(57)【要約】【課題】  ０．１μｍよりも大きい粒径の汎用品の積層セラミックコンデンサに用いられる内部電極用のニッケル粉末の乾燥方法において、乾燥機内にニッケル粉末を固着させることなく、ニッケル粉末の酸素含有値を低く保ちながら、所望の酸化膜を生成させることによって触媒活性の制御する製造方法を提供する。【解決手段】  水分を含んだニッケル粉末のケーキを乾燥させる際に、そのケーキを加熱流動させながら、減圧下でケーキの含水率が０．１〜０．３ｗｔ％となるまで乾燥した乾燥ケーキを形成した後に、その乾燥ケーキを大気圧下に置いて乾燥を行うことを特徴とするニッケル粉末の乾燥方法。【選択図】  なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
水分を含んだニッケル粉末のケーキを乾燥させる際に、前記ケーキを加熱流動させながら、減圧下で前記ケーキの含水率が０．１０〜０．３０ｗｔ％となるまで乾燥した乾燥ケーキを形成した後に、前記乾燥ケーキを大気圧下に置いて乾燥を行うことを特徴とするニッケル粉末の乾燥方法。
【請求項２】
前記大気圧下での乾燥が、前記ニッケル粉末のケーキの含水率が０．０１〜０．０７ｗｔ％になった時点を終了とすることを特徴とする請求項１に記載のニッケル粉末の乾燥方法。
【請求項３】
前記ニッケル粉末が、水酸化ニッケル粉末を酸化還元した平均粒径０．３〜０．５μｍのニッケル粉末であることを特徴とする請求項１又は２に記載のニッケル粉末の乾燥方法。
【請求項４】
前記水分を含んだニッケル粉末のケーキの含水率が、８〜１５ｗｔ％であることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載のニッケル粉末の乾燥方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ニッケル粉末とその製造方法に関する方法であって、積層セラミックコンデンサ（ｍｕｌｔｉｌａｙｅｒ  ｃｅｒａｍｉｃ  ｃａｐａｃｉｔｏｒｓ；ＭＬＣＣ）の内部電極として好適に用いることができる。
【背景技術】
【０００２】
従来から、ニッケル粉末は、厚膜導電体を作製するための導電ペーストの材料として使用されている。前記厚膜導電体は、電気回路の形成、積層セラミックコンデンサ及び多層セラミック基板等の積層セラミック部品の電極等に用いられている。特に、積層セラミックコンデンサでは、小型・高容量化の要求から高積層化が進み、そのために用いる導電ペーストの使用量も大幅に増加している。このため、導電ペーストに使用する金属粉末としては、高価な貴金属の使用を避け、安価なニッケルなどの卑金属が主流となっている。
【０００３】
積層セラミックコンデンサは、例えば、次のような方法で製造される。
まず、ニッケル粉末と、エチルセルロース（以下、ＥＣと称する。）等の樹脂と、ターピネオール等の有機溶剤等とを混練して得られた導電ペーストを、誘電体グリーンシート上にスクリーン印刷して内部電極を作製する。
【０００４】
次に、印刷された内部電極が交互に重なるように誘電体グリーンシートを積層、圧着した後、積層体を所定の大きさにカットし、有機バインダとして使用したＥＣ等の樹脂の燃焼除去を行うための脱バインダ処理を行い、その後、１３００℃まで高温焼成してセラミック体を得る。
そして、このセラミック体に外部電極を取り付け、積層セラミックコンデンサとする。
【０００５】
ここで、内部電極となる導電ペースト中の金属粉末は、上記のように、貴金属よりもニッケルなどの卑金属が主流となっていることから、積層体の脱バインダ処理では、ニッケル粉末などが酸化しないように、極めて微量の酸素を含んだ雰囲気下にて行われる。
【０００６】
近年、小型化及び大容量化が求められている積層セラミックコンデンサでは、それを構成する内部電極及び誘電体ともに、薄層化が進められており、内部電極用のニッケル粉末は、より小径化が進み、現在、平均粒径０．１μｍ以下のニッケル粉末の検討が盛んに行われている。
【０００７】
