(57)【要約】【課題】  製造中および製造後における反りの発生が小さく、それにより製造が容易であるとともに、半導体素子Ｓを正常に搭載することが可能な配線基板を提供すること。【解決手段】  ガラスクロス入り絶縁樹脂層１１ａ，１１ｂから成る絶縁板１１の両面に配線導体１２が形成されたコア基板１０の片面または両面に、絶縁板１１よりも熱膨張係数が大きな絶縁樹脂層２１の表面に配線導体２２が形成されたビルドアップ層２０を、コア基板１０の両面で異なる層数積層して成る配線基板Ａであって、絶縁板１１は、ビルドアップ層２０の層数が多い面側の熱膨張係数が反対面側の熱膨張係数よりも小さい。【選択図】図１
2014168007.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラスクロス入り絶縁樹脂層から成る絶縁板の両面に配線導体が形成されたコア基板の片面または両面に、前記絶縁板よりも熱膨張係数が大きな絶縁樹脂層の表面に配線導体が形成されたビルドアップ層を、前記コア基板の両面で異なる層数積層して成る配線基板であって、前記絶縁板は、前記ビルドアップ層の層数が多い面側の熱膨張係数が反対面側の熱膨張係数よりも小さいことを特徴とする配線基板。
【請求項２】
第１の熱膨張係数を有する第１のガラスクロス入り絶縁樹脂層の第１の片面に第１の銅箔が張り付けられた片面銅張板と、硬化後の熱膨張係数が前記第１の熱膨張係数より大きくなるガラスクロス入りのプリプレグと、第２の銅箔とを準備する工程と、前記片面銅張板の第２の片面に前記プリプレグと前記第２の銅箔とを順次重ねるとともに前記プリプレグを熱硬化させ、前記第１のガラスクロス入り絶縁樹脂層と前記プリプレグの硬化体である第２のガラスクロス入り絶縁樹脂層とが積層一体化された絶縁板の両面に前記第１の銅箔と第２の銅箔とが張り付けられた両面銅張板を形成する工程と、前記両面銅張板の前記第１の銅箔および第２の銅箔を所定パターンにエッチングして前記絶縁板の両面に配線導体が形成されたコア基板を形成する工程と、前記コア基板の片面または両面に、前記第１の熱膨張係数よりも大きな熱膨張係数を有する絶縁樹脂層と導体層とから成るビルドアップ層を、前記第１のガラスクロス入り絶縁樹脂層側で層数が多くなるように積層する工程と、を行うことを特徴とする配線基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、コア基板の片面または両面に、コア基板の両面で異なる層数のビルドアップ層を積層して成る配線基板およびその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、図７に示すように、半導体素子Ｓを実装するビルドアップ配線基板として、コア基板４０の片面にビルドアップ層５０を積層して成る配線基板Ｂが知られている。コア基板４０は、スルーホール４３を有するコア用の絶縁板４１の両面およびスルーホール４３内にコア用の配線導体４２が被着されて成る。絶縁板４１としては、ガラス−エポキシ樹脂等のガラスクロス入り絶縁樹脂層が用いられる。絶縁板４１の上下面の配線導体４２は、銅箔および銅めっき層により形成されている。スルーホール４３内の配線導体４２は、銅めっき層により形成されている。さらに、配線導体４２が被着されたスルーホール４３内は、孔埋め樹脂４４によって充填されている。
【０００３】
ビルドアップ層５０は、ビルドアップ用の絶縁樹脂層５１と配線導体５２とを交互に積層して成る。絶縁樹脂層５１は、下層の配線導体４２または５２に通じるビアホール５３を有している。配線導体５２は、絶縁樹脂層５１上およびビアホール５３内に被着されている。絶縁樹脂層５１は、エポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂から成る。配線導体５２は銅めっき層から成る。なお、この配線基板Ｂでは、さらに上下面にソルダーレジスト層６１が被着されている例を示している。ソルダーレジスト層６１は、アクリル変性エポキシ樹脂等の感光性の熱硬化性樹脂から成る。
