(57)【要約】【課題】高い周波数でもより安定して所望の振幅を得る。【解決手段】回転振動装置（１）は回転テーブル（２）を一方向から支持すると共に、当該一方向と平行方向に振動し回転テーブル（２）を加振する加振部（１０Ａ〜１０Ｄ）を備えている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
載置された評価対象物に振動を加えるための振動装置であって、
上記評価対象物を載置するための載置台と
上記載置台を、一方向から支持すると共に、当該一方向と平行方向に振動することで、上記載置台を加振する第１及び第２の加振部とを備えていることを特徴とする振動装置。
【請求項２】
上記第１の加振部に入力する振動波形を生成するための第１の生成用信号を生成する第１の振動波形制御部と、
上記第１の振動波形制御部が生成した上記第１の生成用信号の位相をずらして、上記第２の加振部に入力する振動波形を生成するための第２の生成用信号を生成する第１の位相制御部とを備えていることを特徴とする請求項１に記載の振動装置。
【請求項３】
さらに、上記載置台を、上記一方向から支持すると共に、当該一方向と平行方向に振動することで、上記載置台を加振する第３及び第４の加振部を備えていることを特徴とする請求項２に記載の振動装置。
【請求項４】
上記第３の加振部に入力する振動波形を生成するための第３の生成用信号を生成する第２の振動波形制御部と、
上記第２の振動波形制御部が生成した上記第３の生成用信号の位相をずらして、上記第４の加振部に入力する振動波形を生成するための第４の生成用信号を生成する第２の位相制御部とを備えていることを特徴とする請求項３に記載の振動装置。
【請求項５】
上記第１の位相制御部は、上記第１の振動波形制御部が生成した上記振動波形から極性を反転させることで、上記第２の加振部に入力するための上記振動波形を生成し、
上記第２の位相制御部は、上記第２の振動波形制御部が生成した上記振動波形から極性を反転させることで、上記第４の加振部に入力するための上記振動波形を生成することを特徴とする請求項４に記載の振動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、デジタルスチルカメラや、携帯電話に付随するカメラとして、ＯＩＳ（Optical Image Stabilization：光学式手振れ補正）機能が搭載されているものが開発されている。
【０００３】
このＯＩＳ機能の性能を評価する際、一般に、Ｙａｗ（ヨー：カメラを正姿勢に構えたときの垂直軸に対する横方向の回転振動の方向）及びPitch（ピッチ：カメラを正姿勢に構えたときの水平軸に対する縦方向の回転振動の方向）の振動を装置で発生させ、そのときの様々な振幅や振動周波数に対してのＯＩＳ機能を搭載したカメラの画像のブレの度合いを測定する。
【０００４】
Ｙａｗ及びＰｉｔｃｈの振動を発生させる装置として回転振動装置が開発されている。この回転振動装置の従来例として、特許文献１に記載された振動シミュレータがある。
【０００５】
図１３は、従来の振動シミュレータを示す斜視図である。
【０００６】
図１３に示すように、振動シミュレータ１００は、基礎台１３１と、振動台１３２と、一対の第１水平加振機１３３と、一対の第２水平加振機１３４と、一対の垂直加振機１３５と、複数の球面継ぎ手３６とを備えている。
【０００７】
基礎台１３１は、互いに直交する縦壁１３１ａと、縦壁１３１ｂと、水平壁１３１ｃとを有する。
【０００８】
一対の第１水平加振機１３３は、縦壁１３１ａと、振動台１３２の縦壁１３１ａに対する対向面との間に、それぞれ球面継ぎ手１３６を介して、上記対向面を支持ように配されている。一対の第２水平加振機１３４は、縦壁１３１ｂと、振動台１３２の縦壁１３１ｂに対する対向面との間に、それぞれ球面継ぎ手１３６を介して、上記対向面を支持ように配されている。一対の垂直加振機１３５は、水平壁１３１ｃと、振動台１３２の水平壁１３１ｃに対する対向面との間に、それぞれ球面継ぎ手１３６を介して、上記対向面を支持ように配されている。
【０００９】
一対の第１水平加振機１３３は、振動台１３２を、Ｘ軸方向と、Ｚ軸を中心とする回転方向とに加振する。一対の第２水平加振機１３４は、振動台１３２を、Ｙ軸方向と、Ｘ軸を中心とする回転方向とに加振する。一対の垂直加振機１３５は、振動台１３２をＺ軸方向と、Ｙ軸を回転中心とする回転方向とに加振する。
【００１０】
また、一対の第１水平加振機１３３と、一対の第２水平加振機１３４と、一対の垂直加振機１３５とは、それぞれ、回転が自由な球面継ぎ手１３６と接続されており、これにより、振動台１３２や縦壁１３１ａ・縦壁１３１ｂ・水平壁１３１ｃと、回転が自由に接続されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】特開昭５８‐７１４３０号公報（１９８３年４月２８日公開）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
しかしながら、特許文献１に記載の振動シミュレータ１００では、振動台１３２を振動させる一対の第１水平加振機１３３と、一対の第２水平加振機１３４と、一対の垂直加振機１３５とが、互いに直角となるように配されている。
【００１３】
このため、一対の加振機、例えば、第１水平加振機１３３が、他の加振機である、一対の第２水平加振機１３４及び一対の垂直加振機１３５の振動方向に対して、直角の方向の振動を発生させてしまう。これによって、他の加振機である、一対の第２水平加振機１３４及び一対の垂直加振機１３５の重さが回転トルクに加わって、振動台１３２の慣性が大きくなる。
【００１４】
加えて、一対の第１水平加振機１３３と、一対の第２水平加振機１３４と、一対の垂直加振機１３５とが、互いに直角となるように配されているため、それぞれの加振機で支持されるための振動台１３２の側面も少なくとも３面必要となり、各面を広くとる必要がある。このため、必然的に振動台１３２の体積が大きくなることで重量が増加し、この結果、振動台１３２の慣性がさらに大きくなる。
【００１５】
このよう、振動台１３２の慣性が大きくなると、振動台１３２の振動する周波数が高くなるほど所望の振幅が得にくくなるという課題が生じる。
【００１６】
本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、その目的は、高い周波数でもより安定して所望の振幅を得ることができる振動装置を得ることである。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
