(57)【要約】【課題】研磨液やドレッシング液などの液体から流量制御装置内に配置された機器を保護しつつ、ドレッシング液および／またはノズル洗浄液の流量調整バルブを簡単に操作することができる流量制御装置を提供する。【解決手段】収容容器１０４には、研磨液移送管１３０，１３１，１３２と、研磨液移送管１３０，１３１，１３２を流れる研磨液の流量を測定する流量センサ１３４，１３５，１３６と、ドレッシング液が流れるドレッシング液移送管１１０と、ドレッシング液移送管１１０を流れるドレッシング液の流量を調整するドレッシング液流量調整バルブ１１２とが配置されている。収容容器１０４には、ドレッシング液流量調整バルブ１１２に対応する位置に開口部１０４ｂが形成されており、収容容器１０４は、開口部１０４ｂを覆う蓋部材１０６を備えている。【選択図】図３
2014151381.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の研磨装置に使用される液体の流量制御装置であって、
収容容器と、
前記収容容器に収容される機器とを備え、
前記機器は、
研磨液が流れる研磨液移送管と、
前記研磨液移送管を流れる前記研磨液の流量を測定する流量センサと、
ドレッシング液が流れるドレッシング液移送管と、
前記ドレッシング液移送管を流れる前記ドレッシング液の流量を調整するドレッシング液流量調整バルブとを含み、
前記収容容器には、前記ドレッシング液流量調整バルブに対応する位置に第１の開口部が形成されており、
前記収容容器は、前記第１の開口部を覆う第１の蓋部材を備えていることを特徴とする流量制御装置。
【請求項２】
前記機器は、前記研磨装置の研磨液供給ノズルを洗浄するためのノズル洗浄液が流れるノズル洗浄液移送管と、前記ノズル洗浄液移送管を流れる前記ノズル洗浄液の流量を調整するノズル洗浄液流量調整バルブとをさらに含み、
前記収容容器には、前記ノズル洗浄液流量調整バルブに対応する位置に第２の開口部が形成されており、
前記収容容器は、前記第２の開口部を覆う第２の蓋部材を備えていることを特徴とする請求項１に記載の流量制御装置。
【請求項３】
前記収容容器は、前記第１の蓋部材および前記第２の蓋部材を開閉自在に支持する開閉機構と、前記第１の蓋部材および前記第２の蓋部材にそれぞれ固定された取っ手とをさらに有することを特徴とする請求項２に記載の流量制御装置。
【請求項４】
前記第１の蓋部材および前記第２の蓋部材は、前記第１の開口部および前記第２の開口部にそれぞれ取り外し可能に装着された密閉部材であることを特徴とする請求項２に記載の流量制御装置。
【請求項５】
前記研磨液移送管および前記ドレッシング液移送管の液体入口は、前記収容容器の下部に配置され、
前記研磨液移送管および前記ドレッシング液移送管の液体出口は、前記収容容器の上部に配置され、
前記ノズル洗浄液移送管は前記ドレッシング液移送管から分岐して延び、前記ノズル洗浄液移送管の液体出口は前記収容容器の下部に配置されていることを特徴とする請求項２に記載の流量制御装置。
【請求項６】
前記ドレッシング液流量調整バルブは前記収容容器の上部に配置され、前記ノズル洗浄液流量調整バルブは前記収容容器の下部に配置されていることを特徴とする請求項５に記載の流量制御装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェハなどの基板を研磨する研磨装置に使用されるドレッシング液などの液体の流量制御装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
化学的機械研磨（ＣＭＰ）装置は、ウェハの表面を鏡面研磨する研磨装置として広く知られている。この研磨装置は、トップリングでウェハを保持し、研磨テーブル上の研磨パッドにウェハを押圧しつつ、研磨テーブルとトップリングとを相対運動させることにより、ウェハを研磨する。ウェハの研磨中は、研磨液供給ノズルから研磨パッド上に研磨液（スラリー）が供給され、ウェハの表面は、研磨液の化学的作用と研磨液に含まれる砥粒による機械的作用とにより研磨される。
【０００３】
研磨パッドでウェハの研磨を続けると、研磨パッド表面の微細な凹凸が潰れてしまい、研磨レートの低下を引き起こす。このため、ダイヤモンド粒子などの多数の砥粒を電着させたドレッサで研磨パッド表面のドレッシング（目立て）を行い、研磨パッド表面に微細な凹凸を再形成することが行われる。ドレッシング中は、純水などのドレッシング液が研磨パッド上に供給される。
