(57)【要約】【課題】磁気ディスク検査装置において、検査装置の床面積を小さくすることと、検査のスループットを高く維持することの両方を満たすようにする。【解決手段】  磁気ディスクの検査装置を、第１のグライド検査ユニットと第１のサーティファイ検査ユニットと磁気ディスクを載置して回転可能な第１のスピンドル軸とを備えた第１の検査ユニットと、第２のグライド検査ユニットと第２のサーティファイ検査ユニットと磁気ディスクを載置して回転可能な第２のスピンドル軸とを備えた第２の検査ユニットとを備えて構成し、第１のグライド検査ユニットと第１のサーティファイ検査ユニットとの並びが第２のグライド検査ユニットと第２のサーティファイ検査ユニットとの並びと平行になるようにして設置し、第２のスピンドル軸の磁気ディスクを載置する面は第１のスピンドル軸の磁気ディスクを載置する面よりも高い位置に設置するようにした。【選択図】図４Ｂ
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気ディスクの表面の突起の検査を行う第１のグライド検査ユニットと磁気ディスクへの書き込み・読み出しの検査を行う第１のサーティファイ検査ユニットと磁気ディスクを載置して回転可能な第１のスピンドル軸と該第１のスピンドル軸を回転駆動する第１のスピンドル軸駆動モータとを備えた第１の検査ユニットと、
磁気ディスクの表面の突起の検査を行う第２のグライド検査ユニットと磁気ディスクへの書き込み・読み出しの検査を行う第２のサーティファイ検査ユニットと磁気ディスクを載置して回転可能な第２のスピンドル軸と該第２のスピンドル軸を回転駆動する第２のスピンドル軸駆動モータとを備えた第２の検査ユニットと
を備えた磁気ディスクの検査装置であって、
前記第１の検査ユニットと前記第２の検査ユニットとは、前記第１のグライド検査ユニットと前記第１のサーティファイ検査ユニットとの並びが前記第２のグライド検査ユニットと前記第２のサーティファイ検査ユニットとの並びと平行になるようにして隣接して設置され、前記第２のスピンドル軸の前記磁気ディスクを載置する面は前記第１のスピンドル軸の前記磁気ディスクを載置する面よりも高い位置に設置されていることを特徴とする磁気ディスク検査装置。
【請求項２】
請求項１に記載の磁気ディスク検査装置であって、前記第１の検査ユニットの第１のグライド検査ユニットと前記第２の検査ユニットの第２のグライド検査ユニットとは、それぞれ前記磁気ディスクの両側の面のグライド検査を同時に行う１対のグライドヘッドを有し、前記第１の検査ユニットの第１のサーティファイ検査ユニットと前記第２の検査ユニットの第２のサーティファイ検査ユニットとは、それぞれ前記磁気ディスクの両側の面のサーティファイ検査を同時に行う１対のサーティファイヘッドを有していることを特徴とする磁気ディスク検査装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の磁気ディスク検査装置であって、検査前の磁気ディスクを前記第１の検査ユニット又は前記第２の検査ユニットに供給し、検査後の磁気ディスクを前記第１の検査ユニット又は前記第２の検査ユニットから搬出するハンドリングユニットを更に備え、該ハンドリングユニットは前記検査前の磁気ディスク又は前記検査後の磁気ディスクの端面を真空吸着する吸着ヘッドを有することを特徴とする磁気ディスク検査装置。
【請求項４】
請求項３に記載の磁気ディスク検査装置であって、前記ハンドリングニットは、前記吸着ヘッドで真空吸着した磁気ディスクを、前記第１の検査ユニットの前記第１のグライド検査ユニットと前記第１のサーティファイ検査ユニットとの間を通って前記第２の検査ユニットの第２のスピンドル軸に載置することを特徴とする磁気ディスク検査装置。
【請求項５】
第１の検査ユニットで第１のスピンドル軸に磁気ディスクを載置して回転させた状態で前記磁気ディスクの表面の突起の検査を行う第１のグライド検査と磁気ディスクへの書き込み・読み出しの検査を行う第１のサーティファイ検査を行い、
