(57)【要約】【課題】感光性エレメントの製造方法において、塗布液の温度を１５℃〜４５℃の範囲内で任意に変えることを可能にするとともに、設定温度において、感光性エレメントの品質及び厚さを、その幅方向において均一に保ち、かつ感光性エレメントの外観を向上させて、均一な厚さを有する感光性エレメントを提供すること。【解決手段】以下の工程：（１）１５℃〜４５℃の範囲内で定めた目標温度に対して±０．２５℃の誤差範囲内に調整した感光性樹脂液を、架台に設置したダイヘッド及び該ダイヘッドの長手軸に沿って配置されたバックアップロールを含む塗布装置に供給する工程；及び（２）該塗布装置から該感光性樹脂液を、該バックアップロールに設置された基材フィルム上に排出し、該基材フィルムに該感光性樹脂液を塗布して、感光性エレメントを得る工程；を含む、感光性樹脂エレメントの製造方法。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
以下の工程：
（１）１５℃〜４５℃の範囲内で定めた目標温度に対して±０．２５℃の誤差範囲内に調整した感光性樹脂液を、架台に設置したダイヘッド及び該ダイヘッドの長手軸に沿って配置されたバックアップロールを含む塗布装置に供給する工程；及び
（２）該塗布装置から該感光性樹脂液を、該バックアップロールに設置された基材フィルム上に排出し、該基材フィルムに該感光性樹脂液を塗布して、感光性エレメントを得る工程；
を含む、感光性エレメントの製造方法。
【請求項２】
前記工程（１）における温度調整は、前記感光性樹脂液の供給部及び該供給部に付設された、スタティックミキサー及び複数の管を含むジャケット式熱交換器により行なわれる、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記感光性樹脂液の２５℃での粘度は、５００ｃｐｓ〜５０００ｃｐｓである、請求項１又は２に記載の方法。
【請求項４】
前記ダイヘッド及び前記バックアップロールの温度は、それぞれ、１５℃〜４５℃の範囲内で定めた目標温度に対して±０．２５℃の誤差範囲内に調整される、請求項１〜３のいずれか１項に記載の方法。
【請求項５】
前記ダイヘッドの前記バックアップロールに向かう面は、真直度の誤差範囲が、幅手方向の分布として１ｍ当たり１μｍ以下であり、かつ表面粗度Ｒｚが、０．２５μｍ以下である、請求項１〜４のいずれか１項に記載の方法。
【請求項６】
前記架台の温度は、１５℃〜４５℃の範囲内で定めた目標温度に対して±０．２５℃の誤差範囲内に調整される、請求項１〜５のいずれか１項に記載の方法。
【請求項７】
前記ダイヘッドの軸受けに、熱膨張又は冷却収縮による寸法変化を逃がすための手段を配置する、請求項１〜６のいずれか１項に記載の方法。
【請求項８】
前記感光性樹脂液と前記ダイヘッドの温度差を、±０．２５℃の範囲内に調整する、請求項１〜７のいずれか１項に記載の方法。
【請求項９】
前記感光性樹脂液と、前記ダイヘッドと、前記バックアップロールとの温度差を、±０．２５℃の範囲内に調整する、請求項１〜７のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１０】
前記感光性樹脂液と、前記ダイヘッドと、前記バックアップロールと、前記架台との温度差を、±０．２５℃の範囲内に調整する、請求項１〜７のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１１】
感光性樹脂組成物の全固形分の総和に対して：
（Ａ）アルカリ可溶性高分子を１０質量％〜９０質量％；
（Ｂ）エチレン性不飽和結合を有する化合物を５質量％〜７０質量％；及び
（Ｃ）光重合開始剤を０．０１質量％〜２０質量％；
含む感光性樹脂組成物を溶剤に溶解して、前記感光性樹脂液を得る、請求項１〜１０のいずれか１項に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は感光性エレメントの製造方法、等に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、感光性樹脂積層体などの感光性エレメントを製造するために、感光性樹脂液を基材に塗布するための塗布装置が使用されている。また、バックアップロールと、スリット及びマニューホールドを備えるダイヘッドとを含む装置を塗布装置として使用して、感光性樹脂液を基材に高精度で塗布する方法において、感光性樹脂液の塗布精度を保持する観点から、感光性エレメントは、ダイヘッド及びバックアップロールの製作された温度（例えば室温、より詳細には２３℃〜２５℃）と同じ温度で生産されることが一般的である。
