(57)【要約】【課題】流路部材の変形を抑制して信頼性が向上した液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。【解決手段】インクを吐出するヘッド本体と、ヘッド本体に供給されるインクが流通するインク流路５０、及びインク流路５０の一部である第３流路５３が配置される内部空間８０、内部空間８０を外部に大気開放させる大気開放路９０、及び大気開放路９０の一部を構成する大気開放溝９５を有する流路部材４０と、大気開放溝９５を覆うとともに内部空間８０の内面６２に熱溶着されたフィルム９６とを備える。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出するヘッド本体と、
前記ヘッド本体に供給される液体が流通する液体流路、及び該液体流路の一部が配置される内部空間、該内部空間を外部に大気開放させる大気開放路、及び前記内部空間の内面に形成されて前記大気開放路の一部を構成する大気開放溝を有する流路部材と、
前記大気開放溝を覆うとともに前記内部空間の内面に熱溶着されたフィルムとを備える
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
請求項１に記載する液体噴射ヘッドにおいて、
前記フィルムは、前記流路部材の内部空間の内面に熱溶着される第１層と、前記第１層に接合されて融点が第１層よりも高い第２層とを有する
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項３】
請求項２に記載する液体噴射ヘッドにおいて、
前記大気開放溝の深さは、前記フィルムの前記第１層の厚さよりも深い
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項４】
請求項２又は請求項３に記載する液体噴射ヘッドにおいて、
前記フィルムの前記第２層は、透明である
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項５】
請求項２〜請求項４の何れか一項に記載する液体噴射ヘッドにおいて、
前記内部空間の内面の前記フィルムが熱溶着される領域は、第１層と同じ材料から形成されている
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項６】
請求項１〜請求項５の何れか一項に記載する液体噴射ヘッドにおいて、
前記流路部材は、少なくともヘッド本体とは反対側の第１部材とヘッド本体側の第２部材とによって前記内部空間を形成しており、
前記大気開放溝は、前記第１部材に設けられている
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項７】
請求項１〜請求項６の何れか一項に記載する液体噴射ヘッドを備えることを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関し、特に液体としてインクを噴射するインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体を吐出する液体噴射ヘッドの代表例としては、インク滴を吐出するインクジェット式記録ヘッドが挙げられる。インクジェット式記録ヘッドは、例えば、インク滴を吐出するヘッド本体と、インクカートリッジ（液体供給手段）からインクをヘッド本体に供給する流路部材とを具備するものが提案されている（例えば、特許文献１参照）。 
【０００３】
流路部材には、内部空間が設けられ、その内部空間内に液体流路の一部が形成されている。その内部空間内に形成された液体流路の一部は、樹脂等（弾性膜）で該内部空間と区画されている。樹脂等は、インク（液体）を透過させないが、気体を透過させる性質を有している。このため、内部空間の圧力次第では、内部空間の空気が樹脂等を浸透して液体流路に流入し、インク中に気泡を生じさせる虞がある。逆に、液体流路中のインクに含まれる水分が蒸発して蒸気となり、樹脂等を透過する結果、インクが増粘してしまう虞がある。
【０００４】
そこで、流路部材に内部空間を外部に連通させる大気開放路を設けることで、内部空間の圧力を調整している。このような内部空間の調圧により、液体流路中のインクに気泡が混入することや、インク中の水分が蒸発することを抑制している。
【０００５】
