(57)【要約】【課題】吐出ヘッドのノズルから吐出ヘッドに充填された液体を吸引して、ノズルの目詰まりを解消する吸引動作において、必要以上に液体が吸引されることを低減可能な吸引装置、該吸引装置を用いた吸引方法、該吸引装置を備えた吐出装置を提供すること。【解決手段】吸引装置７０Ａは、ノズルを有する吐出ヘッド５０の吸引装置であって、ノズルが設けられたノズル面５８ｐを密封可能なキャップ７２と、減圧手段としての減圧ポンプ７３と、キャップ７２と減圧ポンプ７３との間に設けられた吸引経路７７と、を備え、吸引経路７７の容積と、減圧ポンプ７３による吸引経路７７の負圧水準とを調整することにより、吐出ヘッド５０に充填された液体をノズルから吸引する。【選択図】図６
2014151226.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズルを有する吐出ヘッドの吸引装置であって、
前記ノズルが設けられたノズル面を密封可能なキャップと、
減圧手段と、
前記キャップと前記減圧手段との間に設けられた吸引経路と、を備え、
前記吸引経路の容積と、前記減圧手段による前記吸引経路の負圧水準とを調整することにより、前記吐出ヘッドに充填された液体を前記ノズルから吸引することを特徴とする吸引装置。
【請求項２】
前記吸引経路の前記キャップ側に設けられた第１開閉バルブと、
前記吸引経路の前記減圧手段側に設けられた第２開閉バルブとを有することを特徴とする請求項１に記載の吸引装置。
【請求項３】
前記吐出ヘッドは、液体供給口と、複数の前記ノズルと、複数の前記ノズルのそれぞれに連通するキャビティとを有し、
前記液体供給口から前記キャビティを含む複数の前記ノズルまでの容積以下の前記液体を吸引するように、前記吸引経路の負圧水準が設定されることを特徴とする請求項１または２に記載の吸引装置。
【請求項４】
前記吸引経路は、第３開閉バルブを介して直列に接続された第１吸引経路及び第２吸引経路を含むことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の吸引装置。
【請求項５】
前記吸引経路は、第３開閉バルブを介して直列に接続された第１吸引経路及び第２吸引経路と、前記キャップと前記減圧手段との間に、前記吸引経路に対して並列に接続され、前記吸引経路を迂回する迂回吸引経路とを含むことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の吸引装置。
【請求項６】
前記吸引経路は、並列に接続された第１吸引経路と第２吸引経路とを含み、
前記第１吸引経路と前記第２吸引経路のそれぞれにおいて、前記キャップ側に設けられた第１開閉バルブと、前記減圧手段側に設けられた第２開閉バルブと、を備えることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の吸引装置。
【請求項７】
前記第１吸引経路の容積と前記第２吸引経路の容積とがほぼ等しいことを特徴とする請求項４乃至６のいずれか一項に記載の吸引装置。
【請求項８】
前記第１吸引経路の容積と前記第２吸引経路の容積が異なることを特徴とする請求項４乃至６のいずれか一項に記載の吸引装置。
【請求項９】
前記ノズル面を密封したときの前記キャップの容積は、前記吸引経路の容積の値よりも小さいことを特徴とする請求項１乃至８のいずれか一項に記載の吸引装置。
【請求項１０】
前記吸引経路に複数の前記キャップが接続され、
前記ノズル面を密封したときの複数の前記キャップの容積は、前記吸引経路の容積よりも小さいことを特徴とする請求項１乃至８のいずれか一項に記載の吸引装置。
【請求項１１】
吐出ヘッドのノズルから前記吐出ヘッドに充填された液体を吸引する吸引方法であって、
前記ノズルが設けられたノズル面を密封可能なキャップと、減圧手段と、前記キャップと前記減圧手段との間に設けられた吸引経路と、前記吸引経路の前記キャップ側に設けられた第１開閉バルブと、前記吸引経路の前記減圧手段側に設けられた第２開閉バルブと、を有する吸引装置を用い、
前記第１開閉バルブを閉じ、前記第２開閉バルブを開いて前記減圧手段により前記吸引経路を所定の負圧水準まで減圧する減圧工程と、
前記第１開閉バルブ及び前記第２開閉バルブを閉じて、前記キャップにより前記ノズル面を密封した後に、前記第１開閉バルブを開いて吸引を行う吸引工程と、を含むことを特徴とする吸引方法。
【請求項１２】
前記吐出ヘッドは、液体供給口と、複数の前記ノズルと、複数の前記ノズルのそれぞれに連通するキャビティとを有し、
前記吸引工程において、前記液体供給口から前記キャビティを含む複数の前記ノズルまでの容積以下の前記液体を吸引するように、前記減圧工程における前記吸引経路の負圧水準が設定されることを特徴とする請求項１１に記載の吸引方法。
【請求項１３】
前記吸引経路は、第３開閉バルブを介して直列に接続された第１吸引経路及び第２吸引経路を含み、
前記吸引工程は、前記第１開閉バルブを開け、前記第３開閉バルブと前記第２開閉バルブとを閉じて、吸引を行う第１吸引工程と、前記第１吸引工程の後に、前記第３開閉バルブを開けて、吸引を行う第２吸引工程と、を含むことを特徴とする請求項１１に記載の吸引方法。
【請求項１４】
前記吸引経路は、第３開閉バルブを介して直列に接続された第１吸引経路及び第２吸引経路と、前記キャップと前記減圧手段との間に、前記吸引経路に対して並列に接続され、前記吸引経路を迂回する迂回吸引経路を含み、
前記吸引工程は、前記第１開閉バルブを開け、前記第３開閉バルブと前記第２開閉バルブとを閉じて、吸引を行う第１吸引工程と、
前記第１吸引工程の後に、前記第３開閉バルブを開けて、吸引を行う第２吸引工程と、
前記第２開閉バルブを閉め、前記減圧手段により前記迂回吸引経路を経由して吸引を行う第３吸引工程と、を含むことを特徴とする請求項１１に記載の吸引方法。
【請求項１５】
前記吸引経路は、並列に接続された第１吸引経路と第２吸引経路とを含み、
前記第１吸引経路と前記第２吸引経路のそれぞれにおいて、前記第１開閉バルブと、前記第２開閉バルブとを備え、
前記吸引工程は、前記第２吸引経路の前記第１開閉バルブ及び前記第２開閉バルブを閉め、前記第１吸引経路の前記第２開閉バルブを閉めて、前記第１吸引経路の前記第１開閉バルブを開けて吸引を行う第１吸引工程と、前記第１吸引工程の後に、前記第１吸引経路の前記第１開閉バルブを閉め、前記第２吸引経路の前記第１開閉バルブを開けて吸引を行う第２吸引工程と、を含むことを特徴とする請求項１１に記載の吸引方法。
【請求項１６】
前記減圧工程の前に、前記吸引経路の内部に残留する前記液体を排出する排出工程を有することを特徴とする請求項１１乃至１５のいずれか一項に記載の吸引方法。
【請求項１７】
吐出ヘッドと、
請求項１乃至１０のいずれか一項に記載の吸引装置と、を備えたことを特徴とする吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズルを有する吐出ヘッドに充填された液体をノズルから吸引して、ノズルの目詰まりなどを解消するための吸引装置、吸引方法、該吸引装置を備えた吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
上記吐出ヘッドとして、複数のノズルと、複数のノズルごとに設けられ、ノズルに連通した加圧室と、加圧室に設けられたアクチュエーターと、ノズルごとの加圧室に共通して連通するキャビティとを備えたインクジェットヘッドが知られている。このようなインクジェットヘッドを備えた例えば印刷装置（プリンター）は、液体としてのインクをノズルから液滴として記録紙などの被吐出物に吐出して、被吐出物上に文字や画像などを描くことができる。
上記印刷装置（プリンター）において、インクジェットヘッドのノズルが固形化したインクや異物あるいは気泡などにより目詰まりしていると、当該ノズルからインクが吐出されない、あるいはインクが被吐出物の所望の位置に着弾しない飛行曲がりなどの不具合が生じて、所望の印刷結果が得られないことがある。したがって、上記印刷装置には、インクジェットヘッドの複数のノズルにおける目詰まりを解消するメンテナンス機構が備えられている。
【０００３】
