(57)【要約】【課題】恒温室内で試験装置を移動させることなくテーブルに載置されたワークに対する試験を行うことが可能な環境試験装置を提供すること。【解決手段】環境試験装置１は、恒温室３、試験装置１４、ターンテーブル８および駆動機構３３を備える。ターンテーブル８は、恒温室３内で試験装置１４に隣接配置されたテーブル本体２５、ワークＷの載置部２８を備えるワーク載置部材２６およびテーブル本体２５に対してワークＷ載置部２８をスライド可能とするスライド機構２７を備える。ワーク載置部材２６は、駆動機構３３によって、載置部２８に載せられたワークＷが試験装置１４による試験位置１４ａに配置される第３位置（試験実施位置）２６Ｃと、載置部２８が試験位置１４ａよりもテーブル本体２５の側に位置する第１位置２６Ａとの間をスライドし、環境試験ではワーク載置部材２６が第３位置２６Ｃに配置される。【選択図】図７
2014070918.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
恒温室と、
前記恒温室内に配置された試験装置と、
前記恒温室内で前記試験装置に隣接配置されたテーブル本体、ワークを載置するための載置部を備えるワーク載置部材、および、前記テーブル本体に対して前記ワーク載置部材をスライド可能としているスライド機構を備えるテーブルと、
前記ワーク載置部材をスライドさせる駆動機構と、を有し、
前記ワーク載置部材は、前記載置部に載せられた前記ワークが前記試験装置による試験位置に配置される試験実施位置と、前記載置部が前記試験位置よりも前記テーブル本体の側に位置する離間位置との間をスライドすることを特徴とする環境試験装置。
【請求項２】
請求項１において、
前記テーブルを間欠的に回転駆動するテーブル駆動機構を有し、
前記ワーク載置部材として、前記テーブルの回転中心線回りの周方向に配列された複数の前記ワーク載置部材を備え、
前記スライド機構として、複数の前記ワーク載置部材のそれぞれを前記回転中心線を中心とする半径方向にスライド可能としている複数の前記スライド機構を備え、
前記駆動機構は、複数の前記ワーク載置部材のうち前記半径方向の外側に前記試験位置が位置する前記回転中心線回りの基準角度位置に配置された前記ワーク載置部材をスライドさせることを特徴とする環境試験装置。
【請求項３】
請求項２において、
前記基準角度位置に停止した前記ワーク載置部材と前記駆動機構とを着脱可能に連結する連結機構を有していることを特徴とする環境試験装置。
【請求項４】
請求項３において、
前記駆動機構は、前記回転中心線と平行に延びるシャフトと、前記試験装置の上方または下方に配置されて前記シャフトを当該シャフトの軸線回りに揺動させるシャフト駆動機構と、前記試験装置の上方または下方に配置されて前記シャフトの往復揺動運動を前記回転中心線に接近する方向および離れる方向の往復運動に変換する運動変換機構とを備えており、
前記連結機構は、前記運動変換機構と前記ワーク載置部材とを連結することを特徴とする環境試験装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、恒温室内にワークを試験する試験装置を備える環境試験装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
環境試験では、低温状態や高温状態に調整された恒温室内に電子部品などのワークを搬入し、恒温室内でワークを目標とする温度状態に到達させ、しかる後に通電などの試験を行う。特許文献１には、恒温室を備える恒温槽が記載されている。同文献では、恒温室内にターンテーブルが設置されている。
【０００３】
ターンテーブルは、ワークを載置するための載置部を周方向に沿って複数備えており、載置部に載置されたワークを所定の角度だけ搬送する搬送動作と、所定の時間だけ停止する停止動作を交互に繰り返す。恒温室内に搬入されるワークは、搬入口に最も近い角度位置にある載置部に逐次に載置され、ターンテーブルが１周する間に、目標とする温度状態に到達する。特許文献１では、目標とする温度状態に到達したワークは恒温室から搬出され、恒温槽とは別に設けられた試験装置にセットされる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−２３２６８０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１において、試験装置を恒温室内に配置し、恒温室内でワークに対する試験を行うことが考えられる。例えば、通電試験を行う場合には、ターンテーブルの停止動作によってワークが一時停止している間に、試験装置をターンテーブルの側に移動させ、試験装置のプローブピンをワークの端子に当接させて、通電することが考えられる。
【０００６】
しかし、恒温室内で試験装置を移動させる場合には、試験装置に接続されている配線を屈曲させておき、試験装置の移動に際してこの配線を伸縮させる必要がある。ここで、恒温室内の過酷な温度条件下で配線の伸縮を繰り返すと配線に負担がかかるので、試験装置の寿命を短縮させてしまうという問題が発生する。
【０００７】
