(57)【要約】【課題】冷却水の導電率を推定する場合に、推定精度が経年的に悪化してしまうことを防止できる燃料電池システムを提供する。【解決手段】燃料電池スタック１と、高電圧バッテリー１２と、低電圧バッテリー１３と、燃料電池スタックに冷却水を供給する冷却水ポンプ１６と、冷却水に含まれるイオンを除去するフィルター１７と、システム停止期間に応じて冷却水の推定導電率を求める導電率推定部（Ｓ１０２）と、推定導電率が基準値よりも大きい場合に、冷却水ポンプを駆動して冷却水をフィルターに循環させて冷却水の導電率を下げるポンプ駆動制御部（Ｓ１０４）と、冷却水の実導電率を検出する実導電率検出部（Ｓ２０３，Ｓ２１０）と、を含み、導電率推定部（Ｓ１０２）は、システム起動開始時の推定導電率及び実導電率に応じて補正した推定導電率を求める。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
燃料ガス及び酸化剤ガスが供給されて発電するとともに冷却水が供給されて調温される燃料電池スタックと、
前記燃料電池スタックに接続される高電圧バッテリーと、
前記高電圧バッテリーよりも電圧が低い低電圧バッテリーと、
電圧昇降圧器を介して前記高電圧バッテリーから供給される電力又は前記低電圧バッテリーから供給される電力で駆動されて、前記燃料電池スタックに冷却水を供給する冷却水ポンプと、
前記冷却水に含まれるイオンを除去するフィルターと、
システム停止時からシステム起動開始時までのシステム停止期間に応じて冷却水の推定導電率を求める導電率推定部と、
前記推定導電率が基準値よりも大きい場合に、前記冷却水ポンプを駆動して冷却水を前記フィルターに循環させて冷却水の導電率を下げるポンプ駆動制御部と、
前記冷却水の実導電率を検出する実導電率検出部と、
を含み、
前記導電率推定部は、システム起動開始時の推定導電率及び実導電率に応じて補正した推定導電率を求める、
燃料電池システム。
【請求項２】
請求項１に記載の燃料電池システムにおいて、
前記導電率推定部は、前記システム停止期間の導電率の変化に応じて推定導電率を求める、
燃料電池システム。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載の燃料電池システムにおいて、
前記導電率推定部は、システム停止時の実導電率を基準として、システム停止期間に応じて推定導電率を求める、
燃料電池システム。
【請求項４】
請求項１から請求項３までのいずれか１項に記載の燃料電池システムにおいて、
前記導電率推定部は、推定マップ又は推定関数に基づいて推定導電率を求める、
燃料電池システム。
【請求項５】
請求項１から請求項４までのいずれか１項に記載の燃料電池システムにおいて、
前記導電率推定部は、システム起動開始時の推定導電率及び実導電率に応じて、推定マップ又は推定関数を差し替えて、推定導電率を求める、
燃料電池システム。
【請求項６】
請求項１から請求項５までのいずれか１項に記載の燃料電池システムにおいて、
前記導電率推定部は、システム停止期間が基準期間よりも短い場合は、システム起動開始時の推定導電率及び実導電率に応じて補正した推定導電率を求めない、
燃料電池システム。
【請求項７】
請求項１から請求項６までのいずれか１項に記載の燃料電池システムにおいて、
補正初期化要求があった場合には、補正を初期化する初期化部をさらに含む、
燃料電池システム。
【請求項８】
請求項１から請求項７までのいずれか１項に記載の燃料電池システムにおいて、
システム停止期間中の環境温度を検出する温度検出部をさらに含み、
前記導電率推定部は、環境温度に基づいて推定導電率を求める、
燃料電池システム。
【請求項９】
請求項１から請求項８までのいずれか１項に記載の燃料電池システムにおいて、
システム停止期間中のシステムの揺動量を検出する揺動検出部をさらに含み、
前記導電率推定部は、揺動量に基づいて推定導電率を求める、
燃料電池システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、燃料電池システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
