(57)【要約】【課題】  従来のＥＧＲ制御弁は、軸受に対する凝縮水の浸入防止手段として高価なＰＴＦＥシールを採用しているので、部品点数や組付工数が多く、コストアップという課題があった。【解決手段】  ＥＧＲ制御弁は、ハウジング４の絞り壁６５の内周との間にクリアランス部６２を形成する出力シャフト５の第１突出軸部４１または径大軸部４３に、出力シャフト５の周囲のＡ点とＢ点の圧力差を平準化するための少なくとも１つ以上の径方向孔７１を設けている。これによって、ハウジング４の絞り壁６５の内周と出力シャフト５の第１突出軸部４１の外周との間に形成されるクリアランス部６２におけるシャフト周方向の圧力差がなくなる。この理由により、高価なＰＴＦＥシールを廃止しても、ハウジング４の流路孔２２、２３から軸受孔６１内に凝縮水が浸入しない。【選択図】  図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）内燃機関に連通する流路（２１〜２３）、およびこの流路（２１〜２３）の壁面で開口し、この開口側から奥側へ延びる軸受孔（６１）を有するハウジング（４、６５）と、
（ｂ）このハウジング（４、６５）の内部に収容されて、前記流路（２１〜２３）を開閉するバルブ（１）と、
（ｃ）前記軸受孔（６１）内に嵌挿されて、前記バルブ（１）を支持するシャフト（５、４１、４３）を有し、
前記シャフト（５、４１、４３）を回転駆動して前記バルブ（１）を開閉動作させるアクチュエータと、
（ｄ）前記軸受孔（６１）の奥側に収容されて、前記シャフト（５、４１、４３）を回転方向に摺動可能に支持する軸受（２５、２６）と
を備えた流体制御弁において、
前記ハウジング（４、６５）または前記シャフト（５、４１、４３）は、前記軸受（２５、２６）よりも前記軸受孔（６１）の開口側に設けられて、前記軸受孔（６１）の開口側から前記軸受孔（６１）の奥側または前記軸受（２５、２６）側への浸水を防ぐための浸水防止手段（７１、７２、８１〜８４、９１、９２）を有していることを特徴とする流体制御弁。
【請求項２】
請求項１に記載の流体制御弁において、
前記軸受（２５、２６）よりも前記軸受孔（６１）の開口側に収容されて、前記ハウジング（４、６５）の内周と前記シャフト（５、４１、４３）の外周との間を密閉する環状のシール（２４）を備えたことを特徴とする流体制御弁。
【請求項３】
請求項２に記載の流体制御弁において、
前記浸水防止手段（７１、７２、８１〜８４、９１、９２）は、前記シール（２４）または前記軸受（２５、２６）と非接触となるように配置されていることを特徴とする流体制御弁。
【請求項４】
請求項１ないし請求項３のうちのいずれか１つに記載の流体制御弁において、
前記浸水防止手段（７１、７２、８１〜８４、９１、９２）は、前記ハウジング（４、６５）の内周と前記シャフト（５、４１、４３）の外周との間に形成される筒状のクリアランス部（６２）に対応して設けられていることを特徴とする流体制御弁。
【請求項５】
請求項４に記載の流体制御弁において、
前記浸水防止手段（７１、７２、８１〜８４、９１、９２）は、前記シャフト（５、４１、４３）の周方向に圧力勾配分布が発生する前記クリアランス部（６２）に対応して設けられていることを特徴とする流体制御弁。
【請求項６】
請求項１ないし請求項５のうちのいずれか１つに記載の流体制御弁において、
前記浸水防止手段は、前記シャフト（５、４１、４３）の直径方向の両側を連通する連通路（７１、７２）を有していることを特徴とする流体制御弁。
【請求項７】
請求項６に記載の流体制御弁において、
前記連通路は、前記シャフト（５、４１、４３）の径方向に延びると共に、前記シャフト（５、４１、４３）を貫通する少なくとも１つの径方向孔（７１、７２）を有していることを特徴とする流体制御弁。
【請求項８】
請求項１ないし請求項７のうちのいずれか１つに記載の流体制御弁において、
前記浸水防止手段とは、前記ハウジング（４、６５）の内周面または前記シャフト（５、４１、４３）の外周面に付与される撥水性の表面処理（８１、８２）のことであることを特徴とする流体制御弁。
【請求項９】
請求項１ないし請求項８のうちのいずれか１つに記載の流体制御弁において、
前記浸水防止手段は、前記軸受孔（６１）の開口側から前記軸受孔（６１）の奥側または前記軸受（２５、２６）側への浸水を妨げる堰（８３）を有していることを特徴とする流体制御弁。
【請求項１０】
請求項９に記載の流体制御弁において、
前記堰（８３）は、前記シャフト（５、４１、４３）の周囲を周方向に取り囲むように設置されて、前記ハウジング（４、６５）の内周面または前記軸受孔（６１）の壁面から前記シャフト（５、４１、４３）の外周面側へ突出する環状の突条リブを有していることを特徴とする流体制御弁。
【請求項１１】
請求項９または請求項１０に記載の流体制御弁において、
前記浸水防止手段は、前記軸受孔（６１）の壁面と前記堰（８３）の頂き部分との間に形成される環状の微小隙間（８４）を有し、
前記微小隙間（８４）は、前記軸受孔（６１）の開口側から前記軸受孔（６１）の奥側または前記軸受（２５、２６）側への凝縮水の浸入をし難くするクリアランスシールを構成することを特徴とする流体制御弁。
【請求項１２】
請求項１ないし請求項１１のうちのいずれか１つに記載の流体制御弁において、
前記浸水防止手段は、前記ハウジング（４、６５）の内周面で開口し、且つ前記軸受孔（６１）の周方向に延びる凹溝（９１）を有していることを特徴とする流体制御弁。
【請求項１３】
請求項１ないし請求項１２のうちのいずれか１つに記載の流体制御弁において、
前記浸水防止手段は、前記シャフト（５、４１、４３）の外周面で開口し、且つ前記シャフト（５、４１、４３）の周方向に延びる凹溝（９２）を有しているを有していることを特徴とする流体制御弁。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ボールベアリングやメタルブッシュ等の軸受を収容する軸受孔が流路の壁面で開口した流体制御弁に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
［従来の技術］
従来より、内燃機関（エンジン）から排出される排気ガスを制御する流体制御弁の一例として、排気管から排気還流管を経て吸気管へ還流するＥＧＲガスの流量を制御するＥＧＲ制御弁が公知である。
【０００３】
