(57)【要約】【課題】上記した電子ビーム照射時の異常放電(アーキング)が発生した場合にあっても、方向性電磁鋼板を典型例とする鋼材への電子ビーム照射処理を適正に行うための方途について提案する。【解決手段】電子ビームを鋼材に照射して該鋼材に連続的に加工を施すに当たり、前記電子ビームの照射中にアーキングの検知を行って、一定の経過時間内に一定の時間間隔を置いて発生するアーキングが、Ｎ回以上発生した場合に、該Ｎ回目が生じた時点以降の電子ビームの照射電流を低減する。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子ビームを鋼材に照射して該鋼材に連続的に加工を施すに当たり、
前記電子ビームの照射中にアーキングの検知を行って、一定の経過時間内に一定の時間間隔を置いて発生するアーキングが、Ｎ回以上発生した場合に、該Ｎ回目が生じた時点以降の電子ビームの照射電流を低減する鋼材加工方法。
【請求項２】
前記Ｎが３である請求項１に記載の鋼材加工方法。
【請求項３】
前記Ｎ回目が生じた時点以降の電子ビームの照射電流を、前記Ｎ回目が生じた時点の電子ビームの照射電流の５〜30％低減する請求項１または請求項２に記載の鋼材加工方法。
【請求項４】
搬送ライン上を移動する方向性電磁鋼板の表面に、該鋼板の圧延方向と交差する向きに電子ビームを線状に照射することを該鋼板の圧延方向へ間隔を置いて繰り返し行うに当たり、
前記電子ビームの照射中にアーキングの検知を行って、1000[m]/ｖ[m/s]（ｖ：電子ビームの走査速度）の経過時間内に0.05[m]／VL[m/s]（VL：前記搬送ラインにおける鋼板の移動速度）の時間間隔を置いて発生するアーキングが、３回以上発生した場合に、該３回目が生じた時点以降の照射電流を、前記３回目が生じた時点の電子ビームの照射電流の５〜30％の範囲で低減する方向性電磁鋼板の加工方法。
【請求項５】
前記３回目が生じた時点以降の前記電子ビーム照射線の相互間隔を、前記３回目が生じた時点の電子ビーム照射線の相互間隔の５〜30％の範囲で低減する請求項４に記載の方向性電磁鋼板の加工方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、方向性電磁鋼板の磁区細分化処理を典型例とする、電子ビームを用いて鋼材を加工する方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、各種機器における使用エネルギーの効率化が進められており、例えば変圧器においては、動作時のエネルギー損失の低減が求められている。この変圧器で生じる損失には、主に導線に生じる銅損と鉄心に生じる鉄損がある。さらに、鉄損は、ヒステリシス損と渦電流損に分けることができ、前者の低減には、素材の結晶方位の改善や、不純物の低減などが有効であることが知られている。
例えば、特許文献１には、最終冷延前の焼鈍条件を適正化することによって、磁束密度と鉄損に優れた方向性電磁鋼板を製造する方法について示されている。
【０００３】
また、特許文献２には、２次再結晶後の鋼板にプラズマアークを照射することにより、照射前には0.80W/kg以上であった鉄損Ｗ17/50を、0.65W/kg以下に低減する技術が示されている。
【０００４】
さらに、特許文献３には、被膜厚と、電子ビーム照射によって鋼板面に形成された磁区不連続部の平均幅とを適正化することによって、鉄損が低くて騒音が小さいトランス用素材を得る技術が示されている。
ここで、電子ビームによる処理は、電気制御によってビーム偏向の高速化が達成されること、また高加速電圧化によって照射表面からより深い部分にまで熱影響部を形成させること、がメリットであるが、一方で、高真空環境が必須であるという、ハンドリング上の扱い難さがある。特に、電子ビーム照射時には、異常放電(アーキング)が発生して、本来照射させたい部分とは異なる部分に電流が流れてしまうことがある。
【０００５】
この異常放電の原因としては、加工室内部の水蒸気や、ワークが溶融した溶融池からの金属蒸気の一部が、電子銃内部の電極間に入ることが指摘されている。そして、この異常放電の抑制に関し、これまで幾つかの方法が提案されている。
【０００６】