第２の検査ユニットで第２のスピンドル軸に磁気ディスクを載置して回転させた状態で前記磁気ディスクの表面の突起の検査を行う第２のグライド検査と磁気ディスクへの書き込み・読み出しの検査を行う第２のサーティファイ検査を行う
磁気ディスクの検査方法であって、
前記第２の検査ユニットは前記第１の検査ユニットと隣接して該第１の検査ユニットよりも高い位置に設置されており、前記第１の検査ユニットで磁気ディスクを検査中に前記第１の検査ユニットの上を通って前記第２の検査ユニットに磁気ディスクの出し入れを行うことを特徴とする磁気ディスク検査方法。
【請求項６】
請求項５に記載の磁気ディスク検査方法であって、前記第１の検査ユニットにおける第１のグライド検査と第１のサーティファイ検査とは前記磁気ディスクの両側の面について同時に検査を行い、前記第２の検査ユニットにおける第２のグライド検査と第２のサーティファイ検査とは前記磁気ディスクの両側の面について同時に検査を行うことを特徴とする磁気ディスク検査方法。
【請求項７】
請求項５又は６に記載の磁気ディスク検査方法であって、検査前の磁気ディスクを該磁気ディスクの端面を吸着ヘッドで真空吸着した状態で前記第１の検査ユニット又は前記第２の検査ユニットに供給し、検査後の磁気ディスクを該磁気ディスクの端面を吸着ヘッドで真空吸着した状態で前記第１の検査ユニット又は前記第２の検査ユニットから搬出することを特徴とする磁気ディスク検査方法。
【請求項８】
請求項７に記載の磁気ディスク検査方法であって、前記吸着ヘッドで真空吸着した磁気ディスクを、前記第１の検査ユニットの前記第１のグライド検査ユニットと前記第１のサーティファイ検査ユニットとの間を通って前記第２の検査ユニットの第２のスピンドル軸に載置することを特徴とする磁気ディスク検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気ディスクを検査する磁気ディスク検査装置に関するもので、特に、グライドテストとサーティファイヤテストとを同時に行う検査ユニットを複数備えた磁気ディスク検査方法及びその装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
磁気ディスクは、ディスク状に成形したアルミニウム（ＡＩ）又はガラスの基板の表面に磁性膜が形成され、その上に保護膜が形成されて構成されている。この磁性膜への記録密度が高密度化するにつれて、磁気ディスクに磁気データを書き込み・読み出しする磁気ヘッドの磁気ディスク表面の浮上量が小さくなってきている。磁気ディスク表面の保護膜に微小な突起が存在すると、高速に回転している磁気ディスクの表面に微小な間隔で浮上している磁気ヘッドと衝突して（クラッシュ）、磁気ディスクにダメージが発生してしまう。この衝突の発生を防ぐために、ピエゾ素子を組み込んだグライドヘッドを用いたグライド検査により磁気ディスク表面に形成された保護膜の微小な突起の検査がおこなわれる。
【０００３】
一方、磁気ディスクに形成された磁性膜の記録性能は、磁気ヘッドを用いて磁気ディスクにデータを書き込み、この書き込んだデータを磁気ヘッドで読み取るサーティファイ検査によって確認される。
【０００４】
従来、グライド検査とサーティファイ検査とは、磁気ディスクの回転数を変えて別々に行われていたが、特許文献１には、グライド検査用のヘッドに磁気ディスク表面の浮上量を調整できる機構を備えることにより、このグライド検査とサーティファイ検査とを同時に行えるようにした磁気ディスク検査装置について記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１２−１４６３５８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１に記載されている磁気ディスク検査装置においては、グライド検査とサーティファイ検査とを１台の検査装置で同時に行えるようにしたことにより、検査装置をコンパクト化して、スループットを向上させた構成が記載されている。
【０００７】
