(57)【要約】【課題】  スピンドルとの間で強い噛み付きが生じたマウントフランジを片手のみを使用して容易に取り外すことの出来るマウントフランジ取り外し治具を提供することである。【解決手段】  先端にテーパ部及び中心穴を有するスピンドルの該テーパ部に強固に装着された、ボス部と該ボス部と一体的に形成された鍔部を有し、該ボス部に雄ねじと雌ねじが形成されたマウントフランジを取り外すマウントフランジ取り外し治具であって、一部に雌ねじが形成された貫通孔と、該マウントフランジの該ボス部に形成された雌ねじに螺合可能な雄ねじが形成された一端部の中心から突出する突出部と、を有する筒状本体部と、取っ手部と、中間部に該筒状本体部の雌ねじに螺合する雄ねじが形成された該取っ手部から伸長する該筒状本体部より長尺のねじ部を有するドライバー部と、を備え、該筒状本体部の該貫通孔に形成された雌ねじは、該マウントフランジの該ボス部に形成された雌ねじより直径が小さく形成されている。【選択図】図７
2014079844.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
先端にテーパ部及び中心穴を有するスピンドルの該テーパ部に強固に装着された、ボス部と該ボス部と一体的に形成された鍔部を有し、該ボス部に雄ねじと雌ねじが形成されたマウントフランジを取り外すマウントフランジ取り外し治具であって、
一部に雌ねじが形成された貫通孔と、該マウントフランジの該ボス部に形成された雌ねじに螺合可能な雄ねじが形成された一端部の中心から突出する突出部と、を有する筒状本体部と、
取っ手部と、中間部に該筒状本体部の雌ねじに螺合する雄ねじが形成された該取っ手部から伸長する該筒状本体部より長尺のねじ棒と、を有するドライバー部と、を備え、
該筒状本体部の該貫通孔に形成された雌ねじは、該マウントフランジの該ボス部に形成された雌ねじより直径が小さく形成されており、
該筒状本体部の該雄ねじを該マウントフランジの該ボス部に形成された該雌ねじに螺合させた後、該ドライバー部を回転させて該ねじ棒の該雄ねじを該貫通孔に形成された該雌ねじに螺合させてねじ込むことにより、該ねじ棒を前進させて該スピンドル先端に形成された中心穴の底部に当接させ、当接した状態で該取っ手部を更に回転させて該ねじ棒を該筒状本体部に対してねじ込むことで該ねじ棒の圧接反力により該マウントフランジを該スピンドルから取り外すことを特徴とするマウントフランジ取り外し治具。
【請求項２】
前記筒状本体部の前記貫通孔と、該貫通孔に挿入する前記ドライバー部のねじ棒との相対回転を制限する滑り止め手段を更に備え、
該筒状本体部の該貫通孔に該ねじ棒を螺合した状態で、該ドライバー部の該取っ手部を回転させると該滑り止め手段により該筒状本体部と該ドライバー部とが一体となって共に回転し、該筒状本体部の該雄ねじを該マウントフランジの該雌ねじに片手で螺合可能な請求項１記載のマウントフランジ取り外し治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、切削装置のスピンドルに装着される切削ブレードを保持するためのマウントフランジをスピンドルから取り外すマウントフランジ取り外し治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエーハを個々のデバイスに分割する切削装置は、ウエーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハの分割予定ラインを切削する切削ブレードを回転可能に支持した切削手段とを具備しており、ウエーハを高精度に個々のデバイスに分割することができる。
【０００３】
切削手段は、スピンドルを回転駆動するモータと、スピンドルの先端に取り付けられたマウントフランジと、このマウントフランジに装着された薄い切刃を有する切削ブレードと、切削ブレードをマウントフランジに固定する固定ナットとから構成される。
【０００４】
マウントフランジを取り付けるスピンドルの先端はテーパ形状に形成されており、マウントフランジはスピンドルのテーパ形状に対応したテーパ形状の係合穴を有しており、この係合穴を介してマウントフランジはスピンドルに装着される。
【０００５】
マウントフランジの半径と切削ブレードの半径の差が切削ブレードの切刃の長さとなるが、切削ブレードの厚さに比較して切刃の長さが長くなると一気に切削ブレードの剛性が低下し、切削溝の蛇行や切削ブレードの破損の原因となる。よって、切削ブレードの半径に合わせて適宜マウントフランジのサイズも変更する必要がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特許第４１４９７３５号公報
