(57)【要約】【課題】基板保持装置に基板を搬入する際における基板の位置ずれを抑制する。【解決手段】基板受け渡し装置１００は、基板を搬送する搬送部材から、複数段の棚板を有する基板保持装置の棚板へと、基板３００の受け渡しを行う装置である。基板受け渡し装置１００は、搬送部材から受け渡された基板３００の下面を支持し、基板３００を棚板１５２へ受け渡す支持部（例えば複数のアーム１０を有する）と、支持部に対する基板３００の規定の搭載位置３１０からの基板３００の位置ずれを規制するずれ規制部（例えば、ずれ規制ピン２０）とを備える。ずれ規制部は、平面視において、搭載位置３１０の近傍に配置されている。【選択図】図１
2014204010.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を搬送する搬送部材から、複数段の棚板を有する基板保持装置の前記棚板へと、前記基板の受け渡しを行う基板受け渡し装置であって、
前記搬送部材から受け渡された前記基板の下面を支持し、前記基板を前記棚板へ受け渡す支持部と、
平面視において、前記支持部に対する前記基板の規定の搭載位置の近傍に配置され、前記搭載位置からの前記基板の位置ずれを規制する、ずれ規制部と、
を備える基板受け渡し装置。
【請求項２】
前記ずれ規制部の少なくとも上部は、下方に向かうにつれて前記搭載位置側に近づくように傾斜した傾斜面を有する請求項１に記載の基板受け渡し装置。
【請求項３】
前記ずれ規制部は、ピン状に形成され且つ立設され、前記ずれ規制部の上部は、上方に向けて縮径するテーパー状に形成されている請求項２に記載の基板受け渡し装置。
【請求項４】
前記支持部は、
前記基板の下方に差し込まれる複数の支持アームと、
前記複数の支持アームの各々の上面より起立し、前記基板の周縁部の下面に当接して該下面を支持する支持部材と、
を備え、
前記ずれ規制部は、前記複数の支持アームのうちの少なくとも何れか１つに設けられている請求項１乃至３の何れか一項に記載の基板受け渡し装置。
【請求項５】
前記基板は平面視矩形状であり、
前記ずれ規制部は、前記基板が前記搭載位置に配置された状態で前記基板の４つの角部とそれぞれ対応する位置に、それぞれ設けられている請求項１乃至４の何れか一項に記載の基板受け渡し装置。
【請求項６】
複数段の棚板を有する基板保持装置の前記棚板に対する基板の搬送を行う基板搬送装置であって、
前記基板の下面を支持した状態で前記基板を前記棚板の上方位置に搬送する搬送部材と、
前記搬送部材の上面よりも下方から前記搬送部材の上面よりも上方へと、前記搬送部材に対して相対的に上昇することによって、前記搬送部材から前記基板を受けて前記基板の下面を支持し、前記棚板の上面より上方から前記棚板の上面よりも下方へと、前記棚板に対して相対的に下降することによって、前記基板を前記棚板へ受け渡す支持部と、
平面視において、前記支持部に対する前記基板の規定の搭載位置の近傍に配置され、前記搭載位置からの前記基板の位置ずれを規制する、ずれ規制部と、
を備える基板搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板受け渡し装置および基板搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
カセット（またはボート）などと称される基板保持装置を、縦型の熱処理炉などの処理炉の内部に配置して、その基板保持装置に保持された基板に対して所定の処理を行う技術がある。基板保持装置は、例えば、複数段の棚板を有し、各段の棚板によりそれぞれ基板を保持する。
【０００３】
基板保持装置の棚板に基板を搬送する処理は、搬送ロボットを用いて自動的に行うことが一般的である（例えば特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１０−５６４６９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