特許文献１に係る流路部材では、大気開放路は、内部空間内に溝を設け、該溝をエラストマ等からなるシール部材で覆うことで形成されている。このシール部材は、大気開放路の気密性を確保するため、シール部材は溝側に押圧されながら固定されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１２−１２６０６２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、シール部材を溝側に押圧することにより生じた反力で流路部材を構成する部材が変形するおそれがある。流路部材の変形により、流路部材からヘッド本体が剥離したり、液体流路からインクが漏れるなど、信頼性の問題が生じてしまう。
なお、このような問題はインクジェット式記録ヘッドだけではなく、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。 
本発明はこのような事情に鑑み、流路部材の変形を抑制して信頼性が向上した液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決する本発明の態様は、液体を吐出するヘッド本体と、前記ヘッド本体に供給される液体が流通する液体流路、及び該液体流路の一部が配置される内部空間、該内部空間を外部に大気開放させる大気開放路、及び前記内部空間の内面に形成されて前記大気開放路の一部を構成する大気開放溝を有する流路部材と、前記大気開放溝を覆うとともに前記内部空間の内面に熱溶着されたフィルムとを備えることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、フィルムは、内部空間に形成された大気開放溝に押圧されて固定されていないので、反力が生じず、該反力が流路部材に影響することがない。これにより、反力が流路部材に掛かることが抑制され、流路部材の変形を抑制することができる。このように、流路部材の変形が抑制されるので信頼性が向上した液体噴射ヘッドが提供される。
【０００９】
ここで、前記フィルムは、前記流路部材の内部空間の内面に熱溶着される第１層と、前記第１層に接合されて融点が第１層よりも高い第２層とを有することが好ましい。これによれば、第１層のみを溶融させて内部空間の内面に溶着することができる。
【００１０】
また、前記大気開放溝の深さは、前記フィルムの前記第１層の厚さよりも深いことが好ましい。これによれば、第１層が溶融して大気開放溝に流入したとしても、大気開放溝が閉塞される虞を低減できる。
【００１１】
また、前記フィルムの前記第２層は、透明であることが好ましい。これによれば、レーザー溶着を用いてフィルムを内部空間の内面に溶着させることができる。
【００１２】
また、前記内部空間の内面の前記フィルムが熱溶着される領域は、第１層と同じ材料から形成されていることが好ましい。これによれば、熱溶着による接合が強固なものとなる。また、当該領域及び第１層は融点が同じであるから、それらを溶融させる量を制御し易くなる。これにより、所望の形状の大気開放路を形成することがより容易となり、内部空間を所望の圧力に設定できる大気開放路を形成することができる。
【００１３】
また、前記流路部材は、少なくともヘッド本体とは反対側の第１部材とヘッド本体側の第２部材とによって前記内部空間を形成しており、前記大気開放溝は、前記第１部材に設けられていることが好ましい。これによれば、第１部材及び第２部材とで内部空間を形成し、その内部空間内に大気開放溝を設けることができる。
【００１４】
さらに、本発明の他の態様は、上記態様に記載する液体噴射ヘッドを備えることを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、流路部材の変形が抑制されて信頼性が向上した液体噴射装置が提供される。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】インクジェット式記録装置を示す概略斜視図である。
【図２】実施形態１に係るヘッドを示す分解斜視図である。
【図３】実施形態１に係るヘッド本体の要部を示す断面図である。
【図４】実施形態１に係る流路部材の上面図である。
【図５】流路部材を構成する第１部材の底面図である。
【図６】流路部材を構成する第２部材の上面図である。
【図７】図４のＡ−Ａ′線断面図である。
