(57)【要約】      （修正有）【課題】粘着力が大きいフィルムを用いる場合でも、剥離用粘着テープの強化やフィルム把持機構及び把持フィルム搬送機構の強化を行うことなく、フィルムを剥離できるように、フィルムを剥離するに当たって、フィルムの粘着力を低下させるようにするためのフィルム剥離装置を提供すること。【解決手段】フィルムが貼付されている基板２の温度を下げる冷却機構４を備え、フィルムの剥離機構として、基板２からフィルムの端部を剥離する初期剥離機構と、初期剥離機構により捲り上げられたフィルムの部分をフィルム把持機構で把持して搬送する把持フィルム搬送機構と、この把持フィルム搬送機構により把持、搬送されてきたフィルムを回収するフィルム回収容器３とを備える。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
フィルム剥離装置によって基板に貼付されたフィルムを剥離するフィルム剥離方法において、冷却機構によって、前記フィルムが貼付されている基板の温度を下げた後、フィルム剥離機構によって、前記基板からフィルムを剥離することを特徴とするフィルム剥離方法。
【請求項２】
基板を搬送する基板搬送手段と、該基板搬送手段により搬送されてきた基板に貼付されたフィルムを剥離する剥離機構とを備えたフィルム剥離装置において、前記フィルムが貼付されている基板の温度を下げる冷却機構を備え、前記剥離機構として、基板からフィルムの端部を剥離する初期剥離機構と、該初期剥離機構により捲り上げられたフィルムの部分をフィルム把持機構で把持して搬送する把持フィルム搬送機構と、該把持フィルム搬送機構により把持、搬送されてきたフィルムを回収するフィルム回収容器とを備えたことを特徴とするフィルム剥離装置。
【請求項３】
前記冷却機構を、初期剥離機構の前段階に設置したことを特徴とする請求項２記載のフィルム剥離装置。
【請求項４】
前記冷却機構が、冷風吹き出し装置、空調冷却機構又は冷水循環装置と冷温発生装置のいずれか、又はこれらの組み合わせからなることを特徴とする請求項２又は３記載のフィルム剥離装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板に貼り付けられたフィルムを剥離するためのフィルム剥離方法及びそのためのフィルム剥離装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、基板に貼り付けられたフィルムを剥離するための手段として、特許文献１に記載されているように、基板からフィルムの端部を部分的に分離するため剥離用粘着テープを押し付けた状態で搬送路上を下流側に移動させて捲り上げ、その部分をフィルム把持機構で把持して搬送する把持フィルム搬送機構と、基板を挟む圧接ローラとを用い、基板を搬送方向へ移動させながら剥離する方法や、特許文献２に記載されているように、基板の前部をクランプ部で把持し、剥離用粘着テープを押し付けた状態で搬送路上を下流側に移動させてフィルムを捲り上げ、その部分をフィルム把持機構で把持して搬送する把持フィルム搬送機構を用い、基板を搬送方向へ移動させながら剥離する方法がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第４７７９１３２号公報
【特許文献２】特許第４２３１０１８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、特許文献１及び２の方法では、基板に貼り付けられたフィルムを基板から分離する際に、フィルムを剥離用粘着テープを用いて剥離するようにしているが、この方式では、剥離の可否はテープの粘着力に依存しており、フィルムの粘着力が勝っていると剥離できないこととなる。
近年、粘着力が大きいフィルム、例えば、ＡＢＦ（Ａｊｉｎｏｍｏｔｏ  Ｂｕｉｌｄ−Ｕｐ  Ｆｉｌｍ）が提案されているが、フィルムの粘着力が大きい場合には、フィルムの粘着力に優るように、剥離用粘着テープの強化並びにフィルム把持機構及び把持フィルム搬送機構の強化が必要となるが、剥離用粘着テープの強化には限度があり、また、フィルム把持機構及び把持フィルム搬送機構の強化には、機構の複雑化や大型化を伴うという問題があり、これらの問題から、この種のフィルムの剥離は、機械を用いた自動的な剥離が困難で、作業者が人手で剥離作業を行う必要があった。
