(57)【要約】【課題】洗浄液を全面に接触させるという目的で、積層された薄板状の複数の洗浄対象物を互いに十分に離間させることができる洗浄補助具、洗浄装置、及び、洗浄方法を提供すること。【解決手段】所定位置に貫通穴を有する薄板状の複数の洗浄対象物を同時に洗浄するために用いられる洗浄補助具であって、軸方向の少なくとも一部の領域において均等に伸縮する機能を有し、複数の洗浄対象物が有する貫通穴に挿通される伸縮長手部材と、複数の洗浄対象物の貫通穴に挿通された後、引張力を与えられて伸張状態となった前記伸縮長手部材の両端部を固定するための固定部材と、を備えたことを特徴とする洗浄補助具である。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定位置に貫通穴を有する薄板状の複数の洗浄対象物を同時に洗浄するために用いられる洗浄補助具であって、
軸方向の少なくとも一部の領域において均等に伸縮する機能を有し、複数の洗浄対象物が有する貫通穴に挿通される伸縮長手部材と、
複数の洗浄対象物の貫通穴に挿通された後、引張力を与えられて伸張状態となった前記伸縮長手部材の両端部を固定するための固定部材と、
を備えたことを特徴とする洗浄補助具。
【請求項２】
前記伸縮長手部材の少なくとも均等に伸縮する機能を有する領域は、伸縮する際において、洗浄対象物が有する貫通穴に対して滑りを生じない程度に大きい耐滑り性を有する
ことを特徴とする請求項１に記載の洗浄補助具。
【請求項３】
前記伸縮長手部材は、弾性材料からなる芯部と、当該芯部の表面の少なくとも一部を被覆するように設けられた網状部と、を有する
ことを特徴とする請求項１または２に記載の洗浄補助具。
【請求項４】
前記固定部材は、メッシュ状の金属からなる洗浄カゴである
ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の洗浄補助具。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれかに記載の洗浄補助具と、
前記洗浄補助具の前記伸縮長手部材に挿通された複数の洗浄対象物に洗浄液を供給する洗浄液供給部と、
を備えたことを特徴とする洗浄装置。
【請求項６】
請求項１に記載の洗浄補助具を用いた洗浄方法であって、
薄板状の複数の洗浄対象物が積層される工程と、
積層された複数の洗浄対象物が有する貫通穴に前記伸縮長手部材が挿通される工程と、
引張力を与えられて前記伸縮長手部材が伸張されることに伴って、当該伸縮長手部材に挿通された複数の洗浄対象物が互いに離間される工程と、
伸張状態となった前記伸縮長手部材の両端部が前記固定部材によって固定される工程と、
前記伸縮長手部材に挿通された複数の洗浄対象物に洗浄液が供給される工程と、
を備えたことを特徴とする洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、所定位置に貫通穴を有する薄板状の複数の洗浄対象物を同時に洗浄するために用いられる洗浄補助具、洗浄装置、及び、洗浄方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
エレクトロニクス分野に用いられる薄板状の精密部品（例えば、リードフレーム、ロードビーム）は、ＳＵＳ、鉄、銅、または、これらの合金等からなる金属板にエッチング工程、打ち抜き工程等の製造工程が行われることにより、製品（部品）とされるものである。
【０００３】
これらの製造工程の中で、金属板には有機物、無機物等の汚れが付着する。金属板から汚れを効率的に除去するために、数十枚から数千枚の金属板が積層された後、積層状態の金属板が洗浄対象物としてまとめて洗浄される。
【０００４】
しかしながら、積層状態の洗浄対象物が洗浄される際、隣り合う洗浄対象物は互いに密着しているため、洗浄液が各々の洗浄対象物の全面に触れることができず、結果的に洗浄対象物に汚れが残留してしまうという問題があった。
【０００５】
