(57)【要約】【課題】集音する周波数領域の調整が効率的で、集音感度の高い音響センサの提供。【解決手段】音響センサ２０は、筒状を成すスペーサ２１と、スペーサの一方の開口を塞ぐようにスペーサに取り付けられている振動板２３と、スペーサの他方の開口を塞ぐ背面板２６と、振動板２３の背面板側に設けられている振動電極膜２７と、背面板の振動板側に設けられている背面電極膜２８と、エレクトレット膜２９と、を備える。振動板２３には、筒状のスペーサ２１の内面よりも内側に、振動板２３を内側領域２３ｉと外側領域２３ｏとに分ける溝２４が形成されている。エレクトレット膜２９は、振動電極膜２７の背面電極膜側であって、溝２４よりも内側に形成されている。【選択図】図１
2014090916.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
筒状を成し、両端が開口しているスペーサと、
前記スペーサの一方の開口を塞ぐように該スペーサに取り付けられている振動板と、
前記振動板に対向し、前記スペーサの他方の開口を塞ぐ背面板と、
導電材で形成され、前記振動板の前記背面板側に設けられている振動電極膜と、
導電材で形成され、前記背面板の前記振動板側に設けられている背面電極膜と、
エレクトレット膜と、
を備え、
前記振動板には、前記スペーサの内面よりも内側に、該振動板を内側領域と外側領域とに分ける溝が形成され、
前記エレクトレット膜が、前記振動電極膜と前記背面電極膜とのうち一方の電極膜の他方の電極膜側であって、前記溝よりも内側に形成されている、
ことを特徴とする音響センサ。
【請求項２】
前記溝が、前記振動板の前記背面板側に形成されている、請求項１に記載の音響センサ。
【請求項３】
前記振動板の前記背面板と反対側の面であって、前記溝よりも内側の領域に錘が設けられている、請求項１または２に記載の音響センサ。
【請求項４】
弾性を有し、前記スペーサの前記一方の開口側の端面と前記振動板との間に配置されている弾性部材を備え、
前記振動板が前記弾性部材を介して前記スペーサに取り付けられている、請求項１から３のいずれか一項に記載の音響センサ。
【請求項５】
前記エレクトレット膜が前記振動電極膜の前記背面板側に形成されている、請求項１から４のいずれか一項に記載の音響センサ。
【請求項６】
前記エレクトレット膜が、含フッ素重合体を用いた樹脂膜に電荷を注入したものである、請求項１から５のいずれか一項に記載の音響センサ。
【請求項７】
前記エレクトレット膜が、主鎖に脂肪族環を有する含フッ素重合体（ａ）または該含フッ素重合体（ａ）の誘導体（ａ’）を用いた樹脂膜に電荷を注入したものである、請求項１から５のいずれか一項に記載の音響センサ。
【請求項８】
前記含フッ素重合体（ａ）が反応性官能基を有する、請求項７に記載の音響センサ。
【請求項９】
前記樹脂膜が前記誘導体（ａ’）を用いてなり、該誘導体（ａ’）が、前記含フッ素重合体（ａ）と、アミノ基を有するシランカップリング剤との混合物または反応生成物を含む、請求項７または８に記載の音響センサ。
【請求項１０】
請求項１から９のいずれか一項に記載の音響センサと、
前記振動板の振動による前記振動電極膜と前記背面電極膜との間の電位差の変化を音情報として出力する音情報出力器と、
を備えている音響モニタ装置。
【請求項１１】
少なくとも一方の端に開口が形成されている筒状の聴診器ヘッドケースと、
前記聴診器ヘッドケースの前記開口を塞ぐダイヤフラムと、
を備え、
前記音響センサは、前記聴診器ヘッドケース内に配置され、該音響センサの前記振動板における前記溝よりも内側の領域が前記ダイヤフラムに取り付けられ、
前記音情報出力器として、前記電位差の変化を音として出力する左右一対のイヤフォンを有する、
請求項１０に記載の音響モニタ装置。
【請求項１２】
少なくとも一方の端に開口が形成されている筒状の聴診器ヘッドケースと、
前記聴診器ヘッドケースの前記開口を塞ぐダイヤフラムと、
前記聴診器ヘッドケース内に配置されている請求項３に記載の音響センサと、
前記振動板の振動による前記振動電極膜と前記背面電極膜との間の電位差の変化である電気信号を音として出力する左右一対のイヤフォンと、
を備え、
前記音響センサの前記振動板に設けられている前記錘が、前記ダイヤフラムに取り付けられている、
音響モニタ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、エレクトレット（Electret）膜を備える音響センサ、およびこれを備える音響モニタ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
エレクトレット膜を備える音響センサとしては、たとえば、マイクロフォンが知られている（特許文献１、２）。
【０００３】
特許文献１に記載のマイクロフォンは、導電材料で形成される振動膜と、この振動膜と対向する背極板と、背極板と振動膜との間隔を保持するためのスペーサと、を備えている。背極板には、振動膜と対向する面にエレクトレット膜が形成されている。
【０００４】
また、特許文献２に記載のマイクロフォンは、導電材料で形成される振動板と、この振動板と対向する背面が形成されているケースと、ケースの背面と振動板との間隔を保持するためのスペーサと、ケースの背面に形成されているエレクトレット膜と、を備えている。このマイクロフォンは、人の動脈を締め付けたときに発生する音であるコロトフ音等、１００Ｈｚ以下の比較的低周波数の音を検出するために用いられる。
【０００５】
その他、本発明と関連する技術として、マイクロフォンを使用した電子聴診器に関する技術が知られている（特許文献３、４）。この電子聴診器は、マイクロフォンと、このマイクロフォンを収納する聴診器ヘッドケースとしての筐体と、マイクロフォンからの電気信号を音に変換するイヤフォンとを備えている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１１−８２７２３号公報
【特許文献２】特開２０１１−１０９１３号公報
【特許文献３】特表平８−５０６４９５号公報
【特許文献４】特開２０１１−１９７９９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
電子聴診器に代表される音響モニタ装置に用いらえる音響センサとして、集音する周波数帯域の調整が効率的で、しかも集音感度が高いものが望まれている。しかしながら、特許文献１〜４に記載のマイクロフォンでは、集音感度が低いという問題点がある。
【０００８】
本発明は、集音する周波数帯域の調整が効率的で、集音感度の高い音響センサ、およびこれを備える音響モニタ装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、以下の[１]〜[９]の構成を有する音響センサ、および、これを備える以下の[１０]〜[１２]の構成を有する音響モニタ装置である。
［１］筒状を成し、両端が開口しているスペーサと、前記スペーサの一方の開口を塞ぐように該スペーサに取り付けられている振動板と、前記振動板に対向し、前記スペーサの他方の開口を塞ぐ背面板と、導電材で形成され、前記振動板の前記背面板側に設けられている振動電極膜と、導電材で形成され、前記背面板の前記振動板側に設けられている背面電極膜と、エレクトレット膜と、を備え、
前記振動板には、前記スペーサの内面よりも内側に、該振動板を内側領域と外側領域とに分ける溝が形成され、前記エレクトレット膜が、前記振動電極膜と前記背面電極膜とのうち一方の電極膜の他方の電極膜側であって、前記溝よりも内側に形成されている、ことを特徴とする音響センサ。
［２］前記溝が、前記振動板の前記背面板側に形成されている、［１］の音響センサ。
［３］前記振動板の前記背面板と反対側の面であって、前記溝よりも内側の領域に錘が設けられている、［１］または［２］の音響センサ。
［４］弾性を有し、前記スペーサの前記一方の開口側の端面と前記振動板との間に配置されている弾性部材を備え、前記振動板が前記弾性部材を介して前記スペーサに取り付けられている、［１］〜［３］のいずれかの音響センサ。
［５］前記エレクトレット膜が前記振動電極膜の前記背面板側に形成されている、［１］〜［４］のいずれかの音響センサ。
［６］前記エレクトレット膜が、含フッ素重合体を用いた樹脂膜に電荷を注入したものである、［１］〜［５］のいずれかの音響センサ。
［７］前記エレクトレット膜が、主鎖に脂肪族環を有する含フッ素重合体（ａ）または該含フッ素重合体（ａ）の誘導体（ａ’）を用いた樹脂膜に電荷を注入したものである、［１］〜［５］のいずれかの音響センサ。
［８］前記含フッ素重合体（ａ）が反応性官能基を有する、［７］の音響センサ。
［９］前記樹脂膜が前記誘導体（ａ’）を用いてなり、該誘導体（ａ’）が、前記含フッ素重合体（ａ）と、アミノ基を有するシランカップリング剤との混合物または反応生成物を含む、［７］のまたは［８］の音響センサ。
【００１０】
