(57)【要約】【課題】加工条件の管理に係る工数を低減できる加工装置を提供する。【解決手段】被加工物を保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された被加工物を加工する加工手段と、加工手段を制御する制御手段２０と、制御手段に対し加工条件を入力設定する入力手段と、加工条件４２を記憶する加工条件記憶部２１と、通信回線５０に接続して情報を送受信する送受信手段３０と、を備える加工装置１であって、送受信手段によって、加工条件を加工装置間で送受信する。【選択図】図２
2014235443.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された該被加工物を加工する加工手段と、該加工手段を制御する制御手段と、該制御手段に対し加工条件を入力設定する入力手段と、該加工条件を記憶する加工条件記憶部と、通信回線に接続して情報を送受信する送受信手段と、を備える加工装置であって、
該送受信手段によって、該加工条件を該加工装置間で送受信することを特徴とする加工装置。
【請求項２】
前記加工条件は、ファイル名によって特定され、
他の前記加工装置から該加工条件を受信すると前記加工条件記憶部は同期処理を実施し、
該同期処理によって、
受信した該加工条件のファイル名と一致する該加工条件が該加工条件記憶部に記憶されていた場合、受信した該加工条件を上書き保存し、
受信した該加工条件のファイル名と一致する該加工条件が該加工条件記憶部に記憶されていなかった場合、受信した該加工条件を新たに保存することを特徴とする請求項１記載の加工装置。
【請求項３】
前記加工条件記憶部は、同期専用記憶部を更に備え、
前記同期処理は該同期専用記憶部に記憶される前記加工条件を対象に実施されることを特徴とする請求項２記載の加工装置。
【請求項４】
前記送受信手段は、定期的且つ自動的に前記加工条件を前記加工装置間で送受信することを特徴とする請求項１、２又は３記載の加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、加工装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスや電子部品の製造工程では、半導体ウエーハやセラミックス基板等の各種素材からなる板状の被加工物を、研削装置のスピンドルに装着された研削ホイールによって研削して所定の厚みに形成した後、切削装置のスピンドルに装着された切削ブレードやレーザー加工装置によって個々のデバイスチップに分割する。
【０００３】
これらの装置では、複数台が１つの工場に設置されている場合が多く、それぞれの装置がオペレーターによって設定された加工条件によって稼働している。加工条件は通常、操作パネルから入力されるか、外部記憶装置を利用して加工条件データを保存したりする（特許文献１参照）。同様の加工を行う装置の台数が多くなれば、同様の加工条件を対象となる複数台の加工装置全てに入力する必要がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−１５８０９４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、一旦入力した加工条件は、加工対象が変わることで微調整が必要となったり、加工対象の種類の増加によって増やしていくことが必要となったりする。その都度全ての加工装置に加工条件の追加や変更を行う場合、多くの工数が必要となる。
【０００６】
本発明の目的は、加工条件の管理に係る工数を低減できる加工装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の加工装置は、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された該被加工物を加工する加工手段と、該加工手段を制御する制御手段と、該制御手段に対し加工条件を入力設定する入力手段と、該加工条件を記憶する加工条件記憶部と、通信回線に接続して情報を送受信する送受信手段と、を備える加工装置であって、該送受信手段によって、該加工条件を該加工装置間で送受信することを特徴とする。
