(57)【要約】【課題】相互に１８０°でずれた位相の漏れ振動のいずれにも対応することができる調整用電極を有する振動片を提供する。【解決手段】角速度の検出にあたって駆動用振動腕で振動が励起される。コリオリ力に応じて検出用振動腕２６ａ、２６ｂから出力信号が出力される。同時に、調整用電極２８ａ、２８ｂから電気信号が出力される。漏れ振動の成分は調整用電極２８ａ、２８ｂの電気信号で少なくとも部分的に打ち消される。切断痕５２ａ〜５２ｄの形成に応じて選択的にいずれか一方の調整用電極４８ｂ、４８ｃはグラウンド用電極４７ａから切り離され、他方の調整用電極４８ａとグラウンド用電極４７ａとの接続は維持される。こうして選択的に調整用振動腕２８ａ、２８ｂから出力される電気信号の位相は確立される。【選択図】図５
2014199194.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基部と、
前記基部から延びている駆動用振動腕と、
前記基部から延びている検出用振動腕と、
前記基部から延びている調整用振動腕と、
前記調整用振動腕で前記調整用振動腕の延伸方向に延びている面であって隣り合う２面に個別に配置され、前記検出用振動腕の漏れ振動の出力信号に対して逆位相の電気信号を生成する１対の調整用電極と、
前記１対の調整用電極の一方に連続する導電体とグラウンド用電極に連続する導電体との間の切断痕と
を備えることを特徴とする振動片。
【請求項２】
請求項１に記載の振動片において、
前記調整用振動腕の表面において、前記１対の調整用電極の少なくとも一方の輪郭に連続して配置されている欠損痕を備えることを特徴とする振動片。
【請求項３】
請求項１または２に記載の振動片において、
前記調整用振動腕は、前記延伸方向に延びている４面を有する角柱状であり、
前記１対の調整用電極を少なくとも２組備え、
前記２組の１対の調整用電極のうちの１組は、前記調整用振動腕の前記４面のうちの隣り合う２面に個別に配置され、
前記２組の１対の調整用電極のうちの他の１組は、前記調整用振動腕の前記４面のうちの隣り合う他の２面に個別に配置され、
前記調整用振動腕の前記４面のうちの相対する２面に配置された前記調整用電極に連続する前記導電体と、前記グラウンド用電極に連続する前記導電体との間の前記切断痕を備える
ことを特徴とする振動片。
【請求項４】
請求項１または２に記載の振動片において、
前記調整用振動腕は、前記延伸方向に延びている４面を有する四角柱状であり、
前記１対の調整用電極を少なくとも２組備え、
前記２組の１対の調整用電極のうちの１組は、前記４面のうちの隣り合う２面に個別に配置され、
前記２組の１対の調整用電極のうちの他の１組は、前記４面のうちの隣り合う他の２面に個別に配置され、
前記調整用振動腕の前記４面のうちの隣り合う２面に配置された前記調整用電極に連続する前記導電体と、前記グラウンド用電極に連続する前記導電体との間の前記切断痕を備える
ことを特徴とする振動片。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載の振動片を有することを特徴とするジャイロセンサー。
【請求項６】
請求項１〜４のいずれか１項に記載の振動片を有することを特徴とする電子機器。
【請求項７】
請求項１〜４のいずれか１項に記載の振動片を有することを特徴とする移動体。
【請求項８】
基部と、
前記基部から延びている駆動用振動腕と、
前記基部から延びている検出用振動腕と、
前記基部から延びている調整用振動腕と、
前記調整用振動腕で前記調整用振動腕の延伸方向に延びている面であって隣り合う２面に個別に配置されている１対の調整用電極であって、個々に前記検出用振動腕上の信号用電極およびグラウンド用電極の両方に接続されている１対の調整用電極と
を備えることを特徴とする振動片。
【請求項９】
振動片の製造方法であって、
前記振動片は、基部と、前記基部から延びている駆動用振動腕と、前記基部から延びている検出用振動腕と、前記基部から延びている調整用振動腕とを備え、
前記調整用振動腕で前記調整用振動腕の延伸方向に延びている面であって隣り合う２面に個別に配置されている１対の調整用電極のうち一方の調整用電極が前記検出用振動腕の信号用電極に導電体により電気的に接続されている状態で、前記一方の調整用電極から延びて前記検出用振動腕のグラウンド用電極に接続される導電体を切断する工程と、
前記１対の調整用電極のうち他方の調整用電極が前記検出用振動腕のグラウンド用電極に導電体により電気的に接続されている状態で、前記他方の調整用電極から延びて前記検出用振動腕の信号用電極に接続される導電体を切断する工程と
を備えることを特徴とする振動片の製造方法。
【請求項１０】
基部と、
前記基部から延びている駆動用振動腕と、
前記基部から延びている検出用振動腕と、
前記基部から延びている調整用振動腕と、
前記調整用振動腕で、前記調整用振動腕の延伸方向に延びている面であって隣り合う２面に個別に配置され、前記検出用振動腕の漏れ振動の出力信号に対して逆位相の電気信号を生成する１対の調整用電極と、
前記調整用電極の一方に連続する導電体とグラウンド用電極に連続する導電体とを接続している導電材と
を備えることを特徴とする振動片。
【請求項１１】
振動片の製造方法であって、
前記振動片は、基部と、前記基部から延びている駆動用振動腕と、前記基部から延びている検出用振動腕と、前記基部から延びている調整用振動腕とを備え、
前記調整用振動腕で前記調整用振動腕の延伸方向に延びている面であって隣り合う２面に個別に配置されている１対の調整用電極のうち一方の調整用電極と前記検出用振動腕の信号用電極との間が電気的に分離された状態で、前記一方の調整用電極から連続する導電体に前記検出用振動腕のグラウンド用電極から連続する導電体を接続する工程と、
前記１対の調整用電極のうち他方の調整用電極と前記検出用振動腕上のグラウンド用電極との間が電気的に分離された状態で、前記他方の調整用電極から連続する導電体に前記検出用振動腕の前記信号用電極から連続する導電体を接続する工程と
を備えることを特徴とする振動片の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動片およびその振動片を利用したジャイロセンサー、並びに、その振動片が組み込まれる電子機器および移動体等に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば特許文献１に記載されるように、ジャイロセンサーに利用される振動片は一般に知られる。駆動用振動腕に角速度運動が加わると、コリオリ力の働きで駆動用振動腕の振動方向が変化する。コリオリ力に対応して特定の方向に新たに力成分が生起される。この力成分は検出用振動腕の運動を引き起こす。こうして力成分に応じた出力信号が検出用振動腕から出力される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１２−１１２７４８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
振動片の本体は例えば圧電材といった素材から削り出されることができる。削り出しにあたって素材の表面および裏面にはマスクが配置される。マスク同士の間でアライメントずれが生じると、駆動用振動腕の側面は表面および裏面に直交することができず傾斜してしまう。こうして駆動用振動腕の断面形状に加工誤差が生じると、駆動用振動腕は規定の仮想平面内で振動することができず、規定の仮想平面から傾斜する仮想平面内で振動してしまう。いわゆる斜め振動が生じる。こうした現象は振動漏れと呼ばれ、検出用振動腕の出力信号では力成分に漏れ振動の成分が重畳される。その結果、出力信号のＳ／Ｎ比は悪化する。角速度運動が入力されていない状態で振動片から角速度信号が出力されてしまう。
【０００５】
特許文献１では、漏れ振動の成分の除去にあたって調整用振動腕が加えられる。調整用振動腕に２対の調整用電極が設けられる。しかしながら、調整用振動腕の側面に形成される調整用電極とグラウンド用導電体との接続は固定される。したがって、特定の位相の漏れ振動は打ち消されることができるものの、そうした特定の位相から１８０°ずれた位相の漏れ振動は解消されることはできない。
【０００６】
本発明の少なくとも１つの態様によれば、相互に１８０°でずれた位相の漏れ振動のいずれにも対応することができる調整用電極を有する振動片を提供することができる。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
（１）本発明の一態様は、基部と、前記基部から延びている駆動用振動腕と、前記基部から延びている検出用振動腕と、前記基部から延びている調整用振動腕と、前記調整用振動腕で前記調整用振動腕の延伸方向に延びている面であって隣り合う２面に個別に配置され、前記検出用振動腕の漏れ振動の出力信号に対して逆位相の電気信号を生成する１対の調整用電極と、前記１対の調整用電極の一方に連続する導電体とグラウンド用電極に連続する導電体との間の切断痕とを備える振動片に関する。
【０００８】
こうした振動片は角速度の検出にあたって用いられることができる。角速度の検出にあたって駆動用振動腕で振動が励起される。このとき、駆動用振動腕に角速度運動が加わると、コリオリ力の働きで駆動用振動腕の振動方向が変化する。コリオリ力に対応して特定の方向に新たに力成分が生起される。この力成分は検出用振動腕の運動を引き起こす。こうして力成分に応じた出力信号が検出用振動腕から出力される。
【０００９】
駆動用振動腕で励起された振動は同時に調整用振動腕の運動を引き起こす。こうした運動に応じて調整用電極から電気信号が出力される。検出用振動腕の出力信号に含まれる漏れ振動の成分は調整用電極の電気信号で少なくとも部分的に打ち消されることができることを本発明者は見出した。調整用電極の電気信号が検出用振動腕の出力信号に重畳されると、出力信号のＳ／Ｎ比は向上する。しかも、この振動片では、切断痕の形成に応じて選択的にいずれか一方の調整用電極はグラウンド用電極から切り離され、他方の調整用電極とグラウンド用電極との接続は維持される。こうして選択的に電気信号の位相は確立される。その結果、相互に１８０°でずれた位相の漏れ振動のいずれにも対応することができる。しかも、相互に１８０°でずれた位相ごとに調整用振動腕の１面に２つの調整用電極が形成される必要はなく、１つの調整用電極は調整用振動腕の１面ごとに最大限に広がることができる。したがって、調整用電極の面積の調整幅は最大限に確保されることができる。
【００１０】
（２）振動片は、前記調整用振動腕の表面において、前記１対の調整用電極の少なくとも一方の輪郭に連続して配置されている欠損痕を備えることができる。欠損痕の形成に応じて調整用電極の面積は調整されることができる。その結果、調整用電極から出力される電流量は調整されることができる。検出用振動腕の出力信号に含まれる漏れ振動の成分は調整用電極の電気信号できめ細かく打ち消されることができる。
【００１１】
（３）前記調整用振動腕は、前記延伸方向に延びている４面を有する角柱状であり、前記１対の調整用電極を少なくとも２組備えることができる。前記２組の１対の調整用電極のうちの１組は、前記調整用振動腕の前記４面のうちの隣り合う２面に個別に配置され、前記２組の１対の調整用電極のうちの他の１組は、前記調整用振動腕の前記４面のうちの隣り合う他の２面に個別に配置される。このとき、振動片は、前記調整用振動腕の前記４面のうちの相対する２面に配置された前記調整用電極に連続する前記導電体と、前記グラウンド用電極に連続する前記導電体との間の前記切断痕を備えることができる。グラウンド用電極から切り離される調整用電極では両側の稜線に沿ってグラウンド用電極に繋がる調整用電極との間で圧電電流が取り出されることができる。したがって、比較的に効率的に圧電電流は取り出されることができる。
【００１２】
（４）あるいは、前記調整用振動腕は、前記延伸方向に延びている４面を有する四角柱状であり、前記１対の調整用電極を少なくとも２組備えることができる。前記２組の１対の調整用電極のうちの１組は、前記４面のうちの隣り合う２面に個別に配置され、前記２組の１対の調整用電極のうちの他の１組は、前記４面のうちの隣り合う他の２面に個別に配置される。このとき、振動片は、前記調整用振動腕の前記４面のうちの隣り合う２面に配置された前記調整用電極に連続する前記導電体と、前記グラウンド用電極に連続する前記導電体との間の前記切断痕を備えることができる。グラウンド用電極から切り離される調整用電極では片側の稜線に沿ってグラウンド用電極に繋がる調整用電極との間で圧電電流が取り出されることができる。したがって、限定的に圧電電流は取り出されることができる。
