(57)【要約】【課題】ユーザーに導入された加工装置に対し所定の条件が満たされた場合に、容易に特殊プログラムをインストール可能とする加工装置を提供する。【解決手段】被加工物を保持する保持手段と、保持手段で保持された被加工物に加工を施す加工手段と、加工手段を動作させるプログラムを格納したプログラム格納部を有する制御手段と、外部の指令情報を読取るための読取手段と、を備え、制御手段は、特殊プログラムを格納した特殊プログラム格納部と、特殊プログラムをインストールするインストール実施部と、を有し、インストール実施部は、特殊プログラムと関連付けた指令情報が記録された指令情報記録部と、読取手段によって読取られる指令情報と、指令情報記録部に予め記録された指令情報と比較して、一致する指令情報がある場合に、インストールを許容する指令情報判定部と、を備える、加工装置が提供される。【選択図】図４
2014026435.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物に加工を施す加工装置であって、
該被加工物を保持する保持手段と、
該保持手段で保持された被加工物に加工を施す加工手段と、
該加工手段を動作させるプログラムを格納したプログラム格納部を有する制御手段と、
外部の指令情報を読取るための読取手段と、を備え、
該制御手段は、
特殊プログラムを格納した特殊プログラム格納部と、
該特殊プログラムをインストールするインストール実施部と、を有し、
該インストール実施部は、
該特殊プログラムと関連付けた指令情報が記録された指令情報記録部と、
該読取手段によって読取られる指令情報と、該指令情報記録部に予め記録された指令情報と比較して、一致する指令情報がある場合に、インストールを許容する指令情報判定部と、を備える、加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プログラムのインストール方法を一つの特徴として有する加工装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば、切削装置、研削装置、研磨装置、レーザー加工装置等の各種加工装置には、それぞれ加工装置で被加工物を加工するためのプログラムがインストールされており、当該プログラムが通常のオペレーションにおいて使用されることとなっている。
【０００３】
このような通常のオペレーションにおいて使用されるいわゆる「通常プログラム」に加え、被加工物により適した加工を施す目的や、生産性をより向上させることを目的として、加工装置のメーカーでは様々な「特殊プログラム」を製作し提供している。
【０００４】
特殊プログラムの例としては、例えば、積層コンデンサーのような表面に切削すべき領域を特定するためのアライメントマークを有さない積層被加工物を個々のチップ状に分割する加工を実施するためのプログラム（例えば、特許文献１参照）、被加工物が割れていたり、欠けていたりする場合でも、当該被加工物の形状を正確に把握するためのプログラム（例えば、特許文献２参照）、ストリート（分割予定ライン）の平行精度が低い場合や、ストリートが波打っている場合においても、これに対応したアライメントを行い、高精度かつ効率的な切削を行うプログラム（例えば、特許文献３参照）、などがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０００−２５２２４１号公報
【特許文献２】特開平ｌ０−１２５７６５号公報
【特許文献３】特開２００２−０３３２９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上述の特殊プログラムは、ユーザー（顧客）が加工装置を導入後、暫く加工装置を使用した後に、ユーザーの要望などに応じてインストールする必要が生じる場合がある。
【０００７】
このような必要が生じた場合には、その都度加工装置のメーカーのエンジニアがユーザーを訪れて特殊プログラムをインストールする必要があった。
【０００８】
しかしながら、都度ユーザー（客先）にメーカーのエンジニアを派遣するのは手間も費用もかかり、経済的でないという問題があった。
【０００９】
他方、ユーザー側においてなんら制限なく特殊プログラムがインストールされてしまうと、通常プログラムの起動に悪影響が及ぼされるなど、想定外の不具合が発生することも懸念される。このような不具合を想定し、メーカー側において特殊プログラムのインストールを管理するための方策が必要となる。
【００１０】
本発明は、以上の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、ユーザーに導入された加工装置に対し所定の条件が満たされた場合に、容易に特殊プログラムをインストール可能とする加工装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
