(57)【要約】【課題】被測定物の被測定面が超音波探触子の測定面に対して傾斜角を持っていても、任意の傾斜角に対して超音波探触子の測定面を被測定物の被測定面に密着させることが可能であり、被測定物に傷を付けずに厚さを測定することが可能な超音波板厚測定装置を提供する。【解決手段】被測定物１の板厚を測定するために測定面１０ａから超音波を発射する超音波探触子２と、超音波探触子２の周囲を取り囲み、超音波探触子２に固定されるリング状部材４と、リング状部材４の外周に接するリング状弾性体３と、超音波探触子２、リング状部材４、及びリング状弾性体３を収納し、リング状弾性体３を固定するケース５を備える。超音波探触子２は、リング状弾性体３の弾性力により測定面１０ａの向きが変化するように傾斜可能であり、被測定物１の被測定面１０ｂに押し当てられたときに測定面１０ａの傾きが被測定面１０ｂの傾きに一致するように傾斜することができる。【選択図】図１
2014206476.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定物の板厚を測定するために測定面から超音波を発射する超音波探触子と、
前記超音波探触子の周囲を取り囲み、前記超音波探触子に固定されるリング状部材と、
前記リング状部材の外周側面に接するように配置されるリング状弾性体と、
前記超音波探触子、前記リング状部材、及び前記リング状弾性体を収納し、前記リング状弾性体を固定するケースと、を備え、
前記超音波探触子は、前記リング状弾性体の弾性力により前記測定面の向きが変化するように傾斜可能であり、前記被測定物の被測定面に押し当てられたときに前記測定面の傾きが前記被測定面の傾きに一致するように傾斜することができる、ことを特徴とする超音波板厚測定装置。
【請求項２】
前記リング状弾性体は、前記リング状部材に対し、前記超音波探触子が傾斜したときに前記リング状部材から力を受けて変形することができるような摩擦係数を有する請求項１記載の超音波板厚測定装置。
【請求項３】
前記超音波探触子と前記リング状部材との間に、前記被測定物の板厚の測定に用いる媒質を前記測定面に供給するための流路が形成される請求項１記載の超音波板厚測定装置。
【請求項４】
前記測定面を前記被測定面に押し付けるために前記超音波探触子を押すシリンダを備える請求項１記載の超音波板厚測定装置。
【請求項５】
前記ケースは、前記超音波探触子が傾斜したときに、前記超音波探触子が前記ケースに接触しないような空間を有する請求項１記載の超音波板厚測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、超音波を用いて板厚を測定する超音波板厚測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
超音波板厚測定装置では、超音波探触子から発射させた超音波により被測定物の厚さを測定する。被測定物の厚さを精度よく測定するためには、超音波探触子の接触面（測定面）を被測定物の表面（被測定面）に隙間がないように密着させて、超音波探触子の測定面を被測定物の被測定面に倣わせる必要がある。従来の超音波板厚測定装置の例は、特許文献１に開示されている。
【０００３】
特許文献１に記載の超音波板厚測定装置は、走行自在な装置本体に対して、所定のストロークをもって昇降自在に付勢配置させた支持フレームと、この支持フレーム内で回転自在に支持されると共に板厚測定用の超音波探触子を揺動自在に保持する継手とを備え、板厚測定用の超音波探触子を、被測定物の被測定面に対して所定の圧力で押し付けて、超音波探触子から発射された超音波により被測定物の厚さを測定する。この装置では、ジンバル式継手が支持フレーム内で回転自在に保持された円筒状の外側リングを有し、この外側リング内には、一対の第１支持ピンを介して内側リングが枢支されている。更に、この内側リング内には、超音波探触子の外周に形成されたフランジ部を配設し、このフランジ部は、第１支持ピンと直交する一対の第２支持ピンを介して枢支されている。被測定物の厚さを測定するときは、超音波探触子は、エアーアクチュエータにより回転させられ、接触面が被測定物の上面に擦り合わせられて、超音波を発射する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平７−２１８２４４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
