へのチューブの組み付け作業の作業性をより向上させることができる
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】切削装置の外観斜視図である。
【図２】ダイシングテープを介して環状フレームで支持された半導体ウェーハの斜視図である。
【図３】本発明のチューブの原理を説明する図である。
【図４】本発明のチューブの他の実施形態について示す図である。
【図５】本発明のチューブの他の実施形態について示す図である。
【図６】本発明のチューブの引き回しの例について示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図１は配管に本発明のチューブを利用した切削装置２の外観斜視図を示している。切削装置２の前面側には、オペレータが加工条件等の装置に対する指示を入力するための操作手段４が設けられている。装置上部には、オペレータに対する案内画面や後述する撮像手段によって撮像された画像が表示されるＣＲＴ等の表示手段６が設けられている。
【００２１】
図２に示すように、ダイシング対象の発光デバイスウェーハＷ（以下、単に「ウェーハＷ」とも称する）の表面においては、第１のストリート（分割予定ライン）Ｓ１と第２のストリートＳ２とが直交して形成されており、第１のストリートＳ１と第２のストリートＳ２とによって区画されてＬＥＤ等の多数のデバイスＤがウェーハＷ上に形成されている。
【００２２】
ウェーハＷは粘着テープであるダイシングテープＴに貼着され、ダイシングテープＴの外周縁部は環状フレームＦに貼着されている。これにより、ウェーハＷはダイシングテープＴを介してフレームＦに支持された状態となり、図１に示したウェーハカセット８中にウェーハが複数枚（例えば２５枚）収容される。ウェーハカセット８は上下動可能なカセットエレベータ９上に載置される。
【００２３】
ウェーハカセット８の後方には、ウェーハカセット８から切削前のウェーハＷを搬出するとともに、切削後のウェーハをウェーハカセット８に搬入する搬出入手段１０が配設されている。ウェーハカセット８と搬出入手段１０との間には、搬出入対象のウェーハが一時的に載置される領域である仮置き領域１２が設けられており、仮置き領域１２には、ウェーハＷを一定の位置に位置合わせする位置合わせ手段１４が配設されている。
【００２４】
仮置き領域１２の近傍には、ウェーハＷと一体となったフレームＦを吸着して搬送する旋回アームを有する搬送手段１６が配設されており、仮置き領域１２に搬出されたウェーハＷは、搬送手段１６により吸着されてチャックテーブル１８上に搬送され、このチャックテーブル１８に吸引されるとともに、複数の固定手段（クランプ）１９によりフレームＦが固定されることでチャックテーブル１８上に保持される。
【００２５】
チャックテーブル１８は、回転可能且つＸ軸方向に往復動可能に構成されており、チャックテーブル１８のＸ軸方向の移動経路の上方には、ウェーハＷの切削すべきストリートを検出するアライメント手段２０が配設されている。
【００２６】
アライメント手段２０は、ウェーハＷの表面を撮像する撮像手段２２を備えており、撮像により取得した画像に基づき、パターンマッチング等の処理によって切削すべきストリートを検出することができる。撮像手段２２によって取得された画像は、表示手段６に表示される。
【００２７】
アライメント手段２０の左側には、チャックテーブル１８に保持されたウェーハＷに対して切削加工を施す切削手段（切削ユニット）２４が配設されている。切削手段２４はアライメント手段２０と一体的に構成されており、両者が連動してＹ軸方向及びＺ軸方向に移動する。
【００２８】
切削手段２４は、回転可能なスピンドル２６の先端に切削ブレード２８が装着されて構成され、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に移動可能となっている。切削ブレード２８は撮像手段２２のＸ軸方向の延長線上に位置している。
【００２９】
２５は切削が終了したウェーハＷを洗浄装置２７まで搬送する搬送手段であり、洗浄装置２７では、ウェーハＷを洗浄するとともにエアノズルからエアを噴出させてウェーハＷを乾燥する。
【００３０】
次に図３を参照して、本発明のチューブの原理を説明する。チューブ１１は、例えば、柔軟性を呈する樹脂から形成されており、チューブ１１上にはチューブ１１の取り付け手順を表示する取付手順情報表示１３が表示されている。
【００３１】
