(57)【要約】【課題】ヘッド本体又は流路部材に形成された内部空間をより確実に外部に連通させるとともに、変形が抑制されて信頼性が向上した流路部材、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。【解決手段】インクを吐出するヘッド本体にインクを供給する第１部材６０及び第２部材７０を備える流路部材４０であって、流路部材４０内に形成された内部空間８０を外部に連通させる拡散抵抗溝９５と、拡散抵抗溝９５の開口を覆う接着剤９６とを備える。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出するヘッド本体に液体を供給する流路部材であって、
前記ヘッド本体又は該流路部材内に形成された内部空間を外部に連通させる拡散抵抗溝と、
前記拡散抵抗溝の開口を覆う接着剤とを備える
ことを特徴とする流路部材。
【請求項２】
請求項１に記載する流路部材において、
前記流路部材は、拡散抵抗溝が設けられた第１部材と、該第１部材に接合される第２部材とを備え、
前記接着剤は、前記拡散抵抗溝の開口を覆い、前記第２部材と前記第１部材とを接着している
ことを特徴とする流路部材。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載する流路部材において、
前記拡散抵抗溝は、開口から底に向かい断面形状の幅が減少するＶ字状に形成されている
ことを特徴とする流路部材。
【請求項４】
請求項１又は請求項２に記載する流路部材において、
前記拡散抵抗溝は、第１部材の表面に形成された第１溝部と、該第１溝部の底部に形成された第２溝部とを備えている
ことを特徴とする流路部材。
【請求項５】
請求項１〜請求項４の何れか一項に記載する流路部材において、
前記接着剤のガス透過係数及び水蒸気透過係数は、前記接着剤が接着される領域のガス透過係数及び水蒸気透過係数と同等又はそれ以上である
ことを特徴とする流路部材。
【請求項６】
請求項１〜請求項５の何れか一項に記載する流路部材と、
前記ヘッド本体とを備えることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項７】
内部空間、及び該内部空間を外部に連通させる拡散抵抗溝を有し、液体を吐出するヘッド本体と、
前記ヘッド本体に液体を供給する流路部材と、
前記拡散抵抗溝の開口を覆う接着剤とを備える
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項８】
請求項６又は請求項７に記載する液体噴射ヘッドを備えることを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流路部材、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関し、特に液体としてインクを供給する流路部材、インクを噴射するインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体を吐出する液体噴射ヘッドの代表例としては、インク滴を吐出するインクジェット式記録ヘッドが挙げられる。インクジェット式記録ヘッドは、例えば、インク滴を吐出するヘッド本体と、インクカートリッジ（液体供給手段）からインクをヘッド本体に供給する流路部材とを具備するものが提案されている（例えば、特許文献１参照）。 
【０００３】
流路部材には、内部空間が設けられ、その内部空間内に液体流路の一部が形成されている。その内部空間内に形成された液体流路の一部は、樹脂等（弾性膜）で該内部空間と区画されている。樹脂等は、インク（液体）を透過させないが、気体を透過させる性質を有している。このため、内部空間の圧力次第では、内部空間の空気が樹脂等を浸透して液体流路に流入し、インク中に気泡を生じさせる虞がある。逆に、液体流路中のインクに含まれる水分が蒸発して蒸気となり、樹脂等を透過する結果、インクが増粘してしまう虞がある。
【０００４】
そこで、流路部材に内部空間を外部に連通させる大気開放路を設けることで、内部空間の圧力を調整している。このような内部空間の調圧により、液体流路中のインクに気泡が混入することや、インク中の水分が蒸発することを抑制している。
【０００５】
特許文献１に係る流路部材は、第１部材及び第２部材とから構成され、これらの間に挟持されるシール部材を有している。このシール部材に溝を設け、該溝の開口を第１部材又は第２部材で覆うことで大気開放路が構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１２−２４０３４１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、シール部材、第１部材及び第２部材には寸法公差があるため、シール部材に均等に荷重をかけて第１部材及び第２部材で挟持することが難しい。シール部材の一部に荷重が偏ってしまうと、シール部材の溝が第１部材又は第２部材によって覆われず、不完全な大気開放路となってしまう虞がある。また、荷重をかける際に、シール部材の溝を覆うように配置された第１部材や第２部材がその位置からずれてしまい、不完全な大気開放路となる虞もある。
【０００８】
さらに、第１部材と第２部材とでシール部材を挟持しているため、シール部材の反力で第１部材及び第２部材が変形するおそれがある。これらの部材の変形により、流路部材からヘッド本体が剥離したり、液体流路からインクが漏れるなど、信頼性の問題が生じてしまう。
【０００９】