【００１３】
（５）振動片はジャイロセンサーに組み込まれて利用されることができる。ジャイロセンサーは振動片を有することができる。
【００１４】
（６）振動片は電子機器に組み込まれて利用されることができる。電子機器は振動片を有することができる。
【００１５】
（７）振動片は移動体に組み込まれて利用されることができる。移動体は振動片を有することができる。
【００１６】
（８）本発明の他の態様は、基部と、前記基部から延びている駆動用振動腕と、前記基部から延びている検出用振動腕と、前記基部から延びている調整用振動腕と、前記調整用振動腕で前記調整用振動腕の延伸方向に延びている面であって隣り合う２面に個別に配置されている１対の調整用電極であって、個々に前記検出用振動腕上の信号用電極およびグラウンド用電極の両方に接続されている１対の調整用電極とを備える振動片に関する。
【００１７】
こうした振動片では、センサーへの組み込みに先立って例えば形状の観察などに基づき検出用振動腕の出力信号に含まれる漏れ振動の成分が特定される。漏れ振動の位相に応じて対のうちの一方の調整用電極はグラウンド用電極から切り離され他方の調整用電極は信号用電極から切り離される。こうして選択的に調整用振動腕の出力信号の位相は設定される。その結果、相互に１８０°でずれた位相の漏れ振動のいずれにも対応することができる。しかも、相互に１８０°でずれた位相ごとに調整用振動腕の１面に２つの調整用電極が形成される必要はなく、１つの調整用電極は調整用振動腕の１面ごとに最大限に広がることができる。したがって、調整用電極の面積の調整幅は最大限に確保されることができる。
【００１８】
（９）本発明のさらに他の態様は、振動片の製造方法であって、前記振動片は、基部と、前記基部から延びている駆動用振動腕と、前記基部から延びている検出用振動腕と、前記基部から延びている調整用振動腕とを備え、前記調整用振動腕で前記調整用振動腕の延伸方向に延びている面であって隣り合う２面に個別に配置されている１対の調整用電極のうち一方の調整用電極が前記検出用振動腕の信号用電極に導電体により電気的に接続されている状態で、前記一方の調整用電極から延びて前記検出用振動腕のグラウンド用電極に接続される導電体を切断する工程と、前記１対の調整用電極のうち他方の調整用電極が前記検出用振動腕のグラウンド用電極に導電体により電気的に接続されている状態で、前記他方の調整用電極から延びて前記検出用振動腕の信号用電極に接続される導電体を切断する工程とを備える振動片の製造方法に関する。
【００１９】
例えば形状の観察などに基づき検出用振動腕の出力信号に含まれる漏れ振動の成分が特定される。漏れ振動の位相に応じて対のうちの一方の調整用電極はグラウンド用電極から切り離され他方の調整用電極は信号用電極から切り離される。こうして選択的に調整用振動腕の出力信号の位相は設定される。その結果、相互に１８０°でずれた位相の漏れ振動のいずれにも対応することができる。しかも、相互に１８０°でずれた位相ごとに調整用振動腕の１面に２つの調整用電極が形成される必要はなく、１つの調整用電極は調整用振動腕の１面ごとに最大限に広がることができる。したがって、調整用電極の面積の調整幅は最大限に確保されることができる。
【００２０】
（１０）本発明のさらに他の態様は、基部と、前記基部から延びている駆動用振動腕と、前記基部から延びている検出用振動腕と、前記基部から延びている調整用振動腕と、前記調整用振動腕で、前記調整用振動腕の延伸方向に延びている面であって隣り合う２面に個別に配置され、前記検出用振動腕の漏れ振動の出力信号に対して逆位相の電気信号を生成する１対の調整用電極と、前記調整用電極の一方に連続する導電体とグラウンド用電極に連続する導電体とを接続している導電材とを備える振動片に関する。
【００２１】
こうした振動片は角速度の検出にあたって用いられることができる。角速度の検出にあたって駆動用振動腕で振動が励起される。このとき、駆動用振動腕に角速度運動が加わると、コリオリ力の働きで駆動用振動腕の振動方向が変化する。コリオリ力に対応して特定の方向に新たに力成分が生起される。この力成分は検出用振動腕の運動を引き起こす。こうして力成分に応じた出力信号が検出用振動腕から出力される。
【００２２】
力成分は同時に調整用振動腕の運動を引き起こす。こうした運動に応じて調整用電極から電気信号が出力される。検出用振動腕の出力信号に含まれる漏れ振動の成分は調整用電極の電気信号で少なくとも部分的に打ち消されることができることを本発明者は見出した。調整用電極の電気信号が検出用振動腕の出力信号に重畳されると、出力信号のＳ／Ｎ比は向上する。しかも、この振動片では、後付けの導電材に基づき選択的にいずれか一方の調整用電極はグラウンド用電極に接続され、他方の調整用電極とグラウンド用電極との分離は維持される。こうして選択的に電気信号の位相は確立される。その結果、相互に１８０°でずれた位相の漏れ振動のいずれにも対応することができる。その上、相互に１８０°でずれた位相ごとに調整用振動腕の１面に２つの調整用電極が形成される必要はなく、１つの調整用電極は調整用振動腕の１面ごとに最大限に広がることができる。したがって、調整用電極の面積の調整幅は最大限に確保されることができる。
【００２３】
（１１）本発明のさらに他の態様は、振動片の製造方法であって、前記振動片は、基部と、前記基部から延びている駆動用振動腕と、前記基部から延びている検出用振動腕と、前記基部から延びている調整用振動腕とを備え、前記調整用振動腕で前記調整用振動腕の延伸方向に延びている面であって隣り合う２面に個別に配置されている１対の調整用電極のうち一方の調整用電極と前記検出用振動腕の信号用電極との間が電気的に分離された状態で、前記一方の調整用電極から連続する導電体に前記検出用振動腕のグラウンド用電極から連続する導電体を接続する工程と、前記１対の調整用電極のうち他方の調整用電極と前記検出用振動腕上のグラウンド用電極との間が電気的に分離された状態で、前記他方の調整用電極から連続する導電体に前記検出用振動腕の前記信号用電極から連続する導電体を接続する工程とを備える振動片の製造方法に関する。
【００２４】
例えば形状の観察などに基づき検出用振動腕の出力信号に含まれる漏れ振動の成分が特定される。漏れ振動の位相に応じて対のうちの一方の調整用電極はグラウンド用電極に接続され他方の調整用電極は信号用電極に接続される。こうして選択的に調整用振動腕の出力信号の位相は設定される。その結果、相互に１８０°でずれた位相の漏れ振動のいずれにも対応することができる。しかも、相互に１８０°でずれた位相ごとに調整用振動腕の１面に２つの調整用電極が形成される必要はなく、１つの調整用電極は調整用振動腕の１面ごとに最大限に広がることができる。したがって、調整用電極の面積の調整幅は最大限に確保されることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】一実施形態に係るジャイロセンサーの構成を概略的に示す垂直断面図である。
【図２】第１実施形態に係る振動片の構造を概略的に示す拡大平面図である。
【図３】第２振動腕の表面の構成を概略的に示す拡大部分平面図である。
【図４】表側から第２振動腕の裏面の構成を概略的に示す拡大透視平面図である。
【図５】第１振動腕および第３振動腕の表面の構成を概略的に示す拡大部分平面図である。
【図６】表側から第１振動腕および第３振動腕の裏面の構成を概略的に示す拡大透視部分平面図である。
【図７】第２振動腕すなわち駆動用振動腕の振動の様子を概略的に示す振動片の斜視図である。
【図８】第１振動腕すなわち検出用振動腕の振動の様子を概略的に示す振動片の斜視図である。
【図９】漏れ振動と第１振動腕の検出信号および第３振動腕の出力信号との関係を概略的に示す（ａ）第１振動腕の拡大垂直断面図、および（ｂ）第３振動腕の拡大垂直断面図である。
【図１０】図５に対応し、導電膜の切断に先立って観察される振動片の表面の構成を概略的に示す拡大部分平面図である。
【図１１】図６に対応し、導電膜の切断に先立って表側から観察される振動片の裏面の構成を概略的に示す拡大部分平面図である。
【図１２】図５に対応し、第２実施形態に係る振動片の構成を概略的に示す拡大平面図である。
【図１３】図６に対応し、表側から観察される第２実施形態に係る振動片の裏面の構成を概略的に示す拡大平面図である。
【図１４】漏れ振動と第１振動腕の検出信号および第３振動腕の出力信号との関係を概略的に示す（ａ）第１振動腕の拡大垂直断面図、および（ｂ）第３振動腕の拡大垂直断面図である。
【図１５】図５に対応し、第３実施形態に係る振動片の構成を概略的に示す拡大平面図である。
【図１６】図６に対応し、表側から観察される第３実施形態に係る振動片の裏面の構成を概略的に示す拡大平面図である。
【図１７】漏れ振動と第１振動腕の検出信号および第３振動腕の出力信号との関係を概略的に示す（ａ）第１振動腕の拡大垂直断面図、および（ｂ）第３振動腕の拡大垂直断面図である。
【図１８】図５に対応し、他の実施形態に係る製造方法に用いられる振動片の表面の構成を概略的に示す拡大部分平面図である。
【図１９】図６に対応し、他の実施形態に係る製造方法に用いられる振動片の裏面面の構成を概略的に示す拡大部分平面図である。
【図２０】図５に対応し、第４実施形態に係る振動片の構成を概略的に示す拡大平面図である。
【図２１】図６に対応し、表側から観察される第４実施形態に係る振動片の裏面の構成を概略的に示す拡大平面図である。
【図２２】図５に対応し、第５実施形態に係る振動片の構成を概略的に示す拡大平面図である。
【図２３】図６に対応し、表側から観察される第５実施形態に係る振動片の裏面の構成を概略的に示す拡大平面図である。
【図２４】図５に対応し、第６実施形態に係る振動片の構成を概略的に示す拡大平面図である。
【図２５】図６に対応し、表側から観察される第６実施形態に係る振動片の裏面の構成を概略的に示す拡大平面図である。
【図２６】電子機器の一具体例としてのスマートフォンの構成を概略的に示す概念図である。
【図２７】電子機器の他の具体例としてのデジタルスチルカメラの構成を概略的に示す概念図である。
【図２８】移動体の一具体例としての自動車の構成を概略的に示す概念図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、添付図面を参照しつつ本発明の一実施形態を説明する。なお、以下に説明する本実施形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではなく、本実施形態で説明される構成の全てが本発明の解決手段として必須であるとは限らない。
【００２７】
（１）第１実施形態に係るジャイロセンサーの構成
図１は一実施形態に係るジャイロセンサー１１の構成を概略的に示す。ジャイロセンサー１１は例えば箱形の容器１２を備える。容器１２は容器本体１３および蓋材１４を備える。容器本体１３の開口は蓋材１４で気密に塞がれる。容器１２の内部空間は例えば真空に封止されることができる。容器１２は剛体として機能する。少なくとも蓋材１４は導体から形成されることができる。蓋材１４が接地されれば、蓋材１４は電磁波に対してシールド効果を発揮することができる。
【００２８】
容器１２には振動片１５およびＩＣ（集積回路）チップ１６が収容される。振動片１５およびＩＣチップ１６は容器１２の内部空間内に配置される。振動片１５は本体１７および導電膜１８を備える。本体１７の表面に導電膜１８が積層される。導電膜１８は金（Ａｕ）、銅（Ｃｕ）、その他の金属といった導電材から形成されることができる。導電膜１８は薄膜や厚膜で構成されることができる。図１から明らかなように、振動片１５の本体１７は表面１７ａおよび裏面１７ｂを有する。表面１７ａは第１基準平面ＲＰ１内に広がる。裏面１７ｂは第２基準平面ＲＰ２内に広がる。第２基準平面ＲＰ２は第１基準平面ＲＰ１に平行に広がる。ここでは、本体１７全体は１つの圧電体から形成される。圧電体には例えば水晶が用いられることができる。
【００２９】
