(57)【要約】【課題】電極シートの歩留まりを容易に高くでき、また、電極シートにしたときに対になる電極シートとの寸法のずれを容易に小さくでき、しかもタッチパネルの入力部材に用いた際に充分に高い座標検出精度を確保できる透明配線シートを提供する。【解決手段】本発明の透明配線シート１は、第１電極２１ａが、導電性極細繊維を含む繊維分散液の塗布方向に対して垂直に、アスペクト比が１超となるように形成されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
透明絶縁基材と、該透明絶縁基材の一方の面側に設けられた透明導電層とを備え、平面視で中央に配置された入力エリアと、該入力エリアよりも外側に配置された引き回し配線エリアとを有し、入力エリア内の透明導電層がパターン状に絶縁化されて、複数の座標検出用の第１電極が形成されている透明配線シートであって、
透明導電層は、導電性極細繊維を含む繊維分散液を一方向αに沿って塗布して導電性極細繊維の２次元ネットワークを形成した後、該２次元ネットワークの上に、透明基体を含む透明基体塗料を塗布することにより形成された層であり、前記第１電極は、前記方向αに対して垂直に、アスペクト比が１超となるように形成されていることを特徴とする透明配線シート。
【請求項２】
前記第１電極は、その長手方向に沿って幅広部と、該幅広部よりも幅が狭い幅狭部とが交互に形成されていることを特徴とする請求項１に記載の透明配線シート。
【請求項３】
透明導電層のパターン状に絶縁化された部分は、透明導電層にパターン状にレーザ光が照射されて、透明基体が溶融されることなく導電性極細繊維が蒸発、除去されていることを特徴とする請求項１または２に記載の透明配線シート。
【請求項４】
透明絶縁基材が長尺のフィルムであり、そのフィルムの長手方向が前記方向αであることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の透明配線シート。
【請求項５】
透明絶縁基材の一方の面側に、導電性極細繊維を含む繊維分散液を一方向αに沿って塗布して導電性極細繊維の２次元ネットワークを形成した後、該２次元ネットワークの上に、透明基体を含む透明基体塗料を塗布することにより透明導電層を形成する透明導電層形成工程と、
前記透明導電層をパターン状に絶縁化して、アスペクト比が１超の複数の第１電極を、その長手方向が前記方向αに対して垂直になるように形成する第１電極形成工程と、
を有することを特徴とする透明配線シートの製造方法。
【請求項６】
第１電極形成工程では、第１電極を、その長手方向に沿って幅広部と該幅広部よりも幅が狭い幅狭部とが交互になるように形成することを特徴とする請求項５に記載の透明配線シートの製造方法。
【請求項７】
第１電極形成工程における透明導電層のパターン状の絶縁化では、透明導電層にパターン状にレーザ光を照射して、透明基体を溶融することなく導電性極細繊維を蒸発、除去することを特徴とする請求項５または６に記載の透明配線シートの製造方法。
【請求項８】
前記透明絶縁基材として長尺のフィルムを用い、該フィルムの長手方向を前記方向αとすることを特徴とする請求項５〜７のいずれか一項に記載の透明配線シートの製造方法。
【請求項９】
前記透明導電層の第１電極が形成されていない部分をパターン状に絶縁化して、アスペクト比が１超の複数の第２電極を、その長手方向が前記方向αに対して平行に且つ第１電極に絶縁状態で並列に配置されるように形成する第２電極形成工程をさらに有し、透明絶縁基材の長手方向に沿って第１電極と第２電極とを交互に配置することを特徴とする請求項８に記載の透明配線シートの製造方法。
【請求項１０】
座標検出用の電極が方向Ｘに沿って設けられた第１電極シートと、座標検出用の電極が前記方向Ｘに対して垂直な方向Ｙに沿って設けられた第２電極シートとを有し、第１電極シートの電極と第２電極シートの電極とが互いに絶縁されているタッチパネル用入力部材において、
第１電極シートは、請求項１に記載の透明配線シートから得たものであることを特徴とするタッチパネル用入力部材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、投影型静電容量式のタッチパネルにおいて入力部材として用いられる透明配線シートおよびその製造方法に関する。また、投影型静電容量式タッチパネルの入力部材に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、携帯電話、ゲーム機、オフィス事務機器等にタッチパネルが広く使用されている。タッチパネルは、通常、液晶ディスプレイ等の画像表示装置の前面に座標検出用の入力部材を備えている。
入力部材としては、例えば、高アスペクト比の電極が形成された電極シートを一対有し、電極同士が絶縁されているものが用いられている（特許文献１）。電極シートとしては、透明絶縁基材の片面に透明導電層が設けられ、その透明導電層に絶縁パターンが形成された矩形状のシートが用いられている。透明導電層を構成する導電材料としては錫ドープ酸化インジウムが広く使用されているが、近年では、銀ナノワイヤ等の導電性極細繊維が用いられることもある（特許文献２，３）。
導電性極細繊維が用いられる場合、ガラス板や長尺のポリエステルフィルム等の透明絶縁基材の表面に、スロットダイやマイクログラビアコーター等の塗液に大きな剪断応力がかかる方法等で導電性極細繊維の分散液を塗布し、その上に透明基体を含む塗料を塗布して透明導電層を形成して導電シートを作製し、その導電シートの透明導電層に絶縁パターンを形成して電極シートになる領域を含む透明配線シートを作製した後、これを打ち抜いて電極シートを得る。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平１１−１７００７２号公報
【特許文献２】特開２０１１−１６７８４８号公報
