(57)【要約】【課題】蒸発源を２つの蒸着領域間で移動させることなく、簡易な機構で各蒸着領域に設置された基板に蒸着工程、蒸着前工程を交互に行い、蒸発源から噴出する蒸気を常に基板に蒸着している状態を保つことができる蒸着装置の提供。【解決手段】  一の基板１を蒸着する第一蒸着領域２及び他の基板１を蒸着する第二蒸着領域３が並設された蒸着室４に、前記一の基板１に蒸着材料を付着させる第一蒸気噴出部５と前記他の基板１に蒸着材料を付着させる第二蒸気噴出部６とを、前記第一蒸着領域２及び前記第二蒸着領域３内に夫々配設した蒸発源７を設け、この蒸発源７に、前記第一蒸気噴出部５若しくは前記第二蒸気噴出部６のいずれか一方からのみ蒸気を噴出させるように切り替える蒸気噴出部切替手段10を設けて、前記蒸着領域２若しくは前記第二蒸着領域３のいずれか一方の基板１に対して選択的に蒸着を行えるように構成する。【選択図】図３
2014088591.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一の基板を蒸着する第一蒸着領域及び他の基板を蒸着する第二蒸着領域が並設された蒸着室に、前記第一蒸着領域の前記一の基板に蒸着材料を付着させる第一蒸気噴出部と前記第二蒸着領域の前記他の基板に蒸着材料を付着させる第二蒸気噴出部とを、前記第一蒸着領域及び前記第二蒸着領域内に夫々配設した蒸発源を設け、この蒸発源に、前記第一蒸気噴出部若しくは前記第二蒸気噴出部のいずれか一方からのみ蒸気を噴出させるように切り替える蒸気噴出部切替手段を設けて、前記第一蒸着領域若しくは前記第二蒸着領域のいずれか一方の基板に対して選択的に蒸着を行えるように構成したことを特徴とする蒸着装置。
【請求項２】
前記蒸発源は、蒸着材料を蒸発させる材料蒸発部と前記第一蒸気噴出部及び前記第二蒸気噴出部とを蒸気流通路を介して連結する構成とし、前記蒸気噴出部切替手段は前記蒸気流通路に前記第一蒸気噴出部若しくは前記第二蒸気噴出部のいずれか一方への蒸気の流通を蒸気の漏れがないように遮断する遮断部を開放遮断自在に設ける構成としたことを特徴とする請求項１記載の蒸着装置。
【請求項３】
前記蒸発源は、蒸着材料を蒸発させる材料蒸発部と前記第一蒸気噴出部及び前記第二蒸気噴出部とを蒸気流通路を介して連結する構成とし、前記蒸気噴出部切替手段は、前記第一蒸気噴出部及び前記第二蒸気噴出部の内部に該第一蒸気噴出部及び第二蒸気噴出部を蒸気の漏れがないように閉塞する閉塞部を開放閉塞自在に設ける構成としたことを特徴とする請求項１記載の蒸着装置。
【請求項４】
前記蒸発源は、前記第一蒸気噴出部及び前記第二蒸気噴出部の内部に前記材料蒸発部を設ける構成とし、前記蒸気噴出部切替手段は、前記第一蒸気噴出部及び前記第二蒸気噴出部の内部にある前記材料蒸発部を蒸気の漏れがないように閉塞する閉塞部を開放閉塞自在に設ける構成としたことを特徴とする請求項１記載の蒸着装置。
【請求項５】
前記蒸発源を前記基板の被蒸着面に沿って前記基板に対して相対移動させる相対移動機構を備えたことを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の蒸着装置。
【請求項６】
前記第一蒸着領域及び第二蒸着領域に搬入された前記基板を夫々前記蒸着室内に固定する第一基板保持機構及び第二基板保持機構と、前記第一蒸着領域及び前記第二蒸着領域において前記基板とマスクとの位置合わせを夫々行う第一アライメント機構及び第二アライメント機構と、前記第一蒸着領域及び前記第二蒸着領域において蒸着中の前記基板を夫々冷却する第一基板冷却機構及び第二基板冷却機構とを備えたことを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の蒸着装置。
【請求項７】
前記第一蒸着領域に搬入された第一基板に対して蒸発源の第一蒸気噴出部より蒸気を噴出させながら蒸着を行っている間に、前記第二蒸着領域に搬入された第二基板に対して蒸着前工程を行い、前記第一蒸着領域で前記第一基板に対する蒸着が完了した後、前記蒸気噴出部切替手段によって、前記蒸発源の蒸気が噴出する部位を第一蒸気噴出部から第二蒸気噴出部へと切り替え、前記第二蒸着領域で前記蒸着前工程が完了した前記第二基板に対する蒸着を行い、第二基板に対する蒸着を行っている間に、前記第一蒸着領域から蒸着が完了した前記第一基板を取り出した後、第一蒸着領域に搬入された新たな第三基板に対して前記蒸着前工程を行い、これを繰り返すことで、常時、前記第一蒸着領域若しくは前記第二蒸着領域のいずれかで基板に蒸着し得るように構成したことを特徴とする請求項６記載の蒸着装置。
【請求項８】
前記基板を前記蒸着室へ搬送する基板搬送機構を有する基板搬送室に、前記第一蒸着領域及び前記第二蒸着領域を有する蒸着室を複数接続し、前記基板搬送室に搬入された前記基板を前記基板搬送機構が前記蒸着室の各蒸着領域へ適宜振り分けるように構成し、１つの基板搬送室を複数の蒸着室で共有するように構成したことを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載の蒸着装置。
【請求項９】
