(57)【要約】【課題】テープ研磨ユニットの装着されている場所に拘わらず、テープ研磨ユニットのテープ交換を容易に行なうことができる。【解決手段】テープ交換冶具３０を構成する装置側冶具４０は、平板状の定盤部材４５から固定軸とトルク軸とを突設させる。定盤部材４５には、９０度スライド方向を変えて位置決め機構４３，４４が配置される。手前側冶具５０は、中央に開口部５２を形成する枠体５１から固定軸２６と、回動自在に突設される回転軸２７とが突設される。横枠材からは、一対のテープ配置位置保持ピン５３が、下枠材５６からは、テープ配置位置保持ピン５４が立設される。【選択図】図１５
2014034090.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物の表面をテープ研磨するテープ研磨ユニットを備えたテープ研磨装置のテープ交換冶具であって、
前記テープ研磨ユニットの外で予め交換される新しい研磨テープを装着するテープ位置保持部を備え、
前記テープ位置保持部は、前記新しい研磨テープを、前記テープ研磨ユニットに装着される状態と同じ位置に保持したまま、前記テープ研磨ユニットに受け渡す、テープ研磨装置のテープ交換冶具。
【請求項２】
前記研磨テープは、予め供給リールおよび巻取リールを備えたテープカセットに装填されて、
前記テープ交換冶具は、
前記テープカセットから引出された研磨テープを、前記テープ研磨ユニットに装着される状態と同じ位置にセットして、一時的に保持する第１の保持部を備えた第１交換冶具と、
前記第１交換冶具から受取った前記研磨テープを、前記テープ研磨ユニットに装着可能な状態で保持する第２の保持部を備えた第２交換冶具とを含む、請求項１記載のテープ研磨装置のテープ交換冶具。
【請求項３】
前記第１交換冶具は、前記テープカセットから前記研磨テープを引出して、所望の位置に保持する際、引出した方向と逆方向に張力を与える張力付与機構を備える、請求項２記載のテープ研磨装置のテープ交換冶具。
【請求項４】
前記張力付与機構は、前記張力を発生させる渦巻きバネ部材を有する、請求項３記載のテープ研磨装置のテープ交換冶具。
【請求項５】
前記第１の保持部は、前記第２交換冶具に前記研磨テープを受け渡す際に、進退方向の移動を可能とするリニアガイドを有する位置決め機構を有すると共に、  前記位置決め機構は、前記第２交換冶具に研磨テープを受け渡す際のテープ保持位置と、前記テープ保持位置とは進退方向で反対側の待機位置との少なくとも二か所で、位置決め固定可能とするスライド押圧部材を有する、請求項２〜４のいずれかに記載のテープ研磨装置のテープ交換冶具。
【請求項６】
前記スライド押圧部材は、前記研磨テープを受け渡す際のテープ保持位置で、研磨テープを押圧する押圧面に、研磨テープ位置から離間方向に凹設される保持ピン挿入凹部を形成する、請求項５記載のテープ研磨装置のテープ交換冶具。
【請求項７】
前記第２の保持部は、テープ配置位置に合わせて突設されて、保持ピン挿入凹部に介挿されることにより、受け渡された研磨テープの位置を保持する保持ピンを有する、請求項５記載のテープ研磨装置のテープ交換冶具。
【請求項８】
前記スライド押圧部材は、前記研磨テープを受け渡す際のテープ保持位置で、研磨テープを押圧する押圧面に、研磨テープ位置から離間方向に凹設される保持ピン挿入凹部を形成し、
前記第２の保持部は、テープ配置位置に合わせて突設されて、保持ピン挿入凹部に介挿されることにより、受け渡された研磨テープの位置を保持する保持ピンを有する、請求項５記載のテープ研磨装置のテープ交換冶具。
【請求項９】
前記第２の保持部は、受け渡された研磨テープの張力が低下しないように固定する回転止め機構を有する、請求項２〜８のいずれかに記載のテープ研磨装置のテープ交換冶具。
【請求項１０】
被加工物の表面をテープ研磨するテープ研磨ユニットを備えたテープ研磨装置のテープ交換方法であって、
前記テープ研磨ユニットの外で、予め交換される新しい研磨テープを、テープ交換冶具に装着するステップと、
前記テープ研磨ユニットに装着される状態と同じ位置に保持された研磨テープをそのまま、前記テープ研磨ユニットに受け渡すステップと、
前記テープ研磨ユニットから、前記テープ交換冶具を取外すステップとを有するテープ交換方法。
【請求項１１】
被加工物の表面をテープ研磨するテープ研磨ユニットを備えたテープ研磨装置のテープ交換方法であって、
研磨テープを装填したテープカセットを第１交換冶具に装着するステップと、
第１交換冶具で、前記テープカセットの研磨テープを配置する位置を、前記テープ研磨ユニットに対して、ワンタッチで装着可能な位置とするステップと、
前記テープカセットに、第２交換冶具を装着するステップと、
