(57)【要約】【課題】基板から貼付板を傷つけることなくかつ変形させることなく分離することができる剥ぎ取り装置を提供したい。【解決手段】基材１２貼付板１１が貼り付けられている基板１０から貼付板１１を剥離する剥ぎ取り装置１００において、貼付板１１の角を移動方向に向けて基板１０を固定し、固定した基板１０を移動方向に移動させるテーブル５１と、テーブル５１の上に設置され、貼付板１１を吸引する複数の吸着パッド６１を有し、テーブル５１の移動に伴って回転するローラ６０と、複数の吸着パッド６１それぞれと連結され真空吸引する真空ポンプ５４と、テーブル５１の移動と真空ポンプ５４の真空吸引とを制御して貼付板を剥離する制御部５２とを備え、制御部５２は、貼付板１１の吸着開始時は吸着パッド６１を高真空で吸引し、貼付板１１がはぎとられた部分に対しては吸着パッド６１を低真空で吸引する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材に貼付板が貼り付けられている基板から貼付板を剥離する剥ぎ取り装置において、
貼付板の角を移動方向に向けて基板を固定し、固定した基板を移動方向に移動させるテーブルと、
テーブルの上に設置され、貼付板を吸引する複数の吸着パッドを有し、テーブルの移動に伴って回転するローラと、
複数の吸着パッドそれぞれと連結され真空吸引する真空ポンプと、
テーブルの移動と真空ポンプの真空吸引とを制御して貼付板を剥離する制御部と
を備え、
制御部は、貼付板の剥ぎ取り状態に対応して複数の吸着パッドの吸引を制御することを特徴とする剥ぎ取り装置。
【請求項２】
制御部は、貼付板の吸着開始時は吸着パッドを高真空で吸引し、貼付板がはぎとられた部分に対しては吸着パッドを低真空で吸引することを特徴とする請求項１記載の剥ぎ取り装置。
【請求項３】
前記複数の吸引口は、貼付板の形状に対応して配置され、貼付板の角から貼付板の中央に向かって第１吸引列から第Ｎ吸引列を有し、第１吸引列から第Ｎ吸引列になるに従って各列の吸引口の数が増加していることを特徴とする請求項１又は２記載の剥ぎ取り装置。
【請求項４】
剥ぎ取り装置は、さらに、ローラの回転により貼付板が基板から剥離される直後の位置に、基板と貼付板との間にエアを吹き込むエアノズルを備えたことを特徴とする請求項１〜３いずれかに記載の剥ぎ取り装置。
【請求項５】
剥ぎ取り装置は、さらに、基板と貼付板との間に差し込まれ、基板と貼付板との剥離を補助するナイフを備えたことを特徴とする請求項１〜４いずれかに記載の剥ぎ取り装置。
【請求項６】
剥ぎ取り装置は、さらに、テーブルに固定された基板から貼付板の角を剥離するカッターを備えたことを特徴とする請求項１〜５いずれかに記載の剥ぎ取り装置。
【請求項７】
ローラは、テーブルの移動方向における基板の長さよりも大きな周の長さを有し、
制御部は、貼付板の剥離後にテーブルを逆移動させ、かつ、貼付板が巻きついたローラを逆転させて、基板の上に貼付板を戻すことを特徴とする請求項１〜６いずれかに記載の剥ぎ取り装置。
【請求項８】
基材に貼付板が貼り付けられている基板の角を移動方向に向けて固定し、固定した基板を移動方向に移動させるテーブルと、
テーブルの上に設置され、貼付板を吸引する複数の吸着パッドを有し、テーブルの移動に伴って回転するローラと、
複数の吸着パッドそれぞれと連結され真空吸引する真空ポンプと、
テーブルの移動と真空ポンプの真空吸引とを制御して貼付板を剥離する制御部と
を備えた剥ぎ取り装置の貼付板剥ぎ取り方法において、
制御部は、貼付板の吸着開始時は吸着パッドを高真空で吸引し、貼付板がはぎとられた部分に対しては吸着パッドを低真空で吸引することにより、基板から貼付板を剥離することを特徴とする貼付板剥ぎ取り方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、薄板（貼付板）が接着された基板から薄板を剥ぎ取る剥ぎ取り装置に関する。特に、基板に貼り付けてある製品（貼付板）を回転動作にて剥ぎ取る装置である。
【背景技術】
【０００２】
