(57)【要約】【課題】ノズルの部品吸着端の洗浄時にノズルの反射板の塗装が削れてしまうことを防止でき、部品実装装置における良好な認識精度を維持することができるノズル洗浄装置を提供することを目的とする。【解決手段】反射板２４付きのノズル２０を保持したノズルホルダ１８に保護ボード４０を取り付け、ノズル２０の部品吸着端２３は露出され、ノズル２０の反射板２４は覆われた状態とする。このような状態でノズル２０の部品吸着端２３に洗浄液を吹き付けてノズル２０を洗浄する。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
部品実装装置に用いられる反射板付きのノズルを洗浄するノズル洗浄装置であって、
前記ノズルを保持するノズル保持部材と、
前記ノズル保持部材に保持された前記ノズルの部品吸着端を露出させた状態で前記ノズルの前記反射板を覆う反射板保護手段と、
前記反射板保護手段により前記反射板が覆われた状態の前記ノズルの前記部品吸着端に流体を吹き付ける流体吹き付け手段とを備えたことを特徴とするノズル洗浄装置。
【請求項２】
前記反射板保護手段が前記ノズル保持部材に対してずれないように保持するずれ防止手段を備えたことを特徴とする請求項１に記載のノズル洗浄装置。
【請求項３】
前記反射板保護手段を前記ノズル保持部材に対して着脱する反射板保護手段着脱部を備えたことを特徴とする請求項１又は２に記載のノズル洗浄装置。
【請求項４】
前記流体吹き付け手段が前記ノズルに吹き付ける流体は液体であり、
前記流体吹き付け手段より流体を吹き付けられた前記ノズルにエアを吹き付けて前記ノズルを乾燥させるエア吹き付け手段を備え、
前記エア吹き付け手段は、前記反射板保護手段による前記ノズルの前記反射板の保護がなされたままの状態とその後前記反射板保護手段による前記ノズルの前記反射板の保護がなされなくなった状態との２つの状態において前記ノズルにエアを吹き付けることを特徴とする請求項１乃至３の何れかに記載のノズル洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、部品実装装置に用いられる反射板付きのノズルを洗浄するノズル洗浄装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
部品実装装置はノズルにより部品を真空吸着して基板に装着する。ノズルが吸着した部品は基板に装着される前に照明光が照射された状態でカメラによって認識されるようになっており、ノズルには照明光を反射させるための反射板を備えている。
【０００３】
このようなノズルは使用することによって内部管路が目詰まりすることがある。このためノズルは定期的に洗浄する必要があり、このようなノズルの洗浄装置として従来、水と空気との二流体を高圧で吹き付けてノズルの部品吸着端を洗浄するものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１０−２６９２１４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記従来のノズル洗浄装置では、高圧の流体が洗浄の対象であるノズル部品吸着端だけでなくノズルの反射板にも直接吹き付けられてしまうため、反射板の塗装が削れて部品実装装置における認識精度に影響がでるおそれがあるという問題点があった。
【０００６】
そこで本発明は、ノズルの部品吸着端の洗浄時にノズルの反射板の塗装が削れてしまうことを防止でき、部品実装装置における良好な認識精度を維持することができるノズル洗浄装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１に記載のノズル洗浄装置は、部品実装装置に用いられる反射板付きのノズルを洗浄するノズル洗浄装置であって、前記ノズルを保持するノズル保持部材と、前記ノズル保持部材に保持された前記ノズルの部品吸着端を露出させた状態で前記ノズルの前記反射板を覆う反射板保護手段と、前記反射板保護手段により前記反射板が覆われた状態の前記ノズルの前記部品吸着端に流体を吹き付ける流体吹き付け手段とを備えた。
【０００８】