例えば、特許文献４には、電子銃下に真空ポンプを設置することによって、アーキング発生の原因となる金属蒸気を吸引する方法が記載されている。さらに、比較例として、ワーキングディスタンス（WD）を単に拡大する方法やビーム偏向させる方法も記載されている。
また、特許文献５には、コイルを多段偏向することによって、金属蒸気の侵入を防ぐ方法が記載されている。特許文献６には、異常放電の原因である水蒸気を加熱により除去する方法が記載されている。
以上のように、異常放電を抑制する方法は多く考案されているものの、それでも完全な抑制ができていないのが現状である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開2012−1741号公報
【特許文献２】特開2011−246782号公報
【特許文献３】特開2012−52230号公報
【特許文献４】実開昭62−77686号公報
【特許文献５】特開平８−287858号公報
【特許文献６】特開2000−2149841号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところで、方向性電磁鋼板の磁区細分化処理において、異常放電が発生する原因として、上記の水蒸気の他に、鋼板が溶融して気化した物質がある。
前者の水蒸気によるアーキング頻度は、装置の立上げ時には、顕著であるものの、真空排気時間が長時間化するにつれ、ほとんど問題にならない頻度まで下がる。特に、方向性電磁鋼板の磁区細分化処理においては、Air-to-air排気装置により、鋼板に電子ビームが照射される加工室の内部が常に真空状態に維持されることから、鋼板が水分を持ち込まない限り、上記水蒸気はほとんど問題にならない。また、たとえ鋼板上に多少の水蒸気があっても、差圧構造の真空排気装置前段にて、十分に除去され得る。
【０００９】
むしろ問題になるのは、方向性電磁鋼板の被膜あるいは地鉄が溶融して気化した場合である。特に、被膜がMgなどの軽元素から構成され、かような被膜が溶融・気化した場合には、気化物が電子銃の電極間まで容易に達し、異常放電を発生させる傾向がある。
【００１０】
本発明は、上記した電子ビーム照射時の異常放電(アーキング)が発生した場合にあっても、方向性電磁鋼板を典型例とする鋼材への電子ビーム照射処理を適正に行うための方途について提案することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明者らは、被膜付き方向性電磁鋼板に対する電子ビーム照射による磁区細分化処理を鋼材加工の典型例として、電子ビーム照射中の上記したワーク溶融を原因とする異常放電を抑制するための方途について鋭意検討した。その結果、方向性電磁鋼板の加工処理においては、被膜損傷並びに地鉄溶融を抑制することが最も有効であること、具体的には、電子ビームの単位照射長さ当たりの照射熱量を低減させれば良いことが判明した。
一方、電子ビームの単位照射長さ当たりの照射熱量低減は、方向性電磁鋼板への熱歪み導入量の低減と、それにともなう渦電流損改善効果の低下を招いてしまう。このような問題に対して、発明者らは、単位照射長さ当たりの照射熱量を低減させつつ、照射エネルギー密度を一定に保つことによって、被膜溶融を抑制し得ることを先に見出し、一定の効果が得られた。ところが、電子ビーム照射による被膜の損傷程度は、被膜性状によって大きく異なるため、例えば、被膜と地鉄との密着性が著しく悪い場合には、どうしても被膜損傷が生じてしまう。また、照射エネルギー密度を低減すると、電子ビームの照射線数を増加させる必要が生じることから、生産性を大きく損なってしまう。
【００１２】
このような問題に対し、照射するコイル毎に、被膜性状を事前に調査することによって、被膜が損傷しない範囲で生産性が高くなる照射条件を事前決定することも考えられる。しかし、方向性電磁鋼板の被膜は同一のコイル内であっても、場所によってその性状が大きく異なることがある一方で、被膜性状を調査できる範囲は、コイルの極く一部に限定されていることから、コイル内に部分的に存在する、被膜密着性が劣悪となる部分の存在を確実に発見することは難しい。
【００１３】
そこで、発明者らは、被膜損傷を極力回避しつつ、電子ビーム照射による適切な熱歪の導入を可能とする手法について、次のとおり鋭意究明した。