剥ぎ取り装置としては、基板に接着された貼付板に吸着パッドを吸着させ、基板面に対して垂直方向に、あるいは、斜め上方方向に、貼付板を剥ぎ取るものが考えられる。
【０００３】
しかし、貼付板が変形したり、貼付板が剥ぎ取れないという恐れがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１０−２４７９８５号公報
【特許文献２】特開２００９−０２９５６１号公報
【特許文献３】特開２００９−０２９５６１号公報
【特許文献４】特開２００６−３４７７５６号公報
【特許文献５】特開平１１−２４６１１１号公報
【特許文献６】特開平０５−０１６３７４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
基板から貼付板を傷つけることなくかつ変形させることなく分離することができる剥ぎ取り装置を提供したい。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この発明の剥ぎ取り装置は、基材に貼付板が貼り付けられている基板から貼付板を剥離する装置であり、
貼付板の角を移動方向に向けて基板を固定し、固定した基板を移動方向に移動させるテーブルと、
テーブルの上に設置され、貼付板を吸引する複数の吸着パッドを有し、テーブルの移動に伴って回転するローラと、
複数の吸着パッドそれぞれと連結され真空吸引する真空ポンプと、
テーブルの移動と真空ポンプの真空吸引とを制御して貼付板を剥離する制御部と
を備え、
制御部は、貼付板の剥ぎ取り状態に対応して複数の吸着パッドの吸引を制御することを特徴とする。
【０００７】
制御部は、貼付板の吸着開始時は吸着パッドを高真空で吸引し、貼付板がはぎとられた部分に対しては吸着パッドを低真空で吸引することを特徴とする。
【０００８】
前記複数の吸引口は、貼付板の形状に対応して配置され、貼付板の角から貼付板の中央に向かって第１吸引列から第Ｎ吸引列を有し、第１吸引列から第Ｎ吸引列になるに従って各列の吸引口の数が増加していることを特徴とする。
【０００９】
剥ぎ取り装置は、さらに、ローラの回転により貼付板が基板から剥離される直後の位置に、基板と貼付板との間にエアを吹き込むエアノズルを備えたことを特徴とする。
【００１０】
剥ぎ取り装置は、さらに、基板と貼付板との間に差し込まれ、基板と貼付板との剥離を補助するナイフを備えたことを特徴とする。
【００１１】
剥ぎ取り装置は、さらに、テーブルに固定された基板から貼付板の角を剥離するカッターを備えたことを特徴とする。
【００１２】
ローラは、テーブルの移動方向における基板の長さよりも大きな周の長さを有し、
制御部は、貼付板の剥離後にテーブルを逆移動させ、かつ、貼付板が巻きついたローラを逆転させて、基板の上に貼付板を戻すことを特徴とする。
【００１３】
この発明の貼付板剥ぎ取り方法は、
基材に貼付板が貼り付けられている基板の角を移動方向に向けて固定し、固定した基板を移動方向に移動させるテーブルと、
テーブルの上に設置され、貼付板を吸引する複数の吸着パッドを有し、テーブルの移動に伴って回転するローラと、
複数の吸着パッドそれぞれと連結され真空吸引する真空ポンプと、
テーブルの移動と真空ポンプの真空吸引とを制御して貼付板を剥離する制御部と
を備えた剥ぎ取り装置の貼付板剥ぎ取り方法において、
制御部は、貼付板の吸着開始時は吸着パッドを高真空で吸引し、貼付板がはぎとられた部分に対しては吸着パッドを低真空で吸引することにより、基板から貼付板を剥離することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
この発明によれば、基板から貼付板を傷つけることなくかつ変形させることなく分離することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】剥ぎ取り装置１００の側面図。
【図２】テーブル５１の斜視図。
【図３】カッター９０の斜視図。
【図４】ローラ６０の斜視図。
【図５】ローラ６０の展開図。
【図６】制御部５２の制御方法のフローチャート。
【図７】角剥離の図。
【図８】剥ぎ取りの開始図。
【図９】剥ぎ取りの終了図。
【図１０】剥ぎ取り動作の完了図。
