(57)【要約】【課題】給気通路（20）の上流側から下流側に複数段に配置された除湿ユニット（41，51）を備えた除湿システムの省エネルギー化と低コスト化を可能にする。【解決手段】吸着側と再生側に交互に切り換えられる２つの吸着熱交換器（42，43）（52，53）を備えた切り換え式除湿ユニット（41，51）を、給気通路の上流側から下流側に連続して配置する。【選択図】図１
2014129984.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ドライクリーンルーム（S）に除湿空気を供給する除湿装置を備え、
上記除湿装置が、給気通路（20）の上流側から下流側に複数段に配置された除湿ユニット（41，51，61，81）を備えた除湿システムであって、
上記複数の除湿ユニット（41，51，61，81）は、それぞれ、吸着側と再生側に交互に切り換えられる２つの吸着熱交換器（42，43）（52，53）（62，63）を備え、上流側から流入した空気を吸着側の吸着熱交換器（42，43）（52，53）（62，63）でさらに除湿する切り換え式除湿ユニット（41，51，61）を含み、
上記切り換え式除湿ユニット（41，51，61）が、給気通路（20）の上流側から下流側に連続して配置されていることを特徴とする除湿システム。
【請求項２】
請求項１において、
上記除湿ユニット（41，51，61，81）は、上流側に配置された第１除湿ユニット（41）と、該第１除湿ユニット（41）の下流側に配置された第２除湿ユニット（51）とを備え、
上記第１除湿ユニット（41）は、吸着側と再生側に交互に切り換えられる２つの吸着熱交換器（42，43）を備え、空気を吸着側の吸着熱交換器（42，43）で除湿するように構成され、
上記第２除湿ユニット（51）は、吸着側と再生側に交互に切り換えられる２つの吸着熱交換器（52，53）を備え、第１ユニットで除湿した空気を吸着側の吸着熱交換器（52，53）でさらに除湿するように構成されていることを特徴とする除湿システム。
【請求項３】
請求項１において、
上記除湿ユニット（41，51，61，81）は、上流側に配置された第１除湿ユニット（41）と、第１除湿ユニット（41）の下流側に配置された第２除湿ユニット（51）と、第２除湿ユニット（51）の下流側に配置された第３除湿ユニット（61）とを備え、
第１除湿ユニット（41）と第２除湿ユニット（51）と第３除湿ユニット（61）は、それぞれ、吸着側と再生側に交互に切り換えられる２つの吸着熱交換器（42，43）（52，53）（62，63）を備え、空気を吸着側の吸着熱交換器（42，43）（52，53）（62，63）で除湿するように構成されていることを特徴とする除湿システム。
【請求項４】
請求項１において、
上記除湿ユニット（41，51，61，81）は、上流側に配置された第１除湿ユニット（41）と、第１除湿ユニット（41）の下流側に配置された第２除湿ユニット（51）と、第２除湿ユニット（51）の下流側に配置された第３除湿ユニット（81）とを備え、
第１除湿ユニット（41）と第２除湿ユニット（51）は、それぞれ、吸着側と再生側に交互に切り換えられる２つの吸着熱交換器（42，43）（52，53）を備え、空気を吸着側の吸着熱交換器（42，43）（52，53）で除湿するように構成され、
第３除湿ユニット（61）は、一部が吸着部として構成されるとともに他の一部が再生部として構成された吸着ロータ（82）を備えたロータ式除湿ユニット（81）であり、第２除湿ユニット（51）で除湿した空気を吸着部でさらに除湿するように構成されていることを特徴とする除湿システム。
【請求項５】
請求項１から４の何れか１つにおいて、
上記切り換え式除湿ユニット（41，51，61）の吸着熱交換器（42，43）（52，53）（62，63）が、冷媒が循環して冷凍サイクルを行う冷媒回路の熱交換器により構成されていることを特徴とする除湿システム。
【請求項６】
請求項１から５の何れか１つにおいて、
上記複数の除湿ユニット（41，51，61）の各吸着熱交換器（42，43）（52，53）（62，63）を吸着側と再生側に交互に切り換えるタイミングを相互にずらす制御をするコントローラ（100）を備えていることを特徴とする除湿システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、除湿した空気を室内へ供給する除湿システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、除湿した空気を室内へ供給する除湿システムが知られている。特許文献１，２には、この種の除湿システムが開示されている。
【０００３】
特許文献１，２には、吸着ロータを空気通路上で直列で複数段に配置する構成が記載されている。空気通路は、室外空気を吸着ロータで処理して室内に供給する給気通路と、室内空気を室外に排出する排気通路とから構成されている。吸着ロータは、給気通路と排気通路に跨って配置されており、両通路の間の回転軸を中心として回転可能に構成されている。
【０００４】
そして、吸着ロータは、給気通路を流れる空気の水分を吸着して除湿する一方、排気通路を流れる空気へ水分を放出して再生される。排気通路には、空気を加熱して吸着ロータの再生に用いるため、空気加熱用のヒータが設けられている。吸着ロータは、水分を吸着している部分の水分吸着量が多くなると回転して排気通路へ移動し、そこで水分を放出して再生された後、再び吸着側で用いられる。以上の構成により、吸着側の空気通路を流れる低湿の空気が連続して室内に供給されることで室内が除湿され、室内の空気は加熱されて吸着ロータを再生した後に室外へ放出される。
【０００５】
室外空気が複数回吸着ロータを通過することにより、室内へ吸着される空気は低露点の空気となり、例えばリチウムイオン電池を製造するドライクリーンルームに供給する空気（露点が約−５０℃の空気）に用いることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特許第３７６２１３８号
【特許文献２】特開２０１１−６４４３９号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、複数の吸着ロータを用いたシステムでは、吸着ロータごとに再生用のヒータを設けて各吸着ロータを除湿再生ユニットにする必要があり、吸着ロータ自体がコストの高い部品であることに加えて、ヒータによる吸着ロータの再生温度が高いために、ヒータの熱量に要するランニングコストも高くなってしまう。また、吸着ロータを多段で用いるシステムでは、吸着ロータを通過した除湿側空気の湿度は下がるものの、空気が吸着ロータを通過する際の吸着熱とヒータによる再生加熱のために温度は高くなる。そのため、吸着ロータの入口で除湿側空気を冷却する必要があり、その冷却用のエネルギーも必要であった。
【０００８】
特に、リチウム電池の製造プロセスでは、空調システム（除湿システム）のエネルギー使用量が約５０％を占めており、このシステムの省エネルギー化を図ることがリチウム電池の低コスト化に大きく寄与する。しかしながら、実際には吸着ロータの再生に供する熱量が大きいために、除湿システムの低コスト化を実現するのは極めて困難であった。
