(57)【要約】【課題】コストを抑制しながら、簡易な手法で車室のめっき施工を可能とした回転機械の製造方法、めっき方法、及び回転機械を提供する。【解決手段】吸入口５、排出口６、上流側開口部１０、下流側開口部１１の複数の開口部を有して、流体を吸入、排出する遠心圧縮機の車室１を形成する車室形成工程と、車室形成工程の後に、上記開口部を通じて、車室１内へ前処理液を供給した後に該車室１から排出して該車室１の内面の活性化を行う表面活性化工程と、上記表面活性化工程の後に、上記開口部を通じて、めっき液Ｗ３の車室１内への供給と車室１内からの排出を行って循環させ、車室１の内面１ａのめっきを行うめっき工程Ｓ５と、めっき工程Ｓ５でめっきされた車室１によって、外周側から覆われるように、車室１に対して相対回転可能な回転体である回転軸、インペラを設ける組立工程と、を備えることを特徴とする。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の開口部を有して、流体を吸入、排出する回転機械の車室を形成する車室形成工程と、
前記車室形成工程の後に、前記開口部を通じて、前記車室内へ前処理液を供給した後に該車室から排出して該車室の内面の活性化を行う表面活性化工程と、
前記表面活性化工程の後に、前記開口部を通じて、めっき液の前記車室内への供給と前記車室内からの排出を行って循環させ、前記車室の内面のめっきを行うめっき工程と、
前記めっき工程でめっきされた前記車室によって、外周側から覆われるように、該車室に対して相対回転可能な回転体を設ける組立工程と、
を備えることを特徴とする回転機械の製造方法。
【請求項２】
前記表面活性化工程と前記めっき工程との間に、前記開口部を通じて、前記車室内へ予熱液を供給した後に該車室から排出して、前記車室の予熱を行う予熱工程をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の回転機械の製造方法。
【請求項３】
前記予熱工程では、前記予熱液として還元剤が含有された予熱液によって予熱されることを特徴とする請求項２に記載の回転機械の製造方法。
【請求項４】
前記めっき工程では、前記車室内に供給された前記めっき液が撹拌手段によって撹拌されることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の回転機械の製造方法。
【請求項５】
前記めっき工程では、前記複数の開口部のうちで最も大きな開口を有する該開口部が上方を向いた状態でめっきが行われることを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の回転機械の製造方法。
【請求項６】
前記めっき工程では、前記複数の開口部のうち、めっき施工が必要な該開口部であって前記流体の吸入及び排出を行う該開口部から、前記めっき液を供給し、排出することを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載の回転機械の製造方法。
【請求項７】
前記めっき工程では、前記複数の開口部のうちで上方に開口する開口部を上方に延長するように、該開口部の開口縁部を外周側から取り囲むカバー部材を前記車室に設けた状態でめっきが行われることを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載の回転機械の製造方法。
【請求項８】
前記めっき工程では、前記車室の内面と離間した状態で該車室の内部に中子が設けられて、めっきが行われることを特徴とする請求項１から７のいずれか一項に記載の回転機械の製造方法。
【請求項９】
前記めっき工程では、前記中子として、外周面に内外を連通する貫通孔が形成された中空部材を用い、該中空部材の内部に前記めっき液を供給するとともに前記貫通孔から該中空部材の外部へ噴出することを特徴とする請求項８に記載の回転機械の製造方法。
【請求項１０】
前記めっき工程では、前記中子を移動させながらめっきが行われることを特徴とする請求項８又は９に記載の回転機械の製造方法。
【請求項１１】
前記めっき工程では、該車室の内部を前記車室の延在方向に複数の空間に区画する仕切り板を、それぞれの前記空間に少なくとも二つの前記開口部が連通するように設けた状態でめっきが行われることを特徴とする請求項１から１０のいずれか一項に記載の回転機械の製造方法。
【請求項１２】
前記めっき工程では、前記車室に振動付与手段によって振動を与えながらめっきが行われることを特徴とする請求項１から１１のいずれか一項に記載の回転機械の製造方法。
【請求項１３】
前記めっき工程では、前記車室の内面をブラシによって擦りながらめっきが行われることを特徴とする請求項１から１２のいずれか一項に記載の回転機械の製造方法。
【請求項１４】
請求項１から１３のいずれか一項に記載の製造方法で製造されたことを特徴とする回転機械。
【請求項１５】
複数の開口部を有して、流体を吸入、排出する回転機械の車室の内面にめっきを行う回転機械のめっき方法であって、
前記開口部を通じて、前記車室内へ前処理液を供給した後に該車室から排出して該車室の内面の活性化を行う表面活性化工程と、
前記表面活性化工程の後に、前記開口部を通じて、めっき液の前記車室内への供給と前記車室内からの排出を行って循環させ、前記車室の内面のめっきを行うめっき工程と、
を備えることを特徴とする回転機械のめっき方法。
【請求項１６】
請求項１５に記載のめっき方法で製造されたことを特徴とする回転機械。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回転機械の製造において行われる車室内面へのめっき施工に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、遠心圧縮機やタービン等の回転機械には、回転軸、羽根部等の回転体を外周側から覆う車室が設けられている。この車室の内部は作動流体に曝されるため、例えばこの作動流体が二酸化炭素である場合には、車室内面に防食対策としてめっきが施工されている。
【０００３】
