(57)【要約】【課題】下位位相信号のエンコードにおけるエラーの発生を低減することができるAD変換回路および固体撮像装置を提供する。【解決手段】検出回路107は、クロック生成部から出力される複数の下位位相信号を、所定の時間間隔で順に立ち上がる、または、所定の時間間隔で順に立ち下がる信号群となるように並べたときの当該信号群の順番と同じ順番になるように、ラッチ部108にラッチされた複数の下位位相信号を並べた後の信号群におけるn（nは、2以上の自然数）個の下位位相信号の論理状態を検出する第1の検出動作を、n個の下位位相信号を所定の順番で選択しながら行い、第1の検出動作においてn個の下位位相信号の論理状態が所定の論理状態であることを検出したときに状態検出信号を出力する。また、検出回路107は、第1の検出動作において、n連続ではないn個の下位位相信号の論理状態を検出する第2の検出動作を少なくとも1回は行う。【選択図】図２
2014033362.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
時間の経過とともに増加または減少する参照信号を生成する参照信号生成部と、
AD変換の対象となるアナログ信号と前記参照信号とを比較し、前記参照信号が前記アナログ信号に対して所定の条件を満たしたタイミングで比較処理を終了する比較部と、
互いに接続された複数の遅延ユニットからなる遅延回路を有し、前記遅延回路の出力信号に基づく複数の下位位相信号を出力するクロック生成部と、
前記比較処理の終了に係るタイミングで前記複数の下位位相信号をラッチするラッチ部と、
前記複数の下位位相信号のいずれかに基づく信号をカウントクロックとしてカウントを行って上位計数値を取得するカウンタ回路を有する計数部と、
前記カウンタ回路がカウントクロックの立上りと立下りのどちらを基準にカウントを行うのかに応じて、前記比較処理の間に前記クロック生成部から出力される前記複数の下位位相信号を、所定の時間間隔で順に立ち上がる、または、所定の時間間隔で順に立ち下がる信号群となるように並べたときの当該信号群の順番と同じ順番になるように、前記ラッチ部にラッチされた前記複数の下位位相信号を並べた後の信号群におけるn（nは、2以上の自然数）個の前記下位位相信号の論理状態を検出する第1の検出動作を、n個の前記下位位相信号を所定の順番で選択しながら行い、前記第1の検出動作においてn個の前記下位位相信号の論理状態が所定の論理状態であることを検出したときに状態検出信号を出力する検出回路、および前記検出回路から出力される前記状態検出信号に基づいてエンコードを行うエンコード回路を有するエンコード部と、
を有し、
前記検出回路は、前記第1の検出動作において、n連続ではないn個の前記下位位相信号の論理状態を検出する第2の検出動作を少なくとも1回は行うことを特徴とするAD変換回路。
【請求項２】
前記ｎは3であり、
前記検出回路は、前記ラッチ部にラッチされた前記複数の下位位相信号を並べた後の信号群における連続する2個の前記下位位相信号と、当該2個の前記下位位相信号のいずれとも連続しない1個の前記下位位相信号との論理状態を検出する前記第2の検出動作を少なくとも1回は行う
ことを特徴とする請求項1に係るAD変換回路。
【請求項３】
光電変換素子を有し、画素信号を出力する画素が複数、行列状に配置された撮像部と、
前記画素信号に応じたアナログ信号が入力される請求項1または請求項2に係るAD変換回路と、
を有し、
前記AD変換回路が有する前記比較部、前記ラッチ部、前記計数部、および前記エンコード部は、前記撮像部の画素の配列の1列毎または複数列毎に設けられている
ことを特徴とする固体撮像装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、AD変換回路、およびこのAD変換回路を備えた固体撮像装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
TDC（=Time to Digital Converter）型AD変換回路を用いた固体撮像装置の一例として、特許文献1，2に記載の構成が知られている。図11は、所謂『非対称型発振回路』と呼ばれる発振回路をAD変換回路のVCO（=Voltage Controlled Oscillator）として用いた場合のTDC型AD変換回路の構成の一部を抜粋して示している。初めに、図11の回路の構成および動作について説明する。
【０００３】
図11に示す回路は、VCO1100、ラッチ部1108、計数部1105、検出回路1107、およびエンコード回路1106で構成されている。VCO1100は、17個の遅延ユニット（NAND回路NAND[0]〜NAND[16]）がリング状に接続された発振回路を有する。ラッチ部1108はVCO1100の出力信号（下位位相信号CK[0]〜CK[16]）をラッチする。計数部1105は、ラッチ部1108を通して出力されるNAND回路NAND[15]からの下位位相信号CK[15]をカウントクロックとしてカウント（計数）を行うカウンタ回路を有する。尚、計数部1105は下位位相信号CK[15]の立上りエッジでカウントを行う。検出回路1107は、ラッチ部1108にラッチされた下位位相信号CK[0]〜CK[16]に基づいて所定の論理状態を検出する。エンコード回路1106は、検出回路1107が検出した論理状態を2進数にエンコードする。
【０００４】
VCO1100を構成するNAND回路NAND0の一方の入力端子にはスタートパルスStartPが入力され、他方の入力端子にはNAND回路NAND[16]の出力信号が入力される。NAND回路NAND[1]〜NAND[15]の一方の入力端子には電源電圧VDDが入力され、他方の入力端子には前段のNAND回路の出力信号が入力される。AD変換回路の動作期間中、電源電圧VDDはハイレベルに設定される。NAND回路NAND[16]の一方の入力端子にはNAND回路NAND[13]の出力信号が入力され、他方の入力端子には前段のNAND回路NAND[15]の出力信号が入力される。NAND回路NAND[13]の出力信号は、1段後のNAND回路NAND[14]に加えて、3段後のNAND回路NAND[16]に入力される。
【０００５】
次に、図11に示す回路の動作について説明する。図12はスタートパルスStartPおよびVCO1100の出力信号（下位位相信号CK[0]〜CK[16]）の波形を示している。まず、スタートパルスStartPの論理状態がL（Low）状態からH（High）状態に変化することで、VCO1100が遷移動作を開始する。この遷移動作では、VCO1100を構成するそれぞれのNAND回路が出力する信号の論理状態が順に変化する。VCO1100が遷移動作を開始すると同時に計数部105がカウントを開始し、参照信号生成部（図示せず）がランプ波（参照信号）の生成を開始する。参照信号生成部が生成するランプ波は、時間の経過とともにレベルが一方向に増加または減少する信号である。
【０００６】
AD変換の対象となるアナログ信号とランプ波とが比較部（図示せず）に入力される。これと並行して、下位位相信号CK[0]〜CK[16]はラッチ部1108に入力され、下位位相信号CK[15]はラッチ部1108を通して計数部105に入力される。比較部に入力される2つの入力信号の大小関係が入れ替わると、比較部の比較出力COが反転する。この時点で、ラッチ部1108は、下位位相信号CK[0]〜CK[15]に応じた論理状態をラッチし、計数部105はカウント値（上位計数値）をラッチする。ラッチ部1108にラッチされた下位位相信号は、検出回路1107およびエンコード回路1106によってエンコード（2進化）されることでデジタルデータの下位データとなり、計数部1105にラッチされた上位計数値はデジタルデータの上位データとなる。これにより、アナログ信号のレベルに対応したデジタルデータが得られる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開2008-92091号公報
【特許文献２】特開2009-38726号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、TDC型AD変換回路およびそれを用いた固体撮像装置には以下に示す課題がある。以下では、ラッチ部1108が保持する信号（下位位相信号）が16bitのデータ信号であり、計数部105が保持するカウント値（上位計数値）が8bitのデータ信号であるものとして説明する。
【０００９】
下位位相信号のエンコードでは、フラッシュ型ADCに用いられる多値比較（連続するｎ個、例えば3個の下位位相信号の論理状態が所定の状態であるかどうかを検出すること）を、比較対象の下位位相信号を変更しながら時系列に実施することが好適である。具体的には、3個の下位位相信号の論理状態が所定の論理状態、例えば“001”（L状態、L状態、H状態）であることを検出する方法を時系列に行うことである。このエンコード方法を、図11に示す非対称型発振回路を用いたTDC型AD変換回路に適用してみる。
【００１０】
ラッチ部1108にラッチされた下位位相信号CK[0]〜CK[16]の状態（下位位相信号CK[0]〜CK[16]のそれぞれの論理状態の組合せ）は、図12に示すように、例えば状態0〜状態15の全16状態となる。計数部105が下位位相信号CK[15]の立上りエッジでカウントを行う場合、計数部105が1カウントを行う期間（下位位相信号CK[15]の立上りエッジから次の立上りエッジまでの期間）を16等分した各期間における下位位相信号CK[0]〜CK[15]の論理状態の組合せが状態0〜状態15となる。状態0〜状態15は、エンコード結果であるエンコード値0〜15に対応している。
【００１１】
以下、3個の下位位相信号の論理状態が所定の論理状態（本例では“001”）であることを検出する処理の内容について説明する。図13はスタートパルスStartPおよびVCO1100の出力信号（下位位相信号CK[0]〜CK[16]）の波形を示している。図13では、図12に示した下位位相信号CK[0]〜CK[16]が、所定の時間間隔で順に立ち上がる（L状態からH状態に変化する）信号群となるように並べられている。具体的には、下位位相信号CK[0]，CK[2]，CK[4]，CK[6]，CK[8]，CK[10]，CK[12]，CK[14]，CK[1]，CK[3]，CK[5]，CK[7]，CK[9]，CK[11]，CK[13]，CK[15]の順番で各下位位相信号が並べられている。
【００１２】
図13に示すように、下位位相信号CK[0]がL状態からH状態に変化してから所定の時間（NAND回路2個分の遅延時間に相当）が経過すると、下位位相信号CK[2]がL状態からH状態に変化する。下位位相信号CK[2]がL状態からH状態に変化してから所定の時間（NAND回路2個分の遅延時間に相当）が経過すると、下位位相信号CK[4]がL状態からH状態に変化する。以降、同様に、下位位相信号CK[6]，CK[8]，CK[10]，CK[12]，CK[14]，CK[1]，CK[3]，CK[5]，CK[7]，CK[9]，CK[11]，CK[13]，CK[15]が順次L状態からH状態に変化する。
【００１３】
下位位相信号のエンコードでは、ラッチ部1108にラッチされた下位位相信号CK[0]，CK[2]，CK[4]，CK[6]，CK[8]，CK[10]，CK[12]，CK[14]，CK[1]，CK[3]，CK[5]，CK[7]，CK[9]，CK[11]，CK[13]，CK[15]をこの順に並べた信号群（信号列）において、連続する3個の下位位相信号の論理状態がそれぞれ順にL状態、L状態、H状態となっていることが検出され、その論理状態が検出された位置に応じてエンコード値が決定される。
【００１４】
図14は、ラッチ部1108にラッチされた下位位相信号の論理状態と、下位位相信号の論理状態に応じたエンコード値との対応関係を示している。図14では各下位位相信号は、図13における各下位位相信号の順番と同じ順番となるように並べられている。具体的には、図13における各下位位相信号を上から下に向かって順に見たときの順番と、図14における各下位位相信号を右から左に向かって順に見たときの順番とが同じである。
【００１５】
図14において、“1”、“0”、“1/0”は各下位位相信号の論理状態を示している。“1”、“0”、“1/0”はそれぞれ、“H状態”、“L状態”、“H状態またはL状態”に対応している。ラッチ部1108に入力される下位位相信号の論理状態は時系列に変化しており、ラッチ部1108にラッチされるタイミングに応じたエンコード値が得られる。
【００１６】
図14において、連続する3個の信号の論理状態がそれぞれ順に“0”、“0”、“1”となっている信号の組合せに対応してエンコード値が決定される。例えば、下位位相信号CK[2]、CK[0]、CK[15] の論理状態がそれぞれ“0”、“0”、“1”である場合、エンコード値は“0”であり、下位位相信号CK[4]、CK[2]、CK[0] の論理状態がそれぞれ“0”、“0”、“1”である場合、エンコード値は“1”である。同様に、下位位相信号CK[0]、CK[15]、CK[13] の論理状態がそれぞれ“0”、“0”、“1”である場合、エンコード値は“15”である。
【００１７】
しかし、下位位相信号にノイズが重畳するなどにより、本来とは異なる3個の下位位相信号の論理状態が“001”となっていることが検出され、誤ったエンコード値が得られることがある。例えば、図15のように、下位位相信号CK[0]の位相が下位位相信号CK[15]の位相よりも進んでいるタイミングで下位位相信号がラッチ部1108にラッチされた場合、ラッチ部1108にラッチされた下位位相信号の論理状態は図16のようになる。
【００１８】
このとき、ラッチ部1108にラッチされた下位位相信号CK[4]、CK[2]、CK[0] の論理状態がそれぞれ“0”、“0”、“1”となっているため、エンコード値は“1”となる。しかし、本来は、下位位相信号CK[0] の論理状態は“0”となっているべきであり、下位位相信号CK[0]、CK[15]、CK[13] の論理状態がそれぞれ“0”、“0”、“1”となってエンコード値は“15”となるべきである。この場合、“15”と“1”の差分である“14”のエラーが下位データに発生する。上記のエンコード方法を適用したTDC型AD変換回路およびそれを用いた固体撮像装置では、“1”を大きく超えるエラーが下位データに発生する可能性があった。
【００１９】
本発明は、上述した課題に鑑みてなされたものであって、下位位相信号のエンコードにおけるエラーの発生を低減することができるAD変換回路および固体撮像装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
本発明は、上記の課題を解決するためになされたもので、時間の経過とともに増加または減少する参照信号を生成する参照信号生成部と、AD変換の対象となるアナログ信号と前記参照信号とを比較し、前記参照信号が前記アナログ信号に対して所定の条件を満たしたタイミングで比較処理を終了する比較部と、互いに接続された複数の遅延ユニットからなる遅延回路を有し、前記遅延回路の出力信号に基づく複数の下位位相信号を出力するクロック生成部と、前記比較処理の終了に係るタイミングで前記複数の下位位相信号をラッチするラッチ部と、前記複数の下位位相信号のいずれかに基づく信号をカウントクロックとしてカウントを行って上位計数値を取得するカウンタ回路を有する計数部と、前記カウンタ回路がカウントクロックの立上りと立下りのどちらを基準にカウントを行うのかに応じて、前記比較処理の間に前記クロック生成部から出力される前記複数の下位位相信号を、所定の時間間隔で順に立ち上がる、または、所定の時間間隔で順に立ち下がる信号群となるように並べたときの当該信号群の順番と同じ順番になるように、前記ラッチ部にラッチされた前記複数の下位位相信号を並べた後の信号群におけるn（nは、2以上の自然数）個の前記下位位相信号の論理状態を検出する第1の検出動作を、n個の前記下位位相信号を所定の順番で選択しながら行い、前記第1の検出動作においてn個の前記下位位相信号の論理状態が所定の論理状態であることを検出したときに状態検出信号を出力する検出回路、および前記検出回路から出力される前記状態検出信号に基づいてエンコードを行うエンコード回路を有するエンコード部と、を有し、前記検出回路は、前記第1の検出動作において、n連続ではないn個の前記下位位相信号の論理状態を検出する第2の検出動作を少なくとも1回は行うことを特徴とするAD変換回路である。
【００２１】
また、本発明のAD変換回路において、前記ｎは3であり、前記検出回路は、前記ラッチ部にラッチされた前記複数の下位位相信号を並べた後の信号群における連続する2個の前記下位位相信号と、当該2個の前記下位位相信号のいずれとも連続しない1個の前記下位位相信号との論理状態を検出する前記第2の検出動作を少なくとも1回は行うことを特徴とする。
【００２２】
また、本発明は、光電変換素子を有し、画素信号を出力する画素が複数、行列状に配置された撮像部と、前記画素信号に応じたアナログ信号が入力される上記のAD変換回路と、を有し、前記AD変換回路が有する前記比較部、前記ラッチ部、前記計数部、および前記エンコード部は、前記撮像部の画素の配列の1列毎または複数列毎に設けられていることを特徴とする固体撮像装置である。
【発明の効果】
【００２３】
本発明によれば、n（nは、2以上の自然数）個の下位位相信号の論理状態を検出する第1の検出動作において、n連続ではないn個の下位位相信号の論理状態を検出する第2の検出動作を少なくとも1回は行うことによって、下位位相信号のエンコードにおけるエラーの発生を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の第1の実施形態に係る固体撮像装置の構成を示すブロック図である。
【図２】本発明の第1の実施形態に係る固体撮像装置が有する列AD変換部を構成するラッチ部、検出回路、エンコード回路の構成を示す回路図である。