燃料電池スタックは、発電反応時に発熱するので、冷却水が循環供給される。この冷却水に、燃料電池スタックや冷却水配管から溶出したイオンが溶け込む可能性がある。冷却水にイオンが溶け込むほど、冷却水の導電率が高くなり、短絡が生じるおそれがある。そこで、冷却水配管にイオン除去フィルターを設けて冷却水を流すことで、冷却水の導電率が上がらないようにしている。しかしながら、車両を長期間停止して放置していると、冷却水が循環しないので、冷却水の導電率が上がってしまう。
【０００３】
そこで、特許文献１では、車両運転停止期間に応じて、冷却水の導電率変化を推定し、その推定に基づいて冷却水ポンプを駆動し、冷却水をイオン交換フィルターに循環させることで、冷却水の導電率を低減させている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−１２８８１１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、燃料電池スタックや冷却水配管からのイオンの溶出速度は、経年的に大きくなる。そこで、単に、運転停止期間に応じて冷却水の導電率変化を推定しても、経年的に推定精度が悪化してしまう。
【０００６】
本発明は、このような従来の問題点に着目してなされた。本発明の目的は、冷却水の導電率を推定する場合に、推定精度が経年的に悪化してしまうことを防止できる燃料電池システムを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は以下のような解決手段によって前記課題を解決する。
【０００８】
本発明による燃料電池システムのひとつの実施形態は、燃料ガス及び酸化剤ガスが供給されて発電するとともに冷却水が供給されて調温される燃料電池スタックと、前記燃料電池スタックに接続される高電圧バッテリーと、前記高電圧バッテリーよりも電圧が低い低電圧バッテリーと、電圧昇降圧器を介して前記高電圧バッテリーから供給される電力又は前記低電圧バッテリーから供給される電力で駆動されて、前記燃料電池スタックに冷却水を供給する冷却水ポンプと、前記冷却水に含まれるイオンを除去するフィルターと、を含む。そして、システム停止時からシステム起動開始時までのシステム停止期間に応じて冷却水の推定導電率を求める導電率推定部と、前記推定導電率が基準値よりも大きい場合に、前記冷却水ポンプを駆動して冷却水を前記フィルターに循環させて冷却水の導電率を下げるポンプ駆動制御部と、前記冷却水の実導電率を検出する実導電率検出部とをさらに含む。そして、前記導電率推定部は、システム起動開始時の推定導電率及び実導電率に応じて補正した推定導電率を求める。
【発明の効果】
【０００９】
この態様によれば、システム起動開始時の実導電率に基づいて推定導電率を補正するので、推定導電率を精度良く求めることができる。そして、この推定導電率に基づいて、冷却水ポンプを駆動して冷却水をフィルターに循環させることで、冷却水の導電率が上がりすぎてしまうことを防止できるのである。
【００１０】
本発明の実施形態、本発明の利点は、添付された図面とともに以下に詳細に説明される。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】図１は、本発明による燃料電池システムの基本構成を示す図である。
【図２】図２は、車両放置状態で冷却水の導電率が上がりすぎないようにするための基本制御を説明するフローチャートである。
【図３】図３は、実施形態の理解を容易にするために、解決課題について説明する図である。
【図４】図４は、燃料電池システムの制御内容を示すフローチャートである。
【図５】図５は、補正値の演算方法について説明する図である。
【図６】図６は、補正値のもうひとつの演算方法について説明する図である。
【図７】図７は、本実施形態の作用効果を説明する図である。
【図８】図８は、補正値の初期化フローを示す図である。
【図９】図９は、環境温度と導電率の変化率との相間を示す図である。
【図１０】図１０は、システム停止中の車両揺動量と導電率の変化率との相間を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
（第１実施形態）
図１は、本発明による燃料電池システムの基本構成を示す図である。
【００１３】
燃料電池システム１は、燃料電池スタック１１と、高電圧バッテリー１２と、低電圧バッテリー１３と、電圧昇降圧器１４と、冷却水配管１５と、冷却水ポンプ１６と、イオン除去フィルター１７と、ラジエーター１８と、を含む。
