(57)【要約】【課題】ワイヤソーにてワークを加工する際に、ワークをパレットに載せて各加工工程に対応させるように搬送できるワイヤソー用パレットを提供する。【解決手段】複数のワーク保持部２１と、複数のワーク保持部２１を一列に並べた状態で支持するパレット基部２２と、隣接するワーク保持部２１同士を連結する連結部２３と、を備える。パレット基部２２は、複数のワーク保持部２１の配列方向にワーク保持部２１の移動を許容し、連結部２３は、隣接するワーク保持部２１同士の距離を変更可能に構成される。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のワーク保持部と、
前記複数のワーク保持部を一列に並べた状態で支持するパレット基部と、
隣接する前記ワーク保持部同士を連結する連結部と、を備え、
前記パレット基部は、前記複数のワーク保持部の配列方向に前記ワーク保持部の移動を許容し、
前記連結部は、隣接する前記ワーク保持部同士の距離を変更可能に構成されることを特徴とするワイヤソー用パレット。
【請求項２】
前記パレット基部には、上面に開口する開口部が形成され、
前記複数のワーク保持部には、底面からそれぞれ前記開口部に前記配列方向に移動自在に係合する突起部が突設され、
前記連結部は、前記突起部を挿通して交差するように配置された２つの連結体の端部が隣り合う前記突起部を挿通して交差するように配置された２つの連結体の端部と回転自在に連結されることで構成されることを特徴とする請求項１に記載のワイヤソー用パレット。
【請求項３】
前記ワーク保持部は、矩形形状を有し、
前記突起部は、２つの角部を結ぶ対角線の交点に設けられ、
前記交点を通り前記配列方向に直交する仮想線上に前記底面から下方に突出する係合部が設けられ、
前記係合部は、該突起部を挿通する前記２つの連結体が最も近づいた状態で隣り合う前記ワーク保持部同士の間に所定の隙間が形成されるようにその位置を規制することを特徴とする請求項２に記載のワイヤソー用パレット。
【請求項４】
前記係合部を回転させることで前記ワーク保持部の角度を変更できることを特徴とする請求項３に記載のワイヤソー用パレット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワイヤソー用パレットに関し、より詳細には、ワイヤソーによりワークを加工する際に用いられるワイヤソー用パレットに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、複数のローラに螺旋状に一定ピッチ間隔でワイヤを巻回して複数のワイヤ列からなる切断経路を設け、円柱状のインゴットを切断経路を通るように下降させ、砥粒を含むスラリーを供給しながら、ワイヤピッチ間隔の厚さに切断して、一定厚さのウェハを同時に多数枚製造するようにしたワイヤソーが知られている（例えば、特許文献１参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０００−１４１３６４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ワイヤソーは、削り滓の発生を抑制して、１つの素材から複数個同時に加工することができる利点を有する一方、加工ワイヤを支持する間隔が広くなると、加工に必要なワイヤ張力を維持し難くなるという課題があった。従来、シリコンインゴットをスライス加工して半導体基板となるウェハを製造することが主で、他の部材例えば板状のワークなどを分割切断し複数の所定形状のワークを加工する方法への応用があまり検討されていなかった。また、その際にパレットに載せたワークを各加工工程に対応させるように搬送することについてもあまり検討されていなかった。
【０００５】