なお、このような問題は、インクを供給する流路部材だけではなく、インク以外の液体を供給する流路部材においても同様に存在し、また、インクジェット式記録ヘッドだけではなく、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。さらに、このような問題は、内部空間が流路部材に設けられている場合に限らず、ヘッド本体内に設けられている場合においても 同様に存在する。
【００１０】
本発明はこのような事情に鑑み、ヘッド本体又は流路部材に形成された内部空間をより確実に外部に連通させるとともに、変形が抑制されて信頼性が向上した流路部材、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決する本発明の態様は、液体を吐出するヘッド本体に液体を供給する流路部材であって、前記ヘッド本体又は該流路部材内に形成された内部空間を外部に連通させる拡散抵抗溝と、前記拡散抵抗溝の開口を覆う接着剤とを備えることを特徴とする流路部材にある。
かかる態様では、接着剤により覆われた拡散抵抗溝が形成される。この拡散抵抗溝は、内部空間を外部により確実に連通させ、その内部の圧力調整が可能である。そして、従来技術のようにシール部材等を用いず、接着剤で拡散抵抗溝を覆うので、流路部材の変形が抑制される。これにより、信頼性が向上した流路部材が提供される。
【００１２】
ここで、前記流路部材は、拡散抵抗溝が設けられた第１部材と、該第１部材に接合される第２部材とを備え、前記接着剤は、前記拡散抵抗溝の開口を覆い、前記第２部材と前記第１部材とを接着していることが好ましい。これによれば、接着剤は、拡散抵抗溝を覆うとともに、第１部材及び第２部材を接着させる接着剤を兼ねる。すなわち、第１部材及び第２部材を接着させる領域に、拡散抵抗溝を配置することができる。このように拡散抵抗溝の一部を当該領域に配置できるので、その分、拡散抵抗溝が配置される内部空間の大きさ（拡散抵抗溝の平面方向の広さ）を省スペース化することができる。
【００１３】
また、前記拡散抵抗溝は、開口から底に向かい断面形状の幅が減少するＶ字状に形成されていることが好ましい。これによれば、接着剤により閉塞され難い拡散抵抗溝とすることができる。
【００１４】
また、前記拡散抵抗溝は、第１部材の表面に形成された第１溝部と、該第１溝部の底部に形成された第２溝部とを備えていることが好ましい。これによれば、接着剤を第１溝部内に収めることができるので、接着剤が他の部材などに付着することを抑制できる。
【００１５】
また、前記接着剤のガス透過係数及び水蒸気透過係数は、前記接着剤が接着される領域のガス透過係数及び水蒸気透過係数と同等又はそれ以上であることが好ましい。これによれば、拡散抵抗溝内の空気又は蒸気が意図せぬ部位に浸透してしまうことを抑制できる。
【００１６】
さらに、本発明の他の態様は、上記態様に記載する流路部材と前記ヘッド本体とを備えることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、流路部材又はヘッド本体の内部に形成された内部空間をより確実に外部に連通させ、その内部の圧力調整が可能な拡散抵抗溝を構成することができる。そして、従来技術のようにシール部材等を用いず、接着剤で拡散抵抗溝を覆うので、流路部材の変形が抑制される。これにより、信頼性が向上した液体噴射ヘッドが提供される。
【００１７】
さらに、本発明の他の態様は、内部空間、及び該内部空間を外部に連通させる拡散抵抗溝を有し、液体を吐出するヘッド本体と、前記ヘッド本体に液体を供給する流路部材と、前記拡散抵抗溝の開口を覆う接着剤とを備えることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、内部空間及び拡散抵抗溝がヘッド本体に形成された液体噴射ヘッドが提供される。
【００１８】
さらに、本発明の他の態様は、上記態様に記載する液体噴射ヘッドを備えることを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、ヘッド本体又は流路部材に形成された内部空間をより確実に外部に連通させるとともに、変形が抑制されて信頼性が向上した液体噴射装置が提供される。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】インクジェット式記録装置を示す概略斜視図である。
【図２】実施形態１に係るヘッドを示す分解斜視図である。
【図３】実施形態１に係るヘッド本体の要部を示す断面図である。
【図４】流路部材の上面図である。
【図５】流路部材を構成する第１部材の底面図である。
【図６】流路部材を構成する第２部材の上面図である。
【図７】図４のＡ−Ａ′線断面である。
【図８】拡散抵抗溝及び接着剤の要部を示す断面図である。
【図９】拡散抵抗溝及び接着剤の要部を示す断面図である。
【図１０】第１部材の底面図である。
【図１１】図１０のＣ−Ｃ’線断面図である。
【図１２】流路部材とヘッド本体とを備えるヘッドの断面図である。
【図１３】流路部材の断面を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
〈実施形態１〉
本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。インクジェット式記録ヘッドは液体噴射ヘッドの一例であり、単にヘッドとも言う。インクジェット式記録装置は液体噴射装置の一例である。
【００２１】
図１は、インクジェット式記録装置の一例を示す概略斜視図である。本実施形態に係るインクジェット式記録装置Ｉは、装置本体２を備え、装置本体２には一方向に延びるキャリッジ軸３が設けられている。キャリッジ軸３には、軸方向に沿って往復移動可能なキャリッジ４が取り付けられている。キャリッジ４には、ヘッド１及びインクカートリッジ５が搭載されている。
