(57)【要約】【課題】各種の検査対象基板を基板保持部によって保持した状態で検査可能とする。【解決手段】一対の挟持用爪部１１ａ，１１ｂと、挟持用爪部１１ａを挟持用爪部１１ｂに向けて移動させる移動機構１２とを備えて検査対象基板１００を挟持可能に基板保持部１０が構成されると共に、移動機構１２によって挟持用爪部１１ａが挟持用爪部１１ｂに向けて移動させられることで基板載置部２１に載置されている検査対象基板１００を両当接部２２ａ，２２ｂによって挟持可能に両挟持用爪部１１ａ，１１ｂが構成され、かつ、両当接部２２ａ，２２ｂによって挟持した状態の検査対象基板１００における一方の面に規定された各プロービングポイントに対する各プローブＰのプロービングを許容する複数の挿通用孔Ｈおよび切欠きＨａが基板載置部２１にグリッド状に並んで形成されている。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも一方の面に複数のプロービングポイントがグリッド状に並んで規定された検査対象基板を保持する基板保持部と、前記各プロービングポイントにプロービング可能に複数の検査用プローブをグリッド状に並べて配設した検査用治具とを備え、前記基板保持部によって保持した前記検査対象基板における前記各プロービングポイントにプロービングさせた状態の前記各検査用プローブを介して当該各プロービングポイントに入出力させた電気信号に基づいて当該検査対象基板を検査可能に構成された基板検査装置であって、
前記基板保持部は、一対の挟持用部材と、当該両挟持用部材の少なくとも一方を他方に向けて移動させる移動機構とを備えて前記検査対象基板を挟持可能に構成され、
前記両挟持用部材は、前記一方の面を下向きにした状態の前記検査対象基板を載置可能な基板載置部と、当該基板載置部に載置された前記検査対象基板の側部に接する当接部とをそれぞれ備え、前記移動機構によって前記少なくとも一方が前記他方に向けて移動させられることで前記両当接部によって前記検査対象基板を挟持可能に構成され、
前記基板載置部には、前記両当接部によって挟持した状態の前記検査対象基板における前記一方の面に規定された前記各プロービングポイントに対する前記各検査用プローブのプロービングを許容する複数のプローブ挿通用孔がグリッド状に並んで形成されている基板検査装置。
【請求項２】
前記両挟持用部材は、矩形状の前記検査対象基板における４つの側部のうちの隣接する２つの側部に接する第１当接部および第２当接部を前記当接部としてそれぞれ備えている請求項１記載の基板検査装置。
【請求項３】
前記両挟持用部材は、前記基板載置部が平面視直角三角形状に形成され、かつ当該基板載置部における直角の角部を挟んで隣接する２つの辺に接するように前記第１当接部および前記第２当接部が設けられると共に、一方の当該挟持用部材における前記基板載置部の前記直角の角部に対向する１つの辺と、他方の当該挟持用部材における前記基板載置部の前記直角の角部に対向する１つの辺とが平面視において平行となるように配置されている請求項２記載の基板検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数のプロービングポイントがグリッド状に並んで規定された検査対象基板を基板保持部によって保持した状態において検査用治具の各検査用プローブを各プロービングポイントにプロービングさせて検査対象基板を電気的に検査する基板検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種の基板検査装置において検査対象基板を保持するための構成として、出願人は、基板検査装置や基板移動装置などにおいて対象の基板（以下、「対象基板」ともいう）を挟持して固定可能な基板固定機構を特開２０１０−３２４０５号公報に開示している。この基板固定機構では、ねじロッドに取り付けられた一対のチャックによって対象基板における対向する角部を挟持して固定する構成が採用されている。
【０００３】
この場合、両チャックの一方は、対象基板における４つの辺のうちの隣接する２つの辺がそれぞれ当接する平面視Ｌ字状（Ｖ字状）の当接壁と、対象基板の裏面（下面）における角部を下支えする支持爪とを備えている。また、両チャックの他方は、対象基板における４つの辺のうちの隣接する他の２つの辺にそれぞれ当接する平面視Ｌ字状（Ｖ字状）の当接部が設けられたクランプ片と、対象基板の裏面（下面）における角部を下支えする載置爪とを備えている。
【０００４】
この基板固定機構によって対象基板を固定するには、まず、ねじロッドを回転させることにより、一方のチャックにおける当接壁と他方のチャックにおけるクランプ片とが対象基板の対角長よりも離間し、かつ一方のチャックにおける支持爪および他方のチャックにおける載置爪の上に対象基板を載置可能な状態（支持爪および載置爪によって対象基板を下支え可能な状態）となるように両チャックの位置を調整する。次いで、基板吸着装置によって対象基板を吸着保持して両チャックの間に搬送する。この際には、まず、支持爪および載置爪と対象基板の裏面（下面）との間に隙間が生じるように対象基板を位置させる。
【０００５】
