(57)【要約】      （修正有）【課題】薄型、小型かつ組立てが簡素で低廉化が可能な赤外線センサおよび赤外線センサ装置を提供する。【解決手段】一方の面において設けられる赤外線検出部Ｓと、他方の面に設けられるレンズ部９と、赤外線検出部およびレンズ部の間に設けられる空洞部６とを備える基板５を備え、入射した赤外線を上記空洞部を介して上記赤外線検出部に集光させるためのレンズパターン９１が上記基板に形成されることによって、レンズ部が形成される。【選択図】図１
2014235064.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方の面において設けられる赤外線検出部と、
他方の面に設けられるレンズ部と、
上記赤外線検出部および上記レンズ部の間に設けられる空洞部と、
を備える基板を備え、
入射した赤外線を上記空洞部を介して上記赤外線検出部に集光させるためのレンズパターンが上記基板に形成されることによって、上記レンズ部が形成されることを特徴とする赤外線センサ。
【請求項２】
上記基板がシリコン基板であることを特徴とする請求項１に記載の赤外線センサ。
【請求項３】
上記基板は第１の基板および第２の基板から構成されており、
上記第１の基板は、一方の面に上記赤外線検出部を備え、かつ、他方の面に上記空洞部を形成するための凹部が形成されており、
上記第２の基板は、一方の面に上記レンズ部が形成されており、
上記第１の基板の上記凹部が形成された面と上記第２の基板の上記レンズ部が形成されていない面とを張り合わせることによって上記基板が形成されることを特徴とする請求項１に記載の赤外線センサ。
【請求項４】
上記レンズ部において、複数のレンズパターンが形成されており、
少なくとも１つのレンズの形状と他のレンズの形状とが異なる形状であることを特徴とする請求項１に記載の赤外線センサ。
【請求項５】
上記レンズ部に形成されたレンズの少なくとも１つの形状が、非同心円形状であることを特徴とする請求項１から４の何れか１項に記載の赤外線センサ。
【請求項６】
上記赤外線検出部と上記レンズ部と上記空洞部とからなる赤外線検出領域を複数備えることを特徴とする請求項１に記載の赤外線センサ。
【請求項７】
上記赤外線検出部は異種の導電材料を交互に直列接続しており、
上記直列接続は、上記空洞部が形成されている領域の上方および上記空洞部が形成されていない領域の上方において交互に接続していることを特徴とする請求項１から６の何れか１項に記載の赤外線センサ。
【請求項８】
請求項１から７の何れか１項に記載の赤外線センサおよび上記赤外線センサから出力される信号を処理する信号処理ＩＣ（integrated circuit）備えることを特徴とする赤外線センサ装置。
【請求項９】
上記赤外線センサは開口部が形成されている回路基板上に設けられ、
上記開口部を介して赤外線を取り込めるように、上記開口部と上記レンズ部とが対向して上記赤外線センサが配置していることを特徴とする請求項８に記載の赤外線センサ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は赤外線センサおよび赤外線センサ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
赤外線検知素子およびそれを利用した測温計は、熱源から放射される赤外線を検知（感知）して電気信号に変換するいわゆる赤外線センサを備えている（検出または測定した温度を決定するまでの全体の機能を備えるものを「赤外線センサ」と呼ぶこともあるが、本明細書においては上記の全体の機能を備えたものを赤外線センサ装置と称する）。
【０００３】
赤外線センサ装置は、非接触により温度を検出することができることから、人の存在を検出してその動きを追随することによって点灯制御を行う自動点灯システム、電子レンジの庫内温度の検出、被調理物の温度分布の検出などに広く用いられている。赤外線センサ装置にはサーモパイル型の赤外線センサを用いたもの、量子型の赤外線センサを用いたものなどがある。
【０００４】
特許文献１には、パッケージの凹部の内底面側に赤外線アレイセンサと、信号処理用チップと、を収納している赤外線センサ装置が開示されている。
【０００５】
上記の赤外線アレイセンサは、シリコン基板の一表面側に赤外線センサ薄膜を備え、上記シリコン基板の一部を除去することによって空洞部が形成されている。
【０００６】
上記の赤外線センサ装置は上記パッケージの凹部の内部を凸レンズ形状の赤外線透過部材を備えたリッド（カバー）によって気密封止している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２０１０−２４３３６５号公報（２０１０年１０月２８日公開）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、上述のような赤外線センサ装置の場合、パッケージ、赤外線アレイセンサ、信号処理用チップ、レンズ、カバーというように部品点数が多い。また、組み立て工程において、レンズの焦点を赤外線センサ上に合わせるための位置合わせには、高度な位置精度が要求される。したがって、組み立て工程が複雑となり、低廉化が困難であるという問題がある。
