(57)【要約】【課題】貫通電極をなす結晶粒の熱的ストレスによる突出現象を緩和して半導体パッケージの接続不良又はクラックを防止する半導体装置及びその製造方法が提供される。【解決手段】第１面及び前記第１面に対向する第２面を含む基板及び基板を貫通するビアホール内の貫通電極が提供される。貫通電極と隣接して前記第１面に提供された集積回路が提供される。貫通電極は前記ビアホールの一部を満たす金属層及び前記ビアホールの残りの部分を満たす合金層を含む。前記合金層は前記金属層に含まれた金属元素及び前記金属層に含まれた金属元素と異なる金属元素を含む。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１面及び前記第１面に対向する第２面を含む基板と、
前記基板を貫通するビアホール内の貫通電極と、
前記貫通電極と隣接して前記第１面に提供された集積回路と、を含み、
前記貫通電極は、
前記ビアホールの一部を満たす金属層と、
前記ビアホールの残りの部分を満たす合金層と、を含み、
前記合金層は、前記金属層に含まれた金属元素及び前記金属層に含まれた金属元素と異なる金属元素を含む半導体装置。
【請求項２】
前記貫通電極は、前記第１面に隣接する上面及び前記第２面に隣接する下面を含み、
前記合金層は、前記貫通電極の上面で露出された請求項１に記載の半導体装置。
【請求項３】
前記金属層は、前記合金層と前記ビアホールとの側壁間に延長された延長部を含む請求項１に記載の半導体装置。
【請求項４】
前記合金層上面の直径は、前記延長部の厚さより大きい請求項３に記載の半導体装置。
【請求項５】
前記貫通電極と前記集積回路とを電気的に連結する上部配線をさらに含み、
前記金属層と前記合金層とは、前記上部配線と共通的に接している請求項３に記載の半導体装置。
【請求項６】
前記貫通電極は、前記ビアホールの側壁に沿って提供されるバリアー層をさらに含み、
前記合金層は、前記バリアー層と接している請求項１に記載の半導体装置。
【請求項７】
前記貫通電極は、前記金属層と前記合金層との間の分離導電層をさらに含み、
前記金属層と前記合金層とは、前記分離導電層によって分離されている請求項１に記載の半導体装置。
【請求項８】
前記合金層の厚さは、前記貫通電極の総長さの約２％乃至約１５％である請求項１に記載の半導体装置。
【請求項９】
前記合金層の結晶粒の大きさは、前記金属層の結晶粒の大きさより小さい請求項１に記載の半導体装置。
【請求項１０】
前記金属層の平均結晶粒の大きさは、前記合金層の平均結晶粒の大きさの約２倍以上である請求項１に記載の半導体装置。
【請求項１１】
前記合金層は、銅合金又はタングステン合金を含む請求項１に記載の半導体装置。
【請求項１２】
前記金属層は、銅（Ｃｕ）を含み、前記合金層は、Ｃｕ−Ｍｎ合金（Ｍｎは５ａｔｍ％乃至８ａｔｍ％）、Ｃｕ−Ａｕ合金（Ａｕは１０ａｔｍ％以上）、又はＣｕ−Ｎｉ合金（Ｎｉは２ａｔｍ％以上）の中の少なくとも１つを含む請求項１に記載の半導体装置。
【請求項１３】
前記金属層は、タングステン（Ｗ）を含み、前記合金層は、Ｗ−Ｍｎ合金（Ｍｎは５ａｔｍ％乃至８ａｔｍ％）、Ｗ−Ａｕ合金（Ａｕは１０ａｔｍ％以上）、又はＷ−Ｎｉ合金（Ｎｉは２ａｔｍ％以上）の中の少なくとも１つを含む請求項１に記載の半導体装置。
【請求項１４】
前記集積回路を覆う第１層間絶縁膜をさらに含み、
前記貫通電極は、前記第１面に対向する、前記第１層間絶縁膜の上面まで延長された請求項１に記載の半導体装置。
【請求項１５】
前記合金層の下面は、前記第１面より高い請求項１４に記載の半導体装置。
【請求項１６】
前記集積回路を覆う第１層間絶縁膜をさらに含み、
前記第１層間絶縁膜は、前記貫通電極の上面を覆っている請求項１に記載の半導体装置。
【請求項１７】
前記集積回路を覆う第１層間絶縁膜と、
前記第１層間絶縁膜上の金属配線と、
前記金属配線上の第２層間絶縁膜と、をさらに含み、
前記貫通電極は、前記第１層間絶縁膜に対向する、前記第２層間絶縁膜の上面まで延長された請求項１に記載の半導体装置。
【請求項１８】
活性面、前記活性面と対向する非活性面、及び前記活性面と前記非活性面とを貫通するビアホールを含む基板と、
前記ビアホール内の貫通電極と、を含み、
前記貫通電極は、前記ビアホールの一部を満たす金属層、及び前記金属層上に提供され、前記金属層に含まれた金属元素と異なる金属元素を含む合金層を含み、
前記金属層は、前記合金層と前記ビアホールの側壁との間に延長された延長部を含む半導体装置。
【請求項１９】
前記金属層は、前記合金層下のボディー部をさらに含み、
前記延長部の結晶粒の大きさは、前記ボディー部の結晶粒大きさより小さい請求項１８に記載の半導体装置。
【請求項２０】
前記貫通電極と隣接して前記基板の活性面上に提供された集積回路と、
前記貫通電極と前記集積回路とを電気的に連結する上部配線と、をさらに含み、
前記金属層と前記合金層とは、前記上部配線と共通的に接している請求項１８に記載の半導体装置。
【請求項２１】
前記集積回路を覆う層間絶縁膜をさらに含み、
前記貫通電極は、前記層間絶縁膜を貫通して前記上部配線と連結される請求項２０に記載の半導体装置。
【請求項２２】
前記合金層の下面は、前記活性面より高い請求項２１に記載の半導体装置。
【請求項２３】
前記延長部の内側壁は、垂直ではない傾斜を有する請求項１８に記載の半導体装置。
【請求項２４】
前記合金層は、前記金属層に含まれた金属元素をさらに含む請求項１８に記載の半導体装置。
【請求項２５】
基板の第１面を貫通するビアホールを形成することと、
前記ビアホール内に金属層を形成することと、
前記金属層上に前記ビアホールを満たし、前記金属層に含まれた金属元素と異なる金属元素を含む合金層を形成することと、を含む半導体装置の製造方法。
【請求項２６】
前記基板の第１面と対向する前記基板の第２面を研磨して前記金属層を露出させることをさらに含む請求項２５に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項２７】
前記金属層を形成することは、前記ビアホールの側壁上にバリアー層及びシード層を順に形成することを含む請求項２５に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項２８】
前記金属層は、ビアホールの下面より前記ビアホールの上面の側壁上で相対的に薄く形成される請求項２７に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項２９】
前記金属層は、前記シード層を利用する電解鍍金で形成され、
前記金属層を形成することは、前記シード層に印加される電流を中止して前記ビアホールの側壁上に形成された前記金属層の一部を溶解させることをさらに含む請求項２７に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項３０】
前記金属層の溶解によって前記シード層の一部が露出され、
前記合金層は、前記露出されたシード層を利用する電解鍍金で形成される請求項２９に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項３１】
前記ビアホールの側壁上に形成された前記金属層の溶解の時、前記シード層の一部が共に溶解されて前記バリアー層が露出される請求項２９に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項３２】
前記合金層は、前記金属層と異なる方法によって形成され、
前記合金層を形成する前に、前記金属層の表面に分離導電層を形成することをさらに含む請求項２５に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項３３】
前記基板の第１面上に集積回路を形成することと、
前記集積回路を覆う第１層間絶縁膜を形成することと、
前記第１層間絶縁膜上に金属配線を形成することと、をさらに含み、
前記金属層及び前記合金層を形成することは、前記集積回路及び前記第１層間絶縁膜を形成した後及び前記金属配線を形成する前に遂行される請求項２５に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項３４】
