(57)【要約】【課題】ソケットに載置された搬送対象物に対する搬送動作を行なった後に、当該搬送対象物がソケットに残留しているか否かを検出するに際し、できる限り少ない情報量で迅速にその検出を確実に行なうことができるハンドラー、検査装置およびハンドラー用カメラを提供すること。【解決手段】ハンドラーは、搬送対象物を載置可能なソケットが設置されるソケット載置部と、搬送対象物をソケットから別の位置に搬送する搬送部と、ソケットを撮像する撮像部とを備える。そして、ハンドラーの制御部では、基準画像２０Ａ中のソケットに関する情報としての各濃色領域２０１Ａの面積と、撮像部によって撮像された撮像画像２０Ｂ中のソケットに関する情報としての各濃色領域２０１Ｂの面積とを比較する比較手段と、比較手段の比較結果に基づいて、除去動作後のソケットに搬送対象物が残留しているか否かを判断する判断手段とを備える。【選択図】図１６
2014169911.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送対象物を載置可能なソケットが設置されるソケット設置部と、
前記搬送対象物を前記ソケットから別の位置に搬送する搬送部と、
前記ソケットを撮像する撮像部と、
前記ソケットに前記搬送対象物が載置されていない状態の第１画像に対して所望の加工を行なうことにより生成される前記ソケットに関する第１非画像情報と、前記撮像部によって撮像された、前記搬送部が搬送動作を開始した以降の前記ソケットの撮像画像に対して所望の加工を行うことにより生成される前記ソケットに関する第２非画像情報とを比較し、前記ソケットの前記搬送対象物の有無を判断する制御部と、を備えることを特徴とするハンドラー。
【請求項２】
前記第１画像は、前記撮像部で撮影された請求項１に記載のハンドラー。
【請求項３】
前記撮像部は、前記ソケット設置部の直上に配置されている請求項１または２に記載のハンドラー
【請求項４】
前記第１画像および前記撮像画像は、濃淡画像であり、
前記非画像情報は、濃・淡のうちの一方の領域の面積の情報を含み、
前記制御部は、前記第１画像での前記面積と前記撮像画像での前記面積との差を取り、前記差が閾値を超えた場合には、前記搬送対象物が残留していると判断し、前記差が前記閾値以下である場合には、前記搬送対象物が残留していないと判断する請求項１ないし３のいずれか１項に記載のハンドラー。
【請求項５】
前記第１画像および前記撮像画像は、濃淡画像であり、
前記非画像情報は、濃淡の境界部の長さの情報を含み、
前記制御部は、前記第１画像での前記長さと前記撮像画像での前記長さとの差を取り、前記差が閾値を超えた場合には、前記搬送対象物が残留していると判断し、前記差が前記閾値以下である場合には、前記搬送対象物が残留していないと判断する請求項１ないし４のいずれか１項に記載のハンドラー。
【請求項６】
前記ソケットは、前記載置部に前記搬送対象物の載置方向に貫通する少なくとも１つの貫通孔が形成されたものであり、
前記非画像情報は、前記貫通孔の個数の情報を含み、
前記制御部は、前記第１画像での前記貫通孔の個数と前記撮像画像での前記貫通孔の個数との差を取り、前記差が閾値を超えた場合には、前記搬送対象物が残留していると判断し、前記差が前記閾値以下である場合には、前記搬送対象物が残留していないと判断する請求項１ないし５のいずれか１項に記載のハンドラー。
【請求項７】
前記ソケットは、前記載置部に前記搬送対象物の載置方向に貫通する少なくとも１つの貫通孔が形成されたものであり、
前記非画像情報は、前記貫通孔の平面視の面積の情報を含み、
前記制御部は、前記第１画像での前記面積と前記撮像画像での前記面積との差を取り、前記差が閾値を超えた場合には、前記搬送対象物が残留していると判断し、前記差が前記閾値以下である場合には、前記搬送対象物が残留していないと判断する請求項１ないし６のいずれか１項に記載のハンドラー。
【請求項８】
前記第１画像および前記撮像画像は、濃淡画像であり、
前記非画像情報は、濃・淡のうちの一方の領域を等価な楕円に置き換え、該楕円の長軸、短軸または周の長さの情報を含み、
前記制御部は、前記第１画像での前記長さと前記撮像画像での前記長さとの差を取り、前記差が閾値を超えた場合には、前記搬送対象物が残留していると判断し、前記差が前記閾値以下である場合には、前記搬送対象物が残留していないと判断する請求項１ないし７のいずれか１項に記載のハンドラー。
【請求項９】
前記第１画像および前記撮像画像は、濃淡画像であり、
前記非画像情報は、濃・淡のうちの一方の領域を等価な楕円に置き換え、該楕円の長軸および短軸の長さの情報を含み、
前記制御部は、前記撮像画像での前記長軸と前記短軸との長さの差を取り、前記撮像画像での前記長軸と前記短軸との長さの差が、前記第１画像での前記長軸と前記短軸との長さの差を超えた場合には、前記搬送対象物が残留していると判断し、前記撮像画像での前記長軸と前記短軸との長さの差が、前記第１画像での前記長軸と前記短軸との長さ以下である場合には、前記搬送対象物が残留していないと判断する請求項１ないし８のいずれか１項に記載のハンドラー。
【請求項１０】
前記第１画像および前記撮像画像は、濃淡画像であり、
前記非画像情報は、濃・淡のうちの一方の領域を等価な楕円に置き換え、該楕円の長軸と短軸と交点である中心と、前記領域のなかで前記中心から最も離間した位置にある点との最大距離の情報を含み、
前記制御部は、前記第１画像での前記最大距離と前記撮像画像での前記最大距離との長さの差を取り、前記差が閾値を超えた場合には、前記搬送対象物が残留していると判断し、前記差が前記閾値以下である場合には、前記搬送対象物が残留していないと判断する請求項１ないし９のいずれか１項に記載のハンドラー。
【請求項１１】
前記第１画像および前記撮像画像は、濃淡画像であり、
前記非画像情報は、濃・淡のうちの一方の領域を等価な楕円に置き換え、該楕円の長軸と短軸と交点である中心の情報を含み、
前記制御部は、前記第１画像での前記中心と前記撮像画像での前記中心とのズレ量を取り、前記ズレ量が閾値を超えた場合には、前記搬送対象物が残留していると判断し、前記差が前記閾値以下である場合には、前記搬送対象物が残留していないと判断する請求項１ないし１０のいずれか１項に記載のハンドラー。
【請求項１２】
前記非画像情報は、前記第１画像および前記撮像画像をフーリエ変換して得られたグラフを含み、
前記制御部は、前記第１画像での前記グラフと前記撮像画像での前記グラフとのズレ量を取り、前記ズレ量が閾値を超えた場合には、前記搬送対象物が残留していると判断し、前記ズレ量が前記閾値以下である場合には、前記搬送対象物が残留していないと判断する請求項１ないし１０のいずれか１項に記載のハンドラー。
【請求項１３】
前記非画像情報は、前記第１画像および前記撮像画像の平均明度の情報を含み、
前記制御部は、前記第１画像での前記平均明度と前記撮像画像での前記平均明度との差を取り、前記差が閾値を超えた場合には、前記搬送対象物が残留していると判断し、前記差が前記閾値以下である場合には、前記搬送対象物が残留していないと判断する請求項１ないし１２のいずれか１項に記載のハンドラー。
【請求項１４】
前記非画像情報は、前記第１画像および前記撮像画像の濃度分散を示すヒストグラムを含み、
前記制御部は、前記第１画像での前記ヒストグラムと前記撮像画像での前記ヒストグラムとのズレ量を取り、前記ズレ量が閾値を超えた場合には、前記搬送対象物が残留していると判断し、前記ズレ量が前記閾値以下である場合には、前記搬送対象物が残留していないと判断する請求項１ないし１３のいずれか１項に記載のハンドラー。
【請求項１５】
前記第１非画像画像を予め記憶する記憶手段を備え、
前記制御部は、前記情報同士の比較をするときに、前記記憶手段から前記第１非画像情報を呼び出す請求項１ないし１４のいずれか１項に記載のハンドラー。
【請求項１６】
前記搬送部が搬送動作を開始した以降の撮像画像を用いて所望の加工を行なうことにより生成される前記ソケットに関する第２非画像情報を複数有し、前記複数の第２非画像情報を選択可能である請求項１ないし１５のいずれか１項に記載のハンドラー。
【請求項１７】
搬送対象物を載置可能なソケットが設置されるソケット載置部と、
前記搬送対象物を前記ソケットから別の位置に搬送する搬送部と、
前記ソケットを撮像する撮像部と、
前記ソケットに前記搬送対象物が載置されていない状態の前記ソケットに関する非画像データーと、前記撮像部によって撮像された、前記搬送部が搬送動作を開始した以降の前記ソケットの撮像画像を用いて作成した前記ソケットに関する非画像データーとを比較し、
前記ソケットの前記搬送対象物の有無を判断する制御部と、を備えることを特徴とするハンドラー。
【請求項１８】
搬送対象物を載置可能なソケットを設置可能なソケット載置部と、
前記搬送対象物を前記ソケットから別の位置に搬送する搬送部と、
前記ソケットを撮像可能な撮像部と、
前記ソケットに前記搬送対象物が載置されていない状態の前記ソケットに関する非画像データーと、前記撮像部によって撮像された、前記搬送部が搬送動作を開始した以降の前記ソケットの撮像画像を用いて作成した前記ソケットに関する非画像データーとを比較し、
前記ソケットの前記搬送対象物の有無を判断する制御部と、を備えることを特徴とするハンドラー。
【請求項１９】
請求項１ないし１８のいずれか１項に記載のハンドラーと、
前記ハンドラーに着脱自在に設置され、前記搬送対象物が載置可能な載置部を有するソケットと、を備えることを特徴とする検査装置。
【請求項２０】
ハンドラーに備え付けられるハンドラー用カメラであって、
前記ハンドラーのソケットを撮像する撮像素子と、
前記ソケットに搬送対象物が載置されていない状態の前記ソケットに関する非画像データーと、前記撮像素子によって撮像された、前記搬送部が搬送動作を開始した以降の前記ソケットの撮像画像を用いて作成した前記ソケットに関する非画像データーとを比較し、
前記ソケットの前記搬送対象物の有無を判断する制御部と、を備えることを特徴とするハンドラー用カメラ。
【請求項２１】
ハンドラーカメラ用制御装置であって、
ハンドラーカメラから取得した情報を用いて、
前記ソケットに搬送対象物が載置されていない状態の前記ソケットに関する非画像データーと、前記撮像部によって撮像された、前記搬送部が搬送動作を開始した以降の前記ソケットの撮像画像を用いて作成した前記ソケットに関する非画像データーとを比較し、
前記ソケットの前記搬送対象物の有無を判断する制御部と、を備えることを特徴とする前記制御部と、を備えることを特徴とするハンドラーカメラ用制御装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ハンドラー、検査装置、ハンドラー用カメラおよびハンドラーカメラ用制御装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、例えばＩＣデバイスなどの電子部品の電気的特性を検査する電子部品試験装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
電子部品試験装置は、電子部品を供給トレイからソケットに供給し、ソケットに供給された電子部品の電気的特性の検査を行い、当該検査の終了後、その検査結果に応じて、電子部品をソケットから分類トレイに分類するように構成されている。
【０００３】
ところで、電子部品試験装置では、電気的特性の検査の後に電子部品をソケットから分類トレイに分類する過程で、例えば電子部品の搬送に失敗する等の原因により、電子部品がソケットに残留したままとなる場合がある。このため、特許文献１に記載の電子部品試験装置では、電子部品の残留を検査することが行われている。この残留検査方法は、次のようにして行われる。
【０００４】
まず、残留検査対象となるソケットの検査画像データーを取得する。
次に、電子部品が供給されていない状態のソケットの基準画像データー上の全画素について、画素値（明るさ：明度）を検査画像データーに合わせて補正する画像処理を行う。
次に、検査画像データー全体と、画像処理後の基準画像データー全体との間で差分処理を行って差画像を生成する。
そして、差画像が閾値以下であるときは、「残留無し」と判定し、差画像が閾値を超えたときは、「残留有り」と判定する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】国際公開第２００７／０１７９５３号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１に記載の残留検査方法では、例えば、補正が不十分であったり、適正でなかったりした場合は、残留の有無の判定が、実際の残留の有無と異なることがある。また、基準画像データー全体、すなわち、情報量が著しく多いデーターについて補正を行っているため、画像処理時間に多くの時間を費やすこととなり、迅速な残留の有無の判定が困難となる。さらに、残留の有無の判定に際し、差画像を生成しなければならず、これによっても迅速な判定が困難となる。
本発明の目的は、ソケットに載置された搬送対象物に対する搬送動作を行なった後に、当該搬送対象物がソケットに残留しているか否かを検出するに際し、できる限り少ない情報量で迅速にその検出を確実に行なうことができるハンドラー、検査装置、ハンドラー用カメラおよびハンドラーカメラ用制御装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明のハンドラーは、搬送対象物を載置可能なソケットが設置されるソケット設置部と、
前記搬送対象物を前記ソケットから別の位置に搬送する搬送部と、
前記ソケットを撮像する撮像部と、
前記ソケットに前記搬送対象物が載置されていない状態の第１画像に対して所望の加工を行なうことにより生成される前記ソケットに関する第１非画像情報と、前記撮像部によって撮像された、前記搬送部が搬送動作を開始した以降の前記ソケットの撮像画像に対して所望の加工を行うことにより生成される前記ソケットに関する第２非画像情報とを比較し、前記ソケットの前記搬送対象物の有無を判断する制御部と、を備えることを特徴とする。
【０００８】
これにより、ソケットに載置された搬送対象物に対する搬送動作を行なった後に、当該搬送対象物がソケットに残留しているか否かを検出するに際し、できる限り少ない情報量で迅速にその検出を確実に行なうことができる。
なお、ここでいう搬送対象物の有無の判断とは、搬送対象物がソケットに有／無の双方を判断する場合のみならず、ソケットにある場合のみを判断する場合、ソケットにない場合のみを判断する場合を広く含むものとする。
【０００９】
本発明のハンドラーでは、前記第１画像は、前記撮像部で撮影されたものであることが好ましい。
これにより、第１画像を撮像する撮像手段を撮像部とは別途設けるのを初略することができ、よって、ハンドラーの構成を簡単なものとすることができる。
本発明のハンドラーでは、前記撮像部は、前記ソケット設置部の直上に配置されているのが好ましい。
これにより、ソケットをその平面視で撮像することができ、その後の撮像画像の加工を容易に行なうことができる。
【００１０】
本発明のハンドラーでは、前記第１画像および前記撮像画像は、濃淡画像であり、
前記非画像情報は、濃・淡のうちの一方の領域の面積の情報を含み、
前記制御部は、前記第１画像での前記面積と前記撮像画像での前記面積との差を取り、前記差が閾値を超えた場合には、前記搬送対象物が残留していると判断し、前記差が前記閾値以下である場合には、前記搬送対象物が残留していないと判断するのが好ましい。
これにより、ソケットに関する情報として「面積」という１つのパラメーターを用いることができ、よって、搬送対象物の残留検出を少ない情報量で行なうことができる。その結果、当該残留検出がより迅速かつ確実に行なわれる。
【００１１】
本発明のハンドラーでは、前記第１画像および前記撮像画像は、濃淡画像であり、
前記非画像情報は、濃淡の境界部の長さの情報を含み、
前記制御部は、前記第１画像での前記長さと前記撮像画像での前記長さとの差を取り、前記差が閾値を超えた場合には、前記搬送対象物が残留していると判断し、前記差が前記閾値以下である場合には、前記搬送対象物が残留していないと判断するのが好ましい。
これにより、ソケットに関する情報として「長さ」という１つのパラメーターを用いることができ、よって、搬送対象物の残留検出を少ない情報量で行なうことができる。その結果、当該残留検出がより迅速かつ確実に行なわれる。
【００１２】
本発明のハンドラーでは、前記ソケットは、前記載置部に前記搬送対象物の載置方向に貫通する少なくとも１つの貫通孔が形成されたものであり、
前記非画像情報は、前記貫通孔の個数の情報を含み、
前記制御部は、前記第１画像での前記貫通孔の個数と前記撮像画像での前記貫通孔の個数との差を取り、前記差が閾値を超えた場合には、前記搬送対象物が残留していると判断し、前記差が前記閾値以下である場合には、前記搬送対象物が残留していないと判断するのが好ましい。
これにより、ソケットに関する情報として「貫通孔の個数」という１つのパラメーターを用いることができ、よって、搬送対象物の残留検出を少ない情報量で行なうことができる。その結果、当該残留検出がより迅速かつ確実に行なわれる。
【００１３】
本発明のハンドラーでは、前記ソケットは、前記載置部に前記搬送対象物の載置方向に貫通する少なくとも１つの貫通孔が形成されたものであり、
