(57)【要約】【課題】液体吐出装置間などにおけるノズルからのインクの吐出速度のばらつきを低減する。【解決手段】インクジェットヘッドを製造するためには、圧電層４２、４３及び共通電極４４の積層体５５を作製し、これと並行して、流路ユニット２１とインク分離層４１との積層体を作製する。続いて、積層体５５と積層体５６とを熱硬化性接着剤５０によって接合する。続いて、圧電層４３の上面の圧力室１０と重なる部分に個別電極４５を形成する。このとき、圧電層４３の上面の、圧力室１０の中央部と重なる部分から、積層体５５と積層体５６とを接合した後の圧電層４２、４３の接合前に対する収縮量Ｄに応じたずらし量Ｅだけずれた部分に、個別電極４５を形成する。【選択図】図６
2014151584.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズルと、
前記ノズルに連通する圧力室と、
前記圧力室と重なるように配置された圧電層と、
前記圧電層の前記圧力室と反対側の面の前記圧力室と重なる部分に形成された駆動用電極と、を備えた液体吐出装置の製造方法であって、
前記圧電層を含む第１部材と、前記圧電層よりも線膨張係数の高い材料からなる部分を含み、前記圧力室を有する第２部材とを、熱硬化性接着剤で接合する接合工程と、
前記接合工程の後に、前記圧電層の前記圧力室と反対側の面の前記圧力室と対向する部分に前記駆動用電極を形成する電極形成工程と、を備え、
前記電極形成工程において、前記圧電層の前記圧力室と反対側の面の前記圧力室と対向する部分に、前記接合工程後の前記圧電層の前記接合工程前に対する収縮量に応じた態様の前記駆動用電極を形成することを特徴とする液体吐出装置の製造方法。
【請求項２】
前記電極形成工程において、前記圧電層の前記圧力室と反対側の面の、前記圧力室と重なる所定の基準部分から、前記収縮量に応じた量だけ所定方向にずれた部分に、前記駆動用電極を形成することを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置の製造方法。
【請求項３】
前記液体吐出装置は、
前記ノズル及び前記圧力室をそれぞれ複数備え、
前記圧電層が、複数の前記圧力室にまたがって連続的に延び、
前記圧電層の前記圧力室と反対側の面の、複数の前記圧力室と重なる部分に、複数の前記駆動用電極が形成されたものであって、
前記電極形成工程において、前記圧電層の前記圧力室と反対側の面の、各圧力室に対応する前記基準部分から、前記収縮量に応じた同じ量だけ前記所定方向にずれた部分に、それぞれ、前記駆動用電極を形成することを特徴とする請求項２に記載の液体吐出装置の製造方法。
【請求項４】
前記液体吐出装置は、
互いに異なる前記圧力室と重なる、互いに分離した複数の前記圧電層を備えたものであって、
前記電極形成工程において、前記収縮量が小さい前記圧電層ほど、前記圧電層の前記圧力室と反対側の面の、前記基準部分から前記所定方向に大きくずれた部分に、前記駆動用電極を形成し、
前記基準部分は、前記圧電層の前記圧力室と反対側の面の前記圧力室と重なる領域のうち、前記駆動用電極に所定電位を付与して前記圧電層を圧電変形させたときの前記圧電層の変形量が最も大きくなる部分であることを特徴とする請求項２又は３に記載の液体吐出装置の製造方法。
【請求項５】
前記電極形成工程において、複数の前記圧電層のうち、前記収縮量が最も大きい前記圧電層の前記基準部分に、前記駆動用電極を形成することを特徴とする請求項４に記載の液体吐出装置の製造方法。
【請求項６】
前記液体吐出装置は、
前記圧力室が、前記第１部材と前記第２部材との積層方向から見て長尺形状を有するものであって、
前記所定方向が、前記積層方向から見て、前記圧力室の長手方向と直交する方向であることを特徴とする請求項４又は５に記載の液体吐出装置の製造方法。
【請求項７】
前記液体吐出装置は、
前記圧力室とは別の検査用空間をさらに備え、
前記圧電層が、前記圧力室と前記検査用空間とにまたがって延び、
前記圧電層の前記圧力室と反対側の面に、前記検査用空間と重なる検査用電極がさらに形成されたものであって、
前記電極形成工程において、前記圧電層の前記圧力室と反対側の面に、前記駆動用電極を形成するとともに、前記所定方向に前記検査用空間よりも長い部分を有する前記検査用電極を形成することを特徴とする請求項２〜６のいずれかに記載の液体吐出装置の製造方法。
【請求項８】
前記接合工程の前に、前記圧電層の前記圧力室と反対側となる面に、前記駆動用電極が形成される領域を挟んで配置される一対のマーカを形成するマーカ形成工程と、
前記マーカ形成工程の後、前記接合工程の前に、前記一対のマーカ間の距離を測定する接合前測定工程と、
前記接合工程の後に、前記一対のマーカ間の距離を測定する接合後測定工程と、
前記接合後測定工程において測定された前記一対のマーカ間の距離と、前記接合前測定工程において測定された前記一対のマーカ間の距離との差から前記収縮量を取得する収縮量取得工程と、をさらに備え、
前記電極形成工程において、前記収縮量取得工程で取得した前記収縮量に応じた態様で、前記駆動用電極を形成することを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載の液体吐出装置の製造方法。
【請求項９】
圧電層を含む第１部材と、前記圧電層よりも線膨張係数の高い材料からなる部分を含む第２部材とを、熱硬化性接着剤で接合する接合工程と、
前記接合工程の後に、前記圧電層の前記第２部材と反対側の面に駆動用電極を形成する電極形成工程と、を備え、
前記電極形成工程において、前記圧電層の前記第２部材と反対側の面に、前記接合工程後の前記圧電層の前記接合工程前に対する収縮量に応じた態様で、前記駆動用電極を形成することを特徴とする圧電アクチュエータの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズルから液体を吐出する液体吐出装置の製造方法、及び、液体吐出装置などに用いられる圧電アクチュエータの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１では、液体吐出ヘッドを製造するために、圧電層となる複数枚のグリーンシートに、個別電極や共通電極となる導電性ペーストをスクリーン印刷し、導電性ペーストが形成された複数枚のグリーンシートを互いに積層する。そして、導電性ペーストが形成されたグリーンシートの積層体を焼成することによって、圧電アクチュエータを作製する。続いて、作製した圧電アクチュエータと、別途作製した流路ユニットとを、熱硬化性接着剤で接合する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１２−１７９８００号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ここで、特許文献１では、流路ユニットは、金属材料からなる複数枚のプレートが互いに積層されることによって形成されたものであり、これらのプレートは、通常、圧電層よりも線膨張係数が高い。一方で、特許文献１では、圧電アクチュエータと流路ユニットとを熱硬化性接着剤で接合する際に、圧電アクチュエータ及び流路ユニットは加熱される。そのため、圧電層と、流路ユニットの圧電層と接合されるプレートとの線膨張係数の差により、流路ユニットとの接合後の圧電アクチュエータの圧電層は、流路ユニットとの接合前に対して収縮している。また、このときの圧電層の収縮量は、液体吐出ヘッド間でばらつく。ここで、圧電層の収縮量が異なると、個別電極に駆動電位を付与したときの圧電層の変形量が変動し、ノズルからの液体の吐出速度が変動する。具体的には、圧電層の収縮量が大きいほど、個別電極に駆動電位を付与したときの圧電層の変形量が小さくなり、ノズルからの液体の吐出速度が遅くなる。そして、液体吐出ヘッド間で圧電層の収縮量がばらつくと、液体吐出ヘッド間でノズルからの液体の吐出速度もばらついてしまう。