【図１１】角剥離治具を別装置とした図。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
実施の形態１．
図１は、剥ぎ取り装置１００の側面図である。
基台５０の内部には、制御部５２、モータ５３、真空ポンプ５４、ベルト５５、圧縮器５９、昇降機構９２が配置されている。
基台５０の上部には、テーブル５１、ローラ６０、エアノズル７０、ナイフ８０が配置されている。
モータ５３が回転すると、ベルト５５が動き、テーブル５１がＸ方向に前進後退する。
テーブル５１には、矩形の基板１０が固定される。
【００１７】
基板１０は、貼付板１１と基材１２からなる。
基材１２の上に貼付板１１が接着で貼り付けられている。
或いは熱圧着で貼り付けられている。
基材１２は例えばエポキシ樹脂製板あるいはガラスエポキシ樹脂製板の表面に薄い金属板が貼られている平板である。
基材１２の薄い金属板は例えば貼付板と同素材である。
貼付板１１は、薄い金属板であり、可撓性がある。貼付板１１は例えば銅板であり、基材１２の表面の薄い金属板も銅板であり、銅板同士が接着剤又は熱圧着で面接着されている。
【００１８】
モータ５３が回転すると、ベルト５６が動き、テーブル５１の移動と同期して、ローラ６０が回転する。
ローラ６０には吸着パッド６１が複数埋め込まれている。
吸着パッド６１はエアチューブ５７で真空ポンプ５４に連結されている吸引用真空パッドである。ローラ６０の表面には、吸着パッド６１の環状の吸着口がある。吸着口は直径が１５ｍｍであり、吸着口の表面はゴムあるいはウレタンあるいはプラスチックあるいはシリコン等の密着できる材質でできている。
剥ぎ取る動作にローラ６０を使用した理由は、基材１２と貼付板１１の貼り付け力が大きく、吸着パッド６１の上下動作等で垂直方向又は扇型に貼付板１１を剥がす事ができないためである。ローラ６０を使用する事によりＲ形状で端から徐々に基材１２と貼付板１１を剥がすことができる。
【００１９】
テーブル５１とローラ６０の下端と間は、基板１０の厚さだけ離れている。
基板１０に強く貼り付いている貼付板１１は、ナイフとエアーブローを基材１２と貼付板１１の間に差し込み、強制的に剥ぐ。
エアノズル７０は、エアチューブ７１で圧縮器５９に連結されている。エアノズル７０はナイフ８０の上に配置されている。
なお、圧縮器５９を本装置に常備しておかなくてもよく、エアチューブ７１を本装置が使用される工場設備のエアコンプレッサーに接続してもよい。
ナイフ８０は、樹脂製であり、刃先がローラ６０の最下端の直下の脇の隙間、すなわち、テーブル５１とローラ６０との隙間にくるように、基台５０に配置されている。
【００２０】
更に剥ぎ取りにくい基板１０は、前段取りで、角剥離治具で角の接着を予め剥離しておく。角剥離治具は、カッター９０とインジケータ９１とゲージ９３を有している。
カッター９０とインジケータ９１とゲージ９３とは、昇降機構９２で、Ｙ方向に上下する。
昇降機構９２は、カッター９０の刃先が基材１２と貼付板１１との接着面１５と同一になるようにカッター９０を位置決めする。カッター９０の刃先の高さはゲージ９３で設定測定でき、インジケータ９１に表示される。
【００２１】
制御部５２は、テーブル５１が右に移動する位置により、吸着パッド６１が順次真空ＯＮし、基板１０の端から順次剥ぎ取って行く。吸着パッド６１の真空力により、貼付板１１がパッド形状に凹んでしまう事が有るので、制御部５２は、吸着パッド６１の真空力を２段階で制御する。制御部５２は、貼付板１１と吸着パッド６１が接触する吸着開始時は、高真空で剥ぎ取る。剥ぎ取れた部分の吸着パッド６１は弱真空に切り替える。
【００２２】
図２は、テーブル５１の斜視図である。二点鎖線は、基板１０の固定位置である。
基板１０はテーブル５１に斜めにセットする。斜めにセットする事により、基板１０の角から剥ぐ事が出来る。剥ぎ取りローラ６０と正対したまま剥ごうとすると、剥ぎ取りローラ６０の吸着パッド６１の吸着力が接着剤の貼り付け力に負け、剥ぎ取る事ができない。
【００２３】
