(57)【要約】【課題】乾燥対象となる塗膜が表面に形成されたＰＥＴフィルムを安定して搬送する。【解決手段】乾燥対象となる塗膜５２が表面に形成されたシート５０に対して搬送方向に張力を加え、且つシート５０を搬送方向に搬送する。そして、加熱により赤外線を放出するフィラメント３２と３．５μｍを超える波長の赤外線を吸収し該発熱体を覆う内管３６，外管４０とを有する赤外線ヒーター３０により塗膜５２に赤外線を照射すると共に、シート５２の表面側に第１風を供給し、シート５２の裏面側に搬送方向に沿って配置された複数のノズル９３から裏面に第２風を供給して、第１風及び第２風を供給することでシート５０を自身のガラス転移点以下の温度に維持する。このとき、第２風は、搬送方向に沿ってシート５０に接近するように傾斜する向きに供給される。【選択図】図１
2014129909.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
乾燥対象となる塗膜が表面に形成されたＰＥＴフィルムを搬送方向に搬送して乾燥を行う乾燥装置であって、
前記ＰＥＴフィルムに対して前記搬送方向に張力を加え、且つ該ＰＥＴフィルムを該搬送方向に搬送する搬送手段と、
加熱により赤外線を放出する発熱体と、３．５μｍを超える波長の赤外線を吸収し該発熱体を覆う複数の管と、を有する赤外線ヒーターと、
前記ＰＥＴフィルムの前記表面側に第１風を供給する第１風供給手段と、
前記ＰＥＴフィルムの裏面側に前記搬送方向に沿って配置された複数のノズルを有し、該複数のノズルから該裏面に第２風を供給する第２風供給手段と、
を備え、
前記第２風供給手段は、前記搬送方向に沿って、且つ該搬送方向と平行又は該ＰＥＴフィルムに接近するように傾斜する向きに前記第２風を供給し、
前記第１風供給手段及び前記第２風供給手段は、前記供給を行うことで前記ＰＥＴフィルムを該ＰＥＴフィルムのガラス転移点以下の温度に維持する、
乾燥装置。
【請求項２】
前記第２風供給手段は、前記複数のノズルが前記赤外線ヒーターに対して前記搬送方向にずれた位置に配置されている、
請求項１に記載の乾燥装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の乾燥装置であって、
前記搬送方向端部に設けられ前記ＰＥＴフィルムを搬出するための開口部を有し、前記赤外線ヒーターを含む乾燥空間を囲む乾燥本体部と、
前記開口部を介して前記ＰＥＴフィルムを前記乾燥本体部から搬出する搬出路と、
前記搬出路内に開口して設けられ、前記ＰＥＴフィルムの前記裏面側に位置し、前記搬送方向に沿って前記ＰＥＴフィルムの裏面から離れていくように傾斜した傾斜空間を有する内気流出阻止部と、
を備え、
前記第１風供給手段は、前記乾燥空間に前記第１風を供給し、
前記第２風供給手段は、前記乾燥空間に前記第２風を供給する、
乾燥装置。
【請求項４】
請求項３に記載の乾燥装置であって、
前記乾燥炉本体部内に流入する方向に前記搬送路を流れ、且つ前記ＰＥＴフィルムの裏面に沿って前記内気流出阻止部と該ＰＥＴフィルムとの間を流れるように第３風を供給する第３風供給手段、
を備えた乾燥装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載の乾燥装置であって、
前記第１風の風向きを変更可能な風向変更手段、
を備えた乾燥装置。
【請求項６】
前記第１風供給手段は、前記第１風の供給口を有しており、
前記風向変更手段は、前記供給口内に設けられ前記第１風の風向きを変更可能な可動板を有する、
請求項５に記載の乾燥装置。
【請求項７】
前記第１風供給手段は、複数の前記供給口を有しており、
前記風向変更手段は、前記複数の供給口の各々に設けられ互いに独立して可動する前記可動板を有しており、該可動板は自身が設けられた前記供給口を封止可能である、
請求項６に記載の乾燥装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、乾燥装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、塗膜などの乾燥対象を乾燥する乾燥装置として、乾燥対象を搬送方向に搬送しながら熱風などにより乾燥を行うものが知られている（例えば、特許文献１）。この乾燥装置では、ベルトコンベア上のパレット基板に乾燥対象となるペーストをスクリーン印刷し、ベルトコンベアによりこのパレット基板が乾燥室内を通過するようにして、ペーストの乾燥を行っている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平７−２４５２５９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、ベルトコンベアのベルトを用いて乾燥対象を搬送する場合、ベルトが乾燥室を出入することで、乾燥室内のエネルギーのロスが生じるという問題があった。このロスをなるべく少なくするためには、ベルトにシート状のフィルムを用いるなど、熱容量の小さいものを用いて乾燥対象の搬送を行うことが考えられる。しかし、フィルムのような薄いものを用いて乾燥対象の搬送を行う場合、例えば乾燥時の送風によりフィルムがばたつくなどの現象が生じ、乾燥対象を安定して搬送できない場合があった。
【０００５】
本発明はこのような課題を解決するためになされたものであり、乾燥対象となる塗膜が表面に形成されたＰＥＴフィルムを安定して搬送することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の乾燥装置は、
乾燥対象となる塗膜が表面に形成されたＰＥＴフィルムを搬送方向に搬送して乾燥を行う乾燥装置であって、
前記ＰＥＴフィルムに対して前記搬送方向に張力を加え、且つ該ＰＥＴフィルムを該搬送方向に搬送する搬送手段と、
加熱により赤外線を放出する発熱体と、３．５μｍを超える波長の赤外線を吸収し該発熱体を覆う複数の管と、を有する赤外線ヒーターと、
前記ＰＥＴフィルムの前記表面側に第１風を供給する第１風供給手段と、
前記ＰＥＴフィルムの裏面側に前記搬送方向に沿って配置された複数のノズルを有し、該複数のノズルから該裏面に第２風を供給する第２風供給手段と、
を備え、
前記第２風供給手段は、前記搬送方向に沿って、且つ該搬送方向と平行又は該ＰＥＴフィルムに接近するように傾斜する向きに前記第２風を供給し、