【０００５】
本発明の目的は、圧電層の収縮量によらず、液体の吐出速度にばらつきが生じにくい液体吐出装置の製造方法、及び、圧電層の収縮量によらず、駆動特性にばらつきが生じにくい圧電アクチュエータの製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
第１の発明に係る液体吐出装置は、ノズルと、前記ノズルに連通する圧力室と、前記圧力室と重なるように配置された圧電層と、前記圧電層の前記圧力室と反対側の面の前記圧力室と重なる部分に形成された駆動用電極と、を備えた液体吐出装置の製造方法であって、前記圧電層を含む第１部材と、前記圧電層よりも線膨張係数の高い材料からなる部分を含み、前記圧力室を有する第２部材とを、熱硬化性接着剤で接合する接合工程と、前記接合工程の後に、前記圧電層の前記圧力室と反対側の面の前記圧力室と対向する部分に前記駆動用電極を形成する電極形成工程と、を備え、前記電極形成工程において、前記圧電層の前記圧力室と反対側の面の前記圧力室と対向する部分に、前記接合工程後の前記圧電層の前記接合工程前に対する収縮量に応じた態様の前記駆動用電極を形成する。
【０００７】
第９の発明に係る圧電アクチュエータは、圧電層を含む第１部材と、前記圧電層よりも線膨張係数の高い材料からなる部分を含む第２部材とを、熱硬化性接着剤で接合する接合工程と、前記接合工程の後に、前記圧電層の前記第２部材と反対側の面に駆動用電極を形成する電極形成工程と、を備え、前記電極形成工程において、前記圧電層の前記第２部材と反対側の面に、前記接合工程後の前記圧電層の前記接合工程前に対する収縮量に応じた態様で、前記駆動用電極を形成する。
【０００８】
第１部材と第２部材とを熱硬化性接着剤で接合するときには、第１部材及び第２部材が加熱されるため、圧電層と第２部材の圧電層よりも線膨張係数の高い部分との線膨張係数の差により、接合後の圧電層には応力が残留する。そして、接合工程後の圧電層は、残留した応力により、接合工程前に対して面方向に収縮している。このとき、圧電層の収縮量が大きくなるほど、駆動用電極に電圧を印加したときの圧電層の変形量が小さくなる。
【０００９】
第１、第９の発明では、接合工程後の圧電層の接合工程前に対する収縮量に応じた態様の駆動用電極を形成する。これにより、第１の発明では、例えば、液体吐出装置間などにおいて、駆動用電極に所定電位を付与して圧電層を圧電変形させたときの圧電層の変形量のばらつき、すなわち、ノズルからの液体の吐出速度のばらつきを低減することができる。また、第９の発明では、圧電アクチュエータ間などにおいて、駆動用電極に所定電位を付与して圧電層を圧電変形させたときの圧電層の変形量のばらつき、すなわち、駆動特性のばらつきを低減することができる。
【００１０】
第２の発明に係る液体吐出装置は、第１の発明に係る液体吐出装置において、前記電極形成工程において、前記圧電層の前記圧力室と反対側の面の、前記圧力室と重なる所定の基準部分から、前記収縮量に応じた量だけ所定方向にずれた部分に、前記駆動用電極を形成する。
【００１１】
本発明によると、圧電層の圧力室と反対側の面の、圧力室と重なる所定の基準部分から、圧電層の収縮量に応じた量だけ所定方向にずれた部分に駆動用電極を形成するため、例えば、液体吐出装置間などにおいてノズルからの液体の吐出速度のばらつきを低減することができる。
【００１２】
第３の発明に係る液体吐出装置は、第２の発明に係る液体吐出装置において、前記液体吐出装置は、前記ノズル及び前記圧力室をそれぞれ複数備え、前記圧電層が、複数の前記圧力室にまたがって連続的に延び、前記圧電層の前記圧力室と反対側の面の、複数の前記圧力室と重なる部分に、複数の前記駆動用電極が形成されたものであって、前記電極形成工程において、前記圧電層の前記圧力室と反対側の面の、各圧力室に対応する前記基準部分から、前記収縮量に応じた同じ量だけ前記所定方向にずれた部分に、それぞれ、前記駆動用電極を形成する。
【００１３】
本発明によると、１つの圧電層に複数の駆動用電極を形成する場合に、圧電層の圧力室と反対側の面の、各圧力室に対応する基準部分から、圧電層の収縮量に応じた同じ量だけ所定方向にずれた部分に、それぞれ、駆動用電極を形成することにより、１つの圧電層に複数の駆動電極が形成された液体吐出装置間などにおいてノズルからの液体の吐出速度のばらつきを低減することができる。
【００１４】
第４の発明に係る液体吐出装置は、第２又は第３の発明に係る液体吐出装置において、前記液体吐出装置は、互いに異なる前記圧力室と重なる、互いに分離した複数の前記圧電層を備えたものであって、前記電極形成工程において、前記収縮量が小さい前記圧電層ほど、前記圧電層の前記圧力室と反対側の面の、前記基準部分から前記所定方向に大きくずれた部分に、前記駆動用電極を形成し、前記基準部分は、前記圧電層の前記圧力室と反対側の面の前記圧力室と重なる領域のうち、前記駆動用電極に所定電位を付与して前記圧電層を圧電変形させたときの前記圧電層の変形量が最も大きくなる部分である。
【００１５】
駆動用電極の、所定方向における基準部分からのずれが大きくなるほど、ノズルからのインクの吐出速度は遅くなる。一方で、圧電層の収縮量が大きいほど、ノズルからのインクの吐出速度が遅くなる。そこで、本発明では、液体吐出装置が複数の圧電層を備えている場合に、収縮量が小さい圧電層ほど、基準部分から所定方向に大きくずれた部分に駆動用電極形成することにより、複数の圧電層を備えた液体吐出装置におけるノズルからの液体の吐出速度のばらつきを低減することができる。
【００１６】
第５の発明に係る液体吐出装置は、第４の発明に係る液体吐出装置において、前記電極形成工程において、複数の前記圧電層のうち、前記収縮量が最も大きい前記圧電層の前記基準部分に、前記駆動用電極を形成する。
【００１７】
本発明によると、ノズルからの液体の吐出速度のばらつきを低減するために駆動用電極をずらしたことによる、ノズルからの液体の吐出速度の低下を極力抑えることができる。
【００１８】
