(57)【要約】【課題】プローブの良否を正確に検査することができるプローブ検査装置及びプローブ検査方法を得る。【解決手段】プローブ１は、導電性で筒状のバレル２と、被検査対象と接触する導電性のプランジャー３と、バレル２内に配置されプランジャー３を軸方向に付勢する導電性の弾性部材４とを有する。荷重付加部７がプランジャー３に荷重を加えて変位させる。電気抵抗測定器１１がプローブ１の電気抵抗を測定する。変位測定器１２ｂがプランジャー３の変位量を測定する。判定部１４が変位量に対する電気抵抗を規格値と比較してプローブ１の良否判定を行う。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
導電性で筒状のバレルと、被検査対象と接触する導電性のプランジャーと、前記バレル内に配置され前記プランジャーを軸方向に付勢する導電性の弾性部材とを有するプローブを検査する装置であって、
前記プランジャーに荷重を加えて変位させる荷重付加部と、
前記プローブの電気抵抗を測定する電気抵抗測定器と、
前記プランジャーの変位量を測定する変位測定器と、
前記変位量に対する前記電気抵抗を規格値と比較して前記プローブの良否判定を行う判定部とを備えることを特徴とするプローブ検査装置。
【請求項２】
前記プランジャーに加えられた荷重を測定する荷重測定器を更に備え、
前記判定部は、前記変位量に対する前記荷重を規格値と比較して前記プローブの良否判定を行うことを特徴とする請求項１に記載のプローブ検査装置。
【請求項３】
前記判定部は、前記プローブを縮める方向又は伸ばす方向に変化させた際の前記電気抵抗の変化を規格値の波形と比較して前記プローブの良否判定を行うことを特徴とする請求項１に記載のプローブ検査装置。
【請求項４】
前記判定部は、前記プローブを縮める方向又は伸ばす方向に変化させた際の前記荷重の変化を規格値の波形と比較して前記プローブの良否判定を行うことを特徴とする請求項２に記載のプローブ検査装置。
【請求項５】
前記判定部は、前記プローブを縮める方向と伸ばす方向に変化させた際の前記電気抵抗の変化を規格値の波形と比較して前記プローブの良否判定を行うことを特徴とする請求項１に記載のプローブ検査装置。
【請求項６】
前記判定部は、前記プローブを縮める方向と伸ばす方向に変化させた際の前記荷重の変化を規格値の波形と比較して前記プローブの良否判定を行うことを特徴とする請求項２に記載のプローブ検査装置。
【請求項７】
前記判定部は、前記プローブを縮める方向と伸ばす方向に変化させた際の前記電気抵抗の変化と前記荷重の変化をそれぞれ規格値の波形と比較して前記プローブの良否判定を行うことを特徴とする請求項２に記載のプローブ検査装置。
【請求項８】
前記判定部は、良否判定を行う前記変位量の範囲内において前記プローブを縮める方向に変化させた場合と伸ばす方向に変化させた場合とで同じ変位量に対する前記電気抵抗の差の標準偏差値又は合計値を求め、前記標準偏差値又は前記合計値を規格値と比較して前記プローブの良否判定を行うことを特徴とする請求項１に記載のプローブ検査装置。
【請求項９】
前記判定部は、良否判定を行う前記変位量の範囲内において前記プローブを縮める方向に変化させた場合と伸ばす方向に変化させた場合とで同じ変位量に対する前記荷重の差の標準偏差値又は合計値を求め、前記標準偏差値又は前記合計値を規格値と比較して前記プローブの良否判定を行うことを特徴とする請求項２に記載のプローブ検査装置。
【請求項１０】
前記判定部は、良否判定を行う前記変位量の範囲内における最小電気抵抗と最大電気抵抗を求め、前記最小電気抵抗と前記最大電気抵抗を規格値と比較して前記プローブの良否判定を行うことを特徴とする請求項１に記載のプローブ検査装置。
【請求項１１】
前記判定部は、良否判定を行う前記変位量の範囲内における最小荷重と最大荷重を求め、前記最小荷重と前記最大荷重を規格値と比較して前記プローブの良否判定を行うことを特徴とする請求項２に記載のプローブ検査装置。
【請求項１２】
前記判定部は、良否判定を行う前記変位量の範囲内における前記電気抵抗の標準偏差値又は合計値を求め、前記標準偏差値又は前記合計値を規格値と比較して前記プローブの良否判定を行うことを特徴とする請求項１に記載のプローブ検査装置。
【請求項１３】
