(57)【要約】      （修正有）【課題】電子部品の多層積層体の部品を分離するためのシステム及び方法の提供。【解決手段】電子組立体３０と、基板４０と、電子組立体と基板との間に位置し、電子組立体を基板に動作可能に取り付けている犠牲アノード部４４とを含む多層積層体２０。電子組立体３０はカソード部３６と、デバイスとデバイス部３２とを含み、電気化学電池１０を形成するために導電性流体１２中の多層積層体２０の位置を決定することと、カソード部３６が電気化学電池１０のカソード１７を形成し、犠牲アノード部４４が電気化学電池１０のアノード１８を形成するように、電子組立体３０のカソード部３６と犠牲アノード部４４との間に電位差を発生させることと、導電性流体１２中で犠牲アノード部４４を溶解するために犠牲アノード部４４を電気化学的に酸化することによって基板４０から電子組立体３０を分離することとを含む、多層積層体２０から電子組立体３０を分離する方法。【選択図】図１
2014169498.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子組立体（３０）と、基板（４０）と、前記電子組立体と前記基板との間に位置し、前記電子組立体を前記基板に動作可能に取り付けている犠牲アノード部（４４）と、を含む電子部品の多層積層体（２０）から前記電子組立体（３０）を分離する方法であって、前記電子組立体はカソード部（３６）と、デバイス部（３２）とを含み、前記方法（１００）は
電気化学電池（１０）を形成するために導電性流体（１２）中の前記多層積層体の位置を決定すること（１１５）と、
前記カソード部が前記電気化学電池のカソード（１７）を形成し、前記犠牲アノード部が前記電気化学電池のアノード（１８）を形成するように、前記カソード部と前記犠牲アノード部との間に電位差を発生させること（１２０）と、
前記導電性流体中で前記犠牲アノード部を溶解するために前記犠牲アノード部を電気化学的に酸化することによって前記基板から前記電子組立体を分離すること（１３０）と、を含む方法（１００）。
【請求項２】
前記電子組立体（３０）は、前記カソード部（３６）と前記犠牲アノード部（４４）との間に位置し、かつ、これらと電気的に連絡および機械的に連結する犠牲光起電性電池（４８）をさらに含み、さらに前記発生させること（１２０）は、前記犠牲光起電性電池を使用して前記電位差を発生させることを含み、前記方法は
前記発生させることを開始するために前記犠牲光起電性電池上に電磁放射線（８４）を向けること（１２２）をさらに含む、請求項１に記載の方法（１００）。
【請求項３】
前記カソード部（３６）と外部電源（７０）の正極との間に第１の電気的接続を確立すること（１２４）と、
前記犠牲アノード部（４４）と前記外部電源の負極との間に第２の電気的接続を確立することであって、前記発生させることは前記外部電源を使用して前記電位差を発生させることを含む、確立することとをさらに含む、請求項１または２に記載の方法（１００）。
【請求項４】
前記多層積層体（２０）は第１の多層積層体であり、前記電子組立体（３０）は前記第１の多層積層体の第１の電子組立体であり、前記犠牲アノード部（４４）は前記第１の多層積層体の第１の犠牲アノード部であり、さらに前記分離すること（１３０）に続いて、前記方法は
第２の電子組立体と、前記基板（４０）と、前記第２の電子組立体と前記基板との間に位置し、前記第２の電子組立体を前記基板に動作可能に取り付けている第２の犠牲アノード部とを含む、第２の多層積層体を形成することをさらに含む請求項１から３のいずれか一項に記載の方法（１００）。
【請求項５】
前記カソード部（３６）および前記導電性流体（１２）は、第１の半電池電圧を規定する第１の半電池（１４）を規定し、前記犠牲アノード部（４４）および前記導電性流体は、第２の半電池電圧を規定する第２の半電池（１６）を規定し、さらに電位差を発生させること（１２０）は、前記第１の半電池電圧と前記第２の半電池電圧との差よりも大きな電位差を発生させることを含む、請求項１から４のいずれか一項に記載の方法（１００）。
【請求項６】
電子材料の多層積層体（２０）であって、
基板（４０）と、
犠牲アノード部（４４）と、
電子組立体（３０）とを含み、前記犠牲アノード部は前記電子組立体と前記基板との間に位置し、かつ、前記電子組立体を前記基板に動作可能に取り付け、さらに前記電子組立体は、
前記犠牲アノード部と電気的に連絡している犠牲光起電性電池（４８）と、
前記犠牲光起電性電池と電気的に連絡しているカソード部（３６）であって、前記犠牲光起電性電池は前記カソード部を前記犠牲アノード部から電気的に分離しているカソード部と、
デバイス部（３２）であって、前記犠牲光起電性電池は前記基板と前記デバイス部との間に位置するデバイス部と
を含む多層積層体（２０）。
【請求項７】
前記犠牲光起電性電池（４８）と前記デバイス部（３２）との間に位置し、かつ、前記犠牲光起電性電池を前記デバイス部に動作可能に取り付けているエッチング停止部であって、エピタキシャルエッチング停止層（５２）を含むエッチング停止部をさらに含む、請求項６に記載の多層積層体（２０）。
【請求項８】
前記犠牲アノード部（４４）はエピタキシャル犠牲アノード層である、請求項６または７に記載の多層積層体（２０）。
【請求項９】
前記犠牲光起電性電池（４８）は、電磁放射線（８４）を受光するように、かつ、前記電磁放射線の受光に応じて前記犠牲アノード部（４４）と前記カソード部（３６）との間に電位差を発生させるように構成され、さらに前記電位差の大きさは少なくとも０．１ボルト（Ｖ）かつ５Ｖ未満である、請求項６から８のいずれか一項に記載の多層積層体（２０）。
【請求項１０】
前記犠牲光起電性電池（４８）はエピタキシャル犠牲光起電性電池を含む、請求項６から９のいずれか一項に記載の多層積層体（２０）。
【請求項１１】
導電性流体（１２）と、
請求項６に記載の前記多層積層体（２０）とを含み、前記多層積層体は前記導電性流体中に位置する、
電気化学電池（１０）。
【請求項１２】
電磁放射線（８４）の発生源（８０）と組み合わされ、前記電磁放射線の発生源は、前記電磁放射線を前記犠牲光起電性電池（４８）に向けるように向きを決められ、前記犠牲光起電性電池が前記カソード部（３６）と前記犠牲アノード部（４４）との間に電位差を発生させるように、前記電磁放射線の波長および前記電磁放射線の強度の少なくとも１つが選択され、前記電位差は前記導電性流体（１２）中の前記犠牲アノード部の溶解をもたらし、さらに前記犠牲アノード部の一部は前記導電性流体中で溶解する、請求項１１に記載の電気化学電池（１０）。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、全般的には電子部品の多層積層体の部品を分離するためのシステムおよび方法に関し、詳細には、多層積層体の部品の分離を可能にするために犠牲アノードを溶解するための犠牲アノードの電気化学的酸化を含むシステムおよび方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子および／または光電子デバイスは基板上に作製可能であり、特定の条件下では、デバイスを基板から分離することが望ましいことがある。例示的で非排他的な例として、基板の除去によりデバイスの全体的な厚さおよび／または重さを低減することが望ましいことがある。他の例示的で非排他的な例として、光起電性電池を動作させる前に光起電性電池から基板の少なくとも一部を分離しなければならない方法である種の光起電性電池を作製することが可能である。これは反転光起電性電池に特に当てはまり、反転光起電性電池は、製造中に、基板と接触しているこの反転光起電性電池の側面から光を受光するように設計可能である。これらの条件下では、光起電性電池を基板から分離させることにより、この光起電性電池にさらに多くの光が接することを可能にすることができるようになり、それによって、光起電性電池の動作を可能にし、かつ／または、動作効率を高めている。
【０００３】
歴史的に見て、エッチング工程は基板からデバイスを分離するために利用されてきた。これらのエッチング工程では、高腐食性化学溶液の利用が可能であり、かつ、基板からデバイスを選択的に分離するために、２つ以上の部品間で異なったエッチング速度の差に依存するか、または、エッチング選択性に依存している。このような手法が基板からデバイスを除去するのに効果的であることがある一方、所望の程度のエッチング選択性でデバイスを作製することは困難なことがある。加えて、または、代わりに、分離が起こる速度は非常に遅いことがあり、デバイスを作製して基板から分離するために必要な総時間を増加させている。したがって、電子部品の多層積層体の部品を分離するための改良されたシステムおよび方法が必要である。
【発明の概要】
【０００４】
電子部品の多層積層体の部品を分離するためのシステムおよび方法。多層積層体は電子組立体と、基板と、電子組立体と基板との間に位置し、かつ、電子組立体を基板に動作可能に取り付けている犠牲アノード部と、を含む。システムおよび方法は、電気化学電池を形成するための導電性流体中の多層積層体の位置を決定することを含むことが可能である。システムおよび方法は、カソード部が電気化学電池のカソードを形成し、かつ、犠牲アノード部が電気化学電池のアノードを形成するように電子組立体のカソード部と犠牲アノード部との間に電位差を発生させることをさらに含むことが可能である。システムおよび方法は、導電性溶液内の犠牲アノード部を溶解させるために犠牲アノード部を電気化学的に酸化することによって基板から電子組立体を分離することを追加で含むことが可能である。
