(57)【要約】【課題】ダイヤフラム弁に高温流体を流しても、ダイヤフラム押さえと本体との間のシール性能を維持し、ダイヤフラム押さえと本体との間からの外部漏れを抑えることのできるダイヤフラム弁を提供する。【解決手段】弁室６に連通する第一流路１１と第二流路１２とを有し、前記第一流路１１の下流側の開口部の外周に弁座１３を形成した本体１と、駆動部材により往復動せしめられ前記弁座１３に圧接または離間されるダイヤフラム２と、該ダイヤフラム２を前記本体１と挟持固定するダイヤフラム押さえ３と、を具備して弁の開閉を行うダイヤフラム弁において、前記ダイヤフラム押さえ３と前記本体１とのどちらか一方に環状凹部または環状凸部を形成し、前記ダイヤフラム押さえ３と前記本体１とを環状の凹凸嵌合により連結した。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
弁室に連通する第一流路と第二流路とを有し、前記第一流路の下流側の開口部の外周に弁座部が形成されている本体と、駆動部材により往復動せしめられ前記弁座部に圧接または離間されるダイヤフラムと、該ダイヤフラムを前記本体と挟持固定するダイヤフラム押さえと、を具備して弁の開閉を行うダイヤフラム弁において、前記ダイヤフラム押さえと前記本体とのどちらか一方に環状凹部または環状凸部が形成され、前記ダイヤフラム押さえと前記本体とが環状の凹凸嵌合により連結されていることを、特徴とするダイヤフラム弁。
【請求項２】
前記本体に前記ダイヤフラム押さえを受容する受容部が形成され、前記受容部に受容される前記ダイヤフラム押さえの少なくとも一部が非円形状であり、前記ダイヤフラム押さえが前記本体に回動不能に嵌合されていること、を特徴とする請求項１に記載のダイヤフラム弁。
【請求項３】
前記ダイヤフラム押さえと前記本体とのどちらか一方に凹部または凸部が形成され、前記ダイヤフラム押さえが前記本体に回動不能に凹凸嵌合されていること、を特徴とするダイヤフラム弁。
【請求項４】
下面が開口され内部にシリンダ部を有するシリンダ本体が前記ダイヤフラム押さえの上部に設けられ、前記ダイヤフラム押さえと前記シリンダ本体とのどちらか一方に環状凹部または環状凸部が形成され、前記ダイヤフラム押さえと前記シリンダ本体とが環状の凹凸嵌合により連結されていること、を特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載のダイヤフラム弁。
【請求項５】
前記シリンダ本体に前記ダイヤフラム押さえを受容する受容部が形成され、前記受容部に受容される前記ダイヤフラム押さえの少なくとも一部が非円形状であり、前記ダイヤフラム押さえが前記シリンダ本体に回動不能に嵌合されていること、を特徴とする請求項４に記載のダイヤフラム弁。
【請求項６】
前記ダイヤフラム押さえと前記シリンダ本体とのどちらか一方に凹部または凸部が形成され、前記ダイヤフラム押さえが前記シリンダ本体に回動不能に凹凸嵌合されていること、を特徴とする請求項４または請求項５に記載のダイヤフラム弁。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、化学工場、または半導体製造分野、液晶製造分野、食品分野などの各種産業に使用されるダイヤフラム弁に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、各種産業に使用されるダイヤフラム弁として、図７に示すようなダイヤフラム弁があった（例えば特許文献１参照）。このようなダイヤフラム弁では、ダイヤフラム６１の外周縁のダイヤフラム挟持部６２は、ダイヤフラム押さえ６６などを介して、樹脂製の本体６３とシリンダ本体６４とによって挟まれ、そのシリンダ本体６４と、本体６３とをボルト、ナットにより接合させてダイヤフラム挟持部６２を挟圧シールしたものである。