振動片１５は容器本体１３に片持ち支持される。片持ち支持にあたって本体１７の一端には固定部１９が区画される。固定部１９には接続端子群２１が配置される。接続端子群２１は裏面１７ｂに広がる導電膜１８の一部で形成される。接続端子群２１は複数の接続端子すなわち導電材製パッドを含む。接続端子の詳細は後述される。その一方で、容器本体１３の底板には導電端子群２２が配置される。接続端子群２２は複数の接続端子すなわち導電材製パッドを含む。振動片１５の導電端子群２１は底板上の導電端子群２２に接合される。接合にあたって例えばはんだバンプや金バンプといった導電接合材２３が用いられることができる。こうして振動片１５は固定部１９で容器本体１３の底板に固着される。導電端子群２２は導電膜１８の配線（図示されず）でＩＣチップ１６に接続される。ＩＣチップ１６は例えば容器本体１３の底板に接着されればよい。
【００３０】
図２に示されるように、第１実施形態に係る振動片１５の本体１７は胴体部すなわち基部２５、１対の第１振動腕２６ａ、２６ｂ、１対の第２振動腕２７ａ、２７ｂおよび１対の第３振動腕２８ａ、２８ｂを有する。振動片１５の表面１７ａおよび裏面１７ｂは第１振動腕２６ａ、２６ｂの表面および裏面、第２振動腕２７ａ、２７ｂの表面および裏面、並びに、第３振動腕２８ａ、２８ｂの表面および裏面にそれぞれ相当する。振動片１５の表面１７ａおよび裏面１７ｂは、後述されるように、駆動信号で励起される振動の方向すなわち第２振動腕２７ａ、２７ｂの励振方向を規定する。
【００３１】
１対の第１振動腕２６ａ、２６ｂは基部２５から第１方向Ｄ１に延びる。第１振動腕２６ａ、２６ｂは基部２５に片持ち支持される。第１振動腕２６ａ、２６ｂ同士は相互に平行に延びる。第１振動腕２６ａ、２６ｂは、基部２５の重心を含み第１および第２基準平面ＲＰ１、ＲＰ２に直交する対称面２９に関して面対称に形作られる。ここでは、１対の第１振動腕２６ａ、２６ｂは１対の検出用振動腕として機能する。基部２５は所定の剛性を有する。
【００３２】
１対の第２振動腕２７ａ、２７ｂは基部２５から第２方向Ｄ２に延びる。第２方向Ｄ２は第１方向Ｄ１の逆向きに相当する。第２振動腕２７ａ、２７ｂは基部２５に片持ち支持される。第２振動腕２７ａ、２７ｂ同士は相互に平行に延びる。第２振動腕２７ａ、２７ｂは、基部２５の重心を含み第１および第２基準平面ＲＰ１、ＲＰ２に直交する対称面２９に関して面対称に形作られる。ここでは、１対の第２振動腕２７ａ、２７ｂは１対の駆動用振動腕として機能する。
【００３３】
１対の第３振動腕２８ａ、２８ｂは基部２５から第１方向Ｄ１に延びる。第３振動腕２８ａ、２８ｂは基部２５に片持ち支持される。第３振動腕２８ａ、２８ｂ同士は相互に平行に延びる。第３振動腕２８ａ、２８ｂは、基部２５の重心を含み第１および第２基準平面ＲＰ１、ＲＰ２に直交する対称面２９に関して面対称に形作られる。ここでは、１対の第３振動腕２８ａ、２８ｂは１対の調整用振動腕として機能する。調整用振動腕同士の間の空間に１対の検出用振動腕は配置される。
【００３４】
振動片１５の本体１７は少なくとも１本の第１吊り腕３２ａ、３２ｂと１対の第２吊り腕３３ａ、３３ｂとを有する。ここでは、本体１７には１対の第１吊り腕３２ａ、３２ｂが区画される。第１吊り腕３２ａ、３２ｂは、１対の第２振動腕２７ａ、２７ｂの両側で固定部１９から第１方向Ｄ１にそれぞれ延びる。第１吊り腕３２ａ、３２ｂの先端は基部２５の第１連結部３４にそれぞれ連結される。２つの第１連結部３４は１対の第２振動腕２７ａ、２７ｂの両側に位置する。
【００３５】
第２吊り腕３３ａ、３３ｂは、１対の第２振動腕２７ａ、２７ｂおよび１対の第１吊り腕３２ａ、３２ｂの両側でそれぞれ固定部１９から第１方向Ｄ１に延びる。第２吊り腕３３ａ、３３ｂの先端は基部２５の第２連結部３５に連結される。第２連結部３５は第１連結部３４よりも第１方向Ｄ１に位置する。
【００３６】
図３に示されるように、導電膜１８は２対の第１駆動電極４１ａ、４１ｂおよび２対の第２駆動電極４２ａ、４２ｂを形成する。第１対の第１駆動電極４１ａは一方の第２振動腕２７ａに固定される。第１駆動電極４１ａは第２振動腕２７ａの側面に広がる。第１駆動電極４１ａ同士の間に第２振動腕２７ａは挟まれる。第１駆動電極４１ａ同士は第２振動腕２７ａの自由端側で相互に接続される。第２対の第１駆動電極４１ｂは他方の第２振動腕２７ｂに固定される。第１駆動電極４１ｂは第２振動腕２７ｂの表面１７ａおよび裏面１７ｂに広がる。第１駆動電極４１ｂ同士の間に第２振動腕２７ｂは挟まれる。第２対の第１駆動電極４１ｂは第１対の第１駆動電極４１ａに基部２５で接続される。
【００３７】
第１対の第２駆動電極４２ａは一方の第２振動腕２７ａに固定される。第２駆動電極４２ａは第２振動腕２７ａの表面１７ａおよび裏面１７ｂに広がる。第２駆動電極４２ａ同士の間に第２振動腕２７ａは挟まれる。第２対の第２駆動電極４２ｂは他方の第２振動腕２７ｂに固定される。第２駆動電極４２ｂは第２振動腕２７ｂの側面に広がる。第２駆動電極４２ｂ同士の間に第２振動腕２７ｂは挟まれる。第２駆動電極４２ｂ同士は第２振動腕２７ｂの自由端側で相互に接続される。第２対の第２駆動電極４２ｂは第１対の第２駆動電極４２ａに基部２５で接続される。第１駆動電極４１ａ、４１ｂおよび第２駆動電極４２ａ、４２ｂの間に電界が加えられると、第２振動腕２７ａ、２７ｂは変形する。
【００３８】
導電膜１８は第１駆動配線４３および第２駆動配線４４を形成する。第１駆動配線４３は一方の第１吊り腕３２ａに固定される。第１駆動配線４３は第１吊り腕３２ａの全長にわたって第１吊り腕３２ａ上を延びる。第１駆動配線４３は第１駆動電極４１ａ、４１ｂに接続される。第２駆動配線４４は他方の第１吊り腕３２ｂに固定される。第２駆動配線４４は第１吊り腕３２ｂの全長にわたって第１吊り腕３２ｂ上を延びる。第２駆動配線４４は第２駆動電極４２ａ、４２ｂに接続される。
【００３９】
図４に示されるように、接続端子群２１は第１駆動端子４５および第２駆動端子４６を含む。第１駆動端子４５および第２駆動端子４６はそれぞれ固定部１９の裏面１７ｂに固定される。第１駆動端子４５は第１駆動配線４３に接続される。第２駆動端子４６は第２駆動配線４４に接続される。第１駆動端子４５および第２駆動端子４６から第１駆動電極４１ａ、４１ｂおよび第２駆動電極４２ａ、４２ｂに駆動信号が供給されることができる。
【００４０】
図５に示されるように、導電膜１８は個々の第１振動腕２６ａ、２６ｂごとに１対のグラウンド電極４７ａ、第１信号電極４７ｂおよび第２信号電極４７ｃを形成する。グラウンド電極４７ａは個々の第１振動腕２６ａ、２６ｂの側面に固定される。ここで、第１振動腕２６ａ、２６ｂは断面四角形の長尺に形成される。第１振動腕２６ａ、２６ｂはその延伸方向に延びる４つの稜線を区画する。第１振動腕２６ａ、２６ｂの側面は両側の稜線で表面および裏面に交わる。こうした稜線で４面が仕切られる。第１振動腕２６ａ、２６ｂは、延伸方向に延びている４面を有する角柱状に形成される。表面および裏面は相対する２面を形成する。２つの側面は相対する２面を形成する。グラウンド電極４７ａは第１振動腕２６ａ、２６ｂの根本から自由端に向かって２つの稜線の間を延びる。個々の第１振動腕２６ａ、２６ｂでは２つのグラウンド電極４７ａは自由端で相互に接続される。一方の第１振動腕２６ａ上のグラウンド電極４７ａと他方の第１振動腕２６ｂ上のグラウンド電極４７ａとは、２つの第１振動腕２６ａ、２６ｂの間で基部２５の側面に広がる導電膜で相互に接続される。
【００４１】
第１信号電極４７ｂは第１振動腕２６ａ、２６ｂの表面に固定される。第１信号電極４７ｂは第１振動腕２６ａの根本から自由端に向かって２つの稜線の間を延びる。第１信号電極４７ｂの先端は第１振動腕２６ｂの先端で貫通孔を通じて裏側に回りこむ。第２信号電極４７ｃは第１振動腕２６ａ、２６ｂの表面に固定される。第２信号電極４７ｃは第１振動腕２６ｂの根本から自由端に向かって２つの稜線の間を延びる。第２信号電極４７ｃの先端は第１振動腕２６ａの先端で貫通孔を通じて裏側に回りこむ。
【００４２】
導電膜１８は一方の第３振動腕２８ａに１対のグラウンド電極４８ａおよび第１調整用電極４８ｂを形成するとともに他方の第３振動腕２８ｂに１対のグラウンド電極４８ａおよび第２調整用電極４８ｃを形成する。グラウンド電極４８ａは個々の第３振動腕２８ａ、２８ｂの側面に固定される。ここで、第３振動腕２８ａ、２８ｂは断面四角形の長尺に形成される。第３振動腕２８ａ、２８ｂはその延伸方向に延びる４つの稜線を区画する。稜線は４面すなわち表面、表面に相対する裏面および相互に相対する２つの側面を仕切る。第３振動腕２８ａ、２８ｂは、延伸方向に延びている４面を有する角柱状に形成される。２つの側面は両側の稜線で表面および裏面に交わる。換言すれば、２つの側面は稜線で表面および裏面にそれぞれ隣接する。グラウンド電極４８ａは第３振動腕２８ａ、２８ｂの根本から自由端に向かって２つの稜線の間を延びる。個々の第３振動腕２８ａ、２８ｂでは、２つのグラウンド電極４８ａの先端から連続する導電体は自由端で相互に接続される。
【００４３】
第１調整用電極４８ｂは一方の第３振動腕２８ａの表面に固定される。第３振動腕２８ａの表面は両側の稜線で２つの側面に交わる。第１調整用電極４８ｂは第３振動腕２８ａの根本から自由端に向かって２つの稜線の間を延びる。このとき、導電膜１８は基部２５の表面で第１導電パターン４９ａを形成する。第１導電パターン４９ａは第１振動腕２６ａ、２６ｂ上の第２信号電極４７ｃに第１調整用電極４８ｂを接続する。第１導電パターン４９ａは第２吊り腕３３ａの根本で基部２５の裏面に回り込む。
【００４４】
第２調整用電極４８ｃは他方の第３振動腕２８ｂの表面に固定される。第３振動腕２８ｂの表面は両側の稜線で２つの側面に交わる。第２調整用電極４８ｃは第３振動腕２８ｂの根本から自由端に向かって２つの稜線の間を延びる。このとき、導電膜１８は基部２５の表面で第２導電パターン４９ｂおよび第３導電パターン４９ｃを形成する。第２導電パターン４９ｂは第１振動腕２６ａおよび第１振動腕２６ｂ上の第１信号電極４７ｂを相互に接続する。第３導電パターン４７ｃは第３振動腕２８ａ上の第２調整用電極４８ｂから連続する。第３導電パターン４８ｃは第２吊り腕３３ｂの根本で基部２５の裏面に回り込む。
【００４５】
導電膜１８はグラウンド導電膜５１を形成する。グラウンド導電膜５１は基部２５の表面に固定される。一方の第１振動腕２６ｂのグラウンド電極４７ａはグラウンド導電膜５１に接続される。グラウンド導電膜５１は第１吊り腕３２ａ、３２ｂの側面を伝って固定部１９まで連続する。第２吊り腕３３ａ、３３ｂの表面はグラウンド導電膜５１で覆われる。
【００４６】
第３振動腕２８ａの第１調整用電極４８ｂから連続する導電体すなわち第１導電パターン４９ａは第１切断痕５２ａでグラウンド導電膜５１に繋ぎ合わせられる。すなわち、第１導電パターン４９ａはグラウンド導電膜５１から電気的に切り離される。換言すれば、第１導電パターン４９ａとグラウンド導電膜５１との間は第１切断痕５２ａによって切断されている。第１切断痕５２ａは、第１調整用電極４８ｂからグラウンド導電膜５１まで連続する導電体の切断に応じて必然的に形成される痕跡に相当する。
【００４７】
第３振動腕２８ａのグラウンド電極４８ａから連続する導電体は第２切断痕５２ｂで第１導電パターン４９ａに繋ぎ合わせられる。すなわち、第１導電パターン４９ａはグラウンド電極４８ａから電気的に切り離される。換言すれば、第１導電パターン４９ａとグラウンド導電膜４８ａとの間は第２切断痕５２ｂによって切断されている。第２切断痕５２ｂは、グラウンド電極４８ａから第１導電パターン４９ａまで連続する導電体の切断に応じて必然的に形成される痕跡に相当する。
【００４８】
第３振動腕２８ｂの第２調整用電極４８ｃから連続する導電体すなわち第３導電パターン４９ｃは第３切断痕５２ｃでグラウンド導電膜５１に繋ぎ合わせられる。すなわち、第３導電パターン４９ｃはグラウンド導電膜５１から電気的に切り離される。換言すれば、第３導電パターン４９ｃとグラウンド導電膜５１との間は第３切断痕５２ｃによって切断されている。第３切断痕５２ｃは、第２調整用電極４８ｃからグラウンド導電膜５１まで連続する導電体の切断に応じて必然的に形成される痕跡に相当する。
【００４９】
第３振動腕２８ｂのグラウンド電極４８ａから連続する導電体は第４切断痕５２ｄで第３導電パターン４９ａに繋ぎ合わせられる。すなわち、第３導電パターン４９ａはグラウンド電極４８ａから電気的に切り離される。換言すれば、第３導電パターン４９ａとグラウンド導電４８ａとの間は第４切断痕５２ｄによって切断されている。第４切断痕５２ｃは、グラウンド電極４８ａから第３導電パターン４９ｃまで連続する導電体の切断に応じて必然的に形成される痕跡に相当する。