【０００９】
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的は、除湿システムの省エネルギー化と低コスト化を可能にすることである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
第１の発明は、ドライクリーンルーム（S）に除湿空気を供給する除湿装置を備え、上記除湿装置が、給気通路（20）の上流側から下流側に複数段に配置された除湿ユニット（41，51，61，81）を備えた除湿システムを前提としている。
【００１１】
そして、この除湿システムは、上記複数の除湿ユニット（41，51，61，81）が、それぞれ、吸着側と再生側に交互に切り換えられる２つの吸着熱交換器（42，43）（52，53）（62，63）を備えて上流側から流入した空気を吸着側の吸着熱交換器（42，43）（52，53）（62，63）でさらに除湿する切り換え式除湿ユニット（41，51，61）を含み、上記切り換え式除湿ユニット（41，51，61）が、給気通路（20）の上流側から下流側に連続して配置されていることを特徴としている。
【００１２】
この第１の発明では、複数の除湿ユニット（41，51，61，81）が、それぞれ吸着熱交換器（42，43）（52，53）（62，63）を備えた切り換え式除湿ユニット（41，51，61）であるから、上流側の切り換え式除湿ユニット（41，51，61）の吸着熱交換器（42，43）（52，53）（62，63）で湿度も温度も低下した空気が、下流側の切り換え式除湿ユニット（41，51，61）に流入する。下流側の切り換え式除湿ユニット（41，51，61）に流入する空気の湿度も温度も低いため、その除湿ユニット（41，51，61，81）の吸着熱交換器（42，43）（52，53）（62，63）で除湿する際の吸着熱の発生が抑えられる。したがって、再生温度も低下する。
【００１３】
第２の発明は、第１の発明において、上記除湿ユニット（41，51，61，81）が、上流側に配置された第１除湿ユニット（41）と、該第１除湿ユニット（41）の下流側に配置された第２除湿ユニット（51）とを備え、上記第１除湿ユニット（41）が、吸着側と再生側に交互に切り換えられる２つの吸着熱交換器（42，43）を備え、空気を吸着側の吸着熱交換器（42，43）で除湿するように構成され、上記第２除湿ユニット（51）が、吸着側と再生側に交互に切り換えられる２つの吸着熱交換器（52，53）を備え、第１ユニットで除湿した空気を吸着側の吸着熱交換器（52，53）でさらに除湿するように構成されていることを特徴としている。
【００１４】
この第２の発明では、第１除湿ユニット（41）と第２除湿ユニット（51）を吸着熱交換器（42，43）（52，53）を備えた切り換え式除湿ユニット（41，51）にしているので、第１の発明と同様に、再生エネルギーを低減できる。
【００１５】
第３の発明は、第１の発明において、上記除湿ユニット（41，51，61，81）が、上流側に配置された第１除湿ユニット（41）と、第１除湿ユニット（41）の下流側に配置された第２除湿ユニット（51）と、第２除湿ユニット（51）の下流側に配置された第３除湿ユニット（61）とを備え、第１除湿ユニット（41）と第２除湿ユニット（51）と第３除湿ユニット（61）が、それぞれ、吸着側と再生側に交互に切り換えられる２つの吸着熱交換器（42，43）（52，53）（62，63）を備え、空気を吸着側の吸着熱交換器（42，43）（52，53）（62，63）で除湿するように構成されていることを特徴としている。
【００１６】
この第３の発明では、第１除湿ユニット（41），第２除湿ユニット（51）及び第３除湿ユニット（61）を、吸着熱交換器（42，43）（52，53）（62，63）を備えた切り換え式除湿ユニット（41，51，61）にしているので、第１の発明と同様に、再生エネルギーを低減できる。
【００１７】
第４の発明は、第１の発明において、上記除湿ユニット（41，51，61，81）が、上流側に配置された第１除湿ユニット（41）と、第１除湿ユニット（41）の下流側に配置された第２除湿ユニット（51）と、第２除湿ユニット（51）の下流側に配置された第３除湿ユニット（61）とを備え、第１除湿ユニット（41）と第２除湿ユニット（51）は、それぞれ、吸着側と再生側に交互に切り換えられる２つの吸着熱交換器（42，43）（52，53）を備え、空気を吸着側の吸着熱交換器（42，43）（52，53）で除湿するように構成され、第３除湿ユニット（81）は、一部が吸着部として構成されるとともに他の一部が再生部として構成された吸着ロータ（82）を備えたロータ式除湿ユニット（81）であり、第２除湿ユニット（51）で除湿した空気を吸着部でさらに除湿するように構成されていることを特徴としている。
【００１８】
この第４の発明では、第１除湿ユニット（41），第２除湿ユニット（51）及び第３除湿ユニット（81）のうち、第１除湿ユニット（41）と第２除湿ユニット（51）を吸着熱交換器（42，43）（52，53）を備えた切り換え式除湿ユニット（41，51）にしているので、第１の発明と同様に、再生エネルギーを低減できる。
【００１９】
第５の発明は、第１から第４の発明の何れか１つにおいて、上記切り換え式除湿ユニット（41，51，61）の吸着熱交換器（42，43）（52，53）（62，63）が、冷媒が循環して冷凍サイクルを行う冷媒回路の熱交換器により構成されていることを特徴としている。
【００２０】
この第５の発明では、冷媒回路に吸着熱交換器（42，43）（52，53）（62，63）を設けることにより、吸着熱交換器（42，43）（52，53）（62，63）を吸着側と再生側で容易に切り換えることができる。
【００２１】
第６の発明は、第１から第５の発明の何れか１つにおいて、上記複数の除湿ユニット（41，51，61）の各吸着熱交換器（42，43）（52，53）（62，63）を吸着側と再生側に交互に切り換えるタイミングを相互にずらす制御をするコントローラ（100）を備えていることを特徴としている。
【００２２】
ここで上流側の除湿ユニット（41）の吸着側の吸着熱交換器（42，43）から流出した空気は、吸着側に切り換わる前まで再生側で加熱されていた吸着熱交換器が吸着側に切り換わった直後は温度が高い。吸着熱交換器（42，43）は吸着側に切り換わると温度が低下するが、その後に再生側に切り換わると温度が上昇し、その高い温度で吸着側に切り換わる形で温度変動が繰り返される。したがって、上流側の除湿ユニット（41）の出口空気温度は、図３（Ｂ）に示すように、時間の経過に伴って上昇と下降を繰り返す。
【００２３】
ここで、例えば上流側の除湿ユニット（41）と下流側の除湿ユニット（51，61）の切り換えタイミングが同じである場合を考えると、温度変動のタイミングが同期するため、図３（Ｄ）に示すように温度変動幅が増幅されてしまう。一方、この第６の発明では、上流側から下流側に配置される複数の除湿ユニット（41，51，61）における吸着／再生の切り換えタイミングをずらすようにしているので、各除湿ユニット（41，51，61）における出口の温度変動幅が相殺される方向に作用し、図３（Ｃ）に示すように下流側の除湿ユニット（51，61）の出口空気の温度変動が小さくなる。