本発明の目的は、ワイヤソーにてワークを加工する際に、ワークをパレットに載せて各加工工程に対応させるように搬送できるワイヤソー用パレットを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の上記目的は、下記の構成により達成される。
（１）  複数のワーク保持部と、
前記複数のワーク保持部を一列に並べた状態で支持するパレット基部と、
隣接する前記ワーク保持部同士を連結する連結部と、を備え、
前記パレット基部は、前記複数のワーク保持部の配列方向に前記ワーク保持部の移動を許容し、
前記連結部は、隣接する前記ワーク保持部同士の距離を変更可能に構成されることを特徴とするワイヤソー用パレット。
（２）  前記パレット基部には、上面に開口する開口部が形成され、
前記複数のワーク保持部には、底面からそれぞれ前記開口部に前記配列方向に移動自在に係合する突起部が突設され、
前記連結部は、前記突起部を挿通して交差するように配置された２つの連結体の端部が隣り合う前記突起部を挿通して交差するように配置された２つの連結体の端部と回転自在に連結されることで構成されることを特徴とする（１）に記載のワイヤソー用パレット。
（３）  前記ワーク保持部は、矩形形状を有し、
前記突起部は、２つの角部を結ぶ対角線の交点に設けられ、
前記交点を通り前記配列方向に直交する仮想線上に前記底面から下方に突出する係合部が設けられ、
前記係合部は、該突起部を挿通する前記２つの連結体が最も近づいた状態で隣り合う前記ワーク保持部同士の間に所定の隙間が形成されるようにその位置を規制することを特徴とする（２）に記載のワイヤソー用パレット。
（４）  前記係合部を回転させることで前記ワーク保持部の角度を変更できることを特徴とする（３）に記載のワイヤソー用パレット。
【発明の効果】
【０００７】
本発明のワイヤソー用パレットによれば、パレット基部が複数のワーク保持部の配列方向にワーク保持部の移動を許容し、連結部が隣接するワーク保持部同士の距離を変更可能に構成されるので、ワークを分割切断して複数の所定形状のワークに同時加工する際に、各加工工程に対応したワークの積み替えを不要とし、多工程に亘ってワークを積載して搬送することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の一実施形態のワイヤソー用パレットを搭載可能なワイヤソーの平面図である。
【図２】ワイヤが、一方のボビンから送り出されて他方のボビンに巻き取られる状態を示すワイヤ駆動機構の要部斜視図である。
【図３】（ａ）はパレット上に保持された板状のワークが、第１切断部により複数の一次切断ワークに同時に切り分けられる際のワイヤソーの要部平面図、（ｂ）は側面図である。
【図４】（ａ）は第１切断部の側面図、（ｂ）は第１切断部の裏面図である。
【図５】（ａ）は隣接距離変更機構により隣り合う一次切断ワーク間の距離が広げられた複数の一次切断ワークにおいて、第１切断部で切断された２辺とは異なる角度の２辺が、第２切断部により同時に切断される際のワイヤソーの要部平面図、（ｂ）は側面図である。
【図６】第２切断部の斜視図である。
【図７】（ａ）は第２切断部の側面図、（ｂ）は第２切断部の裏面図である。
【図８】（ａ）は角度変更機構によりパレット上に保持される複数の矩形ワークの角度を変更して、第３切断部によりそれぞれの矩形ワークの対角上に位置する２つの角部を同時に切断する際のワイヤソーの要部平面図、（ｂ）は側面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明の一実施形態のワイヤソー用パレット及びこのワイヤソー用パレットを搭載可能なワイヤソーを図面に基づいて詳細に説明する。
図１に示すように、ワイヤソー１０は、一直線上に延びる搬送経路１２及び搬送経路１２と平行に形成された循環経路１３を備える基台１１と、第１切断部５０と、第２切断部７０と、第３切断部８０と、第４切断部９０とを備え、ワークＷを保持する複数のワイヤソー用パレット（以後単にパレットと言う）２０が搬送経路１２及び循環経路１３上を搬送するようになっている。
