(57)【要約】【課題】パネル検査方法及びその装置を提供する。【解決手段】異なる材質の下板と上板とが結合されたパネルの撮影映像を分析して、パネルに実際の欠陥が存在するか否かを判定するパネル検査方法において、（ａ）撮影映像の輝度の分散値が設定値よりも大きければ、発生欠陥の本来の映像と二次反射映像とを求めるステップと、（ｂ）本来の映像の平均輝度と、二次反射映像の平均輝度との差、及び求められた二次反射映像の個数のうち少なくともいずれか一つを使用して、発生欠陥が実際の欠陥であるか浮遊性異物であるかを判定するステップと、を含むパネル検査方法である。【選択図】図３
2014206528.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
異なる材質の下板と上板とが結合されたパネルの撮影映像を分析して、前記パネルに実際の欠陥が存在するか否かを判定するパネル検査方法において、
（ａ）前記撮影映像の輝度の分散値が設定値よりも大きければ、発生欠陥の本来の映像と二次反射映像とを求めるステップと、
（ｂ）前記本来の映像の平均輝度と、前記二次反射映像の平均輝度との差、及び求められた二次反射映像の個数のうち少なくともいずれか一つを使用して、前記発生欠陥が実際の欠陥であるか浮遊性異物であるかを判定するステップと、を含むことを特徴とするパネル検査方法。
【請求項２】
前記ステップ（ａ）で、前記撮影映像の輝度の分散値を求める方法は、
前記撮影映像の全体の領域を、複数の部分領域に区画するステップと、
前記複数の部分領域それぞれに対して、輝度の合算結果値を求めるステップと、
求められた合算結果値の平均値を求めるステップと、
前記平均値に対する前記合算結果値それぞれの偏差を求めるステップと、
求められた偏差の合算結果値を、前記撮影映像の輝度の分散値として設定するステップと、を含むことを特徴とする請求項１に記載のパネル検査方法。
【請求項３】
前記ステップ（ｂ）は、
前記二次反射映像が存在しなければ、前記発生欠陥が実際の欠陥として判定されるステップを含むことを特徴とする請求項１に記載のパネル検査方法。
【請求項４】
前記ステップ（ａ）で、前記発生欠陥の本来の映像と二次反射映像とを求める方法は、
前記撮影映像で、背景領域とそうでない領域とが区分されるように、前記撮影映像それぞれの画素の輝度に対して、しきい値を使用して二進化を行うステップと、
前記背景領域ではない領域で、設定画素個数以上の画素が連続して隣接していれば、当該領域を、前記発生欠陥の本来の映像の領域または二次反射映像の領域として設定するステップと、を含むことを特徴とする請求項１に記載のパネル検査方法。
【請求項５】
前記ステップ（ａ）は、
画面上での垂直位置比較により、前記発生欠陥の本来の映像が設定され、残りの少なくとも一つの欠陥映像が二次反射映像として設定されるステップを含むことを特徴とする請求項４に記載のパネル検査方法。
【請求項６】
前記ステップ（ｂ）は、
複数個の二次反射映像が存在する場合、前記発生欠陥が浮遊性異物として判定されるステップを含むことを特徴とする請求項１に記載のパネル検査方法。
【請求項７】
前記ステップ（ｂ）は、
前記本来の映像の平均輝度と、前記二次反射映像の平均輝度との差が設定値よりも大きければ、前記発生欠陥が浮遊性異物として判定されるステップを含むことを特徴とする請求項１に記載のパネル検査方法。
【請求項８】
前記ステップ（ｂ）は、
二つの二次反射映像が存在する場合、前記本来の映像の平均輝度と、前記二次反射映像の平均輝度との差が設定値よりも大きければ、前記発生欠陥が浮遊性異物として判定されるステップを含むことを特徴とする請求項７に記載のパネル検査方法。
【請求項９】
前記ステップ（ｂ）は、
三つ以上の二次反射映像が存在する場合、前記本来の映像の平均輝度と、前記二次反射映像の代表映像の平均輝度との差が設定値よりも大きければ、前記発生欠陥が浮遊性異物として判定されるステップを含むことを特徴とする請求項７に記載のパネル検査方法。
【請求項１０】
前記ステップ（ｂ）で、前記代表映像は、前記二次反射映像のうち最も大きい映像であることを特徴とする請求項９に記載のパネル検査方法。
【請求項１１】
異なる材質の下板と上板とが結合されたパネルの撮影映像を分析して、前記パネルに実際の欠陥が存在するか否かを判定するパネル検査装置において、
前記パネルの上板上で、前記パネルを撮影して、前記撮影映像を獲得する撮影部と、
前記撮影部からの前記撮影映像を分析して、前記パネルに実際の欠陥が存在するか否かを判定する欠陥判定部と、を備え、
前記欠陥判定部は、
前記撮影映像の輝度の分散値が設定値よりも大きければ、発生欠陥の本来の映像と二次反射映像とを求め、
前記本来の映像の平均輝度と、前記二次反射映像の平均輝度との差、及び求められた二次反射映像の個数のうち少なくともいずれか一つを使用して、前記発生欠陥が実際の欠陥であるか浮遊性異物であるかを判定することを特徴とするパネル検査装置。
【請求項１２】
前記欠陥判定部が前記撮影映像の輝度の分散値を求めるにあたって、
