(57)【要約】【課題】銅張り積層板の表面銅箔を保護しているキャリア銅箔を連続的に安定して剥離する。【解決手段】キャリア銅箔付き銅張り積層板からキャリア銅箔を剥離するキャリア銅箔剥離装置であって、銅張り積層板３０を載置して一方向に搬送する搬送機構１１と、搬送機構１１の搬送方向に沿って粘着フィルム２１を移動させる粘着フィルム移動機構と、搬送機構１１上の銅張り積層板３０の表面に粘着フィルム２１を接触させ、該粘着フィルム２１にキャリア銅箔３１を貼合させる貼合ローラ２３と、粘着フィルム２１に貼合されたキャリア銅箔３１を銅張り積層板３０から剥離する剥離ローラ２４と、を具備した。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
キャリア銅箔付き銅張り積層板からキャリア銅箔を剥離するキャリア銅箔剥離装置であって、
前記銅張り積層板を載置して一方向に搬送する搬送機構と、
前記搬送機構の搬送方向に沿って粘着フィルムを移動させる粘着フィルム移動機構と、
前記搬送機構上の前記銅張り積層板の表面に前記粘着フィルムを接触させ、該粘着フィルムに前記キャリア銅箔を貼合させる貼合ローラと、
前記粘着フィルムに貼合された前記キャリア銅箔を前記銅張り積層板から剥離する剥離ローラと、
を具備したことを特徴とするキャリア銅箔剥離装置。
【請求項２】
前記搬送機構は、前記銅張り積層板を吸着して移動可能な吸着ステージであることを特徴とする請求項１記載のキャリア銅箔剥離装置。
【請求項３】
キャリア銅箔付き銅張り積層板が載置される搬送フィルムを繰り出す搬送フィルム繰り出しロールと、
前記搬送フィルム繰り出しロールから繰り出された前記搬送フィルムを巻き取る搬送フィルム巻き取りロールと、
前記銅張り積層板の表面に貼り付けられる粘着フィルムを繰り出す粘着フィルム繰り出しロールと、
前記粘着フィルム繰り出しロールから繰り出された前記粘着フィルムを巻き取る粘着フィルム巻き取りロールと、
前記搬送フィルム繰り出しロールと前記搬送フィルム巻き取りロールとの間に設置され、前記粘着フィルム繰り出しロールから繰り出された前記粘着フィルムを、前記搬送フィルム上の前記銅張り積層板の表面に押し付けて前記キャリア銅箔に貼合させる貼合ローラと、
前記搬送フィルム繰り出しロールと前記搬送フィルム巻き取りロールとの間で前記貼合ローラよりも下流側に設置され、前記粘着フィルムに貼合された前記キャリア銅箔を前記銅張り積層板から剥離する剥離ローラと、
を具備したことを特徴とするキャリア銅箔剥離装置。
【請求項４】
前記搬送フィルムは、前記銅張り積層板及び前記粘着フィルムに対して離型性を有する離型フィルムであることを特徴とする請求項３記載のキャリア銅箔剥離装置。
【請求項５】
前記搬送フィルムは、前記粘着フィルムに対して非離型性を有する非離型フィルムであり、前記貼合ローラ及び前記剥離ローラは、前記粘着フィルムと前記搬送フィルムとを前記銅張り積層板の高さよりも短い距離まで近付け、且つ前記粘着フィルムを前記搬送フィルムに接触させないように構成されていることを特徴とする請求項３記載のキャリア銅箔剥離装置。
【請求項６】
前記銅張り積層板は、両面に前記キャリア銅箔が貼り付けられたものであり、
前記搬送フィルムは、粘着性を有するフィルムであり、
前記貼合ローラは、前記粘着フィルムを前記銅張り積層板の表面側のキャリア銅箔に貼り付けると共に、前記搬送フィルムを前記銅張り積層板の裏面側のキャリア銅箔に貼り合わせ、
前記剥離ローラは、前記表面側のキャリア銅箔を前記銅張り積層板から剥離すると共に、前記搬送フィルムに貼合された前記裏面側のキャリア銅箔を前記銅張り積層板から剥離することを特徴とする請求項３記載のキャリア銅箔剥離装置。
【請求項７】
キャリア銅箔付き銅張り積層板からキャリア銅箔を剥離するキャリア銅箔剥離方法であって、
搬送機構上に載置されて移動している前記銅張り積層板の表面に貼合ローラによって粘着フィルムを接触させ、該粘着フィルムに前記キャリア銅箔を貼り合わせる貼合工程と、