【特許文献２】特開２００９−２６２２６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
マウントフランジは切削ブレードと共に４００００ｒｐｍ等の高速で回転されるため、遠心力によってマウントフランジの内径が拡張し、テーパ形状のスピンドル先端の奥方向に移動し、スピンドルとの間で強い噛み付きが生じてスピンドルから取り外せなくなるという問題がある。
【０００８】
特に、マウントフランジはスピンドルのテーパ部に装着されているため、奥方向に移動すれば移動するほど噛み付きが強くなり、取り外すのが難しい。そこで、特許文献２に開示されたような取り外し治具が開発されたが、この取り外し治具は二つのパーツに分かれているため、それぞれのパーツを別々に又は決まった順番に螺合する必要があり、基本的には両手で作業することになり、利便性に欠けているという課題が残されていた。
【０００９】
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、スピンドルとの間で強い噛み付きが生じたマウントフランジを片手のみを使用して容易に取り外すことの出来るマウントフランジ取り外し治具を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明によると、先端にテーパ部を有するスピンドルの該テーパ部に強固に装着された、ボス部と該ボス部と一体的に形成された鍔部を有し、該ボス部に雄ねじと雌ねじが形成されたマウントフランジを取り外すマウントフランジ取り外し治具であって、一部に雌ねじが形成された貫通孔と、該マウントフランジの該ボス部に形成された雌ねじに螺合可能な雄ねじが形成された一端部の中心から突出する突出部と、を有する筒状本体部と、取っ手部と、中間部に該筒状本体部の雌ねじに螺合する雄ねじが形成された該取っ手部から伸長する該筒状本体部より長尺のねじ棒と、を有するドライバー部と、を備え、該筒状本体部の該貫通孔に形成された雌ねじは、該マウントフランジの該ボス部に形成された雌ねじより直径が小さく形成されており、該筒状本体部の該雄ねじを該マウントフランジの該ボス部に形成された該雌ねじに螺合させた後、該ドライバー部を回転させて該ねじ棒の該雄ねじを該貫通孔に形成された該雌ねじに螺合させてねじ込むことにより、該ねじ棒を前進させて該スピンドル先端に形成された中心穴の底部に当接させ、当接した状態で該取っ手部を更に回転させて該ねじ棒を該筒状本体部に対してねじ込むことで該ねじ棒の圧接反力により該マウントフランジを該スピンドルから取り外すことを特徴とするマウントフランジ取り外し治具が提供される。
【００１１】
好ましくは、マウントフランジ取り外し治具は、前記筒状本体部の前記貫通孔と、該貫通孔に挿入する前記ドライバー部のねじ棒との相対回転を制限する滑り止め手段を更に備え、該筒状本体部の該貫通孔に該ねじ棒を螺合した状態で、該ドライバー部の該取っ手部を回転させると該滑り止め手段により該筒状本体部と該ドライバー部とが一体となって共に回転し、該筒状本体部の該雄ねじを該マウントフランジの該雌ねじに片手で螺合可能である。
【発明の効果】
【００１２】
本発明のマウントフランジ取り外し治具によると、マウントフランジを取り外すためにスピンドルを押すためのドライバー部のねじ棒に形成された雄ねじは直径が小さいため、小さいトルクで取っ手部を回転してドライバー部のねじ棒を強く突出することができるので、スピンドルとの間で強い噛み付きが生じたマウントフランジでも容易に取り外すことができる。また、滑り止め手段によって、筒状本体部とドライバー部とを一体に回転できるため、マウントフランジの取り外し作業を片手で容易に実施できるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】切削装置の外観斜視図である。
【図２】切削ブレードをスピンドルに装着する様子を示す分解斜視図である。
【図３】マウントフランジ取り外し治具の斜視図である。
【図４】マウントフランジ取り外し治具の一部断面側面図である。
【図５】マウントフランジ取り外し治具をマウントフランジに螺合する直前の一部断面側面図である。
【図６】マウントフランジ取り外し治具をマウントフランジのボス部に形成された雌ねじに螺合させた状態の一部断面側面図である。
【図７】マウントフランジ取り外し治具を更に回転させることで、ねじ棒の圧接反力によりマウントフランジを取り外している状態の一部断面側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図１を参照すると、切削装置２の外観斜視図が示されている。切削装置２の静止基台４上にはＸ軸方向に伸長する一対のガイドレール６が固定されている。