ここで、このようなめっき施工は通常、めっき槽内のめっき液に車室を浸漬することによって行われるが、回転機械の車室は寸法に応じた大容量のめっき槽が必要になり、コストアップが避けられないのが現状である。
【０００４】
ところで、特許文献１には、長尺管の内部にめっき液を圧送することで、めっき槽を用いることなく長尺管の内面のめっきを施工するめっき方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平８―３１９５７６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１のめっき方法を用いればめっき槽が不要となり、コスト抑制につながるものの、車室は、寸法が非常に大きいことに加えて形状も複雑であることから、特許文献１の方法を回転機械の車室内面のめっき施工に適用しようとした場合には、大掛かりな装置が必要となってしまい、めっき施工は容易ではない。
【０００７】
本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであって、コストを抑制しながら、簡易な手法で車室のめっき施工を可能とした回転機械の製造方法、回転機械のめっき方法、及び回転機械を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するため、本発明は以下の手段を採用している。
即ち、本発明に係る回転機械の製造方法は、複数の開口部を有して、流体を吸入、排出する回転機械の車室を形成する車室形成工程と、前記車室形成工程の後に、前記開口部を通じて、前記車室内へ前処理液を供給した後に該車室から排出して該車室の内面の活性化を行う表面活性化工程と、前記表面活性化工程の後に、前記開口部を通じて、めっき液の前記車室内への供給と前記車室内からの排出を行って循環させ、前記車室の内面のめっきを行うめっき工程と、前記めっき工程でめっきされた前記車室によって、外周側から覆われるように、該車室に対して相対回転可能な回転体を設ける組立工程と、を備えることを特徴とする。
【０００９】
このような回転機械の製造方法によると、車室に形成された開口部から、前処理液による車室内面の活性化を行い、さらにめっき液の循環によるめっき施工を行う。車室は、流体の吸入、排出を行う開口部が複数形成されているものであるため、表面活性化工程、めっき工程では、前処理液及びめっき液の供給、排出をこれら複数の開口部をそのまま用いて行うことができる。従って、これら前処理液及びめっき液の供給、排出を行うノズル等を別途設けることなく、また車室全体を浸漬するようなめっき槽も不要としながら、車室内面のめっき施工が可能である。
【００１０】
また、本発明に係る回転機械の製造方法は、前記表面活性化工程と前記めっき工程との間に、前記開口部を通じて、前記車室内へ予熱液を供給した後に該車室から排出して、前記車室の予熱を行う予熱工程をさらに備えていてもよい。
【００１１】
このような予熱工程によると、車室全体を浸漬するような予熱槽を不要としながら、開口部を用いてめっき施工前の予熱を行うことができる。特に、大型かつ複雑形状を有する車室においては、めっき液循環による温度上昇では時間を要してしまい、また、めっき液が部分的に浸漬することで車室内面の温度ムラが生じてしまうことがある。このため、十分なめっき品質を得ることができないことがあるが、予熱液によってこのような問題を回避でき、めっき品質のさらなる向上を図ることができる。
【００１２】
さらに、前記予熱工程では、前記予熱液として還元剤が含有された予熱液によって予熱されてもよい。
【００１３】
このような還元剤を含む予熱液を用いることで、被めっき部分となる車室内面において、予熱時に酸化皮膜が発生してしまうことを防ぐことができ、即ち、車室内面の酸化防止を図ることができ、めっき工程でのめっき品質のさらなる向上が可能である。
【００１４】
また、前記めっき工程では、前記車室内に供給された前記めっき液が撹拌手段によって撹拌されてもよい。
【００１５】
このような撹拌手段を用いることで、大型であり、かつ複雑形状を有する車室にあっても、車室内部でのめっき液の流速をめっき施工に最適な数値とすることができ、さらに、めっき施工時に生じて車室内面に付着したガスを取り除くことで、このガス付着部分でめっき施工が妨げられてしまうことを防止できる。従って、めっき工程でのめっき品質のさらなる向上が可能となる。
【００１６】
さらに、前記めっき工程では、前記複数の開口部のうちで最も大きな開口を有する該開口部が上方を向いた状態でめっきが行われてもよい。
【００１７】
このようにすることで、めっき施工時に生じて車室内面に付着したガスを車室外部へ排出し易くすることができ、めっき工程でのめっき品質のさらなる向上が可能となる。
【００１８】
また、前記めっき工程では、前記複数の開口部のうち、めっき施工が必要な該開口部であって前記流体の吸入及び排出を行う該開口部から、前記めっき液を供給し、排出してもよい。
【００１９】
このようにすることで、めっき液の供給、排出を行う際に、同時にめっき施工の必要な開口部の内面をめっき施工することが可能となるため、より効率的に車室にめっき施工を行うことができる。
【００２０】
さらに、前記めっき工程では、前記複数の開口部のうちで上方に開口する開口部を上方に延長するように、該開口部の開口縁部を外周側から取り囲むカバー部材を前記車室に設けた状態でめっきが行われてもよい。
【００２１】
このようなカバー部材によって、車室内部に供給されためっき液の液面が上方の開口部よりも高い位置とすることができるため、開口部の開口縁部までめっき施工を行うことができ、車室内面全域に、確実にめっき施工することができるため、めっき品質のさらなる向上につながる。
【００２２】
また、前記めっき工程では、前記車室の内面と離間した状態で該車室の内部に中子が設けられて、めっきが行われてもよい。
【００２３】
このような中子を設けることで、車室内部の容積を低減できるので、めっき液の供給量を低減できるため、コスト抑制につながる。さらに、車室内でめっき液が循環、流動する際の流動流路が小さくなり、流れの円滑化を図ることができるため、めっき品質の向上を図ることができる。