【００１０】
本実施形態のパレット２０は、図３に示すように、上面にワークＷを載置して保持する複数のワーク保持部２１と、複数のワーク保持部２１をワークＷの搬送方向（図３において右方向）に沿って一列に並べた状態で支持するパレット基部２２と、隣接するワーク保持部２１同士を連結する連結部２３と、を備える。
【００１１】
各ワーク保持部２１は、上面視において略矩形状に形成されており、例えば、上面に設けられた不図示の吸着孔から空気を吸引したり吸着パッドで吸着することで、ワークＷを吸着保持する。各ワーク保持部２１の底面２４には、一対の対角線ＤＬが交差する交点ＣＰから下方に突出する突起部２５が形成されている。また、交点ＣＰを通りワーク保持部２１の配列方向に直交する仮想線ＶＬ上には、底面２４から下方に突出する一対の係合ピン２６が設けられている。
【００１２】
なお、一対の係合ピン２６は、後述する隣接距離変更機構３０により隣接するワーク保持部２１同士が接近する方向に移動したとき（図３に示す状態）、一対の連結体３１に挟まれて連結体３１の作動を制限し、隣り合うワーク保持部２１同士の間に所定の隙間が形成されるようにその位置を規制する。
【００１３】
パレット基部２２の上面には、ワーク保持部２１の配列方向に延びる横長の開口部２７が形成されており、各ワーク保持部２１の突起部２５が開口部２７に移動自在に嵌合している。
【００１４】
連結部２３は、交差するように配置された一対の連結体３１の交差部に、ワーク保持部２１の突起部２５が回動自在に挿通されてなる複数の連結ユニット３２を備え、隣接する連結ユニット３２の一対の連結体３１の端部３１ａ同士が、ピン３３により回転自在に連結されている。
【００１５】
これにより、連結部２３は、例えば、図３において最右端に配置された突起部２５ａを右左方向に移動させると、各連結体３１が突起部２５を中心として回動し、複数の連結ユニット３２が連結する方向（図３において左右方向）に伸縮可能である。即ち、図５に示すように、最右端に配置された一対の係合ピン２６に係合して右左方向に移動させる隣接距離変更機構３０により、ワーク保持部２１を回転させずに最右端に配置された突起部２５ａを右方向に移動させることで隣り合うワーク保持部２１間の距離を拡げることができ、最右端に配置された突起部２５ａを左方向に移動させることで隣り合うワーク保持部２１間の距離を縮めることができる。
【００１６】
また、パレット２０上のワーク保持部２１は、図８に示すように、ワーク保持部２１の一方側（図８において下側）の係合ピン２６に係合して突起部２５を中心として回動させる角度変更機構４０により、ワーク保持部２１を移動させずに回転させることで一方側（図１の右斜め）及び他方側（図１の左斜め）に傾斜した状態となる。
【００１７】
隣接距離変更機構３０及び角度変更機構４０は、それぞれ搬送経路１２の所定の位置に配置されており、連結部２３とワーク保持部２１との間に進出する板状の係止駆動板４５，４１と、この係止駆動板４５，４１をワークＷの搬送方向に直交する方向及び搬送方向に駆動する不図示の駆動機構と、を備える。具体的には、隣接距離変更機構３０は、後述する第２加工エリアＡ２に配置され、角度変更機構４０は、第３加工エリアＡ３、及び第４加工エリアＡ４に配置されている。
【００１８】
図５に示すように、隣接距離変更機構３０の一対の係止駆動板４５は、最右端に配置されたワーク保持部２１の両側に配置されており、その先端には、最右端のワーク保持部２１の係合ピン２６に係合可能なＵ字溝４６が形成されている。そして、不図示の駆動機構により係止駆動板４５をワークＷの搬送方向に直交する方向に移動させてＵ字溝４６に係合ピン２６を嵌合させた後、一対の係止駆動板４５をワークＷの搬送方向に移動することにより、隣り合うワーク保持部２１間の距離が拡がる。
【００１９】