前記第１交換冶具から前記第２交換冶具に前記ワンタッチで装着可能な位置を保ちながら、テープカセットに装着された研磨テープを受け渡すステップと、
前記第２交換冶具から前記テープ研磨ユニットに、前記ワンタッチで装着可能な位置に研磨テープを保持した状態で、テープカセットを装着するステップと、
前記テープ研磨ユニットから、テープ交換冶具を取外すステップとを有するテープ交換方法。
【請求項１２】
前記第２交換冶具に、前記テープカセットを予め保持した状態で準備することにより、前記第２交換冶具から前記研磨テープを前記テープ研磨ユニットに受け渡すステップよりも前段の作業時間を短縮して、前記テープ研磨ユニットに前記研磨テープを装着することを特徴とする請求項１１記載のテープ交換方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板上に設けられた微細パターンの突起欠陥を修正するテープ研磨装置のテープ交換冶具およびテープ交換方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、カラーフィルタの表面に生じた突起欠陥を、研磨テープを用いてテープ研磨するテープ研磨装置が知られている（特許文献１〜３参照）。
【０００３】
これらのテープ研磨装置には、テープ研磨ユニットが設けられている。
テープ研磨ユニットでは、研磨テープが巻付けられた供給リールから、研磨テープが引出されて、研磨ヘッドなどを通過した後、反対側に位置する巻取リールに巻取られる。
【０００４】
これにより、テープ研磨ユニットが設けられたテープ研磨装置では、常時、新しく引出された研磨テープの研磨面を被研磨物に接触させることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第４４１００４２号公報
【特許文献２】特開２００７−２５３２７６号公報
【特許文献３】特開２００７−１７５８００号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
これらのテープ研磨装置では、研磨テープがすべてなくなった場合や、あるいは途中で研磨テープが切断された場合などには、研磨テープを交換する必要がある。
【０００７】
研磨テープを新しいテープに交換する際、新しいテープをテープ研磨ユニットのテープ進行経路を通るように装着する必要がある。
【０００８】
従来の交換方法では、使用済みの古い研磨テープがテープコア（研磨テープの芯の部分）と共に除去された後、新しい研磨テープが装着される。
【０００９】
新しい研磨テープは、端部が供給リールから引出された状態で、高さ測定センサと研磨ヘッドの間を通過させて、補助ローラに掛けられ、研磨ヘッドで折返される。そして、テープ送り機構を通された研磨テープがテープ進行経路に沿って順次、掛けられて巻取リールに到達する。巻取リールでは、テープコアに新しい研磨テープの端部を粘着テープなどで止める作業が必要とされるものもある。
【００１０】
このように、テープ研磨ユニットに新しい研磨テープが装着されると、巻取リールに新しい研磨テープが巻取られながら、研磨テープに張力が与えられて交換作業が終了する。
【００１１】
このように、従来の方法では、研磨テープを交換する際、高さ測定センサと研磨ヘッドの間、テープ送り機構のローラなどの構造物の隙間に、新しい研磨テープが順次通される。この作業により、研磨テープがテープ進行経路に沿って掛けられるので、交換作業が煩雑である。
【００１２】
また、研磨ヘッド、高さ測定センサ、位置調整機構などの精密に位置決めされている部品の近傍に研磨テープを通して交換する作業が行なわれる。この際、作業者の手がこれらの部品に接触して、部品の位置にずれが生じる可能性があった。
【００１３】
さらに、テープ研磨ユニットは、装置の内部の大型のガントリーテーブルに搭載されているものも多い。
【００１４】
このようなガントリーテーブルには、たとえば、装置がマルチリペア装置の場合には、テープ研磨ユニット以外にも、リニアチェンジャーユニット（カメラ、塗布装置）、レーザ照射装置など、他の用途で使用するユニットも搭載されているものもある。
【００１５】
このような装置では、スペース上の制約でこれらの他のユニットとテープ研磨ユニットとの距離も近い。このため、装置の内部に作業者が入り、あるいはガントリーテーブル等の上で精密に位置決めされた複数の部品間に研磨テープを通す作業を慎重に行なわなければならず、交換作業性が良好であるとは言い難かった。
【００１６】
また、補助ローラの位置または研磨ヘッドの位置まで研磨テープが引出されて掛けられる際、研磨テープにテンション（張力）が与えられていない。このため、補助ローラから研磨テープが脱落してしまう虞があり、さらに研磨テープの交換作業性を低下させていた。
