(57)【要約】      （修正有）【課題】ワークの底面位置を管理してワークを適正寸法に加工する寸法管理装置を提供する。【解決手段】ベースに回転自在に配設されワークＷを載置するワーク主軸２と、ワーク主軸２に配設されワークＷをクランプするクランプ装置３と、ワークＷを加工する回転工具１０５を回転駆動する主軸装置１０３と、主軸装置１０３を移動させる主軸移動装置と、を有する工作機械１００に搭載してワークＷを適正寸法に加工する寸法管理装置１であって、ワーク主軸２に配設され圧力流体をワークＷの底面Ｗ１に噴射して底面Ｗ１の位置を計測する流体式ワーク底面測定装置４と、底面Ｗ１の位置が予め設定された底面基準位置ｈ０に対して適正距離にあるかどうかを判定し、適正距離との距離の増減を求める底面位置演算手段５と、を備えた。【選択図】図３
2014161956.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベースと、
このベースに回転自在に配設されワークを載置するワーク主軸と、
このワーク主軸に配設され前記ワークをクランプするクランプ装置と、
前記ワークを加工する回転工具を回転駆動する主軸装置と、
この主軸装置を移動させる主軸移動装置と、を有する工作機械に搭載して前記ワークを適正寸法に加工する寸法管理装置であって、
前記ワーク主軸に配設され圧力流体を前記ワークの底面に噴射して当該底面の位置を計測する流体式ワーク底面測定装置と、
前記底面の位置が予め設定された底面基準位置に対して適性距離にあるかどうかを判定し、当該適正距離との距離の増減を求める底面位置演算手段と、
を備えたことを特徴とする寸法管理装置。
【請求項２】
前記流体式ワーク底面測定装置は、
前記ワーク主軸に配設され前記ワークを載置する着座面が形成された座板と、
前記座板に形成され前記圧力流体を前記ワークの底面に噴射するノズルと、
を備えたことを特徴とする請求項１に記載の寸法管理装置。
【請求項３】
圧力流体を前記ワークの被加工面に噴射して当該被加工面の位置を計測する流体式ワーク被加工面測定装置と、
前記被加工面の位置に対して前記適正距離との距離の増減分を加減算して適正な切り込み量を求める補正切り込み量演算手段と、
を備えたことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の寸法管理装置。
【請求項４】
前記流体式ワーク被加工面測定装置を前記主軸装置に配設して、前記主軸装置に装着される前記回転工具と一体として当該流体式ワーク被加工面測定装置が移動すること、
を特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の寸法管理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、寸法管理装置に係り、特に、ワークの座面位置を管理してワークを適正寸法に加工する寸法管理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、立形研削盤でシリコンウエーハ（ワーク）の端面（上面）を研削加工する際には、ワークの厚さ寸法を高精度に管理するために種々の寸法管理装置が知られている（例えば、特許文献１，２）。
特許文献１に記載の寸法管理装置は、ノズルから噴出したエア圧を利用した非接触の浮遊型検出子によりワークの上面の位置とウエーハ保持テーブルの位置を測定してワークの厚さを精度よく管理するものである。
特許文献２に記載の寸法管理装置は、テーブル面計測用センサ２４および被研削面計測用センサ２５により、研削加工中にワークの厚さを計測しながらワークの厚さを精度よく管理するものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−９７９３５号公報（段落００３８、図３）
【特許文献２】特開２００５−２１７３２６号公報（段落００２３、図２）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来の寸法管理装置は、ウエーハ保持テーブルを基準としてワークの厚さ寸法を計測するものであるため、例えばワークをウエーハ保持テーブルにクランプする際に生じるウエーハ保持テーブルからのワークの微小な浮き上がりによる寸法誤差を看過してしまうという問題があった。