【００１４】
燃料電池スタック１１は、電解質膜の両面にカソード電極触媒層及びアノード電極触媒層が形成された膜電極接合体(Membrane Electrode Assembly；ＭＥＡ)が数百枚積層されて構成される。酸化剤ガス(カソードガスＯ2)及び燃料ガス(アノードガスＨ2)が供給されると、各膜電極接合体(ＭＥＡ)は、アノード電極触媒層及びカソード電極触媒層において次式(1-1)(1-2)の反応が生じて発電する。
【００１５】
【数１】
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【００１６】
高電圧バッテリー１２は、燃料電池スタック１１が発電した高電圧(たとえば数百ボルト)の電力を蓄電する。高電圧バッテリー１２の電力は、高電圧回路(たとえば車両駆動モーター)に供給される。また高電圧バッテリー１２は、車両から回生した電力を蓄電する。
【００１７】
低電圧バッテリー１３は、高電圧バッテリー１２よりも電圧が低いバッテリーである。低電圧バッテリー１３は、たとえば１２Ｖバッテリーと称されるバッテリーである。ただし、実際は、車両の運転状態などに応じて１１Ｖ程度から１５Ｖ程度まで変動する。低電圧バッテリー１３の電力は、低電圧回路(たとえば冷却水ポンプ１６)に供給される。
【００１８】
電圧昇降圧器１４は、高電圧バッテリー１２及び低電圧バッテリー１３に接続される。電圧昇降圧器１４は、高電圧バッテリー１２の高電圧を低電圧に変換して出力する。電圧昇降圧器１４は、たとえばＤＣ／ＤＣコンバーターである。低電圧バッテリー１３を充電する必要があるときは、電圧昇降圧器１４は、低電圧バッテリー１３よりも高い電圧を出力する。これによって、電圧昇降圧器１４の出力は、低電圧バッテリー１３に供給されるとともに、低電圧回路(たとえば冷却水ポンプ１６)に供給される。低電圧バッテリー１３を放電する必要があるときは、電圧昇降圧器１４は、低電圧バッテリー１３よりも低い電圧を出力する。これによって、低電圧バッテリー１３の出力が、低電圧回路(たとえば冷却水ポンプ１６)に供給されて、低電圧バッテリー１３の放電が促進される。
【００１９】
冷却水配管１５は、燃料電池スタック１１を冷却する冷却水が流れる。
【００２０】
冷却水ポンプ１６は、冷却水配管１５に設けられる。冷却水ポンプ１６は、低電圧バッテリー１３及び電圧昇降圧器１４に電気的に接続される。冷却水ポンプ１６は、低電圧バッテリー１３や電圧昇降圧器１４から供給される低電圧の電力で駆動されて、燃料電池スタック１１に冷却水を循環供給する。
【００２１】
イオン除去フィルター１７は、冷却水配管１５に設けられる。イオン除去フィルター１７は、通過する冷却水からイオンを除去して冷却水の導電率を低減する。イオン除去フィルター１７は、燃料電池や冷却水配管から溶出したイオンを捕捉して冷却水の導電率を下げる。イオン除去フィルター１７は、たとえばイオン交換フィルターである。
【００２２】
ラジエーター１８は、冷却水の熱を放熱する。
【００２３】
図２は、車両放置状態で冷却水の導電率が上がりすぎないようにするための基本制御を説明するフローチャートである。
【００２４】
コントローラーは、このフローチャートを、車両が放置状態であるときに所定時間サイクルで繰り返し実行する。
【００２５】
ステップＳ２０１においてコントローラーは、ポンプ駆動フラグＦがゼロであるか否かを判定する。なおこのフラグＦは初期状態でゼロである。コントローラーは、判定結果が肯であればステップＳ２０２へ処理を移行し、判定結果が否であればステップＳ２０５へ処理を移行する。
【００２６】
ステップＳ２０２においてコントローラーは、放置期間に応じて導電率を推定する。
【００２７】
ステップＳ２０３においてコントローラーは、推定導電率が上限値よりも小さいか否かを判定する。コントローラーは、判定結果が否であれば処理を抜け、判定結果が肯であればステップＳ２０４へ処理を移行する。
【００２８】
ステップＳ２０４においてコントローラーは、冷却水ポンプを駆動するとともに、ポンプ駆動フラグＦに１をセットする。
【００２９】
ステップＳ２０５においてコントローラーは、導電率を検出する。導電率は、たとえば冷却水配管１５に導電率計を取り付けておき、これによって検出すればよい。または、車両の絶縁抵抗から導電率を推定することで代用してもよい。
【００３０】
