(57)【要約】【課題】研削工程の前後でノズルプレートにおけるノズル孔位置のずれ量を正確に算出することができる。【解決手段】液滴が吐出されるノズル孔を形成されるノズルプレートとなる素材の板材における一方の面に塑性加工手段により塑性を加えて板材の他方の面に凸部を形成する。その凸部が形成される板材の面に、狙いのノズル孔を形成しようとする場合のノズル孔の並び方向に沿って研削を開始する狙いのノズル孔の近傍と、研削が終了する狙いのノズル孔の近傍とに、少なくとも２つのモニター孔を予め設けておく。そして、その各モニター孔を研削工程の前後で撮像し、撮像したモニター孔の各画像部に基づいて研削工程の前後で板材におけるモニター孔間の位置ずれを検出する。検出したずれ量に基づいて塑性工程における凸部を形成する位置を補正する。【選択図】図９
2014076601.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴を吐出する複数のノズル孔が形成されるノズルプレートとなる基板における一方の面に塑性を加えて前記基板の他方の面に凸部を形成する塑性工程と、前記凸部を研削してノズル孔を形成する研削工程とを有するノズルプレート製造方法において、
基板の他方の面に、狙いのノズル孔を形成しようとする場合のノズル孔の並び方向に沿って研削を開始する狙いのノズル孔の近傍と、研削が終了する狙いのノズル孔の近傍とに、それぞれ少なくとも１つずつ設けた、ノズル孔の位置を観察するためのノズル孔位置観察部を前記研削工程の前後で撮像し、撮像した前記ノズル孔位置観察部の各画像部に基づいて前記研削工程の前後で基板における前記ノズル孔位置観察部間の位置ずれのずれ量を検出するずれ量検出工程と、
検出したずれ量に基づいて前記塑性工程における前記凸部を形成する位置を補正する補正工程と
を有することを特徴とするノズルプレート製造方法。
【請求項２】
請求項１記載のノズルプレート製造方法において、
前記ノズル孔位置観察部は、少なくとも前記研削工程前に形成されていることを特徴とするノズルプレート製造方法。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のノズルプレート製造方法において、
前記各ノズル孔位置観察部を結ぶ線の少なくとも一つの線方向がノズル孔の列方向と平行でないことを特徴とするノズルプレート製造方法。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれかに記載のノズルプレート製造方法において、
全ての前記ノズル孔位置観察部は、同時に形成されることを特徴とするノズルプレート製造方法。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれかに記載のノズルプレート製造方法において、
前記ノズル孔位置観察部は貫通孔であることを特徴とするノズルプレート製造方法。
【請求項６】
請求項５記載のノズルプレート製造方法において、
前記貫通孔の断面形状が円形をなすことを特徴とするノズルプレート製造方法。
【請求項７】
請求項５又は６に記載のノズルプレート製造方法において、
前記貫通孔はポンチによるせん断加工により形成されていることを特徴とするノズルプレート製造方法。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれかに記載のノズルプレート製造方法により製造されたことを特徴とするノズルプレート。
【請求項９】
請求項８記載のノズルプレートと、前記ノズルプレートに接合され、ノズル孔と連通する複数の加圧液室及び該加圧液室に液体を供給する液体供給路を形成した流路板と、液滴吐出のための圧力を加圧液室に加えることにより、前記加圧液室に供給された液体をノズル孔から吐出させる圧力発生手段とを備えたことを特徴する液滴吐出ヘッド。
【請求項１０】
請求項９記載の液滴吐出ヘッドを備えたことを特徴とする画像形成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴を吐出するノズル孔が形成されたノズルプレートを製造するノズルプレート製造方法、そのノズルプレート製造方法で製造されたノズルプレート、並びに、そのノズルプレートを有する液滴吐出ヘッド及び画像形成装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
