(57)【要約】【課題】構成部品の大幅な増加なしに、厚さが均一な塗布領域を形成することができないという課題を解決する間欠塗布装置および塗布方法を提供する。【解決手段】間欠塗布装置は、塗布液２０を吐出するダイ２と、ダイ２へ塗布液２０を供給する配管３と、配管３の途中に設けられ塗布液２０を圧送するポンプ４と、ポンプ４とダイ２との間の上記配管３に設けられた供給弁５と、タンク１へ塗布液２０を回収する戻し配管９と、戻し配管９に接続された戻し弁８とを有している。さらに、少なくとも戻し弁８は、開閉状態が任意に制御可能である。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
塗布液を貯えるタンクと、前記塗布液を吐出するダイと、前記ダイへ前記塗布液を供給する配管と、前記配管の途中に設けられ前記塗布液を圧送するポンプと、前記ポンプと前記ダイとの間の前記配管に設けられた供給弁と、前記ポンプと前記供給弁との間の前記配管の途中から分岐し、前記ダイから前記塗布液が吐出されていない期間に前記塗布液が通過して前記タンクへ前記塗布液を回収する戻し配管と、前記戻し配管の途中に設けられた戻し弁とを有し、
少なくとも前記戻し弁は開閉状態が任意に制御可能であり、
前記戻し弁は弁座と弁体とを備え、前記弁座を挟んで第１および第２の貫通孔を有し、前記戻し弁の前記第１および第２の貫通孔は前記戻し弁が前記戻し配管に挿入されるように前記戻し配管に連通されていることを特徴とする間欠塗布装置。
【請求項２】
塗布液を貯えるタンクと、前記塗布液を吐出するダイと、前記ダイへ前記塗布液を供給する配管と、前記配管の途中に設けられ前記塗布液を圧送するポンプと、前記ポンプと前記ダイとの間の前記配管に設けられた供給弁と、前記ダイから前記塗布液が吐出されていない期間に前記塗布液が通過して前記タンクへ前記塗布液を回収する戻し配管と、開閉状態が制御される戻し弁とを有し、
少なくとも前記戻し弁は開閉状態が任意に制御可能であり、
前記戻し弁は弁座の一方の側に第１および第２の貫通孔を他方の側に第３の貫通孔を有し、前記第１および第２の貫通孔は前記戻し弁が前記ポンプと前記供給弁との間の前記配管に挿入されるように前記配管に連通され、前記第３の貫通孔は前記戻し配管に連通されていることを特徴とする間欠塗布装置。
【請求項３】
塗布液を貯えるタンクと、前記塗布液を吐出するダイと、前記ダイへ前記塗布液を供給する配管と、前記配管の途中に設けられ前記塗布液を圧送するポンプと、前記ポンプと前記ダイとの間の前記配管に設けられた供給弁と、前記ダイから前記塗布液が吐出されていない期間に前記塗布液が通過して前記タンクへ前記塗布液を回収する戻し配管と、前記戻し配管の途中に設けられた戻し弁とを有し、
少なくとも前記戻し弁は開閉状態が任意に制御可能であり、
前記供給弁は弁座の一方の側に第１および第２の貫通孔を他方の側に第３の貫通孔を有し、前記第１および第３の貫通孔は前記供給弁が前記配管に挿入されるように前記配管に連通され、前記第２の貫通孔は前記戻し配管に連通されていることを特徴とする間欠塗布装置。
【請求項４】
前記供給弁の前記弁体のストロークが略ゼロの状態からストロークが大きい状態に遷移する前に、前記戻し弁の前記弁体のストロークが大きい状態からストロークが略ゼロの状態との間のストロークが小さい状態になるよう制御されることを特徴とする、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の間欠塗布装置。
【請求項５】
全開状態の供給弁を通して塗布液を吐出し、前記供給弁を全閉状態とし、全開状態の戻し弁を通して前記塗布液を回収した後に前記戻し弁の開閉状態を制御し、その後に前記供給弁を全開状態とすることを特徴とする塗布方法。
【請求項６】
前記供給弁が閉状態のときには前記戻し弁が開状態になるよう制御され、
前記供給弁が閉状態から開状態に遷移する前に、前記戻し弁は開状態から開状態と閉状態との間の半開状態になるよう制御されることを特徴とする、請求項５に記載の塗布方法。
【請求項７】
ダイから前記塗布液を吐出する塗布期間と、前記ダイから前記塗布液を吐出しない戻し期間とを交互に繰り返しながら塗布し、
前記戻し期間においては、前記戻し弁が開状態から開状態と閉状態との間の半開状態になるよう制御されるのに先立って、前記供給弁が開状態から閉状態になるよう制御されることを特徴とする、請求項５に記載の塗布方法。
【請求項８】
前記供給弁の開度が略ゼロの状態から開度が大きい状態に遷移する前に、前記戻し弁は開度が大きい状態から開度が略ゼロの状態との間の中間状態になるよう制御されることを特徴とする、請求項５に記載の塗布方法。
【請求項９】