ステップＳ２０６においてコントローラーは、導電率が目標値よりも大きいか否かを判定する。コントローラーは、判定結果が肯であれば処理を抜け、判定結果が否であればステップＳ２０７へ処理を移行する。
【００３１】
ステップＳ２０７においてコントローラーは、冷却水ポンプを停止するとともに、ポンプ駆動フラグＦにゼロをセットする。
【００３２】
図３は、実施形態の理解を容易にするために、解決課題について説明する図である。
【００３３】
燃料電池スタックは、発電反応時に発熱する。そこで冷却水が循環供給される。この冷却水に、燃料電池スタックや冷却水配管から溶出したイオンが溶け込む可能性がある。冷却水にイオンが溶け込むほど、冷却水の導電率が高くなり、短絡が生じるおそれがある。そこで、冷却水配管にイオン除去フィルターを設けて冷却水を流すことで、冷却水の導電率が上がらないようにしている。しかしながら、車両を長期間停止して放置していると、冷却水が循環しないので、冷却水の導電率が上がってしまう。
【００３４】
そこで、特許文献１では、運転停止期間(放置期間)に応じて、冷却水の導電率変化を推定している。たとえば図３(Ａ)の場合は、時刻ｔ１１で運転が停止される。その後、運転停止期間(放置期間)に応じて、冷却水の導電率が推定される。この推定は、たとえば予め設定されているマップに運転停止期間(放置期間)を適用して、推定導電率を求める。推定導電率が上限値に達するまでは、図２のフローチャートでステップＳ１０１→Ｓ１０２→Ｓ１０３がサイクリックに処理される。推定導電率が上限値に達する時刻ｔ１２で、ステップＳ１０４が処理されて、冷却水ポンプが駆動される。これによって、冷却水がイオン除去フィルターを循環して、冷却水の導電率が下がる。次サイクル以降は、導電率が目標値に達するまでは、図２のフローチャートでステップＳ１０１→Ｓ１０５→Ｓ１０６がサイクリックに処理されて、導電率が目標値まで下がる時刻ｔ１３で、ステップＳ１０７が処理されて冷却水ポンプが停止される。これを繰り返すことで、冷却水の導電率が上限値を超えないようにしている。
【００３５】
しかしながら、燃料電池スタックや冷却水配管からのイオンの溶出速度は、経年的に大きくなる。そこで、単に、車両運転停止期間に応じて、冷却水の導電率変化を推定しても、経年的に推定精度が悪化してしまう可能性がある。たとえば図３(Ｂ)の場合は、時刻ｔ２１で運転が停止される。その後、運転停止期間(放置期間)に応じて、冷却水の導電率が推定されるが、経年変化を考慮しないと、実際は実線のように変化しているにもかかわらず、破線のように推定する可能性がある。この場合には、実際は導電率が上限値に達している時刻ｔ２２でも、冷却水ポンプが駆動されない。そして、推定導電率が上限値に達する時刻ｔ２３で、冷却水ポンプが駆動されるが、実際の導電率は、時刻ｔ２２以降は、上限値を超えているので、短絡が生じるおそれがある。
【００３６】
そこで、このような課題を解決すべく、発明者は、経年的に冷却水の導電率を精度良く推定できる燃料電池システムに想到した。
【００３７】
以下では、その具体的な内容について説明する。
【００３８】
図４は、燃料電池システムの制御内容を示すフローチャートである。
【００３９】
燃料電池システムの停止要求があるまでは、燃料電池システムの起動状態を維持する(ステップＳ２０１)。
【００４０】
ステップＳ２０２においてコントローラーは、ユーザからのシステム停止要求があるか否かを判定する。コントローラーは、判定結果が否であればステップＳ２０１へ処理を移行し、判定結果が肯であればステップＳ２０３へ処理を移行する。
【００４１】
ステップＳ２０３においてコントローラーは、冷却水の導電率(停止時導電率)を検出する。導電率は、たとえば冷却水配管１５に導電率計を取り付けておき、これによって検出すればよい。または、車両の絶縁抵抗から導電率を推定することで代用してもよい。
【００４２】
ステップＳ２０４においてコントローラーは、システムを停止する。
【００４３】
ステップＳ２０５においてコントローラーは、システム停止から次回起動までの経過時間(システム停止期間)を計測するためのカウンターを作動させる。
【００４４】
ステップＳ２０６においてコントローラーは、ユーザからのシステム起動要求があるか否かを判定する。コントローラーは、判定結果が否であればステップＳ２０５へ処理を移行し、判定結果が肯であればステップＳ２０７へ処理を移行する。
