(57)【要約】【課題】  より稼働率を向上させる液体噴射ヘッドを提供する。【解決手段】  インクが充填される複数の圧力発生室２１と、該圧力発生室２１内でインクに圧力を付与することにより各圧力発生室２１に対応させて設けられたノズル開口３４を介してインク滴を吐出させる圧電素子４０とを備えたインクジェット式記録ヘッド１０であって、圧力発生室２１は、圧電素子４０の少なくとも一部が、圧力発生室２１外に引き出された引出方向の側よりも反対側が、圧電素子４０が変形し易い形状とした。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体が充填される複数の圧力発生室と、該圧力発生室内で前記液体に圧力を付与することにより各圧力発生室に対応させて設けられたノズル開口を介して液滴を吐出させる圧電素子とを備えた液体噴射ヘッドであって、
前記圧力発生室は、前記圧電素子の少なくとも一部が、前記圧力発生室外に引き出された引出方向の側よりも反対側が、前記圧電素子が変形し易い形状であることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
請求項１に記載する液体噴射ヘッドにおいて、
前記圧力発生室は、前記圧電素子の少なくとも一部が前記圧力発生室外に引き出された引出方向の側の端部から所定距離内側における前記引出方向に直交する方向の前記圧力発生室の幅が、前記圧力発生室の前記引出方向と反対側の端部から前記所定距離内側における前記直交する方向の前記圧力発生室の幅よりも狭い形状をすることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載する液体噴射ヘッドにおいて、
前記圧電素子は、複数の圧電素子に共通する共通電極と、圧電素子層および圧電素子毎に設けられた個別電極とを有し、前記引出方向は前記個別電極が前記圧力発生室外に引出された方向であることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項４】
請求項３に記載する液体噴射ヘッドにおいて、
前記個別電極は、各圧力発生室の形状に沿う形状に形成したことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項５】
請求項３に記載する液体噴射ヘッドにおいて、
前記個別電極は、矩形に形成したことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項６】
請求項１〜請求項５の何れか一項に記載する液体噴射ヘッドにおいて、
前記圧力発生室は、前記引出方向に直交する方向である前記圧力発生室の並設方向に対して隣接するものに対応する前記ノズル開口の位置が前記引出方向に関してズレたスタガード配置となるように構成したことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項７】
請求項１〜請求項６の何れか一項に記載する液体噴射ヘッドにおいて、
前記圧力発生室は、前記並設方向に対して隣接する圧力発生室の一つが該圧力発生室に相互に隣接する他の圧力発生室の間に、それぞれの圧力発生室に関する前記引出方向と反対側に前記引出方向が形成されるように配設したことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項８】
請求項１〜請求項７の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズル開口から液体を噴射する液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置に関し、特に液体としてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッドおよびインクジェット式記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドとしては、例えば、圧電素子及び圧力発生室が設けられたアクチュエーターユニットと、圧力発生室に連通してインクを吐出するノズル開口が設けられたノズルプレート及び圧力発生室の共通のインク室となるマニホールドが設けられたマニホールド形成基板を有する流路ユニットと、を具備するものがある。
【０００３】
