(57)【要約】【課題】ＡｌＣｌ３とアルキルイミダゾリウムクロライドを含むＡｌめっき液のめっきの進行に伴う組成変化を適切に分析することができるＡｌめっき液の分析方法を提供する。【解決手段】塩化アルミニウムおよびアルキルイミダゾリウムクロライドの混合物からなるイオン液体を含有するアルミニウムめっき液の分析方法であって、混合物における塩化アルミニウムおよびアルキルイミダゾリウムクロライドの混合比率が異なる複数の基準イオン液体を準備する工程と、基準イオン液体の各々について、２７Ａｌを測定核種としてＮＭＲ測定する工程と、基準イオン液体の各々について測定されたＡｌ２Ｃｌ７−に由来するスペクトルを含むピークの半価幅を求める工程と、基準イオン液体の各々について、混合比率に基づいてＡｌ２Ｃｌ７−の理論濃度値を算出する工程と、半価幅と理論濃度値に基づいて検量線を作成する工程とを有するアルミニウムめっき液の分析方法。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
塩化アルミニウムおよびアルキルイミダゾリウムクロライドの混合物からなるイオン液体を含有するアルミニウムめっき液の分析方法であって、
前記混合物における前記塩化アルミニウムおよびアルキルイミダゾリウムクロライドの混合比率が異なる複数の基準イオン液体を準備する工程と、
前記基準イオン液体の各々について、２７Ａｌを測定核種としてＮＭＲ測定する工程と、
前記基準イオン液体の各々について測定されたＡｌ２Ｃｌ７−に由来するスペクトルを含むピークの半価幅を求める工程と、
前記基準イオン液体の各々について、前記混合比率に基づいてＡｌ２Ｃｌ７−の理論濃度値を算出する工程と、
前記半価幅と前記理論濃度値に基づいて検量線を作成する工程と
を有するアルミニウムめっき液の分析方法。
【請求項２】
分析対象の前記アルミニウムめっき液について、２７ＡｌのＮＭＲスペクトルにおいて測定されるＡｌ２Ｃｌ７−に由来するスペクトルを含むピークの半価幅を求める工程と、
前記検量線に基づき、前記半価幅から前記アルミニウムめっき液におけるＡｌ２Ｃｌ７−の濃度を定量する工程と、
を有する請求項１に記載のアルミニウムめっき液の分析方法。
【請求項３】
さらに、定量された前記Ａｌ２Ｃｌ７−の濃度に基づき、前記アルミニウムめっき液における塩化アルミニウムの含有比率を算出する
請求項２に記載のアルミニウムめっき液の分析方法。
【請求項４】
前記アルキルイミダゾリウムクロライドが、炭素数が１〜３のアルキル基から選ばれたアルキル基の１種を有する請求項１ないし請求項３のいずれか１項に記載のアルミニウムめっき液の分析方法。
【請求項５】
前記アルキルイミダゾリウムクロライドが、エチルメチルイミダゾリウムクロライドである請求項４に記載のアルミニウムめっき液の分析方法。
【請求項６】
塩化アルミニウムおよびアルキルイミダゾリウムクロライドが所定の比率で混合されてなる混合物を含有するアルミニウムめっき液を用いてめっきを行うアルミニウムめっき製品の製造方法であって、
請求項１ないし請求項５のいずれか１項に記載のアルミニウムめっき液の分析方法を用いて、前記アルミニウムめっき液におけるＡｌ２Ｃｌ７−の濃度を定量分析し、
前記濃度に基いて前記混合物の前記比率を調整して、前記アルミニウムめっき液における前記Ａｌ２Ｃｌ７−の濃度を所定の値とする
アルミニウムめっき製品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＮＭＲ法（核磁気共鳴法）を用いてイオン液体を含有するアルミニウムめっき液を定量分析するアルミニウムめっき液の分析方法および前記アルミニウムめっき液の分析方法を利用したアルミニウムめっき製品の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