【０００５】
いくつかの実施形態において、電子組立体は犠牲光起電性電池をさらに含み、システムおよび方法は、犠牲光起電性電池を使用して電位差を発生させることを含むことが可能である。いくつかの実施形態において、システムおよび方法は、カソード部と外部電源との間に第１の電気的接続を確立することと、犠牲アノード部と外部電源との間に第２の電気的接続を確立することと、および、外部電源を使用して電位差を発生させることと、を含むことができる。
【０００６】
いくつかの実施形態において、システムおよび方法は基板のリサイクルまたは再使用を含むことが可能である。いくつかの実施形態において、電子組立体は反転光起電性電池を含むデバイス部を含むことが可能であり、システムおよび方法は反転太陽電池の経済的な生産を容易にすることが可能である。いくつかの実施形態において、基板は半導体ウェハ、ヒ化ガリウムウェハ、ゲルマニウムウェハ、および／または、リン化インジウムウェハを含むことが可能である。いくつかの実施形態において、犠牲アノード部、犠牲光起電性電池、および／または、デバイス部はエピタキシャル層を含むことが可能である。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】本開示による電子組立体と、基板と、犠牲アノード部と、を含む多層積層体を含む電気化学電池の例示的で非排他的な例の概略図である。
【図２】犠牲アノード部の溶解により基板から電気化学的に分離した後の図１の電子組立体の例示的で非排他的な例の概略図である。
【図３】電子組立体と、基板と、犠牲アノード部と、を含む本開示による多層積層体の断面視の概略性は劣るがそれでも例示的で非排他的な例の図である。
【図４】犠牲アノード部の溶解により基板から電気化学的に分離した後の図３の電子組立体の断面視の概略性は劣るがそれでも例示的で非排他的な例の図である。
【図５】残りの多層積層体から分離した後の図３の多層積層体のデバイス部の断面視の例示的で非排他的な例の図である。
【図６】本開示による少なくとも１つの多層積層体を含む基板の例示的で非排他的な例の概略上面図である。
【図７】電子部品の多層積層体から電子組立体を分離する本開示による方法を示すフロー図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
図１から図６は、本開示による電気化学電池１０、多層積層体２０、および／または、それらの部品の例示的で非排他的な例を示す。同様の、または、少なくともほぼ同様の目的のために機能する要素は図１から図６のそれぞれにおいて類似の番号を付け、図１から図６のそれぞれを参照しては詳細に検討しないことがある。同じく、図１から図６のそれぞれにおいて全ての要素に番号を付けないことがあるが、それでも、それらの要素に伴う参照番号は一貫性のために本明細書において利用することがある。全般に、所与の実施形態が含む可能性のある要素は実線で示す一方、所与の実施形態に対して任意である要素はダッシュ線で示す。しかし、実線で示す要素は全ての実施形態に不可欠という訳ではなく、実線で示す要素は、本開示の範囲から逸脱せずに特別な実施形態から省くことがある。
【０００９】
図１は電気化学電池１０の一部内に存在可能、かつ／または、この一部を形成可能な本開示による多層積層体２０の例示的で非排他的な例の概略図である。図１の多層積層体２０は少なくとも電子組立体３０と、基板４０と、犠牲アノード部４４と、を含む。電子組立体３０はデバイス部３２と、カソード部３６と、を含む。加えて、かつ、図１のダッシュ線で示すように、電子組立体３０は犠牲光起電性電池４８および／またはエッチング停止層５２を含むことも可能である。
【００１０】
図１に示すように、多層積層体２０は、電気化学電池１０を形成するために導電性流体１２内に少なくとも部分的に浸されて、かつ／または、少なくとも部分的に沈められて位置することが可能である。これらの条件下で、電子組立体３０のカソード部３６および導電性流体１２は、カソード部３６が電気化学電池のカソード１７として機能する電気化学電池１０の第１の半電池１４を協働して形成することが可能である。同様に多層積層体２０の犠牲アノード部４４および導電性流体１２は、犠牲アノード部４４が電気化学電池のアノード１８として機能する電気化学電池１０の第２の半電池１６を協働して形成することが可能である。
【００１１】
本開示によるシステムおよび方法は、導電性流体１２中で犠牲アノード部４４を溶解することによって基板４０から電子組立体３０を分離することを含むことが可能である。これは、犠牲アノード部４４の溶解を生じさせるために犠牲アノード部４４を電気化学的に酸化することを含むことが可能であり、これを図２に示す。この酸化において、犠牲アノード部４４は導電性流体１２中で溶解し、基板４０からの電子組立体３０（および、その各部品）の分離を可能にする。
【００１２】
本明細書でさらに詳細に検討するように、電子組立体３０の基板４０からの分離に続き、電子組立体３０の１つまたは複数のさらに多くの部品が電子組立体３０から分離および／または除去可能であることは本開示の範囲内である。例示的で非排他的な例として、カソード部３６、犠牲光起電性電池４８、および／または、エッチング停止層５２は電子組立体から分離および／または除去可能であり、これによって、残りの電子組立体３０からデバイス部３２を分離する。これにより、多層積層体２０および／または電子組立体３０の他の部品から独立しているデバイス部３２を利用可能にすることができる。
【００１３】
加えて、かつ、本明細書で詳細に検討もしているように、基板４０は電子組立体３０からの分離に続いて再使用および／またはリサイクルが可能であることは、さらに本開示の範囲内である。これは、上記で検討したものと同様でもよい方法での基板４０上での後に続く電子組立体３０の形成、および、基板４０からの後に続く電子組立体３０のその後の除去を含むことが可能である。
【００１４】
図１に戻り、犠牲アノード部４４の電気化学的酸化がいずれの適した方法でも電力供給を受けることが可能であることは、本開示の範囲内である。例示的で非排他的な例として、かつ、電子組立体３０が犠牲光起電性電池４８を含む時、電磁放射線８４を犠牲光起電性電池４８に向くように向きを決められた電磁放射線８４の発生源８０を、システムおよび方法は含むことが可能であり、かつ／または、犠牲光起電性電池４８はこの発生源８０と光学連通していることが可能である。これらの条件下で、電磁放射線８４の波長および／または強度は、犠牲光起電性電池４８が内部電源５０として機能するように、かつ、犠牲アノード部４４の電気化学的酸化を生じさせ、それによって、導電性流体１２中で犠牲アノード部４４を溶解するために充分な電気化学電池１０のカソード１７とアノード１８との間の電位差を発生させるように選択可能である。
【００１５】
加えてまたは代案として、かつ、他の例示的で非排他的な例として、電気化学電池１０は外部電源７０を含むこと、および／または、外部電源７０と電気的に連絡していることが可能である。これらの条件下で、外部電源７０は、犠牲アノード部４４の電気化学的酸化を生じさせるために充分な電気化学電池１０のカソード１７とアノード１８との間の電位差を発生させることが可能であり、これによって、導電性流体１２中で犠牲アノード部４４を溶解させる。
【００１６】
図３は、電子組立体３０と、基板４０と、犠牲アノード部４４と、を含む本開示による多層積層体２０の断面視の概略性は劣るがそれでも例示的で非排他的な例の図である。図３の多層積層体２０において、犠牲アノード部４４は基板４０に電子組立体３０を動作可能に取り付けている。図３の多層積層体２０は図１および図２の多層積層体２０のさらに詳細な例示が可能であり、図１に示すようにいずれの適した電気化学電池１０の一部も形成可能である。
【００１７】
図３に示すように、電子組立体３０は犠牲光起電性電池４８と、１つまたは複数のカソード部３６と、デバイス部３２と、を含む。加えて、かつ、図３のダッシュ線で示すように、電子組立体３０はエッチング停止層５２も含むことが可能である。
【００１８】
犠牲アノード部４４は犠牲光起電性電池４８と基板４０との間に位置することが可能であり、犠牲光起電性電池４８を基板４０に動作可能に取り付けることが可能である。加えて、犠牲光起電性電池４８は犠牲アノード部４４とカソード部３６の双方に電気的に連絡が可能であり、カソード部３６から犠牲アノード部４４を電気的に分離可能である。そのため、かつ、図１および図２を参照して本明細書にさらに詳細に検討したように、犠牲光起電性電池４８に光が入射すると、犠牲光起電性電池４８は電子組立体３０および／または多層積層体２０に対する内部電源５０として、かつ／または、同電源５０となるために機能することが可能であり、犠牲アノード部４４とカソード部３６との間に電位差を発生させることが可能である。
【００１９】