【０００９】
また、パッケージを覆うようにレンズを備えたカバーが装着されるため、該装置の厚みが厚くなってしまう。したがって、スマートホンやタブレット端末といった薄型化・小型化が要求される製品への搭載が困難であるという問題がある。
【００１０】
本発明は、上記の問題点を解決するためになされたものであって、その目的は、薄型・小型かつ組立てが簡素で低廉化が可能な赤外線センサおよび赤外線センサ装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記の課題を解決するために、本発明の一態様に係る赤外線センサは、一方の面において設けられる赤外線検出部と、他方の面に設けられるレンズ部と、上記赤外線検出部および上記レンズ部の間に設けられる空洞部とを備える基板を備え、入射した赤外線を上記空洞部を介して上記赤外線検出部に集光させるためのレンズパターンが上記基板に形成される。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の一態様によれば、上記空洞部により、赤外線センサの赤外線検出部における熱絶縁性を確保できるとともに、レンズによる集光に必要な焦点距離を確保できる。
【００１３】
このため、赤外線センサの受光部は、レンズパターン側から入射し空洞部を通過した赤外線を受光し、赤外線を検知することができる。
【００１４】
これにより、それぞれ別々の部品とされていた赤外線センサとレンズとを、同一基板に統合し、赤外線センサ装置の部品点数を削減し、薄型・小型かつ製造工程も簡略化するという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の実施形態１に係る赤外線センサの一例を示す図である。（ａ）は、赤外線センサ示す平面図である。（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａにおける矢視断面図である。（ｃ）は、（ａ）のＢ−Ｂにおける矢視断面図である。
【図２】本発明の実施形態１に係るレンズ部の一例を示す図である。
【図３】図２におけるレンズ９ａを拡大した図である。
【図４】（ａ）、（ｂ）および（ｃ）は本発明の実施形態１に係る赤外線センサの製造工程の一例を示す図である。
【図５】本発明の実施形態２に係る赤外線センサ装置の一例を示す断面図である。
【図６】本発明の実施形態３に係る赤外線センサ装置の一例を示す断面図である。
【図７】本発明の実施形態４に係る赤外線センサ装置の一例を示す断面図である。
【図８】本発明の実施形態５に係る赤外線センサの一例を示す平面図である。
【図９】（ａ）、（ｂ）および（ｃ）は本発明の実施形態５に係る赤外線センサの製造工程の一例を示す図である。
【図１０】本発明の実施形態６に係る赤外線センサの一例を示す断面図である。
【図１１】本発明の実施形態１に係る赤外線センサを拡大して示す平面図である。
【図１２】参考例に係る赤外線センサ装置を示す断面図である。
【図１３】他の参考例に係る赤外線センサ装置を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
本明細書は、同一基板上の異なる面に赤外線検出部およびレンズ部がそれぞれ形成されている赤外線センサについて開示する。
【００１７】
〔実施形態１〕
（赤外線センサの構造）
本発明の一実施形態について図１〜図４および図１１に基づいて説明すれば以下のとおりである。
【００１８】
図１は本実施形態に係る赤外線センサを示している。
【００１９】
図１の（ａ）は本発明の一実施形態に係る赤外線センサ１の平面図である。図１の（ａ）に示すように、赤外線センサ１は、赤外線検出部Ｓおよびアルミパッド４を備える。
【００２０】
上記赤外線検出部Ｓはアルミパッド４に電気的に接続されており、上記アルミパッド４を介して赤外線センサ１が赤外線検知信号を外部に対して出力することが可能な構成となっている。
【００２１】
（赤外線検出部）
本実施形態においては、赤外線検出部Ｓには、熱電対３の２つの群が、溝２を挟んで設けられる。熱電対３の群のそれぞれにおいては、所定の間隔で平行に熱電対３が配置される。
【００２２】
図１１は本実施形態に係る赤外線センサの拡大図を示している。図１１で示すように、熱電対３の群のそれぞれでは、各熱電対が電気的に直列に接続され１つのサーモパイル素子を構成している。
【００２３】
熱電対３は異種の導電材料３ａと３ｂとを、溝２側の端部（温接点）において接続することによって構成される。
