(57)【要約】【課題】  磁気記録媒体のサーティファイ検査において、磁性体の結晶粒径の寸法ばらつきによるトラック間干渉を高精度に検出し、磁気記録媒体の品質を検査する手段を提供する。【解決手段】  検査対象トラックと隣接トラックとが逆極性になるように磁化した磁気記録媒体において、トラック境界に位置決めした磁気ヘッドから読込まれる再生信号の周波数特性から機械ノイズとトラック間干渉の信号を分離して、抽出されたトラック間干渉信号より高精度に磁気記録媒体品質を検査する検査装置、及び検査方法である。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気記録媒体の再生信号を検査する検査装置において、
検査対象の磁気記録媒体の各検査対象トラックと隣接トラックとが逆極性になるようにＤＣ信号を書き込む信号書込部と、
磁気ヘッドを前記各検査対象トラックと前記隣接トラックとの境界に位置決める磁気ヘッド制御部と、
前記磁気ヘッドより再生信号を入力して、該再生信号よりトラック間干渉信号成分をフィルタリングにより分別して、分別した該トラック間干渉信号の振幅と閾値とを比較して検査対象のトラック上のエラー領域を判定する信号検査部とを備えたことを特徴とする磁気記録媒体の検査装置。
【請求項２】
前記信号検査部は、前記再生信号をＡＤ変換器のサンプリング周波数の所定比率以上の周波数成分をフィルタリング処理するフィルタと、前記フィルタの出力信号の振幅をＡＤ変換器の入力電圧範囲まで増幅する可変ゲインアンプと、前記可変ゲインアンプの出力信号をデジタル値に変換するＡＤ変換器と、デジタル値に変換した再生信号をフィルタリング処理してトラック間干渉信号成分を抽出するＨＰＦと、前記ＨＰＦが出力するトラック間干渉信号の振幅値と閾値とを比較して、トラック間干渉信号振幅が閾値を超えた場合にエラー有りの信号を出力する比較器とを有することを特徴とする請求項１に記載の磁気記録媒体の検査装置。
【請求項３】
前記信号検査部は、前記再生信号をフィルタリング処理してトラック間干渉信号成分を抽出するＨＰＦと、前記ＨＰＦを通過したトラック間干渉信号をＣＭＰの入力電圧範囲まで増幅する可変ゲインアンプと、前記可変ゲインアンプから出力されたトラック間干渉信号振幅とＤＡ変換器で変換された閾値電圧とを比較して、トラック間干渉信号振幅が閾値電圧を超えた場合にエラー有りの信号を出力するＣＭＰとを有することを特徴とする請求項１に記載の磁気記録媒体の検査装置。
【請求項４】
前記信号検査部において、前記トラック間干渉信号の振幅と閾値とを比較して検査対象トラック上にエラー領域有りと判定した結果に従い、トラック間干渉信号の振幅値、およびエラー箇所の位置情報を記録するメモリを更に備えていることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかの請求項に記載の磁気記録媒体の検査装置。
【請求項５】
検査装置のテストパラメータを管理するテスタ制御部が、ゲイン値を前記信号検査部の前記可変ゲインアンプへ設定し、前記可変ゲインアンプが、前記ＡＤ変換器の入力電圧範囲を想定されるトラック間干渉による信号振幅変動量に調整することを特徴とする請求項２に記載の磁気記録媒体の検査装置。
【請求項６】
前記信号検査部において、前記トラック間干渉信号の振幅と閾値とを比較して検査対象トラック上にエラー領域有りと判定した結果に従い、メモリにエラー有りと判定されたトラック番号とセクタ番号を保存することを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかの請求項に記載の磁気記録媒体の検査装置。
【請求項７】
前記ＡＤ変換器が、発振部が生成するサンプリング信号を遅延器で位相が３６０°／Ｎずつ異なるサンプリング信号に分岐したものをそれぞれ入力するＮ個の並列接続されたＡＤ変換器であることを特徴とする請求項２に記載の磁気記録媒体の検査装置。
【請求項８】
磁気記録媒体の再生信号を検査する検査方法において、
磁気記録装置に搭載された検査対象の磁気記録媒体の各検査対象トラックと隣接トラックとが逆極性になるようにＤＣ信号を書き込むステップと、