このような問題を解決するために、特許文献１に記載された洗浄装置は、積層された洗浄対象物に当接される可動板と、当該可動板を往復駆動させる駆動部と、を備えている。そして、駆動部によって可動板が強制的に往復駆動されることにより、当該可動板に当接された積層状態の洗浄対象物が揺動されて、互いに離間されるようになっている。
【０００６】
また、特許文献２及び特許文献３に記載された洗浄装置は、洗浄槽と、当該洗浄槽内に設置された凹凸部を有するずらし治具と、を備えている。そして、積層状態の洗浄対象物が洗浄槽内の洗浄液に浸漬されて、その積層面がずらし治具の凹凸部に当接されることにより、各々の洗浄対象物は凹凸部の傾斜に応じて互いにずれるようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平８−３３７８８９号公報
【特許文献２】特開平１１−１９７６１２号公報
【特許文献３】特許第３４５０１０１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、特許文献１に記載された洗浄装置は、洗浄後の液切り時に積層状態の洗浄対象物を互いに離間させるための装置であり、液切りが目的であるから、ある程度の洗浄対象物の密着状態が残っていても問題がない（密着状態が残っていても液は揺動によって落下する）。本件発明者による知見では、特許文献１の洗浄装置の構成では、液切りでなく洗浄液を全面に接触させるという目的で積層状態の洗浄対象物を互いに離間させるには、不十分である。
【０００９】
また、特許文献２及び特許文献３に記載された洗浄装置では、図１０に示すように、積層された洗浄対象物１３０の間にずらし治具１４１の凸部頂点が入りこむが、当該凸部頂点近辺の洗浄対象物１３０のずれ量が比較的小さいため、洗浄対象物１３０の密着状態を十分に解消することが困難である。また、厚みの薄い洗浄対象物１３０に対しては、ずらし治具１４１との当接によって、折れ等が発生するおそれもある。
【００１０】
本発明は、このような問題点に着目してなされたものであり、その目的は、洗浄液を全面に接触させるという目的で、積層された薄板状の複数の洗浄対象物を互いに十分に離間させることができる洗浄補助具、洗浄装置、及び、洗浄方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、所定位置に貫通穴を有する薄板状の複数の洗浄対象物を同時に洗浄するために用いられる洗浄補助具であって、軸方向の少なくとも一部の領域において均等に伸縮する機能を有し、複数の洗浄対象物が有する貫通穴に挿通される伸縮長手部材と、複数の洗浄対象物の貫通穴に挿通された後、引張力を与えられて伸張状態となった前記伸縮長手部材の両端部を固定するための固定部材と、を備えたことを特徴とする洗浄補助具である。
【００１２】
本発明によれば、引張力を与えられて伸縮長手部材の前記一部の領域が伸張されることに伴って、当該伸縮長手部材の当該領域に挿通された複数の洗浄対象物が、偏ることなく互いに離間され得る。これにより、洗浄液を全面に接触させるという目的に対して、複数の洗浄対象物が互いに十分に離間され得る。
【００１３】
好ましくは、前記伸縮長手部材の少なくとも均等に伸縮する機能を有する領域は、伸縮する際において、洗浄対象物が有する貫通穴に対して滑りを生じない程度に大きい耐滑り性を有する。このような態様によれば、伸縮長手部材の前記一部の領域が伸張される際に、当該伸縮長手部材の当該領域に挿通された複数の洗浄対象物が、より一層偏ることなく互いに十分に離間され得る。
【００１４】
具体的には、例えば、前記伸縮長手部材は、弾性材料からなる芯部と、当該芯部の表面の少なくとも一部を被覆するように設けられた網状部と、を有する。
【００１５】
また、具体的には、例えば、前記固定部材は、メッシュ状の金属からなる洗浄カゴである。
【００１６】
また、本発明は、前記洗浄補助具と、前記洗浄補助具の前記伸縮長手部材に挿通された複数の洗浄対象物に洗浄液を供給する洗浄液供給部と、を備えたことを特徴とする洗浄装置である。