上記の課題を解決するために、本発明の一態様に係る振動装置は、載置された評価対象物に振動を加えるための振動装置であって、上記評価対象物を載置するための載置台と、上記載置台を、一方向から支持すると共に、当該一方向と平行方向に振動することで、上記載置台を加振する第１及び第２の加振部とを備えている。
【発明の効果】
【００１８】
本発明の一態様によると高い周波数でもより安定して所望の振幅を得るという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】第１の実施形態に係る回転振動装置の構成を表す斜視図である。
【図２】第１の実施形態に係る回転振動装置の具体的な構成を表す斜視図である。
【図３】第１の実施形態に係る回転振動装置の各加振部近傍の構成を表す図である。
【図４】第１の実施形態に係る回転振動装置の駆動部の構成を表すブロック図である。
【図５】（ａ）は駆動部の振動波形発生部の構成を表すブロック図であり、（Ｂ）は駆動部の振動波形発生部の構成を表すブロック図である。
【図６】ＰＷＭ信号を表す図である。
【図７】（ａ）は加振部１０Ａに入力される振動波形を示す図であり、（ｂ）は加振部１０Ｂに入力される振動波形を示す図であり、（ｃ）は加振部１０Ｃに入力される振動波形を示す図であり、（ｄ）は加振部１０Ｄに入力される振動波形を示す図である。
【図８】一実施形態に係る回転振動装置を上から見た図である。
【図９】第２の実施形態に係る回転振動装置の各加振部に入力される振動波形を表し、（ａ）は加振部１０Ａに入力される振動波形を示す図であり、（ｂ）は加振部１０Ｂに入力される振動波形を示す図であり、（ｃ）は加振部１０Ｃに入力される振動波形を示す図であり、（ｄ）は加振部１０Ｄに入力される振動波形を示す図である。
【図１０】第３の実施の形態に係る回転振動装置の駆動部の構成を表すブロック図である。
【図１１】第３の実施形態に係る回転振動装置の各加振部に入力される振動波形を表し、（ａ）は加振部１０Ａに入力される振動波形を示す図であり、（ｂ）は加振部１０Ｃに入力される振動波形を示す図である。
【図１２】第３の実施形態に係る回転テーブルの動きを説明する図である。
【図１３】従来の振動シミュレータを示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
〔実施の形態１〕
以下、本発明の第１の実施形態について、詳細に説明する。
【００２１】
（回転振動装置１の概略）
まず、図１を用いて、第１の実施形態に係る回転振動装置１の構成の概略について説明する。
【００２２】
図１は、第１の実施形態に係る回転振動装置１の構成を表す斜視図である。
【００２３】
回転振動装置（振動装置）１は、精密機器等の評価対象物の振動試験を行うために、当該評価対象物に振動を加えるための装置である。
【００２４】
特に、本実施形態では、回転振動装置１は、ＯＩＳ（光学式手振れ補正）機能を評価するために、カメラ等の評価対象物に振動を加えるための装置であるものとして説明する。
【００２５】
回転振動装置１は、回転テーブル（載置台）２と、基礎台３と、加振部（第１の加振部）１０Ａと、加振部（第３の加振部）１０Ｂと、加振部（第２の加振部）１０Ｃと、加振部（第４の加振部）１０Ｄと、球面継ぎ手１５Ａ・１５Ｂ・１５Ｃ・１５Ｄと、駆動部４０とを備えている。
【００２６】
回転テーブル２は、カメラ等の評価対象物を載置するためのテーブルである。回転テーブル２は、基礎台３と離間して平行に配されている。回転テーブル２は板状の平面形状を有する。一例として、回転テーブル２は、平面視で正方形状となっている。なお、回転テーブル２の形状は正方形状でなくとも、長方形状や他の多角形状であってもよい。
【００２７】
回転テーブル２の上面（表面）が、評価対象物を載置するための面である。
【００２８】
回転テーブル２の下面（基礎台３との対向面）の４隅には球面継ぎ手１５Ａ・１５Ｂ・１５Ｃ・１５Ｄが配されている。回転テーブル２の下面は、球面継ぎ手１５Ａ・１５Ｂ・１５Ｃ・１５Ｄを介して、加振部１０Ａ・１０Ｂ・１０Ｃ・１０Ｄによって支持されている。
【００２９】
基礎台３は、回転テーブル２を振動させるための土台である。一例として、基礎台３は、平面視で正方形状となっている。なお、基礎台３の形状は正方形状でなくとも、他の形状であってもよい。
【００３０】
基礎台３の表面（回転テーブル２との対向面）上であって、４隅の角部に、加振部１０Ａ・１０Ｂ・１０Ｃ・１０Ｄが配されている。
【００３１】
加振部１０Ａ・１０Ｂ・１０Ｃ・１０Ｄは、回転テーブル２に対して、一方向（下面）側から支持する。加振部１０Ａ・１０Ｂ・１０Ｃ・１０Ｄは、それぞれ、その回転テーブル２を支持する方向であって互いに平行な方向に振動する。加振部１０Ａ・１０Ｂ・１０Ｃ・１０Ｄが、回転テーブル２を支持する方向、及び、加振部１０Ａ・１０Ｂ・１０Ｃ・１０Ｄが振動する方向は共に鉛直方向である。
【００３２】
加振部１０Ａ・１０Ｂ・１０Ｃ・１０Ｄは、基礎台３の表面の４隅に配されており、先端部分は、球面継ぎ手１５Ａ・１５Ｂ・１５Ｃ・１５Ｄのそれぞれと接続されている。こにより、回転テーブルは回転自在に可動することができる。
【００３３】
このように、加振部１０Ａ・１０Ｂ・１０Ｃ・１０Ｄはそれぞれ、球面継ぎ手１５Ａ・１５Ｂ・１５Ｃ・１５Ｄを介して、回転テーブル２を下面側から支持している。
【００３４】
加振部１０Ａ・１０Ｂ・１０Ｃ・１０Ｄは、平面視したとき、それぞれ、回転テーブル２のそれぞれの角部に、順に、時計まわりに並んで配されている。これにより、回転テーブル２は、２軸を回転中心とする搖動運動が可能となっている。
【００３５】
この加振部１０Ａ・１０Ｂ・１０Ｃ・１０Ｄ及びその近傍の具体的な構成については後述する。
【００３６】
駆動部４０は、各加振部１０Ａ・１０Ｂ・１０Ｃ・１０Ｄを駆動させるためのものである。
【００３７】
駆動部４０は、各加振部１０Ａ・１０Ｂ・１０Ｃ・１０Ｄを加振させるための駆動信号ＤＡ・ＤＢ・ＤＣ・ＤＤを生成し、当該生成した、駆動信号ＤＡを加振部１０Ａに入力し、駆動信号ＤＢを加振部１０Ｂに入力し、駆動信号ＤＣを加振部１０Ｃに入力し、駆動信号ＤＤを加振部１０Ｄに入力する。
【００３８】
なお、この駆動部４０の具体的な説明は後述する。
【００３９】
このように、回転振動装置１は、回転テーブル２を、一方向から支持すると共に、当該一方向と平行方向に振動することで、回転テーブル２を加振する加振部１０Ａ・１０Ｂ・１０Ｃ・１０Ｄを備えている。
【００４０】
