(57)【要約】【課題】製造ラインを停止することなく連続的に鋼板の磁区構造を可視化検査すること。【解決手段】本発明の鋼板検査装置１は、鋼板２の製造ラインの板幅方向に架渡された中心軸３と、鋼板２と中心軸３との距離が一定となるように鋼板２を押え付けながら中心軸３を中心に回転するロール４と、鋼板２に近接され、鋼板２の磁区構造を光学特性として検出可能な磁気光学素子５と、中心軸３に固定され、磁気光学素子５を中心軸３から一定の距離に保つ固定治具６と、磁気光学素子５に直線偏光を照射するための光源と、磁気光学素子５に転写された鋼板２の磁区構造に応じて偏光面が回転された直線偏光を検出する検出器７を備えることを特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
鋼板の製造ラインの板幅方向に架渡された中心軸と、
前記鋼板と前記中心軸との距離が一定となるように前記鋼板を押え付けながら前記中心軸を中心に回転するロールと、
前記鋼板に近接され、前記鋼板の磁区構造を光学特性として検出可能な磁気光学素子と、
前記中心軸に固定され、前記磁気光学素子を前記中心軸から一定の距離に保つ固定治具と、
前記磁気光学素子に直線偏光を照射するための光源と、
前記磁気光学素子に転写された前記鋼板の磁区構造に応じて偏光面が回転された前記直線偏光を検出する検出器と、
を備えることを特徴とする鋼板検査装置。
【請求項２】
前記磁気光学素子は、前記鋼板に面する方向から順に、保護膜、反射膜、磁気光学膜、および基板により構成され、
前記直線偏光は、前記基板側から入射され、前記反射膜にて反射される、
ことを特徴とする請求項１に記載の鋼板検査装置。
【請求項３】
前記磁気光学膜は、磁性ガーネットを組成に含むことを特徴とする請求項２に記載の鋼板検査装置。
【請求項４】
前記ロールは、同一の前記中心軸に対して複数設けられ、前記磁気光学素子が近接する前記鋼板の位置の両側を押え付ける、
ことを特徴とする請求項１〜３の何れか１項に記載の鋼板検査装置。
【請求項５】
前記固定治具は、さらに前記光源、偏光子、ハーフミラー、検光子、および前記検出器を保持し、
前記光源から射出された光線は、前記偏光子、前記ハーフミラー、前記磁気光学素子、前記ハーフミラー、前記検光子、および前記検出器の順に伝播されることを特徴とする請求項１〜４の何れか１項に記載の鋼板検査装置。
【請求項６】
鋼板の製造ラインの板幅方向に架渡された中心軸に回転可能に設けられたロールにより、前記鋼板と前記中心軸との距離が一定となるように前記鋼板を押え付けるステップと、
前記中心軸に固定された固定治具により前記中心軸から一定の距離に保ちながら前記鋼板に近接された磁気光学素子に前記鋼板の磁区構造を転写するステップと、
前記磁気光学素子に直線偏光を照射することにより前記磁気光学素子に転写された前記鋼板の磁区構造を前記直線偏光の偏光面の回転に変換するステップと、
前記磁気光学素子から反射された前記直線偏光の偏光面の回転を検出するステップと、
を含むことを特徴とする鋼板検査方法。
【請求項７】
前記磁気光学素子は、前記鋼板に面する方向から順に、保護膜、反射膜、磁気光学膜、および基板により構成され、
前記直線偏光は、前記基板側から入射され、前記反射膜にて反射される、
ことを特徴とする請求項６に記載の鋼板検査方法。
【請求項８】
前記磁気光学膜は、磁性ガーネットを組成に含むことを特徴とする請求項７に記載の鋼板検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、鋼板検査装置および鋼板検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
電磁鋼板は、透磁率が高くて鉄損が少ないという磁気特性に優れた鋼板である。例えば、方向性電磁鋼板は、変圧器のコアに多く用いられている。変圧器のコアに巻かれた電線に流れる交流電流は、コアの内部に交流磁場を発生させ、一般に鋼板内に交流磁場が印加された場合には、渦電流損とヒステリシス損とが生じる。電磁鋼板では、これら渦電流損およびヒステリシス損を低減することが要請されている。
【０００３】
鋼板内に交流磁場が印加された際の渦電流損の発生は不可避であり、周波数が高いほど渦電流損は大きくなる。この渦電流損に影響を与える因子の一つとして鋼板の磁区の幅があり、この幅が狭いほど、渦電流損を低減することができる。このように鋼板の磁気特性と磁区の形状とは、非常に深い結びつきがあることが知られている。
