(57)【要約】【課題】電極の形状精度が高い太陽電池を製造し得る方法を提供する。【解決手段】第１の開口２１の第２の開口２２ａよりも一方向ｙの他方側に位置する下流側部分の第２の開口側端部である下流側端部２１ａ１は、第１の部分２３と、第２の部分２４とを含む。第１の部分２３は、印刷版２０の光電変換部１０とは反対側の第１の主面２０ａから光電変換部１０側の第２の主面２０ｂ側に向かって先細っている。第２の部分２４は、第１の部分２３よりも光電変換部１０側に位置している。第２の部分２４は、第１の部分２３の光電変換部１０側の先端における開口面積と等しい開口面積を有する。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光電変換部と、前記光電変換部の一主面上に配された電極とを備え、前記電極が一方向に延びるフィンガー電極部と、前記フィンガー電極部に電気的に接続されており、前記フィンガー電極部と交差しているバスバー部とを有する太陽電池の製造方法であって、
前記光電変換部の一主面の上に印刷版を配置する工程と、
前記印刷版の上に導電性ペーストを供給し、前記印刷版の上を、スキージを前記一方向の一方側から他方側に向けて移動させることにより前記電極を形成する工程と、
を備え、
前記印刷版は、前記フィンガー電極部を形成するための第１の開口と、前記バスバー部を形成するための開口であって、前記第１の開口と交差している第２の開口とを有し、
前記第１の開口の前記第２の開口よりも前記一方向の他方側に位置する下流側部分の前記第２の開口側端部である下流側端部は、前記印刷版の前記光電変換部とは反対側の第１の主面から前記光電変換部側の第２の主面側に向かって先細る第１の部分と、前記第１の部分よりも前記光電変換部側に位置しており、前記第１の部分の前記光電変換部側の先端における開口面積と等しい開口面積を有する第２の部分とを含む、太陽電池の製造方法。
【請求項２】
前記下流側端部の前記第１の主面における幅は、前記下流側部分の前記下流側端部以外の部分の前記第１の主面における幅と等しい、請求項１に記載の太陽電池の製造方法。
【請求項３】
前記下流側端部の前記第１の主面における幅は、前記下流側部分の前記下流側端部以外の部分の前記第１の主面における幅よりも狭い、請求項１に記載の太陽電池の製造方法。
【請求項４】
前記下流側端部の前記第１の主面における幅は、前記第２の開口側に向かって狭くなる、請求項３に記載の太陽電池の製造方法。
【請求項５】
前記第２の部分の厚み方向における長さは、前記第２の開口側にいくほど長くなる、請求項１〜４のいずれか一項に記載の太陽電池の製造方法。
【請求項６】
前記第２の部分の厚み方向における長さは、前記印刷版の厚み方向における長さの０．１倍〜０．６倍の範囲内にある、請求項１〜５のいずれか一項に記載の太陽電池の製造方法。
【請求項７】
前記第１の開口の前記第２の開口よりも前記一方向の一方側に位置する上流側部分の前記第２の開口側端部である上流側端部は、前記第１の主面側から前記第２の主面側に向かって先細る部分を有し、前記上流側端部の前記第１の主面における幅は、前記上流側部分の前記上流側端部以外の部分の前記第１の主面における幅よりも広い、請求項１〜６のいずれか一項に記載の太陽電池の製造方法。
【請求項８】
前記上流側端部の前記第１の主面における幅は、前記第２の開口側に向かって広くなる、請求項７に記載の太陽電池の製造方法。
【請求項９】
前記下流側部分の前記一方向に沿った長さは、前記上流側端部の前記一方向に沿った長さよりも長い、請求項７または８に記載の太陽電池の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、太陽電池の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、環境負荷が小さいエネルギー源として、太陽電池が大いに注目されている。太陽電池は、受光することにより電子や正孔などのキャリアを生成させる光電変換部と、光電変換部において生成したキャリアを収集する電極とを有している。このキャリアを収集するための電極としては、複数のフィンガー電極部と、それら複数のフィンガー電極部と交差しており、複数のフィンガー電極部を電気的に接続しているバスバーとを有する電極（以下、「くし型電極」とすることがある。）が広く用いられている。
