(57)【要約】【課題】部分的に厚みの異なる内部電極を印刷することが可能で、特性の良好な積層セラミック電子部品を得るのに有意義なグラビア印刷版、その製造方法、および積層セラミック電子部品の製造方法を提供する。【解決手段】円筒状のグラビアロール５０の外周面５０ａに、印刷すべき図形パターンに対応する複数のセル５１（５１ａ，５１ｂ）が形成されたグラビア印刷版Ａ１において、グラビアロールの外周面の、セルが形成されている領域のうちの所定の領域（以下「第１領域」）では、グラビアロールの外周面の全周における、セルが形成されている領域の合計長さが、セルが形成されている他の領域（以下「第２領域」）の合計長さよりも短くなるようにし、第１領域におけるセルの版深が、第２領域におけるセルの版深より深くなるようにする。【選択図】図４
2014204081.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
円筒状のグラビアロールの外周面に、印刷すべき図形に対応する複数のセルが形成されたグラビア印刷版であって、
前記円筒状のグラビアロールの軸線方向と垂直で周方向に沿う方向を周線方向とし、前記セルの深さを版深とした場合に、
前記セルは周線方向に沿う第1領域と第２領域に複数存在し、前記第１領域内のセルの周線方向の長さを前記第1領域に周線方向に並ぶ全てのセルについて合計した合計値が、前記第２領域内のセルの周線方向の長さを前記第２領域に周線方向に並ぶ全てのセルについて合計した合計値より短く、
前記第１領域における前記セルの版深が、前記第２領域における前記セルの版深より深いこと
を特徴とするグラビア印刷版。
【請求項２】
前記グラビアロールを周線方向についてみたときに、互いに隣り合う２つのセルのそれぞれが、互いに対向しない領域を前記第１領域として備え、互いに対向する領域を前記第２領域として備え、かつ、
前記第１領域における前記セルの版深が、前記第２領域における前記セルの版深より深くなるように構成されていること
を特徴とする請求項１記載のグラビア印刷版。
【請求項３】
前記グラビアロールの外周面の、軸線方向および周線方向のいずれの方向にも、複数の前記セルが形成され、かつ、
前記周線方向に配設された複数の前記セルの、互いに隣り合うセルは、軸線方向の中心位置が異なるちどり状に配列されていることを特徴とする請求項１または２記載のグラビア印刷版。
【請求項４】
前記グラビアロールを周線方向についてみたときに、互いに隣り合う前記セルの一方は、軸線方向に延びるように形成された帯状一連なりのセルであり、かつ、互いに隣り合うセルの他方は、所定の間隔をおいて軸線方向に繰り返し配設された、同じ形状を有する複数のセルであり、
前記帯状一連なりの一方のセルにおいて、前記他方のセルと互いに対向しない領域である第１領域では、前記他方のセルと互いに対向する領域である第２領域よりも版深が深くなるように構成されていること
を特徴とする請求項１または２記載のグラビア印刷版。
【請求項５】
円筒状のグラビアロールの外周面に、印刷すべき図形に対応する複数のセルが形成され、かつ、
前記円筒状のグラビアロールの軸方向に沿う方向を軸線方向、軸線に垂直であり周方向に沿う方向を周線方向、前記セルの深さを版深とした場合に、
前記セルは周線方向に沿う第1領域と第２領域に複数存在し、前記第１領域内のセルの周線方向の長さを前記第1領域に周線方向に並ぶ全てのセルについて合計した合計値が、前記第２領域内のセルの周線方向の長さを前記第２領域に周線方向に並ぶ全てのセルについて合計した合計値より短く、
前記第１領域における前記セルの版深が、前記第２領域における前記セルの版深より深いグラビア印刷版の製造方法であって、
前記グラビアロールの外周面に、前記第１領域に対応する領域と、前記第２領域とに対応する領域が露出するような態様で、エッチングレジスト膜を形成する工程と、
前記グラビアロールを、軸線方向が水平になるような姿勢に保ちつつ、軸線回りに回転させながら、前記グラビアロールの表面に、軸線方向に均一な供給量となるようにエッチング液を供給し、前記エッチングレジスト膜により覆われていない領域にエッチングを施すことによりセルを形成する工程と
を備えるグラビア印刷版の製造方法。
【請求項６】
複数の内部電極がセラミック層と交互に積層された構造を有する積層セラミック素子の、前記内部電極が引き出された面に、前記内部電極と導通するように外部電極を配設してなる積層セラミック電子部品の製造方法であって、
請求項１〜４のいずれかに記載のグラビア印刷版の、前記セルに導電性ペーストを充填する工程と、
前記セルに充填された前記導電性ペーストをセラミックグリーンシートに印刷して、前記セルの版深の深い前記第１領域に対応する、厚みの厚い領域と、前記セルの前記第２領域に対応する、厚みの薄い領域とを備えた未焼成内部電極を形成する工程と、
前記セラミックグリーンシートを複数枚積層することによりマザーブロックを形成する工程と、
未焼成内部電極の前記厚みの厚い領域が切断端面に露出するような態様で、前記マザーブロックをカットして、個々の未焼成の積層セラミック素子に分割する工程と
を備えていることを特徴とする積層セラミック電子部品の製造方法。
【請求項７】
前記積層セラミック電子部品が、直方体状で、互いに対向する第１および第２の端面と、前記第１および第２の端面を連結する、それぞれ互いに対向する第１および第２の側面ならびに第３および第４の側面とを有する前記積層セラミック素子の、前記第１の端面に端部が引き出された第１内部電極と、前記第２の端面に端部が引き出された第２内部電極とが、誘電体層であるセラミック層を介して積層され、前記積層セラミック素子の前記第１の端面には、前記第１内部電極と導通する第１外部電極が配設され、前記第２の端面には、前記第２内部電極と導通する第２外部電極が配設された２端子型積層セラミックコンデンサであり、