前記基板の第１面上に集積回路を形成することをさらに含み、
前記金属層及び前記合金層を形成することは、前記集積回路の形成する前に遂行される請求項２５に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項３５】
前記基板の第１面上に集積回路を形成することと、
前記集積回路を覆う第１層間絶縁膜を形成することと、
前記第１層間絶縁膜上に金属配線を形成することと、
前記金属配線上に第２層間絶縁膜を形成することと、をさらに含み、
前記金属層及び前記合金層を形成することは、前記第２層間絶縁膜を形成した後に遂行される請求項２５に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項３６】
半導体基板及び前記半導体基板上の層間絶縁膜を含む半導体チップを含み、
前記半導体チップは、前記半導体チップの少なくとも一部を貫通するように垂直延長する貫通電極を含み、
前記貫通電極は、金属層及び前記金属層に隣接する合金層を含み、
前記合金層は、少なくとも２つの金属元素を含み、前記少なくとも２つの金属元素は、前記金属層に含まれた金属元素及び前記金属層に含まれた金属元素と異なる金属元素を含む半導体装置。
【請求項３７】
前記層間絶縁膜は、順に積層された第１層間絶縁膜及び第２層間絶縁膜を含み、前記貫通電極は、前記基板及び前記第１層間絶縁膜を貫通する請求項３６に記載の半導体装置。
【請求項３８】
前記貫通電極は、前記第２層間絶縁膜を貫通しない請求項３７に記載の半導体装置。
【請求項３９】
前記層間絶縁膜は、順に積層された第１層間絶縁膜及び第２層間絶縁膜を含み、前記貫通電極は、前記基板を貫通する請求項３６に記載の半導体装置。
【請求項４０】
前記貫通電極は、前記第１及び第２層間絶縁膜を貫通しない請求項３９に記載の半導体装置。
【請求項４１】
前記層間絶縁膜は、順に積層された第１層間絶縁膜及び第２層間絶縁膜を含み、前記貫通電極は、前記基板、前記第１層間絶縁膜、及び前記第２層間絶縁膜を貫通する請求項３６に記載の半導体装置。
【請求項４２】
半導体基板及び前記半導体基板上の層間絶縁膜を含む半導体チップを含み、
前記半導体チップは、前記半導体チップの少なくとも一部を貫通するように垂直延長する貫通電極を含み、
前記貫通電極は、金属層及び前記金属層に隣接する合金層を含み、
前記合金層は、少なくとも２つの金属元素を含み、前記２つの金属元素の中で少なくとも１つは、前記金属層に含まれたものと異なる半導体装置。
【請求項４３】
前記合金層に含まれた金属元素の全てが、前記金属層に含まれた元素と異なる請求項４２に記載の半導体装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は半導体に関し、より具体的には貫通電極を具備する半導体装置及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
最近、電子産業の趨勢は軽量化、小型化、高速化、多機能化、及び高性能化された製品を低廉な価額に製造することである。このような目標を達成するためにマルチチップ積層パッケージ（ｍｕｌｔｉ−ｃｈｉｐ  ｓｔａｃｋｅｄ  ｐａｃｋａｇｅ）技術又はシステム−イン−パッケージ（ｓｙｓｔｅｍ  ｉｎ  ｐａｃｋａｇｅ）技術が使用される。
【０００３】
マルチチップ積層パッケージ又はシステム−イン−パッケージは複数個の単位半導体装置の機能を１つの半導体パッケージで遂行することができる。マルチチップ積層パッケージ又はシステム−イン−パッケージは通常的な単一チップパッケージに比べて若干厚くなるが、平面的には単一チップパッケージと大きさと概ね類似であるので、携帯電話機、ノートブック型コンピューター、メモリカード、携帯用カムコーダー等のような高機能でありながら、同時に小型乃至移動性が要求される製品に主に使用される。マルチチップ積層パッケージ技術又はシステム−イン−パッケージ技術はシリコン貫通電極（ｔｈｒｏｕｇｈ  ｓｉｌｉｃｏｎ  ｖｉａ：ＴＳＶ）技術を使用する。前記貫通電極は半導体装置の性能に影響を及ぼすことができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】米国特許公開２０１１／０１７７６５５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明が解決しようとする課題は、貫通電極をなす結晶粒の熱的ストレスによる突出現象を緩和して半導体パッケージの接続不良又はクラックを防止することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成することができる本発明の一実施形態による半導体装置は、第１面及び前記第１面に対向する第２面を含む基板と、前記基板を貫通するビアホール内の貫通電極と、前記貫通電極と隣接して前記第１面に提供された集積回路と、を含み、前記貫通電極は、前記ビアホールの一部を満たす金属層と、前記ビアホールの残りの部分を満たす合金層と、を含み、前記合金層は、前記金属層に含まれた金属元素及び前記金属層に含まれた金属元素と異なる金属元素を包含することができる。
【０００７】
前記貫通電極は、前記第１面に隣接する上面及び前記第２面に隣接する下面を含み、前記合金層は、貫通電極の上面で露出され得る。
【０００８】
前記金属層は、前記合金層と前記ビアホールの側壁との間に延長された延長部を包含することができる。
【０００９】
前記合金層上面の直径は、前記延長部の厚さより大きくなり得る。
【００１０】
前記貫通電極と前記集積回路とを電気的に連結する上部配線をさらに含み、前記金属層と前記合金層とは、前記上部配線と共通的に接することができる。
【００１１】
前記貫通電極は、前記ビアホールの側壁に沿って提供されるバリアー層をさらに含み、前記合金層は、前記バリアー層と接することができる。
【００１２】
前記貫通電極は、前記金属層と前記合金層との間の分離導電層をさらに含み、前記金属層と前記合金層は、前記分離導電層によって分離され得る。
【００１３】
前記合金層の厚さは、前記貫通電極の総長さの約２％乃至約１５％であり得る。
【００１４】
前記合金層の結晶粒の大きさは、前記金属層の結晶粒の大きさより小さいことがあり得る。
【００１５】
前記金属層の平均結晶粒の大きさは、前記合金層の平均結晶粒の大きさの約２倍以上であり得る。
【００１６】
前記合金層は、銅合金又はタングステン合金を包含することができる。
【００１７】
前記金属層は、銅（Ｃｕ）を含み、前記合金層は、Ｃｕ−Ｍｎ合金（Ｍｎは５ａｔｍ％乃至８ａｔｍ％）、Ｃｕ−Ａｕ合金（Ａｕは１０ａｔｍ％以上）、又はＣｕ−Ｎｉ合金（Ｎｉは２ａｔｍ％以上）の中の少なくとも１つを包含することができる。
【００１８】
前記金属層は、タングステン（Ｗ）を含み、前記合金層は、Ｗ−Ｍｎ合金（Ｍｎは５ａｔｍ％乃至８ａｔｍ％）、Ｗ−Ａｕ合金（Ａｕは１０ａｔｍ％以上）、又はＷ−Ｎｉ合金（Ｎｉは２ａｔｍ％以上）の中の少なくとも１つを包含することができる。
【００１９】
前記集積回路を覆う第１層間絶縁膜をさらに含み、前記貫通電極は、前記第１面に対向する、前記第１層間絶縁膜の上面まで延長され得る。
【００２０】
前記合金層の下面は、前記第１面より高いことがあり得る。
【００２１】
前記集積回路を覆う第１層間絶縁膜をさらに含み、前記第１層間絶縁膜は、前記貫通電極の上面を覆うことができる。
【００２２】
前記集積回路を覆う第１層間絶縁膜と、前記第１層間絶縁膜上の金属配線と、前記金属配線上の第２層間絶縁膜と、をさらに含み、前記貫通電極は、前記第１層間絶縁膜に対向する、前記第２層間絶縁膜の上面まで延長され得る。
【００２３】
本発明の他の実施形態による半導体装置は、活性面、前記活性面と対向する非活性面、及び前記活性面と前記非活性面を貫通するビアホールを含む基板と、前記ビアホール内の貫通電極と、を含み、前記貫通電極は、前記ビアホールの一部を満たす金属層、及び前記金属層上に提供され、前記金属層に含まれた金属元素と異なる金属元素を含む合金層を含み、前記金属層は、前記合金層と前記ビアホールの側壁間に延長された延長部を包含することができる。
【００２４】
前記金属層は、前記合金層下のボディー部をさらに含み、前記延長部の結晶粒の大きさは、前記ボディー部の結晶粒の大きさより小さいことがあり得る。