続いて、空気圧シリンダに圧縮空気を供給することによって他方のチャックにおけるクランプ片を一方のチャックに向けてスライドさせる。この際には、対象基板の角部にクランプ片が当接し、その状態において一方のチャックに向かってクランプ片がさらにスライドさせられることにより、対象基板においてクランプ片に当接している角部と対向する角部が一方のチャックにおける当接壁に当接する。これにより、支持爪および載置爪と対象基板との間に隙間が生じた状態で、一方のチャックにおける当接壁、および他方のチャックにおけるクランプ片によって対象基板が挟持される。
【０００６】
次いで、基板吸着装置による対象基板の吸着を停止すると共に、空気圧シリンダに対する圧縮空気の供給を停止する。この際には、引っ張りばねによってクランプ片が一方のチャックから離間する向きにスライドさせられる結果、クランプ片と当接壁とによる対象基板の挟持が解除されて支持爪および載置爪の上に対象基板が落下する。この状態において空気圧シリンダに圧縮空気を再び供給することでクランプ片を一方のチャックに向けてスライドさせる。これにより、支持爪および載置爪によって下支えされた状態の対象基板がクランプ片および当接壁によって挟持されて対象基板の固定が完了する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２０１０−３２４０５号公報（第２−７頁、第１−２図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところが、出願人が開示している基板固定機構には、以下の改善すべき課題が存在する。すなわち、出願人が開示している基板固定機構では、一方のチャックにおける支持爪および他方のチャックにおける載置爪によって下支えした状態で一方のチャックにおける当接壁および他方のチャックにおけるクランプ片によって対象基板を挟持してこれを固定する構成が採用されている。このため、出願人が開示している基板固定機構では、対象基板を固定した対象基板の裏面（下面）における対向する角部に支持爪および載置爪がそれぞれ接した状態となる。
【０００９】
したがって、出願人が開示している基板固定機構では、対象基板の裏面（下面）における角部（支持爪および載置爪に接している部位）に導体パターン等が存在したとしても、支持爪および載置爪が邪魔をしてこの導体パターンに対して検査用プローブをプロービンングすることができない。このため、この基板固定機構によって固定した状態で検査可能な基板の形状（導体パターンの配置）が制限されているという現状があり、この点を改善するのが好ましい。
【００１０】
本発明は、かかる改善すべき課題に鑑みてなされたものであり、各種の検査対象基板を基板保持部によって保持した状態で検査し得る基板検査装置を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的を達成すべく、請求項１記載の基板検査装置は、少なくとも一方の面に複数のプロービングポイントがグリッド状に並んで規定された検査対象基板を保持する基板保持部と、前記各プロービングポイントにプロービング可能に複数の検査用プローブをグリッド状に並べて配設した検査用治具とを備え、前記基板保持部によって保持した前記検査対象基板における前記各プロービングポイントにプロービングさせた状態の前記各検査用プローブを介して当該各プロービングポイントに入出力させた電気信号に基づいて当該検査対象基板を検査可能に構成された基板検査装置であって、前記基板保持部は、一対の挟持用部材と、当該両挟持用部材の少なくとも一方を他方に向けて移動させる移動機構とを備えて前記検査対象基板を挟持可能に構成され、前記両挟持用部材は、前記一方の面を下向きにした状態の前記検査対象基板を載置可能な基板載置部と、当該基板載置部に載置された前記検査対象基板の側部に接する当接部とをそれぞれ備え、前記移動機構によって前記少なくとも一方が前記他方に向けて移動させられることで前記両当接部によって前記検査対象基板を挟持可能に構成され、前記基板載置部には、前記両当接部によって挟持した状態の前記検査対象基板における前記一方の面に規定された前記各プロービングポイントに対する前記各検査用プローブのプロービングを許容する複数のプローブ挿通用孔がグリッド状に並んで形成されている。
【００１２】
また、請求項２記載の基板検査装置は、請求項１記載の基板検査装置において、前記両挟持用部材は、矩形状の前記検査対象基板における４つの側部のうちの隣接する２つの側部に接する第１当接部および第２当接部を前記当接部としてそれぞれ備えている。
【００１３】
さらに、請求項３記載の基板検査装置は、請求項１または２記載の基板検査装置において、前記両挟持用部材は、前記基板載置部が平面視直角三角形状に形成され、かつ当該基板載置部における直角の角部を挟んで隣接する２つの辺に接するように前記第１当接部および前記第２当接部が設けられると共に、一方の当該挟持用部材における前記基板載置部の前記直角の角部に対向する１つの辺と、他方の当該挟持用部材における前記基板載置部の前記直角の角部に対向する１つの辺とが平面視において平行となるように配置されている。
【発明の効果】
【００１４】
請求項１記載の基板検査装置では、一方の面を下向きにした状態の検査対象基板を載置可能な基板載置部と、基板載置部に載置された検査対象基板の側部に接する当接部とをそれぞれ備えて両挟持用部材が構成されると共に、両当接部によって挟持した状態の検査対象基板における一方の面に規定された各プロービングポイントに対する各検査用プローブのプロービングを許容する複数のプローブ挿通用孔が基板載置部にグリッド状に並んで形成されている。
【００１５】