【０００４】
研磨液供給ノズルには研磨液が付着するため、研磨液供給ノズルはノズル洗浄液によって定期的に洗浄される。ドレッシング液と同様に、通常はノズル洗浄液として純水が使用される。ノズル洗浄液およびドレッシング液として使用される純水は、流量制御装置を通じて研磨パッドに供給される。流量制御装置は、その内部に複数の流量調整バルブを備えており、ノズル洗浄液およびドレッシング液の流量はこれらの流量調整バルブによって所定の流量に調整されるようになっている。流量制御装置の前面にはカバーが取り付けられており、研磨パッドから飛散した研磨液やドレッシング液が流量制御装置内の流量調整バルブなどの機器に付着することを防止している。
【０００５】
しかしながら、ノズル洗浄液および／またはドレッシング液の流量を変更するためには、そのたびにカバーを外して流量調整バルブを操作する必要があり、手間と時間がかかる。また、カバーを取り外す際、誤ってカバーを破損することもある。カバーを取り外したままにすると、飛散した研磨液やドレッシング液が流量調整バルブなどの機器に付着し、流量制御装置が故障するおそれがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】国際公開第２００７／０９９９７６号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は上述した従来の問題点を解決するためになされたもので、研磨液やドレッシング液などの液体から流量制御装置内に配置された機器を保護しつつ、ドレッシング液および／またはノズル洗浄液の流量調整バルブを簡単に操作することができる流量制御装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上述した目標を達成するために、本発明の一態様は、基板の研磨装置に使用される液体の流量制御装置であって、収容容器と、前記収容容器に収容される機器とを備え、前記機器は、研磨液が流れる研磨液移送管と、前記研磨液移送管を流れる前記研磨液の流量を測定する流量センサと、ドレッシング液が流れるドレッシング液移送管と、前記ドレッシング液移送管を流れる前記ドレッシング液の流量を調整するドレッシング液流量調整バルブとを含み、前記収容容器には、前記ドレッシング液流量調整バルブに対応する位置に第１の開口部が形成されており、前記収容容器は、前記第１の開口部を覆う第１の蓋部材を備えていることを特徴とする。
【０００９】
本発明の好ましい態様は、前記機器は、前記研磨装置の研磨液供給ノズルを洗浄するためのノズル洗浄液が流れるノズル洗浄液移送管と、前記ノズル洗浄液移送管を流れる前記ノズル洗浄液の流量を調整するノズル洗浄液流量調整バルブとをさらに含み、前記収容容器には、前記ノズル洗浄液流量調整バルブに対応する位置に第２の開口部が形成されており、前記収容容器は、前記第２の開口部を覆う第２の蓋部材を備えていることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記収容容器は、前記第１の蓋部材および前記第２の蓋部材を開閉自在に支持する開閉機構と、前記第１の蓋部材および前記第２の蓋部材にそれぞれ固定された取っ手とをさらに有することを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記第１の蓋部材および前記第２の蓋部材は、前記第１の開口部および前記第２の開口部にそれぞれ取り外し可能に装着された密閉部材であることを特徴とする。
【００１０】
本発明の好ましい態様は、前記研磨液移送管および前記ドレッシング液移送管の液体入口は、前記収容容器の下部に配置され、前記研磨液移送管および前記ドレッシング液移送管の液体出口は、前記収容容器の上部に配置され、前記ノズル洗浄液移送管は前記ドレッシング液移送管から分岐して延び、前記ノズル洗浄液移送管の液体出口は前記収容容器の下部に配置されていることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記ドレッシング液流量調整バルブは前記収容容器の上部に配置され、前記ノズル洗浄液流量調整バルブは前記収容容器の下部に配置されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、作業員は、蓋部材を開くか、または取り外すだけで流量調整バルブにアクセスすることができる。したがって、収容容器の前面パネルを取り外さずにドレッシング液および／またはノズル洗浄液の流量を調整することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】研磨装置を備えた基板処理装置を示す図である。
