(57)【要約】【課題】  電磁波対策部材を実際の使用状態に近い状態での高周波領域での遮断能力を測定することができるようにする。【解決手段】  弾性を有する電磁波対策部材９００の高周波特性の測定に使用されるものであり、電磁波対策部材９００に圧力を加える加圧機構としてのマイクロメーターのヘッド部１１０と、このヘッド部１１０によって相対的に接離移動することで電磁波対策部材９００を挟み込む一対の加圧部材１２０Ａ、１２０Ｂと、この一対の加圧部材１２０Ａ、１２０Ｂを接続する加圧部材間接続部材１３０とを備え、前記一対の加圧部材１２０Ａ、１２０Ｂは、電磁波対策部材９００に測定装置からの高周波信号を供給するようになっている。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
弾性を有する電磁波対策部材の高周波特性の測定に使用される測定用治具において、電磁波対策部材に圧力を加える加圧機構と、この加圧機構によって相対的に接離移動することで電磁波対策部材を挟み込む一対の加圧部材と、この一対の加圧部材を電気的に接続する加圧部材間接続部材と、一方の加圧部材に電気的に絶縁されて設けられ、かつ電磁波対策部材に電気的に接続される接触部とを具備しており、接触部→電磁波対策部材→他方の加圧部材→加圧部材間接続部材→一方の加圧部材の順で測定装置からの高周波信号が流れることを特徴とする電磁波対策部材の高周波特性測定用治具。
【請求項２】
弾性を有する電磁波対策部材の高周波特性の測定に使用される測定用治具において、電磁波対策部材に圧力を加える加圧機構と、この加圧機構によって相対的に接離移動することで電磁波対策部材を挟み込む導電性を有する一対の加圧部材と、この一対の加圧部材にそれぞれ設けられ、一対の加圧部材からは絶縁された一対の接触部と、前記一対の加圧部材を電気的に接続する加圧部材間接続部材と、一対の接続部とを具備しており、測定装置→一方の接続部の内導体→一方の接触部→電磁波対策部材→他方の接触部→他方の接続部の内導体→測定装置→他方の接続部の外導体→他方の加圧部材→加圧部材間接続部材→一方の加圧部材→一方の接続部の外導体→測定装置の順で測定装置からの高周波信号が流れることを特徴とする電磁波対策部材の高周波特性測定用治具。
【請求項３】
前記加圧機構は、電磁波対策部材に加える圧力を変化させることができることを特徴とする請求項１又は２記載の電磁波対策部材の高周波特性測定用治具。
【請求項４】
前記加圧機構としてマイクロメーターのヘッド部を用いたことを特徴とする請求項１、２又は３記載の電磁波対策部材の高周波特性測定用治具。
【請求項５】
前記一対の加圧部材で電磁波対策部材を挟み込むことができる測定位置と、前記一対の加圧部材で電磁波対策部材を挟み込むことができない退避位置との間で前記加圧機構を移動させることができる移動機構を有することを特徴とする請求項１、２、３又は４記載の電磁波対策部材の高周波特性測定用治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電磁波対策部材の特性を測定する際に使用する電磁波対策部材の高周波特性測定用治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
高周波ノイズの影響を少なくするために、開口部とそれを閉塞する閉塞部材との間に電磁波対策部材が介在されることが多い。または、電気的接触のために装置の導電部に電気的接触子として、電磁波対策部材が介在されることが多い。
この電磁波対策部材には、クッション性を有する発泡体からなる内側部材と、この内側部材を包み込む導電性布とからなるガスケットと称されるものがある。
また、他の電磁波対策部材には、リン青銅等からなる導電性金属板を屈曲させたフィンガーと称されるものもある。
これらの電磁波対策部材は、開口部と閉塞部材との間に挟まれて使用されるため、使用状態では圧縮されて変形している。
高周波領域で使用される部材においては、高周波特有の表皮効果のため、直流信号とは違って電磁波対策部材自体の表面状態が重要になってくる。このため、電磁波対策部材を実際の使用状態に近い状態にした上で高周波信号を使用した測定が必要になってくる。
なお、高周波素子の特性を評価するための治具としては、特開２０１２−２２５８１５号公報で開示された『高周波特性評価治具』がある。
【０００３】
【特許文献１】特開２０１２−２２５８１５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、高周波素子の特性を測定するものは存在するが、ガスケット等の電磁波対策部材は、高周波領域での電磁波ノイズの遮断や除去能力が大切であるにも関わらず、実際の使用状態に近い状態、すなわち圧力が加えられて変形した状態にした上での測定を行う測定装置がなく、直流信号による厚み方向抵抗や表面抵抗の測定結果によって電磁波ノイズを遮断や除去する能力が評価されていたのが現実である。
【０００５】