例えば、特許文献１には、噴射ヘッド（インクジェットヘッド）に圧接し、ノズルを密封する弾性キャップと、該弾性キャップに連通する孔から吸引を行う吸引ポンプとよりなる信頼性維持装置を備えた、機能性素子基板の製造装置が開示されている。
噴射ヘッドに供給される溶液は、別に設けられた容器に貯留され、容器と噴射ヘッドとは可撓性の供給路を介して連結されるとともに、容器よりも下流側に少なくとも２種類のフィルターが設けられている。最下流に設けたフィルターは噴射ヘッドに組み込まれ、着脱不可に固定され、それより上流側に設けられたフィルターが着脱可能とされている。最下流に設けられたフィルターは、それよりも上流に設けられたフィルターよりもフィルター容量が小であると共にフィルターのメッシュサイズが大とされている。そして、信頼性維持装置は、最下流に設けられたフィルターよりも下流の領域の内容積分以上の溶液を吸引するとしている。これにより、噴射ヘッドの目詰まりを解消して、機能素子基板の製造装置を安定的に稼動できるとしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第４０１０８５４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記特許文献１では、信頼性維持装置における溶液の吸引量の必要最小限の量を明確にしたとしている。しかしながら、吸引ポンプによる吸引量を設定することで、必要最小限の量の溶液を確実に吸引できるとは限らない。例えば、弾性キャップと吸引ポンプ間の可撓性の供給路における減圧状態によって吸引量が変化するおそれがある。言い換えれば、ノズルの目詰まりを解消させるに必要な量以上に溶液を吸引してしまうおそれがある。また、吸引された溶液に異物などが含まれるおそれがあるため、吸引された溶液を排出後に再利用することは難しい。よって、溶液が非常に高価な場合は、吸引され廃棄される溶液を少なくしたいという要望がある。つまり、ノズルの目詰まりを解消可能な範囲で吸引される溶液の量を極力減らしたいという課題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００７】
［適用例１］本適用例に係わる吸引装置は、ノズルを有する吐出ヘッドの吸引装置であって、前記ノズルが設けられたノズル面を密封可能なキャップと、減圧手段と、前記キャップと前記減圧手段との間に設けられた吸引経路と、を備え、前記吸引経路の容積と、前記減圧手段による前記吸引経路の負圧水準とを調整することにより、前記吐出ヘッドに充填された液体を前記ノズルから吸引することを特徴とする。
【０００８】
本適用例の構成によれば、吸引装置による吸引量は、吸引経路の容積と、キャップによってノズル面を密封したときのキャップ内の圧力に対する吸引経路の負圧水準との積によって与えられる。したがって、減圧手段で連続的に吸引し、例えば吸引時間を管理することで吸引量を定める場合に比べて、吸引量を調整し易い。ゆえに、所望の量の液体を吸引可能な吸引装置を提供することができる。
【０００９】
［適用例２］上記適用例に係わる吸引装置において、前記吸引経路の前記キャップ側に設けられた第１開閉バルブと、前記吸引経路の前記減圧手段側に設けられた第２開閉バルブとを有することが好ましい。
この構成によれば、第１及び第２開閉バルブを設けることによって吸引経路の容積が確定する。したがって、第１開閉バルブを閉じて第２開閉バルブを開け、減圧手段によって吸引経路を減圧し、第２開閉バルブを閉じれば、吸引経路を安定的に所望の負圧水準にすることができる。よって、吸引量を容易に調整することができる。
【００１０】
［適用例３］上記適用例に係わる吸引装置において、前記吐出ヘッドは、液体供給口と、複数の前記ノズルと、複数の前記ノズルのそれぞれに連通するキャビティとを有し、前記液体供給口から前記キャビティを含む複数の前記ノズルまでの容積以下の前記液体を吸引するように、前記吸引経路の負圧水準が設定されることを特徴とする。
この構成によれば、吐出ヘッドから必要以上に液体が吸引されることを抑制することができる。
【００１１】
［適用例４］上記適用例に係わる吸引装置において、前記吸引経路は、第３開閉バルブを介して直列に接続された第１吸引経路及び第２吸引経路を含むとしてもよい。
この構成によれば、第１吸引経路と第２吸引経路のそれぞれにおける容積と負圧水準とに基づいて、段階的な吸引を行うことができる。つまり、１回の吸引で液体を吸引する場合に比べて、吐出ヘッドから必要以上に液体が吸引されることをより抑制することができる。また、第３開閉バルブを開閉することで段階的な吸引が可能なため、減圧手段による減圧を繰り返し行わなくてよい。
【００１２】
［適用例５］上記適用例に係わる吸引装置において、前記吸引経路は、第３開閉バルブを介して直列に接続された第１吸引経路及び第２吸引経路と、前記キャップと前記減圧手段との間に、前記吸引経路に対して並列に接続され、前記吸引経路を迂回する迂回吸引経路とを含むとしてもよい。
この構成によれば、ノズルの目詰まり状態に応じて、例えば、第１吸引経路と第２吸引経路とによる段階的な吸引と、迂回吸引経路による連続的な吸引とを組み合わせて吸引を行うことができる。
【００１３】
［適用例６］上記適用例に係わる吸引装置において、前記吸引経路は、並列に接続された第１吸引経路と第２吸引経路とを含み、前記第１吸引経路と前記第２吸引経路のそれぞれにおいて、前記キャップ側に設けられた第１開閉バルブと、前記減圧手段側に設けられた第２開閉バルブと、を備えるとしてもよい。
この構成によれば、第１吸引経路と第２吸引経路のそれぞれにおける容積と負圧水準とに基づいて、段階的な吸引を行うことができる。また、第１吸引経路と第２吸引経路とを直列に接続する場合に比べて、吸引経路の減圧を容易に行うことができる。
【００１４】
［適用例７］上記適用例に係わる吸引装置において、前記第１吸引経路の容積と前記第２吸引経路の容積とがほぼ等しいとしてもよい。
この構成によれば、吸引量が同等レベルの吸引を繰り返して行うことができる。
【００１５】
［適用例８］上記適用例に係わる吸引装置において、前記第１吸引経路の容積と前記第２吸引経路の容積が異なるとしてもよい。
この構成によれば、ノズルの目詰まり状態に応じて、吸引量が異なるレベルの吸引を行うことができる。
【００１６】
［適用例９］上記適用例に係わる吸引装置において、前記ノズル面を密封したときの前記キャップの容積は、前記吸引経路の容積の値よりも小さいことが好ましい。
この構成によれば、キャップの容積に起因する実質的な吸引量の変動を抑えることができる。
【００１７】
［適用例１０］上記適用例に係わる吸引装置において、前記吸引経路に複数の前記キャップが接続され、前記ノズル面を密封したときの複数の前記キャップの容積は、前記吸引経路の容積よりも小さいことが好ましい。
この構成によれば、複数のキャップの容積に起因する実質的な吸引量の変動を抑えることができる。
【００１８】
［適用例１１］本適用例に係わる吸引方法は、吐出ヘッドのノズルから前記吐出ヘッドに充填された液体を吸引する吸引方法であって、前記ノズルが設けられたノズル面を密封可能なキャップと、減圧手段と、前記キャップと前記減圧手段との間に設けられた吸引経路と、前記吸引経路の前記キャップ側に設けられた第１開閉バルブと、前記吸引経路の前記減圧手段側に設けられた第２開閉バルブと、を有する吸引装置を用い、前記第１開閉バルブを閉じ、前記第２開閉バルブを開いて前記減圧手段により前記吸引経路を所定の負圧水準まで減圧する減圧工程と、前記第１開閉バルブ及び前記第２開閉バルブを閉じて、前記キャップにより前記ノズル面を密封した後に、前記第１開閉バルブを開いて吸引を行う吸引工程と、を含むことを特徴とする。
【００１９】
本適用例の吸引方法による吸引量は、第１開閉バルブと第２開閉バルブとの間の吸引経路の容積と、キャップによってノズル面を密封したときのキャップ内の圧力に対する上記吸引経路の負圧水準との積によって与えられる。したがって、減圧手段で連続的に吸引し、例えば吸引時間を管理することで吸引量を定める場合に比べて、吸引量を調整し易い。ゆえに、所望の量の液体を吸引可能な吸引方法を提供することができる。
【００２０】
