(57)【要約】【課題】一般的なエアシャワーの用途として、人用のものがよく知られているが、他に、物品搬入用としての大型のものがある。  この大型のものの塵埃を除去することを目的として、設置されたエアシャワー装置に、人が入った場合には、人と前記エアジェットノズルとの距離が遠くなる為、エアジェットの効果が少なくなってしまうという問題がある。【解決手段】前記課題に対し、前記エアシャワー装置の内部に移動可能な可動エアシャワーユニットを設けることにより、エアジェットを浴びる対象物の大きさに対して、好適な距離でエアジェットを浴びさせることの出来る位置に前記可動エアシャワーユニットを移動する構造とした。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
エアを吹き付けるエアジェットノズルを有するエアシャワーユニットを相対させて、
エアシャワー室の入室時にエアを吹き付けて塵埃の流入・持込を防止するエアシャワー装置において、
前記エアシャワーユニットとして、
固定される固定エアシャワーユニットと
移動出来る可動エアシャワーユニットと
を有する
ことを特徴とするエアシャワー装置。
【請求項２】
請求項１記載のエアシャワー装置において、
前記エアシャワー室に人よりも大きなものが入る場合には、
前記固定される固定エアシャワーユニットと前記移動出来る可動エアシャワーユニットとの相対距離を大きくする
ことを特徴とするエアシャワー装置。
【請求項３】
請求項１記載のエアシャワー装置において、
前記エアシャワー室に入るものの大きさを検出する検出器で検出後に
前記固定される固定エアシャワーユニットと前記移動出来る可動エアシャワーユニットとの相対距離を変更する
ことを特徴とするエアシャワー装置。
【請求項４】
請求項３記載のエアシャワー装置において、
前記エアシャワー室に入るものの大きさを検出する検出器をレーザ検出器とする
ことを特徴とするエアシャワー装置。
【請求項５】
請求項１記載のエアシャワー装置において、
相対する前記固定エアシャワーユニットと前記可動エアシャワーユニットとの対を２対設け、
内側に背中合わせとする可動エアシャワーユニットを配置し、外側に前記可動エアシャワーユニットと相互に相対するように前記固定エアシャワーユニットを各々配置する
ことを特徴とするエアシャワー装置。
【請求項６】
請求項５記載のエアシャワー装置において、
前記固定エアシャワーユニットと前記可動エアシャワーユニットとの対の間にエアシャワー室を設ける
ことを特徴とするエアシャワー装置。
【請求項７】
請求項５記載のエアシャワー装置において、
前記固定エアシャワーユニットと前記可動エアシャワーユニットとの対の内で、
一方の前記固定エアシャワーユニットと前記可動エアシャワーユニットとの間隔を他方の間隔よりも狭くする
ことを特徴とするエアシャワー装置。
【請求項８】
請求項７記載のエアシャワー装置において、
前記固定エアシャワーユニットと前記可動エアシャワーユニットとの対の内で、
前記固定エアシャワーユニットと前記可動エアシャワーユニットとの間隔の狭い方の前記固定エアシャワーユニットと前記可動エアシャワーユニットとを停止させる
ことを特徴とするエアシャワー装置。
【請求項９】
請求項１、または請求項５記載のエアシャワー装置において、
前記可動エアシャワーユニットの下部に揺動可能な揺動機構を設ける
ことを特徴とするエアシャワー装置。
【請求項１０】
請求項１、または請求項５記載のエアシャワー装置において、
前記可動エアシャワーユニットの上部に上部支持部を設け、
また、前記固定エアシャワーユニットと前記可動エアシャワーユニットとの間に前記上部支持部に対応して揺動可能に上部で支持する上部揺動支持部を設ける
ことを特徴とするエアシャワー装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体及び精密機械等の製造、又は食品製造・加工を行なうクリーンルーム及び作業室の通路又は前室として使用されるエアシャワ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
エアシャワー装置は、半導体及び精密機械等の製造、又は食品製造・加工を行なうクリーンルーム又は作業室の出入り口に設置され、若しくは、クリーンルーム及び作業室の通路又は前室として使用されるものである。
【０００３】
ファン等で加圧された空気を用いて塵埃を除去し、クリーンルーム又は作業室への塵埃の流入・持込を防止する装置である。
【０００４】
