(57)【要約】【課題】  本発明は改良された電子線トモグラフィ法に関する。電子線トモグラフィ法は、1枚の断層画像を生成するのに多数の画像−典型的には50〜100枚の画像−を必要とするので、時間のかかる処理である。【解決手段】  本発明は、ステップ状ではなく連続的に試料を傾斜させることによって、この量の画像をはるかに迅速に取得するのに必要な時間を短くする方法を教示する。ここでステップ間での振動を抑制するのに必要な時間は不要となる。【選択図】  図3
2014239039.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料上で電子線トモグラフィ法を実行する方法であって、
前記試料は電子顕微鏡内の試料ホルダ上に載置され、
前記電子顕微鏡は、光軸に沿って高エネルギー電子ビームを発生させる電子源、及び、電子ビームを前記試料へ照射するように前記高エネルギー電子ビームを集束及び偏向させる光学素子を有し、
前記試料ホルダは、前記電子ビームに対して前記試料の向きを定めるように傾斜させることが可能で、
当該方法は：
前記電子ビームを前記試料へ照射することによって一連の傾斜画像を取得する段階を有し、
前記一連の傾斜画像の各々は、各独自の傾斜角で取得され、
前記画像はある読み出し速度でカメラに記録され、
前記一連の傾斜画像を取得しながら前記傾斜角度が連続的に変化し、かつ、
前記試料の位置は、前記試料を前記光軸上に保持するように連続的に変化する、
ことを特徴とする方法。
【請求項２】
前記試料が画素化されたカメラ上で撮像され、かつ、
度（°）/秒の単位で表される傾斜角の速度とフレーム/秒の単位で表されるカメラの読み出し速度は、1フレーム中での前記傾斜の変化による前記画像の変位が一画素未満となるように適合される、
請求項1に記載の方法。
【請求項３】
前記傾斜の速度が変調される、請求項1又は2に記載の方法。
【請求項４】
前記一連の傾斜画像を構成する画像のシフト及び/又は回転補正が相互に適用される、請求項1乃至3のうちのいずれか一項に記載の方法。
【請求項５】
前記シフト及び/又は回転補正が、複数の画像の相対位置を同時に補正するのに3つ以上の画像からのデータを用いるアルゴリズムに基づく、請求項4に記載の方法。
【請求項６】
前記シフト及び/又は回転補正が、前記相対位置を対状に補正するのに3つ以上の画像からのデータを用いるアルゴリズムに基づく、請求項4に記載の方法。
【請求項７】
前記シフト及び/又は回転補正が、前記画像中の1つ以上のマーカーの位置に基づく、請求項1乃至6のうちのいずれか一項に記載の方法。
【請求項８】
集束用の光学素子の励起が、前記一連の傾斜画像の取得中変化しない、請求項1乃至7のうちのいずれか一項に記載の方法。
【請求項９】
前記光学素子の励起が撮像中変化せず、かつ、
前記試料の位置は、前記試料を前記光軸に対して機械的に移動させることによって連続的に変化する、
請求項1乃至8のうちのいずれか一項に記載の方法。
【請求項１０】
前記傾斜角を連続的に変化させる間、前記集束位置が、前記関心領域を位置内及び/又は焦点合わせされた状態に保持するように変化する、請求項1乃至8のうちのいずれか一項に記載の方法。
【請求項１１】
電子線トモグラフィを実行するように構成された透過型電子顕微鏡であって：
試料ホルダを制御するプログラム可能な制御装置；及び、
画像を取得するカメラ系；
を有し、
前記制御装置は、前記試料ホルダが連続的に傾斜される間に画像を取得するようにプログラム制御され、前記の取得された画像は、断層画像を生成する一連の傾斜画像を構成する、
透過型電子顕微鏡。
【請求項１２】
透過型電子顕微鏡をプログラム制御するためのソフトウエアであって、
前記透過型電子顕微鏡は、試料ホルダを制御するプログラム可能な制御装置、及び、画像を取得するカメラ系を備え、