【００２５】
前記貫通電極と隣接して前記基板の活性面上に提供された集積回路と、前記貫通電極と前記集積回路とを電気的に連結する上部配線と、をさらに含み、前記金属層と前記合金層とは、前記上部配線と共通的に接することができる。
【００２６】
前記集積回路を覆う層間絶縁膜をさらに含み、前記貫通電極は、前記層間絶縁膜を貫通して前記上部配線と連結され得る。
【００２７】
前記合金層の下面は、前記活性面より高いことがあり得る。
【００２８】
前記延長部の内側壁は、垂直ではない傾斜を有することができる。
【００２９】
前記合金層は、前記金属層に含まれた金属元素をさらに包含することができる。
【００３０】
前記目的を達成することができる本発明の一実施形態による半導体装置は、基板の第１面を貫通するビアホールを形成することと、前記ビアホール内に金属層を形成することと、前記金属層上に前記ビアホールを満たし、前記金属層に含まれた金属元素と異なる金属元素を含む合金層を形成することと、前記基板の第１面と対向する前記基板の第２面を研磨して前記金属層を露出させることと、を包含することができる。
【００３１】
前記金属層を形成することは、前記ビアホールの側壁上にバリアー層及びシード層を順に形成することを包含することができる。
【００３２】
前記金属層は、ビアホールの下面より前記ビアホールの上面の側壁上で相対的に薄く形成され得る。
【００３３】
前記金属層は、前記シード層を利用する電解鍍金で形成され、前記金属層を形成することは、前記シード層に印加される電流を中止して前記ビアホールの側壁上に形成された前記金属層の一部を溶解させることをさらに含むことができる。
【００３４】
前記金属層の溶解によって前記シード層の一部が露出され、前記合金層は、前記露出されたシード層を利用する電解鍍金で形成され得る。
【００３５】
前記ビアホールの側壁上に形成された前記金属層の溶解の時、前記シード層の一部が共に溶解されて前記バリアー層が露出され得る。
【００３６】
前記合金層は、前記金属層と異なる方法によって形成され、前記合金層を形成する前に、前記金属層の表面に分離導電層を形成することをさらに包含することができる。
【００３７】
前記基板の第１面上に集積回路を形成することと、前記集積回路を覆う第１層間絶縁膜を形成することと、をさらに含み、前記金属層及び前記合金層を形成することは、前記集積回路及び前記第１層間絶縁膜を形成した後及び前記金属配線を形成する前に遂行されることができる。
【００３８】
前記基板の第１面上に集積回路を形成することをさらに含み、前記金属層及び前記合金層を形成することは、前記集積回路の形成する前に遂行されることができる。
【００３９】
前記基板の第１面上に集積回路を形成することと、前記集積回路を覆う第１層間絶縁膜を形成することと、前記第１層間絶縁膜上に金属配線を形成することと、前記金属配線上に第２層間絶縁膜を形成することと、をさらに含み、前記金属層及び前記合金層を形成することは、前記第２層間絶縁膜を形成した後に遂行されることができる。
【発明の効果】
【００４０】
本発明によると、貫通電極の上部の結晶粒が微細化されて貫通電極上部の突出現象を緩和させることができる。また、貫通電極上の層間絶縁膜の変形及びクラック等を防止し、上部配線との接合部分での剥離を防止することによって接触抵抗を改善することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明の実施形態による半導体装置を示した断面図である。
【図２】本発明の一実施形態による半導体装置の製造方法を示した断面図及び平面図である。
【図３】本発明の一実施形態による半導体装置の製造方法を示した断面図及び平面図である。
【図４】本発明の一実施形態による半導体装置の製造方法を示した断面図及び平面図である。
【図５】本発明の一実施形態による半導体装置の製造方法を示した断面図及び平面図である。
【図６】本発明の一実施形態による半導体装置の製造方法を示した断面図及び平面図である。
【図７Ａ】本発明の一実施形態による半導体装置の製造方法を示した断面図及び平面図である。
【図７Ｂ】本発明の一実施形態による半導体装置の製造方法を示した断面図及び平面図である。
【図８Ａ】本発明の他の実施形態による貫通電極の形状を図示する断面図及び平面図である。
【図８Ｂ】本発明の他の実施形態による貫通電極の形状を図示する断面図及び平面図である。
【図９Ａ】本発明のその他の実施形態による貫通電極の形状を図示する断面図及び平面図である。
【図９Ｂ】本発明のその他の実施形態による貫通電極の形状を図示する断面図及び平面図である。
【図９Ｃ】本発明のその他の実施形態による貫通電極の形状を図示する断面図及び平面図である。
【図１０Ａ】本発明のその他の実施形態による貫通電極の形状を図示する断面図及び平面図である。
【図１０Ｂ】本発明のその他の実施形態による貫通電極の形状を図示する断面図及び平面図である。
【図１０Ｃ】本発明のその他の実施形態による貫通電極の形状を図示する断面図及び平面図である。
【図１０Ｄ】本発明のその他の実施形態による貫通電極の形状を図示する断面図及び平面図である。
【図１１Ａ】貫通電極の形成が集積回路の形成と金属配線の形成との間に遂行されるビアミドル構造の製造方法の工程フローチャートである。
【図１１Ｂ】図１１Ａによって形成された半導体装置の断面図である。
【図１２Ａ】貫通電極が集積回路と配線の形成以前に形成されるビアファースト構造の製造方法の工程フローチャートである。
【図１２Ｂ】図１２Ａによって形成された半導体装置の断面図である。
【図１３Ａ】貫通電極が集積回路形成以後、及び第１金属配線と第２金属配線の形成との間に形成されるビアラスト構造の製造方法の工程フローチャートである。
【図１３Ｂ】図１３Ａによって形成された半導体装置の断面図である。
【図１４】本発明の実施形態による半導体パッケージの断面図である。
【図１５】本発明の実施形態による半導体パッケージの断面図である。
【図１６】本発明の実施形態による半導体パッケージの断面図である。
【図１７】本発明の実施形態によるパッケージモジュールを示す平面図である。
【図１８】本発明の実施形態によるメモリカードを示す概略図である。
【図１９】本発明の実施形態による電子システムを示すブロック図である。
【図２０】電子システムがモバイルフォンに適用される例を図示する。
【発明を実施するための形態】
【００４２】
以下、本発明によるエアーギャップ絶縁構造を有する貫通電極を具備する半導体装置及びその製造方法を添付した図面を参照して詳細に説明する。
【００４３】
本発明と従来技術とを比較した長所は添付された図面を参照した詳細な説明と特許請求の範囲とを通じて明確になり得る。特に、本発明は特許請求の範囲で明確に請求されている。しかし、本発明は添付された図面に関連して次の詳細な説明を参照することによって最も良く理解できる。図面において、同一の参照符号は多様な図面を通じて同一の構成要素を示す。
【００４４】
＜装置例＞
図１は本発明の実施形態による半導体装置１０を示した断面図である。
【００４５】
図１を参照すれば、半導体装置１０は電気的信号を基板１００を貫通して伝達する導電性連結部１２０を包含することができる。前記導電性連結部１２０は前記基板１００を貫通する貫通電極ＴＳを包含することができる。前記導電性連結部１２０は前記貫通電極ＴＳと接触され、前記基板１００の上面１００ａ上に配置された上部配線１１０と、前記貫通電極ＴＳと接触され、前記基板１００の下面１００ｃ上に配置された下部配線１１６の中で少なくとも１つを包含することができる。前記上面１００ａは前記基板１００の活性面と称し、前記下面１００ｃは前記基板１００の非活性面と称され得る。前記上面１００ａ及び前記下面１００ｃの各々は基板１００の厚さ方向と垂直する水平方向に延長された実質的に平らな面であり得る。
【００４６】
前記上部配線１１０は前記基板１００の上面１００ａにしたがって水平に延長されることができ、前記下部配線１１６は前記基板１００の下面１００ｃにしたがって水平に延長され得る。前記上部配線１１０と前記下部配線１１６との中で少なくともいずれか１つは再配線されることができる。前記下部配線１１６には前記半導体装置１０を他の装置、例えば他の半導体装置或いは印刷回路基板に電気的に連結できる連結端子で第１バンプ１１８が付着されることができる。前記上部配線１１０に連結端子がさらに付着され得る。
