(57)【要約】【課題】ダイが薄板化した場合、ダイシングテープの粘着力に比べてダイの剛性が極めて低くなるため、ダイがダイシングテープからはく離することが困難になり、ダイをピックアップする際にダイが割れやすくなる。公知技術では、装置の構成が複雑になるためコスト増につながる。つまり、従来技術では、薄板化したダイを簡単な構成でピックアップする点については十分な配慮がなされていない。【解決手段】本発明は、フィルムに貼り付けられた複数の対象物のうち、前記フィルムからはく離する対象とするはく離対象物を吸着するための吸着部と、前記はく離対象物の周囲の周辺対象物を押さえるための押さえ部と、前記押さえ部と前記吸着部とを接続するための接続部と、を有し前記押さえ部は前記吸着部の周囲の少なくとも一部に形成されていることを１つの特徴とする。【選択図】図５
2014239090.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フィルムに貼り付けられた複数の対象物のうち、前記フィルムからはく離する対象とするはく離対象物を吸着するための吸着部と、
前記はく離対象物の周囲の周辺対象物を押さえるための押さえ部と、
前記押さえ部と前記吸着部とを接続するための接続部と、を有し
前記押さえ部は前記吸着部の周囲の少なくとも一部に形成されているピックアップシステム。
【請求項２】
請求項１に記載のピックアップシステムにおいて、
前記はく離対象物を前記フィルムを介して突き上げるための突き上げ部を有し、
前記押さえ部は前記突き上げ部の近傍に形成されるピックアップシステム。
【請求項３】
請求項２に記載のピックアップシステムにおいて、
前記吸着部は、前記はく離対象物を吸着する吸着部材、及び前記吸着部材を保持するためのホルダの少なくとも１つを含み、
前記接続部は前記押さえ部と前記吸着部材とを接続する、又は前記押さえ部と前記ホルダとを接続するピックアップシステム。
【請求項４】
請求項３に記載のピックアップシステムにおいて、
前記接続部が前記押さえ部と前記吸着部材とを接続する場合、前記接続部、前記押さえ部、及び前記吸着部材は実質的に同じ材料で構成されるピックアップシステム。
【請求項５】
請求項４に記載のピックアップシステムにおいて、
前記押さえ部は前記はく離対象物と接する面よりも突出しているピックアップシステム。
【請求項６】
請求項５に記載のピックアップシステムにおいて、
前記はく離対象物はチップであり、前記周辺対象物は周辺チップであるピックアップシステム。
【請求項７】
請求項６に記載のピックアップシステムにおいて、
前記接続部の前記チップ側には溝が形成されるピックアップシステム。
【請求項８】
請求項７に記載のピックアップシステムにおいて、
前記押さえ部は、前記周辺チップの中心と前記押さえ部の内側端部との距離より前記突き上げ部と前記内側端部との距離が小さくなるよう配置される形成されるピックアップシステム。
【請求項９】
請求項８に記載のピックアップシステムにおいて、
前記押さえ部は前記吸着部の角に形成されるピックアップシステム。
【請求項１０】
請求項９に記載のピックアップシステムにおいて、
前記押さえ部は前記吸着部の辺に形成されるピックアップシステム。
【請求項１１】
請求項１０に記載のピックアップシステムにおいて、
前記押さえ部は前記吸着部の周囲に実質的に枠状に形成されるピックアップシステム。
【請求項１２】
請求項１１に記載のピックアップシステムにおいて、
前記押さえ部には溝が形成されるピックアップシステム。
【請求項１３】
請求項１２に記載のピックアップシステムにおいて、
前記押さえ部材のヤング率は、前記フィルムのヤング率以下であるピックアップシステム。
【請求項１４】
請求項１３に記載のピックアップシステムにおいて、
前記押さえ部が前記周辺チップと接触する面とは反対側に補強部を有するピックアップシステム。
【請求項１５】
請求項１３に記載のピックアップシステムにおいて、
前記補強部のヤング率は、前記吸着部より大きいピックアップシステム。
【請求項１６】
請求項１５に記載のピックアップシステムにおいて、
前記ピックアップシステムはダイボンダを含むピックアップシステム。
【請求項１７】
請求項１６に記載のピックアップシステムにおいて、
前記吸着部により吸着されたチップをワークへ接着するためのボンディング部を有するピックアップシステム。
【請求項１８】
請求項１に記載のピックアップシステムにおいて、
前記吸着部は、前記はく離対象物を吸着する吸着部材、及び前記吸着部材を保持するためのホルダの少なくとも１つを含み、
前記接続部は前記押さえ部と前記吸着部材とを接続する、又は前記押さえ部と前記ホルダとを接続するピックアップシステム。
【請求項１９】
請求項１８に記載のピックアップシステムにおいて、
前記接続部が前記押さえ部と前記吸着部材とを接続する場合、前記接続部、前記押さえ部、及び前記吸着部材は実質的に同じ材料で構成されるピックアップシステム。
【請求項２０】
請求項１に記載のピックアップシステムにおいて、
前記押さえ部は前記はく離対象物と接する面よりも突出しているピックアップシステム。
【請求項２１】
請求項１に記載のピックアップシステムにおいて、
前記はく離対象物はチップであり、前記周辺対象物は周辺チップであるピックアップシステム。
【請求項２２】
請求項１に記載のピックアップシステムにおいて、
前記接続部の前記はく離対象物側には溝が形成されるピックアップシステム。
【請求項２３】
請求項１に記載のピックアップシステムにおいて、