【特許文献３】特開２０１２−０３２８６４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、従来の透明配線シートでは、電極シートの歩留まりが低くなることがあり、また、タッチパネルの入力部材とした際に対となる電極シート同士で寸法のずれが大きくなることがあり、座標検出精度を充分に確保できないことがあった。
そこで、本発明は、電極シートの歩留まりを容易に高くでき、また、対になる電極シートとの寸法のずれを容易に小さくでき、タッチパネルの入力部材に用いた際に充分に高い座標検出精度を確保できる透明配線シートおよびその製造方法を提供することを目的とする。また、正しく座標を検出できる入力部材を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
導電性極細繊維の分散液の塗布により得た導電シートでは、導電性極細繊維の分散液の塗布方向（導電シートの長手方向）の電気抵抗が低くなりやすいため、従来、本発明者らは、電極の長手方向を導電性極細繊維の分散液の塗布方向に合わせる必要があると考えていた。しかし、本発明者らは、以下の理由より、それは必ずしも正しくないことに気が付いた。
一対の電極シートの一方と他方は、同一幅の別々の導電シートから各々作製したり、同一の導電シートから作製したりすることが多い。しかし、いずれの場合も、電極の長手方向を導電性極細繊維の分散液の塗布方向に合わせると、打ち抜いた後の残りの部分、すなわち廃棄される部分が多くなり、歩留まりが低くなる傾向にあった。さらに、透明絶縁基材は長手方向に収縮しやすく、透明絶縁基材が長手方向に収縮すると、一対の電極シート同士の寸法が合わなくなることがあった。一対の電極シート同士の寸法が合わなくなると、正しく座標を検出できないことがあった。したがって、必ずしも、電極の長手方向を導電性極細繊維の分散液の塗布方向に合わせることがよいとは限らなかった。
そこで、本発明者らは、以下の透明配線シートおよびその製造方法ならびにタッチパネル用入力部材を発明した。
【０００６】
［１］透明絶縁基材と、該透明絶縁基材の一方の面側に設けられた透明導電層とを備え、平面視で中央に配置された入力エリアと、該入力エリアよりも外側に配置された引き回し配線エリアとを有し、入力エリア内の透明導電層がパターン状に絶縁化されて、複数の座標検出用の第１電極が形成されている透明配線シートであって、透明導電層は、導電性極細繊維を含む繊維分散液を一方向αに沿って塗布して導電性極細繊維の２次元ネットワークを形成した後、該２次元ネットワークの上に、透明基体を含む透明基体塗料を塗布することにより形成された層であり、前記第１電極は、前記方向αに対して垂直に、アスペクト比が１超となるように形成されていることを特徴とする透明配線シート。
［２］前記第１電極は、その長手方向に沿って幅広部と、該幅広部よりも幅が狭い幅狭部とが交互に形成されていることを特徴とする［１］に記載の透明配線シート。
［３］透明導電層のパターン状に絶縁化された部分は、透明導電層にパターン状にレーザ光が照射されて、透明基体が溶融されることなく導電性極細繊維が蒸発、除去されていることを特徴とする［１］または［２］に記載の透明配線シート。
［４］透明絶縁基材が長尺のフィルムであり、そのフィルムの長手方向が前記方向αであることを特徴とする［１］〜［３］のいずれかに記載の透明配線シート。
【０００７】
［５］透明絶縁基材の一方の面側に、導電性極細繊維を含む繊維分散液を一方向αに沿って塗布して導電性極細繊維の２次元ネットワークを形成した後、該２次元ネットワークの上に、透明基体を含む透明基体塗料を塗布することにより透明導電層を形成する透明導電層形成工程と、前記透明導電層をパターン状に絶縁化して、アスペクト比が１超の複数の第１電極を、その長手方向が前記方向αに対して垂直になるように形成する第１電極形成工程と、を有することを特徴とする透明配線シートの製造方法。
［６］第１電極形成工程では、第１電極を、その長手方向に沿って幅広部と該幅広部よりも幅が狭い幅狭部とが交互になるように形成することを特徴とする［５］に記載の透明配線シートの製造方法。
［７］第１電極形成工程における透明導電層のパターン状の絶縁化では、透明導電層にパターン状にレーザ光を照射して、透明基体を溶融することなく導電性極細繊維を蒸発、除去することを特徴とする［５］または［６］に記載の透明配線シートの製造方法。
［８］前記透明絶縁基材として長尺のフィルムを用い、該フィルムの長手方向を前記方向αとすることを特徴とする［５］〜［７］のいずれかに記載の透明配線シートの製造方法。
［９］前記透明導電層の第１電極が形成されていない部分をパターン状に絶縁化して、アスペクト比が１超の複数の第２電極を、その長手方向が前記方向αに対して平行に且つ第１電極に絶縁状態で並列に配置されるように形成する第２電極形成工程をさらに有し、透明絶縁基材の長手方向に沿って第１電極と第２電極とを交互に配置することを特徴とする［８］に記載の透明配線シートの製造方法。
【０００８】
［１０］座標検出用の電極が方向Ｘに沿って設けられた第１電極シートと、座標検出用の電極が前記方向Ｘに対して垂直な方向Ｙに沿って設けられた第２電極シートとを有し、第１電極シートの電極と第２電極シートの電極とが互いに絶縁されているタッチパネル用入力部材において、第１電極シートは、［１］に記載の透明配線シートから得たものであることを特徴とするタッチパネル用入力部材。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の透明配線シートは、電極シートの歩留まりを容易に高くでき、また、電極シートにしたときに対になる電極シートとの寸法のずれを容易に小さくでき、しかもタッチパネルの入力部材に用いた際に充分に高い座標検出精度を確保できる。