デバイス部３２は犠牲光起電性電池４８に直接または間接的に動作可能に取り付けること、および／または係合することが可能であり、犠牲光起電性電池４８はデバイス部３２と犠牲アノード部４４との間に位置している。したがって、犠牲アノード部４４は基板４０とデバイス部３２との間に位置し、デバイス部３２を基板４０に動作可能に取り付けている。逆に言えば、図４に示すように、犠牲アノード部４４の溶解は、デバイス部３２と犠牲光起電性電池４８の双方を基板４０から分離する。
【００２０】
図３に戻って、任意のエッチング停止層５２は、犠牲光起電性電池４８とデバイス部３２との間に位置することが可能、かつ／または、デバイス部３２から犠牲光起電性電池４８を電気的に隔離することが可能である。加えて、エッチング停止層５２は、直接または間接的に動作可能に犠牲光起電性電池４８および／またはデバイス部３２に取り付けること、および／または係合することが可能である。したがって、犠牲アノード部４４は基板４０とエッチング停止層５２との間に位置し、エッチング停止層５２を基板４０に動作可能に取り付けている。逆に言えば、図４に示すように、犠牲アノード４４の溶解は基板４０からエッチング停止層５２を分離する。
【００２１】
図４は、犠牲アノード部４４の電気化学的溶解により達成可能となるような基板４０から分離した図３の電子組立体３０の断面視の概略性は劣るがそれでも例示的で非排他的な例を示す。本明細書で検討するように、かつ、図４に示すように、これは基板４０からの電子組立体３０全体の分離を含むことが可能であり、犠牲光起電性電池４８、カソード部３６、デバイス部３２、および、任意のエッチング停止層５２は動作可能に互いに取り付けられたまま、かつ／または、電子組立体３０内に残ったままである。
【００２２】
続いて、かつ、図５に示すように、デバイス部３２は電子組立体３０の残りの部品から分離可能である。例示的で非排他的な例として、この分離は、犠牲光起電性電池４８、カソード部３６、および／または、エッチング停止層５２などの電子組立体３０の残りの部品をエッチングおよび／または溶解することによって達成可能である。電子組立体３０内にエッチング停止層５２が存在することにより、デバイス部３２を損傷せずに電子組立体３０から犠牲光起電性電池４８および／またはカソード部３６を除去可能とすることができることは、本開示の範囲内である。これは、デバイス部３２をエッチングせずに、デバイス部３２のかなりの量をエッチングせずに、かつ／または、デバイス部３２を損傷せずに、犠牲光起電性電池４８および／またはカソード部３６をエッチングすることを含むことが可能である。
【００２３】
図６は、少なくとも１つの電子組立体３０を含む本開示による少なくとも１つの多層積層体２０を含む基板４０の例示的で非排他的な例の概略上面図を示す。図６に示すように、基板４０は、少なくとも１つの電子組立体３０を含む単一の多層積層体２０を含み、かつ／または、同積層体２０が形成されていることが可能である。代案として、かつ、図６にダッシュ線で示すように、基板４０は複数の個別で独立した、かつ／または、分離した多層積層体２０を含み、かつ／または、同積層体２０が形成されていることが可能であり、各多層積層体２０は少なくとも１つの電子組立体３０を含む。
【００２４】
各多層積層体２０が単一のデバイス部３２を含むことが可能であることは本開示の範囲内である。しかし、各多層積層体２０が、少なくとも２つ、少なくとも４つ、少なくとも６つ、少なくとも８つ、少なくとも１０個、少なくとも１５個、または、少なくとも２０個のデバイス部３２などの複数のデバイス部３２を含むことが可能であることも本開示の範囲内である。加えて、かつ、代案として、電子組立体３０が、いずれの適した方法においても（犠牲アノード部４４の溶解により）基板４０から分離可能であることも本開示の範囲内である。例示的で非排他的な例として、かつ、基板４０が基板４０上に形成した複数の電子組立体３０を含む時、犠牲アノード部４４の溶解は複数の電子組立体３０を互いから同時に単体化または分離することが可能である。他の例示的で非排他的な例として、かつ、基板４０が基板４０上に形成した複数の電子組立体３０を含む時、犠牲アノード部４４の溶解は、基板４０から複数の電子組立体３０を分離可能である一方、複数の電子組立体３０の少なくとも一部を互いに機械的に連絡させた状態を保持し、または、動作可能に互いに取り付けておく。
【００２５】
図１から図６を参照して本明細書で検討した様々な構造がいずれの適した材料からも形成可能であり、いずれの適した方法でも形成可能であり、かつ／または、いずれの適した幾何学的形状および／または形態も有することが可能であることは本開示の範囲内である。これに留意し、以下は本開示によるシステムおよび方法を使用して利用可能な様々な構造の材料、組立て工程、形状、および／または、形態の例示的で非排他的な例である。
【００２６】
デバイス部３２はいすれかの適したデバイス、電子デバイス、および／または、光電子デバイスを含むこと、および／または、これらのデバイスとすることが可能である。検討したように、本明細書で検討しているシステムおよび方法は、基板４０、多層積層体２０、および／または、電子組立体３０からデバイス部３２を分離し、それによって、残りの多層積層体２０とは独立してデバイス部３２の使用可能および／または利用可能にするために利用することができる。例示的で非排他的な例として、かつ、一方で全ての実施形態には必要でないが、デバイス部３２は、入射した光を電流に変換するように設計または構成した反転光起電性電池および／または反転変性太陽電池を含む、および／または、これらの電池とすることが可能である。しかし、かつ、反転光起電性電池を形成中、電磁放射線を受光するように設計した反転光起電性電池の側面は、基板４０に向けて対面可能であり、基板４０の方に向けた方向に垂直な表面を規定可能であり、基板４０に動作可能に取り付け可能であり、かつ／または、基板４０と接触可能である。したがって、残りの多層積層体２０からデバイス３２を分離させることにより、デバイス３２の動作または効率的な動作を可能にすることができる。デバイス３２の追加の例示的で非排他的な例は、いずれの適したデバイス層、半導体デバイス、ＩＩＩ−Ｖ族半導体デバイス、光電子デバイス、および／または、太陽電池をも含む。
【００２７】
デバイス部３２はいずれの適した方法でも形成可能であり、かつ／または、いずれの適した構成および／または幾何学的形状をも含むことが可能であることは本開示の範囲内である。例示的で非排他的な例として、デバイス部３２は基板４０上に成長させたエピタキシャル層を含むこと、同層であること、同層として形成、かつ／または、同層から形成が可能であり、本明細書においてはエピタキシャルデバイス部３２と呼ぶことが可能である。追加の例示的で非排他的な例として、デバイス部３２は（基板４０が複数の個別デバイス部３２を含む時などに）基板４０の表面にわたって連続または不連続とすることが可能な平面構造を含むこと、および／または、同平面構造とすることが可能である。したがって、デバイス部３２は、本明細書において平面デバイス部３２、連続平面デバイス部３２、および／または、不連続平面デバイス部３２とも呼ぶことが可能である。
【００２８】
カソード部３６は構造物のいずれの適した構造および／または材料をも含むことが可能である。例示的で非排他的な例として、カソード部３６は導電性材料および／または金属材料を含むこと、および／または、これらの材料とすることが可能である。追加の例示的で非排他的な例として、カソード部３６は、カソード層、カソードフィルム、導電性カソード層、導電性カソードフィルム、電気めっき層、電気めっきカソード層、蒸着層、連続カソード層、および／または、不連続カソード層を含むことも、それらであることも、かつ／または、本明細書においてそのように呼ぶことも可能である。例示的で非排他的な例として、かつ、図１から図４に実線で示すように、カソード部３６は、電子組立体３０内において不連続とすることが可能であり、かつ／および、連続した層を形成しないことが可能である。他の例示的で非排他的な例として、かつ、図１にダッシュ線で示すように、カソード部３６は電子組立体３０内で連続層とすることが可能である。
【００２９】
検討したように、カソード部３６は犠牲光起電性電池４８と電気的に連絡している。図３および図４に示すように、カソード部３６は犠牲光起電性電池４８と直接に物理的に係合または接触が可能である。しかし、１つまたは複数の層、材料、および／または、フィルムが犠牲光起電性電池４８からカソード部３６を分離可能であり、それらの間に電気的な連絡をもたらすことが可能であることは本開示の範囲内である。
【００３０】
基板４０は、多層積層体２０を含むことが可能であり、多層積層体２０を支持可能であり、かつ／または、多層積層体２０を形成可能ないずれの適した構造をも含むことが可能である。例示的で非排他的な例として、基板４０は、半導体材料、半導体ウェハ、ＩＩＩ−Ｖ族半導体材料、シリコン、ゲルマニウム、リン化インジウム、および／または、ヒ化ガリウムを含むこと、および／または、これらとすることが可能である。
【００３１】