請求項２に記載のノズル洗浄装置は、請求項１に記載のノズル洗浄装置であって、前記反射板保護手段が前記ノズル保持部材に対してずれないように保持するずれ防止手段を備えた。
【０００９】
請求項３に記載のノズル洗浄装置は、請求項１又は２に記載のノズル洗浄装置であって、前記反射板保護手段を前記ノズル保持部材に対して着脱する反射板保護手段着脱部を備えた。
【００１０】
請求項４に記載のノズル洗浄装置は、請求項１乃至３の何れかに記載のノズル洗浄装置であって、前記流体吹き付け手段が前記ノズルに吹き付ける流体は液体であり、前記流体吹き付け手段より流体を吹き付けられた前記ノズルにエアを吹き付けて前記ノズルを乾燥させるエア吹き付け手段を備え、前記エア吹き付け手段は、前記反射板保護手段による前記ノズルの前記反射板の保護がなされたままの状態とその後前記反射板保護手段による前記ノズルの前記反射板の保護がなされなくなった状態との２つの状態において前記ノズルにエアを吹き付ける。
【発明の効果】
【００１１】
本発明では、ノズル保持部材に保持されたノズルは反射板が反射板保護手段によって覆われ、流体吹き付け手段からノズルの部品吸着端に吹き付けられる高圧の流体が反射板には当たらないようになっているので、ノズルの部品吸着端の洗浄時にノズルの反射板の塗装が削れてしまうことを防止でき、部品実装装置における良好な認識精度を維持することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の一実施の形態におけるノズル洗浄装置の概略構成図
【図２】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるノズル洗浄装置において使用されるノズルホルダをこのノズルホルダによって保持されるノズルとともに示す斜視図
【図３】本発明の一実施の形態におけるノズル洗浄装置で使用される保護ボードをノズルホルダとともに示す斜視図
【図４】本発明の一実施の形態における保護ボードをノズルホルダとともに示す斜視図
【図５】本発明の一実施の形態におけるノズル洗浄装置によりノズルの部品吸着端を洗浄している状態を示す図
【図６】本発明の一実施の形態におけるノズル洗浄装置の制御系統を示すブロック図
【図７】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるノズル洗浄装置によるノズルの洗浄作業の実行順を説明する図
【図８】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるノズル洗浄装置によるノズルの洗浄作業の実行手順を説明する図
【図９】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるノズル洗浄装置によるノズルの洗浄作業の実行手順を説明する図
【図１０】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるノズル洗浄装置によるノズルの洗浄作業の実行手順を説明する図
【図１１】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるノズル洗浄装置によるノズルの洗浄作業の実行手順を説明する図
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の実施の形態について説明する。図１は本発明のノズル洗浄装置１を示している。ノズル洗浄装置１は筐体１０内に作業室１１を備えており、作業室１１の前方（図１における紙面右側）の上方には保護ボード着脱部１２が設けられている。筐体１０の前面には図示しないオペレータが筐体１０内にアクセスするためのアクセス扉１０ａが設けられており、アクセス扉１０ａの上方にはオペレータが種々の操作を行うための操作パネル１０ｂが設けられている。アクセス扉１０ａはオペレータが手動で開閉することができる（図１中に示す矢印Ａ）。
【００１４】