一方、０．１μｍよりも大きい粒径の汎用品向けのニッケル粉末を得る方法として、塩化ニッケル水溶液とアルカリ水溶液とを中和して得られる水酸化ニッケルを、焙焼還元してニッケル粉末とした後に、残留塩素を除去するために有機酸水溶液で洗浄、真空乾燥を施し、ニッケル粉末を安価に得る方法が公開されている（特許文献１、２参照）。
しかし、これらの特許文献に示されているような単純な真空乾燥で得られたニッケル粉末は、触媒活性が制御された酸化膜が得られておらず、積層体の脱バインダ処理時に、樹脂の分解が低温化してしまい、結果として層間剥離を起こす問題点を有していた。
【０００８】
こうした触媒活性を有するニッケル粉末における、その触媒活性を制御する方法として、ニッケル粉末を酸化性雰囲気、具体的には、空気中、２００℃以下の温度で１〜１０時間程度加熱することで適当量酸化させ、触媒活性を制御できることが報告されている（例えば、特許文献３参照）。
【０００９】
塩化ニッケル水溶液とアルカリ水溶液とを中和して得られた水酸化ニッケルを、焙焼還元によりニッケル粉末を形成し得た後に、残留塩素を除去するために有機酸水溶液若しくは水で洗浄したケーキを、そのまま、大気圧下、空気雰囲気、温度、時間を調整し、乾燥させつつ酸化膜を作製しようとすると、触媒活性は制御できるものの、乾燥機内とケーキが接触する面にニッケル粉末が強固に固着してしまい、乾燥処理の連続操業を行うと機内にニッケル粉末の強固な堆積層ができてしまい頻繁に機内清掃が必要になるという問題が発生する。
【００１０】
さらに、ニッケル粉末の表面に厚い酸化被膜が生成し酸素含有量が高くなるといった問題も発生してしまう。
この厚い酸化膜を有する酸素含有値が高いニッケル粉末では、積層体を作製しセラミック体が得られるまで焼成すると、セラミック体の内部応力が高くなりクラックを起こしやすくなるため問題となる。
【００１１】
以上のことから、塩化ニッケル水溶液とアルカリ水溶液とを中和して得られた水酸化ニッケルを、焙焼還元によりニッケル粉末とした後に、残留塩素を除去するために有機酸水溶液若しくは水で洗浄したニッケル粉末の製造においては、触媒活性を制御できる酸化膜が得られ、かつ低酸素含有値で、乾燥機内にニッケル粉末が固着しない乾燥方法を取り入れることが望まれる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１２】
【特許文献１】特開２０１０−２５５０４０号公報
【特許文献２】特開２００９−１０８３５１号公報
【特許文献３】特開２００７−１５７５６３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
本発明は、汎用品の積層セラミックコンデンサに用いられる内部電極用のニッケル粉末の乾燥方法において、乾燥機内にニッケル粉末を固着させることなく、ニッケル粉末の酸素含有値を低く保ちながら、所望の酸化膜を生成させることによって触媒活性の制御することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
塩化ニッケル水溶液とアルカリ水溶液とを中和して得た水酸化ニッケルを焙焼還元しニッケル粉末を得た後に、残留塩素を除去するために有機酸水溶液若しくは水で洗浄したニッケル粉末の製造において、ケーキ層を加熱流動させながら、減圧雰囲気でケーキ含水率が０．１〜０．３ｗｔ％となるまで乾燥した後に、大気を導入し大気圧雰囲気で乾燥を行うことによって、本発明に至ったものである。
【００１５】
本発明の第１の発明は、水分を含んだニッケル粉末のケーキを乾燥させる際に、そのケーキを加熱流動させながら、減圧下でケーキの含水率が０．１０〜０．３０ｗｔ％となるまで乾燥した乾燥ケーキを形成した後に、その乾燥ケーキを大気圧下に置いて乾燥を続けることを特徴とするニッケル粉末の乾燥方法である。
【００１６】
本発明の第２の発明は、第１の発明における大気圧下での乾燥が、ニッケル粉末のケーキの含水率が０．０１〜０．０７ｗｔ％になった時点を終了とすることを特徴とするニッケル粉末の乾燥方法である。
【００１７】