プリンタ、ファクシミリ、複写装置、プロッタ、これらの複合機等の画像形成装置として、次のような方式が知られている。例えば媒体を搬送しながらインク液滴を媒体に吐出する液滴吐出ヘッドからなる記録ヘッドを用いた液体吐出記録方式の画像形成装置としてインクジェット記録装置などが知られている。ここでの媒体は「用紙」ともいうが材質を限定するものではなく、被記録媒体、記録媒体、転写材、記録紙なども同義で使用する。また、画像形成装置は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックス等の媒体に液体を吐出して画像形成を行う装置を意味する。そして、画像形成とは、文字や図形等の意味を持つ画像を媒体に対して付与することだけでなく、パターン等の意味を持たない画像を媒体に付与する（単に液滴を吐出する）ことをも意味する。また、インクとは、所謂インクに限るものではなく、吐出されるときに液体となるものであれば特に限定されるものではなく、例えばＤＮＡ試料、レジスト、パターン材料なども含まれる液体の総称として用いる。さらに、画像とは平面的なものに限らず、立体的に形成されたものに付与された画像、また立体自体を３次元的に造形して形成された像も含まれる。
【０００３】
上記画像形成装置において、高速化及び高画質化が望まれている。この要望に応えるため、記録ヘッドのノズル数を増やすことが考えられる。ノズル孔は、エッチングやプレスにより形成されることが多い。ノズル孔をエッチングで形成する場合は形成工程に長時間を要するために、特にライン型ヘッドなどの長尺なノズルプレートの製造には不向きである。一方、ポンチを用いたプレス工程は短時間で可能であり、有効である。
【０００４】
金属材等のプレートにプレス工程でノズル孔を高密度で形成する方法として、特許文献１に記載されているものが知られている。この特許文献１のインクジェットヘッドのノズルプレート製造方法は、塑性工程と研削工程とを有する。塑性工程では、ノズルプレートの素材となる金属材の基板を貫通しないストロークでポンチを用いて基板の一方の面からプレスする。これにより、基板の一方の面に凹部が形成されるとともに、基板の他方の面に凸部が形成される。この凹部の底部は厚み方向で他方の面の位置より出ている。そして、研削工程では、形成された凸部を基板の他方の面に沿って研削し、凹部の底部を開口してノズル孔を形成する。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記特許文献１のノズルプレート製造方法では、研削されている基板の面にせん断歪みが生じ、研削後のノズルプレートにおけるノズル孔の位置が狙いの位置からずれてしまう。そこで、そのずれ量を検出して当該ずれ量に基づいて塑性加工でのプレス位置を補正するにより、研削後のノズルプレートにおけるノズル孔の位置を狙いの位置にする。上記ずれ量は、研削工程の前後におけるノズル孔の位置を検出することで算出できる。そのノズル孔の位置を検出する方法として、特許文献２のノズル孔位置検出方法が知られている。この特許文献２のノズル孔位置検出方法では、ノズルプレートのノズル面を上方から撮像手段によって撮像し、撮像画像を画像処理してノズルプレートのノズル孔の位置を検出するものである。
【０００６】
上記特許文献２のノズル孔位置検出方法を用いて研削工程の前後におけるノズル孔の位置を検出した場合、研削工程後のノズル孔の画像部と基板の面の画像部との境界線があらわれる。これにより、ノズル孔の画像部を画像処理して研削工程後のノズル孔の位置を正確に検出することができる。しかし、研削工程前のノズル面の撮像画像では、凸部に相当する画像部と基板の面の画像部との濃淡などが略同じで各画像部の境界線があらわれず、凸部の頂上部を特定できず、研削工程前のノズル孔の位置を正確に検出することが難しい。このため、研削工程の前後でノズルプレートにおけるノズル孔位置のずれ量を正確に算出することが難しい。
