(57)【要約】【課題】鏡面切削した部材の切削痕の状態を簡易に検査できる検査装置を提供する。【解決手段】表面を所定の加工方向に鏡面切削したロール１００の検査装置は、鏡面加工したロール１００の表面に光を照射するライン状照明装置２０と、ロール１００の表面で反射した反射光を撮像するラインＣＣＤカメラ１０と、ラインＣＣＤカメラ１０により撮像された画像データから得られた情報に基づいて、ロール１００の切削筋の状態の良否を判定する画像処理手段と、を備え、ライン状照明装置２０は、光の照射方向を鏡面加工したロール１００の表面に投影した方向と、加工方向とが交差するように光を照射する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面を、所定の加工方向に沿った周期的な加工を繰り返し行い鏡面加工した部材の検査装置であって、
前記鏡面加工した部材の表面に光を照射する照射手段と、
前記部材の表面で反射した反射光を撮像する撮像手段と、
前記撮像手段により撮像された画像データから得られた情報に基づいて、前記部材の切削筋の状態の良否を判定する画像処理手段と、を備え、
前記照射手段は、前記光の照射方向を鏡面加工した部材の表面に投影した方向と、前記加工方向とが交差するように光を照射することを特徴とする装置。
【請求項２】
前記加工方向と、前記照射方向を前記表面への投影した方向との角度が、３５°以上９０°未満である、請求項１に記載された装置。
【請求項３】
前記照射手段は、少なくとも光の照射方向が互いに異なる第１の照射手段及び第２の照射手段を含み、
前記第１の照射手段からの照射方向を前記表面に投影した方向と、前記加工方向との角度が３５°以上９０°未満であり、
前記第２の照射手段からの照射方向を前記表面に投影した方向と、前記加工方向との角度が３５°以上９０°未満であり、
前記第１の照射手段からの照射方向を前記表面に投影した方向と、前記第２の照射手段からの照射方向を前記表面に投影した方向とが、前記加工方向を中心に略線対称である、請求項１に記載された装置。
【請求項４】
前記画像処理手段は、画像データから切削筋の状態を含んだ情報を抽出し、前記切削筋の状態を含んだ情報から切削筋に特化した情報を抽出する、請求項１から３の何れか１項に記載された装置。
【請求項５】
前記鏡面切削した部材は、純度が９９．５％以上のアルミニウムを陽極酸化して形成された陽極酸化ポーラスアルミナ層を表面に有する部材である、請求項１から４の何れか１項に記載された装置。
【請求項６】
前記加工方向は切削方向であり、前記鏡面加工は切削加工である、請求項１から５のいずれかに記載の装置。
【請求項７】
表面を所定の加工方向に沿った周期的な加工を繰り返し行い鏡面加工した部材の検査方法であって、
前記鏡面加工した部材の表面に光を照射する照射する照射ステップと、
前記部材の表面で反射した反射光を撮像する撮像する撮像ステップと、
前記撮像手段により撮像された画像データから得られた情報に基づいて、前記部材の切削筋の状態の良否を判定する画像処理ステップと、を備え、
前記照射ステップでは、前記光の照射方向を表面に投影した方向と、前記加工方向とが交差するように光を照射することを特徴とする方法。
【請求項８】
前記加工方向と、前記照射方向を前記表面への投影した方向との角度が、３５°以上９０°未満である、請求項７に記載された方法。
【請求項９】
前記照射ステップでは少なくとも互いに異なる第１の照射方向及び第２の照射方向に光を照射し、
前記第１の照射方向を前記表面に投影した方向と、前記加工方向との角度が３５°以上９０°未満であり、
前記第２の照射方向を前記表面に投影した方向と、前記加工方向との角度が３５°以上９０°未満であり、
前記第１の照射方向を前記表面に投影した方向と、前記第２の照射方向を前記表面に投影した方向とが、前記加工方向を中心に略線対称である、請求項７又は８に記載された方法。
【請求項１０】
前記画像処理ステップは、画像データから切削筋の状態を含んだ情報を抽出するステップと、前記切削筋の状態を含んだ情報から切削筋に特化した情報を抽出するステップを含む、請求項７から９の何れか１項に記載された方法。
【請求項１１】
前記加工方向は切削方向であり、前記鏡面加工は切削加工である、請求項７から１０のいずれかに記載の方法。
【請求項１２】
鏡面加工した部材の製造方法であって、
基材の表面を鏡面加工するステップと、
請求項７から１１の何れか１項に記載された検査方法により、前記鏡面加工した表面を検査するステップと、を備える、ことを特徴とする方法。
【請求項１３】
表面に陽極酸化アルミナ層を有する部材の製造方法であって、
アルミニウム基材の表面を鏡面加工するステップと、
請求項７から１１の何れか１項に記載された検査方法により、前記アルミニウム基材の鏡面加工した表面を検査するステップと、
アルミニウム基材の表面を陽極酸化することによって、前記アルミニウム基材の表面に陽極酸化アルミナ層を形成するステップと、を備えることを特徴とする方法。
【請求項１４】
光学フィルムの製造方法であって、
請求項１３に記載された表面に陽極酸化アルミナ層を有する部材の製造方法により、表面に陽極酸化アルミナ層を有する部材を製造するステップと、
前記製造された表面に陽極酸化アルミナ層を有する部材の表面形状をフィルム材料に転写して、光学フィルムを製造するステップと、
を備えることを特徴とする方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、鏡面切削した部材の切削痕の状態を簡易に検査できる検査装置および検査方法、切削痕が抑えられた部材の製造方法、ならびに、切削痕の転写が抑えられた光学フィルムの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
可視光の波長以下のピッチの微細凹凸構造を表面に有するシート等の物品は、反射防止機能等を発現することから、その有用性が注目されている。特に、モスアイ（Ｍｏｔｈ−Ｅｙｅ）構造と呼ばれる微細凹凸構造は、空気の屈折率から材料の屈折率に連続的に増大していくことで有効な反射防止機能を発現することが知られている。
【０００３】
