(57)【要約】      （修正有）【課題】小型でありながら、迅速に比較的大きな距離だけ光学素子をシフトできる光学素子のシフト機構、撮像装置及び内視鏡システムを提供する。【解決手段】圧電素子５２に給電すると、２つの圧電素子５２が同じ量だけ伸張するが、このとき切欠を押し広げるので、切欠を挟むリンク部５１ａの角度が広がるように揺動する。このとき、切り込みが狭まるように矩形枠５１が変形するので、設置部５１ｈ間の距離が拡大するようになる。これにより、対物光学系２４は、ＣＣＤの斜め方向（画素並びに対して）に瞬時に変位する。変位量は、圧電素子５２の伸縮量の５倍以上である。給電を停止すると、圧電素子５２は縮むので矩形枠５１は元に戻る。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
関節部にて連結された複数のリンク部を備えた変位部材と、
前記複数のリンク部を前記関節部の回りに揺動させる伸縮可能な駆動源と、を有し、
前記変位部材の一部は光学素子に連結されてなり、前記変位部材の別な一部は固定されており、前記駆動源を駆動することにより、前記光学素子を光軸直交方向に変位させることを特徴とする光学素子のシフト機構。
【請求項２】
前記駆動源は、電気機械変換素子であることを特徴とする請求項１に記載の光学素子のシフト機構。
【請求項３】
前記変位部材は、前記光学素子の光軸が内側を通過する一体に形成された矩形枠であって、前記リンク部は四辺に配置され、前記関節部は四隅に配置されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の光学素子のシフト機構。
【請求項４】
前記変位部材の四隅のうち少なくとも１つに切欠が形成され、前記切欠内に前記駆動源が配置されており、前記駆動源が前記切欠を押し広げることで前記リンク部を揺動させるようになっていることを特徴とする請求項３に記載の光学素子のシフト機構。
【請求項５】
前記切欠は前記変位部材の内周側に設けられ、前記駆動源の伸縮方向端の外周側のみが前記切欠に当接することを特徴とする請求項４に記載の光学素子のシフト機構。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれかに記載のシフト機構と、前記シフト機構によりシフトされる光学素子と、撮像素子とを有することを特徴とする撮像装置。
【請求項７】
請求項６に記載の撮像装置を有することを特徴とする内視鏡システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学素子のシフト機構、撮像装置及び内視鏡システムに関し、特に、ＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅｄ  Ｃｏｕｐｌｅｄ  Ｄｅｖｉｃｅ）型イメージセンサ或いはＣＭＯＳ（Ｃｏｍｐｌｅｍｅｎｔａｒｙ  Ｍｅｔａｌ  Ｏｘｉｄｅ  Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）型イメージセンサ等の固体撮像素子を用いた撮像装置に好適な光学素子のシフト機構、及びこれを用いた撮像装置並びに内視鏡システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ＣＣＤ型イメージセンサ或いはＣＭＯＳ型イメージセンサ等の固体撮像素子を用いた撮像装置を備えた機器が普及しつつあり、内視鏡システムもその一例である。ここで、人体の診断等に用いる内視鏡は、狭い空間を通して人体内に挿入されるので、コンパクト性が重要である。一方で、より高解像度の画像を得たいという要求もあるが、内視鏡に搭載される撮像素子の大きさが制限されるため、超高画素である大型の撮像素子を用いることは困難である。
【０００３】
これに対し、いわゆる「画素ずらし」という手法で、低画素の撮像素子を用いても高解像の画像を得ることができる技術が知られている（特許文献１〜３参照）。画素ずらしとは、短時間の内にレンズを斜めにシフトさせて２枚の画像を撮像し、その画像データを補間することで、理論上、画素を４倍にした撮像素子で撮像したものと同様に高解像の画像を得ることができる技術である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開昭６２−９８９７７号公報
【特許文献２】特開平０１−１２３５８０号公報
