(57)【要約】【課題】効率的なプローブピンの清掃を提供することを課題とする。【解決手段】プローブピンの清掃方法は、元ボビンと巻き取りボビンとの間で張設されたシートを、プローブ装置が備えるプローブピンの並び方向に対して角度を持たせた状態で設置する工程と、前記張設されたシートにプローブ装置を対向配置する工程と、前記プローブ装置が備えるプローブピンを前記シートに向かって前進させ、前記シートに接触させる工程と、前記プローブピンを後退させる工程と、前記シートを巻き取りボビン側に巻き取る工程と、を備える。これにより、清掃によってシートに形成されるプローブピンの打痕の軌跡の重複を回避する。【選択図】図４
2014206454.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
元ボビンと巻き取りボビンとの間に張設されたシートを、プローブ装置が備えるプローブピンの並び方向に対して角度を持たせた状態で設置する工程と、
前記張設されたシートにプローブ装置を対向配置する工程と、
前記プローブ装置が備えるプローブピンを前記シートに向かって前進させ、前記シートに接触させる工程と、
前記プローブピンを後退させる工程と、
前記シートの送り方向の前記プローブピンの並び方向に対する角度を維持しつつ、前記シートを巻き取りボビン側に巻き取る工程と、
を備えるプローブピンの清掃方法。
【請求項２】
前記プローブピンの並びが行をなしているときに、
前記シートの送り方向の前記プローブピンの並び方向に対する角度は、
前記プローブピンの並びに含まれる２本のプローブピンのうち、前側に位置するプローブピンによる打痕の軌跡が、後側に位置するプローブピンによる打痕に重ならない範囲に設定された請求項１に記載のプローブピンの清掃方法。
【請求項３】
前記プローブピンが複数行に亘って配列されているときに、
前記シートの送り方向の前記プローブピンの並び方向に対する角度は、プローブピンの配列において上側に位置する行の最前列のプローブピンの打痕の軌跡が、下側に位置する行の最後列のプローブピンによる打痕に重ならない範囲に設定された請求項１又は２に記載のプローブピンの清掃方法。
【請求項４】
前記シートの巻き取りを行うシート巻き取り機構を搬送パレットに搭載して搬送コンベア上を移動させ、前記搬送パレットが所定位置に到達したときに突出し、前記搬送パレットの位置決めを行うストッパによって前記シート巻き取り機構を作動させて前記シートの巻き取りを行う請求項１乃至３のいずれか一項に記載のプローブピンの清掃方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プローブピンの清掃方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
どのような装置であれ、一般的にその装置を繰り返しの使用に供する場合、その適切な使用状態を維持し、所望の機能を発揮させるためには、各部の清掃が必要となる。特に、その装置が試験装置である場合等は、正確な試験結果を得るために、各部が清掃されていることが求められる。このような清掃作業は、手作業により、実行されることがあるが、手作業による清掃は時間がかかり、作業者による清掃の仕上がり具合にもバラツキが生じることがある。
【０００３】
このような状況下、従来、装置の清掃に関する多くの提案がなされている。例えば、搬送路の凹部表面を清掃できるクリーニングシート及び清掃方法が開示されている（特許文献１参照）。また、繰り返し使用してもインクカスの堆積による走行障害や印字障害のない熱転写プリンタに用いられるリボンカセットが知られている（特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−２８１０８８号公報