磁気ヘッドを前記各検査対象トラックと前記隣接トラックとの境界に位置決めて、境界上を走査して再生信号を入力するステップと、
該再生信号をフィルタリング処理により機械ノイズ成分を除去してトラック間干渉信号成分を分別するステップと、
分別した該トラック間干渉信号の振幅と閾値とを比較して検査対象のトラック上のエラー領域を判定するステップとを有することを特徴とする磁気記録媒体の検査方法。
【請求項９】
前記トラック間干渉信号の振幅と閾値とを比較して検査対象トラック上にエラー領域有りと判定した結果に従い、トラック間干渉信号の振幅値、およびエラー箇所の位置情報をメモリに記録するステップと、
前記検査対象の磁気記録媒体を搭載した磁気記録装置へ、前記記録したエラー箇所の位置情報より、データ書込み禁止領域のトラック番号とセクタ番号をダウンロードするステップと、を更に有することを特徴とする請求項８に記載の磁気記録媒体の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気記録媒体の検査装置及び検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ハードディスクドライブに代表される磁気記録装置の製品出荷前に実施されるサーティファイ検査では、磁気記録媒体に対し、通常のハードディスクドライブの記録再生のように、磁気ヘッドで所定の信号を記録した後、その信号を再生し、得られた再生信号から、電気特性や欠陥の有無など媒体の品質を確かめている。
【０００３】
本技術分野の背景技術として、特開２００８−２０４５０４号公報（特許文献１）がある。この公報には、「磁気記録媒体の再生信号を検査するサーティファイ検査装置において、磁気ヘッド５３は、磁気記録媒体に記録された信号を再生する。ＡＧＣ部３４は、再生された信号のうち磁気記録媒体のエラー部に起因する信号を入力されてからの経過時間に応じて制御した利得率で、再生された信号を増幅する。ＣＭＰ部３８は増幅された信号のレベルとスライスレベルとを比較してエラーの有無を判定する」と記載されている（要約参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−２０４５０４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
前記特許文献１は、磁気記録媒体のサーティファイ検査において、磁気記録媒体の基板のうねりや磁性膜の膜厚分布の不均一などに起因して検査信号に発生したエンベロープを可変ゲインアンプで調整し、閾値処理でエラー部分を検出する手段が示されている。しかし、この検査手段では、磁気ヘッドの位置変動によるトラック間干渉の読み飛ばし、隣接トラックが同極性に磁化した部分の検出漏れ、検出感度の低下がある。
【０００６】
例えば、ハードディスクの高記録密度化のために狭トラック化が進められた磁気記録媒体では、トラック幅に対する磁性体の結晶粒径の寸法ばらつきの比率が大きくなり、目標トラックからデータを再生するときに、隣接トラックからの磁界影響であるトラック間干渉が増大するため、データ再生のエラーが上昇する。このため、製造した磁気記録媒体の良品・不良品の判定や品質のランク付けをする検査装置では、磁性体の結晶粒径の寸法ばらつきに対して、高精度に検査する必要がある。
【０００７】
そこで、本発明は、磁性体の結晶粒径の寸法ばらつきによるトラック間干渉を高精度に検出し、磁気記録媒体の品質を検査する手段を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために本発明では、磁気記録媒体の再生信号を検査する検査装置を、検査対象の磁気記録媒体の各検査対象トラックと隣接トラックとが逆極性になるようにＤＣ信号を書き込む信号書込部と、磁気ヘッドを各検査対象トラックと隣接トラックとの境界に位置決める磁気ヘッド制御部と、磁気ヘッドより再生信号を入力して、該再生信号よりトラック間干渉信号成分をフィルタリングにより分別して、分別した該トラック間干渉信号の振幅と閾値とを比較して検査対象のトラック上のエラー領域を判定する信号検査部とを備えて構成した。
【０００９】