【００１７】
この発明の目的は、テープ研磨ユニットの装着されている場所に拘わらず、テープ研磨ユニットのテープ交換を容易に行なうことができるテープ研磨装置のテープ交換冶具およびテープ交換方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
この発明のテープ研磨装置のテープ交換冶具は、被加工物の表面をテープ研磨するテープ研磨ユニットに用いられる。
【００１９】
テープ交換冶具は、テープ研磨ユニットの外で予め交換される新しい研磨テープを装着するテープ位置保持部を備える。
【００２０】
テープ位置保持部は、新しい研磨テープをテープ研磨ユニットに装着される状態と同じ位置に保持したまま、テープ研磨ユニットに受け渡す。
【００２１】
好ましくは、研磨テープは、予め供給リールおよび巻取リールを備えたテープカセットに装填される。
【００２２】
テープ交換冶具は、テープカセットから引出された研磨テープを、テープ研磨ユニットに装着される状態と同じ位置にセットして、一時的に保持する第１の保持部を備える第１交換冶具と、第１交換冶具から受取った研磨テープを、テープ研磨ユニットに装着可能な状態で保持する第２の保持部を備えた第２交換冶具とを含む。
【００２３】
さらに好ましくは、第１交換冶具は、テープカセットから研磨テープを引出して、所望の位置に保持する際、引出した方向と逆方向に張力を与える張力付与機構を備える。
【００２４】
さらに好ましくは、張力付与機構は、張力を発生させる渦巻きバネ部材を有する。
さらに好ましくは、第１の保持部は、第２交換冶具に研磨テープを受け渡す際に、進退方向の移動を可能とするリニアガイドを有する位置決め機構を有する。
【００２５】
さらに好ましくは、位置決め機構は、第２交換冶具に研磨テープを受け渡す際のテープ保持位置と、テープ保持位置とは進退方向の反対側の待機位置との少なくとも二か所で、位置決め固定可能とするスライド押圧部材を有する。
【００２６】
さらに好ましくは、スライド押圧部材は、研磨テープを受け渡す際のテープ保持位置で、研磨テープを押圧する押圧面に、研磨テープ位置から離間方向に凹設される保持ピン挿入凹部を形成する。
【００２７】
第２の保持部は、テープ配置位置に合わせて突設されて、保持ピン挿入凹部に介挿されることにより、受け渡された研磨テープの位置を保持する保持ピンを有する。
【００２８】
さらに好ましくは、第２の保持部は、受け渡された研磨テープの張力が低下しないように固定する回転止め機構を有する。
【００２９】
この発明は、他の局面では、被加工物の表面をテープ研磨するテープ研磨ユニットを備えたテープ研磨装置のテープ交換方法である。
【００３０】
テープ研磨装置のテープ交換方法では、テープ研磨ユニットの外で、予め交換される新しい研磨テープを、テープ交換冶具に装着するステップと、テープ研磨ユニットに装着される状態と同じ位置に保持された研磨テープをそのまま、テープ研磨ユニットに受け渡すステップと、テープ研磨ユニットから、テープ交換冶具を取外すステップとを有する。
【００３１】
テープ研磨装置のテープ交換方法は、研磨テープを装填したテープカセットを第１交換冶具に装着するステップと、第１交換冶具で、テープカセットの研磨テープを配置する位置を、テープ研磨ユニットに対して、ワンタッチで装着可能な位置とするステップと、テープカセットに、第２交換冶具を装着するステップと、第１交換冶具から第２交換冶具にワンタッチで装着可能な位置を保ちながら、テープカセットに装着された研磨テープを受け渡すステップと、第２交換冶具からテープ研磨ユニットに、ワンタッチで装着可能な位置に研磨テープを保持した状態で、テープカセットを装着するステップと、テープ研磨ユニットから、テープ交換冶具を取外すステップとを有する。
【００３２】
さらに好ましくは、第２交換冶具に、テープカセットを予め保持した状態で準備することにより、第２交換冶具から研磨テープをテープ研磨ユニットに受け渡すステップよりも前段の作業時間を短縮して、テープ研磨ユニットに研磨テープを装着する。
【発明の効果】
【００３３】
本発明によれば、テープ研磨ユニットの外で研磨テープの交換を行なう際に、テープ交換冶具に設けられたテープ位置保持部に、予め交換される新しい研磨テープが装着される。
【００３４】
そして、研磨テープの位置が保持されたまま、テープ交換冶具からテープ研磨ユニットに、研磨テープが受け渡されて、容易に研磨テープをテープ研磨ユニットに装着できる。
【００３５】