本発明の透明配線シートの製造方法によれば、上記透明配線シートを容易に製造できる。
本発明のタッチパネル用入力部材は、正しく座標を検出できるものである。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の透明配線シートの一実施形態である第１透明配線シートを示す平面図である。
【図２】第１透明配線シートおよび第２透明配線シートの部分断面図である。
【図３】透明導電層の絶縁部以外の部分の電子顕微鏡写真である。
【図４】透明導電層の絶縁部の電子顕微鏡写真である。
【図５】図１の第１透明配線シートに組み合わせる第２透明配線シートを示す平面図である。
【図６】本発明の透明配線シートの製造方法を構成する透明導電層形成工程について説明する模式図である。
【図７】本発明の透明配線シートの製造方法を構成する電極形成工程について説明する模式図である。
【図８】本発明のタッチパネル用入力部材の一実施形態を示す断面図である。
【図９】図８のタッチパネル用入力部材における第１電極シートと第２電極シートとの重なり状態を示す平面図である。
【図１０】本発明のタッチパネル用入力部材を用いた座標入力装置の入力について説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
＜透明配線シート＞
本発明の透明配線シートの一実施形態について説明する。
図１および図２に、本実施形態の透明配線シートを示す。本実施形態の第１透明配線シート１は、透明絶縁基材１０と、透明絶縁基材１０の一方の面に設けられた透明導電層２０とを備え、平面視で中央付近の矩形状の入力エリアＡ１と、入力エリアＡ１よりも外側に配置された引き回し配線エリアＡ２とに区分されたものである。
なお、第１透明配線シート１は、後述するように、第２透明配線シート２と組み合わされてタッチパネル用の入力部材とされる。
また、本発明において、「透明」とは、ＪＩＳ  Ｋ７１０５に従って測定した光線透過率が５０％以上のことを意味する。また、「絶縁」とは、電気抵抗値が１ＭΩ以上、好ましくは１０ＭΩ以上のことであり、「導電」とは、電気抵抗値が１ＭΩ未満であることを意味する。
【００１２】
（透明絶縁基材）
透明絶縁基材１０の材質としては、例えば、ガラス、ポリカーボネート、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）等のポリエステル、アクリル樹脂などが挙げられる。
透明絶縁基材１０の厚さは１０〜２５０μｍであることが好ましく、２５〜１８８μｍであることがより好ましい。透明絶縁基材１０の厚さが前記下限値以上であれば、充分な強度・剛性を確保でき、前記上限値以下であれば、タッチパネルを容易に薄型化できる。
【００１３】
（透明導電層）
透明導電層２０は、層状の透明基体Ｂと、該透明基体Ｂの内部に２次元ネットワーク状に配置された導電性極細繊維Ｗとを含有している（図３参照）。具体的に、透明導電層２０は、導電性極細繊維を含む繊維分散液を一方向αに沿って塗布して導電性極細繊維の２次元ネットワークを形成した後、該２次元ネットワークの上に、透明基体を含む透明基体塗料を塗布することにより形成される。
入力エリアＡ１内の透明導電層２０には、第１絶縁ラインＬ１が形成されて、複数の第１電極２１ａが設けられている。具体的に、透明導電層２０に第１絶縁ラインＬ１が、方向Ｘに沿って複数の略正方形状の導電部がその角で連結した電極形状が得られるように方向Ｘに沿ってジグザグに形成されて、いわゆるダイヤモンドパターンの第１電極２１ａが設けられている。第１電極２１ａのアスペクト比は１超であり、５以上であることが好ましく、７以上であることがより好ましい。また、第１電極２１ａのアスペクト比は４００以下であることが好ましい。ここで、アスペクト比は、電極の長さ／電極の平均幅である。アスペクト比が１の電極は投影型静電容量式のタッチパネルへの適用は困難である。
第１電極２１ａは、繊維分散液の塗布方向αに対して垂直に配置されている。ここでいう「垂直」とは、繊維分散液の塗布方向αと第１電極２１ａの長手方向との角度が９０°のことだけでなく、前記角度が９０±３０°のことも含む。
【００１４】
なお、隣接する互いに平行な第１電極２１ａ，２１ａ同士は導通していない。また、隣接する第１電極２１ａ，２１ａ同士の間には、第２絶縁ラインＬ２が形成されて、第１電極２１ａと導通しない微小導電部２２が設けられている。入力エリアＡ１内の、第１電極２１ａおよび微小導電部２２以外の部分は、第１電極２１ａおよび微小導電部２２と導通しない孤立導電部２３となっている。
第１透明配線シート１の第１電極２１ａは、後述する第２透明配線シート２の第２電極２１ｂと組み合わせて入力部材とした際に互いに重ならないように形成されている。
入力エリアＡ１と引き回し配線エリアＡ２との境界には、第３絶縁ラインＬ３が形成されている。
【００１５】
上記のような、ダイヤモンドパターンの第１電極２１ａは、その長手方向に沿って幅広部２１ｃと、幅広部２１ｃよりも幅が狭い幅狭部２１ｄとが交互に形成される。すなわち、塗布方向αに対して垂直に、幅広部２１ｃと幅狭部２１ｄとが交互に形成される。幅広部２１ｃを有していると、配線抵抗が小さくなるため、各第１電極２１ａの電気抵抗は、一定幅のものよりも小さくなる。
【００１６】
引き回し配線エリアＡ２の透明導電層２０には、入力エリアＡ１から突出し、第１電極２１ａの一端に電気的に接続された中継用端子部２５が複数形成されている。中継用端子部２５が形成されていると、後述する引き回し回路３０を容易に且つ低抵抗に接続できる。
また、引き回し配線エリアＡ２の透明導電層２０には、入力エリアＡ１から突出し、第１電極２１ａの他端に電気的に接続された検査用端子部２６が複数設けられている。ここで、検査用端子部２６は、導電性物質を含むインキやペーストによって形成された低抵抗材料からなる。導電性物質としては特に制限されず、金属、導電性金属酸化物、導電性高分子などの粒子または繊維が挙げられる。検査用端子部２６は検査用プローブとの接触抵抗を小さくできるため、検査用端子部２６を用いて導通検査を行うことで、検査精度を向上させることができる。