【０００３】
例えば、先行技術として、特許文献１では、ダイヘッドを室温±２℃の範囲内に保温することによって、ダイの熱変形を抑制する方法が記述されている。また、特許文献２では、熱膨張率の低い素材でダイを形成することによって、ダイの熱変形を抑制する方法が記述されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−２８５３４３号公報
【特許文献２】特開平７−３２８５０９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、感光性エレメントの製造工程では、調合槽内で感光性樹脂液を調合し、フィルムに感光性樹脂液を所定の厚さで塗布し、乾燥した後に、巻き取ってロール状の感光性エレメントを製造するプロセス（所謂バッチ生産と呼ばれる。）が採用されているので、溶剤添加量に応じて感光性樹脂液の粘度を調整するだけでなく、バッチごとの粘度の調整、バッチ内の粘度の変更等を目的に、感光性樹脂液の温度によって粘度を制御し、かつ幅方向で均一な塗布精度を有する感光性エレメントを製造することも必要となっている。
【０００６】
また、感光性樹脂液は、経時的に脱色する場合があるが、温度が低い程、脱色速度も低いので、脱色の早い組成であれば感光性樹脂液を低温で生産することも必要となっている。この点について、室温（２３℃〜２５℃）であれば感光性樹脂液を高精度に塗布できるとしても、感光性樹脂液の温度が高くなりすぎたり、低くなりすぎたりすると、ダイヘッドに高温液、又は低温液が進入し、ダイヘッドの真直度が熱膨張、或いは低温収縮で不均一になる場合があり、そのような場合には塗膜の厚さ分布が均一にならないことがある。
【０００７】
特許文献１に記載された方法は、言い換えると、室内温度をダイヘッドと同じ温度に設定することを意味している。感光性エレメントの製造に適用した場合には、感光性エレメントは、異物管理の観点からクリーンルーム内で製造されることが必須であり、例えば、高温であれば約４５度、一方で低温であれば約１５度となるように、室内温度を制御することは、非常に大きなエネルギーを必要とする。さらに、作業の容易性の観点からも、作業者が、クリーン服を着ながら上記のような高温下又は低温下で作業することは実用的でない。
【０００８】
特許文献２に記載された方法については、材料の種類が制限されるだけでなく、バックアップロール及びダイヘッド周辺機器の全てを特定の材料から製作することも極めて困難であり、仮に製作できたとしても、４５℃付近の高温では、熱膨張のために均一な膜厚が得られない場合がある。
【０００９】
また、調合槽及び従来の供給配管をジャケット付きの２重管にし、そのジャケット内部に温水等を通液することにより、感光性樹脂液の温度を目標温度に設定する手法が考えられる。しかしながら、この手法には、バッチの最初に感光性樹脂液の温度が安定するまで時間及びエネルギーを損失するという点、感光性樹脂液の温度を、目標温度に対して精度が良い場合でも±０．５℃の範囲内でしか管理できないので均一な厚さを有する感光性樹脂層を得られないという点、又は感光性樹脂液を高温にする場合に、感光性樹脂液が調合槽に高温で長時間に亘って滞在するので感光性樹脂液の品質が劣化するという点で、なお改善の余地がある。
【００１０】
したがって、本発明の課題は、感光性エレメントの厚さが、その幅方向に均一に保たれている感光性エレメントの製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明者は、鋭意研究し実験を重ねた結果、感光性エレメントの材料となる感光性樹脂液の温度を特定の範囲内に制御して塗布装置に供給することにより上記課題を解決できることを見出し、本発明を完成するに至った。
すなわち、本発明は以下の通りのものである。
【００１２】
［１］  以下の工程：
（１）１５℃〜４５℃の範囲内で定めた目標温度に対して±０．２５℃の誤差範囲内に調整した感光性樹脂液を、架台に設置したダイヘッド及び該ダイヘッドの長手軸に沿って配置されたバックアップロールを含む塗布装置に供給する工程；及び
（２）該塗布装置から該感光性樹脂液を、該バックアップロールに設置された基材フィルム上に排出し、該基材フィルムに該感光性樹脂液を塗布して、感光性エレメントを得る工程；