アルミニウム（Ａｌ）は電気伝導性、耐腐食性、熱伝導性、軽量性などに優れており、キャパシタやリチウムイオン電池などの蓄電デバイスの電極材料として広く用いられている。具体的な一例として、リチウムイオン電池の正極には、Ａｌ箔の表面に活物質を塗布した正極材料が使用されている。
【０００３】
そして、近年、単位面積当たりの活物質利用率を向上させるために、Ａｌ箔に替えて三次元網目構造のＡｌ多孔体の使用が提案されている（例えば、特許文献１）。
【０００４】
このようなＡｌ多孔体は、連通気孔を有する発泡ウレタン等の樹脂多孔体を支持体として、めっきによりＡｌ被覆を施した後、樹脂多孔体を熱処理により分解、除去することにより作製される。
【０００５】
上記のＡｌめっきに際しては、水溶液系のめっき液を用いためっきが困難であるため、非水系の溶融塩めっき液を用いためっきが一般に行われており、溶融塩めっき液の内でも、多孔質樹脂支持体の溶解や分解を抑制するために、「イオン液体」と言われる融点が１００℃以下の溶融塩が好ましく用いられている。
【０００６】
このようなイオン液体を含有するＡｌめっき液として、塩化アルミニウム（ＡｌＣｌ３）とアルキルイミダゾリウムクロライドとの混合物があり、ＡｌＣｌ３とエチルメチルイミダゾリウムクロライド（ＥＭＩＣ）との混合物（ＡｌＣｌ３−ＥＭＩＣ）が一般的に使用されている。
【０００７】
このようなＡｌＣｌ３−ＥＭＩＣを含むイオン液体を含有するＡｌめっき液を用いたＡｌめっきは、従来、比較的短時間で行われており、めっき液の管理に関しては、Ａｌめっき液を調製する際に、ＡｌＣｌ３とＥＭＩＣのモル比をめっき効率が最も良いとされる２：１に調整しておき、その後は、Ａｌめっき液の水由来の不純物を管理することだけで充分であると考えられていた（例えば、特許文献２）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２０１１−２２２４８３号公報
【特許文献２】特開平５−２２２５７０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、前記した樹脂多孔体へのＡｌめっきは、長尺帯状の支持体を連続的にロールから巻き出し、めっき浴を通過させてめっきを施した後、ロールに巻き取る、所謂ロールトゥロール（Ｒｏｌｌ  ｔｏ  Ｒｏｌｌ）方式を用いて行われるため、長時間、連続的なめっきを行うことが必要になってきている。
【００１０】
このように長時間、連続的なめっきを行う場合、時間的経過に伴ってめっき浴中のＡｌめっき液の組成（ＡｌＣｌ３とＥＭＩＣの比率）が変化して、最適とされる比率２：１からずれてくる。例えば、めっき時のジュール発熱によりめっき浴の温度が上昇して１００℃を超えると、Ａｌめっき液中のＡｌＣｌ３が昇華してＡｌＣｌ３濃度の減少を招くため、ＡｌＣｌ３とＥＭＩＣの比率が変化する。
【００１１】
このようにＡｌめっき液の組成がずれてくると、安定した品質のＡｌめっきが困難となり、製品品質の不安定化を招く恐れがある。このため、めっき中に適宜Ａｌめっき液の組成を分析して、めっき処理の開始から終了までの間、Ａｌめっき液の組成が、絶えず２：１となるように、適切に維持、管理する必要があり、適切な分析方法が求められていた。
【００１２】