このように、加振部１０Ａ・１０Ｂ・１０Ｃ・１０Ｄは、回転テーブル２を一方向から支持し、当該一方向と平行方向に振動するため、不要な方向の振動の発生を防止することができ、高い周波数でも安定して回転テーブル２を振動させることができる。
【００４１】
加えて、加振部１０Ａ・１０Ｂ・１０Ｃ・１０Ｄは、回転テーブル２を一方向から支持する。このため、多方向から回転テーブル２を支持する場合のように、ある程度の面積が必要な支持されるための面を、多数設ける必要がない。このため、このような、多方向から回転テーブル２を支持する場合と比べて、回転テーブル２の体積増加を防止し、これにより、回転テーブル２の重量の増加を防止することができる。この結果、高い周波数で、より安定して回転テーブル２を振動させることができる。
【００４２】
（回転振動装置１の全体構成）
次に、図２、図３を用いて、図１に示した回転振動装置１の具体的な構成について説明する。
【００４３】
図２は、第１の実施形態に係る回転振動装置１の具体的な構成を表す斜視図である。図３は、第１の実施形態に係る回転振動装置１の各加振部近傍の構成を表す図である。
【００４４】
図２、図３に示すように、回転振動装置１は上述した構成に加え、複数の制動バネ固定台１６と、制動バネ１９Ａ・１９Ｂ・１９Ｃ・１９Ｄとを備えている。
【００４５】
一例として、加振部１０Ａ・１０Ｂ・１０Ｃ・１０Ｄは、それぞれ、ＶＣＭ（ボイスコイルモーター）であるものとする。
【００４６】
加振部１０Ａは加振部本体１１Ａと可動部１２Ａとを有する。可動部１２Ａは可動部本体１３Ａと突起部１４Ａとを有する。加振部１０Ｂは加振部本体１１Ｂと可動部１２Ｂとを有する。可動部１２Ｂは可動部本体１３Ｂと突起部１４Ｂとを有する。加振部１０Ｃは加振部本体１１Ｃと可動部１２Ｃとを有する。可動部１２Ｃは可動部本体１３Ｃと突起部１４Ｃとを有する。加振部１０Ｄは加振部本体１１Ｄと可動部１２Ｄとを有する。可動部１２Ｄは可動部本体１３Ｄと突起部１４Ｄとを有する。
【００４７】
加振部１０Ａと、球面継ぎ手１５Ａと、制動バネ固定台１６と、制動バネ１９Ａとが一つのユニットＡとして回転テーブル２及び基礎台３の一つの角部に配されている。加振部１０Ｂと、球面継ぎ手１５Ｂと、制動バネ固定台１６と、制動バネ１９Ｂとが一つのユニットＢとして回転テーブル２及び基礎台３の他の一つの角部に配されている。加振部１０Ｃと、球面継ぎ手１５Ｃと、制動バネ固定台１６と、制動バネ１９Ｃとが一つのユニットＢとして回転テーブル２及び基礎台３の他の一つの角部に配されている。加振部１０Ｄと、球面継ぎ手１５Ｄと、制動バネ固定台１６と、制動バネ１９Ｄとが一つのユニットＤとして回転テーブル２及び基礎台３の他の一つの角部に配されている。
【００４８】
本実施の形態では、回転振動装置１を平面視したときに、ユニットＡ・Ｂ・Ｃ・Ｄは、時計回りとなるように回転テーブル２の下面であって角部に配されている。
【００４９】
各ユニットＡ・Ｂ・Ｃ・Ｄの構造は同様である。
【００５０】
制動バネ固定台１６はＬ字形状を有する。制動バネ固定台１６は、一方の端部である下端が基礎台３の表面に固定されており、下端から鉛直方向上方に伸び、水平方向に屈曲し他方の端部へ到達する形状である。制動バネ固定台１６の水平部分（屈曲部分から他方の端部までの部分）には開口部が形成されている。
【００５１】
制動バネ１９Ａ（制動バネ１９Ｂ・１９Ｃ・１９Ｄ）の両隊のうち、上端は、回転テーブル２の下面に配された球面継ぎ手１５Ａ（球面継ぎ手１５Ｂ・１５Ｃ・１５Ｄ）の下面に固定され、下端は制動バネ固定台１６の水平部分の上面に固定されている。
【００５２】
加振部本体１１Ａ（加振部本体１１Ｂ・１１Ｃ・１１Ｄ）は凹形状を有し底面は基礎台３の表面に固定されている。可動部１２Ａ（可動部１２Ｂ・１２Ｃ・１２Ｄ）は加振部本体１１Ａ（加振部本体１１Ｂ・１１Ｃ・１１Ｄ）の凹部内に格納されており、鉛直方向に振動可能となっている。図３の矢印ＳＡ（ＳＢ・ＳＣ・ＳＤ）は、この加振部本体１１Ａ（加振部本体１１Ｂ・１１Ｃ・１１Ｄ）の振動方向を表す。
【００５３】
可動部１２Ａ（可動部１２Ｂ・１２Ｃ・１２Ｄ）は可動部本体１３Ａ（可動部本体１３Ｂ・１３Ｃ・１３Ｄ）が加振部本体１１Ａ（加振部本体１１Ｂ・１１Ｃ・１１Ｄ）の凹形状部分に格納されている。可動部本体１３Ａ（可動部本体１３Ｂ・１３Ｃ・１３Ｄ）から鉛直方向上方に突起する突起部１４Ａ（突起部１４Ｂ・１４Ｃ・１４Ｄ）は、制動バネ固定台１６の水平部分の開口部を貫通し、制動バネ１９Ａ（制動バネ１９Ｂ・１９Ｃ・１９Ｄ）で囲まれた内部を通り、先端部が球面継ぎ手１５Ａ（球面継ぎ手１５Ｂ・１５Ｃ・１５Ｄ）の下面と接続されている。
【００５４】
加振部１０Ａ・１０Ｂ・１０Ｃ・１０Ｄのぞれぞれは、個別に、駆動部４０と接続されており、電流が印加されるようになっている。
【００５５】
図３に示すように、加振部１０Ａ（加振部１０Ｂ・１０Ｃ・１０Ｄ）は、可動部１２Ａ（可動部１２Ｂ・１２Ｃ・１２Ｄ）の鉛直方向に振動可能なストローク（振動幅）の最大をフルストロークｈとした場合、静止状態で、ｈ／２だけ、可動部１２Ａ（可動部１２Ｂ・１２Ｃ・１２Ｄ）の高さが、可動部本体１３Ａ（可動部本体１３Ｂ・１３Ｃ・１３Ｄ）の高さより高くなるように高さ調整している。これにより、可動部１２Ａ（可動部１２Ｂ・１２Ｃ・１２Ｄ）の振動方向、すなわち、回転テーブル２の振動方向は、静止位置に対してプラス方向（鉛直上方向）及びマイナス方向（鉛直下方向）のどちらにも振動させることができる。
【００５６】
上述したように、加振部１０Ａ・１０Ｂ・１０Ｃ・１０Ｄは、それぞれ、ＶＣＭであるものとする。
【００５７】
ＶＣＭは電流を印加することで、その電流の大きさに比例した推力でもって、電流の向きに応じた方向へ可動部１２Ａ（可動部１２Ｂ・１２Ｃ・１２Ｄ）が直線動作する。この動作は電流印加を止めるまで、もしくは加振部本体１１Ａ（加振部本体１１Ｂ・１１Ｃ・１１Ｄ）から、可動部１２Ａ（可動部１２Ｂ・１２Ｃ・１２Ｄ）が抜け落ちるまで動き続ける。
【００５８】
そこで、回転テーブル２が、加振部１０Ａ・１０Ｂ・１０Ｃ・１０Ｄと近づく方向に付勢されるように、制動バネ１９Ａ・１９Ｂ・１９Ｃ・１９Ｄを回転テーブル２に配する。
【００５９】
具体的には、制動バネ１９Ａ（制動バネ１９Ｂ・１９Ｃ・１９ｄ）を、球面継ぎ手１５Ａ（球面継ぎ手１５Ｂ・１５Ｃ・１５Ｄ）と、制動バネ固定台１６との間に設ける。
【００６０】
これにより、可動部１２Ａ（可動部１２Ｂ・１２Ｃ・１２Ｄ）が、加振部本体１１Ａ（加振部本体１１Ｂ・１１Ｃ・１１Ｄ）から抜け落ちることを防止することができる。
【００６１】
