(57)【要約】【課題】高精度な位置制御を実現できるトランスと、このトランスを備えた電源装置およびステージ装置と、を提供すること。【解決手段】トランス６０は、１次巻線６１、２次巻線６２、およびコア６３を備える。１次巻線６１は、コア６３の表面に設けられた絶縁材に対して間隙無く、コア６３に巻回される。このため、１次巻線６１およびコア６３のうち、一方が動くと他方も動くことになる。一方、２次巻線６２は、コア６３に巻回された１次巻線６１に対して予め定められた間隙を空けて、コア６３に巻回される。コア６３の変位が上述の予め定められた間隙により定まる長さ未満であれば、コア６３が移動しても、コア６３は２次巻線６２に接触せず、２次巻線６２は動かない。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
コアと、当該コアに巻回される１次巻線および２次巻線と、を有し、半導体リソグラフィ工程において試料の位置制御を行うステージ装置に設けられ、当該ステージ装置に設けられた駆動手段に動力を伝送するために用いられるトランスであって、
前記１次巻線および前記２次巻線は、前記コアの同一の部分に巻回され、
前記１次巻線および前記２次巻線のうち一方の巻線は、当該１次巻線および当該２次巻線のうち他方の巻線に対して予め定められた間隙を空けて、当該同一の部分に巻回されることを特徴とするトランス。
【請求項２】
前記一方の巻線は、
前記同一の部分の延在する方向である第１の軸方向と、
前記第１の軸方向に直交する第２の軸方向と、
前記第１の軸方向および前記第２の軸方向の双方に直交する第３の軸方向と、のうち少なくとも１つの軸方向に沿って移動可能に、前記同一の部分に巻回されることを特徴とする請求項１に記載のトランス。
【請求項３】
前記コアは、３つの磁脚を有し、
前記３つの磁脚のそれぞれの同一の部分には、前記１次巻線と前記２次巻線とが巻回されることを特徴とする請求項１または２に記載のトランス。
【請求項４】
請求項１から３のいずれかに記載のトランスを備え、半導体リソグラフィ工程において試料の位置制御を行うステージ装置を駆動させる電源装置であって、
前記ステージ装置の固定手段に取り付けられ、前記１次巻線に接続されるスイッチ回路と、
前記２次巻線に接続され、当該２次巻線に発生した起電力を整流し、前記ステージ装置の駆動手段に設けられた回路や機器に電力を供給する整流回路と、を備えることを特徴とする電源装置。
【請求項５】
請求項１から３のいずれかに記載のトランスを備えるステージ装置であって、
移動可能に設けられた移動手段と、
前記移動手段に対して相対的に移動する駆動手段と、を備え、
前記一方の巻線は、前記駆動手段に取り付けられ、
前記他方の巻線および前記コアは、前記移動手段および前記駆動手段に対して移動しない固定手段に取り付けられることを特徴とするステージ装置。
【請求項６】
請求項１から３のいずれかに記載のトランスを備えるステージ装置であって、
移動可能に設けられた移動手段と、
前記移動手段に対して相対的に移動する駆動手段と、を備え、
前記他方の巻線および前記コアは、前記駆動手段に取り付けられ、
前記一方の巻線は、前記移動手段および前記駆動手段に対して移動しない固定手段に取り付けられることを特徴とするステージ装置。
【請求項７】
前記駆動手段は、前記移動手段の移動に同期して、当該移動手段が移動した方向と逆方向に移動することを特徴とする請求項５または６に記載のステージ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、トランスと、このトランスを備えた電源装置およびステージ装置と、に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、各種測定装置や半導体リソグラフィ工程で用いられる露光装置などにおいて、ウエハやレチクルなどの試料の位置制御を行うステージ装置が提案されている（例えば、特許文献１、２参照）。特許文献１や特許文献２に示されているステージ装置は、半導体リソグラフィ工程において試料をステージに固定し、このステージを移動させるとともに、ステージが移動することによって生じる反力を他に伝達させないようにする。これによれば、ステージが移動することにより生じる反力が他に伝達することによって、振動が発生してしまうのを防止して、ステージの移動を高精度に制御でき、その結果、試料の位置制御を高精度に行うことができる。
