(57)【要約】【課題】圧電素子の電極にかかわる配線数を低減し、製品の小型化やコストダウンに貢献する。【解決手段】第一電極、一方側において第一電極と接する圧電体層および圧電体層の他方側と接する第二電極を有する圧電素子と、上記圧電素子と接合し、液体の第一流路を有する第一流路基板と、上記第一流路基板の上記圧電素子と接合する側の逆側に接合し、上記第一流路と連通する第二流路を有し、上記第一流路基板よりも導電性が高く、かつ、接地される第二流路基板と、上記第一流路基板を貫通する貫通孔であり、上記第一電極と上記第二流路基板とを電気的に接続する接続部と、を備える構成とする。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第一電極、一方側において第一電極と接する圧電体層および圧電体層の他方側と接する第二電極を有する圧電素子と、
上記圧電素子と接合し、液体の第一流路を有する第一流路基板と、
上記第一流路基板の上記圧電素子と接合する側の逆側に接合し、上記第一流路と連通する第二流路を有し、上記第一流路基板よりも導電性が高く、かつ、接地される第二流路基板と、
上記第一流路基板を貫通する貫通孔であり、上記第一電極と上記第二流路基板とを電気的に接続する接続部と、を備えることを特徴とする流路ユニット。
【請求項２】
上記第一電極は、複数の上記圧電素子に共通して設けられた共通電極であることを特徴とする請求項１に記載の流路ユニット。
【請求項３】
導電性部材により形成され、上記第二流路基板の少なくとも一部を覆い、かつ接地されるカバーを有し、
上記第二流路基板は、上記カバーと電気的に接続することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の流路ユニット。
【請求項４】
上記第二流路基板は、上記第二流路として液体を噴射するためのノズルを少なくとも有し、
上記接続部は、上記圧電素子の長手方向における一端側と他端側とのうち上記ノズルに近い側に形成されることを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれかに記載の流路ユニット。
【請求項５】
液体の流路を有する流路ユニットの製造方法であって、
第一流路および貫通孔を有する第一流路基板の当該貫通孔の第一開口の周縁に被覆層を形成する工程と、
上記第一流路と連通する第二流路を有し上記第一流路基板よりも導電性が高い第二流路基板を、上記第一流路基板の上記第一開口が形成された側に接合する際に、上記第一開口の周縁を上記被覆層を介して当該第二流路基板に接合させる工程と、
上記貫通孔の内面および上記第一開口が相対する上記第二流路基板の面に導電性部材を付着させる工程と、
第一電極、一方側において第一電極と接する圧電体層および圧電体層の他方側と接する第二電極を有する圧電素子における当該第一電極を、上記貫通孔の上記第一開口と逆側の第二開口へ接続させる工程と、を有することを特徴とする流路ユニットの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流路ユニットおよび流路ユニットの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット式記録ヘッド等の液体噴射ヘッドにおいては、液体を噴射するための圧力発生手段として、第一電極、一方側において第一電極と接する圧電体層および圧電体層の他方側と接する第二電極を有する圧電素子を採用する構成が知られている。これら第一電極や第二電極に対しては、電位を所定レベルに保つためや、圧電体層を変形させる駆動電圧を与えるために、液体噴射ヘッドを駆動制御するための制御回路との間に配線用のパターンやケーブル類が引き回されている。
【０００３】
また、インクジェット式記録ヘッドであって、圧電層に対応して設けられた駆動電極から連続してランドパターンが形成され、一方、ＦＰＣ基板は、ベースフィルムの上面部に設けられる導体パターンと、ベースフィルムの下面部の当該ランドパターンに対応する位置に形成されてベースフィルムのスルーホールを介して当該導電パターンと電気的に接続されるランド接続パターンとを有する（ランド接続パターンはランドパターンと半田で接続されている）構成が知られている（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００４‐１１４３０７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