前記非画像情報は、前記貫通孔の平面視の面積の情報を含み、
前記制御部は、前記第１画像での前記面積と前記撮像画像での前記面積との差を取り、前記差が閾値を超えた場合には、前記搬送対象物が残留していると判断し、前記差が前記閾値以下である場合には、前記搬送対象物が残留していないと判断するのが好ましい。
これにより、ソケットに関する情報として「貫通孔の面積」という１つのパラメーターを用いることができ、よって、搬送対象物の残留検出を少ない情報量で行なうことができる。その結果、当該残留検出がより迅速かつ確実に行なわれる。
【００１４】
本発明のハンドラーでは、前記第１画像および前記撮像画像は、濃淡画像であり、
前記非画像情報は、濃・淡のうちの一方の領域を等価な楕円に置き換え、該楕円の長軸、短軸または周の長さの情報を含み、
前記制御部は、前記第１画像での前記長さと前記撮像画像での前記長さとの差を取り、前記差が閾値を超えた場合には、前記搬送対象物が残留していると判断し、前記差が前記閾値以下である場合には、前記搬送対象物が残留していないと判断するのが好ましい。
これにより、ソケットに関する情報として「等価楕円の長軸または短軸の長さ」という１つのパラメーターを用いることができ、よって、搬送対象物の残留検出を少ない情報量で行なうことができる。その結果、当該残留検出がより迅速かつ確実に行なわれる。
【００１５】
本発明のハンドラーでは、前記第１画像および前記撮像画像は、濃淡画像であり、
前記非画像情報は、濃・淡のうちの一方の領域を等価な楕円に置き換え、該楕円の長軸および短軸の長さの情報を含み、
前記制御部は、前記撮像画像での前記長軸と前記短軸との長さの差を取り、前記撮像画像での前記長軸と前記短軸との長さの差が、前記第１画像での前記長軸と前記短軸との長さの差を超えた場合には、前記搬送対象物が残留していると判断し、前記撮像画像での前記長軸と前記短軸との長さの差が、前記第１画像での前記長軸と前記短軸との長さ以下である場合には、前記搬送対象物が残留していないと判断するのが好ましい。
これにより、ソケットに関する情報として「等価楕円の長軸と短軸との長さの差」という１つのパラメーターを用いることができ、よって、搬送対象物の残留検出を少ない情報量で行なうことができる。その結果、当該残留検出がより迅速かつ確実に行なわれる。
【００１６】
本発明のハンドラーでは、前記第１画像および前記撮像画像は、濃淡画像であり、
前記非画像情報は、濃・淡のうちの一方の領域を等価な楕円に置き換え、該楕円の長軸と短軸と交点である中心と、前記領域のなかで前記中心から最も離間した位置にある点との最大距離の情報を含み、
前記制御部は、前記第１画像での前記最大距離と前記撮像画像での前記最大距離との長さの差を取り、前記差が閾値を超えた場合には、前記搬送対象物が残留していると判断し、前記差が前記閾値以下である場合には、前記搬送対象物が残留していないと判断するのが好ましい。
これにより、ソケットに関する情報として「最大距離」という１つのパラメーターを用いることができ、よって、搬送対象物の残留検出を少ない情報量で行なうことができる。その結果、当該残留検出がより迅速かつ確実に行なわれる。
【００１７】
本発明のハンドラーでは、記基準画像および前記撮像画像は、濃淡画像であり、
前記非画像情報は、濃・淡のうちの一方の領域を等価な楕円に置き換え、該楕円の長軸と短軸と交点である中心の情報を含み、
前記制御部は、前記第１画像での前記中心と前記撮像画像での前記中心とのズレ量を取り、前記ズレ量が閾値を超えた場合には、前記搬送対象物が残留していると判断し、前記差が前記閾値以下である場合には、前記搬送対象物が残留していないと判断するのが好ましい。
これにより、ソケットに関する情報として「等価楕円の中心」という１つのパラメーターを用いることができ、よって、搬送対象物の残留検出を少ない情報量で行なうことができる。その結果、当該残留検出がより迅速かつ確実に行なわれる。
【００１８】
本発明のハンドラーでは、記基準画像および前記撮像画像は、濃淡画像であり、
前記非画像情報は、濃・淡のうちの一方の領域を等価な楕円に置き換え、該楕円の長軸と短軸と交点である中心の情報を含み、
前記制御部は、前記第１画像での前記中心と前記撮像画像での前記中心とのズレ量を取り、前記ズレ量が閾値を超えた場合には、前記搬送対象物が残留していると判断し、前記差が前記閾値以下である場合には、前記搬送対象物が残留していないと判断するのが好ましい。
これにより、ソケットに関する情報として「グラフ」という１つのパラメーターを用いることができ、よって、搬送対象物の残留検出を少ない情報量で行なうことができる。その結果、当該残留検出がより迅速かつ確実に行なわれる。
【００１９】
本発明のハンドラーでは、前記非画像情報は、前記第１画像および前記撮像画像の平均明度の情報を含み、
前記制御部は、前記第１画像での前記平均明度と前記撮像画像での前記平均明度との差を取り、前記差が閾値を超えた場合には、前記搬送対象物が残留していると判断し、前記差が前記閾値以下である場合には、前記搬送対象物が残留していないと判断するのが好ましい。
これにより、ソケットに関する情報として「平均明度」という１つのパラメーターを用いることができ、よって、搬送対象物の残留検出を少ない情報量で行なうことができる。その結果、当該残留検出がより迅速かつ確実に行なわれる。
【００２０】
本発明のハンドラーでは、前記非画像情報は、前記第１画像および前記撮像画像の濃度分散を示すヒストグラムを含み、
前記制御部は、前記第１画像での前記ヒストグラムと前記撮像画像での前記ヒストグラムとのズレ量を取り、前記ズレ量が閾値を超えた場合には、前記搬送対象物が残留していると判断し、前記ズレ量が前記閾値以下である場合には、前記搬送対象物が残留していないと判断するのが好ましい。
これにより、ソケットに関する情報として「ヒストグラム」という１つのパラメーターを用いることができ、よって、搬送対象物の残留検出を少ない情報量で行なうことができる。その結果、当該残留検出がより迅速かつ確実に行なわれる。
【００２１】
本発明のハンドラーでは、前記第１非画像画像を予め記憶する記憶手段を備え、
前記制御部は、前記情報同士の比較をするときに、前記記憶手段から前記第１非画像情報を呼び出すのが好ましい。
これにより、情報同士の比較を迅速に行なうことができる。
本発明のハンドラーでは、前記搬送部が搬送動作を開始した以降の前記ソケットの撮像画像に対して所望の加工を行なうことにより生成される前記ソケットに関する第２非画像情報を複数有し、前記複数の第２非画像情報を選択可能であるのが好ましい。
これにより、搬送対象物の有無の判断をより正確に行うことができる。
【００２２】
本発明のハンドラーは、搬送対象物を載置可能なソケットが設置されるソケット載置部と、
前記搬送対象物を前記ソケットから別の位置に搬送する搬送部と、
前記ソケットを撮像する撮像部と、
前記ソケットに前記搬送対象物が載置されていない状態の前記ソケットに関する非画像データーと、前記撮像部によって撮像された、前記搬送部が搬送動作を開始した以降の前記ソケットの撮像画像を用いて作成した前記ソケットに関する非画像データーとを比較し、
前記ソケットの前記搬送対象物の有無を判断する制御部と、を備えることを特徴とする。
これにより、ソケットに載置された搬送対象物に対する搬送動作を開始した以降に、当該搬送対象物がソケットに残留しているか否かを検出するに際し、できる限り少ない情報量で迅速にその検出を確実に行なうことができる。
【００２３】
本発明のハンドラーは、搬送対象物を載置可能なソケットを設置可能なソケット載置部と、
前記搬送対象物を前記ソケットから別の位置に搬送する搬送部と、
前記ソケットを撮像可能な撮像部と、
前記ソケットに前記搬送対象物が載置されていない状態の前記ソケットに関する非画像データーと、前記撮像部によって撮像された、前記搬送部が搬送動作を開始した以降の前記ソケットの撮像画像を用いて作成した前記ソケットに関する非画像データーとを比較し、
前記ソケットの前記搬送対象物の有無を判断する制御部と、を備えることを特徴とする。
これにより、ソケットに載置された搬送対象物に対する搬送動作を開始した以降に、当該搬送対象物がソケットに残留しているか否かを検出するに際し、できる限り少ない情報量で迅速にその検出を確実に行なうことができる。
【００２４】
本発明の検査装置は、本発明のハンドラーと、
前記ハンドラーに着脱自在に設置され、前記搬送対象物を載置可能な載置部を有するソケットと、を備えることを特徴とする。
これにより、ソケットに載置された搬送対象物に対する搬送動作を開始した以降に、当該搬送対象物がソケットに残留しているか否かを検出するに際し、できる限り少ない情報量で迅速にその検出を確実に行なうことができる。
【００２５】
本発明のハンドラー用カメラは、ハンドラーに備え付けられるハンドラー用カメラであって、
前記ハンドラーのソケットを撮像する撮像素子と、
前記ソケットに搬送対象物が載置されていない状態の前記ソケットに関する非画像データーと、前記撮像素子によって撮像された、前記搬送部が搬送動作を開始した以降の前記ソケットの撮像画像を用いて作成した前記ソケットに関する非画像データーとを比較し、
前記ソケットの前記搬送対象物の有無を判断する制御部と、を備えることを特徴とする。
これにより、ソケットに載置された搬送対象物に対する搬送動作を開始した以降に、当該搬送対象物がソケットに残留しているか否かを検出するに際し、できる限り少ない情報量で迅速にその検出を確実に行なうことができる。
【００２６】
本発明のハンドラーカメラ用制御装置は、ハンドラーカメラ用制御装置であって、
ハンドラーカメラから取得した情報を用いて、
前記ソケットに搬送対象物が載置されていない状態の前記ソケットに関する非画像データーと、前記撮像部によって撮像された、前記搬送部が搬送動作を開始した以降の前記ソケットの撮像画像を用いて作成した前記ソケットに関する非画像データーとを比較し、
前記ソケットの前記搬送対象物の有無を判断する制御部と、を備えることを特徴とする前記制御部と、を備えることを特徴とする。
これにより、ソケットに載置された搬送対象物に対する搬送動作を開始した以降に、当該搬送対象物がソケットに残留しているか否かを検出するに際し、できる限り少ない情報量で迅速にその検出を確実に行なうことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明の検査装置（ハンドラー）の第１実施形態を示す概略平面図である。
【図２】図１中の矢印Ａ方向から見た図（側面図）である。
【図３】図１に示す検査装置の検査用ロボットが有する第１ハンドユニットの概略斜視図である。
【図４】図１に示す検査装置の主要部のブロック図である。
【図５】図１に示す検査装置に内蔵された制御装置の制御プログラムを示すフローチャートである。
【図６】図１に示す検査装置による電子部品の検査手順を説明する平面図である。
【図７】図１に示す検査装置による電子部品の検査手順を説明する平面図である。
【図８】図１に示す検査装置による電子部品の検査手順を説明する平面図である。
【図９】図１に示す検査装置による電子部品の検査手順を説明する平面図である。
【図１０】図１に示す検査装置による電子部品の検査手順を説明する平面図である。
【図１１】図１に示す検査装置による電子部品の検査手順を説明する平面図である。
【図１２】図１に示す検査装置による電子部品の検査手順を説明する平面図である。
【図１３】図１に示す検査装置による電子部品の検査手順を説明する平面図である。
【図１４】図１に示す検査装置による電子部品の検査手順を説明する平面図である。
【図１５】図１に示す検査装置のソケットの平面図（（ａ）は電子部品が未だ収納されていない状態を示し、（ｂ）は電子部品が収納された状態を示し、（ｃ）は電子部品に対する除去動作を行なった直後の状態を示す）である。
【図１６】図１に示す検査装置のソケットの画像（（ａ）は基準画像を示し、（ｂ）は図１５（ｃ）の状態を撮像した撮像画像を示す）ある。
【図１７】本発明の検査装置（第２実施形態）のソケットの画像（（ａ）は基準画像を示し、（ｂ）は図１５（ｃ）の状態を撮像した撮像画像を示す）である。
【図１８】本発明の検査装置（第３実施形態）のソケットの画像（（ａ）は基準画像を示し、（ｂ）は図１５（ｃ）の状態を撮像した撮像画像を示す）である。
【図１９】本発明の検査装置（第４実施形態）のソケットの画像（（ａ）は基準画像を示し、（ｂ）は図１５（ｃ）の状態を撮像した撮像画像を示す）である。
【図２０】本発明の検査装置（第５実施形態）のソケットの画像（（ａ）は基準画像を示し、（ｂ）は図１５（ｃ）の状態を撮像した撮像画像を示す）である。
【図２１】本発明の検査装置（第６実施形態）のソケットの画像中の領域を等価な楕円に置き換えた等価楕円（（ａ）、（ｃ）、（ｅ）、（ｇ）は基準画像の等価楕円を示し、（ｂ）、（ｄ）、（ｆ）、（ｈ）はそれぞれ図１５（ｃ）の状態を撮像した撮像画像の等価楕円を示す）である。
【図２２】本発明の検査装置（第７実施形態）のソケットの画像中の領域を等価な楕円に置き換えた等価楕円（（ａ）、（ｃ）、（ｅ）、（ｇ）は基準画像の等価楕円を示し、（ｂ）、（ｄ）、（ｆ）、（ｈ）はそれぞれ図１５（ｃ）の状態を撮像した撮像画像の等価楕円を示す）である。
【図２３】本発明の検査装置（第８実施形態）のソケットの画像中の領域を等価な楕円に置き換えた等価楕円（（ａ）、（ｃ）、（ｅ）、（ｇ）は基準画像の等価楕円を示し、（ｂ）、（ｄ）、（ｆ）、（ｈ）はそれぞれ図１５（ｃ）の状態を撮像した撮像画像の等価楕円を示す）である。
【図２４】本発明の検査装置（第９実施形態）のソケットの画像中の領域を等価な楕円に置き換えた等価楕円（（ａ）、（ｃ）、（ｅ）、（ｇ）は基準画像の等価楕円を示し、（ｂ）、（ｄ）、（ｆ）、（ｈ）はそれぞれ図１５（ｃ）の状態を撮像した撮像画像の等価楕円を示す）である。
【図２５】本発明の検査装置（第１０実施形態）のソケットの画像（（ａ）は基準画像を示し、（ｂ）は図１５（ｃ）の状態を撮像した撮像画像を示す）である。
【図２６】本発明の検査装置（第１１実施形態）のソケットの画像をそれぞれフーリエ変換して得られたグラフ（（ａ）、（ｃ）、（ｅ）、（ｇ）は基準画像のグラフを示し、（ｂ）、（ｄ）、（ｆ）、（ｈ）はそれぞれ図１５（ｃ）の状態を撮像した撮像画像のグラフを示す）である。
【図２７】本発明の検査装置（第１２実施形態）のソケットの画像の平均明度を示す図（（ａ）、（ｃ）、（ｅ）、（ｇ）は基準画像の平均明度を示し、（ｂ）、（ｄ）、（ｆ）、（ｈ）はそれぞれは図１５（ｃ）の状態を撮像した撮像画像の平均明度を示す）である。
【図２８】本発明の検査装置（第１３実施形態）のソケットの画像の濃度分散を示すヒストグラム（（ａ）、（ｃ）、（ｅ）、（ｇ）は基準画像のヒストグラムを示し、（ｂ）、（ｄ）、（ｆ）、（ｈ）はそれぞれ図１５（ｃ）の状態を撮像した撮像画像のヒストグラムを示す）である。
【図２９】本発明の検査装置（第１４実施形態）のソケットの画像である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下、本発明のンドラー、検査装置、ハンドラー用カメラおよびハンドラーカメラ用制御装置を添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。
＜第１実施形態＞
図１は、本発明の検査装置（ハンドラー）の第１実施形態を示す概略平面図、図２は、図１中の矢印Ａ方向から見た図（側面図）、図３は、図１に示す検査装置の検査用ロボットが有する第１ハンドユニットの概略斜視図、図４は、図１に示す検査装置の主要部のブロック図、図５は、図１に示す検査装置に内蔵された制御装置の制御プログラムを示すフローチャート、図６〜図１４は、それぞれ、図１に示す検査装置による電子部品の検査手順を説明する平面図、図１５は、図１に示す検査装置のソケットの平面図（（ａ）は電子部品が未だ収納されていない状態を示し、（ｂ）は電子部品が収納された状態を示し、（ｃ）は電子部品に対する除去動作を行なった直後の状態を示す）、図１６は、図１に示す検査装置のソケットの画像（（ａ）は基準画像を示し、（ｂ）は図１５（ｃ）の状態を撮像した撮像画像を示す）である。
【００２９】
なお、以下では、説明の便宜上、図１に示すように、互いに直交する３軸をＸ軸（第１軸）、Ｙ軸（第２軸）およびＺ軸（第３軸）とする。また、Ｘ軸に平行な方向を「Ｘ方向（第１方向）」と言い、Ｙ軸に平行な方向を「Ｙ方向（第２方向）」と言い、Ｚ軸に平行な方向を「Ｚ方向（第３方向）」と言う。また、Ｘ方向、Ｙ方向およびＺ方向の各方向において、矢印が向く方向を「＋」、その反対方向を「−」と言う。また、＋Ｚ方向を「上」または「上方」、−Ｚ方向を「下」または「下方」と言う。
【００３０】
図１、図２、図４、図６〜図１４に示す検査装置１は、検査対象物（搬送対象物）として、例えば、ＩＣ（Integrated Circuit）デバイス、ＬＣＤ（Liquid Crystal Display）、ＣＩＳ（Contact Image Sensor）などの試験部品（電子部品）の電気的特性を検査（試験）するための装置である。なお、以下では、説明の便宜上、試験部品としてＩＣデバイス１００を用いる場合について代表して説明する。また、ＩＣデバイス１００に対する電気的特性の検査を「電気的検査」と言う。
