(57)【要約】【課題】平面状の基板に対して、水平搬送しつつ下面側となる裏面の液切りを均一に良好な品質で行うことができ、コンパクトな装置設置スペースで、液切り関連部分の取り付け調整作業に大きな負荷がかからない基板液切り搬送装置を提供すること。【解決手段】複数の同軸回転式の搬送軸４を有し、各搬送軸の軸方向の所定位置に基板を載置する複数のコロ５を同軸配置し、複数の前記搬送軸のうち、少なくとも一本の搬送軸の軸方向に沿って複数のスリット６を設けて搬送軸表面にスリット開口部６１を有し、スリット開口部より基板裏面に向けてエアを噴出できる液切り機能を備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
平面状の基板に対して、水平搬送しつつ下面側となる裏面の液切りを行う機能を有する基板液切り搬送装置であって、
複数の同軸回転式の搬送軸を有し、
各搬送軸の軸方向の所定位置に基板を載置する複数のコロを同軸配置し、
複数の前記搬送軸のうち、少なくとも一本の搬送軸の軸方向に沿って複数のスリットを設けて搬送軸表面にスリット開口部を有し、
スリット開口部より基板裏面に向けてエアを噴出できる液切り機能を備えたことを特徴とする基板液切り搬送装置。
【請求項２】
搬送軸は端部から中空領域を有する構造とし、中空領域が搬送軸に垂直な断面で放射状に複数のスリットと繋がり、搬送軸端部からエアを送入することによって、スリット開口部よりエアを噴出させることができることを特徴とする請求項１に記載の基板液切り搬送装置。
【請求項３】
搬送軸とコロが、脱着可能な構造を有することを特徴とする請求項１または２に記載の基板液切り搬送装置。
【請求項４】
搬送軸表面のスリット開口部を開閉できるように搬送軸の円周方向にスライド可能なシャッターを、スリット開口部上に設けたことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の基板液切り搬送装置。
【請求項５】
シャッターの取り付けが、シャッター両端部の軸方向に設けた止め具によって調整され、搬送軸の回転に従って、シャッターの自重により開閉が繰り返されることを特徴とする請求項４に記載の基板液切り搬送装置。
【請求項６】
止め具がテーパー形状を有し、止め具の受け溝をコロ側面に設けて、止め具の設置位置を軸方向に調整することにより、シャッターのスライド幅が調整できることを特徴とする請求項５に記載の基板液切り搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、平面基板に対する湿式処理における液切り装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、液晶表示装置等の平面パネル型の電子ディスプレイが多く利用されるようになり、それらの表示パネルに用いる平面状の基板の表面に各種機能を有するパターン形成を行う製造プロセスが多用されている。製造プロセス中、特に水や薬液を用いる湿式処理が重要な位置を占めており、例えば、カラーフィルタ、ＴＦＴアレイ、タッチパネル用電極などの製造工程において、洗浄、現像、エッチング、剥膜処理等の工程における使用する液体の処理を高品質で効率良く行うために、各種の工夫が施されている。
【０００３】
湿式処理において、水や薬液での処理を行った後、液切りを均一にきれいに効率良く行うことが肝要であり、平面状の基板を大量に処理する量産工程では、基板を水平に搬送しつつ上記の処理を連続して行う。特許文献１に記載されている例のように、従来から、純水シャワーによる洗浄後の基板の表裏面の液切りをエアナイフにより行う装置が利用されている。
【０００４】
図２に、従来の基板液切り搬送装置の例を具体的に示す。図２（ａ）は、斜視概念図であり、図２（ｂ）は、断面概念図である。図外の右方で湿式処理後、引き続いてブロック矢印の方向に基板を水平搬送しつつ、液切りを行う状態を表している。