第６の発明に係る液体吐出装置は、第４又は第５の発明に係る液体吐出装置において、前記液体吐出装置は、前記圧力室が、前記第１部材と前記第２部材との積層方向から見て長尺形状を有するものであって、前記所定方向が、前記積層方向から見て、前記圧力室の長手方向と直交する方向である。
【００１９】
本発明によると、所定方向を圧力室の長手方向と直交する方向とすることにより、駆動用電極をずらしたときの、ノズルからの液体の吐出速度の変動量を大きくすることができる。
【００２０】
第７の発明に係る液体吐出装置は、第２〜第６のいずれかの発明に係る液体吐出装置において、前記液体吐出装置は、前記圧力室とは別の検査用空間をさらに備え、前記圧電層が、前記圧力室と前記検査用空間とにまたがって延び、前記圧電層の前記圧力室と反対側の面に、前記検査用空間と重なる検査用電極がさらに形成されたものであって、前記電極形成工程において、前記圧電層の前記圧力室と反対側の面に、前記駆動用電極を形成するとともに、前記所定方向に前記検査用空間よりも長い部分を有する前記検査用電極を形成する。
【００２１】
検査用空間及び検査用電極を形成した場合、検査用電極に交流電圧を印加するとともに交流電圧の周波数を変化させることにより、圧電層の検査用空間と重なる部分の共振周波数を検出することができる。そして、検出された共振周波数に基づいて、液体吐出装置が所定の性能を有しているか否かの判断を行うことができる。ここで、例えば、圧電層の圧力室と反対側の面に駆動用電極及び検査用電極に対応するパターンが形成されたマスクを配置し、マスクが配置された圧電層の圧力室と反対側の面にスクリーン印刷により駆動用電極と検査用電極とを一度に形成する場合などには、駆動用電極を、圧電層の圧力室と反対側の面の基準部分から所定方向にずれた部分に形成すると、検査用電極も駆動用電極と同じだけ所定方向にずれて形成されることになる。一方で、検査用電極が検査用空間のどの部分と重なるかが変動してしまうと、検出される共振周波数が変動してしまい、液体吐出装置が所定の性能を有しているか否かの判断を正常に行うことができなくなってしまう虞がある。本発明では、検査用電極は、所定方向に検査用空間よりも長い部分を有しているため、所定方向に検査用空間からはみ出している。したがって、検査用電極が所定方向にずれて形成された場合にも、検査用空間の検査用電極と重なる部分がほとんど変化しない。これにより、液体吐出装置が所定の性能を有しているか否かの判断を正常に行うことができる。
【００２２】
第８の発明に係る液体吐出装置は、第１〜第７のいずれかの発明に係る液体吐出装置において、前記接合工程の前に、前記圧電層の前記圧力室と反対側となる面に、前記駆動用電極が形成される領域を挟んで配置される一対のマーカを形成するマーカ形成工程と、前記マーカ形成工程の後、前記接合工程の前に、前記一対のマーカ間の距離を測定する接合前測定工程と、前記接合工程の後に、前記一対のマーカ間の距離を測定する接合後測定工程と、前記接合後測定工程において測定された前記一対のマーカ間の距離と、前記接合前測定工程において測定された前記一対のマーカ間の距離との差から前記収縮量を取得する収縮量取得工程と、をさらに備え、前記電極形成工程において、前記収縮量取得工程で取得した前記収縮量に応じた態様で、前記駆動用電極を形成する。
【００２３】
本発明によると、接合工程の前後における一対のマーカ間の距離の差により、接合工程後の圧電層の接合工程前に対する収縮量を取得することができる。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、例えば、液体吐出装置間や圧電アクチュエータ間などにおいて、駆動用電極に所定電位を付与して圧電層を圧電変形させたときの圧電層の変形量のばらつきを低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】第１実施形態に係るプリンタの概略構成図である。
【図２】図１のインクジェットヘッドの平面図である。
【図３】図２のIII−III線断面図である。
【図４】図２のIV−IV線断面図である。
【図５】インクジェットヘッドの製造手順を示すフローチャートである。
【図６】インクジェットヘッドの製造の各段階における状態を示す図である。
【図７】変形例１の図２相当の図である。
【図８】変形例２の図２相当の図である。
【図９】変形例３の図２相当の図である。
【図１０】変形例３において電極形成に用いるマスクの平面図である。
【図１１】変形例４の図４相当の図である。
【図１２】変形例５の図２相当の図である。
【図１３】変形例５の図３相当の図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、本発明の好適な実施の形態について説明する。
【００２７】
図１に示すように、本実施の形態に係るプリンタ１は、キャリッジ２、インクジェットヘッド３、用紙搬送ローラ４などを備えている。キャリッジ２は、ガイドレール５に沿って走査方向に往復移動する。インクジェットヘッド３は、キャリッジ２に搭載されており、その下面に形成された複数のノズル１５からインクを吐出する。用紙搬送ローラ４は、走査方向と直交する紙送り方向におけるインクジェットヘッド３の両側に配置され、記録用紙Ｐを紙送り方向に搬送する。
【００２８】
そして、プリンタ１では、用紙搬送ローラ４により記録用紙Ｐを紙送り方向に搬送しつつ、キャリッジ２とともに走査方向に往復移動するインクジェットヘッド３からインクを吐出させることにより、記録用紙Ｐに印刷を行う。また、印刷が完了した記録用紙Ｐは、用紙搬送ローラ４によって排出される。
【００２９】
次に、インクジェットヘッド３についてより詳細に説明する。インクジェットヘッド３は、図２〜図４に示すように、ノズル１５や後述の圧力室１０等のインク流路が形成された流路ユニット２１と、圧力室１０内のインクに圧力を付与するための圧電アクチュエータ２２とを備えている。
【００３０】
流路ユニット２１は、互いに積層された４枚のプレート３１〜３４が熱硬化性接着剤で接合されることによって形成されている。プレート３１〜３３は、ステンレスなどの金属材料からなる。プレート３４はポリイミドなどの合成樹脂材料などからなる。あるいは、プレート３４もプレート３１〜３３と同様の金属材料からなるものであってもよい。
【００３１】
プレート３１には、複数の圧力室１０が形成されている。複数の圧力室１０は、走査方向を長手方向とする略楕円の平面形状を有している。複数の圧力室１０は、紙送り方向に等間隔に配列されることにより、圧力室列９を形成している。プレート３１には、紙送り方向に並んだ２つの圧力室列９が形成されている。プレート３２には、複数の圧力室１０の長手方向の両端部と重なる部分に、それぞれ、略円形の複数の貫通孔１２、１３が形成されている。
【００３２】