【特許文献２】特開平４−２２１６６９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、従来、プローピンを備えたプローブ装置が知られている。プローブ装置は、繰り返し被試験装置の動作試験に供されることにより、プローブピンが摩耗したり、汚れが発生したりする。このため、プローブピンの定期的な清掃は欠かせない。しかしながら、上記特許文献は、いずれもプローブピンの清掃を目的としていないことからプローブピンの清掃に適用することはできず、手作業による清掃が行われているのが実情である。また、継続的なプローブ装置の運用に伴って、清掃回数も増加するため、清掃に供される資材の効率的な使用も求められるところである。
【０００６】
そこで、本明細書開示のプローブピンの清掃方法は、効率的なプローブピンの清掃を提供することを課題とする。なお、前記課題に限らず、後述する発明を実施するための形態に示す各構成により導かれる作用効果であって、従来の技術によっては得られない作用効果を奏することも本発明の他の課題の１つとして位置付けることができる。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本明細書開示のプローブピンの清掃方法は、元ボビンと巻き取りボビンとの間に張設されたシートを、プローブ装置が備えるプローブピンの並び方向に対して角度を持たせた状態で設置する工程と、前記張設されたシートにプローブ装置を対向配置する工程と、前記プローブ装置が備えるプローブピンを前記シートに向かって前進させ、前記シートに接触させる工程と、前記プローブピンを後退させる工程と、前記シートの送り方向の前記プローブピンの並び方向に対する角度を維持しつつ、前記シートを巻き取りボビン側に巻き取る工程と、を備える。
【０００８】
プローブ装置が備えるプローブピンの並び方向に対して角度を持たせた状態で設置したシートをこの角度を維持した状態で巻き取ることにより、シートの利用効率を向上して効率的なプローブピンの清掃を行うことができる。
【発明の効果】
【０００９】
本明細書開示のプローブピンの清掃方法によれば、効率的なプローブピンの清掃を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】図１は実施形態の自動試験ラインを模式的に示す説明図である。
【図２】図２（Ａ）は実施形態の自動試験ラインに組み込まれる搬送装置の斜視図であり、図２（Ｂ）はプローブピンを備えたプローブ装置の斜視図である。
【図３】プローブピンの配列と、プローブピンを清掃するシートの配置を示す斜視図である。
【図４】図４はプローブピンの配列とプローブピンを清掃するシートの配置を示す説明図である。
【図５】図５は、清掃を繰り返すことによるシートに残される打痕を示す説明図である。
【図６】図６はプローブピンが１本であるときの打痕を示す説明図である。
【図７】図７はプローブピンが２本並んでいるときに、プローブピンの並び方向とシート送り方向とが一致しているときの打痕を示す説明図である。
【図８】図８はプローブピンが２本並んでいるときに、プローブピンの並び方向に対しシート送り方向を斜めとしたときの打痕を示す説明図である。
【図９】図９（Ａ）はシート送り方向とプローブピンの並び方向の設定可能角度の範囲を示す説明図であり、図９（Ｂ）は設定可能角度の最小値を示す説明図であり、図９（Ｃ）は設定可能角度の最大値を示す説明図である。
【図１０】（Ａ）〜（Ｃ）はシート送り方向とプローブピンの並び方向との角度を変化させた場合のシート必要幅を示す説明図である。
【図１１】図１１（Ａ）はシート送り機構を正面側から観た説明図であり、図１１（Ｂ）はシート送り機構を底面側から観た説明図である。
【図１２】図１２は他のシート送り機構を底面側から観た説明図である。
【図１３】図１３は図１２に示すシート送り機構に組み込まれる一方向回転クラッチ装置を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の実施形態について、添付図面を参照しつつ説明する。ただし、図面中、各部の寸法、比率等は、実際のものと完全に一致するようには図示されていない場合がある。また、図面によっては、説明の都合上、実際には存在する構成要素が省略されている場合がある。
