(57)【要約】【課題】単位時間あたりの処理能力を向上できるシート貼付装置および貼付方法を提供すること。【解決手段】シート貼付装置１は、第１接着シートＡＳ１を供給する第１供給手段２と、第１供給手段２で供給された第１接着シートＡＳ１を保持する第１保持手段７と、第１保持手段７を被着体ＡＨの被着面ＡＰに対して近接離間可能に設けられ、第１保持手段７で保持した第１接着シートＡＳ１を被着面ＡＰに押圧して貼付する押圧手段３とを備えたシート貼付装置１であって、第２接着シートＡＳ２を供給する第２供給手段５と、第２供給手段５で供給された第２接着シートＡＳ２を保持する第２保持手段９と、第２保持手段９を被着面ＡＰ方向に移動させる移動手段１０とを備え、第２保持手段９は、第１接着シートＡＳ１を貼付した第１保持手段７に第２接着シートＡＳ２を受け渡す受渡手段４を備えている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１接着シートを供給する第１供給手段と、
前記第１供給手段で供給された第１接着シートを保持する第１保持手段と、
前記第１保持手段を被着体の被着面に対して近接離間可能に設けられ、前記第１保持手段で保持した第１接着シートを被着面に押圧して貼付する押圧手段とを備えたシート貼付装置であって、
第２接着シートを供給する第２供給手段と、
前記第２供給手段で供給された第２接着シートを保持する第２保持手段と、
前記第２保持手段を前記被着面方向に移動させる移動手段とを備え、
前記第２保持手段は、前記第１接着シートを貼付した第１保持手段に第２接着シートを受け渡す受渡手段を備えていることを特徴とするシート貼付装置。
【請求項２】
前記被着面の位置を検出する検出手段を備え、
前記押圧手段および前記移動手段は、前記検出手段により検出された被着面の位置に応じて、前記第１保持手段および前記第２保持手段の移動量を決定することを特徴とする請求項１に記載のシート貼付装置。
【請求項３】
第１接着シートを供給する工程と、
供給された第１接着シートを第１保持手段で保持する工程と、
前記第１保持手段で保持した第１接着シートを被着面に押圧して貼付する工程と、
第２接着シートを供給する工程と、
供給された第２接着シートを第２保持手段で保持する工程と、
前記第２保持手段を被着体の被着面方向に移動する工程と、
前記第１接着シートを貼付した第１保持手段に前記第２保持手段で保持した第２接着シートを受け渡す工程と、
前記第１保持手段で保持した第２接着シートを被着面に押圧して貼付する工程とを備えていることを特徴とするシート貼付方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被着体に接着シートを貼付するシート貼付装置および貼付方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、被着体にラベル等の接着シートを順次貼付するシート貼付装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１に記載のシート貼付装置は、ラベルを吸着するラベル吸着体と、ラベル吸着体を上下方向に進退させるシリンダとを備え、ラベルが供給される高さから当該ラベルを貼付する高さまでラベル吸着体を移動させ、ラベルを被着面に貼付するように構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−７５３７８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載されたような従来のシート貼付装置では、ラベルを貼付する度に、ラベルが供給される高さ位置と当該ラベルを貼付する高さ位置（被着面）との間でラベル吸着体を往復させることが不可欠となる。従って、ラベル吸着体の往復動作に時間を要するため、貼付動作において単位時間あたりの処理能力が低下するという不都合がある。
【０００５】
本発明の目的は、単位時間あたりの処理能力を向上できるシート貼付装置および貼付方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のシート貼付装置は、第１接着シートを供給する第１供給手段と、前記第１供給手段で供給された第１接着シートを保持する第１保持手段と、前記第１保持手段を被着体の被着面に対して近接離間可能に設けられ、前記第１保持手段で保持した第１接着シートを被着面に押圧して貼付する押圧手段とを備えたシート貼付装置であって、第２接着シートを供給する第２供給手段と、前記第２供給手段で供給された第２接着シートを保持する第２保持手段と、前記第２保持手段を前記被着面方向に移動させる移動手段とを備え、前記第２保持手段は、前記第１接着シートを貼付した第１保持手段に第２接着シートを受け渡す受渡手段を備えていることを特徴とする。