取付手順情報表示１３は、作業者が切削装置２にチューブ１１を引き回して組み付ける作業を実施する際に取付手順情報表示１３を参照することによって、容易に作業を行えるようにするためのものである。
【００３２】
図３の例では、チューブ１１の一端１１ａに「Ｃ／Ｔ」の接続先表示１３ａが表示され、他端１１ｂに「ＥＪ」の接続先表示１３ｂが表示される。ここで、「Ｃ／Ｔ」は「チャックテーブル」の略語であり、「ＥＪ」は「エジェクター」の略語である。
【００３３】
そして、このように接続先表示１３ａ，１３ｂが表示されることにより、作業者は、チューブ１１の一端１１ａの接続先がチャックテーブルで、他端１１ｂの接続先がエジェクターであることを視認することができる。
【００３４】
このようにチューブ１１の両端の接続先が接続先表示１３ａ，１３ｂによって視認可能となることから、逐一、チューブ１１を設計図などと照合して接続先を探す手間が無く、チューブ１１の組み付け作業が容易に、かつ、短時間で行えることになる。
【００３５】
次に、取付手順情報表示の他の実施形態について説明する。図４の例では、チューブ１１の一端１１ａに「Ｓ／Ｐ  Ｏ２」の文字からなる接続先表示１３ｃが表示され、このチューブ１１の一端１１ａが、「スピンドル  アウトポート２」に接続されることが表示されている。
【００３６】
また、図４の例において、チューブ１１の長さ方向の中途部に「ＦＲ３  Ｐ２」の文字からなる固定先表示１３ｄと、「横線」からなる固定位置表示１３ｅが表示されている。ここで、「ＦＲ３  Ｐ２」は、「フレーム３の第２ポイント」の略語であり、「横線」は、この線の部分においてチューブ１１が固定されることを意味する表示である。なお、本実施形態の「横線」は、チューブ１１の長さ方向に直交する方向に描かれる線である。
【００３７】
さらに、図４の例において、接続先表示１３ｃ、固定先表示１３ｄ、固定位置表示１３ｅが表示されない箇所には、矢印記号１３ｙ，１３ｙが表示されている。この矢印記号１３ｙ，１３ｙは、当該矢印記号１３ｙ，１３ｙが表示される箇所においては接続や固定がされないことを意味するものであり、作業者は、矢印記号１３ｙ，１３ｙが表示される限りは、特段の注意が不要であることを把握できる。そして、このような矢印記号１３ｙ，１３ｙの表示は、作業者による無駄な固定などを防げる観点で非常に優れた効果を発揮することになる。
【００３８】
次に、取付手順情報表示の他の実施形態について説明する。図５の例では、チューブ１１の一端１１ａに「スピンドル  アウトポート２  差込位置」の文字からなる接続先表示１３ｆが表示され、このチューブ１１の一端１１ａが、「スピンドル  アウトポート２」に接続されることが表示されている。
【００３９】
また、接続先表示１３ｆよりも更にチューブ１１の端部に近い側には、「横線」からなる接続位置表示１３ｇが表示されている。この接続位置表示１３ｇは、「横線」の位置までチューブ１１が図示せぬ「スピンドル  アウトポート２」に接続されることを意味するものであり、作業者は、「横線」が「スピンドル  アウトポート２」にしっかりと入り込むまでチューブ１１を差し込むことを認識することが可能となり、これにより、チューブ１１の脱落などの不具合発生を防止できることになる。
【００４０】
また、図５の例において、チューブ１１の長さ方向の中途部には、「次はフレーム３の第２ポイントへ固定」の文字からなる誘導表示１３ｈが表示されている。作業者は、この誘導表示１３ｈを視認することによって、例えば、チューブ１１の一端１１ａの接続から引き回しを開始した場合に、チューブ１１に対して次に行われるべき作業を事前に知ることが可能となる。例えば、次の作業を見越してチューブ１１の引き回しの方法（他の部材のかわし方や、回り込む方向など）を検討し、実施することが可能となる。
【００４１】
さらに、図５の例において、チューブ１１の長さ方向の中途部には、「フレーム３の第２ポイント固定位置」の文字からなる固定先表示１３ｋと、「横線」からなる固定位置表示１３ｍが表示されている。ここで、「横線」は、この線の部分においてチューブ１１が固定されることを意味する表示である。
【００４２】
そして、この図５の例の場合、チューブ１１の一端１１ａを「スピンドル  アウトポート２」に対し、接続位置表示１３ｇまで差し込むことから作業が開始されることとする。次にチューブ１１を辿ると、「次はフレーム３の第２ポイントへ固定」の文字からなる誘導表示１３ｈを発見することになり、作業者は、チューブ１１を辿ればフレーム３の第２ポイントの固定位置の表示を発見できることを予期できる（先読みできる）。