【００２２】
装置本体２には、駆動モーター６及びタイミングベルト７が設けられている。タイミングベルト７は、駆動モーター６とキャリッジ４に取り付けられており、駆動モーター６の駆動力がタイミングベルト７によりキャリッジ４に伝達される。この駆動モーター６の駆動により、キャリッジ４はキャリッジ軸３に沿って往復移動する。
【００２３】
一方、装置本体２にはキャリッジ軸３に沿ってプラテン８が設けられている。給紙ローラーなど（図示せず）により給紙された紙等の被記録媒体である記録シートＳがプラテン８に巻き掛けられて、キャリッジ軸３とは直交する方向に搬送されるようになっている。
このようなインクジェット式記録装置Ｉでは、キャリッジ４がキャリッジ軸３に沿って移動されると共にヘッド１によってインクが吐出されて記録シートＳに印刷される。
【００２４】
図２は、本実施形態に係るヘッドを示す分解斜視図である。本実施形態に係るヘッド１は、液体としてインク滴を吐出可能なヘッド本体２０と、ヘッド本体２０に保持された配線基板３０と、ヘッド本体２０にインクを供給する流路部材４０と、を具備する。
【００２５】
まず、図３を参照して、ヘッド本体２０について詳細に説明する。図３は、ヘッド本体の要部を示す断面図である。
図３に示すように、本実施形態に係るヘッド本体２０は、複数のアクチュエーターユニット２１０と、アクチュエーターユニット２１０を内部に収容可能なケース２５０と、ケース２５０の一方面に接合された流路ユニット２３０と、を具備する。
【００２６】
本実施形態のアクチュエーターユニット２１０は、圧電アクチュエーター形成部材２１２と、固定板２１３とを有する。圧電アクチュエーター形成部材２１２は、圧電アクチュエーター２１１が幅方向（Ｙ方向）に複数並設されることで形成されている。圧電アクチュエーター形成部材２１２は、その基端部（一端部）が固定端として固定板２１３に接合され、先端部（他端部）が自由端となっている。
【００２７】
圧電アクチュエーター形成部材２１２は、圧電材料２１４と、個別内部電極２１５と、共通内部電極２１６を交互に挟んで積層することで形成されている。個別内部電極２１５及び共通内部電極２１６は、圧電アクチュエーター２１１の２つの極を構成する内部電極である。個別内部電極２１５は、隣接する圧電アクチュエーター２１１と電気的に独立する個別電極を構成する。共通内部電極２１６は、隣接する圧電アクチュエーター２１１と電気的に共通する共通電極を構成する。
【００２８】
圧電アクチュエーター形成部材２１２には、例えば、ワイヤーソー等によって複数のスリット２１７が形成されている。複数のスリット２１７で圧電アクチュエーター形成部材２１２の先端部側が櫛歯状に切り分けられ、圧電アクチュエーター２１１の列が形成されている。
【００２９】
圧電アクチュエーター２１１の固定板２１３に接合される領域は、振動に寄与しない不活性領域となっている。圧電アクチュエーター２１１を構成する個別内部電極２１５及び共通内部電極２１６間に電圧を印加すると、固定板２１３に接合されていない先端部側の領域のみが振動する。そして、圧電アクチュエーター２１１の先端面が、後述する振動板２３２の島部２４０に接着剤等で固定される。
【００３０】
また、アクチュエーターユニット２１０の各圧電アクチュエーター２１１には、例えばＣＯＦ等の回路基板２２１が接続されている。回路基板２２１には、圧電アクチュエーター２１１を駆動するための駆動ＩＣ等の駆動回路２２０が搭載されている。
【００３１】
流路ユニット２３０は、流路形成基板２３１、振動板２３２及びノズルプレート２３３を具備する。
流路形成基板２３１は、シリコン単結晶基板からなり、複数の圧力発生室２３５がその幅方向（Ｙ方向）に並設されている。具体的には、各圧力発生室２３５は、流路形成基板２３１の一方面側の表層部分に形成された複数の隔壁２３４によって画成されている。
【００３２】
各圧力発生室２３５には、インク供給路２３７を介してマニホールド２３６が連通している。また、流路形成基板２３１の一方面側には振動板２３２が接合され、他方面側にはノズルプレート２３３が接合されている。振動板２３２は、圧力発生室２３５の開口面を封止している。ノズルプレート２３３は、ノズル開口２３８が穿設されており、接着剤や熱溶着フィルムを介して流路形成基板２３１に接着されている。流路形成基板２３１には、厚さ方向（Ｚ方向）に貫通した連通孔２３９が設けられている。ノズルプレート２３３のノズル開口２３８と圧力発生室２３５とは、連通孔２３９を介して連通している。
【００３３】
振動板２３２は、例えば、樹脂フィルム等の弾性部材からなる弾性膜２３２ａと、この弾性膜２３２ａを支持する支持板２３２ｂとから構成されている。振動板２３２は、弾性膜２３２ａ側が流路形成基板２３１に接合されている。
【００３４】
また、振動板２３２の各圧力発生室２３５に対向する領域内には、島部２４０が設けられている。島部２４０は、圧電アクチュエーター２１１の先端部が当接する領域である。具体的には、振動板２３２は、薄肉部２４１と島部２４０とを有している。薄肉部２４１は、振動板２３２のうち、各圧力発生室２３５の周縁部に対向する領域であり、その他の領域よりも厚さが薄くなっている。薄肉部２４１は実質的には弾性膜２３２ａのみで構成されている。また、島部２４０は、薄肉部２４１の内側に設けられており、島部２４０の上面に圧電アクチュエーター２１１の先端部が接着剤等で固定されている。
【００３５】
さらに、振動板２３２のうちマニホールド２３６に対向する領域は、コンプライアンス部２４２となっている。コンプライアンス部２４２は、薄肉部２４１と同様に、実質的に弾性膜２３２ａのみで構成されている。なお、薄肉部２４１やコンプライアンス部２４２は、支持板２３２ｂをエッチングにより除去することで形成されている。