本発明は、上記事情に鑑みて創案されたもので、電磁波対策部材を実際の使用状態に近い状態、すなわち圧力が加えられて変形した状態での高周波領域での電磁波ノイズの遮断や除去能力を測定することができる電磁波対策部材の高周波特性測定用治具を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る電磁波対策部材の高周波特性測定用治具は、弾性を有する電磁波対策部材の高周波特性の測定に使用される測定用治具であって、電磁波対策部材に圧力を加える加圧機構と、この加圧機構によって相対的に接離移動することで電磁波対策部材を挟み込む一対の加圧部材と、この一対の加圧部材を電気的に接続する加圧部材間接続部材と、一方の加圧部材に電気的に絶縁されて設けられ、かつ電磁波対策部材に電気的に接続される接触部とを備えており、接触部→電磁波対策部材→他方の加圧部材→加圧部材間接続部材→一方の加圧部材の順で測定装置からの高周波信号が流れるように構成されている。
【０００７】
また、本発明に係る他の電磁波対策部材の高周波特性測定用治具は、弾性を有する電磁波対策部材の高周波特性の測定に使用される測定用治具であって、電磁波対策部材に圧力を加える加圧機構と、この加圧機構によって相対的に接離移動することで電磁波対策部材を挟み込む一対の加圧部材とを備えており、一方の加圧部材→電磁波対策部材→他方の加圧部材の順で測定装置からの高周波信号が流れるように構成されている。
【０００８】
前記加圧機構は、電磁波対策部材に加える圧力を変化させることができるもの、例えばマイクロメーターのヘッド部を使用する。
【発明の効果】
【０００９】
本発明に係る電磁波対策部材の高周波特性測定用治具は、一対の加圧部材で電磁波対策部材を加圧して圧縮した状態で、高周波領域での遮断能力の測定が可能なので、より実際に近い状態での測定が可能になった。また、加圧機構にマイクロメーターのヘッド部を使用すると、圧縮の度合いをより簡単かつ正確に設定することができるので、正確な測定を容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る電磁波対策部材の高周波特性測定用治具の概略的正面図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態に係る電磁波対策部材の高周波特性測定用治具の概略的平面図である。
【図３】本発明の第１の実施の形態に係る電磁波対策部材の高周波特性測定用治具の概略的左側面図である。
【図４】本発明の第１の実施の形態に係る電磁波対策部材の高周波特性測定用治具のヘッド部が退避位置にある概略的正面図である。
【図５】本発明の第１の実施の形態に係る電磁波対策部材の高周波特性測定用治具によって電磁波対策部材が圧縮されている状態の概略的正面図である。
【図６】本発明の第１の実施の形態に係る電磁波対策部材の高周波特性測定用治具の要部を示す概略的斜視図である。
【図７】本発明の第２の実施の形態に係る電磁波対策部材の高周波特性測定用治具の概略的正面図である。
【図８】本発明の第２の実施の形態に係る電磁波対策部材の高周波特性測定用治具の概略的平面図である。
【図９】本発明の第２の実施の形態に係る電磁波対策部材の高周波特性測定用治具の概略的右側面図である。
【図１０】本発明の第２の実施の形態に係る電磁波対策部材の高周波特性測定用治具のヘッド部が退避位置にある概略的右側面図である。
【図１１】本発明の第２の実施の形態に係る電磁波対策部材の高周波特性測定用治具を構成する上側加圧部材と下側加圧部材の図面であって、同図（Ａ）は上側加圧部材の下方向からの概略的斜視図、同図（Ｂ）は下側加圧部材の上方向からの概略的斜視図である。
【図１２】本発明の第３の実施の形態に係る電磁波対策部材の高周波特性測定用治具の概略的正面図である。
【図１３】本発明の第３の実施の形態に係る電磁波対策部材の高周波特性測定用治具の概略的平面図である。
【図１４】本発明の第３の実施の形態に係る電磁波対策部材の高周波特性測定用治具の概略的左側面図である。
【図１５】本発明の第３の実施の形態に係る電磁波対策部材の高周波特性測定用治具のヘッド部が退避位置にある概略的正面図である。
【図１６】本発明の第３の実施の形態に係る電磁波対策部材の高周波特性測定用治具を構成する上側加圧部材と下側加圧部材の図面であって、同図（Ａ）は上側加圧部材の下方向からの概略的斜視図、同図（Ｂ）は下側加圧部材の上方向からの概略的斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
本発明の第１の実施の形態に係る電磁波対策部材の高周波特性測定用治具１００は、弾性を有する電磁波対策部材９００の高周波特性の測定に使用されるものであって、電磁波対策部材９００に圧力を加える加圧機構としてのマイクロメーターのヘッド部１１０（以下、『ヘッド部１１０』とする）と、このヘッド部１１０によって相対的に接離移動することで電磁波対策部材９００を挟み込む一対の加圧部材１２０Ａ、１２０Ｂと、この一対の加圧部材１２０Ａ、１２０Ｂを接続する加圧部材間接続部材１３０とを備えており、前記一対の加圧部材１２０Ａ、１２０Ｂは、電磁波対策部材９００に測定装置５００からの高周波信号を供給するようになっている。
