(57)【要約】【課題】簡単な構成にも拘わらず、大型の基板収納容器の梱包を可能とし、取り扱いおよびハンドリングを容易にできる基板収納容器の梱包方法の提供。【解決手段】開口を有し該開口を通して基板を収納する容器本体１１と、容器本体１０の前記開口を閉鎖する蓋体１２と、容器本体１１の天面に取り付けられ天井搬送装置１４によって把持され得るハンドリング手段１３と、を備える基板収納容器の梱包方法であって、基板収納容器１０を緩衝材２３Ａ、２３Ｂを介して外箱２１に収納する工程と、基板収納容器１０をハンドリング手段１３が上方に向くように外箱２１から取出す工程と、を含む。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
開口を有し該開口を通して基板を収納する容器本体と、前記容器本体の前記開口を閉鎖する蓋体と、前記容器本体の天面に取り付けられ天井搬送装置によって把持され得るハンドリング手段と、を備える基板収納容器の梱包方法であって、
前記基板収納容器を緩衝材を介して外箱に収納する工程と、前記基板収納容器を前記ハンドリング手段が上方に向くように前記外箱から取出す工程と、を含むことを特徴とする基板収納容器の梱包方法。
【請求項２】
前記外箱は、その天面に前記基板収納容器を出し入れする開閉部を備え、前記基板収納容器は、前記ハンドリング手段が前記外箱の前記天面と対向するように前記外箱に収納されることを特徴とする請求項１に記載の基板収納容器の梱包方法。
【請求項３】
前記外箱は、その天面および前記天面と隣接する一側面に前記基板収納容器を出し入れする開閉部を備え、前記基板収納容器は、前記ハンドリング手段が前記一側面と対向する他の側面と対向するように前記外箱に収納されることを特徴とする請求項１に記載の基板収納容器の梱包方法。
【請求項４】
前記外箱は、その天面と隣接する一側面に前記基板収納容器を出し入れする開閉部を備え、前記基板収納容器は、その天面を上方に向くようにしたままで前記外箱の前記開閉部を通して挿入することによって、前記外箱に収納されることを特徴とする請求項１に記載の基板収納容器の梱包方法。
【請求項５】
前記外箱の前記天面および前記一側面の開閉部をそれぞれ開き、基板収納容器を、その天面が上方に向くようにして前記外箱の前記一側面の開閉部上に載置させた後に、９０°回転させることによって前記基板収納容器の蓋体が上方に向くようにすることによって、前記外箱に収納することを特徴とする請求項３に記載の基板収納容器の梱包方法。
【請求項６】
前記基板収納容器は、前記緩衝材を介して引き出し手段に載置され、前記引き出し手段ごと前記外箱に出し入れされることを特徴とする請求項４に記載の基板収納容器の梱包方法。
【請求項７】
請求項３の基板収納容器の梱包方法に用いられる梱包体であって、
前記外箱は、その天面と隣接される一側面が開閉部として構成されていることを特徴とする梱包体。
【請求項８】
請求項２の基板収納容器の梱包方法に用いられる梱包体であって、
前記外箱は、その天面が開閉部として構成され、前記基板収納容器は、その天面を上方に向けて出し入れされることを特徴とする梱包体。
【請求項９】
請求項４の基板収納容器の梱包方法に用いられる梱包体であって、前記基板収納容器を載置させる引き出し手段が備えられていることを特徴とする梱包体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は基板収納容器の梱包方法およびそれに用いられる梱包体に係り、たとえば半導体ウェーハを収納する基板収納容器の梱包方法およびそれに用いられる梱包体に関する。
【背景技術】
【０００２】
たとえば半導体ウェーハを収納する基板収納容器は、半導体製造工場において半導体ウェーハを輸送するために用いられる。
【０００３】
このような基板収納容器は、正面に半導体ウェーハを出し入れする開口が設けられた容器本体と、該開口を閉鎖させる蓋体と、を有し、該容器本体の天面には搬送用のロボティックフランジを備え、該蓋体には容器本体との施錠がなされる施錠機構を備えて構成されている。