【０００５】
本発明は、上記の問題点に鑑み、粘着力が大きいフィルムを用いる場合でも、剥離用粘着テープの強化やフィルム把持機構及び把持フィルム搬送機構の強化を行うことなく、フィルムを剥離できるように、フィルムを剥離するに当たって、フィルムの粘着力を低下させるようにするためのフィルム剥離方法及びそのためのフィルム剥離装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するため、本発明のフィルム剥離方法は、フィルム剥離装置によって基板に貼付されたフィルムを剥離するフィルム剥離方法において、冷却機構によって、前記フィルムが貼付されている基板の温度を下げた後、フィルム剥離機構によって、前記基板からフィルムを剥離することを特徴とする。
【０００７】
また、本発明のフィルム剥離方法を実施する本発明のフィルム剥離装置は、基板を搬送する基板搬送手段と、該基板搬送手段により搬送されてきた基板に貼付されたフィルムを剥離する剥離機構とを備えたフィルム剥離装置において、前記フィルムが貼付されている基板の温度を下げる冷却機構を備え、前記剥離機構として、基板からフィルムの端部を剥離する初期剥離機構と、該初期剥離機構により捲り上げられたフィルムの部分をフィルム把持機構で把持して搬送する把持フィルム搬送機構と、該把持フィルム搬送機構により把持、搬送されてきたフィルムを回収するフィルム回収容器とを備えたことを特徴とする。
【０００８】
この場合において、前記冷却機構を、初期剥離機構の前段階に設置することができる。
【０００９】
また、前記冷却機構を、冷風吹き出し装置、空調冷却機構又は冷水循環装置と冷温発生装置のいずれか、又はこれらの組み合わせからなるようにすることができる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明のフィルム剥離方法及びそのためのフィルム剥離装置によれば、例えば、ＡＢＦのような、粘着力が大きいフィルムであっても、冷却機構により、フィルムが貼付されている基板の温度を下げることで、フィルムの粘着力を弱めることができ、従来、機械を用いた自動的な剥離が困難であったフィルムに対しても、機械を用いた自動的な剥離が可能となる。
【００１１】
また、基板からフィルムの端部を部分的に剥離するために、強粘着のフィルムでは初期剥離機構を強化する必要があったが、冷却機構を用いることにより、強化した初期剥離機構を使用しなくてもフィルムの剥離ができる。
また、剥離中においても、フィルムの粘着力が大きい場合はその力に耐え得るフィルム把持機構及び把持フィルム搬送機構が必要となるが、冷却機構を用いることにより、強化したフィルム把持機構及び把持フィルム搬送機構を使用しなくてもフィルムの剥離ができる。
【００１２】
また、冷却機構には、冷風吹き出し装置、空調冷却機構又は冷水循環装置と冷温発生装置のいずれか、又はこれらの組み合わせて用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】フィルム剥離装置の概略構造を示す平面図である。
【図２】本発明のフィルム剥離装置の一実施形態の概略構造を示す正面図である。
【図３】図２の実施形態における、冷却機構及びフィルム把持機構の構造を示す部分斜視図である。
【図４】図２の実施形態における、冷却機構の一実施形態を示す部分斜視図である。
【図５】図２の実施形態における、冷却機構の一実施形態を示す部分斜視図である。
【図６】図２の一実施形態概略構造を示す正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明のフィルム剥離方法及びそのためのフィルム剥離装置の一実施形態を、図１〜図３により説明する。
【００１５】
以下の実施形態の説明において、後述する基板２より上側に位置するものについて引用符号末尾に添字Ａ、また、基板２より下側に位置するものについては添字Ｂを付加し、総称する場合は添字を省略するものとする。例えば、基板２より上側に位置するフィルム把持機構を５２Ａ、下側に位置するフィルム把持機構を５２Ｂ、フィルム把持機構を総称して呼ぶ場合は５２と記す。
【００１６】