【特許文献３】特開平１０−１２６６６３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかるに、画素ずらしを行うためには、例えば０．１秒以内に１μｍ以上レンズを移動できるアクチュエータが必要である。特許文献１では、Ｘ方向に駆動する圧電素子と、Ｙ方向に駆動する圧電素子とを光軸方向に積層して配置しており、厚みが増すため構成が大型化するという問題がある。一方、特許文献２，３においては、撮像素子の外側にて圧電素子を光軸直交方向に伸びるように配置した構成であるため、光軸直交方向のサイズが大きくなってしまうという問題がある。
【０００６】
このように、圧電素子の伸びで直接レンズを駆動しようとすると、所望の変位量を得るために相当に大型の機構が必要になり、コンパクト化を実現できないため、内視鏡への搭載は困難であった。これに対し、圧電素子への印加電圧を大きく(数十Ｖ以上)することも考えられるが、内視鏡などに用いる撮像装置では、投入電圧を高くすることは人体への影響に鑑みて、なるべく避けたいという実情がある。同様なことは、画素ずらしの技術を携帯端末用の撮像装置に適用する場合にもいえるが、特に携帯端末等では、圧電素子への印加電圧を高めるには昇圧回路が必要になり,これも全体のサイズアップやコストアップを招くので好ましくない。
【０００７】
本発明は、このような問題を鑑みてなされたものであり、小型でありながら、迅速に比較的大きな距離だけ光学素子をシフトできる光学素子のシフト機構、撮像装置及び内視鏡システムを提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
請求項１に記載の光学素子のシフト機構は、
関節部にて連結された複数のリンク部を備えた変位部材と、
前記複数のリンク部を前記関節部の回りに揺動させる伸縮可能な駆動源と、を有し、
前記変位部材の一部は光学素子に連結されてなり、前記変位部材の別な一部は固定されており、前記駆動源を駆動することにより、前記光学素子を光軸直交方向に変位させることを特徴とする。
【０００９】
本発明によれば、前記変位部材の一部が光学素子に連結されてなり、前記変位部材の別な一部が固定されており、前記駆動源の伸縮に応じて前記リンク部を揺動させることにより、前記光学素子を光軸直交方向に変位させることができるので、前記駆動源の伸縮量を拡大して前記光学素子の移動量に変換でき、これにより低印加電圧を用いコンパクトな構成でありながら、画素ずらしに必要な光学素子の移動を実現できる。尚、「関節部」とは、リンク部と一体であっても良いが、少なくともリンク部より剛性が低いと好ましい。
【００１０】
請求項２に記載の光学素子のシフト機構は、請求項１に記載の発明において、前記駆動源は、電気機械変換素子であることを特徴とする。
【００１１】
例えば圧電素子などの電気機械変換素子を用いれば、レスポンスに優れ、シンプルな構成でコンパクト化を図れる。
【００１２】
請求項３に記載の光学素子のシフト機構は、請求項１又は２に記載の発明において、前記変位部材は、前記光学素子の光軸が内側を通過する一体に形成された矩形枠であって、前記リンク部は四辺に配置され、前記関節部は四隅に配置されていることを特徴とする。
【００１３】
前記変位部材が、前記リンク部と前記関節部とを一体的に形成したものであれば、シフト機構の組付けが容易になる。特に、前記変位部材が矩形枠であれば、前記リンク部の揺動に応じて対称的に変形するので、前記光学素子の高精度な移動を実現でき、更に前記駆動源等を光路周囲に効率よく配置できる。又、前記矩形枠の間が空いているため、前記光学素子を通過する光線を邪魔することはないので、両者を光軸方向に重ねて設置でき、これにより光軸直交方向のサイズを抑えることができる。
【００１４】
請求項４に記載の光学素子のシフト機構は、請求項３に記載の発明において、前記変位部材の四隅のうち少なくとも１つに切欠が形成され、前記切欠内に前記駆動源が配置されており、前記駆動源が前記切欠を押し広げることで前記リンク部を揺動させるようになっていることを特徴とする。
【００１５】
これにより、前記駆動源の伸縮量を大幅に拡大でき、よって前記駆動源の小型化を図れ、昇圧回路なども不要になりコスト低減を図れる。
【００１６】
請求項５に記載の光学素子のシフト機構は、請求項４に記載の発明において、前記切欠は前記変位部材の内周側に設けられ、前記駆動源の伸縮方向端の外周側のみが前記切欠に当接することを特徴とする。