【０００８】
上記加工装置において、前記加工条件は、ファイル名によって特定され、他の前記加工装置から該加工条件を受信すると前記加工条件記憶部は同期処理を実施し、該同期処理によって、受信した該加工条件のファイル名と一致する該加工条件が該加工条件記憶部に記憶されていた場合、受信した該加工条件を上書き保存し、受信した該加工条件のファイル名と一致する該加工条件が該加工条件記憶部に記憶されていなかった場合、受信した該加工条件を新たに保存することが好ましい。
【０００９】
上記加工装置において、前記加工条件記憶部は、同期専用記憶部を更に備え、前記同期処理は該同期専用記憶部に記憶される前記加工条件を対象に実施されることが好ましい。
【００１０】
上記加工装置において、前記送受信手段は、定期的且つ自動的に前記加工条件を前記加工装置間で送受信することが好ましい。
【発明の効果】
【００１１】
本発明に係る加工装置は、通信回線に接続して情報を送受信する送受信手段を備え、送受信手段によって、加工条件を加工装置間で送受信する。本発明に係る加工装置によれば、加工条件の管理に係る工数を低減できるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】図１は、実施形態に係る加工装置を示す図である。
【図２】図２は、実施形態に係る同期処理前の各加工装置を示すブロック図である。
【図３】図３は、実施形態に係る同期処理後の各加工装置を示すブロック図である。
【図４】図４は、実施形態の第２変形例に係る各加工装置を示すブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下に、本発明の実施形態に係る加工装置につき図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、この実施形態によりこの発明が限定されるものではない。また、下記の実施形態における構成要素には、当業者が容易に想定できるものあるいは実質的に同一のものが含まれる。
【００１４】
［実施形態］
図１から図３を参照して、実施形態について説明する。本実施形態は、加工装置に関する。図１は、本発明の実施形態に係る加工装置を示す図、図２は、実施形態に係る同期処理前の各加工装置を示すブロック図、図３は、実施形態に係る同期処理後の各加工装置を示すブロック図である。
【００１５】
図１に示すように、実施形態に係る加工装置１は、チャックテーブル３と、加工手段１０と、制御手段２０と、入力手段４とを含んで構成されている。また、図２に示すように、実施形態に係る加工装置１は、加工条件記憶部２１と、送受信手段３０とを含んで構成されている。
【００１６】
図１に戻り、加工装置１の本体２は、箱状の筐体である。チャックテーブル３、入力手段４、加工手段１０および制御手段２０は、本体２に配置されている。チャックテーブル３は、被加工物Ｗを保持する。実施形態のチャックテーブル３は、保持面３ａに被加工物Ｗを吸引保持する。保持面３ａは、吸引源と連通しており、吸引源から供給される負圧によって被加工物Ｗを吸引保持する。チャックテーブル３は、Ｚ軸回りに回転可能である。
【００１７】
被加工物Ｗは、例えば、半導体ウェーハや光デバイスウェーハである。被加工物Ｗは、例えば、粘着テープＴを介して環状のフレームＦに貼着された状態で、チャックテーブル３上に載置され、チャックテーブル３によって保持される。
【００１８】
加工手段１０は、チャックテーブル３に保持された被加工物Ｗを加工する。実施形態に係る加工手段１０は、切削手段であり、切削ブレード１３を有する。加工手段１０は、回転する切削ブレード１３によって、被加工物Ｗに対して切削加工を施す。加工装置１は、本体２に対してチャックテーブル３をＸ軸方向に相対移動させるＸ軸移動手段を有する。また、加工装置１は、本体２に対して加工手段１０をＹ軸方向に相対移動させるＹ軸移動手段と、本体２に対して加工手段１０をＺ軸方向に相対移動させるＺ軸移動手段とを有する。加工装置１は、各移動手段によって、チャックテーブル３と加工手段１０とを相対移動させることにより、チャックテーブル３に保持された被加工物Ｗを加工する。