図１に示すように、フィルム剥離装置１００は、基板搬送ローラ１と、基板の冷却機構４と、粘着力で後述のフィルム２ｂの端部を剥離する初期剥離機構３０と、初期剥離機構３０で基板から剥離されたフィルム２ｂの端部を把持するフィルム把持機構５０と、フィルム把持機構５０を駆動する把持フィルム搬送機構５５と、フィルム回収容器３等から構成されている。
【００１７】
この場合、基板搬送ローラ１は、基板２を搬送するため水平に複数個並べられ、基板２の搬送路を形成している。これにより、基板２は、図２に矢印Ａで示すように、フィルム剥離装置１００の左側（搬入口）から右側（搬出口）に向かって搬送される。
【００１８】
基板２の上面及び下面には、図３に示すように、レジスト膜２ａが接着されており、さらに、レジスト膜２ａにはフィルム２ｂが積層して貼付されている。
レジスト膜２ａは、熱処理により基板２の表面に接着され、フィルム２ｂはレジスト膜２ａ自体が持つ粘着性でレジスト膜２ａに貼付されている。
フィルム２ｂは、基板２が基板製造工程で処理される際にその表面に接着されたレジスト膜２ａを保護するためのものである。
【００１９】
先に説明したように、複数の基板搬送ローラ１よりなる基板２の搬送路の途中には、初期剥離機構３０、フィルム把持機構５０及び冷却機構４が設けられている。
【００２０】
フィルム２ｂの初期剥離機構３０は、図１〜図２に示すように、フィルム２ｂの幅方向の先端近くの中央部に配置し上下の分を含めて合計２箇所設けられている。
【００２１】
フィルム把持機構５０は、図１〜図２に示すように、初期剥離機構３０の近くに上下の分を含めて合計２箇所設けられている。
このフィルム把持機構５０は、フィルム２ｂの端部を把持するフィルム把持具５２と、このフィルム把持具５２を伸張させるためのシリンダ５４と、このシリンダ５４を左右に取り付けた支持部材５６と、支持部材５６を伸張させるシリンダ５３とから構成されている。
【００２２】
把持フィルム搬送機構５５は、フィルム２ｂの端部をフィルム把持具５２で把持したフィルム把持機構５０を、シリンダ５３を介して搬送するようにされている。
【００２３】
フィルム把持機構５０により把持されて把持フィルム搬送機構５５により搬送されたフィルム２ｂは、フィルム剥離装置１００の入口側に設けてあるフィルム回収容器３に送り込まれる。
【００２４】
次に、上記のように構成されたフィルム剥離装置１００の動作を以下説明する。
基板２は、図２の矢印Ａ方向にフィルム剥離装置１００の投入口から基板搬送ローラ１によりフィルム剥離装置１００の出口に向かって搬送路上を搬送される。
基板２が基板搬送ローラ１により搬送路上を搬送され、初期剥離機構３０の所定位置に到達する過程で冷却機構４を通過することにより基板２が冷却される。
冷却された基板２が搬送路上を搬送され、初期剥離機構３０の所定位置に到達すると、図示していない光学式センサにより検知される。
基板２が停止すると、基板２のフィルム２ｂの前端の基板端部付近にシリンダ３１Ａ、３１Ｂの作動により剥離用粘着テープを板状押し付け具３２Ａ、３２Ｂで基板２に押し付ける。
その後、剥離用粘着テープの板状押し付け具３２Ａ、３２Ｂを元の位置に戻すことにより、基板２よりフィルム２ｂの端部を初期剥離し、剥離されたフィルム２ｂの端部をフィルム把持具５２により把持する。
フィルム２ｂがフィルム把持具５２によって把持された状態で、把持フィルム搬送機構５５により、基板２からフィルム２ｂを剥離しつつ、基板搬送Ａ方向に搬送する。
把持フィルム搬送機構５５で剥離、搬送されたフィルム２ｂは、基板搬送Ａ方向とは逆方向、すなわち、フィルム剥離装置１００の基板搬入口側に搬送され、フィルム回収容器３に回収される。
フィルム２ｂが剥離された基板２は、基板搬送ローラ１でフィルム剥離装置１００の後段に設けた洗浄処理工程等を行う装置に搬送される。
【００２５】
以上説明したように、本実施形態では、基板２に貼付されたレジスト膜２ａ上に貼付されているフィルム２ｂを剥離する場合に、初期剥離前工程で基板２を冷却する冷却機構４を使用することにより、基板２に貼り付けたレジスト膜２ａとフィルム２ｂの粘着力が低下し、フィルム２ｂの剥離時に要する剥離力を低減することができる。
【００２６】
ここで、冷却機構４及びフィルム把持機構５０のより具体的な一実施形態を、図４〜図５に概略斜視図で示す。