前記判定部は、良否判定を行う前記変位量の範囲内における各変位量に対する前記荷重の傾きの標準偏差値又は合計値を求め、前記標準偏差値又は前記合計値を規格値と比較して前記プローブの良否判定を行うことを特徴とする請求項２に記載のプローブ検査装置。
【請求項１４】
前記判定部は、良否判定を行う前記変位量の複数の範囲について前記電気抵抗をその範囲に対応する規格値と比較して前記プローブの良否判定を行うことを特徴とする請求項１に記載のプローブ検査装置。
【請求項１５】
前記荷重付加部は、前記プローブを縮める方向の速度を伸ばす方向の速度よりも遅くすることを特徴とする請求項１〜１４の何れか１項に記載のプローブ検査装置。
【請求項１６】
前記荷重付加部は、測定前に前記プローブを縮める方向と伸ばす方向へ繰り返し摺動させることを特徴とする請求項１〜１５の何れか１項に記載のプローブ検査装置。
【請求項１７】
導電性で筒状のバレルと、被検査対象と接触する導電性のプランジャーと、前記バレル内に配置され前記プランジャーを軸方向に付勢する導電性の弾性部材とを有するプローブを検査する方法であって、
前記プランジャーに荷重を加えて変位させつつ、前記プローブの電気抵抗を測定する工程と、
前記プランジャーの変位量を測定する工程と、
前記変位量に対する前記電気抵抗を規格値と比較して前記プローブの良否判定を行う工程とを備えることを特徴とするプローブ検査方法。
【請求項１８】
前記プランジャーに加えられた荷重を測定する工程を更に備え、
前記変位量に対する前記荷重を規格値と比較して前記プローブの良否判定を行うことを特徴とする請求項１７に記載のプローブ検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プローブの良否を正確に検査することができるプローブ検査装置及びプローブ検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体チップやプリント配線板などを電気的に検査するために検査装置が用いられる。この検査装置は、測定対象を載せる試料台と、検査対象の電極に押し当てるプローブとを備えている。プローブとしてスプリングプローブが広く用いられている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
測定前に試料台とプローブの汚れを検査する必要がある。そこで、予め試料台とプローブを洗浄して異物がないことを確認した状態でプローブの荷重・変位特性を求め、これを基準変位特性と名付ける。そして、測定の前にプローブの荷重・変位特性を求めて、基準変位特性との差異により試料台とプローブの汚れを検査する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０００−１４７００３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、スプリングプローブでは、先端部の接触抵抗（電気抵抗）だけでなく、摺動部にも接触抵抗（電気抵抗）がある。この摺動部の接触抵抗は押し込み量や摺動回数によって変化するため、プローブの汚れを検査しただけではプローブの良否を正確に検査することができなかった。
【０００６】
本発明は、上述のような課題を解決するためになされたもので、その目的はプローブの良否を正確に検査することができるプローブ検査装置及びプローブ検査方法を得るものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係るプローブ検査装置は、導電性で筒状のバレルと、被検査対象と接触する導電性のプランジャーと、前記バレル内に配置され前記プランジャーを軸方向に付勢する導電性の弾性部材とを有するプローブを検査する装置であって、前記プランジャーに荷重を加えて変位させる荷重付加部と、前記プローブの電気抵抗を測定する電気抵抗測定器と、前記プランジャーの変位量を測定する変位測定器と、前記変位量に対する前記電気抵抗を規格値と比較して前記プローブの良否判定を行う判定部とを備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明により、プローブの良否を正確に検査することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の実施の形態１に係るプローブ検査装置を示す側面図である。
