(57)【要約】【課題】高い清浄度が要求される領域の清浄度を維持可能なクリーンルーム等を提供する。【解決手段】建物Ｈ内の空間に、区画ユニット５によって少なくとも２つ以上の連続する複数の領域１１〜１３に区画されたクリーンルーム２であって、区画ユニット５は、前記複数の領域を含む全体領域を囲むようにして床上に設置される複数の側壁構造体６と、側壁構造体６の上部開口を塞ぐ天井体７と、全体領域を複数の領域に区画する隔壁１５、１６と、を具備し、区画された各領域１１〜１３には、空気を浄化する空気浄化手段２０Ａ〜２０Ｃが設けられている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
建物内の空間に設置されるクリーンルームにおいて、
前記クリーンルームは、少なくとも２つ以上の連続する複数の領域に区画され、
前記空間と連絡する領域に対して前記領域と連絡する他の領域の空気清浄度が高いことを特徴とするクリーンルームの区画方法。
【請求項２】
建物内の空間に、区画ユニットによって少なくとも２つ以上の連続する複数の領域に区画されたクリーンルームであって、
前記区画ユニットは、
前記複数の領域を含む全体領域を囲むようにして床上に設置される複数の側壁構造体と、
前記側壁構造体の上部開口を塞ぐ天井体と、
前記領域を複数の領域に区画する隔壁と、を具備し、
区画された各領域には、空気を浄化する空気浄化手段が設けられていることを特徴とするクリーンルーム。
【請求項３】
区画された各領域は、前記空気浄化手段によって、前記建物内の空間と連絡する領域に対して前記領域と連絡する他の領域の空気清浄度が高くなるように制御されることを特徴とする請求項２に記載のクリーンルーム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はクリーンルーム等に関し、特に精密機器等の製造工程に設置されるクリーンルーム及びクリーンルームの区画方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、液晶基板などの精密部品を製造する製造工場内は高度な空気清浄処理が要求される。また、このような精密部品の製造ラインにおいて、各工程に要求される空気清浄度は異なり、高度清浄域、低度清浄域などその環境に必要な清浄度に区分けされる。
【０００３】
よって、製造ラインは所定の領域で区分けされ、局所的に高い清浄度を要求される場合には、一部の区分けされた領域の清浄度を高めるようになっている（特許文献１参照）。
【０００４】
特許文献１に示すクリーンルームは、大空間を区画し、区画した領域ごとに必要な空気清浄度を保つことができるようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００１−２５７０１９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１に示すクリーンルームの区画方法では、高い清浄環境を作り出すことが可能であるものの、作業者の出入りにより、外部の空気が流入し、結果的に清浄度が維持できず、汚染されてしまうおそれが高い。
【０００７】
また、精密機械の一部の製造ラインの作業領域は特に高い清浄度が要求される。
【０００８】
そこで、本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、その目的の一例は、高い清浄度が要求される領域の清浄度を維持可能なクリーンルーム等を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために、請求項１に記載のクリーンルーム（２）の区画方法は、建物（Ｈ）内の空間に設置されるクリーンルームにおいて、前記クリーンルームは、少なくとも２つ以上の連続する複数の領域（１１〜１３）に区画され、前記空間と連絡する領域（１３）に対して前記領域と連絡する他の領域（１２、１１）の空気清浄度が高いことを特徴とする。
【００１０】
また、請求項２に記載のクリーンルームは、建物内の空間に、区画ユニット（５）によって少なくとも２つ以上の連続する複数の領域に区画されたクリーンルームであって、前記区画ユニットは、所定の領域を囲むようにして床上に設置される複数の側壁構造体（６）と、前記側壁構造体の上部開口を塞ぐ天井体（７）と、前記領域を複数の領域に区画する隔壁（１５、１６）と、を具備し、区画された各領域には、空気を浄化する空気浄化手段（２０Ａ〜２０Ｃ）が設けられていることを特徴とする。
【００１１】