【０００３】
［ステージ装置１００の構成および動作］
図８は、従来例に係るステージ装置１００の構成を示す図である。ステージ装置１００は、ステージ１０、駆動部２０、固定台３０、電源４０、および配線５０を備える。
【０００４】
ステージ１０は、ウエハやレチクルなどの試料を保持した状態で、図８中のＸ軸、Ｙ軸、およびＺ軸のうち少なくとも１つの軸方向に沿って移動可能に設けられ、図示しないステージ駆動装置により駆動される。これによれば、ステージ１０は、Ｘ軸とＹ軸とＺ軸とのうちいずれかの軸方向に沿って移動したり、Ｘ軸とＹ軸とＺ軸とのうち２つの軸を含む平面に平行な平面内で移動したり、Ｘ軸とＹ軸とＺ軸とを含む３次元空間内で移動したりすることになる。
【０００５】
駆動部２０は、図８中のＸ軸、Ｙ軸、およびＺ軸のうち少なくとも１つの軸方向に沿って移動可能に設けられ、図示しない駆動部駆動装置により、ステージ１０の移動に同期して、ステージ１０が移動した方向と逆方向に駆動される。これによれば、駆動部２０は、ステージ１０が移動すると、ステージ１０が移動した方向と逆方向に移動することになる。
【０００６】
固定台３０は、床や地面に対して移動しないように固定される。
【０００７】
電源４０は、駆動部２０に設けられた回路や機器に、配線５０を介して電力を供給する。この電源４０は、固定台３０に取り付けられており、床や地面に対して移動しない。
【０００８】
以上の構成を備えるステージ装置１００は、ステージ１０が移動した方向と逆方向に駆動部２０を移動させて、ステージ１０が移動することによって生じる反力を、駆動部２０を移動させることによって生じる反力で打ち消す。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開平１０−１２５５９３号公報
【特許文献２】国際公開第００／３３３１８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
上述のステージ装置１００において、ステージ１０の移動を高精度に制御するためには、上述の振動が発生してしまうのを防止するために、ステージ１０の移動に合わせて、駆動部２０の位置制御を高精度に行う必要がある。
【００１１】
上述のステージ装置１００において、配線５０の一端には駆動部２０が接続され、配線５０の他端には電源４０が接続される。ここで、駆動部２０は、ステージ１０が移動した方向と逆方向に移動するのに対して、電源４０は、床や地面に対して移動しない。このため、駆動部２０が移動すると、配線５０の一端も動くのに対して、配線５０の他端は動かない。
【００１２】
このため、駆動部２０が移動することによって配線５０に応力が発生し、この配線５０の応力が駆動部２０の移動を妨げてしまい、駆動部２０の位置制御を高精度に行うことはできないおそれがあった。
【００１３】
上述の課題に鑑み、本発明は、高精度な位置制御を実現できるトランスと、このトランスを備えた電源装置およびステージ装置と、を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明は、上述の課題を解決するために、以下の事項を提案している。