【００４７】
前記貫通電極ＴＳは前記基板１００を垂直貫通して前記上部配線１１０及び前記下部配線１１６と連結され得る。前記上部配線１１０を通じて伝達される電気的信号は前記貫通電極ＴＳにしたがって前記基板１００を垂直貫通して前記下部配線１１６に或いはその逆に伝達され得る。
【００４８】
前記基板１００の上面１００ａ及び下面１００ｃは上部保護膜１２４及び下部保護膜１１４によって各々覆われることができる。前記上部保護膜１２４及び前記下部保護膜１１４は前記基板１００を外部環境から保護し、電気的に絶縁させ得る。前記導電性連結部１２０は基板１００と電気的に絶縁され得る。例えば、前記上部保護膜１２４は前記上部配線１１０を前記基板１００の上面１００ａから離隔させて電気的に絶縁させ、前記下部保護膜１１４は前記下部配線１１６を前記基板１００の下面１００ｃから離隔させて電気的に絶縁させ得る。一例として、前記上部保護膜１２４及び前記下部保護膜１１４はシリコン酸化物、シリコン窒化物、又はシリコン酸化窒化物を包含することができる。前記貫通電極ＴＳは前記基板１００を貫通するビアホール１７１内に提供され得る。前記ビアホール１７１は前記基板１００の内表面によって定義される部分であり得る。前記貫通電極ＴＳはライナー絶縁膜１３３によって前記基板１００と電気的に絶縁され得る。前記ビアホール１７１は前記上面１００ａと前記下面１００ｃとを継ぐ実質的に垂直になる面であり得る。前記ライナー絶縁膜１３３は酸化膜或いは窒化膜を包含することができる。前記ライナー絶縁膜１３３は前記貫通電極ＴＳを囲み、その側壁に沿って前記上部配線１１０から前記下部配線１１６まで延長され得る。
【００４９】
前記貫通電極ＴＳは前記ビアホール１７１の一部を満たす金属層１０８及び前記ビアホール１７１内で、前記金属層１０８上に提供される合金層１０７を包含することができる。前記合金層１０７は前記基板１００の上面１１０ａに隣接する前記貫通電極ＴＳの上面に露出されて前記上部配線１１０に連結され得る。前記合金層１０７は前記基板１００の下面１１０ｃに隣接する前記貫通電極ＴＳの下面に露出されないこともあり得る。一例として、前記合金層１０７の前記上面１１０ａと垂直する方向の厚さＴ１は前記貫通電極ＴＳの総高さＨ１の約２％乃至約１５％であり得る。前記貫通電極ＴＳは前記ライナー絶縁膜１３３と前記金属層１０８との間に提供されるバリアー層１３１を包含することができる。前記バリアー層１３１は前記金属層１０８から金属原子が前記基板１００へ拡散することを減らし得る。前記バリアー層１３１はチタニウム、チタニウム窒化物、タンタル、タンタル窒化物、ルテニウム、コバルト、マンガン、タングステン窒化物、ニッケル、ニッケルホウ化物、又はチタニウム／チタニウム窒化物のような二重膜を包含することができる。
【００５０】
前記金属層１０８は銅、タングステン、銀、金、又はインジウムを包含することができる。前記合金層１０７は前記金属層１０８に含まれた金属元素と異なる金属元素を包含することができる。一例として、前記合金層１０７は前記金属層１０８に含まれた金属元素と異なる金属元素と、前記金属層１０８に含まれた金属元素の合金物質を包含することができる。前記金属層１０８が銅である場合、前記合金層１０７は銅と異なる金属元素又は金属元素、一例として、Ｗ、Ｍｎ、Ｃｒ、Ａｇ、Ａｕ、Ｎｉ、又はＳｇＡＧの中で少なくとも１つを含む合金であり得る。前記合金層１０７は２種又は３種以上の金属元素を含む合金であり得る。前記合金層１０７は非金属不純物元素をさらに包含することができる。一例として、前記銅と異なる金属元素を含む合金物質はＣｕ−Ｍｎ合金（Ｍｎは５ａｔｍ％乃至８ａｔｍ％）、Ｃｕ−Ａｕ合金（Ａｕは１０ａｔｍ％以上）、Ｃｕ−Ｎｉ合金（Ｎｉは２ａｔｍ％以上）等であり得る。一例として、前記金属層１０８がタングステンである場合、前記合金層１０７はタングステンと異なる金属元素を含む合金であり得る。一例として、前記タングステンと異なる金属元素を含む合金物質はＷ−Ｍｎ合金（Ｍｎは５ａｔｍ％乃至８ａｔｍ％）、Ｗ−Ａｕ合金（Ａｕは１０ａｔｍ％以上）、Ｗ−Ｎｉ合金（Ｎｉは２ａｔｍ％以上）等であり得る。
【００５１】
前記金属層１０８は合金ではないことがあり得る。本明細書で、合金は金属間の化合物に限定され、金属と非金属との間の化合物を含まないことを意味している。しかし、前記金属間の化合物は非金属物質をさらに包含することができる。
【００５２】
前記合金層１０７は前記金属層１０８に含まれた金属元素を包含しないことがあり得る。一例として、前記金属層１０８が銅である場合、前記合金層１０７は銅を包含しない合金物質で形成され得る。一例として、前記銅を包含しない合金物質はＡｇ−Ｎｉ合金、Ａｇ−Ｍｎ合金、Ａｇ−Ａｕ合金、Ｗ−Ｎｉ合金、Ｗ−Ｍｎ合金、Ｗ−Ａｕ合金、Ｗ−Ｔｉ合金、又はＷ−Ｔａ合金の中から少なくとも１つを包含することができる。
【００５３】
前記合金層１０７は以後遂行される高温工程によって、前記金属層１０８の結晶粒サイズが増加されることを防止することができる。一例として、前記高温工程は前記貫通電極ＴＳの形成以後に遂行される金属配線の形成工程であり得る。一例として、前記高温工程は約４００℃以上であり得る。前記金属層１０８の結晶粒は高温工程で粒界（ｇｒａｉｎ  ｂｏｕｎｄａｒｙ）の移動によって相対的に小さい結晶粒は消滅され、大きい結晶粒は続いて成長されることができる。その結果、前記基板１００の上面１００ａに隣接する前記貫通電極ＴＳの上面の結晶粒は熱的ストレス（ｔｈｅｒｍａｌ  ｓｔｒｅｓｓ）によって、局部的に突出（ｅｘｔｒｕｓｉｏｎ）されることがあり得る。前記突出現象は前記貫通電極ＴＳと前記貫通電極ＴＳ上の金属配線（一例として、前記上部配線１１０）との間の断線又は接触抵抗不良を発生させるか、或いは前記貫通電極ＴＳ上の絶縁膜のクラックを発生させ得る。
【００５４】
前記金属層１０８上に前記合金層１０７を提供する場合、前記貫通電極ＴＳと前記上部配線１１０とが接触する部分で前記貫通電極ＴＳの結晶粒成長が抑制され得る。一例として、図１に示したように、前記金属層１０８が前記合金層１０７下のボディー部ＢＤと前記合金層１０７と前記バリアー層１３１との間の延長部ＥＸを包含する場合、前記延長部ＥＸの結晶粒成長は前記ボディー部ＢＤの結晶粒成長に比べて抑制され得る。即ち、前記高温工程以後、前記延長部ＥＸの結晶粒の大きさは前記ボディー部ＢＤの結晶粒の大きさに比べて小さいことがあり得る。
【００５５】
前記合金層１０７は前記合金層１０７に含まれた異種金属元素によって結晶粒成長が抑制され得る。一例として、前記合金層１０７の平均結晶粒の大きさは前記ボディー部ＢＤの平均結晶粒の大きさの１／２倍以下であり得る。一例として、前記ボディー部ＢＤの平均結晶粒の大きさは約３μｍ〜約４μｍであり、前記合金層１０７の平均結晶粒の大きさは約１μｍ〜約２μｍであり得る。
【００５６】
前記合金層１０７は前記金属層１０８の結晶粒成長による突出現象を緩和し、前記貫通電極ＴＳと前記上部配線１１０との間の接触抵抗を改善することができる。
【００５７】
前記半導体装置１０において、前記金属層１０８及び前記合金層１０７の形態や構造は後述する実施形態を参照して多様に変形され得る。また、前記ライナー絶縁膜１３３、前記バリアー層１３１、及び前記ビアホール１７１の形態は多様に変形され得る。
【００５８】
＜方法例＞
図２乃至図７Ｂは本発明の一実施形態による半導体装置の製造方法を示した断面図及び平面図である。
【００５９】
図２を参照すれば、基板１００が提供される。基板１００はシリコン或いはシリコンを含む半導体を包含することができる。前記基板１００の第１面１１上に上部絶縁膜１０２が形成され得る。一例として、前記上部絶縁膜１０２はシリコン酸化物、シリコン窒化物、又はシリコン酸化窒化物を包含することができる。前記上部絶縁膜１０２を貫通し、前記基板１００の第２面１２方向に延長されるビアホール１７１が形成され得る。前記第１面１１は基板の活性面と称し、前記第２面１２は前記基板の非活性面と称され得る。平面的観点で、前記ビアホール１７１は円形、楕円形又は四角形であり得る。前記ビアホール１７１はドリルリング方法、ボッシュ（Ｂｏｓｃｈ）エッチング、又はステディー（Ｓｔｅａｄｙ  Ｓｔａｔｅ）エッチング方法で形成され得る。前記ビアホール１７１は前記基板１００を貫通しない深さまで延長され得る。即ち、前記ビアホール１７１の深さは前記基板１００全体の厚さより小さいことがあり得る。一例として、前記ビアホール１７１の深さは大略５０μｍ以上であり得る。前記ビアホール１７１の深さはデザインルール（Ｄｅｓｉｇｎ  Ｒｕｌｅ）や素子要求特性によって変化され得る。