【００１２】
（実施形態）
図１は実施形態の自動試験ライン１００を模式的に示す説明図である。図２（Ａ）は実施形態の自動試験ライン１００に組み込まれる搬送装置１の斜図であり、図２（Ｂ）はプローブピン１１を備えたプローブ装置１０の斜視図である。
【００１３】
図２に示す搬送コンベア２が複数配置されることによって、図１に示すように自動試験ライン１００が形成される。搬送コンベア２上には、搬送パレット３が順次送られてくる。図１に示す試験実施領域に配置される搬送コンベア２には、それぞれ、プローブ装置１０が設置されている。プローブ装置１０は、プローブピン１１を前後進、すなわち、搬送パレット３側に突き出させたり、搬送パレット３側から引き込んで退避させたりすることができる。
【００１４】
搬送パレット３には、被試験装置となるＤＵＴ（Device under test）４が搭載される。各搬送パレット３には、給電ユニットが装備されており、ＤＵＴ４に常時給電されている。これにより、図１に示す試験実施領域の各位置において、所定の電気的試験が行われる。また、本実施形態では、一部の搬送パレット３においてＤＵＴ４に代えて、後に詳述するシート巻き取り機構４０が設置されている。シート巻き取り機構４０は、プローブピン１１を清掃するためのシート２１を巻き取る。プローブピン１１は、後に詳述するようにシート２１に接触させることによって清掃されるが、プローブピン１１が接触した箇所には打痕が残る。このため、次回の清掃に備えてシート２１を巻き取り、打痕の無い新たな清掃面をプローブピン１１と対向させるべくシート２１が巻き取られる。シート巻き取り機構４０は、このシート２１の巻き取り動作を担う。
【００１５】
ここで、図３乃至図９を参照して、シート２１とプローブピン１１の並び方向に対する角度について説明する。図３や図４を参照すると、プローブピン１１は、２行に亘って設けられている。それぞれの行においてプローブピン１１の並びは、矢示３１で示すように水平方向に延びている。図４を参照すると、上側に位置する行は、ａ１〜ａ１２までの１２本のプローブピン１１が並んでいることがわかる。また、下側に位置する行は、ｂ１〜ｂ１１の１１本のプローブピン１１が並んでいることがわかる。各行に含まれるプローブピン１１の間隔は、Ｗに設定されており、また、プローブピン１１がシート２１に接したときに形成される打痕の直径はＳとなる。行間もプローブピン１１の間隔と同様にＷに設定されている。なお、図３及び図４において、参照番号２１ａは清掃に供される前のロール状のシート２１を表し、参照番号２１ｂは清掃に供された後のロール状のシート２１を表している。また、本実施形態において、シート２１は、図３に示す矢示３３の方向に巻き取られるものとする。
【００１６】
このように配列されたプローブピン１１の並び方向に対して、帯状のシート２１は、角度を持たせて設置されている。図１１を参照すると、具体的に、シート２１は、元ボビン４１と巻き取りボビン４２との間に張設された状態とされ、このとき、図４に示すようにプローブピン１１の並び方向に対して角度θが形成されるように設置されている。
【００１７】
図５を参照すると、シート２１をプローブピン１１の並び方向に対して角度を持たせて設置し、繰り返しの清掃を行うと、打痕の重複を回避しつつ、シート２１の広範囲を利用した清掃を実施することができる。
【００１８】
ここで、プローブピン１１がシート２１に接触したときに形成される打痕の軌跡について考察する。図６は、プローブピン１１が１本であるときの打痕の軌跡を示している。図６中、ａ１−１との表記は、ａ１で表されるプローブピン１１による一回目の清掃によって形成された打痕であることを表している。同様に、ａ１−２との表記は、ａ１で表されるプローブピン１１による二回目の清掃によって形成された打痕であることを表している。以下同様の要領で打痕の軌跡が表されている。なお、図６に示す例では、１本のプローブピン１１を想定しているため、プローブピン１１の並び方向との概念は当てはまらない。このような場合、シート２１を順次巻き取っていけば、打痕の軌跡は、直線を描き、打痕同士が重複するということは想定されない。