【００３１】
図１５に示すように、ＩＣデバイス１００は、平面視での形状が正方形をなすＩＣチップであり、その少なくとも上面の色が黒色のものである。また、ＩＣデバイス１００の下面には、Ｘ方向に４行、Ｙ方向に４列の行列状に配置された外部端子（図示せず）が突出して設けられている。
検査装置１は、供給トレイ２と、回収トレイ３と、第１シャトル４と、第２シャトル５と、検査部である検査用ソケット（ソケット）６と、供給ロボット７と、回収ロボット８と、検査用ロボット（搬送部）９と、ハンドラー用カメラとしてのＣＣＤ（charge−coupled device（電荷結合素子（撮像素子）））カメラ（撮像部）７００と、表示装置（表示手段）８００と、警報装置（警報手段）９００と、これら各部の制御を行う制御装置（ハンドラーカメラ用制御装置）１０とを有している。
【００３２】
このような検査装置１では、これら各部のうちの検査用ソケット６を除く構成、すなわち、供給トレイ２と、回収トレイ３と、第１シャトル４と、第２シャトル５と、供給ロボット７と、回収ロボット８と、検査用ロボット９と、ＣＣＤカメラ７００と、表示装置８００と、警報装置９００と、制御装置１０とによって、ＩＣデバイス１００の搬送を実行するハンドラー（本発明のハンドラー）が構成されている。なお、本発明のハンドラーの構成は、これに限定されず、必要に応じて、これら各部のうちの少なくとも１つが省略されていてもよいし、他の構成（例えば、ホットプレートやチャンバー）が付加されていてもよい。
【００３３】
また、検査装置１は、上記各部を搭載する台座１１と、上記各部を収容するように台座１１に被せられた図示しない安全カバーとを有しており、この安全カバーの内側（以下「領域Ｓ」と言う）に、第１シャトル４、第２シャトル５、検査用ソケット６、供給ロボット７、回収ロボット８、検査用ロボット９、ＣＣＤカメラ７００が配置されているとともに、領域Ｓの内外に移動可能なように、供給トレイ２および回収トレイ３が配置されている。
【００３４】
以下、これら各部について、順次詳細に説明する。
供給トレイ２は、検査を行うＩＣデバイス１００を領域Ｓ外から領域Ｓ内に搬送するためのトレイである。図１に示すように、供給トレイ２は、板状をなしており、その上面には、ＩＣデバイス１００を保持するための複数のポケット２１がＸ方向およびＹ方向に行列状に形成されている。
【００３５】
このような供給トレイ２は、領域Ｓの内外を跨るようにＹ方向へ延びるレール２３上を移動する図示しないステージに載置されている。そして、供給トレイ２は、例えばリニアモーターを駆動源とする図示しない駆動手段によって前記ステージが移動することにより、レール２３に沿って±Ｙ方向に往復移動可能となっている。そのため、ＩＣデバイス１００が収容された供給トレイ２を領域Ｓ外にあるステージに載置し、ステージとともに供給トレイ２を領域Ｓ内に移動させ、供給トレイ２からすべてのＩＣデバイス１００が取り除かれたら、再び、ステージとともに供給トレイ２を領域Ｓ外へ移動させるといった動作を繰り返し行うことができる。
【００３６】
回収トレイ３は、電気的検査が完了したＩＣデバイス１００を収容し、領域Ｓ内から領域Ｓ外に搬送するためのトレイである。図１に示すように、回収トレイ３は、板状をなしており、その上面には、ＩＣデバイス１００を保持するための複数のポケット３１がＸ方向およびＹ方向に行列状に形成されている。
このような回収トレイ３は、領域Ｓの内外を跨るようにＹ方向へ延びるレール３３上を移動する図示しないステージに載置されている。そして、回収トレイ３は、例えばリニアモーターを駆動源とする図示しない駆動手段によって前記ステージが移動することにより、レール３３に沿って±Ｙ方向に往復移動可能となっている。そのため、領域Ｓ内にて、検査済みのＩＣデバイス１００を回収トレイ３に収容し、回収トレイ３を領域Ｓ外に移動させ、ステージ上の回収トレイ３を空のトレイと交換したら、再び、回収トレイ３を領域Ｓ内へ移動させるといった動作を繰り返し行うことができる。
【００３７】
このような回収トレイ３は、前述した供給トレイ２に対して＋Ｘ方向に離間して設けられており、供給トレイ２と回収トレイ３の間に、第１シャトル４、第２シャトル５および検査用ソケット６が配置されている。
第１シャトル４は、供給トレイ２によって領域Ｓ内に搬送されてきたＩＣデバイス１００をさらに検査用ソケット６の近傍まで搬送するため、さらには、検査用ソケット６で電気的検査がなされた検査済みのＩＣデバイス１００を回収トレイ３の近傍まで搬送するためのものである。
【００３８】
図１に示すように、第１シャトル４は、ベース部材４１と、ベース部材４１に固定された２つのトレイ４２、４３とを有している。これら２つのトレイ４２、４３は、Ｘ方向に並んで設けられている。また、トレイ４２、４３の上面には、それぞれ、ＩＣデバイス１００を保持するための４つのポケット４２１、４３１がＸ方向に２列、Ｙ方向に２行の行列状に形成されている。
【００３９】
トレイ４２、４３のうち、供給トレイ２側に位置するトレイ４２は、供給トレイ２に収容されたＩＣデバイス１００を移し替えて収容するためのトレイであり、回収トレイ３側に位置するトレイ４３は、検査用ソケット６での電気的特性の検査を終えたＩＣデバイス１００を収容するためのトレイである。すなわち、トレイ４２は、未検査のＩＣデバイス１００を収容するためのトレイであり、トレイ４３は、検査済みのＩＣデバイス１００を収容するためのトレイである。
【００４０】
このような第１シャトル４は、ベース部材４１がＸ方向へ延びるレール４４に支持されており、例えばリニアモーターを駆動源とする図示しない駆動手段によって、レール４４に沿って±Ｘ方向に往復移動可能となっている。そして、第１シャトル４が−Ｘ方向側に移動し、トレイ４２が供給トレイ２に対して＋Ｙ方向側に並ぶとともに、トレイ４３が検査用ソケット６に対して＋Ｙ方向側に並んだ状態（図１、図６、図７、図１０、図１１、図１３、図１４参照）と、第１シャトル４が＋Ｘ方向側に移動し、トレイ４３が回収トレイ３に対して＋Ｙ方向側に並ぶとともに、トレイ４２が検査用ソケット６に対して＋Ｙ方向側に並んだ状態（図８、図９、図１２参照）とをとることができる。
【００４１】
第２シャトル５は、前述した第１シャトル４と同様の機能および構成を有している。すなわち、第２シャトル５は、供給トレイ２によって領域Ｓ内に搬送されてきたＩＣデバイス１００をさらに検査用ソケット６の近傍まで搬送するため、さらには、検査用ソケット６によって検査された検査済みのＩＣデバイス１００を回収トレイ３の近傍まで搬送するためのものである。
【００４２】
図１に示すように、第２シャトル５は、ベース部材５１と、ベース部材５１に固定された２つのトレイ５２、５３とを有している。これら２つのトレイ５２、５３は、Ｘ方向に並んで設けられている。また、トレイ５２、５３の上面には、それぞれ、ＩＣデバイス１００を保持するための４つのポケット５２１、５３１がＸ方向に２列、Ｙ方向に２行の行列状に形成されている。
【００４３】
トレイ５２、５３のうち、供給トレイ２側に位置するトレイ５２は、供給トレイ２に収容されたＩＣデバイス１００を移し替えて収容するトレイであり、回収トレイ３側に位置するトレイ４３は、検査用ソケット６での電気的特性の検査を終えたＩＣデバイス１００を収容するためのトレイである。すなわち、トレイ５２は、未検査のＩＣデバイス１００を収容するためのトレイであり、トレイ５３は、検査済みのＩＣデバイス１００を収容するためのトレイである。
【００４４】
このような第２シャトル５は、ベース部材５１がＸ方向へ延びるレール５４に支持されており、例えばリニアモーターを駆動源とする図示しない駆動手段によって、レール５４に沿って±Ｘ方向に往復移動可能となっている。これにより、第２シャトル５が−Ｘ方向側に移動し、トレイ５２が供給トレイ２に対して＋Ｙ方向側に並ぶとともに、トレイ５３が検査用ソケット６に対して−Ｙ方向側に並んだ状態（図６、図７、図１１〜図１３参照）と、第２シャトル５が＋Ｘ方向側に移動し、トレイ５３が回収トレイ３に対して＋Ｙ方向側に並ぶとともに、トレイ５２が検査用ソケット６に対して−Ｙ方向側に並んだ状態（図１、図８〜図１０、図１４参照）とをとることができる。
なお、第２シャトル５は、前述した第１シャトル４に対して−Ｙ方向に離間して設けられており、第１シャトル４と第２シャトル５の間に、検査用ソケット６が配置されている。
【００４５】
図１に示すように、検査用ソケット６は、ハンドラーの領域Ｓのほぼ中央部に位置するソケット設置部に着脱自在に設置され（備え付けられ）、その設置状態でＩＣデバイス１００の電気的特性を検査するためのソケットである。検査用ソケット６は、平面視で正方形状をなす板状の部材である。
この検査用ソケット６は、凹部で構成され、当該凹部に４つのＩＣデバイス１００が１つずつ置かれる（載置可能な）検査用個別ソケット６１を４つ有している。本実施形態では、４つの検査用個別ソケット６１は、Ｘ方向に２列、Ｙ方向に２行の行列状に形成されている。そして、図１５に示すように、これら４つの検査用個別ソケット６１のうち、図中左下（最も原点に近い）の検査用個別ソケット６１を「検査用個別ソケット６１ａ」、それよりも＋Ｘ方向側に位置する検査用個別ソケット６１を「検査用個別ソケット６１ｂ」、検査用個別ソケット６１ａよりも＋Ｙ方向側に位置する検査用個別ソケット６１を「検査用個別ソケット６１ｃ」、それよりも＋Ｘ方向側に位置する検査用個別ソケット６１を「検査用個別ソケット６１ｄ」と言うことがある。
【００４６】
なお、４つの検査用個別ソケット６１の配列ピッチは、各トレイ４２、４３、５２、５３に形成された４つのポケットの配列ピッチとほぼ等しい。これにより、トレイ４２、４３、５２、５３と検査用個別ソケット６１との間のＩＣデバイス１００の搬送を円滑に行うことができる。
また、図１５に示すように、各検査用個別ソケット６１は、それぞれ、ほぼ正方形状をなす底面６１１と、底面６１１に対して傾斜した４つの側面（バンク）６１２とで構成されている。
【００４７】
底面６１１は、検査用ソケットの厚さ方向、すなわち、ＩＣデバイス１００の収納方向に貫通する１６個の貫通孔６１３が形成されている。これらの貫通孔６１３は、Ｘ方向に４列、Ｙ方向に４行の行列状に配置されている。
各検査用個別ソケット６１の貫通孔６１３内には、図示しないが、それぞれ、プローブピンが設けられている。プローブピンは、スプリング等によって上方に付勢されている。プローブピンは、検査用個別ソケット６１にＩＣデバイス１００が収納、配置されると、そのＩＣデバイス１００が有する前述した外部端子と接触する。これにより、プローブピンを介してＩＣデバイス１００と制御装置（制御部）１０（後述する検査制御部１０１）とが電気的に接続された状態、すなわち、ＩＣデバイス１００の電気的特性の検査（試験）を行うことのできる状態となる。
【００４８】
前述したように、検査用ソケット６は、台座１１に着脱自在に設置される。そのため、簡単に、目的の検査（試験）に応じて検査用ソケット６を付け替えたり、ＩＣデバイス１００の大きさや形状によって、それに適した検査用ソケット６を付け替えたりすることができる。
供給ロボット７は、供給トレイ２に収容されたＩＣデバイス１００を、トレイ４２、５２に搬送するロボットである。
【００４９】
供給ロボット７は、台座１１に支持された支持フレーム７２と、支持フレーム７２に支持され、支持フレーム７２に対して±Ｙ方向に往復移動可能な移動フレーム７３と、移動フレーム７３に支持され、移動フレーム７３に対して±Ｘ軸方向に往復移動可能なハンドユニット支持部７４と、ハンドユニット支持部７４に支持された４つのハンドユニット７５とを有している。
【００５０】
支持フレーム７２には、Ｙ方向に延在するレール７２１が形成されており、このレール７２１に沿って移動フレーム７３がＹ方向に往復移動する。また、移動フレーム７３には、Ｘ方向に延在する図示しないレールが形成されており、このレールに沿ってハンドユニット支持部７４がＸ方向に往復移動する。なお、支持フレーム７２に対する移動フレーム７３の移動、移動フレーム７３に対するハンドユニット支持部７４の移動は、例えばリニアモーターを駆動源とする図示しない駆動手段によって行われる。
【００５１】
４つのハンドユニット７５は、Ｘ方向およびＹ方向にそれぞれ２つずつ並ぶように行列状に配置されている。各ハンドユニット７５は、ＩＣデバイス１００を保持する保持部と、この保持部をＺ方向に昇降させる昇降装置とを有している。保持部は、例えば、吸着ノズルで構成されており、ＩＣデバイス１００を吸着保持することができる。また、昇降装置は、例えば、リニアモーターを駆動源とする駆動手段を利用した装置とすることができる。
【００５２】
このような供給ロボット７は、次のようにして、供給トレイ２からトレイ４２へＩＣデバイス１００を搬送する。まず、ハンドユニット７５を供給トレイ２上に位置させる。次に、各ハンドユニット７５の保持部を降下させて、保持部で供給トレイ２に収容されたＩＣデバイス１００を保持する。次に、各保持部を上昇させた後、各ハンドユニット７５がトレイ４２上に移動させる。次に、各ハンドユニット７５の保持部を降下させて、ＩＣデバイス１００をトレイ４２のポケット４２１内に配置する。次に、各保持部の吸着状態を解除するとともに、各保持部を上昇させることにより、ＩＣデバイス１００をリリースする。これにより、供給トレイ２からトレイ４２へのＩＣデバイス１００の搬送が完了する。なお、供給トレイ２からトレイ５２へＩＣデバイス１００の搬送も同様に行うことができる。
【００５３】
検査用ロボット９は、検査用ソケット６に対して供給動作と除去動作（搬送動作）とを行うロボットである。
供給動作は、トレイ４２、５２に収容され、未だ電気的検査が行われていないＩＣデバイス１００を、検査用ソケット６の空の検査用個別ソケット６１へ搬送して供給する動作である（図１５（ａ）に示す状態から図１５（ｂ）に示す状態参照）。
【００５４】
除去動作は、電気的検査を終えたＩＣデバイス１００を検査用ソケット６の検査用個別ソケットから除去して、トレイ４３、５３へ搬送する動作である（図１５（ｂ）に示す状態から図１５（ｃ）に示す状態参照）。ここで、例えば、検査装置１に対するなんらかの外的要因（例えば地震による振動や停電等）により、除去動作を行なっても、図１５（ｃ）に示すように、検査用ソケット６にＩＣデバイス１００が残留してしまう場合がある。図１５（ｃ）中の検査用個別ソケット６１ｃ中のＩＣデバイス１００は、当該ＩＣデバイス１００を検査用ロボット９が吸着しきれなかったために残留している。また、１５（ｃ）中の検査用個別ソケット６１ｄ上のＩＣデバイス１００は、当該ＩＣデバイス１００の搬送途中で検査用ロボット９から脱落したために残留している。
【００５５】
なお、電気的検査を終えたＩＣデバイス１００に対する除去動作を行なってもなおＩＣデバイス１００が検査用ソケット６に残留する場合がある、すなわち、ＩＣデバイス１００に対して検査用ソケット６から別の位置への搬送が実際に行われない場合がある。そこで、検査装置１（ハンドラー）では、検査用ソケット６に残留しているのかを検査する残留検査を行うことができる。この残留検査については、後述する。
【００５６】
また、検査用ロボット９は、トレイ４２、５２から検査用ソケット６へＩＣデバイス１００を搬送する際に、検査用ソケット６（検査用個別ソケット６１）に対するＩＣデバイス１００の位置決めを行うことができ、さらには、ＩＣデバイス１００を検査用ソケット６に配置し、電気的特性の検査を行う際、ＩＣデバイス１００を検査用ソケット６のプローブピンに押し付け、ＩＣデバイス１００に所定の検査圧を印加することができる。
【００５７】
図１に示すように、検査用ロボット９は、台座１１に対して固定的に設けられた第１フレーム９１１と、第１フレーム９１１に支持され、第１フレーム９１１に対してＹ方向へ往復移動可能な第２フレーム９１２と、第２フレーム９１２に支持され、第２フレーム９１２に対してＺ方向に昇降可能な第１ハンドユニット支持部９１３および第２ハンドユニット支持部９１４と、第１ハンドユニット支持部９１３に支持された４つの第１ハンドユニット９２と、第２ハンドユニット支持部９１４に支持された４つの第２ハンドユニット９３とを有している。
【００５８】
第１フレーム９１１には、Ｙ方向に延在するレール９１１ａが形成されており、このレール９１１ａに沿って第２フレーム９１２が±Ｙ方向に往復移動する。また、第２フレーム９１２には、Ｚ方向に延在するレール９１２ａ、９１２ｂが形成されており、レール９１２ａに沿って第１ハンドユニット支持部９１３が±Ｚ方向に往復移動し、レール９１２ｂに沿って第２ハンドユニット支持部９１４が±Ｚ方向に往復移動する。
【００５９】
第１ハンドユニット支持部９１３、第２ハンドユニット支持部９１４は、ともに第２フレーム９１２に支持されているため、Ｘ方向およびＹ方向については一体的に移動するが、Ｚ方向にはそれぞれ独立して移動することができる。第１フレーム９１１に対する第２フレーム９１２の移動、第２フレーム９１２に対する各ハンドユニット支持部９１３、９１４の移動は、例えばリニアモーターを駆動源とする図示しない駆動手段によって行われる。
【００６０】