【０００５】
本発明は、このような背景に鑑みてなされたものであり、ワークの底面位置を管理してワークを適正寸法に加工する寸法管理装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記課題を解決するため、本発明の請求項１に係る発明は、ベースと、このベースに回転自在に配設されワークを載置するワーク主軸と、このワーク主軸に配設され前記ワークをクランプするクランプ装置と、前記ワークを加工する回転工具を回転駆動する主軸装置と、この主軸装置を移動させる主軸移動装置と、を有する工作機械に搭載して前記ワークを適正寸法に加工する寸法管理装置であって、前記ワーク主軸に配設され圧力流体を前記ワークの底面に噴射して当該底面の位置を計測する流体式ワーク底面測定装置と、前記底面の位置が予め設定された底面基準位置に対して適性距離にあるかどうかを判定し、当該適正距離との距離の増減を求める底面位置演算手段と、を備えたことを特徴とする。
【０００７】
本発明は、流体式ワーク底面測定装置により圧力流体を前記ワークの底面に噴射して当該底面の位置を計測することで、例えば、ワークの底面に噴射した圧力流体によりワークの底面とワーク主軸側の座面との間に介在する加工粉やダスト等を除去して正確な計測が可能となるとともに、適切なワークの着座姿勢を確保することができる。
【０００８】
また、本発明は、底面位置演算手段により前記底面の位置と予め設定された底面基準位置に対する適正距離との増減を求めることで、非接触でワークがワーク主軸の所定の座面に適正にクランプされたかどうかを判定し、ワークの着座面からの浮き上がり量を求めることができる。
このため、例えば、浮き上がり量が予め設定した閾値を超え、適正にクランプされていないと判定された場合には、警告を発してワークのクランプ状態を作業者に再確認させることができる。また、浮き上がり量が予め設定した閾値以内であり、適正にクランプされていると判定された場合には、求めた浮き上がり量を考慮して回転工具の切り込み量を設定することもできる。
このようにして、本発明に係る寸法管理装置は、ワークの底面位置を計測してワークの着座姿勢を監視し、ワークを適正寸法に加工することができる。
【０００９】
本発明の請求項２に係る発明は、請求項１に記載の寸法管理装置であって、前記流体式ワーク底面測定装置は、前記ワーク主軸に配設され前記ワークを載置する着座面が形成された座板と、前記座板に形成され前記圧力流体を前記ワークの底面に噴射するノズルと、を備えたことを特徴とする。
【００１０】
かかる構成により、本発明の請求項２に係る発明は、ワークの底面に圧力流体を噴射するノズルを着座面が形成された座板に設けたことで、圧力流体をワークの底面に確実に噴射することができる。
【００１１】
本発明の請求項３に係る発明は、請求項１または請求項２に記載の寸法管理装置であって、圧力流体を前記ワークの被加工面に噴射して当該被加工面の位置を計測する流体式ワーク被加工面測定装置と、前記被加工面の位置に対して前記適正距離との距離の増減分を加減算して適正な切り込み量を求める補正切り込み量演算手段と、を備えたことを特徴とする。
【００１２】
かかる構成により、本発明の請求項３に係る発明は、補正切り込み量演算手段により前記適正距離との距離の増減分を加減算して適正な切り込み量を設定することで、ワークの着座面からの浮き上がり量をキャンセルしてワークを適正寸法に効率よく加工することができるため、稼働率の低下を抑制して生産性を向上させることができる。
【００１３】
本発明の請求項４に係る発明は、請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の寸法管理装置であって、前記流体式ワーク被加工面測定装置を前記主軸装置に配設して、前記主軸装置に装着される前記回転工具と一体として当該流体式ワーク被加工面測定装置が移動すること、を特徴とする。
【００１４】
かかる構成により、本発明の請求項４に係る発明は、前記流体式ワーク被加工面測定装置を前記主軸装置に配設したことで、前記回転工具によるワークの加工中は、回転工具の切り込み方向の送りに合わせて流体式ワーク被加工面測定装置を一体として移動させることができるため、加工中であっても前記流体式ワーク被加工面測定装置による計測が可能となる。