テーブル５１の表面には、多数の吸気孔５８が配列されている。吸気孔５８は、真空ポンプ５４により高真空吸引され、基板１０を吸引固定する。
テーブル５１の先端部には、３個の吸着パッド６２がある。吸着パッド６２は、吸気孔５８とは別個に真空ポンプ５４に連結され、吸気孔５８とは別個に吸引動作をする。吸着パッド６２は基板１０の先端の角の直下に埋め込まれており、基板１０の先端を高真空吸引する。吸着パッド６２の吸引により基板１０の角がテーブル５１に固定される。
吸気孔５８も吸着パッド６２も、ともに、高真空吸引される。吸気孔５８は、テーブル面に多数かつ広範囲に存在するため吸引力が分散される。また、基板１０にそりがあると基板１０の底面とテーブル５１の表面との間に隙間が生じ吸引力が弱まる。一方、吸着パッド６２は３個しかなくかつ吸着口が基板１０の底面に密着するので吸気孔５８よりも強力に基板１０を吸引する。
また、吸着パッド６２の吸引力は、吸着パッド６１の吸引力よりも大きい。したがって、吸着パッド６１が貼付板１１を剥がすときに、基板１０の先端がテーブル５１から浮くことがない。
【００２４】
図３は、カッター９０の上昇時の斜視図である。
カッター９０は、テーブル５１の表面と平行に設置されている。カッター９０は厚さ０．２ｍｍの合金工具鋼製である。
カッター９０とインジケータ９１とは、昇降機構９２により上下し、カッター９０の刃先は、基板１０の貼付板１１と基材１２との接着面１５に精密に位置決めされる。
ゲージ９３は、カッター９０が昇降機構９２により位置決めされた場合に、テーブル５１の表面からのカッター９０の刃先の高さを計測し、インジケータ９１に表示する。
インジケータ９１による表示が基材１２の厚さを示さない場合は、手動であるいは制御部５２を介して昇降機構９２を調整してカッター９０とテーブル５１との高さ方向の距離を基材１２の厚さに変更することができる。
【００２５】
制御部５２は、テーブル５１を前進させて、カッター９０を基板１０の角に挿入して基板１０の角のみ貼付板１１と基材１２とを分離する。角から分離する挿入距離は、５ｍｍ〜２０ｍｍである。
【００２６】
図４は、ローラ６０の斜視図である。
ナイフ８０は、ローラ６０の直下にテーブル５１を横断するように配置されている。
ナイフ８０は、テーブル５１と平行に配置されている。
ナイフ８０は、樹脂製ナイフである。樹脂製なので刃先が貼付板１１と基材１２の間に挿入されて両者を分離する場合に貼付板１１を傷つけることはない。
【００２７】
エアノズル７０は、複数均等に配置され、噴射口からローラ６０の直下に向けて高圧エア７２を噴出する。
エアノズル７０は、細長い噴射口を有している。細長い噴射口は、テーブル５１と平行に配置される。噴射口からは、幅の狭い板状の高圧エア７２が噴射される。
エアノズル７０の噴射口は、ナイフ８０の上に配置されているので、エアノズル７０の噴射口から噴射された高圧エア７２は、ナイフ８０の上面により下方に逃げることなく、無駄なくかつ確実に、貼付板１１と基材１２の間の分離部分に向けて吹きつけられる。エアなので両者を分離する場合に貼付板１１を傷つけることはない。
【００２８】
図５は、ローラ６０の展開図である。
点線は、貼付板１１が剥ぎ取られた場合の貼付板１１の剥ぎ取り位置である。
Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄは貼付板１１の角である。
対角線の交点Ｏは、ローラ６０の中央線Ｔ上にある。線Ｕは、中央線Ｔと直交する。
貼付板１１の先端の角Ａは、中央線Ｔの片側にあり、貼付板１１の後端の角Ｃは中央Ｔの反対側にある。
辺ＡＤと線Ｕとのなす角度θは４５度である。したがって、辺ＡＢと線Ｕとのなす角度は４５度である。４５度の配置することにより角Ａから左右均等に剥ぎ取っていくことができる。
【００２９】
ローラ６０の周長は、貼付板１１の対角線長よりも大きい。
また、ローラ６０の周長は、貼付板１１のＸ方向の長さよりも大きい。
ローラ６０の周長＞基板１０の対角線長
ローラ６０の周長＞基板１０のＸ方向の長さ
したがって、貼付板１１はローラ６０が一回転する前に剥ぎ取られる。したがって、ローラ６０に巻きついた貼付板１１の先端部と後端部が重なってしまい互いに傷つけあうことがない。