【００６０】
図３を参照すれば、前記ビアホール１７１内にライナー絶縁膜１３３が形成され得る。前記ライナー絶縁膜１３３は酸化膜（例：ＳｉＯｘ））や窒化膜（例：ＳｉＮｘ）のような絶縁性物質を蒸着して形成することができる。前記ライナー絶縁膜１３３はビアホール１７１の内壁にしたがって実質的にコンフォーマルに蒸着され得る。前記ライナー絶縁膜１３３は前記上部絶縁膜１０２の上に延長されるように形成され得る。一例として、前記ライナー絶縁膜１３３の形成は化学気相蒸着（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ：ＣＶＤ）によって形成され得る。
【００６１】
前記ライナー絶縁膜１３３上にバリアー層１３１が形成され得る。前記バリアー層１３１はチタニウム、チタニウム窒化物、タンタル、タンタル窒化物、ルテニウム、コバルト、マンガン、タングステン窒化物、ニッケル、ニッケルホウ化物、又はチタニウム／チタニウム窒化物のような二重膜を包含することができる。一例として、前記バリアー層１３１はスパッタリング、ＣＶＤ、又は原子層蒸着（Ａｔｏｍｉｃ  Ｌａｙｅｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ：ＡＬＤ）によって形成され得る。
【００６２】
前記バリアー層１３１上にシード層（ｓｅｅｄ  ｌａｙｅｒ、１０６）が形成され得る。前記シード層１０６は以下説明される金属層の蒸着のための層で、前記金属層と同一な物質を包含することができる。前記シード層１０６は銅、タングステン、銀、金、又はインジウムを包含することができる。一例として、前記シード層１０６はスパッタリング方法によって形成され得る。
【００６３】
図４を参照すれば、前記シード層１０６上に金属層１０８が形成され得る。一例として、前記金属層１０８は銅、タングステン、銀、金、又はインジウムで形成され得る。前記金属層１０８は前記シード層１０６を利用する電解鍍金工程で形成され得る。他の実施形態で、前記金属層１０８は無電解鍍金又はスパッタリングで形成され得る。前記金属層１０８は前記シード層１０６にしたがって、前記上部絶縁膜１０２の上に延長されるように形成され得る。一例として、前記電解鍍金工程はＣｕＳＯ４、Ｈ２ＳＯ４、及びＣｌを含む電解溶液にウエハーを浸けて遂行されることができる。前記金属層１０８は前記ビアホール１７１を完全に満たさないように形成され得り、その結果、前記金属層１０８の上部に前記金属層１０８の側壁によって定義されるホール領域１７２が形成され得る。一例として、前記金属層１０８は前記ビアホール１７１の下面より前記ビアホール１７１の側壁上に相対的に薄く形成され得る。このような前記金属層１０８の厚さ調節は電解鍍金工程に使用されるサプレッサ（ｓｕｐｐｒｅｓｓｏｒ）及びアクセラレーター（ａｃｃｅｌｅｒａｔｏｒ）の調節又は電流密度分布調節によって達成され得る。一例として、前記サプレッサはＰＥＧ（Ｐｏｌｙ  Ｅｔｈｙｌｅｎｅ  Ｇｌｙｃｏｌ）を包含でき、前記アクセラレーターはＳＰＳ（Ｓｕｌｆｏｐｒｏｐｙｌ  Ｄｉｓｕｌｆｉｄｅ）又はＢｉｓ−（３−ｓｕｌｆｏｐｒｏｐｙｌ）  ｄｉｓｕｌｆｉｄｅを包含することができる。前記サプレッサは前記ビアホール１７１の側壁上に前記金属層１０８が形成されることを抑制することができる。
【００６４】
図５を参照すれば、前記ホール領域１７２を満たす合金層１０７が形成され得る。一例として、前記合金層１０７は既に形成された前記合金層１０７を電流の供給通路として使用して電解鍍金工程で形成され得る。他の実施形態において、前記合金層１０７の形成は無電解鍍金、又はスパッタリングで形成され得る。前記合金層１０７は前記金属層１０８にしたがって、前記上部絶縁膜１０２の上に延長されるように形成され得る。前記合金層１０７は前記金属層１０８に含まれた金属元素と異なる金属元素を含む物質で形成され得る。一例として、前記合金層１０７は前記金属層１０８に含まれた金属元素と異なる金属元素と、前記合金層１０７は前記金属層１０８に含まれた金属元素の合金に形成され得る。一例として、前記金属層１０８が銅である場合、前記合金層１０７は銅と異なる金属元素又は金属元素、一例として、Ｗ、Ｍｎ、Ｃｒ、Ａｇ、Ａｕ、Ｎｉ、又はＳｇＡＧの中で少なくとも１つを含む合金であり得る。前記合金層１０７は２種又は３種以上の金属元素を含む合金であり得る。前記合金層１０７は非金属不純物元素をさらに包含することができる。一例として、前記銅と異なる金属元素を含む合金物質はＣｕ−Ｍｎ合金（Ｍｎは５ａｔｍ％乃至８ａｔｍ％）、Ｃｕ−Ａｕ合金（Ａｕは１０ａｔｍ％以上）、Ｃｕ−Ｎｉ合金（Ｎｉは２ａｔｍ％以上）等であり得る。一例として、前記金属層１０８がタングステンである場合、前記合金層１０７はタングステンと異なる金属元素を含む合金であり得る。一例として、前記タングステンと異なる金属元素を含む合金物質はＷ−Ｍｎ合金（Ｍｎは５ａｔｍ％乃至８ａｔｍ％）、Ｗ−Ａｕ合金（Ａｕは１０ａｔｍ％以上）、Ｗ−Ｎｉ合金（Ｎｉは２ａｔｍ％以上）等であり得る。このような前記合金層１０７の形成は電解溶液内に前記合金層１０７を構成する金属元素の供給源を追加して遂行されることができる。前記合金層１０７の形成の後、アニーリング工程が遂行されることができる。前記アニーリング工程は約２００℃乃至約５００℃で遂行されることができる。前記アニーリング工程によって前記金属層１０８内の結晶粒が一部成長され、前記金属層１０８と前記合金層１０７内の残留応力が緩和され得る。
【００６５】
前記合金層１０７は前記金属層１０８に含まれた金属元素を包含しない合金で形成され得る。一例として、前記金属層１０８が銅である場合、前記合金層１０７は銅を包含しない合金物質で形成され得る。一例として、前記銅を包含しない合金物質はＡｇ−Ｎｉ合金、Ａｇ−Ｍｎ合金、Ａｇ−Ａｕ合金、Ｗ−Ｎｉ合金、Ｗ−Ｍｎ合金、Ｗ−Ａｕ合金、Ｗ−Ｔｉ合金、又はＷ−Ｔａ合金の中で少なくとも１つを包含することができる。
【００６６】
図６を参照すれば、平坦化工程を遂行して前記上部絶縁膜１０２上の層が除去されることができる。一例として、前記平坦化工程は化学的物理的な研磨膜（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｐｏｌｉｓｈｉｎｇ：ＣＭＰ）を包含することができる。前記平坦化工程によって、前記ビアホール１７１内に限定された貫通電極ＴＳが形成され得る。
【００６７】
図７Ａ及び図７Ｂを参照すれば、前記基板１００の第２面１２が研磨されて前記貫通電極ＴＳが露出され得る。図７Ｂは図７Ａの前記貫通電極ＴＳの上面を図示する平面図である。前記研磨工程がより詳細に説明される。
【００６８】
先ず、前記基板１００の第１面１１上に、接着層を利用して、キャリヤー基板（ｃａｒｒｉｅｒ  ｓｕｂｓｔｒａｔｅ、図示せず）が付着され得る。前記キャリヤー基板は前記基板１００の前記第２面１２を研磨する過程で前記基板１００に作用する機械的なストレスを緩和し、研磨工程の以後に薄型化された前記基板１００で発生する歪みを防止することができる。前記キャリヤー基板はガラス基板、又は樹脂基板を包含することができる。前記接着層は紫外線接着剤又は熱可塑性接着剤を包含することができる。次に、前記ライナー絶縁膜１３３が露出されるように、前記基板１００の前記第２面１２が研磨される。前記基板１００を研磨することは、例えば、ＣＭＰ、エッチバック（Ｅｔｃｈ−ｂａｃｋ）、スピンエッチ（Ｓｐｉｎ  Ｅｔｃｈ）方法を各々又は混用するグラインディング（ｇｒｉｎｄｉｎｇ）方法を利用して遂行されることができる。
【００６９】