前記粘着フィルムに貼り付けられたキャリア銅箔を剥離ローラによって前記銅張り積層板から剥離する剥離工程と、
前記銅張り積層板から剥離されたキャリア銅箔付き粘着フィルムを巻き取りロールによって巻き取るキャリア銅箔回収工程と、
を含むことを特徴とするキャリア銅箔剥離方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プリント配線板などに使用される銅張り積層板上に表面保護のために貼合されたキャリア銅箔を剥離するためのキャリア銅箔剥離装置及びキャリア銅箔剥離方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、プリント配線板を製造するために用いる銅張り積層板は、ガラスクロスなどに熱硬化性樹脂を含浸させた樹脂板と銅箔を、高熱真空雰囲下でプレス成形して貼合することで製造されている。
【０００３】
近年、プリント配線板の高密度化に伴い、銅張り積層板に貼合される銅箔は薄膜化が進んでおり、先端品においては５μｍ以下となっている。そして、薄膜化による作業性の悪化の防止及び表面保護のため、薄膜銅箔に２０μｍ程度のキャリア銅箔が貼合されているのが一般的である。
【０００４】
このようなキャリア銅箔の剥離方法としては、現在、作業者が手作業で剥離する人的な方法が一般的である。また、一般的なフィルムの剥離方法として、例えば（特許文献１）に示されるように、フィルム端部をアームで保持し、剥離角度を調整しながら保護フィルムを巻き取るフィルム剥離装置を使用した機械的な方法が挙げられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１１−１０４７７８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記の人的な剥離方法では、キャリア銅箔を保持する点は角部の一点であるため、キャリア銅箔と薄膜銅箔との接着力が部分的に強い部分がある場合、剥離時にキャリア銅箔が残留し、次工程に影響を与えてしまう。
【０００７】
また、（特許文献１）のような剥離装置を使用する機械的な剥離方法の場合、キャリア銅箔は柔軟性がないため、剥離時にキャリア銅箔に皺が発生し、その皺が銅張り積層板に接触して傷がつき、品質を損ねるという問題があった。さらに、上記の剥離方法では銅張り積層板の搬送を人が行う必要があり、連続的に搬送することができず、工程のタクトタイムの短縮が困難であった。
【０００８】
本発明が解決しようとする課題は、キャリア銅箔が貼合された銅張り積層板から、銅張り積層板にダメージを与えることなく、キャリア銅箔を安定的に且つ連続的に剥離できるキャリア銅箔剥離装置及びキャリア銅箔剥離方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために本発明に係わるキャリア銅箔剥離装置は、キャリア銅箔付き銅張り積層板を載置して一方向に搬送する搬送機構と、搬送機構の搬送方向に沿って粘着フィルムを移動させる粘着フィルム移動機構と、搬送機構上の銅張り積層板の表面に粘着フィルムを接触させ、該粘着フィルムにキャリア銅箔を貼合させる貼合ローラと、粘着フィルムに貼合されたキャリア銅箔を銅張り積層板から剥離する剥離ローラと、を具備したことを特徴とする。
【００１０】
また、本発明に係わるキャリア銅箔剥離装置は、キャリア銅箔付き銅張り積層板が載置される搬送フィルムを繰り出す搬送フィルム繰り出しロールと、搬送フィルム繰り出しロールから繰り出された搬送フィルムを巻き取る搬送フィルム巻き取りロールと、銅張り積層板の表面に貼り付けられる粘着フィルムを繰り出す粘着フィルム繰り出しロールと、粘着フィルム繰り出しロールから繰り出された粘着フィルムを巻き取る粘着フィルム巻き取りロールと、搬送フィルム繰り出しロールと搬送フィルム巻き取りロールとの間に設置され、粘着フィルム繰り出しロールから繰り出された粘着フィルムを、搬送フィルム上の銅張り積層板の表面に押し付けてキャリア銅箔に貼合させる貼合ローラと、搬送フィルム繰り出しロールと搬送フィルム巻き取りロールとの間で貼合ローラよりも下流側に設置され、粘着フィルムに貼合されたキャリア銅箔を銅張り積層板から剥離する剥離ローラと、を具備したことを特徴とする。