このようなインクジェット式記録ヘッドにおける圧力発生室の形状は、通常矩形に形成されるが、高駆動効率のメリットを活かしつつも、電極パッド部による駆動部の撓み変形拘束を低減して駆動効率の向上を図った形状（特許文献１参照）としての円形や、構造的クロストークを低減すべく、ほぼ平行四辺形の個別電極に対応させた形状（特許文献２参照）として平行四辺形形状とした圧力発生室を有するものも提案されている。なお、ここでいう圧力発生室の形状とは、ノズル開口が形成されたノズルプレートと平行な平面上に投影される圧力発生室の形状をいう（以下、本明細書において同じ）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−２４８７６５号公報
【特許文献２】特開２００７−２３７７４６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、圧電素子の変位効率を向上すれば電極パッドによる故障の可能性が高まる。
なお、このような問題は、インクジェット式記録ヘッドだけではなく、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。
本発明はこのような事情に鑑み、より稼働率を向上させる液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決する本発明の態様は、液体が充填される複数の圧力発生室と、該圧力発生室内で前記液体に圧力を付与することにより各圧力発生室に対応させて設けられたノズル開口を介して液滴を吐出させる圧電素子とを備えた液体噴射ヘッドであって、前記圧力発生室は、前記圧電素子の少なくとも一部が、前記圧力発生室外に引き出された引出方向の側よりも反対側が、前記圧電素子が変形し易い形状であることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
本態様によれば、圧力発生室外に引出された引出方向の側よりも反対側において圧電素子が変形し易いように圧力発生室の形状を形成したので、圧電素子を良好に変位させることができ、前記反対側、すなわちノズル開口に対応する領域での変位効率を大きくすることができる。同時に、引出側における急激な変位の増大を有効に防止することができる。この結果、応力集中を緩和し得るばかりでなく、圧電素子の変位効率の向上と長寿命化を同時に実現できる。また、クロストークも有効に防止し得る。
【０００７】
ここで、前記圧力発生室は、前記圧電素子の少なくとも一部が前記圧力発生室外に引き出された引出方向の側の端部から所定距離内側における前記引出方向に直交する方向の前記圧力発生室の幅が、前記圧力発生室の前記引出方向と反対側の端部から前記所定距離内側における前記直交する方向の前記圧力発生室の幅よりも狭い形状とするのが望ましい。
この場合には、引出方向の側の端部の幅を狭くしたので、引出側における急激な変位の増大を確実に防止することができる。この結果、応力集中を緩和し得る。
【０００８】
また、前記圧電素子は、複数の圧電素子に共通する共通電極と、圧電素子層および圧電素子毎に設けられた個別電極とを有し、前記引出方向は前記個別電極が前記圧力発生室外に引出された方向であるように構成することができる。さらに、前記個別電極は、各圧力発生室の形状に沿う形状に形成するのが望ましい。この場合には高効率で圧電素子の変位を圧力発生室内の液体に作用させることができるからである。ただ、前記個別電極は、矩形に形成することもできる。
【０００９】
前記圧力発生室は、前記引出方向に直交する方向である前記圧力発生室の並設方向に対して隣接するものに対応する前記ノズル開口の位置が前記引出方向に関してズレたスタガード配置となるように構成することができる。この場合には、ノズル開口がスタガード配置されるので、容易にノズル開口の高密度化を実現し得る。
【００１０】
さらに、前記圧力発生室は、前記並設方向に対して隣接する圧力発生室の一つが該圧力発生室に相互に隣接する他の圧力発生室の間に、それぞれの圧力発生室に関する前記引出方向と反対側に前記引出方向が形成されるように配設することもできる。この場合にも隣接する圧力発生室間の間隔を狭くして高密度化を実現し得る。
【００１１】
また、本発明は、圧力発生室を矩形とし、接続配線を介して電極パッドと一体となった上電極膜を含む圧電素子の形状のみを上述の如き、各形状としても良い。すなわち、本発明の他の態様は、液体が充填される複数の圧力発生室と、該圧力発生室内で前記液体に圧力を付与することにより各圧力発生室に対応させて設けられたノズル開口を介して液滴を吐出させる圧電素子とを備えた液体噴射ヘッドであって、前記上電極膜は、その少なくとも一部が、前記圧力発生室外に引き出された引出方向の側よりも反対側が、前記圧電素子をより変形させ易い形状であることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
