(57)【要約】【課題】オゾン発生装置において、電源出力の高効率化を図る。【解決手段】実施形態のオゾン発生装置用電源は、乾燥空気、酸素、酸素と窒素の混合ガスなどの酸素を含むガスを原料ガスとし、高圧電極と低圧電極との間に誘電体を介して高電圧を印加し、発生する放電によりオゾンを生成するオゾン発生装置に用いられる。コンバータは、入力交流電力を直流電力に変換してインバータに出力する。インバータは、コンバータの出力電力を変換して、放電のための電力を供給する。電圧検出部は、インバータの出力電圧を検出し、電流検出部は、放電により流れる電流を検出する。制御部は、検出した電圧及び電流に基づいて、インバータの周波数を制御し、電流の位相を前記電圧の位相と同じか、電流の位相を電圧の位相より進み位相に保つ。【選択図】図３
2014189455.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
乾燥空気、酸素、酸素と窒素の混合ガスなどの酸素を含むガスを原料ガスとし、高圧電極と低圧電極との間に誘電体を介して高電圧を印加し、発生する放電によりオゾンを生成するオゾン発生装置に用いられるオゾン発生装置用電源であって、
入力交流電力を直流電力に変換するコンバータと、
前記コンバータの出力電力を変換して、前記放電のための電力を供給するインバータと、
前記インバータの出力電圧を検出する電圧検出部と、
前記放電により流れる電流を検出する電流検出部と、
前記検出した電圧及び電流に基づいて、前記インバータの周波数を制御し、前記電流の位相を前記電圧の位相と同じか、電流の位相を電圧の位相より進み位相に保つ制御部と、
を備えたオゾン発生装置用電源。
【請求項２】
前記制御部は、前記検出した電圧及び電流に基づいて、前記コンバータの出力電圧を制御する、
請求項１記載のオゾン発生装置用電源。
【請求項３】
前記制御部は、前記検出した電圧及び電流に基づいて、前記インバータの出力パルスの幅を制御する、
請求項１記載のオゾン発生装置用電源。
【請求項４】
前記インバータの出力電圧を昇圧するトランスと、
トランスの二次側出力ラインに直列あるいは並列に接続されたコイルと、を備え、
前記制御部は、前記トランスの皮相電力を低減する
請求項１乃至請求項３のいずれかに記載のオゾン発生装置用電源。
【請求項５】
前記制御部は、前記検出した電圧の位相及び電流の位相を測定する位相測定部と、
前記測定した電圧の位相及び電流の位相に基づいて、力率＝１に保持する、
請求項１乃至請求項４のいずれかに記載のオゾン発生装置用電源。
【請求項６】
前記高圧電極及び前記低圧電極は円筒形状とされ、所定の放電ギャップを介して同軸に配置されている、
請求項１乃至請求項５のいずれかに記載のオゾン発生装置用電源。
【請求項７】
乾燥空気、酸素、酸素と窒素の混合ガスなどの酸素を含むガスを原料ガスとしてオゾンを生成するオゾン発生装置であって、
高圧電極と、
低圧電極と、
前記高電圧電極と前記低電圧電極との間に誘電体を介して高電圧を印加し、放電を発生させる電源と、を備え、
前記電源は、入力交流電力を直流電力に変換するコンバータと、
前記コンバータの出力電力を変換して、前記放電のための電力を供給するインバータと、
前記インバータの出力電圧を検出する電圧検出部と、
前記放電により流れる電流を検出する電流検出部と、
前記検出した電圧及び電流に基づいて、前記インバータの周波数を制御し、前記電流の位相を前記電圧の位相と同じか、電流の位相を電圧の位相より進み位相に保つ制御部と、
を備えたオゾン発生装置。
【請求項８】
前記高電圧電極に対向する前記低電圧電極の内周面に、当該低電圧電極を前記高電圧電極に対し同軸に保持し、前記放電ギャップを保持するための複数の突起を有する突起群が設けられている、
請求項７記載のオゾン発生装置。
【請求項９】
前記放電ギャップの長さが０．５ｍｍ以下とされている、