前記押さえ部は、前記周辺チップの中心と前記押さえ部の内側端部との距離より前記突き上げ部と前記内側端部との距離が小さくなるよう配置される形成されるピックアップシステム。
【請求項２４】
請求項１に記載のピックアップシステムにおいて、
前記押さえ部は前記吸着部の角に形成されるピックアップシステム。
【請求項２５】
請求項１に記載のピックアップシステムにおいて、
前記押さえ部は前記吸着部の辺に形成されるピックアップシステム。
【請求項２６】
請求項１に記載のピックアップシステムにおいて、
前記押さえ部は前記吸着部の周囲に実質的に枠状に形成されるピックアップシステム。
【請求項２７】
請求項１に記載のピックアップシステムにおいて、
前記押さえ部には溝が形成されるピックアップシステム。
【請求項２８】
請求項１に記載のピックアップシステムにおいて、
前記押さえ部材のヤング率は、前記フィルムのヤング率以下であるピックアップシステム。
【請求項２９】
請求項１に記載のピックアップシステムにおいて、
前記押さえ部が前記周辺対象物と接触する面とは反対側に補強部を有するピックアップシステム。
【請求項３０】
請求項２９に記載のピックアップシステムにおいて、
前記補強部のヤング率は、前記吸着部より大きいピックアップシステム。
【請求項３１】
請求項１に記載のピックアップシステムにおいて、
前記ピックアップシステムはダイボンダを含むピックアップシステム。
【請求項３２】
請求項１に記載のピックアップシステムにおいて、
前記吸着部により吸着されたチップをワークへ接着するためのボンディング部を有するピックアップシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ピックアップシステムに関する。本発明は、例えば、ダイボンダ、ピックアップ方法、ピックアップ装置に係わり、特に信頼性の高いダイボンダ並びにピックアップ方法及び確実にダイを剥離できるピックアップ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ダイ(半導体チップ)(以下、単にダイという)を配線基板やリードフレームなどの基板に搭載してパッケージを組み立てる工程の一部に、半導体ウエハ（以下、単にウエハという）からダイを分割する工程と、分割したダイを基板上に搭載するダイボンディング工程とがある。
【０００３】
ボンディング工程の中にはウエハから分割されたダイを剥離する剥離工程がある。剥離工程では、これらダイをピックアップ装置の吸着ステージに保持されたダイシングテープから１個ずつ剥離し、コレットと呼ばれる吸着治具を使って基板上に搬送する。
【０００４】
剥離工程を実施する従来技術としては、例えば、特許文献１及び特許文献２に記載する技術がある。特許文献１では、ピックアップするダイと隣あうダイを機械的に吸着ステージ押え付けながら、ダイの裏面（ダイシングテープ側）から突上げピンにより突上げることで、ダイをダイシングテープから剥離する技術が開示されている。また、特許文献２では、ダイシングテープ押さえ機構によりテープを押さえながらピックアップするダイを裏面から突き上げることでダイを剥離する技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−３１６７２号公報
【特許文献２】特開２００５−３３０６５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
近年、半導体装置の高密度実装を推進する目的で、パッケージの薄型化が進められている。特に、メモリカードの配線基板上に複数枚のダイを三次元的に実装する積層パッケージが実用化されている。このような積層パッケージを組み立てるに際しては、パッケージ厚の増加を防ぐために、ダイの厚さを２０μｍ以下まで薄くすることが要求される。
【０００７】
ダイ厚さの薄板化が進行した場合、ダイシングテープの粘着力に比べてダイの剛性が極めて低くなるため、ダイがダイシングテープからはく離することが困難になり、ダイをピックアップする際にダイが割れやすくなる。
【０００８】
そのため、特許文献１や特許文献２のようにピックアップダイと隣り合う周辺のダイを押さえながらダイシングテープから剥離する方式が考えられる。しかし、公知技術によるとダイを吸着するためのコレットを駆動するための駆動装置の他に、周辺のダイを押し付けるユニットを駆動するための駆動装置が必要であることから、装置の構成が複雑になるためコスト増につながる。
【０００９】
つまり、従来技術では、薄板化したダイを簡単な構成でピックアップする点については十分な配慮がなされていないということである。
【００１０】