作業室１１内の上部領域には下方に延びて吹き付け口を下方に向けた複数の上方吹き付け管１３ｋを備えた上方吹き付け部１３が設けられており、複数の上方吹き付け管１３ｋは上方吹き付け管昇降機構１３ａによって昇降させることができる（図１中に示す矢印Ｂ）。また、上方吹き付け部１３全体は、上方吹き付け部駆動機構１４により前後方向に移動させることができる（図１中に示す矢印Ｃ）。作業室１１の側部の一方には作業室１１内に吹き付け口を位置させた側方吹き付け部（図示せず）が設けられており、作業室１１の下部には作業室１１内に吹き付け口を位置させた下方吹き付け部１５が設けられている。上方吹き付け部１３は複数の上方吹き付け管１３ｋからの洗浄液（すなわち流体）の吹き付けとエアの吹き付けを行い、側方吹き付け部及び下方吹き付け部１５はそれぞれの吹き付け口からのエアの吹き付けを行う。
【００１５】
作業室１１内の下部領域には作業テーブル１６が設けられている。作業テーブル１６は作業テーブル操作シリンダ１７によって作業室１１内を前後方向に移動させることができる（図１中に示す矢印Ｄ）。作業室１１は前方に設けられた上下スライド式のシャッター１１ａによって開閉され（図１中に示す矢印Ｅ）、シャッター１１ａを開けた状態で作業テーブル１６を前後方向に移動させることによって、作業テーブル１６を作業室１１内に出し入れすることができる。
【００１６】
図２（ａ），（ｂ）は作業テーブル１６に取り付けられるノズルホルダ１８とこのノズルホルダ１８に保持されるノズル２０を示している。ノズル２０は部品実装装置（図示せず）に取り付けられる基部２１と、基部２１が部品実装装置に取り付けられた状態で下方に延びるノズル主部２２を有しており、ノズル主部２２の下端は吸着した部品と接触する部品吸着端２３となっている。基部２１とノズル主部２２との間の部分には円盤状の反射板２４が形成されている。反射板２４の下面には、部品実装装置がノズル２０により吸着した部品をカメラ（図示せず）により認識する際に照明光を反射する塗装が施されている。
【００１７】
図２（ａ），（ｂ）において、ノズルホルダ１８は枠状のケーシング３０内にブロック状の固定部３１と固定部３１の上方に設けられた可動板３２を備えている。固定部３１には上下方向（ケーシング３０の厚さ方向）に貫通して延びた複数のノズル挿入孔３１ｈが設けられており、可動板３２は固定部３１のノズル挿入孔３１ｈを露出させるための複数の溝状開口部３２ａを有している。可動板３２は、固定部３１の上面と所定距離（ノズル２０の反射板２４の厚さよりもやや大きい距離）だけ離間した位置を水平方向にスライド（図２（ａ）中に示す矢印Ｆ）できるようになっている。
【００１８】
ノズル２０はノズル主部２２が可動板３２の溝状開口部３２ａ及び固定部３１のノズル挿入孔３１ｈを上方から下方に貫通して延び、反射板２４が固定部３１の上面に接触するようにしてノズルホルダ１８に設置される（図２（ａ））。この状態から可動板３２がケーシング３０に対してスライドされると（図２（ｂ）中に示す矢印Ｆ１）、可動板３２の溝状開口部３２ａの内方に張り出して設けられたノズル押さえ突起３２ｂが反射板２４の上方に位置し、反射板２４がノズル押さえ突起３２ｂと固定部３１との間に挟まれることによって、ノズル２０がノズルホルダ１８に保持された状態となる。このようにノズルホルダ１８はノズル２０を保持するノズル保持部材となっている。ノズル２０がノズルホルダ１８に保持されている状態では、ノズルホルダ１８が上下反対にされてノズル２０の部品吸着端２３が上方を向く状態になった場合であっても（図３）、ノズル２０はノズル挿入孔３１ｈから脱落しない。
【００１９】
図１において、保護ボード着脱部１２は後述する保護ボード４０を昇降させるものであり、係止用部材１２ａと保護ボード昇降シリンダ１２ｂから成っている。保護ボード昇降シリンダ１２ｂは係止用部材１２ａを昇降させる（図１中に示す矢印Ｇ）。
【００２０】
図３において、保護ボード４０は上記のように上下反対にされたノズルホルダ１８の下面側（図３では上方の面側）に形成されたケーシング３０の枠３０ａの内部に嵌入する形状の板部材から成る。保護ボード４０はケーシング３０の枠３０ａの内部に嵌入して取り付けられた状態で固定部３１のノズル挿入孔３１ｈと上下に対応する位置に貫通孔４１を有しており、保護ボード４０がケーシング３０の枠３０ａの内部に取り付けられた状態では（図４）、各貫通孔４１からはノズル２０の部品吸着端２３のみが露出し、ノズル２０の反射板２４は保護ボード４０によって覆われた状態となる（図５も参照）。このように保護ボード４０はノズルホルダ１８に保持されたノズル２０の部品吸着端２３を露出させた状態でノズル２０の反射板２４を覆う反射板保護手段となっている。