超音波板厚測定装置で被測定物の厚さを測定する際に、被測定物の被測定面が、超音波探触子の測定面と平行ではなく、測定面に対して傾斜している場合がある。すなわち、被測定物の被測定面が、超音波探触子の測定面に対して傾斜角を持っている場合がある。このような場合でも、測定精度を高くするために、超音波探触子の測定面の傾きを被測定物の被測定面の傾きに一致させ、超音波探触子の測定面を被測定物の被測定面に密着させて倣わせる必要がある。しかし、従来の超音波板厚測定装置では、被測定物の被測定面の任意の傾斜角に対して、超音波探触子の測定面を被測定物の被測定面に密着させるのが困難である。このため、超音波探触子の測定面の被測定物の被測定面への倣いが十分でないために、誤測定が発生する原因となる。
【０００６】
また、従来の超音波板厚測定装置では、超音波探触子の測定面を被測定物の被測定面に擦り合わせたり常時押し付けたりするために、被測定物に傷を付けずに測定することが困難である。
【０００７】
例えば、特許文献１に記載された超音波板厚測定装置では、超音波探触子は、第１及び第２支持ピンの定位置で支持されているために自由度が少ないので、超音波探触子の接触面（測定面）を被測定物の被測定面に容易に密着させるのが困難であることが懸念される。また、超音波探触子の測定面を被測定物の被測定面に擦り合わせているため、被測定物に傷を付けずに密着させるのが困難であることが懸念される。また、探触子を密着させる機構が内側及び外側リングで構成されており、装置の小型化が困難であることが懸念される。
【０００８】
本発明は、被測定物の被測定面が超音波探触子の測定面に対して傾斜角を持っていても、任意の方向の任意の大きさの傾斜角に対して超音波探触子の測定面を被測定物の被測定面に密着させることが可能であり、被測定物に傷を付けずに厚さを測定することが可能な超音波板厚測定装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の目的を達成するために、本発明による超音波板厚測定装置は、次のような特徴を有する。被測定物の板厚を測定するために測定面から超音波を発射する超音波探触子と、前記超音波探触子の周囲を取り囲み、前記超音波探触子に固定されるリング状部材と、前記リング状部材の外周側面に接するように配置されるリング状弾性体と、前記超音波探触子、前記リング状部材、及び前記リング状弾性体を収納し、前記リング状弾性体を固定するケースとを備える。前記超音波探触子は、前記リング状弾性体の弾性力により前記測定面の向きが変化するように傾斜可能であり、前記被測定物の被測定面に押し当てられたときに前記測定面の傾きが前記被測定面の傾きに一致するように傾斜することができる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明による超音波板厚測定装置は、被測定物の被測定面が超音波探触子の測定面に対して傾斜角を持っていても、任意の方向の任意の大きさの傾斜角に対して超音波探触子の測定面を被測定物の被測定面に密着させることが可能であり、被測定物に傷を付けずに厚さを測定することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の実施例による超音波板厚測定装置の全体構成を示す断面図である。
【図２】本実施例による超音波板厚測定装置の、被測定物に超音波探触子を密着させる前の状態を示す断面図である。
【図３】本実施例による超音波板厚測定装置の、被測定物に超音波探触子を密着させている状態を示す断面図である。
【図４】本実施例による超音波板厚測定装置の、被測定物に超音波探触子を密着させた後、シリンダで超音波探触子を被測定物に押し付けている状態を示す断面図である。
【図５】本実施例による超音波板厚測定装置を、図１の矢印Ａ、Ａに沿って見た断面図である。
【図６】本実施例による超音波板厚測定装置において、超音波探触子の測定面と被測定物の被測定面との密着状態を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
