(57)【要約】【課題】ノイズの影響を低減させることができるＸ線検出装置を提供する。【解決手段】  Ｘ線検出装置１００は、Ｘ線を検出して、階段波Ｓ１１０を出力するＸ線検出器１００と、階段波Ｓ１１０を第１パルス信号Ｓ１２０に変換する第１微分フィルター部１２０と、第１パルス信号Ｓ１２０が閾値を超えたか否かを判定するイベント検出部１４０と、第１パルス信号Ｓ１２０が閾値を超えている時間が、所与の時間よりも短いか否かを判定するノイズイベント検出部１５０と、階段波Ｓ１１０を、段差の高さに応じた高さのピークを有する第２パルス信号Ｓ１６０に変換する第２微分フィルター部１６０と、第１パルス信号Ｓ１２０が閾値を超えたと判定された場合に、第２パルス信号Ｓ１６０の最大値の検出を開始する最大値検出部１７０と、ノイズイベント検出部１５０の判定結果に基づいて、最大値の情報を出力するか否かを判定する判定部１８０と、を含む。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｘ線を検出して、段差の高さが前記Ｘ線のエネルギーに相当する階段波を出力するＸ線検出器と、
前記階段波を、前記段差の高さに応じた高さのピークを有する第１パルス信号に変換する第１微分フィルター部と、
前記第１パルス信号が閾値を超えたか否かを判定するイベント検出部と、
前記第１パルス信号が前記閾値を超えている時間が、所与の時間よりも短いか否かを判定するノイズイベント検出部と、
前記第１微分フィルター部よりも大きい時定数を有し、前記階段波を、前記段差の高さに応じた高さのピークを有する第２パルス信号に変換する第２微分フィルター部と、
前記第１パルス信号が前記閾値を超えたと判定された場合に、前記第２パルス信号の最大値の検出を開始する最大値検出部と、
前記ノイズイベント検出部の判定結果に基づいて、前記最大値の情報を出力するか否かを判定する判定部と、
を含む、Ｘ線検出装置。
【請求項２】
Ｘ線を検出して、段差の高さが前記Ｘ線のエネルギーに相当する階段波を出力するＸ線検出器と、
前記階段波を、前記段差の高さに応じた高さのピークを有する第１パルス信号に変換する第１微分フィルター部と、
前記第１パルス信号が第１閾値を超えたか否かを判定するイベント検出部と、
前記第１パルス信号が第２閾値を下まわったか否かを判定するノイズイベント検出部と、
前記第１微分フィルター部よりも大きい時定数を有し、前記階段波を、前記段差の高さに応じた高さのピークを有する第２パルス信号に変換する第２微分フィルター部と、
前記第１パルス信号が前記第１閾値を超えたと判定された場合に、前記第２パルス信号の最大値の検出を開始する最大値検出部と、
前記ノイズイベント検出部の判定結果に基づいて、前記最大値の情報を出力するか否かを判定する判定部と、
を含む、Ｘ線検出装置。
【請求項３】
請求項２において、
前記第１パルス信号において、前記ピークは、プラス側に現れ、
前記第１閾値は、プラス側に設定され、
前記第２閾値は、マイナス側に設定されている、Ｘ線検出装置。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれか１項に記載のＸ線検出装置を含む、試料分析装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、Ｘ線検出装置および試料分析装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
Ｘ線検出装置として、エネルギー分散型Ｘ線検出装置（Ｅｎｅｒｇｙ  Ｄｉｓｐｅｒｓｉｖｅ  Ｘ−ｒａｙ  ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ、ＥＤＳ）や、波長分散型Ｘ線検出装置（Ｗａｖｅｌｅｎｇｔｈ−Ｄｉｓｐｅｒｓｉｖｅ  Ｘ−ｒａｙ  ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ、ＷＤＳ）が知られている。
【０００３】
エネルギー分散型のＸ線検出装置は、試料から発生したＸ線を、直接、半導体検出器で検出し、電気信号に変えて分光分析する。
【０００４】
例えば、特許文献１に開示されているエネルギー分散型のＸ線検出器を備えた蛍光Ｘ線分析装置では、まず、半導体検出器がＸ線を検出し、当該半導体検出器の出力をプリアンプで増幅して階段状の電圧パルス信号とする。この電圧パルス信号を各階段の高さに応じた波高を持つパルスに成形して出力し、Ａ／Ｄ変換器でデジタル化する。そして、マルチチャンネルアナライザで、このデジタル化されたパルス信号の波高値に応じて各パルス信号を弁別した後にそれぞれ計数し、波高分布図（エネルギースペクトルヒストグラム）を作成している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００７−３２７９０２公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
図９は、従来のＸ線検出装置１の構成を説明するための機能ブロック図である。
【０００７】
Ｘ線検出装置１では、Ｘ線検出器１０の出力信号が、信号処理回路２で波高分析処理される。波高分析処理の結果は、ＰＣ（パーソナルコンピューター）５０で取得され、スペクトルとして表示される。
【０００８】
ここで、信号処理回路２の処理について説明する。図１０は、メインフィルター２０の処理を説明するための図である。図１１は、イベント検出処理部３０の処理を説明するための図である。図１２は、波高分析処理部４０の処理を説明するための図である。
【０００９】
メインフィルター２０は、図１０（Ａ）に示すＸ線検出器１０の出力（階段波Ｓ１０）を、図１０（Ｂ）に示す、縦軸がＸ線エネルギーに対応するパルス信号Ｓ２０に変換する処理を行う。
【００１０】
イベント検出処理部３０は、図１１（Ａ）に示すＸ線検出器１０の出力（階段波Ｓ１０）を、図１１（Ｂ）に示す、縦軸がＸ線エネルギーに対応するパルス信号Ｓ３に変換する処理を行う。そして、イベント検出処理部３０は、図１１（Ｃ）に示すように、パルス信号Ｓ３に閾値ＴＨを設定して、パルス信号Ｓ３０が閾値ＴＨを超えた場合に、イベント信号Ｓ３０を出力する処理を行う。