（１）  本発明は、コア（例えば、図２のコア６３に相当）と、当該コアに巻回される１次巻線（例えば、図２の１次巻線６１に相当）および２次巻線（例えば、図２の２次巻線６２に相当）と、を有し、半導体リソグラフィ工程において試料の位置制御を行うステージ装置（例えば、図１のステージ装置１に相当）に設けられ、当該ステージ装置に設けられた駆動手段（例えば、図１の駆動部２０に相当）に動力を伝送するために用いられるトランス（例えば、図２のトランス６０に相当）であって、前記１次巻線および前記２次巻線は、前記コアの同一の部分（例えば、図３の磁脚６３３に相当）に巻回され、前記１次巻線および前記２次巻線のうち一方の巻線（例えば、図３の２次巻線６２に相当）は、当該１次巻線および当該２次巻線のうち他方の巻線（例えば、図３の１次巻線６１に相当）に対して予め定められた間隙を空けて、当該同一の部分に巻回されることを特徴とするトランスを提案している。
【００１５】
この発明によれば、１次巻線および２次巻線のうち、一方の巻線を、他方の巻線に対して予め定められた間隙を空けて、コアに巻回すこととした。このため、一方の巻線は、他方の巻線にもコアにも接触することなく自由に動くことができる。したがって、１次巻線および２次巻線のうち、一方から他方にも、他方から一方にも、力が伝わらない。よって、１次巻線や２次巻線が取り付けられた構成の移動がこれら巻線により妨げられてしまうのを防止でき、この構成の位置制御を高精度に行うことができる。
【００１６】
また、この発明によれば、１次巻線および２次巻線を、コアの同一の部分に巻回すこととした。このため、１次巻線と２次巻線とが互いに異なる部分に巻回されている場合と比べて、１次巻線に発生した磁束のうち２次巻線を貫くものが増加する。したがって、１次巻線と２次巻線とが互いに異なる部分に巻回されている場合と比べて、１次巻線と２次巻線とのカップリングの度合いを強くすることができる。
【００１７】
（２）  本発明は、（１）のトランスについて、前記一方の巻線は、前記同一の部分の延在する方向である第１の軸方向（例えば、図２のＺ軸方向に相当）と、前記第１の軸方向に直交する第２の軸方向（例えば、図２のＸ軸方向に相当）と、前記第１の軸方向および前記第２の軸方向の双方に直交する第３の軸方向（例えば、図２のＹ軸方向に相当）と、のうち少なくとも１つの軸方向に沿って移動可能に、前記同一の部分に巻回されることを特徴とするトランスを提案している。
【００１８】
この発明によれば、（１）のトランスにおいて、１次巻線および２次巻線のうち一方の巻線を、第１の軸方向と第２の軸方向と第３の軸方向との少なくとも１つの軸方向に沿って移動可能に、コアに巻回すこととした。このため、一方の巻線と、他方の巻線およびコアと、を互いに接触させることなく、１次巻線や２次巻線が取り付けられた構成を、第１の軸方向と第２の軸方向と第３の軸方向とのうちいずれかの軸方向に沿って移動させたり、第１の軸方向と第２の軸方向と第３の軸方向とのうち２つの軸を含む平面に平行な平面内で移動させたり、第１の軸方向と第２の軸方向と第３の軸方向との３つの軸を含む３次元空間内で移動させたりすることができる。
【００１９】
（３）  本発明は、（１）または（２）のトランスについて、前記コア（例えば、図５のコア６３Ａに相当）は、３つの磁脚（例えば、図６の磁脚６３２Ａ、６３３Ａ、６３４Ａに相当）を有し、前記３つの磁脚のそれぞれの同一の部分には、前記１次巻線と前記２次巻線とが巻回されることを特徴とするトランスを提案している。
【００２０】
この発明によれば、（１）または（２）のトランスにおいて、コアが有する３つの磁脚のそれぞれの同一の部分に、１次巻線と２次巻線とを巻回すこととした。このため、いわゆる三相トランスにおいても、上述した効果と同様の効果を奏することができる。
【００２１】