【００２１】
図５に示すように、保護ボード４０の貫通孔４１は、ノズル主部２２の挿入方向（図５において紙面下方から上方に向く方向）に先すぼまりとなる形状のテーパ面を有しており、ノズルホルダ１８に保持されたノズル主部２２の中心軸がノズルホルダ１８に対する正規の位置からずれていた場合であっても、ノズル主部２２の先端部（部品吸着端２３）が貫通孔４１のテーパ面にガイドされることによってノズル２０がノズルホルダ１８に対して移動し、ノズル主部２２が正規の位置に位置するようになっている。
【００２２】
図３において、保護ボード４０の外縁には複数の切欠き部４０ａが設けられており、ケーシング３０の枠３０ａを構成する四辺の内縁には複数の位置ずれ防止突起３０ｂが設けられている。保護ボード４０がケーシング３０の枠３０ａの内部に取り付けられた状態では保護ボード４０の切欠き部４０ａにケーシング３０の位置ずれ防止突起３０ｂが嵌入し、保護ボード４０のケーシング３０に対する移動が規制される。このため保護ボード４０はノズルホルダ１８に対するずれ（位置ずれ）を起こさず、ノズルホルダ１８に保持されたノズル２０の部品吸着端２３は確実に露出状態となる。このように保護ボード４０の切欠き部４０ａとケーシング３０の位置ずれ防止突起３０ｂは、保護ボード４０がノズルホルダ１８に対してずれないように保持するずれ防止手段となっている。
【００２３】
図３及び図４において、保護ボード４０には複数の係止用ロッド４２が上方に延びて設けられている。これら係止用ロッド４２の上端部を保護ボード着脱部１２の係止用部材１２ａに係止された状態で保護ボード昇降シリンダ１２ｂにより係止用部材１２ａが昇降されると、保護ボード４０が吊り下げ状態で昇降する。係止用ロッド４２は保護ボード４０を安定した状態で吊り下げることができる配置で設けられている。
【００２４】
図６において、上方吹き付け管昇降機構１３ａによる上方吹き付け管１３ｋの昇降動作制御はノズル洗浄装置１が備える制御装置５０（図１も参照）によってなされる。上方吹き付け部１３からの洗浄液の吹き付け制御は制御装置５０が洗浄液吹き付け動作部５１の制御を行うことによってなされ、上方吹き付け部１３、側方吹き付け部及び下方吹き付け部１５からのエアの吹き付け制御は制御装置５０がエア吹き付け動作部５２の制御を行うことによってなされる。
【００２５】
また、図６において、作業テーブル１６の前後方向への移動動作は制御装置５０が作業テーブル操作シリンダ１７の作動制御を行うことによってなされ、シャッター１１ａによる作業室１１の開閉制御は制御装置５０がシャッター駆動部５３の作動制御を行うことによってなされる。保護ボード着脱部１２の係止用部材１２ａに係止された保護ボード４０の昇降動作は、制御装置５０が保護ボード昇降シリンダ１２ｂの作動制御を行うことによってなされ、操作パネル１０ｂから入力される操作信号は制御装置５０に伝送される。
【００２６】
次に、図７〜図１１を参照してノズル洗浄装置１によりノズルホルダ１８に保持した状態のノズル２０を洗浄するノズル２０の洗浄作業の実行手順について説明する。ノズル２０の洗浄作業を実行するには先ず、オペレータはアクセス扉１０ａを開け（図７（ａ）中に示す矢印Ａ１）、保護ボード４０を筐体１０内に入れる。そして、保護ボード４０の係止用ロッド４２を保護ボード着脱部１２の係止用部材１２ａに係止させて保護ボード４０が保護ボード着脱部１２に吊り下げられた状態にする（図７（ａ））。
【００２７】
次いでオペレータは、操作パネル１０ｂから洗浄準備動作開始操作を行う。この洗浄準備動作開始操作を受けた制御装置５０はシャッター駆動部５３を作動させてシャッター１１ａを上方に移動させ（図７（ａ）中に示す矢印Ｅ１）、作業室１１が開かれた状態にする。そして、作業テーブル操作シリンダ１７を作動させて、作業テーブル１６を作業室１１の前方（保護ボード着脱部１２の下方）に位置させる（図７（ａ）。図中に示す矢印Ｄ１）。
