(57)【要約】【課題】本発明は、スループットの高いディスク検査装置及びその検査方法を提供することにある。【解決手段】本発明は、カセット内に、一定のピッチを有し、直立状態でその中心が一直線上に配置されている複数のディスクを検査するディスク検査方法において、先端に前記ピッチで設けられた前記ディスクを支持する複数のコマを有する昇降アームを上昇又は下降させ、複数の前記コマに前記ディスクを支持し、前記昇降アームをさらに上昇又は下降させて、該ディスクを検査位置まで移動させ、前記ディスクを検査する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
カセット内に、一定のピッチを有し、直立状態でその中心が一直線上に配置されている複数のディスクを検査するディスク検査装置であって、
先端に前記ピッチで設けられた前記ディスクを支持する複数のコマを有する昇降アームと、
前記ディスクを検査する検査手段と、
前記昇降アームを昇降させる昇降駆動手段と、
該昇降手段の上昇又は降下によって前記ディスクを支持し、前記検査手段の位置まで移動させ、該ディスクを検査することを特徴とするディスク検査装置。
【請求項２】
請求項１に記載のディスク検査装置であって、
複数の前記コマは、前記ディスクの検査範囲が他の前記ディスク検査範囲と重ならないように前記昇降アームの昇降方向に等間隔で設けられていることを特徴とするディスク検査装置。
【請求項３】
請求項１に記載のディスク検査装置であって、
前記昇降アームは、複数の前記コマのうち少なくとも一つをさらに上昇又は降下させて、前記検査手段の位置まで移動させるコマ移動機構を有することを特徴とするディスク検査装置。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれかに記載のディスク検査装置であって、
前記コマ数に応じて複数の前記検出手段を設けることを特徴とするディスク検査装置。
【請求項５】
請求項４に記載のディスク検査装置であって、
複数の前記検出手段は、異なる検査項目を検査する該検出手段で構成されていることを特徴とするディスク検査装置。
【請求項６】
請求項１乃至３のいずれかに記載のディスク検査装置であって、
前記ディスクは、１枚毎或いは複数毎に表裏反転して前記カセット内に載置され、検査される前記ディスクの両側に前記検出手段を設けたことを特徴とするディスク検査装置。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれかに記載のディスク検査装置であって、
前記昇降アームを前記一直線に平行に前後進させる前後進駆動手段を有することを特徴とするディスク検査装置。
【請求項８】
請求項７に記載のディスク検査装置であって、
前記昇降駆動手段、前記前後進駆動手段のうち少なくとも一方は、アクチュエータとして電動スライダ又はエアシリンダを有することを特徴とするディスク検査装置。
【請求項９】
請求項１乃至６のいずれかに記載のディスク検査装置であって
前記カセットは、少なくとも前記昇降アームの先端に設けられた前記コマ数に応じた前記ディスクを載置し、前記カセットを前記一直線と垂直の方向に移動させるカセット移動を有することを特徴とするディスク検査装置。
【請求項１０】
請求項１乃至９のいずれかに記載のディスク検査装置であって、
前記検査手段は、前記ディスクの内径又は外径或いは前記ディスクに塗布されたレジスト膜の面ムラを検査することを特徴とするディスク検査装置。
【請求項１１】
カセット内に、一定のピッチを有し、直立状態でその中心が一直線上に配置されている複数のディスクを検査するディスク検査方法において、
先端に前記ピッチで設けられた前記ディスクを支持する複数のコマを有する昇降アームを上昇又は下降させ、複数の前記コマに前記ディスクを支持し、
前記昇降アームをさらに上昇又は下降させて、該ディスクを検査位置まで移動させ、
前記ディスクを検査することを特徴とするディスク検査方法。
【請求項１２】
請求項１１に記載のディスク検査方法であって、
次の前記ディスクを検査するために、前記一直線に平行に移動させることを特徴とするディスク検査方法。
【請求項１３】
請求項１１に記載のディスク検査方法であって、
次の前記ディスクを検査するために、前記カセットを前記一直線と垂直の方向に移動させることを特徴とするディスク検査方法。
【請求項１４】
請求項１１乃至１３のいずれかに記載のディスク検査方法であって、
前記検査は、前記ディスクの内径又は外径或いは前記ディスクに塗布されたレジスト膜の面ムラを検査することを特徴とするディスク検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ディスク検査装置及びその検査方法に係わり、特にスループットの高いディスク検査装置及びその検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ディスクホルダにディスクが等間隔に収納されたディスクを昇降させ、ディスクを検査するディスク検査装置がある。このような、装置として特許文献１に記載するものがある。
【０００３】
特許文献１に開示される内径測定装置は、ラインレーザを円板状基板の主表面に照射し、レーザセンサが取得した光量分布から円孔の内径を測定する。そのために、円板状基板を支持する基板ホルダを昇降させ、昇降中に円孔の内径を測定する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１２−５９３０７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に示すような従来の検査装置は、円板状基板(ディスク)を複数収納したカセットから円板状基板を１枚ずつ取り出して検査を行う。しかしながら、この方法ではカセットから円板状基板を取り出す回数が多く、時間がかかってしまう問題がある。この動作に時間がかかってしまうと、円板状基板(ディスク)検査装置のスループット低下を招いてしまう。