このＥＧＲ制御弁は、図１２に示したように、ハウジング１０１に形成された流路孔１０２を開閉するバルブ１０３と、このバルブ１０３と一体回転可能に連結したシャフト１０４を有し、このシャフト１０４を回転駆動してバルブ１０３を開閉動作させるアクチュエータと、バルブ１０３を閉弁方向に付勢するリターンスプリング１０５と、シャフト１０４を回転可能に支持する軸受（メタルブッシュ１０６、ボールベアリング１０７）と、ハウジング１０１の内周とシャブト１０４の外周との間を密閉（封止）する環状のオイルシール１０８、１０９とを備えている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
ハウジング１０１には、バルブ１０３およびシャフト１０４の回転軸方向に延びる軸受孔１１０が形成されている。この軸受孔１１０の軸線方向の一端側（バルブ側）は、流路孔１０２の壁面で開口している。また、軸受孔１１０は、メタルブッシュ１０６、ボールベアリング１０７およびオイルシール１０８、１０９を収容する軸受収容孔１１１、およびハウジング１０１の内周とシャフト１０４の外周との間のクリアランスのうちで最も小さい（狭い）最小クリアランス部１１２を備えている。
【０００５】
ところで、メタルブッシュ１０６の内部には、シャフト１０４の外周面（摺動面）を回転方向に摺動自在に軸支する摺動孔が貫通形成されている。また、メタルブッシュ１０６の外環部は、軸受孔１１０の途中に設けられる圧入孔に圧入固定されている。
また、ボールベアリング１０７よりもメタルブッシュ１０６の方が、シャフト１０４に対するラジアル隙間（摺動クリアランス）が大きいため、従来設計では、ボールベアリング１０７に対してメタルブッシュ１０６を所定の軸方向距離を隔てて離間配置することにより、シャフト１０４の軸振れが抑制されるように構成されている。
【０００６】
ところが、従来のＥＧＲ制御弁では、オイルシール１０９よりも軸受孔１１０の開口側または流路孔側にメタルブッシュ１０６を配置していると共に、軸受孔１１０が流路孔１０２の壁面で開口して流路孔１０２と連通しているため、流路孔１０２を流れるＥＧＲガス中に含まれる異物が軸受孔１１０内に侵入する可能性がある。
軸受孔１１０内に異物が侵入すると、シャフト１０４の摺動面とメタルブッシュ１０６の摺動孔の壁面との間に形成される摺動クリアランスに異物が噛み込む可能性がある。仮に摺動クリアランスに異物が噛み込んでしまうと、メタルブッシュ１０６に対するシャフト１０４の摺動抵抗が大きくなる。これにより、シャフト１０４の回転運動が妨げられてバルブ１０３やシャフト１０４の動作不能または動作不良が発生する可能性がある。
そこで、特許文献１に記載のＥＧＲ制御弁では、メタルブッシュ１０６よりも流路孔側にオイルシール１０８を設置することにより、上記の不具合を解消している。
【０００７】
［従来の技術の不具合］
ところで、排気管からＥＧＲ制御弁の流路孔１０２を経由して吸気管へ還流するＥＧＲガス中には、多量の水分（水蒸気）が含まれている。このため、ＥＧＲ制御弁の上流側または下流側にＥＧＲガスを冷却するＥＧＲクーラが設けられている場合、ＥＧＲクーラによってＥＧＲガスが冷やされ、ＥＧＲガス中の水分が凝縮して凝縮水が発生する。また、ＥＧＲガスは、エンジンに吸入される外気、つまり吸気と混合される際に、吸気との温度差により凝縮水が発生する。
このとき、ＥＧＲ制御弁のハウジング１０１内に流入した凝縮水は、ＥＧＲ制御弁のバルブ１０３付近で滞留する。そして、バルブ１０３付近で滞留していた凝縮水は、シャフト１０４を伝って軸受孔１１０内に浸入する可能性がある。
【０００８】
ここで、ＥＧＲ制御弁等の流体制御弁において、シャフト１０４をアクチュエータで回転駆動してバルブ１０３の回転角度が所定の角度範囲内にあるとき、シャフト１０４の周方向に圧力勾配分布（圧力差）が発生する構造が存在する（図１２参照）。
このような構造の場合、シャフト１０４の周方向における圧力差発生部位において大きな圧力差が生じると、圧力が高い方から圧力が低い方へ凝縮水が流れたり、圧力が低い負圧側に凝縮水が吸い込まれたりするため、軸受孔１１０内に凝縮水が吸い込まれて、メタルブッシュ１０６等の軸受側へ浸入する可能性がある。
このとき、仮にメタルブッシュ１０６よりも流路側に設置されているオイルシール１０８のシール性能が何らかの原因で低下していると、軸受孔１１０内に吸い込まれた凝縮水が、シャフト１０４の摺動面とオイルシール１０８のシールリップとの間を通り抜けてメタルブッシュ１０６に到達し、メタルブッシュ１０６を錆び付かせる可能性がある。このようにメタルブッシュ１０６に錆が発生すると、軸受としての性能が低下するため、シャフト１０４の動作不能または動作不良が発生する可能性がある。
【０００９】
そこで、シャフトを嵌挿すると共に、軸受を収容する軸受孔内への凝縮水の浸入を防止するという目的で、オイル（ダスト）シールとして撥水性に優れるＰＴＦＥシールにより液密的（気密的）に密閉シールするようにしたＥＧＲ制御弁が提案されている（例えば、特許文献２参照）。
しかし、ＰＴＦＥシールは、非常にコストが高く、しかも軸受孔に対してＰＴＦＥシールを組み付ける際にＰＴＦＥシール単体では軸受孔に組み付けることができず、金属製のホルダーやアタッチメント等の取付金具が複数必要となるので、軸受孔に対する組付工数や部品点数が多くなるという問題がある。
したがって、ＥＧＲ制御弁の製造コストが高くなるという問題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開２０１２−００２１５７号公報
【特許文献２】特開２０１０−０６５７２９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明の目的は、高価なＰＴＦＥシールを採用しなくても、軸受孔の開口側から軸受孔の奥側または軸受側への浸水を防止することのできる流体制御弁を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
請求項１に記載の発明によれば、ハウジングまたはシャフトに、軸受よりも軸受孔の開口側に設けられて、軸受孔の開口側から軸受孔の奥側または軸受側への浸水を防ぐための浸水防止手段を設けたことにより、高価なＰＴＦＥシールを採用しなくても、軸受孔の開口側から軸受孔の奥側または軸受側への浸水を防止することができる。
なお、シャフトの周方向に圧力勾配分布が発生する筒状のクリアランス部を有する場合には、そのクリアランス部に対応して浸水防止手段を設けることが望ましい。この場合、浸水防止手段をクリアランス部を形成するハウジングの内周またはシャフトの外周に設けたり、また、浸水防止手段をクリアランス部よりも流路側のハウジングの壁面またはシャフトの外周に設けたりしても構わない。