一方、前記回転工具によるワークの加工完了後は、回転工具と一体として流体式ワーク被加工面測定装置をワークから退避させることができるため、ワークの着脱を迅速に実行することができる。
【００１５】
このようにして、本発明の請求項４に係る発明は、主軸移動装置を利用して流体式ワーク被加工面測定装置を移動させることで、流体式ワーク被加工面測定装置の位置を適正に管理して計測精度を向上させ、かつ流体式ワーク被加工面測定装置の移動装置を別途設ける必要がないので、工作機械の構成を簡素化してコンパクト化を図ることができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明に係る寸法管理装置は、ワークの底面位置を管理してワークを適正寸法に加工することができる。このため、本発明に係る寸法管理装置が搭載された工作機械は、加工精度を向上させながら、稼働率の低下を抑制して生産性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の実施形態に係る寸法管理装置を立形研削盤に適用した全体構成を示す側面断面図である。
【図２】本発明の実施形態に係る立形研削盤の構成を示す図１の部分拡大断面図であり、（ａ）はワーク主軸およびクランプ装置周りの構成を示し、左半図はクランプ装置でワークをクランプした状態、右半図はアンクランプした状態を示し、（ｂ）は主軸装置周りの構成を示す。
【図３】本発明の実施形態に係る寸法管理装置の構成を示す模式的断面図である。
【図４】本発明の実施形態に係る寸法管理装置の動作を説明するための模式図であり、（ａ）は主軸装置を計測原点に位置合わせした状態を示す正面断面図、（ｂ）は補正切り込み量を説明するための正面図である。
【図５】本発明の実施形態に係る寸法管理装置の動作を示す流れ図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
本発明の実施形態に係る寸法管理装置１について、工作機械である卓上形の立形研削盤１００に適用した場合を例として、適宜図を参照しながら詳細に説明する。なお、本実施形態においては、立形研削盤に適用したが、横形研削盤やマシニングセンタ等の他の工作機械に適用することもできる。
【００１９】
＜立形研削盤の概要＞
立形研削盤１００は、図１に示すように、ベース１０１に回転自在に配設されたワーク主軸２と、ワーク主軸２を回転させる駆動装置１０２と、ワーク主軸２に配設されたクランプ装置３と、回転工具である回転砥石１０５を回転駆動する主軸装置１０３と、主軸装置１０３を移動させる主軸移動装置１０４と、動作を制御する制御装置１０６と、を備えている。
【００２０】
なお、立形研削盤１００において、加工室カバーやクーラント供給装置等の付帯装置は、特に限定されるものではないので、説明の便宜上、図示および詳細な説明は省略する。
【００２１】
立形研削盤１００は、ワーク主軸２の上面にクランプされたワークＷを回転させながら
主軸装置１０３で回転駆動された回転砥石１０５でワークＷの上面Ｗ２（端面）を研削してワークＷの厚さを所定の公差に加工する。
【００２２】
ベース１０１は、図１に示すように、基台部１０１ａと、基台部１０１ａから上方に延設された立フレーム部１０１ｂと、立フレーム部１０１ｂから水平方向に延設された横フレーム部１０１ｃと、を備えたフレーム構造をなし、横フレーム部１０１ｃにワーク主軸２を回転自在に支持し、立フレーム部１０１ｂに主軸装置１０３を移動自在に支持している。
【００２３】
ワーク主軸２は、図２（ａ）に示すように、横フレーム部１０１ｃ（図１参照）に固定された筒状のハウジング２１と、ハウジング２１にベアリング２２を介して回転自在に内設された回転主軸２３と、回転主軸２３の上部に固定されたワーク載置部２３ａと、ワーク載置部２３ａの上部まで圧縮エアを供給するエア供給路２４と、を備えて構成され、ワーク載置部２３ａにワークＷを載置して回転させるようになっている。
【００２４】
エア供給路２４は、回転主軸２３およびワーク載置部２３ａを通ってワーク載置部２３ａの上部まで形成され、このエア供給路２４には、ロータリジョイント２５（図１参照）等の回転自在な接続部材を介してエア源２６（図１参照）から圧縮エアを供給するようになっている。