微細凹凸構造を表面に有する物品の製造方法としては、透明基材等の表面を直接加工して微細凹凸構造を表面に有する物品を製造する方法と、微細凹凸構造に対応した反転構造を有するモールドを用いて、透明基材等の表面に反転構造を転写する方法とが知られている。そして、生産性、経済性には、後者の方法が優れており、広く用いられている。
【０００４】
モールドに反転構造を形成する方法としては、電子線描画法、レーザー光干渉法等が知られている。近年、より簡便に反転構造を形成できる方法として、アルミニウム部材の表面を陽極酸化する方法が注目されている（例えば、特許文献１参照）。
アルミニウム部材の表面を陽極酸化することによって形成される陽極酸化アルミナは、アルミニウムの酸化皮膜（アルマイト）であり、ピッチが可視光の波長以下である複数の細孔（微細凹凸構造）を有する。
【０００５】
反射防止機能が高く、またヘイズが低い微細凹凸構造を表面に有する物品を製造するためには、鏡面加工されたアルミニウム部材を加工してモールドを製造する。このアルミニウム部材の鏡面加工には、バイト（刃物）を用いた切削や、砥粒やバフを用いた研磨などが挙げられるが、生産性が良い切削がよく用いられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００５−１５６６９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
所定の加工方向に沿った周期的な加工を繰り返し行い、全体を加工する鏡面加工、例えば切削による鏡面加工においては、バイトの状態や、切削速度、切削対象の硬度等の条件により、切削方向などの加工方向に沿って切削痕のような周期的欠陥が残ってしまう場合がある。特に、陽極酸化による、表面に微細凹凸構造を有するモールドの製造には高純度の純アルミニウムが使用されるが、純アルミニウムはアルミニウム合金等と比べると非常に柔らかく、切削が難しいため、切削痕が残りやすい。また、微細凹凸構造を表面に有する物品は反射率が低いため、少しでもモールドに切削痕が残っていると、それが微細凹凸構造を有する物品の表面に転写され、目視で確認できる外観欠陥や、ヘイズ上昇の要因となってしまう。このため、モールドの切削痕の状態を管理することが重要である。しかしながら、モールドの切削痕の状態の確認には、検査に熟練したものの目視に頼るしかなく、モールドの切削痕の状態を簡易に検査できる方法がなかった。
【０００８】
本発明は上記の問題に鑑みなされたものであり、その目的は、鏡面切削した部材の切削痕の状態を簡易に検査できる検査装置および検査方法、切削痕が抑えられた部材の製造方法、ならびに、切削痕の転写が抑えられた光学フィルムの製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本願発明者らは、上記の課題に鑑み鋭意検討した結果、鏡面切削した部材の表面で反射する光が切削痕の状態の影響を受けることを見出し、本発明に至った。
【００１０】
すなわち、本発明の検査装置は、表面を、所定の加工方向に沿った周期的な加工を繰り返し行い鏡面加工した部材の検査装置であって、鏡面加工した部材の表面に光を照射する照射手段と、部材の表面で反射した反射光を撮像する撮像手段と、撮像手段により撮像された画像データから得られた情報に基づいて、部材の切削筋の状態の良否を判定する画像処理手段と、を備え、照射手段は、光の照射方向を鏡面加工した部材の表面に投影した方向と、加工方向とが交差するように光を照射することを特徴とする。
なお、ここでいう、光の照射方向を表面に投影した方向とは、部材が円筒状である場合には、撮像手段により撮像する領域における接平面に投影した方向をいう。
【００１１】
本発明において、好ましくは、加工方向と、照射方向を表面への投影した方向との角度が、３５°以上９０°未満である。
【００１２】
本発明において、好ましくは、照射手段は、少なくとも光の照射方向が互いに異なる第１の照射手段及び第２の照射手段を含み、第１の照射手段からの照射方向を表面に投影した方向と、加工方向との角度が３５°以上９０°未満であり、第２の照射手段からの照射方向を表面に投影した方向と、加工方向との角度が３５°以上９０°未満であり、第１の照射手段からの照射方向を表面に投影した方向と、第２の照射手段からの照射方向を表面に投影した方向とが、加工方向を中心に略線対称である。
【００１３】
本発明において、好ましくは、画像処理手段は、画像データから切削筋の状態を含んだ情報を抽出し、切削筋の状態を含んだ情報から切削筋に特化した情報を抽出する。
【００１４】
本発明において、好ましくは、鏡面切削した部材は、純度が９９．５％以上のアルミニウムを陽極酸化して形成された陽極酸化ポーラスアルミナ層を表面に有する部材である。
また、本発明において、好ましくは、加工方向は切削方向であり、鏡面加工は切削加工である。
【００１５】
本発明の検査方法は、表面を所定の加工方向に沿った周期的な加工を繰り返し行い鏡面加工した部材の検査方法であって、鏡面加工した部材の表面に光を照射する照射する照射ステップと、部材の表面で反射した反射光を撮像する撮像する撮像ステップと、撮像手段により撮像された画像データから得られた情報に基づいて、部材の切削筋の状態の良否を判定する画像処理ステップと、を備え、照射ステップでは、光の照射方向を表面に投影した方向と、加工方向とが交差するように光を照射することを特徴とする。
【００１６】
本発明において、好ましくは、加工方向と、照射方向を表面への投影した方向との角度が、３５°以上９０°未満である。
本発明において、好ましくは、照射ステップでは少なくとも互いに異なる第１の照射方向及び第２の照射方向に光を照射し、第１の照射方向を表面に投影した方向と、加工方向との角度が３５°以上９０°未満であり、第２の照射方向を表面に投影した方向と、加工方向との角度が３５°以上９０°未満であり、第１の照射方向を表面に投影した方向と、第２の照射方向を表面に投影した方向とが、加工方向を中心に略線対称である。
【００１７】
また、本発明において、好ましくは、画像処理ステップは、画像データから切削筋の状態を含んだ情報を抽出するステップと、切削筋の状態を含んだ情報から切削筋に特化した情報を抽出するステップを含む。
また、本発明において、好ましくは、加工方向は切削方向であり、鏡面加工は切削加工である。
