(57)【要約】【課題】本発明は、めっき効率の向上を得ることを目的とする。【解決手段】本発明のバレルめっき装置は、正ｎ角形の底板と、前記底板の外形を形成する前記正ｎ角形のｎ本の辺のそれぞれと接するｎ個の側壁と、前記底板および前記側壁により構成される正ｎ角柱の外形であり前記底板および前記側壁からは液体を通過させない容器と、前記容器を前記底板の中心を通り前記底板に垂直で鉛直方向から９０度未満に傾けた回転軸で回転させる回転手段と、前記ｎ個の側壁の前記容器の内側にそれぞれに互いに電気的に独立したｎ個の側壁陰極と、前記ｎ個の側壁陰極への導通を切り替える切替手段と、前記容器の内側の空間に入り込む陽極とを備えている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
正ｎ角形の底板と、
前記底板の外形を形成する前記正ｎ角形のｎ本の辺のそれぞれと接するｎ個の側壁と、
前記底板および前記側壁により構成される正ｎ角柱の外形であり前記底板および前記側壁からは液体を通過させない容器と、
前記容器を前記底板の中心を通り前記底板に垂直で鉛直方向から９０度未満に傾けた回転軸で回転させる回転手段と、
前記ｎ個の側壁の前記容器の内側にそれぞれに互いに電気的に独立したｎ個の側壁陰極と、
前記ｎ個の側壁陰極への導通を切り替える切替手段と、
前記容器の内側の空間に入り込む陽極と、
を備えたバレルめっき装置。
【請求項２】
前記底板の前記容器の内側の面は、前記底板の中心から前記底板の外形の各点へ引いた仮想線によって分割されるｎ個の領域を有し、
前記底板におけるｎ個の領域のそれぞれに互いに電気的に独立したｎ個の底板陰極とをさらに備え、
前記底板陰極は前記底板陰極が位置する前記底板における領域の前記辺において接している前記側壁に設けられた前記側壁陰極と電気的に接続されている、
請求項１記載のバレルめっき装置。
【請求項３】
請求項１記載のバレルめっき装置においてめっき液が入った前記容器に電子部品を投入する工程と、
前記回転手段により前記容器を回転させ、前記陽極にプラス側の電位を印加し、前記切替手段により、前記ｎ個の側壁陰極の中でもっとも露出が少ない側壁陰極にマイナス側の電位を印加させる工程と、
前記回転手段により前記容器を停止させ、前記容器から前記電子部品を取り出す工程と、
を備えた電子部品の製造方法。
【請求項４】
請求項２記載のバレルめっき装置において前記容器にめっき液および電子部品を投入する工程と、
前記回転手段により前記容器を回転させ、前記陽極にプラス側の電位を印加し、前記切替手段により、前記ｎ個の側壁陰極の中でもっとも露出が少ない側壁陰極および前記側壁陰極と電気的に接続している前記底板陰極にマイナス側の電位を印加させる工程と、
前記回転手段により前記容器を停止させ、前記容器から前記電子部品を取り出す工程と、を備えた電子部品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品の端子などにめっきを施すバレルめっき装置、およびそのようなバレルめっき装置を用いて端子などにめっきが施された電子部品の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、電子部品の端子には、半田めっきやＳｎめっきが施されており、チップ形の電子部品の場合には、バレルめっき工法によってめっき層を形成する技術が知られている。バレルめっき工法は、バレルと呼ばれる側壁がメッシュで形成されていたり、側壁に貫通孔を多数設けられている多角柱の容器を用いる。このバレルの内部に電子部品およびメディアとしての導電性の球体であるスチールボールを入れ、このバレルをめっき液に浸漬させる。バレル内の電子部品またはスチールボールと接するように陰極を、バレルの外側のめっき液中に陽極を配置させ、バレルを回転させながら通電することで、陰極からスチールボールを通り、電子部品の端子に負電荷が移動し、めっき液中のＳｎ2+などの正電荷が負電荷に引き寄せられ、これにより電子部品の端子にめっき層が形成される。
【０００３】