検討したように、デバイス部３２は、基板４０上にエピタキシャルに成長させることが可能なエピタキシャルデバイス部３２を含むこと、および／または、同部３２とすることが可能である。そのため、エピタキシャル成長技法を使用した基板４０上のデバイス部３２の形成を可能にするために必要とされることがあるように、犠牲アノード部４４、犠牲光起電性電池４８、および／または、エッチング停止層５２も基板４０を含む、かつ／または、基板４０上にエピタキシャルに成長させることが可能であることは本開示の範囲内である。
【００３２】
犠牲アノード部４４は、基板４０から電子組立体３０を分離可能な、電子組立体３０を基板４０に動作可能に取り付け可能な、基板４０上に形成可能な、かつ／または、（図１に示すように）電気化学電池１０のためのアノード１８として機能可能ないずれの適した構造をも含むことが可能である。例示的で非排他的な例として、犠牲アノード部４４は、基板４０、犠牲光起電性電池４８、カソード部３６、エッチング停止層５２、および／または、デバイス部３２のものとは異なった材料から形成可能であり、かつ／または、異なった化学組成を有することが可能である。追加の例示的な非排他的例として、犠牲アノード部４４は、半導体材料、シリコン、ゲルマニウム、ＩＩＩ−Ｖ族半導体材料、ヒ化ガリウム、インジウムヒ化ガリウム、アルミインジウムヒ化ガリウム、ヒ素アンチモン化物、アンチモン化物、ヒ化物、および／または、リン化物を含むことが可能、かつ／または、これらとすることが可能である。さらなる例示的で非排他的な例として、犠牲アノード部４４は、エピタキシャル犠牲アノード部、エピタキシャル犠牲アノード層、犠牲アノード層、犠牲アノードフィルム、平面犠牲アノード層、連続平面犠牲アノード層、および／または、不連続平面犠牲アノード層を含むことが可能、かつ／または、このように本明細書において呼ぶことが可能である。
【００３３】
図３に示すように、犠牲アノード部４４は基板４０および／または犠牲光起電性電池４８と直接に係合または接触していることが可能である。しかし、１つまたは複数の中間層が、基板４０および／または犠牲光起電性電池４８から犠牲アノード部４４を分離可能であることは本開示の範囲内である。中間層が犠牲光起電性電池４８から犠牲アノード部４４を分離すると、中間層は両者の間に電気的連絡をもたらすことが可能である。
【００３４】
犠牲光起電性電池４８は、多層積層体２０内の内部電源５０として機能可能な、かつ／または、（図１に示すように）光起電性電池１０内の犠牲アノード層４４の電気化学的溶解を駆動、または、これに給電が可能な電位差をもたらすことが可能ないずれの適した構造も含むことが可能である。例示的で非排他的な例として、犠牲光起電性電池４８は、基板４０に向き合った犠牲光起電性電池４８の側面に電磁放射線８４が入射した時に電位差をもたらすように構成した縦型光起電性電池および／または縦型犠牲デバイスを含むこと、かつ／または、これらとすることが可能である。
【００３５】
犠牲光起電性電池４８が発生可能な電位差がいずれかの適した大きさを含むことが可能であることは、本開示の範囲内である。例示的で非排他的な例として、発生した電位差の大きさは少なくとも０．１Ｖ、少なくとも０．２Ｖ、少なくとも０．３Ｖ、少なくとも０．４Ｖ、少なくとも０．５Ｖ、少なくとも０．６Ｖ、少なくとも０．８Ｖ、少なくとも１Ｖ、少なくとも１．２Ｖ、少なくとも１．４Ｖ、または、少なくとも１．６Ｖとすることが可能である。追加の例示的で非排他的な例として、発生した電位差は、５Ｖ未満、４．７５Ｖ未満、４．５Ｖ未満、４．２５Ｖ未満、４Ｖ未満、３．７５Ｖ未満、３．５Ｖ未満、３．２５Ｖ未満、３Ｖ未満、２．７５Ｖ未満、２．５Ｖ未満、２．２５Ｖ未満、２Ｖ未満、１．８Ｖ未満、１．６Ｖ未満、１．４Ｖ未満、１．２Ｖ未満、１Ｖ未満、０．８Ｖ未満、０．６Ｖ未満、または、０．４Ｖ未満とすることが可能である。
【００３６】
加えて、犠牲光起電性電池４８はいずれの適した材料からも形成可能であり、かつ／または、いずれの適した構成も規定可能である。例示的で非排他的な例として、犠牲光起電性電池４８は半導体材料、シリコン、ＩＩＩ−Ｖ族半導体材料、ゲルマニウム、リン化インジウム、および／または、ヒ化ガリウムを含むこと、および／または、これらから形成が可能である。追加の例示的で非排他的な例として、犠牲光起電性電池４８はエピタキシャル犠牲光起電性電池、平面犠牲光起電性電池、連続平面犠牲光起電性電池、および／または、不連続平面犠牲光起電性電池を含むこと、これらであること、かつ／または、このように本明細書において呼ぶことが可能である。
【００３７】
図３に示すように、犠牲光起電性電池４８はカソード部３６および／または犠牲アノード部４４と直接に連結または接触可能である。代案として、１つまたは複数の中間層がカソード部３６および／または犠牲アノード部４４から犠牲光起電性電池４８を分離可能である一方、犠牲光起電性電池４８と、カソード部３６および／または犠牲アノード部４４それぞれとの間に電気的な連絡をもたらすことは本開示の範囲内である。
【００３８】
外部電源７０は、カソード部３６および犠牲アノード部４４との間に電位差を発生可能ないずれかの適した構造をも含むことが可能である。例示的で非排他的な例として、外部電源７０は、直流（ＤＣ）電源および／またはプログラム可能な電源を含むこと、かつ／または、同電源とすることが可能である。外部電源７０が発生可能な電位差の例示的で非排他的な例は犠牲光起電性電池４８を参照して本明細書でさらに詳細に検討する。
【００３９】
電磁放射線８４の発生源８０は、電磁放射線８４を生じさせ、または、発生させるように、かつ／または、犠牲光起電性電池４８上に電磁放射線８４を向けるように適合、構成、および／または、設計可能であるいずれの適した構造をも含むことが可能である。発生源８０の例示的で非排他的な例は、いずれの適した電球、蛍光電球、レーザ、発光ダイオード（ＬＥＤ）、および、または、太陽をも含む。電磁放射線８４の例示的で非排他的な例は、光、可視光、紫外線、赤外線、蛍光、レーザ光、ＬＥＤ光、および／または、太陽光を含む。
【００４０】
電気化学電池１０は（図１に示すように）第１の半電池１４および第２の半電池１６を形成するために多層積層体２０を含むこと、および／または、利用することが可能ないずれかの適した構造を含むことが可能である。第１の半電池１４は、導電性流体１２およびカソード部３６によって規定可能であり、かつ、第１の半電池電圧を規定可能であり、同電圧の大きさは導電性溶液１２の組成およびカソード部３６の組成に依存可能である。同様に、第２の半電池１６は、導電性流体１２および犠牲アノード部４４によって規定可能であり、かつ、第２の半電池電圧を規定可能であり、同電圧の大きさは導電性溶液１２の組成および犠牲アノード部４４の組成に依存可能である。
【００４１】
図１を参照し、かつ、カソード部３６と犠牲アノード部４４との間の電位差の大きさが第１の半電池電圧と第２の半電池電圧の差より大きい時、犠牲アノード部４４は導電性流体１２中で溶解する。したがって、かつ、本明細書でさらに詳細に検討したように、電位差の大きさはカソード部３６の組成、犠牲アノード部４４の組成、および／または、導電性流体１２の組成に少なくとも部分的に基づいて選択可能である。加えて、または、代案として、かつ、本明細書で検討したように、カソード部３６の組成、犠牲アノード部４４の組成、および／または、導電性流体１２の組成は電位差の所望の、または、目標の電位差の大きさ（および／または、存在すれば、犠牲光起電性電池４８が発生可能な電位差の大きさ）に少なくとも部分的に基づいて選択可能である。
【００４２】
存在すれば、エッチング停止層５２は、電子組立体３０から犠牲光起電性電池４８の除去のためのエッチング停止層として機能可能ないずれの適した材料および／または構造をも含むことが可能、犠牲光起電性電池４８とデバイス部３２との間に位置することが可能、デバイス部３２から犠牲光起電性電池４８を電気的に隔離可能、かつ／または、カソード部３６からデバイス部３２を電気的に隔離可能である。図３および図４に示す様に、エッチング停止部５２の少なくとも一部は、カソード部３６の少なくとも一部または全体と同一平面上にあることが可能である。加えて、かつ、図３および図４にも示すように、エッチング停止部５２はカソード部３６から間隔を空けることが可能である。しかし、他の構成も本開示の範囲内である。
【００４３】
エッチング停止層５２の例示的で非排他的な例は、平面エッチング停止層、連続平面エッチング停止層、および／または、不連続平面エッチング停止層を含む。エッチング停止層５２の追加の例示的で非排他的な例は、エピタキシャルに成長および／または形成が可能なエピタキシャルエッチング停止層を含む。
【００４４】
導電性流体１２は、電気化学電池１０の一部を形成可能な、第１の半電池１４の一部を形成可能な、第２の半電池１６を形成可能な、かつ／または、（図１に示すように）カソード１７とアノード１８との間で、１つまたは複数のイオンを伝導させることなどで電流を伝導可能ないずれかの適した組成を含むことが可能である。例示的で非排他的な例として、導電性流体１２は、流体、流体溶液、電解質溶液、塩溶液、および／または、低濃度塩溶液を含むこと、および／または、これらとすることが可能である。他の例示的で非排他的な例として、導電性流体１２は溶媒に溶解した溶質を含むことが可能である。本開示によるシステムおよび方法とともに利用可能な溶質の例示的で非排他的な例は、塩、ヨウ化ナトリウム、および、塩化ナトリウムを含む。本開示によるシステムおよび方法とともに利用可能な溶媒の例示的で非排他的な例は、液体、アルコール、イソプロパノール、および、水を含む。この溶媒が水を含む場合、導電性流体１２は、水性溶液１２および／または水性導電性流体１２と本明細書では呼ぶことも可能である。