したがって、請求項１記載の基板検査装置によれば、検査対象基板の一方の面における角部にプロービングポイントを規定した場合においても、両挟持用部材の基板載置部に形成されている各プローブ挿通用孔を挿通させて検査対象基板の各プロービングポイントに検査用治具の各検査用プローブをそれぞれプロービングさせることができる。このため、半田バンプや導体パターンの配置、すなわち、プロービングポイントの位置によって検査可能な基板が制限されることなく、各種の検査対象基板を確実に検査することができる。また、挟持用部材の離間距離を変化させることで、各種の大きさの検査対象基板を保持することができるため、プロービングポイントの規定間隔が等しく、大きさが相違する各種の検査対象基板を検査する際の検査コストを十分に低減することができる。
【００１６】
また、請求項２記載の基板検査装置によれば、両挟持用部材が、矩形状の検査対象基板における４つの側部のうちの隣接する２つの側部に接する第１当接部および第２当接部を当接部としてそれぞれ備えたことにより、検査対象基板を保持した状態において、検査対象基板における隣接する２つの側部の一方に沿った向き、および検査対象基板における隣接する２つの側部の他方に沿った向きへの検査対象基板の移動を確実に規制することができる。
【００１７】
さらに、請求項３記載の基板検査装置によれば、平面視直角三角形状の基板載置部における直角の角部を挟んで隣接する２つの辺に接するように第１当接部および第２当接部を設けて両挟持用部材を構成すると共に、一方の挟持用部材における基板載置部の直角の角部に対向する１つの辺と、他方の挟持用部材における基板載置部の直角の角部に対向する１つの辺とが平面視において平行となるように両挟持用部材を配置したことにより、両挟持用部材を十分に接近させることができるため、小さな検査対象基板を確実に保持することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】基板検査装置１の構成を示す構成図である。
【図２】検査部５の構成を示す構成図である。
【図３】基板保持部１０およびプローブユニット３１ａ，３１ｂの断面図である。
【図４】基板保持部１０における挟持用爪部１１ａ，１１ｂの各構成要素、プローブユニット３１ａのプローブＰ、および検査対象基板１００の位置関係について説明するための平面図である。
【図５】基板保持部１０における挟持用爪部１１ａ，１１ｂおよびプローブユニット３１ａの外観斜視図である。
【図６】挟持用爪部１１ａ，１１ｂにおける基板載置部２１，２１上に検査対象基板１００を載置した状態の断面図である。
【図７】挟持用爪部１１ａ，１１ｂによって保持した状態の検査対象基板１００にプローブユニット３１ａ，３１ｂの各プローブＰをプロービングさせた状態の断面図である。
【図８】基板保持部１０Ａにおける挟持用爪部４１ａ，４１ｂの平面図である。
【図９】基板保持部１０Ｂにおける挟持用爪部５１ａ，５１ｂの平面図である。
【図１０】基板保持部１０Ｃにおける挟持用爪部６１ａ，６１ｂの平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明に係る基板検査装置の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。
【００２０】
図１に示す基板検査装置１は、「基板検査装置」の一例であって、基板搬送機構２、基板搬入部３、位置情報取得部４、検査部５、基板搬出部６および制御ユニット７を備え、検査対象基板１００の良否を電気的に検査可能に構成されている。
【００２１】
検査対象基板１００は、「検査対象基板」に相当し、一例として、図示しない親基板に接続するための半田バンプが一方の面（図３，６，７における下面：「一方の面」の一例）にグリッド状に並んで形成されると共に、図示しない電子部品を接続するための半田バンプが他方の面（上記の各図における上面）にグリッド状に並んで形成されている。なお、本例では、各半田バンプの位置をプロービングポイントとしてプロービングした状態で検査対象基板１００を電気的に検査するものとする。
【００２２】
この場合、この種の基板では、各半田バンプの形成ピッチ（隣り合う半田バンプの中心間距離）が、複数種類の規格のうちのいずれかに合致するように形成されている。また、この種の基板では、実装すべき電子部品（図示せず）における接続端子の数に応じて半田バンプが形成されており、同一の形成ピッチで半田バンプが形成された基板においては、半田バンプの形成数が多い基板ほど、平面視の大きさが大きくなるように形成されている。
【００２３】
一方、基板搬送機構２は、基板搬入部３に搬入された検査対象基板１００を、位置情報取得部４、検査部５および基板搬出部６の各位置に搬送する機構であって、一例として、４つの基板保持部１０と、制御ユニット７からの制御信号Ｓ１に従って基板保持部１０を上記の各位置に順次移動させる駆動源（図示せず）とを備えている。また、基板保持部１０は、「基板保持部」の一例であって、図３に示すように、一対の挟持用爪部１１ａ，１１ｂ（以下、区別しないときには「挟持用爪部１１」ともいう）、および移動機構１２を備えて検査対象基板１００を保持可能に構成されている。
【００２４】