液体噴射ヘッドにおいて多数の圧電素子が高密度に配置される構成下では、上記配線用のパターンやケーブル類の線の数、およびそれらと接続する制御回路側の端子数が非常に多いものとなる。かかる状況は、配線系の簡易化や、製品の小型化や、コストダウンの妨げとなっていた。また上記文献１は、ランドパターンが接続する相手側が導電パターンであるため、そのような導電パターンを設ける点で配線系の簡易化という課題を残している。また上記文献１では、スルーホールを介したランドパターン側と導電パターン側との接続を実現するために更に半田を必要としており、製造に際しての工数の増加やコストアップに繋がっていた。
【０００６】
本発明は上記課題の少なくとも一つを解決するためになされたものであり、圧電素子の電極にかかわる配線数を低減し、製品の小型化やコストダウンに貢献することが可能な流路ユニット、および、そのような流路ユニットを簡易に実現する製造方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の態様の一つは、流路ユニットは、第一電極、一方側において第一電極と接する圧電体層および圧電体層の他方側と接する第二電極を有する圧電素子と、上記圧電素子と接合し、液体の第一流路を有する第一流路基板と、上記第一流路基板の上記圧電素子と接合する側の逆側に接合し、上記第一流路と連通する第二流路を有し、上記第一流路基板よりも導電性が高く、かつ、接地される第二流路基板と、上記第一流路基板を貫通する貫通孔であり、上記第一電極と上記第二流路基板とを電気的に接続する接続部と、を備える構成としてある。
【０００８】
当該構成によれば、第一電極は、第一流路基板を貫通する接続部および第二流路基板を通じて接地（アース）される。そのため、第一電極を接地するためのパターンやケーブル類を別途設ける必要がなくなり、また、そのようなパターンやケーブル類が上記制御回路側と接続するための端子も不要となる。従って、従来と比較して製品の小型化やコストダウンに繋がる。
【０００９】
本発明の態様の一つは、上記第一電極は、複数の上記圧電素子に共通して設けられた共通電極であるとしてもよい。
当該構成によれば、複数の圧電素子に共通して設けられた共通電極を少ないコストにて確実に接地することができる。
【００１０】
本発明の態様の一つは、流路ユニットは、導電性部材により形成され上記第二流路基板の少なくとも一部を覆い、かつ接地されるカバーを有し、上記第二流路基板は、上記カバーと電気的に接続する構成としてもよい。
当該構成によれば、第一電極は、接続部、第二流路基板およびカバーを通じて確実に接地される。
【００１１】
本発明の態様の一つは、上記第二流路基板は、上記第二流路として液体を噴射するためのノズルを少なくとも有し、上記接続部は、上記圧電素子の長手方向における一端側と他端側とのうち上記ノズルに近い側に形成されるとしてもよい。ここで、第二流路基板は、その全ての部分が導電性部材で形成されるとは限らないが、少なくともノズルは導電性部材に形成され、また、ノズルおよびノズルに通じる流路内を流れる液体も一種の導体として振舞う。そのため、接続部を圧電素子の長手方向における一端側と他端側とのうちノズルに近い側に形成することにより、配線抵抗が少なく確実に第一電極を接地させる経路を確保しやすい。
【００１２】
本発明にかかる技術的思想は流路ユニットという形態のみで実現されるものではなく、他の物によって具現化されてもよい。例えば、流路ユニットを含む液体噴射ヘッドや、さらに液体噴射ヘッドを搭載した装置（液体噴射装置）を一つの発明として捉えることが可能である。また、上述した流路ユニットを製造する製造方法の発明を捉えることも可能であり、一例として、液体の流路を有する流路ユニットの製造方法であって、第一流路および貫通孔を有する第一流路基板の当該貫通孔の第一開口の周縁に被覆層を形成する工程と、上記第一流路と連通する第二流路を有し上記第一流路基板よりも導電性が高い第二流路基板を、上記第一流路基板の上記第一開口が形成された側に接合する際に、上記第一開口の周縁を上記被覆層を介して当該第二流路基板に接合させる工程と、上記貫通孔の内面および上記第一開口が相対する上記第二流路基板の面に導電性部材を付着させる工程と、第一電極、一方側において第一電極と接する圧電体層および圧電体層の他方側と接する第二電極を有する圧電素子における当該第一電極を、上記貫通孔の上記第一開口と逆側の第二開口へ接続させる工程と、を有する方法が考えられる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】液体噴射ヘッドの主要構成の一部を例示する分解斜視図である。