また、上記課題を解決するために本発明では、前記信号検査部は、前記再生信号をＡＤ変換器のサンプリング周波数の所定比率以上の周波数成分をフィルタリング処理するフィルタと、前記フィルタの出力信号の振幅をＡＤ変換器の入力電圧範囲まで増幅する可変ゲインアンプと、前記可変ゲインアンプの出力信号をデジタル値に変換するＡＤ変換器と、デジタル値に変換した再生信号をフィルタリング処理してトラック間干渉信号成分を抽出するＨＰＦと、前記ＨＰＦが出力するトラック間干渉信号の振幅値と閾値とを比較して、トラック間干渉信号振幅が閾値を超えた場合にエラー有りの信号を出力する比較器とを有することを特徴とする。
【００１０】
また、上記課題を解決するために本発明では、前記信号検査部は、前記再生信号をフィルタリング処理してトラック間干渉信号成分を抽出するＨＰＦと、前記ＨＰＦを通過したトラック間干渉信号をＣＭＰの入力電圧範囲まで増幅する可変ゲインアンプと、前記可変ゲインアンプから出力されたトラック間干渉信号振幅とＤＡ変換器で変換された閾値電圧とを比較して、トラック間干渉信号振幅が閾値電圧を超えた場合にエラー有りの信号を出力するＣＭＰとを有することを特徴とする。
【００１１】
また、上記課題を解決するために本発明では、前記信号検査部において、前記トラック間干渉信号の振幅と閾値とを比較して検査対象トラック上にエラー領域有りと判定した結果に従い、トラック間干渉信号の振幅値、およびエラー箇所の位置情報を記録するメモリを更に備えていることを特徴とする。
【００１２】
また、上記課題を解決するために本発明では、磁気記録媒体の再生信号を検査する検査方法において、磁気記録装置に搭載された検査対象の磁気記録媒体の各検査対象トラックと隣接トラックとが逆極性になるようにＤＣ信号を書き込むステップと、磁気ヘッドを各検査対象トラックと隣接トラックとの境界に位置決めて、境界上を走査して再生信号を入力するステップと、該再生信号をフィルタリング処理により機械ノイズ成分を除去してトラック間干渉信号成分を分別するステップと、分別した該トラック間干渉信号の振幅と閾値とを比較して検査対象のトラック上のエラー領域を判定するステップとを有するようにした。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、再生信号から磁気ヘッドの揺らぎや基板のうねりや磁性膜の膜厚分布の不均一などに起因する成分を分離することで、高精度に信号品質の検査が可能となり、加えて、検出回路の入力電圧範囲をトラック間干渉信号の振幅に合わせることで高感度化が可能となる信号検査手段が提供できる。
上記した以外の課題、構成及び効果は、以下の実施形態の説明により明らかにされる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の実施例１における検査装置の構成図の例である。
【図２】検査対象である磁気記録媒体の構成の例である。
【図３】従来の信号検査の手段を説明する図である。
【図４】本発明の実施例１における信号検査の手段を説明する図である。
【図５】本発明の実施例１における信号検査部の構成図の例である。
【図６】本発明の実施例１における信号検査部の動作を説明するフローチャートである。
【図７】本発明の実施例２における信号検査部の構成図の例である。
【図８】本発明の実施例３における信号検査部の構成図の例である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、図面を用いて実施例を説明する。
【実施例１】
【００１６】
本実施例では、磁気記録媒体の再生信号を検査する検査装置において、製造ばらつきにより、磁気記録媒体に形成した磁性体の結晶粒径の寸法ばらつきによるトラック間干渉を高精度に検出することで、磁気記録媒体品質の検査精度を向上させる手段の例を説明する。
【００１７】
図１は、本発明の実施例１における検査装置の構成図の例である。
本検査装置は、検査対象である磁気記録媒体(メディア)１００が組み込まれた磁気記録装置に備えられた磁気ヘッド１０１、スピンドル１０２、および磁気ヘッド駆動部１０３と、該磁気記録装置に接続されたアンプ１０４、信号書込部１０５、信号検査部１０６、磁気ヘッド制御部１０７、テスタ制御部１０８、ユーザインターフェース１０９を有する。
【００１８】