【０００４】
そこで、方向性電磁鋼板の製造工程では、渦電流損を低減するために、磁区を細分化する手法（磁区細分化処理）が施されている。方向性電磁鋼板の磁区は圧延方向に延びており、この磁区を横切る方向に歪みを入れたり、溝を形成したりすることにより、磁区を細分化することができる。歪みを入れる方法としては、例えば、レーザや電子ビームなどを磁区を横切る方向に照射して、熱歪みを与える方法が知られている。この磁区細分化処理が適切に施されているか否かを検査するために、磁区構造を観察する技術が知られている（特許文献１および２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００７−１０１５１９号公報
【特許文献２】特開２００２−２５７７１８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、従来の検査技術では、磁区細分化処理が施された鋼板の磁区構造を磁区細分化処理直後に直ちに検出することができず、別途鋼板をサンプリングしてオフラインで検査する必要があった。例えば、特許文献１に記載の検査技術では、磁性粉が溶液中を移動して磁区構造を反映した像を形成するのに時間が必要である。このため、磁区細分化処理にて不具合が発生した場合でも、その不具合が検出されるまでに長時間を要するため、不適合品を製造し続けることによる歩留まりの低下が発生してしまう。また、特許文献２に記載の検査技術は磁気光学効果を利用するものであるが、光ビームスポットを形成して、この光ビームスポットを１次元または２次元走査して磁区の検査を行うので、製造ライン上での検査としては長時間の検査時間が必要となってしまう。しかも、鋼板などの製造ラインには、板厚を薄くするための圧延ロールに代表されるように、非常に多くの金属製のロールが使用されている。一方、鋼板の表面を検査するためには、板の表面性状が安定していることが求められる。特許文献２のような光学特性を用いた表面検査では、鋼板の平坦度が重要となり、磁気特性を用いた表面検査では、鋼板の表面とセンサ間の距離（リフトオフ）を一定に保つことが重要となる。そのため、鋼板の表面検査では、ロールの配置を工夫して鋼板のパスラインを持ち上げることにより張力を持たせて鋼板の表面が平坦となる状況で検査したり、ロールに鋼板が巻きついて張力がかかっている状況で検査したりするなどの工夫がなされているが、磁区構造を検出する場合には、距離制御の精度が不十分であり、検出結果が安定しないという問題があった。
【０００７】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、その目的は、製造ラインを停止することなく連続的に鋼板の磁区構造を安定的にかつ、直ちに検出することができる鋼板検査装置および鋼板検査方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明にかかる鋼板検査装置は、鋼板の製造ラインの板幅方向に架渡された中心軸と、前記鋼板と前記中心軸との距離が一定となるように前記鋼板を押え付けながら前記中心軸を中心に回転するロールと、前記鋼板に近接され、前記鋼板の磁区構造を光学特性として検出可能な磁気光学素子と、前記中心軸に固定され、前記磁気光学素子を前記中心軸から一定の距離に保つ固定治具と、前記磁気光学素子に直線偏光を照射するための光源と、前記磁気光学素子に転写された前記鋼板の磁区構造に応じて偏光面が回転された前記直線偏光を検出する検出器とを備えることを特徴とする。
【０００９】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明にかかる鋼板検査方法は、鋼板の製造ラインの板幅方向に架渡された中心軸に回転可能に設けられたロールにより、前記鋼板と前記中心軸との距離が一定となるように前記鋼板を押え付けるステップと、前記中心軸に固定された固定治具により前記中心軸から一定の距離に保ちながら前記鋼板に近接された磁気光学素子に前記鋼板の磁区構造を転写するステップと、前記磁気光学素子に直線偏光を照射することにより前記磁気光学素子に転写された前記鋼板の磁区構造を前記直線偏光の偏光面の回転に変換するステップと、前記磁気光学素子から反射された前記直線偏光の偏光面の回転を検出するステップとを含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明にかかる鋼板検査装置および鋼板検査方法は、製造ラインを停止することなく連続的に鋼板の磁区構造を安定的にかつ、直ちに検出することができ、磁区細分化に不具合を生じた場合でも迅速に発見できるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】図１は、本発明の第１実施形態にかかる鋼板検査装置を示す概略構成図である。