前記ソフトウエアは、前記透過型電子顕微鏡による請求項1乃至9のうちのいずれか一項に記載の方法の実行を可能にする、
ソフトウエア。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は試料上で電子線トモグラフィ法を実行する方法に関する。前記試料は電子顕微鏡内の試料ホルダ上に載置される。前記電子顕微鏡は、光軸に沿って高エネルギー電子ビームを発生させる電子源、及び、電子ビームを前記試料へ照射するように前記高エネルギー電子ビームを集束及び偏向させる光学素子を有する。前記試料ホルダは、前記電子ビームに対して前記試料の向きを定めるように傾斜させることができる。当該方法は、前記電子ビームを前記試料へ照射することによって一連の傾斜画像を取得する段階を有する。前記一連の傾斜画像の各々は、各独自の傾斜角で取得される。前記画像はある読み出し速度でカメラに記録される。
【背景技術】
【０００２】
係る方法自体は非特許文献1から既知である。
【０００３】
たとえば透過型電子顕微鏡(TEM)のような電子顕微鏡では、電子源は、たとえば80〜300keVの選択可能なエネルギーを有する高エネルギー電子ビームを生成する。とはいえ上記範囲とは異なるエネルギーが用いられていることも知られている。このビームは、光学素子（電子レンズ、偏向器、多極子）によって操作（集束、偏向）され、かつ、試料ホルダ内に設けられる試料へ照射される。試料ホルダは試料の位置を設定する。試料ホルダは一般的には3つの並進自由度(x,y,z)と1つの回転自由度(α)又はそれ以上の回転自由度を有する。試料は電子を透過する程度に十分薄い。つまり一部の電子は吸収されるが、多くの電子は試料を通過することができる。そのような通過する電子の中には散乱されるものもあるし、散乱されないものもある。一般的に試料の厚さは、生体試料であれば50nm〜1μm（極低温では50〜200nm）で、半導体試料であれば100nm未満である。他の光学素子の組は、検出器−たとえばCMOSカメラ、CCDカメラ、蛍光スクリーン、又は、ファイバ光学系を介して接続する蛍光スクリーンとカメラ−上に試料の拡大像を生成する。
【０００４】
非特許文献1に記載されているように、検出器上に生成される画像は試料の2D投影である。3D画像を実現するため、様々な回転角で取得された試料の一連の画像が、所謂一連の傾斜画像として取得される。一般的には一連の傾斜は、規則的に1又は2°の間隔で-70°〜+70°の傾斜範囲を網羅する。その後一連の傾斜画像は互いに位置合わせされる。適切なソフトウエアを用いることによって3D再構成が行われ、その後可視化が行うことができる。
【０００５】
一連の傾斜画像の各々では、試料は他の傾斜角をなさなければならない。TEMは高分解能であるため、試料はたとえば1nm以下の範囲内で安定化させなければならない。従って一般的には1秒以上の緩和時間が振動を抑制するのに用いられる。この結果、一連の傾斜画像の取得するのは時間のかかる処理となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】米国特許第7884326B2号明細書
【非特許文献】
【０００７】
【非特許文献１】Technical  note:  “Functional  description  of  TecnaiTM  Tomography  Software”,  FEI  Company,  version  31  Dec  2003
【非特許文献２】“3D  rotational  angiography:  Clinical  value  in  endovascular  treatment”,  J.  Moret  et  al.,  MedicaMundi,  Vol  42  Issue  3  (Nov  1998).
