(57)【要約】【課題】作業者の作業習熟度を判断しうる加工装置を提供する。【解決手段】制御手段は、加工装置に発生した異常の種類と発生時刻を記憶する異常記憶部と、読取手段で識別コードを読取った時刻と読取った識別コードから特定された作業者とを記憶する識別時刻記憶部と、作業者の作業開始時に読取手段で識別コードを読取った時刻を集計開始時刻として記憶する集計開始時刻記憶部と、作業者の作業終了時に読取手段で識別コードを読取った時刻を集計終了時刻として記憶する集計終了時刻記憶部と、異常記憶部で記憶された異常のうち、集計開始時刻から集計終了時刻の間に発生した異常の発生回数を作業者に対する異常発生回数として集計する異常集計部と、を有する加工装置が提供される。【選択図】図５
2014026434.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物に加工を施す加工装置であって、
被加工物を保持する保持手段と、
該保持手段で保持された該被加工物に加工を施す加工手段と、
該加工手段の動作を制御する制御手段と、
作業者を特定する識別コードを読取って作業者を特定する読取手段と、を備え、
該制御手段は、
該加工装置に発生した異常の種類と発生時刻を記憶する異常記憶部と、
該読取手段で該識別コードを読取った時刻と読取った該識別コードから特定された作業者とを記憶する識別時刻記憶部と、
該作業者の作業開始時に該読取手段で該識別コードを読取った時刻を集計開始時刻として記憶する集計開始時刻記憶部と、
該作業者の作業終了時に該読取手段で該識別コードを読取った時刻を集計終了時刻として記憶する集計終了時刻記憶部と、
該異常記憶部で記憶された異常のうち、該集計開始時刻から該集計終了時刻の間に発生した異常の発生回数を該作業者に対する異常発生回数として集計する異常集計部と、
を有する加工装置。
【請求項２】
少なくとも前記加工手段で被加工物に施す加工の加工条件を入力する入力手段と、
少なくとも該入力手段で入力された加工条件を表示する表示手段と、をさらに備え、
前記異常集計部で集計された作業者別の異常発生回数が該表示手段で表示される、
ことを特徴とする請求項１に記載の加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、加工装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば、被加工物となる半導体ウェーハの加工を行うための加工装置として、切削装置、研削装置、研磨装置、レーザー加工装置等の各種の加工装置が知られている。
【０００３】
例えば、特許文献１は、撮像手段を備えた切削装置について開示するものであり、ウェーハの分割予定ライン（ストリート）に沿って加工される切削溝に光を照射して切削溝の状態を判定する構成としている。また、光量を調整することによって、切削溝の状態を正確に判定できる構成としている。
【０００４】
この特許文献１では、切削溝の両側に形成される細かな欠け（チッピング）や、カーフ幅（切削溝幅）が広がってしまうといった異常発生の対策のための技術について開示している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１１−６６２３３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上述の特許文献１のように、加工装置においては様々な異常が発生するものであり、特許文献１に開示されるような切削装置の例でいえば、被加工物となるウェーハのアライメント時にアライメントマークを検出できないというアライメントエラーや、切削中のウェーハに発生した欠けが予め設定した欠け（チッピング）の許容値を越えてしまったことを示すチッビングオーバーエラーや、切削中のカット位置が許容値を超えてずれたことを示すカット位置エラー、など様々な異常がある。このような異常が発生した場合には、その都度作業者が適宜対応して加工を続行することになる。
【０００７】
ここで、これらの異常が発生する主な要因としては、被加工物のばらつきが挙げられるが、作業者の作業習熟度が低く、適切な設定を行っていないことも一因として挙げられる。
【０００８】