このような問題点に鑑みて、本発明の課題は、恒温室内で試験装置を移動させることなくテーブルに載置されたワークに対する試験を行うことが可能な環境試験装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明の環境試験装置は、恒温室と、前記恒温室内に配置された試験装置と、前記恒温室内で前記試験装置に隣接配置されたテーブル本体、ワークを載置するための載置部を備えるワーク載置部材、および、前記テーブル本体に対して前記ワーク載置部材をスライド可能としているスライド機構を備えるテーブルと、前記ワーク載置部材をスライドさせる駆動機構と、を有し、前記ワーク載置部材は、前記載置部に載せられた前記ワークが前記試験装置による試験位置に配置される試験実施位置と、前記載置部が前記試験位置よりも前記テーブル本体の側に位置する離間位置との間をスライドすることを特徴とする。
【０００９】
本発明によれば、テーブルを構成しているワーク載置部材が駆動機構によってスライドして、ワークをテーブル本体の側から試験装置による試験位置に移動させる。この結果、環境試験のために試験装置を移動させる必要がないので、試験装置に接続されている配線を高温状態や低温状態の過酷な温度条件下で伸縮させることを回避できる。よって、配線への負担を抑制でき、試験装置を長持ちさせることができる。
【００１０】
本発明において、前記テーブルを間欠的に回転駆動するテーブル駆動機構を有し、前記ワーク載置部材として、前記テーブルの回転中心線回りの周方向に配列された複数の前記ワーク載置部材を備え、前記スライド機構として、複数の前記ワーク載置部材のそれぞれを前記回転中心線を中心とする半径方向にスライド可能としている複数の前記スライド機構を備え、前記駆動機構は、複数の前記ワーク載置部材のうち前記半径方向の外側に前記試験位置が位置する前記回転中心線回りの基準角度位置に配置された前記ワーク載置部材をスライドさせることが望ましい。このようにすれば、テーブル（ターンテーブル）に載置されて、テーブルの回転中心線回りに間欠的に搬送されるワークに対する試験を、試験装置を移動させることなく行うことができる。
【００１１】
この場合において、駆動機構によって基準角度位置に配置されたワーク載置部材をスライドさせるためには、前記基準角度位置に停止した前記ワーク載置部材と前記駆動機構とを着脱可能に連結する連結機構を有していることが望ましい。
【００１２】
この場合において、前記駆動機構は、前記回転中心線と平行に延びるシャフトと、前記試験装置の上方または下方に配置されて前記シャフトを当該シャフトの軸線回りに揺動させるシャフト駆動機構と、前記試験装置の上方または下方に配置されて前記シャフトの往復揺動運動を前記回転中心線に接近する方向および離れる方向の往復運動に変換する運動変換機構とを備えており、前記連結機構は、前記運動変換機構と前記ワーク載置部材とを連結することが望ましい。このようにすれば、駆動機構のシャフト駆動機構および運動変換機構が、テーブル本体と試験装置とが配列されている水平方向ではなく、試験装置の上方或いは下方に位置するので、環境試験装置が水平方向で大型化してしまうことを抑制でき、環境試験装置の設置スペースを抑制できる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、恒温室内でテーブルに載置されているワークを、試験装置の側に移動させることができる。環境試験のために試験装置を移動させる必要がないので、試験装置に接続されている配線を過酷な温度条件下で伸縮させることを回避できる。よって、配線への負担を抑制でき、試験装置を長持ちさせることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本実施の形態に係る環境試験装置の縦断面図である。
【図２】環境試験装置の横断面図である。
【図３】ターンテーブルの説明図である。
【図４】ワークを恒温室に搬入する搬入動作の説明図である。
【図５】ワークを恒温室に搬入する搬入動作の説明図である。
【図６】駆動機構の説明図である。
【図７】ワークを試験する試験動作の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下に図面を参照して、本発明を適用した環境試験装置を説明する。
【００１６】
（全体構成）
図１（ａ）は本実施の形態に係る環境試験装置の装置幅方向の縦断面図であり、環境試験装置を装置前方から見ている。図１（ｂ）は環境試験装置の装置前後方向の縦断面図である。なお、図１（ａ）では、恒温槽に設けられた開口の位置を明らかにするために、開口を記載している。
【００１７】
図１に示すように、環境試験装置１は直方体形状の恒温槽２を有している。恒温槽２の内部には、断熱パネルからなる壁によって恒温室３が区画されている。図１（ｂ）に示すように、恒温槽２の前面、すなわち、恒温室３の前側の側壁部分３ａには開口部４、５が上下２段に設けられている。また、恒温室３の側壁部分３ａには開口部４、５を恒温室３の外側から開閉するための開閉扉６、７が上下２段に取り付けられている。
【００１８】
恒温室３内には開口部４、５を介して搬入される電子基板などのワークＷ（図７参照）を載置するためのターンテーブル８、９が上下２段に配置されている。また、恒温室３内においてターンテーブル８、９を挟んで開口部４、５とは反対に位置する後側部分には、恒温室３内を所定の温度状態に保持するための温度制御機構１０が配置されている。温度制御機構１０は冷却器１１、加熱器１２および送風機１３を備えている。ターンテーブル８、９の側方には、試験装置１４、１５が上下２段に配置されている。試験装置１４、１５は、支持フレーム１６によって支持されている。