【００１１】
波高分析処理部４０は、メインフィルター２０の出力信号Ｓ２０およびイベント検出処
理部３０のイベント信号Ｓ３０に基づいて、パルス信号Ｓ２０のピークの高さを分析する処理を行う。波高分析処理部４０は、図１２に示すように、イベント信号Ｓ３０を受けて、パルス信号Ｓ２０の最大値を検出する処理を開始する。そして、メインフィルター２０の時定数に応じた期間Ｌ内で、パルス信号Ｓ２０の最大値を検出し出力する処理を行う。この結果は、ＰＣ５０にＸ線エネルギー信号Ｓ４０として送られる。
【００１２】
ＰＣ５０は、Ｘ線エネルギー信号Ｓ４０を、Ｘ線エネルギーに応じて弁別した後に計数し、横軸がＸ線エネルギー、縦軸がカウント数となるＸ線スペクトルに変換する処理を行う。
【００１３】
ここで、Ｘ線分析装置１では、イベント検出処理部３０が、閾値ＴＨを超えたものをすべてＸ線のイベントとして、イベント信号Ｓ３０を出力している。しかしながら、図１３に示すように、パルス信号Ｓ３にもノイズがあり、このノイズが閾値ＴＨを超える場合がある。
【００１４】
ここで、閾値ＴＨを超えたのはノイズであるため、エネルギーが「０」のイベントである。しかしながら、エネルギーが「０」のイベントであるにも関わらず、イベント信号Ｓ３０が出力されるため、波高分析処理部４０では、最大値検出処理が行われる。したがって、ＰＣ５０では、エネルギーが「０」ではなく、低いエネルギーを持つものとしてカウントされる。これにより、例えばＸ線スペクトルの低エネルギー側のバックグラウンド強度が増大したり、Ｘ線スペクトルに、試料に含まれない元素に対応するピークが観測されたりする場合がある。
【００１５】
図１４は、従来のＸ線検出装置１でＢ（ボロン）を測定したときのＸ線スペクトルである。
【００１６】
図１４に示すように、Ｘ線スペクトルの低エネルギー側には、実際に元素は存在しないにも関わらず、ピークが観測されている。
【００１７】
本発明は、以上のような問題点に鑑みてなされたものであり、本発明のいくつかの態様によれば、ノイズの影響を低減させることができるＸ線検出装置、および試料分析装置を提供することができる。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
（１）本発明に係るＸ線検出装置は、
Ｘ線を検出して、段差の高さが前記Ｘ線のエネルギーに相当する階段波を出力するＸ線検出器と、
前記階段波を、前記段差の高さに応じた高さのピークを有する第１パルス信号に変換する第１微分フィルター部と、
前記第１パルス信号が閾値を超えたか否かを判定するイベント検出部と、
前記第１パルス信号が前記閾値を超えている時間が、所与の時間よりも短いか否かを判定するノイズイベント検出部と、
前記第１微分フィルター部よりも大きい時定数を有し、前記階段波を、前記段差の高さに応じた高さのピークを有する第２パルス信号に変換する第２微分フィルター部と、
前記第１パルス信号が前記閾値を超えたと判定された場合に、前記第２パルス信号の最大値の検出を開始する最大値検出部と、
前記ノイズイベント検出部の判定結果に基づいて、前記最大値の情報を出力するか否かを判定する判定部と、
を含む。
【００１９】
このようなＸ線検出装置によれば、第１パルス信号が閾値を超えた場合に、閾値を超えたピークが、ノイズに起因するものか否かを判定することができる。そのため、閾値を超えたピークがノイズに起因するピークと判定された場合に、当該ピークの情報を出力しないことができる。したがって、Ｘ線スペクトルには、ノイズに起因するピークは反映されず、ノイズに起因するピークの影響を低減させることができる。これにより、例えばＸ線スペクトルの低エネルギー側のバックグラウンド強度が増大したり、Ｘ線スペクトルに、実際には試料に含まれない元素に対応するピークが観測されたりすることを防ぐことができる。
【００２０】
（２）本発明に係るＸ線検出装置は、
Ｘ線を検出して、段差の高さが前記Ｘ線のエネルギーに相当する階段波を出力するＸ線検出器と、
前記階段波を、前記段差の高さに応じた高さのピークを有する第１パルス信号に変換する第１微分フィルター部と、
前記第１パルス信号が第１閾値を超えたか否かを判定するイベント検出部と、
前記第１パルス信号が第２閾値を下まわったか否かを判定するノイズイベント検出部と、
前記第１微分フィルター部よりも大きい時定数を有し、前記階段波を、前記段差の高さに応じた高さのピークを有する第２パルス信号に変換する第２微分フィルター部と、
前記第１パルス信号が前記第１閾値を超えたと判定された場合に、前記第２パルス信号の最大値の検出を開始する最大値検出部と、
前記ノイズイベント検出部の判定結果に基づいて、前記最大値の情報を出力するか否かを判定する判定部と、
を含む。
【００２１】
このようなＸ線検出装置によれば、第１パルス信号が第１閾値を超えた場合に、第１閾値を超えたピークが、ノイズに起因するものか否かを判定することができる。そのため、第１閾値を超えたピークがノイズに起因するピークと判定された場合に、当該ピークの情報を出力しないことができる。したがって、Ｘ線スペクトルには、ノイズに起因するピークは反映されず、ノイズに起因するピークの影響を低減させることができる。これにより、例えばＸ線スペクトルの低エネルギー側のバックグラウンド強度が増大したり、Ｘ線スペクトルに、実際には試料に含まれない元素に対応するピークが観測されたりすることを防ぐことができる。
【００２２】
（３）本発明に係るＸ線検出装置において、
前記第１パルス信号において、前記ピークは、プラス側に現れ、
前記第１閾値は、プラス側に設定され、
前記第２閾値は、マイナス側に設定されていてもよい。
【００２３】
（４）本発明に係る試料分析装置は、
本発明に係るＸ線検出装置を含む。
【００２４】
このような試料分析装置によれば、本発明に係るＸ線検出装置を含むため、ノイズの影響を低減させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】第１実施形態に係るＸ線検出装置の構成を説明するための機能ブロック図。
【図２】第１実施形態に係るＸ線検出装置のＸ線検出器の出力信号の一例を模式的に示す図。