【００１９】
つぎに、図７を参照して複数のプローブピン１１が行をなすように並んでいる場合について考察する。図７中、ピン並び方向との記載は、プローブピン１１の並び方向を示している。図面中のこの記載は、他の図面においても同様である。図７中、ａ１は前側に位置するプローブピン１１を表し、ａ２は後側に位置するプローブピン１１を表している。また、図７に示す例では、プローブピン１１の並び方向に対するシート２１の設置角度はゼロ、換言すると、プローブピン１１の並び方向とシート２１の巻き取り方向とは一致している。すなわち、シート２１は、プローブピン１１の並び方向に沿って巻き取られ、図７中、矢示３２で示す方向に送られる。このような状態において、まず、一回目の清掃が行われると、ａ１−１で示される打痕とａ２−１で示される打痕が形成される。運用開始後、しばらくの間は、打痕の軌跡の重複は生じない。具体的に、図７に示す例では、９回目の清掃までは、打痕の重複が生ぜず、ａ１−９で示される打痕が形成される。ところが、それ以上に清掃の回数が増加すると、打痕の重複が生じる。すなわち、１０回目の清掃を行う際にａ１で示されるプローブピン１１が接触する箇所には、すでにａ２−１で示される打痕が形成されており、プローブピン１１の清掃を行うことができない。このような現象は、プローブピン１１の間隔Ｗだけシート２１が送られると発現する。図７では、２本のプローブピン１１が並んでいる場合について説明しているが、さらに本数が増した場合であっても同様の現象が生じる。
【００２０】
つぎに、図８を参照して、シート２１がプローブピン１１の並び方向に対して角度を持たせた状態で設置された場合、すなわち、シート２１がプローブピン１１の並び方向に対して角度を持って巻き取られる場合について説明する。シート２１は、清掃毎に図８中、矢示３２で示される方向に送られる。これにより、ａ１−１、ａ１−２・・・で示される打痕の軌跡と、ａ２−１、ａ２−２・・・で示される打痕の軌跡との重複が回避される。このように、図８に示す例では、プローブピン１１の間隔Ｗ以上にシート２１が送られても清掃動作を継続することができる。
【００２１】
つぎに、図９（Ａ）〜（Ｃ）、図１０（Ａ）〜（Ｃ）を参照しつつ、シート２１とプローブピン１１の並び方向に対する角度θの設定可能範囲について説明する。まず、角度θの設定可能範囲の下限となるθｍｉｎについて説明する。角度θの設定は、上述の如く、プローブピン１１の並びが行をなしているときに必要となる。このような場合、シート２１のプローブピン１１の並び方向に対する角度θｍｉｎは、以下のように設定される。すなわち、角度θｍｉｎは、プローブピン１１の並びに含まれる２本のプローブピン１１のうち、前側に位置するプローブピンによる打痕の軌跡が、後側に位置するプローブピンによる打痕に重ならない範囲で最小の値となる。なお、角度θｍｉｎを設定する際に着目する２本のプローブピン１１は、並びに含まれるいずれであってもよい。この角度θｍｉｎを図９（Ｂ）を参照しつつ具体例を示して説明する。前側に位置するａ１で表されるプローブピン１１の二回目の打痕ａ１−２は、ａ２で表されるプローブピン１１の一回目の打痕ａ２−１の下側に形成される。角度θは、この打痕ａ２−１と打痕ａ１−２とが重複しない範囲で設定することができる。そして、打痕ａ２−１と打痕ａ１−２とが接線で接する状態が角度θｍｉｎとなる。
【００２２】
ここで、図１０（Ａ）〜（Ｂ）を参照して、角度θを変化させることによる、シートの無駄部分、すなわち、使用されない部分の変化について考察する。図１０（Ａ）に示す状態、図１０（Ｂ）に示す状態、さらに、図１０（Ｃ）に示す状態となるにつれて、角度θは大きくなっている。このように、角度θが大きくなると、図中、太線だ囲んだ無駄領域が増大し、１行のプローブピン１１の並びが必要とするシート２１の幅が大きくなる。このように、角度θは、角度θｍｉｎに近づけると、シート２１の無駄をなくし、効率的にプローブピン１１の清掃を行うことができる。ただし、実際の角度θの設定にあっては、プローブピンが接触することに起因するシート２１の撓み等を考慮する。