本体６３とシリンダ本体６４の接合面６５近くにボルト、ナットの配置座面を形成することで、ボルト頭部とナット間における熱伸縮量を低下させると共に、接合面６５に加わるボルトの締め付け力を増すことでダイヤフラム挟持部６２のシール性を確保したものであった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平８−１５９３０７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、ダイヤフラム弁に高温流体を流すと流体の熱がダイヤフラム弁の構成部品に伝熱して構成部品が膨張、及び変形し、ダイヤフラム挟持部６２が均一に押圧されないという問題があった。また、ダイヤフラム弁の開閉動作により高温流体が断続的に流れると、構成部品が断続的な冷暖効果を繰り返すため、構成部品が膨張および収縮を繰り返し、ダイヤフラム弁の構成部品を連結するボルトナットが緩みやすくなるという問題があった。さらにボルト、ナットが緩んだ際には、ダイヤフラム押さえ６６などの構成部品が振動等によりガタツキを生じてボルト、ナットの緩みを助長するという問題が生じていた。これらの問題により、結果としてダイヤフラム押さえ６６と本体６３との間のシール性の低下を招いて流体漏れが生じていた。
【０００５】
本発明は、上記のような従来技術の課題に鑑みなされたものであり、ダイヤフラム弁に高温流体を流しても、ダイヤフラム押さえと本体との間のシール性能を維持し、ダイヤフラム押さえと本体との間からの外部漏れを抑えることのできるダイヤフラム弁を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
このため本発明は、弁室に連通する第一流路と第二流路とを有し、前記第一流路の下流側の開口部の外周に弁座部が形成されている本体と、駆動部材により往復動せしめられ前記弁座部に圧接または離間されるダイヤフラムと、前記ダイヤフラムを前記本体と挟持固定するダイヤフラム押さえと、を具備して弁の開閉を行うダイヤフラム弁において、前記ダイヤフラム押さえと前記本体とのどちらか一方に環状凹部または環状凸部が形成され、前記ダイヤフラム押さえと前記本体とが環状の凹凸嵌合により連結されていることを第１の特徴とする。
【０００７】
また、前記本体に前記ダイヤフラム押さえを受容する受容部が形成され、前記受容部に受容される前記ダイヤフラム押さえの少なくとも一部が非円形状であり、前記ダイヤフラム押さえが前記本体に回動不能に嵌合されていることを第２の特徴とする。
【０００８】
また、前記ダイヤフラム押さえと前記本体とのどちらか一方に凹部または凸部が形成され、前記ダイヤフラム押さえが前記本体に回動不能に凹凸嵌合されていることを第３の特徴とする。
【０００９】
また、下面が開口され内部にシリンダ部を有するシリンダ本体が前記ダイヤフラム押さえの上部に設けられ、前記ダイヤフラム押さえと前記シリンダ本体とのどちらか一方に環状凹部または環状凸部が形成され、前記ダイヤフラム押さえと前記シリンダ本体とが環状の凹凸嵌合により連結されていることを第４の特徴とする。
【００１０】
また、前記シリンダ本体に前記ダイヤフラム押さえを受容する受容部が形成され、前記受容部に受容される前記ダイヤフラム押さえの少なくとも一部が非円形状であり、前記ダイヤフラム押さえが前記シリンダ本体に回動不能に嵌合されていることを第５の特徴とする。
【００１１】
また、前記ダイヤフラム押さえと前記シリンダ本体とのどちらか一方に凹部または凸部が形成され、前記ダイヤフラム押さえが前記シリンダ本体に回動不能に凹凸嵌合されていることを第６の特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明は以上説明したような構造をしているので、以下のような優れた効果が得られる。
（１）ダイヤフラム押さえと本体とが環状の凹凸嵌合されるよう構成されているため、ダイヤフラム押さえと本体とが互いに水平方向に膨張および変形することを抑え、また、変形するにしてもダイヤフラム押さえと本体との環状の凹凸嵌合部が同期して膨張および変形する。従って、ダイヤフラムの周縁部は、ダイヤフラム押え下面と本体上面とで安定して挟持固定され、ダイヤフラム弁に高温流体が流れても、ダイヤフラムの周縁部にかかる押圧する力は均一に維持される。その結果、ダイヤフラム弁に高温流体が流れたときのダイヤフラム押さえと本体との間のシール性能が向上し、ダイヤフラム押さえと本体との間を水密状態に維持することができる。