一の基板を蒸着する第一蒸着領域及び他の基板を蒸着する第二蒸着領域が並設された蒸着室に、前記第一蒸着領域の前記一の基板に蒸着材料を付着させる第一蒸気噴出部と前記第二蒸着領域の前記他の基板に蒸着材料を付着させる第二蒸気噴出部とを、前記第一蒸着領域及び前記第二蒸着領域内に夫々配設した蒸発源を設け、この蒸発源に、前記第一蒸気噴出部若しくは前記第二蒸気噴出部のいずれか一方からのみ蒸気を噴出させるように切り替える蒸気噴出部切替手段を設け、前記第一蒸着領域に搬入された第一基板に対して蒸発源の第一蒸気噴出部より蒸気を噴出させながら蒸着を行っている間に、前記第二蒸着領域に搬入された第二基板に対して蒸着前工程を行い、前記第一蒸着領域で前記第一基板に対する蒸着が完了した後、前記蒸気噴出部切替手段によって、前記蒸発源の蒸気が噴出する部位を第一蒸気噴出部から第二蒸気噴出部へと切り替え、前記第二蒸着領域で前記蒸着前工程が完了した前記第二基板に対する蒸着を行い、第二基板に対する蒸着を行っている間に、前記第一蒸着領域から蒸着が完了した前記第一基板を取り出した後、第一蒸着領域に搬入された新たな第三基板に対して前記蒸着前工程を行い、これを繰り返すことで、前記第一蒸着領域若しくは前記第二蒸着領域のいずれかにおいて前記基板を蒸着可能にすることを特徴とする蒸着方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、蒸着装置及び蒸着方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
蒸着中の有機材料の変質を抑制し、安定した膜質を維持するために、ＯＬＥＤの製造ラインでは常に有機材料を加熱し蒸発させる。そのため、蒸着室に対して基板を搬入あるいは搬出し、基板の蒸着前工程を行う間も材料が蒸発し続けるので、材料が無駄に消費されてしまう。また、基板とマスクのアライメント工程などを含む蒸着前工程を行う間は蒸着工程を進めることができず、タクトタイムが増大するという問題がある。
【０００３】
このような材料の浪費及びタクトタイムの増大を解消させるべく、例えば特許文献１，２に開示されるような技術が提案されている。
【０００４】
具体的には、特許文献１では、蒸発源が複数の蒸着室間を移動し、ある基板が搬入あるいは搬出される間に、別の蒸着室で別の基板の蒸着を行う構造が提案されている。特許文献２では、蒸着室内に、蒸着室内の第１基板蒸着領域と第２基板蒸着領域間を回転移動する蒸発源を備え、第１基板蒸着領域で一方の基板に蒸着をする間に第２基板蒸着領域では他方の基板の蒸着前工程を行う構造が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００６−２２２６号公報
【特許文献２】特開２０１１−６８９８０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、上記特許文献１，２では、蒸発源を蒸着室間若しくは蒸着領域間を移動させるため、移動機構が大掛かりなものとなる。真空室内で、蒸発源のように大きな部品を長距離移動させる機構は、パーティクルの発生源にもなり、生産するデバイスの性能に悪影響を与える可能性がある。
【０００７】
本発明は、上述のような現状に鑑みなされたもので、蒸発源を２つの蒸着領域間で移動させることなく、簡易な機構で各蒸着領域に設置された基板に蒸着工程、蒸着前工程を交互に行い、蒸発源から噴出する蒸気を常に基板に蒸着している状態を保つことができる蒸着装置及び蒸着方法を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
添付図面を参照して本発明の要旨を説明する。
【０００９】
一の基板１を蒸着する第一蒸着領域２及び他の基板１を蒸着する第二蒸着領域３が並設された蒸着室４に、前記第一蒸着領域２の前記一の基板１に蒸着材料を付着させる第一蒸気噴出部５と前記第二蒸着領域３の前記他の基板１に蒸着材料を付着させる第二蒸気噴出部６とを、前記第一蒸着領域２及び前記第二蒸着領域３内に夫々配設した蒸発源７を設け、この蒸発源７に、前記第一蒸気噴出部５若しくは前記第二蒸気噴出部６のいずれか一方からのみ蒸気を噴出させるように切り替える蒸気噴出部切替手段10を設けて、前記第一蒸着領域２若しくは前記第二蒸着領域３のいずれか一方の基板１に対して選択的に蒸着を行えるように構成したことを特徴とする蒸着装置に係るものである。
【００１０】
また、前記蒸発源７は、蒸着材料を蒸発させる材料蒸発部８と前記第一蒸気噴出部５及び前記第二蒸気噴出部６とを蒸気流通路９を介して連結する構成とし、前記蒸気噴出部切替手段10は前記蒸気流通路９に前記第一蒸気噴出部５若しくは前記第二蒸気噴出部６のいずれか一方への蒸気の流通を蒸気の漏れがないように遮断する遮断部12を開放遮断自在に設ける構成としたことを特徴とする請求項１記載の蒸着装置に係るものである。
【００１１】
また、前記蒸発源７は、蒸着材料を蒸発させる材料蒸発部８と前記第一蒸気噴出部５及び前記第二蒸気噴出部６とを蒸気流通路９を介して連結する構成とし、前記蒸気噴出部切替手段10は、前記第一蒸気噴出部５及び前記第二蒸気噴出部６の内部に該第一蒸気噴出部５及び第二蒸気噴出部６を蒸気の漏れがないように閉塞する閉塞部13を開放閉塞自在に設ける構成としたことを特徴とする請求項１記載の蒸着装置に係るものである。
【００１２】