【００４５】
ステップＳ２０７においてコントローラーは、システムを起動する。
【００４６】
ステップＳ２０８においてコントローラーは、システム停止期間を求める。
【００４７】
ステップＳ２０９においてコントローラーは、精度のよい補正値を演算するのに十分な期間が経過しているか否かを判定する。停止期間が短く、バラツキなども考慮して補正精度が低いと判断した場合は否を判定する。なお十分な期間とは、たとえば数日とか数週間とかである。具体的な期間は、仕様等に応じて適宜決めればよい。コントローラーは、判定結果が否であれば処理を抜け、判定結果が肯であればステップＳ２１０へ処理を移行する。
【００４８】
ステップＳ２１０においてコントローラーは、冷却水の導電率(起動時導電率)を検出する。
【００４９】
ステップＳ２１１においてコントローラーは、導電率マップの補正値を演算して、ベースデータの補正を行う。具体的な内容は、後述する。
【００５０】
図５は、補正値の演算方法について説明する図である。
【００５１】
図５(Ａ)に示されるように、システムのコントローラーには、放置時間と導電率との相間マップが格納されている。実線に示されたベースデータのように、放置時間が経過するにつれて導電率が上がる。なお導電率は、高くなるにつれて、上昇が緩やかになる。
【００５２】
ところで経年的には、イオンが溶出しやすくなり、破線で示されるように、ベースデータよりも導電率が高くなりやすくなる。これを考慮しなければ、図３(Ｂ)に示されたような課題が生じる。
【００５３】
そこで、本実施形態では、システム停止要求があったら(図４のステップＳ２０２でＹｅｓ)、停止時導電率Ａ１(図５(Ｂ)参照)を計測しておく。そして、システム起動要求があったら(図４のステップＳ２０６でＹｅｓ)、起動時導電率Ａ２(図５(Ｂ)参照)を計測する。そして、システム停止要求からシステム起動要求までのシステムの停止時間(放置時間)をベースデータの適用して推定されるベース導電率Ａ(図５(Ｂ)参照)を求めて、次式によって補正値Ｖａを算出する。
【００５４】
【数２】
2014235898.tif 000004
【００５５】
そして、次回、システム停止要求があった場合には、ベースデータに対して補正値Ｖａを乗算して導電率を推定する。
【００５６】
なお導電率が目標値まで低下し切らないうちに、再び、システムが停止されることもある。この場合は、図６に示されるように、停止時導電率Ａ１０が目標値よりも大きい。そして、その後、運転停止期間(放置期間)に応じて冷却水の導電率が上昇する。このような場合には、起動時導電率Ａ２０を検出するまでの停止期間Δｔを求めて、図７(Ｂ)に示されるように、ベースデータに基づいて導電率Ａ１０をスタートして停止期間Δｔが経過した場合の導電率Ａ０を推定する。そして、次式によって補正値Ｖａ０を算出する。
【００５７】
【数３】
2014235898.tif 000005
【００５８】
そして、次回、システム停止要求があった場合には、ベースデータに対して補正値Ｖａ０を乗算して導電率を推定する。
【００５９】
図７は、本実施形態の作用効果を説明する図である。
【００６０】
本実施形態では、上述のように補正値を求めて、システム停止要求があった場合には、ベースデータに対して補正値を乗算して導電率を推定する。このようにするので、導電率を精度良く推定することができる。したがって、図７に示されるように、運転が停止された時刻ｔ２１から、運転停止期間(放置期間)に応じて冷却水の導電率が精度良く推定され、実際に導電率が上限値に達する時刻ｔ２２で燃料電池システムが起動されて冷却水の導電率が下がるので、冷却水の導電率が上限を超えてしまうことを防止できるのである。
【００６１】
また本実施形態では、ステップＳ２０９にて停止期間が短い場合には、補正値を演算しない。停止期間が短ければ、図５(Ａ)からも判るように、ベースデータと実際の導電率との差が小さく、導電率の上昇傾向を正しく判断することが難しく、補正値を精度良く求めることが困難だからである。このようにすることで、補正の精度を却って悪くしてしまうことを防止できるのである。
【００６２】
図８は、補正値の初期化フローを示す図である。
【００６３】