本発明の第３の発明は、第１及び第２の発明におけるニッケル粉末が、水酸化ニッケル粉末を酸化還元した平均粒径０．３〜０．５μｍのニッケル粉末であることを特徴とするニッケル粉末の乾燥方法である。
【００１８】
本発明の第４の発明は、第１から第３の発明における水分を含んだニッケル粉末のケーキの含水率が、８〜１５ｗｔ％であることを特徴とするニッケル粉末の乾燥方法である。
【発明の効果】
【００１９】
塩化ニッケル水溶液とアルカリ水溶液とを中和して得られた水酸化ニッケルを、焙焼還元することによりニッケル粉末を形成した後に、残留塩素を除去するために有機酸水溶液若しくは水で洗浄したニッケル粉末のケーキの乾燥において、本発明の乾燥方法を用いることによって、乾燥後のニッケル粉末の排出性を保持し、かつニッケル粉末の酸素含有値と触媒活性の制御が所望レベルのニッケル粉末を容易に得ることが可能となり、工業上顕著な効果を奏するものである。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
第一工程として、塩化ニッケル水溶液とアルカリ水溶液とを中和して得られた水酸化ニッケルを、焙焼還元することにより平均粒径０．３〜０．５μｍのニッケル粉末を得た後に、残留塩素を除去するために有機酸水溶液若しくは水で洗浄したニッケル粉末のスラリーのデンバー濾過器を用いて固液分離を行い、含水率が８〜１５ｗｔ％のケーキを形成する。
【００２１】
有機酸水溶液若しくは水で洗浄したニッケル粉末のスラリーを固液分離する際に用いる固液分離装置としては、デンバー濾過器、デカンター、遠心分離機などで処理するのが良い。
また、ケーキの含水率を８〜１５ｗｔ％とした理由は、８ｗｔ％よりも低い含水率のケーキを作製することは、上記の固液分離装置で条件を様々変更し実施したが性能上困難であり、１５ｗｔ％よりも高い含水率のケーキでは水分が高く、単に乾燥時間が長時間化し非効率的であるためである。
【００２２】
得られたケーキの乾燥処理に用いる乾燥機としては、密閉機能を有し減圧雰囲気で乾燥できる機能と大気圧雰囲気においても乾燥できる機能を有している乾燥機であればよく、そのほかに限定されることはない。望ましくは、効率よく短時間で均一な状態で乾燥させることができるような乾燥機の缶体内部に撹拌機やディスク等を設置し、被乾燥物を混合流動させて乾燥するタイプ、乾燥機内の被乾燥物に振動を与えながら混合流動させて乾燥するタイプ等が良い。具体的には、混合乾燥機、回転乾燥機、振動流動層乾燥機、逆円錐乾燥機が挙げられる。
【００２３】
第二工程は、得られたケーキを前述した乾燥機に投入し、ケーキを流動させながら、含水率が０．３０〜０．１０ｗｔ％になるまで減圧雰囲気で加熱乾燥する工程である。
その乾燥温度は、１００〜１５０℃が望ましい。
【００２４】
含水率が０．３０ｗｔ％より高い状態で、大気圧乾燥に入ると、ＥＣ分解挙動は所望レベルである２８０℃以上となるが、ニッケル粉末の酸素含有値が所望レベルである１．４〜１．６％よりも高くなり、かつ、乾燥機内に固着が発生し連続操業が困難になる。
この乾燥機内に固着が発生する詳細な理由は、不明であるが、洗浄で除去しきれなかった不純物が関連しているものと思われる。また、ＥＣ分解挙動が所望レベルとなった理由は、ニッケル粉末の表面が分厚い酸化膜で覆われたためであると思われる。
【００２５】
一方、含水率が０．１０ｗｔ％よりも低い状態で、大気導入し大気圧雰囲気で所望の含水率まで乾燥させた場合、ニッケル粉末の酸素含有値が所望レベルである１．４〜１．６％よりも低くなり、ＥＣ分解挙動が所望の２８０℃よりも低くなってしまう。この理由としては、酸化膜が得られておらず、触媒活性を有した表面が残存しているためであると思われる。
【００２６】
なお、減圧雰囲気での乾燥終了後の含水率の測定の仕方としては、乾いた空気を大気圧まで導入した直後に、空気中の湿分と接触しないようにサンプリングした後に重量を確認する。その後、１０５℃の大気乾燥機にて２４時間乾燥させた後に、再度重量を測定する。１０５℃の乾燥機で乾燥した前後の重量差を水分として、その重量差を乾燥前重量で割ることで含水率を求めた。