図２は、検査対象である磁気記録媒体(メディア)の構成の例である。磁気記録媒体(メディア)１００は、同心円に分割した複数のトラック２０８から構成され、各トラック２０８は、円周方向に分割した多数のセクタ２０７から構成される。セクタ２０７は、サーボ領域２０１とデータ領域２０２を有し、サーボ領域２０１は、プリアンブル２０３、シンクマーク２０４、トラック・セクタ番号２０５、サーボデータ２０６を有する。
【００１９】
以下、本検査装置の動作について説明する。
本検査装置は、検査対象である磁気記録媒体(メディア)１００をスピンドル１０２で回転させ、磁気ヘッド１０１を磁気記録媒体１００の上で走らせ、磁気ヘッド１０１で磁気記録媒体１００に記録される信号を再生する。磁気ヘッド１０１で読込んだ再生信号は、アンプ１０４で増幅され、信号検査部１０６、磁気ヘッド制御部１０７へ出力される。磁気ヘッド制御部１０７は、再生信号のサーボ領域２０１のトラック・セクタ番号２０５とサーボデータ２０６を復調し、その結果である位置情報１１０をテスタ制御部１０８へ出力する。テスタ制御部１０８は、位置情報１１０から磁気ヘッド１０１の磁気記録媒体１００上の位置を検出し、磁気ヘッド１０１を検査目標のトラックまで移動するのに必要な移動量を求め、磁気ヘッド制御信号１１４を磁気ヘッド制御部１０７へ出力する。磁気ヘッド制御部１０７は、磁気ヘッド制御信号１１４を受け付けると磁気ヘッド駆動部１０３を制御し、磁気ヘッド１０１を検査目標のトラックへ移動させる。信号書込部１０５は、磁気ヘッド１０１が検査目標の位置に移動すると、テスタ制御部１０８から入力されたテスト信号データ１１１を検査目標のセクタのデータ領域２０２に書き込む。信号検査部１０６は、検査目標のセクタから磁気ヘッド１０１により再生したテスト信号を検出し、テスタ制御部１０８から入力された検査情報１１２を元に信号を検査し、検査結果１１３をテスタ制御部１０８へ出力する。
【００２０】
図３は、従来の信号検査の手段を説明する図である。本図を用いて従来の磁気記録媒体の検査装置とその課題を説明する。
従来の検査装置では、先ず、テスタ制御部１０８から磁気ヘッド制御部１０７を制御して、磁気ヘッド１０１を検査対象のトラックの中心に位置決めする。次に、信号書込部１０５からテスト信号を検査対象セクタのデータ領域に書き込む。従来の検査装置では、このテスト信号に、例えば正弦波を用いており、検査対象領域の磁性体にＮ極とＳ極が交互に書き込まれる。次に、書き込んだテスト信号を磁気ヘッド１０１で再生し、この再生信号４０４を検出回路４００で検出する。このとき検出回路４００の入力電圧範囲は、テスト信号の振幅に調整している。閾値比較部４０１では、検出回路４００で検出した再生信号と閾値４０５とを比較して、エラーの有無を判定する。例えば、再生信号の振幅が上限閾値を越えた、または下限閾値に達しない（すなわち、再生信号の振幅が上限閾値と下限閾値との間から外れた)場合に、その箇所をエラー在りと判定する。
良／不良保存部４０２は、閾値比較部４０１でエラー有りと判定されたトラック番号とセクタ番号を保存する。この保存されたトラック番号とセクタ番号は、例えば、この磁気記録媒体を搭載した製品ドライブにデータ書込み禁止領域の情報として保存される。
【００２１】
以上、上記で説明した従来の検査装置では、以下のような課題がある。
従来の検査装置では、検査対象トラックの中心に磁気ヘッド１０１を位置決めして、信号を再生している。しかし、磁気ヘッド１０１は振動しているため、例えば、図３に示す磁気ヘッドの軌跡４０６のような経路をとる。このように、磁気ヘッド１０１が振動していると、隣接トラックとの境界上における磁性粒子の粒径の大小に起因するトラック境界の凹凸の大小が影響するトラック間干渉が問題となる。すなわち、磁気ヘッド１０１を検査対象トラックの中心に位置決めして、振動無しでトラック上を走査して信号を再生する理想的な場合と比較して、隣接トラックとの境界上に発生する大きなトラック間干渉を読み飛ばしたり、または本来は正常と見なせる小さなトラック間干渉を誤検出してしまうなど、再生信号４０４の振幅に基づくエラー判定の精度が損なわれる課題があった。
【００２２】