ダイから前記塗布液を吐出する塗布期間と、前記ダイから前記塗布液を吐出しない戻し期間とを交互に繰り返しながら塗布し、
前記戻し期間においては、前記戻し弁の開度が大きい状態から開度が略ゼロの状態との間の中間状態になるよう制御されるのに先立って、前記供給弁の開度が大きい状態から開度が略ゼロの状態になるよう制御されることを特徴とする、請求項５に記載の塗布方法。
【請求項１０】
前記供給弁の弁体のストロークが略ゼロの状態からストロークが大きい状態に遷移する前に、前記戻し弁の弁体のストロークが大きい状態からストロークが略ゼロの状態との間のストロークが小さい状態になるよう制御されることを特徴とする、請求項５に記載の塗布方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、間欠塗布装置および塗布方法に関し、特に連続的に進行するシート状部材に対して液体を間欠的に塗布する間欠塗布装置および塗布方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
間欠塗布装置とは、未塗布の領域と塗布の領域とを断続的に繰り返し作製する塗布装置である。
【０００３】
間欠塗布装置における課題は、断続的に塗布された液体の厚みを、塗布された領域内で均一とすることである。特に、未塗布領域から塗布領域となる塗り始めの領域では、盛り上がりのない急速な厚みの立ち上げが課題であり、塗布領域から未塗布領域となる塗り終わりの領域では、急速な厚みの立ち下げが課題である。このような課題を解決する技術が、特許文献１〜５に記載されている。
【０００４】
図７は、特許文献１に示された間欠塗布装置の要部を示す概略図である。この間欠塗布装置１００は、基材Ｗに塗布液Ｍを塗布するダイＤと、ダイＤへ塗布液Ｍを圧送するポンプＰと、塗布液Ｍを貯えるタンクＴと、ダイＤとポンプＰとの間に設けられて開閉を交互に繰り返す断続バルブＶａと、ダイＤと断続バルブＶａの間のダイ側給液路１０１ａに接合された吸引・圧送手段ＳＶと、ポンプＰと断続バルブＶａの間からタンクＴへ延設した配管からなる戻し液路１０２と、戻し液路１０２の途中に配置された開閉弁Ｖｂと、吸引・圧送手段ＳＶ、断続バルブＶａおよび開閉弁Ｖｂを制御する制御装置１０５を備えている。さらに、リリーフ弁１０３を備えた逃がし路１０４を、ダイ側給液路１０１ａに連通することにより、吸引・圧送手段ＳＶから圧送された高圧の塗布液Ｍを、タンクＴへ逃がせるようにしている。この間欠塗布装置では、塗布域Ｃを形成するときは、断続バルブＶａを開きかつ開閉弁Ｖｂを閉じてダイＤから塗布液Ｍを基材Ｗに塗布すると共に、塗布域Ｃと塗布域Ｃとの間の非塗布域Ｇでは、断続バルブＶａを閉じかつ開閉弁Ｖｂを開いて戻し液路１０２を通してタンクＴへ塗布液Ｍを戻すように、制御装置１０５が制御する。これにより、塗布液Ｍを圧送するポンプＰの連続運転を確保している。
【０００５】
さらに、特許文献１は、断続バルブＶａとダイＤとの間に設置した吸引・圧送手段ＳＶによって、塗布域Ｃでの塗布液Ｍの、急速な厚みの立ち上げや急速な厚みの立ち下げを行うことを提案している。また、リリーフ弁１０３を備えた逃がし路１０４を設けることにより、吸引・圧送手段ＳＶから圧送されリリーフ弁１０３の設定圧力を越えている高圧の塗布液Ｍは逃がし路１０４を介してタンクＴへ逃がせるように構成している。
【０００６】
図８は、特許文献２に示された間欠塗布装置の間欠供給用バルブを示す断面図である。特許文献２の間欠供給用バルブ２００は、シリンダー２０１と、弁座２０２と、弁体２０３と、ピストン２０４と、圧空室２０５ａ、２０５ｂなどを備えている。間欠供給用バルブ２００は、圧空室２０５ａ、２０５ｂに圧空を供給することによりピストン２０４を移動させるエアシリンダ構造を有する。特許文献２では、間欠供給用バルブ２００をエアシリンダで駆動した場合に発生する、塗り始めの盛り上がりを抑制する方法を提供している。
【０００７】
特許文献３では、スプレー時のみフィードバック制御を同期させるようにすることにより、実質噴射量を設定どおり管理できるようにした塗布流量フィードバック制御システムが提案されている。特許文献３では、スプレーＯＦＦ時にはフィードバック制御は中止され、塗料の供給は継続するが戻しバルブを開いて、循環通路を介して塗料供給ポンプに塗料を戻すことが提案されている。
【０００８】
特許文献４には、タンクとダイとをつなぐ液通路に仕切弁が設けられた間欠塗布装置が記載されており、仕切弁へ供給する制御電流を調整してその開度を制御することにより、塗布パターンの塗布開始点や終了点等の過渡的部分の形状をも精度良く形成することが提案されている。
【０００９】