テープ研磨ユニットに新しい研磨テープが取付けられた後、テープ交換冶具が取外されて、研磨テープの交換が完了する。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】テープ研磨装置としてのテープ研磨修正装置の全体構成を示す斜視図である。
【図２】テープ研磨修正装置に用いられるテープ研磨ユニットに、テープカセットを装着した様子を示す正面図である。
【図３】テープ研磨ユニットから、テープカセットを省いた状態を示す正面図である。
【図４】テープカセットの構成を示す平面図である。
【図５】第１交換冶具としての装置側冶具を示す側面図である。
【図６】テープ交換用冶具を示す平面図である。
【図７】第１交換冶具としての装置側冶具に設けられた渦巻きバネ装置を示し、図５中Ｉ−Ｉ線に沿った位置での断面図である。
【図８】第２交換冶具としての手前側冶具を示し、図９中、矢視Ａ方向から見た側面図である。
【図９】第２交換冶具としての手前側冶具を示す平面図である。
【図１０】テープ交換工程の一例について説明するフローチャートである。
【図１１】本発明の実施の形態のテープ研磨装置のテープ交換方法を説明し、装置側冶具に、テープカセットを装着した様子を示す平面図である。
【図１２】実施の形態のテープ研磨装置のテープ交換方法で、研磨テープを補助ローラに掛ける様子を示す平面図である。
【図１３】実施の形態のテープ研磨装置のテープ交換方法で、研磨テープを位置決め機構で押圧する様子を示す平面図である。
【図１４】実施の形態のテープ研磨装置のテープ交換方法で、テープカセットに手前側冶具が装着された様子を示す平面図である。
【図１５】実施の形態のテープ研磨装置のテープ交換方法で、研磨テープから、位置決め機構を待機位置まで後退させた様子を示す平面図である。
【図１６】実施の形態のテープ研磨装置のテープ交換方法で、研磨テープに回転止め機構から張力を与えた様子を示す平面図である。
【図１７】実施の形態のテープ研磨装置のテープ交換方法で、装置側冶具を取外した様子を示す平面図である。
【図１８】実施の形態のテープ研磨装置のテープ交換方法で、手前側冶具と共に、テープカセットをテープ研磨ユニットに装着した様子を示す正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３７】
以下、図面を参照しつつ、本発明の実施の形態について説明する。以下の説明では、同一の部品には同一の符号を付してある。それらの名称および機能も同じである。したがって、それらについての詳細な説明はくり返さない。
【００３８】
[テープ研磨修正装置の構成]
図１〜図１８は、本発明の実施の形態のテープ研磨装置のテープ交換冶具およびテープ交換方法を示している。このうち、図１は、テープ研磨装置としてのテープ研磨修正装置１の全体構成を示す斜視図である。
【００３９】
図１において、この実施の形態のテープ研磨修正装置１は、被加工物としての基板２の表面を観察する観察機構３と、基板２の表面に突出された突起欠陥部などの要修正部位を研磨するテープ研磨ユニット４とを備える。
【００４０】
テープ研磨ユニット４は、供給リール１８または巻取リール２０が回転可能に軸支されて、研磨テープ１１がテープ走行経路に沿って搬送される。
【００４１】
また、基板２を載置するＹ軸テーブル６は、スライドガイドレール７，７にそって、Ｙ軸方向に基板２を移動可能とするように構成されている。
【００４２】
このＹ軸テーブル６の上方には、基板２の表面側と対向するように、観察機構３およびテープ研磨ユニット４を搭載するＺ軸テーブル８が設けられている。
【００４３】
Ｚ軸テーブル８は、観察機構３およびテープ研磨ユニット４をＺ軸方向に移動可能とするように構成されている。
【００４４】
さらに、Ｚ軸テーブル８は、Ｘ軸テーブル９によってＸ軸方向に沿って移動可能に構成されている。
【００４５】
そして、このテープ研磨修正装置１に搭載されたテープ研磨ユニット４は、Ｘ，Ｙ，Ｚ各方向に移動自在となることで、所望の位置の被加工物を、供給リール１８および巻取リール２０の回転によって搬送される研磨テープ１１で、研磨可能とする。
【００４６】
図２は、テープ研磨修正装置１に用いられるテープ研磨ユニット４に、テープカセット１０を装着した様子を示す正面図である。
【００４７】
テープ研磨ユニット４は、テープカセット１０が搭載されている。そして、テープカセット１０から、研磨テープ１１が供給される。
【００４８】
図３は、テープ研磨ユニット４から、テープカセットを省いた状態を示す正面図である。
【００４９】
テープ研磨ユニット４は、Ｚ軸テーブル８によって移動可能な平板状の台座部材１４を有している。
【００５０】