また、前記蒸発源７は、前記第一蒸気噴出部５及び前記第二蒸気噴出部６の内部に前記材料蒸発部８を設ける構成とし、前記蒸気噴出部切替手段10は、前記第一蒸気噴出部５及び前記第二蒸気噴出部６の内部にある前記材料蒸発部８を蒸気の漏れがないように閉塞する閉塞部13を開放閉塞自在に設ける構成としたことを特徴とする請求項１記載の蒸着装置に係るものである。
【００１３】
また、前記蒸発源７を前記基板１の被蒸着面に沿って前記基板１に対して相対移動させる相対移動機構15を備えたことを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の蒸着装置に係るものである。
【００１４】
また、前記第一蒸着領域２及び第二蒸着領域３に搬入された前記基板１を夫々前記蒸着室４内に固定する第一基板保持機構及び第二基板保持機構と、前記第一蒸着領域２及び前記第二蒸着領域３において前記基板１とマスクとの位置合わせを夫々行う第一アライメント機構及び第二アライメント機構と、前記第一蒸着領域２及び前記第二蒸着領域３において蒸着中の前記基板１を夫々冷却する第一基板冷却機構及び第二基板冷却機構とを備えたことを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の蒸着装置に係るものである。
【００１５】
また、前記第一蒸着領域２に搬入された第一基板１に対して蒸発源７の第一蒸気噴出部５より蒸気を噴出させながら蒸着を行っている間に、前記第二蒸着領域３に搬入された第二基板１に対して蒸着前工程を行い、前記第一蒸着領域２で前記第一基板１に対する蒸着が完了した後、前記蒸気噴出部切替手段10によって、前記蒸発源７の蒸気が噴出する部位を第一蒸気噴出部５から第二蒸気噴出部６へと切り替え、前記第二蒸着領域３で前記蒸着前工程が完了した前記第二基板１に対する蒸着を行い、第二基板１に対する蒸着を行っている間に、前記第一蒸着領域２から蒸着が完了した前記第一基板１を取り出した後、第一蒸着領域２に搬入された新たな第三基板１に対して前記蒸着前工程を行い、これを繰り返すことで、常時、前記第一蒸着領域２若しくは前記第二蒸着領域３のいずれかで基板１に蒸着し得るように構成したことを特徴とする請求項６記載の蒸着装置に係るものである。
【００１６】
また、前記基板１を前記蒸着室４へ搬送する基板搬送機構を有する基板搬送室14に、前記第一蒸着領域２及び前記第二蒸着領域３を有する蒸着室４を複数接続し、前記基板搬送室14に搬入された前記基板１を前記基板搬送機構が前記蒸着室４の各蒸着領域へ適宜振り分けるように構成し、１つの基板搬送室14を複数の蒸着室４で共有するように構成したことを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載の蒸着装置に係るものである。
【００１７】
また、一の基板１を蒸着する第一蒸着領域２及び他の基板１を蒸着する第二蒸着領域３が並設された蒸着室４に、前記第一蒸着領域２の前記一の基板１に蒸着材料を付着させる第一蒸気噴出部５と前記第二蒸着領域３の前記他の基板１に蒸着材料を付着させる第二蒸気噴出部６とを、前記第一蒸着領域２及び前記第二蒸着領域３内に夫々配設した蒸発源７を設け、この蒸発源７に、前記第一蒸気噴出部５若しくは前記第二蒸気噴出部６のいずれか一方からのみ蒸気を噴出させるように切り替える蒸気噴出部切替手段10を設け、前記第一蒸着領域２に搬入された第一基板１に対して蒸発源７の第一蒸気噴出部５より蒸気を噴出させながら蒸着を行っている間に、前記第二蒸着領域３に搬入された第二基板１に対して蒸着前工程を行い、前記第一蒸着領域２で前記第一基板１に対する蒸着が完了した後、前記蒸気噴出部切替手段10によって、前記蒸発源７の蒸気が噴出する部位を第一蒸気噴出部５から第二蒸気噴出部６へと切り替え、前記第二蒸着領域３で前記蒸着前工程が完了した前記第二基板１に対する蒸着を行い、第二基板１に対する蒸着を行っている間に、前記第一蒸着領域２から蒸着が完了した前記第一基板１を取り出した後、第一蒸着領域２に搬入された新たな第三基板１に対して前記蒸着前工程を行い、これを繰り返すことで、前記第一蒸着領域２若しくは前記第二蒸着領域３のいずれかにおいて前記基板１を蒸着可能にすることを特徴とする蒸着方法に係るものである。
【発明の効果】
【００１８】
本発明は上述のように構成したから、蒸発源を２つの蒸着領域間で移動させることなく、簡易な機構で各蒸着領域に設置された基板に蒸着工程、蒸着前工程を交互に行い、蒸発源から噴出する蒸気を常に基板に蒸着している状態を保つことができる蒸着装置及び蒸着方法となる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】構成例の概略説明図である。
【図２】本発明の概略説明図である。
【図３】実施例１の概略説明平面図である。
【図４】実施例１の概略説明側面図である。
【図５】実施例１の要部の拡大説明縦断面図である。
【図６】実施例１の要部の拡大説明縦断面図である。
【図７】実施例１の蒸着工程説明図である。
【図８】実施例１の蒸着工程説明図である。
【図９】実施例１の蒸着工程説明図である。
【図１０】真空室の配置構成図である。
【図１１】真空室の配置構成図である。
【図１２】真空室の配置構成図である。
【図１３】真空室の配置構成図である。
【図１４】実施例２の概略説明平面図である。
【図１５】実施例２の概略説明側面図である。