また、請求項３に記載のクリーンルームは、請求項２に記載のクリーンルームにおいて、区画された各領域は、前記空気浄化手段によって、前記建物内の空間と連絡する領域に対して前記領域と連絡する他の領域の空気清浄度が高くなるように制御されることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
高い清浄度を維持可能な領域を容易に作ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】クリーンルームの配置例であって、平面から視認した模式図である。
【図２】クリーンルームの配置例であって、側面から視認した模式図である。
【図３】給気ユニットの構成例を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下に、本願発明の最良の実施形態を添付図面に基づいて説明する。
【００１５】
本実施形態のクリーンルーム２は、カラーフィルターの製造工場に適用した一実施例を示すものである。
【００１６】
クリーンルーム２は、本願の建物として機能するカラーフィルターの製造工場Ｈ内の所定の領域に設置されるものであって、具体的には、カラーフィルターの製造ラインＬの一部工程の作業領域に設置される。
【００１７】
クリーンルーム２の内部は、全体が区画ユニット５によって外界（製造工場内部）と区画される。区画ユニット５は、区画される複数の領域を含む全体領域を囲むようにして床上に設置される複数の側壁構造体６と、側壁構造体６の上部開口を塞ぐ天井体７と、を備える。この区画ユニット５の空間内は、少なくとも２つ以上の連続する複数の領域を設置し、本実施形態では、製造ラインＬにて各種加工・処理を行う加工・処理室１１と、作業員が作業を行う作業室１２と、所定の作業を行うための準備を行う作業用準備室１３と、を順に隣接して備える。また、加工・処理室１１と作業室１２、及び作業室１２と作業準備室１３の各室１１〜１３は内隔壁１５、１６によって相互に区画されており、この内隔壁１５、１６及び作業準備室の側壁構造体６には作業員が出入り等するための開閉可能な扉５１〜５３がそれぞれ設けられている。なお、本実施形態では、加工・処理室１１に設けられている扉５１は、作業者の体の一部（腕等）が入れれば良いため、他の扉５２、５３と比較して小さな開口部となっている。また、各室１１〜１３には、床下部分に空間を有するように床パネル１７が配置されて形成されている。
【００１８】
各室１１〜１３には、ダウンフロー形式の空調システム２０Ａ〜２０Ｃを備えている。空調システム２０Ａ〜２０Ｃは、外気を清浄化して各室に給気する給気装置２１と各室の空気を外部に排気する排気装置２３を備えている。なお、給気装置２１と排気装置２３との間でダクト等によって空気を循環させるようにしても構わない。
【００１９】
給気装置２１は、天井体７の上部に設置され、この天井体７には、室内に清浄空気を給気する給気口７ａが形成されており、この給気口７ａから清浄化された空気が下向きに吹き出されるようになっている。
【００２０】
この給気装置２１は、室外（外部）の空気を室内に取り込む装置であって所定温度の空気を給気する空調機２５を備えている。この空調機２５は、所定のダクト２６を介して各室１１〜１３の天井体７の給気口７ａから室内に連絡している。
【００２１】
空調機２５は、空気を所定の温度に加熱又は冷却する加熱冷却装置２７と、加熱又は冷却された空気を所定の風量で給気するファン２８と、空気を清浄化するためのフィルタボックス２９と、を備えている。
【００２２】
フィルタボックス２９は、ダクト２６内の通気路を塞ぐように取り付けられ、このフィルタボックス２９にはフィルタが収容されている。そしてダクト２６内を通過する空気がフィルタを通過することで塵や埃等がフィルタによって吸着され空気が清浄化される。なお、このフィルタとしては、たとえばＨＥＰＡフィルタ、ＵＬＰＡフィルタ、超ＵＬＰＡフィルタ等が好適に用いられる。
【００２３】
そして、ファンの回転によって生じる負圧力により室外の空気が取り込まれ、フィルタによって清浄化された空気が加熱又は冷却されて各室１１〜１３の室内へと給気される。
【００２４】
一方、排気装置２３は、床下部分に設置され、床パネル１７には、室内の空気を外部に排気するための排気口１７ａが形成されており、この排気口１７ａから室内の空気が室外へと排気されるようになっている。
【００２５】
この排気装置２３は、例えば、排気用のダクトと、このダクトを介して室内の空気を吸気して室外に排気する排気ファンと、を備えている。排気用のダクトは、当該排気口１７ａと連絡し、排気ファンの駆動によって当該排気口１７ａからダクトを介して室内の空気が室外へと排気されるようになっている。
【００２６】
次に、本実施形態のクリーンルーム２の給排気制御手法について説明する。
【００２７】