図３のトラック番号ｎのトラック上を走査する磁気ヘッドが中央より上方に振動している場合には、トラック番号ｎ＋１のトラックとの境界に在るトラック間干渉の要因であるトラック境界４０７の大きな凹凸から磁気ヘッド１０１が離れ、エラー箇所の読み飛ばしが発生する。また、磁気ヘッド１０１が中央より下方に振動している場合には、トラック番号ｎ＋１のトラックとのトラック境界４０７に近づき、正常な大きさの凹凸でもエラー箇所として誤検出してしまう課題があった。
【００２３】
また、従来の検査装置では、検査対象領域の磁性体をＮ極とＳ極とに交互に磁化させるため、予め隣接トラックが例えばＳ極に一様に磁化されている場合には、隣接トラックと同じ極性に磁化される領域が発生する。この同じ極性に磁化された領域のトラック境界４０７に大きな凹凸があっても磁気ヘッド１０１は、磁界の変化が無いため信号を再生することができずにエラー箇所を見逃してしまう課題があった。
【００２４】
更に、別の課題として、検出回路４００の入力電圧範囲は、テスト信号振幅と想定されるエラーによる信号振幅変動の合計以上が必要となる。例えば、テスト信号振幅が１Ｖ、想定されるエラーによる信号振幅変動が１００ｍＶの場合、検出回路４００の入力電圧範囲は、１．１Ｖ以上が必要となる。ここで、検出回路４００の電圧分解能が６４階調あるとすると、検出回路４００の電圧分解能は、１．１Ｖ／６４階調≒１７．２ｍＶとなる。これは、検査対象の信号振幅変動１００ｍＶに対して、１７．２％の検出誤差を持つことになる。
【００２５】
図４は、本発明の第１の実施形態による検査装置を説明する図である。
本発明の第１の実施形態の検査装置では、先ず、テスタ制御部１０８から磁気ヘッド制御部１０７を制御して、磁気ヘッド１０１を検査対象のトラックの中心に位置決めする。次に、信号書込部１０５からテスト信号を検査対象セクタのデータ領域２０２に書き込む。本実施形態の検査装置では、このテスト信号にＤＣ信号を用いて、検査対象領域の磁性体がＮ極もしくはＳ極の一極性のみに磁化するように書き込む。次に、磁気ヘッド１０１の中心を検査対象トラック(ｎ番)の隣接トラック（ｎ＋１番）の中心に位置決めし、検査対象トラックとは、逆極性に磁化する。同様に、反対側の隣接トラック（ｎ−１番）も検査対象トラックとは、逆極性に磁化する。次に磁気ヘッド１０１を検査対象トラックとその隣接トラックとの間(トラック境界)に位置決めして、走査を実行して信号を再生する。この再生信号５０２を検出回路４００で検出する。このとき検出回路４００の入力電圧範囲は、想定される再生信号５０２の振幅に調整している。ＨＰＦ（High-Pass-Filter高域通過フィルタ）５００では、検出回路４００で検出した再生信号５０２からトラック間干渉信号と磁気ヘッドの揺らぎや基板のうねりや磁性膜の膜厚分布の不均一などに起因する機械ノイズ成分とを分離する。機械ノイズ成分の信号周波数は、数ｋＨｚから数ＭＨｚであるのに対し、磁性粒子の寸法ばらつきによるトラック間干渉の信号周波数は、数ＧＨｚとなるためＨＰＦ５００のフィルタリング処理で分離が可能となる。閾値比較部４０１では、ＨＰＦ５００でフィルタリング処理したトラック間干渉信号と閾値５０４とを比較して、エラー(トラック境界の凹凸が大きく、トラック間干渉が大きいと見なされる箇所)の有無を判定する。良／不良保存部４０２は、閾値比較部４０１でエラー有りと判定されたトラック番号とセクタ番号を保存する。
【００２６】
以上、上記で説明した本実施形態の検査装置では、磁気ヘッド１０１の中心をトラック境界４０７に位置決めして走査を行ない信号を再生することで、磁気ヘッド１０１が振動していても(磁気ヘッドの軌跡５０１)トラック間干渉の要因であるトラック境界４０７の大きな凹凸から磁気ヘッド１０１が離れることによるエラー箇所の読み飛ばしと、磁気ヘッド１０１がトラック境界４０７に近づき、正常な大きさの凹凸でもエラー箇所として誤検出することは無くなる。また、検査対象トラックは、隣接トラックと常に逆極性に磁化されているため５０３、従来の検査装置のように正弦波を書き込むと、隣接トラックとの境界が同極性に磁化されている箇所が生じてトラック境界の凹凸の検出不可となることはなくなる。従って、トラック境界４０７に大きな凹凸があれば磁界が変化し、磁気ヘッド１０１で信号を再生するので、エラー箇所の見逃しも発生しない。