図８に示すように、角度変更機構４０の係止駆動板４１は、ワーク保持部２１の配列方向に延びる横長の基部４２と、この基部４２からパレット２０の中心に向かって延び、先端にＵ字溝４４が形成された複数の腕部４３を備える。Ｕ字溝４４の間隔Ｐは、隣接距離変更機構３０により隣り合うワーク保持部２１間の距離が拡げられた状態におけるワーク保持部２１の係合ピン２６の間隔と同じに設定されている。
【００２０】
そして、不図示の駆動機構により係止駆動板４１をワークＷの搬送方向に直交する方向に移動させてＵ字溝４４に係合ピン２６を嵌合させた後、係止駆動板４１をワークＷの搬送方向及び搬送方向に直交する方向に移動させると、ワーク保持部２１は突起部２５を中心として回動する。ワーク保持部２１の回動方向及び回転角度は、係止駆動板４１の移動方向及び移動距離によって決定される。なお、係止駆動板４５，４１は、隣接距離変更機構３０及び角度変更機構４０の作動時を除き、係合ピン２６から離間した位置に配置されている。
【００２１】
このように構成されたパレット２０は、図１に示すように、板状のワークＷをワーク保持部２１上に載置するローディングエリアＬＡ、ワークＷを複数の一次切断ワーク１５に同時に切り分ける第１加工エリアＡ１、複数の一次切断ワーク１５を同時に切断して二次切断ワーク１６とする第２加工エリアＡ２、二次切断ワーク１６の対角上に位置する２つの角部１６ａを切断する第３加工エリアＡ３、二次切断ワーク１６の対角上に位置する他の２つの角部１６ｂを切断する第４加工エリアＡ４、加工が完了した二次切断ワーク１６をワーク保持部２１から取り外すアンローディングエリアＵＡ、へと搬送経路１２に沿って順次搬送される。更に、パレット２０は、循環経路１３を経由してローディングエリアＬＡへと戻されて循環搬送される。
【００２２】
第１切断部５０、第２切断部７０、第３切断部８０、及び第４切断部９０は、複数のローラに巻回して走行する、例えば、直径約０．１〜０．２５ｍｍのピアノ線などのワイヤに、砥粒を含むスラリーを供給しながらワークＷに押しつけて切断加工する切断装置である。なお、ワイヤは、表面にダイアモンドが固着されたものであってもよい。
【００２３】
第１、第２、第３、及び第４切断部５０，７０，８０，９０には、図２に示すワイヤ駆動機構からワイヤが供給され、巻き取られる。より具体的に説明すると、ワイヤソー１０には、２つのワイヤ駆動機構５１Ａ，５１Ｂが設けられており、ワイヤ駆動機構５１Ａが第１切断部５０用であり、ワイヤ駆動機構５１Ｂが第２、第３、及び第４切断部７０，８０，９０用となっている。なお、２つのワイヤ駆動機構５１Ａ，５１Ｂは同一構造を有するので、第１切断部５０のワイヤ駆動機構５１Ａを例にとって図２に基づいて説明する。
【００２４】
図２に示すように、第１切断部５０のワイヤ駆動機構５１Ａは、第１ワイヤ５２を第１送出ボビン５３から第１切断部５０へ送り出し、第１切断部５０によるワークＷの加工が終了した第１ワイヤ５２を第１巻取ボビン５４に巻き取る。
【００２５】
第１送出ボビン５３及び第１巻取ボビン５４と、第１切断部５０との間には、一対のダンサアーム５５Ａ，５５Ｂが揺動自在に支持されている。ダンサアーム５５Ａ，５５Ｂの先端部には、第１ワイヤ５２が巻回されるダンサローラ５６Ａ，５６Ｂが回動自在に取り付けられている。ダンサアーム５５Ａ，５５Ｂは、不図示のアクチュエータで駆動されて第１ワイヤ５２に適正な張力を付与する。
【００２６】
第１送出ボビン５３及び第１巻取ボビン５４の近傍には、第１送出ボビン５３及び第１巻取ボビン５４の軸線方向に沿ってトラバース可能なトラバースローラ５７Ａ，５７Ｂが配置されている。また、ワイヤ駆動機構５１Ａは、巻回される第１ワイヤ５２を案内する複数のガイドローラ５８Ａ，５８Ｂを備える。
【００２７】