本態様においても、変位効率の向上および応力集中の緩和に関しては、圧力発生室を前記態様に示す形状とした場合と同様の効果が得られる。
【００１２】
ここで、前記上電極膜は、その少なくとも一部が、前記圧力発生室外に引き出された引出方向の側の端部から所定距離内側における前記引出方向に直交する方向の前記上電極膜の幅が、前記引出方向と反対側の端部から前記所定距離内側における前記直交する方向の前記上電極膜の幅よりも狭い形状をするのが望ましい。また、前記圧電素子は、複数の圧電素子に共通する共通電極と、圧電素子層および圧電素子毎に設けられた個別電極とを有し、前記引出方向は前記個別電極が圧力発生室外に引出された方向であるように構成すること、前記引出方向に直交する方向である前記圧力発生室の並設方向に対して隣接するものに対応する前記ノズル開口の位置が前記引出方向に関してズレたスタガード配置となるように構成すること、および前記圧力発生室を、前記並設方向に対して隣接する圧力発生室の一つが該圧力発生室に相互に隣接する他の圧力発生室の間に、それぞれの圧力発生室に関する前記引出方向と反対側に前記引出方向が形成されるように配設して構成すること等も任意に行ない得る。
【００１３】
本発明の他の態様は、上述の如き液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
本態様によれば、液体噴射特性を向上した液体噴射装置を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の実施の形態に係る記録ヘッドの断面図である。
【図２】本発明の実施の形態に係る記録ヘッドの要部平面図である。
【図３】圧力発生室の形状を説明するための要部平面図である。
【図４】圧力発生室の形状を説明するための要部平面図である。
【図５】圧力発生室の形状を説明するための要部平面図である。
【図６】圧力発生室の形状を説明するための要部平面図である。
【図７】本発明の他の実施の形態に係る記録ヘッドの断面図である。
【図８】図８に示す場合の圧力発生室の形状を説明するための要部平面図である。
【図９】本発明の一実施形態に係るインクジェット式記録装置の概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下に本発明を実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
図１は、本発明の実施の形態に係る液体噴射ヘッドの一例を示すインクジェット式記録ヘッドの断面図で、図２は、インクジェット式記録ヘッドの要部平面図である。
【００１６】
両図に示すように、本実施形態のインクジェット式記録ヘッド１０は、アクチュエーターユニット２０と、このアクチュエーターユニット２０が固定される流路ユニット３０とで構成されている。
【００１７】
アクチュエーターユニット２０は、圧電素子４０を具備するアクチュエーター装置であり、圧力発生室２１が形成された流路形成基板２２と、流路形成基板２２の一方面側に設けられた振動板２３と、流路形成基板２２の他方面側に設けられた圧力発生室底板２４とを有する。
【００１８】
流路形成基板２２は、例えば、１５０μｍ程度の厚みを有するアルミナ（Ａｌ2Ｏ3）や、ジルコニア（ＺｒＯ2）などのセラミックス板からなり、本実施形態では、複数の圧力発生室２１がその幅方向に沿って並設されている。そして、この流路形成基板２２の一方面に、例えば、厚さ１０〜１２μｍのステンレス鋼（ＳＵＳ）の薄板からなる振動板２３が固定され、圧力発生室２１の一方面はこの振動板２３により封止されている。ここで、本形態における圧力発生室２１は、図２に明示するように、圧電素子４０の少なくとも一部が、圧力発生室２１外に引出された引出方向の側（図２の右側）よりも反対側（図２の左側）において圧電素子４０が変形し易い形状であると同時に、前記引出方向の側の端部の幅が狭くなる形状としてある。かかる圧力発生室２１の形状に関しては後に詳述する。
【００１９】