請求項１に記載の発明によると、被加工物を保持する保持手段と、保持手段で保持された被加工物に加工を施す加工手段と、加工手段を動作させるプログラムを格納したプログラム格納部を有する制御手段と、外部の指令情報を読取るための読取手段と、を備え、制御手段は、特殊プログラムを格納した特殊プログラム格納部と、特殊プログラムをインストールするインストール実施部と、を有し、インストール実施部は、特殊プログラムと関連付けた指令情報が記録された指令情報記録部と、読取手段によって読取られる指令情報と、指令情報記録部に予め記録された指令情報と比較して、一致する指令情報がある場合に、インストールを許容する指令情報判定部と、を備える、加工装置が提供される。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によると、所定の条件が満たされた場合に、ユーザーに導入された加工装置に容易に特殊プログラムをインストールできる加工装置が提供される。
【００１３】
具体的には、本発明の加工装置の制御手段では、所定の条件が満たされた場合にアクセス可能となる特殊プログラムを格納した特殊プログラム格納部と、特殊プログラムをインストールするインストール実施部と、を有し、インストール実施部は、特殊プログラムと関連付けた指令情報が記録された指令情報記録部と、読取手段によって読取られる指令情報と、指令情報記録部に予め記録された指令情報と比較して、一致する指令情報がある場合に、インストールを許容する指令情報判定部と、を備える構成とする。
【００１４】
これにより、メーカー側は、ユーザーに特定の指令情報を例えば説明書などに添付して送付すれば、ユーザー側において特殊プログラムをインストールしてもらうことが可能となり、メーカーのエンジニアを派遣する手間や費用の削減が図られる。
【００１５】
また、ユーザー側としては、メーカーから特定の指令情報を入手しさえすれば、メーカーのサポートを必要とすることなく特殊プログラムのインストールを容易に実施することができる。また、指令情報によってインストールされる特殊プログラムが限定されるため、ユーザー側において誤った特殊プログラムをインストールしてしまう人為的な不具合が解消され、予期せぬ不具合の発生を防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の実施に適した加工装置（切削装置）の斜視図である。
【図２】制御装置の構成について示すブロック図である。
【図３】読取装置とＩＤカードの構成について示す斜視図である。
【図４】特殊プログラムのインストールなどを実行する機能について説明する機能ブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。加工装置の一例として、半導体ウェーハの切削装置２の外観斜視図が図１に示されている。切削装置２は、切削ブレードを有する切削ユニット１０等の加工手段がハウジング８内に収容された加工装置本体４と、加工装置本体４のハウジング８に装着された表示モニタ６などを有して構成される。
【００１８】
切削ユニット１０に隣接してチャックテーブル１２がＸ軸方向に移動可能に配設されている。１４は内部にウェーハ２２を複数収容可能なカセット２４を載置するカセット載置台（エレベータ）であり、上下方向に移動可能に構成されている。なお、加工時にウェーハ２２を保持する保持手段としては、チャックテーブル１２のようにテーブルで構成する他、エッジクランプ（端を挟持する形態）による保持手段が使用されることも考えられる。
【００１９】
５０は特殊プログラムの説明書５２（マニュアル）に記録（表示や磁気などによる記録）された識別コード５４を読取るための読取装置である。作業者は、この読取装置５０に説明書５２をかざした上で、切削装置２の操作を行うことが想定されている。
【００２０】
図２の概略図に示されるように、切削装置２には、切削装置２を自動制御するための制御装置３０が設けられている。制御装置３０は、例えば、マイクロコンピュータによって構成されており、制御プログラムに従って演算処理するＣＰＵ（中央処理装置）３１と、制御プログラムや各種データベース等を格納するＲＯＭ（リードオンリーメモリ）３２と、演算結果等を格納する読み書き可能なＲＡＭ（ランダムアクセスメモリ）３３と、入出力インターフェース３４とを備えて構成される。
【００２１】
ＲＯＭ３２には、切削ユニット１０などを自動制御するための制御プログラムや、制御プログラムによって読み出されることが想定される各種データベースが記憶される。
【００２２】
ＲＡＭ３３は、制御プログラムや各種データの読み込みや、オペレータにより入力される加工条件の一時的な記憶などを行う。