【０００３】
くし型電極の形成方法としては、例えば、下記の特許文献１においてスクリーン印刷による形成方法が提案されている。特許文献１には、くし型電極形成用のスクリーン印刷版として、フィンガー電極部形成用の開口のうち、バスバー部形成用の開口に対する接続部の一方側部分の幅が他方側部分の幅よりも小さいスクリーン印刷版が提案されている。このスクリーン印刷版を用いて、他方側から一方側にスキージを移動させて電極の印刷を行うことにより、フィンガー電極部のバスバー部との接続部が他の部分よりも太くなることを抑制できる旨が特許文献１に記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第４３９１８０３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載のスクリーン印刷版では、フィンガー電極部形成用の開口の一部を他の部分よりも幅狭にする必要があるため、細いフィンガー電極部を形成しようとすると、その幅狭部の幅が小さくなりすぎる。このため、ペーストが幅狭部を通過しなくなる。従って、特許文献１に記載のスクリーン印刷版を用いたのでは、光電変換効率を高めるためにフィンガー電極部が細線化された太陽電池を好適に製造できないという問題がある。
【０００６】
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的は、電極の形状精度が高い太陽電池を製造し得る方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係る太陽電池の製造方法は、光電変換部と、光電変換部の一主面上に配された電極とを備え、電極が一方向に延びるフィンガー電極部と、フィンガー電極部に電気的に接続されており、フィンガー電極部と交差しているバスバー部とを有する太陽電池を製造する方法に関する。本発明に係る太陽電池の製造方法は、光電変換部の一主面の上に印刷版を配置する工程と、印刷版の上に導電性ペーストを供給し、印刷版の上を、スキージを一方向の一方側から他方側に向けて移動させることにより電極を形成する工程とを備える。印刷版は、第１の開口と、第２の開口とを有する。第１の開口は、フィンガー電極部を形成するための開口である。第２の開口は、バスバー部を形成するための開口である。第２の開口は、第１の開口と交差している。第１の開口の第２の開口よりも一方向の他方側に位置する下流側部分の第２の開口側端部である下流側端部は、第１の部分と、第２の部分とを含む。第１の部分は、印刷版の光電変換部とは反対側の第１の主面から光電変換部側の第２の主面側に向かって先細っている。第２の部分は、第１の部分よりも光電変換部側に位置している。第２の部分は、第１の部分の光電変換部側の先端における開口面積と等しい開口面積を有する。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、電極の形状精度が高い太陽電池を製造し得る方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明を実施した一実施形態に係る太陽電池の略図的平面図である。
【図２】電極を印刷する工程を表す略図的側面図である。
【図３】印刷版の略図的平面図である。
【図４】図３のＩＶ部分を拡大した略図的平面図である。
【図５】図４の線Ｖ−Ｖ部分の略図的断面図である。
【図６】図４の線ＶＩ−ＶＩ部分の略図的断面図である。
【図７】図４の線ＶＩＩ−ＶＩＩ部分の略図的断面図である。
【図８】比較例において形成される電極の構造を表す模式的平面図である。
【図９】第１の変形例に係る印刷版の一部分を表す略図的平面図である。
【図１０】第２の変形例に係る印刷版の一部分を表す略図的平面図である。
【図１１】第３の変形例に係る印刷版の一部分を表す略図的断面図である。
【図１２】第４の変形例に係る印刷版の一部分を表す略図的断面図である。
【図１３】第５の変形例に係る印刷版の一部分を表す略図的断面図である。
【図１４】第６の変形例に係る印刷版の一部分を表す略図的断面図である。