前記未焼成内部電極の前記厚みの厚い領域を前記個々の未焼成の積層セラミック素子の切断端面に露出させた部分が、前記第１内部電極の前記第１の端面への引き出し部、および、前記第２内部電極の前記第２の端面への引き出し部となるようにすること
を特徴とする請求項６記載の積層セラミック電子部品の製造方法。
【請求項８】
前記積層セラミック電子部品が、直方体状で、互いに対向する第１および第２の端面と、前記第１および第２の端面を連結する、内部電極の積層方向に平行で、互いに対向する第１および第２の側面ならびに、内部電極の積層方向に直交し、互いに対向する第３および第４の側面とを有する前記積層セラミック素子の、前記第１の端面から、それと対向する第２の端面に至る信号用内部電極と、前記第１の側面および第２の側面から引き出された接地用内部電極とが、誘電体層であるセラミック層を介して交互に積層され、かつ、前記積層セラミック素子の前記第１の端面と前記第２の端面には、前記信号用内部電極と導通する一対の信号用外部電極が配設され、前記第１の側面と前記第２の側面には、前記接地用内部電極に導通する接地用外部電極が配設された３端子型積層セラミックコンデンサであり、
前記未焼成内部電極の前記厚みの厚い領域を前記個々の未焼成の積層セラミック素子の切断端面に露出させた部分が、前記信号用内部電極の前記第１の端面および前記第２の端面への引き出し部となるようにすること
を特徴とする請求項６記載の積層セラミック電子部品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば導電性ペーストの印刷などに用いられるグラビア印刷版、その製造方法、および該グラビア印刷版を用いた積層セラミック電子部品の製造方法に関する。
【０００２】
積層セラミックコンデンサなどに代表される積層セラミック電子部品を製造する場合、焼成後に内部電極となる、未焼成の内部電極が形成されたセラミックグリーンシートを積層して、マザーブロックを形成し、これをカットして個々の積層体に分割し、焼成する工程を経て積層セラミック電子部品を得る方法が広く用いられている。
【０００３】
この積層セラミック電子部品の製造工程において、セラミックグリーンシートに導電性ペーストを印刷して内部電極などを形成する方法の１つに、円筒状のグラビアロールの外周面に、印刷すべき図形パターンに対応する複数のセルが形成されたグラビア印刷版を用いて、導電性ペーストを印刷するグラビア印刷の方法がある。
【０００４】
そして、そのようなグラビア印刷版の製造方法として、特許文献１に記載されている装置を用い、特許文献１の図１に示されているように、現像処理を終えてレジスト画像が形成された被製版ロールＲを水平に両端チャックし、タンク１の上部開口部よりタンク１内に収容されて低速回転する被製版ロールＲに対し、タンク１内に設けたエッチング液導入パイプ３を平行するように近づけ、該エッチング液導入パイプ３に等ピッチに配設したノズル２と被製版ロールＲとの距離を一定寸法に確保して、ノズル２からエッチング液を被製版ロールＲに噴射して露出金属面をエッチングして版を形成する方法がある。
【０００５】
また、グラビア印刷版を用いた電子部品の製造方法として、例えば、特許文献２に開示されているような方法が知られている。この方法は、効率よく、表面の段差が解消された積層セラミック電子部品用の積層体ユニットを製造することができる積層体ユニットの製造方法に関するものであり、支持シートの表面に、グラビアコーティング法によって、誘電体材料を含む誘電体ペーストを塗布して、電極層のパターンと相補的なパターンで、複数の凹部が形成されたスペーサ層を形成し、スペーサ層の複数の凹部内に、電極ペーストを印刷して、電極層を形成し、電極層およびスペーサ層上に、誘電体材料を含むセラミックグリーンシートを形成することを特徴とするものである。
【０００６】
ところで、例えば、セラミックグリーンシートからなるセラミック層を介して内部電極が積層された積層体を備え、内部電極が上記積層体の一方側端面と他方側端面に交互に引き出された構造を有する積層セラミックコンデンサの場合、積層方向から見て、セラミック層を介して積層された複数の内部電極のすべて存在している領域と、複数の内部電極の一方側端面と他方側端面のいずれかに引き出されている引き出し部のみが存在している領域とでは、存在する内部電極の層数の比率が、前者と後者で２：１となり、内部電極のすべて存在している領域と、内部電極が１／２しか存在していない領域との間に段差が形成されてしまうという問題点がある。
【０００７】
このような問題点を解決するためには、内部電極のうち引き出し部の厚みを厚くすることが考えられるが、上述の特許文献１に開示されている方法では、部分的に厚みの厚い内部電極を形成することができるようなグラビア印刷版を得ることはできない。すなわち、グラビア印刷により内部電極を形成する場合、印刷される内部電極の所定の領域の厚みを厚くするためには、印刷すべき図形パターン（内部電極）に対応する１つのセルにおいて、所定の領域（例えば内部電極の引き出し部に相当する領域）における版深が、他の領域における版深よりも深く形成されていることが必要になるが、引用文献１にはそのようなグラビア印刷版を得るための方法は開示されていない。
【０００８】
また、例えば、信号用内部電極（貫通内部電極）と接地用内部電極がセラミック層を介して交互に積層された構造を有する３端子コンデンサの場合、信号用内部電極を通る直流電流の抵抗を低く抑えることが望ましいが、引用文献２に開示されている技術では、それを実現することはできないのが実情である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開平９−２６８３８４号公報
【特許文献２】特開２００７−２８８２０６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は、上記課題を解決するものであり、積層セラミック電子部品に段差が生じることを抑制、防止することが可能な内部電極を形成し、また、３端子コンデンサにおいて、通過する直流電流の抵抗を低く抑えることができるような信号用内部電極を形成することが可能なグラビア印刷版、その製造方法、および前記グラビア印刷版を用いた積層セラミック電子部品の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するために、本発明のグラビア印刷版は、