【図１６】実施例２の要部の概略説明横断面図である。
【図１７】実施例２の要部の概略説明横断面図である。
【図１８】実施例２の蒸気噴出部の分解概略説明斜視図である。
【図１９】実施例３の概略説明平面図である。
【図２０】実施例３の概略説明側面図である。
【図２１】実施例３の概略説明縦断面図である。
【図２２】実施例３の要部の概略説明横断面図である。
【図２３】実施例３の要部の概略説明横断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
好適と考える本発明の実施形態を、図面に基づいて本発明の作用を示して簡単に説明する。
【００２１】
蒸気噴出部切替手段10により第一蒸気噴出部５からのみ蒸気を噴出させるようにした状態で、第一蒸着領域２の一の基板１に対して蒸着を行う。この際、第二蒸気噴出部６からは蒸気は噴出しないため、第二蒸着領域３において他の基板１の搬入搬出及び蒸着前工程（マスクと基板とのアライメント工程や基板を基板冷却機構に接触させた状態で固定する工程等からなる蒸着前の準備工程）を行うことが可能となる。
【００２２】
そして、一の基板１に対する蒸着が完了した後、蒸気噴出部切替手段10により第二蒸気噴出部６のみから蒸気を噴出させるように切り替えて、搬入及び蒸着前工程が終了した第二蒸着領域３の他の基板１に対して蒸着を行う。
【００２３】
従って、蒸発源７から絶えず噴出する蒸気を、第一蒸着領域２若しくは第二蒸着領域３のいずれかの基板１に対して常に蒸着している状態を保つことが可能となる。
【００２４】
即ち、例えば、前記第一蒸着領域２に搬入された第一基板１に対して蒸発源７の第一蒸気噴出部５からのみ蒸気を噴出させて蒸着を行っている間に、前記第二蒸着領域３に搬入された第二基板１に対して前記蒸着前工程を行い、前記第一蒸着領域２で前記第一基板１に対する蒸着が完了した後、前記蒸気噴出部切替手段10によって、前記蒸発源７の蒸気が噴出する部位を第一蒸気噴出部５から第二蒸気噴出部６へと切り替え、前記第二蒸着領域３で前記蒸着前工程が完了した前記第二基板１に対する蒸着を行い、第二基板１に対する蒸着を行っている間に、前記第一蒸着領域２から蒸着が完了した前記第一基板１を搬出した後、第一蒸着領域２に第三基板１を新たに搬入して前記蒸着前工程を行い、これを繰り返すことで、常時、前記第一蒸着領域２及び前記第二蒸着領域３のいずれかで基板１に蒸着することが可能となる。
【００２５】
従って、本発明によれば、一の蒸着領域で基板１に蒸着を行うと同時に、他の蒸着領域で別の基板１の蒸着前工程を行うことが可能となり、成膜のタクトタイムを短縮することが可能となる。
【００２６】
また、蒸発源７から蒸発する材料蒸気が常に基板１に蒸着される状態を保つことができるため、材料使用効率を極限まで高めることが可能となる。
【００２７】
また、上記特許文献２では、一つの蒸着室内部の第一、第二基板蒸着領域に夫々設置された２枚の基板に蒸着するために、第一、第二蒸着領域間を蒸発源が移動する必要がある。この点、本発明では、第一、第二蒸着領域２、３間を蒸発源７が移動する必要がないため、より簡易な機構で材料の使用効率の増大、タクトタイムの短縮を実現できる。即ち、簡易な機構となることで、蒸着室４内で摺動する部品が少なくなり、真空内でのパーティクルの発生源を少なくでき、より清浄な環境で蒸着を行うことが可能となる。
【００２８】
更に、上記特許文献２では、蒸着領域間を移動している間に蒸発した材料は基板に付着せずに無駄に蒸発する。この点、本発明では、蒸気噴出部切替手段によって瞬時に蒸着する基板を切り替えることができるため、上記特許文献２に記載の蒸着装置と比較してより材料効率を増大することが可能となる。
【００２９】
なお、例えば、図１に図示した構成例のように、夫々基板101が配置される二つの蒸着領域102，103を有する蒸着室104の各蒸着領域に、一つずつ蒸発源105を設置し、夫々の蒸発源105からの蒸気の噴出を適宜停止させることで、材料の無駄な蒸発を抑制することも考えられる。図１中、符号106は、材料を加熱して蒸気を発生させるための加熱手段を含む材料容器、107は蒸気噴出部、108は蒸気の圧力を均一にするための空間である拡散室、109は材料容器106で発生した蒸気を拡散室108まで移動させるための流路、110は必要な時に流路109を密閉して蒸気の噴出を停止させるためのバルブである。
【００３０】
この図１に図示したような構成でも、蒸着する場合にはバルブ110を開き、基板101を交換する場合にはバルブ110を閉じることで、材料の無駄な蒸発を抑制して材料の使用効率を高めることは可能である。
【００３１】
しかしながら、図１に図示したような構成では、バルブ110を閉じた際に蒸発源105内の圧力が上昇して、収容される蒸気が分解等により変質する。この変質を抑制するために、流路109や材料容器106の温度を調整して圧力を減少させた場合、再びバルブ110を開いて蒸着を再開する際に、再加熱して蒸着速度を調整する必要があり、工程が増えてしまうという別の問題が発生する。また、再加熱の際にも材料が無駄に蒸発する。
【００３２】