【０００７】
本発明は以上の問題点に鑑みなされたものであり、その目的は、研削工程の前後でノズルプレートにおけるノズル孔位置のずれ量を正確に算出することができる、ノズルプレート製造方法、ノズルプレート、液滴吐出ヘッド及び画像形成装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために、請求項１の発明は、液滴を吐出する複数のノズル孔が形成されるノズルプレートとなる基板における一方の面に塑性を加えて前記基板の他方の面に凸部を形成する塑性工程と、前記凸部を研削してノズル孔を形成する研削工程とを有するノズルプレート製造方法において、基板の他方の面に、狙いのノズル孔を形成しようとする場合のノズル孔の並び方向に沿って研削を開始する狙いのノズル孔の近傍と、研削が終了する狙いのノズル孔の近傍とに、それぞれ少なくとも１つずつ設けた、ノズル孔の位置を観察するためのノズル孔位置観察部を前記研削工程の前後で撮像し、撮像した前記ノズル孔位置観察部の各画像部に基づいて前記研削工程の前後で基板における前記ノズル孔位置観察部間の位置ずれのずれ量を検出するずれ量検出工程と、検出したずれ量に基づいて前記塑性工程における前記凸部を形成する位置を補正する補正工程とを有することを特徴とするものである。
【発明の効果】
【０００９】
本発明では、ノズル孔位置観察部を、狙いのノズル孔の並び方向に沿って研削を開始する狙いのノズル孔の近傍と、研削が終了する狙いのノズル孔の近傍とに、それぞれ少なくとも１つずつ設けた。各ノズル孔の予め研削工程時に基板の面で生じるせん断歪によって、研削工程後のノズル孔及び各ノズル孔位置観察部の位置は、研削工程前のノズル孔及び各ノズル孔位置観察部の位置から互いに同じように動く。このため、研削工程の前後での基板におけるノズル孔位置観察部間の位置のずれ量は、研削工程の前後での基板におけるノズル孔列における位置ずれ量に相当する。そして、研削工程の前後に、各ノズル孔位置観察部をそれぞれ撮像する。撮像した各ノズル孔位置観察部の画像部は基板の面と異なる部分の画像部であるので、研削工程の前後にそれぞれ撮像した画像部に基づいて各ノズル孔位置観察部の各位置を正確に検出できる。研削工程の前後での基板におけるノズル孔位置観察部間の位置のずれ量は正確に検出できる。これにより、研削工程の前後でノズルプレートにおけるノズル孔位置のずれ量を正確に算出することができる、という特有な効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本実施形態に係る画像形成装置の一例である液滴吐出装置を示す斜視図である。
【図２】液滴吐出装置の機構部の側面図である。
【図３】本実施形態に係る液滴吐出ヘッドを適用したインクカートリッジを示す図である。
【図４】本実施形態に係る液滴吐出ヘッドの概略図である。
【図５】本実施形態の液滴吐出ヘッドの分解斜視図である。
【図６】図４のＡ−Ａ断面図である。
【図７】図４のＢ−Ｂ断面図である。
【図８】本実施形態に係る液滴吐出ヘッドにおけるノズルプレートの実施例を示す概略平面図である。
【図９】本実施形態に係る液滴吐出ヘッドのノズルプレートの製造工程を示す工程断面図である。
【図１０】本実施形態に係る液滴吐出ヘッドにおけるノズルプレートの変形例１を示す概略平面図である。
【図１１】本実施形態に係る液滴吐出ヘッドにおけるノズルプレートの変形例２を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下に、本発明の実施形態に係る画像形成装置の液滴吐出装置を詳細に説明する。
図１は、本実施形態に係る画像形成装置の一例である液滴吐出装置を示す斜視図である。図２は、同液滴吐出装置の機構部の側面図である。両図において、液滴吐出装置は、装置本体８１の内部に、印字機構部８２等を収納している。印字機構部８２は、主走査方向に移動可能なキャリッジ９３、キャリッジ９３に搭載した本実施形態の液滴吐出ヘッドからなる記録ヘッド、記録ヘッドへインクを供給するインクカートリッジ等で構成されている。そして、装置本体８１の下方部には前方側から多数枚の用紙８３を積載可能な給紙カセット（或いは給紙トレイでもよい）８４を着脱自在に装着することができるようになっている。また、用紙８３を手差しで給紙するための手差しトレイ８５を開倒することができ、給紙カセット８４或いは手差しトレイ８５から給送される用紙８３を取り込みできる。印字機構部８２によって所要の画像を記録した後、後面側に装着された排紙トレイ８６に排紙する。