特許文献５には、液体の吐出停止時には管路が送液用管から戻り用管に切り替えられる液体塗布装置が記載されており、液体戻し時の圧力と液体吐出時の圧力とが同一になるよう調節することにより、管路が切り替えられると直ちに液体がダイから吐出され、これによって塗布開始部および塗布終了部をシャープなエッジで塗布することが提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開２００３−３４０３３８号公報
【特許文献２】特開２００１−３８２７６号公報
【特許文献３】特開２００６−２７２２１１号公報
【特許文献４】特開２０１１−８８１３８号公報
【特許文献５】特開平１０−７６２０９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかしながら、特許文献１の間欠塗布装置では、断続バルブＶａおよび開閉弁Ｖｂ以外に、ピストンのような吸引・圧送手段ＳＶを追加する必要があり、構成部品が増加し、故障原因が増加するという課題がある。
【００１２】
特許文献２はエアシリンダ駆動の場合の盛り上がり抑制に効果的であるが、急速な塗布厚みの立ち上げについては、考慮されていない。
【００１３】
特許文献３乃至５で提案された塗布装置や塗布装置を用いても、ポンプを連続運転しつつ、構成部品をできるかぎり増加させないで、急速な塗布厚みの立ち上げは実現することができない。
【００１４】
したがって、本発明の目的は、上述した課題である、構成部品の大幅な増加なしに、厚さが均一な塗布領域を形成することができないという課題を解決する間欠塗布装置および塗布方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
前記目的を達成するため、本発明に係る間欠塗布装置は、塗布液を貯えるタンクと、上記塗布液を吐出するダイと、上記ダイへ上記塗布液を供給する配管と、上記配管の途中に設けられ塗布液を圧送するポンプと、上記ポンプと上記ダイとの間の上記配管に設けられた供給弁と、上記ポンプと上記供給弁との間の上記配管の途中から分岐し、上記ダイから上記塗布液が吐出されていない期間に上記塗布液が通過して上記タンクへ上記塗布液を回収する戻し配管と、上記戻し配管の途中に設けられた戻し弁とを有し、
少なくとも上記戻し弁は開閉状態が任意に制御可能であり、
上記戻し弁は弁座と弁体とを備え、上記弁座を挟んで第１および第２の貫通孔を有し、
上記戻し弁の上記第１および第２の貫通孔は上記戻し弁が上記戻し配管に挿入されるように上記戻し配管に連通されていることを特徴とする。
【００１６】
本発明に係る他の間欠塗布装置は、塗布液を貯えるタンクと、上記塗布液を吐出するダイと、上記ダイへ上記塗布液を供給する配管と、上記配管の途中に設けられ上記塗布液を圧送するポンプと、上記ポンプと上記ダイとの間の上記配管に設けられた供給弁と、上記ダイから上記塗布液が吐出されていない期間に上記塗布液が通過して上記タンクへ上記塗布液を回収する戻し配管と、開閉状態が制御される戻し弁とを有し、
少なくとも上記戻し弁は開閉状態が任意に制御可能であり、
上記戻し弁は弁座の一方の側に第１および第２の貫通孔を他方の側に第３の貫通孔を有し、上記第１および第２の貫通孔は上記戻し弁が上記ポンプと上記供給弁との間の上記配管に挿入されるように上記配管に連通され、上記第３の貫通孔は上記戻し配管に連通されていることを特徴とする。
【００１７】
本発明に係るさらに他の間欠塗布装置は、塗布液を貯えるタンクと、上記塗布液を吐出するダイと、上記ダイへ上記塗布液を供給する配管と、上記配管の途中に設けられ上記塗布液を圧送するポンプと、上記ポンプと上記ダイとの間の上記配管に設けられた供給弁と、上記ダイから上記塗布液が吐出されていない期間に上記塗布液が通過して上記タンクへ上記塗布液を回収する戻し配管と、上記戻し配管の途中に設けられた戻し弁とを有し、
少なくとも上記戻し弁は開閉状態が任意に制御可能であり、
上記供給弁は弁座の一方の側に第１および第２の貫通孔を他方の側に第３の貫通孔を有し、上記第１および第３の貫通孔は上記供給弁が上記配管に挿入されるように上記配管に連通され、上記第２の貫通孔は上記戻し配管に連通されていることを特徴とする。
【００１８】
また、本発明に係る塗布方法は、全開状態の供給弁を通して塗布液を吐出し、上記供給弁を全閉状態とし、全開状態の戻し弁を通して上記塗布液を回収した後に上記戻し弁の開閉状態を制御し、その後に上記供給弁を全開状態とすることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、構成部品の大幅な増加を招かずに、厚さが均一な塗布領域を形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の第１実施形態に係る間欠塗布装置を説明するための概略構成図である。
