(57)【要約】【課題】キャビティ基板の印刷用マスクを適切に清掃可能な清掃装置を提供する。【解決手段】キャビティ基板の印刷用マスク１２の清掃装置１０が、収容キャビティ７８に凸部３６を収容した状態で印刷用マスクの一方の面に密着する第１清掃ユニット７２と、凸部の内部の開口を覆う状態で印刷用マスクの他方の面に密着する第２清掃ユニット７０と、第２清掃ユニットに形成された貫通路８０を介して凸部の内部からエアを吸引する吸引装置８６とを備える。これにより、凸部内に充填されている粘性流体５２が、エアとともに、吸引される。したがって、本発明の清掃装置によれば、印刷用マスクの凸部内に充填された粘性流体を除去し、キャビティ基板の印刷用マスクを適切に清掃することが可能となる。【選択図】図１
2014088013.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
キャビティ基板の凹部に嵌合可能な凸部を有し、その凸部の内部に粘性流体が充填されることで、前記凸部に形成されたパターン孔から粘性流体を印刷するための印刷用マスクの清掃装置であって、
当該清掃装置が、
少なくとも１つの前記凸部を収容可能な収容キャビティが形成され、その収容キャビティに前記少なくとも１つの凸部を収容した状態で前記印刷用マスクの一方の面に密着する第１清掃ユニットと、
前記少なくとも１つの凸部の内部の開口を覆う状態で前記印刷用マスクの他方の面に密着する第２清掃ユニットと、
前記第２清掃ユニットに形成された第２ユニット側貫通孔を介して、前記少なくとも１つの凸部の内部からエアを吸引する吸引装置と
を備え、
前記第１清掃ユニットと前記第２清掃ユニットとによって挟まれた前記印刷用マスクの前記少なくとも１つの凸部を清掃することを特徴とする清掃装置。
【請求項２】
前記吸引装置が、
前記第２ユニット側貫通孔を介して、前記少なくとも１つの凸部の内部からエアを吸引するとともに、前記第１清掃ユニットに形成された第１ユニット側貫通孔を介して、前記収容キャビティの内部からもエアを吸引することを特徴とする請求項１に記載の清掃装置。
【請求項３】
当該清掃装置が、
前記第１清掃ユニットに形成された第１ユニット側貫通孔を介して、前記収容キャビティの内部にエアを噴出する噴出装置を備えることを特徴とする請求項１に記載の清掃装置。
【請求項４】
前記収容キャビティが、
１つの前記凸部のみを収容可能な形状に形成され、
前記第１清掃ユニットが、
前記収容キャビティに前記１つの凸部を収容した状態で前記印刷用マスクの一方の面に密着することを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか１つに記載の清掃装置。
【請求項５】
当該清掃装置が、
前記第１清掃ユニットと前記印刷用マスクとによって密閉される空間と、前記第２清掃ユニットと前記印刷用マスクとによって密閉される空間との少なくとも一方に、超音波振動を発生させる振動発生装置を備えることを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか１つに記載の清掃装置。
【請求項６】
当該清掃装置が、
前記第１清掃ユニットと前記印刷用マスクとによって密閉される空間と、前記第２清掃ユニットと前記印刷用マスクとによって密閉される空間との少なくとも一方に、洗浄液を注入する洗浄液注入装置を備えることを特徴とする請求項１ないし請求項５のいずれか１つに記載の清掃装置。
【請求項７】
当該清掃装置が、
前記吸引装置の作動を制御する制御装置を備え、
前記制御装置が、
前記洗浄液注入装置によって、前記第１清掃ユニットと前記印刷用マスクとによって密閉される空間と、前記第２清掃ユニットと前記印刷用マスクとによって密閉される空間との少なくとも一方に洗浄液が注入されてから、所定時間が経過した後に、前記吸引装置によるエアの吸引を開始する洗浄後エア吸引部を有することを特徴とする請求項６に記載の清掃装置。
【請求項８】
当該清掃装置が、
前記収容キャビティの容積の異なる複数の前記第１清掃ユニットを備え、それら複数の第１清掃ユニットのうちの任意のものと前記第２清掃ユニットとによって挟まれた前記印刷用マスクの前記少なくとも１つの凸部を清掃することを特徴とする請求項１ないし請求項７のいずれか１つに記載の清掃装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回路基板に粘性流体を印刷するための印刷用マスクの清掃装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