【００３６】
コンプライアンス部２４２は、マニホールド２３６内に圧力変化が生じた時に、このコンプライアンス部２４２（弾性膜２３２ａ）が変形することによって圧力変化を吸収し、マニホールド２３６内の圧力を常に一定に保持する役割を果たす。
【００３７】
なお、本実施形態では、弾性膜２３２ａと支持板２３２ｂとで振動板２３２を構成し、薄肉部２４１及びコンプライアンス部２４２を弾性膜２３２ａのみで構成したが、特にこれに限定されない。例えば、振動板として、１枚の板状部材を用い、板状部材の厚さ方向の一部を除去することで凹形状の薄肉部２４１及びコンプライアンス部２４２、並びにこれらよりも相対的に厚い島部２４０を形成してもよい。
【００３８】
ケース２５０は、流路形成基板２３１の振動板２３２上に固定されている。また、ケース２５０の振動板２３２とは反対側には、配線基板３０が接合され、該配線基板３０上に流路部材４０が接合される。ケース２５０には、インク導入路２５１が設けられている。インク導入路２５１は、流路部材４０に接続されている。インク導入路２５１には、インクカートリッジ５（図１参照）から流路部材４０（図２参照）を経由してインクが供給される。
【００３９】
また、ケース２５０には、厚さ方向に貫通する複数の収容部２５２が設けられており、各収容部２５２にアクチュエーターユニット２１０が固定されている。本実施形態に係るヘッド１は、４個のアクチュエーターユニット２１０を有し、アクチュエーターユニット２１０がそれぞれ独立して収容されるように４個の収容部２５２を有している。
【００４０】
さらに、ケース２５０には、コンプライアンス部２４２に対向する領域に開口する凹形状を有するコンプライアンス空間２５３が設けられている。このコンプライアンス空間２５３によってコンプライアンス部２４２は変形可能となる。
【００４１】
図２に示すように、ケース２５０の上面（流路ユニット２３０側とは反対の面）には、配線基板３０が固定されている。配線基板３０は、回路基板２２１の各配線が接続される導電パッド３３が設けられている。ケース２５０の収容部２５２は、配線基板３０によって実質的に塞がれている。配線基板３０には、ケース２５０の収容部２５２に対抗する領域にスリット状の開口部３１が形成されている。回路基板２２１は開口部３１から収容部２５２の外側に引き出され、配線基板３０の導電パッド３３と電気的に接続されている。
【００４２】
また、配線基板３０には、流路部材４０の液体流路が挿通する挿通部３２が設けられている。挿通部３２を挿通した流路部材４０のインク流路５０（接続部７３、図７参照）がインク導入路２５１に連通する。
【００４３】
上述したヘッド本体２０は、インク滴を吐出する際に、圧電アクチュエーター２１１及び振動板２３２の変形によって各圧力発生室２３５の容積を変化させ、所定のノズル開口２３８からインク滴を吐出させる。
【００４４】
具体的には、インクカートリッジ５（図１参照）から流路部材４０を経由し、インク導入路２５１を介してマニホールド２３６にインクが供給されると、インク供給路２３７を介して各圧力発生室２３５にインクが分配される。実際には、圧電アクチュエーター２１１に電圧を印加することにより圧電アクチュエーター２１１を収縮させる。これにより、振動板２３２が圧電アクチュエーター２１１と共に変形され、圧力発生室２３５の容積が広げられ、圧力発生室２３５内にインクが引き込まれる。そして、ノズル開口２３８に至るまで内部にインクを満たした後、回路基板２２１を介して供給される記録信号に従い、圧電アクチュエーター２１１の個別内部電極２１５、共通内部電極２１６に印加していた電圧を解除する。これにより、圧電アクチュエーター２１１が伸張されて元の状態に戻ると共に振動板２３２も変位して元の状態に戻る。結果として圧力発生室２３５の容積が収縮して圧力発生室２３５内の圧力が高まりノズル開口２３８からインク滴が吐出される。
【００４５】
上述したヘッド本体２０のケース２５０には、配線基板３０を間に挟んだ状態で流路部材４０が固定される。流路部材４０について、図４〜図７を参照して詳細に説明する。図４は流路部材の上面図であり、図５は流路部材を構成する第１部材の底面図であり、図６は流路部材を構成する第２部材の上面図であり、図７は図４のＡ−Ａ′線断面である。
【００４６】
流路部材４０は、インクが流通するインク流路５０（液体流路）、インク流路５０の一部が配置される内部空間８０、及び内部空間８０を外部に連通させる大気開放路９０を有する。
【００４７】
本実施形態に係る流路部材４０は、第１部材６０と第２部材７０とが接合されたものである。
第１部材６０は、板状に形成された部材であり、第２部材７０が接合される。材料に特に限定はないが、樹脂等の材料から形成することができる。
【００４８】
第１部材６０には、上面（第２部材７０とは反対の面）から上方に突出した複数のインク供給針６１が設けられている。
インク供給針６１は、インクカートリッジ５（図１参照）からインクが供給されるように構成されている。具体的には、インク供給針６１は円筒状に形成され、第１部材６０を貫通する貫通孔である第１流路５１が頂部に開口している。
【００４９】
第１流路５１は、インク供給針６１の頂部に開口するとともに、第１部材６０の下面（第２部材７０側の面）に開口している。このインク供給針６１に開口した第１流路５１には、インクカートリッジ５（図１参照）からインクが供給される。また、第１部材６０には、第１流路５１の途中にフィルター５６が設けられている。これにより、インク中の異物や気泡がフィルター５６に捕捉され、ヘッド本体２０に到達することが抑制されている。
【００５０】