基板保持装置に対して基板を搬入して棚板上に基板を載置する際に基板の位置ずれが生じた場合、その後、基板を搬送ロボットにより基板保持装置から搬出し、次工程に移送しても、その位置ずれが引き継がれてしまい、次工程での処理に不都合を生じることがある。或いは、基板を次工程に移送する際に、基板がどこかに衝突してしまう懸念もある。
【０００６】
本発明は、上記の課題に鑑みなされたものであり、基板を基板保持装置に対して搬入する際の基板の位置ずれを抑制することが可能な基板受け渡し装置および基板搬送装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、基板を搬送する搬送部材から、複数段の棚板を有する基板保持装置の前記棚板へと、前記基板の受け渡しを行う基板受け渡し装置であって、
前記搬送部材から受け渡された前記基板の下面を支持し、前記基板を前記棚板へ受け渡す支持部と、
平面視において、前記支持部に対する前記基板の規定の搭載位置の近傍に配置され、前記搭載位置からの前記基板の位置ずれを規制する、ずれ規制部と、
を備える基板受け渡し装置を提供する。
【０００８】
この基板受け渡し装置によれば、基板を基板保持装置の棚板上に搬入するには、先ず、搬送部材から支持部に基板を受け渡し、更に、支持部から棚板へ基板を受け渡す。
ここで、平面視において、支持部に対する基板の規定の搭載位置の近傍に配置されたずれ規制部を備え、このずれ規制部によって、規定の搭載位置からの基板の位置ずれを規制することができる。このため、基板を搬送部材から支持部へ受け渡す際、並びに、基板を支持部から棚板へ受け渡す際において、それぞれ基板の位置ずれを抑制することができる。
つまり、この基板受け渡し装置によれば、基板を基板保持装置に対して搬入する際の基板の位置ずれを抑制することが可能である。
【０００９】
また、本発明は、複数段の棚板を有する基板保持装置の前記棚板に対する基板の搬送を行う基板搬送装置であって、
前記基板の下面を支持した状態で前記基板を前記棚板の上方位置に搬送する搬送部材と、
前記搬送部材の上面よりも下方から前記搬送部材の上面よりも上方へと、前記搬送部材に対して相対的に上昇することによって、前記搬送部材から前記基板を受けて前記基板の下面を支持し、前記棚板の上面より上方から前記棚板の上面よりも下方へと、前記棚板に対して相対的に下降することによって、前記基板を前記棚板へ受け渡す支持部と、
平面視において、前記支持部に対する前記基板の規定の搭載位置の近傍に配置され、前記搭載位置からの前記基板の位置ずれを規制する、ずれ規制部と、
を備える基板搬送装置を提供する。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、基板をカセットに対して搬入する際の基板の位置ずれを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】実施形態に係る基板受け渡し装置を示す図である。
【図２】実施形態に係る基板受け渡し装置の斜視図である。
【図３】実施形態に係る基板搬送装置の斜視図である。
【図４】実施形態に係る基板搬送装置のブロック図である。
【図５】実施形態に係る基板搬送装置の一連の動作を示す斜視図である。
【図６】実施形態に係る基板搬送装置の一連の動作を示す斜視図である。
【図７】実施形態に係る基板搬送装置の一連の動作を示す斜視図である。
【図８】実施形態に係る基板搬送装置の動作を示す正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の実施形態について、図面を用いて説明する。なお、すべての図面において、同様の構成要素には同一の符号を付し、適宜に説明を省略する。
【００１３】
図１は実施形態に係る基板受け渡し装置１００を示す図であり、このうち（ａ）は正面図、（ｂ）は平面図である。図２は基板受け渡し装置１００の斜視図である。
図３は実施形態に係る基板搬送装置２００の斜視図であり、図４は基板搬送装置２００のブロック図である。