４つの第１ハンドユニット９２は、第１ハンドユニット支持部９１３の下側に、Ｘ方向およびＹ方向にそれぞれ２つずつ並ぶように行列状に配置されている。また、４つの第１ハンドユニット９２の配設ピッチは、トレイ４２、４３に形成された４つのポケット４２１、４３１および検査用ソケット６に設けられた４つの検査用個別ソケット６１の配設ピッチとほぼ等しい。
このように、第１ハンドユニット９２をポケット４２１および検査用個別ソケット６１の配列に対応するように配置することにより、トレイ４２、４３と検査用ソケット６との間でのＩＣデバイス１００の搬送をより円滑に行うことができる。
【００６１】
同様に、４つの第２ハンドユニット９３は、第２シャトル５の各トレイ５２、５３と検査用ソケット６との間でＩＣデバイス１００を搬送する装置である。また、未検査のＩＣデバイス１００をトレイ５２から検査用ソケット６に搬送する際に、検査用ソケット６に対するＩＣデバイス１００の位置決めを行う装置でもある。
４つの第２ハンドユニット９３は、第２ハンドユニット支持部９１４の下側に、Ｘ方向およびＹ方向にそれぞれ２つずつ並ぶように行列状に配置されている。これら４つの第２ハンドユニット９３の配置や配設ピッチは、前述した４つの第１ハンドユニット９２と同様である。このように、第２ハンドユニット９３をポケット５２１および検査用個別ソケット６１の配列に対応するように配置することにより、トレイ５２、５３と検査用ソケット６との間でのＩＣデバイス１００の搬送をより円滑に行うことができる。
【００６２】
以下、第１ハンドユニット９２および第２ハンドユニット９３の構成について説明するが、各ハンドユニット９２、９３は、互いに同様の構成であるため、以下では、１つの第１ハンドユニット９２について代表して説明し、その他の第１ハンドユニット９２および各第２ハンドユニット９３については、その説明を省略する。
図３に示すように、第１ハンドユニット９２は、第１ハンドユニット支持部９１３に支持・固定された支持部９４と、支持部９４に支持され、支持部９４に対して±Ｘ方向に往復移動可能な第１移動部９５と、第１移動部９５に支持され、第１移動部９５に対して±Ｙ方向に往復移動可能な第２移動部９６と、第２移動部９６に支持され、第２移動部９６に対してＺ軸まわりに回転可能な回転部９７と、回転部９７に支持された保持部９８とを有している。支持部９４には、保持したＩＣデバイス１００の検査用個別ソケット６１に対する位置決めを行うためのデバイスマーク９４１が設けられている。また、保持部９８は、例えば、吸着ノズルで構成されており、ＩＣデバイス１００を吸着することにより保持することができるようになっている。
【００６３】
また、第１ハンドユニット９２は、支持部９４に対して第１移動部９５を±Ｘ方向に往復移動させる図示しない第１駆動機構と、第１移動部９５に対して第２移動部９６を±Ｙ方向に往復移動させる図示しない第２駆動機構と、第２移動部９６に対して回転部９７をＺ軸まわりに回転させる第３駆動機構とを有している。これら第１、第２、第３駆動機構は、例えば、リニアモーターを駆動源とし、その他必要に応じて、モーターの回転運動を直動運動に変換させるためのラックギア、ピニオンギア等の構成を付加した構成とすることができる。
【００６４】
ＣＣＤカメラ７００は、除去動作後の検査用ソケット６を撮像するものである。図２に示すように、ＣＣＤカメラ７００は、検査用ソケット６の直上に配置、固定されている。そして、このＣＣＤカメラ７００は、検査用ソケット６上から第２フレーム９１２およびそれに支持されている構造体が退避した状態で、検査用ソケット６を検査用個別ソケット６１側、すなわち、その上方から確実に撮像することができる。
【００６５】
回収ロボット８は、トレイ４３、５３に収容され、電気的検査が完了したＩＣデバイス１００を回収トレイ３に搬送するためのロボットである。
回収ロボット８は、供給ロボット７と同様の構成をなしている。すなわち、回収ロボット８は、台座１１に支持され、レール８２１が形成された支持フレーム８２と、支持フレーム８２に支持され、支持フレーム８２に対してＹ方向に往復移動可能な移動フレーム８３と、移動フレーム８３に支持され、移動フレーム８３に対してＸ方向に往復移動可能なハンドユニット支持部８４と、ハンドユニット支持部８４に支持された複数のハンドユニット８５とを有している。これら各部の構成は、供給ロボット７の対応する各部の構成と同様であるため、その説明を省略する。
【００６６】
このような回収ロボット８は、次のようにして、トレイ４３から回収トレイ３へＩＣデバイス１００を搬送する。まず、ハンドユニット８５をトレイ４３上に位置させる。次に、各ハンドユニット８５の保持部を降下させて、保持部でトレイ４３に収容されたＩＣデバイス１００を保持する。次に、各保持部を上昇させた後、各ハンドユニット８５を回収トレイ３上に移動させる。次に、各ハンドユニット８５の保持部を降下させて、ＩＣデバイス１００を回収トレイ３のポケット３１内に配置する。次に、各保持部の吸着状態を解除するとともに、各保持部を上昇させることにより、ＩＣデバイス１００をリリースする。これにより、トレイ４３から回収トレイ３へのＩＣデバイス１００の搬送が完了する。なお、トレイ５３から回収トレイ３へＩＣデバイス１００の搬送も同様に行うことができる。
【００６７】
ここで、トレイ４３（またはトレイ５３）に収容された検査済みのＩＣデバイス１００の中には、所定の電気的特性を発揮することのできなかった不良品が存在する場合がある。そのため、例えば、回収トレイ３を２つ用意し、一方を、所定の電気的特性を満たした良品を収容するためのトレイとして用い、他方を、前記不良品を回収するためのトレイとして用いてもよい。また、１つの回収トレイ３を用いる場合には、所定のポケット３１を前記不良品を収容するためのポケットとして利用してもよい。これにより、良品と不良品を明確に分別することができる。
【００６８】
表示装置８００は、検査装置１（ハンドラー）の前面側となる−Ｙ方向側に配置されている。この表示装置８００は、例えば液晶モニターを有し、例えば、電気的検査の結果や、残留検査の結果などを表示することができる。この液晶モニターは、タッチパネル機能を有しており、検査装置１に対する動作の設定を行う操作部としても用いられる。
警報装置９００は、例えば、検査装置１の上側に搭載されたシグナルランプ、スピーカーで構成される。この警報装置９００は、残留検査の結果が「残留有り」となった場合に、検査装置１の操作者にその旨を報知するものである。
【００６９】
図４に示すように、制御装置１０は、駆動制御部１０２と、検査制御部１０１と、記憶部（記憶手段）１０３とを有している。
駆動制御部１０２は、例えば、供給トレイ２、回収トレイ３、第１シャトル４および第２シャトル５の移動や、供給ロボット７、回収ロボット８、検査用ロボット９等の機械的な駆動を制御する。
【００７０】
一方の検査制御部１０１は、記憶部１０３内に記憶されたプログラムに基づいて、検査用ソケット６に配置されたＩＣデバイス１００の電気的特性の検査を行う。
なお、検査装置１では、当該検査装置１に内蔵されているＣＰＵ（Central Processing Unit）が検査制御部１０１や駆動制御部１０２としての機能を発揮している。
記憶部（記憶手段）１０３は、プログラムやデーター等を記憶（記録）する、前記ＣＰＵに読み取り可能な記憶媒体（記録媒体）を有している。この記憶媒体は、例えば、ＨＤ（Hard Disk）、ＣＤ−ＲＯＭ（Compact Disc Read−Only Memory）等のような、磁気的、光学的記録媒体、もしくは半導体メモリで構成されている。
【００７１】
次に、検査装置１の作動状態について、図６〜図１４を参照しつつ説明する。なお、ここでの作動状態は、その作動中に残留検査を行ったが、ＩＣデバイス１００の残留が検出されなかった場合となっている。残留検査の詳細については、この説明の後に述べる。
まず、図６に示すように、各ポケット２１にＩＣデバイス１００が収容された供給トレイ２を領域Ｓ内へ搬送するとともに、第１シャトル４、第２シャトル５を−Ｘ方向側に移動させ、トレイ４２、５２がそれぞれ供給トレイ２に対して＋Ｙ方向側に並んだ状態とする。
【００７２】
次に、図７に示すように、供給ロボット７によって、供給トレイ２に収容されたＩＣデバイス１００をトレイ４２、５２に移し替え、トレイ４２、５２の各ポケット４２１、５２１にＩＣデバイス１００を収容する。
次に、図８に示すように、第１シャトル４、第２シャトル５をともに＋Ｘ方向側に移動し、トレイ４２が検査用ソケット６に対して＋Ｙ方向側に、トレイ５２が検査用ソケット６に対して−Ｙ方向側に並んだ状態とする。
【００７３】
次に、図９に示すように、第１ハンドユニット支持部９１３、第２ハンドユニット支持部９１４を一体的に＋Ｙ方向側に移動させ、第１ハンドユニット支持部９１３がトレイ４２の直上に位置するとともに、第２ハンドユニット支持部９１４が検査用ソケット６の直上に位置した状態とする。その後、各第１ハンドユニット９２によってトレイ４２に収容されたＩＣデバイス１００を保持する。
次に、図１０に示すように、第１ハンドユニット支持部９１３、第２ハンドユニット支持部９１４を一体的に−Ｙ方向側に移動させ、第１ハンドユニット支持部９１３が検査用ソケット６の直上（検査用原点位置）に位置するとともに、第２ハンドユニット支持部９１４がトレイ５２の直上に位置する状態とする。
【００７４】
このような第１ハンドユニット支持部９１３、第２ハンドユニット支持部９１４の移動と並行して、次のような作業も行う。まず、第１シャトル４を−Ｘ方向側に移動させ、トレイ４３が検査用ソケット６に対して＋Ｙ方向に並んだ状態とするとともに、トレイ４２が供給トレイ２に対して＋Ｙ方向に並んだ状態とする。次に、供給ロボット７により、供給トレイ２に収容されたＩＣデバイス１００をトレイ４２に移し替え、トレイ４２の各ポケット４２１にＩＣデバイス１００を収容する。
【００７５】
次に、第１ハンドユニット支持部９１３を降下させ、各第１ハンドユニット９２で保持したＩＣデバイス１００を、検査用ソケット６の各検査用個別ソケット６１内に配置する。すなわち、供給動作が行われる。この際、各第１ハンドユニット９２は、所定の検査圧（圧力）でＩＣデバイス１００を検査用個別ソケット６１に押し当てる。これにより、ＩＣデバイス１００の外部端子と検査用個別ソケット６１に設けられたプローブピンとが電気的に接続された状態となり、この状態にて、制御装置１０の検査制御部１０１によって各検査用個別ソケット６１内のＩＣデバイス１００に対して電気的特性の検査が実施される。なお、電気的検査終了後は、残留検査を行うが、前述したように、ここでの作動状態の説明では、ＩＣデバイス１００の残留が検出されなかった場合となっているため、当該残留検査についての記載を省略する。
【００７６】
そして、電気的検査が終了すると、第１ハンドユニット支持部９１３を上昇させ、各第１ハンドユニット９２で保持したＩＣデバイス１００を検査用個別ソケット６１から取り出す。すなわち、除去動作が行われる。
このような作業（ＩＣデバイス１００に対する電気的検査）と並行して、第２ハンドユニット支持部９１４に支持された各第２ハンドユニット９３がトレイ５２に収容されたＩＣデバイス１００を保持し、ＩＣデバイス１００をトレイ５２から取り出す。
【００７７】
次に、図１１に示すように、第１ハンドユニット支持部９１３、第２ハンドユニット支持部９１４を＋Ｙ方向側に移動させ、第１ハンドユニット支持部９１３が第１シャトル４のトレイ４３の直上に位置するとともに、第２ハンドユニット支持部９１４が検査用ソケット６の直上（検査用原点位置）に位置する状態とする。
このような第１ハンドユニット支持部９１３、第２ハンドユニット支持部９１４の移動と並行して、次のような作業も行う。まず、第２シャトル５を−Ｘ方向側に移動させ、トレイ５３が検査用ソケット６に対して−Ｙ方向に並んだ状態とするとともに、トレイ５２が供給トレイ２に対して＋Ｙ方向に並んだ状態とする。次に、供給ロボット７によって、供給トレイ２に収容されたＩＣデバイス１００をトレイ５２に移し替え、トレイ５２の各ポケット５２１にＩＣデバイス１００を収容する。
【００７８】
次に、図１２に示すように、第２ハンドユニット支持部９１４を降下させ、各第２ハンドユニット９３で保持したＩＣデバイス１００を検査用ソケット６の各検査用個別ソケット６１内に配置する。すなわち、供給動作が行われる。そして、検査制御部１０１によって、各検査用個別ソケット６１内のＩＣデバイス１００に対して電気的特性の検査が実施される。その後、前記と同様に、残留検査を行うが、ＩＣデバイス１００の残留が検出されなかった場合となっているため、当該残留検査についての記載を省略する。
【００７９】
そして、電気的検査が終了すると、第２ハンドユニット支持部９１４を上昇させ、第２ハンドユニット９３で保持したＩＣデバイス１００を検査用個別ソケット６１から取り出す。すなわち、除去動作を行なう。
このような作業と並行して次のような作業を行う。まず、各第１ハンドユニット９２が保持する検査済みのＩＣデバイス１００をトレイ４３の各ポケット４３１に収容する。次に、第１シャトル４を＋Ｘ方向側に移動させ、トレイ４２が検査用ソケット６に対して＋Ｙ方向に並びかつ各第１ハンドユニット９２の直下に位置する状態とするとともに、トレイ４３が回収トレイ３に対して＋Ｙ方向に並んだ状態とする。次に、各第１ハンドユニット９２がトレイ４２に収容されたＩＣデバイス１００を保持するとともに、回収ロボット８により、トレイ４３に収容された検査済みのＩＣデバイス１００を回収トレイ３に移し替える。
【００８０】
次に、図１３に示すように、第１ハンドユニット支持部９１３、第２ハンドユニット支持部９１４を−Ｙ方向側に移動させ、第１ハンドユニット支持部９１３が検査用ソケット６の直上（検査用原点位置）に位置するとともに、第２ハンドユニット支持部９１４がトレイ５２の直上に位置した状態とする。
このような第１ハンドユニット支持部９１３、第２ハンドユニット支持部９１４の移動と並行して、次のような作業も行う。まず、第１シャトル４を−Ｘ方向側に移動させ、トレイ４３が検査用ソケット６に対して＋Ｙ方向に並んだ状態となるとともに、トレイ４２が供給トレイ２に対して＋Ｙ方向に並んだ状態とする。次に、供給ロボット７によって、供給トレイ２に収容されたＩＣデバイス１００をトレイ４２に移し替え、トレイ４２の各ポケット４２１にＩＣデバイス１００を収容する。
【００８１】
次に、図１４に示すように、第１ハンドユニット支持部９１３を降下させ、各第１ハンドユニット９２で保持したＩＣデバイス１００を検査用ソケット６の各検査用個別ソケット６１内に配置する。そして、検査制御部１０１によって、各検査用個別ソケット６１内のＩＣデバイス１００に対して電気的特性の検査を実施する。当該検査が終了すると、第１ハンドユニット支持部９１３を上昇させ、各第１ハンドユニット９２で保持したＩＣデバイス１００を検査用個別ソケット６１から取り出す。
【００８２】
このような作業と並行して次のような作業を行う。まず、各第２ハンドユニット９３が保持する検査済みのＩＣデバイス１００をトレイ５３の各ポケット５３１に収容する。次に、第２シャトル５を＋Ｘ方向側に移動させ、トレイ５２が検査用ソケット６に対して−Ｙ方向に並びかつ第２ハンドユニット９３の直下に位置する状態とするとともに、トレイ５３が回収トレイ３に対して＋Ｙ方向に並んだ状態とする。次に、各第２ハンドユニット９３がトレイ５２に収容されたＩＣデバイス１００を保持するとともに、回収ロボット８により、トレイ５３に収容された検査済みのＩＣデバイス１００を回収トレイ３に移し替える。
【００８３】
これ以降は、図１１〜図１４に示す動作を繰り返す。なお、この繰り返しの途中にて、供給トレイ２に収容されたＩＣデバイス１００のすべてを第１シャトル４に移し終えると、供給トレイ２が領域Ｓ外に移動する。そして、供給トレイ２に新たなＩＣデバイス１００を供給するか、既にＩＣデバイス１００が収容されている別の供給トレイ２と交換した後、供給トレイ２が再び領域Ｓ内に移動する。同様に、繰り返しの途中にて、回収トレイ３の全てのポケット３１にＩＣデバイス１００が収容されると、回収トレイ３が領域Ｓ外に移動する。そして、回収トレイ３に収容されたＩＣデバイス１００を取り除くか、回収トレイ３を別の空である回収トレイ３を交換した後、回収トレイ３が再び領域Ｓ内に移動する。
【００８４】
以上のような方法によれば、効率よくＩＣデバイス１００に対する電気的検査を行うことができる。具体的には、検査用ロボット９が第１ハンドユニット９２と第２ハンドユニット９３とを有しており、例えば、第１ハンドユニット９２（第２ハンドユニット９３についても同様）が保持したＩＣデバイス１００が検査用ソケット６にて電気的検査がされている状態にて、これと並行して第２ハンドユニット９３が電気的検査を終えたＩＣデバイス１００をトレイ５３に収容するとともに、次に検査対象となるＩＣデバイス１００を保持してスタンバイしている。このように、２つのハンドユニットを用いて、それぞれ、異なる作業を行うことにより、無駄な時間を削減でき、効率的にＩＣデバイス１００の電気的検査を行うことができる。
【００８５】
さて、前述したように、検査装置１では、電気的検査を終えたＩＣデバイス１００に対する除去動作を行なってもなおＩＣデバイス１００が検査用ソケット６に残留しているのかを検査する残留検査を行うことができる。この残留検査について説明する。