さて、アーキングは、一瞬だけビームが正しく出力されなくなるマイクロアーキングと、照射装置の停止に至る大アーキングとの２種類に分別される。マイクロアーキングは、微小な時間に限定された異常放電現象であり、通常は、数msec以下の時間で生じる。一方、大アーキングは、より長時間絶縁が確保できない場合である。この大アーキングが発生すると、安全装置の働きによって装置が停止してしまい、生産に大きな支障を来たし、損害を与えてしまう。
【００１４】
本発明の代表的用途にかかる、方向性電磁鋼板への電子ビーム照射の場合には、物質の溶融を前提とする溶接などに比較すると、アーキングは比較的軽度であり、マイクロアーキングがほとんどを占める。また、大アーキングが発生する場合においても、マイクロアーキングが事前に数回発生するという予兆がある。
【００１５】
さらに、本発明者らは、図１に示すように、マイクロアーキングの発生回数と、被膜の損傷量に一定の相関関係があることを見出した。この実験は、絶縁被膜付き方向性電磁鋼板に電子ビームを100mm長さで走査することを、圧延方向への繰り返し間隔５mmにて、正常に照射されれば計2000本照射する設定にて行った。その後、光学顕微鏡観察にて、照射長さ100mmのうちで被膜が損傷された部分の割合を求めた。
従って、マイクロアーキングの抑制には、被膜損傷をいかに抑制することが重要になる。
【００１６】
本発明者らは、このような知見に基づいて鋭意検討を行ったところ、アーキングを事前に検知し、その一定時間当たりの発生回数をもとに、電子ビーム照射条件を変更すれば、アーキングを抑制させてなお高い磁区細分化効果が得られることに想到した。すなわち、上述のように被膜が破壊されやすい方向性電磁コイルが通板された場合には、マイクロアーキング発生頻度が高くなるから、その発生回数を判断基準として、直ちにビーム出力を低減する。ただし、それだけでは、低鉄損化効果が低くなってしまうため、同時に圧延方向の照射線間隔を短縮させることが重要である、との新規知見を得るに到った。
【００１７】
本発明は、上記の知見に基づくものであり、その要旨構成は次のとおりである。
（１）電子ビームを鋼材に照射して該鋼材に連続的に加工を施すに当たり、
前記電子ビームの照射中にアーキングの検知を行って、一定の経過時間内に一定の時間間隔を置いて発生するアーキングが、Ｎ回以上発生した場合に、該Ｎ回目が生じた時点以降の電子ビームの照射電流を低減する鋼材加工方法。
【００１８】
（２）前記Ｎが３である前記（１）に記載の鋼材加工方法。
【００１９】
（３）前記Ｎ回目が生じた時点以降の電子ビームの照射電流を、前記Ｎ回目が生じた時点の電子ビームの照射電流の５〜30％低減する前記（１）または（２）に記載の鋼材加工方法。
【００２０】
（４）搬送ライン上を移動する方向性電磁鋼板の表面に、該鋼板の圧延方向と交差する向きに電子ビームを線状に照射することを該鋼板の圧延方向へ間隔を置いて繰り返し行うに当たり、
前記電子ビームの照射中にアーキングの検知を行って、1000[m]/ｖ[m/s]（ｖ：電子ビームの走査速度）の経過時間内に0.05[m]／VL[m/s]（VL：前記搬送ラインにおける鋼板の移動速度）の時間間隔を置いて発生するアーキングが、３回以上発生した場合に、該３回目が生じた時点以降の照射電流を、前記３回目が生じた時点の電子ビームの照射電流の５〜30％の範囲で低減する方向性電磁鋼板の加工方法。
【００２１】
（５）前記３回目が生じた時点以降の前記電子ビーム照射線の相互間隔を、前記３回目が生じた時点の電子ビーム照射線の相互間隔の５〜30％の範囲で低減する前記（４）に記載の方向性電磁鋼板の加工方法。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、マイクロアーキングの発生回数、さらには大アーキングの発生を最大限抑制することができるから、製品歩留まり向上、被膜の再塗布工程の省略、さらには、照射線欠陥（アーキング発生時間中に照射が停止する現象）が抑制されることから磁性などの特性劣化を抑制することが可能であり、その工業的な意味は大きいものである。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】アーキングの発生回数と被膜の損傷量との関係を示すグラフである。