流路形成基板２２の一方面には、例えば、厚さ１０〜１２μｍのステンレス鋼（ＳＵＳ）の薄板からなる振動板２３が固定され、圧力発生室２１の一方面はこの振動板２３により封止されている。圧力発生室底板２４は、流路形成基板２２の他方面側に固定されて圧力発生室２１の他方面を封止すると共に、圧力発生室２１の長手方向一方の端部近傍に設けられて圧力発生室２１と後述するマニホールドとを連通する供給連通孔２５と、圧力発生室２１の長手方向他方の端部近傍に設けられて後述するノズル開口３４に連通するノズル連通孔２６とを有する。そして、圧電素子４０は、振動板２３上の各圧力発生室２１に対向する領域のそれぞれに設けられている。
【００２０】
ここで、各圧電素子４０は、振動板２３上に設けられた下電極膜４１と、各圧力発生室２１毎に独立して設けられた圧電体層４２と、各圧電体層４２に対応させてその上面に設けられた個別電極である上電極膜４３と、圧力発生室２１の外部に位置する電極パッド４４と、上電極膜４３及び電極パッド４４を接続する配線である接続配線４５と、で構成されている。ここで上電極膜４３と電極パッド４４および接続配線４５とは一体的に形成されている。そして、電極パッド４４は接続配線４５よりも振動板２３から高く盛り上がるように形成されている。圧電体層４２は、圧電材料からなるグリーンシートを貼付することや、印刷することで形成される。また、下電極膜４１は、並設された圧電体層４２に亘って設けられて各圧電素子４０の共通電極となっており、振動板の一部として機能する。勿論、下電極膜４１を各圧電体層４２毎に設けるようにしてもよい。
【００２１】
なお、アクチュエーターユニット２０の各層である流路形成基板２２、振動板２３及び圧力発生室底板２４は、粘土状のセラミックス材料、いわゆるグリーンシートを所定の厚さに成形して、例えば、圧力発生室２１等を穿設後、積層して焼成することにより接着剤を必要とすることなく一体化される。そして、その後、振動板２３上に圧電素子４０が形成される。
【００２２】
一方、流路ユニット３０は、アクチュエーターユニット２０の圧力発生室底板２４に接合された液体供給口形成基板３１と、複数の圧力発生室２１の共通インク室となるマニホールド３２が形成されるマニホールド形成基板３３と、マニホールド形成基板３３の液体供給口形成基板３１とは反対側に設けられた基板５０と、ノズル開口３４が形成されたノズルプレート３５とからなる。
【００２３】
液体供給口形成基板３１は、厚さ６０μｍのステンレス鋼（ＳＵＳ）の薄板からなり、ノズル開口３４と圧力発生室２１とを接続するノズル連通孔３６と、前述の供給連通孔２５と共にマニホールド３２と圧力発生室２１とを接続する液体供給口３７を穿設して構成され、また、各マニホールド３２と連通し、外部のインクタンクからのインクを供給する液体導入口３８が設けられている。液体供給口３７と液体導入口３８とは、圧力発生室２１の長手方向、すなわち、圧力発生室２１の並設方向である一方向とは直交する方向で、後述するマニホールド３２の両端部にそれぞれ連通するように設けられている。
【００２４】
マニホールド形成基板３３は、インク流路（液体流路）を構成するに適した、例えば、１５０μｍのステンレス鋼などの耐食性を備えた板材に、外部のインクタンク（図示なし）からインクの供給を受けて圧力発生室２１にインクを供給するマニホールド３２と、圧力発生室２１とノズル開口３４とを連通するノズル連通孔３９とを有する。マニホールド３２は、複数の圧力発生室２１に亘って、すなわち、圧力発生室２１の並設方向に亘って設けられている。
【００２５】
基板５０は、マニホールド形成基板３３の液体供給口形成基板３１とは反対側の面に接合されてマニホールド３２の底面を封止している。また、基板５０には、厚さ方向に貫通してマニホールド形成基板３３に設けられたノズル連通孔３９とノズル開口３４とを連通するノズル連通孔５２が設けられている。すなわち、圧力発生室２１からのインクは、液体供給口形成基板３１、マニホールド形成基板３３及び基板５０に設けられたノズル連通孔３６、３９及び５２を介してノズル開口３４から吐出される。
【００２６】
ノズルプレート３５は、例えば、ステンレス鋼等の金属やシリコン等のセラミックス材
料で形成された板状部材からなる。ノズルプレート３５には、圧力発生室２１と同一の配
列ピッチでノズル開口３４が穿設されて形成されている。
【００２７】
このような流路ユニット３０は、液体供給口形成基板３１、マニホールド形成基板３３、基板５０及びノズルプレート３５を接着剤や熱溶着フィルム等によって固定することで形成される。なお、図１では、ノズルプレート３５と基板５０とを接着する接着剤６２のみを例示しているが、流路ユニット３０を構成する他の部材の間にも図示しないが接着剤が設けられている。そして、このような流路ユニット３０とアクチュエーターユニット２０とは、接着剤や熱溶着フィルムを介して接合されて固定されている。