［１０］前記［１］〜［９］のいずれかの音響センサと、前記振動板の振動による前記振動電極膜と前記背面電極膜との間の電位差の変化を音情報として出力する音情報出力器と、を備えている音響モニタ装置。
［１１］少なくとも一方の端に開口が形成されている筒状の聴診器ヘッドケースと、前記聴診器ヘッドケースの前記開口を塞ぐダイヤフラムと、を備え、
前記音響センサは、前記聴診器ヘッドケース内に配置され、該音響センサの前記振動板における前記溝よりも内側の領域が前記ダイヤフラムに取り付けられ、前記音情報出力器として、前記電位差の変化を音として出力する左右一対のイヤフォンを有する、［１０］の音響モニタ装置。
［１２］少なくとも一方の端に開口が形成されている筒状の聴診器ヘッドケースと、前記聴診器ヘッドケースの前記開口を塞ぐダイヤフラムと、前記聴診器ヘッドケース内に配置されている［３］の音響センサと、前記振動板の振動による前記振動電極膜と前記背面電極膜との間の電位差の変化である電気信号を音として出力する左右一対のイヤフォンと、を備え、
前記音響センサの前記振動板に設けられている前記錘が、前記ダイヤフラムに取り付けられている、音響モニタ装置。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、集音する周波数帯域を効率的に調整でき、しかも、集音感度を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明に係る一実施形態における音響センサの断面図である。
【図２】図１におけるII矢視図である。
【図３】本発明に係る一実施形態における音響モニタ装置の回路図である。
【図４】本発明に係る一実施形態における音響モニタ装置の変形例の回路図である。
【図５】本発明に係る一実施形態における音響モニタ装置（電子聴診器）の要部切欠き側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
本発明に係る音響センサは、筒状を成し、両端が開口しているスペーサと、前記スペーサの一方の開口を塞ぐように該スペーサに取り付けられている振動板と、前記振動板に対向し、前記スペーサの他方の開口を塞ぐ背面板と、導電材で形成され、前記振動板の前記背面板側に設けられている振動電極膜と、導電材で形成され、前記背面板の前記振動板側に設けられている背面電極膜と、エレクトレット膜と、を備え、前記振動板には、前記スペーサの内面よりも内側に、該振動板を内側領域と外側領域とに分ける溝が形成され、前記エレクトレット膜は、前記振動電極膜と前記背面電極膜とのうち一方の電極膜の他方の電極膜側であって、前記溝よりも内側に形成されていることを特徴とする。
【００１４】
当該音響センサでは、振動板に設けられている振動電極膜と背面板に設けられている背面電極膜とのうち、エレクトレット膜が形成されていない電極膜には、エレクトレット膜の表面電荷によって、該表面電荷とは逆極性を持つ電荷が静電誘導される。振動板が背面板に対して相対的に振動すると、エレクトレット膜と該エレクトレット膜が形成されていない電極膜との間の距離が変化する。このため、該エレクトレット膜が形成されていない電極膜に静電誘導される電荷量は、この距離変化に伴って変化する。この結果、該エレクトレット膜が形成されている電極膜と該エレクトレット膜が形成されていない電極膜の間の電位差は、振動に伴って変化する。当該音響センサでは、該電位差の変化が振動板を振動させた音の音情報となる。
【００１５】
振動板の外周縁部がスペーサにしっかりと固定されると、振動板の振動における振幅が基本的に小さくなり、集音感度が低くなる傾向がある。しかし、本発明では、振動板を外側領域と内側領域に分ける溝が該振動板に形成されているため、該振動板の外側領域中の外周縁部がスペーサにしっかりと固定されていても、溝を起点として振動板の内側領域は振動し易い。このため、本発明では、振動板の外周縁部がスペーサにしっかりと固定されていても、振動板の振動における内側領域の振幅が大きくなり、音響センサの集音感度を高めることができる。
【００１６】
また、音響センサの集音感度は、エレクトレット膜の表面電荷密度が高くなるほど高くなる。後ほど詳細に説明するが、エレクトレット膜を構成する電荷保持媒体として、含フッ素重合体を用いた樹脂膜を用いることにより、エレクトレット膜は高い表面電荷密度を保持する。該電荷保持媒体として、含フッ素重合体を用いた樹脂膜を用いることにより、音響センサの集音感度、特に、低周波域での集音感度を高めることができる。
【００１７】
音響センサの集音周波数帯域は、振動板、振動電極膜を含む振動系の固有振動数を中心とする周波数帯域である。このため、該振動系の固有周波数を変えることで、音響センサの集音周波数帯域を変えることができる。該振動系では、振動の起点となる溝中の所定箇所で、振動板の内側領域を基準にして相対する二箇所の間隔が大きくなるほど、固有振動数が小さくなる。言い換えると、該振動系では、相対する二箇所の間隔が小さくなるほど固有振動数が大きくなる。よって、本発明では、溝の相対する二箇所の間隔を変えることで、集音周波数帯域を効率的に調整できる。
【００１８】
上記音響センサには、振動電極膜と背面電極膜との間の電位差の変化を音情報として出力する音情報出力器を接続することで、該音響センサと該音情報出力器とで音響モニタ装置を構成することができる。該音情報出力器が出力する音情報としては、振動板を振動させた音自体の他に、該音の音響特性を図形的に示す情報や数値的に示す情報等がある。
【００１９】
音響モニタ装置の一例としては、電子聴診器がある。この場合、上記音響センサは、聴診器ヘッドに組み込まれ、該音響センサからの電気信号が、音情報出力器としての一対のイヤフォンに出力される。上記音響センサを聴診器の集音センサとして用いる場合、該音響センサは、心臓の心音、過剰心音、心雑音、血管音、コロトフ音、肺音等の他、腹部内臓音等を集音できることが好ましい。これらの音は、いずれも比較的低周波数である。よって、音響センサのエレクトレット膜を形成する材料の一種である樹脂膜（Ａ）として、低周波域での集音感度を高めることができる含フッ素重合体を用いることが好ましい。さらに、聴診器ヘッド及び該聴診器ヘッドに組み込まれる該音響センサの大型化を抑えつつも、該音響センサの振動系における固有振動数を低くして、音響センサの集音周波数域を低くするために、振動板には錘を設けることが好ましい。
【００２０】
なお、本発明において、音響モニタ装置は電子聴診器に限定されない。たとえば、上記イヤフォンの替わりに、発生音を多数の者が同時に聞くことができるスピーカや、音情報としての音響特性を表示するディスプレイや、音響特性を印刷するプリンタを音響センサに接続してもよい。また、音響モニタ装置は、人体からの発生音のみならず、他の音、たとえば、配管中の流動体音、容器や建屋等の内部音等をモニタするための装置であってもよい。
【００２１】
以下、本発明に係る音響センサ、およびこれを備えている音響モニタ装置の一実施形態について、図面を用いて説明する。
【００２２】
〔音響モニタ装置の構成〕
図５に、本実施形態の音響モニタ装置を示す。
本実施形態の音響モニタ装置は、電子聴診器であり、対象となる人体等に接する聴診器ヘッド１と、医者等の耳に装着される音情報出力器としての左右一対のイヤフォン２と、を備えている。
【００２３】
聴診器ヘッド１は、一方の端に円形の開口１１が形成されている筒状の聴診器ヘッドケース１０と、聴診器ヘッドケース１０の開口１１を塞ぐダイヤフラム１２と、聴診器ヘッドケース１０内に配置されている音響センサ２０と、音響センサ２０からの電気信号を増幅する電気回路１５と、を備えている。ダイヤフラム１２は、聴診器ヘッドケース１０の円形の開口１１を塞ぐため、円板状を成している。該ダイヤフラム１２の厚さは、たとえば、２００μｍである。該ダイヤフラム１２を形成する材料としては、たとえば、ガラス等の無機材料、ポリエチレンテレフタレート、ポリイミド、ポリカーボネート、アクリル樹脂等の有機材料が挙げられる。音響センサ２０は、該ダイヤフラム１２の聴診器ヘッドケース１０の内側を向く面１２ｂに接着されている。電気回路１５は、音響センサ２０を構成する基板に固定されている。電気回路１５と各イヤフォン２とは、イヤフォンコード３で接続されている。
【００２４】
〔音響センサの構成〕
図１に、音響センサ２０の断面図を示す。
音響センサ２０は、円筒状を成し、両端が開口（２１ａ、２１ｂ）しているスペーサ２１と、スペーサ２１の一方の開口２１ａを塞ぐ円板状の振動板２３と、振動板２３に対向し、スペーサ２１の他方の開口２１ｂを塞ぐ円板状の背面板２６と、振動板２３の背面板側の面２３ｂに形成されている振動電極膜２７と、背面板２６の振動板側の面２６ａに形成されている背面電極膜２８と、振動電極膜２７の振動板側の面２７ｂに形成されているエレクトレット膜２９と、振動板２３の背面板２６とは反対側の面２３ａに固定されている錘３１と、スペーサ２１の一方の開口２１ａ側の端面２１ｃと振動板２３との間に配置されている弾性部材３２と、備えている。
【００２５】