【００４５】
導電性流体１２が溶媒に溶解した溶質を含む場合、溶質が溶媒中のいずれかの適した濃度を有する、または、この濃度を規定することが可能であることは本開示の範囲内である。例示的で非排他的な例として、溶質の濃度は少なくとも０．０００１モル（Ｍ）、少なくとも０．００２５Ｍ、少なくとも０．００５Ｍ、少なくとも０．００７５Ｍ、少なくとも０．０１Ｍ、少なくとも０．０２Ｍ、少なくとも０．０３Ｍ、少なくとも０．０４Ｍ、少なくとも０．０５Ｍ、少なくとも０．０６Ｍ、少なくとも０．０８Ｍ、少なくとも０．１Ｍ、少なくとも０．２５Ｍ、または、少なくとも０．５Ｍとすることが可能である。追加の例示的で非排他的な例として、溶質の濃度は１Ｍ未満、０．７５Ｍ未満、０．５Ｍ未満、０．２５Ｍ未満、０．１Ｍ未満、０．０７５Ｍ未満、０．０５Ｍ未満、０．０２５Ｍ未満、０．０１Ｍ未満、０．００９Ｍ未満、０．００８Ｍ未満、０．００７Ｍ未満、０．００６Ｍ未満、０．００５Ｍ未満、０．００４Ｍ未満、０．００３Ｍ未満、０．００２Ｍ未満、または、０．００１Ｍ未満とすることが可能である。
【００４６】
図７は、電子組立体と、基板と、電子組立体と基板との間に位置し、電子組立体を基板に動作可能に取り付けている犠牲アノード部と、を含む多層積層体から電子組立体を分離する本開示による方法１００を示すフロー図である。方法１００は、１１５において電気化学電池を形成するために導電性流体中で多層積層体の位置を見出すことと、１２０において電子組立体のカソード部と犠牲アノード部との間に電位差を発生させることと、導電性流体中で犠牲アノード部を溶解するために犠牲アノード部を電気化学的に酸化することによって１３０において基板から電子組立体を分離することと、を含む。
【００４７】
加えて、方法１００は、１０５において電気化学電池の１つまたは複数の部品の組成を選択することと、１１０において電位差の大きさを選択することと、１３５において電子組立体から犠牲光起電性電池を除去することと、１４０において電子組立体からエッチング停止層を除去することと、１４５において電子組立体上に存在する複数の電子デバイスを単一化することと、１５０において基板をリサイクルすることと、および／または、１６０において方法を繰り返すことと、を含むことも可能である。
【００４８】
１０５における電気化学電池の１つまたは複数の部品の組成を選択することは、いずれかの適した基準に少なくとも部分的に基づいていずれかの適した部品を選択することを含むことが可能である。例示的で非排他的な例として、この選択は、カソード部の組成を選択することと、犠牲アノード部の組成を選択することと、および／または、導電性流体の組成を選択することと、を含むことが可能である。
【００４９】
検討したように、カソード部および導電性流体は、電気化学電池の第１の半電池を規定可能である。第１の半電池は第１の半電池電圧を規定可能であり、同電圧はカソード部の組成および／または導電性流体の組成とともに変化可能である。同様に、犠牲アノード部および導電性流体は、電気化学電池の第２の半電池を規定可能である。第２の半電池は第２の半電池電圧を規定可能であり、同電圧は犠牲アノード部の組成および／または導電性流体の組成とともに変化可能である。
【００５０】
同じく検討したように、（１３０において）導電性流体中で犠牲アノード部を電気化学的に酸化および溶解するために必要な電位差または電圧は、第１の半電池電圧と第２の半電池電圧の差に基づいて規定可能である。したがって、１０５における組成を変化させることにより、導電性流体中での犠牲アノード部の電気化学的溶解を可能にするために必要となることがある電位差の大きさを変化させること、変更すること、かつ／または選択することを可能にすることができる。
【００５１】
これに留意して、１０５における選択は、電位差の目標となる、または、所望の大きさに少なくとも部分的に基づいた選択を含むことが可能である。加えて、または、代案として、１０５における選択は、電位差の大きさが少なくとも閾値の大きさである時に犠牲アノード部が導電性溶液中で溶解するような選択を含むことが可能である。例示的で非排他的な例として、かつ、１２０における発生が犠牲光起電性電池を使用した発生を含む時、１０５における選択は、本明細書においては犠牲光起電性電池の動作電圧と呼ぶことも可能な犠牲光起電性電池によって生じた電位差の大きさが、電位差の目標の大きさ以上となるような選択を含むことが可能である。
【００５２】
１１０における電位差の大きさを選択は、いずれかの適した基準に基づいた電位差の大きさの選択を含むことが可能である。例示的で非排他的な例として、かつ、検討したように、電位差の大きさは、１２０における発生中および／または１３０における分離中に導電性溶液中で犠牲アノードが溶解するように選択可能である。これは、カソード部の化学組成、アノード部の化学組成、および／または、導電性流体の化学組成に基づいて電位差の大きさを選択することを含むことが可能である。
【００５３】
１１５における電気化学電池を形成するための導電性流体中で多層積層体の位置を決定することは、カソード部を導電性流体に流動的に接触させることと、同じく、犠牲アノード部を導電性流体に流動的に接触させることを含むことが可能である。これは、導電性流体中に多層積層体、または、少なくともそのカソード部およびその犠牲アノード部を少なくとも部分的に浸すかつ／または沈めることを含むことが可能である。正確な構成に関係なく、かつ、１１５における位置決定に続き、導電性流体は、カソード部と犠牲アノード部との間に電気的連絡をもたらし、それによって、電気化学電池を形成する。
【００５４】
１２０における電子組立体のカソード部と犠牲アノード部との間の電位差の発生は、カソード部が電気化学電池のカソードを形成、同カソードとして機能、および／または、同カソードとなるような、かつ、犠牲アノード部が電気化学電池のアノードを形成、同アノードとして機能、および／または、同アノードとなるような電位差の発生を含むことが可能である。例示的で非排他的な例として、かつ、本明細書において検討したように、多層積層体は、電磁放射線を受光して電位差を発生させるように構成した犠牲光起電性電池を含むことが可能である。これらの条件下で、１２０における発生は、犠牲光起電性電池を使用した発生を含むことが可能である。これは、１２０において電位差を発生させるために、１２２において電磁放射線を犠牲光起電性電池上に、同電池に接触するように、かつ／または、同電池に入射するように向けることを含むことが可能である。
【００５５】
別の例示的で非排他的な例として、かつ、本明細書において検討もしたように、多層積層体は、電位差を発生させるように構成した外部電源と電気的に連絡することが可能である。これらの条件下で、１２０における発生は外部電源を使用した発生を含むことが可能であり、方法１００は、１２４において、カソード部と外部電源の正極との間に第１の電気的接続を確立すること、および／または、犠牲アノード部と外部電源の負極との間に第２の電気的接続を確立することを含むことが可能である。
【００５６】
１２０における発生中に利用可能な正確な機構に関係なく、この発生は、犠牲アノード部を電気化学的に酸化するために充分な大きさの電位差（または電圧）を発生させ、それによって、導電性流体中で犠牲アノード部を溶解することを含むことが可能である。電位差の大きさ（電圧）の例示的で非排他的な例は本明細書で検討している。
【００５７】
加えて、または、代案として、かつ、検討したように、発生した電位差は第１の半電池電圧と第２の半電池電圧との差よりも大きいことが可能である。例示的で非排他的な例として、発生した電位差は、第１の半電池電圧と第２の半電池電圧との差の少なくとも１０５％、少なくとも１１０％、少なくとも１１５％、少なくとも１２０％、少なくとも１３０％、少なくとも１４０％、少なくとも１５０％、少なくとも１６０％、少なくとも１７０％、少なくとも１８０％、少なくとも１９０％、または、少なくとも２００％とすることが可能である。
【００５８】
１３０における基板からの電子組立体の分離は、導電性流体中で犠牲アノード部を溶解するために犠牲アノード部を電気化学的に酸化することを含むことが可能である。検討したように、かつ、１３０における分離に先だって、犠牲アノード部は電子組立体を基板に動作可能に取り付けている。したがって、かつ、検討もしたように、導電性流体中での犠牲アノード部の溶解はこの動作可能な取り付けを除去し、それによって、電子組立体の基板からの分離を可能にする。
【００５９】
１３０における分離が、犠牲アノード部をエッチングしない、犠牲アノード部を化学エッチングしない、かつ／または、犠牲アノード部の大幅なエッチングをしない分離を含むことが可能であることは本開示の範囲内である。したがって、本明細書に開示されるシステムおよび方法により、１３０における分離中に、導電性流体中に酸、強酸、塩基、強塩基、フッ化水素酸、コハク酸、水酸化アンモニウム、および／または、過酸化水素などの腐食性物質を含まずに基板から電子組立体の分離を可能にすることができる。