を含む、感光性エレメントの製造方法。
【００１３】
［２］  前記工程（１）における温度調整は、前記感光性樹脂液の供給部及び該供給部に付設された、スタティックミキサー及び複数の管を含むジャケット式熱交換器により行なわれる、［１］に記載の方法。
【００１４】
［３］  前記感光性樹脂液の２５℃での粘度は、５００ｃｐｓ〜５０００ｃｐｓである、［１］又は［２］に記載の方法。
【００１５】
［４］  前記ダイヘッド及び前記バックアップロールの温度は、それぞれ、１５℃〜４５℃の範囲内で定めた目標温度に対して±０．２５℃の誤差範囲内に調整される、［１］〜［３］のいずれか１項に記載の方法。
【００１６】
［５］  前記ダイヘッドの前記バックアップロールに向かう面は、真直度の誤差範囲が、幅手方向の分布として１ｍ当たり１μｍ以下であり、かつ表面粗度Ｒｚが、０．２５μｍ以下である、［１］〜［４］のいずれか１項に記載の方法。
【００１７】
［６］  前記架台の温度は、１５℃〜４５℃の範囲内で定めた目標温度に対して±０．２５℃の誤差範囲内に調整される、［１］〜［５］のいずれか１項に記載の方法。
【００１８】
［７］  前記ダイヘッドの軸受けに、熱膨張又は冷却収縮による寸法変化を逃がすための手段を配置する、［１］〜［６］のいずれか１項に記載の方法。
【００１９】
［８］  前記感光性樹脂液と前記ダイヘッドの温度差を、±０．２５℃の範囲内に調整する、［１］〜［７］のいずれか１項に記載の方法。
【００２０】
［９］  前記感光性樹脂液と、前記ダイヘッドと、前記バックアップロールとの温度差を、±０．２５℃の範囲内に調整する、［１］〜［７］のいずれか１項に記載の方法。
【００２１】
［１０］  前記感光性樹脂液と、前記ダイヘッドと、前記バックアップロールと、前記架台との温度差を、±０．２５℃の範囲内に調整する、［１］〜［７］のいずれか１項に記載の方法。
【００２２】
［１１］  感光性樹脂組成物の全固形分の総和に対して：
（Ａ）アルカリ可溶性高分子を１０質量％〜９０質量％；
（Ｂ）エチレン性不飽和結合を有する化合物を５質量％〜７０質量％；及び
（Ｃ）光重合開始剤を０．０１質量％〜２０質量％；
含む感光性樹脂組成物を溶剤に溶解して、前記感光性樹脂液を得る、［１］〜［１０］のいずれか１項に記載の方法。
【発明の効果】
【００２３】
本発明によれば、感光性エレメントの厚さが、その幅方向において均一に保たれている感光性エレメントの製造方法が提供される。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】感光性エレメントを製造するためのシステムを示す構成図である。
【図２】本発明の実施の形態における熱交換器の斜視図である。
【図３】図２の切断線ＩＩＩ−ＩＩＩにおける熱交換器の断面図である。
【図４】図３の切断線ＩＶ−ＩＶにおける熱交換器の断面図である。
【図５】本発明の実施の形態におけるバックアップロール、ダイヘッド及びダイヘッド架台の位置関係を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、本発明を実施するための最良の形態（以下、「実施の形態」と略記する。）について詳細に説明する。尚、本発明は、以下の実施の形態に限定されるものではなく、その要旨の範囲内で種々変形して実施することができる。
【００２６】
実施の形態では、感光性樹脂エレメントの製造方法は、以下の工程：
（１）１５℃〜４５℃の範囲内で定めた目標温度に対して±０．２５℃の誤差範囲内に調整した感光性樹脂液を、架台に設置したダイヘッド及び該ダイヘッドの長手軸に沿って配置されたバックアップロールを含む塗布装置に供給する工程；及び
（２）該塗布装置から該感光性樹脂液を、該バックアップロールに設置された基材フィルム上に排出し、該基材フィルムに該感光性樹脂液を塗布して、感光性エレメントを得る工程；
を含む。
【００２７】
感光性エレメントとは、光を受けることにより性質を変える物をいう。感光性エレメントは、例えば、フィルム、板、シート、ロール、成形品などの様々な形態でよく、例えば、感光性樹脂を含むか、又は感光性樹脂から成る物でよい。より詳細には、感光性樹脂を含む液体（以下、「感光性樹脂液」という。）をフィルムなどの基材に塗布することにより、感光性樹脂から成る層（以下、「感光性樹脂層」という。）を基材に積層して得られる感光性樹脂積層体が、感光性エレメントとして好ましい。さらに、感光性樹脂積層体の感光性樹脂層が露出している部分に保護材（例えば、保護フィルム、合紙フィルムなど）をさらに積層して巻き取ることにより得られる感光性樹脂ロールが、感光性エレメントとしてより好ましく、感光性樹脂ロールの全体又は感光性樹脂層部分が乾燥されているドライフィルムロールの形態が特に好ましい。