【００１２】
なお、高周波ノイズの影響を少なくするためには、遮断、接地（電気的接触）、吸収という方策があるが、本明細書における電磁波対策部材は遮断部材及び接地部材を意味している。
また、本明細書における高周波特性には、高周波インピーダンス特性とＳパラメーター特性が含まれる。
さらに、高周波は技術分野によって異なるが、本明細書における高周波ＭＨｚ帯域を念頭においている。
【００１３】
この電磁波対策部材の高周波特性測定用治具１００は、電磁波対策部材９００の高周波インピーダンス特性を測定するものである。
かかる電磁波対策部材の高周波特性測定用治具１００は、加圧機構としてヘッド部１１０を使用している。この電磁波対策部材の高周波特性測定用治具１００は、ステージ部１４０と、このステージ部１４０の上に設けられるスライド部１５０と、このスライド部１５０を構成する保持部１５１に保持される前記ヘッド部１１０と、このヘッド部１１０のスピンドル１１１によって押し下げられる一対の加圧部材の一方である上側加圧部材１２０Ａと、一対の加圧部材の他方であり、前記上側加圧部材１２０Ａの下方に位置する下側加圧部材１２０Ｂとを有している。そして、上側加圧部材１２０Ａと下側加圧部材１２０Ｂとは、例えばリン青銅等の導電性を有する薄板バネ素材からなる加圧部材間接続部材１３０で連結されている。
なお、上側加圧部材１２０Ａ、下側加圧部材１２０Ｂは、導電性を有する素材から構成されている。
また、前記加圧部材間接続部材１３０は、薄板バネ素材以外としては、フレキシブルケーブルを使用することも可能である。
【００１４】
前記ステージ部１４０は、測定装置５００の上面との間に平行な間隔を空けて設置される。測定装置５００の上面にはコネクタ５１０が設けられている。前記間隔は、このコネクタ５１０のスペースを確保するためであり、スペースを確保するためにステージ部１４０と測定装置５００の上面との間にはスペーサ５２０が設けられている。前記コネクタ５１０は、測定装置５００からの高周波信号を供給するためのものであり、下側加圧部材１２０Ｂの真下に位置している。
【００１５】
前記下側加圧部材１２０Ｂの上面には、前記コネクタ５１０に接続された同軸ケーブル（図示省略）の内導体５１１が表面に露出された接触部１６２が設けられている。この接触部１６２は、電磁波対策部材９００に接触する部分であり、絶縁性を有する素材から構成されている。この接触部１６２に内導体５１１が露出していることで、接触部１６２に接触した電磁波対策部材９００に高周波信号である電流が流れる。
【００１６】
なお、前記接触部１６２に隣接してガイド１６３が設けられている。このガイド１６３は、電磁波対策部材９００の位置決めを行うものである。このガイド１６３は、平面視略正方形状の接触部１６２の直交する２辺を囲むようにして下側加圧部材１２０Ｂの表面に設けられている。なお、このガイド１６３は、前記接触部１６２より背高に設定されている。
【００１７】
なお、前記ガイド１６３の厚さ寸法より薄い電磁波対策部材９００の高周波特定を測定する場合、ガイド１６３が存在すると、上側加圧部材１２０Ａが電磁波対策部材９００に接触できないので、そのような場合のために、ガイド１６３は取り外し可能になっている。
【００１８】
前記スライド部１５０は、前記一対の加圧部材である上側加圧部材１２０Ａと下側加圧部材１２０Ｂとで電磁波対策部材９００を挟み込むことができる測定位置と、前記上側加圧部材１２０Ａと下側加圧部材１２０Ｂで電磁波対策部材９００を挟み込むことができない退避位置との間で前記加圧機構を移動させることができる移動機構である。
【００１９】
このスライド部１５０は、ステージ部１４０に設けられた案内部１５２と、この案内部１５２の上端をスライドする保持部１５１と、この保持部１５１をスライドさせる駆動部１５３とを有している。
このスライド部１５０は、ヘッド部１１０を下側加圧部材１２０Ｂの真上と下側加圧部材１２０Ｂから外れる位置との間で移動させるものである。ヘッド部１１０が下側加圧部材１２０Ｂの真上に位置する状態を測定位置、ヘッド部１１０が下側加圧部材１２０Ｂの真上から外れた状態を退避位置とする。
【００２０】
前記保持部１５１は、先端側にヘッド部１１０を保持するための保持穴１５１Ａが開設されている。この保持穴１５１Ａでヘッド部１１０のスリーブ部１１２の下端を保持することになる。
この保持部１５１は、後端側で前記案内部１５２の上端部１５２Ａにスライド可能に連結されており、この案内部１５２に沿って水平方向にスライドすることができるようになっている。
【００２１】
前記案内部１５２は、ステージ部１４０の上に設けられており、ステージ部１４０に対して垂直になった垂直部１５２Ｂと、この垂直部１５２Ｂの上端から９０度折れ曲がった方向に突出された上端部１５２Ａが一体に構成されたものである。前記上端部１５２Ａには、図示しないレール構造が設けられており、このレール構造によって前記保持部１５１が案内部１５２に沿って水平方向にスライドすることになる。