前記撮影映像の全体の領域が、複数の部分領域に区画されている状態で、前記複数の部分領域それぞれに対して、輝度の合算結果値を求め、求められた合算結果値の平均値を求め、前記平均値に対する前記合算結果値それぞれの偏差を求め、求められた偏差の合算結果値を、前記撮影映像の輝度の分散値として設定することを特徴とする請求項１１に記載のパネル検査装置。
【請求項１３】
前記欠陥判定部が、前記発生欠陥が実際の欠陥であるか浮遊性異物であるかを判定するにあたって、
前記二次反射映像が存在しなければ、前記発生欠陥を実際の欠陥として判定することを特徴とする請求項１１に記載のパネル検査装置。
【請求項１４】
前記欠陥判定部が、前記発生欠陥の本来の映像と二次反射映像とを求めるにあたって、
前記撮影映像で、背景領域とそうでない領域とが区分されるように、前記撮影映像それぞれの画素の輝度に対して、しきい値を使用して二進化を行い、
前記背景領域ではない領域で、設定画素個数以上の画素が連続して隣接していれば、当該領域を、前記発生欠陥の本来の映像の領域または二次反射映像の領域として設定することを特徴とする請求項１１に記載のパネル検査装置。
【請求項１５】
前記欠陥判定部が、前記発生欠陥の本来の映像と二次反射映像とを求めるにあたって、
画面上での垂直位置比較により、前記発生欠陥の本来の映像を設定し、残りの少なくとも一つの欠陥映像を二次反射映像として設定することを特徴とする請求項１４に記載のパネル検査装置。
【請求項１６】
前記欠陥判定部が、前記発生欠陥が実際の欠陥であるか浮遊性異物であるかを判定するにあたって、
複数個の二次反射映像が存在する場合、前記発生欠陥を浮遊性異物として判定することを特徴とする請求項１１に記載のパネル検査装置。
【請求項１７】
前記欠陥判定部が、前記発生欠陥が実際の欠陥であるか浮遊性異物であるかを判定するにあたって、
前記本来の映像の平均輝度と、前記二次反射映像の平均輝度との差が設定値よりも大きければ、前記発生欠陥を浮遊性異物として判定することを特徴とする請求項１１に記載のパネル検査装置。
【請求項１８】
前記欠陥判定部が、前記発生欠陥が実際の欠陥であるか浮遊性異物であるかを判定するにあたって、
二つの二次反射映像が存在する場合、前記本来の映像の平均輝度と、前記二次反射映像の平均輝度との差が設定値よりも大きければ、前記発生欠陥を浮遊性異物として判定することを特徴とする請求項１７に記載のパネル検査装置。
【請求項１９】
前記欠陥判定部が、前記発生欠陥が実際の欠陥であるか浮遊性異物であるかを判定するにあたって、
三つ以上の二次反射映像が存在する場合、前記本来の映像の平均輝度と、前記二次反射映像の代表映像の平均輝度との差が設定値よりも大きければ、前記発生欠陥を浮遊性異物として判定することを特徴とする請求項１７に記載のパネル検査装置。
【請求項２０】
前記代表映像は、前記二次反射映像のうち最も大きい映像であることを特徴とする請求項１９に記載のパネル検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、パネル検査方法、及びその方法を採用したパネル検査装置に係り、より詳しくは、異なる材質の下板と上板とが結合されたパネルの撮影映像を分析して、前記パネルに実際の欠陥が存在するか否かを判定するパネル検査方法、及びその方法を採用したパネル検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
異なる材質の下板と上板とが結合されたパネルの代表的な例として、ＬＥＤ（Ｌｉｇｈｔ  Ｅｍｉｔｔｉｎｇ  Ｄｉｏｄｅ）ディスプレイパネルが挙げられる。
【０００３】
かかるパネルの製造過程において、パネル上でスクラッチのような物理的欠陥が発生する。かかる欠陥を検査するために、従来には、パネルに対する撮影映像を得た後、撮影映像の輝度の分散値によって欠陥如何を判定した。すなわち、撮影映像の輝度の分散値が設定値よりも大きければ、当該パネルを不合格と処理した。
【０００４】
しかし、従来のパネル検査方法によれば、検査対象パネルが実際の欠陥を有していないにもかかわらず、不合格と処理される場合が折々発生している。かかる問題点は、パネルの生産性低下の大きい原因となっている。
【０００５】
もちろん、かかる問題点を改善するために、輝度の分散値に対する基準設定値をさらに大きくする場合、検査対象パネルが実際の欠陥を有しているにもかかわらず、合格と処理されるという深刻な問題点が発生する。
【０００６】
したがって、検査対象パネルが実際の欠陥を有していないにもかかわらず、不合格と処理されるという問題点は、輝度の分散値に対する基準設定値と関係なく、より根本的な対策を必要としている。
【０００７】
なお、当該分野に係る先行技術文献として、特許文献１がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開第１９９６−２７１４３６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明の目的は、検査対象パネルが実際の欠陥を有していないにもかかわらず、不合格と処理される回数を最小化できるパネル検査方法、及びその方法を採用したパネル検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の第１側面によれば、異なる材質の下板と上板とが結合されたパネルの撮影映像を分析して、前記パネルに実際の欠陥が存在するか否かを判定するパネル検査方法において、ステップ（ａ）及び（ｂ）を含む。