【００１７】
本発明によれば、引張力を与えられて伸縮長手部材の前記一部の領域が伸張されることに伴って、当該伸縮長手部材の当該領域に挿通された複数の洗浄対象物が、偏ることなく互いに離間され得る。これにより、洗浄液を全面に接触させるという目的に対して、複数の洗浄対象物が互いに十分に離間され得る。
【００１８】
また、本発明は、洗浄補助具を用いた洗浄方法であって、薄板状の複数の洗浄対象物が積層される工程と、積層された複数の洗浄対象物が有する貫通穴に前記伸縮長手部材が挿通される工程と、引張力を与えられて前記伸縮長手部材が伸張されることに伴って、当該伸縮長手部材に挿通された複数の洗浄対象物が互いに離間される工程と、伸張状態となった前記伸縮長手部材の両端部が前記固定部材によって固定される工程と、前記伸縮長手部材に挿通された複数の洗浄対象物に洗浄液が供給される工程と、を備えたことを特徴とする洗浄方法である。
【００１９】
本発明によれば、引張力を与えられて伸縮長手部材の前記一部の領域が伸張されることに伴って、当該伸縮長手部材の当該領域に挿通された複数の洗浄対象物が、偏ることなく互いに離間され得る。これにより、洗浄液を全面に接触させるという目的に対して、複数の洗浄対象物が互いに十分に離間され得る。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、引張力を与えられて伸縮長手部材の一部の領域が伸張されることに伴って、当該伸縮長手部材の当該領域に挿通された複数の洗浄対象物が、偏ることなく互いに離間され得る。これにより、洗浄液を全面に接触させるという目的に対して、複数の洗浄対象物が互いに十分に離間され得る。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の一実施の形態による洗浄補助具の概略平面図である。
【図２】図１の洗浄補助具を備える洗浄装置の概略構成図である。
【図３】本実施の形態で用いられる洗浄対象物の概略平面図である。
【図４】図１の洗浄補助具における伸縮長手部材の概略平面図である。
【図５】図３の洗浄対象物が積層された状態を示す概略側面図である。
【図６】積層状態の洗浄対象物に伸縮長手部材が挿通された状態を示す概略平面図である。
【図７】積層状態の洗浄対象物に伸縮長手部材が挿通された状態を示す概略側面図である。
【図８】伸縮長手部材に引張力が与えられて伸張された状態を示す概略平面図である。
【図９】伸縮長手部材に引張力が与えられて伸張された状態を示す概略側面図である。
【図１０】特許文献２及び特許文献３に記載された洗浄装置におけるずらし治具の凸部頂点近辺を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下に、添付の図面を参照して、本発明の実施の形態を詳細に説明する。
【００２３】
図１は、本発明の一実施の形態による洗浄補助具の概略平面図であり、図２は、当該洗浄補助具を備える洗浄装置の概略構成図である。
【００２４】
図２に示すように、本実施の形態の洗浄装置１は、洗浄対象物（図３を用いて後述する）に洗浄液を供給する洗浄液供給部１０と、本発明の特徴である洗浄補助具２０と、を備えている。洗浄補助具２０は、所定位置に貫通穴を有する薄板状の複数の洗浄対象物を同時に洗浄するために用いられる洗浄補助具である。
【００２５】
本実施の形態の洗浄液供給部１０は、それ自体は公知の超音波洗浄機であり、具体的には、チャンバ１１と、当該チャンバ１１内に配置され、内部に洗浄液１２が供給される洗浄槽１３と、当該洗浄槽１３内に配置された超音波発振装置１４と、を有している。洗浄補助具２０は、洗浄槽１３の内部に、不図示の支持機構によって取出（取外）可能に固定されている。
【００２６】