（４）  本発明は、（１）から（３）のいずれかのトランスを備え、半導体リソグラフィ工程において試料の位置制御を行うステージ装置を駆動させる電源装置（例えば、図１の電源装置２に相当）であって、前記ステージ装置の固定手段に取り付けられ、前記１次巻線（例えば、図１の１次巻線６１に相当）に接続されるスイッチ回路（例えば、図１の１次側スイッチ回路７０に相当）と、前記２次巻線（例えば、図１の２次巻線６２に相当）に接続され、当該２次巻線に発生した起電力を整流し、前記ステージ装置の駆動手段（例えば、図１の駆動部２０に相当）に設けられた回路や機器に電力を供給する整流回路（例えば、図１の２次側整流回路８０に相当）と、を備えることを特徴とする電源装置を提案している。
【００２２】
この発明によれば、（１）から（３）のいずれかのトランスを備え、半導体リソグラフィ工程において試料の位置制御を行うステージ装置を駆動させる電源装置に、スイッチ回路および整流回路を設けることとした。スイッチ回路については、ステージ装置の固定手段に取り付けられ、１次巻線に接続されるものとした。また、整流回路については、２次巻線に接続され、２次巻線に発生した起電力を整流し、ステージ装置の駆動手段に設けられた回路や機器に電力を供給するものした。このため、半導体リソグラフィ工程における試料の位置制御を従来のステージ装置と比べて高精度に行うことができるステージ装置を、駆動させることができる。
【００２３】
（５）  本発明は、（１）から（３）のいずれかのトランスを備えるステージ装置について、移動可能に設けられた移動手段（例えば、図１のステージ１０に相当）と、前記移動手段に対して相対的に移動する駆動手段（例えば、図１の駆動部２０に相当）と、を備え、前記一方の巻線（例えば、図１の２次巻線６２に相当）は、前記駆動手段に取り付けられ、前記他方の巻線（例えば、図１の１次巻線６１に相当）および前記コアは、前記移動手段および前記駆動手段に対して移動しない固定手段（例えば、図１の固定台３０に相当）に取り付けられることを特徴とするステージ装置を提案している。
【００２４】
この発明によれば、（１）から（３）のいずれかのトランスを備えるステージ装置において、１次巻線および２次巻線のうち一方の巻線を、移動する駆動手段に取り付け、１次巻線および２次巻線のうち他方の巻線とコアとを、移動しない固定手段に取り付けることとした。このため、駆動手段が移動すると、一方の巻線も動くことになるが、一方の巻線は、他方の巻線にもコアにも接触することなく自由に動くことができる。したがって、駆動手段の移動が１次巻線や２次巻線により妨げられてしまうのを防止でき、駆動手段の位置制御を高精度に行うことができ、その結果、移動手段の位置制御も高精度に行うことができる。
【００２５】
（６）  本発明は、（１）から（３）のいずれかのトランスを備えるステージ装置について、移動可能に設けられた移動手段（例えば、図１のステージ１０に相当）と、前記移動手段に対して相対的に移動する駆動手段（例えば、図１の駆動部２０に相当）と、を備え、前記他方の巻線および前記コアは、前記駆動手段に取り付けられ、前記一方の巻線は、前記移動手段および前記駆動手段に対して移動しない固定手段に取り付けられることを特徴とするステージ装置を提案している。
【００２６】
この発明によれば、（１）から（３）のいずれかのトランスを備えるステージ装置において、１次巻線および２次巻線のうち他方の巻線とコアとを、移動する駆動手段に取り付け、１次巻線および２次巻線のうち一方の巻線を、移動しない固定手段に取り付けることとした。このため、駆動手段が移動すると、他方の巻線およびコアも動くことになるが、他方の巻線およびコアは、一方の巻線に接触することなく自由に動くことができる。したがって、駆動手段の移動が１次巻線や２次巻線により妨げられてしまうのを防止でき、駆動手段の位置制御を高精度に行うことができ、その結果、移動手段の位置制御も高精度に行うことができる。
【００２７】
（７）  本発明は、（５）または（６）のステージ装置について、前記駆動手段は、前記移動手段の移動に同期して、当該移動手段が移動した方向と逆方向に移動することを特徴とするステージ装置を提案している。
【００２８】