挟持用爪部１１は、「挟持用部材」の一例であって、図３〜５に示すように、検査対象基板１００を載置可能な基板載置部２１と、基板載置部２１に載置された検査対象基板１００の側部に接して検査対象基板１００を挟持するための当接部２２ａ，２２ｂとをそれぞれ備えて構成されている。この場合、基板載置部２１は、上面（検査対象基板１００を載置する載置面）が平坦に形成されると共に、平面視直角三角形状に形成されている。
【００２５】
また、本例の挟持用爪部１１では、矩形状の検査対象基板１００における４つの側部のうちの隣接する２つの側部に接するように、「第１当接部」に相当する当接部２２ａと、「第２当接部」に相当する当接部２２ｂとがそれぞれ配設されている。具体的には、挟持用爪部１１では、基板載置部２１における直角の角部を挟んで隣接する２つの辺２１ａ，２１ｂに接するように当接部２２ａ，２２ｂが基板載置部２１と一体的に形成されることによって平面視Ｌ字状の「当接部」が形成されている。
【００２６】
さらに、本例の基板保持部１０では、挟持用爪部１１ａの当接部２２ａ，２２ｂ、および挟持用爪部１１ｂの当接部２２ａ，２２ｂによって挟持した状態の検査対象基板１００における一方の面（下面）に規定されている各プロービングポイントに対する各プローブＰのプロービングを許容する複数の挿通用孔Ｈ（「プローブ挿通用孔」の一例）および切欠きＨａが両挟持用爪部１１の基板載置部２１にグリッド状に並んで形成されている。なお、図３，４、および後に参照する図６，７では、各構成要素の配置に関する理解を容易とするために、プローブＰの数や、挿通用孔Ｈおよび切欠きＨａの数を実際の数よりも少なく図示している。
【００２７】
この場合、本例の基板保持部１０では、図４に示すように、挟持用爪部１１ａにおける基板載置部２１の直角の角部（この例では、右下の角部）に対向する１つの辺２１ｃと、挟持用爪部１１ｂにおける基板載置部２１の直角の角部（この例では、左上の角部）に対向する１つの辺２１ｃとが平面視において平行となるように挟持用爪部１１ａ，１１ｂが配置されており、一例として、挟持用爪部１１ａが矢印Ａ，Ｂの向きに移動可能に移動機構１２に取り付けられると共に、挟持用爪部１１ｂが図示しないフレームに固定されている。
【００２８】
また、本例の基板保持部１０では、両挟持用爪部１１の脱着が可能に構成されており、挿通用孔Ｈや切欠きＨａの形成ピッチが相違する複数種類の挟持用爪部１１のなかから、検査対象基板１００における半田バンプの形成ピッチに応じて挿通用孔Ｈや切欠きＨａが形成された挟持用爪部１１を取り付けることにより、各種の検査対象基板１００を保持することができるように構成されている。
【００２９】
移動機構１２は、「移動機構」の一例であって、後述するように、制御ユニット７からの制御信号Ｓ２に従い、一例として、挟持用爪部１１ａを挟持用爪部１１ｂに向けて移動させる（図３，４に示す矢印Ａの向きで移動させる）ことにより、挟持用爪部１１ａの当接部２２ａ，２２ｂ、および挟持用爪部１１ｂの当接部２２ａ，２２ｂによって検査対象基板１００における対向する角部を挟持させる（「両挟持用部材の少なくとも一方」が挟持用爪部１１ａで「両挟持用部材の他方」が挟持用爪部１１ｂの例）。
【００３０】
一方、基板搬入部３および基板搬出部６には、一例として、図示しない基板搬入搬出装置が配設されており、この基板搬入搬出装置が、基板搬入部３に位置させられている基板保持部１０（両挟持用爪部１１）上に検査対象基板１００を搬入すると共に、基板搬出部６に位置させられている基板保持部１０（両挟持用爪部１１）上の検査対象基板１００を搬出する構成が採用されている。なお、基板搬入部３に位置させられている基板保持部１０（両挟持用爪部１１）上への検査対象基板１００の搬入や、基板搬出部６に位置させられている基板保持部１０（両挟持用爪部１１）上からの検査対象基板１００の搬出に関しては、別個独立した装置（基板搬入装置および基板搬出装置）によって行うこともできるし、また、手作業で行うこともできる。
【００３１】
また、図１に示すように、位置情報取得部４には、カメラ４ａ，４ｂが配設されている。この場合、カメラ４ａは、制御ユニット７からの制御信号Ｓ３ａに従い、基板搬送機構２によって位置情報取得部４に搬送された検査対象基板１００（位置情報取得部４に位置させられている基板保持部１０によって保持されている検査対象基板１００）における一方の面（下面）を撮像して撮像データＤ１ａを制御ユニット７に出力する。また、カメラ４ｂは、制御ユニット７からの制御信号Ｓ３ｂに従い、基板搬送機構２によって位置情報取得部４に搬送された検査対象基板１００（位置情報取得部４に位置させられている基板保持部１０によって保持されている検査対象基板１００）における他方の面（上面）を撮像して撮像データＤ１ｂを制御ユニット７に出力する。
【００３２】
さらに、図２に示すように、検査部５には、プローブユニット３１ａ，３１ｂ、移動機構３２ａ，３２ｂ、測定部３３およびスキャナ３４が配設されている。プローブユニット３１ａは、「検査用治具」の一例であって、図３に示すように、検査対象基板１００の一方の面（下面）に形成された半田バンプ（すなわち、検査対象基板１００の一方の面に規定された各プロービングポイント）にプロービング可能に複数のプローブＰ（「検査用プローブ」の一例）がグリッド状に並んで配設されている。また、プローブユニット３１ｂは、検査対象基板１００の他方の面（上面）に形成された半田バンプ（すなわち、検査対象基板１００の他方の面に規定された各プロービングポイント）にプロービング可能に複数のプローブＰがグリッド状に並んで配設されている。
【００３３】