【００２７】
次の第三工程は、第二工程で所定の含水率０．３０〜０．１０ｗｔ％に到達すれば、減圧雰囲気から大気圧まで大気を導入して、ケーキの含水率が０．０１〜０．０７ｗｔ％になるまでニッケル粉末のケーキを混合流動させながら乾燥させる。
含水率を０．０１〜０．０７ｗｔ％にする理由は、減圧乾燥と大気圧乾燥のバランス調整をした結果、所望の酸素含有値レベルとＥＣ分解挙動が得られたためである。
その他の理由としては、含水率が高いニッケル粉末と樹脂と有機溶剤等とを混練した際に、ニッケル粉末と樹脂と有機溶剤が均一に混合された状態を保持できない場合があるためである。
【００２８】
第四工程として、第三工程で所定の含水率に到達すれば３０℃以下まで冷却する。
なお、塩化ニッケル水溶液とアルカリ水溶液との中和による水酸化ニッケルを焙焼還元した平均粒径０．３μｍより小さいニッケル粉末を、有機酸水溶液若しくは水で洗浄したニッケル粉末ケーキに対しては、第二工程以降の乾燥条件による乾燥方法を用いることは望ましくない。その理由として、大気圧になるまで大気を導入した際に急激な酸化が起き、ニッケル粉末の酸素含有値が高くなるためである。
【実施例】
【００２９】
以下、実施例を用いて本発明を詳細に説明する。
実施例における物性値、及び乾燥機内の乾燥後のニッケル粉末の固着状況の評価は、以下の通りとした。
【００３０】
［酸素量測定］
酸素、炭素同時分析装置（ＬＥＣＯ社製、型番「ＧＳ−６００」）を用いて測定した。
【００３１】
［含水率測定］
１０５℃に設定された乾燥機内にて、対象物を２４時間静置乾燥し、乾燥前の重量と乾燥後の重量の差分を求める。その差分が乾燥前の対象物の含水量に相当し、それを乾燥前の重量で割ることにより含水率とした。
【００３２】
［ニッケル粉末の触媒活性評価］
有機バインダであるＥＣを５ｗｔ％で物理混合したニッケル粉末、及び、ニッケル粉末のみを、それぞれ、ＴＧ測定装置（マックサイエンス社製「２０００ＳＡ」）を用いて、窒素ガス中、５℃／ｍｉｎの昇温速度で測定した。
その後、各温度にて、ＥＣを混合したニッケル粉末の重量からニッケル粉末のみの重量を引き去り、ニッケル粉末中のＥＣの重量変化を求め、一次微分し、ＥＣの分解速度を求め、ピーク温度をニッケル粉末の触媒活性の分解温度としてニッケル粉末の触媒活性評価をした。なお、複数ピークが発生した時は、第一ピークをニッケル粉末の触媒活性の分解温度とした。
【００３３】
［乾燥機内の乾燥後のニッケル粉末の固着状況の評価］
ニッケル粉末のケーキを乾燥冷却し、乾燥機内よりニッケル粉末を回収する。
その乾燥機内の壁面に残留したニッケル粉末を、クリーンルームワイパーによりふき取った際に、容易にふき取れたか否かで固着状況を判断した。
【実施例１】
【００３４】
第一工程として、塩化ニッケル水溶液とアルカリ水溶液とを中和して得られた水酸化ニッケルを、焙焼還元して平均粒径０．３μｍのニッケル粉末を形成した。
次に、そのニッケル粉末から残留塩素を除去するために水で洗浄したニッケル粉末のスラリーを、デンバー濾過器により固液分離を行い、乾燥前含水率が８ｗｔ％のニッケル粉末のケーキを作製した。
そのケーキを内容積３０Ｌの振動流動乾燥機の缶体内に１５ｋｇ投入した。
【００３５】
乾燥機への投入後、第二工程として、缶体内が真空状態になるように真空ポンプを稼動させ、１２０℃になるまで缶体を加熱し、振動幅３．０ｍｍ、振動数１５００ｒｐｍの条件で振動を与えて減圧乾燥を始めた。
【００３６】
次に、第三工程として、ケーキの含水率が０．１０ｗｔ％になった時点で、缶体の加熱（１２０℃での保持）及び振動幅３ｍｍ、振動数１５００ｒｐｍの振動を維持した状態で、缶体内に大気を導入し、缶体内を大気圧にした。その状態にて、被乾燥物の含水率が０．０１〜０．０７ｗｔ％になるまで乾燥を続けた。
【００３７】
その後、第四工程として、大気圧の状態で、振動幅３ｍｍ、振動数１５００ｒｐｍの振動は維持したまま冷却して乾燥物を形成した。
【００３８】