【００２８】
ここで、図２に基づき本形態における圧力発生室の形状をさらに詳細に説明しておく。図２に示すように、圧力発生室２１は、個別電極である上電極膜４３が圧電素子４０から引出されて電極パッド４４に一体的に接続されている圧電素子４０の電極パッド側端部（図では右端部）よりも反対側が、圧電素子４０が変形し易い形状となっている。すなわち、相対的に面積が大きく圧電素子４０の大きな変位を許容し得る形状となっている。同時に、圧力発生室２１の前記電極パッド側端部から所定距離Ｌだけ内側における圧力発生室２１の幅Ｗ１は、圧力発生室２１の前記電極パッド側端部と反対側の端部（図では左端部）から所定距離Ｌだけ内側における幅Ｗ２よりも狭い形状としてある。すなわち、電極パッド側端部における形状は幅Ｗ１が漸減するが尖った形状となって圧電素子４０の電極パッド側の各部の変位を緩やかに変化させ得る形状となっている。ここで、圧電素子４０の形状は圧力発生室２１の形状に倣って成形してある。
【００２９】
このように形成することにより、圧力発生室２１の電極パッド４４に対する反対側の端部側で圧電素子４０を良好に変位させることができ、ノズル開口３４に対応する領域での変位効率を大きくすることができる。同時に、電極パッド４４の側の端部の圧力発生室２１の幅Ｗ１を狭くしたので、電極パッド４４側における変位効率を低下させることができる。この結果、応力集中を緩和し得る。これに伴い、圧電素子４０の変位の度に繰り返し応力が作用する接続配線４５における繰り返し応力を低減し、その断線を未然に防止し得る。
【００３０】
上述の如き本形態に係るインクジェット式記録ヘッド１０では、インクカートリッジ（貯留手段）から液体導入口３８を介してマニホールド３２内にインクを取り込み、マニホールド３２からノズル開口３４に至るまでのインク流路内をインクで満たした後、図示しない駆動回路からの記録信号に従い、各圧力発生室２１に対応する各圧電素子４０に電圧を印加して圧電素子４０と共に振動板２３をたわみ変形させることにより、各圧力発生室２１内の圧力が高まり各ノズル開口３４からインク滴が噴射される。
【００３１】
ここで、圧力発生室２１の形状を上述の如く、図２に示すように形成したので、電極パッド４４側と反対側での変位効率を向上させ、ノズル開口３４を介してインク滴の吐出を良好に行わせることができると同時に、電極パッド側における圧電素子４０に対する応力集中を緩和することができる。この結果、圧電素子４０の変位効率の向上と長寿命化を同時に実現できる。また、クロストークも有効に防止し得る。
【００３２】
上記と同様の作用・効果を奏する圧力発生室の形状等は、図２に示すものに限るものではない。電極パッド側に引き出されている電極の側が、その反対側よりも変位しずらい構造をしていれば良いので、例えば図３〜図５の形状が考えられる。図３に示す圧力発生室２１１は直線的な辺の組み合わせを基本とするが、圧力発生室２１１は電極パッド４４１側に近接するに伴い幅が漸減されている。ここで、上電極膜４３１は接続配線４５１を介して電極パッド４４１に接続してある。
【００３３】
また、図４に示すように、圧力発生室２１２を、その並設方向において隣接するものに対し長手方向（電極パッド４４２側）に関してずらすことによりスタガード配置となるように構成しても良い。この場合には、さらにノズル開口３４の高密度化も図ることができる。なお、上電極膜４３２は接続配線４５２を介して電極パッド４４２に接続してある。
【００３４】
さらに、図５に示すように、圧力発生室２１３を、その並設方向において隣接するもの同士を互い違いに配設しても良く、この場合にもノズル開口３４の高密度化も図ることができる。ここで、上電極膜４３３は接続配線４５３を介して電極パッド４４３に接続してある。
【００３５】
図３〜図５においても、電極パッド４４１，４４２，４４３と一体となった上電極膜４３１，４３２，４３３の形状は圧力発生室２１１，２１２，２１３の形状よりも若干小さいが、これを倣う形状とした。このように上電極膜４３１〜４３３の形状が圧力発生室２１１〜２１３の形状を倣った場合が最も効率よく圧電素子４０の変位が圧力発生室２１１〜２１３のインクに伝達される。ただ、これに限るものではない。上述の例のような圧力発生室の形状を有し、上電極膜４３１〜４３３の形状および圧電素子４０が従来と同様の矩形である場合であっても、程度は小さくなるが、上記実施の形態と同様の作用・効果は発揮される。
【００３６】
