(57)【要約】【課題】  接着剤パターンの厚みが１００μｍ以上であっても、ボイドの発生が抑制され十分な接着強度で被着体同士が接着された接着物を得ることができる接着物の製造方法を提供すること。【解決手段】  本発明の接着物の製造方法は、第１の被着体と第２の被着体とが接着剤パターンを介して貼り合わされている接着物の製造方法であって、第１の被着体上に、厚み５〜９０μｍのフィルム状感光性接着剤が２枚以上貼り合わされてなる感光性接着剤層を設ける工程と、感光性接着剤層を露光し現像することにより接着剤パターンを形成する工程と、接着剤パターンに第２の被着体を貼り合わせる工程とを備える。【選択図】  なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の被着体と第２の被着体とが接着剤パターンを介して貼り合わされている接着物の製造方法であって、
第１の被着体上に、厚み５〜９０μｍのフィルム状感光性接着剤が２枚以上貼り合わされてなる感光性接着剤層を設ける工程と、
前記感光性接着剤層を露光し現像することにより接着剤パターンを形成する工程と、
前記接着剤パターンに第２の被着体を貼り合わせる工程と、
を備える、接着物の製造方法。
【請求項２】
前記感光性接着剤層の厚みが１００μｍ以上である、請求項１に記載の接着物の製造方法。
【請求項３】
前記フィルム状感光性接着剤が、バインダーポリマー、光重合性化合物、光重合開始剤及び熱硬化成分を含有する、請求項１又は２に記載の接着物の製造方法。
【請求項４】
支持フィルムと、該支持フィルム上に設けられた、厚み５〜９０μｍのフィルム状感光性接着剤が２枚以上貼り合わされてなる厚みが１００μｍ以上の感光性接着剤層と、を備える、感光性接着剤シート。
【請求項５】
前記フィルム状感光性接着剤が、バインダーポリマー、光重合性化合物、光重合開始剤及び熱硬化成分を含有する、請求項４に記載の感光性接着剤シート。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、接着物の製造方法及び感光性接着剤シートに関する。
【背景技術】
【０００２】
パターン化した接着剤層（以下、接着剤パターンという場合もある。）を得る方法として、（１）基材上に接着剤を印刷する方法、（２）接着フィルムを打ち抜く方法、（３）基材上に感光性を付与した接着剤層を設け、露光及び現像により接着剤層をパターン化する方法が知られている。（３）の方法に用いられる感光性接着剤組成物としては、例えば下記特許文献１〜３にポリイミド化合物を含有する感光性接着剤組成物が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平５−１９７１５９号公報
【特許文献２】特開平５−０４０３４０号公報
【特許文献３】特許第４３７５４８１号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記（１）の方法は、版の掃除が必要なため連続作業性が低く、またこの手法では端部まで平坦性を保つことは極めて難しく、接着剤と被着体との界面にボイドが発生しやすく、未接着部分の発生により十分な接着強度が得られないことがある。特に、接着剤パターンの厚さが１００μｍ以上になると、厚みのばらつきが大きくなることやパターンだれが著しくなることに起因して、形成したパターンの形状を保持することが困難である。
【０００５】
上記（２）の方法は、打ち抜きの際にかかる応力によって切断付近のフィルムが変形し、パターンの平坦性が低下する。特に微細な接着剤パターンを形成する場合や弾性率の低い接着フィルムを用いる場合、この平坦性の低下は無視できず、接着剤と被着体との界面にボイドが発生して十分な接着強度が得られないことがある。特に、接着剤パターンの厚さが１００μｍ以上になると、切断付近のフィルム変形の影響が無視できなくなるので、細線パターンなどを貼り付ける際の厚みや形状を維持することが困難である。
【０００６】
上記（３）の方法で用いられる感光性接着剤組成物によって厚さが１００μｍ以上の接着剤パターンを形成する場合、感光性接着剤層を形成する際の乾燥時に溶剤などの残存揮発分が揮発することによるボイドの発生、残存揮発分やフィラーの沈降などに起因する膜の乾燥面側と基材側での膜質の不均一化によって、均一な膜厚・膜質を有する平坦性に優れた接着剤パターンを形成することが難しい。また、８インチウェハ等の広い面積を有する基材上にワニス状態の感光性接着剤組成物をスピンコート等の方法により塗布する場合、形成する感光性接着剤層の厚みが増すにしたがって厚みのばらつきが大きくなる傾向にある。
【０００７】
本発明は、接着剤パターンの厚みが１００μｍ以上であっても、ボイドの発生が抑制され十分な接着強度で被着体同士が接着された接着物を得ることができる接着物の製造方法を提供することを目的とする。また、本発明は、厚みが１００μｍ以上の接着剤パターンを均一な厚みで形成することができる感光性接着剤シートを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために本発明は、第１の被着体と第２の被着体とが接着剤パターンを介して貼り合わされている接着物の製造方法であって、第１の被着体上に、厚み５〜９０μｍのフィルム状感光性接着剤が２枚以上貼り合わされてなる感光性接着剤層を設ける工程と、感光性接着剤層を露光し現像することにより接着剤パターンを形成する工程と、接着剤パターンに第２の被着体を貼り合わせる工程とを備える接着物の製造方法を提供する。
【０００９】
本発明の接着物の製造方法によれば、上述した厚み１００μｍ以上の感光性接着剤層を形成する際の問題が生じにくい厚み５〜９０μｍのフィルム状感光性接着剤から厚膜の感光性接着剤層を形成することにより、均一な厚み・均一な膜質を有し平坦性に優れた接着剤パターンを形成することができ、これにより、ボイドの発生が抑制され十分な接着強度で被着体同士が接着された接着物を得ることができる。
【００１０】
本発明の接着物の製造方法においては、上記感光性接着剤層の厚みを１００μｍ以上とすることができる。
【００１１】
上記フィルム状感光性接着剤は、感光性と接着性とを両立する観点から、バインダーポリマー、光重合性化合物、光重合開始剤及び熱硬化成分を含有することが好ましい。
【００１２】
本発明はまた、支持フィルムと、該支持フィルム上に設けられた、厚み５〜９０μｍのフィルム状感光性接着剤が２枚以上貼り合わされてなる厚みが１００μｍ以上の感光性接着剤層とを備える感光性接着剤シートを提供する。
【００１３】
本発明の感光性接着剤シートによれば、感光性接着剤層を基材上に貼り合わせ、露光及び現像を行うことにより、厚みが１００μｍ以上の接着剤パターンを均一な厚みで形成することができる。
【００１４】
上記フィルム状感光性接着剤は、感光性と接着性とを両立する観点から、バインダーポリマー、光重合性化合物、光重合開始剤及び熱硬化成分を含有することが好ましい。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、接着剤パターンの厚みが１００μｍ以上であっても、ボイドの発生が抑制され十分な接着強度で被着体同士が接着された接着物を得ることができる接着物の製造方法を提供することができる。また、本発明によれば、厚みが１００μｍ以上の接着剤パターンを均一な厚みで形成することができる感光性接着剤シートを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本実施形態に係る感光性接着剤シートの好適な実施形態を示す模式断面図である。
【図２】本発明に係る接着物の製造方法の一実施形態を説明するための模式断面図である。
【図３】本発明に係る接着物の製造方法の一実施形態を説明するための模式断面図である。
【図４】（ａ）は本発明に係る接着物の製造方法によって得られる固体撮像素子の一実施形態を模式的に示す上面図であり、（ｂ）は（ａ）の模式断面図である。
【図５】図４に示される固体撮像素子を製造する方法の一実施形態を説明するための図である。
【図６】（ａ）は本発明に係る接着物の製造方法によって得られる固体撮像素子の別の実施形態を模式的に示す上面図であり、（ｂ）は（ａ）の模式断面図である。
【図７】図６に示される固体撮像素子を製造する方法の一実施形態を説明するための図である。
【図８】固体撮像素子を備えるカメラモジュールの一実施形態を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
図２〜３は、本発明に係る接着物の製造方法の一実施形態を説明するための模式断面図である。以下、これらの図面に基づいて接着物の製造方法の各工程を説明する。
【００１８】
本実施形態に係る接着物の製造方法は、第１の被着体と第２の被着体とが接着剤パターンを介して貼り合わされている接着物の製造方法であって、第１の被着体４上に、厚み５〜９０μｍのフィルム状感光性接着剤１が２枚以上貼り合わされてなる感光性接着剤層１１を設ける第１工程（図２を参照）と、感光性接着剤層１１を露光し現像することにより接着剤パターン２０を形成する第２工程（図３の（ａ）及び（ｂ）を参照）と、接着剤パターン２０に第２の被着体６を貼り合わせる第３工程（図３の（ｃ）を参照）と、接着剤パターンを硬化させる第４工程と、を備える。
【００１９】
第１工程では、第１の被着体上に厚み５〜９０μｍのフィルム状感光性接着剤を順に２枚以上貼り合わせて感光性接着剤層を設けてもよく、或いは、予め厚み５〜９０μｍのフィルム状感光性接着剤を２枚以上貼り合わせた積層体を用意し、この積層体を第１の被着体上に貼り合わせて感光性接着剤層を設けてもよく、或いは、これらを組み合わせてもよい。
【００２０】