【００２８】
なお、前記感光性樹脂液は、以下の（Ａ）〜（Ｃ）の成分：
（Ａ）アルカリ可溶性高分子を感光性樹脂組成物の全固形分の総和に対し１０質量％〜９０質量％；
（Ｂ）エチレン性不飽和二重結合を有する化合物を感光性樹脂組成物のの全固形分の総和に対し５質量％〜７０質量％；及び
（Ｃ）光重合開始剤を感光性樹脂組成物の全固形分の総和に対し０．０１質量％〜２０質量％；
を含む感光性樹脂組成物を溶剤に溶解することにより調製されることが好ましい。
【００２９】
実施の形態では、上記工程（１）を達成するために、感光性樹脂液の供給手段（例えば、供給器、管など）と感光性樹脂液の温度を調節する手段（例えば、感光性樹脂液の冷温調装置など）を少なくとも備えている任意の手段が、使用されることができる。好ましくは、工程（１）における温度調整は、感光性樹脂液の供給部及び該供給部に付設されたジャケット式熱交換器により行なわれ、そして該ジャケット式熱交換器は、スタティックミキサー及び複数の管を含むことが好ましい。
【００３０】
スタティックミキサー及び複数の管を含むジャケット式熱交換器は、圧力損失を適切に制御する観点から管の数を最適化することが好ましい。この目的のために、ジャケット式多管型熱交換器は、好ましくは１０本以上、より好ましくは１５本以上、さらに好ましくは１９本の管を含むことができる。例えば、図３では、１９本の管９及び外壁８を有する熱交換器が示される。
【００３１】
スタティックミキサーは、駆動部を必要とせずに流体を攪拌・混合できる静止型混合器（例えば、ラインミキサーなど）であり、そのライン内に設置された個別のエレメントにより流体を順次に攪拌・混合できる。ライン内に複数のエレメントが設置されている場合には、それらにより流体を分割、転換又は反転させるために、それらは異なる形状を有していることが好ましい。図４では、複数の管９を通過する感光性樹脂液が、塗布液の流れＡとして示されており、複数のエレメントから成るスタティックミキサーが組み込まれているので、感光性樹脂液は管９を通過するときに攪拌・混合されることができる。
【００３２】
ジャケット式多管型熱交換器を通過する感光性樹脂液の温度を均一化するという観点から、スタティックミキサーは、熱交換器に含まれる複数の管の半数以上に搭載されていることが好ましく、全ての管に搭載されていることがより好ましい。
【００３３】
熱交換器の温度を調節するために、水、純水、不凍液、オイルなどの媒体をジャケット内へ通液することが好ましい。図１では、媒体は、熱交換器４と高精度温調ユニット５の間で循環されることが示される。図４では、媒体を循環させるための管１０の入口と出口、及び媒体の流れＢが示されており、そして高精度温調ユニット５から供給された媒体をジャケット出口付近から通液させ、ジャケット入口付近から再び高精度温調ユニット５へ戻す対流循環方式が好ましく使用されている。
【００３４】
塗布膜厚の均一性を向上させ、かつ感光性樹脂層の幅方向における厚さの精度を向上させるという観点から、感光性樹脂液の温度を、目標温度に対して±０．２５℃の誤差範囲内に調整することが好ましく、さらには±０．１℃の誤差範囲内に調整することがより好ましい。目標温度は、一般に１５℃〜４５℃の範囲内で定められることが好ましく、ダイヘッドの温度と等しいことが好ましい（すなわち、ダイヘッド温度＝目標温度）。
なお、本実施の形態において「±Ｘ℃の誤差範囲」とは、複数の測定対象について測定される温度の温度差の絶対値がＸ℃以下であることを意味する。
【００３５】
感光性樹脂液の温度は、熱交換器の上流及び／又は下流に配置された単数又は複数の測温抵抗体により測定されることが好ましい。例えば、図１では、感光性エレメントを製造するためのシステムにおいて、１つの測温抵抗体１８が、熱交換器４より上流に配置され、そして２つの測温抵抗体１８が、熱交換器４より下流に配置されることが示される。
【００３６】