また、シャフトを回転方向に摺動可能に支持（軸支）するボールベアリングやメタルブッシュ等の軸受、およびシャフトの外周に接触してハウジングの内周とシャフトの外周との間を密閉（封止）するオイルシール等の接触（液密、気密）シールよりも軸受孔の開口側または流路側において、軸受およびオイルシールとの間に所定の軸方向距離を隔てて浸水防止手段を設ける（離間配置する）ことが望ましい。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】ＥＧＲ制御弁の全体構造を示した断面図である（実施例１）。
【図２】ＥＧＲ制御弁の全体構造を示した断面図である（実施例１）。
【図３】アクチュエータを示した平面図である（実施例１）。
【図４】ＥＧＲ制御弁の主要構造を示した断面図である（実施例１）。
【図５】ＥＧＲ制御弁の主要構造を示した断面図である（実施例１）。
【図６】ＥＧＲ制御弁の主要構造を示した断面図である（実施例１）。
【図７】ＥＧＲ制御弁の主要構造を示した断面図である（実施例２）。
【図８】ＥＧＲ制御弁の主要構造を示した断面図である（実施例３）。
【図９】ＥＧＲ制御弁の主要構造を示した断面図である（実施例４）。
【図１０】ＥＧＲ制御弁の主要構造を示した断面図である（実施例４）。
【図１１】ＥＧＲ制御弁の主要構造を示した断面図である（実施例４）。
【図１２】ＥＧＲ制御弁の全体構造を示した断面図である（従来の技術）。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の実施の形態を、図面に基づいて詳細に説明する。
【実施例】
【００１５】
［実施例１の構成］
図１ないし図６は、本発明の流体制御弁を適用したＥＧＲ制御弁（実施例１）を示したものである。
【００１６】
本実施例の内燃機関の排気装置は、例えば自動車等の車両に搭載される内燃機関（エンジン）の排気管から吸気管へ排気ガス（以下ＥＧＲガス）を再循環（還流）させる排気循環装置（以下ＥＧＲシステム）を備えている。
ＥＧＲシステムは、エキゾーストマニホールドまたは排気管内の排気通路からインテークマニホールドまたは吸気管内の吸気通路へＥＧＲガスを還流させるＥＧＲガスパイプを備えている。このＥＧＲガスパイプ内には、排気通路から吸気通路へＥＧＲガスを流入させるＥＧＲガス流路が形成されている。
【００１７】
ＥＧＲガスパイプには、ＥＧＲガス流路を流れるＥＧＲガスを冷却水と熱交換させて冷却するＥＧＲクーラ、およびこのＥＧＲクーラを通過したＥＧＲガス、あるいはＥＧＲクーラを迂回したＥＧＲガスの流量をバルブ１の開閉動作により制御するＥＧＲガス流量制御弁（以下ＥＧＲ制御弁）が設置されている。
ここで、ＥＧＲシステムは、エンジンの運転状況に基づいてＥＧＲ制御弁の弁体であるバルブ１を開閉制御するＥＧＲバルブ制御装置（内燃機関のＥＧＲ制御装置）として使用される。このＥＧＲバルブ制御装置は、ＥＧＲ制御弁のアクチュエータを他のシステムと連動して制御するエンジン制御ユニット（電子制御装置：以下ＥＣＵ）を備えている。
【００１８】
ＥＧＲ制御弁は、ＥＧＲガスパイプの途中に結合されるハウジングと、このハウジングの内部に回転自在に収容される金属製のバルブ１と、このバルブ１の外周端面に形成されるシールリング溝（環状溝）２に嵌め込まれた金属製のシールリング３と、内部にバルブ１を開閉自在に収容するハウジング４と、バルブ１と一体回転可能に連結した出力シャフト５を有し、この出力シャフト５を介してバルブ１を駆動するアクチュエータとを備えている。
ＥＧＲ制御弁は、出力シャフト５を回転駆動してバルブ１を開閉動作させるアクチュエータとして、モータＭ、減速機構およびリターンスプリング６を備えた電動アクチュエータが採用されている。
【００１９】
ここで、ハウジング４には、バルブ１を開閉自在に収容すると共に、円筒状のノズル７を嵌合保持する円筒状のバルブボディ８と、減速機構およびリターンスプリング６等を収容するギヤケース９と、モータＭを収容するモータケース１０とが一体的に形成されている。
減速機構は、バルブ１と一体回転可能に連結した出力シャフト（出力ギヤ軸、弁軸）５と、モータＭのモータ軸（モータシャフト：以下入力シャフト）１１に対して並列配置された中間ギヤ軸（中間軸：以下中間シャフト）１２と、入力シャフト１１の回転を２段減速して出力シャフト５に伝達する３つの第１〜第３減速ギヤとを備えている。
【００２０】
３つの第１〜第３減速ギヤは、金属製のピニオンギヤ１３、合成樹脂または金属製の中間ギヤ１４、合成樹脂または金属製の出力ギヤ１５等によって構成されている。
３つの第１〜第３減速ギヤは、ハウジング４のギヤケース９と、ハウジング４とは別体で構成された合成樹脂製のセンサカバー１６との間に形成されるギヤ収納空間１７内に回転自在に収容されている。なお、センサカバー１６には、ＥＧＲ開度センサ１８およびモータＭと外部回路（ＥＣＵ、バッテリ等）との電気的な接続を行う外部接続用コネクタ１９が設けられている。
【００２１】
ＥＧＲ制御弁は、ハウジング４の内部に形成されるＥＧＲガス流路（流路孔２１〜２３）の開口面積を連続的または段階的に変更することで、ＥＧＲガス流路を経由して、排気通路から吸気通路へ再循環（還流）されるＥＧＲガスの流量（ＥＧＲガス量）を可変制御する排気ガス流量制御弁（排気絞り弁）である。
また、ＥＧＲ制御弁は、ハウジング４に対して、出力シャフト５を回転自在に支持する支持機構（出力シャフト５の軸受機構）を備えている。この軸受機構は、オイルシール２４および２連ボールベアリング２５、２６等によって構成されている。
【００２２】
バルブ１は、全閉位置から全開位置に至るまでの動作可能範囲で回転動作されることで、流路孔２１〜２３の開口面積を変更してＥＧＲ率を調整する。
バルブ１は、ハウジング４の内部において、バルブ１の中央部を通り、出力シャフト５の軸線方向（回転軸方向）に対して所定の傾斜角度分だけ傾斜して、出力シャフト５の回転軸方向の先端側に溶接等により固定され、バルブ１の中央部の軸心を中心にして放射状に延びるプレート（円板）状のバタフライバルブにより構成されている。
【００２３】
バルブ１の外周端面には、円環状のシールリング溝２が形成されている。すなわち、シールリング溝２は、バルブ１の外周端面の外周全体（全周）に周設されている。
シールリング３は、耐熱性の金属によりＣ字形状に形成されている。このシールリング３は、その外周側端部が、バルブ１の外周端面より半径方向の外側に突出した状態で、内周側端部が、シールリング溝２内を半径方向、軸線方向および円周方向に移動できるようにシールリング溝２の内部に嵌め込まれて保持されている。
【００２４】
バルブ１の板厚方向の片側面（片端面）、例えばバルブ１の全閉時（流路孔２１〜２３）を全閉する時）にＥＧＲガス流方向の下流側（または上流側）に位置する下流側端面（または上流側端面）には、出力シャフト５との結合部（溶接固定部）である嵌合溝２７が形成されている。この嵌合溝２７は、バルブ１の片端面で開口し、この開口側から奥側に至るまでバルブ１の片端面の面方向に対して所定の傾斜角度分だけ傾斜して延びる嵌合凹部（出力シャフト５を圧入等により取り付ける取付部）である。また、嵌合溝２７には、出力シャフト５の第１突出部（後述する）が嵌合している。