また、前記案内部１５２の終端側には、測定位置に達した保持部１５１が接触するストッパ部１５２Ｃが設けられている。なお、このストッパ部１５２Ｃは、その位置を変化させることができるようになっている。
【００２２】
前記駆動部１５３は、保持部１５１に連結された略クランク状のアーム部１５３Ａと、このアーム部１５３Ａを動かすレバー部１５３Ｂと、このレバー部１５３Ｂを支持するアングル１５３Ｃを有している。このレバー部１５３Ｂの図１に示す矢印Ａ方向の動きが、アーム部１５３Ａを介して保持部１５１に伝えられ、保持部１５１に保持されたヘッド部１１０が測定位置と退避位置との間をスライドするのである。
なお、前記アングル１５３Ｃは、ステージ部１４０に取り付けられている。
【００２３】
なお、前記加圧部材間接続部材１３０は、駆動部１５３によるヘッド部１１０の退避位置と測定位置との間の移動、すなわち上側加圧部材１２０Ａの移動に追従することができる程度のサイズや柔軟性を備えなければならない。
【００２４】
このように構成された電磁波対策部材の高周波特性測定用治具１００による電磁波対策部材９００の高周波特性の測定手順について説明する。
【００２５】
駆動部１５３を操作して、ヘッド部１１０を退避位置へと移動させる。すなわち、上側加圧部材１２０Ａを下側加圧部材１２０Ｂの真上から外れた退避位置へと位置させる。この状態で、下側加圧部材１２０Ｂの上に電磁波対策部材９００を載置する。この際、ガイド１６３があるので，電磁波対策部材９００は接触部１６２に対して常に同じように接触するので、毎回同じ条件下で測定できるようになる。
なお、ガイド１６３より薄い電磁波対策部材９００の高周波特性を測定する場合には、ガイド１６３は取り外しておく。
【００２６】
次に、駆動部１５３を操作して、ヘッド部１１０を測定位置へと移動させる。この状態でヘッド部１１０の操作によりスピンドル１１１を押し下げて、上側加圧部材１２０Ａを電磁波対策部材９００に押し当てて圧力を加える。電磁波対策部材９００に対して所定の圧力が加わった状態で、高周波信号を与え、電磁波対策部材９００の高周波特性を測定する。
なお、測定位置と退避位置との間の動きは、図６に矢印Ｂで示されている。
また、上側加圧部材１２０Ａのヘッド部１１０による動きは、図６に矢印Ｃで示されている。
【００２７】
この電磁波対策部材９００の高周波特性の測定の際の高周波信号である電流は、内導体５１１→電磁波対策部材９００→上側加圧部材１２０Ａ→加圧部材間接続部材１３０→下側加圧部材１２０Ｂ→測定装置５００の順で流れる。
【００２８】
ここで、電磁波対策部材９００に対して加えられた圧力は、ヘッド部１１０によって電磁波対策部材９００が圧縮された度合い、すなわちヘッド部１１０によって示された電磁波対策部材９００の厚さ寸法によって示される。
【００２９】
この電磁波対策部材の高周波特性測定用治具１００によれば、ヘッド部１１０によって電磁波対策部材９００の厚さ寸法を変化させて高周波特性を測定することができるので、実際での使用状況とほぼ同一の条件下での高周波特性を測定することが可能になっている。
【００３０】
上述した第１の実施の形態に係る電磁波対策部材の高周波特性測定用治具１００は、ヘッド部１１０を退避位置と測定位置との間で移動させるスライド部１５０を有している。
しかし、この種の移動機構、一対の加圧部材で電磁波対策部材を挟み込むことができる測定位置と、前記一対の加圧部材で電磁波対策部材を挟み込むことができない退避位置との間で前記加圧機構を移動させることができる移動機構は、上記スライド部１５０に限定されるものではなく、図７〜図１１に示される本発明の第２の実施の形態に係る電磁波対策部材の高周波特性測定用治具２００に設けられた機構（ヘッド移動部２５０）であってよい。
【００３１】
図７〜図１１に示された本発明の第２の実施の形態に係る電磁波対策部材の高周波特性測定用治具２００は、弾性を有する電磁波対策部材９００のＳパラメーターの測定に使用されるものであって、電磁波対策部材９００に圧力を加える加圧機構としてのマイクロメーターのヘッド部２１０（以下、『ヘッド部２１０』とする）と、このヘッド部２１０によって相対的に接離移動することで電磁波対策部材９００を挟み込む一対の加圧部材２２０Ａ、２２０Ｂと、この一対の加圧部材２２０Ａ、２２０Ｂを連結する加圧部材間接続部材２３０とを備えており、前記一対の加圧部材２２０Ａ、２２０Ｂは、電磁波対策部材９００に測定装置（図示省略）からの高周波信号を供給するようになっている。
【００３２】