【図３】本発明の第1の実施形態に係る固体撮像装置が有する列AD変換部を構成する検出回路およびエンコード回路の動作を示すタイミングチャートである。
【図４】本発明の第1の実施形態に係る固体撮像装置が有する列AD変換部を構成する検出回路およびエンコード回路の動作を示すタイミングチャートである。
【図５】本発明の第1の実施形態に係る固体撮像装置が有する列AD変換部を構成する検出回路およびエンコード回路の動作を示すタイミングチャートである。
【図６】本発明の第2の実施形態に係る固体撮像装置が有する列AD変換部を構成するラッチ部、検出回路、エンコード回路の構成を示す回路図である。
【図７】本発明の第2の実施形態に係る固体撮像装置が有する列AD変換部を構成する検出回路およびエンコード回路の動作を示すタイミングチャートである。
【図８】本発明の第2の実施形態に係る固体撮像装置が有する列AD変換部を構成する検出回路およびエンコード回路の動作を示すタイミングチャートである。
【図９】本発明の第3の実施形態に係る固体撮像装置が有する列AD変換部を構成するラッチ部、検出回路、エンコード回路の構成を示す回路図である。
【図１０】本発明の第3の実施形態に係る固体撮像装置が有する列AD変換部を構成する検出回路およびエンコード回路の動作を示すタイミングチャートである。
【図１１】従来のAD変換回路の一部の構成を示すブロック図である。
【図１２】下位位相信号の波形を示すタイミングチャートである。
【図１３】下位位相信号の波形を示すタイミングチャートである。
【図１４】ラッチ部にラッチされた下位位相信号の論理状態と、下位位相信号の論理状態に応じたエンコード値との対応関係を示す参考図である。
【図１５】下位位相信号の波形を示すタイミングチャートである。
【図１６】ラッチ部にラッチされた下位位相信号の論理状態と、下位位相信号の論理状態に応じたエンコード値との対応関係を示す参考図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、図面を参照し、本発明の実施形態を説明する。
【００２６】
（第1の実施形態）
まず、本発明の第1の実施形態を説明する。図1は、本実施形態に係る固体撮像装置の構成の一例を示している。図1に示す固体撮像装置1は、撮像部2、垂直選択部12、読出電流源部5、アナログ部6、クロック生成部18、ランプ部19（参照信号生成部）、カラム処理部15、水平選択部14、出力部17、制御部20で構成されている。
【００２７】
撮像部2は、入射される電磁波の大きさに応じた信号を生成し出力する単位画素3が複数、行列状に配置されている。垂直選択部12は、撮像部2の各行を選択する。読出電流源部5は、撮像部2からの信号を電圧信号として読み出す。アナログ部6は、撮像部2から読み出された画素信号にアナログ的な処理を施す。クロック生成部18は所定の周波数のクロック信号を生成して出力する。ランプ部19は、時間の経過と共に増加または減少する参照信号（ランプ波）を生成する。カラム処理部15は、ランプ部19と参照信号線を介して接続される。水平選択部14は、AD変換されたデータを水平信号線に読み出す。出力部17は、水平信号線に接続されている。制御部20は各部を制御する。
【００２８】
図1では、簡単のため4行×6列の単位画素3から構成される撮像部2の場合について説明しているが、現実には、撮像部2の各行や各列には、数十から数万の単位画素3が配置されることになる。尚、図示を割愛するが、撮像部2を構成する単位画素3は、フォトダイオード／フォトゲート／フォトトランジスタなどの光電変換素子、およびトランジスタ回路によって構成されている。
【００２９】
以下では、各部のより詳細な説明を行う。撮像部2は、単位画素3が4行6列分だけ2次元に配置されると共に、この4行6列の画素配列に対して行ごとに行制御線11が配線されている。行制御線11の各一端は、垂直選択部12の各行に対応した各出力端に接続されている。垂直選択部12は、シフトレジスタあるいはデコーダなどによって構成され、撮像部2の各単位画素3の駆動に際して、行制御線11を介して撮像部2の行アドレスや行走査の制御を行う。また、撮像部2の画素配列に対して列ごとに垂直信号線13が配線されている。
【００３０】
読出電流源部5は、例えばNMOSトランジスタで構成されている。読出電流源部5を構成するNMOSトランジスタのドレイン端子には撮像部2からの垂直信号線13が接続され、制御端子には適宜所望の電圧が印加され、ソース端子はGNDに接続される。これにより、単位画素3からの信号が電圧モードとして出力されることになる。尚、電流源としてNMOSトランジスタを用いた場合で説明しているがこれに限る必要はない。
【００３１】
アナログ部6は、詳細な説明は省略するが、垂直信号線13を介して入力された電圧モードの画素信号に対して、画素リセット直後の信号レベル（リセットレベル）と真の信号レベルとの差分をとる処理を行うことで、画素ごとの固定なバラツキであるFPN（=Fixed Pattern Noise：固定パターンノイズ）やリセットノイズといわれるノイズ成分を取り除く。尚、必要に応じて信号増幅機能を持つAGC（=Auto Gain Control）回路などを設けても構わない。
【００３２】
カラム処理部15は、例えば撮像部2の画素列ごと、即ち垂直信号線13ごとに設けられた列AD変換部16を有し、撮像部2の各単位画素3から画素列ごとに垂直信号線13を介して読み出されるアナログの画素信号をデジタルデータに変換する。尚、本例では、撮像部2の画素列に対して1対1の対応関係をもって列AD変換部16を配置する構成をとっているが、これは一例に過ぎず、この配置関係に限定されるものではない。例えば、複数の画素列に対して列AD変換部16を1つ配置し、この1つの列AD変換部16を複数の画素列間で時分割にて使用する構成をとることも可能である。カラム処理部15は、後述するランプ部19およびクロック生成部18と共に、撮像部2の選択画素行の単位画素3から読み出されるアナログの画素信号をデジタルの画素データに変換するアナログ-デジタル変換手段（AD変換回路）を構成している。
【００３３】
ランプ部19は、例えば積分回路によって構成され、制御部20による制御に従って、時間が経過するにつれてレベルが傾斜状に変化する、いわゆるランプ波を生成し、参照信号線を介して比較部109の入力端子の一方に供給する。尚、ランプ部19としては、積分回路を用いたものに限られるものではなく、DAC回路を用いても構わない。ただし、DAC回路を用いてデジタル的にランプ波を生成する構成をとる場合には、ランプ波のステップを細かくする、あるいはそれと同等な構成をとる必要がある。
【００３４】
水平選択部14は、シフトレジスタあるいはデコーダなどによって構成され、カラム処理部15の列AD変換部16の列アドレスや列走査の制御を行う。この水平選択部14による制御に従って、列AD変換部16でAD変換されたデジタルデータは順に水平信号線に読み出される。
【００３５】
クロック生成部18は、複数の遅延ユニット（反転素子）がリング状に接続された円環遅延回路であるVCO100で構成されている。VCO100は、例えば図11に示すVCO1100のように、奇数個の遅延ユニットで構成される所謂『非対称型発振回路』であってもよい。あるいは、VCO100は、偶数個（特に、2のべき乗個）の遅延ユニットで構成され、遅延ユニットを構成する全差動型反転回路の最終段の出力が初段の他方の入力に帰還されて構成される所謂『全差動型発振回路』を用いても構わない。VCO100を構成する遅延ユニットが出力する信号は、後述する下位位相信号を構成する。
【００３６】
出力部17は、2進化したデジタルデータを出力する。また、出力部17は、バッファリング機能以外に、例えば黒レベル調整、列バラツキ補正、色処理などの信号処理機能を内蔵しても構わない。更に、nビットパラレルのデジタルデータをシリアルデータに変換して出力するようにしても構わない。
【００３７】
制御部20は、ランプ部19、クロック生成部18、垂直選択部12、水平選択部14、出力部17などの各部の動作に必要なクロックや所定タイミングのパルス信号を供給するTG（=Timing Generator：タイミングジェネレータ）の機能ブロックと、このTGと通信を行うための機能ブロックとを備える。
【００３８】
次に、列AD変換部16の構成について説明する。列AD変換部16は各々、撮像部2の各単位画素3から垂直信号線13を介して読み出されるアナログの画素信号を、ランプ部19から与えられる、AD変換するためのランプ波と比較することにより、画素信号の大きさに対応した時間軸方向の大きさ（パルス幅）を持つパルス信号を生成する。そして、このパルス信号のパルス幅の期間に対応したデータを画素信号の大きさに応じたデジタルデータとすることによってAD変換を行う。
【００３９】
以下では、列AD変換部16の構成の詳細について説明する。列AD変換部16は列毎に設けられており、図1では6個の列AD変換部16が設けられている。各列の列AD変換部16は同一の構成となっている。列AD変換部16は、比較部109、ラッチ部108、計数部105、検出回路107、エンコード回路106で構成されている。
【００４０】
比較部109は、撮像部2の単位画素3から垂直信号線13を介して出力されるアナログの画素信号に応じた信号電圧と、ランプ部19から供給されるランプ波のランプ電圧とを比較することによって、画素信号の大きさを、時間軸方向の情報（パルス信号のパルス幅）に変換する。比較部109の比較出力COは、例えばランプ電圧が信号電圧よりも大なるときにはLowレベル（Lレベル）になり、ランプ電圧が信号電圧以下のときにはHighレベル（Hレベル）になる。
【００４１】
ラッチ部108は、VCO100から出力された下位位相信号CK[0]〜CK[15]をラッチ（保持／記憶）するラッチ回路で構成されている。ラッチ部108は、比較部109の比較出力COが反転するまで、VCO100から出力された下位位相信号の1つ（本例では下位位相信号CK[15]）をそのまま計数部105に出力する。また、ラッチ部108は、比較部109の比較出力COが反転するタイミングで、VCO100から出力された下位位相信号CK[0]〜CK[15]をラッチする。
【００４２】
計数部105は、ラッチ部108を介して出力される1つの下位位相信号（本例では下位位相信号CK[15]）をカウントクロックとしてカウント（計数）を行ってカウント値（上位計数値）を取得するカウンタ回路で構成されている。計数部105がカウントを行うことによって、デジタルデータを構成する上位ビットのデータ（上位データ）が得られる。
【００４３】
ここで、ラッチ部108にラッチされる下位位相信号は、例えば16ビットのデータである。また、計数部105のカウント値が構成する上位データ信号は、例えば8ビットのデータである。尚、8ビットは一例であって、8ビットを超えるビット数（例えば、10ビット）などであっても構わない。
【００４４】
検出回路107は、ラッチ部108のラッチ回路にラッチされた下位位相信号の3つを順に比較することで所定の論理状態を検出し、検出結果を出力する。エンコード回路106は、検出回路107から出力された検出結果に基づいてエンコードを行い、エンコード値を確定する。これにより、下位位相信号のエンコードが行われ、デジタルデータを構成する下位ビットのデータ（下位データ）が得られる。具体的なエンコード方法については後述する。
【００４５】
次に、本例の動作について説明する。ここでは、単位画素3の具体的な動作については説明を省略するが、周知のように単位画素3ではリセットレベルと信号レベルとが出力される。
【００４６】
AD変換は、以下のようにして行われる。例えば所定の傾きで下降するランプ波と、アナログ部6からのアナログ信号との各電圧を比較し、この比較処理が開始された時点から、アナログ信号の電圧とランプ波の電圧（ランプ電圧）とが一致するまでの期間、ラッチ部108を介して出力される下位位相信号CK[15]を計数部105がカウントし、更にラッチ部108にラッチされた下位位相信号の論理状態を検出回路107が検出し、その検出結果をエンコード回路106がエンコードすることによって、アナログ信号の大きさに対応したデジタルデータを得る。
【００４７】
まず、任意の画素行の単位画素3から垂直信号線13へ出力された画素信号が安定した後、制御部20は、ランプ部19に対して、ランプ波生成の制御データを供給する。これを受けてランプ部19は、比較部109の一方の入力端子に与える比較電圧として、波形が全体として時間的にランプ状に変化するランプ波を出力する。比較部109は、このランプ波とアナログ部6からのアナログ信号とを比較する。この間、計数部105は、ラッチ部108の1つのラッチ回路から出力される下位位相信号CK[15]をカウントクロックとしてカウントを行う。尚、クロック生成部18の下位位相信号の出力開始のタイミングと、ランプ波の出力開始のタイミングとは略同時であることが好ましいが、これに限らない。
【００４８】
比較部109は、ランプ部19から与えられるランプ波と、アナログ部6からのアナログ信号とを比較し、双方の電圧が略一致したときに、比較出力COを反転させる。このタイミングでラッチ部108のラッチ回路がディスエーブル状態となることで、ラッチ部108は、クロック生成部18から出力された下位位相信号CK[0]〜CK[15]の論理状態をラッチする。また、計数部105は、ラッチ部108のラッチ回路が下位位相信号CK[15]の出力を停止することでカウント値をラッチする。制御部20は、所定の期間が経過すると、ランプ部19への制御データの供給と、クロック生成部18からの下位位相信号の出力とを停止する。これにより、ランプ部19は、ランプ波の生成を停止する。
【００４９】
続いて、ラッチ部108に保持された下位位相信号CK[0]〜CK[15]のエンコードが行われ、エンコード回路106にエンコード値がラッチされる。更に、エンコード回路106にラッチされたエンコード値および計数部105にラッチされたカウント値が、水平選択部14により水平信号線を介して出力部17に転送される。
【００５０】
尚、撮像部2の選択行の各単位画素3から、1回目の読出し動作でリセットレベルを読み出してAD変換し、続いて、2回目の読出し動作で信号レベルを読み出してAD変換し、その後、デジタル的にCDS（=Correlated Doouble Sampling）処理することにより、画素信号に応じたデジタルデータを得るようにしても構わない。また、これに限る必要もない。
【００５１】
次に、ラッチ部108、検出回路107、エンコード回路106の詳細について説明する。図2は、ラッチ部108、検出回路107、エンコード回路106の構成を示している。
【００５２】
ラッチ部108は、比較部109からの比較出力COが反転した時点での下位位相信号CK[0]〜CK[15]の論理状態をラッチするラッチ回路L_0〜L_15で構成されている。制御信号SW0_1〜SW15_1，SW0_2〜SW15_2，SW0_3〜SW15_3は、ラッチ回路L_0〜L_15にラッチされた下位位相信号CK[0]〜CK[15]から所望の下位位相信号を検出回路107に出力するためのスイッチを制御する信号である。
【００５３】
検出回路107は、AND回路AND0，AND1で構成されている。AND回路AND0には、ラッチ回路L_0〜L_15の何れか1つから出力された下位位相信号と、ラッチ回路L_0〜L_15の他の何れか2つから出力された下位位相信号を反転した信号とが入力される。AND回路AND0は、入力された3つの信号のAND演算を行う。AND回路AND1には、AND回路AND0の出力信号と制御信号LATSETが入力される。AND回路AND1は、入力された2つの信号のAND演算を行い、その結果を所定の論理状態の検出結果LATEN（状態検出信号）として出力する。
【００５４】
エンコード回路106は、エンコード用のラッチ回路D_0〜D_3で構成されている。エンコード値DIN[0]〜DIN[3]は、検出回路107が順次比較する3つの下位位相信号の組合せに応じて順次変化する。検出回路107に入力される3つの下位位相信号の組合せが変化する毎に、エンコード回路106に入力されるエンコード値DIN[0]〜DIN[3]が変化し、所定の論理状態が検出されたときのエンコード値DIN[0]〜DIN[3]が下位位相信号CK[0]〜CK[15]のエンコード結果として保持され、出力信号DO[0]〜DO[3]として出力される。制御信号SWD_0〜SWD_3は、ラッチ回路D_0〜D_3からエンコード値を出力するためのスイッチを制御する信号である。検出回路107およびエンコード回路106はエンコード部110を構成する。尚、これらは一例であって、これに限る必要はない。
【００５５】
次に、検出回路107およびエンコード回路106の動作を説明する。本実施形態では、図13に示したように、ラッチ部108にラッチされた下位位相信号CK[0]，CK[2]，CK[4]，CK[6]，CK[8]，CK[10]，CK[12]，CK[14]，CK[1]，CK[3]，CK[5]，CK[7]，CK[9]，CK[11]，CK[13]，CK[15]をこの順に並べた信号群（信号列）において、3個の下位位相信号の論理状態がそれぞれ順にL状態、L状態、H状態となっていることが検出され、その論理状態が検出された位置に応じてエンコード値が決定される。
【００５６】
3個の下位位相信号の論理状態を検出する動作（第1の検出動作）では、上記のように並べた信号群（信号列）において『3連続である3個』の下位位相信号の論理状態を検出する動作と、『3連続ではない3個』の下位位相信号の論理状態を検出する動作（第2の検出動作）とが行われる。『3連続ではない3個』の下位位相信号の論理状態を検出する動作では、連続する2個の下位位相信号と、その2個の下位位相信号のいずれとも連続しない1個の下位位相信号との論理状態が検出される。
【００５７】