【００２５】
アクチュエータは、バルブ１を閉弁（全閉）方向に付勢するリターンスプリング６と、電力の供給を受けるとバルブ１を駆動する回転動力（トルク）を発生するモータＭと、このモータＭの入力シャフト１１の回転を２段減速して出力シャフト５に伝達する減速機構（ピニオンギヤ１３、中間ギヤ１４、出力ギヤ１５）と、バルブ１および出力シャフト５の回転角度を検出する回転角度検出装置とを備えている。
【００２６】
リターンスプリング６は、出力ギヤ１５に対して、バルブ１を閉弁（全閉）方向に付勢する付勢力を発生するコイルスプリングである。このリターンスプリング６は、金属素線を螺旋状に巻装して成形されたコイル部を備えている。このコイル部は、ギヤケース９の円筒部（ベアリングホルダ）３１、および出力ギヤ１５の中間円筒部３２の周囲を螺旋状に取り囲むように巻回されている。これらの円筒部３１および中間円筒部３２は、リターンスプリング６のコイル部のコイル内径をガイド（保持）するスプリング内周ガイドとしての機能を有している。
リターンスプリング６のコイル部の巻回方向の一端側は、ギヤケース９の固定フック（図示せず）に係止または保持されている。また、リターンスプリング６のコイル部の巻回方向の他端側は、出力ギヤ１５の可動フック（図示せず）に係止または保持されている。  
【００２７】
モータＭは、ハウジング４およびギヤケース９に一体的に形成された有底筒状のモータケース１０のモータ収納凹部内に収容保持されている。このモータＭは、ＥＣＵによって電子制御されるモータ駆動回路を介して、自動車等の車両に搭載されたバッテリに電気的に接続されている。
ＥＣＵには、制御処理や演算処理を行うＣＰＵ、制御プログラムや各種制御データ（マップ等）を保存する記憶装置（ＲＯＭやＲＡＭ等のメモリ）、入力回路（入力部）、出力回路（出力部）、電源回路、タイマー等の機能を含んで構成される周知の構造のマイクロコンピュータが設けられている。
【００２８】
ＥＣＵは、イグニッションスイッチがオン（ＩＧ・ＯＮ）されると、マイクロコンピュータのメモリに格納された制御プログラムに基づいて、ＥＧＲ制御弁のアクチュエータ（モータＭ）を通電制御するように構成されている。
ＥＣＵは、ＥＧＲ開度センサ１８、エアフロメータ、クランク角度センサ、アクセル開度センサ、スロットル開度センサ、吸気温度センサ、冷却水温度センサおよび排気ガスセンサ（空燃比センサ、酸素濃度センサ）等の各種センサからのセンサ出力信号が、Ａ／Ｄ変換回路によってＡ／Ｄ変換された後に、マイクロコンピュータに入力されるように構成されている。
【００２９】
回転角度検出装置は、出力ギヤ１５の円筒ボス（内径側円筒部）３５に一体回転可能に設けられた円筒状の磁気回路部と、この磁気回路部の回転角度を測定してＥＧＲ制御弁のバルブ開度を検出するＥＧＲ開度センサ１８とを備え、磁気回路部とＥＧＲ開度センサ１８との相対回転角度の変化をＥＧＲ開度センサ１８に磁気回路部から与えられる磁気変化によって検出する。
【００３０】
磁気回路部は、出力ギヤ１５の円筒ボス３５にインサート成形されている。この磁気回路部は、円筒ボス３５の直径方向に分割された一対の部分円筒状ヨーク３６と、このヨーク３６の分割部（対向部）に同一方向に磁極が向いて配置された一対のマグネット（永久磁石）３７とを備えている。
ＥＧＲ開度センサ１８は、センサカバー１６のセンサ搭載部に設置されている。このＥＧＲ開度センサ１８は、半導体ホール素子の感磁面を鎖交する磁束密度に対応したアナログ電圧信号をＥＣＵへ向けて出力するホールＩＣを主体として構成されている。なお、ホールＩＣの代わりに、ホール素子単体、磁気抵抗素子等の非接触式の磁気検出素子を使用しても良い。
【００３１】
減速機構は、バルブ１と一体回転可能に連結した出力シャフト５と、出力シャフト５および入力シャフト１１と並列配置された中間シャフト１２と、入力シャフト１１に固定されたピニオンギヤ（モータギヤ）１３と、このピニオンギヤ１３と噛み合って回転する中間ギヤ（中間減速ギヤ）１４と、この中間ギヤ１４と噛み合って回転する出力ギヤ１５とを備えている。
３つの減速ギヤは、ギヤケース９のギヤ収納凹部とセンサカバー１６のギヤ収納凹部との間に形成される内部空間（ギヤ収納空間１７）内に回転自在に収容されている。
【００３２】
出力シャフト５は、ハウジング４およびギヤケース９の内部に回転自在または摺動自在に収容されている。この出力シャフト５は、その回転軸方向の両側に第１、第２突出軸部４１、４２をそれぞれ備えている。
第１、第２突出軸部４１、４２間には、ハウジング４の軸受孔（後述する）内に配置される軸方向部（径大軸部４３、周溝部４４、径大軸部４５）が設けられている。
なお、本実施例の出力シャフト５の詳細は、後述する。
【００３３】
中間シャフト１２は、一端側が、ギヤケース９の軸方向凹溝内に圧入嵌合等により固定されている。この中間シャフト１２の他端側は、センサカバー１６の軸方向凹溝内に挿入されている。
ピニオンギヤ１３は、モータＭの入力シャフト１１の先端外周に圧入嵌合等により固定されている。
【００３４】
中間ギヤ１４は、中間シャフト１２の外周に相対回転可能に嵌め合わされている。この中間ギヤ１４は、中間シャフト１２の中心軸線周りに回転する円筒部を有している。この円筒部の軸線方向の一端部には、ピニオンギヤ１３と噛み合う大径ギヤ（中間ギヤ歯）４６が形成されている。また、円筒部の軸線方向の他端部には、出力ギヤ１５と噛み合う小径ギヤ（中間ギヤ歯）４７が形成されている。
【００３５】
出力ギヤ１５は、合成樹脂によって一体的に形成されている。この出力ギヤ１５には、円筒ボス３５が一体的に形成されている。また、出力ギヤ１５は、円筒ボス３５よりも半径方向の外側に、ギヤケース９の円筒部３１と同一の外径を有する中間円筒部３２が一体的に形成されている。また、出力ギヤ１５は、中間円筒部３２よりも半径方向の外側に部分円筒状（扇状）の歯形成部４８を有している。この歯形成部４８の外周には、中間ギヤ１４の小径ギヤ４７と噛み合う出力ギヤ歯４９が所定の角度分だけ扇状に形成されている。
【００３６】
出力ギヤ１５の円筒ボス３５の先端側には、インサート部材である金属製のインサートプレート（以下金属プレート）５１がインサート成形されている。この金属プレート５１の中央部には、２面幅（出力シャフト５の空回りを防ぐ構造、回り止め構造）を有する嵌合孔５２が貫通形成されている。この嵌合孔５２には、出力シャフト５の回転軸方向の一端部（出力シャフト５の嵌合部）が嵌合する。
【００３７】