【０００４】
また、半導体ウェーハは、基板収納容器内において、水平状態で垂直方向に並設されて収納され、これら半導体ウェーハは、容器本体の内壁面に形成された支持部、および蓋体の裏面に形成されたリテーナによって保持されるようになっている。
【０００５】
そして、このように半導体ウェーハが収納された基板収納容器を工場の外へ搬送するような場合、たとえば下記特許文献１、２に開示されているように、該基板収納容器を梱包袋によって密封させ、緩衝材を介在させるようにして外箱に収納することにより、梱包するようにしている。この場合、梱包および該外箱からの基板収納容器の取り出し等の各作業は、人手で行われていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特許第４９１６８６４号
【特許文献２】特開２０１０−１３２３３１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、近年において、基板収納容器は大型化され、たとえば直径が４５０ｍｍ程度の半導体ウェーハを約２５枚収納できるようになっている。このため、基板収納容器は、その重量が増大し（約２０ｋｇ）、作業員の持ち運びが困難となることが懸念されている。
【０００８】
このように基板収納容器が大型化すると、該基板収納容器の重量も大きくなって作業員の取り扱いが難しくなるので、自動機での取り扱いが容易な梱包方法および梱包体が必要となってくる。
【０００９】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、簡単な構成にも拘わらず、大型の基板収納容器の梱包を可能とし、取り扱いおよびハンドリングを容易にできる基板収納容器の梱包方法およびそれに用いられる梱包体を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
このような目的を達成するために、本発明は、基板収納容器を緩衝材を介して外箱に収納する工程と、該基板収納容器をそのハンドリング手段が上方に向くように該外箱から取出す工程と、を有するように構成したものである。
【００１１】
このように構成した場合、外箱から取り出された基板収納容器は、そのハンドリング手段が上方に向けられて配置されるので、天井搬送装置によって該基板収納容器のハンドリング手段を把持可能な状態とできる。このため、ハンドリングを人手でなく自動機で行うことができ、作業員の負荷を低減できるようになる。
【００１２】
本発明は、以下の構成によって把握される。
（１）本発明の基板収納容器の梱包方法は、開口を有し該開口を通して基板を収納する容器本体と、前記容器本体の前記開口を閉鎖する蓋体と、前記容器本体の天面に取り付けられ天井搬送装置によって把持され得るハンドリング手段と、を備える基板収納容器の梱包方法であって、前記基板収納容器を緩衝材を介して外箱に収納する工程と、前記基板収納容器を前記ハンドリング手段が上方に向くように前記外箱から取出す工程と、を含むことを特徴とする。
（２）本発明の基板収納容器の梱包方法は、（１）の構成において、前記外箱は、その天面に前記基板収納容器を出し入れする開閉部を備え、前記基板収納容器は、前記ハンドリング手段が前記外箱の前記天面と対向するように前記外箱に収納されることを特徴とする。
（３）本発明の基板収納容器の梱包方法は、（１）の構成において、前記外箱は、その天面および前記天面と隣接する一側面に前記基板収納容器を出し入れする開閉部を備え、前記基板収納容器は、前記ハンドリング手段が前記一側面と対向する他の側面と対向するように前記外箱に収納されることを特徴とする。
（４）本発明の基板収納容器の梱包方法は、（１）の構成において、前記外箱は、その天面と隣接する一側面に前記基板収納容器を出し入れする開閉部を備え、前記基板収納容器は、その天面を上方に向くようにしたままで前記外箱の前記開閉部を通して挿入することによって、前記外箱に収納されることを特徴とする。