しかし、特許文献１に記載されているような装置構成において、更にスループットを向上させるために複数の検査装置をそれぞれディスクをハンドリングするユニットと組み合わせて用いて検査を行おうとすると、検査装置全体が占める床面積が大きくなってしまう。例えば、検査装置を２台用いて磁気ディスクの検査を行うときに、２台の検査装置を単に並べて用いようとすると、床面積は２倍以上必要になってしまう。
【０００８】
また、床面積を削減するために磁気ディスクをハンドリングするユニットを共通化して２台の検査装置を隣接させて検査を行う場合に、全体のスループットを高く維持するためには、一方の装置が検査中に、その検査に影響を及ぼすことなく他方の装置に磁気ディスクを出し入れできるようにしなければならない。
【０００９】
本発明は、上記した従来技術の課題を解決して、複数の検査装置を用いた場合に検査装置全体の床面積を大きくすることなく、検査のスループットを高く維持することの両方を満たすことが可能な磁気ディスク検査方法及びその装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記した課題を解決するために、本発明では、磁気ディスクの検査装置を、磁気ディスクの表面の突起の検査を行う第１のグライド検査ユニットと磁気ディスクへの書き込み・読み出しの検査を行う第１のサーティファイ検査ユニットと磁気ディスクを載置して回転可能な第１のスピンドル軸とこの第１のスピンドル軸を回転駆動する第１のスピンドル軸駆動モータとを備えた第１の検査ユニットと、磁気ディスクの表面の突起の検査を行う第２のグライド検査ユニットと磁気ディスクへの書き込み・読み出しの検査を行う第２のサーティファイ検査ユニットと磁気ディスクを載置して回転可能な第２のスピンドル軸とこの第２のスピンドル軸を回転駆動する第２のスピンドル軸駆動モータとを備えた第２の検査ユニットとを備えて構成し、第１の検査ユニットと第２の検査ユニットとは、第１のグライド検査ユニットと第１のサーティファイ検査ユニットとの並びが第２のグライド検査ユニットと第２のサーティファイ検査ユニットとの並びと平行になるようにして隣接して設置し、第２のスピンドル軸の磁気ディスクを載置する面は第１のスピンドル軸の磁気ディスクを載置する面よりも高い位置に設置するようにした。
【００１１】
そして、検査前の磁気ディスクを第１の検査ユニット又は第２の検査ユニットに供給し、検査後の磁気ディスクを第１の検査ユニット又は第２の検査ユニットから搬出するハンドリングユニットを更に備え、このハンドリングユニットは検査前の磁気ディスク又は検査後の磁気ディスクの端面を真空吸着する吸着ヘッドを有した構成した。
【００１２】
また、上記した課題を解決するために、本発明では、第１の検査ユニットで第１のスピンドル軸に磁気ディスクを載置して回転させた状態で磁気ディスクの表面の突起の検査を行う第１のグライド検査と磁気ディスクへの書き込み・読み出しの検査を行う第１のサーティファイ検査を行い、第２の検査ユニットで第２のスピンドル軸に磁気ディスクを載置して回転させた状態で磁気ディスクの表面の突起の検査を行う第２のグライド検査と磁気ディスクへの書き込み・読み出しの検査を行う第２のサーティファイ検査を行う磁気ディスクの検査方法において、第２の検査ユニットは第１の検査ユニットと隣接してこの第１の検査ユニットよりも高い位置に設置されており、第１の検査ユニットで磁気ディスクを検査中に第１の検査ユニットの上を通って第２の検査ユニットに磁気ディスクの出し入れを行うようにした。
【００１３】
そして、検査前の磁気ディスクをこの磁気ディスクの端面を吸着ヘッドで真空吸着した状態で第１の検査ユニット又は第２の検査ユニットに供給し、検査後の磁気ディスクをこの磁気ディスクの端面を吸着ヘッドで真空吸着した状態で第１の検査ユニット又は第２の検査ユニットから搬出するようにした。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、磁気ディスク検査装置において、複数の検査ユニットを用いても全体の床面積をあまり大きくすることなく、検査のスループットを高く維持することを、同時に実現することができるようになった。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の実施例に係る磁気ディスク検査システムの概略の構成を示すブロック図である。