プレート３３には、２つの圧力室列９に対応する２本マニホールド流路１１が形成されている。２本のマニホールド流路１１は、紙送り方向に延び、対応する圧力室列９を構成する複数の圧力室１０の走査方向における略外側半分と重なっている。また、２本のマニホールド流路１１は、紙送り方向下流側の端部において互いに接続されている。２本のマニホールド流路１１には、互いに接続された部分に設けられたインク供給口８からインクが供給される。また、プレート３３には、複数の貫通孔１３と重なる部分に、略円形の複数の貫通孔１４が形成されている。プレート３４には、複数の貫通孔１４と重なる部分に複数のノズル１５が形成されている。
【００３３】
そして、流路ユニット２１では、マニホールド流路１１が貫通孔１２を介して複数の圧力室１０と連通している。さらに、各圧力室１０は、貫通孔１３、１４を介して対応するノズル１５と連通している。すなわち、流路ユニット２１には、マニホールド流路１１の出口から圧力室１０を経てノズル１５に至る複数の個別インク流路が形成されている。
【００３４】
圧電アクチュエータ２２は、インク分離層４１、圧電層４２、４３、共通電極４４及び複数の個別電極４５を備えている。インク分離層４１は、ステンレスなどの金属材料からなり、プレート３１の上面に複数の圧力室１０を覆うように配置されている。インク分離層４１とプレート３１とは、熱硬化性接着剤により接合されている。インク分離層４１は、圧力室１０内のインクが圧電層４２に接触してしまうのを防止するためのものである。
【００３５】
圧電層４２は、チタン酸鉛とジルコン酸鉛との混晶であるチタン酸ジルコン酸鉛を主成分とする圧電材料からなる。圧電層４２は、熱硬化性接着剤５０によってインク分離層４１の上面に接合されている。なお、図３、図４などでは、熱硬化性接着剤５０以外の、プレート３１〜３４の間や、プレート３１とインク分離層４１との間の熱硬化性接着剤の図示は省略している。圧電層４３は、圧電層４２と同じ圧電材料からなり、圧電層４２の上面に配置されている。
【００３６】
共通電極４４は、圧電層４２と圧電層４３との間に、そのほぼ全域にわたって形成されている。共通電極４４は、図示しないドライバＩＣにより常にグランド電位に保持されている。複数の個別電極４５は、圧力室１０よりも一回り小さい略楕円の平面形状を有している。複数の個別電極４５は、圧電層４３の上面の複数の圧力室１０と重なる部分に形成されている。これにより、複数の個別電極４５は、圧電層４３の上面の略矩形の領域Ｒ内に配置される。複数の個別電極４５には、それぞれ、図示しないドライバＩＣにより、グランド電位及び所定の駆動電位のいずれかが選択的に付与される。
【００３７】
また、圧電層４３を挟むように共通電極４４と複数の個別電極４５とが形成されているのに対応して、圧電層４３の共通電極４４と複数の個別電極４５とに挟まれた部分は、その厚み方向に分極されている。
【００３８】
また、圧電層４３の上面には、複数の個別電極４５が配置された領域Ｒの四隅の外側に位置する部分に、それぞれ、マーカ５１ａ〜５１ｄが形成されている。マーカ５１ａ〜５１ｄは、例えば、個別電極４５と同じ金属材料からなるものである。
【００３９】
ここで、圧電アクチュエータ２２を駆動してノズル１５からインクを吐出させる方法について説明する。圧電アクチュエータ２２においては、図示しないドライバＩＣにより、全ての個別電極４５の電位が、予めグランド電位に保持されている。あるノズル１５からインクを吐出させるためには、当該ノズル１５に対応する個別電極４５の電位をグランドから駆動電位に切り換える。すると、個別電極４５と共通電極４４との電位差により、圧電層４３の個別電極４５と共通電極４４とに挟まれた部分に、分極方向と平行な電界が生じる。この電界により、圧電層４３の当該部分が、圧電変形により、分極方向と直交する水平方向に収縮し、インク分離層４１及び圧電層４２、４３の圧力室１０と重なる部分が全体として圧力室１０側に凸となるように変形する。これにより、圧力室１０の容積が減少して、圧力室１０内のインクの圧力が上昇し、圧力室１０に連通するノズル１５からインクが吐出される。
【００４０】
次に、インクジェットヘッド３の製造方法について図５のフローチャート及び図６を用いて説明する。インクジェットヘッド３を製造するためには、まず、図６（ａ）に示すように、圧電層４２、４３と共通電極４４との積層体５５を作製する（ステップＳ１０１、以下、単にＳ１０１などとする）。具体的には、例えば、圧電層４２となる圧電材料のグリーンシートの上面に共通電極４４となる導電性ペーストを形成する。また、圧電層４３となる圧電材料のグリーンシートの上面にマーカ５１ａ〜５１ｄとなる導電性ペーストを形成する。そして、導電性ペーストが形成されたこれらのグリーンシートを互いに積層させ、例えば、８００〜１０００℃程度の温度で焼成する。なお、この段階では、圧電層４３の上面に、個別電極４５は形成されていない。そして、積層体５５の作製後、４つのマーカ５１ａ〜５１ｄのうち、領域Ｒを対角に挟むマーカ５１ａとマーカ５１ｃとの距離、及び、マーカ５１ｂとマーカ５１ｄとの距離をそれぞれ測定するとともに、これらの平均値を算出する（Ｓ１０２）。
【００４１】
また、Ｓ１０１、Ｓ１０２と並行して、図６（ｂ）に示すように、流路ユニット２１とインク分離層４１との積層体５６を作製する（Ｓ１０３）。具体的には、例えば、流路ユニット２１を形成するプレート３１〜３４と、インク分離層４１とを積層させ、これらを熱硬化性接着剤などにより接合する。
【００４２】
続いて、図６（ｃ）に示すように、作製した積層体５５と積層体５６とを、熱硬化性接着剤５０により互いに接合する（Ｓ１０４）。なお、Ｓ１０３やＳ１０４における熱硬化性接着剤による接合時の加熱温度は、例えば、１５０〜２５０℃程度である。そして、積層体５５と積層体５６との接合後、再び、マーカ５１ａとマーカ５１ｃとの距離、及び、マーカ５１ｂとマーカ５１ｄとの距離をそれぞれ測定するとともに、これらの平均値を算出する（Ｓ１０５）。
【００４３】
続いて、Ｓ１０２で測定したマーカ間の距離の平均値と、Ｓ１０５で測定したマーカ間の距離の平均値との差を取ることで、Ｓ１０４の工程後の圧電層４２、４３の、Ｓ１０４の工程前に対する、面方向の収縮量Ｄを算出する（Ｓ１０６）。そして、Ｓ１０５で算出した収縮量Ｄに基づいて、圧電層４３の上面の複数の圧力室１０と重なる部分に、複数の個別電極４５を形成する（Ｓ１０７）。より詳細に説明すると、上記収縮量Ｄに応じて、表１に示すようなずらし量Ｅを決定する。そして、図６（ｄ）に示すように、圧電層４３の上面の複数の圧力室１０の中央部と重なる部分から、圧力室１０の長手方向と直交する方向にずらし量Ｅだけずれた部分に、複数の個別電極４５を形成する。ここで、表１のＫ１、Ｋ２、Ｋ３は、Ｋ１＜Ｋ２＜Ｋ３の関係にあり、Ｅ１、Ｅ２は、Ｅ１＞Ｅ２の関係にある。また、このとき、個別電極４５を、圧力室１０の長手方向と直交する方向のどちら側にずらしてもよい。
【００４４】
【表１】
2014151584.tif 000003
【００４５】