【００２７】
更に、検出回路４００の入力電圧範囲は、想定されるトラック間干渉による信号振幅変動だけに限られることになる。例えば、想定される信号振幅変動が１００ｍＶの場合、検出回路４００の入力電圧範囲は、１００ｍＶとなる。ここで、検出回路４００の電圧分解能が６４階調あるとすると、検出回路４００の電圧分解能は、１００ｍＶ／６４階調≒１．６ｍＶとなる。これは、検査対象の信号振幅変動１００ｍＶに対して、１．６％の検出誤差となり従来の検査装置と比較して検出誤差を低減することができる。
【００２８】
図５は、本発明の実施例１における信号検査部１０６の回路構成を具体的に示した例である。信号検査部１０６は、フィルタ６０１、可変ゲインアンプ６０２、ＡＤ変換部６０３、ＨＰＦ６０４、比較器６０５、良／不良メモリ６０６、発振部６０７から構成される。
【００２９】
以下、信号検査部１０６の動作を説明する。
信号検査部１０６には、磁気ヘッド１０１を検査対象トラックとその隣接トラックとの間に位置決めして走査した際に再生した再生信号５０２を入力する。入力した再生信号５０２は、フィルタ６０１にて、ＡＤ変換器６０３のサンプリング周波数の１／２以上の周波数成分をフィルタリング処理する。可変ゲインアンプ６０２は、フィルタ６０１の出力信号の振幅をＡＤ変換器６０３の入力電圧範囲まで増幅する。増幅率は、信号振幅に合わせた値をテスタ制御部１０８から設定する。ＡＤ変換器６０３は、可変ゲインアンプ６０２の出力信号をデジタル値に変換する。サンプリング信号の周波数は、検査対象のトラック間干渉信号周波数の２倍以上であり、発振部６０７にて生成する。ＨＰＦ６０４は、デジタル値に変換した再生信号５０２をフィルタリング処理して、数ｋＨｚから数ＭＨｚの周波数となる磁気ヘッドの揺らぎや基板のうねりや磁性膜の膜厚分布の不均一などに起因する機械ノイズ成分を除去し、ＧＨｚの周波数となるトラック間干渉信号を後段に出力する。比較器６０５は、トラック間干渉信号の振幅値とテスタ制御部１０８から設定した閾値４０５を比較し、トラック間干渉信号振幅が閾値４０５を超えた場合、後段にエラー有りの信号を出力する。良／不良メモリ６０６は、比較器６０５からエラー有りの信号を受信した場合、磁気ヘッド制御部１０７から入力される磁気ヘッドの位置情報と対応させてトラック間干渉信号の振幅値などのエラー情報をメモリに保存する。
【００３０】
以下、 図６に本発明の実施例１における信号検査手順を示したフローチャートの例を用いて、検査方法を説明する。
【００３１】
ステップＳ１１において、先ず、テストパラメータであるゲイン値、フィルタリング周波数値、閾値、磁化パターンを設定する。ユーザがユーザインターフェース１０９を介して設定入力した各パラメータ値をテスタ制御部１０８が受付けて、または既に登録されたパラメータ値を読み出して、それらのパラメータ値に従って各部の制御を実行する。
ゲイン値は、可変ゲインアンプ６０２の増幅率であり、再生信号振幅をＡＤ変換器６０３の入力電圧範囲まで増幅できる値にする。
フィルタリング周波数値は、ＨＰＦ６０４の通過帯域周波数値であり、数ｋＨｚから数ＭＨｚの周波数となる磁気ヘッドの揺らぎや基板のうねりや磁性膜の膜厚分布の不均一などに起因する機械ノイズ成分を除去し、ＧＨｚの周波数となる検査対象のトラック間干渉信号を通過させる値を設定する。
閾値は、比較器６０５がエラーと判定するトラック間干渉信号の振幅値を設定する。
磁化パターンは、検査対象トラックとその隣接トラックとを、どちらをＮ極、またはＳ極にそれぞれ逆極性に磁化するか、および隣接する複数のトラックを磁化する順番を変えるとトラック境界の磁性粒子の磁化のされ方が変わるので、ユーザが検査方法に応じて磁化パターンを選択・指定する。
【００３２】
ステップＳ１２において、検査対象トラックを番号ｎ＝１から検査を始める。
ステップＳ１３において、ステップＳ１１で設定された磁化パターンに従って、検査対象トラックｎと、隣接トラック(ｎ＋１)を逆極性に磁化されるようにテスト信号であるＤＣ信号を書き込む。
【００３３】
ステップＳ１４において、磁気ヘッドの中心を検査対象のトラックｎと隣接トラック(ｎ＋１)との境界に位置決めして、走査を行い信号を再生する。