平面状の基板１は、上方の表（おもて）面も下方の裏面もともに湿式処理により濡れた状態で左方向へ水平搬送される。複数の同軸回転式の搬送軸４が基板の進行方向と垂直に並び、各搬送軸の軸方向の所定位置に複数の同一形状のコロ５を同軸配置して基板を載置する。図示されない回転駆動系により、各搬送軸を曲線矢印の同一方向に同期させて回転することにより、コロ上の基板を水平搬送することができる。予め、基板の下流側に基板面から一定のギャップを空けて表裏両面側に同様に、上流方向の基板面に傾けた一対のエアナイフ８を配置しておく。上下両方のエアナイフのエア噴出端となる辺端部からエアをそれぞれ適正な強さで噴出すことにより、上方の表（おもて）面に滞留した液２と下方の裏面に滞留した液３とをいずれも基板面から排除することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００２−２８２８０７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上述のエアナイフの取り付けには図示されない治具が必要であり、さらに取り付け角度等の調節機構を備えることが望ましい。特に、基板の裏面側に設けるエアナイフの取り付けに際しては、搬送軸やコロの配置が支障となって、作業スペースの制約が大きくなり、装置の保守作業に時間がかかる。また、基板面から一定の均一なギャップを空けて行うエアナイフの調整作業が不完全なものとなり易く、液切り状態の基板面の品質不良を引き起こす原因ともなる。また、エアナイフを充分な調整を達成した状態で容易に取り付けることができるようにするには、搬送軸やコロを有する搬送ローラーから距離を空けたエアナイフの配置が必要となり、装置の設置スペースを大きくとる必要が生じる。
【０００７】
本発明は、前記の問題点に鑑みて提案するものであり、本発明が解決しようとする課題は、平面状の基板に対して、水平搬送しつつ下面側となる裏面の液切りを均一に良好な品
質で行うことができ、コンパクトな装置設置スペースで、液切り関連部分の取り付け調整作業に大きな負荷がかからない基板液切り搬送装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の課題を解決するための手段として、請求項１に記載の発明は、平面状の基板に対して、水平搬送しつつ下面側となる裏面の液切りを行う機能を有する基板液切り搬送装置であって、複数の同軸回転式の搬送軸を有し、各搬送軸の軸方向の所定位置に基板を載置する複数のコロを同軸配置し、複数の前記搬送軸のうち、少なくとも一本の搬送軸の軸方向に沿って複数のスリットを設けて搬送軸表面にスリット開口部を有し、スリット開口部より基板裏面に向けてエアを噴出できる液切り機能を備えたことを特徴とする基板液切り搬送装置である。
【０００９】
また、請求項２に記載の発明は、搬送軸は端部から中空領域を有する構造とし、中空領域が搬送軸に垂直な断面で放射状に複数のスリットと繋がり、搬送軸端部からエアを送入することによって、スリット開口部よりエアを噴出させることができることを特徴とする請求項１に記載の基板液切り搬送装置である。
【００１０】
また、請求項３に記載の発明は、搬送軸とコロが、脱着可能な構造を有することを特徴とする請求項１または２に記載の基板液切り搬送装置である。
【００１１】
また、請求項４に記載の発明は、搬送軸表面のスリット開口部を開閉できるように搬送軸の円周方向にスライド可能なシャッターを、スリット開口部上に設けたことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の基板液切り搬送装置である。
【００１２】
また、請求項５に記載の発明は、シャッターの取り付けが、シャッター両端部の軸方向に設けた止め具によって調整され、搬送軸の回転に従って、シャッターの自重により開閉が繰り返されることを特徴とする請求項４に記載の基板液切り搬送装置である。
【００１３】
また、請求項６に記載の発明は、止め具がテーパー形状を有し、止め具の受け溝をコロ側面に設けて、止め具の設置位置を軸方向に調整することにより、シャッターのスライド幅が調整できることを特徴とする請求項５に記載の基板液切り搬送装置である。
【発明の効果】