【００１１】
ここで、搬送フィルムは、銅張り積層板及び粘着フィルムに対して離型性を有する離型フィルムである。
【００１２】
次に、搬送フィルムを、粘着フィルムに対して非離型性を有する非離型フィルムにする場合であり、貼合ローラ及び剥離ローラは、粘着フィルムと搬送フィルムとを銅張り積層板の高さよりも短い距離まで近付け、且つ粘着フィルムを搬送フィルムに接触させないように構成されている。
【００１３】
表裏のキャリア銅箔を銅張り積層板から剥離する場合は、両面に前記キャリア銅箔が貼り付けられたものであり、搬送フィルムは、粘着性を有するフィルムであり、貼合ローラは、粘着フィルムを銅張り積層板の表面側のキャリア銅箔に貼り付けると共に、搬送フィルムを銅張り積層板の裏面側のキャリア銅箔に貼り合わせ、剥離ローラは、表面側のキャリア銅箔を銅張り積層板から剥離すると共に、搬送フィルムに貼合された裏面側のキャリア銅箔を銅張り積層板から剥離する。
【００１４】
また、本発明に係わるキャリア銅箔剥離方法は、搬送機構上に載置されて移動している前記銅張り積層板の表面に貼合ローラによって粘着フィルムを接触させ、該粘着フィルムに前記キャリア銅箔を貼り合わせる貼合工程と、前記粘着フィルムに貼り付けられたキャリア銅箔を剥離ローラによって前記銅張り積層板から剥離する剥離工程と、前記銅張り積層板から剥離されたキャリア銅箔付き粘着フィルムを巻き取りロールによって巻き取るキャリア銅箔回収工程と、を含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
本発明に係わるキャリア銅箔剥離装置及びキャリア銅箔剥離方法によれば、キャリア銅箔付き銅張り積層板を搬送機構により一方向に搬送しながら、銅張り積層板上に粘着フィルムを接触させて該フィルムをキャリア銅箔に貼合させ、粘着フィルムに貼合されたキャリア銅箔を剥離ローラにより剥離することにより、キャリア銅箔が貼合された銅張り積層板から、銅張り積層板にダメージを与えることなく、キャリア銅箔を安定的に且つ連続的に剥離することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の第１の実施形態に係わるキャリア銅箔剥離装置の概略構成を示す側断面図である。
【図２】本発明の第２の実施形態に係わるキャリア銅箔剥離装置の概略構成を示す側断面図である。
【図３】本発明の第３の実施形態に係わるキャリア銅箔剥離装置の概略構成を示す側断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明に係わるキャリア銅箔剥離装置及びキャリア銅箔剥離方法の実施形態を、図面を参照して説明する。
【００１８】
（第１の実施形態）
図１は、本発明の第１の実施形態に係わるキャリア銅箔剥離装置の概略構成を示す側断面図である。
【００１９】
図中の１１は銅張り積層板３０を搬送するための離型フィルム（搬送フィルム）であり、この離型フィルム１１は離型フィルム繰り出しロール１２ａから繰り出され、離型フィルム巻き取りロール１２ｂにより巻き取られるようになっている。銅張り積層板３０は、表面側及び裏面側にキャリア銅箔３１，３２が貼合されており、裏面側を下にして離型フィルム１１上に載置されるようになっている。
【００２０】
２１はキャリア銅箔を剥離するための粘着フィルムであり、この粘着フィルム２１は粘着フィルム繰り出しロール２２ａから繰り出され、離型フィルム１１と同じ速度で移動し、粘着フィルム巻き取りロール２２ｂにより巻き取られるようになっている。