図５乃至図７の各図は基板搬送装置２００の一連の動作を示す斜視図である。図８は基板搬送装置２００の動作を示す正面図である。
【００１４】
図１及び図２に示すように、本実施形態に係る基板受け渡し装置１００は、基板３００を搬送する搬送部材（例えば、搬送ハンド２１０（図３））から、複数段の棚板１５２を有する基板保持装置（カセット１５０）（図５〜図７）の棚板１５２へと、基板３００の受け渡しを行う装置である。基板受け渡し装置１００は、搬送部材から受け渡された基板３００の下面を支持し、基板３００を棚板１５２へ受け渡す支持部（例えば、複数のアーム１０を有する）と、支持部に対する基板３００の規定の搭載位置３１０（図１（ｂ））からの基板３００の位置ずれを規制するずれ規制部（例えば、ずれ規制ピン２０）と、を備える。ずれ規制部は、平面視において、搭載位置３１０の近傍に配置されている。
【００１５】
また、本実施形態に係る基板搬送装置２００は、複数段の棚板１５２を有する基板保持装置（カセット１５０）（図５〜図７）の棚板１５２に対する基板３００の搬送を行う装置である。基板搬送装置２００は、搬送部材（搬送ハンド２１０）と、支持部（特に、後述する支持ピン１３の上端、すなわち基板３００を直接支持する部分）と、ずれ規制部（例えば、ずれ規制ピン２０）と、を備える。搬送部材は、基板３００の下面を支持した状態で基板３００を棚板１５２の上方位置に搬入する。支持部は、搬送部材の上面よりも下方から搬送部材の上方よりも上方へと搬送部材に対して相対的に上昇することによって、搬送部材から基板３００を受けて基板３００の下面を支持する。更に、支持部は、棚板１５２の上面より上方から棚板１５２の上面よりも下方へと、棚板１５２に対して相対的に下降することによって、基板３００を棚板１５２へ受け渡す。ずれ規制部は、支持部に対する基板３００の規定の搭載位置３１０からの基板３００の位置ずれを規制するものであり、平面視において、搭載位置３１０の近傍に配置されている。
以下、詳細に説明する。
【００１６】
搬送対象となる基板３００の平面形状は任意であるが、ここでは、説明を簡単にするため、基板３００が平面視矩形状であるものとして、説明を行う。
【００１７】
図１及び図２に示すように、基板受け渡し装置１００は、例えば、基板３００を支持する一対の支持ユニット５０を備え、これら支持ユニット５０の協働により基板３００の下面を支持するように構成されている。
【００１８】
各支持ユニット５０は、例えば、基板３００の周縁部の下面を支持する複数のアーム１０と、これらアーム１０を相互に連結する連結体と、を備えている。この連結体は、例えば、水平に延在するアーム連結梁３０であり、アーム１０の上端部を相互に連結している。一対の支持ユニット５０のアーム連結梁３０は、互いに平行に配置されている。各支持ユニット５０は、例えば、４つずつのアーム１０をそれぞれ等間隔の配置で備えている。
【００１９】
一方の支持ユニット５０のアーム１０は、基板３００の第１の辺３０１の縁部の下面を支持する。他方の支持ユニット５０のアーム１０は、基板３００の第１の辺３０１に対して対向する第２の辺３０２の縁部の下面を支持する（図１（ａ））。
【００２０】
アーム１０は、例えば、アーム連結梁３０より垂下する垂下部１１と、垂下部１１の下端部より水平に延出している支持アーム１２と、を備えている。すなわち、アーム１０は、Ｌ字状に形成されている。支持アーム１２は、基板３００の下方に差し込まれて、基板３００を支持する。
【００２１】
各支持アーム１２は、平面視において、アーム連結梁３０の長手方向に対して直交する方向に延在している。各支持ユニット５０の支持アーム１２は、他方の支持ユニット５０の支持アーム１２に向けて延出（突出）している。
【００２２】
各支持アーム１２には、該支持アーム１２の上面より起立（例えば鉛直方向に起立）し、基板３００の周縁部の下面に当接して該下面を支持する支持ピン（支持部材）１３が設けられている。アーム１０において、後述する搬送ハンド２１０から受け渡された基板３００の下面を支持する部位は、支持ピン１３である。支持ピン１３は、支持アーム１２の先端部近傍に配置されている。