本実施形態のクリーンルーム２では、各室１１〜１３に備えられている空調システム２０Ａ〜２０Ｃによって各室１１〜１３が所定の清浄度に保たれる。清浄度の高低は、室内に給気される給気量、換気回数等によって規定され、本実施形態におけるクリーンルーム２では、加工・処理室１１、作業室１２、作業用準備室１３の順に清浄度が高く規定される。すなわち、加工・処理室１１における給気量・換気回数が他の各室１２、１３と比較して最も多く空気圧が高くなり、作業用準備室１３における給気量・換気回数が、他の各室１１、１２と比較して最も少なく空気圧が低くなるように制御される。
【００２８】
更に具体的には、区画ユニット５によって区分けされた各室１１〜１３内が、各室１１〜１３に設けられている給気装置２１及び排気装置２３が制御されて、各室１１〜１３で規定された所定の清浄度を維持すべく、給気量と排気量とを調整し、清浄化された空気を給気するとともに、排気し空気を循環させる。
【００２９】
また、加工・処理室１１と作業室１２、作業室１２と作業用準備室１３のそれぞれの間には、開閉可能な扉５１〜５３が設けられており、例えば、作業室１２において、隣接する室内１１、１３のどちらか一方と連絡する扉５２が開いている場合には、他方と連絡する扉５１が閉じるようになっており、隣接する２つの各室１１、１３と連絡するための２つの扉５１、５２が同時に開くことがないように制御される。
【００３０】
更に具体的には、扉５１〜５３の開閉状態を検知する検知装置を備え、この検知結果に基づいて、隣接する各室１１〜１３に設けられている扉５１〜５３が同時に開かないように扉５１〜５３の開閉が自動制御される。検知装置としては、リミットスイッチ等の機械的検知装置や光電素子等の電気的検知装置を適宜用いれば良い。
【００３１】
このように扉５１〜５３の開閉が制御されることで、加工・処理室１１と作業用準備室１３との間が直接連絡することが防止されるため、作業者の移動等により隣接する室内が汚染されるのを極力防止し、各室（特に加工・処理室１１）で高い清浄度を容易に維持することができる。
【００３２】
次に、具体的な給気装置２１と排気装置２３の制御例について説明する。
【００３３】
まず、クリーンルーム２の各室１１〜１３は、次のようにして清浄化された空気が供給される。まず、給気装置２１のファンの作動により、フィルタボックスを介して清浄化された空気が給気口７ａから各室１１〜１３に供給される。
【００３４】
次に、各室１１〜１３において、供給された空気は上から下向きに流れ、その一部の空気は、排気装置２３のファンの作動により、排気口１７ａから室外へと排気される。
【００３５】
そして、加工・処理室１１を作業室１２に対して所定の差圧だけ陽圧に保ち、作業室１２を作業準備室１３に対して所定の差圧だけ陽圧に保つ。
【００３６】
このようにして、天井から清浄化された空気を下向きに給気し、床から室内の空気を室外へと排気することで、室内の気流を下向き状態に保ちつつ、換気回数や陽圧の維持を保つことによって各室１１〜１３で規定された清浄度を維持する。
【００３７】
また、作業者が清浄度が低い室内から清浄度が高い室内へと直接移動することを防ぐことで、作業者が移動することによる空気の流れにより清浄度が高い室内への塵埃の侵入等を効果的に防止し汚染されにくくして、清浄度が高い室内の清浄度がより高度に維持可能である。
【００３８】
また、本実施形態のように、高度に清浄化が必要な箇所を含む工場内の一部領域にクリーンルームを設置すれば良いため、工場全体をクリーンルーム化する必要がなく、安価に高い清浄度を維持可能な領域を容易に作ることができる。
【００３９】
なお、以上説明した実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。そして、上記実施形態の中で説明されている構成の組み合わせのすべてが発明の課題解決に必須の手段であるとは限らない。
【００４０】
具体的には、クリーンルームは、その形状、寸法等が前記実施例に限定されず、種々の変形例が可能である。一例として、本実施形態では、カラーフィルターの製造工場に用いられるクリーンルームであったが、その適用がカラーフィルターの製造工場用のそれに限定されるものではない。
【符号の説明】
【００４１】
Ｈ        製造工場
２        クリーンルーム
５        区画ユニット
１１        加工・処理室
１２        作業室
１３        作業準備室
２０Ａ〜２０Ｃ    空調システム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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