このエアシャワー装置として、特許文献１に記載のものがある。
【０００５】
特許文献１では、設置場所が制約されないように、設置の容易性を考慮して、分解組立を容易とするもの、軽量化なども行い移動手段を設け、運搬を容易とするもである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００８−２９９９７
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
一般的なエアシャワーの用途として、人用のものがよく知られているが、他に、物品搬入用としての大型のものがある。これは、パレット等をフォークリフトによりエアシャワー室内に搬入するものや、フォークリフトごと建屋に入室するものがある。
【０００８】
この為に、前記パレット等をフォークリフトの幅、寸法に対応するように、加圧された空気が吹き出すエアジェットノズルの位置が設定され、エアシャワー装置が設定される。
【０００９】
この場合、相対するエアジェットノズルを有するエアシャワー装置が相当幅離れた位置であっても、幅の大きなエアシャワー装置に幅の大きなものが入る為に、エアジェットノズルとの距離がさほど開かず、エアシャワーの効果がある。
【００１０】
ところで、このような大型のものの塵埃を除去することを目的として、設置されたエアシャワー装置に、人が入った場合には、図８に示すように、人と前記エアジェットノズルとの距離が遠くなる為、エアジェットの効果が少なくなってしまうという問題がある。
【００１１】
この為、前記パレット等をフォークリフト等の大型機用のエアシャワー装置(以下、大型用エアシャワー装置と称する)の他に、人用としてのエアシャワー装置(以下、人用エアシャワー装置と称する)を、別途設置することが必要となることがある。この場合には、大型用エアシャワー装置と人用エアシャワー装置として、エアシャワー２台分の設置空間が必要となり、設備を構築の際に問題となることが予想される。
【００１２】
本発明は、前記問題を解決することを課題とする。
【００１３】
なお、以下の説明では、エアシャワー装置によって、塵埃等を除去する空間をエアシャワー室と呼ぶこととする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
前記課題に対し、本発明のエアシャワー装置では、エアシャワー装置の内部に、動作する位置を移動可能とする可動エアシャワーユニットを設けた。これにより、エアシャワー装置内部において、エアジェットノズルと対象物との位置が、対象物の塵埃等を除去、吹き飛ばせるような位置となるように、対象物を挟んで、相互に相対する可動エアシャワーユニットと固定エアシャワーユニットとの距離、入り口の幅寸法を可変とすることが出来るようにする。
【００１５】
前記構成とすることによって、間口の大きなパレット等や、間口が小さいほうが良い対象物、例えば人の通過、搬入等の両者に対応できるエアシャワー装置を提供可能とする。
【００１６】
ここで、前記固定エアシャワーユニットは、前記エアシャワー装置において、設置されるエアシャワー室、若しくは建造物に対して固定して配置されるエアシャワーユニットである。
【００１７】
また、前記エアシャワー装置の内部に、背面合せの向きとなるように可動エアシャワーユニットを組み合わせて配置するようにする。この可動エアシャワーユニットは、前記エアシャワー装置内部を左右に移動できるようにする。
【００１８】
これにより、エアシャワー装置内部を対象物の大きさ、幅に対応させて、間仕切ることができ、パレット等の幅の大きいものから、人等の間口の小さいものまで、好適にエアジェットノズルからの加圧させたエアー、空気を吹き付ける、浴びさせることが出来るようにする。
【００１９】
また、本発明の解決手段を以下に別の表現にて説明する。
【００２０】
エアを吹き付けるエアジェットノズルを有するエアシャワーユニットを相対させて、エアシャワー室の入室時にエアを吹き付けて塵埃の流入・持込を防止するエアシャワー装置において、前記エアシャワーユニットとして、固定される固定エアシャワーユニットと移動出来る可動エアシャワーユニットとを有するようにする。
【００２１】
また、前記エアシャワー室に人が入る場合よりも輸送機が入る場合には、固定される固定エアシャワーユニットと移動出来る可動エアシャワーユニットとの相対距離を大きくするようにする。
【００２２】
また、前記エアシャワー室に入るものの大きさを検出器で検出後に固定される固定エアシャワーユニットと移動出来る可動エアシャワーユニットとの相対距離を変更するようにする。