【図３】第１実施形態に係るＸ線検出装置の各部材の出力信号の一例を模式的に示す図。
【図４】第１実施形態に係るＸ線検出装置のスペクトル生成部が作成したＸ線スペクトルの一例を模式的に示す図。
【図５】第１実施形態に係るＸ線検出装置の処理で得られたＸ線スペクトルと、従来のＸ線検出装置の処理で得られたＸ線スペクトルと、を比較した図。
【図６】第２実施形態に係るＸ線検出装置の構成を説明するための機能ブロック図。
【図７】第２実施形態に係るＸ線検出装置の各部材の出力信号の一例を模式的に示す図。
【図８】第３実施形態に係る試料分析装置の構成を説明するための機能ブロック図。
【図９】従来のＸ線検出装置の構成を説明するための機能ブロック図。
【図１０】従来のＸ線検出装置のメインフィルターの処理を説明するための図。
【図１１】従来のＸ線検出装置のイベント検出処理部の処理を説明するための図。
【図１２】従来のＸ線検出装置の波高分析処理部の処理を説明するための図。
【図１３】従来のＸ線検出装置のイベント検出処理部のパルス信号のノイズについて説明するための図。
【図１４】従来のＸ線検出装置でＢ（ボロン）を測定したときのＸ線スペクトル。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、本発明の好適な実施形態について図面を用いて詳細に説明する。なお、以下に説明する実施形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではない。また、以下で説明される構成の全てが本発明の必須構成要件であるとは限らない。
【００２７】
１．  第１実施形態
１．１．  Ｘ線検出装置の構成
まず、第１実施形態に係るＸ線検出装置の構成について、図面を参照しながら説明する。図１は、第１実施形態に係るＸ線検出装置１００の構成を説明するための機能ブロック図である。
【００２８】
Ｘ線検出装置１００は、図１に示すように、Ｘ線検出器１１０と、信号処理部１０１と、スペクトル生成部１９０と、を含んで構成されている。
【００２９】
Ｘ線検出装置１００は、エネルギー分散型のＸ線検出装置である。
【００３０】
Ｘ線検出器１１０は、Ｘ線を検出する。Ｘ線検出器１１０は、例えば、シリコン単結晶にリチウムをドリフトさせたＳｉ（Ｌｉ）検出器、Ｓｉにドリフト電圧を印加したシリコンドリフト検出器等の半導体検出器である。Ｘ線検出器１１０は、エネルギー分散型の検出器である。Ｘ線検出器１１０は、例えば、増幅器を備えていてもよく、半導体検出器の出力を、増幅器で増幅して出力してもよい。
【００３１】
図２は、Ｘ線検出器１１０の出力信号Ｓ１１０の一例を模式的に示す図である。Ｘ線検出器１１０は、Ｘ線を検出して、検出したＸ線のエネルギーに相当する高さｈ１，ｈ２の段差を有する階段波を出力する。すなわち、出力信号Ｓ１１０の各段差の高さｈ１，ｈ２が、それぞれ検出されたＸ線のエネルギーに対応する。図２に示す例では、高さｈ１に相当するエネルギーを持つＸ線、高さｈ２に相当するエネルギーを持つＸ線が検出されている。
【００３２】
Ｘ線検出器１１０の出力信号（階段波）Ｓ１１０は、信号処理部１０１のイベントフィルター部１２０と、信号処理部１０１のメインフィルター部１６０と、に入力される。
【００３３】
信号処理部１０１は、イベントフィルター部（第１微分フィルター）１２０と、比較器
１３０と、イベント検出部１４０と、ノイズイベント検出部１５０と、メインフィルター部（第２微分フィルター）１６０と、最大値検出部１７０と、ノイズ判定部１８０と、を含んで構成されている。信号処理部１０１の機能は、例えば、ハードウェア（専用回路）やパーソナルコンピューター（ＰＣ）等で実現することができる。
【００３４】
イベントフィルター部１２０は、Ｘ線検出器１１０の出力信号Ｓ１１０を、段差の高さｈ１，ｈ２に応じた高さ（波高値）のピークを有するパルス信号に変換する処理を行う。イベントフィルター部１２０は、Ｘ線検出器１１０の出力信号Ｓ１１０を微分する微分フィルターとして機能する。イベントフィルター部１２０の時定数は、後述するメインフィルター部１６０の時定数よりも小さい。ここで、時定数とは、応答の速さを表す指標であり、時定数が小さいと応答が速く、時定数が大きいと応答が遅い。
【００３５】
図３（Ａ）は、イベントフィルター部１２０の出力信号Ｓ１２０の一例を模式的に示す図である。図３（Ａ）に示す出力信号（パルス信号）Ｓ１２０のピークｐ１の高さｐ１ｍａｘは、図２に示す出力信号（階段波）Ｓ１１０の段差の高さｈ１に対応し、図３（Ａ）に示す出力信号（パルス信号）Ｓ１２０のピークｐ２の高さｐ２ｍａｘは、図２に示す出力信号（階段波）Ｓ１１０の段差の高さｈ２に対応している。すなわち、ピークｐ１の高さｐ１ｍａｘおよびピークｐ２の高さｐ２ｍａｘは、それぞれＸ線検出器１１０で検出されたＸ線のエネルギーに対応している。
【００３６】
図３（Ａ）に示すピークｄＮＰは、図２に示すＸ線検出器１１０の出力信号（階段波）Ｓ１１０のノイズピークＮＰに対応するピークである。すなわち、ピークｄＮＰは、ノイズピークＮＰを微分して得られるピークである。
【００３７】
このように、図３（Ａ）に示すイベントフィルター部１２０の出力信号（パルス信号）Ｓ１２０には、Ｘ線のエネルギーに対応する高さｐ１ｍａｘ，ｐ２ｍａｘを有するピークｐ１，ｐ２と、ノイズに起因するピークｄＮＰと、が現れている。
【００３８】
イベントフィルター部１２０の出力信号（パルス信号）Ｓ１２０は、比較器１３０に入力される。
【００３９】
比較器１３０は、イベントフィルター部１２０の出力信号（パルス信号）Ｓ１２０と、基準信号（閾値ＴＨ）とを、比較する処理を行う。
【００４０】
図３（Ｂ）は、比較器１３０の出力信号Ｓ１３０の一例を模式的に示す図である。比較器１３０の出力信号Ｓ１３０は、図３（Ｂ）に示すように、イベントフィルター部１２０の出力信号（パルス信号）Ｓ１２０が閾値ＴＨよりも大きくなると「Ｈｉｇｈ」レベルとなり、閾値ＴＨよりも小さくなると「Ｌｏｗ」レベルとなる。閾値ＴＨは、例えば、ピークｐ１，ｐ２の立ち上がりを検出できる値に設定される。
【００４１】
比較器１３０の出力信号Ｓ１３０は、イベント検出部１４０とノイズイベント検出部１５０とに入力される。
