(57)【要約】【課題】検査時間を短くすることの可能な流量検査方法を提供する。【解決手段】ＥＧＲ制御弁１０のガス流路１２を流通可能なＥＧＲガスの流量を検査する流量検査方法１００では、バルブ２０を所定の開度（θ）に設定した後、カメラ２によって撮影したバルブ２０の画像からガス流路１２の開口面積を検出する。そして検出されたガス流路１２の開口面積Ｓ（θ）、バルブ開度θに対応する流量係数η（θ）、並びに、バルブの前後差圧ΔＰ及び空気密度ρから算出される定数αに基づき、ガス流路１２を流通可能なＥＧＲガスの流量Ｑを算出する。この流量検査方法１００によれば、ＥＧＲ制御弁１０の流路にガス流路１２を流すことなく、また、ＥＧＲ制御弁１０のバルブ２０に前後差圧をかけることなく、流量Ｑを算出することが可能である。【選択図】図１
2014013198.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体制御弁（１０）の流路（１２）を流通可能な流体の流量をコンピュータ（３）を用いて検査する流量検査方法（１００）であって、
前記流体制御弁に通電し、前記流体制御弁の流路に設けられたバルブ（２０）を所定の開度に設定するバルブ開度設定工程（１０２）と、
バルブ撮影手段（２）を用いて、前記流体制御弁の前記流路を通じて前記バルブを撮影するバルブ撮影工程（１０３）と、
前記バルブ撮影行程によって撮影された前記バルブ及び前記流路の画像から前記流路の開口面積を検出する開口面積検出工程（１０４）と、
開口面積検出工程で検出された前記開口面積、バルブ開度に対応する流量係数、並びに、前記バルブの前後差圧及び空気密度から算出される定数に基づき、前記流路を流通可能な流体の流量を算出する流量算出工程（１０６）と、を含むことを特徴とする流量検査方法。
【請求項２】
前記コンピュータには、複数箇所のバルブ開度に対応する流量係数を予め記憶しておき、
前記流量算出工程では、前記コンピュータに予め入力された流量係数を読み出して流量を算出することを特徴とする請求項１に記載の流量検査方法。
【請求項３】
前記流量係数は、複数個の前記流体制御弁のサンプルを使用して実測された複数個所のバルブ開度における実測流量、並びに、前記定数は、前記バルブの前後差圧及び空気密度から算出されたものであることを特徴とする請求項２に記載の流量検査方法。
【請求項４】
前記コンピュータには、バルブ開度と流量係数との関係をあらわす関数を予め記憶しておき、前記流量算出工程では、前記コンピュータに予め入力された前記関数を用いて流量係数を算出することを特徴とする請求項１に記載の流量検査方法。
【請求項５】
前記関数は、複数個の前記流体制御弁のサンプルを使用して実測された複数個所のバルブ開度における実測流量、バルブ開口面積及び、前記バルブの前後差圧及び空気密度から算出される定数に基づいて定められたものであることを特徴とする請求項４に記載の流量検査方法。
【請求項６】
前記流体制御弁の前記流路を流通可能な流体の流量は、下記の式１から算出されることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載の流量検査方法。
【数１】
2014013198.tif 000005
但し、Ｑは流量（ｍ3／ｓ）、
η（θ）はバルブ開度θにおける流量係数、
Ｓ（θ）はバルブ開度θにおける流路の開口面積（ｍ2）、
ΔＰはバルブの前後差圧（ｋｇ／ｍ3）これは検査条件として決められており固定値、
ｔは温度（℃）、
ｐは大気圧（Ｐａ）、
ρ（ｔ，ｐ）は温度ｔ及び気圧ｐによって定まる空気密度（ｋｇ／ｍ3）である。
尚、製造工程が空調管理されている場合は温度一定すなわちルート内は一定値（定数）であるが、日々で温度変化が大きい環境の場合は流量検査設備に温度センサを設定して密度も補正（この場合定数αは毎日変化）する必要がある。
【請求項７】
前記バルブ開度設定工程では、バルブ開度に基づく信号を出力する回転角センサ（３０）の出力信号に基づき前記バルブを動作するモータ（４０）を駆動制御することで、前記バルブを所定の開度に設定することを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載の流量検査方法。
【請求項８】