【図２】研磨装置を示す模式図である。
【図３】本発明に係る流量制御装置の一実施形態を示す図である。
【図４】図３に示す流量制御装置の内部構成を示す図である。
【図５】図５（ａ）および図５（ｂ）は、収容容器の蓋部材の拡大図である。
【図６】図６（ａ）および図６（ｂ）は、蓋部材を密閉部材とした図である。
【図７】図６（ａ）のＡ−Ａ線断面図である。
【図８】密閉部材の他の態様である。
【図９】図８に示すドレッシング液流量調整バルブを矢印Ｂで示す方向から見た図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。図１乃至図９において、同一または相当する構成要素には、同一の符号を付して重複した説明を省略する。
【００１４】
図１は、第１研磨装置１Ａ、第２研磨装置１Ｂ、第３研磨装置１Ｃ、および第４研磨装置１Ｄを備えた基板処理装置を示す図である。基板処理装置は、ウェハを研磨し、洗浄し、乾燥させる一連の工程を行うことができる装置である。図１に示すように、基板処理装置は、略矩形状のハウジング２を備えており、ハウジング２の内部は隔壁２ａ，２ｂによってロード／アンロード部６と研磨部１と洗浄部８とに区画されている。基板処理装置は、ウェハ処理動作を制御する動作制御部１０を有している。
【００１５】
ロード／アンロード部６は、多数のウェハ（基板）をストックするウェハカセットが載置されるフロントロード部１２を備えている。このロード／アンロード部６には、フロントロード部１２の並びに沿って走行機構１４が敷設されており、この走行機構１４上にウェハカセットの配列方向に沿って移動可能な搬送ロボット（ローダー）１６が設置されている。搬送ロボット１６は走行機構１４上を移動することによってフロントロード部１２に搭載されたウェハカセットにアクセスできるようになっている。
【００１６】
研磨部１は、ウェハの研磨が行われる領域であり、第１研磨装置１Ａ、第２研磨装置１Ｂ、第３研磨装置１Ｃ、第４研磨装置１Ｄを備えている。第１研磨装置１Ａは、研磨面を有する研磨パッド２０が取り付けられた第１研磨テーブル２２Ａと、ウェハを保持しかつウェハを第１研磨テーブル２２Ａ上の研磨パッド２０に押圧しながら研磨するための第１トップリング２４Ａと、研磨パッド２０に研磨液（例えばスラリ）やドレッシング液（例えば、純水）を供給するための第１研磨液供給ノズル２６Ａと、研磨パッド２０の研磨面のドレッシングを行うための第１ドレッシングユニット２８Ａと、液体（例えば純水）と気体（例えば窒素ガス）の混合流体または液体（例えば純水）を霧状にして研磨面に噴射する第１アトマイザ３０Ａとを備えている。
【００１７】
同様に、第２研磨装置１Ｂは、研磨パッド２０が取り付けられた第２研磨テーブル２２Ｂと、第２トップリング２４Ｂと、第２研磨液供給ノズル２６Ｂと、第２ドレッシングユニット２８Ｂと、第２アトマイザ３０Ｂとを備えており、第３研磨装置１Ｃは、研磨パッド２０が取り付けられた第３研磨テーブル２２Ｃと、第３トップリング２４Ｃと、第３研磨液供給ノズル２６Ｃと、第３ドレッシングユニット２８Ｃと、第３アトマイザ３０Ｃとを備えており、第４研磨装置１Ｄは、研磨パッド２０が取り付けられた第４研磨テーブル２２Ｄと、第４トップリング２４Ｄと、第４研磨液供給ノズル２６Ｄと、第４ドレッシングユニット２８Ｄと、第４アトマイザ３０Ｄとを備えている。
【００１８】
図１に示すように、第１研磨装置１Ａおよび第２研磨装置１Ｂに隣接して、第１リニアトランスポータ４０が配置されている。この第１リニアトランスポータ４０は、４つの搬送位置（第１搬送位置ＴＰ１、第２搬送位置ＴＰ２、第３搬送位置ＴＰ３、第４搬送位置ＴＰ４）の間でウェハを搬送する機構である。また、第３研磨装置１Ｃおよび第４研磨装置１Ｄに隣接して、第２リニアトランスポータ４２が配置されている。この第２リニアトランスポータ４２は、３つの搬送位置（第５搬送位置ＴＰ５、第６搬送位置ＴＰ６、第７搬送位置ＴＰ７）の間でウェハを搬送する機構である。