図４に示すように、制御装置１０は、検査制御部１０１、駆動制御部１０２、記憶部１０３の他に、比較部（比較手段）１０４と、判断部（判断手段）１０５と、画像処理部１０６とをさらに有している。
【００８６】
比較部１０４は、２つの情報を比較する部分である。
第１の情報は、検査用ソケット６の各検査用個別ソケット６１にＩＣデバイス１００が載置されていない状態の平面視での検査用ソケット６の基準画像２０Ａ（図１６（ａ）参照）としての第１画像を撮像し、その検査用ソケット６の基準画像２０Ａに対して加工を行ない生成した非画像情報である。なお、第１の情報は、記憶部１０３内に予め記憶されているのが好ましい。また、残留検査を行なうのに先立って、図１５（ａ）に示す状態の検査用ソケット６をＣＣＤカメラ７００で撮像して、その撮像画像に対して加工を行なうことにより生成された非画像情報を記憶部１０３に記憶させて、第１の情報として用いることもできる。
【００８７】
第２の情報は、ＣＣＤカメラ７００によって平面視で撮像された撮像画像２０Ｂ（図１６（ｂ）参照）に対して加工を行うことにより生成された検査用ソケット６に関する非画像情報である。なお、図１６（ｂ）に示す撮像画像２０Ｂは、図１５（ｃ）に示す状態（除去動作を開始した以降）の検査用ソケット６を撮像したものである。
そして、比較部１０４は、基準画像２０Ａから生成した検査用ソケット６に関する第１の情報と、撮像画像２０Ｂから生成した検査用ソケット６に関する第２の情報との比較をするときに、記憶部１０３から第１の情報を呼び出し、比較する。非画像情報同士を比較することにより、比較を迅速に行なうことができる。
【００８８】
判断部１０５は、比較部１０４の比較結果に基づいて、除去動作後の検査用ソケット６の各検査用個別ソケット６１にＩＣデバイス１００が残留しているか否かを判断する部分である。
画像処理部１０６は、撮像画像２０Ｂに対する画像処理を行う部分である。この画像処理とは、撮像画像２０Ｂを二値化して、後述する各濃色領域２０１Ｂを抽出し、さらにその面積（面積の情報）を求める処理である。この面積を求める方法としては、特に限定されず、例えば、各濃色領域２０１Ｂを構成する画素数（ピクセル数）をカウントして、それを面積として扱う方法が挙げられる。
前述したように、検査装置１では、ＣＰＵが内蔵されており、検査制御部１０１や駆動制御部１０２としての機能を発揮している。そして、このＣＰＵは、比較部１０４、判断部１０５、画像処理部１０６としての機能も発揮することができる。
【００８９】
図１６（ａ）に示すように、基準画像２０Ａは、濃淡画像である。この基準画像２０Ａでは、検査用ソケット６の検査用個別ソケット６１ａ〜６１ｄのそれぞれにおける４つの側面６１２に相当する部分と、１６個の貫通孔６１３とが、色が濃い濃色領域２０１Ａとなっており、それ以外の部分が、色が淡い淡色領域２０２Ａとなっている。そして、濃色領域２０１Ａでは、前記４つの側面６１２に相当する部分が１つの正方形（四角形）の枠状をなす枠状部２０３として映り、各貫通孔６１３に相当する部分がそれぞれ円形状をなす円形部２０４として映っている。
【００９０】
図１６（ｂ）に示すように、撮像画像２０Ｂも、濃淡画像である。この撮像画像２０Ｂでは、検査用ソケット６の検査用個別ソケット６１ａに対応する部分の濃色領域２０１Ｂが、基準画像２０Ａの検査用個別ソケット６１ａに対応する部分の濃色領域２０１Ａと同じとなっており、検査用個別ソケット６１ｂに対応する部分の濃色領域２０１Ｂも、基準画像２０Ａの検査用個別ソケット６１ｂに対応する部分の濃色領域２０１Ａと同じとなっている。
【００９１】
また、検査用個別ソケット６１ｃ内には、ＩＣデバイス１００が残留している（図１５（ｃ）参照）。このため、図１６（ｂ）に示すように、撮像画像２０Ｂの検査用個別ソケット６１ｃに対応する部分では、４つの側面６１２に相当する部分と、ＩＣデバイス１００に相当する部分とが濃色領域２０１Ｂとなっている。そして、この濃色領域２０１Ｂでは、枠状部２０３の他に、ＩＣデバイス１００の上面に相当する部分が正方形（四角形）をなす正方形部２０５として映っている。
【００９２】
また、検査用個別ソケット６１ｄ上にも、ＩＣデバイス１００が残留している（図１５（ｃ）参照）。このため、図１６（ｂ）に示すように、撮像画像２０Ｂの検査用個別ソケット６１ｄに対応する部分では、ＩＣデバイス１００に相当する部分が、４つの側面６１２に相当する部分の一部と、１６個の貫通孔６１３に相当する部分の一部（６つの貫通孔６１３）に重なっており、これら各部分が濃色領域２０１Ｂとなっている。そして、この濃色領域２０１Ｂでは、枠状部２０３、１０個の円形部２０４、正方形部２０５が映っている。
また、撮像画像２０Ｂでは、これら濃色領域２０１Ｂ以外の部分が、淡色領域２０２Ｂとなっている。
【００９３】
本実施形態では、基準画像２０Ａから生成した検査用ソケット６に関する第１の情報として、各濃色領域２０１Ａの面積を用い、撮像画像２０Ｂに対して加工し生成した検査用ソケット６に関する第２の情報として、各濃色領域２０１Ｂの面積を用いる。なお、前記各情報としては、これに限定されず、淡色領域２０２Ａ、２０２Ｂの面積を用いてもよいし、双方の色の領域の面積を用いてもよい。
【００９４】
以下、検査装置１で残留検査を行なう際の制御プログラムを図５のフローチャートに基づいて説明する。なお、この制御プログラムは、記憶部１０３に予め記憶されている。
検査用ソケット６の検査用個別ソケット６１ａ〜６１ｄに収納された各ＩＣデバイス１００に対する電気的検査、そして除去動作が終了したと判断され（ステップＳ２００）、その後、残留検査を開始すると判断されたら（ステップＳ２０１）、検査用ロボット９の作動（供給動作、除去動作等）を停止する（ステップＳ２０２）。
【００９５】
次に、記憶部１０３から基準画像２０Ａから生成した４つ（検査用個別ソケット６１ａ〜６１ｄに相当する部分）の濃色領域２０１Ａの面積に関する第１の情報を呼び出すとともに（ステップＳ２０３）、ＣＣＤカメラ７００を作動させて、現在の検査用ソケット６を撮像する（ステップＳ２０４）。これにより、撮像画像２０Ｂが得られる。
次に、画像処理部１０６により、撮像画像２０Ｂに対する画像処理を行う。すなわち、撮像画像２０Ｂを二値化して各濃色領域２０１Ｂを抽出して（ステップＳ２０５）、各濃色領域２０１Ｂの面積を求め、第２の情報とする（ステップＳ２０６）。
【００９６】
次に、比較部１０４により、第１の情報と第２の情報とを比較する（ステップＳ２０７）。すなわち、基準画像２０Ａでの検査用個別ソケット６１ａに対応する部分の濃色領域２０１Ａの面積と、撮像画像２０Ｂでの検査用個別ソケット６１ａに対応する部分の濃色領域２０１Ａの面積との差（以下この差を「第１の差」と言う）を取る。これと同様に、基準画像２０Ａでの検査用個別ソケット６１ｂに対応する部分の濃色領域２０１Ａの面積と、撮像画像２０Ｂでの検査用個別ソケット６１ｂに対応する部分の濃色領域２０１Ａの面積との差（以下この差を「第２の差」と言う）を取る。また、基準画像２０Ａでの検査用個別ソケット６１ｃに対応する部分の濃色領域２０１Ａの面積と、撮像画像２０Ｂでの検査用個別ソケット６１ｃに対応する部分の濃色領域２０１Ａの面積との差（以下この差を「第３の差」と言う）を取る。また、基準画像２０Ａでの検査用個別ソケット６１ｄに対応する部分の濃色領域２０１Ａの面積と、撮像画像２０Ｂでの検査用個別ソケット６１ｄに対応する部分の濃色領域２０１Ａの面積との差（以下この差を「第４の差」と言う）を取る。
次に、判断部１０５により、第１〜第４の差がそれぞれ閾値を超えるか否かで、ＩＣデバイス１００の残留の有無を判断する（ステップＳ２０８）。なお、閾値としては、特に限定されず、例えば、濃色領域２０１Ａの１％以上とするのが好ましく、５％以上とするのがより好ましい。
【００９７】
図１６に示すように、基準画像２０Ａでの検査用個別ソケット６１ａに対応する部分の濃色領域２０１Ａの面積と、撮像画像２０Ｂでの検査用個別ソケット６１ａに対応する部分の濃色領域２０１Ｂの面積とは、同じである。従って、第１の差は、ほぼ零となり、すなわち、閾値以下であり、検査用個別ソケット６１ａにはＩＣデバイス１００が残留していないと判断する。
【００９８】
これと同様に、基準画像２０Ａでの検査用個別ソケット６１ｂに対応する部分の濃色領域２０１Ａの面積と、撮像画像２０Ｂでの検査用個別ソケット６１ｂに対応する部分の濃色領域２０１Ｂの面積とは、同じである。従って、第２の差は、ほぼ零となり、すなわち、閾値以下であり、検査用個別ソケット６１ｂにはＩＣデバイス１００が残留していないと判断する。
【００９９】
また、撮像画像２０Ｂでの検査用個別ソケット６１ｃに対応する部分の濃色領域２０１Ｂの面積は、基準画像２０Ａでの検査用個別ソケット６１ｃに対応する部分の濃色領域２０１Ａの面積よりも増大している。従って、第３の差は、閾値を超えており、検査用個別ソケット６１ｃにはＩＣデバイス１００が残留していると判断する。
そして、ステップＳ２０８の判断の結果、ＩＣデバイス１００の残留が１つでも有ると判断することとなり、その旨を警報装置９００により報知する（ステップＳ２０９）。これにより、検査装置１の操作者は、残留しているＩＣデバイス１００を検査用ソケット６から除去する作業に移ることができる。
【０１００】
一方、ステップＳ２０８の判断の結果、ＩＣデバイス１００の残留が無いと判断した場合には、検査用ロボット９の作動を再開させる（ステップＳ２１０）。これにより、検査用ロボット９は、供給動作に移行することができる。
このように、検査装置１では、検査用ソケット６の各検査用個別ソケット６１に載置されたＩＣデバイス１００に対する除去動作を行なった後に、当該ＩＣデバイス１００が検査用個別ソケット６１またはその近傍に残留しているか否かを検出することができる。そして、残留検出を行う際には、基準画像２０Ａでの濃色領域２０１Ａの面積と、撮像画像２０Ｂでの濃色領域２０１Ｂの面積とを比較するという、できる限り少ない情報量での比較で、その残留検出を迅速かつ確実に行うことができる。
【０１０１】
＜第２実施形態＞
図１７は、本発明の検査装置（第２実施形態）のソケットの画像（（ａ）は基準画像を示し、（ｂ）は図１５（ｃ）の状態を撮像した撮像画像を示す）である。
以下、これらの図を参照して本発明のハンドラーおよび検査装置の第２実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
【０１０２】
本実施形態は、残留検出で用いられる画像から生成した検査用ソケットに関する情報が異なること以外は前記第１実施形態と同様である。
基準画像２０Ａから生成した検査用ソケット６に関する第１の情報として、各濃色領域２０１Ａと淡色領域２０２Ａとの境界部のＸ方向の長さ、すなわち、検査用個別ソケット６１ａ〜６１ｄのそれぞれに相当する部分の濃色領域２０１ＡのＸ方向の長さを用いる。
【０１０３】
また、撮像画像２０Ｂから生成した検査用ソケット６に関する第２の情報として、各濃色領域２０１Ｂと淡色領域２０２Ｂとの境界部のＸ方向の長さ（長さの情報）、すなわち、検査用個別ソケット６１ａ〜６１ｄのそれぞれに相当する部分の濃色領域２０１ＢのＸ方向の長さ（長さの情報）を用いる。
そして、基準画像２０Ａから生成した第１の情報と撮像画像２０Ｂから生成した第２の情報との間で、同じＹ座標における前記長さ同士を比較し、その比較結果に基づいて、残留の有無を判断する。
【０１０４】
例えば、図１７（ａ）中での検査用個別ソケット６１ａの前記長さは、ｘａ１、ｘａ２、ｘａ３、ｘａ４、ｘａ５、ｘａ６の総和となり、図１７（ｂ）中での検査用個別ソケット６１ａの前記長さも、ｘａ１、ｘａ２、ｘａ３、ｘａ４、ｘａ５、ｘａ６の総和となる。比較部１０４により、これら総和同士の差を取る。この差は、ほぼ零であり、すなわち、閾値以下であり、よって、判断部１０５では、検査用個別ソケット６１ａにはＩＣデバイス１００が残留していないと判断される。
【０１０５】
また、図１７（ａ）中での検査用個別ソケット６１ｂの前記長さは、ｘｂ１、ｘｂ２、ｘｂ３、ｘｂ４、ｘｂ５、ｘｂ６の総和となり、図１７（ｂ）中での検査用個別ソケット６１ｂの前記長さも、ｘｂ１、ｘｂ２、ｘｂ３、ｘｂ４、ｘｂ５、ｘｂ６の総和となる。比較部１０４により、これら総和同士の差を取る。この差は、ほぼ零であり、すなわち、閾値以下であり、よって、判断部１０５では、検査用個別ソケット６１ｂにもＩＣデバイス１００が残留していないと判断される。
【０１０６】
また、図１７（ａ）中での検査用個別ソケット６１ｃの前記長さは、ｘｃ１、ｘｃ２、ｘｃ３、ｘｃ４、ｘｃ５、ｘｃ６の総和となり、図１７（ｂ）中での検査用個別ソケット６１ｃの前記長さは、ｘｃ１、ｘｃ７、ｘｃ６の総和となる。後者の長さは、前者の長さよりも増大している。そして、比較部１０４により、これら総和同士の差を取ると、その差は、閾値を超える。よって、判断部１０５では、検査用個別ソケット６１ｃにはＩＣデバイス１００が残留していると判断される。
【０１０７】
また、図１７（ａ）中での検査用個別ソケット６１ｄの前記長さは、ｘｄ１、ｘｄ２、ｘｄ３、ｘｄ４、ｘｄ５、ｘｄ６の総和となり、図１７（ｂ）中での検査用個別ソケット６１ｄの前記長さは、ｘｄ１、ｘｄ２、ｘｄ３、ｘｄ７の総和となる。後者の長さは、前者の長さよりも増大している。そして、比較部１０４により、これら総和同士の差を取ると、その差は、閾値を超える。よって、判断部１０５では、検査用個別ソケット６１ｄにはＩＣデバイス１００が残留していると判断される。
【０１０８】
そして、検査用ソケット６では、ＩＣデバイス１００の残留が１つでも有ると判断されることとなる。
このように、本実施形態でも、残留検出を行なうに際し、各濃色領域２０１ＡのＸ方向の長さと、各濃色領域２０１ＢのＸ方向の長さとを比較するという、できる限り少ない情報量での比較で、その残留検出を迅速かつ確実に行うことができる。
なお、本実施形態では、残留検出を行なう際に、各濃色領域２０１ＡのＸ方向の長さと、各濃色領域２０１ＢのＸ方向の長さとを比較しているが、これに限定されず、例えば、各濃色領域２０１ＡのＹ方向の長さと、各濃色領域２０１ＢのＹ方向の長さとを比較してもよい。
【０１０９】
＜第３実施形態＞
図１８は、本発明の検査装置（第３実施形態）のソケットの画像（（ａ）は基準画像を示し、（ｂ）は図１５（ｃ）の状態を撮像した撮像画像を示す）である。
以下、これらの図を参照して本発明のハンドラーおよび検査装置の第３実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
【０１１０】
本実施形態は、残留検出で用いられる画像から生成した検査用ソケットに関する情報が異なること以外は前記第１実施形態と同様である。
基準画像２０Ａから生成した検査用ソケット６に関する第１の情報として、各濃色領域２０１Ａと淡色領域２０２Ａとの境界部の全長、すなわち、検査用個別ソケット６１ａ〜６１ｄのそれぞれに相当する部分の濃色領域２０１Ａの輪郭の長さを用いる。
【０１１１】
また、撮像画像２０Ｂから生成した検査用ソケット６に関する第２の情報として、各濃色領域２０１Ｂと淡色領域２０２Ｂとの境界部の全長、すなわち、検査用個別ソケット６１ａ〜６１ｄのそれぞれに相当する部分の濃色領域２０１Ｂの輪郭の長さを用いる。
そして、基準画像２０Ａから生成した第１の情報と撮像画像２０Ｂから生成した第２の情報との間で、前記輪郭の長さ同士を比較し、その比較結果に基づいて、残留の有無を判断する。
【０１１２】
図１８（ａ）中での検査用個別ソケット６１ａの前記輪郭の長さは、枠状部２０３の内側の輪郭長Ｌａ１および外側の輪郭長Ｌａ２と、１６個の円形部２０４の円周Ｌａ３との総和となり、図１８（ｂ）中での検査用個別ソケット６１ａの前記輪郭の長さも、枠状部２０３の内側の輪郭長Ｌａ１および外側の輪郭長Ｌａ２と、１６個の円形部２０４の円周Ｌａ３との総和となる。比較部１０４により、これら総和同士の差を取る。この差は、ほぼ零であり、すなわち、閾値以下であり、よって、判断部１０５では、検査用個別ソケット６１ａにはＩＣデバイス１００が残留していないと判断される。
【０１１３】
また、図１８（ａ）中での検査用個別ソケット６１ｂの前記輪郭の長さは、枠状部２０３の内側の輪郭長Ｌｂ１および外側の輪郭長Ｌｂ２と、１６個の円形部２０４の円周Ｌｂ３との総和となり、図１８（ｂ）中での検査用個別ソケット６１ｂの前記輪郭の長さも、枠状部２０３の内側の輪郭長Ｌｂ１および外側の輪郭長Ｌｂ２と、１６個の円形部２０４の円周Ｌｂ３との総和となる。比較部１０４により、これら総和同士の差を取る。この差は、ほぼ零であり、すなわち、閾値以下であり、よって、判断部１０５では、検査用個別ソケット６１ｂにもＩＣデバイス１００が残留していないと判断される。
【０１１４】
また、図１８（ａ）中での検査用個別ソケット６１ｃの前記輪郭の長さは、枠状部２０３の内側の輪郭長Ｌｃ１および外側の輪郭長Ｌｃ２と、１６個の円形部２０４の円周Ｌｃ３との総和となり、図１８（ｂ）中での検査用個別ソケット６１ｃの前記輪郭の長さは、枠状部２０３の内側の輪郭長Ｌｃ１および外側の輪郭長Ｌｃ２と、正方形部２０５の輪郭長Ｌｃ４との総和となる。後者の長さは、前者の長さよりも増大している。そして、比較部１０４により、これら総和同士の差を取ると、その差は、閾値を超える。よって、判断部１０５では、検査用個別ソケット６１ｃにはＩＣデバイス１００が残留していると判断される。