【００２３】
つぎに、角度θの設定可能範囲の上限となるθｍａｘについて説明する。プローブピン１１が複数行に亘って配列されているときには、角度θをθｍａｘ内に設定することが必要となる。このような場合、角度θは、プローブピン１１の配列において上側に位置する行の最前列のプローブピン１１の打痕の軌跡が、下側に位置する行の最後列のプローブピンによる打痕に重ならない範囲で設定される。そして、この範囲内で最大の値が角度θｍａｘとなる。この角度θｍａｘを図９（Ｃ）を参照しつつ具体例を示して説明する。図９に示す例において、上側に位置する行の最前列のプローブピン１１の打痕は、ａ１−１で表される。また、下側に位置する行の最後列のプローブピン１１の打痕は、ｂ１１−１で表される。ａ１で表されるプローブピン１１のｎ回目の打痕ａ１−ｎは、ｂ１１−１で表されるプローブピン１１の一回目の打痕の上側に位置する。角度θは、この打痕ａ１−ｎと打痕ｂ１１−１とが重複しない範囲で設定することができる。そして、そして、打痕ａ１−ｎと打痕ｂ１１−１とが接線で接する状態が角度θｍａｘとなる。
【００２４】
角度θｍｉｎと角度θｍａｘとを総合的に判断すると、角度θは、図９（Ａ）でハッチングを付して示した範囲となる。この範囲であれば、打痕の軌跡の重複を回避して清掃動作を継続することができる。
【００２５】
つぎに、このようなプローブピン１１の清掃方法を実施することができるシート巻き取り機構４０について、図１１を参照しつつ説明する。図１１に示すようにシート巻き取り機構４０は、搬送パレット３上に設けられている。シート２１は、元ボビン４１と巻き取りボビン４２との間に張設された状態で設置されている。元ボビン４１と巻き取りボビン４２とは、その設置高さが異なり、これにより、シート２１は、水平に設定されたプローブピン１１の並び方向に対して角度θを有する状態とされている。なお、元ボビン４１と巻き取りボビン４２とは共に、垂直方向から傾けて設置されているが、互いの平行状態は維持されているので、シート２１の巻き取りに支障はない。なお、ガイド部材４３によってシート２１の撓みが抑制されている。
【００２６】
巻き取りボビン４２には、第１腕部４４、第２腕部４５及び駆動ロッド４６を備えるクラン機構に接続されている。これにより、巻き取りボビン４２は、矢示３３の方向に回転してシート２１を巻き取ることができる。駆動ロッド４６は、鍔部４６ａを備え、この鍔部４６ａに作用するバネ部材４７によって搬送パレット３の外側に向かって付勢されており、その端部は、搬送パレット３の外側に露出している。駆動ロッド４６は、搬送装置１に設けられ、搬送パレット３の位置決めを行うストッパ５に当接することによって搬送パレット３の内側に押し込まれる。ストッパ５は、搬送パレット３が所定位置に到達すると起立して突出状態となる。駆動ロッド４６はストッパ５に当接することにより直線運動を行う。そして、この直線運動が第１腕部４４、第２腕部４５を介して回転運動に変換され、巻き取りボビン４２が回転する。このように、搬送パレット３が搬送コンベア２によって所定位置に搬送され、ストッパ５によってシート巻き取り機構４０が作動すると、シート２１の巻き取りが行われる。
【００２７】
シート２１の巻き取りが行われると、打痕がない新たな清掃面が現れる。このように、シート巻き取り機構４０が作動したとき、新たな清掃面が現れたシート２１とプローブ装置１０とは、対向配置された状態となる。その後、プローブ装置１０が備えるプローブピン１１をシート２１に向かって前進させ、シート１１に接触させれば、プローブピン１１の清掃が行われる。そして、プローブピン１１を後退させてシート２１から遠ざけ、搬送パレット３が次の搬送コンベア２上に移動すると、再び、上述の要領でシート巻き取り機構４０が作動し、シート２１が巻き取りボビン４２側に巻き取られる。これにより、再び、新たな清掃面が現れ、次回の清掃に備えることができる。