【図２】図１のプローブを示す拡大断面図である。
【図３】本発明の実施の形態１に係るプローブ検査方法を示すフローチャートである。
【図４】本発明の実施の形態２に係るプローブ検査方法で使用するプランジャーの変位量に対するプローブの電気抵抗を示す図である。
【図５】本発明の実施の形態３に係るプローブ検査方法で使用するプランジャーの変位量に対する荷重を示す図である。
【図６】本発明の実施の形態４に係るプローブ検査方法で使用するプランジャーの変位量に対するプローブの電気抵抗を示す図である。
【図７】本発明の実施の形態５に係るプローブ検査方法で使用するプランジャーの変位量に対する荷重を示す図である。
【図８】本発明の実施の形態６に係るプローブ検査方法で使用するプランジャーの変位量に対するプローブの電気抵抗と荷重を示す図である。
【図９】本発明の実施の形態７に係るプローブ検査方法で使用するプランジャーの変位量に対するプローブの電気抵抗を示す図である。
【図１０】本発明の実施の形態８に係るプローブ検査方法で使用するプランジャーの変位量に対する荷重を示す図である。
【図１１】本発明の実施の形態９に係るプローブ検査方法で使用するプランジャーの変位量に対するプローブの電気抵抗を示す図である。
【図１２】本発明の実施の形態１０に係るプローブ検査方法で使用するプランジャーの変位量に対する荷重を示す図である。
【図１３】本発明の実施の形態１１に係るプローブ検査方法で使用するプランジャーの変位量に対するプローブの電気抵抗を示す図である。
【図１４】本発明の実施の形態１２に係るプローブ検査方法で使用するプランジャーの変位量に対する荷重を示す図である。
【図１５】本発明の実施の形態１３に係るプローブ検査方法で使用するプランジャーの変位量に対するプローブの電気抵抗を示す図である。
【図１６】傾いたプローブを示す拡大断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
本発明の実施の形態に係るプローブ検査装置及びプローブ検査方法について図面を参照して説明する。同じ又は対応する構成要素には同じ符号を付し、説明の繰り返しを省略する場合がある。
【００１１】
実施の形態１．
図１は、本発明の実施の形態１に係るプローブ検査装置を示す側面図である。図２は、図１のプローブを示す拡大断面図である。プローブ検査装置は、プローブ１の良否を検査するものである。
【００１２】
プローブ１は、導電性で筒状のバレル２と、被検査対象と接触する導電性のプランジャー３と、バレル２内に配置されプランジャー３を軸方向に付勢するバネなどの導電性の弾性部材４とを有する。プローブ１を実際に使用する際には、半導体チップやプリント配線板などの被検査対象の電極にプランジャー３の先端部を接触させ、プローブ１を介して電気を流して被検査対象の電気特性を検査する。
【００１３】
プローブ１のバレル２はプローブユニット６のソケットに挿入されて固定される。この状態で荷重付加部７がプローブ１のプランジャー３に荷重を加えて変位させる。荷重付加部７は、プローブ１のプランジャー３に接触する測定子８と、測定子８を保持する測定子ホルダ９と、測定子ホルダ９と共に測定子８を移動させるロードセル１０とを有する。
【００１４】
電気抵抗測定器１１が、プローブユニット６と測定子８を介してプローブ１の電気抵抗を測定する。荷重付加部７はＸ，Ｚ軸方向に駆動させるロボット（図示せず）に取り付けられ、プローブユニット６はＹ軸方向に駆動させるロボット（図示せず）に取り付けられ、それぞれの位置が制御される。測定子８とプローブ１の先端のＸＹ方向の位置決めをする際に両者の位置関係をカメラ１２ａが測定する。荷重付加部７をＺ軸方向に駆動させるロボットに接続された変位測定器１２ｂがプランジャー３の変位量を測定する。変位量の原点は、接触子８とプローブ１を低速で接近させながら荷重測定器１３で測定して接触位置で荷重が変化することにより、認識することができる。または、電気抵抗測定器１１により電気抵抗の変化を測定することでも、変位量の原点を認識することができる。なお、プローブ１の先端の高さは、設計位置から計算した値を原点として測定条件に登録すれば、測定時間を短縮することができる。荷重測定器１３がプランジャー３に加えられた荷重を測定する。