【００１９】
ターンテーブル８、９は恒温室３内を上下方向に貫通して延びるシャフト１７に支持されている。シャフト１７の上端部分は恒温室３の天井壁３ｂの外側（上方）に設置された軸受１８に回転可能に支持されており、シャフト１７の下端部分は恒温室３の底板３ｃの外側（下方）に設置されたモータ１９の出力軸に連結されている。シャフト１７およびモータ１９はテーブル駆動機構２０を構成している。
【００２０】
図２は環境試験装置の横断面図であり、環境試験装置を上方から見ている。なお、図２では、ターンテーブル８、９を駆動するモータ１９の位置を明らかにするためにモータ１９を記載している。図２に示すように、ターンテーブル８、９は、テーブル駆動機構２０によって軸線Ｌ０回りを時計回りＣＷ方向に間欠的に回転駆動される。テーブル駆動機構２０は、ターンテーブル８、９を予め定めた回転角度だけ回転させる搬送動作と、予め定めた停止時間だけターンテーブル８、９を停止させる停止動作を交互に繰り返す。本例において、搬送動作におけるターンテーブル８、９の駆動角度は２２．５°である。
【００２１】
各ターンテーブル８、９は、テーブル本体２５と、ワーク載置部材２６と、ワーク載置部材２６をテーブル本体２５に対してスライド可能とするスライド機構２７を備えている。テーブル本体２５は、シャフト１７の軸線Ｌ０方向から見た輪郭形状が円形をしており、軸線Ｌ０に対して直交する水平姿勢でシャフト１７に取り付けられている。ワーク載置部材２６は、ワークＷを載置するための載置部２８と、スライド機構２７により支持された腕部２９を備えている。
【００２２】
ここで、各ターンテーブル８、９は、ワーク載置部材２６として、軸線Ｌ０回り（ターンテーブル８、９の回転中心線回り）の周方向に配列された複数のワーク載置部材２６を備えている。また、スライド機構２７として、複数のワーク載置部材２６のそれぞれを軸線Ｌ０を中心とする半径方向にスライド可能とする複数のスライド機構２７を備えている。スライド機構２７は、ワーク載置部材２６を、その全体がテーブル本体２５の外周縁２５ａよりも内周側に位置している第１位置２６Ａ（図４参照）と、載置部２８がテーブル本体２５の外周側に位置している第２位置２６Ｂ（図５参照）との間でスライド可能としている。なお、下側のターンテーブル８と上側のターンテーブル９は同一の構成を備えている。
【００２３】
図１に示すように、下側の開口部４は、下側のターンテーブル８に載置されるワークＷの搬入および搬出に用いられる。上側の開口部５は上側のターンテーブル９に載置されるワークＷの搬入および搬出に用いられる。開口部４、５は開閉扉６、７によって開閉される。各開閉扉６、７は、図１（ｂ）に示すように、装置幅方向に延びる回転中心線６ａ、７ａ回りを中心として、その上端が恒温槽２から離れる方向および接近する方向に回動可能な状態で、側壁部分３ａに取り付けられている。開閉扉６、７が開口部４、５を閉じた閉状態では、開閉扉６、７は側壁部分３ａに沿った起立姿勢とされ、開閉扉６、７が開口部４、５を開けた開状態では、開閉扉６、７は水平に近い平伏姿勢とされる。恒温室３内における開口部４、５の上端部分の隣接位置には、下方に向かって乾燥空気を吹き出すノズル３０が設置されている。開閉扉６、７が開状態とされるとノズル３０から乾燥空気が吹き出され、開口部４、５の内側にエアカーテンが形成される。
【００２４】
開閉扉６、７とターンテーブル８、９の間には、開閉扉６、７の開閉に連動して複数のワーク載置部材２６のうち搬入搬出位置Ｐ１に配置されたワーク載置部材２６を第１位置２６Ａと第２位置２６Ｂの間でスライドさせるリンク機構３１が設けられている。搬入搬出位置Ｐ１とは、図２に示すように、シャフト１７の軸線Ｌ０を中心とした半径方向の外側に開口部４、５が位置する角度位置である。搬入搬出位置Ｐ１に配置されたワーク載置部材２６がリンク機構３１によって開閉扉６、７の開閉に連動して第１位置２６Ａと第２位置２６Ｂとの間を移動すると、ワーク載置部材２６は、その全体が恒温室３内に位置する内側位置（第１位置２６Ａ）から、その載置部２８が、開口部４、５の内側開口（開口）４ａ、５ａから恒温室３の外側に露出した外側位置（第２位置２６Ｂ）に移動する。リンク機構３１とワーク載置部材２６との間には、第１位置２６Ａで搬入搬出位置Ｐ１に配置されたワーク載置部材２６とリンク機構３１とを着脱可能に連結する第１連結機構３２が構成されている。
【００２５】
試験装置１４、１５は、図２に示すように、開口部４、５から軸線Ｌ０回りを時計回りＣＷに２７０°離間した角度位置に配置されている。各試験装置１４、１５は、搬入搬出位置Ｐ１において各ターンテーブル８、９に載せられて、目標温度到達位置（基準角度位置）Ｐ２まで搬送されたワークＷに対して試験を行う。目標温度到達位置Ｐ２とは、搬入搬出位置Ｐ１から時計回りＣＷに２７０°離れた位置であり、その半径方向の外側に試験装置１４、１５による試験位置１４ａ、１５ａ（図１（ａ）参照）が位置する角度位置である。また、目標温度到達位置Ｐ２とは、搬入搬出位置Ｐ１でターンテーブル８、９に載置されて恒温室３内を搬送されたワークＷが、目標とする温度状態に到達している位置である。