この発明によれば、（５）または（６）のステージ装置において、移動手段の移動に同期して、移動手段が移動した方向と逆方向に駆動手段を移動させることとした。このため、移動手段が移動することによって生じる反力を、駆動手段を移動させることによって生じる反力で打ち消すことができる。
【発明の効果】
【００２９】
本発明によれば、高精度な位置制御を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明の第１実施形態に係るステージ装置を示す図である。
【図２】前記実施形態に係るステージ装置が備えるトランスの斜視図である。
【図３】前記実施形態に係るステージ装置が備えるトランスの断面図である。
【図４】前記実施形態に係るステージ装置が備えるトランスの断面図である。
【図５】本発明の第２実施形態に係るステージ装置が備えるトランスの斜視図である。
【図６】前記実施形態に係るステージ装置が備えるトランスの断面図である。
【図７】前記実施形態に係るステージ装置が備えるトランスの断面図である。
【図８】従来例に係るステージ装置を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００３１】
以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。なお、以下の実施形態における構成要素は適宜、既存の構成要素などとの置き換えが可能であり、また、他の既存の構成要素との組み合わせを含む様々なバリエーションが可能である。したがって、以下の実施形態の記載をもって、特許請求の範囲に記載された発明の内容を限定するものではない。
【００３２】
＜第１実施形態＞
［ステージ装置１の構成および動作］
図１は、本発明の第１実施形態に係るステージ装置１の構成を示す図である。ステージ装置１は、半導体リソグラフィ工程においてウエハやレチクルなどの試料の位置制御を行うステージ装置であり、図８に示した従来例に係るステージ装置１００とは、電源４０および配線５０の代わりに電源装置２を備える点が異なる。なお、ステージ装置１において、ステージ装置１００と同一構成要件については、同一符号を付し、その説明を省略する。
【００３３】
電源装置２は、トランス６０、１次側スイッチ回路７０、および２次側整流回路８０を備える。この電源装置２は、いわゆるスイッチング電源を構成し、図８に示した電源４０と同様に、駆動部２０に設けられた回路や機器に電力を供給する。
【００３４】
トランス６０は、１次巻線６１、２次巻線６２、およびコア６３を備える。トランス６０については、図２、３、４を用いて後に詳述する。
【００３５】
なお、図１から４では、説明のために便宜上、１次巻線６１の太さと２次巻線６２の太さとを異ならせている。
【００３６】
１次側スイッチ回路７０は、スイッチ素子を備えており、固定台３０に取り付けられる。この１次側スイッチ回路７０には、１次巻線６１およびコア６３が取り付けられる。１次側スイッチ回路７０は、上述のスイッチ素子を適宜スイッチングさせることによって、１次巻線６１に磁束を発生させる。１次巻線６１に発生した磁束が２次巻線６２を貫くことにより、２次巻線６２に起電力が発生する。
【００３７】
２次側整流回路８０は、駆動部２０に設けられ、整流回路を備えており、この２次側整流回路８０には、２次巻線６２が取り付けられる。２次側整流回路８０は、２次巻線６２に発生した起電力を整流し、駆動部２０に設けられた回路や機器に電力を供給する。
【００３８】
［トランス６０の構成］
図２は、トランス６０の斜視図である。図３は、図２に示したＸ軸とＹ軸とを含む平面に平行な平面におけるトランス６０の断面図である。図４は、図２に示したＸ軸とＺ軸とを含む平面に平行な平面におけるトランス６０の断面図である。
【００３９】
コア６３は、２つのＥ型コアからなり、２つのＥ型コアのそれぞれは、ヨーク部６３１と、ヨーク部６３１から延伸する３つの磁脚６３２、６３３、６３４と、を備える。磁脚６３３には、１次巻線６１および２次巻線６２が巻回される。磁脚６３３と１次巻線６１と２次巻線６２との関係について、以下に詳述する。