【００１９】
本実施形態の加工装置１は、加工手段１０として、第一加工手段１１および第二加工手段１２を有する。２つの加工手段１１，１２の切削ブレード１３は、Ｙ軸方向において互いに対向している。
【００２０】
制御手段２０は、加工手段１０を制御する。制御手段２０は、第一加工手段１１と第二加工手段１２とを独立して動作させることができる。入力手段４は、制御手段２０に対し加工条件を入力設定する。実施形態の入力手段４は、表示モニタの前面に設けられたタッチパネルである。オペレーターは、入力手段４を操作して制御手段２０に対して加工条件を入力設定する。オペレーターは、例えば、手動で加工条件を入力設定することや、後述する加工条件記憶部２１に記憶された加工条件を読み出して加工条件を入力設定することができる。また、オペレーターは、外部記憶装置を加工装置１に接続して、外部記憶装置から読み出した加工条件を制御手段２０に対して入力設定することも可能である。
【００２１】
制御手段２０は、入力設定された加工条件に従って、チャックテーブル３や加工手段１０を含む加工装置１の各部を制御し、被加工物Ｗを加工する。制御手段２０は、例えば、図示しないカセットに収容された複数の被加工物Ｗを順次取り出して切削加工し、加工後の被加工物Ｗをカセットに収容する。
【００２２】
図２に示すように、制御手段２０は、加工条件を記憶する加工条件記憶部２１を有する。加工条件記憶部２１は、例えば、不揮発性のメモリを有し、複数の加工条件を記憶する容量を有している。加工条件記憶部２１は、各加工条件をファイル４０として記憶する。それぞれのファイル４０は、ファイル名４１と、加工条件４２と、更新日時４３とを含んで構成されている。ファイル名４１は、加工条件４２を識別する目印情報である。同一の加工条件記憶部２１内では、全てのファイル４０が互いに異なるファイル名４１を有する。加工条件４２は、例えば、チャックテーブル３の送り速度に関する設定値、切削ブレード１３の回転速度に関する設定値、切削ブレード１３による切削深さに関する設定値などを含むものである。これらの設定値の組合せが１つの加工条件４２としてファイル名４１に関連付けて記憶されている。
【００２３】
本実施形態の加工条件記憶部２１は、同期専用記憶部２２と、非同期記憶部２３とを含んで構成されている。オペレーターは、加工条件４２を同期専用記憶部２２あるいは非同期記憶部２３に記憶させることができる。同期専用記憶部２２に記憶された加工条件４２は、以下に説明するように、他の加工装置１との間で同期される。同期専用記憶部２２と非同期記憶部２３との間で加工条件４２を移動することやコピーすることが可能である。
【００２４】
加工装置１は、通信回線５０に接続して情報を送受信する送受信手段３０を有する。通信回線５０は、有線通信や無線通信を含む通信のための通信回線である。加工装置１は、送受信手段３０によって通信回線５０に接続し、通信回線５０を介した情報の送受信を行う。通信回線５０には、例えば、工場内や事業所内の通信回線や公衆通信回線、専用通信回線等が含まれる。それぞれの加工装置１は、通信回線５０を介して他の加工装置１と接続されており、相互に情報を送受信することができる。
【００２５】
加工装置１は、送受信手段３０によって、加工条件４２を加工装置１間で送受信する。本実施形態の加工装置１は、ファイル４０を加工装置１間で送受信することにより、加工条件４２を送受信する。加工装置１は、例えば、オペレーターの操作入力に応じて他の加工装置１との間で加工条件４２を送受信する。加工装置１は、例えば、通信回線５０を介して接続された全ての加工装置１のうち、選択した一部の加工装置１との間で加工条件４２を送受信することが可能である。また、加工装置１は、通信回線５０を介して接続された全ての加工装置１との間で加工条件４２を送受信することが可能である。
【００２６】
