(57)【要約】【課題】蒸着物質の残余量をより正確に測定する。【解決手段】少なくとも一部に見視窓が備えられた工程チャンバーと、前記工程チャンバーの下部壁上に、前記見視窓と第１方向に対して重畳するように配置され、蒸着物質を収納するるつぼと、前記見視窓及び前記るつぼの間に配置され、前記見視窓と前記第１方向に対して重畳し、前記第１方向を向いた回転軸を中心にして回転するディスクと、前記工程チャンバー及び前記ディスクと結合し前記ディスクを回転させる回転ユニットと、前記工程チャンバーの外部に配置され、前記見視窓、前記ディスク、及び前記るつぼと前記第１方向において重畳し、前記るつぼ内の前記蒸着物質までの距離を測定し、前記蒸着物質の残余量を測定する測定センサーと、を含む蒸着装置。【選択図】図１
2014034732.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも一部に見視窓が備えられた工程チャンバーと、
前記工程チャンバーの下部壁上に、前記見視窓と第１方向に対して重畳するように配置され、蒸着物質を収納するるつぼと、
前記見視窓及び前記るつぼの間に配置され、前記見視窓と前記第１方向に対して重畳し、前記第１方向を向いた回転軸を中心にして回転するディスクと、
前記工程チャンバー及び前記ディスクと結合し前記ディスクを回転させる回転ユニットと、
前記工程チャンバーの外部に配置され、前記見視窓、前記ディスク、及び前記るつぼと前記第１方向において重畳し、前記るつぼ内の前記蒸着物質までの距離を測定し、前記蒸着物質の残余量を測定する測定センサーと、を含む蒸着装置。
【請求項２】
前記測定センサーは、
前記第１方向において、前記見視窓に向かってレーザー光を出力する出光部と、
前記レーザー光の一部を受光する受光部と、を含む、請求項１に記載の蒸着装置。
【請求項３】
前記ディスク及び前記るつぼの間に配置され、前記第１方向において前記見視窓と重畳する開口を備える防着板をさらに含む、請求項１または２に記載の蒸着装置。
【請求項４】
前記第１方向において、前記見視窓は前記ディスクの縁領域によって覆われる、請求項１〜３のいずれか一項に記載の蒸着装置。
【請求項５】
前記工程チャンバー内において、前記防着板及び前記るつぼの前記第１方向における間を、前記第１方向と垂直な第２方向に通過し、前記蒸着物質が蒸着される少なくとも１つの基板をさらに含む、請求項３に記載の蒸着装置。
【請求項６】
前記見視窓及び前記ディスクは、石英で形成される、請求項１〜５のいずれか一項に記載の蒸着装置。
【請求項７】
前記第１方向において、前記ディスクは円形である、請求項１に記載の蒸着装置。
【請求項８】
前記回転ユニットは、
前記工程チャンバーの上部壁に設置された回転モーターと、
前記第１方向に延長され、前記回転モーターおよび前記ディスクと結合されたシャフトと、を含む、請求項１〜７のいずれか一項に記載の蒸着装置。
【請求項９】
前記シャフトは、前記ディスクの中心に連結される、請求項８に記載の蒸着装置。
【請求項１０】
前記第１方向において、前記シャフトは、前記見視窓と離隔されて連結される、請求項８または９に記載の蒸着装置。
【請求項１１】
水平方向に互いに所定距離をおいて離隔された第１基板及び第２基板を提供する段階と、
前記第１基板上に蒸着物質を蒸着する段階と、
前記第１基板がるつぼの上部を前記水平方向に通過した後から、前記第２基板が前記るつぼの上部を通過する前までの間に、前記蒸着物質の残余量を測定する段階と、
前記第２基板上に前記蒸着物質を蒸着する段階と、を含む蒸着物質の残余量測定方法。
【請求項１２】
前記蒸着物質の残余量を測定する段階は、
測定センサー、見視窓、ディスク、及び内部に前記蒸着物質を収納するるつぼが垂直方向に重畳するように配置される段階と、
前記測定センサーから前記るつぼ内の前記蒸着物質までの距離を測定する段階と、を含む、請求項１１に記載の蒸着物質の残余量測定方法。
【請求項１３】
前記測定センサーから出力されたレーザー光の一部は、前記見視窓及び前記ディスクを通過して前記測定センサーに入光する、請求項１２に記載の蒸着物質の残余量測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、蒸着装置及び蒸着物質の残余量測定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