この電磁波対策部材の高周波特性測定用治具２００は、ステージ部２４０と、このステージ部２４０の上に設けられるヘッド移動部２５０と、このヘッド移動部２５０を構成する保持部２５１に保持される前記ヘッド部２１０と、このヘッド部２１０のスピンドル２１１によって押し下げられる一対の加圧部材の一方である上側加圧部材２２０Ａと、一対の加圧部材の他方であり、前記上側加圧部材２２０Ａの下方に位置する下側加圧部材２２０Ｂとを有している。そして、上側加圧部材２２０Ａと下側加圧部材２２０Ｂとは、薄板バネ素材からなる加圧部材間接続部材２３０で連結されている。
なお、前記加圧部材間接続部材２３０は、薄板バネ素材以外としては、フレキシブルケーブルを使用することも可能である。
【００３３】
前記ステージ部２４０の上には、下側加圧部材２２０Ｂと、ヘッド移動部２５０を構成する背高の柱部２５２とが設けられている。
【００３４】
前記ヘッド移動部２５０の柱部２５２の先端部には、保持部２５１がヒンジ２５３を介して取り付けられている。この保持部２５１の先端側には、ヘッド部２１０を保持するための保持穴（図示省略）が開設されている。この保持穴でヘッド部２１０のスリーブ部２１２の下端を保持することになる。
このように構成された保持部２５１は、ヒンジ部２５３で柱部２５２に取り付けられているため、図９に示すように保持部２５１が水平になって上側加圧部材２２０Ａが下側加圧部材２２０Ｂの真上に位置する状態（測定位置）と、図１０に示すように保持部２５１が斜めになって上側加圧部材２２０Ａが下側加圧部材２２０Ｂの真上から外れる状態（退避位置）との間を移動することができるようになっている。
【００３５】
また、前記ステージ部２４０には、下側加圧部材２２０Ｂが設置されている。この下側加圧部材２２０Ｂは導電性を有する金属製であり、図１１（Ｂ）に示すように、その表面には絶縁性を有する下側プレート２２１Ｂが設置されている。そして、この下側プレート２２１Ｂの表面には、導電性の接触部２２３Ｂが形成されている。この接触部２２３Ｂは、例えば導電性の金属薄膜から構成されている。
また、この下側加圧部材２２０Ｂの側面側には、一方の接続部としての下側コネクタ２２２Ｂが設けられている。この下側コネクタ２２２Ｂの内導体２２４Ｂは、前記下側プレート２２１Ｂの接触部２２３Ｂに電気的に接続されている。また、この下側コネクタ２２２Ｂの外導体２２５Ｂは、下側加圧部材２２０Ｂに電気的に接続されている。
【００３６】
一方、前記ヘッド部２１０のスピンドル２１１の下端には、上側加圧部材２２０Ａが設けられている。この上側加圧部材２２０Ａは導電性を有する金属製であり、図１１（Ａ）に示すように、その表面には、絶縁性を有する上側プレート２２１Ａが設置されている。そして、この上側プレート２２１Ａの表面には、導電性の接触部２２３Ａが形成されている。この接触部２２３Ａは、例えば導電性の金属薄膜から構成されている。
また、この上側加圧部材２２０Ａの側面側には、他方の接続部としての上側コネクタ２２２Ａが設けられている。この上側コネクタ２２２Ａの内導体２２４Ａは、前記上側プレート２２１Ａの接触部２２３Ａに電気的に接続されている。また、この上側コネクタ２２２Ａの外導体２２５Ａは、上側加圧部材２２０Ａに電気的に接続されている。
【００３７】
なお、前記上側コネクタ２２２Ａは、前記下側コネクタ２２２Ｂとは反対の側に設けられている。このように反対側に設けたのは、上側コネクタ２２２Ａと下側コネクタ２２２Ｂとが上下で重なることによる静電容量の影響を回避するためである。また、各コネクタ２２２Ａ、２２２Ｂに接続されるケーブル（図示省略）が絡みにくくなるという副次的なメリットもある。
【００３８】
前記加圧部材間接続部材２３０が、上側加圧部材２２０Ａと下側加圧部材２２０Ｂとの間を連結しているので、保持部２５１やそれに保持されたヘッド部２１０、さらにはヘッド部２１０に設けられた上側加圧部材２２０Ａの退避位置と測定位置との間での移動がスムーズに行われる。
【００３９】
このように構成された電磁波対策部材の高周波特性測定用治具２００による電磁波対策部材９００の高周波特性の測定手順について説明する。
【００４０】
まず、ヘッド移動部２５０の保持部２５１を柱部２５２に対して斜めになった状態、すなわち図１０に示すような退避位置へと移動させる。この退避位置では、ヘッド部２１０に取り付けられた上側加圧部材２２０Ａは、下側加圧部材２２０Ｂから外れた位置にある。この状態で、下側加圧部材２２０Ｂの上に電磁波対策部材９００を載置する。
【００４１】
次に、ヘッド移動部２５０の保持部２５１を柱部２５２に対して直交した状態、すなわちステージ部２４０に対して平行な状態である測定位置へと移動させる。
この状態でヘッド部２１０の操作によりスピンドル２１１を押し下げて、上側加圧部材２２０Ａを電磁波対策部材９００に押し当てて圧力を加える。電磁波対策部材９００に対して所定の圧力が加わった状態で、高周波信号を与え、電磁波対策部材９００の高周波特性を測定する。
【００４２】
この電磁波対策部材９００の高周波特性の測定の際の高周波信号である電流は、測定装置→上側コネクタ２２２Ａの内導体２２４Ａ→上側加圧部材２２０Ａの接触部２２３Ａ→電磁波対策部材９００→下側加圧部材２２０Ｂの接触部２２３Ｂ→下側コネクタ２２２Ｂの内導体２２４Ｂ→測定装置→下側コネクタ２２２Ｂの外導体２２５Ｂ→下側加圧部材２２０Ｂ→加圧部材間接続部材２３０→上側加圧部材２２０Ａ→上側コネクタ２２２Ａの外導体２２５Ａ→測定装置の順又はその逆で流れる。