このようなバレルめっき工法において、バレルの回転軸を水平から傾け、バレル内の電子部品をより効率的に攪拌してめっき層を均一に形成する方法も知られており、このようなバレルめっき装置は傾斜バレルめっき装置と呼ばれている（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−２７４３５３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
スチールボールはめっき液中の陰極と電子部品の端子とを電気的に導通させるために用いているが、より多くの電子部品の端子を陰極と導通させるためには、言い換えると、電子部品の端子が陰極と導通する機会を増加させるためには、スチールボールは沢山ある方がよい。しかし、スチールボールの表面にもめっきが施されてしまうので、スチールボールの数が多いと電子部品の端子ではなくスチールボールに形成されるめっき層の割合が増加し、めっきの効率は低下する。
【０００６】
本発明は上記従来の課題を解決するもので、めっき効率の向上を得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するための、本発明は以下の手段を有している。
【０００８】
請求項１に記載の発明は、正ｎ角形の底板と、前記底板の外形を形成する前記正ｎ角形のｎ本の辺のそれぞれと接するｎ個の側壁と、前記底板および前記側壁により構成される正ｎ角柱の外形であり前記底板および前記側壁からは液体を通過させない容器と、前記容器を前記底板の中心を通り前記底板に垂直で鉛直方向から９０度未満に傾けた回転軸で回転させる回転手段と、前記ｎ個の側壁の前記容器の内側にそれぞれに互いに電気的に独立したｎ個の側壁陰極と、前記ｎ個の側壁陰極への導通を切り替える切替手段と、前記容器の内側の空間に入り込む陽極と、を備えたバレルめっき装置である。
【０００９】
請求項１に記載の発明は、側壁陰極へのめっき層形成を低減させながら、側壁電極の存在により陰極の総面積を増加させることが可能であるので、スチールボールを減らすことが可能となりめっき効率を向上させることができるという作用効果を有する。
【００１０】
請求項２に記載の発明は、特に、前記底板の前記容器の内側の面は、前記底板の中心から前記底板の外形の各点へ引いた仮想線によって分割されるｎ個の領域を有し、前記底板におけるｎ個の領域のそれぞれに互いに電気的に独立したｎ個の底板陰極とをさらに備え、前記底板陰極は前記底板陰極が位置する前記底板における領域の前記辺において接している前記側壁に設けられた前記側壁陰極と電気的に接続されているバレルめっき装置である。
【００１１】
請求項２に記載の発明は、さらに底板陰極も備えるので、さらに陰極の総面積を増加させることが可能となり、一層のスチールボールを減らすことが可能となり、さらにめっき効率を向上させることができるという作用効果を有する。
【００１２】
請求項３に記載の発明は、請求項１記載のバレルめっき装置においてめっき液が入った前記容器に電子部品を投入する工程と、前記回転手段により前記容器を回転させ、前記陽極にプラス側の電位を印加し、前記切替手段により、前記ｎ個の側壁陰極の中でもっとも露出が少ない側壁陰極にマイナス側の電位を印加させる工程と、前記回転手段により前記容器を停止させ、前記容器から前記電子部品を取り出す工程と、を備えた電子部品の製造方法である。
【００１３】
請求項３に記載の発明においても、請求項１に記載の発明と同様の作用効果を有する。
【００１４】
請求項４に記載の発明は、請求項２記載のバレルめっき装置において前記容器にめっき液および電子部品を投入する工程と、前記回転手段により前記容器を回転させ、前記陽極にプラス側の電位を印加し、前記切替手段により、前記ｎ個の側壁陰極の中でもっとも露出が少ない側壁陰極および前記側壁陰極と電気的に接続している前記底板陰極にマイナス側の電位を印加させる工程と、前記回転手段により前記容器を停止させ、前記容器から前記電子部品を取り出す工程と、を備えた電子部品の製造方法である。
【００１５】
請求項４に記載の発明においても、請求項２に記載の発明と同様の作用効果を有する。
【発明の効果】
【００１６】
本発明のバレルめっき装置およびこのバレルめっき装置を用いた電子部品の製造方法はめっき効率を向上させることができるという優れた効果を有するものである。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の一実施の形態におけるバレルめっき装置の断面図