【図２】図１の供給弁５、戻し弁８および制御装置１０の細部を説明するための概略構成図である。
【図３】（ａ）は供給弁５や戻し弁８の弁体の軌道を説明するための概略構成図であり、（ｂ）は（ａ）の弁体の軌道を時間に対する位置で表したグラフである。
【図４】本発明の実施形態に係る間欠塗布装置による塗布方法を説明するためのタイミングチャートである。
【図５】本発明の第２実施形態に係る間欠塗布装置を説明するための概略構成図である。
【図６】本発明の第３実施形態に係る間欠塗布装置を説明するための概略構成図である。
【図７】特許文献１に示された間欠塗布装置の要部を示す概略図である。
【図８】特許文献２に示された間欠塗布装置の間欠供給用バルブを示す断面図である。
【図９】特許文献１の間欠塗布装置を用いた塗布方法を説明するためのタイミングチャートである。
【図１０】別の関連する塗布方法を説明するためのタイミングチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
本発明の好ましい実施形態について説明する前に、背景技術に記載した関連する間欠塗布装置を用いた塗布方法について、説明する。特許文献１には間欠塗布装置が示されているが、この装置の制御態様について具体的な記載がない。図９は、図７の間欠塗布装置を用いた塗布方法の一例を説明するためのタイミングチャートである。図１０は、別の関連する塗布方法を想定した、タイミングチャートである。
【００２２】
図７の間欠塗布装置を用いた塗布方法としては、次のものが考えられる。塗布期間では断続バルブＶａを開くと共に開閉弁Ｖｂを閉じるよう、制御装置１０５は弁体位置を制御する。戻し期間では、断続バルブＶａを閉じると共に開閉弁Ｖｂを開くよう、制御装置１０５は弁体位置を制御する。図９では、塗布期間の塗り終わりにおける急速な立ち下げを目的として、開閉弁Ｖｂのストロークを大きく、すなわち開閉弁Ｖｂの開度を大きくしている。開閉弁Ｖｂのストロークを大きくとは、例えば、５ｍｍとする。こうすると、塗布圧力の立ち下がりにおいて負圧が発生し、戻し期間での、ダイＤからの塗布液もれを防止することができる。しかしながら、戻し期間中に供給圧力が小さくなってしまうために、次の塗布期間の塗り始めでは急速な塗布圧力の立ち上がりが期待できなくなる。
【００２３】
図７の間欠塗布装置を用いた別の関連する塗布方法としては、次のものも想定される。塗布期間では断続バルブＶａを開くと共に開閉弁Ｖｂを閉じるよう、制御装置１０５は弁体位置を制御する。戻し期間では、断続バルブＶａを閉じると共に開閉弁Ｖｂを開くよう、制御装置１０５は弁体位置を制御する。図１０では、塗布期間の塗り始めにおける塗布圧力の急速な立ち上がりを目的として、供給圧力を上げるために、開閉弁Ｖｂのストロークを小さく、すなわち開閉弁Ｖｂの開度を小さくしている。開閉弁Ｖｂのストロークを小さくとは、例えば、１ｍｍとする。こうすると、開閉弁Ｖｂの開度を小さくしたことにより、戻し期間中の開閉弁Ｖｂの圧力損失が大きくでき、供給圧力が上昇する。その結果、塗布期間の開始直後に急速に塗布圧力を立ち上げることができる。しかしながら、開閉弁Ｖｂの開度を小さくしたために、塗布期間の終了における塗布圧力の負圧が発生しなくなる。
【００２４】
現在主流の間欠塗布装置は、供給弁と戻し弁を有する構成が多く、供給弁や戻し弁の開度については、全開と全閉の二つの開度のみ定義している。このとき、供給弁は、全開と全閉の反転を繰り返す。供給弁が全開のとき戻し弁は全閉に、供給弁が全閉のとき戻し弁は全開にする。供給弁や戻し弁を動かす時間のタイミングは同時のことが多いが、動かすタイミングをずらすこともある。例えば、塗り始めの立ち上がり改善のために、供給弁を開く少し前に戻し弁を閉じるということもある。しかし、時間のタイミングをずらす方法は、供給弁あるいは戻し弁の弁体の動作時間を数１００マイクロ秒単位で厳密に管理する必要がある。しかし、開閉を繰り返す弁においては、連続使用時間に応じて摩擦や粘性抵抗など機械的特性が変化していく。弁の機械的特性が変化する中で、弁体が実際に動き出すタイミングを数１００マイクロ秒単位で厳密に管理することは困難である。
【００２５】
次に、本発明の好ましい実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。
【００２６】
〔第１実施形態〕
初めに、本発明の第１の実施形態による間欠塗布装置および塗布方法について、図面を参照しながら説明する。図１は、本発明の第１実施形態に係る間欠塗布装置を説明するための概略構成図である。図２は、図１の供給弁５、戻し弁８および制御装置１０の細部を説明するための概略構成図である。図３（ａ）は供給弁５や戻し弁８の弁体の軌道を説明するための概略構成図であり、図３（ｂ）は図３（ａ）の弁体の軌道を時間に対する位置で表すグラフである。図４は、本発明の実施形態に係る間欠塗布装置による塗布方法を説明するためのタイミングチャートである。