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
一連の傾斜画像を迅速に取得する方法が必要とされている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的のため、本発明による方法は、前記試料ホルダが、前記一連の傾斜画像を取得しながら前記傾斜角度を連続的に変化させ、かつ、前記試料の位置は、前記試料を前記光軸上に保持するように連続的に変化することを特徴とする。
【００１０】
今まで、「動いている最中でのトモグラフィ(tomo-on-the-fly)」−一連の傾斜角が連続的に変化する間に一連傾斜画像が取得されるトモグラフィ−は、各取得の間での振動等のために機能しないという強い偏見が存在した。換言すると、電子顕微鏡の専門家達は、高分解能画像を取得する前に試料の動きを止めるために利用された。本願発明者等は、2つの別個の開発によって動いている最中でのトモグラフィが可能になることを知った。前記2つの別個の開発とは、迅速な取得時間と滑らかな傾斜機構である。
−  迅速な取得時間：最近まで、2048×2048画素で低ノイズ、高感度、及び高ダイナミックレンジのカメラが電子顕微鏡で用いられた場合の取得時間は1秒以上のオーダーである。近年のCMOS技術の発展によって、毎秒20フレーム以上の読み出しが可能となった。よって100枚の画像からなる一連傾斜画像は数秒で取得することができる。
−  滑らかな傾斜機構：回転加速度に起因する振動が（ほとんど）起こらないような滑らかな傾斜機構が必要である。そのような傾斜機構は特許文献1に記載されている。特許文献1は、どのようにして試料キャリアが試料面内の軸に接続されるのかについて記載している。アクチュエータ間のこの軸を回転させることによって、回転が起こる。これは圧電アクチュエータによって作動するアクチュエータによって軸を回転させることによって実現されるので、滑らかな移動が実現される。
本願発明者等は、その偏見はもはや維持されないと結論づけた。
【００１１】
関心領域は大抵の場合回転軸上であるので、振動を導入することなく試料を滑らかかつ同時に並進させる必要があることに留意して欲しい。圧電アクチュエータを用いてこれを実現することが知られている。
【００１２】
本発明による方法の利点は、試料ホルダの（回転）位置を安定化させるための時間の損失がないこと、及び、カメラが連続的に画像を取得することである。それに関連して、試料の照射に利用され、かつ、カメラに衝突するすべての電子が撮像に利用されるので、無用な試料の劣化が生じない。
【００１３】
試料−特に生体試料−は、電子照射の結果生じる放射線損傷に起因して劣化することに留意して欲しい。
【００１４】
従来技術に係る方法では、一連の傾斜画像を取得するのに用いられる試料台の回転機構は一般的には、「世界」と、上に試料が載置される相対的に重い試料ロッドとの間に設けられることに留意して欲しい。この結果、固有周波数が相対的に低くなることで、これらの振動を抑制するのに必要な時間がながくなってしまう。また回転が実現される方法は結果として、振動振幅を1画素よりもはるかに大きくしてしまう。それにより画像の品質が劣化する。よって従来技術に係る方法では、（振動を抑制することを可能にするために）試料ホルダを安定化させるための時間が失われる。
【００１５】
従来技術に係る電子線トモグラフィでは、関心体積が一般的には傾斜軸から離れているため、試料の再位置設定が各画像について必要となることに留意して欲しい。本発明による方法を用いるとき、このことは連続的な再位置設定を意味する。再位置設定は一般的に、傾斜軸に垂直な再位置設定と光軸に沿った再位置設定である。もっとも後者は再集束によっても実現されうる。
【００１６】
本発明の実施例では、前記試料の画像は画素化されたカメラ上で撮像され、かつ、度（°）/秒の単位で表される傾斜角の速度とフレーム/秒の単位で表されるカメラの読み出し速度は、1フレーム中での前記傾斜の変化による前記画像の変位が一画素未満−より具体的には1/2画素未満−となるように適合される。
【００１７】
前記傾斜速度と前記読み出し速度を適合させることによって、前記カメラの分解能は最適となるように用いられる。これらの目的の既知のカメラはたとえば4096×4096画素を有して良い。前記カメラの読み出し速度は、前記カメラの性能と、一の画像に十分な数の電子が必要とされるという事実によって制限される。各々が少ない電子数を有する多くの画像を統合することが可能であることに留意して欲しい。しかし照射時間が長くて、かつ、統合された画像の組内で検出されうる電子数と同数の電子が検出される一の画像と比較すると、各々が少ない電子数を有する多くの画像を統合することは、結果として信号対雑音比を低下させる。従って長いフレーム時間の一の画像の取得が、短いフレーム時間の複数の画像を統合したものよりも好ましい。よってこの結果、前記カメラの読み出し速度と前記試料ホルダの傾斜速度を選択することができる。各フレームは、3D再構成（断層画像）を生成するのに必要な電子数と（たとえば補正手法を用いて）複数の画像を相互に移動させるのに必要なデータの取得の両方にとって十分な電子を有する。