【００１９】
第１搬送位置ＴＰ１に隣接して、搬送ロボット１６からウェハを受け取るためのリフタ４４が配置されている。ウェハはこのリフタ４４を介して搬送ロボット１６から第１リニアトランスポータ４０に渡される。リフタ４４と搬送ロボット１６との間に位置して、シャッタ（図示せず）が隔壁２ａに設けられており、ウェハの搬送時にはシャッタが開かれて搬送ロボット１６からリフタ４４にウェハが渡されるようになっている。
【００２０】
ウェハは、搬送ロボット１６によってリフタ４４に渡され、さらにリフタ４４から第１リニアトランスポータ４０に渡され、そして第１リニアトランスポータ４０によって研磨装置１Ａ，１Ｂに搬送される。第１研磨装置１Ａのトップリング２４Ａは、そのスイング動作により第１研磨テーブル２２Ａの上方位置と第２搬送位置ＴＰ２との間を移動する。したがって、トップリング２４Ａへのウェハの受け渡しは第２搬送位置ＴＰ２で行われる。
【００２１】
同様に、第２研磨装置１Ｂのトップリング２４Ｂは研磨テーブル２２Ｂの上方位置と第３搬送位置ＴＰ３との間を移動し、トップリング２４Ｂへのウェハの受け渡しは第３搬送位置ＴＰ３で行われる。第３研磨装置１Ｃのトップリング２４Ｃは研磨テーブル２２Ｃの上方位置と第６搬送位置ＴＰ６との間を移動し、トップリング２４Ｃへのウェハの受け渡しは第６搬送位置ＴＰ６で行われる。第４研磨装置１Ｄのトップリング２４Ｄは研磨テーブル２２Ｄの上方位置と第７搬送位置ＴＰ７との間を移動し、トップリング２４Ｄへのウェハの受け渡しは第７搬送位置ＴＰ７で行われる。
【００２２】
第１リニアトランスポータ４０と、第２リニアトランスポータ４２と、洗浄部８との間にはスイングトランスポータ４６が配置されている。第１リニアトランスポータ４０から第２リニアトランスポータ４２へのウェハの受け渡しは、スイングトランスポータ４６によって行われる。ウェハは、第２リニアトランスポータ４２によって第３研磨装置１Ｃおよび／または第４研磨装置１Ｄに搬送される。
【００２３】
スイングトランスポータ４６の側方には、図示しないフレームに設置されたウェハの仮置き台４８が配置されている。この仮置き台４８は、図１に示すように、第１リニアトランスポータ４０に隣接して配置されており、第１リニアトランスポータ４０と洗浄部８との間に位置している。スイングトランスポータ４６は、第４搬送位置ＴＰ４、第５搬送位置ＴＰ５、および仮置き台４８の間でウェハを搬送する。
【００２４】
仮置き台４８に載置されたウェハは、洗浄部８の第１の搬送ロボット５０によって洗浄部８に搬送される。図１に示すように、洗浄部８は、研磨されたウェハを洗浄液で洗浄する一次洗浄モジュール５２および二次洗浄モジュール５４と、洗浄されたウェハを乾燥する乾燥モジュール５６とを備えている。第１の搬送ロボット５０は、ウェハを仮置き台４８から一次洗浄モジュール５２に搬送し、さらに一次洗浄モジュール５２から二次洗浄モジュール５４に搬送するように動作する。二次洗浄モジュール５４と乾燥モジュール５６との間には、第２の搬送ロボット５８が配置されている。この第２の搬送ロボット５８は、ウェハを二次洗浄モジュール５４から乾燥モジュール５６に搬送するように動作する。
【００２５】
乾燥されたウェハは、搬送ロボット１６により乾燥モジュール５６から取り出され、ウェハカセットに戻される。このようにして、研磨、洗浄、および乾燥を含む一連の処理がウェハに対して行われる。
【００２６】
図２は、第１研磨装置１Ａを示す模式図である。第１研磨装置１Ａ、第２研磨装置１Ｂ、第３研磨装置１Ｃ、および第４研磨装置１Ｄは互いに同一の構成を有しているため、以下、第１研磨装置１Ａについて説明する。
【００２７】
第１研磨テーブル２２Ａ、第１トップリング２４Ａ、第１研磨液供給ノズル２６Ａ、第１ドレッシングユニット２８Ａ、および第１アトマイザ３０Ａは研磨室６１内に配置されている。第１トップリング２４Ａは、トップリングヘッド２５Ａの揺動により第１研磨テーブル２２Ａの上方の研磨位置と、点線で示す搬送位置（基板受け渡し部）との間を移動する。第１ドレッシングユニット２８Ａは、その揺動により第１研磨テーブル２２Ａの上方の位置と、点線で示す第１研磨テーブル２２Ａの側方の待機位置との間を移動する。