【００４３】
作業者がチューブ１１を更に辿ると、作業者は予期したとおり、「フレーム３の第２ポイント固定位置」の文字からなる固定先表示１３ｋと、「横線」からなる固定位置表示１３ｍを発見することになり、当該固定位置表示１３ｍにてチューブ１１の固定を行うことができる。
【００４４】
ここで、誘導表示１３ｈによる効果としては、上述のように次の作業を見越すことができるものであるが、実際に作業する際には誘導されながら引き回しを行うことができるという、従来のチューブの引き回し作業では到底得られない感覚を得ることができ、ひいては、作業者に対し小気味よい感覚を与えられることも期待される。また、誘導表示があることで、逐一設計図などを参照してチューブ１１の次の固定位置や接続先を確認する必要が無くなり、チューブ１１の組み付け作業が容易に、かつ、短時間で行えることになる。
【００４５】
図６は、実際にチューブ１１を引き回した状態について示しており、切削手段２４のスピンドル  アウトポートの２番に対し、チューブ１１の一端が接続されている。また、チューブ１１の中途部には誘導表示１３ｈが表示されている。そして、フレーム３の第２ポイントとなる位置において、結束バンド５２によってチューブ１１が固定されるようになっている。
【００４６】
以上の実施形態のようにして本発明を実施することができる。
即ち、図３の例に示すように、装置に配設されるチューブ１１であって、チューブ１１上に表示され、装置における取付手順情報表示１３（接続先表示１３ａ，１３ｂ）を備えた、チューブ１１とするものである。
【００４７】
これにより、作業者が都度設計図とチューブ１１とを照合しながら組み付ける必要がなく、装置への組み付けが容易になる。また、作業者による不適切なチューブ１１の引き回しによってチューブ１１が過剰に使用されることが防止され、余剰分として廃棄されるチューブが削減可能となり、経済的である。
【００４８】
また、図５の例に示すように、取付手順情報表示１３は、装置においてチューブ１１が接続または固定される接続先（接続先表示１３ｆ）及び／又は固定先（固定先表示１３ｋ）と、チューブ１１における接続位置（接続位置表示１３ｇ）及び／又は固定位置（固定位置表示１３ｍ）と、を示すこととすることができる。
【００４９】
これにより、チューブ１１の接続先、接続位置、固定先、固定位置が明確になり、装置へのチューブの組み付け作業の作業性をより向上させることができる。また、取付手順情報表示１３の実施形態としては、これらが全て表示されることとするほか、少なくとも一つが表示される、或いは、組み合わせて表示されるなど、適宜、必要な表示がなされるものとする。
【００５０】
なお、以上に説明した実施形態とするほか、チューブ１１に表示される情報については、直線、破線、鎖線、数字、英文字、漢字、片仮名、平仮名、図形等で構成することができ、これらを組み合わせてなるものであってもよい。
【００５１】
また、チューブ１１への各種の表示は、特に限定されるものではないが、インクジェット方式による印字や、レーザーによる印字などが考えられる。また、各種情報を表示したシールをチューブ１１の所定の箇所に貼付する構成などであってもよい。なお、インクジェット方式による印字を行う場合には、各種表示を同一の色で印字することによれば、印字コスト削減を図ることが可能となる。また、チューブ１１の色については、特に限定されるものではないが、各種表示を視認しやすくするために、各種表示の色とコントラストの強い色が採用されることが好ましい。
【００５２】
また、上述した実施形態では、本発明のチューブを切削装置の配管に適用した例について説明したが、本発明のチューブの使用はこれに限定されるものではなく、例えば研削装置、研磨装置等の他の加工装置の配管にも同様に適用である。
【符号の説明】
【００５３】
２    切削装置
１１    チューブ
１１ａ    一端
１１ｂ    他端
１３    取付手順情報表示
１３ａ    接続先表示
１３ｂ    接続先表示
１３ｃ    接続先表示
１３ｄ    固定先表示
１３ｅ    固定位置表示
１３ｆ    接続先表示
１３ｇ    接続位置表示
１３ｈ    誘導表示
１３ｋ    固定先表示
１３ｍ    固定位置表示
１３ｙ    矢印記号
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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