【００４２】
イベント検出部１４０は、イベントフィルター部１２０の出力信号（パルス信号）Ｓ１２０が閾値ＴＨを超えたか否かを判定する処理を行う。具体的には、イベント検出部１４０は、イベントフィルター部１２０の出力信号（パルス信号）Ｓ１２０が閾値ＴＨを超えた場合に、イベント信号Ｓ１４０を出力する処理を行う。
【００４３】
図３（Ｃ）は、イベント検出部１４０の出力信号（イベント信号）Ｓ１４０の一例を模式的に示す図である。イベント検出部１４０は、図３（Ｃ）に示すように、比較器１３０
の出力信号Ｓ１３０が「Ｌｏｗ」レベルから「Ｈｉｇｈ」レベルに切り替わると、イベント信号Ｓ１４０を出力する処理を行う。このようにして、イベント検出部１４０は、イベントフィルター部１２０の出力信号（パルス信号）Ｓ１２０が閾値ＴＨを超えたこと、すなわち、出力信号（パルス信号）Ｓ１２０のピークｐ１，ｐ２，ｄＮＰの立ち上がりを検出することができる。
【００４４】
イベント検出部１４０の出力信号（イベント信号）Ｓ１４０は、最大値検出部１７０に入力される。
【００４５】
ノイズイベント検出部１５０は、イベントフィルター部１２０の出力信号（パルス信号）Ｓ１２０が閾値ＴＨを超えている時間が、所与の時間よりも短いか否かを判定する処理を行う。そして、ノイズイベント検出部１５０は、イベントフィルター部１２０の出力信号（パルス信号）Ｓ１２０が閾値ＴＨを超えている時間が所与の時間よりも短いと判定した場合に、ノイズイベント信号Ｓ１５０を出力する処理を行う。
【００４６】
図３（Ｄ）は、ノイズイベント検出部１５０の出力信号Ｓ１５０の一例を模式的に示す図である。ノイズイベント検出部１５０は、例えば、比較器１３０の出力信号Ｓ１３０(図３（Ｂ）参照)が、「Ｈｉｇｈ」レベルの状態を保っている時間を計測する処理を行う。なお、「Ｈｉｇｈ」レベルの状態を保っている時間とは、比較器１３０の出力信号Ｓ１３０が、「Ｌｏｗ」レベルから「Ｈｉｇｈ」レベルに切り替わってから「Ｌｏｗ」レベルに戻るまでの時間である。ノイズイベント検出部１５０は、例えば、図３（Ｄ）に示すように、比較器１３０の出力信号Ｓ１３０が、「Ｈｉｇｈ」レベルの状態を保っている時間が所与の時間よりも短いと判定した場合に、ノイズイベント信号Ｓ１５０を出力する処理を行う。
【００４７】
ここで、イベントフィルター部１２０の出力信号（パルス信号）Ｓ１２０の各ピークｐ１，ｐ２の幅Ｗ（図３（Ａ）参照）は、イベントフィルター部１２０の時定数で決まる。したがって、図２に示すＸ線検出器１１０の出力信号（階段波）Ｓ１１０の段差の高さｈ１，ｈ２によらず（すなわちＸ線のエネルギーによらず）、イベントフィルター部１２０の出力信号（パルス信号）Ｓ１２０の各ピークｐ１，ｐ２の幅Ｗは、ほぼ等しい。
【００４８】
これに対して、イベントフィルター部１２０の出力信号（パルス信号）のピークｄＮＰは、階段波Ｓ１１０の段差ではなく、階段波Ｓ１１０に現れるピーク（ノイズピークＮＰ、図２参照）を微分したものである。そのため、イベントフィルター部１２０の出力信号（パルス信号）Ｓ１２０のピークｄＮＰの幅ＷＮＰは、ピークｐ１，ｐ２の幅Ｗに比べて、小さい。
【００４９】
したがって、ノイズイベント検出部１５０は、出力信号（パルス信号）Ｓ１２０が閾値ＴＨを超えている時間が、所与の時間よりも短いか否かを判定することにより、出力信号（パルス信号）Ｓ１２０の閾値ＴＨを超えるピークが、ノイズピークＮＰに起因するピークｄＮＰであるか否かを判定することができる。
【００５０】
例えば、ノイズイベント検出部１５０は、出力信号（パルス信号）Ｓ１２０が閾値ＴＨを超えている時間が、Ｘ線のエネルギーに対応する高さｐ１ｍａｘ，ｐ２ｍａｘを有するピークｐ１，ｐ２の幅Ｗよりも小さい場合に、ノイズピークＮＰに起因するピークｄＮＰであると判定することができる。
【００５１】
ノイズイベント検出部１５０において、ノイズであるか否かの判定の基準となる所与の時間は、イベントフィルター部１２０の出力信号（パルス信号）Ｓ１２０において、Ｘ線のエネルギーに起因するピークｐ１、ｐ２と、ノイズピークＮＰに起因するピークｄＮＰ
とを、区別することができる時間であれば特に限定されない。
【００５２】
ノイズイベント検出部１５０の出力信号（ノイズイベント信号）Ｓ１５０は、ノイズ判定部１８０に入力される。
【００５３】
メインフィルター部１６０は、Ｘ線検出器１１０の出力信号（階段波）Ｓ１１０を、段差の高さに応じた高さ（波高値）のピークを有する第２パルス信号に変換する処理を行う。メインフィルター部１６０は、Ｘ線検出器１１０の出力信号Ｓ１１０を微分する微分フィルターとして機能する。メインフィルター部１６０の時定数は、イベントフィルター部１２０の時定数よりも大きい。
【００５４】
図３（Ｅ）は、メインフィルター部１６０の出力信号Ｓ１６０の一例を模式的に示す図である。図３（Ｅ）に示す出力信号（パルス信号）Ｓ１６０のピークＰ１の高さＰ１ｍａｘは、図２に示す出力信号（階段波）Ｓ１１０の段差の高さｈ１に対応し、図３（Ｅ）に示す出力信号（パルス信号）Ｓ１６０のピークＰ２の高さＰ２ｍａｘは、図２に示す出力信号（階段波）Ｓ１１０の段差の高さｈ２に対応している。なお、図３（Ｅ）に示す出力信号（パルス信号）Ｓ１６０のピークＤＮＰは、図２に示す出力信号（階段波）Ｓ１１０のノイズピークＮＰに対応するピークである。
【００５５】
メインフィルター部１６０の出力信号（パルス信号）Ｓ１６０は、最大値検出部１７０に入力される。
【００５６】
最大値検出部１７０は、メインフィルター部１６０の出力信号（パルス信号）Ｓ１６０の各ピークの最大値を検出する処理を行う。最大値検出部１７０は、イベント検出部１４０によって、イベントフィルター部１２０の出力信号Ｓ１２０が閾値ＴＨを超えたと判定された場合に、出力信号（パルス信号）Ｓ１６０の最大値の検出を開始する。
【００５７】