前記第１風供給手段及び前記第２風供給手段は、前記供給を行うことで前記ＰＥＴフィルムを該ＰＥＴフィルムのガラス転移点以下の温度に維持する、
ものである。
【０００７】
この本発明の乾燥装置では、乾燥対象となる塗膜が表面に形成されたＰＥＴフィルムに対して搬送方向に張力を加え、且つＰＥＴフィルムを搬送方向に搬送する。そして、加熱により赤外線を放出する発熱体と３．５μｍを超える波長の赤外線を吸収し該発熱体を覆う複数の管とを有する赤外線ヒーターにより塗膜に赤外線を照射すると共に、ＰＥＴフィルムの表面側に第１風を供給し、ＰＥＴフィルムの裏面側に搬送方向に沿って配置された複数のノズルから裏面に第２風を供給して、第１風及び第２風を供給することでＰＥＴフィルムをＰＥＴフィルムのガラス転移点以下の温度に維持する。このとき、第２風は、搬送方向に沿って、且つ搬送方向と平行又はＰＥＴフィルムに接近するように傾斜する向きに供給される。このような向きに第２風を供給することにより、第２風が搬送方向に沿ってＰＥＴフィルムの裏面付近を流れるため、ＰＥＴフィルムのばたつきを抑制することができる。したがって、乾燥対象となる塗膜が表面に形成されたＰＥＴフィルムを安定して搬送することができる。また、赤外線ヒーターは３．５μｍを超える波長の赤外線を吸収する管を有しており、ピーク波長が３．５μｍ以下の赤外線を放射する。ＰＥＴフィルムは波長が３．５μｍ以下の赤外線ではほとんど加熱されない。しかも、第１風及び第２風によりＰＥＴフィルムは自身のガラス転移点以下の温度に維持される。これらにより、ＰＥＴフィルムの熱膨張や乾燥後の収縮により応力が生じるのを抑制でき、この応力により塗膜が変形するのを抑制できる。この場合において、前記搬送方向は水平方向であり、前記ＰＥＴフィルムの前記表面は該ＰＥＴフィルムの鉛直方向上側の面としてもよい。また、赤外線ヒーターを複数備えるものとしてもよい。さらに、前記ＰＥＴフィルムを支持する複数のローラーを備えるものとしてもよい。前記赤外線ヒーターは、前記ＰＥＴフィルムの表面側に配置されているものとしてもよい。
【０００８】
この本発明の乾燥装置において、前記第２風供給手段は、前記複数のノズルが前記赤外線ヒーターに対して前記搬送方向にずれた位置に配置されていてもよい。こうすれば、複数のノズルが赤外線ヒーターからの赤外線により加熱されノズル自身が赤外線の二次放射体となることを抑制できるため、ＰＥＴフィルムをガラス転移点以下の温度に維持しやすくなる。ここで、ノズルが赤外線ヒーターに対して搬送方向にずれた位置に配置されているとは、搬送方向に垂直な方向を上下方向（ＰＥＴフィルムの表面側を上方向とする）としたときに、赤外線ヒーターの直下の領域にノズルが存在しないことを意味する。この場合において、前記赤外線ヒーターを複数備えるものとし、前記複数の赤外線ヒーターと前記複数のノズルとは、搬送方向に交互に配置されているものとしてもよい。
【０００９】
この本発明の乾燥装置において、前記搬送方向端部に設けられ前記ＰＥＴフィルムを搬出するための開口部を有し、前記赤外線ヒーターを含む乾燥空間を囲む乾燥本体部と、前記開口部を介して前記ＰＥＴフィルムを前記乾燥本体部から搬出する搬出路と、前記搬出路内に開口して設けられ、前記ＰＥＴフィルムの前記裏面側に位置し、前記搬送方向に沿って前記ＰＥＴフィルムの裏面から離れていくように傾斜した傾斜空間を有する内気流出阻止部と、を備え、前記第１風供給手段は、前記乾燥空間に前記第１風を供給し、前記第２風供給手段は、前記乾燥空間に前記第２風を供給するものとしてもよい。こうすることで、ノズルから供給された第２風が搬送路を通過して外部に流出するのを、内気流出阻止部によって抑制することができる。したがって、例えば乾燥により塗膜から発生するガスなど、乾燥本体部内の雰囲気ガスの炉外への流出を抑制することができる。この場合において、前記内気流出阻止部の前記傾斜空間内の流体の排気を行う排気手段を備えるものとしてもよい。こうすれば、内気流出阻止部内の雰囲気ガスを排気することができるため、乾燥本体部内から搬送路に流出する雰囲気ガスを内気流出阻止部内に導きやすくなり、外部への雰囲気ガスの流出をより抑制することができる。
【００１０】
この場合において、前記乾燥炉本体部内に流入する方向に前記搬送路を流れ、且つ前記ＰＥＴフィルムの裏面に沿って前記内気流出阻止部と該ＰＥＴフィルムとの間を流れるように第３風を供給する第３風供給手段を備えていてもよい。こうすることで、開口部からＰＥＴフィルムの裏面に沿って搬送路に流出する雰囲気ガスがある場合に、第３風が雰囲気ガスをＰＥＴフィルムの裏面からはぎ取るようにして雰囲気ガスを内気流出阻止部へ導くことができる。これにより、雰囲気ガスが搬送路を通過して外部に流出するのをより抑制できる。
【００１１】
内気流出阻止部及び第３風供給手段を備える態様の本発明の乾燥装置において、前記第３風供給手段は、前記搬出路内を前記ＰＥＴフィルムの搬送方向に対して傾斜して該ＰＥＴフィルムの裏面に向かうように流れ、その後該ＰＥＴフィルムの裏面に沿って前記内気流出阻止部と該ＰＥＴフィルムとの間を流れるように前記第３風を供給するものとしてもよい。こうすれば、搬出路内の内気流出阻止部よりも外部側で、第３風がＰＥＴフィルムの裏面に近づく流れを有することになる。そのため、第３風で搬出路を塞ぐことができ、雰囲気ガスが搬出路を通過して外部に流出するのをより抑制することができる。
【００１２】
この場合において、前記搬出路内に開口して設けられ、前記ＰＥＴフィルムの前記裏面側に位置し、前記搬送方向に沿って前記ＰＥＴフィルムの裏面から離れていくように傾斜した区画空間を該ＰＥＴフィルムの搬送方向に沿って複数有する区画構造体、を備え、前記第３風供給手段は、前記搬出路内に開口して設けられ、前記ＰＥＴフィルムの前記裏面側に位置し、前記搬送方向に沿って前記ＰＥＴフィルムの裏面から離れていくように傾斜した傾斜経路を有し、該傾斜経路を通過させることで前記第３風が前記搬出路内を前記ＰＥＴフィルムの搬送方向に対して傾斜して前記ＰＥＴフィルムの裏面に向かう流れを発生させ、前記区画構造体は、前記複数の区画空間のうち前記乾燥本体部側の１以上が前記内気流入阻止部の前記傾斜空間となり、前記複数の区画空間のうち乾燥本体部とは反対側の１以上が前記第３風供給手段の前記傾斜経路となっているものとしてもよい。こうすれば、内気流出阻止部の傾斜空間と第３風供給手段の傾斜経路とを１つの区画構造体にまとめることができる。そのため、内気流出阻止部や第３風供給手段を備えた乾燥装置をより容易に製造できる。