【００１７】
これにより前記駆動源の伸縮を妨げることがなく、しかも伸縮量の拡大が可能になる。
【００１８】
請求項６に記載の撮像装置は、請求項１〜５のいずれかに記載のシフト機構と、前記シフト機構によりシフトされる光学素子と、撮像素子とを有することを特徴とする。
【００１９】
請求項７に記載の内視鏡システムは、請求項６に記載の撮像装置を有することを特徴とする。
【００２０】
内視鏡は、人体への負担を抑えるため外径が細い方が好ましい。本発明のシフト機構を用いて前記光学素子をシフトさせることで画素ずらしを実現できるから、内視鏡の外径を抑えつつ高解像の画像を得ることができ、正確な診断に供することができる。又、モーター等の電磁駆動だと磁力が発生するために、生体への影響が懸念される場合もあるが、圧電素子等を用いる場合、磁力の発生はないのでより好ましいといえる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、小型でありながら、迅速に比較的大きな距離だけ光学素子をシフトできる光学素子のシフト機構、撮像装置及び内視鏡システムを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】内視鏡システムの外観図である。
【図２】内視鏡の先端部の内部を側面から視た断面図である。
【図３】シフト機構５０を、対物光学系２４に組み付けた状態を示す斜視図である。
【図４】シフト機構５０と対物光学系２４とを分解した状態を示す斜視図である。
【図５】シフト機構５０の分解図である。
【図６】図４の矢印VIで示す部位を拡大して光軸方向に見た図である。
【図７】シフト機構の動作を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
図１に示すように、内視鏡システム２は、電子内視鏡１０、プロセッサ装置１１、及び光源装置１２等から構成されている。電子内視鏡１０は、被検体内に挿入される挿入部１３と、挿入部１３の基端部分に連設された操作部１４と、プロセッサ装置１１や光源装置１２に接続されるユニバーサルコード１５とを備えている。
【００２４】
ユニバーサルコード１５の先端には、コネクタ１６が取り付けられている。コネクタ１６は複合タイプのコネクタであり、プロセッサ装置１１、及び光源装置１２がそれぞれ接続されている。
【００２５】
プロセッサ装置１１は、被検体内撮影用の固体撮像素子であるＣＣＤ２７（図２参照）からユニバーサルコード１５及びコネクタ１６を介して入力された撮像信号に各種画像処理を施して、映像信号に変換するとともに、ＣＣＤ２７の駆動を制御する駆動制御信号を送信する。プロセッサ装置１１で変換された映像信号は、プロセッサ装置１１にケーブル接続されたモニタ１７に内視鏡画像として表示される。また、プロセッサ装置１１は、光源装置１２と電気的に接続しており、内視鏡システム２全体の動作を統括的に制御する。なお、ＣＣＤの代わりにＣＭＯＳイメージセンサを用いてもよい。
【００２６】
挿入部１３は、先端から順に、先端部１３ａ、湾曲部１３ｂ、及び可撓管部１３ｃで構成されている。先端部１３ａは、表面は樹脂であるが、その内側は硬質な金属材料等で形成され、対物光学系２４やＣＣＤ２７等が内蔵される。湾曲部１３ｂは、複数の節輪４５（図２参照）を連結して構成され、アングルノブ１８を操作することにより可撓管部１３ｃ内に挿通されたアングルワイヤー（図示せず）の移動に連動して上下左右方向に湾曲動作する。これにより、先端部１３ａが体腔内の所望の方向に向けられ、体腔内の被観察部位をＣＣＤ２７で撮像することができる。可撓管部１３ｃは、操作部１４と湾曲部１３ｂとの間を細径で長尺状に繋ぐ部分であり、可撓性を有している。
【００２７】
図２において、先端部１３ａの端面には、観察窓２１、照明窓（図示せず）、鉗子出口２２、及び送気・送水ノズル２３が設けられている。観察窓２１の奥には、体腔内の像光を取り込むための対物光学系２４（光学素子）が、シフト機構５０により光軸直交方向に可動に支持されて鏡枠２５内に配設されている。対物光学系２４を経由した観察部位の像光は、プリズム２６に入射してプリズム２６の内部で屈曲することでＣＣＤ２７の撮像面２７ａに結像する。
【００２８】