スペーサ２１は、振動板２３の外周縁部と背面板２６の外周縁部との間隔を保持するためのものである。該スペーサ２１の材質は、特に限定されず、金属等の導電材料でも絶縁材料でもよい。ただし、音響センサ２０の軽量化およびエレクトレット膜２９の耐久性（放電のしにくさ）の点から、スペーサ２１の材質は絶縁材料であることが好ましい。また、絶縁材料としては、有機材料が好ましい。
【００２６】
振動板２３および背面板２６は、絶縁材料で形成されている。絶縁材料の抵抗値としては、体積固有抵抗値で１０１０Ωｃｍ以上が好ましく、１０１２Ωｃｍ以上が特に好ましい。絶縁材料として具体的には、ガラス等の無機材料、ポリエチレンテレフタレート、ポリイミド、ポリカーボネート、アクリル樹脂等の有機材料が挙げられる。
【００２７】
円板状の振動板２３および背面板２６、さらに円筒状のスペーサ２１は、いずれも外径Ｄ１が本実施形態において２０ｍｍである。また、振動板２３の厚さＤ２は０．４ｍｍ、背面板２６の厚さＤ３は０．４ｍｍである。スペーサ２１の厚さと弾性部材３２の厚さを加えた厚さＤ４は０．１ｍｍである。
【００２８】
円板状の振動板２３の背面板側の面２３ｂには、背面板側とは反対側に凹む溝２４が形成されている。該溝２４は、たとえば、エッチング、場合によっては機械加工で形成される。該溝２４の溝幅および溝深さＤ５は、該振動板２３がガラスで形成されている場合、振動板２３の厚さＤ２の１／２０〜１／８の厚さが好ましく、振動板２３の厚さＤ２の１／１３〜１／１０の厚さが特に好ましい。具体的に、本実施形態の場合、振動板２３の厚さＤ４が０．４ｍｍであることから、溝２４の溝幅および溝深さＤ３は、０．０２（２０μｍ）〜０．０５（５０μｍ）が好ましく、０．０３（３０μｍ）〜０．０４（４０μｍ）が特に好ましい。
【００２９】
図２は、図１のII矢視図である。溝２４は、円板状の振動板２３の中心Ｃを基準にした周方向Ｄｃに延びている。このため、振動板２３は、該溝２４により、内側領域２３ｉと外側領域２３ｏに分けられている。ただし、該溝２４は、円板状の振動板２３の中心Ｃを基準して３６０°形成されておらず、該中心Ｃを基準として周方向Ｄｃの一部（以下、平坦部２５とする。）には形成されていない。これは、後述するように、振動板２３の背面板側の面２３ｂ中であって、振動板２３の内側領域２３ｉ中に形成される振動電極膜２７からの信号線１８を、溝２４が形成されていない平坦部２５を介して、溝２４の外側、つまり外側領域２３ｏへ延ばすためである。周方向Ｄｃに延びている溝２４の内周縁の径Ｄ６（図１参照）は、本実施形態において、たとえば、１０ｍｍである。
【００３０】
振動電極膜２７は、振動板２３の背面板側の面２３ｂ中であって、振動板２３の内側領域２３ｉ中に形成されている。また、背面電極膜２８は、背面板２６の振動板側の面２６ａ中であって、振動板２３の内側領域２３ｉと対向する領域を含む領域に形成されている。
【００３１】
振動電極膜２７および背面電極膜２８（以下、振動電極膜２７および背面電極膜２８を単に電極膜と言う場合がある）は、いずれも、単一の層からなるものであってもよく、複数の層からなるものであってもよく、組成に分布のある構造を形成していてもよい。
電極膜の厚さ（複数の層よりなる場合は合計の厚さ）は、いずれも、１０〜１，０００ｎｍが好ましく、１００〜５００ｎｍが特に好ましい。該厚さが上記範囲内であると、導電性、生産性に優れる。該厚さは、たとえば、触針式表面形状測定器（ＵＬＶＡＣ社製ＤＥＫＴＡＫ８等）により測定できる。
【００３２】
電極膜を形成する材料としては、導電性を有するものであれば特に限定されない。該材料の抵抗値としては、体積固有抵抗値で０．１Ωｃｍ以下が好ましく、０．０１Ωｃｍ以下が特に好ましい。
導電性材料として具体的には、金、銀、銅、ニッケル、クロム、アルミニウム、チタン、タングステン、モリブデン、錫、コバルト、パラジウム、白金、これらのうちの少なくとも１種を主成分とする合金等が挙げられる。また、ＩＴＯ（Indium Tin Oxide）、ＩＺＯ（Indium Zinc Oxide）等の金属酸化物導電膜、ポリアニリン、ポリピロール、ポリチオフェン系導電性ポリマー（ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳ）、カーボンナノチューブ等からなる有機導電膜も例示できる。
【００３３】
電極膜の形成方法は特に限定されず、物理的蒸着法、無電解めっき法等の、導電性薄膜の形成方法として公知の方法を利用できる。
物理蒸着法としては、スパッタ法、真空蒸着法、イオンプレーティング法等が挙げられる。
無電解めっき法とは、金属塩、還元剤等を含む無電解めっき液に、表面に触媒が付着した基板を浸漬し、還元剤から生じる電子の還元力によって、触媒が付着した基板表面において選択的に金属を析出させ、無電解めっき膜を形成する方法である。
無電解めっき液に含まれる金属塩としては、ニッケル塩（硫酸ニッケル、塩化ニッケル、次亜リン酸ニッケル等。）、第二銅塩（硫酸銅、塩化銅、ピロリン酸等。）、コバルト塩（硫酸コバルト、塩化コバルト等。）、貴金属塩（塩化白金酸、塩化金酸、ジニトロジアンミン白金、硝酸銀等。）等が挙げられる。
無電解めっき液に含まれる還元剤としては、次亜リン酸ナトリウム、ホルムアルデヒド、テトラヒドロほう酸ナトリウム、ジアルキルアミンボラン、ヒドラジン等が挙げられる。
無電解めっき法により導電性薄膜を形成する場合、導電性薄膜を形成する前に、予め、基板の表面に触媒を付着させておくことが好ましい。該触媒としては、金属微粒子、金属を担持した微粒子、コロイド、有機金属錯体等が挙げられる。
【００３４】
エレクトレット膜２９は、正極性または負極性の電荷を注入することにより、内部にホモ電荷（独立した電荷）を保持させた膜状の電荷保持媒体である。エレクトレット膜２９は、振動電極膜２７の表面、つまり振動電極膜２７の背面電極膜側の面２７ｂ上に形成されている。なお、電荷保持体、膜の形成方法、電荷の注入方法については、後ほど詳細に説明する。
【００３５】
弾性部材３２は、リング状を成し、前述したように、スペーサ２１の一方の開口２１ａ側の端面２１ｃと振動板２３の外周縁部との間に配置されている。該弾性部材３２は、スペーサ２１の一方の開口２１ａ側の端面２１ｃと振動板２３の外周縁部とに接着されている。つまり、振動板２３は、該弾性部材３２を介してスペーサ２１に取り付けられている。
弾性部材３２の形成材料としては、柔軟性を有する公知の材料を使用できる。弾性部材３２としては、振動板２３をスペーサ２１に接着する機能を有する点で、接着剤が形成材料からなる基材の両面に塗布された、両面テープが好ましい。該基材はフィルムや不織布であることが好ましい。たとえば、３Ｍ社製の９３４７（製品番号）等が挙げられる。該弾性部材３２の厚さは、たとえば、１５０μｍである。
【００３６】
錘３１は、振動板２３の背面板２６と反対側の面２３ａ中であって、円板状の振動板２３の中心部分に接着されている。錘３１の形成材料は、比較的安価でかつ取り扱いが容易な金属のうち、比較的比重が大きい、たとえば、銅が好ましい。該錘３１は、さらに、図４に示すように、ダイヤフラム１２の聴診器ヘッドケース１０の内側を向く面１２ｂに接着されている。音響センサ２０は、該錘３１がダイヤフラム１２に接着されていることで、該ダイヤフラム１２に取り付けられている。
【００３７】
錘３１は、ダイヤフラム１２の振動に伴って振動する振動板２３、振動電極膜２７およびエレクトレット膜２９を含む振動系の固有振動数を調節するためのものである。このため、錘３１の重さは、該振動系の固有振動数をどのような値にするかによって適宜設定される。
【００３８】
〔電気回路の構成〕
図３に、電気回路１５の回路図を示す。電気回路１５は、アンプ１６と、該アンプ１６の駆動用バッテリ１７と、を有している。
振動電極膜２７および背面電極膜２８は、いずれも、イヤフォン２と信号線１８で電気的に接続されている。アンプ１６は、該信号線１８中に設けられている。信号線１８のうち、電気回路１５よりもイヤフォン２側の信号線１８は、前述のイヤフォンコード３の一部を構成している。
電気回路１５は、図５に示すように、音響センサ２０の錘３１と反対側、つまり背面板２６の振動板側とは反対側の面に固定されている。
【００３９】
〔音響モニタ装置および音響センサの動作〕
たとえば、人体の対象部位に音響モニタ装置である電子聴診器の聴診器ヘッド１を接触させると、対象部位の振動や対象部位近傍から発生する音により、聴診器ヘッド１のダイヤフラム１２が振動する（図４）。音響センサ２０は、ダイヤフラム１２に取り付けられているため、ダイヤフラム１２の振動に伴って音響センサ２０全体も振動する。ただし、音響センサ２０の構成要素のうちで、振動板２３の振幅は、背面板２６の振幅よりも大きい。これは、ダイヤフラム１２との間に介在する部材が、振動板２３に関しては、錘３１のみであるのに対して、背面板２６に関しては、錘３１、振動板２３、弾性部材３２、スペーサ２１と多数存在するからである。よって、振動板２３は、背面板２６に対して相対的に振動する。この振動の振幅方向Ｖは、振動板２３と背面板２６とが並んでいる方向である。