そこで、本発明は、ＡｌＣｌ３とアルキルイミダゾリウムクロライドを含有するＡｌめっき液のめっきの進行に伴う組成変化を適切に分析することができるＡｌめっき液の分析方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明者は、鋭意検討の結果、以下に記載する発明により上記課題が解決できることを見出し、本発明を完成するに至った。以下、各請求項の発明について説明する。
【００１４】
請求項１に記載の発明は、
塩化アルミニウムおよびアルキルイミダゾリウムクロライドの混合物からなるイオン液体を含有するアルミニウムめっき液の分析方法であって、
前記混合物における前記塩化アルミニウムおよびアルキルイミダゾリウムクロライドの混合比率が異なる複数の基準イオン液体を準備する工程と、
前記基準イオン液体の各々について、２７Ａｌを測定核種としてＮＭＲ測定する工程と、
前記基準イオン液体の各々について測定されたＡｌ２Ｃｌ７−に由来するスペクトルを含むピークの半価幅を求める工程と、
前記基準イオン液体の各々について、前記混合比率に基づいてＡｌ２Ｃｌ７−の理論濃度値を算出する工程と、
前記半価幅と前記理論濃度値に基づいて検量線を作成する工程と
を有するアルミニウムめっき液の分析方法である。
【００１５】
請求項２に記載の発明は、
分析対象の前記アルミニウムめっき液について、２７ＡｌのＮＭＲスペクトルにおいて測定されるＡｌ２Ｃｌ７−に由来するスペクトルを含むピークの半価幅を求める工程と、
前記検量線に基づき、前記半価幅から前記アルミニウムめっき液におけるＡｌ２Ｃｌ７−の濃度を定量する工程と、
を有する請求項１に記載のアルミニウムめっき液の分析方法である。
【００１６】
請求項３に記載の発明は、
さらに、定量された前記Ａｌ２Ｃｌ７−の濃度に基づき、前記アルミニウムめっき液における塩化アルミニウムの含有比率を算出する
請求項２に記載のアルミニウムめっき液の分析方法である。
【００１７】
本発明者は、Ａｌめっき液の組成を分析するに際して、Ａｌめっき液中のＡｌ２Ｃｌ７−濃度を測定する方法を採用した。即ち、塩化アルミニウム（ＡｌＣｌ３）およびアルキルイミダゾリウムクロライドを含むＡｌめっき液のめっき浴において、ＡｌＣｌ３はＡｌＣｌ４−とＡｌ２Ｃｌ７−の形で存在する。
【００１８】
具体的には、イオン液体中において、アルキルイミダゾリウムクロライドはアルキルイミダゾリウムイオンとＣｌ−とに解離するが、そこにＡｌＣｌ３があると、イオン液体全体における正負の電荷のバランスを取るために、Ｃｌ−がＡｌＣｌ３と結びついてＡｌＣｌ４−を生成する。しかし、ＡｌＣｌ３の比率が高くなってくると、ＡｌＣｌ４−のままでは正負の電荷のバランスが取れなくなるため、ＡｌＣｌ４−が順次ＡｌＣｌ３と結びついてＡｌ２Ｃｌ７−を生成して、安定化する。そして、このＡｌ２Ｃｌ７−がＡｌめっきに寄与する。
【００１９】
従って、Ａｌめっきに寄与するＡｌ２Ｃｌ７−の比率（Ａｌ２Ｃｌ７−濃度）は、ＡｌＣｌ３およびアルキルイミダゾリウムクロライドの混合比率より理論的に算出される。このため、Ａｌ２Ｃｌ７−濃度の変化を管理することができれば、Ａｌめっき液におけるＡｌＣｌ３およびアルキルイミダゾリウムクロライドの混合比率を適切に管理することができる。
【００２０】
次に、Ａｌめっき液中のＡｌ２Ｃｌ７−濃度を効率よくかつ精度高く分析する方法としてＮＭＲ法を採用した。一般的に、ＮＭＲ法は、ケミカルシフト値の相違に基づいて容易にイオン種を特定して分析することができるため、短時間で精度が高い分析を行うことができる。
【００２１】
即ち、ＮＭＲ法を採用することにより、Ａｌを含まないアルキルイミダゾリウムクロライドの影響を無視してＡｌ化合物だけを観測することができ、また、ＮＭＲ法により観測可能な核種の内、２７Ａｌは比較的感度が高いため短時間での測定が可能となる。