すなわち、ＶＣＭの推力をＦとし、制動バネ１９Ａ（制動バネ１９Ｂ・１９Ｃ・１９Ｄ）のバネ定数をκ、可動部１２Ａ（可動部１２Ｂ・１２Ｃ・１２Ｄ）の静止状態からの変位をｘとすると、以下の式１を満たすｘの位置で可動部１２Ａ（可動部１２Ｂ・１２Ｃ・１２Ｄ）は停止する。
Ｆ＝κｘ・・・（式１）
また、ＶＣＭの推力は、推力定数をＣ、可動部１２Ａ（可動部１２Ｂ・１２Ｃ・１２Ｄ）への印加電流をＩとすると、以下の（式２）の関係があるため、さらに、以下の（式３）の関係となる。
Ｆ＝ＣＩ            （式２）
ｘ＝（Ｃ／κ）・Ｉ  （式３）
このため、印加電流Ｉをランダムに変化させることによって、可動部１２Ａ（可動部１２Ｂ・１２Ｃ・１２Ｄ）の変位ｘもランダムに変化させることができる。
【００６２】
（駆動部４０）
次に、主に図４、５を用いて、回転振動装置１の駆動部４０について説明する。
【００６３】
図４は、本実施の形態に係る回転振動装置１の駆動部４０の構成を表すブロック図である。
【００６４】
図４に示すように、駆動部４０は振動波形発生部（第１の振動波形制御部）４１Ａと、振動波形発生部（第２の振動波形制御部）４１Ｂと、ドライバ４３Ａ・４３Ｂ・４３Ｃ・４３Ｄと、同期信号発生部４５とを備えている。
【００６５】
振動波形発生部４１Ａ・４１Ｂは、それぞれ、加振部１０Ａ・１０Ｂ・１０Ｃ・１０Ｄを加振させるための振動波形となるＰＷＭ（pulse width modulation；パルス幅変調）信号と極性信号とを生成し、当該生成したＰＷＭ信号及び極性信号を、後段に配されている各ドライバ４３Ａ・４３Ｂ・４３Ｃ・４３Ｄに出力するものである。
【００６６】
ドライバ４３Ａ・４３Ｂ・４３Ｃ・４３Ｄは、それぞれ、振動波形発生部４１Ａ・４１Ｂから入力されたＰＷＭ信号と極性信号とに基づいて、加振部１０Ａ・１０Ｂ・１０Ｃ・１０Ｄを加振させるための振動波形である駆動信号ＤＡ・ＤＢ・ＤＣ・ＤＤを生成し、当該生成した駆動信号ＤＡ・ＤＢ・ＤＣ・ＤＤを、加振部１０Ａ・１０Ｂ・１０Ｃ・１０Ｄに出力するものである。
【００６７】
同期信号発生部４５は、振動波形発生部４１Ａ・４１Ｂそれぞれに、同期用信号を出力するものである。
【００６８】
振動波形発生部４１Ａ・４１Ｂは、同期信号発生部４５から取得する同期用信号のタイミングに合わせて、ＰＷＭ信号及び極性信号を出力することで、位相を合せたり、また、位相差の調整を行ったりする。
【００６９】
なお、振動波形発生部４１Ａ・４１Ｂの具体的な構成については後述する。また、同期信号発生部４５は、任意で設ければよい。振動波形発生部４１Ａ・４１ＢそれぞれのＰＷＭ信号及び極性信号の出力タイミングを予め設定しておくことで、同期信号発生部４５を省略した構成としてもよい。
【００７０】
振動波形発生部４１Ａは、ドライバ４３Ａ及びドライバ４３Ｄと、それぞれ、ＰＷＭ信号用ライン及び極性信号用ラインで接続されている。振動波形発生部４１Ａと、ドライバ４３Ｄとを接続する極性信号用ラインには、入力信号を反転して出力する回路である反転部（第１の位相制御部）４２Ａが接続されている。
【００７１】
振動波形発生部４１Ｂは、ドライバ４３Ｂ及びドライバ４３Ｃと、それぞれ、ＰＷＭ信号用ライン及び極性信号用ラインで接続されている。また、振動波形発生部４１Ｂと、ドライバ４３Ｃとを接続する極性信号用ラインには、入力信号を反転して出力する回路である反転部（第２の位相制御部）４２Ｂが接続されている。
【００７２】
振動波形発生部４１Ａは、加振部１０Ａに入力する振動波形（後述する図７の（ａ）の振動波形Ｗ１Ａ）を生成するための第１の生成用信号であるＰＷＭ信号Ｓ１及び極性信号Ｐ１を生成する。なお、ＰＷＭ信号Ｓ１は、後述する第２の生成用信号でもある。
【００７３】
振動波形発生部４１Ａは、生成したＰＷＭ信号Ｓ１と、極性信号Ｐ１とを、それぞれ、ドライバ４３Ａ・４３Ｄに向けて出力する。
【００７４】
ドライバ４３Ａには、振動波形発生部４１Ａから出力された第１の生成用信号である、ＰＷＭ信号Ｓ１と、極性信号Ｐ１とが、それぞれ、ＰＷＭ信号用ラインと、極性信号用ラインとを通じて入力される。
【００７５】
ドライバ４３Ｄには、振動波形発生部４１Ａから出力されたＰＷＭ信号Ｓ１及び極性信号Ｐ１のうち、ＰＷＭ信号Ｓ１はＰＷＭ信号用ラインを通じて入力される。
【００７６】
一方、極性信号Ｐ１は反転部４２Ａによって極性が反転されることで、極性信号Ｐ１とは逆極性である極性信号Ｐ１Ｂが生成され、当該極性信号Ｐ１Ｂが極性信号用ラインを通じてドライバ４３Ｄに入力される。
【００７７】
このドライバ４３Ｄに入力される、ＰＷＭ信号Ｓ１及び極性信号Ｐ１Ｂが、加振部１０Ｄに入力する振動波形（後述する図７の（ｄ）の振動波形Ｗ１Ｄ）を生成するための第２の生成信号である。
【００７８】
ドライバ４３Ａは、振動波形発生部４１Ａから入力されたＰＷＭ信号Ｓ１と、極性信号Ｐ１とから、駆動信号ＤＡを生成し、当該生成した駆動信号ＤＡを加振部１０Ａに出力する。
【００７９】
ドライバ４３Ｄは、振動波形発生部４１Ｂから入力されたＰＷＭ信号Ｓ１と、極性信号Ｐ１Ｂとから、駆動信号ＤＤを生成し、当該生成した駆動信号ＤＤを加振部１０Ｄに出力する。
【００８０】
振動波形発生部４１Ｂは、加振部１０Ｂに入力する振動波形（後述する図７の（ｂ）の振動波形Ｗ１Ｂ）を生成するための第３の生成用信号であるＰＷＭ信号Ｓ２及び極性信号Ｐ２を生成する。なお、ＰＷＭ信号Ｓ２は、後述する第４の生成用信号でもある。
【００８１】
振動波形発生部４１Ｂは、生成したＰＷＭ信号Ｓ２と、極性信号Ｐ２とを、それぞれ、ドライバ４３Ｂ・４３Ｃに向けて出力する。
【００８２】
ドライバ４３Ｂには、振動波形発生部４１Ｂから出力されたＰＷＭ信号Ｓ２と、極性信号Ｐ２とが、それぞれ、ＰＷＭ信号用ラインと、極性信号用ラインとを通じて入力される。
【００８３】
ドライバ４３Ｃには、振動波形発生部４１Ｂから出力されたＰＷＭ信号Ｓ２及び極性信号Ｐ２のうち、ＰＷＭ信号Ｓ２はＰＷＭ信号用ラインを通じて入力される。
【００８４】
一方、極性信号Ｐ１は反転部４２Ａによって極性が反転され、極性信号Ｐ１とは逆極性である極性信号Ｐ１Ｂが生成され、当該極性信号Ｐ２Ｂが極性信号用ラインを通じてドライバ４３Ｃに入力される。
【００８５】
このドライバ４３Ｃに入力される、ＰＷＭ信号Ｓ２及び極性信号Ｐ２Ｂが、加振部１０Ｃに入力する振動波形（後述する図７の（ｃ）の振動波形Ｗ１Ｃ）を生成するための第４の生成信号である。
【００８６】
ドライバ４３Ｂは、振動波形発生部４１Ｂから入力されたＰＷＭ信号Ｓ２と、極性信号Ｐ２とから、駆動信号ＤＢを生成し、当該生成した駆動信号ＤＢを加振部１０Ｂに出力する。
【００８７】