この台座部材１４からは、図示省略のブレーキ機構が搭載された回転自在な供給軸１２と、回転自在に設けられた巻取軸１３とが突設されている。
【００５１】
また、台座部材１４には、図示省略のモータ駆動機構によって回転駆動可能に連結されて、テープ送り動作を行なうテープ送り機構１５と、研磨ヘッド１６と、突起の高さ方向寸法を測定可能な高さ測定センサ１７が設けられている。
【００５２】
図４は、テープカセット１０の構成を示す平面図である。
テープカセット１０は、平面視で方形を呈するカセットケース５を有している。  このカセットケース５には、左右側辺のいずれかまたは、下辺に、切欠部１０５，２０５が凹設形成されている。
【００５３】
また、このカセットケース５には、新しい状態の研磨テープ１１が巻付けられて装填される供給リール１８と、テープコア１９を芯材として、使用された研磨テープ１１を巻きつける巻取リール２０とが設けられている。
【００５４】
さらに、このテープカセット１０には、引出された研磨テープ１１の移動位置を変えて、一定の位置に保持する補助ローラ２１，２２が設けられている。
【００５５】
図２に戻って、テープカセット１０装着時のテープ研磨ユニット４は、供給軸１２が供給リール１８に挿入されて、供給軸１２の回転が供給リール１８に伝えられる。
【００５６】
また、巻取軸１３が巻取リール２０に挿入されて、巻取軸１３の回転が供給リール１８に伝えられる。
【００５７】
さらに、供給リール１８から供給される研磨テープ１１は、補助ローラ２２に掛けられて、研磨ヘッド１６と接触して折返される。
【００５８】
そして、研磨ヘッド１６と高さ測定センサ１７との間を通り、補助ローラ２１に掛けられてテープ送り機構１５を通過後、巻取リール２０に巻取られる。
【００５９】
図５〜図９に、テープ交換冶具３０を示す。このうち、図６は、テープ交換冶具３０を示す平面図である。
【００６０】
また、図７は、装置側冶具４０の張力付与機構を示し、図８，図９は、第２交換冶具としての手前側冶具５０を示している。
【００６１】
まず、図５〜図７を用いて装置側冶具４０の構成について説明する。
図５は、テープ交換冶具３０の一方の第１交換冶具としての装置側冶具４０を示す側面図である。
【００６２】
図５に示す装置側冶具４０は、第１交換冶具として、テープカセット１０から引出された研磨テープ１１を、テープ研磨ユニット４に装着される状態と同じ位置にセットして、一時的に保持するための第１の保持部を備えている。
【００６３】
具体的には、第１の保持部は、平板状の定盤部材４５から固定軸４１とトルク軸４２とが突設される。
【００６４】
このうち、トルク軸４２は、図５に示すような有底円筒状のケース６０に覆われている。図７に示すように、このケース６０の内部には、渦巻きバネ６５が設けられていて、この渦巻きバネの一端６６が、トルク軸４２に固定されている。
【００６５】
この渦巻きバネ６５は、テープカセット１０から研磨テープ１１を引出して、所望の位置に保持する張力付与機構として機能する。
【００６６】
この渦巻きバネ６５は、他端６７がケース６０の内側面６１に固定されていて、回転ごとに回転方向と逆向きのトルクを発生させて、研磨テープ１１が引出された方向と逆方向の張力を与える。
【００６７】
また、図６に示す第１交換冶具としての装置側冶具４０は、定盤部材４５に、９０度スライド方向を変えて配置される位置決め機構４３，４４を備える。
【００６８】
位置決め機構４３，４４は、それぞれリニアガイド４６，４８上に、スライド押圧部材４７，４９を有して主に構成されている。
【００６９】
スライド押圧部材４７，４９は、それぞれリニアガイド４６，４８の延設方向に沿ってスライド摺動可能な状態で装着されている。
【００７０】
そして、これらのスライド押圧部材４７，４９はそれぞれ、外側方にスライド移動して、停止するテープ保持位置（後述する図１３参照）と、スライド進退方向で反対側に移動して停止する待機位置（図６参照）との少なくとも二か所で、移動を停止させることを可能としている。
【００７１】
さらに、このスライド押圧部材４７，４９は、研磨テープ１１を受け渡す際のテープ保持位置で、研磨テープ１１を押圧する押圧面１４７，１４９に、研磨テープ位置から離間方向に凹設される保持ピン挿入凹部１０３，１０４がそれぞれ形成されている。
【００７２】
図６中、左側では、保持ピン挿入凹部１０３が押圧面１４７の幅方向ほぼ中央に一つ形成されていて、１本のテープ配置位置保持ピン５３と適合させるものを示しているが、これに限らず、たとえば、図６中、右側に示す、２本のテープ配置位置保持ピン５３と適合させるように、保持ピン挿入凹部１０３を押圧面１４７に一定の間隔を置いて一対設けてもよく、テープ配置位置保持ピン５３の本数に合わせて、設けられる。