【００２８】
第１研磨液供給ノズル２６Ａは、研磨液を研磨パッド２０に供給する研磨液供給管６８とドレッシング液を研磨パッド２０に供給するドレッシング液供給管６９とを備えている。ドレッシング液供給管６９を備えたドレッシング液供給ノズルを第１研磨液供給ノズル２６Ａとは別体で設けてもよい。
【００２９】
研磨室６１内には流量制御装置１００がさらに配置されている。この流量制御装置１００は第１研磨装置１Ａに使用される液体の流量を制御する制御装置であり、研磨室６１の内壁面に固定されている。図示しないが、流量制御装置１００は、第２研磨装置１Ｂ、第３研磨装置１Ｃ、および第４研磨装置１Ｄの研磨室にも配置されている。流量制御装置１００の下方には第１研磨液供給ノズル２６Ａを洗浄するノズル洗浄液供給ノズル７２が配置されている。ノズル洗浄液供給ノズル７２には図示しない洗浄液供給孔が設けられている。この洗浄液供給孔から第１研磨液供給ノズル２６Ａに洗浄液が供給され、第１研磨液供給ノズル２６Ａを洗浄する。
【００３０】
第１研磨液供給ノズル２６Ａは、その揺動により第１研磨テーブル２２Ａの上方の位置と、ノズル洗浄液供給ノズル７２の下方の待機位置との間を移動する。第１研磨液供給ノズル２６Ａが待機位置に移動すると、ノズル洗浄液供給ノズル７２の洗浄液供給孔から洗浄液が供給され、これにより第１研磨液供給ノズル２６Ａが洗浄される。
【００３１】
図３は本発明に係る流量制御装置１００の一実施形態を示す図であり、図４は図３に示す流量制御装置１００の内部構成を示す図である。流量制御装置１００は、箱型の形状を有する収容容器（収容ボックス）１０４と、この収容容器１０４内に収容される機器１０２とを備えている。収容容器１０４の前面パネル１０４ａには、蓋部材１０６，１０８が設けられている。前面パネル１０４ａは、図２に示す第１研磨テーブル２２Ａ側に位置している。
【００３２】
図４に示すように、機器１０２は、ドレッシング液が流れるドレッシング液移送管１１０と、ドレッシング液移送管１１０内を通過するドレッシング液の流量を調整するドレッシング液流量調整バルブ１１２とを含む。ドレッシング液流量調整バルブ１１２はドレッシング液移送管１１０に取り付けられており、収容容器１０４の上部に配置されている。ドレッシング液移送管１１０の液体入口１１０ａは収容容器１０４の下部に配置され、ドレッシング液移送管１１０の液体出口１１０ｂは収容容器１０４の上部に配置されている。ドレッシング液流量調整バルブ１１２は、液体入口１１０ａと液体出口１１０ｂとの間に配置されている。ドレッシング液はドレッシング液移送管１１０およびドレッシング液流量調整バルブ１１２を通じてドレッシング液供給ラインに移送される。ドレッシング液供給ラインは第１研磨液供給ノズル２６Ａのドレッシング液供給管６９に接続されており、ドレッシング液供給ラインに移送されたドレッシング液は、ドレッシング液供給管６９を通じて研磨パッド２０に供給される。
【００３３】
ドレッシング液移送管１１０には三方弁１２０が設けられており、この三方弁１２０には、第１研磨液供給ノズル２６Ａを洗浄するためのノズル洗浄液用のノズル洗浄液移送管１２２が接続されている。本実施形態では、ドレッシング液とノズル洗浄液には純水が使用される。ドレッシング液移送管１１０の液体入口１１０ａは、図示しない液体供給源（純水供給源）に接続されており、純水がドレッシング液移送管１１０に供給される。ドレッシング液移送管１１０の液体入口１１０ａに流入した純水は、三方弁１２０によってドレッシング液供給ラインまたはノズル洗浄液供給ラインのどちらか一方に移送される。ノズル洗浄液供給ラインはノズル洗浄液供給ノズル７２に接続されており、ノズル洗浄液供給ラインに移送された洗浄液は、ノズル洗浄液供給ノズル７２から第１研磨液供給ノズル２６Ａに供給される。
【００３４】