【００２３】
本実施形態の場合、ずれ規制部は、ずれ規制ピン２０である。すなわち、ずれ規制部は、ピン状に形成されている。
【００２４】
ずれ規制ピン２０は、複数の支持アーム１２のうち少なくとも何れか１つの支持アーム１２に設けられ、当該支持アーム１２の上面より起立（例えば鉛直方向に起立）している。
【００２５】
ずれ規制ピン２０は、平面視において、アーム１０に対する基板３００の規定の搭載位置３１０（図１（ｂ））の近傍に配置されている。より具体的には、ずれ規制ピン２０は、支持ピン１３の近傍に配置されている。
【００２６】
ずれ規制ピン２０は、例えば、基板３００が搭載位置３１０に配置された状態で基板３００の４つの角部とそれぞれ対応する位置（４つの角部の各々の近傍）に、それぞれ設けられている。図１（ｂ）に示す搭載位置３１０は、アーム１０に対して基板３００が規定の配置で搭載されたときの、平面視における基板３００の外形線およびその内側の領域である。
一方の支持ユニット５０の４つの支持アーム１２のうち、両端の支持アーム１２の各々にずれ規制ピン２０が設けられている。これらずれ規制ピン２０は、基板３００の第１の辺３０１の位置ずれを規制するものであり、基板３００が搭載位置３１０に搭載されたときの第１の辺３０１の近傍となる位置に配置されている。
同様に、他方の支持ユニット５０の４つの支持アーム１２のうち、両端の支持アーム１２の各々にずれ規制ピン２０が設けられている。これらずれ規制ピン２０は、基板３００の第２の辺３０２の位置ずれを規制するものであり、基板３００が搭載位置３１０に搭載されたときの第２の辺３０２の近傍となる位置に配置されている。
【００２７】
ずれ規制ピン２０の高さ（上下方向における寸法）は、支持ピン１３の高さ（上下方向における寸法）よりも大きく、ずれ規制ピン２０は、支持ピン１３よりも上方に突出している。
【００２８】
ずれ規制ピン２０の少なくとも上部は、下方に向かうにつれて搭載位置３１０側に近づくように傾斜した傾斜面を有している。より具体的には、ずれ規制ピン２０の上部は、上方に向けて縮径するテーパー状に形成された、テーパー部２２となっている。このテーパー部の周面の一部分が、上記傾斜面を構成している。テーパー部２２の少なくとも上部は、支持ピン１３よりも上方に位置している。その結果、上記傾斜面の少なくとも一部分が、支持ピン１３よりも上方に位置している。より具体的には、例えば、テーパー部２２の全体が、支持ピン１３よりも上方に位置している。
【００２９】
ずれ規制ピン２０において、テーパー部２２よりも下側の部分は、直線状に起立するピン本体２１である。なお、ずれ規制ピン２０の頂部２３は、丸め加工が施されているか、又は、平坦に形成されている。
【００３０】
図３に示すように、基板搬送装置２００は、上述した一対の支持ユニット５０と、後述するカセット１５０が載置されるステージ２２０と、基板３００を搬送する搬送ハンド２１０と、を備えている。搬送ハンド２１０は、カセット１５０の隣り合う棚板どうしの隙間に容易に進入できるように、扁平な板状に形成されている。
【００３１】
基板搬送装置２００は、更に、アーム１０を移動させるアーム移動機構（全体図示略）と、ステージ２２０を昇降させるステージ昇降機構（全体図示略）と、制御部２４０（図４）と、搬送ハンド２１０を移動させる搬送ハンド移動機構（全体図示略）と、ハンド制御部２４１（図４）と、を備えている。
【００３２】
アーム移動機構は、一対の支持ユニット５０のアーム連結梁３０を互いに近づく方向および互いに遠ざかる方向に直線移動させることによって、アーム１０を移動させるものである。アーム移動機構は、モータ等のアーム移動アクチュエータ２５０（図４）を有しており、このアーム移動アクチュエータ２５０が制御部２４０（図４）の制御下で駆動することにより、一対の支持ユニット５０を移動させる。
【００３３】