【００２２】
具体的には、ＮＭＲ法を適用することにより、１検体あたりの測定時間は２０分程度であり、オンタイムで分析を行うことが可能となる。この結果、長時間に渡ってＡｌめっきを行う場合であっても、得られた分析結果に対応して、即時にＡｌめっき液の組成を適切な組成に調整することができ、Ａｌめっき液の組成を常時適切に維持、管理することができる。
【００２３】
このようなＮＭＲ法を用いたＡｌ２Ｃｌ７−の分析に関して、従来は、２７ＡｌのＮＭＲの半価幅とＡｌ２Ｃｌ７−濃度とが比例関係にあり、Ａｌ２Ｃｌ７−濃度が既知の標準試料を用意し、検体と標準試料の半価幅の比から検体のＡｌ２Ｃｌ７−濃度を求めることができると考えられていた。
【００２４】
しかしながら、本発明者が実験を行ったところ、上記のような比例関係は確認されず、大きな分析誤差を生じて、この考え方が適用できないことが分かった。
【００２５】
そこで、本発明者は、ＡｌＣｌ３およびアルキルイミダゾリウムクロライドの混合比率が異なる複数のイオン液体を用いて、Ａｌ２Ｃｌ７−濃度と、２７ＡｌのＮＭＲスペクトルのＡｌ２Ｃｌ７−に由来するスペクトルを含むピークの半価幅との関係を示す検量線を、予め作成しておき、この検量線に基づいて、分析対象のＡｌめっき液中のＡｌ２Ｃｌ７−濃度を求める方法を適用した場合、効率よくかつ精度高くＡｌめっき液の組成が分析できることを実験により確認した。
【００２６】
具体的には、まず、塩化アルミニウムおよびアルキルイミダゾリウムクロライドの混合比率が異なる複数の基準イオン液体を準備し、各基準イオン液体について、２７ＡｌのＮＭＲスペクトルにおいて測定されるＡｌ２Ｃｌ７−に由来するスペクトルを含むピークの半価幅を求める。
【００２７】
並行して、各基準イオン液体におけるＡｌ２Ｃｌ７−の理論濃度値を、塩化アルミニウムおよびアルキルイミダゾリウムクロライドの混合比率に基づいて算出する。
【００２８】
次に、上記で得られた半価幅とＡｌ２Ｃｌ７−の理論濃度値とを用いて、両者の関係を示す検量線を作成する。このように検量線を予め作成しておくことにより、Ａｌめっき液の定量分析をより迅速に行うことができる。
【００２９】
即ち、分析対象のＡｌめっき液について、上記と同様にＮＭＲ測定を行ってＡｌ２Ｃｌ７−に由来するスペクトルを含むピークの半価幅を求め、得られた半価幅を前記の検量線に照らし合わせるだけで、Ａｌめっき液におけるＡｌ２Ｃｌ７−濃度を精度高く定量することができる。
【００３０】
請求項４に記載の発明は、
前記アルキルイミダゾリウムクロライドが、炭素数が１〜３のアルキル基から選ばれたアルキル基の１種を有する請求項１ないし請求項３のいずれか１項に記載のアルミニウムめっき液の分析方法である。
【００３１】
アルキルイミダゾリウムクロライドの内でも、炭素数が１〜３のアルキル基から選ばれたアルキル基の１種を有するアルキルイミダゾリウムクロライドが、前記のイオン液体を含むアルミニウムめっき液の分析に好ましく、例えば、前記したＥＭＩＣに加え、ジメチルイミダゾリウムクロライド、ジエチルイミダゾリウムクロライド、プロピルメチルイミダゾリウムクロライドなどを挙げることができる。
【００３２】
請求項５に記載の発明は、
前記アルキルイミダゾリウムクロライドが、エチルメチルイミダゾリウムクロライドである請求項４に記載のアルミニウムめっき液の分析方法である。
【００３３】
前記したアルキルイミダゾリウムクロライドの内でも、ＥＭＩＣが特に好ましい。
【００３４】
請求項６に記載の発明は、
塩化アルミニウムおよびアルキルイミダゾリウムクロライドが所定の比率で混合されてなる混合物を含有するアルミニウムめっき液を用いてめっきを行うアルミニウムめっき製品の製造方法であって、