次に、前記貫通電極ＴＳが前記基板１００の前記第２面１２から突出されるように、前記基板１００が選択的に蝕刻されることができる。前記選択的蝕刻は前記ライナー絶縁膜１３３に比べて大きい蝕刻選択比を有する湿式蝕刻又は乾式蝕刻工程を利用して前記基板１００を選択的に蝕刻することであり得る。例えば、前記ライナー絶縁膜１３３がシリコン酸化膜である場合、ＳＦ６蝕刻ガスを利用して前記基板１００が選択的に蝕刻されることができる。前記第２面１２上に前記貫通電極ＴＳを覆う下部絶縁膜１０３が形成された後、前記貫通電極ＴＳが露出されるように前記下部絶縁膜１０３の一部を除去することができる。前記下部絶縁膜１０３はシリコン酸化膜、シリコン窒化膜、又はシリコン酸化窒化膜であり得る。
【００７０】
前記基板１００の第１面１１上に前記貫通電極ＴＳと連結される上部配線１１０が形成され得る。前記基板１００の第２面１２上に前記貫通電極ＴＳと連結される下部配線１１６が形成され得る。一例として、前記上部配線１１０と前記下部配線１１６とは銅、タングステン、銀、金、又はインジウムを含む物質で形成され得る。前記上部配線１１０及び前記下部配線１１６の位置、前記貫通電極ＴＳとの関係は以下説明される貫通電極の形成順序にしたがって変更されることができる。
【００７１】
本発明の一実施形態による貫通電極ＴＳは前記ビアホール１７１の一部を満たす前記金属層１０８及び前記金属層１０８上の前記合金層１０７を包含することができる。前記合金層１０７は前記金属層１０８の上面によって定義されたホール領域１７２内に提供され得る。前記金属層１０８は前記合金層１０７と前記バリアー層１３１との間に延長され得る。前記貫通電極ＴＳの上面には前記合金層１０７が露出され、前記合金層１０７の周囲に順に形成された前記金属層１０８、前記シード層１０６、前記バリアー層１３１、及び前記ライナー絶縁膜１３３が露出される。前記合金層１０７上面の直径Ｄ１は前記延長部の厚さＤ２より大きくなり得る。他の実施形態で、前記合金層１０７上面の直径Ｄ１は前記延長部の厚さＤ２より小さいことがあり得る。
【００７２】
前記ホール領域１７２の側壁は垂直ではない傾斜を有することと図示されたが、これと異なりに前記基板１００の第１面１１及び／又は第２面１２と実質的に垂直であり得る。
【００７３】
図８Ａ及び図８Ｂは本発明の他の実施形態による貫通電極の形状を図示する断面図及び平面図である。説明を簡単にするために同一の構成に対する説明は省略される。本実施形態において、前記貫通電極ＴＳは前記金属層１０８と前記合金層１０７との間に分離導電層１０９をさらに包含することができる。前記分離導電層１０９は前記金属層１０８と前記合金層１０７とを分離することができる。前記分離導電層１０９は前記金属層１０８と前記合金層１０７とが互に異なる工程によって形成される場合に提供され得る。一例として、前記分離導電層１０９はチタニウム、チタニウム窒化物、タンタル、タンタル窒化物、ルテニウム、コバルト、マンガン、タングステン窒化物、ニッケル、ニッケルホウ化物、又はチタニウム／チタニウム窒化物のような二重膜を包含することができる。前記分離導電層１０９は前記合金層１０７と前記金属層１０８との間に延長されて前記貫通電極ＴＳの上面に露出され得る。前記分離導電層１０９は本実施形態に限定されなく、以後説明される他の実施形態に追加され得る。
【００７４】
図９Ａ、図９Ｂ、及び図９Ｃは本発明のその他の実施形態による貫通電極の形状を図示する断面図及び平面図である。説明を簡単にするために同一の構成に対する説明は省略される。本実施形態において、合金層１０７ａはシード層１０６と接し、前記金属層１０８は貫通電極ＴＳの上面に露出されないこともあり得る。即ち、前記合金層１０７ａは前記シード層１０６の側壁を露出するホール領域１７３内に提供され得る。前記合金層１０７ａの形状は図９Ｃに示したように金属層１０８ａが前記シード層１０６の一部を露出するように形成することにしたがって決定され得る。このような前記金属層１０８ａの形状は電解鍍金工程の時、前記シード層１０６に印加される電流を中止して前記シード層１０６の側壁上に形成された金属層の一部を溶解させて形成され得る。例えば、具体的に前記金属層１０８ａの上部が形成される時に、電解鍍金工程に使用されるサプレッサ（ｓｕｐｐｒｅｓｓｏｒ）を相対的に強く調節して前記シード層１０６の上部側壁には鍍金がなされないように調節することができる。
【００７５】
図１０Ａ乃至図１０Ｄは本発明のその他の実施形態による貫通電極の形状を図示する断面図及び平面図である。説明を簡単にするために同一の構成に対する説明は省略される。本実施形態において、合金層１０７ｂはバリアー層１３１と接し、金属層１０８ａ及びシード層１０６ａは貫通電極ＴＳの上面に露出されないこともあり得る。即ち、前記合金層１０７ｂは前記バリアー層１３１の側壁を露出するホール領域１７４内に提供され得る。前記合金層１０７ｂの形状は図１０Ｃに示したように前記金属層１０８ａ及び前記シード層１０６ａが前記バリアー層１３１の一部を露出するように形成することにしたがって決定され得る。このような前記金属層１０８ａ及び前記シード層１０６ａの形状は電解鍍金工程の時、前記シード層１０６ａに印加される電流を中止して前記シード層１０６の側壁上に形成された金属層及び前記シード層１０６層の一部を溶解させて形成され得る。この時、前記金属層１０８ａ上の前記合金層１０７ｂは鍍金方式ではないＣＶＤ方式又はＰＶＤ方式で合金層を形成した後、熱処理を通じてリフロ（Ｒｅｆｌｏｗ）する方式で形成され得る。
【００７６】
図１０Ｄは前記合金層１０７ｂ下に追加的な合金層１０７ｄが形成された実施形態を図示する。前記追加的な合金層１０７ｄは前記合金層１０７ｂと類似な物質又は同一の物質で形成され得る。
【００７７】
上述した貫通電極及びその製造方法は貫通電極を含む半導体装置の多様な形成方法に各々適用され得る。貫通電極はビアラスト（Ｖｉａ  Ｌａｓｔ）、ビアミドル（Ｖｉａ  Ｍｉｄｄｌｅ）及びビアファースト（Ｖｉａ  Ｆｉｒｓｔ）構造の中でいずれか１つに分類され得る。以下、前記各構造及び形成方法に対してより詳細に説明される。
【００７８】
＜Ｖｉａ  Ｍｉｄｄｌｅ＞
図１１Ａは貫通電極の形成が集積回路の形成と金属配線の形成との間に遂行されるビアミドル構造の製造方法の工程フローチャートである。図１１Ｂは図１１Ａによって形成された半導体装置の断面図である。説明を簡単にするために貫通電極は図７Ａ及び図７Ｂを参照して説明された実施形態の形状に図示されたが、これに限定されなく、他の実施形態による貫通電極の形状また適用され得る。説明を簡単にするために同一の構成に対する説明は省略され得る。
【００７９】
図１１Ａ及び図１１Ｂを参照すれば、貫通電極ＴＳの形成（Ｓ１２）は集積回路９５の形成（Ｓ１１）の以後に、そして第１及び第２金属配線（上部配線１１０及び金属配線１１１）が形成（Ｓ１４）される以前に遂行されることができる。前記貫通電極ＴＳの形成（Ｓ１２）以後、図７Ａ及び図７Ｂを参照して説明された基板研磨（Ｓ１３）が遂行され、その後、前記上部配線１１０及び前記金属配線１１１が形成され得る。
【００８０】
層間絶縁膜１０１は基板１００の上面１００ａ上に形成されて前記集積回路９５を覆う第１層間絶縁膜１０１ａと、前記第１層間絶縁膜１０１ａ上に形成されて前記上部配線１１０及び前記金属配線１１１を覆う第２層間絶縁膜１０１ｂを包含することができる。前記上部配線１１０は前記第１層間絶縁膜１０１ａと前記第２層間絶縁膜１０１ｂとの間に提供されて、前記貫通電極ＴＳと前記集積回路９５とを電気的に連結することができる。前記金属配線１１１は前記上部配線１１０上に提供され、前記上部配線１１０と前記第２層間絶縁膜１０１ｂとの上部に形成されたボンディングパッド１０５を連結することができる。貫通電極ＴＳは基板１００と第１層間絶縁膜１０１ａとを貫通することができる。上部保護膜１２４は第２層間絶縁膜１０１ｂ上に形成され得り、金属配線１１１に連結された前記ボンディングパッド１０５を開放させることができる。
【００８１】
本実施形態で、前記貫通電極ＴＳは前記基板１００の上面１００ａに対向する、前記第１層間絶縁膜１０１ａの上面に延長されて前記上部配線１１０に連結される。前記貫通電極ＴＳを構成する合金層１０７の下面ＢＳは前記基板１００の上面１００ａより高いことがあり得る。
【００８２】
前記基板１００及び多様な絶縁層（例えば、前記基板１００上の層間絶縁膜１０１）は半導体チップの一部であり得る。