【００２３】
また、前記エアシャワー室に入るものの大きさを検出する検出器をレーザ検出器とするようにする。
【００２４】
また、相対する前記固定エアシャワーユニットと前記可動エアシャワーユニットとの対を２対設け、内側に背中合わせとする可動エアシャワーユニットを配置し、外側に前記可動エアシャワーユニットと相互に相対するように前記固定エアシャワーユニットを各々配置するようにする。
【００２５】
また、前記２対の前記固定エアシャワーユニットと前記可動エアシャワーユニットとの間にエアシャワー室を設けるようにする。
【００２６】
また、前記２対の前記固定エアシャワーユニットと前記可動エアシャワーユニットの内で、一方の前記固定エアシャワーユニットと前記可動エアシャワーユニットとの間隔を他方の間隔よりも狭くするようにする。
【００２７】
また、前記２対の前記固定エアシャワーユニットと前記可動エアシャワーユニットの内で、前記固定エアシャワーユニットと前記可動エアシャワーユニットとの間隔の狭い方の前記固定エアシャワーユニットと前記可動エアシャワーユニットとを停止させるようにする。
【００２８】
また、前記可動エアシャワーユニットの下部に揺動可能な揺動機構を設けるようにする。
【００２９】
また、前記可動エアシャワーユニットの上部に上部支持部を設け、また、前記固定エアシャワーユニットと前記可動エアシャワーユニットとの間に前記上部支持部に対応して揺動可能に上部で支持する上部揺動支持部を設けるようにする。
【発明の効果】
【００３０】
本発明によれば、大型用エアシャワー装置、人用エアシャワー装置の両方に対応することも可能であり、従来よりも、経済性などを含む利便性を提供出来ることとなる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明の実施例のエアシャワー装置に大型機が入った場合の実施形態を示す構成図である。
【図２】本発明の実施例のエアシャワー装置に人が入った場合の実施形態を示す構成図である。
【図３】本発明の別の実施例のエアシャワー装置に人が入った場合の実施形態を示す構成図である。
【図４】本発明の別の実施例のエアシャワー装置に大型機が入った場合の実施形態を示す構成図である。
【図５】本発明の別の実施例のエアシャワー装置の移動機構の実施形態を示す構成図である。
【図６】本発明の別の実施例のエアシャワー装置の移動機構の実施形態を示す構成図である。
【図７】本発明の実施例であるエアシャワー装置に入るもの大きさを検出する実施形態を示す構成図である。
【図８】大型用エアシャワー装置に人が入った場合を示す例示図である。
【発明を実施するための形態】
【００３２】
以下、本発明によるエアシャワー装置の実施形態について、図１〜図８を参照して説明する。
【００３３】
図１は本発明によるエアシャワー装置の一実施例を示し、前記エアシャワー装置に入る際のエアシャワー装置を正面から見た場合の断面図を表している。
【００３４】
ここで、エアシャワー装置を構成する構成部の説明を行う。
【００３５】
図１の実施例のエアシャワ装置１００は、固定エアシャワーユニット１０、可動エアシャワーユニット４０を有しており、天井部１も図１では、例示している。但し、エアシャワ装置１００として、天井部１を必ずしも、必須の構成要件とするものではない。例えば、前記エアシャワー装置が設定される作業室、通路などの建物、構成物等が天井部として構成されるものであっても良い。なお、この場合にでも、建物、構成物等の天井部に固定エアシャワーユニット１０、可動エアシャワーユニット４０を動作させる際に必要となる構成物を設けるものであっても良い。なお、前記可動エアシャワーユニット４０が可動出来る様に、前記天井部１などを支持する支持部材２０も図１に例示されている。
【００３６】
次に、前記固定エアシャワーユニット１０の構成を説明する。
【００３７】
図１で、前記固定エアシャワーユニット１０では、エアシャワー装置１００内の空気は、プレフィルタ４５を通して、前記固定エアシャワーユニット１０に取り込まれる。この時、プレフィルタ４５により、粗塵が除去される。
【００３８】
その後、ファンモータ４２により吸込、吐出しが行なわれ、チャンバ４３により加圧され、ＨＥＰＡフィルタ４１により塵埃が除去された後、ノズル４４から、吹出される。この吹き出しにより、衣服、搬入物に付着した塵埃を吹き飛ばしている。
【００３９】
この構成は、前記可動エアシャワーユニット４０でも同様であるので、図１で、各部の構成に参照番号などを省略する。