請求項１ないし請求項５のいずれか１項に記載のアルミニウムめっき液の分析方法を用いて、前記アルミニウムめっき液におけるＡｌ２Ｃｌ７−の濃度を定量分析し、
前記濃度に基いて前記混合物の前記比率を調整して、前記アルミニウムめっき液における前記Ａｌ２Ｃｌ７−の濃度を所定の値とする
アルミニウムめっき製品の製造方法である。
【００３５】
前記したように、ＮＭＲ法を適用することにより、１検体あたりの測定時間は２０分程度であり、オンタイムで分析を行うことが可能となるため、長時間に渡ってＡｌめっきを行う場合であっても、得られた分析結果に対応して、即時にＡｌめっき液の組成を調整することができ、Ａｌめっき液の組成を常時適切な組成に維持、管理することが可能となる。この結果、長時間、連続的なめっきを行う場合であっても、安定した品質のＡｌめっき製品を製造することができる。
【００３６】
具体的には、ＡｌＣｌ３−ＥＭＩＣからなるイオン液体を含むＡｌめっき液を例に挙げると、上記のＡｌめっき液の分析方法により、Ａｌめっき液におけるＡｌ２Ｃｌ７−濃度が減少していることが判明した場合には、ＡｌＣｌ３をＡｌめっき液に補充して、めっき浴の組成をＡｌＣｌ３：ＥＭＩＣ＝２：１（モル比率）に回復させることにより、Ａｌ２Ｃｌ７−濃度を好適に維持、管理することができる。
【発明の効果】
【００３７】
本発明によれば、ＡｌＣｌ３とアルキルイミダゾリウムクロライドを含むＡｌめっき液のめっきの進行に伴う組成変化を適切に分析することができるＡｌめっき液の分析方法を提供することができる。
【００３８】
また、長時間、連続的なめっきを行う場合であっても、前記Ａｌめっき液の分析方法を用いてＡｌめっき液の組成を適切に維持、管理することにより、安定した品質のＡｌめっき製品を製造することができるＡｌめっき製品の製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本発明の一実施の形態において、イオン液体Ａｌめっき液の分析を行う際に使用される検体の構成を模式的に示す図である。
【図２】ＡｌＣｌ３−ＥＭＩＣからなるイオン液体におけるＮＭＲスペクトルの一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００４０】
以下、本発明を実施の形態に基づき説明する。なお、以下の実施の形態においては、Ａｌめっき液として、ＡｌＣｌ３およびＥＭＩＣからなるイオン液体を含有するめっき液を用いている。
【００４１】
１．検体の構成
図１は、本実施の形態において、Ａｌめっき液の分析を行う際に使用される検体の構成を模式的に示す図であり、１はＮＭＲサンプルチューブであり、２は測定用試料（Ａｌめっき液）であり、３はキャピラリ細管であり、４はロック溶媒である。
【００４２】
ロック溶媒４としては、例えば、硝酸アルミニウムを基準物質として溶解させた重水溶液が好ましく用いられ、重水溶液の重プロトンのＮＭＲ信号（ロック信号）を測定し、この信号が常に一定の周波数に保たれるように磁場を調整し続ける（ロック）。
【００４３】
そして、測定用試料２は反応性に富んでおり、ロック溶媒４と接触すると化学反応を起こして発熱する。そこで、このような化学反応が起こることを防止するために、測定用試料２とロック溶媒４とは互いに分離されている。
【００４４】
ＮＭＲサンプルチューブ１内に充填される測定用試料２の量としては、例えばサンプルチューブ径が５ｍｍの場合、５００〜７００μＬが好ましい。なお、図１では、ＮＭＲサンプルチューブ１内に測定用試料２を充填し、キャピラリ細管３内にロック溶媒４を充填しているが、逆に、ＮＭＲサンプルチューブ１内にロック溶媒４を充填し、キャピラリ細管３内に測定用試料２を充填してもよい。