【００１２】
印字機構部８２は、図示しない左右の側板に横架したガイド部材である主ガイドロッド９１と従ガイドロッド９２とでキャリッジ９３を主走査方向（図１１で紙面垂直方向）に摺動自在に保持している。このキャリッジ９３には、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｂｋ）の各色のインク滴を吐出する本実施形態の液滴吐出ヘッドからなる記録ヘッド９４がインク滴吐出方向を下方に向けて装着している。そして、記録ヘッド９４には複数のインク吐出口（ノズル）が主走査方向と交差する方向に配列されている。またキャリッジ９３には記録ヘッド９４に各色のインクを供給するための各インクカートリッジ９５を交換可能に装着している。
【００１３】
インクカートリッジ６５は上方に大気と連通する大気口、下方には液滴吐出ヘッドへインクを供給する供給口を、内部にはインクが充填された多孔質体を有しており、多孔質体の毛管力により液滴吐出ヘッドへ供給されるインクをわずかな負圧に維持している。また、記録ヘッドとしてここでは各色のヘッド６４を用いているが、各色のインク滴を吐出するノズルを有する１個のヘッドでもよい。
【００１４】
ここで、キャリッジ６３は後方側（用紙搬送方向下流側）を主ガイドロッド６１に摺動自在に嵌め込み、前方側（用紙搬送方向上流側）を従ガイドロッド６２に摺動自在に載置している。そして、このキャリッジ６３を主走査方向に移動走査するため、主走査モータ６７で回転駆動される駆動プーリ６８と従動プーリ６９との間にタイミングベルト７０を張装している。このタイミングベルト７０をキャリッジ６３に固定しており、主走査モータ６７の正逆回転によりキャリッジ６３が往復駆動される。
【００１５】
一方、給紙カセット８４にセットした用紙８３を記録ヘッド９４の下方側に搬送するために、次の部材を設けている。給紙カセット８４から用紙８３を分離給装する給紙ローラ１０１及びフリクションパッド１０２、用紙８３を案内するガイド部材１０３、給紙された用紙８３を反転させて搬送する搬送ローラ１０４を設けている。そして、この搬送ローラ１０４の周面に押し付けられる搬送コロ１０５及び搬送ローラ１０４からの用紙８３の送り出し角度を規定する先端コロ１０６を設けている。搬送ローラ１０４は副走査モータ１０７によってギヤ列を介して回転駆動される。
【００１６】
そして、キャリッジ９３の主走査方向の移動範囲に対応して搬送ローラ１０４から送り出された用紙８３を記録ヘッド９４の下方側で案内する用紙ガイド部材である印写受け部材１０９を設けている。この印写受け部材１０９の用紙搬送方向下流側には、用紙８３を排紙方向へ送り出すために回転駆動される搬送コロ１１１、拍車１１２を設けられている。さらに、用紙８３を排紙トレイ８６に送り出す排紙ローラ１１３及び拍車１１４と、排紙経路を形成するガイド部材１１５、１１６とを配設している。
【００１７】
記録時には、キャリッジ９３を移動させながら画像信号に応じて記録ヘッド９４を駆動することにより、停止している用紙８３にインクを吐出して１行分を記録し、用紙８３を所定量搬送後次の行の記録を行う。記録終了信号または、用紙８３の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了させ用紙８３を排紙する。
【００１８】
また、キャリッジ９３の移動方向右端側の記録領域を外れた位置には、記録ヘッド９４の吐出不良を回復するための回復装置１１７を配置している。回復装置１１７はキャップ手段と吸引手段とクリーニング手段を有している。キャリッジ９３は印字待機中にはこの回復装置１１７側に移動されてキャッピング手段で記録ヘッド９４をキャッピングされ、吐出口部を湿潤状態に保つことによりインク乾燥による吐出不良を防止する。また、記録途中などに記録と関係しないインクを吐出することにより、全ての吐出口のインク粘度を一定にし、安定した吐出性能を維持する。