この点、本発明では、図２に概略を示したように、蒸気噴出部切替手段10により、蒸発源７の一の蒸気噴出部５からの噴出を停止させると同時に、他の蒸気噴出部６から蒸気を噴出させるため、蒸発源７内部の圧力が蒸着時に必要な圧力よりも大きく上昇することがない。よって、本発明によれば、材料使用効率を極限まで高めることが可能なのは勿論、上述のような材料の変質の心配がなく、安定した品質での成膜が可能となる。
【実施例１】
【００３３】
本発明の具体的な実施例１について図３〜１３に基づいて説明する。
【００３４】
実施例１は、一の基板１を蒸着する第一蒸着領域２及び他の基板１を蒸着する第二蒸着領域３が並設された蒸着室４に、前記第一蒸着領域２の前記一の基板１に蒸着材料を付着させる第一蒸気噴出部５と前記第二蒸着領域３の前記他の基板１に蒸着材料を付着させる第二蒸気噴出部６とを、前記第一蒸着領域２及び前記第二蒸着領域３内に夫々配設した蒸発源７を設け、この蒸発源７に、前記第一蒸気噴出部５若しくは前記第二蒸気噴出部６のいずれか一方からのみ蒸気を噴出させるように切り替える蒸気噴出部切替手段10を設けて、前記第一蒸着領域２若しくは前記第二蒸着領域３のいずれか一方の基板１に対して選択的に蒸着を行えるように構成したものである。
【００３５】
具体的には、実施例１は、図３，４に図示したように、蒸発源７を、蒸着材料を蒸発させる材料蒸発部８と第一蒸気噴出部５及び第二蒸気噴出部６とを蒸気流通路９を介して連結する構成とし、蒸気噴出部切替手段10を、蒸気流通路９に第一蒸気噴出部５若しくは第二蒸気噴出部６のいずれか一方への蒸気の流通を漏れなく遮断する遮断部12を開放遮断自在に設ける構成としている。
【００３６】
各部を具体的に説明する。
【００３７】
蒸着室４は真空ポンプ等の適宜な排気機構を備えた真空室であり、基板搬送機構としてのロボットハンド16を備えた基板搬送室14とは、開閉機構であるゲートバルブ17を介して接続されている（図１０〜１３参照）。実施例１においては、ゲートバルブ17は、第一蒸着領域２及び第二蒸着領域３への搬入出に対応して第一蒸着領域２側と第二蒸着領域３側に夫々１つずつ設けられている。
【００３８】
第一蒸着領域２及び第二蒸着領域３は、明確に物理的に分離してはいないが、蒸着室４内の左側寄りに一の基板１が配設される第一蒸着領域２、右側寄りに他の基板１が配設される第二蒸着領域３が設けられる（例えば、図３参照）。
【００３９】
具体的には、一の基板１と他の基板１とが他の領域において蒸着を行う際に影響を受けない程度に所定間隔をおいて並設状態に配設されるように、第一蒸着領域２及び第二蒸着領域３を設定する。
【００４０】
なお、蒸着室４において、基板１は蒸着室４の天面側に、蒸発源７は蒸着室４の底面側に夫々配設される。
【００４１】
蒸発源７は、蒸着材料を蒸発させる材料蒸発部８と第一蒸気噴出部５及び第二蒸気噴出部６とを蒸気流通路９を介して連結する構成としている。
【００４２】
具体的には、蒸着材料が充填され該蒸着材料を加熱して蒸発させる加熱部を備えた材料容器を材料蒸発部８としている。そして、この材料容器に一端が接続される蒸気流通路９の他端を、左右の各蒸気噴出部５，６に向かって分岐する二又形状とし、その分岐端部を、各蒸着領域２，３内に設けた各蒸気噴出部５，６に夫々接続した構成としている。蒸気噴出部５，６は、蒸気の空間的な圧力分布を均一にするための一定の広さを持った空間である拡散室18及び噴出口11から構成される。蒸気流通路９は拡散室18と蒸気漏れのないように溶接によって接続される。拡散室18は蒸発源７の移動方向と直交する方向を長手方向とする略直方体状とし、この拡散室18の上面に、蒸気を噴出する円筒形の噴出口11を、拡散室長手方向に沿って直線状に複数並設する。各蒸気噴出部５，６から噴出した蒸気を基板１に付着させて成膜する。なお、噴出口11はスリット状等、他の形状としても良い。
【００４３】
実施例１では、上述のように二又に分岐した後の蒸気流通路９に夫々遮断部12を開放遮断自在に設けた構成としている。
【００４４】
具体的には、図５，６に図示したように、遮断部12としての弁体19と弁体19の頭部と密着当接するシール部材20とで、蒸気流通路９を閉塞して蒸気噴出部５，６への蒸気を遮断するように構成している。遮断部12は、真空中で３００〜５００℃程度に加熱された状態で動作し、弁体19の頭部とシール部材20とが密着した際には蒸気の漏れがなく、繰り返しの使用に耐える材質で構成されている。例えば、弁体19としてはステンレス製、シール部材20としてはβ系チタン合金製のものを採用できる。図５，６中、符号21はベローズ、22は弁体19のシャフト部の上下動をガイドするガイド部、23はハウジング、24はアクチュエータである。
【００４５】
また、実施例１では、図４に図示したように、拡散室18の上方に噴出口11からの蒸気が基板に付着することを阻止するシャッタ64を設けている。即ち、蒸気噴出部５，６からの蒸気の噴出を停止する際、遮断部12だけでなく、このシャッタ64を併用することで、遮断部12により蒸気流通路９を閉塞した際に拡散室18内に残留していた蒸気が基板１に付着することを阻止する。よって、上記の噴出及び遮断の切り替えを迅速に行うことができる。
【００４６】
従って、適宜左右いずれかの弁体19をアクチュエータ24によりシール部材20に対して接離動させ、材料蒸発部８からの第一蒸気噴出部５への蒸気を遮断するか（図５）、第二蒸気噴出部６への蒸気を遮断することで（図６）、第一蒸着領域２若しくは第二蒸着領域３のいずれか一方の基板に対して選択的に蒸着を行えることになる。