図４に示すように、第１切断部５０は、パレット２０に載置されたワークＷを搬送方向と直交する方向に切断することで、搬送方向に複数分割して複数の一次切断ワーク１５に同時に切り分けるものであり、第１加工エリアＡ１の搬送経路１２の上方に位置し、上下移動可能に配設されている。
【００２８】
第１切断部５０は、鉛直方向に回転軸６１Ａを有する複数のローラ６２Ａが等間隔に一直線上に配置される第１ローラ群６３Ａと、鉛直方向に回転軸６１Ｂを有する複数のローラ６２Ｂが等間隔に一直線上に配置される第２ローラ群６３Ｂとを備え、それぞれローラ支持体６０の下面に配設されている。第１ローラ群６３Ａのローラ６２Ａと、第２ローラ群６３Ｂのローラ６２Ｂとは、ワークＷの搬送方向に１／２ピッチだけオフセットされて同一平面上に配置されている。
【００２９】
第１ローラ群６３Ａのローラ６２Ａと、第２ローラ群６３Ｂのローラ６２Ｂとの間には、水平方向に回転軸６４Ａ，６４Ｂを有する一対のテンションローラ６５Ａ，６５Ｂが、ワークＷを、搬送方向と直交する方向に挟んで設けられている。
【００３０】
第１送出ボビン５３から送り出された第１ワイヤ５２は、第１ローラ群６３Ａのローラ６２Ａと、第２ローラ群６３Ｂのローラ６２Ｂに交互に巻き回されると共に、一対のテンションローラ６５Ａ，６５Ｂに張架されている。
【００３１】
図６及び図７に示すように、第２切断部７０は、一次切断ワーク１５が所定形状（ここでは、矩形形状）となるように、第１切断部５０で切断された２辺とは異なる角度の２辺（ここでは、直交する２辺）について同時に切断して、複数の二次切断ワーク１６を得るものであり、第２加工エリアＡ２の搬送経路１２の上方に位置し、上下移動可能に配設されている。第２切断部７０は、水平方向に回転軸７１Ａを有する複数のテンションローラ７２Ａが等間隔に一直線上に配置される第３ローラ群７３Ａと、同じく水平方向に回転軸７１Ｂを有する複数のテンションローラ７２Ｂが等間隔に一直線上に配置される第４ローラ群７３Ｂと、を備え、それぞれ略コの字型に形成されたローラ支持体７４の底部７４ａに配設されている。
【００３２】
第３ローラ群７３Ａのテンションローラ７２Ａと、第４ローラ群７３Ｂのテンションローラ７２Ｂとは、ワークＷの搬送方向と直交する方向に離間して配置されている。また、テンションローラ７２Ａは、一次切断ワーク１５の一端側で隣接距離変更機構３０により拡げられた隣り合う一次切断ワーク１５の間隔に対向配置され、テンションローラ７２Ｂは、一次切断ワーク１５の他端側で隣接距離変更機構３０により拡げられた隣り合う一次切断ワーク１５の間隔に対向配置されている。
【００３３】
第２ワイヤ７５は、第３ローラ群７３Ａのテンションローラ７２Ａに張架された後、ローラ支持体７４の側壁７４ｂに設けられた一対のガイドプーリ７６に巻き掛けられて折り返し、第４ローラ群７３Ｂのテンションローラ７２Ｂに張架されている。
【００３４】
第３切断部８０及び第４切断部９０は、一直線上に配置されたローラ群同士の間隔及び第３ローラ群７３Ａのテンションローラ７２Ａと第４ローラ群７３Ｂのテンションローラ７２Ｂの間隔が異なるだけで、第２切断部７０と同様の構成を有し、それぞれ第３加工エリアＡ３、第４加工エリアＡ４の搬送経路１２の上方に位置し、上下移動可能に配設されている。
【００３５】
第３切断部８０は、第３加工エリアＡ３において二次切断ワーク１６の対角上に位置する２つの角部１６ａ（図１参照）を切断する。また、第４切断部９０は、第４加工エリアＡ４において二次切断ワーク１６の対角上に位置する他の２つの角部１６ｂ（図１参照）を切断する。第３切断部８０及び第４切断部９０に配設されるワイヤは、第２切断部７０から連続する第２ワイヤ７５である。ただし、第３切断部８０及び第４切断部９０用にワイヤ駆動機構を別途設け、第２切断部７０とは独立したワイヤで切断をしてもよい。
【００３６】
次に、上記したワイヤソー１０により板状のワークＷを二次切断ワーク１６に加工する手順について説明する。