照明窓には、ライトガイド２８の出射端が面している。ライトガイド２８は、多数の光ファイバー（例えば、石英からなる）を束ねて形成したものである。ライトガイド２８は、挿入部１３、操作部１４、ユニバーサルコード１５、及びコネクタ１６の内部を通っており、コネクタ１６が光源装置１２に接続されたとき、光源装置１２から発する照明光を、照明窓へ導いて体腔内の被観察部位に照射させる。
【００２９】
送気・送水ノズル２３は、操作部１４に設けられた送気・送水ボタン１９（図１参照）を操作することによって、光源装置１２に内蔵の送気・送水装置（図示せず）から供給されるエアー及び洗浄水を観察窓２１へ噴射する。鉗子出口２２は、操作部１４に設けられた鉗子口２０（図１参照）から被観察部位への処置を施す各種処置具が挿入される。
【００３０】
ＣＣＤ２７は、例えばインターライン型のＣＣＤからなり、撮像面２７ａが表面に設けられたベアチップが用いられる。撮像面２７ａ上には、四角枠状のスペーサ２９を介して矩形板状のカバーガラス３０が取り付けられている。
【００３１】
ＣＣＤ２７の後端側の辺縁部には、回路基板であるフレキシブル基板（図示せず）が、例えばフリップチップ方式によりバンプを介して電気的に接続されている。そして、ＣＣＤ２７とフレキシブル基板とが容易に引き剥がれることがないように、接着剤（図示せず）により補強的に接着されている。
【００３２】
フレキシブル基板のＣＣＤ２７が電気的に接続されている側と反対側の片面には、ＣＣＤ２７の駆動回路やＣＣＤ２７からの出力信号を増幅するプリアンプ３２や複数の端子３３等が設けられている。この各端子３３には、それぞれ信号ケーブル３５が半田付けにより電気的に接続されている。各端子３３は、例えば入出力端子やアース端子である。信号ケーブル３５は、挿入部１３の長手方向に沿って配列され、図示しない多芯ケーブルから引き出されている。
【００３３】
フレキシブル基板３１は、ＣＣＤ２７の幅サイズの４倍の長さを有する。片面が内側となるように、フレキシブル基板３１を折り曲げる。これにより、フレキシブル基板３１は、ほぼ矩形の筒形状になる。この筒形状にされたフレキシブル基板３１の内側に、絶縁性樹脂から形成された絶縁保護部材３６を充填する。
【００３４】
絶縁保護部材３６は、例えば一液硬化性のエポキシ樹脂の絶縁性樹脂であり、上記矩形筒内に充填された後、加熱して硬化させる。これにより、信号ケーブル３５が引っ張られる等の力が加えられても、端子３３と信号ケーブル３５との間には、負荷が掛からないか、あるいは、掛かったとしても僅かであるから、端子３３と信号ケーブル３５の信号線とのハンダ付け箇所の剥離を防止することができる。
【００３５】
図２において、絶縁保護部材３６の信号ケーブル３５が突出された側の端面には、信号ケーブル３５を所定の長さ、例えば１０ｍｍ程度にわたって被覆する被覆部材３７が、絶縁保護部材３６と一体的に接合されている。この被覆部材３７は、絶縁保護部材３６に接合される側から先端側に向かってなだらかに径が細くなる円錐台形状に形成されているため、先端側ほど柔軟性に富む。
【００３６】
被覆部材３７は、絶縁保護部材３６と同じ樹脂で形成してもよいが、絶縁保護部材３６よりも可撓性が高い樹脂から形成するのがより望ましい。なお、被覆部材３７を絶縁保護部材３６と同じ樹脂で形成する場合、円錐台形状に形成するのに加え、周方向に輪状に形成された溝を長さ方向に複数個隣接して設けるのが好ましい。
【００３７】
先端部１３ａの前端部４０は硬質樹脂、周表皮４１は軟質樹脂からそれぞれ形成されており、周表皮４１の内側には、硬質な金属材料から形成された筒状部４２が一端部を前端部４０に接合されて設けられている。筒状部４２の他端部の内壁面には、前端部４０側に最も近い節輪４４の円筒部４４ａの外周面が固着されている。節輪４４には、一方の端縁から軸方向に突出する一対の外側リンケージ部４４ｂが形成され、これに、節輪４４と形状が異なる節輪４５の内側リンケージ部４５ｃが連結されている。この節輪４５は、複数個が湾曲部１３ｂ内に直列に連結して設けられている。
【００３８】
節輪４５は、円筒部４５ａと、この円筒部４５ａの一方の端縁から軸方向に突出する一対の外側リンケージ部４５ｂと、他方の端縁から軸方向に突出する一対の内側リンケージ部４５ｃとからなる。外側リンケージ部４５ｂと内側リンケージ部４５ｃとは、円筒部４５ａの周方向に９０度ずらして配置されており、それぞれに連結穴４６が形成されている。
【００３９】