前記流量算出工程で算出された流量が前記流体制御弁の規格値の範囲内にあるか否かを判定する判定工程（１０７）を含むことを特徴とする請求項１〜７のいずれか一項に記載の流量検査方法。
【請求項９】
流体制御弁に通電し、前記流体制御弁の流路に設けられたバルブを所定の開度に設定するバルブ開度設定手段（３）と、
前記流体制御弁の前記流路を通じて前記バルブを撮影するバルブ撮影手段（２）と、
前記バルブ撮影手段によって撮影された前記バルブの画像から前記流路の開口面積を検出する開口面積検出手段（３）と、
前記開口面積検出手段により検出された開口面積、バルブ開度に対応する流量係数、並びに、前記バルブの前後差圧及び空気密度から算出される定数に基づき、前記流路を流通可能な流体の流量を算出する流量算出手段（３）と、を備えることを特徴とする流量検査装置（１）。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体制御弁の流量検査装置および流量検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、エンジンに設けられた排ガス還流通路を流れるＥＧＲガスの流量を制御するＥＧＲ制御弁が知られている。ＥＧＲ制御弁を生産する際に行われる流量特性の検査では、ＥＧＲ制御弁の流路に所定圧の流体を流し、バルブ開度を設定した後、バルブの前後差圧が安定するのを待って、流路を流れる流体の流量を検査する。なお、バルブの前後差圧とは、バルブの上流側の流路の流体圧力と、バルブの下流側の流路の流体圧力との差圧である。
一方、特許文献１に記載のバルブ開口演算方法は、エンジンの運転時に、吸気通路を流れる吸気の流量をエアフローメータで検出する。そして、その検出された流量値と目標の流量値との差に基づき、スロットルバルブの汚れ及び詰まりによる吸気通路の開口面積の変化を演算し、スロットルバルブの開度を補正している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−２９９９８４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、ガソリンエンジンに用いられるＥＧＲ制御弁は、バルブ開度に対するＥＧＲガスの流量特性がエンジン出力などに大きく影響する。例えば、バルブが全閉状態のときにＥＧＲガスの洩れ流量が大きい場合、エンジンの始動不良またはラフアイドルになるおそれがある。また、バルブの所定開度に対しＥＧＲガスの流量特性がずれている場合、エンジンの出力が低下することが懸念される。そのため、ガソリンエンジンに用いられるＥＧＲ制御弁では、車両メーカよりバルブの全閉位置、全開位置のほか、複数のバルブ開度での流量スペック要求があるため複数のバルブ開度で流量検査を行う必要がある。
【０００５】
しかしながら、従来のＥＧＲ制御弁の流量特性の検査方法によれば、複数のバルブ開度で流量の検査を行うと、それぞれのバルブ開度において、バルブ開度を設定してからバルブの前後差圧が安定するまでの待ち時間が必要となる。したがって、ＥＧＲ制御弁の生産において、検査工程に要する時間工数が増加することが懸念される。
なお、特許文献１の方法においても、スロットルバルブを目標とする開度に設定した後、バルブの前後差圧が安定するまで、流路を流れる流体の流量が安定しないので、エアフローメータによる流量の検出に時間がかかることが懸念される。
【０００６】
本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、検査時間を短くすることの可能な流量検査方法および流量検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、流体制御弁の流路を流通可能な流体の流量を検査する流量検査方法において、バルブを撮影した画像から検出した流路の開口面積、バルブ開度に対応する流量係数、および所定の定数に基づき、流路を流通可能な流体の流量を算出することを特徴とする。
これにより、流体制御弁の流路に流体を流すことなく、また、流体制御弁のバルブに前後差圧をかけることなく、バルブの画像を画像処理することで検出した流路の開口面積などに基づき、流路を流通可能な流体の流量を算出することが可能になる。流体制御弁の流路に流体を流さないので、バルブを所定開度に設定してからバルブの前後差圧が安定するまでの待ち時間が無くなり、検査時間が短縮される。したがって、複数のバルブ開度で精度の高い流量検査を短時間で行うことが可能になるので、流体制御弁の生産効率を高めることができる。