制御信号SW0_1〜SW15_1，SW0_2〜SW15_2，SW0_3〜SW15_3により、下位位相信号CK[0]〜CK[15]が保持されているラッチ回路L_0〜L_15の中から選択された3個のラッチ回路から下位位相信号が検出回路107に入力され、入力された下位位相信号の論理状態が検出される。AND回路AND0によるAND演算の結果がH状態となったときのエンコード値DIN[0]〜DIN[3]がエンコード結果となる。以下では詳細な動作を説明する。
【００５８】
図3は、検出回路107およびエンコード回路106の動作に係る各信号の波形を示している。以下では、ラッチ部108にラッチされた下位位相信号CK[0]〜CK[15]の状態が『状態3』である場合を例として説明する。以下の手順(1)〜(16)のうち、手順(16)において、『3連続ではない3個』の下位位相信号の論理状態を検出する動作が行われ、それ以外の手順では、『3連続である3個』の下位位相信号の論理状態を検出する動作が行われる。
【００５９】
<<エンコード手順>>
<手順(1)>
まず、制御信号SW2_1，SW0_2，SW15_3がH状態となると、ラッチ回路L_2の出力信号（H状態）を反転した信号およびラッチ回路L_0の出力信号（H状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_15の出力信号（H状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はL状態となる。AND回路AND0の出力信号がL状態であるため、AND回路AND1の出力信号はL状態である。続いて、制御信号LATSETがL状態からH状態に変化した後、L状態となる。この間、検出結果LATENはL状態のまま変化しない。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b0000である。尚、“4’b”は出力信号が4ビットの2進数であることを示し、“0000”はエンコード回路106内のラッチ回路D_0〜D_3の出力を示す。
【００６０】
<手順(2)>
続いて、制御信号SW4_1，SW2_2，SW0_3がH状態となると、ラッチ回路L_4の出力信号（H状態）を反転した信号およびラッチ回路L_2の出力信号（H状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_0の出力信号（H状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はL状態となる。AND回路AND0の出力信号がL状態であるため、AND回路AND1の出力信号はL状態である。続いて、制御信号LATSETがL状態からH状態に変化した後、L状態となる。この間、検出結果LATENはL状態のまま変化しない。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b0000である。
【００６１】
<手順(3)>
続いて、制御信号SW6_1，SW4_2，SW2_3がH状態となると、ラッチ回路L_6の出力信号（L状態）を反転した信号およびラッチ回路L_4の出力信号（H状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_2の出力信号（H状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はL状態となる。AND回路AND0の出力信号がL状態であるため、AND回路AND1の出力信号はL状態である。続いて、制御信号LATSETがL状態からH状態に変化した後、L状態となる。この間、検出結果LATENはL状態のまま変化しない。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b0000である。
【００６２】
<手順(4)>
続いて、制御信号SW8_1，SW6_2，SW4_3がH状態となると、ラッチ回路L_8の出力信号（L状態）を反転した信号およびラッチ回路L_6の出力信号（L状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_4の出力信号（H状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はH状態となる。続いて、制御信号LATSETがL状態からH状態に変化した後、L状態となる。これにより、検出結果LATENがL状態からH状態に変化した後、L状態となり、このときのエンコード値（DIN[3:0]=4’b0011）がエンコード回路106に保持される。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b0011である。
【００６３】
<手順(5)>
続いて、制御信号SW10_1，SW8_2，SW6_3がH状態となると、ラッチ回路L_10の出力信号（L状態）を反転した信号およびラッチ回路L_8の出力信号（L状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_6の出力信号（L状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はL状態となる。AND回路AND0の出力信号がL状態であるため、AND回路AND1の出力信号はL状態である。続いて、制御信号LATSETがL状態からH状態に変化した後、L状態となる。この間、検出結果LATENはL状態のまま変化しない。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b0011である。
【００６４】
<手順(6)>
続いて、制御信号SW12_1，SW10_2，SW8_3がH状態となると、ラッチ回路L_12の出力信号（L状態）を反転した信号およびラッチ回路L_10の出力信号（L状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_8の出力信号（L状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はL状態となる。AND回路AND0の出力信号がL状態であるため、AND回路AND1の出力信号はL状態である。続いて、制御信号LATSETがL状態からH状態に変化した後、L状態となる。この間、検出結果LATENはL状態のまま変化しない。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b0011である。
【００６５】
<手順(7)>
続いて、制御信号SW14_1，SW12_2，SW10_3がH状態となると、ラッチ回路L_14の出力信号（L状態）を反転した信号およびラッチ回路L_12の出力信号（L状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_10の出力信号（L状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はL状態となる。AND回路AND0の出力信号がL状態であるため、AND回路AND1の出力信号はL状態である。続いて、制御信号LATSETがL状態からH状態に変化した後、L状態となる。この間、検出結果LATENはL状態のまま変化しない。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b0011である。
【００６６】
<手順(8)>
続いて、制御信号SW1_1，SW14_2，SW12_3がH状態となると、ラッチ回路L_1の出力信号（L状態）を反転した信号およびラッチ回路L_14の出力信号（L状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_12の出力信号（L状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はL状態となる。AND回路AND0の出力信号がL状態であるため、AND回路AND1の出力信号はL状態である。続いて、制御信号LATSETがL状態からH状態に変化した後、L状態となる。この間、検出結果LATENはL状態のまま変化しない。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b0011である。
【００６７】
<手順(9)>
続いて、制御信号SW3_1，SW1_2，SW14_3がH状態となると、ラッチ回路L_3の出力信号（L状態）を反転した信号およびラッチ回路L_1の出力信号（L状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_14の出力信号（L状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はL状態となる。AND回路AND0の出力信号がL状態であるため、AND回路AND1の出力信号はL状態である。続いて、制御信号LATSETがL状態からH状態に変化した後、L状態となる。この間、検出結果LATENはL状態のまま変化しない。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b0011である。
【００６８】
<手順(10)>
続いて、制御信号SW5_1，SW3_2，SW1_3がH状態となると、ラッチ回路L_5の出力信号（H状態またはL状態）を反転した信号およびラッチ回路L_3の出力信号（L状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_1の出力信号（L状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はL状態となる。AND回路AND0の出力信号がL状態であるため、AND回路AND1の出力信号はL状態である。続いて、制御信号LATSETがL状態からH状態に変化した後、L状態となる。この間、検出結果LATENはL状態のまま変化しない。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b0011である。
【００６９】
<手順(11)>
続いて、制御信号SW7_1，SW5_2，SW3_3がH状態となると、ラッチ回路L_7の出力信号（H状態）を反転した信号およびラッチ回路L_5の出力信号（H状態またはL状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_3の出力信号（L状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はL状態となる。AND回路AND0の出力信号がL状態であるため、AND回路AND1の出力信号はL状態である。続いて、制御信号LATSETがL状態からH状態に変化した後、L状態となる。この間、検出結果LATENはL状態のまま変化しない。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b0011である。
【００７０】
<手順(12)>
続いて、制御信号SW9_1，SW7_2，SW5_3がH状態となると、ラッチ回路L_9の出力信号（H状態）を反転した信号およびラッチ回路L_7の出力信号（H状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_5の出力信号（H状態またはL状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はL状態となる。AND回路AND0の出力信号がL状態であるため、AND回路AND1の出力信号はL状態である。続いて、制御信号LATSETがL状態からH状態に変化した後、L状態となる。この間、検出結果LATENはL状態のまま変化しない。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b0011である。
【００７１】
<手順(13)>
続いて、制御信号SW11_1，SW9_2，SW7_3がH状態となると、ラッチ回路L_11の出力信号（H状態）を反転した信号およびラッチ回路L_9の出力信号（H状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_7の出力信号（H状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はL状態となる。AND回路AND0の出力信号がL状態であるため、AND回路AND1の出力信号はL状態である。続いて、制御信号LATSETがL状態からH状態に変化した後、L状態となる。この間、検出結果LATENはL状態のまま変化しない。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b0011である。
【００７２】
<手順(14)>
続いて、制御信号SW13_1，SW11_2，SW9_3がH状態となると、ラッチ回路L_13の出力信号（H状態）を反転した信号およびラッチ回路L_11の出力信号（H状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_9の出力信号（H状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はL状態となる。AND回路AND0の出力信号がL状態であるため、AND回路AND1の出力信号はL状態である。続いて、制御信号LATSETがL状態からH状態に変化した後、L状態となる。この間、検出結果LATENはL状態のまま変化しない。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b0011である。
【００７３】
<手順(15)>
続いて、制御信号SW15_1，SW13_2，SW11_3がH状態となると、ラッチ回路L_15の出力信号（H状態）を反転した信号およびラッチ回路L_13の出力信号（H状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_11の出力信号（H状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はL状態となる。AND回路AND0の出力信号がL状態であるため、AND回路AND1の出力信号はL状態である。続いて、制御信号LATSETがL状態からH状態に変化した後、L状態となる。この間、検出結果LATENはL状態のまま変化しない。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b0011である。
【００７４】
<手順(16)>
最後に、制御信号SW0_1，SW15_2，SW13_3ではなく、制御信号SW2_1，SW15_2，SW13_3がH状態となると、ラッチ回路L_2の出力信号（H状態）を反転した信号およびラッチ回路L_15の出力信号（H状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_13の出力信号（H状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はL状態となる。AND回路AND0の出力信号がL状態であるため、AND回路AND1の出力信号はL状態である。続いて、制御信号LATSETがL状態からH状態に変化した後、L状態となる。この間、検出結果LATENはL状態のまま変化しない。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b0011である。
【００７５】
上記の方法により、『状態3』に対応したエンコード値（DO[3:0]=4’b0011）が確定する。
【００７６】
次に、ラッチ部108にラッチされた下位位相信号CK[0]〜CK[15]の状態が『状態15』であり、ノイズ等の影響により下位位相信号CK[0]の位相が下位位相信号CK[15]の位相よりも進んでいる場合について説明する。図4は、検出回路107およびエンコード回路106の動作に係る各信号の波形を示している。以下では、下位位相信号CK[0]の位相が下位位相信号CK[15]の位相よりも、VCO100を構成する遅延ユニット2個分の遅延時間に相当する分だけ進んでいるものとする。以下の手順(1)〜(16)のうち、手順(16)において、『3連続ではない3個』の下位位相信号の論理状態を検出する動作が行われ、それ以外の手順では、『3連続である3個』の下位位相信号の論理状態を検出する動作が行われる。
【００７７】
<<エンコード手順>>
<手順(1)>
まず、制御信号SW2_1，SW0_2，SW15_3がH状態となると、ラッチ回路L_2の出力信号（L状態）を反転した信号およびラッチ回路L_0の出力信号（H状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_15の出力信号（L状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はL状態となる。AND回路AND0の出力信号がL状態であるため、AND回路AND1の出力信号はL状態である。続いて、制御信号LATSETがL状態からH状態に変化した後、L状態となる。この間、検出結果LATENはL状態のまま変化しない。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b0000である。
【００７８】
<手順(2)>
続いて、制御信号SW4_1，SW2_2，SW0_3がH状態となると、ラッチ回路L_4の出力信号（L状態）を反転した信号およびラッチ回路L_2の出力信号（L状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_0の出力信号（H状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はH状態となる。続いて、制御信号LATSETがL状態からH状態に変化した後、L状態となる。これにより、検出結果LATENがL状態からH状態に変化した後、L状態となり、このときのエンコード値（DIN[3:0]=4’b0001）がエンコード回路106に保持される。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b0001である。下位位相信号CK[0]の位相が進んでいることにより、ラッチ部108にラッチされた下位位相信号CK[4]，CK[2]，CK[0]がそれぞれL状態、L状態、H状態となるため、手順(2)で検出結果LATENがH状態となる。