本発明は上記の課題に配慮したものであり、本発明の第１の目的は、駆動装置を増やすことなく、薄板化したダイを確実に剥離できるピックアップ方法及びピックアップ装置を提供することである。また、本発明の第２の目的は、第１の目的を達成するピックアップ装置を用い、信頼性の高いダイボンダを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、フィルムに貼り付けられた複数の対象物のうち、前記フィルムからはく離する対象とするはく離対象物を吸着するための吸着部と、前記はく離対象物の周囲の周辺対象物を押さえるための押さえ部と、前記押さえ部と前記吸着部とを接続するための接続部と、を有し前記押さえ部は前記吸着部の周囲の少なくとも一部に形成されていることを１つの特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、薄板化したダイを簡単な構成でピックアップすることができる。当業者にわかりやすく説明するなら、例えば、本発明によれば一つの駆動装置でピックアップ対象となるダイの周辺に位置する周辺ダイを押し付けながら対象のダイをピックアップできるので、装置の構成が複雑化することが無く、低コスト、ダイの板厚が薄くなった場合でも、ダイが割れることがなく確実にダイを剥離できるということである。また、本発明によれば、上記のピックアップ方法またはピックアップ装置を用い、信頼性の高いダイボンダを提供できるということである。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の一実施形態であるダイボンダを上から見た概念図である。
【図２】本発明の一実施形態であるピックアップ装置の外観斜視図を示す図である。
【図３】本発明の一実施形態であるピックアップ装置の主要部を示す概略断面図である。
【図４】図４(a)は本発明の第１の実施形態である突き上げユニットとボンドヘッドユニットのうちコレット部との構成を示した図である。図４(ｂ)は、突き上げユニットの突き上げブロック部及び剥離起点形成ピンが存在する部分を上部から見た図である。
【図５】本発明の第１の実施形態であるダイボンダのダイピックアップ部の主要部分を示す断面図。
【図６】本発明の第１の実施形態であるダイボンダのダイピックアップ部の主要部分を示す断面図であり、コレットをダイに押しつけた動作時のピックアップ部の状態を示す図である。
【図７】本発明の第１の実施形態であるダイボンダのダイピックアップ部の主要部分を示す断面図であり、コレットをダイに押しつけ後はく離形成ピンを上昇させた動作時のピックアップ部の状態を示す図である。
【図８】図８(a)本発明の一実施形態であるピックアップ装置のコレットをダイ側から見た斜視図である。図８(ｂ)は、本発明の一実施形態であるピックアップ装置のコレットをダイ側からみた平面図である。
【図９】本発明の一実施形態であるピックアップ装置のコレットの変形例を示す、ダイ側から見た平面図である。
【図１０】本発明の一実施形態であるピックアップ装置のコレットのさらに別の変形例を示す、ダイ側から見た平面図である。
【図１１】本発明の一実施形態であるピックアップ装置のコレットのさらに別の変形例を示す、ダイ側から見た平面図である。
【図１２】本発明の第１の実施形態であるダイボンダのダイピックアップ部の主要部分の変形例を示す断面図。
【図１３】本発明の第１の実施形態であるダイボンダのダイピックアップ部の主要部分のさらに別の変形例を示す断面図。
【図１４】図１３に示した本発明の第１の実施形態であるダイボンダのダイピックアップ部の主要部分において、コレットをダイに押しつけた動作時のピックアップ部の状態を示す図である。
【図１５】本発明の第１の実施形態であるダイボンダのダイピックアップ部の主要部分のさらに別の変形例を示す断面図。
【図１６】本発明の第２の実施形態であるダイボンダのダイピックアップ部の主要部分を示す断面図。
【図１７】図６に示した本発明の第１の実施形態であるダイボンダのダイピックアップ部の主要部分の変形例を示す断面図であり、突上げユニットを上昇させダイをコレットに押しつけた動作時のピックアップ部の状態を示す図である。
【図１８】図１４に示した本発明の第１の実施形態であるダイボンダのダイピックアップ部の主要部分において、突上げユニットを上昇させダイをコレットに押しつけた動作時のピックアップ部の状態を示す図である。
【図１９】本発明の第１の実施形態である突き上げユニットの変形例であり，突き上げブロック部が存在する部分を上部から見た図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の実施の形態について図を参照して説明する。
【実施例１】
【００１５】
図１は本発明の一実施形態であるダイボンダ１０を上から見た概念図である。ダイボンダ１０は主にウエハ供給部１と、ワーク供給・搬送部２と、ダイボンディング部３とを有する。なお、ダイボンダ１０は対象物を保持するためのピックアップシステムの一例であり、ピックアップシステムとは、例えば突き上げユニット５０を有さないコレット部４０のみも含み得る広義の表現である。
【００１６】
ワーク供給・搬送部２はスタックローダ２１と、フレームフィーダ２２と、アンローダ２３とを有する。スタックローダ２１によりフレームフィーダ２２に供給されたワーク（リードフレーム）は、フレームフィーダ２２上の２箇所の処理位置を介してアンローダ２３に搬送される。
【００１７】
ダイボンディング部３はプリフォーム部３１とボンディングヘッド部３２とを有する。
プリフォーム部３１はフレームフィーダ２２により搬送されてきたワークにダイ接着剤を塗布する。ボンディングヘッド部３２は、ピックアップ装置１２からダイをピックアップして上昇し、ダイを平行移動してフレームフィーダ２２上のボンディングポイントまで移動させる。そして、ボンディングヘッド部３２はダイを下降させダイ接着剤が塗布されたワーク上にボンディングする。
【００１８】
ウエハ供給部１はウエハカセットリフタ１１とピックアップ装置１２とを有する。ウエハカセットリフタ１１はウエハリングが充填されたウエハカセット(図示せず）を有し、順次ウエハリングをピックアップ装置１２に供給する。
【００１９】