【００１７】
また、引き回し配線エリアＡ２には、第１電極２１ａで得られる信号を、各中継用端子部２５から透明配線シート１，２の外部にある外部回路（図示せず）に接続するための引き回し回路３０が複数本設けられている。引き回し回路３０は、中継用端子部２５に接続された引き回し配線３１と、引き回し配線３１に接続された外部接続用端子部３２とを有している。また、引き回し回路３０は、導電性物質を含むインキやペーストによって形成された低抵抗材料からなる。導電性物質としては特に制限されず、金属、導電性金属酸化物、導電性高分子などの粒子または繊維が挙げられる。
また、引き回し配線エリアＡ２内の透明導電層２０には、互いに隣接する引き回し回路３０，３０が透明導電層２０を介して導通しないように絶縁する第４絶縁ラインＬ４が、各引き回し回路３０の近傍に形成されている。さらに、引き回し配線エリアＡ２内の透明導電層２０には、第５絶縁ラインＬ５が格子状に形成されている。引き回し配線エリアＡ２内の透明導電層２０に格子状の第５絶縁ラインＬ５が形成されていると、後述するように透明配線シート１，２を重ねてタッチパネルの入力部材とした際に、互いに隣接する引き回し回路３０，３０の間のクロストークを抑制できる。
【００１８】
第１絶縁ラインＬ１、第２絶縁ラインＬ２、第３絶縁ラインＬ３、第４絶縁ラインＬ４および第５絶縁ラインＬ５は、透明基体Ｂが溶融されることなく導電性極細繊維が蒸発、除去されて空隙Ｖが形成されたものであり（図４参照）、透明基体は残っている。そのため、導電性極細繊維を含んでいる導電領域と光学的な特性がほぼ同等であるため、入力エリアＡ１内のパターンは視認されにくくなっている。したがって、画像表示装置上に設置されるタッチパネル用入力部材として好適である。
【００１９】
第１絶縁ラインＬ１、第２絶縁ラインＬ２、第３絶縁ラインＬ３、第４絶縁ラインＬ４および第５絶縁ラインＬ５の幅は、照射するレーザ光の波長にもよるが、通常、１０〜１００μｍである。幅１００μｍの絶縁ラインをレーザ照射により形成する場合には、複数回に分けて照射を行えばよい。
【００２０】
透明導電層２０に含まれる導電性極細繊維は、透明絶縁基材１０の表面の面方向に沿い、ランダムな方向を向くように不規則に存在しているとともに、その少なくとも一部が互いに接触し合う程度に密集して２次元網目状に配置されている。このような配置によって導電性極細繊維同士が互いに電気的に接続されることで、導電ネットワーク構造を形成している。
また、導電性極細繊維は、その殆どが透明基体の内部に埋設されているが、一部は透明基体の表面から突出している。
【００２１】
導電性極細繊維としては、銅、白金、金、銀、ニッケル等からなる金属ナノワイヤや金属ナノチューブ、シリコンナノワイヤやシリコンナノチューブ、金属酸化物ナノチューブ、カーボンナノチューブ、カーボンナノファイバー、グラファイトフィブリル等の繊維状部材及びその金属被覆部材が挙げられる。これらのなかでも、透明性および導電性の点から、銀を主成分とする金属ナノワイヤ（銀ナノワイヤ）が好ましい。導電性極細繊維は、その直径が０．３〜１００ｎｍ、長さが１μｍ〜１００μｍであることが好ましい。
【００２２】
透明基体を形成する樹脂としては、透明な熱可塑性樹脂（ポリ塩化ビニル、塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体、ポリメチルメタクリレート、ニトロセルロース、塩素化ポリエチレン、塩素化ポリプロピレン、フッ化ビニリデン）、熱や活性エネルギ線（紫外線、電子線、放射線）で硬化する透明な硬化性樹脂（メラミンアクリレート、ウレタンアクリレート、エポキシ樹脂、ポリエステル樹脂、ポリイミド樹脂、アクリル変性シリケートなどのシリコーン樹脂）が挙げられる。
透明基体は、接着性および透明性の点から、透明絶縁基材１０と同種の材料とすることが好ましい。例えば、透明絶縁基材がポリエチレンテレフタレートフィルムである場合には、透明基体としてポリエステル樹脂を選択することが好ましい。
【００２３】
（外形マーク、位置決めマーク）
透明導電層２０には、入力エリアＡ１および引き回し配線エリアＡ２を囲う視認可能な外形マーク２７が設けられている。また、引き回し配線エリアＡ２には、第１透明配線シート１と第２透明配線シート２とを重ねる際の位置合わせに用いる、視認可能な第１位置決めマーク２８が設けられている。また、透明導電層２０には、外形マーク２７よりも外側に、引き回し回路３０の印刷の際の位置合わせに用いる、視認可能な第２位置決めマーク２９が設けられている。
【００２４】
（第２透明配線シート）
第１透明配線シート１と対になる第２透明配線シート２は、第１透明配線シート１と同様に、透明絶縁基材１０と、透明絶縁基材１０の片面に設けられた透明導電層２０とを備え、平面視で中央付近の矩形状の入力エリアＡ１と、入力エリアＡ１よりも外側に配置された引き回し配線エリアＡ２とに区分されたものである。
だだし、第２透明配線シート２は、入力エリアＡ１内の透明導電層２０に、第１絶縁ラインＬ１が形成されて、複数の第２電極２１ｂが設けられている。具体的に、図５に示すように、透明導電層２０に第１絶縁ラインＬ１が、幅広部２１ｃと幅狭部２１ｄとが得られるように方向Ｙに沿って形成されて、いわゆるダイヤモンドパターンの第２電極２１ｂが設けられている。第２電極２１ｂにおいても、アスペクト比は１超であり、５以上であることが好ましく、７以上であることがより好ましい。第２電極２１ｂは、繊維分散液の塗布方向αに対して平行に設けられており、第２透明配線シート２は本発明の透明配線シートではない。