【００２４】
さらに、前記めっき工程では、前記中子として、外周面に内外を連通する貫通孔が形成された中空部材を用い、該中空部材の内部に前記めっき液を供給するとともに前記貫通孔から該中空部材の外部へ噴出してもよい。
【００２５】
このような中空部材の中子を用いることで、車室内でめっき液が循環、流動する際の流動流路が小さくなり、流れの円滑化を図ることができるとともに、貫通孔からめっき液を噴出することで、撹拌効果を得ることもできる。従って、車室内部でのめっき液の流速を均一化することができ、まためっき施工時に生じて車室内面に付着したガスを取り除くことが可能である。よって、めっき工程でのめっき品質のさらなる向上が可能となる。
【００２６】
また、前記めっき工程では、前記中子を移動させながらめっきが行われてもいい。
【００２７】
このようにすることで、めっき液の撹拌効果を得ることができ、めっき液の流速の最適化、及び、ガスの除去が可能となり、めっき工程でのめっき品質のさらなる向上が可能となる。
【００２８】
さらに、前記めっき工程では、該車室の内部を前記車室の延在方向に複数の空間に区画する仕切り板を、それぞれの前記空間に少なくとも二つの前記開口部が連通するように設けた状態でめっきが行われてもよい。
【００２９】
このようにすることで、めっき液が循環する車室内部の空間を細かく分割し、これらの空間毎にめっき液を循環させることができる。従って車室内でのめっき液の流動性を向上させることができ、めっき品質の向上が可能となる。
【００３０】
また、前記めっき工程では、前記車室に振動付与手段によって振動を与えながらめっきが行われてもよい。
【００３１】
このようにすることで、めっき施工時に生じて車室内面に付着したガスの滞留を防ぐことが可能であるため、めっき工程でのめっき品質のさらなる向上が可能となる。
【００３２】
また、前記めっき工程では、前記車室の内面をブラシによって擦りながらめっきが行われてもよい。
【００３３】
このようにすることで、めっき施工時に生じて車室内面に付着したガスの滞留を防ぎ、めっき工程でのめっき品質のさらなる向上が可能となる。
【００３４】
さらに、本発明に係る回転機械は、上記の製造方法で製造されたことを特徴とする。
【００３５】
このような回転機械によると、表面活性化工程、めっき工程で、前処理液及びめっき液の供給、排出をこれら複数の開口部をそのまま用いて行うことができる。従って、これら前処理液及びめっき液の供給、排出を行うノズル等を別途設けることなく、また車室全体を浸漬するようなめっき槽も不要としながら、車室内面のめっき施工が可能である。
【００３６】
さらに、本発明に係る回転機械のめっき方法は、複数の開口部を有して、流体を吸入、排出する回転機械の車室の内面にめっきを行う回転機械のめっき方法であって、前記開口部を通じて、前記車室内へ前処理液を供給した後に該車室から排出して該車室の内面の活性化を行う表面活性化工程と、前記表面活性化工程の後に、前記開口部を通じて、めっき液の前記車室内への供給と前記車室内からの排出を行って循環させ、前記車室の内面のめっきを行うめっき工程と、を備えることを特徴とする。
【００３７】
このような回転機械のめっき方法によると、前処理液及びめっき液の供給、排出を行うノズル等を別途設けることなく、また車室全体を浸漬するようなめっき槽も不要としながら、車室内面のめっき施工が可能である。
【００３８】
また、本発明に係る回転機械は、上記のめっき方法によって製造されたことを特徴とする。
【００３９】
このような回転機械によると、めっき方法によって、前処理液及びめっき液の供給、排出を行うノズル等を別途設けることなく、また車室全体を浸漬するようなめっき槽も不要としながら、車室内面のめっき施工を行って製造することができる。
【発明の効果】
【００４０】
本発明の回転機械の製造方法、めっき方法、及び回転機械によると、車室に形成された開口部を利用して前処理液、めっき液を供給、排出することで、コストを抑制するとともに簡易な手法で車室のめっき施工を行うことが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明の第一実施形態に係る遠心圧縮機の製造方法で製造される遠心圧縮機を示す概略断面図である。
【図２】本発明の第一実施形態に係る遠心圧縮機の製造方法の手順を示すフロー図である。
【図３】本発明の第一実施形態に係る遠心圧縮機の製造方法に関し、車室にめっきを施す様子を示す斜視図である。
【図４】本発明の第二実施形態に係る遠心圧縮機の製造方法に関し、車室にめっきを施す様子を示す斜視図である。
【図５】本発明の第三実施形態に係る遠心圧縮機の製造方法に関し、車室にめっきを施す様子を示す斜視図である。
【図６】本発明の第四実施形態に係る遠心圧縮機の製造方法に関し、車室にめっきを施す様子を示す斜視図である。
【図７】本発明の第五実施形態に係る遠心圧縮機の製造方法に関し、車室にめっきを施す様子を示す斜視図である。
【図８】本発明の第六実施形態に係る遠心圧縮機の製造方法に関し、車室にめっきを施す様子を示す斜視図である。
【図９】本発明の第七実施形態に係る遠心圧縮機の製造方法に関し、車室にめっきを施す様子を示す斜視図である。
【図１０】本発明の第五実施形態に係る遠心圧縮機の製造方法に関し、車室にめっきを施す様子を示す図であって、（ａ）は車室を内側を斜めから、（ｂ）は車室を外側から見た図である。
【発明を実施するための形態】
【００４２】
〔第一実施形態〕
以下、本発明の第一実施形態に係る遠心圧縮機（回転機械）１００の製造方法について説明する。
本実施形態で製造される遠心圧縮機１００は、流体Ｆを取り込んで、軸線Ｏに沿って流通させることで流体Ｆの昇圧を行う装置である。
図１に示すように、この遠心圧縮機１００は、円筒状をなす車室１と、車室１によって外周側から覆われるようにして車室１との間で相対回転不能に設けられた内部車室２と、内部車室２によって外周側から覆われて、内部車室２との間で相対回転可能に設けられた回転軸（回転体）３及びインペラ（回転体）４とを備えている。