移動機構３２ａは、「移動機構」の一例であって、制御ユニット７からの制御信号Ｓ４ａに従い、プローブユニット３１ａを基板保持部１０に向けて移動させて（上動させて）、基板保持部１０によって保持されている検査対象基板１００の各プロービングポイントに各プローブＰをプロービングさせる（「基板保持部および検査用治具の少なくとも一方を他方に対して移動させる」との構成が「基板保持部に対して検査用治具を移動させる」との構成の例）。移動機構３２ｂは、制御ユニット７からの制御信号Ｓ４ｂに従い、プローブユニット３１ｂを基板保持部１０に向けて移動させて（下動させて）、基板保持部１０によって保持されている検査対象基板１００の各プロービングポイントに各プローブＰをプロービングさせる。
【００３４】
測定部３３は、スキャナ３４および制御ユニット７と相まって検査部を構成する。具体的には、測定部３３は、制御ユニット７からの制御信号Ｓ５に従い、スキャナ３４を制御して、各プローブＰ，Ｐのうちの任意の数本を測定部３３に接続させると共に、接続させたプローブＰ，Ｐを介して検査対象基板１００に入出力させた電気信号の電気的パラメータを測定して測定結果データＤ２を制御ユニット７に出力する測定処理を実行する。スキャナ３４は、測定部３３の制御に従って各プローブＰ，Ｐと測定部３３との接断を切り替える。
【００３５】
また、制御ユニット７は、一例として、基板検査用のプログラムがインストールされた市販のパーソナルコンピュータで構成され、制御部７ａと、図示しない操作部および表示部とを備えている。この場合、制御部７ａは、基板検査装置１を総括的に制御する。具体的には、制御部７ａは、前述したように、基板搬送機構２に制御信号Ｓ１を出力して、基板保持部１０によって保持されている検査対象基板１００を、基板搬入部３から、位置情報取得部４、検査部５および基板搬出部６の各位置に搬送させる。また、制御部７ａは、基板搬送機構２（移動機構１２）に制御信号Ｓ２を出力して基板保持部１０における両挟持用爪部１１によって検査対象基板１００を挟持させる。
【００３６】
さらに、制御部７ａは、カメラ４ａに制御信号Ｓ３ａを出力することで検査対象基板１００の一方の面（下面）を撮像させると共に、カメラ４ａから出力された撮像データＤ１ａを画像解析することにより、基板保持部１０によって保持されている検査対象基板１００における基準の位置（一例として、両挟持用爪部１１における両基板載置部２１，２１の間から見える半田バンプの位置）の基準保持位置からの位置ずれ量および位置ずれ方向をそれぞれ特定する。また、制御部７ａは、カメラ４ｂに制御信号Ｓ３ｂを出力することで検査対象基板１００の他方の面（上面）を撮像させると共に、カメラ４ｂから出力された撮像データＤ１ｂを画像解析することにより、基板保持部１０によって保持されている検査対象基板１００における基準の位置の基準保持位置からの位置ずれ量および位置ずれ方向をそれぞれ特定する。
【００３７】
さらに、制御部７ａは、移動機構３２ａに制御信号Ｓ４ａを出力してプローブユニット３１ａを基板保持部１０に向けて上動させ、かつ、移動機構３２ｂに制御信号Ｓ４ｂを出力してプローブユニット３１ｂを基板保持部１０に向けて下動させることにより、プローブユニット３１ａの各プローブＰを検査対象基板１００における一方の面（下面）のプロービングポイントにプロービングさせると共に、プローブユニット３１ｂの各プローブＰを検査対象基板１００における他方の面（上面）のプロービングポイントにプロービングさせる。
【００３８】
また、制御部７ａは、測定部３３に制御信号Ｓ５を出力することによって上記の測定処理を実行させると共に、測定部３３から出力される測定結果データＤ２と、検査用基準データとに基づき、各プロービングポイントの間に絶縁不良や導通不良が生じているか否かを検査する（検査対象基板１００に対して絶縁検査や導通検査などの検査を実行する）検査処理を実行する。
【００３９】
この基板検査装置１による検査対象基板１００の検査に際しては、まず、制御部７ａが基板搬送機構２における４つの基板保持部１０のうちの基板搬入部３に位置している基板保持部１０の移動機構１２に制御信号Ｓ２を出力することにより、挟持用爪部１１ａを挟持用爪部１１ｂから離間させる方向（図３，４に示す矢印Ｂの向き）に移動させる。この際には、挟持用爪部１１ａの当接部２２ａと挟持用爪部１１ｂの当接部２２ａとが検査対象基板１００の一方の長さ（図４における左右方向の長さ）よりも離間し、かつ挟持用爪部１１ａの当接部２２ｂと挟持用爪部１１ｂの当接部２２ｂとが検査対象基板１００の他方の長さ（図４における上下方向の長さ）よりも離間すると共に、両挟持用爪部１１ａ，１１ｂの基板載置部２１，２１上に検査対象基板１００を載置可能となるように、挟持用爪部１１ａ，１１ｂを必要かつ十分に離間させる。
【００４０】
次いで、図６に示すように、基板搬入搬出装置が、基板搬入部３に位置している基板保持部１０における両挟持用爪部１１の基板載置部２１上に検査対象基板１００を搬送する。この際には、同図に示すように、基板載置部２１の上面（検査対象基板１００を載置する載置面）に検査対象基板１００の一方の面（下面）が接し、かつ、挟持用爪部１１ａの当接部２２ａ，２２ｂおよび挟持用爪部１１ｂの当接部２２ａ，２２ｂが検査対象基板１００に非接触の状態となる。
【００４１】