第２部材７０は、板状に形成された部材であり、第１部材６０が接合される。材料に特に限定はないが、樹脂等の材料から形成することができる。
第２部材７０には、上面（第１部材６０側の面）に４個の溝５５が形成されている。また、第２部材７０の下面（ヘッド本体２０側の面）には、下方に突出した接続部７３が４個形成されている。さらに、第２部材７０には、厚さ方向に貫通した貫通孔である第２流路５２が形成されている。
【００５１】
各第２流路５２は、各溝５５内に開口するとともに、各接続部７３の頂面に開口している。また、第２部材７０に設けられた各接続部７３は、各インク導入路２５１（図２参照）に対向する位置に設けられている。各接続部７３が配線基板３０の挿通部３２を挿通し、各インク導入路２５１に接合することで、各第２流路５２と各インク導入路２５１が連通する。
【００５２】
第１部材６０と第２部材７０とは、第１接合部と第２接合部とで互いに接合されている。ここでいう接合部とは、第１部材６０及び第２部材７０に接合する部分をいう。
第１接合部は、第１部材６０及び第２部材７０の相対向する接合面に配置され、インク流路５０を囲むものである。本実施形態では、第２部材７０の上面に設けられた溝５５を囲む第１ボス部７１と、第１ボス部７１を第１部材６０に接着する接着剤７５が第１接合部となる。
【００５３】
第２接合部は、第１部材６０及び第２部材７０の相対向する接合面に配置され、上述した第１接合部を囲むものである。本実施形態では、第２部材７０の全ての溝５５を囲む第２ボス部７２と、第２ボス部７２を第１部材６０に接着する接着剤７６が第２接合部となる。
【００５４】
第１ボス部７１は、溝５５を囲み、第１部材６０側に突出するように形成されている。第１ボス部７１の頂面は、第１部材６０に接着剤７５により接着されている。このように第１ボス部７１が第１部材６０に接着されることで、溝５５が第１部材６０に封止され、第３流路５３が形成される。
【００５５】
第３流路５３の両端には、それぞれ第１流路５１と第２流路５２とが連通している。これにより、流路部材４０には、第１流路５１、第３流路５３及び第２流路５２とからなるインク流路５０が形成されている。本実施形態では、４個のインク流路５０が形成されている。
【００５６】
第２ボス部７２は、全ての溝５５（第３流路５３）を囲み、第１部材６０側に突出するように形成されている。第２ボス部７２の頂面は、第１部材６０に接着剤７６により接着されている。このように第２ボス部７２が第１部材６０に接着されることで、流路部材４０に内部空間８０が形成されている。
【００５７】
すなわち、内部空間８０は、第１部材６０及び第２部材７０の間に、第１接合部の外側かつ第２接合部の内側に形成された空間である。上述したインク流路５０の一部を構成する第３流路５３は、内部空間８０内に配置されている。なお、第３流路５３は、その周囲が第１ボス部７１及び接着剤７５により囲まれて内部空間８０とは区画されている。すなわち、第１ボス部７１及び接着剤７５は、インクを内部空間８０に漏らさないためのシールとして機能している。
【００５８】
また、流路部材４０には、内部空間８０を外部に大気開放させる流路である大気開放路９０が形成されている。図５及び図８を用いて本実施形態に係る大気開放路について詳細に説明する。図８は、第１部材に設けられた拡散抵抗溝及び接着剤の要部を示す断面図である。
【００５９】
第１部材６０の内部空間８０を構成する内面６２（第２部材７０に対向する面）に拡散抵抗溝９５が形成されている。
拡散抵抗溝９５は、大気開放路９０の一部を構成する溝であり、本実施形態では、細長く蛇行するように形成されている。また、第１部材６０には、厚さ方向に貫通した貫通孔である第１大気開放路９１が形成されている。この第１大気開放路９１は、拡散抵抗溝９５の一端に連通している。
【００６０】
拡散抵抗溝９５の一部である開口部９３（第１大気開放路９１に連通される一端とは反対側の端部）を除いて、接着剤９６が拡散抵抗溝９５を覆っている。接着剤９６が拡散抵抗溝９５を覆うとは、接着剤９６が拡散抵抗溝９５の開口（開口部９３を除く）を封止し、拡散抵抗溝９５の底には達していないことをいう。つまり、拡散抵抗溝９５は、接着剤９６に閉塞されず、接着剤９６が蓋のようになっている。
【００６１】
例えば、本実施形態に係る拡散抵抗溝９５は、断面形状がＶ字状に形成されている。すなわち拡散抵抗溝９５の開口から底に向かい断面形状の幅が減少するようになっている。そして、接着剤９６は、拡散抵抗溝９５の開口部分にメニスカス、すなわち拡散抵抗溝９５の底側に吐出するような曲面を形成している。この接着剤９６のメニスカス、拡散抵抗溝９５の内面から第２大気開放路９２が形成されている。
なお、本実施形態では、接着剤９６は、第１部材６０にのみ付着して拡散抵抗溝９５を覆っていたが、第２部材７０にも付着していてもよい。
【００６２】
図９に拡散抵抗溝９５の変形例を示す。図９は、第１部材に形成された拡散抵抗溝及び接着剤の要部を示す断面図である。
図９（ａ）に示すように、拡散抵抗溝９５は、断面形状が矩形状である。すなわち、拡散抵抗溝９５は、どの深さにおいても幅が均等となるように形成されている。このような形状の拡散抵抗溝９５であっても、接着剤９６はその開口にメニスカスを形成し、第２大気開放路９２が形成されている。
【００６３】
図９（ｂ）に示すように、拡散抵抗溝９５は、２つの第１溝部９５ａ及び第２溝部９５ｂから構成されている。第１溝部９５ａは、第１部材６０の内面６２に形成された溝である。また、第２溝部９５ｂは、第１溝部９５ａの底部に形成された溝である。第１溝部９５ａ及び第２溝部９５ｂの断面形状は、特に限定はないが、何れも矩形状となっている。もちろん、第１溝部９５ａをＶ字状にし、第２溝部９５ｂを矩形状にするなど、様々な断面形状の溝を適用することができる。