【発明の効果】
【００２４】
第１の発明によれば、複数の除湿ユニット（41，51，61）を、それぞれ吸着熱交換器（42，43）（52，53）（62，63）を備えた切り換え式除湿ユニット（41，51，61）にして、上流側の切り換え式除湿ユニット（41，51，61）で湿度も温度も低下した空気が下流側の切り換え式除湿ユニット（41，51，61）に流入するようにしたことにより、その下流側の除湿ユニット（41，51，61）の吸着熱交換器（42，43）（52，53）（62，63）で除湿する際の吸着熱の発生を抑えて再生温度も低下させるようにしている。したがって、再生エネルギーを抑えられるし、除湿ユニット（41，51，61）への入口で空気を冷却しなくてもよいので、そのためのエネルギーも削減できる。したがって、省エネルギー化が可能となる。
【００２５】
上記第２から第４の発明によれば、吸着熱交換器（42，43）（52，53）（62，63）を備えた切り換え式除湿ユニット（41，51，61）を少なくとも２段で直列に接続するようにしているので、第１の発明と同様に省エネルギー化が可能になる。
【００２６】
上記第５の発明によれば、吸着熱交換器（42，43）（52，53）（62，63）を冷媒回路の熱交換器にすることにより、冷媒回路の効率がよいことと相まって省エネルギー化を促進できる。
【００２７】
上記第６の発明によれば、複数の除湿ユニット（41，51，61）における吸着／再生の切り換えタイミングをずらすようにしているので、下流側の除湿ユニット（51，61）の出口空気の温湿度の変動が小さくなる。したがって、必要な低露点の空気を確実に得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】図１は、実施形態１に係る除湿システムの構成図である。
【図２】図２は、切り換え式除湿ユニットの概略構成を示す斜視図である。
【図３】図３（Ａ）は複数の除湿ユニットの切換制御を示すタイムチャート、図３（Ｂ）は第１除湿ユニットの出口空気の温度変動を示すグラフ、図３（Ｃ）は実施形態１の第２除湿ユニットの出口空気の温度変動を示すグラフ、図３（Ｄ）は比較例の第２除湿ユニットの出口空気の温度変動を示すグラフである。
【図４】図４は、実施形態２に係る除湿システムの構成図である。
【図５】図５は、実施形態３に係る除湿システムの構成図である。
【図６】図６は、変形例に係る除湿システムの構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００３０】
《発明の実施形態１》
本発明の実施形態１について説明する。
【００３１】
図１に示す実施形態は、室内空間（S）を除湿する除湿システム（10）に関するものである。この除湿システム（10）は、室外空気（OA）を除湿し、この空気を給気（SA）として室内へ供給する。除湿対象となる室内空間（S）は、低露点空気が求められるリチウム電池の製造ラインのドライクリーンエリア（ドライクリーンルーム）（S）であり、図１の除湿システム（10）はリチウムイオン電池の製造ラインの一部を構成するものである。
【００３２】
この除湿システム（10）は、室外空気（OA）を除湿して給気（SA）として室内空間（S）へ供給するための給気通路（20）を備えている。また、除湿システム（10）は、ドライクリーンルーム（S1）の室内空気（RA）の一部と室外空気（OA）の一部を排出空気（EA）として室外へ放出する排気通路（30）を備えている。
【００３３】
この除湿システムは、除湿装置（41，51）として、第１除湿ユニット（41）と第２除湿ユニット（51）とを備えている。第１除湿ユニット（41）と第２除湿ユニット（51）は、給気通路（20）の上流側から下流側に、直列で複数段（この実施形態では２段）に連続して配置されている。具体的には、第１除湿ユニット（41）が上流側、第２除湿ユニット（51）が下流側に配置されている。
【００３４】
第１除湿ユニット（41）は、吸着側と再生側に交互に切り換えられる２つの吸着熱交換器（42，43）を備えている。第１除湿ユニット（41）は、上流側から流入した空気を吸着側の吸着熱交換器（42，43）で除湿する一方、再生側の吸着熱交換器（43，42）では排出空気（EA）に水分を放出して吸着剤が再生される切り換え式除湿ユニットである。吸着熱交換器（42，43）は、空気熱交換器のフィンの表面に吸着剤が担持された熱交換器である。
【００３５】
第２除湿ユニット（51）は、吸着側と再生側に交互に切り換えられる２つの吸着熱交換器（52，53）を備えている。第２除湿ユニット（51）は、上流側から流入した空気を吸着側の吸着熱交換器（52，53）で除湿する一方、再生側の吸着熱交換器（53，52）では排出空気（EA）に水分を放出して吸着剤が再生される切り換え式除湿ユニットである。吸着熱交換器（52，53）は、空気熱交換器のフィンの表面に吸着剤が担持された熱交換器である。
【００３６】
なお、図１では省略しているが、第１除湿ユニット（41）及び第２除湿ユニット（51）は、給気通路（20）を流れる空気が常に吸着側の吸着熱交換器（42，43）（52，53）を通り、排気通路（30）を流れる空気が常に再生側の吸着熱交換器（43，42）（53，52）を通るように、ケーリング内の空気の流れを切り換える構成が採用されている。
【００３７】
各除湿ユニット（41，51）の一対の吸着熱交換器（42，43）（52，53）は、冷媒が循環して冷凍サイクルを行う冷媒回路の熱交換器により構成されていて、冷媒の循環方向を反転させることにより、蒸発器になる熱交換器と凝縮器になる熱交換器を入れ換えて、吸着側と再生側を交互に切り換えるようになっている。
【００３８】
図２は、各切り換え式除湿ユニット（41，51）の概略構成を示している。切り換え式除湿ユニット（41，51）は、複数（この実施形態では５つ）のサブユニット（46，56）から構成されている。サブユニット（46，56）は、それぞれボックス状のケーシング（46a，56a）を有し、各ケーシング（46a，56a）内に、図２には示していない一対の上記吸着熱交換器（42，43）（52，53）が収納されている。
【００３９】
各サブユニット（46，56）のケーシング（46a，56a）には、室外空気が流入する処理入口（41a，51a）と、再生空気が流入する再生入口（41b，51b）と、処理空気が流出する処理出口（41c，51c）と、排気が流出する再生出口（41d，51d）とが設けられている。上記複数のサブユニット（46，56）は、給気通路（20）及び排気通路（30）に並列に接続されている。
【００４０】