【０００８】
また、本発明は、流量検査装置の発明として捉えることも可能である。
流量検査装置は、バルブ撮影手段によって流体制御弁の流路を撮影した画像から検出した流路の開口面積、バルブ開度に対応する流量係数、および所定の定数に基づき、流路を流通可能な流体の流量を算出する。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の一実施形態による流量検査装置の構成図である。
【図２】図１のＩＩ方向の矢視図である。
【図３】図１のＩＩＩ方向の矢視図である。
【図４】図１のＩＶ方向において、カバーを外した状態の矢視図である。
【図５】一実施形態の流量検査装置のカメラが撮影した画像の模式図である。
【図６】センサ出力と流量係数との関係を示すグラフである。
【図７】センサ出力と流量係との関係を示すグラフである。
【図８】一実施形態による流量検査方法のフローチャートである。
【図９】従来の流量検査方法におけるバルブ開度と流量との関係を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
（一実施形態）
本発明の一実施形態を図１〜図８に示す。本実施形態の流量検査装置１は、流体制御弁としてのＥＧＲ制御弁１０の流量特性を検査する装置である。ＥＧＲ制御弁１０とは、エンジンの排気通路と吸気通路とを連通する排ガス還流通路に設けられ、そこを流れるＥＧＲガスの流量を制御するものである。
【００１１】
（ＥＧＲ制御弁の構成）
まず、ＥＧＲ制御弁１０の構成を図１〜図４を参照して説明する。
ＥＧＲ制御弁１０は、ハウジング１１、バルブ２０、回転角センサ３０およびモータ４０などを備えている。
ハウジング１１は、ＥＧＲガスが流通可能なガス流路１２を有している。本実施形態のガス流路１２が特許請求の範囲に記載の「流路」に相当する。ガス流路１２は、バルブ２０の上流側に位置する導入ポート１３、及びバルブ２０の下流側に位置する導出ポート１５を形成している。導入ポート１３は、エンジンの排気通路に接続されるバイパス管１４と接続可能である。導出ポート１５は、エンジンの吸気通路に接続される合流管１６と接続可能である。
【００１２】
ハウジング１１のガス流路１２にバルブ２０が設けられる。バルブ２０の外周に設けられた溝にシールリング２１が嵌め込まれている。バルブ２０の閉弁時において、シールリング２１は、ガス流路１２の内壁に気密に当接する。
バルブ２０には、シャフト２２が接続されている。シャフト２２が軸周りに回転することで、バルブ開度が調整され、バルブ２０はガス流路１２の開口面積を変える。これにより、ガス流路１２を流れるＥＧＲガスの流量が制御される。
【００１３】
バルブ２０の開度は、回転角センサ３０によって検出される。回転角センサ３０は、シャフト２２と共に回転するバルブギヤ２３に設けられた２個の磁石３１、３２、および、ハウジングカバー１９に固定されたホールＩＣ３３などの磁気検出素子から構成される。ホールＩＣ３３は、２個の磁石３１，３２の磁界の向きを非接触で検出する。ＥＧＲ制御弁１０が車両に搭載された際、ホールＩＣ３３から出力される電圧信号は、コネクタ１７から図示しない車両のＥＣＵ（電子制御装置）に伝送される。
【００１４】
ハウジング１１が有するモータケース１８の内側には、モータ４０が設けられる。モータ４０は、例えばＤＣモータであり、コネクタ１７からの通電により回転駆動する。モータ４０の出力軸４１に設けられたピニオンギヤ４２に、中間ギヤ４３の第１歯車４４が噛合っている。中間ギヤ４３は、第１歯車４４よりも外径の小さい第２歯車４５がバルブギヤ２３に噛合っている。バルブギヤ２３は、バルブ２０が接続するシャフト２２と共に回転する。
【００１５】
コネクタ１７からモータ４０に通電されると、モータ４０のトルクは、ピニオンギヤ４２、中間ギヤ４３、バルブギヤ２３を経由してシャフト２２に伝達される。そのため、バルブ２０は、リターンスプリング４６の付勢力に抗し、シャフト２２の軸を回転軸として開弁方向に回転する。一方、モータ４０への通電が停止されると、バルブ２０は、リターンスプリング４６の付勢力により、閉弁方向に回転する。