【図２】本発明の一実施の形態におけるバレルめっき装置の容器の展開図
【図３】本発明の一実施の形態におけるバレルめっき装置の容器の内側における底板の平面図
【図４】図１のＡＡ断面図
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、一実施の形態を用いて、本発明を詳細に説明する。
【００１９】
図１は本発明の一実施の形態におけるバレルめっき装置の断面図、図２は同バレルめっき装置の容器の展開図、図３は同バレルめっき装置の容器の内側における底板の平面図、図４は図１のＡＡ断面図である。
【００２０】
容器１は、底板２と側壁３とから構成されている。底板２は正ｎ多角形の形状であり、本実施の形態においては正八角形にしている。側壁３は底板２を構成する正八角形の８本のそれぞれの辺に接して側壁３ａ、側壁３ｂ、側壁３ｃ、側壁３ｄ、側壁３ｅ、側壁３ｆ、側壁３ｇおよび側壁３ｈの８個が存在する。本実施の形態において、側壁３と表現した際には、側壁３ａ〜側壁３ｈの８個の側壁の総称として用いている。側壁３にはメッシュは設けられておらず、液体が通過することは出来ない。底板２も液体が通過することはできないように構成されている。容器１は上記の構成により、その外形が正八角柱となり、その空間に液体を保持することができる。
【００２１】
陽極４は正電荷を供給する電極であり、容器１の空間に入り込んでいる。吸込ノズル５はめっき液１０を容器１から吸い込み、供給ノズル６はめっき液１０を容器１へ供給する。吸込ノズル５および供給ノズル６によりめっき液１０は循環し、金属イオンの濃度を一定範囲内にすることができる。陽極４および吸込ノズル５の先端はめっき液１０中に浸漬している必要があるが、供給ノズル６はその必要はない。陽極４は電子部品１１およびスチールボール１２とは接しないように配置する必要がある。
【００２２】
回転軸７は底板２の正八角形の中心を通り底板２に垂直な軸であり、回転軸７を中心として容器１は回転をする。回転軸７は鉛直方向ではなく、鉛直方向に対して傾けている。容器１内の電子部品１１およびスチールボール１２を適度に攪拌してめっき層の形成を均一にするにはこのように回転軸７を傾斜させる方がよい。傾きの角度を大きくするとめっき液１０がこぼれてしまうので、最大でも９０°未満である。本実施の形態においては４５°にしている。シャフト８は円柱状の形状を有し、容器１を支え、このシャフト８の軸線は回転軸７に一致するように構成されている。基台９はシャフト８を回転可能に保持しており、その内部にはシャフト８を回転させる回転手段としてのモータ（図示せず）が内蔵されている。基台９内のモータの駆動力によってシャフト８が回転し、シャフト８の回転と共に容器１も回転する。
【００２３】
めっき液１０はめっき層となるＳｎ2+イオンを含んでいる溶液である。電子部品１１は端子（図示せず）を有しており、その端子の表面にめっき工法にてめっき層が形成される。本実施の形態においては、Ｓｎによるめっき層が形成される。
【００２４】
スチールボール１２は導電体からなる球であり、その大きさは、電子部品１１の端子に接触する機会が多くなるように電子部品１１より小さくしている。
【００２５】
底板２はその中心から外形を規定する８個の点に下ろした仮想線により８つの領域に区分される。具体的には、図３および図４に示すように、領域２１ａ、領域２１ｂ、領域２１ｃ、領域２１ｄ、領域２１ｅ、領域２１ｆ、領域２１ｇおよび領域２１ｈの８つの領域である。なお、図２、図３および図４において一点鎖線の直線はこれらの８個の領域に区分する境界を示している。領域２１ａ〜領域２１ｈには、それぞれ底板陰極２２ａ〜底板陰極２２ｈが形成されている。これら底板陰極２２ａ〜底板陰極２２ｈは互いに電気的には独立している。
【００２６】