【０００４】
このような配線基板Ｂは、以下のようにして形成される。まず、図８（ａ）に示すように、両面銅張板４０Ｐを準備する。両面銅張板４０Ｐは、カラス−エポキシ板等の絶縁樹脂層４１Ｐの両面に銅箔４２Ｆが張着されたものである。絶縁樹脂層４１Ｐの厚みは１００〜８００μｍ程度とする。銅箔４２Ｐの厚みは、５〜２５μｍ程度とする。両面銅張板４０Ｐの大きさは縦横がそれぞれ５００〜６００ｍｍ程度とする。これにより１枚の両面銅張板４０Ｐから数百個〜数千個の配線基板Ｂを同時に製造することが可能となる。なお、図８においては、煩雑さを避けるため、１個の配線導体Ｂに対応する部分のみを示す。
【０００５】
次に、図８（ｂ）に示すように、この両面銅張板４０Ｐにスルーホール４３を形成する。スルーホール４３の形成には、ドリル加工やレーザ加工を用いる。スルーホール４３の直径は５０〜２５０μｍ程度とする。
【０００６】
次に、図８（ｃ）に示すように、スルーホール４３の内面および銅箔４２Ｆの表面に銅めっき層４２Ｐを被着する。銅めっき層４２Ｐは、無電解銅めっきおよび電解銅めっきを順次施すことにより被着される。銅めっき層４２Ｐの厚みは５〜２５μｍ程度とする。
【０００７】
次に、図８（ｄ）に示すように、銅めっき層４２Ｐが被着されたスルーホール４３の内側を孔埋め樹脂４４で充填するとともに、上下面を平坦に研磨する。このとき、上下面の銅めっき層４２Ｐは、研磨により削れて薄くなるか消滅する。孔埋め樹脂４４には、エポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂を用いる。
【０００８】
次に、図８（ｅ）に示すように、孔埋め樹脂４４上を含む上下面に銅めっき層４２Ｐを再度被着する。銅めっき層４２Ｐは、上述の場合と同様に無電解銅めっきおよび電解銅めっきを順次施すことにより被着される。銅めっき層４２Ｐの厚みは５〜２５μｍ程度とする。
【０００９】
次に図９（ｆ）に示すように、絶縁板４１の上下面の銅箔４２Ｆおよび銅めっき層４２Ｐを所定のパターンにエッチングして配線導体４２を形成する。エッチングには周知のサブトラクティブ法を用いる。
【００１０】
次に、図９（ｇ）に示すように、コア基板４０の上面側のみに絶縁樹脂層５１を形成する。絶縁樹脂層５１は、エポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂の未硬化樹脂シートをコア基板５０の上面に積層するとともに熱硬化させ、所定の位置にビアホール５３を穿孔することにより形成される。未硬化樹脂シートの積層には、真空プレスが用いられる。ビアホール５３の穿孔にはレーザ加工が用いられる。絶縁樹脂層５１の厚みは、２０〜５０μｍ程度とする。ビアホールの直径は、３０〜１００μｍ程度とする。
【００１１】
次に、図９（ｈ）に示すように、ビアホール５３内および絶縁樹脂層５１の上面に配線導体５２を形成する。配線導体５２はビアホール５３内を完全に充填するとともに、絶縁樹脂層５１上の厚みを５〜２５μｍ程度とする。配線導体５２は、無電解銅めっきおよび電解銅めっきから成り、周知のセミアディティブ法により所定パターンに形成される。
【００１２】
最後に、図９（ｉ）に示すように、１層目の絶縁樹脂層５１および配線導体５２の上に２層目の絶縁樹脂層５１および配線導体５２を同様の方法で形成し、さらに２層目の絶縁樹脂層５１および配線導体５２の上およびコア基板４０の下面にソルダーレジスト層６１を形成することにより、配線基板Ｂが完成する。
【００１３】