（５）本発明の基板収納容器の梱包方法は、（３）の構成において、前記外箱の前記天面および前記一側面の開閉部をそれぞれ開き、基板収納容器を、その天面が上方に向くようにして前記外箱の前記一側面の開閉部上に載置させた後に、９０°回転させることによって前記基板収納容器の蓋体が上方に向くようにすることによって、前記外箱に収納することを特徴とする。
（６）本発明の基板収納容器の梱包方法は、（４）の構成において、前記基板収納容器は、前記緩衝材を介して引き出し手段に載置され、前記引き出し手段ごと前記外箱に出し入れされることを特徴とする。
（７）本発明の梱包体は、（３）の構成の基板収納容器の梱包方法に用いられる梱包体であって、前記外箱は、その天面と隣接される一側面が開閉部として構成されていることを特徴とする。
（８）本発明の梱包体は、（２）の構成の基板収納容器の梱包方法に用いられる梱包体であって、前記外箱は、その天面が開閉部として構成され、前記基板収納容器は、その天面を上方に向けて出し入れされることを特徴とする。
（９）本発明の梱包体は、（３）の構成の基板収納容器の梱包方法に用いられる梱包体であって、前記基板収納容器を載置させる引き出し手段が備えられていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
このように構成した基板収納容器の梱包方法およびそれに用いられる梱包体によれば、簡単な構成にも拘わらず、大型の基板収納容器の梱包を可能とし、取り扱いおよびハンドリングを容易にできるようになる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の基板収納容器の梱包方法およびそれに用いられる梱包体の実施形態１を示す構成図であり、基板収納容器が梱包体によって梱包された状態を示した図である。
【図２】本発明の基板収納容器の梱包方法およびそれに用いられる梱包体の実施形態１を示す構成図であり、基板収納容器を外箱から取り出す際の該外箱の開閉部を開いた状態を示した図である。
【図３】本発明の基板収納容器の梱包方法およびそれに用いられる梱包体の実施形態１を示す構成図であり、基板収納容器を外箱から取り出した状態を示した図である。
【図４】半導体ウェーハを収納する基板収納容器の外観を示す斜視図である。
【図５】本発明の基板収納容器の梱包方法およびそれに用いられる梱包体の実施形態２を示す構成図である。
【図６】本発明の基板収納容器の梱包方法およびそれに用いられる梱包体の実施形態３を示す構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、添付図面を参照して、本発明を実施するための形態（以下、実施形態）について詳細に説明する。なお、実施形態の説明の全体を通して同じ要素には同じ番号を付している。
【００１６】
（実施形態１）
本発明の基板収納容器の梱包体の説明に先立って、まず、基板収納容器の概略を説明する。図４は、たとえば半導体ウェーハを収納する基板収納容器１０の外観を示す斜視図である。
図４において、基板収納容器１０は、正面に開口部（図示せず）を有する容器本体１１と、この容器本体１１の該開口部を閉鎖する蓋体１２と、を備えて構成されている。
【００１７】
容器本体１１は、相対する内壁に半導体ウェーハからなる基板（図１において符号１で示す）を一定間隔で水平に支持する一対の支持部（図１において符号２で示す：図１では一方の支持部２が描画されている）を備えている。また、容器本体１１の天面には、ロボティックフランジからなるハンドリング手段１３が取り付けられ、底面には、装置の位置決めをするための位置決め手段（図示せず）が複数設けられている。ハンドリング手段１３は、工場の天井に取り付けられる天井搬送装置（Over Head Transfer）１４によって把持されるようになっている。蓋体１２は、その内部に施錠機構を配置させた構成となっており、該施錠機構により蓋体１２を容器本体１１に対して密封閉鎖できるようになっている。なお、図示していないが、蓋体１２の容器本体１１と向き合う内側の面の中央にはリテーナが取り付けられ、該リテーナは、容器本体１１内に収納された各基板１に接触して該基板１を保持する溝を備えて構成されている。これにより、各基板１は、容器本体１１の内壁に形成された前述の一対の支持部２と該リテーナによって定位置に保持されるようになっている。