（２）ダイヤフラム押さえが本体に対して回動不能に嵌合されているため、ダイヤフラム押さえのガタツキを抑えることができる。従って、ダイヤフラムの周縁部は、ダイヤフラム押えの下面と本体の上面とで安定して挟持固定されると共に、ダイヤフラム押さえのガタツキが抑えられることによって、ボルトナットの緩みを助長することがない。従って、ボルトナットの緩みによる、ダイヤフラム押え下面と本体上面とがダイヤフラムの周縁部を押圧する力の低下を防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の第一の実施形態であるダイヤフラム弁の閉状態を示す縦断面図である。
【図２】図１のダイヤフラム弁の開状態を示す縦断面図である。
【図３】図１のダイヤフラム弁の分解斜視図である。
【図４】図１のダイヤフラム弁のシリンダ本体を下部方向から見た斜視図である。
【図５】本発明の他の実施形態を示す分解斜視図である。
【図６】図５のダイヤフラム弁のシリンダ本体を下部方向から見た斜視図である。
【図７】従来技術を示す縦断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明するが、本発明が本実施形態に限定されないことは言うまでもない。
【００１５】
最初に本発明の第一の実施形態であるダイヤフラム弁の構造について図１〜図４を参照して説明する。図１は、本発明の第一の実施形態であるダイヤフラム弁の閉状態を示す縦断面図である。図２は、図１のダイヤフラム弁の開状態を示す縦断面図であり、図３は、図１のダイヤフラム弁の分解斜視図である。図４は、図１のダイヤフラム弁のシリンダ本体を下部方向から見た斜視図である。
【００１６】
本体１は、ポリテトラフルオロエチレン（以下、ＰＴＦＥと記す）製である。図３に示すように、本体１は略四角柱形状に形成されている。本体１の上部中央には、図１に示すように、開口１５を有する弁室６が形成されている。弁室６の底面には、第一連通口７が設けられており、本体１の側面の一方側に形成された流入口９に繋がる第一流路１１に連通している。また、弁室６の側面には、第二連通口８が設けられており、本体１の側面の他方側に形成された流出口１０に繋がる第二流路１２に連通している。そのため、第一流路１１から弁室６を経て第二流路１２までの空間が接液部となる。また、図１に示すように、第一連通口７の開口周縁部には、弁体１４が圧接離間する弁座１３が形成されている。
【００１７】
本体１の上部中央には、図３に示すように、ダイヤフラム押さえ３を受容する本体側受容部１６が形成されており、その形状は、後述するダイヤフラム押さえ３の形状に合わせて形成されている。図１、図３に示すように、本体側受容部１６は底面に、ダイヤフラム押さえ３の下面に形成された下側環状凹部１７に嵌合される本体側環状凸部１８が形成されている。また、本体側環状凸部１８の内側にはダイヤフラム押さえ嵌合部１９が形成されており、その底面には環状溝２０が形成されている。このように本体側環状凸部１８を環状溝２０よりも上方に設けることで、環状溝２０の外周側の側壁の肉厚を厚くすることができ、環状溝２０の変形を防ぐことができる。環状溝２０の変形を防ぐことによって、ダイヤフラム２の環状係止部３４の変形を防ぐことができるので、本体１とダイヤフラム押さえ３との間のシール性を安定的に確保することができる。本体側受容部１６の外周縁には、本体１の上部に設けられるダイヤフラム押さえ３、シリンダ本体５を固定するためのボルト、ナットを挿入する複数の貫通孔２１が形成されている。
【００１８】
シリンダ本体５は、ＰＴＦＥ製のである。図１〜図３に示すように、シリンダ本体５は略四角柱形状に形成され、シリンダ本体５と本体１とでダイヤフラム押さえ３を挟み込むように設けられ、ボルト、ナットによって本体１に固定される。そのため、シリンダ本体５の下部には、ダイヤフラム押さえ３を受容するシリンダ側受容部２２が形成されており、その外周縁には、シリンダ本体５を本体１に固定するためのボルト、ナットを挿入する複数の貫通孔２３が形成されている。図４に示すように、シリンダ側受容部２２の天井面（図４では下側面）には、ダイヤフラム押さえ３に形成された上側環状凹部２４に嵌合されるシリンダ側環状凸部２５が形成されている。