さらに、図６に示すように、圧力発生室２１４は従来と同様の矩形とし、接続配線４５４を介して電極パッド４４４と一体となった上電極膜４３４を含む圧電素子の形状のみを図２〜図５に示す形状（図６は図２と同一形状である場合である）としても良い。変位効率の向上および応力集中の緩和に関しては、圧力発生室２１１〜２１３を図２〜図５に示す形状とした場合と同様の効果が得られるからである。
【００３７】
また、図７およびその平面図である図８に示すように、圧電素子４０５の圧電体層４２５を電極パッド４４５の部分まで伸ばすとともに、幅方向には振動板２３の全面に配設されるように構成しても良い。ここで、上電極膜４３は接続配線４５５を介して電極パッド４４５に接続されている。
【００３８】
（他の実施形態）
以上、本発明の一実施形態を説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。例えば、上記実施の形態では、厚膜型の圧電素子４０を有するインクジェット式記録ヘッド１０を例示したが、圧力発生室２１に圧力変化を生じさせる圧力発生手段としては、特にこれに限定されず、例えば、ゾル−ゲル法、ＭＯＤ法、スパッタリング法等により形成される圧電材料を有する薄膜型の圧電素子の変形によってノズル開口からインク滴を吐出するものなどを有するインクジェット式記録ヘッドであっても同様の効果を奏する。
【００３９】
また、本実施形態のインクジェット式記録ヘッドは、インクカートリッジ等と連通するインク流路を具備する記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置に搭載される。図９は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。
【００４０】
図９に示すように、インクジェット式記録装置Ｉは、インクジェット式記録ヘッド１０を有する記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを具備する。記録ヘッドユニット１Ａ、１Ｂは、インク供給手段を構成するカートリッジ２Ａ及び２Ｂが着脱可能に設けられ、この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、例えば、それぞれブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。
【００４１】
また、駆動モーター６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４にはキャリッジ軸５に沿ってプラテン８が設けられており、図示しない給紙ローラーなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートＳがプラテン８に巻き掛けられて搬送されるようになっている。そして、これら駆動モーター６や記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂの圧力発生手段等は、図示しないＣＰＵやメモリー等で構成された制御部によって制御されて動作する。
【００４２】
上記実施の形態においては、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを挙げて説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。
【符号の説明】
【００４３】
１０  インクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッド）、  ２０  アクチュエーターユニット、  ２１  圧力発生室、  ２２  流路形成基板、  ２３  振動板、  ２４  圧力発生室底板、  ２５  供給連通孔、  ３０  流路ユニット、  ３１  液体供給口形成基板、  ３２  マニホールド、  ３３  マニホールド形成基板、  ３４  ノズル開口、  ３５  ノズルプレート、  ３６  ノズル連通孔、  ３７  液体供給口、  ３８  液体導入口、  ３９  ノズル連通孔、  ４０、４０５  圧電素子、  ４１  下電極膜、  ４２、４２５  圧電体層、  ４３  上電極膜、  ４４、４４１〜４４５  電極パッド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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