【００４０】
振動板２３が背面板２６に対して相対的に振動していない状態では、背面板２６の表面に形成されている背面電極膜２８には、振動板２３に取り付けられているエレクトレット膜２９の表面電荷によって、該表面電荷とは逆極性を持つ一定の電荷が静電誘導されている。振動板２３が背面板２６に対して相対的に振動している状態では、エレクトレット膜２９と背面電極膜２８との間の距離が変化する。このため、背面電極膜２８に静電誘導される電荷量は、この距離変化に伴って変化する。この結果、エレクトレット膜２９が形成されている振動電極膜２７と背面電極膜２８との間の電位差は、振動に伴って変化する。該電位差の変化は、電気信号として、信号線１８によりイヤフォン２に送られ、該イヤフォン２により音に再生されて出力される。
【００４１】
〔音響モニタ装置および音響センサの作用、効果〕
音響センサ２０の集音感度は、ダイヤフラム１２の振動に伴う振動板２３の振動における振幅が大きくなるほど、高くなる。振動板２３の外周縁部がスペーサ２１にしっかりと固定されると、ダイヤフラム１２に振動に伴う振動板２３の振動における振幅が基本的に小さくなる。しかし、本実施形態では、振動板２３を外側領域２３ｏと内側領域２３ｉとに分ける溝２４が該振動板２３に形成されているため、該振動板２３の外側領域２３ｏ中の外周縁部がスペーサ２１にしっかりと固定されていても、溝２４を起点として振動板２３の内側領域２３ｉは振動し易い。このため、本実施形態では、振動板２３の外周縁部がスペーサ２１にしっかりと固定されていても、ダイヤフラム１２に振動に伴う振動板２３の振動における内側領域２３ｉの振幅が大きくなり、音響センサ２０の集音感度を高めることができる。
【００４２】
また、音響センサ２０の集音感度は、エレクトレット膜２９の表面電荷密度が高くなるほど高くなる。後ほど詳細に説明するが、エレクトレット膜２９を構成する電荷保持媒体として、含フッ素重合体、特に含フッ素重合体（ａ）、または含フッ素重合体（ａ）の誘導体（ａ’）を用いた樹脂膜を用いることにより、該電荷保持媒体の電荷保持性能が高まり、該電荷保持媒体に電荷を注入してなるエレクトレット膜２９は高い表面電荷密度を有する。電荷保持媒体として、含フッ素重合体、特に含フッ素重合体（ａ）、または含フッ素重合体（ａ）の誘導体（ａ’）を用いた樹脂膜を用いることにより、音響センサ２０の集音感度を高めることができる。
【００４３】
音響センサ２０の集音周波数帯域は、振動板２３、振動電極膜２７およびエレクトレット膜２９を含む振動系の固有振動数を中心とする周波数帯域である。このため、該振動系の固有周波数を変えることで、音響センサ２０の集音周波数帯域を変えることができる。
該振動系の振動を考察する場合、両持ち支持梁を該振動系のモデルにすることができる。両持ち支持梁は、梁の支持点間の距離が大きくなるほど固有振動数が小さくなる。また、梁の密度が大きくなるほど固有振動数が小さくなる。このため、本実施形態の音響センサ２０における振動系では、梁の支点間の距離に相当する溝２４の内周縁の径Ｄ６（図１参照）が大きくなるほど固有振動数が小さくなる。また、該振動系では、振動系の密度に影響を与える錘３１の重さが重くなるほど固有振動数が小さくなる。
よって、本実施形態では、溝２４の内周縁の径Ｄ６を変える、または、錘３１の重さを変えることで、集音周波数帯域を効率的に調整できる。
【００４４】
音響センサ２０を電子聴診器に適用する場合、心臓の心音、過剰心音、心雑音、血管音、コロトフ音、肺音等の他、腹部内臓音等を集音できることが好ましい。これらの音は、いずれも比較的低周波数であるため、該音響センサ２０の集音周波数帯域は１〜１００Ｈｚ程度の低い周波数帯域であることが好ましい。
本実施形態の音響センサ２０では、溝２４の内周縁の径Ｄ６を大きくすることで、振動系の固有振動数が小さくなり、集音周波数帯域は低くなる。しかし、溝２４の内周縁の径Ｄ６を大きくすることは、音響センサ２０の径となるスペーサ２１の径を大きくすることであるため、該音響センサ２０を内蔵する聴診器ヘッド１の大型化につながる。そこで、本実施形態では、振動板２３に錘３１を取り付けて、音響センサ２０の振動系の重さを重くすることで、音響センサ２０およびこれを内蔵する聴診器ヘッド１を大型化することなく、音響センサ２０の集音周波数帯域を０．１〜１００Ｈｚ程度にしている。
【００４５】
ところで、音響センサ２０における振動系は、振動板２３が無くても、振動電極膜２７のみでも構成することができる。しかし、音響センサ２０を大型化することなく、音響センサ２０の集音周波数帯域を０．１〜１００Ｈｚ程度にするために錘３１を設ける場合、振動電極膜２７には錘３１を取り付けても振動に耐え得るだけの強度がないため、該振動電極膜２７のみで振動系を構成することができない。そこで、本実施形態では、錘３１を取り付けても振動に耐え得る強度を確保するために振動板２３を設け、該振動板２３に錘３１を取り付けている。
【００４６】
振動板２３は、錘３１を取り付けても振動に耐え得る強度を有する必要があるため、振動板２３の外周縁部をスペーサ２１にしっかりと固定しまうと、前述したように、ダイヤフラム１２の振動に伴う振動板２３の振動における振幅が小さくなり、音響センサ２０の集音感度が低下する。しかし、本実施形態では、繰り返すことになるが、振動板２３には、スペーサ２１に固定される外周縁部よりも内側に溝２４が形成され、該溝２４を起点として振動板２３の内側領域２３ｉが振動し易く、振動板２３の中心部分の振幅が大きくなるため、音響センサ２０を高感度化することができる。
【００４７】
すなわち、本実施形態では、音響センサ２０およびこれを内蔵する聴診器ヘッド１を大型化することなく、音響センサ２０の集音周波数帯域を０．１〜１００Ｈｚ程度の低い周波数帯域にし、しかも、高感度化を実現するために、音響センサ２０の振動系に振動電極膜２７のみならず振動板２３を設けて、該振動板２３に錘３１を取り付けと共に該振動板２３に溝２４を形成している。
【００４８】
また、本実施形態では、振動板２３は弾性部材３２を介してスペーサ２１に取り付けられているため、聴診器ヘッド１を人体の表面上を滑らせた際に生じる高周波の摩擦音の集音を抑えることができる。
振動板２３は、聴診器ヘッド１のダイヤフラム１２の振動に伴って振動する。該振動板２３の振動は、弾性部材３２、スペーサ２１を介して、背面電極膜２８が形成されている背面板２６に伝わる。しかし、該振動板２３の振動が背面板２６に伝わる過程で、高周波振動の多くは弾性部材３２に吸収される。このため、ダイヤフラム１２が高周波振動しても、振動板２３に対して、背面電極膜２８が形成されている背面板２６はあまり相対振動しない。よって、本実施形態では、聴診器ヘッド１を人体の表面上を滑らせた際に生じる高周波の摩擦音の集音を抑えることができる。
【００４９】
〔エレクトレット膜〕
エレクトレット膜を構成する電荷保持媒体には、従来からエレクトレットに用いられている絶縁材料が利用できる。絶縁材料は、有機絶縁材料であっても無機絶縁材料であってもよい。
有機絶縁材料としては、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、テトラフルオロエチレン−ペルフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）、テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）、テトラフルオロエチレン−エチレン共重合体（ＥＴＦＥ）等の含フッ素重合体（フッ素樹脂）；ポリプロピレン、ポリスチレン、シクロオレフィンコポリマー等の炭化水素系重合体；ポリカーボネート；これらの重合体に由来する材料等が挙げられる。
重合体に由来する材料としては、重合体と該重合体以外の他の成分との混合物、重合体と該重合体以外の他の成分との反応生成物、等が挙げられる。
無機絶縁材料としては、熱酸化またはプラズマＣＶＤにより形成されるシリコン酸化膜、シリコン窒化膜等が挙げられる。
電荷保持媒体は、高い絶縁性を有し、吸水性が低いことから、含フッ素重合体を用いた樹脂膜が好ましい。また、表面電位値や電荷保持の安定性（常温安定性、加熱時の安定性の両方）等に優れることから、主鎖に脂肪族環構造を有する重合体または該重合体に由来する材料を用いた樹脂膜が好ましい。主鎖に脂肪族環を有する含フッ素重合体（ａ）または該含フッ素重合体（ａ）の誘導体（ａ’）を用いた樹脂膜（以下、樹脂膜（Ａ）ということがある。）が特に好ましい。
樹脂膜（Ａ）は、含フッ素重合体（ａ）または誘導体（ａ’）を用いることにより、高い電荷保持性能を有し、樹脂膜（Ａ）に電荷を注入してなるエレクトレットは高い表面電荷密度を有する。
【００５０】
（樹脂膜（Ａ））
樹脂膜（Ａ）は、主鎖に脂肪族環を有する含フッ素重合体（ａ）または該含フッ素重合体（ａ）の誘導体（ａ’）を用いて形成されている、つまりこれらを主として含有する。