【００２３】
入出力インターフェース３４には、加工条件を入力する入力手段として機能するとともに、各種情報を表示する表示手段としても機能する表示モニタ６（図１参照）が接続されている。
【００２４】
入出力インターフェース３４には、特殊プログラムの説明書５２に記録（表示や磁気などによる記録）された識別コード５４（図３参照）を読取るための読取装置５０が接続されている。
【００２５】
入出力インターフェース３４には、切削ユニット１０を回転させるモータや、チャックテーブル１２を移動させるモータなどの各種駆動装置が接続されており、制御プログラムの実行による演算結果に基づいて、各種駆動装置が加工条件に則って駆動されるようになっている。
【００２６】
図３に示すように、読取装置５０は、説明書５２等に記録された識別コード５４を読取るべく構成されている。本実施形態では、読取装置５０は、挿入溝５１を有する略コ字状に構成されており、この挿入溝５１内に説明書５２を差し込むことにより、非接触により識別コード５４が認識されるように構成されている。
【００２７】
このような形態によれば、特殊プログラムのインストールが必要となった際にメーカーからユーザーに提供されることが想定される説明書５２に識別コード５４を付帯させることができ、例えば、識別コード５４を表示した別の物品を提供する必要が無くなる。また、非接触による認識可能な構成とすることによれば、説明書５２をかざすだけで容易に識別コード５４を認識させることができ、作業性に優れた構成が実現できる。
【００２８】
識別コード５４には、特殊プログラムのインストールを可能とするための指令情報が含まれ、詳しくは後述するように、指令情報の内容によってインストールの可否の判定が行われるように構成される。
【００２９】
なお、識別コード５４は、例えば、本実施形態のように二次元バーコードの形態で説明書５２の表面に表示されて視認可能とするほか、磁気によって説明書５２内に視認不能に格納されるものであってもよい。また、識別コード５４は説明書５２に直接記憶されることとするほか、シールなどによって説明書５２に貼付されるものであってもよい。
【００３０】
また、上述した読取装置５０と説明書５２の実施形態とするほかにも、磁気カードを溝に通過させるカードリーダーの形態や、凹凸形状により識別コード５４を認識させる形態なども考えられる。加えて、作業者によって識別コード５４（例えば番号、記号などの文字列）を読取装置５０に入力する形態なども考えられる。つまり、読取装置５０においては、識別コード５４に格納される情報が認識できるものであればよく、その認識させる形態についても特に限定されるものではない。
【００３１】
さらに、識別コード５４は説明書５２に付帯して書類の態様で提供されるほか、例えば、メーカーから電子メールで送信される情報をユーザー側でプリントアウトし、紙面に識別コード５４を印字する形態によって、ユーザーに提供されることとしてもよい。
【００３２】
図４は、本発明において特徴的な機能について説明する機能ブロック図である。この図４では、読取装置５０と、制御装置３０と、表示モニタ６が示されている。
【００３３】
そして、図４に示すように、制御装置３０においては、図２に示すＣＰＵ３１、ＲＯＭ３２、ＲＡＭ３４により、プログラム格納部３５と、特殊プログラム格納部３６と、インストール実施部３７と、指令情報記録部３８と、指令情報判定部３９としてそれぞれ機能する各種機能部が構成される。
【００３４】
プログラム格納部３５には、加工手段である切削ユニット１０により通常の加工を行う場合に起動される、「通常プログラム」が格納されている。ここで、「通常プログラム」とは、ユーザーにおいて通常のオペレーションが実施される場合に使用されるプログラムである。
【００３５】
なお、通常のオペレーションとは、例えば、表面に切削すべき領域（分割予定ライン）を特定するためのアライメントマークを有するウェーハを加工する場合、損傷が無く規格形状のウェーハを加工する場合、一定のピッチで直線状に分割予定ラインが配置されるウェーハを加工する場合、などが考えられる。
【００３６】
特殊プログラム格納部３６には、加工手段である切削ユニット１０により特殊な加工を行う場合に起動される、「特殊プログラム」が格納されている。ここで、「特殊プログラム」とは、ユーザーにおいて特殊なオペレーションが実施される場合に使用されるプログラムであり、「通常プログラム」と対比して定義されるものである。また、この特殊プログラムは、例えば、装置出荷時においてメーカーによって格納され、後に、ユーザーのニーズに応じてインストールされることが想定される。
【００３７】