【図８】第１部材とフィルムを示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
〈実施形態１〉
本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。インクジェット式記録ヘッドは液体噴射ヘッドの一例であり、単にヘッドとも言う。インクジェット式記録装置は液体噴射装置の一例である。
【００１７】
図１は、インクジェット式記録装置の一例を示す概略斜視図である。本実施形態に係るインクジェット式記録装置Ｉは、装置本体２を備え、装置本体２には一方向に延びるキャリッジ軸３が設けられている。キャリッジ軸３には、軸方向に沿って往復移動可能なキャリッジ４が取り付けられている。キャリッジ４には、ヘッド１及びインクカートリッジ５が搭載されている。
【００１８】
装置本体２には、駆動モーター６及びタイミングベルト７が設けられている。タイミングベルト７は、駆動モーター６とキャリッジ４に取り付けられており、駆動モーター６の駆動力がタイミングベルト７によりキャリッジ４に伝達される。この駆動モーター６の駆動により、キャリッジ４はキャリッジ軸３に沿って往復移動する。
【００１９】
一方、装置本体２にはキャリッジ軸３に沿ってプラテン８が設けられている。給紙ローラーなど（図示せず）により給紙された紙等の被記録媒体である記録シートＳがプラテン８に巻き掛けられて、キャリッジ軸３とは直交する方向に搬送されるようになっている。
このようなインクジェット式記録装置Ｉでは、キャリッジ４がキャリッジ軸３に沿って移動されると共にヘッド１によってインクが吐出されて記録シートＳに印刷される。
【００２０】
図２は、本実施形態に係るヘッドを示す分解斜視図である。本実施形態に係るヘッド１は、液体としてインク滴を吐出可能なヘッド本体２０と、ヘッド本体２０に保持された配線基板３０と、ヘッド本体２０にインクを供給する流路部材４０と、を具備する。
【００２１】
まず、図３を参照して、ヘッド本体２０について詳細に説明する。図３は、ヘッド本体の要部を示す断面図である。
図３に示すように、本実施形態に係るヘッド本体２０は、複数のアクチュエーターユニット２１０と、アクチュエーターユニット２１０を内部に収容可能なケース２５０と、ケース２５０の一方面に接合された流路ユニット２３０と、を具備する。
【００２２】
本実施形態のアクチュエーターユニット２１０は、圧電アクチュエーター形成部材２１２と、固定板２１３とを有する。圧電アクチュエーター形成部材２１２は、圧電アクチュエーター２１１が幅方向（Ｙ方向）に複数並設されることで形成されている。圧電アクチュエーター形成部材２１２は、その基端部（一端部）が固定端として固定板２１３に接合され、先端部（他端部）が自由端となっている。
【００２３】
圧電アクチュエーター形成部材２１２は、圧電材料２１４と、個別内部電極２１５と、共通内部電極２１６を交互に挟んで積層することで形成されている。個別内部電極２１５及び共通内部電極２１６は、圧電アクチュエーター２１１の２つの極を構成する内部電極である。個別内部電極２１５は、隣接する圧電アクチュエーター２１１と電気的に独立する個別電極を構成する。共通内部電極２１６は、隣接する圧電アクチュエーター２１１と電気的に共通する共通電極を構成する。
【００２４】
圧電アクチュエーター形成部材２１２には、例えば、ワイヤーソー等によって複数のスリット２１７が形成されている。複数のスリット２１７で圧電アクチュエーター形成部材２１２の先端部側が櫛歯状に切り分けられ、圧電アクチュエーター２１１の列が形成されている。
【００２５】
圧電アクチュエーター２１１の固定板２１３に接合される領域は、振動に寄与しない不活性領域となっている。圧電アクチュエーター２１１を構成する個別内部電極２１５及び共通内部電極２１６間に電圧を印加すると、固定板２１３に接合されていない先端部側の領域のみが振動する。そして、圧電アクチュエーター２１１の先端面が、後述する振動板２３２の島部２４０に接着剤等で固定される。
【００２６】
また、アクチュエーターユニット２１０の各圧電アクチュエーター２１１には、例えばＣＯＦ等の回路基板２２１が接続されている。回路基板２２１には、圧電アクチュエーター２１１を駆動するための駆動ＩＣ等の駆動回路２２０が搭載されている。
【００２７】
流路ユニット２３０は、流路形成基板２３１、振動板２３２及びノズルプレート２３３を具備する。