【００１１】
ステップ（ａ）では、前記撮影映像の輝度の分散値が設定値よりも大きければ、発生欠陥の本来の映像と二次反射映像とを求める。
【００１２】
ステップ（ｂ）では、前記本来の映像の平均輝度と、前記二次反射映像の平均輝度との差、及び求められた二次反射映像の個数のうち少なくともいずれか一つを使用して、前記発生欠陥が実際の欠陥であるか浮遊性異物であるかを判定する。
【００１３】
一方、前記ステップ（ａ）で、前記撮影映像の輝度の分散値を求める方法は、前記撮影映像の全体の領域を、複数の部分領域に区画するステップと、前記複数の部分領域それぞれに対して、輝度の合算結果値を求めるステップと、求められた合算結果値の平均値を求めるステップと、前記平均値に対する前記合算結果値それぞれの偏差を求めるステップと、求められた偏差の合算結果値を、前記撮影映像の輝度の分散値として設定するステップと、を含んでもよい。
【００１４】
また、前記ステップ（ｂ）は、前記二次反射映像が存在しなければ、前記発生欠陥が実際の欠陥として判定されるステップを含んでもよい。
【００１５】
また、前記ステップ（ａ）で、前記発生欠陥の本来の映像と二次反射映像とを求める方法は、前記撮影映像で、背景領域とそうでない領域とが区分されるように、前記撮影映像それぞれの画素の輝度に対して、しきい値を使用して二進化を行うステップと、前記背景領域ではない領域で、設定画素個数以上の画素が連続して隣接していれば、当該領域を、前記発生欠陥の本来の映像の領域または二次反射映像の領域として設定するステップと、を含んでもよい。
【００１６】
また、前記ステップ（ａ）は、画面上での垂直位置比較により、前記発生欠陥の本来の映像が設定され、残りの少なくとも一つの欠陥映像が二次反射映像として設定されるステップを含んでもよい。
【００１７】
また、前記ステップ（ｂ）は、複数個の二次反射映像が存在する場合、前記発生欠陥が浮遊性異物として判定されるステップを含んでもよい。
【００１８】
また、前記ステップ（ｂ）は、前記本来の映像の平均輝度と、前記二次反射映像の平均輝度との差が設定値よりも大きければ、前記発生欠陥が浮遊性異物として判定されるステップを含んでもよい。
【００１９】
また、前記ステップ（ｂ）は、二つの二次反射映像が存在する場合、前記本来の映像の平均輝度と、前記二次反射映像の平均輝度との差が設定値よりも大きければ、前記発生欠陥が浮遊性異物として判定されるステップを含んでもよい。
【００２０】
また、前記ステップ（ｂ）は、三つ以上の二次反射映像が存在する場合、前記本来の映像の平均輝度と、前記二次反射映像の代表映像の平均輝度との差が設定値よりも大きければ、前記発生欠陥が浮遊性異物として判定されるステップを含んでもよい。
【００２１】
そして、前記ステップ（ｂ）で、前記代表映像は、前記二次反射映像のうち最も大きい映像であってもよい。
【００２２】
本発明の第２側面によれば、異なる材質の下板と上板とが結合されたパネルの撮影映像を分析して、前記パネルに実際の欠陥が存在するか否かを判定するパネル検査装置において、撮影部及び欠陥判定部を備える。
【００２３】
前記撮影部は、前記パネルの上板上で、前記パネルを撮影して、前記撮影映像を獲得する。前記欠陥判定部は、前記撮影部からの前記撮影映像を分析して、前記パネルに実際の欠陥が存在するか否かを判定する。
【００２４】
ここで、前記欠陥判定部は、前記撮影映像の輝度の分散値が設定値よりも大きければ、発生欠陥の本来の映像と二次反射映像とを求め、前記本来の映像の平均輝度と、前記二次反射映像の平均輝度との差、及び求められた二次反射映像の個数のうち少なくともいずれか一つを使用して、前記発生欠陥が実際の欠陥であるか浮遊性異物であるかを判定する。
【発明の効果】
【００２５】
本発明によれば、撮影映像の輝度の分散値が設定値よりも大きいとしても、発生欠陥の本来の映像の特性と、二次反射映像の特性との差を利用して、発生欠陥が実際の欠陥であるか浮遊性異物であるかを判定することができる。すなわち、発生欠陥が浮遊性異物である場合に、検査対象パネルを良品として合格と処理することができる。
【００２６】
したがって、検査対象パネルが実際の欠陥を有していないにもかかわらず、不合格と処理される回数を最小化できるので、パネルの生産性が向上する。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明の一実施形態によるパネル検査装置を示す図面である。
【図２】図１の欠陥判定部に採用されたパネル検査方法を示すフローチャートである。
【図３】図２のパネル検査方法の根本となる実験結果を示す図面である。
【図４】図３の実験結果と関連して、第１ないし第４浮遊性異物についての実験資料を示す図面である。
【図５】図３の実験結果と関連して、第５ないし第８浮遊性異物についての実験資料を示す図面である。