円筒状のグラビアロールの外周面に、印刷すべき図形に対応する複数のセルが形成されたグラビア印刷版であって、
前記円筒状のグラビアロールの軸線方向と垂直で周方向に沿う方向を周線方向とし、前記セルの深さを版深とした場合に、
前記セルは周線方向に沿う第1領域と第２領域に複数存在し、前記第１領域内のセルの周線方向の長さを前記第1領域に周線方向に並ぶ全てのセルについて合計した合計値が、前記第２領域内のセルの周線方向の長さを前記第２領域に周線方向に並ぶ全てのセルについて合計した合計値より短く、
前記第１領域における前記セルの版深が、前記第２領域における前記セルの版深より深いこと
を特徴としている。
【００１２】
また、本発明のグラビア印刷版においては、
前記グラビアロールを周線方向についてみたときに、互いに隣り合う２つのセルのそれぞれが、互いに対向しない領域を前記第１領域として備え、互いに対向する領域を前記第２領域として備え、かつ、
前記第１領域における前記セルの版深が、前記第２領域における前記セルの版深より深くなるように構成されていること
が好ましい。
【００１３】
上述の構成を備えることにより、容易かつ確実に、積層セラミック電子部品に段差が生じることを抑制、防止することが可能な内部電極、あるいは、３端子コンデンサにおいて、通過する直流電流の抵抗を低く抑えることができるような信号用内部電極を形成することが可能になる。
【００１４】
また、本発明のグラビア印刷版においては、
前記グラビアロールの軸方向に沿う方向を軸線方向とした場合に、前記グラビアロールの外周面の、軸線方向および周線方向のいずれの方向にも、複数の前記セルが形成され、かつ、
前記周線方向に配設された複数の前記セルの、互いに隣り合うセルは、軸線方向の中心位置が異なるちどり状に配列されていること
が好ましい。
【００１５】
周線方向に配設された複数のセルの、互いに対向するセルを、軸線方向の中心位置が異なるちどり状に配列することにより、後述する本発明のグラビア印刷版の製造方法により、深さの異なる領域（すなわち、深さの深い領域と浅い領域）を備えたセルを確実に形成することが可能になる。
【００１６】
また、本発明のグラビア印刷版においては、
前記グラビアロールを周線方向についてみたときに、互いに隣り合うセルの一方は、軸線方向に延びるように形成された帯状一連なりのセルであり、かつ、互いに隣り合うセルの他方は、所定の間隔をおいて軸線方向に繰り返し配設された、同じ形状を有する複数のセルであり、
前記帯状一連なりの一方のセルにおいて、前記他方のセルと互いに対向しない領域である第１領域では、前記他方のセルと互いに対向する領域である第２領域よりも版深が深くなるように構成されていること
が好ましい。
【００１７】
上述の構成とした場合、３端子型積層セラミックコンデンサの信号用内部電極（貫通内部電極）に適した内部電極を確実に形成することが可能になり、有意義である。
【００１８】
また、本発明のグラビア印刷版の製造方法は、
円筒状のグラビアロールの外周面に、印刷すべき図形に対応する複数のセルが形成され、かつ、
前記円筒状のグラビアロールの軸方向に沿う方向を軸線方向、軸線に垂直であり周方向に沿う方向を周線方向、前記セルの深さを版深とした場合に、
前記セルは周線方向に沿う第1領域と第２領域に複数存在し、前記第１領域内のセルの周線方向の長さを前記第1領域に周線方向に並ぶ全てのセルについて合計した合計値が、前記第２領域内のセルの周線方向の長さを前記第２領域に周線方向に並ぶ全てのセルについて合計した合計値より短く、
前記第１領域における前記セルの版深が、前記第２領域における前記セルの版深より深いグラビア印刷版の製造方法であって、
前記グラビアロールの外周面に、前記第１領域に対応する領域と、前記第２領域とに対応する領域が露出するような態様で、エッチングレジスト膜を形成する工程と、
前記グラビアロールを、軸線方向が水平になるような姿勢に保ちつつ、軸線回りに回転させながら、前記グラビアロールの表面に、軸線方向に均一な供給量となるようにエッチング液を供給し、前記エッチングレジスト膜により覆われていない領域にエッチングを施すことによりセルを形成する工程と
を備えることを特徴としている。
【００１９】
また、本発明の積層セラミック電子部品の製造方法は、
複数の内部電極がセラミック層と交互に積層された構造を有する積層セラミック素子の、前記内部電極が引き出された面に、前記内部電極と導通するように外部電極を配設してなる積層セラミック電子部品の製造方法であって、
上記本発明にかかるグラビア印刷版の、前記セルに導電性ペーストを充填する工程と、
前記セルに充填された前記導電性ペーストをセラミックグリーンシートに印刷して、前記セルの版深の深い前記第１領域に対応する、厚みの厚い領域と、前記セルの前記第２領域に対応する、厚みの薄い領域とを備えた未焼成内部電極を形成する工程と、
前記セラミックグリーンシートを複数枚積層することによりマザーブロックを形成する工程と、
未焼成内部電極の前記厚みの厚い領域が切断端面に露出するような態様で、前記マザーブロックをカットして、個々の未焼成の積層セラミック素子に分割する工程と
を備えていることを特徴としている。
【００２０】
また、本発明の積層セラミック電子部品の製造方法においては、
前記積層セラミック電子部品が、直方体状で、互いに対向する第１および第２の端面と、前記第１および第２の端面を連結する、それぞれ互いに対向する第１および第２の側面ならびに第３および第４の側面とを有する前記積層セラミック素子の、前記第１の端面に端部が引き出された第１内部電極と、前記第２の端面に端部が引き出された第２内部電極とが、誘電体層であるセラミック層を介して積層され、前記積層セラミック素子の前記第１の端面には、前記第１内部電極と導通する第１外部電極が配設され、前記第２の端面には、前記第２内部電極と導通する第２外部電極が配設された２端子型積層セラミックコンデンサであり、