流路形成基板２３１は、シリコン単結晶基板からなり、複数の圧力発生室２３５がその幅方向（Ｙ方向）に並設されている。具体的には、各圧力発生室２３５は、流路形成基板２３１の一方面側の表層部分に形成された複数の隔壁２３４によって画成されている。
【００２８】
各圧力発生室２３５には、インク供給路２３７を介してマニホールド２３６が連通している。また、流路形成基板２３１の一方面側には振動板２３２が接合され、他方面側にはノズルプレート２３３が接合されている。振動板２３２は、圧力発生室２３５の開口面を封止している。ノズルプレート２３３は、ノズル開口２３８が穿設されており、接着剤や熱溶着フィルムを介して流路形成基板２３１に接着されている。流路形成基板２３１には、厚さ方向（Ｚ方向）に貫通した連通孔２３９が設けられている。ノズルプレート２３３のノズル開口２３８と圧力発生室２３５とは、連通孔２３９を介して連通している。
【００２９】
振動板２３２は、例えば、樹脂フィルム等の弾性部材からなる弾性膜２３２ａと、この弾性膜２３２ａを支持する支持板２３２ｂとから構成されている。振動板２３２は、弾性膜２３２ａ側が流路形成基板２３１に接合されている。
【００３０】
また、振動板２３２の各圧力発生室２３５に対向する領域内には、島部２４０が設けられている。島部２４０は、圧電アクチュエーター２１１の先端部が当接する領域である。具体的には、振動板２３２は、薄肉部２４１と島部２４０とを有している。薄肉部２４１は、振動板２３２のうち、各圧力発生室２３５の周縁部に対向する領域であり、その他の領域よりも厚さが薄くなっている。薄肉部２４１は実質的には弾性膜２３２ａのみで構成されている。また、島部２４０は、薄肉部２４１の内側に設けられており、島部２４０の上面に圧電アクチュエーター２１１の先端部が接着剤等で固定されている。
【００３１】
さらに、振動板２３２のうちマニホールド２３６に対向する領域は、コンプライアンス部２４２となっている。コンプライアンス部２４２は、薄肉部２４１と同様に、実質的に弾性膜２３２ａのみで構成されている。なお、薄肉部２４１やコンプライアンス部２４２は、支持板２３２ｂをエッチングにより除去することで形成されている。
【００３２】
コンプライアンス部２４２は、マニホールド２３６内に圧力変化が生じた時に、このコンプライアンス部２４２（弾性膜２３２ａ）が変形することによって圧力変化を吸収し、マニホールド２３６内の圧力を常に一定に保持する役割を果たす。
【００３３】
なお、本実施形態では、弾性膜２３２ａと支持板２３２ｂとで振動板２３２を構成し、薄肉部２４１及びコンプライアンス部２４２を弾性膜２３２ａのみで構成したが、特にこれに限定されない。例えば、振動板として、１枚の板状部材を用い、板状部材の厚さ方向の一部を除去することで凹形状の薄肉部２４１及びコンプライアンス部２４２、並びにこれらよりも相対的に厚い島部２４０を形成してもよい。
【００３４】
ケース２５０は、流路形成基板２３１の振動板２３２上に固定されている。また、ケース２５０の振動板２３２とは反対側には、配線基板３０が接合され、該配線基板３０上に流路部材４０が接合される。ケース２５０には、インク導入路２５１が設けられている。インク導入路２５１は、流路部材４０に接続されている。インク導入路２５１には、インクカートリッジ５（図１参照）から流路部材４０（図２参照）を経由してインクが供給される。
【００３５】
また、ケース２５０には、厚さ方向に貫通する複数の収容部２５２が設けられており、各収容部２５２にアクチュエーターユニット２１０が固定されている。本実施形態に係るヘッド１は、４個のアクチュエーターユニット２１０を有し、アクチュエーターユニット２１０がそれぞれ独立して収容されるように４個の収容部２５２を有している。
【００３６】
さらに、ケース２５０には、コンプライアンス部２４２に対向する領域に開口する凹形状を有するコンプライアンス空間２５３が設けられている。このコンプライアンス空間２５３によってコンプライアンス部２４２は変形可能となる。
【００３７】
図２に示すように、ケース２５０の上面（流路ユニット２３０側とは反対の面）には、配線基板３０が固定されている。配線基板３０は、回路基板２２１の各配線が接続される導電パッド３３が設けられている。ケース２５０の収容部２５２は、配線基板３０によって実質的に塞がれている。配線基板３０には、ケース２５０の収容部２５２に対抗する領域にスリット状の開口部３１が形成されている。回路基板２２１は開口部３１から収容部２５２の外側に引き出され、配線基板３０の導電パッド３３と電気的に接続されている。