【０００７】
本発明のシート貼付装置は、前記被着面の位置を検出する検出手段を備え、前記押圧手段および前記移動手段は、前記検出手段により検出された被着面の位置に応じて、前記第１保持手段および前記第２保持手段の移動量を決定することが好ましい。
【０００８】
一方、本発明のシート貼付方法は、第１接着シートを供給する工程と、供給された第１接着シートを第１保持手段で保持する工程と、前記第１保持手段で保持した第１接着シートを被着面に押圧して貼付する工程と、第２接着シートを供給する工程と、供給された第２接着シートを第２保持手段で保持する工程と、前記第２保持手段を被着体の被着面方向に移動する工程と、前記第１接着シートを貼付した第１保持手段に前記第２保持手段で保持した第２接着シートを受け渡す工程と、前記第１保持手段で保持した第２接着シートを被着面に押圧して貼付する工程とを備えていることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
以上のような本発明によれば、第２保持手段が被着面方向に移動して第１保持手段に第２接着シートを受け渡すので、第１保持手段をシート供給高さ位置まで戻すことなく第２接着シートを被着体に貼付することができ、単位時間あたりの処理能力を向上させることができる。
【００１０】
本発明において、検出手段を設ければ、検出手段で検出された被着面の高さ位置に応じて第１保持手段および第２保持手段の移動量を決定することができるため、シート貼付高さ位置が異なる被着体が連続で搬送されてくる場合であっても、単位時間あたりの処理能力をさらに向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一実施形態に係るシート貼付装置の側面図。
【図２】シート貼付装置の動作説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態において、基準となる図を挙げることなく、例えば、上、下、左、右、または、手前、奥といった方向を示した場合は、全て図１を正規の方向（付した番号が適切な向きとなる方向）から観た場合を基準とし、上、下、左、右方向が紙面に平行な方向であり、前が紙面に直交する手前方向、後が紙面に直交する奥方向とする。
【００１３】
図１に示すように、本実施形態のシート貼付装置１は、それぞれ基材シートＢＳ１、ＢＳ２の一方の面に接着剤層ＡＤ１、ＡＤ２が積層されて構成された第１接着シートＡＳ１および当該第１接着シートＡＳ１の外縁からはみ出す大きさの第２接着シートＡＳ２を被着体ＡＨの被着面ＡＰに重ねて貼付するものである。ここで、第１接着シートＡＳ１および第２接着シートＡＳ２は、接着剤層ＡＤ１、ＡＤ２を介して剥離シートＲＬ１、ＲＬ２の一方の面に仮着された第１原反ＲＳ１および第２原反ＲＳ２として予め準備されている。
【００１４】
シート貼付装置１は、第１接着シートＡＳ１を供給する第１供給手段２と、第１供給手段で供給された第１接着シートを保持する第１保持手段７と、第１保持手段７を被着体ＡＨの被着面ＡＰに対して近接離間可能に設けられ、第１保持手段７で保持した第１接着シートＡＳ１を被着面ＡＰに押圧して貼付する押圧手段３と、第２接着シートＡＳ２を供給する第２供給手段５と、第２供給手段５で供給された第２接着シートＡＳ２を保持する第２保持手段９と、第２保持手段９を被着面ＡＰ方向に移動させる移動手段１０と、被着面ＡＰの位置を検出する検出手段６とを備え、被着体ＡＨを搬送するコンベアやロボット等の搬送手段８の上方に配置されている。
【００１５】
第１供給手段２は、第１原反ＲＳ１を支持する支持ローラ２１と、第１原反ＲＳ１を案内する複数のガイドローラ２２と、第１原反ＲＳ１を折り返すことで剥離シートＲＬ１から第１接着シートＡＳ１を剥離する剥離板２３と、駆動機器としての回動モータ２４によって駆動される駆動ローラ２５と、駆動ローラ２５との間に第１接着シートＡＳ１が剥離された剥離シートＲＬ１を挟み込むピンチローラ２６と、図示しない駆動機器によって剥離シートＲＬ１を巻き取る巻取ローラ２７とを備えている。
【００１６】
第１保持手段７は、図示しない減圧ポンプや真空エジェクタ等の吸引手段によって基材シートＢＳ１、ＢＳ２側から各接着シートＡＳ１、ＡＳ２を吸着保持する保持部材７１で構成されている。
【００１７】
押圧手段３は、保持部材７１を上面から支持する出力軸３２を有する駆動機器としての直動モータ３３を備え、被着面ＡＰに対して保持部材７１を近接離間可能に構成されている。
【００１８】
第２供給手段５の構成は、第１供給手段２と同じため、第１供給手段２と同じ符号を用いて図示することとし、詳細な説明は省略する。