請求項７または請求項８記載のオゾン発生装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、オゾン発生装置用電源及びオゾン発生装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的なオゾン発生装置は、気密容器内に配置された誘電体電極と金属電極とを備え、誘電体電極と金属電極との間には放電ギャップを形成するためのスペーサが挿入されている。ここで、誘電体電極の内面には導電膜が設けられている。
【０００３】
このようなオゾン発生装置において、ガス入口から気密容器内に導入された原料ガスは、誘電体電極と金属電極との間に形成された放電ギャップを流れ、ガス出口から流出される。
【０００４】
この原料ガスの導入と並行して誘電体電極と金属電極との間に高圧電源から交流高電圧をヒューズおよび高圧給電端子を介して印加すると、放電ギャップに誘電体バリア放電が形成され、オゾンが発生する。なお、誘電体バリア放電は単にバリア放電、あるいは無声放電と呼ばれることもある。
【０００５】
この誘電体バリア放電で発生する熱は、金属電極と気密容器とで形成された冷却水流路内に供給される冷却水により冷却される。これにより、放電ギャップのガス温度上昇を抑制し、効率的にオゾンが得られることとなっていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平１０−１８２１０９号公報
【特許文献２】特許第４１０８１０８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、従来のオゾン発生装置において用いられルオゾン発生装置用電源においては、力率を１にするための制御を行っても、出力変化時にはコイルを含めた負荷条件が誘導性負荷あるいは容量性負荷に変化していくことになり、必ずしも電源出力の高効率化が図れるものではなかった。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
実施形態のオゾン発生装置用電源は、乾燥空気、酸素、酸素と窒素の混合ガスなどの酸素を含むガスを原料ガスとし、高圧電極と低圧電極との間に誘電体を介して高電圧を印加し、発生する放電によりオゾンを生成するオゾン発生装置に用いられる。
コンバータは、入力交流電力を直流電力に変換してインバータに出力する。インバータは、コンバータの出力電力を変換して、放電のための電力を供給する。
【０００９】
電圧検出部は、インバータの出力電圧を検出し、電流検出部は、放電により流れる電流を検出する。
これらと並行して、制御部は、検出した電圧及び電流に基づいて、インバータの周波数を制御し、電流の位相を前記電圧の位相と同じか、電流の位相を電圧の位相より進み位相に保つ。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】図１は、実施形態のオゾン発生装置の概要構成断面図である。
【図２】図２は、実施形態のオゾン発生装置におけるオゾン発生原理説明図である。
【図３】図３は、オゾン発生装置における電源系統の説明図である。
【図４】図４は、従来のオゾン発生装置において、放電部に流れる電流を定格出力（１００％）から下げたときの電圧、電流の時間変化を説明する図である。
【図５】図５は、実施形態にかかるオゾン発生装置の特性を説明する図である。
【図６】図６は、実施形態にかかるオゾン発生装置の特性を表す図である。
【図７】図７は、ガス圧が０．２６ＭＰａと０．１７ＭＰａのときの放電ギャップに対するオゾン発生効率を説明する図である。
【図８】図８は、放電ギャップ長ｄを０．４ｍｍとしたときの電圧、電流波形を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
次に実施形態について図面を参照して説明する。
図１は実施形態のオゾン発生装置の概要構成断面図である。
実施形態のオゾン発生装置１０は、誘電体バリア放電式のオゾン発生装置として構成されている。
【００１２】