回路基板に、クリームはんだ等の粘性流体が印刷される際には、印刷用マスクが用いられる。印刷用マスクには、回路基板のパッド等のパターンに合わせてパターン孔が形成されている。そして、回路基板上に載置された印刷用マスクに、粘性流体が塗布されることで、パターン孔を介して、粘性流体が回路基板に印刷される。
【０００３】
また、回路基板には、表面に凹部が形成された基板、所謂、キャビティ基板が存在し、キャビティ基板に対応した印刷用マスクも存在する。キャビティ基板に対応した印刷用マスクには、キャビティ基板の凹部に嵌合可能な凸部が形成されており、その凸部には、パターン孔が形成されている。そして、凸部の内部に粘性流体が充填されることで、キャビティ基板の凹部の底面に、パターン孔を介して、粘性流体が印刷される。粘性流体の印刷作業終了後には、新たな基板への印刷作業に備えて、印刷用マスクの清掃が行われる。ただし、キャビティ基板に対応した印刷用マスクには、凸部により段差があるため、工夫を凝らした清掃を行う必要がある。そこで、下記特許文献には、段差のある印刷用マスクの下側の面、つまり、基板に接触する側の面を、クリーニングペーパを用いて拭き取るための技術が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１１−１２６０４８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記特許文献に記載の技術によれば、キャビティ基板に対応した印刷用マスクの下側の面を適切に清掃することが可能である。しかしながら、キャビティ基板への粘性流体印刷時には、上述したように、印刷用マスクの凸部内に粘性流体が充填されるため、凸部内に充填された粘性流体を除去する必要がある。粘性流体が充填される凸部の内部は、上記特許文献に記載の技術におけるクリーニングペーパによる拭き取り面と反対側の面に開口している。このため、上記特許文献に記載の技術では、凸部内に充填された粘性流体を除去することはできない。また、凸部内の開口をクリーニングペーパによって拭き取っても、凸部の内部に入り込んでいる粘性流体を適切に除去することができない。本発明は、そのような実情に鑑みてなされたものであり、キャビティ基板の印刷用マスクの凸部内に充填された粘性流体を除去し、キャビティ基板の印刷用マスクを適切に清掃することが可能な清掃装置の提供を課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本願の請求項１に記載の清掃装置は、キャビティ基板の凹部に嵌合可能な凸部を有し、その凸部の内部に粘性流体が充填されることで、前記凸部に形成されたパターン孔から粘性流体を印刷するための印刷用マスクの清掃装置であって、当該清掃装置が、少なくとも１つの前記凸部を収容可能な収容キャビティが形成され、その収容キャビティに前記少なくとも１つの凸部を収容した状態で前記印刷用マスクの一方の面に密着する第１清掃ユニットと、前記少なくとも１つの凸部の内部の開口を覆う状態で前記印刷用マスクの他方の面に密着する第２清掃ユニットと、前記第２清掃ユニットに形成された第２ユニット側貫通孔を介して、前記少なくとも１つの凸部の内部からエアを吸引する吸引装置とを備え、前記第１清掃ユニットと前記第２清掃ユニットとによって挟まれた前記印刷用マスクの前記少なくとも１つの凸部を清掃することを特徴とする。
【０００７】
また、請求項２に記載の清掃装置では、請求項１に記載の清掃装置において、前記吸引装置が、前記第２ユニット側貫通孔を介して、前記少なくとも１つの凸部の内部からエアを吸引するとともに、前記第１清掃ユニットに形成された第１ユニット側貫通孔を介して、前記収容キャビティの内部からもエアを吸引することを特徴とする。
【０００８】
また、請求項３に記載の清掃装置は、請求項１に記載の清掃装置において、前記第１清掃ユニットに形成された第１ユニット側貫通孔を介して、前記収容キャビティの内部にエアを噴出する噴出装置を備えることを特徴とする。
【０００９】