本発明による超音波板厚測定装置は、超音波探触子を用いて鋼板や鋼管の板厚を測定することが可能である。本発明による超音波板厚測定装置では、超音波探触子は、リング状の弾性体で周囲を拘束されており、任意の方向に任意の角度で傾斜可能である。超音波探触子とリング状の弾性体を収納するケースは、超音波探触子が傾斜しても干渉しないような空間を有する。このような構成により、本発明による超音波板厚測定装置は、被測定物の被測定面が超音波探触子の測定面に対して傾斜角を持っていても、任意の方向の任意の大きさの傾斜角に対して測定面を被測定面に容易に密着させることが可能であり、誤測定を防ぐことができる。また、測定面を被測定面の上で滑らせることなく測定面を被測定面に密着させるので、被測定面を傷つけることなく板厚を測定することができる。
【００１３】
以下、図１乃至図６を用いて、本発明による超音波板厚測定装置の一実施形態例について説明する。
【００１４】
図１は、本発明の実施例による超音波板厚測定装置の全体構成を示す断面図である。図２は、本実施例による超音波板厚測定装置の、被測定物に超音波探触子を密着させる前の状態を示す断面図である。図３は、本実施例による超音波板厚測定装置の、被測定物に超音波探触子を密着させている状態を示す断面図である。図４は、本実施例による超音波板厚測定装置の、被測定物に超音波探触子を密着させた後、シリンダで超音波探触子を被測定物に押し付けている状態を示す断面図である。図５は、本実施例による超音波板厚測定装置を、図１の矢印Ａ、Ａに沿って見た断面図（図１のＡ−Ａ矢視図）である。図６は、本実施例による超音波板厚測定装置において、超音波探触子の測定面と被測定物の被測定面との密着状態を示す模式図である。なお、図１乃至図６において、同一の符号は、同一の部品を示している。
【００１５】
以下の実施例では、被測定物１が角形鋼管であり、角形鋼管の板厚を測定する例を説明する。ただし、本発明による超音波板厚測定装置は、角形鋼管だけでなく鋼板や丸形鋼管も、長さに拘らず被測定物１として板厚を測定することができる。
【００１６】
最初に、図１乃至図５を用いて、本実施例による超音波板厚測定装置の全体構成について説明する。図１では、超音波板厚測定装置の全体を示しているが、図２乃至図４では、超音波板厚測定装置の一部を示している。また、図２乃至図４では、被測定物１の一部（厚さが測定される面である被測定面１０ｂの部分）のみを示している。
【００１７】
本実施例による超音波板厚測定装置は、図１に示すように、超音波探触子２、リング状部材４、４本のピン６、リング状の弾性体３、ケース５、配管７、本体９、シリンダ８、ガイド１１、モータ１２、及び架台１３を備える。
【００１８】
超音波探触子２は、円筒形であり（図５を参照）、超音波を発射する測定面１０ａを有し、測定面１０ａを被測定物１の被測定面１０ｂに密着させて被測定物１の厚さを測定する（図２と図３を参照）。以下の説明では、超音波探触子２の測定面１０ａを単に「測定面１０ａ」と、被測定物１の被測定面１０ｂを単に「被測定面１０ｂ」と、それぞれ称する。なお、被測定面１０ｂは、測定面１０ａに対して角度θだけ傾斜しているとする。
【００１９】
リング状部材４は、金属製または樹脂製のリング状の部材であり、超音波探触子２の周囲を取り囲むように配置される（図５を参照）。以下、リング状部材４のことを単に「リング４」と称する。リング４の中心軸に平行な断面の大きさ（図１で示している断面の大きさ）は、後述するピン６により超音波探触子２を固定することができ、且つリング４と後述するリング状の弾性体３とが滑らないような摩擦力を発生することができる範囲で、任意に定めることができる。
【００２０】
ピン６は、超音波探触子２とリング４とを固定する。ピン６により、超音波探触子２の側面とリング４の内周側面との間に隙間が形成される（図１と図５を参照）。この隙間は、板厚の測定に用いる媒質を測定面１０ａまで供給する流路１７となる。流路１７はピン６の数（本実施例では４本）だけ形成されるが、ピン６は、流路１７の大きさが均等になるような位置に設けられて、超音波探触子２とリング４とを固定する。従って、超音波探触子２は、リング４の中央に配置される。
【００２１】
なお、本実施例では４本のピン６を用いているが、ピン６の数は、これに限られず、複数であればよい。ただし、ピン６の数が２本以下では超音波探触子２をリング４の中央に固定するのが困難であるので、３本以上が好ましい。また、ピン６の数が多すぎると、媒質の流路１７が小さくなり、必要な量の媒質を測定面１０ａまで供給できなくなる可能性がある。このため、ピン６の数は、４本が最も好ましい。