オゾン発生装置１０は、大別すると、オゾン発生装置本体１１と、オゾン発生装置本体１１を気密状態で収納する収納容器１２と、商用交流電源Ｃからの電力供給を受けて、収納容器１２内のオゾン発生装置本体１１に高圧碍子１３を介して、オゾン発生用電力を供給するオゾン発生装置用電源１４と、を備えている。
【００１３】
収納容器１２内のオゾン発生装置本体１１は、高圧碍子１３に電気的に接続された接続板１５及びヒューズ１６を介してオゾン発生装置用電源１４からオゾン発生用電力が供給される複数の誘電体電極１７と、誘電体電極１７の外周面のそれぞれに対向して、所定の放電ギャップ長ｄが保たれて同軸状態に保持された円筒状かつステンレス鋼製の金属電極１８が配置されている。
ここで、誘電体電極１７は、図１中、左右の両方向から金属電極１８内に同軸に挿入されている。さらに誘電体電極１７には、高圧電源が供給されているので、高電位側電極として機能している。
【００１４】
また、金属電極１８の誘電体電極１７の対向している面とは逆の面側には、金属電極１８と一体に冷却水流路１９が形成されており、全体として、蜂の巣状の金属電極集合体１８Ａをなしている。ここで、金属電極集合体１８Ａは、接地されており、金属電極１８は低電位側電極として機能している。
【００１５】
この金属電極１８の背面に設けられた冷却水流路１９は、収納容器１２に設けられた冷却水が導入される冷却水入口２１と冷却水が導出される冷却水出口２２との間に配置されている。
【００１６】
さらに収納容器１２には、原料ガスが導入されるガス入口２３及び未反応の原料ガス及びオゾン（Ｏ３）が導出されるガス出口２４が設けられている。
【００１７】
図２は、実施形態のオゾン発生装置におけるオゾン発生原理説明図である。
上述したように、収納容器１２内には、円筒状の誘電体電極１７が配置されている。この誘電体電極１７の外周面に対向して、所定の放電ギャップＧの長さである放電ギャップ長ｄが保たれた状態で円筒状の金属電極１８が配置されている。
【００１８】
ここで、誘電体電極の詳細構成について説明する。
誘電体電極１７は、耐熱性および耐電圧性を有する誘電体として、熱膨張係数の小さい石英ガラス等で形成された円筒状（試験管状）に形成された円筒状誘電体２５を備えている。円筒状誘電体２５の内周面には、導電電極（高電位側電極）としての電極皮膜層２６が形成されている。この電極皮膜層２６には、ヒューズ１６を介してオゾン発生装置用電源に接続された高圧給電端子２７が接続されている。
【００１９】
上記構成において、円筒状誘電体２５は、石英ガラス、ホウケイ酸ガラス、高ケイ酸ガラス、アルミのケイ酸ガラス、セラミックスなどにより形成する。
また電極皮膜層２６は、金、銀、銅、ステンレス、クロム、錫、亜鉛、ニッケルカーボンあるいはアルミニウムをスパッタリング、溶射、蒸着、無電解メッキ、電解メッキ、塗料塗布などにより形成される。
【００２０】
上記構成において、放電ギャップ長ｄの距離に相当する放電ギャップ長ｄは、従来の一般的なオゾン発生装置の放電ギャップ長である０．６ｍｍよりも短い０．３ｍｍ〜０．５ｍｍに設定されている。
【００２１】
次に、ギャップ長ｄ＝０．３０ｍｍ〜０．５０ｍｍに設定するために金属電極１８への突起３１の形成方法について詳細に説明する。
以下の説明においては、実験結果に基づいて、放電ギャップ長ｄの範囲内において、オゾン収率がより高かった放電ギャップ長ｄ＝０．４０ｍｍの場合を主として説明する。
【００２２】
本実施形態の金属電極１８を形成するに際しては、ステンレス管の内周面に例えば、４個の凸状の突起３１を形成する。
【００２３】
そして４個の突起３１の先端に内接する内接円の直径Ｄを、放電管としての誘電体電極１７の直径より少し大きくする。これに円筒状の誘電体電極１７を挿入することにより、４個の突起３１により放電ギャップ長ｄが所望の値（上述の例の場合０．４ｍｍ）になる。
上述したように、誘電体電極１７は、内周面（内側）に電極皮膜層２６が形成された管状（試験管状）の誘電体（ガラスあるいはセラミック）である。
【００２４】
図３は、オゾン発生装置における電源系統の説明図である。