しかしながら、この従来の配線基板Ｂにおいては、コア基板４０の絶縁板４１には、ガラスクロスが入っているものの、ビルドアップ層５０の絶縁樹脂層５１にはガラスクロスが入っていない。したがって、絶縁板４１の熱膨張係数よりも絶縁樹脂層５１の熱膨張係数の方が大きくなる。さらにコア基板４０の上に絶縁樹脂層５１を形成する際、絶縁樹脂層５１に硬化収縮が発生する。その結果、図１０に示すように、絶縁樹脂層５１の方が大きく収縮し、製造中および製造後の配線基板Ｂにビルドアップ層５０側が凹面となる反りが発生してしまう。このような反りは、配線基板Ｂの製造を困難とするばかりか、配線基板Ｂに半導体素子Ｓを正常に搭載することが困難となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１４】
【特許文献１】特開２００４−８００２７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
本発明は、コア基板の片面または両面に、コア基板の両面で異なる層数のビルドアップ層を積層して成る配線基板において、製造中および製造後における反りの発生が小さく、それにより製造が容易であるとともに、半導体素子Ｓを正常に搭載することが可能な配線基板およびその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明の配線基板は、ガラスクロス入り絶縁樹脂層から成る絶縁板の両面に配線導体が形成されたコア基板の片面または両面に、前記絶縁板よりも熱膨張係数が大きな絶縁樹脂層の表面に配線導体が形成されたビルドアップ層を、前記コア基板の両面で異なる層数積層して成る配線基板であって、前記絶縁板は、前記ビルドアップ層の層数が多い面側の熱膨張係数が反対面側の熱膨張係数よりも小さいことを特徴とするものである。
【００１７】
また、本発明の配線基板の製造方法は、第１の熱膨張係数を有する第１のガラスクロス入り絶縁樹脂層の第１の片面に第１の銅箔が張り付けられた片面銅張板と、硬化後の熱膨張係数が前記第１の熱膨張係数より大きくなるガラスクロス入りのプリプレグと、第２の銅箔とを準備する工程と、前記片面銅張板の第２の片面に前記プリプレグと前記第２の銅箔とを順次重ねるとともに前記プリプレグを熱硬化させて前記第１のガラスクロス入り絶縁樹脂層と前記プリプレグの硬化体である第２のガラスクロス入り絶縁樹脂層とが積層一体化された絶縁板の両面に前記第１の銅箔と第２の銅箔とが張り付けられた両面銅張板を形成する工程と、前記両面銅張板の前記第１および第２の銅箔を所定パターンにエッチングして前記絶縁板の両面に配線導体が形成されたコア基板を形成する工程と、前記コア基板の片面または両面に、前記第１の熱膨張係数よりも大きな熱膨張係数を有する絶縁樹脂層と導体層とから成るビルドアップ層を、前記第１のガラスクロス入り絶縁樹脂層側で層数が多くなるように積層する工程と、を行うことを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１８】
本発明の配線基板によれば、コア基板を構成する絶縁板は、ビルドアップ層の層数が多い面側の熱膨張係数が反対面側の熱膨張係数よりも小さいことから、層数の多い面側のビルドアップ層の収縮によりコア基板が反ろうとしても、その反対面側の熱膨張係数が大きい側が収縮しようとする力により反りの発生が抑制されるので、反りの小さな配線基板を提供することができる。
【００１９】
また本発明の配線基板の製造方法によれば、第１の絶縁樹脂層の第２の片面に重ねられたプリプレグを熱硬化させる際に、プリプレグが硬化収縮して、コア基板を第２の片面側が凹面となるように反らす力が発生する。そしてコア基板の第１の絶縁樹脂層側面で層数が多くなるようにビルドアップ層を形成した場合、それらのビルドアップ層によりコア基板を反らそうとする力は、熱硬化したプリプレグがコア基板を反らそうとする力と打消し合うので、製造中および製造後の配線基板に大きな反りを発生させることを有効に防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】図１は、本発明の配線基板の実施形態の一例を示す概略断面図である。