通信回線５０を介して加工条件４２を送受信することにより、１台の加工装置１に記憶させた加工条件４２を他の加工装置１に送信し、展開することができる。よって、複数の加工装置１間で加工条件４２を共通のものとすることが容易となる。例えば、複数の加工装置１のそれぞれで入力手段４を操作して加工条件４２を手動で入力する方法や、加工条件４２を記憶した外部記憶装置を各加工装置１に接続して順次加工条件４２を転送する方法に比べて、短時間でかつ容易に加工条件４２を共通化することができる。
【００２７】
本実施形態に係る加工装置１では、加工条件４２は、ファイル名４１によって特定される。他の加工装置１から加工条件４２を受信すると加工条件記憶部２１は同期処理を実施する。本実施形態では、同期処理は、同期専用記憶部２２に記憶される加工条件４２を対象に実施される。
【００２８】
制御手段２０は、送受信手段３０が他の加工装置１から加工条件４２を受信すると、加工条件記憶部２１によって同期処理を実施する。加工条件記憶部２１は、同期処理によって、（１）受信した加工条件４２のファイル名４１と一致する加工条件４２が同期専用記憶部２２に記憶されていた場合、受信した加工条件４２を同期専用記憶部２２に上書き保存し、（２）受信した加工条件４２のファイル名４１と一致する加工条件４２が同期専用記憶部２２に記憶されていなかった場合、受信した加工条件４２を同期専用記憶部２２に新たに保存する。
【００２９】
図２および図３を参照して、具体的な同期処理の方法について説明する。図２には、同期処理前の各加工装置１が示されている。通信回線５０を介して４台の加工装置１（装置Ａ、装置Ｂ、装置Ｃ、装置Ｄ）が接続されている。以下の説明では、ファイル名４１が「ｘ」であるファイル４０を単に「ファイルｘ」とも称する。
【００３０】
装置Ａの同期専用記憶部２２には、ファイルａ、ファイルｂ、ファイルｃおよびファイルｄの４つのファイル４０が記憶されている。また、装置Ｂの同期専用記憶部２２には、ファイルａが記憶されている。装置Ｃの同期専用記憶部２２には、ファイルａ、ファイルｂおよびファイルｃの３つのファイル４０が記憶されている。装置Ｄの同期専用記憶部２２には、ファイルａおよびファイルｂ’の２つのファイル４０が記憶されている。
【００３１】
装置Ａ、装置Ｂおよび装置Ｄに記憶されているファイルａの加工条件４２は同一である。一方、装置Ｃに記憶されているファイルａの加工条件４２は、他の加工装置１（装置Ａ、装置Ｂ、装置Ｄ）に記憶されているファイルａの加工条件４２とは異なる。
【００３２】
加工条件４２の同期処理は、例えば、１台の加工装置１から他の加工装置１に対して加工条件４２を送信することにより実行される。ここでは、装置Ａから他の加工装置１（装置Ｂ、装置Ｃ、装置Ｄ）に対して加工条件４２を送信する場合について説明する。加工条件４２の同期は、例えば、オペレーターによる同期処理の実行指令によって開始される。装置Ａに対して同期処理の実行指令がなされると、図３に示すように、装置Ａは、装置Ｂ、装置Ｃ、装置Ｄに対してファイル４０を送信する。ここで、同期処理の際に送信されるファイル４０は、同期専用記憶部２２に記憶されたファイル４０である。装置Ａは、同期専用記憶部２２に記憶されたファイルａ、ファイルｂ、ファイルｃ、ファイルｄの４つのファイル４０を装置Ｂ，Ｃ，Ｄに対して送信する。
【００３３】
装置Ｂ，Ｃ，Ｄは、装置Ａから送信されたファイル４０を受信し、受信したファイル４０を自らの同期専用記憶部２２に記憶する。同期専用記憶部２２は、受信した加工条件４２のファイル名４１と一致するファイル名４１を有する加工条件４２が同期専用記憶部２２に記憶されていた場合、受信した加工条件４２を上書き保存する。例えば、装置Ｂ，Ｃ，Ｄは、ファイルａを受信した場合、同期専用記憶部２２にファイル名４１が「ａ」であるファイル４０が既に記憶されているか否かを判定する。図２に示すように、装置Ｂ，Ｃ，Ｄの同期専用記憶部２２には、同期処理前からそれぞれファイルａが記憶されている。従って、装置Ｂ，Ｃ，Ｄの加工条件記憶部２１は、受信したファイルａを同期専用記憶部２２に上書き保存する。これにより、図３に示すように、装置Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄのファイルａの加工条件４２が同期され、同一となる。