【００４７】
なお、実施例１では、蒸発源７の下部に箱状の収納部25を設けた構成とし、この収納部25に、蒸着室４内で動作する可動部品のアクチュエータ、配線類等の部品群を収納している。この収納部25の内部は大気圧である。収納部25は、蒸着室４の内壁と配線導入リンク機構（図示省略）によって接続されている。配線導入リンク機構の内部は空洞であり、収納部25の内部と蒸着室４の周囲の大気圧環境とはリンク機構の内部を通して空間的にひと続きである。収納部25内の配線は、配線リンク機構内部を通して蒸着室４の外部に設置された電装盤へと接続されている。
【００４８】
この収納部25の下方に、蒸発源７を基板１の被蒸着面に沿って基板１に対して相対移動させる相対移動機構15を設けている。実施例１においては、相対移動機構15は、収納部25の下面に固定されたブロック28と螺合するボールネジ26と、このボールネジ26と平行に設けられボールネジ26による移動をガイドするリニアガイド27とで構成し、基板１の長辺方向と平行に蒸発源７を移動させるように構成している。従って、相対移動機構15により収納部25及び蒸発源７を移動させることで、各蒸気噴出部５，６から噴出する蒸気を各蒸着領域２，３の基板１の全面に付着させて成膜することが可能となる。
【００４９】
また、特に図示しないが、蒸着室４には、第一蒸着領域２及び第二蒸着領域３に搬入された基板１を夫々前記蒸着室４内に固定する第一基板保持機構及び第二基板保持機構と、第一蒸着領域２及び第二蒸着領域３において基板１とマスクとの位置合わせを夫々行う第一アライメント機構及び第二アライメント機構と、第一蒸着領域２及び第二蒸着領域３において蒸着中の前記基板１を夫々冷却する第一基板冷却機構及び第二基板冷却機構とを備えている。
【００５０】
よって、実施例１は、以下のように蒸着を行うことが可能となる。
【００５１】
即ち、第一蒸着領域２に搬入された第一基板１に対して蒸発源７の第一蒸気噴出部５から蒸気を噴出させて蒸着を行っている間に、第二蒸着領域３に搬入された第二基板１に対して蒸着前工程（マスクと基板とのアライメント工程や基板を基板冷却機構に接触させた状態で固定する工程等からなる蒸着前の準備工程）を行う（図７参照）。続いて、前記第一蒸着領域２で前記第一基板１に対する蒸着が完了した後、前記蒸気噴出部切替手段10によって、前記蒸発源７の蒸気が噴出する部位を第一蒸気噴出部５から第二蒸気噴出部６へと切り替え、前記第二蒸着領域３で前記蒸着前工程が完了した前記第二基板１に対する蒸着を行い、第二基板１に対する蒸着を行っている間に、蒸着が完了した前記第一基板１を前記第一蒸着領域２から取り出し（図８参照）、第一蒸着領域２に第三基板１を新たに搬入して前記蒸着前工程を行う（図９参照）。この様に、上記処理を繰り返すことで、常時、前記第一蒸着領域２及び前記第二蒸着領域３のいずれかで基板１に蒸着し得ることになる。
【００５２】
また、実施例１は、前記基板１を前記蒸着室４へ搬送する基板搬送機構としてのロボットハンド16を有する基板搬送室14に、前記第一蒸着領域２及び前記第二蒸着領域３を有する蒸着室４を複数（例えば、２つ）接続し、前記基板搬送室14に搬入された前記基板１を前記基板搬送機構が前記蒸着室４の各蒸着領域へ適宜振り分けるように構成し、１つの基板搬送室14を複数の蒸着室４で共有するように構成している。なお、基板搬送室14にも適宜な排気機構が設けられる。
【００５３】
基板搬送室14の周囲には、蒸着室４に限らず他の真空室を接続しても良く、例えば図１０〜１３に示すように構成することができる。図中、基板が搬送される軌跡をＡライン、Ｂラインとして矢印で示した。Ａライン、Ｂラインは夫々独立した基板の搬送ラインである。また、接続する真空室の数等に応じて、基板搬送室14の平面視形状は、多角形状を適宜設定し得る。図中、29は搬入室、30は搬出室、31，32，33，34は新しいメタルマスク35、あるいは、使用済みのメタルマスク35が保管されるマスクストック室である。なお、蒸着室４内のマスクとマスクストック室のマスクはロボットハンド16により適宜交換される。また、搬入室29や搬出室30には適宜基板の向きを回転させる基板回転機構を設ける構成としても良い。更に、マスクストック室に限らず、他の成膜室・処理室を設ける構成としても良い。
【００５４】
従って、ある蒸着室４がメンテナンスや不具合のためにやむを得ず停止する場合でも、蒸着室４と基板搬送室14との間に設けたゲートバルブ17を閉じることで、同一の基板搬送室14に接続された他の正常な蒸着室４は稼働を続けることができ、蒸着装置の稼働率の低下を最小限にすることが可能となる。
【００５５】
実施例１は上述のように構成したから、蒸発源を２つの蒸着領域間で移動させることなく、簡易な機構で各蒸着領域に設置された基板に交互に蒸着工程、蒸着前工程を行い、蒸発源から噴出する蒸気を常に基板に蒸着している状態を保つことができる蒸着装置となる。
【実施例２】
【００５６】
本発明の具体的な実施例２について図１４〜１８に基づいて説明する。
【００５７】
実施例２は、蒸気噴出部切替手段10を、前記第一蒸気噴出部５及び前記第二蒸気噴出部６の内部に該第一蒸気噴出部５及び第二蒸気噴出部６を蒸気の漏れがないように閉塞する閉塞部13を開放閉塞自在に設ける構成としたものである。