【図２】マイクロアーキングの計測方法を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
本発明の鋼材加工方法について、方向性電磁鋼板への電子ビーム照射による磁区細分化処理を例に、以下に説明する。
まず、電子ビーム照射条件を、照射後に得たい特性（例えば、鉄損や磁歪など）を勘案しながら、後述する好適条件内にて決定する。このとき、事前に調査した被膜性状を反映させて、被膜が破壊されない照射エネルギー条件を可能な範囲で予め求めておいても良い。なお、生産性の観点からは、電子ビームの照射線の相互間隔は出来るだけ広くすることが好ましいが、過度に広くすると、磁区細分化に必要な出力が大きくなって、アーキングの増加につながってしまう点に留意が必要である。なお、上記の事前の調査とは、例えば、方向性電磁鋼板を丸棒に巻き付けたときに、巻き付け面の被膜破壊が生じる最小の丸棒径についての評価することである。この径が小さいほど、より高い応力にまで耐えられる強い被膜であるから、電子ビームのエネルギーを高くしても破壊されにくい傾向がある。
【００２５】
続いて、決定した条件にて、方向性電磁鋼板に電子ビームを照射する。この電子ビーム照射中の時間ｔに、マイクロアーキングが発生したら、この発生時点ｔ（＝０）から予め定めた一定時間tAが経過した後であって、さらに予め定めた経過時間tBの時間内に発生する、マイクロアーキングを計測する。なお、経過時間ｔB内に計測されない場合は、次に初めて計測されたマイクロアーキングの発生時間をｔ（＝０）として上記プロセスに戻る（図２（ａ）参照）。
一方、上記経過時間tB内に計測された場合には、その時間（上記時間内に最も早く発生したアーキングの発生時間）をt(2)（但し、括弧内の数字はカウントしたアーキング回数を示す）として、それから一定時間tAが経過してから時間tBを経る前に発生する、マイクロアーキングを計測する。マイクロアーキングが計測された場合、その時間をt(3)として、それから一定時間tAが経過してから時間tBを経る前に発生する、マイクロアーキングを計測する（図２（ｂ）参照）。
なお、マイクロアーキング発生後に時間tAを経過する以前に、マイクロアーキングが発生した場合にはカウントせず、tA経過後に発生するマイクロアーキングを次のマイクロアーキングとしてカウントする（図２（ｃ）参照）。図２（ｃ）に示すように、この操作を繰り返してカウント数を積み重ねていく。
【００２６】
このような計測プロセスをt(NA)+tA＞tBとなるまで繰り返し、tBの経過時間内に発生したカウント済みのアーキング回数NAを得る。このNAが一定値NC以上の場合には、被膜損傷が起こりやすく、また、アーキングによる照射欠陥が多くなってしまうことから、それを抑制するために、電子ビームの出力を一定量低減する。
なお、アーキング回数の閾値NCは３回以上とすることが好ましい。なぜなら、１〜２回のアーキング発生は、鋼板にごく部分的に付着した埃、水分や油分を起因として、被膜の破壊され易さとは無関係に、しばしば起こり得るためである。
【００２７】
また、電子ビームの出力低減は、上記NCが計測されるまでの電子ビーム照射条件に対して、その５〜30％の範囲で行うことが好ましい。というのは、30％を超えると磁区細分化の効果が不十分になり、一方５％未満では、被膜損傷を抑制する効果が不十分となるからである。
【００２８】
上記の処理において同時に、ライン方向（搬送方向）での単位ライン長さ当たりの電子ビーム照射の総エネルギー量（出力／線間隔に比例）が電子ビームの出力低減前と同じになるように、電子ビームの照射線間隔を、上記NCが計測されるまでの電子ビーム照射時に対して、その５〜30％の範囲で短縮することが好ましい。ここで、５％未満だと磁区細分化の効果が不十分となり、一方30％より大きいと、線間隔が過度に狭くなって生産性が低下してしまう。
【００２９】
以上の電子ビームの照射条件変更の後にも、マイクロアーキングが発生したら、上記に従ってNAを計測し、上記と同様の手順を踏めばよい。１つの電磁鋼板コイルの照射処理が終了したならば、次の電磁鋼板コイルをセットして照射処理を行うが、このとき電磁鋼板コイルの被膜性状が同等と考えられるならば、引続き同じ条件で照射するのが良いし、被膜性状が不明である場合には、再度、照射線間隔が大きな条件に戻しても良い。
【００３０】