図１の（ａ）及び（ｂ）は、本実施形態に係る感光性接着剤層を設けるために用いられる感光性接着剤シートの好適な実施形態を示す模式断面図である。図１の（ａ）に示される感光性接着剤シート１０は、支持フィルム２と、支持フィルム２上に設けられた厚み５〜９０μｍのフィルム状感光性接着剤１とを有する。図１の（ｂ）に示される感光性接着剤シート１２は、支持フィルム２と、支持フィルム２上に５枚の厚み５〜９０μｍのフィルム状感光性接着剤１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄ，１ｅを貼り合わせてなる厚みが１００μｍ以上の感光性接着剤層１１とを有する。感光性接着剤層１１は、例えば、上記感光性接着剤シート１０を用いて形成することができる。
【００２１】
支持フィルム２としては、フィルム状接着剤を製造するときの加熱・乾燥条件に耐えるものであれば特に限定されず、ポリエチレンテレフタレートフィルムやポリエーテルナフタレートフィルム等のポリエステルフィルム、ポリエチレンフィルムやポリプロピレンフィルム、ポリメチルペンテンフィルム等のポリオレフィンフィルム、ポリイミドフィルム、ポリエーテルイミドフィルム、ポリカーボネートフィルムなどが挙げられる。これらのフィルムは、シリコーン系やシリカ系の離型剤で処理されたものであってもよい。
【００２２】
支持フィルム２の厚みは、加熱・乾燥時の変形抑制と作業性の観点から、５μｍ以上であることが好ましく、１０μｍ以上であることがより好ましい。一方で、厚みが厚すぎるとロール状にした際の巻き始めの段差が大きくなり、接着剤に段差が転写する不具合が発生する傾向にあるため、厚みは３００μｍ以下であることが好ましく、１００μｍ以下であることがより好ましく、６０μｍ以下であることがより好ましい。
【００２３】
本実施形態に係るフィルム状感光性接着剤は、バインダーポリマー、光重合性化合物、光重合開始剤、その他添加剤の配合により得られ、それらの混合溶液をフィルムのような基材に塗布して製造することができる。
【００２４】
本実施形態に係るフィルム状感光性接着剤は、接着強度の観点から、硬化成分を含有することが好ましい。硬化成分としては、例えば、熱により架橋反応を起こしうる反応性化合物、光により架橋反応を起こしうる反応性化合物が挙げられる。中でも、被着体の選択肢が広く、一度に均一に硬化反応を進ませることが容易である点から熱硬化成分を含有することが好ましい。ここで、熱硬化成分とは、熱によって反応を起こして高分子の網目構造を形成し、硬化して元に戻らなくなる樹脂又は上記反応に係る化合物を意味する。
【００２５】
好ましいフィルム状感光性接着剤としては、バインダーポリマー、光重合性化合物、光重合開始剤及び熱硬化成分を含有する感光性接着剤組成物をフィルム状に形成したものが挙げられる。
【００２６】
具体的なバインダーポリマーとしては、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）等に代表されるポリエステル、イミド骨格を有する熱可塑性樹脂、ポリアミド骨格を有する熱可塑性樹脂、ポリ（ベンゾオキサゾール）骨格を有する熱可塑性樹脂、アクリル樹脂、フェノール性水酸基を有する樹脂などが挙げられる。フェノール性水酸基を有する樹脂としては、ポリベンゾオキサゾール前駆体等が挙げられる。
【００２７】
バインダーポリマーとしては、現像性の観点から、酸性の官能基又は塩基性の官能基を有するものが好ましい。アルカリ現像の場合は酸性の官能基を有するバインダーポリマーを配合することが好ましく、酸現像の場合は塩基性の官能基を有するバインダーポリマーを配合することが好ましい。酸性の官能基としては、カルボキシル基、ヒドロキシル基が挙げられる。塩基性の官能基としては、アミノ基が挙げられる。
【００２８】
またバインダーポリマーは、耐熱性、被着体への密着性の観点からイミド骨格を有する熱可塑性樹脂、芳香族ポリアミド骨格を有する熱可塑性樹脂、全芳香族ポリアミドや、ポリイミドの前駆体、ポリベンゾオキサゾール骨格を有する熱可塑性樹脂、又はポリベンゾオキサゾール前駆体、であることが好ましい。「耐熱性」とは、第１の被着体と第２の被着体とを接着剤パターンを介して熱圧着し接着剤パターンを硬化させて得られる接着物について、高温下に置いた際の耐はく離性を指す。
【００２９】
バインダーポリマーの重量平均分子量（以下、「Ｍｗ」という。）は５０００〜１５００００であることが好ましく、１００００〜１０００００がより好ましく、１００００〜６００００が更により好ましい。上記バインダーポリマーのＭｗが５０００より小さいと、フィルム形成性が低下する傾向にあり、１５００００を超えるとアルカリ現像液への溶解性が低下し、現像時間が長くなる傾向にある。上記の範囲内とすることにより、半導体素子を半導体素子搭載用支持基材に接着固定する際の熱溶融時の流動性を確保できるという効果も得られる。
【００３０】
本明細書において、バインダーポリマーの重量平均分子量とは、ＧＰＣ（ゲル浸透クロマトグラフィー）法により、ポリスチレン標準物質を用いて作成した検量線を基に算出した値を意味する。
【００３１】
本実施形態のフィルム状感光性接着剤は、可塑性を付与する観点から、バインダーポリマーとして、下記一般式（１）で表わされる構造単位を有するポリベンゾオキサゾール前駆体を含むことが好ましい。
【００３２】
【化１】
2014189626.tif 000002
【００３３】
一般式（１）中、Ｕは４価の有機基であり、Ｖは２価の有機基を示す。但し、Ｕは、ベンゾオキサゾールを形成できるフェニル基を含む。
【００３４】
一般式（１）で表される構造単位は、Ｕが、ジフェニル、ジフェニルエーテル、ジフェニルチオエーテル、ベンゾフェノン、ジフェニルメタン、ジフェニルプロパン、ジフェニルヘキサフルオロプロパン、ジフェニルスルホキシド、ジフェニルスルホン、ビフェニル、ベンゼン等の骨格を有する四価の芳香族炭化水素残基であることが好ましい。炭素原子数としては、６〜３０が好ましい。より好ましい基は、ジフェニルヘキサフルオロプロパン、ジフェニルエーテル、ビフェニルである。なお、必要に応じて、Ｕとして上記にて例示した基の二種類以上を含有させることもできる。Ｖは、ベンゼン、ナフタレン、ペリレン、ビフェニル、ジフェニルエーテル、ジフェニルスルホン、ジフェニルプロパン、ジフェニルヘキサフルオロプロパン、ベンゾフェノン等の骨格を有する二価の芳香族炭化水素残基、ブタン、シクロブタン等の骨格を有する二価の脂肪族炭化水素残基が典型的な例として例示されるが、これらに限定されるものではない。炭素原子数としては、４〜３０が好ましい。好ましい基としては、フェニル、ビフェニル、ジフェニルエーテル、ジフェニルヘキサフルオロプロパンである。なお、必要に応じて、Ｖとして上記にて例示した基の二種類以上を含有させることもできる。
【００３５】
また、本実施形態のフィルム状感光性接着剤は、熱時の弾性率向上の観点から、バインダーポリマーとして、下記一般式（２）で表わされる構造単位を有するポリベンゾオキサゾール前駆体を含むことが好ましい。
【００３６】
【化２】
2014189626.tif 000003
一般式（２）中、Ｕ１及びＶ１は２価の有機基を示し、Ｕ１及びＶ１のうちの少なくとも一方が炭素数１〜３０の脂肪族鎖状構造を含む基である。炭素数１〜３０の脂肪族鎖状構造を含む基としては、下記一般式（３）で表される基が好ましい。
【００３７】
【化３】
2014189626.tif 000004
一般式（３）中、Ｒ１１及びＲ１２は、各々独立に水素原子、フッ素原子、炭素数１〜６のアルキル基又はトリフルオロメチル基であり、ａは１〜３０の整数を示す。
【００３８】
ポリベンゾオキサゾール前駆体の重量平均分子量は、５０００〜６００００であることが好ましく、１００００〜５００００であることがより好ましく、２００００〜４００００であることがさらに好ましい。重量平均分子量が上記範囲内であると現像性を十分確保しつつ接着剤の硬化物の可塑性、製膜性及び耐熱性をバランスよく得ることができる。
【００３９】
光重合性化合物としては、単官能モノマー及び多官能モノマーが挙げられる。単官能モノマー及び多官能モノマーは、紫外線等が照射されることにより光重合開始剤が発生させたラジカルにより、高分子バインダーや他の多官能モノマーと反応し、架橋構造を形成することで、フィルム状感光性接着剤の溶解性を減少させる働きを有する化合物が好ましい。
【００４０】
単官能モノマー及び多官能モノマーとしては、分子内にエチレン性不飽和基を有する化合物が挙げられる。具体的には、ビスフェノールＡ系（メタ）アクリレート化合物、多価アルコールにα，β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物、グリシジル基含有化合物にα，β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物、ウレタン結合を有する（メタ）アクリレート化合物等のウレタンモノマー又はウレタンオリゴマー、（メタ）アクリル酸アルキルエステル等が挙げられる。これら以外にも、ノニルフェノキシポリオキシエチレンアクリレート、γ−クロロ−β−ヒドロキシプロピル−β’−（メタ）アクリロイルオキシエチル−ｏ−フタレート、β−ヒドロキシアルキル−β’−（メタ）アクリロイルオキシアルキル−ｏ−フタレート等のフタル酸系化合物、（メタ）アクリル酸アルキルエステル、ＥＯ変性ノニルフェニル（メタ）アクリレート、１，６−ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、１，４−シクロヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリオキシエチレンポリオキシプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート等のポリオキシアルキレングリコールジ（メタ）アクリレート、２−ジ（ｐーヒドロキシフェニル）プロパンジ（メタ）アクリレート、グリセロールトリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ポリオキシプロピルトリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ポリオキシエチルトリメチロールプロパントリアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテルトリ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＡジグリシジルエーテルジ（メタ）アクリレート等が挙げられる。これらは１種類を単独で又は２種類以上を組み合わせて用いることができる。