【００１５】
判定部１４は、変位量に対する電気抵抗を規格値と比較してプローブ１の良否判定を行う。さらに、判定部１４は変位量に対する荷重を規格値と比較してプローブ１の良否判定を行う。判定部１４はこのような良否判定を行うプログラムが導入されたコンピュータである。ここで、規格値について説明する。まず、本実施の形態のプローブ検査装置を使用して複数本の新品のプローブの抵抗値と荷重値を測定する。抵抗値については、良否判定範囲内の変位量Ｘに対する標準偏差値の６倍、プローブを縮める方向と伸ばす方向で同じ変位量Ｘに対する抵抗値の差を求め、それらの標準偏差値の６倍をそれぞれの規格値とする（最大値は１Ω、最小値は数十ｍΩ）。同様に、荷重値についても良否判定範囲内の各変位量Ｘに対する傾きの標準偏差値の６倍、プローブを縮める方向と伸ばす方向で同じ変位量Ｘに対する荷重値の差を求め、それらの標準偏差値の６倍を規格値とする（最大値と最小値は、弾性部材４の設計値に例えば±２０％〜±５０％の許容値を加える）。また、プローブごとに新品の状態で測定した初期の抵抗値と荷重値に許容値を加えた値を規格値とし、プローブごとに初期状態の規格値と使用後の抵抗値や荷重値を比較して良否判定してもよい。なお、ここで示した規格値は、一例であり、被検査対象の要求精度、歩留り等を考慮して決定することが望ましい。
【００１６】
図３は、本発明の実施の形態１に係るプローブ検査方法を示すフローチャートである。まず、判定部１４は、プローブ１のＸＹ座標、検査条件、良否判定の規格値を読み込む（ステップＳ１）。プローブ１を固定したプローブユニット６をプローブ検査装置のステージ（図示せず）に載せ、電気抵抗測定器１１と接続する。
【００１７】
次に、測定子８をプローブ１の位置に移動させる（ステップＳ２）。変位測定器１２ｂでプローブ１の位置を認識し、測定子８とプローブ１の位置が測定の際にずれないように、予め登録したプローブ１のＸＹ座標とのずれを補正する。測定子８は、予め登録された測定条件により、Ｚ方向に下降し、プランジャー３の先端に接触してプローブ１を縮める。
【００１８】
次に、プランジャー３に荷重を加えてプローブ１を縮める方向に変化させつつ、プローブ１の電気抵抗と荷重を測定する（ステップＳ３）。この際に変位測定器１２ｂがプランジャー３のＺ方向の変位量を測定する。次に、プランジャー３への荷重を弱めてプローブ１を延びる方向に変化させつつ、プローブ１の電気抵抗と荷重を測定する（ステップＳ４）。これらの測定データは判定部１４に取込まれる。
【００１９】
次に、判定部１４は変位量に対する電気抵抗を規格値と比較してプローブ１の良否判定を行う（ステップＳ５）。さらに、判定部１４は変位量に対する荷重を規格値と比較してプローブ１の良否判定を行う（ステップＳ６）。
【００２０】
ここで、プローブ１が正常な場合には、変位に伴って電気抵抗が徐々に変化するが、変位しても殆ど電気抵抗が変化しない安定した領域が存在する。一方、荷重は変位量に比例して変化する。このような電気抵抗と荷重の規格値から測定データが外れていれば異常と判定する。
【００２１】
本実施の形態では、変位量に対する電気抵抗を規格値と比較することで、プランジャー３の先端部の接触抵抗だけでなく、バレル２内を摺動するプランジャー３の摺動部５の接触抵抗も検査することができる。そして、変位量に対する荷重を規格値と比較することで、弾性部材４による荷重も検査することができる。このため、プローブ１の良否を正確に検査することができる。また、作業者の判断に依存することなく、短時間で自動的に検査をすることができる。
【００２２】
実施の形態２．
図４は、本発明の実施の形態２に係るプローブ検査方法で使用するプランジャーの変位量に対するプローブの電気抵抗を示す図である。判定部１４は、プローブ１を縮める方向又は伸ばす方向に変化させた際の電気抵抗の変化を規格値の波形と比較してプローブ１の良否判定を行う。
【００２３】
プローブ１が正常な場合には変位に伴って電気抵抗が徐々に変化する。しかし、摺動部５のＡｕめっきが剥がれたり、プランジャー３の表面やバレル２の内側の金属が削れて異物が噛み込んだりした場合には、変位量に対する電気抵抗の変化が規格値の波形から外れるので、異常と判定する。これにより、プランジャー３の摺動部５の接触抵抗が正常であるかどうかを検査することができる。