【００１９】
シリンダ本体５は、図１、図２に示すように、シリンダ本体５の内部に段差を形成して、上部空間２６と、上部空間２６と径の異なる下部空間２７を有している。シリンダ本体５の内側中央には後述するピストン４の上部を軸支する筒状の保持部２８が上部空間２６側に突出して形成されている。シリンダ本体５の側面には、上部空間２６に連通する第一作動流体通気口２９と、下部空間２７に連通する第二作動流体通気口３０が形成されている。また、シリンダ本体５の上面には、上部空間２６内の保持部２８に囲まれた空間に連通する通気口３１が形成されている。
【００２０】
ダイヤフラム押さえ３は、ＰＴＦＥ製のダイヤフラム押さえである。図３に示すように、ダイヤフラム押さえ３は八角柱形状に形成されている。ダイヤフラム押さえ３の中央には、後述するピストン４の軸部が嵌挿される貫通孔３２を有している。ダイヤフラム押さえ３の上面側には、貫通孔３２の外側に貫通孔３２と同じ中心を有する内側円筒突起３７が形成され、さらにその外側に貫通孔３２と同じ中心を有する外側円筒突起３６が形成されている。すなわち、貫通孔３２の外側には円筒突起が二重に形成されている。また、外側円筒突起３６の外周面にはＯリングを装着する環状の溝が形成されており、外側円筒突起３６はシリンダ本体５の下部空間２７に水密状態で挿嵌される。外側円筒突起３６外側には、貫通孔３２と同じ中心を有し、シリンダ本体５に形成されたシリンダ側環状凸部２５を受容する上側環状凹部２４が形成されている。上側環状凹部２４の外側には、上側環状凹部２４の凹部壁面を形成すると共に、周方向に延設された鍔部３９が平面視八角形状に形成されている。鍔部３９はその下半分までを本体１に収容され、残りの上半分までがシリンダ本体５に収容される。鍔部３９の外周縁には、ダイヤフラム押さえ３の上方にシリンダ本体５、ダイヤフラム押さえ３の下方に本体１を固定するためのボルト、ナットを挿入する複数の貫通孔４２が形成されている。また、図１に示すように鍔部３９の側面には、後述する凹部４０に連通する通気口４１が形成されている。
【００２１】
ダイヤフラム押さえ３の下面側には、貫通孔３２の外側に貫通孔３２と同じ中心を有し、下部にすり鉢状に形成され凹部４０を有する、円筒突起が形成されている。円筒突起は階段状に形成され、第一円筒突起４３および第二円筒突起４４の二つの突起から形成されている。第一円筒突起４３は、第一円筒突起４３の外周面と本体１上部の開口１５の内周面とでダイヤフラム２の円筒部３３を水密状態に挟持固定している。第二円筒突起４４は本体１のダイヤフラム押さえ嵌合部１９に挿嵌されている。第二円筒突起４４の下面はＯリングを介してダイヤフラム２の外周縁部を押圧し、本体１の上面とでダイヤフラム２の環状係止部３４を水密状態に挟持固定している。第二円筒突起４４の外側には、貫通孔３２と同じ中心を有し、本体１に形成された本体側環状凸部１８を受容する下側環状凹部１７が形成されている。第一円筒突起４３、第二円筒突起４４がそれぞれ開口１５、ダイヤフラム押さえ嵌合部１９に挿嵌されていることから、第一円筒突起４３、第二円筒突起４４の変形と開口１５、ダイヤフラム押さえ嵌合部１９に設けられた環状溝２０の変形を防ぐことができる。そのため、第一円筒突起４３、第二円筒突起４４は、それぞれダイヤフラム２の円筒部３３、環状係止部３４を均一に押圧することを可能とし、安定したシール性を得ることができる。また、第一円筒突起４３の外周面がダイヤフラム２の円筒部３３に圧接しているため、ダイヤフラム押さえ３のガタツキを抑えることができる。
【００２２】
ダイヤフラム２は、ＰＴＦＥ製である。弁体１４の外周には径方向に延設されたダイヤフラム部２ａが一体的に形成されている。弁体１４の上部中央には、後述するピストン４の下軸部３５の雄ネジ部と螺着される雌ネジ部が形成されている。弁体１４はピストン４の上下動に伴って、上下に移動可能であり本体１の弁座１３に圧接離間され、流入口９から流出口１０へ流れる流体の閉止あるいは開放が行なわれる。図２に示すよう、ダイヤフラム２の途中には厚肉の円筒部３３が形成されている。さらにその外周縁には厚肉の環状係止部３４が形成されている。