【００４１】
本明細書において、（メタ）アクリル酸とはアクリル酸又はそれに対応するメタクリル酸を意味し、（メタ）アクリレートとはアクリレート又はそれに対応するメタクリレートを意味し、（メタ）アクリロイル基とはアクリロイル基又はそれに対応するメタクリロイル基を意味し、（メタ）アクリロキシ基とはアクリロキシ基又はそれに対応するメタクリロキシ基を意味する。
【００４２】
ビスフェノールＡ系（メタ）アクリレート化合物としては、例えば、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシポリエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシポリプロポキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシポリブトキシ）フェニル）プロパン及び２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシポリエトキシポリプロポキシ）フェニル）プロパンが挙げられる。
【００４３】
２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシジエトキシ）フェニル）プロパンは、ＢＰＥ−２００（新中村化学工業株式会社製、商品名）として商業的に入手可能であり、２，２−ビス（４−（メタクリロキシペンタエトキシ）フェニル）プロパンは、ＢＰＥ−５００（新中村化学工業株式会社製、商品名）又はＦＡ−３２１Ｍ（日立化成工業株式会社製、商品名）として商業的に入手可能であり、２，２−ビス（４−（メタクリロキシペンタデカエトキシ）フェニル）プロパンは、ＢＰＥ−１３００（新中村化学工業株式会社製、商品名）として商業的に入手可能である。
【００４４】
２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシポリエトキシポリプロポキシ）フェニル）プロパンとしては、例えば、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシジエトキシオクタプロポキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシテトラエトキシテトラプロポキシ）フェニル）プロパン及び２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシヘキサエトキシヘキサプロポキシ）フェニル）プロパンが挙げられる。これらは１種類を単独で又は２種類以上を組み合わせて用いることができる。
【００４５】
多価アルコールにα，β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物としては、例えば、α，β−不飽和カルボン酸として（メタ）アクリル酸等を用いたものが挙げられる。具体的には、エチレン基の数が２〜１４であるポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、プロピレン基の数が２〜１４であるポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、エチレン基の数が２〜１４でありプロピレン基の数が２〜１４であるポリエチレン・ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ＥＯ変性トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ＰＯ変性トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ＥＯ・ＰＯ変性トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタンテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート等が挙げられる。これらは１種類を単独で又は２種類以上を組み合わせて用いることができる。
【００４６】
なお、「ＥＯ」とは「エチレンオキシド」のことをいい、「ＰＯ」とは「プロピレンオキシド」のことをいう。また、「ＥＯ変性」とはエチレンオキシドユニット（−ＣＨ２−ＣＨ２−Ｏ−）のブロック構造を有することを意味し、「ＰＯ変性」とはプロピレンオキシドユニット（−ＣＨ２−ＣＨ（ＣＨ３）−Ｏ−）（−ＣＨ（ＣＨ３）−ＣＨ２−Ｏ−）又は（−ＣＨ２−ＣＨ２−ＣＨ２−Ｏ−）のブロック構造を有することを意味する。
【００４７】
グリシジル基含有化合物にα，β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物としては、α，β−不飽和カルボン酸として（メタ）アクリル酸等を用いたものが挙げられる。具体的には、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテルトリ（メタ）アクリレート、２，２−ビス（４−（メタ）アクリロキシ−２−ヒドロキシ−プロピルオキシ）フェニル等が挙げられる。
【００４８】
ウレタンモノマーとしては、例えば、β位にＯＨ基を有する（メタ）アクリルモノマーとイソホロンジイソシアネート、２，６−トルエンジイソシアネート、２，４−トルエンジイソシアネート、１，６−ヘキサメチレンジイソシアネート等のジイソシアネート化合物との付加反応物、トリス（（メタ）アクリロキシテトラエチレングリコールイソシアネート）ヘキサメチレンイソシアヌレート、ＥＯ変性ウレタンジ（メタ）アクリレート、及び、ＥＯ又はＰＯ変性ウレタンジ（メタ）アクリレートが挙げられる。
【００４９】
（メタ）アクリル酸アルキルエステルとしては、例えば、（メタ）アクリル酸メチルエステル、（メタ）アクリル酸エチルエステル、（メタ）アクリル酸ブチルエステル及び（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシルエステルが挙げられる。
【００５０】
上記の光重合性化合物は、１種類を単独で又は２種類以上を組み合わせて用いることができる。
【００５１】
光重合性化合物は、密着性、解像性等のパターニング性を良好にする観点から、ビスフェノールＡ系（メタ）アクリレート化合物を含むことが好ましく、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシポリエトキシ）フェニル）プロパンを含むことがより好ましい。また、光重合性化合物は、低弾性な硬化膜が得られるため熱圧着時の圧着性に優れる観点から、ウレタンモノマー又はウレタンオリゴマーを含むことが好ましい。
【００５２】
本実施形態のフィルム状感光性接着剤における光重合性化合物の含有量は、密着性及び解像性を向上し、さらに低吸湿率、低透湿率を高水準で達成する観点から、バインダーポリマー及び光重合性化合物の合計１００質量部に対して、２０〜６０質量部であることが好ましく、３０〜５０質量部であることがより好ましく、３０〜４５質量部であることがさらに好ましい。
【００５３】
光重合開始剤は、電磁波、特に、紫外線を吸収し、解裂及び／又は他分子からの水素引きぬきを行い、ラジカルを発生させるものが挙げられ、常法によって合成された化合物、或いは、市販の化合物を用いることができる。
【００５４】
光重合開始剤としては、例えば、ベンゾフェノン、Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’−テトラメチル−４，４’−ジアミノベンゾフェノン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン−１、２−メチル−１−（４−メチルチオフェニル）−２−モルホリノプロパノン−１−オン、ミヒラーズケトン［４，４’−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン］、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン等の芳香族ケトン類、ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）−フェニルフォスフィンオキサイド、２，４，６−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−フォスフィンオキサイド等のアシルフォスフィンオキサイド類、２−エチルアントラキノン、オクタエチルアントラキノン、１，２ーベンズアントラキノン、２，３−ベンズアントラキノン、２−フェニルアントラキノン、２，３−ジフェニルアントラキノン、１−クロロアントラキノン、２−クロロアントラキノン、２−メチルアントラキノン、１，４−ナフトキノン、９，１０−フェナントラキノン、２−メチル１，４−ナフトキノン、２，３−ジメチルアントラキノン、３−クロロ−２−メチルアントラキノン、アルキルアントラキノン等のキノン類、ベンゾインアルキルエーテル等のベンゾインエーテル化合物、ベンゾイン、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインフェニルエーテル、メチルベンゾイン、エチルベンゾイン、アルキルベンゾイン等のベンゾイン化合物、ベンジルジメチルケタール、ベンジルジエチルケタール等のベンジル誘導体、２，４，５−トリアリールイミダゾール二量体、２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾリル二量体等のビイミダゾール化合物、９−フェニルアクリジン、１，７−ビス（９，９’−アクリジニル）ヘプタン等のアクリジン誘導体、Ｎ−フェニルグリシン、Ｎ−フェニルグリシン誘導体、クマリン系化合物、チオキサントン類とアルキルアミノ安息香酸の組み合わせ、例えば、エチルチオキサントンとジメチルアミノ安息香酸エチル、２−クロルチオキサントンとジメチルアミノ安息香酸エチル、イソプロピルチオキサントンとジメチルアミノ安息香酸エチルとの組み合わせ、また、２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾリル二量体とミヒラーズケトンとの組み合わせ；９−フェニルアクリジン等のアクリジン類、１−フェニル−１，２−プロパンジオン−２−ｏ−ベンゾイルオキシム、１−フェニル−１，２−プロパンジオン−２−（ο−エトキシカルボニル）オキシム等のオキシムエステル類などが挙げられる。これらは１種類を単独で又は２種類以上を組み合わせて用いることができる。