【００５０】
第３振動腕２８ａでは第１調整用電極４８ｂの先端は第５切断痕５２ｅでグラウンド電極４８ａの先端から連続する導電体に繋ぎ合わせられる。すなわち、第３振動腕２８ａの先端では第１調整用電極４８ｂはグラウンド電極４８ａから電気的に切り離される。換言すれば、第１調整用電極４８ｂとグラウンド導電４８ａとの間は第５切断痕５２ｅによって切断されている。第５切断痕５２ｅは、第１調整用電極４８ｂの先端からグラウンド電極４８ａの先端まで連続する導電体の切断に応じて必然的に形成される痕跡に相当する。
【００５１】
第３振動腕２８ｂでは第２調整用電極４８ｃの先端は第６切断痕５２ｆでグラウンド電極４８ａの先端から連続する導電体に繋ぎ合わせられる。すなわち、第３振動腕２８ｂの先端では第２調整用電極４８ｃはグラウンド電極４８ａから電気的に切り離される。換言すれば、第２調整用電極４８ｃとグラウンド導電４８ａとの間は第６切断痕５２ｆによって切断されている。第６切断痕５２ｆは、第２調整用電極４８ｃの先端からグラウンド電極４８ａの先端まで連続する導電体の切断に応じて必然的に形成される痕跡に相当する。
【００５２】
第３振動腕２８ａ、２８ｂの第１調整用電極４８ｂおよび第２調整用電極４８ｃの輪郭に連続して欠損痕５３が形成される。欠損痕５３の位置に応じて第１調整用電極４８ｂおよび第２調整用電極４８ｃの広がりは調整される。欠損痕５３の位置が第３振動腕２８ａ、２８ｂの自由端から遠ざかれば遠ざかるほど第１調整用電極４８ｂおよび第２調整用電極４８ｃの面積は縮小される。欠損痕５３は、第１調整用電極４８ｂおよび第２調整用電極４８ｃの除去に応じて必然的に形成される痕跡に相当する。欠損痕５３から自由端側で第１調整用電極４８ｂおよび第２調整用電極４８ｃを除去して第１調整用電極４８ｂおよび第２調整用電極４８ｃの輪郭を仕切り直してもよい。
【００５３】
図６は本体１７の裏面１７ｂ側に形成される導電膜１８を概略的に示す。ここでは、本体１７を透視し、表側から観察される導電膜１８の形状が描かれる。導電膜１８は第３信号電極５４ｂ、第４信号電極５４ｃを形成する。第３信号電極５４ｂは第１振動腕２６ａ、２６ｂの裏面に固定される。第３信号電極５４ｂは第１振動腕２６ａの根本から自由端に向かって２つの稜線の間を延びる。第１振動腕２６ｂにおいて、第３信号電極５４ｂの先端はグラウンド電極４７ａから連続する導電体から離れた位置で途切れる。第１振動腕２６ａにおいて、第３信号電極５４ｂの先端は表側の第２信号電極４７ｃの先端に貫通孔を通じて接続される。第４信号電極５４ｃは第１振動腕２６ａ、２６ｂの裏面に固定される。第４信号電極５４ｃは第１振動腕２６ｂの根本から自由端に向かって２つの稜線の間を延びる。第１振動腕２６ａにおいて、第４信号電極５４ｃの先端はグラウンド電極４７ａから連続する導電体から離れた位置で途切れる。第１振動腕２６ｂにおいて、第４信号電極５４ｃの先端は表側の第１信号電極４７ｂの先端に貫通孔を通じて接続される。
【００５４】
導電膜１８は一方の第３振動腕２８ａに第３調整用電極５６ｂを形成するとともに他方の第３振動腕２８ｂに第４調整用電極５６ｃを形成する。第３調整用電極５６ｂは一方の第３振動腕２８ａの裏面に固定される。第３振動腕２８ａの裏面は両側の稜線で２つの側面に交わる。第３調整用電極５６ｂは第３振動腕２８ａの根本から自由端に向かって２つの稜線の間を延びる。このとき、導電膜１８は基部２５の裏面で第４導電パターン５７ａおよび第５導電パターン５７ｂを形成する。第４導電パターン５７ａは第１振動腕２６ａ上の第３信号電極５４ｂを相互に接続する。第５導電パターン５７ｂは第３振動腕２８ａ上の第３調整用電極５６ｂから連続する。第５導電パターン５７ｂは第２吊り腕３３ａの根本で基部２５の表面に回り込む。この回り込みに応じて第５導電パターン５７ｂは第１導電パターン４９ａに接続される。
【００５５】
第４調整用電極５６ｃは他方の第３振動腕２８ｂの裏面に固定される。第３振動腕２８ｂの裏面は両側の稜線で２つの側面に交わる。第４調整用電極５６ｃは第３振動腕２８ｂの根本から自由端に向かって２つの稜線の間を延びる。このとき、導電膜１８は基部２５の裏面で第６導電パターン５７ｃを形成する。第６導電パターン５７ｃは第１振動腕２６ａ、２６ｂ上の第４信号電極５４ｃを相互に接続する。第６導電パターン５７ｃは第２吊り腕３３ｂの根本で基部２５の表面に回り込む。この回り込みに応じて第６導電パターン５７ｃは第３導電パターン４９ｃに接続される。
【００５６】
導電膜１８はグラウンド導電膜５８を形成する。グラウンド導電膜５８は基部２５の裏面に固定される。一方の第１振動腕２６ａのグラウンド電極４７ａはグラウンド導電膜５８に接続される。グラウンド導電膜５８は第１吊り腕３２ａ、３２ｂの裏面を伝って固定部１９まで連続する。グラウンド導電膜５８はグラウンド導電膜５１に接続される。
【００５７】
接続端子群２１は第１信号端子６１ａ、第２信号端子６１ｂおよびグラウンド端子６１ｃを含む。第１信号端子６１ａ、第２信号端子６１ｂおよびグラウンド端子６１ｃは固定部１９に固定される。第１信号端子６１ａは第５導電パターン５７ｂに接続される。導電膜は第５導電パターン５７ｂから第１信号端子６１ａまで連続する。第２信号端子６１ｂは第６導電パターン５７ｃに接続される。導電膜は第６導電パターン５７ｃから第２信号端子６１ｂまで連続する。グラウンド端子６１ｃはグラウンド導電膜５１、５８に接続される。導電膜はグラウンド導電膜５１、５８からグラウンド端子６１ｃまで連続する。
【００５８】
第３振動腕２８ａの第３調整用電極５６ｂから連続する導電体すなわち第５導電パターン５７ｂは第７切断痕６２ａでグラウンド導電膜５８に繋ぎ合わせられる。すなわち、第５導電パターン５７ｂはグラウンド導電膜５８から電気的に切り離される。換言すれば、第５導電パターン５７ｂとグラウンド導電膜５８との間は第７切断痕６２ａによって切断されている。第７切断痕６２ａは、第３調整用電極５６ｂからグラウンド導電膜５８まで連続する導電体の切断に応じて必然的に形成される痕跡に相当する。
【００５９】
第３振動腕２８ａのグラウンド電極４８ａから連続する導電体は第８切断痕６２ｂで第５導電パターン５７ｂに繋ぎ合わせられる。すなわち、第５導電パターン５７ｂはグラウンド電極４８ａから電気的に切り離される。換言すれば、第５導電パターン５７ｂとグラウンド電極４８ａとの間は第８切断痕６２ｂによって切断されている。第８切断痕６２ｂは、グラウンド電極４８ａから第５導電パターン５７ｂまで連続する導電体の切断に応じて必然的に形成される痕跡に相当する。
【００６０】
第３振動腕２８ｂの第４調整用電極５６ｃから連続する導電体すなわち第６導電パターン５７ｃは第９切断痕６２ｃでグラウンド導電膜５８に繋ぎ合わせられる。すなわち、第６導電パターン５７ｃはグラウンド導電膜５８から電気的に切り離される。換言すれば、第６導電パターン５７ｃとグラウンド導電膜５８との間は第９切断痕６２ｃによって切断されている。第９切断痕６２ｃは、第４調整用電極５６ｃからグラウンド導電膜５８まで連続する導電体の切断に応じて必然的に形成される痕跡に相当する。
【００６１】
第３振動腕２８ｂのグラウンド電極４８ａから連続する導電体は第１０切断痕６２ｄで第６導電パターン５７ｃに繋ぎ合わせられる。すなわち、第６導電パターン５７ｃはグラウンド電極４８ａから電気的に切り離される。換言すれば、第６導電パターン５７ｃとグラウンド電極４８ａとの間は第１０切断痕６２ｄによって切断されている。第１０切断痕６２ｄは、グラウンド電極４８ａから第６導電パターン５７ｃまで連続する導電体の切断に応じて必然的に形成される痕跡に相当する。
【００６２】
（２）第１実施形態に係るジャイロセンサーの動作
次にジャイロセンサー１１の動作を簡単に説明する。図７に示されるように、角速度の検出にあたって第２振動腕２７ａ、２７ｂで振動が励起される。振動の励起にあたって振動片１５には第１駆動端子４５および第２駆動端子４６から駆動信号が入力される。その結果、第１駆動電極４１ａ、４１ｂと第２駆動電極４２ａ、４２ｂとの間で振動片１５の本体１７に電界が作用する。特定の周波数の波形が入力されることで、第２振動腕２７ａ、２７ｂは第１基準平面ＲＰ１および第２基準平面ＲＰ２の間で第１基準平面ＰＲ１に平行に屈曲運動する。相互に離れたり相互に近づいたりを繰り返す。
【００６３】
ジャイロセンサー１１に角速度運動が加わると、図８に示されるように、コリオリ力の働きで第２振動腕２７ａ、２７ｂの振動方向が変化する。いわゆるウォークモード励振が引き起こされる。このとき、コリオリ力に対応して対称面２９に平行に新たに力成分が生起される。第２振動腕２７ａ、２７ｂは対称面２９に平行に屈曲運動する。
【００６４】
第２振動腕２７ａ、２７ｂのウォークモード励振は基部２５から第１振動腕２６ａ、２６ｂに伝播する。その結果、対称面２９に平行な力成分に基づき第１振動腕２６ａ、２６ｂの運動が引き起こされる。第１振動腕２６ａ、２６ｂは対称面２９に平行に屈曲運動する。こうした屈曲運動に応じて第１振動腕２６ａ、２６ｂでは圧電効果に基づき電界が生じ、電荷が生み出される。第１振動腕２６ａの屈曲運動は第１信号電極４７ｂとグラウンド電極４７ａとの間で電位差を生み出し第３信号電極５４ｂおよびグラウンド電極４７ａとの間で相反する電位差を生み出す。同様に、第１振動腕２６ｂの屈曲運動は第２信号電極４７ｃとグラウンド電極４７ａとの間で電位差を生み出し第４信号電極５４ｃとグラウンド電極４７ａとの間で相反する電位差を生み出す。
【００６５】
第２振動腕２７ａ、２７ｂの励振に伴って第３振動腕２８ａ、２８ｂは第１基準平面ＲＰ１および第２基準平面ＲＰ２の間で第１基準平面ＲＰ１に平行に屈曲運動する。こうした屈曲運動に応じて第３振動腕２８ａ、２８ｂでは圧電効果に基づき電界が生じ、電荷が生み出される。第３振動腕２８ａの屈曲運動は第１調整用電極４８ｂとグラウンド電極４８ａとの間で電位差を生み出し第３調整用電極５６ｂとグラウンド電極４７ａとの間で相反する電位差を生み出す。同様に、第３振動腕２８ｂの屈曲運動は第２調整用電極４８ｃとグラウンド電極４８ａとの間で電位差を生み出し第４調整用電極５６ｃとグラウンド電極４７ａとの間で相反する電位差を生み出す。
【００６６】
図９に示されるように、第１振動腕２６ａ、２６ｂの形状が例えば加工誤差に基づき設計された形状からずれると、第１振動腕２６ａ、２６ｂの出力信号ではコリオリ力の力成分に漏れ振動の成分が重畳される。同時に、第１振動腕２６ａ、２６ｂの出力信号には第３振動腕２８ａ、２８ｂから出力される電気信号が重畳される。第３振動腕２８ａ、２８ｂから出力される電気信号の位相と漏れ振動の位相とは切断痕５２ａ〜５２ｆ、６２ａ〜６２ｄの働きで逆位相に設定され。欠損痕５３の働きで電気信号の大きさは調整される。調整の結果、第３振動腕２８ａ、２８ｂから出力される電気信号は漏れ振動の成分を打ち消すことができる。こうして出力信号のＳ／Ｎ比は向上する。電気信号の調整にあたって、第３振動腕２８ａ、２８ｂの延伸方向に延びている面であって稜線を挟んで隣り合う２面にそれぞれ配置される調整用電極４８ｂ、４８ｃ、５６ｂ、５６ｃおよびグランド電極４８ａの間に介在する圧電体の体積や相互間の距離が調整される。
【００６７】
振動片１５では欠損痕５３の形成に応じて第１調整用電極４８ｂや第２調整用電極４８ｃの面積は調整されることができる。その結果、第１調整用電極４８ｂや第２調整用電極４８ｃから出力される電流量は調整されることができる。第１振動腕２６ａ、２６ｂの出力信号に含まれる漏れ振動の成分は第１調整用電極４８ｂや第２調整用電極４８ｃの電気信号できめ細かく打ち消されることができる。
【００６８】
しかも、第１調整用電極４８ｂおよび第２調整用電極４８ｃはいずれも両側の稜線でグラウンド電極４８ａに隣り合う。その結果、第１調整用電極４８ｂおよび第２調整用電極４８ｃでは両側の稜線に沿って圧電電流が取り出されることができる。したがって、比較的に効率的に圧電電流は取り出されることができる。
【００６９】
（３）第１実施形態に係るジャイロセンサーの製造方法
ジャイロセンサー１１の製造にあたって振動片１５が製造される。水晶体から振動片１５の本体１７が削り出される。本体１７上には導電膜１８ａが形成される。導電膜１８ａは、前述の導電膜１８と同様に、第１および第２駆動電極４１ａ、４１ｂ、４２ａ、４２ｂ、第１および第２駆動配線４３、４４、第１および第２駆動端子４５、４６、グラウンド電極４７ａ、第１信号電極４７ｂ、第２信号電極４７ｃ、第３信号電極５４ｂ、第４信号電極５４ｃ、グラウンド導電膜５１、５８、第１信号端子６１ａ、第２信号端子６１ｂ並びにグラウンド端子６１ｃを形成する。同時に、導電膜１８ａは導電膜１８の素材となる以下の導電材膜を形成する。導電膜１８ａの形成にあたって例えばフォトリソグラフィ技術が用いられることができる。