【００７９】
<手順(3)>
続いて、制御信号SW6_1，SW4_2，SW2_3がH状態となると、ラッチ回路L_6の出力信号（L状態）を反転した信号およびラッチ回路L_4の出力信号（L状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_2の出力信号（L状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はL状態となる。AND回路AND0の出力信号がL状態であるため、AND回路AND1の出力信号はL状態である。続いて、制御信号LATSETがL状態からH状態に変化した後、L状態となる。この間、検出結果LATENはL状態のまま変化しない。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b0001である。
【００８０】
<手順(4)>
続いて、制御信号SW8_1，SW6_2，SW4_3がH状態となると、ラッチ回路L_8の出力信号（L状態）を反転した信号およびラッチ回路L_6の出力信号（L状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_4の出力信号（L状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はL状態となる。AND回路AND0の出力信号がL状態であるため、AND回路AND1の出力信号はL状態である。続いて、制御信号LATSETがL状態からH状態に変化した後、L状態となる。この間、検出結果LATENはL状態のまま変化しない。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b0001である。
【００８１】
<手順(5)>
続いて、制御信号SW10_1，SW8_2，SW6_3がH状態となると、ラッチ回路L_10の出力信号（L状態）を反転した信号およびラッチ回路L_8の出力信号（L状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_6の出力信号（L状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はL状態となる。AND回路AND0の出力信号がL状態であるため、AND回路AND1の出力信号はL状態である。続いて、制御信号LATSETがL状態からH状態に変化した後、L状態となる。この間、検出結果LATENはL状態のまま変化しない。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b0001である。
【００８２】
<手順(6)>
続いて、制御信号SW12_1，SW10_2，SW8_3がH状態となると、ラッチ回路L_12の出力信号（L状態）を反転した信号およびラッチ回路L_10の出力信号（L状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_8の出力信号（L状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はL状態となる。AND回路AND0の出力信号がL状態であるため、AND回路AND1の出力信号はL状態である。続いて、制御信号LATSETがL状態からH状態に変化した後、L状態となる。この間、検出結果LATENはL状態のまま変化しない。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b0001である。
【００８３】
<手順(7)>
続いて、制御信号SW14_1，SW12_2，SW10_3がH状態となると、ラッチ回路L_14の出力信号（H状態またはL状態）を反転した信号およびラッチ回路L_12の出力信号（L状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_10の出力信号（L状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はL状態となる。AND回路AND0の出力信号がL状態であるため、AND回路AND1の出力信号はL状態である。続いて、制御信号LATSETがL状態からH状態に変化した後、L状態となる。この間、検出結果LATENはL状態のまま変化しない。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b0001である。
【００８４】
<手順(8)>
続いて、制御信号SW1_1，SW14_2，SW12_3がH状態となると、ラッチ回路L_1の出力信号（H状態）を反転した信号およびラッチ回路L_14の出力信号（H状態またはL状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_12の出力信号（L状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はL状態となる。AND回路AND0の出力信号がL状態であるため、AND回路AND1の出力信号はL状態である。続いて、制御信号LATSETがL状態からH状態に変化した後、L状態となる。この間、検出結果LATENはL状態のまま変化しない。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b0001である。
【００８５】
<手順(9)>
続いて、制御信号SW3_1，SW1_2，SW14_3がH状態となると、ラッチ回路L_3の出力信号（H状態）を反転した信号およびラッチ回路L_1の出力信号（H状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_14の出力信号（H状態またはL状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はL状態となる。AND回路AND0の出力信号がL状態であるため、AND回路AND1の出力信号はL状態である。続いて、制御信号LATSETがL状態からH状態に変化した後、L状態となる。この間、検出結果LATENはL状態のまま変化しない。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b0001である。
【００８６】
<手順(10)>
続いて、制御信号SW5_1，SW3_2，SW1_3がH状態となると、ラッチ回路L_5の出力信号（H状態）を反転した信号およびラッチ回路L_3の出力信号（H状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_1の出力信号（H状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はL状態となる。AND回路AND0の出力信号がL状態であるため、AND回路AND1の出力信号はL状態である。続いて、制御信号LATSETがL状態からH状態に変化した後、L状態となる。この間、検出結果LATENはL状態のまま変化しない。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b0001である。
【００８７】
<手順(11)>
続いて、制御信号SW7_1，SW5_2，SW3_3がH状態となると、ラッチ回路L_7の出力信号（H状態）を反転した信号およびラッチ回路L_5の出力信号（H状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_3の出力信号（H状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はL状態となる。AND回路AND0の出力信号がL状態であるため、AND回路AND1の出力信号はL状態である。続いて、制御信号LATSETがL状態からH状態に変化した後、L状態となる。この間、検出結果LATENはL状態のまま変化しない。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b0001である。
【００８８】
<手順(12)>
続いて、制御信号SW9_1，SW7_2，SW5_3がH状態となると、ラッチ回路L_9の出力信号（H状態）を反転した信号およびラッチ回路L_7の出力信号（H状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_5の出力信号（H状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はL状態となる。AND回路AND0の出力信号がL状態であるため、AND回路AND1の出力信号はL状態である。続いて、制御信号LATSETがL状態からH状態に変化した後、L状態となる。この間、検出結果LATENはL状態のまま変化しない。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b0001である。
【００８９】
<手順(13)>
続いて、制御信号SW11_1，SW9_2，SW7_3がH状態となると、ラッチ回路L_11の出力信号（H状態）を反転した信号およびラッチ回路L_9の出力信号（H状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_7の出力信号（H状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はL状態となる。AND回路AND0の出力信号がL状態であるため、AND回路AND1の出力信号はL状態である。続いて、制御信号LATSETがL状態からH状態に変化した後、L状態となる。この間、検出結果LATENはL状態のまま変化しない。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b0001である。
【００９０】
<手順(14)>
続いて、制御信号SW13_1，SW11_2，SW9_3がH状態となると、ラッチ回路L_13の出力信号（H状態）を反転した信号およびラッチ回路L_11の出力信号（H状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_9の出力信号（H状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はL状態となる。AND回路AND0の出力信号がL状態であるため、AND回路AND1の出力信号はL状態である。続いて、制御信号LATSETがL状態からH状態に変化した後、L状態となる。この間、検出結果LATENはL状態のまま変化しない。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b0001である。
【００９１】
<手順(15)>
続いて、制御信号SW15_1，SW13_2，SW11_3がH状態となると、ラッチ回路L_15の出力信号（L状態）を反転した信号およびラッチ回路L_13の出力信号（H状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_11の出力信号（H状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はL状態となる。AND回路AND0の出力信号がL状態であるため、AND回路AND1の出力信号はL状態である。続いて、制御信号LATSETがL状態からH状態に変化した後、L状態となる。この間、検出結果LATENはL状態のまま変化しない。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b0001である。
【００９２】
<手順(16)>
最後に、制御信号SW0_1，SW15_2，SW13_3ではなく、制御信号SW2_1，SW15_2，SW13_3がH状態となると、ラッチ回路L_2の出力信号（L状態）を反転した信号およびラッチ回路L_15の出力信号（L状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_13の出力信号（H状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はH状態となる。続いて、制御信号LATSETがL状態からH状態に変化した後、L状態となる。これにより、検出結果LATENがL状態からH状態に変化した後、L状態となり、このときのエンコード値（DIN[3:0]=4’b1111）がエンコード回路106に再度保持される。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b1111である。
【００９３】
上記の方法により、『状態15』に対応したエンコード値（DO[3:0]=4’b1111）が確定する。仮に、従来のエンコード方法（『3連続である3個』の下位位相信号の論理状態が所定の論理状態“001”であることを検出する方法）でエンコードを行った場合、手順(16)において、ラッチ部108にラッチされた下位位相信号CK[0]，CK[15]，CK[13]がそれぞれH状態、L状態、H状態であるため検出結果LATENはL状態のまま変化しない。このため、エンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b0001のままであり、“15”と“1”の差分である“14”のエラーが下位データに発生する。これに対して、本実施形態では、下位位相信号CK[0]の位相が下位位相信号CK[15]の位相よりも進んでいる場合であっても、下位位相信号CK[0]〜CK[15]の状態が『状態15』である場合のエンコードではエラーが発生しない。
【００９４】
下位位相信号CK[0]〜CK[15]の状態が『状態15』である場合のエンコードにおいて手順(16)でエラーが発生した場合、上記のように“1”を大きく超えるエラーが下位データに発生する。このため、手順(16)では、『3連続である3個』の下位位相信号の代わりに『3連続ではない3個』の下位位相信号の論理状態を検出する動作が行われる。
【００９５】
次に、ラッチ部108にラッチされた下位位相信号CK[0]〜CK[15]の状態が『状態8』であり、ノイズ等の影響により下位位相信号CK[0]の位相が下位位相信号CK[15]の位相よりも進んでおり、下位位相信号CK[13]の位相が下位位相信号CK[15]の位相よりも遅れている場合について説明する。図5は、検出回路107およびエンコード回路106の動作に係る各信号の波形を示している。以下では、下位位相信号CK[0]の位相が下位位相信号CK[15]の位相よりも、VCO100を構成する遅延ユニット2個分の遅延時間に相当する分だけ進んでおり、下位位相信号CK[13]の位相が下位位相信号CK[15]の位相よりも、VCO100を構成する遅延ユニット2個分の遅延時間に相当する分だけ遅れているものとする。以下の手順(1)〜(16)のうち、手順(16)において、『3連続ではない3個』の下位位相信号の論理状態を検出する動作が行われ、それ以外の手順では、『3連続である3個』の下位位相信号の論理状態を検出する動作が行われる。
【００９６】
<<エンコード手順>>
<手順(1)>
まず、制御信号SW2_1，SW0_2，SW15_3がH状態となると、ラッチ回路L_2の出力信号（H状態）を反転した信号およびラッチ回路L_0の出力信号（L状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_15の出力信号（H状態またはL状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はL状態となる。AND回路AND0の出力信号がL状態であるため、AND回路AND1の出力信号はL状態である。続いて、制御信号LATSETがL状態からH状態に変化した後、L状態となる。この間、検出結果LATENはL状態のまま変化しない。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b0000である。
【００９７】
<手順(2)>
続いて、制御信号SW4_1，SW2_2，SW0_3がH状態となると、ラッチ回路L_4の出力信号（H状態）を反転した信号およびラッチ回路L_2の出力信号（H状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_0の出力信号（L状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はL状態となる。AND回路AND0の出力信号がL状態であるため、AND回路AND1の出力信号はL状態である。続いて、制御信号LATSETがL状態からH状態に変化した後、L状態となる。この間、検出結果LATENはL状態のまま変化しない。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b0000である。
【００９８】
<手順(3)>
続いて、制御信号SW6_1，SW4_2，SW2_3がH状態となると、ラッチ回路L_6の出力信号（H状態）を反転した信号およびラッチ回路L_4の出力信号（H状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_2の出力信号（H状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はL状態となる。AND回路AND0の出力信号がL状態であるため、AND回路AND1の出力信号はL状態である。続いて、制御信号LATSETがL状態からH状態に変化した後、L状態となる。この間、検出結果LATENはL状態のまま変化しない。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b0000である。