【００１５】
Ｘ軸移動ブロック８が、ボールねじ１０及びパルスモーター１２とから構成されるＸ軸移動機構（加工送り機構）１４によりガイドレール６に案内されて加工送り方向、即ちＸ軸方向に移動可能に配設されている。Ｘ軸移動ブロック８上には円筒状支持部材２０を介してチャックテーブル１６が搭載されている。
【００１６】
チャックテーブル１６は多孔性セラミックス等から形成された吸引保持部１８を有している。チャックテーブル１６は、円筒状支持部材２０内に収容されたモータにより回転可能に構成されている。
【００１７】
静止基台４上には一対のガイドレール６を跨ぐように門型フレーム２２が立設されている。門型フレーム２２には、Ｙ軸方向に伸長する一対のガイドレール２４が固定されている。
【００１８】
Ｙ軸移動ブロック２６が、ボールねじ２８及びパルスモーター３０とから構成されるＹ軸移動機構（割出送り機構）３２によりガイドレール２４に沿ってＹ軸方向に移動可能に配設されている。
【００１９】
Ｙ軸移動ブロック２６にはＺ軸方向（上下方向）に伸長する一対のガイドレール３４が固定されている。Ｚ軸移動ブロック３６は、ボールねじ３８及びパルスモーター４０から構成されるＺ軸移動機構（切り込み送り機構）により一対のガイドレール３４に沿ってＺ軸方向に移動可能に配設されている。
【００２０】
Ｚ軸移動ブロック３６には、切削ユニット４４とアライメントユニット４８が配設されている。アライメントユニット４８は、顕微鏡及びＣＣＤカメラ等のカメラを有する撮像ユニット５０を含んでいる。
【００２１】
切削ユニット４４は、図２に示すように、スピンドルハウジング５２中に収容され、その先端部５４がテーパ面に形成されたスピンドルを有している。スピンドル先端部（スピンドルテーパ部）５４の端面には雌ねじを有する中心盲穴５６が形成されている。
【００２２】
５８はマウントフランジであり、円筒状ボス部６０と、円筒状ボス部６０と一体的に形成された鍔部６２とから構成される。円筒状ボス部６０の外周には雄ねじ６４が形成されているとともに、その内周には雌ねじ６６が形成されている。マウントフランジ５８は更にテーパ状の係合穴６８を有している。
【００２３】
マウントフランジ５８の係合穴６８をスピンドルテーパ部５４に挿入し、ねじ７０をマウントフランジ５８の係合穴６８を通して中心盲穴５６の雌ねじに螺合して締め付けることにより、マウントフランジ５８はスピンドルテーパ部５４に装着される。
【００２４】
切削ブレード４６は全体が電鋳された切り刃から構成されるワッシャータイプの切削ブレードであり、切削ブレード４６をマウントフランジ５８のボス部６０に挿入し、その外側から押さえフランジ７２をボス部６０に挿入して、固定ナット７６をボス部６０の雄ねじ６４に螺合して締め付けることにより、切削ブレード４６がマウントフランジ５８と押さえフランジ７２とに挟持されてスピンドルテーパ部５４に装着される。
【００２５】
図３を参照すると、マウントフランジ取り外し治具８０の斜視図が示されている。図４はその一部断面側面図である。マウントフランジ取り外し治具８０は、筒状本体部８４と、ドライバー部８２とから構成される。
【００２６】
筒状本体部８４は、中間部に雌ねじ１０２が形成された貫通穴１００と、外周に雄ねじ９８の形成された突出部９６とを有している。貫通穴１００は、雌ねじ１０２の一方側に形成された大径部１００ａ及び中径部１００ｂと、雌ねじ１０２の他方側に形成された小径部１００ｃとを有している。
【００２７】
ドライバー部８２は、作業者が手で持って回転するための取っ手部８６と、取っ手部８６に打ち込まれて一体化されたねじ棒８８とを含んでいる。ねじ棒８８の長さは筒状本体部８９より長尺に形成されている。
【００２８】
ねじ棒８８は中間部に筒状本体部８４の雌ねじ１０２に螺合する雄ねじ９０が形成されており、ねじ棒８８の先端部の直径はスピンドルテーパ部５４の端面に形成された中心
盲穴５６の直径よりも小さく形成されている。
【００２９】
ねじ棒８８に形成された雄ねじ９０より取っ手部８６側には滑り止め手段としてのＯ−リング９２が挿入されている。更に、ねじ棒８８の基端部側には筒状本体部８４の貫通穴１００の大径部１００ａより小さな直径の突出部９１が形成されている。
【００３０】
切削ブレード４６をスピンドルテーパ部５４に装着してウエーハ等の被加工物の切削を継続すると、マウントフランジ５８は切削ブレード４６と共に高速で回転されるため、遠心力によってマウントフランジ５８の内径が拡張し、マウントフランジ５８はスピンドルテーパ部５４の奥方向に移動し、スピンドルテーパ部５４との間で強い噛みつきが生じる。その結果、マウントフランジ５８は通常手で持って取り外すことはできない。