表示装置等の各種ディバイスを製造するために、近年、蒸着装置が使用されている。例えば、前記蒸着装置は、工程チャンバーと、蒸着物質を収納し前記工程チャンバー内部に備えられたるつぼ（ｃｒｕｃｉｂｌｅ）と、を含む装置である。ここで、前記るつぼから蒸発した前記蒸着物質は、前記るつぼ上部に配置された基板に蒸着される。
【０００３】
このような蒸着装置では、前記蒸着物質をるつぼ内部に補充するタイミングを把握するために、前記るつぼ内に残っている前記蒸着物質の量を把握することが必要である。
【０００４】
従来の蒸着装置では、前記るつぼ内に残っている前記蒸着物質の量を把握するために、工程チャンバー内部に水晶振動子センサーを設置していた。前記水晶振動子センサーは、前記水晶振動子センサーに蒸着された蒸着物質の厚さにしたがって振動数が変化するため、かかる振動数の変化量を検出することによって、蒸着物質の使用量を測定することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】韓国特許公開第１０−２０１１−０００６６０６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、前記水晶振動子センサーを用いた場合、基板の蒸着のたびに前記水晶振動子センサーを設置するため、設置のたびに前記水晶振動子センサーの方向や位置がずれる可能性がある。そのため、前記水晶振動子センサーでは、前記るつぼ内部に残っている前記蒸着物質の正確な量を把握するのが難しいという問題があった。
【０００７】
そこで、本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、本発明の目的とするところは、蒸着物質の残余量をより正確に測定することが可能な、新規かつ改良された蒸着装置及び蒸着物質の残余量測定方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明のある観点によれば、少なくとも一部に見視窓が備えられた工程チャンバーと、前記工程チャンバーの下部壁上に、前記見視窓と第１方向に対して重畳するように配置され、蒸着物質を収納するるつぼと、前記見視窓及び前記るつぼの間に配置され、前記見視窓と前記第１方向に対して重畳し、前記第１方向を向いた回転軸を中心にして回転するディスクと、前記工程チャンバー及び前記ディスクと結合し前記ディスクを回転させる回転ユニットと、前記工程チャンバーの外部に配置され、前記見視窓、前記ディスク、及び前記るつぼと前記第１方向において重畳し、前記るつぼ内の前記蒸着物質までの距離を測定し、前記蒸着物質の残余量を測定する測定センサーと、を含む蒸着装置が提供される。
【０００９】
前記測定センサーは、前記第１方向において、前記見視窓に向かってレーザー光を出力する出光部と、前記レーザー光の一部を受光する受光部と、を含んでもよい。
【００１０】
前記ディスク及び前記るつぼの間に配置され、前記第１方向において前記見視窓と重畳する開口を備える防着板をさらに含んでもよい。
【００１１】
前記第１方向において、前記見視窓は前記ディスクの縁領域によって覆われてもよい。
【００１２】
前記工程チャンバー内において、前記防着板及び前記るつぼの前記第１方向における間を、前記第１方向と垂直な第２方向に通過し、前記蒸着物質が蒸着される少なくとも１つの基板をさらに含んでもよい。
【００１３】
前記見視窓及び前記ディスクは、石英で形成されてもよい。
【００１４】
前記第１方向において、前記ディスクは円形であってもよい。
【００１５】
前記回転ユニットは、前記工程チャンバーの上部壁に設置された回転モーターと、前記第１方向に延長され、前記回転モーターおよび前記ディスクと結合されたシャフトと、を含んでもよい。
【００１６】
前記シャフトは、前記ディスクの中心に連結されてもよい。
【００１７】
前記第１方向において、前記シャフトは、前記見視窓と離隔されて連結されてもよい。
【００１８】
また、上記課題を解決するために、本発明の別の観点によれば、水平方向に互いに所定距離をおいて離隔された第１基板及び第２基板を提供する段階と、前記第１基板上に蒸着物質を蒸着する段階と、前記第１基板がるつぼの上部を前記水平方向に通過した後から、前記第２基板が前記るつぼの上部を通過する前までの間に、前記蒸着物質の残余量を測定する段階と、前記第２基板上に前記蒸着物質を蒸着する段階と、を含む蒸着物質の残余量測定方法が提供される。