【００１８】
図１（ａ）、（ｂ）は、上述した基板収納容器１０が梱包体２０によって梱包された状態を示している。図１（ａ）は梱包体２０を透過させて示した基板収納容器１０の斜視図で、該梱包体２０の一つである外箱２１のみが示され、他の梱包部材である梱包袋（図１（ｂ）にて符号２２で示す）および緩衝材（図１（ｂ）にて符号２３で示す）は図示されていない。図１（ｂ）は、図１（ａ）のｂ−ｂ線における断面図で、図１（ａ）に示していなかった梱包袋２２および緩衝材２３が図示されている。
【００１９】
図１（ａ）、（ｂ）に示すように基板収納容器１０は、図４に示した状態から９０°回転させて蓋体１２が上方に向き、基板収納容器１０内の基板１が垂直方向に配置されるようにしている（図１（ｂ）参照）。これより、基板１を水平状態に収納する場合と比較して、振動による基板のばたつきを少なくし、容器本体１１との擦れや、振動による破損を少なくなるようにしている。
【００２０】
基板収納容器１０は、たとえばアルミラミネートからなる梱包袋２２によって密封され、緩衝材２３を介して外箱２１に収納されている。外箱２１は、たとえばプラスチックダンボール等から構成されている。緩衝材２３は、たとえば発泡材料あるいはプラスチックシートによって構成されている。緩衝材２３は、互いに分離されて構成された第１緩衝材２３Ａおよび第２緩衝材２３Ｂからなり、第１緩衝材２３Ａは、基板収納容器１０の底面部を嵌合するように配置され、第２緩衝材２３Ｂは、基板収納容器１０の天面部を嵌合するように配置されている。第１緩衝材２３Ａ、第２緩衝材２３Ｂは、それぞれ、基板収納容器１０と当接する部分の周囲に該基板収納容器１０の側に突出する突起部２３Ｐを有し、これにより、該基板収納容器１０の図中上下、左右、前後方向への振動を緩衝させることができるようになっている。
【００２１】
図２（ａ）、（ｂ）は、基板収納容器１０を外箱２１から取り出す際の該外箱２１の開閉部を開いた状態を示している。図２（ａ）は図１（ａ）に対応した図、図２（ｂ）は図１（ｂ）に対応した図となっている。
【００２２】
図２（ａ）、（ｂ）に示すように、外箱２１は、その天面および該天面と隣接する一側面に、それぞれ、前記基板収納容器１０を出し入れする開閉部２５Ａ、２５Ｂを備えて構成されている。ここで、天面と隣接する一側面（開閉部２５Ｂが形成される側面）は、収納された基板収納容器１０の底面と対向する面となっている。天面に形成される開閉部２５Ａは、前記一側面に隣接する辺を除く他の三辺のそれぞれを屈曲部として開閉自在に設けられている。この開閉部２５Ａを開くことにより基板収納装置１０の蓋体１２が露出するようになる。前記一側面に形成される開閉部２５Ｂは、前記天面と隣接する辺と対向する辺、すなわち底面における一辺を屈曲部として開閉自在に設けられている。この開閉部２５Ｂを開くことにより基板収納装置１０の底面部に嵌合された第１緩衝材２３Ａが露出されるようになる。
【００２３】
図３（ａ）、（ｂ）は、基板収納容器１０を外箱２１から取り出した状態を示している。図３（ａ）は図２（ａ）に対応した図、図３（ｂ）は図２（ｂ）に対応した図となっている。
【００２４】
図３（ａ）、（ｂ）に示すように、基板収納容器１０を梱包袋２２および第１緩衝材２３Ａ、第２緩衝材２３Ｂごと９０°回転（図中矢印方向）することによって、第１緩衝材２３Ａを外箱２１の開閉部２５Ｂに載置されるようにし、第２緩衝材２３Ｂを上方に向くようにする。この場合の基板収納容器１０の回転は自動機を用いて容易に行うことができるようになる。ここで、基板収納容器１０を回転させる際、第１緩衝材２３Ａの部分が回転軸となるので衝撃を緩和させることができる効果を奏する。これにより、基板収納容器１０は、その天面（ハンドリング手段１３が取り付けられた面）が上方に向いた状態で外箱２１からシフトされた位置に配置されるようになる。