【図２】図２は、ロールの構成例を示す断面図である。
【図３】図３は、磁気光学素子の構成例を示す断面図である。
【図４】図４は、固定治具の構成例を示す部分構成図である。
【図５】図５は、本発明の第１実施形態にかかる鋼板検査装置の断面図である。
【図６】図６は、本発明の第１実施形態にかかる鋼板検査装置における磁気光学素子の近傍のみを抽出した模式図である。
【図７】図７は、本発明の第２実施形態にかかる鋼板検査装置を示す概略構成図である。
【図８】図８は、本発明の第２実施形態にかかる鋼板検査装置を同一製造ラインに複数設ける配置例を示す模式図である。
【図９】図９は、本発明の実施形態にかかる鋼板検査装置による方向性電磁鋼板の検査画像の例を示す画像である。
【図１０】図１０は、磁区不連続部の幅の測定を行った長手方向に関する測定結果の変化を記録したグラフである。
【図１１】図１１は、磁区幅の１０００ｍごとの平均値の長手方向に関する測定結果の変化を記録したグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下に、本発明の実施形態にかかる鋼板検査装置および鋼板検査方法を図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下に説明する実施形態により本発明が限定されるものではない。
【００１３】
〔第１実施形態〕
図１は、本発明の第１実施形態にかかる鋼板検査装置１を示す概略構成図である。図１に示されるように、本発明の第１実施形態にかかる鋼板検査装置１は、鋼板２の製造ラインの板幅方向に架渡された中心軸３と、鋼板２と中心軸３との距離が一定となるように鋼板２を押え付けながら中心軸３を中心に回転するロール４とを備える。
【００１４】
さらに、本発明の第１実施形態にかかる鋼板検査装置１は、鋼板２に近接され、鋼板２の磁区構造を光学特性として検出可能な磁気光学素子５と、中心軸３に固定され、磁気光学素子５を中心軸３から一定の距離に保つ固定治具６とを備える。また、固定治具６は、別途図示する光源、偏光子、ハーフミラー、ならびに検光子、および検出器７を保持している。
【００１５】
図１に示されるように、本発明の第１実施形態にかかる鋼板検査装置１では、中心軸３が鋼板２の製造ラインの板幅方向に架渡されて、軸受８により固定されている。すなわち、中心軸３は、それ自身が回転することはなく、ロール４のみが中心軸３を中心に回転する。例えば、ロール４は、図２に示されるように、中心にベアリング９を備え、ベアリング９を介して中心軸３を中心に回転可能に保持されている。図２は、ロール４の構成例を示す断面図である。
【００１６】
ロール４は、半径が一定であることにより、鋼板２と中心軸３との距離を一定に保ちながら回転する。一方、図１に示されるように、鋼板２に関してロール４の反対側に、鋼板２の垂れ下がり防止のためのロール１０を設けることが好ましい。鋼板２を押え付けるロール４と垂れ下がり防止のためのロール１０とにより鋼板２を表裏から保持することにより、より安定的に鋼板２と中心軸３との距離が一定に保たれる。なお、垂れ下がり防止のためのロール１０を設けず、鋼板２に張力を加えて鋼板２の垂れ下がりを防止する方法も可能である。なお、ロールと鋼板の間に異物が入り込まないようエアパージを行うことが好ましい。
【００１７】
磁気光学素子５は、ファラデー効果と呼ばれる磁気光学効果により鋼板２の磁区構造を光学特性へ変換する素子である。ファラデー効果とは、直線偏光を物質に透過させたときに、その物質が感じる磁場によって偏光面が回転する効果であり、このファラデー効果を奏する代表的な物質として磁性ガーネットが挙げられる。
【００１８】
図１に示されるように、鋼板２に近接して配置されることにより、鋼板２の磁区構造が磁気光学素子５に転写され、磁気光学素子５に照射される直線偏光の偏光面が回転する。なお、この磁気光学素子５に照射される偏光の偏光面の回転については、後に図６を参照しながらより詳細に説明を行う。
【００１９】