【図６】図３の実験結果と関連して、第１ないし第４実際の欠陥についての実験資料を示す図面である。
【図７】図２のステップＳ２０３を遂行するために、撮影映像の全体の領域が複数の部分領域に区画されるところを示す図面である。
【図８】図２のステップＳ２０３の詳細動作を示すフローチャートである。
【図９】図２のステップＳ２１１の詳細動作を示すフローチャートである。
【図１０】図９のステップＳ９０１により得られた二進化映像を示す図面である。
【図１１】図２のステップＳ２１５の詳細動作の一例を示すフローチャートである。
【図１２】図２のステップＳ２１５の詳細動作の他の例を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
下記の説明及び添付された図面は、本発明による動作を理解するためのものであり、当業者が容易に具現できる部分は省略する。
【００２９】
また、本明細書及び図面は、本発明を制限するための目的として提供されたものではなく、本発明の範囲は、特許請求の範囲により決まらなければならない。本明細書で使われた用語は、本発明を最も適切に表現できるように、本発明の技術的思想に符合する意味及び概念として解釈されなければならない。
【００３０】
以下、添付された図面を参照して、本発明の実施形態について詳細に説明する。
【００３１】
図１は、本発明の一実施形態によるパネル検査装置を示す。
【００３２】
図１を参照すれば、本発明の一実施形態によるパネル検査装置の検査対象パネルは、異なる材質の下板１３ｌと上板１３ｕとが結合されたパネル１３、例えば、ＬＥＤ（Ｌｉｇｈｔ  Ｅｍｉｔｔｉｎｇ  Ｄｉｏｄｅ）ディスプレイパネルである。
【００３３】
本実施形態によるパネル検査装置は、検査対象パネル１３の撮影映像を分析して、パネル１３に実際の欠陥が存在するか否かを判定するものであって、撮影部１０１及び欠陥判定部１０２を備える。
【００３４】
撮影部１０１は、パネル１３の上板１３ｕ上で、パネル１３を撮影して、撮影映像を獲得する。欠陥判定部１０２は、撮影部１０１からの撮影映像を分析して、パネル１３に実際の欠陥が存在するか否かを判定する。
【００３５】
パネル１３の上板１３ｕに発生欠陥１１１が存在する場合、発生欠陥１１１からの一次反射光１１１ｒにより、撮影部１０１は、発生欠陥１１１の本来の映像を捕捉できる。さらに、異なる材質の下板１３ｌが上板１３ｕ下に存在することによって、二次反射領域１１２からの二次反射光１１２ｒにより、撮影部１０１は、発生欠陥１１１の二次反射映像も捕捉できる。
【００３６】
本実施形態のための実験によれば、発生欠陥１１１が浮遊性異物である場合、二次反射映像は、本来の映像のように一つのみが表れ、二次反射光１１２ｒの散乱により、複数の二次反射映像が表れることが発見された。
【００３７】
これに対し、発生欠陥１１１が上板１３ｕでのスクラッチのような実際の欠陥である場合、二次反射映像は、本来の映像のように一つのみが表れたり、一つも表れないことが発見された。
【００３８】
また、発生欠陥１１１が浮遊性異物である場合、本来の映像の平均輝度と、二次反射映像の平均輝度との差が非常に大きく表れることが発見された。
【００３９】
これに対し、発生欠陥１１１が上板１３ｕでのスクラッチのような実際の欠陥である場合、本来の映像の平均輝度と、二次反射映像の平均輝度との差が非常に小さく表れることが発見された。
【００４０】
それによって、本実施形態の欠陥判定部１０２は、撮影映像の輝度の分散値が設定値よりも大きければ、発生欠陥１１１の本来の映像と二次反射映像とを求め、本来の映像の平均輝度と、二次反射映像の平均輝度との差、及び求められた二次反射映像の個数のうち少なくともいずれか一つを使用して、発生欠陥１１１が実際の欠陥であるか浮遊性異物であるかを判定する。これに係る検査方法は、図２ないし図１２を参照して詳細に説明する。
【００４１】
したがって、本実施形態によるパネル検査方法、及びその方法を採用したパネル検査装置によれば、撮影映像の輝度の分散値が設定値よりも大きいとしても、発生欠陥１１１の本来の映像の特性と、二次反射映像の特性との差を利用して、発生欠陥１１１が実際の欠陥であるか浮遊性異物であるかを判定できる。すなわち、発生欠陥１１１が浮遊性異物である場合に、検査対象パネルを良品として合格と処理できる。
【００４２】
したがって、検査対象パネルが実際の欠陥を有していないにもかかわらず、不合格と処理される回数を最小化できるので、パネルの生産性が向上する。
【００４３】
図２は、図１の欠陥判定部１０２に採用されたパネル検査方法を示す。図１及び図２を参照して、欠陥判定部１０２に採用されたパネル検査方法を説明すれば、次の通りである。
【００４４】
ある検査対象パネル１３の撮影映像が、撮影部１０１から欠陥判定部１０２に入力されれば（ステップＳ２０１）、欠陥判定部１０２は、撮影映像の輝度の分散値を求める（ステップＳ２０３）。このステップＳ２０３については、図７及び図８を参照して詳細に説明する。
【００４５】
撮影映像の輝度の分散値が設定値よりも大きくなければ、欠陥判定部１０２は、検査対象パネル１３に対して、欠陥が発生しない良品として合格と判定する（ステップＳ２２１）。