【００４３】
回転軸３は、軸線Ｏを中心とした柱状をなして、軸線Ｏ方向に延在している。またインペラ４は軸線Ｏ方向に所定の間隔をあけて複数段が回転軸３に外嵌されて、回転軸３とともに軸線Ｏを中心に回転する。
【００４４】
内部車室２は、回転軸３、及びインペラ４を支持する。またこの内部車室２には、不図示の流路が各インペラ４間に形成されており、この流路を介して最前段のインペラ４から最後段のインペラ４へ、段階的に流体を流通させて昇圧を行う。
【００４５】
車室１は、軸線Ｏを中心として、軸線Ｏの一方側（図１の紙面に向かって左側）の上流側開口部１０及び他方側の下流側開口部１１とが形成された円筒状をなし、遠心圧縮機１００の外形を形成している。この車室１は、本実施形態では軸線Ｏの一方側の端部において、軸線Ｏの径方向内側に向かって環状に突出する形状をなしており、これによって下流側開口部１１と比較して上流側開口部１０の開口径の方が小さくなっている。
さらに、この車室１は、外周面から軸線Ｏの径方向外側に向かって突出するように、上流側となる軸線Ｏ方向の一方側の端部に設けられた流体Ｆの吸入口（開口部）５と、他方側の端部に設けられた流体Ｆの排出口（開口部）６とを有している。本実施形態では、この車室１は分割面を有さず、一体の筒状部材となっている。
【００４６】
吸入口５には、車室１の内外を連通するように軸線Ｏの径方向に車室１を貫通する吸入流路ＦＣ１が形成されており、この吸入流路ＦＣ１は最前段のインペラ４内に連通して、外部から流体Ｆ取り込んでこのインペラ４へ流入可能としている。
【００４７】
排出口６にも同様に、車室１の内外を連通するように軸線Ｏの径方向に貫通する排出流路ＦＣ２が形成されており、またこの排出流路ＦＣ２は最後段のインペラ４内に連通して、このインペラ４から外部へ流体Ｆを排出可能としている。
【００４８】
次に、上記遠心圧縮機１００の製造方法（めっき方法を含む）について、まず製造工程の概要について説明し、その後、各工程の詳細を説明する。
図２に示すように遠心圧縮機１００の製造方法は、車室１を形成する車室形成工程Ｓ０と、車室形成工程Ｓ０の後に車室１の内面１ａのめっき施工の準備を行う準備工程Ｓ１と、準備工程Ｓ１の後に車室１内に前処理液Ｗ１を供給して車室１の内面１ａの活性化を行う表面活性化工程Ｓ２とを備えている。
さらに、この遠心圧縮機１００の製造方法は、表面活性化工程Ｓ２の後に車室１内を洗浄する洗浄工程Ｓ３と、洗浄工程Ｓ３の後に車室１内に予熱液Ｗ２を供給して車室１の予熱を行う予熱工程Ｓ４と、予熱工程Ｓ４の後に車室１内にめっき液Ｗ３を供給して車室１の内面１ａのめっきを行うめっき工程Ｓ５と、めっき工程Ｓ５の後に車室１の仕上げを行う車室仕上げ工程Ｓ６とを備えている。
そして、車室仕上げ工程Ｓ６の後に車室１に内部車室２、回転軸３、インペラ４を組み込む組立工程Ｓ７を備え、これらの工程を経て最終的な遠心圧縮機１００が製造される。
【００４９】
まず、車室形成工程Ｓ０を実行する。即ち、鋳造等、機械加工を用いて筒状の車室１を形成する。
【００５０】
次に、準備工程Ｓ１を実行する。車室１のめっき不要部分等にマスキングを行う。その後、軸線Ｏ方向が鉛直方向に一致するように、また吸入口５が下方に配されるように車室１を載置する。この時点で、下流側開口部１１が上方を向いて載置されるため、車室１における全ての開口部である吸入口５、排出口６、上流側開口部１０、下流側開口部１１のうちで、最大の開口部が上方を向いた状態となる。
【００５１】
そして、準備工程Ｓ１では、さらに、上流側開口部１０に蓋をして、上流側開口部１０からの液体の漏洩を防止する。さらに、ポンプ１５及びタンク１６（図３を参照）を設置して配管１６ａを吸入口５及び排出口６に接続する。
【００５２】
ここで、タンク１６の詳細は図示しないが、前処理液Ｗ１、予熱液Ｗ２、めっき液Ｗ３の三種の液体を各々分離して貯留可能となっており、各工程で使用される液体を別々に上記配管１６ａに通じて車室１内に供給し、また車室１内から排出された液体を回収するようになっている。また、各液体のｐＨ値、濃度、温度は常時所定値となるように適宜調整される。
【００５３】
また、この準備工程Ｓ１では、車室１の内面１ａへアルカリ性溶液を吹きつけて、内面１ａに対して脱脂等の処理を行う。このアルカリ性溶液としては、例えば水酸化ナトリウム、ケイ酸塩，界面活性剤などの混合物が用いられる。そして内面１ａの処理を行った後に、内面１ａに水を吹きつけて水洗する。
【００５４】
さらに、上方に開口する下流側開口部１１をさらに上方に延長するように、下流側開口部１１の開口縁部１１ａを外周側から取り囲んで、下流側開口部１１の上部に液体が溜まる空間を形成する円筒状をなすカバー部材１７を、車室１の上部に取り付ける。このカバー部材１７は、車室１の上部に固定してもよいが、単純に車室１上部にパッキン等を介して載置するのみでもよい。
【００５５】
次に、表面活性化工程Ｓ２を実行する。即ち、タンク１６からポンプ１５によって吸入口５へ前処理液Ｗ１を供給して車室１内を前処理液Ｗ１で満たす。この際、貯留された前処理液Ｗ１の液面ＳＦがカバー部材１７の内部に位置するように、もしくはカバー部材１７を越えて溢れ出すように前処理液Ｗ１の供給量を決定し、下流側開口部１１の上部に液面ＳＦがくることが好ましい。その後、前処理液Ｗ１を車室１の排出口６より排出してタンク１６に回収し、車室１の内面１ａの酸化皮膜を除去して内面１ａの活性化を行う。
前処理液Ｗ１としては例えば、室温に調整された塩酸等の酸液が用いられる。
【００５６】
そして、表面活性化工程Ｓ２の後に、洗浄工程Ｓ３を実行する。即ち、前処理液Ｗ１によって活性化を行った車室１の内面１ａに対してスプレーを用いて水洗を行う。
【００５７】
次に、予熱工程Ｓ４を実行する。即ち、洗浄工程Ｓ３によって水洗された車室１に対して、タンク１６からポンプ１５によって吸入口５へ予熱液Ｗ２を供給して車室１内を予熱液Ｗ２で満たす。そして、車室１に貯留された予熱液Ｗ２の液面ＳＦはカバー部材１７の内部に位置するように、もしくはカバー部材１７を越えて溢れ出すように予熱液Ｗ２の供給量を決定し下流側開口部１１の上部に液面ＳＦがくることが好ましい。その後、予熱液Ｗ２を車室１の排出口６より排出してタンク１６に回収し、めっき施工前に車室１の温度を上昇させる。