【００６４】
このような形状の拡散抵抗溝９５には、第１溝部９５ａ内に接着剤９６が接着され、第２溝部９５ｂが接着剤９６で覆われる。すなわち、接着剤９６は第２溝部９５ｂの開口にメニスカスを形成し、第２大気開放路９２を形成している。このような拡散抵抗溝９５では、接着剤９６を第１溝部９５ａ内に収めることができるので、第１部材６０の表面から過度に接着剤９６が溢れることを抑制することができる。これにより、第２部材７０等の他の部材に接着剤９６が付着することを抑制できる。
【００６５】
以後、符号９５は、上記の変形例であるか否かに関わらず、本実施形態に係る拡散抵抗溝を指すものとする。接着剤９６の材料としては、特に限定はないが、例えば、エポキシ樹脂系の接着剤を用いることができる。さらに、接着剤９６のガス透過係数及び水蒸気透過係数は、接着剤９６が接着される領域のガス透過係数及び水蒸気透過係数と同等又はそれ以上とすることが好ましい。接着剤９６が接着される領域とは、第１部材６０全体または、第１部材６０の接着剤９６が接着される一部の領域である。このような接着剤９６で拡散抵抗溝９５を覆うことで、拡散抵抗溝９５内の空気や蒸気が第１部材を透過してしまうことを抑制できる。すなわち、拡散抵抗溝９５内の空気又は蒸気が第１部材６０を透過し、意図せぬ部位に浸透してしまうことを抑制できる。
【００６６】
なお、拡散抵抗溝９５を接着剤９６で覆う方法としては、第１部材６０に設けられた拡散抵抗溝９５に、開口全体（開口部９３を除く）が接着剤９６で覆われるように接着剤９６を塗布する。そして、その接着剤９６を硬化させる。これにより、硬化した接着剤９６で覆われた拡散抵抗溝９５（第２大気開放路９２）が形成される。
【００６７】
上述したように、接着剤９６が拡散抵抗溝９５、９５Ａ、９５Ｂを覆うことで、拡散抵抗溝９５と接着剤９６とから第２大気開放路９２が形成されている。この第２大気開放路９２は、第１大気開放路９１及び開口部９３とともに大気開放路９０を構成する。すなわち、流路部材４０には、第１大気開放路９１、第２大気開放路９２及び開口部９３とからなる大気開放路９０が形成されている。このような大気開放路９０により、内部空間８０は、大気開放路９０を介して外部に連通している。
【００６８】
このように構成された大気開放路９０の第２大気開放路９２は、細長く蛇行した形状を有している。第２大気開放路９２をこのような形状とすることで、第２大気開放路９２を流通する空気に対する拡散抵抗を高めることができる。したがって、第２大気開放路９２の形状を調整して拡散抵抗を適宜設定することで、内部空間８０の圧力を任意に設定することができる。
【００６９】
このように内部空間８０の圧力を大気開放路９０で調整することで、内部空間８０が過度に高圧又は低圧になることを抑制することができる。内部空間８０の空気（大気）が過度に高圧となることを抑制できる結果、該空気が接着剤７５を透過し、第３流路５３内のインクに気泡として混入することを抑制できる。また、内部空間８０の空気（大気）が過度に低圧となることを抑制できる結果、第３流路５３内のインクの水分が蒸発して接着剤７５を透過し、該水分の減少によるインクの増粘を抑制することができる。これにより、ヘッド１は、気泡の混入やインクの増粘が抑制されて、インクの吐出品質が向上したものとなる。
【００７０】
以上に説明したように、本実施形態に係る流路部材４０では、拡散抵抗溝９５が接着剤９６で覆われることで、空気や蒸気の漏れが低減された大気開放路９０が形成されている。
【００７１】
詳言すると、従来技術では、拡散抵抗溝を第２部材や他のシール部材などで覆う場合では、寸法公差やシール部材等が拡散抵抗溝からずれてしまうなどの要因により、不完全な大気開放路となる虞がある。
【００７２】
しかしながら、本実施形態に係る流路部材４０では、そのような寸法公差や位置ずれの虞はない。すなわち、拡散抵抗溝９５全体が覆われるように接着剤９６を塗布し、その接着剤９６を硬化させれば、空気等の漏れが低減された大気開放路９０を形成することができる。
【００７３】
さらに、接着剤９６は、第１部材６０及び第２部材７０に対して反力を作用させないので、第１部材６０及び第２部材７０の変形を抑制することができる。
このように、本実施形態に係る流路部材４０によれば、拡散抵抗溝９５を接着剤９６で覆うことで、内部空間８０を外部により確実に連通させ、その内部の圧力を調整することができる大気開放路９０を構成することができる。そして、流路部材４０の変形が抑制されるので、流路部材４０からヘッド本体２０が剥離したり、インク流路５０からインクが漏れるなどのおそれが低減され、信頼性が向上した流路部材４０が提供される。
【００７４】
また、本実施形態に係る流路部材４０を備えるヘッド１によれば、拡散抵抗溝９５を接着剤９６で覆うことで、内部空間８０を外部により確実に連通させ、その内部の圧力を調整することができる大気開放路９０を構成することができる。そして、流路部材４０の変形が抑制されるので、流路部材４０からヘッド本体２０が剥離したり、インク流路５０からインクが漏れるなどのおそれが低減され、信頼性が向上したヘッド１が提供される。
【００７５】
〈実施形態２〉
実施形態１では、接着剤９６は拡散抵抗溝９５を覆うものであったが、第１部材６０及び第２部材７０を接着させる接着剤を兼ねてもよい。
【００７６】
図１０は、本実施形態に係る第１部材の底面図であり、図１１は図１０のＣ−Ｃ’線断面図である。なお、実施形態１と同一のものには同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
【００７７】