【００２４】
導電材料３ａ、３ｂとしては、例えば、ｐ型ポリシリコンおよびｎ型ポリシリコンの組合せを用いることができる。
【００２５】
また、隣り合う熱電対３は、赤外線検出部Ｓの外側の端部（冷接点：溝２側の端部と反対側の端部）において電気的に接続している。隣り合う熱電対３の間は、異種の導電材料により互いに接続される。例えば、一方の熱電対３の導電材料３ａと、他方の熱電対３の導電材料３ｂとが接続される。
【００２６】
以上のような接続関係により、熱電対３の群それぞれにおいては、熱電対３が直列に接続される。
【００２７】
次に、図１の（ｂ）および（ｃ）を参照し、赤外線センサ１の断面構造について説明する。図１の（ｂ）は図１の（ａ）のＡ−Ａにおける矢視断面図であり、図１の（ｃ）は図１の（ａ）のＢ−Ｂにおける矢視断面図である。図１の（ｂ）および（ｃ）に示すように、本実施形態に係る赤外線センサ１は、空洞部６およびレンズ部９が形成されているシリコン基板５において、シリコン酸化膜１０、シリコン窒化膜１１、層間絶縁膜１２およびパッシベーション膜１３の順の層構造が設けられた断面構造である。
【００２８】
（層構造）
上記の層間絶縁膜１２には、例えば、ＢＰＳＧ（Boro-PhosphoSilicate Glass）等を用いることができる。
【００２９】
また、上記のパッシベーション膜１３には、例えば、シリコン窒化膜などを使用することができる。
【００３０】
（熱電対）
熱電対３は、シリコン窒化膜１１上に形成されている。熱電対３を形成している導電材料３ａおよび３ｂは、層構造が設けられる面に対して垂直方向に所定の間隔で配置されている。
【００３１】
熱電対３では、導電材料３ａおよび３ｂが、シリコン基板５における、空洞部６が形成されている領域の上方に位置する温接点部８において互いに接続している。温接点部８に対し、レンズ部９から取り込まれる赤外線が照射される。
【００３２】
また、隣り合う熱電対３は、シリコン基板５における空洞部６が形成されていない領域の上方の冷接点部７において、互いに接続している。
【００３３】
シリコン基板５における空洞部６が形成されている領域の上方において温接点部８が配置され、空洞部６が形成されていない領域の上方において冷接点部７が配置されていることによって、温接点部８と冷接点部７とが熱的に分離される。よって、赤外線が照射されたときに熱電対３の温接点部８および冷接点部７において温度差が生じることで、熱電対３により熱電変換される。熱電対３は、赤外線が照射されたとき、このような熱電変換によって得られる電圧信号を出力する。
【００３４】
なお、熱電対の配置については、特に本発明を限定する構成ではなく、所望する配置にて各熱電対を電気的に直列に接続してもよい。
【００３５】
（溝）
熱電対群の間に形成されている溝２は熱電対群の長手方向（図１の（ａ）における上下方向）の長さよりも長く形成されている。また、溝２ａおよび溝２ｂは、熱電対群の長手方向の手前と奥とに、２つの熱電対群を挟むように形成されている。溝２ａおよび溝２ｂは、熱電対が配置されている領域の短手方向の長さよりも短く形成されている。
【００３６】
２つの熱電対群の間に形成された溝２と熱電対群を挟むように形成された溝２ａおよび溝２ｂとは、溝２の終点において空間的に接続している。
【００３７】
上記の溝２、２ａおよび２ｂは、空洞部６を形成するために形成されている。
【００３８】
なお、上述の本実施形態の溝２の形成箇所および数は例示的に示したものであり、溝２の形成箇所、および数を限定するものではない。
【００３９】
（レンズ部）
シリコン基板５において赤外線検出部Ｓが設けられた面の反対の表面には、レンズ部９が形成されている。
【００４０】
上記レンズ部９には、通常のレンズ、通常のレンズの曲面を同心円状の領域に分割し厚みを減らしたフレネルレンズなどのレンズパターンが形成されてもよい。
【００４１】
また、レンズ部９では、例えば、図１の（ｂ）および（ｃ）で示すように、フレネルレンズのレンズの曲面（曲率）を近似した階段形状を有する構造体９１が複数形成されてもよい。
【００４２】
また、レンズ部９において、上記構造体９１が形成される構成や、フレネルレンズを用いる構成によれば、薄型の赤外線センサ装置を作成することが可能となる。
【００４３】
シリコン基板５に用いられるシリコンは赤外線を透過する材料であるため、赤外線はこのレンズ部９から入射し、空洞部６を介して、赤外線検出部Ｓに収束され、熱として検知される。
【００４４】
レンズ部と赤外線検出部との間に空洞部を備えた上記の構成によると、上記空洞部により、赤外線センサの赤外線検出部における熱絶縁性を確保できるとともに、レンズによる集光に必要な焦点距離を確保できる。
【００４５】