【００１９】
第２保持手段９は、図示しない減圧ポンプや真空エジェクタ等の吸引手段が接続された吸引チャンバ９１と、第１接着シートＡＳ１を貼付した第１保持手段７に第２接着シートＡＳ２を受け渡す受渡手段４とを備えている。
受渡手段４は、吸引チャンバ９１の左右両側に設けられたプーリ４１、４２と、プーリ４１、４２に巻回され、複数の孔を有する帯状かつ無端のサクションベルト４３と、プーリ４２を回転駆動させる駆動機器としての回動モータ４５と、これらを支持するフレーム４８とを備えている。
【００２０】
移動手段１０は、出力軸１０１でフレーム４８を支持する駆動機器としての直動モータ１０２で構成されている。
【００２１】
検出手段６は、搬送手段８により搬送されてくる被着体ＡＨの被着面ＡＰの上下方向の高さ位置を検出可能に構成されている。このような検出手段６としては、エリアセンサやラインセンサ等の非接触型センサ、リミットスイッチ等の接触型センサ、または撮像装置が例示される。この検出手段６の検出結果は、押圧手段３および移動手段１０に出力され、検出結果に基づいて、保持部材７１および第２保持手段９の移動量が決定される。
【００２２】
以上のシート貼付装置１において、被着体ＡＨに第１接着シートＡＳ１および第２接着シートＡＳ２を貼付する手順を説明する。
先ず、第１原反ＲＳ１および第２原反ＲＳ２を図１に示すようにセットし、保持部材７１および第２保持手段９を図１中実線で示すシート供給高さ位置で待機させる。そして、搬送手段８によって被着体ＡＨが搬送されると、検出手段６が被着体ＡＨの上面（被着面ＡＰ）の高さを検出する。その後、被着体ＡＨが保持部材７１の直下に搬送されたことが図示しない光学センサや撮像手段等の検知手段で検知されると、搬送手段８が被着体ＡＨの搬送動作を停止させる。次に、図２（Ａ）に示すように、第１供給手段２および第２供給手段５が各々回動モータ２４を駆動し、第１原反ＲＳ１および第２原反ＲＳ２を繰り出す。これにより、第１供給手段２の剥離板２３で剥離シートＲＬ１から第１接着シートＡＳ１が剥離され、当該第１接着シートＡＳ１が保持部材７１に向けて供給されるとともに、第２供給手段５の剥離板２３で剥離シートＲＬ２から第２接着シートＡＳ２が剥離され、当該第２接着シートＡＳ２が第２保持手段９に向けて供給される。次いで、各接着シートＡＳ１、ＡＳ２の供給に同期して、第１保持手段７が図示しない吸引手段を駆動し、保持部材７１で第１接着シートＡＳ１を吸着保持するとともに、第２保持手段９が回動モータ４５および図示しない吸引手段を駆動し、サクションベルト４３の下面で第２接着シートＡＳ２を吸着保持する。
【００２３】
次に、押圧手段３が直動モータ３３を駆動し、図２（Ｂ）に示すように、保持部材７１を検出手段６で検出した高さ位置に下降させ、保持部材７１で被着体ＡＨの被着面ＡＰに第１接着シートＡＳ１を押圧して貼付し、第１保持手段７が図示しない吸引手段を停止させる。一方、押圧手段３の貼付動作に同期して移動手段１０が直動モータ１０２を駆動し、第２保持手段９を検出手段６で検出した被着面ＡＰの高さ位置から所定間隔離れた受け渡し位置に下降させて待機させる。なお、受け渡し位置は、被着面ＡＰから例えば、１０ｍｍまたは２０ｍｍ上方であって、適宜選択できる。
【００２４】
次に、図２（Ｃ）に示すように、押圧手段３が直動モータ３３を駆動し、受け渡し位置で待機している第２保持手段９から第２接着シートＡＳ２を受け取り可能な高さ位置に保持部材７１を上昇させる。そして、受渡手段４が回動モータ４５を駆動し、第２接着シートＡＳ２を保持部材７１に向かって移動させる。そして、第１保持手段７が図示しない吸引手段を駆動し、保持部材７１で第２接着シートＡＳ２を吸着保持する。これにより、保持部材７１に第２接着シートＡＳ２を受け渡される。次に、図２（Ｄ）に示すように、押圧手段３が直動モータ３３を駆動し、保持部材７１を検出手段６で検出した高さ位置に再度下降させ、先に被着面ＡＰに貼付した第１接着シートＡＳ１上に第２接着シートＡＳ２を押圧して貼付する。
【００２５】
次いで、各保持手段７、９が各々吸引手段を停止させた後、押圧手段３が直動モータ３３を駆動し、また、移動手段１０が直動モータ１０２を駆動し、保持部材７１および第２保持手段９をシート供給高さ位置に上昇させる。その後、搬送手段８が駆動し、第１および第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２が貼付された被着体ＡＨを次工程に搬送する。そして、以降、上記同様の動作が繰り返される。
【００２６】