本発明の鏡面切削した部材の検査装置および検査方法によれば、切削痕の状態が管理幅に収まっているかを簡易に検査することができる。
【００１８】
また、本発明の鏡面加工した部材の製造方法は、基材の表面を鏡面加工するステップと、上記の検査方法により、鏡面加工した表面を検査するステップと、を含む。
【００１９】
本発明の表面に陽極酸化アルミナ層を有する部材の製造方法は、表面に陽極酸化アルミナ層を有する部材の製造方法であって、アルミニウム基材の表面を鏡面加工するステップと、上記の検査方法により、アルミニウム基材の鏡面加工した表面を検査するステップと、アルミニウム基材の表面を陽極酸化することによって、アルミニウム基材の表面に陽極酸化アルミナ層を形成するステップと、を備えることを特徴とする。
【００２０】
本発明の陽極酸化アルミナを表面に有する部材の製造方法によれば、上記の鏡面切削した部材の検査方法によって、切削痕の状態を検査するステップを有するため、切削痕の抑えられた、陽極酸化アルミナを表面に有する部材を安定して製造できる。
【００２１】
本発明の光学フィルムの製造方法は、上記の表面に陽極酸化アルミナ層を有する部材の製造方法により、表面に陽極酸化アルミナ層を有する部材を製造するステップと、製造された表面に陽極酸化アルミナ層を有する部材の表面形状をフィルム材料に転写して、光学フィルムを製造するステップと、を備えることを特徴とする。
【００２２】
本発明の光学フィルムの製造方法によれば、上述した鏡面切削した部材の検査方法により、切削痕の抑えられた陽極酸化アルミナを表面に有する部材を使用することになり、切削痕の転写が抑えられた微細凹凸構造を表面に有する物品を安定して製造できる。
【発明の効果】
【００２３】
本発明の鏡面切削した部材の検査装置および検査方法によれば、切削痕の状態を簡易に検査できる。本発明の鏡面切削した部材の製造方法によれば、切削痕が抑えられた部材を安定して製造できる。本発明の陽極酸化アルミナ層を表面に有する部材の製造方法によれば、切削痕が抑えられた部材を安定して製造できる。本発明の光学フィルムの製造方法よれば、切削痕の転写が抑えられた光学フィルムを安定して製造できる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】第１実施形態の鏡面切削した部材の検査装置を示し、（ａ）は側面図、（ｂ）は正面図であり、（ｃ）はロールの撮像領域における法線方向から見た図である。
【図２】図１に示す検査装置のライン状照明装置を示し、（ａ）は正面図、（ｂ）は側面図である。
【図３】第２実施形態の検査装置を示し、（ａ）は側面図、（ｂ）は正面図であり、（ｃ）はロールの撮像領域の法線方向から見た図である。
【図４】図１に示す検査装置のライン状照明装置として用いることができる他の照明を示し、（ａ）は正面図、（ｂ）は側面図である。
【図５】本実施形態の表面に微細凹凸構造を有するシートを製造する際に用いられる製造装置を示す図である。
【図６】撮像手段によって撮像した、鏡面切削した部材の画像である。
【図７】１ラインの輝度データを示す。
【図８】１ラインの輝度データに移動平均処理を行い平滑化した輝度データを示す。
【図９】１ラインの輝度データを平滑化した輝度データで除算したデータを示す。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、本発明の鏡面切削した部材の検査装置および検査方法、鏡面切削した部材の製造方法、ならびに光学フィルムの製造方法の実施形態を図面を参照しながら詳細に説明する。
本実施形態の鏡面切削した部材の検査装置および検査方法は、表面に微細凹凸構造を有する光学フィルムを製造する際に用いられるモールドの基材となる表面を鏡面切削した高純度の純アルミニウムロールの表面の切削痕の状態の良否を判定するための装置及び方法である。純アルミニウムロールは、外周面に沿って周方向に鏡面切削が行われている。
【００２６】
＜鏡面切削した部材の検査装置＞
図１は、第１実施形態の鏡面切削した部材の検査装置を示し、（ａ）は側面図、（ｂ）は正面図であり、（ｃ）はロールの撮像領域における法線方向から見た図である。
図１に示すように、第１実施形態の検査装置は、外周面を鏡面切削したロール１００を回転させる回転手段（図示せず）と、ロール１００にライン状に光を照射するライン状照明装置２０（照射手段）と、ライン状照明装置２０から照射され、ロール１００の表面で反射した光を撮像するラインＣＣＤカメラ１０（撮像手段）と、ラインＣＣＤカメラ１０からの画像信号を処理する画像処理装置３０（画像処理手段）と、ロール１００と、ラインＣＣＤカメラ１０とを、ロール１００の長手方向（軸方向）に沿って相対的に移動させる移動手段（図示せず）と、を有する。
【００２７】
（照射手段）
ライン状照明装置２０は、照射範囲が直線状の指向性を有する照射光を照射する装置である。図１に示すように、ライン状照明装置２０は、ロール１００への照射光の照射範囲の長手方向がロール１００の周方向に直交するように配置される。なお、照射光がある程度の角度範囲で広がりを持つ場合には、照射光のピーク輝度の方向を照射光の照射方向とする。
【００２８】
図２は、ライン状照明装置２０を示し、（ａ）は正面図、（ｂ）は側面図である。同図に示すように、ライン状照明装置２０は装置に対して傾斜した方向に照射光を照射する。すなわち、ライン状照明装置２０から照射される照射光は、図２（ｂ）に示すように、側方から見た場合は照射方向が真っ直ぐであるが、図２（ａ）に示すように、正面から見た場合は照射方向が装置の軸方向（図２（ａ）の上下方向）に対して角度θ1だけ傾斜している。
【００２９】
ライン状照明装置２０としては、正面から見た照射方向が装置の軸方向に対して角度θ1だけ傾斜するように光源がライン状に配置された光ファイバ照明、ＬＥＤ照明等を用いることができる。また、正面から見た照射光の照射方向が角度θ1だけ傾斜していなくても、装置全体を傾けることで照射光の照射方向を傾けてもよい。
【００３０】