先ず、図１及び図３に示すように、ローディングエリアＬＡにおいて、板状のワークＷをパレット２０のワーク保持部２１上に載置し、真空吸着保持して第１加工エリアＡ１に搬送する。
【００３７】
そして、第１加工エリアＡ１の搬送経路１２の上方に配置された図４に示す第１切断部５０を下降させ、第１ローラ群６３Ａのローラ６２Ａと第２ローラ群６３Ｂのローラ６２Ｂとに交互に巻き回されてワークＷの搬送方向と直交する方向に往復走行する第１ワイヤ５２により、板状のワークＷを対向する２辺１５ａが平行となるように搬送方向に複数分割して複数の一次切断ワーク１５に同時に切り分ける（第１切断工程）。
【００３８】
このとき、第１ワイヤ５２には、一対のテンションローラ６５Ａ，６５Ｂにより加工に必要な適正な張力が付与されている。切り分けられた複数の一次切断ワーク１５は、それぞれワーク保持部２１上に保持された状態を維持する。ワークＷを複数の一次切断ワーク１５に切り分けた第１切断部５０は、上方に移動して元の位置に復帰して次の加工に備える。
【００３９】
次いで、第２加工エリアＡ２に搬送し、図５に示すように、隣接距離変更機構３０の一対の係止駆動板４５を互いに接近する方向（ワークＷの搬送方向に直交する方向）に移動させ、Ｕ字溝４６に係合ピン２６を嵌合させた後、一対の係止駆動板４５をワークＷの搬送方向に移動させる。これにより、各連結体３１は、突起部２５を中心として回動して、隣り合うワーク保持部２１間の距離を所定の距離に拡げる（隣接距離変更工程）。
【００４０】
第２加工エリアＡ２では、搬送経路１２の上方に配置された図６及び図７に示す第２切断部７０を下降させ、第３ローラ群７３Ａの各テンションローラ７２Ａ及び第４ローラ群７３Ｂの各テンションローラ７２Ｂを、所定の距離に拡げられた隣り合う一次切断ワーク１５の間隔に侵入させ、ワークＷの搬送方向に走行する第２ワイヤ７５により、複数の一次切断ワーク１５が矩形形状となるように、第１切断部５０で切断された２辺とは異なる角度の２辺について同時に切断して複数の二次切断ワーク１６を形成する（第２切断工程）。
【００４１】
次いで、パレット２０を第３加工エリアＡ３に搬送し、図８に示すように、角度変更機構４０の不図示の駆動機構により、係止駆動板４１を二次切断ワーク１６の搬送方向と直交する方向に移動させてＵ字溝４４に係合ピン２６を嵌合させた後、係止駆動板４１をワークＷの搬送方向と逆方向（図８において左方向）及び搬送方向に直交する方向に移動させる。これにより、ワーク保持部２１上に保持された二次切断ワーク１６は、ワーク保持部２１と共に突起部２５を中心として４５°回転する（第１角度変更工程）。
【００４２】
そして、第３切断部８０により二次切断ワーク１６の対角上に位置する２つの角部１６ａを同時に切断して面取り加工を行う（第３切断工程）。
【００４３】
第３加工エリアＡ３において２つの角部１６ａの面取り加工が終了した二次切断ワーク１６は、第４加工エリアＡ４へ搬送される前に、係止駆動板４１を搬送方向、即ち第３加工エリアＡ３とは逆方向（図８において右方向）に移動させて二次切断ワーク１６を突起部２５を中心として９０°回転させる（第２角度変更工程）。その後、二次切断ワーク１６は第４加工エリアＡ４へ搬送され、第４切断部９０により二次切断ワーク１６の対角上に位置する他の２つの角部１６ｂを切断して面取り加工を行う（第４切断工程）。
【００４４】
ワイヤソー１０の搬送経路１２では、図１に示すように、第１加工エリアＡ１〜第４加工エリアＡ４に異なるパレット２０が配置される。これにより、異なるエリアにあるパレット２０を同時に加工することができる。特に、第２加工エリアＡ２〜第４加工エリアＡ４においては、第２、第３、及び第４切断部７０，８０，９０により同時に切断するように制御することで、ワイヤを共通化することができる。
【００４５】