【図１５】第７の変形例に係る印刷版の一部分を表す略図的断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明を実施した好ましい形態について、図１に示す太陽電池１を例に挙げて説明する。但し、太陽電池１は、単なる例示である。本発明は、太陽電池１に何ら限定されない。
【００１１】
また、実施形態等において参照する各図面において、実質的に同一の機能を有する部材は同一の符号で参照することとする。また、実施形態等において参照する図面は、模式的に記載されたものであり、図面に描画された物体の寸法の比率などは、現実の物体の寸法の比率などとは異なる場合がある。図面相互間においても、物体の寸法比率等が異なる場合がある。具体的な物体の寸法比率等は、以下の説明を参酌して判断されるべきである。
【００１２】
（太陽電池１の構成）
図１に示すように、太陽電池１は、光電変換部１０を有する。光電変換部１０は、受光することによって電子や正孔などのキャリアを生成させる部材である。光電変換部１０は、例えば、一の導電型を有する結晶性半導体基板を有するものであってもよい。また、光電変換部１０は、一の導電型を有する結晶性半導体基板と、その結晶性半導体基板の一主面上に配されており、他の導電型を有する第１の非晶質半導体層と、結晶性半導体基板の他主面上に配されており、一の導電型を有する第２の非晶質半導体層とを有するものであってもよい。また、光電変換部１０は、ｎ型ドーパント拡散領域とｐ型ドーパント拡散領域とが表面に露出している半導体基板を有するものであってもよい。
【００１３】
光電変換部１０は、受光面１０ａと、裏面１０ｂとを有する。受光面１０ａの上には、電極１１が形成されている。図示は省略するが、裏面１０ｂの上にも、同様に電極が形成されている。裏面１０ｂの上に形成されている電極の形状は特に限定されない。裏面１０ｂの上に形成されている電極は、例えば、電極１１と実質的に同様の形状を有していてもよいし、面状に形成されていてもよい。
【００１４】
なお、電極の材質は、導電材料である限りにおいて特に限定されない。電極は、例えば、銀、銅、アルミニウム、チタン、ニッケル、クロムなどの金属や、それらの金属のうちの一種以上を含む合金により形成することができる。また、電極は、例えば、上記金属や合金からなる複数の導電層の積層体により構成されていてもよい。
【００１５】
電極１１は、複数のフィンガー電極部１２と、複数のバスバー部１３ａ、１３ｂとを有する。複数のフィンガー電極部１２のそれぞれは、ｙ方向に沿って延びている。複数のフィンガー電極部１２は、ｙ方向に垂直なｘ方向に沿って配列されている。バスバー部１３ａ、１３ｂは、複数のフィンガー電極部１２に電気的に接続されている。バスバー部１３ａ、１３ｂは、複数のフィンガー電極部１２と交差している。具体的には、本実施形態では、バスバー部１３ａ、１３ｂのそれぞれは、ｘ方向に沿って延びている。
【００１６】
（太陽電池１の製造方法）
次に、太陽電池１の製造方法について説明する。
【００１７】
まず、光電変換部１０を用意する。次に、図２に示すように、光電変換部１０の受光面１０ａの上に印刷版２０を配置する。その印刷版２０の上に導電性ペースト３１を供給し、印刷版２０の上をスキージ３０をｙ２側からｙ１側へと移動方向Ｆに沿って移動させることにより、導電性ペースト３１を印刷することにより、電極１１を形成する。同様にして裏面の上に形成されている電極も形成する。以上により、太陽電池１を完成させる。
【００１８】
なお、電極の形成に用いられる導電性ペーストは、電極を形成するための導電材料を含むものである限りにおいて特に限定されない。導電性ペーストは、例えば、導電性粒子が分散した樹脂からなるものであってもよい。
【００１９】
次に、上記電極１１の印刷工程において使用する印刷版２０の構成について、図３〜図７を参照しながら詳細に使用する。
【００２０】
図３に示すように、印刷版２０には、第１及び第２の開口２１，２２ａ、２２ｂが形成されている。第１の開口２１は、フィンガー電極部１２を形成するための開口である。このため、第１の開口２１は、ｙ方向に沿って延びるように複数形成されている。一方、第２の開口２２ａ、２２ｂは、バスバー部１３ａ、１３ｂを形成するための開口である。このため、第２の開口２２ａ、２２ｂは、ｘ方向に沿って延びており、複数の第１の開口２１と直交している。