また、請求項４に記載の清掃装置では、請求項１ないし請求項３のいずれか１つに記載の清掃装置において、前記収容キャビティが、１つの前記凸部のみを収容可能な形状に形成され、前記第１清掃ユニットが、前記収容キャビティに前記１つの凸部を収容した状態で前記印刷用マスクの一方の面に密着することを特徴とする。
【００１０】
また、請求項５に記載の清掃装置は、請求項１ないし請求項４のいずれか１つに記載の清掃装置において、前記第１清掃ユニットと前記印刷用マスクとによって密閉される空間と、前記第２清掃ユニットと前記印刷用マスクとによって密閉される空間との少なくとも一方に、超音波振動を発生させる振動発生装置を備えることを特徴とする。
【００１１】
また、請求項６に記載の清掃装置は、請求項１ないし請求項５のいずれか１つに記載の清掃装置において、前記第１清掃ユニットと前記印刷用マスクとによって密閉される空間と、前記第２清掃ユニットと前記印刷用マスクとによって密閉される空間との少なくとも一方に、洗浄液を注入する洗浄液注入装置を備えることを特徴とする。
【００１２】
また、請求項７に記載の清掃装置は、請求項６に記載の清掃装置において、前記吸引装置の作動を制御する制御装置を備え、前記制御装置が、前記洗浄液注入装置によって、前記第１清掃ユニットと前記印刷用マスクとによって密閉される空間と、前記第２清掃ユニットと前記印刷用マスクとによって密閉される空間との少なくとも一方に洗浄液が注入されてから、所定時間が経過した後に、前記吸引装置によるエアの吸引を開始する洗浄後エア吸引部を有することを特徴とする。
【００１３】
また、請求項８に記載の清掃装置は、請求項１ないし請求項７のいずれか１つに記載の清掃装置において、前記収容キャビティの容積の異なる複数の前記第１清掃ユニットを備え、それら複数の第１清掃ユニットのうちの任意のものと前記第２清掃ユニットとによって挟まれた前記印刷用マスクの前記少なくとも１つの凸部を清掃することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
請求項１に記載の清掃装置は、印刷用マスクの凸部を収容した状態で印刷用マスクの一方の面に装着される第１清掃ユニットと、凸部の内部の開口を覆った状態で印刷用マスクの他方の面に装着される第２清掃ユニットとを有している。それら２つのユニットが、印刷用マスクに装着されることで、印刷用のマスクの凸部が、２つのユニットによって挟まれる。そして、第２清掃ユニットに形成された貫通孔を介して、凸部の内部からエアが吸引される。これにより、凸部内に充填されている粘性流体が、エアとともに、吸引される。したがって、請求項１に記載の清掃装置によれば、印刷用マスクの凸部内に充填された粘性流体を除去し、キャビティ基板の印刷用マスクを適切に清掃することが可能となる。
【００１５】
また、請求項２に記載の清掃装置では、凸部の内部からエアが吸引されるとともに、第１清掃ユニットに形成された貫通孔を介して、収容キャビティの内部からもエアが吸引される。つまり、請求項２に記載の清掃装置では、凸部を収容する空間が真空に近い状態とされ、凸部内の粘性流体が吸引される。これにより、印刷用マスクの凸部内に充填された粘性流体を、効果的に除去することが可能となる。
【００１６】
また、請求項３に記載の清掃装置では、前記第１清掃ユニットに形成された第１ユニット側貫通孔を介して、収容キャビティの内部にエアが噴出される。噴出されたエアは、印刷用マスクの凸部のパターン孔を介して、凸部内に流れ込む。この際、凸部内に充填されていた粘性流体が、凸部内から剥がされる。そして、凸部内から剥がされた粘性流体が、エアとともに吸引される。これにより、印刷用マスクの凸部内に充填された粘性流体を、効果的に除去することが可能となる。
【００１７】
また、請求項４に記載の清掃装置では、収容キャビティが、１つの凸部の寸法より僅かに大きな形状とされ、第１清掃ユニット内に、その１つの凸部が収容される。これにより、凸部を収容する空間の容積が小さくなり、吸引効果を高くすることが可能となる。
【００１８】
また、請求項５に記載の清掃装置では、凸部を収容する空間に超音波振動を発生させる振動発生装置が設けられる。これにより、粘性流体が凸部内から剥がれ易くなり、粘性流体を効果的に除去することが可能となる。
【００１９】