前記未焼成内部電極の前記厚みの厚い領域を前記個々の未焼成の積層セラミック素子の切断端面に露出させた部分が、前記第１内部電極の前記第１の端面への引き出し部、および、前記第２内部電極の前記第２の端面への引き出し部となるようにすること
が好ましい。
【００２１】
上記構成を備えることにより、誘電体層であるセラミック層を介して、容量形成用の内部電極が互いに対向するように積層された構造を有する２端子型積層セラミックコンデンサを製造する場合において、引き出し部における内部電極の厚みを大きくして、内部電極の引き出し部において内部電極の積層数が少なくなることにより生じる段差を小さくすることが可能になる。また、引き出し部の厚みが厚く、外部電極との接続信頼性の高い内部電極を備えた、特性が良好で、段差のない２端子型積層セラミックコンデンサを確実に得ることが可能になる。
【００２２】
また、本発明の積層セラミック電子部品の製造方法においては、
前記積層セラミック電子部品が、直方体状で、互いに対向する第１および第２の端面と、前記第１および第２の端面を連結する、内部電極の積層方向に平行で、互いに対向する第１および第２の側面ならびに、内部電極の積層方向に直交し、互いに対向する第３および第４の側面とを有する前記積層セラミック素子の、前記第１の端面から、それと対向する第２の端面に至る信号用内部電極と、前記第１の側面および第２の側面から引き出された接地用内部電極とが、誘電体層であるセラミック層を介して交互に積層され、かつ、前記積層セラミック素子の前記第１の端面と前記第２の端面には、前記信号用内部電極と導通する一対の信号用外部電極が配設され、前記第１の側面と前記第２の側面には、前記接地用内部電極に導通する接地用外部電極が配設された３端子型積層セラミックコンデンサであり、
前記未焼成内部電極の前記厚みの厚い領域を前記個々の未焼成の積層セラミック素子の切断端面に露出させた部分が、前記信号用内部電極の前記第１の端面および前記第２の端面への引き出し部となるようにすること
が好ましい。
【００２３】
上記構成を備えることにより、通過する直流電流の抵抗を低く抑えることができるような信号用内部電極を備えた、３端子型積層セラミックコンデンサを効率よく製造することができるようになる。
【発明の効果】
【００２４】
本発明のグラビア印刷版は、円筒状のグラビアロールの外周面に、印刷すべき図形に対応する複数のセルが形成されたグラビア印刷版であって、グラビアロールの外周面の、軸線方向に垂直な周線方向に沿った第１領域と第２領域では、グラビアロールの外周面の全周における、第１領域内に並ぶ全てのセルの周線方向の長さを合計した合計長さが、第２領域内に並ぶ全てのセルの周線方向の長さを合計した合計長さよりも短く、第１領域におけるセルの版深が、第２領域におけるセルの版深より深くなるように構成されているので、積層セラミック電子部品に段差が生じることを抑制、防止することが可能な内部電極を形成し、あるいは、３端子コンデンサにおいて、通過する直流電流の抵抗を低く抑えることができるような信号用内部電極を形成することが可能になる。
【００２５】
また、本発明のグラビア印刷版の製造方法は、グラビアロールの外周面の、セルが形成されている周線方向に沿った第１領域と第２領域のうち、グラビアロールの外周面の全周における、第１領域内に並ぶ全てのセルの周線方向の長さを合計した合計長さが、第２領域内に並ぶ全てのセルの周線方向の長さを合計した合計長さよりも短く、第１領域におけるセルの版深が、第２領域におけるセルの版深より深いグラビア印刷版を製造するにあたって、グラビアロールの外周面に、第１領域に対応する領域と、第２領域とに対応する領域が露出するような態様で、エッチングレジスト膜を形成した後、グラビアロールを水平に保ちつつ、軸線回りに回転させながら、グラビアロールの表面に、軸線方向に均一な供給量となるようにエッチング液を供給して、エッチングを施すことによりセルを形成するとともに、セルを形成する工程において、エッチング液の供給量を、第１領域では、第２領域に比べて、供給されるエッチング液に対するエッチング液消費量が少なく、エッチング能力の劣化が抑制されることにより、第１領域では、第２領域に比べてエッチング深さが深くなるような量としているので、深さの異なる領域を備えたセルを備えたグラビア印刷版を確実に形成することができる。
【００２６】
また、本発明の積層セラミック電子部品の製造方法は、
複数の内部電極がセラミック層と交互に積層された構造を有する積層セラミック素子の、内部電極が引き出された面に、内部電極と導通するように外部電極を配設してなる積層セラミック電子部品の製造方法であって、上記本発明にかかるグラビア印刷版の、セルに導電性ペーストを充填する工程と、セルに充填された導電性ペーストをセラミックグリーンシートに印刷して、セルの版深の深い第１領域に対応する、厚みの厚い領域と、セルの第２領域に対応する、厚みの薄い領域とを備えた未焼成内部電極を形成する工程と、セラミックグリーンシートを複数枚積層することによりマザーブロックを形成する工程と、未焼成内部電極の厚みの厚い領域が切断端面に露出するような態様で、マザーブロックをカットして、個々の未焼成の積層セラミック素子に分割する工程とを備えているので、引き出し部における内部電極の厚みが厚く、外部電極との接続信頼性に優れた積層セラミック電子部品や、通過する直流電流の抵抗を低く抑えることができるような信号用内部電極を備えた３端子型積層セラミックコンデンサなどの積層セラミック電子部品などを効率よく製造することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明の一実施形態（実施形態１）にかかる方法で製造された積層セラミック電子部品（３端子型積層セラミックコンデンサ）の構成を示す断面図である。