また、出力ギヤ１５の中間円筒部３２の外周部には、半径方向の外側に突出した凸状の全閉ストッパ部５３が一体的に形成されている。この全閉ストッパ部５３は、バルブ１および出力シャフト５が全閉開度位置まで閉じた際に、ギヤケース９の突出部（全閉ストッパ）５４に当接して係止される。これにより、出力ギヤ１５の全閉ストッパ部５３が全閉ストッパ５４に当接した際に、バルブ１、出力シャフト５および出力ギヤ１５のこれ以上の閉弁方向への回転動作が規制される。
【００３８】
次に、本実施例のハウジング４の詳細を図１ないし図６に基づいて簡単に説明する。
ハウジング４には、排気通路から吸気通路へＥＧＲガスを還流させるＥＧＲガス流路（流路孔２１〜２３）が形成されている。このハウジング４のバルブボディ８には、例えば耐熱金属製のノズル７を圧入嵌合する圧入孔５５が形成されている。このノズル７には、流路孔２１と流路孔２３とを連通する連通路（流路孔）２２が形成されている。
【００３９】
一方、ハウジング４のギヤケース９は、減速機構およびリターンスプリング６の周囲を円周方向に取り囲む円筒状の側壁部、およびこの側壁部の一端側で開口し、アクチュエータ組付時にモータＭ、減速機構、リターンスプリング６等をギヤ収納空間１７内に挿入するための開口部（ギヤ挿入口）を有している。この開口部は、センサカバー１６により塞がれている。
【００４０】
また、ハウジング４のモータケース１０は、モータＭの円筒ヨークの周囲を円周方向に取り囲む円筒状の側壁部、およびこの側壁部の一端側で開口し、モータ組付時にモータＭをモータ収納凹部内に挿入するための開口部（モータ挿入口）を有している。このモータ挿入口は、モータＭの外部接続用ターミナル（または中継ターミナル）を有するフロントブラケットにより塞がれている。
【００４１】
ここで、ハウジング４には、出力シャフト５をその回転方向に摺動可能に支持するオイルシール２４の外環部および２連ボールベアリング（軸受）２５、２６の各外輪の外周を保持する円筒状の軸受ホルダ（以下ベアリングホルダ）５６が設けられている。このベアリングホルダ５６は、オイルシール２４の外環部および２連ボールベアリング２５、２６の各外輪の周囲を円周方向に取り囲むように配置されている。
【００４２】
ベアリングホルダ５６は、ギヤケース９の底面からギヤ収納空間１７の内部（センサカバー側）に突出した円筒状の円筒部（突出部）３１を有している。
ベアリングホルダ５６には、オイルシール２４の圧入固定位置を規制する第１規制部としての機能を有する円環状の第１段差、および２連ボールベアリング２５、２６の圧入固定位置を規制する第２規制部としての機能を有する円環状の第２段差が設けられている。  ベアリングホルダ５６の内部には、バルブ１および出力シャフト５の回転軸方向（軸線方向）に真っ直ぐに延びる軸受孔６１が形成されている。
【００４３】
軸受孔６１の軸線方向の一端側（流路孔側、開口側）には、ＥＧＲガス流路（流路孔２１〜２３）の壁面で開口した開口部（第１ポート）が形成されている。また、軸受孔６１の軸線方向の他端側（流路孔側に対して反対側、逆奥側）には、ギヤ収納空間１７の壁面で開口した開口部（第２ポート）が形成されている。
軸受孔６１は、ハウジング４の内周と出力シャフト５の外周との間のクリアランスのうちで最も小さい（狭い）最小クリアランス部（以下クリアランス部）６２、オイルシール２４を収容するシール収容孔６３、および２連ボールベアリング２５、２６を収容する軸受収容孔６４を備えている。
【００４４】
また、ハウジング４には、ＥＧＲガス流路（流路孔２１〜２３）とシール収容孔６３とを区画すると共に、軸受孔６１のクリアランス部６２の開口面積を他の軸受孔（シール収容孔６３、軸受収容孔６４）よりも絞るための絞り壁（隔壁）６５が一体的に形成されている。この絞り壁６５は、オイルシール２４および２連ボールベアリング２５、２６よりも流路孔側の軸受孔６１、クリアランス部６２および出力シャフト５の径大軸部４３の周囲を円周方向に取り囲むように円筒状に形成されている。
【００４５】
なお、軸受孔６１の開口側に設けられる円筒状のクリアランス部６２は、ハウジング４の絞り壁６５と出力シャフト５の径大軸部４３との間に形成される筒状隙間である。また、クリアランス部６２とシール収容孔６３との間には、軸受孔６１の開口側の孔径よりも大きく、且つシール収容孔６３の孔径よりも小さい中間孔６７が形成されている。
【００４６】
シール収容孔６３は、オイルシール２４の外環部が圧入される第１圧入孔を構成している。
軸受収容孔６４は、２連ボールベアリング２５、２６の各外輪（第１、第２外環部）が圧入される第２圧入孔を構成している。
軸受孔６１は、第１ポートから第２ポートへ向かって段階的に孔径が大きくなっている。
【００４７】
オイルシール２４は、例えばＬ字状の金属補強環によって補強された密閉シールであって、出力シャフト５のラジアル方向およびスラスト方向に弾性変形が可能な合成ゴム製のシールゴム（弾性変形部）を備えている。このオイルシール２４は、２連ボールベアリング２５、２６を潤滑する潤滑グリースや潤滑オイル油の流出を防止する。また、オイルシール２４は、出力シャフト５の径大軸部４３の周囲を円周方向に取り囲むように、ベアリングホルダ５６のシール収容孔６３内に設置されている。
【００４８】
金属補強環は、ベアリングホルダ５６の第１圧入孔（シール収容孔６３）の壁面に圧入固定される円筒状の外環部を有している。この外環部の外周部は、ベアリングホルダ５６の第１圧入孔に液密的に圧入固定される圧入固定部として使用される。また、外環部は、ベアリングホルダ５６の第１段差に当接することによってオイルシール２４の圧入固定位置が規制される。
【００４９】
シールゴムは、出力シャフト５の径大軸部４３の外周面（摺動面）に摺動接触するシールリップを有し、ハウジング４のベアリングホルダ５６の内周と出力シャフト５の径大軸部４３の外周との間を液密的（および気密的）に密閉シールするダストシール機能を有している。このシールゴムは、出力シャフト５の周囲を円周方向に取り囲むように、ベアリングホルダ５６の内部に設置されている。
【００５０】
２連ボールベアリング２５、２６は、出力シャフト５の径大軸部４５の外周に圧入固定される内輪、ベアリングホルダ５６の第２圧入孔に圧入固定される外輪、および内輪と外輪との２つの軌道輪の間に滑動自在に収容される複数の鋼球（転動体）をそれぞれ備えている。
２連ボールベアリング２５、２６の各内輪は、出力シャフト５の径大軸部４５の外周に気密的に圧入固定される圧入固定部を構成している。
２連ボールベアリング２５、２６の各外輪は、ベアリングホルダ５６の第２段差に当接することによって２連ボールベアリング２５、２６の外輪の圧入固定位置が規制される。  
【００５１】