予熱液Ｗ２としては例えば、９０℃程度の温度に調整された還元剤を含む水溶液が用いられ、還元剤としては例えば、次亜リン酸ナトリウム等が用いられるが、その他一般的に用いられる還元剤であってもよい。
ここで、予熱工程Ｓ４の実行後に水洗を行ってもよい。
【００５８】
次に、めっき工程Ｓ５を実行する。即ち、予熱工程Ｓ４で予熱された車室１に対して、タンク１６からポンプ１５によって吸入口５へめっき液Ｗ３を供給して車室１内をめっき液Ｗ３で満たす。車室１に満たされためっき液Ｗ３は、液面ＳＦがカバー部材１７の内部に位置するように、もしくはカバー部材１７を越えて溢れ出すようにめっき液Ｗ３の供給量を決定する。即ち、下流側開口部１１の上部に液面ＳＦがくるようにして、車室１の最上部までがめっき液Ｗ３で満たされた状態を維持する。またこの状態で排出口６からめっき液Ｗ３を排出してタンク１６に回収し、車室１内にめっき液Ｗ３が満たされた状態でめっき液Ｗ３を循環させ、車室１の内面１ａのめっきを行う。
めっき液Ｗ３としては例えば、９０℃程度の温度に調整された無電解ニッケルめっき液Ｗ３が用いられる。
【００５９】
次に、車室仕上げ工程Ｓ６を実行する。即ち、まず、めっきが施された車室１の内面１ａに対してスプレーを用いて水洗を行った後に乾燥させ、車室１が完成される。また場合によっては、ベーキング処理（水素脆性除去）を施してもよい。
【００６０】
最後に、組立工程Ｓ７を実行する。即ち、車室１に、内部車室２、回転軸３、インペラ４の組み付けを行い、遠心圧縮機１００が製造される。
【００６１】
このような遠心圧縮機１００の製造方法においては、車室１に形成された吸入口５から前処理液Ｗ１を供給し、また排出口６から排出することで、前処理液Ｗ１によって車室１の内面１ａの活性化を行い、同様に予熱液Ｗ２、めっき液Ｗ３の供給、排出をこれら吸入口５及び排出口６から行うことで、車室１の内面１ａへのめっき施工を行うことができる。
【００６２】
即ち、表面活性化工程Ｓ２、めっき工程Ｓ５では、前処理液Ｗ１、めっき液Ｗ３の供給、排出をこれら複数の開口部をそのまま用いて行うことができる。従って、これらの液体の供給、排出を行うノズル等を別途設けることなく、また車室１全体を浸漬するようなめっき槽を不要としながら、車室１の内面１ａのめっき施工が可能である。
【００６３】
ここで、特に、大型かつ複雑な形状を有する車室１においては、めっき液Ｗ３の循環による温度上昇に時間を要してしまい、また、めっき液Ｗ３が部分的に浸漬することで車室１の内面１ａで温度ムラが生じてしまうことがある。このため、十分なめっき品質を得ることができないことがある。この点、めっき工程Ｓ５の前に予熱工程Ｓ４を実行することで、車室１全体を浸漬するような予熱槽を不要としながら、車室１の均一な昇温が可能となるため、めっき品質のさらなる向上を図ることができる。
【００６４】
また、予熱工程Ｓ４では、還元剤を含む予熱液Ｗ２を用いることで、被めっき部分となる車室１内面１ａにおいて、予熱時の酸化皮膜の生成を防ぐことができ、即ち、車室１の内面１ａの酸化防止を図ることができ、めっき工程Ｓ５でのめっき品質のさらなる向上が可能である。
【００６５】
さらに、車室１は、最も大きな開口部である下流側開口部１１が上方を向いた状態で載置されてめっき施工が行われるため、めっき施工時に生じる車室１の内面１ａに付着した水素ガスを車室１外部へ排出し易くすることができ、めっき工程Ｓ５でのめっき品質のさらなる向上が可能となる。
【００６６】
そして、本実施形態では、カバー部材１７を上部に設け、車室１の上部に液体が溜まる空間が形成された状態で、前処理液Ｗ１、予熱液Ｗ２、めっき液Ｗ３の各液体が車室１内に供給されるため、車室１内に供給された液体の液面ＳＦが下流側開口部１１よりも高い位置となるようにでき、下流側開口部１１の開口縁部１１ａまでめっき施工を行うことができる。従って、車室１の内面１ａ全域に確実にめっき施工することができるため、めっき品質のさらなる向上につながる。なお、カバー部材１７の上部から溢れ出た各液体は、タンク１６に回収され、再利用が図られる。
【００６７】
また、車室１の吸入口５及び排出口６からめっき液Ｗ３を供給するため、吸入流路ＦＣ１、排出流路ＦＣ２の内面１ａも同時にめっき施工することが可能となる。
【００６８】
本実施形態の遠心圧縮機１００の製造方法によると、車室１に形成された吸入口５、排出口６を利用して前処理液Ｗ１、めっき液Ｗ３を供給、排出することで、コストを抑制するとともに簡易な手法で車室１の内面１ａのめっき施工を行うことが可能である。
【００６９】
ここで、本実施形態では、前処理液Ｗ１、予熱液Ｗ２、めっき液Ｗ３は、車室１の吸入口５から供給し、排出口６から排出するようにしているが、これに限定されず、逆に排出口６から供給し、吸入口５から排出することや、上流側開口部１０や下流側開口部１１を用いて各液体の供給排出を行ってもよい。また、吸入口５、排出口６、上流側開口部１０、下流側開口部１１以外であっても、車室１に形成された他の開口部を通じて各液体の供給排出を行うことも可能である。
【００７０】
ところで、吸入口５、排出口６の中で、特に高い耐食性が要求される開口部については、ステンレス材を用いて肉盛りを行う場合もある。このような開口部に対しては、めっき施工を行う必要はないため、複数の開口部のうちでめっきが必要な開口部から前処理液Ｗ１、予熱液Ｗ２、めっき液Ｗ３を供給し、排出することによって、車室１の内面１ａのめっき施工を行うとともに、これら開口部のめっきが可能となる。よって、より効率的に車室１のめっきが可能となる。例えば、サイドストリームタイプの圧縮機では、吸入口５が二つ、排出口６が一つ設けられているため、これら吸入口５、排出口６のうちで液体の供給排出を行う開口部を適宜選択することが可能である。
【００７１】