【００９９】
<手順(4)>
続いて、制御信号SW8_1，SW6_2，SW4_3がH状態となると、ラッチ回路L_10の出力信号（H状態）を反転した信号およびラッチ回路L_6の出力信号（H状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_4の出力信号（H状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はL状態となる。AND回路AND0の出力信号がL状態であるため、AND回路AND1の出力信号はL状態である。続いて、制御信号LATSETがL状態からH状態に変化した後、L状態となる。この間、検出結果LATENはL状態のまま変化しない。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b0000である。
【０１００】
<手順(5)>
続いて、制御信号SW10_1，SW8_2，SW6_3がH状態となると、ラッチ回路L_10の出力信号（H状態）を反転した信号およびラッチ回路L_8の出力信号（H状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_6の出力信号（H状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はL状態となる。AND回路AND0の出力信号がL状態であるため、AND回路AND1の出力信号はL状態である。続いて、制御信号LATSETがL状態からH状態に変化した後、L状態となる。この間、検出結果LATENはL状態のまま変化しない。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b0000である。
【０１０１】
<手順(6)>
続いて、制御信号SW12_1，SW10_2，SW8_3がH状態となると、ラッチ回路L_12の出力信号（H状態）を反転した信号およびラッチ回路L_10の出力信号（H状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_8の出力信号（H状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はL状態となる。AND回路AND0の出力信号がL状態であるため、AND回路AND1の出力信号はL状態である。続いて、制御信号LATSETがL状態からH状態に変化した後、L状態となる。この間、検出結果LATENはL状態のまま変化しない。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b0000である。
【０１０２】
<手順(7)>
続いて、制御信号SW14_1，SW12_2，SW10_3がH状態となると、ラッチ回路L_14の出力信号（L状態）を反転した信号およびラッチ回路L_12の出力信号（H状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_10の出力信号（H状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はL状態となる。AND回路AND0の出力信号がL状態であるため、AND回路AND1の出力信号はL状態である。続いて、制御信号LATSETがL状態からH状態に変化した後、L状態となる。この間、検出結果LATENはL状態のまま変化しない。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b0000である。
【０１０３】
<手順(8)>
続いて、制御信号SW1_1，SW14_2，SW12_3がH状態となると、ラッチ回路L_1の出力信号（L状態）を反転した信号およびラッチ回路L_14の出力信号（H状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_12の出力信号（H状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はL状態となる。AND回路AND0の出力信号がL状態であるため、AND回路AND1の出力信号はL状態である。続いて、制御信号LATSETがL状態からH状態に変化した後、L状態となる。この間、検出結果LATENはL状態のまま変化しない。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b0000である。
【０１０４】
<手順(9)>
続いて、制御信号SW3_1，SW1_2，SW14_3がH状態となると、ラッチ回路L_3の出力信号（L状態）を反転した信号およびラッチ回路L_1の出力信号（L状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_14の出力信号（H状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はH状態となる。続いて、制御信号LATSETがL状態からH状態に変化した後、L状態となる。これにより、検出結果LATENがL状態からH状態に変化した後、L状態となり、このときのエンコード値（DIN[3:0]=4’b1000）がエンコード回路106に保持される。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b1000である。
【０１０５】
<手順(10)>
続いて、制御信号SW5_1，SW3_2，SW1_3がH状態となると、ラッチ回路L_5の出力信号（L状態）を反転した信号およびラッチ回路L_3の出力信号（L状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_1の出力信号（L状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はL状態となる。AND回路AND0の出力信号がL状態であるため、AND回路AND1の出力信号はL状態である。続いて、制御信号LATSETがL状態からH状態に変化した後、L状態となる。この間、検出結果LATENはL状態のまま変化しない。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b1000である。
【０１０６】
<手順(11)>
続いて、制御信号SW7_1，SW5_2，SW3_3がH状態となると、ラッチ回路L_7の出力信号（L状態）を反転した信号およびラッチ回路L_5の出力信号（L状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_3の出力信号（L状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はL状態となる。AND回路AND0の出力信号がL状態であるため、AND回路AND1の出力信号はL状態である。続いて、制御信号LATSETがL状態からH状態に変化した後、L状態となる。この間、検出結果LATENはL状態のまま変化しない。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b1000である。
【０１０７】
<手順(12)>
続いて、制御信号SW9_1，SW7_2，SW5_3がH状態となると、ラッチ回路L_9の出力信号（L状態）を反転した信号およびラッチ回路L_7の出力信号（L状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_5の出力信号（L状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はL状態となる。AND回路AND0の出力信号がL状態であるため、AND回路AND1の出力信号はL状態である。続いて、制御信号LATSETがL状態からH状態に変化した後、L状態となる。この間、検出結果LATENはL状態のまま変化しない。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b1000である。
【０１０８】
<手順(13)>
続いて、制御信号SW11_1，SW9_2，SW7_3がH状態となると、ラッチ回路L_11の出力信号（L状態）を反転した信号およびラッチ回路L_9の出力信号（L状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_7の出力信号（L状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はL状態となる。AND回路AND0の出力信号がL状態であるため、AND回路AND1の出力信号はL状態である。続いて、制御信号LATSETがL状態からH状態に変化した後、L状態となる。この間、検出結果LATENはL状態のまま変化しない。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b1000である。
【０１０９】
<手順(14)>
続いて、制御信号SW13_1，SW11_2，SW9_3がH状態となると、ラッチ回路L_13の出力信号（H状態）を反転した信号およびラッチ回路L_11の出力信号（L状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_9の出力信号（L状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はL状態となる。AND回路AND0の出力信号がL状態であるため、AND回路AND1の出力信号はL状態である。続いて、制御信号LATSETがL状態からH状態に変化した後、L状態となる。この間、検出結果LATENはL状態のまま変化しない。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b1000である。
【０１１０】
<手順(15)>
続いて、制御信号SW15_1，SW13_2，SW11_3がH状態となると、ラッチ回路L_15の出力信号（H状態またはL状態）を反転した信号およびラッチ回路L_13の出力信号（H状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_11の出力信号（L状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はL状態となる。AND回路AND0の出力信号がL状態であるため、AND回路AND1の出力信号はL状態である。続いて、制御信号LATSETがL状態からH状態に変化した後、L状態となる。この間、検出結果LATENはL状態のまま変化しない。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b1000である。
【０１１１】
<手順(16)>
最後に、制御信号SW0_1，SW15_2，SW13_3ではなく、制御信号SW2_1，SW15_2，SW13_3がH状態となると、ラッチ回路L_2の出力信号（H状態）を反転した信号およびラッチ回路L_15の出力信号（H状態またはL状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_13の出力信号（L状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はL状態となる。AND回路AND0の出力信号がL状態であるため、AND回路AND1の出力信号はL状態である。続いて、制御信号LATSETがL状態からH状態に変化した後、L状態となる。この間、検出結果LATENはL状態のまま変化しない。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b1000である。
【０１１２】
上記の方法により、『状態8』に対応したエンコード値（DO[3:0]=4’b1000）が確定する。下位位相信号CK[0]の位相が下位位相信号CK[15]の位相よりも進んでおり、下位位相信号CK[13]の位相が下位位相信号CK[15]の位相よりも遅れている場合、ラッチ部108にラッチされた下位位相信号CK[0]がL状態、下位位相信号CK[15]がL状態、下位位相信号CK[13]がH状態となることがある。この状態で仮に、従来のエンコード方法（『3連続である3個』の下位位相信号の論理状態が所定の論理状態“001”であることを検出する方法）でエンコードを行った場合、手順(16)において、ラッチ部108にラッチされた下位位相信号CK[0]，CK[15]，CK[13]がそれぞれL状態、L状態、H状態であるため検出結果LATENがH状態となる。このため、エンコード回路106の出力信号DO[3:0]が4’b1111となり、“15”と“8”の差分である“7”のエラーが下位データに発生する。これに対して、本実施形態では、下位位相信号CK[0]の位相が下位位相信号CK[15]の位相よりも進んでおり、下位位相信号CK[13]の位相が下位位相信号CK[15]の位相よりも遅れている場合であっても、下位位相信号CK[0]〜CK[15]の状態が『状態8』である場合のエンコードではエラーが発生しない。
【０１１３】
上述したように、本実施形態によれば、3個の下位位相信号の論理状態を検出する動作において、『3連続ではない3個』の下位位相信号の論理状態を検出する動作を行うことによって、下位位相信号のエンコードにおけるエラーの発生を低減することができる。したがって、TDC型AD変換回路およびそれを用いた固体撮像装置において高精度なAD変換を行うことができる。
【０１１４】
（第2の実施形態）
次に、本発明の第2の実施形態を説明する。図6は、本実施形態のラッチ部108、検出回路107、エンコード回路106の構成を示している。ラッチ部108の構成は第1の実施形態と同様であるので、説明を省略する。
【０１１５】
検出回路107は、AND回路AND0，AND1，AND2、RSラッチRS0で構成されている。AND回路AND0，AND1については第1の実施形態と同様であるので、説明を省略する。RSラッチRS0には、AND回路AND1の出力信号と制御信号RSLRSTが入力される。RSラッチRS0は、制御信号RSLRSTによってリセットされた後、AND回路AND1の出力信号がL状態からH状態に変化するときに出力信号がL状態からH状態に変化し、その後、制御信号RSLRSTによってリセットされるまで、AND回路AND1の出力信号の状態にかかわらず出力信号をH状態に保つ。AND回路AND2には、RSラッチRS0の出力信号と計数信号LATCNTが入力される。AND回路AND2は、入力された2つの信号のAND演算を行い、下位計数信号（状態検出信号）を生成する。
【０１１６】
エンコード回路106は、AND回路AND3、カウンタ回路CN0で構成されている。カウンタ回路CN0にはAND回路AND2からの下位計数信号が入力される。カウンタ回路CN0は下位計数信号をカウントクロックとしてカウントを行い、エンコード値を確定する。尚、これらは一例であって、これに限る必要はない。
【０１１７】
次に、検出回路107およびエンコード回路106の動作を説明する。本実施形態では、図13に示したように、ラッチ部108にラッチされた下位位相信号CK[0]，CK[2]，CK[4]，CK[6]，CK[8]，CK[10]，CK[12]，CK[14]，CK[1]，CK[3]，CK[5]，CK[7]，CK[9]，CK[11]，CK[13]，CK[15]をこの順に並べた信号群（信号列）において、3個の下位位相信号の論理状態がそれぞれ順にL状態、L状態、H状態となっていることが検出され、その論理状態が検出された位置に応じてエンコード値が決定される。
【０１１８】
3個の下位位相信号の論理状態を検出する動作（第1の検出動作）では、上記のように並べた信号群（信号列）において『3連続である3個』の下位位相信号の論理状態を検出する動作と、『3連続ではない3個』の下位位相信号の論理状態を検出する動作（第2の検出動作）とが行われる。『3連続ではない3個』の下位位相信号の論理状態を検出する動作では、連続する2個の下位位相信号と、その2個の下位位相信号のいずれとも連続しない1個の下位位相信号との論理状態が検出される。
【０１１９】
制御信号SW0_1〜SW15_1，SW0_2〜SW15_2，SW0_3〜SW15_3により、下位位相信号CK[0]〜CK[15]が保持されているラッチ回路L_0〜L_15の中から選択された3個のラッチ回路から下位位相信号が検出回路107に入力され、入力された下位位相信号の論理状態が検出される。AND回路AND0によるAND演算の結果がH状態となったタイミングで、下位位相信号CK[0]〜CK[15]の状態に応じた数のパルスからなる下位計数信号の生成が開始され、カウンタ回路CN0が下位計数信号のカウントを開始する。カウントが終了したときのカウンタ回路CN0のカウント値DO[0]〜DO[3]がエンコード結果となる。以下では詳細な動作を説明する。
【０１２０】
図7は、検出回路107およびエンコード回路106の動作に係る各信号の波形を示している。以下では、ラッチ部108にラッチされた下位位相信号CK[0]〜CK[15]の状態が『状態3』である場合を例として説明する。以下の手順(1)〜(15)のうち、手順(1)において、『3連続ではない3個』の下位位相信号の論理状態を検出する動作が行われ、それ以外の手順では、『3連続である3個』の下位位相信号の論理状態を検出する動作が行われる。
【０１２１】
<<エンコード手順>>
<手順(1)>
まず、制御信号SW0_0，SW15_2，SW13_3ではなく、制御信号SW2_0，SW15_2，SW13_3がH状態となると、ラッチ回路L_2の出力信号（H状態）を反転した信号およびラッチ回路L_15の出力信号（H状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_13の出力信号（H状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はL状態となる。AND回路AND0の出力信号がL状態であるため、AND回路AND1の出力信号はL状態であり、RSラッチRS0の出力信号はL状態である。続いて、計数信号LATCNTがL状態からH状態となり再度L状態となるが、AND回路AND2から下位計数信号のパルスは出力されない。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b0000である。