【００２３】
ピストン４は、ＰＴＦＥ製のピストンである。ピストン４は、シリンダ本体５が有する下部空間２７の壁面に当接する鍔部４５と、鍔部４５の下面中央から垂下して設けられダイヤフラム押さえ３の貫通孔３２の内周と当接する下軸部３５と、鍔部４５の上面中央に設けられシリンダ本体５の保持部２８の内周に当接する上軸部４６とが一体に形成されている。鍔部４５は、下部空間２７の壁面を上下に摺動自在とし、その側面には環状の溝が形成され、Ｏリングが装着されている。下軸部３５は、ダイヤフラム押さえ３の貫通孔３２の内周面を上下に摺動自在とし、その側面には環状の溝が形成され、Ｏリングが装着されている。また、下軸部３５の先端には、上述したように雄ネジ部が形成されており、弁体１４に設けられた雌ネジ部と螺着されている。下軸部３５は、図１に示すように、弁体１４が弁座１３に当接した状態の時、鍔部４５の下面とダイヤフラム押さえ３の上面とに一定の間隙が設けられるよう形成されている。上軸部４６は、シリンダ本体５の保持部２８の内周面を上下に摺動自在とし、その側面には環状の溝が形成され、Ｏリングが装着されている。ピストン４は、保持部２８の内周面、下部空間２７の壁面、及び貫通孔３２の内周面の３点に当接して支持されているため、ピストン４全体が傾くことを抑えることができる。ピストン４の下軸部３５も傾くことを抑えられるため、自ずと下軸部３５に螺着されている弁体１４が傾くことなく弁座１３へ当接することができる。従って、弁体１４が弁座１３に均一に押圧されるので、結果として安定したシール性能を得ることができる。
【００２４】
次に、他の実施形態であるダイヤフラム弁の構造について図５、図６を参照して説明する。図５は、本発明の他の実施形態を示す分解斜視図であり、図６は、図５のダイヤフラム弁のシリンダ本体５を下部方向から見た斜視図である。なお、第一の実施形態と同一の箇所には同一の符号を付し、以下では第一の実施の形態との相違点を主に説明する。
【００２５】
図５に示すように、本体１は、上面の四隅には、ダイヤフラム押さえ３の下面の四隅に設けられた下側係止凸部４９を受容する本体側係止凹部４７が形成されている。それぞれの本体側係止凹部４７の中央には、本体１の上方にダイヤフラム押さえ３、シリンダ本体５を固定するためのボルト、ナットを挿入する貫通孔４８がそれぞれ形成されている。
【００２６】
シリンダ本体５の下面の四隅には、図６に示すように、シリンダ側係止凹部５２が形成されており、図５に示すダイヤフラム押さえ３の上側係止凸部５０を受容する。それぞれのシリンダ側係止凹部５２の中央には、シリンダ本体５の下方にダイヤフラム押さえ３、本体１を固定するためのボルト、ナットを挿入する貫通孔５３がそれぞれ形成されている。
【００２７】
ダイヤフラム押さえ３は、図５に示すように、鍔部３９が略四角柱状に形成されており、本体１、及びシリンダ本体５の外形と同じ形状である。鍔部３９の上面および下面には、シリンダ本体５に形成されたシリンダ側係止凹部５２に受容される上側係止凸部５０、及び本体側係止凹部４７に受容される下側係止凸部４９が上下面に対向した位置に形成されている。これら係止凸部４９、５０の中央には、ダイヤフラム押さえ３の上方にシリンダ本体５、ダイヤフラム押さえ３の下方に本体１を固定するためのボルト、ナットを挿入する貫通孔５１がそれぞれ形成されている。
【００２８】
次に第一の実施形態、及び他実施形態におけるダイヤフラム弁の開閉時の作用について説明する。図２に示すように、ダイヤフラム弁が開の状態において、第一作動流体通気口２９に作動流体として圧縮空気を注入すると、上部空間２６へ圧縮空気が注入され、圧縮空気の圧力でピストン４、及びピストン４に接続されている弁体１４とが共に下方へ押し下げられる。よって弁体１４が弁座１３に圧接して第一連通口７を塞ぎ、流路を閉止してダイヤフラム弁は閉状態となる。閉状態から第二作動流体通気口３０に作動流体として圧縮空気を注入すると、下部空間２７へ圧縮空気が注入され、圧縮空気の圧力でピストン４、及びピストン４に接続されている弁体１４とが共に上方へ押し上げられる。よって弁体１４が弁座１３から離間されてダイヤフラム弁は開状態となり、流体は第一流路１１から弁室６に流入して第二流路１２から流出される。