隣接する節輪４５は、外側リンケージ部４５ｂと内側リンケージ部４５ｃとを重ね合わせて連結穴４６に結合ピン（図示せず）を通して回転自在に連結されている。節輪４４，４５内には上下及び左右方向に操作するための操作ワイヤ（図示せず）が一対ずつ設けられ、アングルノブ１８の操作で各操作ワイヤを押し引きすることによって節輪４４，４５同士が回転して湾曲部１３ｂ全体が湾曲する。
【００４０】
対物光学系２４、シフト機構５０，ＣＣＤ２７、フレキシブル基板３１、信号ケーブル３５、絶縁保護部材３６、及び被覆部材３７等によって、撮像装置４７が構成される。湾曲部１３ｂが大きく曲げられ、被覆部材３７に大きな力が加わった場合、被覆部材３７の先端側が変形し、信号ケーブル３５は緩やかに曲がるので、信号ケーブル３５が断線したり、端子３３と信号ケーブル３５との間に大きな負荷が掛かってこれらの接合が剥がれるようなことはない。また、被覆部材３７は、フレキシブル基板３１から形成された矩形筒よりも径が小さいから、撮像装置の外形サイズを大きくすることがない。
【００４１】
シフト機構５０について説明する。図３は、シフト機構５０を、対物光学系２４に組み付けた状態を示す斜視図である。図４は、シフト機構５０と対物光学系２４とを分解した状態を示す斜視図である。図５は、シフト機構５０の分解図である。図６は、図４の矢印VIで示す部位を拡大して光軸方向に見た図である。図７は、シフト機構の動作を示す図である。
【００４２】
図４，５において、シフト機構５０は、変位部材である矩形枠５１と、２つの角柱状の積層型圧電素子５２とからなる。圧電素子５２には、不図示の配線により外部から３Ｖ程度の給電が可能となっている。矩形枠５１は、一体成形された金属製であって、４辺を形成するリンク部５１ａと、四隅に配置されてリンク部５１ａを接続する関節部５１ｂ、５１ｃとからなる。
【００４３】
対向する一対の関節部５１ｂの内周側（外周側でも良い）には、切欠５１ｄが形成されており、その内部に圧電素子５２が配置されている。図６に示すように、切欠５１ｄは、圧電素子５２の端部の中央までに当接する外周側の当接面５１ｅと、当接面５１ｅから斜めに延在する逃げ部５１ｆとを有する。圧電素子５２は当接面５１ｅに接着されており、逃げ部５１ｆには当接していない。これにより、圧電素子５２の伸縮を切欠５１ｄが妨げることがなく、また伸縮量の拡大が可能になる。尚、関節部５１ｂと圧電素子５２との間には、わずかな隙間が形成されているが、なくても良い。
【００４４】
一方、これとは別に、対向する一対の関節部５１ｃとリンク部５１ａとの間には、リンク部５１ａを横切る方向に、内周側（外周側からでも良い）から延在するようにして細いＵ字状の切り込み５１ｇが形成されている。切り込み５１ｇは、矩形枠５１の剛性を弱めてリンク部５１ａの揺動を支援する為のものである。切り込み５１ｇの形成により、関節部５１ｃには正方形状の設置部５１ｈが生じる。図４に示すように、一方の設置部５１ｈ（ハッチングＡ）は、鏡枠２５に接着され、他方の設置部５１ｈ（ハッチングＢ）には、対物光学系２４を保持したホルダ５３に設けた軸５３ａが接着される。ホルダ５３を直接接着しても良い。
【００４５】
圧電素子５２に給電すると、２つの圧電素子５２が同じ量だけ伸張するが、このとき図７の矢印に示すように切欠５１ｄを押し広げるので、切欠５１ｄを挟むリンク部５１ａの角度が広がるように揺動する。このとき、切り込み５１ｇが狭まるように矩形枠５１が変形するので、一対の設置部５１ｈ間の距離が拡大するようになる。これにより、対物光学系２４は、矩形枠５１の対角方向、すなわちＣＣＤ２７の斜め方向（画素並びに対して）に瞬時に変位する。変位量は、圧電素子５２の伸縮量の５倍以上である。給電を停止すると、圧電素子５２は縮むので矩形枠５１は元に戻る。
【００４６】
本実施の形態の作用について説明する。内視鏡システム２で検査を行う際には、電子内視鏡１０のコネクタ１６をプロセッサ装置１１及び光源装置１２に差し込み、プロセッサ装置１１と光源装置１２とを接続した状態でプロセッサ装置１１及び光源装置１２の電源スイッチ、及び光源の点灯スイッチをそれぞれオンする。電源スイッチがオンされると、プロセッサ装置１１、光源装置１２の各部に電力が供給されるとともに、プロセッサ装置１１から電子内視鏡１０へ電力が供給され、ＣＣＤ２７が起動する。
【００４７】