【０１２２】
<手順(2)>
続いて、制御信号SW15_1，SW13_2，SW11_3がH状態となると、ラッチ回路L_15の出力信号（H状態）を反転した信号およびラッチ回路L_13の出力信号（H状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_11の出力信号（H状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はL状態となる。AND回路AND0の出力信号がL状態であるため、AND回路AND1の出力信号はL状態であり、RSラッチRS0の出力信号はL状態である。続いて、計数信号LATCNTがL状態からH状態となり再度L状態となるが、AND回路AND2から下位計数信号のパルスは出力されない。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b0000である。
【０１２３】
<手順(3)>
続いて、制御信号SW13_1，SW11_2，SW9_3がH状態となると、ラッチ回路L_13の出力信号（H状態）を反転した信号およびラッチ回路L_11の出力信号（H状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_9の出力信号（H状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はL状態となる。AND回路AND0の出力信号がL状態であるため、AND回路AND1の出力信号はL状態であり、RSラッチRS0の出力信号はL状態である。続いて、計数信号LATCNTがL状態からH状態となり再度L状態となるが、AND回路AND2から下位計数信号のパルスは出力されない。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b0000である。
【０１２４】
<手順(4)>
続いて、制御信号SW11_1，SW9_2，SW7_3がH状態となると、ラッチ回路L_11の出力信号（H状態）を反転した信号およびラッチ回路L_9の出力信号（H状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_7の出力信号（H状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はL状態となる。AND回路AND0の出力信号がL状態であるため、AND回路AND1の出力信号はL状態であり、RSラッチRS0の出力信号はL状態である。続いて、計数信号LATCNTがL状態からH状態となり再度L状態となるが、AND回路AND2から下位計数信号のパルスは出力されない。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b0000である。
【０１２５】
<手順(5)>
続いて、制御信号SW9_1，SW7_2，SW5_3がH状態となると、ラッチ回路L_9の出力信号（H状態）を反転した信号およびラッチ回路L_7の出力信号（H状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_5の出力信号（H状態またはL状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はL状態となる。AND回路AND0の出力信号がL状態であるため、AND回路AND1の出力信号はL状態であり、RSラッチRS0の出力信号はL状態である。続いて、計数信号LATCNTがL状態からH状態となり再度L状態となるが、AND回路AND2から下位計数信号のパルスは出力されない。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b0000である。
【０１２６】
<手順(6)>
続いて、制御信号SW7_1，SW5_2，SW3_3がH状態となると、ラッチ回路L_7の出力信号（H状態）を反転した信号およびラッチ回路L_5の出力信号（H状態またはL状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_3の出力信号（L状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はL状態となる。AND回路AND0の出力信号がL状態であるため、AND回路AND1の出力信号はL状態であり、RSラッチRS0の出力信号はL状態である。続いて、計数信号LATCNTがL状態からH状態となり再度L状態となるが、AND回路AND2から下位計数信号のパルスは出力されない。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b0000である。
【０１２７】
<手順(7)>
続いて、制御信号SW5_1，SW3_2，SW1_3がH状態となると、ラッチ回路L_5の出力信号（H状態またはL状態）を反転した信号およびラッチ回路L_3の出力信号（L状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_1の出力信号（L状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はL状態となる。AND回路AND0の出力信号がL状態であるため、AND回路AND1の出力信号はL状態であり、RSラッチRS0の出力信号はL状態である。続いて、計数信号LATCNTがL状態からH状態となり再度L状態となるが、AND回路AND2から下位計数信号のパルスは出力されない。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b0000である。
【０１２８】
<手順(8)>
続いて、制御信号SW3_1，SW1_2，SW14_3がH状態となると、ラッチ回路L_3の出力信号（L状態）を反転した信号およびラッチ回路L_1の出力信号（L状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_14の出力信号（L状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はL状態となる。AND回路AND0の出力信号がL状態であるため、AND回路AND1の出力信号はL状態であり、RSラッチRS0の出力信号はL状態である。続いて、計数信号LATCNTがL状態からH状態となり再度L状態となるが、AND回路AND2から下位計数信号のパルスは出力されない。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b0000である。
【０１２９】
<手順(9)>
続いて、制御信号SW1_1，SW14_2，SW12_3がH状態となると、ラッチ回路L_1の出力信号（L状態）を反転した信号およびラッチ回路L_14の出力信号（L状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_12の出力信号（L状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はL状態となる。AND回路AND0の出力信号がL状態であるため、AND回路AND1の出力信号はL状態であり、RSラッチRS0の出力信号はL状態である。続いて、計数信号LATCNTがL状態からH状態となり再度L状態となるが、AND回路AND2から下位計数信号のパルスは出力されない。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b0000である。
【０１３０】
<手順(10)>
続いて、制御信号SW14_1，SW12_2，SW10_3がH状態となると、ラッチ回路L_14の出力信号（L状態）を反転した信号およびラッチ回路L_12の出力信号（L状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_10の出力信号（L状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はL状態となる。AND回路AND0の出力信号がL状態であるため、AND回路AND1の出力信号はL状態であり、RSラッチRS0の出力信号はL状態である。続いて、計数信号LATCNTがL状態からH状態となり再度L状態となるが、AND回路AND2から下位計数信号のパルスは出力されない。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b0000である。
【０１３１】
<手順(11)>
続いて、制御信号SW12_1，SW10_2，SW8_3がH状態となると、ラッチ回路L_12の出力信号（L状態）を反転した信号およびラッチ回路L_10の出力信号（L状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_8の出力信号（L状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はL状態となる。AND回路AND0の出力信号がL状態であるため、AND回路AND1の出力信号はL状態であり、RSラッチRS0の出力信号はL状態である。続いて、計数信号LATCNTがL状態からH状態となり再度L状態となるが、AND回路AND2から下位計数信号のパルスは出力されない。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b0000である。
【０１３２】
<手順(12)>
続いて、制御信号SW10_1，SW8_2，SW6_3がH状態となると、ラッチ回路L_10の出力信号（L状態）を反転した信号およびラッチ回路L_8の出力信号（L状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_6の出力信号（L状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はL状態となる。AND回路AND0の出力信号がL状態であるため、AND回路AND1の出力信号はL状態であり、RSラッチRS0の出力信号はL状態である。続いて、計数信号LATCNTがL状態からH状態となり再度L状態となるが、AND回路AND2から下位計数信号のパルスは出力されない。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b0000である。
【０１３３】
<手順(13)>
続いて、制御信号SW8_1，SW6_2，SW4_2がH状態となると、ラッチ回路L_8の出力信号（L状態）を反転した信号およびラッチ回路L_6の出力信号（L状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_4の出力信号（H状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はH状態となる。制御信号LATSETがL状態からH状態となると、AND回路AND１の出力信号がH状態となる。これにより、RSラッチRS0の出力信号はH状態となる。続いて、計数信号LATCNTがL状態からH状態となり再度L状態となると、AND回路AND2から1パルス分の下位計数信号が出力される。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b0001である。
【０１３４】
<手順(14)>
続いて、制御信号SW6_1，SW4_1，SW2_2がH状態となると、ラッチ回路L_6の出力信号（L状態）を反転した信号およびラッチ回路L_4の出力信号（H状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_2の出力信号（H状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はL状態となる。AND回路AND0の出力信号がL状態であるため、AND回路AND1の出力信号はL状態であるが、RSラッチRS0に入力される制御信号RSLRSTがL状態であるため、RSラッチRS0の出力信号はH状態である。続いて、計数信号LATCNTがL状態からH状態となり再度L状態となると、AND回路AND2から1パルス分の下位計数信号が出力される。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b0010である。
【０１３５】
<手順(15)>
最後に、制御信号SW4_1，SW2_2，SW0_3がH状態となると、ラッチ回路L_4の出力信号（H状態）を反転した信号およびラッチ回路L_2の出力信号（H状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_0の出力信号（H状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はL状態となる。AND回路AND0の出力信号がL状態であるため、AND回路AND1の出力信号はL状態であるが、RSラッチRS0に入力される制御信号RSLRSTがL状態であるため、RSラッチRS0の出力信号はH状態である。続いて、計数信号LATCNTがL状態からH状態となり再度L状態となると、AND回路AND2から1パルス分の下位計数信号が出力される。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b0011である。
【０１３６】
上記の方法により、『状態3』に対応したエンコード値（DO[3:0]=4’b0011）が確定する。
【０１３７】
次に、ラッチ部108にラッチされた下位位相信号CK[0]〜CK[15]の状態が『状態15』であり、ノイズ等の影響により下位位相信号CK[0]の位相が下位位相信号CK[15]の位相よりも進んでいる場合について説明する。図8は、検出回路107およびエンコード回路106の動作に係る各信号の波形を示している。以下では、下位位相信号CK[0]の位相が下位位相信号CK[15]の位相よりも、VCO100を構成する遅延ユニット2個分の遅延時間に相当する分だけ進んでいるものとする。以下の手順(1)〜(15)のうち、手順(1)において、『3連続ではない3個』の下位位相信号の論理状態を検出する動作が行われ、それ以外の手順では、『3連続である3個』の下位位相信号の論理状態を検出する動作が行われる。
【０１３８】
<<エンコード手順>>
<手順(1)>
まず、制御信号SW0_0，SW15_2，SW13_3ではなく、制御信号SW2_0，SW15_2，SW13_3がH状態となると、ラッチ回路L_2の出力信号（L状態）を反転した信号およびラッチ回路L_15の出力信号（L状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_13の出力信号（H状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はH状態となる。制御信号LATSETがL状態からH状態となると、AND回路AND１の出力信号がH状態となる。これにより、RSラッチRS0の出力信号はH状態となる。続いて、計数信号LATCNTがL状態からH状態となり再度L状態となると、AND回路AND2から1パルス分の下位計数信号が出力される。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b0001である。
【０１３９】
<手順(2)>
続いて、制御信号SW15_1，SW13_2，SW11_3がH状態となると、ラッチ回路L_15の出力信号（L状態）を反転した信号およびラッチ回路L_13の出力信号（H状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_11の出力信号（H状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はL状態となる。AND回路AND0の出力信号がL状態であるため、AND回路AND1の出力信号はL状態であるが、RSラッチRS0に入力される制御信号RSLRSTがL状態であるため、RSラッチRS0の出力信号はH状態である。続いて、計数信号LATCNTがL状態からH状態となり再度L状態となると、AND回路AND2から1パルス分の下位計数信号が出力される。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b0010である。
【０１４０】
<手順(3)>
続いて、制御信号SW13_1，SW11_2，SW9_3がH状態となると、ラッチ回路L_13の出力信号（H状態）を反転した信号およびラッチ回路L_11の出力信号（H状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_9の出力信号（H状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はL状態となる。AND回路AND0の出力信号がL状態であるため、AND回路AND1の出力信号はL状態であるが、RSラッチRS0に入力される制御信号RSLRSTがL状態であるため、RSラッチRS0の出力信号はH状態である。続いて、計数信号LATCNTがL状態からH状態となり再度L状態となると、AND回路AND2から1パルス分の下位計数信号が出力される。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b0011である。
【０１４１】
<手順(4)>