燃料電池スタックや冷却水配管から冷却水にイオンが溶出し、経年的に溶出速度が上昇するが、冷却水配管などの部品を交換することがある。このような場合には、補正値をリセット(初期化)することが望ましい。そこでこのようにする具体的な制御フローについて説明する。
【００６４】
補正値初期化要求がなければ、車両起動状態を維持する(ステップＳ３０１)。
【００６５】
ステップＳ３０２においてコントローラーは、補正値初期化要求があるか否かを判定する。具体的には、たとえば、専用のボタン・スイッチの操作や、通常使用時には発生しない特性の操作に基づいて、補正値初期化要求を判定できる。コントローラーは、判定結果が否であればステップＳ３０１へ処理を移行し、判定結果が肯であればステップＳ３０３へ処理を移行する。
【００６６】
ステップＳ３０３においてコントローラーは、車両で記憶している導電率マップの補正を出荷状態にリセットし、処理を終了する。
【００６７】
このようにすることで、一層正確に、冷却水の導電率を推定することが可能になる。
【００６８】
図９は、環境温度と導電率の変化率との相間を示す図である。
【００６９】
図９に示されるように、冷却水の環境温度によっても、イオンの溶出しやすさが変わり、上昇特性が変化する。一般に２５℃を基準とした場合、温度が２５℃よりも高くなるにつれて導電率の変化率(上昇率)は高くなる。逆に２５℃よりも低ければ導電率の変化率は低くなる。
【００７０】
そこで、システム停止中に車両に搭載されている冷却水の水温センサーや外気温センサーなどで温度情報を連続的又は定期的に監視して停止期間中における冷却水の温度を取得する。そして、その温度データも考慮して補正値を算出することで、補正値の精度を更に向上させることが可能になる。
【００７１】
図１０は、システム停止中の車両揺動量と導電率の変化率との相間を示す図である。
【００７２】
図１０に示されるように、システム停止中の車両揺動量（揺動量の積算値）によっても、イオンの溶出しやすさが変わり、上昇特性が変化する。一般に静止状態(揺動量０)が最も導電率の上昇が抑えられる。たとえば、タワーパーキングに車両が置かれている場合には、断続的に車両が揺らされる状態が継続する。そのため、静止状態と比較して、導電率の変化率が高くなる。
【００７３】
そこで、システム停止中に車両に搭載されているジャイロセンサーや加速度センサーなどで揺動量を連続的又は定期的に監視して、停止期間中における揺動量を取得する。そして、その揺動データも考慮して補正値を算出することで、補正値の精度を更に向上させることが可能になる。
【００７４】
以上、本発明の実施形態について説明したが、上記実施形態は本発明の適用例の一部を示したに過ぎず、本発明の技術的範囲を上記実施形態の具体的構成に限定する趣旨ではない。
【００７５】
たとえば、上記説明においては、ひとつのベースデータマップに用いてそのベースデータを補正しているが、複数のベースデータマップを準備しておき、必要に応じてデータベースマップを切り替えることで、補正してもよい。このようにしても上述の作用効果が得られる。
【００７６】
またベースデータ(マップ)に基づいて導電率を推定することとしているが、ベースデータ関数に基づいて導電率を推定するものであってもよい。このようにしても上述の作用効果が得られる。
【００７７】
また上記実施形態は、適宜組み合わせ可能である。
【符号の説明】
【００７８】
１  燃料電池システム
１１  燃料電池スタック
１２  高電圧バッテリー
１３  低電圧バッテリー
１４  電圧昇降圧器
１５  冷却水配管
１６  冷却水ポンプ
１７  イオン除去フィルター
１８  ラジエーター
ステップＳ１０２  導電率推定部
ステップＳ１０４  ポンプ駆動制御部
ステップＳ２０３，Ｓ２１０  実導電率検出部
【図１】
2014235898.tif 000006
【図２】
2014235898.tif 000007
【図３】
2014235898.tif 000008
【図４】
2014235898.tif 000009
【図５】
2014235898.tif 000010
【図６】
2014235898.tif 000011
【図７】
2014235898.tif 000012
【図８】
2014235898.tif 000013
【図９】
2014235898.tif 000014
【図１０】
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