スタティックミキサー及び複数の管を含むジャケット式熱交換器は、感光性エレメントを製造するためのシステムにおいて、感光性樹脂液を塗布するプロセスよりも上流に配置されることが好ましい。例えば、図１では、熱交換器４は、ダイヘッド６及びバックアップロール７を有する塗布装置よりも上流に配置されることが示される。また、スタティックミキサー及び複数の管を含むジャケット式熱交換器は、塗布装置から直線距離で約５ｍ以内に配置されることが好ましく、約３ｍ以内に配置されることがより好ましい。図１では、ダイヘッド６及びバックアップロール７を有する塗布装置と熱交換器４の位置関係が示されており、より詳細には、熱交換器４とダイヘッド６の間の直線距離Ｗは、約５ｍ以下であることが好ましく、より好ましくは、約３ｍ以下であり、特に好ましくは、約１ｍ以下である。
【００３７】
感光性樹脂液の粘度は、５００ｃｐｓ〜５０００ｃｐｓであることが好ましく、５００ｃｐｓ〜２０００ｃｐｓであることがより好ましい。感光性樹脂液の粘度は５０００ｃｐｓ以下であると、バックアップロールとダイヘッド上面の隙間（以下、「クリアランス」という。）にビートを良好に形成することにより、スジ状の欠陥を発生させないので好ましく、一方で、感光性樹脂液の粘度は５００ｃｐｓ以上であると、クリアランス内において、塗液が基材進入方向側へ漏れることを防ぎ、スジ状の欠陥を発生させないので好ましい。
【００３８】
ダイヘッド及びバックアップロールの温度は、それぞれ、１５℃〜４５℃の範囲内で定めた目標温度に対して±０．２５℃の誤差範囲内に調整されることが好ましく、±０．１０℃の誤差範囲内に調整されることがより好ましい。ダイヘッド及びバックアップロールの温度は、それぞれ、１４．７５℃以上であると結露等の発生を抑制できるので好ましく、一方で、ダイヘッド及びバックアップロールの温度は、それぞれ、４５．２５℃以下であると、塗布装置内の計器類を適切に使用できるので好ましい。
【００３９】
ダイヘッド及びバックアップロールの温度を目標温度に対して±０．２５℃の誤差範囲内に調整する方法としては、特に限定されないが、ダイヘッド及びバックアップロールに冷温調装置を循環方式で接続することにより温度を調整する手段が好ましい。図５では、バックアップロール７の温度分布を改良するために、バックアップロール７は、その内部にロータリージョイント１２を介して冷温調媒体通路１３を有することが示される。より詳細には、バックアップロール７は、その内部にロータリージョイント１２を介して任意の形態の冷温調媒体通路１３を有してよく、例えば、冷温調媒体通路１３は、スパイラル状、円筒状、角筒状などでよい。さらに、冷温調媒体通路１３は、スパイラル状であることが好ましい。一方で、図５では、スリット１５及びマニューホールド１６を備えるダイヘッド６の温度分布を改良するために、ダイヘッド６は、ダイヘッド６を長手方向に貫通している冷温調媒体通路１７を好ましくは２本以上、より好ましくは４本以上有することが示される。冷温調装置（図示せず）は、冷温調媒体通路１３又は冷温調媒体通路１７と流体連通されることができると理解されたい。
【００４０】
また、ダイヘッドを設置するための架台が熱膨張・熱収縮によって変形することを防ぐとともに、架台に配置されているダイヘッドの精度も向上させるために、架台の温度を、１５℃〜４５℃の範囲内で定めた目標温度に対して±０．２５℃の誤差範囲内に調整することが好ましく、さらには目標温度に対して±０．１０℃の誤差範囲内に調整することがより好ましい。より詳細には、ダイヘッド架台の温度は、ダイヘッド架台の内部又は外部に冷温調媒体の供給手段を設置することにより、調整されることができる。例えば、図５では、ダイヘッド架台１１は、冷温調装置（図示せず）から循環方式で供給された媒体を流すために、ダイヘッド架台１１を長手方向に貫通している冷温調媒体通路１７を好ましくは２本以上、より好ましくは４本以上有することが示される。
【００４１】
ダイヘッドのバックアップロールに向かう面（例えば、ダイヘッド上面など）は、真直度の誤差範囲が、幅手方向の分布として１ｍ当たり１μｍ以下であることが好ましい。真直度の誤差範囲は、ダイヘッド面の幅手方向において長さ１ｍ当たりの厚さ変化（最大値−最小値）として表される。ダイヘッド面の真直度の誤差範囲が１μｍ以下であると、クリアランスの精度が幅手方向で均一になり、均一な厚さを有する感光性エレメントが得られるので好ましい。ダイヘッド面の真直度の誤差範囲は、約０．５μｍであることがより好ましい。
【００４２】