【００１９】
前記蒸着物質の残余量を測定する段階は、測定センサー、見視窓、ディスク、及び内部に前記蒸着物質を収納するるつぼが垂直方向に重畳するように配置される段階と、前記測定センサーから前記るつぼ内の前記蒸着物質までの距離を測定する段階と、を含んでもよい。
【００２０】
前記測定センサーから出力されたレーザー光の一部は、前記見視窓及び前記ディスクを通過して前記測定センサーに入光してもよい。
【発明の効果】
【００２１】
以上説明したように本発明によれば、蒸着物質の残余量をより正確に測定することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の一実施形態による蒸着装置を示した断面図である。
【図２】図１に図示する見視窓及びディスクを第１方向から見た平面図である。
【図３】図１に図示する測定センサーを説明するブロック図である。
【図４】図１に図示する見視窓、るつぼ、ディスク、測定センサー、及び防着板の斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
ここで、本発明は多様な変更を加えることができ、様々な形態で実現することが可能である。以下では、特定の実施形態を図面に例示し、本文で詳細に説明するが、これは本発明をかかる特定の実施形態に対して限定するものではない。本発明は、本発明の思想及び技術範囲に含まれる全ての変更、均等物および代替物を含むものとして理解される。
【００２４】
以下、添付した図面を参照して本発明の望ましい実施形態をより詳細に説明する。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の機能構成を有する構成要素については、同一の符号を付することにより重複説明を省略する。
【００２５】
図１は本発明の一実施形態による蒸着装置を示した断面図である。本発明は、レーザーセンサーから前記蒸着物質までの距離に基づいて、蒸着物質の残余量を測定する蒸着装置及び蒸着物質の残余量測定方法に関する。
【００２６】
図１を参照すれば、前記蒸着装置１０００は、例えば、工程チャンバー１００と、るつぼ２００と、ディスク３００と、回転ユニット４００と、及び測定センサー５００と、を含む。
【００２７】
前記工程チャンバー１００は、所定の厚さを有する壁で囲まれ、内部が密閉された空間を提供する。前記工程チャンバー１００は、ドーム形状、六面体形状等の多様な形状であってもよい。本発明の一実施形態において、前記工程チャンバー１００は、六面体形状であるとして以下では説明を行う。
【００２８】
図示しないが、前記工程チャンバー１００の一面には真空ポンプが備えられてもよい。前記真空ポンプは、前記工程チャンバー１００の内部を真空状態にすることが可能である。
【００２９】
前記工程チャンバー１００の一部には、見視窓１０が備えられる。図１では、一例として、前記見視窓（ｏｂｓｅｒｖｉｎｇ  ｗｉｎｄｏｗ）１０が、前記工程チャンバー１００の上部壁ＵＷの一部を貫通して形成される例を図示した。
【００３０】
前記見視窓１０は、例えば、石英（ｑｕａｒｔｚ）によって形成されてもよい。ただし、本発明は、かかる例示に制限されず、前記見視窓１０は、レーザー光が透過可能な他の物質から形成されてもよい。
【００３１】
前記るつぼ２００は、前記工程チャンバー１００の下部壁ＬＷ上に備えられ、内部に蒸着物質２０を収納する。ここで、前記るつぼ２００は、前記蒸着物質２０を蒸発させるための容器である。
【００３２】
前記蒸着物質２０は、基板ＳＢ１、ＳＢ２上に蒸着される物質であり、例えば、アルミニウムであってもよいが、本発明は、かかる例示に制限されるものではない。
【００３３】
前記るつぼ２００は、加熱ユニット（図示せず）を含んでもよい。前記加熱ユニット（図示せず）は、前記蒸着物質２０が蒸発する温度に至るまで、前記るつぼ２００を加熱することができる。
【００３４】
前記るつぼ２００は、第１方向（Ｄ１）において、前記見視窓１０と重畳する位置に設置される。したがって、前記工程チャンバー１００の外部から前記第１方向（Ｄ１）へ前記見視窓１０を通過したレーザー光は、前記るつぼ２００内の前記蒸着物質２０に到達することができる。かかるレーザー光に関しては詳細に後述する。なお、第１方向とは、例えば、鉛直方向である。