【００１９】
吐出不良が発生した場合等には、キャッピング手段で記録ヘッド９４の吐出口（ノズル孔）を密封する。そして、チューブを通して吸引手段で吐出口からインクとともに気泡等を吸い出し、吐出口面に付着したインクやゴミ等はクリーニング手段により除去され吐出不良が回復される。また、吸引されたインクは、本体下部に設置された廃インク溜（不図示）に排出され、廃インク溜内部のインク吸収体に吸収保持される。
【００２０】
本実施形態に係る液滴吐出ヘッドを適用することで、接合剥れの少ない安価な液滴吐出記録装置を実絵できる。液滴吐出記録装置としてインクジェットプリンタを例として説明したが、インクジェットコピー、インクジェットファックス、あるいはそれらの複合型記録装置にも適用できる。また、インクジェット記録装置以外にも、インクジェット技術を用いたカラーフィルタ製造装置、金属配線製造装置、捺染装置、ＤＮＡチップ製造装置などの工業用製造装置にも適用できる。
【００２１】
図３は、本実施形態に係る液滴吐出ヘッドを適用したインクカートリッジを示す図である。図３に示すインクカートリッジは、ノズル孔４１等を有する上記各実施形態のいずれかの液滴吐出ヘッド１と、この液滴吐出ヘッド１に対してインクを供給するインクタンク５０とを一体化したものである。このようにインクタンク一体型のヘッドの場合、ヘッドの歩留まり不良は直ちにインクカートリッジ全体の不良につながる。上述したように、液滴吐出特性の向上は、ヘッド一体型インクカートリッジの信頼性向上化を図れる。
【００２２】
図４は本実施形態に係る液滴吐出ヘッドの概略図、図５は本実施形態の液滴吐出ヘッドの分解斜視図、図６は図４のＡ−Ａ断面図、図７は図４のＢ−Ｂ断面図である。
図５乃至図７に示すように、本実施形態に係る液滴吐出ヘッドは、フレーム部材１０上に、振動板２０、流路板３０、ノズルプレート４０を順次積層、あるいは接合して構成されている。フレーム部材１０は、金属あるいはセラミックスなどの高剛性材料で形成したベース基板１３と、ベース基板１３に接合されている。流路板３０に備えた加圧液室３１内の液体（例えばインク）を加圧するための圧力発生手段である電気機械変換素子としての積層型圧電素子１４とを備えている。そして、上述の加圧液室３１と連通した共通液室１１となる凹部、この共通液室１１に外部からインクを供給するためのインク供給穴１２を形成している。
【００２３】
このフレーム部材１０は、例えばエポキシ系樹脂或いはポリフェニレンサルファイトで射出成形により形成している。積層型圧電素子１４は、厚さ１０〜５０［μｍ／１層］のチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）の圧電層と、厚さ数［μｍ／１層］の銀・パラジューム（ＡｇＰｄ）からなる内部電極層とを交互に積層したものである。そして、内部電極を交互に端面の端面電極（外部電極）である個別電極、共通電極に電気的に接続し、これらの電極に図６に示すＦＰＣケーブル１７を介して駆動信号を供給するようにしている。
【００２４】
また、積層型圧電素子１４は、一方の面をベース基板１３に接合されている。そして、他方の面は、振動板２０に接合されている。この圧電常数がｄ２３である積層型圧電素子１４の変位により、振動板２０が撓むことにより、対応する加圧液室３１の内圧状態を加圧、負圧させるようになっている。積層型圧電素子１４に駆動信号が印加され充電が行われると加圧液室３１を加圧し、また積層型圧電素子１４に充電された電荷が放電すると加圧液室３１を負圧する。
【００２５】
また、図７に示すように、各積層型圧電素子１４の間には加圧液室３１、３１間の隔壁部３１ａに対応して支柱部１５を設けている。ここでは、圧電素子部材にハーフカットのダイシングによるスリット加工を施すことで櫛歯状に分割して、１つ毎に積層型圧電素子１４と支柱部１５として形成している。支柱部１５の構成は積層型圧電素子１４と同じであるが、駆動電圧を印加しないので単なる支柱してのみ機能する。振動板２０は、電鋳法により形成されており、その外周部２０Ａをフレーム部材１０に接着剤にて接合されている。また、振動板２０は、加圧液室３１と連通してフレーム部材１０の共通液室１１から加圧液室３１にインクを供給するためのインク供給口２１を備えている。振動板２０は、３層構造のニッケルの金属プレート状に形成したもので、例えば電鋳法で作製しているが、この他の金属板や樹脂板或いは金属と樹脂板との積層部材や金属と金属の積層部材（複層構造部材）などを用いることもできる。