オゾン発生装置１０のオゾン発生装置用電源１４は、オゾン発生装置用電源１４全体を制御するコントローラ１４Ａと、コントローラ１４Ａの制御下で商用交流電源Ｃから供給された商用周波数の３相交流（ＡＣ）電力を交流／直流変換するＤＣ（直流）ＤＣコンバータ１４Ｃと、コントローラ１４Ａの制御下でＤＣコンバータ１４Ｃの出力電力を直流／交流変換するインバータ１４ＩＶと、インバータ１４ＩＶの出力電圧を昇圧するトランスＴＲと、オゾン発生装置１０の放電部（放電回路部）の等価回路１０Ａの容量成分を打ち消すようにトランスＴＲの二次側出力に直列（あるいは、並列）に接続されたコイルＣＬと、トランスＴＲの出力電圧Ｖｒｅｓを検出し、コントローラ１４Ａに通知する電圧検出部１４Ｖと、オゾン発生装置１０の放電部に流れる電流Ｉを検出し、コントローラ１４Ａに通知する電流検出部１４Ｉと、を備えている。
【００２５】
オゾン発生装置１０の放電部の等価回路１０Ａは、誘電体電極（高圧電極）１７の静電容量Ｃｇと、放電ギャップＧに対応する静電容量Ｃｏと、の直列接続となる。そして放電ギャップ電圧Ｖｏが放電維持電圧Ｖ＊を越えると放電ギャップＧ（図２参照）にバリア放電が生成する。バリア放電は定電圧特性をもつため、放電中は放電維持電圧Ｖ＊が保持（維持）される。
【００２６】
このような特性はツエナー・ダイオードの降伏電圧（の特性）が放電維持電圧Ｖ＊と同じ（同様）であるため、放電の等価回路はツエナー・ダイオードで表される。放電部はこのように容量性負荷のため、力率を１に近づけるために放電部の容量を打ち消すようにコイルＣＬが直列（図３の例）あるいは並列に接続される。
【００２７】
ここで、実施形態の説明に先立ち、従来技術の問題点について説明する。
従来のオゾン発生装置では、スペーサと呼ばれる別部材を用いて放電ギャップＧを形成していたため、放電ギャップ長ｄは０．６ｍｍ〜１．３ｍｍとなっていた。また、原料ガスである空気のガス圧ｐは０．１７〜０．２８ＭＰａ（絶対圧）であった。
オゾン発生装置を用いて形成されたオゾンあるいはオゾン水は、例えば水処理技術などに適用され、処理されるべき水の脱臭、脱色、及び殺菌等に使用していた。
【００２８】
この場合において、オゾンと水の接触方法として散気管方式を用いた場合には、必要となるオゾンガス圧は、０．１７ＭＰａ程度であり、オゾンと水の接触方法としてＵチューブ方式を用いた場合には、必要となるオゾンガス圧は０．２６ＭＰａ程度となる。
【００２９】
図４は、従来のオゾン発生装置において、放電部に流れる電流を定格出力（１００％）から下げたときの電圧、電流の時間変化を説明する図である。
図４において、％表示は電流Ｉの定格出力に対するパーセント表示である。
従来のオゾン発生装置においては、放電部の静電容量（＝図３におけるＣｇ＋Ｃｏ）とコイル（図３におけるコイルＣＬ）が共振状態にあるため、電流Ｉはほぼ正弦波となる。
【００３０】
また従来のオゾン発生装置における印加電圧Ｖｏｐはややひしゃげた正弦波である。
さらに放電ギャップ電圧Ｖｏは、放電中は定電圧特性であり、放電維持電圧Ｖ＊を下回ると静電容量Ｃｏに流れる電流による正弦波電圧波形となる。
【００３１】
コイルＣＬを含めた回路全体の電圧Ｖｒｅｓは、ピーク電圧は電流よりやや遅れ位相であり、ゼロ電圧では電流と同位相となっている。図４（ｂ）及び図４（ｃ）に示すように、出力を８０％、６０％と下げても傾向は変わらず、ピーク電圧は遅れ位相、ゼロ電圧では同位相となる。
【００３２】
ここで、電流Ｉの位相と電圧Ｖｒｅｓの位相とが同位相であることは、力率１であることに対応する。これに対し、電流Ｉの位相が電圧Ｖｒｅｓの位相に対して遅れている遅れ位相は、オゾン発生装置の放電部が誘導性負荷であることを表している。
【００３３】
そして、図４（ｄ）に示すように、放電部に流れる電流出力を４０％に下げるとピーク電圧、ゼロ電圧ともに進み位相になる。図４（ｅ）に示すように、出力３０％では放電ギャップ電圧Ｖｏは放電維持電圧Ｖ＊以下となるため、放電しておらず、ピーク電圧、ゼロ電圧ともに進み位相になり、オゾン発生装置の放電部は容量性負荷となる。このように従来のオゾン発生装置では力率１制御を行っても、出力変化時にはコイルＣＬを含めた負荷条件が誘導性負荷あるいは容量性負荷に変化していくものであった。