【００４０】
磁脚６３３の表面には、絶縁シートといった絶縁材（図示省略）が設けられている。
【００４１】
１次巻線６１は、磁脚６３３の表面に設けられた絶縁材に対して間隙無く、磁脚６３３に巻回される。このため、１次巻線６１とコア６３とは絶縁材を介して接触しており、１次巻線６１およびコア６３のうち一方が動くと他方も動くことになる。
【００４２】
一方、２次巻線６２は、ヨーク部６３１と、磁脚６３３に巻回された１次巻線６１と、に対して予め定められた間隙を空けて、磁脚６３３に巻回される。具体的には、図３に示すように、磁脚６３３に巻回された１次巻線６１と２次巻線６２とのＸ軸方向の間隙を、距離ＷＸとし、磁脚６３３に巻回された１次巻線６１と２次巻線６２とのＹ軸方向の間隙を、距離ＷＹとするとともに、図４に示すように、ヨーク部６３１と２次巻線６２とのＺ軸方向の間隙を、距離ＷＺとして、２次巻線６２は磁脚６３３に巻回される。
【００４３】
このため、２次巻線６２のＸ軸方向の変位がＷＸ未満であれば、２次巻線６２がＸ軸方向に沿って移動しても、２次巻線６２は１次巻線６１にも磁脚６３３にも接触しない。また、２次巻線６２のＹ軸方向の変位がＷＹ未満であれば、２次巻線６２がＹ軸方向に沿って移動しても、２次巻線６２は１次巻線６１にも磁脚６３３にも接触しない。また、２次巻線６２のＺ軸方向の変位がＷＺ未満であれば、２次巻線６２がＺ軸方向に沿って移動しても、２次巻線６２は１次巻線６１にもヨーク部６３１にも接触しない。以上より、２次巻線６２のＸ軸方向の変位がＷＸ未満であり、２次巻線６２のＹ軸方向の変位がＷＹ未満であり、２次巻線６２のＺ軸方向の変位がＷＺ未満であれば、２次巻線６２がどの方向に移動しても、２次巻線６２は１次巻線６１にもコア６３にも接触しないことになる。
【００４４】
ここで、２次巻線６２は、上述のように２次側整流回路８０に取り付けられており、２次側整流回路８０は、駆動部２０に設けられている。このため、駆動部２０が移動すると、２次巻線６２も移動することになる。しかしながら、駆動部２０のＸ軸方向の変位がＷＸ未満であり、駆動部２０のＹ軸方向の変位がＷＹ未満であり、駆動部２０のＺ軸方向の変位がＷＺ未満であれば、駆動部２０がどの方向に移動しても、２次巻線６２は、１次巻線６１にもコア６３にも接触することなく自由に動くことができる。
【００４５】
なお、上述の距離ＷＸは、駆動部２０がＸ軸方向に移動する距離以上で、かつ、駆動部２０がＸ軸方向に移動しても２次巻線６２が磁脚６３２にも磁脚６３４にも接触しないように設定される。また、上述の距離ＷＹは、駆動部２０がＹ軸方向に移動する距離以上に設定される。また、上述の距離ＷＺは、駆動部２０がＺ軸方向に移動する距離以上に設定される。
【００４６】
以上のステージ装置１によれば、以下の効果を奏することができる。
【００４７】
ステージ装置１は、１次巻線６１、２次巻線６２、およびコア６３を有するトランス６０を備えており、２次巻線６２は、ヨーク部６３１と、磁脚６３３に巻回された１次巻線６１と、に対して予め定められた間隙を空けて、磁脚６３３に巻回される。このため、駆動部２０が移動すると２次巻線６２も動くが、２次巻線６２は、１次巻線６１にもコア６３にも接触することなく自由に動くことができる。したがって、駆動部２０の移動が１次巻線６１や２次巻線６２により妨げられてしまうのを防止でき、駆動部２０の位置制御を高精度に行うことができ、その結果、ステージ１０の位置制御も高精度に行うことができる。
【００４８】
また、ステージ装置１において、１次巻線６１および２次巻線６２は、コア６３の同一の部分である磁脚６３３に巻回される。このため、１次巻線６１と２次巻線６２とが互いに異なる部分に巻回されている場合と比べて、１次巻線６１に発生した磁束のうち２次巻線６２を貫くものが増加する。したがって、１次巻線６１と２次巻線６２とが互いに異なる部分に巻回されている場合と比べて、１次巻線６１と２次巻線６２とのカップリングの度合いを強くすることができる。