【図２Ａ】本発明の実施例に係る磁気ディスク検査システムにおいて、未検査の磁気ディスクを収納したカセットから磁気ディスクを吸着ヘッドで真空吸着して取り出す状態を示したカセットと吸着ヘッドの側面の断面図である。
【図２Ｂ】本発明の実施例に係る磁気ディスク検査システムにおいて、磁気ディスクを吸着ヘッドで真空吸着した状態を示す、磁気ディスクと吸着ヘッドの正面図である。
【図３Ａ】本発明の実施例に係る磁気ディスク検査システムにおいて、スピンドル軸に磁気ディスクが搭載された状態で、グライド検査ユニットとサーティファイ検査ユニットとが後退して待機している状態を示す検査ユニットのＡ−Ａ矢視断面図である。
【図３Ｂ】本発明の実施例に係る磁気ディスク検査システムにおいて、スピンドル軸に磁気ディスクが搭載された状態で、グライド検査ユニットとサーティファイ検査ユニットとが前進して軸ディスクを挟んでいる状態を示す検査ユニットのＡ−Ａ矢視断面図である。
【図４Ａ】本発明の実施例に係る磁気ディスク検査システムにおいて、ハンドリングロボットで磁気ディスクを真空吸着した状態で第２の検査ユニットの第２のスピンドル軸の上に搬送した状態を示すハンドリングロボットの正面図及び第１及び第２の検査ユニットの正面の断面図である。
【図４Ｂ】本発明の実施例に係る磁気ディスク検査システムにおいて、ハンドリングロボットで磁気ディスクを真空吸着した状態で第２の検査ユニットの第２のスピンドル軸上に載置した状態を示すハンドリングロボットの正面図及び第１及び第２の検査ユニットの正面の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
本発明では、グライド検査とサーティファイ検査とを同時に行えるようにした検査ユニットを複数台並べて配置し、この複数の検査ユニットにおける相互の検査に影響を与えることなく検査用のディスクを供給できるような構成とすることにより、検査装置の床面積をあまり大きくすることなく、検査のスループットを向上させることを実現できるようにしたものである。
【００１７】
以下に、本発明の実施例を、図を用いて説明する。
【実施例】
【００１８】
図１に、本実施例に係る磁気ディスク検査システム１０００の全体の構成を示す。磁気ディスク検査システム１０００は、第１の検査ユニット１００、第２の検査ユニット２００、ディスクハンドリングロボット３００、全体制御部４００、ディスクを搬送するカセット部５００を備えて構成されている。
【００１９】
この構成において、カセット部５００の未検査ディスクを収納する未検査ディスク収納カセット５１０には、図２Ａに示すように多数の未検査のディスク１がガイドバー５１１，５１２に支持されて収納されている。未検査のディスク１は、図２Ｂに示すように、搬送ロボット３００の先端の吸着部３０４で端面が真空吸着されて未検査ディスク収納カセット５１０から取出され、途中で持ち替えをすることなく第１検査ユニット１００のスピンドル軸１１１又は第２検査ユニット２００のスピンドル軸２１１に装着される。
【００２０】
第１の検査ユニット１００と第２の検査ユニット２００とは、基本的に同じ構成となっており、ディスク１の両側の面について、特許文献１に記載されているような方式でグライドテストとサーティファイテストとを同時に行うことができる構成となっている。
【００２１】
図３Ａ及び図３Ｂは、図１に示した構成の第１の検査ユニット１００のＡ−Ａ´断面を示す。第２の検査ユニット２００も同じ断面構成を有している。
【００２２】
第１の検査ユニット１００は、ディスク１を搭載するスピンドル１１１と、スピンドル１１１を回転駆動するスピンドル駆動モータ１１０と、グライド検査ユニット１２０とサーティファイ検査ユニット１３０を備えている。
【００２３】
グライド検査ユニット１２０は、ベースプレート１０１に固定されたキャリッジ１２１と、キャリッジ１２１上でスライド可能な移動台１２２、移動第１２２の上にヘッドカートリッジ１２３が着脱可能に取り付けられて構成される。
【００２４】