ドライバ４３Ｃは、振動波形発生部４１Ｂから入力されたＰＷＭ信号Ｓ２と、極性信号Ｐ２Ｂとから、駆動信号ＤＣを生成し、当該生成した駆動信号ＤＣを加振部１０Ｃに出力する。
【００８８】
このようにして、加振部１０Ａと、加振部１０Ｄとは、ＰＷＭ信号Ｓ１が示す振動波形で、互いに振動方向が逆となる。また、加振部１０Ｂと、加振部１０Ｄとは、ＰＷＭ信号Ｓ２が示す振動波形で、互いに振動方向が逆となる。この結果、回転テーブル２は回転振動する。
【００８９】
このように、駆動部４０は、振動波形発生部４１Ａと、反転部４２Ａとを備える。振動波形発生部４１Ａは、加振部１０Ａに入力する振動波形（後述する図７の（ａ）の振動波形Ｗ１Ａ）を生成するための第１の生成用信号としてＰＷＭ信号Ｓ１及び極性信号Ｐ１を生成する。一方、反転部４２Ａは、振動波形発生部４１Ａが生成した第１の生成用信号である極性信号Ｐ１の極性を反転させて、第２の生成用信号として極性信号Ｐ１Ｂを生成し、当該生成した極性信号Ｐ１Ｂをドライバ４３Ｄに入力する。これにより、ドライバ４３Ｄは、ＰＷＭ信号Ｓ１と、極性信号Ｐ１Ｂとから、加振部１０Ｄに入力する振動波形（後述する図７の（ｄ）の振動波形Ｗ１Ｄ）を生成することができる。
【００９０】
このように、加振部１０Ｄ用にＰＷＭ信号を別途生成する必要がないため、反転部４２Ａを簡易な回路で構成することができる。また、ドライバ４３Ａ・４３Ｄ間の同期、すなわち加振部１０Ａ・１０Ｄ間の同期も容易である。
【００９１】
また、駆動部４０は、振動波形発生部４１Ｂと、反転部４２Ｂとを備える。振動波形発生部４１Ｂは、加振部１０Ｂに入力する振動波形（後述する図７の（ｂ）の振動波形Ｗ１Ｂ）を生成するための第３の生成用信号としてＰＷＭ信号Ｓ２及び極性信号Ｐ２を生成する。一方、反転部４２Ｂは、振動波形発生部４１Ｂが生成した第３の生成用信号である極性信号Ｐ２の極性を反転させて、第４の生成用信号として極性信号Ｐ２Ｂを生成し、当該生成した極性信号Ｐ２Ｂをドライバ４３Ｃに入力する。これにより、ドライバ４３Ｃは、ＰＷＭ信号Ｓ２と、極性信号Ｐ２Ｂとから、加振部１０Ｃに入力する振動波形（後述する図７の（ｃ）の振動波形Ｗ１Ｃ）を生成することができる。
【００９２】
このように、加振部１０Ｃ用にＰＷＭ信号を別途生成する必要がないため、反転部４２Ｂを簡易な回路で構成することができる。また、ドライバ４３Ｂ・４３Ｃ間の同期、すなわち加振部１０Ｂ・１０Ｃ間の同期も容易である。
【００９３】
また、反転部４２Ａ・４２Ｂは、極性を反転させるだけでなく、極性信号Ｐ１・Ｐ２に換えて、位相を遅延させる遅延信号を生成し、第２の生成用信号としてドライバ４３Ｄ、あるいは、第４の生成用信号としてドライバ４３Ｃに入力するようにしてもよい。
【００９４】
（振動波形発生部４１Ａ・４１Ｂ）
次に、図５の（ａ）を用いて振動波形発生部４１Ａ・４１Ｂの構成について説明する。
【００９５】
図５の（ａ）は駆動部４０の振動波形発生部４１Ａの構成を表すブロック図であり、（Ｂ）は駆動部４０の振動波形発生部４１Ｂの構成を表すブロック図である。
【００９６】
図５の（ａ）に示すように、振動波形発生部４１Ａは、波形振幅データ記憶部５１Ａと、周波数データ記憶部５２Ａと、ＰＷＭ発生部５３Ａと、極性判定部５４Ａとを備えている。図５の（Ｂ）に示すように、振動波形発生部４１Ｂは、波形振幅データ記憶部５１Ｂと、周波数データ記憶部５２Ｂと、ＰＷＭ発生部５３Ｂと、極性判定部５４Ｂとを備えている。
【００９７】
なお、図４に示した同期信号発生部４５を設ける場合、同期信号発生部４５からの同期用信号は、ＰＷＭ発生部５３Ａ・５３Ｂ、極性判定部５４Ａ・５４Ｂに入力される。
【００９８】
波形振幅データ記憶部５１Ａ・５１Ｂは、発生させたい波形を、所望のサンプリング周期で時系列にサンプリングした個々の振幅値を波形振幅データとして記憶する。
【００９９】
周波数データ記憶部５２Ａ・５２Ｂは、ＰＷＭ信号Ｓ１・Ｓ２の搬送波の周波数を搬送波周波数データとして記憶する。
【０１００】
ＰＷＭ発生部５３Ａ・５３Ｂは、波形振幅データ記憶部５１Ａ・５１Ｂ及び周波数データ記憶部５２Ａ・５２Ｂから、波形振幅データと、搬送波周波数データとを順次読み出す。そして、ＰＷＭ発生部５３Ａ・５３Ｂは、読みだした搬送波周波数データの搬送波周波数に応じた一定周期のデジタルな矩形波のＨｉｇｈ（ハイ）部の長さ（デューティ）を波形振幅データより決定し、ＰＷＭ信号Ｓ１・Ｓ２を生成する。そして、ＰＷＭ発生部５３Ａ・５３Ｂは、この生成したＰＷＭ信号Ｓ１・Ｓ２を後段の各ドライバに出力する。
【０１０１】
しかし、ＰＷＭ信号Ｓ１・Ｓ２だけでは正負の区別ができない。加振部１０Ａ・１０Ｂ・１０Ｃ・１０Ｄに、正負の振幅を持った振動をさせるために、振幅の正負を示すための信号が必要である。
【０１０２】
このため、波形振幅データ記憶部５１Ａ・５１Ｂは、極性判定部５４Ａ・５４Ｂにも接続されている。
【０１０３】
極性判定部５４Ａ・５４Ｂは、波形振幅データ記憶部５１Ａ・５１Ｂに記憶されている波形振幅データが示す振幅値が正のときは「１」、負のときは「０」を示す信号を極性信号Ｐ１・Ｐ２として生成し、当該生成した極性信号Ｐ１・Ｐ２を、後段の各ドライバに出力する。
【０１０４】
このようにして、振動波形発生部４１Ａ・４１Ｂで生成された、ＰＷＭ信号Ｓ１・Ｓ２及び極性信号Ｐ１・Ｐ２が示す振動波形及び極性を、各ドライバ４３Ａ・４３Ｂ・４３Ｃ・４３Ｄを介して各加振部１０Ａ・１０Ｂ・１０Ｃ・１０Ｄに入力することで、各加振部１０Ａ・１０Ｂ・１０Ｃ・１０Ｄを所望の波形の振動で動作させることができる。この結果、回転テーブル２を所望の振動で動作させることができる。
【０１０５】
（ＰＷＭ信号及び振動波形）
次に、図６及び図７を用いてＰＷＭ信号や、各加振部１０Ａ・１０Ｂ・１０Ｃ・１０Ｄに入力される振動波形について説明する。
【０１０６】
図６は、ＰＷＭ信号Ｓ１・Ｓ２を表す図である。
【０１０７】
ＰＷＭ信号Ｓ１・Ｓ２は、実際の電圧の変化を示す波形をパルス幅変調したものである。
【０１０８】
図６に示すように、ＰＷＭ信号Ｓ１・Ｓ２は、多数のパルスの繰り返しによって構成されている。
【０１０９】
ＰＷＭ信号Ｓ１・Ｓ２は、各加振部１０Ａ・１０Ｂ・１０Ｃ・１０Ｄに入力したい、例えばサイン波等の振動波形をパルス幅変調することによって得られる。ＰＷＭ信号Ｓ１・Ｓ２は、振動波形に対して、パルスの高さを設定し、パルス幅を制御する。このパルス幅（図６の横軸；時間）が大きいほど高い電圧を印加したことに相当する。
【０１１０】
各加振部１０Ａ・１０Ｂ・１０Ｃ・１０Ｄへの入力波形としてサイン波を想定した場合、その波形は、波形振幅データと、搬送波周波数データとによって決定することができ、ＰＷＭ信号Ｓ１・Ｓ２のパルスの高さや、パルス幅によって表現される。