チャンバ１１には、不図示の真空ポンプが接続されており、当該真空ポンプによってチャンバ１１の内部が減圧されるようになっている。洗浄槽１３は、不図示の洗浄液供給機構により、内部に洗浄液１２が供給されるようになっている。超音波発振装置１４は、洗浄槽１３内の洗浄液１２に対して超音波を発振できるようになっている。ここで、洗浄槽１３内の洗浄液１２に洗浄補助具２０と共に洗浄対象物が浸漬された状態で、超音波発振装置１４から超音波が発振されると、洗浄液１２中に無数の気泡が生成され、洗浄液１２と接触している洗浄対象物の表面に当該気泡が衝突して破裂するようになっている。これにより、洗浄対象物の表面の洗浄が促進されるようになっている。
【００２７】
また、洗浄槽１３内の洗浄液１２に洗浄補助具２０と共に洗浄対象物が浸漬された状態で、超音波発振装置１４から超音波が発振される際に、チャンバ１２の内部において真空ポンプにより減圧と復圧（大気圧に戻されること）とが交互に繰り返されるようになっている。これにより、洗浄液１２の液圧が変動され、洗浄液１２と接触している洗浄対象物の表面の洗浄効率が一層向上されるようになっている。
【００２８】
図３は、本実施の形態において用いられる洗浄対象物３０の概略平面図である。図３に示すように、洗浄対象物３０は、所定位置に２個以上の貫通穴３２ａ、３２ｂを有する薄板状の形状を有している。例えば、洗浄対象部３０の寸法は縦３５ｍｍ、横２００ｍｍ、厚み０．０３ｍｍであり、貫通穴３２ａ、３２ｂの直径は２ｍｍである。また、洗浄対象物３０の材質は、例えばＳＵＳである。
【００２９】
洗浄対象物３０は、更に具体的には、長方形状の枠部３１と、当該枠部３１の内部に当該枠部３１の長手方向に並ぶように配置された複数の製品部３３と、を有している。製品部３３の各々は、枠部３１の長辺部分の一側に連結されている。そして、２個以上の貫通穴３２ａ、３２ｂは、枠部３１の前記長辺部分に設けられている。
【００３０】
図１に戻って、本実施の形態による洗浄補助具２０は、軸方向の少なくとも一部の領域２３において均等に伸縮する機能を有し、複数の洗浄対象物３０が有する貫通穴３２ａ、３２ｂに挿通される伸縮長手部材２２と、複数の洗浄対象物３０の貫通穴３２ａ、３２ｂに挿通された後、引張力を与えられて伸張状態となった伸縮長手部材２２の両端部を固定するための固定部材２１と、を備えている。本実施の形態では、４個の伸縮長手部材２２によって複数の洗浄対象物３０が２セット並列に挿通されている。また、本実施の形態では、伸縮長手部材２２は、洗浄対象物３０の貫通穴３２ａ、３２ｂに挿通された後、固定用補助部材の接続部（図４を用いて後述する）に接続され、その後に引張力を与えられて伸張されるようになっている。
【００３１】
図４は、本実施の形態の伸縮長手部材２２の概略平面図である。図４に示すように、伸縮長手部材２２は、均等に伸縮する機能を有する領域２３を含む主要部材２４を有している。主要部材２４の基端部には、固定用リング２５が設けられている。一方、主要部材２４の先端部には、固定用補助部材２６の接続部２７が接続されるようになっている。固定用補助部材２６の接続部２７とは反対側の端部には、第二固定用リング２８が設けられている。
【００３２】
本実施の形態において、伸縮長手部材２２の少なくとも均等に伸縮する機能を有する領域２３は、伸縮する際において、洗浄対象物３０が有する貫通穴３２ａ、３２ｂに対して滑りを生じない程度に大きい耐滑り性を有している。
【００３３】
具体的には、伸縮長手部材２２の当該領域２３は、弾性材料からなる芯部と、当該芯部の表面の少なくとも一部を被覆するように設けられた網状部と、を有している。この場合、芯部の材質はゴムであり、網状部の材質は金属である。
【００３４】
このような本実施の形態の伸縮長手部材２２の前記領域２３の表面には、網状部をなす金属繊維が所定の凸パターンとして現れている。そして、洗浄対象物３０が有する貫通穴３２ａ、３２ｂの内周の縁が当該金属繊維に引っ掛かるようになっている。このことにより、伸縮長手部材２２の前記領域２３に、洗浄対象物３０が有する貫通穴３２ａ、３２ｂに対して滑りを生じない程度に大きい耐滑り性が与えられている。
【００３５】