【００１３】
本発明の乾燥装置において、前記第１風の風向きを変更可能な風向変更手段を備えたものとしてもよい。こうすれば、第１風の風向きを変更することで、例えばより適切に塗膜の乾燥やＰＥＴフィルムの温度調節を行うなど、より適切な送風を行うことができる。風向変更手段は、塗膜の乾燥中に風向きを変更可能としてもよい。この場合において、前記風向変更手段は、前記供給口内に設けられ前記第１風の風向きを変更可能な可動板を有するものとしてもよい。また、前記第１風供給手段は、複数の前記供給口を有しており、前記風向変更手段は、前記複数の供給口の各々に設けられ互いに独立して可動する前記可動板を有しており、該可動板は自身が設けられた前記供給口を封止可能としてもよい。こうすることで、風向変更手段により第１風の風向きだけでなく流量を調整することができ、より適切な送風を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】乾燥炉１０の縦断面図である。
【図２】赤外線ヒーター３０の縦断面図である。
【図３】図２のＡ−Ａ断面図である。
【図４】変形例の乾燥炉１１０の縦断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
次に、本発明の実施形態について、図面を用いて説明する。図１は乾燥炉１０の縦断面図である。乾燥炉１０は、ＰＥＴフィルムからなるシート５０上に塗布された塗膜５２の乾燥を赤外線及び冷風を用いて行うものであり、乾燥本体部１４と、搬出路１９と、第１風供給装置２０と、第１風吸気装置２５と、赤外線ヒーター３０と、コントローラー６０と、を備えている。また、乾燥炉１０は、区画構造体７０と、内気流出阻止部８０と、排気装置８１と、第２風供給装置９０と、第３風供給装置９５と、を備えている。乾燥炉１０は、乾燥本体部１４の左側に設けられたロール５４と、搬出路１９の右側に設けられたロール５６と、を備えている。乾燥炉１０は、乾燥対象となる塗膜５２が上面に形成されたシート５０を、ロール５４，５６により搬送方向（図の右方向）に連続的に搬送して乾燥を行う、ロールトゥロール方式の乾燥炉として構成されている。
【００１６】
乾燥本体部１４は、略直方体に形成された断熱構造体であり、前端面１５及び後端面１６にそれぞれ開口１７，１８を有している。開口１８は、シート５０を乾燥本体部１４から搬出路１９を介して乾燥本体部１４の外部に搬出する際の開口部となっている。この乾燥本体部１４は、前端面１５から後端面１６までの長さが例えば１ｍ〜６ｍである。乾燥本体部１４の内部の空間である乾燥空間１４には、赤外線ヒーター３０や後述する第２風供給装置９０のノズル９３などが配置されている。
【００１７】
搬出路１９は、開口１８を介してシート５０を乾燥本体部１４から外部へ搬出するための搬送路であり、管路として構成されている。表面（図１の上面）に塗膜５２が塗布されたシート５０は、塗膜５２が塗布された面を上にして、開口１７から乾燥本体部１４内へ搬入され、乾燥本体部１４の内部（乾燥空間１４ａ）を水平方向に進行し、開口１８に至る。そして、シート５０は開口１７から搬出路１９を通過して、搬出路１９のうち乾燥本体部１４とは反対側の搬出口１９ａから搬出される。
【００１８】
第１風供給装置２０は、冷風である第１風をシート５０の表面側に供給して乾燥本体部１４内を通過する塗膜５２やシート５０を冷却させる装置である。第１風供給装置２０は、給気ファン２１と、パイプ構造体２２と、供給口２３と、を備えている。給気ファン２１は、パイプ構造体２２に取り付けられており、第１風をパイプ構造体２２の内部へ供給するものである。第１風は、例えば常温や５０℃以下の空気である。給気ファン２１は、発生させる第１風の風量の調節が可能となっている。冷風の風量は、特に限定するものではないが、例えば５Ｎｍ3／ｈ〜１００Ｎｍ3／ｈの範囲で調節可能である。パイプ構造体２２は、給気ファン２１からの第１風の通路となるものである。パイプ構造体２２は、給気ファン２１から乾燥本体部１４の天井を貫通して乾燥本体部１４の内部までの通路を形成している。
【００１９】
供給口２３は、給気ファン２１からの第１風の供給口となるものである。供給口２３は、図１の上下方向に隣接して形成された３つの供給口２３ａ〜２３ｃからなる。パイプ構造体２２は、給気ファン２１から供給口２３に向かう通路が途中から内壁により仕切られ、供給口２３ａ〜２３ｃのそれぞれに給気ファン２１からの第１風を供給可能となっている。供給口２３ａ〜２３ｃは、乾燥本体部１４のうちシート５０の搬出側である開口１８側の端部に設けられ、搬入側である開口１７側に向けて開口している。これにより、第１風供給装置２０は、シート５０の搬出側から搬入側に（図１の左方向に）向けて第１風を供給可能となっている。また、供給口２３ａ〜２３ｃの内部には、互いに独立して可動する可動板２４ａ〜２４ｃが設けられている（図１の拡大部分参照）。可動板２４ａは、例えば図示しないモーターにより、回転供給口２３ａの上下方向の中央位置に設けられた回転軸を中心として回転可能である。可動板２４ａが回転することで、供給口２３ａから乾燥本体部１４内に供給される第１風の風向きを変更できるようになっている。また、可動板２４ａが垂直になると、供給口２３ａを封止して供給口２３ａからは第１風が供給されないようにすることができる。可動板２４ｂ及び可動板２４ｃについても、供給口２３ａ及び供給口２３ｃに設けられている点以外は、可動板２４ａと同様の構成である。なお、図１では、可動板２４ａが垂直になって供給口２３ａを封止し、可動板２４ｂが水平になって供給口２３ｂからの第１風の風向きを水平方向にし、可動板２４ｃが斜めになって供給口２３ｃからの第１風の風向きを図１の左下方向にしている状態を示している。この状態では、図１の乾燥本体部１４内の塗りつぶし矢印に示すように、供給口２３ｂからの第１風は、シート５０の上方を流れていき、供給口２３ｃからの第１風は、シート５０の上面に沿って流れていく。これらにより、第１風はシート５０の上面を冷却する。なお、図示は省略するが、第１風の風向きを左上方向にすることも可能である。
【００２０】