【００４６】
撮影映像の輝度の分散値が設定値よりも大きければ、検査対象パネル１３に欠陥１１１が発生したので、欠陥判定部１０２は、下記のステップＳ２１１ないしＳ２２１の精密調査過程を行う。
【００４７】
ステップＳ２１１において、欠陥判定部１０２は、発生欠陥１１１の本来の映像と二次反射映像とを求める。このステップＳ２１１については、図９及び図１０を参照して詳細に説明する。
【００４８】
ここで、二次反射映像が存在しなければ、欠陥判定部１０２は、検査対象パネル１３に対して、実際の欠陥が発生した不良品として不合格と判定する（ステップＳ２１３及びＳ２１９）。なぜならば、二次反射映像が存在しない場合は、発生欠陥１１１が上板１３ｕでのスクラッチのような実際の欠陥である場合にのみ該当するためである。すなわち、発生欠陥１１１が浮遊性異物である場合、少なくとも一つの二次反射映像が表れる。
【００４９】
ステップＳ２１３において、二次反射映像が存在する場合、欠陥判定部１０２は、より精密な検査のために、ステップＳ２１５ないしＳ２２１を行う。
【００５０】
ステップＳ２１５において、欠陥判定部１０２は、本来の映像の平均輝度と、二次反射映像の平均輝度との差、及び求められた二次反射映像の個数のうち少なくともいずれか一つを使用して、発生欠陥１１１が実際の欠陥であるか浮遊性異物であるかを判定する。このステップＳ２１５については、図１１及び図１２を参照して詳細に説明する。
【００５１】
前記ステップＳ２１５での判定結果、発生欠陥１１１が浮遊性異物であれば、欠陥判定部１０２は、検査対象パネルに対して、合格と判定する（ステップＳ２１７及びＳ２２１）。
【００５２】
前記ステップＳ２１５での判定結果、発生欠陥１１１が実際の欠陥であれば、欠陥判定部１０２は、検査対象パネルに対して、不合格と判定する（ステップＳ２１７及びＳ２１９）。
【００５３】
前記ステップＳ２０１ないしＳ２２１は、終了信号が発生するまで反復的に行われる（ステップＳ２３１）。
【００５４】
図３は、図２のパネル検査方法の根本となる実験結果を示す。
【００５５】
図４は、図３の実験結果と関連して、第１ないし第４浮遊性異物についての実験資料を示す。図４において、４０１，４１１，４２１及び４３１は、浮遊性異物が存在するパネルの撮影映像をそれぞれ指す。４０２，４１２，４２２及び４３２は、二進化映像をそれぞれ指す。以下、二進化映像とは、より正確に欠陥映像を検出するために、撮影映像それぞれの画素の輝度に対して、しきい値が使われて二進化が行われた結果の映像を意味する。４０２ａ，４１２ａ，４２２ａ及び４３２ａは、浮遊性異物の本来の映像をそれぞれ指す。４０２ｂ，４１２ｂ，４１２ｃ，４１２ｄ，４２２ｂ及び４３２ｂは、浮遊性異物の二次反射映像をそれぞれ指す。
【００５６】
図５は、図３の実験結果と関連して、第５ないし第８浮遊性異物についての実験資料を示す。図５において、５０１，５１１，５２１及び５３１は、浮遊性異物が存在するパネルの撮影映像をそれぞれ指す。５０２，５１２，５２２及び５３２は、二進化映像をそれぞれ指す。５０２ａ，５１２ａ，５２２ａ及び５３２ａは、浮遊性異物の本来の映像をそれぞれ指す。５０２ｂ，５０２ｃ，５０２ｄ，５１２ｂ，５２２ｂ及び５３２ｂは、浮遊性異物の二次反射映像をそれぞれ指す。
【００５７】
図６は、図３の実験結果と関連して、第１ないし第４実際の欠陥についての実験資料を示す。図６において、６０１，６１１，６２１及び６３１は、実際の欠陥が存在するパネルの撮影映像をそれぞれ指す。６０２，６１２，６２２及び６３２は、二進化映像をそれぞれ指す。６０２ａ，６１２ａ，６２２ａ及び６３２ａは、実際の欠陥の本来の映像をそれぞれ指す。６０２ｂ，６１２ｂ，６２２ｂ及び６３２ｂは、実際の欠陥の二次反射映像をそれぞれ指す。
【００５８】
図３ないし図６を参照して、本実施形態の根本となる実験結果を説明すれば、次の通りである。
【００５９】
垂直位置３０１に係る映像特性において、浮遊性異物の場合（図４及び図５を参照）、本来の映像４０２ａ，４１２ａ，４２２ａ，４３２ａ，５０２ａ，５１２ａ，５２２ａまたは５３２ａは、画面上で相対的に高い位置で表れ、二次反射映像４０２ｂ，４１２ｂ，４１２ｃ，４１２ｄ，４２２ｂ，４３２ｂ，５０２ｂ，５０２ｃ，５０２ｄ，５１２ｂ，５２２ｂまたは５３２ｂは、画面上で相対的に低い位置で表れる。したがって、かかる特性によって、浮遊性異物の本来の映像と二次反射映像とを区別できる。もちろん、垂直位置３０１に係る浮遊性異物の映像特性は、撮影部１０１（図１）の位置によって変わる。
【００６０】
垂直位置３０１に係る映像特性において、スクラッチのような実際の欠陥の場合（図６を参照）、浮遊性異物の場合と同じ特性を有する。さらに、本来の映像６０２ａ，６１２ａ，６２２ａまたは６３２ａは、画面上で相対的に高い位置で表れ、二次反射映像６０２ｂ，６１２ｂ，６２２ｂまたは６３２ｂは、画面上で相対的に低い位置で表れる。したがって、かかる特性によって、実際の欠陥の本来の映像と二次反射映像とを区別できる。もちろん、垂直位置３０１に係る映像特性は、撮影部１０１（図１）の位置によって変わる。