更に、このような伸縮長手部材２２に軸方向の引張力が与えられると、引張力の大きさに応じて、前記領域２３の芯部が軸方向に均等に伸長されるようになっている。そして、当該芯部が伸長されることに伴って、網状部をなす金属繊維の交差状態も変化され、結果的に伸縮長手部材２２の当該領域２３の表面に存在する凸パターンが軸方向に伸長されるようになっている。これにより、貫通穴３２ａ、３２ｂの内周の縁によって前記金属繊維に引っ掛かっている複数の洗浄対象物３０は、当該金属繊維の凸パターンの伸長に対応して、伸縮長手部材２２の軸方向にそれぞれ移動され、結果的に、複数の洗浄対象物３０が偏ることなく互いに離間されるようになっている。
【００３６】
一方、図１に戻って、本実施の形態における洗浄補助具２０の固定部材２１は、メッシュ状の金属からなる直方体状の洗浄カゴである。前述のような伸張状態とされた伸縮長手部材２２の両端部（固定用リング２５、２８）は、図１に示すように洗浄カゴ２１の一対の側壁部に固定されるようになっている。洗浄カゴ２１は、伸縮長手部材２２の前記伸張状態を維持できる程度の剛性を有している。
【００３７】
次に、このような構成からなる本実施の形態の作用について説明する。
【００３８】
まず、図５に示すように、薄板状の複数の洗浄対象物３０が、少なくとも２以上の貫通穴２３ａ、２３ｂがそれぞれ重なるように位置合わせされた状態で積層される。本実施の形態では、１０００枚程度の洗浄対象物３０が積層され、積層状態の洗浄対象物３０の全体の厚みは３０ｍｍになる。
【００３９】
次に、図６及び図７に示すように、積層状態の洗浄対象物３０の位置合わせされた２つの（２以上の）貫通穴３２ａ、３２ｂに、伸縮長手部材２２の主要部材２４が挿通される。この時、積層状態の洗浄対象物３０は、主要部材２４の軸方向に移動（摺動）され、均等に伸縮する機能を有する領域２３に位置決めされる。その後、主要部材２４の先端部に、固定用補助部材２６の接続部２７が接続される。
【００４０】
次に、図８及び図９に示すように、伸縮長手部材２２の固定用リング２５及び第二固定用リング２８に軸方向の引張力が与えられて、伸縮長手部材２２の均等に伸縮する機能を有する領域２３が伸張される。本実施の形態では、伸縮長手部材２２の前記領域２３が伸張されることに伴って、当該領域２３が有する網状部の金属繊維の交差状態も変化され、結果的に当該領域２３の表面に存在する凸パターンが軸方向に伸長される。この時、伸縮長手部材２２の前記領域２３に位置決めされていた積層状態の洗浄対象物３０は、各々の貫通穴３２ａ、３２ｂの内周の縁が当該領域２３の金属繊維に引っ掛かった状態で、当該金属繊維の凸パターンの伸長に対応して、伸縮長手部材２２の軸方向にそれぞれ移動され、結果的に、複数の洗浄対象物３０が偏ることなく互いに離間される。
【００４１】
次に、図１に示すように、伸張状態となった伸縮長手部材２２の固定用リング２５及び第二固定用リング２８が、洗浄カゴ２１の一対の側壁部にそれぞれ固定される。これにより、伸縮長手部材２２は伸長状態に維持され、当該伸縮長手部材２２に挿通された複数の洗浄対象物３０も偏ることなく互いに離間された状態に維持される。
【００４２】
次に、図２に示すように、洗浄液供給部１０の洗浄槽１３内に洗浄液１２が供給される。本実施の形態においては、洗浄液１２として炭化水素系溶剤が用いられるが、炭化水素系溶剤に限られず、例えば、グリコール系溶剤、フッ素系洗浄剤、アルカリ系洗浄剤等が用いられてもよい。また、これらの溶剤または洗浄剤に、界面活性剤が添加されていてもよい。
【００４３】
そして、前述の通り洗浄対象物３０を支持する洗浄補助具２０が、チャンバ１１の内部に搬入され、洗浄槽１３内の洗浄液１２に浸漬された状態で、不図示の支持機構によって支持される。洗浄補助具２０の洗浄カゴ２１はメッシュ状の金属からなるため、洗浄補助具２０が洗浄液１２に浸漬されることによって、洗浄対象物３０も洗浄液１２に浸漬される。
【００４４】