例えば、作業者が最適なアライメントマークを選定しなかった場合には、アライメントエラーが多発することが考えられる。また、作業者が予め設定した欠け（チッピング）やカット位置ずれの許容値が過度に小さいことで、チッビングオーバーエラーやカット位置エラーが多発することが考えられる。
【０００９】
以上のことから、作業者によって異常の発生の回数が異なることが考えられるが、作業習熟度が高い作業者であれば、上述の異常の発生回数が少なく、作業習熟度が低い作業者であればその逆になることが考えられる。
【００１０】
しかしながら、従来の加工装置では、どの作業者の作業中に異常発生回数が多く、どの作業者では異常発生回数が少ないのか、といったことが把握されていなかったため、作業者の作業習熟度が分り難いという課題があった。
【００１１】
本発明は、以上の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、作業者の作業習熟度を判断しうる加工装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
請求項１に記載の発明によると、被加工物に加工を施す加工装置であって、被加工物を保持する保持手段と、保持手段で保持された被加工物に加工を施す加工手段と、加工手段の動作を制御する制御手段と、作業者を特定する識別コードを読取って作業者を特定する読取手段と、を備え、制御手段は、加工装置に発生した異常の種類と発生時刻を記憶する異常記憶部と、読取手段で識別コードを読取った時刻と読取った識別コードから特定された作業者とを記憶する識別時刻記憶部と、作業者の作業開始時に読取手段で識別コードを読取った時刻を集計開始時刻として記憶する集計開始時刻記憶部と、作業者の作業終了時に読取手段で識別コードを読取った時刻を集計終了時刻として記憶する集計終了時刻記憶部と、異常記憶部で記憶された異常のうち、集計開始時刻から集計終了時刻の間に発生した異常の発生回数を作業者に対する異常発生回数として集計する異常集計部と、を有する加工装置が提供される。
【００１３】
また、請求項２に記載の発明によると、少なくとも加工手段で被加工物に施す加工の加工条件を入力する入力手段と、少なくとも入力手段で入力された加工条件を表示する表示手段と、をさらに備え、異常集計部で集計された作業者別の異常発生回数が表示手段で表示される、ことを特徴とする請求項１に記載の加工装置が提供される。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の加工装置では、作業者毎に異常発生回数を集計できるため、この異常発生回数に基づいて作業者の作業習熟度を判断できることになる。
【００１５】
さらに、作業者毎に異常発生回数が集計されることで作業者の意識向上につながり、従来に比べて短期間で作業を習熟することが期待できる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の実施に適した加工装置（切削装置）の斜視図である。
【図２】制御装置の構成について示すブロック図である。
【図３】読取装置とＩＤカードの構成について示す斜視図である。
【図４】異常集計などを実行する機能について説明する機能ブロック図である。
【図５】集計画面の例について示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。加工装置の一例として、半導体ウェーハの切削装置２の外観斜視図が図１に示されている。切削装置２は、切削ブレードを有する切削ユニット１０等の加工手段がハウジング８内に収容された加工装置本体４と、加工装置本体４のハウジング８に装着された表示モニタ６などを有して構成される。
【００１８】
切削ユニット１０に隣接してチャックテーブル１２がＸ軸方向に移動可能に配設されている。１４は内部に複数のウェーハ２２を複数収容可能なカセット２４を載置するカセット載置台（エレベータ）であり、上下方向に移動可能に構成されている。なお、加工時にウェーハ２２を保持する保持手段としては、チャックテーブル１２のようにテーブルで構成する他、エッジクランプ（端を挟持する形態）による保持手段が使用されることも考えられる。
【００１９】