図２は本発明の一実施形態に係るレンズ部９の全体を示す平面図であり、図３は図２におけるレンズ９ａを拡大した図である。平面部Ｐはレンズ部９において高低差がない平面領域を示している。段差部Ｑはレンズ部９において高低差を有する領域を示している。
【００４６】
図２に示すように、レンズ部９はレンズ９ａ、レンズ９ｂ、レンズ９ｃなどの複数のレンズから構成されていてもよい。
【００４７】
各々のレンズの形状は、例えば、レンズ９ｂは同心円状に形成されている。
【００４８】
一方で、図３に示すようにレンズ９ａは非同心円状に形成されている。上述のようにレンズ部９に形成された各々のレンズは異なる形状であってもよい。各レンズは、該レンズの形状に対応する異なる視野角および異なる検出距離（各レンズから赤外線検出部Ｓまでの適切な距離）を有する。よって、レンズの形状を調節することによって、該レンズから赤外線検出部までの距離を適切な検出距離とすることが可能となる。
【００４９】
例えば、非同心円状に形成されたレンズにおいては、赤外線の検出範囲を左右非対称とすることができるため、赤外線検出部を左右非対称に配置することができる。
【００５０】
なお、レンズの個数については特に限定されず、１以上のレンズが形成されていればよい。
【００５１】
（製造工程）
次に、本発明の一実施形態に係る赤外線センサの製造工程を、図４を用いて説明する。図４は本発明の一実施形態に係る赤外線センサをシリコン基板に形成する製造工程のフローを示している。
【００５２】
はじめに、図４の（ａ）に示すように、シリコン基板５、シリコン酸化膜１０、シリコン窒化膜１１、およびパッシベーション膜１３を含む層構造を形成する。
【００５３】
具体的には、シリコン基板５の一方の面にシリコン酸化膜１０と、シリコン窒化膜１１との積層膜を形成する。ここで、シリコン酸化膜１０は、例えば熱酸化法によって形成し、シリコン窒化膜１１はＬＰ−ＣＶＤ（Low pressure chemical-vapor deposition）法等によって形成してもよい。
【００５４】
次に、シリコン窒化膜１１上に熱電対を構成する導電材料３ａを配置し、上記導電材料３ａ上に層間絶縁膜を形成する。次に、形成した当該層間絶縁膜上に熱電対を構成する導電材料３ｂを配置し、その後、さらに層間絶縁膜を積層する。なお、図４の（ａ）では、説明の簡便のため、導電材料３ａの形成後に積層する層間絶縁膜と、導電材料３ｂの形成後に積層する層間絶縁膜とを合わせたものに符号１２を付している。また、この層間絶縁膜形成工程では、ＣＶＤ（chemical-vapor deposition）法により層間絶縁膜（ＢＰＳＧ）を形成してもよい。次に、層間絶縁膜１２上にアルミ配線等（不図示）を形成した後、ＣＶＤ法などによりパッシベーション膜１３から成る層を形成し、アルミパッド部を開口（不図示）する。
【００５５】
次に、両面アライメント装置を用いて、図４の（ｂ）に示すように、シリコン基板５の一方の面に形成された赤外線検出部形成領域Ｒ１との位置合わせをして、シリコン基板５の上記層構造が形成された面の反対面にレンズ部９を形成する。例えば、フォト・ドライエッチング工程を繰り返す方法によって、複数の階段状の構造体９１から成るレンズパターンを形成する。
【００５６】
次に、図４の（ｃ）に示すように、シリコン酸化膜１０、シリコン窒化膜１１、層間絶縁膜１２およびパッシベーション膜１３から成る層構造に溝２ａおよび２ｂを形成する。例えば、上記溝２ａおよび２ｂに対して、ＫＯＨ（水酸化カリウム）等のアルカリ液を導入してシリコンエッチングを行い、これにより空洞部６を形成する。以上の工程により、図１に示すような赤外線センサ１が得られる。
【００５７】
なお、以上に説明した工程に限られず、シリコン基板５の上記層構造の形成工程や、溝２の形成工程には、従来知られている技法を用いることができる。
【００５８】
〔実施形態２〕
（赤外線センサ装置）
以下において、赤外線センサと、当該赤外線センサから出力する信号を処理する信号処理用ＩＣ（integrated circuit）とを搭載した赤外線センサ装置の構成例について説明する。図５は、本発明の一実施形態に係る赤外線センサ装置１４の断面図を示している。図５に示すように、シリコン基板５において、上記赤外線検出部Ｓが形成された面と、同一の面に、信号処理用ＩＣ１６が形成されていてもよい。赤外線センサ１から出力された電圧信号は、信号処理用ＩＣ１６へ入力される。
【００５９】
赤外線センサ１と信号処理用ＩＣ１６とは、例えばアルミ配線１５を介して電気的に接続してもよい。また、信号処理用ＩＣ１６は、アルミ配線１５およびアルミパッド４を介して外部装置と電気的に接続可能であってもよい。なお、図５示すアルミ配線１５は、赤外線センサ装置１４における接続関係を説明するために模式的に示すものであり、当該断面において設けられていなくてもよい。赤外線センサ１、信号処理用ＩＣ１６、および外部装置を接続するためのアルミ配線１５は、赤外線センサ装置１４の構造に応じて、任意の配置とすることができる。