続いて、制御部７ａは、移動機構１２に制御信号Ｓ２を出力することにより、同図に示す矢印Ａの向きで挟持用爪部１１ａをそれぞれ移動させる。この際には、挟持用爪部１１ａの当接部２２ａ，２２ｂが検査対象基板１００の側部に当接し、その状態で挟持用爪部１１ａが矢印Ａの向きにさらに移動させられることによって検査対象基板１００が矢印Ａの向きに移動させられる。これにより、図３，４に示すように、検査対象基板１００において挟持用爪部１１ａに接している角部と対向する角部が挟持用爪部１１ｂに接した状態となり、検査対象基板１００が両挟持用爪部１１によって挟持されて保持される。
【００４２】
次いで、制御部７ａは、基板搬送機構２に制御信号Ｓ１を出力することにより、基板搬入部３において検査対象基板１００を保持した状態の基板保持部１０を位置情報取得部４に搬送させる。続いて、制御部７ａは、カメラ４ａ，４ｂに制御信号Ｓ３ａ，Ｓ３ｂを出力して検査対象基板１００を撮像させる。この際に、カメラ４ａは、基板保持部１０によって保持されている検査対象基板１００における一方の面（下面）を撮像して撮像データＤ１ａを出力し、カメラ４ｂは、基板保持部１０によって保持されている検査対象基板１００における他方の面（上面）を撮像して撮像データＤ１ｂを出力する。
【００４３】
続いて、制御部７ａは、カメラ４ａ，４ｂから出力された撮像データＤ１ａ，Ｄ１ｂを画像解析処理することにより、検査対象基板１００の一方の面（下面）および他方の面（上面）にそれぞれ形成されている半田バンプの位置（すなわち、プローブＰ，Ｐをプロービングさせるべきプロービング位置）を特定すると共に、予め規定された基準位置からの位置ずれ量および位置ずれ方向をそれぞれ特定する。なお、以下の説明においては、上記の処理によって特定した位置ずれ量および位置ずれ方向を総称して「位置情報」ともいう。また、画像解析処理による位置情報の特定方法は公知のため、詳細な説明を省略する。これにより、位置情報取得部４における位置情報取得処理が完了する。
【００４４】
次いで、制御部７ａは、基板搬送機構２に制御信号Ｓ１を出力することにより、位置情報取得処理を完了した検査対象基板１００を位置情報取得部４から検査部５に搬送させる。続いて、制御部７ａは、移動機構３２ａに制御信号Ｓ４ａを出力することにより、位置情報取得処理によって取得した位置情報に応じてプローブユニット３１ａの移動方向を微調整しつつ基板保持部１０（検査対象基板１００）に向けて上動させ、かつ、移動機構３２ｂに制御信号Ｓ４ｂを出力することにより、位置情報取得処理によって取得した位置情報に応じてプローブユニット３１ｂの移動方向を微調整しつつ基板保持部１０（検査対象基板１００）に向けて下動させる。
【００４５】
この際には、基板保持部１０に対するプローブユニット３１ａの上動に伴い、プローブユニット３１ａの各プローブＰが、両挟持用爪部１１の基板載置部２１に形成されている挿通用孔Ｈや切欠きＨａを挿通させられ、図７に示すように、検査対象基板１００における一方の面（下面）にそれぞれプロービングさせられる。また、基板保持部１０に対するプローブユニット３１ｂの下動に伴い、同図に示すように、プローブユニット３１ｂの各プローブＰが、検査対象基板１００における他方の面（上面）にそれぞれプロービングさせられる。これにより、検査対象基板１００に対するプロービングが完了する。
【００４６】
次いで、制御部７ａは、測定部３３に制御信号Ｓ５を出力することによって測定処理を実行させると共に、測定部３３から出力される測定結果データＤ２と、検査用基準データとに基づき、各プロービングポイントの間に絶縁不良や導通不良が生じているか否かを検査する（検査対象基板１００を検査する）。この際には、一例として、制御部７ａによる検査結果が、図示しない表示部の表示画面に表示され、かつ検査結果データとして記録される。
【００４７】
続いて、制御部７ａは、移動機構３２ａに制御信号Ｓ４ａを出力してプローブユニット３１ａを下動させると共に、移動機構３２ｂに制御信号Ｓ４ｂを出力してプローブユニット３１ｂを上動させる。次いで、制御部７ａは、基板搬送機構２に制御信号Ｓ１を出力することにより、検査処理を完了した検査対象基板１００を検査部５から基板搬出部６に搬送させる。続いて、制御部７ａは、基板搬送機構２に制御信号Ｓ２を出力することにより、図３，４に示す矢印Ｂの向きに挟持用爪部１１ａを移動させる。これにより、挟持用爪部１１ａ，１１ｂによる検査対象基板１００の挟持が解除される。この後、基板搬入搬出装置が、基板搬出部６に位置している基板保持部１０における両挟持用爪部１１上から検査対象基板１００を搬出する。これにより、この検査対象基板１００に対する検査処理が完了する。
【００４８】
一方、この基板検査装置１では、上記の検査対象基板１００に代えて、半田バンプの形成間隔（すなわち、プロービングポイントの規定間隔）が等しく、かつ検査対象基板１００よりも半田バンプの形成数が多数（すなわち、プロービングポイントの規定数が多数）で検査対象基板１００よりも大きな「検査対象基板（図示せず）」を検査することもできる。この際には、その「検査対象基板」に応じてプローブＰが配設されたプローブユニット３１ａ，３１ｂ（図示せず）を検査部５に設置するだけで、基板保持部１０（挟持用爪部１１）については、検査対象基板１００の保持に際して使用したものを継続して使用することができる。
【００４９】