【００４５】
２．検量線の作成
（１）検量線作成用試料の調製
最初に、Ａｌ２Ｃｌ７−の濃度が異なる複数種類の基準イオン液体を検量線作成用検体として準備する。
【００４６】
このとき、各基準イオン液体中のＡｌ２Ｃｌ７−濃度は、ＡｌＣｌ３とＥＭＩＣの混合比率（モル比率）によって理論的に算出することができることを利用する。
【００４７】
例えば、ＥＭＩＣ：ＡｌＣｌ３＝１：１（ＡｌＣｌ３のモル比率：５０％）の場合には、全てがＡｌＣｌ４−となり、ＡｌＣｌ７−の濃度（モル濃度）は０％となる。そして、ＥＭＩＣ：ＡｌＣｌ３＝２：３（ＡｌＣｌ３のモル比率：６０％）の場合には、ＡｌＣｌ４−とＡｌＣｌ７−とが半々に生成されて、ＡｌＣｌ７−の濃度は５０％となる。また、ＥＭＩＣ：ＡｌＣｌ３＝１：２（ＡｌＣｌ３のモル比率：６７％）の場合には、全てがＡｌＣｌ７−となり、ＡｌＣｌ７−の濃度は１００％となる。
【００４８】
このように、ＡｌＣｌ３とＥＭＩＣの混合比率（モル比率）を定めることにより、イオン液体中のＡｌ２Ｃｌ７−の濃度を理論的に算出することができる。
【００４９】
（２）ＮＭＲ測定
次に、準備した各検量線作成用検体をＮＭＲ分析装置にセットしてＮＭＲ測定を行う。具体的には、２７Ａｌを測定核種として、プロトン共鳴周波数４００ＭＨｚ、測定温度３０℃、緩和時間４８．８μｓの条件で、Ａｌ（Ｈ２Ｏ）６３＋をケミカルシフト基準として、１０３ｐｐｍに現れるピーク半価幅を読み取る。
【００５０】
このとき、ＡｌＣｌ３から分離するイオンとしては、前記したように、ＡｌＣｌ４−とＡｌ２Ｃｌ７−の２種類があるが、ＡｌＣｌ４−が等方的な構造を有しているのに対して、Ａｌ２Ｃｌ７−は等方的でない構造を有しているため、ＡｌＣｌ４−とＡｌ２Ｃｌ７−との磁気に対する応答性が異なる。
【００５１】
得られた波形の一例として、ＡｌＣｌ３のモル比率が６７％のイオン液体から得られた波形を図２（ａ）に、５５％のイオン液体から得られた波形を図２（ｂ）に示す。なお、図２において、横軸はＡｌ（Ｈ２Ｏ）６３＋を基準とするケミカルシフトであり、縦軸はピーク強度である。
【００５２】
波形は太く表れるＡｌ２Ｃｌ７−由来のピークと、細く表れるＡｌＣｌ４−由来のピークとが平均化された形で示され、ＡｌＣｌ４−濃度が高く（Ａｌ２Ｃｌ７−濃度が低く）なるほど細く表れる。即ち、図２に示すように、ＡｌＣｌ４−濃度が低い（Ａｌ２Ｃｌ７−濃度が高い）図２（ａ）の波形に比べ、ＡｌＣｌ４−濃度が高い（Ａｌ２Ｃｌ７−濃度が低い）図２（ｂ）の波形が細く表れる。ＡｌＣｌ４−由来のピーク半価幅は、Ａｌ２Ｃｌ７−由来のピーク半価幅に比べて大幅に小さく、イオン種の変化を十分にとらえることが可能である。
【００５３】
（３）検量線の作成
次に、各検量線作成用検体から得られたピークの半価幅を縦軸、Ａｌ２Ｃｌ７−の理論濃度を横軸として、複数プロットすることにより、検量線を作成する。
【００５４】
３．Ａｌめっき液のＮＭＲ分析
次に、分析対象であるＡｌめっき液をめっき中のめっき浴から採取し、同様に、ＮＭＲ測定を行って、ピーク半価幅を読み取る。
【００５５】
得られたピーク半価幅を、検量線と対比することにより、Ａｌめっき液におけるＡｌ２Ｃｌ７−濃度を求める。
【００５６】
４．Ａｌめっき液におけるＡｌ２Ｃｌ７−濃度の管理
得られたＡｌ２Ｃｌ７−濃度は、前記したように、ＡｌＣｌ３とＥＭＩＣの混合比率と対応しているため、このＡｌ２Ｃｌ７−濃度からアルミニウムめっき液における塩化アルミニウムの含有比率を算出することができる。そして、その結果に基づいて、直ちに、ＡｌＣｌ３とＥＭＩＣの混合比率を調節することができるため、常時、Ａｌめっき液の組成を適切に管理することができる。