本実施形態に係る拡散抵抗溝９５Ａは、実施形態１と同様に蛇行するように形成されている。拡散抵抗溝９５Ａの一端部である開口部９１Ａは、第１部材６０の第２ボス部７２よりも外側に配置されている。拡散抵抗溝９５Ａの他方の一端部である開口部９３Ａは、第１部材６０の第２ボス部７２よりも内側に配置されている。
【００７８】
このような拡散抵抗溝９５Ａは、両端の開口部９１Ａ及び開口部９３Ａを除いて接着剤９６で覆われている。このように拡散抵抗溝９５Ａが接着剤９６で覆われることで、細長く蛇行した第２大気開放路９２が構成され、開口部９１Ａ、第２大気開放路９２及び開口部９３Ａからなる大気開放路９０Ａが形成されている。
【００７９】
このような第１部材６０には、第２部材７０が接合されている。第２部材７０に形成された第２ボス部７２は、大気開放路９０Ａの近傍においては、拡散抵抗溝９５Ａを覆う接着剤９６で第１部材６０に接着されている。なお、大気開放路９０Ａの近傍以外では、実施形態１と同様に接着剤７６で第１部材６０に接合されている。このような大気開放路９０Ａは、実施形態１と同様に、内部空間８０を外部に連通させるとともに、その圧力を調整することができる。
【００８０】
以上に説明したように、本実施形態に係る流路部材４０Ａは、実施形態１と同様の作用効果を奏する。さらに、接着剤９６は、拡散抵抗溝９５Ａを覆うとともに、第１部材６０及び第２部材７０を接着させる接着剤を兼ねる。すなわち、第１部材６０及び第２部材７０を接着させる領域（第２ボス部７２）に、拡散抵抗溝９５Ａを配置することができる。このように拡散抵抗溝９５Ａの一部を当該領域に配置できるので、その分、拡散抵抗溝９５Ａが配置される内部空間８０の大きさ（拡散抵抗溝９５Ａの平面方向の広さ）を省スペース化することができる。
【００８１】
〈実施形態３〉
実施形態１及び実施形態２では、内部空間８０は流路部材４０Ａに形成されていたが、ヘッド本体２０に形成されていてもよい。
【００８２】
図１２は、本実施形態に係る流路部材４０Ｂとヘッド本体とを備えるヘッドの構成を示す概略図である。なお、実施形態１と同一のものには同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
【００８３】
ヘッド本体２０には、コンプライアンス空間２５３が形成されている（図３参照）。コンプライアンス空間２５３は、請求項に記載する「ヘッド本体に形成された内部空間」の一例である。
【００８４】
また、流路部材４０Ｂの第２部材７０には、厚さ方向に貫通した第１連通路７４が形成されている。第１連通路７４は、第２ボス部７２の内側、すなわち内部空間８０に連通している。
【００８５】
さらに、配線基板３０には、厚さ方向に貫通した第２連通路３４が形成され、ヘッド本体２０のケース２５０には、厚さ方向に貫通した第３連通路２５５が形成されている。第２連通路３４は、第１連通路７４に連通している。第３連通路２５５はコンプライアンス空間２５３に連通するとともに第２連通路３４に連通している。
このように、第１連通路７４、第２連通路３４、第３連通路２５５が連通されて一つの連通路を構成し、コンプライアンス空間２５３を内部空間８０に連結している。
【００８６】
このような構成の流路部材４０Ｂは、ヘッド本体２０に設けられた内部空間であるコンプライアンス空間２５３を、大気開放路９０を介して外部に連通させることができる。これにより、コンプライアンス部２４２の変形を良好に保つことができる。
【００８７】
ここで、マニホールド２３６（図３参照）内のインクは、コンプライアンス空間２５３が低圧であるなどの原因により、インク中の水分が蒸発してコンプライアンス部２４２（弾性膜２３２ａ）を透過する。
【００８８】
しかしながら  コンプライアンス空間２５３は、上記連通路を介して拡散抵抗を有する大気開放路９０に連通しているので、その内部の圧力が調整可能となっている。これにより、マニホールド２３６内のインクの水分が過剰に蒸発してしまうことを抑制することができ、インクの増粘を抑制することができる。
【００８９】
本実施形態に係るヘッド１としては、コンプライアンス空間２５３と、内部空間８０とを共通の大気開放路９０で外部に連通させ、それらの内部の圧力を調整することができる。これにより、個別に大気開放路９０を設ける場合よりもヘッド１を小型化することができる。
【００９０】
なお、本実施形態では、内部空間としてヘッド本体２０のコンプライアンス空間２５３と、流路部材４０Ｂに形成された内部空間８０を有しているが、流路部材４０Ｂ側に内部空間８０を形成する必要はない。
【００９１】
例えば、内部空間が形成されていない流路部材の表面に拡散抵抗溝を設け、これを接着剤で覆う。そして、該拡散抵抗溝をコンプライアンス空間２５３などのヘッド本体の内部空間に連通させてもよい。
すなわち、本発明では、内部空間が形成される部材に限定はない、ヘッド本体のみ、流路部材のみ、ヘッド本体と流路部材の双方に内部区間を形成してもよい。
【００９２】
〈実施形態４〉
流路部材に形成される拡散抵抗溝及び接着剤の別態様について説明する。図１３は、インクカートリッジが取り付けられた流路部材の断面を示す概略図である。なお、実施形態１と同一のものには同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
【００９３】
流路部材４０Ｃは、第１部材６０と、第２部材７０と、インクカートリッジ５とから構成されている。
第１部材６０には、内部空間８０に連通する第１連通路６３が形成されている。
【００９４】
インクカートリッジ５には、その表面に拡散抵抗溝９５Ｃが形成されている。また、インクカートリッジ５には、拡散抵抗溝９５Ｃの一端に連通するとともに、第１部材６０の第１連通路６３を連結する第２連通路９３Ｃが形成されている。