【００１６】
（流量検査装置の構成）
次に、上述したＥＧＲ制御弁１０の流量特性を検査する流量検査装置１について説明する。
図１に示すように、流量検査装置１は、カメラ２、コンピュータ３およびモニタ４などから構成される。
なお、本実施形態のカメラ２が、特許請求の範囲に記載の「バルブ撮影手段」に相当する。
また、本実施形態のコンピュータ３は、特許請求の範囲に記載の「バルブ開度設定手段」、「開口面積検出手段」、「流量算出手段」および「判定手段」として機能する。
【００１７】
ＥＧＲ制御弁１０の流量特性の検査では、コンピュータ３の指令により、バルブ２０は所定の開度に開弁する。このとき、コンピュータ３は、バルブ開度設定手段として機能し、回転角センサ３０から伝送される出力信号に基づき、例えばＰＩＤ制御によってモータ４０への通電を指示することで、バルブ２０を所定の開度に設定する。
【００１８】
カメラ２は、ＥＧＲ制御弁１０の導入ポート１３の中心軸線上に設けられ、導入ポート１３からバルブ２０を撮影する。カメラ２によって撮影された画像データは、コンピュータ３に伝送される。
コンピュータ３は、開口面積検出手段として機能し、カメラ２から伝送された画像データを画像処理し、ガス流路１２の開口面積を検出する。図５では、カメラ２から伝送された画像データを模式的に示している。図５において、バルブ２０は、コンピュータ３によって指示された所定の開度で開弁している。このときのガス流路１２の開口面積は、一点鎖線のハッチによって示された面積Ａ，Ｂの和である。
【００１９】
さらにコンピュータ３は、流量算出手段として機能し、下記の式１を用いて、所定のバルブ開度における、ガス流路１２を流通可能なＥＧＲガスの流量を算出する。
【数１】
2014013198.tif 000003
ここで、Ｑは流量（ｍ3／ｓ）、
η（θ）はバルブ開度θにおける流量係数、
Ｓ（θ）はバルブ開度θにおける流路の開口面積（ｍ2）、
ΔＰはバルブの前後差圧（ｋｇ／ｍ3）、
ｔは温度（℃）、
ｐは大気圧（Ｐａ）、
ρ（ｔ，ｐ）は温度ｔ及び気圧ｐによって定まる空気密度（ｋｇ／ｍ3）である。
【００２０】
バルブの前後差圧ΔＰ、温度ｔ、大気圧、および空気密度ρは、ＥＧＲ制御弁１０の流量特性の検査条件や検査環境に応じて設定できる。そのため、これらの設定された数値から算出される定数をαとすると、定数αは、下記の式２であらわされる。
【数２】
2014013198.tif 000004
この定数αは、コンピュータ３に予め入力されている。
【００２１】
また、流量係数η（θ）も、複数箇所のバルブ２０の開度θに対応してコンピュータ３に予め入力されている。その流量係数η（θ）は、複数個のＥＧＲ制御弁１０のサンプルを使用して実測された実測流量から、式１を用いて算出された数値である。
具体的に、流量係数η（θ）は、以下の方法で算出される。
まず、複数個のＥＧＲ制御弁１０のサンプルを使用して、バルブ２０の開度θが回転角センサ３０のセンサ出力Ｖ１〜Ｖ４となるように設定し、ＥＧＲ制御弁１０のガス流路１２に所定の空気密度ρのガスを流す。そしてバルブ２０の前後差圧ΔＰが例えば６．７ｋＰａに安定するのを待って、図示しないフローベンチ（流量測定装置）などを使用し、流量Ｑ１〜Ｑ４を実測する。
次に、フローベンチで実測された流量Ｑ１〜Ｑ４、バルブ開度θに応じた開口面積Ｓ（θ）、実測に用いたガスの空気密度ρ、およびバルブ２０の前後差圧ΔＰから算出される定数αと上述の式１を用いて流量係数η（θ）を算出する。なお、流路の開口面積Ｓ（θ）は、カメラ２によって撮影した画像データを解析した開口面積を用いる。
【００２２】
このようにして算出された、センサ出力Ｖ１〜Ｖ４と、流量係数η１〜η４との関係の一例を図６に示す。このようにして、複数箇所のバルブ２０の開度θ（即ち、センサ出力Ｖ１〜Ｖ４）に対応した流量係数η（θ）をコンピュータ３に予め入力しておくことが可能である。
また、コンピュータ３には、例えば図６のグラフに基づいて設定された、バルブ２０の開度（即ち、センサ出力）と流量係数との関係をあらわす関数を入力しておくことも可能である。
【００２３】