【００４３】
ここで、電磁波対策部材９００に対して加えられた圧力は、ヘッド部２１０によって電磁波対策部材９００が圧縮された度合い、すなわちヘッド部２１０によって示された電磁波対策部材９００の厚さ寸法によって示される。
【００４４】
この電磁波対策部材の高周波特性測定用治具２００によれば、ヘッド部２１０によって電磁波対策部材９００の厚さ寸法を変化させて高周波特性を測定することができるので、実際での使用状況とほぼ同一の条件下での高周波特性を測定することが可能になっている。
なお、上側加圧部材２２０Ａの接触部２２３Ａと、下側加圧部材２２０Ｂの接触部２２３Ｂとを接続させた際の伝送線路のインピーダンスは５０Ωに設定しておくことが望ましい。
【００４５】
次に、図１２〜図１６を参照しつつ、本発明の第３の実施の形態に係る電磁波対策部材の高周波特性測定用治具３００について説明する。
この本発明の第３の実施の形態に係る電磁波対策部材の高周波特性測定用治具３００は、弾性を有する電磁波対策部材９００のＳパラメーターの測定に使用されるものである。この電磁波対策部材の高周波特性測定用治具３００が、上述した第２の実施の形態に係る電磁波対策部材の高周波特性測定用治具２００大きく異なる主な点は、ヘッド移動部２５０ではなく、第１の実施の形態に係る電磁波対策部材の高周波特性測定用治具１００で用いたスライド部１５０に相当するものを用いている点である。
【００４６】
この本発明の第３の実施の形態に係る電磁波対策部材の高周波特性測定用治具３００は、弾性を有する電磁波対策部材９００のＳパラメーターの測定に使用されるものであって、電磁波対策部材９００に圧力を加える加圧機構としてのマイクロメーターのヘッド部３１０（以下、『ヘッド部３１０』とする）と、このヘッド部３１０によって相対的に接離移動することで電磁波対策部材９００を挟み込む一対の加圧部材３２０Ａ、３２０Ｂと、この一対の加圧部材３２０Ａ、３２０Ｂを連結する加圧部材間接続部材３３０とを備えており、前記一対の加圧部材３２０Ａ、３２０Ｂは、電磁波対策部材９００に測定装置（図示省略）からの高周波信号を供給するようになっている。
【００４７】
かかる電磁波対策部材の高周波特性測定用治具３００は、加圧機構としてヘッド部３１０を使用している。この電磁波対策部材の高周波特性測定用治具３００は、ステージ部３４０と、このステージ部３４０の上に設けられるスライド部３５０と、このスライド部３５０を構成する保持部３５１に保持される前記ヘッド部３１０と、このヘッド部３１０のスピンドル３１１によって押し下げられる一対の加圧部材の一方である上側加圧部材３２０Ａと、一対の加圧部材の他方であり、前記上側加圧部材３２０Ａの下方に位置する下側加圧部材３２０Ｂとを有している。そして、上側加圧部材３２０Ａと下側加圧部材３２０Ｂとは、例えばリン青銅等の導電性を有する薄板バネ素材からなる加圧部材間接続部材３３０で連結されている。
【００４８】
また、前記ステージ部３４０には、下側加圧部材３２０Ｂが設置されている。この下側加圧部材３２０Ｂは導電性を有する金属製であり、図１６（Ｂ）に示すように、その表面には絶縁性を有する下側プレート３２１Ｂが設置されている。そして、この下側プレート３２１Ｂの表面には、導電性の接触部３２３Ｂが形成されている。この接触部３２３Ｂは、例えば導電性の金属薄膜から構成されている。
また、この下側加圧部材３２０Ｂの側面側には、一方の接続部としての下側コネクタ３２２Ｂが設けられている。この下側コネクタ３２２Ｂの内導体３２４Ｂは、前記下側プレート３２１Ｂの接触部３２３Ｂに電気的に接続されている。また、この下側コネクタ３２２Ｂの外導体３２５Ｂは、下側加圧部材３２０Ｂに電気的に接続されている。
【００４９】
なお、この下側加圧部材３２０Ｂの側面（下側コネクタ３２２Ｂが設けられた側とは反対側の側面）には、ガイド３２６Ｂが着脱可能に設けられている。このガイド３２６Ｂは、電磁波対策部材９００の位置決めを行うものであり、下側加圧部材３２０Ｂの下側プレート３２１Ｂの表面にも被さるようになっている。このガイド３２６Ｂは、電磁波対策部材９００の位置決めのために、表面視略コ字形状になっている。
なお、前記ガイド３２６Ｂの厚さ寸法より薄い電磁波対策部材９００の高周波特定を測定する場合、ガイド３２６Ｂが存在すると、上側加圧部材３２０Ａの接触部３２３Ａが電磁波対策部材９００に接触できないので、そのような場合のために、ガイド３２６Ｂは取り外しておく。
【００５０】
一方、前記ヘッド部３１０のスピンドル３１１の下端には、上側加圧部材３２０Ａが設けられている。この上側加圧部材３２０Ａは導電性を有する金属製であり、図１６（Ａ）に示すように、その表面には、絶縁性を有する上側プレート３２１Ａが設置されている。そして、この上側プレート３２１Ａの表面には、導電性の接触部３２３Ａが形成されている。この接触部３２３Ａは、例えば導電性の金属薄膜から構成されている。