【００２８】
つぎに、図１２及び図１３を参照して、他のシート巻き取り機構５０について説明する。シート巻き取り機構５０は、駆動ロッド５１と、一方向回転クラッチ装置５２を備える。駆動ロッド５１は、バネ部材５３によって搬送パレット３の外側に向かって付勢されており、上述の駆動ロッド４６と同様にストッパ５に当接することによって搬送パレット３の内側に押し込まれる。駆動ロッド５１は、縦長の係合溝５１ａを備える。この係合溝５１ａには、一方向回転クラッチ装置５２が備える係合ピン５２ａ１が係合する。
【００２９】
一方向回転クラッチ装置５２は、矢示３３ａの方向には、回転することができるが、矢示３３ｂの方向には、回転することができない。すなわち、一方向の回転のみが許容されている。この回転許容方向が、シート２１の巻き取り方向と一致している。一方向回転クラッチ装置５２は、内側回転部５２ａと外側回転板部５２ｂを備える。外側回転板部５２ｂは、巻き取りボビン４２に取り付けられており、外側回転板部５２ｂが回転することにより巻き取りボビン４２が巻き取り動作を行う。外側回転板部５２ｂは、係合部５２ｂ１が設けられている。係合部５２ｂ１は、辺長が異なる三角形状の歯部のうち、辺長が短い側となる。この係合部５２ｂ１には、内側回転部５２ａに取り付けられた係合片５２ａ２が係合される。係合片５２ａ２は、板バネ５３によって元位置に復帰できるように支持されている。上述の係合ピン５２ａ１は、この内側回転部５２ａに設けられており、これにより、駆動ロッド５１の直線運動が内側回転部５２ａの回転運動に変換される。駆動ロッド５１が押し込まれ、内側回転部５２ａが矢示３３ａの方向に回転すると、係合片５２ａ２が外側回転板部５２ｂに設けられた係合部５２ｂ１に係合し、外側回転板部５２ｂが矢示３３ａの方向に回転する。これにより、巻き取りボビン４２が回転する。
【００３０】
駆動ロッド５１の押込みが解除されると、駆動ロッド５１は、バネ部材５３によって元位置に復帰する。このとき、係合ピン５２ａ１を介して駆動ロッド５１と結合された内側回転部５２ａは、矢示３３ｂの方向に回転し、元位置に復帰する。ただし、内側回転部５２ａが矢示３３ｂの方向に回転する際、係合片５２ａ２は、外側回転板部５２ｂと係合することができないため、外側回転板部５２ｂは、回転することはない。従って、巻き取りボビン４２が巻き取り方向と逆の方向に回転することはない。
【００３１】
このようなシート巻き取り機構５０によっても、プローブピン１１の清掃を継続的に行うことができる。
【００３２】
以上説明したように、本実施形態のプローブピンの清掃方法によれば、清掃に供される資材の無駄をなくし、効率的なプローブピンの清掃を行うことができる。
【００３３】
以上本発明の好ましい実施形態について詳述したが、本発明は係る特定の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形、変更が可能である。
【符号の説明】
【００３４】
１  搬送装置
２  搬送コンベア
３  搬送パレット
１０  プローブ装置
１１  プローブピン
２１  シート
４０、５０  巻き取り機構
４１  元ボビン
４２  巻き取りボビン
【図１】
2014206454.tif 000003
【図２】
2014206454.tif 000004
【図３】
2014206454.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
2014206454.tif 000011
【図１０】
2014206454.tif 000012
【図１１】
2014206454.tif 000013
【図１２】
2014206454.tif 000014
【図１３】
2014206454.tif 000015