【００５８】
具体的には、拡散室18内に、上部が開口した樋状の蒸気発生部36を設け（図１６参照）、材料蒸発部８に一端が接続される蒸気流通路９の他端を、左右の各蒸気噴出部５，６に向かって分岐する二又形状とし（図１４，１５参照）、その分岐端部を各蒸気噴出部５，６の拡散室18内の蒸気発生部36に夫々接続した構成としている。材料蒸発部８、蒸気流通路９、第一蒸気噴出部５及び第二蒸気噴出部６には、シースヒータ等の加熱機構が付随しており、真空中で３００℃〜５００℃程度に加熱することができる。材料の充填は材料蒸発部８に対して行う。
【００５９】
この蒸気発生部36の開口部の周縁にはシール部材37が周設されている。また、蒸気発生部36の上方位置には、蒸気発生部36の開口部を閉塞するための閉塞部13が設けられている。閉塞部13は可動中板38、弁体39、シャフト41から構成される。可動中板38の下面に該可動中板38を支持するシャフト41及び弁体39を設けている（図１６，１７参照）。シャフト41に接続されたアクチュエータ47によって、閉塞部13は、蒸気発生部36の開口に対して接離動する。弁体39は、蒸気発生部36の開口部全体を閉塞し得る形状とし、この弁体39をシール部材37に押し付けて密着当接させることで、蒸気発生部36の開口部を閉塞するように構成している。
【００６０】
閉塞部13等は、真空中で３００〜５００℃程度に加熱された状態で動作し、弁体39とシール部材37とが密着した際には蒸気の漏れがなく、繰り返しの使用に耐える材質で構成されている。例えば、弁体39としてはステンレス製、シール部材37としてはβ系チタン合金製のものを採用できる。図１６，１７中、符号44はシャフト41の上下動をガイドするガイド部、45はベローズ、46はハウジングである。
【００６１】
なお、蒸気発生部36に直接シール部材37を設けず、蒸気発生部36に開口フランジを取り付け、この開口フランジにシール部材37を設ける構成としても良い。
【００６２】
可動中板38には、図１８に図示したように、可動中板38の長手方向に延びる二条の蒸気通過部40が設けられている。従って、蒸気発生部36の開口部を開放した状態（図１６参照）では、シャフト41間及び蒸気通過部40を介して拡散室18の上部の噴出口11から蒸気が噴出されることになる。
【００６３】
また、蒸気発生部36の側周面及び拡散室18の側周面には、加熱部としてのシースヒータ42，43が巻回状態で配設されている。蒸着材料は材料蒸発部８で加熱され、気化し、蒸気流通路９を通過して蒸気発生部36に導入され、噴出口11から蒸気として噴出される。このとき蒸気が低温の部分を通過すると、蒸着材料が析出し、噴出口11、蒸気通過部40及び蒸気流通路９を塞いでしまうおそれがある。このような析出を防ぐため、各蒸気噴出部５，６内部は使用する蒸着材料の物性値に合わせて２００〜５００℃に加熱される。
【００６４】
また、実施例２では、拡散室18の上方に噴出口11からの蒸気が基板１に付着することを阻止するシャッタ48を設けている。即ち、図１７に図示したように、蒸気噴出部５，６からの蒸気の噴出を停止する際、閉塞部13だけでなく、このシャッタ48を併用することで、閉塞部13により蒸気発生部36の開口部を閉塞した際に拡散室18内に残留していた蒸気が基板１に付着することを阻止する。よって、上記の噴出及び遮断の切り替えを迅速に行うことができる。
【００６５】
従って、実施例２は、第一蒸気噴出部５及び第二蒸気噴出部６のアクチュエータ47によりシャフト41を上下動させ、可動中板38及び弁体39をシール部材37に対して接離動させることで、各蒸気発生部36の開口部の開放閉塞を制御する。第一蒸気噴出部５側の蒸気発生部36の開口部を開放し、第二蒸気噴出部６側の蒸気発生部36の開口部を閉塞するか、若しくは、第一蒸気噴出部５側の蒸気発生部36の開口部を閉塞し、第二蒸気噴出部６側の蒸気発生部36の開口部を開放することで、第一蒸着領域２及び第二蒸着領域３いずれか一方の基板１に対して選択的に蒸着を行うことができる。
【００６６】
その余は実施例１と同様である。
【実施例３】
【００６７】
本発明の具体的な実施例３について図１９〜２３に基づいて説明する。
【００６８】
実施例３は、蒸発源７を、第一蒸気噴出部５及び第二蒸気噴出部６の内部に材料蒸発部８を設ける構成とし、蒸気噴出部切替手段10を、前記第一蒸気噴出部５及び前記第二蒸気噴出部６の内部にある前記材料蒸発部８を蒸気の漏れがないように閉塞する閉塞部13を開放閉塞自在に設ける構成としたものである。
【００６９】
具体的には、実施例３は、実施例１，２のように拡散室18を各蒸着領域２，３に設けるのではなく、図１９，２０に図示したように、２つの蒸着領域２，３に跨って１つの拡散室18を設けている。
【００７０】
そして、この拡散室18内に、図２１に図示したような、各蒸着領域２，３に対応する２つの開口部49を有する略直方体形状の１つの材料蒸発部８を設けた構成としている。即ち、拡散室18には、第一蒸着領域２に設置された基板に蒸着するための第一蒸気噴出部５と、第二蒸着領域３に設置された基板に蒸着するための第二蒸気噴出部６とが配設される。
【００７１】