【００５７】
５．アルミニウムめっき製品の製造
長時間、連続的なめっきを行った場合、Ａｌ２Ｃｌ７−が消費されて、Ａｌ２Ｃｌ７−の濃度が減少してくる。また、前記したように、ＡｌＣｌ３の昇華などによってＡｌＣｌ３のモル比が低下してくるため、Ａｌ２Ｃｌ７−の濃度がさらに減少する。この結果、安定した品質のＡｌめっきが困難となり、製品品質の不安定化を招く。
【００５８】
そこで、分析結果に基づいてＡｌめっき液の組成の調整を行う必要があるが、本実施の形態においては、ＮＭＲ法を用いてオンラインでリアルタイムに分析を行っているため、分析結果に基づいて、即時にＡｌめっき液の組成を調整することができ、Ａｌ２Ｃｌ７−の濃度を常時ほぼ１００％に維持、管理することができる。
【００５９】
具体的には、ＮＭＲ法を用いた分析により、Ａｌめっき液におけるＡｌ２Ｃｌ７−の濃度が予め定められた下限値（例えば９０％）を下回っていることが判明した場合には、ＡｌＣｌ３をＡｌめっき液に補充して、Ａｌ２Ｃｌ７−濃度を１００％に回復させる。このとき、補充量は、前記したＡｌＣｌ３とＥＭＩＣの混合比率（モル比率）を定めることにより、イオン液体中のＡｌ２Ｃｌ７−濃度を理論的に算出することができることを利用して、適切に算出することができる。
【００６０】
このように、本実施の形態によれば、Ａｌ２Ｃｌ７−の濃度を常時ほぼ１００％に維持、管理することができるため、長時間で連続的なめっきを行う場合であっても、安定した品質のＡｌめっき製品を製造することができる。
【実施例】
【００６１】
以下、実施例により本発明をより具体的に説明する。
【００６２】
本実施例では、ＡｌＣｌ３−ＥＭＩＣからなるイオン液体を含むＡｌめっき液を対象としてＡｌ２Ｃｌ７−濃度をＮＭＲ分析を用いて算出する。
【００６３】
１．検量線の作成
（１）検量線作成用試料の調製
ＡｌＣｌ３の混合比率が、５５モル％、６０モル％、６３モル％、６７モル％の検量線作成用試料を調製する。なお、これらの検量線作成用試料におけるＡｌ２Ｃｌ７−濃度は、それぞれ、２２モル％、５０モル％、７０モル％、１００モル％と算出される。
【００６４】
（２）検量線の作成
調製した各測定用試料をそれぞれ５５０μＬ程度サンプリングし、５ｍｍＮＭＲサンプルチューブに入れて実施の形態に記載した検体を用意する。各測定用試料について、ＪＥＯＬ社製ＮＭＲ分析装置を用い、温度３０℃で、２７Ａｌを測定核種としてＮＭＲ測定を行う。なお、プロトン共鳴周波数を４００ＭＨｚとし、緩和時間を４８．８μｓとする。Ａｌ（Ｈ２Ｏ）６３＋をケミカルシフト基準として用い、ピーク半価幅を読み取り上記実施の形態で説明した方法に従って検量線を作成する。
【００６５】
２．イオン液体Ａｌめっき液のＮＭＲ分析
分析対象のＡｌめっき液をめっき中のめっき浴から採取し、同様に、ＮＭＲ測定を行って、ピーク半価幅を読み取り、上記の検量線と対比することにより、Ａｌめっき液におけるＡｌ２Ｃｌ７−濃度を求める。
【００６６】
以上、本発明を実施の形態に基づいて説明したが、本発明は上記の実施の形態に限定されるものではない。本発明と同一および均等の範囲内において、上記の実施の形態に対して種々の変更を加えることができる。
【符号の説明】
【００６７】
１    ＮＭＲサンプルチューブ
２    測定用試料（Ａｌめっき液）
３    キャピラリ細管
４    ロック溶媒
【図１】
2014105351.tif 000002
【図２】
2014105351.tif 000003