第１風吸気装置２５は、乾燥本体部１４内の雰囲気ガスを排出する装置である。第１風吸気装置２５は、排気ファン２６と、パイプ構造体２７と、排気口２８と、を備えている。排気口２８は、第１風供給装置２０からの第１風の排気口となるものである。この排気口２８は、乾燥本体部１４のうちシート５０の搬入側である開口１７側の端部に設けられ、搬出側である開口１８側に向けて開口している。排気口２８はパイプ構造体２７に取り付けられており、乾燥本体部１４内の雰囲気ガス（主にシート５０を乾燥した後の第１風）を吸気してパイプ構造体２７内に導く。パイプ構造体２７は、排気口２８から排気ファン２６への雰囲気ガスの流路となるものである。パイプ構造体２７は、排気口２８から乾燥本体部１４の天井を貫通して乾燥本体部１４の外部の排気ファン２６までの通路を形成している。排気ファン２６は、パイプ構造体２７に取り付けられており、パイプ構造体２７内部の雰囲気ガスを排気する。なお、排気ファン２６は、例えば図示しない排気用の配管に接続されており、乾燥本体部１４内の雰囲気ガスに含まれる揮発した有機溶剤などの成分を除去するなど、適切な処理を行ってから乾燥炉１０外に雰囲気ガスを排気する。また、排気ファン２６は、パイプ構造体２７内の雰囲気ガスを乾燥炉１０外に排気せず、給気ファン２１の吸気として循環させてもよい。
【００２１】
赤外線ヒーター３０は、赤外線を照射して乾燥炉１０内を通過する塗膜５２を乾燥させる装置であり、乾燥本体部１４の天井近くに搬送方向に沿って複数（図１では４個）取り付けられている。図２は、赤外線ヒーター３０の縦断面図であり、図３は図２のＡ−Ａ断面図である。赤外線ヒーター３０は、図２及び図３に示すように、発熱体であるフィラメント３２を内管３６が囲むように形成されたヒーター本体３８と、このヒーター本体３８を囲むように形成された外管４０と、外管４０の両端に気密に嵌め込まれた有底筒状のキャップ４２と、ヒーター本体３８と外管４０との間に形成され冷却流体が流通可能な流路４８と、外管４０の表面温度を検出する温度センサ３７と、を備えている。フィラメント３２は、電力供給源６２から電力が供給されて、例えば７００〜１５００℃に通電加熱され、波長が３．５μｍ以下（例えば３μｍ付近）にピークを持つ赤外線を放射する。このフィラメント３２に接続された電気配線３４は、キャップ４２に設けられた配線引出部４４を介して気密に外部へ引き出され、電力供給源６２に接続されている。内管３６は、石英ガラスやホウ珪酸クラウンガラスなどで作製されており、３．５μｍ以下の波長の赤外線を通過し、３．５μｍを超える波長の赤外線を吸収するフィルタとして機能する。ヒーター本体３８は、両端がキャップ４２の内部に配置されたホルダー４９に支持されている。外管４０は、内管３６と同様、石英ガラスやホウ珪酸クラウンガラスなどで作製されており、３．５μｍ以下の波長の赤外線を通過し、３．５μｍを超える波長の赤外線を吸収するフィルタとして機能する。各キャップ４２は、流体出入口４６を有している。流路４８は、冷却流体供給源６４から供給された冷却流体が、一方の流体出入口４６から他方の流体出入口４６へ冷却流体が流れるようになっている。流路４８を流れる冷却流体は、例えば空気や不活性ガスなどであり、内管３６と外管４０に接触して熱を奪うことにより各管３６，４０を冷却する。こうした赤外線ヒーター３０は、フィラメント３２から波長が３．５μｍ以下にピークを持つ赤外線が放射されると、そのうち３．５μｍ以下の波長の赤外線は内管３６や外管４０を通過して搬送通路を通過するシート５０の塗膜５２に照射される。この波長の赤外線は、シート５０の塗膜５２に含まれる溶剤の水素結合を切断する能力に優れるといわれており、効率的に溶剤を蒸発させることができる。また、シート５０はＰＥＴフィルムからなり、ＰＥＴフィルムは３．５μｍ以下の波長の赤外線によってはほとんど加熱されないため、シート５０の加熱を抑制しつつ乾燥を行うことができる。一方、内管３６や外管４０は、３．５μｍを超える波長の赤外線を吸収するが、流路４８を流れる冷却流体によって冷却されるため、塗膜５２から蒸発する溶剤の着火点未満の温度（例えば２００℃以下など）に維持することが可能である。
【００２２】
第２風供給装置９０は、冷風である第２風をシート５０の裏面（下面）側に供給する装置であり、図１に示すように、給気ファン９１と、パイプ構造体９２と、複数のノズル９３と、を備えている。給気ファン９１は、パイプ構造体９２に取り付けられており、第２風をパイプ構造体９２の内部へ供給するものである。第２風は、例えば常温や５０℃以下の空気である。給気ファン９１は、発生させる第２風の風量の調節が可能となっている。冷風の風量は、特に限定するものではないが、例えば５Ｎｍ3／ｈ〜１００Ｎｍ3／ｈの範囲で調節可能である。パイプ構造体９２は、給気ファン９１からの第１風の通路となるものである。パイプ構造体９２は、給気ファン９１から乾燥本体部１４の底部を貫通して乾燥本体部１４の内部までの通路を形成している。ノズル９３は、給気ファン９１からの第２風の供給口となるものである。このノズル９３は、シート５０の裏面側に搬送方向に沿って複数（図１では５個）配置されている。このノズル９３は、搬送方向に沿ってシート５０に接近するように傾斜する向き（図１の右上方向）に開口しており、これにより、図１の矢印に示すように右上方向に第２風を供給する。これにより、第２風は右上方向に進み、シート５０の裏面に到達した後はシート５０の裏面に沿って搬送方向に進む流れとなる。また、ノズル９３の各々には、自身の搬送方向側（右側）に保護板９４が取り付けられている。この保護板９４は、搬送方向に沿ってシート５０から離間するように湾曲しており、搬送中にシート５０が切断された場合などに、切断されて下方に垂れたシート５０を受けるための部材である。ノズル９３及び保護板９４は、赤外線を吸収しない材料（例えばアルミニウムなど）で形成することが好ましい。こうすることで、ノズル９３及び保護板９４が赤外線ヒーター３０からの赤外線により加熱され、自身が赤外線の二次放射体となることを抑制できる。また、ノズル９３及び保護板９４は、赤外線ヒーター３０と搬送方向で交互に位置するように配置されており、赤外線ヒーター３０に対して搬送方向にずれた位置に配置されている。より具体的には、赤外線ヒーター３０（外管４０）の直下の領域であるにヒーター存在領域Ａにノズル９３及び保護板９４が存在しないようになっている。
【００２３】