［適用例１２］上記適用例に係わる吸引方法において、前記吐出ヘッドは、液体供給口と、複数の前記ノズルと、複数の前記ノズルのそれぞれに連通するキャビティとを有し、前記吸引工程において、前記液体供給口から前記キャビティを含む複数の前記ノズルまでの容積以下の前記液体を吸引するように、前記減圧工程における前記吸引経路の負圧水準が設定されることを特徴とする。
この方法によれば、吐出ヘッドから必要以上に液体が吸引されることを抑制することができる。
【００２１】
［適用例１３］上記適用例に係わる吸引方法において、前記吸引経路は、第３開閉バルブを介して直列に接続された第１吸引経路及び第２吸引経路を含み、前記吸引工程は、前記第１開閉バルブを開け、前記第３開閉バルブと前記第２開閉バルブとを閉じて、吸引を行う第１吸引工程と、前記第１吸引工程の後に、前記第３開閉バルブを開けて、吸引を行う第２吸引工程と、を含むことを特徴とする。
この方法によれば、第１吸引経路の容積と負圧水準とに基づいた第１吸引工程と、第２吸引経路の容積と負圧水準とに基づいた第２吸引工程とにより、段階的な吸引を行うことができる。つまり、１回の吸引で液体を吸引する場合に比べて、吐出ヘッドから必要以上に液体が吸引されることをより抑制することができる。また、第３開閉バルブを開閉することで段階的な吸引が可能なため、減圧手段による減圧を繰り返し行わなくてよい。
【００２２】
［適用例１４］上記適用例に係わる吸引方法において、前記吸引経路は、第３開閉バルブを介して直列に接続された第１吸引経路及び第２吸引経路と、前記キャップと前記減圧手段との間に、前記吸引経路に対して並列に接続され、前記吸引経路を迂回する迂回吸引経路を含み、前記吸引工程は、前記第１開閉バルブを開け、前記第３開閉バルブと前記第２開閉バルブとを閉じて、吸引を行う第１吸引工程と、前記第１吸引工程の後に、前記第３開閉バルブを開けて、吸引を行う第２吸引工程と、前記第２開閉バルブを閉め、前記減圧手段により前記迂回吸引経路を経由して吸引を行う第３吸引工程と、を含むことを特徴とする。
この方法によれば、第１吸引工程と第２吸引工程とによる段階的な吸引と、迂回吸引経路を経由した第３吸引工程による連続的な吸引とを組み合わせて、ノズルの目詰まり状態に応じた吸引を行うことができる。
【００２３】
［適用例１５］上記適用例に係わる吸引方法において、前記吸引経路は、並列に接続された第１吸引経路と第２吸引経路とを含み、前記第１吸引経路と前記第２吸引経路のそれぞれにおいて、前記第１開閉バルブと、前記第２開閉バルブとを備え、前記吸引工程は、前記第２吸引経路の前記第１開閉バルブ及び前記第２開閉バルブを閉め、前記第１吸引経路の前記第２開閉バルブを閉めて、前記第１吸引経路の前記第１開閉バルブを開けて吸引を行う第１吸引工程と、前記第１吸引工程の後に、前記第１吸引経路の前記第１開閉バルブを閉め、前記第２吸引経路の前記第１開閉バルブを開けて吸引を行う第２吸引工程と、を含むことを特徴とする。
この方法によれば、第１吸引工程と第２吸引工程とにより、段階的な吸引を行うことができる。また、第１吸引経路と第２吸引経路とが直列に接続されている場合に比べて、減圧工程において、吸引経路の減圧を容易に行うことができる。
【００２４】
［適用例１６］上記適用例に係わる吸引方法において、前記減圧工程の前に、前記吸引経路の内部に残留する前記液体を排出する排出工程を有することが好ましい。
この方法によれば、減圧工程の前に吸引経路内の液体が排出されるので、減圧工程で吸引経路内に液体が存在する場合に比べて、吸引経路の負圧水準を適正に実現できる。つまり、精度よく吸引を行うことができる。
【００２５】
［適用例１７］本適用例に係わる吐出装置は、吐出ヘッドと、上記適用例に記載の吸引装置と、を備えたことを特徴とする。
本適用例の構成によれば、吸引装置によって液体が無駄に消費されることが低減され、且つノズルの目詰まりが解消されるので、液体を被吐出物に安定的に吐出可能な吐出装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】第１実施形態の吐出装置の構成を示す概略斜視図。
【図２】（ａ）は吐出ヘッドの構成を示す概略斜視図、（ｂ）は吐出ヘッドにおける加圧部の構造を示す概略斜視図、（ｃ）は吐出ヘッドのノズルを含む構造を示す概略断面図。
【図３】ヘッドユニットにおける吐出ヘッドの配置を示す概略平面図。
【図４】吸引装置とワイピング装置の構成を示す概略斜視図。
【図５】第１実施形態の吐出装置における制御系を示すブロック図。
【図６】第１実施形態の吸引装置の構成を示す概略図。
【図７】第１実施形態の吸引装置におけるキャップの配置を示す概略平面図。
【図８】第１実施形態の吸引方法を示すフローチャート。
【図９】吸引装置による吸引工程を示す概略図。
【図１０】第２実施形態の吸引装置の構成を示す概略図。
【図１１】第３実施形態の吸引装置の構成を示す概略図。
【図１２】第４実施形態の吸引装置の構成を示す概略図。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下、本発明を具体化した実施形態について図面に従って説明する。なお、使用する図面は、説明する部分が認識可能な状態となるように、適宜拡大または縮小して表示している。
【００２８】
（第１実施形態）
＜吐出装置＞
まず、本実施形態の吸引装置を備えた吐出装置について、図１〜図５を参照して説明する。図１は第１実施形態の吐出装置の構成を示す概略斜視図である。
【００２９】
図１に示すように、本実施形態の吐出装置１０は、ノズルを有する吐出ヘッド５０（図２（ａ）参照）から機能性材料を含む機能液（液体）を、被吐出物である例えば平板状のワークＷに吐出する装置である。吐出装置１０は、ワークＷを主走査方向（Ｙ軸方向）に移動させるワーク移動機構２０と、ヘッドユニット９を主走査方向に直交する副走査方向（Ｘ軸方向）に移動させるヘッド移動機構３０とを備えている。吐出ヘッド５０はヘッドユニット９に搭載されている。
【００３０】
ワーク移動機構２０は、一対のガイドレール２１と、一対のガイドレール２１に沿って移動する移動台２２と、移動台２２上に回転機構６を介して配設されたワークＷを載置するステージ５とを備えている。
【００３１】
移動台２２は、ガイドレール２１の内部に設けられたエアスライダーとリニアモーター（図示省略）により主走査方向（Ｙ軸方向）に移動する。移動台２２には、タイミング信号生成部としてのエンコーダー１２（図５参照）が設けられている。
【００３２】
エンコーダー１２は、移動台２２の主走査方向（Ｙ軸方向）への相対移動に伴って、ガイドレール２１に並設されたリニアスケール（図示省略）の目盛を読み取って、タイミング信号としてのエンコーダパルスを生成する。なお、エンコーダー１２の配設は、これに限らず、例えば、移動台２２を回転軸に沿って主走査方向（Ｙ軸方向）に相対移動するよう構成し、回転軸を回転させる駆動部を設けた場合には、エンコーダー１２を駆動部に設けてもよい。駆動部としては、サーボモーターなどが挙げられる。
【００３３】
ステージ５はワークＷを吸着固定可能であると共に、回転機構６によってワークＷ内の基準軸を正確に主走査方向（Ｙ軸方向）、副走査方向（Ｘ軸方向）に合わせることが可能となっている。
また、ワークＷ上において機能液が吐出される吐出領域（膜形成領域とも呼ぶ）の配置に応じて、ワークＷを例えば９０度旋回させることも可能である。
【００３４】
ヘッド移動機構３０は、一対のガイドレール３１と、一対のガイドレール３１に沿って移動する移動台３２とを備えている。移動台３２には、回転機構７を介して吊設されたキャリッジ８が設けられている。
【００３５】
キャリッジ８には、複数の吐出ヘッド５０（図２参照）がヘッドプレート９ａに搭載されたヘッドユニット９が取り付けられている。
また、キャリッジ８には、吐出ヘッド５０に機能液を供給するための機能液供給機構（図示省略）と、複数の吐出ヘッド５０の電気的な駆動制御を行うためのヘッドドライバー４８（図５参照）とが設けられている。
移動台３２がキャリッジ８を副走査方向（Ｘ軸方向）に移動させてヘッドユニット９をワークＷに対して対向配置する。
【００３６】