【００５５】
市販の光重合開始剤としては、例えば、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン−１はイルガキュア−３６９（商品名、チバスペシャリティーケミカルズ株式会社製）、２−メチル−１−（４−メチルチオフェニル）−２−モルホリノプロパノン−１−オンはイルガキュア−９０７（商品名、チバスペシャリティーケミカルズ株式会社製）、ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）−フェニルフォスフィンオキサイドはイルガキュア−８１９（商品名、チバスペシャリティーケミカルズ株式会社製）が入手可能である。
【００５６】
上述した化合物の中でも、感度及び接着剤の底部硬化性を良好にできる観点からアシルフォスフィンオキサイド類が好ましく、ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）−フェニルフォスフィンオキサイドがより好ましい。
【００５７】
光重合開始剤は、１種を単独で又は２種以上を組み合わせて使用することができる。
【００５８】
本実施形態のフィルム状感光性接着剤における光重合開始剤の含有量は、感度及び現像後のパターン形状を良好にする観点から、バインダーポリマー及び光重合性化合物の合計１００質量部に対して、０．１〜２０質量部であることが好ましく、１〜１０質量部であることが好ましく、１〜５質量部であることがより好ましい。
【００５９】
熱硬化成分としては、例えば、熱硬化性樹脂、硬化剤及び硬化促進剤が挙げられる。熱硬化性樹脂を配合する場合には硬化剤を併用することができる。本発明において熱硬化性樹脂とは、熱により架橋反応を起こしうる反応性化合物をいう。このような化合物としては、例えば、エポキシ樹脂、シアネート樹脂、ビスマレイミド樹脂、フェノール樹脂、ユリア樹脂、メラミン樹脂、アルキド樹脂、アクリル樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ジアリルフタレート樹脂、シリコーン樹脂、レゾルシノールホルムアルデヒド樹脂、キシレン樹脂、フラン樹脂、ポリウレタン樹脂、ケトン樹脂、トリアリルシアヌレート樹脂、ポリイソシアネート樹脂、トリス（２−ヒドロキシエチル）イソシアヌラートを含有する樹脂、トリアリルトリメリタートを含有する樹脂、シクロペンタジエンから合成された熱硬化性樹脂及び芳香族ジシアナミドの三量化による熱硬化性樹脂が挙げられる。中でも、高温において優れた接着力を持たせることができる点で、エポキシ樹脂、シアネート樹脂及びビスマレイミド樹脂が好ましく、取り扱い性及びイミド骨格を有する樹脂との相溶性の点からエポキシ樹脂が特に好ましい。これら熱硬化性樹脂は単独で又は二種類以上を組み合わせて用いることができる。
【００６０】
エポキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノール型エポキシ樹脂、ノボラック型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂及び多官能エポキシ樹脂が挙げられる。
【００６１】
ビスフェノール型エポキシ樹脂としては、ビスフェノールＡ型或いはビスフェノールＦ型と、エピクロルヒドリンとを反応させて得られるものが挙げられる。具体的には、チバガイギー社製ＧＹ−２６０、ＧＹ−２５５、ＸＢ−２６１５、ジャパンエポキシレジン社製エピコート８２８，１００７，８０７、新日本理化株式会社製ＢＥＯ−６０Ｅ、大日本インキ化学工業社製８５０−Ｓ等のビスフェノールＡ型、ビスフェノールＦ型、水添ビスフェノールＡ型、アミノ基含有、脂環式又はポリブタジエン変性等のエポキシ樹脂が好適に用いられる。
【００６２】
ノボラック型エポキシ樹脂としては、フェノール、クレゾール、ハロゲン化フェノール及びアルキルフェノール等のフェノール類とホルムアルデヒドとを酸性触媒下で反応して得られるノボラック類と、エピクロルヒドリンとを反応させて得られるものが挙げられる。具体的には、東都化成社製ＹＤＣＮ−７０１，７０４、ＹＤＰＮ−６３８，６０２、ダウ・ケミカル社製ＤＥＮ−４３１，４３９、チバガイギー社製ＥＰＮ−１２９９、大日本インキ化学工業社製Ｎ−７３０、７７０、８６５、６６５、６７３、ＶＨ−４１５０，４２４０、日本化薬社製ＥＯＣＮ−１２０、ＢＲＥＮ等を用いることができる。
【００６３】
その他の構造を有するエポキシ樹脂としては、例えば、ジグリシジルエーテル型エポキシ樹脂（三井化学株式会社製ＶＧ−３０１０Ｌ等）、サリチルアルデヒド−フェノール型又はクレゾール型エポキシ樹脂（日本化薬社製ＥＰＰＮ５０２Ｈ、ＦＡＥ２５００等）、大日本インキ化学工業社製エピクロン８４０，８６０，３０５０、ダウ・ケミカル社製ＤＥＲ−３３０，３３７，３６１、ダイセル化学工業社製セロキサイド２０２１、三菱ガス化学社製ＴＥＴＲＡＤ−Ｘ，Ｃ、日本曹達社製ＥＰＢ−１３，２７等も使用することができる。これらは単独で又は２種類以上を組み合わせて使用でき、混合物或いはブロック共重合物を用いてもよい。
【００６４】
エポキシ樹脂は、被着体同士の接着時の接着強度や硬化膜の信頼性をさらに向上させる観点から、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂及び／又は多官能エポキシ樹脂を含むことが好ましく、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂及び多官能エポキシ樹脂を含むことがより好ましい。多官能エポキシ樹脂としては、硬化膜の信頼性をさらに向上させる観点から、ジグリシジルエーテル型エポキシ樹脂が特に好ましい。
【００６５】
本実施形態のフィルム状感光性接着剤における熱硬化性樹脂の含有量は、バインダーポリマー及び光重合性化合物の合計１００質量部に対して、３〜４０質量部であることが好ましく、５〜３５質量部であることがより好ましく、７〜３０質量部であることがさらに好ましく、１０〜２５質量部であることが特に好ましい。熱硬化性樹脂の含有量が上記範囲内であると、含有量が上記範囲外である場合と比較して、現像性を確保しつつ熱硬化後の硬化膜が脆くなることを抑制することが容易となる。
【００６６】
エポキシ樹脂を使用する場合、エポキシ樹脂の硬化剤又は硬化促進剤を使用することが好ましく、これらを併用することがより好ましい。硬化剤及び硬化促進剤は、１種を単独で又は２種以上を組み合わせて使用することができる。
【００６７】
硬化剤としては、例えば、フェノール系化合物、脂肪族アミン、脂環族アミン、芳香族ポリアミン、ポリアミド、脂肪族酸無水物、脂環族酸無水物、芳香族酸無水物、ジシアンジアミド、有機酸ジヒドラジド、三フッ化ホウ素アミン錯体、イミダゾール類、第３級アミン及び分子中に少なくとも２個のフェノール性水酸基を有するフェノール系化合物が挙げられる。これらの中でも、アルカリ水溶液への溶解性に優れる点から、分子中に少なくとも２個のフェノール性水酸基を有するフェノール系化合物が好ましい。
【００６８】
硬化促進剤としては、エポキシ樹脂を硬化させるために用いられる化合物が挙げられる。このような化合物としては、例えば、イミダゾール類、ジシアンジアミド誘導体、ジカルボン酸ジヒドラジド、トリフェニルホスフィン、テトラフェニルホスホニウムテトラフェニルボレート、２−エチル−４−メチルイミダゾール−テトラフェニルボレート及び１，８−ジアザビシクロ［５．４．０］ウンデセン−７−テトラフェニルボレートが用いられる。これらは、２種以上を併用してもよい。
【００６９】
本実施形態のフィルム状感光性接着剤は、カップリング剤を含有することができる。カップリング剤としては、シランカップリング剤、チタン系カップリング剤等が挙げられる。
【００７０】
基板との密着性及び硬化膜の信頼性をさらに向上する観点から、本実施形態のフィルム状感光性接着剤はシランカップリング剤を含むことが好ましい。
【００７１】
シランカップリング剤としては、有機官能基と加水分解基とを分子内に有するものであれば特に制限はなく、有機官能基としては、例えば、ビニル其、エポキシ基、メタクリル基、アミノ基及びメルカプト基が挙げられ、加水分解基としては、例えば、アルコキシ基、クロル基、アセトキシ基、オキシム基、イソプロペノキシ基及びアミド基が挙げられる。工業的には加水分解反応の制御範囲が広く、ハンドリングが容易であるアルコキシ基を加水分解基に用いる場合が多い。