【００６０】
（本発明と参考例との比較）
以下において、本発明と参考例との比較を行う。図１２は本発明の参考例に係る赤外線センサ装置１１４を示す断面図である。
【００６１】
赤外線センサ装置１１４は、回路基板１１８上に赤外線センサ１０１、信号処理ＩＣ１１６を備えている。また、上記赤外線センサ１０１および信号処理ＩＣ１１６は、パッケージ側壁１３１およびパッケージ蓋１３２からなるパッケージ１３３によって気密封止されている。パッケージ蓋１３２には、開口窓１１９が形成されている。上記の開口窓１１９は、赤外線をパッケージ１３３の内部に取り込むものであり、赤外線を収束するために上記の開口窓１１９にはレンズ部１０９が装着されている。
【００６２】
部品点数に関して比較すると次のとおりである。上記の赤外線センサ装置１１４の場合、回路基板１１８、赤外線センサ１０１、信号処理ＩＣ１１６、レンズ部１０９、パッケージ側壁１３１、パッケージ蓋１３２というように、部品点数が多い。
【００６３】
これに対して、上記の本発明に係る赤外線センサ装置においては、レンズ部と赤外線センサが一体化されているため、パッケージおよびレンズ部を備えるパッケージ蓋が不要であるため、部品点数を参考例の赤外線センサ装置よりも少なくすることが可能である。
【００６４】
また、厚み、装置サイズについて検討すると次のとおりである。参考例の赤外線センサ装置においては、赤外線センサの赤外線検出部における熱絶縁性を確保するための空洞部１０６、および、レンズ１０９と赤外線センサ１０１との間に集光に必要な焦点距離としての距離Ｌ１の空間を確保している。
【００６５】
これに対して、本発明の赤外線装置は、上記空洞部および距離Ｌ１の空間が同一であるため、赤外線センサ装置を薄型化および小型化することを可能にする。よって、本発明に係る赤外線センサ装置はスマートホンやタブレット端末といった薄型化・小型化が要求される製品への搭載が可能となる。
【００６６】
また、参考例の赤外線センサ装置において、組み立て工程時に必要であったレンズ部と赤外線検出部との精度の高い位置合わせが不要となり、組み立て工程の簡素化が可能となる。よって、本発明に係る赤外線センサ装置においては低廉化が可能となる。
【００６７】
〔実施形態３〕
（赤外線センサが回路基板に配置される構成：回路基板と対向する面にレンズ部）
本実施形態においては、本発明に係る他の赤外線センサ装置の一例を、図６を用いて説明する。なお、本実施形態では、説明の便宜上、既に説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を省略する。
【００６８】
図６は本発明に係る他の赤外線センサ装置の断面図を示している。
【００６９】
上記実施形態２の赤外線センサ装置は、赤外線センサと信号処理ＩＣとが同一シリコン基板上に形成されており一体となっている赤外線センサ装置の例について示した。
【００７０】
図６に示すように、赤外線センサ装置１４ａは、回路基板１８と、赤外線センサ１と、信号処理用ＩＣ１６とを備え、赤外線センサ１と信号処理用ＩＣ１６とが個別に回路基板１８上において配置される構成である。赤外線センサ１、信号処理用ＩＣ１６、および外部装置（不図示）は、ワイヤ配線１７によって電気的に接続される。
【００７１】
図６に示すように、回路基板１８には、開口窓１９が形成されている。また、上記赤外線センサ１のレンズ部９と開口窓１９とが対向するように赤外線センサ１を回路基板１８に配置する。上記の配置によって、赤外線センサ１と、信号処理用ＩＣ１６とが設けられている面と反対側の面から入射する赤外線を、開口窓１９を介してレンズ部９から取り込み、取り込まれた赤外線を赤外線検知部Ｓにおいて検知する。
【００７２】
〔実施形態４〕
（バンプを介して回路基板に配置する構成：回路基板と対向する面に赤外線検出部）
本実施形態においては、本発明に係るさらに他の赤外線センサ装置の一例を、図７を用いて説明する。なお、本変形例では、説明の便宜上、既に説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を省略する。
【００７３】
図７は本発明に係る他の赤外線センサ装置の断面図を示している。図７に示すように、赤外線センサ装置１４ｂは、回路基板１８と、赤外線センサ１と、信号処理用ＩＣ１６とを備え、赤外線センサ１と信号処理用ＩＣ１６とが個別に回路基板１８上において配置される構成である。
【００７４】
実施形態３とは異なり本実施形態においては、赤外線センサ１が、赤外線検出部Ｓが形成されている面と回路基板１８とが対向するように配置されている。また、赤外線センサ１および信号処理用ＩＣ１６はバンプを介して、回路基板１８に配置されていてもよい。赤外線センサ１および信号処理用ＩＣ１６は、バンプに設けられた金属パターン（不図示）を介して回路基板１８において設けられる配線と電気的に接続されていてもよい。