【００３０】
また、ローラ６０の直径は、基板１０の短辺より長く、さらに、基板１０の長辺以上がよい。
ローラ６０の直径＞基板１０の長辺＞基板１０の短辺
ローラ６０の直径はできるだけ大きいほうがよい。貼付板１１の剥ぎ取り方向をできるだけ緩やかにするためである。ローラ６０の直径が小さい場合、ローラ６０の真下を通過後、貼付板１１が急激に上に引っ張られるため貼付板１１が損傷する可能性がある。また、ローラ６０の直径が小さいと貼付板１１が径の小さいものに巻きつけられるため貼付板１１の表面と裏面とに生じる伸び縮み差が大きくなり貼付板１１の可撓性が壊されたり、貼付板１１に丸まり癖が生じたりする。
【００３１】
ローラ６０には、複数の吸着パッド６１が配列されている。
各列は、中央線Ｔに直交している。
各吸着パッド６１の吸引直径は同じである。
第１列の吸着パッド６１の個数は、１個である。
第２列の吸着パッド６１の個数は、３個である。
第３列の吸着パッド６１の個数は、５個である。
第４列の吸着パッド６１の個数は、７個である。
第５列の吸着パッド６１の個数は、９個である。
【００３２】
第１列の吸着パッド６１から第５列の吸着パッド６１は、直角二等辺三角形の形状になるように配置されている。これら複数の吸着パッド６１による直角二等辺三角形の外形は、貼付板１１の辺ＡＢと辺ＡＤとが形成する直角三角形の角Ａ側の外形と一致する。角Ａは中心線Ｔからずれているので、第１列の吸着パッド６１も同様に中心線Ｔからずれた位置にある。
第５列の吸着パッド６１から２列分離れた第６列の吸着パッド６１の個数は、２個である。
第６列の吸着パッド６１の一つの吸着パッド６１は、貼付板１１の角Ｄを吸引する。
貼付板１１が正方形の場合、第６列目の２個の吸着パッド６１は、貼付板１１の角Ｂと角Ｄとを吸引する。
【００３３】
さらに第６列の吸着パッド６１から７列分離れた第７列の吸着パッド６１の個数は、１個である。
第７列の吸着パッド６１は、第１列の吸着パッド６１と第６列目に対して線対称の位置にある。
貼付板１１が正方形の場合、第７列の吸着パッド６１は、貼付板１１の角Ｃを吸引する。
【００３４】
第１列目から第７列の吸着パッド６１は、全て、真空ポンプ５４に連結されている。
吸着パッド６１の間隔は縦方向も横方向も全て同じであり、等間隔に配列されている。
【００３５】
第１列目から第５列の吸着パッド６１は、貼付板１１を角Ａから均等に吸引するとともに、制御部５２の回転により、貼付板１１に対して均一な剥離力を与える。貼付板１１は角Ａから、直角二等辺三角形の二等辺が伸びてゆくような形で剥離されてゆく。
【００３６】
制御部５２は、貼付板１１にパッド跡を付けないようにするため、各列ごとに、以下のような高真空吸引と低真空吸引との２段階の吸引制御をする。
すなわち、第１列の吸着パッド６１で貼付板１１を高真空吸引して、さらに第２列の吸着パッド６１で貼付板１１を高真空吸引したら、第１列の吸着パッド６１を低真空吸引に変更して第１列の吸着パッド６１により貼付板１１にパッド跡を付けないようにする。
【００３７】
第２列の吸着パッド６１で貼付板１１を高真空吸引して、さらに第３列の吸着パッド６１で貼付板１１を高真空吸引したら、第２列の吸着パッド６１を低真空吸引に変更して第２列の吸着パッド６１により貼付板１１にパッド跡を付けないようにする。
以下、後列の吸着パッド６１の吸着が完了したら前列の吸着パッド６１の吸着強度を低くする。
【００３８】
このように、第５列の吸着パッド６１まで順に高真空吸引から低真空吸引に変更する。
第５列の吸着パッド６１による高真空吸引は、貼付板１１の剥離終了まで継続する。
また、制御部５２は、モータ５３を制御して、剥ぎ取りスピードを変更することができる。
【００３９】
＜＜＜貼付板剥ぎ取り方法の説明＞＞＞
図６は、制御部５２の制御方法のフローチャートである。
制御部５２は、中央制御装置やメモリなどのハードウエアと、プログラムなどのソフトウエアを有しており、剥ぎ取り装置１００の各部の動作を制御する。
【００４０】
以下の動作は全て制御部５２の指示に基づく動作である。