【００３５】
図２は、図１に図示した前記見視窓１０及び前記ディスク３００を前記第１方向（Ｄ１）から見た平面図である。
【００３６】
図１及び図２を参照すると、前記ディスク３００は、前記見視窓１０及び前記るつぼ２００の間に配置される。また、前記るつぼ２００は、前記第１方向（Ｄ１）において、前記見視窓１０と重畳することができる。
【００３７】
前記第１方向（Ｄ１）から見たとき、前記ディスク３００は、円形であってもよい。
【００３８】
前記第１方向（Ｄ１）から見たとき、前記ディスク３００は、中心領域ＣＡ及び前記中心領域ＣＡを囲む縁領域ＥＡを包含してもよい。
【００３９】
また、前記第１方向（Ｄ１）から見たとき、前記見視窓１０は、前記ディスク３００の前記縁領域ＥＡと重畳し、前記るつぼ２００は、前記縁領域ＥＡによって覆われ、前記見視窓１０に対して遮蔽されてもよい。また、前記第１方向（Ｄ１）から見たとき、前記見視窓１０と前記ディスク３００が重畳する位置は、前記ディスク３００の中心から外周側に行くほど、より望ましい。ただし、前記見視窓１０は、少なくとも前記ディスク３００と重畳し、前記るつぼ２００は、前記ディスク３００によって覆われ、前記見視窓１０に対して遮蔽されねばならない。
【００４０】
前記ディスク３００は、前記第１方向（Ｄ１）に向いた回転軸ＡＸを中心として回転することができる。前記第１方向（Ｄ１）から見たとき、前記回転軸ＡＸは、前記見視窓１０に対して離隔して形成される。
【００４１】
前記ディスク３００は、例えば、石英（ｑｕａｒｔｚ）によって形成されてもよい。ただし、本発明は、かかる例示に制限されず、前記ディスク３００は、レーザー光が透過可能な他の物質から形成されてもよい。
【００４２】
前記ディスク３００は、前記蒸着物質２０が前記見視窓１０に蒸着することを防止することにより、前記見視窓１０へ入射されるレーザー光の透過率を高くすることができる。一方、前記ディスク３００へ入射されたレーザー光も同様に高い透過率を有しなければならないが、これに対しては後述する防着板（ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ  ｐｒｅｖｅｎｔｉｎｇ  ｐｌａｔｅ）によって達成することができる。
【００４３】
再び図１を参照すると、前記回転ユニット４００は、前記工程チャンバー１００及び前記ディスク３００と結合し、前記ディスク３００を回転させることができる。
【００４４】
前記回転ユニット４００は、例えば、回転モーター４１０及びシャフト４２０を含んでもよい。
【００４５】
前記回転モーター４１０は、前記工程チャンバー１００の前記上部壁ＵＷに設置される。前記回転モーター４１０は、前記シャフト４２０に連結されて前記シャフト４２０を回転させることができる。
【００４６】
前記シャフト４２０は、前記第１方向（Ｄ１）へ延長された形状を有し、前記シャフト４２０の一端は、前記工程チャンバー１００の前記上部壁ＵＷを貫通して前記回転モーター４１０に結合される。また、前記シャフト４２０の他端は前記ディスク３００に結合される。したがって、前記回転モーター４１０は、前記シャフト４２０を回転させることによって、前記ディスク３００を回転させることができる。
【００４７】
前記シャフト４２０の前記他端は、前記ディスク３００の中心に連結される。したがって、前記第１方向（Ｄ１）から見たとき、前記シャフト４２０は、前記見視窓１０と離隔されて、例えば、回転軸ＡＸと同軸で形成される。
【００４８】
図３は、図１に図示された前記測定センサー５００を示したブロック図である。
【００４９】
図１及び図３を参照すると、前記測定センサー５００は、前記工程チャンバー１００の外部に配置され、前記第１方向（Ｄ１）において、前記見視窓１０、前記るつぼ２００、及び前記ディスク３００と重畳するように配置される。ここで、図１では、前記測定センサー５００は、前記工程チャンバー１００の前記上部壁ＵＷ上に前記見視窓１０と対応するように配置される例を図示した。
【００５０】
前記測定センサー５００は、前記測定センサー５００から前記るつぼ２００内の前記蒸着物質２０までの距離を測定することができる。
【００５１】