【００７２】
シランカップリング剤としては、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス（２−メトキシエトキシ）シラン、Ｎ−（２−アミノエチル）３−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、Ｎ−（２−アミノエチル）３−アミノプロピルトリメトキシシラン、３−アミノプロピルトリエトキシシラン、３−アミノプロピルトリメトキシシラン、３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、３−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、３−イソシアネートプロピルトリエトキシシラン、３−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、３−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、３−ウレイドプロピルトリエトキシシラン、Ｎ−（１，３―ジメチルブチリデン）−３−（トリエトキシシリル）−１−プロパンアミン、Ｎ，Ｎ’―ビス［３−（トリメトキシシリル）プロピル］エチレンジアミン、ポリオキシエチレンプロピルトリアルコキシシラン、及びポリエトキシジメチルシロキサンが挙げられる。これらは１種類を単独で又は２種類以上を組み合わせて用いることができる。
【００７３】
フィルム状感光性接着剤におけるカップリング剤の含有量は、バインダーポリマー及び光重合性化合物の合計１００質量部に対して、１〜１０質量部であることが好ましく、１〜７質量部であることがより好ましく、１〜５質量部であることがさらに好ましい。カップリング剤の含有量が上記範囲内であると、密着性を向上させる効果を十分得ながら、接着剤の安定性等の特性への影響を十分小さくすることができる。
【００７４】
本実施形態のフィルム状感光性接着剤はフィラーを含有することができる。フィラーとしては、有機フィラー、無機フィラーが挙げられ、熱時の弾性率向上の点で無機フィラーが好ましい。
【００７５】
無機フィラーとしては、接着剤に低熱膨張性、低吸湿率を付与する目的で添加されるものが挙げられ、例えば、シリカ、アルミナ、チタニア、ガラス、酸化鉄及びセラミックの無機絶縁体を単独又は２種以上混合して用いることができる。
【００７６】
有機フィラーとしては、有機ポリマーを微粒子化したものを用いることができ、例えば、アクリル樹脂系、フェノール樹脂系、アラミド樹脂系、ポリイミド樹脂系の微粒子、天然繊維のセルロース系微粒子が挙げられる。
【００７７】
感光性の観点から、フィラーは、一次粒径がサブミクロン以下であることが好ましい。また、フィラーは、相溶性、分散性、樹脂との結合や、相互作用を目的に、表面処理を施したものを用いることができる。
【００７８】
フィルム状感光性接着剤におけるフィラーの含有量は、耐熱性と感光性を両立する観点から、バインダーポリマー及び光重合性化合物の合計１００質量部に対して、０〜１００質量部であることが好ましく、０〜５０質量部であることがより好ましく、０〜３０質量部であることがさらに好ましい。
【００７９】
本実施形態のフィルム状感光性接着剤は、必要に応じて、上記以外のビニル化合物、光重合開始剤、可塑剤、染料、顔料、イメージング剤、充填剤等を配合して使用することができる。
【００８０】
図１の（ａ）に示されるフィルム状感光性接着剤１を備える接着剤シート１０は以下のようにして製造することができる。
【００８１】
まず、上述した、バインダーポリマー、光重合性化合物、光重合開始剤及び熱硬化成分等の各成分を有機溶媒に溶解する。ここで用いられる有機溶媒は、上記材料を均一に溶解又は混練できるものであれば特に制限はなく、そのようなものとしては、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、Ｎ−メチルピロリドン、ジメチルスルホキシド、ジエチレングリコールジメチルエーテル、トルエン、ベンゼン、キシレン、メチルエチルケトン、テトラヒドロフラン、エチルセロソルブ、エチルセロソルブアセテート、ブチルセロソルブ、ジオキサン等が挙げられる。次いで、必要に応じて、硬化促進剤、無機フィラー及び他の添加剤を加え、混合する。この場合、通常の攪拌機、らいかい機、三本ロール、ボールミルなどの分散機を適宜組み合せて、混練を行ってもよい。
【００８２】
こうして得たペースト状混合物（感光性接着剤組成物）を、支持フィルム２上に均一に塗布し、使用した溶媒が充分に揮散する条件、例えば、６０〜２００℃の温度で０．１〜３０分間加熱することにより、フィルム状感光性接着剤１を形成する。このとき、フィルム状感光性接着剤１の厚みが５〜９０μｍとなるように、ペースト状混合物の溶剤量、粘度の調整や、塗布初期の厚み（ダイコーターやコンマコーターなどのコーターを用いる場合はコーターと支持フィルム２のギャップを調整する）、乾燥温度、風量等を調整する。
【００８３】
感光性や接着力などに係る膜質を均一にする観点から、フィルム状感光性接着剤１の厚みは、５〜７５μｍが好ましく、１０〜７０μｍがより好ましい。
【００８４】
支持フィルム２は、感光性接着剤層或いはその後形成される接着剤パターンの表面に平坦性を持たせる観点から、平坦性を有することが好ましい。例えば、ＰＥＴフィルムのような支持フィルムは静電気による密着が高いため、作業性を向上するために平滑剤を使用している場合がある。平滑剤の種類や濃度によっては、接着剤に微少な凹凸を転写し平坦性を下げる場合がある。したがって、平滑剤を使用していない支持フィルムや、平滑剤の少ない支持フィルムを使用することが好ましい。またポリエチレンフィルム等の支持フィルムは柔軟性に優れる点で好ましいが、ラミネート時にロール痕などが感光性接着剤層表面に転写しないよう、支持フィルムの厚さや密度を適宜選択することが好ましい。
【００８５】
図１の（ｂ）に示される感光性接着剤シート１２は、感光性接着剤シート１０を５枚作製し、これらのフィルム状感光性接着剤を順に貼り合わせて感光性接着剤層１１を形成することにより作製することができる。
【００８６】
感光性接着剤シート１２においては、感光性接着剤層１１の厚みを、第１の被着体及び第２の被着体を接着する接着剤パターンの厚みと同じ、又は、現像工程での膜べり、硬化収縮などの工程を考慮して最終的に所望の厚みになるように計算された厚みにすることで、一回の貼り合わせによって第１の被着体上に所望の感光性接着剤層を設けることができる。
【００８７】
感光性接着剤シート１２が有する感光性接着剤層１１の厚みは１００μｍ以上が好ましく、２００〜２０００μｍがより好ましく、３００〜１５００μｍが更に好ましい。
【００８８】
次に、第１の被着体４上に、厚み５〜９０μｍのフィルム状感光性接着剤１が２枚以上貼り合わされてなる感光性接着剤層１１を設ける第１工程について説明する。
【００８９】
第１の被着体４としては、ガラス基板や透明樹脂基板等の透明基板、Ｓｉウェハ等の半導体ウェハ、半導体基板、有機基板、金属基板、セラミック基板などが挙げられる。透明樹脂基板としては、例えば、アクリル樹脂、ポリカーボネート樹脂、メチルメタクリレート・スチレン樹脂、透明ＡＢＳ樹脂、メチルメタクリレート・ブタジエン・スチレン、などのスチレン系特殊透明樹脂からなる透明樹脂基板が挙げられる。
【００９０】
第１工程では、図２の（ａ）及び（ｂ）に示されるように、感光性接着剤シート１０を複数用い、これらのフィルム状感光性接着剤をラミネーター１３によって順に貼り合わせていき、感光性接着剤層１１を形成する。図２の（ｃ）には、５枚のフィルム状感光性接着剤１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄ，１ｅが貼り合されてなる感光性接着剤層１１が示されている。
【００９１】
フィルム状感光性接着剤のラミネート方法としては、例えば、ロールラミネート、真空ラミネートなど公知の方法が挙げられる。ラミネートの条件としては、ラミネート温度がフィルム状感光性接着剤のガラス転移温度（Ｔｇ）以上且つ熱硬化成分が反応しない温度が好ましく、１０℃〜１８０℃の範囲で、ロール圧力０．００１Ｎ／ｃｍ以上、ロール速度０．０１ｍｍ／ｓ以上の条件が挙げられる。
【００９２】
感光性接着剤層１１の厚みＨ１は、接着物の種類によって設定されるが、本実施形態においては１００μｍ以上であっても、膜厚方向の特性のばらつきが少ない感光性接着剤層を均一な厚みで形成することができる。膜厚が厚くなるほどフィルム端部からの感光性接着剤の染み出しが多くなり、接着剤の保管の観点から、厚みＨ１は２０００μｍ以下であることが好ましく、１５００μｍ以下であることがより好ましい。
【００９３】
本実施形態では、感光性接着剤シート１０を用いて感光性接着剤層１１を形成しているが、感光性接着剤シート１２を用いて一回のラミネートによって感光性接着剤層１１を形成してもよい。
【００９４】
感光性接着剤層１１の厚みを５００μｍの範囲とする場合、例えば、厚み２５〜７５μｍのフィルム状感光性接着剤を７〜２１枚貼り合わせることができる。
【００９５】
フィルム状感光性接着剤を形成する場合、均一な膜特性・厚みを維持する観点から、厚みは５〜９０μｍであることが好ましく、１０〜８０μｍであることがより好ましい。このような範囲であれば、フィルムを形成する際のはじきやピンホールなどの発生を防止することができる。また、残存揮発分等による厚さ方向での偏りやそれらに起因する膜特性の均一性の低下を防止することができる。また、フィルム状感光性接着剤の厚みを上記範囲とした場合、残存揮発分を十分に低減させることができるため、厚さ方向で残存揮発分の濃度勾配の発生を防ぐことができ、感光性接着剤層における特性の勾配の発生も防ぐことができる。さらに、フィルム状感光性接着剤の厚みを上記範囲とした場合、塗工時に発生するボイドが多くなるなどの問題を防止できる。これにより、均一な厚みのフィルムを広い面積で製造することが容易となる。