【００７５】
以上に示した実施形態２、３および４のように、本発明に係る赤外線センサ装置においては、赤外線センサを様々な態様で配置することができる。
【００７６】
〔実施形態５〕
（張合せによって形成される赤外線センサの構成：溝を持たない構成）
本発明の他の実施形態について、図８および図９に基づいて説明すれば、以下のとおりである。なお、説明の便宜上、上記実施形態１にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を省略する。
【００７７】
（構造）
図８は本実施形態に係る赤外線センサを示している。図８は本発明の一実施形態に係る赤外線センサ１ａの平面図である。図８に示すように、本実施形態に係る赤外線センサ１ａと実施形態１に係る赤外線センサとの相違点は、赤外線センサ１ａは溝が形成されていない点である。
【００７８】
（製造工程）
本発明の一実施形態に係る赤外線センサの製造工程を、図９を用いて説明する。
図９は本発明の一実施形態に係る赤外線センサをシリコン基板に形成する製造工程のフローを示している。
【００７９】
図９の（ａ）に示すように、実施形態１にて説明したような工程を経て、シリコン基板５ｂの一方の面にシリコン酸化膜１０、シリコン窒化膜１１、熱電対３を含む層間絶縁膜１２およびアルミパッドを含むパッシベーション膜１３から成る層構造を設ける。次に、このようにして層構造を形成したシリコン基板５ｂ（第１の基板）において空洞部６ａを形成した層構造体Ｔを形成する。なお、空洞部６ａは、シリコン基板５ｂの上記層構造を形成した面と反対側の面から、上述したシリコンエッチングを施すことにより形成してもよい。以上の工程により赤外線検出部Ｓを有する層構造体Ｔを得る。
【００８０】
その一方で、図９の（ｂ）に示すように、レンズ部９を形成したシリコン基板５ａ（第２の基板）を作成する。シリコン基板５ａにおいてレンズ部９を形成する方法は、既に説明したものを採用することができるので、ここではその説明を省略する。
【００８１】
次に、図９の（ｃ）に示すように、以上のように用意した上記層構造体Ｔと上記シリコン基板５ａとを貼り合わせる。具体的には、上記層構造体Ｔにおけるシリコン基板５ｂ側の面と、シリコン基板５ａにおけるレンズ部９が形成されていない面とを、貼り合わせることによって赤外線センサ１ａを形成する。
【００８２】
上記の張合せは接着剤によって貼り合わせてもよいし、加圧によるシリコン直接接合等によって貼り合わせてもよい。
【００８３】
なお、上記の構成はあくまで説明のための一例であり、赤外線センサ１ａにおいて溝を形成する構成とすることも可能である。また、さらにいえば、実施形態１において、赤外線センサ１ａと同様に、熱電対３の間に溝２を設けない構成とすることも可能である。
【００８４】
〔実施形態６〕
（複数の検出部を備える構成）
本発明の他の実施形態について、図１０に基づいて説明すれば、以下のとおりである。なお、説明の便宜上、上記実施形態１にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を省略する。
【００８５】
（構造）
図１０は本実施形態に係る赤外線センサを示す断面図である。
【００８６】
図１０に示すように、本実施形態に係る赤外線センサ１ｂと実施形態１から５に係る赤外線センサとの相違点は、赤外線センサ１ｂは赤外線検出部を複数備える点である。
【００８７】
赤外線センサ１ｂは、層間絶縁膜１２の層に赤外線検出部Ｓ１、赤外線検出部Ｓ２および赤外線検出部Ｓ３を備えている。
【００８８】
シリコン基板５において赤外線検出部Ｓ１、赤外線検出部Ｓ２および赤外線検出部Ｓ３が形成された面の反対の表面には、レンズ部９０１、レンズ部９０２およびレンズ部９０３が形成されている。レンズ部９０１、レンズ部９０２およびレンズ部９０３は、それぞれ、赤外線検出部Ｓ１、赤外線検出部Ｓ２および赤外線検出部Ｓ３の位置に対応して形成されている。
【００８９】
また、図１０においては溝２を備える赤外線センサについて例示しているが、溝２を備えない構成であってもよい（図示せず）。赤外線検出部Ｓ１、赤外線検出部Ｓ２および赤外線検出部Ｓ３は、互いに、図示しない配線によって電気的に接続されていてもよい。配線のパターンに特に限定はなく、赤外線センサの構造に従ってパターンを配置できる。
【００９０】
また、上記複数の赤外線検出部は、シリコン基板５上にアレイ状に形成されてもよい。
【００９１】
また、本実施形態に係る赤外線センサは、赤外線検出部毎に電圧信号を信号処理用ＩＣなどに出力してもよい。
【００９２】
また、複数の赤外線検出部を直列に接続してもよい。上記の構成によると、赤外線センサの感度を高めることが可能となる。
【００９３】