このようなライン状照明装置２０を用いることにより、図１（ｃ）に示すように、ロール１００の表面のラインＣＣＤカメラ１０により撮像される部位において、この部位における切削方向（ロール１００の周方向、実線の矢印で示す）と、バンドビームの照射方向をこの部位に投影した方向とが角度θ2で交差する。そして、このバンドビームの照射方向を投影した方向と切削方向との角度θ2は、３５°以上９０°未満であることが好ましい。角度θ2が３５°未満であると、切削筋を十分な感度で検出することが困難になる。角度θ2が９０°以上であると、ライン状照明２０から照射された光を、ロール１００の表面に照射することが困難になる。
【００３１】
（撮像手段）
ラインＣＣＤカメラ１０は、複数のＣＣＤ素子が１次元に（すなわち、直線状に）配置されたカメラであり、ライン状照明装置２０から照射され、ロール１００の鏡面切削した表面で反射した光をＣＣＤ素子で受光し、画素ごとに２５６階調の輝度データを含んだ画像データを出力する。
【００３２】
ラインＣＣＤカメラ１０は、撮像範囲の長手方向がロール１００の周方向に直交するように（すなわち軸方向に一致するように）配置されている。これにより、ラインＣＣＤカメラ１０は軸方向に延びる画像を撮像する。なお、ラインＣＣＤカメラ１０により一度に撮像された画像を１ライン分の画像という。
【００３３】
撮像手段は、照射手段によりロール１００に照射され、ロール１００で反射された光を受光できるように配置されていればよい。なお、ロール１００の照射手段から照射された照射光が入射する位置における法線Ｎに対して、側面視において、撮像手段の光軸と、照射手段の光軸とが、非対称となるように撮像手段及び照射手段を配置することが好ましい。これにより、撮像手段によりロール１００の表面での反射光を暗視野で撮像することができる。
【００３４】
本実施形態では、回転手段によりロール１００を中心軸周りに回転させながら、ラインＣＣＤカメラ１０によりロール１００一周分の反射光を撮像する。これにより、ラインＣＣＤカメラ１０はロール１００一周分の複数ラインの画像データを撮像することとなる。ラインＣＣＤカメラ１０により撮像された画像データは画像処理装置３０へと送られる。
【００３５】
（画像処理手段）
画像処理装置３０は、ラインＣＣＤカメラ１０から送信されたロール１００一周分の画像データに基づいて、切削痕の状態の良否を判定する判定部と、ＣＣＤカメラ等と各判定部等との間を電気的に接続するインターフェイス部と、切削痕の状態の良否の判定に用いる閾値等を記憶する記憶部と、を備える。
【００３６】
なお、判定部等は、専用のハードウエアにより実現されるものであってもよく、メモリおよび中央演算装置（ＣＰＵ）によって構成され、判定部等の機能を実現するためのプログラムをメモリにロードして実行することによって、その機能を実現させるものであってもよい。
また、画像処理装置には、周辺機器として、ディスプレイタッチパネル、スイッチパネル、キーボード等の入力装置や、ＣＲＴ、液晶表示装置等の表示装置等が接続される。
【００３７】
（移動手段）
移動手段（図示略）は、ロール１００の外周全面を撮像するために、ロール１００と、ラインＣＣＤカメラ１０とを、ロール１００の長手方向に沿って相対的に平行移動させるものである。
【００３８】
なお、移動手段はロール１００を固定し、ラインＣＣＤカメラ１０をロール１００の長手方向に沿って平行移動させるものであってもよいし、ラインＣＣＤカメラ１０を固定し、ロール１００をラインＣＣＤカメラ１０の撮像範囲の長手方向に沿って平行移動させるものであってもよい。また、ライン状照明装置２０の照射範囲がロール１００の長手方向の全幅を照らせない場合、ライン状照明装置２０もラインＣＣＤカメラ１２と同様に、ロール１００の長手方向に沿って相対的に平行移動させるようにしてもよい。
【００３９】
判定部は、ラインＣＣＤカメラ１０から出力された画素ごとの２５６階調の画像データから輝度データを取得し、取得した信号に基づいて、切削痕の状態が所定の範囲内にあるかを判定する。
具体的には、下記の工程（ｉ）〜（ｖ）を順に行うことにより判定を行う。
【００４０】
工程（ｉ）：切削方向に対して垂直な方向の１ライン分の輝度データの抽出
ロール１周分の画像データから、切削方向（ロール周方向）に対する垂直方向（ロール軸方向）の１ラインの輝度データを抽出する。このようにして得られた切削方向に対する垂直方向の１ラインの輝度データには、切削痕の影響が含まれている。この際、画像に埃等の異物、接触による擦り傷等が写りこんでいれば、輝度データにその影響が含まれてしまうため、切削方向に複数ライン分の輝度データを平均して、切削方向に対する垂直方向の１ラインの輝度データを抽出するようにしてもよい。
【００４１】
平均する際のライン数は、画像に写りこんだ埃等の異物、接触による擦り傷等よりも十分に大きな幅で、平均することでそれらの影響を軽減できる数にする。また、単純な平均処理ではなく、重み付けを行った平均処理でもよく、複数のラインの中間値をとる処理でもよい。
【００４２】
工程（ｉｉ）：１ラインの輝度データに移動平均処理を行い平滑化データを作成
工程（ｉ）で抽出した１ラインの輝度データには、照明ムラ等の切削痕ではない影響も含まれているため、工程（ｉ）で抽出した１ラインの輝度データに移動平均処理を行い平滑化データを作成する。移動平均処理とは、特定の個数分のデータの平均値を連続的に求め、もとのデータを平滑化する処理である。これにより、照明ムラ等の切削痕ではない情報に特化したデータを作成することができる。
【００４３】
工程（ｉｉｉ）：工程（ｉ）で抽出した１ラインの情報を工程（ｉｉ）で作成した平滑化データにて除算
工程（ｉ）で抽出した１ラインの情報を工程（ｉｉ）で作成した平滑化データにて除算する（以下、工程（ｉｉｉ）とも記す。）。この処理により、輝度データから切削痕ではない情報を除去し、切削痕に特化したデータを作成することができる。
【００４４】
工程（ｉｖ）：切削痕の数値化データを作成
工程（ｉｉｉ）で抽出した切削痕に特化した１ラインの情報から標準偏差を求め、切削痕の数値化データを作成する。
工程（ｖ）切削痕の平均数値化データを作成
【００４５】
切削痕の数値化データ安定化させるため、モールドの周方向で場所が異なる領域で、それぞれ工程（ｉ）〜（ｉｖ）の処理を行う。それぞれの領域で算出した切削痕の数値化データを平均して、ロール１００の切削痕の平均数値化データを取得する。
【００４６】