図３（Ｆ）は、最大値検出部１７０の処理を説明するための図である。図３（Ｆ）に示すように、最大値検出部１７０は、イベント信号Ｓ１４０が入力されると出力信号（パルス信号）Ｓ１６０最大値の検出を開始する。そして、最大値検出部１７０は、検出を開始してから所与の期間Ｌ内において、出力信号（パルス信号）Ｓ１６０の最大値を検出する処理を行う。所与の期間Ｌは、例えば、出力信号Ｓ１６０の１つのピーク（例えばピークＰ１）が立ち上がってから、立ち下がるまでの時間である。所与の期間Ｌは、例えば、メインフィルター部１６０の時定数に応じてあらかじめ設定されている。最大値検出部１７０は、所与の期間Ｌが経過すると、検出した出力信号（パルス信号）Ｓ１６０の最大値の情報を出力する処理を行う。
【００５８】
最大値検出部１７０の出力信号Ｓ１７０は、ノイズ判定部１８０に入力される。
【００５９】
ノイズ判定部１８０は、ノイズイベント検出部１５０の判定結果に基づいて、最大値検出部１７０で検出された出力信号（パルス信号）Ｓ１６０の最大値の情報を出力するか否かを判定する処理を行う。
【００６０】
図３（Ｇ）は、ノイズ判定部１８０の処理を説明するための図である。ノイズ判定部１８０は、図３（Ｇ）に示すように、ノイズイベント信号Ｓ１５０が、所与の期間Ｌ内に入力されなかった場合、出力信号（パルス信号）Ｓ１６０の最大値Ｐ１ｍａｘ，Ｐ２ｍａｘの情報を出力する処理を行う。また、ノイズ判定部１８０は、ノイズイベント信号Ｓ１５０が、所与の期間Ｌ内に入力されると、出力信号（パルス信号）Ｓ１６０の最大値Ｐｎｐｍａｘの情報を出力しない処理を行う。これにより、ノイズピークＮＰ（図２参照）を、スペクトル生成部１９０で生成されるＸ線スペクトルに反映させないことができる。
【００６１】
ノイズ判定部１８０の出力信号Ｓ１８０は、スペクトル生成部１９０に入力される。
【００６２】
スペクトル生成部１９０は、ノイズ判定部１８０の出力信号Ｓ１８０を受けると、最大値Ｐ１ｍａｘ，Ｐ２ｍａｘの値に応じて弁別してそれぞれ計数し、横軸が出力信号（パルス信号）Ｓ１６０のピークＰ１，Ｐ２の高さ（最大値）Ｐ１ｍａｘ，Ｐ２ｍａｘ、すなわち、Ｘ線のエネルギー、縦軸がカウント数となるＸ線スペクトル（エネルギースペクトル、波高分布図）を作成する処理を行う。
【００６３】
図４は、スペクトル生成部１９０が作成したＸ線スペクトルの一例を模式的に示す図である。
【００６４】
スペクトル生成部１９０の機能は、例えば、パーソナルコンピューター（ＰＣ）やハードウェア（専用回路）で実現することができる。
【００６５】
１．２．  Ｘ線検出装置の動作
次に、Ｘ線検出装置１００の動作について説明する。
【００６６】
Ｘ線検出器１１０は、Ｘ線を検出すると、図２に示す出力信号（階段波）Ｓ１１０を出力する。イベントフィルター部１２０は、Ｘ線検出器１１０の出力信号（階段波）Ｓ１１０を、パルス信号Ｓ１２０（図３（Ａ）参照）に変換する処理を行う。そして、イベントフィルター部１２０の出力信号（パルス信号）Ｓ１２０は、比較器１３０に入力される。また、メインフィルター部１６０は、イベントフィルター部１２０と同様に、Ｘ線検出器１１０の出力信号（階段波）Ｓ１１０を、パルス信号Ｓ１６０に変換する処理を行う。そして、メインフィルター部１６０の出力信号（パルス信号）Ｓ１６０は、最大値検出部１７０に入力される。
【００６７】
ここで、ピークｐ１によって、時刻ｔ１でパルス信号Ｓ１２０が閾値ＴＨを超えると、比較器１３０の出力信号Ｓ１３０が「Ｌｏｗ」レベルから「Ｈｉｇｈ」レベルに切り替わる。これにより、イベント検出部１４０がイベント信号Ｓ１４０を出力する。最大値検出部１７０は、このイベント信号Ｓ１４０を受けて、出力信号（パルス信号）Ｓ１６０の最大値を検出する処理を開始する。最大値検出部１７０は、所与の期間Ｌ内において、出力信号（パルス信号）Ｓ１６０の最大値Ｐ１ｍａｘを検出する処理を行う。
【００６８】
また、時刻ｔ１で比較器１３０の出力信号Ｓ１３０が「Ｌｏｗ」レベルから「Ｈｉｇｈ」レベルに切り替わると、ノイズイベント検出部１５０は、出力信号Ｓ１３０が「Ｈｉｇｈ」レベルの状態を保っている時間を計測する処理を行う。ピークｐ１は、Ｘ線エネルギーに対応するピークであるため、「Ｈｉｇｈ」レベルの状態を保っている時間が所与の時間以上である。したがって、ノイズイベント検出部１５０は、比較器１３０の出力信号Ｓ１３０が、「Ｈｉｇｈ」レベルの状態を保っている時間が所与の時間よりも短くないと判定し、ノイズイベント信号Ｓ１５０を出力する処理を行わない。
【００６９】
時刻ｔ１から所与の期間Ｌ経過後の時刻ｔ２に、最大値検出部１７０は、最大値Ｐ１ｍａｘの情報を含む出力信号Ｓ１７０を出力する。ここで、ノイズ判定部１８０には、時刻ｔ１から所与の期間Ｌ経過する間に、ノイズイベント信号Ｓ１５０が入力されていない。そのため、ノイズ判定部１８０は、最大値Ｐ１ｍａｘの情報を含む出力信号Ｓ１８０を、出力する。スペクトル生成部１９０は、出力信号Ｓ１８０を受けて、最大値Ｐ１ｍａｘに対応するＸ線エネルギー値（波高値）をカウントする。
【００７０】
次に、ピークｐ２によって、時刻ｔ３でパルス信号Ｓ１２０が、再び、閾値ＴＨを超え
ると、上述したピークｐ１のときと同様の処理が行われ、時刻ｔ３から所与の期間Ｌ経過後の時刻ｔ４に、最大値検出部１７０が最大値Ｐ２ｍａｘの情報を含む出力信号Ｓ１７０を出力し、出力信号Ｓ１７０がノイズ判定部１８０に入力される。
【００７１】
ここで、ピークｐ２もピークｐ１と同様に、Ｘ線エネルギーに対応するピークであるため、「Ｈｉｇｈ」レベルの状態を保っている時間が所与の時間以上である。したがって、ノイズイベント検出部１５０は、比較器１３０の出力信号Ｓ１３０が「Ｈｉｇｈ」レベルの状態を保っている時間が所与の時間よりも短くないと判定し、ノイズイベント信号Ｓ１５０を出力する処理を行わない。これにより、ノイズ判定部１８０には、時刻ｔ３から所与の期間Ｌ経過する間に、ノイズイベント信号Ｓ１５０が入力されず、ノイズ判定部１８０は、最大値Ｐ２ｍａｘの情報を含む出力信号Ｓ１８０を出力する。スペクトル生成部１９０は、出力信号Ｓ１８０を受けて、最大値Ｐ２ｍａｘに対応するＸ線エネルギー値（波高値）をカウントする。
【００７２】
次に、ピークｄＮＰによって、時刻ｔ５でパルス信号Ｓ１２０が、閾値ＴＨを超えると、上述したピークｐ１、ｐ２のときと同様の処理が行われ、時刻ｔ５から所与の期間Ｌ経過後に、最大値検出部１７０が最大値Ｐｎｐｍａｘの情報を含む出力信号Ｓ１７０を出力し、出力信号Ｓ１７０がノイズ判定部１８０に入力される。