【０００６】
従って、本発明は、スループットの高いディスク検査装置及びその検査方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、上記を解決するために、少なくとも以下の特徴を有する。
本発明は、カセット内に、一定のピッチを有し、直立状態での中心が一直線上に配置されている複数のディスクを検査するディスク検査装置であって、先端に前記ピッチで設けられた前記ディスクを支持する複数のコマを有する昇降アームと、前記ディスクを検査する検査手段と、前記昇降アームを昇降させる昇降駆動手段と、該昇降手段の上昇又は降下によって前記ディスクを支持し、前記検査手段の位置まで移動させ、該ディスクを検査することを特徴とする。
【０００８】
また、本発明は、カセット内に、一定のピッチを有し、直立状態でその中心が一直線上に配置されている複数のディスクを検査するディスク検査方法において、先端に前記ピッチで設けられた前記ディスクを支持する複数のコマを有する昇降アームを上昇又は下降させ、複数の前記コマに前記ディスクを支持し、前記昇降アームをさらに上昇又は下降させて、該ディスクを検査位置まで移動させ、前記ディスクを検査することを特徴とする。
【０００９】
また、複数の前記コマは、前記ディスクの検査範囲が他の前記ディスク検査範囲と重ならないように前記昇降アームの昇降方向に等間隔で設けるとよい。
さらに、前記コマ数に応じて複数の前記検出手段を設けてもよい。
【００１０】
また、複数の前記検出手段は、異なる検査項目を検査する前記検出手段で構成してもよい。
さらに、前記ディスクは、１枚毎或いは複数毎に表裏反転して前記カセット内に載置され、検査される前記ディスクの両側に前記検出手段を設けてもよい。
【００１１】
また、前記カセットは、少なくとも前記昇降アームの先端に設けられた前記コマ数に応じた前記ディスクを載置し、前記カセットを前記一直線と垂直の方向に移動させてもよい。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、１回の動作で複数枚を取り出すことができるため、スループットの高いディスク検査装置及びその検査方法を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本実施形態におけるにディスク検査装置の側面構成図である。
【図２】図１において、ディスク検査装置を矢印Ａの方向から見た側面構成図である。
【図３】図１において、ディスクが検査部で検査されている状態を示す図である。
【図４】図２において、ディスクが検査部で検査されている状態を示す図である。
【図５】本実施形態の変形例1乃至変形例４を示す図である。
【図６】本実施形態の変形例５を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の実施形態について図を参照して説明する。本実施形態のディスク検査装置は、外径は全て同じディスク１０を２枚単位で検査部に搬送し、ディスクの表面を検査する装置である。図１は、本実施形態におけるディスク検査装置(以下、単に検査装置という)１の側面構成図である。図２は、図１において、検査装置１を矢印Ａの方向から見た側面構成図である。図３、図４は、それぞれ図１、図２に対応し、ディスク１０が検査部４で検査されている状態を示す図である。
【００１５】
検査装置１は、検査対象であるディスク１０を収納する収納部２と、収納部２から複数枚のディスク１０を一度に取出すディスク取り出し機構３、取出されたディスク１０を検査する検査部４とを有する。
【００１６】
収納部２は、複数枚のディスク１０を納めるカセット２０と、カセットを載置するフレーム３０とを備えている。カセット２０の底部及びその底部に対応するフレーム３０には、それぞれ、後述する昇降アーム４０を通過させることができる開口部２０ｋ、３０ｋを有する。カセット２０に収納されているディスク１０は、一定のピッチＬｐ毎に直立状態で配置され、それぞれの中心点が直線を形成するように並んでいる。
【００１７】
ディスク取り出し機構３は、フレーム３０の下部に設置されている。ディスク取り出し機構３は、ディスク１０を検査部４に搬送する昇降アーム４０と、昇降アームをｙ軸方向に昇降させる昇降用電動スライダ７０と、昇降アームをｘ軸方向に前後進させる前後進用電動スライダ８０とを有する。
【００１８】
昇降アーム４０の幅Ｗｃは、カセット２０の底面及びフレーム３０の開口部２０ｋ、３０ｋの幅Ｗｆ未満の幅を有している。昇降アーム４０の先端には、ディスク１０を受けるためのコマ５０ａが取り付けられており、その下方に一定の間隔を置いてコマ５０ｂが取り付けられている。
【００１９】
コマ５０(単にコマを示す時は、添え字を取り５０と示す)は、Ｖ字状の溝が設けられている。この溝の角度はディスク１０の外周のチャンファー角度よりも鈍角にする。これは、ディスク１０表面にコマ５０が触れないようにし、ディスク１０表面への搬送ダメージを軽減する。二つのコマ５０のx方向の間隔Ｌｃは、カセット２０におけるディスク１０のピッチＬｐ又はＬｐの整数倍である。
【００２０】