なお、本実施形態においては説明の便宜上、３つの赤外線検出部を備える例を示しているが赤外線検出部の数は特に限定されない。
【００９４】
（製造方法）
複数の赤外線検出部を備える赤外線センサを形成する方法は、実施形態１に係る赤外線センサにて説明したものを、それぞれの赤外線検出部について適用した方法を採用することができるので、ここではその説明を省略する。
【００９５】
（本発明と参考例との比較）
以下において、本発明と参考例との比較を行う。図１３は本発明の参考例に係る赤外線センサ装置１１４ａを示す断面図である。
【００９６】
赤外線センサ装置１１４ａは、回路基板１１８上に赤外線センサ１０１ａ、信号処理ＩＣ１１６を備えている。また、上記赤外線センサ１０１ａおよび信号処理ＩＣ１１６は、パッケージ側壁１３１およびパッケージ蓋１３２からなるパッケージ１３３によって気密封止されている。パッケージ蓋１３２ａには、開口窓１１９が形成されている。上記の開口窓１１９は、赤外線をパッケージ１３３ａの内部に取り込むものであり、赤外線を収束するために上記の開口窓１１９にはレンズ部１０９ａが装着されている。
【００９７】
また、赤外線センサ１０１ａは、赤外線検出部１０１Ｓ、赤外線検出部１０２Ｓおよび赤外線検出部１０３Ｓを備えており、レンズ部１０９ａには、上記赤外線検出部に対応する位置にレンズパターンがそれぞれ形成されている。
【００９８】
上記の赤外線センサ装置１１４ａの場合、回路基板１０８、赤外線センサ１０１ａ、信号処理ＩＣ１１６、レンズ部１０９ａ、パッケージ１３３、パッケージ蓋１３２というように、部品点数が多い。
【００９９】
これに対して、上記の本発明に係る赤外線センサ装置においては、レンズ部と赤外線センサが一体化されているため、パッケージおよびレンズ部を備えるパッケージ蓋が不要であるため、部品点数を参考例の赤外線センサ装置よりも少なくすることが可能である。
【０１００】
また、参考例の赤外線センサ装置においては、赤外線センサの赤外線検出部における熱絶縁性を確保するための空洞部１０６、および、レンズ１０９と赤外線センサ１０１との間に集光に必要な焦点距離としての距離Ｌ２の空間を確保している。本発明の赤外線装置は、上記空洞部および距離Ｌ２の空間が同一であるため、赤外線センサ装置を薄型化および小型化することを可能にする。よって、スマートホンやタブレット端末といった薄型化・小型化が要求される製品への搭載が可能となる。
【０１０１】
また、参考例の赤外線センサ装置において、組み立て工程時に必要であったレンズ部と赤外線検出部との精度の高い位置合わせが不要となり、組み立て工程の簡素化が可能となる。よって、本発明に係る赤外線センサ装置においては低廉化が可能となる。
【０１０２】
〔まとめ〕
本発明の態様１に係る赤外線センサは、一方の面において設けられる赤外線検出部と、他方の面に設けられるレンズ部と、上記赤外線検出部および上記レンズ部の間に設けられる空洞部とを備える基板を備え、入射した赤外線を上記空洞部を介して上記赤外線検出部に集光させるためのレンズパターンが上記基板に形成されることによって、上記レンズ部に備えられている。
【０１０３】
上記の構成によれば、空洞部により、赤外線センサの赤外線検出部における熱絶縁性を確保できるとともに、レンズによる集光に必要な焦点距離を確保できる。
【０１０４】
このため、赤外線センサの受光部は、レンズパターン側から入射し空洞部を通過した赤外線を受光し、赤外線を検知することができる。
【０１０５】
これにより、それぞれ別々の部品とされていた赤外線センサとレンズとを、同一基板に統合し、赤外線センサ装置の部品点数を削減し、製造工程も簡略化するという効果を奏する。
【０１０６】
本発明の態様２に係る赤外線センサは、上記態様１において、上記基板がシリコン基板であってもよい。
【０１０７】
基板の材料およびレンズの材料としては、従来、シリコンがよく用いられていた。レンズ部が設けられる基板の材料としては、このような従来用いられていたような材料を好適に用いることができる。このため、上記構成によれば、レンズ部が設けられる基板を製造するのに、特別な材料を用意しなくても済み、製造コスト削減に寄与する。
【０１０８】
本発明の態様３に係る赤外線センサは、上記態様１において、上記基板は第１の基板および第２の基板から構成されており、上記第１の基板は、一方の面に上記赤外線検出部を備え、かつ、他方の面に上記空洞部を形成するための凹部が形成されており、上記第１の基板の上記凹部が形成された面と上記第２の基板の上記レンズ部が形成されていない面とを張り合わせることによって上記基板が形成されてもよい。
【０１０９】
上記の構成によれば、溝を持たない構成の赤外線センサを提供することができる。
【０１１０】
本発明の態様４に係る赤外線センサは、上記態様１において、上記レンズ部において、複数のレンズパターンが形成されており、少なくとも１つのレンズの形状と他のレンズの形状とが異なる形状であってもよい。