前記測定センサー５００は、例えば、出光部５１０及び受光部５２０を包含することができる。
【００５２】
前記出光部５１０は、前記第１方向（Ｄ１）において、前記工程チャンバー１００の外部から前記見視窓１０に向かってレーザー光を出力する。前記出力されたレーザー光は、前記見視窓１０及び前記ディスク３００を透過して前記るつぼ２００内の前記蒸着物質２０表面に到達する。前記出力されたレーザー光の一部は前記蒸着物質２０の表面で反射され、再び前記ディスク３００及び前記見視窓１０を透過して前記測定センサー５００に到達する。
【００５３】
前記受光部５２０は、前記出力されたレーザー光の前記蒸着物質２０表面で反射された一部の光を受光し、前記測定センサー５００から前記蒸着物質２０までの距離を測定する。
【００５４】
前記測定センサー５００は、前記測定された距離に基づいて前記蒸着物質２０の残余量を測定する。この時、前記測定センサー５００には、前記測定センサー５００から前記蒸着物質２０までの距離と、前記蒸着物質２０の残余量との対応関係がルックアップテーブル形態で格納されている。前記測定センサー５００は、前記測定された距離に該当する前記蒸着物質２０の量を前記対応関係から読み出すことによって、前記蒸着物質２０の残余量を測定することができる。
【００５５】
前記蒸着装置１０００は、防着板６００をさらに含んでもよい。
【００５６】
図４は、図１に図示した前記見視窓１０と、前記るつぼ２００と、前記ディスク３００と、前記測定センサー５００と、及び前記防着板６００との斜視図である。
【００５７】
図１及び図４を参照すると、前記防着板６００は、前記第１方向（Ｄ１）において、前記ディスク３００及び前記るつぼ２００の間に配置される。
【００５８】
前記防着板６００は、前記第１方向（Ｄ１）において、前記見視窓１０と重畳する開口ＯＰを備える。また、前記開口ＯＰは、前記第１方向（Ｄ１）において前記見視窓１０以外に、前記ディスク３００の前記縁領域ＥＡ及び前記るつぼ２００と重畳する。したがって、前記測定センサー５００から出力されたレーザー光は、前記開口ＯＰを通過し、前記るつぼ２００内の前記蒸着物質２０表面に到達することができる。
【００５９】
前記防着板６００は、前記るつぼ２００から蒸発した前記蒸着物質２０が前記ディスク３００下面の中心領域ＣＡに蒸着することを防止する。一方、前記蒸着物質２０は、前記ディスク３００下面の縁領域ＥＡに蒸着される。ここで、前記ディスク３００は、前記シャフト３２０を回転軸として回転しているため、前記蒸着物質２０は、前記ディスク３００下面の前記縁領域ＥＡに均一に蒸着される。したがって、ある瞬間において、前記第１方向（Ｄ１）で前記見視窓１０と重畳する前記ディスク３００の前記縁領域ＥＡ下面に存在する一部領域ＴＡには、非常に少量の前記蒸着物質２０のみしか蒸着されない。したがって、前記縁領域ＥＡへの前記蒸着物質２０の蒸着は、前記測定センサー５００から出力されたレーザー光が前記ディスク３００を透過することに対して、実質的に影響を及ばない。
【００６０】
前記防着板６００は、前記第１方向（Ｄ１）から見たとき、前記ディスク３００を覆い、前記るつぼ２００に対して遮蔽できれば、形状に制限はない。図４において、前記防着板６００は、前記第１方向（Ｄ１）から見たとき、前記ディスク３００より大きい直径を有する円形である例を一例として図示した。
【００６１】
図示しないが、前記防着板６００は、前記工程チャンバー１００に連結されて固定されてもよい。
【００６２】
再び図１を参照すると、前記工程チャンバー１００内部には、基板ＳＢ１、ＳＢ２が少なくとも１つずつ配置される。図１には、順次、前記蒸着物質２０が蒸着される第１基板ＳＢ１及び第２基板ＳＢ２を一例として図示した。
【００６３】
前記第１基板ＳＢ１及び前記第２基板ＳＢ２は、前記第１方向（Ｄ１）において、前記るつぼ２００及び前記防着板６００の間を前記第１方向（Ｄ１）と垂直な第２方向（Ｄ２）へ通過する。
【００６４】
図示しないが、前記第１基板ＳＢ１及び前記第２基板ＳＢ２は、例えば、前記工程チャンバー１００内に備えられたコンベヤーベルトなどに保持されて前記第２方向（Ｄ２）へ移送される。この時、前記第１基板ＳＢ１及び前記第２基板ＳＢ２は、前記第２方向（Ｄ２）において、互いに所定距離をあけて離隔されて移送される。
【００６５】