【００２７】
図１に示すように、本実施形態による間欠塗布装置は、塗布液２０を吐出するダイ２と、ダイ２へ塗布液２０を供給する配管３と、配管３の途中に設けられ塗布液２０を圧送するポンプ４と、ポンプ４とダイ２との間の上記配管３に設けられ、開閉状態が制御される供給弁５と、ダイ２から塗布液２０が吐出されていない期間に塗布液２０が通過する戻し配管９と、戻し配管９の途中に設けられ、開閉状態が制御される戻し弁８とを有している。本実施形態では、戻し配管９は配管３の途中から分岐するように、配管３に接続されている。ポンプ４は、間欠塗布装置が稼働している間、配管３の塗布液２０を圧送し続ける連続運転をしている。
【００２８】
さらに、間欠塗布装置は、塗布液２０を貯えるタンク１と、供給弁５とダイ２との間の配管３に設けられた塗布圧力センサー６と、ポンプ４と供給弁５との間の配管３に設けられた供給圧力センサー７と、供給弁５および戻し弁８を制御する制御装置１０とを有している。
【００２９】
供給弁５と戻し弁８の細部について、説明する。図２に示すように、供給弁５は、シリンダー５ａ、弁体５ｂ、弁座５ｃ、および弁体５ｂを駆動するサーボモーター５ｄを有している。供給弁５の弁体５ｂは、サーボモーター５ｄと接続されており、任意の軌道で移動させることができる。弁体５ｂは制御装置１０に制御されたサーボモーター５ｄにより、シリンダー５ａの内部を移動し、これにより供給弁５は開閉状態が制御される。さらに、図２に示すように、戻し弁８は、シリンダー８ａ、弁体８ｂ、弁座８ｃ、および弁体８ｂを駆動するサーボモーター８ｄを有している。戻し弁８の弁体８ｂは、サーボモーター８ｄと接続されており、任意の軌道で移動させることができる。弁体８ｂは制御装置１０に制御されたサーボモーター８ｄにより、シリンダー８ａの内部を移動し、これにより戻し弁８は開閉状態が制御される。
【００３０】
ここで言う軌道とは、図３に示すように、指定した時間ｔにおいて指定した位置ｘを通過するように、弁体５ｂや弁体８ｂを駆動することである。位置ｘは、弁体５ｂ、８ｂが弁座５ｃ、８ｃに接触している位置を基準、すなわちｘ＝０とする。本実施形態においては、図３に示すように、弁体５ｂ、８ｂは直動方向に運動し、サーボモーター５ｄ、８ｄには直動のリニアモーターを使用することを想定している。軌道を設定可能であれば、回転モーターを直動に変換して弁体５ｂや弁体８ｂを駆動する構成としてもよい。
【００３１】
図１に示すように、シート２１は一方向に送られており、断続的にダイ２から塗布液２０が吐出されることにより、シート２１上に断続的に塗布膜２２が形成される。
【００３２】
本実施形態の間欠塗布装置では、戻し弁８は、開状態、閉状態、または開状態と閉状態との中間の半開状態に制御される。言い換えると、戻し弁８は、開度が大きい状態、開度がゼロの状態、または開度が大きい状態とゼロの状態との間の開度が小さい状態に、制御される。さらに言い換えると、戻し弁８は、弁体８ｂのストロークが大きい状態、弁体８ｂのストロークがゼロの状態、または弁体８ｂのストロークが大きい状態とゼロの状態との間のストロークが小さい状態に、制御される。
【００３３】
制御装置１０は、供給弁５が閉状態のときには戻し弁８が開状態または半開状態になるよう、サーボモーター５ｄ、８ｄを制御する。さらに、制御装置１０は、供給弁５が閉状態から開状態に遷移する前に、戻し弁８が開状態から開状態と閉状態との間の半開状態になるよう、サーボモーター５ｄ、８ｄを制御する。
【００３４】
次に、図４のタイミングチャートを参照して、本実施形態による間欠塗布装置の動作および塗布方法について、説明する。供給弁５を閉状態から開状態に遷移させると共に、戻し弁８を閉状態に遷移させるように制御して、塗布期間となる。例えば、戻し弁８の開度が０ｍｍとなるように制御する。配管３を通じて、タンク１から供給弁５を通してダイ２へ塗布液２０が送られ、ダイ２から塗布液２０が吐出される。この塗布期間の間、供給弁５および戻し弁８の開閉状態が維持されて、一方向に送られているシート２１上に塗布膜２２が形成される。
【００３５】
次に、供給弁５を開状態から閉状態に遷移させると共に、戻し弁８を閉状態から開状態に遷移させるように制御して、戻し期間となる。例えば、戻し弁８の開度が０ｍｍから５ｍｍとなるように制御する。戻し期間では、ダイ２は塗布液２０の吐出を停止すると共に、配管３およびポンプ４を通じタンク１から圧送された塗布液２０は戻し弁８および戻し配管９を経由して、タンク１へ戻される。さらに、本実施形態では戻し期間において、供給弁５を閉状態に維持したまま、戻し弁８を開状態から開状態と閉状態との中間の半開状態へと遷移させるように、制御する。例えば、戻し弁８の開度が５ｍｍから１ｍｍとなるように制御する。これにより、次の塗布期間の前の戻し期間において、図４に示すように塗布液２０の供給圧力を高めることができる。