【００８３】
＜Ｖｉａ  Ｆｉｒｓｔ＞
図１２Ａは貫通電極が集積回路と配線の形成以前に形成されるビアファースト構造の製造方法の工程フローチャートである。図１２Ｂは図１２Ａによって形成された半導体装置の断面図である。説明を簡単にするために同一の構成に対する説明は省略され得る。
【００８４】
図１２Ａ及び図１２Ｂを参照すれば、貫通電極ＴＳの形成（Ｓ２１）は集積回路９５の形成（Ｓ２２）の以前に遂行されることができる。より詳細に、前記貫通電極ＴＳの形成（Ｓ２１）以後、集積回路９５が形成され（Ｓ２２）、第１及び第２金属配線（上部配線１１０及び金属配線１１１）が形成（Ｓ２３）されることができる。その後、図７Ａ及び図７Ｂを参照して説明された基板研磨（Ｓ２４）が遂行されることができる。
【００８５】
前記基板１００の上面１００ａには層間絶縁膜１０１が形成され得る。前記層間絶縁膜１０１は前記集積回路９５と上部配線１１０を覆う第１層間絶縁膜１０１ａと、第１層間絶縁膜１０１ａ上に形成された金属配線１１１を覆いボンディングパッド１０５を露出させる第２層間絶縁膜１０１ｂを包含することができる。前記上部配線１１０は第１金属配線Ｍ１、前記金属配線１１１は第２金属配線Ｍ２と称され得る。
【００８６】
本実施形態で、前記第１層間絶縁膜１０１ａは前記貫通電極ＴＳの上面を覆うことができる。前記上部配線１１０は前記第１層間絶縁膜１０１ａと前記貫通電極ＴＳとの間に提供され得る。前記金属配線１１１は前記第１層間絶縁膜１０１ａと前記第２層間絶縁膜１０１ｂとの間に提供されて前記上部配線１１０と前記集積回路９５とを電気的に連結することができる。前記貫通電極ＴＳは前記上部配線１１０下に提供された蝕刻防止層１１５を貫通して前記上部配線１１０と連結され得る。
【００８７】
前記貫通電極ＴＳを構成する合金層１０７の下面ＢＳは前記基板１００の上面１００ａより低いことがあり得る。
【００８８】
本実施形態において、前記貫通電極ＴＳは図１１Ｂに図示された実施形態とは異なり前記第１層間絶縁膜１０１ａの上面に延長されないことがあり得る。
【００８９】
＜Ｖｉａ  Ｌａｓｔ＞
図１３Ａは貫通電極が集積回路形成の以後、及び第１金属配線と第２金属配線の形成との間に形成されるビアラスト構造の製造方法の工程フローチャートである。図１３Ｂは図１３Ａによって形成された半導体装置の断面図である。説明を簡単にするために同一の構成に対する説明は省略され得る。
【００９０】
図１３Ａ及び図１３Ｂを参照すれば、貫通電極ＴＳの形成（Ｓ３３）は集積回路９５の形成（Ｓ３１）及び第１金属配線（金属配線１１１）の形成の以後に遂行されることができる。より詳細に、前記集積回路９５の形成（Ｓ３１）以後、前記集積回路９５を覆う第１層間絶縁膜１０１ａが形成され得る。前記第１層間絶縁膜１０１ａ上に金属配線１１１を形成した後、前記金属配線１１１を覆う第２層間絶縁膜１０１ｂが形成され得る。前記第１及び第２層間絶縁膜１０１ａ、１０１ｂを貫通する前記貫通電極ＴＳが形成された後（Ｓ３３）、前記貫通電極ＴＳと前記集積回路９５とを電気的に連結する第２金属配線（上部配線１１０）が形成され得る。即ち、前記貫通電極ＴＳは前記第１及び第２層間絶縁膜１０１ａ、１０１ｂを形成した後に形成され得る。前記金属配線１１１は第１金属配線Ｍ１と称され、前記上部配線１１０は第２金属配線Ｍ２と称され得る。その後、図７Ａ及び図７Ｂを参照して説明された基板研磨（Ｓ３５）が遂行されることができる。
【００９１】
本実施形態で、前記貫通電極ＴＳは前記第１層間絶縁膜１０１ａに対向する、前記第２層間絶縁膜１０１ｂの上面に延長され得る。前記貫通電極ＴＳを構成する合金層１０７の下面ＢＳは前記第１層間絶縁膜１０１ａの上面より高いことがあり得る。
【００９２】
＜応用例＞
図１４乃至図１６は本発明の実施形態による半導体パッケージの断面図である。
【００９３】
図１４を参照して、本発明の実施形態による半導体パッケージ４０１の一例はパッケージ基板２００とその上に実装された半導体装置１０とを包含することができる。前記パッケージ基板２００は印刷回路基板であり得る。前記パッケージ基板２００は絶縁基板２０１、前記絶縁基板２０１を貫通するパッケージ基板貫通ビア２０７、前記絶縁基板２０１の上下面に配置される導電パターン２０９、２１１及び前記導電パターン２０９、２１１を一部覆うパッケージ基板絶縁膜２０５、２０３を包含することができる。前記半導体装置１０は図１乃至図１３を参照して説明された半導体装置に対応され得る。
【００９４】
前記半導体装置１０は、前記基板１００の第２面１２が前記パッケージ基板２００に対向するように、前記パッケージ基板２００上に実装され得る。即ち、前記半導体装置１０は第１バンプ１１８によって前記パッケージ基板２００に電気的に連結され得る。前記パッケージ基板２００の下部には第２バンプ７３が付着され得る。前記バンプ１１８、７３はソルダボール、導電性バンプ、導電性スペーサー、ピングリッドアレイ又はこれらの組合であり得る。前記半導体パッケージ４０１は前記半導体装置１０を覆うモールド膜３１０をさらに包含することができる。前記モールド膜３１０はエポキシモールディングコンパウンドを包含することができる。
【００９５】
図１５を参照して、本発明の実施形態による半導体パッケージ４０２の他の例はパッケージ基板２００、その上に実装された第１半導体装置１０、及び前記第１半導体装置１０上の第２半導体装置３００を含む。前記パッケージ基板２００は印刷回路基板であり得る。前記パッケージ基板２００は絶縁基板２０１、前記絶縁基板２０１を貫通するパッケージ基板貫通ビア２０７、前記絶縁基板２０１の上下面に配置される導電パターン２０９、２１１、及び前記導電パターン２０９、２１１を一部覆うパッケージ基板絶縁膜２０５、２０３を包含することができる。前記第１半導体装置１０は図１乃至図１３を参照して説明された半導体装置に対応され得る。前記第２半導体装置３００は前記第１半導体装置１０とは他の半導体装置で、メモリチップやロジックチップに対応され得る。前記第２半導体装置３００は前記貫通電極を包含しないことがあり得る。
【００９６】
前記第１半導体装置１０は第１バンプ１１８によって前記パッケージ基板２００に電気的に連結され得る。前記第１半導体装置１０は上部配線１１０と電気的に連結された再配線構造を包含することができる。前記再配線構造はコンタクト６６及び接続パッド６７を包含することができる。前記第２半導体装置３００は前記第１半導体装置１０にフリップチップボンディング方式で実装され得る。前記第２半導体装置３００は第３バンプ７５によって前記第１半導体装置１０の接続パッド６７に連結され得る。前記第１半導体装置１０はインタポーザの機能を遂行することができる。前記第３バンプ７５及び貫通電極ＴＳは複数個であり得る。
【００９７】
前記パッケージ基板２００の下部には第２バンプ７３が付着され得る。前記バンプ１１８、７３、７５はソルダボール、導電性バンプ、導電性スペーサー、ピングリッドアレイ又はこれらの組合であり得る。前記半導体パッケージ４０２は前記第１及び第２半導体装置１０、３００を覆うモールド膜３１０をさらに包含することができる。前記モールド膜３１０はエポキシモールディングコンパウンドを包含することができる。
【００９８】
図１６を参照して、本発明の実施形態による半導体パッケージ４０３のその他の例はパッケージ基板２００、その上に実装された第１半導体装置１０、及び第２半導体装置２０を含む。本発明の実施形態による半導体パッケージ４０３はマルチチップパッケージであり得る。前記第１半導体装置１０と第２半導体装置２０とは同一の種類及び構造を有することができる。
【００９９】
前記パッケージ基板２００は印刷回路基板であり得る。前記パッケージ基板２００は絶縁基板２０１、前記絶縁基板２０１を貫通するパッケージ基板貫通ビア２０７、前記絶縁基板２０１の上下面に配置される導電パターン２０９、２１１、及び前記導電パターン２０９、２１１を一部覆うパッケージ基板絶縁膜２０５、２０３を包含することができる。前記第１及び第２半導体装置１０、２０は図１乃至図１３を参照して説明された半導体装置に対応され得る。
【０１００】