区画構造体７０は、図１に示すように、外壁７２と内壁７４とを有している。外壁７２は、区画構造体７０の乾燥本体部１４側の面、搬出口１９ａ側の面、及び下側の面を構成している。外壁７２のうち乾燥本体部１４側の面及び搬出口１９ａ側の面は、乾燥本体部１４に対して下部が遠ざかる方向に傾斜している。内壁７４は、シート５０の搬送方向に沿って複数（図１では３個）配置され、いずれも乾燥本体部１４に対して下部が遠ざかる方向に傾斜している。この区画構造体７０は、３つの内壁７４によって外壁７２内の空間が区画された第１〜第４区画空間７６〜７９を有する。第１〜第４区画空間７６〜７９は、シート５０の搬送方向に沿って配置され、乾燥本体部１４に近い側から第１区画空間７６，第２区画空間７７，第３区画空間７８，第４区画空間７９となっている。第１〜第４区画空間７６〜７９は、それぞれ、乾燥本体部１４に対して下部が遠ざかる方向に傾斜した空間となっており、いずれも同じ角度θだけ傾斜している。傾斜の角度θは０°超過〜９０°未満であればよい。特に限定するものではないが、例えば角度θを３０〜６０°としてもよい。第１〜第４区画空間７６〜７９は、それぞれ上方及び下方が開口している。第１〜第４区画空間７６〜７９の上方は搬出路１９内に開口している。また、第１〜第３区画空間７６〜７８の下方は、パイプ構造体８３内に開口している。第４区画空間７９の下方は、パイプ構造体９７内に開口している。
【００２４】
内気流出阻止部８０は、搬送路１９内に上部が開口して設けられ、シート５０の下方に位置し、搬送方向に沿ってシート５０の裏面から離れていくように傾斜した傾斜空間を有するものである。本実施形態では、内気流出阻止部８０の傾斜空間は、第１〜第３区画空間７６〜７８で構成されている。すなわち、区画構造体７０の第１〜第４区画空間７６〜７９のうち、乾燥本体部１４側の３つが内気流出阻止部８０の傾斜空間となっている。
【００２５】
排気装置８１は、内気流出阻止部８０内の雰囲気ガスを排出する装置である。排気装置８１は、排気ファン８２と、パイプ構造体８３とを備えている。パイプ構造体８３は、排気ファン８２から第１〜第３区画空間７６〜７８に向かって３つに分岐している。パイプ構造体８３は、内気流出阻止部８０の下方の開口すなわち第１〜第３区画空間７６〜７８の下方の開口に取り付けられて、排気ファン８２と第１〜第３区画空間７６〜７８との間の雰囲気ガスの流路となっている。排気ファン８２は、排気ファン２６と同様のものであり、パイプ構造体８３を介して内気流出阻止部８０内の雰囲気ガスを排出する。
【００２６】
第３風供給装置９５は、第３風を搬送路１９内に供給する装置である。第３風供給装置９５は、給気ファン９６と、パイプ構造体９７と、乾燥本体部１４に対して下部が遠ざかる方向に傾斜した傾斜経路としての第４区画空間７９と、を備えている。すなわち、区画構造体７０の第１〜第４区画空間７６〜７９のうち、乾燥本体部１４とは反対側の１つが第３風供給装置９５の傾斜経路となっている。給気ファン９６は、パイプ構造体９７に取り付けられており、第３風をパイプ構造体９７の内部へ供給するものである。第３風は、例えば常温の空気である。給気ファン９６は、発生させる第３風の風量の調節が可能となっている。第３風の風量は、特に限定するものではないが、例えば５Ｎｍ3／ｈ〜１００Ｎｍ3／ｈの範囲で調節可能である。パイプ構造体９７は、給気ファン９６から第４区画空間７９の上部の開口までの第３風の通路を形成している。第３風供給装置９５の傾斜経路である第４区画空間７９は、上述したように乾燥本体部１４に対して上部が遠ざかる方向に傾斜しており、傾斜角は角度θである。給気ファン９６からの第３風は、第４区画空間７９を通過することにより、搬送路１９内でシート５０の搬送方向に対して傾斜してシート５０の下面に向かって供給される。その後、第３風はシート５０の下面に沿って内気流出阻止部７０の上方へ流れていく。図１では第３風の流れを白抜き矢印で示した。なお、図示するように、第３風の向きは第２風の向きと逆向きになっている。なお、第３風は、第３風は、内気流出阻止部８０の上方を通過して開口１８まで到達したり、開口１８からさらに乾燥本体部１４内に到達したりするものとしてもよい。また、第３風は、開口１８に到達したときの第２風の温度よりも高温としてもよい。
【００２７】
シート５０は、ＰＥＴフィルムからなるものである。シート５０は、特に限定するものではないが、例えば厚さ１０〜１００μｍ，幅２００〜３００ｍｍである。また、塗膜５２は、シート５０の上面に塗布されたものであり、例えば乾燥後にＭＬＣＣ（積層セラミックコンデンサ）用の薄膜として用いられるものである。塗膜５２は、例えばセラミック粉末又は金属粉末と、有機バインダーと、有機溶剤とを含むものである。
【００２８】
コントローラー６０は、ＣＰＵを中心とするマイクロプロセッサーとして構成されている。このコントローラー６０は、第１風供給装置２０の給気ファン２１，第２風供給装置の給気ファン９１及び第３風供給装置９５の給気ファン９６に制御信号を出力して、第１風，第２風及び第３風の風量を個別に制御する。コントローラー６０は、図示しないモーターに制御信号を出力して、可動板２４ａ〜２４ｃの回転角を個別に制御する。また、コントローラー６０は、第１風吸気装置２５の排気ファン２６や排気装置８１の排気ファン８２に制御信号を出力して、排気量を個別に制御する。コントローラー６０は、熱電対である温度センサ３７が検出した外管４０の温度を入力したり、冷却流体供給源６４と流体出入口４６とを接続する配管の途中に設けられた開閉弁６６及び流量調整弁６８に制御信号を出力したりして、赤外線ヒーター３０の流路４８を流れる冷却流体の流量を個別に制御する。更に、コントローラー６０は、電力供給源６２からフィラメント３２へ供給される電力の大きさを調整するための制御信号を電力供給源６２へ出力して、赤外線ヒーター３０のフィラメント温度を個別に制御する。また、コントローラー６０は、ロール５４，５６の回転速度を制御することで、シート５０に対して搬送方向に加える張力を調整したり、乾燥本体部１４内の塗膜５２の通過時間を調整することができる。なお、コントローラー６０は、可動板２４ａ〜２４ｃの回転角を、乾燥前に予め定められた角度に調整するものとしてもよいし、乾燥中に変更するものとしてもよい。
【００２９】