吐出装置１０は、上記構成の他にも、ヘッドユニット９に搭載された複数の吐出ヘッド５０のメンテナンスを行うメンテナンス機構を備えている。メンテナンス機構としては、ノズルの目詰まりを解消させる吸引装置７０Ａ（図４参照）、ノズル面の異物や汚れの除去を行うワイピング装置９０（図４参照）が挙げられる。
また、吐出装置１０は、吐出ヘッド５０のノズルから吐出された機能液を受けて、吐出された機能液の重量を計測する重量測定装置９５（図５参照）や、吐出された機能液の着弾状態を観察できる観察装置が挙げられる。そして、これらの構成を統括的に制御する制御部４０を備えている。なお、図１では、上記メンテナンス機構を図示していない。
【００３７】
図２（ａ）は吐出ヘッドの構成を示す概略斜視図、図２（ｂ）は吐出ヘッドにおける加圧部の構造を示す概略斜視図、図２（ｃ）は吐出ヘッドのノズルを含む構造を示す概略断面図である。
【００３８】
図２（ａ）に示すように、吐出ヘッド５０は、所謂２連のものであり、２連の接続針５２を有する機能液の導入部５１と、導入部５１に積層されたヘッド基板５３と、ヘッド基板５３上に配置され内部に機能液のヘッド内流路が形成されたヘッド本体５４とを備えている。接続針５２は、前述した機能液供給機構に配管を経由して接続され、機能液をヘッド内流路に供給する。ヘッド基板５３には、フレキシブルフラットケーブル（図示省略）を介してヘッドドライバー４８（図５参照）に接続される２連のコネクター５７が設けられている。
【００３９】
ヘッド本体５４は、駆動手段（アクチュエーター）としての圧電素子で構成された加圧室を有する加圧部５５と、ノズル面５８ｐに２つのノズル列５８ａ，５８ｂが相互に平行に形成されたノズルプレート５６とを有している。
【００４０】
２つのノズル列５８ａ，５８ｂは、それぞれ複数（１８０個）のノズル５８がピッチＰ１でほぼ等間隔に並べられており、互いにピッチＰ１の半分のピッチＰ２ずれた状態でノズル面５８ｐに配設されている。本実施形態において、ピッチＰ１は、例えばおよそ１４１μｍである。よって、２つのノズル列５８ａ，５８ｂにより構成されるノズル列５８ｃに直交する方向から見ると３６０個のノズル５８がおよそ７０．５μｍのノズルピッチで配列した状態となっている。また、ノズル５８の径は、およそ２７μｍである。
【００４１】
図２（ｂ）に示すように、吐出ヘッド５０は、複数のノズル５８が形成されたノズルプレート５６と、振動板６２と、ノズルプレート５６と振動板６２との間に挟まれたキャビティプレート６１とを有している。
加圧部５５を構成するキャビティプレート６１には、複数のノズル５８をそれぞれ仕切る隔壁部６７と、機能液が貯留されるキャビティ６５とが形成されている。ノズルプレート５６と振動板６２との間で隔壁部６７によってノズル５８ごとに仕切られた空間が加圧室６８となる。各隔壁部６７には加圧室６８とキャビティ６５とを連通させるオリフィス（溝）６６が形成されている。振動板６２には、キャビティ６５に通ずる液体供給口６３が設けられている。液体供給口６３は図２（ａ）に示した接続針５２と繋がっており、機能液をキャビティ６５と各加圧室６８とに充填することができる。また、振動板６２には、各加圧室６８に対応して圧電素子６９が設けられている。このようなキャビティプレート６１の構成は、２つのノズル列５８ａ，５８ｂのそれぞれに対応して形成されている。具体的には、２つのノズル列５８ａ，５８ｂに対応する各加圧室６８が、キャビティ６５を挟んで配列している。
【００４２】
図２（ｃ）に示すように、吐出ヘッド５０は、ヘッドドライバー４８から電気信号としての駆動信号が圧電素子６９に印加されると振動板６２が変形し、隔壁部６７で仕切られた加圧室６８の体積変動が起こる。加圧室６８の体積変動よるポンプ作用で加圧室６８に充填された機能液が加圧され、ノズル５８から機能液を液滴Ｄとして吐出することができる。ノズルプレート５６のノズル面５８ｐには、ノズル面５８ｐが傷つくことを保護すると共に機能液が付着することを防ぐ撥液処理が施された保護層５６ａが形成されている。
【００４３】
吐出ヘッド５０においてノズル５８ごとに設けられる駆動手段（アクチュエーター）は、圧電素子６９に限らない。アクチュエーターとしての振動板６２を静電吸着により変位させる電気機械変換素子や、機能液を加熱してノズル５８から液滴Ｄとして吐出させる電気熱変換素子でもよい。
【００４４】
図３はヘッドユニットにおける吐出ヘッドの配置を示す概略平面図である。詳しくは、ワークＷに対向する側から見た図である。
【００４５】
図３に示すように、ヘッドユニット９は、複数の吐出ヘッド５０が配設されるヘッドプレート９ａを備えている。ヘッドプレート９ａには、３つの吐出ヘッド５０からなるヘッド群５０Ａと、同じく３つの吐出ヘッド５０からなるヘッド群５０Ｂの合計６個の吐出ヘッド５０が搭載されている。本実施形態では、ヘッド群５０ＡのヘッドＲ１（吐出ヘッド５０）とヘッド群５０ＢのヘッドＲ２（吐出ヘッド５０）とは同種の機能液を吐出する。他のヘッドＧ１とヘッドＧ２、ヘッドＢ１とヘッドＢ２においても同様である。すなわち、３種の異なる機能液を吐出可能な構成となっている。
【００４６】
１つの吐出ヘッド５０によって描画可能な描画幅をＬ0とし、これをノズル列５８ｃの有効長とする。ノズル列５８ｃとは、前述したように、それぞれに１８０個のノズル５８を有する２つのノズル列５８ａ，５８ｂからなり、３６０個のノズル５８から構成されるものを指す。
【００４７】
ヘッドＲ１とヘッドＲ２は、主走査方向（Ｙ軸方向）から見て隣り合うノズル列５８ｃが主走査方向と直交する副走査方向（Ｘ軸方向）に１ノズルピッチを置いて連続するように主走査方向に並列して配設されている。したがって、同種の機能液を吐出するヘッドＲ１とヘッドＲ２の有効な描画幅Ｌ1は、描画幅Ｌ0の２倍となっている。ヘッドＧ１とヘッドＧ２、ヘッドＢ１とヘッドＢ２においても同様に主走査方向（Ｙ軸方向）に並列して配置されている。
【００４８】
なお、吐出ヘッド５０に設けられるノズル列５８ｃは、２連に限らず、１連でもよい。また、ヘッドユニット９における吐出ヘッド５０の配置は、これに限定されるものではない。
【００４９】
図４は吸引装置とワイピング装置の構成を示す概略斜視図である。
図４に示すように、ヘッド移動機構３０の一対のガイドレール３１の間に、基台７１が設けられている。基台７１には、複数（６個）のキャップ７２を有する吸引装置７０Ａと、ワイピングブレード９１を有するワイピング装置９０が設けられている。
制御部４０（図１参照）は、移動台３２を駆動制御して、キャリッジ８を基台７１の上方に移動させ、ヘッドユニット９に搭載された複数（６個）の吐出ヘッド５０を、複数（６個）のキャップ７２またはワイピングブレード９１に対向する位置に配置することができる。基台７１は、基台７１を吐出ヘッド５０に向って上下に移動させる移動機構（図示省略）を備えている。
本実施形態における吸引装置７０Ａの詳しい構成と、吸引装置７０Ａ及びワイピング装置９０を用いた吸引方法については後述する。
【００５０】
次に吐出装置１０の制御系について図５を参照して説明する。図５は第１実施形態の吐出装置における制御系を示すブロック図である。図５に示すように、吐出装置１０の制御系は、吐出ヘッド５０、ワーク移動機構２０、ヘッド移動機構３０、吸引装置７０Ａなどのメンテナンス機構を駆動する各種ドライバーを有する駆動部４６と、駆動部４６を含め吐出装置１０を統括的に制御する制御部４０とを備えている。
【００５１】
駆動部４６は、ワーク移動機構２０及びヘッド移動機構３０の各リニアモーターをそれぞれ駆動制御する移動用ドライバー４７と、吐出ヘッド５０を駆動制御するヘッドドライバー４８と、メンテナンス機構を駆動制御するメンテナンス用ドライバー４９とを備えている。
【００５２】
制御部４０は、ＣＰＵ４１と、ＲＯＭ４２と、ＲＡＭ４３と、Ｐ−ＣＯＮ４４とを備え、これらは互いにバス４５を介して接続されている。Ｐ−ＣＯＮ４４には、上位コンピューター１１が接続されている。ＲＯＭ４２は、ＣＰＵ４１で処理する制御プログラムなどを記憶する制御プログラム領域と、描画動作や吐出ヘッド５０のメンテナンス処理などを行うための制御データなどを記憶する制御データ領域とを有している。
【００５３】