例えば、ロールの周方向で９０°ずつ場所の異なる領域で、工程（ｉ）〜（ｉｖ）の処理を行うことで、４つの切削痕の数値化データが算出できるので、その４つのデータを平均したものを、そのロールの切削痕の平均数値化データとすればよい。
【００４７】
この工程（ｖ）は、部材を鏡面切削する際、部材とバイトとの間に異物等が噛み込んだ場合、切削方向に長いスクラッチ傷が入る可能性があり、工程（ｉ）の平滑化処理でそのスクラッチ傷の影響を取りきれなかった場合の、補助的な処理である。このため、工程（ｖ）は必要に応じて行えばよく、省略することも可能である。
【００４８】
上述した工程（ｉ）〜（ｖ）（工程（ｖ）は必要に応じて）を異なるロールごとに実施し、それぞれのロールで算出した切削痕の平均数値化データが、予め定めた閾値の範囲を越えていればそのロールは不良品と判定する。
【００４９】
なお、本発明の鏡面切削した部材の検査装置は、鏡面切削した部材の表面に光を照射する照射手段と、照射手段から照射され、鏡面切削した部材の表面で反射した光を撮像する撮像手段と、撮像手段によって撮像された画像から得られた輝度情報に基づいて、切削痕の状態の良否を判定する画像処理手段とを有するものであればよく、図１に示す第１実施形態のものに限定はされない。
【００５０】
図３は、第２実施形態の検査装置を示し、（ａ）は側面図、（ｂ）は正面図であり、（ｃ）はロールの撮像領域の法線方向から見た図である。図３のように、２つのライン状照明装置２０ａ、２０ｂをロール１００の表面に対して異なる角度で照射するように設置し、かつ、正面視における２つのライン状照明装置２０ａ、２０ｂによる照射方向のロール１００の軸方向に対する傾きが、逆になるように設置してもよい。
【００５１】
このようなライン状照明装置２０を用いることにより、図３（ｃ）に示すように、ロール１００の表面のラインＣＣＤカメラ１０により撮像される部位において、この部位における切削方向（実線の矢印で示す）と、２つのライン状照明装置２０ａ、２０ｂから照射された照射光の照射方向をこの部位に投影した方向とが、それぞれ角度θ6、θ7で交差する。そして、これら２つのライン状照明装置２０ａ、２０ｂから照射された照射光の照射方向をこの部位に投影した方向は、切削方向に対して反対側となる。このように、切削方向とは異なる２方向から照射光を照射することにより、切削痕の検出感度をあげることができる。
【００５２】
また、図４は、図１に示す検査装置のライン状照明装置として用いることができる他の照明を示し、（ａ）は正面図、（ｂ）は側面図である。同図に示すように、図１に示すライン状照明装置２０として、照射方向が正面視において角度θ8、θ9となるように照射可能な照明に置き換えてもよい。
【００５３】
また、照射手段は、図示例のライン状照明装置２０に限定されず、スポット状照明装置、レーザー照明等であってもよい。また、照明装置に、反射板、シリンドリカルレンズ、集光レンズ等の補助部材を組み合わせてもよい。
【００５４】
また、撮像手段は、図示例のラインＣＣＤカメラ１０に限定はされず、イメージＣＣＤカメラであってもよく、反射強度を測定する光検出器であってもよい。
【００５５】
また、ロール１００の長さがラインＣＣＤカメラ１０の撮像範囲内に収まっている場合は、上記の移動手段を省略してもいい。
また、ライン状照明装置２０、及びラインＣＣＤカメラ１０をロール１００の長手方向に複数台並べて一度に外周全面を撮像する構成としてもよい。
【００５６】
また、画像処理装置３０においては、画像信号を２５６階調の画像信号として処理しているが、画像信号から切削痕の状態を判別できればよいため、画像信号は、５１２階調であってもよく、１０２４階調であってもよく、アナログ信号であってもよい。
【００５７】
＜鏡面切削した部材の検査方法＞
次に、図１に示す検査装置を用いた鏡面切削した部材の検査方法について説明する。
【００５８】
まず、ロール状の部材の外周面を周方向に切削して鏡面加工を行い、ロール１００を得る。
【００５９】
次に、ロール１００を回転手段に取り付けて回転させながら、回転するロール１００の鏡面切削した表面に、ライン状照明装置２０から光を照射し、表面からの反射光をラインＣＣＤカメラ１０によりロール１００の全周にわたって撮像する。この際、ロール１００の全面を撮像できるように、必要に応じてラインＣＣＤカメラ１０を、ロール１００の長手方向に沿って平行移動させる。
【００６０】
そして、ラインＣＣＤカメラ１０から出力された、ロール１００の外周全面分の複数ラインの画像データは、画像処理装置３０に入力される。
【００６１】
画像処理装置３０にて、ラインＣＣＤカメラ１０から得た画像データに対して、上述した工程（ｉ）〜（ｖ）（または（ｉ）〜（ｉｖ））を行い、算出した切削痕の（平均）数値化データが、予め定めた閾値の範囲を越えていればそのロールは不良品と判定する。
【００６２】
上述の方法では、ロール１００の外周全面分の画像を一度に処理しているが、画像が大きくて処理に負荷がかかる場合は、複数の小領域に分けて処理してもよい。また、外周全面分を撮像するのではなく、一部分の撮像画像で切削痕の状態を判定してもよい。
【００６３】
本実施形態の鏡面切削した部材の検査装置および検査方法によれば、切削痕の状態が管理幅に収まっているかを簡易に検査することができる。
【００６４】
＜鏡面切削した部材の製造方法＞
次に、本実施形態の鏡面切削した部材の製造方法について説明する。なお、本実施形態では、鏡面切削した高純度の純アルミニウムロールを製造する場合について説明する。
本実施形態の鏡面切削した部材の製造方法は、アルムニウムロールの表面を切削して鏡面化する鏡面切削工程と、上述した鏡面切削した部材の検査方法により鏡面切削したアルミニウムロールを検査する検査工程と、必要に応じて鏡面切削したアルミニウムロールを修復する修復工程とを含む。
【００６５】
（鏡面切削工程）
ロールを旋盤に設置し、高速回転させながら、バイトを外周面に一定の接触圧で接触させながらロールの軸方向に直線的に一定の速度で移動させることにより、ロールの外周面を鏡面化する。
【００６６】
（検査工程）
鏡面切削工程にて外周面が鏡面化されたロールについて、図１に示した検査装置によって、ロール表面からの反射光をラインＣＣＤカメラ１０にて撮像する。
【００６７】