次に、図２および図３を用いてピックアップ装置１２の構成を説明する。図２はピックアップ装置１２の外観斜視図を示す図である。図３はピックアップ装置１２の主要部を示す概略断面図である。図２、図３に示すように、ピックアップ装置１２はウエハリング１４を保持するエキスパンドリング１５と、ウエハリング１４に保持され複数のダイ(チップ)４が接着されたダイシングテープ１６を水平に位置決めする支持リング１７と、支持リング１７の内側に配置されダイ４を上方に突き上げるための突き上げユニット５０とを有する。突き上げユニット５０は、図示しない駆動機構によって、上下方向に移動するようになっており、水平方向にはピックアップ装置１２が移動するようになっている。なお、ダイはピックアッップ装置１２がピックアップすべき対象物の一例である。
【００２０】
ピックアップ装置１２は、ダイ４の突き上げ時に、ウエハリング１４を保持しているエキスパンドリング１５を下降させる。その結果、ウエハリング１４に保持されているダイシングテープ１６が引き伸ばされダイ４の間隔が広がり、突き上げユニット５０によりダイ下方よりダイ４を突き上げ、ダイ４のピックアップ性を向上させている。なお、薄型化に伴い接着剤は液状からフィルム状となり、ウエハとダイシングテープ１６との間にダイアタッチフィルム１８と呼ばれるフィルム状の接着材料を貼り付けている。ダイアタッチフィルム１８を有するウエハでは、ダイシングはウエハとダイアタッチフィルム１８に対して行なわれる。従って、剥離工程では、ウエハとダイアタッチフィルム１８をダイシングテープ１６から剥離する。
【００２１】
図４（ａ）は、本発明の第１の実施形態である突上げユニット５０とボンドヘッドユニット（図示せず）のうちコレット部４０との主要部を示した図である。図４（ｂ）は、突上げユニットの後述する突上げブロック部および剥離起点形成ピンが存在する部分を上部から見た図である。
【００２２】
図４（ａ）に示すようにコレット部４０は、コレット４２と、コレット４２を保持するコレットホルダ４１と、それぞれに設けられダイ４を吸着するための吸引孔４１ｖ、４２ｖとがある。コレット部４０は吸着部の一例と表現でき、吸引孔４１ｖ、４２ｖは吸着部材と表現することができる。吸着部とは吸着部材、及びホルダのうち少なくとも１つを含む表現である。
【００２３】
一方、突き上げユニット５０は、大別して、突き上げブロック部と、剥離起点形成ピン部と、突き上げブロック部と剥離起点形成ピン部を駆動する駆動部と、それらを保持するドーム本体５８とを有する。突き上げブロック部はブロック本体５９と、ブロック本体５９に直結した内側ブロック５４、１／２切替えバネ５２ｂを介して内側ブロックの周囲に設けられ、ダイ４の外形より小さい外形を有する外側ブロック５２とを有している。
【００２４】
剥離起点形成ピン部は、図４(ｂ)に示すように、外側ブロック５２の４つのコーナーの外側、即ちダイの４隅にそれぞれ設けられた４本の剥離起点形成ピン５１と、剥離起点形成ピンを保持し、上下に移動可能なピン上下リンク５５と、５６ａを支点に回転しピン上下リンク５５を上下させるピン駆動リンク５６とを有する。
【００２５】
駆動部は、モータによって上下に移動する駆動軸５７と、駆動軸５７の上下に伴い上下移動する作動体５３とを有する。作動体５３が下降すると、左右のピン駆動リンク５６が回転し、ピン上下リンク５５が上昇し、剥離起点形成ピン５１を突き上げる。作動体５３が上昇すると、ブロック本体を上昇させ、外側、内側ブロックを押し上げる。なお、ピン上下リンク５５とピン駆動リンク５６は、上述の説明によれば、作動体５３の下降する動きを剥離起点形成ピン５１の突き上げ(上昇)の動きに変える反転部を構成する。
【００２６】
ドーム本体５８の上部には、ダイ４を吸着し保持する多くの吸着孔５８ａを具備するドームヘッド５８ｂを有する。図４(ｂ)ではブロック部の周囲に一列のみ示しているが、ピックアップ対象でないダイ４ｄを安定し保持するために複数列設けている。また、図４(ｂ)に示すように、内側ブロック５４と外側ブック５２との隙間５４ｖ、並びに外側ブロック５２とドームヘッド５８ｂとの隙間５２ｖを吸引しダイシングテープ１６をブッロク部に側に保持している。
【００２７】
次に、本実施例のピックアップ装置１２の主要部の構造と、ダイをピックアップする時のコレット部４０と突上げユニット５０のピックアップ動作を図５、図６および図７を用いて説明する。
【００２８】
図５に示すように、ピックアップ開始前は剥離起点形成ピン５１、外側ブロック５２、内側ブロック５４がドームヘッド５８ｂの表面と同一平面を形成するようにし、ドームヘッド５８ｂの吸着孔５８ａと、ブロック間の隙間５２ｖ、５４ｖとによってダイシングフィルム１６が吸着されている。
【００２９】
また、コレットホルダ４１に保持されているコレット４２はピックアップするダイ４の上に位置決めされている。本実施形態におけるコレット４２は、ピックアップするダイ４の隣に位置する周辺ダイ４ｄをドームヘッド５８ｂ（吸着ステージ）に押さえ付けるための、周辺押さえ部４２ｓが、接続部４２ｊを介して設けられている。
【００３０】
本実施例においては、コレットのピックアップするダイを吸着する吸着部４２ａ、接続部４２ｊ、及び周辺押さえ部４２ｓの少なくとも２つ、より具体的には吸着部４２ａ、接続部４２ｊ、及び周辺押さえ部４２ｓが実質的に同一材料で形成された例について示した。同一材料で形成する場合、コレット４２の製作が容易であるため、コストの増加を防げるというメリットがある。
【００３１】