この構成において、給気通路（20）を流れる室外空気は、分岐して各サブユニット（46，56）へ処理入口（41a，51a）から流入し、吸着側の吸着熱交換器（42，43）（52，53）で除湿された後に処理出口（41c，51c）から流出して下流側へ流れていく。また、排気通路（30）を流れる室内空気は、分岐して各サブユニット（46，56）へ再生入口（41b，51b）から流入し、再生側の吸着熱交換器（43，42）（53，52）を再生した後に再生出口（41d，51d）から流出して室外へ放出される。一対の吸着熱交換器（42，43）（52，53）は、所定のタイミング（例えば３分間隔）で吸着側と再生側が交互に切り換えられる。上記ケーシング（46a，56a）は、一対の吸着熱交換器（42，43）（52，53）が吸着側と再生側に切り換わるのに合わせて、空気通路における空気の流れ（流路）も切り換わるように構成されている。
【００４１】
給気通路（20）には、第１除湿ユニット（41）の上流側に予冷熱交換器（71）が配置され、第２除湿ユニット（51）の下流側に再熱熱交換器（72）が配置されている。上記予冷熱交換器（71）と再熱熱交換器（72）は、図示していない熱回収ユニットの冷媒回路に接続されている。そして、その冷媒回路は、上記再熱熱交換器（72）を凝縮器とし、予冷熱交換器（71）を蒸発器として冷凍サイクルを行うように構成されている。
【００４２】
上記給気通路（20）は、予冷熱交換器（71）の上流側で分岐通路（25）に分岐している。分岐通路（25）は、第１除湿ユニット（41）の再生側の吸着熱交換器（43，42）を通過する第１排気通路（30a）と、第２除湿ユニット（51）の再生側の吸着熱交換器（53，52）を通過する第２排気通路（30b）とに接続されている。
【００４３】
ドライクリーンルーム（S）には、還気通路（26）の一端が接続されている。還気通路（26）の他端は、給気通路（20）に第１除湿ユニット（41）の下流側で接続されている。給気通路（20）は、還気通路（26）の合流点と第２除湿ユニット（51）の流入口との間で第２分岐通路（27）に分岐し、この第２分岐通路（27）が第２排気通路（30b）に接続されている。この構成において、還気通路（26）と第２分岐通路（27）は、排気通路（30）の一部になっている。
【００４４】
この実施形態では、第１除湿ユニット（41）で２つの吸着熱交換器（42，43）を吸着側と再生側に切り換えるタイミングと、第２除湿ユニット（51）で２つの吸着熱交換器（52，53）を吸着側と再生側に切り換えるタイミングを、相互にずらす制御を行うコントローラ（100）が設けられている。コントローラ（100）は、図３（Ａ）において、第１除湿ユニット（41）と第２除湿ユニット（51）のそれぞれの２つの吸着熱交換器（42，43）（52，53）をいずれも同じ時間間隔（例えば３分）で吸着側と再生側に切り換えるとすると、第１除湿ユニット（41）と第２除湿ユニット（51）の切り換えタイミングを、切り換え間隔の半分の時間（例えば１分３０秒）ずらすようにしている。
【００４５】
第１除湿ユニット（41）の吸着側の吸着熱交換器（42，43）から流出した空気は、吸着側に切り換わる前まで再生側で加熱されていた吸着熱交換器が吸着側に切り換わった直後は温度が高い。吸着熱交換器（42，43）は吸着側に切り換わると徐々に温度が低下するが、その後に再生側に切り換わると温度が上昇し、その高い温度で吸着側に切り換わる形で温度変動が繰り返される。したがって、第１除湿ユニット（41）の処理出口の空気温度は、図３（Ｂ）に示すように、時間の経過に伴って上昇と下降を繰り返す。
【００４６】
ここで、第１除湿ユニット（41）と第２除湿ユニット（51）の切り換えタイミングが同じである場合を比較例として考えると、温度変動のタイミングが同期するため、図３（Ｄ）に示すように温度変動幅が増幅されてしまう。一方、本実施形態では、第１除湿ユニット（41）における吸着／再生の切り換えタイミングと第２除湿ユニット（51）における吸着／再生の切り換えタイミングを、切り換え時間の間隔の半分だけずらすようにしている。このように切り換えタイミングをずらすことにより、第１除湿ユニット（41）における処理出口（41c）の温度変動幅と第２除湿ユニット（51）における処理出口（51C）の温度変動幅が相殺される方向に作用するので、本実施形態では、図３（Ｃ）に示すように第２除湿ユニット（51）の出口空気の温度変動が小さくなる。
【００４７】
−運転動作−
次に、この除湿システム（10）の運転動作を説明する。
【００４８】
給気通路（20）を流れる室外空気（OA）は、予冷熱交換器（71）で冷却除湿された後、第１除湿ユニット（41）に流入し、吸着側の吸着熱交換器（42，43）を通過して除湿される。第１除湿ユニット（41）で除湿された空気は、第２除湿ユニット（51）に流入し、吸着側の吸着熱交換器（52，53）を通過してさらに除湿される。
【００４９】
第２除湿ユニット（51）を流出した空気は再熱熱交換器（72）で温度が調整され、給気（SA）としてドライクリーンルーム（S）の室内へ供給される。本実施形態では、給気（SA）は、第１除湿ユニット（41）と第２除湿ユニット（51）で吸着熱交換器（42，43）（52，53）を２回通過する。そして、第１除湿ユニット（41）から流出した空気が低温低湿であり、露点温度も低くなっているので、さらに第２除湿ユニット（51）を通過することにより、露点温度が例えば−５０℃まで下がった空気となってドライクリーンルーム（S）に供給される。
【００５０】
ドライクリーンルーム（S）の室内空気は、還気通路（26）を通ってドライクリーンルーム（S）から流出し、給気通路（20）上で、第１除湿ユニット（41）を通過した空気と合流する。この空気の一部は第２除湿ユニット（51）へ流入し、ドライクリーンルーム（S）へ供給される。
【００５１】
ここで、第１除湿ユニット（41）と第２除湿ユニット（51）における再生側の空気の流れを説明する。
【００５２】
まず、予冷熱交換器（71）の上流側で給気通路（20）から分岐通路（25）へ分岐した空気が、第１排気通路（30a）と第２排気通路（30b）に分流し、第１除湿ユニット（41）における再生側の吸着熱交換器（43，42）と第２除湿ユニット（51）における再生側の吸着熱交換器（53，52）を通過する。再生側の吸着熱交換器（43，42）（53，52）は、冷媒回路の凝縮器になっている熱交換器であり、温度が高いので、通過する空気に水分を放出して吸着剤が再生される。なお、第２除湿ユニット（51）の吸着熱交換器（53，52）の再生には、第２分岐通路（27）を流れる空気も用いられる。
【００５３】
−実施形態１の効果−
本実施形態によれば、第１除湿ユニット（41）と第２除湿ユニット（41，51）を、それぞれ吸着熱交換器（42，43）（52，53）を備えた切り換え式除湿ユニットにして、上流側の切り換え式除湿ユニット（41）で湿度も温度も低下した空気が下流側の切り換え式除湿ユニット（51）に流入するようにしたことにより、その下流側の除湿ユニット（51）の吸着熱交換器（52，53）で除湿する際の吸着熱の発生を抑えて再生温度も低くするようにしている。したがって、再生エネルギーを抑えられるし、除湿ユニット（51）への入口で空気を冷却しなくてもよいので、そのためのエネルギーも削減できる。そのため、省エネルギー化が可能となる。
【００５４】
また、吸着熱交換器（42，43）（52，53）を冷媒回路の熱交換器にしたことにより、冷媒回路の効率がよいことと相まって省エネルギー化を促進できる効果もある。