また、第２透明配線シート２は、最長長さが第１透明配線シート１よりも長くなっている。
【００２５】
また、第２透明配線シート２には、第２絶縁ラインＬ２によって、微小導電部２２と孤立導電部２３が形成されている。また、第３絶縁ラインＬ３によって、入力エリアＡ１と引き回し配線エリアＡ２との境界が区分されている。また、格子状の第５絶縁ラインＬ５が設けられている。
また、引き回し配線エリアＡ２には、引き回し回路３０が設けられている。
また、引き回し配線エリアＡ２の透明導電層２０に、第２電極２１ｂの一端に電気的に接続された中継用端子部２５が複数形成され、第２電極２１ｂの他端に電気的に接続された検査用端子部２６が複数設けられている。
また、入力エリアＡ１および引き回し配線エリアＡ２を囲う外形マーク２７が設けられ、引き回し配線エリアＡ２には、第１位置決めマーク２８および第２位置決めマーク２９が設けられている。
【００２６】
＜透明配線シートの製造方法＞
次に、上記透明配線シート１，２の製造方法について説明する。
本実施形態の透明配線シート１，２の製造方法は、透明導電層形成工程と第１電極形成工程と第２電極形成工程とマーク形成工程と引き回し回路形成工程とを有する。
【００２７】
（透明導電層形成工程）
透明導電層形成工程は、透明絶縁基材１０の一方の面側に、導電性極細繊維を含む繊維分散液を一方向αに沿って塗布して導電性極細繊維の２次元ネットワークを形成した後、該２次元ネットワークの上に、透明基体を含む透明基体塗料を塗布することにより透明導電層２０を形成する工程である。本実施形態で用いる透明絶縁基材１０は、第１透明配線シート１と第２透明配線シート２を並列に配置できる幅とされた長尺のフィルムである。
透明絶縁基材として長尺フィルムを用いる場合には、図６に示すように、透明絶縁基材の巻取りロール５１から透明絶縁基材１０を連続的に繰り出し、塗布装置５２を用いて繊維分散液を連続的に塗布し、乾燥機５３を用いて乾燥処理して、導電性極細繊維の２次元ネットワークが形成された繊維積層シート５４を得る。その後、導電性極細繊維の２次元ネットワークの上に、塗布装置を用いて透明基体塗料を連続的に塗布した後、乾燥機を用いて乾燥処理することで透明導電層を形成して導電シート５８を得る。このように繊維分散液を塗布した場合には、透明絶縁基材の長手方向が塗布方向αとなる。
あるいは、前記繊維積層シートを一旦巻き取り、図６に示すように、改めて、繊維積層シートの巻取りロール５５から繊維積層シート５４を繰り出し、導電性極細繊維の２次元ネットワークの上に、塗布装置５６を用いて透明基体塗料を連続的に塗布した後、乾燥機５７を用いて乾燥処理することで透明導電層を形成してもよい。この場合でも、透明絶縁基材の長手方向が塗布方向αとなる。
なお、透明基体塗料の塗布方向は、透明絶縁基材の短手方向であっても構わない。スクリーン印刷等を適用すれば、透明基体塗料の塗布方向を透明絶縁基材の短手方向にすることは可能である。
【００２８】
繊維分散液および透明基体塗料を塗布する際に使用する塗布装置５２，５６としては、例えば、ダイコーター、グラビアコーター、リバースロールコーター、キスコーター、ロールナイフコーター、バーコーター（ロッドコーター）等の塗工機や、スプレーもしくはスクリーン印刷機を用いることができる。これらの中でも、塗工機を用いた場合には、透明導電層に傷が発生しやすいので、本発明の効果がより発揮される。
乾燥機５３，５７としては、熱風乾燥機、赤外線乾燥機、真空乾燥機等を適用することができる。
【００２９】
（第１電極形成工程）
第１電極形成工程は、図１に示すように、透明導電層２０に、繊維分散液の塗布方向αと垂直に複数の第１電極２１ａを形成する工程である。具体的に、電極形成工程では、透明絶縁基材１０の片面に透明導電層２０が形成された導電シートをステージ上に配置した後、透明導電層２０に、レーザ光発生手段より出射し、集光手段により集光したレーザ光を集光点が位置するように照射する。レーザ光の照射パターンは、第１絶縁ラインＬ１、第２絶縁ラインＬ２、第３絶縁ラインＬ３、第４絶縁ラインＬ４および第５絶縁ラインＬ５が形成されるパターンとする。透明導電層２０に第１絶縁ラインＬ１を形成することによって複数の第１電極２１ａを形成する。本製造方法では、繊維分散液の塗布方向α（すなわち透明絶縁基材１０の長手方向）と垂直に第１電極２１ａを形成すると共に塗布方向αに対して垂直方向（第１電極２１ａの長手方向）に沿ってダイヤモンドパターンを形成する。
また、本実施形態における第１電極形成工程では、導電シート５８の幅方向に第１透明配線シート１と共に第２透明配線シート２を並列に形成でき、且つ、長手方向に沿って第１透明配線シート１と第２透明配線シート２とを交互に形成できるような配置（図７参照）で、第１電極２１ａを形成する。
【００３０】
また、第２絶縁ラインＬ２を形成することによって微小導電部２２および孤立導電部２３を形成する。また、第３絶縁ラインＬ３を形成することによって入力エリアＡ１と引き回し配線エリアＡ２の境界線を形成する。また、第４絶縁ラインＬ４を形成することによって引き回し回路３０，３０間を絶縁する。また、第５絶縁ラインＬ５を形成することによって引き回し配線エリアＡ２に格子状の絶縁ラインを形成する。
電極形成工程において、目的のパターンでレーザ光を導電シート５８に照射するためには、ガルバノミラーを用いてレーザ光を走査する方法、ステージを二次元的にスライドさせる方法などを適用することができる。
【００３１】
本製造方法で使用されるレーザ光は、ＹＡＧやＹＶＯ４等のパルス状レーザ光、炭酸ガスレーザ等の連続発振レーザ光が挙げられる。中でも、簡便であることから、ＹＡＧやＹＶＯ４等の波長１０６４ｎｍもしくはその２次高調波を使用した５３２ｎｍ、パルス幅１〜２００ｎ秒のパルス状レーザ光が好ましい。また、レーザ照射痕を目立たせたくない用途に対しては、波長が１６００〜６００ｎｍでパルス幅が１０ｆ〜１００ｐ秒の極短パルスレーザが好ましい。