ステージ昇降機構は、モータ等のステージ昇降アクチュエータ２６０（図４）を有しており、このステージ昇降アクチュエータ２６０が制御部２４０（図４）の制御下で駆動することにより、ステージ２２０とステージ２２０上のカセット１５０とを上昇又は下降させる。
【００３４】
搬送ハンド移動機構は、搬送ハンド２１０を水平方向に進退させる搬送ハンド進退機構と、搬送ハンド２１０を昇降させる搬送ハンド昇降機構と、を有している。
搬送ハンド進退機構は、モータ等の搬送ハンド進退アクチュエータ２７０（図４）を有しており、この搬送ハンド進退アクチュエータ２７０がハンド制御部２４１（図４）の制御下で駆動することにより、搬送ハンド２１０を前進（カセット１５０に進入する方向への移動）又は後退（カセット１５０から引き出される方向への移動）させる。
搬送ハンド昇降機構は、モータ等の搬送ハンド昇降アクチュエータ２８０（図４）を有しており、この搬送ハンド昇降アクチュエータ２８０がハンド制御部２４１（図４）の制御下で駆動することにより、搬送ハンド２１０を上昇又は下降させる。
【００３５】
制御部２４０は、所定の動作用プログラムを記憶保持した記憶部（図示略）と、この動作用プログラムに従ってアーム移動アクチュエータ２５０およびステージ昇降アクチュエータ２６０の動作制御を行う演算処理部（図示略）と、を有している。
【００３６】
ハンド制御部２４１は、所定の動作用プログラムを記憶保持した記憶部（図示略）と、この動作用プログラムに従って搬送ハンド進退アクチュエータ２７０および搬送ハンド昇降アクチュエータ２８０の動作制御を行う演算処理部（図示略）と、を有している。
【００３７】
制御部２４０とハンド制御部２４１とが相互に連動することによって、アーム移動アクチュエータ２５０およびステージ昇降アクチュエータ２６０の動作と、搬送ハンド進退アクチュエータ２７０および搬送ハンド昇降アクチュエータ２８０の動作とが連動（同期）するようになっている。
【００３８】
なお、基板搬送装置２００は、例えば、基板受け渡し装置１００と、搬送ロボットと、を備えて構成されている。
このうち基板受け渡し装置１００は、一対の支持ユニット５０と、アーム移動機構と、ステージ２２０と、ステージ昇降機構と、制御部２４０と、を備えている。
また、搬送ロボットは、搬送ハンド２１０と、搬送ハンド移動機構と、ハンド制御部２４１と、を備えている。
【００３９】
次に、図５（ａ）を参照して、カセット１５０の構成を説明する。
【００４０】
カセット１５０は、筐体１５１と、筐体１５１によって水平に保持された複数段の棚板１５２と、を備えている。筐体１５１は、天板および底板（図示略）と、天板の周縁部と底板の周縁部とを相互に連結する複数の柱状部と、を備えて構成されている。
【００４１】
隣り合う棚板１５２どうしの間の空間は、当該空間と同等の横幅を有する開口１５４を介して、カセット１５０の外部の空間と連通している。従って、当該空間と同等の横幅を有する基板３００を、この開口１５４を介して、当該空間に対して搬出入することが可能となっている。
【００４２】
ここで、各棚板１５２の周縁部には、基板受け渡し装置１００の各支持アーム１２と対応する切欠形状部１５３が形成されている。すなわち、棚板１５２の第１の辺に沿って４つの切欠形状部１５３が等間隔で形成され、この第１の辺に対して対向する第２の辺に沿って４つの切欠形状部１５３が等間隔で形成されている。切欠形状部１５３内の空間を通して、支持アーム１２の先端部を、棚板１５２よりも上側の領域から下側の領域へ、並びに、棚板１５２よりも下側の領域から上側の領域へ、それぞれ棚板１５２に対して相対的に移動させることが可能となっている。
【００４３】
このような構成のカセット１５０が、上記のステージ２２０上に搭載されている。なお、搬送ハンド２１０を直進させることにより、開口１５４を介してカセット１５０内に搬送ハンド２１０を進入させることができるように、カセット１５０の向きが調節されている。
【００４４】
次に、カセット１５０に基板３００を搬入する動作（以下、単に搬入動作という場合がある）を説明する。この動作は、制御部２４０の制御下でアーム連結梁３０、カセット１５０および搬送ハンド２１０を適宜移動させることによって実現される。