【図２】図２は、図１に示す配線基板の製造方法の実施形態の一例を説明するための工程毎の概略断面図である。
【図３】図３は、図１に示す配線基板の製造方法の実施形態の一例を説明するための工程毎の概略断面図である。
【図４】図４は、図１に示す配線基板の製造方法の実施形態の一例を説明するための概略断面図である。
【図５】図５は、図１に示す配線基板における収縮の力を説明するための概略断面図である。
【図６】図６は、本発明の配線基板の実施形態の他の例を示す概略断面図である。
【図７】図７は、従来の配線基板を示す断面図である。
【図８】図８は、図７に示す配線基板の製造方法を説明するための工程毎の概略断面図である。
【図９】図９は、図７に示す配線基板の製造方法を説明するための工程毎の概略断面図である。
【図１０】図１０は、図７に示す配線基板における収縮の力を説明するための概略断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
次に、本発明の配線基板における実施形態の一例を、図１を基に説明する。図１に示すように、本例の配線基板Ａは、コア基板１０の一方の主面側のみにビルドアップ層２０を積層して成る。このビルドアップ層２０の上に半導体素子Ｓが搭載される。
【００２２】
コア基板１０は、スルーホール１３を有するコア用の絶縁板１１の両面およびスルーホール１３内にコア用の配線導体１２が被着されて成る。絶縁板１１としては、ガラス−エポキシ樹脂等のガラスクロス入り絶縁樹脂層が用いられる。絶縁板１１の厚みは１００〜８００μｍ程度である。スルーホール１３の直径は、５０〜２５０μｍ程度である。絶縁板１１の上下面の配線導体１２は、銅箔および銅めっき層により形成されている。スルーホール１３内の配線導体１２は、銅めっき層により形成されている。配線導体１２の厚みは、５〜２５μｍ程度である。さらに、配線導体１２が被着されたスルーホール１３内は、孔埋め樹脂１４によって充填されている。孔埋め樹脂１４は、エポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂から成る。
【００２３】
ビルドアップ層２０は、ビルドアップ用の絶縁樹脂層２１と配線導体２２とを交互に積層して成る。絶縁樹脂層２１は、エポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂から成り、絶縁板１１よりも大きな熱膨張係数を有している。絶縁樹脂層２１の厚みは、２０〜５０μｍ程度である。絶縁樹脂層２１は、下層の配線導体１２または２２に通じるビアホール２３を有している。ビアホール２３の直径は、３０〜１００μｍ程度である。配線導体２２は、絶縁樹脂層２１上およびビアホール２３内に被着されている。配線導体２２は銅めっき層から成る。なお、配線導体２２は、ビアホール２３内を完全に充填しているとともに絶縁樹脂層２１上での厚みが５〜２５μｍ程度である。この配線基板Ａでは、さらに上下面にソルダーレジスト層３１が被着されている。ソルダーレジスト層３１は、アクリル変性エポキシ樹脂等の感光性の熱硬化性樹脂から成る。ソルダーレジスト層３１の厚みは、１０〜３０μｍ程度である。
【００２４】