ドレッシング液をドレッシング液供給ラインに供給するときは、三方弁１２０によりノズル洗浄液移送管１２２がドレッシング液移送管１１０から遮断される。したがって、ドレッシング液移送管１１０の液体入口１１０ａに流入した純水は、ドレッシング液流量調整バルブ１１２を通ってドレッシング液供給ラインに供給される。ノズル洗浄液をノズル洗浄液供給ラインに供給するときは、三方弁１２０によりドレッシング液移送管１１０をノズル洗浄液移送管１２２に連通させる。したがって、ドレッシング液移送管１１０の液体入口１１０ａに流入した純水は、ドレッシング液流量調整バルブ１１２には流れずに、ノズル洗浄液移送管１２２を通ってノズル洗浄液供給ラインに供給される。ノズル洗浄液移送管１２２には、ノズル洗浄液の流量を調整するノズル洗浄液流量調整バルブ１２４が取り付けられている。ノズル洗浄液流量調整バルブ１２４およびノズル洗浄液移送管１２２の液体出口１２２ｂは、収容容器１０４の下部に配置されている。
【００３５】
ドレッシング液流量調整バルブ１１２は例えばエアオペレートバルブであり、ドレッシング液流量調整バルブ１１２の調整ツマミ１１２ａを操作することでドレッシング液移送管１１０内を通過するドレッシング液の流量を調整することができる。ノズル洗浄液流量調整バルブ１２４はドレッシング液流量調整バルブ１１２と同様の構成を有しており、ノズル洗浄液流量調整バルブ１２４の調整ツマミ１２４ａを操作することでノズル洗浄液移送管１２２内を通過するノズル洗浄液の流量を調整することができる。
【００３６】
収容容器１０４内には、研磨液が流れる研磨液移送管１３０，１３１，１３２がさらに配置されている。これら研磨液移送管１３０，１３１，１３２には、研磨液移送管１３０，１３１，１３２内を通過する研磨液の流量を計測する流量センサ１３４，１３５，１３６がそれぞれ取り付けられている。さらに、研磨液移送管１３０，１３１，１３２には液だれ防止弁（例えばサックバック弁）１３８，１３９，１４０が取り付けられている。研磨液移送管１３０，１３１，１３２の液だれ防止弁１３８，１３９，１４０と流量センサ１３４，１３５，１３６との間には研磨液に含まれる不要物の通過を許容しないフィルターを取り付けることができる。なお、図４では、フィルターは取り付けられていない。
【００３７】
図４では、流量制御装置１００はドレッシング液移送管１１０およびノズル洗浄液移送管１２２を備えているが、ドレッシング液移送管１１０またはノズル洗浄液移送管１２２のどちらか一方のみを備えてもよい。この場合、流量制御装置１００は、ドレッシング液流量調整バルブ１１２またはノズル洗浄液流量調整バルブ１２４のどちらか一方を備える。
【００３８】
収容容器１０４の下部に配置されたドレッシング液移送管１１０の液体入口１１０ａに導入された液体（純水）は、ドレッシング液またはノズル洗浄液として使用される。ドレッシング液として使用される場合は、液体はドレッシング液流量調整バルブ１１２を通り、収容容器１０４の上部に位置するドレッシング液移送管１１０の液体出口１１０ｂからドレッシング液供給ラインへ移送される。このようにドレッシング液は収容容器１０４内を上向きに流れる。
【００３９】
ドレッシング液移送管１１０の液体入口１１０ａに導入された液体がノズル洗浄液として使用される場合は、三方弁１２０によりドレッシング液移送管１１０とノズル洗浄液移送管１２２とを連通させる。これにより、液体は、三方弁１２０およびノズル洗浄液流量調整バルブ１２４を通り、収容容器１０４の下部に配置されたノズル洗浄液移送管１２２の液体出口１２２ｂに移送される。すなわち、ノズル洗浄液は、収容容器１０４の下部から導入され、下部から排出される。
【００４０】
研磨液移送管１３０，１３１，１３２の液体入口１３０ａ，１３１ａ，１３２ａは収容容器１０４の下部に配置されている。研磨液移送管１３０，１３１，１３２に導入された研磨液は、流量センサ１３４，１３５，１３６および液だれ防止弁１３８，１３９，１４０をこの順に通り、収容容器１０４の上部に配置された研磨液移送管１３０，１３１，１３２の液体出口１３０ｂ，１３１ｂ，１３２ｂから図示しない研磨液供給ラインに移送される。このように研磨液は収容容器１０４内を上向きに流れる。研磨液供給ラインは第１研磨液供給ノズル２６Ａの研磨液供給管６８に接続されており、研磨液供給ラインに移送された研磨液は、研磨液供給管６８を通じて研磨パッド２０に供給される。
【００４１】
本実施形態では、ドレッシング液移送管１１０の液体入口１１０ａは収容容器１０４の下部に配置され、ドレッシング液移送管１１０の液体出口１１０ｂは収容容器１０４の上部に配置されている。さらに、研磨液移送管１３０，１３１，１３２の液体入口１３０ａ，１３１ａ，１３２ａは収容容器４の下部に配置され、研磨液移送管１３０，１３１，１３２の液体出口１３０ｂ，１３１ｂ，１３２ｂは収容容器１０４の上部に配置されている。さらに、ノズル洗浄液移送管１２２の液体出口１２２ｂは収容容器１０４の下部に配置されている。このような配置により、流量制御装置１００を必要最小限のサイズにすることができる。