【００３６】
次に、供給弁５を閉状態から開状態に遷移させると共に、戻し弁８を半開状態から閉状態に遷移させるように制御して、塗布期間となる。例えば、戻し弁８の開度が１ｍｍから０ｍｍとなるように制御する。こうして、再び、配管３および供給弁５を通して、タンク１からダイ２へ塗布液２０が送られ、ダイ２から塗布液２０が吐出される。塗布期間の間、供給弁５および戻し弁８の開閉状態が維持されて、シート２１上に塗布膜２２が形成される。
【００３７】
次に、供給弁５を開状態から閉状態に遷移させると共に、戻し弁８を閉状態から開状態に遷移させるように制御して、再び戻し期間となる。すなわち、戻し弁８の開度が０ｍｍから５ｍｍとなるように制御する。
【００３８】
本実施形態による間欠塗布装置では、戻し弁８を、制御装置１０に制御されたサーボモーター８ｄで、開状態、閉状態、または開状態と閉状態との中間の半開状態に制御している。言い換えると、戻し弁８は、開度が大きい状態、開度がゼロの状態、または開度が大きい状態とゼロの状態との間の開度が小さい状態に、制御される。さらにまた、言い換えると、戻し弁８は、弁体８ｂのストロークが大きい状態、弁体８ｂのストロークがゼロの状態、または弁体８ｂのストロークが大きい状態とゼロの状態との間のストロークが小さい状態に、制御される。
【００３９】
これまでの間欠塗布装置に新たな構成部品を追加することなく、戻し弁８の開度制御により、供給弁５を開状態とした直後に塗布圧力を急速に立ち上げることができる。塗布期間と戻し期間とを繰り返すことにより、シート２１上に断続的に塗布膜２２が形成され、塗布開始点等の過渡的部分の形状をも精度よく制御された塗布パターンを間欠的に形成することができる。
【００４０】
特に、塗布液２０が戻し弁８を通過する戻し期間中に戻し弁８の開度を変更することが効果的である。本実施形態による間欠塗布装置によれば、塗り終わりに戻し弁８の開度を大きくして、塗布圧力を急速に立ち下げることができる。また、塗り始め前には戻し弁８の開度を小さくし、供給弁５前までの塗布液２０の供給圧力を高めておけるので、供給弁５を開いた直後に塗布圧力を急速に立ち上げることができる。その結果、厚さが均一な塗布領域を形成することができる。
【００４１】
また本実施形態の塗布方法によれば、供給弁５を開いた直後に塗布圧力を急速に立ち上げることができる。その結果、塗布パターンの塗布開始点等の過渡的部分の形状をも精度よく形成することができる。
【００４２】
〔第２実施形態〕
次に、本発明の第２実施形態に係る間欠塗布装置および塗布方法を説明する。図５は、本発明の第２実施形態に係る間欠塗布装置を説明するための概略構成図である。
【００４３】
本実施形態の間欠塗布装置は、図５に示すように、塗布液２０を吐出するダイ２と、ダイ２へ塗布液２０を供給する配管３と、配管３の途中に設けられ塗布液２０を圧送するポンプ４と、ポンプ４とダイ２との間の上記配管３に設けられ、開閉状態が制御される供給弁５と、ダイ２から塗布液２０が吐出されていない期間に塗布液２０が通過する戻し配管９と、供給弁５とポンプ４との間の配管３と戻し配管９との間に設けられ、開閉状態が制御される戻し弁８とを有している。すなわち、本実施形態の戻し弁８は、供給弁５とポンプ４との間の配管３の途中に設けられており、かつ配管３と戻し配管９との間に設けられている。ポンプ４は、間欠塗布装置が稼働している間、配管３の塗布液２０を圧送し続ける連続運転をしている。
【００４４】
さらに、間欠塗布装置は、塗布液２０を貯えるタンク１と、供給弁５とダイ２との間の配管３に設けられた塗布圧力センサー６と、ポンプ４と戻し弁８との間の配管３に設けられた供給圧力センサー７と、供給弁５の弁体を駆動するサーボモーター５ｄと戻し弁８の弁体を駆動するサーボモーター８ｄとを制御する制御装置１０とを有している。
【００４５】
供給弁５は、弁座を挟んで第１の貫通孔５ｉおよび第２の貫通孔５ｏを備えている。そして、供給弁５の第１の貫通孔５ｉおよび第２の貫通孔５ｏは供給弁５が配管３に挿入されるように、配管３に連通されている。さらに、戻し弁８は、弁座の一方の側に第１の貫通孔８ｉと第２の貫通孔８ｉとを、他方の側に第３の貫通孔８ｏを備えている。そして、戻し弁８の第１の貫通孔８ｉおよび第２の貫通孔８ｉが配管３に挿入されるように、配管３に連通されている。さらに、戻し弁８の第３の貫通孔８ｏが戻し配管９に連通されている。