なお、図２１中、符号50は蒸着材料、60は材料蒸発部８の側周面に巻回状態で配設されるシースヒータ、63は拡散室18の内部を第一蒸気噴出部５側と第二蒸気噴出部６側とに仕切る仕切部である。
【００７２】
材料蒸発部８の開口部49は第一蒸着領域２、第二蒸着領域３に一箇所ずつ設けられ、夫々の開口部49の真上に基板１が搬入、設置される。材料蒸発部８の開口部49の周縁にはシール部材51が周設されている。また、材料蒸発部８の２つの開口部49の上方位置には、２つの閉塞部13を開口部49に対して接離動自在に設ける。２つの閉塞部13は、いずれも可動中板52及び弁体53から構成され、この可動中板52の下面に、弁体53を夫々設けている（図２２，２３参照）。２つの弁体53は夫々、材料蒸発部８の開口部49全体を閉塞し得る形状とし、この弁体53をシール部材51に押し付けて密着当接させることで、対応する材料蒸発部８の開口部49を閉塞するように構成している。
【００７３】
閉塞部13等は、真空中で３００〜５００℃程度に加熱された状態で動作し、弁体53とシール部材51とが密着した際には蒸気の漏れがなく、繰り返しの使用に耐える材質で構成されている。例えば、弁体53としてはステンレス製、シール部材51としてはβ系チタン合金製のものを採用できる。図２２，２３中、符号54は可動中板52を支持するシャフト、55はシャフト54の上下動をガイドするガイド部、56はベローズ、57はハウジング、58はアクチュエータである。
【００７４】
なお、材料蒸発部８に直接シール部材51を設けず、材料蒸発部８に開口フランジを取り付け、この開口フランジにシール部材51を設ける構成としても良い。
【００７５】
可動中板52には、実施例２と同様、可動中板52の長手方向に延びる二条の蒸気通過部59が設けられている。従って、材料蒸発部８の開口部49を開放した状態では、シャフト54間及び蒸気通過部59を介して拡散室18の上部の噴出口11から蒸気が噴射されることになる。
【００７６】
また、拡散室18の側周面には、加熱部としてのシースヒータ61が巻回状態で配設されている。蒸着材料は材料蒸発部８で加熱され、気化し、蒸気通過部59を通過して、噴出口11から蒸気として噴出される。このとき蒸気が低温の部分を通過すると、蒸着材料が析出し、噴出口11、蒸気通過部59を塞いでしまうおそれがある。このような析出を防ぐため、各蒸気噴出部５，６内部は使用する蒸着材料の物性値に合わせて２００〜５００℃に加熱される。
【００７７】
また、実施例２と同様、拡散室18の上方に噴出口11からの蒸気が基板１に付着することを阻止するシャッタ62を設けている。即ち、図２３に図示したように、蒸気噴出部５，６からの蒸気の噴出を停止する際、閉塞部13だけでなく、このシャッタ62を併用することで、閉塞部13により材料蒸発部８の開口部49を閉塞した際に拡散室18内に残留していた蒸気が基板１に付着することを阻止する。よって、蒸気の噴出及び遮断の切り替えを迅速に行うことができる。
【００７８】
従って、実施例３は、第一蒸気噴出部５及び第二蒸気噴出部６のアクチュエータ58によりシャフト54を上下動させ、可動中板52及び弁体39をシール部材51に対して接離動させることで、材料蒸発部８の各開口部49の開放閉塞を制御する。第一蒸気噴出部５側の開口部49を開放し、第二蒸気噴出部６側の開口部49を閉塞するか、若しくは、第一蒸気噴出部５側の開口部49を閉塞し、第二蒸気噴出部６側の開口部49を開放することで、第一蒸着領域２及び第二蒸着領域３いずれか一方の基板１に対して選択的に蒸着を行うことができる。
【００７９】
その余は実施例１と同様である。
【００８０】
なお、本発明は、実施例１〜３に限られるものではなく、各構成要件の具体的構成は適宜設計し得るものである。
【符号の説明】
【００８１】
１  基板
２  第一蒸着領域
３  第二蒸着領域
４  蒸着室
５  第一蒸気噴出部
６  第二蒸気噴出部
７  蒸発源
８  材料蒸発部
９  蒸気流通路
10  蒸気噴出部切替手段
12  遮断部
13  閉塞部
14  基板搬送室
15  相対移動機構
【図１】
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【図２】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図２０】
2014088591.tif 000012
【図２１】
2014088591.tif 000013
【図２２】
2014088591.tif 000014
【図２３】
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【図３】
2014088591.tif 000016
【図７】
2014088591.tif 000017
【図８】
2014088591.tif 000018
【図９】
2014088591.tif 000019
【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
2014088591.tif 000022
【図１３】
2014088591.tif 000023
【図１４】
2014088591.tif 000024
【図１９】
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