【００２６】
ここで、恒温槽２は、複数のワーク載置部材２６のうち目標温度到達位置Ｐ２に配置されたワーク載置部材２６を、第１位置２６Ａと、その載置部２８に載置されたワークＷが試験位置１４ａ、１５ａに配置される第３位置２６Ｃ（図７参照）との間でスライドさせる駆動機構３３、３４を有している。駆動機構３３、３４は恒温室３内で装置前後方向に配列されており、前側の駆動機構３３は下側のターンテーブル８のワーク載置部材２６を第１位置２６Ａと第３位置２６Ｃとの間でスライドさせ、装置後方に配置された駆動機構３４は上側のターンテーブル９のワーク載置部材２６を第１位置２６Ａと第３位置２６Ｃとの間でスライドさせる。なお、第３位置２６Ｃは、ワーク載置部材２６がスライドする第１位置２６Ａと第２位置２６Ｂの間に設定された位置であり、第２位置２６Ｂよりも第１位置２６Ａに近い位置である。駆動機構３３、３４とワーク載置部材２６との間には、第１位置２６Ａで目標温度到達位置Ｐ２に配置されたワーク載置部材２６と駆動機構３３、３４を着脱可能に連結する第２連結機構３５（図６参照）が構成されている。
【００２７】
搬入搬出位置Ｐ１において、ワークＷを載置して第１位置２６Ａに配置されたワーク載置部材２６は、ターンテーブル８、９の軸線Ｌ０回りの回転によって目標温度到達位置Ｐ２まで搬送される。ここで、ワーク載置部材２６が駆動機構３３、３４によって第１位置２６Ａから第３位置２６Ｃにスライドさせられると、ワーク載置部材２６は、載置部２８がテーブル本体２５から僅かに外周側に突出した状態となる。この結果、載置部２８に載せられたワークＷが試験位置１４ａ、１５ａに配置され、ワークＷの端子と試験装置１４、１５のプローブピンが接触した状態となる。これにより、通電試験が行われる。
【００２８】
（ターンテーブル）
図２、図３を参照して、ターンテーブル８、９を説明する。図３（ａ）はワーク載置部材２６の概略斜視図であり、図３（ｂ）はテーブル本体２５の平面図である。なお、図３（ｂ）では、テーブル本体２５に一つのワーク載置部材２６が載置されている状態を示している。ここで、ターンテーブル８、９は同一の構成を備えているので、下側のターンテーブル８を説明して、上側のターンテーブル９の説明は省略する。
【００２９】
図３（ｂ）に示すように、テーブル本体２５は、その中心部分にシャフト１７への固定部４０を備えている。図２に示すように、テーブル本体２５における固定部４０と外周縁２５ａの間には、１６個のワーク載置部材２６が周方向に等角度間隔（２２．５°間隔）で載置されている。
【００３０】
各ワーク載置部材２６は、図３に示すように、半径方向に直線状に延びている腕部２９と、腕部２９の外周側の端部分に固定された載置部２８を備えている。載置部２８は軸線Ｌ０方向から見た平面形状が矩形をしている。腕部２９において周方向を向く一対の側面部分には、半径方向に延びる凹部２９ａが形成されている。腕部２９において半径方向の内側の端部分には係止ピン２９ｂが設けられている。係止ピン２９ｂは下方に突出している。
【００３１】
テーブル本体２５上において各ワーク載置部材２６の腕部２９を周方向の両側から挟む位置には一対のボールベアリング４１、４２が半径方向に離間した位置に２組配置されている。テーブル本体２５において２組のボールベアリング４１、４２の内周側には、半径方向に延びる長溝４３が形成されている。
【００３２】
各ボールベアリング４１、４２における内側の軌道輪はテーブル本体２５から上方に突出する支軸４４に支持されている。外側の軌道輪は周方向の一部分が腕部２９に設けられた凹部２９ａ内に挿入されている。また、長溝４３にはワーク載置部材２６の係止ピン２９ｂが挿入され、係止ピン２９ｂの下端はテーブル本体２５から下方に突出している。支軸４４、ボールベアリング４１、４２および腕部２９の凹部２９ａは、テーブル本体２５に対してワーク載置部材２６をスライドさせるスライド機構２７を構成している。
【００３３】
ここで、ワーク載置部材２６の第１位置２６Ａは、図３（ｂ）において実線で示す位置である。第１位置２６Ａにおいて、ワーク載置部材２６は、その全体がテーブル本体２５の外周縁２５ａの内側に位置している。ワーク載置部材２６の第２位置２６Ｂは、図３（ｂ）において点線で示す位置である。第２位置２６Ｂにおいて、ワーク載置部材２６は、載置部２８がテーブル本体２５の外周縁２５ａ（軸線Ｌ０方向から見たときに、軸線Ｌ０を中心としてテーブル本体２５に外接する外接円）の外側に位置している。
【００３４】
（リンク機構および第１連結機構）
図４および図５はワークＷを恒温室３に搬入する搬入動作の説明図であり、図４は開閉扉６を閉じた状態を示し、図５は開閉扉６を開いた状態を示す。また、図４（ａ）および図５（ａ）では開口部４の周辺を上方から見ており、図４（ｂ）および図５（ｂ）では開口部４の周辺を側方から見ている。なお、下側の開口扉６および下側のターンテーブル８に対して構成されている下側のリンク機構３１および第１連結機構３２と、上側の開口扉７および上側のターンテーブル９に対して構成されている上側のリンク機構３１および第１連結機構３２は同様の構成を備えているので、下側のリンク機構３１および第１連結機構３２を説明して、上側のリンク機構３１および第１連結機構３２の説明は省略する。また、下側のターンテーブル８にワークＷを載置する搬入動作およびワークＷに対する試験動作は、上側のターンテーブル９にワークＷを載置する搬入動作およびワークＷに対する試験動作と同様なので、下側の開口部４から恒温室３内に搬入されるワークＷについて、その搬入動作および試験動作を説明して、上側の開口部５から恒温室３内に搬入されるワークＷの説明は省略する。