【００１４】
本発明は、複数の同軸回転式の搬送軸を有し、各搬送軸の軸方向の所定位置に基板を載置する複数のコロを同軸配置し、複数の前記搬送軸のうち、少なくとも一本の搬送軸の軸方向に沿って複数のスリットを設けて搬送軸表面にスリット開口部を有し、スリット開口部より基板裏面に向けてエアを噴出できる液切り機能を備えたことを特徴とする基板液切り搬送装置であるので、
平面状の基板に対して、水平搬送しつつ下面側となる裏面の液切りを均一に良好な品質で行うことができ、コンパクトな装置設置スペースで、液切り関連部分の取り付け調整作業に大きな負荷がかからない基板液切り搬送装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の一例を説明するための概念図であって、（ａ）は斜視図であり、（ｂ）は断面図である。
【図２】従来の基板液切り搬送装置の例を示し、（ａ）は、斜視概念図であり、（ｂ）は、断面概念図である。
【図３】本発明の主要部を構成する部分の一例の詳細を説明するための断面模式図であって、（ａ）は、搬送軸をその中心軸方向から見た断面、（ｂ）は、搬送軸に垂直な方向から見た断面を示す。
【図４】本発明の他の一例として、シャッターを設けた例を説明するための模式図であって、（ａ）は、搬送軸をその中心軸方向から見た断面図、（ｂ）は、シャッター取り付け部の詳細を説明するための斜視図である。
【図５】本発明におけるシャッター止め具によるシャッターのスライド幅調整機構を説明するための模式図であって、（ａ）は、シャッター端部の形状、（ｂ）は、コロへの止め具の組み込み状態を示す。
【図６】本発明における搬送軸とコロとの関係を変化させる例を説明するための模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、図面に従って、本発明を実施するための形態について説明する。
図１は、本発明の一例を説明するための概念図であって、（ａ）は斜視図であり、（ｂ）は断面図である。なお、本発明の装置に関して、その特徴部分である基板裏面の液切り搬送機能について主に説明するが、通常の基板表（おもて）面への液切り機能を具備して、基板両面の液切り搬送装置として使用できるものである。
【００１７】
図１（ａ）および図１（ｂ）において、平面状の基板１が、前述の湿式処理後に、ブロック矢印で示すように、図の右方から左方に向けて水平搬送される場合を例にとる。図の上面側となる表（おもて）面に、各種機能を有するパターン形成を行う製造プロセス例が一般的であり、図の下面側となる裏面には水平搬送を支え、制御するための搬送ローラー群を配置する。搬送ローラー群は、搬送下面で搬送方向と垂直に並べた複数の同軸回転式の搬送軸４の各々に、基板を直接載置するための複数の同一形状のコロ５を各搬送軸の軸方向の所定位置に同軸配置し、さらに図示されない回転駆動系を加えることにより構成される。各搬送軸を曲線矢印の同一方向に同期させて回転することにより、コロ上の基板を水平搬送することができる。
【００１８】
本発明の基板液切り搬送装置は、上記の基板搬送の機構に新たな液切り機能を追加したものである。すなわち、基板表（おもて）面へのエアナイフ８による通常の液切り機能に加えて、図の左下に示すように、複数の前記搬送軸のうち、少なくとも一本の所定の搬送軸の軸方向に沿って複数のスリット６を設けて搬送軸表面にスリット開口部６１を有し、スリット開口部より基板裏面に向けてエアを噴出できる液切り機能を備えたことを特徴とする。基板の表（おもて）面へのエアナイフ８からのエア噴出により基板の表（おもて）面に滞留した液２を排除するのと同様に、基板の裏面へのスリット開口部６１からのエア噴出により基板の裏面に滞留した液３を排除することができる。
【００１９】