【００７３】
ここで、ピークｄＮＰは、ノイズピークＮＰ（図２参照）に対応するピークであるため、「Ｈｉｇｈ」レベルの状態を保っている時間が所与の時間よりも短い。したがって、ノイズイベント検出部１５０は、比較器１３０の出力信号Ｓ１３０が「Ｈｉｇｈ」レベルの状態を保っている時間が所与の時間よりも短いと判定し、時刻ｔ５から所与の期間Ｌ経過する前の時刻ｔ６に、ノイズイベント信号Ｓ１５０を出力する。
【００７４】
これにより、ノイズ判定部１８０には、時刻ｔ５から所与の期間Ｌ経過する前に、ノイズイベント信号Ｓ１５０が入力され、ノイズ判定部１８０は、最大値Ｐｎｐｍａｘの情報を含む出力信号を出力する処理を行わない。したがって、スペクトル生成部１９０において、最大値Ｐｎｐｍａｘに対応するＸ線エネルギー値（波高値）はカウントされない。
【００７５】
上述した処理を繰り返すことにより、Ｘ線スペクトルを作成することができる。
【００７６】
本実施形態に係るＸ線検出装置１００によれば、ノイズイベント検出部１５０が、イベントフィルター部１２０のパルス信号Ｓ１２０が閾値ＴＨを超えたか否かを判定し、ノイズ判定部１８０が、ノイズイベント検出部１５０の判定結果に基づいて、メインフィルター部１６０の出力信号（パルス信号）Ｓ１６０の最大値の情報を出力するか否かを判定するため、パルス信号Ｓ１２０が閾値ＴＨを超えた場合に、当該閾値ＴＨを超えたピークが、ノイズに起因するものか否かを判定することができる。そのため、閾値ＴＨを超えたピークがノイズに起因するピークと判定された場合に、当該ピークの情報を出力しないことができる。したがって、Ｘ線スペクトルには、ノイズに起因するピークは反映されず、ノイズピークＮＰ（図２参照）の影響を低減させることができる。これにより、例えばＸ線スペクトルの低エネルギー側のバックグラウンド強度が増大したり、Ｘ線スペクトルに、実際には試料に含まれない元素に対応するピーク（ノイズに起因するピーク）が観測されたりすることを防ぐことができる。
【００７７】
図５は、本実施形態に係るＸ線検出装置１００の処理で得られたＸ線スペクトルと、従来のＸ線検出装置１（図９参照）の処理で得られたＸ線スペクトルと、を比較した図である。図５において、実線で示すＸ線スペクトルＳｐ１は、Ｘ線検出装置１００の処理で得られたものであり、破線で示すＸ線スペクトルＳｐ２は、従来のＸ線検出装置１の処理で得られたものである。なお、ここでは、Ｂ（ボロン）を測定した結果を示している。
【００７８】
図５に示すように、従来のＸ線検出装置１のＸ線スペクトルＳｐ２には、低エネルギー側（０．１０ｋｅＶ以下）にノイズに起因するピークが観測されている。これに対して、Ｘ線検出装置１００のＸ線スペクトルＳｐ１では、当該ピークが観測されていない。
【００７９】
２．  第２実施形態
２．１．  Ｘ線検出装置の構成
次に、第２実施形態に係るＸ線検出装置の構成について、図面を参照しながら説明する。図６は、第２実施形態に係るＸ線検出装置２００の構成を説明するための機能ブロック図である。以下で説明する第２実施形態に係るＸ線検出装置において、上述した図１に示す第１実施形態に係るＸ線検出装置１００の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
【００８０】
上述したＸ線検出装置１００では、ノイズイベント検出部１５０が、イベントフィルター部１２０の出力信号（パルス信号）Ｓ１２０が閾値ＴＨを超えている時間が、所与の時間よりも短いか否かを判定する処理を行うことにより、ノイズピークＮＰか否かを判定していた。
【００８１】
これに対して、Ｘ線検出装置２００では、ノイズイベント検出部２２０が、イベントフィルター部１２０の出力信号（パルス信号）Ｓ１２０が第２閾値を下まわったか否かを判定する処理を行うことにより、ノイズピークＮＰか否かを判定する。
【００８２】
Ｘ線検出装置２００の信号処理部１０１は、イベントフィルター部１２０と、比較器１３０（以下「第１比較器１３０」ともいう）と、第２比較器２１０と、イベント検出部１４０と、ノイズイベント検出部２２０と、メインフィルター部１６０と、最大値検出部１７０と、ノイズ判定部１８０と、を含んで構成されている。
【００８３】
Ｘ線検出装置２００では、図６に示すように、イベントフィルター部１２０の出力信号（パルス信号）Ｓ１２０は、第１比較器１３０と、第２比較器２１０と、に入力される。図７（Ａ）は、イベントフィルター部１２０の出力信号Ｓ１２０の一例を模式的に示す図である。
【００８４】
第１比較器１３０は、イベントフィルター部１２０の出力信号（パルス信号）Ｓ１２０と、基準信号（第１閾値ＴＨ＋）とを、比較する処理を行う。なお、第１閾値ＴＨ＋は、図３に示す閾値ＴＨと同じ値を有することができる。図７（Ｂ）は、第１比較器１３０の出力信号Ｓ１３０の一例を模式的に示す図である。
【００８５】
第１比較器１３０の出力信号Ｓ１３０は、イベント検出部１４０に入力される。
【００８６】
第２比較器２１０は、イベントフィルター部１２０の出力信号（パルス信号）Ｓ１２０と、基準信号（第２閾値ＴＨ−）とを、比較する処理を行う。
【００８７】
図７（Ｈ）は、第２比較器２１０の出力信号Ｓ２１０の一例を模式的に示す図である。第２比較器２１０の出力信号Ｓ２１０は、図７（Ｈ）に示すように、イベントフィルター部１２０の出力信号（パルス信号）Ｓ１２０が第２閾値ＴＨ−よりも大きくなると「Ｈｉｇｈ」レベルとなり、第２閾値ＴＨ−よりも小さくなると「Ｌｏｗ」レベルとなる。
【００８８】
第２比較器２１０の出力信号Ｓ２１０は、ノイズイベント検出部２２０に入力される。
【００８９】
ノイズイベント検出部２２０は、イベントフィルター部１２０の出力信号（パルス信号
）Ｓ１２０が第２閾値ＴＨ−を下まわったか否かを判定する処理を行う。そして、ノイズイベント検出部２２０は、イベントフィルター部１２０の出力信号（パルス信号）Ｓ１２０が第２閾値ＴＨ−を下まわった場合に、ノイズイベント信号Ｓ２２０を出力する処理を行う。
【００９０】