【図２】ノズルを通過する断面を示す断面図である。
【図３】振動板上の共通電極、圧電体層および個別電極の配置等を例示する図である。
【図４】液体噴射ヘッドの製造方法の一部を例示する図である。
【図５】インクジェットプリンターの一例を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、図面を参照しながら本発明の実施形態を説明する。
図１は、本実施形態にかかる液体噴射ヘッド１０の主要構成の一部を、分解斜視図により例示している。液体噴射ヘッド１０は、本発明にかかる流路ユニットを含んで構成される。ここでは、液体噴射ヘッド１０は、インクを噴射（吐出）するインクジェット式記録ヘッドであるとして説明を行う。液体噴射ヘッド１０は、振動板２０、流路プレート３０、封止プレート４０、リザーバープレート５０、ノズルプレート６０、といった各部材を含む。これら各部材は、それぞれが個別に生成されて積層等されるものであってもよいし、それら（あるいはそれらの一部）が一体的に生成されるものであってもよい。また、液体噴射ヘッド１０は、筺体としてのカバー７０を有する。
【００１５】
振動板２０は、流路プレート３０の一方の面を封止するものであり、流路プレート３０と接する面と逆側の面に、圧電素子８０（図２参照）を搭載する。振動板２０や流路プレート３０は、例えば、セラミックスや、シリコン単結晶基板や、その他絶縁性部材で生成される。圧電素子８０は、第一電極、一方側において第一電極と接する圧電体層および圧電体層の他方側と接する第二電極を有して構成される圧力発生手段である。
【００１６】
流路プレート３０は、液体の流路３１を複数有する。流路３１は、特許請求の範囲における第一流路の一例に該当する。流路３１は、その長手方向を第一方向と平行とした状態で、第一方向に直交する第二方向に並設されている。流路３１と流路３１との間には、隔壁３６が設けられている。図１では、圧電素子８０を構成する圧電体層８１を例示しており、圧電体層８１は、各流路３１の圧力室３３に対応して配置されている。なお図１では、第一電極および第二電極については図示を省略している。本明細書において、液体噴射ヘッド１０の各構成の方向や位置等について、平行、直交あるいは同一、等と表現した場合、それらは厳密な平行、直交あるいは同一のみを意味するのではなく、製品性能上許容される程度の誤差や製品製造時に生じ得る程度の誤差も含む意味である。
【００１７】
それぞれの流路３１は、供給孔３２と、圧力室３３と、連通孔３４とを含んで構成される。圧力室３３は、流路プレート３０の上記一方の面において開口しており、供給孔３２および連通孔３４は、流路プレート３０の他方の面において開口している。供給孔３２は、圧力室３３の長手方向における一端側近傍で圧力室３３と連通している。連通孔３４は、圧力室３３の長手方向における他端側近傍で圧力室３３と連通している。
【００１８】
また図１では、符号「１２」により、振動板２０および流路プレート３０をそれぞれ貫通する貫通孔を例示している。これら貫通孔は連通しており、まとめてスルーホール１２と表記する。スルーホール１２は、特許請求の範囲における接続部に該当する。スルーホール１２の役割については後述する。
【００１９】
ノズルプレート６０は、インクを噴射するための貫通孔としてのノズル６１を複数有する。図１の例では、ノズルプレート６０は、ノズル６１が第二方向に沿って所定間隔で複数形成されたノズル列６２を有している。なお、ノズルプレート６０は、複数のノズル６１が第二方向に沿って形成された複数のノズル列を第一方向に並設し、一方のノズル列と他方のノズル列とを第二方向においてずらして配置する（いわゆる千鳥配置とする）構成を採用してもよい。
【００２０】
流路３１毎の各連通孔３４は、各圧力室３３と各ノズル６１とを一対一で連通させる。ただし図１の例では、流路プレート３０の上記他方の面と、ノズルプレート６０との間には、封止プレート４０とリザーバープレート５０とが介在する。封止プレート４０は、一方の面を、流路プレート３０の上記他方の面に対して接する。リザーバープレート５０は、一方の面を、封止プレート４０の他方の面に対して接する。また、リザーバープレート５０は、他方の面を、ノズルプレート６０の外部に露出する面（ノズル開口面）と逆側の面に対して接する。封止プレート４０やリザーバープレート５０やノズルプレート６０は、例えば、ステンレス鋼等の導電性部材により生成される。