【００７０】
図１０に示されるように、導電膜１８ａは第１電極膜６５ａ、第２電極膜６５ｂ、第３電極膜６５ｃ、第４電極膜６５ｄ、第５電極膜６５ｅおよび第６電極膜６５ｆを形成する。第１電極膜６５ａおよび第２電極膜６５ｂはそれぞれ個々の第３振動腕２８ａ、２８ｂの表面に固定される。第１電極膜６５ａおよび第２電極膜６５ｂは第３振動腕２８ａ、２８ｂの全長にわたって根本から自由端に向かって２つの稜線の間を延びる。第３電極膜６５ｃおよび第４電極膜６５ｄはそれぞれ第３振動腕２８ａの個々の側面に固定される。第３電極膜６５ｃおよび第４電極膜６５ｄは第３振動腕２８ａの全長にわたって根本から自由端に向かって２つの稜線の間を延びる。第５電極膜６５ｅおよび第６電極膜６５ｆはそれぞれ第３振動腕２８ｂの個々の側面に固定される。第５電極膜６５ｅおよび第６電極膜６５ｆは第３振動腕２８ｂの全長にわたって根本から自由端に向かって２つの稜線の間を延びる。
【００７１】
導電膜１８ａは基部２５の表面に第１導電パターン６６ａおよび第２導電パターン６６ｂを形成する。第１導電パターン６６ａは第１振動腕２６ａ、２６ｂ上の第２信号電極４７ｃ、グラウンド電極５１に第１電極膜６５ａを接続する。第１導電パターン６６ａは第２吊り腕３３ａの根本で基部２５の裏面に回り込む。同時に、第１導電パターン６６ａは第１電極膜６５ａおよび第４電極膜６５ｄを相互に接続する。
【００７２】
第２導電パターン６６ｂはグラウンド電極５１に第２電極膜６５ｂを接続する。第２導電パターン６６ｂは第２吊り腕３３ｂの根本で基部２５の裏面に回り込む。同時に、第２導電パターン６６ｂは第２電極膜６５ｂおよび第５電極膜６５ｅを相互に接続する。
【００７３】
導電膜１８ａは個々の第３振動腕２８ａ、２８ｂの表面にそれぞれ第１導電片６７ａおよび第２導電片６７ｂを形成する。第１導電片６７ａは第１電極膜６５ａの先端、第３電極膜６５ｃの先端および第４電極膜６５ｄの先端から連続する。したがって、第３振動腕２８ａの先端で第１電極膜６５ａ、第３電極膜６５ｃおよび第４電極膜６５ｄは相互に接続される。第２導電片６７ｂは第２電極膜６５ｂの先端、第５電極膜６５ｅの先端および第６電極膜６５ｆの先端から連続する。したがって、第３振動腕２８ｂの先端で第２電極膜６５ｂ、第５電極膜６５ｅおよび第６電極膜６５ｆで相互に接続される。
【００７４】
図１１に示されるように、導電膜１８ａは第７電極膜６５ｇおよび第８電極膜６５ｈをさらに形成する。第７電極膜６５ｇおよび第８電極膜６５ｈはそれぞれ個々の第３振動腕２８ａ、２８ｂの裏面に固定される。第７電極膜６５ｇおよび第８電極膜６５ｈは第３振動腕２８ａ、２８ｂの根本から自由端に向かって２つの稜線の間を延びる。第７電極膜６５ｇの先端および第８電極膜６５ｈの先端は第３振動腕２８ａ、２８ｂの先端の第１および第２導電片６７ａ、６７ｂからそれぞれ切り離される。
【００７５】
導電膜１８ａは基部２５の裏面に第３導電パターン６６ｃおよび第４導電パターン６６ｄを形成する。第３導電パターン６６ｃは第３振動腕２８ａ上の第３電極膜６５ｃおよび第４電極膜６５ｄ並びにグラウンド導電膜５８に第７電極膜６５ｇを接続する。第３導電パターン６６ｃは第２吊り腕３３ａの根本で基部２５の表面に回り込む。こうして第３導電パターン６６ｃは表面の第１導電パターン６６ａに接続される。その結果、第１、第３、第４および第７電極膜６５ａ、６５ｃ、６５ｄ、６５ｇは個々に第２および第３信号電極４７ｃ、５４ｂとグラウンド電極４７ａとにともに接続される。導通が確保される。同時に、第３導電パターン６６ｃは第１信号端子６１ａから連続する。
【００７６】
第４導電パターン６６ｄは第３振動腕２８ｂ上の第５電極膜６５ｅおよび第６電極膜６５ｆ並びにグラウンド導電膜５８に第８電極膜６５ｈを接続する。第４導電パターン６６ｄは第２吊り腕３３ｂの根本で基部２５の表面に回り込む。こうして第４導電パターン６６ｄは表面の第２導電パターン６６ｂに接続される。その結果、第２、第５、第６および第８電極膜６５ｂ、６５ｅ、６５ｆ、６５ｈは個々に第１および第４信号電極４７ｂ、５４ｃとグラウンド電極４７ａとにともに接続される。導通が確保される。同時に、第４導電パターン６６ｄは第２信号端子６１ｂから連続する。
【００７７】
ここで、組み込みに先立って第２振動腕２７ａ、２７ｂの形状が観察される。観察された形状に応じて漏れ振動の位相が特定される。特定された漏れ振動の位相に応じて励振に対して第３振動腕２８ａ、２８ｂから出力される調整信号の位相が決定される。この決定に応じて第１導電パターン６６ａはグラウンド導電膜５１および第４電極膜６５ｄから切り離される。第１導電パターン６６ａと第２信号電極４７ｃおよび第３信号電極５４ｂとの接続は維持される。第２導電パターン６６ｂはグラウンド導電膜５１および第５電極膜６５ｅから切り離される。第２導電パターン６６ｂと第４導電パターン６６ｄとの接続は維持される。同時に、第１電極膜６５ａおよび第２電極膜６５ｂはそれぞれ第１導電片６７ａおよび第２導電片６７ｂから切り離される。こうした切り離しにあたって例えばレーザーの照射が用いられることができる。レーザーの照射に応じて該当する位置に第１〜第６切断痕５２ａ〜５２ｆが形成される。同様に、第３導電パターン６６ｃはグラウンド導電膜５８、第３電極膜６５ｃおよび第４電極膜６５ｄから切り離される。第３導電パターンと第１導電パターン６６ａとの接続は維持される。第４導電パターン６６ｄはグラウンド導電膜５８、第５電極膜６５ｅおよび第６電極膜６５ｆから切り離される。第４導電パターン６６ｄと第１信号電極４７ｂおよび第４信号電極５４ｃとの接続は維持される。レーザーの照射に応じて該当する位置に第７〜第１０切断痕６２ａ〜６２ｄが形成される。
【００７８】
容器１２が用意される。容器本体１３内にＩＣチップ１６が固着される。続いて容器本体１３内に振動片１５が固着される。接続端子群２１は接続端子群２２に接合される。第１および第２駆動端子４５、４６、第１信号端子６１ａ、第２信号端子６１ｂ、並びに、グラウンド端子６１ｃはそれぞれ対応の接続端子に受け止められる。こうして振動片１５はＩＣチップ１６に電気的に接続される。
【００７９】
ここで、ジャイロセンサー１１のチューニングが実施される。チューニングではＩＣチップ１６に制御信号が供給される。ＩＣチップ１６は角速度の検出動作を開始する。前述と同様に、第２振動腕２７ａ、２７ｂで振動が励起される。角速度運動が作用しなければ、第２振動腕２７ａ、２７ｂにはコリオリ力は生成されない。このとき、仮にジャイロセンサー１１で角速度＝「０（ゼロ）」が検出されれば、容器本体１３の開口は蓋材１４で気密に塞がれる。容器１２の内部空間は封止される。ジャイロセンサー１１の製造は完了する。
【００８０】
ジャイロセンサー１１で角速度＝「０」が検出されなければ、漏れ振動が想定される。この場合には、測定された電荷量に応じて第１調整用電極４８ｂや第２調整用電極４８ｃの形状が整えられる。例えばレーザーで電極４８ｂ、４８ｃの一部が除去されたり切り離されたりする。その結果、電極片４８ｂ、４８ｃの輪郭に連続して欠損痕５３が形成される。こうして第１調整用電極４８ｂや第２調整用電極４８ｃが整えられた結果、ジャイロセンサー１１で角速度＝「０（ゼロ）」が検出されれば、容器本体１３の開口は蓋材１４で気密に塞がれる。容器１２の内部空間は封止される。ジャイロセンサー１１の製造は完了する。
【００８１】
（４）第２実施形態に係る振動片の構成
図１２は第２実施形態に係る振動片１５ａの構造を概略的に示す。この第２実施形態では本体１７上に前述の導電膜１８に代えて導電膜１８ｂが形成される。すなわち、前述のグラウンド電極４８ａおよび第１調整用電極４８ｂに代えて第３振動腕２８ａにグラウンド電極７１ａおよび１対の第１調整用電極７１ｂ、７２ｂが配置される。同様に、前述のグラウンド電極４８ａおよび第２調整用電極４８ｃに代えて第３振動腕２８ｂにグラウンド電極７１ａおよび１対の第２調整用電極７１ｃ、７２ｃが配置される。
【００８２】
図１２に示されるように、導電膜１８ａはグラウンド電極７１ａ、第１調整用電極７１ｂ、７２ｂおよび第２調整用電極７１ｃ、７２ｃを形成する。グラウンド電極７１ａは個々の第３振動腕２８ａ、２８ｂの表面に固定される。グラウンド電極７１ａは第３振動腕２８ａ、２８ｂの根本から自由端に向かって２つの稜線の間を延びる。このとき、導電膜１８ｂは基部２５の表面で第１導電パターン７３ａおよび第２導電パターン７３ｂを形成する。第１導電パターン７３ａはグラウンド導電膜５１に第３振動腕２８ａ上のグラウンド電極７１ａを接続する。第２導電パターン７３ｂはグラウンド導電膜５１に第３振動腕２８ｂ上のグラウンド電極７１ａを接続する。
【００８３】
第１調整用電極７１ｂ、７２ｂは一方の第３振動腕２８ａの個々の側面にそれぞれ固定される。第１調整用電極７１ｂ、７２ｂはそれぞれ第３振動腕２８ａの根本から自由端に向かって２つの稜線の間を延びる。このとき、導電膜１８ｂは基部２５の表面で第３導電パターン７３ｃを形成する。第３導電パターン７３ｃは第２信号電極４７ｃに第１調整用電極７２ｂを接続する。２つの第１調整用電極７１ｂ、７２ｂは第３振動腕２８ａの自由端で相互に接続される。
【００８４】
第２調整用電極７１ｃ、７２ｃは他方の第３振動腕２８ｂの個々の側面にそれぞれ固定される。第２調整用電極７１ｃ、７２ｃはそれぞれ第３振動腕２８ｂの根本から自由端に向かって２つの稜線の間を延びる。２つの第２調整用電極７１ｃ、７２ｃは第３振動腕２８ｂの自由端で相互に接続される。
【００８５】
第３振動腕２８ａの第１調整用電極７１ｂ、７２ｂから連続する導電体は第１切断痕７４ａで第１導電パターン７３ａすなわちグラウンド導電膜５１に繋ぎ合わせられる。すなわち、第１調整用電極７１ｂ、７２ｂはグラウンド導電膜５１から電気的に切り離される。換言すれば、第１調整用電極７１ｂ、７２ｂとグラウンド導電膜５１との間は第１切断痕７４ａによって切断されている。第１切断痕７４ａは、第１調整用電極７１ｂ、７２ｂからグラウンド導電膜５１まで連続する導電体の切断に応じて必然的に形成される痕跡に相当する。
【００８６】
第３振動腕２８ｂの第２調整用電極７１ｃ、７２ｃから連続する導電体は第２切断痕７４ｂで第２導電パターン７３ｂに繋ぎ合わせられる。すなわち、第２調整用電極７１ｃ、７２ｃはグラウンド導電膜５１から電気的に切り離される。換言すれば、第２調整用電極７１ｃ、７２ｃとグラウンド導電膜５１との間は第２切断痕７４ｂによって切断されている。第２切断痕７４ｂは、第２調整用電極７１ｃ、７２ｃからグラウンド導電膜５１まで連続する導電体の切断に応じて必然的に形成される痕跡に相当する。
【００８７】
第３振動腕２８ａの表面ではグラウンド電極７１ａの先端は第３切断痕７４ｃで第１調整用電極７１ｂ、７２ｂの先端に繋ぎ合わせられる。すなわち、第３振動腕２８ａの先端ではグラウンド電極７１ａは第１調整用電極７１ｂ、７２ｂから電気的に切り離される。換言すれば、グラウンド電極７１ａと第１調整用電極７１ｂ、７２ｂとの間は第３切断痕７４ｃによって切断されている。第３切断痕７４ｃは、グラウンド電極７１ａの先端から第１調整用電極７１ｂ、７２ｂまで連続する導電体の切断に応じて必然的に形成される痕跡に相当する。
【００８８】
第３振動腕２８ｂの表面ではグラウンド電極７１ａの先端は第４切断痕７４ｄで第２調整用電極７１ｃ、７２ｃの先端に繋ぎ合わせられる。すなわち、第３振動腕２８ｂの先端ではグラウンド電極７１ａは第２調整用電極７１ｃ、７２ｃから電気的に切り離される。換言すれば、グラウンド電極７１ａと第２調整用電極７１ｃ、７２ｃとの間は第４切断痕７４ｄによって切断されている。第４切断痕７４ｄは、グラウンド電極７１ａの先端から第２調整用電極７１ｃ、７２ｃまで連続する導電体の切断に応じて必然的に形成される痕跡に相当する。
【００８９】
第３振動腕２８ａ、２８ｂのグラウンド電極７１ａの輪郭に連続して欠損痕７５が形成される。欠損痕７５の位置に応じてグラウンド電極７１ａの広がりは調整される。欠損痕７５の位置が第３振動腕２８ａ、２８ｂの自由端から遠ざかれば遠ざかるほどグラウンド電極７１ａの面積は縮小される。欠損痕７５は、グラウンド電極７１ａの除去に応じて必然的に形成される痕跡に相当する。欠損痕７５から自由端側でグラウンド電極７１ａを除去してグラウンド電極７１ａの輪郭を仕切り直してもよい。