また、剥離部全体構造の他の実施形態を図６に示す。本図において図１〜図３に示す実施形態と同符号は同一機能部材を示し、その説明を省略する。
図４において図３との相違点は、冷却機構４が基板２の全幅から小型のものを複数個配置したものである。このように小型のものを複数個配置することで、冷却機構４の設置空間の自由度を高め、他の構成部材との接触等の懸念を低減することができる。
図５は、図３〜図４では冷却機構内の低温伝達を空気で行っていたが、その媒体を液体にして循環使用としたものである。この変更により空気の消費を削減でき費用を抑えることが可能となる。
【００２７】
図６には剥離部全体構造の他の実施形態を示す。
図６において、図２との相違点は以下のとおりである。
図２ではフィルムを剥離する際の基板２が水平状態を示していたが、図６では垂直状態で剥離する機構を設置したものである。
本構成とすることで、基板２の両面を同時に剥離する際のコンベアによる制約を考慮することが不要となる。また、剥離時に発塵し易いフィルム２ｂに対しては垂直に剥離することで剥離時に発生するレジストの発塵に対し、基板２上に残ることを防止することが可能となる。加えて、図２では基板２の冷却を搬送中に行う構造としていたが、図６においては搬送中に行うことに加え、剥離位置への基板２の停止後に基板２の冷却を行うことも可能となる。
【００２８】
本発明は、以上の実施形態に限らず、次のように実施してもよい。
（１）基板２の冷却機構４は、フィルム剥離装置１００に固定配置せず駆動機構を設けるようにしてもよい。
（２）基板２の冷却機構４は、空調装置を用い、フィルム剥離装置１００の内部全体を冷却するようにしてもよい。
（３）剥離用粘着テープの板状押し付け具３２Ａ、３２Ｂに代えて、ローラ状の剥離用粘着テープの押し付け具を用いて粘着テープ又は該ローラの粘着性を用いてフィルム２ｂを剥離するようにしてもよい。
（４）剥離用粘着テープの板状押し付け具３２Ａ、３２Ｂに代えて、板状部材に粘着シートを直接取り付けてフィルム２ｂを剥離するようにしてもよい。
（５）フィルム把持機構５０のフィルム把持具５２は複数個設置せず、１つのフィルム把持機構で構成するようにしてもよい。
（６）フィルム把持機構５０を基板２の反搬送方向に移動させる把持フィルム搬送機構５５の駆動方式には、モータ以外のシリンダ等の駆動機構を用いるようにしてもよい。
（７）把持フィルム搬送機構５５の駆動部は上下で分割せず１つの駆動系で構成するようにしてもよい。
（８）適用する基板２は、ガラス、セラミック、剛性樹脂、半導体、積層板等の各種基板に適用するようにしてもよい。
（９）基板２の上面あるいは下面の片側に貼付されたフィルム２ｂを剥離させる場合に適用するようにしてもよい。
【００２９】
以上、本発明のフィルム剥離方法及びそのためのフィルム剥離装置について、その実施形態に基づいて説明したが、本発明は上記実施形態に記載した構成に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において適宜その構成を変更することができるものである。
【産業上の利用可能性】
【００３０】
以上説明したように、本発明によれば、基板の温度を低下させる冷却機構を設けることにより、粘着力が大きいフィルムの粘着力を低下させることが可能となり、剥離用粘着テープの強化及び把持フィルム搬送機構の強化を行うことなく、粘着力が大きいフィルムを剥離することが可能なフィルム剥離装置を提供することができる。
【符号の説明】
【００３１】
１    基板搬送ローラ
２    基板
２ａ  レジスト膜
２ｂ  フィルム
３    フィルム回収容器
４    冷却機構
３０  初期剥離機構
３１Ａ  シリンダ
３１Ｂ  シリンダ
３２Ａ  板状押し付け具
３２Ｂ  板状押し付け具
５０  フィルム把持機構
５２  フィルム把持具
５３  シリンダ
５４  シリンダ
５５  把持フィルム搬送機構
５６  支持部材
１００  フィルム剥離装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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