【００４０】
なお、以後の図で、プレフィルタ４５が図面上での表記が困難である図では、その表記を省略している。
【００４１】
図１では、エアシャワー装置１００へ、パレット２等が入れられる様に、前記可動エアシャワーユニット４０を移動して、前記固定エアシャワーユニット１０との間の距離が大きくなるように、エアシャワー装置１００の入り口が幅方向の広くなるようにして、大型機用エアシャワー装置として使用する場合である。
【００４２】
この場合、エアジェットの吹出し口からパレットまでの距離が短い為、十分にエアジェットを吹き付けることが出来る。
【００４３】
図２では、前記エアシャワー装置１００へ、人が入る場合を示す。この場合、人が入っても塵埃等が吹き飛ばせる様に、前記可動エアシャワーユニット４０を移動して、前記固定エアシャワーユニット１０との間の距離が小さくなるように、エアシャワー装置１００の入り口が幅方向の狭くなるようにして、人用エアシャワー装置として使用する場合である。
【００４４】
図２では、前記固定エアシャワーユニット１０と前可動エアシャワーユニット４０との間を狭くして、人の幅に対応するように、相対するエアシャワージェットの幅を狭くして、エアジェットの吹出し口から人までの距離を狭くして、エアジェットを人に十分に浴びることが出来るようにしている。
【００４５】
次に、本発明の別の実施形態について、図３〜図７を用いて説明する。
【００４６】
図３は本発明の別の実施例を示す。エアシャワー装置１１０を正面から見た場合の断面図を表している。前記エアシャワー装置１１０は、背中合せで可動エアシャワーユニット４０を配置したものである。
【００４７】
この図３場合は、人用エアシャワ装置としてエアシャワーを用いる為、可動エアシャワーユニット４０を中央に設置している。そして、固定エアシャワー装置１０を右側と左側の外側に配置している。
【００４８】
ここで、右側と左側の外側と記載しているが、図３等を参照して、説明する場合に便宜上、呼ぶものであって、本発明の実施例の説明において、右側と左側の外側とすることが、構成を限定するものではない。
【００４９】
従って、左側を第１として、第１の固定エアシャワーユニット１０、右側を第２として、固定エアシャワーユニット１０と呼ぶものであっても良い。
【００５０】
このこれらの固定エアシャワーユニット１０と可動エアシャワーユニット４０によって、エアシャワー装置１１０の内部を分割できる。よって、人とノズルの距離が近くなる為、エアジェットの吹出し口から人までの距離が短くなり、十分にエアジェットを吹き付けることが出来る。
【００５１】
なお、図３のエアシャワー装置１１０では、左側の固定エアシャワーユニット１０と左側の可動エアシャワーユニット４０との間を人用エアシャワー装置として使用出来るように、双方のエアジェットノズル４４を相対するように配置している。
【００５２】
また、同様に右側の固定エアシャワーユニット１０と右側の可動エアシャワーユニット４０との間を人用エアシャワー装置として使用出来るように、双方のエアジェットノズル４４を相対するように配置している。
【００５３】
図４は、前記図３のエアシャワー装置１１０の別の使用形態を示す実施例を示す。
【００５４】
図３に対して、前記可動エアシャワー装置４０をエアシャワー装置１１０の片側に寄せたものである。図４では、左側に寄せているが、これに限定されず、右側に寄せるものであっても良い。
【００５５】
これにより、図３に対して、固定エアシャワーユニット１０と可動エアシャワーユニット４０との間の幅を広く取ることが出来る為、パレット２’等のような人の幅よりも幅の大きな荷物を搬入することが出来るようになる。
【００５６】
この場合でも、パレット２’等とジェットノズル４４との距離が近くなる為、エアジェットの吹出し口であるジェットノズル４４からパレット２’等までの距離が短くなり、十分にエアジェットを吹き付けることが出来る。
【００５７】
また、前記パレット２’等が入らない、通過しない、搬入することが出来ない反対側は、エアジェット等の作動を停止することにより、無駄な電力を使わなくすることも可能である。
【００５８】
図５は、前記可動エアシャワーユニット４０の移動機構の実施例を説明する例示図である。
【００５９】
図５では、前記可動エアシャワーユニット４０の底面に、キャスター６０のような、地面、設置面に対して、左右に揺動、移動を可能とする機構部ものをつけ、稼動を容易にしている。これにより、手動若しくは自動にて、前記可動エアシャワーユニット４０を移動可能である。