また、２連ボールベアリング２５、２６は、２つの軌道輪の間で、且つ鋼球よりも軸方向の両端側にそれぞれ装着された２つのリップシール（シール材）、および複数の鋼球の脱落を防止するための２つのリテーナを備えている。
なお、鋼球の代わりに、コロ等の転動体を用いても良い。また、２つのリップシールの代わりに、金属製の補強材（取付リング）を用いても良い。
【００５２】
［実施例１の特徴］
次に、本実施例の出力シャフト５の詳細を図１ないし図６に基づいて簡単に説明する。  出力シャフト５は、上述したように、第１、第２突出軸部４１、４２および軸方向部（径大軸部４３、径大軸部４５）を備えている。
【００５３】
第１突出軸部４１は、出力シャフト５の回転軸方向の一端側に設けられて、軸受孔６１の開口側のクリアランス部６２から流路孔２１〜２３内に突出している。この第１突出軸部４１は、第２突出軸部４２および径大軸部４３よりも小さい外径を有している。なお、第１突出軸部４１と径大軸部４３との間には、円錐台形状（テーパ形状）の傾斜面（円筋面）が形成されている。
第２突出軸部４２は、出力シャフト５の回転軸方向の他端側に設けられて、径大軸部４５からギヤ収納空間１７内に向かって突出している。なお、第２突出軸部４２には、減速機構の出力ギヤ１５と結合するための金属プレート５１が固定されている。
【００５４】
ここで、出力シャフト５の第２突出軸部４２は、金属プレート５１の嵌合孔５２に嵌合した後に、嵌合孔５２を通り抜けて円筒ボス３５内に突出した突出部分を鍔状にカシメることにより、金属プレート５１の中央部に第２突出軸部４２が固定される。このように第２突出軸部４２の先端には、カシメ固定部６９が設けられているので、金属プレート５１を介して、出力シャフト５に回り止めされた状態で出力ギヤ１５が固定されることになる。
【００５５】
また、第２突出軸部４２には、金属プレート５１の嵌合孔５２に嵌合する嵌合部よりも外径の大きい部分（基端部）が設けられている。なお、基端部の角部（エッジ部分）には、テーパ形状の面取りが施されている。これにより、オイルシール２４、２連ボールベアリング２５、２６）を、出力シャフト５の軸方向部（径大軸部４３、径大軸部４５）の外周に容易に組み付けることができる。
【００５６】
また、出力シャフト５の第１突出軸部４１の外周には、ハウジング４の絞り壁６５の内周面との間に円筒状のクリアランス部６２を形成する外周面が形成されている。このクリアランス部６２は、ハウジング４の内周と出力シャフト５の外周との間に形成されるクリアスの中で最も狭い（小さい）円筒状の隙間を形成している。また、クリアランス部６２は、ＥＧＲガス中に含まれる固形異物のうち所定の粒径以上の固形異物は通過できない隙間である。
【００５７】
ところで、ＥＧＲ制御弁の中で、モータＭの回転動力で出力シャフト５を回転駆動してバルブ１の回転角度が所定の角度範囲（３０°〜５０°、特に３０°〜４０°）内にある時、出力シャフト５の円周方向（シャフト周方向）に圧力勾配分布（圧力差）が発生するクリアランス部６２を備えるものがある。
このような構造のクリアランス部６２では、図４ないし図６に示したように、シャフト周方向における圧力差発生部位（Ａ点とＢ点、Ｃ点とＤ点）において大きな圧力差が発生する。なお、（Ａ点とＢ点の圧力差）＜（Ｃ点とＤ点の圧力差）である。
【００５８】
そして、圧力差発生部位（Ａ点とＢ点、Ｃ点とＤ点）において大きな圧力差が発生すると、圧力が高い方から圧力が低い方へ凝縮水が流れたり、圧力が低い負圧側に凝縮水が吸い込まれたりする。このため、軸受孔６１の開口側（流路孔側）からクリアランス部６２内に凝縮水が吸い込まれて、出力シャフト５の径大軸部４３の摺動面とオイルシール２４のシールリップとの間を通り抜けて軸受孔６１の奥側に配置された２連ボールベアリング２５、２６側へ浸入する可能性がある。
【００５９】
このとき、仮に２連ボールベアリング２５、２６よりも軸受孔６１の開口側（流路孔側）に設置されているオイルシール２４のシール性能が何らかの原因で低下していると、流路孔２１〜２３から軸受孔６１のクリアランス部６２内に吸い込まれた凝縮水が、出力シャフト５の径大軸部４３の摺動面とオイルシール２４のシールリップとの間を通り抜けて２連ボールベアリング２５、２６に到達し、２連ボールベアリング２５、２６の内部を錆び付かせる可能性がある。このように２連ボールベアリング２５、２６の内部に錆が発生すると、軸受としての性能が低下するため、バルブ１および出力シャフト５の動作不能または動作不良が発生する可能性がある。
【００６０】
そこで、本実施例の出力シャフト５の第１突出軸部４１には、出力シャフト５の周囲のＡ点とＢ点の圧力差、あるいはＣ点とＤ点との圧力差を平準化（均圧化）するための少なくとも１つ以上の径方向孔７１、７２が設けられている。
径方向孔７１、７２は、オイルシール２４のシールリップよりも軸受孔６１の開口側、つまりクリアランス部６２に対応して、軸受孔６１の奥側に配置された２連ボールベアリング２５、２６（軸受）側への凝縮水の浸入を防止するための浸水防止手段を設けている。
【００６１】
径方向孔７１、７２は、オイルシール２４と非接触となるように配置されている。すなわち、径方向孔７１、７２は、オイルシール２４との間に所定の軸方向距離を隔てて配置されている。
径方向孔７１、７２は、シャフト周方向に圧力勾配分布（圧力差）が発生するクリアランス部６２に対応して設置されている。
【００６２】
径方向孔７１は、出力シャフト５の第１突出軸部４１の直径方向に延びると共に、第１突出軸部４１をその直径方向に貫通する第１貫通孔である。この径方向孔７１は、バルブ１の回転角度が所定の角度範囲（３０°〜５０°、特に３０°〜４０°）内にある時に、出力シャフト５の第１突出軸部４１の直径方向の両側（Ｃ点とＤ点）を連通する第２連通路である。
【００６３】
径方向孔７２は、出力シャフト５の径大軸部４３の直径方向に延びると共に、径大軸部４３をその直径方向に貫通する第２貫通孔である。この径方向孔７２は、バルブ１の回転角度が所定の角度範囲（３０°〜５０°、特に３０°〜４０°）内にある時に、出力シャフト５の径大軸部４３の直径方向の両側（Ａ点とＢ点）を連通する第２連通路である。
【００６４】
２つの径方向孔７１、７２は、Ａ点とＢ点を直線で結ぶ第１軸線とＣ点とＤ点を直線で結ぶ第２軸線とが略直角に交差しているので、互いに略直角に重なる（交差する）ように設けられている。
なお、少なくとも１つ以上の径方向孔７１、７２は、出力シャフト５の第１突出軸部４１または径大軸部４３の外周面で開口していれば直線状の貫通孔以外でも構わない。また、少なくとも１つ以上の径方向孔７１、７２の両側の開口（ポート）は、出力シャフト５の第１突出軸部４１または径大軸部４３の円周方向に所定の間隔（等間隔等）で形成されていなくても構わない。