ラインＣＣＤカメラ１０から出力された、ロール１００の外周全面分の画像について、画像処理装置３０において、画素ごとに２５６階調で表される輝度データを含む画像データを得る。
取得した画像データから算出した切削痕の数値化データから、ロール１００の切削痕の状態の良否を判定し、良品であれば次の修復工程へとロール１００を進める。
【００６８】
（修復工程）
不良品であれば、鏡面切削工程を再度実施する。ロール１００の修復後、再度検査工程を実施し、ロール１００が良品となるまで修復工程と検査工程を繰り返し実施する。
【００６９】
なお、本実施形態では、鏡面切削した部材として、アルミニウムロールを例として説明したが、他の金属であってもよい。また、形状も平板状の部材であってもよく、平板状の部材の場合はフライスのように回転する工具で表面の鏡面出しを行う。また、必要に応じて、切削加工と化学研磨、電解研磨等を組み合わせて鏡面加工を行った部材でもよい。
【００７０】
以上説明した本発明の、鏡面切削した部材の製造方法にあっては、本発明の鏡面切削した部材の検査方法によって、切削痕の状態を検査する工程を有するため、切削痕の抑えられた、鏡面切削した部材を安定して製造できる。
【００７１】
＜陽極酸化アルミナを表面に有する部材の製造方法＞
次に、本実施形態の陽極酸化アルミナを表面に有する部材の製造方法について説明する。なお、本実施形態では、陽極酸化アルミナを表面に有するモールドを製造する場合について説明する。
【００７２】
本実施形態の、陽極酸化アルミナを表面に有する部材の製造方法は、切削加工によって表面を鏡面化したアルミニウム部材を得る鏡面切削工程と、上述した鏡面切削した部材の検査方法によって、鏡面切削したアルミニウム部材を検査する検査工程と、必要に応じて鏡面切削したアルミニウム部材を修復する修復工程と、アルミニウム部材の表面を陽極酸化することによって、陽極酸化アルミナを表面に有する部材を得る陽極酸化工程と、を有する。
【００７３】
（鏡面切削工程）
ロールを旋盤に設置し、高速回転させながら、バイトを外周面に一定の接触圧で接触させながらロールの軸方向に直線的に一定の速度で移動させることにより、ロールの外周面を鏡面化する。
【００７４】
（検査工程）
鏡面切削工程にて外周面が鏡面化されたロールについて、図１に示した検査装置によって、ロール表面からの反射光をラインＣＣＤカメラ１０にて撮像する。
【００７５】
ラインＣＣＤカメラ１０から出力された、ロール１００の外周全面分の画像について、画像処理装置３０において、画素ごとに２５６階調で表される輝度データを含む画像データを得る。
取得した画像データから算出した切削痕の数値化データから、ロール１００の切削痕の状態の良否を判定し、良品であれば次の修復工程へとロール１００を進める。
【００７６】
（修復工程）
不良品であれば、鏡面切削工程を再度実施する。ロール１００の修復後、再度検査工程を実施し、ロール１００が良品となるまで修復工程と検査工程を繰り返し実施する。
【００７７】
（陽極酸化工程）
上記検査工程において、良品と判定されたロールについて陽極酸化工程を行う。
陽極酸化工程は、下記の工程（ａ）〜（ｆ）を順に行う工程であることが好ましい。
【００７８】
工程（ａ）：第１の酸化皮膜形成工程
鏡面化されたアルミニウム部材の表面を電解液中、定電圧下で陽極酸化して、表面に酸化皮膜を形成する。
【００７９】
工程（ｂ）：酸化皮膜除去工程
酸化皮膜を除去し、陽極酸化の細孔発生点をアルミニウム部材の表面に形成する。
【００８０】
工程（ｃ）：第２の酸化皮膜形成工程
細孔発生点が形成されたアルミニウム部材の表面を電解液中、定電圧下で再度陽極酸化して、細孔発生点に対応した細孔を有する酸化皮膜を表面に形成する。
【００８１】
工程（ｄ）：孔径拡大処理工程
細孔の径を拡大させる。
【００８２】
工程（ｅ）：酸化皮膜成長工程
細孔の径が拡大された酸化皮膜を有するアルミニウム部材の表面を電解液中、定電圧下で再度陽極酸化する。
【００８３】
工程（ｆ）：繰り返し工程
必要に応じて、孔径拡大処理工程（ｄ）と酸化皮膜成長工程（ｅ）とを繰り返し行う。
【００８４】
工程（ａ）〜（ｆ）を有する方法によれば、鏡面化されたアルミニウム部材の表面に、開口部から深さ方向に徐々に径が縮小するテーパ形状の細孔が周期的に形成され、その結果、複数の細孔を有する陽極酸化アルミナが表面に形成されたモールドを得ることができる。
【００８５】
工程（ａ）の前に、アルミニウム部材の表面の酸化皮膜を除去する前処理を行ってもよい。酸化皮膜を除去する方法としてはクロム酸／リン酸混合液に浸漬する方法等が挙げられる。
また、細孔の配列の規則性はやや低下するが、モールドの表面を転写した材料の用途によっては工程（ａ）を行わず、工程（ｃ）から行ってもよい。
【００８６】
このようにして得られたモールドは、多数の周期的な細孔が形成された結果、表面に微細凹凸構造を有するものとなる。そして、この微細凹凸構造における細孔のピッチが可視光の波長以下、すなわち４００ｎｍ以下であると、いわゆるモスアイ構造となる。
ピッチは、微細凹凸構造の凹部（細孔）の中心からこれに隣接する凹部（細孔）の中心までの距離である。
ピッチが４００ｎｍより大きいと可視光の散乱が起こるため、十分な反射防止機能は発現せず、反射防止膜等の反射防止物品の製造には適さない。
【００８７】
モールドが反射防止膜等の反射防止物品を製造するものである場合には、細孔のピッチが可視光の波長以下であるとともに、細孔の深さは、５０ｎｍ以上であることが好ましく、１００ｎｍ以上であることがより好ましい。
深さは、微細凹凸構造の凹部（細孔）の開口部から最深部までの距離である。
細孔の深さが５０ｎｍ以上であれば、モールドの表面の転写によって形成された光学用途の物品の表面、すなわち転写面の反射率が低下する。
【００８８】
また、モールドの細孔のアスペクト比（深さ／ピッチ）は、１．０〜４．０が好ましく、１．３〜３．５が好ましく、１．８〜３．５がさらに好ましく、２．０〜３．０が最も好ましい。アスペクト比が１．０以上であれば、反射率が低い転写面を形成でき、その入射角依存性や波長依存性も十分に小さくなる。アスペクト比が４．０より大きいと転写面の機械的強度が低下する傾向がある。
【００８９】
モールドの形状は、平板でもあってもよく、ロール状であってもよい。