光源装置１２の光源が点灯するとともに、ＣＣＤ２７が起動して体腔内の撮像が開始されて検査が行われているとき、観察方向を変える場合には、術者は、アングルノブ１８を操作することにより湾曲部１３ｂを湾曲させて可撓管部１３ｃに対する先端部１３ａの角度を変えることができる。
【００４８】
ここで、患部の高解像な画像が必要な場合、不図示のレリーズを操作することで、ＣＣＤ２７に連動してシフト機構５０が動作する。具体的には、対物光学系２４をＣＣＤ２７の中心においた状態で撮像を行い、次いで、シフト機構５０を動作させて、対物光学系２４をＣＣＤ２７の中心から斜め方向に半画素分（画素ピッチ１．４μｍの場合、約１μｍ）シフトさせ、これにより同一被写体に対して互いにシフトした２枚の画像にかかる画像データが得られる。この画像データを処理することで、画素ずらしを行って、高解像の画像を得ることができる。尚、画素ずらしの具体的処理については、例えば特開平１０−１２６６６３号公報等に記載されているので、省略する。
【産業上の利用可能性】
【００４９】
本発明は、明細書に記載の実施例に限定されるものではなく、他の実施例・変形例を含むことは、本明細書に記載された実施例や思想から本分野の当業者にとって明らかである。例えば、本発明は内視鏡システムに限らず、携帯端末用の撮像装置に適用しても良い。
【符号の説明】
【００５０】
２            内視鏡システム
１０            電子内視鏡
１１            プロセッサ装置
１２            光源装置
１３            挿入部
１３ａ            先端部
１３ｂ            湾曲部
１３ｃ            可撓管部
１４            操作部
１５            ユニバーサルコード
１６            コネクタ
１７            モニタ
１８            アングルノブ
１９            送気・送水ボタン
２０            鉗子口
２１            観察窓
２２            鉗子出口
２３            送気・送水ノズル
２４            対物光学系
２５            鏡枠
２６            プリズム
２７          CCD
２７ａ            撮像面
２８            ライトガイド
２９            スペーサ
３０            カバーガラス
３１            フレキシブル基板
３２            プリアンプ
３３            端子
３５            信号ケーブル
３６            絶縁保護部材
３７            被覆部材
４０            前端部
４１            周表皮
４２            筒状部
４４            節輪
４４ａ            円筒部
４４ｂ            外側リンケージ部
４５            節輪
４５ａ            円筒部
４５ｂ            外側リンケージ部
４５ｃ            内側リンケージ部
４６            連結穴
４７            撮像装置
５０            シフト機構
５１            矩形枠
５１ａ            リンク部
５１ｂ            関節部
５１ｃ            関節部
５１ｄ            切欠
５１ｅ            当接面
５１ｆ            逃げ部
５１ｇ        切り込み
５１ｈ            設置部
５２            圧電素子
５３            ホルダ
【図１】
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【図２】
2014076192.tif 000004
【図３】
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【図４】
2014076192.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
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