基板１０は、手動、あるいは、自動搬送器具により、あらかじめ、テーブル５１の所定の位置に位置決めされているものとする。
また、基板１０の位置と吸着パッド６１の位置とが一致するように、あらかじめ、ローラ６０の回転位置が設定されているものとする。
【００４１】
ステップＳ１．
初期値設定。列変数ｎ＝１、列数Ｎ＝５とする。カッター９０の高さ（接着面１５の高さ）の値設定。
【００４２】
ステップＳ２．
基板１０をテーブル５１にセットし、制御部５２のスタートスイッチを押すと、テーブル５１が基板１０を真空吸着固定し、右方向に移動する動作と同調し剥ぎ取りローラ６０が反時計方向に回転する。剥ぎ取る速度（テーブル移動速度）は制御部５２のタッチパネルに数値を入力する事で可変できる。
【００４３】
昇降機構９２によりカッター９０上昇。
カッター９０の高さを接着面１５の高さに移動して固定。
吸気孔５８により基板１０を吸引固定。
テーブル５１前進。
吸着パッド６２により基板１０の角を高真空吸引。
【００４４】
基板１０の角がカッター９０に分離距離だけ挿入されるまでテーブル５１を前進して貼付板１１の角を剥離。第１列の吸着パッド６１が吸着する部分までカットすることが好ましい。
テーブル５１後退。
カッター９０下降。
吸着パッド６２の吸引停止。
【００４５】
図７は、ステップＳ２の角剥離の図である。
図７では、カッター９０の刃先が、貼付板１１と基材１２との間に入り貼付板１１が基材１２から分離した場合を示している。
【００４６】
ステップＳ３．
テーブル５１前進開始。
ローラ６０回転開始。
エアノズル７０エア噴出開始。
【００４７】
ステップＳ４．
テーブル５１の吸着パッド６２が基材１２の角を高真空吸引。
第ｎ列の吸着パッド６１がローラ６０の真下にきた場合、第ｎ列の吸着パッドで貼付板１１を高真空吸引。すなわち、ローラ６０の第１列の吸着パッドで貼付板１１の角を高真空吸引。
第１列の吸着パッド６１がローラ６０の真下にきて、第１列の吸着パッド６１の吸引口全体が貼付板１１の表面で覆われた後に、吸引を開始する。第１列の吸着パッド６１を先に吸引開始しておくと吸引口に貼付板１１の角が吸い込まれてしまい真空引きができなくなる恐れがある。また、貼付板１１の角を傷つける恐れがある。
【００４８】
ステップＳ５．
第ｎ列の吸着パッドで貼付板１１の角を高真空吸引したまま、
テーブル５１前進継続。
ローラ６０回転継続。
第ｎ＋１列の吸着パッド６１がローラ６０の真下にきた場合、第ｎ＋１列の吸着パッドで貼付板１１を高真空吸引。
すなわち、第ｎ＋１列の吸着パッド６１がローラ６０の真下にきて、第ｎ＋１列の吸着パッド６１の吸引口全体が貼付板１１の表面に接触した場合、吸引を開始する。
【００４９】
なお、第ｎ＋１列の吸着パッド６１の吸引は、吸引口全体が貼付板１１の表面で覆われた後に開始しなくてもよい。なぜならば、すでに、第ｎ列の吸着パッド６１の吸引が開始されて貼付板１１を引っ張っているため、貼付板１１が吸引口に吸い込まれる危険がなく貼付板１１が撓んだり傷ついたりすることがないからである。むしろ、剥ぎ取りを助長するために、貼付板１１の表面に第ｎ＋１列の吸着パッド６１の一部が接触するのと同時にあるいは一部の接触直後に吸引を開始することが望ましい。
【００５０】
図８は、ステップＳ５の剥ぎ取りの開始図である。
図８では、第１列の吸着パッド６１が、貼付板１１の角を吸着して、さらに、第２列の吸着パッド６１が貼付板１１を吸着した場合を示している。
エアノズル７０からの高圧エア７２は、貼付板１１と基材１２の分離を補助する。エアノズル７０は、高圧エア７２を貼付板１１と基材１２との間に噴出し続ける。
ナイフ８０は、貼付板１１と基材１２の分離を補助する。貼付板１１と基材１２との接着が強い部分がある場合、ローラ６０の回転だけでは貼付板１１が基材１２から剥離できない恐れがある。そこで、ナイフ８０が、貼付板１１と基材１２との剥離位置の直後に配置されている。万が一、貼付板１１と基材１２とが離れないまま前進してきた場合は、ナイフ８０の刃先によって貼付板１１と基材１２とが強制的に分離される。
【００５１】
ステップＳ６．
