(57)【要約】【課題】保管時や輸送時の温度変化による両面接着シートの皺発生が効果的に防止されて、常に良好な定盤への接合が確保される。【解決手段】板面の一部に検査窓２１を設けた基板研磨用の研磨パッド２が一方の面に接合される研磨パッド用補助板１であって、補助板１に検査窓２１と連通する開口１１を形成するとともに、他方の面には当該補助板１を剥離可能に定盤に接合するための両面接着シート４を接合し、当該両面接着シート４には補助板１の開口１１を囲んで、応力集中部を避けるように上記開口１１の全周に亘って当該開口１１よりも大きい開口４１を形成する。【選択図】        図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
板面の一部に検査窓を設けた基板研磨用の研磨パッドが一方の面に接合される研磨パッド用補助板であって、前記補助板に前記検査窓と連通する開口を形成するとともに、他方の面には当該補助板を剥離可能に定盤に接合するための両面接着シートを接合し、当該両面接着シートには前記補助板の開口を囲んで、応力集中部を避けるように少なくとも一部が前記補助板の開口よりも大きい開口を形成したことを特徴とする研磨パッド用補助板。
【請求項２】
前記補助板の開口は前記検査窓の形状に一致する長方形であり、前記両面接着シートの開口は前記補助板の開口の全周に亘って当該開口よりも大きく形成されている請求項１に記載の研磨パッド用補助板。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は研磨パッドを接合してその再使用を可能にする研磨パッド用補助板に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には研磨パッドを、補助板を介して研磨機の定盤に接合したものが示されている。これによると、磨耗した研磨パッドを補助板と一体に定盤から取り外すことによって、研磨パッドの曲がりや折損を防止し、補助板を加工装置に固定して研磨パッド表面の平坦化加工や溝の修正加工等を行うことによって研磨パッドを再使用可能に再生することができる。一方、特許文献２には、研磨パッドの板面の一部に検査窓を設け、当該検査窓を通して基板表面に光ビームを照射し、反射光干渉信号をモニタすることによって基板表面の研磨終点を検知するものが示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−２１４５７９
【特許文献２】特開２００８−２２１４４１
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、補助板を研磨機の定盤に接合する際には、取り扱いが容易で取り外しの際の剥離が可能な両面接着シートを使用することが多い。ここで、図３、図４には検査窓を形成した研磨パッドを接合して再生可能とした補助板の一例を示す。図３はその平面図であり、図４はその断面図である。
【０００５】
各図において、補助板１は円板であり、その上面に相対的に小径の円板状の研磨パッド２が、両面接着シート３によって接合されている。補助板１の下面には当該補助板１を研磨機の定盤に接合するための両面接着シート４が貼着されている。
【０００６】
研磨パッド２に形成される検査窓２１は図３に示すように長方形状のものが多く、検査窓２１は透明樹脂材で閉鎖されているとともに、検査窓２１に対応する部分では補助板１およびこれの上下の両面接着シート３，４に上記検査窓２１と一致する同形の開口１１，３１，４１が形成されて検査窓２１に通じる検査穴Ｈとなっている。
【０００７】
ところで、このような構造の補助板１を保管し輸送する途中で雰囲気温度が大きく変化すると、補助板１と両面接着テープ４の温度変化による膨張量ないし収縮量の相違によって両面接着シート４が補助板１から１〜２ｍｍほども浮き上り、図５に示すように、開口４１の直角コーナ部から辺延長上へ延びる皺Ｗが発生して、この皺Ｗによって定盤への接着が適正に行えないという問題があった。
【０００８】
そこで、本発明はこのような課題を解決するもので、保管時や輸送時の温度変化による両面接着シートの皺発生が効果的に防止されて、常に良好な定盤への接合が確保される研磨パッド用補助板を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために、本第１発明では、板面の一部に検査窓（２１）を設けた基板研磨用の研磨パッド（２）が一方の面に接合される研磨パッド用補助板（１）であって、前記補助板（１）に前記検査窓（２１）と連通する開口（１１）を形成するとともに、他方の面には当該補助板（１）を剥離可能に定盤に接合するための両面接着シート（４）を接合し、当該両面接着シート（４）には前記補助板（１）の開口（１１）を囲んで、応力集中部を避けるように少なくとも一部が前記補助板（１）の開口（１１）よりも大きい開口（４１）を形成したことを特徴とする。