【００２６】
更に、流路板３０は、例えばステンレス鋼材をプレート状に成形したもので、例えばプレス加工法にて加圧液室３１、インク供給路３３（図３）を形成する。ダンパ室３２をウエットエッチング加工法にて加圧液室３１よりも浅くハーフエッチングにより形成したものや、例えば、結晶面方位（１１０）の単結晶シリコン基板を水酸化カリウム水溶液（ＫＯＨ）などのアルカリ性エッチング液を用いて異方性エッチングする。加圧液室などの流路パターンを形成したもの（単結晶シリコンに限らない）などを用いることもできる。ダンパ室３２は、ノズルプレート４０と振動板２０により、矩形の空間となるが大気連通管２２を通して大気と連通することにより、エアダンパ効果を持たせる構造としている。
【００２７】
ノズルプレート４０は各加圧液室３１に対応してノズル孔４１を形成している。このノズルプレート４０としては、例えばステンレス鋼材をプレート状に形成したもので、後述するように、例えばパンチを用いた打ち抜き加工もしくは塑性加工と研磨工程を組み合わせた加工によりノズル孔４１を形成している。ノズルプレート４０をＳＵＳ（ステンレス）系の金属部材で構成することで、安価で長尺対応なノズルプレートを形成することが可能である。また、ノズル孔４１の内部形状（内側形状）は、ストレート形状、もしくはテーパー形状、または、二つを組み合わせたストレート−テーパー形状に形成し、このノズル孔４１の穴径はインク滴出口側の直径で約１０〜３５［μｍ］としている。さらに、各列のノズルピッチは１５０［ｄｐｉ］とした。
【００２８】
また、ノズルプレート４０のノズル面（吐出方向の表面（外面）：液滴吐出面）４０Ａには、図示しない撥水性の表面処理を施した撥水処理層を設けている。撥水処理層としては、例えばＰＴＦＥ−Ｎｉ共析メッキやフッ素樹脂の電着塗装、蒸発性のあるフッ素樹脂（例えばフッ化ピッチなど）を蒸着コートしたものがある。そして、シリコン系樹脂やフッ素系樹脂の溶剤塗布後の焼き付け等、インク物性に応じて選定した撥水処理膜を設けて、インクの滴形状、飛翔特性を安定化し、高品位の画像品質を得られるようにしている。
【００２９】
図８は、本実施形態に係る液滴吐出ヘッドにおけるノズルプレートの実施例を示す概略平面図である。図８に示すように、本実施形態に係る液滴吐出ヘッドにおけるノズルプレート４０となる基板には、複数のノズル孔４１の外周部に少なくとも２つ以上（図８では４個）のモニター孔（モニター部）４３を予め設ける。そして、プレス工程の後工程である研削工程の前後で、各モニター孔４３の位置をモニタリングする。これにより、プレス工程の後工程である研削工程によるノズル孔位置のずれを検出できる。また、同時にノズル孔形成後にノズル位置を検出することで、相対的にプレス工程のノズル孔位置を測定することができる。この結果から、プレス工程での定量的なプレス位置調整が可能となる。本実施形態では、ノズルプレート４０として金属材料を用いているが、好ましくはステンレス鋼を用いることで、様々な液に対応することが可能で、さらに材料コストを抑えることが可能となる。ただし、ステンレス鋼に限らず、様々な金属材料でも部品形成は可能である。
【００３０】
図９は、本実施形態に係る液滴吐出ヘッドのノズルプレートの製造工程を示す工程断面図である。図９に示すノズルプレート４０において、ノズル孔形状(図ではテーパー形状)はプレス加工と研削工程により形成されている。図９（ａ）に示すように、プレス加工法によって、ステンレス鋼材などの板材を塑性変形によりノズル孔４１の形状に変形させる。このとき液滴吐出面にはプレスの押し込みにより発生した凸部（突起部）４２が発生する。さらに、研削工程の前に、ノズル形成のプレス加工とは別工法で、ノズル列の外周にモニター孔４３を形成する。モニター孔４３はプレスもしくはエッチングにより形成する。図９（ｂ）に示すように、モニター孔４３と凸部４２を形成後に、凸部４２を除去する研削工程を行う。研削はラッピングもしくはポリッシング研磨で行い、凸部４２を除去することでノズル孔が開孔する。