ステップＳ１５において、この再生信号をフィルタ６０１でフィルタ処理し、可変ゲインアンプ６０２で増幅後、ＡＤ変換器６０３でデジタル値に変換して、再生信号を取得する。
ステップＳ１６において、取得した再生信号をＨＰＦ６０４のフィルタリング処理で機械ノイズ成分を除去して、トラック間干渉信号を取得する。
【００３４】
ステップＳ１７において、比較器６０５で検査対象のトラック間干渉信号の振幅と閾値を比較する。トラック間干渉信号の振幅が上下の閾値を超えていた場合、トラック間干渉信号の振幅値などの情報とエラー箇所の位置情報を対応させて良／不良メモリ６０６に記録する(ステップＳ１８)。ステップＳ１７，Ｓ１８の処理は、検査対象のトラック境界を走査する間、繰り返される。
【００３５】
ステップＳ１９において、最終トラックと１つ前の隣接トラックとの間のトラック境界のテストを完了しているかを確認して、完了していない場合、次の検査対象トラックを選択（ｎ＝ｎ＋１）して(ステップＳ２０)、ステップＳ１３からステップＳ１９までの処理を繰り返す。最終トラックまでの全てのトラック境界をテスト完了したならば検査対象の磁気記録媒体のテストを終了する。
【００３６】
上記で示したように、本実施例の検査方法は、隣接トラックを交互に逆極性に磁化した磁気記録媒体において、トラック境界に位置決めした磁気ヘッドから読込まれる信号の周波数特性から機械ノイズとトラック間干渉の信号を分離することで、高精度に磁気記録媒体の品質を検査することが可能になる。
【００３７】
本実施例の検査装置では、信号検査部１０６において、磁気記録装置に搭載された検査対象の磁気記録媒体１００の全トラックの検査を完了した後、良／不良メモリ６０６に記録された検査結果情報１１３をテスタ制御部１０８に出力する。
テスタ制御部１０８は、検査結果情報１１３に記録されたエラー箇所の数の多少によって、例えば磁気記録媒体１００の品質のランクを定めることが出来る。そして、磁気記録媒体１００のエラー箇所の数が製品として出荷可能と判定された場合には、図示していない接続経路を介して、データ書込み禁止領域のトラック・セクタ情報を検査対象の磁気記録媒体を搭載した磁気記録装置へ書き込み、該磁気記録装置は製品出荷される。もし、磁気記録媒体１００のエラー箇所の数が規定数より多ければ、不良品として破棄される。
テスタ制御部１０８は、検査結果情報１１３をユーザインターフェース１０９を介してユーザへ提示して、不良解析などの支援に役立てることが出来る。
【実施例２】
【００３８】
本実施例では、実施例１の検査装置の信号検査部１０６に並列に搭載したＡＤ変換器を適用した検査装置について説明する。
実施例１の検査装置は、周波数が数ＧＨｚとなるトラック間干渉信号をデジタル値に変換するために高価な高速ＡＤ変換器が必要となる。本実施例では、一般的に用いられる低コスト化方法である安価な低速ＡＤ変換器を並列搭載する方法を適用した信号検査部１０６を説明する。
【００３９】
図７は、本発明の実施例２における信号検査部１０６の構成例である。
信号検査部１０６は、フィルタ６０１、可変ゲインアンプ６０２、並列に搭載したＡＤ変換器６０３aと６０３ｂ、ＨＰＦ６０４、比較器６０５、良／不良メモリ６０６、発振部６０７、遅延器７００から構成される。
【００４０】
遅延器７００は、発振部６０７が生成したサンプリング信号を２分岐し、位相差が１８０度となる２つのサンプリング信号をＡＤ変換器６０３ａと６０３ｂにそれぞれ出力する。ＡＤ変換器６０３ａと６０３ｂは、位相が１８０度異なるタイミングで入力されるトラック間干渉信号をデジタル値に変換するため、発振部６０７が生成したサンプリング信号の周波数の２倍のサンプリングレートが得られる。従って、実施例１と同じサンプリングレートを達成するのに、サンプリング信号の周波数は半分の値となるため、ＡＤ変換器６０３ａと６０３ｂには、半分のサンプリングレートを持つ安価なＡＤ変換器を用いることができる。
【００４１】
また、Ｎ個のＡＤ変換器を並列搭載し、遅延器７００で位相が３６０度／Ｎずつ異なるＮ個のサンプリング信号をＡＤ変換器にそれぞれ入力することで、１／Ｎのサンプリングレートを持つＡＤ変換器を用いることができる。