誘導体（ａ’）としては、詳しくは後述するが、含フッ素重合体（ａ）と含フッ素重合体（ａ）以外の他の成分との混合物、含フッ素重合体（ａ）と含フッ素重合体（ａ）以外の他の成分との反応生成物、等が挙げられる。樹脂膜（Ａ）が前記反応生成物を含む場合、該樹脂膜（Ａ）中には、前記反応生成物の形成に用いた含フッ素重合体（ａ）または他の成分の一部が未反応のまま残留していてもよい。
【００５１】
＜含フッ素重合体（ａ）＞
含フッ素重合体（ａ）は、主鎖に脂肪族環を有する含フッ素重合体である。
含フッ素重合体（ａ）において、フッ素原子は、主鎖を構成する炭素原子に結合していてもよく、側鎖に結合していてもよい。低吸水率・低誘電率で絶縁破壊電圧が高く、体積抵抗率の高いエレクトレット化に適していることから、フッ素原子が、主鎖を構成する炭素原子に結合していることが好ましい。
【００５２】
「主鎖に脂肪族環を有する」とは、脂肪族環の環骨格を構成する炭素原子のうち、少なくとも１つが、含フッ素重合体（ａ）の主鎖を構成する炭素原子であることを意味する。
たとえば含フッ素重合体（ａ）が、重合性二重結合を有する単量体の重合により得られたものである場合、重合に用いられた単量体が有する重合性二重結合に由来する炭素原子のうちの少なくとも１つが、前記主鎖を構成する炭素原子となる。たとえば含フッ素重合体（ａ）が、後述するような環状単量体を重合させて得た含フッ素重合体の場合は、該環状単量体が有する重合性二重結合を構成する２個の炭素原子が主鎖を構成する炭素原子となる。また、２個の重合性二重結合を有する単量体を環化重合させて得た含フッ素重合体の場合は、２個の重合性二重結合を構成する４個の炭素原子のうちの少なくとも２個が主鎖を構成する炭素原子となる。
【００５３】
「脂肪族環」とは、芳香族性を有さない環を示す。脂肪族環は、飽和であってもよく、不飽和であってもよい。脂肪族環は、環骨格が、炭素原子のみから構成される炭素環構造のものであってもよく、環骨格に、炭素原子以外の原子（ヘテロ原子）を含む複素環構造のものであってもよい。該ヘテロ原子としては酸素原子、窒素原子等が挙げられる。
脂肪族環の環骨格を構成する原子の数は、４〜７個が好ましく、５〜６個が特に好ましい。すなわち、脂肪族環は４〜７員環が好ましく、５〜６員環が特に好ましい。
脂肪族環は置換基を有していてもよく、有さなくてもよい。「置換基を有していてもよい」とは、該脂肪族環の環骨格を構成する原子に置換基（水素原子以外の原子または基）が結合してもよいことを意味する。
【００５４】
脂肪族環は、非含フッ素脂肪族環であってもよく、含フッ素脂肪族環であってもよい。
非含フッ素脂肪族環は、構造中にフッ素原子を含まない脂肪族環である。非含フッ素脂肪族環として、具体的には、飽和または不飽和の脂肪族炭化水素環、該脂肪族炭化水素環における炭素原子の一部が酸素原子、窒素原子等のヘテロ原子で置換された脂肪族複素環等が挙げられる。
含フッ素脂肪族環は、構造中にフッ素原子を含む脂肪族環である。含フッ素脂肪族環としては、脂肪族環の環骨格を構成する炭素原子に、フッ素原子を含む置換基（以下、含フッ素基という。）が結合した脂肪族環が挙げられる。含フッ素基としては、フッ素原子、ペルフルオロアルキル基、ペルフルオロアルコキシ基、＝ＣＦ２等が挙げられる。
該含フッ素脂肪族環または非含フッ素脂肪族環は、含フッ素基以外の置換基を有していてもよい。
脂肪族環としては、電荷保持性能に優れる点から、含フッ素脂肪族環が好ましい。
【００５５】
好ましい含フッ素重合体（ａ）として、下記含フッ素環状重合体（Ｉ）、含フッ素環状重合体（ＩＩ）が挙げられる。
含フッ素環状重合体（Ｉ）：環状含フッ素単量体に基づく単位を有する重合体。
含フッ素環状重合体（ＩＩ）：ジエン系含フッ素単量体の環化重合により形成される単位を有する重合体。
「環状重合体」とは環状構造を有する重合体を意味する。
「単位」は、重合体を構成する繰り返し単位を意味する。
以下、式（１）で表される化合物を「化合物（１）」とも記す。他の式で表される単位、化合物等についても同様に記し、たとえば式（３−１）で表される単位を「単位（３−１）」とも記す。
【００５６】
含フッ素環状重合体（Ｉ）は、環状含フッ素単量体に基づく単位を有する。
「環状含フッ素単量体」とは、含フッ素脂肪族環を構成する炭素原子間に重合性二重結合を有する単量体、または、含フッ素脂肪族環を構成する炭素原子と含フッ素脂肪族環外の炭素原子との間に重合性二重結合を有する単量体である。
環状含フッ素単量体としては、下記の化合物（１）または化合物（２）が好ましい。
【００５７】
【化１】
2014090916.tif 000003
［式中、Ｘ１、Ｘ２、Ｘ３、Ｘ４、Ｙ１およびＹ２は、それぞれ独立に、フッ素原子、エーテル性酸素原子（−Ｏ−）を含んでいてもよいペルフルオロアルキル基、またはエーテル性酸素原子を含んでいてもよいペルフルオロアルコキシ基である。Ｘ３およびＸ４は相互に結合して環を形成してもよい。］
【００５８】
Ｘ１、Ｘ２、Ｘ３、Ｘ４、Ｙ１およびＹ２におけるペルフルオロアルキル基は、炭素数が１〜７であることが好ましく、炭素数が１〜４であることが特に好ましい。該ペルフルオロアルキル基は、直鎖状または分岐鎖状が好ましく、直鎖状が特に好ましい。具体的には、トリフルオロメチル基、ペンタフルオロエチル基、ヘプタフルオロプロピル基等が挙げられ、特にトリフルオロメチル基が好ましい。
Ｘ１、Ｘ２、Ｘ３、Ｘ４、Ｙ１およびＹ２におけるペルフルオロアルコキシ基としては、トリフルオロメトキシ基が特に好ましい。
【００５９】
式（１）中、Ｘ１は、フッ素原子であることが好ましい。
Ｘ２は、フッ素原子、トリフルオロメチル基、または炭素数１〜４のペルフルオロアルコキシ基であることが好ましく、フッ素原子またはトリフルオロメトキシ基であることが特に好ましい。
Ｘ３およびＸ４は、それぞれ独立に、フッ素原子または炭素数１〜４のペルフルオロアルキル基であることが好ましく、フッ素原子またはトリフルオロメチル基であることが特に好ましい。
Ｘ３およびＸ４は相互に結合して環を形成してもよい。前記環の環骨格を構成する原子の数は、４〜７個が好ましく、５〜６個であることが特に好ましい。
化合物（１）の好ましい具体例として、化合物（１−１）〜（１−５）が挙げられる。
【００６０】
【化２】
2014090916.tif 000004
【００６１】
式（２）中、Ｙ１およびＹ２は、それぞれ独立に、フッ素原子、炭素数１〜４のペルフルオロアルキル基または炭素数１〜４のペルフルオロアルコキシ基が好ましく、フッ素原子またはトリフルオロメチル基が特に好ましい。
化合物（２）の好ましい具体例として、化合物（２−１）〜（２−２）が挙げられる。
【００６２】
【化３】
2014090916.tif 000005
【００６３】
含フッ素環状重合体（Ｉ）は、上記環状含フッ素単量体により形成される単位のみから構成されてもよく、該単位と、それ以外の他の単位とを有する共重合体であってもよい。
ただし、該含フッ素環状重合体（Ｉ）中、環状含フッ素単量体に基づく単位の割合は、該含フッ素環状重合体（Ｉ）を構成する全繰り返し単位の合計に対し、２０モル％以上が好ましく、４０モル％以上がより好ましく、１００モル％であってもよい。
該他の単量体としては、上記環状含フッ素単量体と共重合可能なものであればよく、特に限定されない。具体的には、ジエン系含フッ素単量体、側鎖に反応性官能基を有する単量体、テトラフルオロエチレン、クロロトリフルオロエチレン、ペルフルオロ（メチルビニルエーテル）等が挙げられる。ジエン系含フッ素単量体としては、後述する含フッ素環状重合体（ＩＩ）の説明で挙げるものと同様のものが挙げられる。側鎖に反応性官能基を有する単量体としては、重合性二重結合および反応性官能基を有する単量体が挙げられる。重合性二重結合としては、ＣＦ２＝ＣＦ−、ＣＦ２＝ＣＨ−、ＣＨ２＝ＣＦ−、ＣＦＨ＝ＣＦ−、ＣＦＨ＝ＣＨ−、ＣＦ２＝Ｃ−、ＣＦ＝ＣＦ−等が挙げられる。反応性官能基としては、後述する含フッ素環状重合体（ＩＩ）の説明で挙げるものと同様のものが挙げられる。
なお、環状含フッ素単量体とジエン系含フッ素単量体との共重合により得られる重合体は含フッ素環状重合体（Ｉ）として考える。
【００６４】
含フッ素環状重合体（ＩＩ）は、ジエン系含フッ素単量体の環化重合により形成される単位を有する。
「ジエン系含フッ素単量体」とは、２個の重合性二重結合およびフッ素原子を有する単量体である。該重合性二重結合としては、特に限定されないが、ビニル基、アリル基、アクリロイル基、メタクリロイル基が好ましい。
ジエン系含フッ素単量体としては、下記化合物（３）が好ましい。
ＣＦ２＝ＣＦ−Ｑ−ＣＦ＝ＣＦ２  ・・・（３）。
式（３）中、Ｑは、エーテル性酸素原子を含んでいてもよく、フッ素原子の一部がフッ素原子以外のハロゲン原子で置換されていてもよい炭素数１〜５、好ましくは１〜３の、分岐を有してもよいペルフルオロアルキレン基である。該フッ素以外のハロゲン原子としては、塩素原子、臭素原子等が挙げられる。
Ｑは、エーテル性酸素原子を含むペルフルオロアルキレン基であることが好ましい。その場合、該ペルフルオロアルキレン基におけるエーテル性酸素原子は、該基の一方の末端に存在していてもよく、該基の両末端に存在していてもよく、該基の炭素原子間に存在していてもよい。環化重合性の点から、該基の一方の末端に存在していることが好ましい。