以上のような本実施形態によれば、第２保持手段９が被着面ＡＰ方向に移動して保持部材７１に第２接着シートＡＳ２を受け渡すので、保持部材７１をシート供給高さ位置まで戻すことなく第２接着シートＡＳ２を被着体ＡＨに貼付することができ、単位時間あたりの処理能力を向上させることができる。
また、検出手段６を設けたことにより、検出手段６で検出された被着面ＡＰの高さ位置に応じて保持部材７１および第２保持手段９の移動量を決定することができるため、シート貼付高さ位置が異なる被着体ＡＨが連続で搬送されてくる場合であっても、単位時間あたりの処理能力を向上させることができる。
【００２７】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【００２８】
例えば、シート貼付装置１全体を横にして配置し、被着体ＡＨの側面に各接着シートＡＳ１、ＡＳ２を貼付するように構成してもよいし、シート貼付装置１全体を天地反転して配置し、搬送手段８で搬送されてくる被着体ＡＨの底面に各接着シートＡＳ１、ＡＳ２を貼付するように構成してもよい。また、剥離板２３にかえて、ローラ等による剥離部材を採用してもよい。
【００２９】
押圧手段３は、第１接着シートＡＳ１および第２接着シートＡＳ２をそれぞれ異なる被着体ＡＨに貼付してもよいし、１つの被着体ＡＨの被着面ＡＰに各接着シートＡＳ１、ＡＳ２をそれぞれ異なる位置に貼付してもよい。また、押圧手段３としては、保持部材７１で保持した各接着シートＡＳ１、ＡＳ２が被着体ＡＨに貼付される前に保持部材７１の下降を停止させ、エア噴き付けにより各接着シートＡＳ１、ＡＳ２を吹き飛ばし、被着体ＡＨに押圧して貼付する構成を採用してもよい。この場合、受け渡し位置で待機している第２保持手段９から第２接着シートＡＳ２を受け取り可能な高さ位置で、保持部材７１の下降を停止すれば、第２接着シートＡＳ２の受け取りのために、押圧手段３が直動モータ３３を駆動し、保持部材７１を受け渡し位置まで上昇させる必要がなくなるので、さらに単位時間あたりの処理能力を向上させることができる。
【００３０】
また、保持部材７１および第２保持手段９の移動は、自動で行うものに限らず、手動により行ってもよい。
【００３１】
また、第１接着シートＡＳ１、第２接着シートＡＳ２は、同じ大きさであってもよいし、違う大きさであってもよい。さらに、被着体ＡＨを停止させることなく各接着シートＡＳ１、ＡＳ２を貼付してもよい。
【００３２】
また、前記実施形態では、被着体ＡＨおよび各接着シートＡＳ１、ＡＳ２を具体的に例示していないが、本発明の貼付装置および貼付方法では、被着体ＡＨおよび各接着シートＡＳ１、ＡＳ２の種別や材質などは、特に限定されず、例えば、被着体ＡＨが適宜な物品（例えば、段ボールケースや樹脂容器等）であって、各接着シートＡＳ１、ＡＳ２がラベルであってもよく、被着体ＡＨが半導体ウェハであって、各接着シートＡＳ１、ＡＳ２が保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルムであってもよく、被着体ＡＨが半導体ウェハと中空のフレームとがダイシングテープで一体化されたものであって、接着シートが半導体ウェハの情報が記録されたバーコードラベル等であってもよい。この際、半導体ウェハは、シリコン半導体ウェハや化合物半導体ウェハ等が例示でき、このような半導体ウェハに貼付する接着シートＡＳ１、ＡＳ２は、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルムに限らず、その他の任意のシート、フィルム、テープ等、任意の用途、形状の接着シート等が適用できる。さらに、被着体ＡＨが光ディスクの基板であって、接着シートＡＳ１、ＡＳ２が記録層を構成する樹脂層を有したものであってもよい。以上のように、被着体ＡＨとしては、ガラス板、鋼板、樹脂板等や、その他の板状部材のみならず、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。
【００３３】
前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
【符号の説明】
【００３４】
１      シート貼付装置
２      第１供給手段
３      押圧手段
４      受渡手段
５      第２供給手段
６      検出手段
７      第１保持手段
８      搬送手段
９      第２保持手段
１０    移動手段
ＡＳ１  第１接着シート
ＡＳ２  第２接着シート
ＡＨ    被着体
ＡＰ    被着面
【図１】
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【図２】
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