すなわち、本実施の形態では、収縮量Ｄが小さいほど、圧電層４３の上面の圧力室１０の中央部と重なる部分から大きくずれた部分に、個別電極４５を形成する。また、収縮量ＤがＫ３よりも大きいときには、作製された積層体５５と積層体５６とを接合したものが不良品であるとして廃棄する、リサイクル工程に送るなどする。
【００４６】
なお、本実施の形態では、表１に示すように、収縮量Ｄに応じて、個別電極４５のずらし量ＥをＥ１、Ｅ２、０の３段階で決定したが、収縮量Ｄに応じて、ずらし量Ｅを２段階あるいは４以上の複数段階で決定してもよい。あるいは、ずらし量Ｅを、収縮量Ｄに応じて連続的に変えてもよい。
【００４７】
複数の個別電極４５を形成する具体的な方法について説明すると、例えば、まず、圧電層４３の上面に、複数の個別電極４５に対応するパターンが形成されたマスクを配置する。このとき、マスクと圧電層４３との位置関係を調整することにより、マスクを、圧電層４３の上面の圧力室１０の中央部と重なる部分に個別電極４５を形成する場合の位置から、上記ずらし量Ｅだけずれた位置に配置する。そして、マスクが配置された圧電層４３の上面に、スクリーン印刷によって複数の個別電極４５を形成する。したがって、複数の個別電極４５は、収縮量Ｄに応じて、圧電層４３の上面の、対応する圧力室１０の中央部と重なる部分から同じずらし量Ｅだけずれた部分に形成される。ここで、スクリーン印刷により個別電極４５を形成する場合には、スクリーン印刷の後、個別電極４５を焼成する必要があるが、このときの加熱温度は、プレート３１〜３４同士、プレート３１とインク分離層４１、インク分離層４１と圧電層４２の接合が外れないように、熱硬化性接着剤が熱分解しない程度の低い温度にする。具体的には、例えば、熱硬化性接着剤が熱分解する温度が２５０〜４００℃程度である場合に、個別電極４５の焼成時の加熱温度を１００℃程度にする。また、スクリーン印刷を行う代わりに、導電性材料を蒸着させて個別電極４５を形成してもよい。なお、この場合には、個別電極４５の焼成は不要である。
【００４８】
ここで、インク分離層４１を形成するステンレスなどの金属材料は、圧電層４２、４３を形成する圧電材料よりも線膨張係数が高い。そのため、Ｓ１０４において積層体５５と積層体５６を接合すると、積層体５５と積層体５６とは、接合時の加熱によりインク分離層４１が圧電層４２、４３よりも大きく膨張した状態で接合される。そして、積層体５５と積層体５６との接合後に積層体５５、５６が冷却されると、インク分離層４１は、圧電層４２、４３よりも大きく収縮する。そのため、積層体５５と積層体５６との接合後、圧電層４２、４３には、圧電層４２、４３をその面方向に収縮させる応力が残留している。
【００４９】
一方で、圧電層４３の上面の圧力室１０と重なる同じ部分に個別電極４５が形成されているとした場合には、圧電層４２、４３の収縮量が大きいほど、個別電極４５に駆動電位を付与したときの圧電層４２、４３及びインク分離層４１の変形量が小さくなる。すなわち、圧電層４２、４３の収縮量が大きいほど、ノズル１５からのインクの吐出速度は遅くなる。
【００５０】
以上のことから、複数のインクジェットヘッド３を製造する場合に、本実施の形態とは異なり、Ｓ１０７において、例えば、常に、圧電層４３の上面の圧力室１０の中央部と重なる部分等、圧電層４３の上面の同じ部分に個別電極４５を形成すると、インクジェットヘッド３間において、ノズル１５からのインクの吐出速度にばらつきが生じてしまう。
【００５１】
また、一方で、圧力室１０が略楕円の平面形状を有し、個別電極４５が圧力室１０よりも一回り小さい略楕円形状を有する場合には、他の条件が同じであれば、圧電層４３の上面の圧力室１０の中央部と重なる部分に個別電極４５を形成したときに、個別電極４５に駆動電位を付与したときの圧電層４２、４３及びインク分離層４１の変形量が最も大きくなり、ノズル１５からのインクの吐出速度が最も速くなる。そして、圧電層４３の上面の圧力室１０の中央部と重なる部分から大きくずれた部分に個別電極４５を形成したときほど、圧電層４２、４３及びインク分離層４１の変形量が小さくなり、ノズル１５からのインクの吐出速度が遅くなる。
【００５２】
そこで、本実施の形態では、上述したように、Ｓ１０４の工程後の圧電層４２、４３の、Ｓ１０４の工程前に対する収縮量Ｄが小さい場合ほど、圧電層４３の上面の圧力室１０の中央部と重なる部分から大きくずれた部分に個別電極４５を形成している。これにより、インクジェットヘッド３間における、ノズル１５からのインクの吐出速度のばらつきを低減することができる。
【００５３】
また、本実施の形態では、上述したように、Ｓ１０２において測定したマーカ間の距離と、Ｓ１０５で測定したマーカ間の距離との差によって、圧電層４２、４３の収縮量Ｄを取得することができる。また、このとき、領域Ｒを対角に挟むマーカ５１ａと５１ｃとの距離及びマーカ５１ｂと５１ｄとの距離は、領域Ｒを紙送り方向に挟むマーカ５１ａと５１ｂとの距離及びマーカ５１ｃと５１ｄとの距離や、領域Ｒを走査方向に挟むマーカ５１ａと５１ｄとの距離及びマーカ５１ｂと５１ｃとの距離よりも長い。したがって、本実施の形態のように、Ｓ１０２、Ｓ１０５において、マーカ５１ａと５１ｃとの距離、及び、マーカ５１ｂと５１ｄとの距離を測定し、これらの平均値を算出する場合には、マーカ５１ａと５１ｂとの距離及びマーカ５１ｃと５１ｄとの距離を測定し、これらの平均値を算出した場合や、マーカ５１ａと５１ｄとの距離及びマーカ５１ｂと５１ｃとの距離を測定し、これらの平均を算出した場合と比較して、Ｓ１０６において算出される収縮量Ｄが大きくなる。その結果、Ｓ１０２、Ｓ１０５においてマーカ間の距離を測定したときの測定誤差が、Ｓ１０６において算出される収縮量Ｄに与える影響を小さくすることができる。したがって、収縮量Ｄが圧電層４２、４３の収縮の程度に正確に対応したものとなる。また、Ｓ１０２、Ｓ１０５において上述したように平均値を算出し、Ｓ１０６において平均値の差から収縮量Ｄを算出しているため、収縮量Ｄが確実に圧電層４２、４３全体の収縮の程度に対応したものとなる。
【００５４】
また、本実施の形態では、圧力室１０が略楕円の平面形状を有し、個別電極４５が圧力室１０よりも一回り小さい略楕円の平面形状を有している。このような場合には、圧電層４３の上面の圧力室１０の中央部と重なる部分から、圧力室１０の長手方向と直交する方向にずらし量Ｅだけずれた部分に個別電極４５を形成したときに、圧電層４３の上面の圧力室１０の中央部と重なる部分から、圧力室１０の長手方向にずらし量Ｅだけずれた部分に個別電極４５を形成したときよりも、圧電層４２、４３及びインク分離層４１の変形量が大きく変化する。本実施の形態では、個別電極４５を、圧力室１０の長手方向と直交する方向にずらすため、圧電アクチュエータ２２を駆動したときの圧電層４２、４３及びインク分離層４１の変形量をある一定量変動させるために必要な、個別電極４５のずらし量を小さくすることができる。
【００５５】