【００２１】
離型フィルム繰り出しロール１２ａと離型フィルム巻き取りロール１２ｂとの間に、一対の貼合ローラ２３が設置されている。この貼合ローラ２３は、粘着フィルム繰り出しロール２２ａから繰り出された粘着フィルム２１を、離型フィルム１１上の銅張り積層板３０の表面に押し付けてキャリア銅箔に貼り付けるものである。
【００２２】
離型フィルム繰り出しロール１２ａと離型フィルム巻き取りロール１２ｂとの間で貼合ローラ２３よりも下流側に、一対の剥離ローラ２４が設置されている。この剥離ローラ２４は、粘着フィルム２１に貼り付けられたキャリア銅箔を銅張り積層板３０から剥離するものである。
【００２３】
離型フィルム１１は、ＰＥＴフィルムの表面上にフッ素加工処理を施したものであり、キャリア銅箔付き銅張り積層板３０に接する面が離型性を有している。離型フィルム１１の離型性は、粘着フィルム２１と接触しても、剥離ローラ２４によって簡単に剥離が可能であることが必要である。
【００２４】
粘着フィルム２１は、銅張り積層板３０上のキャリア銅箔と接する面に粘着性を有する物質が塗布されている。この接着力は、キャリア銅箔と銅張り積層板３０との接着力よりも強いものであることが必要であり、例えばＰＥＴフィルムの表面上に粘着剤を付着させて形成されている。
【００２５】
貼合ローラ２３及び剥離ローラ２４は、粘着フィルム２１と銅張り積層板３０上のキャリア銅箔を傷なく貼合、剥離するために、柔軟性のあるゴム製であることが望ましい。貼合ローラ２３は、粘着フィルム２１と離型フィルム１１とを銅張り積層板３０の高さよりも短い距離まで近付けるように構成されている。また、剥離ローラ２４については、剥離角度を付けるため、ローラの半径は小さく、例えば直径５ｃｍ未満であることが望ましい。更に、剥離ローラ２４における剥離角度は、剥離を確実に行うために９０度以上１８０度以下の角度であるのが望ましい。
【００２６】
次に、このように構成されたキャリア銅箔剥離装置を用いたキャリア銅箔剥離方法の一例について具体的に説明する。なお、本実施形態では、剥離される対象物を、一般的なプリント配線板に使用されるキャリア銅箔付き銅張り積層板として説明する。銅張り積層板３０は、ガラスクロスなどに熱硬化性樹脂を含浸させた樹脂板と銅箔を、高熱真空雰囲下でプレス成形して貼り合わせたものである。そして、この銅張り積層板３０の表面及び裏面に表面保護のためのキャリア銅箔３１，３２が貼合されている。
【００２７】
まず、図１に示されるように、キャリア銅箔付き銅張り積層板３０を離型フィルム繰り出しロール１２ａから繰り出された離型フィルム１１上に設置させる。次いで、離型フィルム巻き取りロール２２ｂを駆動し、キャリア銅箔付き銅張り積層板３０を紙面右方向に搬送する。この搬送の途中で、キャリア銅箔付き銅張り積層板３０は、貼合ローラ２３によって挟み込まれ、粘着フィルム繰り出しロール２２ａから繰り出された粘着フィルム２１が銅張り積層板３０の上面に押し付けられる。これにより、粘着フィルム２１が銅張り積層板３０上のキャリア銅箔３１に皺無く貼合される。その後、銅張り積層板３０の更なる搬送により、剥離ローラ２４によって上面のキャリア銅箔３１が所定の角度で剥離される。そして、銅張り積層板３０はそのまま搬送され、剥離されたキャリア銅箔３１は粘着フィルム巻き取りロール２２ｂに巻き取られる。
【００２８】
本実施形態では、剥離ローラ２４はローラ間の距離を調整することが可能である。これにより、厚み寸法の異なるキャリア銅箔付き銅張り積層板３０を剥離する場合でも、キャリア銅箔付き銅張り積層板３０に過剰な圧力をかけずにキャリア銅箔３１の剥離を行うことが可能であり、剥離ローラ２４の破損や銅張り積層板３０の品質不良などを防止することができる。
【００２９】
また、キャリア銅箔３１は、貼合ローラ２３により粘着フィルム２１に皺無く貼合され、そのまま粘着フィルム巻き取りロール２２ｂに巻き取られるため、切れ端などが装置内に残留し、剥離を妨げるなどの不具合がない。