【００６５】
化合物（３）の具体例としては、下記化合物が挙げられる。
ＣＦ２＝ＣＦＯＣＦ２ＣＦ＝ＣＦ２、
ＣＦ２＝ＣＦＯＣＦ（ＣＦ３）ＣＦ＝ＣＦ２、
ＣＦ２＝ＣＦＯＣＦ２ＣＦ２ＣＦ＝ＣＦ２、
ＣＦ２＝ＣＦＯＣＦ２ＣＦ（ＣＦ３）ＣＦ＝ＣＦ２、
ＣＦ２＝ＣＦＯＣＦ（ＣＦ３）ＣＦ２ＣＦ＝ＣＦ２、
ＣＦ２＝ＣＦＯＣＦＣｌＣＦ２ＣＦ＝ＣＦ２、
ＣＦ２＝ＣＦＯＣＣｌ２ＣＦ２ＣＦ＝ＣＦ２、
ＣＦ２＝ＣＦＯＣＦ２ＯＣＦ＝ＣＦ２、
ＣＦ２＝ＣＦＯＣ（ＣＦ３）２ＯＣＦ＝ＣＦ２、
ＣＦ２＝ＣＦＯＣＦ２ＣＦ（ＯＣＦ３）ＣＦ＝ＣＦ２、
ＣＦ２＝ＣＦＣＦ２ＣＦ＝ＣＦ２、
ＣＦ２＝ＣＦＣＦ２ＣＦ２ＣＦ＝ＣＦ２、
ＣＦ２＝ＣＦＣＦ２ＯＣＦ２ＣＦ＝ＣＦ２。
【００６６】
化合物（３）の環化重合により形成される単位として、下記単位（３−１）〜（３−４）等が挙げられる。
【００６７】
【化４】
2014090916.tif 000006
【００６８】
含フッ素重合体（ａ）は、反応性官能基を有することが好ましい。
「反応性官能基」とは、加熱等を行った際に、当該含フッ素重合体（ａ）の分子間、または含フッ素重合体（ａ）とともに配合されている他の成分と反応して結合を形成し得る反応性を有する基を意味する。
たとえば、該他の成分として、後述するシランカップリング剤または極性官能基を２個以上有する分子量５０〜２，０００の化合物（ただしシランカップリング剤は除く。）（以下、多価極性化合物という。）を混合し、それらを反応させて反応生成物とする場合は、含フッ素重合体（ａ）が、シランカップリング剤が有する官能基または多価極性化合物が有する極性官能基と反応し得る反応性官能基を有することが好ましい。
含フッ素重合体（ａ）が有する反応性官能基としては、重合体中への導入のしやすさ、シランカップリング剤または多価極性化合物との相互作用の強さ等を考慮すると、カルボキシ基、酸ハライド基、アルコキシカルボニル基、カルボニルオキシ基、カーボネート基、スルホ基、ホスホノ基、ヒドロキシ基、チオール基、シラノール基およびアルコキシシリル基からなる群から選ばれる少なくとも１種が好ましく、カルボキシ基またはアルコキシカルボニル基が特に好ましい。
反応性官能基は、含フッ素重合体（ａ）の主鎖の末端に結合していてもよく、側鎖に結合していてもよい。製造しやすい点からは、主鎖の末端に結合していることが好ましい。すなわち、含フッ素重合体（ａ）として最も好ましい様態は、主鎖の末端にカルボキシ基またはアルコキシカルボニル基を有することである。
【００６９】
含フッ素重合体（ａ）の比誘電率は１．８〜８が好ましく、１．８〜５がより好ましく、１．８〜３がさらに好ましく、１．８〜２．７が特に好ましく、１．８〜２．３が最も好ましい。該比誘電率が上記範囲の下限値以上であると、エレクトレットとして蓄え得る電荷量が高く、上限値以下であると、電気絶縁性、およびエレクトレットとしての電荷保持安定性に優れる。該比誘電率は、ＡＳＴＭ  Ｄ１５０に準拠し、周波数１ＭＨｚにおいて測定される。
また、樹脂膜（Ａ）は、エレクトレットとしての電荷保持を担う部分であることから、含フッ素重合体（ａ）としては、体積固有抵抗が高く、絶縁破壊強度が大きいものが好ましい。
含フッ素重合体（ａ）の体積固有抵抗は、１０１０〜１０２０Ωｃｍが好ましく、１０１６〜１０１９Ωｃｍが特に好ましい。該体積固有抵抗は、ＡＳＴＭ  Ｄ２５７により測定される。
含フッ素重合体（ａ）の絶縁破壊強度は、１０〜２５ｋＶ／ｍｍが好ましく、１５〜２２ｋＶ／ｍｍが特に好ましい。該絶縁破壊強度は、ＡＳＴＭ  Ｄ１４９により測定される。
含フッ素重合体（ａ）の屈折率は、基板との屈折率差を小さくし、複屈折等による光の干渉を抑え、透明性を確保する点から、１．２〜２が好ましく、１．２〜１．５が特に好ましい。
【００７０】
含フッ素重合体（ａ）の重量平均分子量（Ｍｗ）は、５万以上が好ましく、１５万以上がより好ましく、２０万以上がさらに好ましく、２５万以上が特に好ましい。Ｍｗが５万以上であると、製膜しやすい。特に２０万以上であると、膜の耐熱性が向上し、エレクトレットとした際、保持した電荷の熱安定性が向上する。一方、重量平均分子量（Ｍｗ）が大きすぎると、溶媒に溶けにくくなり、製膜プロセスが制限される等の問題が生じるおそれがある。したがって、含フッ素重合体（ａ）の重量平均分子量（Ｍｗ）は、１００万以下が好ましく、８５万以下がより好ましく、６５万以下がさらに好ましく、５５万以下が特に好ましい。
本明細書において、含フッ素重合体（ａ）の重量平均分子量（Ｍｗ）は、日本化学会誌、２００１，ＮＯ．１２，Ｐ．６６１に記載される、Ｍｗと固有粘度［η］（３０℃）との関係式（［η］＝１．７×１０−４×Ｍｗ０．６０）を用いて算出される値である。
固有粘度［η］（３０℃）（単位：ｄｌ／ｇ）は、３０℃で、ペルフルオロ（２−ブチルテトラヒドロフラン）を溶媒として、ウベローデ型粘度計により測定される値である。
【００７１】
含フッ素重合体（ａ）は、前述した単量体を重合させることにより合成したものを用いてもよく、市販品を用いてもよい。
主鎖にエーテル性酸素原子を含む含フッ素脂肪族環を有し、主鎖の末端にカルボキシ基またはアルコキシカルボニル基を有する含フッ素重合体の市販品としては、ＣＹＴＯＰ（登録商標、旭硝子社製）が挙げられる。
【００７２】
＜誘導体（ａ’）＞
誘導体（ａ’）としては、上述したように、含フッ素重合体（ａ）と含フッ素重合体（ａ）以外の他の成分との混合物、含フッ素重合体（ａ）と含フッ素重合体（ａ）以外の他の成分との反応生成物、等が挙げられる。
前記混合物とは、反応生成物と異なり、含フッ素重合体（ａ）と含フッ素重合体（ａ）以外の他の成分とが、反応せずに混合した状態をいう。
前記反応生成物としては、たとえば含フッ素重合体（ａ）および前記他の成分を溶媒に溶解したコーティング液を加熱（溶媒を揮発させて成膜する際のベーク等）した際に、各成分が反応して生成するものが挙げられる。なお、含フッ素重合体（ａ）と含フッ素重合体（ａ）以外の他の成分とを反応させた際に、反応できずに残存する含フッ素重合体（ａ）および含フッ素重合体（ａ）以外の他の成分は、混合物ということになる。
含フッ素重合体（ａ）と混合または反応させる他の成分としては、シランカップリング剤または多価極性化合物が好ましく、シランカップリング剤が特に好ましい。これにより、形成される樹脂膜（Ａ）の電荷保持性能（保持した電荷の熱安定性、経時安定性等）が向上する。電荷保持性能の向上効果は、特に、含フッ素重合体（ａ）が主鎖の末端にカルボキシ基またはアルコキシカルボニル基を有する場合に顕著である。
電荷保持性能の向上効果は、含フッ素重合体（ａ）とシランカップリング剤または多価極性化合物とがナノ相分離を引き起こし、シランカップリング剤または多価極性化合物由来のナノクラスタ構造が形成され、当該ナノクラスタ構造が、エレクトレットにおける電荷を蓄える部位として機能するためであると推察される。
誘導体（ａ’）中、シランカップリング剤または多価極性化合物は、分子同士が反応した状態で存在していてもよい。
【００７３】
シランカップリング剤としては、特に限定されず、従来公知または周知のものを含めて広範囲にわたって利用できる。
シランカップリング剤としては、アミノ基を有するシランカップリング剤が好ましい。
入手の容易性等を考慮すると、特に好ましいシランカップリング剤は、γ−アミノプロピルメチルジエトキシシラン、γ−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、Ｎ−（β−アミノエチル）−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、Ｎ−（β−アミノエチル）−γ−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、およびＮ−（β−アミノエチル）−γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、から選択される１種以上である。
【００７４】
シランカップリング剤は、１種を単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
シランカップリング剤の配合量は、含フッ素重合体（ａ）とシランカップリング剤との合計量に対して、０．１〜２０質量％が好ましく、０．３〜１０質量％がより好ましく、０．５〜５質量％が特に好ましい。前記範囲であると、含フッ素重合体（ａ）とともに溶媒に溶解してコーティング液とした際に、簡便に均一な溶液とすることができる。
【００７５】
多価極性化合物は、極性官能基を２個以上有する分子量が５０〜２，０００の化合物（ただし前記シランカップリング剤は除く。）が好ましく、分子量が１００〜２，０００の化合物（ただし前記シランカップリング剤は除く。）が特に好ましい。多価極性化合物の分子量が上記範囲の下限値以上であると、分子量が高いために揮発しにくく、製膜後に膜中に残存させることが容易になる。また、上記範囲の上限値以下であると、含フッ素重合体（ａ）との相溶性が良好になる。