なお、本実施の形態では、インクジェットヘッド３が本発明に係る液体吐出装置に相当する。個別電極４５が本発明に係る駆動用電極に相当する。また、積層体５５が本発明に係る第１部材に相当する。また、積層体５６が本発明に係る第２部材に相当する。また、Ｓ１０１においてマーカ５１ａ〜５１ｄを形成する工程が、本発明に係るマーカ形成工程に相当する。Ｓ１０４の工程が、本発明に係る接合工程に相当する。また、Ｓ１０２の工程が本発明に係る接合前測定工程に相当する。Ｓ１０５の工程が、本発明に係る接合後測定工程に相当する。Ｓ１０６の工程が、本発明に係る収縮量取得工程に相当する。また、Ｓ１０７の工程が、本発明に係る電極形成工程に相当する。また、圧電層４３の上面の圧力室１０の中央部と重なる部分が、本発明に係る基準部分に相当する。また、個別電極４５に付与される駆動電位が、本発明に係る所定電位に相当する。また、圧力室１０の長手方向と直交する紙送り方向が、本発明に係る所定方向に相当する。
【００５６】
次に、本実施の形態に種々の変更を加えた変形例について説明する。ただし、本実施の形態と同様の構成を有するものについては適宜その説明を省略する。
【００５７】
上述の実施の形態では、圧電層４２、４３が、インクジェットヘッド３の全て圧力室１０にまたがって連続的に延びていたが、これには限られない。一変形例（変形例１）では、図７に示すように、流路ユニット２１に走査方向に並んだ４つの圧力室列９が形成されている。そして、これら４つの圧力室列９に対して個別に、圧電層４２、４３が設けられている。すなわち、変形例１では、互いに異なる圧力室列９を構成する圧力室１０と重なる、互いに分離した複数の圧電層４２、４３が設けられている。
【００５８】
そして、上記Ｓ１０２、Ｓ１０５において、各圧力室列９に対応する圧電層４２、４３毎に個別に、マーカ５１ａと５１ｃとの距離、及び、マーカ５１ｂと５１ｄとの距離を測定するとともに、その測定値の平均値を算出する。そして、Ｓ１０６において、各圧力室列９に対応する圧電層４２、４３毎に個別に、収縮量Ｄを算出する。そして、Ｓ１０７において、Ｓ１０６で算出した収縮量Ｄが最も大きい圧電層４３の上面の圧力室１０の中央部と重なる部分に、個別電極４５を形成する。また、それ以外の圧電層４３については、収縮量Ｄが小さい圧電層４３ほど、圧電層４３の上面の圧力室１０の中央部と重なる部分から大きくずれた部分に個別電極４５を形成する。
【００５９】
この場合には、圧力室列９間で、個別電極４５に駆動電位を付与したときの圧電層４２、４３及びインク分離層４１の変形量のばらつき、すなわち、ノズル１５からのインクの吐出速度のばらつきを低減することができる。
【００６０】
また、変形例１では、上述の通り、収縮量Ｄが最も大きい圧電層４３の上面の圧力室１０の中央部と重なる部分に個別電極４５を形成している。すなわち、収縮量Ｄが最も大きい圧電層４３については、ずらし量Ｅを０としている。そして、これに合わせて、それ以外の圧電層４３に形成する個別電極４５のずらし量Ｅを決定している。そのため、各圧電層４３における個別電極４５のずらし量Ｅを最小とすることができる。したがって、ノズル１５からのインクの吐出速度のばらつきを低減するために個別電極４５をずらしたことによる、ノズル１５からのインクの吐出速度の低下を極力抑えることができる。
【００６１】
また、変形例１では、収縮量Ｄが最も大きい圧電層４３の上面の圧力室１０の中央部と重なる部分に個別電極４５を形成したが、これには限られない。変形例１において、全ての圧電層４３について、圧電層４３の上面の圧力室１０の中央部と重なる部分からずれた部分に個別電極４５を形成してもよい。
【００６２】
また、上述の実施の形態では、インクジェットヘッド３が、走査方向に往復移動しつつ、ノズル１５からインクを吐出する、いわゆるシリアルヘッドであったが、これには限られない。別の一変形例（変形例２）では、図８に示すように、プリンタ１に、インクジェットヘッド３の代わりに、ラインヘッド７０が設けられている。ラインヘッド７０は、４つのヘッドユニット７１と保持部材７２とを備えている。ヘッドユニット７１は、流路ユニット２１と同様の、ノズル１５や圧力室１０等のインク流路が形成された流路ユニットと、圧電アクチュエータ２２と同様の、インク分離層４１、圧電層４２、４３、共通電極４４及び個別電極４５を有する圧電アクチュエータとを備えている。そして、４つのヘッドユニット７１は、複数のノズル１５が走査方向に沿って配列されるような向きに配置され、走査方向に沿って、記録用紙Ｐのほぼ全長にわたって千鳥状に配列されている。保持部材７２は、走査方向を長手方向とする略矩形の部材であり、４つのヘッドユニット７１を保持している。
【００６３】
この場合には、上記Ｓ１０１〜Ｓ１０６と同様の手順で４つのヘッドユニット７１の個別電極４５を除いた部分をそれぞれ作製するとともに、各ヘッドユニット７１における圧電層４２、４３の収縮量Ｄを算出する。そして、Ｓ１０７において、４つのヘッドユニット７１のうち、Ｓ１０６で算出した収縮量Ｄが最も大きいヘッドユニット７１については、圧電層４３の上面の圧力室１０の中央部と重なる部分に、個別電極４５を形成する。また、それ以外のヘッドユニット７１については、収縮量Ｄが小さいヘッドユニット７１ほど、圧電層４３の上面の圧力室１０の中央部と重なるから大きくずれた部分に個別電極４５を形成する。そして、その後、製造した４つのヘッドユニット７１を保持部材７２に取り付けることによってラインヘッド７０が完成する。
【００６４】
この場合には、ヘッドユニット７１間で、個別電極４５に駆動電位を付与したときの圧電層４２、４３及びインク分離層の変形量のばらつき、すなわち、ノズル１５からのインクの吐出速度のばらつきを低減することができる。
【００６５】
また、変形例２では、上述の通り、収縮量Ｄが最も大きいヘッドユニット７１において、圧電層４３の上面の圧力室１０の中央部と重なる部分に個別電極４５を形成している。すなわち、収縮量Ｄが最も大きいヘッドユニット７１については、ずらし量Ｅを０としている。そして、これに合わせて、それ以外のヘッドユニット７１における個別電極４５のずらし量Ｅを決定している。そのため、各ヘッドユニット７１における個別電極４５のずらし量Ｅを最小とすることができる。したがって、ノズル１５からのインクの吐出速度のばらつきを低減するために個別電極４５をずらしたことによる、ノズル１５からのインクの吐出速度の低下を極力抑えることができる。
【００６６】
また、変形例２では、収縮量Ｄが最も大きいヘッドユニット７１において、圧電層４３の上面の圧力室１０の中央部と重なる部分に個別電極４５を形成したが、これには限られない。変形例２において、全てのヘッドユニット７１について、圧電層４３の上面の圧力室１０の中央部と重なる部分からずれた部分に個別電極４５を形成してもよい。
【００６７】
なお、変形例２では、ラインヘッド７０が本発明に係る液体吐出装置に相当する。
【００６８】