コンピュータ３によって算出された流量は、モニタ４に表示される。また、コンピュータ３は、判定手段として機能し、その流量がＥＧＲ制御弁１０の規格値の範囲内にあるか否かを判定し、その結果をモニタ４に表示する。
図７に示すように、コンピュータ３には、ＥＧＲ制御弁１０の規格値が予め入力されている。図７の破線Ｃと破線Ｄとは、基準値Ｅに対して所定の許容値をもって設定されている。
コンピュータ３は、所定のバルブ開度に対する流量が、図７の破線Ｃと破線Ｄとの間に入っていれば、検査対象としたＥＧＲ制御弁１０が規格値の範囲内にあると判断する。一方、コンピュータ３は、所定のバルブ開度に対する流量が、図７の破線Ｃと破線Ｄとの間に入っていなければ、検査対象としたＥＧＲ制御弁１０が規格値の範囲内にないと判断する。
【００２４】
（流量検査方法）
続いて、流量検査装置１が行う流量検査方法１００について、図８のフローチャ−トを参照して説明する。
まず、流量検査開始１０１において、検査対象とするＥＧＲ制御弁１０を流量検査装置１にセットする。そして、ＥＧＲ制御弁１０のモータ４０に通電し、バルブ２０をデフォルト位置にスタンバイする。なお、本実施形態のＥＧＲ制御弁１０のデフォルト位置は、全閉位置である。
【００２５】
バルブ開度設定工程１０２では、コンピュータ３は、例えばＰＩＤ制御によって、回転角センサ３０から伝送される出力信号に基づき、バルブ２０を所定の開度θに開弁する。なお、バルブ全閉位置での流量検査を行う場合、バルブ開度はデフォルト位置のまま維持される。
【００２６】
バルブ撮影工程１０３では、カメラ２により、導入ポート１３からバルブ２０を撮影する。カメラ２は、その画像データをコンピュータ３に伝送する。
開口面積検出行程１０４で、コンピュータ３は、カメラ２から伝送された画像データを画像処理し、ガス流路１２の開口面積Ｓ（θ）を検出する。
【００２７】
流量係数及び定数読み出し工程１０５で、コンピュータ３は、バルブ２０の開度に対応する流量係数η（θ）、および定数αをコンピュータ３のメモリから読み出す。
なお、コンピュータ３は、バルブ２０のバルブ開度θと流量係数ηとの関係をあらわす関数がメモリに記憶されている場合、その関数を読み出して、バルブ２０の開度に対応する流量係数η（θ）を算出する。
【００２８】
流量算出行程１０６で、コンピュータ３は、上述した式１を用いて、所定のバルブ開度θにおける、ガス流路１２を流通可能なＥＧＲガスの流量を算出する。
判定工程１０７で、コンピュータ３は、算出された流量Ｑと、ＥＧＲ制御弁１０の規格値とを比較する。
コンピュータ３は、図７に示すグラフに基づき、所定のバルブ開度に対する流量Ｑが、ＥＧＲ制御弁１０の規格値の範囲内（破線Ｃと破線Ｄとの間）にある場合、モニタ４にＯＫ判定を表示する。一方、コンピュータ３は、所定のバルブ開度に対する流量が、ＥＧＲ制御弁１０が規格値の範囲内（破線Ｃと破線Ｄとの間）にない場合、モニタ４にＮＧ判定を表示する。
【００２９】
（従来の流量検査方法）
ここで、従来の流量検査方法について説明する。
従来の流量検査方法では、検査対象となるＥＧＲ制御弁の流路に所定圧の流体（空気）を実際に流し、その流体の流量を測定する。
【００３０】
具体的に説明すると、従来の流量検査方法における第１工程では、バルブ全閉状態でＥＧＲ制御弁の流路に所定のバルブ前後差圧を印加する。
次に、第２工程で、コンピュータは、ＰＩＤ制御によって、回転角センサから伝送される出力信号に基づき、バルブを所定の開度に設定バルブを開き流体を流す。
【００３１】
このときのバルブ開度と流量との関係を図９に示す。図９では、バルブ開度（センサ出力）を実線Ｆに示し、流路を流れる流量を実線Ｇに示している。
上述した第２工程で、コンピュータからバルブ開度を変更する指示がされると、バルブ開度は、時刻ｔ１からｔ２の間にＶ１からＶ２に変化する。
しかし、時刻ｔ１から時刻ｔ３の間、バルブの前後差圧が安定せず、流路を流れるガスの流量も安定しない。バルブの前後差圧は時刻ｔ３以降に安定する。
第３工程では、時刻ｔ３以降、フローベンチなどを使用し、流路を流れるガスの流量を測定する。フローベンチで測定した流量は、コンピュータに入力される。
【００３２】
そして、第４工程で、コンピュータは、算出された流量と、ＥＧＲ制御弁の規格値とを比較する。コンピュータは、所定のバルブ開度に対する流量がＥＧＲ制御弁の規格値の範囲内にある場合、ＯＫ判定をする。一方、コンピュータは、所定のバルブ開度に対する流量が、ＥＧＲ制御弁が規格値の範囲内にない場合、ＮＧ判定をする。