【００３０】
このようにして、キャリア銅箔３１の剥離工程は終了する。そして、次のキャリア銅箔付き銅張り積層板３０が離型フィルム１１に設置され、次の剥離工程が開始される。
【００３１】
このように本実施形態によれば、貼合ローラ２３で粘着フィルム２１をキャリア銅箔付き銅張り積層板３０に貼り合わせた後、剥離ローラ２４によって、加圧しつつ剥離角度を付けて剥離することでキャリア銅箔３１を銅張り積層板３０から剥離することにより、銅張り積層板３０にダメージを与えることなく、キャリア銅箔３１を皺や残留なく安定的に且つ連続的に剥離することができる。
【００３２】
また、剥離されたキャリア銅箔３１は粘着フィルム２１に接着したまま、巻き取りローラ２２ｂでロールとして巻き取られるため、キャリア銅箔３１を回収するスペースを省略することができる。さらに、銅張り積層板３０の搬送を離型フィルム１１で行うことで、離型フィルム１１と粘着フィルム２１との接着を防止し、安定した剥離を行うことができる。
【００３３】
（第２の実施形態）
図２は、本発明の第２の実施形態に係わるキャリア銅箔剥離装置の概略構成を示す側断面図である。なお、図１と同一部分には同一符号を付して、その詳しい説明は省略する。
【００３４】
本実施形態が先に説明した第１の実施形態と異なる点は、搬送フィルムを非離型フィルム４１に変更したことである。
【００３５】
先に説明した第１の実施形態では、キャリア銅箔付き銅張り積層板３０の搬送に、粘着フィルム２１との接着を防ぐために離型フィルム１１を使用していたが、貼合ローラ２３及び剥離ローラ２４の設定を変更することで、ＰＥＴフィルム等の非離型性フィルム４１を使用することが可能である。即ち、搬送フィルムとしての非離型フィルム４１が非離型フィルム繰り出しロール４２ａから繰り出され、非離型フィルム巻き取りロール４２ｂで巻き取られるようになっている。
【００３６】
搬送フィルムが離型フィルム１１の場合、銅張り積層板３０と離型フィルム１１との密着性はあまり良いとは云えず、粘着フィルム２１を銅張り積層板３０に貼合する際に、銅張り積層板３０が離型フィルム１１上で動く恐れがある。これに対して本実施形態のように、搬送フィルムとして非離型フィルム４１を用いた場合、銅張り積層板３０と非離型フィルム４１との密着性を高めることができ、粘着フィルム２１を銅張り積層板３０に貼合する際に銅張り積層板３０が非離型フィルム４１上で動くのを未然に防止することができる。
【００３７】
本実施形態においては、非離型フィルム４１と粘着フィルム２１との接触が起こると、これらのフィルム４１，２１の剥離が困難となり、装置に不具合が生じる。このため、貼合ローラ２３及び剥離ローラ２４の各ローラ間隙を１０μｍ以上、キャリア銅箔付き銅張り積層板３０の厚み以下の幅に調整する必要がある。上記の間隙調整を行うことにより、非離型フィルム４１と粘着フィルム２１との接触なしにキャリア銅箔３１の剥離が可能となる。
【００３８】
従って本実施形態によれば、搬送フィルムとして、離型フィルム１１よりもコストの安い非離型フィルム４１を用いて、先の第１の実施形態と同様のキャリア銅箔の剥離を行うことができる。このため、先の第１の実施形態と同様の効果が得られるのは勿論のこと、貼合時及び剥離時の銅張り積層板３０のずれを無くして、より確実な剥離を行うことができると共に、工程に係る費用を抑えることができる利点がある。
【００３９】
（第３の実施形態）
図３は、本発明の第３の実施形態に係わるキャリア銅箔剥離装置の概略構成を示す側断面図である。なお、図１と同一部分には同一符号を付してその詳しい説明は省略する。
【００４０】
本実施形態が先の第１の実施形態と異なる点は、搬送フィルムとして粘着フィルム５１を用い、更に剥離ローラ２４の下流側に搬送ローラ５５を設けたことである。
【００４１】