【００２９】
そのため、ダイヤフラム弁に高温流体が流れると、接液部である第一流路１１、弁室６、及び第二流路１２の空間内の流体の熱が構成部品に伝わる。特に本体１、ダイヤフラム押さえ３は流体に近い配置であるため、通常、流体熱が伝熱して膨張し変形しやすい。本発明においては、本体１とダイヤフラム押さえ３とは、本体側環状凸部１８と下側環状凹部１７によって、互いに凹凸嵌合されており、この嵌合部を環状形状に形成することで水平方向に膨張及び変形することを抑えることができる。また、変形する際にも本体１とダイヤフラム押さえ３とが同期して変形するため、ダイヤフラム２の外周縁の環状係止部３４は、ダイヤフラム押さえ３の下面と本体１の上面とで安定して挟持固定される。従って、ダイヤフラム弁に高温流体が流れても、ダイヤフラム２の外周縁の環状係止部３４を押圧する力が均一に維持されてダイヤフラム押さえ３と本体１との間のシール性能が向上し、ダイヤフラム押さえ３と本体１との間に水密状態を維持することができる。
【００３０】
また、ダイヤフラム弁の開閉動作により高温流体が断続的に流れ、構成部品が断続的な冷暖効果を繰り返すことにより膨張および収縮を繰り返すことで、ダイヤフラム弁の構成部品を連結するボルトナットが緩みやすくなる。本発明においては、ダイヤフラム押さえ３が本体１に対して回動不能に嵌合されているため、ボルト、ナットが緩んでも、ダイヤフラム押さえ３のガタツキを抑えることができる。従って、ダイヤフラム２の外周縁の環状係止部３４は、ダイヤフラム押さえ３の下面と本体１の上面とで安定して挟持固定されると共に、ダイヤフラム押さえ３のガタツキによりさらにボルト、ナットが緩むことを防ぐことができる。従って、ダイヤフラム押さえ３がダイヤフラム２の環状係止部３４を押圧する力が均一に維持することができる。
【００３１】
また、本発明の第一の実施形態、及び他実施形態では、本体１とダイヤフラム押さえ３と同じように、シリンダ本体５とダイヤフラム押さえ３とが環状の凹凸嵌合により連結されるとともに、ダイヤフラム押さえ３がシリンダ本体３に回動不能に嵌合されている。シリンダ本体５とダイヤフラム押さえ３が環状の凹凸嵌合によって連結されることによって、シリンダ本体５とダイヤフラム押さえ３の変形が抑えられる。また、ダイヤフラム押さえ３がシリンダ本体５に回動不能に嵌合されることによって、ダイヤフラム押さえ３およびシリンダ本体５のガタツキが抑えられる。ダイヤフラム押さえ３およびシリンダ本体５の変形およびガタツキが抑えられることによって、ピストン４と、ダイヤフラム押さえ３およびシリンダ本体５との、軸ずれを抑えることができるので、弁体１４を弁座１３に均一に圧接することができ、安定したシール性を発現することができる。
【００３２】
次に、他の実施形態における作用について、説明する。他の実施形態では、図５に示すように、ダイヤフラム押さえ３に上側係止凸部５０、及び下側係止凸部４９を設け、本体１およびシリンダ本体５に本体側係止凹部４７、及び図６に示すシリンダ側係止凹部５２を設けることによって、ダイヤフラム押さえ３が本体１、及びシリンダ本体５に対して回動不能に嵌合される。ダイヤフラム押さえ３が本体１、及びシリンダ本体５に対して回動不能に嵌合されているため、ボルト、ナットが緩んでも、ダイヤフラム押さえ３のガタツキを抑えることができる。
【００３３】