上述の新たな液切り機能において、スリット開口部６１を有する搬送軸の軸方向の所定位置にも上記基板を直接載置するための複数のコロ５が同軸配置されるので、通常と同様に同一形状のコロを使えば、一本のスリット毎の軸方向位置による基板裏面とスリット開口部との距離を同一とすることができる。すなわち、エアナイフの煩雑な調整のように液切り関連部分の取り付け調整作業に大きな負荷をかけなくても、基板面から一定のギャップを保持したエア噴出端を得ることが容易にできるので、裏面の液切りを均一に良好な品質で行うことができる。また、上記のエア噴出可能なスリット開口部を有する搬送軸は、基板の水平搬送にも寄与するので、基板液切り搬送装置全体としてコンパクトな装置設置スペースとすることができる。
【００２０】
エア噴出のためのスリット開口部６１を有する搬送軸は、基板の裏面に滞留した液３を排除するのに最も適した平面位置に設置すればよい。一般的に、従来の裏面用のエアナイフを設けた位置の近傍に設置するのが相応しいが、一本の搬送軸に限定されるものではなく、複数本の搬送軸に同様の加工とエア噴出機能を備えることが可能である。
【００２１】
また、スリット開口部６１を有する搬送軸４に同軸配置するコロ５は、スリット開口部の一部を塞ぎ、エア噴出を遮る部分を生じることがあるので、コロを配置する搬送軸の軸方向の所定位置を基板裏面の無効領域に相当するように限定するか、上述のように複数本のエア噴出機能を備えた搬送軸を組み合わせて、滞留液の排除に支障がないようなコロの搬送軸方向位置の組み合わせ設定を行うことができる。さらに、コロの基板裏面との接触面積をできるだけ小さくすることも滞留液の排除に有効である。
【００２２】
スリット開口部６１より基板裏面に向けてエアを噴出できるようにするための構造の例として、搬送軸４の端部から内部へ向けて中空領域７を有する構造が望ましい。図３は、本発明の主要部を構成する部分の一例の詳細を説明するための断面模式図であって、（ａ）は、搬送軸をその中心軸方向から見た断面、（ｂ）は、搬送軸に垂直な方向から見た断面を示す。
搬送軸４は、その一方の端部から中空領域７を有する構造とし、中空領域が搬送軸に垂直な断面で放射状に複数のスリット６と繋がり、搬送軸端部からエアを送入することによって、スリット開口部よりエアを噴出させることができることを特徴とする。中空領域を始める搬送軸端部から中空領域内へエアを送入するためには、エア供給口と回転状態で使用する搬送軸端部とを市販の回転軸シールを介して接続する。回転軸シールとして、低回転トルクの摺動特性と良好な耐摩耗性を兼ね備えたポリ四フッ化エチレン等の樹脂材料を使用することが好適である。
【００２３】
搬送軸に設けた複数のスリットを通ってスリット開口部から噴出するエアは、搬送軸の回転に伴ってその向きを変える。スリットを均等に配置することで、基板裏面に向けて一定量のエアが常時噴出されるようにすることは可能であるが、基板裏面と異なる方向に無駄に噴出されるエアも多くなる。以下に、スリット開口部を開閉するためのシャッターを設ける例について説明する。
【００２４】
図４は、本発明の他の一例として、シャッターを設けた例を説明するための模式図であって、（ａ）は、搬送軸をその中心軸方向から見た断面図、（ｂ）は、シャッター取り付け部の詳細を説明するための斜視図である。
本発明は、複数のスリット６のエア噴出口として設けた搬送軸４の表面の複数のスリット開口部６１を開閉できるように搬送軸表面の円周方向にスライド可能なシャッター９を、スリット開口部上に設けたことを特徴とする。
また、本発明は、シャッター９の取り付けが、シャッター両端部の軸方向に設けた止め具９１によって調整され、搬送軸の回転に従って、シャッターの自重により開閉が繰り返されることを特徴とする。
本例におけるシャッター開閉機構を以下に説明する。
【００２５】
シャッター９は、スリット開口部６１に平行に、搬送軸方向に長い形状に設けられる。シャッター９が、搬送軸４の表面を円周方向にスライド可能とすることによって、スリット開口部６１の開閉ができる。図４（ａ）の曲線矢印の方向に搬送軸４を回転して基板の搬送を行う際に、各スリット開口部６１から対応する各スリット６を通って噴出するエアを太い直線矢印で示すように、シャッターのスライド状態によりスリット開口部の開閉を調整して、エア量の調整を行うことができる。エア量の調整を行う目的は、基板裏面に向けて一定量のエアが常時噴出されるようにするとともに、基板裏面とは無関係の方向へのエア噴出を極力抑えることにより、効率の良いエア噴出を達成することである。