【００３１】
以下、このように強い噛みつきが生じたマウントフランジ５８をスピンドルテーパ部５４から取り外すための、上述した実施形態に係るマウントフランジ取り外し治具８０の作用について図４乃至図７を参照して説明する。尚、本実施形態の切削装置２では、スピンドルの回転が停止すると、スピンドルはロック機構によりロックされてその回転が規制されているものとする。
【００３２】
図４に示すように、スピンドル取り外し治具８０のドライバー部８２のねじ棒８８を筒状本体部８４の貫通穴１００中に挿入し、ねじ棒８８の雄ねじ９０を貫通穴１００の雌ねじ１０２に螺合させてドライバー部８２の取っ手部８６を回転してねじ棒８８を筒状本体部８４に対して前進させることにより、図５に示すように、マウントフランジ取り外し治具８０を組み立てる。
【００３３】
この状態では、ドライバー部８２と筒状本体部８４は滑り止めとしてのＯ−リング９２により相対回転が規制されて一体化される。よって、マウントフランジ取り外し治具８０の取っ手部８６を片手で持ってマウントフランジ５８の取り外し作業を実施することができる。
【００３４】
図５に示すように、スピンドルテーパ部５４に強固に装着されたマウントフランジ５８に対して、作業者がマウントフランジ取り外し治具８０の取っ手部８６を片手で持ってマウントフランジ取り外し治具８０を近づけ、図６に示すように、筒状本体部８４の突出部９６に形成された雄ねじ９８をマウントフランジ５８のボス部６０に形成された雌ねじ６６に螺合させて取っ手部８６を矢印Ａ方向に回転させることにより、突出部９６の雄ねじ９８をマウントフランジ９８のボス部６０に形成された雌ねじ６６にねじ込む。
【００３５】
マウントフランジ取り外し治具８０のドライバー部８２と筒状本体部８４とは滑り止めとしてのＯ−リング９２により相対回転が規制されているため、取っ手部８２を矢印Ａ方向に片手で回転することにより、筒状本体部８４の突出部９６に形成された雄ねじ９８をマウントフランジ５８のボス部６０に形成された雌ねじ６６に一番奥側まで締結することができる。
【００３６】
尚、筒状本体部８４の突出部９６に形成された雄ねじ９８をマウントフランジ５８のボス部６６に形成された雌ねじ６６に締結すると、ねじ棒８８はスピンドルテーパ部５４の端面に形成された中心盲穴５６中に挿入される。
【００３７】
図７に示すように、ドライバー部８２の取っ手部８６を矢印Ａ方向に更に回転すると、筒状本体部８４の突出部９６に形成された雄ねじ９８はマウントフランジ５８のボス部６０に形成された雌ねじ６６の一番奥側までねじ込まれて筒状本体部８４はマウントフランジ５８と一体化しているため、滑り止め手段としてのＯ−リング９２の回転規制が解かれて、ねじ棒８８は筒状本体部８４に対して回転する。
【００３８】
その結果、ねじ棒８８の雄ねじ９０が筒状本体部８４の貫通穴１００に形成された雌ねじ１０２に螺合しながら回転し、ねじ棒８８は筒状本体部８４に対して前進し、ねじ棒８８の先端部がスピンドルテーパ部５４の端面に形成された中心盲穴５６の底部に当接する。
【００３９】
取っ手部８６を矢印Ａ方向に更に回転させると、ねじ棒８８の前進はスピンドルテーパ部５４の端面に形成された中心盲穴５６の底部により阻止されているため、ねじ棒８８の圧接反力により筒状本体部８４と一体化されたマウントフランジ５８は矢印Ｂ方向に移動してスピンドルテーパ部５４から取り外される。
【００４０】
本実施形態のマウントフランジ取り外し治具８０では、ねじ棒８８に形成された雄ねじ９０の直径がマウントフランジ５８のボス部６０に形成された雌ねじ６６に比べて非常に小さいため、取っ手部８６を回転するトルクが小さくてもねじ棒８８を筒状本体部８４に対して強く突出することができ、スピンドルテーパ部５４と強力に噛み合ったマウントフランジ５８でも容易に取り外すことができる。
【符号の説明】
【００４１】
２    切削装置
１６    チャックテーブル
２２    切削ユニット
４６    切削ブレード
５４    スピンドルテーパ部
５６    中心盲穴
５８    マウントフランジ
６０    円筒状ボス部
６２    鍔部
７２    押さえフランジ
７６    固定ナット
８０    マウントフランジ取り外し治具
８２    ドライバー部
８４    筒状本体部
８６    取っ手部
８８    ねじ棒
９０    貫通穴
９２    Ｏ−リング
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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