【００２１】
リザーバープレート５０は、複数の第二連通孔５１と、リザーバー５２とを有する。リザーバー５２は、共通インク室とも呼ぶ。第二連通孔５１とリザーバー５２とは、いずれもリザーバープレート５０を貫通する。各第二連通孔５１は、各ノズル６１に一対一で対応する位置に配置されている。リザーバー５２は、ノズル列６２の第二方向における長さに略対応して、第二方向における長さが確保されている。封止プレート４０は、複数の第一連通孔４１と、共通供給孔４２とを有する。第一連通孔４１と共通供給孔４２とは、いずれも封止プレート４０を貫通する。各第一連通孔４１は、各第二連通孔５１と同様に各ノズル６１に一対一で対応する位置に配置されている。また、各第一連通孔４１は、各連通孔３４とも一対一で連通する。共通供給孔４２は、リザーバー５２と同様にノズル列６２の第二方向における長さに略対応して、第二方向における長さが確保されている。また、共通供給孔４２は、各供給孔３２と連通する。リザーバー５２は、（後述する外部からのインク供給経路を除いて、）ノズルプレート６０と接する側でノズルプレート６０により封止され、封止プレート４０と接する側で共通供給孔４２と相対する箇所を除いて封止プレート４０により封止されている。
【００２２】
このような構成においては、振動板２０および流路プレート３０は、特許請求の範囲における第一流路基板の一例に該当する。第一流路基板は、符号「１１」により示す。また、圧電素子８０を搭載する第一流路基板１１は、アクチュエーター基板と呼ぶこともできる。封止プレート４０、リザーバープレート５０およびノズルプレート６０は、特許請求の範囲における第二流路基板の一例に該当する。第二流路基板は、符号「１３」により示す。第二流路基板１３は、その全部あるいは一部が、第一流路基板１１よりも導電性が高い部材で形成されている。封止プレート４０、リザーバープレート５０およびノズルプレート６０がそれぞれ形成する流路（リザーバー５２、共通供給孔４２、第一連通孔４１、第二連通孔５１、ノズル６１）は、特許請求の範囲における、第一流路（流路３１）と連通する第二流路の一例に該当する。
【００２３】
カバー７０は、例えば、ステンレス鋼等の導電性部材により形成される。カバー７０は、例えば、ノズルプレート６０のノズル開口面を外部に露出させつつ、それ以外の第二流路基板１３や第一流路基板１１等の一部を覆う。
液体噴射ヘッド１０は、図１に図示した部材の一部を有さない構成であってもよいし、図１に図示した部材以外の部材を含む構成であってもよい。例えば、第二流路基板１３は、封止プレート４０、リザーバープレート５０およびノズルプレート６０の全てを含むものでなくても良く、また、封止プレート４０、リザーバープレート５０およびノズルプレート６０以外の部材（層）を含むものであってもよい。
【００２４】
図２は、液体噴射ヘッド１０の断面であって、第一方向に平行な断面を例示している。図２が示す断面は、ノズル６１およびスルーホール１２を通過する断面である。図２に示すように、圧力室３３は、連通孔３４、第一連通孔４１および第二連通孔５１を介して、ノズル６１に連通している。また、振動板２０の流路プレート３０と接する面と逆側の面には、圧電素子８０が圧力室３３に対応する位置に接合している。圧電素子８０は、共通電極８２、圧電体層８１および個別電極８３が順に積層されて構成される。共通電極８２は、複数の圧電素子８０に共通して設けられた（複数の圧電素子８０が共有する）電極であり、第一電極の一例に該当する。一方、個別電極８３は、圧力室３３に対応する圧電素子８０毎に設けられた電極であり、第二電極の一例に該当する。
【００２５】
個別電極８３には、パターンやケーブル類（フレキシブル基板等）９０を介して制御回路基板１００が接続され、制御回路基板１００から駆動電圧が印加される。一方、共通電極８２はグラウンドレベルを保持するために接地される。かかる構成により、圧電素子８０が駆動電圧に応じて変形する。リザーバー５２へは、図示しないインク供給経路を介して、外部からインクが供給される。リザーバー５２へ供給されたインクは、共通供給孔４２を通過して、各供給孔３２から各圧力室３３へ供給される。上述のような圧電素子８０の変形に伴い振動板２０が撓むことにより、圧力室３３内で圧力が高まり、かかる圧力の高まりに応じて圧力室３３内のインクがノズル６１から噴射される。