【００４９】
また、ステージ装置１において、１次巻線６１は、磁脚６３３の表面に設けられた絶縁材に対して間隙無く、磁脚６３３に巻回される。このため、１次巻線６１と２次巻線６２とのカップリングの度合いをさらに強くすることができる。
【００５０】
また、ステージ装置１は、ステージ１０の移動に同期して、ステージ１０が移動した方向と逆方向に駆動部２０を駆動する。このため、ステージ１０が移動することによって生じる反力を、駆動部２０を移動させることによって生じる反力で打ち消すことができる。
【００５１】
＜第２実施形態＞
本発明の第２実施形態に係るステージ装置１Ａについて、以下に説明する。ステージ装置１Ａは、本発明の第１実施形態に係るステージ装置１とは、トランス６０の代わりにトランス６０Ａを備える点が異なる。なお、ステージ装置１Ａにおいて、ステージ装置１と同一構成要件については、同一符号を付し、その説明を省略する。
【００５２】
［トランス６０Ａの構成］
図５は、トランス６０Ａの斜視図である。図６は、図５に示したＸ軸とＹ軸とを含む平面に平行な平面におけるトランス６０Ａの断面図である。図７は、図５に示したＸ軸とＺ軸とを含む平面に平行な平面におけるトランス６０Ａの磁脚６３２Ａの断面図である。
【００５３】
トランス６０Ａは、いわゆる三相トランスであり、３つの１次巻線６１Ａと、３つの２次巻線６２Ａと、コア６３Ａと、を備える。コア６３Ａは、所定の間隔を空けて設けられたＸ軸とＹ軸とを含む平面に平行な２つヨーク部６３１Ａ、６３１Ｂと、Ｚ軸方向に延在してヨーク部６３１Ａ、６３１Ｂを連結する磁脚６３２Ａ、６３３Ａ、６３４Ａと、を備える。
【００５４】
図６に示すように、Ｘ軸とＹ軸とを含む平面に平行な平面における、磁脚６３２Ａ、６３３Ａ、６３４Ａのそれぞれ断面は、直径が互いに等しい円形である。
【００５５】
３つの１次巻線６１Ａのそれぞれは、磁脚６３２Ａ、６３３Ａ、６３４Ａのそれぞれの表面に設けられた絶縁材に対して間隙無く、磁脚６３２Ａ、６３３Ａ、６３４Ａのそれぞれに巻回される。このため、磁脚６３２Ａと、磁脚６３２Ａに巻回された１次巻線６１Ａとは、絶縁材を介して接触しており、これら磁脚６３２Ａおよび１次巻線６１Ａのうち一方が動くと他方も動くことになる。磁脚６３３Ａ、６３４Ａのそれぞれと、磁脚６３３Ａ、６３４Ａのそれぞれに巻回された１次巻線６１Ａと、についても、上述の磁脚６３２Ａおよび１次巻線６１と同様に、一方が動くと他方も動くことになる。
【００５６】
一方、３つの２次巻線６２Ａのそれぞれは、ヨーク部６３１Ａ、６３１Ｂのそれぞれと、磁脚６３２Ａ、６３３Ａ、６３４Ａのそれぞれに巻回された１次巻線６１と、に対して予め定められた間隙を空けて、磁脚６３２Ａ、６３３Ａ、６３４Ａのうち対応するものに巻回される。具体的には、図６に示すように、３つの２次巻線６２Ａのそれぞれと、磁脚６３２Ａ、６３３Ａ、６３４Ａのうち対応するものに巻回された１次巻線６１Ａと、の間隙を、距離ＷＸＹとするとともに、図７に示すように、３つの２次巻線６２Ａのそれぞれとヨーク部６３１Ａ、６３１ＢとのＺ軸方向の間隙を、距離ＷＺとして、３つの２次巻線６２Ａのそれぞれは、磁脚６３２Ａ、６３３Ａ、６３４Ａのうち対応するものに巻回される。
【００５７】
このため、３つの２次巻線６２ＡのＸ軸方向の変位がＷＸＹ未満であれば、３つの２次巻線６２ＡがＸ軸方向に沿って移動しても、２次巻線６２Ａは１次巻線６１Ａにも磁脚６３２Ａ、６３３Ａ、６３４Ａにも接触しない。また、３つの２次巻線６２ＡのＹ軸方向の変位がＷＸＹ未満であれば、３つの２次巻線６２ＡがＹ軸方向に沿って移動しても、２次巻線６２Ａは１次巻線６１Ａにも磁脚６３２Ａ、６３３Ａ、６３４Ａにも接触しない。また、３つの２次巻線６２ＡのＺ軸方向の変位がＷＺ未満であれば、３つの２次巻線６２ＡがＺ軸方向に沿って移動しても、２次巻線６２Ａは１次巻線６１Ａにもヨーク部６３１Ａ、６３１Ｂにも接触しない。以上より、３つの２次巻線６２ＡのＸ軸方向およびＹ軸方向の変位がＷＸＹ未満であり、３つの２次巻線６２ＡのＺ軸方向の変位がＷＺ未満であれば、３つの２次巻線６２Ａがどの方向に移動しても、２次巻線６２Ａは１次巻線６１Ａにもコア６３Ａにも接触しないことになる。