【００９６】
厚い感光性接着剤パターンを形成する場合、上記範囲の厚さを２枚以上貼り合せることで均一な膜特性・厚みを維持することができる。貼り合せ時の応力や熱が感光性接着剤へ悪影響を及ぼすことをできるだけ減らすため、できるだけ厚いフィルム状感光性接着剤を作成し、貼り合せることが好ましい。なお、厚さによっては工夫次第で貼り合せ工程を減らすことができるため、貼付け工程を工夫して薄い膜を貼り合せることにより所望の特性を有する所望の厚さの接着剤パターンを形成することができる。例えば、１５０μｍ厚の接着剤パターンが必要な場合、７５μｍ厚の接着剤を２枚貼り付ける、５０μｍ厚の接着剤を３回貼り付ける、３０μｍ厚の接着剤を５回貼り付ける、２５μｍ厚の接着剤を６回貼り付ける等の手段がある。
【００９７】
上記の中で、厚みが２５μｍの場合と３０μｍの場合とを比べると、厚み３０μｍのほうが感光性接着剤へのストレスを少なくできると考えられるが、所望の厚みとするまでの貼り付け方を工夫することで貼り合せによるストレスを低減させることができる。例えば、２５μｍ厚の接着剤を２枚貼り付けて５０μｍ厚の接着剤にしたものを３枚貼り付けると、ストレスは４回分であり、一方、２５μｍ厚の接着剤を３枚貼付けて７５μｍ厚の接着剤にしたものを２枚貼り付けてもストレスは３回分となる。
【００９８】
本実施形態において、貼り付ける感光性接着剤は同じ組成、同じ厚さである必要はない。例えば、被着体と接する面に、密着力や接着力の高い組成のものを１層以上貼り付けて接着強度を向上させることができる。また、弾性率の低い組成のものを貼り付けて応力緩和の特性を改善することができる。さらに、厚膜の場合、光の透過度に応じて感度を調整した接着剤を貼り付けて、パターン形状や感度の向上を図ることができる。また、これらを組み合わせることもできる。
【００９９】
次に、感光性接着剤層１１を露光し現像することにより接着剤パターン２０を形成する第２工程について説明する。
【０１００】
感光性接着剤層１１の露光はフォトリソグラフィ方式など公知の方法により行うことができ、例えば、マスク５を介して所定の部位に活性光線Ｌを照射して露光部を光硬化させる。なお、マスクを介した露光以外に直接描画法を用いることもできる。活性光線の光源としては、公知の光源、例えば、カーボンアーク灯、水銀蒸気アーク灯、超高圧水銀灯、高圧水銀灯、キセノンランプ、ＹＡＧレーザー及び半導体レーザーの紫外線を有効に放射するものを用いることができる。また、写真用フラッド電球、太陽ランプ等の可視光を有効に放射するものを用いることもできる。
【０１０１】
露光後、感光性接着剤層上に支持フィルムが存在している場合には、支持フィルムを除去した後、ウエット現像等で光硬化させた部分以外の感光性接着剤層を除去して現像することにより、接着剤パターン２０を形成させる（図３の（ｂ）を参照）。こうして接着剤パターン付被着体３０が得られる。
【０１０２】
ウエット現像は、アルカリ性水溶液等の現像液を用いて、スプレー、揺動浸漬、ブラッシング、スクラッピング等の公知の方法により現像する。現像液としては、安全かつ安定であり、操作性が良好なものが用いられ、例えば、水酸化テトラメチルアンモニウム（Ｔｅｔｒａｍｅｔｈｙｌａｍｍｏｎｉｕｍ  ｈｙｄｒｏｘｉｄｅ：ＴＭＡＨ）、炭酸ナトリウム等が用いられる。
【０１０３】
本実施形態で形成される接着剤パターンは、厚みＨ２が１００μｍ以上であっても均一な膜厚を有することができる。また本実施形態においては、厚みＨ２が２００〜２０００μｍ、３００〜１５００μｍ、又は３５０〜１４００μｍである接着剤パターンを均一な膜厚で形成することができる。
【０１０４】
次に、接着剤パターン２０に第２の被着体６を貼り合わせる第３工程について説明する。
【０１０５】
第２の被着体６としては、上述した第１の被着体と同様のものが挙げられる。
【０１０６】
第２の被着体を貼り合わせる方法としては、被着体のサイズにあった熱圧着機、真空熱圧着装置などを用いることができる。
【０１０７】
次に、接着剤パターンを硬化させる第４工程が行われ、接着剤パターンの硬化物２２によって第１の被着体４と第２の被着体６とが接着された接着物４０が得られる。
【０１０８】
接着剤パターンの硬化は、例えば、硬化温度は６０〜３００℃が好ましく、室温の安定性と硬化速度の関係から８０℃以上がより好ましく、電子部材部品の変形や省エネの点から２００℃以下がより好ましい。
【０１０９】
次に、本発明に係る接着物の製造方法の好適な例として、ＣＭＯＳイメージセンサー等の固体撮像素子を接着物として得る方法について図４及び図５を参照しつつ説明する。
【０１１０】
図４の（ａ）は本発明に係る接着物の製造方法によって得られる固体撮像素子の一実施形態を模式的に示す上面図であり、（ｂ）は（ａ）のＩ−Ｉ線に沿った模式断面図である。図５は、図４に示される固体撮像素子を製造する方法の一実施形態を説明するための図である。図７は、図５に示される固体撮像素子を製造する方法の一実施形態を説明するための図である。
【０１１１】
図４の（ａ）及び（ｂ）に示される固体撮像素子１００は、有効画素領域５４を有する半導体基板５０と透明基板６０とが枠状に形成されたリブ５２によって接着されているとともに封止された構造を有する。
【０１１２】
本実施形態においては、まず、上述した第１工程及び第２工程と同様にして、有効画素領域５４が設けられた半導体ウェハ５０上に、有効画素領域５４を囲む接着剤パターン２０を形成する。こうして、図５の（ａ）に示されるような接着剤パターン付半導体ウェハ１１０を得る。なお、図５中の５６は、ダイシングラインを示す。
【０１１３】
次に、上述した第３工程と同様にして、接着剤パターン２０の半導体ウェハとは反対側の面上に透明基板６０を貼り合わせた後、上述した第４工程と同様にして接着剤パターン２０を硬化させることにより、図５の（ｂ）及び（ｃ）に示される、半導体ウェハ５０と透明基板６０とが接着剤パターンの硬化物２２によって接着された接着物１２０を得る。なお、図５の（ｃ）は、図５の（ｂ）のＩＩ−ＩＩ線に沿った模式断面図である。
【０１１４】
上記で得られた接着物１２０をダイシングライン５６に沿って切断することにより、図４の（ａ）及び（ｂ）に示される固体撮像素子１００を得ることができる。
【０１１５】
本実施形態においては、図５の（ａ）の時点でダイシングを行い、チップ化後に接着剤パターン２０の半導体ウェハとは反対側の面上に透明基板６０を貼り合せ、硬化させることにより図４に示される固体撮像素子１００を得ることができる。
【０１１６】
また、上述の実施形態ではダイシングによってリブが形成されているが、予めリブ形状を有する接着剤パターンを形成することができる。図６の（ａ）は本発明に係る接着物の製造方法によって得られる固体撮像素子の別の実施形態を模式的に示す上面図であり、（ｂ）は（ａ）のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿った模式断面図である。図７は、図６に示される固体撮像素子を製造する方法の一実施形態を説明するための図である。
【０１１７】
図６の（ａ）及び（ｂ）に示される固体撮像素子１０２は、有効画素領域５４を有する半導体基板５０と透明基板６０とが枠状に形成されたリブ５２によって接着されているとともに封止された構造を有する。本実施形態においては、まず、上述した第１工程及び第２工程と同様にして、有効画素領域５４が設けられた半導体ウェハ５０上に、有効画素領域５４を囲み、リブ形状を有する接着剤パターン２０を形成する。こうして、図７の（ａ）に示されるような接着剤パターン付半導体ウェハ１１２を得る。なお、図７中の５６は、ダイシングラインを示す。
【０１１８】
次に、上述した第３工程と同様にして、接着剤パターン２０の半導体ウェハとは反対側の面上に透明基板６０を貼り合わせた後、上述した第４工程と同様にして接着剤パターン２０を硬化させることにより、図７の（ｂ）及び（ｃ）に示される、半導体ウェハ５０と透明基板６０とが接着剤パターンの硬化物２２によって接着された接着物１２２を得る。なお、図７の（ｃ）は、図７の（ｂ）のＩＶ−ＩＶ線に沿った模式断面図である。
【０１１９】
上記で得られた接着物１２２をダイシングライン５６に沿って切断することにより、図６の（ａ）及び（ｂ）に示される固体撮像素子１０２を得ることができる。本実施形態においても、図７の（ａ）の時点でダイシングを行い、チップ化後に接着剤パターン２０の半導体ウェハとは反対側の面上に透明基板６０を貼り合せ、硬化させることにより図６に示される固体撮像素子１０２を得ることができる。
【０１２０】
ＣＭＯＳイメージセンサー等の固体撮像素子を作製する場合には、本発明に係る接着剤パターンによって、半導体基板と透明基板とを接着するとともにセンサ部分を水分やほこり等の異物から守るためのリブを形成することができる。本発明によれば、リブの高さＨ３を１００μｍ以上としても十分な接着強度で被着体同士を接着できることから、半導体基板と透明基板との距離を大きくすることにより透明基板に付着した異物に起因する画質の低下を抑制することができる。このようなリブを形成する観点から、上述した感光性接着剤層１１の厚みＨ１を、１００〜２０００μｍとすること好ましく、２００〜２０００μｍとすることがより好ましい。
【０１２１】
図８は、固体撮像素子を備えるカメラモジュールの一実施形態を示す断面図である。図８に示すカメラモジュール２００は、固体撮像素子１００を備える電子部品である。固体撮像素子１００の半導体基板５０は、はんだ２１６を介して半導体素子搭載用支持基材２１８に接着されている。カメラモジュール２００は、有効画素領域５４の真上に位置するように設けられたレンズ２１０と、レンズ２１０と、レンズ２１０とともに固体撮像素子を内包するように設けられた側壁２１４と、レンズ２１０が嵌め込まれた状態でレンズ２１０及び側壁２１４の間に介在する嵌め込み用部材２１２とが半導体素子搭載用支持基材２１８上に搭載された構成を有する。