【００２６】
本実施形態では、共通電極８２を接地するための構成に一つの特徴を有する。従来、圧電素子の共通電極は、パターンやケーブル類を介して制御回路基板側と繋がって所定の接地ポイントに接続されることにより接地されていた。しかし本実施形態では、そのようなパターンやケーブル類を設けず、図２に例示するように、共通電極８２はスルーホール１２に接続している。スルーホール１２は、共通電極８２と第二流路基板１３とを電気的に接続する。第二流路基板１３は接地されているため、共通電極８２も接地されることとなる。
【００２７】
具体的には、第二流路基板１３は、少なくとも第一流路基板１１と接する層（例えば、封止プレート４０）およびカバー７０と接する層（例えば、ノズルプレート６０）が導電性部材で形成されるものとする。また、第二流路基板１３における第二流路（リザーバー５２、共通供給孔４２、第一連通孔４１、第二連通孔５１、ノズル６１）内を流れるインクは導電性を有する。また、上述したようにカバー７０は導電性部材により形成されている。さらに、カバー７０は接地されている。カバー７０は、例えば、液体噴射ヘッド１０を搭載する液体噴射装置が有する金属性のフレーム等と接続することにより、接地が確保される。従って、第二流路基板１３は接地されていると言え、共通電極８２は、少なくとも、スルーホール１２→第二流路基板１３の第一流路基板１１と接する層→第二流路内のインク→第二流路基板１３のカバー７０と接する層→カバー７０、という電気的経路により、接地されることとなる。
【００２８】
図３は、振動板２０上における共通電極８２、圧電体層８１および個別電極８３の配置等を例示している。各圧力室３３に一対一で対応して配置される圧電体層８１は、図３に示すように、長手方向を第一方向と平行とした状態で、第二方向に並んでいる。また、各圧電体層８１の下側（振動板２０側）には、共通電極８２の各片が配置されている。共通電極８２の各片は、圧電体層８１の長手方向の両端のいずれか一方側で互いに接続して一体となっており、そのため共通電極８２は全体の形状が櫛歯状となっている。各圧電体層８１の上側には、それぞれ個別電極８３が配置されており、各個別電極８３はフレキシブル基板９０と端子９１により接続している。さらに図３では、第一流路基板１１を貫通するスルーホール１２の位置も鎖線により例示している。
【００２９】
このように本実施形態では、共通電極８２の接地がスルーホール１２を介して確保されるため、共通電極８２をパターンやケーブル類等で制御回路基板１００側に接続する必要が無い。具体的には、共通電極８２をフレキシブル基板９０に接続するためのパターンや、そのようなパターンと接続するためのフレキシブル基板９０側の端子９１や、さらにそれ以降の配線経路（共通電極８２の接地を確保するためのフレキシブル基板９０上の配線や当該配線と制御回路基板１００が繋がるためのケーブル類や端子等）も不要となる。よって、従来の製品と比較して小型化やコストダウンに大きく貢献する構成を提供することができる。
【００３０】
スルーホール１２は、第一流路基板１１に形成される流路３１と干渉せずに共通電極８２と第二流路基板１３とを接続可能な位置であれば、様々な位置に形成可能である。また、スルーホール１２の数は、一つであってもよいし複数であってもよい。ただし、スルーホール１２の配置の一例として、図３に示すように、第二方向における共通電極８２の中心を通過する第一方向に平行な線に関して対称となる位置に複数配置すると好適である。このようにスルーホール１２を配置することにより、共通電極８２の各片からスルーホール１２までの距離の違いをできるだけ少なくし、配線抵抗の違いを低減することができる。
【００３１】
また、スルーホール１２は、図２に示すように、圧力室３３に対応する圧電素子８０の長手方向における一端側と他端側とのうち、ノズル６１に近い側に形成される。これは、ノズル６１内やノズル６１に繋がる流路内にはインクが存在するためノズル６１は確実に接地されていると言えるからであり、このようにノズル６１に近い側にスルーホール１２を形成することで、共通電極８２を接地する経路における配線抵抗を少なくすることができる。ただし、振動板２０上での共通電極８２の形状や位置、第一流路基板１１や第二流路基板１３における流路の形状、その他各種要因により、スルーホール１２を圧電素子８０の長手方向における一端側と他端側とのうちノズル６１に近い側に形成できない場合は、当該長手方向における一端側と他端側とのうちノズル６１から遠い側に形成するとしてもよい。