【００７３】
図８，図９は、テープ交換冶具３０のうち、第２交換冶具としての手前側冶具５０の構成を説明し、図８は、図９中、矢視Ａ方向から見た側面図である。
【００７４】
この手前側冶具５０は、中央に開口部５２を形成する枠体５１に、一体に固定されて突設される固定軸２６と、回動自在に突設される回転軸２７とが設けられている。
【００７５】
このうち、回転軸２７には、回転止め機構２８が設けられている。回転止め機構２８には、回転軸２７の回転を停止させて固定させるためのツマミ部材２９が設けられている。
【００７６】
そして、ツマミ部材２９を回動させることにより、この回転止め機構２８を作動させて、回転軸２７の回転を停止させ、受け渡された研磨テープの張力が低下しないように固定可能に構成されている。
【００７７】
また、この手前側冶具５０は、装置側冶具４０から受取った研磨テープ１１を、テープ研磨ユニット４に装着可能な状態で保持する第２の保持部を備える。
【００７８】
具体的には、第２の保持部は、枠体５１の開口部５２の周縁に位置する横枠材５５から、所定の間隔で離し置きされた一対のテープ配置位置保持ピン５３が立設されている。テープ配置位置保持ピン５３は、１本または３本以上の複数本であってもよい。
【００７９】
さらに、枠体５１の開口部５２の周縁に位置する下枠材５６からは、１本のテープ配置位置保持ピン５４が立設されている。
【００８０】
そして、図６の装置側冶具４０のスライド押圧部材４７，４９は、テープ保持位置で保持ピン挿入凹部１０３，１０４に、テープ配置位置保持ピン５３，５４が介挿された状態で、リニアガイド４６，４８に沿ってスライド移動して、装置側冶具４０を取外す際に、研磨テープ１１等に干渉するおそれをなくしている。
【００８１】
このため、円滑に手前側冶具５０に研磨テープ１１が受け渡されて、保持ピン５３，４３によって、研磨テープ１１の装着位置をそのまま保持できるように構成されている。
【００８２】
[交換工程]
図１０〜図１８は、この発明の実施の形態のテープ研磨装置の研磨テープ交換工程について説明するものである。
【００８３】
このうち、図１０は、テープ交換工程の一例を示すフローチャートである。
図１０のフローチャートに沿って、この実施の形態のテープ研磨修正装置１のテープ交換冶具３０を用いたテープ交換方法について説明する。
【００８４】
テープ研磨修正装置１のテープ交換作業がスタートすると、ステップＳ１では、テープ研磨修正装置１のテープ研磨ユニット４から、残量が減少したなどの古い研磨テープ１１がテープカセット１０（図４参照）ごと取除かれて、テープ研磨ユニット４の外で、新しい研磨テープ１１の取付けを開始する。
【００８５】
ステップＳ２では、まず、テープカセット１０から、供給リール１８の空のコアおよび巻取リール２０に残存する使用済みの研磨テープ１１を取外す。
【００８６】
ステップＳ３では、取外された供給リール１８に新しい研磨テープ１１を取付け、巻取リール２０にテープコアを取付ける。
【００８７】
そして、供給リール１８の内部にある研磨テープ１１の端を、引出して巻取リール２０の内部のテープコアに、粘着テープなどで取付ける。
【００８８】
ステップＳ４では、図５および図６に示す装置側冶具４０に、図４に示すような新しい研磨テープ１１を装填したテープカセット１０を、取付ける。
【００８９】
図１１は、装置側冶具４０に、テープカセット１０を装着した様子を示す平面図である。
【００９０】
図１１に示すように、供給リール１８のテープコアに、トルク軸４２が挿入されて、巻取リール２０のテープコアに固定軸４１が挿入される。
【００９１】
この時点で、研磨テープ１１には、張力が与えられていないので、供給リール１８から引出自在である。
【００９２】
また、位置決め機構４３，４４のスライド押圧部材４７，４９は、テープカセット１０の切欠部１０５，２０５内で、待機位置にある。
【００９３】
図１２は、研磨テープ１１を補助ローラ２１，２２に掛ける様子を示す平面図である。
ステップＳ５では、研磨テープ１１が引出されて、テープカセット１０の補助ローラ２１，２２に掛けられる。
【００９４】
この際、巻取リール２０は、固定軸４１によって回転不能に固定されている。  このため、研磨テープ１１を、回転する供給リール１８から引出すと、トルク軸４２に設けられた渦巻きバネ６５が発生させる回転方向と逆向きの反トルクで、研磨テープ１１に、引出された方向と逆方向の張力が与えられる。
【００９５】
この張力により、研磨テープ１１は、解かれないで取出されることができる。
また、張力が与えられているので、研磨テープ１１が引出され過ぎることがない。このため、補助ローラ２１，２２から下方へ落下するおそれもない。