【００３５】
図４、図５に示すように、リンク機構３１は開口部４、５の開閉に際して開閉扉６、７が下端部分を中心として回動する往復回動運動を往復直線運動に変換する第１リンク機構４５と、第１リンク機構４５による往復直線運動の往復範囲を約２倍にしてワーク載置部材２６に伝達する第２リンク機構４６を備えている。
【００３６】
第１リンク機構４５は、開閉扉６に取り付けられた固定部材４７と、棒状の第１リンク部材４８を備えている。固定部材４７は、開閉扉６の回転中心線６ａから離間した位置に固定されており、回転中心線６ａ周りを開閉扉６と一体に回動する。第１リンク部材４８は、一方の端部分が回転中心線６ａと平行な回転中心線回りに回転可能な状態で固定部材４７に接続されており、他方の端部分が第２リンク部材４９に接続されている。
【００３７】
第２リンク機構４６は、第１リンク部材４８が接続された棒状の第２リンク部材４９を備えている。第２リンク部材４９は、一方の端部分が軸線Ｌ０と平行な軸線回りに回転可能に支持された支点４９ａとなっており、他方の端部分がワーク載置部材２６との連結部４９ｂとなっている。第１リンク部材４８の他方の端部分は、第２リンク部材４９の支点４９ａと連結部４９ｂとの間の接続部４９ｃに接続されている。また、第１リンク部材４８は、軸線Ｌ０と平行な軸線回りに回転可能な状態で、接続部４９ｃに接続されている。接続部４９ｃは第１リンク部材４８からの駆動力が伝達される第２リンク部材４９の力点であり、連結部４９ｂは第２リンク部材４９の作用点である。第２リンク部材４９における支点４９ａから接続部４９ｃまでの長さ寸法は、接続部４９ｃから連結部４９ｂまでの長さ寸法の約１／２である。第２リンク部材４９の連結部４９ｂには、周方向に延びる溝部４９ｄが当該連結部４９ｂを軸線Ｌ０回りの周方向に横断して形成されている（図４（ｂ）参照）。
【００３８】
開閉扉６の開閉に伴って第１リンク機構４５の第１リンク部材４８が直線往復運動すると、第２リンク機構４６の第２リンク部材４９が支点４９ａを中心として往復揺動運動する。これにより、第２リンク部材４９の連結部４９ｂは、搬入搬出位置Ｐ１において、軸線Ｌ０に接近する方向および離れる方向に往復運動する。第２リンク部材４９の連結部４９ｂが往復運動する範囲は、第１リンク部材４８が直線往復運動する範囲の約２倍となる。
【００３９】
第１連結機構３２は、第２リンク部材４９の連結部４９ｂ（リンク機構３１の連結部）に形成された溝部４９ｄと、ワーク載置部材２６の腕部２９に設けられた係止ピン２９ｂから構成されている。第２リンク部材４９の連結部４９ｂはワーク載置部材２６の腕部２９の下方に位置しており、溝部４９ｄは連結部４９ｂの上面を周方向に横断している。係止ピン２９ｂは、ワーク載置部材２６の腕部２９から下方に突出している。
【００４０】
開閉扉６が閉状態のときに、テーブル駆動機構２０が搬送動作から停止動作に移行すると、ターンテーブル８の停止によりワーク載置部材２６が第１位置２６Ａで搬入搬出位置Ｐ１に停止する。ワーク載置部材２６が第１位置２６Ａで搬入搬出位置Ｐ１に停止すると、図４に示すように、第２リンク部材４９の連結部４９ｂを周方向に延びる溝部４９ｄ内にワーク載置部材２６の係止ピン２９ｂが進入して、停止した状態となる。この状態で、第２リンク部材４９が軸線Ｌ０に接近する方向および離れる方向に往復運動すると、第２リンク部材４９の溝部４９ｄとワーク載置部材２６の係止ピン２９ｂが係合して、ワーク載置部材２６が半径方向にスライドする。従って、開閉扉６の開閉により、搬入搬出位置Ｐ１に配置されているワーク載置部材２６が第１位置２６Ａと第２位置２６Ｂの間を移動する。ワーク載置部材２６が第２位置２６Ｂに配置されると、図５に示すように、載置部２８が恒温室３の内側開口４ａから外側に露出した状態となる。
【００４１】
一方、開閉扉６が閉状態とされてワーク載置部材２６が第１位置２６Ａに戻された後に、ターンテーブル８が回転駆動されてワーク載置部材２６が搬入搬出位置Ｐ１を通過する際には、係止ピン２９ｂが溝部４９ｄを通過するので、リンク機構３１とワーク載置部材２６の連結が解除される。
【００４２】
（駆動機構および第２連結機構）
図６は駆動機構３３、３４の説明図である。図６（ａ）は、駆動機構３３、３４のシャフト駆動機構を上方から見た平面図であり、図６（ｂ）は駆動機構３３、３４の側面図であり、図６（ｃ）は駆動機構３３、３４の運動変換機構を上方から見た平面図である。図７はワークを試験する試験動作の説明図である。図７（ａ）は、ワークＷが目標温度到達位置に搬送されてきた状態を示し、図７（ｂ）はワークＷに通電試験が行われている状態を示す。なお、前側の駆動機構３３と後側の駆動機構３４は対応する構成を備えているので、以下の説明では、前側の駆動機構３３を説明し、後側の駆動機構３４については、対応する部分に同一の符号を付してその説明を省略する。