ところで、本例の配線基板Ａにおいては、絶縁板１１は、ビルドアップ層２０が積層された側の熱膨張係数が反対面側の熱膨張係数よりも小さくなっている。具体的には絶縁板１１は、熱膨張係数が小さな第１のガラスクロス入り絶縁樹脂層１１ａと、それよりも熱膨張係数が大きな第２のガラスクロス入り絶縁樹脂層１１ｂとが積層一体化されている。そのため、図５に示すように、ビルドアップ層２０を構成する絶縁樹脂層２１の収縮によりコア基板１０が反ろうとしても、その反対面側の熱膨張係数が大きい第２のガラスクロス入り絶縁樹脂層１１ｂが収縮しようとする力により反りの発生が抑制されるので、反りの小さな配線基板を提供することができる。
【００２５】
第２のガラスクロス入り絶縁樹脂層１１ｂの熱膨張係数を第１のガラスクロス入り絶縁樹脂層１１ａの熱膨張係数よりも大きなものとするには、例えば第２のガラスクロス入り絶縁樹脂層１１ｂにおけるガラスクロスの占有率を、第１のガラスクロス入り絶縁樹脂層１１ａにおけるガラスクロスの占有率よりも低いものとすればよい。この場合、第２のガラスクロス入り絶縁樹脂層１１ｂにおける樹脂成分比率が高くなる分、第２のガラスクロス入り絶縁樹脂層１１ｂの熱膨張係数が大きなものとなる。あるいは、第２のガラスクロス入り絶縁樹脂層１１ｂにおけるガラスクロスに、第１のガラスクロス入り絶縁樹脂層１１ａにおけるガラスクロスの熱膨張係数よりも大きな熱膨張係数を有するガラスクロスを採用すればよい。
【００２６】
なお、第１のガラスクロス入り絶縁樹脂層１１ａの熱膨張係数は、室温からその樹脂材料のガラス転移点までの温度範囲において１〜２０ｐｐｍ／℃であることが好ましい。第２のガラスクロス入り絶縁樹脂層１１ｂの熱膨張係数は、室温からその樹脂材料のガラス転移点までの温度範囲において４〜２５ｐｐｍ／℃であることが好ましく、さらに第１のガラスクロス入り絶縁樹脂層１１ａの熱膨張係数よりも３〜５ｐｐｍ／℃大きいことが好ましい。
【００２７】
また、第１のガラスクロス入り絶縁樹脂層１１ａの厚みは、１００〜３００μｍ程度であることが好ましい。第２のガラスクロス入り絶縁樹脂層１１ｂの厚みは５０〜１５０μｍ程度であることが好ましく、さらには第１のガラスクロス入り絶縁樹脂層１１ａの厚みよりも５０〜１５０μｍ薄いものであることが好ましい。
【００２８】
次に、上述した配線基板Ａを製造するための製造方法の実施形態の一例を添付の図２〜図４を基に説明する。なお、上述の配線基板Ａと同様の部分には上述と同様の符号を付し、その詳細な説明は省略する。
【００２９】
まず、図２（ａ）に示すように、両面銅張板１０Ｐを準備する。両面銅張板１０Ｐは、第１のガラスクロス入り絶縁樹脂層１１ａと第２のガラスクロス入り絶縁樹脂層１１ｂとが積層一体化されて成る絶縁樹脂層１１Ｐの両面に銅箔１２Ｆが張着されたものである。上述したように、第１のガラスクロス入り絶縁樹脂層１１ａの熱膨張係数よりも第２のガラスクロス入り絶縁樹脂層１１ｂの熱膨張係数を大きいものとする。第１のガラスクロス入り絶縁樹脂層１１ａの熱膨張係数は、室温からその樹脂材料のガラス転移点までの温度範囲において１〜２０ｐｐｍ／℃とする。第２のガラスクロス入り絶縁樹脂層１１ｂの熱膨張係数は、室温からその樹脂材料のガラス転移点までの温度範囲において４〜２５ｐｐｍ／℃とし、さらに第１のガラスクロス入り絶縁樹脂層１１ａの熱膨張係数よりも３〜５ｐｐｍ／℃大きいものとする。また、第１のガラスクロス入り絶縁樹脂層１１ａの厚みは、１００〜３００μｍ程度とする。第２のガラスクロス入り絶縁樹脂層１１ｂの厚みは５０〜１５０μｍ程度とし、さらには第１のガラスクロス入り絶縁樹脂層１１ａの厚みよりも５０〜１５０μｍ薄いものとする。絶縁樹脂層１１Ｐの厚みは１５０〜５００μｍ程度とする。銅箔１２Ｐの厚みは、５〜２５μｍ程度とする。両面銅張板１０Ｐの大きさは縦横がそれぞれ５００〜６００ｍｍ程度とする。これにより１枚の両面銅張板１０Ｐから数百個〜数千個の配線基板Ａを同時に製造することが可能となる。なお、図２においては、煩雑さを避けるため、１個の配線導体Ａに対応する部分のみを示す。