【００３２】
図２，３では、共通電極８２が圧電体層８０の下側（振動板２０側）に存在する例（共通電極８２が下電極である例）を示した。ただし、共通電極８２とスルーホール１２との電気的接続を確保できる限り、個別電極８３が圧電体層８０の下側に存在し（個別電極８３が下電極であり）、共通電極８２が圧電体層８０の上側に存在する（共通電極８２が上電極である）構成を採用してもよい。
次に、流路ユニットを含む液体噴射ヘッド１０の製造方法について説明する。
【００３３】
図４は、液体噴射ヘッド１０の製造方法に含まれる一部工程を、図２と同様の断面（ただしスルーホール１２近傍のみ）により例示している。図４の上段は、第一流路基板１１を貫通するスルーホール１２の第一開口１２ａおよび第二開口１２ｂのうち、第一流路基板１１の第二流路基板１３側を向く面３０ａにおける開口（第一開口１２ａ）の周縁に被覆層１１０を形成する工程を示している。被覆層１１０は、それが形成される面を保護するための保護膜とも表現できる。第一流路基板１１は、振動板２０の上記撓みに伴う圧力変化を受ける部材でもある。そのため、流路３１の壁面にはクラック等の損傷が生じやすい。流路３１の壁面に損傷が生じると、インクが外部に漏れる等の弊害が発生し得る。そこで上記製造方法の過程では、第一流路基板１１の面３０ａ側の開口（供給孔３２または連通孔３４の開口。図１，２参照。）から第一流路基板１１内へ、保護膜を成膜するための成膜ガスを注入することにより、流路３１の壁面（供給孔３２、圧力室３３、連通孔３４および、圧力室３３内に臨む振動板２０の面）を保護膜で被覆し、それら壁面の耐久性を向上させる。
【００３４】
このような構成において、被覆層１１０は、保護膜を流路３１の壁面に形成する工程で同時に形成される。例えば、供給孔３２または連通孔３４の開口と第一開口１２ａの周縁とを除いて面３０ａをシールした上で面３０ａ側から上記成膜ガスを注入することにより、流路３１の壁面および第一開口１２ａの周縁に保護膜（被覆層１１０）が成膜される。保護膜としては、有機膜や金属膜等を採用することができるが、本実施形態では、パラキシリレン系のポリマーを採用する。また図４の上段に示すように、第二流路部材１３の、第一開口１２ａの周縁と相対する位置にも、第一開口１２ａの周縁の形状と略一致した形状（環状）に被覆層１１０を形成しておく。
【００３５】
図４の中段は、第二流路基板１３を、第一流路基板１１の面３０ａに対して熱圧着により接合する工程を示している。このとき、第一開口１２ａ近傍において第一流路基板１１側および第二流路基板１３側の被覆層１１０，１１０にも熱と圧力が加わることで、これら被覆層１１０，１１０同士が接着され、図４の中段に示すように第一開口１２ａの周縁が被覆層１１０を介して第二流路基板１３に接合された状態となる。図示は省略しているが、第一流路基板１１と第二流路基板１３との間は、供給孔３２の開口と連通孔３４の開口と第一開口１２ａの周縁および周縁内とを除いて、接着剤により接着される。また図４以外の図では、保護膜（被覆層１１０）および後述の導体層１２０の図示も省略している。
【００３６】
図４の下段は、スルーホール１２の内面および第一開口１２ａが相対する第二流路基板１３の面に導電性部材を（例えばメッキ処理により）付着させる工程を示している。当該工程の結果、導電性部材による層（導体層１２０）が、スルーホール１２の内面およびスルーホール１２の第一開口１２ａと接続する第二流路基板１３の面に形成される。その後、スルーホール１２の振動板２０側の開口（第二開口１２ｂ）に接続する共通電極８２（図２参照）を含む圧電素子８０の形成や、制御回路基板１００と個別電極８３との接続や、カバー７０の取り付け等を行うことにより、液体噴射ヘッド１０が製造される。
【００３７】
このような製造方法によれば、流路３１内への保護膜の形成という元々必要な工程と同時にスルーホール１２の第一開口１２ａの周縁に被覆層１１０を形成するため、流路ユニットを製造する作業効率が低下しない。また、第一流路基板１１と第二流路基板１３とを接合した状態で、スルーホール１２内に導体層１２０を形成するため、スルーホール１２０と第二流路基板１３との電気的接続を良好に確保することができる。また、上記文献１のようにスルーホールとの電気的接続に用いられていた半田が不要となるため、流路ユニットの製造に際しての工数の増加やコストアップを抑えることができる。