ＲＡＭ４３は、ワークＷに描画を行うための描画データを記憶する描画データ記憶部、ワークＷ及び吐出ヘッド５０（実際には、ノズル列５８ｃ）の位置データを記憶する位置データ記憶部などの各種記憶部を有し、制御処理のための各種作業領域として使用される。Ｐ−ＣＯＮ４４には、駆動部４６の各種ドライバーなどが接続されており、ＣＰＵ４１の機能を補うと共に、周辺回路とのインタフェース信号を取り扱うための論理回路が構成されて組み込まれている。このため、Ｐ−ＣＯＮ４４は、上位コンピューター１１からの各種指令などをそのままあるいは加工してバス４５に取り込むと共に、ＣＰＵ４１と連動して、ＣＰＵ４１などからバス４５に出力されたデータや制御信号を、そのままあるいは加工して駆動部４６に出力する。
【００５４】
そして、ＣＰＵ４１は、ＲＯＭ４２内の制御プログラムに従って、Ｐ−ＣＯＮ４４を介して各種検出信号、各種指令、各種データなどを入力し、ＲＡＭ４３内の各種データなどを処理した後、Ｐ−ＣＯＮ４４を介して駆動部４６などに各種の制御信号を出力することにより、吐出装置１０全体を制御している。例えば、ＣＰＵ４１は、吐出ヘッド５０、ワーク移動機構２０及びヘッド移動機構３０を制御して、ヘッドユニット９とワークＷとを対向配置させる。そして、ヘッドユニット９とワークＷとの相対移動に同期して、ヘッドユニット９に搭載された各吐出ヘッド５０の複数のノズル５８からワークＷに機能液を液滴Ｄとして吐出するようにヘッドドライバー４８に制御信号を送出する。本実施形態では、Ｙ軸方向へのワークＷの移動に同期して機能液を吐出することを主走査と呼び、主走査に対してＸ軸方向にヘッドユニット９を移動させることを副走査と呼ぶ。本実施形態の吐出装置１０は、主走査と副走査とを組み合わせて複数回繰り返すことにより機能液をワークＷに吐出することができる。主走査は、吐出ヘッド５０に対して一方向へのワークＷの移動に限らず、ワークＷを往復させて行うこともできる。
【００５５】
エンコーダー１２は、ヘッドドライバー４８に電気的に接続され、主走査に伴ってエンコーダパルスを生成する。主走査では、所定の移動速度で移動台２２を移動させるので、エンコーダパルスが周期的に発生する。
【００５６】
例えば、主走査における移動台２２の移動速度を２００ｍｍ／ｓｅｃ、吐出ヘッド５０を駆動する駆動周波数（言い換えれば、連続して液滴Ｄを吐出する場合の吐出タイミング）を２０ｋＨｚとすると、主走査方向における液滴の吐出分解能は、移動速度を駆動周波数で除することにより得られるので、１０μｍとなる。すなわち、１０μｍのピッチで液滴ＤをワークＷ上に配置することが可能である。実際の液滴Ｄの吐出タイミングは、周期的に発生するエンコーダパルスをカウントして生成されるラッチ信号に基づいている。
【００５７】
上位コンピューター１１は、制御プログラムや制御データなどの制御情報を吐出装置１０に送出する。また、ワークＷ上の吐出領域ごとに所定量の機能液を液滴Ｄとして配置する吐出制御データとしての配置情報を生成する配置情報生成部の機能を有している。配置情報は、吐出領域（膜形成領域）における液滴の吐出位置（言い換えれば、ワークＷとノズル５８との相対位置）、液滴の配置数（言い換えれば、ノズル５８ごとの吐出数）、主走査における複数のノズル５８のＯＮ／ＯＦＦすなわちノズル５８の選択／非選択、吐出タイミングなどの情報を、例えば、ビットマップとして表したものである。上位コンピューター１１は、上記配置情報を生成するだけでなく、ＲＡＭ４３に一旦格納された上記配置情報を修正することも可能である。
【００５８】
また、上位コンピューター１１は、ＲＯＭ４２に格納されたメンテナンス用プログラムに基づいて、吐出ヘッド５０を吸引装置７０Ａに対向する位置に配置させ、吸引装置７０Ａを駆動して、吐出ヘッド５０の複数のノズル５８から吐出ヘッド５０に充填された機能液（液体）を吸引させる。これにより、複数のノズル５８（ノズル列５８ｃ）の目詰まりを解消させることができる。
【００５９】
＜吸引装置＞
次に、本実施形態の吸引装置７０Ａについて、図６及び図７を参照して説明する。図６は第１実施形態の吸引装置の構成を示す概略図、図７は第１実施形態の吸引装置におけるキャップの配置を示す概略平面図である。
【００６０】
図６に示すように、本実施形態の吸引装置７０Ａは、吐出ヘッド５０のノズル面５８ｐを密封可能なキャップ７２と、減圧手段としての減圧ポンプ７３と、キャップ７２と減圧ポンプ７３の間に設けられた吸引経路７７と、吸引経路７７と減圧ポンプ７３との間に設けられた液体収容器７５とを有している。吸引経路７７のキャップ７２側には第１開閉バルブ８１が設けられ、吸引経路７７の減圧ポンプ７３側に第２開閉バルブ８２が設けられている。第１開閉バルブ８１及び第２開閉バルブ８２は、開閉を電気的に制御可能な例えば電磁バルブであることが好ましい。
【００６１】
吸引経路７７は、第１開閉バルブ８１と第２開閉バルブ８２とを閉じることにより吸引経路７７の容積が確定するものであればよく、例えばリジッドな配管や第１開閉バルブ８１と第２開閉バルブ８２とが合体した混合バルブであってもよい。
また、例えば、複数のリジッドな配管を気密性を保ちながら伸縮自在に組み合わせて、第１開閉バルブ８１及び第２開閉バルブ８２を閉じたときの吸引経路７７の容積を可変できる構造としてもよい。
【００６２】
本実施形態では、１つの吸引経路７７に対して、同種の機能液（液体）を吐出する２つの吐出ヘッド５０に対応した２つのキャップ７２が二股に分岐した吸引経路７８を介して接続されている。吸引経路７８は前述した基台７１の内部に形成されていてもよいし、基台７１に設けられた配管であってもよい。
【００６３】
液体収容器７５は、密閉容器であって、吐出ヘッド５０から吸引された機能液が一時的に貯留される。液体収容器７５の上面側に、減圧ポンプ７３と液体収容器７５とを繋ぐ配管７４が設けられている。同じく、吸引経路７７の第２開閉バルブ８２と液体収容器７５とを繋ぐ配管７６が設けられている。液体収容器７５の底面側には、貯留された機能液を排出するためのドレインバルブ８５が設けられている。液体収容器７５の側面には、液体収容器７５の上面側と底面側と繋ぐ配管８６が設けられている。液体収容器７５の側面に沿った配管８６の部分は透明な例えばガラス管などが用いられており、液体収容器７５に貯留された機能液の液面の高さを観察可能となっている。
【００６４】
キャップ７２は、吸引経路７８が接続されるキャップベース７２ａと、キャップベース７２ａに配置され、吐出ヘッド５０のノズル面５８ｐに接するキャップ部７２ｂと、を有している。キャップ部７２ｂはノズル面５８ｐに接したときに、ノズル面５８ｐを密封することができるように弾性部材が用いられている。このような弾性部材としては、耐薬品性に優れた例えばフッ素ゴムなどが挙げられる。
【００６５】
図７に示すように、キャップ７２は、ヘッドプレート９ａにおけるヘッド群５０Ａ，５０Ｂの配置（図３参照）に対応して、基台７１上に複数（６個）配置されている。キャップ部７２ｂは、キャップベース７２ａに設けられた孔７８ａを中心にしてトラック状に設けられている。
【００６６】
減圧手段としての減圧ポンプ７３は、例えばロータリー式の真空ポンプや圧縮空気を利用したイジェクターなどを用いてもよい。
【００６７】
本実施形態では、吐出装置１０は３種類の機能液を吐出可能とするため、１種類あたり２個の吐出ヘッド５０がヘッドプレート９ａに取り付けられている。したがって、吸引装置７０Ａは機能液の種類に対応して少なくとも３本の吸引経路７７を有している。機能液の種類に対応した吸引経路７７のそれぞれに液体収容器７５と減圧手段としての減圧ポンプ７３とを用意してもよいし、３種の機能液に対応する少なくとも３つの吸引経路７７に対して、１組の液体収容器７５と減圧ポンプ７３とを用意してもよい。
【００６８】
吸引装置７０Ａは、上述した構成の他に、液体収容器７５内の圧力を電気的に検出可能な圧力計（図示省略）などを備えている。また、ドレインバルブ８５を開くことによって液体収容器７５に貯留された機能液を排出する際に、排出された機能液の重量または容量を計測する計測器を備えていてもよい。
【００６９】
＜吸引方法＞