【００１８】
本発明の他の実施例では、前記傾斜の速度は変調される。
【００１９】
前記試料の回転の結果、前記画像が変化する。この変化は前記傾斜角：Δ=d・sinαの関数である。ここで、Δは前記回転に起因する画像点の変位で、dは前記傾斜軸に対する前記試料の地点の距離で、αは前記傾斜角である。（前記光軸に対して垂直な試料で）複数の画像間での変位が同一である場合、小さな傾斜角では、大きな傾斜角のために、前記傾斜速度は大きくすることができる。
【００２０】
本発明の他の実施例では、前記一連の傾斜画像を構成する画像のシフト及び/又は回転補正が相互に適用される。
【００２１】
前記一連の傾斜画像の構成する画像は、前記傾斜軸上での一点がすべての画像にとっての参照点となるように移動及び回転させながら配置されなければならない。
【００２２】
他の実施例では、これは対をなす補正を含む。しかし前記画像が、使用されるアルゴリズムのための画像あたりの情報をほとんど含んでいない場合、2組以上の画像を用いるアルゴリズムが用いられて良い。たとえば前記シフト及び/又は回転補正は、各々が2つの画像を含む2つの組の情報に基づく。
【００２３】
他の実施例では、前記試料はマーカーを有する。
【００２４】
マーカー−たとえば直径が10〜20nmの金のマーカー−を用いることによって、前記画像の各々の位置と向きがより容易に発見される。2つ以上のマーカーが、前記一連の傾斜画像を構成する画像の移動の補正のみならず回転補正を可能にするために用いられることが好ましい。また前記傾斜角は、一組のマーカーの相対位置から得ることもできる。
【００２５】
本発明の他の実施例では、前記電子顕微鏡のレンズの励起は、前記一連の傾斜画像の取得中変化しない。
【００２６】
電子顕微鏡内のレンズは一般的には磁気レンズである。係るレンズの励起を変化させる結果熱ドリフトやヒステリシス等が生じる。前記励起を一定に保つことによって、これらの効果は最小限に保たれる。
【００２７】
また他の光学素子−たとえば偏向器、スティグメータ、及び補正装置−の励起も同様に一定に保持される。
【００２８】
本発明は表面的には、たとえば非特許文献2に記載されているCTトモグラフィで使用されるトモグラフィ法に似ている。しかし両者の間には複数の重要な差異が存在する。
−  CTトモグラフィでは、X線は前記試料（患者）へ照射するのに用いられる。
−  CTトモグラフィでは、所謂Cアームの機械的構成−X線源とX線検出器が上に載置される−が前記試料（患者）の周りで回転する。
−  CTトモグラフィでは、前記画像は位置合わせされないが、所謂Cアームは、歪み−たとえば地球の磁場から生じる−を補償するように校正される。電子顕微鏡では、機械的変化及び環境磁場の変化によって光学的位置合わせが完全に失われないように、前記光軸の向きは一定に保たれ、かつ、前記試料は回転する。また前記Cアームがこの関心体積の周りを回転するので、前記関心体積は、常に前記一連の傾斜画像中の全画像において前記検出器上に投影される。前記関心体積での交差位置は一般的に前記関心体積よりもはるかに大きい。前記試料（患者）は前記関心体積よりもはるかに大きい（厚い）。
−  前記Cアームは、一画素/ボクセルよりもはるかに小さな値に相当する振動しか示さない程度に十分な剛性を容易に有する。ボクセルは一般的に1×0.8×0.7mm3以上のオーダーなので、0.4mmオーダーの振動及び機械的不確実性が許容される。他方電子断層画像内でのボクセルは一般的には10×10×10nm3〜1×1×1nm3のオーダーであるため、0.5nm以下のオーダーの振動及び機械的不確実性が求められる。
−  Cアームは回転しか示さない。検出器/線源は前記試料（患者）に対して移動しない。電子トモグラフィでは、これは一般的には、前記関心体積を前記光軸上に保持するために行われる。
【００２９】
磁気共鳴撮像(MRI)と本発明との差異は、前記試料/患者にRF磁場が照射され、前記試料は前記線源/検出器（電気コイル）に対して回転せず、ステップ状の移動が前記試料（患者）に適用され、前記ボクセルサイズが約0.5×0.5×0.5mm3である点である。従って対象物（患者）を変位させた後に止めるようにするための十分な時間が利用できる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】透過型電子顕微鏡を概略的に表している。