さらに、アーキングの発生回数の検出は、公知の手法（例えば、特開昭63−290693号公報および特公平５−32157号公報）を用いてもよいし、その他の手法でもよい。その他の手法として、例えば、絶縁被膜が気化するなどした場合に発生する火花などを観測して、その回数で代替するものでも良い。
【００３１】
なお、上記したアーキングは、発生時に検出する仕組みが公知になっている（例えば、特開昭63−290693号公報および特公平５−32157号公報）。ちなみに、特開昭63−290693号公報では、アーキング検出によって加工条件を変更させる方法も示されている。
【００３２】
次に、方向性電磁鋼板の磁区細分化を施す場合などに、特に好適な一例として、具体的な条件を示す。
［アーキング発生最小時間間隔tA＝0.05[m]/VL[m/s]、最大計測時間tB＝1000[m]/ｖ[m/s]］
上記した電子ビームの照射処理において、仮にアーキング発生頻度が高い電磁鋼板コイルが通板された場合にあっても、可及的速やかにアーキング発生頻度を抑制する措置を取り、アーキング発生の無い正常な照射時間を増大させることが、本発明の趣旨であるから、可能な限り短時間の間に照射条件変更すべきかの判断をする必要がある。
【００３３】
そのために、上記経過時間tBは最大計測時間であり、tB＝1000[m]/ｖ[m/s]とすることが好ましい。但し、ｖは電子ビームの走査速度[m/s]である。
上記式は、電子ビームが1000ｍの長さを走査するのに最小限必要な時間である。アーキングの発生頻度は、電子ビームの走査長さに比例するため、1000ｍであれば、十分にアーキング発生の有無を判断できることが経験的にわかっている。
【００３４】
ここで、電子ビームの走査速度を50m/sとした場合、tB＝20secとなって、１コイル長を2500ｍ、搬送ラインにおける鋼板移動速度（ライン速度）50m／min(0.83m/s)とすると、照射条件変更のための判断に当てられる量は、コイル全長の１％にも満たないものとなる。しかし、一方で、過度に短い領域に発生する短時間でのアーキングは、コイルの極く局所的な表面性状を反映しているに過ぎないから、それをもって、照射条件の可否を判断するのは、線間隔を短縮する処置の頻度が増大して、生産性を過度に損なってしまうので避けるべきである。従って、上記tA（コイル長で50mm＝0.05ｍに相当する時間）の時間制限を併せて設けることとした。
すなわち、上記した一定時間tAはアーキング発生最小時間間隔であり、tA＝0.05[m]/VL[m/s]とすることが好ましい。但し、VLは方向性電磁鋼板の搬送ラインにおける移動速度である。tAを上記に設定した理由は、コイルの極く局所的に異なる表面性状は、コイルの長手方向の50mm以内の長さ範囲で存在していることがほとんどであるからである。
【００３５】
［NC：３回以上］
次に、アーキング回数の閾値NCにつき、１〜２回では、それが鋼板の平均的な情報を反映するとは言いがたいことから、３回以上とした。すなわち、１〜２回のアーキング発生は、鋼板にごく部分的に付着した埃、水分や油分を起因として、被膜の破壊され易さとは無関係に、しばしば起こり得るためである。しかしながら、アーキングであるから、可能な限り少なくすることがよく、その回数を３回とすることが好ましい。
【００３６】
［条件変化量ｘ：５〜30％］
電子ビーム照射条件の変化量は、被膜破壊抑制の効果を確実に得るために、照射電流および電子ビーム照射線の相互間隔のいずれか一方または両方を、少なくとも５％の変化（低減）をさせることが好ましい。一方で、過度に変化させた場合には、照射電流および電子ビーム照射線の相互間隔のいずれか一方または両方を、必要以上に低減させて、生産性を著しく損なうことから30％以下とすることが好ましい。
【００３７】
次に、本発明における電子ビームの照射条件について、その条件毎に説明する。
［加速電圧Va：40〜300kV］
加速電圧は、値が高い方が方向性電磁鋼板の磁区細分化に有利な、細いビーム径を達成しやすいが、40kV以下であると、ビーム径を絞ることが難しくなり鉄損低減効果が小さくなる。一方、300kV以上であると、Ｘ線遮蔽のために装置が過度に大型化し、メンテナンス性が低くなり、それに伴う生産性の低下が生じるため、300kV以下とすることが好ましい。