【０１１５】
また、図１８（ａ）中での検査用個別ソケット６１ｄの前記輪郭の長さは、枠状部２０３の内側の輪郭長Ｌｄ１および外側の輪郭長Ｌｄ２と、１６個の円形部２０４の円周Ｌｄ３との総和となり、図１８（ｂ）中での検査用個別ソケット６１ｄの前記輪郭の長さは、枠状部２０３と当該枠状部２０３に重なった正方形部２０５とで形成された部分の内側の輪郭長Ｌｄ５および外側の輪郭長Ｌｄ６と、１０個の円形部２０４の円周Ｌｄ３との総和となる。後者の長さは、前者の長さよりも増大している。そして、比較部１０４により、これら総和同士の差を取ると、その差は、閾値を超える。よって、判断部１０５では、検査用個別ソケット６１ｄにはＩＣデバイス１００が残留していると判断される。
【０１１６】
そして、検査用ソケット６では、ＩＣデバイス１００の残留が１つでも有ると判断されることとなる。
このように、本実施形態でも、残留検出を行なうに際し、各濃色領域２０１Ａの輪郭の長さと、各濃色領域２０１Ｂの輪郭の長さとを比較するという、できる限り少ない情報量での比較で、その残留検出を迅速かつ確実に行うことができる。
【０１１７】
＜第４実施形態＞
図１９は、本発明の検査装置（第４実施形態）のソケットの画像（（ａ）は基準画像を示し、（ｂ）は図１５（ｃ）の状態を撮像した撮像画像を示す）である。
以下、これらの図を参照して本発明のハンドラーおよび検査装置の第４実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
【０１１８】
本実施形態は、残留検出で用いられる画像から生成した検査用ソケットに関する情報が異なること以外は前記第１実施形態と同様である。
基準画像２０Ａから生成した検査用ソケット６に関する第１の情報として、検査用個別ソケット６１ａ〜６１ｄのそれぞれに相当する部分の円形部２０４（貫通孔６１３）の個数（個数の情報）を用いる。
【０１１９】
また、撮像画像２０Ｂから生成した検査用ソケット６に関する第２の情報として、検査用個別ソケット６１ａ〜６１ｄのそれぞれに相当する部分の円形部２０４（貫通孔６１３）の個数を用いる。
そして、基準画像２０Ａから生成した第１の情報と撮像画像２０Ｂから生成した第２の情報との間で、円形部２０４の個数同士を比較し、その比較結果に基づいて、残留の有無を判断する。
【０１２０】
図１９（ａ）中での検査用個別ソケット６１ａの円形部２０４の個数ｎａは、１６個であり、図１９（ｂ）中での検査用個別ソケット６１ａの円形部２０４の個数ｎａも、１６個である。比較部１０４により、これら個数同士の差を取る。この差は、零であり、すなわち、閾値以下であり、よって、判断部１０５では、検査用個別ソケット６１ａにはＩＣデバイス１００が残留していないと判断される。
【０１２１】
また、図１９（ａ）中での検査用個別ソケット６１ｂの円形部２０４の個数ｎｂは、１６個であり、図１９（ｂ）中での検査用個別ソケット６１ｂの円形部２０４の個数ｎｂも、１６個である。比較部１０４により、これら個数同士の差を取る。この差は、零であり、すなわち、閾値以下であり、よって、判断部１０５では、検査用個別ソケット６１ｂにもＩＣデバイス１００が残留していないと判断される。
【０１２２】
また、図１９（ａ）中での検査用個別ソケット６１ｃの円形部２０４の個数ｎｃは、１６個であり、図１９（ｂ）中での検査用個別ソケット６１ｃの円形部２０４の個数ｎｃは、零個である。そして、比較部１０４により、これら個数同士の差を取ると、その差は、「１６」となり、閾値（例えば「１」）を超える。よって、判断部１０５では、検査用個別ソケット６１ｃにはＩＣデバイス１００が残留していると判断される。
【０１２３】
また、図１９（ａ）中での検査用個別ソケット６１ｄの円形部２０４の個数ｎｄは、１６個であり、図１９（ｂ）中での検査用個別ソケット６１ｄの円形部２０４の個数ｎｄは、１０個である。そして、比較部１０４により、これら個数同士の差を取ると、その差は、「６」となり、閾値を超える。よって、判断部１０５では、検査用個別ソケット６１ｄにはＩＣデバイス１００が残留していると判断される。
【０１２４】
そして、検査用ソケット６では、ＩＣデバイス１００の残留が１つでも有ると判断されることとなる。
このように、本実施形態でも、残留検出を行なうに際し、基準画像２０Ａ中の円形部２０４の個数と、撮像画像２０Ｂ中の円形部２０４の個数とを比較するという、できる限り少ない情報量での比較で、その残留検出を迅速かつ確実に行うことができる。
【０１２５】
＜第５実施形態＞
図２０は、本発明の検査装置（第５実施形態）のソケットの画像（（ａ）は基準画像を示し、（ｂ）は図１５（ｃ）の状態を撮像した撮像画像を示す）である。
以下、これらの図を参照して本発明のハンドラーおよび検査装置の第５実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
【０１２６】
本実施形態は、残留検出で用いられる画像から生成した検査用ソケットに関する情報が異なること以外は前記第１実施形態と同様である。
基準画像２０Ａから生成した検査用ソケット６に関する第１の情報として、検査用個別ソケット６１ａ〜６１ｄのそれぞれに相当する部分の円形部２０４（貫通孔６１３）の総面積を用いる。
【０１２７】
また、撮像画像２０Ｂから生成した検査用ソケット６に関する第２の情報として、検査用個別ソケット６１ａ〜６１ｄのそれぞれに相当する部分の円形部２０４（貫通孔６１３）の総面積（面積の情報）を用いる。
そして、基準画像２０Ａから生成した第１の情報と撮像画像２０Ｂから生成した第２の情報との間で、円形部２０４の総面積同士を比較し、その比較結果に基づいて、残留の有無を判断する。
【０１２８】
図２０（ａ）中での検査用個別ソケット６１ａの円形部２０４の総面積は、円形部２０４、１つ当たりの面積ｓａの１６個分の総和であり、図２０（ｂ）中での検査用個別ソケット６１ａの円形部２０４の総面積も、円形部２０４、１つ当たりの面積ｓａの１６個分の総和である。比較部１０４により、これら総面積同士の差を取る。この差は、ほぼ零であり、すなわち、閾値以下であり、よって、判断部１０５では、検査用個別ソケット６１ａにはＩＣデバイス１００が残留していないと判断される。
【０１２９】
また、図２０（ａ）中での検査用個別ソケット６１ｂの円形部２０４の総面積は、円形部２０４、１つ当たりの面積ｓｂの１６個分の総和であり、図２０（ｂ）中での検査用個別ソケット６１ｂの円形部２０４の総面積も、円形部２０４、１つ当たりの面積ｓｂの１６個分の総和である。比較部１０４により、これら総面積同士の差を取る。この差は、ほぼ零であり、すなわち、閾値以下であり、よって、判断部１０５では、検査用個別ソケット６１ｂにもＩＣデバイス１００が残留していないと判断される。
【０１３０】
また、図２０（ａ）中での検査用個別ソケット６１ｃの円形部２０４の総面積は、円形部２０４、１つ当たりの面積ｓｃの１６個分の総和であり、図２０（ｂ）中での検査用個別ソケット６１ｃの円形部２０４の総面積は、零である。後者の総面積は、前者の総面積よりも減少している。そして、比較部１０４により、これら総面積同士の差を取ると、その差は、閾値を超える。よって、判断部１０５では、検査用個別ソケット６１ｃにはＩＣデバイス１００が残留していると判断される。
【０１３１】
また、図２０（ａ）中での検査用個別ソケット６１ｄの円形部２０４の総面積は、円形部２０４、１つ当たりの面積ｓｄの１６個分の総和であり、図２０（ｂ）中での検査用個別ソケット６１ｄの円形部２０４の総面積は、円形部２０４、１つ当たりの面積ｓｄの１０個分の総和である。後者の総面積は、前者の総面積よりも減少している。そして、比較部１０４により、これら総面積同士の差を取ると、その差は、閾値を超える。よって、判断部１０５では、検査用個別ソケット６１ｄにはＩＣデバイス１００が残留していると判断される。
【０１３２】
そして、検査用ソケット６では、ＩＣデバイス１００の残留が１つでも有ると判断されることとなる。
このように、本実施形態でも、残留検出を行なうに際し、基準画像２０Ａ中の円形部２０４の総面積と、撮像画像２０Ｂ中の円形部２０４の総面積とを比較するという、できる限り少ない情報量での比較で、その残留検出を迅速かつ確実に行うことができる。
【０１３３】
＜第６実施形態＞
図２１は、本発明の検査装置（第６実施形態）のソケットの画像中の領域を等価な楕円に置き換えた等価楕円（（ａ）、（ｃ）、（ｅ）、（ｇ）は基準画像の等価楕円を示し、（ｂ）、（ｄ）、（ｆ）、（ｈ）はそれぞれ図１５（ｃ）の状態を撮像した撮像画像の等価楕円を示す）である。
【０１３４】
以下、これらの図を参照して本発明のハンドラーおよび検査装置の第６実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
本実施形態は、残留検出で用いられる画像から生成した検査用ソケットに関する情報が異なること以外は前記第１実施形態と同様である。
【０１３５】
基準画像２０Ａから生成した検査用ソケット６に関する第１の情報として、濃色領域２０１Ａおよび淡色領域２０２Ａのうちの一方の領域（本実施形態では濃色領域２０１Ａ）を等価な楕円（以下「等価楕円（村上延夫著、「ＨＡＬＣＯＮ活用法」、株式会社リンクス出版事業部、２００４年１０月１日発行、ｐ．７４参照）」と言う）に置き換え、当該等価楕円の長軸の長さ（長さの情報）を用いる。
【０１３６】
なお、図２１（ａ）は、基準画像２０Ａにおける検査用個別ソケット６１ａに相当する部分の濃色領域２０１Ａを等価な楕円に置き換えたもの（等価楕円Ｅａ）を示す。図２１（ｃ）は、基準画像２０Ａにおける検査用個別ソケット６１ｂに相当する部分の濃色領域２０１Ａを等価な楕円に置き換えたもの（等価楕円Ｅｂ）を示す。図２１（ｅ）は、基準画像２０Ａにおける検査用個別ソケット６１ｃに相当する部分の濃色領域２０１Ａを等価な楕円に置き換えたもの（等価楕円Ｅｃ）を示す。図２１（ｇ）は、基準画像２０Ａにおける検査用個別ソケット６１ｄに相当する部分の濃色領域２０１Ａを等価な楕円に置き換えたもの（等価楕円Ｅｄ）を示す。
【０１３７】
また、撮像画像２０Ｂから生成した検査用ソケット６に関する第２の情報として、濃色領域２０１Ｂおよび淡色領域２０２Ｂのうちの一方の領域（本実施形態では濃色領域２０１Ｂ）を等価な楕円に置き換え、当該等価楕円の長軸の長さを用いる。
なお、図２１（ｂ）は、撮像画像２０Ｂにおける検査用個別ソケット６１ａに相当する部分の濃色領域２０１Ｂを等価な楕円に置き換えたもの（等価楕円Ｅａ’）を示す。図２１（ｄ）は、撮像画像２０Ｂにおける検査用個別ソケット６１ｂに相当する部分の濃色領域２０１Ｂを等価な楕円に置き換えたもの（等価楕円Ｅｂ’）を示す。図２１（ｆ）は、撮像画像２０Ｂにおける検査用個別ソケット６１ｃに相当する部分の濃色領域２０１Ｂを等価な楕円に置き換えたもの（等価楕円Ｅｃ’）を示す。図２１（ｈ）は、撮像画像２０Ｂにおける検査用個別ソケット６１ｄに相当する部分の濃色領域２０１Ｂを等価な楕円に置き換えたもの（等価楕円Ｅｄ’）を示す。
【０１３８】
そして、基準画像２０Ａと撮像画像２０Ｂとの間で、等価楕円の長軸の長さ同士を比較し、その比較結果に基づいて、残留の有無を判断する。
例えば、図２１（ａ）、（ｂ）に示すように、等価楕円Ｅａの長軸の長さｒａと、等価楕円Ｅａ’の長軸の長さｒａとは、ほぼ同じとなる。比較部１０４により、これら長軸の長さ同士の差を取ると、その差は、ほぼ零である、すなわち、閾値以下である。よって、判断部１０５では、検査用個別ソケット６１ａにはＩＣデバイス１００が残留していないと判断される。
【０１３９】
また、図２１（ｃ）、（ｄ）に示すように、等価楕円Ｅｂの長軸の長さｒｂと、等価楕円Ｅｂ’の長軸の長さｒｂとは、ほぼ同じとなる。比較部１０４により、これら長軸の長さ同士の差を取ると、その差は、ほぼ零である、すなわち、閾値以下である。よって、判断部１０５では、検査用個別ソケット６１ｂにはＩＣデバイス１００が残留していないと判断される。
【０１４０】
また、図２１（ｅ）、（ｆ）に示すように、等価楕円Ｅｃの長軸の長さｒｃと、等価楕円Ｅｃ’の長軸の長さｒｃとは、異なり、後者の方が前者よりも長くなる。そして、比較部１０４により、これら長軸の長さ同士の差を取ると、その差は、閾値を超える。よって、判断部１０５では、検査用個別ソケット６１ｃにはＩＣデバイス１００が残留していると判断される。
【０１４１】
また、図２１（ｇ）、（ｈ）に示すように、等価楕円Ｅｄの長軸の長さｒｄと、等価楕円Ｅｄ’の長軸の長さｒｄとは、異なり、後者の方が前者よりも長くなる。そして、比較部１０４により、これら長軸の長さ同士の差を取ると、その差は、閾値を超える。よって、判断部１０５では、検査用個別ソケット６１ｄにはＩＣデバイス１００が残留していると判断される。
【０１４２】
そして、検査用ソケット６では、ＩＣデバイス１００の残留が１つでも有ると判断されることとなる。
このように、本実施形態でも、残留検出を行なうに際し、等価楕円の長軸の長さ同士を比較するという、できる限り少ない情報量での比較で、その残留検出を迅速かつ確実に行うことができる。
なお、本実施形態では、残留検出を行なう際に、等価楕円の長軸の長さ同士を比較しているが、これに限定されず、例えば、等価楕円の短軸の長さ同士を比較してもよい。
【０１４３】
＜第７実施形態＞
図２２は、本発明の検査装置（第７実施形態）のソケットの画像中の領域を等価な楕円に置き換えた等価楕円（（ａ）、（ｃ）、（ｅ）、（ｇ）は基準画像の等価楕円を示し、（ｂ）、（ｄ）、（ｆ）、（ｈ）はそれぞれ図１５（ｃ）の状態を撮像した撮像画像の等価楕円を示す）である。
【０１４４】
以下、これらの図を参照して本発明のハンドラーおよび検査装置の第７実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
本実施形態は、残留検出で用いられる画像から生成した検査用ソケットに関する情報が異なること以外は前記第１実施形態と同様である。
【０１４５】
基準画像２０Ａから生成した検査用ソケット６に関する第１の情報として、濃色領域２０１Ａおよび淡色領域２０２Ａのうちの一方の領域（本実施形態では濃色領域２０１Ａ）を等価な楕円（以下「等価楕円」と言う）に置き換え、当該等価楕円の周の長さ（長さの情報）を用いる。
なお、図２２（ａ）は、基準画像２０Ａにおける検査用個別ソケット６１ａに相当する部分の濃色領域２０１Ａを等価な楕円に置き換えたもの（等価楕円Ｅａ）を示す。図２２（ｃ）は、基準画像２０Ａにおける検査用個別ソケット６１ｂに相当する部分の濃色領域２０１Ａを等価な楕円に置き換えたもの（等価楕円Ｅｂ）を示す。図２２（ｅ）は、基準画像２０Ａにおける検査用個別ソケット６１ｃに相当する部分の濃色領域２０１Ａを等価な楕円に置き換えたもの（等価楕円Ｅｃ）を示す。図２２（ｇ）は、基準画像２０Ａにおける検査用個別ソケット６１ｄに相当する部分の濃色領域２０１Ａを等価な楕円に置き換えたもの（等価楕円Ｅｄ）を示す。
【０１４６】
また、撮像画像２０Ｂから生成した検査用ソケット６に関する第２の情報として、濃色領域２０１Ｂおよび淡色領域２０２Ｂのうちの一方の領域（本実施形態では濃色領域２０１Ｂ）を等価な楕円に置き換え、当該等価楕円の周の長さを用いる。
なお、図２２（ｂ）は、撮像画像２０Ｂにおける検査用個別ソケット６１ａに相当する部分の濃色領域２０１Ｂを等価な楕円に置き換えたもの（等価楕円Ｅａ’）を示す。図２２（ｄ）は、撮像画像２０Ｂにおける検査用個別ソケット６１ｂに相当する部分の濃色領域２０１Ｂを等価な楕円に置き換えたもの（等価楕円Ｅｂ’）を示す。図２２（ｆ）は、撮像画像２０Ｂにおける検査用個別ソケット６１ｃに相当する部分の濃色領域２０１Ｂを等価な楕円に置き換えたもの（等価楕円Ｅｃ’）を示す。図２２（ｈ）は、撮像画像２０Ｂにおける検査用個別ソケット６１ｄに相当する部分の濃色領域２０１Ｂを等価な楕円に置き換えたもの（等価楕円Ｅｄ’）を示す。
【０１４７】
そして、基準画像２０Ａから生成した第１の情報と撮像画像２０Ｂから生成した第２の情報との間で、等価楕円の周の長さ同士を比較し、その比較結果に基づいて、残留の有無を判断する。
例えば、図２２（ａ）、（ｂ）に示すように、等価楕円Ｅａの周の長さＬａと、等価楕円Ｅａ’の周の長さＬａとは、ほぼ同じとなる。比較部１０４により、これら周の長さ同士の差を取ると、その差は、ほぼ零である、すなわち、閾値以下である。よって、判断部１０５では、検査用個別ソケット６１ａにはＩＣデバイス１００が残留していないと判断される。
【０１４８】
また、図２２（ｃ）、（ｄ）に示すように、等価楕円Ｅｂの周の長さＬｂと、等価楕円Ｅｂ’の周の長さＬｂとは、ほぼ同じとなる。比較部１０４により、これら周の長さ同士の差を取ると、その差は、ほぼ零である、すなわち、閾値以下である。よって、判断部１０５では、検査用個別ソケット６１ｂにはＩＣデバイス１００が残留していないと判断される。
【０１４９】
また、図２２（ｅ）、（ｆ）に示すように、等価楕円Ｅｃの周の長さＬｃと、等価楕円Ｅｃ’の周の長さＬｃとは、異なり、後者の方が前者よりも長くなる。そして、比較部１０４により、これら周の長さ同士の差を取ると、その差は、閾値を超える。よって、判断部１０５では、検査用個別ソケット６１ｃにはＩＣデバイス１００が残留していると判断される。
【０１５０】