【００９０】
図１３に示されるように、本体１７の裏面１７ｂでは前述の第３調整用電極５６ｂおよび第４調整用電極５６ｃに代えて第３振動腕２８ａ、２８ｂにグラウンド電極７１ｄが配置される。すなわち、導電膜１８ｂはグラウンド電極７１ｄを形成する。グラウンド電極７１ｄは個々の第３振動腕２８ａ、２８ｂの裏面に固定される。グラウンド電極７１ｄは第３振動腕２８ａ、２８ｂの根本から自由端に向かって２つの稜線の間を延びる。このとき、導電膜１８ｂは基部２５の裏面で第４導電パターン７６ａおよび第５導電パターン７６ｂを形成する。第４導電パターン７６ａはグラウンド導電膜５８に第３振動腕２８ａ上のグラウンド電極７１ｄを接続する。第５導電パターン７６ｂはグラウンド導電膜５８に第３振動腕２８ｂ上のグラウンド電極７１ｄを接続する。
【００９１】
導電膜１８ｂは第６導電パターン７６ｃおよび第７導電パターン７６ｄをさらに形成する。第６導電パターン７６ｃおよび第７導電パターン７６ｄは第１吊り腕３３ａ、３３ｂの裏面にそれぞれ固定される。第６導電パターン７６ｃは第１信号端子６１ａから連続して第１調整用電極７１ｂに至る。第７導電パターン７６ｄは第２信号端子６１ｂから連続して第２調整用電極７２ｃに至る。こうして第２信号電極４７ｃ、第３信号電極５４ｂおよび第１調整用電極７１ｂ、７２ｂは第１信号端子６１ａに接続される。第１信号電極４７ｂ、第４信号電極５４ｃおよび第２調整用電極７１ｃ、７２ｃは第２信号端子６１ｂに接続される。
【００９２】
本体１７の裏面１７ｂでは第３振動腕２８ａの第１調整用電極７１ｂ、７２ｂから連続する導電体は第５切断痕７７ａで第４導電パターン７５ａすなわちグラウンド導電膜５８に繋ぎ合わせられる。すなわち、第１調整用電極７１ｂ、７２ｂはグラウンド導電膜５８から電気的に切り離される。換言すれば、第１調整用電極７１ｂ、７２ｂとグラウンド導電膜５８との間は第５切断痕７７ａによって切断されている。第５切断痕７７ａは、第１調整用電極７１ｂ、７２ｂからグラウンド導電膜５８まで連続する導電体の切断に応じて必然的に形成される痕跡に相当する。
【００９３】
第３振動腕２８ｂの第２調整用電極７１ｃ、７２ｃから連続する導電体は第６切断痕７７ｂで第６導電パターン７６ｂに繋ぎ合わせられる。すなわち、第２調整用電極７１ｃ、７２ｃはグラウンド導電膜５８から電気的に切り離される。換言すれば、第２調整用電極７１ｃ、７２ｃとグラウンド導電膜５８との間は第６切断痕７７ｂによって切断されている。第６切断痕７７ｂは、第２調整用電極７１ｃ、７２ｃからグラウンド導電膜５８まで連続する導電体の切断に応じて必然的に形成される痕跡に相当する。
【００９４】
図１４に示されるように、第１振動腕２６ａ、２６ｂの形状が図９とは反対側にずれると、コリオリ力の力成分に対して漏れ振動の成分の位相は１８０°ずれる。第１振動腕２６ａ、２６ｂの出力信号には第３振動腕２８ａ、２８ｂから出力される電気信号が重畳される。第３振動腕２８ａ、２８ｂから出力される電気信号の位相と漏れ振動の位相とは切断痕７４ａ〜７４ｄ、７６ａ、７６ｂの働きで逆位相に設定され、欠損痕７５の働きで電気信号の大きさは調整される。調整の結果、第３振動腕２８ａ、２８ｂから出力される電気信号は漏れ振動の成分を打ち消すことができる。こうして出力信号のＳ／Ｎ比は向上する。電気信号の調整にあたって、第３振動腕２８ａ、２８ｂの延伸方向に延びている面であって稜線を挟んで隣り合う２面にそれぞれ配置される調整用電極７１ｂ、７１ｃ、７２ｂ、７２ｃおよびグラウンド電極７１ａの間に介在する圧電体の体積や相互間の距離が調整される。
【００９５】
導電膜１８ｂの形成にあたって前述と同様に導電膜１８ａが利用されることができる。前述と同様に、組み込みに先立って第２振動腕２７ａ、２７ｂの形状が観察される。観察された形状に応じて漏れ振動の位相が特定される。特定された漏れ振動の位相に応じて励振に対して第３振動腕２８ａ、２８ｂから出力される調整信号の位相が決定される。この決定に応じて第１導電パターン６６ａおよび第３導電パターン６６ｃから第１導電膜６５ａが切り離される。第１電極膜６５ａとグラウンド導電膜５１との接続は維持される。第２導電パターン６６ｂは第５電極膜６５ｅおよび第４導電パターン６６ｄから切り離される。第２電極膜６５ｂとグラウンド導電膜５１との接続は維持される。同時に、第１電極膜６５ａおよび第２電極膜６５ｂはそれぞれ第１導電片６７ａおよび第２導電片６７ｂから切り離される。こうした切り離しにあたって例えばレーザーの照射が用いられることができる。レーザーの照射に応じて該当する位置に第１〜第４切断痕７４ａ〜７４ｄが形成される。同様に、第３電極膜６５ｃ、第４電極膜６５ｄおよび第１信号端子６１ａから第７電極膜６５ｇは切り離される。第７電極膜６５ｇとグラウンド導電膜５８との接続は維持される。第４導電パターン６６ｄおよび第２導電パターン６６ｂから第８電極膜６５ｈは切り離される。第８電極膜６５ｈとグラウンド導電膜５８との接続は維持される。レーザーの照射に応じて該当する位置に第５および第６切断痕７７ａ、７７ｂが形成される。
【００９６】
前述の導電膜１８ａによれば、例えば形状の観察などに基づき第１振動腕２６ａ、２６ｂの出力信号に含まれる漏れ振動の成分は特定される。漏れ振動の位相に応じて対のうちの一方の調整用電極はグラウンド用電極から切り離され他方の調整用電極は信号用電極から切り離される。こうして選択的に第３振動腕２８ａ、２８ｂの出力信号の位相は設定される。その結果、相互に１８０°でずれた位相の漏れ振動のいずれにも対応することができる。しかも、相互に１８０°でずれた位相ごとに第３振動腕２８ａ、２８ｂの１面に２つの調整用電極が形成される必要はなく、１つの調整用電極は第３振動腕２８ａ、２８ｂの１面ごとに最大限に広がることができる。したがって、調整用電極の面積の調整幅は最大限に確保されることができる。
【００９７】
（５）第３実施形態に係る振動片の構成
図１５は第３実施形態に係る振動片１５ｂの構造を概略的に示す。この第３実施形態では本体１７上に前述の導電膜１８に代えて導電膜１８ｃが形成される。すなわち、前述のグラウンド電極４８ａおよび第１調整用電極４８ｂに代えて第３振動腕２８ａに１対のグラウンド電極８１ａ、８１ｂおよび第１調整用電極８１ｃが配置される。同様に、前述のグラウンド電極４８ａおよび第２調整用電極４８ｃに代えて第３振動腕２８ｂに１対のグラウンド電極８２ａ、８２ｂおよび第２調整用電極８２ｃが配置される。
【００９８】
図１４に示されるように、導電膜１８ｃはグラウンド電極８１ａ、８１ｂ、８２ａ、８２ｂ、第１調整用電極８１ｃおよび第２調整用電極８２ｃを形成する。グラウンド電極８１ａ、８１ｂは一方の第３振動腕２８ａの表面および片側の側面にそれぞれ固定される。グラウンド電極８１ａ、８１ｂは第３振動腕２８ａの根本から自由端に向かってそれぞれ２つの稜線の間を延びる。２つのグラウンド電極８１ａ、８１ｂは第３振動腕２８ａの自由端で相互に接続される。
【００９９】
第１調整用電極８１ｃは一方の第３振動腕２８ａの残りの側面に固定される。第１調整用電極８１ｃは第３振動腕２８ａの根本から自由端に向かって２つの稜線の間を延びる。このとき、導電膜１８ｃは基部２５の表面で第１導電パターン８３ａを形成する。第１導電パターン８３ａは第２信号電極４７ｃに第１調整用電極８２ｃを接続する。第１導電パターン８３ａは第２吊り腕３３ａの根本で基部２５の裏面に回り込む。
【０１００】
グラウンド電極８２ａ、８２ｂは他方の第３振動腕２８ｂの表面および片側の側面にそれぞれ固定される。グラウンド電極８２ａ、８２ｂは第３振動腕２８ｂの根本から自由端に向かってそれぞれ２つの稜線の間を延びる。２つのグラウンド電極８２ａ、８２ｂは第３振動腕２８ｂの自由端で相互に接続される。
【０１０１】
第２調整用電極８２ｃは他方の第３振動腕２８ｂの残りの側面に固定される。第２調整用電極８２ｃは第３振動腕２８ｂの根本から自由端に向かって２つの稜線の間を延びる。このとき、導電膜１８ｃは基部２５の表面で第２導電パターン８３ｂを形成する。第２導電パターン８３ｂは第２調整用電極８２ｃから連続する。第２導電パターン８３ｂは第２吊り腕３３ａの根本で基部２５の裏面に回り込む。
【０１０２】
第３振動腕２８ａのグラウンド電極８１ｂから連続する導電体は第１切断痕８４ａで第１導電パターン８３ａすなわち第２信号電極４７ｃに繋ぎ合わせられる。すなわち、グラウンド電極８１ｂは第２信号電極４７ｃおよび第３信号電極５４ｂから電気的に切り離される。換言すれば、グラウンド電極８１ｂと第２信号電極４７ｃおよび第３信号電極５４ｂとの間は第１切断痕８４ａによって切断されている。第１切断痕８４ａは、グラウンド電極８１ｂから第１導電パターン８３ａまで連続する導電体の切断に応じて必然的に形成される痕跡に相当する。
【０１０３】
第２信号電極４７ｃおよび第３信号電極５４ｂから連続する導電体すなわち第１導電パターン８３ａは第２切断痕８４ｂでグラウンド導電膜５１に繋ぎ合わせられる。すなわち、第２信号電極４７ｃおよび第３信号電極５４ｂはグラウンド導電膜５１から電気的に切り離される。換言すれば、第２信号電極４７ｃおよび第３信号電極５４ｂとグラウンド導電膜５１との間は第２切断痕８４ｂによって切断されている。第２切断痕８４ｂは、第２信号電極４７ｃからグラウンド導電膜５１まで連続する導電体の切断に応じて必然的に形成される痕跡に相当する。
【０１０４】
第３振動腕２８ｂのグラウンド電極８２ａから連続する導電体は第３切断痕８４ｃで第２導電パターン８３ｂすなわち第２調整用電極８２ｃに繋ぎ合わせられる。すなわち、グラウンド電極８２ａは第２調整用電極８２ｃから電気的に切り離される。換言すれば、グラウンド電極８２ａと第２調整用電極８２ｃとの間は第３切断痕８４ｃによって切断されている。第３切断痕８４ｃは、グラウンド電極８２ａから第２導電パターン８３ｂまで連続する導電体の切断に応じて必然的に形成される痕跡に相当する。
【０１０５】
第２調整用電極８２ｃから連続する導電体すなわち第２導電パターン８３ｂは第４切断痕８４ｃでグラウンド導電膜５１に繋ぎ合わせられる。すなわち、第２調整用電極８２ｃはグラウンド導電膜５１から電気的に切り離される。換言すれば、第２調整用電極８２ｃとグラウンド導電膜５１との間は第４切断痕８４ｃによって切断されている。第４切断痕８４ｃは、第２調整用電極８２ｃからグラウンド導電膜５１まで連続する導電体の切断に応じて必然的に形成される痕跡に相当する。
【０１０６】
第３振動腕２８ａではグラウンド電極８１ｂの先端から連続する導電体は第５切断痕８４ｅで第１調整用電極８１ｃの先端に繋ぎ合わせられる。すなわち、グラウンド電極８１ｂは第１調整用電極８１ｃから電気的に切り離される。換言すれば、グラウンド電極８１ｂと第１調整用電極８１ｃとの間は第５切断痕８４ｅによって切断されている。第５切断痕８４ｅは、グラウンド電極８１ｂから第１調整用電極８１ｃまで連続する導電体の切断に応じて必然的に形成される痕跡に相当する。
【０１０７】
同様に、第３振動腕２８ｂではグラウンド電極８２ａの先端から連続する導電体は第６切断痕８４ｆで第２調整用電極８２ｃの先端に繋ぎ合わせられる。すなわち、グラウンド電極８２ａは第２調整用電極８２ｃから電気的に切り離される。換言すれば、グラウンド電極８２ａと第２調整用電極８２ｃとの間は第６切断痕８４ｆによって切断されている。第６切断痕８４ｆは、グラウンド電極８２ａから第２調整用電極８２ｃまで連続する導電体の切断に応じて必然的に形成される痕跡に相当する。
【０１０８】
第３振動腕２８ａ、２８ｂのグラウンド電極８１ｂ、８２ａの輪郭に連続して欠損痕８５が形成される。欠損痕８５の位置に応じてグラウンド電極８１ｂ、８２ａの広がりは調整される。欠損痕８５の位置が第３振動腕２８ａ、２８ｂの自由端に近づけば近づくほどグラウンド電極８１ｂ、８２ａの面積は縮小される。欠損痕８５は、グラウンド電極８１ｂ、８２ａの除去に応じて必然的に形成される痕跡に相当する。欠損痕８５から第１および第３切断痕８４ａ、８４ｃの間でグラウンド電極８１ｂ、８２ａを除去してグラウンド電極８１ｂ、８２ａの輪郭を仕切り直してもよい。
【０１０９】