また、請求項６に記載の清掃装置では、凸部を収容する空間に洗浄液を注入する洗浄液注入装置が設けられる。これにより、粘性流体が凸部内から剥がれ易くなり、粘性流体を効果的に除去することが可能となる。
【００２０】
また、請求項７に記載の清掃装置では、凸部を収容する空間に洗浄液が注入されてから、所定時間が経過した後に、凸部内からエアが吸引される。これにより、凸部内から容易に粘性流体を剥がすことが可能となり、粘性流体を効果的に除去することが可能となる。
【００２１】
また、請求項８に記載の清掃装置では、収容キャビティの容積の異なる複数の第１清掃ユニットが設けられており、それら複数の第１清掃ユニットのうちの任意のものが、印刷用マスクに装着される。つまり、凸部の寸法に応じて第１清掃ユニットを交換することが可能となる。これにより、凸部の寸法に応じて、凸部を収容する空間の容積を小さくすることが可能となり、吸引効果を高くすることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の実施例である清掃装置を示す断面図である
【図２】印刷用マスクが載置された状態のキャビティ基板を示す断面図である。
【図３】凹部の底面にクリーム半田が印刷される際のキャビティ基板を示す断面図である。
【図４】トップ面にクリーム半田が印刷される際のキャビティ基板を示す断面図である。
【図５】清掃装置の備える制御装置を示すブロック図である。
【図６】下部ハウジングが交換された清掃装置を示す断面図である。
【図７】変形例の清掃装置を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、本発明を実施するための形態として、本発明の実施例および変形例を、図を参照しつつ詳しく説明する。
【００２４】
＜実施例＞
図１に、本発明の実施例の清掃装置１０を示す。清掃装置１０は、印刷用マスク１２を清掃するための装置である。印刷用マスク１２は、半田印刷機（図２参照）２０によってキャビティ基板（図２参照）２２にクリーム半田を印刷する際に用いられるものである。
【００２５】
半田印刷機２０は、図２に示すように、回路基板保持装置２４と印刷装置２６とを備えている。回路基板保持装置２４は、キャビティ基板２２を固定的に保持する装置である。印刷装置２６は、回路基板保持装置２４に保持されたキャビティ基板２２に、スキージ２８によってクリーム半田を塗布する装置である。
【００２６】
印刷装置２６によるクリーム半田の印刷作業時には、図２に示すように、キャビティ基板２２の上に、印刷用マスク１２が載置される。キャビティ基板２２とは、表面に凹部３０が形成された基板であり、凹部３０の底面および、凹部３０が形成されていないトップ面３２に、電子部品が実装される。印刷用マスク１２は、凹部３０の底面に半田を印刷するためのものである。印刷用マスク１２には、下方に突出する凸部３６が形成されており、印刷用マスク１２は、凸部３６を凹部３０に嵌合させた状態でキャビティ基板２２の上に載置される。これにより、印刷用マスク１２の凸部３６は、キャビティ基板２２の凹部３０に密着し、印刷用マスク１２の凸部３６以外の部分である平板部３８は、キャビティ基板２２のトップ面３２に密着する。
【００２７】
印刷用マスク１２の凸部３６には、複数の貫通孔５０が形成されている。そして、凸部３６の内部にクリーム半田が充填され、貫通孔５０を介して、キャビティ基板２２の凹部３０の底面にクリーム半田が印刷される。詳しくは、印刷用マスク１２の上に、クリーム半田が、スキージ２８によって塗布される。これにより、図３に示すように、クリーム半田５２が、凸部３６の内部に充填されるとともに、貫通孔５０の内部にも充填される。貫通孔５０内に充填されたクリーム半田５２は、キャビティ基板２２の凹部３０の底面に付着する。そして、印刷用マスク１２がキャビティ基板２２から取り外されることで、凹部３０の底面にクリーム半田５２が印刷される。
【００２８】
キャビティ基板２２の凹部３０の底面にクリーム半田５２が印刷されると、キャビティ基板２２のトップ面３２にクリーム半田５２が印刷される。詳しくは、図４に示すように、印刷用マスク６０がキャビティ基板２２の上に載置される。印刷用マスク６０は、平板状とされており、キャビティ基板２２のトップ面３２に密着する。印刷用マスク６０のトップ面３２に密着する箇所には、複数の貫通孔６２が形成されている。一方、印刷用マスク６０は、キャビティ基板２２の凹部３０に接触しない状態で凹部３０を覆っており、印刷用マスク６０の凹部３０を覆う箇所に、貫通孔６２は形成されていない。