また、車室１の形状、大きさを考慮して、車室１の内面１ａの温度ムラ発生の可能性が小さい場合には、予熱工程Ｓ４は必ずしも実行しなくともよいし、また、予熱工程Ｓ４で使用する予熱液Ｗ２に還元剤を含有させなくともよい。
【００７２】
さらに、予熱液Ｗ２の排出が完全に完了する前に、めっき液Ｗ３の供給を開始しても構わない。
【００７３】
また、車室１は下流側開口部１１が上方を向いた状態で載置されて、各液体の供給排出が行われているが、例えば軸線Ｏ方向が水平方向となるように、即ち上流側開口部１０、下流側開口部１１の開口方向が水平方向となるように、車室１を載置して各液体の供給排出を実行してもよい。
【００７４】
また、準備工程Ｓ１、洗浄工程Ｓ３、車室仕上げ工程Ｓ６で、車室１内をスプレーで水洗するが、これに代えて、表面活性化工程Ｓ２、予熱工程Ｓ４、めっき工程Ｓ５と同様に、吸入口５、排出口６、上流側開口部１０、下流側開口部１１を利用して水の供給、排出を行い、車室１の内面１ａの水洗を行ってもよい。予熱工程Ｓ４後に水洗を行う場合も同様である。
【００７５】
さらに、カバー部材１７は必ずしも設けなくともよく、上方に開口する下流側開口部１１から、各液体が溢れ出すように、各液体を供給することで、表面活性化工程Ｓ２、予熱工程Ｓ４、めっき工程Ｓ５を実行してもよい。
【００７６】
〔第二実施形態〕
【００７７】
次に、本発明の第二実施形態に係る遠心圧縮機１００の製造方法について説明する。
なお、第一実施形態と共通の構成要素には同一の符号を付して詳細説明を省略する。
本実施形態では、めっき工程Ｓ２５が、第一実施形態とは異なっている。
【００７８】
図４に示すように、めっき工程Ｓ２５では、撹拌手段として撹拌プロペラ２１が下流側開口部１１から挿入された状態で車室１の内面１ａのめっき施工が行われる。
ここで、この撹拌プロペラ２１は、軸線Ｏ方向に延在する棒状をなす本体部２２と、本体部２２の径方向外側に突出するように、即ち、車室１の内面１ａに向かうように一体に設けられた羽根部２３と、本体部２２を把持して軸線Ｏ回りに回転力を付与する電動機等の駆動部２４とを有している。
【００７９】
そして、めっき工程Ｓ２５では、撹拌プロペラ２１を回転させながら、めっき液Ｗ３で満たされた車室１内を撹拌しながら、めっき液Ｗ３を循環させる。
【００８０】
本実施形態の遠心圧縮機１００の製造方法によると、撹拌プロペラ２１を用いることで、大型であり、かつ複雑形状を有する車室１にあっても、車室１内でのめっき液Ｗ３の流速をめっき施工に最適な数値とすることができる。
【００８１】
さらに、めっき施工時に生じて車室１の内面１ａに付着した水素ガスを取り除くことで、この水素ガスの付着部分においてめっき施工が妨げられてしまうことを防止できるため、めっき工程Ｓ５でのめっき品質のさらなる向上が可能となる。
【００８２】
ここで、撹拌手段として別の手段を用いることもできる。即ち、例えばめっき液Ｗ３の供給排出の流量をコントロールすることで車室１内のめっき液Ｗ３を対流させて撹拌することも可能である。具体的には、吸入口５からのめっき液Ｗ３の供給量を多くし、排出口６からの排出量を減らすことによってめっき液Ｗ３の対流を発生させることができ、撹拌プロペラ２１と同様に、上述した効果を得ることができる。
【００８３】
また、撹拌プロペラ２１は、めっき工程Ｓ２５だけでなく、表面活性化工程Ｓ２、予熱工程Ｓ４や、洗浄工程Ｓ３等に対しても適用可能であり、このようにすることで、めっき品質をさらに向上することができる。
【００８４】
〔第三実施形態〕
次に、本発明の第三実施形態に係る遠心圧縮機１００の製造方法について説明する。
なお、第一実施形態及び第二実施形態と共通の構成要素には同一の符号を付して詳細説明を省略する。
本実施形態では、めっき工程Ｓ３５が、第一実施形態及び第二実施形態とは異なっている。
【００８５】
図５に示すように、めっき工程Ｓ３５では、円柱状をなす中子３１が、車室１と同心軸上となるように、即ち、中子３１の中心軸が軸線Ｏに一致した状態で、車室１の内面１ａと離間した状態で下流側開口部１１から挿入されて設けられ、車室１の内面１ａへのめっき施工が行われる。
【００８６】
本実施形態の遠心圧縮機１００の製造方法によると、中子３１が挿入されていることで、車室１内の容積を低減できるので、めっき液Ｗ３の供給量を低減可能となり、コスト抑制につながる。さらに、めっき液Ｗ３は、中子３１と車室１の内面１ａとの間で流動することとなるため、車室１内でめっき液Ｗ３が循環されて流動する際の流動流路が小さくなり、流れの円滑化を図ることができる。よって、めっき品質の向上を図ることが可能となる。
【００８７】
さらに、中子３１を車室１と同心軸上に設けたため、車室１の内面１ａと中子３１との間に形成された空間は、周方向にわたって軸線Ｏの径方向に一定の間隙を有することとなり、車室１内を流通するめっき液Ｗ３の流速の均一化を図ることができるため、めっき品質のさらなる向上が可能となる。
【００８８】
なお、中子３１は必ずしも同心軸上に設けなくともよく、少なくとも車室１内の容積を低減するように中子３１を設ければ、めっき液Ｗ３の供給量低減を図ってコスト抑制が可能となる。
【００８９】
また、この中子３１を軸線Ｏ回りに回転させたり、上下動させたりすることで、中子３１を撹拌手段として用いることができ、めっき施工時に車室１の内面１ａに付着した水素ガスを除去して、めっき品質のさらなる向上が可能となる。
【００９０】
さらに、中子３１は、めっき工程Ｓ３５だけでなく、表面活性化工程Ｓ２、予熱工程Ｓ４や、洗浄工程Ｓ３等に対しても適用可能であり、このようにすることで、めっき品質をさらに向上することができる。
【００９１】
〔第四実施形態〕
次に、本発明の第四実施形態に係る遠心圧縮機１００の製造方法について説明する。
なお、第一実施形態から第三実施形態と共通の構成要素には同一の符号を付して詳細説明を省略する。
本実施形態では、めっき工程Ｓ４５が第一実施形態から第三実施形態とは異なっている。
【００９２】
図６に示すように、第三実施形態と同様に、めっき工程Ｓ４５では、円筒状をなす中子４１が、車室１と同心軸上となるように、即ち、中子４１の中心軸が軸線Ｏに一致した状態で、また、車室１の内面１ａと離間した状態で下流側開口部１１から挿入されて設けられ、車室１の内面１ａへのめっき施工が行われる。