なお、特殊なオペレーションとは、例えば、表面に切削すべき領域（分割予定ライン）を特定するためのアライメントマークを有さない積層被加工物を加工する場合、損傷や欠けにより規格形状でなくなったウェーハを加工する場合、分割予定ラインが一定のピッチで配置されなかったり、波打っている被加工物を加工する場合、などが考えられる。本実施形態では、このような複数の場合を想定して、複数の特殊プログラムＡ〜Ｃが格納されている。
【００３８】
インストール実施部３７は、特殊プログラム格納部３６に格納された特殊プログラムＡ〜Ｃを個別にインストールし、当該特殊プログラムを起動可能な状態とすべく機能するものである。
【００３９】
このインストール実施部３７には、指令情報記録部３８が構成されている。指令情報記録部３８には、特殊プログラムＡ〜Ｃと一対一で関連付けた指令情報ａ〜ｃが記憶されている。
【００４０】
さらに、インストール実施部３７には、指令情報判定部３９が構成されている。この指令情報判定部３９では、読取装置５０によって読取られた識別コード５４に含まれる指令情報ａと、指令情報記録部３８に予め記憶された指令情報ａ〜ｃを比較する。
【００４１】
本実施形態では、説明書５２の識別コード５４に指令情報ａが含まれており、当該指令情報ａが、指令情報記録部３８に予め記憶された指令情報ａと一致することになる。そして、この場合、指令情報判定部３９では、指令情報ａと一対一で対応する特殊プログラムＡのインストールを許容するように機能する。具体的には、インストール実施部３７が特殊プログラム格納部３６にアクセス可能な状況とし、特殊プログラムＡのインストールを実行可能な状況とする。
【００４２】
このようにして、指令情報判定部３９は、外部から入力される指令情報と、予め記憶された指令情報が一致しない限りは、特殊プログラムのインストールを規制することになる。つまり、ユーザーは、メーカーから特定の説明書５２（識別コード５４）を入手するといった所定の条件が満たされない限り、特殊プログラムのインストールができない。換言すれば、ユーザーは、メーカーから特定の説明書５２（識別コード５４）を入手しさえすれば、特殊プログラムのインストールが可能となる。
【００４３】
以上のようにして、本発明を実施することができる。即ち、被加工物としてのウェーハ２２を保持するチャックテーブル（保持手段）１２と、チャックテーブル１２で保持されたウェーハ２２に加工を施す切削ユニット（加工手段）１０と、切削ユニット１０を動作させるプログラムを格納したプログラム格納部３５を有する制御装置（制御手段）３０と、外部の指令情報を読取るための読取装置（読取手段）５０と、を備え、制御装置３０は、特殊プログラムＡ〜Ｃを格納した特殊プログラム格納部３５と、該特殊プログラムをインストールするインストール実施部３７と、を有し、インストール実施部３７は、特殊プログラムと関連付けた指令情報ａ〜ｃが記録された指令情報記録部３８と、読取装置５０によって読取られる指令情報ａと、指令情報記録部３８に予め記録された指令情報ａ〜ｃと比較して、一致する指令情報がある場合に、インストールを許容する指令情報判定部３９と、を備える、切削装置（加工装置）２とする。
【００４４】
そして、以上の構成によれば、メーカー側は、ユーザーに特定の指令情報を例えば説明書などに添付して送付すれば、ユーザー側において特殊プログラムをインストールしてもらうことが可能となり、メーカーのエンジニアを派遣する手間や費用の削減が図られる。
【００４５】
さらに、ユーザー側としては、メーカーから特定の指令情報を入手しさえすれば、メーカーのサポートを必要とすることなく特殊プログラムのインストールを容易に実施することができる。また、指令情報によってインストールされる特殊プログラムが限定されるため、ユーザー側において誤った特殊プログラムをインストールしてしまう人為的な不具合が解消され、予期せぬ不具合の発生を防止できる。
【００４６】
なお、以上の実施形態では、加工装置として切削装置２を用いて説明したが、このほか、研削装置、研磨装置、レーザー加工装置、洗浄装置、など、各種の加工装置において本発明を実施することは可能である。
【符号の説明】
【００４７】
２    切削装置
６    表示モニタ
１０    切削ユニット
１２    チャックテーブル
２２    ウェーハ
３０    制御装置
３５    プログラム格納部
３５    特殊プログラム格納部
３６    特殊プログラム格納部
３７    インストール実施部
３８    指令情報記録部
３９    指令情報判定部
５０    読取装置
５２    説明書
５４    識別コード
【図１】
2014026435.tif 000003
【図２】
2014026435.tif 000004
【図３】
2014026435.tif 000005
【図４】
2014026435.tif 000006