第ｎ列と第ｎ＋１列の吸着パッドで貼付板１１の角を高真空吸引したら、第ｎ列の吸着パッドを低真空吸引に変更
テーブル５１前進継続。
ローラ６０回転継続。
ｎ＝ｎ＋１
【００５２】
ステップＳ７．
ｎ：Ｎを比較し、ｎ＝Ｎ＝５ならステップＳ８へ。ｎ≠Ｎ＝５ならステップＳ５へ。
【００５３】
ステップＳ８．
テーブル５１前進継続。
ローラ６０回転継続。
第５列の吸着パッドでの高真空吸引継続。
第６列の吸着パッド６１がローラ６０の真下にきた場合、第６列の吸着パッドで貼付板１１を高真空吸引。
第７列の吸着パッド６１がローラ６０の真下にきた場合、第７列の吸着パッドで貼付板１１を高真空吸引。
【００５４】
ステップＳ９．
所定の位置までテーブル５１を前進させテーブル５１停止。ローラ６０停止。
エアノズル７０エア噴出終了。剥離終了。
【００５５】
図９は、ステップＳ９の剥ぎ取りの終了図である。
図９では、貼付板１１が、基材１２から剥離され、ローラ６０に巻きついている。
【００５６】
ステップＳ１０．
全吸着パッドを低真空吸引に変更。
テーブル５１後退。
ローラ６０逆転。
第７列の吸着パッド６１がローラ６０の真下にきた場合、第７列の吸着パッド６１の吸引を停止し、貼付板１１をリリースする。
第６列の吸着パッド６１がローラ６０の真下にきた場合、第６列の吸着パッド６１の吸引を停止し、貼付板１１をリリースする。
同様に、第５列から第１列の吸着パッド６１がローラ６０の真下にきた場合、順に吸着パッド６１の吸引を停止し、貼付板１１をリリースする。
貼付板１１がリリースされると貼付板１１は基材１２の上に乗ったまま後退する。
テーブル５１が最初の位置に戻ると、貼付板１１は基材１２の上に乗った状態で、基板１０の最初の位置に戻る。
【００５７】
図１０は、ステップＳ１０の作業完了図である。
図１０では、貼付板１１が基材１２から剥離された状態で基材１２の上に乗っている。
貼付板１１は、すでに分離されているので、手動により、あるいは、自動搬送器具により、貼付板１１を搬送する。
【００５８】
実施の形態２．
この実施の形態では、実施の形態１と異なる点について説明する。
【００５９】
１．基板１０の形状は、長方形、正方形などの矩形に限らず、他の多角形でもよい。また、円形、楕円形でもよい。その場合、吸着パッド６１の配置は貼付板１１の形状に対応するように配置される。
【００６０】
２．ローラ６０の全面に吸着パッド６１を配置して、全ての吸着パッド６１を個別に吸引制御できるようにしてもよい。その場合、制御部５２は、貼付板１１に対応する吸着パッド６１のみを動作させればよい。
【００６１】
３．ローラ６０だけで剥離できる場合は、エアノズル７０、圧縮器５９は不要である。
【００６２】
４．ローラ６０だけで剥離できる場合は、ナイフ８０は不要である。
樹脂製のナイフ８０の替わりに、貼付板１１を傷つけない様な物であれば代用できる。
【００６３】
５．吸着パッド６１だけで貼付板１１が剥離できる場合は、カッター９０で角をあらかじめカットしておく必要はなく、角剥離治具と昇降機構９２は不要である。
【００６４】
６．吸気孔５８だけで基板１０をテーブル５１に固定できる場合は、吸着パッド６２は不要である。
【００６５】
７．吸着パッド６１による高真空吸引で貼付板１１が変形しない場合は、真空ポンプ５４による２段階の吸引は不要である。
【００６６】
８．吸着パッド６１の列は、５列や７列に限らず、任意の列でよい。基板１０が矩形の場合は、最大で貼付板１１の進行方向の長さの前半半分まで吸引できればよい。後半半分の剥離に要する力は基板１０の進行方向の半分の時点の剥離に要する力以下になるからである。
【００６７】
９．ローラ６０は、円柱形状でなくともよく、断面が楕円形状や半円形状や扇形状でもよい。少なくとも、貼付板１１を巻きつける面は、なめらかな凸曲面であることが好ましい。
【００６８】
１０．テーブル５１を水平方向に回転させる回転機構を設け、テーブル５１と基板１０とを９０度ずつ回転させ、カッター９０により基板１０の４つの角をあらかじめ剥離しておいてもよい。あるいは、基板１０の４辺をあらかじめ剥離しておいてもよい。
【００６９】