形成された乾燥物の酸素含有値、乾燥後の含水率（大気圧乾燥終点含水率）、ニッケル粉末の触媒活性評価（ＥＣ分解挙動）、乾燥機内の乾燥後のニッケル粉末の固着状況の評価を行い、その各種評価結果を表１に示す。
【実施例２】
【００３９】
実施例１と同様に、第一、第二工程を実施する。その後、第三工程は、含水率が０．１２ｗｔ％になった時点で、１２０℃になるまで缶体の加熱及び振動幅３ｍｍ、振動数１５００ｒｐｍの振動は維持し、缶体内に大気を導入し大気圧にする。
その状態にて、被乾燥物の含水率が０．０１〜０．０７ｗｔ％になるまで乾燥を続けた。
その後、第四工程を実施例１と同様に行い、所定の乾燥物を作製した。
得られた乾燥物の各種評価結果を表１に示す。
【実施例３】
【００４０】
実施例１と同様に、第一、第二工程を実施する。その後、第三工程は、含水率が０．２９ｗｔ％になった時点で、１２０℃になるまで缶体の加熱及び振動幅３ｍｍ、振動数１５００ｒｐｍの振動は維持し、缶体内に大気を導入し大気圧にする。
その状態にて、被乾燥物の含水率が０．０１〜０．０７ｗｔ％になるまで乾燥を続けた。
その後、第四工程を実施例１と同様に行い、所定の乾燥物を作製した。
得られた乾燥物の各種評価結果を表１に示す。
【実施例４】
【００４１】
実施例１と同様に、第一、第二工程を実施する。その後、第三工程は、含水率が０．３０ｗｔ％になった時点で、１２０℃になるまで缶体の加熱及び振動幅３ｍｍ、振動数１５００ｒｐｍの振動は維持し、缶体内に大気を導入し大気圧にする。
その状態にて、被乾燥物の含水率が０．０１〜０．０７ｗｔ％になるまで乾燥を続けた。
その後、第四工程を実施例１と同様に行い、所定の乾燥物を作製した。
得られた乾燥物の各種評価結果を表１に示す。
【実施例５】
【００４２】
ニッケル粉末のケーキを形成するニッケル粉末の平均粒径が０．５μｍ以外は実施例１と同様に、第一、第二工程を実施する。その後、第三工程は、含水率が０．１２ｗｔ％になった時点で、１２０℃になるまで缶体の加熱及び振動幅３ｍｍ、振動数１５００ｒｐｍの振動は維持し、缶体内に大気を導入し大気圧にする。
その状態にて、被乾燥物の含水率が０．０１〜０．０７ｗｔ％になるまで乾燥を続けた。
その後、第四工程を実施例１と同様に行い、所定の乾燥物を作製した。
得られた乾燥物の各種評価結果を表１に示す。
【実施例６】
【００４３】
実施例５と同様に、第一、第二工程を実施する。その後、第三工程は、含水率が０．１１ｗｔ％になった時点で、１２０℃になるまで缶体の加熱及び振動幅３ｍｍ、振動数１５００ｒｐｍの振動は維持し、缶体内に大気を導入し大気圧にする。
その状態にて、被乾燥物の含水率が０．０１〜０．０７ｗｔ％になるまで乾燥を続けた。
その後、第四工程を実施例１と同様に行い、所定の乾燥物を作製した。
得られた乾燥物の各種評価結果を表１に示す。
【実施例７】
【００４４】
実施例５と同様に、第一、第二工程を実施する。その後、第三工程は、含水率が０．２８ｗｔ％になった時点で、１２０℃になるまで缶体の加熱及び振動幅３ｍｍ、振動数１５００ｒｐｍの振動は維持し、缶体内に大気を導入し大気圧にする。
その状態にて、被乾燥物の含水率が０．０１〜０．０７ｗｔ％になるまで乾燥を続けた。
その後、第四工程を実施例１と同様に行い、所定の乾燥物を作製した。
得られた乾燥物の各種評価結果を表１に示す。
【実施例８】
【００４５】
実施例５と同様に、第一、第二工程を実施する。その後、第三工程は、含水率が０．２９ｗｔ％になった時点で、１２０℃になるまで缶体の加熱及び振動幅３ｍｍ、振動数１５００ｒｐｍの振動は維持し、缶体内に大気を導入し大気圧にする。
その状態にて、被乾燥物の含水率が０．０１〜０．０７ｗｔ％になるまで乾燥を続けた。
その後、第四工程を実施例１と同様に行い、所定の乾燥物を作製した。
得られた乾燥物の各種評価結果を表１に示す。
【実施例９】
【００４６】
乾燥前含水率が１５ｗｔ％であるニッケル粉末のケーキを用いた以外は、実施例１と同様に、第一、第二工程を実施する。その後、第三工程は、含水率が０．１１ｗｔ％になった時点で、１２０℃になるまで缶体の加熱及び振動幅３ｍｍ、振動数１５００ｒｐｍの振動は維持し、缶体内に大気を導入し大気圧にする。