モールドの微細凹凸構造が形成された表面は、離型が容易になるように、離型処理が施されていてもよい。離型処理の方法としては、例えば、シリコーン系ポリマーやフッ素ポリマーをコーティングする方法、フッ素化合物を蒸着する方法、フッ素系またはフッ素シリコーン系のシラン化合物をコーティングする方法等が挙げられる。
【００９０】
本実施形態の陽極酸化アルミナを表面に有する部材の製造方法によれば、上述した鏡面切削した部材の検査方法によって、切削痕の状態を検査する工程を有するため、切削痕の抑えられた、陽極酸化アルミナを表面に有する部材を安定して製造できる。
【００９１】
なお、本発明の陽極酸化アルミナを表面に有する部材の製造方法は、本発明による鏡面切削した部材の検査工程を含めばよく、上記の実施形態に限定されない。
【００９２】
例えば、鏡面切削工程の後に検査工程と修復工程を実施するのではなく、陽極酸化工程の後に検査工程と修復工程を実施する形態としても良い。また、鏡面切削工程の後に検査工程と修復工程を実施し、さらに陽極酸化工程の後に検査工程と修復工程を実施する形態としても良い。
【００９３】
＜光学フィルムの製造方法＞
以下、本実施形態の光学フィルムの製造方法について説明する。本実施形態では、表面に微細凹凸構造を有するシートを製造する場合について説明する。
図５は、本実施形態の表面に微細凹凸構造を有するシートを製造する際に用いられる製造装置を示す図である。同図に示すように、製造装置は、表面に微細凹凸構造を有するロール状モールド１０１と、活性エネルギー線硬化性樹脂組成物を供給するタンク５０と、活性エネルギー線硬化性樹脂組成物をロール状金型１０１に押し付ける押圧装置５１と、活性エネルギー線を照射する活性エネルギー線照射装置５３と、活性エネルギー線硬化性樹脂組成物をロール状モールド１０１から剥離させる剥離ロール５４と、を備える。
【００９４】
ロール状モールド１０１は上述した鏡面切削した部材の製造方法により製造した陽極酸化アルミナを表面に有する部材である。
タンク５０は、フィルム４２とロール状モールド１０１との間に活性エネルギー線硬化性樹脂組成物を供給する。
【００９５】
活性エネルギー線照射装置５３としては、例えば、高圧水銀ランプ、メタルハライドランプ等が挙げられる。活性エネルギー線の照射量は、活性エネルギー線硬化性樹脂組成物の硬化が進行するエネルギー量であればよく、通常、１００〜１００００ｍＪ／ｃｍ2程度である。
【００９６】
押圧装置５１は、例えば、空気圧シリンダからなり、シリンダの先端にニップロール５２が取り付けられている。押圧装置５１が伸張することにより、ニップロール５２が活性エネルギー線硬化性樹脂組成物をロール状モールド１０１に押し付ける。
【００９７】
以下、上記の製造装置により、表面に微細凹凸構造を有する部材を製造する方法について説明する。
図５に示すように、フィルム送り装置（不図示）により、無色透明のフィルム４２が、ニップロール５２とロール状モールド１０１との間に送られている。このフィルム４２上面に、タンク５０により活性エネルギー線硬化性樹脂組成物を供給する。
【００９８】
フィルム４２上面に供給された活性エネルギー線硬化性樹脂組成物５０は、押圧装置５１のニップロール５２と、ロール状モールド１０１との間に送られる。押圧装置５１が伸張することにより、ニップロール５２によりフィルム４２および活性エネルギー線硬化性樹脂組成物をロール状モールド１０１に向けて接触させ、押し付ける。これにより、活性エネルギー線硬化性樹脂組成物を、フィルム４２とロール状モールド１０１との間に均一に行き渡らせると同時に、ロール状モールド１０１の微細凹凸構造の凹部内に充填される。
【００９９】
次に、ロール状モールド１０１の下方に設置された活性エネルギー線照射装置５３により、フィルム４２を透過させ、活性エネルギー線硬化性樹脂組成物に活性エネルギー線を照射する。これにより、活性エネルギー線硬化性樹脂組成物が硬化され、ロール状モールド１０１の表面の微細凹凸構造が転写された硬化樹脂層４４が形成される。
次に、剥離ロール５４により、表面に硬化樹脂層４４が形成されたフィルム４２をロール状モールド１０１から剥離する。これにより、フィルム４２の表面に微細凹凸構造が転写された硬化樹脂層４４が設けられたシート状の光学フィルム４０を得ることができる。
【０１００】
本実施形態の微細凹凸構造を表面に有する物品の製造方法によれば、上述した鏡面切削した部材の検査方法により、切削痕の抑えられた陽極酸化アルミナを表面に有する部材をロール状モールド１０１として製造することができるため、切削痕の転写が抑えられた微細凹凸構造を表面に有する物品を安定して製造できる。
【０１０１】
なお、本発明の微細凹凸構造を表面に有する物品の製造方法は、上述した検査方法を用いて製造したモールドを用いていればよく、上記の方法に限定されるものではない。例えば、本発明の検査方法は、切削痕だけでなく、研磨パッドをロール状モールドに押しつけ、ロール状モールドを回転させながら、研磨パッドをロール状モールドの軸方向に沿って徐々に移動させながら、外周面全体を鏡面研磨加工したようなモールドにおける、周期的欠陥の検査にも用いることができる。
【実施例】
【０１０２】
（実施例１）
以下、上記の検査方法の一実施例を説明する。なお、当然のことながら、本発明は本実施例に限定されるものではない。
【０１０３】
（ロール）
基材として、純度９９．９９６％のアルミニウムインゴットを、外径２００ｍｍ、内径１５５ｍｍ、長さ３２０ｍｍに切断して製造した圧延痕のない円筒状のアルミニウム部材を３つ用いた。これら円筒状のアルミニウム部材に対して、バイトにより表面を鏡面切削し、鏡面化した。
【０１０４】
次に、表面を鏡面化したロールの切削痕を、高輝度ＬＥＤライトを当てて目視により確認した。そして、切削痕の状態が悪い順にそれぞれロールａ、ロールｂ、ロールｃとした。
【０１０５】
図３に示す検査装置を用いてロール外周面の撮像を行った。ロール１００は、ロールａとした。
ライン状照明装置２０としては、メック社製のハロゲン光源ELI-150NXとライトガイドPLT400+30D-1000-T0502を用いた。
ラインＣＣＤカメラ１０としては、エクセル社製のＴＩ５１５０ＤＣＬにＶＳＴ社製のレンズＶＳ−Ｌ５０２８／Ｆを取り付けたものを用いた。
画像処理装置３０としては、Ｍａｔｒｏｘ社製のＭＩＬ９を用いた。