【図２】本発明の実施形態１にかかる積層セラミック電子部品（３端子型積層セラミックコンデンサ）の構成を示す図であり、（ａ）は外部電極を形成する前の状態の３端子型積層セラミックコンデンサを示す斜視図、（ｂ）は外部電極を形成した後の３端子型積層セラミックコンデンサの外観構成を示す斜視図である。
【図３】（ａ）は本発明の実施形態１にかかる積層セラミック電子部品（３端子型積層セラミックコンデンサ）を構成する信号用内部電極を示す図、（ｂ）は接地用内部電極を示す図である。
【図４】本発明の実施形態１にかかるグラビア印刷版の製造方法の一工程で、グラビアロールの外周面に、所定のパターンを有するエッチングレジスト膜を形成した状態を示す図である。
【図５】本発明の実施形態１にかかるグラビア印刷版の製造方法の一工程で、グラビアロールにエッチングを施している状態を示す図である。
【図６】本発明の実施形態１にかかるグラビア印刷版の製造方法の一工程で、グラビアロールにエッチングを施すことにより形成したグラビア印刷版の構成を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線断面図である。
【図７】本発明の実施形態１にかかるグラビア印刷版を用いてセラミックグリーンシート上に形成した内部電極を示す図であって、（ａ）は平面図、（ｂ）は、（ａ）のＡ−Ａ線断面図である。
【図８】本発明の実施形態１の変形例にかかるグラビア印刷版の構成を示す図である。
【図９】本発明の他の実施形態（実施形態２）にかかる方法で製造された積層セラミック電子部品（２端子型積層セラミックコンデンサ）の構成を示す断面図である。
【図１０】本発明の実施形態２にかかるグラビア印刷版の製造方法を説明するための図である。
【図１１】本発明の実施形態２の変形例にかかるグラビア印刷版の製造方法を説明するための図である。
【図１２】本発明の実施形態２の他の変形例にかかるグラビア印刷版の製造方法を説明するための図である。
【図１３】本発明の実施形態２のさらに他の変形例にかかるグラビア印刷版の製造方法を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下に本発明の実施形態を示して、本発明の特徴とするところをさらに詳しく説明する。
【００２９】
［実施形態１］
この実施形態１では、図１に正面断面図、図２（ａ），（ｂ）に外観構成、図３（ａ）に信号用内部電極、図３（ｂ）に接地用内部電極示すような３端子型積層セラミックコンデンサを製造する場合を例にとって説明する。
【００３０】
＜積層セラミック電子部品の構成＞
図１，図２（ａ），（ｂ），図３（ａ），（ｂ）に示すように、３端子型積層セラミックコンデンサは、信号用内部電極１と、接地用内部電極２とが、誘電体層であるセラミック層３を介して交互に積層された直方体形状を有する積層セラミック素子１０を備えている。
【００３１】
積層セラミック素子１０は、直方体形状を有し、互いに対向する第１の端面１１および第２の端面１２と、第１および第２の端面１１，１２を連結する４つの側面、すなわち、信号用内部電極１、接地用内部電極２の積層方向に平行で、互いに対向する第１の側面２１および第２の側面２２（図２（ａ））ならびに、信号用内部電極１、接地用内部電極２の積層方向に直交し、互いに対向する第３の側面２３および第４の側面２４とを有している。
【００３２】
そして、信号用内部電極１は帯状で、積層セラミック素子１０の第１の端面１１から、それと対向する第２の端面１２に至るように形成されている。この信号用内部電極１の第１の端面１１および第２の端面１２に引き出されている引き出し部１ａは、他の領域（引き出し部１ａに挟まれた中央領域）１ｂよりも厚みが厚くなるように構成されている。
【００３３】
また、接地用内部電極２は略十字形状を有し、互いに対向する第１の側面２１および第２の側面２２に引き出されている。
【００３４】
そして、積層セラミック素子１０の第１端面１１と第２端面１２には、信号用内部電極１と導通する一対の信号用外部電極３１が配設され、積層セラミック素子１０の第１の側面２１と第２の側面２２には、接地用内部電極２と導通する接地用外部電極３２が配設されている。
【００３５】
＜グラビア印刷版の作製＞
次に、グラビア印刷版の製造方法について説明する。
（１）グラビアロールの用意
まず、印刷すべき図形パターンに対応する複数のセルが形成されていない円筒状のグラビアロール、すなわち、印刷すべき図形パターンに対応する複数のセルを形成すべきグラビアロール５０（図４参照）を用意する。
【００３６】
（２）エッチングレジスト膜の形成
それから、このグラビアロール５０の外周面５０ａに、レジストを印刷し、フォトリソグラフィーにより、露光、現像を行って、図４に示すように、印刷すべき図形パターンに対応する複数のセル５１（５１ａ，５１ｂ）（図６参照）を形成すべき領域（エッチングすべき領域）５１が露出し、他の領域５２が被覆されるようなパターンを有するエッチングレジスト膜５３を形成する。
【００３７】
この実施形態１においては、グラビアロール５０の外周面５０ａの、グラビアロール５０の回転軸に平行な方向、すなわち軸線方向（図４にＸで示す方向）に平行な方向に延びるように形成された帯状一連なりの内部電極（信号用内部電極１となる内部電極）を形成すべき領域５１（５１ａ）と、軸線方向に平行な方向に所定の間隔Ｇをおいて複数形成された略十字形状の内部電極（接地用内部電極２となる内部電極）を形成すべき領域５１（５１ｂ）とが、エッチングレジスト膜５３により被覆されずに露出するように構成されている。
【００３８】
また、上述の帯状一連なりの領域５１（５１ａ）と、略十字形状の領域５１（５１ｂ）は、グラビアロール５０の外周面５０ａの周方向（周線方向）（図４にＹで示す方向）に沿って、繰り返して複数形成されている。
【００３９】
（３）グラビアロールのエッチング