【００２１】
第１の開口２１は、バスバー部１３ａ、１３ｂのｙ１側に位置する下流側端部２１ａ１，２１ａ２と、バスバー部１３ａ、１３ｂのｙ２側に位置する上流側端部２１ｂ１，２１ｂ２と、その他の部分２１ｃとを含む。本実施形態では、下流側端部２１ａ１，２１ａ２と、上流側端部２１ｂ１，２１ｂ２と、その他の部分２１ｃとでは、形状が相互に異なっている。下流側端部２１ａ１と下流側端部２１ａ２とは実質的に同様の形状を有する。このため、ここでは、下流側端部２１ａ１の形状を図６に示し、下流側端部２１ａ２に関しては、図６を援用することとする。また、上流側端部２１ｂ１と上流側端部２１ｂ２とも実質的に同様の形状を有する。このため、ここでは、上流側端部２１ｂ１の形状を図７に示し、上流側端部２１ｂ２に関しては、図７を援用することとする。
【００２２】
図５に示すように、その他の部分２１ｃは、ｚ方向に幅が一定となるように形成されている。すなわち、その他の部分２１ｃにおいては、ｚ方向のいずれの部分においても、幅がＷ１である。その他の部分２１ｃの幅は、ｙ方向においては一定である。
【００２３】
一方、下流側端部２１ａ１，２１ａ２は、第１の部分２３と、第２の部分２４とを有する。第１の部分２３は、印刷版２０の光電変換部１０とは反対側の第１の主面２０ａ側の部分に設けられている。第１の部分２３は、第１の主面２０ａから、光電変換部１０側の第２の主面２０ｂ側に向かって先細っている。すなわち、第１の部分２３の幅は、第１の主面２０ａから第２の主面２０ｂ側に向かって小さくなっている。具体的には、本実施形態では、第１の部分２３の幅は、第１の主面２０ａから第２の主面２０ｂ側に向かって、一次関数的に単調減少している。
【００２４】
第２の部分２４は、第１の部分２３よりも第２の主面２０ｂ側に位置している。本実施形態では、第２の部分２４は、第１の部分２３の第２の主面２０ｂ側先端から第２の主面２０ｂにまで至っている。第２の部分２４の幅は、ｚ方向において一定である。第２の部分２４の幅は、第１の部分２３の第２の主面２０ｂ側の先端における幅と等しい。このため、第２の部分２４の開口面積は、第１の部分２３の第２の主面２０ｂ側の先端における開口面積と等しい。なお、本実施形態において、第１の部分２３の第１の主面２０ａにおける幅Ｗ２は、その他の部分２１ｃの第１の主面２０ａにおける幅Ｗ１と等しい。
【００２５】
第１の部分２３のｚ方向に沿った長さは、印刷版２０の厚みの０．１倍〜０．６倍であることが好ましい。第２の部分２４のｚ方向に沿った長さは、印刷版２０の厚みの０．４倍〜０．９倍であることが好ましい。第２の部分２４のｚ方向に沿った長さは、第１の部分２３のｚ方向に沿った長さの０．８倍〜１．０倍であることが好ましい。
【００２６】
本実施形態では、下流側端部２１ａ１の幅は、ｙ方向において一定である。
【００２７】
上流側端部２１ｂ１は、第１の主面２０ａ側から第２の主面２０ｂ側に向かって先細っている部分を有する。本実施形態では、上流側端部２１ｂ１の全体が、第１の主面２０ａ側から第２の主面２０ｂ側に向かって先細っている。すなわち、上流側端部２１ｂ１の幅は、第１の主面２０ａから第２の主面２０ｂに向かって狭くなっている。本実施形態では、上流側端部２１ｂ１の第２の主面２０ｂにおける幅Ｗ５が、その他の部分２１ｃの幅Ｗ１と等しい。上流側端部２１ｂ１の第１の主面２０ａにおける幅Ｗ４は、その他の部分２１ｃの幅Ｗ１よりも広い。本実施形態では、上流側端部２１ｂ１の幅は、ｙ方向において一定である。
【００２８】
上流側端部２１ｂ１のｙ方向に沿った長さは、下流側端部２１ａ１のｙ方向に沿った長さよりも短い。
【００２９】