【００４３】
駆動機構３３は、軸線Ｌ０と平行に延びる駆動シャフト５１と、駆動シャフト５１を当該駆動シャフト５１の軸線Ｌ１回りに揺動させる駆動シャフト駆動機構５２と、駆動シャフト５１の往復揺動運動を軸線Ｌ０に接近する方向および離れる方向の往復運動に変換する運動変換機構５３を備えている。
【００４４】
図６（ｂ）に示すように、駆動シャフト５１の下端は、ターンテーブル８および試験装置１４よりも下方位置で支持フレーム１６に水平に支持された支持プレート５４上に設けられた軸受５５により回転可能に支持されている。駆動シャフト５１の上端は、天井板３ｂの外側に設置された軸受５９により回転可能に支持されている。
【００４５】
駆動シャフト駆動機構５２は、図６（ａ）に示すように、天井板の外側（上方）に設置されているエアシリンダ５６と、駆動シャフト５１において天井板よりも上方に突出している上端部分に設けられた上側リンク部材５７を備えている。
【００４６】
エアシリンダ５６は駆動シャフト５１の軸線Ｌ１に対してピストンロッド５６ａの伸縮方向が直交するように配置されている。上側リンク部材５７は棒状であり、駆動シャフト５１の軸線Ｌ１と直交する水平方向に突出している。上側リンク部材５７の先端部分はエアシリンダ５６のピストンロッド５６ａの先端に接続されている。上側リンク部材５７とエアシリンダ５６のピストンロッド５６ａとを接続する接続機構５８は、上側リンク部材５７に形成された長孔と、ピストンロッド５６ａの先端に設けられて長孔に挿入されている係合ピンを備えている。エアシリンダ５６が駆動されてピストンロッド５６ａが伸縮すると、ピストンロッド５６ａの先端が直線往復運動して上側リンク部材５７を軸線Ｌ１回りに回動させるので、駆動シャフト５１は軸線Ｌ１回りを所定の角度範囲で回転する。
【００４７】
運動変換機構５３は、図６（ｂ）および図６（ｃ）に示すように、駆動シャフト５１においてテーブルと対応する高さ位置に設けられた棒状の下側第１リンク部材６０と、支持プレート５４と、棒状の下側第２リンク部材６１と、支持プレート５４上で下側第２リンク部材６１をスライド可能に支持するガイド部材６２を備えている。
【００４８】
下側第１リンク部材６０は駆動シャフト５１の軸線Ｌ１と直交する水平方向に突出している。支持プレート５４は、上方から見た平面形状が長方形の下側プレート５４ａと、下側プレート５４ａに載置された平面形状が正方形の上側プレート５４ｂからなる。ガイド部材６２は、上側プレート５４ｂ上で半径方向に延びるレールであり、下側第２リンク部材６１は、ガイド部材６２に載置されて支持プレート５４上を半径方向にスライドする。下側第２リンク部材６１は、半径方向の外周側の外側端部分が下側第１リンク部材６０の先端部分と接続されており、半径方向の内周側の内側端部分が目標温度到達位置Ｐ２に配置されたワーク載置部材２６との連結部６１ａとなっている。
【００４９】
下側第１リンク部材６０と下側第２リンク部材６１とを接続する接続機構６３は、下側第２リンク部材６１の外側端部分に周方向に長く形成された長溝（不図示）と、下側第１リンク部材６０の先端部分に設けられた係止ピン（不図示）を備えている。係止ピンは長溝内を移動可能な状態で当該長溝内に挿入されており、この状態で下側第１リンク部材６０が軸線Ｌ１回りに揺動すると、長溝と係止ピンが係合し、下側第２リンク部材６１を半径方向に移動させる。
【００５０】
第２連結機構３５は、図６（ｃ）および図７に示すように、駆動機構３３におけるワーク載置部材２６との連結部６１ａ、すなわち、下側第２リンク部材６１の連結部６１ａに形成された溝部６１ｃと、ワーク載置部材２６の腕部２９に設けられた係止ピン２９ｂから構成されている。下側第２リンク部材６１の連結部６１ａはワーク載置部材２６の腕部２９の下方に位置しており、溝部６１ｃは連結部６１ａの上面を周方向に横断している。
【００５１】
エアシリンダ５６のピストンロッド５６ａが収縮している状態で、テーブル駆動機構２０が搬送動作から停止動作に移行すると、ターンテーブル８の停止によりワーク載置部材２６が第１位置２６Ａで目標温度到達位置Ｐ２に停止する。ワーク載置部材２６が第１位置２６Ａで目標温度到達位置Ｐ２に停止すると、図７（ａ）に示すように、下側第２リンク部材６１の連結部６１ａを周方向に延びる溝部６１ｃ内にワーク載置部材２６の係止ピン２９ｂが進入して停止した状態となる。この状態で、エアシリンダ５６が駆動されると、ピストンロッド５６ａが直線往復運動を行う。ピストンロッド５６ａの直線往復運動は、上側リンク部材５７、駆動シャフト５１、下側第１リンク部材６０を介して下側第２リンク部材６１に伝達される。これにより、下側第２リンク部材６１が半径方向に直線往復運動する。
【００５２】
下側第２リンク部材６１が半径方向に直線往復運動すると、下側第２リンク部材６１の溝部６１ｃとワーク載置部材２６の係止ピン２９ｂが係合して、ワーク載置部材２６が半径方向にスライドする。従って、駆動機構３３を駆動すれば、目標温度到達位置Ｐ２に配置されているワーク載置部材２６が第１位置２６Ａと第３位置２６Ｃの間を移動する。ワーク載置部材２６が第３位置２６Ｃに配置されると、図７（ｂ）に示すように、載置部２８に載置されたワークＷは試験装置１４による試験位置１４ａに配置され、その端子が、試験装置１４のプローブピンに接触した状態となる。