また、この上側加圧部材３２０Ａの側面側には、他方の接続部としての上側コネクタ３２２Ａが設けられている。この上側コネクタ３２２Ａの内導体３２４Ａは、前記上側プレート３２１Ａの接触部３２３Ａに電気的に接続されている。また、この上側コネクタ３２２Ａの外導体３２５Ａは、上側加圧部材３２０Ａに電気的に接続されている。
【００５１】
さらに、かかる上側加圧部材３２０Ａの正面及び背面には、上側加圧部材３２０Ａと下側加圧部材３２０Ｂとを電気的に接続する加圧部材間接続部材３３０が設けられている。この加圧部材間接続部材３３０は、第１及び第２の実施の形態に係る電磁波対策部材の高周波特性測定用治具１００、２００とは違って、上側加圧部材３２０Ａと下側加圧部材３２０Ｂとは最初から電気的に接続されているのではなく、上側加圧部材３２０Ａが測定位置にあって初めて電気的に接続されるようになる。
【００５２】
なお、この上側加圧部材３２０Ａの幅寸法（正面と背面との間の奥行き寸法）は、下側加圧部材３２０Ｂのそれより若干大きく設定されている。このため、上側加圧部材３２０Ａを測定位置にスライドさせたとしても、そのままの状態では、加圧部材間接続部材３３０は下側加圧部材３２０Ｂには接触しないようになっている。この幅寸法の違いは、加圧部材間接続部材３３０のスムーズなスライドと、加圧部材間接続部材３３０による上側加圧部材３２０Ａと下側加圧部材３２０Ｂとの接続を確実にするためである。
【００５３】
加圧部材間接続部材３３０による上側加圧部材３２０Ａと下側加圧部材３２０Ｂとの接続を確実にするために、下側加圧部材３２０Ｂの正面側と背面側とには押付部材３９０が設けられている。この押付部材３９０は、ノブ３９１を操作することで、下側加圧部材３２０Ｂの正面及び側面に対して接離移動し、下側加圧部材３２０Ｂに接近した場合には、加圧部材間接続部材３３０を下側加圧部材３２０Ｂの正面及び背面に対して圧接させる。なお、この押付部材３９０には図示しないバネ部材が組み込まれており、このバネ部材の弾性力によって、加圧部材間接続部材３３０を下側加圧部材３２０Ｂに対して圧接させるようになっている。
【００５４】
前記スライド部３５０は、前記一対の加圧部材である上側加圧部材３２０Ａと下側加圧部材３２０Ｂとで電磁波対策部材９００を挟み込むことができる測定位置と、前記上側加圧部材３２０Ａと下側加圧部材３２０Ｂで電磁波対策部材９００を挟み込むことができない退避位置との間で前記加圧機構を移動させることができる移動機構である。
【００５５】
このスライド部３５０は、ステージ部３４０に設けられた案内部３５２と、この案内部３５２の上端をスライドする保持部３５１と、この保持部３５１をスライドさせる駆動部３５３とを有している。
このスライド部３５０は、ヘッド部３１０を下側加圧部を３２０Ｂの真上と下側加圧部材３２０Ｂから外れる位置との間で移動させるものである。ヘッド部３１０が下側加圧部材３２０Ｂの真上に位置する状態を測定位置、ヘッド部３１０が下側加圧部材３２０Ｂの真上から外れた状態を退避位置とする。
【００５６】
前記保持部３５１は、先端側にヘッド部３１０を保持するための保持穴が開設されている。この保持穴でヘッド部３１０のスリーブ部３１２の下端を保持することになる。
この保持部３５１は、後端側で前記案内部３５２の上端部３５２Ａにスライド可能に連結されており、この案内部３５２に沿って水平方向にスライドすることができるようになっている。
【００５７】
前記案内部３５２は、ステージ部３４０の上に設けられており、ステージ部３４０に対して垂直になった垂直部３５２Ｂと、この垂直部３５２Ｂの上端から９０度折れ曲がった方向に突出された上端部３５２Ａが一体に構成されたものである。前記上端部３５２Ａには、図示しないレール構造が設けられており、このレール構造によって前記保持部３５１が案内部３５２に沿って水平方向にスライドすることになる。
また、前記案内部３５２の終端側には、測定位置に達した保持部３５１が接触するストッパ部３５２Ｃが設けられている。なお、このストッパ部３５２Ｃは、その位置を変化させることができるようになっている。
【００５８】
前記駆動部３５３は、保持部３５１に連結された略クランク状のアーム部３５３Ａと、このアーム部３５３Ａを動かすレバー部３５３Ｂと、このレバー部３５３Ｂを支持するアングル３５３Ｃを有している。このレバー部３５３Ｂの図１２及び図１５に示す矢印Ａの動きが、アーム部３５３Ａを介して保持部３５１に伝えられ、保持部３５１に保持されたヘッド部３１０が測定位置と退避位置との間をスライドするのである。
なお、前記アングル３５３Ｃは、ステージ部３４０に架台３５３Ｄを介して取り付けられている。
【００５９】
このように構成された電磁波対策部材の高周波特性測定用治具３００による電磁波対策部材９００の高周波特性の測定手順について説明する。
【００６０】