【００６０】
加えて、または、代案として、本明細書に開示のシステムおよび方法により、電子組立体を基板から機械的に剥ぎ取らない電子組立体の基板からの分離を可能にすることができる。しかし、導電性流体が１つまたは複数の腐食性物質を含むことがさらに可能であること、および／または、方法が機械的な剥ぎ取りを含むことがさらに可能であることは、そのいずれもが１３０における分離の速度を速めるが、本開示の範囲内である。
【００６１】
電子組立体が犠牲光起電性電池を含む時、かつ、検討したように、１３０における分離は、犠牲光起電性電池の基板からの分離、および／または、１３０における分離中に犠牲光起電性電池と残りの電子組立体との間の動作可能な取り付けを維持することを含むことが可能である。これらの条件下で、方法１００は、１３５において電子組立体から犠牲光起電性電池を除去することをさらに含むことが可能である。１３５における電子組立体からの犠牲光起電性電池の除去は、いずれかの適した方法で犠牲光起電性電池を除去することを含むことが可能である。例示的で非排他的な例として、１３５における除去は、電子組立体から犠牲光起電性電池を除去するために、犠牲光起電性電池を溶解すること、および／または、犠牲光起電性電池をエッチングすることを含むことが可能である。
【００６２】
本明細書で検討したように、電子組立体はエッチング停止層をさらに含むことが可能である。例示的で非排他的な例として、エッチング停止層は、デバイス部を損傷せずに１３５における除去を可能にするために、犠牲光起電性電池と電子組立体のデバイス部との間に位置してもよい。これらの条件下で、デバイス部からエッチング停止層を除去すること、および／または、残りの電子組立体からエッチング停止層を分離することがさらに望ましいことがある。したがって、方法１００は、１４０において電子組立体からエッチング停止層を除去することをさらに含むことが可能である。１４０における除去は、エッチング停止層の溶解および／またはエッチング停止層のエッチングを含むいずれかの適した方法で達成可能である。
【００６３】
本明細書で検討したように、デバイス部は複数の電子デバイスを含むことが可能である。これらの条件下で、複数の電子デバイスの残りから複数の電子デバイスの少なくとも一部を分離することが望ましいことがある。したがって、方法１００は１４５において電子組立体に存在する複数の電子デバイスを単一化することをさらに含むことが可能である。
【００６４】
１４５における単一化が、１３０における分離と平行して、または、１３０における分離に続いて実行可能であることは本開示の範囲内である。例示的で非排他的な例として、犠牲アノード部は複数の電子デバイスを基板に動作可能に取り付け可能であり、デバイス部は、複数の電子デバイスを互いに動作可能に取り付ける別の構造を含まないことが可能である。これらの条件下で、１３０における分離は、１４５における単一化も達成可能である（したがって、１４５における単一化は１３０における分離と平行して実行可能である）。例示的で非排他的な例として、デバイス部は、複数の電子デバイスを互いに動作可能に取り付け可能な１つまたは複数の追加の構造を含むことが可能である。これらの条件下で、１４５における単一化は１３０における分離に続いて実行する分離ステップとすることが可能である。
【００６５】
１５０における基板のリサイクルは、いずれかの適した方法での基板のリサイクルを含むことが可能であり、１３０における分離に続いて実行可能である。例示的で非排他的な例として、１５０におけるリサイクルは、基板の表面粗さを低減するなどのために、１５２において基板を研磨することを含むことが可能である。別の例示的で非排他的な例として、多層積層体は第１の多層積層体とすることが可能であり、１５０におけるリサイクルは、１５４において基板上に第２の多層積層体を形成することを含むことが可能である。第２の多層積層体は第２の電子組立体と、基板と、第２の犠牲アノード部と、を含むことが可能であり、第１の多層積層体に少なくとも実質的に同様とすることが可能である。加えて、または、代案として、第２の多層積層体は第１の多層積層体とは異なっていることが可能である。
【００６６】
方法１００は１５４において第２の多層積層体を形成することを含む場合、方法１００は１６０において方法を反復することをさらに含むことが可能である。１６０における方法の反復は、方法１００のいずれかの適した部分の反復を含むことが可能である。例示的で非排他的な例として、１６０における反復は、基板から第２の電子組立体を分離するために、少なくとも、１１５における位置の決定と、１２０における発生と、１３０における分離と、を反復することを含むことが可能である。この処理は、基板上にいずれかの適した数の電子組立体を形成するために、かつ、それに続いて基板から電子組立体を除去するために、いずれかの適した回数だけ反復が可能である。例示的で非排他的な例として、１６０における反復は少なくとも３、少なくとも４、少なくとも５、少なくとも６、少なくとも８、少なくとも１０、少なくとも１５、または、少なくとも２０回の反復を含むことが可能である。
【００６７】
本開示による発明性を持つ主題の例示的で非排他的な例を以下の列挙段落に説明する。
【００６８】
Ａ１．電子組立体と、基板と、電子組立体と基板との間に位置し、電子組立体を基板に動作可能に取り付けている犠牲アノード部と、を含む電子部品の多層積層体から電子組立体を分離する方法であって、電子組立体はカソード部と、デバイス部とを含み、
電気化学電池を形成するために導電性流体中の多層積層体の位置を決定することと、
カソード部が電気化学電池のカソードを形成し、犠牲アノード部が電気化学電池のアノードを形成するように、カソード部と犠牲アノード部との間に電位差を発生させることと、
導電性流体中で犠牲アノード部を溶解するために犠牲アノード部を電気化学的に酸化することによって基板から電子組立体を分離することと、を含む方法。
【００６９】
Ａ２．電子組立体は、カソード部と犠牲アノード部との間に位置し、かつ、これらと電気的および機械的に連絡する犠牲光起電性電池をさらに含み、発生させることは、犠牲光起電性電池を使用して電位差を発生させることをさらに含む段落Ａ１に記載の方法。
【００７０】
Ａ３．発生させることを開始するために犠牲光起電性電池上に電磁放射線を向けることをさらに含む段落Ａ２に記載の方法。
【００７１】
Ａ４．電磁放射線は光、可視光、紫外線、赤外線、蛍光、レーザ光、ＬＥＤ光、および／または、太陽光の少なくとも１つを含む段落Ａ３に記載の方法。
【００７２】
Ａ５．分離に先だって、犠牲アノード部は犠牲光起電性電池と基板との間に位置し、犠牲光起電性電池を基板に動作可能に取り付けており、分離することは基板から犠牲光起電性電池を分離する一方で犠牲光起電性電池とデバイス部との機械的な連絡を維持することをさらに含む段落Ａ２からＡ４のいずれかに記載の方法。
【００７３】
Ａ６．電子組立体から犠牲光起電性電池を除去することをさらに含む段落Ａ５に記載の方法。
【００７４】
Ａ７．犠牲光起電性電池を除去することは、犠牲光起電性電池を溶解することと、犠牲光起電性電池をエッチングすることとの少なくとも１つを含む段落Ａ６に記載の方法。
【００７５】
Ａ８．電子組立体は、デバイス部と犠牲光起電性電池との間に位置するエッチング停止部をさらに含み、方法は、デバイス部からエッチング停止層を除去することをさらに含む段落Ａ６またはＡ７に記載の方法。
【００７６】
Ａ９．エッチング停止層を除去することは、エッチング停止部を溶解することと、エッチング停止部をエッチングすることと、の少なくとも１つを含む段落Ａ８に記載の方法。
【００７７】
Ａ１０．カソード部と外部電源の正極との間に第１の電気的接続を確立することと、
犠牲アノード部と外部電源の負極との間に第２の電気的接続を確立することと、をさらに含み、発生させることは、外部電源を使用して電位差を発生させることを含む段落Ａ１からＡ９のいずれかに記載の方法。
【００７８】
Ａ１１．外部電源は直流外部電源を含む段落Ａ１０に記載の方法。
【００７９】
Ａ１２．多層積層体は第１の多層積層体であり、電子組立体は第１の多層積層体の第１の電子組立体であり、犠牲アノード部は第１の多層積層体の第１の犠牲アノード部であり、分離することに続いて、方法は
第２の電子組立体と、基板と、第２の電子組立体と基板との間に位置し、第２の電子組立体を基板に動作可能に取り付けている第２の犠牲アノード部を含む第２の多層積層体を形成することをさらに含む段落Ａ１からＡ１１のいずれかに記載の方法。
【００８０】
Ａ１３．第２の多層積層体の形成に先だって、かつ、基板からの電子組立体の分離に続いて、
基板を研磨することをさらに含む段落Ａ１２に記載の方法。
【００８１】
Ａ１４．第２の電子組立体を基板から分離するために、少なくとも、位置を決定すること、発生させること、および、分離することを反復することをさらに含む段落Ａ１２またはＡ１３に記載の方法。
【００８２】
Ａ１５．基板から複数の電子組立体を分離するために方法を複数回反復することをさらに含み、任意で、反復は、基板からそれぞれの数のデバイス部を分離するために、少なくとも３、少なくとも４、少なくとも５、少なくとも６、少なくとも８、少なくとも１０、少なくとも１５、または、少なくとも２０回反復することを含む段落Ａ１４に記載の方法。