【００３８】
また、配線基板３０には、流路部材４０の液体流路が挿通する挿通部３２が設けられている。挿通部３２を挿通した流路部材４０のインク流路５０（接続部７３）がインク導入路２５１に連通する。
【００３９】
上述したヘッド本体２０は、インク滴を吐出する際に、圧電アクチュエーター２１１及び振動板２３２の変形によって各圧力発生室２３５の容積を変化させ、所定のノズル開口２３８からインク滴を吐出させる。
【００４０】
具体的には、インクカートリッジ５（図１参照）から流路部材４０を経由し、インク導入路２５１を介してマニホールド２３６にインクが供給されると、インク供給路２３７を介して各圧力発生室２３５にインクが分配される。実際には、圧電アクチュエーター２１１に電圧を印加することにより圧電アクチュエーター２１１を収縮させる。これにより、振動板２３２が圧電アクチュエーター２１１と共に変形され、圧力発生室２３５の容積が広げられ、圧力発生室２３５内にインクが引き込まれる。そして、ノズル開口２３８に至るまで内部にインクを満たした後、回路基板２２１を介して供給される記録信号に従い、圧電アクチュエーター２１１の個別内部電極２１５、共通内部電極２１６に印加していた電圧を解除する。これにより、圧電アクチュエーター２１１が伸張されて元の状態に戻ると共に振動板２３２も変位して元の状態に戻る。結果として圧力発生室２３５の容積が収縮して圧力発生室２３５内の圧力が高まりノズル開口２３８からインク滴が吐出される。
【００４１】
上述したヘッド本体２０のケース２５０には、配線基板３０を間に挟んだ状態で流路部材４０が固定される。流路部材４０について、図４〜図７を参照して詳細に説明する。図４は流路部材の上面図であり、図５は流路部材を構成する第１部材の底面図であり、図６は流路部材を構成する第２部材の上面図であり、図７は図４のＡ−Ａ′線断面図である。
【００４２】
流路部材４０は、インクが流通するインク流路５０（液体流路）、インク流路５０の一部が配置される内部空間８０、内部空間８０を外部に大気開放させる大気開放路９０、及び大気開放路９０の一部を構成する大気開放溝９５を有する。
本実施形態に係る流路部材４０は、第１部材６０と第２部材７０とが接合されたものである。
【００４３】
第１部材６０は、板状に形成された部材であり、第２部材７０が接合される。材料に特に限定はないが、少なくとも、後述するフィルム９６が溶着される領域は樹脂から形成されている。第１部材６０には、上面（第２部材７０とは反対の面）から上方に突出した複数のインク供給針６１が設けられている。
【００４４】
インク供給針６１は、インクカートリッジ５（図１参照）からインクが供給されるように構成されている。具体的には、インク供給針６１は円筒状に形成され、第１部材６０を貫通する貫通孔である第１流路５１が頂部に開口している。
【００４５】
第１流路５１は、インク供給針６１の頂部に開口するとともに、第１部材６０の下面（第２部材７０側の面）に開口している。このインク供給針６１に開口した第１流路５１には、インクカートリッジ５（図１参照）からインクが供給される。また、第１部材６０には、第１流路５１の途中にフィルター５６が設けられている。これにより、インク中の異物や気泡がフィルター５６に捕捉され、ヘッド本体２０に到達することが抑制されている。
【００４６】
第２部材７０は、板状に形成された部材であり、第１部材６０が接合される。材料に特に限定はないが、樹脂等の材料から形成することができる。
第２部材７０には、上面（第１部材６０側の面）に４個の溝５５が形成されている。また、第２部材７０の下面（ヘッド本体２０側の面）には、下方に突出した接続部７３が４個形成されている。さらに、第２部材７０には、厚さ方向に貫通した貫通孔である第２流路５２が形成されている。
【００４７】
各第２流路５２は、各溝５５内に開口するとともに、各接続部７３の頂面に開口している。また、第２部材７０に設けられた各接続部７３は、各インク導入路２５１（図２参照）に対向する位置に設けられている。各接続部７３が配線基板３０の挿通部３２を挿通し、各インク導入路２５１に接合することで、各第２流路５２と各インク導入路２５１が連通する。
【００４８】