また、図２２（ｇ）、（ｈ）に示すように、等価楕円Ｅｄの周の長さＬｄと、等価楕円Ｅｄ’の周の長さＬｄとは、異なり、後者の方が前者よりも長くなる。そして、比較部１０４により、これら周の長さ同士の差を取ると、その差は、閾値を超える。よって、判断部１０５では、検査用個別ソケット６１ｄにはＩＣデバイス１００が残留していると判断される。
【０１５１】
そして、検査用ソケット６では、ＩＣデバイス１００の残留が１つでも有ると判断されることとなる。
このように、本実施形態でも、残留検出を行なうに際し、等価楕円の周の長さ同士を比較するという、できる限り少ない情報量での比較で、その残留検出を迅速かつ確実に行うことができる。
【０１５２】
＜第８実施形態＞
図２３は、本発明の検査装置（第８実施形態）のソケットの画像中の領域を等価な楕円に置き換えた等価楕円（（ａ）、（ｃ）、（ｅ）、（ｇ）は基準画像の等価楕円を示し、（ｂ）、（ｄ）、（ｆ）、（ｈ）はそれぞれ図１５（ｃ）の状態を撮像した撮像画像の等価楕円を示す）である。
【０１５３】
以下、これらの図を参照して本発明のハンドラーおよび検査装置の第８実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
本実施形態は、残留検出で用いられる画像から生成した検査用ソケットに関する情報が異なること以外は前記第１実施形態と同様である。
【０１５４】
基準画像２０Ａから生成した検査用ソケット６に関する第１の情報として、濃色領域２０１Ａおよび淡色領域２０２Ａのうちの一方の領域（本実施形態では濃色領域２０１Ａ）を等価な楕円（以下「等価楕円」と言う）に置き換え、当該等価楕円の長軸と短軸との長さ（長さの情報）の差、または、長軸と短軸との比を用いる。
なお、図２３（ａ）は、基準画像２０Ａにおける検査用個別ソケット６１ａに相当する部分の濃色領域２０１Ａを等価な楕円に置き換えたもの（等価楕円Ｅａ）を示す。図２３（ｃ）は、基準画像２０Ａにおける検査用個別ソケット６１ｂに相当する部分の濃色領域２０１Ａを等価な楕円に置き換えたもの（等価楕円Ｅｂ）を示す。図２３（ｅ）は、基準画像２０Ａにおける検査用個別ソケット６１ｃに相当する部分の濃色領域２０１Ａを等価な楕円に置き換えたもの（等価楕円Ｅｃ）を示す。図２３（ｇ）は、基準画像２０Ａにおける検査用個別ソケット６１ｄに相当する部分の濃色領域２０１Ａを等価な楕円に置き換えたもの（等価楕円Ｅｄ）を示す。
【０１５５】
また、撮像画像２０Ｂから生成した検査用ソケット６に関する第２の情報として、濃色領域２０１Ｂおよび淡色領域２０２Ｂのうちの一方の領域（本実施形態では濃色領域２０１Ｂ）を等価な楕円に置き換え、当該等価楕円の長軸と短軸との長さの差を用いる。
なお、図２３（ｂ）は、撮像画像２０Ｂにおける検査用個別ソケット６１ａに相当する部分の濃色領域２０１Ｂを等価な楕円に置き換えたもの（等価楕円Ｅａ’）を示す。図２３（ｄ）は、撮像画像２０Ｂにおける検査用個別ソケット６１ｂに相当する部分の濃色領域２０１Ｂを等価な楕円に置き換えたもの（等価楕円Ｅｂ’）を示す。図２３（ｆ）は、撮像画像２０Ｂにおける検査用個別ソケット６１ｃに相当する部分の濃色領域２０１Ｂを等価な楕円に置き換えたもの（等価楕円Ｅｃ’）を示す。図２３（ｈ）は、撮像画像２０Ｂにおける検査用個別ソケット６１ｄに相当する部分の濃色領域２０１Ｂを等価な楕円に置き換えたもの（等価楕円Ｅｄ’）を示す。
そして、基準画像２０Ａと撮像画像２０Ｂとの間で、等価楕円の長軸と短軸との長さの差同士を比較し、その比較結果に基づいて、残留の有無を判断する。
【０１５６】
図２３（ａ）に示すように、等価楕円Ｅａの長軸の長さｒａ１と、短軸の長さｒａ２との差は、ほぼ零である。この等価楕円Ｅａでの差は、予め既知となっている。また、図２３（ｂ）に示すように、等価楕円Ｅａ’の長軸の長さｒａ１と、短軸の長さｒａ２との差も、ほぼ零である。この等価楕円Ｅａ’での差は、比較部１０４で求められる。そして、この等価楕円Ｅａ’での差は、等価楕円Ｅａでの差と同じであるため、判断部１０５では、検査用個別ソケット６１ａにはＩＣデバイス１００が残留していないと判断される。
【０１５７】
また、図２３（ｃ）に示すように、等価楕円Ｅｂの長軸の長さｒｂ１と、短軸の長さｒｂ２との差も、ほぼ零である。図２３（ｄ）に示すように、等価楕円Ｅｂ’の長軸の長さｒｂ１と、短軸の長さｒｂ２との差も、ほぼ零である。そして、この等価楕円Ｅｂ’での差は、等価楕円Ｅｂでの差と同じであるため、判断部１０５では、検査用個別ソケット６１ｂにはＩＣデバイス１００が残留していないと判断される。
【０１５８】
また、図２３（ｅ）に示すように、等価楕円Ｅｃの長軸の長さｒｃ１と、短軸の長さｒｃ２との差も、ほぼ零である。図２３（ｆ）に示すように、等価楕円Ｅｃ’の長軸の長さｒｃ１と、短軸の長さｒｃ２との間には、差が生じている。そして、この等価楕円Ｅｃ’での差は、等価楕円Ｅｃでの差を超えることとなり、判断部１０５では、検査用個別ソケット６１ｃにはＩＣデバイス１００が残留していると判断される。
【０１５９】
また、図２３（ｇ）に示すように、等価楕円Ｅｄの長軸の長さｒｄ１と、短軸の長さｒｄ２との差も、ほぼ零である。図２３（ｈ）に示すように、等価楕円Ｅｄ’の長軸の長さｒｄ１と、短軸の長さｒｄ２との間には、差が生じている。そして、この等価楕円Ｅｄ’での差は、等価楕円Ｅｄでの差を超えることとなり、判断部１０５では、検査用個別ソケット６１ｄにはＩＣデバイス１００が残留していると判断される。
【０１６０】
そして、検査用ソケット６では、ＩＣデバイス１００の残留が１つでも有ると判断されることとなる。
このように、本実施形態でも、残留検出を行なうに際し、等価楕円の長軸と短軸との長さの差同士を比較するという、できる限り少ない情報量での比較で、その残留検出を迅速かつ確実に行うことができる。
本実施形態では、等価楕円の長軸と短軸との長さの差同士を比較することにより、搬送対象物の残留検出を行なったが、等価楕円の長軸と短軸との長さの比同士を比較すること搬送対象物の残留検出を行なってもよい。
【０１６１】
＜第９実施形態＞
図２４は、本発明の検査装置（第９実施形態）のソケットの画像中の領域を等価な楕円に置き換えた等価楕円（（ａ）、（ｃ）、（ｅ）、（ｇ）は基準画像の等価楕円を示し、（ｂ）、（ｄ）、（ｆ）、（ｈ）はそれぞれ図１５（ｃ）の状態を撮像した撮像画像の等価楕円を示す）である。
【０１６２】
以下、これらの図を参照して本発明のハンドラーおよび検査装置の第９実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
本実施形態は、残留検出で用いられる画像から生成した検査用ソケットに関する情報が異なること以外は前記第１実施形態と同様である。
【０１６３】
基準画像２０Ａから生成した検査用ソケット６に関する第１の情報として、濃色領域２０１Ａおよび淡色領域２０２Ａのうちの一方の領域（本実施形態では濃色領域２０１Ａ）を等価な楕円（以下「等価楕円」と言う）に置き換え、当該等価楕円の長軸と短軸との交点である中心（中心の情報）を用いる。
なお、図２４（ａ）は、基準画像２０Ａにおける検査用個別ソケット６１ａに相当する部分の濃色領域２０１Ａを等価な楕円に置き換えたもの（等価楕円Ｅａ）を示す。図２４（ｃ）は、基準画像２０Ａにおける検査用個別ソケット６１ｂに相当する部分の濃色領域２０１Ａを等価な楕円に置き換えたもの（等価楕円Ｅｂ）を示す。図２４（ｅ）は、基準画像２０Ａにおける検査用個別ソケット６１ｃに相当する部分の濃色領域２０１Ａを等価な楕円に置き換えたもの（等価楕円Ｅｃ）を示す。図２４（ｇ）は、基準画像２０Ａにおける検査用個別ソケット６１ｄに相当する部分の濃色領域２０１Ａを等価な楕円に置き換えたもの（等価楕円Ｅｄ）を示す。
また、撮像画像２０Ｂから生成した検査用ソケット６に関する第２の情報として、濃色領域２０１Ｂおよび淡色領域２０２Ｂのうちの一方の領域（本実施形態では濃色領域２０１Ｂ）を等価な楕円に置き換え、当該等価楕円の長軸と短軸との交点である中心を用いる。
【０１６４】
なお、図２４（ｂ）は、撮像画像２０Ｂにおける検査用個別ソケット６１ａに相当する部分の濃色領域２０１Ｂを等価な楕円に置き換えたもの（等価楕円Ｅａ’）を示す。図２４（ｄ）は、撮像画像２０Ｂにおける検査用個別ソケット６１ｂに相当する部分の濃色領域２０１Ｂを等価な楕円に置き換えたもの（等価楕円Ｅｂ’）を示す。図２４（ｆ）は、撮像画像２０Ｂにおける検査用個別ソケット６１ｃに相当する部分の濃色領域２０１Ｂを等価な楕円に置き換えたもの（等価楕円Ｅｃ’）を示す。図２４（ｈ）は、撮像画像２０Ｂにおける検査用個別ソケット６１ｄに相当する部分の濃色領域２０１Ｂを等価な楕円に置き換えたもの（等価楕円Ｅｄ’）を示す。
そして、基準画像２０Ａと撮像画像２０Ｂとの間で、等価楕円の中心同士を比較し、その比較結果に基づいて、残留の有無を判断する。
【０１６５】
図２４（ａ）、（ｂ）に示すように、等価楕円Ｅａの中心Ｏａと、等価楕円Ｅａ’の中心Ｏａとは、同じ座標点に位置している。比較部１０４により、等価楕円Ｅａ’の中心Ｏａが等価楕円Ｅａの中心Ｏａに対してどの程度の位置ズレがあるのか、すなわち、これら中心同士のズレ量を取ると、そのズレ量は、ほぼ零である（閾値以下）である。よって、判断部１０５では、検査用個別ソケット６１ａにはＩＣデバイス１００が残留していないと判断される。
また、図２４（ｃ）、（ｄ）に示すように、等価楕円Ｅｂの中心Ｏｂと、等価楕円Ｅｂ’の中心Ｏｂとは、同じ座標点に位置している。比較部１０４により、これら中心同士のズレ量を取ると、そのズレ量は、ほぼ零である。よって、判断部１０５では、検査用個別ソケット６１ｂにはＩＣデバイス１００が残留していないと判断される。
【０１６６】
また、図２４（ｅ）、（ｆ）に示すように、等価楕円Ｅｃの中心Ｏｃと、等価楕円Ｅｃ’の中心Ｏｃとは、同じ座標点に位置している。比較部１０４により、これら中心同士のズレ量を取ると、そのズレ量は、ほぼ零である。よって、判断部１０５では、検査用個別ソケット６１ｃにはＩＣデバイス１００が残留していないと判断されてしまう。しかしながら、各実施形態における「画像から生成したソケットに関する情報」を適宜組み合わせることにより、検査用個別ソケット６１ｃにはＩＣデバイス１００が残留していると判断することができる。
【０１６７】
また、図２４（ｇ）、（ｈ）に示すように、等価楕円Ｅｄの中心Ｏｄと、等価楕円Ｅｄ’の中心Ｏｄとは、異なる座標点に位置している。比較部１０４により、これら中心同士のズレ量を取ると、そのズレ量は、閾値を超えることとなる。よって、判断部１０５では、検査用個別ソケット６１ｄにはＩＣデバイス１００が残留している判断される。
そして、検査用ソケット６では、ＩＣデバイス１００の残留が１つでも有ると判断されることとなる。
このように、本実施形態でも、残留検出を行なうに際し、等価楕円の中心同士を比較するという、できる限り少ない情報量での比較で、その残留検出を迅速かつ確実に行うことができる。
【０１６８】
＜第１０実施形態＞
図２５は、本発明の検査装置（第１０実施形態）のソケットの画像（（ａ）は基準画像を示し、（ｂ）は図１５（ｃ）の状態を撮像した撮像画像を示す）である。
以下、これらの図を参照して本発明のハンドラーおよび検査装置の第１０実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
【０１６９】
本実施形態は、残留検出で用いられる画像から生成した検査用ソケットに関する情報が異なること以外は前記第９実施形態と同様である。
基準画像２０Ａから生成した検査用ソケット６に関する第１の情報として、等価楕円の中心と、当該等価楕円に対応する濃色領域２０１Ａのなかで前記中心から最も離間した位置にある点との最大距離を用いる。
【０１７０】
また、撮像画像２０Ｂから生成した検査用ソケット６に関する第２の情報として、等価楕円の中心と、当該等価楕円に対応する濃色領域２０１Ｂのなかで前記中心から最も離間した位置にある点との最大距離（最大距離の情報）を用いる。
そして、基準画像２０Ａと撮像画像２０Ｂとの間で、前記最大距離同士を比較し、その比較結果に基づいて、残留の有無を判断する。
【０１７１】
図２５（ａ）中での検査用個別ソケット６１ａの最大距離Ｌmaxａと、図２５（ｂ）中での検査用個別ソケット６１ａの最大距離Ｌmaxａとは、同じであり、比較部１０４により、それらの差を取ると、その差は、ほぼ零でとなる、すなわち、閾値以下となる。よって、判断部１０５では、検査用個別ソケット６１ａにはＩＣデバイス１００が残留していないと判断される。
【０１７２】
また、図２５（ａ）中での検査用個別ソケット６１ｂの最大距離Ｌmaxｂと、図２５（ｂ）中での検査用個別ソケット６１ｂの最大距離Ｌmaxｂとは、同じであり、比較部１０４により、それらの差を取ると、その差は、ほぼ零でとなる、すなわち、閾値以下となる。よって、判断部１０５では、検査用個別ソケット６１ｂにはＩＣデバイス１００が残留していないと判断される。
【０１７３】
また、図２５（ａ）中での検査用個別ソケット６１ｃの最大距離Ｌmaxｃと、図２５（ｂ）中での検査用個別ソケット６１ｃの最大距離Ｌmaxｃとは、同じであり、比較部１０４により、それらの差を取ると、その差は、ほぼ零でとなる、すなわち、閾値以下となる。よって、判断部１０５では、検査用個別ソケット６１ｂにはＩＣデバイス１００が残留していないと判断されてしまう。しかしながら、各実施形態における「画像から生成したソケットに関する情報」を適宜組み合わせることにより、検査用個別ソケット６１ｃにはＩＣデバイス１００が残留していると判断することができる。
【０１７４】
また、図２５（ａ）中での検査用個別ソケット６１ｄの最大距離Ｌmaxｄと、図２５（ｂ）中での検査用個別ソケット６１ｄの最大距離Ｌmaxｃとは、異なり、後者の方が前者のよりも増大している。そして、比較部１０４により、それらの差を取ると、その差は、閾値を超えることとなる。よって、判断部１０５では、検査用個別ソケット６１ｄにはＩＣデバイス１００が残留していると判断される。
【０１７５】
そして、検査用ソケット６では、ＩＣデバイス１００の残留が１つでも有ると判断されることとなる。
このように、本実施形態でも、残留検出を行なうに際し、最大距離同士を比較するという、できる限り少ない情報量での比較で、その残留検出を迅速かつ確実に行うことができる。
【０１７６】
＜第１１実施形態＞
図２６は、本発明の検査装置（第１１実施形態）のソケットの画像をそれぞれフーリエ変換して得られたグラフ（（ａ）、（ｃ）、（ｅ）、（ｇ）は基準画像のグラフを示し、（ｂ）、（ｄ）、（ｆ）、（ｈ）はそれぞれ図１５（ｃ）の状態を撮像した撮像画像のグラフを示す）である。
【０１７７】
以下、これらの図を参照して本発明のハンドラーおよび検査装置の第１１実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
本実施形態は、残留検出で用いられる画像から生成した検査用ソケットに関する情報が異なること以外は前記第１実施形態と同様である。
【０１７８】
基準画像２０Ａから生成した検査用ソケット６に関する情報として、濃色領域２０１Ａおよび淡色領域２０２Ａのうちの一方の領域（本実施形態では濃色領域２０１Ａ）をフーリエ変換して得られたグラフを用いる。
なお、図２６（ａ）は、基準画像２０Ａにおける検査用個別ソケット６１ａに相当する部分の濃色領域２０１Ａをフーリエ変換して得られたグラフＧａを示す。図２６（ｃ）は、基準画像２０Ａにおける検査用個別ソケット６１ｂに相当する部分の濃色領域２０１Ａをフーリエ変換して得られたグラフＧｂを示す。図２６（ｅ）は、基準画像２０Ａにおける検査用個別ソケット６１ｃに相当する部分の濃色領域２０１Ａをフーリエ変換して得られたグラフＧｃを示す。図２６（ｇ）は、基準画像２０Ａにおける検査用個別ソケット６１ｄに相当する部分の濃色領域２０１Ａをフーリエ変換して得られたグラフＧｄを示す。
【０１７９】
また、撮像画像２０Ｂから生成した検査用ソケット６に関する第１の情報として、濃色領域２０１Ｂおよび淡色領域２０２Ｂのうちの一方の領域（本実施形態では濃色領域２０１Ｂ）をフーリエ変換して得られたグラフを用いる。
なお、図２６（ｂ）は、撮像画像２０Ｂにおける検査用個別ソケット６１ａに相当する部分の濃色領域２０１Ｂをフーリエ変換して得られたグラフＧａ’を示す。図２６（ｄ）は、撮像画像２０Ｂにおける検査用個別ソケット６１ｂに相当する部分の濃色領域２０１Ｂをフーリエ変換して得られたグラフＧｂ’を示す。図２６（ｆ）は、撮像画像２０Ｂにおける検査用個別ソケット６１ｃに相当する部分の濃色領域２０１Ｂをフーリエ変換して得られたグラフＧｃ’を示す。図２６（ｈ）は、撮像画像２０Ｂにおける検査用個別ソケット６１ｄに相当する部分の濃色領域２０１Ｂをフーリエ変換して得られたグラフＧｄ’を示す。
そして、基準画像２０Ａから生成した第１の情報（グラフ）と撮像画像２０Ｂから生成した第２の情報（グラフ）との間で、グラフ同士を比較し、その比較結果に基づいて、残留の有無を判断する。
【０１８０】
図２６（ａ）、（ｂ）に示すように、グラフＧａと、グラフＧａ’とは、同じグラフとなっている。比較部１０４により、グラフＧａ’の山部（ピーク）の個数がグラフＧａの山部（ピーク）の個数に対してどの程度のズレがあるのか、すなわち、これらグラフ同士の山部のズレ量を取ると、そのズレ量は、零である（閾値以下）である。よって、判断部１０５では、検査用個別ソケット６１ａにはＩＣデバイス１００が残留していないと判断される。