図３は、磁気光学素子５の構成例を示す断面図である。図３に示されるように、磁気光学素子５は、鋼板２に面する方向から順に、保護膜５ａ、反射膜５ｂ、磁気光学膜５ｃ、および基板５ｄにより構成される。なお、磁気光学膜５ｃは、磁性ガーネットを組成に含むことが好ましい。この磁気光学素子５に照射される偏光は、基板５ｄに入射され、磁気光学膜５ｃを透過し、反射膜５ｂにて反射した後、再度磁気光学膜５ｃおよび基板５ｄを透過して、磁気光学素子５から射出される。
【００２０】
図４は、固定治具６の構成例を示す部分構成図である。図４に示されるように、固定治具６は、中心軸３に固定され、磁気光学素子５を中心軸３から一定の距離に保つ機能を有する。さらに、固定治具６は、光源１１、偏光子（偏光フィルター）１２、ハーフミラー１３、検光子（偏光フィルター）１４、および検出器７を保持する機能を有する。また、磁気光学素子５を保持するホルダ１５は、磁気光学素子５と中心軸３との距離を微調整するための調節機構を備えている。
【００２１】
光源１１は、磁気光学素子５に直線偏光を照射するためのものであり、例えば半導体レーザ光源またはＬＥＤ光源など一般的光源が用いられる。光源１１は、直接的に偏光を射出する光源である必要はなく、偏光子（偏光フィルター）１２と組合わせて磁気光学素子５に照射する直線偏光を発生させる。また、光源１１は、偏光を平行光として射出し得るように、コリメータレンズなど光学素子を有する。
【００２２】
偏光子１２は、光源１１から射出された光線を直線偏光に変換する偏光フィルターである。偏光子１２は、検光子１４との相対的角度を調整することにより、検出器７にて検出される偏光の調整を行う。すなわち、偏光子１２は、回転機構を有し、直線偏光の偏光面の角度を調整することができる。なお、検光子１４に回転機構を有した場合、偏光子１２における回転機構は省略可能である。
【００２３】
ハーフミラー１３は、偏光子１２を透過した直線偏光を磁気光学素子５へ導き、磁気光学素子５から反射される反射偏光を検出器７へ導く光路分割手段である。検光子１４は、先述の偏光子１２との相対的角度を調整することにより、検出器７にて検出される偏光の調整を行う。検出器７は、いわゆるＣＣＤカメラまたはＣＭＯＳカメラなど一般的な２次元画像取得装置である。
【００２４】
固定治具６は、これら磁気光学素子５、光源１１、偏光子（偏光フィルター）１２、ハーフミラー１３、検光子（偏光フィルター）１４、および検出器７が適切に機能する配置を維持し得るように保持する。なお、本発明の第１実施形態にかかる固定治具６は、磁気光学素子５、光源１１、偏光子（偏光フィルター）１２、ハーフミラー１３、検光子（偏光フィルター）１４、および検出器７の全てを保持するよう構成された例であるが、磁気光学素子５以外は、別途の固定手段によって固定することも可能である。すなわち、ミラーまたは光ファイバーなどを用いて光路を外部へ導き、検出器７および光源１１などの構成要素を図４に図示された位置とは異なる位置に設けることも可能である。
【００２５】
なお、図４には図示されないレンズ等の光学素子より、磁気光学素子５に照射される直線偏光は平行光束となるように調整されている。また、磁気光学素子５に照射される際の光束径が磁気光学素子５の大きさに一致することが好ましい。さらに、磁気光学素子５から検出器７までの光学系は、テレセントリック光学系となるように設計されている。
【００２６】
図５は、本発明の第１実施形態にかかる鋼板検査装置１の断面図である。図５に示されるように、本発明の第１実施形態にかかる鋼板検査装置１では、固定治具６により磁気光学素子５が中心軸３から一定の距離に保たれ、その一定の距離は、ロール４の半径より若干短い。例えば、この中心軸３から磁気光学素子５までの距離とロール４の半径との差は、１００μｍである。本発明の実施形態にかかる鋼板検査装置１は、上述のような構成を有することにより、ロール４の回転によらずに、鋼板２と磁気光学素子５との間が近接した状態、つまり１００μｍの距離を保つことができる。
【００２７】
次に、図６を参照しながら、本発明の第１実施形態にかかる鋼板検査装置１における磁気光学素子５の作用について説明する。図６は、本発明の第１実施形態にかかる鋼板検査装置１における磁気光学素子５の近傍のみを抽出した模式図である。なお、図６では、記載を容易にするために作用の説明に必要とされない構成要素は省略されている。
【００２８】