この時、洗浄補助具２０に支持された複数の洗浄対象物３０は偏ることなく互いに離間された状態に維持されているため、洗浄対象物３０の各々の全面に洗浄液１２が接触する。この状態で、超音波発振装置１４によって洗浄槽１３内の洗浄液１２に超音波が発振されることにより、洗浄対象物３０の各々の全面から汚れが除去される。
【００４５】
更に本実施の形態では、不図示の真空ポンプによってチャンバ１１内において減圧と復圧とが交互に繰り返される。このことによっても、洗浄対象物３０から洗浄液１２への汚れの溶解が促進される。
【００４６】
複数の洗浄対象物３０から汚れが除去された後、洗浄補助具２０が洗浄対象物３０と共に洗浄液１２から引き上げられ、チャンバ１１の外部に搬出される。
【００４７】
その後、例えば、互いに離間された状態で洗浄補助具２０に支持された洗浄対象物３０に、シャワー洗浄、ベーパー洗浄、真空乾燥が順に行われる。ここで、ベーパー洗浄とは、加熱気化された溶媒の蒸気が洗浄対象物３０の表面で凝集して液状の溶媒に戻ることを利用した洗浄方法であり、乾燥後の洗浄対象物３０にシミが残ることを防止するために行われるものである。
【００４８】
本件発明者の実際の検証によれば、以上の本実施の形態において、超音波洗浄が３分〜１０分、シャワー洗浄が２分、ベーパー洗浄が２分、真空乾燥が３分行われた結果、１０００枚単位で積層された洗浄対象物３０において十分な洗浄効果が確認された。
【００４９】
一方、比較例として、本実施の形態の洗浄補助具２０の代わりに、ステンレス製の棒が用いられ、積層状態の洗浄対象物３０の貫通穴３２ａ、３２ｂに当該ステンレス製の棒が挿通された状態で、本実施の形態による実施例と同じ時間、同じ種類の洗浄が行われたが、１０００枚単位で積層された洗浄対象物３０において汚れが残っている箇所が確認された。
【００５０】
すなわち、以上のような本実施の形態によれば、引張力を与えられて伸縮長手部材２２の一部の領域２３が伸張されることに伴って、当該伸縮長手部材２２の当該領域２３に挿通された複数の洗浄対象物３０が、偏ることなく互いに離間され得る。これにより、洗浄液１２を全面に接触させるという目的に対して、複数の洗浄対象物３０が互いに十分に離間され得る。
【００５１】
また、本実施の形態によれば、伸縮長手部材２２の少なくとも均等に伸縮する機能を有する領域２３は、伸縮する際において、洗浄対象物３０が有する貫通穴３２ａ、３２ｂに対して滑りを生じない程度に大きい耐滑り性を有するため、伸縮長手部材２２の前記一部の領域２３が伸張される際に、当該伸縮長手部材２２の当該領域２３に挿通された複数の洗浄対象物３０が、より一層偏ることなく互いに十分に離間され得る。
【００５２】
なお、本実施の形態の伸縮長手部材２２の均等に伸縮する機能を有する領域２３は、弾性材料からなる芯部と、当該芯部の表面の少なくとも一部を被覆するように設けられた網状部と、を有するが、これに限定されない。例えば、伸縮長手部材２２の前記領域２３はコイルばねを有していてもよい。この場合、コイルばねのピッチ間に洗浄対象物３０の貫通穴３２ａ、３２ｂが嵌り込まないように、コイルばねの中心に剛性を有する嵌り込み防止部材が挿通されていることが好ましい。
【符号の説明】
【００５３】
１    洗浄装置
１０  洗浄液供給部
１１  チャンバ
１２  洗浄液
１３  洗浄槽
１４  超音波発振装置
２０  洗浄補助具
２１  固定部材（洗浄カゴ）
２２  伸縮長手部材
２３  均等に伸縮する機能を有する領域
２４  主要部材
２５  固定用リング
２６  固定用補助部材
２７  接続部
２８  第二固定用リング
３０  洗浄対象物
３１  枠部
３２ａ、３２ｂ  貫通穴
３３  製品部
１３０  洗浄対象物
１４１  ずらし治具
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2014079727.tif 000009
【図８】
2014079727.tif 000010
【図９】
2014079727.tif 000011
【図１０】
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