１１．基板１０の角Ａを剥離せずに、ナイフ８０の代わりにナイフ８０の場所にカッター９０を配置してもよい。第１列の吸着パッド６１の真空吸引だけで基板１０の角Ａから貼付板１１が剥離できなかった場合は、直後に配置されたカッター９０により角Ａをカットして貼付板１１を強制的に剥離することができる。
【００７０】
１２．テーブル５１を前後に移動させるのではなく、カッター９０を前後に移動可能に取り付けて、カッター９０の前進により基板１０の角Ａをカットしてもよい。
【００７１】
１３．基板１０の接着剤が温度により剥離しやすい性質のものであれば、温度制御して剥離を助長してもよい。例えば、高温度で剥離しやすい場合は以下のような温度制御を採用する。
【００７２】
Ａ．テーブル５１内に加温器を設置し、テーブル５１の表面を加温器で温めて、基板１０を裏面から温める。
Ｂ．ローラ６０内に加温器を設置し、ローラ６０の表面を加温器で温めて、ローラ６０の下端に接した基板１０の表面を温める。
Ｃ．エアノズル７０から、貼付板１１と基材１２との分離部分に熱風を噴射する。
Ｄ．剥ぎ取り装置全体を温室内に設置する。
Ｅ．あらかじめ基板１０を加温器で温めてから、テーブル５１に固定する。
【００７３】
１４．基板の表面と裏面に貼付板が貼り付けられている場合は、基板の表面と裏面とでカッター９０の高さを変更して、基板の表面と裏面とでそれぞれ剥離動作を実行すればよい。
【００７４】
１５．貼付板１１は、銅板以外に、アルミニウム板、ステンレス板、鉄板等の金属板であってもよい。また、樹脂板、プラスチック板、シリコン板等でもよい。
きざいの材質も、エポキシ樹脂以外でもよい。
【００７５】
１６．図１１のように、角剥離治具を別装置としてもよい。
テーブル５１に２本の直交するガイド板１６を固定しておき、ガイド板１６に基板１０を沿わせて基板１０を位置決めする。ガイド板１６が有れば、テーブル５１の表面に基板１０を置き、基板１０を水平にスライドさせることにより、手動で、基板１０の角をカッター９０でカットすることができる。
ガイド板１６の厚さを基材１２の厚さ以下にすれば、ガイド板１６を、図１の剥ぎ取り装置１００に設けてもよい。
【００７６】
１７．貼付板１１の剥ぎ取りに吸着パッド６１を使用しなくても良い。
例えば、磁性の有る貼付板１１であれば、磁石を使用しても良い。例えば、吸着パッド６１の代わり、吸着パッド６１の位置に電磁石を配置して、吸着パッド６１の吸引タイミングと同じタイミングで電磁石をＯＮすれば、貼付板１１を剥ぎ取ることができる。電磁石の場合は、吸引口がないので、吸引力を２段階に制御する必要はない。
あるいは、永久磁石を配置して、永久磁石で貼付板１１を剥ぎ取ってもよい。
あるいは、電磁石と永久磁石とを併用してもよい。
あるいは、吸着パッド６１と磁石とを併用してもよい。
【００７７】
１８．貼付板１１の剥ぎ取りは、貼付板１１の先端の角をクランプする方法でも構わない。例えば、エアシリンダ等を使い、貼付板１１の角の浮いた部分をクランプして、貼付板１１の角をクランプしたまま、ローラ６０の回転面に巻きつけながら貼付板１１を剥ぎ取っても良い。
あるいは、吸着パッド６１で吸着する方法とクランプする方法とを併用してもよい。
あるいは、吸着パッド６１で吸着する方法と磁石で吸着する方法とクランプする方法とを併用してもよい。
【符号の説明】
【００７８】
１０  基板、１１  貼付板、１２  基材、１３  貼付板外周、１４  貼付板対角線、１５  接着面、１６  ガイド板、５０  基台、５１  テーブル、５２  制御部、５３  モータ、５４  真空ポンプ、５５  ベルト、５６  ベルト、５７  エアチューブ、５８  吸気孔、５９  圧縮器、６０  ローラ、６１  吸着パッド、６２  吸着パッド、７０  エアノズル、７１  エアチューブ、７２  高圧エア、８０  ナイフ、９０  カッター、９１  インジケータ、９２  昇降機構、９３  ゲージ、１００  剥ぎ取り装置。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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