その状態にて、被乾燥物の含水率が０．０１〜０．０７ｗｔ％になるまで乾燥を続けた。
その後、第四工程を実施例１と同様に行い、所定の乾燥物を作製した。
得られた乾燥物の各種評価結果を表１に示す。
【実施例１０】
【００４７】
実施例９と同様に、第一、第二工程を実施する。その後、第三工程は、含水率が０．１２ｗｔ％になった時点で、１２０℃になるまで缶体の加熱及び振動幅３ｍｍ、振動数１５００ｒｐｍの振動は維持し、缶体内に大気を導入し大気圧にする。
その状態にて、被乾燥物の含水率が０．０１〜０．０７ｗｔ％になるまで乾燥を続けた。
その後、第四工程を実施例１と同様に行い、所定の乾燥物を作製した。
得られた乾燥物の各種評価結果を表１に示す。
【実施例１１】
【００４８】
実施例９と同様に、第一、第二工程を実施する。その後、第三工程は、含水率が０．２８ｗｔ％になった時点で、１２０℃になるまで缶体の加熱及び振動幅３ｍｍ、振動数１５００ｒｐｍの振動は維持し、缶体内に大気を導入し大気圧にする。
その状態にて、被乾燥物の含水率が０．０１〜０．０７ｗｔ％になるまで乾燥を続けた。
その後、第四工程を実施例１と同様に行い、所定の乾燥物を作製した。
得られた乾燥物の各種評価結果を表１に示す。
【実施例１２】
【００４９】
実施例９と同様に、第一、第二工程を実施する。その後、第三工程は、含水率が０．２７ｗｔ％になった時点で、１２０℃になるまで缶体の加熱及び振動幅３ｍｍ、振動数１５００ｒｐｍの振動は維持し、缶体内に大気を導入し大気圧にする。
その状態にて、被乾燥物の含水率が０．０１〜０．０７ｗｔ％になるまで乾燥を続けた。
その後、第四工程を実施例１と同様に行い、所定の乾燥物を作製した。
得られた乾燥物の各種評価結果を表１に示す。
【実施例１３】
【００５０】
ニッケル粉末のケーキを形成するニッケル粉末の平均粒径が０．５μｍ以外は実施例９と同様に、第一、第二工程を実施する。その後、第三工程は、含水率が０．１１ｗｔ％になった時点で、１２０℃になるまで缶体の加熱及び振動幅３ｍｍ、振動数１５００ｒｐｍの振動は維持し、缶体内に大気を導入し大気圧にする。
その状態にて、被乾燥物の含水率が０．０１〜０．０７ｗｔ％になるまで乾燥を続けた。
その後、第四工程を実施例９と同様に行い、所定の乾燥物を作製した。
得られた乾燥物の各種評価結果を表１に示す。
【実施例１４】
【００５１】
実施例１３と同様に、第一、第二工程を実施する。その後、第三工程は、含水率が０．１２ｗｔ％になった時点で、１２０℃になるまで缶体の加熱及び振動幅３ｍｍ、振動数１５００ｒｐｍの振動は維持し、缶体内に大気を導入し大気圧にする。
その状態にて、被乾燥物の含水率が０．０１〜０．０７ｗｔ％になるまで乾燥を続けた。
その後、第四工程を実施例１と同様に行い、所定の乾燥物を作製した。
得られた乾燥物の各種評価結果を表１に示す。
【実施例１５】
【００５２】
実施例１３と同様に、第一、第二工程を実施する。その後、第三工程は、含水率が０．２９ｗｔ％になった時点で、１２０℃になるまで缶体の加熱及び振動幅３ｍｍ、振動数１５００ｒｐｍの振動は維持し、缶体内に大気を導入し大気圧にする。
その状態にて、被乾燥物の含水率が０．０１〜０．０７ｗｔ％になるまで乾燥を続けた。
その後、第四工程を実施例１と同様に行い、所定の乾燥物を作製した。
得られた乾燥物の各種評価結果を表１に示す。
【実施例１６】
【００５３】
実施例１３と同様に、第一、第二工程を実施する。その後、第三工程は、含水率が０．２８ｗｔ％になった時点で、１２０℃になるまで缶体の加熱及び振動幅３ｍｍ、振動数１５００ｒｐｍの振動は維持し、缶体内に大気を導入し大気圧にする。
その状態にて、被乾燥物の含水率が０．０１〜０．０７ｗｔ％になるまで乾燥を続けた。
その後、第四工程を実施例１と同様に行い、所定の乾燥物を作製した。
得られた乾燥物の各種評価結果を表１に示す。
【００５４】
（比較例１）
第一工程として、平均粒径が０．５μｍのニッケル粉末からなる含水率が８ｗｔ％のニッケル粉末のケーキを振動流動乾燥機に１５ｋｇ投入した。