しかし、必ずしも同一材料で形成されてなくても、周辺押さえ部４２ｓがコレット４２に設けられていることにより、剥離起点形成ピン５１、外側ブロック５２、内側ブロック５４などの突上げ部材を上昇させて、ダイシングフィルム１６の裏面からダイ４の一部を突上げる際、周辺ダイ４ｄがダイシングフィルム１６ごと上に押し上げられようとしても、周辺押さえ部４２ｓにより周辺ダイ４ｄには下向きの力が負荷されるため、ダイ４がダイシングテープ１６から剥離しやすくなるという効果が得られる。
【００３２】
コレット４２において、周辺押さえ部４２ｓが周辺ダイ４ｄと接する面４２０ｓは、少なくとも剥離起点形成ピン５１、外側ブロック５２、内側ブロック５４などの突上げ部材を上昇させたときに、周辺ダイと接する高さ（位置）に形成していれば、はく離を促進する効果が得られる。
【００３３】
周辺押さえ部４２ｓが周辺ダイ４ｄと接する面４２０ｓが、ピックアップするダイ４と接する面４２０よりも凸に出っ張った形状とすることにより、コレット４２のダイ４と接する面４２０をダイ４に押し付けて吸着する際、周辺ダイ４ｄはコレット４２の周辺押さえ部４２ｓにより、ドームヘッド５８ｂ（吸着ステージ）に押し付けられる。これにより、周辺ダイ４ｄには下向きの力を負荷できるため、剥離起点形成ピン５１、外側ブロック５２、内側ブロック５４などの突上げ部材を上昇させたときに、周辺ダイ４ｄが押し上げられるのを、されに効果的に抑制することが可能である。ピックアップするダイと接触する面４２０と、周辺押さえ部４２Ｓが周辺ダイと接触する面４２０ｓとの高さの差４００は、例えば0.01〜0.5ｍｍとすることができる。
【００３４】
ここで、コレット４２に設けた周辺押さえ部４２ｓの配置図を図８（a）(b)を用いて説明する。図８（a）コレットのダイと接する面側から見た斜視図であり、図８(b)は、コレットのダイと接する面４２０側から見た平面図である。図８(a)に示すように周辺押さえ部４２ｓがコレットの周囲の周辺ダイと接する部分に設けられている。周辺押さえ部４２ｓの凸部は、4隅角部と４辺に設けられている。
【００３５】
本実施形態においては、図４（ｂ）に示したように、剥離起点形成ピン５１がダイ４の角部に対応する部分に設けられているため、剥離起点形成ピン５１の近傍に周辺押さえ部４２ｓを形成することが好ましい。このように、はく離形成起点形成ピン５１の近傍に周辺押さえ部４２ｓを設けることにより、効果的にはく離起点を形成することが可能になり、ダイ４のダイシングテープからのはく離が促進される。ここで、剥離起点形成ピン５１の近傍とは様々な表現が可能であるが、例えば、周辺ダイ４ｄ（周辺対象物と表現することもできる）の中心と周辺押さえ部４２ｓの内側端部との距離をＤ１、剥離起点形成ピン５１と周辺押さえ部４２ｓの内側端部との距離をＤ２とするなら、Ｄ２＜Ｄ１の関係を満たすよう周辺押さえ部４２ｓは配置されると表現することができる。
【００３６】
本実施形態に示すように、ダイ４の角部にはく離起点形成ピン５１を設け、コレット４２の少なくとも角部に周辺押さえ部４２ｓを設けることにより、ダイのはく離がしやすくなり、ダイにダメージを与えることなく、ダイシングテープからはく離することが可能になる。  また、周辺押さえ部４２ｓの幅寸法４１０、４１１は好ましくは、ドームヘッド５８ｂの吸着孔５８ａの直径よりも大きいほうが望ましい。周辺押さえ部４２の幅が吸着孔５８ａよりも大きいことにより、周辺ダイを押し付ける際に、薄型ダイの場合吸着孔にダイが押し込まれる心配が無く、このときの曲げ変形によりダイが割れるのを防止できる。
【００３７】
周辺押さえ部４２ｓの凸部が接するのは周辺ダイ４ｄであり、周辺ダイ４ｄにおいてダイ４に近い部分を押さえることにより、より効果的にダイ４のはく離を行うことが可能である。
【００３８】
周辺押さえ部４２ｓの配置は、図９に示すように、コレット４２の４隅角部にL字状に形成してもよい。これにより、はく離形成起点形成ピン５１の近傍の周辺ダイ４ｄの浮き上がりがより広範囲に押さえられるため、ダイ４のはく離がしやすくなるという効果が得られる。
【００３９】
図９では、コレット角部４箇所にL字状の周辺押さえ部が形成され、なおかつ辺部分にも、周辺押さえ部４２ｓが設けられているが、図１０に示すように、角部４隅のみに周辺押さえ部４２を設けた構造としても同様な効果が得られる。
【００４０】
なお、図１１に示すように、コレット４２の周辺押さえ部４２ｓは、枠形状とすることにより、周辺ダイをより効果的に押さえ付けることが可能である。
【００４１】
一方、図９〜１０のように、周辺押さえ部４２ｓのすくなくとも一部に孔４２０aが設けられることにより、コレット４２の吸着孔４２ｖの吸引力により周辺押さえ部の内側が負圧になるのを防止し、ダイ４のみが吸着しやすくなるという効果が得られる。
【００４２】
コレット４２をピックアップするダイ４に向けて下降させた場合、はじめにコレット４２の周辺押さえ部４２ｓが周辺ダイ４ｄと接し、このときコレット４２のピックアップするダイ４と接する面４２０は、ピックアップするダイ４とは接していない。この状態を表した断面図が図５である。
【００４３】
次に、コレット４２におけるピックアップするダイと接する面４２０が、ピックアップするダイ４に接触するまで、コレット４２を下降させ、吸引孔４１ｖ、４２ｖによってダイ４を吸着する。この状態を示した断面図が図６である。
【００４４】