即ち、離型フィルム１１及びロール１２ａ，１２ｂの代わりに、粘着フィルム５１、粘着フィルム繰り出しロール５２ａ、及び粘着フィルム巻き取りロール５２ｂを用い、剥離ローラ２４では粘着フィルム２１と共に粘着フィルム５１を銅張り積層板３０から剥離するようにしている。さらに、銅張り積層板３０は、剥離ローラ２４の下流側に設けた搬送ローラ５５で搬送されるようになっている。
【００４２】
本実施形態では、まず、キャリア銅箔付き銅張り積層板３０を粘着フィルム繰り出しロール５２ａから繰り出された粘着フィルム５１上に設置させる。次いで、粘着フィルム巻き取りロール５２ｂを駆動し、キャリア銅箔付き銅張り積層板３０を搬送する。キャリア銅箔付き銅張り積層板３０は貼合ローラ２３よって粘着フィルム繰り出しロール２２ａ，５２ａからそれぞれ繰り出された粘着フィルム２１，５１と皺無く貼合される。即ち、銅張り積層板３０の上面側に粘着フィルム２１が貼合され、銅張り積層板３０の下面側に粘着フィルム５１が貼合される。その後、剥離ローラ２４によって両面のキャリア銅箔３１，３２が所定の角度で剥離される。
【００４３】
キャリア銅箔３１，３２が剥離された銅張り積層板３０は、搬送ローラ５５により、そのまま搬送される。剥離されたキャリア銅箔３１は粘着フィルム巻き取りロール２２ｂに巻き取られ、剥離されたキャリア銅箔３２は粘着フィルム巻き取りロール５２ｂに巻き取られる。この場合、貼合ローラ２３及び剥離ローラ２４は、第２の実施形態と同様に、ローラ間を１０μｍ以上、キャリア銅箔付き銅張り積層板３０の厚み以下の幅に調整する必要がある。
【００４４】
このようにして、装置構成を変更することにより、キャリア銅箔付き銅張り積層板３０の表裏面の両方からキャリア銅箔３１，３２を１回の工程で連続的に剥離することができる。また、剥離ローラ２４の前までのキャリア銅箔付き銅張り積層板３０の搬送を粘着フィルム５１が行うため、その粘着性により、キャリア銅箔付き銅張り積層板３０の位置ズレを防ぐことができ、位置ズレによる剥離不良を防ぐことも期待できる。
【００４５】
（変形例）
なお、本発明は上述した各実施形態に限定されるものではない。
【００４６】
第１及び第２の実施形態において、キャリア銅箔付き銅張り積層板を搬送するための搬送機構は、必ずしもフィルムに限らず、キャリア銅箔付き銅張り積層板を一方向に搬送できるものであれば良く、移動可能なステージやベルトコンベア等を用いることも可能である。さらに、銅張り積層板を真空チャックや静電チャック等により吸着して移動可能な吸着ステージにしても良い。この場合、貼合ローラ及び剥離ローラは一対のローラではなく、搬送機構側に粘着フィルムを押し付ける単一のローラとすれば良い。
【００４７】
また、粘着フィルムは実施形態で説明した材料に限るものではなく、キャリア銅箔に対する接着力がキャリア銅箔と銅張り積層板との接着力よりも強いものであれば、適宜変更可能である。さらに、離型フィルム及び非離型フィルムに関しても、仕様に応じて適宜変更可能である。
【００４８】
以上、本発明の実施の形態について詳細に説明したが、本発明は上記の実施形態に何ら限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。
【符号の説明】
【００４９】
１１…離型フィルム（搬送機構）
１２ａ…離型フィルム繰り出しロール
１２ｂ…離型フィルム巻き取りロール
２１…粘着フィルム
２２ａ…粘着フィルム繰り出しロール
２２ｂ…粘着フィルム巻き取りロール
２３…貼合ローラ
２４…剥離ローラ
３０…銅張り積層板
３１，３２…キャリア銅箔
４１…非離型フィルム（搬送機構）
４２ａ…非離型フィルム繰り出しロール
４２ｂ…非離型フィルム巻き取りロール
５１…粘着フィルム（搬送機構）
５２ａ…粘着フィルム繰り出しロール
５２ｂ…粘着フィルム巻き取りロール
５５…搬送ローラ
【図１】
2014105261.tif 000003
【図２】
2014105261.tif 000004
【図３】
2014105261.tif 000005