【００２２】
リング状の弾性体３は、リング４の外周側面に接するように配置され、リング４とピン６を介して超音波探触子２を拘束する（図１と図５を参照）。弾性体３は、リング状であればよく、中心軸に平行な断面形状（図１で示している断面形状）は、円、楕円、または四角形などの多角形でもよい。また、リング状の弾性体３の中心軸に平行な断面の大きさ（図１で示している断面の大きさ）は、超音波探触子２を拘束することができ、且つ弾性体３とリング４とが滑らないような摩擦力を発生することができる範囲で、任意に定めることができる。すなわち、弾性体３は、リング４から押圧力が加わるとリング４が摺動せずに（または殆ど摺動せずに）弾性体３が変形するような摩擦係数を、リング４に対して持つ。弾性体３には、ゴムや樹脂などの任意の材料を用いることができるが、緩やかに変形する粘弾性体を用いるのが好ましい。本実施例では、弾性体３として、硬度６５（アスカーＦ）の粘弾性エラストマーを用いる。
【００２３】
超音波探触子２は、リング４とピン６を介してリング状の弾性体３によって周囲を拘束されているので、周囲から弾性力を受ける。このため、測定面１０ａが被測定面１０ｂに密着する際に、弾性体３の弾性力によって任意の方向に任意の角度で傾斜することができる（図３を参照）。すなわち、超音波探触子２は、測定面１０ａが被測定面１０ｂに押し付けられる前と後で測定面１０ａの向きが変化するように（図２と図３を参照）、任意に傾斜可能である。従って、測定面１０ａは、被測定面１０ｂが測定面１０ａに対して角度θだけ傾いていても、被測定面１０ｂの傾きに一致するように傾斜することができる。
【００２４】
また、超音波探触子２は、測定面１０ａが被測定面１０ｂから離れると、弾性体３の弾性力により、傾斜しなくなって元の状態（図２に示した、測定面１０ａが被測定面１０ｂに密着する前の状態）に戻ることができる。すなわち、測定面１０ａは、被測定面１０ｂから離れると、弾性体３の弾性力によって、被測定面１０ｂに押し付けられる前の向きを向くことができる。
【００２５】
ケース５は、円筒状であり、超音波探触子２、リング４、ピン６、及びリング状の弾性体３を収納し、リング状の弾性体３を固定する。更に、ケース５は、超音波探触子２の側面とリング４の内周側面とが形成した流路１７まで媒質を供給するための流路を内部に備える。ケース５は、測定の際には被測定物１と対向し、被測定物１と対向する面から超音波探触子２の一部が突出する。
【００２６】
超音波探触子２は、リング状の弾性体３の弾性力によって傾斜可能にケース５に収納され、リング４とピン６は、超音波探触子２の傾斜に伴ってケース５の内部で傾斜する（図３を参照）。従って、ケース５は、測定面１０ａが被測定面１０ｂに密着する際に、超音波探触子２とリング４とピン６が傾斜しても干渉しないような空間を内部に有する。すなわち、ケース５は、超音波探触子２とリング４とピン６が任意の方向に任意の角度で傾斜しても、超音波探触子２とリング４とピン６がケース５に接触しないような大きさの空間を内部に有する。
【００２７】
配管７は、ケース５を支持する本体９に設けられ、ケース５に媒質を供給する。
【００２８】
本体９は、ケース５を支持し、配管７を備える。本体９には、超音波探触子２の座屈を防止するために、超音波探触子２の上部にストッパ部１４が設けられる。ストッパ部１４は、後述する測定ヘッド部１５が下方向に移動して、測定面１０ａが被測定面１０ｂに過度に押し付けられた際に、リング４に接触する。
【００２９】
シリンダ８は、本体９に取り付けられ、超音波探触子２に押し付け力を付加する可動部を有する。可動部は、図示していない駆動機構により上下に移動することができ、先端が球形状である。可動部は、この先端で超音波探触子２の上面を押して、超音波探触子２を被測定物１に押し付ける（図４を参照）。
【００３０】
ガイド１１は、ケース５と本体９とからなる測定ヘッド部１５を上下移動させる。測定ヘッド部１５がガイド１１に沿って下方向に移動していくと、測定面１０ａが被測定面１０ｂに密着していく。
【００３１】
モータ１２は、測定ヘッド部１５を、予め定めた一定のストローク量だけガイド１１に沿って上下移動させる。
【００３２】
架台１３は、受け台１６を備え、ガイド１１が取り付けられる。受け台１６には、被測定物１が載せ置かれる。