【００３０】
ここで、このような両面銅張板１０Ｐの形成方法を図４を基に説明する。まず、図４（ａ）に示すように、第１のガラスクロス入り絶縁樹脂層１１ａの片面のみに銅箔１２Ｆが張り付けられた片面銅張板１１ａＰと、第２のガラスクロス入り絶縁樹脂層１１ｂとなるプリプレグ１１ｂＰと、もう一枚の銅箔１２Ｆとを準備する。片面銅張板１１ａＰは、第１のガラスクロス入り絶縁樹脂層１１ａの両面に銅箔１２Ｆが張り付けられた両面銅張板を準備するとともに、その両面銅張板の片方の銅箔１２Ｆをエッチング除去することにより形成する。なお、プリプレグ１１ｂＰにおけるガラスクロスの占有率は第１のガラスクロス入り絶縁樹脂層１１ａにおけるガラスクロスの占有率よりも小さなものとしておく。あるいは、プリプレグ１１ｂＰにおけるガラスクロスの熱膨張係数を、第１のガラスクロス入り絶縁樹脂層１１ａにおけるガラスクロスの熱膨張係数よりも大きなものとしておく。
【００３１】
次に、図４（ｂ）に示すように、片面銅張板１１ａＰの銅箔１２Ｆが張付けられた面と反対側の面にプリプレグ１１ｂＰともう一枚の銅箔１２Ｆとを順次重ねるとともに、これらを上下からプレスしながら加熱してプリプレグ１１ｂＰを熱硬化させることにより、第１のガラスクロス入り絶縁樹脂層１１ａと、プリプレグ１１ｂＰが熱硬化した第２のガラスクロス入り絶縁樹脂層１１ｂとが積層一体化され、その両面に銅箔１２Ｆが張り付けられた両面銅張板１０Ｐが形成される。このとき、両面銅張板１０Ｐには、プリプレグ１１ｂＰが硬化収縮する際の力および熱硬化温度から常温に戻るときの熱収縮の力が加わり、第２のガラスクロス入り絶縁樹脂層１１ｂの側が凹面に反ろうとする応力が発生する。
【００３２】
次に、図２（ｂ）に示すように、上述のようにして得られた両面銅張板１０Ｐにスルーホール１３を形成する。スルーホール１３の直径は上述したように５０〜２５０μｍ程度とする。スルーホール１３の形成には、ドリル加工やレーザ加工を用いる。あるいはサンドブラスト法によりスルーホール１３を形成してもよい。
【００３３】
次に、図２（ｃ）に示すように、スルーホール１３の内面および銅箔１２Ｆの表面に銅めっき層１２Ｐを被着する。銅めっき層１２Ｐは、無電解銅めっきおよび電解銅めっきを順次施すことにより被着される。無電解銅めっきの厚みは０．１〜０．５μｍ程度とし、電解銅めっきの厚みは５〜２５μｍ程度とする。
【００３４】
次に、図２（ｄ）に示すように、銅めっき層１２Ｐが被着されたスルーホール１３の内側を孔埋め樹脂１４で充填するとともに、上下面を平坦に研磨する。このとき、上下面の銅めっき層１２Ｐは、研磨により削れて薄くなるか消滅する。研磨にはベルト研磨装置やロール研磨装置を用いる。孔埋め樹脂１４には、エポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂を用いる。
【００３５】
次に、図２（ｅ）に示すように、孔埋め樹脂１４上を含む上下面に銅めっき層１２Ｐを再度被着する。銅めっき層１２Ｐは、上述の場合と同様に無電解銅めっきおよび電解銅めっきを順次施すことにより被着される。無電解銅めっきおよび電解銅めっきの厚みは上述の場合と同程度とする。
【００３６】
次に、図３（ｆ）に示すように、絶縁板１１の上下面の銅箔１２Ｆおよび銅めっき層１２Ｐを所定のパターンにエッチングして配線導体１２を形成する。エッチングには周知のサブトラクティブ法を用いる。
【００３７】