【００２９】
そして、印刷用マスク６０の上に、クリーム半田が、スキージ２８によって塗布される。これにより、クリーム半田５２が、印刷用マスク６０の貫通孔６２の内部に充填される。貫通孔６２内に充填されたクリーム半田５２は、キャビティ基板２２のトップ面３２に付着する。そして、印刷用マスク６０がキャビティ基板２２から取り外されることで、キャビティ基板２２のトップ面３２にクリーム半田５２が印刷される。
【００３０】
このようにして、キャビティ基板２２の凹部３０の底面およびトップ面３２に、クリーム半田が印刷され、半田印刷機２０による半田の印刷作業が終了する。キャビティ基板２２への半田の印刷作業が終了すると、次のキャビティ基板２２への半田の印刷作業に備えて、印刷用マスク１２，６０の清掃が行われる。
【００３１】
具体的には、印刷用マスク６０の表面若しくは、裏面に、清掃ペーパ等を接触させる。そして、印刷用マスク６０の表面、若しくは裏面に清掃ペーパを接触させた状態で、印刷用マスク６０と清掃ペーパとを相対移動させる。印刷用マスク６０は、平板状であることから、印刷用マスク６０に残存しているクリーム半田は、清掃ペーパによって適切に拭き取られる。一方、印刷用マスク１２には、凸部３６が形成されており、その凸部３６の内部に充填されたクリーム半田５２は、清掃ペーパによって拭き取ることは困難である。このため、印刷用マスク１２は、清掃装置１０を用いて清掃される。
【００３２】
清掃装置１０は、図１に示すように、上部ハウジング７０と下部ハウジング７２とを備えている。上部ハウジング７０は、概してブロック状とされており、上部ハウジング７０の下面には、第１キャビティ７６が形成されている。第１キャビティ７６は、印刷用マスク１２の凸部３６の内部の開口、つまり、凸部３６の平板部３８への開口より僅かに大きな寸法とされている。そして、凸部３６の内部開口を第１キャビティ７６によって覆った状態で、上部ハウジング７０が、印刷用マスク１２の上面に装着されている。これにより、第１キャビティ７６と印刷用マスク１２の上面とによって囲まれる空間が密閉される。
【００３３】
一方、下部ハウジング７２は、概してブロック状とされており、下部ハウジング７２の上面には、第２キャビティ７８が形成されている。第２キャビティ７８は、印刷用マスク１２の凸部３６より僅かに大きな寸法とされている。そして、第２キャビティ７８に凸部３６を収容した状態で、下部ハウジング７２が、印刷用マスク１２の下面に装着されている。これにより、第２キャビティ７８と印刷用マスク１２の下面とによって囲まれる空間が密閉される。
【００３４】
上部ハウジング７０には、第１キャビティ７６に開口する貫通路８０が形成されており、貫通路８０は、連通路８２を介して、吸引ポンプ８６に接続されている。吸引ポンプ８６は、エアを吸引するためのポンプであり、第１キャビティ７６と印刷用マスク１２の上面とによって密閉された空間からエアを吸引する。
【００３５】
上部ハウジング７０には、さらに、第１キャビティ７６に開口する貫通路８８が形成されており、貫通路８８は、連通路９０を介して、洗浄液注入装置９２に接続されている。洗浄液注入装置９２は、洗浄液を送出するための装置であり、第１キャビティ７６と印刷用マスク１２の上面とによって密閉された空間に、洗浄液を注入する。なお、洗浄液注入装置９２は、洗浄液を吸引することも可能とされており、上記空間に注入された洗浄液を吸引する。
【００３６】
下部ハウジング７２には、第２キャビティ７８に開口する貫通路１００が形成されており、貫通路１００は、連通路１０２を介して、噴出ポンプ１０６に接続されている。噴出ポンプ１０６は、エアを噴出するためのポンプであり、第２キャビティ７８と印刷用マスク１２の下面とによって密閉された空間にエアを噴出する。
【００３７】
また、清掃装置１０には、図５に示すように、制御装置１１０が設けられている。制御装置１１０は、コントローラ１１２および複数の駆動回路１１４を有している。複数の駆動回路１１４は、吸引ポンプ８６，洗浄液注入装置９２，噴出ポンプ１０６に接続されている。コントローラ１１２は、ＣＰＵ，ＲＯＭ，ＲＡＭ等を備え、コンピュータを主体とするものであり、複数の駆動回路１１４に接続されている。これにより、吸引ポンプ８６，洗浄液注入装置９２，噴出ポンプ１０６の作動が、コントローラ１１２によって制御される。