【００３１】
図１０は、本実施形態に係る液滴吐出ヘッドにおけるノズルプレートの変形例１を示す概略平面図である。図１０に示す変形例において、モニター孔４３を結ぶ線の方向がノズル列方向に対して平行とならないように、モニター孔４３を形成する。これにより、ノズル位置の補正がノズル列の平行方向と直交方向の二軸で行える。
【００３２】
図１１は、本実施形態に係る液滴吐出ヘッドにおけるノズルプレートの変形例２を示す断面図である。同図はモニター孔が貫通孔である場合のノズルプレートの断面である。図１１に示すように、モニター孔４３を貫通孔にすることで、画像処理測定の際に背面光がモニター孔４３を通過することでモニター孔４３のエッジ検出が正確に行える。以上説明したようなノズルプレート４０の形状とすることで、安価な方法でプレス工程でのプレス位置が測定し、補正が行えるノズルプレートを提供することで、液滴吐出ヘッドの低コスト化を図ることができる。
【００３３】
以上に説明したものは一例であり、本発明は、次の態様毎に特有の効果を奏する。
（態様１）
液滴を吐出する複数のノズル孔が形成されるノズルプレートとなる基板における一方の面に塑性を加えて基板の他方の面に凸部を形成する塑性工程と、凸部を研削してノズル孔を形成する研削工程とを有するノズルプレート製造方法において、基板の他方の面に、狙いのノズル孔を形成しようとする場合のノズル孔の並び方向に沿って研削を開始する狙いのノズル孔の近傍と、研削が終了する狙いのノズル孔の近傍とに、それぞれ少なくとも１つずつ設けた、ノズル孔の位置を観察するためのノズル孔位置観察部を研削工程の前後で撮像し、撮像したノズル孔位置観察部の各画像部に基づいて研削工程の前後で基板におけるノズル孔位置観察部間の位置ずれのずれ量を検出するずれ量検出工程と、検出したずれ量に基づいて塑性工程における凸部を形成する位置を補正する補正工程とを有する。これによれば、上記実施形態について説明したように、ノズル孔位置観察部を、狙いのノズル孔の並び方向に沿って研削を開始する狙いのノズル孔の近傍と、研削が終了する狙いのノズル孔の近傍とに、それぞれ少なくとも１つずつ設けた。各ノズル孔の予め研削工程時に基板の面で生じるせん断歪によって、研削工程後のノズル孔及び各ノズル孔位置観察部の位置は、研削工程前のノズル孔及び各ノズル孔位置観察部の位置から互いに同じように動く。このため、研削工程の前後での基板におけるノズル孔位置観察部間の位置のずれ量は、研削工程の前後での基板におけるノズル孔列における位置ずれ量に相当する。そして、研削工程の前後に、各ノズル孔位置観察部をそれぞれ撮像する。撮像した各ノズル孔位置観察部の画像部は基板の面と異なる部分の画像部であるので、研削工程の前後にそれぞれ撮像した画像部に基づいて各ノズル孔位置観察部の各位置を正確に検出できる。研削工程の前後での基板におけるノズル孔位置観察部間の位置のずれ量は正確に検出できる。これにより、研削工程の前後でノズルプレートにおけるノズル孔位置のずれ量を正確に算出することができる
（態様２）
（態様１）において、ノズル孔位置観察部は、少なくとも研削工程前に形成されている。これによれば、上記実施形態について説明したように、研削工程の前後にそれぞれ撮像した画像部に基づいて、モニター孔の各位置を正確に検出できる。これにより、研削工程前後におけるノズル孔の位置ずれのずれ量を正確に算出することができる。
（態様３）
（態様１）又は（態様２）において、各ノズル孔位置観察部を結ぶ線の少なくとも一つの線方向がノズル孔の列方向と平行でない。これによれば、上記実施形態の変形例について説明したように、ノズル孔列の平行方向と直交する方向の二軸補正が可能となり、ノズル孔位置の補正精度の高いノズルプレートを製造できる。
（態様４）