【０１０６】
ラインＣＣＤカメラ１０（撮像手段）及びライン状照明装置２０（照射手段）の配置は、ロール１００の表面の撮像範囲の部分の法線Ｎに対してθ3＝２０°、θ4＝３５°、θ5＝５５°とした。また、ライン状照明装置２０（照射手段）の照射方向の角度を４５°とした。
ロール１００とラインＣＣＤカメラ１０との距離は約２００ｍｍ、ロール１００と各ライン状照明装置との距離は約７０ｍｍとした。
【０１０７】
図６は、ロール１００の外周面の１周分を撮像した画像の一部分を切り出した画像である。切削方向は画像の左右方向であり、その方向に切削痕が画像全体に撮像されている。また、白い輝点として写っているのは埃、ゴミ等の異物である。
【０１０８】
工程（ｉ）：切削方向に対して垂直な方向の１ライン分の情報の抽出
ロール１００の外周面の１周分を撮像した画像から、切削方向と垂直方向の１ラインの輝度データを抽出する。この際、画像に埃、ゴミ等の異物が白い輝点として写りこんでいるので、その影響を除去するため、切削方向に１０ｍｍ幅分のデータを平均し、その処理を切削方向に対して垂直な方向に順次繰り返していき、切削方向に対して垂直な方向の１ラインの輝度データを抽出する。その結果を図７に示す。
【０１０９】
工程（ｉｉ）：１ラインの輝度データに移動平均処理を行い平滑化データを作成
工程（ｉ）で抽出した輝度データには、照明ムラ等の切削痕とは関係な影響が含まれているため、注目画素の前後９画素の移動平均処理により平滑化データを作成する。本工程により作成された平滑化データを図８に示す。
【０１１０】
工程（ｉｉｉ）：工程（ｉ）で抽出した１ラインの情報を工程（ｉｉ）で作成した平滑化データにて除算
工程（ｉ）で抽出した１ラインの輝度データを、工程（ｉｉ）で作成した平滑化データにて除算する。このようにして作成されたデータを図９に示す。
【０１１１】
工程（ｉｖ）：切削痕の数値化データを作成
工程（ｉｉｉ）で抽出した切削痕に特化した１ラインのデータから標準偏差を求め、切削痕の数値化データを作成する。
【０１１２】
工程（ｖ）切削痕の平均数値化データを作成
上述した工程（ｉ）〜（ｉｖ）の処理をロールの周方向の９０°ずらした位置でそれぞれ実施し、それぞれの領域で算出した切削痕の数値化データ（４点）を平均した。
【０１１３】
上記の工程（ｉ）〜（ｖ）をロールｂ、ｃに関しても同様に実施し、切削痕の数値化データを求めた。ロールａ〜ｃの数値化データを表１に示す。
【０１１４】
【表１】
2014206449.tif 000003
【０１１５】
表１に示すように、数値化データはロールａ、ｂ、ｃの順序で小さくなっている。これは、目視による確認した切削痕の状態と対応している。したがって、例えば、ロールｂ及びｃ程度の鏡面化の品質を確保したい場合には、閾値として０．０７を設定することにより、ロールａは不良品として判定され、修復工程が行われることとなる。
【０１１６】
（実施例２）
また、発明者らは、実施例２として、実施例１に対して照明条件を変更して、本発明の検査方法についての検討を行った。
以下、上記の検査方法の実施例２を説明する。なお、当然のことながら、本発明は本実施例に限定されるものではない。
【０１１７】
（ロール）
基材として、純度９９．９９６％のアルミニウムインゴットを、外径２００ｍｍ、内径１５５ｍｍ、長さ３２０ｍｍに切断して製造した圧延痕のない円筒状のアルミニウム部材を２つ用いた。これら円筒状のアルミニウム部材に対して、バイトにより表面を鏡面切削し、鏡面化した。
【０１１８】
次に、表面を鏡面化したロールの切削痕を、高輝度ＬＥＤライトを当てて目視により確認した。そして、切削痕の状態が悪い順にそれぞれロールｄ、ロールｅとした。
【０１１９】
（照明条件１）
照明条件１では、実施例１と同様の照明条件にて、ロールｄ、ｅについて切削痕の数値化データを求めた。
【０１２０】
（照明条件２）
照明条件２では、図３のライン状照明装置２０ｂをオフし、ライン状照明装置２０ａの光量を２倍にした条件にて、ロールｄ、ｅについて切削痕の数値化データを求めた。
【０１２１】
（照明条件３）
図３において、ライン状照明装置２０ａとライン状照明装置２０ｂの代わりにモリテックス社製 高輝度ライン照明ＭＬＮＸ−ＣＷ３６０−ＤＦ（図示略）を設置し、切削方向と平行な方向（すなわち、図１（ｃ）における角度θ2＝０°）から照射光を照射した。そして、この条件にて、ロールｄ、ｅの切削痕の数値化データを求めた。
表２は、照明条件１ないし３における数値化データを示す表である。
【０１２２】
【表２】
2014206449.tif 000004
【０１２３】
表２に示す結果から、切削方向と平行に照射光を照射する照明条件３では、ロールｄとロールｅの切削痕の状態の違いを検出することができないことがわかる。また、一側方から照射方向が切削方向に対して傾斜するように照射光を照射する照明条件２よりも、両側方から照射方向が切削方向に対して傾斜するように照射光を照射する照明条件１の方が、数値化データの差が大きく現われていることがわかる。
【０１２４】
以上の通り、実施例１、２から、一側方から照射方向が切削方向に対して傾斜するように照射光を照射するよりも、両側方から照射方向が切削方向に対して傾斜するように照射光を照射する方が好ましいことが確認された。特に、両側方から照射方向が切削方向に対して傾斜するように照射光を照射する場合において、照射する方向が、切削方向を中心に略線対称の方向であるのが好ましいことが確認された。
【符号の説明】
【０１２５】
１０  ラインＣＣＤカメラ
２０  ライン状照明装置
３０  画像処理装置
４０  シート状の部材
１００  ロール
１０１  表面に微細凹凸構造を有するロール状モールド
【図１】
2014206449.tif 000005
【図２】
2014206449.tif 000006
【図３】
2014206449.tif 000007
【図４】
2014206449.tif 000008
【図５】
2014206449.tif 000009
【図７】
2014206449.tif 000010
【図８】
2014206449.tif 000011
【図９】
2014206449.tif 000012
【図６】
2014206449.tif 000013