このとき、前述の通り、周辺押さえ部４２ｓが周辺ダイ４ｄと接する面４２０ｓは、ピックアップするダイ４と接する面４２０よりも凸に出っ張った形状をしているため、ピックアップするダイと接する面４２０をダイ４の表面まで下降させた場合には、周辺押さえ部４２ｓには、高さ方向に圧縮の力が負荷される。これによりコレット４２の周辺押さえ部４２ｓの周辺ダイと接触する面４２０ｓは、周辺ダイ４ｄに押し付けられ、押し付け力４２ｐが発生する。
【００４５】
次に、外側ブロック５２の４コーナーに設けた剥離起点形成ピン５１のみを数十μｍから数百μｍ上昇させる。この状態を示した断面図が図７である。この結果、図７に示すように、剥離起点形成ピン５１の周辺においてダイシングテープ１６が盛り上がった突き上げ部分が形成され、ダイシングテープ１６とダイ４の間に微小な空間、即ち剥離起点５１ａができる。
【００４６】
以上説明したように、本実施形態によるピックアップ装置においては、コレット４２には周辺押さえ部４２ｓが設けられ、周辺ダイ４ｄと接する面４２０ｓが、ピックアップするダイ４と接する面４２０よりも凸に出っ張った形状となっていることが特徴である。これにより、ピックアップするダイと接する面４２０をダイ４の表面まで下降させた場合、周辺ダイ４２ｓには、高さ方向に圧縮の力が負荷され、周辺ダイ４ｄはコレット４２の周辺押さえ部４２ｓにより、ドームヘッド５８ｂ（吸着ステージ）に押し付けられる。
【００４７】
本実施形態によれば、周辺のダイを押し付けるための駆動装置を新たに設ける必要がなく、周辺ダイを押し付けることが可能であり、装置構造が複雑になることが無く、コストの増加も防止できる。
【００４８】
また、本実施形態によれば、剥離起点形成ピン５１が上昇し、はく離起点を形成する際、周辺のダイ４ｄが浮き上がるのを防止し、ピックアップ対象のダイ４を確実にはく離することが可能である。その結果ダイ４にかかる応力を低減でき、ダイ４が割れることなくその以降による剥離処理が確実に行なうことができる。この結果、ピックアップミスを低減でき、信頼性の高いダイボンダまたはピックアップ方法を提供できる。
【００４９】
なお、本実施例のダイをピックアップする時のコレット部４０と突上げユニット５０のピックアップ動作として，図５、図６および図７を用いて，コレット４２におけるピックアップするダイと接する面４２０が、ピックアップするダイ４に接触するまで、コレット４２を下降させ、その後，はく離起点形成ピン５１を上昇させ，その後外側ブロック５２，内側ブロック５４などの突上げ部材を上昇する場合について説明した。
【００５０】
しかし，ピックアップするときの動作として，図５に示す，コレット４２における周辺押さえ部４２ｓが周辺ダイ４ｄと接した状態の後，図１７に示すように，はく離形成ピン５１，外側ブロック５２，内側ブロック５４などの突上げユニットを上に上昇させることにより，コレット４２のピックアップするダイ４と接する面４２０をダイ４と接触させ，その後，さらに必要に応じて，はく離形成ピン５１，外側ブロック５２，内側ブロック５４を上昇させることにより，ダイ４をダイシングテープ１６から剥離しても，同様の効果が得られる。
【００５１】
さらに，はじめの動作で，コレット４２におけるピックアップするダイ４と接する面４２０と，ダイ４とを接触させてから，はく離動作に入るのではなく，図示していないが，突上げ部材を突上げて，ダイ４とダイシング１６との界面にはく離起点を形成した後に，コレット４２のピックアップするダイ４と接する面４２０をダイ４と接触させることにより，ダイ４をピックアップすることもできる。
【００５２】
図１２は、図５に示すピックアップ装置のピックアップ部の変形例を示すもので、図５の符号と同符号は同一構成部品を示すので、再度の詳細な説明は省略する。
【００５３】
１２に示す変形例においては、図５に示したピックアップ装置のコレット４２の周辺押さえ部４２ｓの周辺ダイと接触する面４２０とは反対の面に補強部材４３が設けられている。この補強部材４３の材料は、コレット４２のヤング率よりも大きいヤング率を有する材料である。それ以外は、図５に示すピックアップ部と同じ構造である。
【００５４】
このように、コレット４２の周辺押さえ部４２ｓの周辺ダイと接触する面４２０とは反対の面に補強部材４３が設けられていることにより、コレット４２におけるピックアップするダイと接する面４２０がピックアップするダイ４に接触するまでコレット４２を下降させ、周辺押さえ部４２ｓが圧縮される際に周辺押さえ部４２ｓが上に反るのを防ぐことができ、押し付け力４２ｐを減少することを防ぎ、より効果的に周辺ダイを押さえ付けることが可能となる。
【００５５】
ここで、前記補強部材４３は少なくともコレット４２のヤング率よりも大きいヤング率を有する材料であれば効果は得られる。ただし好ましくは、前記補強部材４３をコレットのヤング率よりより１０倍以上大きいヤング率を有する材料とすることにより、周辺押さえ部の反り変形を効果的に防止することができ、より強い押し付け力で周辺ダイを押さえつけることが可能である。
【００５６】
図１３は、図５に示すピックアップ装置のピックアップ部のさらに別の変形例を示すもので、図５の符号と同符号は同一構成部品を示すので再度の詳細な説明は省略する。なお、図１３においてはコレットホルダ４１を省略している。
【００５７】