【００３４】
装置Ｂ，Ｃ，Ｄは、ファイルｂを受信した場合、同期専用記憶部２２にファイル名４１が「ｂ」であるファイル４０が既に記憶されているか否かを判定する。図２に示すように、同期処理前には、装置Ｃの同期専用記憶部２２にはファイルｂが記憶されている。従って、装置Ｃの加工条件記憶部２１は、受信したファイルｂを同期専用記憶部２２に上書き保存する。一方、同期処理前に、装置Ｂ，Ｄの同期専用記憶部２２にはファイルｂが記憶されていない。このように、受信した加工条件４２のファイル名４１と一致するファイル名４１を有する加工条件４２が同期専用記憶部２２に記憶されていなかった場合、加工条件記憶部２１は、受信した加工条件４２を同期専用記憶部２２に新たに保存する。これにより、図３に示すように、同期処理後の装置Ｂ，Ｄの同期専用記憶部２２には、受信したファイルｂが新たに保存される。
【００３５】
装置Ｂ，Ｃ，Ｄは、ファイルｃを受信した場合、同期専用記憶部２２にファイル名４１が「ｃ」であるファイル４０が既に記憶されているか否かを判定する。図２に示すように、同期処理前には、装置Ｃの同期専用記憶部２２にはファイルｃが記憶されているが、装置Ｂ，Ｄの同期専用記憶部２２には、ファイルｃは記憶されていない。従って、装置Ｃの同期専用記憶部２２には受信したファイルｃが上書き保存され、装置Ｂ，Ｄの同期専用記憶部２２には受信したファイルｃが新たに保存される。
【００３６】
装置Ｂ，Ｃ，Ｄは、ファイルｄを受信した場合、同期専用記憶部２２にファイル名４１が「ｄ」であるファイル４０が既に記憶されているか否かを判定する。図２に示すように、同期処理前には、装置Ｂ，Ｃ，Ｄのいずれの同期専用記憶部２２にもファイルｄは記憶されていない。従って、装置Ｂ，Ｃ，Ｄの加工条件記憶部２１は、受信したファイルｄを同期専用記憶部２２に新たに保存する。なお、同期処理前から装置Ｄの同期専用記憶部２２に記憶されていたファイルｂ’は、同期処理後も同期専用記憶部２２に記憶されたままとされる。すなわち、受信したファイル４０のファイル名４１のいずれとも異なるファイル名４１を有するファイル４０は、同期処理によって変更がなされない。
【００３７】
こうした同期処理により、同期処理後の各装置Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄの同期専用記憶部２２では、図３に示すように、同一のファイル名４１に係る加工条件４２は同一の内容に同期されている。従って、同期処理がなされた装置Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄは、同じ加工条件４２を共有する。
【００３８】
また、非同期記憶部２３に記憶されたファイル４０（加工条件４２）は、同期処理によって変更されない。従って、それぞれの加工装置１で独自に使用する加工条件４２を非同期記憶部２３に記憶しておけば、当該加工条件４２は同期処理によって影響されることがない。
【００３９】
本実施形態に係る加工装置１によれば、記憶した加工条件４２を加工装置１間で送受信し、保存することが可能である。よって、新たな加工条件４２を１台の加工装置１に入力すれば、一括で他の加工装置１に同じ加工条件４２を記憶させることができる。従って、加工条件４２の入力や変更、削除のような加工条件４２の管理に係る工数の大幅な減少という効果を得られる。また、加工装置１は、同期専用記憶部２２を有する。加工装置１ごとに特定の加工条件４２と、他の加工装置１と同期させておきたい加工条件４２とを分けて記憶させることができる。同期させる加工条件４２を専用の同期専用記憶部２２に保存することで、特定の加工条件４２と区分けできる。
【００４０】