【００３４】
次に実施形態について説明する。
図５は、実施形態にかかるオゾン発生装置の特性を説明する図である。
実施形態のオゾン発生装置１０におけるオゾン発生条件は、空気原料からのオゾン発生で、電力密度３ｋＷ／ｍ２、冷却水温３２℃、ガス圧０．２６ＭＰａである。
【００３５】
図５に示すように放電ギャップ長ｄを従来の０．９ｍｍ（図５中、グラフＰ２）、０．６ｍｍ（図５中、グラフＰ１）から、本実施形態の放電ギャップ長ｄ＝０．５ｍｍ（図５中、グラフＣ）、０．４ｍｍ（図５中、グラフＢ）、０．２ｍｍ（図５中、グラフＡ）と、短くするとオゾン濃度の最大値である飽和オゾン濃度は上昇していく。実用的なオゾン濃度である４０ｇ／Ｎｍ３ではオゾン発生効率はピークがあり、その値は放電ギャップ長ｄ＝０．４ｍｍである。
【００３６】
図６は、実施形態にかかるオゾン発生装置の特性を表す図である。
条件は酸素原料からのオゾン発生で、電力密度３ｋＷ／ｍ２、冷却水温３２℃、ガス圧０．１７ＭＰａである。
【００３７】
放電ギャップ長を従来の１．０ｍｍ（図６中、グラフＰ２）、０．６ｍｍ（図６中、グラフＰ１）から、０．５ｍｍ（図６中、グラフＤ）、０．４ｍｍ（図６中、グラフＣ）、０．２ｍｍ（図６中、グラフＢ）、０．１ｍｍ（図６中、グラフＡ）と短くするとオゾン濃度の最大値である飽和オゾン濃度は上昇していく。実用的なオゾン濃度である１５０ｇ／Ｎｍ３ではオゾン発生効率はピークがあり、その値は放電ギャップ長ｄ＝０．２〜０．３ｍｍである。
【００３８】
図７は、ガス圧が０．２６ＭＰａと０．１７ＭＰａのときの放電ギャップに対するオゾン発生効率を説明する図である。
図７においては、酸素原料および空気原料の場合の結果が示されている。
【００３９】
すなわち、空気原料、酸素原料ともに、従来の０．６ｍｍ乃至０．９ｍｍ放電ギャップ（図７中、波線グラフ）より効率は有意に高く、０．５ｍｍ以下にすることで、高効率でオゾンが発生されていることがわかる。
【００４０】
ところで、放電ギャップ長を０．５ｍｍ以下の短ギャップとするためには電源の駆動を特別な条件にする必要がある。
【００４１】
図８は、放電ギャップ長ｄを０．４ｍｍとしたときの電圧、電流波形を説明する図である。
図８（ａ）に示すように、定格電流出力（１００％）では放電部（１０Ａ）の静電容量とコイルＣＬが共振状態にあるため、電流Ｉは、ほぼ正弦波となる。オゾン発生装置１０の印加電圧Ｖｏｐはややひしゃげた正弦波である。コイルＣＬを含めた回路全体の電圧Ｖｒｅｓは、ピーク電圧は電流とほぼ同位相であり、力率１とする制御が行えていることがわかる。
また、図８（ｂ）に示すように、電流出力を８０％に下げると、電流Ｉはピーク電圧に対しては進み位相になり、ゼロ電圧は電流と同位相である。
【００４２】
また、図８（ｃ）に示すように、出力を６０％に下げるとピーク電圧、ゼロ電圧ともに進み位相になる。つまり、オゾン発生装置の放電部は容量性負荷となるように制御されている。
さらに図８（ｄ）に示すように、出力５０％では放電ギャップ電圧Ｖｏは放電維持電圧Ｖ＊以下となるため、放電は点弧しておらず、ピーク電圧、ゼロ電圧ともに進み位相になり、オゾン発生装置の放電部は容量性負荷となる。
【００４３】
このように、出力変化時にはコイルを含めた負荷条件が抵抗性負荷から容量性負荷に変化していくものである。つまり、より小さな放電ギャップ長領域では、容量性負荷であるオゾン発生装置の放電負荷に直列あるいは並列に接続したコイルを共振させて力率を１近くで駆動できるオゾン発生装置において、電源からコイルを含めた電圧と電流の位相を抵抗性から容量性に保つ、つまり電流の位相を電圧の位相と同じか、電流の位相を電圧の位相より進み位相に保った状態で出力変動することにより、高効率に電源出力を変化させることが可能となる。
【００４４】