５０は作業者が携帯する物品であるＩＤカード５２に記録（表示や磁気などによる記録）された識別コード５４を読取るための読取装置である。作業者は、この読取装置５０にＩＤカード５２をかざした上で、切削装置２の操作を行うことが想定されている。
【００２０】
図２の概略図に示されるように、切削装置２には、切削装置２を自動制御するための制御装置３０が設けられている。制御装置３０はマイクロコンピュータによって構成されており、制御プログラムに従って演算処理するＣＰＵ（中央処理装置）３１と、制御プログラムや各種データベース等を格納するＲＯＭ（リードオンリーメモリ）３２と、演算結果等を格納する読み書き可能なＲＡＭ（ランダムアクセスメモリ）３３と、入出力インターフェース３４とを備えて構成される。
【００２１】
ＲＯＭ３２には、切削ユニット１０などを自動制御するための制御プログラムや、制御プログラムによって読み出されることが想定される各種データベースが記憶される。
【００２２】
ＲＡＭ３３は、制御プログラムや各種データの読み込みや、オペレータにより入力される加工条件の一時的な記憶などを行う。
【００２３】
入出力インターフェース３４には、加工条件を入力する入力手段として機能するとともに、各種情報を表示する表示手段としても機能する表示モニタ６（図１参照）が接続されている。
【００２４】
入出力インターフェース３４には、作業者が携帯する物品であるＩＤカード５２に記録（表示や磁気などによる記録）された識別コード５４（図３参照）を読取るための読取装置５０が接続されている。
【００２５】
入出力インターフェース３４には、切削ユニット１０を回転させるモータや、チャックテーブル１２を移動させるモータなどの各種駆動装置が接続されており、制御プログラムの実行による演算結果に基づいて、各種駆動装置が加工条件に則って駆動されるようになっている。
【００２６】
図３に示すように、読取装置５０は、ＩＤカード５２に記録された識別コード５４を読取るべく構成されている。本実施形態では、読取装置５０は、挿入溝５１を有する略コ字状に構成されており、この挿入溝５１内にＩＤカード５２を差し込むことにより、非接触により識別コード５４が認識されるように構成されている。
【００２７】
このような形態によれば、一般的に作業者の顔写真５３などの属性情報が記憶され、この作業者が常時携帯することが想定されるＩＤカード５２に識別コード５４を付加するだけで実施が可能であり、例えば、別のカードなどを携帯させる必要が無くなる。また、非接触による認識可能な構成とすることによれば、ＩＤカード５２をかざすだけで容易に識別コード５４を認識させることができ、作業性に優れた構成が実現できる。
【００２８】
識別コード５４には、このＩＤカード５２を所有する作業者を特定するためのデータが含まれ、詳しくは後述するように、識別コード５４の読取によって切削装置２を操作する作業者が特定されるように構成される。
【００２９】
なお、識別コード５４は、本実施形態のように二次元バーコードの形態でＩＤカード５２の表面に表示されて視認可能とするほか、磁気によってＩＤカード５２内に視認不能に格納されるものであってもよい。また、識別コード５４はＩＤカード５２に直接記憶されることとするほか、シールなどによってＩＤカード５２に貼付されるものであってもよい。
【００３０】
さらに、上述した読取装置５０とＩＤカード５２の実施形態とするほかにも、カードを溝に通過させるカードリーダーの形態や、凹凸形状により識別コード５４を認識させる形態なども考えられる。加えて、作業者によって識別コード５４（例えば番号、記号などの文字列）を読取装置５０に入力する形態なども考えられる。つまり、読取装置５０においては、識別コード５４に格納される情報が認識できるものであればよく、その認識させる形態についても特に限定されるものではない。
【００３１】
図４は、本発明において特徴的な機能について説明する機能ブロック図である。この図４では、読取装置５０と、制御装置３０と、表示モニタ６が示されている。
【００３２】
そして、図４に示すように、制御装置３０においては、図２に示すＣＰＵ３１、ＲＯＭ３２、ＲＡＭ３４により、識別時刻記憶部３５と、集計開始時刻記憶部３６と、集計終了時刻記憶部３７と、異常記憶部３８と、異常集計部３９と、制御部４０としてそれぞれ機能する各種機能部が構成される。