【００２８】
制御装置５０は上記のように作業テーブル１６を作業室１１の前方に位置させたところで待ち状態に入り、オペレータはノズル２０を保持したノズルホルダ１８を図３に示すように上下反対にした状態で作業テーブル１６に取り付ける（図７（ａ）中に示す矢印Ｈ１）。そして、アクセス扉１０ａを閉めて（図７（ｂ）中に示す矢印Ａ２）、操作パネル１０ｂから洗浄作業の再開操作を行う。この洗浄作業の再開操作の信号を受けた制御装置５０は保護ボード昇降シリンダ１２ｂを作動させて係止用部材１２ａを下降させ（図７（ｂ）中に示す矢印Ｇ１）、保護ボード４０を作業テーブル１６上のノズルホルダ１８に取り付ける。そして、保護ボード４０の係止用ロッド４２の係止を外して係止用部材１２ａを初期位置まで上昇させ（図８（ａ）中に示す矢印Ｇ２）、作業テーブル操作シリンダ１７を作動させて、作業テーブル１６を（すなわちノズルホルダ１８を）作業室１１内に引き入れる（図８（ａ）中に示す矢印Ｄ２）。
【００２９】
制御装置５０は、上記のようにして作業テーブル１６を作業室１１内に引き入れたら、シャッター駆動部５３を作動させてシャッター１１ａを閉じる（図８（ｂ）中に示す矢印Ｅ２）。そして、上方吹き付け部駆動機構１４を作動させて上方吹き付け管１３ｋを前後方向に移動させ（図８（ｂ）中に示す矢印Ｃ）、上方吹き付け管１３ｋがノズルホルダ１８に保持されたノズル２０の部品吸着端２３と上下に対向した状態となるようにしたうえで、上方吹き付け管昇降機構１３ａを作動させて上方吹き付け管１３ｋを下降させ（図８（ｂ）中に示す矢印Ｂ１）、上方吹き付け部１３が備える複数の上方吹き付け管１３ｋそれぞれの下端部がその直下のノズル２０の部品吸着端２３と上下に近接した状態にする（図８（ｂ））。そして、洗浄液吹き付け動作部５１の作動制御を行い、上方吹き付け管１３ｋから洗浄液をノズル２０の部品吸着端２３に向かって所定時間吹き付けさせる（図５）。
【００３０】
ノズルホルダ１８に保持された各ノズル２０の部品吸着端２３は上記のように洗浄液が高圧で吹き付けられることによって洗浄される。このように上方吹き付け部１３は、保護ボード４０により反射板２４が覆われた状態のノズル２０の部品吸着端２３に流体を吹き付ける流体吹き付け手段となっている。なお、このとき、各ノズル２０の反射板２４は保護ボード４０によって覆われているので高圧の洗浄液が反射板２４に吹き付けられることはなく、反射板２４の塗装ＴＳ（図５）が削れてしまうことが防止される。上記のノズル２０の部品吸着端２３の洗浄では、制御装置５０は、必要に応じて上方吹き付け部駆動機構１４を作動させて上方吹き付け部１３を前後方向に移動させ、全てのノズル２０の部品吸着端２３に洗浄液が吹き付けられるようにする。
【００３１】
制御装置５０は、ノズル２０の洗浄が終わったら、上方吹き付け管昇降機構１３ａを作動させて、上方吹き付け管１３ｋを初期位置まで上昇させる（図９（ａ）中の矢印Ｂ２）。そして、エア吹き付け動作部５２の作動制御を行い、上方吹き付け部１３、側方吹き付け部及び下方吹き付け部１５からノズルホルダ１８及び保護ボード４０にエアを所定時間吹き付けさせる（図９（ａ））。これにより洗浄液によって濡れた状態となっていたノズルホルダ１８及び保護ボード４０の乾燥が行われる。なお、上方吹き付け部１３によるエアの吹き付けは、洗浄液の吹き付けのときと同様に、上方吹き付け管１３ｋを下降させた状態で行ってもよい。
【００３２】
制御装置５０は、上記のようにしてノズルホルダ１８及び保護ボード４０を乾燥させたら、シャッター駆動部５３によりシャッター１１ａを上方に移動させ（図９（ｂ）中に示す矢印Ｅ１）、作業室１１が開かれた状態にする。そして、作業テーブル操作シリンダ１７を作動させて、作業テーブル１６を作業室１１の前方（保護ボード着脱部１２の下方）に移動させる（図９（ｂ）。図中に示す矢印Ｄ１）。
【００３３】