【００５３】
一方、エアシリンダ５６のピストンロッド５６ａが収縮した状態とされて、ワーク載置部材２６が第１位置２６Ａに戻された後に、ターンテーブル８が回転駆動されてワーク載置部材２６が目標温度到達位置Ｐ２を通過する際には、係止ピン２９ｂが溝部６１ｃを通過するので、駆動機構３３とワーク載置部材２６の連結が解除される。
【００５４】
（ワークの恒温槽への搬入動作）
ワークＷに対する環境試験を行う際には、テーブル駆動機構２０が停止動作を行っている間に、オペレータが開閉扉６を開く。ここで、開閉扉６が閉状態で、テーブル駆動機構２０が停止動作を行っている間は、図４に示すように、複数のワーク載置部材２６のうちの一つのワーク載置部材２６が第１位置２６Ａで搬入搬出位置Ｐ１に配置されており、第１連結機構３２は、搬入搬出位置Ｐ１に配置されているワーク載置部材２６とリンク機構３１を連結している。従って、開閉扉６を閉状態から開状態とすると、開閉扉６の回動がリンク機構３１によってワーク載置部材２６に伝達され、図５に示すように、ワーク載置部材２６は第１位置２６Ａから第２位置２６Ｂに移動する。すなわち、ワーク載置部材２６は、載置部２８が内側開口４ａの外側に露出する外側位置（第２位置２６Ｂ）に移動する。
【００５５】
次に、オペレータは、載置部２８にワークＷを載置する。そして、テーブル駆動機構２０による停止動作が終了する前に（テーブル駆動機構２０による搬送動作が行われる前に）、開閉扉６を閉じる。開閉扉６を開状態から閉状態とすると、開閉扉６の回動がリンク機構３１によってワーク載置部材２６に伝達され、図３に示すように、ワーク載置部材２６は外側位置（第２位置２６Ｂ）から内側位置（第１位置２６Ａ）に配置される。これにより、ワークＷは、恒温室３内においてテーブル上に載置された状態となる。
【００５６】
その後、テーブル駆動機構２０による搬送動作が行われると、第１連結機構３２によるリンク機構３１と搬入搬出位置Ｐ１のワーク載置部材２６との連結は解除され、このワーク載置部材２６は、図２に示すように、搬入搬出位置Ｐ１から時計回りＣＷに２２．５°離れた角度位置に移動する。従って、ワークＷは、恒温室３内を軸線Ｌ０回りで２２．５°搬送される。
【００５７】
しかる後に、テーブル駆動機構２０が停止動作を再開すると、オペレータは再び開閉扉６を開く。この状態では、複数のワーク載置部材２６のうち先にワークＷが載置されたワーク載置部材２６の反時計回りＣＣＷの側に隣接するワーク載置部材２６が、図４に示すように、第１位置２６Ａで搬入搬出位置Ｐ１に配置されている。また、第１連結機構３２は、新たに搬入搬出位置Ｐ１に配置されたワーク載置部材２６とリンク機構３１を連結している。従って、開閉扉６を閉状態から開状態とすると、図５に示すように、新たに搬入搬出位置Ｐ１に配置されたワーク載置部材２６が第１位置２６Ａから第２位置２６Ｂに配置される。これにより、新たに搬入搬出位置Ｐ１に配置されたワーク載置部材２６の載置部２８が内側開口４ａの外側に露出する。
【００５８】
そこで、オペレータは、載置部２８にワークＷを載置する。しかる後に、テーブル駆動機構２０による停止動作が終了する前に、開閉扉６を閉じる。これにより、新たにワークＷを載置したワーク載置部材２６は外側位置（第２位置２６Ｂ）から内側位置（第１位置２６Ａ）に配置され、ワークＷは、恒温室３内においてテーブル上に載置された状態となる。
【００５９】
これらの動作を繰り返すことにより、オペレータは、恒温室３内で間欠的に回転駆動されるターンテーブル８上に、逐次に、ワークＷを載置していくことができる。ここで、オペレータは、ワークＷを恒温室３内に搬入する際に、ワークＷの載置部２８への載置を恒温室３の外で行うことが可能であり、オペレータがワークＷを恒温室３内まで運び込む必要がない。また、ワークＷのターンテーブル８、９への載置に際して、オペレータが開口部４から恒温室３内を覗き込む必要もない。従って、ワークＷの恒温室３内への搬入が容易である。
【００６０】
（試験動作）
次に、ワークＷを載置したワーク載置部材２６が目標温度到達位置Ｐ２に配置されると、駆動機構３３が駆動される。ここで、第２連結機構３５は、図７（ａ）に示すように、第１位置２６Ａで目標温度到達位置Ｐ２に配置されたワーク載置部材２６と駆動機構３３を連結している。また、ワーク載置部材２６に載置されているワークＷは、搬入搬出位置Ｐ１から目標温度到達位置Ｐ２まで搬送される間に目標とする温度状態に達している。
【００６１】
テーブル駆動機構２０が停止動作を行っている間に、駆動機構３３の駆動によりエアシリンダ５６のピストンロッド５６ａが伸張すると、この直進運動はワーク載置部材２６に伝達される。これにより、第１位置２６Ａのワーク載置部材２６は第３位置２６Ｃに移動する。ワーク載置部材２６が第３位置２６Ｃに移動した状態では、図７（ｂ）に示すように、載置部２８がテーブル本体２５から外周側に突出し、載置部２８に載置されたワークＷが試験装置１４の試験位置１４ａに配置される。試験位置１４ａに配置されたワークＷの端子は試験装置１４のプローブピンと接触した状態となり、これにより、通電試験が行われる。
【００６２】