【０１１１】
このようなアナログ波形をデジタル信号に変換する（すなわちパルス幅変調する）こと、で、各加振部１０Ａ・１０Ｂ・１０Ｃ・１０ＤはＰＷＭ駆動することになる。
【０１１２】
図７の（ａ）は加振部１０Ａに入力される振動波形Ｗ１Ａを示す図であり、（ｂ）は加振部１０Ｂに入力される振動波形Ｗ１Ｂを示す図であり、（ｃ）は加振部１０Ｃに入力される振動波形Ｗ１Ｃを示す図であり、（ｄ）は加振部１０Ｄに入力される振動波形Ｗ１Ｄを示す図である。
【０１１３】
一例として、各加振部１０Ａ・１０Ｂ・１０Ｃ・１０Ｄに振動波形としてサイン波を入力するものとする。
【０１１４】
振動波形発生部４１Ａ・４１Ｂとで、同じサイン波を発生させ、各ドライバ４３Ａ・４３Ｂ・４３Ｃ・４３Ｄに、ＰＷＭ信号Ｓ１・Ｓ２及び極性信号Ｓ１・Ｓ２として出力する。
【０１１５】
ドライバ４３Ａと、ドライバ４３Ｄとには、逆極性のサイン波が入力される。
【０１１６】
そして、ドライバ４３Ａは、図７の（ａ）に示す振動波形Ｗ１Ａの情報が重畳された駆動信号ＤＡを加振部１０Ａに出力し、ドライバ４３Ｄは、振動波形Ｗ１と逆極性である図７の（ｄ）の振動波形Ｗ１Ｄの情報が重畳された駆動信号ＤＤを加振部１０Ｄに出力する。
【０１１７】
これにより、加振部１０Ａは図７の（ａ）に示す振動波形Ｗ１Ａに沿った振動をし、加振部１０Ｄの図７の（ｄ）に示す振動波形Ｗ１Ｄに沿った振動をすることになり、加振部１０Ａと加振部１０Ｄとは互いに逆向きに振動する。
【０１１８】
また、ドライバ４３Ｂと、ドライバ４３Ｃとにも、逆極性のサイン波が入力される。
【０１１９】
ドライバ４３Ｂは、図７の（ｂ）に示す振動波形Ｗ１Ｂの情報が重畳された駆動信号ＤＢを加振部１０Ｂに出力し、ドライバ４３Ｃは、振動波形Ｗ１Ａと逆極性である図７の（ｃ）の振動波形Ｗ１Ｃの情報が重畳された駆動信号ＤＣを加振部１０Ｃに出力する。
【０１２０】
これにより、加振部１０Ｂは図７の（ｂ）に示す振動波形Ｗ１Ｂに沿った振動をし、加振部１０Ｃの図７の（ｃ）に示す振動波形Ｗ１Ｃに沿った振動をすることになり、加振部１０Ｂと加振部１０Ｃとは互いに逆向きに振動する。
【０１２１】
（回転振動装置１の動作）
次に、図８を用い、回転振動装置１の動作について説明する。
【０１２２】
図８は、回転振動装置１を上から見た図である。
【０１２３】
図８では、回転テーブル２の中心を通り、加振部１０Ａ−加振部１０Ｂ方向と、加振部１０Ｄ‐加振部１０Ｃ方向とに平行な軸をｘ１とし、回転テーブル２の中心を通り、対角線上の加振部１０Ａ-加振部１０Ｃを結ぶ軸をｘ２とする。
【０１２４】
また、回転テーブル２の中心を通り、加振部１０Ａ-加振部１０Ｄ方向と、加振部１０Ｂ‐加振部１０Ｃ方向とに平行な軸をｙ１とし、回転テーブル２の中心を通り、対角線上の加振部１０Ｂ-加振部１０Ｄを結ぶ軸をｙ２とする。
【０１２５】
評価対象物であるカメラ等を回転テーブル２に設置する際は、図８に示すｘ２を軸とする方向の振動をＰｉｔｃｈとし、ｙ２を軸とする方向の振動がＹａｗとなるように４５°傾けて設置すればよい。
【０１２６】
または、評価対象のカメラ等を図８に示すように、ｘ１を軸とする方向の振動をＰｉｔｃｈとし、ｙ１を軸とする方向の振動がＹａｗとなるように設置してもよい。
【０１２７】
この場合、図８に示すように、Ｐｉｔｃｈ方向の振動をＳＰとし、加振部１０Ａ・１０Ｂが鉛直上方向に動く向きを正とし、Ｙａｗ方向の振動をＳＹとし、加振部１０Ａ・１０Ｄが鉛直上方向に動く向きを正とし、加振部１０Ａ・１０Ｂ・１０Ｃ・１０Ｄの振動をそれぞれＳＡ・ＳＢ・ＳＣ・ＳＤ（図３参照）をすると、ＳＡ〜ＳＤは以下の関係式で表すことができる。
【０１２８】
ＳＡ＝ＳＰ＋ＳＹ            （式４）
ＳＢ＝ＳＰ−ＳＹ            （式５）
ＳＣ＝−ＳＰ−ＳＹ＝−ＳＡ  （式６）
ＳＤ＝−ＳＰ＋ＳＹ＝−ＳＢ  （式７）
上記（式４）〜（式７）の関係より、振動させたいＰｉｔｃｈとＹａｗの振動波形から、予め上記（式４）〜（式７）の関係を用いた演算にてＳＡ及びＳＢを算出しておき、それぞれ振動波形発生部４１Ａ・４１Ｂの波形振幅データ記憶部５１Ａ・５１Ｂに記憶させておく。これにより、所望するように回転テーブル２振動させることができる。
【０１２９】
具体的には、図７の（a）〜（ｄ）に示した振動波形Ｗ１Ａ・Ｗ１Ｂ・Ｗ１Ｃ・Ｗ１Ｄを、それぞれ、加振部１０Ａ・１０Ｂ・１０Ｃ・１０Ｄに入力することで、加振部１０Ａ・１０Ｂは同期して動き、加振部１０Ｃ・１０Ｄは反対の動きをするため、回転テーブル２は、ｘ１を中心に揺動運動する。
【０１３０】
以上のように、複数の振動波形発生部４１Ａ・４１Ｂを設け、それぞれに設けられた波形振幅データ記憶部５１Ａと、波形振幅データ記憶部５１Ｂとに、別々の波形振幅データを記憶しておくことで、加振部１０Ａ‐１０Ｄの方向（ｘ１を中心とする回転方向）と、加振部１０Ａ‐加振部１０Ｂの方向（ｙ１を中心とする回転方向）とにそれぞれ独立した振動を発生させることができる。
【０１３１】
なお、上記では、２個の振動波形発生部４１Ａ・４１Ｂを備えて、それぞれに対して逆位相の波形を生成するものとして説明したが、これ限らず、振動波形発生部を４個設け、それぞれ独自に位相制御を行ってもよい。
【０１３２】
しかし、上記のように、振動波形発生部４１Ａ・４１Ｂそれぞれに対し、加振部やドライバを２ペア（組）構成とし、同ペア内では同じ波形を位相反転して用いることで、振動波形発生部が２個でよく、また、ペア間では極性を反転させるだけなので、位相制御がし易い等の効果を得ることができる。
【０１３３】
なお、回転振動装置１として、カメラのＯＩＳ機能の評価以外にも、ＯＩＳ機能付きカメラに搭載されたジャイロセンサーの評価や、カメラを搭載していなくても、比較的小型の情報機器（例えば、モバイルゲーム機器等）の信頼試験（振動試験）等にも用いることができる。
【０１３４】
〔実施の形態２〕
本発明の第２の実施形態について、主に、図８、図９に基づいて説明すれば、以下のとおりである。なお、説明の便宜上、前記実施形態１にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を省略する。
【０１３５】
図９は第２の実施形態に係る回転振動装置の各加振部に入力される振動波形を表し、（ａ）は加振部１０Ａに入力される振動波形Ｗ２Ａを示す図であり、（ｂ）は加振部１０Ｂに入力される振動波形Ｗ２Ｂを示す図であり、（ｃ）は加振部１０Ｃに入力される振動波形Ｗ２Ｃを示す図であり、（ｄ）は加振部１０Ｄに入力される振動波形Ｗ２Ｄを示す図である。