【００２４】
実施の形態３．
図５は、本発明の実施の形態３に係るプローブ検査方法で使用するプランジャーの変位量に対する荷重を示す図である。判定部１４は、プローブ１を縮める方向又は伸ばす方向に変化させた際の荷重の変化を規格値の波形と比較してプローブ１の良否判定を行う。
【００２５】
プローブ１が正常な場合には荷重は変位量に比例して変化する。しかし、弾性部材４の破損やへたりが生じたり、プランジャー３の摺動部５のＡｕめっきが剥がれて滑らかに摺動しなくなった場合には、変位量に対する荷重の変化が規格値の波形から外れるので、異常と判定する。これにより、弾性部材４による荷重が正常であるかどうかを検査することができる。
【００２６】
実施の形態４．
図６は、本発明の実施の形態４に係るプローブ検査方法で使用するプランジャーの変位量に対するプローブの電気抵抗を示す図である。判定部１４は、プローブ１を縮める方向と伸ばす方向に変化させた際の電気抵抗の変化を規格値の波形と比較してプローブ１の良否判定を行う。
【００２７】
これによりプローブ１を実際に使用して被検査対象の電気特性を検査する際の変位量に相当する最大変位量付近の電気抵抗を測定することになる。このため、プローブ１の長さや取付け高さのばらつき、被測定物の厚みばらつきに相当する変位量に対する電気抵抗が規格値から大きく外れているものを異常として検出することができる。
【００２８】
実施の形態５．
図７は、本発明の実施の形態５に係るプローブ検査方法で使用するプランジャーの変位量に対する荷重を示す図である。判定部１４は、プローブ１を縮める方向と伸ばす方向に変化させた際の荷重の変化を規格値の波形と比較してプローブ１の良否判定を行う。
【００２９】
これによりプローブ１を実際に使用して被検査対象の電気特性を検査する際の変位量に相当する最大変位量付近の荷重を測定することになる。このため、プローブ１の長さや取付け高さのばらつき、被測定物の厚みばらつきに相当する変位量に対する荷重が規格値から大きく外れているものを異常として検出することができる。
【００３０】
実施の形態６．
図８は、本発明の実施の形態６に係るプローブ検査方法で使用するプランジャーの変位量に対するプローブの電気抵抗と荷重を示す図である。プローブ１を縮める方向と伸ばす方向に変化させた際の電気抵抗と荷重を同時に測定する。そして、判定部１４は、それらの変化をそれぞれ規格値の波形と比較してプローブ１の良否判定を行う。
【００３１】
電気抵抗と荷重を同時に測定することにより測定時間を短縮することができる。さらに、測定子８がプローブ１に接触したかどうかを確認することができるため、断線、未接触、異物等との接触を区別することができる。
【００３２】
実施の形態７．
図９は、本発明の実施の形態７に係るプローブ検査方法で使用するプランジャーの変位量に対するプローブの電気抵抗を示す図である。判定部１４は、良否判定を行う変位量の範囲内においてプローブ１を縮める方向に変化させた場合と伸ばす方向に変化させた場合とで同じ変位量Ｘに対する電気抵抗の差の標準偏差値を求め、標準偏差値を規格値と比較してプローブ１の良否判定を行う。これにより、標準偏差値が規格外のものを異常として検出することができる。なお、標準偏差値の代わりに合計値を求め、その合計値が規格外のものを異常として検出してもよい。
【００３３】
実施の形態８．
図１０は、本発明の実施の形態８に係るプローブ検査方法で使用するプランジャーの変位量に対する荷重を示す図である。判定部１４は、良否判定を行う変位量の範囲内においてプローブ１を縮める方向に変化させた場合と伸ばす方向に変化させた場合とで同じ変位量Ｘに対する荷重の差の標準偏差値を求め、標準偏差値を規格値と比較してプローブ１の良否判定を行う。これにより、標準偏差値が規格外のものを異常として検出することができる。なお、標準偏差値の代わりに合計値を求め、その合計値が規格外のものを異常として検出してもよい。
【００３４】
実施の形態９．