次に、こうして構成された乾燥炉１０を用いて塗膜５２を乾燥する様子について説明する。まず、コントローラー６０がロール５４，ロール５６を回転させ、シート５０に対して所定の張力を加えつつシート５０の搬送を開始する。シート５０に加える張力は、例えばシート５０の乾燥本体部１４内でのたるみが塗膜５２の乾燥工程上問題ない程度になるように、予め定められている（例えば２０〜５０Ｎ）。これにより、乾燥炉１０の左端に配置されたロール５４からシート５０が巻き外されていく。また、シート５０は開口１７から乾燥本体部１４内に搬入される直前に図示しないコーターによって上面に塗膜５２が塗布される。そして、塗膜５２が塗布されたシート５０は、乾燥本体部１４内に搬送される。このとき、コントローラー６０は、第１風供給装置２０（給気ファン２１及び可動板２４ａ〜２４ｃ），第１風吸気装置２５，赤外線ヒーター３０，排気装置８１，第２風供給装置９０，第３風供給装置９５を制御する。これにより、シート５０が乾燥本体部１４内を通過する間に、シート５０の上面に形成された塗膜５２は、赤外線ヒーター３０からの赤外線が照射されることによって乾燥される。また、これと同時に、第１風供給装置２０からの第１風や第２風供給装置９０からの第２風によって冷却される。コントローラー６０は、シート５０の温度がＰＥＴフィルムのガラス転移点（約７０℃）以下の所定値（例えば６０℃、５０℃、４５℃など）となるように第１風や第２風の流量を制御する。この流量はあらかじめ定められているものとしてもよい。あるいは、例えばシート５０上や乾燥本体部１４内に設けられた温度センサが検出した温度に基づいてシート５０の温度がガラス転移点以下に保たれるように流量を調整するものとしてもよい。こうして、シート５０がガラス転移点以下に保たれたままで塗膜５２が乾燥されて薄膜となり、開口１８から搬出される。その後、シート５０は、開口１８から搬出路１９内へ搬入され、搬出路１９内の区画構造体７０の上方を通過して搬出口１９ａから搬出される。搬出された薄膜（塗膜５２）は、乾燥本体部１４の右端に設置されたロール５６にシート５０とともに巻き取られる。その後、薄膜はシート５０から剥離され、所定形状に切断されて積層され、ＭＬＣＣが製造される。
【００３０】
ここで、上述したように、赤外線ヒーター３０は、３．５μｍを超える波長の赤外線を吸収する内管３６及び外管４０を有しているため、ピーク波長が３．５μｍ以下の赤外線が放射される。これにより、ＰＥＴフィルムであるシート５０は赤外線ヒーターからの赤外線によってはほとんど加熱されない。しかも、第１風及び第２風によりシート５０は自身のガラス転移点以下の温度に維持される。このように乾燥を行うことで、シート５０に熱膨張や乾燥後の収縮により応力が生じるのを抑制でき、この応力により塗膜５２が変形するのを抑制できる。しかも、シート５０はたるまないように張力を加えられているが、シート５０の温度をガラス転移点以下に保つことで、張力によるシート５０の変形（延伸など）を抑制できたり、シート５０に加えることのできる張力の上限を大きくすることができる。シート５０に加える張力を大きくするほど、シート５０の搬送が安定しやすくなったり、第１風の風速を上げることができ乾燥速度を向上させて乾燥に要する時間を短縮したりすることができる。
【００３１】
また、ノズル９３からの第２風は、搬送方向に沿って、且つシート５０に接近するように傾斜する向きに供給される。このような向きに第２風を供給することにより、第２風が搬送方向に沿ってシート５０の裏面付近を流れるため、シート５０のばたつきを抑制することができる。シート５０が比較的薄いときには特にばたつきが生じやすいが、そのような場合でもばたつきを抑制してシート５０を安定して搬送することができる。また、第２風は、シート５０の搬送方向に沿って供給しているため、シート５０を搬送する推進力にも寄与する。
【００３２】
さらに、ノズル９３からの第２風は、開口１８を介して外部に向かって流れていくが、本実施形態では、内気流出阻止部８０及び第３風によって雰囲気ガスの外部への流出を抑制することができる。以下、これについて説明する。第２風が供給されることにより、乾燥本体部１４内のシート５０の裏面側の雰囲気ガスの一部が、開口１８から搬出路１９内に到達し搬出口１９ａに向かって流れ出す場合がある。しかし、本実施形態では、給気ファン９６からの第３風が、第４区画空間７９の上方の開口部から、搬送路１９内を図１における左上方向に向かって傾斜した向きでシート５０の下面に向かうように流れる。そして、その後シート５０の下面に沿って前記内気流出阻止部８０の上方（内気流出阻止部８０とシート５０との間）へ流れていく。これにより、第３風が内気流出阻止部８０の上方で乾燥本体部１４からの雰囲気ガスの上側に潜りこむ。その結果、第３風は雰囲気ガスをシート５０の下面からはぎ取るようにして雰囲気ガスを内気流出阻止部８０へ押し下げる。これにより、乾燥本体部１４からの雰囲気ガスは搬出口１９ａではなく内気流出阻止部８０の第１〜第３区画空間７６〜７８内に向かって流れる。しかも、内気流出阻止部８０の第１〜第３区画空間７６〜７８は乾燥本体部１４に対して下部が遠ざかる方向に傾斜しているから、第３風により押し下げられた後の雰囲気ガスの流れる方向（図１における右下方向）と第１〜第３区画空間７６〜７８の傾斜とが一致する。そのため、内気流出阻止部８０内に雰囲気ガスを導きやすい。そして、内気流出阻止部８０内の雰囲気ガスは、排気ファン８２により速やかに排出される。このように、本実施形態の乾燥炉１０では、乾燥本体部１４内の雰囲気ガスが搬出口１９ａから外部へ流出するのを内気流出阻止部８０と流入風とにより抑制するのである。なお、開口１８に到達したときの第２風の温度よりも第３風を高温とすれば、第３風が内気流出阻止部８０の上方で乾燥本体部１４からの雰囲気ガスの上側に潜りこみやすくなるため、内気流出阻止部８０内に雰囲気ガスをより導きやすくなる。
【００３３】
以上説明した本実施形態の乾燥炉１０によれば、乾燥対象となる塗膜５２が表面に形成されたシート５０に対して搬送方向に張力を加え、且つシート５０を搬送方向に搬送する。そして、加熱により赤外線を放出するフィラメント３２と３．５μｍを超える波長の赤外線を吸収し該発熱体を覆う内管３６，外管４０とを有する赤外線ヒーター３０により塗膜５２に赤外線を照射すると共に、シート５２の表面側に第１風を供給し、シート５２の裏面側に搬送方向に沿って配置された複数のノズル９３から裏面に第２風を供給して、第１風及び第２風を供給することでシート５０を自身のガラス転移点以下の温度に維持する。このとき、第２風は、搬送方向に沿ってシート５０に接近するように傾斜する向きに供給される。このような向きに第２風を供給することにより、シート５０のばたつきを抑制することができる。したがって、乾燥対象となる塗膜５２が表面に形成されたシート５０を安定して搬送することができる。