また、ダイヘッドのバックアップロールに向かい合う面（例えば、ダイヘッド上面など）は、感光性樹脂液の塗布時に微細なスジ状の厚さ分布の発生を抑制するという観点から、表面粗度Ｒｚが０．２５μｍ以下であることが好ましく、０．２０μｍ以下であることがより好ましく、０．１５μｍ以下であることが特に好ましい。
【００４３】
感光性樹脂液の液温とダイヘッドの温度との温度差は、好ましくは±０．２５℃の範囲内であり、より好ましくは±０．１０℃の誤差範囲内である。
また、感光性樹脂液の液温と、ダイヘッドの温度と、バックアップロールの温度との温度差は、好ましくは±０．２５℃の誤差範囲内であり、より好ましくは±０．１０℃の誤差範囲内である。
更に、感光性樹脂液の液温と、ダイヘッドの温度と、バックアップロールの温度と、架台の温度との温度差は、好ましくは±０．２５℃の誤差範囲内であり、より好ましくは±０．１０℃の誤差範囲内である。
感光性樹脂液の液温、ダイヘッドの温度、バックアップロールの温度、及び／又は架台の温度を上記のような誤差範囲内に調節することは、感光性エレメントの厚さを、その幅方向においてより均一に保つ観点から好適である。
【００４４】
また、ダイヘッドの温度は、ダイヘッド本体に付設された単数又は複数の熱電対により測定されることが好ましい。複数の熱電対は、ダイヘッド面上に、任意の方向及び間隔で付設されることができる。例えば、図５では、複数の熱電対１９が、ダイヘッド６の側面に、同側面の長手方向に沿って、２列で平行に、５０ｍｍピッチで等間隔に配置されることが示される。
【００４５】
また、バックアップロール及び架台の温度は、バックアップロール及び架台のそれぞれにセンサー（例えば、赤外線温度センサーなど）を適用することにより測定されることが好ましい。センサーは、被測定物の任意の部分に、任意の方向及び間隔で、接触的又は非接触的に適用されることができる。例えば、図５では、バックアップロール７の温度を測定するために、赤外線温度センサーが、バックアップロール７の長手方向に沿って１００ｍｍピッチで等間隔に設定された複数の測定点２０に対して適用され、一方で、架台１１の温度を測定するために、赤外線温度センサーが、架台１１の側面の長手方向に沿って２列で平行に、かつ１００ｍｍピッチで等間隔に設定された複数の測定点２０に対して適用されることが示される。
【００４６】
実施の形態では、ダイヘッドの軸受けに熱膨張又は冷却収縮による寸法変化を逃がすための手段を配置することが好ましい。ダイヘッドが軸受けに保持されている場合には、この手段は、高温及び低温でそれぞれ熱膨張及び冷却収縮するダイヘッドの変形量を吸収できる機構により達成されることが好ましい。より詳細には、ダイヘッドの変形量を吸収できる機構としては、例えば、軸受け部品の下に配備されたリニアガイドが挙げられる。より簡単な機構としては、軸受けを片側だけ固定して、もう一方を開放することにより、ダイヘッドの変形量を吸収する方法が挙げられる。
【００４７】
上述の実施の形態では、感光性エレメントの製造方法において、塗布液の温度を１５℃〜４５℃の範囲内で任意に変えることが可能である。また、設定温度において、感光性エレメントの品質及び厚さを、その幅方向において均一に保ち、かつ感光性エレメントの外観を向上させて、均一な厚さを有する感光性エレメントを提供することができる。
【００４８】
また、上述の実施の形態では、感光性エレメントの製造方法において、塗布液の温度を短時間で１５℃〜４５℃の範囲内で任意に変える手段が提供されるだけでなく、設定温度において厚さ及び品質の分布が幅方向において均一であり、外観に優れ、かつ均一な厚さを有する感光性エレメントも提供される。感光性樹脂液を塗布乾燥することにより得られる感光性樹脂層の厚さ精度を向上させる手段を提供するも可能である。
【００４９】
更に、上述の実施の形態では、約２３℃での塗布などの従来法に比べて、より高温（例えば、４５℃）で感光性エレメントを製造できるので、溶媒を添加しなくても昇温により感光性樹脂液の粘度を低下させ、それにより溶媒使用量を減らし、かつ材料コストを抑制することができる。一方で、従来法よりも低温（例えば、１５℃）で感光性エレメントを製造することができるので、塗布された薄膜からスジ状欠陥を無くし、溶媒使用量に対する感光性樹脂液の粘度低下率を抑え、溶媒の添加に起因する生産速度の低下を起こすことなく、高速で感光性エレメントを製造し、それにより時間及びエネルギーを抑制することができる。