図１３に示す変形例では、図５に示したピックアップ装置のコレット４２において、ピックアップするダイ４と接する部分と、周辺ダイ４ｄを押し付ける押さえ部４２ｓとを繋ぐ中間部４２ｊ（接続部や接続部材と表現することもできる）の下面（ダイ側の面）に溝４２ｇが設けられた構造となっている。溝４２ｇが設けられたことにより、コレット４２におけるピックアップするダイと接する面４２０が、ピックアップするダイ４に接触するまで、コレット４２を下降させた時に、図１４に示すように、ピックアップするダイと接する面４２０がダイ４とが接触する面積を増加させることができる。これにより、吸引孔４１Ｖ、４２Ｖによってダイ４を吸着する際、空気のリークを防止することができ、ダイの吸引力が低下するのを防止できるという効果も得られる。
【００５８】
なお、本実施例のダイをピックアップする時のコレット部４０と突上げユニット５０のピックアップ動作として，図１３および図１４を用いて，コレット４２におけるピックアップするダイと接する面４２０が、ピックアップするダイ４に接触するまで、コレット４２を下降させ、その後，はく離起点形成ピン５１を上昇させ，その後外側ブロック５２，内側ブロック５４などの突上げ部材を上昇する場合について説明した。
【００５９】
しかし，ピックアップするときの動作として，図１３に示す，コレット４２における周辺押さえ部４２ｓが周辺ダイ４ｄと接した状態の後，図１８に示すように，はく離形成ピン５１，外側ブロック５２，内側ブロック５４などの突上げユニットを上に上昇させることにより，コレット４２のピックアップするダイ４と接する面４２０をダイ４と接触させ，その後，さらに必要に応じて，はく離形成ピン５１，外側ブロック５２，内側ブロック５４を上昇させることにより，ダイ４をダイシングテープ１６から剥離しても，同様の効果が得られる。
【００６０】
さらに，はじめの動作で，コレット４２におけるピックアップするダイ４と接する面４２０と，ダイ４とを接触させてから，はく離動作に入るのではなく，図示していないが，突上げ部材を突上げて，ダイ４とダイシング１６との界面にはく離起点を形成した後に，コレット４２のピックアップするダイ４と接する面４２０をダイ４と接触させることにより，ダイ４をピックアップすることもできる。
【００６１】
図１５は、図５に示すピックアップ装置のピックアップ部のさらに別の変形例を示すもので、図５の符号と同符号は同一構成部品を示すので再度の詳細な説明は省略する。なお、図５においては、コレットホルダ４１は省略している。
【００６２】
図１５に示す変形例では、図５に示したピックアップ装置のコレット４２において、ピックアップするダイ４と接する部分と、周辺ダイ４ｄを押し付ける押さえ部４２ｓとを繋ぐ中間部４２ｊの下面（ダイ側の面）に溝４２ｈが設けられた構造となっている。溝４２ｈが設けられたことにより、コレット４２におけるピックアップするダイと接する面４２０がピックアップするダイ４に接触するまで、コレット４２を下降させた時に、ピックアップするダイと接する面４２０がダイ４とが接触する面積を増加させることができる。溝４２は断面形状がL字型となっているため、コレット４２の周囲部分の肉厚が薄い部分、すなわち鍔４２ｔが設けられている。したがって、コレット４２がダイ４に接触しやすいだけでなく、剥離起点形成ピン５１が上昇しはく離起点を形成する際、コレット４２の鍔４２ｔが若干変形し、空気の流入を防ぐことができるため、さらにダイの吸引力が低下するのを防止できるという効果も得られる。
【００６３】
本実施形態においては、突き上げ部材として、剥離起点形成ピンと外側ブロック、内側ブロックを用いた、突き上げユニットの例を示したが、突上げ部材としては、剥離起点を形成するための突上げ部材はピン形状である必要は無く、例えば，図１９に図４(ｂ)の突き上げユニットの変形例（突き上げブロック部及び剥離起点形成ピンが存在する部分を上部から見た図）を示すように，突き上げ部材として，外側ブロック６１，中間部ロック６２，内側ブロック６３からなる多段ブロック型の突上げユニットとしても良い。枠形状やその他の形状のブロックで突上げる、突上げユニットを用いてもよい。好ましくは、剥離起点を形成するための、剥離起点形成部材が、ピックアップするダイ（チップ）の周辺部の近傍に位置されていれば、本発明による押さえ部材によるダイシングテープの剥離が促進される効果が大きくなる。
【実施例２】
【００６４】
次に、図１６を用いて、第２の実施形態であるピックアップ装置のピックアップ部の主要部の構造を説明する。
【００６５】
図１６に示すピックアップ装置が第１の実施形態と異なる点は、図５に示した第一の実施形態においては周辺押さえ部がコレット４２と一体となった構造であるのに対し、図１６に示すピックアップ装置では、周辺押さえ部がコレットホルダ４１と一体となった構造である。コレットホルダ４１には、コレットを保持する部分、及び周辺ダイを押し付けるための押さえ部材４３を保持するための保持部分４１ｓを有する。保持部分４１ｓはコレット保持部分の周方向の外側に設けられている。
【００６６】
コレットホルダ４１の保持部分４１ｓのダイ側の面に、押さえ部材４３が設けられている。押さえ部材４３はコレット４２の周囲にコレット４２を囲むよう、すなわちコレット４２がピックアップするダイ４に位置決めした時、押さえ部材４３は周辺ダイの端部付近上面に位置するように形成されている。
【００６７】
ここで押さえ部材４３が周辺ダイ４ｄと接する面４３０は、コレット４２においてピックアップするダイ４と接する面４２０よりもダイ側に凸に出っ張っている。ピックアップするダイと接触する面４２０と、周辺ダイ押さえ部４３が周辺ダイと接触する面４３０との高さの差４０１は、例えば0.1〜0.5ｍｍとなっている。
【００６８】