【図２】滑らかな傾斜を可能にする傾斜モーターを概略的に表している。
【図３】断層画像を作成するのに用いられる典型的な処理の流れを示している。
【発明を実施するための形態】
【００３１】
ここで図面を用いて本発明を説明する。図中、同一の参照番号は対応する部位を指称する。
【００３２】
図1はTEM100を概略的に表している。粒子源104は、光軸102に沿って電子ビームを生成する。電子は典型的には80〜300keVの選択可能なエネルギーを有する。とはいえそれによりも高いエネルギー−たとえば400keV〜1MeV又はそれよりも低いエネルギー−たとえば50keV−が用いられても良い。電子ビームが収束系106によって操作されることで、試料108上に衝突する平行ビームが生成される。試料は試料ホルダ110によって位置設定される。試料ホルダは、光軸に対する試料の位置を設定し、光軸に対して垂直な面内で試料を移動させ、かつ、光軸に対して垂直な傾斜軸114に対して試料を傾斜させて良い。対物レンズ112は試料の拡大像を生成する。投影系122は、画素化された検出器124上に試料の拡大像を生成することで、試料の詳細−たとえば0.1nmの詳細−を明らかにする。検出器はたとえば、CCD又はCMOSカメラであって良い。
【００３３】
光学部品を光軸上で位置合わせするため、TEMは多数の偏向器−概略的に128-1…128-6で示されている−を有する。ただし他の場所に他の偏向器が含まれても良い。試料ホルダ110及びカメラ系124は制御装置126によって制御される。制御装置126は、一連の傾斜画像を3D断層画像へ変換し、かつ、その断層画像をスクリーン125上で可視化させるように構成される。可視化のための特別なソフトウエア−たとえば非特許文献1の「Tecnai（商標）トモグラフィソフトウエアの機能の説明」に記載されたようなもの−が用いられることに留意して欲しい。
【００３４】
図1に図示された電子顕微鏡で本発明による方法を実行するため、制御装置126は、傾斜軸114の周りで傾斜速度を制御しながら試料ホルダ110を傾斜するように制御する一方で、カメラ系124によって取得される画像をメモリ内に格納するようにプログラムされなければならない。さらに試料台は、試料の3D画像を再構成するのに十分なデータを得るため、大きな角度（典型的には-80°〜+80°）にわたって試料を傾斜させることができなければならない。制御装置はまた、関心体積を光軸上に保持するため、光軸に対する試料の位置を制御できなければならない。これは、たとえば128-3…128-5で示された偏向器を制御するか、又は、試料ホルダ110を制御することにより静止した光軸に対して試料を機械的に移動させることによって行われる。
【００３５】
一連の傾斜画像を取得する間、関心体積が視野内で焦点合わせされた状態であり続けるように試料の位置は補正されなければならない。これは一般的には、（焦点合わせされた状態を保つための）光軸に沿って1μm範囲内での位置設定、及び、（試料に投影される）光軸に対して垂直に一画素未満−典型的には1nm未満−のカメラフレーム時間内での振動レベルを必要とする。関心体積が視野内で保持されている限り、フレーム間での位置のずれは、一連の傾斜画像を構成する画像を位置合わせすることによって補正される。典型的には圧電アクチュエータを用いて必要なスティフネスを実現させることでx/y/z位置設定を可能にする試料ホルダが知られている。たとえば特許文献1に記載された傾斜軸の周りで試料を滑らかに回転させる大きな角度の傾斜モーターを組み合わせることによって、本発明の実施が可能となる。
【００３６】
図2Aは、特許文献1に記載されているように、2つの突出する軸を備える試料ホルダが2対の駆動表面間に固定されている傾斜マニピュレータを示している。図2Aは、好適にはx/y/z並進位置設定が可能なアクチュエータ上に載置される底部20を示している。底部上では、2つのアクチュエータ−たとえば圧電アクチュエータ−が載置される。アクチュエータは方向23で伸縮可能である。ハッチングされたアクチュエータ22Bは、図中では、アクチュエータ22Aよりもわずかに長い。アクチュエータ22A,22Bの各々には部材が接続される。部材24Aはアクチュエータ22Aに接続される。部材24B（ハッチングされている）はアクチュエータ22Bに接続される。部材24Aは2つの先端部26A,26Bを有する。部材24Bは2つの先端部26C,26D（ハッチングされている）を有する。
【００３７】
試料ホルダは、共通の軸−つまり傾斜軸−に沿って配置される2つの軸28A,28Bを有する。ブロック25は軸上に載置される。標準的な顕微鏡グリッド29は、試料108を保持するためにブロック内に載置される。