具体的には、検査対象基板１００よりも大きな「検査対象基板」を検査する際には、基板搬入部３において基板保持部１０によって「検査対象基板」を保持する際に、図６に示す状態よりも両挟持用爪部１１を離間させ、その後に移動機構１２によって挟持用爪部１１ａを挟持用爪部１１ｂに向けて移動させる（矢印Ａの向きで移動させる）ことにより、検査対象基板１００を保持した上記の例と同様にして、検査対象基板１００よりも大きな「検査対象基板」を基板保持部１０によって保持することができる。
【００５０】
また、この基板検査装置１では、上記の検査対象基板１００に代えて、半田バンプの形成間隔（すなわち、プロービングポイントの規定間隔）が等しく、かつ検査対象基板１００よりも半田バンプの形成数が少数（すなわち、プロービングポイントの規定数が少数）で検査対象基板１００よりも小さな「検査対象基板（図示せず）」を検査することもできる。この際には、その「検査対象基板」に応じてプローブＰが配設されたプローブユニット３１ａ，３１ｂ（図示せず）を検査部５に設置するだけで、基板保持部１０（挟持用爪部１１）については、検査対象基板１００の保持や、検査対象基板１００よりも大きな「検査対象基板」の保持に際して使用したものを継続して使用することができる。
【００５１】
具体的には、検査対象基板１００よりも小さな「検査対象基板」を検査する際には、基板搬入部３において基板保持部１０によって「検査対象基板」を保持する際に、図６に示す状態よりも両挟持用爪部１１を接近させ、その後に移動機構１２によって挟持用爪部１１ａを挟持用爪部１１ｂに向けて移動させる（矢印Ａの向きで移動させる）ことにより、検査対象基板１００を保持した上記の例と同様にして、検査対象基板１００よりも小さな「検査対象基板」を基板保持部１０によって保持することができる。
【００５２】
この場合、本例の基板保持部１０では、前述したように、両挟持用爪部１１の基板載置部２１が平面視直角三角形状に形成されると共に、挟持用爪部１１ａにおける基板載置部２１の直角の角部（この例では、右下の角部）に対向する１つの辺２１ｃと、挟持用爪部１１ｂにおける基板載置部２１の直角の角部（この例では、左上の角部）に対向する１つの辺２１ｃとが平面視において平行となるように配置されている。したがって、挟持用爪部１１ａにおける基板載置部２１の直角の角部に対向する１つの辺２１ｃと、挟持用爪部１１ｂにおける基板載置部２１の直角の角部に対向する１つの辺２１ｃとを十分に接近させることができるため、小さな検査対象基板１００を両挟持用爪部１１によって挟持して好適に保持することが可能となっている。
【００５３】
さらに、この基板検査装置１では、上記の検査対象基板１００に代えて、半田バンプの形成間隔（すなわち、プロービングポイントの規定間隔）が検査対象基板１００とは相違する「検査対象基板（図示せず）」を検査することもできる。この際には、その「検査対象基板」に応じてプローブＰが配設されたプローブユニット３１ａ，３１ｂ（図示せず）を検査部５に設置すると共に、その「検査対象基板」に応じたピッチで挿通用孔Ｈや切欠きＨａが形成された挟持用爪部１１ａ，１１ｂ（図示せず）を基板搬送機構２に配設することで、上記の検査対象基板１００等の保持と同様にして、その「検査対象基板」を保持して検査することが可能となる。
【００５４】
このように、この基板検査装置１では、一方の面（下面）を下向きにした状態の検査対象基板１００を載置可能な基板載置部２１と、基板載置部２１に載置された検査対象基板１００の側部に接する当接部２２ａ，２２ｂとをそれぞれ備えて両挟持用爪部１１ａ，１１ｂが構成されると共に、両当接部２２ａ，２２ｂによって挟持した状態の検査対象基板１００における一方の面（下面）に規定された各プロービングポイントに対する各プローブＰのプロービングを許容する複数の挿通用孔Ｈおよび切欠きＨａが基板載置部２１にグリッド状に並んで形成されている。
【００５５】
したがって、この基板検査装置１によれば、検査対象基板１００の一方の面（下面）における角部にプロービングポイントを規定した場合においても、両挟持用爪部１１の基板載置部２１に形成されている各挿通用孔Ｈおよび各切欠きＨａを挿通させて検査対象基板１００の各プロービングポイントにプローブユニット３１ａの各プローブＰをそれぞれプロービングさせることができる。このため、半田バンプや導体パターンの配置、すなわち、プロービングポイントの位置によって検査可能な基板が制限されることなく、各種の検査対象基板を確実に検査することができる。また、挟持用爪部１１ａ，１１ｂの離間距離を変化させることで、各種の大きさの「検査対象基板」を保持することができるため、プロービングポイントの規定間隔が等しく、大きさが相違する各種の「検査対象基板」を検査する際の検査コストを十分に低減することができる。
【００５６】
また、この基板検査装置１によれば、両挟持用爪部１１ａ，１１ｂが、矩形状の検査対象基板１００における４つの側部のうちの隣接する２つの側部に接する「第１当接部」としての当接部２２ａ、および「第２当接部」としての当接部２２ｂを「当接部」としてそれぞれ備えたことにより、検査対象基板１００を保持した状態において、検査対象基板１００における隣接する２つの側部のそれぞれに沿った向きへの検査対象基板１００の移動を確実に規制することができる。
【００５７】