本発明は、シャッター長手方向の両端部にあって、搬送軸方向に延長する向きに、止め具９１を設けることにより、シャッターの動きを規制し、搬送軸４の円周方向にシャッターを容易にスライド可能とすることができる。すなわち、搬送軸４の回転に伴って、搬送軸４上にあって円周方向にスライド可能なシャッター９が、その自重のみにより円周方向にスライドできるからである。
【００２６】
シャッターの材料は、エアの噴出中であっても搬送軸の回転によって容易に円周方向にスライドでき、確実にスリット開口部の開閉ができるように、ある程度の比重の大きい金属で構成することが望ましい。２箇所の点線矢印で示すように、シャッターの開閉いずれの動きも自重を利用して、繰り返し行う機構であるからである。
【００２７】
また、本発明は、止め具９１がテーパー形状を有し、止め具の受け溝９２を搬送軸の軸方向の所定位置に同軸配置したコロ５の側面に設けて、止め具の設置位置を軸方向に調整することにより、シャッター９のスライド幅が調整できることを特徴とする。
図５は、本発明におけるシャッター止め具によるシャッターのスライド幅調整機構の例を説明するための模式図であって、（ａ）は、シャッター端部の形状、（ｂ）は、コロへの止め具の組み込み状態を示す。
【００２８】
シャッター長手方向の両端部の内、片側のみを図示しているが、搬送軸と平行な方向にシャッター９に取り付けた止め具９１を図５（ａ）のように末端側を太くしたテーパー形状を有する円錐台の形状とする。上記の止め具９１が、搬送軸のスリット開口部の端部に位置するコロ５の側面に止め具の受け溝９２を設けることにより、その受け溝の中に収納される。図５（ｂ）に示すように止め具９１の受け溝９２への組み込み状態は、止め具のシャッター部分との取り付け支柱部分の伸縮により、太線両方向矢印で示すように、受け溝９２の入り口部分での隙間状態を変化させることができ、破線９１’で示す状態を実線９１の状態と隙間の大きさに関して違えることができる。上記のように、止め具の設置位置を搬送軸と平行な軸方向に調整することで、止め具９１と止め具９１’とが隙間状態の変化に伴って、シャッターのスライド幅を変化させることができる。
【００２９】
本発明は、また、搬送軸に設けたスリット開口部から搬送対象となる基板裏面までの距離を変えることにより、スリット開口部からのエア噴出による液切り機能を最適化することができる。
図６は、本発明における搬送軸とコロとの関係を変化させる例を説明するための模式図である。図６（ａ）に対して、図６（ｂ）では搬送軸を変更し、搬送軸４１に対して搬送軸４２のスリット開口部を設けた領域の太さを大きくすることができる。本例では、コロ５はいずれも２段式の同一の大きさのものを使用する。基板１の裏面とスリット開口部との最短距離を、両方向矢印で示すようにｄ１からｄ２に変化することができる。また、本例とは別に、搬送軸を変更せずに、コロを変更することによっても、あるいは、搬送軸とコロとのいずれも変更することによって、基板裏面とスリット開口部との最短距離を変えることができるが、搬送軸のみの変更の方が基板の搬送条件を変動させずに実現できるので好ましい。
上記のように基板液切り搬送装置の使い方の最適化を図るには、搬送軸とコロが、脱着可能な構造を有することが望ましい。搬送軸が分解可能な構造を有することもその実現のために有効となる。
【符号の説明】
【００３０】
１・・・基板
２・・・基板の表（おもて）面に滞留した液
３・・・基板の裏面に滞留した液
４、４１、４２・・・搬送軸
５・・・コロ
６・・・スリット
６１・・・スリット開口部
７・・・中空領域
８・・・エアナイフ
９・・・シャッター
９１、９１’・・・止め具
９２・・・止め具の受け溝
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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