第１部材６０と第２部材７０とは、第１接合部と第２接合部とで互いに接合されている。ここでいう接合部とは、第１部材６０及び第２部材７０に接合する部分をいう。
第１接合部は、第１部材６０及び第２部材７０の相対向する接合面に配置され、インク流路５０を囲むものである。本実施形態では、第２部材７０の上面に設けられた溝５５を囲む第１ボス部７１と、第１ボス部７１を第１部材６０に接着する接着剤７５が第１接合部となる。
【００４９】
第２接合部は、第１部材６０及び第２部材７０の相対向する接合面に配置され、上述した第１接合部を囲むものである。本実施形態では、第２部材７０の全ての溝５５を囲む第２ボス部７２と、第２ボス部７２を第１部材６０に接着する接着剤７６が第２接合部となる。
【００５０】
第１ボス部７１は、溝５５を囲み、第１部材６０側に突出するように形成されている。第１ボス部７１の頂面は、第１部材６０に接着剤７５により接着されている。このように第１ボス部７１が第１部材６０に接着されることで、溝５５が第１部材６０に封止され、第３流路５３が形成される。
【００５１】
第３流路５３の両端には、それぞれ第１流路５１と第２流路５２とが連通している。これにより、流路部材４０には、第１流路５１、第３流路５３及び第２流路５２とからなるインク流路５０が形成されている。本実施形態では、４個のインク流路５０が形成されている。
【００５２】
第２ボス部７２は、全ての溝５５（第３流路５３）を囲み、第１部材６０側に突出するように形成されている。第２ボス部７２の頂面は、第１部材６０に接着剤７６により接着されている。このように第２ボス部７２が第１部材６０に接着されることで、流路部材４０に内部空間８０が形成されている。
【００５３】
すなわち、内部空間８０は、第１部材６０及び第２部材７０の間に、第１接合部の外側かつ第２接合部の内側に形成された空間である。上述したインク流路５０の一部を構成する第３流路５３は、内部空間８０内に配置されている。なお、第３流路５３は、その周囲が第１ボス部７１及び接着剤７５により囲まれて内部空間８０とは区画されている。すなわち、第１ボス部７１及び接着剤７５は、インクを内部空間８０に漏らさないためのシールとして機能している。
【００５４】
また、流路部材４０には、大気開放路９０が形成されている。大気開放路９０は、内部空間８０を外部に大気開放させる流路であり、本実施形態では次のように形成されている。
【００５５】
第１部材６０の内部空間８０を構成する内面６２（第２部材７０に対向する面）に大気開放溝９５が形成されている。
大気開放溝９５は、大気開放路９０の一部を構成する溝であり、本実施形態では、細長く蛇行するように形成されている。また、第１部材６０には、厚さ方向に貫通した貫通孔である第１大気開放路９１が形成されている。この第１大気開放路９１は、大気開放溝９５の一端に連通している。
【００５６】
大気開放溝９５の一部である開口部９３（第１大気開放路９１に連通される一端とは反対側の端部）を除いて、フィルム９６が大気開放溝９５を覆い、内部空間８０の内面６２に熱溶着されている。
【００５７】
フィルム９６は、大気開放溝９５を覆い、内部空間８０の内面６２に熱溶着可能な材料であれば特に限定はない。例えば、樹脂材料からフィルム９６を形成することができる。
このようにフィルム９６が大気開放溝９５を覆うことで、大気開放溝９５とフィルム９６とから第２大気開放路９２が形成されている。
【００５８】
第２大気開放路９２は、第１大気開放路９１及び開口部９３とともに大気開放路９０を構成する。すなわち、流路部材４０には、第１大気開放路９１、第２大気開放路９２及び開口部９３とからなる大気開放路９０が形成されている。このような大気開放路９０により、内部空間８０は、大気開放路９０を介して外部に連通している。
【００５９】
このように構成された大気開放路９０は、その一部が細長く蛇行した第２大気開放路９２を有している。第２大気開放路９２をこのような形状とすることで、第２大気開放路９２を流通する空気に対する拡散抵抗を高めることができる。
したがって、第２大気開放路９２の形状を調整して拡散抵抗を適宜設定することで、内部空間８０の圧力を任意に設定することができる。
【００６０】
このように内部空間８０の圧力を大気開放路９０で調整することで、内部空間８０が過度に高圧又は低圧になることを抑制することができる。内部空間８０の空気（大気）が過度に高圧となることを抑制できる結果、該空気が接着剤７５を透過し、第３流路５３内のインクに気泡として混入することを抑制できる。また、内部空間８０の空気（大気）が過度に低圧となることを抑制できる結果、第３流路５３内のインクの水分が蒸発して接着剤７５を透過し、該水分の減少によるインクの増粘を抑制することができる。