【００２５】
駆動装置１０２は、図１に示すように、ワーク主軸２を回転駆動する装置であり、駆動モータ１０２ａと、駆動モータ１０２ａの駆動力をワーク主軸２に伝達する伝達機構１０２ｂと、を備えて構成することができるが、特に限定されるものではない。
【００２６】
クランプ装置３は、図２（ａ）に示すように、ワーク載置部２３ａに配設されたチャック装置３１と、チャック装置３１を駆動するドローバー３２と、ドローバー３２を下方に付勢してチャック装置３１でクランプ（図２（ａ）の左図を参照）する付勢手段３３と、アクチュエータ等により付勢手段３３の付勢力に抗してドローバー３２を上方に押し上げてチャック装置３１をアンクランプ方向に拡径する（図２（ａ）の右半図を参照）アンクランプ装置３４（図１参照）と、を備えて構成されている。
【００２７】
かかる構成により、クランプ装置３は、ドローバー３２を付勢手段３３により下方に付勢することで、チャック装置３１を縮径方向に水平に移動してワークＷをクランプし（図２（ａ）の左半図を参照）、ドローバー３２を上方に押し上げることで、チャック装置３１を拡径方向に水平に移動してワークＷをアンクランプ（図２（ａ）の右半図を参照）する装置であるが、種々の形態を採用することができ特に限定されるものではないので詳細な説明は省略する。
【００２８】
主軸装置１０３は、図２（ｂ）に示すように、回転砥石１０５が着脱自在に装着される主軸１０３ａと、主軸１０３ａをベアリング１０３ｂにより回転自在に支持する主軸ヘッド１０３ｃと、を備えている。
主軸移動装置１０４は、図１に示すように、主軸装置１０３を軸方向（上下方向、Ｚ軸方向）、および前後方向（Ｙ軸方向）に移動させる装置である。主軸移動装置１０４は、主軸装置１０３を移動させることで、主軸１０３ａに装着された回転砥石１０５をＺ軸方向およびＹ軸方向に移動させることができる。
【００２９】
制御装置１０６は、図１に示すように、ワーク主軸２およびクランプ装置３の動作を制御するワーク主軸制御装置１０６ａと、主軸装置１０３および主軸移動装置１０４の動作を制御する主軸制御装置１０６ｂと、を備えている。
【００３０】
なお、本実施形態においては、説明の便宜上、立形研削盤１００の制御装置１０６と寸法管理装置１とを便宜上別々に区別して説明するが、別体として構成してもよいし、寸法管理装置１を立形研削盤１００に搭載した状態では、まとめて構成してもよい。
【００３１】
＜寸法管理装置＞
続いて、寸法管理装置１について、主として図３と図４を参照しながら詳細に説明する。図３は、寸法管理装置の構成を示す断面図であり、クランプした状態でワークが浮き上がった様子を誇張して示したものである。図４は寸法管理装置の動作を説明するための模式的正面断面図であり、（ａ）はワークに対して主軸装置を予め設定した計測原点位置に位置決めした状態、（ｂ）は補正切り込み量を説明するためのワークが着座面から浮き上がった状態（左図）と密着状態（右図）の関係を示す図である。
【００３２】
寸法管理装置１は、ワークＷの底面Ｗ１の位置を計測する流体式ワーク底面測定装置（底面測定装置４）と、底面Ｗ１の位置と予め設定された底面基準位置ｈ０との距離の増減（高さの差）を求める底面位置演算手段５と、被加工面（ワークＷの上面Ｗ２）の位置を計測する流体式ワーク被加工面測定装置（上面測定装置６）と、底面基準位置ｈ０からワークＷの上面Ｗ２の位置までの距離を求める上面位置演算手段７と、ワークＷの上面Ｗ２の位置から回転砥石１０５の切り込み量を求める補正前切り込み量演算手段８１と、底面基準位置ｈ０との距離の増減を補正前切り込み量ｔ１に増減して補正切り込み量ｔ２を求める補正切り込み量演算手段８と、を備えている。
なお、本実施形態における立形研削盤１００では、底面基準位置ｈ０からの距離が「高さ」に該当するため、底面基準位置ｈ０との関係では、「底面基準位置ｈ０からの高さ」と表示する場合がある。
【００３３】
＜底面測定装置＞
底面測定装置４は、ワークＷの底面Ｗ１の位置、具体的には一例として、ノズル４２の噴射口４２ａからワークＷの底面Ｗ１までの距離δ１を計測する装置であり、ワークＷを載置する座板４１と、座板４１に形成されたノズル４２と、ノズル４２から噴射される圧縮エアの圧力を計測する圧力計測器４３と、圧力計測器４３により計測された圧力からワークＷの底面Ｗ１の位置を求める圧力演算手段４４と、を備えている。