（態様１）〜（態様３）のいずれかにおいて、全てのノズル孔位置観察部は、同時に形成される。これによれば、上記実施形態について説明したように、ノズルプレート間でのモニター孔の位置関係がなくなり、モニター孔を測定する回数が減る。このため、安価に部品の作製が可能となる。
（態様５）
（態様１）〜（態様４）のいずれかにおいて、ノズル孔位置観察部は貫通孔である。これによれば、上記実施形態について説明したように、画像処理の際に背面光が貫通孔のモニター孔を通過することでモニター孔のエッジ検出が正確に行うことができる。
（態様６）
（態様５）において、貫通孔の断面形状が円形をなす。これによれば、上記実施形態について説明したように、画像処理による測定精度が向上するに伴い、プレス位置の補正精度が向上する。この結果、ノズル孔の位置精度が向上することができる。
（態様７）
（態様５）又は（態様６）において、貫通孔はポンチによるせん断加工により形成されている。これによれば、上記実施形態について説明したように、モニター孔として、低コストで貫通孔を形成することができる。
（態様８）
（態様１）〜（態様７）のいずれかに記載のノズルプレート製造方法により製造されたノズルプレートである。これによれば、上記実施形態について説明したように、安価に塑性工程でのプレス位置における位置補正が高精度に行うことができる。
（態様９）
（態様８）のノズルプレートと、ノズルプレートに接合され、ノズル孔と連通する複数の加圧液室及び該加圧液室に液体を供給する液体供給路を形成した流路板と、液滴吐出のための圧力を加圧液室に加えることにより、加圧液室に供給された液体をノズル孔から吐出させる圧力発生手段とを備えたこと液滴吐出ヘッドである。これによれば、上記実施形態について説明したように、安価に塑性工程でのプレス位置における位置補正が高精度に行うことができる。これにより、高速化及び高品質化が図れる液滴吐出ヘッドを実現できる。
（態様１０）
（態様９）の液滴吐出ヘッドを備えた画像形成装置である。これによれば、上記実施形態について説明したように、高速化及び高画質化が図れる画像形成装置を実現できる。
【符号の説明】
【００３４】
１  液滴吐出ヘッド
１０  フレーム部材
１１  共通液室
１２  インク供給穴
１３  ベース基板
１４  積層型圧電素子
１５  支柱部
１７  ＦＰＣケーブル
２０  振動板
２１  インク供給口
２２  大気連通管
３０  流路板
３１  加圧液室
３１ａ  隔壁部
３２  ダンパ室
３３  インク供給路
４０  ノズルプレート
４１  ノズル孔
４２  凸部
４３  モニター孔
６０  インクタンク
６１  主ガイドロッド
６２  従ガイドロッド
６３  キャリッジ
６４  ヘッド
６５  インクカートリッジ
６７  主走査モータ
６８  駆動プーリ
６９  従動プーリ
７０  タイミングベルト
８１  記録装置本体
８２  印字機構部
８３  用紙
８４  給紙カセット
８５  トレイ
８６  排紙トレイ
９１  主ガイドロッド
９２  従ガイドロッド
９３  キャリッジ
９４  記録ヘッド
９５  各インクカートリッジ
１０１  給紙ローラ
１０２  フリクションパッド
１０３  ガイド部材
１０４  搬送ローラ
１０５  搬送コロ
１０６  先端コロ
１０７  副走査モータ
１０９  部材
１１１  搬送コロ
１１２  拍車
１１３  排紙ローラ
１１４  拍車
１１５  ガイド部材
１１６  ガイド部材
１１７  回復装置
【先行技術文献】
【特許文献】
【００３５】
【特許文献１】特開２００５−１０３９８４号公報
【特許文献２】特開平１１−２４５４２１号公報
【図１】
2014076601.tif 000003
【図２】
2014076601.tif 000004
【図３】
2014076601.tif 000005
【図４】
2014076601.tif 000006
【図５】
2014076601.tif 000007
【図６】
2014076601.tif 000008
【図７】
2014076601.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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