このように、従来の流量検査方法では、コンピュータからバルブ開度を変更する指示がされた時刻ｔ１から、フローベンチが流量を検出開始する時刻ｔ３までの時間が長くなる。そのため、ＥＧＲ制御弁の生産において、検査工程に要する時間工数が増加することが懸念される。
【００３３】
（本実施形態の作用効果）
これに対し、本実施形態では、以下の作用効果を奏する。
（１）本実施形態では、流量検査装置１は、カメラ２によってＥＧＲ制御弁１０のガス流路１２を撮影した画像から検出した流路の開口面積Ｓ（θ）、バルブ２０の開度θ（即ちセンサ出力Ｖ）に対応する流量係数η（θ）、および所定の定数αに基づき、ガス流路１２を流通可能なＥＧＲガスの流量Ｑを算出する。これにより、ＥＧＲ制御弁１０のガス流路１２にガスを流すことなく、また、ＥＧＲ制御弁１０のバルブ２０に前後差圧ΔＰをかけることなく、ガス流路１２を流通可能なガスの流量Ｑを算出することが可能になる。
そのため、本実施形態の流量検査方法１００では、従来の流量検査方法ようなバルブ２０を所定開度に設定してからバルブ２０の前後差圧が安定するまでの待ち時間（時刻ｔ１〜ｔ３）が無くなり、検査時間が短縮される。したがって、複数のバルブ開度で精度の高い流量検査を短時間で行うことが可能となり、ＥＧＲ制御弁１０の生産効率を高めることができる。
【００３４】
（２）本実施形態では、複数箇所のバルブ２０の開度に対応する流量係数η（θ）がコンピュータ３に予め入力されている。これにより、流量検査装置１は、複数個所のバルブ開度における流量検査を短時間で行うことができる。
（３）本実施形態では、複数個のＥＧＲ制御弁１０のサンプルを使用して実測された複数個所のバルブ開度における実測流量、カメラで撮影した流路の開口面積Ｓ（θ）、バルブ２０の前後差圧ΔＰ、温度ｔ、大気圧、及び空気密度ρから算出する定数αより流量係数η（θ）を算出する。これにより、流量検査装置１は、正確な流量係数を用いて、精度の高い流量検査を短時間で行うことができる。
【００３５】
（４）本実施形態では、バルブ開度と流量係数η（θ）との関係をあらわす関数をコンピュータ３に予め入力しておき、その関数を用いて流量係数η（θ）を算出してもよい。これにより、流量検査装置１は、任意のバルブ開度で流量検査を短時間で行うことができる。
【００３６】
（５）本実施形態では、ガス流路１２を流通可能なガスの流量Ｑを上述の式１から算出する。これにより、流量検査装置１は、画像処理により検出したガス流路１２の開口面積Ｓ（θ）に基づき、精度の高い流量検査を短時間で行うことができる。
【００３７】
（他の実施形態）
上述した実施形態では、ＥＧＲ制御弁１０の流量特性を検査する流量検査装置１について説明した。これに対し、他の実施形態では、流量検査装置は、流体の流量を制御する種々の流体制御弁の流量特性を検査する装置とすることが可能である。また、流量検査方法は、流体の流量を制御する種々の流体制御弁の流量特性を検査する方法とすることが可能である。
上述した実施形態では、ＥＧＲ制御弁１０の導入ポート１３の中心軸線上にカメラ２を設け、そのカメラ２によって導入ポート１３からバルブ２０を撮影した。これに対し、他の実施形態では、ＥＧＲ制御弁の導出ポートの中心軸線上にカメラを設け、導出ポートからバルブを撮影してもよい。
本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲において、種々の形態で実施することができる。
【符号の説明】
【００３８】
２    ・・・カメラ（バルブ撮影手段）
３    ・・・コンピュータ
１０  ・・・ＥＧＲ制御弁（流体制御弁）
１２  ・・・ガス流路（流路）
２０  ・・・バルブ
１０２・・・バルブ開度設定工程
１０３・・・バルブ撮影工程
１０４・・・開口面積検出工程
１０６・・・流量算出工程
【図１】
2014013198.tif 000006
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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