次に、本実施形態の吸引方法について、図８及び図９を参照して説明する。図８は第１実施形態の吸引方法を示すフローチャート、図９は吸引装置による吸引工程を示す概略図である。
【００７０】
図８に示すように、本実施形態の吸引装置７０Ａを用いた吸引方法は、排出工程（ステップＳ１）と、減圧工程（ステップＳ２）と、吸引工程（ステップＳ３）と、ワイプ工程（ステップＳ４）とを備えている。
【００７１】
図８の排出工程（ステップＳ１）では、吸引経路７７に残留する機能液を排出する。具体的には、制御部４０が吸引装置７０Ａを制御して、図６に示すように、吐出ヘッド５０のノズル面５８ｐに対してキャップ７２を離間させた状態で、第１開閉バルブ８１及び第２開閉バルブ８２を開け、減圧ポンプ７３を駆動して液体収容器７５内を減圧することにより、キャップ７２に繋がる吸引経路７７，７８及び配管７６内に残留する機能液を大気と共に吸い込んで液体収容器７５に収容する。これにより、少なくとも吸引経路７７内に残留した機能液を排出させる。減圧ポンプ７３は停止させる。そして、ステップＳ２へ進む。
【００７２】
図８の減圧工程（ステップＳ２）では、吸引経路７７を所定の負圧水準となるように減圧する。具体的には、図６に示すように、吐出ヘッド５０のノズル面５８ｐに対してキャップ７２を離間させた状態で、第１開閉バルブ８１を閉じ、第２開閉バルブ８２を開けて、減圧ポンプ７３を駆動して液体収容器７５内を減圧することにより、液体収容器７５に繋がっている吸引経路７７を所定の負圧水準となるまで減圧した後に第２開閉バルブ８２を閉じる。減圧ポンプ７３は停止させる。そして、ステップＳ３へ進む。
【００７３】
図８の吸引工程（ステップＳ３）では、まず、基台７１を上昇させて、図９に示すように、吐出ヘッド５０のノズル面５８ｐにキャップ７２を押し付けて、ノズル面５８ｐをキャップ７２によって密封する。続いて、第１開閉バルブ８１を開け、吸引経路７７の負圧を利用して、キャップ７２によって密封された空間Ｃｖを減圧する。これにより、吐出ヘッド５０に充填された機能液を複数のノズル５８（ノズル列５８ｃ）から吸引する。吐出ヘッド５０への機能液の供給経路は、閉じられていないので、このような吸引動作は、吸引経路７７内の圧力（負圧状態）が周辺環境の圧力とほぼ同等になるまで行われる。複数のノズル５８（ノズル列５８ｃ）から機能液が吸引されるときに、目詰まりしていたノズル５８では、例えば機能液が乾燥して固化した異物や気泡などが同時に吸引されて取り除かれる。そして、ステップＳ４へ進む。
【００７４】
図８のワイプ工程（ステップＳ４）は、吸引工程によってノズル面５８ｐに付着した機能液や異物をワイピング装置９０を用いて拭き取る工程である。具体的には、吸引工程が終了すると、基台７１を下降させて、吐出ヘッド５０のノズル面５８ｐからキャップ７２を離間させる。次に、ヘッド移動機構３０により移動台３２を移動させて、ヘッドユニット９をワイピング装置９０と対向配置させる（図４参照）。基台７１を上昇させてワイピングブレード９１を吐出ヘッド５０のノズル面５８ｐの長手方向における一方の端に当接させる。そして、ノズル面５８ｐにワイピングブレード９１を当接させた状態で、ワイピングブレード９１をノズル面５８ｐの長手方向における一方の端から他方の端へと移動させることにより、ワイピングブレード９１によってノズル面５８ｐを払拭する。これによって、ノズル面５８ｐに付着した機能液や異物がワイピングブレード９１で掻き落とされて、ノズル面５８ｐが清掃（クリーニング）される。
【００７５】
上記吸引工程において、吸引経路７７の負圧を利用した吸引動作における吸引量Ｖは、吸引経路７７の容積Ｖ０と吸引経路７７の負圧水準Ｖｐとの積で与えられる。
例えば、吸引経路７７の容積Ｖ０を１ｃｍ3（ｃｃ）とし、大気圧を０ｋＰａとしたときの負圧水準Ｖｐを−６０ｋＰａとすれば、吸引量Ｖは０．６ｃｍ3（ｃｃ）となる。負圧水準Ｖｐにおける−６０ｋＰａはゲージ圧である。絶対真空を０ｋＰａとすると、１気圧は、およそ１００ｋＰａであることから、負圧水準Ｖｐを例えば−６０ｋＰａとすることで吸引経路７７の容積Ｖ０の６０％を吸引可能となる。
言い換えれば、第１開閉バルブ８１と第２開閉バルブ８２との間の吸引経路７７の容積Ｖ０は一定であるため、吸引経路７７の負圧水準Ｖｐ（ゲージ圧）を調整することで、吸引量Ｖを正確に設定可能である。負圧水準Ｖｐを振って吸引量Ｖを変化させれば、吸引量Ｖによってどの程度の量の機能液を吐出ヘッド５０から吸引できるかが分かる。また、吸引量Ｖとノズル目詰まりの解消度合いを調べれば、ノズル目詰まりを解消可能な最小限の吸引量Ｖ、すなわち吸引装置７０Ａによって吐出ヘッド５０から吸引する最小限の機能液の量を導きだせる。
【００７６】
本実施形態の吐出ヘッド５０における液体供給口６３からキャビティ６５を含む複数（３６０個）のノズル５８までの容積はおよそ０．６ｃｍ3（ｃｃ）である。２つの吐出ヘッド５０を同時に吸引可能な本実施形態の吸引装置７０Ａでは、吸引経路７７の容積Ｖ０を２ｃｍ3（ｃｃ）とし、負圧水準Ｖｐを−６０ｋＰａとすることで、吸引量Ｖを１．２ｃｍ3（ｃｃ）とした。これにより、およそ０．６ｃｍ3（ｃｃ）の機能液をそれぞれの吐出ヘッド５０から吸引することができた。また、吸引量Ｖを１．２ｃｍ3（ｃｃ）よりも小さい値とすると、吸引される機能液の量が減少して、ノズル目詰まりを解消し難くなり、吸引量Ｖを１．２ｃｍ3（ｃｃ）以上とすることで、ほぼノズル目詰まりを解消可能であることが分かった。つまり、吐出ヘッド５０の複数のノズル５８から０．６ｃｍ3（ｃｃ）の機能液を吸引できればノズル目詰まりが解消される。
【００７７】
なお、本実施形態では、有機エレクトロルミネッセンス（ＥＬ）素子の発光層形成材料を含む機能液を用いた。発光層形成材料は、ホスト材料と、ドーパントとしての発光材料とを含み、発光層形成材料の含有量は０．５ｗｔ％〜１．０ｗｔ％程度である。溶媒としては、シクロヘキシルベンゼンなどを挙げることができる。このような発光層形成材料と溶媒とを含む機能液は、吐出ヘッド５０のノズル５８から機能液を液滴Ｄとして吐出し易い低粘度（例えば３０Ｐａ・ｓ（パスカル秒）以下）な状態にある。
吸引装置７０Ａによって吸引される、ノズル目詰まりを解消可能な機能液の最小限の量は、機能液の例えば粘度や界面張力などの物性によっても影響される。したがって、機能液の種類に応じて、吸引量Ｖすなわち吸引経路７７の容積Ｖ０と負圧水準Ｖｐとを調整することが好ましい。
【００７８】
また、本実施形態では、吸引経路７７を所定の負圧水準Ｖｐとする減圧工程の後に、吸引工程（吸引動作）が行われる。したがって、例えば第１開閉バルブ８１及び第２開閉バルブ８２を開けて、減圧ポンプ７３を駆動して減圧工程と吸引工程とを同時に行う場合に比べて、キャップ７２によってノズル面５８ｐを密封したときの空間Ｃｖを吸引経路７７の負圧状態にすぐに晒すことができる。それゆえに、吸引装置７０Ａの吸引量Ｖは上記空間Ｃｖ及び上記空間Ｃｖに繋がる第１開閉バルブ８１とキャップベース７２ａとの間の吸引経路７８の容積の影響を受けるので、２つの上記空間Ｃｖの容積に吸引経路７８の容積を加えた値は、吸引経路７７の容積よりも小さいことが好ましい。言い換えれば、吸引経路７７の容積は複数（２つ）の上記空間Ｃｖの容積に吸引経路７８の容積を加えた値よりも大きいことが好ましい。これによって、上記空間Ｃｖをすばやく負圧状態に到達させることができる。
【００７９】
上記第１実施形態の効果は、以下の通りである。
（１）吸引装置７０Ａ及びこれを用いた吸引方法は、吐出ヘッド５０のノズル面５８ｐを密封可能なキャップ７２と、減圧手段としての減圧ポンプ７３と、キャップ７２と減圧ポンプ７３の間に設けられた吸引経路７７と、吸引経路７７のキャップ７２側に設けられた第１開閉バルブ８１と、吸引経路７７の減圧ポンプ７３側に設けられた第２開閉バルブ８２を備え、第１開閉バルブ８１を閉じて第２開閉バルブ８２を開け、減圧ポンプ７３により、吸引経路７７を所定の負圧水準Ｖｐとする。その後に、吐出ヘッド５０のノズル面５８ｐをキャップ７２により密封して、第２開閉バルブ８２を閉じて第１開閉バルブ８１を開け、吸引経路７７の負圧水準Ｖｐを利用して、複数のノズル５８から吐出ヘッド５０に充填された液体としての機能液を吸引する。吸引装置７０Ａ及びこれを用いた吸引方法における吸引量Ｖは、吸引経路７７の容積Ｖ０と負圧水準Ｖｐとの積で与えられるので、負圧水準Ｖｐを調整することによって、吸引量Ｖが設定される。