【００９６】
図１３は、研磨テープ１１を位置決め機構４３，４４で押圧する様子を示す平面図である。
【００９７】
ステップＳ６では、位置決め機構４３，４４のスライド押圧部材４７，４９を、テープカセット１０の切欠部１０５，２０５の長手方向開口部の方向にスライド移動させて、テープ保持位置（図１３中実線で示す位置）でそれぞれ停止させる。
【００９８】
各スライド押圧部材４７，４９の押圧面１４７，１４９は、テープ保持位置で、それぞれ研磨テープ１１を外側方へ押出して、次のステップＳ７で挿入される手前側冶具５０のテープ配置位置保持ピン５３，５４よりも外側方の位置に研磨テープ１１を保持する。
【００９９】
ステップＳ７では、手前側冶具５０のテープ配置位置保持ピン５３，５４を、それぞれ各スライド押圧部材４７，４９の押圧面１４７，１４９に形成された保持ピン挿入凹部１０３，１０４に挿入する。
【０１００】
図１４は、テープカセット１０に手前側冶具５０が装着された様子を示す平面図である。
【０１０１】
図１４に示すように、装置側冶具４０に装着されているテープカセット１０の手前側から、作業者は、予めツマミ部材２９が緩められている手前側冶具５０を被せるように装着する。
【０１０２】
手前側冶具５０が装着された状態では、テープカセット１０が装置側冶具４０と手前側冶具５０との間に挟持されている。
【０１０３】
また、保持ピン挿入凹部１０３，１０４と研磨テープ１１との間には、テープ配置位置保持ピン５３，５４を、挿入可能な空隙が形成されている。
【０１０４】
このため、保持ピン挿入凹部１０３，１０４と研磨テープ１１との間にテープ配置位置保持ピン５３，５４が干渉することなく円滑に挿入される。
【０１０５】
保持ピン挿入凹部１０３，１０４内に、テープ配置位置保持ピン５３，５４が挿入された状態では、テープ配置位置保持ピン５３，５４の外側に、研磨テープ１１が位置する。
【０１０６】
また、手前側冶具５０の固定軸２６と回転軸２７とがそれぞれテープカセット１０の巻取リール２０と、供給リール１８とに挿入される。
【０１０７】
よって、巻取リール２０は、固定軸２６によって回動が停止される。また、供給リール１８は、回転軸２７によって回転自在に軸支されている。ただし、このステップＳ７の段階では、事前に巻取リール２０は、固定軸４１によって回転不能に停止されている。
【０１０８】
図１５は、各スライド押圧部材４７，４９が待機位置まで後退されて、停止している様子を示す平面図である。
【０１０９】
ステップＳ８では、位置決め機構４３，４４のスライド押圧部材４７，４９を、テープカセット１０の切欠部１０５，２０５の長手方向に沿わせて反対に向けてスライド移動させて、図１５中実線で示す待機位置でそれぞれ停止させる。
【０１１０】
スライド押圧部材４７，４９が待機位置で停止していることにより、研磨テープ１１の受け渡し時に障害となることがなくなる。
【０１１１】
従って、テープカセット１０が装置側冶具４０と手前側冶具５０との間に挟持されている状態であっても、受け渡し時に容易に位置決め機構４３，４４のスライド押圧部材４７，４９から、テープ配置位置保持ピン５３，５４に研磨テープ１１を移行させることができる。
【０１１２】
研磨テープ１１には、張力がかかっている。このため、研磨テープ１１は、そのまま、テープ配置位置保持ピン５３，５４に内側面を当接させた状態で保持される。
【０１１３】
図１６は、研磨テープ１１に回転止め機構２８から、張力を与えた様子を示す平面図である。
【０１１４】
ステップＳ９では、回転止め機構２８のツマミ部材２９を回し、研磨テープ１１を張設する。
【０１１５】
これにより、研磨テープ１１は、各テープ配置位置保持ピン５３，５４に圧接されて、手前側冶具５０とテープカセット１０とによって固定されて保持され、装置側冶具４０から完全に分離可能となる。
【０１１６】
ステップＳ１０は、分離可能となった装置側冶具４０から、研磨テープ１１を保持する手前側冶具５０とテープカセット１０とを同時に引抜く。
【０１１７】
図１７は、装置側冶具４０が研磨テープ１１を保持する手前側冶具５０とテープカセット１０とから取外された様子を示す平面図である。
【０１１８】
ステップＳ１１では、研磨テープ１１を保持する手前側冶具５０とテープカセット１０とを同時に、手前側からテープ研磨修正装置１のテープ研磨ユニット４に装着する。
【０１１９】
図１８は、手前側冶具５０と共に、テープカセット１０がテープ研磨ユニット４に装着された様子を示す正面図である。
【０１２０】