【００５５】
また、第１除湿ユニット（41）における吸着／再生の切り換えタイミングと第２除湿ユニット（51）における吸着／再生の切り換えタイミングを、切り換え時間の間隔の半分ずらすようにしているので、本実施形態では、第２除湿ユニット（51）の出口空気の温湿度の変動が小さくなる。したがって、必要な低露点の空気を確実に得ることができる。
【００５６】
《発明の実施形態２》
本発明の実施形態２について説明する。
【００５７】
図４に示す実施形態２は、図１に示す実施形態１が室外空気を第１除湿ユニット（41）と第２除湿ユニット（51）により２段階で除湿するようにしているのに対して、第１除湿ユニット（41）と第２除湿ユニット（51）と第３除湿ユニット（61）により３段階で除湿するようにした例である。
【００５８】
実施形態２の除湿システム（10）も、実施形態１と同様に、室外空気（OA）を除湿して給気（SA）として室内空間（S）へ供給するための給気通路（20）を備え、ドライクリーンルーム（S1）の室内空気（RA）の一部と室外空気（OA）の一部を排出空気（EA）として室外へ放出する排気通路（30）を備えている。
【００５９】
この除湿システムは、除湿装置（41，51）として、第１除湿ユニット（41）と第２除湿ユニット（51）と第３除湿ユニット（61）とを備えている。第１除湿ユニット（41）と第２除湿ユニット（51）と第３除湿ユニット（61）は、給気通路（20）の上流側から下流側に、直列で複数段（この実施形態では３段）に連続して配置されている。具体的には、第１除湿ユニット（41）が上流側、第２除湿ユニット（51）がその下流側、第３除湿ユニット（61）がさらにその下流側に配置されている。
【００６０】
第１除湿ユニット（41）は、吸着側と再生側に交互に切り換えられる２つの吸着熱交換器（42，43）を備えている。第１除湿ユニット（41）は、上流側から流入した空気を吸着側の吸着熱交換器（42，43）で除湿する一方、再生側の吸着熱交換器（43，42）では排出空気（EA）に水分を放出して吸着剤が再生される切り換え式除湿ユニットである。
【００６１】
第２除湿ユニット（51）は、吸着側と再生側に交互に切り換えられる２つの吸着熱交換器（52，53）を備えている。第２除湿ユニット（51）は、上流側から流入した空気を吸着側の吸着熱交換器（52，53）で除湿する一方、再生側の吸着熱交換器（53，52）では排出空気（EA）に水分を放出して吸着剤が再生される切り換え式除湿ユニットである。
【００６２】
第３除湿ユニット（61）は、吸着側と再生側に交互に切り換えられる２つの吸着熱交換器（62，63）を備えている。第２除湿ユニット（61）は、上流側から流入した空気を吸着側の吸着熱交換器（62，63）で除湿する一方、再生側の吸着熱交換器（63，62）では排出空気（EA）に水分を放出して吸着剤が再生される切り換え式除湿ユニットである。
【００６３】
なお、図１では省略しているが、第１除湿ユニット（41）、第２除湿ユニット（51）及び第３除湿ユニット（61）は、給気通路（20）を流れる空気が常に吸着側の吸着熱交換器（42，43）（52，53）（62，63）を通り、排気通路（30）を流れる空気が常に再生側の吸着熱交換器（43，42）（53，52）（62，63）を通るように、給気通路（20）と排気通路（30）の空気の流れを切り換える構成が採用されている。
【００６４】
各除湿ユニット（41，51，61）の一対の吸着熱交換器（42，43）（52，53）（62，63）は、冷媒が循環して冷凍サイクルを行う冷媒回路の熱交換器により構成されていて、冷媒の循環方向を反転させることにより、蒸発器になる熱交換器と凝縮器になる熱交換器を入れ換えて、吸着側と再生側を交互に切り換えるようになっている。
【００６５】
給気通路（20）には、第１除湿ユニット（41）の上流側に予冷熱交換器（71）が配置され、第３除湿ユニット（61）の下流側に再熱熱交換器（72）が配置されている。上記予冷熱交換器（71）と再熱熱交換器（72）は、図示していない熱回収ユニットの冷媒回路に接続されている。そして、その冷媒回路は、上記再熱熱交換器（72）を凝縮器とし、予冷熱交換器（71）を蒸発器として冷凍サイクルを行うように構成されている。
【００６６】
上記給気通路（20）は、予冷熱交換器（71）の上流側で分岐通路（25）に分岐している。分岐通路（25）は、第１除湿ユニット（41）の再生側の吸着熱交換器（43，42）を通過する第１排気通路（30a）と、第２除湿ユニット（51）の再生側の吸着熱交換器（53，52）を通過する第２排気通路（30b）と、第３除湿ユニット（61）の再生側の吸着熱交換器（63，62）を通過する第３排気通路（30c）とに接続されている。
【００６７】
ドライクリーンルーム（S）には、還気通路（26）の一端が接続されている。還気通路（26）の他端は、給気通路（20）に第２除湿ユニット（51）の下流側で接続されている。給気通路（20）は、還気通路（26）の合流点と第３除湿ユニット（61）の流入口との間で第２分岐通路（27）に分岐し、この第２分岐通路（27）が第３排気通路（30c）に接続されている。この構成において、還気通路（26）と第２分岐通路（27）は、排気通路（30）の一部になっている。
【００６８】
この実施形態では、第１除湿ユニット（41）で２つの吸着熱交換器（42，43）を吸着側と再生側に切り換えるタイミングと、第２除湿ユニット（51）で２つの吸着熱交換器（52，53）を吸着側と再生側に切り換えるタイミングと、第３除湿ユニット（61）で２つの吸着熱交換器（62，63）を吸着側と再生側に切り換えるタイミングを、相互にずらす制御を行うコントローラ（100）が設けられている。コントローラ（100）は、第１除湿ユニット（41）と第２除湿ユニット（51）と第３除湿ユニット（61）のそれぞれの２つの吸着熱交換器（42，43）（52，53）（62，63）をいずれも同じ時間間隔（例えば３分）で吸着側と再生側に切り換えるとすると、第１除湿ユニット（41）と第２除湿ユニット（51）と第３除湿ユニット（61）の切り換えタイミングを、切り換え間隔の３分の１の時間（例えば１分）だけずらすようにしている。
【００６９】
このように、第１除湿ユニット（41）における吸着／再生の切り換えタイミングと第２除湿ユニット（51）における吸着／再生の切り換えタイミングと第３除湿ユニット（61）における吸着／再生の切り換えタイミングを、切り換え時間の間隔の３分の１ずつずらすことにより、各除湿ユニット（41，51，61）における処理出口（41c，51c，61c）の温度変動幅の温度変動幅が相殺される方向に作用するので、第３除湿ユニット（61）の出口空気の温度変動が小さくなる。
【００７０】
その他の構成は実施形態１と同じである。
【００７１】
−運転動作−
次に、この実施形態２の除湿システム（10）の運転動作を説明する。
【００７２】