【００３８】
上述したように構成された清掃装置１０では、上部ハウジング７０および下部ハウジング７２が、印刷用マスク１２に装着されることで、図１に示すように、印刷用マスク１２の凸部３６が、第１キャビティ７６と第２キャビティ７８とによって密閉された空間内に収容される。そして、密閉された空間内に収容された印刷用マスク１２の凸部３６が、清掃装置１０によって清掃される。
【００３９】
具体的には、制御装置１１０のコントローラ１１２の指令により、洗浄液注入装置９２から第１キャビティ７６に洗浄液が注入される。そして、第１キャビティ７６に洗浄液が注入された後に、所定時間、放置される。これにより、印刷用マスク１２の凸部３６内に充填されているクリーム半田５２が、洗浄液に浸され、クリーム半田５２の凸部３６内からの分離が促進される。そして、所定時間経過後に、第１キャビティ７６に注入された洗浄液が、洗浄液注入装置９２によって吸引される。
【００４０】
続いて、制御装置１１０のコントローラ１１２の指令により、吸引ポンプ８６は、第１キャビティ７６内からエアを吸引するとともに、噴出ポンプ１０６は、第２キャビティ７８内にエアを噴出する。噴出ポンプ１０６から噴出されたエアは、印刷用マスク１２の凸部３６の貫通孔５０を介して、第１キャビティ７６内に流れ込む。この際、貫通孔５０の内部および周辺に付着しているクリーム半田５２が、第１キャビティ７６内に流れ込む。さらに、凸部３６の内部に充填されていたクリーム半田５２が、凸部３６の内部から剥がされる。そして、第１キャビティ７６内に流れ込んだクリーム半田５２，凸部３６の内部から剥がされたクリーム半田５２が、吸引ポンプ８６によって、吸引される。これにより、貫通孔５０の内部および周辺に付着しているクリーム半田５２、凸部３６の内部に充填されていたクリーム半田５２が除去され、印刷用マスク１２が適切に清掃される。なお、上記手順により印刷用マスク１２を清掃するための機能部として、洗浄後エア吸引部（図５参照）１１８が、制御装置１１０のコントローラ１１２に設けられている。
【００４１】
また、清掃装置１０では、下部ハウジング７２と異なる寸法の下部ハウジングが複数用意されており、印刷用マスクの凸部の大きさに応じて、下部ハウジングを交換することが可能となっている。具体的には、図６に示す下部ハウジング１２０が用意されている。下部ハウジング１２０の第２キャビティ１２２の容積は、下部ハウジング７２の第２キャビティ７８の容積より小さくされている。また、下部ハウジング１２０は、第２キャビティ１２２を除き、下部ハウジング７２と同じ構成とされている。そして、印刷用マスク１２の凸部３６より小さな寸法の凸部１２４を清掃する際には、下部ハウジング７２の代わりに、下部ハウジング１２０が印刷用マスク１２に装着される。つまり、印刷用マスク１２に、下部ハウジング１２０と上部ハウジング７０とが装着される。これにより、凸部１２４を収容する空間が小さくなり、吸引効果が増大し、クリーム半田５２を効果的に除去することが可能となる。
【００４２】
＜変形例＞
上記実施例の清掃装置１０では、洗浄液によりクリーム半田５２の剥離を促進しているが、超音波振動によりクリーム半田５２の剥離を促進してもよい。また、清掃装置１０では、エアの噴出と吸引とによりクリーム半田５２の除去作業が行われているが、エアの吸引のみによりクリーム半田５２の除去作業を行うことが可能である。このように、超音波振動によりクリーム半田５２の剥離を促進するとともに、エアの吸引のみによるクリーム半田５２の除去作業を行うことが可能な清掃装置１３０を、図７に示す。清掃装置１３０は、エアを吸引するための経路，超音波を発生するための装置等を除いて、上記清掃装置１０と同様の構成であるため、清掃装置１０と同様の機能の構成要素については、同じ符号を用いて説明を省略あるいは簡略に行う。
【００４３】
清掃装置１３０は、清掃装置１０と同様に、上部ハウジング７０と下部ハウジング７２とを備えている。下部ハウジング７２に形成されている貫通路１００は、連通路１３２を介して、連通路８２に接続されている。連通路８２は、清掃装置１０と同様に、吸引ポンプ８６と貫通路８０とを連通し、上部ハウジング７０の第１キャビティ７６からエアを吸引するための吸引経路である。このため、吸引ポンプ８６の作動により、上部ハウジング７０の第１キャビティ７６だけでなく、下部ハウジング７２の第２キャビティ７８からもエアが吸引される。