【００３８】
［電子ビーム径（ビームプロファイル半値幅）：100〜500μｍφ］
ビーム径を100μｍφ未満とする場合、そのために、ワーキングディスタンス（WD）を極度に低減するなどの処置を講じざるを得ず、その場合、１つの電子ビーム源によって偏向照射可能な距離が大幅に減少してしまう。その結果、1200mmほどの広幅コイルに照射を行うためには、多数の電子銃が必要となって、メンテナンス性並びに生産性を減じる。
一方、500μｍφより大きいと、十分な鉄損低減効果が得られない。というのも、鋼板のビーム照射面積（熱歪み導入部分の体積）が過度に増大して、ヒステリシス損が劣化するためである。
【００３９】
［電子ビーム照射パターン］
上記の加速電圧とビーム径を有する電子ビームを鋼板面上で走査させながら、鋼板内部に直線状の熱歪を与えていく。このときの電子ビームの出力や、鋼板上の走査速度は鋼板の低鉄損化に有利な条件となるよう、適宜設定すれば良い。電子ビームの走査は、常時移動し続ける連続的なものであっても良いし、移動と停止を繰返しながら行うドット状のものであってもなんら問題は無い。
【００４０】
また、上記の熱歪を導入する方向は、圧延直角方向からのずれ角が30°以内とすることが望ましい。一般的に、磁化容易軸を横切る向きに導入した熱歪によって、磁区の細分化が起こる。従って、Goss方位粒で主に形成される方向性電磁鋼板においては、圧延直角方向を向いた熱歪があれば、磁区が十分細分化されるし、一方で、圧延直角方向からずれている場合には、その分、余分な熱歪が鋼中に形成されることになり、磁壁移動運動の障害となって、鉄損を劣化してしまう。
【００４１】
さらに、上記線状の熱歪は、圧延方向に一定の間隔を持って周期的に形成する。この間隔（線間隔）は３〜15mmであることが好ましい。線間隔が狭いと、鋼中に形成される歪領域が過度に大きくなって、鉄損（ヒステリシス損）が劣化するだけでなく、生産性を劣化する。一方で、広すぎると、いくら深さ方向に還流磁区を拡大しても、磁区細分化効果が乏しくなり鉄損が改善しない。
【００４２】
［加工室圧力：３Pa以下］
加工室圧力が３Paを超えると、電子銃から発生した電子が残留ガスに散乱され、地鉄に熱影響を与え、還流磁区を形成する電子のエネルギーが減少するため、十分に磁区が細分化されず、鉄損の改善が難しくなる。
【実施例】
【００４３】
地鉄中にSiを質量比で3.2％含有する方向性電磁鋼板に、被膜強度の異なるフォルステライト被膜（素材Ａ、Ｂ、Ｃ）を形成し、さらにその上からリン酸塩系の張力被膜を形成したのち、下記の条件に従って電子ビームを照射して磁区細分化処理を施した。その際、マイクロアーキングの発生を計測し、電子ビームの照射条件を、表１に示すように調整した。長さ2000ｍの電磁鋼板コイルの処理において1000ｍ当たりのアーキングの発生回数と、電子ビーム照射処理後の方向性電磁鋼板の鉄損および電子ビーム加工処理時間とを調査した結果について、表２に示す。
【００４４】
記
電子ビーム照射条件：走査速度30m/s、加速電圧70kV、照射幅（コイル幅）200mm、加工室圧力0.1Pa
なお、方向性電磁鋼板は、1200ｍｍ広幅コイルから200mmにスリット加工して、実験材としたため、素材が同じであれば磁性はどれもほぼ等しい。また、電子ビーム照射条件変更は、１コイル照射中に１回のみとした。
【００４５】
ここで、マイクロアーキングの測定は、特開昭63-290693号公報に示される加速電圧の低下と異常電流の検出によって行った。
磁気特性は、コイル幅中央から20ｍ毎に50枚SST試験片を採取して測定し、それを平均した。なお、条件変更前後での照射部が必ず採取できるようにした。
【００４６】
表１及び２に示すように、本発明の範囲を満足する例は磁気特性が良好となることがわかる。また、tA、tB、NCおよびxをより適正な条件としたNo.５および７では、磁性が良好であり、かつ高速処理を達成することがわかる。 
【００４７】
【表１】
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【００４８】
【表２】
2014199734.tif 000003
【図１】
2014199734.tif 000004
【図２】
2014199734.tif 000005