【００４５】
先ず、図５（ａ）に示すように、複数の棚板１５２のうち、基板３００を載置するターゲットとなる棚板１５２（以下、目標棚板１５２ａ）と、搬送ハンド２１０とを、上下方向において位置合わせする。この動作は、カセット１５０を下降又は上昇させることによって行う。なお、この段階では、各アーム１０は、カセット１５０の側方の待機位置に待機しており、カセット１５０と各アーム１０とが干渉しないようになっている。
【００４６】
次に、図５（ｂ）に示すように、アーム１０を水平に移動させて、支持アーム１２をカセット１５０の両側からカセット１５０内に差し込む。この状態では、平面視において、各支持アーム１２の先端部が棚板１５２の各切欠形状部１５３内に位置している。
【００４７】
次に、図５（ｃ）に示すように、カセット１５０の高さ（上下位置）を微調整することにより、各支持ピン１３の上端を目標棚板１５２ａの上方（ただし、目標棚板１５２ａの１段上の棚板１５２よりも下方）に配置する。例えば、カセット１５０を僅かに下降させることにより、各支持ピン１３の上端を目標棚板１５２ａの上方へと相対的に上昇させる。このとき、各支持ピン１３の上端は、目標棚板１５２ａの切欠形状部１５３を通過して、目標棚板１５２ａの上面よりも下方から目標棚板１５２ａの上面よりも上方へ移動する。ここで、各支持ピン１３の上端と目標棚板１５２ａの上面との高低差は、その範囲内での搬送ハンド２１０の上下動を許容する高低差となっている。
【００４８】
次に、図６（ａ）に示すように、基板３００を保持した搬送ハンド２１０を前進させて、搬送ハンド２１０および基板３００を目標棚板１５２ａとその一段上の棚板１５２との間の開口１５４を介してカセット１５０内（目標棚板１５２ａとその一段上の棚板１５２との間の空間）に進入させる。ここで、基板３００は、目標棚板１５２ａよりも上方に位置するとともに、各支持アーム１２よりも上方に位置し、且つ、目標棚板１５２ａの一段上の棚板１５２よりも下方に位置する。従って、この段階では、搬送ハンド２１０の上面は、各支持ピン１３の上端よりも上に位置している。
【００４９】
次に、図６（ｂ）に示すように、搬送ハンド２１０の上面の位置が各支持ピン１３の上端の位置よりも下となるまで、搬送ハンド２１０を下降させる。これにより、基板３００が搬送ハンド２１０から支持アーム１２へ受け渡される。すなわち、この段階では、基板３００は、複数の支持ピン１３によって支持された状態となる（図１（ａ）参照）。
【００５０】
次に、図６（ｃ）に示すように、搬送ハンド２１０を後退させて、該搬送ハンド２１０をカセット１５０から引き出す。
【００５１】
次に、図７（ａ）に示すように、目標棚板１５２ａの上面の位置が各支持ピン１３の上端の位置よりも上となるまでカセット１５０を上昇させる。これにより、基板３００が支持ピン１３から目標棚板１５２ａへ受け渡される。このとき、各支持ピン１３の上端は、目標棚板１５２ａの切欠形状部１５３を通過して、目標棚板１５２ａの上面よりも上方から目標棚板１５２ａの上面よりも下方へ移動する。
【００５２】
次に、図７（ｂ）に示すように、各アーム１０を水平に移動させて、支持アーム１２をカセット１５０の側方の待機位置へ移動させる。
【００５３】
以上の動作により、基板３００を目標棚板１５２ａに搬入することができる。
【００５４】
なお、ここでは、一枚の基板３００を目標棚板１５２ａに搬入する動作を説明したが、カセット１５０に対し、その最上段から順に一段ずつ下の段に基板３００を搬入する場合は、図７（ａ）の動作の後、図７（ｂ）の動作を行わずに、順次、目標棚板１５２ａを変更しながら、図５（ｃ）、図６（ａ）、図６（ｂ）、図６（ｃ）、図７（ａ）を用いて説明した一連の動作を繰り返し行うことにより、複数枚の基板３００を順次に各段の棚板１５２に搬入することができる。ただし、この動作とは逆に、カセット１５０に対し、その最下段から順に一段ずつ上の段に基板３００を搬入する場合、すなわちアーム１０が下の段から上の段へ移動する場合は、アーム１０と基板３００との干渉を避けるために、一旦アーム１０を水平方向外側に移動させる動作（図７（ｂ））が必要となる。