【００４４】
また、清掃装置１３０は、振動発生装置１３４を備えている。振動発生装置１３４は、下部ハウジング７２に取り付けられており、高い周波数の振動、具体的には、超音波振動を発生する。超音波振動は、下部ハウジング７２を介して、印刷用マスク１２に伝達する。これにより、印刷用マスク１２が高周波で振動し、印刷用マスク１２の凸部３６内に充填されているクリーム半田５２の剥離が促進される。
【００４５】
上記構造の清掃装置１３０では、下記の手順により、印刷用マスク１２の凸部３６の清掃が行われる。まず、上部ハウジング７０と下部ハウジング７２とを、印刷用マスク１２に装着することで、印刷用マスク１２の凸部３６を、第１キャビティ７６と第２キャビティ７８とによって密閉された空間内に収容する。そして、振動発生装置１３４を所定時間作動させる。続いて、吸引ポンプ８６を作動させる。吸引ポンプ８６は、第１キャビティ７６および第２キャビティ７８内からエアを吸引し、貫通孔５０の内部および周辺に付着しているクリーム半田５２、凸部３６の内部に充填されていたクリーム半田５２が、吸引ポンプ８６によって、吸引される。これにより、凸部３６からクリーム半田５２が除去され、印刷用マスク１２が適切に清掃される。
【００４６】
ちなみに、上記実施例において、清掃装置１０，１３０は、清掃装置の一例である。印刷用マスク１２は、印刷用マスクの一例であり、印刷用マスク１２の凸部３６，１２４は、凸部の一例である。キャビティ基板２２は、キャビティ基板の一例であり、キャビティ基板２２の凹部３０は、凹部の一例である。貫通孔５０は、パターン孔の一例である。クリーム半田５２は、粘性流体の一例である。上部ハウジング７０は、第２清掃ユニットの一例である。下部ハウジング７２，１２０は、第１清掃ユニットの一例である。第２キャビティ７８は、収容キャビティの一例である。貫通路８０は、第２ユニット側貫通孔の一例である。吸引ポンプ８６は、吸引装置の一例である。洗浄液注入装置９２は、洗浄液注入装置の一例である。貫通路１００は、第１ユニット側貫通孔の一例である。噴出ポンプ１０６は、噴出装置の一例である。制御装置１１０は、制御装置の一例である。洗浄後エア吸引部１１８は、洗浄後エア吸引部の一例である。振動発生装置１３４は、振動発生装置の一例である。
【００４７】
なお、本発明は、上記実施例および変形例に限定されるものではなく、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した種々の態様で実施することが可能である。具体的には、例えば、上記実施例および変形例では、上部ハウジング７０および下部ハウジング７２が、１つの凸部を収容可能な形状とされているが、複数の凸部を収容可能な形状とされてもよい。
【００４８】
また、上記実施例では、洗浄液によりクリーム半田５２の剥離が促進され、上記変形例では、超音波振動によりクリーム半田５２の剥離が促進されているが、洗浄液と超音波振動とによりクリーム半田５２の剥離を促進してもよい。つまり、清掃装置に、洗浄液注入装置９２および振動発生装置１３４を設けてもよい。
【符号の説明】
【００４９】
１０：清掃装置    １２：印刷用マスク    ２２：キャビティ基板    ３０：凹部    ３６：凸部    ５０：貫通孔（パターン孔）    ５２：クリーム半田（粘性流体）    ７０：上部ハウジング（第２清掃ユニット）    ７２：下部ハウジング（第１清掃ユニット）    ７８：第２キャビティ（収容キャビティ）    ８０：貫通路（第２ユニット側貫通孔）    ８６：吸引ポンプ（吸引装置）    ９２：洗浄液注入装置    １００：貫通路（第１ユニット側貫通孔）    １０６：噴出ポンプ（噴出装置）    １１０：制御装置    １１８：洗浄後エア吸引部    １２０：下部ハウジング（第１清掃ユニット）    １２４：凸部    １３０：清掃装置    １３４：振動発生装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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