【０１８１】
また、図２６（ｃ）、（ｄ）に示すように、グラフＧｂと、グラフＧｂ’とは、同じグラフとなっている。比較部１０４により、これらグラフ同士の山部のズレ量を取ると、そのズレ量は、零である（閾値以下）である。よって、判断部１０５では、検査用個別ソケット６１ｂにはＩＣデバイス１００が残留していないと判断される。
また、図２６（ｅ）、（ｆ）に示すように、グラフＧｃと、グラフＧｃ’とは、山部の個数が異なり、後者の方が前者よりも個数が減少している。そして、比較部１０４により、これらグラフ同士の山部のズレ量を取ると、そのズレ量は、閾値（例えば「１」）を超えることとなる。よって、判断部１０５では、検査用個別ソケット６１ｃにはＩＣデバイス１００が残留している判断される。
【０１８２】
また、図２６（ｇ）、（ｈ）に示すように、グラフＧｄと、グラフＧｄ’とは、山部の個数が異なり、後者の方が前者よりも個数が減少している。そして、比較部１０４により、これらグラフ同士の山部のズレ量を取ると、そのズレ量は、閾値を超えることとなる。よって、判断部１０５では、検査用個別ソケット６１ｄにはＩＣデバイス１００が残留している判断される。
【０１８３】
そして、検査用ソケット６では、ＩＣデバイス１００の残留が１つでも有ると判断されることとなる。
このように、本実施形態でも、残留検出を行なうに際し、グラフ同士を比較するという、できる限り少ない情報量での比較で、その残留検出を迅速かつ確実に行うことができる。
【０１８４】
＜第１２実施形態＞
図２７は、本発明の検査装置（第１２実施形態）のソケットの画像の平均明度を示す図（（ａ）、（ｃ）、（ｅ）、（ｇ）は基準画像の平均明度を示し、（ｂ）、（ｄ）、（ｆ）、（ｈ）はそれぞれは図１５（ｃ）の状態を撮像した撮像画像の平均明度を示す）である。
【０１８５】
以下、これらの図を参照して本発明のハンドラーおよび検査装置の第１２実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
本実施形態は、残留検出で用いられる画像から生成した検査用ソケットに関する情報が異なること以外は前記第１実施形態と同様である。
基準画像２０Ａから生成した検査用ソケット６に関する第１の情報として、当該検査用ソケット６の各検査用個別ソケット６１に相当する部分の平均明度を用いる。なお、この情報として、基準画像２０Ａ全体の平均明度（平均明度の情報）を用いてもよい。
【０１８６】
図２７（ａ）は、基準画像２０Ａにおける検査用個別ソケット６１ａに相当する部分の平均明度Ｂａを示す。図２７（ｃ）は、基準画像２０Ａにおける検査用個別ソケット６１ｂに相当する部分の平均明度Ｂｂを示す。図２７（ｅ）は、基準画像２０Ａにおける検査用個別ソケット６１ｃに相当する部分の平均明度Ｂｃを示す。図２７（ｇ）は、基準画像２０Ａにおける検査用個別ソケット６１ｄに相当する部分の平均明度Ｂｄを示す。
【０１８７】
また、撮像画像２０Ｂから生成した検査用ソケット６に関する第２の情報として、当該検査用ソケット６の各検査用個別ソケット６１に相当する部分の平均明度を用いる。なお、この情報として、撮像画像２０Ｂ全体の平均明度を用いてもよい。
なお、図２７（ｂ）は、撮像画像２０Ｂにおける検査用個別ソケット６１ａに相当する部分の平均明度Ｂａ’を示す。図２７（ｄ）は、撮像画像２０Ｂにおける検査用個別ソケット６１ｂに相当する部分の平均明度Ｂｂ’を示す。図２７（ｆ）は、撮像画像２０Ｂにおける検査用個別ソケット６１ｃに相当する部分の平均明度Ｂｃ’を示す。図２７（ｈ）は、撮像画像２０Ｂにおける検査用個別ソケット６１ｄに相当する部分の平均明度Ｂｄ’を示す。
そして、基準画像２０Ａから生成した第１の情報と撮像画像２０Ｂから生成した第２の情報との間で、平均明度同士を比較し、その比較結果に基づいて、残留の有無を判断する。
【０１８８】
図２７（ａ）、（ｂ）に示すように、平均明度Ｂａと、平均明度Ｂａ’とは、ほぼ同じ明度となっている。比較部１０４により、平均明度Ｂａと平均明度Ｂａ’との差を取ると、その差は、ほぼ零である（閾値以下）である。よって、判断部１０５では、検査用個別ソケット６１ａにはＩＣデバイス１００が残留していないと判断される。
また、図２７（ｃ）、（ｄ）に示すように、平均明度Ｂｂと、平均明度Ｂｂ’とは、ほぼ同じ明度となっている。比較部１０４により、平均明度Ｂｂと平均明度Ｂｂ’との差を取ると、その差は、ほぼ零である（閾値以下）である。よって、判断部１０５では、検査用個別ソケット６１ｂにはＩＣデバイス１００が残留していないと判断される。
【０１８９】
また、図２７（ｅ）、（ｆ）に示すように、平均明度Ｂｃと、平均明度Ｂｃ’とは、異なっており、後者の方が前者よりも暗い。そして、比較部１０４により、平均明度Ｂｂと平均明度Ｂｂ’との差を取ると、その差は、閾値を超えることとなる。よって、判断部１０５では、検査用個別ソケット６１ｃにはＩＣデバイス１００が残留している判断される。
【０１９０】
また、図２７（ｇ）、（ｈ）に示すように、平均明度Ｂｄと、平均明度Ｂｄ’とは、異なっており、後者の方が前者よりも暗い。そして、比較部１０４により、平均明度Ｂｄと平均明度Ｂｄ’との差を取ると、その差は、閾値を超えることとなる。よって、判断部１０５では、検査用個別ソケット６１ｄにはＩＣデバイス１００が残留している判断される。
【０１９１】
そして、検査用ソケット６では、ＩＣデバイス１００の残留が１つでも有ると判断されることとなる。
このように、本実施形態でも、残留検出を行なうに際し、平均明度同士を比較するという、できる限り少ない情報量での比較で、その残留検出を迅速かつ確実に行うことができる。
【０１９２】
＜第１３実施形態＞
図２８は、本発明の検査装置（第１３実施形態）のソケットの画像の濃度分散を示すヒストグラム（（ａ）、（ｃ）、（ｅ）、（ｇ）は基準画像のヒストグラムを示し、（ｂ）、（ｄ）、（ｆ）、（ｈ）はそれぞれ図１５（ｃ）の状態を撮像した撮像画像のヒストグラムを示す）である。
【０１９３】
以下、これらの図を参照して本発明のハンドラーおよび検査装置の第１３実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
本実施形態は、残留検出で用いられる画像から生成した検査用ソケットに関する情報が異なること以外は前記第１実施形態と同様である。
基準画像２０Ａから生成した検査用ソケット６に関する第１の情報として、当該検査用ソケット６の各検査用個別ソケット６１に相当する部分の濃度分散を示すヒストグラムを用いる。なお、この情報として、基準画像２０Ａ全体の濃度分散を示すヒストグラムを用いてもよい。
【０１９４】
なお、図２８（ａ）は、基準画像２０Ａにおける検査用個別ソケット６１ａに相当する部分の濃度分散を示すヒストグラムＨａを示す。図２８（ｃ）は、基準画像２０Ａにおける検査用個別ソケット６１ｂに相当する部分の濃度分散を示すヒストグラムＨｂを示す。図２８（ｅ）は、基準画像２０Ａにおける検査用個別ソケット６１ｃに相当する部分の濃度分散を示すヒストグラムＨｃを示す。図２８（ｇ）は、基準画像２０Ａにおける検査用個別ソケット６１ｄに相当する部分の濃度分散を示すヒストグラムＨｄを示す。
また、撮像画像２０Ｂから生成した検査用ソケット６に関する第２の情報として、当該検査用ソケット６の各検査用個別ソケット６１に相当する部分の濃度分散を示すヒストグラムを用いる。なお、この情報として、撮像画像２０Ｂ全体の濃度分散を示すヒストグラムを用いてもよい。
【０１９５】
図２８（ｂ）は、撮像画像２０Ｂにおける検査用個別ソケット６１ａに相当する部分の濃度分散を示すヒストグラムＨａ’を示す。図２８（ｄ）は、撮像画像２０Ｂにおける検査用個別ソケット６１ｂに相当する部分の濃度分散を示すヒストグラムＨｂ’を示す。図２８（ｆ）は、撮像画像２０Ｂにおける検査用個別ソケット６１ｃに相当する部分の濃度分散を示すヒストグラムＨｃ’を示す。図２８（ｈ）は、撮像画像２０Ｂにおける検査用個別ソケット６１ｄに相当する部分の濃度分散を示すヒストグラムＨｄ’を示す。
そして、基準画像２０Ａと撮像画像２０Ｂとの間で、ヒストグラム同士を比較し、その比較結果に基づいて、残留の有無を判断する。
【０１９６】
図２８（ａ）、（ｂ）に示すように、ヒストグラムＨａと、ヒストグラムＨａ’とは、同じヒストグラムとなっている。比較部１０４により、ヒストグラムＨａ’の山部（ピーク）の個数がグラフＧａの山部（ピーク）の個数に対してどの程度のズレがあるのか、すなわち、これらヒストグラム同士の山部のズレ量を取ると、そのズレ量は、零である（閾値以下）である。よって、判断部１０５では、検査用個別ソケット６１ａにはＩＣデバイス１００が残留していないと判断される。
【０１９７】
また、図２８（ｃ）、（ｄ）に示すように、ヒストグラムＨｂと、ヒストグラムＨｂ’とは、同じヒストグラムとなっている。比較部１０４により、これらヒストグラム同士の山部のズレ量を取ると、そのズレ量は、零である（閾値以下）である。よって、判断部１０５では、検査用個別ソケット６１ｂにはＩＣデバイス１００が残留していないと判断される。
【０１９８】
また、図２８（ｅ）、（ｆ）に示すように、ヒストグラムＨｃと、ヒストグラムＨｃ’とは、山部の個数が異なり、後者の方が前者よりも個数が減少している。そして、比較部１０４により、これらヒストグラム同士の山部のズレ量を取ると、そのズレ量は、閾値（例えば「１」）を超えることとなる。よって、判断部１０５では、検査用個別ソケット６１ｃにはＩＣデバイス１００が残留している判断される。
【０１９９】
また、図２８（ｇ）、（ｈ）に示すように、ヒストグラムＨｄと、ヒストグラムＨｄ’とは、山部の個数が異なり、後者の方が前者よりも個数が減少している。そして、比較部１０４により、これらヒストグラム同士の山部のズレ量を取ると、そのズレ量は、閾値を超えることとなる。よって、判断部１０５では、検査用個別ソケット６１ｄにはＩＣデバイス１００が残留している判断される。
【０２００】
そして、検査用ソケット６では、ＩＣデバイス１００の残留が１つでも有ると判断されることとなる。
このように、本実施形態でも、残留検出を行なうに際し、グラフ同士を比較するという、できる限り少ない情報量での比較で、その残留検出を迅速かつ確実に行うことができる。
【０２０１】
＜第１４実施形態＞
図２９は、本発明の検査装置（第１４実施形態）のソケットの画像である。
以下、これらの図を参照して本発明のハンドラーおよび検査装置の第１４実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
【０２０２】
本実施形態は、撮像画像に対する処理が異なること以外は前記第１実施形態と同様である。
図２９に示すように、撮像画像２０Ｂは、検査用個別ソケット６１ａ〜６１ｄに相当する部分の画像同士を結合したものである。これにより、ソケットに関する情報を一括して抽出することができる。
【０２０３】
以上、本発明のンドラー、検査装置、ハンドラー用カメラおよびハンドラーカメラ用制御装置を図示の実施形態について説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、ハンドラーおよび検査装置を構成する各部は、同様の機能を発揮し得る任意の構成のものと置換することができる。また、任意の構成物が付加されていてもよい。
また、本発明のンドラー、検査装置、ハンドラー用カメラおよびハンドラーカメラ用制御装置は、前記各実施形態のうちの、任意の２以上の構成（特徴）を組み合わせたものであってもよい。例えば、前記各実施形態における「画像から生成したソケットに関する情報」を適宜組み合わせることもできる。これにより、残留有無判断を安定して正確に行うことができる。
【０２０４】
また、残留検出に用いられる濃淡画像は、モノクロ画像であってもよいし、カラー画像であってもよい。
また、検査用ソケットでの検査用個別ソケットの配置数は、前記各実施形態では４つであったが、これに限定されず、例えば、１つ、２つ、３つまたは５つ以上であってもよい。
また、検査用個別ソケットの底面に形成されている貫通孔の形成数は、前記各実施形態では１６個であったが、これに限定されず、例えば、４個、８個または２４個以上であってもよい。
【０２０５】
また、基準画像は適宜変更可能であり、その都度、記憶部に記憶されていてもよい。また、記憶部は、複数種の基準画像を記憶しており、複数種の基準画像から１つの基準画像が選択されてもよい。
た、記憶部は、複数種の基準画像を記憶しており、複数種の基準画像から１つの基準画像が選択されてもよい。
【符号の説明】
【０２０６】
１……検査装置  １１……台座  ２……供給トレイ  ２１……ポケット  ２３……レール  ３……回収トレイ  ３１……ポケット  ３３……レール  ４……第１シャトル  ４１……ベース部材  ４２、４３……トレイ  ４２１、４３１……ポケット  ４４……レール  ５……第２シャトル  ５１……ベース部材  ５２、５３……トレイ  ５２１、５３１……ポケット  ５４……レール  ６……検査用ソケット  ６１、６１ａ、６１ｂ、６１ｃ、６１ｄ……検査用個別ソケット  ６１１……底面  ６１２……側面（バンク）  ６１３……貫通孔  ７……供給ロボット  ７２……支持フレーム  ７２１……レール  ７３……移動フレーム  ７４……ハンドユニット支持部  ７５……ハンドユニット  ８……回収ロボット  ８２……支持フレーム  ８２１……レール  ８３……移動フレーム  ８４……ハンドユニット支持部  ８５……ハンドユニット  ９……検査用ロボット（搬送部）  ９１１……第１フレーム  ９１１ａ……レール  ９１２……第２フレーム  ９１２ａ、９１２ｂ……レール  ９１３……第１ハンドユニット支持部  ９１４……第２ハンドユニット支持部  ９２……第１ハンドユニット  ９３……第２ハンドユニット  ９４……支持部  ９４１……デバイスマーク  ９５……第１移動部  ９６……第２移動部  ９７……回転部  ９８……保持部  １０……制御装置（制御部）（ハンドラーカメラ用制御装置）  １０１……検査制御部  １０２……駆動制御部  １０３……記憶部（記憶手段）  １０４……比較部（比較手段）  １０５……判断部（判断手段）  １０６……画像処理部  ２０Ａ……基準画像  ２０Ｂ……撮像画像  ２０１Ａ、２０１Ｂ……濃色領域  ２０２Ａ、２０２Ｂ……淡色領域  ２０３……枠状部  ２０４……円形部  ２０５……正方形部  １００……ＩＣデバイス  ７００……ＣＣＤ（charge−coupled device）カメラ（撮像部）  ８００……表示装置  ９００……警報装置  Ｂａ、Ｂａ’、Ｂｂ、Ｂｂ’、Ｂｃ、Ｂｃ’、Ｂｄ、Ｂｄ’……平均明度  Ｅａ、Ｅａ’、Ｅｂ、Ｅｂ’、Ｅｃ、Ｅｃ’、Ｅｄ、Ｅｄ’……等価楕円  Ｇａ、Ｇａ’、Ｇｂ、Ｇｂ’、Ｇｃ、Ｇｃ’、Ｇｄ、Ｇｄ’……グラフ  Ｈａ、Ｈａ’、Ｈｂ、Ｈｂ’、Ｈｃ、Ｈｃ’、Ｈｄ、Ｈｄ’……ヒストグラム  Ｌａ１、Ｌａ２……輪郭長  Ｌａ３……円周  Ｌｂ１、Ｌｂ２……輪郭長  Ｌｂ３……円周  Ｌｃ１、Ｌｃ２……輪郭長  Ｌｃ３……円周  Ｌｃ４、Ｌｄ１、Ｌｄ２、Ｌｄ５、Ｌｄ６……輪郭長  Ｌｄ３……円周  Ｌmaxａ、Ｌmaxｂ、Ｌmaxｃ、Ｌmaxｄ……最大距離  Ｏａ、Ｏｂ、Ｏｃ、Ｏｄ……中心  ｎａ、ｎｂ、ｎｃ、ｎｄ……個数  ｓａ、ｓｂ、ｓｃ、ｓｄ……面積  Ｓ……領域  Ｓ２００〜Ｓ２１０……ステップ
【図１】
2014169911.tif 000003
【図２】
2014169911.tif 000004
【図３】
2014169911.tif 000005
【図４】
2014169911.tif 000006
【図５】
2014169911.tif 000007
【図６】
2014169911.tif 000008
【図７】
2014169911.tif 000009
【図８】
2014169911.tif 000010
【図９】
2014169911.tif 000011
【図１０】
2014169911.tif 000012
【図１１】
2014169911.tif 000013
【図１２】
2014169911.tif 000014
【図１３】
2014169911.tif 000015
【図１４】
2014169911.tif 000016
【図１５】
2014169911.tif 000017
【図１６】
2014169911.tif 000018
【図１７】
2014169911.tif 000019
【図１８】
2014169911.tif 000020
【図１９】
2014169911.tif 000021
【図２０】
2014169911.tif 000022
【図２１】
2014169911.tif 000023
【図２２】
2014169911.tif 000024
【図２３】
2014169911.tif 000025
【図２４】
2014169911.tif 000026
【図２５】
2014169911.tif 000027
【図２６】
2014169911.tif 000028
【図２７】
2014169911.tif 000029
【図２８】
2014169911.tif 000030
【図２９】
2014169911.tif 000031