【００２５】
そして、第２緩衝材２３Ｂを基板収納容器１０から外し、梱包袋２２を開封することにより、該基板収納容器１０のハンドリング手段（ロボティックフランジ）１３が露出されるようになる。これにより、工場において、その天井に配置された天井搬送装置（図４にて符号１４で示す）によって基板収納容器１０のハンドリング手段１３を把持可能な状態とできるので、ハンドリングを人手でなく自動機で行うことができ、作業員の負荷を低減できるという効果を奏する。
【００２６】
なお、基板収納容器１０を外箱２１内に収納して梱包を行う場合は、上述した操作と逆の操作を行うようにすればよい。
すなわち、外箱２１は、開閉部２５Ａおよび開閉部２５Ｂが開かれ、該開閉部２５Ｂには第１緩衝材２３Ａが載置される。天井搬送装置（図４にて符号１４で示す）によって搬送された基板収納装置１０は、該第１緩衝材２３Ａに嵌合される。この場合、第１緩衝材２３Ａには梱包袋２２が配置され、基板収納装置１０は、該梱包袋２２の開口から挿入されることによって該第１緩衝材２３Ａに嵌合される。
【００２７】
次に、梱包袋２２を必要に応じて脱気し開口をシールする。引き続き、第２緩衝材２３Ｂを基板収納容器１０の天面を嵌合させるようにして取り付ける。
この状態の基板収納容器１０を第１緩衝材２３Ａおよび第２緩衝材２３Ｂが取り付けられたまま、該基板収納容器１０の蓋体１２が上方に向くように９０°回転させることによって、該基板収納容器１０を外箱２１内に配置させるようにする。これにより、基板収納容器１０のハンドリング手段１３は前記一側面（開閉部２５Ｂが形成される面）と対向する他の側面と対向するように外箱２１に収納されるようになる。その後は、外箱２１の開閉部２５Ｂおよび開閉部２５Ａを閉じることにより、該基板収納容器１０を梱包する。
【００２８】
（実施形態２）
図５（ａ）、（ｂ）は、本発明の基板収納容器の梱包方法およびそれに用いられる梱包体の実施形態２を示す構成図である。
図５（ａ）は、基板収納容器１０が梱包体２０によって梱包された状態を示し、図１（ｂ）と対応づけて描いている。図５（ａ）において、図１（ｂ）と比較して異なる構成は、外箱２１と第１衝撃材２３Ａとの間に引き出し手段３０が介在されていることにある。
引き出し手段３０は、たとえば第１緩衝材２３Ａを嵌合できる凹陥部３１を備え、外箱２１の天面側に配置される端辺にたとえば凹部からなる把持部３２が設けられている。
【００２９】
また、外箱２１は、その天面において開閉部２５Ｃが形成され、第１緩衝材２３Ａおよび第２緩衝材２３Ｂと対向する各側面との接続部において該開閉部２５Ｃの開閉の際の屈曲部を構成するようになっている。
なお、基板収納容器１０は、図１（ｂ）の場合と同様に、図４に示した状態から９０°回転させて蓋体１２が上方に向き、基板収納容器１０内の基板１が垂直方向に配置されるようにしている。上述したように、基板１を水平状態に収納する場合と比較して、振動による基板１のばたつきを少なくし、容器本体１１との擦れや、振動による破損を少なくするためである。
図５（ｂ）は、基板収納容器１０を梱包体２０ごと回転させる（図５（ａ）の矢印Ａ方向への回転）ことにより、該基板収納容器１０のハンドリング手段１３を上方に向くようにした状態を示した図である。
【００３０】
そして、いままで、外箱２１の天面に設けられた開閉部２５Ｃが横方向に向き、この状態で該開閉部２５Ｃを開くことができるようになっている。該開閉部２５Ｃを開くことによって前記引き出し手段３０の前記把持部３２が設けられた端辺が露出するようになっている。
【００３１】