【００３８】
他の実施形態：
本発明は上述の実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の態様において実施することが可能であり、例えば以下のような実施形態も可能である。
【００３９】
第二流路基板１３は、必ずしも封止プレート４０およびリザーバープレート５０を備える必要は無い。例えば、第二流路基板１３は、ノズルプレート６０のみであったり、いわゆるコンプライアンスプレートとノズルプレート６０とを積層したものであったりしてもよく、ノズルプレート６０やコンプライアンスプレートが第一流路基板１１へ接合されるとしてもよい。例えば、第二流路基板１３としてのノズルプレート６０を第一流路基板１１の面３０ａに接合する構成においては、流路プレート３０が、各圧力室３３にインクを供給するためのリザーバーの一部を包含するような構成を採用すればよい。
【００４０】
また、液体噴射ヘッド１０は、インクカートリッジ等と連通するインク供給経路を具備するインクジェット式記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェットプリンター２００に搭載される。インクジェットプリンター２００は液体噴射装置の一例である。
【００４１】
図５は、インクジェットプリンター２００の一例を示す概略図である。インクジェットプリンター２００において、複数の液体噴射ヘッド１０を有するインクジェット式記録ヘッドユニット（以下、ヘッドユニット２０２）には、例えば、インクカートリッジ２０２Ａ，２０２Ｂ等が着脱可能に設けられる。ヘッドユニット２０２を搭載したキャリッジ２０３は、装置本体２０４に取り付けられたキャリッジ軸２０５に軸方向移動自在に設けられている。そして、駆動モーター２０６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト２０７を介してキャリッジ２０３に伝達されることで、キャリッジ２０３はキャリッジ軸２０５に沿って移動する。
【００４２】
装置本体２０４にはキャリッジ軸２０５に沿ってプラテン２０８が設けられており、図示しないローラー等により供給された印刷媒体Ｓがプラテン２０８上を搬送される。そして、搬送される印刷媒体Ｓに対して、液体噴射ヘッド１０のノズル６１からインクが噴射され任意の画像が印刷媒体Ｓに印刷される。なお、インクジェットプリンター２００は、ヘッドユニット２０２が上記のように移動するものだけでなく、例えば、液体噴射ヘッド１０が固定されて、印刷媒体Ｓを移動させるだけで印刷を行ういわゆるラインヘッド型のプリンターであってもよい。
【００４３】
また本発明は、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドや液体噴射装置にも適用することができる。例えば、液体噴射ヘッドとしては、液晶ディスプレー等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレーやＦＥＤ（電解放出ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオチップ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられ、かかる液体噴射ヘッドを搭載した液体噴射装置にも本発明を適用することができる。
【符号の説明】
【００４４】
１０…液体噴射ヘッド、１１…第一流路基板、１２…スルーホール、１２ａ…第一開口、１２ｂ…第二開口、１３…第二流路基板、２０…振動板、３０…流路プレート、３１…流路、３２…供給孔、３３…圧力室、３４…連通孔、４０…封止プレート、５０…リザーバープレート、６０…ノズルプレート、６１…ノズル、６２…ノズル列、７０…カバー、８０…圧電素子、８１…圧電体層、８２…共通電極、８３…個別電極、９０…ケーブル類（フレキシブル基板）、１００…制御回路基板、１１０…被覆層、１２０…導体層、２００…インクジェットプリンター
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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