【００９５】
拡散抵抗溝９５Ｃには、その一端部である開口部９１Ｃを除いて、接着剤９６により覆われている。このように拡散抵抗溝９５Ｃが接着剤９６で覆われることで大気開放路９０Ｃが形成されている。そして、大気開放路９０Ｃは、第１連通路６３を介して内部空間８０に連通している。
【００９６】
このような構成の流路部材４０Ｂは、第１部材６０及び第２部材７０に形成された内部空間８０を、大気開放路９０Ｃを介して外部に連通させることができ、大気開放路９０Ｃの拡散抵抗により内部空間８０の圧力を調整することができる。
以上に説明したように、本実施形態に係る流路部材４０Ｃは、実施形態１と同様の作用効果を奏する。
【００９７】
また、第１部材６０に着脱可能なインクカートリッジ５に拡散抵抗溝９５Ｃを形成した。ここで、インクカートリッジ５は、第１部材６０や第２部材７０と比較して交換頻度が高い。したがって、インクカートリッジ５に拡散抵抗溝を形成すれば、インクカートリッジ５を取り外して付け替えるだけで、別の形状の拡散抵抗溝を有する流路部材４０Ｃに変更することが容易に行える。
また、本実施形態に係るヘッド１は、実施形態１と同様の作用効果を奏するとともに、拡散抵抗溝の形状の変更を容易に行うことができる。
【００９８】
〈他の実施形態〉
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されない。例えば、上述の各実施形態及び変形例を組み合わせたり、以下の変形例を組み合わせたりしてもよい。
【００９９】
例えば、ヘッド本体と流路部材とを備えるヘッドにおいて、内部空間及び拡散抵抗溝をヘッド本体に設けてもよい。この場合においても、実施形態１と同様の作用効果を奏する。
【０１００】
また、実施形態１では、複数のインク流路５０が共通の内部空間８０に配置され、一つの拡散抵抗溝９５からなる大気開放路９０を介して外部に連通させたが、このような態様に限定されない。
【０１０１】
例えば、複数のインク流路５０が流路部材に設けられている場合、個別のインク流路５０ごとに内部空間８０を形成し、その内部空間８０ごとに拡散抵抗溝９５、及びこれを覆う接着剤９６を設けてもよい。
【０１０２】
さらに、拡散抵抗溝９５（第２大気開放路９２）は、細長く蛇行している必要はなく内部空間８０を外部に連通させる流路であってもよい。このような形態であっても、流路長や断面積を調整することで内部空間８０を調圧することができる。
【０１０３】
第１接合部及び第２接合部は、何れもボス部と接着剤により構成されていたが、このような態様に限定されない。例えば、第２部材７０上に第１接合部及び第２接合部としてボス部を形成し、当該ボス部を第１部材６０に熱溶着により接合させてもよい。他にも、第１接合部及び第２接合部として環状のシール部材を用いてもよい。
【０１０４】
また、流路部材４０は、第１部材６０及び第２部材７０を接合させたものであったが、このような態様に限定されない。一つ又は３つ以上の部材からなる流路部材であってもよい。そして、拡散抵抗溝９５は、内部空間８０の内部に形成されている必要はなく、流路部材４０の表面に形成されていてもよい。
【０１０５】
また、圧力発生室２３５に圧力変化を生じさせる圧力発生手段としては、実施形態１に説明したものに限定されない。例えば、液体流路内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズルからインク滴を吐出するものや、振動板と電極との間に静電気力を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズルからインク滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーターなどを使用することができる。
【０１０６】
インクジェット式記録装置Ｉは、ヘッド１と共にキャリッジ４にインクカートリッジ５を装着した構成、いわゆるオンキャリッジ型とした。しかしながら、インクカートリッジ５を装置本体２に設け、インクカートリッジ５からチューブを介してヘッド１にインクを供給する構成、いわゆるオフキャリッジ型としてもよい。また、インクカートリッジ５は、装置本体２に設けられている必要はなく装置本体２の外部に配置され、チューブ等を介してヘッド１にインクを供給するようにしてもよい。
【０１０７】
さらに、本発明は、広く液体噴射装置を対象としたものであり、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種のインクジェット式記録ヘッド等の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等を備える液体噴射装置にも適用することができる。
【符号の説明】
【０１０８】
Ｉ  インクジェット式記録装置（液体噴射装置）、  １  ヘッド（液体噴射ヘッド）、  ２０  ヘッド本体、  ３０  配線基板、  ４０、４０Ａ、４０Ｂ、４０Ｃ  流路部材、  ５０  インク流路（液体流路）、  ６０  第１部材、  ７０  第２部材、  ８０  内部空間、  ９０、９０Ａ、９０Ｃ  大気開放路、  ９５、９５Ａ、９５Ｂ、９５Ｃ  拡散抵抗溝、  ９６  接着剤、  ２１０  アクチュエーターユニット、  ２３０  流路ユニット、  ２３３  ノズルプレート、  ２３５  圧力発生室、  ２３８  ノズル開口、  ２５０  ケース
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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