側壁３ａ〜側壁３ｈには、それぞれ側壁陰極２０ａ〜側壁陰極２０ｈが形成されている。側壁３ａは領域２１ａと接し、側壁３ｂは領域２１ｂと接し、側壁３ｃは領域２１ｃと接し、側壁３ｄは領域２１ｄと接し、側壁３ｅは領域２１ｅと接し、側壁３ｆは領域２１ｆと接し、側壁３ｇは領域２１ｇと接し、側壁３ｈは領域２１ｈと接している。さらに、側壁陰極２０ａは底板陰極２２ａと電気的に接続し、側壁陰極２０ｂは底板陰極２２ｂと電気的に接続し、側壁陰極２０ｃは底板陰極２２ｃと電気的に接続し、側壁陰極２０ｄは底板陰極２２ｄと電気的に接続し、側壁陰極２０ｅは底板陰極２２ｅと電気的に接続し、側壁陰極２０ｆは底板陰極２２ｆと電気的に接続し、側壁陰極２０ｇは底板陰極２２ｇと電気的に接続し、側壁陰極２０ｈは底板陰極２２ｈと電気的に接続している。
【００２７】
側壁陰極２０ａ〜側壁陰極２０ｈは、それぞれ側壁３ａ〜側壁３ｈにおける底板２に接する位置から、回転軸７と平行な方向に複数本の導体が容器１の上部の方向に伸びた形状を有している。陰極全体の面積を増やすためには、複数本の導体でなく、これらを含む平面形状の電極にすればよいが、平面形状の電極にした場合には、渦電流が生じるおそれがあるので本実施の形態においては平面形状の電極にはしていない。勿論、渦電流の発生の防止策や渦電流が発生してもめっきの品質や効率が許容範囲であれば平面形状の電極にしてもよい。実施の形態においては、３本の導体であるが、本数をもっと多くしてもよい。
【００２８】
底板２における容器１の外側の領域２１ａ〜領域２１ｈには、それぞれ接続電極２３ａ〜接続電極２３ｈが形成されている。
【００２９】
接続電極２３ａは底板陰極２２ａと電気的に接続し、接続電極２３ｂは底板陰極２２ｂと電気的に接続し、接続電極２３ｃは底板陰極２２ｃと電気的に接続し、接続電極２３ｄは底板陰極２２ｄと電気的に接続し、接続電極２３ｅは底板陰極２２ｅと電気的に接続し、接続電極２３ｆは底板陰極２２ｆと電気的に接続し、接続電極２３ｇは底板陰極２２ｇと電気的に接続し、接続電極２３ｈは底板陰極２２ｈと電気的に接続している。
【００３０】
選択電極２４は陰極側の電位を有し、図４において容器１が反時計回りに回転することにより、接続電極２３ｅ、接続電極２３ｆ、接続電極２３ｇ、接続電極２３ｈ、接続電極２３ａ、接続電極２３ｂ、接続電極２３ｃおよび接続電極２３ｄの順に接していく。これにより、底板陰極２２ｅ、底板陰極２２ｆ、底板陰極２２ｇ、底板陰極２２ｈ、底板陰極２２ａ、底板陰極２２ｂ、底板陰極２２ｃおよび底板陰極２２ｄの順に通電していく。同様に側壁陰極２０ｅ、側壁陰極２０ｆ、側壁陰極２０ｇ、側壁陰極２０ｈ、側壁陰極２０ａ、側壁陰極２０ｂ、側壁陰極２０ｃおよび側壁陰極２０ｄの順に通電していく。
【００３１】
このように、通電する陰極を切り替える訳は、側壁陰極２０ａ〜側壁陰極２０ｈおよび底板陰極２２ａ〜底板陰極２２ｈへのめっき層の形成を低減するためである。以下、これについて説明をする。側壁陰極２０ａ〜側壁陰極２０ｈおよび底板陰極２２ａ〜底板陰極２２ｈは露出しており、ここに電子部品１１やスチールボール１２が接して負電荷を電子部品１１の端子に送り出すことで電子部品１１の端子にめっき層を形成するのがめっき装置の役割であるが、側壁陰極２０ａ〜側壁陰極２０ｈおよび底板陰極２２ａ〜底板陰極２２ｈの全ての場所が電子部品１１やスチールボール１２に接するのではなく、直接めっき液１０に接する場所、即ち露出している場所も存在してくる。そのような場所においては、その部分にめっき層が形成されることになってしまう。よって、電子部品１１やスチールボール１２が存在せずめっき液１０と接触する場所への通電を遮断することが、側壁陰極２０ａ〜側壁陰極２０ｈおよび底板陰極２２ａ〜底板陰極２２ｈへのめっき層の形成を低減させる方法として有意義である。言い換えると、電子部品１１およびスチールボール１２により、露出が最も少なくなる側壁陰極２０ａ〜側壁陰極２０ｈおよび底板陰極２２ａ〜底板陰極２２ｈへ通電することである。その為、接続電極２３ａ〜接続電極２３ｈの中で最も鉛直方向で下方に位置する電極が選択電極２４と接触するようにしている。接続電極２３ａ〜接続電極２３ｈおよび選択電極２４は側壁陰極２０ａ〜側壁陰極２０ｈおよび底板陰極２２ａ〜底板陰極２２ｈへの通電を切り替える切替手段を構成する。電子部品１１およびスチールボール１２の総体積や容器１の回転軸の傾きによっては、複数の底板陰極２２ａ〜底板陰極２２ｈまたは複数の接続電極２３ａ〜接続電極２３ｈに通電するようにしてもよく、そのような場合には、接続電極２３ａ〜接続電極２３ｈの中の鉛直下方にある２つの電極と接触したり、３つの電極と接触するような構成にすればよい。