さらに、この基板検査装置１によれば、平面視直角三角形状の基板載置部２１における直角の角部を挟んで隣接する２つの辺２１ａ，２１ｂに接するように当接部２２ａ，２２ｂを設けて両挟持用爪部１１ａ，１１ｂを構成すると共に、挟持用爪部１１ａにおける基板載置部２１の直角の角部に対向する１つの辺２１ｃと、挟持用爪部１１ｂにおける基板載置部２１の直角の角部に対向する１つの辺２１ｃとが平面視において平行となるように両挟持用爪部１１ａ，１１ｂを配置したことにより、両挟持用爪部１１ａ，１１ｂを十分に接近させることができるため、小さな「検査対象基板」を確実に保持することができる。
【００５８】
なお、「基板検査装置」の構成は、上記の基板検査装置１の構成に限定されない。例えば、当接部２２ａ，２２ｂによって平面視Ｌ字状に構成した「当接部」を有する挟持用爪部１１（「第１当接部」および「第２当接部」が互いに接している構成の「挟持用部材」）を備えたて基板保持部１０によって検査対象基板１００を保持する構成を例に挙げて説明したが、図８に示す基板保持部１０Ａ（「基板保持部」の他の一例）のように、「第１当接部」に相当する当接部２２ａと、「第２当接部」に相当する当接部２２ｂとが接しないように形成された挟持用爪部４１ａ，４１ｂ（「一対の挟持用部材」の他の一例）によって検査対象基板１００を挟持して保持する構成を採用することもできる。
【００５９】
なお、同図に示す基板保持部１０Ａ（挟持用爪部４１ａ，４１ｂ）や、後述する図９の基板保持部１０Ｂ（挟持用爪部５１ａ，５１ｂ）、および図１０の基板保持部１０Ｃ（挟持用爪部６１ａ，６１ｂ）において上記の基板保持部１０における挟持用爪部１１ａ，１１ｂと同様の機能を有する構成要素については、同一の符号を付して重複する説明を省略する。
【００６０】
また、平面視直角三角形状の基板載置部２１を有する挟持用爪部１１を備えて基板保持部１０を構成した例について説明したが、図９に示す基板保持部１０Ｂ（「基板保持部」のさらに他の一例）における挟持用爪部５１ａ，５１ｂ（「一対の挟持用部材」のさらに他の一例）のように、基板載置部２１を平面視Ｌ字状に形成したり、図１０に示す基板保持部１０Ｃ（「基板保持部」のさらに他の一例）における挟持用爪部６１ａ，６１ｂ（「一対の挟持用部材」のさらに他の一例）のように、基板載置部２１を平面視矩形状に形成したりすることもできる。
【００６１】
これらの基板保持部１０Ａ〜１０Ｃにおける挟持用爪部４１ａ，４１ｂ，５１ａ，５１ｂ，６１ａ，６１ｂのような構成においても、前述した基板保持部１０における挟持用爪部１１ａ，１１ｂと同様にして、半田バンプや導体パターンの配置、すなわち、プロービングポイントの位置によって検査可能な基板が制限されることなく、各種の検査対象基板を確実に検査することができると共に、各種の大きさの「検査対象基板」を保持することができ、これにより、プロービングポイントの規定間隔が等しく、大きさが相違する各種の「検査対象基板」を検査する際の検査コストを十分に低減することができる。
【００６２】
さらに、「検査対象基板」における隣接する側部の双方に接して「検査対象基板」を挟持する構成、すなわち、「検査対象基板」における「対向する角部」を挟持する構成の「一対の挟持用部材」を備えた例について説明したが、「検査対象基板」における隣接する側部のいずれか一方だけに接して「検査対象基板」を挟持する構成、すなわち、「検査対象基板」における「角部から離間した部位」を挟持する構成の「一対の挟持用部材」を備えて構成することもできる（図示せず）。
【００６３】
加えて、基板保持部１０によって保持されている検査対象基板１００に向けて移動機構３２ａ，３２ｂがプローブユニット３１ａ，３１ｂを移動させることで検査対象基板１００の各プロービングポイントに各プローブＰ，Ｐをプロービングさせる構成を例に挙げて説明したが、「基板保持部」を「検査用治具」に向けて移動させてプロービングポイントに「検査用プローブ」をプロービングさせる構成や、「基板保持部」を「検査用治具」に向けて移動させ、かつ「検査用治具」を「基板保持部」に向けて移動させることでプロービングポイントに「検査用プローブ」をプロービングさせる構成を採用することもできる。
【符号の説明】
【００６４】
１  基板検査装置
２  基板搬送機構
４  位置情報取得部
４ａ，４ｂ  カメラ
５  検査部
６  基板搬出部
７  制御ユニット
７ａ  制御部
１０，１０Ａ〜１０Ｃ  基板保持部
１１ａ，１１ｂ，４１ａ，４１ｂ，５１ａ，５１ｂ，６１ａ，６１ｂ  挟持用爪部
１２，３２ａ，３２ｂ  移動機構
２１  基板載置部
２１ａ〜２１ｃ  辺
２２ａ，２２ｂ  当接部
３１ａ，３１ｂ  プローブユニット
３３  測定部
３４  スキャナ
１００  検査対象基板
Ｈ  挿通用孔
Ｈａ  切欠き
Ｐ  プローブ
Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３ａ，Ｓ３ｂ，Ｓ４ａ，Ｓ４ｂ，Ｓ５  制御信号
【図１】
2014169973.tif 000003
【図２】
2014169973.tif 000004
【図３】
2014169973.tif 000005
【図４】
2014169973.tif 000006
【図５】
2014169973.tif 000007
【図６】
2014169973.tif 000008
【図７】
2014169973.tif 000009
【図８】
2014169973.tif 000010
【図９】
2014169973.tif 000011
【図１０】
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