【００４６】
本実施形態では、塗布期間では戻し弁８の第１の貫通孔８ｉおよび第２の貫通孔８ｉ、供給弁５を通して、塗布液２０がダイ２へ送られて、シート２１に塗布膜２２が形成される。戻し期間では、戻し弁８の第１の貫通孔８ｉおよび第３の貫通孔８ｏを通して、戻し配管９へ塗布液２０が送られて、タンク１へ戻される。
【００４７】
本実施形態の間欠塗布装置および塗布方法においても、供給弁５および戻し弁８の開閉状態、開度、や各弁が備える弁体のストロークを、図４で示される第１の実施形態と同じようなタイミングで制御することにより、第１の実施形態と同様な効果がもたらされる。
【００４８】
〔第３実施形態〕
次に、本発明の第３実施形態に係る間欠塗布装置および塗布方法を説明する。図６は、本発明の第３実施形態に係る間欠塗布装置を説明するための概略構成図である。
【００４９】
本実施形態の間欠塗布装置は、図６に示すように、塗布液２０を吐出するダイ２と、ダイ２へ塗布液２０を供給する配管３と、配管３の途中に設けられ塗布液２０を圧送するポンプ４と、ポンプ４とダイ２との間の上記配管３に設けられ、開閉状態が制御される供給弁５と、ダイ２から塗布液２０が吐出されていない期間に塗布液２０が通過する戻し配管９ａ、９ｂと、戻し配管９ａと戻し配管９ｂとの間に設けられ、開閉状態が制御される戻し弁８とを有している。すなわち、本実施形態の戻し弁８は、戻し配管９ａと戻し配管９ｂとから構成される戻し配管の途中に設けられている。ポンプ４は、間欠塗布装置が稼働している間、配管３の塗布液２０を圧送し続ける連続運転をしている。
【００５０】
さらに、間欠塗布装置は、塗布液２０を貯えるタンク１と、供給弁５とダイ２との間の配管３に設けられた塗布圧力センサー６と、ポンプ４と供給弁５との間の配管３に設けられた供給圧力センサー７と、供給弁５の弁体を駆動するサーボモーター５ｄと戻し弁８の弁体を駆動するサーボモーター８ｄとを制御する制御装置１０とを有している。
【００５１】
供給弁５は、弁座の一方の側に第１の貫通孔５ｉと第２の貫通孔５ｉとを、他方の側に第３の貫通孔５ｏを備えている。そして、供給弁５の第１の貫通孔５ｉおよび第３の貫通孔５ｏは供給弁５が配管３に挿入されるように、配管３に連通されている。供給弁５の第２の貫通孔５ｉは、戻し配管９ｂに連通されている。さらに、戻し弁８は、弁座を挟んで第１の貫通孔８ｉおよび第２の貫通孔８ｏを備えている。そして、戻し弁８の第１の貫通孔８ｉおよび第２の貫通孔８ｏが戻し配管９ａと供給弁と連結した戻し配管９ｂとの間に挿入されるように、戻し配管９ａ、９ｂに連通されている。
【００５２】
本実施形態では、塗布期間では供給弁５の第１の貫通孔５ｉおよび第３の貫通孔５ｏを通して、塗布液２０がダイ２へ送られて、シート２１に塗布膜２２が形成される。戻し期間では、供給弁５の第１の貫通孔５ｉおよび第２の貫通孔５ｉ、戻し配管９ｂ、戻し弁８を通して、戻し配管９ａへ塗布液２０が送られて、塗布液２０はタンク１へ戻される。
【００５３】
本実施形態の間欠塗布装置および塗布方法においても、供給弁５および戻し弁８の開閉状態、開度、および各弁が備える弁体のストロークを、図４で示される第１の実施形態と同じようなタイミングで制御することにより、第１の実施形態と同様な効果がもたらされる。
【００５４】
以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明は様々な態様の間欠塗布装置に適用可能であり、本発明は必ずしも上述した実施形態に限定されるものではない。
【００５５】
また、上記の実施形態の一部又は全部は、新規な技術として以下のようにまとめられるが、本発明は必ずしもこれに限定されるものではない。
（付記１）塗布液を貯えるタンクと、前記塗布液を吐出するダイと、前記ダイへ前記塗布液を供給する配管と、前記配管の途中に設けられ塗布液を圧送するポンプと、前記ポンプと前記ダイとの間の前記配管に設けられた供給弁と、前記ポンプと前記供給弁との間の前記配管の途中から分岐し、前記ダイから前記塗布液が吐出されていない期間に前記塗布液が通過して前記タンクへ前記塗布液を回収する戻し配管と、前記戻し配管の途中に設けられた戻し弁とを有し、
少なくとも前記戻し弁は開閉状態が任意に制御可能であり、
前記戻し弁は弁座と弁体とを備え、前記弁座を挟んで第１および第２の貫通孔を有し、前記戻し弁の前記第１および第２の貫通孔は前記戻し弁が前記戻し配管に挿入されるように前記戻し配管に連通されていることを特徴とする間欠塗布装置。
（付記２）塗布液を貯えるタンクと、前記塗布液を吐出するダイと、前記ダイへ前記塗布液を供給する配管と、前記配管の途中に設けられ前記塗布液を圧送するポンプと、前記ポンプと前記ダイとの間の前記配管に設けられた供給弁と、前記ダイから前記塗布液が吐出されていない期間に前記塗布液が通過して前記タンクへ前記塗布液を回収する戻し配管と、開閉状態が制御される戻し弁とを有し、