また、本発明は、圧電層４３の上面に圧電アクチュエータ２２を駆動するための個別電極４５以外の電極が設けられている場合にも適用可能である。例えば、別の一変形例（変形例３）では、図９に示すように、プレート３１の各圧力室列９の走査方向における外側の部分に、それぞれ、紙送り方向に並んだ、略円形の複数の検査用空間８１が形成されている。インク分離層４１は複数の圧力室１０及び複数の検査用空間８１を覆うように配置されている。圧電層４２、４３が、複数の圧力室１０及び複数の検査用空間８１にまたがって連続的に延びている。圧電層４３の上面には、複数の個別電極４５やマーカ５１ａ〜５１ｄに加えて、複数の検査用空間８１に対応する複数の検査用電極８２及び複数のパッド８３が形成されている。
【００６９】
検査用電極８２は、各検査用空間８１と重なるように配置されている。また、検査用電極８２は、圧力室１０の長手方向と直交する紙送り方向において検査用空間８２よりも長く、紙送り方向における両側に、検査用空間８１からはみ出している。パッド８３は、検査用電極８２よりも面積が大きく、各検査用電極８２の走査方向における内側に配置されている。互いに対応する検査用電極８２とパッド８３とは、それぞれ、これらの間に設けられた接続部８４により接続されている。
【００７０】
この場合には、Ｓ１０７において、例えば、圧電層４３の上面に、図１０に示すような、複数の個別電極４５に対応するパターン８６ａ、複数の検査用電極８２、複数のパッド８３及び複数の接続部８４に対応するパターン８６ｂが形成されたマスク８６を配置し、マスク８６を配置した圧電層４３の上面にスクリーン印刷により、複数の個別電極４５、複数の検査用電極８２、複数のパッド８３及び複数の接続部８４を同時に形成する。
【００７１】
インクジェットヘッド３に、検査用空間８１、検査用電極８２、パッド８３及び接続部８４が設けられている場合には、インクジェットヘッド３の製造後、交流電圧を出力するプローブをパッド８３に当てて、検査用電極８２に交流電圧を印加するとともに、共通電極４４からの出力電流を検出する。そして、検査用電極８１に印加する交流電圧の周波数を順次変化させる。すると、検査用電極８２に印加した交流電圧の周波数が、圧電アクチュエータ２２の検査用空間８１と重なる部分の共振周波数となったときに、共通電極４４からの出力電流がピーク値となる。このことを利用して、共通電極４４からの出力電流がピーク値となるときの、検査用電極８２に印加された交流電圧の周波数を共振周波数として検出する。そして、例えば、検出した共振周波数と、設計上の共振周波数とを比較することによって、インクジェットヘッド３の圧電アクチュエータ２２が所定の性能を有するものか否かを検査することができる。
【００７２】
ここで、上述したように、個別電極４５に対応するパターン８６ａと検査用電極８２に対応するパターン８６ｂとが形成されたマスク８６を用いて、個別電極４５と検査用電極８２とを一度に形成した場合、個別電極４５を圧電層４３の上面の圧力室１０の中央部と重なる部分から紙送り方向にずれた部分に形成したときには、検査用電極８２も個別電極４５と同じだけ紙送り方向にずれて形成されることになる。一方で、検査用電極８２が、検査用空間８１のどの部分と重なるかが変動すると、上記検査で検出される共振周波数も変動する。
【００７３】
変形例３では、上述したように、検査用電極８２が、圧力室１０の長手方向と直交する方向における両側、つまり、個別電極４５をずらす方向における両側に、検査用空間８１からはみ出している。そのため、検査用電極８２が圧力室１０の長手方向と直交する方向にずれても、検査用電極８２が検査用空間８１のどの部分と重なるかがほとんど変化しない。したがって、インクジェットヘッド３の圧電アクチュエータ２２が所定の性能を有するものか否かを正常に検査することができる。
【００７４】
また、上述の実施の形態では、個別電極４５を、圧力室１０の長手方向と直交する方向にずらしたが、これには限られない。個別電極４５を、圧力室１０の長手方向など、別の所定方向にずらしてもよい。
【００７５】
また、上述の実施の形態では、圧力室１０が略楕円の平面形状を有し、個別電極４５が圧力室１０よりも一回り小さい略楕円形状を有するものであったが、圧力室１０や個別電極４５の形状はこれには限られない。圧力室１０や個別電極４５の形状が異なる場合には、これらの形状に応じて、圧電層４３の上面の圧力室１０と重なる部分のうち、個別電極４５に駆動電位を付与したときの圧電層４２、４３及びインク分離層４１の変形量が最も大きくなる部分を基準部分にすればよい。そして、圧電層４３の上面の、基準部分から収縮量Ｄに応じたずらし量Ｅだけずれた部分に個別電極４５を形成すればよい。
【００７６】
また、上述の実施の形態では、圧電層４３の上面の圧力室１０の中央部と重なる部分を基準部分としている。すなわち、圧電層４３の上面の圧力室１０と重なる部分のうち、個別電極４５に駆動電位を付与したときの圧電層４２、４３及びインク分離層４１の変形量が最も大きくなる部分を基準部分としている。しかしながら、これには限られない。例えば、圧電層４３の上面の圧力室１０の中央部から所定のずらし量だけずれた部分を基準部分とし、圧電層４２、４３の収縮量Ｄが大きいほど、個別電極４５を、圧力室１０の中央部に近づけるように基準部分からずらすなどしてもよい。
【００７７】
また、上述の実施の形態では、Ｓ１０２、Ｓ１０５において、複数の個別電極４５が配置された領域Ｒを対角に挟むマーカ５１ａと５１ｃとの距離、及び、マーカ５１ｂと５１ｄとの距離を測定し、これらの平均値を算出したが、これには限られない。例えば、Ｓ１０２、Ｓ１０５において、領域Ｒを紙送り方向に挟むマーカ５１ａと５１ｂとの距離、及び、マーカ５１ｃと５１ｄとの距離を測定し、これらの平均値を算出してもよい。あるいは、Ｓ１０２、Ｓ１０５において、領域Ｒを走査方向に挟むマーカ５１ａと５１ｄとの距離、及び、マーカ５１ｂと５１ｃとの距離を測定し、これらの平均値を算出してもよい。
【００７８】
また、上述したような平均値をとることにも限られない。例えば、圧電層４３の上面に、複数の個別電極４５が配置された領域Ｒを挟むマーカを２つだけ設け、Ｓ１０２、Ｓ１０５において、これら２つのマーカ間の距離を測定してもよい。
【００７９】
さらには、圧電層４３の上面に形成したマーカ間の距離を測定し、その測定結果から圧電層４２、４３の収縮量Ｄを算出することにも限られない。例えば、圧電層４２、４３の長さを直接測定する等、マーカの距離を測定する以外の方法で収縮量を測定してもよい。
【００８０】
また、上述の実施の形態では、Ｓ１０３において、インク分離層４１と流路ユニット２１との積層体５６を作製し、Ｓ１０４において、積層体５５と積層体５６とを接合したが、これには限られない。例えば、Ｓ１０３において、インク分離層４１と流路ユニット２１を形成するプレート３１〜３４のうち、プレート３１を含む一部のプレートとの積層体を作製し、Ｓ１０４において、積層体５５とＳ１０３で作製した積層体とを接合してもよい。なお、この場合には、インク分離層４１と、プレート３１〜３４のうち、プレート３１を含む上記一部のプレートとの積層体が、本発明に係る第２部材に相当する。また、この場合には、Ｓ１０４の後に、Ｓ１０４で形成された積層体に、プレート３１〜３４のうち、残りのプレートを接合する工程が必要となる。