【００３４】
座板４１は、回転主軸２３の上部に固定されたワーク載置部２３ａに配設され、ワークＷを載置する着座面４１ａと、開口部を着座面４１ａに載置されたワークＷの底面Ｗ１で覆うように形成された空隙部４１ｂと、を備えている。
着座面４１ａは、ワークＷを密着させて着座させる基準面であり、本実施形態においては底面基準位置ｈ０に設定されている。
【００３５】
ノズル４２は、座板４１を厚さ方向に貫通して空隙部４１ｂに下方から噴射口４２ａが開口するように形成されている。ノズル４２には、ワーク載置部２３ａの上部まで圧縮エアを供給するエア供給路２４が連通され、エア源２６（図１参照）からエア供給路２４を通って圧縮エアが供給されるようになっている。このため、噴射口４２ａから噴射された圧縮エアは、空隙部４１ｂを通って垂直にワークＷの底面Ｗ１に向けて噴射される。
【００３６】
圧力計測器４３は、ノズル４２からワークＷの底面Ｗ１に噴射された圧縮エアによるエア供給路２４の圧力（圧力変動）を計測する。圧力演算手段４３は、圧力計測器４３により計測された圧力からワークＷの底面位置を演算し、ノズル４２の噴射口４２ａからワークＷの底面Ｗ１までの距離δ１を求める。
このようにして、底面測定装置４は、ノズル４２の噴射口４２ａからワークＷの底面Ｗ１までの距離δ１を求める。
【００３７】
なお、本実施形態においては、座板４１に空隙部４１ｂを形成し、ノズル４２から空隙部４１ｂを通ってワークＷの底面Ｗ１に圧縮エアを噴射するようにしたが、これに限定されるものではなく、空隙部４１ｂを形成せずに着座面４１ａに密着した状態でワークＷの底面Ｗ１に圧縮エアを噴射してもよい。
このように、本実施形態においては、空隙部４１ｂを形成することで、ワークＷの底面Ｗ１と着座面４１ａとの接触面積を小さくするとともに、ワークＷの底面Ｗ１の広範囲に渡って圧縮エアを噴射することで、効率よく確実に加工粉やダスト等を除去することができる。
【００３８】
底面位置演算手段５は、底面測定装置４により求めたワークＷの底面Ｗ１の位置と底面基準位置ｈ０（着座面４１ａ）との距離の増減を求める演算装置である。
底面基準位置ｈ０は、ワークＷの高さ寸法を管理するための基準面であり、任意に設定することができるが、本実施形態においては基準面として精度管理しやすい座板４１の上面に形成されたワークＷの着座面４１ａに設定する。
【００３９】
ワークＷの着座面４１ａを底面基準位置ｈ０として設定した場合、ワークＷの着座姿勢が適正であるときは、ワークＷの底面Ｗ１と着座面４１ａが密着しているから、ワークＷの底面Ｗ１の位置と底面基準位置ｈ０との距離＝０である。
したがって、本実施形態では、「ワークＷの底面Ｗ１の位置と底面基準位置ｈ０との距離の増減」は、底面基準位置ｈ０からワークＷの底面Ｗ１までの距離、つまり高さｈ１（増分）に等しい。
【００４０】
ここで、ノズル４２の噴射口４２ａからワークＷの着座面４１ａまでの高さｚ１は、予め計測されて記憶手段（不図示）に保存された既知の数値である。
したがって、底面位置演算手段５は、圧力演算手段４３により噴射口４２ａからワークＷの底面Ｗ１までの距離δ１が求められているため、底面基準位置ｈ０からワークＷの底面Ｗ１までの高さｈ１は、ｈ１＝δ１−ｚ１から求めることができる。
【００４１】
＜流体式ワーク被加工面測定装置（上面測定装置）＞
上面測定装置６は、主軸装置１０３を予め設定した計測原点位置に位置決めした状態（図４（ａ）の位置）において、被加工面であるワークＷの上面Ｗ２の位置、具体的には一例として、ノズル６１の噴射口６１ａからワークＷの上面Ｗ２までの距離δ２（図４参照）を計測する装置である。
上面測定装置６は、図３に示すように、圧縮エアをワークＷの上面Ｗ２に噴射するノズル６１と、ノズル６１に圧縮エアを供給するエア供給路６２と、ノズル６１から噴射される圧力流体の圧力を計測する圧力計測器６３と、圧力計測器６３により計測された圧力からワークＷの上面Ｗ２の位置を求める圧力演算手段６４と、を備えている。
【００４２】