図１６に示されるように、本体１７の裏面１７ｂでは前述の第３調整用電極５６ｂおよび第４調整用電極５６ｃに代えて第３振動腕２８ａ、２８ｂに第３調整用電極８６ａおよび第４調整用電極８６ｂがそれぞれ配置される。すなわち、導電膜１８ｃは第３調整用電極８６ａおよび第４調整用電極８６ｂを形成する。第３調整用電極８６ａは第３振動腕２８ａの裏面に固定される。第３調整用電極８６ａは第３振動腕２８ａの根本から自由端に向かって２つの稜線の間を延びる。このとき、導電膜１８ｃは基部２５の裏面で第３導電パターン８７ａを形成する。第３導電パターン８７ａは第１調整用電極８１ｃおよび第１導電パターン８３ａに第３調整用電極８６ａを接続する。第３導電パターン８７ａは第１信号端子６１ａから連続する。その結果、第２信号電極４７ｃ、第３信号電極５４ｂ、第１調整用電極８１ｃおよび第３調整用電極８６ａは第１信号端子６１ａに接続される。導通が確保される。
【０１１０】
第４調整用電極８６ｂは第３振動腕２８ａの裏面に固定される。第４調整用電極８６ｂは第３振動腕２８ｂの根本から自由端に向かって２つの稜線の間を延びる。このとき、導電膜１８ｃは基部２５の裏面で第４導電パターン８７ｂを形成する。第４導電パターン８７ｂは第４信号電極５４ｃに第４調整用電極８６ｂを接続する。同時に、第４導電パターン８７ｂは第４調整用電極８６ｂおよび第２調整用電極８２ｃを相互に接続する。第４導電パターン８７ｂは第２信号端子６１ｂから連続する。その結果、第１信号電極４７ｂ、第４信号電極５４ｃ、第２調整用電極８２ｃおよび第４調整用電極８６ｂは第２信号端子６１ｂに接続される。導通が確保される。
【０１１１】
第３振動腕２８ａの第１調整用電極８１ｃおよび第３調整用電極８６ａから連続する導電体すなわち第３導電パターン８７ａは第７切断痕８８ａでグラウンド導電膜５８およびグラウンド電極８１ａに繋ぎ合わせられる。すなわち、第１調整用電極８１ｃおよび第３調整用電極８６ａはグラウンド導電膜５８およびグラウンド電極８１ａから電気的に切り離される。換言すれば、第１調整用電極８１ｃおよび第３調整用電極８６ａとグラウンド導電膜５８およびグラウンド電極８１ａとの間は第７切断痕８８ａによって切断されている。第７切断痕８８ａは、第１調整用電極８１ｃおよび第３調整用電極８６ａからグラウンド導電膜５８およびグラウンド電極８１ａまで連続する導電体の切断に応じて必然的に形成される痕跡に相当する。
【０１１２】
第３振動腕２８ａの第２調整用電極８２ｃおよび第４調整用電極８６ｂから連続する導電体すなわち第４導電パターン８７ｂは第８切断痕８８ｂでグラウンド導電膜５８およびグラウンド電極８２ｂに繋ぎ合わせられる。すなわち、第２調整用電極８２ｃおよび第４調整用電極８６ｂはグラウンド導電膜５８およびグラウンド電極８２ｂから電気的に切り離される。換言すれば、第２調整用電極８２ｃおよび第４調整用電極８６ｂとグラウンド導電膜５８およびグラウンド電極８２ｂとの間は第８切断痕８８ｂによって切断されている。第８切断痕８８ｂは、第２調整用電極８２ｃおよび第４調整用電極８６ｂからグラウンド導電膜５８およびグラウンド電極８２ｂまで連続する導電体の切断に応じて必然的に形成される痕跡に相当する。
【０１１３】
第３振動腕２８ａではグラウンド電極８１ａの先端から連続する導電体は第９切断痕８８ｃで第１調整用電極８１ｃの先端に繋ぎ合わせられる。すなわち、グラウンド電極８１ａは第１調整用電極８１ｃから電気的に切り離される。換言すれば、グラウンド電極８１ａと第１調整用電極８１ｃとの間は第９切断痕８８ｃによって切断されている。第９切断痕８８ｃは、グラウンド電極８１ａから第１調整用電極８１ｃまで連続する導電体の切断に応じて必然的に形成される痕跡に相当する。
【０１１４】
同様に、第３振動腕２８ｂではグラウンド電極８２ｂの先端から連続する導電体は第１０切断痕８８ｄで第２調整用電極８２ｃの先端に繋ぎ合わせられる。すなわち、グラウンド電極８２ｂは第２調整用電極８２ｃから電気的に切り離される。換言すれば、グラウンド電極８２ｂと第２調整用電極８２ｃとの間は第１０切断痕８８ｄによって切断されている。第１０切断痕８８ｂは、グラウンド電極８２ｂから第２調整用電極８２ｃまで連続する導電体の切断に応じて必然的に形成される痕跡に相当する。
【０１１５】
図１７に示されるように、第１振動腕２６ａ、２６ｂの形状のずれが微妙であると、コリオリ力の力成分に対して漏れ振動の成分の位相は明確に特定されることができない。ここでは、第１切断痕８４ａ、第２切断痕８４ｂ、第５切断痕８４ｅ、第７切断痕８８ａおよび第９切断痕８８ｃの働きで第１調整用電極８１ｃの出力信号と第３調整用電極８６ａの出力信号とは相互に打ち消し合う。同様に、第３切断痕８４ｃ，第４切断痕８４ｄ、第６切断痕８４ｆ、第８切断痕８８ｂおよび第１０切断痕８８ｄの働きで第２調整用電極８２ｃの出力信号と第４調整用電極８６ｂの出力信号とは相互に打ち消し合う。その結果、削除痕８５の働きで、第３振動腕２８ａ、２８ｂから出力される電気信号の位相は決定されることができる。同時に、削除痕８５の働きで電気信号の大きさは調整される。調整の結果、第３振動腕２８ａ、２８ｂから出力される電気信号は漏れ振動の成分を打ち消すことができる。こうして出力信号のＳ／Ｎ比は向上する。電気信号の調整にあたってグラウンド電極８１ｂ、８２ａの形状は予め整えられる。第３振動腕２８ａ、２８ｂの延伸方向に延びている面であって稜線を挟んで隣り合う２面にそれぞれ配置される調整用電極８１ｃ、８２ｃ、８６ａ、８６ｂおよびグラウンド電極８１ａ、８１ｂ、８２ａ、８２ｂの間に介在する圧電体の体積や相互間の距離が調整される。
【０１１６】
導電膜１８ｃの形成にあたって前述と同様に導電膜１８ａが利用されることができる。前述と同様に、組み込みに先立って第２振動腕２７ａ、２７ｂの形状が観察される。観察された形状に応じて漏れ振動の位相が特定される。漏れ振動の位相が正確に判断されることができない場合には、第３振動腕２８ａ、２８ｂから出力される調整信号の位相の決定は保留される。このとき、第１導電パターン６６ａは第１電極膜６５ａおよびグラウンド導電膜５１から切り離される。第４電極膜６５ｄから第１導電片６７ａが切り離される。第１導電パターン６６ａと第４電極膜６５ｄとの接続は維持される。第１電極膜６５ａおよび第１導電片６７ａとの接続は維持される。第２導電パターン６６ｂは第２電極膜６５ｂおよびグラウンド導電膜５１から切り離される。第５電極膜６５ｅから第２導電片６７ｂは切り離される。第２導電パターン６６ｂと第５電極膜６５ｅとの接続は維持される。こうした切り離しにあたって例えばレーザーの照射が用いられることができる。レーザーの照射に応じて該当する位置に第１〜第６切断痕８４ａ〜８４ｆが形成される。同様に、第３導電パターン６６ｃはグラウンド導電膜５８および第３電極膜６５ｃから切り離される。第４導電パターン６６ｄはグラウンド導電膜５８および第６電極膜６５ｆから切り離される。第３導電パターン６６ｃと第４電極膜６５ｄおよび第７電極膜６５ｇとの接続は維持される。第４導電パターン６６ｄと第５電極膜６５ｅおよび第８電極膜６５ｈとの接続は維持される。同時に、第４および第５電極膜６５ｄ、６５ｅの先端は第３および第６電極膜６５ｃ、６５ｆの先端からそれぞれ切り離される。レーザーの照射に応じて該当する位置に第７〜第１０切断痕８８ａ〜８８ｄが形成される。
【０１１７】
（６）他の実施形態に係る製造方法
振動片の製造にあたって、図１８および図１９に示される振動片１５ｃが利用されることができる。振動片１５ｃでは本体１７上に導電膜１８ｄが形成される。導電膜１８ｄは、前述の導電膜１８ａと同様に、第１および第２駆動電極４１ａ、４１ｂ、４２ａ、４２ｂ、第１および第２駆動配線４３、４４、第１および第２駆動端子４５、４６、グラウンド電極４７ａ、第１信号電極４７ｂ、第２信号電極４７ｃ、第３信号電極５４ｂ、第４信号電極５４ｃ、グラウンド導電膜５１、５８、第１信号端子６１ａ、第２信号端子６１ｂ、グラウンド端子６１ｃ、第１および第２導電片６７ａ、６７ｂを形成する。同時に、導電膜１８ｄは以下の導電材膜を形成する。導電膜１８ｄの形成にあたって例えばフォトリソグラフィ技術が用いられることができる。
【０１１８】
図１８に示されるように、導電膜１８ｄは、前述の導電膜１８ａと同様に、第１電極膜６５ａ、第２電極膜６５ｂ、第３電極膜６５ｃ、第４電極膜６５ｄ、第５電極膜６５ｅおよび第６電極膜６５ｆを形成する。第１〜第６電極膜６５ａ〜６５ｆは第３振動腕２８ａ、２８ｂの全長にわたって根本から自由端に向かって２つの稜線の間を延びる。第１電極膜６５ａ、第２電極膜６５ｂ、第４電極膜６５ｄおよび第５電極膜６５ｅのそれぞれの先端は対応の導電片６７ａ、６７ｂの手前で途切れる。すなわち、導通は遮断される。第３電極膜６５ｃおよび第６電極膜６５ｆのそれぞれの先端は対応の導通片６７ａ、６７ｂに連続する。すなわち、導通は確保される。加えて、第１電極膜６５ａから連続する導電体は基部２５上に第１接続端８９ａを有する。第２電極膜６５ｂから連続する導電体は基部２５上に第２接続端８９ｂを有する。第３電極膜６５ｃから連続する導電体は第２吊り腕３３ａ上に第３接続端８９ｃを有する。第４電極膜６５ｄから連続する導電体は基部２５上に第４接続端８９ｄを有する。第５電極膜６５ｅから連続する導電体は基部２５上に第５接続端８９ｅを有する。第６電極膜６５ｆから連続する導電体は第２吊り腕３３ｂ上に第６接続端８９ｆを有する。第２信号電極４７ｃから連続する導電体は基部２５上に第７接続端８９ｇを有する。グラウンド導電膜５１は基部２５上に第８接続端８９ｈおよび第９接続端８９ｉを有し第２吊り腕３３ａ、３３ｂ上にそれぞれ第１０接続端８９ｊおよび第１１接続端８９ｋを有する。導電膜１８ｄは、第２吊り腕３３ａ、３３ｂの付け根でそれぞれ基部２５の表面から裏面に回り込む接続片９１ａ、９１ｂを形成する。
【０１１９】
図１９に示されるように、本体１７の裏面１７ｂでは、導電膜１８ｄは、前述の導電膜１８ａと同様に、第７電極膜６５ｇおよび第８電極膜６５ｈをさらに形成する。第７および第８電極膜６５ｇ、６５ｈは第３振動腕２８ａ、２８ｂの全長にわたって根本から自由端に向かって２つの稜線の間を延びる。第７および第８電極膜６５ｇ、６５ｈのそれぞれの先端は対応の導電片６７ａ、６７ｂの手前で途切れる。すなわち、導通は遮断される。加えて、本体１７の裏面１７ｂでは、第３電極膜６５ｃから連続する導電体は第２吊り腕３３ａ上に第１２接続端９２ａを有する。第４電極膜６５ｄから連続する導電体は基部２５上に第１３接続端９２ｂを有する。第５電極膜６５ｅから連続する導電体は基部２５上に第１４接続端９２ｃを有する。第６電極膜６５ｆから連続する導電体は第２吊り腕３３ｂ上に第１５接続端９２ｄを有する。第７電極膜６５ｇから連続する導電体は基部２５上に第１６接続端９２ｅを有する。第８電極膜６５ｈから連続する導電体は基部２５上に第１７接続端９２ｆを有する。第４信号電極５４ｃから連続する導電体は基部２５上に第１８接続端９２ｇを有する。グラウンド導電膜５８は基部２５上に第１８接続端９２ｈおよび第１９接続端９２ｉを有する。第１および第２信号端子６１ａ、６１ｂから連続する導電体は第２吊り腕３３ａ、３３ｂ上にそれぞれ第２０接続端９２ｊおよび第２１接続端９２ｋを有する。
【０１２０】
図２０は第４実施形態に係る振動片１５ｄの構造を概略的に示す。第４実施形態に係る振動片１５ｄの配線構造は第１実施形態に係る振動片１５の配線構造に一致する。ただし、振動片１５ｄの導電膜１８ｅは振動片１５ｃの導電膜１８ｄに基づき製造される。以下のように、振動片１５ｄの導電膜１８ｅに対して導電材が後付けされる。第１導電材９３ａは第２信号電極４７ｃの第７接続端８９ｇおよび接続片９１ａに第１電極膜６５ａの第１接続端８９ａを接続する。第１導電材９３ａは基部２５の表面に固定される。第２導電材９３ｂは接続片９１ｂに第２電極膜６５ｂの第２接続端８９ｂを接続する。第２導電材９３ｂは基部２５の表面に固定される。第３導電材９３ｃはグラウンド導電膜５１の第１０接続端８９ｊに第３電極膜６５ｃの第３接続端８９ｃを接続する。第３導電材９３ｃは第２吊り腕３３ａの表面に固定される。第４導電材９３ｄはグラウンド導電膜５１の第１１接続端８９ｋに第６電極膜６５ｆの第６接続端８９ｆを接続する。第４導電材９３ｄは第２吊り腕３３ｂの表面に固定される。第５導電材９３ｅは第１導電片６７ａに第４電極膜６５ｄの先端を接続する。第５導電材９３ｅは第３振動腕２８ａの先端に固定される。第６導電材９３ｆは第２導電片６７ｂに第５電極膜６５ｅの先端を接続する。第６導電材９３ｆは第３振動腕２８ｂの先端に固定される。
【０１２１】