給気通路（20）を流れる室外空気（OA）は、予冷熱交換器（71）で冷却除湿された後、第１除湿ユニット（41）に流入し、吸着側の吸着熱交換器（42，43）を通過して除湿される。第１除湿ユニット（41）で除湿された空気は、第２除湿ユニット（51）と第３除湿ユニット（61）に順に流入し、吸着側の吸着熱交換器（52，53）（62，63）を通過してさらに除湿される。
【００７３】
第３除湿ユニット（61）を流出した空気は再熱熱交換器（72）で温度が調整され、給気（SA）としてドライクリーンルーム（S）の室内へ供給される。本実施形態では、給気（SA）は、第１除湿ユニット（41）と第２除湿ユニット（51）と第３除湿ユニット（61）で吸着熱交換器（42，43）（52，53）（62，63）を３回通過する。そして、第１除湿ユニット（41）及び第２除湿ユニット（51）から流出した空気が低温低湿であり、露点温度も低くなっているので、さらに第３除湿ユニット（61）を通過することにより、露点温度が例えば−５０℃まで下がった空気をより確実に生成してドライクリーンルーム（S）に供給できる。
【００７４】
ドライクリーンルーム（S）の室内空気は、還気通路（26）を通ってドライクリーンルーム（S）から流出し、給気通路（20）上で、第２除湿ユニット（51）を通過した空気と合流する。この空気の一部は第３除湿ユニット（61）へ流入し、ドライクリーンルーム（S）へ供給される。
【００７５】
再生側の空気として、まず、予冷熱交換器（71）の上流側で給気通路（20）から分岐通路（25）へ分岐した空気が、第１排気通路（30a）と第２排気通路（30b）と第３排気通路（30c）に分流し、第１除湿ユニット（41）における再生側の吸着熱交換器（43，42）と第２除湿ユニット（51）における再生側の吸着熱交換器（53，52）と第３除湿ユニット（61）における再生側の吸着熱交換器（63，62）を通過する。再生側の吸着熱交換器（43，42）（53，52）（63，62）は、冷媒回路の凝縮器になっている熱交換器であり、温度が高いので、通過する空気に水分を放出して吸着剤が再生される。なお、第３除湿ユニット（61）の吸着熱交換器（63，62）の再生には、第２分岐通路（27）を流れる空気も用いられる。
【００７６】
−実施形態２の効果−
この実施形態２によれば、実施形態１と同様に、第１，第２及び第３の除湿ユニット（41，51，61）を、それぞれ吸着熱交換器（42，43）（52，53）（62，63）を備えた切り換え式除湿ユニットにして、上流側の切り換え式除湿ユニット（41，51）で湿度も温度も低下した空気が下流側の切り換え式除湿ユニット（51，61）に流入するようにしたことにより、その下流側の除湿ユニット（51，61）の吸着熱交換器（52，53）で除湿する際の吸着熱の発生を抑えて再生温度も低くするようにしている。したがって、再生エネルギーを抑えられるし、除湿ユニット（51）への入口で空気を冷却しなくてもよいので、そのためのエネルギーも削減できる。そのため、省エネルギー化が可能となる。
【００７７】
また、実施形態１と同様に、吸着熱交換器（42，43）（52，53）（62，63）を冷媒回路の熱交換器にしたことにより、冷媒回路の効率がよいことと相まって省エネルギー化を促進できる効果もある。
【００７８】
《発明の実施形態３》
本発明の実施形態３について説明する。
【００７９】
図５に示す実施形態３は、図１に示す実施形態１が室外空気を第１除湿ユニット（41）と第２除湿ユニット（51）により２段階で除湿するようにしているのに対して、第１除湿ユニット（41）と第２除湿ユニット（51）と第３除湿ユニット（61）により３段階で除湿するようにした例である。この点では、実施形態３は実施形態２と同じである。
【００８０】
実施形態３の除湿システム（10）も、実施形態１，２と同様に、室外空気（OA）を除湿して給気（SA）として室内空間（S）へ供給するための給気通路（20）を備え、ドライクリーンルーム（S1）の室内空気（RA）の一部と室外空気（OA）の一部を排出空気（EA）として室外へ放出する排気通路（30）を備えている。
【００８１】
この除湿システム（10）は、除湿装置（41，51）として、第１除湿ユニット（41）と第２除湿ユニット（51）と第３除湿ユニット（81）とを備えている。第１除湿ユニット（41）と第２除湿ユニット（51）と第３除湿ユニット（81）は、給気通路（20）の上流側から下流側に、直列で複数段（この実施形態では３段）に連続して配置されている。具体的には、第１除湿ユニット（41）が上流側、第２除湿ユニット（51）がその下流側、第３除湿ユニット（81）がさらにその下流側に配置されている。
【００８２】
第１除湿ユニット（41）は、吸着側と再生側に交互に切り換えられる２つの吸着熱交換器（42，43）を備えている。第１除湿ユニット（41）は、上流側から流入した空気を吸着側の吸着熱交換器（42，43）で除湿する一方、再生側の吸着熱交換器（43，42）では排出空気（EA）に水分を放出して吸着剤が再生される切り換え式除湿ユニットである。
【００８３】
第２除湿ユニット（51）は、吸着側と再生側に交互に切り換えられる２つの吸着熱交換器（52，53）を備えている。第２除湿ユニット（51）は、上流側から流入した空気を吸着側の吸着熱交換器（52，53）で除湿する一方、再生側の吸着熱交換器（53，52）では排出空気（EA）に水分を放出して吸着剤が再生される切り換え式除湿ユニットである。
【００８４】
なお、図１では省略しているが、第１除湿ユニット（41）及び第２除湿ユニット（51）は、給気通路（20）を流れる空気が常に吸着側の吸着熱交換器（42，43）（52，53）を通り、排気通路（30）を流れる空気が常に再生側の吸着熱交換器（43，42）（53，52）を通るように、給気通路（20）と排気通路（30）の空気の流れを切り換える構成が採用されている。
【００８５】
各除湿ユニット（41，51）の一対の吸着熱交換器（42，43）（52，53）は、冷媒が循環して冷凍サイクルを行う冷媒回路の熱交換器により構成されていて、冷媒の循環方向を反転させることにより、蒸発器になる熱交換器と凝縮器になる熱交換器を入れ換えて、吸着側と再生側を交互に切り換えるようになっている。
【００８６】
第３除湿ユニット（81）は、一部が吸着部として構成されるとともに他の一部が再生部として構成された吸着ロータ（82）を備え、回転軸（82a）を中心として回転するロータ式除湿ユニットである。吸着ロータ（82）は、給気通路（20）を流れる空気の通過する部分が吸着部であり、後述する第３分岐通路（28）（排気通路（30））を流れる空気の通過する部分が再生部である。そして、第２除湿ユニット（51）の吸着側の吸着熱交換器（52，53）で除湿した空気を吸着ロータ（82）の吸着部でさらに除湿するように構成されている。
【００８７】
給気通路（20）には、第１除湿ユニット（41）の上流側に予冷熱交換器（71）が配置され、第３除湿ユニット（81）の下流側に再熱熱交換器（72）が配置されている。上記予冷熱交換器（71）と再熱熱交換器（72）は、図示していない熱回収ユニットの冷媒回路に接続されている。そして、その冷媒回路は、上記再熱熱交換器（72）を凝縮器とし、予冷熱交換器（71）を蒸発器として冷凍サイクルを行うように構成されている。
【００８８】