図６に示されるように、磁気光学素子５の反射膜５ｂおよび磁気光学膜５ｃは、鋼板２に近接されて配置しているが、鋼板２とは接触していない。一方、鋼板２は、ロール４により磁気光学素子５の両側にて押し付けられている。したがって、ロール４の回転に伴って鋼板２は製造ライン上を通板することができるが、磁気光学素子５は、鋼板２に近接された状態を維持される。
【００２９】
上記のように、磁気光学素子５が鋼板２に近接した状態（上記例では鋼板２と磁気光学素子５との距離が１００μｍ）では、鋼板２の磁区構造が磁気光学膜５ｃに転写される。そして、磁気光学素子５に対して磁気光学膜５ｃ側から入射された偏光Ｐは、反射膜５ｂにて反射されて磁気光学素子５から射出する間に、磁気光学膜５ｃ内を往復する。結果、偏光Ｐは、磁気光学膜５ｃによるファラデー効果により偏光面が回転する。なお、上記のように、偏光Ｐを反射膜５ｂにて反射されて磁気光学膜５ｃ内を往復させることにより、偏光Ｐの偏光面の回転量は増幅される。また、磁気光学膜５ｃは、磁性ガーネットを組成に含むことが好ましい。
【００３０】
〔第２実施形態〕
次に、本発明の第２実施形態にかかる鋼板検査装置１について説明する。図７は、本発明の第２実施形態にかかる鋼板検査装置１を示す概略構成図である。
【００３１】
図７に示されるように、本発明の第２実施形態にかかる鋼板検査装置１も、第１実施形態と同様に、鋼板２の製造ラインの板幅方向に架渡された中心軸３と、鋼板２と中心軸３との距離が一定となるように鋼板２を押え付け中心軸３を中心に回転するロール４とを備える。図７に示されるように、第２実施形態にかかる鋼板検査装置１のロール４は、同一の中心軸３に複数設けられている。すなわち、第２実施形態にかかる鋼板検査装置１のロール４は、所定の間隔を隔てて複数に分割され同一の中心軸３に設けられている。
【００３２】
また、本発明の第２実施形態にかかる鋼板検査装置１は、各ロール４の間隙に、鋼板２に近接され、鋼板２の磁区構造を光学特性として検出可能な磁気光学素子５と、中心軸３に固定され、磁気光学素子５を中心軸３から一定の距離に保つ固定治具６とを備える。
【００３３】
なお、第２実施形態においても、図２に示されるように、各ロール４の中心にベアリング９が設けられていることにより、中心軸３自体は回転することなく、各ロール４が独立して回転可能となっている。さらに、各ロール４の間隙に設けられた磁気光学素子５および固定治具６のそれぞれは、第１実施形態における磁気光学素子５および固定治具６と共通構成であるので、ここでは説明を省略する。
【００３４】
図８は、本発明の第２実施形態にかかる鋼板検査装置１を同一製造ラインに複数設ける配置例を示す模式図である。図８に示されるように、各鋼板検査装置１におけるロール４の位置をずらすことにより、各鋼板検査装置１の検査領域を相互にずらすことにより、鋼板２の多くの位置にて検査が可能になる。
【００３５】
〔効果〕
以下、本発明の実施形態にかかる鋼板検査装置１による効果の検証について説明する。以下に説明する効果の検証において使用された鋼板検査装置１は、ロール４の径が４００ｍｍであり、材質がステンレス（非磁性金属）である。
【００３６】
ロール４は、同一の中心軸３に４個設けられており、ロール４の間に磁気光学素子５および固定治具６を配置する構成である。つまり、以下に説明する効果の検証において使用された鋼板検査装置１は、図７に示された構成となっている。また、一つのロール４の幅は５００ｍｍであり、ロール４間の間隔は２５ｍｍである。また、検査対象は幅が１８００ｍｍの方向性電磁鋼板である。
【００３７】
磁気光学素子５における磁気光学膜５ｃは、磁性ガーネットの例としてＢｉ置換した鉄ガーネットが用いられている。そして、磁性ガーネットによるファラデー効果を視認しやすくするために、光源１１は、緑色ＬＥＤ光源（波長５０５ｎｍ）と偏光フィルタと組合わせて用い、検出器７にはＣＣＤカメラが用いられている。
【００３８】
図９は、本発明の実施形態にかかる鋼板検査装置１による方向性電磁鋼板の検査画像の例を示す画像である。なお、図９に示される画像は、方向性電磁鋼板の検査画像における圧延方向１０ｍｍ×板幅方向１０ｍｍを切り取ったものである。
【００３９】
図９に示されるように、方向性電磁鋼板には、電子ビームまたはレーザを照射させた部分には、圧延方向を向いた主磁区を分断するように還流磁区（以下、磁区不連続部）が形成される。磁区不連続部の幅は、鉄損と良い相関があることが明らかになっている。磁区不連続部は周囲の磁区とは磁気特性が異なっており、本発明の実施形態にかかる鋼板検査装置１を用いれば、磁区不連続部の幅の測定を行うことができることが図９から解る。