このようによって、ヘッド１は、気泡の混入やインクの増粘が抑制されて、インクの吐出品質が向上したものとなる。
【００６１】
そして、このような大気開放路９０は、その一部を内部空間８０に形成した大気開放溝９５をフィルム９６で覆うことにより形成した。このフィルム９６は、内部空間８０の内面６２に熱溶着されている。すなわち、熱溶着後はフィルム９６は、大気開放溝９５側への押圧から解放されて固定される。
【００６２】
仮に、例えば、大気開放溝９５を覆うシール部材を配置し、このシール部材を第１部材６０と第２部材７０とで挟持させる場合、シール部材を押圧する力が反力として第１部材６０や第２部材７０に作用してしまう。
【００６３】
一方、本発明では、フィルム９６は押圧されて第１部材６０に固定されていないので、反力が生じず、該反力が第１部材６０や第２部材７０に影響することもない。これにより、反力が流路部材４０に掛かることが抑制され、流路部材４０の変形を抑制することができる。
【００６４】
このように、本発明によれば、流路部材４０の変形を抑制することができる。これにより、流路部材４０からヘッド本体２０が剥離したり、インク流路５０からインクが漏れるなどのおそれが低減され、信頼性が向上したヘッド１が提供される。
【００６５】
〈実施形態２〉
本実施形態では、実施形態１に説明した大気開放路９０を構成するフィルム９６の変形例について説明する。
【００６６】
図８（ａ）は、大気開放溝が形成された第１部材とフィルムを示す断面図であり、図８（ｂ）は、フィルムが熱溶着された第１部材の断面図である。なお、実施形態１と同一のものには同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
【００６７】
図８（ａ）に示すように、本実施形態に係るフィルム９６Ａは、第１層９７と、第１層９７に接合された第２層９８とを備えている。
第１層９７は、内部空間８０となる第１部材６０の内面６２に熱溶着される。第２層９８は、第１層９７の内面６２とは反対側に接合される。また、第２層９８は、第１層９７よりも融点が高い材料からなる。
例えば、第１層９７の材料としてはポリエチレンを用い、第２層９８の材料としてはＰＥＴを用いることができる。
【００６８】
図８（ｂ）に示すように、フィルム９６Ａが大気開放溝９５を覆い、第１部材６０の内面６２に熱溶着される。熱溶着の方法としては特に限定はないが、レーザー溶着や振動溶着を用いることができる。
熱溶着により、第１部材の内面６２と、フィルム９６Ａの第１層９７とが溶着され、フィルム９６Ａが第１部材６０に固定される。
【００６９】
ここで、フィルム９６Ａの第１層９７の融点は、第２層９８の融点よりも低い。したがって、熱溶着の温度を第１層９７の融点よりも高く、かつ第２層９８の融点より低くすることで、第１層９７のみを溶融させて溶着することができる。これにより、熱溶着により第２層９８が溶融して破れてしまうなどの欠損する虞を低減できる。
【００７０】
また、第１部材６０全体、又は、少なくとも第１部材６０のフィルム９６Ａが固定される領域６３は、第１層９７と同じ材料から形成されていることが好ましい。これにより、領域６３とフィルム９６Ａとの接合がより強固なものとすることができる。さらに、領域６３及び第１層９７は融点が同じであるから、それらを溶融させる量を制御し易くなる。
【００７１】
したがって、フィルム９６Ａを溶着させたあとの第２大気開放路９２の深さ（断面積）を制御することができる。これにより、内部空間８０内を所望の圧力に調整可能な形状（流路長、断面積）の第２大気開放路９２を形成することができる。
【００７２】
第２大気開放路９２の形状を、内部空間８０内を所望の圧力に調整可能な形状（流路長、断面積）にすることができるので、例えば、断面積を極力小さくして拡散抵抗を向上させ、その代わりに流路長を短くすることができる。その結果、図５に示したようにＸＹ平面において第２大気開放路９２が占める面積を小さくすることができるため、流路部材４０を小型化し、さらにはヘッド１も小型化することが可能となる。
【００７３】