通電試験が終了すると、駆動機構３３が駆動されてピストンロッド５６ａが収縮する。ピストンロッド５６ａが収縮する直進運動はワーク載置部材２６に伝達される。これにより、第３位置２６Ｃのワーク載置部材２６は第１位置２６Ａに戻る。ワーク載置部材２６が第１位置２６Ａに戻った状態では、図７（ａ）に示すように、ワーク載置部材２６は、テーブル本体２５の外周縁２５ａよりも内周側に位置し、試験装置１４と干渉することがない。ここで、通電試験およびピストンロッド５６ａの収縮もテーブル駆動機構２０が停止動作を行っている間に行われる。
【００６３】
その後、テーブル駆動機構２０による搬送動作が行われると、試験が済んだワークＷを搭載するワーク載置部材２６は目標温度到達位置Ｐ２から時計回りＣＷに２２．５°離れた角度位置に移動する。従って、ワークＷは、恒温室３内を軸線Ｌ１回りで２２．５°搬送される。
【００６４】
しかる後に、テーブル駆動機構２０が停止動作を再開すると、この状態では、複数のワーク載置部材２６のうち試験が済んだワークＷが載置されたワーク載置部材２６の反時計回りＣＣＷの側に隣接するワーク載置部材２６が、図７（ａ）に示すように、第１位置２６Ａで目標温度到達位置Ｐ２に配置されている。また、第２連結機構３５は、新たに目標温度到達位置Ｐ２に配置されたワーク載置部材２６と駆動機構３３を連結している。従って、テーブル駆動機構２０が停止動作を行っている間に駆動機構３３が駆動されると、図７（ｂ）に示すように、このワーク載置部材２６に載置されたワークＷが試験位置１４ａに移動して、通電試験が行われる。
【００６５】
これらの動作を繰り返すことにより、ターンテーブル８上を搬入搬出位置Ｐ１から目標温度到達位置Ｐ２に搬送されたワークＷに対する通電試験が逐次に行われる。
【００６６】
なお、通電試験が済んだワークＷを載置するワーク載置部材２６は、その後の４回目の搬送動作の後の停止動作で搬入搬出位置Ｐ１に停止する。この停止動作の間に開閉扉６を開くと、リンク機構３１によって、試験済みのワークＷを載置したワーク載置部材２６が内側位置（第１位置２６Ａ）から外側位置（第２位置２６Ｂ）に移動するので、載置部２８に載置されている試験済みのワークＷは、恒温室３内から内側開口４ａを介して恒温室３の外側に搬出される。
【００６７】
従って、オペレータが試験済みのワークＷを恒温室３の外で載置部２８から取り外せば、ワークＷを回収することができる。そして、回収したワークＷに替えて、新たなワークＷを載置部２８に載置すれば、新たなワークＷをターンテーブル８上に搬入できる。
【００６８】
（作用効果）
以上、本例によれば、試験装置１４、１５をテーブル本体２５の側に移動させる必要がないので、高温状態や低温状態の過酷な温度条件下で試験装置１４、１５に接続されている配線を伸縮させることを回避できる。よって、配線への負担を抑制でき、試験装置１４、１５を長持ちさせることができる。
【００６９】
また、本例では、駆動機構３３を構成する駆動シャフト駆動機構５２、運動変換機構５３が、テーブル本体２５と試験装置１４、１５とが配列されている水平方向ではなく、試験装置１４、１５の上方および下方に設置されている。この結果、環境試験装置１が水平方向で大型化してしまうことを抑制でき、環境試験装置１を設置する設置スペースを抑制できる。
【００７０】
（その他の実施の形態）
上記の例では、ターンテーブル８、９を備える環境試験装置１に本発明を適用したが、ワークＷを搬送することがないテーブル、すなわち、恒温槽２内でワークＷが載置されるだけのテーブルを備える環境試験装置に本発明を適用することもできる。この場合にも、テーブル上に載置したワークＷを試験装置１４、１５による試験位置１４ａ、１５ａまで移動させて、試験を行うことができる。
【００７１】
また、駆動機構３３としては、テーブル本体２５と試験装置１４、１５が配列された水平方向にエアシリンダ５６を配置し、下側第２リンク部材６１とエアシリンダ５６のピストンロッド５６ａとを連結し、エアシリンダ５６によって下側第２リンク部材６１を直接的に往復直線運動させることにより、目標温度到達位置Ｐ２に配置されたワーク載置部材２６を移動させることもできる。
【符号の説明】
【００７２】
１・・・環境試験装置
３・・・恒温室
８・９・・・ターンテーブル（テーブル）
１４・１５・・・試験装置
１４ａ・１５ａ・・・試験位置
２０・・・テーブル駆動機構
２５・・・テーブル本体
２６・・・ワーク載置部材
２６Ａ・・・第１位置（離間位置）
２６Ｃ・・・第３位置（試験実施位置）
２７・・・スライド機構
２８・・・載置部
３３・３４・・・駆動機構
３５・・・第２連結機構（連結機構）
５１・・・駆動シャフト（シャフト）
５２・・・駆動シャフト駆動機構（シャフト駆動機構）
５３・・・運動変換機構
Ｌ０・・・軸線（回転中心線）
Ｌ１・・・駆動シャフトの軸線
Ｐ２・・・目標温度到達位置（基準角度位置）
Ｗ・・・ワーク
【図１】
2014070918.tif 000003
【図２】
2014070918.tif 000004
【図３】
2014070918.tif 000005
【図４】
2014070918.tif 000006
【図５】
2014070918.tif 000007
【図６】
2014070918.tif 000008
【図７】
2014070918.tif 000009