この構成を有する昇降アーム４０が上昇すると、２つのコマ５０によって２枚のディスクを支持し、持ちあげることができる。このように昇降用電動スライダ７０の１回の上昇動作で、カセット２０から２枚のディスクを取り出すことが可能になる。
【００２１】
２つのコマ５０の図３に示すy軸方向の間隔Ｌｈは検査項目に依存する。本実施形態ではディスクの表面を検査するため、２つのコマ５０に保持された２枚のディスク１０の検査領域が、検査部４の検査手段であるセンサ９０に対して重ならないようにする必要がある。そこで、２つのコマ５０のy軸方向の間隔Ｌｈは、ディスク１０の外径に等しい値とする。この状態を図３、図４に示す。図３ではディスク１０の表面を検査するセンサ９０の検出範囲を、模擬的に点線で示す。ディスク１０の検査領域が重ならないようにコマ５０を配置すれば、複数のディスク１０を連続的に計測することが可能となる。ディスク１０の計測が終わった後は、昇降用電動スライダ７０を下降させ、ディスク１０をカセット２０に格納する。その後、前後進用電動スライダ８０を駆動して、例えば昇降アーム４０を未検査のディスク１０の真下に位置するようにｘ方向に２Ｌｐ前進させる。この動作を繰り返すことにより、カセット内の全てのディスク１０を検査することができる。
【００２２】
上記で説明した検査装置の検査対象としては、前記ディスクの内径又は外径或いは前記ディスクに塗布されたレジスト膜の面ムラ等がある。
【００２３】
また、上記の実施形態では、収納部２に対して上側に検査部４を、下側にディスク取り出し機構３を設けたが、その逆の配置でもよい。その場合は、コマ５０にディスク１０をチャックする機構、又はコマ５０をＵ字形状とし、ディスク１０を下から支持するようにするとよい。
【００２４】
次に、変形例１乃至４を図５を用いて、変形例５を図６を用いて説明する。
(変形例１)
第１の変形例としてコマ５０の数を縦方向に増やすことである。センサ９０の検出距離の最大値Ｌｄまでコマ５０を増やすことが可能である。これにより、より多くのディスク１０を１回の昇降動作で検査することができ、さらにスループットを上げることができる。検出距離の最大値Ｌｄが小さい場合は、図５に破線で示すように、センサ９０をｘ方向に移動させるスライド機構を有するセンサ移動機構９１を設けてもよい。
【００２５】
(変形例２)
第２の変形例としてコマ５０の配置関係を変更することである。上記の実施の形態では複数のコマ５０の位置関係は固定されている。これは機構を単純にできるメリットがある。これとは異なり、取り出し動作の最初期では複数のコマ５０が同じ高さに配置されており、昇降アームを上昇させることでそれぞれのコマ５０がディスクの検査範囲が重ならない位置まで移動させる図５に斜線で示すコマ移動機構５１を設ける構造が考えられる。例えば、コマ移動機構５１を、内部小型モータ、小型モータに駆動されるボールネジ及びボールネジを摺動し、コマ５０に固定されたナットで構成する。これによって取り出し機構をコンパクトにできる。
【００２６】
なお、図５では、２つのコマのうち一方に設けたが、全てのコマにコマ移動機構５１を設け、検査するディスク１０のコマ５０のみ上昇させてもよい。
【００２７】
(変形例３)
第３の変形例として、図５に一点鎖線で示すように、ディスク１０の昇降方向に対してセンサ９０の数を増やすことである。また、カセット２０にディスク１０を１枚毎或いは複数毎に表裏反転して載置し、検査部４において表裏反転させた２枚のディスク１０を同時に検査できるように、図５に２点鎖線で示すように、ディスク１０の反対側にもセンサを設けてもよい。
これらの結果、さらにスループットを上げることができる。
また、２つのセンサ９０の種類を変えることで、より多くの項目の検査を行うことができる。
【００２８】
(変形例４)
第４の変形例としてアクチュエータの変更である。本実施例のアクチュエータはディスクの取り出し位置への移動と、センサ検出範囲までの昇降を行う機能があれば良い。エアシリンダを用いれば安価な構成にでき、電動スライダを用いれば詳細な駆動設定ができる。
【００２９】
(変形例５)
第５の変形例として、ディスクの収納形態の変更である。収納形態は昇降アームが出入りするスペースがあり、さらに複数のディスクが、一定のピッチを有し、直立状態でその中心が一直線上に並んで配置されていれば良い。例えば、図６に示すように、カセット２１に少なくとも昇降アーム４０の先端に設けられた前記コマ５０の数(図６では２個)に応じたディスク１０を載置する。このカセット２１を複数設け、前述の一直線と垂直の方向に順次カセット搬送手段２２でフレーム３０上の検査位置に移動させて、センサ９０によって検査する。実施例５においても、実施形態と同様にスループットを上げることができる。
【符号の説明】
【００３０】
１：ディスク検査装置(検査装置)          ２：収納部
３：ディスク取り出し機構                ４：検査部
１０：ディスク                          ２０、２１：カセット
２２：カセット搬送手段                  ３０：フレーム
４０：昇降アーム                        ５０、５０ａ、５０ｂ：コマ
５１：コマ移動機構５                    ７０：昇降用電動スライダ
８０：前後進用電動スライダ              ９０：センサ
９１：センサ移動機構
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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