さらに、大気開放溝９５の深さｄ１は、第１層９７の厚さｄ２よりも深くすることが好ましい。熱溶着により、第１部材６０のフィルム９６Ａが固定される領域と、第１層９７の溶融する量が同程度である。したがって、第１層９７が溶融して大気開放溝９５に流入したとしても、大気開放溝９５が閉塞される虞を低減できる。
【００７４】
また、フィルム９６Ａの第２層９８をＰＥＴなどの透明な材料から形成する場合、レーザー溶着によりフィルム９６Ａを熱溶着することができる。すなわち、大気開放溝９５を覆うようにフィルム９６Ａを第１部材６０上に載置した後、第２層９８側から第１部材６０の領域６３にレーザーを照射する。レーザーは、透明な第２層９８を透過し、第１層９７に到達してこれを溶融させ、領域６３に熱溶着させる。
このようにフィルム９６Ａの第２層９８を透明な材料から形成することで、レーザー溶着を用いて第２大気開放路９２を形成することができる。
なお、本実施形態では、フィルム９６Ａは２層構造を有しているが、これに限らず、３層以上の構造を有していてもよい。
【００７５】
〈他の実施形態〉
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されない。
【００７６】
例えば、大気開放溝９５（第２大気開放路９２）は、細長く蛇行している必要はなく内部空間８０を外部に連通させる流路であってもよい。このような形態であっても、流路長や断面積を調整することで内部空間８０を調圧することができる。
【００７７】
第１接合部及び第２接合部は、何れもボス部と接着剤により構成されていたが、このような態様に限定されない。例えば、第２部材７０上に第１接合部及び第２接合部としてボス部を形成し、当該ボス部を第１部材６０に熱溶着により接合させてもよい。他にも、第１接合部及び第２接合部として環状のシール部材を用いてもよい。
【００７８】
また、圧力発生室２３５に圧力変化を生じさせる圧力発生手段としては、実施形態１に説明したものに限定されない。例えば、液体流路内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズルからインク滴を吐出するものや、振動板と電極との間に静電気力を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズルからインク滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーターなどを使用することができる。
【００７９】
また、インクジェット式記録装置Ｉは、ヘッド１と共にキャリッジ４にインクカートリッジ５を装着した構成、いわゆるオンキャリッジ型とした。しかしながら、インクカートリッジ５を装置本体２に設け、インクカートリッジ５からチューブを介してヘッド１にインクを供給する構成、いわゆるオフキャリッジ型としてもよい。また、インクカートリッジ５は、装置本体２に設けられている必要はなく装置本体２の外部に配置され、チューブ等を介してヘッド１にインクを供給するようにしてもよい。
【００８０】
さらに、本発明は、広く液体噴射装置を対象としたものであり、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種のインクジェット式記録ヘッド等の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等を備える液体噴射装置にも適用することができる。
【符号の説明】
【００８１】
Ｉ  インクジェット式記録装置（液体噴射装置）、  １  ヘッド（液体噴射ヘッド）、  ２０  ヘッド本体、  ３０  配線基板、  ４０  流路部材、  ５０  インク流路（液体流路）、  ６０  第１部材、  ７０  第２部材、  ８０  内部空間、  ９０  大気開放路、  ９１  第１大気開放路、  ９２  第２大気開放路、  ９３  開口部、  ９５  大気開放溝、  ９６、９６Ａ  フィルム、  ９７  第１層、  ９８  第２層、  ２１０  アクチュエーターユニット、  ２３０  流路ユニット、  ２３３  ノズルプレート、  ２３５  圧力発生室、  ２３８  ノズル開口、  ２５０  ケース
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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