【０１３６】
実施の形態１で説明したように、回転振動装置１は、複数の振動波形発生部４１Ａ・４１Ｂを設け、それぞれに、波形振幅データを記憶する波形振幅データ記憶部５１Ａと、波形振幅データ記憶部５１Ｂとを設けている。
【０１３７】
このため、種々の波形振幅データを波形振幅データ記憶部５１Ａ・５１Ｂに記憶しておくことで、回転テーブル２を、２軸を中心とする種々の回転駆動させることができる。
【０１３８】
回転振動装置１の各加振部１０Ａ・１０Ｂ・１０Ｃ・１０Ｄに、図７の（ａ）〜（ｄ）に示した各振動波形Ｗ１Ａ・Ｗ１Ｂ・Ｗ１Ｃ・Ｗ１Ｄに換えて、図９の（ａ）〜（ｄ）に示す振動波形Ｗ２Ａ・Ｗ２Ｂ・Ｗ２Ｃ・Ｗ２Ｄを入力してもよい。
【０１３９】
振動波形Ｗ２Ｂとは、振動波形Ｗ２Ａから９０°位相が遅延することでずれた波形となっている。振動波形Ｗ２Ｄは振動波形Ｗ２Ａの極性が反転した波形である。振動波形Ｗ２Ｃは振動波形Ｗ２Ｂの極性が反転した波形である。
【０１４０】
この場合、予め、振動波形Ｗ２Ａを特定するための、波形振幅データを波形振幅データ記憶部５１Ａに記憶しておき、搬送波周波数データを周波数データ記憶部５２Ａに記憶しておく。また、予め、振動波形Ｗ２Ｂを特定するための、波形振幅データを波形振幅データ記憶部５１Ｂに記憶しておき、搬送波周波数データを周波数データ記憶部５２Ｂに記憶しておく。
【０１４１】
そして、ドライバ４３Ａは、図９の（ａ）に示す振動波形Ｗ２Ａの情報が重畳された駆動信号ＤＡを加振部１０Ａに出力し、ドライバ４３Ｄは、振動波形Ｗ２Ａと逆極性である図９の（ｄ）の振動波形Ｗ２Ｄの情報が重畳された駆動信号ＤＤを加振部１０Ｄに出力する。
【０１４２】
ドライバ４３Ｂは、振動波形Ｗ２Ａから９０°位相がずれた図９の（ｂ）に示す振動波形Ｗ２Ｂの情報が重畳された駆動信号ＤＢを加振部１０Ｂに出力し、ドライバ４３Ｃは、振動波形Ｗ２Ｂと逆極性である図９の（ｃ）の振動波形Ｗ２Ｃの情報が重畳された駆動信号ＤＣを加振部１０Ｃに出力する。
【０１４３】
これにより、各加振部１０Ａ・１０ｂ・１０Ｃ・１０Ｄは、順に９０°ずつ位相がずれた振動をさせることができる。
【０１４４】
これにより、図８に示す回転テーブル２は、回転テーブル２を中心として、右回りに回転振動を行うことができる。
【０１４５】
〔実施の形態３〕
本発明の第３の実施形態について、主に、図１０〜図１２に基づいて説明すれば、以下のとおりである。なお、説明の便宜上、前記実施形態１、２にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を省略する。
【０１４６】
図１０は、第３の実施の形態に係る回転振動装置１の駆動部６０の構成を表すブロック図である。
【０１４７】
回転振動装置１は、駆動部４０に換えて駆動部６０を備えていてもよい。駆動部６０は、振動波形発生部４１Ａからドライバ４３Ａ・４３Ｃへ信号が入力される点で駆動部４０と相違する。
【０１４８】
図１０に示すように、駆動部６０は振動波形発生部４１Ａ・４１Ｂと、ドライバ４３Ａ・４３Ｂ・４３Ｃ・４３Ｄと、同期信号発生部４５とを備えている。
【０１４９】
振動波形発生部４１Ａは、ドライバ４３Ａ及びドライバ４３Ｃと、それぞれ、ＰＷＭ信号用ライン及び極性信号用ラインで接続されている。振動波形発生部４１Ａと、ドライバ４３Ｃとを接続する極性信号用ラインには反転部４２Ａが接続されている。
【０１５０】
振動波形発生部４１Ｂは、ドライバ４３Ｂ及びドライバ４３Ｄと、それぞれ、ＰＷＭ信号用ライン及び極性信号用ラインで接続されていてもよいし、接続されていなくともよい。
【０１５１】
駆動部６０では、振動波形発生部４１Ｂ、ドライバ４３Ｂ・４３Ｄ、及び同期信号発生部４５は省略した構成としてもよい。
【０１５２】
振動波形発生部４１Ａは、ＰＷＭ信号Ｓ１と、極性信号Ｐ１とを生成する。振動波形発生部４１Ａは、生成したＰＷＭ信号Ｓ１と、極性信号Ｐ１とを、それぞれ、ドライバ４３Ａ・４３Ｃに向けて出力する。
【０１５３】
ドライバ４３Ａには、振動波形発生部４１Ａから出力されたＰＷＭ信号Ｓ１と、極性信号Ｐ１とが、それぞれ、ＰＷＭ信号用ラインと、極性信号用ラインとを通じて入力される。
【０１５４】
ドライバ４３Ｃには、振動波形発生部４１Ａから出力されたＰＷＭ信号Ｓ１及び極性信号Ｐ１のうち、ＰＷＭ信号Ｓ１はＰＷＭ信号用ラインを通じて入力される。一方、極性信号Ｐ１は反転部４２Ａによって反転され、極性信号Ｐ１とは逆極性である極性信号Ｐ１Ｂが生成され、当該極性信号Ｐ１Ｂが極性信号用ラインを通じてドライバ４３Ｃに入力される。
【０１５５】
ドライバ４３Ａは、振動波形発生部４１Ａから入力されたＰＷＭ信号Ｓ１と、極性信号Ｐ１とから、駆動信号ＤＡを生成し、当該生成した駆動信号ＤＡを加振部１０Ａに出力する。
【０１５６】
ドライバ４３Ｃは、振動波形発生部４１Ｂから入力されたＰＷＭ信号Ｓ１と、極性信号Ｐ１Ｂとから、駆動信号ＤＣを生成し、当該生成した駆動信号ＤＣを加振部１０Ｃに出力する。
【０１５７】
なお、ドライバ４３Ｂ・４３Ｄから、加振部１０Ｂ・１０Ｄへの入力は無く、加振部１０Ｂ・１０Ｄは振動しない。
【０１５８】
図１１は第３の実施形態に係る回転振動装置の各加振部に入力される振動波形を表し、（ａ）は加振部１０Ａに入力される振動波形Ｗ３Ａを示す図であり、（ｂ）は加振部１０Ｃに入力される振動波形Ｗ３Ｃを示す図である。
【０１５９】
振動波形Ｗ３Ａと、振動波形Ｗ３Ｃとは極性が反転した関係となっている。
【０１６０】
ドライバ４３Ａは、図１１の（ａ）に示す振動波形Ｗ３Ａの情報が重畳された駆動信号ＤＡを加振部１０Ａに出力し、ドライバ４３Ｃは、図１１の（ｂ）の振動波形Ｗ３Ｃの情報が重畳された駆動信号ＤＣを加振部１０Ｃに出力する。
【０１６１】
図１２は、本実施の形態に係る回転テーブル２の動きを説明する図である。なお、図１２では回転テーブル２を上から見ている。
【０１６２】
上記のように、加振部１０Ａと、加振部１０Ｃとに、逆位相となる振動波形Ｗ３Ａ・Ｗ３Ｃを入力し、加振部１０Ａと、加振部１０Ｃとには振動波形を入力しないようにすることで、図１２のうち、加振部１０Ｂと加振部１０Ｄとを結ぶ軸、すなわちｙ２を回転中心とする搖動運動（図１２のＳＰ）を、回転テーブル２にさせることができる。
【０１６３】
〔まとめ〕
本発明の態様１に係る振動装置は、載置された評価対象物に振動を加えるための振動装置であって、上記評価対象物を載置するための載置台と、上記載置台を、一方向から支持すると共に、当該一方向と平行方向に振動することで、上記載置台を加振する第１及び第２の加振部とを備えている。
【０１６４】