減圧ポンプ７３によって連続的に吸引して、吐出ヘッド５０から充填された機能液を吸引する場合に比べて、吸引量Ｖを正確に設定できると共に、必要以上の量の機能液が吐出ヘッド５０から吸引されることを低減できる。つまり、ノズル５８の目詰まりを解消可能であると共に、吸引動作によって無駄に機能液が消費されることを防ぐことが可能な吸引装置７０Ａ及びこれを用いた吸引方法を提供できる。
（２）吸引装置７０Ａは同種の機能液を吐出する複数（２つ）の吐出ヘッド５０に対応した複数（２つ）のキャップ７２を有し、１つの吸引経路７７に複数（２つ）のキャップ７２が第１開閉バルブ８１を介して接続されている。つまり、機能液の種類ごとに吸引が可能となっている。ノズル５８の目詰まりを解消させる吸引条件は、機能液の種類によっても変わるおそれがあるので、機能液の種類ごとに最適な吸引動作を実現できる。
（３）上記第１実施形態の吸引方法は、吸引経路７７を減圧する前に、吸引経路７７に残留する機能液を液体収容器７５に排出する排出工程を有しているので、減圧工程において、残留する機能液の影響を受けずに吸引経路７７を安定的に所定の負圧水準Ｖｐとすることができる。つまり、所望の吸引量Ｖを確保して、安定的にノズル５８の目詰まりを解消することができる。
（４）吐出装置１０は、吸引装置７０Ａを備えており、吸引動作による機能液の無駄を抑えて、機能液の種類ごとに設けられた吐出ヘッド５０のノズル５８の目詰まりが解消される。したがって、吐出ヘッド５０による安定的な機能液の吐出が実現される。ゆえに、被吐出物であるワークＷの吐出領域に機能液が安定的に吐出され、機能性材料からなる機能膜をむらなく形成することができる吐出装置１０を実現することができる。
【００８０】
（第２実施形態）
次に、第２実施形態の吸引装置及びその吸引方法について、図１０を参照して説明する。図１０は第２実施形態の吸引装置の構成を示す概略図である。第２実施形態の吸引装置は、第１実施形態の吸引装置７０Ａに対して、吸引経路７７の構成を異ならせたものである。したがって、第１実施形態と同じ構成については同じ符号を付して詳細な説明は省略する。
【００８１】
図１０に示すように、本実施形態の吸引装置７０Ｂは、吐出ヘッド５０のノズル面５８ｐを密封可能なキャップ７２と、減圧手段としての減圧ポンプ７３と、キャップ７２と減圧ポンプ７３の間に設けられた吸引経路７７と、吸引経路７７と減圧ポンプ７３との間に設けられた液体収容器７５とを有している。吸引経路７７は直列に接続された第１吸引経路７７ａと第２吸引経路７７ｂとにより構成されている。第１吸引経路７７ａのキャップ７２側には第１開閉バルブ８１が設けられ、第２吸引経路７７ｂの減圧ポンプ７３側に第２開閉バルブ８２が設けられ、第１吸引経路７７ａと第２吸引経路７７ｂとの間に第３開閉バルブ８３が設けられている。
【００８２】
第１吸引経路７７ａの容積と第２吸引経路７７ｂの容積は、同じでもよいし、異なっていてもよい。
【００８３】
このような吸引装置７０Ｂを用いた吸引方法は、上記第１実施形態における吸引装置７０Ａを用いた吸引方法と基本的に同じ工程（図８参照）を有しているが、減圧工程及び吸引工程の内容が一部異なる。
減圧工程（ステップＳ２）では、第１開閉バルブ８１を閉じ、第２開閉バルブ８２及び第３開閉バルブ８３を開けて、第１吸引経路７７ａと第２吸引経路７７ｂとを共に所定の負圧水準Ｖｐとなるまで減圧する。そして、第２開閉バルブ８２及び第３開閉バルブ８３を閉じる。減圧ポンプ７３は停止させる。
吸引工程（ステップＳ３）では、吐出ヘッド５０のノズル面５８ｐをキャップ７２により密封した状態で、第１開閉バルブ８１を開けて第１吸引経路７７ａの負圧を利用した吸引動作を行う（第１吸引工程）。第１吸引工程が終了すると、キャップ７２内は周辺環境と同じ圧力となる。続いて、第３開閉バルブ８３を開けて第２吸引経路７７ｂの負圧を利用した吸引動作を行う（第２吸引工程）。
【００８４】
上記第２実施形態の吸引装置７０Ｂ及びこれを用いた吸引方法によれば、第１実施形態の効果（１）〜（４）に加えて、以下の効果が得られる。
（５）吸引経路７７が第１吸引経路７７ａと第２吸引経路７７ｂとに分かれているので、第１吸引経路７７ａの容積と負圧水準Ｖｐの積で与えられる吸引量Ｖ１の第１吸引工程と、第２吸引経路７７ｂの容積と負圧水準Ｖｐの積で与えられる吸引量Ｖ２の第２吸引工程とによる段階的な吸引ができる。
第１吸引経路７７ａの容積と第２吸引経路７７ｂの容積が同じであれば、同等の吸引量による２回の吸引を段階的に実施できる。
また、第１吸引経路７７ａの容積と第２吸引経路７７ｂの容積とが異なっていれば、異なる吸引量で２回の吸引を段階的に実施できる。
１回の吸引動作で所望の吸引量Ｖを吸引する場合に比べて、段階的に吸引動作が行われるので、機能液が必要以上に吸引されることを抑制できる。
【００８５】
（第３実施形態）
次に、第３実施形態の吸引装置及びその吸引方法について、図１１を参照して説明する。図１１は第３実施形態の吸引装置の構成を示す概略図である。第３実施形態の吸引装置は、第２実施形態の吸引装置７０Ｂに対して、迂回吸引経路を加えたものである。したがって、第２実施形態と同じ構成については同じ符号を付して詳細な説明は省略する。
【００８６】
図１１に示すように、本実施形態の吸引装置７０Ｃは、吐出ヘッド５０のノズル面５８ｐを密封可能なキャップ７２と、減圧手段としての減圧ポンプ７３と、キャップ７２と減圧ポンプ７３の間に設けられた吸引経路７７と、吸引経路７７に対して並列に設けられた迂回吸引経路７９とを有する。また、吸引経路７７及び迂回吸引経路７９と減圧ポンプ７３との間に設けられた液体収容器７５とを有している。吸引経路７７は直列に接続された第１吸引経路７７ａと第２吸引経路７７ｂとにより構成されている。第１吸引経路７７ａのキャップ７２側には第１開閉バルブ８１が設けられ、第２吸引経路７７ｂの減圧ポンプ７３側に第２開閉バルブ８２が設けられ、第１吸引経路７７ａと第２吸引経路７７ｂとの間に第３開閉バルブ８３が設けられている。迂回吸引経路７９のキャップ７２側には第４開閉バルブ８７が設けられている。第１開閉バルブ８１と第４開閉バルブ８７とは、それぞれ２つのキャップ７２に連通した吸引経路７８に接続されている。
迂回吸引経路７９の減圧ポンプ７３側は、第２開閉バルブ８２と液体収容器７５との間の配管７６に接続されている。
【００８７】
第１吸引経路７７ａの容積と第２吸引経路７７ｂの容積は、同じでもよいし、異なっていてもよい。
【００８８】
このような吸引装置７０Ｃを用いた吸引方法は、上記第１実施形態における吸引装置７０Ａを用いた吸引方法と基本的に同じ工程（図８参照）を有しているが、減圧工程及び吸引工程の内容が一部異なる。
減圧工程（ステップＳ２）では、第１開閉バルブ８１及び第４開閉バルブ８７を閉じ、第２開閉バルブ８２及び第３開閉バルブ８３を開けて、吸引経路７７を所定の負圧水準Ｖｐとなるまで減圧する。そして、第２開閉バルブ８２及び第３開閉バルブ８３を閉じる。減圧ポンプ７３は停止させる。
吸引工程（ステップＳ３）では、吐出ヘッド５０のノズル面５８ｐをキャップ７２により密封した状態で、第１開閉バルブ８１を開けて第１吸引経路７７ａの負圧を利用した吸引動作を行う（第１吸引工程）。第１吸引工程が終了すると、キャップ７２内は周辺環境と同じ圧力となる。続いて、第３開閉バルブ８３を開けて第２吸引経路７７ｂの負圧を利用した吸引動作を行う（第２吸引工程）。
さらに、ノズル５８の目詰まりの状態に応じて、第１開閉バルブ８１を閉じて、第４開閉バルブ８７を開け、減圧ポンプ７３を駆動させて、迂回吸引経路７９を介して連続的な吸引動作を行う第３吸引工程を含んでいてもよい。
【００８９】
第３吸引工程は、第２吸引工程の後に行われることに限定されず、単独で行われてもよい。あるいは、第１吸引工程の前に実施してもよい。
【００９０】
上記第３実施形態の吸引装置７０Ｃ及びこれを用いた吸引方法によれば、第１実施形態の効果（１）〜（４）と第２実施形態の効果（５）に加えて、以下の効果が得られる。