その後、第二工程として、缶体内が真空状態になるように真空ポンプを稼動させ、１２０℃になるまで缶体を加熱し、振動幅３．０ｍｍ、振動数１５００ｒｐｍの振動にて乾燥を開始した。その状態にて、被乾燥物の含水率が０．０１ｗｔ％になるまで乾燥を続け、その後、振動幅３ｍｍ、振動数１５００ｒｐｍの振動を維持したまま冷却し、比較例１に係る乾燥物を作製した。
この乾燥物の各種評価結果を表１に示す。
【００５５】
（比較例２）
平均粒径が０．４μｍのニッケル粉末からなる含水率が１２ｗｔ％のニッケル粉末のケーキを用いた以外は、実施例１と同様に、第一、第二工程を実施し、その後、第三工程は、含水率が０．０８ｗｔ％になった時点で、１２０℃になるまで缶体の加熱及び振動幅３ｍｍ、振動数１５００ｒｐｍを維持し、大気を缶体内に導入し大気圧にする。その状態にて、乾燥を続け、被乾燥物の含水率が０．０１〜０．０７ｗｔ％になるまで乾燥した。その後、第四工程は実施例１と同様に行い、比較例２に係る乾燥物を作製した。
この乾燥物の各種評価結果を表１に示す。
【００５６】
（比較例３）
比較例２と同様に、第一、第二工程を実施し、その後、第三工程は、含水率が０．２１ｗｔ％になった時点で、１２０℃になるまで缶体の加熱及び振動幅３ｍｍ、振動数１５００ｒｐｍを維持し、大気を缶体内に導入し大気圧にする。その状態を続け、０．０７ｗｔ％よりも高い含水率で乾燥を止め、その後、第四工程は実施例１と同様に行い、比較例３に係る乾燥物を作製した。
この乾燥物の各種評価結果を表１に示す。
【００５７】
（比較例４）
比較例２と同様に、第一、第二工程を実施し、その後、第三工程は、含水率が０．３６ｗｔ％になった時点で、１２０℃になるまで缶体の加熱及び振動幅３ｍｍ、振動数１５００ｒｐｍの振動を維持して、缶体内に大気を導入し大気圧にした。その状態にて、被乾燥物の含水率が０．０１〜０．０７ｗｔ％になるまで乾燥を続けた。第四工程は、実施例１と同様に行って比較例４に係る乾燥物を作製した。
この乾燥物の各種評価結果を表１に示す。
【００５８】
（比較例５）
比較例２と同様に、第一、第二工程を実施し、その後、第三工程は、含水率が０．２２ｗｔ％になった時点で、１２０℃になるまで缶体の加熱及び振動幅３ｍｍ、振動数１５００ｒｐｍの振動を維持して、缶体内に大気を導入し大気圧にした。その状態にて、被乾燥物の含水率が０．０１ｗｔ％より低い値になるまで乾燥を続けた。第四工程は、実施例１と同様に行って比較例５に係る乾燥物を作製した。
この乾燥物の各種評価結果を表１に示す。
【００５９】
（比較例６）
平均粒径が０．２μｍのニッケル粉末からなる含水率が１２ｗｔ％のニッケル粉末のケーキを用いた以外は、実施例１と同様に、第一、第二工程を実施し、その後、第三工程は、含水率が０．２１ｗｔ％になった時点で、１２０℃になるまで缶体の加熱及び振動幅３ｍｍ、振動数１５００ｒｐｍを維持し、大気を缶体内に導入し大気圧にする。その状態にて、乾燥を続け、被乾燥物の含水率が０．０１〜０．０７ｗｔ％になるまで乾燥した。その後、第四工程は実施例１と同様に行い、比較例６に係る乾燥物を作製した。
この乾燥物の各種評価結果を表１に示す。
【００６０】
（比較例７）
平均粒径が０．６μｍのニッケル粉末からなる含水率が１２ｗｔ％のニッケル粉末のケーキを用いた以外は、実施例１と同様に、第一、第二工程を実施し、その後、第三工程は、含水率が０．１９ｗｔ％になった時点で、１２０℃になるまで缶体の加熱及び振動幅３ｍｍ、振動数１５００ｒｐｍを維持し、大気を缶体内に導入し大気圧にする。その状態にて、乾燥を続け、被乾燥物の含水率が０．０１〜０．０７ｗｔ％になるまで乾燥した。その後、第四工程は実施例１と同様に行い、比較例７に係る乾燥物を作製した。
この乾燥物の各種評価結果を表１に示す。
【００６１】
（比較例８）
平均粒径が０．４μｍのニッケル粉末からなる含水率が８ｗｔ％のニッケル粉末のケーキを用いた点と、減圧乾燥を被乾燥物の含水率が０．０７ｗｔ％になるまで乾燥を続けた以外は、比較例１と同様にして、比較例８に係る乾燥物を作製した。