【００５５】
なお、カセット１５０に所定数の基板３００を搬入し終えたら、例えば、カセット１５０を図示しない処理装置（熱処理装置など）のチャンバ内に搬送し、カセット１５０内の基板３００に対して所定の処理（熱処理など）を施す。その所定の処理を終えたら、カセット１５０をチャンバから取り出す。更に、カセット１５０から基板３００を順次に搬出する。カセット１５０から基板３００を搬出する動作は、カセット１５０に基板３００を搬入する動作と逆の手順で行うことができる。カセット１５０から搬出された基板３００は、順次、次工程に搬送される。
【００５６】
ここで、上記の搬入動作の際に、搬送ハンド２１０から支持ピン１３へと基板３００を受け渡すときに、基板３００が水平方向に滑って、支持ピン１３上での基板３００の位置が、上記の搭載位置３１０からずれてしまうことがある。
さらに、支持ピン１３から目標棚板１５２ａに基板３００を受け渡すとき（基板３００が目標棚板１５２ａに着座する際）に基板３００が目標棚板１５２ａ上で水平方向に滑って、搭載位置３１０からずれることもある。
これらの原因で基板３００の位置がずれた場合、その位置ずれは、基板３００を目標棚板１５２ａに受け渡した後も引き継がれる。更に、この位置ずれは、基板３００を搬送ハンド２１０によりカセット１５０から搬出し、次工程に移送しても引き継がれてしまう。このため、目標棚板１５２ａ上での基板３００の位置がずれると、次工程での処理に不都合を生じることがある。或いは、基板３００を次工程に移送する際に、基板３００をどこかに衝突させてしまう懸念もある。
【００５７】
このような事情に対し、本実施形態に係る基板受け渡し装置１００は、支持ピン１３に対する基板３００の規定の搭載位置３１０からの基板３００の位置ずれを規制するずれ規制ピン２０を備えている。ずれ規制ピン２０は、平面視において、搭載位置３１０の近傍に配置されている。このため、基板３００を搬送ハンド２１０から支持ピン１３へと受け渡す際に、基板３００の位置がずれ規制ピン２０よりも外側の領域までずれてしまうことを抑制できる。同様に、基板３００を支持ピン１３から目標棚板１５２ａへと受け渡す際にも、基板３００の位置がずれ規制ピン２０よりも外側の領域までずれてしまうことを抑制できる。なぜなら、基板３００が支持ピン１３から目標棚板１５２ａへ受け渡される瞬間には、未だずれ規制ピン２０が基板３００の側方に存在しているためである。
【００５８】
ここで、図１（ａ）に示すように、支持アーム１２により基板３００が支持された状態において、ずれ規制ピン２０と基板３００との間には、若干のクリアランスが存在している。これは、基板３００の搬送動作の精度を考慮したものである。これにより、基板３００をカセット１５０内に搬入する際に、基板３００がずれ規制ピン２０に衝突してしまうことを抑制できるようになっている。一例として、このクリアランスは、５ｍｍ程度とすることができる。
ずれ規制ピン２０が存在しないと仮定すれば１０ｍｍ程度の基板３００の位置ずれが発生するような場合にも、本実施形態の構成によれば、基板３００のずれを５ｍｍ程度に抑制することが可能となる。
【００５９】
また、ずれ規制ピン２０の上部には、上記のようにテーパー部２２が形成されている。このため、仮に、搬送ハンド２１０により基板３００をカセット１５０内に搬入した際に、基板３００の位置がずれていたとしても、基板３００を搬送ハンド２１０から支持アーム１２へと受け渡す際に、基板３００の端部をテーパー部２２によりガイドして、基板３００を水平方向において位置補正することができる（図８（ａ）から図８（ｂ）にかけての動作を参照）。
【００６０】
更には、搬送ハンド２１０を前進させて基板３００をカセット１５０内に搬入する際にも、基板３００の端部をテーパー部２２によりガイドして、基板３００を水平方向において位置補正することが可能である。