続いて、制御信号SW11_1，SW9_2，SW7_3がH状態となると、ラッチ回路L_11の出力信号（H状態）を反転した信号およびラッチ回路L_9の出力信号（H状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_7の出力信号（H状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はL状態となる。AND回路AND0の出力信号がL状態であるため、AND回路AND1の出力信号はL状態であるが、RSラッチRS0に入力される制御信号RSLRSTがL状態であるため、RSラッチRS0の出力信号はH状態である。続いて、計数信号LATCNTがL状態からH状態となり再度L状態となると、AND回路AND2から1パルス分の下位計数信号が出力される。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b0100である。
【０１４２】
<手順(5)>
続いて、制御信号SW9_1，SW7_2，SW5_3がH状態となると、ラッチ回路L_9の出力信号（H状態）を反転した信号およびラッチ回路L_7の出力信号（H状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_5の出力信号（H状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はL状態となる。AND回路AND0の出力信号がL状態であるため、AND回路AND1の出力信号はL状態であるが、RSラッチRS0に入力される制御信号RSLRSTがL状態であるため、RSラッチRS0の出力信号はH状態である。続いて、計数信号LATCNTがL状態からH状態となり再度L状態となると、AND回路AND2から1パルス分の下位計数信号が出力される。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b0101である。
【０１４３】
<手順(6)>
続いて、制御信号SW7_1，SW5_2，SW3_3がH状態となると、ラッチ回路L_7の出力信号（H状態）を反転した信号およびラッチ回路L_5の出力信号（H状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_3の出力信号（H状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はL状態となる。AND回路AND0の出力信号がL状態であるため、AND回路AND1の出力信号はL状態であるが、RSラッチRS0に入力される制御信号RSLRSTがL状態であるため、RSラッチRS0の出力信号はH状態である。続いて、計数信号LATCNTがL状態からH状態となり再度L状態となると、AND回路AND2から1パルス分の下位計数信号が出力される。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b0110である。
【０１４４】
<手順(7)>
続いて、制御信号SW5_1，SW3_2，SW1_3がH状態となると、ラッチ回路L_5の出力信号（H状態）を反転した信号およびラッチ回路L_3の出力信号（H状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_1の出力信号（H状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はL状態となる。AND回路AND0の出力信号がL状態であるため、AND回路AND1の出力信号はL状態であるが、RSラッチRS0に入力される制御信号RSLRSTがL状態であるため、RSラッチRS0の出力信号はH状態である。続いて、計数信号LATCNTがL状態からH状態となり再度L状態となると、AND回路AND2から1パルス分の下位計数信号が出力される。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b0111である。
【０１４５】
<手順(8)>
続いて、制御信号SW3_1，SW1_2，SW14_3がH状態となると、ラッチ回路L_3の出力信号（H状態）を反転した信号およびラッチ回路L_1の出力信号（H状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_14の出力信号（H状態またはL状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はL状態となる。AND回路AND0の出力信号がL状態であるため、AND回路AND1の出力信号はL状態であるが、RSラッチRS0に入力される制御信号RSLRSTがL状態であるため、RSラッチRS0の出力信号はH状態である。続いて、計数信号LATCNTがL状態からH状態となり再度L状態となると、AND回路AND2から1パルス分の下位計数信号が出力される。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b1000である。
【０１４６】
<手順(9)>
続いて、制御信号SW1_1，SW14_2，SW12_3がH状態となると、ラッチ回路L_1の出力信号（H状態）を反転した信号およびラッチ回路L_14の出力信号（H状態またはL状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_12の出力信号（L状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はL状態となる。AND回路AND0の出力信号がL状態であるため、AND回路AND1の出力信号はL状態であるが、RSラッチRS0に入力される制御信号RSLRSTがL状態であるため、RSラッチRS0の出力信号はH状態である。続いて、計数信号LATCNTがL状態からH状態となり再度L状態となると、AND回路AND2から1パルス分の下位計数信号が出力される。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b1001である。
【０１４７】
<手順(10)>
続いて、制御信号SW14_1，SW12_2，SW10_3がH状態となると、ラッチ回路L_14の出力信号（H状態またはL状態）を反転した信号およびラッチ回路L_12の出力信号（L状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_10の出力信号（L状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はL状態となる。AND回路AND0の出力信号がL状態であるため、AND回路AND1の出力信号はL状態であるが、RSラッチRS0に入力される制御信号RSLRSTがL状態であるため、RSラッチRS0の出力信号はH状態である。続いて、計数信号LATCNTがL状態からH状態となり再度L状態となると、AND回路AND2から1パルス分の下位計数信号が出力される。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b1010である。
【０１４８】
<手順(11)>
続いて、制御信号SW12_1，SW10_2，SW8_3がH状態となると、ラッチ回路L_12の出力信号（L状態）を反転した信号およびラッチ回路L_10の出力信号（L状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_8の出力信号（L状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はL状態となる。AND回路AND0の出力信号がL状態であるため、AND回路AND1の出力信号はL状態であるが、RSラッチRS0に入力される制御信号RSLRSTがL状態であるため、RSラッチRS0の出力信号はH状態である。続いて、計数信号LATCNTがL状態からH状態となり再度L状態となると、AND回路AND2から1パルス分の下位計数信号が出力される。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b1011である。
【０１４９】
<手順(12)>
続いて、制御信号SW10_1，SW8_2，SW6_3がH状態となると、ラッチ回路L_10の出力信号（L状態）を反転した信号およびラッチ回路L_8の出力信号（L状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_6の出力信号（L状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はL状態となる。AND回路AND0の出力信号がL状態であるため、AND回路AND1の出力信号はL状態であるが、RSラッチRS0に入力される制御信号RSLRSTがL状態であるため、RSラッチRS0の出力信号はH状態である。続いて、計数信号LATCNTがL状態からH状態となり再度L状態となると、AND回路AND2から1パルス分の下位計数信号が出力される。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b1100である。
【０１５０】
<手順(13)>
続いて、制御信号SW8_1，SW6_2，SW4_2がH状態となると、ラッチ回路L_8の出力信号（L状態）を反転した信号およびラッチ回路L_6の出力信号（L状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_4の出力信号（L状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はL状態となる。AND回路AND0の出力信号がL状態であるため、AND回路AND1の出力信号はL状態であるが、RSラッチRS0に入力される制御信号RSLRSTがL状態であるため、RSラッチRS0の出力信号はH状態である。続いて、計数信号LATCNTがL状態からH状態となり再度L状態となると、AND回路AND2から1パルス分の下位計数信号が出力される。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b1101である。
【０１５１】
<手順(14)>
続いて、制御信号SW6_1，SW4_1，SW2_2がH状態となると、ラッチ回路L_6の出力信号（L状態）を反転した信号およびラッチ回路L_4の出力信号（L状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_2の出力信号（L状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はL状態となる。AND回路AND0の出力信号がL状態であるため、AND回路AND1の出力信号はL状態であるが、RSラッチRS0に入力される制御信号RSLRSTがL状態であるため、RSラッチRS0の出力信号はH状態である。続いて、計数信号LATCNTがL状態からH状態となり再度L状態となると、AND回路AND2から1パルス分の下位計数信号が出力される。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b1110である。
【０１５２】
<手順(15)>
最後に、制御信号SW4_1，SW2_2，SW0_3がH状態となると、ラッチ回路L_4の出力信号（L状態）を反転した信号およびラッチ回路L_2の出力信号（L状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_0の出力信号（H状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はH状態となる。制御信号LATSETがL状態からH状態となると、AND回路AND1の出力信号はH状態となるが、RSラッチRS0に入力される制御信号RSLRSTがL状態であるため、RSラッチRS0の出力信号はH状態である。続いて、計数信号LATCNTがL状態からH状態となり再度L状態となると、AND回路AND2から1パルス分の下位計数信号が出力される。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b1111である。
【０１５３】
上記の方法により、『状態15』に対応したエンコード値（DO[3:0]=4’b1111）が確定する。下位位相信号CK[0]の位相が下位位相信号CK[15]の位相よりも進んでいる場合、ラッチ部108にラッチされた下位位相信号CK[0]がH状態、下位位相信号CK[15]がL状態、下位位相信号CK[13]がH状態となることがある。この状態で仮に、従来のエンコード方法（『3連続である3個』の下位位相信号の論理状態が所定の論理状態“001”であることを検出する方法）でエンコードを行った場合、手順(1)において、ラッチ部108にラッチされた下位位相信号CK[0]，CK[15]，CK[13]がそれぞれH状態、L状態、H状態であるためAND回路AND0，AND1の出力信号がL状態となり、RSラッチRS0の出力信号がL状態となるため、AND回路AND2から下位計数信号のパルスは出力されない。
【０１５４】
このため、手順(1)〜(14)ではAND回路AND2から下位計数信号のパルスは出力されず、手順(15)でAND回路AND2から1パルス分の下位計数信号が出力される。これにより、手順(15)が終了したときのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]が4’b0001となり、“15”と“1”の差分である“14”のエラーが下位データに発生する。これに対して、本実施形態では、下位位相信号CK[0]の位相が下位位相信号CK[15]の位相よりも進んでいる場合であっても、下位位相信号CK[0]〜CK[15]の状態が『状態15』である場合のエンコードではエラーが発生しない。
【０１５５】
上述したように、本実施形態によれば、3個の下位位相信号の論理状態を検出する動作において、『3連続ではない3個』の下位位相信号の論理状態を検出する動作を行うことによって、下位位相信号のエンコードにおけるエラーの発生を低減することができる。したがって、TDC型AD変換回路およびそれを用いた固体撮像装置において高精度なAD変換を行うことができる。
【０１５６】
（第3の実施形態）
次に、本発明の第3の実施形態を説明する。図9は、本実施形態のラッチ部108、検出回路107、エンコード回路106の構成を示している。本実施形態では、3個ではなく2個の下位位相信号の論理状態を検出するように構成が変更されている。
【０１５７】
ラッチ部108は、比較部109からの比較出力COが反転した時点での下位位相信号CK[0]〜CK[15]の論理状態をラッチするラッチ回路L_0〜L_15で構成されている。制御信号SW0_1〜SW15_1，SW0_2〜SW15_2は、ラッチ回路L_0〜L_15にラッチされた下位位相信号CK[0]〜CK[15]から所望の下位位相信号を検出回路107に出力するためのスイッチを制御する信号である。
【０１５８】
検出回路107は、AND回路AND0，AND1で構成されている。AND回路AND0には、ラッチ回路L_0〜L_15の何れか1つから出力された下位位相信号と、ラッチ回路L_0〜L_15の他の何れか1つから出力された下位位相信号を反転した信号とが入力される。AND回路AND0は、入力された2つの信号のAND演算を行う。AND回路AND 1には、AND回路AND0の出力信号と制御信号LATSETが入力される。AND回路AND1は、入力された2つの信号のAND演算を行い、その結果を所定の論理状態の検出結果LATEN（状態検出信号）として出力する。
【０１５９】
エンコード回路106は、エンコード用のラッチ回路D_0〜D_3で構成されている。エンコード回路106の構成は、第1の実施形態におけるエンコード回路106の構成と同様であるため、説明を省略する。尚、これらは一例であって、これに限る必要はない。
【０１６０】
次に、検出回路107およびエンコード回路106の動作を説明する。本実施形態では、図13に示したように、ラッチ部108にラッチされた下位位相信号CK[0]，CK[2]，CK[4]，CK[6]，CK[8]，CK[10]，CK[12]，CK[14]，CK[1]，CK[3]，CK[5]，CK[7]，CK[9]，CK[11]，CK[13]，CK[15]をこの順に並べた信号群（信号列）において、2個の下位位相信号の論理状態がそれぞれ順にL状態、H状態となっていることが検出され、その論理状態が検出された位置に応じてエンコード値が決定される。
【０１６１】
2個の下位位相信号の論理状態を検出する動作（第1の検出動作）では、上記のように並べた信号群（信号列）において『2連続である2個』の下位位相信号の論理状態を検出する動作と、『2連続ではない2個』の下位位相信号の論理状態を検出する動作（第2の検出動作）とが行われる。
【０１６２】
制御信号SW0_1〜SW15_1，SW0_2〜SW15_2により、下位位相信号CK[0]〜CK[15]が保持されているラッチ回路L_0〜L_15の中から選択された2個のラッチ回路から下位位相信号が検出回路107に入力され、入力された下位位相信号の論理状態が検出される。AND回路AND0によるAND演算の結果がH状態となったときのエンコード値DIN[0]〜DIN[3]がエンコード結果となる。以下では詳細な動作を説明する。
【０１６３】
図10は、検出回路107およびエンコード回路106の動作に係る各信号の波形を示している。以下では、ラッチ部108にラッチされた下位位相信号CK[0]〜CK[15]の状態が『状態8』であり、ノイズ等の影響により下位位相信号CK[11]の位相が下位位相信号CK[13]の位相よりも遅れている場合を例として説明する。以下では、下位位相信号CK[11]の位相が下位位相信号CK[13]の位相よりも、VCO100を構成する遅延ユニット2個分の遅延時間に相当する分だけ遅れているものとする。以下の手順(1)〜(16)のうち、手順(1)と手順(16)において、『2連続である2個』の下位位相信号の論理状態を検出する動作が行われ、それ以外の手順では、『2連続ではない2個』の下位位相信号の論理状態を検出する動作が行われる。