ところで、第１の開口の全体の幅がｚ方向において一定である印刷版を用いて電極の印刷を行うことも考えられる。しかしながら、その場合は、第１の開口の上流側端部及び下流側端部のそれぞれにおけるペーストの通過量が、その他の部分におけるペーストの通過量と異なる。具体的には、下流側端部におけるペーストの通過量は、その他の部分におけるペーストの通過量よりも多くなる。また、下流側端部におけるペーストの通過量は、第２の開口に近づくにつれて多くなる。一方、上流側端部におけるペーストの通過量は、その他の部分におけるペーストの通過量よりも少なくなる。また、上流側端部におけるペーストの通過量は、第２の開口に近づくにつれて少なくなる。よって、図８に示すように、フィンガー電極部１１２のバスバー部よりも上流側に位置している部分１１２ｂ１の幅は、バスバー部に近づくにつれて細くなる一方、バスバー部よりも下流側に位置している部分１１２ａ１の幅は、バスバー部に近づくにつれて太くなる。従って、フィンガー電極部を均一な幅で、高精度に形成することができない。
【００３０】
例えば特許文献１に記載の印刷版を用いた場合は、印刷版の上流側端部におけるペーストの通過量を多くできると共に、下流側端部におけるペーストの通過量を少なくすることができる。このため、形成されるフィンガー電極部の幅の均一性を高めることができる。しかしながら、フィンガー電極部の幅が細い場合は、下流側端部の幅を非常に細くする必要がある。このため、下流側端部におけるペーストの通過量が不所望に少なくなりすぎたり、極端な場合にはペーストが通過しなくなってしまったりする場合がある。このため、フィンガー電極部の幅が狭い太陽電池の製造に際し、特許文献１に記載の印刷版を使用すると、フィンガー電極部の断線や電気抵抗の増大が生じることがある。
【００３１】
それに対して、本実施形態では、下流側端部２１ａ１は、第１の主面２０ａから第２の主面２０ｂ側に向かって幅狭となる第１の部分２３と、開口面積が小さな第２の部分２４とを有する。このため、第２の部分２４を細くすることによって下流側端部２１ａ１におけるペーストの通過量を少なくすることができる。また、第２の部分２４を第１の主面２０ａから離れた位置に設け、かつ第１の主面２０ａにおける開口面積が大きい第１の部分２３を設けることによって、下流側端部２１ａ１におけるペーストの通過量を少なくした場合であっても、ペーストの通過量が不所望に少なくなりすぎたり、下流側端部２１ａ１が詰まってしまったりし難い。特に、第１の部分２３の第１の主面２０ａにおける幅Ｗ２を、その他の部分２１ｃの幅Ｗ１と等しくした場合は、ペーストの通過量が不所望に少なくなりすぎたり、下流側端部２１ａ１が詰まってしまったりさらにし難くなる。従って、本実施形態の印刷版２０を用いることにより、フィンガー電極部１２が細い場合であっても、高い形状精度でフィンガー電極部１２を形成することができる。
【００３２】
また、本実施形態では、上流側端部２１ｂ１は、第１の主面２０ａ側から第２の主面２０ｂ側に向かって先細る部分を有しており、かつ、上流側端部２１ｂ１の第２の主面２０ｂにおける幅Ｗ４が、その他の部分２１ｃの幅Ｗ１よりも大きい。このため、上流側端部２１ｂ１におけるペーストの通過量が増大されている。よって、フィンガー電極部１２のバスバー部１３ａ、１３ｂに対する上流側接続部が細くなることを抑制することができる。従って、フィンガー電極部１２をより高い形状精度で形成することができる。なお、幅狭になりがちな、フィンガー電極部のバスバー部に対する上流側接続部の長さは、幅広になりがちな、フィンガー電極部のバスバー部に対する下流側接続部の長さよりも短い。このため、上流側端部２１ｂ１の長さは、下流側端部２１ａ１の長さよりも短いことが好ましい。
【００３３】
以下、上記実施形態の変形例について説明する。以下の説明において、上記実施形態と実質的共通の機能を有する部材を共通の符号で参照し、説明を省略する。
【００３４】
以下の第１〜第７の変形例において説明する特徴は、単独で実施してもよいし、２つ以上を組み合わせて実施することもできる。例えば、太陽電池は、第１の変形例の特徴と第２の変形例の特徴との両方を満たしていてもよい。
【００３５】
（第１の変形例）
上記実施形態では、下流側端部２１ａ１の第１の主面２０ａにおける幅Ｗ２がその他の部分２１ｃの幅Ｗ１と等しい場合について説明したが、図９に示すように、幅Ｗ２を幅Ｗ１よりも狭くしてもよい。そうすることにより、フィンガー電極部のバスバー部に対する上流側接続部の幅が太くなることをより効果的に抑制することができる。
【００３６】