【００３３】
識別時刻記憶部３５は、読取装置５０で作業者のＩＤカード５２の識別コード５４を読取った時刻と、読取った識別コードから特定された作業者とを記憶すべく構成される。具体的には、例えば、読取時刻を特定する時計機能と、識別コード５４と作業者の名前をリスト化したテーブル機能と、読取時刻と作業者の名前を関連付けて記憶する記憶機能を備えることで構成することができる。
【００３４】
この識別時刻記憶部３５により、例えば、ある作業者ＡがＩＤカード５２を読取装置５０にかざした時刻が記憶される。
【００３５】
集計開始時刻記憶部３６は、作業者の作業開始時に読取装置５０で識別コード５４を読取った時刻を集計開始時刻として記憶すべく構成される。具体的には、例えば、読取時刻を特定する時計機能と、ある作業者Ａによって加工作業が開始されたことを開始フラグとして自動的に取得する判別機能とを備えることで構成することができる。なお、開始フラグを取得する方法は、例えば、作業者Ａによる加工開始の入力操作（ボタン操作など）がされたことを開始フラグとして取得することとしてもよい。
【００３６】
この集計開始時刻記憶部３６により、例えば、作業者Ａが加工作業を開始した時刻が記憶される。
【００３７】
集計終了時刻記憶部３７は、作業者の作業終了時に読取装置５０で識別コード５４を読取った時刻を集計終了時刻として記憶すべく構成される。具体的には、例えば、読取時刻を特定する時計機能と、ある作業者Ａによる作業が終了したことを終了フラグとして自動的に取得する判別機能とを備えることで構成することができる。なお、終了フラグを取得する方法は、例えば、作業者Ａによる加工終了の入力操作（ボタン操作など）がされたことを終了フラグとして取得することとしてもよい。
【００３８】
この集計終了時刻記憶部３７により、例えば、作業者Ａが加工作業を終了した時刻が記憶される。
【００３９】
異常記憶部３８は、加工装置に発生した異常の種類と発生時刻を記憶すべく構成される。具体的には、例えば、制御部４０から異常情報が入力された際の時刻である異常発生時刻を特定する時計機能と、制御部４０から入力される異常情報に基づいて異常の種類を特定する異常種類特定機能と、異常発生時刻と異常種類を関連付けて記憶する記憶機能を備えることで構成することができる。
【００４０】
この異常記憶部３８により、例えば、発生した全ての異常の種類と、各異常が発生した時刻が記憶される。
【００４１】
異常集計部３９は、異常記憶部３８で記憶された異常のうち、集計開始時刻から集計終了時刻の間に発生した異常の発生回数を作業者に対する異常発生回数として集計すべく構成される。具体的には、例えば、識別時刻記憶部３５で記憶された作業者の名前、集計開始時刻記憶部３６に記憶された集計開始時刻、集計終了時刻記憶部３７に記憶された集計終了時刻、異常記憶部３８に記憶された制御部４０からの異常入力回数、に基づいて、当該作業者が携わった時間内での異常発生回数が集計される。
【００４２】
この異常集計部３９により、例えば、発生した全ての異常のうち、ある作業者Ａが携わった時間帯に限定した場合の異常の種類と、各異常が発生した時刻が記憶される。
【００４３】
制御部４０は、切削装置２に発生する各種の異常を自動的に取得するとともに、取得した異常情報を異常記憶部３８へと随時出力すべく構成される。
【００４４】
さらに、制御部４０は、図５の集計画面４２の例に示すように異常集計部３９によって集計された集計結果を表示モニタ６に表示する。この集計画面４２の例では、横軸を異常項目（異常の種別）、縦軸を単位時間当たりの異常発生回数とし、さらに、作業者Ａ，Ｂ，Ｃの集計結果を横並べに表示することにより、作業者Ａ，Ｂ，Ｃの作業習熟度を比較しやすいように構成している。
【００４５】
ここで、切削装置２において発生する異常の例としては、被加工物となるウェーハのアライメント時にアライメントマークを検出できないというアライメントエラーや、切削中のウェーハに発生した欠けが予め設定した欠け（チッピング）の許容値を越えてしまったことを示すチッビングオーバーエラーや、切削中のカット位置が許容値を超えてずれたことを示すカット位置エラー、などが考えられる。
【００４６】