また、図１に示す本発明の実施例では、トランスで昇圧した後、オゾン発生装置に高周波電圧を接続する構成であり、直列あるいは並列に接続するコイルを前記トランスの２次側に接続することでトランスのＫＶＡ容量を低減し、効率を高く維持することが可能である。
【００４５】
力率＝１とする制御方法として、コントローラ１４Ａは、トランスＴＲの２次側の電圧Ｖｒｅｓを電圧検出部１４Ｖにより検出し、電流Ｉを電流検出部１４Ｉにより検出し、電圧Ｖｒｅｓの位相及び電流Ｉの位相を測定し、力率を１近くに保持するように、インバータの周波数に対応する電源周波数に設定し、効率を高く維持することができる。
【００４６】
以上の説明のように、オゾン発生装置用電源１４は、容量性負荷であるオゾン発生装置の放電部（放電負荷）に直列あるいは並列に接続したコイルＣＬを共振させて力率を１近くで駆動できるオゾン発生装置１０において、電源からコイルを含めた電圧と電流の位相を抵抗性から容量性に保つ、つまり電流の位相を電圧の位相と同じか、電流の位相を電圧の位相より進み位相に保った状態で出力変動することにより、高効率に電源出力を変化させることが可能となる。さらに、トランスＴＲの２次側の電圧、電流の位相を測定することで力率を１近くに保持する電源周波数に設定し、効率を高く維持することができる。
【００４７】
この場合において、トランスＴＲで昇圧した後、オゾン発生装置１０の放電部にに高周波電圧を接続する構成を採っているので、トランスＴＲの二次側出力にコイルＣＬを直列あるいは並列に接続する構成とすることでトランスのＫＶＡ（皮相電力）容量を低減し、効率を高く維持することが可能となっている。
【００４８】
また、トランスＴＲの２次側の電圧、電流の位相を測定することで力率を１近くに保持する電源周波数に設定し、効率を高く維持するオゾン発生装置用電源が提供される。
このように本実施形態によれば、従来と比較して良好なオゾン発生効率を得られるオゾン発生装置を効率よく駆動する電源を得ることが可能となる。
【００４９】
以上の説明では、主として、インバータ１４ＩＶの周波数をコントローラ１４Ａにより制御する場合について説明したが、電力量を制御する場合には、ＤＣコンバータ１４Ｃの電圧をインバータ１４ＩＶの周波数の制御と並行して行うようになっている。
また、トランスＴＲのＫＶＡを制御するに際しては、インバータ１４ＩＶの周波数制御に加えて、パルス幅制御を行うようにするのが有効である。
以上の説明においては、高電圧電極（誘電体電極）と、低電圧電極（金属電極）と、が円筒状の形状を有し、両者が同軸に配置されている場合について説明したが、いずれも平板電極とし、互いに並行に配置する構成を採ることも可能である。
【００５０】
以上、本発明の実施形態について説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００５１】
１０    オゾン発生装置
１０Ａ  等価回路
１１    オゾン発生装置本体
１２    収納容器
１３    高圧碍子
１４    オゾン発生装置用電源
１４Ａ  コントローラ
１４Ｃ  ＤＣコンバータ（コンバータ）
１４Ｉ  電流検出部
１４ＩＶ  インバータ
１４Ｖ  電圧検出部
１７    誘電体電極（高圧電極）
１８    金属電極（低圧電極）
１８Ａ  金属電極集合体
１９    冷却水流路
２５    円筒状誘電体
２６    電極皮膜層
２７    高圧給電端子
３１    突起
Ｃ      商用交流電源
ＣＬ    コイル
Ｇ      放電ギャップ
Ｉ      電流
ＴＲ    トランス
Ｖ＊      放電維持電圧
Ｖｏ    放電ギャップ電圧
Ｖｏｐ  印加電圧
Ｖｒｅｓ  出力電圧
ｄ      放電ギャップ長
【図１】
2014189455.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2014189455.tif 000009
【図８】
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