【００９３】
ここで、中子４１は、中空部材であって、その外周面には、中子４１の内外を連通するように、複数の貫通孔４１ａが形成されている。さらにこの中子４１はタンク１６に配管４１ｂ、ポンプ４２を介して接続されており、めっき施工中に中子４１の内部にめっき液Ｗ３が供給される。
【００９４】
本実施形態の遠心圧縮機１００の製造方法によると、中子４１を挿入し、中子４１の内部にめっき液Ｗ３を供給することで、めっき液Ｗ３は、中子４１と車室１の内面１ａとの間で流動することとなるため、めっき液Ｗ３の流動流路が小さくなり、流れの円滑化を図ることができる。さらに、貫通孔４１ａから車室１の内面１ａに向かってめっき液Ｗ３を噴出することができるため、車室１内での撹拌効果を得ることができる。従って、車室１内でのめっき液Ｗ３の流速の均一化を測ることができ、めっき施工時に車室１の内面１ａに付着した水素ガスを取り除くことも可能である。よって、めっき工程Ｓ４５でのめっき品質のさらなる向上が可能となる。
【００９５】
なお、中子４１は必ずしも同心軸上に設けなくともよく、この中子４１を軸線Ｏ回りに回転させたり、上下動させたりすることで撹拌効果のさらなる向上が可能となる。また、中子４１は、めっき工程Ｓ４５だけでなく、表面活性化工程Ｓ２、予熱工程Ｓ４や、洗浄工程Ｓ３等に対しても適用可能である。
【００９６】
〔第五実施形態〕
次に、本発明の第五実施形態に係る遠心圧縮機１００の製造方法について説明する。
なお、第一実施形態から第四実施形態と共通の構成要素には同一の符号を付して詳細説明を省略する。
本実施形態では、めっき工程Ｓ５５が第一実施形態から第三実施形態とは異なっている。
【００９７】
図７に示すように、めっき工程Ｓ５５では、撹拌手段としてめっき供給ホース５１が下流側開口部１１から挿入された状態で車室１の内面１ａへのめっき施工が行われる。
【００９８】
ここで、めっき供給ホース５１は、タンク１６に配管５１ａ、ポンプ５２を介して接続されて、タンク１６内からめっき液Ｗ３が車室１内に供給されるようになっている。
【００９９】
本実施形態の遠心圧縮機１００の製造方法によると、めっき供給ホース５１によって、吸入口５からの供給と並行してめっき液Ｗ３を供給することで、めっき施工時に車室１の内面１ａに付着した水素ガスを取り除くことができ、この水素ガスの付着部分でめっき施工が妨げられてしまうことを防止できる。このため、めっき工程Ｓ５５でのめっき品質のさらなる向上が可能となる。
【０１００】
ここで特に、車室１の形状がより複雑である場合には、車室１の内面１ａと吸入流路ＦＣ１及び排出流路ＦＣ２との接続部分等、角部となる部分に止水領域が形成されることがある。この位置にめっき供給ホース５１からのめっき液Ｗ３を供給することで、水素ガスの除去効果をさらに向上できる。
【０１０１】
なお、めっき供給ホース５１は、めっき工程Ｓ５５だけでなく、供給ホースによって各液体を供給する本実施形態同様の手法を用いて、表面活性化工程Ｓ２、予熱工程Ｓ４や、洗浄工程Ｓ３等を実行することも可能であり、このようにすることで、めっき品質をさらに向上することができる。
【０１０２】
また、本実施形態では、撹拌手段としてめっき供給ホース５１を用いたが、これに代えてめっき液Ｗ３を車室１内から吸い出すめっき吸出しホースを用いることも可能である。
【０１０３】
〔第六実施形態〕
次に、本発明の第六実施形態に係る遠心圧縮機１００の製造方法について説明する。
なお、第一実施形態から第五実施形態と共通の構成要素には同一の符号を付して詳細説明を省略する。
本実施形態では、めっき工程Ｓ６５が第一実施形態から第五実施形態とは異なっている。
【０１０４】
図８に示すように、めっき工程Ｓ６５では、振動付与手段として載置台６１を設け、この載置台６１に車室１を載置した状態でめっき施工が行われる。
【０１０５】
ここで、載置台６１は、例えば不図示の電動機を有し、水平方向、鉛直方向に、前後左右に振動を発生させる装置である。
【０１０６】
本実施形態の遠心回転機械の製造方法によると、車室１内にめっき液Ｗ３が貯留された状態で載置台６１によって車室１に振動が付与されるため、めっき施工時に生じて車室１の内面１ａに付着した水素ガスの滞留を防ぐことが可能である。従って、めっき工程Ｓ６５でのめっき品質のさらなる向上が可能となる。
【０１０７】
ここで、この振動付与手段として載置台６１を用いずに、車室１を直接叩く等の手法を用いることも可能である。
【０１０８】
また、振動付与手段として、超音波を発生する超音波発生機（超音波発生部）を用いて、車室１に超音波を付与することも可能である。
【０１０９】
さらに、振動付与手段は、めっき工程Ｓ６５だけでなく、表面活性化工程Ｓ２、予熱工程Ｓ４や、洗浄工程Ｓ３等に対しても適用可能であり、このようにすることで、めっき品質をさらに向上することができる。
【０１１０】
〔第七実施形態〕
次に、本発明の第七実施形態に係る遠心圧縮機１００の製造方法について説明する。
なお、第一実施形態から第六実施形態と共通の構成要素には同一の符号を付して詳細説明を省略する。
本実施形態では、めっき工程Ｓ７５が第一実施形態から第六実施形態とは異なっている。
【０１１１】
図９に示すように、めっき工程Ｓ７５では、下流側開口部１１から挿入されたブラシ７１によって前記車室１の内面１ａを擦りながらめっき施工が行われる。
ここで、このブラシ７１は、外周面上に複数の毛が設けられて軸線Ｏ方向に延在する棒状をなしており、電動機等の駆動部７４によって、上下移動される。なお、この駆動部７４は軸線Ｏ回りにブラシ７１を回転させるものであってもよい。
【０１１２】
本実施形態の遠心回転機械の製造方法によると、車室１内にめっき液Ｗ３が貯留された状態でブラシ７１によって車室１の内面１ａが擦られるため、めっき施工時に生じて車室１の内面１ａに付着した水素ガスの滞留を防ぐことが可能である。従って、めっき工程７Ｓ５でのめっき品質のさらなる向上が可能となる。
【０１１３】