図７（Ｄ）は、ノイズイベント検出部２２０の出力信号Ｓ２２０の一例を模式的に示す図である。ノイズイベント検出部２２０は、例えば、図７（Ｄ）に示すように、第２比較器２１０の出力信号Ｓ２１０が、「Ｈｉｇｈ」レベルから「Ｌｏｗ」レベルに切り替わると、ノイズイベント信号Ｓ２２０を出力する処理を行う。これにより、ノイズイベント検出部２２０は、イベントフィルター部１２０の出力信号（パルス信号）Ｓ１２０が第２閾値ＴＨ−を下まわったことを検出することができる。
【００９１】
ここで、イベントフィルター部１２０の出力信号（パルス信号）Ｓ１２０の各ピークｐ１，ｐ２は、図２に示す階段波Ｓ１１０の段差を、微分フィルターを通して得られるものである。そのため、各ピークｐ１，ｐ２は、図７（Ａ）に示すように、プラス側に現れる。したがって、第１閾値ＴＨ＋は、プラス側に設定される。
【００９２】
これに対して、イベントフィルター部１２０の出力信号（パルス信号）Ｓ１２０のピークｄＮＰは、図２に示す階段波Ｓ１１０のノイズピークＮＰを、微分フィルターを通して得られるものである。そのため、ピークｄＮＰは、図７（Ａ）に示すように、ピークｐ１、ｐ２が現れるプラス側とは反対側のマイナス側にも表れる。したがって、第２閾値ＴＨ−は、マイナス側に設定される。
【００９３】
このように、ノイズイベント検出部２２０は、出力信号（パルス信号）Ｓ１２０がマイナス側に設定された第２閾値ＴＨ−を下まわっているか否かを判定することにより、出力信号（パルス信号）Ｓ１２０の第１閾値ＴＨ＋を超えるピークが、ノイズピークＮＰ（図２参照）に起因するピークｄＮＰであるか否かを判定することができる。
【００９４】
なお、プラス側とは、図７（Ａ）に示すイベントフィルター部１２０の出力信号（パルス信号）Ｓ１２０において、ピークｐ１，ｐ２，ｄＮＰが出現しない基準レベルを境界とする一方側であり、マイナス側とは、イベントフィルター部１２０の出力信号（パルス信号）Ｓ１２０において、基準レベルを境界とする他方側である。
【００９５】
ノイズイベント検出部２２０の出力信号（ノイズイベント信号）Ｓ２２０は、ノイズ判定部１８０に入力される。
【００９６】
２．２．  Ｘ線検出装置の動作
次に、Ｘ線検出装置２００の動作について説明する。
【００９７】
Ｘ線検出器１１０がＸ線を検出すると、図２に示す出力信号（階段波）Ｓ１１０を出力する。イベントフィルター部１２０は、Ｘ線検出器１１０の出力信号（階段波）Ｓ１１０を、パルス信号Ｓ１２０（図７（Ａ）参照）に変換する処理を行う。そして、イベントフィルター部１２０の出力信号（パルス信号）Ｓ１２０は、第１比較器１３０と、第２比較器２１０と、に入力される。
【００９８】
ここで、ピークｐ１によって、時刻ｔ１でパルス信号Ｓ１２０が第１閾値ＴＨ＋を超えると、第１比較器１３０の出力信号Ｓ１３０が「Ｌｏｗ」レベルから「Ｈｉｇｈ」レベルに切り替わる。これにより、イベント検出部１４０がイベント信号Ｓ１４０を出力する。最大値検出部１７０は、このイベント信号Ｓ１４０を受けて、出力信号Ｓ１６０の最大値を検出する処理を開始する。最大値検出部１７０は、所与の期間Ｌ内において、出力信号
（パルス信号）Ｓ１６０の最大値Ｐ１ｍａｘを検出する処理を行う。
【００９９】
また、時刻ｔ１から所与の期間Ｌ内では、出力信号Ｓ１２０は、第２閾値ＴＨ−を下まわらないため、第２比較器２１０の出力信号Ｓ２１０は「Ｈｉｇｈ」レベルの状態を保っている。したがって、時刻ｔ１から所与の期間Ｌ内では、ノイズイベント検出部２２０は、ノイズイベント信号Ｓ２２０を出力する処理を行わない。
【０１００】
時刻ｔ１から所与の期間Ｌ経過後の時刻ｔ２に、最大値検出部１７０は、最大値Ｐ１ｍａｘの情報を含む出力信号Ｓ１７０を出力する。ここで、ノイズ判定部１８０には、時刻ｔ１から所与の期間Ｌ経過する間に、ノイズイベント信号Ｓ２２０が入力されていない。そのため、ノイズ判定部１８０は、最大値Ｐ１ｍａｘの情報を含む出力信号Ｓ１８０を、出力する。スペクトル生成部１９０は、出力信号Ｓ１８０を受けて、最大値Ｐ１ｍａｘに対応するＸ線エネルギー値（波高値）をカウントする。
【０１０１】
次に、ピークｐ２によって、時刻ｔ３でパルス信号Ｓ１２０が、再び、第１閾値ＴＨ＋を超えると、上述したピークｐ１のときと同様の処理が行われ、時刻ｔ３から所与の期間Ｌ経過後の時刻ｔ４に、最大値検出部１７０が最大値Ｐ２ｍａｘの情報を含む出力信号Ｓ１７０を出力し、出力信号Ｓ１７０がノイズ判定部１８０に入力される。
【０１０２】
時刻ｔ３から所与の期間Ｌ内では、出力信号Ｓ１２０は、第２閾値ＴＨ−を下まわらないため、時刻ｔ３から所与の期間Ｌ内では、ノイズイベント検出部２２０は、ノイズイベント信号Ｓ２２０を出力する処理を行わない。
【０１０３】
時刻ｔ３から所与の期間Ｌ経過後の時刻ｔ４に、最大値検出部１７０は、最大値Ｐ２ｍａｘの情報を含む出力信号Ｓ１７０を出力する。ここで、ノイズ判定部１８０には、時刻ｔ３から所与の期間Ｌ経過する間に、ノイズイベント信号Ｓ２２０が入力されていない。そのため、ノイズ判定部１８０は、最大値Ｐ２ｍａｘの情報を含む出力信号Ｓ１８０を、出力する。スペクトル生成部１９０は、出力信号Ｓ１８０を受けて、最大値Ｐ２ｍａｘに対応するＸ線エネルギー値（波高値）をカウントする。
【０１０４】
次に、ピークｄＮＰによって、時刻ｔ５でパルス信号Ｓ１２０が第１閾値ＴＨ＋を超えると、第１比較器１３０の出力信号Ｓ１３０が「Ｌｏｗ」レベルから「Ｈｉｇｈ」レベルに切り替わる。これにより、イベント検出部１４０がイベント信号Ｓ１４０を出力する。最大値検出部１７０は、このイベント信号Ｓ１４０を受けて、出力信号Ｓ１６０の最大値を検出する処理を開始する。最大値検出部１７０は、所与の期間Ｌ内において、出力信号（パルス信号）Ｓ１６０の最大値Ｐｎｐｍａｘを検出する処理を行う。
【０１０５】
また、ピークｄＮＰがマイナス側に振れて、時刻ｔ６でパルス信号Ｓ１２０が第２閾値ＴＨ−を下まわると、第２比較器２１０の出力信号Ｓ２１０が「Ｈｉｇｈ」レベルから「Ｌｏｗ」レベルに切り替わる（図７（Ｈ）参照）。これにより、ノイズイベント検出部２２０が、時刻ｔ５から所与の期間Ｌ経過する前の時刻ｔ６に、ノイズイベント信号Ｓ２２０を出力する。
【０１０６】