【００３８】
試料ホルダの軸28Aは先端部26Aと26Cとの間で固定される一方で、試料ホルダの軸28Bは先端部26Bと26Dとの間で固定される。
【００３９】
傾斜軸は、軸の中心と一致するので、線AA’と一致する。
【００４０】
図2Bは、線AA’つまり傾斜軸に沿った断面を示している。図2Bは、間で軸28Aを固定する先端部26Aと26C、及び、間で軸28Bを固定する先端部26Bと26Dを示している。軸の周りでブロック25を回転させることによって、ブロック25内に挿入されたグリッドとそのグリッド上に載置された試料は傾斜軸の周りで回転する。図示されているように、グリッド29は環状バネ27によって適切な位置に保持される。
【００４１】
（底部20に対して）アクチュエータ22Aを一の方向に移動させ、かつ、アクチュエータ22Bを他の方向にアクチュエータ22Aと等しい距離だけ移動させることによって、先端部26Aと26Bは試料ホルダに対して一の方向に移動し、かつ、先端部26Cと26Dは試料ホルダに対して反対の方向に移動する。底部22に対して軸28Aと28Bを回転させる結果、試料ホルダが傾斜軸の周りで回転する。
【００４２】
図3は断層画像を作成するのに用いられる典型的な処理の流れを示している。
【００４３】
段階301では、試料がTEM内に設けられる。
【００４４】
段階302では、関心体積が特定される。これは、マーカーの特定等を含んで良い。
【００４５】
段階303では、TEMが関心体積上で最適に焦点合わせされる。焦点外しは、コントラストと分解能との間での最適を得るために設定される。
【００４６】
段階304では、試料が最小傾斜角−たとえば-70°−となるように回転される。続いて試料は一連の傾斜画像の準備を整える。
【００４７】
段階305では、一連の傾斜画像の取得が開始される。傾斜は徐々にではあるが連続的に最大傾斜角−たとえば+70°−にまで変化する。
【００４８】
段階306では、段階305を実行する間に、関心体積が、x/y/z並進によって視野内で焦点合わせ（外し）された状態に保持される。
【００４９】
段階307では、一連の傾斜画像を構成するすべての画像が取得されるとき、その一連の傾斜画像を構成するすべての画像が位置合わせされる。前記画像が取得される間にこれは既に開始されて良いことに留意して欲しい。またこの段階の結果は、段階306の移動に利用されて良い。
【００５０】
段階308では、前記一連の傾斜画像は、断層画像を計算するのに用いられる。情報を取得している間にこの段階が既に開始されて良いことに留意して欲しい。そのため必要な合計時間は短くなる。
【００５１】
段階309では、断層画像が、ユーザー入力（要求するスライス面、角度、厚さ、コントラスト等）に基づいて可視化される。
【００５２】
当業者には明らかなように、これは処理の流れの多くの実施例のほんの一例である。たとえば処理の流れは修正されて良いし、又は他の段階が追加されても良い。
【００５３】
この方法の実現可能性と到達可能な処理時間の短縮を示すため、以下の典型的な計算が行われる。
−  一定の傾斜速度を用いると、最大速度は、一のフレーム曝露（一の画像取得）の間の最大（又は最小）傾斜角で0.5画素の変位によって支配される。
−  70°の傾斜角では、2つの取得傾斜角の最大許容可能な差異Δαは、cosα-cos(α-Δα)=0.5/(N/2)となる。ここでNは画素数である。N/2は、サンプリングが内規スト周波数よりも低い周波数で行われなければならないためであることに留意して欲しい。
−  N=4096のCMOSカメラを仮定すると、傾斜の差異Δαは0.03°である。
−  40画像/秒のフレーム速度を仮定すると、傾斜速度は40×0.03°/秒=1.2°/秒である。
−  -70°から+70°までの完全な一連傾斜画像は140°/（1.2°/秒）、2分未満で取得することができる。
これは、100枚の画像の取得に1時間のオーダーを要する従来技術に係る電子線トモグラフィとは対照的である。
【符号の説明】
【００５４】
20  底部
22A,B  アクチュエータ
24A,B  部材
25  ブロック
26A,B,C,D  先端部
27  環状バネ
28A,B  軸
29  グリッド
100  TEM
102  光軸
104  粒子源
106  収束系
108  試料
110  試料ホルダ
112  対物レンズ
114  傾斜軸
122  投影系
124  カメラ系
125  スクリーン
126  制御装置
128-1,2,3,4,5,6  偏向器
【図１】
2014239039.tif 000003
【図２】
2014239039.tif 000004
【図３】
2014239039.tif 000005