（６）ノズル５８の目詰まりの状態に応じて、第１〜第３吸引工程を使い分けることができる。迂回吸引経路７９は、第１吸引経路７７ａ及び第２吸引経路７７ｂを減圧して負圧状態とするときに、同時に減圧可能であるため、第２吸引工程から第３吸引工程へ、あるいは第３吸引工程から第１吸引工程へすばやく移行することができる。
【００９１】
（第４実施形態）
次に、第４実施形態の吸引装置及びその吸引方法について、図１２を参照して説明する。図１２は第４実施形態の吸引装置の構成を示す概略図である。第４実施形態の吸引装置は、第１実施形態の吸引装置７０Ａに対して、吸引経路の構成を異ならせたものである。したがって、第１実施形態と同じ構成については同じ符号を付して詳細な説明は省略する。
【００９２】
図１２に示すように、本実施形態の吸引装置７０Ｄは、吐出ヘッド５０のノズル面５８ｐを密封可能なキャップ７２と、減圧手段としての減圧ポンプ７３と、キャップ７２と減圧ポンプ７３の間に設けられた吸引経路７７とを有する。また、吸引経路７７と減圧ポンプ７３との間に設けられた液体収容器７５とを有している。吸引経路７７は並列に接続された第１吸引経路７７ａ及び第２吸引経路７７ｂ並びに第３吸引経路７７ｃとにより構成されている。第１吸引経路７７ａ及び第２吸引経路７７ｂ並びに第３吸引経路７７ｃのそれぞれにおいて、キャップ７２側に第１開閉バルブ８１が設けられ、減圧ポンプ７３側に第２開閉バルブ８２が設けられている。３つの第１開閉バルブ８１のそれぞれは、２つのキャップ７２に連通した吸引経路７８に接続されている。３つの第２開閉バルブ８２のそれぞれは、液体収容器７５との間の配管７６に接続されている。
【００９３】
第１吸引経路７７ａの容積、第２吸引経路７７ｂの容積、第３吸引経路７７ｃの容積は、互いに同じでもよいし、異なっていてもよい。３つの吸引経路７７ａ，７７ｂ，７７ｃのうちの１つ吸引経路の容積が他の吸引経路の容積と異なっていてもよい。
【００９４】
このような吸引装置７０Ｄを用いた吸引方法は、上記第１実施形態における吸引装置７０Ａを用いた吸引方法と基本的に同じ工程（図８参照）を有しているが、減圧工程及び吸引工程の内容が一部異なる。
減圧工程（ステップＳ２）では、３つの第１開閉バルブ８１を閉じ、３つの第２開閉バルブ８２を開けて、３つの吸引経路７７ａ，７７ｂ，７７ｃのそれぞれを所定の負圧水準Ｖｐとなるまで減圧する。そして、３つの第２開閉バルブ８２を閉じる。減圧ポンプ７３は停止させる。
吸引工程（ステップＳ３）では、吐出ヘッド５０のノズル面５８ｐをキャップ７２により密封した状態で、３つの吸引経路７７ａ，７７ｂ，７７ｃのうちの１つの吸引経路、例えば第１吸引経路７７ａの第１開閉バルブ８１を開けて第１吸引経路７７ａの負圧を利用した吸引動作を行う（第１吸引工程）。第１吸引工程が終了すると、キャップ７２内は周辺環境と同じ圧力となる。続いて、残りの２つの吸引経路７７ｂ，７７ｃのうちの１つの吸引経路、例えば第２吸引経路７７ｂの第１開閉バルブ８１を開けて第２吸引経路７７ｂの負圧を利用した吸引動作を行う（第２吸引工程）。
続いて、最後の第３吸引経路７７ｃの第１開閉バルブ８１を開けて第３吸引経路７７ｃの負圧を利用した吸引動作を行う（第３吸引工程）。
【００９５】
上記第４実施形態の吸引装置７０Ｄ及びこれを用いた吸引方法によれば、第１実施形態の効果（１）〜（４）に加えて、以下の効果が得られる。
（７）吸引経路７７が第１吸引経路７７ａ、第２吸引経路７７ｂ、第３吸引経路７７ｃに分かれているので、第１吸引経路７７ａの容積と負圧水準Ｖｐの積で与えられる吸引量Ｖ１の第１吸引工程と、第２吸引経路７７ｂの容積と負圧水準Ｖｐの積で与えられる吸引量Ｖ２の第２吸引工程と、第３吸引経路７７ｃの容積と負圧水準Ｖｐの積で与えられる吸引量Ｖ３の第３吸引工程とによる段階的な吸引ができる。
第１吸引経路７７ａ、第２吸引経路７７ｂ、第３吸引経路７７ｃの容積が同じであれば、同等の吸引量による３回の吸引を段階的に実施できる。
また、第１吸引経路７７ａ、第２吸引経路７７ｂ、第３吸引経路７７ｃの容積が異なっていれば、異なる吸引量で３回の吸引を段階的に実施できる。
１回の吸引動作で所望の吸引量Ｖを吸引する場合に比べて、段階的に吸引動作が行われるので、機能液が必要以上に吸引されることを抑制できる。
（８）３つの吸引経路７７ａ，７７ｂ，７７ｃを直列に接続する場合に比べて、３つの吸引経路７７ａ，７７ｂ，７７ｃをいち早く所定の負圧水準Ｖｐとすることができる。また、上記第２実施形態の吸引装置７０Ｂや上記第３実施形態の吸引装置７０Ｃに比べて、第１開閉バルブ８１と液体収容器７５との間の距離を短くして、装置全体の構成を小型化することができる。
【００９６】
本発明は、上記した実施形態に限られるものではなく、請求の範囲および明細書全体から読み取れる発明の要旨あるいは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う吸引装置および吸引方法、該吸引装置を適用する吐出装置もまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。上記実施形態以外にも様々な変形例が考えられる。以下、変形例を挙げて説明する。
【００９７】
（変形例１）上記第１〜第３実施形態において、１つの吸引経路７７に接続されるキャップ７２の数は２つに限定されない。１つの吸引経路７７に１つのキャップ７２が接続されていてもよいし、１つの吸引経路７７に３つ以上のキャップ７２が接続されていてもよい。
【００９８】
（変形例２）上記第４実施形態において、キャップ７２と減圧ポンプ７３（あるいは液体収容器７５）との間に並列に設けられる吸引経路の数は、３つに限定されない。２つでもよいし、４つ以上でもよい。
【００９９】
（変形例３）上記第１実施形態における吐出装置１０は、３種の機能液（液体）を吐出可能であることに限定されない。機能液の種類は１種でもよいし、４種以上でもよい。
【０１００】
（変形例４）吸引経路７７の負圧を利用した吸引方法は、上記第１〜第４実施形態の吸引方法に限定されない。例えば、図６に示した吸引装置７０Ａを用い、減圧工程では、吐出ヘッド５０への機能液の供給を止めた状態で、ノズル面５８ｐをキャップ７２により密封する。そして、第１開閉バルブ８１及び第２開閉バルブ８２を開いて、減圧ポンプ７３を駆動して吸引経路７７及び吸引経路７８を所定の負圧状態Ｖｐとした後に第１開閉バルブ８１及び第２開閉バルブ８２を閉じる。次に、吸引工程では、吐出ヘッド５０への機能液の供給を開始する。そうすると、キャップベース７２ａと第１開閉バルブ８１との間の吸引経路７８の負圧を利用して吐出ヘッド５０に充填された機能液を複数のノズル５８から吸引することができる。この吸引動作によりノズル目詰まりの解消が不足する場合には、第１開閉バルブ８１を開いて、吸引経路７７の負圧を利用した吸引動作を行うことができる。
【０１０１】
（変形例５）吐出ヘッド５０は、複数のノズル５８を有することに限定されず、１つのノズル５８を有する構成であってもよい。
【０１０２】
（変形例６）減圧手段としての減圧ポンプ７３は、減圧時において常に一定の吸引力を示す構成であることに限定されない。吸引力を可変する構成を備えていてもよい。これによれば、吸引装置７０Ａにおける吸引量Ｖを減圧ポンプ７３によって高精度に調整することができる。また、例えば吐出ヘッド５０から機能液を段階的に吸引する場合に、第１吸引経路７７ａを負圧にするときの吸引力と、第２吸引経路７７ｂを負圧にするときの吸引力とを変えれば、第１吸引経路７７ａと第２吸引経路７７ｂの負圧水準を容易に異ならせることができる。
【符号の説明】
【０１０３】
１０…吐出装置、５０…吐出ヘッド、５８…ノズル，５８ｐ…ノズル面、６３…液体供給口、６５…キャビティ、７０Ａ，７０Ｂ，７０Ｃ，７０Ｄ…吸引装置、７２…キャップ、７３…減圧手段としての減圧ポンプ、７７…吸引経路、７７ａ…第１吸引経路、７７ｂ…第２吸引経路、７９…迂回吸引経路、８１…第１開閉バルブ、８２…第２開閉バルブ、８３…第３開閉バルブ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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