【００６１】
個数３０２に係る映像特性において、浮遊性異物の場合（図４及び図５を参照）、本来の映像４０２ａ，４１２ａ，４２２ａ，４３２ａ，５０２ａ，５１２ａ，５２２ａまたは５３２ａは、画面上で一つのみが表れるが、二次反射映像４０２ｂ，４１２ｂ，４１２ｃ，４１２ｄ，４２２ｂ，４３２ｂ，５０２ｂ，５０２ｃ，５０２ｄ，５１２ｂ，５２２ｂまたは５３２ｂは、画面上で少なくとも一つ（一つ以上）が表れることが発見された。例えば、第２浮遊性異物の映像４１１では、三つの二次反射映像４１２ｂ，４１２ｃ，４１２ｄが表れ、第５浮遊性異物の映像５０１でも、三つの二次反射映像５０２ｂ，５０２ｃ，５０２ｄが表れる。
【００６２】
これに対し、スクラッチのような実際の欠陥の場合（図６を参照）、本来の映像６０２ａ，６１２ａ，６２２ａまたは６３２ａは、画面上で一つのみが表れるが、二次反射映像６０２ｂ，６１２ｂ，６２２ｂまたは６３２ｂは、一つのみが表れたり、表れないこともあることが発見された。
【００６３】
したがって、かかる個数の特性によって、発生欠陥の二次反射映像が複数個であれば、発生欠陥が浮遊性異物として判定される。また、発生欠陥の二次反射映像が表れなければ、発生欠陥が実際の欠陥として判定される。
【００６４】
透過性異物や透過性の実際の欠陥の平均輝度３０３ａに係る映像特性において、浮遊性異物の場合（図４及び図５を参照）、本来の映像４０２ａ，４３２ａ，５０２ａ，５２２ａまたは５３２ａの平均輝度は相対的に低いが、二次反射映像４０２ｂ，４３２ｂ，５０２ｂ，５０２ｃ，５０２ｄ，５２２ｂまたは５３２ｂの平均輝度は相対的に高いという事実が発見された。
【００６５】
これに対し、透過性の実際の欠陥の場合（図６を参照）、本来の映像６０２ａ，６１２ａ，６２２ａまたは６３２ａの平均輝度は中間ほどであり、二次反射映像６０２ｂ，６１２ｂ，６２２ｂまたは６３２ｂの平均輝度も中間ほどであることが発見された。すなわち、透過性の実際の欠陥の場合、本来の映像の平均輝度と、二次反射映像の平均輝度との差が相対的に小さいという事実が発見された。
【００６６】
非透過性異物の平均輝度３０３ｂに係る映像特性において、本来の映像４１２ａ，４２２ａまたは５１２ａの平均輝度は相対的に高いが、二次反射映像４１２ｂ，４１２ｃ，４１２ｄ，４２２ｂまたは５１２ｂの平均輝度は相対的に低いという事実が発見された。
【００６７】
参考までに、非透過性の実際の欠陥は存在しないと見てもよいので、Ｎ／Ａ（Ｎｏｔ  Ａｐｐｌｉｃａｂｌｅ）に設定された。
【００６８】
したがって、平均輝度３０３ａ，３０３ｂに係る映像特性を整理すれば、次の通りである。
【００６９】
浮遊性異物の場合、本来の映像の平均輝度と、二次反射映像の平均輝度との差が相対的に大きい。これに対し、実際の欠陥の場合、本来の映像の平均輝度と、二次反射映像の平均輝度との差が相対的に小さい。
【００７０】
したがって、平均輝度３０３ａ，３０３ｂに係る映像特性は、次のように利用されることが確認された。
【００７１】
発生欠陥の本来の映像と、二次反射映像との平均輝度差が設定値よりも大きければ、発生欠陥が浮遊性異物として判定される。これに対し、発生欠陥の本来の映像と、二次反射映像との平均輝度差が設定値よりも大きくなければ、発生欠陥が実際の欠陥として判定される。
【００７２】
図７は、図２のステップＳ２０３を遂行するために、撮影映像の全体の領域７０１が複数の部分領域ＡないしＰに区画されるところを示す。図８は、図２のステップＳ２０３の詳細動作を示す。図１、図７及び図８を参照して、ステップＳ２０３の詳細動作を説明すれば、次の通りである。
【００７３】
まず、欠陥判定部１０２は、複数の部分領域ＡないしＰそれぞれに対して、輝度の合算結果値を求める（ステップＳ８０１）。
【００７４】
次いで、欠陥判定部１０２は、求められた合算結果値の平均値を求める（ステップＳ８０３）。
【００７５】
次いで、欠陥判定部１０２は、前記平均値に対する前記合算結果値それぞれの偏差を求める（ステップＳ８０５）。
【００７６】
そして、欠陥判定部１０２は、求められた偏差の合算結果値を、撮影映像の輝度の分散値として設定する（ステップＳ８０７）。
【００７７】
前記のような分散値の設定方法の数式はよく知られているので、その説明は省略する。
【００７８】
図９は、図２のステップＳ２１１の詳細動作を示す。図１０は、図９のステップＳ９０１により得られた二進化映像を示す。図１０の二進化映像は、説明のための簡略な例に過ぎず、実際に非常に多くの画素が存在する。図１、図９及び図１０を参照して、ステップＳ２１１の詳細動作を説明すれば、次の通りである。
【００７９】
まず、欠陥判定部１０２は、撮影映像で、背景領域とそうでない領域とが区分されるように、前記撮影映像それぞれの画素の輝度に対して、しきい値を使用して二進化を行う（ステップＳ９０１）。図１０において、１００１は、二進化映像を指し、１００１Ａ及び１００１Ｂは、背景領域ではない領域を指す。
【００８０】
次いで、欠陥判定部１０２は、背景領域ではない領域１００１Ａまたは１００１Ｂで、設定画素個数以上の画素が連続して隣接していれば、当該領域を、発生欠陥の本来の映像の領域または二次反射映像の領域として設定する（ステップＳ９０３）。