【００４２】
図３に示すように、収容容器１０４の前面パネル１０４ａのドレッシング液流量調整バルブ１１２およびノズル洗浄液流量調整バルブ１２４に対向する位置には開閉自在な蓋部材１０６，１０８が設けられている。以下、蓋部材１０６，１０８の具体的な構成について図５を参照しつつ説明する。
【００４３】
図５（ａ）は蓋部材１０６の拡大図であり、図５（ｂ）は蓋部材１０８の拡大図である。図５（ａ）に示すように、収容容器１０４の前面パネル１０４ａには第１の開口部１０４ｂが形成されており、この開口部１０４ｂを覆う第１の蓋部材１０６が設けられている。開口部１０４ｂおよび蓋部材１０６は、いずれも矩形状を有している。開口部１０４ｂはドレッシング液流量調整バルブ１１２に対応する位置に設けられ、蓋部材１０６はドレッシング液流量調整バルブ１１２に対向して設けられている。開口部１０４ｂはドレッシング液流量調整バルブ１１２と同じか、またはやや大きい形状を有している。同様に、図５（ｂ）に示すように、収容容器１０４の前面パネル１０４ａには第２の開口部１０４ｃが形成されており、この開口部１０４ｃを覆う第２の蓋部材１０８が設けられている。開口部１０４ｃおよび蓋部材１０８は、いずれも矩形状を有している。開口部１０４ｃはノズル洗浄液流量調整バルブ１２４に対応する位置に設けられ、蓋部材１０８はノズル洗浄液流量調整バルブ１２４に対向して設けられている。開口部１０４ｃはノズル洗浄液流量調整バルブ１２４と同じか、またはやや大きい形状を有している。
【００４４】
蓋部材１０６，１０８は蝶番などの開閉機構１５０，１５０により収容容器１０４の前面パネル１０４ａに連結されている。開閉機構１５０，１５０はねじなどの締結具１５１により収容容器１０４の前面パネル１０４ａおよび蓋部材１０６，１０８に取り付けられている。これらの開閉機構１５０，１５０に支持された蓋部材１０６，１０８は扉のように開閉自在となっている。さらに、蓋部材１０６，１０８に取っ手１５２，１５２を取り付けることで容易に蓋部材１０６，１０８を開閉することができる。
【００４５】
ドレッシング液およびノズル洗浄液の流量調整方法は同一であるため、以下、ドレッシング液の流量調整方法について説明する。蓋部材１０６を開くことで、作業員はドレッシング液流量調整バルブ１１２にアクセス可能となる。そして、ドレッシング液流量調整バルブ１１２の調整ツマミ１１２ａを操作することにより、ドレッシング液移送管１１０内を通過するドレッシング液の流量を調整する。ドレッシング液流量調整バルブ１１２の調整が終了したら、蓋部材１０６を閉じる。このように、蓋部材１０６を開くだけでドレッシング液流量調整バルブ１１２を操作することができるので、簡単かつ短時間にドレッシング液の流量を調整することができる。
【００４６】
上述したように、収容容器１０４は、箱型の形状を有しており、その内部には流量調整バルブ１１２，１２４、流量センサ１３４，１３５，１３６、液体移送管１１０，１２２，１３０〜１３２などからなる機器１０２が収容されている。蓋部材１０６，１０８を設けることにより、機器１０２を収容容器１０４内に収容したままの状態にすることができるため、例えば、ドレッシング洗浄液量調整バルブ１１２、ノズル洗浄液量調整バルブ１２４、または流量センサ１３４，１３５，１３６などから液体が漏れた場合でも、液体が収容容器１０４の外部に流出することを防止することができる。
【００４７】
図６（ａ）および図６（ｂ）に示すように、蓋部材１０６，１０８をパッキンなどの密閉部材から構成してもよい。蓋部材１０６は蓋部材１０８と同様の構成を有しているため、以下、蓋部材１０６について説明する。図７は、図６（ａ）のＡ−Ａ線断面図である。図７に示すように、蓋部材１０６は、収容容器１０４の前面パネル１０４ａに形成された開口部１０４ｂを密閉するように取り付けられている。蓋部材１０６は、開口部１０４ｂを閉塞する閉塞部１０６ａと、閉塞部１０６ａの周縁部に形成されたフランジ１０６ｂとから構成されている。開口部１０４ｂはドレッシング液流量調整バルブ１１２と同じか、またはやや大きいサイズを有している。蓋部材１０６は、取り外し可能に開口部１０４ｂに装着されている。蓋部材１０６はゴムなどの樹脂から構成されていることが好ましい。作業員は、蓋部材１０６を取り外すことでドレッシング液流量調整バルブ１１２にアクセスすることができ、調整ツマミ１１２ａを操作することができる。調整ツマミ１１２ａを操作しないときは、蓋部材１０６により収容容器１０４内の空間は密閉されるため、研磨液などの液体が収容容器１０４内に浸入することがない。