【実施例】
【０１２２】
以下、実施例及び比較例によって、本発明をさらに具体的に説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。
【０１２３】
＜ポリベンゾオキサゾール前駆体（Ａ−１）の合成＞
攪拌機、温度計を備えた２リットルのフラスコ中に、Ｎ−メチルピロリドン１０００ｇ、２，２−ビス（３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル）ヘキサフルオロプロパン（６ＦＡＰＫ）２０８．８ｇ、ｍ−アミノフェノール６．６ｇを仕込み、攪拌溶解した。続いて、温度を５℃以下に保ちながら、セバコイル酸クロリド１６０．３ｇを９０分間で滴下した後、６０分間攪拌を続けた。得られた溶液を６リットルの水に投入し、析出物を回収し、これを、純水で３回洗浄した後、減圧してポリベンゾオキサゾール前駆体（Ａ−１）を得た。得られたポリベンゾオキサゾール前駆体（Ａ−１）の重量平均分子量をゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）により測定したところ、標準ポリスチレンを用いた検量線により換算して得られた重量平均分子量は２１０００であった。なお、ＧＰＣの条件は以下の通りである。
【０１２４】
［ＧＰＣ条件］
ポンプ：Ｌ６０００  Ｐｕｍｐ（株式会社日立製作所製）
検出器：Ｌ３３００  ＲＩ  Ｍｏｎｉｔｏｒ（株式会社日立製作所製）
カラム：Ｇｅｌｐａｃｋ  ＧＬ−Ｓ３００ＭＤＴ−５（計２本）（商品名、日立化成工業株式会社製）
カラムサイズ：直径８ｍｍ×３００ｍｍ
溶離液：ＤＭＦ／ＴＨＦ（質量比１／１）＋ＬｉＢｒ・Ｈ２Ｏ  ０．０３ｍｏｌ／ｌ+Ｈ３ＰＯ４  ０．０６ｍｏｌ／ｌ
試料濃度：０．１質量％
流量：１ｍｌ／ｍｉｎ
測定温度：４０℃
【０１２５】
＜ポリイミド（Ａ−２）の合成＞
攪拌機、温度計、冷却管、及び窒素置換装置を備えたフラスコ内に、３，５−ジアミノ安息香酸（分子量１５２．２、以下「ＤＡＢＡ」と略す）１．８９ｇ、脂肪族エーテルジアミン（ＢＡＳＦ社製「Ｄ−４００」（商品名）、分子量４５２．４）１５．２１ｇ及び１，１，３，３−テトラメチル−１，３−ビス（４−アミノフェニル）ジシロキサン（信越化学製「ＬＰ−７１００」（商品名）、分子量２４８．５）０．３９ｇ及びＮ−メチル−２−ピロリジノン（以下「ＮＭＰ」と略す）１１６ｇを仕込んだ。次いで、４，４’−オキシジフタル酸二無水物（分子量３２６．３、以下「ＯＤＰＡ」と略す）１６．８８ｇをフラスコを氷浴中で冷却しながら、上記フラスコ内に少量ずつ添加した。添加終了後、更に室温で５時間攪拌した。次に該フラスコに水分受容器付の還流冷却器を取り付け、キシレン７０ｇを加え、窒素ガスを吹き込みながら１８０℃に昇温させてその温度を５時間保持し、水と共にキシレンを共沸除去した。こうして得られた溶液を室温まで冷却した後、蒸留水中に投じて再沈殿させた。得られた沈殿物を真空乾燥機で乾燥することによりポリイミド（Ａ−２）を得た。得られたポリイミド（Ａ−２）の重量平均分子量をＧＰＣにより測定したところ、標準ポリスチレンを用いた検量線により換算して得られた重量平均分子量は３３０００であった。なお、ＧＰＣの条件は以下の通りである。
［ＧＰＣ条件］
装置：ＨＬＣ−８３２０ＧＰＣ（東ソー社製）
カラム：ＴＳＫｇｅｌ  ＳｕｐｅｒＡＷ商品名、東ソー社製）
カラムサイズ：直径６ｍｍ×１５ｃｍ
溶離液：ＤＭＦ／ＴＨＦ（質量比１／１）＋ＬｉＢｒ・Ｈ２Ｏ  ０．０３ｍｏｌ／ｌ+Ｈ３ＰＯ４  ０．０６ｍｏｌ／ｌ
流量：０．３５ｍｌ／ｍｉｎ
試料濃度：約０．１質量％
測定温度：４０℃
【０１２６】
＜ポリイミド（Ａ−３）の合成＞
攪拌機、温度計、及び窒素置換装置を備えたフラスコ内に５，５’−メチレン−ビス（アントラニリックアシッド）（以下「ＭＢＡＡ」と略す、分子量２８６．２８）２．１５ｇ及び、脂肪族エーテルジアミン（ＢＡＳＦ社製「Ｄ４００」（商品名）、分子量４３３）１５．５９ｇ及び１，１，３，３−テトラメチル−１，３−ビス（４−アミノフェニル）ジシロキサン（信越化学製「ＬＰ−７１００」（商品名）分子量３４８．４）２．２６ｇ及びＮＭＰを仕込んだ。次いで、ＯＤＰＡ１７ｇをＮＭＰに溶解した溶液を反応系の温度が５０℃を超えないように調整しながら上記フラスコ内に滴下した。これ以降の操作は全てポリイミド（Ａ−２）の合成と同様に行って、ポリイミド（以下「ポリイミド（A−３）」という。）を得た。得られたポリイミド（Ａ−３）の重量平均分子量をＧＰＣにより測定したところ、標準ポリスチレンを用いた検量線により換算して得られた重量平均分子量は２８０００であった。なお、ＧＰＣの条件は以下の通りである。
［ＧＰＣ条件］
装置：ＨＬＣ−８３２０ＧＰＣ（東ソー社製）
カラム：ＴＳＫｇｅｌ  ＳｕｐｅｒＡＷ（商品名、東ソー社製）
カラムサイズ：直径６ｍｍ×１５ｃｍ
溶離液：ＤＭＦ／ＴＨＦ（質量比１／１）＋ＬｉＢｒ・Ｈ２Ｏ  ０．０３ｍｏｌ／ｌ+Ｈ３ＰＯ４  ０．０６ｍｏｌ／ｌ
流量：０．３５ｍｌ／ｍｉｎ
試料濃度：約０．１質量％
測定温度：４０℃
【０１２７】
＜感光性接着剤組成物の調製＞
（感光性接着剤組成物１〜３）
表１に示す材料を、それぞれ表１に示した配合割合（質量部）で混合し、感光性接着剤組成物１〜３の溶液をそれぞれ得た。
【０１２８】
【表１】
2014189626.tif 000005
【０１２９】
表１中の各記号は以下の化合物を示す。
ＢＰＥ−１００：新中村化学工業株式会社製、商品名、エトキシ化ビスフェノールＡジメタクリレート
ＢＰＥ−２００：新中村化学工業株式会社製、商品名、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシジエトキシ）フェニル）プロパン
ＦＡ−３２１Ａ：日立化成工業株式会社製、商品名、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシペンタエトキシ）フェニル）プロパン
Ｍ３１３：東亜合成社製、エトキシ化イソシアヌル酸トリアクリレート及びエトキシ化イソシアヌル酸ジアクリレートの混合物
ＴＭＣＨ−５：日立化成工業株式会社製、商品名、トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート系ウレタンジアクリレートオリゴマ［２，２，４−トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート／１，４−ビス（ヒドロキシメチル）シクロヘキサン／２−ヒドロキシエチルアクリレート（モル比８．１５／１．９５／１２）の混合物］
Ｉｒｇ−８１９：チバスペシャリティーケミカルズ株式会社製、商品名、ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）−フェニルフォスフィンオキサイド
ＹＤＦ−８１７０：東都化成社製、商品名、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂
ＢＥＯ−６０Ｅ：新日本理化株式会社製、商品名、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂
ＶＧ−３１０１Ｌ：三井化学株式会社製、商品名、ジグリシジルエーテル型エポキシ樹脂
ＴｒｉｓＰ−ＰＡ：本州化学社製、商品名、α，α，α’−トリス（４−ヒドロキシフェニル）−１−エチル−４−イソプロピルベンゼン
Ｒ−９７２：日本アエロジル社製、商品名、疎水性フュームドシリカ
Ａ−１８７：日本ユニカー株式会社製、商品名、エポキシ型シランカップリング剤
ＳＺ−６０３０：東レ・ダウコーニングシリコーン株式会社製、商品名、メトキシ型シランカップリング剤
【０１３０】
＜感光性接着剤シートの作製＞
（感光性接着剤シート１）
感光性接着組成物溶液１を５０μｍ厚のポリエチレンテレフタレートフィルム（以下ＰＥＴフィルムと表記する）上に均一に塗布し、１００℃の熱風対流式乾燥機で約１０分間乾燥して、ＰＥＴフィルム上に、厚さ５０μｍのフィルム状感光性接着剤が設けられた感光性接着剤シート１を得た。なお、フィルム状感光性接着剤の厚みはダイヤルゲージ（株式会社ミツトヨ製、外枠：標準形、外径：φ５７ｍｍ、目盛：０．０１ｍｍ、測定範囲：２０ｍｍ）にて測定した。
【０１３１】
（感光性接着剤シート２）
感光性接着組成物溶液１を５０μｍ厚のＰＥＴフィルム上に均一に塗布し、１２０℃の熱風対流式乾燥機で約１５分間乾燥して、ＰＥＴフィルム上に、厚さ５０μｍのフィルム状感光性接着剤が設けられた感光性接着剤シート２を得た。
【０１３２】
（感光性接着剤シート３）
感光性接着組成物溶液１を５０μｍ厚のＰＥＴフィルム上に均一に塗布し、１００℃の熱風対流式乾燥機で約１０分間乾燥して、ＰＥＴフィルム上に、厚さ１０μｍのフィルム状感光性接着剤が設けられた感光性接着剤シート３を得た。
【０１３３】
（感光性接着剤シート４）
感光性接着組成物溶液１を５０μｍ厚のＰＥＴフィルム上に均一に塗布し、１００℃の熱風対流式乾燥機で約１０分間乾燥して、ＰＥＴフィルム上に、厚さ２５μｍのフィルム状感光性接着剤が設けられた感光性接着剤シート４を得た。
【０１３４】
（感光性接着剤シート５）
感光性接着組成物溶液２を５０μｍ厚のＰＥＴフィルム上に均一に塗布し、１２０℃の熱風対流式乾燥機で約１０分間乾燥して、ＰＥＴフィルム上に、厚さ２５μｍのフィルム状感光性接着剤が設けられた感光性接着剤シート５を得た。
【０１３５】
（感光性接着剤シート６）
感光性接着組成物溶液１を５０μｍ厚のＰＥＴフィルム上に均一に塗布し、１００℃の熱風対流式乾燥機で約１５分間乾燥して、ＰＥＴフィルム上に、厚さ７５μｍのフィルム状感光性接着剤が設けられた感光性接着剤シート６を得た。