同様に、図２１に示されるように、本体１７の裏面１７ｂでは、第７導電材９３ｇは第１信号端子６１ａの第２０接続端９２ｊおよび接続片９１ａに第７電極膜６５ｇの第１６接続端９２ｅを接続する。第７導電材９３ｇは基部２５の裏面および第２吊り腕３３ａの裏面に固定される。第８導電材９３ｈは第４信号電極５４ｃの第１８接続端９２ｇに第８電極膜６５ｈの第１７接続端９２ｆを接続する。第８導電材９３ｈは基部２５の裏面に固定される。第９導電材９３ｉは第２信号端子６１ｂの第２２接続端９２ｋおよび接続片９１ｂに第８電極膜６５ｈの第１７接続端９２ｆを接続する。第９導電材９３ｉは基部２５の裏面および第２吊り腕３３ｂの裏面に固定される。第１０導電材９３ｊは第１導電片６７ａに第４電極膜６５ｄの先端を接続する。第１０導電材９３ｊは第３振動腕２８ａの先端に固定される。第１１導電材９３ｋは第２導電片６７ｂに第５電極膜６５ｅの先端を接続する。第１１導電材９３ｋは第３振動腕２８ｂの先端に固定される。
【０１２２】
図２２は第５実施形態に係る振動片１５ｅの構造を概略的に示す。第５実施形態に係る振動片１５ｅの配線構造は第２実施形態に係る振動片１５ａの配線構造に一致する。ただし、振動片１５ｅの導電膜１８ｆは振動片１５ｃの導電膜１８ｄに基づき製造される。以下のように、振動片１５ｄの導電膜１８ｅに対して導電材が後付けされる。第１導電材９４ａはグラウンド導電膜５１の第８接続端８９ｈに第１電極膜６５ａの第１接続端８９ａを接続する。第１導電材９４ａは基部２５の表面に固定される。第２導電材９４ｂはグラウンド導電膜５１の第９接続端８９ｉに第２電極膜６５ｂの第２接続端８９ｂを接続する。第２導電材９４ｂは基部２５の表面に固定される。第３導電材９４ｃは第２信号電極４７ｃの第７接続端８９ｇに第４電極膜６５ｄの第４接続端８９ｄを接続する。第３導電材９４ｃは基部２５の表面に固定される。第４導電材９４ｄは第１導電片６７ａに第４電極膜６５ｄの先端を接続する。第４導電材９４ｄは第３振動腕２８ａの先端に固定される。第５導電材９４ｅは第２導電片６７ｂに第５電極膜６５ｅの先端を接続する。第５導電材９４ｅは第３振動腕２８ｂの先端に固定される。
【０１２３】
同様に、図２３に示されるように、本体１７の裏面１７ｂでは、第６導電材９４ｆは第１信号端子６１ａの第２０接続端９２ｊに第３電極膜６５ｃの第１２接続端９２ａを接続する。第６導電材９４ｆは第２吊り腕３３ａの裏面に固定される。第７導電材９４ｇは第４信号電極５４ｃの第１８接続端９２ｇに第５電極膜６５ｅの第１４接続端９２ｃを接続する。第７導電材９４ｇは基部２５の裏面に固定される。第８導電材９４ｈは第２信号端子６１ｂの第２２接続端９２ｋに第６電極膜６５ｆの第１５接続端９２ｄを接続する。第８導電材９４ｈは第２吊り腕３３ｂの裏面に固定される。第９導電材９４ｉはグラウンド導電膜５８の第１９接続端９２ｈに第７電極膜６５ｇの第１６接続端９２ｅを接続する。第９導電材９４ｉは基部２５の裏面に固定される。第１０導電材９４ｊはグラウンド導電膜５８の第２０接続端９２ｉに第８電極膜６５ｈの第１７接続端９２ｆを接続する。第１０導電材９４ｊは基部２５の裏面に固定される。第１１導電材９４ｋは第１導電片６７ａに第４電極膜６５ｄの先端を接続する。第１１導電材９４ｋは第３振動腕２８ａの先端に固定される。第１２導電材９４ｍは第２導電片６７ｂに第５電極膜６５ｅの先端を接続する。第１２導電材９４ｍは第３振動腕２８ｂの先端に固定される。
【０１２４】
図２４は第６実施形態に係る振動片１５ｆの構造を概略的に示す。第６実施形態に係る振動片１５ｆの配線構造は第３実施形態に係る振動片１５ｂの配線構造に一致する。ただし、振動片１５ｆの導電膜１８ｇは振動片１５ｃの導電膜１８ｄに基づき製造される。以下のように、振動片１５ｄの導電膜１８ｅに対して導電材が後付けされる。第１導電材９５ａはグラウンド導電膜５１の第１０接続端８９ｊに第３電極膜６５ｃの第３接続端８９ｃを接続する。第１導電材９５ａは第２吊り腕３３ａの表面に固定される。第２導電材９５ｂは第２信号電極４７ｃの第７接続端８９ｇおよび接続片９１ａに第４電極膜６５ｄの第４接続端８９ｄを接続する。第２導電材９５ｂは基部２５の表面に固定される。第３導電材９５ｃは接続片９１ｂに第５電極膜６５ｅの第５接続端８９ｅを接続する。第３導電材９５ｃは基部２５の表面に固定される。第４導電材９５ｄはグラウンド導電膜５１の第１１接続端８９ｋに第６電極膜６５ｆの第６接続端８９ｆを接続する。第４導電材９５ｄは第２吊り腕３３ｂの表面に固定される。第５導電材９５ｅは第３振動腕２８ａの先端で第１導電片６７ａに第１電極膜６５ａの先端を接続する。第５導電材９５ｅは第３振動腕２８ａの表面に固定される。第６導電材９５ｆは第３振動腕２８ｂの先端で第２導電片６７ｂに第２電極膜６５ｂの先端を接続する。第６導電材９５ｆは第３振動腕２８ｂの表面に固定される。
【０１２５】
同様に、図２５に示されるように、本体１７の裏面１７ｂでは、第７導電材９５ｇは第１信号端子６１ａの第２１接続端９２ｊおよび接続片９１ａに第７電極膜６５ｇの第１６接続端９２ｅを接続する。第７導電材９５ｇは基部２５の裏面および第２吊り腕３３ａの裏面に固定される。第８導電材９５ｈは第４電極膜６５ｄの第１３接続端９２ｂに第７電極膜６５ｇの第１６接続端９２ｅを接続する。第８導電材９５ｈは基部２５の裏面に固定される。第９導電材９５ｉは第２信号端子６１ｂの第２２接続端９２ｋおよび接続片９１ｂに第８電極膜６５ｈの第１７接続端９２ｆを接続する。第９導電材９５ｉは基部２５の裏面および第２吊り腕３３ｂの裏面に固定される。第１０導電材９５ｊは第４信号電極５４ｃの第１８接続端９２ｇおよび第５電極膜６５ｅの第１４接続端９２ｃに第８電極膜６５ｈの第１７接続端９２ｆを接続する。第１０導電材９５ｊは基部２５の裏面に固定される。
【０１２６】
以上のように、これら振動片１５ｄ、１５ｅ、１５ｆでは、後付けの導電材に基づき選択的にいずれか一方の調整用電極はグラウンド用電極に接続され、他方の調整用電極とグラウンド用電極との分離は維持される。こうして選択的に電気信号の位相は確立される。その結果、相互に１８０°でずれた位相の漏れ振動のいずれにも対応することができる。その上、相互に１８０°でずれた位相ごとに第３振動腕２８ａ、２８ｂの１面に２つの調整用電極が形成される必要はなく、１つの調整用電極は第３振動腕２８ａ、２８ｂの１面ごとに最大限に広がることができる。したがって、調整用電極の面積の調整幅は最大限に確保されることができる。
【０１２７】
（７）電子機器その他
図２６は電子機器の一具体例としてのスマートフォン２０１を概略的に示す。スマートフォン２０１には振動片１５、１５ａ、１５ｂ、１５ｄ〜１５ｆを有するジャイロセンサー１１が組み込まれる。ジャイロセンサー１１はスマートフォン２０１の姿勢を検出することができる。いわゆるモーションセンシングが実施される。ジャイロセンサー１１の検出信号は例えばマイクロコンピューターチップ（ＭＰＵ）２０２に供給されることができる。ＭＰＵ２０２はモーションセンシングに応じて様々な処理を実行することができる。その他、こういったモーションセンシングは、携帯電話機、携帯型ゲーム機、ゲームコントローラー、カーナビゲーションシステム、ポインティングデバイス、ヘッドマウンティングディスプレイ、タブレットパソコン等の電子機器で利用されることができる。モーションセンシングの実現にあたってジャイロセンサー１１は組み込まれることができる。
【０１２８】
図２７は電子機器の他の具体例としてのデジタルスチルカメラ（以下「カメラ」という）２０３を概略的に示す。カメラ２０３には振動片１５、１５ａ、１５ｂ、１５ｄ〜１５ｆを有するジャイロセンサー１１が組み込まれる。ジャイロセンサー１１はカメラ２０３の姿勢を検出することができる。ジャイロセンサー１１の検出信号は手ぶれ補正装置２０４に供給されることができる。手ぶれ補正装置２０４はジャイロセンサー１１の検出信号に応じて例えばレンズセット２０５内の特定のレンズを移動させることができる。こうして手ぶれは補正されることができる。その他、手ぶれ補正はデジタルビデオカメラで利用されることができる。手ぶれ補正の実現にあたってジャイロセンサー１１は組み込まれることができる。
【０１２９】
図２８は移動体の一具体例としての自動車２０６を概略的に示す。自動車２０６には振動片１５、１５ａ、１５ｂ、１５ｄ〜１５ｆを有するジャイロセンサー１１が組み込まれる。ジャイロセンサー１１は車体２０７の姿勢を検出することができる。ジャイロセンサー１１の検出信号は車体姿勢制御装置２０８に供給されることができる。車体姿勢制御装置２０８は例えば車体２０７の姿勢に応じてサスペンションの硬軟を制御したり個々の車輪２０９のブレーキを制御したりすることができる。その他、こういった姿勢制御は二足歩行ロボットや航空機、ヘリコプター等の各種移動体で利用されることができる。姿勢制御の実現にあたってジャイロセンサー１１は組み込まれることができる。
【０１３０】
なお、上記のように本実施形態について詳細に説明したが、本発明の新規事項および効果から実体的に逸脱しない多くの変形が可能であることは当業者には容易に理解できるであろう。したがって、このような変形例はすべて本発明の範囲に含まれる。例えば、上記実施形態では、振動片としての形成材料として水晶を用いた例を説明したが、水晶以外の圧電体材料を用いることができる。例えば、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）やニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ３）、タンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ３）、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）、四ホウ酸リチウム（Ｌｉ２Ｂ４Ｏ７）、ランガサイト（Ｌａ３Ｇａ５ＳｉＯ１４）などの酸化物基板や、ガラス基板上に窒化アルミニウムや五酸化タンタル（Ｔａ２Ｏ５）などの圧電体材料を積層させて構成された積層圧電基板、あるいは、圧電セラミックスなどを用いることができる。また、明細書または図面において、少なくとも一度、より広義または同義な異なる用語とともに記載された用語は、明細書または図面のいかなる箇所においても、その異なる用語に置き換えられることができる。また、振動片１５、１５ａ〜１５ｆやジャイロセンサー１１、電子機器、移動体等の構成および動作も本実施形態で説明したものに限定されず、種々の変形が可能である。
【符号の説明】
【０１３１】
１１  ジャイロセンサー、１５  振動片、１５ａ  振動片、１５ｂ  振動片、１５ｃ  振動片、１５ｄ  振動片、１５ｅ  振動片、１５ｆ  振動片、２６ａ  検出用振動腕（第１振動腕）、２６ｂ  検出用振動腕（第１振動腕）、２７ａ  駆動用振動腕（第２振動腕）、２７ｂ  駆動用振動腕（第２振動腕）、２８ａ  調整用振動腕（第３振動腕）、２８ｂ  調整用振動腕（第３振動腕）、４７ａ  グラウンド用電極（グラウンド電極）、４７ｂ  信号用電極（第１信号電極）、４７ｃ  信号用電極（第２信号電極）、４８ａ  グラウンド用電極（グラウンド電極）、４８ｂ  第１調整用電極、４８ｃ  第２調整用電極、５２ａ〜５２ｆ  切断痕、５３  欠損痕、５４ｂ  信号用電極（第３信号電極）、５４ｃ  信号用電極（第４信号電極）、５６ｂ  第３調整用電極、５６ｃ  第４調整用電極、６２ａ〜６２ｄ  切断痕、６５ａ〜６５ｈ  調整用電極（電極膜）、７１ａ  グラウンド用電極（グラウンド電極）、７１ｂ  第１調整用電極、７１ｃ  第２調整用電極、７２ｂ  第１調整用電極、７２ｃ  第２調整用電極、７４ａ〜７４ｄ  切断痕、７５  欠損痕、７７ａ  第５切断痕、７７ｂ  第６切断痕、８１ａ  グラウンド用電極（グラウンド電極）、８１ｂ  グラウンド用電極（グラウンド電極）、８１ｃ  第１調整用電極、８２ａ  グラウンド用電極（グラウンド電極）、８２ｂ  グラウンド用電極（グラウンド電極）、８２ｃ  第２調整用電極、８４ａ〜８４ｆ  切断痕、８５  欠損痕、８６ａ  第３調整用電極、８６ｂ  第４調整用電極、８８ａ〜８８ｄ  切断痕、９３ａ〜９３ｊ  導電材、９４ａ〜９４ｍ  導電材、９５ａ〜９５ｊ  導電材、２０１  電子機器（スマートフォン）、２０３  電子機器（デジタルスチルカメラ）、２０６  移動体（自動車）。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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