これにより、ノイズ判定部１８０には、時刻ｔ５から所与の期間Ｌ経過する前に、ノイズイベント信号Ｓ２２０が入力され、ノイズ判定部１８０は、最大値Ｐｎｐｍａｘの情報を含む出力信号を出力する処理を行わない。したがって、スペクトル生成部１９０において、最大値Ｐｎｐｍａｘに対応するＸ線エネルギー値（波高値）はカウントされない。
【０１０７】
上述した処理を繰り返すことにより、Ｘ線スペクトルを作成することができる。
【０１０８】
本実施形態に係るＸ線検出装置２００によれば、ノイズイベント検出部２２０が、イベントフィルター部１２０のパルス信号Ｓ１２０が第２閾値ＴＨ−を下まわったか否かを判定し、ノイズ判定部１８０が、ノイズイベント検出部１５０の判定結果に基づいて、メインフィルター部１６０の出力信号（パルス信号）Ｓ１６０の最大値の情報を出力するか否かを判定するため、パルス信号Ｓ１２０が第１閾値ＴＨ＋を超えた場合に、当該第１閾値ＴＨ＋を超えたピークが、ノイズに起因するものか否かを判定することができる。そのため、第１閾値ＴＨ＋を超えたピークがノイズに起因するピークと判定された場合に、当該ピークの情報を出力しないことができる。したがって、Ｘ線スペクトルには、ノイズに起因するピークは反映されず、ノイズピークＮＰ（図２参照）の影響を低減させることができる。
【０１０９】
３．  第３実施形態
次に、第３実施形態に係る試料分析装置３００について、図面を参照しながら説明する。図８は、第３実施形態に係る試料分析装置３００の構成を説明するための機能ブロック図である。
【０１１０】
試料分析装置３００は、図８に示すように、本発明に係るＸ線検出装置を含んで構成されている。ここでは、本発明に係るＸ線検出装置として、Ｘ線検出装置１００を含んで構成されている場合について説明する。
【０１１１】
試料分析装置３００は、Ｘ線照射部３１０と、Ｘ線検出装置１００と、を含んで構成されている。試料分析装置３００は、Ｘ線照射部３１０で試料Ｓに一次Ｘ線Ｐｘを照射し、一次Ｘ線Ｐｘを照射することにより試料Ｓから発生した二次Ｘ線（蛍光Ｘ線）Ｓｘを、Ｘ線検出装置１００で検出する。試料分析装置３００は、エネルギー分散型の蛍光Ｘ線分析装置である。
【０１１２】
Ｘ線照射部３１０は、試料Ｓに一次Ｘ線Ｐｘを照射する。Ｘ線照射部３１０は、例えば、Ｘ線管、および高圧電源を含んで構成されている。Ｘ線照射部３１０は、例えば、図示はしないが、フィラメントから発生した熱電子を高電圧で加速させ、金属ターゲットに衝突させて、一次Ｘ線Ｐｘを発生させる。
【０１１３】
Ｘ線照射部３１０で発生した一次Ｘ線Ｐｘは、試料Ｓに照射される。一次Ｘ線Ｐｘを照射することにより試料Ｓから発生した二次Ｘ線（蛍光Ｘ線）Ｓｘは、Ｘ線検出装置１００で検出される。そして、Ｘ線検出装置１００は、検出した二次Ｘ線Ｓｘに基づいて、Ｘ線スペクトルを作成する処理を行う。
【０１１４】
試料分析装置３００によれば、Ｘ線検出装置１００を含んで構成されているため、ノイズの影響を低減させることができる。
【０１１５】
なお、ここでは、本発明に係る試料分析装置が、Ｘ線を照射して試料からＸ線を発生させて、発生したＸ線を検出する蛍光Ｘ線分析装置である場合について説明したが、本発明に係る試料分析装置は、電子線やイオンを照射して試料からＸ線を発生させて、発生したＸ線を検出する装置であってもよい。例えば、本発明に係る試料分析装置は、本発明に係るＸ線検出装置を搭載した透過電子顕微鏡（ＴＥＭ）、走査透過電子顕微鏡（ＳＴＥＭ）、および走査電子顕微鏡等の電子顕微鏡、電子プローブマイクロアナライザー等であってもよい。
【０１１６】
なお、上述した実施形態は、一例であってこれらに限定されるわけではない。
【０１１７】
例えば、上述した図１に示すＸ線検出装置１００では、ノイズ判定部１８０は、ノイズ
イベント信号Ｓ１５０が、所与の期間Ｌ内に入力されると、出力信号（パルス信号）Ｓ１６０の最大値Ｐｎｐｍａｘの情報を出力しない処理を行った（図３（Ｇ）参照）。これに対してノイズ判定部１８０は、ノイズイベント信号Ｓ１５０が、所与の期間Ｌ内に入力されると、最大値検出部１７０の処理を中止する処理を行ってもよい。これにより、ノイズ判定部１８０には、出力信号（パルス信号）Ｓ１６０の最大値Ｐｎｐｍａｘの情報が入力されず、ノイズピークＮＰ（図２参照）を、スペクトル生成部１９０で生成されるＸ線スペクトルに反映させないことができる。なお、図６に示すＸ線検出装置２００においても、同様である。
【０１１８】
本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成（例えば、機能、方法および結果が同一の構成、あるいは目的及び効果が同一の構成）を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。
【符号の説明】
【０１１９】
１…Ｘ線検出装置、２…信号処理回路、１０…Ｘ線検出器、２０…メインフィルター、３０…イベント検出処理部、４０…波高分析処理部、５０…ＰＣ、１００…Ｘ線検出装置、１０１…信号処理部、１１０…Ｘ線検出器、１２０…イベントフィルター部、１３０…比較器（第１比較器）、１４０…イベント検出部、１５０…ノイズイベント検出部、１６０…メインフィルター部、１７０…最大値検出部、１８０…ノイズ判定部、１９０…スペクトル生成部、２００…Ｘ線検出器、２１０…第２比較器、２２０…ノイズイベント検出部、３００…試料分析装置、３１０…Ｘ線照射部
【図１】
2014169877.tif 000003
【図２】
2014169877.tif 000004
【図３】
2014169877.tif 000005
【図４】
2014169877.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
2014169877.tif 000011
【図１０】
2014169877.tif 000012
【図１１】
2014169877.tif 000013
【図１２】
2014169877.tif 000014
【図１３】
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【図１４】
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