【００８３】
Ａ１６．カソード部、アノード部、および、導電性流体の少なくとも１つ、任意で少なくとも２つ、任意で少なくとも全ての化学組成を選択することをさらに含む段落Ａ１からＡ１５のいずれかに記載の方法。
【００８４】
Ａ１７．化学組成を選択することは、電位差の所望の大きさに少なくとも部分的に基づく段落Ａ１６に記載の方法。
【００８５】
Ａ１８．化学組成を選択することは、電位差の大きさが少なくとも所望の大きさである時に犠牲アノード部が導電性流体中で溶解するように選択することを含む段落Ａ１７に記載の方法。
【００８６】
Ａ１９．多層積層体はカソード部および犠牲アノード部と電気的に連絡している犠牲光起電性電池を含み、犠牲光起電性電池は動作電圧を規定し、電位差の所望の大きさは犠牲光起電性電池の動作電圧に基づく、または、同電圧と等しい段落Ａ１７またはＡ１８に記載の方法。
【００８７】
Ａ２０．電位差の大きさを選択することをさらに含む段落Ａ１からＡ１９のいずれかに記載の方法。
【００８８】
Ａ２１．大きさを選択することはカソード部、アノード部、および、導電性流体の少なくとも１つ、任意で少なくとも２つ、任意で全ての化学組成に少なくとも部分的に基づく段落Ａ２０に記載の方法。
【００８９】
Ａ２２．犠牲アノード部をエッチングせずに基板から電子組立体を分離することをさらに含む段落Ａ１からＡ２１のいずれかに記載の方法。
【００９０】
Ａ２３．導電性流体は、酸、強酸、塩基、強塩基、腐食性物質、フッ化水素酸、コハク酸、水酸化アンモニウム、および、過酸化水素の少なくとも１つ、および、任意でいずれも含まない段落Ａ１からＡ２２のいずれかに記載の方法。
【００９１】
Ａ２４．電子組立体を基板から機械的に剥ぎ取らずに電子組立体を基板からの分離することをさらに含む段落Ａ１からＡ２３のいずれかに記載の方法。
【００９２】
Ａ２５．犠牲アノード部は半導体材料、シリコン、ゲルマニウム、ＩＩＩ−Ｖ族半導体材料、ヒ化ガリウム、インジウムヒ化ガリウム、アルミニウムインジウムヒ化ガリウム、ヒ素アンチモン化物、アンチモン化物、ヒ化物、および、リン化物の少なくとも１つを含む段落Ａ１からＡ２４のいずれかに記載の方法。
【００９３】
Ａ２６．基板は半導体材料、シリコン、ＩＩＩ−Ｖ族半導体材料、ゲルマニウム、リン化インジウム、および、ヒ化ガリウムの少なくとも１つを含む段落Ａ１からＡ２５のいずれかに記載の方法。
【００９４】
Ａ２７．電位差を発生させることは、
（ｉ）少なくとも０．１ボルト（Ｖ）、少なくとも０．２Ｖ、少なくとも０．３Ｖ、少なくとも０．４Ｖ、少なくとも０．５Ｖ、少なくとも０．６Ｖ、少なくとも０．８Ｖ、少なくとも１Ｖ、少なくとも１．２Ｖ、少なくとも１．４Ｖ、または、少なくとも１．６Ｖ、および
（ｉｉ）５Ｖ未満、４．７５Ｖ未満、４．５Ｖ未満、４．２５Ｖ未満、４Ｖ未満、３．７５Ｖ未満、３．５Ｖ未満、３．２５Ｖ未満、３Ｖ未満、２．７５Ｖ未満、２．５Ｖ未満、２．２５Ｖ未満、２Ｖ未満、１．８Ｖ未満、１．６Ｖ未満、１．４Ｖ未満、１．２Ｖ未満、１Ｖ未満、０．８Ｖ未満、０．６Ｖ未満、または、０．４Ｖ未満の少なくとも１つである電位差を発生させることを含む段落Ａ１からＡ２６のいずれかに記載の方法。
【００９５】
Ａ２８．カソード部と導電性流体は第１の半電池電圧を規定する第１の半電池を規定し、犠牲アノード部と導電性流体は第２の半電池電圧を規定する第２の半電池を規定し、さらに電位差を発生させることは第１の半電池電圧と第２の半電池電圧の差よりも大きい電位差を発生させることを含む段落Ａ１からＡ２７のいずれかに記載の方法。
【００９６】
Ａ２９．電位差を発生させることは、第１の半電池電圧と第２の半電池電圧の差の少なくとも１０５％、少なくとも１１０％、少なくとも１１５％、少なくとも１２０％、少なくとも１３０％、少なくとも１４０％、少なくとも１５０％、少なくとも１６０％、少なくとも１７０％、少なくとも１８０％、少なくとも１９０％、または、少なくとも２００％である電位差を発生させることを含む段落Ａ２８に記載の方法。
【００９７】
Ａ３０．カソード部は導電性材料および金属材料の少なくとも１つを含む段落Ａ１からＡ２９のいずれかに記載の方法。
【００９８】
Ａ３１．デバイス部は、デバイス層、半導体デバイス、光電子デバイス、ＩＩＩ−Ｖ族半導体デバイス、光起電性電池、反転光起電性電池、および、反転変性太陽電池の少なくとも１つを含む段落Ａ１からＡ３０のいずれかに記載の方法。
【００９９】
Ａ３２．カソード部はカソード層、カソードフィルム、導電性カソード層、導電性カソードフィルム、電気めっきカソード層、蒸着層、連続カソード層、および、不連続カソード層の少なくとも１つを含む段落Ａ１からＡ３１のいずれかに記載の方法。
【０１００】
Ａ３３．犠牲アノード部は犠牲アノード層、犠牲アノードフィルム、エピタキシャル成長犠牲アノード層、連続犠牲アノード層、および、不連続犠牲アノード層の少なくとも１つを含む段落Ａ１からＡ３２のいずれかに記載の方法。
【０１０１】
Ａ３４．デバイス部は複数の電子デバイスを含み、
複数の電子デバイスを単一化することをさらに含む段落Ａ１からＡ３３のいずれかに記載の方法。
【０１０２】
Ａ３５．単一化することは、分離することと平行して単一化すること、および、分離することに続いて単一化することの少なくとも１つを含む段落Ａ３４に記載の方法。
【０１０３】
Ａ３６．複数の電子デバイスは、複数の光電子デバイス、複数の光起電性電池、複数の反転光起電性電池、および、複数の反転変性太陽電池の少なくとも１つを含む段落Ａ３４またはＡ３５に記載の方法。
【０１０４】
Ａ３７．導電性流体は電解質溶液、塩溶液、および、低濃度塩溶液の少なくとも１つを含む段落Ａ１からＡ３６のいずれかに記載の方法。
【０１０５】
Ａ３８．導電性流体は溶媒中に溶解した溶質を含む段落Ａ１からＡ３７のいずれかに記載の方法。
【０１０６】
Ａ３９．溶質の濃度は
（ｉ）少なくとも０．０００１モル（Ｍ）、少なくとも０．００２５Ｍ、少なくとも０．００５Ｍ、少なくとも０．００７５Ｍ、少なくとも０．０１Ｍ、少なくとも０．０２Ｍ、少なくとも０．０３Ｍ、少なくとも０．０４Ｍ、少なくとも０．０５Ｍ、少なくとも０．０６Ｍ、少なくとも０．０８Ｍ、少なくとも０．１Ｍ、少なくとも０．２５Ｍ、または、少なくとも０．５Ｍ、および
（ｉｉ）１Ｍ未満、０．７５Ｍ未満、０．５Ｍ未満、０．２５Ｍ未満、０．１Ｍ未満、０．０７５Ｍ未満、０．０５Ｍ未満、０．０２５Ｍ未満、０．０１Ｍ未満、０．００９Ｍ未満、０．００８Ｍ未満、０．００７Ｍ未満、０．００６Ｍ未満、０．００５Ｍ未満、０．００４Ｍ未満、０．００３Ｍ未満、０．００２Ｍ未満、または、０．００１Ｍ未満の少なくとも１つである段落Ａ３８に記載の方法。
【０１０７】
Ａ４０．溶質は塩、ヨウ化ナトリウム、および、塩化ナトリウムの少なくとも１つを含む段落Ａ３８またはＡ３９に記載の方法。
【０１０８】
Ａ４１．溶媒は水を含む段落Ａ３８からＡ４０のいずれかに記載の方法。
【０１０９】
Ｂ１．基板と、
犠牲アノード部と、
電子組立体であって、犠牲アノード部は電子組立体と基板との間に位置し、かつ、電子組立体を基板に動作可能に取り付ける電子組立体とを含み、さらに電子組立体は、
犠牲アノード部と電気的に連絡している犠牲光起電性電池と、
犠牲光起電性電池と電気的に連絡しているカソード部であって、犠牲光起電性電池はカソード部を犠牲アノード部から電気的に分離するカソード部と、
デバイス部であって、犠牲光起電性電池は基板とデバイス部との間に位置するデバイス部と、を含む電子材料の多層積層体。
【０１１０】
Ｂ２．犠牲光起電性電池とデバイスとの間に位置し、犠牲光起電性電池をデバイス部に動作可能に取り付けているエッチング停止部をさらに含む段落Ｂ１に記載の多層積層体。
【０１１１】
Ｂ３．エッチング停止部は犠牲光起電性電池およびデバイス部と直接に係合している段落Ｂ２に記載の多層積層体。
【０１１２】
Ｂ４．エッチング停止部はエピタキシャルエッチング停止層を含む段落Ｂ２またはＢ３に記載の多層積層体。
【０１１３】
Ｂ５．エッチング停止部は平面エッチング停止層、任意で連続平面エッチング停止層、および、さらに任意で不連続平面エッチング停止層を含む段落Ｂ２からＢ４のいずれかに記載の多層積層体。
【０１１４】
Ｂ６．エッチング停止部の少なくとも一部は、カソード部の少なくとも一部、および、任意でカソード部全体と同一平面上にある段落Ｂ２からＢ５のいずれかに記載の多層積層体。
【０１１５】
Ｂ７．基板は、半導体材料、半導体ウェハ、シリコン、ゲルマニウム、ＩＩＩ−Ｖ族半導体材料、リン化インジウム、および、ヒ化ガリウムの少なくとも１つを含む段落Ｂ１からＢ６のいずれかに記載の多層積層体。
【０１１６】
Ｂ８．犠牲アノード部は半導体材料、シリコン、ゲルマニウム、ＩＩＩ−Ｖ族半導体材料、ヒ化ガリウム、インジウムヒ化ガリウム、アルミニウムインジウムヒ化ガリウム、ヒ素アンチモン化物、アンチモン化物、ヒ化物、および、リン化物の少なくとも１つを含む段落Ｂ１からＢ７のいずれかに記載の多層積層体。
【０１１７】
Ｂ９．犠牲アノード部はエピタキシャル犠牲アノード部である段落Ｂ１からＢ８のいずれかに記載の多層積層体。