ヘッドカートリッジ１２３には１対のヘッドアーム１２４と１２５とが固定され、ヘッドアーム１２４と１２５との先端部分にはグライドヘッド１２６と１２７がそれぞれ取り付けられている。ヘッドアーム１２４に取り付けられてグライドヘッド１２６とヘッドアーム１２５に取り付けられたグライドヘッド１２７とは、対向する位置に取り付けられている。ヘッドカートリッジ１２３と移動台１２２との間には、図示していないピエゾ素子が配置されており、移動台１２２に対してヘッドカートリッジ１２３は微小距離駆動されて、グライドヘッド１２６と１２７のディスク１上の位置が調整される。
【００２５】
移動台１２２は、図示していないアクチュエータ（例えば、ボイスコイルモータ）で駆動されてキャリッジ１２１上をスライドし、図３Ａのようなグライドヘッド１２６と１２７とが後退した状態から、図３Ｂのようなグライドヘッド１２６と１２７とがディスク１を挟み込むような状態とまで前進することができる。
【００２６】
サーティファイ検査ユニット１３０は、ベースプレート１０１に固定されたキャリッジ１３１と、キャリッジ１３１上でスライド可能な移動台１３２、移動第１３２の上にヘッドカートリッジ１３３が着脱可能に取り付けられて構成される。
【００２７】
ヘッドカートリッジ１３３には１対のヘッドアーム１３４と１３５とが固定され、ヘッドアーム１３４と１３５との先端部分にはサーティファイヘッド１３６と１３７がそれぞれ取り付けられている。ヘッドアーム１３４に取り付けられたサーティファイヘッド１３６とヘッドアーム１３５に取り付けられたサーティファイヘッド１３７とは、対向する位置に取り付けられている。ヘッドカートリッジ１３３と移動台１３２との間には、図示していないピエゾ素子が配置されており、移動台１３２に対してヘッドカートリッジ１３３は微小距離駆動されて、サーティファイヘッド１３６と１３７のディスク１上の位置が調整される。
【００２８】
移動台１３２は、図示していないアクチュエータ（例えば、ボイスコイルモータ）で駆動されてキャリッジ１３１上をスライドし、図３Ａのようなサーティファイヘッド１３６と１３７とが後退した状態から、図３Ｂのようなサーティファイヘッド１３６と１３７とがディスク１を挟み込むような状態とまで前進することができる。移動台１３２は、図示していないアクチュエータ（例えば、ボイスコイルモータ）で駆動されて、キャリッジ１３１上をスライドする。
【００２９】
上記に説明したような構成を有する第１の検査ユニット１００と第２の検査ユニット２００とに、図１に示すように、ハンドリングロボット３００により未検査ディスク収納カセット５１０から取出されたディスク１が供給される。
【００３０】
ハンドリングロボット３００は、ベース分３０１に第１アーム３０２と第２アーム３０３、吸着ヘッド３０４が取り付けられ、それぞれの間は、軸３１１，３１２，３１３で互いに回動自由に接続された構成を有している。
【００３１】
未検査ディスク収納カセット５１０から取出されたディスク１は、図２Ｂに示したように、その端面がハンドリングロボット３００の吸着ヘッド３０４に吸着された状態で、２台並んで配置されている第１の検査ユニット１００又は第２の検査ユニット２００のうちの何れかに供給される。ここで、第１の検査ユニット１００及び第２の検査ユニット２００へのディスク１の搬送の経路は、図３Ａに示したように待機中のグライド検査ユニット１２０とサーティファイ検査ユニット１３０がスピンドル軸１１１の両側に後退している状態なので、供給時のディスク１がこれらの検査ユニットと干渉するのを避けるために、図３Ａの紙面に垂直な方向、即ち、図１の矢印Ｘで示した方向から供給するようにした。
【００３２】
ここで、図１に示すように、第１の検査ユニット１００のグライド検査ユニット１２０とサーティファイ検査ユニット１３０との並びと、第２の検査ユニット２００のグライド検査ユニット２２０とサーティファイ検査ユニット２３０との並びは平行になるようにして隣接して、２台の検査ユニットが設置されている。この２台隣接して並んでいる検査ユニットのうちのハンドリングロボット３００から見て遠い方に配置された第２の検査ユニット２００にディスク１を供給している状態を、図４Ａ及び図４Ｂに示す。