これらの異常発生は、作業者の習熟度が影響するものである。例えば、作業者が最適なアライメントマークを選定しなかった場合には、アライメントエラーが多発することが考えられる。また、作業者が予め設定した欠け（チッピング）やカット位置ずれの許容値が過度に小さいことで、チッビングオーバーエラーやカット位置エラーが多発することが考えられる。
【００４７】
このため、図５の集計画面４２に示すように、習熟度が低い作業者Ｂによって切削装置２が操作された場合には、制御部４０では数多くの異常が検出され、当該作業者Ｂが携わった作業時間内での異常発生回数は多くなる。
【００４８】
一方で、図５の集計画面４２に示すように、習熟度が高い作業者Ｃによって切削装置２が操作された場合には、制御部４０では数少ない異常が検出され、当該作業者Ｃが携わった作業時間内での異常発生回数は少なくなる。
【００４９】
以上のようにして、本発明を実施することができる。即ち、被加工物としてのウェーハ２２を保持するチャックテーブル（保持手段）１２と、チャックテーブル１２で保持されたウェーハ２２に加工を施す切削ユニット（加工手段）１０と、切削ユニット１０の動作を制御する制御装置（制御手段）３０と、作業者を特定する識別コード５４を読取って作業者を特定する読取装置（読取手段）５０と、を備える切削装置（加工装置）２であって、制御装置３０は、切削装置２に発生した異常の種類と発生時刻を記憶する異常記憶部３８と、読取装置５０で作業者の識別コード５４を読取った時刻と読取った識別コードから特定された作業者とを記憶する識別時刻記憶部３５と、作業者の作業開始時に読取装置５０で識別コード５４を読取った時刻を集計開始時刻として記憶する集計開始時刻記憶部３６と、作業者の作業終了時に読取装置５０で識別コード５４を読取った時刻を集計終了時刻として記憶する集計終了時刻記憶部３７と、異常記憶部３８で記憶された異常のうち、集計開始時刻から集計終了時刻の間に発生した異常の発生回数を作業者に対する異常発生回数として集計する異常集計部３９と、を有する切削装置２とする。
【００５０】
さらに、切削装置２は、少なくとも切削ユニット（加工手段）１０でウェーハ（被加工物）２２に施す加工の加工条件を入力する入力手段と、少なくとも入力手段で入力された加工条件を表示する表示手段と、をさらに備え、異常集計部３９で集計された作業者別の異常発生回数が表示手段で表示される、構成とする。
【００５１】
本実施形態では、タッチパネルにて表示モニタ６を構成し、入力手段と表示手段を兼ね備える構成としている。そして、図５に示す集計画面４２が表示される構成としている。
【００５２】
そして、以上の構成によれば、作業者毎に異常発生回数を集計できるため、この異常発生回数に基づいて作業者の作業習熟度を判断できることになる。
【００５３】
さらに、作業者毎に異常発生回数が集計されることで作業者の意識向上につながり、従来に比べて短期間で作業を習熟することが期待できる。
【００５４】
なお、以上の実施形態では、加工装置として切削装置２を用いて説明したが、このほか、研削装置、研磨装置、レーザー加工装置、洗浄装置、など、各種の加工装置において本発明を実施することは可能である。
【００５５】
また、以上の実施形態に加え、制御装置３０において、作業者によってなされた作業内容を記憶するための作業履歴記憶部を更に備える構成とすることができる。これによれば、作業者毎の異常回数、異常種類の集計に加え、作業履歴を作業者毎に集計することが可能となる。
【符号の説明】
【００５６】
２    切削装置
６    表示モニタ
３０    制御装置
３４    入出力インターフェース
３５    識別時刻記憶部
３６    集計開始時刻記憶部
３７    集計終了時刻記憶部
３８    異常記憶部
３９    異常集計部
４０    制御部
４２    集計画面
５０    読取装置
５２    ＩＤカード
５４    識別コード
【図１】
2014026434.tif 000003
【図２】
2014026434.tif 000004
【図３】
2014026434.tif 000005
【図４】
2014026434.tif 000006
【図５】
2014026434.tif 000007