【実施例】
【００５０】
実施例及び比較例を参照して実施の形態をより具体的に説明するが、実施の形態はその要旨を超えない限り、以下の実施例に限定されるものではない。なお、実施例及び比較例に示されるパラメーターは、以下の方法により測定した：
＜感光性樹脂液の温度＞
図１に示す通り、ジャケット式熱交換器の上流及び下流、並びにダイコーターの直前に設置した３つの測温抵抗体（株式会社岡崎製作所製）において温度を測定し、各温度の平均値を感光性樹脂液の温度とした。
＜ダイヘッドの温度＞
図５に示す通り、ダイヘッド側面の長手方向に沿って、２列で平行に、かつ５０ｍｍピッチで等間隔に付設した複数の熱電対（株式会社チノー製）において温度を測定し、各温度の平均値をダイヘッドの温度とした。
＜バックアップロールの温度＞
図５に示す通り、バックアップロールの長手方向に沿って１００ｍｍピッチで等間隔に設定した複数の測定点に対して、赤外線温度センサー（株式会社エドックス製）を適用して温度を測定し、各温度の平均値をバックアップロールの温度とした。
＜架台の温度＞
図５に示す通り、架台の側面の長手方向に沿って２列で平行に、かつ１００ｍｍピッチで等間隔に設定した複数の測定点に対して、赤外線温度センサー（株式会社エドックス製）を適用して温度を測定し、各温度の平均値を架台の温度とした。
＜樹脂の酸当量＞
平沼産業（株）製平沼自動滴定装置（ＣＯＭ―５５５）を使用し、０．１ｍｏｌ／Ｌの水酸化ナトリウム水溶液を用いて電位差滴定法により樹脂の酸当量を測定した。
＜樹脂の重量平均分子量＞
日本分光（株）製ゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）（ポンプ：Ｇｕｌｌｉｖｅｒ、ＰＵ−１５８０型、カラム：昭和電工（株）製Ｓｈｏｄｅｘ（登録商標）（ＫＦ−８０７、ＫＦ−８０６Ｍ、ＫＦ−８０６Ｍ、ＫＦ−８０２．５）４本直列、移動層溶媒：テトラヒドロフラン、ポリスチレン標準サンプル（昭和電工（株）製Ｓｈｏｄｅｘ  ＳＴＡＮＤＡＲＤ  ＳＭ−１０５）による検量線使用）により樹脂の重量平均分子量を求めた。
【００５１】
＜感光性樹脂液の調製例１＞
以下に示す化合物を混合し、感光性樹脂液を調製した。
メタクリル酸メチル５０質量％、メタクリル酸２５質量％、及びスチレン２５質量％の三元共重合体のメチルエチルケトン溶液（固形分濃度３５％、重量平均分子量５万、酸当量３４４、分散度３．１）                                      ・・・１５４質量部
ビスフェノールＡの両端にそれぞれ平均２モルずつのエチレンオキサイドを付加したポリエチレングリコールのジメタクリレート（新中村化学工業（株）製ＮＫエスエルＢＰＥ−２００）
・・・１５質量部
ビスフェノールＡの両端にそれぞれ平均２モルずつプロピレンオキサイドと平均６モルずつエチレンオキサイドを付加したポリアルキレングリコールのジメタクリレート
・・・３０質量部
β-ヒドロキシプロピル-β’-（アクリロキシ）プロピルフタレート
・・・５質量部
トリオキシエチルトリメチロールプロパントリアクリレート（新中村化学工業  （株）製ＮＫエステルＡ−ＴＭＰＴ−３ＥＯ）
・・・５質量部
４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン
・・・０．３質量部
２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体
・・・３質量部
ダイアモンドグリーン（保土ヶ谷化学（株）製  アイゼン（登録商標）ＤＩＡＭＯＮＤ  
ＧＲＥＥＮ  ＧＨ）
・・・０．１５質量部
ロイコクリスタルバイオレット
・・・０．４質量部
【００５２】
＜感光性樹脂液の調製例２＞
調製例１で調製した感光性樹脂液に溶媒（メチルエチルケトン）をさらに加え、調合槽において温度３０℃及び攪拌回転数５５ｒｐｍで４時間に亘って攪拌して、新たな感光性樹脂液を得た。
【００５３】
＜実験１＞
バックアップロールとダイヘッドの温度を２３℃（室温）に保ち、感光性樹脂液の温度を変更し、厚さ１６μｍのＰＥＴフィルム（東レ株式会社製）１６５０ｍｍ幅に感光性樹脂液を１６００ｍｍの幅にて塗布・乾燥後、ポリエチレンフィルム（タマポリ株式会社製）を貼り合わせ、３層構造の感光性エレメントを得た。評価項目として、ロータリーキャリパー（株式会社名産製）を用いて幅方向の厚みばらつきを測定し、そして品質調査として分光光度計（島津製作所製）により透過率を測定し、色相変化を確認した。品質調査において、発色又はゲル化が観察されないときには評価を○とした。また、厚みばらつき評価は、下記基準に従って行なった（以下の実験２〜４も同様である。）：