【００４８】
図８に示すように、収容容器１０４の前面パネル１０４ａに形成される開口部１０４ｂ，１０４ｃをドレッシング液流量調整バルブ１１２およびノズル洗浄液流量調整バルブ１２４よりも小さくすることも可能である。図８は蓋部材１０６の他の態様であり、図９は図８に示すドレッシング液流量調整バルブ１１２および開口部１０４ｂを矢印Ｂで示す方向から見た図であり、蓋部材１０６を取り外した状態を示している。図９に示すように、開口部１０４ｂは、ドレッシング液流量調整バルブ１１２よりも小さく、その調整ツマミ１１２ａとほぼ同じ大きさである。収容容器１０４に形成される開口部１０４ｂを小さくすることにより、研磨液などの液体が収容容器１０４内に浸入することをより確実に防ぐことができる。
【００４９】
図９に示すように、調整ツマミ１１２ａの頭部に溝１６０を形成することが好ましい。これにより、作業員は調整ツマミ１１２ａをドライバーなどの工具で操作することができる。なお、図７に示す態様の場合は、調整ツマミ１１２ａの頭部に溝１６０を形成しなくてもよい。また、図９において、溝１６０はプラスドライバーの形状に合わせて十字形状を有しているが、この形状に限定されない。
【００５０】
上述した実施形態では、開口部１０４ｂ，１０４ｃおよび蓋部材１０６，１０８は収容容器１０４の前面パネル１０４ａに設けられているが、これらは収容容器１０４の側面に設けられてもよい。
【００５１】
上述した実施形態は、本発明が属する技術分野における通常の知識を有する者が本発明を実施できることを目的として記載されたものである。上記実施形態の種々の変形例は、当業者であれば当然になしうることであり、本発明の技術的思想は他の実施形態にも適用しうることである。したがって、本発明は、記載された実施形態に限定されることはなく、特許請求の範囲によって定義される技術的思想に従った最も広い範囲とすべきである。
【符号の説明】
【００５２】
１Ａ〜１Ｄ    研磨装置
２      ハウジング
６      ロード／アンロード部
８      洗浄部
１０      動作制御部
１２      フロントロード部
１４      走行機構
１６      搬送ロボット
２０      研磨パッド
２２Ａ〜２２Ｄ    研磨テーブル
２４Ａ〜２４Ｄ    トップリング
２６Ａ〜２６Ｄ    研磨液供給ノズル
２８Ａ〜２８Ｄ    ドレッシングユニット
３０Ａ〜３０Ｄ    アトマイザ
４０      第１リニアトランスポータ
４２      第２リニアトランスポータ
４４      リフタ
４６      スイングトランスポータ
４８      仮置き台
５０      第１の搬送ロボット
５２      一次洗浄モジュール
５４      二次洗浄モジュール
５６      乾燥モジュール
５８      第２の搬送ロボット
６１      研磨室
６８      研磨液供給管
６９      ドレッシング液供給管
７２      ノズル洗浄液供給ノズル
１００    流量制御装置
１０２    機器
１０４    収容容器
１０６，１０８    蓋部材
１１０    ドレッシング液移送管
１１２    ドレッシング液流量調整バルブ
１２０    三方弁
１２２    ノズル洗浄液移送管
１２４    ノズル洗浄液流量調整バルブ
１３０，１３１，１３２    研磨液移送管
１３４，１３５，１３６    流量センサ
１３８，１３９，１４０    液だれ防止弁
１５０    開閉機構
１５１    締結具
１５２    取っ手
１６０    溝
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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