なお、加工装置１において制御手段２０に対し加工条件４２が入力設定されている場合、同期処理において、当該加工装置１では、少なくとも当該加工条件４２（以下、「使用中の加工条件４２」とも称する。）に係る同期処理が禁止されることが好ましい。この場合、制御手段２０は、使用中の加工条件４２による一連の加工が完了するまでエラーを立てて、当該加工条件４２の上書き保存や削除を禁止するようにすればよい。制御手段２０は、カセットに収容された全ての被加工物Ｗの加工を完了した場合など、使用中の加工条件４２による一連の加工が完了した場合、当該加工条件４２に係る同期処理を許容する。制御手段２０は、オペレーターに対して使用中の加工条件４２に対する同期処理の要求がなされていることを通知し、オペレーターの許可があった場合に当該加工条件４２の同期処理を実行することが好ましい。
【００４１】
本実施形態では、加工条件４２の目印情報がファイル名４１であり、ファイル名４１によって加工条件４２が特定されたが、他の目印情報によって加工条件４２が特定されてもよい。
【００４２】
本実施形態では、同期処理において、同期専用記憶部２２内の全てのファイル４０が他の加工装置１に対して送信されたが、同期専用記憶部２２内の一部のファイル４０が送信されるようにしてもよい。例えば、オペレーターによって選定された加工条件４２は他の加工装置１に送信され、選定されていない加工条件４２は送信されないようにしてもよい。
【００４３】
加工手段１０が有する切削ブレード１３の数は、複数には限定されず、１つであってもよい。また、加工手段１０は、切削手段には限定されない。加工手段１０は、例えば、研削手段、研磨手段、レーザ加工手段等であってもよい。
【００４４】
通信回線５０を介して互いに接続される加工装置１は、同じ加工条件４２による加工が可能なものであればよい。例えば、型番の異なる複数の加工装置１が通信回線５０を介して加工手段４２を送受信するようにしてもよい。
【００４５】
［実施形態の第１変形例］
実施形態の第１変形例について説明する。同期処理において、送信先の同期専用記憶部２２は、同期専用記憶部２２内の記憶内容を送信元の同期専用記憶部２２内の記憶内容と全て一致させてもよい。例えば、上記実施形態では、受信したいずれのファイル４０のファイル名４１とも異なるファイル名４１を有するファイル４０は、同期処理によって変更されなかったが、これに代えて、受信したファイル４０以外のファイル４０は削除されてもよい。
【００４６】
図３を参照して説明すると、装置Ｄの加工条件記憶部２１は、受信したファイル４０を同期専用記憶部２２に上書き保存あるいは新たに保存すると共に、同期専用記憶部２２からファイルｂ’を削除する。これにより、同期処理後に装置Ｄの同期専用記憶部２２に記憶されているファイル４０は、ファイルａ，ｂ，ｃ，ｄの４つのファイルとなる。すなわち、送信元の装置Ａの同期専用記憶部２２の記憶内容と、装置Ｄの同期専用記憶部２２の記憶内容とが全て一致する。これにより、いずれかの加工装置１の同期専用記憶部２２に、他の加工装置１の同期専用記憶部２２には記憶されていない加工条件４２が存在する状況をなくすことが可能である。
【００４７】
［実施形態の第２変形例］
実施形態の第２変形例について説明する。図４は、実施形態の第２変形例に係る各加工装置を示すブロック図である。第２変形例の加工装置１において、上記実施形態および実施形態の第１変形例の加工装置１と異なる点は、加工条件記憶部２１が一時記憶部２４を有する点である。一時記憶部２４は、同期専用記憶部２２および非同期記憶部２３の何れとも異なる記憶領域である。一時記憶部２４には、例えば、同期専用記憶部２２から削除されるファイル４０が保存される。
【００４８】
例えば、加工条件記憶部２１は、受信したファイル４０の何れともファイル名４１が異なるファイル４０を同期専用記憶部２２から削除する場合、削除対象のファイル４０を一時記憶部２４に保存する。例えば、同期処理前の装置Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄの同期専用記憶部２２の記憶内容が図２に示すものと同様であって、装置Ａから装置Ｂ，Ｃ，Ｄにファイルａ，ｂ，ｃ，ｄが送信された場合、図４に示すように、装置Ｄの同期専用記憶部２２からはファイルｂ’が削除され、一時記憶部２４にファイルｂ’が保存される。オペレーターは、一時記憶部２４のファイル４０を同期専用記憶部２２や非同期記憶部２３に移動あるいはコピーすることが可能である。従って、同期処理によって同期専用記憶部２２から削除されたファイル４０を同期専用記憶部２２に復元することや、非同期記憶部２３に保存して利用することが可能である。また、オペレーターは、一時記憶部２４のファイル４０を削除することが可能である。