上記給気通路（20）は、予冷熱交換器（71）の上流側で分岐通路（25）に分岐している。分岐通路（25）は、第１除湿ユニット（41）の再生側の吸着熱交換器（43，42）を通過する第１排気通路（30a）に接続されている。
【００８９】
給気通路（20）は、第１除湿ユニット（41）と第２除湿ユニット（51）の間で第２分岐通路（27）に分岐している。また、給気通路（20）は、第２除湿ユニット（51）と第３除湿ユニット（80）の間で第３分岐通路（28）に分岐している。第２分岐通路（27）は、第２除湿ユニット（51）の再生側の吸着熱交換器（53，52）を通過する第２排気通路（30b）に接続され、第３分岐通路（28）は、吸着ロータ（82）の再生部を通過する再生通路（29）に接続されている。
【００９０】
再生通路（29）には、再生空気を加熱するための再生熱交換器（73）が設けられている。再生通路（29）は、再生熱交換器（73）の下流側が吸着ロータ（82）の再生部を加熱する加熱通路になっている。また、再生通路（29）は、再生熱交換器（73）の上流側が、再生部から吸着部へ移動する間に吸着ロータ（82）を冷却するパージ通路になっている。再生通路（29）は、吸着ロータ（82）の下流側の部分が第２分岐通路（27）に接続されている。
【００９１】
ドライクリーンルーム（S）には、還気通路（26）の一端が接続されている。還気通路（26）の他端は、給気通路（20）に第２除湿ユニット（51）の下流側でかつ第３分岐通路（28）の上流側に接続されている。この構成において、還気通路（26）、第２分岐通路（27）、第３分岐通路（28）及び再生通路（29）は、排気通路（30）の一部になっている。
【００９２】
この実施形態３においても、第１除湿ユニット（41）で２つの吸着熱交換器（42，43）を吸着側と再生側に切り換えるタイミングと、第２除湿ユニット（51）で２つの吸着熱交換器（52，53）を吸着側と再生側に切り換えるタイミングは、互いにずれるように制御される。制御の具体的な内容は実施形態１と同じである。
【００９３】
また、その他の構成は実施形態１と同じである。
【００９４】
−運転動作−
次に、この実施形態３の除湿システム（10）の運転動作を説明する。
【００９５】
給気通路（20）を流れる室外空気（OA）は、予冷熱交換器（71）で冷却除湿された後、第１除湿ユニット（41）に流入し、吸着側の吸着熱交換器（42，43）を通過して除湿される。第１除湿ユニット（41）で除湿された空気は、第２除湿ユニット（51）に流入し、吸着側の吸着熱交換器（52，53）を通過してさらに除湿された後、第３除湿ユニット（81）である吸着ロータ（82）の吸着部でさらに除湿される。
【００９６】
第３除湿ユニット（81）を流出した空気は再熱熱交換器（72）で温度が調整され、給気（SA）としてドライクリーンルーム（S）の室内へ供給される。本実施形態では、給気（SA）は、第１除湿ユニット（41）と第２除湿ユニット（51）と第３除湿ユニット（81）で吸着熱交換器（42，43）（52，53）（62，63）で３回除湿する。そして、第１除湿ユニット（41）及び第２除湿ユニット（51）から流出した空気が低温低湿であり、露点温度も低くなっているので、さらに第３除湿ユニット（81）を通過することにより、露点温度が例えば−５０℃まで下がった空気を確実に生成してドライクリーンルーム（S）に供給できる。
【００９７】
ドライクリーンルーム（S）の室内空気は、還気通路（26）を通ってドライクリーンルーム（S）から流出し、給気通路（20）上で、第２除湿ユニット（51）を通過した空気と合流する。この空気の一部は第３除湿ユニット（81）へ流入し、ドライクリーンルーム（S）へ供給される。
【００９８】
再生側の空気として、まず、予冷熱交換器（71）の上流側で給気通路（20）から分岐通路（25）へ分岐した空気が、第１排気通路（30a）を流れ、第１除湿ユニット（41）における再生側の吸着熱交換器（43，42）を通過する。再生側の吸着熱交換器（43，42）は、冷媒回路の凝縮器になっている熱交換器であり、温度が高いので、通過する空気に水分を放出して吸着剤が再生される。
【００９９】
給気通路（20）では、第２分岐通路（27）に分流した空気が第２排気通路（30b）を流れ、第２除湿ユニット（51）における再生側の吸着熱交換器（53，52）を通過する。この第２除湿ユニット（51）でも、再生側の吸着熱交換器（53，52）は、冷媒回路の凝縮器になっている熱交換器であり、温度が高いので、通過する空気に水分を放出して吸着剤が再生される。
【０１００】
さらに、給気通路（20）では、第３分岐通路（28）に分流した空気が再生通路（29）を流れ、第３除湿ユニット（81）である吸着ロータ（82）の再生部を通過する。この空気は再生熱交換器（73）で加熱されるので、吸着ロータ（82）の再生部を通過する際に吸着ロータ（82）が再生される。吸着ロータ（82）を再生した後の空気は第２排気通路（30b）へ流入し、第２除湿ユニット（51）の吸着熱交換器（63，62）の再生にも用いられる。
【０１０１】
−実施形態３の効果−
この実施形態３によれば、実施形態１と同様に、第１除湿ユニット（41）及び第２除湿ユニット（51）を、それぞれ吸着熱交換器（42，43）（52，53）を備えた切り換え式除湿ユニットにして、上流側の第１切り換え式除湿ユニット（41）で湿度も温度も低下した空気が下流側の第２切り換え式除湿ユニット（51）に流入するようにしたことにより、その下流側の第２除湿ユニット（51）の吸着熱交換器（52，53）で除湿する際の吸着熱の発生を抑えて再生温度も低くするようにしている。したがって、再生エネルギーを抑えられるし、第２除湿ユニット（51）への入口で空気を冷却しなくてもよいので、そのためのエネルギーも削減できる。そのため、省エネルギー化が可能となる。
【０１０２】
また、第３除湿ユニット（81）である吸着ロータ（82）の吸着部でも吸着熱の発生が抑えられるので、吸着ロータ（82）の温度上昇が小さくなり、再生熱交換器（73）による再生加熱も抑えられる。
【０１０３】
さらに、実施形態１と同様に、吸着熱交換器（42，43）（52，53）を冷媒回路の熱交換器にしたことにより、冷媒回路の効率がよいことと相まって省エネルギー化を促進できる効果もある。
【０１０４】
《その他の実施形態》
上記実施形態については、以下のような構成としてもよい。
【０１０５】
例えば、上記各実施形態においては、切り換え式除湿ユニット（41，51，61）を空気流れの上流側から下流側へ直列で２段または３段に配置しているが、４段以上にしてもよい。また、実施形態３のロータ式除湿ユニット（81）は、切り換え式除湿ユニット（41，51）の下流側であれば位置を適宜変更して設けてもよい。さらに、上記各実施形態の給気通路（20）や排気通路（30）は例示に過ぎず、流路の構成を適宜変更してもよい。
【０１０６】
また、各切り換え式除湿ユニット（41，51，61）の吸着熱交換器（42，43）（52，53）（62，63）を吸着側と再生側に切り換えるタイミングをずらすのは、切り換え時間間隔の２分の１や３分の１でなくてもよい。
【０１０７】