乾燥厚３０μｍとして
×：５．０％以上
△：２．１％〜４．９％
○：１．０％〜２．０％
◎：０．１％〜０．９％
なお、感光性樹脂液の温度の変更については、調合槽及び送液配管を二重化する温調方法と、図２〜４で示された熱交換器を塗布装置の直前１ｍの位置に配置する方法とを比較した。実験結果を下記表１に示す。
【００５４】
【表１】
2014026107.tif 000003
【００５５】
表１から、送液ラインに熱交換器が組み込まれており、バックアップロール及びダイヘッドと塗布液との温度差が±０．２５℃以内であると、良好な結果が得られること分かる。より詳細には、感光性樹脂液は、一般的に３５℃以上になると経時劣化するので、従来の調合槽及び配管の二重管により温度を調節すると、３５℃以上に保たれる時間が長くなり、色目が変化するか、又はゲル化することがあると確認される。一方で、図２〜４で示された熱交換器を塗布装置の直前に配置すると、感光性樹脂液の温度を塗布装置の直前で瞬間的に変えることができるので、感光性樹脂液の温度を調製した直後に感光性樹脂液を塗布することにより、感光性樹脂液が３５℃以上の温度で保持される時間を極めて少なくすることができると確認される。
【００５６】
＜実験２＞
図２〜４で示された熱交換器を用いて感光性樹脂液の温度を１５.００℃に調整し、バックアップロールとダイヘッドの温度が下記表２に示される通りである場合に、感光性樹脂液を塗布し、幅方向での厚みばらつきをロータリーキャリパー（株式会社名産製）を用いて測定した。
【００５７】
【表２】
2014026107.tif 000004
【００５８】
表２から、バックアップロールとダイヘッドの温度が、感光性樹脂液の温度に対して±０．２５℃以下であるときに、良好な厚さ分布が得られることを確認した。
【００５９】
＜実験３＞
下記表３の通り、ダイヘッド架台の温度を調節するか、又はダイヘッドの熱膨張又は冷却収縮を逃がす手段の有無を確認し、実験１及び２と同様に評価したところ、ダイヘッド架台の温度を調節する手段とダイヘッドの熱膨張又は冷却収縮を逃がす手段の両方を実施することにより、さらに均一な幅方向の厚み分布が得られることを確認した。
【００６０】
【表３】
2014026107.tif 000005
【００６１】
＜実験４＞
下記表４に示す通り、ダイヘッド上面の真直度又は表面粗度を変更し、実験１〜３と同様に、感光性エレメントの厚みばらつき及び外観を評価したところ、ダイヘッド上面の真直度が１．０μｍ以内であり、かつ表面粗度が０．２μｍであるときに、最良の結果が得られることが確認された。
【００６２】
【表４】
2014026107.tif 000006
【産業上の利用可能性】
【００６３】
実施の形態の感光性エレメントは、その高感度、高解像性のために、プリント配線板、フレキシブル基板、リードフレーム基板、チップオンフィルム（ＣＯＦ）用基板、半導体パッケージ用基板、液晶用透明電極、液晶用ＴＦＴ用配線、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）用電極等の導体パターンの製造に利用されることができる。
【符号の説明】
【００６４】
１    調合槽
２    ポンプ
３    フィルター
４    熱交換器
５    高精度温調ユニット
６    ダイヘッド
７    バックアップロール
８    外壁
９    管
１０    媒体を循環させるための管
１１    ダイヘッド架台
１２    ロータリージョイント
１３    冷温調媒体通路
１４    ダイヘッド上面
１５    スリット
１６    マニューホールド
１７    冷温調媒体通路
１８    測温抵抗体
１９    熱電対
２０    赤外線温度センサーの測定点
Ａ    塗布液の流れ
Ｂ    媒体の流れ
Ｗ    熱交換器とダイヘッドの間の直線距離
【図１】
2014026107.tif 000007
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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