【００６５】
［実施例１の作用］
次に、本実施例のＥＧＲ制御弁の作用を図１ないし図６に基づいて簡単に説明する。
【００６６】
本実施例のバルブ１を駆動するモータＭは、ＥＣＵによって通電制御されるように構成されている。
ここで、モータＭへの電力供給が成されない場合には、リターンスプリング６の付勢力（スプリング荷重）によって出力シャフト５の第１突出軸部４１に溶接固定されたバルブ１が全閉位置に設定される。
【００６７】
このとき、バルブ１のシールリング溝２に嵌め込まれたシールリング３の摺動部が、シールリング自体の拡径方向の張力（弾性変形力）によってハウジング４の圧入孔５５に嵌合保持されるノズル７の内周面に張り付くため、シールリング３の摺動部がノズル７の内周面に密着する。
したがって、ノズル７の内周面とバルブ１の外周端面との間の環状隙間が完全にシールされる。つまりハウジング４内に形成される流路孔２１〜２３が閉鎖される。これにより、ＥＧＲガスが、エアクリーナを通過した清浄な吸気（新気）に混入しない（ＥＧＲカット）。
【００６８】
次に、ＥＧＲ制御弁を開弁させるような運転状況（エンジンの運転状況）になると、バルブ１が運転状況に対応した所定の開度に開弁するように開弁作動させる。
そして、モータＭに電力を供給し、モータＭの入力シャフト１１を開弁作動方向に回転させる。これにより、モータＭの回転動力（トルク）が、ピニオンギヤ１３、中間ギヤ１４および出力ギヤ１５に伝達される。そして、出力ギヤ１５からトルクが伝達された出力シャフト５が、出力ギヤ１５の回転に伴って所定の回転角度（バルブ開度）だけ開弁作動方向に回転する。
【００６９】
以上のように、エンジンの運転状況に対応して、モータＭへの供給電力（駆動電流値または印加電圧値）を可変制御することで、ＥＧＲ制御弁のバルブ開度を変化させることにより、エアクリーナを通過した清浄な吸気に対する、ＥＧＲガスの導入量（混入量）が調節される。すなわち、バルブ１は、制御目標値に相当するバルブ開度に開弁制御される。つまり流路孔２１〜２３が開放される。
【００７０】
したがって、エンジンの各気筒毎の燃焼室より流出した排気ガスの一部であるＥＧＲガスが、排気管内に形成される排気通路（ＥＧＲガス分岐部）から、排気管側のＥＧＲガスパイプの内部（ＥＧＲガス流路）を経由して、吸気管内に形成される吸気通路（ＥＧＲガス合流部）に再循環される。したがって、ＥＧＲガスがエンジンの各気筒毎の吸気ポートおよび燃焼室に供給される吸気に混入される。
これによって、排気ガス中に含まれる有害物質（例えばＮＯｘ等）が低減される。
【００７１】
［実施例１の効果］
以上のように、本実施例のＥＧＲ制御弁においては、ハウジング４の絞り壁６５の内周との間にクリアランス部６２を形成する出力シャフト５の第１突出軸部４１または径大軸部４３に、出力シャフト５の周囲のＡ点とＢ点の圧力差、あるいはＣ点とＤ点との圧力差を平準化するための少なくとも１つ以上の径方向孔７１、７２を設けている。
【００７２】
これによって、ハウジング４の絞り壁６５の内周と出力シャフト５の第１突出軸部４１の外周との間に形成されるクリアランス部６２におけるシャフト周方向の圧力差がなくなる（または小さくなる）。この理由により、ハウジング４の流路孔２１〜２３からクリアランス部６２内に凝縮水が浸入しないため、高価なＰＴＦＥシールを廃止できる。これによって、高価なＰＴＦＥシールを採用しなくても、２連ボールベアリング２５、２６（軸受）側への凝縮水の浸入を防止することができるので、コストダウンとなる。したがって、ＥＧＲ制御弁の製造コストを削減することができる。
【００７３】
ここで、ハウジング４の内部への浸水は、上述した凝縮水だけでなく、自動車を洗車した時の被水、雨天時の雨水、道路上の水溜まりを跳ね上げた時の被水が吸気管内に入り、ＥＧＲガス流路と吸気通路との合流部からＥＧＲ制御弁へ流れ込む浸水がある。
また、合流部よりも吸気流方向の上流側または下流側の吸気管内で結露した水分が水滴となって合流部からＥＧＲ制御弁へ流れ込む場合がある。
また、自動車にブローバイガス還元装置（ＰＣＶ装置）が搭載されている場合、ＰＣＶガス中に多量の水分が含まれているため、ＰＣＶガスが冷やされてると、ＰＣＶガス中に含まれる水分が凝縮して凝縮水が発生する。この凝縮水が合流部からＥＧＲ制御弁へ流れ込む場合がある。
【００７４】
［実施例２の構成］
図７は、本発明の流体制御弁を適用したＥＧＲ制御弁（実施例２）を示したものである。ここで、実施例１と同じ符号は、同一の構成または機能を示すものであって、説明を省略する。
【００７５】
本実施例のＥＧＲ制御弁は、２連ボールベアリング２５、２６への凝縮水の浸入を防止するという目的で、ハウジング４の絞り壁６５の内周面（軸受孔６１の壁面）に撥水処理を施し、且つ出力シャフト５の径大軸部４３の外周面に撥水処理を施している。
具体的には、ハウジング４の絞り壁６５の内周面に、撥水性の高分子処理剤、薄膜状のＰＴＦＥ（４フッ化エチレン樹脂）等のフッ素樹脂、あるいは撥水性の二硫化モリブデン等の撥水剤８１、８２を塗布することにより、ハウジング４の絞り壁６５の内周面のみに撥水性の表面処理を付与する。
また、出力シャフト５の径大軸部４３の外周面に、同様な撥水剤を塗布することにより、出力シャフト５の径大軸部４３の外周面のみに撥水性の表面処理を付与する。
【００７６】
以上のような撥水性の表面処理は、実施例１と同様に、オイルシール２４のシールリップおよび２連ローラベアリング２５、２６よりも軸受孔６１の開口側に設けられて、軸受孔６１から軸受孔６１の奥側に配置された２連ボールベアリング２５、２６（軸受）側への凝縮水の浸入を防止するための浸水防止手段を構成している。
また、撥水性の表面処理は、ハウジング４の絞り壁６５の内周と出力シャフト５の径大軸部４３の外周との間に形成される最小のクリアランス部６２に対応して設置されている。
【００７７】
これによって、流路孔２１〜２３から軸受孔６１内へ凝縮水が浸入しようとした場合であっても、撥水処理が施されたハウジング４の絞り壁６５または出力シャフト５の径大軸部４３で撥水し、クリアランス部６２内での撥水による表面張力で凝縮水の流れが阻害されるため、クリアランス部６２への凝縮水の浸入を抑制することができる。
以上のように、本実施例のＥＧＲ制御弁においては、実施例１と同様な効果を奏する。  なお、本実施例の浸水防止手段に実施例１の浸水防止構造を組み合わせても良い。
【００７８】
［実施例３の構成］
図８は、本発明の流体制御弁を適用したＥＧＲ制御弁（実施例３）を示したものである。ここで、実施例１及び２と同じ符号は、同一の構成または機能を示すものであって、説明を省略する。
【００７９】