この乾燥物の各種評価結果を表１に示す。
【００６２】
（比較例９）
平均粒径が０．４μｍのニッケル粉末からなる含水率が８ｗｔ％のニッケル粉末のケーキを用い、第二工程の減圧乾燥を実施せずに、１２０℃まで缶体を振動幅３ｍｍ、振動数１５００ｒｐｍの振動を付加した状態で加熱した後、缶体温度１２０℃及び振動幅３ｍｍ、振動数１５００ｒｐｍの振動を維持した状態で、缶体内に大気を導入し、缶体内を大気圧にした。
その状態にて、被乾燥物の含水率が０．０７ｗｔ％になるまで乾燥を続け、その後第四工程として、振動幅３ｍｍ、振動数１５００ｒｐｍの振動を維持したまま冷却して比較例９に係る乾燥物を作製した。
この乾燥物の各種評価結果を表１に示す。
【００６３】
（比較例１０）
平均粒径が０．４μｍのニッケル粉末からなる含水率が１２ｗｔ％のニッケル粉末のケーキを用いた以外は、実施例１と同様に、第一、第二工程を実施し、その後、第三工程は、含水率が０．３７ｗｔ％になった時点で、缶体の加熱及び振動幅３ｍｍ、振動数１５００ｒｐｍを維持した状態で、大気を缶体内に導入し大気圧にする。その状態にて、乾燥を続け、被乾燥物の含水率が０．０１ｗｔ％より低い値になるまで乾燥した。その後、第四工程は実施例１と同様に行い、比較例１０に係る乾燥物を作製した。
この乾燥物の各種評価結果を表１に示す。
【００６４】
（比較例１１）
ニッケル粉末の平均粒径が０．２μｍである以外は、比較例１０と同様に行い、比較例１１に係る乾燥物を作製した。
この乾燥物の各種評価結果を表１に示す。
【００６５】
（比較例１２）
平均粒径が０．６μｍのニッケル粉末からなる含水率が１２ｗｔ％のニッケル粉末のケーキを用いた以外は、実施例１と同様に、第一、第二工程を実施し、その後、第三工程は、含水率が０．０９ｗｔ％になった時点で、缶体の加熱及び振動幅３ｍｍ、振動数１５００ｒｐｍを維持した状態で、大気を缶体内に導入し大気圧にした。
その状態を続け、０．０７ｗｔ％よりも高い含水率で乾燥を止め、その後、第四工程は実施例１と同様に行い、比較例１２に係る乾燥物を作製した。
この乾燥物の各種評価結果を表１に示す。
【００６６】
（比較例１３）
平均粒径が０．４μｍのニッケル粉末からなる含水率が１２ｗｔ％のニッケル粉末のケーキを用いた以外は、実施例１と同様に、第一、第二工程を実施し、その後、第三工程は、含水率が０．３８ｗｔ％になった時点で、缶体の加熱及び振動幅３ｍｍ、振動数１５００ｒｐｍを維持した状態で、大気を缶体内に導入し大気圧にした。
その状態を続け、０．０７ｗｔ％よりも高い含水率で乾燥を止め、その後、第四工程は実施例１と同様に行い、比較例１３に係る乾燥物を作製した。
この乾燥物の各種評価結果を表１に示す。
【００６７】
（比較例１４）
平均粒径が０．４μｍのニッケル粉末からなる含水率が１２ｗｔ％のニッケル粉末のケーキを用いた以外は、実施例１と同様に、第一、第二工程を実施し、その後、第三工程は、含水率が０．０９ｗｔ％になった時点で、缶体の加熱及び振動幅３ｍｍ、振動数１５００ｒｐｍを維持した状態で、大気を缶体内に導入し大気圧にした。
その状態を続け、０．０７ｗｔ％よりも高い含水率で乾燥を止め、その後、第四工程は実施例１と同様に行い、比較例１４に係る乾燥物を作製した。
この乾燥物の各種評価結果を表１に示す。
【００６８】
（比較例１５）
平均粒径が０．４μｍのニッケル粉末からなる含水率が１２ｗｔ％のニッケル粉末のケーキを用いた以外は、実施例１と同様に、第一、第二工程を実施し、その後、第三工程は、含水率が０．０９ｗｔ％になった時点で、缶体の加熱及び振動幅３ｍｍ、振動数１５００ｒｐｍを維持した状態で、大気を缶体内に導入し大気圧にした。その状態にて、乾燥を続け、被乾燥物の含水率が０．０１ｗｔ％より低い値になるまで乾燥を続けた。その後、第四工程は実施例１と同様に行い、比較例１５に係る乾燥物を作製した。
この乾燥物の各種評価結果を表１に示す。
【００６９】
【表１】
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