なお、ブラシ７１は、めっき工程Ｓ７５だけでなく、表面活性化工程Ｓ２、予熱工程Ｓ４や、洗浄工程Ｓ３等に対しても適用可能であり、このようにすることで、めっき品質をさらに向上することができる。
【０１１４】
〔第八実施形態〕
次に、本発明の第八実施形態に係る遠心圧縮機１００Ａの製造方法について説明する。
なお、第一実施形態から第七実施形態と共通の構成要素には同一の符号を付して詳細説明を省略する。
本実施形態では、めっき対象となる車室１Ａが、第一実施形態から第七実施形態とは異なっており、また、めっき工程Ｓ８５もこれらの実施形態とは異なっている。
【０１１５】
図７に示すように、めっき工程Ｓ８５でめっき施工される車室１Ａは、軸線Ｏを含むように二つに分割された水平分割型となっている。
【０１１６】
めっき工程Ｓ８５では、軸線Ｏが水平方向となるように、即ち上流側開口部１０、下流側開口部１１の開口方向が水平方向となるように車室１Ａを載置した状態で、反割れの状態でめっき施工される。この時点で、車室１Ａの分割側の開口部８２が上方を向いて載置されるため、車室１における全ての開口部である吸入口５Ａ、排出口６Ａ、上流側開口部１０Ａ、下流側開口部１１Ａ、分割側の開口部８２のうちで、最大の開口部が上方を向いた状態となる。
【０１１７】
さらに、めっき工程Ｓ８５では、板状をなす仕切り板８１によって、車室１内を二つの空間に区画した状態でめっき施工を行う。より具体的には、吸入口５Ａと排出口６Ａとの間に、軸線Ｏに直交するように仕切り板８１を設け、仕切り板８１を挟んで、軸線Ｏ方向の一方側（図７（ａ）の紙面に向かって右側）の第一空間Ｃ１と、軸線Ｏ方向の他方側の第二空間Ｃ２とに車室１内を区画する。
【０１１８】
ここで、仕切り板８１は、車室１の内面１ａに、軸線Ｏの周方向に環状に形成された溝部１Ａａに差し込まれるように設置される。この際、車室１の内面１ａと仕切り板８１との間は隙間があいていても問題ない。
【０１１９】
そして、めっき工程Ｓ８５では、第一空間Ｃ１には上流側開口部１０、及び吸入口５Ａが連通し、第二空間Ｃ２には下流側開口部１１、及び排出口６Ａが連通している。即ち、各々の空間には、少なくとも二つの開口部が連通している。
【０１２０】
本実施形態の遠心圧縮機１００Ａの製造方法によると、めっき液Ｗ３が循環する車室１Ａ内の空間を第一空間Ｃ１と、第二空間Ｃ２とに分割することができるため、空間毎にめっき液Ｗ３を流通させることができ、仕切り板８１が設けられていない場合に比べて、車室１内でのめっき液Ｗ３の流動性を向上させることができ、めっき品質の向上が可能となる。
【０１２１】
なお、本実施形態では、仕切り板８１は、めっき工程Ｓ８５だけでなく、表面活性化工程Ｓ２、予熱工程Ｓ４、洗浄工程Ｓ３等に対しても適用可能であり、このようにすることで、めっき品質をさらに向上することができる。
【０１２２】
以上、本発明の実施形態について詳細を説明したが、本発明の技術的思想を逸脱しない範囲内において、多少の設計変更も可能である。
上述の実施形態では、第一実施形態から第七実施形態については、円筒型の車室１についての説明を行ったが、これらの遠心圧縮機１００の製造方法を第八実施形態で説明した水平分割型の車室１Ａに対して適用してもよい。この場合、図７に示すように、車室１Ａは反割れの状態で、かつ分割側の開口部８２が上方を向くように載置されることが好ましい。
【０１２３】
また、第八実施形態では、水平分割型の車室１Ａについて説明を行ったが、例えば、第一実施形態から第七実施形態で説明した円筒型の車室１に対して、第八実施形態の遠心圧縮機１００Ａの製造方法を適用してもよい。この場合、車室１は下流側開口部１１又は上流側開口部１０が上方を向くように載置されることが好ましい。
【０１２４】
さらに、第一実施形態から第八実施形態で説明した遠心圧縮機１００（１００Ａ）の製造方法を適宜組み合わせてもよい。例えば、第二実施形態の撹拌プロペラ２１に、第六実施形態の載置台６１を併用してもよい。
【０１２５】
また、上述の実施形態では、遠心圧縮機１００（１００Ａ）について説明を行ったが、軸流式圧縮機や、タービン等の他の回転機械にも上述の製造方法を適用可能である。
【符号の説明】
【０１２６】
１…車室  １ａ…内面  ２…内部車室  ３…回転軸（回転体）  ４…インペラ（回転体）  ５…吸入口（開口部）  ６…排出口（開口部）  １０…上流側開口部  １１…下流側開口部  １１ａ…開口縁部  １５…ポンプ  １６…タンク  １６ａ…配管  １７…カバー部材  １００…遠心圧縮機（回転機械）  Ｏ…軸線  Ｆ…流体  ＦＣ１…吸入流路  ＦＣ２…排出流路  Ｓ０…車室形成工程  Ｓ１…準備工程  Ｓ２…表面活性化工程  Ｓ３…洗浄工程  Ｓ４…予熱工程  Ｓ５…めっき工程  Ｓ６…車室仕上げ工程  Ｓ７…組立工程  ＳＦ…液面  Ｗ１…前処理液  Ｗ２…予熱液  Ｗ３…めっき液  Ｓ２５…めっき工程  ２１…撹拌プロペラ（撹拌手段）  ２２…本体部  ２３…羽根部  ２４…駆動部  Ｓ３５…めっき工程  ３１…中子  Ｓ４５…めっき工程  ４１…中子  ４１ａ…貫通孔  ４１ｂ…配管  ４２…ポンプ  Ｓ５５…めっき工程  ５１…めっき供給ホース（撹拌手段）  ５１ａ…配管  ５２…ポンプ  Ｓ６５…めっき工程  ６１…載置台（振動付与手段）  Ｓ７５…めっき工程  ７１…ブラシ  ７４…駆動部  １Ａ…車室  １Ａａ…溝部  ５Ａ…吸入口  ６Ａ…排出口  １０Ａ…上流側開口部  １１Ａ…下流側開口部  ８１…仕切り板  ８２…分割側の開口部  Ｓ８５…めっき工程  Ｃ１…第一空間  Ｃ２…第二空間  １００Ａ…遠心圧縮機（回転機械）
【図１】
2014129575.tif 000003
【図２】
2014129575.tif 000004
【図３】
2014129575.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
2014129575.tif 000011
【図１０】
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