上記構成によると、上記第１及び第２の加振部は、上記載置台を一方向から支持し、当該一方向と平行方向に振動する。このため、不要な方向の振動の発生を防止することができ、高い周波数でも安定して載置台を振動させることができる。
【０１６５】
加えて、上記第１及び第２の加振部は、上記載置台を一方向から支持するため、多方向から載置台を支持する場合と比べて、上記載置台の体積増加を防止し、これにより、上記載置台の重量の増加を防止することができる。これにより、高い周波数で、より安定して載置台を振動させることができる。
【０１６６】
本発明の態様２に係る振動装置は、上記第１の加振部に入力する振動波形を生成する第１の振動波形制御部と、上記第２の加振部に入力する振動波形を生成するために、上記第１の振動波形制御部が生成した上記振動波形の位相をずらす位相調整信号を生成する第１の位相制御部とを備えている。
【０１６７】
上記構成によると、第１の位相制御部は、上記第１の振動波形制御部が生成した上記振動波形の位相をずらす位相調整信号を生成する。これにより、上記第１の振動波形制御部が生成した上記振動波形と、上記位相調整信号とから、上記第２の加振部に入力する振動波形を生成することが可能である。このため、上記第１の位相制御部を簡易な回路で構成することができ、さらに、上記第１及び第２の加振部の同期も容易に行うことができる。
【０１６８】
本発明の態様３に係る振動装置は、さらに、上記載置台を、上記一方向から支持すると共に、当該一方向と平行方向に振動することで、上記載置台を加振する第３及び第４の加振部を備えている。
【０１６９】
上記構成によると、上記載置台を、２軸それぞれを回転中心とする方向に搖動運動させることができる。
【０１７０】
本発明の態様４に係る振動装置は、上記第３の加振部に入力する振動波形を生成する第２の振動波形制御部と、上記第４の加振部に入力する振動波形を生成するために、上記第２の振動波形制御部が生成した上記振動波形の位相をずらす位相調整信号を生成する第２の位相制御部とを備えている。
【０１７１】
上記構成によると、第２の位相制御部は、上記第２の振動波形制御部が生成した上記振動波形の位相をずらす位相調整信号を生成する。これにより、上記第２の振動波形制御部が生成した上記振動波形と、上記位相調整信号とから、上記第４の加振部に入力する振動波形を生成することが可能である。このため、上記第２の位相制御部を簡易な回路で構成することができ、さらに、上記第３及び第４の加振部の同期も容易に行うことができる。
【０１７２】
本発明の態様５に係る振動装置では、上記第１の位相制御部は、上記第１の振動波形制御部が生成した上記振動波形から極性を反転させることで、上記第２の加振部に入力するための上記振動波形を生成し、上記第２の位相制御部は、上記第２の振動波形制御部が生成した上記振動波形から極性を反転させることで、上記第４の加振部に入力するための上記振動波形を生成する。
【０１７３】
上記構成によると、上記第１及び第２の加振部の中心線を回転軸とする方向と、上記第３及び第４の加振部の中心線を回転軸とする方向とに、上記載置台を回転運動させることができる。
【０１７４】
本発明の態様６に係る振動装置では、上記第１の加振部、上記第２の加振部、上記第３の加振部、及び上記第４の加振部は、ボイスコイルモーターであり、上記載置台には、上記第１の加振部、上記第２の加振部、上記第３の加振部、及び上記第４の加振部と近づく方向に付勢された、一又は複数の弾性部材が配されている。
【０１７５】
上記構成によると、上記第１の加振部、上記第２の加振部、上記第３の加振部、及び上記第４の加振部に電流を印加することで、それぞれを振動させることができる。そして、上記載置台には、上記第１の加振部、上記第２の加振部、上記第３の加振部、及び上記第４の加振部と近づく方向に付勢された、一又は複数の弾性部材が配されているため、上記第１の加振部、上記第２の加振部、上記第３の加振部、及び上記第４の加振部のそれぞれの本体部分から可動部分が抜け落ちることを防止することができる。
【０１７６】
本発明の態様７に係る振動装置では、上記第１の加振部、上記第２の加振部、上記第３の加振部、及び上記第４の加振部は、それぞれ、球面継ぎ手を介して、上記載置台と接続されている。上記構成により、上記載置台は、回転自在に可動することができる。
【０１７７】
本発明の態様８に係る振動装置は、平面視したとき、上記載置台は四角形状であり、上記第１の加振部、上記第２の加振部、上記第３の加振部、及び上記第４の加振部は、それぞれ、上記載置台のそれぞれの角部に、順に、時計まわりに並んで配されている。上記構成により、上記載置台を、２軸を回転中心とする搖動運動させることができる。
【０１７８】
本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。
【産業上の利用可能性】
【０１７９】
本発明は、振動を発生させる装置に利用することができる。
【符号の説明】
【０１８０】
１  回転振動装置（振動装置）
２  回転テーブル（載置台）
３  基礎台
１０Ａ  加振部（第１の加振部）
１０Ｂ  加振部（第３の加振部）
１０Ｃ  加振部（第４の加振部）
１０Ｄ  加振部（第２の加振部）
１６  制動バネ固定台
１９Ａ・１９Ｂ・１９Ｃ・１９Ｄ  制動バネ（弾性部材）
４０  駆動部
４１Ａ  振動波形発生部（第１の振動波形制御部）
４１Ｂ  振動波形発生部（第２の振動波形制御部）
４２Ａ  反転部（第１の位相制御部）
４２Ｂ  反転部（第２の位相制御部）
４３Ａ・４３Ｂ・４３Ｃ・４３Ｄ  ドライバ
４５  同期信号発生部
５１Ａ・５１Ｂ  波形振幅データ記憶部
５２Ａ・５２Ｂ  周波数データ記憶部
５３Ａ・５３Ｂ  ＰＷＭ発生部
５４Ａ・５４Ｂ  極性判定部
６０  駆動部
Ａ・Ｂ・Ｃ・Ｄ  ユニット
ＤＡ  駆動信号
ＤＡ・ＤＢ・ＤＣ・ＤＤ  駆動信号
ＤＢ  駆動信号
ＤＣ  駆動信号
ＤＤ  駆動信号
Ｐ１  極性信号（第１の生成用信号）
Ｐ１Ｂ  極性信号（第２の生成用信号）
Ｐ２  極性信号（第３の生成用信号）
Ｐ２Ｂ  極性信号（第４の生成用信号）
Ｓ１  ＰＷＭ信号（第１の生成用信号、第２の生成用信号）
Ｓ２  ＰＷＭ信号（第３の生成用信号、第４の生成用信号）
Ｗ１Ａ・Ｗ１Ｂ・Ｗ１Ｃ・Ｗ１Ｄ  振動波形
Ｗ２Ａ・Ｗ２Ｂ・Ｗ２Ｃ・Ｗ２Ｄ  振動波形
Ｗ３Ａ・Ｗ３Ｃ  振動波形
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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