【００６１】
ここで、ずれ規制ピン２０は、テーパー部２２の下側には、直線状に起立するピン本体２１を有している。これにより、テーパー部２２（特に基板３００をガイドする傾斜面）を支持ピン１３のなるべく近くに配置することができる。
【００６２】
以上のような実施形態によれば、基板受け渡し装置１００は、平面視において、アーム１０に対する基板３００の規定の搭載位置３１０の近傍に配置されたずれ規制ピン２０を備え、このずれ規制ピン２０によって、搭載位置３１０からの基板３００の位置ずれを規制することができる。このため、基板３００を搬送ハンド２１０からアーム１０へ受け渡す際、並びに、基板３００をアーム１０から目標棚板１５２ａへ受け渡す際において、それぞれ、ずれ規制ピン２０によって基板３００の位置ずれを抑制することができる。つまり、この基板受け渡し装置１００によれば、基板３００をカセット１５０に対して搬入する際の基板３００の位置ずれを抑制することが可能である。
【００６３】
また、ずれ規制ピン２０の少なくとも上部は、下方に向かうにつれて搭載位置３１０側に近づくように傾斜した傾斜面を有する。これにより、基板３００を搬送ハンド２１０から支持アーム１２へと受け渡す際に、基板３００の端部を傾斜面によりガイドして、基板３００を水平方向において位置補正することができる。更に、搬送ハンド２１０を前進させて基板３００をカセット１５０内に搬入する際にも、基板３００の端部をテーパー部２２によりガイドして、基板３００を水平方向において位置補正することが可能である。
【００６４】
また、ずれ規制部として、ピン状に形成され且つ立設されたずれ規制ピン２０を用い、且つ、そのずれ規制ピン２０の上部は、上方に向けて縮径するテーパー状に形成されたテーパー部２２であるので、簡易且つ小型な構成の追加によって、容易に、上述した位置補正を実現できる。
【００６５】
また、支持部は、基板３００の下方に差し込まれる複数の支持アーム１２と、複数の支持アーム１２の各々の上面より起立し、基板３００の周縁部の下面に当接して該下面を支持する支持ピン１３と、を備え、ずれ規制ピン２０は、複数の支持アーム１２のうちの少なくとも何れか１つに設けられている。よって、支持アーム１２とは別に、ずれ規制ピン２０を支持するための構成を設ける必要がない。
【００６６】
また、基板３００は平面視矩形状であり、ずれ規制ピン２０は、基板３００が搭載位置３１０に配置された状態で基板３００の４つの角部とそれぞれ対応する位置に、それぞれ設けられている。よって、基板３００の位置ずれを効果的に抑制することができる。
【００６７】
また、本実施形態に係る基板搬送装置２００によっても、上記の効果が得られる。
【００６８】
なお、上記においては、ずれ規制部が、ずれ規制ピン２０である例を説明したが、ずれ規制部は、ピン形状のものに限らない。例えば、アーム１０の垂下部１１における内側の側面の一部分がずれ規制部として機能しても良い。
【符号の説明】
【００６９】
１０ アーム（支持部）
１１ 垂下部
１２ 支持アーム
１３ 支持ピン（支持部材）
２０ ずれ規制ピン（ずれ規制部）
２１ ピン本体
２２ テーパー部
２３ 頂部
３０ アーム連結梁
５０ 支持ユニット
１００ 基板受け渡し装置
１５０ カセット（基板保持装置）
１５１ 筐体
１５２  棚板
１５２ａ 目標棚板
１５３ 切欠形状部
１５４ 開口
２００ 基板搬送装置
２１０ 搬送ハンド（搬送部材）
２２０ ステージ
２４０ 制御部
２４１ ハンド制御部
２５０  アーム移動アクチュエータ
２６０  ステージ昇降アクチュエータ
２７０  搬送ハンド進退アクチュエータ
２８０  搬送ハンド昇降アクチュエータ
３００ 基板
３０１ 第１の辺
３０２ 第２の辺
３１０ 規定の搭載位置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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