【０１１１】
上記の構成によれば、レンズの形状を調節することによって、該レンズから赤外線検出部までの距離を適切な検出距離とすることが可能となるという効果を奏する。
【０１１２】
本発明の態様５に係る赤外線センサは、上記態様１から４において、上記レンズ部に形成されたレンズの少なくとも１つの形状が、非同心円形状であってもよい。
【０１１３】
上記の構成によれば、赤外線の検出範囲を左右非対称とすることができるため、赤外線検出部を左右非対称に配置することができるという効果を奏する。
【０１１４】
本発明の態様６に係る赤外線センサは、上記態様１において、上記赤外線検出部と上記レンズ部と上記空洞部とからなる赤外線検出領域を複数備えてもよい。
【０１１５】
上記の構成によれば、複数の赤外線検出部を直列に接続することができる。よって、赤外線センサの感度を高めることが可能となるという効果を奏する。
【０１１６】
本発明の態様７に係る赤外線センサは、上記態様１から６において、上記赤外線検出部は異種の導電材料を交互に直列接続しており、上記の直列接続は、上記空洞部が形成されている領域の上方および上記空洞部が形成されていない領域の上方において交互に接続してもよい。
【０１１７】
上記の構成によれば、異種の導電材料を温接点部および冷接点部において接続することができ、サーモパイル素子を赤外線検出部として用いることができるという効果を奏する。
【０１１８】
本発明の態様８に係る赤外線センサ装置は、上記態様１から６における赤外線センサおよび上記赤外線センサから出力される信号を処理する信号処理ＩＣ（integrated circuit）を備えてもよい。
【０１１９】
本発明の態様９に係る赤外線センサ装置は、上記態様８において、上記赤外線センサは開口部が形成されている回路基板上に設けられ、上記開口部を介して赤外線を取り込めるように、上記開口部と上記レンズ部とが対向して上記赤外線センサが配置していてもよい。
【０１２０】
上記の構成によれば、赤外線センサ装置において、赤外線センサの配置のバリエーションを増やすことが可能となるという効果を奏する。
【０１２１】
本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。さらに、各実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を組み合わせることにより、新しい技術的特徴を形成することができる。
【産業上の利用可能性】
【０１２２】
本発明は、赤外線センサに利用することができる。よって、例えば、赤外線センサ装置により温度検知を行う電子機器に応用することができる。本発明は、例えば、人の存在を検出してその動きを追随することによって点灯制御を行う自動点灯システム、電子レンジの庫内温度の検出、被調理物の温度分布の検出などに広く適用することができる。
【符号の説明】
【０１２３】
１，１ａ，１ｂ              赤外線センサ
３ａ，３ｂ                  導電材料
５                          シリコン基板（基板）
５ａ                        シリコン基板（第２の基板）
５ｂ                        シリコン基板（第１の基板）
６，６ａ                    空洞部
９，９０１，９０２，９０３  レンズ部
９ａ，９ｂ，９ｃ            レンズ
１４，１４ａ，１４ｂ        赤外線センサ装置
１６                        信号処理ＩＣ
１９                        開口部
１８                        回路基板
９１                        構造体（レンズパターン）
Ｓ，Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３        赤外線検出部
【図１】
2014235064.tif 000003
【図２】
2014235064.tif 000004
【図３】
2014235064.tif 000005
【図４】
2014235064.tif 000006
【図５】
2014235064.tif 000007
【図６】
2014235064.tif 000008
【図７】
2014235064.tif 000009
【図８】
2014235064.tif 000010
【図９】
2014235064.tif 000011
【図１０】
2014235064.tif 000012
【図１１】
2014235064.tif 000013
【図１２】
2014235064.tif 000014
【図１３】
2014235064.tif 000015