【００３４】
また、複数のノズル９３は、赤外線ヒーター３０に対して搬送方向にずれた位置に配置されている。そのため、ノズル９３が赤外線ヒーターからの赤外線により加熱されノズル９３自身が赤外線の二次放射体となることを抑制でき、シート５０をガラス転移点以下の温度に維持しやすくなる。
【００３５】
さらに、搬送方向端部に設けられシート５０を搬出するための開口部１８を有し、赤外線ヒーター３０を含む乾燥空間１４ａを囲む乾燥本体部１４と、開口部１８を介してシート５０を乾燥本体部１４から搬出する搬出路１９と、搬出路１９内に開口して設けられ、シート５０の裏面側に位置し、搬送方向に沿ってシート５０の裏面から離れていくように傾斜した傾斜空間を有する内気流出阻止部８０と、を備え、第１風供給手段２０は、乾燥空間１４ａ第１風を供給し、第２風供給手段９０は、乾燥空間１４ａに第２風を供給する。こうすることで、ノズル９３から供給された第２風が搬送路１９を通過して外部に流出するのを、内気流出阻止部８０によって抑制することができる。したがって、例えば乾燥により塗膜５２から発生するガスなど、乾燥本体部１４内の雰囲気ガスの炉外への流出を抑制することができる。
【００３６】
さらにまた、乾燥炉本体部１４内に流入する方向に搬送路１９を流れ、且つシート５０の裏面に沿って内気流出阻止部８０とシート５０との間を流れるように第３風を供給する第３風供給装置９５を備えている。これにより、雰囲気ガスが搬送路１９を通過して外部に流出するのをより抑制できる。しかも、前記第３風供給装置９５は、搬出路１９内をシート５０の搬送方向に対して傾斜してシート５０の裏面に向かうように流れ、その後シート５０の裏面に沿って内気流出阻止部８０とシート５０との間を流れるように第３風を供給する。そのため、第３風で搬出路１９を塞ぐことができ、雰囲気ガスが搬出路１９を通過して外部に流出するのをより抑制することができる。
【００３７】
そしてまた、搬出路１９内に開口して設けられ、シート５０の裏面側に位置し、搬送方向に沿ってシート５０の裏面から離れていくように傾斜した第１〜第４区画空間７６〜７９をシート５０の搬送方向に沿って複数有する区画構造体７０を備えており、第１〜第４区画空間７６〜７９のうち乾燥本体部１４側の第１〜第３区画空間７６〜７８が内気流入阻止部８０の傾斜空間となり、乾燥本体部１４とは反対側の第４区画空間７９が第３風供給装置９５の傾斜経路となっている。そのため、内気流出阻止部８０の傾斜空間と第３風供給装置９５の傾斜経路とを１つの区画構造体７０にまとめることができる。そのため、内気流出阻止部８０や第３風供給装置９５を備えた乾燥装置１０をより容易に製造できる。
【００３８】
そしてまた、第１風の風向きを変更可能な可動板２４ａ〜２４ｃを備えているため、第１風の風向きを変更することで、例えばより適切に塗膜５２の乾燥やシート５２の温度調節を行うなど、より適切な送風を行うことができる。しかも、第１風供給手段２０は、複数の供給口２３ａ〜２３ｃを有し、これらの各々に設けられ互いに独立して可動する可動板２４ａ〜２４ｃを有しており、可動板２４ａ〜２４ｃは自身が設けられた供給口２３ａ〜２３ｃを封止可能である。このため、可動板２４ａ〜２４ｃにより第１風の風向きだけでなく流量を調整することができ、より適切な送風を行うことができる。
【００３９】
なお、本発明は上述した実施形態に何ら限定されることはなく、本発明の技術的範囲に属する限り種々の態様で実施し得ることはいうまでもない。
【００４０】
例えば、上述した実施形態では、第１〜第３区画空間７６〜７８を内気流出阻止部８０の傾斜空間とし、第４区画空間７９を第３風供給装置９５の傾斜経路として、これらを１つの区画構造体７０にまとめるものとしたが、これに限られない。例えば第１〜第２区画空間７６〜７７を内気流出阻止部８０の傾斜空間とし第３〜第４区画空間７８〜７９を第３風供給装置９５の傾斜経路とするなどとしてもよい。また、内気流出阻止部８０の傾斜空間と第３風供給装置９５の傾斜経路とを別々に設けてもよい。あるいは、第３風供給装置９５を備えないものとしてもよい。
【００４１】
上述した実施形態では、区画構造体７０は第１〜第４区画空間７６〜７９の４つの区画空間を有するものとしたが、これに限らず２以上の区画空間を有するものであればよい。区画構造体７０が区画空間を２以上有していれば、内気流出阻止部８０の傾斜空間と第３風供給装置９５の傾斜経路とを１つの区画構造体７０にまとめることができる。
【００４２】
上述した実施形態では、第３風供給装置９５は傾斜経路として第４区画空間７９を有しているものとしたが、これに限らず、傾斜経路を有さないものとしてもよい。例えば、第３風供給装置９５は、搬出路１９における乾燥本体部１４とは反対側の端部である搬出口１９ａからシート５０の裏面に沿って水平に流れて乾燥本体部１４に向かうように第３風を供給するものとしてもよい。図４は、この場合の変形例の乾燥炉１１０の縦断面図である。なお、図４では、図１と同じ構成要素については同じ符号を付して、詳細な説明を省略する。図示するように、乾燥炉１１０では、区画構造体１７０は第１〜第３区画空間７６〜７８のみを有しており、区画構造体１７０がそのまま内気流出阻止部１８０となっている。また、第３風供給装置１９５は、給気ファン９６と、パイプ構造体９７と、給気口１９８と、を備えている。給気口１９８は、パイプ構造体９７を介して給気ファン９６からの第３風を搬出路１９内に供給するものである。この給気口１９８は、搬出路１９における搬出口１９ａ側の端部に設けられ、搬出口１９ａ側から開口１８に向けて水平に開口している。この乾燥炉１１０では、給気口１９８から供給される第３風は、搬出口１９ａ側からシート５０の裏面に沿って水平に流れて乾燥本体部１４に向かって流れる。このように第３風を供給しても、本実施形態と同様に、第３風が乾燥本体部１４からの雰囲気ガスをシート５０の裏面からはぎとるようにして雰囲気ガスを内気流出阻止部８０内へ導くことができる。そのため、乾燥本体部１４からの雰囲気ガスの流出をより抑制することができる。なお、給気口１９８を搬出路１９の外側に設け、外部から搬出口１９ａを通って搬出路１９内に向かいシート５０の裏面に沿って水平に流れるように第３風を供給してもよい。