【００３３】
図４Ａは、ディスク１がハンドリングロボット３００で第２の検査ユニット２００のスピンドル軸２１１の真上に搬送された状態を示す。ハンドリングロボット３００の吸着ヘッド３０４により端面が真空吸着された状態で未検査ディスク収納カセット５１０から取出されたディスク１は、そのまま第２の検査ユニット２００のスピンドル軸２１１の真上に搬送される。ディスク１は、端面が真空吸着された状態で図４Ｂに示すように多関節のハンドリングロボット３００により、ディスク１の穴２がスピンドル軸２１１にはまるようにして第２の検査ユニット２００に供給される。このとき、ハンドリングロボット３００の吸着ヘッド３０４の一部は、隣接して設置されている第１の検査ユニット１００のスピンドル軸１１１の真上に位置する。
【００３４】
ここで、第２の検査ユニット２００のベースプレート２０１は、第１の検査ユニット１００のベースプレート１０１に対して高い位置に設定されている。従って、ベースプレート２０１に取り付けられた第２の検査ユニット２００のスピンドル軸２１１は、ベースプレート１０１に取り付けられた第１の検査ユニット１００のスピンドル軸１１１よりも高い位置にある。そのために、ディスク１の端面を真空吸着して搬送するハンドリングロボット３００の吸着ヘッド３０４は、第２の検査ユニット２００のスピンドル軸２１１にディスク１を供給するときに、スピンドル軸２１１よりも低い位置に設置されている第１の検査ユニット１００のスピンドル軸１０１と干渉することなく、スピンドル軸２１１へのディスク１の供給を行うことができる。
【００３５】
従って、第１の検査ユニット１００でグライド検査とサーティファイ検査とを実行中に、この第１の検査ユニットにおける検査に何らの影響を与えることなく、第２の検査ユニット２００からのディスク１の搬出及び供給を実施することができる。
【００３６】
これにより、２台の検査ユニットを停止させることなく互いに独立して稼働させることができ、検査のスループットを高く維持することができるようになった。また、２台の検査ユニットを隣接させて、ハンドリングユニットを共有させたことで、検査装置全体の床面積をあまり大きくすることなく設置することができるようになった。
【００３７】
第１の検査ユニット１００または第２の検査ユニット２００で検査が終了したディスク１は、その端面がハンドリングロボット３００の吸着ヘッド３０４により真空吸着された状態でスピンドル軸１０１または２０１から取り外され、グライド検査とサーティファイ検査との結果に応じて、良品は良品ディスク回収カセット５２０へ、不良品は不良ディスク回収カセット５３０に搬送される。
【００３８】
本実施例によれば、端面を真空吸着して搬送するハンドリングロボットを用いて、カセットに収納されている未検査のディスクを持ち替えることなく２台並んだ検査装置に一方の側から順次供給することを可能とし、かつ、検査後のディスクを他方のディスクの検査が実行中であっても取り出して検査の結果に応じてカセットに収納することを可能にしたので、２台の検査ユニットを用いて比較的少ない床面積で、スループットを低下させることなくグライド検査とサーティファイ検査とを実行することができるようになった。
【符号の説明】
【００３９】
１…ディスク    １００…第１の検査ユニット    １１０…スピンドル駆動モータ    １１１…スピンドル軸    １２０…グライド検査ユニット    １３０…サーティファイ検査ユニット    ２００…第２の検査ユニット    ２１０…スピンドル駆動モータ    ２１１…スピンドル軸    ２２０…グライド検査ユニット    ２３０…サーティファイ検査ユニット    ３００…ハンドリングロボット    ３０４…吸着ヘッド    １０００…磁気ディスク検査システム。
【図１】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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