【００４９】
なお、加工条件記憶部２１は、同期処理によって同期専用記憶部２２のファイル４０を上書き保存する場合、上書き保存によって消去する加工条件４２、すなわち同期処理実行前の加工条件４２を一時記憶部２４に保存するようにしてもよい。例えば、同期専用記憶部２２のファイルａが上書き保存される場合、上書き前のファイルａが一時記憶部２４に保存され、上書き後のファイルａが同期専用記憶部２２に保存される。
【００５０】
このように、同期専用記憶部２２に記憶されていたファイル４０のうち、同期処理によって変更されるファイル４０が、一時記憶部２４に退避させられるようにすれば、同期処理によって変更されたファイル４０を同期処理前の内容に復元することが可能となる。
【００５１】
［実施形態の第３変形例］
実施形態の第３変形例について説明する。加工条件記憶部２１は、同期専用記憶部２２を有していなくてもよい。上記実施形態では、同期処理が同期専用記憶部２２に記憶される加工条件４２を対象に実施されたが、これに代えて、同期処理は加工条件記憶部２１に記憶される加工条件４２を対象に実施されてもよい。
【００５２】
制御手段２０は、送受信手段３０が他の加工装置１から加工条件４２を受信すると、加工条件記憶部２１によって同期処理を実施する。加工条件記憶部２１は、同期処理によって、（１）受信した加工条件４２のファイル名４１と一致する加工条件４２が加工条件記憶部２１に記憶されていた場合、受信した加工条件４２を上書き保存し、（２）受信した加工条件４２のファイル名４１と一致する加工条件４２が加工条件記憶部２１に記憶されていなかった場合、受信した加工条件４２を新たに保存する。他の加工装置１から受信したファイル４０のいずれともファイル名４１が異なるファイル４０については、加工条件記憶部２１に残されてもよく、加工条件記憶部２１から削除されてもよい。
【００５３】
［実施形態の第４変形例］
実施形態の第４変形例について説明する。上記実施形態では、オペレーターの指令によって同期処理がなされたが、これに代えて、定期的かつ自動的に同期処理がなされてもよい。この場合、予め定められたマスターとなる加工装置１から他の加工装置１に対してファイル４０が送信されることが好ましい。このように、送受信手段３０が定期的かつ自動的に加工条件４２を加工装置１間で送受信するようにすれば、加工条件４２の管理に係るオペレーターの作業負担を低減することができる。定期的に通信回線５０を介して同じファイル名４１の加工条件４２を同期して上書きすることで、複数の加工装置１で常に同じ条件が記憶されている状態が自動的に保たれるということも可能となる。
【００５４】
加工装置１において、加工条件４２の更新や登録がなされたことをトリガ条件として同期処理がなされてもよい。例えば、オペレーターによって加工装置１の同期専用記憶部２２に加工条件４２が登録されたり、同期専用記憶部２２の加工条件４２が変更されたりした場合に、自動的に当該加工装置１をマスターとして加工条件４２の同期処理が実行されるようにしてもよい。
【００５５】
上記の実施形態および変形例に開示された内容は、適宜組み合わせて実行することができる。
【符号の説明】
【００５６】
１  加工装置
３  チャックテーブル
４  入力手段
１０  加工手段
２０  制御手段
２１  加工条件記憶部
２２  同期専用記憶部
２３  非同期記憶部
２４  一時記憶部
３０  送受信手段
４０  ファイル
４１  ファイル名
４２  加工条件
４３  更新日時
５０  通信回線
Ｗ  被加工物
【図１】
2014235443.tif 000003
【図２】
2014235443.tif 000004
【図３】
2014235443.tif 000005
【図４】
2014235443.tif 000006