【００５８】
ここで、３つの２次巻線６２Ａは、本発明の第１実施形態に係る２次巻線６２と同様に２次側整流回路８０に取り付けられており、２次側整流回路８０は、駆動部２０に設けられている。このため、駆動部２０が移動すると、３つの２次巻線６２Ａのそれぞれも一緒に移動することになる。しかしながら、駆動部２０のＸ軸方向およびＹ軸方向の変位がＷＸＹ未満であり、駆動部２０のＺ軸方向の変位がＷＺ未満であれば、駆動部２０が移動しても、３つの２次巻線６２Ａは、１次巻線６１Ａにもコア６３Ａにも接触することなく自由に動くことができる。
【００５９】
なお、上述の距離ＷＸＹは、駆動部２０がＸ軸方向やＹ軸方向に移動する距離以上に設定される。また、上述の距離ＷＺは、駆動部２０がＺ軸方向に移動する距離以上に設定される。
【００６０】
以上のステージ装置１Ａによれば、ステージ装置１と同様の効果を奏することができる
【００６１】
本発明は、上述の実施形態に限定されるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲内で様々な変形や応用が可能である。
【００６２】
例えば、上述の各実施形態では、移動しない１次側スイッチ回路７０に１次巻線が取り付けられ、移動する駆動部２０に２次巻線が取り付けられるものとした。しかし、これに限らず、例えば、移動する構成に１次巻線を取り付け、移動しない構成に２次巻線を取り付けてもよい。また、例えば、１次巻線および２次巻線を、それぞれ、移動する構成に取り付けてもよい。
【００６３】
また、上述の各実施形態では、移動しない１次側スイッチ回路７０にコアが取り付けられるものとした。しかし、これに限らず、例えば、駆動部２０のように移動する構成に、コアを取り付けてもよい。
【００６４】
また、上述の各実施形態では、コアの表面に設けられた絶縁材に対して間隙無く、１次巻線がコアに巻回され、コアに巻回された１次巻線に対して予め定められた間隙を空けて、２次巻線がコアに巻回されるものとした。しかし、これに限らず、例えば、コアの表面に設けられた絶縁材に対して間隙無く、２次巻線がコアに巻回され、コアに巻回された２次巻線に対して予め定められた間隙を空けて、１次巻線がコアに巻回されるものとしてもよい。また、例えば、１次巻線および２次巻線が、それぞれ、コアの表面に設けられた絶縁材に対して予め定められた間隙を空けて、コアに巻回されるものとしてもよい。
【００６５】
また、上述の第１実施形態では、コア６３は、ＥＥコアであるものとしたが、これに限らず、ＥＩコアといった他の形状のコアであってもよい。
【００６６】
なお、トランスは、各種測定装置といった、Ｘ軸、Ｙ軸、およびＺ軸のうち少なくとも１つの軸方向に沿って移動する構成が１次巻線や２次巻線に接続される機器や装置などにも、用いることができる。
【符号の説明】
【００６７】
１、１Ａ、１００；ステージ装置
２；電源装置
１０；ステージ
２０；駆動部
３０；固定台
４０；電源
５０；配線
６０、６０Ａ；トランス
６１、６１Ａ；１次巻線
６２、６２Ａ；２次巻線
６３、６３Ａ；コア
６３１、６３１Ａ、６３１Ｂ；ヨーク部
６３２、６３３、６３４、６３２Ａ、６３３Ａ、６３４Ａ；磁脚
７０；１次側スイッチ回路
８０；２次側整流回路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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