以上により、信号検査部の低コスト化が可能となる。
【実施例３】
【００４２】
本実施例では、実施例１の検査装置に適用した別の信号検査部の構成例を示す。
図８は、本発明の実施例３における信号検査部の構成例である。
信号検査部１０６は、ＨＰＦ８００と、可変ゲインアンプ６０２と、ＣＭＰ（コンパレータ）８０１と、ＤＡ変換器８０２、良／不良メモリ６０６から構成される。
【００４３】
以下、本実施例における信号検査部１０６の動作を説明する。
ＨＰＦ８００は、数ｋＨｚから数ＭＨｚの周波数となる磁気ヘッドの揺らぎや基板のうねりや磁性膜の膜厚分布の不均一などに起因する機械ノイズ成分を除去し、ＧＨｚの周波数となるトラック間干渉信号を通過させるように設計したアナログ回路フィルタである。
可変ゲインアンプ６０２は、ＨＰＦ８００を通過した信号をＣＭＰ８０１の入力電圧範囲まで増幅する。増幅率は、信号振幅に合わせた値をテスタ制御部１０８から設定する。
ＤＡ変換器８０２は、テスタ制御部１０８から入力された閾値を電圧値に変換し、ＣＭＰ８０１へ出力する。
ＣＭＰ８０１は、比較対象信号と参照電圧の２つを入力し、信号電圧が参照電圧よりも大きい場合「１」を出力し、小さい場合「０」を出力する回路であり、参照電圧として、ＤＡ変換器８０２から出力された閾値電圧を、比較対象信号として、可変ゲインアンプ６０２から出力されたトラック間干渉信号振幅を入力することで、トラック間干渉信号振幅が閾値電圧を超えた場合、「１」を良／不良メモリ６０６に出力する。良／不良メモリ６０６は、ＣＭＰ８０１から「１」を入力されたタイミングで、磁気ヘッド制御部１０７から入力される位置情報を記録する。
以上により、ＡＤ変換器が不要となり、信号検査部の低コスト化を実現できる。
【００４４】
なお、本発明は上記した実施例に限定されるものではなく、様々な変形例が含まれる。例えば、上記した実施例は本発明を分かりやすく説明するために詳細に説明したものであり、必ずしも説明した全ての構成を備えるものに限定されるものではない。また、ある実施例の構成の一部を他の実施例の構成に置き換えることが可能であり、また、ある実施例の構成に他の実施例を加えることも可能である。また、各実施例の構成の一部について、他の構成の追加・削除・置換をすることが可能である。
【００４５】
また、上記の各構成、機能等は、プロセッサがそれぞれの機能を実現するプログラムを解釈し、実行することによりソフトウェアで実現してもよい。各機能を実現するプログラム、テーブル、ファイル等の情報は、メモリや、ハードディスク、SSD（Solid  State  Drive）等の記録装置、または、ICカード、SDカード、DVD等の記録媒体に置くことができる。
【符号の説明】
【００４６】
１００  磁気記録媒体(メディア)
１０１  磁気ヘッド
１０２  スピンドル
１０３  磁気ヘッド駆動部
１０４  アンプ
１０５  信号書込部
１０６  信号検査部
１０７  磁性ヘッド制御部
１０８  テスタ制御部
１０９  ユーザインターフェース
１１０  位置情報
１１１  テスト信号データ
１１２  検査情報
１１３  検査結果
１１４  磁気ヘッド制御信号
１１５  アンプ
２０１  サーボ領域
２０２  データ領域
２０３  プリアンブル
２０４  シンクマーク
２０５  トラック・セクタ番号
２０６  サーボデータ
２０７  セクタ
２０８  トラック
４００  検出回路
４０１  閾値比較部
４０２  良／不良保存部
４０４、５０２  再生信号
４０５  閾値
４０６  磁気ヘッドの軌跡
４０７  トラック境界
５００、６０４、８００  ＨＰＦ
５０１  本発明における磁気ヘッドの軌跡
５０３  逆極性に磁化されたトラック間境界
５０４  閾値
６０１  フィルタ
６０２  可変ゲインアンプ
６０３、６０３ａ、６０３ｂ  ＡＤ変換器
６０５  比較器
６０６  良／不良メモリ
６０７  発振部
７００  遅延器
８０１  ＣＭＰ
８０２  ＤＡ変換器
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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