制御装置５０は作業テーブル１６を作業室１１の前方に位置させたら、保護ボード昇降シリンダ１２ｂを作動させて係止用部材１２ａを下降させ（図１０（ａ）中に示す矢印Ｇ１）、係止用部材１２ａに保護ボード４０の係止用ロッド４２を係止させる（図１０（ａ））。そして、保護ボード昇降シリンダ１２ｂを作動させて係止用部材１２ａを初期位置まで上昇させ（図１０（ｂ）中に示す矢印Ｇ２）、保護ボード４０をノズルホルダ１８から取り外す（図１０（ｂ））。このように保護ボード着脱部１２は、保護ボード４０をノズルホルダ１８に対して着脱する反射板保護手段着脱部となっている。
【００３４】
制御装置５０は、保護ボード４０をノズルホルダ１８から取り外したら、作業テーブル操作シリンダ１７を作動させて、作業テーブル１６を（すなわちノズルホルダ１８を）作業室１１内に引き入れる（図１０（ｂ）中に示す矢印Ｄ２）。次いで、制御装置５０は、シャッター駆動部５３を作動させてシャッター１１ａを閉じ（図１１（ａ）中に示す矢印Ｅ２）、エア吹き付け動作部５２の作動制御を行って、上方吹き付け部１３、側方吹き付け部及び下方吹き付け部１５からノズルホルダ１８及び保護ボード４０にエアを所定時間吹き付けさせる（図１１（ａ））。これにより保護ボード４０が取り外された状態の（すなわち保護ボード４０によるノズル２０の反射板２４の保護がなされなくなった状態の）ノズルホルダ１８を十分に乾燥させることができ、保護ボード４０によって覆われていて前回の乾燥で乾燥しきれなかった洗浄液についても乾燥させることができる。
【００３５】
このように上方吹き付け部１３、側方吹き付け部及び下方吹き付け部１５は流体吹き付け手段としての上方吹き付け部１３より洗浄液を吹き付けられたノズル２０にエアを吹き付けてノズル２０を乾燥させるエア吹き付け手段となっている。また、このエア吹き付け手段は、反射板保護手段である保護ボード４０によるノズル２０の反射板２４の保護がなされたままの状態と、保護ボード４０によるノズル２０の反射板２４の保護がなされなくなった状態との２つの状態においてノズル２０にエアを吹き付けるようになっている。このためノズルホルダ１８に保持されたノズル２０を十分に乾燥することができる。
【００３６】
制御装置５０は、上記ノズルホルダ１８（及び保護ボード４０の）乾燥が終了したら、シャッター駆動部５３によりシャッター１１ａを上方に移動させ（図１１（ｂ）中に示す矢印Ｅ１）、作業室１１を開かれた状態にする。そして、作業テーブル操作シリンダ１７を作動させ、作業テーブル１６を作業室１１の前方に位置させて（図１１（ｂ）。図中に示す矢印Ｄ１）、待ち状態に入る。
【００３７】
制御装置５０が上記の待ち状態に入ったら、オペレータはアクセス扉１０ａを開ける（図１１（ｂ）中に示す矢印Ａ１）。そして、ノズル２０を作業テーブル１６からノズルホルダ１８を取り外し（図１１（ｂ）中に示す矢印Ｈ２）、アクセス扉１０ａを閉めて、一連のノズル２０の洗浄作業を終了する。
【００３８】
以上説明したように、本実施の形態におけるノズル洗浄装置１では、ノズルホルダ１８に保持されたノズル２０は反射板２４が保護ボード４０によって覆われ、上方吹き付け部１３からノズル２０の部品吸着端２３に吹き付けられる高圧の流体が反射板２４には当たらないようになっているので、ノズル２０の部品吸着端２３の洗浄時にノズル２０の反射板２４の塗装が削れてしまうことを防止でき、部品実装装置における良好な認識精度を維持することができる。
【産業上の利用可能性】
【００３９】
ノズルの部品吸着端の洗浄時にノズルの反射板の塗装が削れてしまうことを防止でき、部品実装装置における良好な認識精度を維持することができるノズル洗浄装置を提供する。
【符号の説明】
【００４０】
１  ノズル洗浄装置
１２  保護ボード着脱部（反射板保護手段着脱部）
１３  上方吹き付け部（流体吹き付け手段、エア吹き付け手段）
１５  下方吹き付け部（エア吹き付け手段）
１８  ノズルホルダ（ノズル保持部材）
２０  ノズル
２３  部品吸着端
２４  反射板
３０ｂ  位置ずれ防止突起（ずれ防止手段）
４０  保護ボード（反射板保護手段）
４０ａ  切欠き部（ずれ防止手段）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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