前記第１半導体装置１０及び前記第２半導体装置２０は各々第１貫通電極ＴＳ１及び第２貫通電極ＴＳ２を包含することができる。前記第１貫通電極ＴＳ１と前記第２貫通電極ＴＳ２とは互いに重畳されて連結され得る。前記第２貫通電極ＴＳ２と前記第１貫通電極ＴＳ１とは第３バンプ７５によって互いに連結され得る。
【０１０１】
第１バンプ１１８によって前記第１半導体装置１０は前記パッケージ基板２００に電気的に連結され得る。前記第１半導体装置１０はインタポーザの機能を遂行することができる。前記パッケージ基板２００の下部には第２バンプ７３が付着され得る。前記バンプ１１８、７３、７５はソルダボール、導電性バンプ、導電性スペーサー、ピングリッドアレイ、又はこれらの組合であり得る。前記半導体パッケージ４０３は前記第１及び第２半導体装置１０、２０を覆うモールド膜３１０をさらに包含することができる。前記モールド膜３１０はエポキシモールディングコンパウンドを包含することができる。
【０１０２】
前述した本発明の実施形態によるパッケージは貫通電極を通じて前記パッケージ基板に電気的に連結されることを説明しているが、これに限定されない。例えば一部のパッドはワイヤボンディングによって前記パッケージ基板と電気的に連結され得る。
【０１０３】
図１７は本発明の実施形態によるパッケージモジュール５００を示す平面図である。図１７を参照して、前記パッケージモジュール５００は外部連結端子５０８が具備されたモジュール基板５０２と、前記モジュール基板５０２に実装された半導体チップ５０４及びＱＦＰ（Ｑｕａｄ  Ｆｌａｔ  Ｐａｃｋａｇｅ）された半導体パッケージ５０６を包含することができる。前記半導体チップ５０４及び／又は前記半導体パッケージ５０６は本発明の実施形態による半導体装置を包含することができる。前記パッケージモジュール５００は前記外部連結端子５０８を通じて外部電子装置と連結され得る。
【０１０４】
図１８は本発明の実施形態によるメモリカード６００を示す概略図である。図１８を参照して、前記メモリカード６００はハウジング６１０内に制御器６２０とメモリ６３０とを包含することができる。前記制御器６２０と前記メモリ６３０とは電気的な信号を交換することができる。例えば、前記制御器６２０の命令によって、前記メモリ６３０と前記制御器６２０とはデータを交換することができる。これによって、前記メモリカード６００は前記メモリ６３０にデータを格納するか、或いは又は前記メモリ６３０からデータを外部へ出力することができる。
【０１０５】
前記制御器６２０及び／又は前記メモリ６３０は本発明の実施形態による半導体装置又は半導体パッケージの中の少なくとも１つを包含することができる。このような前記メモリカード６００は多様な携帯用機器のデータ格納媒体に利用され得る。例えば、前記メモリカード６００はマルチメディアカード（ｍｕｌｔｉ  ｍｅｄｉａ  ｃａｒｄ；ＭＭＣ）又は保安デジタル（ｓｅｃｕｒｅ  ｄｉｇｉｔａｌ；ＳＤ）カードを包含することができる。
【０１０６】
図１９は本発明の実施形態による電子システム７００を示すブロック図である。図１９を参照して、前記電子システム７００は本発明の実施形態による半導体装置又は半導体パッケージを少なくとも１つ包含することができる。前記電子システム７００はモバイル機器やコンピューター等を包含することができる。例えば、前記電子システム７００はメモリシステム７１２、プロセッサー７１４、ＲＡＭ７１６、及びユーザーインターフェイス７１８を包含することができ、これらはバス（Ｂｕｓ、７２０）を利用して互いにデータを通信することができる。前記プロセッサー７１４はプログラムを実行し、前記電子システム７００を制御する役割を果たし得る。前記ＲＡＭ７１６は前記プロセッサー７１４の動作メモリとして使用され得る。例えば、前記プロセッサー７１４及び前記ＲＡＭ７１６は各々本発明の実施形態による半導体装置又は半導体パッケージを包含することができる。又は前記プロセッサー７１４と前記ＲＡＭ７１６が１つのパッケージに包含され得る。前記ユーザーインターフェイス７１８は前記電子システム７００にデータを入力又は出力するのに利用され得る。前記メモリシステム７１２は前記プロセッサー７１４の動作のためのコード、前記プロセッサー７１４によって処理されたデータ又は外部から入力されたデータを格納することができる。前記メモリシステム７１２は制御器及びメモリを包含でき、図１７のメモリカード６００と実質的に同様に構成されることができる。
【０１０７】
前記電子システム（図１９の７００）は多様な電子機器の電子制御装置に適用され得る。図２０は前記電子システム（図１９の７００）がモバイルフォン８００に適用される例を図示する。その他に、前記電子システム（図１９の７００）は携帯用ノートブック型コンピューター、ＭＰ３プレーヤー、ナビゲーション（Ｎａｖｉｇａｔｉｏｎ）、固相ディスク（Ｓｏｌｉｄ  ｓｔａｔｅ  ｄｉｓｋ；ＳＳＤ）、自動車又は家電製品（Ｈｏｕｓｅｈｏｌｄ  ａｐｐｌｉａｎｃｅｓ）に適用され得る。
【０１０８】
発明の特定実施形態に対する以上の説明は例示及び説明のために提供された。したがって、本発明は前記実施形態に限定されなく、本発明の技術的思想内で該当分野で通常の知識を有する者によって前記実施形態を組合して実施する等様々な多い修正及び変更が可能であるのは明白である。
【符号の説明】
【０１０９】
１０・・・半導体装置
１００・・・基板
１０８・・・金属層
１０７・・・合金層
１１０・・・上部配線
１１４・・・下部保護膜
１１６・・・下部配線
１１８・・・バンプ
１２０・・・導電性連結部
１２４・・・上部保護膜
１３１・・・バリアー層
１３３・・・ライナー絶縁膜
１７１・・・ビアホール
ＢＤ・・・ボディー部
ＥＸ・・・延長部
ＴＳ・・・貫通電極
【図１】
2014068014.tif 000003
【図２】
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【図３】
2014068014.tif 000005
【図４】
2014068014.tif 000006
【図５】
2014068014.tif 000007
【図６】
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【図７Ａ】
2014068014.tif 000009
【図７Ｂ】
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【図８Ａ】
2014068014.tif 000011
【図８Ｂ】
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【図９Ａ】
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【図９Ｂ】
2014068014.tif 000014
【図９Ｃ】
2014068014.tif 000015
【図１０Ａ】
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【図１０Ｂ】
2014068014.tif 000017
【図１０Ｃ】
2014068014.tif 000018
【図１０Ｄ】
2014068014.tif 000019
【図１１Ａ】
2014068014.tif 000020
【図１１Ｂ】
2014068014.tif 000021
【図１２Ａ】
2014068014.tif 000022
【図１２Ｂ】
2014068014.tif 000023
【図１３Ａ】
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【図１３Ｂ】
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【図１４】
2014068014.tif 000026
【図１５】
2014068014.tif 000027
【図１６】
2014068014.tif 000028
【図１７】
2014068014.tif 000029
【図１８】
2014068014.tif 000030
【図１９】
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【図２０】
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