それから、外周面５０ａにエッチングレジスト５３が形成されたグラビアロール５０を、図５に示すように、エッチング槽６０に配設し、軸線方向が水平になるような姿勢に保ちつつ、軸線回りに回転させながら、エッチング液供給ノズル６１から、グラビアロール５０の外周面５０ａに、エッチング液６２を供給し、エッチングレジスト膜５３により覆われていない領域５１（５１ａ，５１ｂ）（図４参照）にエッチングを施す。
【００４０】
なお、エッチング槽６０に溜まったエッチング液６２はポンプ６３により循環供給されるように構成されている。また、特に図示しないが、エッチング液６２は循環する過程で、その一部が所定の割合で系外に排出される一方、新規のエッチング液が所定の割合で供給され、循環されるエッチング液６２のエッチング能力が一定に保持されるように構成されている。
【００４１】
そして、このエッチング工程においては、エッチング液供給ノズル６１からグラビアロール５０の外周面５０ａに供給されるエッチング液６２の供給量を、図６に示すように、グラビアロール５０の外周面５０ａの、周線方向についてみたときに、グラビアロール５０の全周における、エッチングレジスト膜５３により覆われていない領域（露出領域）の少ないところ（すなわち、第１領域Ｒ１）では、その他の領域（第２領域Ｒ２）に比べて、エッチングすべき面積が小さくて、供給されるエッチング液に対するエッチング液消費量が少なく、エッチング能力の劣化が抑制されることにより、セルの深さ（版深）が、第１領域Ｒ１に位置する部分では、第２領域Ｒ２に位置する部分に比べて深くなるような量としている。
【００４２】
エッチング液６２の供給量を上述のような量とすることにより、第１領域Ｒ１では、周線方向についてみた場合に、エッチングレジスト膜５３により覆われていない、エッチングすべき領域が少なく、消費されるエッチング液の割合が、第２領域Ｒ２（エッチングレジスト膜５３により覆われている、エッチングすべき領域の多い領域）に比べて低くなるため、第１領域Ｒ１では、エッチング深さを深くすることが可能になる。
【００４３】
すなわち、エッチング液供給ノズル６１からグラビアロール５０の外周面５０ａに供給されるエッチング液６２の供給量が、十分に多い場合には、エッチングレジスト膜５３により覆われていない領域５１のどの位置においてもセルの深さ（版深）はほぼ同じになるが、エッチング液６２の供給量を上述のように調整することにより、周線方向についてみたときに、互いに隣り合う２つのセル５１ａと５１ｂのそれぞれが、互いに対向していない領域（すなわち、グラビアロールの全周における、エッチングレジスト膜５３により覆われていない領域（露出領域）の少ない第１領域）Ｒ１（図６参照）では、互いに対向している領域（すなわち、グラビアロールの全周における、エッチングレジスト膜５３により覆われていない領域（露出領域）の多い第２領域）Ｒ２よりも版深が深くなるように構成されたグラビア印刷版Ａ１を得ることができる。
【００４４】
なお、この実施例では、上述のようにエッチング液の供給量を調整することにより、セル５１の上記第２領域Ｒ２に位置している部分のエッチングの深さ（版深）が２２μｍとなる場合に、上記第１領域Ｒ１に位置している部分（セル５１ａの一部）では、エッチングの深さ（版深）を２４μｍにすることが可能になる。
【００４５】
＜３端子型積層セラミックコンデンサの製造＞
（１）グラビア印刷版のセルへの導電性ペーストの充填
上述のようにして作製したグラビア印刷版Ａ１のセル５１（５１ａ，５１ｂ）、すなわち、第１領域Ｒ１に位置する部分（セル５１ａの一部）では、第２領域Ｒ２に位置する部分（セル５１ａの他の部分およびセル５１ｂ）よりも深さ（版深）が深くなるように構成されたセル５１（５１ａ，５１ｂ）に導電性ペーストを充填する。
【００４６】
（２）グリーンシートへの導電性ペーストの印刷
次いで、セル５１（５１ａ，５１ｂ）に充填された導電性ペーストを、図７に示すように、セラミックグリーンシート７１に印刷して、厚みの厚い領域Ｒ１１と、厚みの薄い領域Ｒ１２とを備えた未焼成で未分割の信号用内部電極（信号用内部電極）１０１を形成するとともに、全体が厚みの薄い領域Ｒ１２となる未焼成の接地用内部電極（接地用内部電極）１０２を形成する。なお、信号用内部電極１０１における、セルの深さ（版深）の浅い方の領域Ｒ２（図６参照）に対応する、厚みの薄い領域Ｒ１２とは、接地用内部電極１０２の厚みとは同じ厚みとなる。
導電性ペーストを印刷したセラミックグリーンシート７１は積層数に応じて所定枚数作製する。
【００４７】
（３）マザーブロックの形成
それから、上述のようにして、導電性ペーストを印刷したセラミックグリーンシート７１を所定枚数、未焼成の信号用内部電極１０１と、未焼成の接地用内部電極１０２とがセラミックグリーンシート７１を介して重なるように積層し、圧着することによりマザーブロックを形成する。
【００４８】
（４）マザーブロックの分割
次に、信号用内部電極１０１の領域Ｒ１１と領域Ｒ１２のうち、厚みの厚い方の領域Ｒ１１が、切断端面（積層セラミック素子の第１の端面および第２の端面となる端面）に露出するとともに、セラミック層を介して対向する略十字形状の接地用内部電極１０２の一対の端部が、側面（積層セラミック素子の第１の側面および第２の側面となる側面）に露出するような態様（図２、図３参照）で、マザーブロックをカットして、個々の未焼成の積層セラミック素子に分割する。
【００４９】
（５）焼成および外部電極の形成
その後、未焼成の個々の積層セラミック素子を焼成することにより、焼成済みの積層セラミック素子１０を得る（図１参照）。
次いで、図１に示すように、焼成済みの積層セラミック素子１０の第１および第２の端面１１，１２に、信号用内部電極１と導通する一対の信号用外部電極３１を形成するとともに、積層セラミック素子１０の第１の側面２１と第２の側面２２に、接地用内部電極１と導通する接地用外部電極３２を形成することにより、３端子型積層セラミックコンデンサＢ１を得る。