【００３２】
なお、容器１の回転速度によっては、側壁陰極２０ａ〜側壁陰極２０ｈの中で最も露出が少なくなる位置が鉛直下方ではなく、そこから回転方向へオフセットする位置となる場合もある。その場合には、それに合わせて選択電極２４の位置をずらして、最も露出が少なくなる位置に来る側壁陰極２０ａ〜側壁陰極２０ｈに通電するようにすればよい。
【００３３】
以上の構成による電子部品のめっき装置による電子部品のめっき方法としては、容器１
にめっき液１０、電子部品１１およびスチールボール１２を入れて、容器１を回転軸７により回転させながら、陽極４にプラス側の電位を、側壁陰極２０ａ〜側壁陰極２０ｈの中で最も露出が少なくなる位置の陰極にマイナス側の電位を印加させてめっきを行なえばよい。勿論、めっき層が形成された後は、容器１から電子部品を取り出せばよい。
【００３４】
本実施の形態において、めっき液１０の循環は、吸込ノズル５および供給ノズル６によって行なわれる。めっき液１０は、めっき層となる金属イオンを含んだ水溶液であるが、めっきがなされるにしたがって、金属イオンの濃度が低下してしまう。そのため、めっき液１０の金属イオンの濃度が低下しないようにする必要がある。従来のように電子部品１１が入っているバレル内の濃度を一定範囲内にするためにバレルの側壁をメッシュにしてバレルごとめっき槽に浸漬させる方法は、電子部品１１が小型になると困難になる。即ち、電子部品１１にめっきを施す場合、バレルの側壁のメッシュから電子部品１１およびスチールボール１２が通過してしまうことを防止するため、メッシュの目をこれらより細かくする必要がある。しかし、メッシュの目を細かくした場合、めっき液の粘性や表面張力などの影響により、めっき液１０がメッシュを通過する際の抵抗が大きくなり、バレル内のめっき液１０とバレル外のめっき液の循環が不十分になり、めっき液中の金属イオンの濃度低下を招くおそれがある。特に、電子機器の小型化の流れの中、電子部品の一種類である抵抗器は、０６０３（縦０．６ｍｍ、横０．３ｍｍのサイズ）や、０４０２（縦０．４ｍｍ、横０．２ｍｍのサイズ）の外形形状のチップ型抵抗器が開発されているが、さらに小型の０３０１５（縦０．３ｍｍ、横０．１５ｍｍのサイズ）や或いはそれ以下のチップ型抵抗器の出現も期待されている状況下、めっき液１０がメッシュを通過する際の抵抗は益々大きくなり、メッシュを通じた循環はより困難になってくる。本実施の形態においては、メッシュを通過させる構成ではないので、その点で小型の電子部品への適用が有意義である。なお、吸込ノズル５の先端には電子部品１１やスチールボール１２の吸い込み防止のためメッシュやフィルターを取り付けてもよい。吸込ノズル５は真空或いは低圧の空気で吸い込むため、このメッシュやフィルターによる通過抵抗は問題とならない。
【００３５】
また、電子部品１１が非常に小型になりめっき層を形成する面積が非常に小さくなる場合には、めっきを施すことによるめっき液１０中の金属イオンの濃度低下が問題にならない場合も有り得る。そのような場合には、めっき液１０を循環させる必要はなく、吸込ノズル５および供給ノズル６は不要となる。
【００３６】
本実施の形態においては、陰極として容器１の内部に側壁陰極２０ａ〜側壁陰極２０ｈおよび底板陰極２２ａ〜底板陰極２２ｈを形成しており、陰極の総面積が大きいのでスチールボール１２の数を減らすことができ、スチールボール１２に形成されてしまうめっき層を低減することができる。その代わり、側壁陰極２０ａ〜側壁陰極２０ｈおよび底板陰極２２ａ〜底板陰極２２ｈにめっき層が形成されてしまうが、これらの陰極は選択的に通電することにより、陰極へのめっき層の形成を低減させることができるので、総合的にめっき効率を向上させることができる。
【００３７】