【００４３】
上述した実施形態では、区画構造体７０，内気流出阻止部８０，排気装置８１，第３風供給装置９５を搬出路１９の下側に備えるものとしたが、搬出路１９の上側にもこれらとシート５０に対して対称な構成を備えるものとしてもよい。
【００４４】
上述した実施形態では、第２風供給装置９０は、搬送方向に沿ってシート５０の裏面に接近するように傾斜する向きに第２風を供給するものとしたが、シート５０の裏面側に搬送方向に沿って（搬送方向と同方向に）搬送方向と平行に第２風を供給するものとしてもよい。また、複数のノズル９３のうち、１以上のノズル９３がシート５０の裏面に接近するように傾斜する向きに第２風を供給し、１以上のノズル９３が搬送方向と平行に第２風を供給するものとしてもよい。
【００４５】
上述した実施形態では、第１風供給装置２０からの第１風はシート５０の搬送方向と逆向きであるものとしたが、同方向としてもよい。あるいは、第１風の風向きは搬送方向に直交する向き（図１の下向き）であるものとしてもよい。
【００４６】
上述した実施形態において、搬出路１９内や乾燥本体部１４内には、シート５０を下方から支える支持ローラーを複数個設けてもよい。こうすれば、重力によってシート５０がたわむのをより抑制することができる。
【００４７】
上述した実施形態では、赤外線ヒーター３０として、フィラメント３２の外周が３．５μｍを超える波長の赤外線を吸収するフィルタとして機能する複数の管３６，４０によって同心円状に覆われ、これらの複数の管３６，４０の間に赤外線ヒーター３０の表面温度の上昇を抑制する冷却流体の流路４８を形成したものを用いたが、フィラメント３２を覆う管は２つに限らず、３つ以上としてもよい。
【００４８】
上述した実施形態では、ノズル９３及び保護板９４は赤外線ヒーター３０に対して搬送方向にずれた位置に配置されているものとしたが、ノズル９３及び保護板９４の少なくともいずれか一方が、赤外線ヒーター３０の直下（ヒーター存在領域Ａ内）に存在しているものとしてもよい。また、保護板９４を備えないものとしてもよい。
【００４９】
上述した実施形態では、供給口２３は３つの供給口２３ａ〜２３ｃを有するものとしたが、供給口は１つや２つとしてもよいし、４つ以上としてもよい。また、供給口が複数ある場合において、可動板を備えない供給口が存在してもよい。
【００５０】
上述した実施形態では、可動板２４ａ〜２４ｃは独立に独立して可動するものとしたが、互いに連動するものとしてもよい。また、可動板２４ａ〜２４ｃはそれぞれ供給口２３ａ〜２３ｃを封止できるものとしたが、封止できないものとしてもよい。
【００５１】
上述した実施形態では、可動板２４ａ〜２４ｃによって第１風の風向きを変更するものとしたが、第１風の風向きを変更可能なものであれば他の構成を採用してもよい。例えば、第１風供給装置２０の供給口２３自体が可動であるものとし、供給口２３の向きを変えることで第１風の風向きを変更するものとしてもよい。
【００５２】
上述した実施形態では、各乾燥炉１０の雰囲気ガスとして空気を用いたが、空気の代わりに窒素などの不活性ガスを用いてもよい。
【００５３】
上述した実施形態では、塗膜５２はセラミック粉末又は金属粉末と、有機バインダーと、有機溶剤とを含むものとしたが、これに限られない。例えば、有機溶剤の代わりに水を用いるものとしてもよい。この場合、乾燥本体部１４内の雰囲気ガス中には乾燥により蒸発した水気が含まれることになる。そのため、このような水気を含む雰囲気ガスが乾燥炉１０の外部に流出するのを抑制する意義が高い。なお、有機溶剤や水に限らず、乾燥により塗膜５２から発生するガスをそのまま乾燥炉１０の外部へ流出することは好ましくない場合が多い。そのため、塗膜５２の成分に関わらず雰囲気ガスの炉外への流出を抑制する意義はある。
【００５４】
上述した実施形態では、塗膜５２はＭＬＣＣ用の薄膜として用いられるものとしたが、これに限られない。例えば、ＬＴＣＣ（低温焼成セラミックス）やその他のグリーンシート用の薄膜として用いるものとしてもよい。また、塗膜５２はコーターによってシート５０上に塗布されるものとしたが、他の方法によりシート５０の上面に膜を形成してもよい。
【産業上の利用可能性】
【００５５】
本発明は、膜が上面に形成されたＰＥＴフィルムを乾燥する必要のある産業、例えばＰＥＴフィルムからなるシートの上面に、セラミック粉末又は金属粉末と、有機バインダーと、有機溶剤又は水と、を含む膜を形成し、この膜を乾燥させて積層してＭＬＣＣを製造する産業などに利用可能である。
【符号の説明】
【００５６】
１０，１１０  乾燥炉、１４  乾燥本体部、１４ａ  乾燥空間、１５  前端面、１６  後端面、１７，１８  開口、１９  搬出路、１９ａ  搬出口、２０  第１風供給装置、２１  給気ファン、２２  パイプ構造体、２３  供給口、２３ａ〜２３ｃ  供給口、２４ａ〜２４ｃ  可動板、２５  第１風吸気装置、２６  排気ファン、２７  パイプ構造体、２８  排気口、３０  赤外線ヒーター、３２  フィラメント、３４  電気配線、３６  内管、３７  温度センサ、３８  ヒーター本体、４０  外管、４２  キャップ、４４  配線引出部、４６  流体出入口、４８  流路、４９  ホルダー、５０  シート、５２  塗膜、５４，５６  ロール、６０  コントローラー、６２  電力供給源、６４  冷却流体供給源、６６  開閉弁、６８  流量調整弁、７０，１７０  区画構造体、７２  外壁、７４  内壁、７６〜７９  第１〜第４区画空間、８０，１８０  内気流出阻止部、８１  排気装置、８２  排気ファン、８３  パイプ構造体、９０  第２風供給装置、９１  給気ファン、９２  パイプ構造体、９３  ノズル、９４  保護板、９５，１９５  第３風供給装置、９６  給気ファン、９７  パイプ構造体、１９８  給気口、Ａ  ヒーター存在領域。
【図２】
2014129909.tif 000003
【図３】
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【図１】
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【図４】
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