【００５０】
なお、信号用外部電極３１および接地用外部電極３２は、例えば、導電性ペーストを塗布して焼き付ける方法などの、公知の種々の方法で形成することが可能であり、その形成方法に特別の制約はない。
【００５１】
上述のようにして製造される３端子型積層セラミックコンデンサＢ１においては、信号用内部電極１の両端側の引き出し部１ａの厚みが他の領域（中央領域）１ｂよりも厚くなっていることから、段差がなく、かつ信号用内部電極と信号用外部電極の接続信頼性に優れ、しかも、通過する直流電流の抵抗を低く抑えることが可能な信号用内部電極１を備えた特性の良好な３端子型積層セラミックコンデンサを得ることができる。
【００５２】
＜変形例＞
図８は、変形例にかかるグラビア印刷版Ａ２の構成を示す図である。
このグラビア印刷版Ａ２は、図８に示すように、信号用内部電極用の内部電極を形成するための複数のセル５１（５１ａ）と、接地用内部電極用の内部電極を形成するための複数のセル５１（５１ｂ）とを、それぞれちどり状に配設することにより形成されている。
【００５３】
この変形例のように、信号用内部電極用の内部電極を形成するための複数のセル５１（５１ａ）と、接地用内部電極用の内部電極を形成するための複数のセル５１（５１ｂ）とが、それぞれちどり状に配設された構造とした場合にも、グラビアロールの周線方向Ｙについてみたときに、互いに隣り合う２つのセルのそれぞれが、互いに対向していない領域（第１領域）Ｒ１と、互いに対向している領域（第２領域）Ｒ２とを備えているので、上述の実施形態１で説明した方法に準じる方法により、第１領域Ｒ１に位置する部分では、互いに対向している第２領域Ｒ２に位置する部分よりも深さ（版深）が深いセルを備えたグラビア印刷版Ａ２を得ることができる。
そして、このグラビア印刷版Ａ２を用いた場合にも、上記実施形態１で説明したような効果を奏する積層セラミック電子部品を効率よく製造することができる。
【００５４】
［実施形態２］
図９は、本発明の他の実施形態（実施形態２）にかかる方法で製造された２端子型積層セラミックコンデンサの構成を示す図である。
この２端子型積層セラミックコンデンサＢ２は、図９に示すように、直方体形状を有し、互いに対向する第１の端面１１および第２の端面１２と、第１および第２の端面１１，１２を連結する、４つの側面を有する積層セラミック素子１０を備えている。
【００５５】
そして、積層セラミック素子１０は、その第１の端面１１に端部が引き出された第１内部電極２０１と、第２の端面１２に端部が引き出された第２内部電極２０２とが、誘電体層であるセラミック層３を介して交互に積層され、積層セラミック素子１０の第１の端面１１には、第１内部電極２０１と導通する第１外部電極１３１、第２の端面１２には、第２内部電極２０２と導通する第２外部電極１３２が配設された構造を有している。
【００５６】
そして、第１および第２内部電極２０１，２０２の引き出し部２０１ａ，２０２ａは、第１および第２内部電極２０１，２０２の他の部分２０１ｂ，２０２ｂよりも厚みが厚くなるように構成されている。
【００５７】
この２端子型積層セラミックコンデンサＢ２を製造するにあたっては、グラビア印刷版として、例えば、図１０に示すようなグラビア印刷版Ａ３を用いる。
【００５８】
このグラビア印刷版Ａ３は、図１０に示すように、第１内部電極２０１（図９参照）となる内部電極に対応する複数のセル３０１と、複数の第２内部電極２０２（図９参照）となる内部電極に対応する複数のセル３０２が、周線方向（図１０にＹで示す方向）に、交互に一行ずつ配設されており、周線方向に互いに隣り合うセル３０１，３０２は、それぞれ軸線方向（図１０にＸで示す方向）にわずかに位置をずらした状態で配設されている。
【００５９】
このグラビア印刷版Ａ３は、上述の実施形態１のグラビア印刷版Ａ１と同様の方法で作製されており、周線方向についてみたときに、互いに隣り合う２つのセル３０１，３０２のそれぞれが互いに対向していない領域（第１領域）Ｒ１においては、それぞれが互いに対向している領域（第２領域）Ｒ２よりも版深が深くなるように構成されている。
【００６０】
したがって、このグラビア印刷版Ａ３を用いて、セラミックグリーンシートに導電性ペーストを印刷することにより、図９に示すような、第１および第２内部電極２０１，２０２の引き出し部２０１ａ，２０２ａとなる領域では、第１および第２内部電極２０１，２０２の他の部分２０１ｂ，２０２ｂ（図９参照）となる領域よりも厚みが厚い内部電極を形成することが可能になる。
【００６１】
それから、上述のようにして、導電性ペーストを印刷したセラミックグリーンシートを所定枚数積層し、圧着することによりマザーブロックを形成する。
【００６２】
次に、第１、第２内部電極の厚みの厚い領域が切断端面に露出するような態様で、マザーブロックをカットして、個々の未焼成の積層セラミック素子に分割する。
【００６３】
その後、未焼成の個々の積層セラミック素子を焼成する。そして、焼成済みの積層セラミック素子１０の第１の端面１１に第１内部電極２０１と導通する第１外部電極１３１を形成し、第２の端面１２に第２内部電極２０２と導通する第２外部電極１３２を形成することにより、図９に示すような２端子型積層セラミックコンデンサＢ２が得られる。
【００６４】
上述のようにして製造される２端子型積層セラミックコンデンサＢ２においては、第１および第２内部電極２０１，２０２の引き出し部２０１ａ，２０２ａの厚みが他の領域２０１ｂ，２０２ｂよりも厚くなっていることから、積層セラミック素子１０に大きな段差が形成されることを防止することが可能になるとともに、第１および第２内部電極２０１，２０２と第１および第２外部電極１３１，１３２との接続信頼性を向上させることができる。
【００６５】
したがって、本発明によれば、特性の良好な２端子型積層セラミックコンデンサを効率よく製造することが可能になる。
【００６６】
＜変形例＞