ここで、押さえ部材４３の材質はダイシングテープ１６のヤング率と同等以下のヤング率を有する材料であることが好ましい。特にダイの板厚が薄くなった場合、周辺ダイ４ｄを押し付けることにより、周辺ダイ４ｄが下に凸に変形し、割れやすくなるがダイシングテープと同等またはダイシングテープよりも柔らかい（ヤング率が低い）材料とすることにより、周辺ダイ４ｄが周辺ダイ押し付け部材４３による押し付け力により、下に凸変形することが無く、周辺ダイ４ｄが割れるのを防止することができるという効果が得られる。
【００６９】
以上説明したように、本実施形態によるピックアップ装置においては、コレットホルダ４１に、周辺ダイを押し付けるための押さえ部材４３を保持するための保持部分４１ｓと、押さえ部材４３を設け、ピックアップするダイ４と接する面４２０よりも下に凸に出っ張った形状とすることにより、ピックアップするダイと接する面４２０をダイ４の表面まで下降させた場合、周辺ダイ４ｄは押さえ部材４３により、ドームヘッド５８ｂ（吸着ステージ）に押し付けられる。
【００７０】
本実施形態によれば、周辺のダイを押し付けるための駆動装置を新たに設ける必要がなく、周辺ダイを押し付けることが可能であり、装置構造が複雑になることが無く、コストの増加も防止できる。
【００７１】
また、本実施形態によれば、剥離起点形成ピン５１が上昇しはく離起点を形成する際、周辺のダイ４ｄが浮き上がるのを防止し、ピックアップ対象のダイ４を確実にはく離することが可能である。その結果ダイ４にかかる応力を低減でき、ダイ４が割れることなくその以降による剥離処理が確実に行なうことができる。この結果、ピックアップミスを低減でき、信頼性の高いダイボンダまたはピックアップ方法を提供できる。
【００７２】
以上の実施例では、突き上げ部材として、突き上げブロックと、剥離起点形成ピンで突上げる例について示したが、ダイを突上げる部材としては、必ずしも突き上げブロックと、はく離起点形成ピンとがある必要がなく、突上げる部材の形状はどのような形状でもかまわない。また、突上げ部材は固体である必要が無く、圧縮空気、不活性ガスなどの気体でピックアップ対象のダイをダイシングテープを介して突上げる場合でも、同様の効果が得られる。
【００７３】
以上の実施例では、剥離されたダイを基板にダイボンディングするダイボンダについて説明した。基板にダイボンディングする代わりに、ダイを搬送するトレイ上に載せれば、ピックアップ装置とすることも可能である。また、ダイをはく離する装置を有するチップマウンタ装置とすることも可能である。
【００７４】
以上のように本発明の実施形態について説明したが、上述の説明に基づいて当業者にとって種々の代替例、修正又は変形が可能であり、本発明はその趣旨を逸脱しない範囲で前述の種々の代替例、修正又は変形を包含するものである。
【符号の説明】
【００７５】
１：ウエハ供給部
２：ワーク供給・搬送部
３：ダイボンディング部
４：ダイ(半導体チップ)
４ｄ：周辺ダイ
１０：ダイボンダ
１１：ウエハカセットリフタ
１２：ピックアップ装置
１４：ウエハリング
１５：エキスパンドリング
１６：ダイシングテープ
１７：支持リング
１８：ダイアタッチフィルム
２１：スタックローダ
２２：プリフォーム部
２３：アンローダ
３２：ボンディングヘッド部
３２：ボンディングヘッド部
４０：コレット部
４１：コレットホルダ
４１ｖ：吸着孔
４２：コレット
４２ｖ：吸着孔
４２ｓ：周辺押さえ部
４２ｐ：押し付け力
４３：押さえ部材
５０：突き上げユニット
５１：剥離起点形成ピン
５１ａ：剥離起点
５２：外側ブロック
５２ｖ：外側ブロックとドームヘッドとの隙間
５３：作動体
５４：内側ブロック
５４ｖ：内側ブロックと外側ブックとの隙間
５５：ピン上下リンク
５６：ピン駆動リンク
５６ａ：ピン駆動リンクの回転支点
５７：駆動軸
５８：ドーム本体
５８ａ：ドームヘッドにおける吸着孔
５８ｂ：ドームヘッド
５９：ブロック本体
６１：外側ブロック
６２：中間ブロック
６３：内側ブロック
４００：ピックアップするダイと接触する面４２０と周辺ダイ押さえ部４２Ｓが周辺ダイと接触する面４２０ｓとのギャップ
４０１：ピックアップするダイと接触する面４２０と押さえ部材４３が周辺ダイと接触する面４３０とのギャップ
４２０：コレットにおけるピックアップするダイ４と接する面
４２０ｓ：コレットの周辺ダイ押さえ部４２Ｓ周辺ダイ４ｄと接する面
４３０：押さえ部材４３の周辺ダイ４ｄと接する面
【図１】
2014239090.tif 000003
【図２】
2014239090.tif 000004
【図３】
2014239090.tif 000005
【図４】
2014239090.tif 000006
【図５】
2014239090.tif 000007
【図６】
2014239090.tif 000008
【図７】
2014239090.tif 000009
【図８】
2014239090.tif 000010
【図９】
2014239090.tif 000011
【図１０】
2014239090.tif 000012
【図１１】
2014239090.tif 000013
【図１２】
2014239090.tif 000014
【図１３】
2014239090.tif 000015
【図１４】
2014239090.tif 000016
【図１５】
2014239090.tif 000017
【図１６】
2014239090.tif 000018
【図１７】
2014239090.tif 000019
【図１８】
2014239090.tif 000020
【図１９】
2014239090.tif 000021