【００４０】
磁区不連続部の幅が１５０μｍ〜３００μｍであるとき、鋼板の鉄損が小さくなるという実験結果がある（例えば特開２０１２−５２２３０号公報参照）。また、細分化された磁区の幅が小さくなるほど励磁した際の磁壁の移動距離が短くなり、これに伴う損失も小さくなり、例えば、磁区の幅を２００μｍ以下とすることが好ましい。このような、磁区不連続部の幅や磁区の幅を評価する場合、それぞれの幅を測定してもよいが、ある区間について測定した平均値により評価するのが一般的である。図８に示される磁区不連続部の幅は約２００μｍであることが解り、適正範囲内の磁区不連続部が形成されていることが解る。このように、本発明の実施形態にかかる鋼板検査装置１および鋼板検査方法を用いれば、鋼板Ｓの品質評価が可能である。
【００４１】
図１０および図１１は、本発明の実施形態にかかる鋼板検査装置１を用いて方向性電磁鋼板の測定を行った長手方向（圧延方向）に関する測定結果の変化を記録したグラフである。図１０は、磁区不連続部の幅の測定を行った長手方向に関する測定結果の変化を記録したグラフであり、図１１は、磁区幅の１０００ｍごとの平均値の長手方向に関する測定結果の変化を記録したグラフである。
【００４２】
図１０および図１１に示されるように、本発明の実施形態にかかる鋼板検査装置１によれば、方向性電磁鋼板の磁気特性に大きく影響を与える磁区および磁区不連続部の幅を検査することができるので、電磁鋼板の品質管理に大きく寄与する。
【００４３】
以上より、本発明の実施形態にかかる鋼板検査装置１は、鋼板２の製造ラインの板幅方向に架渡された中心軸３と、鋼板２と中心軸３との距離が一定となるように鋼板２を押え付けながら中心軸３を中心に回転するロール４と、鋼板２に近接され、鋼板２の磁区構造を光学特性として検出可能な磁気光学素子５と、中心軸３に固定され、磁気光学素子５を中心軸３から一定の距離に保つ固定治具６と、磁気光学素子５に直線偏光を照射するための光源と、磁気光学素子５に転写された鋼板２の磁区構造に応じて偏光面が回転された直線偏光を検出する検出器７を備えるので、製造ラインを停止することなく連続的に鋼板の磁区構造を可視化検査することができる。
【００４４】
また、本発明の実施形態にかかる磁気光学素子５は、鋼板２に面する方向から順に、保護膜５ａ、反射膜５ｂ、磁気光学膜５ｃ、および基板５ｄにより構成され、直線偏光が、基板５ｄ側から入射され、反射膜５ｂにて反射されるので、入射された直線偏光が磁気光学膜５ｃを往復することにより、ファラデー効果を２倍得ることができる。また、磁気光学膜５ｃは、磁性ガーネットを組成に含むことが好ましい。
【００４５】
本発明の実施形態にかかる鋼板検査装置１のロール４は、同一の中心軸３に対して複数設けられ、磁気光学素子５が近接する鋼板２の位置の両側を押え付けるので、鋼板２の振動を確実に抑制し、安定して磁気光学素子５を鋼板２に近接させることができる。
【符号の説明】
【００４６】
１  鋼板検査装置
２  鋼板
３  中心軸
４  ロール
５  磁気光学素子
５ａ  保護膜
５ｂ  反射膜
５ｃ  磁気光学膜
５ｄ  基板
６  固定治具
７  検出器
８  軸受
９  ベアリング
１０  ロール
１１  光源
１２  偏光子
１３  ハーフミラー
１４  検光子
１５  ホルダ
【図１】
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【図２】
2014070973.tif 000004
【図３】
2014070973.tif 000005
【図４】
2014070973.tif 000006
【図５】
2014070973.tif 000007
【図６】
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【図７】
2014070973.tif 000009
【図８】
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【図１０】
2014070973.tif 000011
【図１１】
2014070973.tif 000012
【図９】
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