本発明の一実施形態による蒸着装置１０００によれば、前記測定センサー５００から出力され前記蒸着物質２０表面で反射したレーザー光の一部は、前記第１基板ＳＢ１及び前記第２基板ＳＢ２の間に形成された前記第２方向（Ｄ２）の所定距離を、前記第１方向（Ｄ１）へ横切って前記測定センサー５００へ入光する。
【００６６】
したがって、本発明の一実施形態による蒸着装置１０００は、前記測定センサー５００によって前記蒸着物質２０の残余量をリアルタイムで把握することができる。また、前記見視窓１０は、前記ディスク３００によって前記蒸着物質２０が蒸着されることが防止されており、さらに、前記ディスク３００は前記防着板６００によって前記蒸着物質２０が蒸着されることが実質的に防止されている。よって、前記測定センサー５００から出力されたレーザー光は、前記見視窓１０、前記ディスク３００、及び前記開口ＯＰを大きな減衰をすることなく透過することができる。よって、本発明の一実施形態による蒸着装置１０００は、前記蒸着物質２０の残余量をより正確に測定することができる。
【００６７】
以下、図１を参照して、前記蒸着物質２０の残余量測定方法を説明する。
【００６８】
まず、前記工程チャンバー１００の内部に、前記第２方向（Ｄ２）に互いに所定距離をおいて離隔された前記第１基板ＳＢ１及び前記第２基板ＳＢ２が供給される。
【００６９】
続いて、前記第１基板ＳＢ１が前記るつぼ２００の上部を前記第２方向（Ｄ２）へ通過する際に、前記第１基板ＳＢ１に対して前記蒸着物質２０が蒸着される。
【００７０】
前記第１基板ＳＢ１が前記るつぼ２００の上部を前記第２方向（Ｄ２）へ通過した後から、前記第２基板ＳＢ２が前記るつぼ２００の上部を通過する前までの間に、前記測定センサー５００は、前記蒸着物質２０の残余量を測定する。この時、前記測定センサー５００、前記見視窓１０、前記ディスク３００、開口ＯＰ、及びるつぼ２００は、順に前記第１方向（Ｄ１）において、重畳するように配列する。なお、前記蒸着物質２０の残余量は、前記測定センサー５００から前記るつぼ２００内の前記蒸着物質２０までの距離に基づいて測定される。
【００７１】
ここで、前記測定センサー５００から出力されたレーザー光の一部は、前記見視窓１０、前記ディスク３００、及び前記開口ＯＰを通過して前記測定センサー５００へ入光する。
【００７２】
さらに、前記第２基板ＳＢ２が前記るつぼ２００の上部を前記第２方向（Ｄ２）へ通過する際に、前記第２基板ＳＢ２に対して前記蒸着物質２０が蒸着される。
【００７３】
本発明の一実施形態による蒸着物質の残余量測定方法によれば、前記第１基板ＳＢ１への蒸着、及び前記第２基板ＳＢ２への蒸着の間に、前記蒸着物質の残余量をより正確に測定することができ、蒸着工程を中止する必要が無いため、蒸着工程の効率を向上させることができる。
【００７４】
以上説明したように、本発明の一実施形態による蒸着装置は、レーザー光を用いた測定センサーにより、より正確な前記蒸着物質の残余量をリアルタイムで把握することができる。
【００７５】
また、本発明の一実施形態による蒸着物質の残余量測定方法によれば、蒸着工程を中止する必要が無いため、蒸着工程の効率を向上されることができる。
【００７６】
以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について詳細に説明したが、本発明はかかる例に限定されない。本発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者であれば、特許請求の範囲に記載された技術的思想の範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、これらについても、当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
【符号の説明】
【００７７】
１０      見視窓
２０      蒸着物質
１００    工程チャンバー
２００    るつぼ
３００    ディスク    
４００    回転ユニット
５００    測定センサー
６００    防着板
ＯＰ      開口
【図１】
2014034732.tif 000003
【図２】
2014034732.tif 000004
【図３】
2014034732.tif 000005
【図４】
2014034732.tif 000006