本実施例のＥＧＲ制御弁は、ハウジング４の絞り壁６５の内周と出力シャフト５の径大軸部４３の外周との間に形成されるクリアランス部６２に対応するように、ハウジング４の絞り壁６５の内周面に、軸受孔６１の開口側である軸受孔６１から軸受孔６１の奥側に配置される２連ボールベアリング２５、２６（軸受）側への凝縮水の浸入を妨げる円環状の堰８３を設けている。
【００８０】
堰８３は、出力シャフト５の周囲を周方向に取り囲むように設置されている。この堰８３は、ハウジング４の絞り壁６５の内周面、つまり軸受孔６１の壁面から出力シャフト５の外周面側へ突出する円環状の突条リブにより構成されている。
また、クリアランス部６２は、軸受孔６１の壁面と堰８３の頂き部分との間に形成される円環状の微小隙間８４を備えている。この微小隙間８４は、軸受孔６１から２連ボールベアリング２５、２６（軸受）側への凝縮水の浸入をし難くするクリアランスシール（浸水防止手段）を構成している。
【００８１】
したがって、軸受孔６１の壁面から出力シャフト５の外周面側へ突出する堰８３および軸受孔６１の壁面と堰８３の頂き部分との間に微小隙間８４を設けたことにより、クリアランス部６２への凝縮水の流れが阻害される。
以上のように、本実施例のＥＧＲ制御弁においては、実施例１及び２と同様な効果を奏する。
なお、本実施例の浸水防止手段に実施例１又は２のうちのいずれか１つ以上の浸水防止構造を組み合わせても良い。また、堰８３の頂き部分に出力シャフト５の径大軸部４３の外周面を回転方向に摺動させても良い。
【００８２】
［実施例４の構成］
図９〜１１は、本発明の流体制御弁を適用したＥＧＲ制御弁（実施例４）を示したものである。ここで、実施例１〜３と同じ符号は、同一の構成または機能を示すものであって、説明を省略する。
【００８３】
本実施例のＥＧＲ制御弁は、ハウジング４の絞り壁６５の内周面で開口した有底の凹溝９１、あるいは出力シャフト５の径大軸部４３の外周面で開口した有底の凹溝９２を備えている。
凹溝９１は、図９および図１１に示したように、軸受孔６１の壁面の円周方向に延びる第１周方向溝である。
凹溝９２は、図１０および図１１に示したように、径大軸部４３の外周面の円周方向に延びる第２周方向溝である。
凹溝９２は、図１１に示したように、凹溝９１の底面との間に円環状隙間９３を隔てて対向するように設けられている。
【００８４】
凹溝９１または凹溝９２は、実施例１と同様に、オイルシール２４のシールリップおよび２連ボールベアリング２５、２６よりも軸受孔６１の開口側、つまり軸受孔６１に設けられて、軸受孔６１から軸受孔６１の奥側に配置された２連ボールベアリング２５、２６（軸受）側への凝縮水の浸入を防止するための浸水防止手段を構成している。
また、凹溝９１または凹溝９２は、ハウジング４の絞り壁６５の内周と出力シャフト５の径大軸部４３の外周との間に形成される最小のクリアランス部６２に対応して設置されている。
【００８５】
したがって、ハウジング４の絞り壁６５の内周面に凹溝９１を設ける、あるいは出力シャフト５の径大軸部４３の外周面に凹溝９２を設けることにより、クリアランス部６２への凝縮水の流れが乱れ、軸受孔６１から２連ボールベアリング２５、２６（軸受）側への凝縮水の浸入が阻害される。
以上のように、本実施例のＥＧＲ制御弁においては、実施例１〜３と同様な効果を奏する。
なお、本実施例の浸水防止手段に実施例１〜３のうちのいずれか１つ以上の浸水防止構造を組み合わせても良い。
【００８６】
［変形例］
本実施例では、ＥＧＲ制御弁等の流体制御弁の弁体であるバルブ１を駆動するアクチュエータとして、電力の供給を受けてトルクを発生するモータＭ、このモータＭの回転を減速する減速機構（動力伝達機構）を備えた電動アクチュエータを採用しているが、アクチュエータとして、負圧制御弁を介して電動バキュームポンプからの負圧により駆動される負圧作動式アクチュエータや、コイルを含む電磁石を備えたリニアソレノイド（電磁アクチュエータ）を採用しても良い。
【００８７】
本実施例では、ＥＧＲ制御弁に本発明を適用したが、ＥＧＲクーラの出口側に連通する低温排気ガス流路とＥＧＲガスをＥＧＲクーラより迂回させるバイパス流路（高温排気ガス流路）とを切り替える排気ガス流路切替弁や、エンジンの排気管（ターボチャージャのタービンハウジング）に設置される排気ガス流量（圧力）制御弁等の他の排気制御弁に本発明を適用しても良い。
なお、排気制御弁としては、ウェイストゲート弁、スクロール切替弁、排気流量制御弁、排気圧力制御弁、排気切替弁等が考えられる。
【００８８】
また、排気制御弁の代わりに吸気制御弁等の流体制御弁に本発明を適用しても良い。
なお、吸気制御弁としては、吸気絞り弁（スロットル弁）、タンブル弁、スワール弁等が考えられる。
また、排気制御弁や吸気制御弁の弁体を構成するバルブとして、バタフライバルブを採用しているが、フラップバルブ、プレートバルブ、ロータリバルブ等の回転型バルブを採用しても良い。
【００８９】
本実施例では、流体制御弁の弁軸である出力シャフト５等のシャフトを回転方向に摺動可能に支持する軸受として、内部に潤滑油を有する２連ボールベアリング２５、２６を使用しているが、シャフトを回転方向に摺動可能に支持する軸受として、少なくとも１つ以上のボールベアリングまたはローラベアリングを使用しても良い。
また、シャフトを回転方向に摺動可能に支持する軸受として、内部に潤滑油（潤滑グリース、潤滑オイル）が含浸された筒状の焼結含油軸受であるメタルブッシュを使用しても良い。
また、軸受の内部に潤滑油が含浸されなくても、軸受とシャフトとの間の摺動部（摺動クリアランス）に潤滑油供給機構から潤滑油が供給されるタイプのベアリングを使用しても良い。
【００９０】
本実施例では、流体制御弁の弁軸である出力シャフト５等のシャフトの回転軸方向の一端側に、流体制御弁の弁体であるバルブ１を支持固定し、シャフトの回転軸方向の他端側を２連ボールベアリング２５、２６等の軸受によって回転可能に支持しているが、シャフトの回転軸方向の中央部にバルブを支持固定し、シャフトの回転軸方向の両側を第１、第２軸受によって回転可能に支持しても良い。
第１、第２軸受よりも流路側の軸受孔の壁面にオイルシール等の密閉（液密、気密）シールをそれぞれ設置しても良い。
【符号の説明】
【００９１】
１  バルブ
４  ハウジング
５  出力シャフト
２３  流路孔
２４  オイルシール
２５  ボールベアリング（軸受）
２６  ボールベアリング（軸受）
６１  軸受孔
６２  クリアランス部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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