また、実施形態３のシステムを図６のように変更することもできる。
【０１０８】
図６の例では、切り換え式除湿ユニットを１台にし、ロータ式除湿ユニットを２台にして、ドライクリーンルーム（S）に供給する空気を３段階で除湿するようにしている。
【０１０９】
図６の除湿システム（10）は、除湿装置（41，51）として、第１除湿ユニット（41）と第２除湿ユニット（81）と第３除湿ユニット（91）とを備えている。第１除湿ユニット（41）、第２除湿ユニット（81）及び第３除湿ユニット（91）が、給気通路（20）の上流側から下流側へこの順に配置されている。
【０１１０】
第１除湿ユニット（41）は、吸着側と再生側に交互に切り換えられる２つの吸着熱交換器（42，43）を備えている。第１除湿ユニット（41）は、上流側から流入した空気を吸着側の吸着熱交換器（42，43）で除湿する一方、再生側の吸着熱交換器（43，42）では排出空気（EA）に水分を放出して吸着剤が再生される切り換え式除湿ユニットである。第１除湿ユニット（41）の具体的な構成は上記各実施形態と同じである。
【０１１１】
第２除湿ユニット（81）及び第３除湿ユニット（91）は、それぞれ、一部が吸着部として構成されるとともに他の一部が再生部として構成された吸着ロータ（82，92）を備え、回転軸（82a，92a）を中心として回転するロータ式除湿ユニットである。このロータ式除湿ユニットの構成は、実施形態３のロータ式除湿ユニットと同じである。
【０１１２】
給気通路（20）には、第１除湿ユニット（41）の上流側に予冷熱交換器（71）が配置され、第３除湿ユニット（91）の下流側に再熱熱交換器（72）が配置されている。上記予冷熱交換器（71）と再熱熱交換器（72）は、上記各実施形態と同様に、冷媒回路の２つの熱交換器により構成されている。
【０１１３】
上記給気通路（20）には、上記各実施形態の分岐通路（25）は設けられておらず、予冷熱交換器（71）と第１除湿ユニット（41）の間で第２分岐通路（27）に分岐している。第２分岐通路（27）は、第１除湿ユニット（41）の再生側の吸着熱交換器（43，42）を通過する第１排気通路（30a）に接続されている。
【０１１４】
給気通路（20）は、第１除湿ユニット（41）と第２除湿ユニット（81）の間で第３分岐通路（28a）に分岐し、第２除湿ユニット（81）と第３除湿ユニット（91）の間で第４分岐通路（28b）に分岐している。第３，第４分岐通路（28a，28b）は、それぞれ、吸着ロータ（82，92）の再生部を通過する再生通路（29a，29b）に接続されている。
【０１１５】
再生通路（29a，29b）には、再生空気を加熱するための再生熱交換器（73a，73b）が設けられている。再生通路（29a，29b）は、再生熱交換器（73a，73b）の下流側が吸着ロータ（82，82）の再生部を加熱する加熱通路になっている。また、再生通路（29a，29b）は、再生熱交換器（73a，73b）の上流側が、再生部から吸着部へ移動する間に吸着ロータ（82，92）を冷却するパージ通路になっている。再生通路（29a，29b）は、吸着ロータ（82，92）の下流側の部分が第２分岐通路（27）に接続されている。
【０１１６】
ドライクリーンルーム（S）には、還気通路（26）の一端が接続されている。還気通路（26）の他端は、給気通路（20）に第２除湿ユニット（81）の下流側でかつ第４分岐通路（28b）の上流側に接続されている。この構成において、還気通路（26）、第２分岐通路（27）、第３分岐通路（28a）、第４分岐通路（28b）及び再生通路（29a，29b）は、排気通路（30）の一部になっている。
【０１１７】
その他の構成は実施形態３と同じである。
【０１１８】
この図６の例では、給気通路（20）を流れる室外空気（OA）は、予冷熱交換器（71）で冷却除湿された後、第１除湿ユニット（41），第２除湿ユニット（81）及び第３除湿ユニット（91）を順に流れ、３段階で除湿されてドライクリーンルーム（S）に供給される。３段階で除湿をすることと、特に第１除湿ユニット（41）で空気の温度と湿度を低くしていることにより、露点温度の低い空気をドライクリーンルーム（S）に供給できる。
【０１１９】
ドライクリーンルーム（S）の室内空気は、還気通路（26）を通ってドライクリーンルーム（S）から流出し、給気通路（20）上で、第２除湿ユニット（81）を通過した空気と合流する。この空気の一部は第３除湿ユニット（91）へ流入し、ドライクリーンルーム（S）へ供給される。
【０１２０】
また、再生側は、予冷熱交換器（71）の下流側で給気通路（20）から第２分岐通路（27）へ分岐した空気が第１排気通路（30a）を流れ、第１除湿ユニット（41）における再生側の吸着熱交換器（43，42）を通過する。再生側の吸着熱交換器（43，42）は、冷媒回路の凝縮器になっている熱交換器であり、温度が高いので、通過する空気に水分を放出して吸着剤が再生される。
【０１２１】
また、第２除湿ユニット（81）と第３除湿ユニット（91）では、第２分岐通路（27）に分流した空気が第２排気通路（30b）を流れ、第２除湿ユニット（51）における再生側の吸着熱交換器（53，52）を通過する。この第２除湿ユニット（51）でも、再生側の吸着熱交換器（53，52）は、冷媒回路の凝縮器になっている熱交換器であり、温度が高いので、通過する空気に水分を放出して吸着剤が再生される。
【０１２２】
さらに、給気通路（20）では、第３，第４分岐通路（28a，28b）に分流した空気が再生通路（29a，29b）を流れ、吸着ロータ（82，92）の再生部を通過する。この空気は再生熱交換器（73a，73b）で加熱されるので、吸着ロータ（82，92）の再生部を通過する際に吸着ロータ（82，92）が再生される。吸着ロータ（82）を再生した後の空気は第１排気通路（30a）へ流入し、第１除湿ユニット（41）の吸着熱交換器（43，42）の再生にも用いられる。
【０１２３】
この図６の例においても、上記各実施形態の切り換え式除湿ユニット及びロータ式除湿ユニットと同様の作用により、省エネルギー化が可能となる。
【０１２４】
なお、以上の実施形態は、本質的に好ましい例示であって、本発明、その適用物、あるいはその用途の範囲を制限することを意図するものではない。
【産業上の利用可能性】
【０１２５】
以上説明したように、本発明は、除湿した空気を室内へ供給する除湿システムについて有用である。
【符号の説明】
【０１２６】
10  除湿システム
20  給気通路
41  第１除湿ユニット（切り換え式除湿ユニット）
42  吸着熱交換器
43  吸着熱交換器
51  第２除湿ユニット（切り換え式除湿ユニット）
52  吸着熱交換器
53  吸着熱交換器
61  第３除湿ユニット（切り換え式除湿ユニット）
62  吸着熱交換器
63  吸着熱交換器
81  第３除湿ユニット（ロータ式除湿ユニット）
82  吸着ロータ
S   ドライクリーンルーム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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