【００３３】
次に、本実施例による超音波板厚測定装置を用いた、被測定物１の板厚の測定手順について説明する。
【００３４】
まず、被測定物１である角形鋼管を、受け台１６に載せ置く。このときの超音波板厚測定装置の状態（初期状態）は、図１、図２、及び図５に示す状態である。
【００３５】
次に、測定面１０ａに媒質を供給する。媒質は、配管７から、ケース５に形成された流路及び超音波探触子２の側面とリング４の内周側面との間に形成された流路１７を介し、超音波探触子２の側面を伝って測定面１０ａに供給される。
【００３６】
媒質は、超音波を通しやすい液体であればよく、例えば水が好ましい。供給する媒質の量は、測定を行なう際に測定面１０ａを媒質で覆うことができる量でよい。また、供給する媒質は、超音波探触子２の側面とリング４の内周側面との間から落下させ、測定面１０ａが接触する被測定面１０ｂに付着させてもよい。
【００３７】
媒質を測定面１０ａに供給した後、架台１３に取り付けられたガイド１１に沿って、モータ１２により測定ヘッド部１５を予め定めた一定のストローク量だけ下ろし、測定面１０ａを被測定面１０ｂに押し当てる。図２に示すように、測定面１０ａに対して被測定面１０ｂが角度θの傾きを持つ場合であっても、超音波探触子２は弾性体３の弾性力によって任意の方向に任意の角度で傾斜することができるので、測定面１０ａは、被測定面１０ｂの傾きに一致するように傾くことができ、被測定面１０ｂに密着することができる（図３を参照）。このようにして、被測定面１０ｂが測定面１０ａに対して任意の方向に任意の角度で傾いていても、測定面１０ａを被測定面１０ｂに密着させて倣わせることができる。
【００３８】
測定面１０ａを被測定面１０ｂに倣わせた後、図３に示す状態にて板厚を測定する。板厚の測定には、公知の方法を用いることができる。例えば、測定面１０ａから超音波を発射し、被測定物１からの反射波を利用して、被測定物１の板厚を測定する。
【００３９】
モータ１２によって測定ヘッド部１５を下ろして測定面１０ａを被測定面１０ｂに押し当てただけでは測定面１０ａと被測定面１０ｂとの密着が十分でない場合は、図４に示すように、シリンダ８により超音波探触子２に押し付け力を付加する。すなわち、シリンダ８の可動部を押し下げ、超音波探触子２を被測定物１に押し付けて、測定面１０ａを被測定面１０ｂに更に密着させてから、板厚を測定する。このようにすると、被測定物１の板厚を更に精度よく測定することができる。測定面１０ａと被測定面１０ｂとの密着が十分か否かは、測定した板厚が妥当な値であるか否かに基づいて判断することができる。
【００４０】
以上説明したように、超音波探触子２は、ピン６とリング４とを介して、リング状の弾性体３によって周囲を拘束されている。弾性体３は、ケース５に拘束され、リング４から力を受けてもリング４が滑らないような摩擦力を発生することができる。また、測定面１０ａを被測定面１０ｂに押し当てて超音波探触子２を傾斜させると、リング状の弾性体３は、リング４から力を受けて変形する。この変形により、リング状の弾性体３には、元の形状に戻ろうとする弾性力（復元力）が生じる。このような摩擦力と弾性力も、測定面１０ａを被測定面１０ｂに押し付ける力となる。
【００４１】
測定面１０ａと被測定面１０ｂとを密着させると、リング状の弾性体３とリング４との間の摩擦力と弾性体３の弾性力により、超音波探触子２の傾斜が定められる。超音波探触子２の傾斜を安定させるために、測定面１０ａと被測定面１０ｂとを密着させる力（測定ヘッド部１５を下ろして超音波探触子２を被測定物１に押し当てる力と、シリンダ８が超音波探触子２を押し付ける力の和）は、弾性体３が持つ最大の弾性力よりも大きいのが好ましい。また、測定面１０ａと被測定面１０ｂとを離したときに、超音波探触子２は、弾性体３の弾性力によって、傾斜しない元の状態（図２に示した、測定面１０ａが被測定面１０ｂに密着する前の状態）に戻ることができる。
【００４２】
次に、図６を用いて、本実施例による超音波板厚測定装置における、測定面１０ａと被測定面１０ｂとの密着状態について説明する。図６において、二点鎖線で密着前の超音波探触子２を示し、実線で密着後の超音波探触子２を示している。被測定面１０ｂは、密着前の測定面１０ａに対して角度θだけ傾斜しているとする。また、密着前の超音波探触子２の中心線をＡで、中心をＢで示し、密着後の超音波探触子２の中心線をＡ’で、中心をＢ’で示す。