「極性官能基」とは、下記の（１ａ）および（１ｂ）の何れか一方または両方の特性を有する官能基である。
（１ａ）電気陰性度の異なる２種類以上の原子を含み、当該官能基中に分極による極性を有する。
（１ｂ）当該官能基と結合した炭素との電気陰性度の差により分極を生じさせる。
【００７６】
上記特性（１ａ）のみを有する極性官能基の具体例としては、ヒドロキシフェニル基等が挙げられる。
上記特性（１ｂ）のみを有する極性官能基の具体例としては、１級アミノ基（−ＮＨ２）、２級アミノ基（−ＮＨ−）、ヒドロキシル基、チオール基等が挙げられる。
上記特性（１ａ）および（１ｂ）の両方を有する極性官能基の具体例としては、スルホ基、ホスホノ基、カルボキシル基、アルコキシカルボニル基、酸ハライド基、ホルミル基、イソシアナート基、シアノ基、カルボニルオキシ基（−Ｃ（Ｏ）−Ｏ−）カーボネート基（−Ｏ−Ｃ（Ｏ）−Ｏ−）等が挙げられる。
【００７７】
多価極性化合物としては、ペンタン−１，５−ジアミン、ヘキサン−１，６−ジアミン、シクロヘキサン−１，２−ジアミン、シクロヘキサン−１，３−ジアミン、シクロヘキサン−１，４−ジアミン、１，２−ジアミノベンゼン、１，３−ジアミノベンゼン、１，４−ジアミノベンゼン、トリアミノメチルアミン、トリス（２−アミノエチル）アミン、トリス（３−アミノプロピル）アミン、シクロヘキサン−１，３，５−トリアミン、シクロヘキサン−１，２，４−トリアミン、１，３，５−トリアミノベンゼン、１，２，４−トリアミノベンゼン、２，４，６−トリアミノトルエン、１，３，５−トリス（２−アミノエチル）ベンゼン、１，２，４−トリス（２−アミノエチル）ベンゼン、２，４，６−トリス（２−アミノエチル）トルエン、ジエチレントリアミン、トリエチレンテトラミン、テトラエチレンペンタミンおよびポリエチレンイミンからなる群から選ばれる少なくとも１種が好ましく、トリス（２−アミノエチル）アミン、トリス（３−アミノプロピル）アミン、シクロヘキサン−１，３−ジアミン、ヘキサン−１，６−ジアミン、ジエチレントリアミンおよびポリエチレンイミンからなる群から選ばれる少なくとも１種が特に好ましい。
【００７８】
多価極性化合物は、１種を単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。たとえば、極性官能基を２個有する化合物と、極性官能基を３個以上有する化合物とを混合して用いてもよい。
多価極性化合物の配合量は、含フッ素重合体（ａ）の配合量の０．０１〜３０質量が好ましく、０．０５〜１０質量％が特に好ましい。該配合量が上記範囲の下限値以上であると、多価極性化合物を配合することによる効果が充分に得られる。該配合量が上記範囲の上限値以下であると、含フッ素重合体（ａ）との混和性が良好であり、コーティング液中での分布が均一となる。
【００７９】
（樹脂膜（Ａ）の形成方法）
樹脂膜（Ａ）の形成方法としては特に限定されず、公知の方法を利用できる。たとえば、含フッ素重合体（ａ）を溶媒に溶解してなるコーティング液、または含フッ素重合体（ａ）と該含フッ素重合体（ａ）以外の他の成分とを溶媒に溶解してなるコーティング液を用いて樹脂膜（Ａ）を形成する。前記他の成分としては、上述したとおり、シランカップリング剤または多価極性化合物が好ましく、シランカップリング剤が特に好ましい。
【００８０】
溶媒としては、少なくとも含フッ素重合体（ａ）を溶解する溶媒が用いられ、他の成分を含む場合、前記含フッ素重合体（ａ）を溶解する溶媒が、該他の成分を溶解するものであれば、該溶媒単独で均一な溶液とすることができる。また、該他の成分を溶解する他の溶媒を併用してもよい。
溶媒として具体的には、プロトン性溶媒、非プロトン性溶媒等が挙げられ、それらの中から当該コーティング液に配合される成分を溶解するものを適宜選択すればよい。
「プロトン性溶媒」とは、プロトン供与性を有する溶媒である。「非プロトン性溶媒」とは、プロトン供与性を有さない溶媒である。
【００８１】
プロトン性溶媒としては、以下に示すプロトン性非含フッ素溶媒、プロトン性含フッ素溶媒等が挙げられる。
メタノール、エタノール、１−プロパノール、イソプロピルアルコール、１−ブタノール、２−ブタオール、ｔ−ブタノール、ペンタノール、ヘキサノール、１−オクタノール、２−オクタノール、エチレングリコール、エチレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコール、乳酸メチル等のプロトン性非含フッ素溶媒。
２−（ペルフルオロオクチル）エタノール等の含フッ素アルコール、含フッ素カルボン酸、含フッ素カルボン酸のアミド、含フッ素スルホン酸等のプロトン性含フッ素溶媒。
【００８２】
非プロトン性溶媒としては、以下に示す非プロトン性非含フッ素溶媒、非プロトン性含フッ素溶媒等が挙げられる。
ヘキサン、シクロヘキサン、ヘプタン、オクタン、デカン、ドデカン、デカリン、アセトン、シクロヘキサノン、２−ブタノン、ジメトキシエタン、モノメチルエーテル、酢酸エチル、酢酸ブチル、ジグライム、トリグライム、プロピレングリコールモノメチルエーテルモノアセテート（ＰＧＭＥＡ）、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド（ＤＭＦ）、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド（ＤＭＡ）、Ｎ−メチルピロリドン、テトラヒドロフラン、アニソール、ジクロロメタン、ジクロロエタン、クロロホルム、四塩化炭素、クロロベンゼン、ジクロロベンゼン、ベンゼン、トルエン、キシレン、エチルベンゼン、メシチレン、テトラリン、メチルナフタレン等の非プロトン性非含フッ素溶媒。
【００８３】
１，４−ビス（トリフルオロメチル）ベンゼン等のポリフルオロ芳香族化合物、ペルフルオロトリブチルアミン等のポリフルオロトリアルキルアミン化合物、ペルフルオロデカリン等のポリフルオロシクロアルカン化合物、ペルフルオロ（２−ブチルテトラヒドロフラン）等のポリフルオロ環状エーテル化合物、ペルフルオロポリエーテル、ポリフルオロアルカン化合物、ハイドロフルオロエーテル（ＨＦＥ）等の非プロトン性含フッ素溶媒。
【００８４】
これらの溶媒は、１種を単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。またこれらの他にも広範な化合物が使用できる。
これらのうち、含フッ素重合体（ａ）の溶解の用いる溶媒としては、含フッ素重合体（ａ）の溶解度が大きく、良溶媒であることから、非プロトン性含フッ素溶媒が好ましい。
シランカップリング剤または多価極性化合物を溶解する溶媒としては、プロトン性含フッ素溶媒が好ましい。
該溶媒の沸点は、コーティングの際に均一な膜を形成しやすいことから、６５〜２２０℃が好ましく、１００〜２２０℃が特に好ましい。
【００８５】
コーティング液の調製に用いる溶媒は、水分含量が少ないことが好ましい。該水分含量は、１００質量ｐｐｍ以下が好ましく、２０質量ｐｐｍ以下が特に好ましい。
コーティング液における含フッ素重合体（ａ）の濃度は、０．１〜３０質量％が好ましく、０．５〜２０質量％が特に好ましい。
コーティング液の固形分濃度は、形成しようとする膜厚に応じて適宜設定すればよい。通常、０．１〜３０質量％であり、０．５〜２０質量％が好ましい。
なお、固形分は、質量を測定したコーティング液を常圧下２００℃で１時間加熱することで、溶媒を留去し、残存する固形分の質量を測定して算出する。
【００８６】
コーティング液は、各成分を含む組成物を予め調製し、これを溶媒に溶解して得てもよく、各成分をそれぞれ溶媒に溶解し、各溶液を混合して得てもよい。
各成分を含む組成物を予め調製する場合の該組成物の製造方法としては、固体と固体、または固体と液体を混練、共融押し出し法等により混合してもよく、それぞれを可溶な溶媒に溶解した各溶液を混合してもよい。これらの中でも、各溶液を混合することが特に好ましい。
含フッ素重合体（ａ）とシランカップリング剤とを併用する場合、コーティング液は、含フッ素重合体（ａ）を非プロトン性含フッ素溶媒に溶解した重合体溶液と、シランカップリング剤をプロトン性含フッ素溶媒に溶解したシランカップリング剤溶液とを各々調製し、該重合体溶液とシランカップリング剤溶液とを混合することによって得ることが好ましい。
【００８７】
コーティング膜の製膜は、たとえば、コーティング液を基板の表面にコーティングし、ベーク等により乾燥させることにより実施できる。
コーティング方法としては、溶液から膜を形成させる従来公知の方法が利用でき、特に限定されない。たとえば、スピンコート法、ロールコート法、キャスト法、ディッピング法、水上キャスト法、ラングミュア・ブロジェット法、ダイコート法、インクジェット法、スプレーコート法等が挙げられる。また、凸版印刷法、グラビア印刷法、平板印刷法、スクリーン印刷法、フレキソ印刷法等の印刷技術も用いることができる。