少なくとも前記戻し弁は開閉状態が任意に制御可能であり、
前記戻し弁は弁座の一方の側に第１および第２の貫通孔を他方の側に第３の貫通孔を有し、前記第１および第２の貫通孔は前記戻し弁が前記ポンプと前記供給弁との間の前記配管に挿入されるように前記配管に連通され、前記第３の貫通孔は前記戻し配管に連通されることを特徴とする間欠塗布装置。
（付記３）塗布液を貯えるタンクと、前記塗布液を吐出するダイと、前記ダイへ前記塗布液を供給する配管と、前記配管の途中に設けられ前記塗布液を圧送するポンプと、前記ポンプと前記ダイとの間の前記配管に設けられた供給弁と、前記ダイから前記塗布液が吐出されていない期間に前記塗布液が通過して前記タンクへ前記塗布液を回収する戻し配管と、前記戻し配管の途中に設けられた戻し弁とを有し、
少なくとも前記戻し弁は開閉状態が任意に制御可能であり、
前記供給弁は弁座の一方の側に第１および第２の貫通孔を他方の側に第３の貫通孔を有し、前記第１および第３の貫通孔は前記供給弁が前記配管に挿入されるように前記配管に連通され、前記第２の貫通孔は前記戻し配管に連通されることを特徴とする間欠塗布装置。
（付記４）前記供給弁の弁体のストロークが略ゼロの状態からストロークが大きい状態に遷移する前に、前記戻し弁の弁体のストロークが大きい状態からストロークが略ゼロの状態との間のストロークが小さい状態になるよう制御されることを特徴とする、付記１乃至３のいずれか一項に記載の間欠塗布装置。
（付記５）全開状態の供給弁を通して塗布液を吐出し、前記供給弁を全閉状態とし、全開状態の戻し弁を通して前記塗布液を回収した後に前記戻し弁の開閉状態を制御し、その後に前記供給弁を全開状態とすることを特徴とする塗布方法。
（付記６）前記供給弁が閉状態のときには前記戻し弁が開状態になるよう制御され、
前記供給弁が閉状態から開状態に遷移する前に、前記戻し弁は開状態から開状態と閉状態との間の半開状態になるよう制御されることを特徴とする、付記５に記載の塗布方法。
（付記７）ダイから前記塗布液を吐出する塗布期間と、前記ダイから前記塗布液を吐出しない戻し期間とを交互に繰り返しながら塗布し、
前記戻し期間においては、前記戻し弁が開状態から開状態と閉状態との間の半開状態になるよう制御されるのに先立って、前記供給弁が開状態から閉状態になるよう制御されることを特徴とする、付記５に記載の塗布方法。
（付記８）前記供給弁の開度が略ゼロの状態から開度が大きい状態に遷移する前に、前記戻し弁は開度が大きい状態から開度が略ゼロの状態との間の中間状態になるよう制御されることを特徴とする、付記５に記載の塗布方法。
（付記９）ダイから前記塗布液を吐出する塗布期間と、前記ダイから前記塗布液を吐出しない戻し期間とを交互に繰り返しながら塗布し、
前記戻し期間においては、前記戻し弁の開度が大きい状態から開度が略ゼロの状態との間の中間状態になるよう制御されるのに先立って、前記供給弁の開度が大きい状態から開度が略ゼロの状態になるよう制御されることを特徴とする、付記５に記載の塗布方法。
（付記１０）前記供給弁の弁体のストロークが略ゼロの状態からストロークが大きい状態に遷移する前に、前記戻し弁の弁体のストロークが大きい状態からストロークが略ゼロの状態との間のストロークが小さい状態になるよう制御されることを特徴とする、付記５に記載の塗布方法。
（付記１１）ダイから前記塗布液を吐出する塗布期間と、前記ダイから前記塗布液を吐出しない戻し期間とを交互に繰り返しながら塗布し、
前記戻し期間においては、前記戻し弁の弁体のストロークが大きい状態からストロークが略ゼロの状態との間のストロークが小さい状態になるよう制御されるのに先立って、前記供給弁の弁体のストロークが大きい状態から略ゼロの状態になるよう制御されることを特徴とする、付記５に記載の塗布方法。
【符号の説明】
【００５６】
１    タンク
２    ダイ
３    配管
４    ポンプ
５    供給弁
５ａ、８ａ    シリンダー
５ｂ、８ｂ    弁体
５ｃ、８ｃ    弁座
５ｄ、８ｄ    サーボモーター
５ｉ、５ｏ、８ｉ、８ｏ    貫通孔
６    塗布圧力センサー
７    供給圧力センサー
８    戻し弁
９、９ａ、９ｂ    戻し配管
１０    制御装置
２０    塗布液
２１    シート
２２    塗布膜
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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