【０１６４】
<<エンコード手順>>
<手順(1)>
まず、制御信号SW0_1，SW15_2がH状態となると、ラッチ回路L_0の出力信号（H状態またはL状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_15の出力信号（H状態またはL状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はL状態となる。AND回路AND0の出力信号がL状態であるため、AND回路AND1の出力信号はL状態である。続いて、制御信号LATSETがL状態からH状態に変化した後、L状態となる。この間、検出結果LATENはL状態のまま変化しない。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b0000である。
【０１６５】
<手順(2)>
続いて、制御信号SW2_1，SW0_2ではなく、制御信号SW4_1，SW0_2がH状態となると、ラッチ回路L_4の出力信号（H状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_0の出力信号（H状態またはL状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はL状態となる。AND回路AND0の出力信号がL状態であるため、AND回路AND1の出力信号はL状態である。続いて、制御信号LATSETがL状態からH状態に変化した後、L状態となる。この間、検出結果LATENはL状態のまま変化しない。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b0000である。
【０１６６】
<手順(3)>
続いて、制御信号SW4_1，SW2_2ではなく、制御信号SW6_1，SW2_2がH状態となると、ラッチ回路L_6の出力信号（H状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_2の出力信号（H状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はL状態となる。AND回路AND0の出力信号がL状態であるため、AND回路AND1の出力信号はL状態である。続いて、制御信号LATSETがL状態からH状態に変化した後、L状態となる。この間、検出結果LATENはL状態のまま変化しない。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b0000である。
【０１６７】
<手順(4)>
続いて、制御信号SW6_1，SW4_2ではなく、制御信号SW8_1，SW4_2がH状態となると、ラッチ回路L_8の出力信号（H状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_4の出力信号（H状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はL状態となる。AND回路AND0の出力信号がL状態であるため、AND回路AND1の出力信号はL状態である。続いて、制御信号LATSETがL状態からH状態に変化した後、L状態となる。この間、検出結果LATENはL状態のまま変化しない。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b0000である。
【０１６８】
<手順(5)>
続いて、制御信号SW8_1，SW6_2ではなく、制御信号SW10_1，SW6_2がH状態となると、ラッチ回路L_10の出力信号（H状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_6の出力信号（H状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はL状態となる。AND回路AND0の出力信号がL状態であるため、AND回路AND1の出力信号はL状態である。続いて、制御信号LATSETがL状態からH状態に変化した後、L状態となる。この間、検出結果LATENはL状態のまま変化しない。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b0000である。
【０１６９】
<手順(6)>
続いて、制御信号SW10_1，SW8_2ではなく制御信号SW12_1，SW8_2がH状態となると、ラッチ回路L_12の出力信号（H状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_8の出力信号（H状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はL状態となる。AND回路AND0の出力信号がL状態であるため、AND回路AND1の出力信号はL状態である。続いて、制御信号LATSETがL状態からH状態に変化した後、L状態となる。この間、検出結果LATENはL状態のまま変化しない。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b0000である。
【０１７０】
<手順(7)>
続いて、制御信号SW12_1，SW10_2ではなく制御信号SW14_1，SW10_2がH状態となると、ラッチ回路L_14の出力信号（H状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_10の出力信号（H状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はL状態となる。AND回路AND0の出力信号がL状態であるため、AND回路AND1の出力信号はL状態である。続いて、制御信号LATSETがL状態からH状態に変化した後、L状態となる。この間、検出結果LATENはL状態のまま変化しない。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b0000である。
【０１７１】
<手順(8)>
続いて、制御信号SW14_1，SW12_2ではなく制御信号SW1_1，SW12_2がH状態となると、ラッチ回路L_1の出力信号（L状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_12の出力信号（H状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はH状態となる。続いて、制御信号LATSETがL状態からH状態に変化した後、L状態となる。これにより、検出結果LATENがL状態からH状態に変化した後、L状態となり、このときのエンコード値（DIN[3:0]=4’b0111）がエンコード回路106に保持される。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b0111である。
【０１７２】
<手順(9)>
続いて、制御信号SW1_1，SW14_2ではなく制御信号SW3_1，SW14_2がH状態となると、ラッチ回路L_3の出力信号（L状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_14の出力信号（H状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はH状態となる。続いて、制御信号LATSETがL状態からH状態に変化した後、L状態となる。これにより、検出結果LATENがL状態からH状態に変化した後、L状態となり、このときのエンコード値（DIN[3:0]=4’b1000）がエンコード回路106に再度保持される。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b1000である。
【０１７３】
<手順(10)>
続いて、制御信号SW3_1，SW1_2ではなく制御信号SW5_1，SW1_2がH状態となると、ラッチ回路L_5の出力信号（L状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_1の出力信号（L状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はL状態となる。AND回路AND0の出力信号がL状態であるため、AND回路AND1の出力信号はL状態である。続いて、制御信号LATSETがL状態からH状態に変化した後、L状態となる。この間、検出結果LATENはL状態のまま変化しない。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b1000である。
【０１７４】
<手順(11)>
続いて、制御信号SW5_1，SW3_2ではなく制御信号SW7_1，SW3_2がH状態となると、ラッチ回路L_7の出力信号（L状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_3の出力信号（L状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はL状態となる。AND回路AND0の出力信号がL状態であるため、AND回路AND1の出力信号はL状態である。続いて、制御信号LATSETがL状態からH状態に変化した後、L状態となる。この間、検出結果LATENはL状態のまま変化しない。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b1000である。
【０１７５】
<手順(12)>
続いて、制御信号SW7_1，SW5_2ではなく制御信号SW9_1，SW5_2がH状態となると、ラッチ回路L_9の出力信号（L状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_5の出力信号（L状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はL状態となる。AND回路AND0の出力信号がL状態であるため、AND回路AND1の出力信号はL状態である。続いて、制御信号LATSETがL状態からH状態に変化した後、L状態となる。この間、検出結果LATENはL状態のまま変化しない。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b1000である。
【０１７６】
<手順(13)>
続いて、制御信号SW9_1，SW7_2ではなく制御信号SW11_1，SW7_2がH状態となると、ラッチ回路L_11の出力信号（H状態またはL状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_7の出力信号（L状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はL状態となる。AND回路AND0の出力信号がL状態であるため、AND回路AND1の出力信号はL状態である。続いて、制御信号LATSETがL状態からH状態に変化した後、L状態となる。この間、検出結果LATENはL状態のまま変化しない。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b1000である。
【０１７７】
<手順(14)>
続いて、制御信号SW11_1，SW9_2ではなく制御信号SW13_1，SW9_2がH状態となると、ラッチ回路L_13の出力信号（L状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_9の出力信号（L状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はL状態となる。AND回路AND0の出力信号がL状態であるため、AND回路AND1の出力信号はL状態である。続いて、制御信号LATSETがL状態からH状態に変化した後、L状態となる。この間、検出結果LATENはL状態のまま変化しない。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b1000である。
【０１７８】
<手順(15)>
続いて、制御信号SW_13_1，SW11_2ではなく、制御信号SW15_1，SW11_2がH状態となると、ラッチ回路L_15の出力信号（H状態またはL状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_11の出力信号（H状態またはL状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はL状態となる。AND回路AND0の出力信号がL状態であるため、AND回路AND1の出力信号はL状態である。続いて、制御信号LATSETがL状態からH状態に変化した後、L状態となる。この間、検出結果LATENはL状態のまま変化しない。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b1000である。
【０１７９】
<手順(16)>
最後に、制御信号SW15_1，SW13_2がH状態となると、ラッチ回路L_15の出力信号（H状態またはL状態）を反転した信号がAND回路AND0に入力されると共に、ラッチ回路L_13の出力信号（L状態）がAND回路AND0に入力される。これにより、AND回路AND0の出力信号はL状態となる。続いて、制御信号LATSETがL状態からH状態に変化した後、L状態となる。この間、検出結果LATENはL状態のまま変化しない。この時点でのエンコード回路106の出力信号DO[3:0]は4’b1000である。
【０１８０】
上記の方法により、『状態8』に対応したエンコード値（DO[3:0]=4’b1000）が確定する。下位位相信号CK[11]の位相が下位位相信号CK[13]の位相よりも遅れている場合、ラッチ部108にラッチされた下位位相信号CK[13]がL状態、下位位相信号CK[11]がH状態となることがある。この状態で仮に、従来のエンコード方法（『2連続である2個』の下位位相信号の論理状態が所定の論理状態“01”であることを検出する方法）でエンコードを行った場合、手順(15)において、ラッチ部108にラッチされた下位位相信号CK[13]，CK[11]がそれぞれL状態、H状態であるため検出結果LATENがH状態となる。このため、エンコード回路106の出力信号DO[3:0]が4’b1110となり、“14”と“8”の差分である“6”のエラーが下位データに発生する。これに対して、本実施形態では、下位位相信号CK[11]の位相が下位位相信号CK[13]の位相よりも遅れている場合であっても、下位位相信号CK[0]〜CK[15]の状態が『状態8』である場合のエンコードではエラーが発生しない。
【０１８１】
尚、本実施形態では、『2連続ではない2個』の下位位相信号の論理状態を検出する動作が複数回行われる。このため、上記のように下位位相信号CK[11]の位相が下位位相信号CK[13]の位相よりも遅れている場合以外に、ノイズ等の影響により下位位相信号の位相が進んでいる、または遅れている場合でも、エンコードエラーが発生しない。
【０１８２】
上述したように、本実施形態によれば、2個の下位位相信号の論理状態を検出する動作において、『2連続ではない2個』の下位位相信号の論理状態を検出する動作を行うことによって、下位位相信号のエンコードにおけるエラーの発生を低減することができる。したがって、TDC型AD変換回路およびそれを用いた固体撮像装置において高精度なAD変換を行うことができる。
【０１８３】
以上、図面を参照して本発明の実施形態について詳述してきたが、具体的な構成は上記の実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等も含まれる。例えば、上記では、計数部105が下位位相信号の立上りエッジでカウントを行う場合を例に説明したが、計数部105が下位位相信号の立下りエッジでカウントを行う場合も同様である。
【符号の説明】
【０１８４】
2・・・撮像部、5・・・読出電流源部、6・・・アナログ部、12・・・垂直選択部、14・・・水平選択部、15・・・カラム処理部、16・・・列AD変換部、17・・・出力部、18・・・クロック生成部、19・・・ランプ部、20・・・制御部、100，1100・・・VCO、105・・・計数部、106，1106・・・エンコード回路、107，1107・・・検出回路、108，1108・・・ラッチ部、109・・・比較部、110・・・エンコード部
【図１】
2014033362.tif 000003
【図２】
2014033362.tif 000004
【図３】
2014033362.tif 000005
【図４】
2014033362.tif 000006
【図５】
2014033362.tif 000007
【図６】
2014033362.tif 000008
【図７】
2014033362.tif 000009
【図８】
2014033362.tif 000010
【図９】
2014033362.tif 000011
【図１０】
2014033362.tif 000012
【図１１】
2014033362.tif 000013
【図１２】
2014033362.tif 000014
【図１３】
2014033362.tif 000015
【図１４】
2014033362.tif 000016
【図１５】
2014033362.tif 000017
【図１６】
2014033362.tif 000018
【手続補正書】
【提出日】平成24年10月11日(2012.10.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２】
2014033362.tif 000019
【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図９】
2014033362.tif 000020