【００１０】
本第１発明においては、両面接着シートの開口を、応力集中部を避けるように補助板の開口よりも大きくしてあるから、両面接着シートに皺が発生することが避けられる。
【００１１】
本第２発明では、前記補助板（１）の開口（１１）は前記検査窓（２１）の形状に一致する長方形であり、前記両面接着シート（４）の開口（４１）は前記補助板（１）の開口（１１）の全周に亘って当該開口（１１）よりも大きく形成されている。
本第２発明においては、両面接着シートの開口形状を単純なものにすることができる。
【００１２】
上記カッコ内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の研磨パッド用補助板によれば、保管時や輸送時の温度変化による両面接着シートの皺発生が効果的に防止されて、常に良好な定盤への接合が確保される。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の一実施形態を示す、研磨パッドを接合した状態での研磨パッド用補助板の平面図である。
【図２】図１におけるII−II線に沿った断面図である。
【図３】従来例を示す、研磨パッドを接合した状態での研磨パッド用補助板の平面図である。
【図４】図３におけるIV−IV線に沿った断面図である。
【図５】両面接着シートの要部平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
なお、以下に説明する実施形態はあくまで一例であり、本発明の要旨を逸脱しない範囲で当業者が行う種々の設計的改良も本発明の範囲に含まれる。
【００１６】
図１には研磨パッド用補助板の平面図を示し、図２にはその断面図を示す。補助板１は円板であり、例えば所定厚のポリカーボネート樹脂材で成形されている。補助板１の上面には相対的に小径の円板状の研磨パッド２が接合されている。研磨パッド２は例えば１ｍｍ〜４ｍｍ厚の硬質発泡ウレタン樹脂材で成形されており、その裏面（図２の下面）が、例えばＰＥＴ基材の両面に粘着剤が塗布された０．１ｍｍ〜０．３ｍｍ厚の両面接着（粘着）シート３によって補助板１の表面に接合されている。そして、補助板１の裏面には当該補助板１を研磨機の定盤に接合するための両面接着シート４が接着されている。なお、両面接着シート４も両面接着シート３と同様のものである。
【００１７】
研磨パッド２に形成された検査窓２１は長方形状となっており（図１）、検査窓２１はポリウレタン等の透明樹脂体５で閉鎖されている。検査窓２１に対応する部分で、補助板１およびこれの上下の両面接着シート３，４には上記検査窓２１に連通する長方形状の開口１１，３１，４１がそれぞれ形成されて検査穴Ｈとなっている。そして本実施形態では、両面接着シート３および補助板１の開口３１，１１は検査窓２１と一致する形状となっており、一方、両面接着シート４の開口４１は補助板１の開口１１よりも大きな長方形状となっている（図１）。
【００１８】
すなわち、両面接着シート４の開口４１は補助板１の開口１１とほぼ中心を一致させて形成されており、開口４１が開口１１を囲むように位置して、開口４１の開口縁は開口１１の開口縁から全周に亘って後退している。この後退量の一例は２０ｍｍ以上とする。このような構造によれば、保管時や輸送時に雰囲気温度が大きく変化しても両面接着シート４に従来のような皺Ｗ（図５参照）が発生することが避けられる。
【００１９】
なお、本実施形態では全周に亘って開口１１の開口縁から開口４１の開口縁を後退させるようにしたが、長方形の開口の場合、補助板１と両面接着テープ４の熱膨張率の差による応力集中部は長方形の４つのコーナ部であるから、この領域でのみ開口４１を大径にしてその開口縁を開口１１の開口縁から後退させるようにしても良い。
【００２０】
また、検査窓２１の形状が長方形以外の形状となった場合には、少なくとも当該形状において補助板１と両面接着テープ４の熱膨張率の差により応力が集中する領域で、両面接着テープ４の開口４１の開口縁を補助板１の開口１１の開口縁から後退させるようにすれば良い。
【００２１】
上記実施形態では補助板１上に研磨パッド２が接合されているが、研磨パッドが接合されていない補助板に対しても同様に本発明を適用することができる。なお、研磨パッド２の補助板１への接合は必ずしも両面接着シート３による必要はない。補助板の形状としては、特開２０１１−１６１５２２に記載されているような、板外周部に定盤への取付け用の嵌合周壁部を形成した構造のものであっても良い。
【符号の説明】
【００２２】
１…研磨パッド用補助板、１１…開口、２…研磨パッド、２１…検査窓、４…両面接着シート、４１…開口。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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