次に、図３（ｇ）に示すように、コア基板１０の上面側のみに絶縁樹脂層２１を形成する。絶縁樹脂層２１は、エポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂の未硬化樹脂シートをコア基板１０の上面に積層するとともに熱硬化させ、所定の位置にビアホール２３を穿孔することにより形成される。未硬化樹脂シートの積層には、真空プレスが用いられる。ビアホール２３の穿孔にはレーザ加工が用いられる。絶縁樹脂層２１の厚みは、１５〜５０μｍ程度とする。ビアホールの直径は、３０〜１００μｍ程度とする。なお、絶縁樹脂層２１の熱膨張係数は、室温からその樹脂材料のガラス転移点までの温度範囲において５〜５０ｐｐｍ／℃であり、第１のガラスクロス入り絶縁樹脂層１１ａの熱膨張係数よりも３〜４５ｐｐｍ／℃大きいものである。
【００３８】
次に、図３（ｈ）に示すように、ビアホール２３内および絶縁樹脂層２１の上面に配線導体２２を形成する。配線導体２２はビアホール２３内を完全に充填するとともに、絶縁樹脂層２１上の厚みを５〜２５μｍ程度とする。配線導体２２は、無電解銅めっきおよび電解銅めっきから成り、周知のセミアディティブ法により所定パターンに形成される。
【００３９】
最後に、図３（ｉ）に示すように、１層目の絶縁樹脂層２１および配線導体２２の上に２層目の絶縁樹脂層２１および配線導体２２を同様の方法で形成し、さらに２層目の絶縁樹脂層２１および配線導体２２の上およびコア基板１０の下面にソルダーレジスト層３１を形成することにより、配線基板Ａが完成する。
【００４０】
このとき、図５に示すように、ビルドアップ層２０を構成する絶縁樹脂層２１の収縮によりコア基板１０が反ろうとしても、その反対面側の熱膨張係数が大きい第２のガラスクロス入り絶縁樹脂層１１ｂが収縮しようとする力により反りの発生が抑制されるので、反りの小さな配線基板を提供することができる。したがって、本発明の配線基板およびその製造方法によれば、製造中および製造後における反りの発生が小さく、それにより製造が容易であるとともに、半導体素子を正常に搭載することが可能な配線基板を提供することができる。
【００４１】
なお、本発明の配線基板およびその製造方法は、上述の実施形態の一例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲であれば、種々の変更は可能なことはいうまでもない。例えば上述した実施形態の一例では、コア基板１０の片面のみにビルドアップ層２０を形成した例を示したが、図６に示すように、コア基板１０の両面にビルドアップ層２０を、その層数が両面で異なるように形成したものに適用してもよい。この場合、絶縁板１１は、ビルドアップ層２０の層数が多い面側に熱膨張係数の小さな第１のガラスクロス入り絶縁樹脂層１１ａが配置されるようにすればよい。
【符号の説明】
【００４２】
１０          コア基板
１１          絶縁板
１１ａ        第１のガラスクロス入り絶縁樹脂層
１１ａＰ      片面銅張板
１１ｂ        第２のガラスクロス入り絶縁樹脂層
１１ｂＰ      プリプレグ
１２          配線導体
１２Ｆ        銅箔
２０          ビルドアップ層
２１          絶縁樹脂層
２２          配線導体
【図１】
2014168007.tif 000003
【図２】
2014168007.tif 000004
【図３】
2014168007.tif 000005
【図４】
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【図５】
2014168007.tif 000007
【図６】
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【図７】
2014168007.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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