図１１は、本発明の実施の形態９に係るプローブ検査方法で使用するプランジャーの変位量に対するプローブの電気抵抗を示す図である。判定部１４は、良否判定を行う変位量の範囲内における最小電気抵抗と最大電気抵抗を求め、最小電気抵抗と最大電気抵抗を規格値と比較してプローブ１の良否判定を行う。これにより、最小電気抵抗と最大電気抵抗が規格外のものを異常として検出することができる。
【００３５】
実施の形態１０．
図１２は、本発明の実施の形態１０に係るプローブ検査方法で使用するプランジャーの変位量に対する荷重を示す図である。判定部１４は、良否判定を行う変位量の範囲内における最小荷重と最大荷重を求め、最小荷重と最大荷重を規格値と比較してプローブ１の良否判定を行う。これにより、最小荷重と最大荷重が規格外のものを異常として検出することができる。
【００３６】
実施の形態１１．
図１３は、本発明の実施の形態１１に係るプローブ検査方法で使用するプランジャーの変位量に対するプローブの電気抵抗を示す図である。判定部１４は、良否判定を行う変位量の範囲内における電気抵抗の標準偏差値を求め、標準偏差値を規格値と比較してプローブ１の良否判定を行う。これにより、標準偏差値が規格外のものを異常として検出することができる。なお、標準偏差値の代わりに合計値を求め、その合計値が規格外のものを異常として検出してもよい。
【００３７】
実施の形態１２．
図１４は、本発明の実施の形態１２に係るプローブ検査方法で使用するプランジャーの変位量に対する荷重を示す図である。判定部１４は、良否判定を行う変位量の範囲内における各変位量に対する前記荷重の傾きの標準偏差値を求め、標準偏差値を規格値と比較してプローブ１の良否判定を行う。これにより、標準偏差値が規格外のものを異常として検出することができる。なお、標準偏差値の代わりに合計値を求め、その合計値が規格外のものを異常として検出してもよい。
【００３８】
実施の形態１３．
図１５は、本発明の実施の形態１３に係るプローブ検査方法で使用するプランジャーの変位量に対するプローブの電気抵抗を示す図である。良否判定を行う変位量の範囲として第１、第２、第３の判定範囲といった複数の判定範囲とそれに対応する規格値が設定されている。
【００３９】
判定部１４は、良否判定を行う変位量の複数の範囲について電気抵抗をその範囲に対応する規格値と比較してプローブ１の良否判定を行う。これにより、バレル２とプランジャー３の摺動部の隙間が製造ばらつきで大きくなった場合、プランジャー３の先端に異物が付着した場合、及びめっきの剥がれ等が発生した場合についてそれぞれ電気抵抗の変化を異常として検出することができる。
【００４０】
なお、上記の実施の形態１〜１３に係る電気抵抗の判定方法と荷重の判定方法を互いに組み合わせることが好ましい。これにより、電気抵抗と荷重の異常を更に高精度に検出することができる。
【００４１】
また、荷重付加部７がプローブ１を縮める方向の速度を伸ばす方向の速度よりも遅くすることが好ましい。図１６は、傾いたプローブを示す拡大断面図である。一般的にプランジャー３には傾きがあり、プローブ１には取付精度による傾きがある。このような傾きがある場合でも、プローブ１を縮める方向の速度を伸ばす方向の速度よりも遅くすれば、プランジャー３の先端に付着した異物１５に測定子８を確実に接触させ、異物１５の電気抵抗を測定することができる。
【００４２】
また、荷重付加部７が測定前にプローブ１を縮める方向と伸ばす方向へ繰り返し摺動させることが好ましい。これにより、特に新品のプローブ１においてプランジャー３の摺動部５の接触抵抗を下げることができるため、プローブ１の不良率を低減し、安定的に電気特性を測定することができる。
【００４３】
また、プローブ１はパワー半導体素子等に電流を流して電気特性を測定する際に使用される。この実際の使用条件と同じ電流を流した状態でプローブ１の電気抵抗と荷重を測定することが好ましい。これにより、実際の使用条件と同じ電流を流すことによる影響を考慮した測定を実施することができる。
【符号の説明】
【００４４】
１  プローブ、２  バレル、３  プランジャー、４  弾性部材、７  荷重付加部、１１  電気抵抗測定器、１２ｂ  変位測定器、１３  荷重測定器、１４  判定部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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