乾燥は、常温での風乾により行ってもよいが、加熱してベークすることにより行うことが好ましい。ベーク温度は、溶媒の沸点以上であることが好ましく、特に２３０℃以上の高温で行うことが、添加したシランカップリング剤や多価極性化合物と含フッ素重合体（ａ）との反応を充分に完結させる点で特に好ましい。
【００８８】
以上で説明した含フッ素重合体（ａ）または誘導体（ａ’）を用いて樹脂膜（Ａ）を形成する場合、該樹脂膜（Ａ）を形成する基板の表面は、基板との接合性を確保するため、クロム、アルミニウム、銅等で形成されていることが好ましい。仮に、該樹脂膜（Ａ）を形成する基板の表面が金、白金、純ニッケルで形成されている場合、該樹脂膜（Ａ）は基板に接合しない。このため、該樹脂膜（Ａ）を振動板２３上に形成する場合、振動板２３の表面は、電極膜の形成材料として前述した材料のうち、金、白金、純ニッケルを除く導電性材料で形成されていることが好ましい。したがって、仮に、振動板２３の主要形成材として金、白金、純ニッケルを採用する場合には、金、白金、純ニッケルの表面にクロムやアルミニウム等の膜を形成することが好ましい。
【００８９】
（電荷の注入）
樹脂膜（Ａ）に電荷を注入することで、該樹脂膜（Ａ）は、エレクトレット膜２９になる。
樹脂膜（Ａ）への電荷の注入方法としては、一般的に絶縁体を帯電させる方法であれば特に限定されない。たとえば、G.M.Sessler, Electrets Third Edition,pp20,Chapter2.2“Charging and  Polarizing Methods”(Laplacian Press, 1998)に記載のコロナ放電法、電子ビーム衝突法、イオンビーム衝突法、放射線照射法、光照射法、接触帯電法、液体接触帯電法等が適用可能である。本発明においては、特にコロナ放電法、電子ビーム衝突法を用いることが好ましい。
電荷を注入する際の温度条件としては、樹脂膜（Ａ）に含まれる含フッ素重合体（ａ）または誘導体（ａ’）のガラス転移温度（Ｔｇ）以上で行うことが、注入後に保持される電荷の安定性の点から好ましく、該Ｔｇ＋１０℃〜該Ｔｇ＋２０℃程度の温度条件で行うことが特に好ましい。
電荷を注入する際の印加電圧としては、樹脂膜（Ａ）の絶縁破壊電圧以下であれば、高圧を印加することが好ましい。本発明において、樹脂膜（Ａ）への印加電圧は、正電荷では６〜３０ｋＶ、好ましくは８〜１５ｋＶであり、負電荷では−６〜−３０ｋＶ、好ましくは−８〜−１５ｋＶである。
含フッ素重合体（ａ）または誘導体（ａ’）は、正電荷より負電荷をより安定に保持できることから、印加電圧は負電荷であることが好ましい。この場合、エレクトレットの表面電位はマイナスとなる。
【００９０】
なお、ここでは、振動板２３上に形成されている振動電極膜２７の表面に直接樹脂膜（Ａ）を形成し、電荷を注入する例を示したが、エレクトレット膜２９の製造方法はこれに限定されない。たとえば、任意の基板上に樹脂膜（Ａ）を形成し、基板から剥離した後、これを振動板２３上に形成されている振動電極膜２７の表面に配置し、該樹脂膜（Ａ）に電荷を注入してエレクトレット膜２９としてもよい。また、任意の基板上に樹脂膜（Ａ）を形成し、電荷を注入してエレクトレット膜２９とした後、該エレクトレット膜２９を基板から剥離し、これを振動板２３上に形成されている振動電極膜２７の表面上に配置してもよい。
振動板２３とは別の基板に樹脂膜（Ａ）を形成する場合であって該基板上で電荷の注入を行う場合、該基板としては、得られた積層体に電荷を注入する際にアースに接続できるような基板が用いられる。好ましい材質としては、たとえば、金、銀、銅、ニッケル、クロム、アルミニウム、チタン、タングステン、モリブデン、錫、コバルト、パラジウム、白金、これらのうちの少なくとも１種を主成分とする合金等の導電性の金属が挙げられる。また、材質が導電性の金属以外のもの、たとえばガラス等の無機材料、ポリエチレンテレフタレート、ポリイミド、ポリカーボネート、アクリル樹脂等の有機材料等の絶縁性の材料の基板（絶縁性基板）であっても、その表面にスパッタリング、蒸着、ウエットコーティング等の方法で金属膜、またはＩＴＯ（Indium Tin Oxide）、ＩＺＯ（Indium Zinc Oxide）、酸化亜鉛、二酸化チタン、酸化スズ等の金属酸化物；ポリアニリン、ポリピロール、ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳ、カーボンナノチューブ等からなる有機導電材料等をコーティングしたものであれば用いることができる。また、シリコン等の半導体材料も同様の表面処理を行ったものであるか、または、半導体材料そのものの抵抗値が低いものであれば、基板として用いることができる。基板材料の抵抗値としては、体積固有抵抗値で０．１Ωｃｍ以下であることが好ましく、特に０．０１Ωｃｍ以下であることが特に好ましい。このような低抵抗値の基板材料であれば、当該基板上に形成された積層体にそのまま電荷を注入してエレクトレット膜２９とすることができる。
【００９１】
〔実施形態の変形例〕
以上の実施形態の音響センサ２０のスペーサ２１は、円筒形状である。しかし、本発明は、これに限定されず、多角筒形状等であってもよい。この場合、振動板２３や背面板、２６は、多角筒形状のスペーサ２１の開口２１ａ、２１ｂに対応した形状となる。
【００９２】
以上の実施形態では、振動板２３は弾性部材３２を介してスペーサ２１に接着され、背面板２６はスペーサ２１に接着されている。しかし、振動板２３や背面板２６は、接着剤を用いずに、その枠材によりスペーサ２１にしっかりと固定されていてもよい。
【００９３】
以上の実施形態では、エレクトレット膜２９を振動電極膜２７の背面電極膜側の表面に形成している。しかし、エレクトレット膜２９を背面電極膜２８の振動電極膜側の表面に形成してもよい。
【００９４】
以上の実施形態において、図１を用いて説明した音響センサ２０の各部の寸法は、電子聴診器用の音響センサの寸法であり、しかも、集音周波数帯域を０．１〜１００Ｈｚ程度にするために適した寸法である。このため、音響センサ２０を電子聴診器用として用いない場合や、集音周波数帯域を０．１〜１００Ｈｚ程度にしない場合には、先に例示した寸法とは異なる寸法を採用してもよい。
特に、集音周波数帯域の調整パラメータの一つである溝２４の内周縁の径Ｄ６は、目的とする集音周波数帯域が得られるよう適宜変更してもよい。
【００９５】
以上の実施形態の音響モニタ装置は、振動電極膜２７および背面電極膜２８とイヤフォン２とを電気的に接続する信号線１８中にアンプ１６を配置した電気回路１５を有している。しかし、本実施形態のように、集音感度の高い音響センサ２０を用い、しかも再生音の出力をあまり大きくする必要がない場合には、図４に示すように、振動電極膜２７および背面電極膜２８とイヤフォン２とを電気的に接続する信号線１８中にアンプ１６を配置しなくてもよい。つまり、電気回路１５を設けなくてもよい。
【００９６】
以上の実施形態では、弾性部材３２を介して、振動板２３をスペーサ２１に取り付けている。しかし、高周波音の集音を抑える必要がない場合には、弾性部材３２を介さずに、振動板２３を直接スペーサ２１に取り付けてもよい。
【００９７】
以上の実施形態では、振動板２３およびスペーサ２１の外径を大きくすることなく、集音周波数帯域を低くするため、振動板２３に錘３１を取り付けている。しかし、振動板２３およびスペーサ２１の外径を大きくしてもよい場合や、集音周波数帯域を低くする必要がない場合には、振動板２３に錘３１を取り付けなくてもよい。
【００９８】
以上の実施形態の音響モニタ装置は、電子聴診器である。しかし、本発明はこれに限定されない。たとえば、電子聴診器のイヤフォン２の替わりに、発生音を多数の者が同時に聞くことができるスピーカを音響センサ２０に接続してもよい。また、イヤフォン２の替わりに、音情報としての音響特性を表示するディスプレイや、音響特性を紙に印刷するプリンタを音響センサ２０に接続してもよい。すなわち、音情報出力器は、イヤフォン２以外でもよく、スピーカ、ディスプレイ、プリンタ等でもよい。
また、音響モニタ装置は、人体からの発生音のみならず、他の音、たとえば、配管中の流動体音、容器や建屋等の内部音等をモニタするための装置であってもよい。
よって、音響センサ２０も、電子聴診器用としてのみならず、他の音響モニタ装置用であってもよい。
【符号の説明】
【００９９】
１…聴診器ヘッド、２…イヤフォン、３…イヤフォンコード、１０…聴診器ヘッドケース、１１…開口、１２…ダイヤフラム、１５…電気回路、１６…アンプ、１７…バッテリ、１８…信号線、２０…音響センサ、２１…スペーサ、２３…振動板、２３ｉ…内側領域、２３ｏ…外側領域、２４…溝、２５…平坦部、２６…背面板、２７…振動電極膜、２８…背面電極膜、２９…エレクトレット膜、３１…錘、３２…弾性部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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