【００４３】
超音波探触子２を下ろして測定面１０ａを被測定面１０ｂに近付けていくと、測定面１０ａは、初めに、被測定面１０ｂとの距離が最も短い点（接触点Ｏ）で被測定面１０ｂと接する。その後、測定面１０ａを被測定面１０ｂに押し当てていくと、超音波探触子２が接触点Ｏを基準に傾いていき、測定面１０ａは接触点Ｏを基準にして被測定面１０ｂに接していき、最終的には測定面１０ａと被測定面１０ｂの傾きが一致して測定面１０ａと被測定面１０ｂは密着する。このとき、超音波探触子２の中心の位置は、密着前のＢから密着後のＢ’に移る。
【００４４】
本実施例による超音波板厚測定装置では、このように接触点Ｏを基準にして測定面１０ａが被測定面１０ｂに密着するため、被測定面１０ｂを傷つけることなく板厚を測定することができる。従来の超音波板厚測定装置では、ジンバルなどの多軸の機構を用いて測定面１０ａを被測定面１０ｂに密着させるが、この際には、これらの軸を中心として測定面１０ａを回転させるため、被測定面１０ｂの上を測定面１０ａが滑り、被測定面１０ｂに傷が付きやすい。本実施例による超音波板厚測定装置では、超音波探触子２は、弾性体３によって周囲を拘束されているため、自由度が高く任意の方向に任意の角度で傾くことができる。従って、測定面１０ａを被測定面１０ｂの上で滑らせることなく、接触点Ｏを基準にして測定面１０ａを被測定面１０ｂに密着させるので、被測定面１０ｂを傷つけることなく板厚を測定することができる。
【００４５】
なお、超音波探触子２が傾いて測定面１０ａが被測定面１０ｂに密着すると、板厚を測定すべき位置にズレが生じる可能性がある。すなわち、密着前の超音波探触子２の中心線Ａが被測定面１０ｂと交わる点Ｐ（板厚を測定すべき位置）と、密着後の超音波探触子２の中心線Ａ’が被測定面１０ｂと交わる点Ｐ’（実際に板厚を測定する位置）との間に位置のズレが発生する。しかし、板厚を測定すべき位置のズレ量Ｒ（点Ｐと点Ｐ’との距離）が超音波探触子２の直径２Ｌに対して無視できるほど小さければ、この位置のズレを無視することができる。測定面１０ａの密着前後の板厚を測定すべき位置のズレ量Ｒは、式（１）で表わすことができる。
【００４６】
【数１】
2014206476.tif 000003
【００４７】
なお、本発明は上記した実施例に限定されるものではなく、様々な変形例が含まれる。例えば、上記した実施例は本発明を分かりやすく説明するために詳細に説明したものであり、必ずしも説明した全ての構成を備えるものに限定されるものではない。また、ある実施例の構成の一部を他の実施例の構成に置き換えることが可能であり、また、ある実施例の構成に他の実施例の構成を加えることも可能である。また、各実施例の構成の一部について、他の構成の追加・削除・置換をすることが可能である。
【００４８】
また、上記の各構成、機能、処理部、処理手段等は、それらの一部または全部を、例えば集積回路で設計する等によりハードウェアで実現してもよい。また、上記の各構成、機能等は、プロセッサがそれぞれの機能を実現するプログラムを解釈し、実行することによりソフトウェアで実現してもよい。各機能を実現するプログラム、テーブル、ファイル、測定情報、算出情報等の情報は、メモリや、ハードディスク、ＳＳＤ（Ｓｏｌｉｄ  Ｓｔａｔｅ  Ｄｒｉｖｅ）等の記録装置、または、ＩＣカード、ＳＤカード、ＤＶＤ等の記録媒体に置くことができる。
【００４９】
また、制御線や情報線は説明上必要と考えられるものを示しており、製品上必ずしも全ての制御線や情報線を示しているとは限らない。実際には殆ど全ての構成が相互に接続されていると考えてもよい。
【符号の説明】
【００５０】
１…被測定物、２…超音波探触子、３…弾性体、４…リング（リング状部材）、５…ケース、６…ピン、７…配管、８…シリンダ、９…本体、１０ａ…測定面、１０ｂ…被測定面、１１…ガイド、１２…モータ、１３…架台、１４…ストッパ部、１５…測定ヘッド部、１６…受け台、１７…流路。
【図１】
2014206476.tif 000004
【図２】
2014206476.tif 000005
【図３】
2014206476.tif 000006
【図４】
2014206476.tif 000007
【図５】
2014206476.tif 000008
【図６】
2014206476.tif 000009