パルス状レーザにおいては、レーザ光のスポットの位置を、スポット同士が重なるように少しずつ移動させながら、導電性基板に照射することが好ましい。
【００３２】
透明導電層２０においてレーザ光が照射された部分は、透明基体が溶融することなく導電性極細繊維が蒸発、除去されて空隙が形成される。この空隙では、導電性極細繊維同士の接触がなく、導電ネットワークが断絶しているため、絶縁ラインとなる。
【００３３】
絶縁ラインの形成は、パルス状レーザで形成され、そのパルス幅は走査速度に比べて充分に短いため、集光スポットは略円形となり、絶縁ラインの幅は集光スポット径に等しくなる。
レーザ光の１パルスあたりの照射エネルギ密度は、レーザ光１パルスあたりの照射エネルギを集光スポット面積で除したものとして定義される。その値は、パルス幅が１０ｆ秒〜２００ｎ秒の範囲で、レーザ光の波長によらず、１×１０４〜１×１０５Ｊ／ｍ２となる。
また、連続する絶縁ラインを形成するためには、走査により移動して形成される個々の集光スポットが、互いにオーバーラップする必要があり、特に銀ナノワイヤを含む透明導電層では、銀ナノワイヤのみが確実に除去されて絶縁ラインの視認されにくさと絶縁の安定性を両立できる点では、オーバーラップ回数を１．５〜１０回程度にすることが好ましい。また、外形マーク２７、第１位置決めマーク２８および第２位置決めマーク２９など、視認されることを目的とする場合には、オーバーラップ回数を２５回以上に設定するか、複数回の走査でオーバーラップ回数を２５回以上にすることが好ましい。
【００３４】
導電シートが配置されるステージとしては、光散乱性で不透明な板が好ましい。ここで、不透明とは、ＪＩＳ  Ｋ７１０５に従って測定した光線透過率が１０％以下のことである。光散乱性で不透明な板としては、表面に凹凸が形成された板、内部にフィラーまたは空気を含有させた板、表面に着色インクが塗布された板などが挙げられる。
透明導電層２０は透明であり、ピント（レーザ光の集光点）を合わせにくい。しかし、ステージとして光散乱性で不透明な板を用いる場合には、電極形成工程にて、不透明なステージを基準にしてピントを合わせることで、透明導電層２０にピントを合わせてレーザ光を照射することができる。
また、ステージは、導電シートを固定するために、吸引可能になっていることが好ましい。
【００３５】
（第２電極形成工程）
第２電極形成工程は、図７に示すように、透明導電層２０に、第２電極２１ｂを、その長手方向が塗布方向αに対して平行に且つ第１電極２１ａに絶縁状態で並列に配置されるように形成する工程である。具体的に、第２電極形成工程では、導電シート５８をステージ上に配置した後、透明導電層２０の第１電極２１ａが形成されていない部分に、レーザ光発生手段より出射し、集光手段により集光したレーザ光を集光点が位置するように照射する。レーザ光の照射パターンは、第１絶縁ラインＬ１、第２絶縁ラインＬ２、第３絶縁ラインＬ３、第４絶縁ラインＬ４および第５絶縁ラインＬ５が形成されるパターンとする。透明導電層２０に第１絶縁ラインＬ１を形成することによって複数の第２電極２１ｂを形成する。本製造方法では、繊維分散液の塗布方向α（すなわち透明絶縁基材１０の長手方向）と平行に第２電極２１ｂを形成すると共に塗布方向αに対して平行方向（第２電極２１ｂの長手方向）に沿ってダイヤモンドパターンを形成する。ここでいう「平行」とは、繊維分散液の塗布方向αと第２電極２１ｂの長手方向との角度が０°のことだけでなく、前記角度が０±３０°のことである。
該第２電極形成工程によって、第１透明配線シート１の入力エリアＡ１の長手方向と第２透明配線シート２の入力エリアＡ１の長手方向を揃えることができる。
第２電極形成工程は、第１電極形成工程と同時に行ってもよいし、別々に行ってもよい。ただし、どちらの場合でも、本実施形態の製造方法では、導電シート５８の幅方向に第１電極２１ａと第２電極２１ｂとを並列に配置すると共に、長手方向に沿って第１電極２１ａと第２電極２１ｂとを交互に形成する。
【００３６】
（マーク形成工程）
マーク形成工程では、レーザ光を導電性基板に、外形マーク２７、第１位置決めマーク２８および第２位置決めマーク２９が形成されるパターンで照射する。該工程では、外形マーク２７、第１位置決めマーク２８および第２位置決めマーク２９を視認可能にするために、電極形成工程よりも高いエネルギでレーザ光を照射して透明基体を着色させる。電極形成工程よりも高いエネルギでレーザ光を照射する方法としては、レーザ光の走査速度を遅くする方法、レーザ光を同じ位置に複数回照射する方法、レーザ光の出力を上げる方法、長焦点距離の光学系により集光したレーザ光を照射する方法などが挙げられる。
なお、マーク形成工程は、どのタイミングでおこなってもよく、例えば、第１電極形成工程および第２電極形成工程の前でも後でもよいし、第１電極形成工程および第２電極形成工程の間でもよい。
【００３７】
（引き回し回路形成工程）
引き回し回路形成工程は、引き回し配線エリアＡ２に引き回し回路３０を形成する工程である。具体的な引き回し回路３０の形成方法としては、第４絶縁ラインＬ４，Ｌ４の間に導電性物質を含むインキやペーストを印刷または塗布する方法が挙げられる。印刷・塗布方法の中でも、スクリーン印刷法が好適である。通常、塗布後には、乾燥処理または焼成処理を施して、引き回し回路３０を得る。これにより、長尺の透明配線シートを得る。
その後、所定のサイズに打ち抜いて、上記透明配線シート１，２を得る。
【００３８】
（作用効果）
上記実施形態では、第１電極２１ａを塗布方向αに対して垂直に、第２電極２１ｂを塗布方向αに平行にするため、長さが異なる第１透明配線シート１と第２透明配線シート２とを、間隔を詰めて配置することが容易になる。そのため、打ち抜いた後の残りの部分、すなわち廃棄される部分が少なくなり、歩留まりが高くなる。