【０１１８】
Ｂ１０．犠牲アノード部は、基板および犠牲光起電性電池と直接に係合している段落Ｂ１からＢ９のいずれかに記載の多層積層体。
【０１１９】
Ｂ１１．犠牲アノード部はエピタキシャル犠牲アノード層である段落Ｂ１からＢ１０のいずれかに記載の多層積層体。
【０１２０】
Ｂ１２．犠牲アノード部は平面犠牲アノード層、任意で連続平面犠牲アノード層、および、さらに任意で不連続平面犠牲アノード層を含む段落Ｂ１からＢ１０のいずれかに記載の多層積層体。
【０１２１】
Ｂ１３．犠牲光起電性電池は縦型犠牲デバイスを含む段落Ｂ１からＢ１２のいずれかに記載の多層積層体。
【０１２２】
Ｂ１４．犠牲光起電性電池は、電磁放射線を受光するように、かつ、電磁放射線の受光に応じて犠牲アノード部とカソード部との間に電位差を発生させるように構成されている段落Ｂ１からＢ１３のいずれかに記載の多層積層体。
【０１２３】
Ｂ１５．電位差は、
（ｉ）少なくとも０．１ボルト（Ｖ）、少なくとも０．２Ｖ、少なくとも０．３Ｖ、少なくとも０．４Ｖ、少なくとも０．５Ｖ、少なくとも０．６Ｖ、少なくとも０．８Ｖ、少なくとも１Ｖ、少なくとも１．２Ｖ、少なくとも１．４Ｖ、または、少なくとも１．６Ｖ、および、
（ｉｉ）５Ｖ未満、４．７５Ｖ未満、４．５Ｖ未満、４．２５Ｖ未満、４Ｖ未満、３．７５Ｖ未満、３．５Ｖ未満、３．２５Ｖ未満、３Ｖ未満、２．７５Ｖ未満、２．５Ｖ未満、２．２５Ｖ未満、２Ｖ未満、１．８Ｖ未満、１．６Ｖ未満、１．４Ｖ未満、１．２Ｖ未満、１Ｖ未満、０．８Ｖ未満、０．６Ｖ未満、または、０．４Ｖ未満の少なくとも１つである段落Ｂ１４に記載の多層積層体。
【０１２４】
Ｂ１６．犠牲光起電性電池はエピタキシャル犠牲光起電性電池を含む段落Ｂ１からＢ１５のいずれかに記載の多層積層体。
【０１２５】
Ｂ１７．犠牲光起電性電池は平面犠牲光起電性電池、任意で連続平面犠牲光起電性電池、および、さらに任意で不連続平面犠牲光起電性電池を含む段落Ｂ１からＢ１６のいずれかに記載の多層積層体。
【０１２６】
Ｂ１８．犠牲光起電性電池は、カソード部および犠牲アノード部と直接に係合している段落Ｂ１からＢ１７のいずれかに記載の多層積層体。
【０１２７】
Ｂ１９．犠牲光起電性電池は、半導体材料、シリコン、ゲルマニウム、ＩＩＩ−Ｖ族半導体材料、リン化インジウム、ガリウム、ヒ素、および、ヒ化ガリウムの少なくとも１つから形成されている段落Ｂ１からＢ１８のいずれかに記載の多層積層体。
【０１２８】
Ｂ２０．カソード部は導電性材料と金属材料の少なくとも１つを含む段落Ｂ１からＢ１９のいずれかに記載の多層積層体。
【０１２９】
Ｂ２１．カソード部は、カソード層、カソードフィルム、導電性カソード層、導電性カソードフィルム、電気めっきカソード層、蒸着層、連続カソード層、および、不連続カソード層の少なくとも１つを含む段落Ｂ１からＢ２０のいずれかに記載の多層積層体。
【０１３０】
Ｂ２２．カソード部は犠牲光起電性電池と直接に係合している段落Ｂ１からＢ２１のいずれかに記載の多層積層体。
【０１３１】
Ｂ２３．デバイス部はエピタキシャルデバイス部である段落Ｂ１からＢ２２のいずれかに記載の多層積層体。
【０１３２】
Ｂ２４．デバイス部はデバイス層、半導体デバイス、ＩＩＩ−Ｖ族半導体デバイス、光起電性電池、反転光起電性電池、および、反転変性太陽電池の少なくとも１つを含む段落Ｂ１からＢ２３のいずれかに記載の多層積層体。
【０１３３】
Ｂ２５．デバイス部は複数の電子デバイスを含む段落Ｂ１からＢ２４のいずれかに記載の多層積層体。
【０１３４】
Ｂ２６．複数の電子デバイスは、複数の光起電性電池、複数の反転光起電性電池、および、複数の反転変性太陽電池の少なくとも１つを含む段落Ｂ２５に記載の多層積層体。
【０１３５】
Ｂ２７．電子デバイス部は平面デバイス部、任意で連続平面デバイス部、および、さらに任意で不連続平面デバイス部を含む段落Ｂ１からＢ２６のいずれかに記載の多層積層体。
【０１３６】
Ｃ１．電気化学電池であって、
導電性流体と、
段落Ｂ１からＢ２７のいずれかの多層積層体であって、導電性流体中に位置する多層積層体と、を含む電気化学電池。
【０１３７】
Ｃ２．導電性流体は、液体溶液、電解質溶液、塩溶液、および、低濃度塩溶液の少なくとも１つを含む段落Ｃ１に記載の電気化学電池。
【０１３８】
Ｃ３．導電性流体は溶媒に溶解した溶質を含む段落Ｃ１またはＣ２のいずれかに記載の電気化学電池。
【０１３９】
Ｃ４．溶質の濃度は、
（ｉ）少なくとも０．０００１モル（Ｍ）、少なくとも０．００２５Ｍ、少なくとも０．００５Ｍ、少なくとも０．００７５Ｍ、少なくとも０．０１Ｍ、少なくとも０．０２Ｍ、少なくとも０．０３Ｍ、少なくとも０．０４Ｍ、少なくとも０．０５Ｍ、少なくとも０．０６Ｍ、少なくとも０．０８Ｍ、少なくとも０．１Ｍ、少なくとも０．２５Ｍ、または、少なくとも０．５Ｍ、および、
（ｉｉ）１Ｍ未満、０．７５Ｍ未満、０．５Ｍ未満、０．２５Ｍ未満、０．１Ｍ未満、０．０７５Ｍ未満、０．０５Ｍ未満、０．０２５Ｍ未満、０．０１Ｍ未満、０．００９Ｍ未満、０．００８Ｍ未満、０．００７Ｍ未満、０．００６Ｍ未満、０．００５Ｍ未満、０．００４Ｍ未満、０．００３Ｍ未満、０．００２Ｍ未満、または、０．００１Ｍ未満
の少なくとも１つである段落Ｃ３に記載の電気化学電池。
【０１４０】
Ｃ５．溶質は塩、ヨウ化ナトリウム、および、塩化ナトリウムの少なくとも１つを含む段落Ｃ３またはＣ４のいずれかに記載の電気化学電池。
【０１４１】
Ｃ６．溶媒は液体または水の少なくとも１つを含む段落Ｃ３からＣ５のいずれかに記載の電気化学電池。
【０１４２】
Ｃ７．電磁放射線の発生源と組み合わされ、電磁放射線の発生源は電磁放射線を犠牲光起電性電池に向けるように向きを決められ、犠牲光起電性電池がカソード部と犠牲アノード部との間に電位差を発生させるように、電磁放射線の波長および電磁放射線の強度の少なくとも１つが選択され、電位差は導電性流体中の犠牲アノード部の溶解をもたらし、さらに犠牲アノード部の一部は導電性流体中で溶解する、段落Ｃ１からＣ６のいずれかに記載の電気化学電池。
【０１４３】
本明細書で使用される場合、用語「選択的」および「選択的に」は、装置の１つもしくは複数の部品もしくは特徴の動作、動き、構成、または、他の活動を修正する際に、特定の動作、動き、構成、または、他の活動がこの装置の一態様または１つもしくは複数の部品のユーザによる操作の直接または間接の結果であることを意味する。
【０１４４】
本明細書で使用される場合、用語「適合した」および「構成した」は、要素、部品、または、他の主題が所与の機能を実行するように設計した、および／または、実行することを意図したことを意味する。したがって、用語「適合した」および「構成した」の使用は、所与の要素、部品、または、他の主題が、所与の機能を単に実行「可能で」あることを意味すると解釈すべきではなく、この要素、部品、および／または、他の主題がこの機能を実行する目的で固有に選択、創造、実装、利用、プログラム、および／または、設計されていることを意味すると理解すべきである。特定の機能を実行するように適合したとして列挙した要素、部品、および／または、列挙した他の主題は、その機能を実行するように構成したとして、追加で、または、代案として説明可能であることも本開示の範囲内であり、逆も適用される。同様に、特定の機能を実行するように構成したとして列挙した主題も、その機能を実行するために動作可能であるとして、追加で、または、代案として説明可能である。
【０１４５】
本明細書に開示した装置および方法のステップの様々な開示要素は、本開示による全ての装置および方法に必要なわけではなく、本開示は、本明細書で開示した様々な要素およびステップの全ての新規かつ非自明な組み合わせおよび副組み合わせを含む。さらに、本明細書で開示した様々な要素およびステップの１つまたは複数は、開示した装置または方法の全体とは別個の、かつ、その全体から逸脱した独立の発明的主題を規定可能である。したがって、そのような発明的主題は、本明細書に明示的に開示した特定の装置および方法に関連付けられることを要求されず、そのような発明的主題は、本明細書に明示的は検討されていない装置および／または方法においても実用性を見出すことが可能である。
【符号の説明】
【０１４６】
１０  電気化学電池
１２  導電性流体
１４、１６  半電池
１７  カソード
２０  多層積層体
３０  電子組立体
３２  デバイス部
３６  カソード部
４０  基板
４４  犠牲アノード部
４８  犠牲光起電性電池
５０  内部電源
５２  エッチング停止層
７０  外部電源
８０  発生源
８４  電磁放射線
【図１】
2014169498.tif 000003
【図２】
2014169498.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
2014169498.tif 000007
【図６】
2014169498.tif 000008
【図７】
2014169498.tif 000009
【外国語明細書】
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2014169498000002.pdf
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