この際、研磨テープ１１は、張力がかかったままの状態で装着される。そして、研磨テープ１１の位置は、テープ走行位置とほぼ同じ位置を保持したまま、装着可能である。従って、研磨ヘッド１６や高さ測定センサ１７などに接触して、衝撃を与えることなく、所望のテープ保持位置に取付けることができる。
【０１２１】
しかも、各テープ配置位置保持ピン５３，５４も、テープ研磨ユニット４の研磨ヘッド１６やテープ送り機構などの構造物と干渉しない位置に取付けられている。
【０１２２】
ステップＳ１２では、テープ研磨ユニット４から、手前側冶具５０のみを取外す。そして、テープ研磨ユニット４のテープ送り機構１５を作動させることにより、テープカセット１０の補助ローラ２１，２２と、研磨ヘッド１６に完全に研磨テープ１１を受け渡す。
【０１２３】
受け渡しの完了により、図２に示すように、テープ研磨修正装置に用いられるテープ研磨ユニット４に、テープカセット１０が装着されている状態となる。
【０１２４】
上述してきたように、この実施の形態のテープ研磨装置のテープ交換冶具およびテープ交換方法では、研磨テープ１１の交換を行なう際に、テープ研磨ユニット４の外で、テープ交換冶具３０に設けられたテープ位置保持部であるテープ配置位置保持ピン５３，５４に、予め交換される新しい研磨テープ１１が装着される。
【０１２５】
そして、研磨テープ１１の位置が保持されたまま、テープ交換冶具３０のうち、手前側冶具５０からテープ研磨ユニット４に、研磨テープ１１が受け渡されることにより、研磨テープ１１がテープ研磨ユニット４に効率的に装着される。
【０１２６】
テープ研磨ユニット４に新しい研磨テープ１１が取付けられた後、手前側冶具５０が取外されて、研磨テープ１１の交換が完了する。
【０１２７】
この実施の形態では、テープ交換冶具３０の手前側冶具５０と対となる装置側冶具４０を用いて、テープ研磨ユニット４の外で予め交換される新しい研磨テープ１１が手前側冶具５０に装着される。
【０１２８】
このため、テープカセット１０を予め保持した状態で手前側冶具５０を準備することにより、手前側冶具５０から研磨テープ１１をテープ研磨ユニット４に受け渡すステップ（図１０中、ステップＳ１０）よりも前段の作業を装置の外で行ない、全体の作業時間を短縮することができる。
【０１２９】
したがって、テープ研磨ユニット４に研磨テープ１１を装着する作業工程を短縮して、テープ研磨修正装置１の停止している状態を減少させることにより、稼働率を向上させることができる。
【０１３０】
しかも、図１０中、ステップＳ３〜ステップＳ９まで、研磨テープ１１に張力が与えられている状態で、研磨テープ１１の取廻しが行なえる。
【０１３１】
このため、従来のように装置の内部で研磨テープ１１を各箇所に掛けていた作業を、装置の外の作業しやすい場所で行なえる。また、装置の外で予めテープ走行経路に合わせて、研磨テープ１１の形状を保持してから、ワンタッチでテープ研磨ユニット４へ装着することができる。
【０１３２】
従って、たとえば、幅が比較的狭い研磨テープ１１を装着する際にも、研磨テープ１１が解れたり絡まったり、あるいは脱落させてしまうおそれがない。
【０１３３】
そして、テープ研磨ユニット４がテープ研磨修正装置１の上面側など、装着されている場所に拘わらず、テープ研磨ユニット４の研磨テープ１１の交換を容易に行なうことができる。
【０１３４】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【符号の説明】
【０１３５】
１  テープ研磨修正装置、２  基板、３  観察機構、４  テープ研磨ユニット、５  カセットケース、６，８，９  軸テーブル、７  スライドガイドレール、１０  テープカセット、１１  研磨テープ、１２  供給軸、１３  巻取軸、１４  台座部材、１５  テープ送り機構、１６  研磨ヘッド、１７  高さ測定センサ、１８  供給リール、１９  テープコア、２０  巻取リール、２１，２２  補助ローラ、２６，４１  固定軸、２７  回転軸、２８  回転止め機構、２９  ツマミ部材、３０  テープ交換冶具、４０  装置側冶具、４２  トルク軸、４３，４４  位置決め機構、４５  定盤部材、４６，４８  リニアガイド、４７，４９  スライド押圧部材、５０  手前側冶具、５１  枠体、５２  開口部、５３，５４  テープ配置位置保持ピン、５５  横枠材、５６  下枠材、６０  ケース、６１  内側面、６５  渦巻きバネ、６６  一端、６７  他端、１０３，１０４  保持ピン挿入凹部、１０５，２０５  切欠部、１４７，１４９  押圧面。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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