また、導電シート５８に第１透明配線シート１を形成すると共に第２透明配線シート２を形成した際に、第１透明配線シート１の入力エリアＡ１の長手方向と第２透明配線シート２の入力エリアＡ１の長手方向とが揃うため、透明絶縁基材１０が長手方向に収縮しても一対の電極シート同士の寸法のずれを容易に小さくできる。これにより、タッチパネルの入力部材に用いた際には、充分に高い座標検出精度を確保できる。
【００３９】
また、ダイヤモンドパターンの第１電極２１ａは、塗布方向αに対して垂直方向に沿って幅広部２１ｃと幅狭部２１ｄとが交互に配置されたものであり、幅が一定の電極よりも抵抗が小さくなっている。
幅が一定の電極では、その長手方向を導電性極細繊維の分散液の塗布方向に対して垂直にした場合に、入力部材の座標検出精度が不充分になることがある。これは、塗布方向に対して垂直な電極の抵抗値が、塗布方向に平行な電極の抵抗値の約２倍となり、電気抵抗に大きな異方性が生じることが原因の一つと推測される。
本実施形態では、透明導電層２０内の導電性極細繊維は塗布方向αに沿って配向し、第１電極２１ａにおける導電性極繊維は塗布方向αに対して垂直になっているが、幅広部２１ｃと幅狭部２１ｄとが交互に形成されて第１電極２１ａの抵抗値は小さくなっているため、第２電極２１ｂに対する抵抗値との比率（もしくは差）が小さくなっている。すなわち、電気抵抗の異方性が抑制されている。そのため、タッチパネルの入力部材に用いた際には、充分に高い座標検出精度をより確保できる。
【００４０】
＜タッチパネル用入力部材＞
次に、上記透明配線シート１，２を用いたタッチパネル用入力部材（以下、「入力部材」という。）について説明する。
図８および図９に示すように、本実施形態の入力部材１００は、座標検出用の第１電極１１１が方向Ｘに沿って設けられた第１電極シート１１０と、座標検出用の第２電極１２１が前記方向Ｘに対して垂直な方向Ｙに沿って設けられた第２電極シート１２０と、表面側に配置された保護材１３０とを有する。第１電極シート１１０と第２電極シート１２０とは絶縁性の透明接着剤１４０によって接着されて、第１電極１１１と第２電極１２１とが互いに絶縁されている。また、第１電極シート１１０と保護材１３０とは絶縁性の透明接着剤１５０によって接着されている。
本実施形態では、第１電極シート１１０が上記第１透明配線シート１とされ、第２電極シート１２０が上記第２透明配線シート２とされている。したがって、第１電極１１１が第１透明配線シート１の第１電極２１ａであり、第２電極１２１が上記第２透明配線シート２の第２電極２１ｂである。
保護材１３０としては、各種透明樹脂フィルム、ガラス板を用いることができる。
【００４１】
この入力部材１００を用いた座標検出では、電極を切り替えるスイッチ手段によって第２電極１２１の１つを選択し、矩形パルス発生装置から矩形パルスを入力し、第１電極１１１から発せられる微分パルス波形を観察する。スイッチ手段によって矩形パルスを入力する第２電極１２１を順次切り換え、各第１電極１１１からの微分パルス波形を観察する。また、電極を切り替えるスイッチ手段によって第１電極１１１の１つを選択し、矩形パルス発生装置から矩形パルスを入力し、第２電極１２１から発せられる微分パルス波形を観察する。スイッチ手段によって矩形パルスを送る第１電極１１１を順次切り換え、各第２電極１２１から出力される微分パルス波形を観察する。
タッチパネルの使用者が入力する際には、図１０に示すように、保護材１３０の表面（入力者側の表面）に指Ｆを接触させる。このとき、指Ｆと第１電極１１１との間に容量結合が形成され、指Ｆと第２電極１２１との間に、第１電極１１１を介して容量結合が形成される。
指Ｆが接触している部分では、第１電極１１１と第２電極１２１との間の結合容量が大きくなる。そのため、指Ｆの近傍の第１電極１１１または第２電極１２１から得られる微分パルス波形は大きくなる。この微分パルス波形の変動を検知することにより、Ｘ座標およびＹ座標を求めることができる。
【００４２】
本実施形態の入力部材１００は、第１電極シート１１０と第２電極シート１２０と寸法のずれを容易に小さくできるため、正しく座標を検出できる。
【００４３】
＜他の実施形態＞
なお、本実施形態は、上記実施形態に限定されない。
例えば、電極の形状は、複数の略正方形状の幅広部でなくてもよく、例えば、略円形状の幅広部でもよい。また、本発明における電極は、幅広部と幅狭部とが形成されず、矩形状であっても構わない。
また、低抵抗材料からなる引き回し回路は省略されても構わない。低抵抗材料からなる引き回し回路が省略された場合には、引き回し配線エリアの透明導電層を、引き回し配線が形成されるようにレーザ光によって加工すればよい。
また、本発明の透明配線シートは、引き回し配線エリアの透明導電層に中継用端子部が形成されていなくてもよいし、検査用端子部が形成されていなくてもよい。
また、透明導電層のパターン状に絶縁化された部分は、レーザ光の照射によって導電性極細繊維を蒸発、除去させたものでなくてもよい。例えば、導電性極細繊維を切断して絶縁化したものでもよい。また、パターン状に開口したマスクを用い、リフトオフやプラズマ照射によってパターンを形成しても構わない。
また、上記実施形態の透明配線シート１，２はそのまま電極シートとして使用できるものであったが、本発明の透明配線シートは、引き回し配線エリアよりも外側に余白エリアを有する長尺の透明配線シートであってもよい。すなわち、上記製造方法における打ち抜き前の長尺の透明配線シートも本発明の透明配線シートに含まれる。
【００４４】
また、透明配線シートの製造方法においては、透明導電層形成工程にて、透明絶縁基材として、枚葉のガラス板やフィルムを用いてもよい。得られる透明配線シート１が長尺のシートから切り出された枚葉のものであっても塗布方向αが判別できるように管理されていれば同様の効果を得ることができる。しかし、上記実施形態のように長尺のフィルムの場合には本発明の効果がとりわけ発揮されるため、好ましい。