駆動部３５３を操作して、ヘッド部３１０を退避位置へと移動させる。すなわち、上側加圧部材３２０Ａを下側加圧部材３２０Ｂの真上から外れた退避位置へと位置させる。なお、この上側加圧部材３２０Ａの退避位置への移動の際には、押付部材３９０は下側加圧部材３２０Ｂの正面及び側面から離しておく。
この状態で、下側加圧部材３２０Ｂの上に電磁波対策部材９００を載置する。この際、ガイド３２６Ｂがあるので，電磁波対策部材９００は下側加圧部材３２０Ｂの接触部３２３Ｂに対して常に同じように接触するので、毎回同じ条件下で測定できるようになる。
なお、ガイド３２６Ｂより薄い電磁波対策部材９００の高周波特性を測定する場合には、ガイド３２６Ｂは取り外しておく。
【００６１】
次に、駆動部３５３を操作して、ヘッド部３１０を測定位置へと移動させる。この状態でノブ３９１を操作して、押付部材３９０を下側加圧部材３２０Ｂの正面及び側面へと近接移動させ、押付部材３９０よって加圧部材間接続部材３３０を下側加圧部材３２０Ｂに対して圧接させる。
この状態でヘッド部３１０の操作によりスピンドル３１１を押し下げて、上側加圧部材３２０Ａを電磁波対策部材９００に押し当てて圧力を加える。電磁波対策部材９００に対して所定の圧力が加わった状態で、高周波信号を与え、電磁波対策部材９００の高周波特性を測定する。
【００６２】
この電磁波対策部材９００の高周波特性の測定の際の高周波信号である電流は、測定装置→上側コネクタ３２２Ａの内導体３２４Ａ→上側加圧部材３２０Ａの接触部３２３Ａ→電磁波対策部材９００→下側加圧部材３２０Ｂの接触部３２３Ｂ→下側コネクタ３２２Ｂの内導体３２４Ｂ→測定装置→下側コネクタ３２２Ｂの外導体３２５Ｂ→下側加圧部材３２０Ｂ→加圧部材間接続部材３３０→上側加圧部材３２０Ａ→上側コネクタ３２２Ａの外導体３２５Ａ→測定装置の順又はその逆で流れる。
【００６３】
ここで、電磁波対策部材９００に対して加えられた圧力は、ヘッド部３１０によって電磁波対策部材９００が圧縮された度合い、すなわちヘッド部３１０によって示された電磁波対策部材９００の厚さ寸法によって示される。
【００６４】
この電磁波対策部材の高周波特性測定用治具３００によれば、ヘッド部３１０によって電磁波対策部材９００の厚さ寸法を変化させて高周波特性を測定することができるので、実際での使用状況とほぼ同一の状況下での高周波特性を測定することが可能になっている。
なお、上側加圧部材３２０Ａの接触部３２３Ａと、下側加圧部材３２０Ｂの接触部３２３Ｂとを接続させた際の伝送線路は５０Ωに設定しておくことが望ましい。
【００６５】
なお、上述した第１、第２と第３の実施の形態では、電磁波対策部材９００に圧力を加える加圧機構として、マイクロメーターのヘッド部１１０、２１０、３１０を用いたが、本発明がこれに限定されるものでないことは言うまでもない。他の加圧機構、例えば重り等で荷重を加えるような機構であってもよいし、ナットとこれに螺合するボルトとを用い、ナットの先端で圧力を加えるような機構であってもよい。
【００６６】
また、上述した第１、第２及び第３の実施の形態では、上側加圧部材１２０Ａ、２２０Ａ、３２０Ａのみが下側加圧部材１２０Ｂ、２２０Ｂ、３２０Ｂに対して近接移動するようになっていたが、本発明がこれに限定されるものでないことは言うまでもない。上側加圧部材１２０Ａ、２２０Ａ、３２０Ａが固定され、下側加圧部材１２０Ｂ、２２０Ｂ、３２０Ｂが上側加圧部材１２０Ａ、２２０Ａ、３２０Ａに対して近接移動するように構成されていてもよいし、上側加圧部材１２０Ａ、２２０Ａ、３２０Ａと下側加圧部材１２０Ｂ、２２０Ｂ、３２０Ｂとが共に移動することができるような構成であってもよい。
【符号の説明】
【００６７】
１１０    ヘッド部（加圧機構）
１２０Ａ  上側加圧部材
１２０Ｂ  下側加圧部材
１３０    加圧部材間接続部材
９００    電磁波対策部材
【図１】
2014235028.tif 000003
【図２】
2014235028.tif 000004
【図３】
2014235028.tif 000005
【図４】
2014235028.tif 000006
【図５】
2014235028.tif 000007
【図６】
2014235028.tif 000008
【図７】
2014235028.tif 000009
【図８】
2014235028.tif 000010
【図９】
2014235028.tif 000011
【図１０】
2014235028.tif 000012
【図１１】
2014235028.tif 000013
【図１２】
2014235028.tif 000014
【図１３】
2014235028.tif 000015
【図１４】
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【図１５】
2014235028.tif 000017
【図１６】
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