ノズル６１は、下方に向けて噴射口６１ａが開口するように主軸ヘッド１０３ｃに固定されている。かかる構成により、主軸ヘッド１０３ｃを主軸移動装置１０４により移動することで、ノズル６１と回転砥石１０５を一体として移動することができる。
このため、ワークＷの加工中は、回転砥石１０５の切り込み方向の送りに合わせてノズル６１を一体として移動させることができるため、研削加工中の計測が可能となる。一方、回転砥石１０５によるワークＷの加工完了後は、回転砥石１０５と一体としてノズル６１をワークＷから退避させることができるため、ワークＷの着脱を簡易迅速に実行することができる。
【００４３】
エア供給路６２は、主軸ヘッド１０３ｃに形成されている。ノズル６１には、圧縮エアを供給するエア供給路６２が連通され、エア源２６（図１参照）からエア供給路６２を通って圧縮エアが供給されるようになっている。このため、噴射口６１ａから噴射された圧縮エアは、ワークＷの上面Ｗ２に向けて垂直に噴射される。
【００４４】
圧力計測器６３は、ノズル６１からワークＷの上面Ｗ２に噴射された圧縮エアによるエア供給路６２の圧力（圧力変動）を計測する。圧力演算手段６４は、圧力計測器６３により計測された圧力からワークＷの上面Ｗ２の位置を演算し、ノズル６１の噴射口６１ａからワークＷの上面Ｗ２までの距離δ２を求める。
【００４５】
＜上面位置演算手段＞
上面位置演算手段７は、底面基準位置ｈ０からワークＷの上面Ｗ２までの高さｈ２を求める演算装置である。
ここで、底面基準位置ｈ０からノズル６１の噴射口６１ａまでの高さｚ２は、主軸装置１０３の計測原点位置（図４（ａ）の位置）から予め計測されて記憶手段（不図示）に保存された既知の数値である。
したがって、上面位置演算手段７は、圧力演算手段６４によりノズル６１の噴射口６１ａからワークＷの上面Ｗ２までの距離δ２が求められているため、底面基準位置ｈ０からワークＷの上面Ｗ２までの高さｈ２は、ｈ２＝ｚ２−δ２から求めることができる。
【００４６】
＜補正前切り込み量演算手段＞
図４（ｂ）の右側の図に示すように、補正前切り込み量ｔ１は、ワークＷの底面Ｗ１の位置による補正をかけない補正前の切り込み量であり、ワークＷの上面Ｗ２の位置Ｔ１のみから求めた切り込み量である。したがって、ワークＷが着座面４１ａに密着した状態で適正にクランプされていると仮定した場合には、適正な厚み寸法Ｔ０に加工することができる。
補正前切り込み量演算手段８１は、底面基準位置ｈ０からワークＷの上面Ｗ２までの高さｈ２からワークＷの適正な厚み寸法Ｔ０を減算して、補正前切り込み量ｔ１＝ｈ２−Ｔ０を求める。
【００４７】
＜補正切り込み量＞
図４（ｂ）の左側の図に示すように、補正切り込み量ｔ２は、ワークＷが着座面からｈ１だけ浮き上がった状態において、補正前切り込み量に対してワークＷの浮き上がり量ｈ１を補正した切り込み量である。
したがって、ワークＷが着座面４１ａから高さｈ１だけ浮き上がった状態において、補正前切り込み量ｔ１に対して、補正切り込み量ｔ２＝ｔ１−ｈ１である。
補正切り込み量演算手段８は、底面基準位置ｈ０との距離の増減（浮き上がり量＝高さｈ１）を補正前切り込み量ｔ１に増減（減算）して補正切り込み量ｔ２を求める。
【００４８】
続いて、本発明の実施形態に係る寸法管理装置１の動作について主として図３〜図５を参照しながら説明する。
立形研削盤１００は、作業者ＭがワークＷを座板４１にセットして起動ボタン（不図示）を押すと、制御装置１０６によりクランプ装置３を駆動してワークＷをクランプする（ステップＳ１）。立形研削盤１００は、主軸移動装置１０４により主軸装置１０３を移動して、計測原点位置（図４（ａ）参照）に主軸装置１０３および上面測定装置６を位置合わせする（ステップＳ２）。
【００４９】
寸法管理装置１は、底面測定装置４により、ノズル４２の噴射口４２ａからワークＷの底面Ｗ１までの距離δ１を計測し（ステップＳ３）、底面位置演算手段５により、底面基準位置ｈ０からワークＷの底面Ｗ１までの距離ｈ１を求める（ステップＳ４）。
寸法管理装置１は、上面測定装置６により、ノズル６１の噴射口６１ａからワークＷの上面Ｗ２までの距離δ２を計測し（ステップＳ５）、上面位置演算手段７により、底面基準位置ｈ０から上面Ｗ２までの距離ｈ２を求める（ステップＳ６）。
【００５０】
なお、本実施形態においては、ステップＳ３とＳ４を実行してから、ステップＳ５とＳ６を実行したが、これに限定されるものではなく、ステップＳ５とＳ６を実行してから、ステップＳ３とＳ４を実行してもよい。