【０１３６】
（感光性接着剤シート７）
感光性接着組成物溶液３を５０μｍ厚のＰＥＴフィルム上に均一に塗布し、１２０℃の熱風対流式乾燥機で約１５分間乾燥して、ＰＥＴフィルム上に、厚さ５０μｍのフィルム状感光性接着剤が設けられた感光性接着剤シート７を得た。
【０１３７】
（感光性接着剤シート８）
感光性接着組成物溶液２を５０μｍ厚のＰＥＴフィルム上に均一に塗布し、１２０℃の熱風対流式乾燥機で約４５分間乾燥して、ＰＥＴフィルム上に、厚さ１５０μｍのフィルム状感光性接着剤が設けられた感光性接着剤シート７を得た。
【０１３８】
［感光性接着剤シートの評価］
感光性接着剤シートのタックについて以下の方法により評価した。
（タック）
フィルム状感光性接着剤のＰＥＴフィルム側の面Ａ及びその反対側の面Ｂ（乾燥面）について、各面１０点ずつ３０℃タックを株式会社ＲＨＥＳＣＡ社製  タッキング試験機  ＴＡＣ−ＩＩ、プローブ：円柱型φ５．１（ＳＵＳ３０４）を用いて測定した。面Ａの平均値と面Ｂの平均値との差が３００ｇｆ以下の場合を「Ａ」、３００ｇｆを超える場合を「Ｂ」で示した。
【０１３９】
＜接着剤パターンの形成＞
（実施例１）
感光性接着剤シート１を３枚用意した。次に、感光性接着剤シート１を、シリコンウェハー（エレクトロニクス  エンド  マテリアルズ  コーポレーション製、商品名「５インチシリコンウェハ」）上に、フィルム状感光性接着剤が密着するように、常圧ラミネータ（大成ラミネーター株式会社製）にて６０℃、０．４ＭＰａ、１．６ｍ／ｍｉｎの条件でラミネートした。ＰＥＴフィルムをはく離した後、フィルム状感光性接着剤のウェハとは反対側の面に、別の感光性接着剤シート１をフィルム状感光性接着剤が密着するように上記と同じ条件でラミネートした。これを更に１回繰り返し、ウェハ上に厚さ１５０μｍの感光性接着層を設けた。
【０１４０】
最後に貼り合わせた感光性接着剤シート１のＰＥＴフィルム上に、フォトマスク（ライン幅１００μｍのラインが抜けるフォトマスク）を載せ、高精度平行露光機（ミカサ株式会社）を用いて、ＰＥＴフィルム側から露光量：３０００ｍＪ／ｃｍ２で紫外線を感光性接着層に照射した。その後、ＰＥＴフィルムを剥離し、水酸化テトラメチルアンモニウム（Ｔｅｔｒａｍｅｔｈｙｌａｍｍｏｎｉｕｍ  ｈｙｄｒｏｘｉｄｅ：ＴＭＡＨ）２．３８％溶液を用いて１．５ｋｇｆ／ｃｍ２の圧力でスプレー現像した。現像後、水洗し、接着剤パターンを形成した。
【０１４１】
（実施例２）
感光性接着剤シート１を１０回ラミネートして厚さ５００μｍの感光性接着層を設けたこと以外は実施例１と同様にして、接着剤パターンを形成した。
【０１４２】
（実施例３）
感光性接着剤シート１を２０回ラミネートして厚さ１０００μｍの感光性接着層を設けたこと以外は実施例１と同様にして、接着剤パターンを形成した。
【０１４３】
（実施例４）
感光性接着剤シート１に代えて感光性接着剤シート２を用いたこと以外は実施例１と同様にして、接着剤パターンを形成した。
【０１４４】
（実施例５）
感光性接着剤シート１に代えて感光性接着剤シート３を用い、これを１５回ラミネートして厚さ１５０μｍの感光性接着層を設けたこと以外は実施例１と同様にして、接着剤パターンを形成した。
【０１４５】
（実施例６）
感光性接着剤シート１に代えて感光性接着剤シート４を用い、これを２０回ラミネートして厚さ５００μｍの感光性接着層を設けたこと以外は実施例１と同様にして、接着剤パターンを形成した。
【０１４６】
（実施例７）
感光性接着剤シート１に代えて感光性接着剤シート５を用い、これを２０回ラミネートして厚さ５００μｍの感光性接着層を設けたこと以外は実施例１と同様にして、接着剤パターンを形成した。
【０１４７】
（実施例８）
感光性接着剤シート１に代えて感光性接着剤シート６を用い、これを２回ラミネートして厚さ１５０μｍの感光性接着層を設けたこと以外は実施例１と同様にして、接着剤パターンを形成した。
【０１４８】
（実施例９）
感光性接着シート１に代えて感光性接着剤シート７を用い、これを１０回ラミネートして厚さ５００μｍの感光性接着層を設けたこと以外は実施例１と同様にして、接着剤パターンを形成した。
【０１４９】
（比較例１）
感光性接着剤シート１に代えて感光性接着剤シート８を用いたこと以外は実施例１と同様にして露光まで行った。その後、ＰＥＴフィルムを剥離しようとしたところ、未露光部分とＰＥＴフィルムとの密着が強く、はく離が困難であった。
【０１５０】
（比較例２）
バーコーターを使用して、感光性接着組成物２を６インチウェハ上に乾燥後の膜厚が１５０μｍとなるように塗布し、これをホットプレートにて１００℃で５分間乾燥した。形成された感光性接着剤層の膜厚を測定したところ端部が５μｍ以上盛り上がっていた。
【０１５１】
感光性接着剤層上に、フォトマスク（ライン幅１００μｍのラインが抜けるフォトマスク）を載せ、高精度平行露光機（ミカサ株式会社）を用いて、ＰＥＴフィルム側から露光量：１０００ｍＪ／ｃｍ２で紫外線を感光性接着層に照射した。その後、水酸化テトラメチルアンモニウム（Ｔｅｔｒａｍｅｔｈｙｌａｍｍｏｎｉｕｍ  ｈｙｄｒｏｘｉｄｅ：ＴＭＡＨ）２．３８％溶液を用いて１．５ｋｇｆ／ｃｍ２の圧力でスプレー現像した。現像後、水洗し、接着剤パターンを形成した。
【０１５２】
（比較例３）
スピンコーターを使用して、感光性接着組成物１を６インチウェハ上に乾燥後の膜厚が１５０μｍとなるように、回転数１００ｒｐｍ、６０秒の条件でスピンコートを行った。形成された感光性接着剤層の膜厚を測定したところ、面内に１５μｍ以上のばらつきが発生していた。
【０１５３】
（比較例４）
スピンコーターを使用して、感光性接着組成物１を６インチウェハ上に乾燥後の膜厚が１５μｍとなるように、回転数２０００ｒｐｍの条件で３０秒スピンコートを行い、これをホットプレートにて１００℃で５分間乾燥した。この操作を１０回繰り返し、ウェハ上に厚さ１５０μｍの感光性接着剤層を形成した。
【０１５４】
（比較例５）
非感光な半導体用接着フィルムであるダイボンディングフィルム  ＨＩＡＴＴＡＣＨシリーズ  ＨＳ−２７０（日立化成製、膜厚５０μｍ）を１０枚用意した。次に、２枚の接着剤シートを接着剤層同士が密着するように、常圧ラミネータ（大成ラミネーター株式会社製）にて４０℃、０．４ＭＰａ、１．６ｍ／ｍｉｎの条件でラミネートし、１００μｍの接着剤層が設けられた接着剤シートを得た。
【０１５５】
上記接着剤シートを５枚作成し、これらを以下の手順でラミネートした。接着剤シートの片方のＰＥＴフィルムをはく離した後、接着剤層同士が密着するように、別の片方のＰＥＴフィルムをはく離した接着シートを上記と同様の条件でラミネートした。これをさらに３回繰り返し、５００μｍの接着剤シートＮＰを得た。得られた接着剤シートＮＰを１０ｍｍ×１０ｍｍの大きさにカットし、さらに５ｍｍ×５ｍｍの大きさに穴明けできるパンチ冶具で中心部に穴をあけた。穴あけ加工された接着剤シートＮＰの片方のＰＥＴをはく離し、シリコンウェハ（エレクトロニクス  エンド  マテリアルズ  コーポレーション製、商品名「５インチシリコンウェハ」）を２０ｍｍ×２０ｍｍにダイシングしたチップ上に、接着剤が密着するように、常圧ラミネータ（大成ラミネーター株式会社製）にて６０℃、０．４ＭＰａ、１．６ｍ／ｍｉｎの条件でラミネートした。
【０１５６】
［感光性接着剤層の評価］
ウェハ上に設けた感光性接着剤層の膜厚のばらつき、気泡の発生の有無について、下記の方法にしたがって評価した。
【０１５７】
（膜厚のばらつき）
ウェハ上に設けた感光性接着剤層の膜厚を、ダイヤルゲージ（株式会社ミツトヨ製、外枠：標準形、外径：φ５７ｍｍ、目盛：０．０１ｍｍ、測定範囲：２０ｍｍ）を用いてウェハ端部５点及び中心部５点測定した。１０点中の最大差が１０μｍ以下の場合を「Ａ」、１０μｍを超える場合を「Ｂ」で示した。
【０１５８】
（気泡の発生の有無）
感光性接着剤層を目視で観察し、気泡が含まれていない場合を「Ａ」、気泡が含まれていた場合を「Ｂ」で示した。
【０１５９】
【表２】
2014189626.tif 000006
＊：ダイボンディングフィルム  ＨＩＡＴＴＡＣＨシリーズ  ＨＳ−２７０（日立化成製、非感光な半導体用接着フィルム）
【０１６０】
表２に示すように、実施例１〜９は感光性接着剤層の膜厚のばらつきが十分小さい。また、これらに用いた感光性接着剤シートは、気泡の発生がなく、フィルム状感光性接着剤の乾燥面と基材側面との膜質が同程度であることからタックの差が小さい。これにより均一な特性を有する感光性接着剤層及び接着剤パターンを形成することができる。一方、比較例１〜４は感光性接着剤層の膜厚のばらつきが大きい。特に比較例１は膜厚のバラツキが大きいだけでなく、用いた感光性接着剤シートのフィルム状感光性接着剤の乾燥面と基材面のタックに大きな違いがあり、感光性接着剤層の特性面においてもばらつきが顕著である。
【符号の説明】
【０１６１】
１，１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄ，１ｅ…フィルム状感光性接着剤、２…支持フィルム、４…第１の被着体、５…マスク、６…第２の被着体、１０，１２…感光性接着剤シート、１１…感光性接着剤層、１３…ラミネーター、２０…接着剤パターン、３０…接着剤パターン付被着体、４０…接着物、５０…半導体ウェハ、５２…リブ、５４…有効画素領域、５６…ダイシングライン、６０…透明基板、１００，１０２…固体撮像素子、１１０，１１２…接着剤パターン付半導体ウェハ、１２０，１２２…接着物。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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