尚、本発明のダイヤフラム弁に用いられる材質は、上記した実施形態に限定されるものではない。例えば、本体１、ダイヤフラム押さえ３、ピストン４、及びシリンダ本体５は、ＰＴＦＥを用いて形成しているが、流体や環境に適した素材であれば良く、樹脂素材として塩化ビニル樹脂、ポリビニリデンフルオライド（以下、ＰＶＤＦと記す）、ポリプロピレン、ＡＢＳ樹脂、又はパーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（以下、ＰＦＡと記す）等が、金属素材としてステンレス等が好適に使用できる。また、例えば弁体１４を含むダイヤフラム２は、ＰＴＦＥを用いて形成しているが、流体や環境に適した素材であれば良く、樹脂素材としてＰＶＤＦ、ＰＦＡ等が、エラストマーとしてフッ素ゴム、シリコンゴム、ニトリルゴム、エチレンプロピレンジエンゴム、ブチルボム、又はアクリルゴムが好適に使用できる。
【００３４】
また、ダイヤフラム押さえ３の形状は、本体１、または本体１及びシリンダ本体５に対して回動不能な形状であれば良い。例えば、ダイヤフラム押さえ３の全体形状、もしくは外形の一部が、本体１、または本体１及びシリンダ本体５に対して回動不能な形状であっても良く、上記した実施形態に限定されるものではない。このような回動不能な形状として、矩形、楕円形状、円形状に面取りを施したもの、円形状に切欠きを施したもの、円形状と楕円形状や矩形との組み合わせたものなどが挙げられる。また、本発明の実施形態では、本体１とダイヤフラム押さえ３との環状の凹凸嵌合において、本体１に凸部を設け、ダイヤフラム押さえ３に凹部を設けているが、本体１に凹部を設け、ダイヤフラム押さえ３に凸部を設けても良い。同様に、シリンダ本体５とダイヤフラム押さえ３との環状の凹凸嵌合において、シリンダ本体５に凸部を設け、ダイヤフラム押さえ３に凹部を設けているが、シリンダ本体５に凹部を設け、ダイヤフラム押さえ３に凸部を設けても良い。また、本発明の実施形態では、環状凹部１７、２４および環状凸部１８、２５が円環形状に形成されているが、環状凹部１７、２４および環状凸部１８、２５を矩形や楕円形などの環状に形成しても良い。環状凹部１７、２４および環状凸部１８、２５を矩形や楕円形などの環状に形成すると、本体１、ダイヤフラム押さえ３、およびシリンダ本体５が互いに回動不能に連結される。
【００３５】
さらに、本発明の他の実施形態に用いられる係止凸部４９、５０、係止凹部４７、５２の形状は、ダイヤフラム押さえ３が本体１、または本体１及びシリンダ本体５に対して回動不能となる形状であれば良く、係止凸部４９、５０と係止凹部４７、５２を複数組設けることで回動不能とするほか、単独組の係止凸部４９、５０と係止凹部４７、５２を設けて係止凸部４９、５０と係止凹部４７、５２の形状により回動不能としても良い。このような形状としては、矩形、楕円形状、円形状に面取りを施したもの、円形状に切欠きを施したもの、円形状と楕円形状や矩形との組み合わせによるものなどが挙げられ、図５に記載されたように垂直方向に突出しているほか、水平方向や斜め方向へ突出させても良く、係止凸部４９、５０と係止凹部４７、５２を矩形や八角形などの環状の多角形に形成しても良い。本発明の他の実施形態では、本体１及びシリンダ本体５には係止凸部４９、５０が設けられ、ダイヤフラム押さえ３には係止凹部４７、５２が設けられているが、係止凸部４９、５０と係止凹部４７、５２は、それぞれが対応する位置に設けられていれば良いため、係止凸部と係止凹部とを本体１、シリンダ本体５およびダイヤフラム押さえ３のどの部品に設けても良いことは自明の理であり、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変更を加え得ることは言うまでもない。
【符号の説明】
【００３６】
１      本体
２      ダイヤフラム
３      ダイヤフラム押さえ
４      ピストン
５      シリンダ本体
１４    弁体
１６    本体側受容部
１７    下側環状凹部
１８    本体側環状凸部
２２    シリンダ側受容部
２４    上側環状凹部
２５    シリンダ側環状凸部
３９    鍔部
４７    本体側係止凹部
４９    下側係止凸部
５０    上側係止凸部
５２    シリンダ側係止凹部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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