また、側壁陰極２０ａ〜側壁陰極２０ｈおよび底板陰極２２ａ〜底板陰極２２ｈにより陰極の面積が増えるので、電子部品１１がこれらの陰極と電気的に導通する際に途中に介在するスチールボール１２の個数が少なくなる。スチールボール１２は導体であるが僅かながらも電圧効果を引き起こす。従って、途中に介在するスチールボール１２が少ない電子部品１１には高い電圧が印加され、途中に介在するスチールボール１２が多い電子部品１１には低い電圧が印加されることになり、めっき層の膜厚に違いが出てしまう。本実施の形態は、陰極の面積が広いので、途中に介在するスチールボール１２を総じて少なくすることができ、めっき層の膜厚のバラツキを低減させ、より均一な膜厚を施すことができる。
【００３８】
なお、図１のＸは側壁３の中で最も電子部品１１やスチールボール１２が容器１の上方にまで存在している場所における、底板２から側壁３に沿った電子部品１１やスチールボール１２が位置している上限までの長さである。一方、図２のＹは、側壁陰極２０ａ〜側壁陰極２０ｈの高さ、即ち、底板２と接する位置から回転軸７の方向に最も遠いところまでの長さである。本実施の形態においては、めっき液１０中の側壁陰極２０ａ〜側壁陰極２０ｈにめっき層が形成されるのを減少させるために、これらの電極が露出する部分を少なくすべく、Ｘ≧Ｙとしている。
【００３９】
本実施の形態においては、側壁陰極２０ａ〜側壁陰極２０ｈのみならず、底板陰極２２ａ〜底板陰極２２ｈの電圧印加も切替えているが、容器１の形状や回転軸７の傾き角度によっては、底板２における容器１の内側の面が、常に電子部品１１およびスチールボール１２が存在している状態になることもある。そのような場合には、底板陰極２２ａ〜底板陰極２２ｈは側壁陰極２０ａ〜側壁陰極２０ｈとは電気的に接続しない構成にして、めっき中は常に底板陰極２２ａ〜底板陰極２２ｈに印加するようにしてもよい。或いは、底板陰極２２ａ〜底板陰極２２ｈを一つの電極にしてめっき中は常時印加するようにしてもよい。
【００４０】
本実施の形態において、容器１は正八角柱であり、底板２は正八角形であるが、これに限られず、それぞれ正ｎ角柱および正ｎ角形（但し、ｎ≧３）とすることができる。ｎが小さくなると容器１の回転に伴う電子部品１１およびスチールボール１２の滑らかな移動が損なわれ、電子部品１１に衝撃を与える可能性が出てくる。一方、ｎが大きくなると電子部品１１およびスチールボール１２の移動は滑らかになるが、側壁３およびこれに形成する陰極の数が多くなるので、切替手段による導通の切替が多くなり、装置が複雑になる。以上の点から、ｎは６〜８程度が好ましい。
【００４１】
本実施の形態におけるめっき装置でめっき層を形成する電子部品としては、チップ抵抗器やチップインダクタなどが挙げられるが、これ以外の電子部品への適用も可能である。
【産業上の利用可能性】
【００４２】
本発明に係るバレルめっき装置およびこのバレルめっき装置を用いた電子部品の製造方法は、電子機器などに使用される電子部品のめっきに使用され有用である。
【符号の説明】
【００４３】
１  容器
２  底板
３  側壁
３ａ  側壁
３ｂ  側壁
３ｃ  側壁
３ｄ  側壁
３ｅ  側壁
３ｆ  側壁
３ｇ  側壁
３ｈ  側壁
４  陽極
５  吸込ノズル
６  供給ノズル
７  回転軸
８  シャフト
９  基台
１０  めっき液
１１  電子部品
１２  スチールボール
２０ａ  側壁陰極
２０ｂ  側壁陰極
２０ｃ  側壁陰極
２０ｄ  側壁陰極
２０ｅ  側壁陰極
２０ｆ  側壁陰極
２０ｇ  側壁陰極
２０ｈ  側壁陰極
２１ａ  領域
２１ｂ  領域
２１ｃ  領域
２１ｄ  領域
２１ｅ  領域
２１ｆ  領域
２１ｇ  領域
２１ｈ  領域
２２ａ  底板陰極
２２ｂ  底板陰極
２２ｃ  底板陰極
２２ｄ  底板陰極
２２ｅ  底板陰極
２２ｆ  底板陰極
２２ｇ  底板陰極
２２ｈ  底板陰極
２３ａ  接続電極
２３ｂ  接続電極
２３ｃ  接続電極
２３ｄ  接続電極
２３ｅ  接続電極
２３ｆ  接続電極
２３ｇ  接続電極
２３ｈ  接続電極
２４  選択電極
【図１】
2014070265.tif 000003
【図２】
2014070265.tif 000004
【図３】
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【図４】
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