【００８１】
図１０を例として説明すれば、背景領域ではない領域１００１Ａにおいて、背景領域ではない領域は、設定画素個数以上の画素が連続して隣接しているので、発生欠陥の本来の映像の領域または二次反射映像の領域として設定される。
【００８２】
また、背景領域ではない領域１００１Ｂにおいて、背景領域ではない領域であるが、設定画素個数以上の画素が連続して隣接していないので、発生欠陥の本来の映像の領域または二次反射映像の領域として設定されない。
【００８３】
次いで、欠陥判定部１０２は、前記ステップＳ９０３により設定された映像の個数が一つだけであるかを判断する（ステップＳ９０５）。
【００８４】
設定された映像の個数が一つだけであれば、欠陥判定部１０２は、当該映像を、発生欠陥の本来の映像として設定する（ステップＳ９０７）。その場合、二次反射映像が存在しないので、発生欠陥は、実際の欠陥となる。それによって、図２のステップＳ２１３及びＳ２１９により、検査対象パネルが不合格と判定される。
【００８５】
設定された映像の個数が複数個であれば、欠陥判定部１０２は、画面上での垂直位置比較により、前記発生欠陥の本来の映像を設定する（ステップＳ９０９）。また、欠陥判定部１０２は、残りの少なくとも一つの欠陥映像を、二次反射映像として設定する（ステップＳ９１１）。
【００８６】
図１１は、図２のステップＳ２１５の詳細動作の一例を示す。図１及び図１１を参照して、ステップＳ２１５の詳細動作の一例を説明すれば、次の通りである。
【００８７】
まず、欠陥判定部１０２は、検査対象映像で、複数個の二次反射映像が存在するか否かを判断する（ステップＳ１１０１）。
【００８８】
複数個の二次反射映像が存在する場合、欠陥判定部１０２は、発生欠陥を、浮遊性異物として判定する（ステップＳ１１０１及びＳ１１０７）。例えば、発生欠陥が、図４の第２映像４１１または図５の第５映像５０１に該当する場合、発生欠陥は、浮遊性異物として判定される。
【００８９】
複数個の二次反射映像が存在しない場合、欠陥判定部１０２は、発生欠陥の本来の映像と、二次反射映像との平均輝度差が設定値よりも大きいか否かを判断する（ステップＳ１１０３）。
【００９０】
発生欠陥の本来の映像と、二次反射映像との平均輝度差が設定値よりも大きければ、欠陥判定部１０２は、発生欠陥を、浮遊性異物として判定する（ステップＳ１１０３及びＳ１１０７）。
【００９１】
そして、発生欠陥の本来の映像と、二次反射映像との平均輝度差が設定値よりも大きくなければ、欠陥判定部１０２は、発生欠陥を、実際の欠陥として判定する（ステップＳ１１０３及びＳ１１０５）。
【００９２】
図１１の例では、設定値が一つであるが、設定値を異にし、その中間範囲に該当するパネルが別途にさらに精密に検査されもする。
【００９３】
図１２は、図２のステップＳ２１５の詳細動作の他の例を示す。図１及び図１２を参照して、ステップＳ２１５の詳細動作の他の例を説明すれば、次の通りである。
まず、欠陥判定部１０２は、検査対象映像で、複数個の二次反射映像が存在するか否かを判断する（ステップＳ１２０１）。
【００９４】
検査対象映像で、複数個の二次反射映像が存在しない場合、欠陥判定部１０２は、発生欠陥の本来の映像と、二次反射映像との平均輝度差が設定値よりも大きいか否かを判断する（ステップＳ１２０３）。
【００９５】
発生欠陥の本来の映像と、二次反射映像との平均輝度差が設定値よりも大きければ、欠陥判定部１０２は、発生欠陥を、浮遊性異物として判定する（ステップＳ１２０３及びＳ１２１３）。
【００９６】
発生欠陥の本来の映像と、二次反射映像との平均輝度差が設定値よりも大きくなければ、欠陥判定部１０２は、発生欠陥を、実際の欠陥として判定する（ステップＳ１２０３及びＳ１２０５）。
【００９７】
前記ステップＳ１２０３、Ｓ１２０５及びＳ１２１３では、設定値が一つであるが、設定値を異にし、その中間範囲に該当するパネルが別途にさらに精密に検査されもする。
【００９８】
一方、前記ステップＳ１２０１において、複数個の二次反射映像が存在すると判断されれば、欠陥判定部１０２は、二次反射映像の個数を判断する（ステップＳ１２０７）。
【００９９】
前記ステップＳ１２０７において、二次反射映像の個数が二つであれば、欠陥判定部１０２は、発生欠陥の本来の映像の平均輝度と、二つの二次反射映像の平均輝度との差が設定値よりも大きいか否かを判断する（ステップＳ１２０９）。
【０１００】
発生欠陥の本来の映像の平均輝度と、二つの二次反射映像の平均輝度との差が設定値よりも大きければ、欠陥判定部１０２は、発生欠陥を、浮遊性異物として判定する（ステップＳ１２０９及びＳ１２１３）。
【０１０１】
発生欠陥の本来の映像の平均輝度と、二つの二次反射映像の平均輝度との差が設定値よりも大きくなければ、欠陥判定部１０２は、発生欠陥を、実際の欠陥として判定する（ステップＳ１２０９及びＳ１２０５）。
【０１０２】
前記ステップＳ１２０９、Ｓ１２０５及びＳ１２１３では、設定値が一つであるが、設定値を異にし、その中間範囲に該当するパネルが別途にさらに精密に検査されもする。