また、透明配線シートの製造方法においては、第１電極形成工程、第２電極形成工程にて、別々の導電シート５８に第１電極２１ａおよび第２電極２１ｂを別々に形成してもよい。この場合でも、適切な幅の導電シート５８を用いることで、歩留まりを高くできる。また、入力エリアの長手方向を揃えることができるため、透明絶縁基材が長手方向に沿って収縮しても第１透明配線シートと第２透明配線シートの寸法のずれを小さくできる。
【００４５】
また、本発明の入力部材は、第１電極シートおよび第２電極シートの一方が本発明の透明配線シートでなくてもよい。
また、本発明の透明配線シートを用いた他の入力部材として、透明絶縁基材と、該透明絶縁基材の両面側に設けられた透明導電層とを備え、入力エリア内の各透明導電層にアスペクト比１超の電極が形成されたものが挙げられる。この入力部材における透明導電層は上記と同様に形成され、一方の電極と他方の電極とは互いに垂直に配置され、一方の電極のみが塗布方向αと垂直になる。
【実施例】
【００４６】
（実施例１）
ロール状に巻かれた厚さ１２５μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム（ＰＥＴフィルム）を繰り出し、その片面に、ダイコーターを用いて、銀ナノワイヤ分散液（Ｃａｍｂｒｉｏｓ社製ＣｌｅａｒＯｈｍ）の希釈液を連続的に塗布した。次いで、塗布した銀ナノワイヤを、赤外線乾燥機を用いて乾燥して繊維積層シートを作製し、これを巻き取った。
次いで、巻き取られた繊維積層シートを繰り出し、紫外線硬化性アクリル樹脂を、ダイコーターを用いて塗布し、紫外線照射により硬化して透明導電層を形成した。その後、ＰＥＴフィルムの露出面に保護フィルムを重ね合わせ、巻き取り、さらに幅が５００ｍｍになるように両端をスリットして導電シートを得た。これにより得た導電シートの幅方向中央部を幅１０ｍｍ、長さ１００ｍｍで切り取り、得られたフィルム片の短手方向の表面抵抗と長手方向の表面抵抗を測定した。その結果、長手方向の表面抵抗は８１Ω／□、短手方向の表面抵抗は１６６Ω／□（長手方向に対して２．０５倍）であった。また、光線透過率を測定したところ、９５％であった。
得られた導電シートに、アスペクト比１超の第１電極が形成された第１電極シートになる領域と、第１電極に対して垂直なアスペクト比１超の第２電極が形成された第２電極シートになる領域とが形成されるように、レーザ光を照射して絶縁ラインを形成して、長尺の透明配線シートを得た。このとき、第１電極については、塗布方向（ＰＥＴフィルムの長手方向）に対して垂直に形成し、第２電極については、塗布方向に対して平行に形成した。また、導電シートの幅方向に第１電極と第２電極とを絶縁状態になるように並列に形成し、且つ、長手方向に沿って第１電極と第２電極とを交互に形成した。
次いで、導電性ペーストのスクリーン印刷により、第１電極および第２電極の各々の一端には中継用端子部を形成し、他端には検査用端子部を設けた。
【００４７】
得られた第１電極の１本当たりの電気抵抗値（すなわち平均値）は４．６５ｋΩであり、第１電極の単位長さの電気抵抗値は５８１Ωであった。ここで、単位長さとは、隣接する導電部において、最も幅が広い部分間の長さのことである。
一方、第２電極の１本当たりの電気抵抗値（すなわち平均値）は３．３４ｋΩであり、第２電極の単位長さの電気抵抗値は３３４Ωであった。
したがって、第１電極の単位長さの電気抵抗値と第２電極の単位長さの電気抵抗値との比率は１．７４であり、導電シートに比べると、電気抵抗の異方性が抑制されていた。
また、第１透明配線シート１の入力エリアＡ１の長手方向と第２透明配線シート２の入力エリアＡ１の長手方向を容易に揃えることができるため、打ち抜いた後の廃棄される部分が少なくなり、歩留まりが高くなった。さらに、透明絶縁基材が長手方向に収縮しても一対のシート同士の寸法のずれを容易に小さくできた。
【符号の説明】
【００４８】
１，２  透明配線シート
１０  透明絶縁基材
２０  透明導電層
２１ａ  第１電極
２１ｂ  第２電極
２１ｃ  幅広部
２１ｄ  幅狭部
２２  微小導電部
２３  孤立導電部
２５  中継用端子部
２６  検査用端子部
２７  外形マーク
２８  第１位置決めマーク
２９  第２位置決めマーク
３０  引き回し回路
３１  引き回し配線
３２  外部接続用端子部
５１  透明絶縁基材の巻取りロール
５２，５６  塗布装置
５３，５７  乾燥機
５４  繊維積層シート
５５  繊維積層シートの巻取りロール
５８  導電シート
１００  入力部材
１１０  第１電極シート
１１１  第１電極
１２０  第２電極シート
１２１  第２電極
１３０  保護材
１４０，１５０  透明接着剤
Ａ１  入力エリア
Ａ２  引き回し配線エリア
Ｂ  透明基体
Ｌ１  第１絶縁ライン
Ｌ２  第２絶縁ライン
Ｌ３  第３絶縁ライン
Ｌ４  第４絶縁ライン
Ｌ５  第５絶縁ライン
Ｖ  空隙
Ｗ  導電性極細繊維
【図１】
2014026584.tif 000003
【図２】
2014026584.tif 000004
【図５】
2014026584.tif 000005
【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
2014026584.tif 000009
【図１０】
2014026584.tif 000010
【図３】
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【図４】
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