【００５１】
寸法管理装置１は、補正前切り込み量演算手段８１により、補正前切り込み量ｔ１＝ｈ２−Ｔ０を求め（ステップＳ７）、補正切り込み量演算手段８により、補正切り込み量ｔ２＝ｔ１−ｈ１を求める（ステップＳ８）。
【００５２】
そして、立形研削盤１００は、寸法管理装置１により求めた補正切り込み量ｔ２を切り込み量として設定し、主軸移動装置１０４により主軸装置１０３をＺ軸方向に移動して、回転砥石１０５を回転させながら、回転砥石１０５がワークＷに接触した状態から補正切り込み量ｔ２だけ切り込んで加工する（ステップＳ９）。
【００５３】
ここで、回転砥石１０５がワークＷに接触して研削が開始された位置は、ノズル６１の噴射口６１ａと回転砥石１０５の下面との高さの差δ３（図４（ａ）参照）を予め計測して記憶しておくことで求めることができる。
【００５４】
つまり、回転砥石１０５がワークＷに接触した状態におけるワークＷの上面Ｗ２からノズル６１の噴射口６１ａまでの高さ（δ３に相当）を上面測定装置６（図３参照）により求める。そして、例えば、回転砥石１０５が図４（ａ）に示す位置から補正切り込み量ｔ２を設定する場合には、回転砥石１０５の下面からワークＷの上面Ｗ２までの高さｈ３＝δ２−δ３であるから、回転砥石１０５のＺ軸方向（図１参照）への送り量を「δ２−δ３＋ｔ２」に設定すればよい。
【００５５】
以上のように構成した本発明の実施形態に係る寸法管理装置１は、以下のような作用効果を奏する。
寸法管理装置１は、底面測定装置４および底面位置演算手段５により、非接触でワークＷが着座面４１ａに適正にクランプされたかどうかを判定し、ワークＷの着座面４１ａからの浮き上がり量を求め、補正切り込み量演算手段８により適正な補正切り込み量ｔ２を設定することで、ワークＷを適正寸法に効率よく加工することができるため、稼働率の低下を抑制して生産性を向上させることができる。
【００５６】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は前記した各実施形態に限定されず、適宜変更して実施することが可能である。
例えば、本実施形態においては、寸法管理装置１により求めた補正切り込み量ｔ２を切り込み量として設定して加工したが（ステップＳ８〜Ｓ９）、これに限定されるものではなく、補正切り込み量ｔ２＝ｔ１−ｈ１が予め設定した所定の閾値（浮き上がり量の限界値）以内であるかどうかを判断する判断手段を設けて、浮き上がり量の限界値を超えている場合にはランプやブザー等により作業者Ｍに警告して注意を喚起するようにしてもよい。
【００５７】
本実施形態においては、底面測定装置４および上面測定装置６として圧縮エアの噴射圧力を利用したエア圧力式を採用したが、これに限定されるものではなく、水圧や油圧を利用した液圧式の非接触計測装置を採用することもできる。
【符号の説明】
【００５８】
１      寸法管理装置
２      ワーク主軸
３      クランプ装置
４      底面測定装置（流体式ワーク底面測定装置）
５      底面位置演算手段
６      上面測定装置（流体式ワーク被加工面測定装置）
７      上面位置演算手段
８      補正切り込み量演算手段
２４    エア供給路
４１    座板
４１ａ  着座面
４１ｂ  空隙部
４２    ノズル
４３    圧力計測器
４４    圧力演算手段
６１    ノズル
６２    エア供給路
６３    圧力計測器
６４    圧力演算手段
８１    補正前切り込み量演算手段
１００  立形研削盤
１０３  主軸装置
１０４  主軸移動装置
１０５  回転砥石
Ｔ０    適正厚み寸法
Ｔ１    上面位置
Ｗ      ワーク
Ｗ１    底面
Ｗ２    上面（被加工面）
ｈ０    底面基準位置
ｈ１    底面基準位置からワーク底面までの高さ（適正距離との増減）
ｈ２    底面基準位置からワーク上面までの高さ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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