【００６０】
図６は、前記可動エアシャワーユニット４０の移動機構の実施例を説明する例示図である。
【００６１】
図６では、前記可動エアシャワーユニット４０の上部に、前記可動エアシャワーユニット４０を上部から支持する上部支持部７０を設け、天井部１に、前記固定エアシャワーユニット１０と前記可動エアシャワーユニット４０との間に前記上部支持部７０に対応して揺動可能に上部で支持するレール等の上部揺動支持部７７を設け、上部揺動支持部７７に上から支持されてを動くことにより、移動を容易にしている。これにより、手動若しくは自動にて、前記可動エアシャワーユニット４０が移動可能である。
【００６２】
なお、図５、図６では、内部に２つの可動エアシャワーユニット４０を有するものであり、図３、図４と類似の実施形態を示している。しかしながら、これに限定されるものではなく、図５、図６の前記可動エアシャワーユニット４０の移動機構を図１、図２において、使用するものであっても良い。
【００６３】
また、図３〜６において、内部に２つの可動エアシャワーユニット４０を有するものとして、例示されている。しかしながら、これに限定されるものではなく、エアシャワー装置の内部に、図３〜６にて例示する背中合わせとする可動エアシャワーユニットを複数組、有するように構成されるものであっても良い。
【００６４】
図７は、前述のエアシャワー装置１００〜１３０において、入ってくるものの大きさを事前に検出する検出機構部の実施例を例示するものである。
【００６５】
図７において、例えば天井部１に設けられたレーザ検出器５０からは、パレット２等の大きさを検出する為のレーザ５９が出射され、パレット２などからの反射波を受信することによって、その大きさを大きさ信号として検出する。
【００６６】
この大きさ信号は、レーザ検出器５０から通信線５５を介して、制御装置９０に入力される。制御装置９０では、大きさ信号が入力された後、可動エアシャワーユニット４０に対して、位置を移動するように制御する位置制御信号を通信線５７を介して、可動エアシャワーユニット４０に入力される出力する。
【００６７】
可動エアシャワーユニット４０は、前記位置制御信号を受信後、例えば、移動機構部等を移動制御することで、移動し、入ってくるパレット２等の大きさ、幅に対応するように、前記固定エアシャワーユニット１０と前記可動シャワーユニット４０との間の距離、幅、大きさを変更しする。
【００６８】
その結果、入ってきたパレット２などに対して、前記ジェットノズル４４との距離が塵埃等を除去できる距離として、位置付けられるようになる。
【００６９】
前記通信線５５、５７は、有線であっても、電波、赤外線、超音波などの無線であっても良い。
【００７０】
また、レーザ検出器についても、レーザに限定されず、光線、超音波などを用いて、対象物迄の距離を測定する検出器であっても良い。若しくは、カメラなどによって、近づいてくる対象物の映像を取得し、得られた映像信号を画像処理などすることによって、対象物の大きさ、寸法などを検出するものであっても良い。
【００７１】
なお、パレット２等や、大型機などに限定されず、人が入る場合であっても、前記レーザ検出器５０によって、人の幅を検出、前記可動エアシャワーユニット４０を移動可能と出来る。
【００７２】
以上、本発明について、実施例を用いて説明をした。しかし、本発明は、上記実施例に限定されるものではなく、上記実施例を適宜組合わせるものであっても良いし、また、一部を他の構成といれかえるものであっても良いものである。
【符号の説明】
【００７３】
１：天井部
２：パレット等
３：人
１０：固定エアシャワーユニット
４０：可動エアシャワーユニット
４１：ＨＥＰＡフィルタ
４２：ファンモータ
４３：チャンバ
４４：ジェットノズル
４５：プレフィルタ
５０：レーザ検出器
５５、５７：通信線
５９：レーザ
６０：キャスター
７０：上部支持部
７７：上部揺動支持部
９０：制御装置
１００：エアシャワー装置
１１０：背面合せのエアシャワーユニットを有するエアシャワー装置
１２０：底面にキャスターを備え、移動が可能なエアシャワーユニットを有するエアシャワー装置
１３０：エアシャワーユニット上部をパイプ等に吊るし、移動が可能なエアシャワーユニットを有するエアシャワー装置。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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