（第２の変形例）
上記実施形態では、上流側端部２１ｂ１，２１ｂ２及び下流側端部２１ａ１，２１ａ２のそれぞれにおいて幅がｙ方向に一定である例について説明した。但し、本発明は、この構成に限定されない。例えば、図１０に示すように、下流側端部２１ａ１、２１ａ２における幅Ｗ２が第２の開口２２ａ、２２ｂ側に向かって狭くなるようにしてもよい。そうすることにより、フィンガー電極部のバスバー部に対する上流側接続部の幅をより均一にすることができる。
【００３７】
また、上流側端部２１ｂ１、２１ｂ２における幅Ｗ４が第２の開口２２ａ、２２ｂ側に向かって広くなるようにしてもよい。そうすることにより、フィンガー電極部のバスバー部に対する下流側接続部の幅をより均一にすることができる。
【００３８】
（第３の変形例）
上記実施形態では、第２の部分２４のｚ方向における長さがｙ方向に一定である例について説明した。但し、本発明は、この構成に限定されない。例えば、図１１に示すように、第２の部分２４のｚ方向における長さは、第２の開口２２ａ、２２ｂ側にいくほど長くなるようにしてもよい。そうすることにより、フィンガー電極部のバスバー部に対する上流側接続部の幅をより均一にすることができる。
【００３９】
（第４の変形例）
上記実施形態では、上流側端部２１ｂ１、２１ｂ２の全体がｚ方向において第２の主面２０ｂ側に向かって先細る形状に形成されている例について説明した。但し、本発明は、この構成に限定されない。例えば、図１２に示すように、上流側端部２１ｂ１、２１ｂ２も、第２の主面２０ｂ側に向かって先細る第１の部分２３と、幅が一定である第２の部分２４とを有していてもよい。
【００４０】
（第５の変形例）
上記実施形態では、下流側端部２１ａ１、２１ａ２が、第１及び第２の部分２３，２４により構成されている例について説明した。但し、本発明は、この構成に限定されない。例えば、図１３に示すように、第２の部分２４よりも第２の主面２０ｂ側に、第２の主面２０ｂ側に向かって幅広となる第３の部分２５が設けられていてもよい。
【００４１】
（第６及び第７の変形例）
上記実施形態では、下流側端部２１ａ１、２１ａ２の第１の部分２３の幅が第２の主面２０ｂ側に向かって線形的に細くなる例について説明した。但し、本発明は、この構成に限定されない。例えば、図１４や図１５に示すように、下流側端部２１ａ１、２１ａ２の第１の部分２３の幅は、第２の主面２０ｂ側に向かって高次関数的に細くなっていてもよい。
【００４２】
また、上記実施形態では、バスバー部１３ａ、１３ｂのそれぞれが直線状である例について説明した。但し、本発明においては、バスバー部は、直線状である必要は必ずしもない。バスバー部は、例えば、ジグザグ形状に形成されていてもよい。
【００４３】
また、上記実施形態では、上流側端部２１ｂ１を第２の主面２０ｂ側に向かって先細る形状としたが、上流側端部は、上流側端部及び下流側端部以外の部分と同様に、ｚ方向に幅が均一なものであってもよい。
【００４４】
上記実施形態では、第１の部分２３の第１の主面２０ａにおける幅Ｗ２が、その他の部分２１ｃの幅Ｗ１と等しい例について説明したが、幅Ｗ２は、幅Ｗ１よりも大きくてもよい。その場合であっても、第２の部分２４が設けられているため、下流側端部２１ａ１におけるペーストの通過量が多くなりすぎることを抑制することができる。
【００４５】
また、上記実施形態では、その他の部分２１ｃは、ｚ方向に幅が一定である例について説明したが、本発明はこれに限られるものではない。
【符号の説明】
【００４６】
１…太陽電池
１０…光電変換部
１０ａ…受光面
１０ｂ…裏面
１１…電極
１２…フィンガー電極部
１３ａ、１３ｂ…バスバー部
２０…印刷版
２０ａ…第１の主面
２０ｂ…第２の主面
２１…第１の開口
２１ａ１，２１ａ２…下流側端部
２１ｂ１，２１ｂ２…上流側端部
２２ａ、２２ｂ…第２の開口
２３…第１の部分
２４…第２の部分
２５…第３の部分
３０…スキージ
３１…導電性ペースト
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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