【００８１】
あるいは、Ｓ１０３の積層体の作製を行わず、Ｓ１０４で、積層体５５と、プレート３１〜３４と接合されていないインク分離層４１とを接合してもよい。この場合には、Ｓ１０４の後、Ｓ１０７の個別電極４５の形成前に、インク分離層４１にプレート３１〜３４を接合する工程が必要となる。なお、この場合には、積層体５５とインク分離層４１とを接合する工程と、インク分離層４１にプレート３１〜３４を接合する工程とを合わせたものが、本発明に係る接合工程に相当する。
【００８２】
また、この場合には、Ｓ１０７の個別電極の形成後にインク分離層４１にプレート３１〜３４を接合してもよい。
【００８３】
また、上述したように、積層体５５に複数回に分けてインク分離層４１及びプレート３１〜３４を接合する場合には、個別電極４５を形成する直前におけるマーカ間の距離と、複数回の接合のうち最初の接合よりも前の段階におけるマーカ間の距離との差に基づいて、収縮量Ｄを算出する。あるいは、個別電極４５を形成する直前におけるマーカ間の距離と、複数回の接合のうち２回目以降の接合の直前におけるマーカ間の距離との差に基づいて、収縮量Ｄを算出してもよい。
【００８４】
また、上述の実施の形態では、プレート３１と圧電層４２との間にインク分離層４１が配置されていたが、これには限られない。例えば、別の一変形例（変形例４）では、図１１に示すように、熱硬化性接着剤５０により、圧電層４２が直接、流路ユニット２１のプレート３１の上面に接合されている。そして、この場合には、上記Ｓ１０３において、流路ユニット２１を作製し、上記Ｓ１０４において、積層体５５と流路ユニット２１とを、熱硬化性接着剤５０で接合する。
【００８５】
この場合には、圧電層４２、４３とプレート３１との線膨張係数の差により、上述の実施の形態と同様、積層体５５と流路ユニット２１との接合後の圧電層４２、４３が、接合前に対して収縮する。しかしながら、変形例４でも、上述の実施の形態と同様、上記Ｓ１０７において、圧電層４３の上面の、圧力室１０の中央部と重なる部分から、圧電層４２、４３の収縮量に応じたずらし量だけずれた部分に、個別電極４５を形成する。したがって、上述の実施の形態の場合と同様、インクジェットヘッド３間でのノズル１５からのインクの吐出特性のばらつきを低減することができる。なお、変形例４では、流路ユニット２１が本発明に係る第２部材に相当する。
【００８６】
また、以上の例では、圧電層４２と、圧電層４２よりも線膨張係数の高い材料からなるインク分離層４１やプレート３１とが、熱硬化性接着剤５０により直接接合されていたが、これには限られない。圧電層４２と、インク分離層４１あるいはプレート３１との間に、別の薄膜などの層が介在していてもよい。
【００８７】
また、上述の実施の形態では、圧電層４３の上面の複数の圧力室１０と重なる部分に、個別に電位を切り換え可能な複数の個別電極４５が形成されていたが、これには限られない。別の一変形例（変形例５）では、図１２、図１３に示すように、圧電層４３の上面に共通電極９１が形成されている。共通電極９１は、複数の駆動部９１ａと連結部９１ｂとを有している。複数の駆動部９１ａは、個別電極４５（図２参照）とほぼ同じ略楕円の平面形状を有しており、複数の圧力室１０と重なって配置されている。連結部９１ｂは、複数の駆動部９１ａ同士を連結することで、互いに導通させている。また、変形例５では、圧電層４２と４３との間の、複数の圧力室１０と重なる部分に、個別電極４５とほぼ同じ略楕円の平面形状を有する複数の個別電極９２が形成されている。
【００８８】
この場合には、Ｓ１０１において、圧電層４２、４３と複数の個別電極９２との積層体を形成する。そして、Ｓ１０７において、圧電層４３の上面に、共通電極９１を形成する。このとき、例えば、共通電極９１を、複数の駆動部９１ａが対応する圧力室１０の中央部と重なる部分から、Ｓ１０６で算出した収縮量Ｄに応じたずらし量Ｅだけずれた部分に形成する。
【００８９】
そして、この場合でも、上述の実施の形態と同様、インクジェットヘッド３におけるノズル１５からのインクの吐出速度のばらつきを低減することができる。なお、変形例５では、共通電極９１が、本発明に係る駆動用電極に相当する。また、共通電極９１に付与されるグランド電位が、本発明に係る所定電位に相当する。
【００９０】
また、本発明は、以上に説明したのとは異なる構成を有する圧電アクチュエータを備えたインクジェットヘッドの製造や、インクジェットヘッドを構成する圧電アクチュエータの製造にも適用可能である。例えば、特開２０１０−２３３４２８号公報に記載されているようなインクジェットヘッドの製造や圧電アクチュエータの製造に、本発明を適用することも可能である。この場合には、上部圧電層の上面に形成される上部電極を、圧力室の中央部と重なる部分から、圧電層の収縮量に応じたずらし量だけずれた部分に形成する。
【００９１】
また、上述の実施の形態では、圧電層４２、４３の収縮量Ｄに応じて個別電極４５のずらし量を変えたが、これには限られない。例えば、圧電層４２、４３の収縮量Ｄに応じて個別電極４５の大きさや形状など、個別電極４５の位置以外の態様を変えてもよい。
【００９２】
また、以上では、ノズルからインクを吐出するインクジェットヘッドの製造、及び、インクジェットヘッドに用いられる圧電アクチュエータの製造に本発明を適用した例について説明したが、これには限られない。インク以外の液体を吐出するインクジェットヘッド以外の液体吐出装置の製造や、液体吐出装置に用いられる圧電アクチュエータの製造に本発明を適用することも可能である。また、液体吐出装置以外の装置に用いられる圧電アクチュエータの製造に本発明を適用することも可能である。
【符号の説明】
【００９３】
３  インクジェットヘッド
１０  圧力室
１５  ノズル
２１  流路ユニット
２２  圧電アクチュエータ
３１  プレート
４１  インク分離層
４２、４３  圧電層
４５  個別電極
８１  検査用空間
８２  検査用電極
９１  共通電極
【図１】
2014151584.tif 000004
【図２】
2014151584.tif 000005
【図３】
2014151584.tif 000006
【図４】
2014151584.tif 000007
【図５】
2014151584.tif 000008
【図６】
2014151584.tif 000009
【図７】
2014151584.tif 000010
【図８】
2014151584.tif 000011
【図９】
2014151584.tif 000012
【図１０】
2014151584.tif 000013
【図１１】
2014151584.tif 000014
【図１２】
2014151584.tif 000015
【図１３】
2014151584.tif 000016