図５（ｃ）は、引き出し手段３０を図示しない自動機によって把持部３２を把持し、手前に引っ張り出すことにより、外箱２１内の基板収納容器１０を該外箱２１から取り出した状態を示した図である。その後、第２緩衝材２３Ｂを基板収納容器１０から外し、梱包袋２２を開封することにより、該基板収納容器１０のハンドリング手段１３が露出されるようになる。これにより、工場において、その天井に配置された天井搬送装置（図４にて符号１４で示す）によって基板収納容器１０のハンドリング手段１３を把持可能な状態とできるので、ハンドリングを人手でなく自動機で行うことができ、作業員の負荷を低減できるという効果を奏する。
【００３２】
なお、基板収納容器を外箱内に収納して梱包を行う場合は、上述した操作と逆の操作を行うようにすればよい。
この場合、外箱２１は、その天面と隣接する一側面に前記基板収納容器を出し入れする開閉部２５Ｃが備えられ、基板収納容器１０は、その天面を上方に向くようにしたままで外箱２１の開閉部２５Ｃを通して挿入することによって、外箱２１に収納されるようになる。
【００３３】
（実施形態３）
図６（ａ）、（ｂ）は、本発明の基板収納容器の梱包方法およびそれに用いられる梱包体の実施形態３を示す構成図である。
図６（ａ）に示すように、基板収納容器１０は外箱２１に収納されている。外箱の天面は開閉部２５Ｄとして形成されている。基板収納容器１０はハンドリング手段１３が設けられた天面を上方に向けて外箱２１に収納されている。この結果、基板収納容器１０内の基板１は水平に垂直方向に並設されて配置されることになる。基板収納容器１０は梱包袋２２によって密閉され、外箱２１の底面との間には第１緩衝材２３Ａが介在され、外箱２１の天面との間には第２緩衝材２３Ｂが介在されている。
【００３４】
図６（ｂ）は、外箱２１から基板収納容器１０を取り出す場合を示し、該外箱２１の天面において開閉部２５Ｄが形成されている。該開閉部２５Ｄは外箱２１の天面と交差する側面との間の屈曲部の屈曲によって開閉されるようになっている。図６（ｂ）に示すように、外箱２１の開閉部２５Ｄを開くことにより、第２緩衝材２３Ｂが露出され、該第２緩衝材２３Ｂを基板収納容器１０から容易に取り外すことができるようになっている。
【００３５】
そして、第２緩衝材２３Ｂの取り外し、梱包体２２を開封することによって基板収納容器１０のハンドリング手段１３が露出されるようになる。これにより、工場において、その天井に配置された天井搬送装置（図４にて符号１４で示す）によって基板収納容器１０のハンドリング手段１３を把持可能な状態とできるので、ハンドリング手段を人手でなく自動機で行うことができ、作業員の負荷を低減できるという効果を奏する。
【００３６】
なお、基板収納容器１０を外箱２１内に収納して梱包を行う場合は、上述した操作と逆の操作を行うようにすればよい。
この場合、外箱２１は、その天面に基板収納容器１０を出し入れする開閉部２５Ｄを備え、基板収納容器１０は、そのハンドリング手段１３が外箱２１の天面と対向するように外箱２１に収納されるようになっている。
【００３７】
以上、実施形態を用いて本発明を説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施形態に記載の範囲には限定されないことは言うまでもない。上記実施形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。またその様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
【符号の説明】
【００３８】
１０……基板収納容器、１１……容器本体、１２……蓋体、１３……ハンドリング手段（ロボティックフランジ）、１４……天井搬送装置、２０……梱包体、２１……外箱、２２……梱包袋、２３……緩衝材、２３Ａ……第１緩衝材、２３Ｂ……第２緩衝材、２３Ｐ……突起部、２５Ａ、２５Ｂ、２５Ｃ、２５Ｄ……開閉部、３０……引き出し手段、３１……凹陥部、３２……把持部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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