加工が完了した二次切断ワーク１６は、アンローディングエリアＵＡでワーク保持部２１から取り外される。空となったパレット２０は、隣接距離変更機構３０により隣り合うワーク保持部２１間の距離が縮められ、循環経路１３を経由してローディングエリアＬＡへと戻される。以後、同様の動作が繰り返し行われて、板状のワークＷは、面取りが施された複数の二次切断ワーク１６に加工される。
【００４６】
ワークＷは、特に限定されず、例えばガラス板、樹脂板、金属板等を用いることができる。
【００４７】
以上説明したように、本実施形態のワイヤソー用パレット２０によれば、複数のワーク保持部２１と、複数のワーク保持部２１を一列に並べた状態で支持するパレット基部２２と、ワーク保持部２１同士を連結する連結部２３と、を備える。パレット基部２２は、複数のワーク保持部２１の配列方向にワーク保持部２１の移動を許容し、連結部２３は、隣接するワーク保持部２１同士の距離を変更可能に構成されるので、ワークＷを分割切断して複数の所定形状の二次切断ワーク１６に同時加工する際に、各加工工程に対応したワークＷの積み替えを不要とし、多工程に亘ってワークＷ（一次切断ワーク１５、二次切断ワーク１６）を積載して搬送することができる。
【００４８】
また、複数のワーク保持部２１の底面２４から突設された突起部２５は、連結部２３の交差するように配置された２つの連結体３１を挿通して、パレット基部２２の上面に開口する開口部２７に移動自在に係合する。連結部２３は、２つの連結体３１の端部３１ａと、隣り合う２つの連結体３１の端部３１ａとが回転自在に連結されて構成されるので、連結部２３は、パレット基部２２の開口部２７に沿って伸縮可能となる。
【００４９】
また、ワーク保持部２１の底面２４には、矩形形状のワーク保持部２１の対角線ＤＬの交点ＣＰに突起部２５が下方に突出して設けられ、交点ＣＰを通りワーク保持部２１の配列方向に直交する仮想線ＶＬ上に係合ピン２６が下方に突出して設けられている。係合ピン２６は、２つの連結体３１が最も近づいた状態のとき、隣り合うワーク保持部２１同士の間に所定の隙間が形成されるようにその位置を規制するので、ワーク保持部２１同士の干渉を防止することができる。
【００５０】
また、ワーク保持部２１の角度は、角度変更機構４０で係合ピン２６を回転させることで変更可能であるので、ワーク保持部２１で保持するワークＷを任意の角度に設定して加工することができる。
【００５１】
尚、本発明は、前述した実施形態に限定されるものではなく、適宜、変形、改良、等が可能である。
例えば、上記実施形態のパレット２０では、連結部２３が、ワーク保持部２１の突起部２５が回動自在に挿通されてなる複数の連結ユニット３２を備え、隣接する連結ユニット３２の一対の連結体３１の端部３１ａ同士が、ピン３３により回転自在に連結され、隣接距離変更機構３０により距離変更が可能となっているが、これに限らず、パレットは、電気的若しくは磁気的駆動装置、又は油圧駆動装置等の駆動装置を内蔵し、該駆動装置により距離変更，角度変更が可能であってもよい。
【符号の説明】
【００５２】
１５            一次切断ワーク
１６            二次切断ワーク
１６ａ，１６ｂ  角部
２０            パレット（ワイヤソー用パレット）
２１            ワーク保持部
２２            パレット基部
２３            連結部
２４            底面
２５，２５ａ    突起部
２６            係合ピン（係合部）
２７            開口部
３１            連結体
３１ａ          端部
ＣＰ            交点
ＤＬ            対角線
ＶＬ            仮想線
Ｗ              ワーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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