【０１０３】
一方、前記ステップＳ１２０７において、図４の第２映像４１１または図５の第５映像５０１のように、二次反射映像の個数が三つ以上であれば、欠陥判定部１０２は、発生欠陥の本来の映像の平均輝度と、代表的な二次反射映像の平均輝度との差が設定値よりも大きいか否かを判断する（ステップＳ１２１１）。
【０１０４】
本実施形態の場合、代表映像は、二次反射映像のうち最も大きい映像である。例えば、図４の第２映像４１１の二次反射映像において、第１二次反射映像の領域４１２ｂが代表映像の領域である。また、図５の第５映像５０１の二次反射映像において、第１二次反射映像の領域５０２ｂが代表映像の領域である。
【０１０５】
もちろん、欠陥判定部１０２の処理速度が相対的に速い場合、代表的な二次反射映像の平均輝度のみが使われず、全ての二次反射映像の平均輝度が使われてもよい。
【０１０６】
次いで、発生欠陥の本来の映像の平均輝度と、代表的な二次反射映像の平均輝度との差が設定値よりも大きければ、欠陥判定部１０２は、発生欠陥を、浮遊性異物として判定する（ステップＳ１２１１及びＳ１２１３）。
【０１０７】
発生欠陥の本来の映像の平均輝度と、代表的な二次反射映像の平均輝度との差が設定値よりも大きくなければ、欠陥判定部１０２は、発生欠陥を、実際の欠陥として判定する（ステップＳ１２１１及びＳ１２０５）。
【０１０８】
前記ステップＳ１２１１、Ｓ１２０５及びＳ１２１３では、設定値が一つであるが、設定値を異にし、その中間範囲に該当するパネルが別途にさらに精密に検査されもする。
【０１０９】
前述したように、本発明の実施形態によるパネル検査方法、及びその方法を採用したパネル検査装置によれば、撮影映像の輝度の分散値が設定値よりも大きいとしても、発生欠陥の本来の映像の特性と、二次反射映像の特性との差を利用して、発生欠陥が実際の欠陥であるか浮遊性異物であるかを判定できる。すなわち、発生欠陥が浮遊性異物である場合に、検査対象パネルを良品として合格と処理できる。
【０１１０】
したがって、検査対象パネルが実際の欠陥を有していないにもかかわらず、不合格と処理される回数を最小化できるので、パネルの生産性が向上する。
【０１１１】
以上、本発明について、望ましい実施形態を中心に説明した。当業者は、本発明の本質的な特性から逸脱しない範囲で、変形された形態で本発明を具現できることを理解できるであろう。
【０１１２】
したがって、前述した実施形態は、限定的な観点ではなく、説明的な観点で考慮されなければならない。本発明の範囲は、前述した説明ではなく、特許請求の範囲に表れており、特許請求の範囲により請求された発明、及び請求された発明と均等な発明は、本発明に含まれたものと解釈されなければならない。
【産業上の利用可能性】
【０１１３】
本発明は、複合材質の単板パネルの検査装置関連の技術分野に適用可能である。
【符号の説明】
【０１１４】
１３    パネル
１３ｕ    上板
１３ｌ    下板
１０１    撮影部
１０２    欠陥判定部
１１１    発生欠陥
１１２    二次反射領域
１１１ｒ    一次反射光
１１２ｒ    二次反射光
３０１    垂直位置
３０２    映像個数
３０３ａ，３０３ｂ    平均輝度
４０１，４１１，４２１，４３１，５０１，５１１，５２１，５３１    浮遊性異物が存在するパネルの撮影映像
４０２，４１２，４２２，４３２，５０２，５１２，５２２，５３２，６０２，６１２，６２２，６３２    二進化映像
４０２ａ，４１２ａ，４２２ａ，４３２ａ，５０２ａ，５１２ａ，５２２ａ，５３２ａ    浮遊性異物の本来の映像
４０２ｂ，４１２ｂ，４１２ｃ，４１２ｄ，４２２ｂ，４３２ｂ，５０２ｂ，５０２ｃ，５０２ｄ，５１２ｂ，５２２ｂ，５３２ｂ    浮遊性異物の二次反射映像
６０１，６１１，６２１，６３１    実際の欠陥が存在するパネルの撮影映像
６０２ａ，６１２ａ，６２２ａ，６３２ａ    実際の欠陥の本来の映像
６０２ｂ，６１２ｂ，６２２ｂ，６３２ｂ    実際の欠陥の二次反射映像
７０１    パネルの撮影映像
１００１    二進化映像
１００１Ａ，１００１Ｂ    背景領域ではない領域
Ａ〜Ｐ    部分領域
【図１】
2014206528.tif 000003
【図２】
2014206528.tif 000004
【図３】
2014206528.tif 000005
【図７】
2014206528.tif 000006
【図８】
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【図９】
2014206528.tif 000008
【図１０】
2014206528.tif 000009
【図１１】
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【図１２】
2014206528.tif 000011
【図４】
2014206528.tif 000012
【図５】
2014206528.tif 000013
【図６】
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