図１１は、本発明の実施形態にかかるグラビア印刷版の他の例を示す図である。このグラビア印刷版Ａ４は、図１１に示すように、グラビアロール５０の外周面５０ａの、周線方向（図１１にＹで示す方向）および軸線方向（図１１にＸで示す方向）に配設された複数のセル３００を備えている。
【００６７】
そして、各セル３００の上辺および下辺の中央にＶ字状のノッチ３１０が形成されており、ノッチ３１０により規定される領域（一対のノッチ３１０により挟まれた領域）Ｒ３が存在する領域が、グラビアロール５０の全周に対するセル３００が形成されている領域の合計長さが、セル３００が形成されている他の領域（第２領域）より短い領域（第１領域）となる。そして、セル３００のうち、この一対のノッチ３１０により挟まれた領域（第１領域）Ｒ３が、版深が深い領域となる。
【００６８】
そして、このグラビア印刷版Ａ４を用いて導電性ペーストを印刷することにより形成される内部電極においても、ノッチ３１０により規定される領域Ｒ３に対応する領域においてはその厚みが、内部電極の他の領域の厚みよりも厚くなる。
【００６９】
したがって、このグラビア印刷版Ａ４を用いて、導電性ペーストを印刷したグリーンシートを積層してマザーブロックを形成した後、マザーブロックを、上記セルに対応する形状を有する内部電極のＶ字形状の一対のノッチの尖端を結ぶ線を通る位置でカットして（個々の内部電極が、厚みの厚い上記領域の中央で分割されるようにする）、内部電極を二等分するとともに、切断端面に内部電極の上記厚みの厚い領域を露出させるようにすることにより、上記実施形態２の場合と同様の作用効果を奏する２端子型積層セラミックコンデンサを得ることができる。
【００７０】
なお、この変形例において、ノッチ３１０の形状は、Ｖ字形状に限られるものではなく、図１２に示すグラビア印刷版Ａ５のように、ノッチ３１０をコ字状とすることも可能であり、さらに他の形状とすることも可能である。
【００７１】
また、本発明においては、セルが形成されている領域のうちの所定の領域（第１領域）の合計長さを、他の領域よりも短くすることが必要であるが、例えば、図１３に示すグラビア印刷版Ａ６のように、図１２のコ字状のノッチ３１０を設ける一方で、第２領域にダミーのセル３１１を配置することにより、第２領域の全周に対するセルが形成されている領域の割合を大きくすることも可能である。
【００７２】
また、ノッチは設けずに、第２領域にダミーのセルを配置するだけでも、第１領域の「合計長さ」が第２領域よりも短くなるようにすることが可能である。
【００７３】
なお、本発明は、上記実施形態や変形例に限定されるものではなく、セルの具体的な形状、第１領域と第２領域におけるセルの版深の絶対値や比率、第１領域の「合計長さ」を第２領域よりも短くするための手法などに関し、発明の範囲内において、種々の応用、変形を加えることが可能である。
【符号の説明】
【００７４】
１          信号用内部電極
１ａ        信号用内部電極の引き出し部
１ｂ        信号用内部電極の引き出し部以外の部分
２          接地用内部電極
３          セラミック層
１０        積層セラミック素子
１１        積層セラミック素子の第１の端面
１２        積層セラミック素子の第２の端面
２１        積層セラミック素子の第１の側面
２２        積層セラミック素子の第２の側面
２３        積層セラミック素子の第３の側面
２４        積層セラミック素子の第４の側面
３１        一対の信号用外部電極
３２        接地用外部電極
５０        グラビアロール
５０ａ      グラビアロールの外周面
５１        セル（を形成すべき領域）
５１ａ      信号用内部電極となる内部電極に対応するセル  を形成すべき領域
５１ｂ      接地用内部電極となる内部電極に対応するセル  を形成すべき領域（略十字形状の領域）
５２        グラビアロールの他の領域（セルを形成しない領域）
５３        エッチングレジスト膜
６０        エッチング槽
６１        エッチング液供給ノズル
６２        エッチング液
６３        ポンプ
７１        セラミックグリーンシート
１０１      未焼成で未分割の信号用内部電極（信号用内部電極）
１０２      未焼成の接地用内部電極（接地用内部電極）
１３１      第１外部電極
１３２      第２外部電極
２０１      第１内部電極
２０１ａ    第１内部電極の引き出し部
２０１ｂ    第１内部電極の引き出し部以外の部分
２０２      第２内部電極
２０２ａ    第２内部電極の引き出し部
２０２ｂ    第２内部電極の引き出し部以外の部分
３００      セル
３０１，３０２    周線方向に互いに隣り合うセル
３１０      ノッチ
３１１      ダミーのセル
Ｒ１        セルのそれぞれが互いに対向していない領域
Ｒ２        セルのそれぞれが互いに対向している領域
Ｒ３        セルのノッチにより挟まれた領域
Ｒ１１      信号用内部電極（信号用内部電極）の厚みの厚い領域
Ｒ１２      信号用内部電極（信号用内部電極）の厚みの薄い領域
Ａ１，Ａ２，Ａ３，Ａ４，Ａ５，Ａ６          グラビア印刷版
Ｂ１        積層セラミック電子部品（３端子型積層セラミックコンデンサ）
Ｂ２        積層セラミック電子部品（２端子型積層セラミックコンデンサ）
Ｇ          接地用内部電極２となる内部電極の間隔（隙間）
Ｘ          軸線方向
Ｙ          周線方向
【図１】
2014204081.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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